(57)【要約】【課題】 複数のベースブロックに流体制御機器が取り付けられることで構成される流体制御装置において、流体制御機器のベースブロックへの取付けに際し、ベースブロックの回転を防止することで、ベース板金の変形を防止する流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具を提供する。【解決手段】  ねじ部材9による流体制御機器3のベースブロック4への固定に際し、ねじ部材9を回す方向にベースブロック4が回転することを防止するベースブロック回転防止治具8を使用する。ベースブロック回転防止治具8は、複数のベースブロック4間の隙間に入り込むスペーサ部16と、スペーサ部16同士を連結する連結部18とからなり、複数のベースブロック4にまたがって取付け可能とされている。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流体制御機器を複数のベースブロックにねじ部材によってそれぞれ着脱可能に結合する際の流体制御機器の固定方法であって、
ねじ部材による流体制御機器のベースブロックへの固定に際し、ねじ部材を回す方向にベースブロックが回転することを防止するベースブロック回転防止治具を使用することを特徴とする流体制御機器の固定方法。
【請求項２】
ベースブロック回転防止治具は、複数のベースブロック間の隙間に入り込むスペーサ部と、スペーサ部同士を連結する連結部とからなり、複数のベースブロックにまたがって取付け可能とされていることを特徴とする請求項１の流体制御機器の固定方法。
【請求項３】
複数のベースブロックにねじ部材によってそれぞれ着脱可能に結合された複数の流体制御機器を備えている流体制御装置において、ねじ部材による流体制御機器のベースブロックへの固定に際し使用されるベースブロック回転防止治具であって、
複数のベースブロック間の隙間に入り込むスペーサ部と、スペーサ部同士を連結する連結部とからなり、複数のベースブロックにまたがって取付け可能とされていることを特徴とするベースブロック回転防止治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具に関し、より詳しくは、複数のベースブロックに流体制御機器が取り付けられることで構成されて、半導体製造装置等に使用される流体制御装置において、複数の流体制御機器を複数のベースブロックにねじ部材によってそれぞれ着脱可能に結合する際の流体制御機器の固定方法および流体制御機器の固定に際して好適に使用されるベースブロック回転防止治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が直列状に配されてパイプや継手を介さずに接続されることによって形成された複数のラインをベース部材上に並列状に設置するという集積化が進んでいる。集積化流体制御装置の構成要素は、例えば、複数の下段部材（この明細書においては「ベースブロック」と称す）が１枚の副基板（この明細書においては「ベース板金」と称す）上にねじ部材で取り付けられ、これらの下段部材の上に上段部材（すなわち流体制御機器）がねじ部材で取り付けられることで形成される（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５４９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の流体制御装置によると、複数のベースブロックをベース板金にねじ部材で取り付けた後、複数の流体制御機器を対応するベースブロックにねじ部材で取り付けるが、この際、ベース板金に切欠き等があると、流体制御機器を対応するベースブロックにねじ部材で取り付ける際に、ベースブロックが回転して、ベース板金が変形することがある。
【０００５】
この発明の目的は、複数のベースブロックに流体制御機器が取り付けられることで構成される流体制御装置において、流体制御機器のベースブロックへの取付けに際し、ベースブロックの回転を防止することで、ベース板金の変形を防止する流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明による流体制御機器の固定方法は、複数の流体制御機器を複数のベースブロックにねじ部材によってそれぞれ着脱可能に結合する際の流体制御機器の固定方法であって、ねじ部材による流体制御機器のベースブロックへの固定に際し、ねじ部材を回す方向にベースブロックが回転することを防止するベースブロック回転防止治具を使用することを特徴とするものである。
【０００７】
ベースブロックは、内部に流体通路が形成された直方体状のものとされ、複数のベースブロックは、基本的に同一形状とされて、所定の間隔をおいて、ベース板金にねじ部材で取り付けられる。
【０００８】
流体制御機器としては、開閉弁（流体通路の遮断・開放を行う弁）、減圧弁、圧力表示機、流量調整機（マスフローコントローラ）などが使用され、例えば複数の開閉弁だけからなる構成であってもよく、異なる種類の流体制御機器が組み合わされた構成であってもよい。
【０００９】
各流体制御機器は、対応するベースブロックにねじ部材で取り付けられる。この際、流体制御機器に設けられた流体通路とベースブロックの流体通路とが突き合わされ、その突き合わせ部におけるシール性を確保するために、所定のトルクでねじ部材が締め付けられる。ベースブロックが取り付けられているベース板金は、通常、配管施工の都合上（例えばボックスなどに取り付けやすくするため）、複数の切欠きを有しており、そのため、強度的に弱く変形しやすいものとなっている。したがって、流体制御機器を固定するためのねじ部材を規定のトルクで締め付けた場合、ベースブロックが回転して、ベース板金が変形する可能性がある。この発明の流体制御機器の固定方法によると、ねじ部材を回す方向にベースブロックが回転することを防止するベースブロック回転防止治具を使用することで、流体制御機器を締め付けた場合のベースブロックの回転が防止され、これにより、ベース板金が変形するという問題が解消する。
【００１０】
上記の流体制御機器の固定方法において使用されるベースブロック回転防止治具は、複数のベースブロック間の隙間に入り込むスペーサ部と、スペーサ部同士を連結する連結部とからなり、複数のベースブロックにまたがって取付け可能とされていることが好ましい。
【００１１】
この発明によるベースブロック回転防止治具は、複数のベースブロックにねじ部材によってそれぞれ着脱可能に結合された複数の流体制御機器を備えている流体制御装置において、ねじ部材による流体制御機器のベースブロックへの固定に際し使用されるベースブロック回転防止治具であって、複数のベースブロック間の隙間に入り込むスペーサ部と、スペーサ部同士を連結する連結部とからなり、複数のベースブロックにまたがって取付け可能とされていることを特徴とするものである。
【００１２】
上記のベースブロック回転防止治具において、スペーサ部は、ベースブロック間の隙間に対応する厚みを有する板状体とされ、板状体とされた連結部に、例えば、ねじ部材により固定される。ベースブロック回転防止治具は、複数のベースブロックを両側から挟む挟持部を有していることが好ましく、挟持部は、例えば、スペーサ部を形成する板状体と同じ板状体がスペーサ部と平行になるように連結部の両端に取り付けられることで形成される。ベースブロック回転防止治具は、スペーサ部と連結部（および挟持部）とが別体とされてもよく、一体とされてもよい。また、ベースブロック回転防止治具は、金属製であってもよく、合成樹脂（ゴムを含む）製であってもよい。
【００１３】
ベースブロック回転防止治具のベースブロックへの取付けは、上方（連結部が水平）および水平方向（連結部が垂直）のいずれからでもから可能である。
【００１４】
ベース板金は、例えば、細長い平板状とされるが、長方形状に限定されるものではなく、孔、切欠き、折曲げ部、突出部などが適宜形成された種々の形状とされる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明の流体制御機器の固定方法によると、ねじ部材による流体制御機器のベースブロックへの固定に際し、ねじ部材を回す方向にベースブロックが回転することを防止するベースブロック回転防止治具を使用するので、ベースブロックの回転を防止することができ、これにより、ベースブロックを支持しているベース板金の変形を防止することができる。
【００１６】
また、この発明のベースブロック回転防止治具によると、ベースブロック間の隙間に入り込むスペーサ部と、スペーサ部同士を連結する連結部とからなり、複数のベースブロックにまたがって取付け可能とされているので、流体制御機器のベースブロックへの取付けに際し、ベースブロックの回転を防止することができ、これにより、ベースブロックを支持しているベース板金の変形を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、この発明による流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具の１実施形態を示す正面図である。
【図２】図２は、同側面図である。
【図３】図３は、図１の流体制御装置で使用されているベース板金の斜視図である。
【図４】図４は、この発明による流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具の要部を示す分解斜視図である。
【図５】図５は、同斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１９】
図１から図５までに、この発明による流体制御機器の固定方法およびこれに使用されるベースブロック回転防止治具の１実施形態を示す。
【００２０】
流体制御装置(1)は、ボックス(2)内に配置される複数（この例では３つ）の開閉弁（流体制御機器）(3)と、各開閉弁(3)が取り付けられている複数（開閉弁(3)と同数）のベースブロック(4)と、複数のベースブロック(4)を支持している１つのベース板金(5)と、各開閉弁(3)に接続された複数の配管(6)と、複数の配管(6)を支持している１つの配管板金(7)と、複数のベースブロック(4)にまたがって取付け可能とされている１つのベースブロック回転防止治具(8)とを備えている。
【００２１】
各開閉弁(3)は、流体通路（図示略）が形成された本体(11)と、流体通路を開閉するための弁体、弁棒、アクチュエータなどが内蔵されたケーシング(12)とからなり、その本体(11)が対応するベースブロック(4)にねじ部材(9)によって着脱可能に取り付けられている。
【００２２】
各ベースブロック(4)は、直方体状で同一形状とされており、内部には、各開閉弁(3)の本体(11)に連通する流体通路（図示略）が形成されている。複数のベースブロック(4)は、所定の間隔をおいて、ベース板金(5)に取り付けられている。
【００２３】
ベース板金(5)は、各ベースブロック(4)が載置される複数（ベースブロック(4)と同数）の略方形板状の載置部(13)と、複数の載置部(13)をその一側において連結する連結部(14)と、ベース板金(5)をボックス(2)に取り付けるための取付部(15)とを有している。各載置部(13)には、各ベースブロック(4)を取り付けるためのねじ孔(13a)が設けられている。載置部(13)と連結部(14)とは、９０°よりも僅かに小さい角度をなしており、取付部(15)は、連結部(14)と同一平面に形成されている。各取付部(15)には、長孔(15a)が設けられている。
【００２４】
ベースブロック回転防止治具(8)は、金属製とされており、ベースブロック(4)間の全ての隙間に入り込む複数（この例では２つ）のスペーサ部(16)と、複数のベースブロック(4)を両側から挟む１対の挟持部(17)と、すべてのスペーサ部(16)および挟持部(17)をその一側（基端側）において一体的に連結する連結部(18)とからなる。
【００２５】
スペーサ部(16)は、ベースブロック(4)間の隙間に対応する厚みを有する板状体とされており、挟持部(17)は、スペーサ部(16)を形成する板状体と同じ板状体がスペーサ部(16)と平行になるように連結部(18)の両端に取り付けられることで形成されている。連結部(18)は、スペーサ部(16)および挟持部(17)とは別体の板状体とされており、スペーサ部(16)および挟持部(17)は、ねじ部材(19)によって連結部(18)に固定されている。
【００２６】
ベースブロック回転防止治具(8)は、複数のベースブロック(4)がベース板金(5)におねじ部材で固定された状態で、そのスペーサ部(16)をベースブロック(4)間の隙間に挿入することで取り付けられる。これにより、この後に開閉弁(3)を締め付けた場合のベースブロック(4)の回転が防止され、ベース板金(5)が変形することが防止される。
【００２７】
なお、上記の流体制御装置(1)は、例えば、図２の右を上にして、壁面に取り付けられるが、これに限定されるものではない。図２の右を上にした状態では、ベースブロック回転防止治具(8)は、連結部(18)がベース板金(5)で支持されることで、その脱落が防止される。また、図２の上を上にした状態では、ベースブロック回転防止治具(8)は、連結部(18)がベースブロック(4)で支持されることで、その脱落が防止される。
【符号の説明】
【００２８】
(1)：流体制御装置、(3)：開閉弁（流体制御機器）、(4)：ベースブロック、(5)：ベース板金、(8)：ベースブロック回転防止治具、(9)：ねじ部材、(16)：スペーサ部、(18)：連結部
【図１】
2013137055.tif 000003
【図２】
2013137055.tif 000004
【図３】
2013137055.tif 000005
【図４】
2013137055.tif 000006
【図５】
2013137055.tif 000007