(57)【要約】【課題】検査領域Ｑ１とは別の領域に除電領域Ｑ２を形成でき、製造が簡単であり、小型であり、安価に製造でき、しかも運転コストが低いＸ線検査装置１を提供する。【解決手段】Ｘ線を用いて被検査物Ｓを検査するＸ線検査装置１である。Ｘ線を発生するＸ線源８と、検査を受ける被検査物Ｓが置かれる検査領域Ｑ１と、除電される物（被検査物Ｓ）が置かれる領域であって検査領域Ｑ１とは別の領域である除電領域Ｑ２と、Ｘ線源８から出たＸ線を検査領域Ｑ１へ導く第１のＸ線放出口（開口１４ａ）と、Ｘ線源８から出たＸ線を除電領域Ｑ２へ導くＸ線放出口であって第１のＸ線放出口（開口１４ａ）とは別の位置に設けられた第２のＸ線放出口（開口１４ｂ）とを有するＸ線検査装置１。【選択図】図１
2013174483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置において、
Ｘ線を発生するＸ線源と、
検査を受ける被検査物が置かれる検査領域と、
除電される物が置かれる領域であって前記検査領域とは別の領域である除電領域と、
前記Ｘ線源から出たＸ線を前記検査領域へ導く第１のＸ線放出口と、
前記Ｘ線源から出たＸ線を前記除電領域へ導くＸ線放出口であって前記第１のＸ線放出口とは別の位置に設けられた第２のＸ線放出口と
を有することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記Ｘ線源が発生するＸ線は軟Ｘ線であり、前記除電領域は軟Ｘ線によって形成される空気中の電離領域であることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線源を支持しているハウジングを有しており、
該ハウジングは端面と側面とを備えた筒形状を有しており、
前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの端面に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの側面に対応して設けられるか、
前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの側面に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの端面に対応して設けられるか、又は
前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの側面の第１の個所に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの側面の前記第１の個所とは異なった第２の個所に対応して設けられる、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記ハウジングはガラス管であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記第１のＸ線放出口から出るＸ線と、前記第２のＸ線放出口から出るＸ線とで、エネルギ特性を異ならせることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１つに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
電子を発生する陰極と、
電子が衝突してＸ線を発生する対陰極と、
前記陰極と前記対陰極との間に加速電圧を印加する電圧印加手段とを有しており、
前記Ｘ線源は前記対陰極であり、
前記第１のＸ線放出口を介して前記検査領域へＸ線を放出するときの加速電圧と、前記第２のＸ線放出口を介して前記除電領域へＸ線を放出するときの加速電圧とで、電圧値を変える
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１つに記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
電子を発生する陰極と、
電子が衝突してＸ線を発生する対陰極と、
前記陰極及び前記対陰極を支持するハウジングと、
前記対陰極から出たＸ線を外部へ放出する第１のＸ線放出口と、
前記対陰極から出たＸ線を外部へ放出するＸ線放出口であって前記第１のＸ線放出口とは別の位置に設けられた第２のＸ線放出口と
を有することを特徴とするＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置、及びそのＸ線検査装置に用いられるＸ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、種々のＸ線検査装置が知られている。例えば、特許文献１によれば、２０ｋｅＶ以下の軟Ｘ線を被検物に照射して当該被検物を透視検査するＸ線検査装置が開示されている。このＸ線検査装置によれば、硬Ｘ線では検査が難しいＸ線透過率の高い高分子材料や、ミクロンオーダの薄い材料等に関して透視検査を行うことができる、と説明されている。
【０００３】
また、特許文献２によれば、食品内部や製品内部に不都合に混在する異物、気泡、クラック等をＸ線を用いた測定によって検出するようにしたＸ線検査装置が開示されている。
【０００４】
ところで、以上のようなＸ線検査装置において、被検査物を除電すること、すなわち被検査物が保有する電荷を除去することが知られている。例えば、特許文献２によれば、Ｘ線での検査に先立って、コロナ放電によって被検査物を除電することが開示されている。  また、特許文献３によれば、半導体ウエハやフォトマスク等といった被検査物を軟Ｘ線によって除電した上で、電子線を用いてそれらの被検査物を検査する装置が開示されている。
【０００５】
また、特許文献４によれば、被検査物が保有する帯電電荷を中和するために（すなわち除電するために)被検査物にコロナ放電を付与したり、軟Ｘ線を照射したりすることが開示されている。さらに、特許文献５によれば、被検査物を除電するための軟Ｘ線除電装置が開示されている。
【０００６】
また、特許文献６によれば、試料にＸ線を照射したときに当該試料から出る光電子を検出することによって当該試料を検査するＸ線検査装置において、試料に照射されるＸ線を発生するＸ線源から同時に発生した残余のＸ線によって電子を励起し、当該電子を試料に付与することにより、試料に生じた帯電電荷を中和して除電を達成するという技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−３４７４２４号公報
【特許文献２】特開昭６３−３０４１４７号公報
【特許文献３】特再公表２００６／１３５０２１号公報
【特許文献４】特開平７−０７３９９１号公報
【特許文献５】特開平８−０５５６９３号公報
【特許文献６】特開２０００−２６６７０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１から特許文献５の各文献から分かるように、被検査物をＸ線を用いて検査することは公知であり、その検査とは別にコロナ放電によって被検査物を除電することも公知である。また、Ｘ線以外の放射線、例えば電子線を用いて検査を行うと共に、その検査に先立ってＸ線によって被検査物を除電することも公知である。
【０００９】
しかしながら、従来の装置においては、検査を行うための装置と除電を行うための装置とが、それぞれ、独立して設けられていたため、検査装置全体の形状が大きく、製造コストが高く、さらに運転コストが高いという問題があった。
【００１０】
特許文献６に開示された装置では、１つのＸ線源を用いて検査と除電の両方を実現する技術が開示されている。しなしならが、この装置では１つの位置に置かれた試料に対して検査と除電とが同時に行われることになり、それらを別々の領域で行うことができない。
【００１１】
また、この文献では、試料をＸ線で照射したときに生じる試料の帯電を、そのＸ線照射と同じタイミングで中和して除去することを主眼としており、本発明のように検査と除電とを別々の領域で行うという技術思想を予測させる記載は認められない。
【００１２】
さらに、特許文献６に開示された装置における除電の原理は、本発明における除電の原理と異なっている。具体的には、特許文献６では帯電電荷に電子を付与して当該帯電電荷を中和して除電を行うことである一方、本発明ではＸ線、特に軟Ｘ線によって空気中に電離領域を形成し、帯電物をその電離領域内に置くことによって除電を行うことである。特許文献６の装置では、Ｘ線源から発生したＸ線を電子に変換するための存在物が必ず必要であり、その存在物の位置的、構造的、材質的といった各種の条件が満たされなければならず、それ故、構造が複雑であり、安価に製造できないことが考えられる。
【００１３】
本発明は、従来装置における上記の問題点に鑑みて成されたものであって、検査領域とは別の領域に除電領域を形成でき、製造が簡単であり、小型であり、安価に製造でき、しかも運転コストが低いＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を用いて被検査物を検査するＸ線検査装置において、Ｘ線を発生するＸ線源と、検査を受ける被検査物が置かれる検査領域と、除電される物が置かれる領域であって前記検査領域とは別の領域である除電領域と、前記Ｘ線源から出たＸ線を前記検査領域へ導く第１のＸ線放出口と、前記Ｘ線源から出たＸ線を前記除電領域へ導くＸ線放出口であって前記第１のＸ線放出口とは別の位置に設けられた第２のＸ線放出口とを有することを特徴とする。
【００１５】
このＸ線検査装置によれば、検査用のＸ線と除電用のＸ線とをＸ線発生装置の異なる場所から放出するので、検査領域と除電領域とを別々の領域に形成できる。このため、検査を行うべき位置と除電を行うべき位置のそれぞれを必要に応じた所望の位置に自由に設定できる。
【００１６】
しかも、１つのＸ線発生装置だけで検査領域と除電領域の２つの領域を形成できるので、複数の装置によって検査領域と除電領域の２つの領域を形成する場合に比べて、Ｘ線検査装置を簡単且つ安価に製造でき、Ｘ線検査装置の全体形状を小型にでき、しかもＸ線検査装置の運転コストを低く抑えることができる。
【００１７】
本発明に係るＸ線検査装置において、前記Ｘ線源が発生するＸ線は軟Ｘ線とすることができる。そして、前記除電領域は軟Ｘ線によって形成される空気中の電離領域によって形成することができる。
【００１８】
本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線源を支持するハウジングを有することができ、該ハウジングは端面と側面とを備えた筒形状、例えば円筒形状、角筒形状等を有することができ、さらに、
（１）前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの端面に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの側面に対応して設けられるか、
（２）前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの側面に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの端面に対応して設けられるか、又は
（３）前記第１のＸ線放出口は前記ハウジングの側面の第１の個所に対応して設けられ、前記第２のＸ線放出口は前記ハウジングの側面の前記第１の個所とは異なった第２の個所に対応して設けられるか、という構成を採用できる。
【００１９】
本発明に係るＸ線検査装置において、前記ハウジングはガラス管によって形成できる。
【００２０】
本発明に係るＸ線検査装置においては、前記第１のＸ線放出口から出るＸ線と、前記第２のＸ線放出口から出るＸ線とで、エネルギ特性を異ならせることができる。「Ｘ線のエネルギ特性を異ならせる」ことは、例えば、（１）Ｘ線をＸ線源から直接に放出すること、（２）Ｘ線をガラスを通して放出すること、（３）Ｘ線をＸ線透過窓（例えばベリリウム窓）を通して放出すること、（４）Ｘ線をＸ線濾過板を通して放出すること、の（１）〜（４）の技術から任意の２つを選択して組み合わせることによって実現できる。
【００２１】
本発明に係るＸ線検査装置は、電子を発生する陰極と、電子が衝突してＸ線を発生する対陰極と、前記陰極と前記対陰極との間に加速電圧を印加する電圧印加手段とを有することができる。そして、前記第１のＸ線放出口を介して前記検査領域へＸ線を放出するときの加速電圧と、前記第２のＸ線放出口を介して前記除電領域へＸ線を放出するときの加速電圧とで、電圧値を変えるように制御することができる。例えば、検査を行うときには３０ｋＶの加速電圧を印加し、除電を行うときには１５ｋＶ以下の加速電圧を印加することができる。このような電圧変化により、検査用に適したＸ線エネルギと、除電用に適したＸ線エネルギを希望に応じて適切に設定できる。
【００２２】
次に、本発明に係るＸ線発生装置は、電子を発生する陰極と、電子が衝突してＸ線を発生する対陰極と、前記陰極及び前記対陰極を支持するハウジングと、前記対陰極から出たＸ線を外部へ放出する第１のＸ線放出口と、前記対陰極から出たＸ線を外部へ放出するＸ線放出口であって前記第１のＸ線放出口とは別の位置に設けられた第２のＸ線放出口とを有することを特徴とする。
【００２３】
このＸ線発生装置は、Ｘ線検査装置に好適に用いられる。このＸ線発生装置によれば、検査用のＸ線と除電用のＸ線とを異なる場所から放出できるので、検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２とを別々の領域に形成できる。このため、検査を行うべき位置と除電を行うべき位置のそれぞれを必要に応じた所望の位置に自由に設定できる。
【００２４】
しかも、１つのＸ線発生装置だけで検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成できるので、複数の装置によって検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成する場合に比べて、Ｘ線検査装置を簡単且つ安価に製造でき、Ｘ線検査装置の全体形状を小型にでき、しかもＸ線検査装置の運転コストを低く抑えることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置によれば、検査用のＸ線と除電用のＸ線とをＸ線発生装置の異なる場所から放出するので、検査領域と除電領域とを別々の領域に形成できる。このため、検査を行うべき位置と除電を行うべき位置のそれぞれを必要に応じた所望の位置に自由に設定できる。
【００２６】
しかも、１つのＸ線発生装置だけで検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成できるので、複数の装置によって検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成する場合に比べて、Ｘ線検査装置を簡単且つ安価に製造でき、Ｘ線検査装置の全体形状を小型にでき、しかもＸ線検査装置の運転コストを低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置の一実施形態を示す平面断面図である。
【図２】Ｘ線発生装置の変形例を示す断面図である。
【図３】本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置の他の実施形態を示す平面断面図である。
【図４】図３の実施形態で用いられるＸ線の特性を示す図である。
【図５】本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置のさらに他の実施形態を示す正面断面図である。
【図６】本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置のさらに他の実施形態を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（Ｘ線検査装置及びＸ線発生装置の第１の実施形態）
以下、本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、本明細書に添付した図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。
【００２９】
図１は、本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置の一実施形態を示す平面図である。図１ではＸ線検査装置１及びＸ線発生装置２の平面的な断面構造を示している。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を放出するＸ線発生装置２と、被検査物Ｓを搬送する被検査物搬送手段としての搬送ベルト３と、Ｘ線を検出するＸ線検出手段としてのＸ線検出器４とを有している。
【００３０】
被検査物Ｓは、例えば、包装容器の中に所定の物が入っているかどうかを検査したい物や、物質の中に異物が入っているかどうかを検査したい物や、電気回路のハンダ接続が正常か否かを検査したい物、等である。
【００３１】
搬送ベルト３は、矢印Ａで示すように、搬送方向が平面内でほぼ９０度の角度で曲がるように被測定物Ｓを搬送する。Ｘ線発生装置２は搬送方向がそのようにほぼ９０度で曲がる所の内側部分に設置されている。なお、被検査物搬送手段は搬送ベルト３以外の任意の構成の搬送装置に代えることができる。
【００３２】
Ｘ線発生装置２は、電子を発生する陰極７と、その陰極７に対向して配置されたＸ線源としての対陰極８と、陰極７及び対陰極８を包囲するハウジング９と、ハウジング９を包囲しＸ線を遮蔽するシールドケース１０とを有している。ハウジング９は陰極７及び対陰極８を支持する機能を持っている。
【００３３】
Ｘ線検出器４は、任意の構成のＸ線検出器によって形成されている。例えば、Ｘ線に関する位置分解能を持たない０（ゼロ）次元Ｘ線検出器でも良く、直線上でＸ線の位置分解能を有する１次元Ｘ線検出器でも良く、平面内でＸ線の位置分解能を有する２次元Ｘ線検出器でも良い。０次元Ｘ線検出器としては、例えば、ＰＣ（プロポーショナルカウンタ）、ＳＣ（シンチレーションカウンタ）等を採用できる。１次元Ｘ線検出器としては、例えば、ＰＳＰＣ（位置感応型プロポーショナルカウンタ）、ＣＣＤ（Charge Coupled Device／電荷結合素子）ラインセンサ、等を採用できる。２次元Ｘ線検出器としては、例えば、Ｘ線フィルム、イメージングプレート、ＣＣＤセンサ、半導体Ｘ線センサ、等を採用できる。どの種類のＸ線検出器を用いるかは、どのような検査手法を実現するかに応じて適宜に選定する。
【００３４】
陰極７は、所定電圧で電子を放出する電界放出型（フィールドエミッション型）の電子放出部材であっても良いし、熱電子放出型の陰極、例えばフィラメントであっても良い。ターゲット８は希望する波長（すなわち希望するエネルギ）のＸ線を放出できる種類の金属によって形成されている。陰極７と対陰極８との間には電圧印加装置１２が接続されている。電圧印加装置１２は、電子を加速するための電圧（以下、加速電圧という）を陰極７と対陰極８との間に印加する。電圧印加装置１２は、公知の電源回路等を用いて構成できる。陰極７から電子が放出されたとき、その電子は加速電圧によって加速されて対陰極８に衝突する。
【００３５】
電子が対陰極８に衝突すると、その対陰極８から３次元空間の全方位に向けてＸ線が発生する。本実施形態では、対陰極８は軟Ｘ線を発生するものとする。軟Ｘ線は、硬Ｘ線よりもエネルギが小さく、遠赤外線よりもエネルギが大きい電磁波である。軟Ｘ線は、空気中に電離領域を形成できるエネルギ量を持った電磁波である。硬Ｘ線、軟Ｘ線、そして遠赤外線の各線の境界となるエネルギは明確に規定されるものではないが、例えば軟Ｘ線は、数十ｅＶ〜数十ｋｅＶ、例えば２０ｋｅＶ以下のエネルギを持ったＸ線である。この軟Ｘ線は、ガラスや薄い金属でもエネルギ量が減衰する性質を持ったＸ線である。このような軟Ｘ線は、加速電圧として数ｋＶ〜数十ｋＶの電圧、例えば２０ｋＶ以下の電圧、又は例えば２０〜５０ｋＶ程度の電圧を印加することによって得ることができる。加速電圧を変化させれば、軟Ｘ線が有するエネルギを変化させることができる。
【００３６】
ハウジング９は、内部を気密に保持できる材料、例えばガラスによって形成されている。ハウジング９の内部は真空状態になっている。ハウジング９のうち対陰極８に対応する部分は開口となっており、その開口に対陰極８が気密にはめ込まれた状態となっている。本実施形態では、対陰極８のうちの電子が当たる面と反対側の面（図１の下側の面）からＸ線が放射される。つまり、電子があたかも対陰極８を透過するような状態でＸ線が発生する。
【００３７】
ハウジング９は、自身の中心線Ｘ１に沿った筒形状に形成されている。つまり、ハウジング９は、中心線Ｘ１と直角方向に延びる端面９ａ，９ｂと、中心線Ｘ１と平行に延びる側面９ｃとによって筒形状に形成されている。例えば、端面９ａ，９ｂが円形状である円筒形状、又は端面９ａ，９ｂが多角形状である角筒形状に形成されている。なお、円筒形状や角筒形状と言っているのは概略的な形状の意味であり、機能的な必要性から部分的に形状が変動することもある。また、断面形状も正確な円や多角形ではなく、楕円やその他の不定形な形状になることもある。また、必要に応じて、複数の部分的で急峻な凹凸や緩やかな凹凸がハウジング９の表面に存在することも有る。
【００３８】
また、ハウジング９の側壁のうちの搬送ベルト３に対面する方の側壁にＸ線取出窓１１が設けられている。このＸ線取出窓１１は、ハウジング９の材料であるガラスよりもＸ線透過率の高い部材、例えばベリリウムによって形成されている。
【００３９】
シールドケース１０は、Ｘ線を遮蔽できる材料、例えば、鉛（Ｐｂ）、ステンレス（ＳＵＳ）、銅（Ｃｕ）によって形成されている。シールドケース１０のうちの対陰極８に対応する部分は開口１４ａとなっている。また、シールドケース１０のうちのハウジング９のＸ線取出窓１１に対応する部分は開口１４ｂとなっている。開口１４ａは第１のＸ線放出口として機能する。開口１４ｂは第２のＸ線放出口として機能する。
【００４０】
対陰極８に電子が衝突したとき、当該対陰極８は３次元空間の全方位へ向けてＸ線を発生する。こうして発生したＸ線は、開口１４ａ及び開口１４ｂの２ヶ所から外部へ取り出すことができる。本明細書では、対陰極８に対応した開口１４ａから出たＸ線を第１Ｘ線Ｒ１と呼び、ハウジング９の側壁のＸ線取出窓１１に対応した開口１４ｂから出たＸ線を第２Ｘ線Ｒ２と呼ぶことにする。Ｘ線Ｒ１及びＸ線Ｒ２は、通常、対陰極８を頂点とする円錐形状に広がった状態で進行する。
【００４１】
第１Ｘ線Ｒ１は空気中だけを進行する。これに対し、第２Ｘ線Ｒ２はＸ線取出窓１１を通過して進行する。Ｘ線取出窓１１はハウジング９の材料であるガラスよりもＸ線吸収率が少ない材料であるベリリウムによって形成されている。第２Ｘ線Ｒ２はＸ線取出窓１１を通過する分だけ第１Ｘ線Ｒ１よりもエネルギ的に減衰した状態のＸ線である。
【００４２】
第１のＸ線放出口である開口１４ａに対向した領域であって所定のエネルギの軟Ｘ線が供給される領域Ｑ１は被検査物Ｓに対して所定の検査が行われる領域である検査領域である。第２のＸ線放出口である開口１４ｂから放出された軟Ｘ線は空気中に電離領域を形成する。この電離領域が除電領域Ｑ２を形成している。
【００４３】
以下、上記構成より成るＸ線検査装置１の動作について説明する。
陰極７から電子が放出され、その電子が対陰極８に衝突すると、対陰極８の全面から全方位へＸ線が発生される。このＸ線は軟Ｘ線である。発生したＸ線は、第１のＸ線放出口である開口１４ａによって外部へ取り出される。こうして取り出されたＸ線が第１Ｘ線Ｒ１であり、この第１Ｘ線Ｒ１が検査領域Ｑ１を形成する。
【００４４】
対陰極８から発生したＸ線は、他方において、第２のＸ線放出口である開口１４ｂによって外部へ取り出される。こうして取り出されたＸ線が第２Ｘ線Ｒ２であり、この第２Ｘ線Ｒ２が除電領域Ｑ２を形成する。
【００４５】
被検査物Ｓは搬送ベルト３に載って搬送される。搬送される被検査物Ｓが摩擦等によって帯電している場合、何等の対策も施されなければ、静電破壊が生じたり、検査結果が不安定になる等といった不都合が発生するおそれがある。しかしながら、本実施形態では、搬送される被検査物Ｓが除電領域Ｑ２に入って除電処理を受けることにより、帯電状態が解消されるので、静電破壊等といった不都合が解消される。除電領域Ｑ２は軟Ｘ線である第２Ｘ線Ｒ２によって空気が電離状態にある領域であり、この電離雰囲気が被検査物Ｓの帯電状態を中和することにより、被検査物Ｓの除電が達成される。
【００４６】
その後、被検査物Ｓは搬送ベルト３によって搬送されて検査領域Ｑ１に入る。検査領域Ｑ１では被検査物Ｓの内部構造に応じてＸ線Ｒ１の吸収の程度に変化が生じる。このため、Ｘ線検出器４は被検査物Ｓの内部構造に対応したＸ線像を撮像する。こうして得られた撮像を観察することにより、被検査物Ｓの内部構造を検査することができる。
【００４７】
本実施形態では、Ｘ線発生装置２の異なる場所からＸ線Ｒ１とＸ線Ｒ２とを放出するので、検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２とを別々の領域に形成できる。このため、検査を行うべき位置と除電を行うべき位置のそれぞれを必要に応じた所望の位置に自由に設定できる。
【００４８】
しかも、１つのＸ線発生装置２だけで検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成できるので、複数のＸ線発生装置によって検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２の２つの領域を形成する場合に比べて、Ｘ線検査装置１を簡単に製造でき、Ｘ線検査装置１の全体形状を小型にでき、Ｘ線検査装置１を安価に製造でき、しかもＸ線検査装置１の運転コストを低く抑えることができる。
【００４９】
(変形例１）
本実施形態では、検査領域Ｑ１を形成するための第１のＸ線放出口１４ａではＸ線を空気中だけに進行させ、除電領域Ｑ２を形成するための第２のＸ線放出口１４ｂではＸ線をベリリウム製のＸ線透過窓１１を通過させて進行させた。このため、第１のＸ線放出口１４ａから放出されるＸ線Ｒ１と第２のＸ線放出口１４ｂから放出されるＸ線Ｒ２とでエネルギ特性に若干の変化を持たせることができた。このことは、検査を行う場合と除電を行う場合とのそれぞれの場合に使用する軟Ｘ線のエネルギに変化を持たせたいときに好適である。
【００５０】
この構成に代えて、図２（ａ）に示すように、第１のＸ線放出口１４ａと対陰極８との間に、ハウジング９を形成しているガラスを介在させることができる。また、図２（ｂ）に示すように、Ｘ線透過窓１１と同じ材質の窓部材２４を設けることにより、第１のＸ線放出口１４ａから放出されるＸ線Ｒ１と第２のＸ線放出口１４ｂから放出されるＸ線Ｒ２とでエネルギ特性を同じにすることもできる。Ｘ線Ｒ１とＸ線Ｒ２とでエネルギ特性に変化を持たせるか、あるいは変化を持たせないで同じ特性にするか、については、検査領域Ｑ１でどのような検査を行うかに応じて適切に設定する。
【００５１】
（変形例２）
上記実施形態では、例えば図１において、第１のＸ線放出口である開口１４ａは筒形状のハウジング９の端面９ａに対応して設けられ、第２のＸ線放出口である開口１４ｂは筒形状のハウジング９の側面９ｃに対応して形成されている。この構成に代えて、検査領域Ｑ１を形成するための第１のＸ線放出口１４ａを筒形状のハウジング９の側面９ｃに対応して形成し、除電領域Ｑ２を形成するための第２のＸ線放出口１４ｂを筒形状のハウジング９の端面９ａ又は９ｂに対応して形成することができる。
【００５２】
また、それらの構成に代えて、検査領域Ｑ１を形成するための第１のＸ線放出口１４ａを筒形状のハウジング９の側面９ｃの１ヶ所に対応して形成し、除電領域Ｑ２を形成するための第２のＸ線放出口１４ｂを筒形状のハウジング９の側面９ｃの他の１ヶ所に対応して形成することができる。
【００５３】
なお、図１では、ハウジング９及びそれを包囲するシールドケース１０が変形のないきれいな円筒形状又は角筒形状として描かれているが、実際には、端面９ａ，９ｂ及び側面９Ｃに、必要に応じて、変形があったり、複数の部分的で急峻な凹凸や緩やかな凹凸が存在することが有る。
【００５４】
（変形例３）
上記実施形態では、検査処理及び除電処理を通じて、電圧印加装置１２によって陰極７と対陰極８との間に常に一定の加速電圧を印加するようにした。これにより、検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２とで、常に、一定のエネルギの軟Ｘ線を放出するようにした。しかしながら、これに代えて、検査領域Ｑ１で検査を行うタイミングと除電領域Ｑ２で除電を行うタイミングとをずらせた上で、検査領域Ｑ１で検査を行うとき（すなわち、第１のＸ線放出口を介して検査領域へＸ線を放出するとき）と、除電領域Ｑ２で除電を行うとき（すなわち第２のＸ線放出口を介して除電領域へＸ線を放出するとき）とで、加速電圧を変化させることができる。
【００５５】
こうすれば、検査に用いるＸ線のエネルギと除電に用いるＸ線のエネルギとを、それぞれに最適なエネルギ条件に設定でき、これにより、信頼性の高い検査処理及び除電処理を実現できる。例えば、検査時の加速電圧を３０ｋＶに設定し、除電時の加速電圧を１５ｋＶ以下の適宜の電圧値に設定して、検査と除電とのそれぞれにおいて最適なエネルギ量のＸ線を活用できる。
【００５６】
（Ｘ線検査装置及びＸ線発生装置の第２の実施形態）
図３は、本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置の他の実施形態を示している。この実施形態に係るＸ線検査装置２１及びＸ線発生装置２２において、図１に示したＸ線検査装置１及びＸ線発生装置２と同じ部材は同じ符号で示すことにして、それらの詳しい説明は省略する。
【００５７】
図３に示す実施形態が図１に示す実施形態と異なることは、検査用のＸ線を放出するための第１のＸ線放出口である開口１４ａに対応してＸ線濾過板２３を設けたことである。それ以外の構成は、図１の実施形態と同じである。
【００５８】
Ｘ線濾過板２３は、主に、人がＸ線に被曝することを低減するために設けられる部品である。このＸ線濾過板２３は、例えば、プラスチック製のフィルムとして提供される。このＸ線濾過板２３はＸ線フィルタと呼ばれることもある。図１に示すように第１のＸ線放出口である開口１４ａに対応してＸ線濾過板を設けない場合、検査領域Ｑ１に供給されるＸ線は図４のグラフにおける曲線Ｂで示されるように、広いエネルギ分布を持ちＸ線量が大きいＸ線となっている。
【００５９】
一方、図３に示す本実施形態のように、第１のＸ線放出口である開口１４ａに対応してＸ線濾過板２３を設けると、図４の曲線Ｃに示すように、エネルギ分布が低い領域ＤのＸ線成分の量を減らして、全体的にＸ線量が小さくてエネルギが大きいＸ線を取り出すことができる。Ｘ線をこのように処理することにより、被曝の可能性を低減でき、しかも所望の検査に適合したＸ線を得ることができる。
【００６０】
ところが、一般に、除電領域Ｑ２において被検査物Ｓに対して有効な除電効果を奏することができるＸ線は、図４のＸ線Ｂであって、特にそのＸ線Ｂの低エネルギの部分Ｄであると考えられている。従って、Ｘ線濾過板２３を通過させて得られるＸ線Ｃが除電領域Ｑ２に供給されることになると、所望の除電効果が得られなくなるおそれがある。これに対し、図３に示す本実施形態のように、除電領域Ｑ２に供給されるＸ線についてはＸ線濾過板２３を通過させないことにすれば、所望の除電効果を保持できることになる。
【００６１】
（Ｘ線検査装置及びＸ線発生装置の第３の実施形態）
図５は、本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置のさらに他の実施形態を示している。図５はＸ線検査装置及びＸ線発生装置の正面断面図であって、図の上部が空間の上部であり図の下部が空間の下部である。この実施形態に係るＸ線検査装置３１及びＸ線発生装置３２において、図１に示したＸ線検査装置１及びＸ線発生装置２と同じ部材は同じ符号で示すことにして、それらの詳しい説明は省略する。
【００６２】
本実施形態では、搬送ベルト３３は図１に示した搬送ベルト３のように平面的に曲がる状態ではなく、矢印Ｅ方向から見て平面的に直線状態になっている。但し、搬送ベルト３３が平面的に曲がる状態であっても本実施形態のＸ線検査装置３１が適用できることはもちろんである。
【００６３】
図１の実施形態では、ハウジング９の端面９ａにＸ線源である対陰極８を設け、ハウジング９の端面９ａに対応して第１のＸ線放出口である開口１４ａを設け、ハウジング９の側面９ｃに対応して第２のＸ線放出口である開口１４ｂを設けた。これに対し、図５に示す本実施形態では、第１のＸ線放出口である開口１４ａと第２のＸ線放出口である開口１４ｂとの両方を、対陰極８が設けられているハウジング９の端面９ａに対応して並べて配置している。
【００６４】
このため、開口１４ａによって取り出される第１Ｘ線Ｒ１及び開口１４ｂによって取り出される第２Ｘ線Ｒ２の両方が、直線的に移動する搬送ベルト３３の異なった位置に向かって進行する。そして、第１Ｘ線Ｒ１によって搬送ベルト３３上に検査領域Ｑ１が形成Ｓれ、第２Ｘ線Ｒ２によって搬送ベルト３３上に除電領域Ｑ２が形成される。つまり、搬送ベルト３３上で所定距離だけ離れた別々の位置に検査領域Ｑ１と除電領域Ｑ２とが併置されている。
【００６５】
（Ｘ線検査装置及びＸ線発生装置の第４の実施形態）
図６は、本発明に係るＸ線検査装置及びＸ線発生装置のさらに他の実施形態を示している。図６はＸ線検査装置及びＸ線発生装置の正面断面図であって、矢印Ｆで示す図の上部が空間の上部であり、矢印Ｇで示す図の下部が空間の下部である。この実施形態に係るＸ線検査装置４１及びＸ線発生装置４２において、図１に示したＸ線検査装置１及びＸ線発生装置２と同じ部材は同じ符号で示すことにして、それらの詳しい説明は省略する。
【００６６】
本実施形態では、ハウジング９の側面９ｃの異なる２つの位置に開口１４ａ及び開口１４ｂが設けられている。開口１４ａが検査領域Ｑ１へＸ線を導くための第１のＸ線放出口として機能する。また、開口１４ｂが除電領域Ｑ２へＸ線を導くための第２のＸ線放出口として機能する。被検査物Ｓは、搬送ベルト４３によって直線的に搬送されて検査領域Ｑ１へ持ち運ばれる。検査領域Ｑ１に置かれた被測定物ＳにＸ線、特に軟Ｘ線が照射され、そのときに被検査物Ｓを透過したＸ線がＸ線検出器４によって検出される。Ｘ線検出器４の出力信号に基づいてＸ線透過画像を作成してこれを観察することにより、被検査物４の内部構造を検査できる。
【００６７】
除電領域Ｑ２には、被検査物Ｓ、あるいはその他の除電が必要な任意の物質、部品、機器、等（符号４４で示している）が必要に応じて置かれる。これにより、除電が必要な任意の物体を必要なときに除電することが可能になった。
【００６８】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【００６９】
例えば、以上に説明した各実施形態では、Ｘ線源である対陰極８を支持したハウジング９をガラス管によって形成し、そのガラス管の全体をシールドケース１０で覆う構成とした。この構成に代えて、ハウジング９のそれ自体をＸ線を遮蔽できる材料、例えば、鉛（Ｐｂ）、ステンレス（ＳＵＳ）、銅（Ｃｕ）によって形成して、シールドケース１０を取り除くことができる。
【００７０】
例えば、図１においてシールドケース１０を取り除いた構造を考えると、ハウジング９のうちの対陰極８をはめ込んでいる開口部分が、Ｘ線源である対陰極８の外側面から出たＸ線Ｒ１を検査領域Ｑ１へ導くための第１のＸ線放出口として機能する。また、ハウジング９のうちのＸ線取出窓１１が、対陰極８の内側面から出たＸ線Ｒ２を除電領域Ｑ２へ導くための第２のＸ線放出口として機能する。
【００７１】
以上に記載した実施形態では、図１の搬送ベルト３等によって被検査物Ｓを搬送して除電領域Ｑ２や検査領域Ｑ１へ自動的に持ち運び、除電処理と検査処理とを連続的に行った。これに代えて、除電処理ステージと検査処理ステージとを個別に設けておき、各処理をまとめて一括処理（いわゆる、バッチ処理）することもできる。
【符号の説明】
【００７２】
１，２１，３１，４１．Ｘ線検査装置、  ２，２２，３２，４２．Ｘ線発生装置、  ３，３３，４３．搬送ベルト（被検査物搬送手段）、  ４．Ｘ線検出器（Ｘ線検出手段）、  ７．陰極、  ８．対陰極（Ｘ線源）、  ９．ハウジング、  ９ａ，９ｂ．端面、  ９ｃ．側面、  １０．シールドケース、  １１．Ｘ線取出窓、  １２．電圧印加装置、  １４ａ，開口（第１のＸ線放出口）、  １４ｂ．開口（第２のＸ線放出口）、  ２３．Ｘ線濾過板、  ２４．Ｘ線透過窓、  Ｄ．Ｘ線のエネルギ分布曲線Ｂの低エネルギ部分、  Ｓ．被検査物、  Ｑ１．検査領域、  Ｑ２．除電領域、  Ｒ１．第１Ｘ線、  Ｒ２．第２Ｘ線、  Ｘ１．中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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