(57)【要約】【課題】ノズルを高密度化したとしても液滴を正確な着地位置に吐出することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、圧力発生室内の液体に圧力変動を発生させ液体をノズルから噴射する圧力発生手段とを備え、隣接する圧力発生室は、圧力発生室の並設方向に対して直行する方向において少なくとも一部が重複すると共に、隣接するノズル開口は、並設方向に対して直行する方向において異なる位置に設けられ、並設方向に列設される複数のノズル列を形成するものである。液体噴射装置はこれを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、
前記圧力発生室内の液体に圧力変動を発生させ前記液体を前記ノズルから噴射する圧力発生手段とを備え、
隣接する前記圧力発生室は、前記圧力発生室の並設方向に対して直行する方向において少なくとも一部が重複すると共に、
隣接する前記ノズルは、前記並設方向に対して直行する方向において異なる位置に設けられ、前記並設方向に列設される複数のノズル列を形成するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
複数の前記圧力発生室に液体を供給する共通液体室を備え、
同一の前記共通液体室から前記複数のノズル列に対応する前記圧力発生室に液体を供給することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
複数の前記圧力発生室に液体を供給する共通液体室を備え、
前記複数のノズル列毎に、異なる共通液体室から液体を供給することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧力発生室にそれぞれ連通する連通路は、該連通路における流路抵抗が、他の前記圧力発生室に連通される連通路と同一の流路抵抗となるように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記流路形成基板は、第１流路形成基板と、前記ノズルが形成された第２流路形成基板とからなり、
前記連通路は該第１流路形成基板と該第２流路形成基板とに亘って連続的に設けられて、該第２流路形成基板には、該連通路に接続する凹部が形成されて、該連通路における流路抵抗が、他の前記圧力発生室に連通される連通路と同一の流路抵抗となるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
該液体噴射ヘッドの前記圧電素子に駆動信号を入力して該圧電素子を駆動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段は、同一の前記駆動信号を前記ノズル列ごとに入力タイミングをかえて入力することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させる撓み振動モードの圧電素子を有するアクチュエーター装置を使用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１７２８７８号公報（例えば図１参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、より高解像度で高画質に記録されることが求められている。このため、ノズルの高密度化が検討されている。
【０００５】
しかしながら、ノズルを高密度化すると（例えば３６０ｄｐｉ以上）、吐出された液滴の印刷対象物での着地位置（着弾位置）がずれてしまい、高い印刷特性を得ることができないという問題となる。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに留まらず、他の液体噴射ヘッドにおいても同様に生じる問題である。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決することにあり、ノズルを高密度化したとしても液滴を正確な着地位置に吐出することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、ノズルに連通する圧力発生室が複数並設された流路形成基板と、前記圧力発生室内の液体に圧力変動を発生させ前記液体を前記ノズルから噴射する圧力発生手段とを備え、隣接する前記圧力発生室は、前記圧力発生室の並設方向に対して直行する方向において少なくとも一部が重複すると共に、隣接する前記ノズルは、前記並設方向に対して直行する方向において異なる位置に設けられ、前記並設方向に列設される複数のノズル列を形成するものであることを特徴とする。隣接する前記ノズルは、前記並設方向に対し直行する方向において異なる位置に設けられていることで、ノズルが高密度化されたとしてもノズル間の距離が離れるので液滴を正確な着地位置に吐出することができる。
【０００９】
本発明の好ましい実施形態としては、複数の前記圧力発生室に液体を供給する共通液体室を備え、同一の前記共通液体室から前記複数のノズル列に対応する前記圧力発生室に液体を供給すること、及び、複数の前記圧力発生室に液体を供給する共通液体室を備え、前記複数のノズル列毎に、異なる共通液体室から液体を供給することが挙げられる。
【００１０】
前記圧力発生室にそれぞれ連通する連通路は、該連通路における流路抵抗が、他の前記圧力発生室に連通される連通路と同一の流路抵抗となるように構成されていることが好ましい。このように構成されることで、連通路における流路抵抗を同一とすることができ、各圧力発生室毎の吐出特性が変わらない。
【００１１】
好ましい実施形態としては、前記流路形成基板は、第１流路形成基板と、前記ノズルが形成された第２流路形成基板とからなり、前記連通路は該第１流路形成基板と該第２流路形成基板とに亘って連続的に設けられて、該第２流路形成基板には、該連通路に接続する凹部が形成されて、該連通路における流路抵抗が、他の前記圧力発生室に連通される連通路と同一の流路抵抗となるように構成されていることが挙げられる。
【００１２】
本発明の液体噴射装置は、上記した液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの前記圧電素子に駆動信号を入力して該圧電素子を駆動させる駆動手段とを備え、前記駆動手段は、同一の前記駆動信号を前記ノズル列ごとに入力タイミングをかえて入力することを特徴とする。このような駆動手段を備えることで、簡易に液体噴射ヘッドを駆動することができ、正確に吐出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略斜視図。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドに用いるノズルプレートの底面斜視図。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドに入力される駆動信号を説明する図。
【図７】吐出されたインク滴の飛翔を説明するための模式図。
【図８】吐出されたインク滴の飛翔を説明するための模式図。
【図９】実施形態２に係る記録ヘッドに用いる流路形成基板の一部拡大上面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態１）
（液体噴射装置）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置Ｉは、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１がキャリッジ２に固定されている。
【００１５】
この記録ヘッド１には、インクが貯留された液体貯留手段の一例であるインクカートリッジ３がそれぞれ着脱可能に固定されている。本実施形態では、インクカートリッジ３は、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色毎に設けられている。
【００１６】
記録ヘッド１が搭載されたキャリッジ２は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ２に伝達されることで、キャリッジ２はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００１７】
（液体噴射ヘッド）
本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて図２〜図５を用いて説明する。図２は、インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図３は、図２の平面図であり、図４は図２のＡ−Ａ′線断面図及びＢ−Ｂ′線断面図であり、図５はノズルプレートの底面斜視図である。
【００１８】
図２〜図４に示すように、本実施形態の流路形成基板１０は、上部側流路形成基板（第１流路形成基板）１１と、ノズル開口２１が形成されたノズルプレート（第２流路形成基板）２０とから形成され、上部側流路形成基板１１及びノズルプレート２０に連続して液体流路が形成されている。上部側流路形成基板１１は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００１９】
流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。以下、この圧力発生室の並設方向を第１方向とし、この第１方向に同一水平面で垂直に交わる方向を第２方向とする。本実施形態では、ノズル開口２１の高密度化のため、圧力発生室１２は高密度に形成されている。
【００２０】
本実施形態では、圧力発生室１２としては、第１圧力発生室１２Ａと、第１圧力発生室１２Ａよりも第２方向に所定距離ずれて形成された第２圧力発生室１２Ｂとが第１方向に交互に設けられている。即ち、各圧力発生室１２は、それぞれ同一の形状であり、かつ、隣接する圧力発生室１２とそれぞれ第２方向において重複している。
【００２１】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、各圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４及び連通路１５を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板のマニホールド部３１と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールドの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。本実施形態では、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられていることになる。
【００２２】
連通路１５としては、第１圧力発生室１２Ａに連通する第１連通路１５Ａと、第２圧力発生室１２Ｂに連通する第２連通路１５Ｂとが交互に設けられている。第２圧力発生室１２Ｂが第２方向において第１圧力発生室１２Ａよりも連通部１３側にずれているために、第２連通路１５Ｂは、第１連通路１５Ａよりも第２方向における長さが短い。この第２連通路１５Ｂに対応して第２連通路１５Ｂの底面を形成するノズルプレート２０には凹部１６が形成されて、第２連通路１５Ｂの深さが結果として深くなるように構成している。これにより、第２連通路１５Ｂは第１連通路１５Ａよりも第２方向における長さが短いが、凹部１６が形成されていることで、第１連通路１５Ａにおける流路抵抗と、第２連通路１５Ｂにおける流路抵抗とが同一となる。即ち、これらの流路抵抗が同一となるようにノズルプレート２０に凹部１６が形成されている。このように各液体流路の流路抵抗が同一となることで、後述するようにインク滴を吐出するための駆動信号の駆動電圧を同一とし、吐出タイミングのみを調整すればよいため好ましい。
【００２３】
また、上部側流路形成基板１１の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなり、本実施形態ではシリコン単結晶基板である。
【００２４】
各ノズル開口２１は、それぞれ圧力発生室１２の連通部１３とは逆側の端部に形成されている。ノズル開口２１としては、本実施形態では第１圧力発生室１２Ａに連通する第１ノズル開口２１Ａと、第２圧力発生室１２Ｂに連通する第２ノズル開口２１Ｂとからなる。即ち、本実施形態では隣接するノズル開口２１は、連通する圧力発生室１２の形成位置によって異なる位置に形成されているので、隣接するノズル開口２１は、交互に第２方向においてずれて形成されている。従って、第１方向においては、第１ノズル開口２１Ａからなるノズル列と、このノズル列から連通部１３側に設けられた第２ノズル開口２１Ｂからなるノズル列とが形成されていることになる。
【００２５】
このようにノズル開口２１が第２方向において交互にずれて形成されていることで、詳しくは後述するが本実施形態ではノズル開口２１から吐出されたインク滴の飛翔曲がりを抑制する。
【００２６】
このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば厚さ３０〜５０ｎｍ程度の酸化チタン等からなり、弾性膜５０等の第１電極６０の下地との密着性を向上させるための密着層５６が設けられている。なお、弾性膜５０上に、必要に応じて酸化ジルコニウム等からなる絶縁体膜が設けられていてもよい。
【００２７】
さらに、この密着層５６上には、第１電極６０と、厚さが２μｍ以下、好ましくは０．３〜１．５μｍの薄膜である圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び必要に応じて設ける絶縁体膜が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０や密着層５６を設けなくてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
【００２８】
このような圧電素子３００の個別電極である各第２電極８０には、インク供給路１４側の端部近傍から引き出され、弾性膜５０上や必要に応じて設ける絶縁体膜上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００２９】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、第１電極６０、弾性膜５０や必要に応じて設ける絶縁体膜及びリード電極９０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このマニホールド部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。また、流路形成基板１０の連通部１３を圧力発生室１２毎に複数に分割して、マニホールド部３１のみをマニホールドとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、必要に応じて設ける絶縁体膜等）にマニホールド１００と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４を設けるようにしてもよい。
【００３０】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３１】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３２】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３３】
また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤー等の導電性ワイヤーからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００３４】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、比較的硬質の材料で形成されている。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３５】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１を用いたインクジェット式記録装置Ｉによる印刷について説明する。インクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ３と接続したインク導入口からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３６】
ここで、インク滴を吐出するための駆動信号について以下説明する。
【００３７】
本実施形態ではインクジェット式記録装置Ｉには制御部が設けられている。インクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録装置Ｉに入力された印刷データに基づいて制御部で駆動波形が形成され、駆動回路１２０で駆動信号が形成されて、各記録ヘッド１に入力される。これにより、各記録ヘッド１において圧電素子３００に駆動電圧が印加され、インク滴が吐出される。
【００３８】
駆動信号について、図６を用いて説明する。図６は、記録ヘッド１が図示する方向に移動してインク滴を吐出する場合の（１）第２ノズル開口２１Ａに対応する圧電素子３００に印加される駆動信号、（２）第１ノズル開口２１Ｂに対応する圧電素子３００に印加される駆動信号を示す。第１ノズル開口２１Ａに対応する圧電素子３００には、図６（１）に示すタイミングｔ２で圧電素子３００に駆動電圧が印加され、第２ノズル開口２１Ｂに対応する圧電素子３００には、図６（２）に示すタイミングｔ１で圧電素子３００に駆動電圧が印加される。このように第１ノズル開口２１Ａに対応する圧電素子３００に入力する駆動信号よりもタイミングをずらして第２ノズル開口２１Ｂに対応する圧電素子３００に駆動信号を入力することで、第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとが第２方向においてずれていたとしても、所望の着地位置となるようにインク滴を吐出することができ、所望の印刷を行うことができる。
【００３９】
この場合に、各駆動電圧は、タイミング以外は同一である。これは、上述のように連通路１５における流路抵抗が各連通部において同一であるからである。従って、このように圧力発生室毎に異なる駆動電圧を印加することにならず、その結果、高精度に印刷を行うことが可能である。
【００４０】
そして、本実施形態では互いに隣接するノズル開口２１が第２方向に交互にずれて形成されているので、吐出されたインク滴は飛翔曲がりが生じない。
【００４１】
この点について、図７を用いて説明する。図７は、従来のノズル開口からのインク滴の飛翔を説明するための模式図である。図７（１）に示すように、従来の記録ヘッドでは、ノズル開口２１から吐出されたインク滴ｄは、第１方向における圧力発生室１２間の距離Ｌに従ってそれぞれ第１方向におけるノズル開口２１の距離Ｌだけ離れて飛翔を開始する。この場合に、第１方向におけるインク滴ｄ間の距離Ｌが十分に大きいので、インク滴ｄ間を気流が通過することができ、これによりインク滴ｄが受ける抵抗は少ないのでインク滴ｄはまっすぐ飛翔できる。
【００４２】
ところが、第１方向におけるノズル開口２１が高密度化されると、このノズル開口２１の間の距離Ｌ’がより短くなる。そうすると、図７（２）に示すように、ノズル開口２１から吐出されたインク滴ｄは、それぞれノズル開口２１の距離Ｌ’だけ離れて飛翔を開始するが、距離Ｌ’が短いのでインク滴ｄ間を気流が通過することができず、インク滴ｄに対する気流からの抵抗が大きくなる。これにより、インク滴は互いに外側にずれて飛翔してしまい、着地位置では二つの液滴間の距離はＬ’とはならない。
【００４３】
即ち、ノズル開口２１を高密度化する場合に、従来のように隣接する圧力発生室１２に対応するノズル開口２１を第２方向にずらすことなく形成すると、ノズル開口２１を高密度化して設けた場合にインク滴ｄの飛翔曲がりが生じるという問題があった。
【００４４】
これに対し、本実施形態では、図５及び図８に示すように第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとは第２方向における形成位置がずれている。これにより、第１方向において隣接するノズル開口２１Ａ間の距離は、圧力発生室１２の距離Ｌ’の２倍の２Ｌ’となる。従って、ノズル開口２１が高密度化されたとしても、第１方向において吐出されたインク滴ｄ間を気流が通過することができるのでインク滴ｄに対する抵抗が大きくなることはない。この結果、本実施形態では、インク滴ｄは飛翔曲がりを起こさずにまっすぐに飛翔し、所望の位置に着地できる。
【００４５】
上述したように、本実施形態では、ノズル開口２１を高密度化したとしても、ノズル開口２１の形成位置が第２方向においてずれていることで、即ちノズル列が第１方向に２列形成されるようにノズル開口２１（第１ノズル開口２１Ａ、第２ノズル開口２１Ｂ）が形成されることで、インク滴の飛翔曲がりを抑制することができる。
【００４６】
この場合に、本実施形態では、凹部１６を設けることで連通路１５の流路抵抗が各連通路１５において同一であるので、各駆動信号も同一であり新たな設計を行う必要がない。このように同一の駆動信号をタイミングをずらすだけで簡易に同位置で吐出を行うことができ、これによりノズル開口２１を高密度化して高精度な印刷を行うことができる。
【００４７】
（実施形態２）
本発明の別の実施形態について図９を用いて説明する。上述した実施形態では、同一のマニホールド部３１及び連通部１３から複数のノズル列に対応する圧力発生室１２にインクを供給したが、本実施形態では、複数のノズル列毎に異なるマニホールド部３１及び連通部１３からインクを供給する。
【００４８】
図９は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の一部拡大上面図である。この図９に示すように、本実施形態では、流路形成基板１０Ｃの異なる位置に互いに対向するように、連通部１３である第１連通部１３Ｃ及び第２連通部１３Ｄが設けられ、各連通部１３から圧力発生室１２、インク供給路１４及び連通路１５である液体流路が形成されている。
【００４９】
本実施形態では、圧力発生室１２は、第１連通部１３Ｃに連通する第３圧力発生室１２Ｃと、第２連通部１３Ｄに連通する第４圧力発生室１２Ｄとからなる。本実施形態では、第３圧力発生室１２Ｃ及び第４圧力発生室１２Ｄはそれぞれ同一の大きさであり、第３圧力発生室１２Ｃと第４圧力発生室１２Ｄとは、第１方向において互いに隣接するように交互に形成されている。この場合も、圧力発生室１２は、第２方向において重複している。これにより、互いに隣接する第３圧力発生室１２Ｃ及び第４圧力発生室１２Ｄに設けられている第３ノズル開口２１Ｃ及び第４ノズル開口２１Ｄは、それぞれ第２方向において互いに異なる位置に形成される。
【００５０】
このように形成された圧力発生室１２であっても、第１方向におけるノズル開口２１の距離は、互いに隣接する圧力発生室１２間の距離より離間するので、ノズル開口２１が高密度化されたとしても、吐出されたインク滴間を気流が通過することができ、インク滴に対する抵抗が大きくなることはない。従って、本実施形態では、インク滴は飛翔曲がりを起こさずにまっすぐに飛翔し、所望の位置に着地することが可能である。
【００５１】
本発明は、上述した実施形態に限定されない。
【００５２】
上述した実施形態１では、ノズル開口２１は、第１ノズル開口２１Ａ及び第２ノズル開口２１Ｂとからなるように構成し、ノズル列が２列できるように構成したが、これに限定されない。例えば、さらに第５ノズル開口を加えて、３列のノズル列が形成されるように構成してもよい。
【００５３】
実施形態１では、凹部１６を設けて第２連通路１５Ｂの深さを結果的に深くなるようにすることで、全ての連通路１５における流路抵抗を同一としたが、これに限定されない。例えば第２連通路１５Ｂの幅を大きくするように設定しても良いが、第２連通路１５Ｂの深さを変更するほうが、加工の自由度が高いことから、より適した形状に加工できる点で好ましい。
【００５４】
本実施形態では、連通路１５の流路抵抗を同一とするために、第２連通路１５Ｂに対向するノズルプレート２０に凹部１６を形成したが、これに限定されない。第１連通路１５Ａの形状を変化させることで連通路１５の流路抵抗を第１連通路Ａと第２連通路Ｂとで同一にしてもよい。
【００５５】
また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射装置としてインクジェット式記録装置Ｉを例示したが、液体噴射装置の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射装置の全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを用いる液体噴射装置等にも適用することができる。
【００５６】
本発明でインクジェット式記録装置には、キャリッジに搭載されたインクジェット式記録ヘッドを移動させながら印刷を行うシリアル型のものについて説明したが、記録媒体の全副に亘って配置されたノズルからインクを噴射して印刷を行うライン型の液体噴射装置に適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１  インクジェット式記録ヘッド、  １０  流路形成基板、  １１  上部側流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  １５  連通路、  １６  凹部、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３２  圧電素子保持部、  ３３  貫通孔、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  マニホールド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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