(57)【要約】【課題】  各種プラスチック成形材料、例えば、ビデオプロジェクションテレビのスクリーンや太陽電池の集光に用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズ又はマイクロレンズ等の光学機能部材に使用されるプラスチックレンズ等の微細形状に追従し、撥液性に優れる撥液膜形成用溶液、撥液膜付き固定基材及びその製造方法を提供する。【解決手段】  カチオン性電解質ポリマーを含有するＡ液と、フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体であって、フルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体を含有するＢ液からなる撥液膜形成用溶液。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
カチオン性電解質ポリマーを含有するＡ液と、フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体であって、フルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体を含有するＢ液からなる撥液膜形成用溶液。
【請求項２】
Ｂ液の親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体の親水性基が、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＰＯ３Ｍ（Ｍは、水素原子、アルカリ金属、第４級アンモニウム基、又は第４級ホスホニウム基を示す）、及びアミド基のうちの少なくともいずれか一つを含む請求項１に記載の撥液膜形成用溶液。
【請求項３】
Ａ液のｐＨを７〜１４の範囲に調整した、請求項１又は２に記載の撥液膜形成用溶液。
【請求項４】
Ａ液に含まれるカチオン性電解質ポリマーのイオン性基が、第１級、第２級又は第３級アミノ基、該アミノ基の塩、第４級アンモニウム型基、第４級ホスホニウム型基、からなる群から選ばれる１種以上である請求項１〜３のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液。
【請求項５】
Ａ液に含まれるカチオン性電解質ポリマーの濃度及びＢ液に含まれるフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体の濃度が、０．０００３質量％以上３質量％以下である請求項１〜４のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液。
【請求項６】
固定基材の表面に、請求項１〜５のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液のＡ液及びＢ液を交互に接触させ、カチオン性電解質ポリマーとフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体を積層させた撥液膜付き固定基材。
【請求項７】
固定基材が、凹凸又は微細構造を表面に有する請求項６に記載の撥液膜付き固定基材。
【請求項８】
固定基材が、光ピックアップ用レンズ、小型カメラ用レンズ、非球面レンズ、レンチキュラーレンズ、フレネルレンズ、プリズム、マイクロレンズアレイ、導光性微細構造、光拡散性微細構造及びホログラムのうちのいずれかを得るための凹凸又は微細構造を表面に有する請求項６又は７に記載の撥液膜付き固定基材。
【請求項９】
固定基材が、熱膨張係数が５０〜３５０ｐｐｍ／Ｋのプラスチック基材である、請求項６〜８のいずれかに記載の撥液膜付き固定基材。
【請求項１０】
固定基材が、反射防止膜付き固定基材である、請求項６〜９のいずれかに記載の撥液膜付き固定基材。
【請求項１１】
固定基材の表面に撥液膜が形成される撥液膜付き固定基材の製造方法であって、
（ｉ）固定基材の表面にカチオン性電解質ポリマー溶液（Ａ液）又はフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体溶液（Ｂ液）を接触させる工程、次いでリンスする工程、
（ｉｉ）前記Ａ液又はＢ液を接触させた後の固定基材の表面に、（ｉ）で接触させなかったＡ液又はＢ液と接触させる工程、次いでリンスする工程、
（ｉｉｉ）（ｉ）と（ｉｉ）を交互に繰り返し撥液膜を形成する工程
を含む撥液膜付き固定基材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防汚性を付与する２液系の撥液膜形成用溶液に関する。更に詳しくは、本発明は、微細な形状を有する光学材料への形状追従性の良好な撥液膜形成用溶液に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックレンズは、ガラスレンズに比べて軽量であり、成形性、加工性等に優れ、しかも割れにくく安全性も高いため、光学材料部材に急速に普及してきている。特に最近では、ビデオプロジェクションテレビのスクリーンや太陽電池の集光に用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズ又はマイクロレンズ等の光学機能部材としての需要が急速に増加している。
【０００３】
これら用途に供するプラスチックレンズは、皮脂や空気中の汚染物質等の付着により透過率の低下等、特性劣化が起こる。
【０００４】
このようなプラスチックレンズの汚染物質の付着を防止する方法として、プラスチック製品（フィルム、シート）への撥液コートが用いられる。
【０００５】
プラスチック製品に撥液膜としてフッ化膜を気相法によってコーティングするにあたっては、真空（数Ｐａ〜数１０Ｐａ）中での低温プラズマによるＣＶＤ（化学蒸着）コーティング、イオン化蒸着、アークイオンプレーティング、スパッタリング等を行う必要がある。
【０００６】
一方、フッ素系のポリマーやシランカップリング剤等の溶液を用い、ディッピング法、スピンコート法等の塗布法によって撥液コートを行う方法が挙げられる。
【０００７】
気相法を用いると、微細構造体の形状に追従させて薄膜を形成することができる。しかし、気相法では真空装置が必要となるため、製造コストが高価になる。更に、真空装置の内壁に形成された膜が剥がれ落ち、異物として残存する。
【０００８】
塗布法では、真空装置は不要であり、また真空装置に由来する異物も発生しない。しかし、スピンコート法では、塗布材料が微細構造体の凹部分に残留することが避けられず、凹部分で撥液膜が厚くなる。このように微細構造体へ撥液膜が追従しない場合、微細構造体のもたらす拡散性や集光性等の幾何光学的な性能が損なわれる。
【０００９】
一方、ディッピング法等は、引き上げ速度により膜厚を制御できるため、撥液膜を微細構造体に追従させることも可能である。しかし、引き上げ速度を数十μｍ／秒まで遅くする必要があり、製造コストが著しく高くなる（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
ナノメータースケールの薄膜を溶液から形成する方法として、交互積層法が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。交互積層法では、液中での静電吸着により薄膜が形成されるため、微細構造体に良好に追従した薄膜を得ることができる。また常温プロセスであるために、樹脂材料に熱的ダメージを与えない。
【００１１】
ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を用いた、携帯電話等に組み込まれている撮像レンズモジュールは、忠実な被写体の再現性を備えていることが望ましい。最近では、撮像素子が小型化されてきており、これに伴って、これらに組み込まれる撮像レンズも必然的に小型化、コンパクト化の要求が高まってきている。更に、撮像素子は、メガオーダーの高画素化となってきている。これを用いた撮像レンズモジュールは、安価で軽いことが要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特許第２９０５７１２号公報
【非特許文献】
【００１３】
【非特許文献１】Ｔｈｉｎ  Ｓｏｌｉｄ  Ｆｉｌｍｓ，  ２１０／２１１，  ｐ８３１（１９９２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、各種プラスチック成形材料、例えば、ビデオプロジェクションテレビのスクリーンや太陽電池の集光に用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズ又はマイクロレンズ等の光学機能部材に使用されるプラスチックレンズ等の微細形状に追従し、撥液性に優れる撥液膜形成用溶液、撥液膜付き固定基材及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明者等は、鋭意検討した結果、特定の組成を有する撥液膜形成用溶液により上記課題を解決できることを見出した。
【００１６】
すなわち、本発明は、以下のものに関する。
（１）カチオン性電解質ポリマーを含有するＡ液と、フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体であって、フルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体を含有するＢ液からなる撥液膜形成用溶液。
（２）Ｂ液の親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体の親水性基が、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＰＯ３Ｍ（Ｍは、水素原子、アルカリ金属、第４級アンモニウム基、又は第４級ホスホニウム基を示す）、及びアミノ基のうちの少なくともいずれか一つを含む（１）に記載の撥液膜形成用溶液。
（３）Ａ液のｐＨを７〜１４の範囲に調整した、（１）又は（２）に記載の撥液膜形成用溶液。
（４）Ａ液に含まれるカチオン性電解質ポリマーのイオン性基が、第１級、第２級又は第３級アミノ基、該アミノ基の塩、第４級アンモニウム型基、第４級ホスホニウム型基、からなる群から選ばれる１種以上である（１）〜（３）のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液。
（５）Ａ液に含まれるカチオン性電解質ポリマーの濃度及びＢ液に含まれるフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体の濃度が、０．０００３質量％以上３質量％以下である（１）〜（４）のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液。
（６）固定基材の表面に、（１）〜（５）のいずれかに記載の撥液膜形成用溶液のＡ液及びＢ液を交互に接触させ、カチオン性電解質ポリマーとフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体を積層させた撥液膜付き固定基材。
（７）固定基材が、凹凸又は微細構造を表面に有する（６）に記載の撥液膜付き固定基材。
（８）固定基材が、光ピックアップ用レンズ、小型カメラ用レンズ、非球面レンズ、レンチキュラーレンズ、フレネルレンズ、プリズム、マイクロレンズアレイ、導光性微細構造、光拡散性微細構造及びホログラムのうちのいずれかを得るための凹凸又は微細構造を表面に有する（６）又は（７）に記載の撥液膜付き固定基材。
（９）固定基材が、熱膨張係数が５０〜３５０ｐｐｍ／Ｋのプラスチック基材である、（６）〜（８）のいずれかに記載の撥液膜付き固定基材。
（１０）固定基材が、反射防止膜付き固定基材である、（６）〜（９）のいずれかに記載の撥液膜付き固定基材。
（１１）固定基材の表面に撥液膜が形成される撥液膜付き固定基材の製造方法であって、
（ｉ）固定基材の表面にカチオン性電解質ポリマー溶液（Ａ液）又はフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体溶液（Ｂ液）を接触させる工程、次いでリンスする工程、
（ｉｉ）前記Ａ液又はＢ液を接触させた後の固定基材の表面に、（ｉ）で接触させなかったＡ液又はＢ液と接触させる工程、次いでリンスする工程、
（ｉｉｉ）（ｉ）と（ｉｉ）を交互に繰り返し撥液膜を形成する工程
を含む撥液膜付き固定基材の製造方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、各種プラスチック成形材料、例えばビデオプロジェクションテレビのスクリーンや太陽電池の集光に用いられるフレネルレンズやレンチキュラーレンズ又はマイクロレンズ等の光学機能部材に使用されるプラスチックレンズ等の微細形状に追従し、撥液性に優れる撥液膜形成用溶液、撥液膜付き固定基材を提供することが可能になる。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１９】
本発明の撥液膜形成用溶液は、カチオン性電解質ポリマーを含有するＡ液と、フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体であって、フルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体を含有するＢ液からなる。Ａ液とＢ液を交互に固定基材に接触させ、撥液成分である、フルオロオレフィンの重合単位同士を、ポリカチオンを介して静電的な引力を利用して結合させることにより、カチオン性電解質ポリマーとフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体が積層した撥液膜を得ることができる。
【００２０】
Ａ液に含有されるカチオン性電解質ポリマーは、第１級から第３級のアミノ基、該アミノ基の塩、第４級アンモニウム型基、第４級ホスホニウム型基からなる群から選ばれる１種以上のイオン性基を含むことが好ましい。アミノ基やアンモニウム基が、Ｂ液に含有されるフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体であって、フルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の親水性基と比較的強く結合する。
【００２１】
カチオン性電解質ポリマーとしては、例えば、ポリエチレンイミン（ＰＥＩ及びその第４級化物）、ポリアリルアミン及びその第４級化物、ポリアリルアミン塩酸塩（ＰＡＨ）、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ）、ポリビニルピリジン（ＰＶＰ）、ポリリジン、ポリアクリルアミド、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレン（＋）、ポリパラフェニレンビニレン、ポリエチルイミン及びそれらを少なくとも１種以上を含む共重合体や塩の種類を変えたもの等を用いることができる。
【００２２】
より具体的には、ポリアリルアミンアミド硫酸塩、アリルアミン塩酸塩とジアリルアミン塩酸塩の共重合体、アリルアミン塩酸塩とジメチルアリルアミン塩酸塩の共重合体、アリルアミン塩酸塩とその他の共重合体、部分メトキシカルボニル化アリルアミン重合体、部分メチルカルボニル化アリルアミン酢酸塩重合体、ジアリルアミン塩酸塩重合体、メチルジアリルアミン塩酸塩重合体、メチルジアリルアミンアミド硫酸塩重合体、メチルジアリルアミン酢酸塩重合体、ジアリルアミン塩酸塩と二酸化イオウの共重合体、ジアリルアミン酢酸塩と二酸化イオウの共重合体、ジアリルメチルエチルアンモニウムエチルサルフェイトと二酸化イオウとの共重合体、メチルジアリルアミン塩酸塩と二酸化イオウとの共重合体、ジアリルジメチルアンモニウムクロリドと二酸化イオウとの共重合体、ジアリルジメチルアンモニウムクロリドとアクリルアミドとの共重合体、ジアリルジメチルアンモニウムクロリドとジアリルアミン塩酸塩誘導体との共重合体、ジメチルアミンとエピクロロヒドリンの共重合体、ジメチルアミンとエチレンジアミンとエピクロロヒドリンの共重合体、ポリアミドポリアミンとエピクロロヒドリンとの共重合体等が挙げられる。
【００２３】
これらのカチオン性電解質ポリマーは、いずれも水溶性又は水と有機溶媒との混合液に可溶なものであり、カチオン性電解質ポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定した値）としては、用いる電解質ポリマーの種類により一概には定めることができないが、一般に、４００〜３００，０００のものが好ましい。
【００２４】
なお、溶液中のカチオン性電解質ポリマーの濃度は、０．０００３質量％以上３質量％以下が好ましく、０．００１質量％以上１質量％以下がより好ましく、０．０１質量％以上１質量％以下が更に好ましい。カチオン性電解質ポリマーの濃度が０．０００３質量％以上であれば、フルオロオレフィンの重合単位同士を結合させる静電的な引力が十分であり、カチオン性電解質ポリマーとフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体が積層した撥液膜を形成しやすくなり、３質量％以下であれば、リンス工程において、余剰なカチオン性電解質ポリマーを確実に除去でき、余剰なカチオン性電解質ポリマーが凝集物を生成することがないために、撥液膜の透明性や平坦性を損なうことがない。
【００２５】
また、カチオン性電解質ポリマー溶液（Ａ液）のｐＨは、７以上１４以下が好ましく、９以上１２以下がより好ましく、９以上１１以下が更に好ましい。ｐＨが７以上であれば、フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体の親水性基、具体的にはアニオン性のイオン解離をプロトン化によって中和することがなく、カチオン性電解質ポリマーの吸着が起こりやすい。ｐＨが１４以下であれば、形成したイオン結合を解離させることがなく、膜剥がれが発生しない。カチオン性電解質ポリマー溶液のｐＨは、ｐＨメータ（例えば、横河電機株式会社製、商品名：Ｍｏｄｅｌ  ＰＨ８１）で測定することができる。測定は、標準緩衝液（フタル酸塩ｐＨ緩衝液ｐＨ：４．２１（２５℃）、中性りん酸塩ｐＨ緩衝液ｐＨ：６．８６（２５℃））を用いて、２点校正した後、電極をカチオン性電解質ポリマー溶液に入れて、２分以上経過して安定した後の値を測定する。
【００２６】
Ｂ液に含有されるフルオロオレフィンの重合単位を含む重合体としては、フルオロオレフィンの単独重合体、フルオロオレフィンとフルオロオレフィンと共重合可能な他の重合性化合物との共重合体が挙げられ、フルオロオレフィンとフルオロオレフィンと共重合可能な他の重合性化合物との共重合体が好ましい。
【００２７】
フルオロオレフィンとしては、フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ペンタフルオロプロピレン、ヘキサフルオロプロピレン等の炭素数２〜４程度のフルオロオレフィンが好ましい。
【００２８】
フルオロオレフィンの重合単位を含む重合体が、フルオロオレフィンとフルオロオレフィンと共重合可能な他の重合性化合物との共重合体である場合、該他の重合性化合物としては、親水性基が結合した側鎖を有する重合性化合物、又は親水性側鎖を有する重合性化合物が好ましい。
【００２９】
親水性基が結合した側鎖を有する重合性化合物としては、親水性基が側鎖末端に結合した側鎖と重合性の不飽和部位を有する重合性化合物が好ましい。
【００３０】
親水性基としては、−ＣＯＯＭ、−ＳＯ３Ｍ、−ＰＯ３Ｍ（ここで、Ｍは、水素原子、アルカリ金属、第４級アンモニウム基、又は第４級ホスホニウム基を示す。）、又はアミド基等が好ましい。
【００３１】
親水性側鎖を有する重合性化合物、又は親水性基が結合した側鎖を有する重合性化合物としては、上記の親水性側鎖又は親水性基とエチレン性不飽和基を有する化合物が好ましく、ビニル化合物、アリル化合物、アクリロイル化合物、メタクリロイル化合物等が好ましい。
【００３２】
フルオロオレフィンと共重合可能な他の重合性化合物の具体例を以下に挙げるが、これらに限定されない。ただし、下式において、Ｍは、上記と同じ水素原子、アルカリ金属、第４級アンモニウム基、又は第４級ホスホニウム基を示し、ｍは１〜１０の整数、ｎは１〜１０の整数を示す。
【００３３】
【化１】
2013216713.tif 000002
【００３４】
なお、本発明の撥液膜形成用溶液に使用される溶媒としては、水を好適に用いることができるほか、メタノール、エタノール、プロパノール等の極性溶媒を用いることも可能である。また、本発明の表面処理剤のＢ液に含有される固体成分濃度は、例えばプラスチックレンズの微細構造へ追従させる観点から、０．０００３質量％以上３質量％以下であることが好ましく、０．０３質量％以上３質量％以下であることがより好ましく、０．０３質量％以上１質量％以下であることが更に好ましい。
【００３５】
また、本発明の撥液膜形成用溶液から溶媒を除去する方法として、乾燥を好適に用いることができ、乾燥温度は室温以上であれば特に限定されない。
【００３６】
本発明の撥液膜形成用溶液を塗布する順序としては、固定基材への密着性を向上させる観点から、Ａ液に含有されるカチオン性電解質ポリマーを固定基材表面に接触させた後、リンスによって余剰なＡ液を除去し、続いて、Ｂ液に含有されるフルオロオレフィンの重合単位とともに、親水性基を有する重合性化合物の重合単位又は親水性側鎖を有する重合性化合物の重合単位を含む重合体を接触させた後、リンスによって余剰なＢ液を除去し、更にＡ液、Ｂ液、と塗布することが好ましい。
【００３７】
本発明で用いる固定基材としては、凹凸又は微細構造を表面に有するものを用いることができ、凹凸又は微細構造は、光ピックアップ用レンズ、小型カメラ用レンズ、非球面レンズ、レンチキュラーレンズ、フレネルレンズ、プリズム、マイクロレンズアレイ、導光性微細構造、光拡散性微細構造及びホログラムのうちのいずれかを得るためのものであることが好ましい。固定基材上に撥液膜を交互積層法により作製することで、表面の構造に追従した撥液膜が形成された固定基材を得ることができる。
【００３８】
本発明で用いる固定基材の材質としては、熱膨張係数が５０〜３５０ｐｐｍ／Ｋのものを用いることが好ましい。なお、熱膨張係数は、熱機械分析装置  （ＴＭＡ：Ｔｈｅｒｍｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ）  を用いて、一定速度で昇温したときの測定試料と標準試料の熱膨張量の差から測定試料の熱膨張量を測定する方法を用いて求める。基準温度Ｔ１での長さをＬ１、温度Ｔ２での長さをＬ２として、平均線熱膨張係数β（ＴＥ：Ｌｉｎｅａｒ  Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｅｘｐａｎｓｉｏｎ）  を下式より算出する。
【００３９】
【数１】
2013216713.tif 000003
【００４０】
本発明で用いる固定基材は、更に反射防止膜を具備していてもよい。
【実施例】
【００４１】
以下、実施例及び比較例によって、本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００４２】
（実施例１）
Ａ液としては、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド（ＰＤＤＡ、アルドリッチ社製）の濃度を０．０２８質量％に調整し、更にｐＨを０．１質量％の炭酸ナトリウム水溶液にて調整し、ｐＨ１０とした水溶液をカチオン性電解質ポリマー溶液として用いた。Ｂ液としては、Ｎａｆｉｏｎ（デュポン社製、商品名（「Ｎａｆｉｏｎ」は登録商標）、テトラフルオロエチレンとパーフルオロスルホン酸の共重合体）ＭｅＯＨ：Ｈ２Ｏ＝９：１（ｖ／ｖ）溶液を用いて１ｍｇ／ｍＬのＢ液を得た。
【００４３】
＜プラスチックレンズ上への撥液膜形成用溶液塗布＞
固定基材として、親水化処理を施した微細構造体を有するマイクロレンズ（光硬化性樹脂、幅９μｍ、高さ１．５μｍ）を用い、Ａ液であるカチオン性電解質ポリマー水溶液に浸漬して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（ア）、Ｎａｆｉｏｎを含有するＢ液に浸漬して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程（イ）をこの順に施した。
【００４４】
工程（ア）１回と工程（イ）１回を順に行うことを１サイクルとし、このサイクルを３回行い、撥液膜付き固定基材を作製した。
【００４５】
＜撥液膜形成用溶液を塗布したプラスチック基材の撥液評価＞
接触角計（協和界面科学株式会社製、商品名：ＤＭ−７０１）を用いて、固定基材表面の水及びオレイン酸の接触角を２５℃で測定した。
【００４６】
＜撥液膜形成用溶液を塗布したプラスチック基材の追従性評価＞
固定基材表面を走査型電子顕微鏡（株式会社日立ハイテクノロジー製、商品名：Ｓ−３７００Ｎ）にて観察し、微細構造体上への撥液膜の形成状態を評価した。
【００４７】
（実施例２）
直径３ｍｍのレンズ形状を有するポリカーボネート基材に、反射防止膜として機能する屈折率１．２５のシリカ微粒子積層膜（１００ｎｍ膜厚）が形成された固定基材を用いた以外は、実施例１と同様な操作により、撥液膜付き固定基材を作製し、実施例１と同様に評価を行った。
【００４８】
（比較例１）
固定基材として、実施例２の基材を用い、Ｎａｆｉｏｎを含有するＢ液のみに浸漬して１分間経過後にリンス用の超純水を１分間シャワーする工程と乾燥する工程を３回施した固定基材を作製し、実施例１と同様に評価を行った。
【００４９】
（比較例２）
固定基材として、実施例２の基材を用い、撥液処理剤として、フッ素系カップリング剤（ダイキン工業株式会製、商品名：オプツール（「オプツール」は登録商標））を０．１質量％にしたものに浸漬し、１分間経過後に引き上げ、乾燥する工程を施した固定基材を作製し、実施例１と同様に評価を行った。
【００５０】
上記の実施例及び比較例の評価結果を表１に示す。
【００５１】
【表１】
2013216713.tif 000004
【００５２】
表１に示されるように、本発明の撥液膜形成用溶液により形成された撥液膜を表面に具備する固定基材は、撥液性に優れることが明らかである。
また、固定基材上に撥液膜を交互積層法により作製することで、マイクロレンズ等の微細構造に追従させることができることが明らかである。