(57)【要約】【課題】銅張り積層板の表面銅箔を保護しているキャリア銅箔の剥離を簡便にして容易に実現する。【解決手段】矩形状の銅張り積層板に貼合されたキャリア銅箔を、軸心を中心に回転するローラにより巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離装置において、ローラ３３は、キャリア銅箔１１に接触する巻き取り面が粘着性を有している。さらに、ローラ３３は、巻き取り面をキャリア銅箔１１の角部に接触させて接着し、該角部からキャリア銅箔１１の剥離を始めるように、銅張り積層板１２の一辺に対して斜め方向に往復動可能に設けられている。【選択図】      図１
2013216079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の銅張り積層板に貼合されたキャリア銅箔を、軸心を中心に回転するローラにより巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離装置において、
前記ローラは、前記キャリア銅箔に接触する巻き取り面が粘着性を有し、該巻き取り面を前記キャリア銅箔の角部に接触させて接着し、該角部から前記キャリア銅箔の剥離を始めるように、前記銅張り積層板の一辺に対して斜め方向に往復動可能に設けられていることを特徴とするキャリア銅箔剥離装置。
【請求項２】
前記ローラは、前記軸心方向の長さ寸法が、前記銅張り積層板の対角線の長さよりも長いことを特徴とする請求項１記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項３】
前記ローラは、前記軸心方向の中央部の軌跡が前記銅張り積層板の対角線の一つと一致するように往復動可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項４】
前記ローラは、前記軸心方向の長さ寸法が、前記銅張り積層板の対角線の長さよりも長い、又は前記銅張り積層板の短辺の長さの２倍以上であることを特徴とする請求項３記載のキャリア銅箔剥離装置。
【請求項５】
矩形状の銅張り積層板に貼合されたキャリア銅箔を、軸心を中心に回転するローラにより巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離方法において、
巻き取り面に粘着性を有するローラを用い、前記キャリア銅箔の角部に前記ローラの巻き取り面を接触させ、前記ローラを回転させて前記巻き取り面で前記キャリア銅箔を前記銅張り積層板から巻き取り剥離することを特徴とするキャリア銅箔剥離方法。
【請求項６】
前記ローラの軸心方向の長さ寸法を、前記銅張り積層板の対角線の長さよりも長く、又は前記銅張り積層板の短辺の長さの２倍以上に設定し、前記ローラを、前記軸心方向の中央部の軌跡が前記銅張り積層板の対角線の一つと一致するように往復動することを特徴とする請求項５に記載のキャリア銅箔剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板などに使用される銅張り積層板上に表面保護のために貼合されたキャリア銅箔を剥離するためのキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント配線板を製造するために用いる銅張り積層板は、ガラスクロスなどに熱硬化性樹脂を含浸させた樹脂板と銅箔を、高熱真空雰囲下でプレス成形して貼合することで製造されている。
【０００３】
近年、プリント配線板の高密度化（ファインパターン化）に伴い、銅張り積層板に貼合されている銅箔は薄膜化が進んでいる。ファインパターン向けプリント配線板用の銅箔として厚い銅箔を用いると、エッチングによる配線回路形成時のエッチング時間が長くなるだけでなく、形成される配線パターンの側壁の垂直性が崩れやすく、形成する配線パターンの配線線幅が狭い場合には、断線に結びつくこともある。
【０００４】
ファインパターン用途に使われる銅箔としては、現在では、厚さが５μｍ程度の銅箔が最も多く使用され、更に薄膜化が求められている。薄膜化による作業性の悪化の防止、表面保護のため、薄膜銅箔は２０μｍ程度のキャリア銅箔と貼り合わせているのが一般的である。
【０００５】
このようなキャリア銅箔の剥離方法としては、現在、作業者が手作業で剥離する人的な方法が一般的である。また、一般的なフィルムの剥離方法として、例えば（特許文献１）に示されるように、フィルム端部をアームで保持し、剥離角度を調整しながら保護フィルムを巻き取るフィルム剥離装置を使用した機械的な方法が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１０４７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の人的な剥離方法では、キャリア銅箔を保持する点は角部の一点であるため、キャリア銅箔と薄膜銅箔との接着力が部分的に強い部分がある場合、剥離時にキャリア銅箔が残留し、次工程に影響を与えてしまう。
【０００８】
また、（特許文献１）のような剥離装置を使用する機械的な剥離方法の場合、キャリア銅箔に柔軟性がないため、剥離時にキャリア銅箔に皺が発生し、その皺が銅張り積層板に接触して傷が付き、品質を損ねるという問題を有する。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は、キャリア銅箔が貼合された銅張り積層板から、銅張り積層板にダメージを与えることなく、キャリア銅箔を安定的に剥離できるキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明は、矩形状の銅張り積層板に貼合されたキャリア銅箔を、軸心を中心に回転するローラにより巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離装置において、前記ローラは、前記キャリア銅箔に接触する巻き取り面が粘着性を有し、該巻き取り面を前記キャリア銅箔の角部に接触させて接着し、該角部から前記キャリア銅箔の剥離を始めるように、前記銅張り積層板の一辺に対して斜め方向に往復動可能に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
ここで、ローラは、軸心方向の長さ寸法が、銅張り積層板の対角線の長さよりも長いことが望ましい。
【００１２】
ローラは、軸心方向の中央部の軌跡が銅張り積層板の対角線の一つと一致するように往復動可能に設けられていることが望ましい。さらに、ローラは、軸心方向の長さ寸法が、銅張り積層板の短辺の長さの２倍以上であることが望ましい。
【００１３】
また、本発明は、矩形状の銅張り積層板に貼合されたキャリア銅箔を、軸心を中心に回転するローラにより巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離方法において、巻き取り面に粘着性を有するローラを用い、キャリア銅箔の角部にローラの巻き取り面を接触させ、ローラを回転させて巻き取り面でキャリア銅箔を銅張り積層板から巻き取り剥離することを特徴とする。
【００１４】
ここで、ローラの軸心方向の長さ寸法を、銅張り積層板の短辺の長さの√２倍以上に設定し、ローラを、軸心方向の中央部の軌跡が銅張り積層板の対角線の一つと一致するように往復動することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、粘着性を有するローラを銅張り積層板の角部に接触させ、キャリア銅箔の剥離を角部から始めることにより、キャリア銅箔を皺や残留無く剥離することができる。しかも、このローラの幅をキャリア銅箔の対角線の長さよりも長く、又は銅張り積層板の短辺の長さの２倍以上に設定することにより、キャリア銅箔を銅張り積層板への残留なく、且つキャリア銅箔の皺による銅張り積層板表面に傷をつけることなく、キャリア銅箔を銅張り積層板から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の外観構成を示す断面図である。
【図２】図１の装置のステージ部に設置されたキャリア銅箔付き銅張り積層板を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態を説明するためのもので、ベルトコンベア上に載置された積層板とロボットアームとの位置関係を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施形態を説明するためのもので、銅張り積層板とローラの長さとの関係を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態のキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法を、図面を参照して説明する。
【００１８】
（実施形態）
図１は、本発明の一実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置の外観構成を示す断面図である。
【００１９】
本実施形態のキャリア銅箔剥離装置は、銅張り積層板を載置するためのステージ部２０と、キャリア銅箔を剥離するための剥離部３０と、剥離されたキャリア銅箔を投棄するための銅箔投棄部４０とで構成される。
【００２０】
ステージ部２０は、図２に示すように、ベルトコンベア２１上に真空チャック等の吸着ステージ２２を取り付けたものである。キャリア銅箔付き銅張り積層板１０は吸着ステージ２２上に吸着されて搬送される。吸着ステージ２２によりキャリア銅箔付き銅張り積層板１０を吸着することで、キャリア銅箔１１の剥離時における銅張り積層板１２のずれ、キャリア銅箔１１と共に銅張り積層板１２を剥離ローラ３１により巻き込んでしまうのを防止できる。また、ベルトコンベア２１に吸着ステージ２２を設置することで、剥離部３０の設置位置を動かすことなく連続的に剥離を可能としている。
【００２１】
銅張り積層板１２では、樹脂板にそれより大きい図示しない極薄銅箔及びキャリア銅箔１１を積層してプレスしてなる構成が多く、そのため、銅張り積層板１２とキャリア銅箔１１のサイズは略等しい場合が多い。
【００２２】
剥離部３０は、剥離ローラ３１及びロボットアーム３２で構成されている。このうち剥離ローラ３１は、粘着性を有する物質でできたローラ３３と回転部３５とブラケット３４で構成されている。また、ローラ３３は、軸心を中心に回転するものであり、ローラ３３の幅（軸心方向の幅）は、吸着ステージ２２に載置されるキャリア銅箔付き銅張り積層板１０の対角線の長さよりも長くなっている。これは、剥離ローラ３１の移動方向を銅張り積層板１２に対して斜めにしても、ローラ３３が銅張り積層板１２の全体をカバーするためである。なお、剥離ローラ３１は、ロボットアーム３２に対してブラケット３４から取り外し自在となっており、キャリア銅箔付き銅張り積層板１２の大きさにより、所定の形状のものが選定される。
【００２３】
ローラ３３は、表面が粘着性を有する物質で形成される。より具体的には、キャリア銅箔との接着力が、キャリア銅箔と銅張り積層板との接着力より強い素材で構成されている。この物質は、例えば表面に粘着性物質を塗布した金属でも良いが、ローラ３３の接触によるキャリア銅箔付き銅張り積層板１０の損傷を防止するため、シリコンや粘着性を有するゴムであることが望ましい。また、回転軸３５が挿通される部分を金属や樹脂で形成し、キャリア銅箔１１との当接面であるローラ３３を粘着性ゴムで形成したものであってもよい。
【００２４】
一方、ロボットアーム３２は、図３に示すように、ロボットアーム３２が吸着ステージ２２の、剥離部３０から最も遠い角部へ十分届く位置に設置されている。そして、剥離ローラ３１を銅張り積層板１２に対して斜め方向に移動させるようになっている。例えば、剥離ローラ３１を銅張り積層板１２の対角線と垂直にし、ローラ中心部の軌跡を銅張り積層板１２の対角線に平行な方向に合わせるようになっている。
【００２５】
また、銅箔投棄部４０は、巻き込みローラ４１を備えた投棄ボックス４２で構成され、ステージ部２０と剥離部３０との間に配置されている。
【００２６】
次に、本実施形態に係わるキャリア銅箔剥離方法の一例について、図１乃至図３のキャリア銅箔剥離装置を用いて具体的に説明する。なお、本実施形態では、剥離される対象物を、一般的なプリント配線板に使用される矩形状のキャリア銅箔付き銅張り積層板１０として説明する。
【００２７】
キャリア銅箔付き銅張り積層板１０は、ガラスクロス含浸樹脂板にキャリア銅箔付きの薄膜銅箔が貼合されて形成され、図２に示すようにステージ部２０上に設置される。
【００２８】
まず、剥離ローラ３１により、キャリア銅箔１１を巻き取りながら剥離するキャリア銅箔剥離工程について、前記図１を用いて説明する。ここで、説明のため、図中では、ガラスクロス含浸樹脂板と薄膜銅箔を銅張り積層板１２として一体化し、この銅張り積層板１２に保護キャリア銅箔１１が貼付された構成としてキャリア銅箔付き銅張り積層板１０を表している。なお、本実施形態では、キャリア銅箔１１は銅張り積層板１２の片面にだけ貼合しているが、両面に貼合されていても何ら支障はない。
【００２９】
剥離するキャリア銅箔１１を上面にしてキャリア銅箔付き銅張り積層板１０を吸着ステージ２２に吸着保持させる（図２参照）。次いで、ロボットアーム３２を駆動し、キャリア銅箔１１との接触面が粘着物質で構成された剥離ローラ３１を、キャリア銅箔付き銅張り積層板１０の剥離装置から最も遠い角部まで移動させる。このとき、剥離ローラ３１は、キャリア銅箔付き銅張り積層板１０と接触しない高さで平行移動される。そして、剥離ローラ３１は、キャリア銅箔１１の基端上部まで移動した時点で一旦停止される。
【００３０】
次に、ロボットアーム３２を駆動し、剥離ローラ３１を軸心方向がキャリア銅箔付き銅張り積層板１０の対角線と直交する方向となるようにブラケット中心に回転させた後、接近させる。そして、剥離ローラ３１のローラ３３をキャリア銅箔１１の角部に接着させた状態で、剥離ローラ３１を再び一旦停止させる。
【００３１】
このように、本実施形態によるキャリア銅箔剥離装置は、剥離ローラ３１がロボットアーム３２により、上下動が可である。これにより、厚み寸法の異なるキャリア銅箔付き銅張り積層板１０を剥離する場合でも、キャリア銅箔付き銅張り積層板１０に過剰な圧力をかけずにキャリア銅箔１１の剥離を行うことが可能であり、剥離ローラ３１の破損や銅張り積層板１２の品質不良などを防止することができる。また、ブラケット３４も稼働させることが可能であり、該ブラケット３４を中心にして、剥離ローラ３１を４５度以上回転させることができる。
【００３２】
この後、剥離ローラ３１のローラ３３をキャリア銅箔１１の角部に接着させた状態で、ロボットアーム３２を駆動し、剥離ローラ３１をその転動方向にスライドさせる。即ち、ローラ３３を回転する共に剥離ローラ３１を銅張り積層板１２の対角線方向に移動させる。すると、キャリア銅箔１１は、剥離ローラ３１のローラ３３に巻き付けられながら銅張り積層板１２から剥離されていく（図１、図３参照）。そして、剥離ローラ３１がキャリア銅箔１１の端縁までスライドした時点でキャリア銅箔１１は完全に剥離される。
【００３３】
ここで、剥離ローラ３１のローラ３３は、その幅が銅張り積層板１２の対角線の長さより長く形成されているため、キャリア銅箔１１と剥離ローラ３１を支持するブラケット３４が接触しキャリア銅箔１１の巻き取りが妨げられることはない。
【００３４】
キャリア銅箔１１を巻き取った剥離ローラ３１は、その回転を停止し、ロボットアーム３２により、銅箔投棄部４０の上部まで移動し、一旦停止する。
【００３５】
ここで、ロボットアーム３２により、剥離ローラ３１を巻き込みローラ４１に向かって降下させる。これと同時に、巻き込みローラ４１を回転させる。そうすると、剥離ローラ３１から垂れ下がったキャリア銅箔１１の端部は、巻き込みローラ４１に挟持され、その回転力によって下方に牽引される。これにより、キャリア銅箔１１は剥離ローラ３１から引き離される。引き離されたキャリア銅箔１１は、巻き込みローラ４１の下方に設けられた銅箔投棄部４０の投棄ボックス４２に排出される。
【００３６】
このようにして、キャリア銅箔１１の剥離工程は終了する。そして、次のキャリア銅箔付き銅張り積層板１０が吸着ステージ２２にセットされ、剥離ローラ３１が再び原位置に復帰した後、次の剥離工程が開始される。
【００３７】
なお、上記実施形態についての説明では、剥離ローラ３１の外周面に、キャリア銅箔１１との接触面全面が粘着物質で作製されたローラ３３が設けられていることを説明したが、必ずしもローラ３３の全面が粘着物質である必要はない。ローラ３３の中央付近、例えばローラ３３が剥離を始める所定の角部に接触する面だけを接着物質で構成してもよい。このようにすれば、キャリア銅箔１１と剥離ローラ３１との接着面積が小さくなるため、剥離ローラ３１へのキャリア銅箔１１の残留を防ぐことができる。
【００３８】
また、上記説明では、ローラ３３の軸心方向の長さを銅張り積層板１２の対角線よりも長くしたが、キャリア銅箔剥離ローラ３１を銅張り積層板１２の対角線に平行な方向に移動させる場合は、必ずしも対角線よりも長くする必要はない。
【００３９】
ローラ３３は、図４に示すように、矩形状の銅張り積層板１２の対角線に沿って移動される。このとき、ローラ３３が銅張り積層板１２の全体をカバーするには、銅張り積層板１２の短辺の長さをＡ、対角線と短辺との成す角をαとしたときに、ローラ３３の長さＬが、
Ｌ＞２Ａcosα
であればよい。
【００４０】
ここで、cosαの最大値は１なので、
Ｌ＞２Ａ
となる。
【００４１】
つまり、ローラ３３の軸心方向の長さが矩形状の銅張り積層板１２の短辺の２倍以上であればよいことになる。
【００４２】
なお、銅張り積層板１２が正方形に近い場合は、cosα≒１／√２となるため、Ｌ＞√２Ａとなる。この場合は、ローラ３３の軸心方向の長さは√２Ａ以上、実質的には対角線よりも長くすればよい。即ち、銅張り積層板１２が正方形に近い場合は対角線の長さ以上とし、長辺方向の長さが短辺方向よりも十分に長い場合は２Ａ以上とすればよい。
【００４３】
このように、本実施形態に係わるキャリア銅箔剥離装置及びキャリア銅箔剥離方法によれば、キャリア銅箔１１を巻き取りながら剥離するローラ３３が粘着性を有しているため、ローラ３３を積層板１０上に一定の力で加圧しながら剥離を行うことで、キャリア銅箔１１を銅張り積層板１２への残留なく、キャリア銅箔１１の皺による銅張り積層板１２への傷なく剥離することができる。
【００４４】
そしてこの場合、剥離開始時にローラ３３とキャリア銅箔１１との接触は角部から始まるため、ローラ３３からの圧力が集中しローラ３３とキャリア銅箔１１の密着が確実となり、より安定してキャリア銅箔１１を剥離することができる。
【００４５】
また、ローラ３３の幅を銅張り積層板１２の対角線の長さよりも長く設定することにより、キャリア銅箔１１の剥離時にキャリア銅箔１１と剥離ローラ３１を支持するブラケット３４と接触し、剥離が妨げられることがない。
【００４６】
さらに、ローラ３３の中心の往復動の軌跡を銅張り積層板１２の対角線と平行な転動方向に設定した場合、ローラ３３の幅は必ずしも対角線の長さよりも長くする必要はなく、キャリア銅箔１１の短辺の長さの２倍よりも長く設定すれば良い。この場合、ローラ３３の幅を必要以上に長くすることもなく、装置構成の小型化をはかることが可能となる。これは、銅張り積層板１２が正方形に近いものではなく、長辺方向の長さが短辺方向よりも十分に長い（特に長辺の長さが短辺の長さの２倍以上）場合に有効となる。
【００４７】
（変形例）
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。
【００４８】
実施形態では、生産効率向上のため、ステージ部にベルトコンベア及び吸着ステージを取り付けたが、例えば省スペースで剥離を行いたい場合、吸着ステージをロボットアームの稼動範囲内に固定して設置してキャリア銅箔の剥離を行うようにしてもよい。
【００４９】
また、ローラの移動方向は必ずしもキャリア銅箔の対角線の一つと一致させる必要はなく、キャリア銅箔の一つの角部から剥離が始まるような方向であればよい。さらに、ローラの長さは銅張り積層板の対角線の長さよりも長いものであれば十分であるが、ローラの移動方向を対角線と平行にした場合は、ローラの長さを銅張り積層板の短辺の２倍以上としても良い。また、各部の材料は、実施形態で説明したものに何ら限定されるものではなく、仕様に応じて適宜変更可能である。
【００５０】
要するに、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０… キャリア銅箔付き銅張り積層板
１１… キャリア銅箔
１２… 銅張り積層板
２０… ステージ部
２１… ベルトコンベア
２２… 吸着ステージ
３０… 剥離部
３１… 剥離ローラ
３２… ロボットアーム
３３… ローラ
３４… ブラケット
３５… 回転部
４０… 銅箔投棄部
４１… 巻き込みローラ
４２… 投棄ボックス
【図１】
2013216079.tif 000003
【図２】
2013216079.tif 000004
【図３】
2013216079.tif 000005
【図４】
2013216079.tif 000006