(57)【要約】【課題】トレー上に載置された光学部品の欠陥検査を行う場合に、当該光学部品の位置のずれが発生せず、検査精度にばらつきが生じるのを防止することのできる光学部品検査装置を提供する。【解決手段】トレー１０上の光学部品Ｋの欠陥検査を行う光学部品検査装置１００において、トレー１０を載置する検査テーブル２０と、トレー１０上の光学部品Ｋが所定の検査位置に順次配されるように検査テーブル２０を水平面内で移動させる移動装置５０と、検査テーブル２０の上方に固設され、検査位置に順次配される光学部品Ｋの画像を撮像するカメラ装置３０と、カメラ装置３０により画像の撮像される光学部品Ｋに対して光を照射する照明装置４０と、カメラ装置３０がトレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始してから終了するまでの間、検査テーブル２０の移動が等速直線移動となるように移動装置５０を制御する移動制御手段と、を備える。【選択図】図１
2013156204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレー上にマトリックス状を成して載置された複数の光学部品の欠陥検査を行う光学部品検査装置において、
前記トレーを載置する検査テーブルと、
前記トレーに載置された複数の光学部品が、所定の検査位置に順次配されるように前記検査テーブルを水平面内で移動させる移動手段と、
前記検査テーブルの上方に固設され、前記移動手段による前記検査テーブルの移動に伴って前記検査位置に順次配される光学部品の画像を前記検査位置において順次撮像するカメラ装置と、
前記カメラ装置により画像の撮像される光学部品に対して光を照射する照明装置と、
前記カメラ装置が前記トレーにおける一の列の光学部品の画像の撮像を開始してから終了するまでの間、前記検査テーブルの移動が等速直線移動となるように前記移動手段を制御する移動制御手段と、
を備えることを特徴とする光学部品検査装置。
【請求項２】
前記照明装置は、
前記検査位置に配される光学部品に対して光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系からの光を所定範囲に拡散する拡散板と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の光学部品検査装置。
【請求項３】
前記集光光学系は、スポット照明であり、
前記スポット照明を、前記カメラ装置の撮像タイミングに合わせてストロボ発光させる発光制御手段を備えることを特徴とする請求項２に記載の光学部品検査装置。
【請求項４】
前記移動制御手段は、
前記カメラ装置が前記トレーにおける前記一の列の光学部品の画像の撮像を終了してから前記検査テーブルの移動速度を徐々に減速させ、前記トレーにおける他の列の光学部品の画像の撮像を開始するまでに前記検査テーブルの移動速度を徐々に加速させるように前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の光学部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品の欠陥検査を行う光学部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種の光学機器に使用される光学部品の製造工程において、当該光学部品を複数個ひとまとまりとしてパレットと称される治具により保持して管理する方法が知られている。
図７に、パレットの断面図を示す。
図７に示すように、パレット８０は、上面側に光学部品１の載置されるトレー８１と、当該トレー８１に上部から重ね合わされる蓋体８２とによって構成され、これらの間に光学部品１を保持するものである。
光学部品１は、レンズ部２と、レンズ部２の外周を囲うフランジ部３との２つの部位を備えて構成される。
トレー８１には、複数の凹部８１ａが形成され、各凹部８１ａの中央には、貫通孔８１ｂが形成されている。そして、各凹部８１ａに光学部品１のフランジ部３が載置されて、貫通孔８１ｂからレンズ部２の一面が露出するようになっている。
一方、パレット８０の蓋体８２にも、トレー８１と同様に複数の凹部８２ａ及び貫通孔８２ｂが形成されている。この蓋体８２は、凹部８２ａが下側となるようにして、光学部品１の載置されたトレー８１上に被せられ、光学部品１のフランジ部３を上方から押さえ付けるようになっている。
【０００３】
ところで、光学部品には、その製造過程においてキズや割れ等の各種の欠陥が生じることがある。こうした欠陥は、光学部品の性能に甚大な影響を及ぼす恐れがあるため、欠陥検査を入念に行う必要がある。
欠陥検査は、光学部品がパレットに保持された状態のまま行う方法が一般的に用いられる。かかる方法であれば、当該欠陥検査終了後にも、光学部品がパレットに整列された状態となっているため好ましい。
近年では、こうした欠陥検査を自動的に行う装置が提案されており、例えば、特許文献１には、パレットをＸＹ方向に移動可能なテーブルや位置決め機能を備えたロボットにセットし、固定された検査用カメラと検査用光源に対してパレットを移動させて、当該パレットに保持された光学部品の欠陥検査用の画像を得る装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５５０６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の装置では、パレットの移動と停止を頻繁に繰り返す動作を行っている。
このため、光学部品のレンズ部とフランジ部の両方の検査をする場合に、パレットの蓋体を外し、光学部品がトレー上に載置されただけの状態とすると、蓋体による上部からの押さえがないため光学部品が振動し、撮像ブレが発生することがあった。
また、かかる光学部品の振動により、図８に示すように、光学部品１のフランジ部３がトレー８１に乗り上げてしまうことがあった。
上記の傾向は、特に、光学部品の小型化に伴うフランジ部の薄型化が進むほど、或いは検査速度を上げるために移動速度を速くするほど顕著となる。
そして、このように光学部品の位置にずれが発生すると、検査精度にもばらつきが生じるという問題が生じる。
【０００６】
本発明の課題は、トレー上に載置された光学部品の欠陥検査を行う場合に、当該光学部品の位置のずれが発生せず、検査精度にばらつきが生じるのを防止することのできる光学部品検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一の態様によれば、
トレー上にマトリックス状を成して載置された複数の光学部品の欠陥検査を行う光学部品検査装置において、
前記トレーを載置する検査テーブルと、
前記トレーに載置された複数の光学部品が、所定の検査位置に順次配されるように前記検査テーブルを水平面内で移動させる移動手段と、
前記検査テーブルの上方に固設され、前記移動手段による前記検査テーブルの移動に伴って前記検査位置に順次配される光学部品の画像を前記検査位置において順次撮像するカメラ装置と、
前記カメラ装置により画像の撮像される光学部品に対して光を照射する照明装置と、
前記カメラ装置が前記トレーにおける一の列の光学部品の画像の撮像を開始してから終了するまでの間、前記検査テーブルの移動が等速直線移動となるように前記移動手段を制御する移動制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、固設されたカメラ装置の下方を検査テーブルが移動することで、トレーに載置された複数の光学部品が所定の検査位置に順次配され、カメラ装置によりこの検査位置に配された光学部品の画像が順次撮像されていく。このとき、トレーにおける一の列の光学部品の画像の撮像を開始してから、その列の光学部品の画像の撮像が終了するまでの間、検査テーブルの移動が等速直線移動となっている。
このため、カメラ装置による撮像時にトレーが加速又は減速しないので、撮像時に当該加速又は減速に伴う振動が起こらず、光学部品の位置のずれが発生しない。よって、検査精度にばらつきの生じない安定した検査を行うことができる。
また、各光学部品の画像の撮像時に、検査テーブルが停止しないので、検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態にかかる光学部品検査装置を示す斜視図である。
【図２】図１の光学部品検査装置の照明装置の構成を示す模式図である。
【図３】図１の光学部品検査装置の制御構成を示すブロック図である。
【図４】トレーを示す斜視図である。
【図５】トレーの要部構成を示す断面図である。
【図６】トレーの移動に伴うカメラ装置の中心位置の変移を説明するための図である。
【図７】パレットの構成を説明するための断面図である。
【図８】従来の問題点を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。
【００１１】
先ず、構成について説明する。
本発明の実施の形態にかかる光学部品検査装置１００は、光学部品Ｋの内部及び表面におけるキズや割れ、異物混入などの欠陥検査を行うために用いられる装置である。
この光学部品検査装置１００は、固定設置されたカメラ装置３０の下方において、複数の光学部品Ｋをひとまとまりとして載置したトレー１０を水平面内で移動させつつ、当該トレー１０に載置された複数の光学部品Ｋに対して順番に欠陥検査用の画像の撮像を行うものである。
なお、以下の説明において、トレー１０の水平面上の一方向をＸ方向、トレー１０の水平面においてＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｘ及びＹ方向と直交する垂直方向をＺ方向とする。
【００１２】
光学部品検査装置１００は、図１〜３に示すように、トレー１０が載置される検査テーブル２０と、トレー１０に載置される光学部品Ｋの画像を撮像するカメラ装置３０と、撮像される光学部品Ｋに対して光を照射する照明装置４０と、検査テーブル２０をＸＹ方向に移動させる移動装置５０と、これら各部を統括制御する制御部６０と等を備えて構成されている。
【００１３】
ここで、トレー１０について説明する。
トレー１０は、図４、５に示すように、その上面側に光学部品Ｋの載置される平面視略矩形状のプレートである。
トレー１０には、その上面から下面側に向けて窪む平面視円形状の凹部１１がマトリックス状を成して複数形成されており、各凹部１１の中央には、その上下面を貫通する平面視円形状の貫通孔１２が形成されている。
また、光学部品Ｋは、光学機能を有するレンズ部Ｒと、レンズ部Ｒの外周を囲うフランジ部Ｆとの２つの部位を備えている。以下の説明においては、レンズ部Ｒの表面及び裏面を、それぞれ光学面Ｒ１及び光学面Ｒ２と称する。
光学面Ｒ１，Ｒ２は、何れもフランジ部Ｆより凸となっている。
そして、トレー１０の各凹部１１に光学部品Ｋのフランジ部Ｆが載置され、貫通孔１２に光学部品Ｋの一方の光学面Ｒ２が配置されるようにして、トレー１０に、複数の光学部品Ｋが載置される。
従って、光学部品Ｋは、トレー１０に載置された状態で、他方の光学面Ｒ１及びフランジ部Ｆが上面に露出されており、光学部品検査装置１００は、上面に露出した光学面Ｒ１及びフランジ部Ｆの画像を撮像するようになっている。
なお、トレー１０に載置される光学部品Ｋとしては、例えば、眼鏡、カメラ、撮像素子、光ピックアップ装置等に使用される樹脂性の光学レンズなどが挙げられる。
また、本実施形態の光学部品検査装置１００において検査可能な光学部品Ｋの大きさに特に制限はないが、例えば、平面視における直径（フランジ部Ｆまで含む）が１０ｍｍ以下、特に８ｍｍ以下であって、フランジ部Ｆの厚さが２ｍｍ以下、特に１ｍｍ以下に設計されたものなどに好適に用いられる。
なお、トレー１０に載置される光学部品Ｋの数に特に限定はない。
【００１４】
検査テーブル２０は、光学部品検査装置１００の基台１０１上に立設された図示しない支柱及び移動装置５０によりその下面を支持されている。
検査テーブル２０には、当該検査テーブル２０の下方に設置された照明装置４０からの光が通過可能な穴部（図示省略）が形成されている。
この検査テーブル２０は、その載置面２１上に光学部品Ｋを載置したトレー１０が載置され、移動装置５０（Ｘ方向駆動機構５１、Ｙ方向駆動機構５２）の駆動によって、水平面内でＸ方向及びＹ方向に移動可能に構成されている。
本実施形態の光学部品検査装置１００においては、検査テーブル２０がＸ方向及びＹ方向に移動することにより、トレー１０上の複数の光学部品Ｋが順番にカメラ装置３０（カメラ本体部３１）に対応する位置（検査位置）に配されるようになっている。
【００１５】
具体的には、検査テーブル２０は、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）がトレー１０上の一列目の光学部品Ｋに対して順に対向するようＸ方向に移動した後、一行分Ｙ方向に移動し、次いで、カメラ本体部３１がトレー１０上の二列目の光学部品Ｋに対して順に対向するよう一列目と逆向きに移動した後、一行分Ｙ方向に移動し、以下、最終列の光学部品Ｋの撮像が終了するまでかかる動作を繰り返す。
また、この移動動作において、検査テーブル２０は、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）が、トレー１０上の光学部品Ｋの上方（図６のＬ１に示す範囲内）にある間は、所定の測定速度にて等速直線移動するようになっている。即ち、カメラ本体部３１の撮像時には、トレー１０は等速直線移動するようになっている。
所定の測定速度は、例えば、５ｍｍ／ｓ以上となるように予め設定されている。
なお、かかる検査テーブル２０の移動は、制御部６０の制御によって、移動装置５０のＸ方向駆動機構５１及びＹ方向駆動機構５２が駆動することによって実行されるものである。
【００１６】
カメラ装置３０は、カメラ本体部３１と、カメラ本体部３１を支持するフレーム３２と、カメラ本体部３１のＺ方向の位置調整を行う昇降機構３３と等を備えて構成される。
【００１７】
カメラ本体部３１は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラを備え、トレー１０に載置された複数の光学部品Ｋのうち、検査テーブル２０の移動によって検査位置に配された光学部品Ｋに対して順番に画像の撮像を行う。
このとき、カメラ本体部３１は、光学部品Ｋのレンズ部Ｒの光学面Ｒ１及びフランジ部Ｆの画像を撮像することとなる。なお、撮像される画像は、例えば、光学部品Ｋの内部の欠陥判定用画像や、光学部品Ｋの表面の欠陥判定用画像などである。
そして、カメラ本体部３１の撮像時には、トレー１０は等速直線移動するよう制御されて加速或いは減速しないので、撮像時にトレー１０上の光学部品Ｋが振動することがなく、光学部品Ｋの位置ずれが発生しないようになっている。
また、等速直線運動している光学部品Ｋに対して撮像を行い当該光学部品Ｋの静止画像を得るためには高速でシャッターを切る必要があり、そのシャッタースピードはより速い方が有利である。具体的に、カメラ本体部３１のシャッタースピードは、例えば、１／１２０秒以上となるように設定することが好ましく、１／５００秒以上となるように設定することが特に好ましい。
【００１８】
フレーム３２は、その基端部が基台１０１上の一端部に立設された支柱１０２により昇降可能に支持され、先端部にカメラ本体部３１が搭載されている。
【００１９】
昇降機構３３は、図示しないモーターを備え、制御部６０の制御によって、モーターを駆動してフレーム３２をＺ方向に昇降させる。これにより、カメラ本体部３１の焦点合わせが行われる。
【００２０】
照明装置４０は、光学部品検査装置１００の基台１０１上の、カメラ本体部３１と検査テーブル２０を挟んで対向する位置に固設され、当該照明装置４０の上方の一点（検査位置）に対して光を照射するものである。
【００２１】
照明装置４０は、例えば、スポット照明部４１と、拡散板４２とを備えて構成される。
【００２２】
スポット照明部４１は、集光光学系として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）より成る光源４１ａと、光源４１ａの上方に配設される２枚の凸レンズ４１ｂ，４１ｃとを備え、凸レンズ４１ｂ，４１ｃにより、光源４１ａから出射された光を所定の距離に集光させている。なお、凸レンズ４１ｂ，４１ｃは、レンズハウジング４１ｄにより位置決めされている。
【００２３】
スポット照明部４１は、制御部６０の制御によって、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）の撮像タイミングに合わせてストロボ発光させることが可能である。透明体である光学部品Ｋの検査には非常に強い検査光が必要であり、十分な光量を確保する必要があるが、スポット照明部４１をストロボ発光させることにより、通常の発光よりも照度を上げ、検査位置に配される光学部品Ｋをより高照度にて照明することが可能である。
即ち、カメラ本体部３１のシャッタースピードを１／５００秒以上とする代わりに、スポット照明部４１をストロボ発光させることで、カメラ本体部３１のシャッタースピードを１／５００秒以上とした場合と同様の効果を得ることが可能である。
【００２４】
拡散板４２は、スポット照明部４１からの光の輝度ムラを消去しつつ、当該光を任意の角度（任意の範囲）に拡散させる。即ち、スポット照明部４１からの光は、輝度ムラが消去されて任意の角度に拡散する均質度の高い光となっている。
なお、拡散板４２の透過率は、例えば、８５〜９２％となっており、このため光源４１ａから出射された光を無駄にする事なく利用することが可能である。
【００２５】
なお、上記したＬＥＤを備えたスポット照明部４１の代わりに、面発光照明や同軸落射照明等を用いることとしても良い。
【００２６】
移動装置５０は、検査テーブル２０をＸ方向に移動させるＸ方向駆動機構５１と、Ｙ方向に移動させるＹ方向駆動機構５２と等を備えた、直交ロボットである。
Ｘ方向駆動機構５１は、基台１０１上にＸ方向に延在するよう設置されたガイド部５１ａと、ガイド部５１ａ上をＸ方向に沿って可動する可動部５１ｂとを備える。
Ｙ方向駆動機構５２は、可動部５１ｂ上にＹ方向に延在するよう設置されたガイド部５２ａと、ガイド部５２ａ上をＹ方向に沿って可動する可動部５２ｂとを備える。
また、可動部５２ｂの上には、検査テーブル２０が載置されている。
これらＸ方向駆動機構５１及びＹ方向駆動機構５２は、図示しないモーターを備え、制御部６０の制御によってモーターを駆動させて可動部５１ｂ及び可動部５２ｂをそれぞれＸＹ方向に移動させることで、これに連動して検査テーブル２０がＸＹ方向に移動する。
【００２７】
制御部６０は、図３に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６１、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２、記憶部６３等を備えて構成され、記憶部６３に記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の動作を行うための動作制御等を行う機能を有する。
【００２８】
ＣＰＵ６１は、記憶部６３に格納された処理プログラム等を読み出して、ＲＡＭ６２に展開して実行することにより、光学部品検査装置１００全体の制御を行う。
【００２９】
ＲＡＭ６２は、ＣＰＵ６１により実行された処理プログラム等を、ＲＡＭ６２内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
【００３０】
記憶部６３は、例えば、プログラムやデータ等を記憶する記録媒体（図示省略）を有しており、この記録媒体は、半導体メモリ等で構成されている。
また、記憶部６３は、ＣＰＵ６１が光学部品検査装置１００全体を制御する機能を実現させるための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。具体的には、記憶部６３は、例えば、移動制御プログラム６３１、発光制御プログラム６３２等を格納している。
【００３１】
移動制御プログラム６３１は、例えば、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）がトレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始してから終了するまでの間、検査テーブル２０の移動が等速直線移動となるように移動装置５０を制御する機能を、ＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
また、移動制御プログラム６３１は、例えば、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）がトレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を終了してから検査テーブル２０の移動速度を減速させ、トレー１０における他の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始するまでに検査テーブル２０の移動速度を加速させるように移動装置５０を制御する機能を、ＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
ＣＰＵ６１は、かかる移動制御プログラム６３１を実行することによって移動制御手段として機能している。
【００３２】
発光制御プログラム６３２は、例えば、スポット照明部４１を、カメラ装置３０（カメラ本体部３１）の撮像タイミングに合わせてストロボ発光させる機能を、ＣＰＵ６１に実現させるプログラムである。
即ち、ＣＰＵ６１は、発光制御プログラム６３２を実行することにより、カメラ本体部３１の中心が、各光学部品Ｋの中央に達するタイミング（撮像タイミング）でスポット照明部４１を発光させる。
ＣＰＵ６１は、かかる発光制御プログラム６３２を実行することによって発光制御手段として機能している。
【００３３】
次に、上述のような光学部品検査装置１００の動作について、図６を用いて説明する。
なお、図６において、破線は、検査テーブル２０の移動に伴う、トレー１０上のカメラ本体部３１の中心位置の移動経路を示している。
また、かかる動作は、制御部６０の制御により実行されるものである。
【００３４】
先ず、検査テーブル２０にトレー１０が載置されると、昇降機構３３によりフレーム３２を昇降させてカメラ本体部３１の焦点合わせが行われる。
【００３５】
次に、移動装置５０のＸ方向駆動機構５１及びＹ方向駆動機構５２により、検査テーブル２０をＸＹ方向に移動させることで、トレー１０を、カメラ本体部３１に対して平行に移動させて、一列目の測定開始点（Ｐ０）への位置合わせが行われる。
【００３６】
次に、移動装置５０のＸ方向駆動機構５１により、検査テーブル２０のＸ方向への移動が開始される。
Ｘ方向駆動機構５１は、検査テーブル２０の移動速度を徐々に加速させ、カメラ本体部３１の中心に、一列目の最初の撮像点（Ｐ１）が合致するまでの間に、当該移動速度を所定の測定速度（例えば、５ｍｍ／ｓ）とする。
次に、Ｘ方向駆動機構５１は、カメラ本体部３１の中心に一列目の最初の撮像点（Ｐ１）が合致した状態から、カメラ本体部３１の中心に一列目の最後の撮像点（Ｐ２）が合致した状態になるまでの間、検査テーブル２０を、当該測定速度で等速直線移動させる。
また、Ｘ方向駆動機構５１は、カメラ本体部３１の中心に一列目の最後の撮像点（Ｐ２）が合致した状態となった後、検査テーブル２０の移動速度を徐々に減速させ、カメラ本体部３１の中心に一列目の測定停止点（Ｐ３）が合致するタイミングで、検査テーブル２０の移動を停止させる。
【００３７】
このとき、カメラ本体部３１は、上記した検査テーブル２０のＸ方向への移動に伴って検査位置に配された光学部品Ｋに対して、所定のシャッタースピード（例えば、１／１２０秒）にて、順次、画像の撮像を行う。
画像の撮像時には、検査テーブル２０（トレー１０）は等速直線移動しているため、加速或いは減速の影響で光学部品Ｋの位置がずれることがない。
また、画像の撮像開始前に、検査テーブル２０は徐々に加速して測定速度に達するため、加速の影響で光学部品Ｋの位置がずれる恐れを低減することができる。
また、画像の撮像終了後に、検査テーブル２０は徐々に減速して停止するため、減速の影響で光学部品Ｋの位置がずれる恐れを低減することができる。
【００３８】
上記の動作により、トレー１０の一列目の光学部品Ｋに対する撮像は終了する。
【００３９】
次に、移動装置５０のＹ方向駆動機構５２により、検査テーブル２０のＹ方向への移動が開始される。
Ｙ方向駆動機構５２は、カメラ本体部３１の中心に一列目の測定停止点（Ｐ３）が合致した状態から、カメラ本体部３１の中心に二列目の測定開始点（Ｐ４）が合致した状態になるまで、検査テーブル２０をＹ方向に移動させる。
このとき、検査テーブル２０の移動速度は、上記した測定速度より低い速度に設定されている。即ち、検査テーブル２０が比較的低速で動くことで、トレー１０上の光学部品Ｋの位置がずれる恐れを低減している。
【００４０】
次に、移動装置５０のＸ方向駆動機構５１により、検査テーブル２０のＸ方向（一列目とは逆の方向）への移動が開始される。
Ｘ方向駆動機構５１は、検査テーブル２０の移動速度を徐々に加速させ、カメラ本体部３１の中心に二列目の最初の撮像点（Ｐ５）が合致するまでの間に、当該移動速度を所定の測定速度（例えば、５ｍｍ／ｓ）とする。
次に、Ｘ方向駆動機構５１は、カメラ本体部３１の中心に二列目の最初の撮像点（Ｐ５）が合致した状態から、カメラ本体部３１の中心に二列目の最後の撮像点（Ｐ６）が合致した状態になるまでの間、検査テーブル２０を、当該測定速度で等速直線移動させる。
また、Ｘ方向駆動機構５１は、カメラ本体部３１の中心に二列目の最後の撮像点（Ｐ６）が合致した状態となった後、検査テーブル２０の移動速度を徐々に減速させ、カメラ本体部３１の中心に二列目の測定停止点（Ｐ７）が合致するタイミングで、検査テーブル２０の移動を停止させる。
【００４１】
このとき、カメラ本体部３１は、上記した検査テーブル２０のＸ方向（一列目とは逆の方向）への移動に伴って検査位置に配された光学部品Ｋに対して、所定のシャッタースピード（例えば、１／１２０秒）にて、順次、画像の撮像を行う。
画像の撮像時には、検査テーブル２０（トレー１０）は等速直線移動しているため、加速或いは減速の影響で光学部品Ｋの位置がずれることがない。
また、画像の撮像開始前に、検査テーブル２０は徐々に加速して測定速度に達するため、加速の影響で光学部品Ｋの位置がずれる恐れを低減することができる。
また、画像の撮像終了後に、検査テーブル２０は徐々に減速して停止するため、減速の影響で光学部品Ｋの位置がずれる恐れを低減することができる。
【００４２】
上記の動作により、トレー１０の二列目の光学部品Ｋに対する撮像は終了する。
【００４３】
この後、同様にして、移動装置５０のＹ方向駆動機構５２により、カメラ本体部３１の中心に三列目の測定開始点（Ｐ８）が合致するように検査テーブル２０がＹ方向に移動されて、トレー１０の三列目の光学部品Ｋに対する撮像が開始される。
以下、最終列の光学部品Ｋの撮像が終了するまで、上記動作を繰り返す。
【００４４】
以上のように、本実施形態によれば、トレー上１０にマトリックス状を成して載置された複数の光学部品Ｋの欠陥検査を行う光学部品検査装置１００において、トレー１０を載置する検査テーブル２０と、トレー１０に載置された複数の光学部品Ｋが、所定の検査位置に順次配されるように検査テーブル２０を水平面（ＸＹ平面）内で移動させる移動装置５０と、検査テーブル２０の上方に固設され、移動装置５０による検査テーブル２０の移動に伴って検査位置に順次配される光学部品Ｋの画像を検査位置において順次撮像するカメラ装置３０と、カメラ装置３０により画像の撮像される光学部品Ｋに対して光を照射する照明装置４０と、カメラ装置３０がトレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始してから終了するまでの間は、検査テーブル２０の移動が等速直線移動となるように移動装置５０を制御する移動制御手段（ＣＰＵ６１、移動制御プログラム６３１）と、を備える。
【００４５】
このため、固設されたカメラ装置３０の下方を検査テーブル２０が移動することで、トレー１０に載置された複数の光学部品Ｋが所定の検査位置に順次配され、カメラ装置３０によりこの検査位置に配された光学部品Ｋの画像が順次撮像されていく。このとき、トレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始してから、その列の光学部品Ｋの画像の撮像が終了するまでの間、検査テーブルの移動が等速直線移動となっている。
よって、カメラ装置３０による撮像時にトレー１０が加速又は減速しないので、撮像時に当該加速又は減速に伴う光学部品Ｋの振動が起こらず、光学部品Ｋの位置のずれが発生しない。
従って、検査精度にばらつきの生じない安定した検査を行うことができる。
また、各光学部品Ｋの画像の撮像時に、検査テーブル２０の移動が停止しないので、検査時間を短縮することができる。
【００４６】
また、本実施形態によれば、照明装置４０は、検査位置に配される光学部品Ｋに対して光を集光する集光光学系と、集光光学系からの光を所定範囲に拡散する拡散板４２と、を備える。
このため、検査位置に配される光学部品Ｋを高照度にて照明することができ、カメラ装置３０で画像を得るのに十分な光量を確保することができる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、集光光学系は、スポット照明部４１であり、スポット照明部４１を、カメラ装置３０の撮像タイミングに合わせてストロボ発光させる発光制御手段（ＣＰＵ６１、発光制御プログラム６３２）を備える。
このため、通常の発光よりも照度を上げ、検査位置に配される光学部品Ｋをより高照度にて照明することができる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、移動制御手段は、カメラ装置３０がトレー１０における一の列の光学部品Ｋの画像の撮像を終了してから検査テーブル２０の移動速度を徐々に減速させ、トレー１０における他の列の光学部品Ｋの画像の撮像を開始するまでに検査テーブル２０の移動速度を徐々に加速させるように移動装置５０を制御する。
このため、トレー１０の移動方向を変えるときの、当該トレー１０の移動の停止や開始に伴う振動を抑えることができる。
【００４９】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５０】
例えば、上記実施形態においては、レンズ部Ｒの光学面Ｒ１，Ｒ２は、何れもフランジ部Ｆより凸となっている構成を例示して説明したが、レンズ部Ｒの光学面Ｒ１，Ｒ２は、必ずしも凸とは限らない。
【００５１】
また、上記実施形態においては、照明装置４０を検査テーブル２０の下方に設置した構成を例示して説明したが、照明装置４０も検査テーブル２０の上方に位置する構成とすることもできる。
この場合の照明装置４０としては、例えば、ドーム照明、リング照明等が用いられる。
また、この場合においても、ストロボ発光により光量を稼ぐのが好ましい。
【００５２】
また、上記光学部品検査装置１００を複数備え、トレー１０に対して連続して検査を行う装置とすることとしても良い。
この場合には、複数の光学部品検査装置１００間においてトレー１０を搬送する搬送装置を備える構成とすることが好ましい。
【００５３】
また、光学部品検査装置１００により、光学部品Ｋのレンズ部Ｒにのみ検査を行う場合には、トレー１０の代わりに、当該トレー１０に蓋体を重ね合わせて成るパレット（図示省略）を用いて光学部品Ｋの検査を行うことも可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  トレー
１１  凹部
１２  貫通孔
２０  検査テーブル
２１  載置面
３０  カメラ装置
３１  カメラ本体部
３２  フレーム
３３  昇降機構
４０  照明装置
４１  スポット照明部（集光光学系）
４１ａ  光源
４１ｂ，４１ｃ  凸レンズ
４１ｄ  レンズハウジング
４２  拡散板
５０  移動装置（移動手段）
５１  Ｘ方向駆動機構
５１ａ  ガイド部
５１ｂ  可動部
５２  Ｙ方向駆動機構
５２ａ  ガイド部
５２ｂ  可動部
６０  制御部
６１  ＣＰＵ（移動制御手段、発光制御手段）
６２  ＲＡＭ
６３  記憶部
６３１  移動制御プログラム（移動制御手段）
６３２  発光制御プログラム（発光制御手段）
Ｋ  光学部品
Ｒ  レンズ部
Ｒ１，Ｒ２光学面
Ｆ  フランジ部
１００  光学部品検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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