(57)【要約】【課題】キャップ部材により封止した空間内の水分が蒸発することを抑制することで液体の増粘やノズルの目詰まりを防止することができるとともに、カバーヘッドを接着する接着剤に液体が浸透することを抑制することで信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧力発生室、圧力発生室にインクを供給するインク供給路、及び圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生させるアクチュエーターユニットを備えるケースヘッド４０を有するヘッド本体５０と、ケースヘッド４０に接合され、ノズル開口が形成されたノズルプレート６０と、ノズル開口が露出する開口７１を有するカバーヘッド７０とを備え、カバーヘッド７０は、スペーサー８０を挟んでケースヘッド４０に取り付けられ、スペーサー８０は、カバーヘッド７０の開口７１の縁部とケースヘッド４０とに接着剤８５で接着されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力発生室、前記圧力発生室に液体を供給する液体流路、及び前記圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段を備えるヘッド本体と、
前記ヘッド本体に接合され、前記圧力発生室に連通するノズル開口が形成されたノズルプレートと、
前記ノズル開口が露出する開口を有するカバーヘッドとを備え、
前記カバーヘッドは、スペーサーを挟んで前記ヘッド本体に取り付けられ、
前記スペーサーは、前記カバーヘッドの開口の縁部と前記ヘッド本体とに接着剤で接着されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、前記カバーヘッドの開口よりも前記ヘッド本体側に位置している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ヘッド本体は、前記圧力発生室を有する流路ユニットと、該流路ユニット及び前記圧力発生手段を保持する保持部材とを備え、
前記保持部材には、前記流路ユニットに液体を供給する前記液体流路が形成され、
前記ノズルプレートは、前記流路ユニットに接合され、
前記スペーサーは、開口を有し、該開口内に前記ノズルプレートが位置するように前記保持部材に接着剤で接着され、
前記カバーヘッドは、該カバーヘッドの開口が前記スペーサーの開口に重なるように前記スペーサーに接着剤で接着されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記スペーサーは、前記保持部材の前記流路ユニットが接合された接合面において該流路ユニットの外側に接着剤で接着されるとともに、前記保持部材の前記接合面に連続する側面にも接着剤で接着されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記スペーサーは、前記ヘッド本体または前記カバーヘッドの一方に一体的に設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドの前記カバーヘッドの開口を封止するキャップ部材とを備える
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置に搭載される液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単にヘッドと称する）としては、例えば、圧力発生室が形成された流路基板と、流路基板の一方面側に設けられる圧電素子を具備し、この圧電素子の変位によって圧力発生室内に圧力を付与することで、ノズルからインク滴を噴射するものがある（例えば、特許文献１参照）。ヘッドには、複数のノズルを有するノズルプレートとカバーヘッドとが設けられている。カバーヘッドには開口部が設けられており、開口部内にノズルが位置するように、カバーヘッドがヘッドに接着剤で接着されている。
【０００３】
このようなヘッドを備える液体噴射装置では、印刷を行わない際には、ヘッドをホームポジションに移動させる。そして、カバーヘッドの開口部全体を覆うようにキャップ部材をカバーヘッドに当接させる。これにより、ノズルプレートは、キャップ部材で外部と遮断された閉空間内に保持される。該閉空間は乾燥が防止され、一定の湿度に保たれるため、圧力発生室等のインクがノズルから蒸発することが防止される。インクの蒸発を防止することで、液体流路中のインクの増粘や、ノズルの目詰まり等を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−５６７９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、カバーヘッドの開口部をキャップ部材で覆っても、カバーヘッドとヘッドとの間の接着剤を介して閉空間内の水分が外部に漏れだす虞がある。すなわち、キャップ部材により封止された閉空間内の水分は接着剤を透過し、外部に漏れ出す虞がある。
【０００６】
したがって、閉空間内が保湿された状態が保たれなくなるためにインクが蒸発し、液体流路中のインクが増粘したり、ノズルが目詰まりする虞がある。これにより、印刷時にインクの吐出不良を起こす虞がある。
【０００７】
また、印刷を行っているときなど、インクがカバーヘッドとヘッドとの接着剤に付着することがある。当該インクは、接着剤を浸透してヘッドの電装部品などに達する虞がある。このため、カバーヘッドをキャップ部材で覆わないときについては、接着剤にインクが浸透することを極力抑える必要がある。
【０００８】
なお、このような問題は複数の記録ヘッドを備えたヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、キャップ部材により封止した空間内の水分が蒸発することを抑制することで液体の増粘やノズルの目詰まりを防止することができるとともに、カバーヘッドを接着する接着剤に液体が浸透することを抑制することで信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、複数の圧力発生室、前記圧力発生室に液体を供給する液体流路、及び前記圧力発生室内に液滴吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段を備えるヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合され、前記圧力発生室に連通するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口が露出する開口を有するカバーヘッドとを備え、前記カバーヘッドは、スペーサーを挟んで前記ヘッド本体に取り付けられ、前記スペーサーは、前記カバーヘッドの開口の縁部と前記ヘッド本体とに接着剤で接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、接着剤に液体が付着、浸透することを抑制して該液体から液体噴射ヘッドを保護することができる。また、キャップ部材などでカバーヘッドの開口が封止された際に形成される閉空間内を、保湿された状態に維持することができる。これにより、圧力発生室等の液体がノズル開口から蒸発することを防止することができ、液体の増粘やノズル開口の目詰まりを防止することができる。
【００１１】
ここで、前記ノズルプレートは、前記カバーヘッドの開口よりも前記ヘッド本体側に位置していることが好ましい。これによれば、カバーヘッドによりノズルプレートを保護することができる。
【００１２】
また、前記ヘッド本体は、前記圧力発生室を有する流路ユニットと、該流路ユニット及び前記圧力発生手段を保持する保持部材とを備え、前記保持部材には、前記流路ユニットに液体を供給する前記液体流路が形成され、前記ノズルプレートは、前記流路ユニットに接合され、前記スペーサーは、開口を有し、該開口内に前記ノズルプレートが位置するように前記保持部材に接着剤で接着され、前記カバーヘッドは、該カバーヘッドの開口が前記スペーサーの開口に重なるように前記スペーサーに接着剤で接着されていることが好ましい。これによれば、ノズルプレートの外側を囲むスペーサーを介してカバーヘッドと保持部材とを接着剤で接着することができる。
【００１３】
また、前記スペーサーは、前記保持部材の前記流路ユニットが接合された接合面において該流路ユニットの外側に接着剤で接着されるとともに、前記保持部材の前記接合面に連続する側面にも接着剤で接着されていることが好ましい。これによれば、接着剤に付着した液体がケースヘッドの側面まで浸透することをより確実に抑えることができる。また、閉空間内の水分が接着剤を浸透して外部に逃げ出すことをより確実に抑えることができる。
【００１４】
また、前記スペーサーは、前記ヘッド本体または前記カバーヘッドの一方に一体的に設けられていることが好ましい。これによれば、スペーサーをヘッド本体又はカバーヘッドと一体的に形成することができる。
【００１５】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドの前記カバーヘッドの開口を封止するキャップ部材とを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、キャップ部材により封止した空間内の水分が蒸発することを抑制することで液体の増粘やノズルの目詰まりを防止することができるとともに、カバーヘッドを接着する接着剤に液体が浸透することを抑制することで信頼性を向上することができる液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】インクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】ヘッドの分解斜視図である。
【図３】ヘッドの上面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ′線断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図６】ヘッドの要部を拡大した要部断面図である。
【図７】変形例に係るヘッドの要部を拡大した要部断面図である。
【図８】変形例に係るヘッドの要部を拡大した要部断面図である。
【図９】変形例に係るヘッドの要部を拡大した要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単にヘッドとも言う。インクジェット式記録装置は液体噴射装置の一例である。
【００１８】
図１は、インクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。図示するように、インクジェット式記録装置１は、キャリッジ２を備えている。キャリッジ２には、インクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ３が搭載されている。また、キャリッジ２には、ヘッド１０が搭載されており、各インクカートリッジ３は、ヘッド１０に接続され、各インクが各ヘッド１０に供給されるように構成されている。
【００１９】
キャリッジ２は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向（図中のＹ方向。以下、主走査方向）に移動可能に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ２に伝達されることで、キャリッジ２はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓ（被噴射媒体）がプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００２０】
なお、特に図示しないが、インクジェット式記録装置１には、キャリッジ２の移動や被記録媒体Ｓの搬送を制御したり、ヘッド１０にインクを吐出させる駆動信号を送信する制御部が設けられている。
【００２１】
また、キャリッジ２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸５の一方の端部近傍には、ヘッド１０のノズルプレートを封止するキャップ部材９０が設けられている。キャップ部材９０の詳細は後述する。
【００２２】
図２は本実施形態に係るヘッドの分解斜視図であり、図３はヘッドの上面図、図４は図３のＡ−Ａ′線断面図であり、図５は図３のＢ−Ｂ′線断面図である。
【００２３】
図示するように、本実施形態に係るヘッド１０は、ヘッド本体５０と、ヘッド本体５０に取り付けられるノズルプレート６０及びカバーヘッド７０と、スペーサー８０とを備えている。また、ヘッド本体５０は、流路ユニット２０と、ケースヘッド４０と、アクチュエーターユニット３０とを備えている。
【００２４】
流路ユニット２０は、流路基板２９及び振動板２７を具備する。流路基板２９には、その一方面側の表層部分に、隔壁によって区画された圧力発生室２１が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２８が並設される方向（Ｘ方向）に沿って並設されている。また、流路基板２９には、圧力発生室２１がＸ方向に並設された列がＹ方向に並んで２列設けられている。
【００２５】
各圧力発生室２１の列の外側には、流路基板２９を厚さ方向に貫通したマニホールド２２が設けられている。マニホールド２２には、ケースヘッド４０のインク供給路４４を介してインクが供給される。
【００２６】
マニホールド２２と各圧力発生室２１とは、インク供給路２３を介して連通している。マニホールド２２のインクは、インク供給路２３を介して各圧力発生室２１に供給される。インク供給路２３は、圧力発生室２１よりも狭い幅（Ｘ方向の幅）で形成されており、マニホールド２２から圧力発生室２１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、流路基板２９には、厚さ方向に貫通したノズル連通孔２４が形成されており、ノズル連通孔２４はノズル開口２８に連通している。このように流路基板２９には、圧力発生室２１、マニホールド２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４から構成される液体流路が設けられている。例えば、流路基板２９は、シリコン単結晶基板からなり、圧力発生室２１等は、流路基板２９をエッチングすることによって形成されている。
【００２７】
流路基板２９の一方面側にはノズル開口２８が穿設されたノズルプレート６０が接合され、各ノズル開口２８は、流路基板２９に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室２１と連通している。
【００２８】
流路基板２９の他方面側、すなわち、圧力発生室２１の開口面側には振動板２７が接合されて、各圧力発生室２１はこの振動板２７によって封止されている。振動板２７は、弾性膜２５と、弾性膜２５を支持する支持板２６との複合板で形成され、弾性膜２５が流路基板２９に接合されている。例えば、弾性膜２５は樹脂フィルム等の弾性部材から形成され、支持板２６は金属材料等から形成されている。
【００２９】
振動板２７には、振動板２７の各圧力発生室２１に対向する位置に島部２７ａが設けられている。また、振動板２７には、各圧力発生室２１の周縁に対向する領域に薄肉部２７ｂが形成されている。薄肉部２７ｂは、島部２７ａよりも厚さが薄く形成されている。このような島部２７ａには、後述するアクチュエーターユニット３０の圧電アクチュエーター３１の先端部が、例えば、接着剤等を介して固定される。
【００３０】
また、振動板２７のマニホールド２２に対向する領域には、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２７ｃが設けられている。このコンプライアンス部２７ｃは、マニホールド２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２７ｃの弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２２内の圧力を一定に保持する役割を果たす。
【００３１】
なお、振動板２７は上述した態様に限定されない。例えば、１枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部等を設けることで、島部２７ａ及びコンプライアンス部２７ｃを形成した振動板を用いてもよい。
【００３２】
アクチュエーターユニット３０は、圧力発生手段の一例であり、複数の圧電アクチュエーター３１を有する圧電アクチュエーター形成部材３２と、固定基板３４とを備える。
【００３３】
圧電アクチュエーター形成部材３２は、特に図示しないが、圧電材料層と、２つの電極を構成する電極材料層、すなわち、隣接する圧電アクチュエーター３１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極と、隣接する圧電アクチュエーター３１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極とを交互に挟んで積層することにより形成されている。そして、圧電アクチュエーター形成部材３２にワイヤーソー等によって複数のスリットを形成することで、該スリットにより区分された複数の圧電アクチュエーター３１が形成されている。つまり、圧電アクチュエーター形成部材３２は、先端部側が櫛歯状に切り分けられて、基端部側が連続して一体的に形成されている。
【００３４】
また、各圧電アクチュエーター３１には、圧電アクチュエーター３１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路１０１が搭載されたＣＯＦ等の回路基板１００が接続されている。
【００３５】
そして、回路基板１００の各配線（図示なし）は、その先端部側で、半田や異方性導電材等によって圧電アクチュエーター３１の個別内部電極と共通内部電極とに接続されている。これにより、外部からの駆動信号は、回路基板１００を介して圧電アクチュエーター３１に選択的に印加される。
【００３６】
圧電アクチュエーター形成部材３２は、圧電アクチュエーター３１の先端側が自由端となり、基端側が固定端となるように固定基板３４に接合されている。
【００３７】
ケースヘッド４０は、流路ユニット２０及びアクチュエーターユニット３０を保持する保持部材の一例であり、例えば、樹脂材料から形成され、流路基板２９の振動板２７上に固定されたものである。
【００３８】
ケースヘッド４０には、厚さ方向に貫通する収容部４１が設けられ、収容部４１には、段差部４２が設けられている。収容部４１には、アクチュエーターユニット３０が収容され、収容部４１の段差部４２にアクチュエーターユニット３０の固定基板３４が固定されている。ケースヘッド４０の段差部４２に固定されたアクチュエーターユニット３０は、圧電アクチュエーター３１の先端部が振動板２７の島部２７ａに当接した状態で固定されている。本実施形態では、２つの収容部４１のそれぞれにアクチュエーターユニット３０が収容され、それぞれの段差部４２に固定されている。
【００３９】
ケースヘッド４０は、ノズルプレート６０が接合された流路ユニット２０を保持している。ケースヘッド４０の流路ユニット２０が接合された面を接合面４０ａとする。
【００４０】
また、ケースヘッド４０には、マニホールド２２にインクを供給する液体流路であるインク供給路４４が設けられている。特に図示しないが、インク供給路４４は、インクカートリッジに接続されている。さらに、ケースヘッド４０には、コンプライアンス部２７ｃに対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間４３が設けられている。このコンプライアンス空間４３によってコンプライアンス部２７ｃは変形可能に保持される。
【００４１】
ノズルプレート６０のノズル開口２８が開口する面側には、カバーヘッド７０が設けられている。カバーヘッド７０は、ノズルプレート６０のノズル開口２８が露出する開口部７１を画成する枠部７２を有する。枠部７２の開口部７１は、ノズルプレート６０の外周よりも大きく形成されている。
【００４２】
また、カバーヘッド７０は、枠部７２から屈曲するように延設された側壁部７３を有する。側壁部７３は、ケースヘッド４０の側面を覆うとともに、ケースヘッド４０に設けられたフランジ部４５まで延設されている。側壁部７３の一端はフランジ部４５にネジ４６で固定されている。
【００４３】
カバーヘッド７０は、その枠部７２がスペーサー８０を介してヘッド本体５０の一部であるケースヘッド４０に接合されている。
【００４４】
ここで、図６を用いて、スペーサーに関して詳細に説明する。図６は、ヘッド１０の要部を拡大した要部断面図である。
【００４５】
スペーサー８０は、ケースヘッド４０とカバーヘッド７０との間に介装された平板状の部材である。スペーサー８０には、ノズルプレート６０の外周よりも大きく形成された開口部８１を有している。
【００４６】
スペーサー８０の一方面は、ケースヘッド４０の接合面４０ａにおいてノズルプレート６０の外側の領域に接着剤８５で接着されている。また、スペーサー８０の他方面は、カバーヘッド７０の開口部７１の縁部に接着剤８５で接着されている。すなわち、カバーヘッド７０とスペーサー８０とは、それぞれの開口部７１及び開口部８１が重なるように接着され、これらの開口部７１及び開口部８１からノズルプレート６０（ノズル開口２８）が露出している。
【００４７】
スペーサー８０は、流路ユニット２０と同様にケースヘッド４０の接合面４０ａに接着されている。スペーサー８０の厚さは、流路ユニット２０及びノズルプレート６０の厚さよりも厚く形成されている。したがって、スペーサー８０に接合されるカバーヘッド７０の開口部７１は、ノズルプレート６０よりも被記録媒体Ｓ側（ヘッド本体５０とは反対側）に位置している。換言すれば、ノズルプレート６０は、スペーサー８０を介してケースヘッド４０に接合されたカバーヘッド７０の開口部７１よりもケースヘッド４０側に位置している。
【００４８】
ノズルプレート６０がカバーヘッド７０よりもケースヘッド４０側に位置していることで、ノズルプレート６０はカバーヘッド７０により保護されている。ここでいうカバーヘッド７０による保護とは、被記録媒体Ｓ（図１参照）が物理的にノズルプレート６０に接触することを防止することや、被記録媒体Ｓ側から静電気がノズルプレート６０に帯電することを防止することである。カバーヘッド７０により、被記録媒体Ｓがノズルプレート６０に物理的に接触することが防止されるので、ノズルプレート６０の損傷が防止される。また、カバーヘッド７０はノズルプレート６０よりも被記録媒体Ｓ側に位置しているので、被記録媒体Ｓ側からの静電気は、カバーヘッド７０側に帯電し、ノズルプレート６０には帯電しない。ノズルプレート６０の帯電が防止されるので、ノズルプレート６０からヘッド本体５０（アクチュエーターユニット３０や回路基板１００などの電装部品）に静電気が掛かることが防止され、これにより信頼性が向上したヘッド１０が提供される。なお、カバーヘッド７０を電気的に接地することでカバーヘッド７０に帯電した静電気は放電される。
【００４９】
さらに、スペーサー８０を用いたことで、ケースヘッド４０及びカバーヘッド７０を接着する接着剤８５の厚さは、ケースヘッド４０及びカバーヘッド７０を直接接着する場合よりも薄くなっている。このように、スペーサー８０により接着剤８５の厚さを薄くすることができるので、スペーサー８０の開口部８１の内側に露出する接着剤８５の面積を小さくすることができる。このように接着剤８５の面積を小さくすることができるので、インクが接着剤８５に付着することを抑制することができる。もしくは、接着剤８５にインクが付着しても、少量に抑えられる。このため、接着剤８５にインクが付着しても、接着剤８５にインクが浸透し、ケースヘッド４０の側面４０ｂ（ケースヘッド４０の接合面４０ａに連続する側面）に到達することを抑制することができる。これにより、ヘッド１０の電装部品などをインクから保護することができる。
【００５０】
仮に、スペーサー８０を用いずに単に接着剤８５を薄くしたヘッドにおいても、上述したインクの付着や浸透を抑制することは可能ではある。しかしながら、単に接着剤８５を薄くしたのでは、カバーヘッド７０をノズルプレート６０よりも被記録媒体Ｓ側に位置させることができない。すなわち、カバーヘッド７０によりノズルプレート６０を保護することができない。一方、接着剤８５を、カバーヘッド７０でノズルプレート６０を保護できる程度の厚さにした場合、スペーサー８０を用いた場合よりも接着剤８５の厚さが厚くなってしまい、インクの付着や浸透を抑制することができない。
【００５１】
しかしながら、本実施形態に係るヘッド１０では、スペーサー８０をカバーヘッド７０及びケースヘッド４０の間に配設して接着剤８５で接着することで、カバーヘッド７０によりノズルプレート６０を保護するとともに、接着剤８５にインクが付着、浸透することを抑制してヘッド１０を保護することができる。
【００５２】
また、ヘッド１０は、印刷を行わないときなどではホームポジションに配置され、キャップ部材９０によりカバーヘッド７０の開口部７１が封止される。
【００５３】
キャップ部材９０は、開口部９１を有する枠体９２と、開口部９１のヘッド１０側の開口を覆うように設けられた膜部９３と、膜部９３の周縁部に設けられた環状のシール部材９４とを有している。キャップ部材９０の開口部９１は、カバーヘッド７０の開口部７１よりも大きく形成されている。
【００５４】
装置本体４（図１参照）には、キャップ部材９０をヘッド１０側に移動させる機構（図示せず）が設けられており、キャップ部材９０は、シール部材９４が開口部７１の周囲に当接し、膜部９３が開口部７１を覆うように、ヘッド１０側に押圧されている。
【００５５】
このようなキャップ部材９０がカバーヘッド７０の開口部７１を覆うことで、ノズルプレート６０は、キャップ部材９０、接着剤８５、スペーサー８０などで形成された閉空間１１０内に収容される。
【００５６】
膜部９３は、ゴムなどの弾性材料、例えば、熱可塑性エラストマーなど、水分透過率が低い材料から形成されている。膜部９３は、水分透過率が低いため、膜部９３が直接外気に接しているにも拘わらず、長時間にわたって閉空間１１０内の水分を外部に逃がさずに保持可能なバリア性を備えている。
【００５７】
上述したように、閉空間１１０の一部を構成する接着剤８５は、スペーサー８０を用いたことで厚さが薄く形成されている。接着剤８５の厚さが薄い分、閉空間１１０内の水分は、接着剤８５を通過し難くなっている。したがって、閉空間１１０内の水分が接着剤８５を介して外部に逃げ難いため、閉空間１１０内が湿潤した状態が維持される。
【００５８】
閉空間１１０内が保湿された状態が維持されるので、ヘッド１０の圧力発生室２１等のインクがノズル開口２８から蒸発することを防止することができ、これにより、本実施形態に係るヘッド１０では、インクの増粘やノズルの目詰まりを防止することができる。
【００５９】
なお、スペーサー８０は、上述したような態様のものに限定されない。以下、スペーサー８０の変形例を示す。
【００６０】
図７に示すように、スペーサー８０Ａは、開口部８１を有する枠部８２と、枠部８２から連続した側壁部８３とを備えている。側壁部８３は、ケースヘッド４０の流路ユニット２０が接合された接合面４０ａに連続する側面４０ｂを覆うように形成されている。スペーサー８０Ａの側壁部８３は、ケースヘッド４０の側面４０ｂに接着剤８５で接着されている。このように接着剤８５は、ケースヘッド４０に対して、流路ユニット２０側の接合面４０ａのみならず、側面４０ｂにまで設けられている。
【００６１】
このように、スペーサー８０Ａとケースヘッド４０との間の接着剤８５は、ケースヘッド４０の側面４０ｂまで広く設けられているので、接着剤８５に付着したインクがケースヘッド４０の側面４０ｂまで浸透することをより確実に抑えることができる。また、閉空間１１０内の水分が接着剤８５を浸透して外部に逃げ出すことをより確実に抑えることができる。
【００６２】
また、スペーサーとしては、カバーヘッド７０やケースヘッド４０に一体的に形成されていてもよい。例えば、図８に示すように、ケースヘッド４０の一部を被記録媒体Ｓ側に突出させた部分をスペーサー８０Ｂとしてもよい。
【００６３】
さらに、図９に示すように、カバーヘッド７０の一部を被記録媒体Ｓ側に突出させた部分をスペーサー８０Ｃとしてもよい。
【００６４】
図８及び図９の例のように、カバーヘッド７０やケースヘッド４０の一部をスペーサーとする場合、カバーヘッド７０の開口部７１がノズルプレート６０よりも被記録媒体Ｓ側になるようにスペーサー８０Ｂ及びスペーサー８０Ｃを形成する。このようなスペーサー８０Ｂ及びスペーサー８０Ｃによっても、カバーヘッド７０でノズルプレート６０を保護するとともに、接着剤８５にインクが付着、浸透することを抑制してヘッド１０を保護することができる。さらに、薄く形成された接着剤８５に水分が透過しにくいので、キャップ部材９０により形成した閉空間１１０内が湿潤した状態を維持することができる。
【００６５】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６６】
スペーサー８０を設けて、カバーヘッド７０がノズルプレート６０よりも被記録媒体Ｓ側に位置するようにしたが、このような態様に限定されない。すなわち、カバーヘッド７０がノズルプレート６０よりもケースヘッド４０側に位置していてもよい。この場合、ノズルプレート６０がカバーヘッド７０により保護されないが、接着剤８５の厚さは、スペーサー８０を用いない場合よりも薄くすることができる。この場合においても、実施形態１と同様に、接着剤８５にインクが付着したり浸透することを防止することができ、また、閉空間１１０内の水分が接着剤８５を透過することを防止することができる。
【００６７】
また、スペーサー８０は、ケースヘッド４０に接着されていたが、必ずしもこのような態様に限定されず、例えば、流路ユニット２０に接着されていてもよい。すなわち、スペーサー８０は、ヘッド本体５０を構成する部材の何れかに接着されていればよい。
【００６８】
さらに、スペーサー８０は、開口部８１を有する環状のものとしたが、このような態様に限定されない。例えば、開口部を有さない複数のスペーサーを、ケースヘッド４０の接合面４０ａにおいて、ノズルプレートの周縁に適宜間隔を空けて配置してもよい。すなわち、ケースヘッド４０とカバーヘッド７０とを、部分的に配置したスペーサーを介して接着剤で接着してもよい。スペーサー同士の間においては、ケースヘッド４０とカバーヘッド７０とが接着剤で直接接着されることになるが、スペーサーを介して接着されている部分においては、接着剤を薄くすることができる。
【００６９】
上述した実施形態１では、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料層と個別内部電極及び共通内部電極と交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター３１を有するアクチュエーターユニット３０（アクチュエーター装置）を例示した。しかし、このようなアクチュエーター装置に限定されず、圧電材料層と個別内部電極及び共通内部電極とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部に当接させる横振動型のアクチュエーター装置を用いるようにしてもよい。他にも、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を有するアクチュエーター装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子を有するアクチュエーター装置などを使用することができる。また、アクチュエーター装置として、圧力発生室２１内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーター装置などを使用することができる。
【００７０】
さらに、インクジェット式記録装置１は、ヘッド１０がキャリッジ２に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されない。例えば、ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００７１】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００７２】
１  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  流路ユニット、  ２１  圧力発生室、  ２８  ノズル開口、  ３０  アクチュエーターユニット、  ４０  ケースヘッド、  ５０  ヘッド本体、  ６０  ノズルプレート、  ７０  カバーヘッド、  ８０、８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃ  スペーサー、  ８５  接着剤、  ９０  キャップ部材、  １１０  閉空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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