(57)【要約】【課題】パッケージ基板と、第１の半導体パッケージと、半導体ベアチップとからなる半導体モジュールにおいて、第１の半導体パッケージの反りに起因するワイヤショートの発生や、樹脂封止時の未充填等の問題を解決すること。【解決手段】第１のパッケージ基板に半導体ベアチップを搭載して樹脂封止してなる半導体パッケージ６と、半導体ベアチップ２と、第２パッケージ基板１２とを有する半導体モジュール１０であって、前記第２パッケージ基板１２に前記半導体パッケージ６が搭載されており、前記半導体パッケージ６上に前記半導体ベアチップ２が搭載されていることを特徴とする半導体モジュール。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１パッケージ基板に半導体ベアチップを搭載して樹脂封止してなる半導体パッケージと、半導体ベアチップと、第２パッケージ基板とを有する半導体モジュールであって、前記第２パッケージ基板に前記半導体パッケージが搭載されており、前記半導体パッケージ上に前記半導体ベアチップが搭載されていることを特徴とする半導体モジュール。
【請求項２】
前記半導体パッケージは、樹脂面とは反対の側の面で電極パッドを介してはんだにより第２パッケージ基板と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
【請求項３】
前記半導体パッケージは、樹脂面で第２パッケージ基板と接合されており、ワイヤボンディングにより第２パッケージ基板と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体モジュール。
【請求項４】
前記半導体パッケージ上に搭載された半導体ベアチップは第２パッケージ基板とワイヤボンディングにより電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の半導体モジュール。
【請求項５】
前記半導体パッケージ上には前記半導体ベアチップが２個以上積層して搭載されており、前記半導体ベアチップ間の電気的接続はＣＯＣ構造をとっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の半導体モジュール。
【請求項６】
前記半導体パッケージ上には前記半導体ベアチップが２個以上積層して搭載されており、前記半導体ベアチップ間はワイヤボンディングにより電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の半導体モジュール。
【請求項７】
前記半導体ベアチップがスペーサーを介して前記半導体パッケージ上に搭載されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の半導体モジュール。
【請求項８】
前記半導体ベアチップの上に放熱板が搭載されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の半導体モジュール。
【請求項９】
前記半導体パッケージは、第１パッケージ基板上に複数個の半導体ベアチップを搭載していることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ベアチップと半導体パッケージとを積層した半導体モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器の高機能化および軽薄短小化の要求に伴い、電子部品の高密度集積化、さらには高密度実装化が進んできており、これらの電子機器に使用される半導体装置は従来にも増して小型化が進んできている。
【０００３】
半導体装置を小型化する方法としては、一つの半導体ベアチップを微細加工して必要とされる機能の全てを一つのチップに集積することにより、実装面積の縮小化、消費電力の低減化を図るＳＯＣ（ＳＯＣ：Ｓｙｓｔｅｍ−ｏｎ−ａ−ｃｈｉｐ）技術がある。しかしながら、この方法は回路の微細化に伴う製造コストの上昇と、拡散プロセスが非常に複雑化するため、製造工期が長期化し、また、製造歩留りを高くすることができない。
これに代わる方法としてＳＩＰ（Ｓｙｓｔｅｍ  Ｉｎ  Ｐａｃｋａｇｅ）技術が注目されている。ＳＩＰによれば、機能の異なる複数の半導体ベアチップをそれぞれに最適化された製造条件で製造し、これをパッケージ化して、パッケージ上で適切に配線することにより、より高度な機能を有する集積回路を安定的に生産することができる。
【０００４】
ところで、上記のように複数の半導体ベアチップを１つのパッケージに納めたＳＩＰにおいては、歩留りの観点からは、各半導体ベアチップが予め検査をすませて良品であることが確認された半導体ベアチップ（ＫＧＤ：Ｋｎｏｗｎ  Ｇｏｏｄ  Ｄｉｅ）であることが要求される。
ＫＧＤを得るには、半導体ウェハの状態又は、半導体ウェハをダイシングにより半導体ベアチップを個片に分離した状態で、これらの半導体ベアチップの表面に設けられている電極にプローブを当ててプローブ検査し、この検査結果に基づいて半導体ベアチップを選別し、選別された良品の半導体ベアチップのみについてバーンイン検査等のスクリーニング検査を行う。
【０００５】
しかしながら、半導体ベアチップに対して直接プローブ検査を行うと、半導体ベアチップ個片又は半導体ウェハが割れたり、検査に使用されるソケットやプローブ、テスター等も簡便に操作できるものではないという問題がある。
【０００６】
そこで、前記課題を解決するために、半導体ベアチップを樹脂封止してなる樹脂封止パッケージの表面に、半導体ベアチップの電極に接続される電極と試験用機器と接続する試験用電極とを設けた半導体装置が提案されている（特許文献１特開２００２−４００９５号公報）。この半導体装置は実装基板に実装される以前にパッケージ化されているので、チップ割れ等の問題が生じることなく、安価な検査ソケットを使用して検査することができるという利点がある。
【０００７】
そして、上記のパッケージ化された半導体装置を用いてＳＩＰ化した半導体モジュールも提案されている（特許文献２）。
この半導体モジュールを図１２に示す。
図１２（ａ）は、インターポーザー４に対して半導体ベアチップ１ａをマウントし、その上に、スペーサー１５を積層し、さらにその上に半導体ベアチップ１ｂを積層して、ワイヤボンディングによってワイヤ９を配線した後、樹脂５で樹脂封止することによって得られた第１の半導体パッケージ６を示す。
【０００８】
図１２（ｂ）は、パッケージ基板１２に、半導体ベアチップ２、スペーサー１５及び前記第１の半導体パッケージ６をこの順に積層したものを樹脂封止してＳＩＰ化した半導体モジュール１０を示す。
なお、図示例では第１の半導体パッケージ６が半導体ベアチップ２とほぼ同じ大きさであるため、半導体ベアチップ２の電極パッドがかくれないようにスペーサー１５を第１の半導体パッケージ６と半導体ベアチップ２との間に挿入している。
【０００９】
また、特許文献３には、パッケージ基板に半導体ベアチップを搭載して樹脂封止して第１の半導体パッケージとした後、さらに第２の半導体パッケージを搭載して半導体モジュールを形成することが記載されている。
しかしながら、このような半導体モジュールは複雑な工程を経ることによるコスト上昇と歩留まりの低下を招くとともに、パッケージ厚さの薄型化には適していなかった。又、上記の第１の半導体パッケージ上に積層されたテスト済の半導体パッケージで構成する半導体モジュールでは、テストされた第一の半導体パッケージが組立熱履歴での反り変動により、下段のパッケージのワイヤと接触し、ワイヤショートの発生や、テストされたパッケージよりも、下段パッケージが小さい事でオーバーハングが発生し、樹脂封止時の未充填等が発生するという技術的課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−４００９５号公報
【特許文献２】特許第４３０３７７２号公報
【特許文献３】米国特許第７０５７２６９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、パッケージ基板と、第１の半導体パッケージ、半導体ベアチップとからなる半導体モジュールにおいて、第１の半導体パッケージの反りに起因するワイヤショートの発生や、樹脂封止時の未充填等の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、パッケージ基板と、第１の半導体パッケージと、半導体ベアチップとからなる半導体モジュールにおいて、パッケージ基板上に半導体ベアチップを搭載して樹脂封止してなる第１の半導体パッケージを搭載し、この第１の半導体パッケージ上に半導体ベアチップを搭載して、第１の半導体パッケージと前記半導体ベアチップとを樹脂封止することにより、前記の問題を解決することができることを見出して、本発明を完成した。
すなわち、本発明は以下に記載する通りのものである。
【００１３】
（１）第１パッケージ基板に半導体ベアチップを搭載して樹脂封止してなる半導体パッケージと、半導体ベアチップと、第２パッケージ基板とを有する半導体モジュールであって、前記第２パッケージ基板に前記半導体パッケージが搭載されており、前記半導体パッケージ上に前記半導体ベアチップが搭載されていることを特徴とする半導体モジュール。
（２）前記半導体パッケージは、樹脂面とは反対の側の面で電極パッドを介してはんだにより第２パッケージ基板と電気的に接続されていることを特徴とする（１）に記載の半導体モジュール。
（３）前記半導体パッケージは、樹脂面で第２パッケージ基板と接合されており、ワイヤボンディングにより第２パッケージ基板と電気的に接続されていることを特徴とする（１）に記載の半導体モジュール。
（４）前記半導体パッケージ上に搭載された半導体ベアチップは第２パッケージ基板とワイヤボンディングにより電気的に接続されていることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の半導体モジュール。
（５）前記半導体パッケージ上には前記半導体ベアチップが２個以上積層して搭載されており、前記半導体ベアチップ間の電気的接続はＣＯＣ構造をとっていることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の半導体モジュール。
（６）前記半導体パッケージ上には前記半導体ベアチップが２個以上積層して搭載されており、前記半導体ベアチップ間はワイヤボンディングにより電気的に接続されていることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の半導体モジュール。
（７）前記半導体ベアチップがスペーサーを介して前記半導体パッケージ上に搭載されていることを特徴とする（１）〜（６）のいずれかに記載の半導体モジュール。
（８）前記半導体ベアチップの上に放熱板が搭載されていることを特徴とする（１）〜（７）のいずれかに記載の半導体モジュール。
（９）前記半導体パッケージは、第１パッケージ基板上に複数個の半導体ベアチップを搭載していることを特徴とする（１）〜（８）のいずれかに記載の半導体モジュール。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、第１の半導体パッケージをパッケージ基板に搭載するため、以降の組立工程での熱履歴による第１の半導体パッケージ基板の反り変動を抑制することが可能となる。
このため、第１の半導体パッケージの反りに起因するワイヤショートの発生や、樹脂封止時の未充填等の問題を解決するが可能となる。また、第１の半導体パッケージの反り変動を無視したパッケージ断面寸法とすることが可能となり、パッケージの薄厚化も実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図２】本発明に係る半導体モジュールを構成する部材である第１の半導体パッケージの断面構造を示す図である。
【図３】本発明における第１の半導体パッケージの第１パッケージ基板の外観を模式的に示した図である。
【図４】本発明の実施形態２の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図５】本発明の実施形態３の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図６】本発明の実施形態４の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図７】本発明の実施形態５の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図８】本発明の実施形態６の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図９】本発明の実施形態７の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態８の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態９の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【図１２】従来の半導体モジュールの断面構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。なお、以下の記載では実施形態を図面に基づいて説明するが、それらの図面は図解のために供されるものであり、本発明はそれらの図面に限定されるものではない。
【００１７】
本発明に係る半導体モジュールは、パッケージ基板と、このパッケージ基板に搭載された第１の半導体パッケージと、この第１の半導体パッケージに積層された半導体ベアチップとを樹脂封止してパッケージ化したものである。
本発明の半導体モジュールの基本的構成を図１、２に基づいて以下説明する。
以下では、第１の半導体パッケージのパッケージ基板を第１パッケージ基板といい、この第１の半導体パッケージを搭載するパッケージ基板を第２パッケージ基板ということがある。また、第１の半導体パッケージを備えた本発明の半導体モジュールを第２の半導体パッケージという事がある。
【００１８】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１の半導体モジュール１０を示す図である。
本発明に係る半導体モジュール１０は、パッケージ基板（以下、第２パッケージ基板ともいう）１２と、このパッケージ基板１２に搭載された第１の半導体パッケージ６と、この第１の半導体パッケージ６に積層された半導体ベアチップ２とを樹脂５によって樹脂封止したものである。
第１の半導体パッケージ６の詳細を図２に基づいて説明する。
第１の半導体パッケージ６は第１パッケージ基板４上に半導体ベアチップ１を搭載し、ワイヤボンディングによってワイヤ９ｃで半導体ベアチップ１と第１パッケージ基板４とを電気的に接続した後、樹脂５ａで樹脂封止したものである。
半導体ベアチップ１はウエハレベルでテストして良品とされたものを用いる。また、第１の半導体パッケージ６はパッケージの状態でテストされ良品とされたものを用いる。尚、必ずしもテストしている事を限定するものではない。
図３は第１パッケージ基板４の外観を示す図である。第１パッケージ基板４は実装用電極７と試験用電極８とを備えている。
【００１９】
本実施形態では、図１に示すように、まず、第２パッケージ基板１２上に第１の半導体パッケージ６を搭載する。この搭載は、第１の半導体パッケージ６の第１パッケージ基板４の電極パッド７、８をパッケージ基板１２の電極にはんだで接合することによって行われる。次いで、この第１の半導体パッケージ６の樹脂面上に半導体ベアチップ２を接着剤１４によって接合することによって搭載し、ワイヤ９によって半導体ベアチップ２と第２パッケージ基板１２とを電気的に接続した後、第１の半導体パッケージ６及び半導体ベアチップ２を樹脂５によって封止することによって第２の半導体パッケージ（半導体モジュール）を得る。
【００２０】
図１２（ｂ）に示される従来例では、半導体ベアチップ２と第１の半導体パッケージ６との隙間にワイヤが配置されているため、第１の半導体パッケージ６の反りによってワイヤが変形してワイヤショートを起こしたり、前記隙間が狭まって樹脂が隙間に充分に回り込まないという問題があったが、本実施形態では、第１の半導体パッケージ６がパッケージ基板１２に電極７、８を介してはんだで接合されているため、第１の半導体パッケージ６の反りを矯正し、また、反りの発生を防止することができる。
また、半導体ベアチップ２が最上段にあるため、ワイヤボンディング作業は容易であり、ワイヤショートや樹脂未充填部分が形成されるという問題もない。
また、従来例では、第１パッケージ基板４の試験用電極８は、試験用のためのみに使用されていたが、本実施形態におけるように、第１パッケージ基板と第２パッケージ基板とを電極間ではんだ接合する場合には、第２パッケージ基板の配線を適宜に設計することにより試験用電極８を実装用電極として利用することができるという利点もある。
【００２１】
（実施形態２）
図４は本発明の実施形態２の半導体モジュール２０を示す図である。
本実施形態においては実施形態１と同様に、第１パッケージ基板４の電極パッド７、８をパッケージ基板１２の電極にはんだで接合することによってパッケージ基板１２に第１の半導体パッケージ６を搭載する。第１の半導体パッケージ６の樹脂面上に第１の半導体ベアチップ２が搭載され、更にこの第１の半導体ベアチップ２の上に第２の半導体ベアチップ３が搭載される。第１の半導体ベアチップ２と第２の半導体ベアチップ３とははんだなどの金属接合によって直接接続される、いわゆる微細ピッチ接続によるＣＯＣ（Chip On Chip）接続構造となっている。
【００２２】
（実施形態３）
図５は本発明の実施形態３の半導体モジュール３０を示す図である。
本実施形態においては、実施形態１と同様に、第１の半導体パッケージ６の第１パッケージ基板４の電極パッド７、８を第２パッケージ基板１２の電極にはんだで接合することによって第２パッケージ基板１２に第１の半導体パッケージ６が搭載される。また、第１の半導体パッケージ６の樹脂面上に接着剤によって第１の半導体ベアチップ２が搭載され、更にこの上に接着剤によって第２の半導体ベアチップ３が搭載される。第１の半導体ベアチップ２と第２の半導体ベアチップ３とは、ワイヤ９ａによって電気的に接続されており、第１の半導体ベアチップ２と第２パッケージ基板１２とはワイヤ９によって電気的に接続されている。尚、第２の半導体ベアチップ３が第２パッケージ基板１２と直接ワイヤ９ａによって電気的に接続されることもある。
【００２３】
図６は本発明の実施形態４の半導体モジュール４０を示す図である。
本実施形態では、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側が第２パッケージ基板側となるようにして、第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とが接着剤によって接合されている。このように、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側が第２パッケージ基板側となるにようにして第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とを接合することによっても第１の半導体パッケージ６の反りを矯正し、また、反りの発生を防止することができる。
この第１の半導体パッケージ６の樹脂面とは反対側の面の上に半導体ベアチップ２が接着剤１４によって接合され搭載されている。この第１の半導体パッケージはワイヤ９ｂによって第２パッケージ基板１２に電気的に接続され、半導体ベアチップ２は９によって第２パッケージ基板１２に電気的に接続されている。
【００２４】
図７は本発明の実施形態５の半導体モジュール５０を示す図である。
本実施形態では、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側が第２パッケージ基板側となるにようにして、第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とが接着剤によって接合されている。第１の半導体パッケージ６の樹脂面とは反対側の面上に第１の半導体ベアチップ２が搭載されている。更に、この第１の半導体ベアチップ２上には、第２の半導体ベアチップ３が搭載されている。第１の半導体ベアチップ２と第２の半導体ベアチップ３とは、はんだ１１などの金属接合により電気的に直接接続されている。
また、第１の半導体パッケージ６はワイヤ９ｂによって第２パッケージ基板１２に電気的に接続され、第１の半導体ベアチップ２はワイヤ９によって第２パッケージ基板１２に電気的に接続されている。
【００２５】
図８は本発明の実施形態６の半導体モジュール６０を示す図である。
本実施形態では、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側が第２パッケージ基板側となるにようにして、第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とが接着剤によって接合されている。第１の半導体パッケージの樹脂面とは反対側の面上に第１の半導体ベアチップ２が接着剤によって接合されて搭載されており、この第１の半導体ベアチップ２上には第２の半導体ベアチップ３が接着剤によって接合されて搭載されている。第１の半導体ベアチップ２と第２の半導体ベアチップ３とは、ワイヤ９ａによって電気的に接続されており、第１の半導体ベアチップ２と第２パッケージ基板１２とはワイヤ９によって電気的に接続されており、第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とはワイヤ９ｂによって電気的に接続されている。尚、第２の半導体ベアチップ３が第２パッケージ基板１２と直接ワイヤ９ａによって電気的に接続されることもある。
【００２６】
図９は本発明の実施形態７の半導体モジュール７０を示す図である。
本実施形態では、第１の半導体パッケージ６の上にスペーサー１５を搭載し、その上に半導体ベアチップ２を搭載している。なお、図９では第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２との電気的接続構造及び半導体ベアチップ２と第２パッケージ基板１２との電気的接続構造は図示していない。第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とは、第１の半導体パッケージ６の電極側で接合しても良いし、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側で接合しても良い。
スペーサー１５を設けることにより、半導体ベアチップ２と第１の半導体パッケージ６との大きさに差異がない場合でも第１の半導体パッケージ６とパッケージ基板１２とのワイヤボンディングが可能となる。
【００２７】
図１０は本発明の実施形態８の半導体モジュール８０を示す図である。
本実施形態では、第１の半導体パッケージ６の上に半導体ベアチップ２が搭載されており、この半導体ベアチップ２の上にシリコン板又はＣｕ板等の放熱板１６を搭載している。
図示例では放熱板１６を半導体ベアチップの上に搭載しているが、放熱板１６を設ける位置は半導体ベアチップ２の上に限定されるものではない。
なお、図１０では第１の半導体パッケージ６とパッケージ基板１２との電気的接続構造及び半導体ベアチップ２とパッケージ基板１２との電気的接続構造は図示していない。
第１の半導体パッケージ６と第２パッケージ基板１２とは、第１の半導体パッケージ６の電極側で接合しても良いし、第１の半導体パッケージ６の樹脂面側で接合しても良い。
このような放熱板１６を設けることにより半導体モジュールの放熱特性を高めることができる。
【００２８】
図１１は本発明の実施形態９の半導体モジュール９０を示す図である。
本実施態様では第２パッケージ基板１２の中に半導体ベアチップ２が実装され、この第２パッケージ基板１２に第１の半導体パッケージ６を接合したのち樹脂５で封止して半導体モジュール９０としている。
この実施態様によれば、半導体ベアチップ２の厚さを第２パッケージ基板１２の中で吸収出来るため、半導体モジュール９０を薄厚化する事が可能となる。
【符号の説明】
【００２９】
１，１ａ，１ｂ  半導体ベアチップ
２  第１の半導体ベアチップ
３  第２の半導体ベアチップ
４  第１パッケージ基板
５，５ａ  樹脂
６  第１の半導体パッケージ
７  電極パッド（実装用電極）
８  電極パッド（試験用電極）
９，９ａ，９ｂ，９ｃ  ワイヤ
１１  はんだ
１２  第２パッケージ基板
１３  はんだボール
１４  接着剤
１５  スペーサー
１６  放熱板
１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０  半導体モジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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