(57)【要約】【課題】簡単な構成で、たとえ小型の電子部品であっても、その電子部品に接触面を均一に接触させて検査等に用いることのできるプローブを提供する。【解決手段】支持部材２（２ａ，２ｂ）と、支持部材２が上下方向に真っ直ぐに移動するように支持部材２をガイドするガイド部材とを設ける。支持部材２には底面６が平面の接触子４を、軸部５を介して揺動自在に軸支し、接触子４の底面６を支持部材２よりも下側に突出形成する。支持部材２ｂに、接触子４の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において接触子４を支持する支持部７を形成し、支持部７には接触子４が軸部５を中心に回動する方向に接触子４との間の遊び間隙８を形成し、遊び間隙８を介して接触子４を支持部材２ｂに支持する。支持部材２をバネ部材９の下側への付勢力により下げたときに接触子４が遊び間隙８を利用して軸部５を介して微小回動可能し、底面６が接触相手側に面接触する。【選択図】図１
2013156142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材と、該支持部材が上下方向に真っ直ぐに移動するように該支持部材をガイドするガイド部材とを有し、前記支持部材には底面が平面の接触子が軸部を介して揺動自在に軸支されて該接触子の底面が前記支持部材よりも下側に突出形成され、前記支持部材には前記接触子の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において前記接触子を支持する支持部が形成されて、該支持部には前記接触子が軸部を中心に回動する方向に該接触子との間の遊び間隙が形成され、該遊び間隙を介して前記接触子が前記支持部材に支持されており、該支持部材を下側に付勢する付勢手段を有し、前記接触子が前記遊び間隙を利用して前記軸部を介して微小回動可能と成していることを特徴とするプローブ。
【請求項２】
ガイド部材はガイドブロックにより形成されて該ガイドブロックには支持部材の上下方向の移動をガイドするスライドガイドが設けられており、支持部材には正極となる接触子と負極となる接触子とが対を成して互いに間隔を介し前記支持部材を挟んで対向配設されていることを特徴とする請求項１記載のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品の検査時に電子部品に電流を流すため等に用いられるプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品を回路基板上に高密度に配設することが行われるようになり、用いる電子部品の小型化が進んでいる。電子部品に電流を流して検査する際には、例えば先端部の接触部を電子部品の電極に接触させて電流を流すためのプローブが用いられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、プローブにより電子部品に電流を流す際には、プローブの電子部品への接触部と電子部品の電極とが均一に面接触することが重要となり、特に数Ａといった大きな電流を流す際には、プローブの電子部品への接触部が点接触になったり、片当たりしてしまったりしないような均一の面接触が重要である。
【０００４】
しかしながら、前記のような電子部品の小型化に伴って開発されている小型の電子部品に、接触面積の大きなプローブの接触部を均一に面接触させて良好な検査を行える簡単な構成のプローブは開発されていなかった。つまり、プローブにおいて、例えば針状のものを集合させたものや丸みを持たせた形状のもの等はあるが、これらは電子部品に面接触して安定した電流を得ることが難しく、接触面積の大きなプローブを均一に面接触させられるものではなかった。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するために成されたものであり、その目的は、たとえ小型の電子部品であっても、その電子部品に接触面を均一に接触させて検査等に用いることのできる簡単な構成のプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第１の発明は、支持部材と、該支持部材が上下方向に真っ直ぐに移動するように該支持部材をガイドするガイド部材とを有し、前記支持部材には底面が平面の接触子が軸部を介して揺動自在に軸支されて該接触子の底面が前記支持部材よりも下側に突出形成され、前記支持部材には前記接触子の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において前記接触子を支持する支持部が形成されて、該支持部には前記接触子が軸部を中心に回動する方向に該接触子との間の遊び間隙が形成され、該遊び間隙を介して前記接触子が前記支持部材に支持されており、該支持部材を下側に付勢する付勢手段を有し、前記接触子が前記遊び間隙を利用して前記軸部を介して微小回動可能と成している構成をもって課題を解決する手段としている。
【０００７】
また、第２の発明は、前記第１の発明の構成に加え、前記ガイド部材はガイドブロックにより形成されて該ガイドブロックには支持部材の上下方向の移動をガイドするスライドガイドが設けられており、支持部材には正極となる接触子と負極となる接触子とが対を成して互いに間隔を介し前記支持部材を挟んで対向配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のプローブは、支持部材と、その支持部材が上下方向に真っ直ぐに移動するようにガイドするガイド部材と、支持部材を下側に付勢する付勢手段と、支持部材に軸部を介して揺動自在に軸支した接触子を設けて、接触子の底面を平面として前記支持部材よりも下側に突出形成させた簡単な構成である。そして、支持部材には、接触子の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において接触子を支持する支持部を形成し、該支持部に、前記接触子が軸部を中心に回動する方向に該接触子との間の遊び間隙を形成することによって、接触子が前記遊び間隙を利用して前記軸部を介して微小回動可能と成しているので、付勢手段の付勢力により接触子を接触相手側に接触させたときに、接触子が微小回動してその底面を接触相手側に均一に接触させることができる。
【０００９】
このように、本発明は、接触子の微小回動によって、その底面を接触相手側に均一に接触させることができるので、接触相手側を傷つけることなどなく、例えば正極となる接触子と負極となる接触子とで対を成して支持部材を挟むようにして対向配設することにより、正極となる接触子と負極となる接触子とに例えば大電流を流して検査等の適宜の作業を良好に行えるようにすることができる。また、ガイド部材をガイドブロックにより形成し、そのガイドブロックに支持部材の上下方向の移動をガイドするスライドガイドを設けることにより、プローブの取り扱い性を良好にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係るプローブの一実施例の要部構成を示す斜視図である。
【図２】実施例のプローブの全体構成を示す模式的な斜視図である。
【図３】実施例のプローブにおける接触子の支持部材への支持構成を説明するための模式図である。
【図４】実施例のプローブの接触子の、接続相手側への接触動作例を説明するための模式的な断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【実施例】
【００１２】
図１には、本発明に係るプローブの一実施例の要部構成が模式的に示されており、図２には、そのプローブの全体構成が接続相手側の部材と共に模式的に示されている。この例では、図２に示すように、プローブ１の接触相手側の部材は、表面側に電極が形成されたチップ部材１１であり、例えば平面形状が矩形状で大きさが４ｍｍ×６ｍｍ程度であり、プローブ１が接触する電極面は平坦面である。プローブ１は、支持部材２（２ａ，２ｂ）とガイド部材３（図１には図示せず）とを有しており、ガイド部材３は、支持部材２が上下方向に真っ直ぐに移動するように支持部材２をガイドする機能を有するガイドブロック１３により形成されている。ガイドブロック１３には支持部材２の上下方向の移動をガイドするスライドガイド１６が設けられており、このスライドガイド１６に沿って支持部材２が移動することにより上下方向に真っ直ぐに移動する構成と成している。
【００１３】
支持部材２には、接触子４（４ａ，４ｂ）が軸部５を介して揺動自在に軸支されており、図３に示すように、軸部５が接触子４に形成された孔部１２に嵌合し、止め具１５により接触子４が抜け止め状態と成している。接触子４の底面６は平面（平坦面）に形成されて、支持部材２よりも下側に突出形成されている。なお、支持部材２（２ａ，２ｂ）は絶縁体により形成されており、上下方向に伸設された平板状の支持部材２ａと、支持部材２ａを挟む態様で支持部材２ａに固定された２つのＬ字型板状の支持部材２ｂとを有している。支持部材２には、正極となる接触子４（４ａ）と負極となる接触子４（４ｂ）とが対を成して互いに間隔を介し、支持部材２を挟んで対向配設されている。なお、図１の符号１４は、接触子４に電流を流すコードを示している。
【００１４】
また、支持部材２ｂには接触子４の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において接触子４を支持する支持部７が形成されている。支持部７には接触子４が軸部５を中心に回動する方向に接触子４との間の遊び間隙８が形成されており、その遊び間隙８を介して接触子４が支持部材２ｂに支持されている。なお、図３には、支持部材２ｂへの接触子４（４ａ）の支持構成が分解状態で示されており、図１、図２に示されている対の接触子４（４ａ，４ｂ）のうち、図の左側の接触子４ｂの支持構成も図の右側の接触子４ａの支持構成と同様である。また、図１、図２に示すように、支持部材２ｂには、支持部材２を下側に付勢する付勢手段としてのコイル状のバネ部材９の一端側が固定されており、バネ部材９の他端側は棒状の固定部１０に固定されている。
【００１５】
本実施例のプローブ１は、前記のように、接触子４が遊び間隙８を利用して軸部５を介して微小回動可能と成していることを特徴とする。つまり、図４には、その動作が模式図により示されているが、例えば図４（ａ）に示すように、支持部材２をバネ部材９の付勢力に抗して上側に上げた状態で、接触相手側のチップ部材１１を接触子４の底面６の下側に配置し、その状態でバネ部材９の付勢力に抗する力を除くと、バネ部材９の下側への付勢力によって支持部材２が支持部材２（２ａ，２ｂ）と共に接触子４が下側に移動するときに、例えば接触子４が支持部材２ｂに対して斜めの状態となったとしても、図の矢印Ａに示すように、接触子４が遊び間隙８を利用して軸部５を介して微小回動し、図４（ｂ）に示すように、底面６がチップ部材１１の表面に沿った状態で接触する。なお、図４は、説明を分かりやすくするために接触子４の回動を誇張して示しているが、実際の接触子４の回動は、図１に示す遊び間隙８を利用しての微小回動であり、図４に示すように大きくはない。
【００１６】
以上のように、本実施例では、バネ部材９の付勢力によって支持部材２の下側への移動と共に、接触子４が下側へ移動する時の軸部５を介して微小回動することにより、接触子４がチップ１１の平坦面の電極に一律に（均一に）接触し、接触子４がチップ１１の電極に点接触したり、片当たりして電極を削ったりするようなことを防ぐことができ、接触子４の底面６の全面を均一に面接触させることができるので、例えば接触子４にコード１４を接続してプローブから大電流を流すことができるようになり、検査等の適宜の作業を良好に行えるようにすることができる。また、チップ部材１１等のサンプルの検査時には、支持部材２をバネ部材９の付勢力に抗して上側に少し上げて配置し、上側への力を除くだけで、容易に接触子４が前記の如く例えばチップ１１の電極に一律に接触するので、非常に簡単に検査等の作業を効率的に行えるようにすることができる。
【００１７】
なお、本発明は前記実施例に限定されることなく、様々な実施の形態を採り得る。例えば、支持部材２を上側に付勢する付勢手段はコイル状のバネ部材９としたが、付勢手段は板バネにより形成してもよいし、バネ部材以外の付勢手段を適用してもよい。また、支持部材２、接触子４、バネ部材９の形状等は特に限定されるものではなく適宜設定されるものであり、接触子４の底面６を接触相手側に対応させて平面状に形成し、前記実施例のように、接触子４の軸支部よりも上方側に間隔を介した位置において、接触子４を遊び間隙８を介して接触子４が支持部材２ｂに支持にすることにより、前記実施例と同様の効果を奏することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明のプローブは、簡単な構成で、接触子の底面を接触相手側に均一に接触させることができるので、例えばサンプルに大電流を流して検査する際に用いるプローブとして利用できる。
【符号の説明】
【００１９】
１                プローブ
２，２ａ，２ｂ    支持部材
３                ガイド部材
４，４ａ，４ｂ    接触子
５                軸部
６                底面
７                支持部
８                遊び間隙
９                バネ部材
１０              固定部
１３              ガイド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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