(57)【要約】【課題】塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置を提供する。【解決手段】物品支持台４の清掃対象箇所を覆うカバー体２２と、カバー体２２に囲まれた領域内において清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段Ｆと、送風手段Ｆの送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段２４とを備えて構成する。【選択図】図５
2013216446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置であって、
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体にて前記清掃対象箇所を覆った状態で前記カバー体に囲まれた領域内において前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段と、前記送風手段の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段とを備えて構成されている清掃装置。
【請求項２】
前記塵埃回収手段が、前記送風手段の上方に形成される集塵用空間に備えられ、
前記送風手段が、前記集塵用空間の空気を吸引して前記塵埃回収手段を通過させて前記送風手段より下方に位置する前記清掃対象箇所に向けて空気を送風するように構成され、
前記清掃対象箇所に向けて送風された空気を前記送風手段の横側方を通して前記集塵用空間に案内する空気案内経路を備えて構成されている請求項１記載の清掃装置。
【請求項３】
前記カバー体の下端部が、前記カバー体の内部空間と外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている請求項１又は２記載の清掃装置。
【請求項４】
前記送風手段が、塵埃を除去する除塵フィルタとその除塵フィルタを通して前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットにて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項５】
前記送風手段が、縦軸心周りで回転する送風ファンを備え且つ前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記清掃対象箇所から上方に間隔を隔てた箇所に設けられ、
前記送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われている請求項１〜４のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項６】
前記送風手段の作動を制御する制御手段と、前記送風手段に対して電力を供給するバッテリーと、前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことを検出する移動検出手段とを備え、
前記制御手段が、前記移動検出手段にて前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことが検出されるに伴って前記送風手段を作動させ、前記送風手段の作動開始から設定時間経過後に前記送風手段の作動を停止させるべく、前記送風手段の作動を制御するように構成されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降作動により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降作動により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる清掃装置は、物品搬送車にて物品が搬送される物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであり、物品搬送車の支持体にて支持される被支持部を備えて、物品を搬送するための物品搬送車を利用して清掃対象箇所に搬送されるようになっているものである。
そして、このような清掃装置において、従来では、清掃対象箇所に存在する塵埃を掃き出すための掃出部を備えて、掃出部が清掃対象箇所に接触した状態で物品搬送車に備えられた移載装置の出退作動により水平方向に移動することで、塵埃を清掃対象箇所から掃き出して清掃対象箇所を清掃するように構成されているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０６−０６１８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の清掃装置は、掃出部にて清掃対象箇所から塵埃を掃き出すように構成されており、清掃対象箇所から掃き出された塵埃が周囲に飛散するため、飛散した塵埃が床面上に落下する等、飛散した塵埃により清掃対象箇所の周囲を汚損してしまう問題があった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる清掃装置は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであって、その第１特徴構成は、
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体にて前記正そう対象箇所を覆った状態で前記カバー体に囲まれた領域内において前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風手段と、前記送風手段の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段とを備えて構成されている点にある。
【０００７】
すなわち、物品支持台の清掃を行う清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が下降することより物品支持台に受け渡され、物品支持台の清掃が完了した清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が上昇作動することにより物品支持台から受け取られるようになっている。このように、清掃装置は、物品を搬送する物品搬送車にて物品支持台に搬送されるようになっている。
【０００８】
そして、清掃装置を物品支持台に受け渡してカバー体にて清掃対象箇所を覆った状態で、送風手段にて清掃対象箇所に向けて送風することで、物品支持台の上面の清掃対象箇所に存在していた塵埃がカバー体内で巻き上げられ、その巻き上げられた塵埃は塵埃回収手段にて回収されるため、塵埃が周囲に飛散することを防止できる。
【０００９】
本発明にかかる清掃装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記塵埃回収手段が、前記送風手段の上方に形成される集塵用空間に備えられ、前記送風手段が、前記集塵用空間の空気を吸引して前記塵埃回収手段を通過させて前記送風手段より下方に位置する前記清掃対象箇所に向けて空気を送風するように構成され、前記清掃対象箇所に向けて送風された空気を前記送風手段の横側方を通して前記集塵用空間に案内する空気案内経路を備えて構成されている点にある。
【００１０】
すなわち、送風手段にて清掃対象箇所に向けて送風された空気は、送風手段の横側方を通して集塵用空間に案内された後、清掃手段に吸引されて清掃対象箇所に向けて送風される。つまり、送風手段により清掃対象箇所に向けて送風されて、巻き上げられた塵埃を含む空気は集塵用空間における塵埃回収手段を通過することで塵埃が回収され、再び、送風手段により清掃対象箇所に向けて送風される。このようにカバー体内で空気を循環させて塵埃を集塵するように構成されているため、カバー体に、外部空間から内部空間に空気を給気するための給気部や、内部空間から外部空間に空気を排気する排気部を備える必要がないため、カバー体の構成の簡素化を図ることができる。
【００１１】
本発明にかかる清掃装置の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記カバー体の下端部が、前記カバー体の内部空間と外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている点にある。
【００１２】
すなわち、物品支持台の上面には凹凸が形成されている場合があるが、カバー体の下端部は物品支持台の上面の形状に沿って変形することができため、物品支持台に載置された清掃装置が物品支持台の上面に形成された凹凸に乗り上げることにより傾いた姿勢で載置されることが防止される。そのため、物品支持台の上面に凹凸が形成されていても、清掃装置を清掃に適した姿勢で物品支持台に載置することができ、清掃対象箇所を適切に清掃し易い。
【００１３】
本発明にかかる清掃装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記送風手段が、塵埃を除去する除塵フィルタとその除塵フィルタを通して前記清掃対象箇所に向けて空気を送風する送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットにて構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、除塵フィルタを通して清掃対象箇所に向けて空気を送風するため、塵埃回収手段にて回収できなかった塵埃を除塵フィルタにて除去することができ、清掃対象箇所にはクリーンな空気を供給することができるため、清掃対象箇所を適切に清掃することができる。
そして、送風手段として、除塵フィルタと送風ファンとを一体的に組み付けたファンフィルタユニットを備えるだけでよいので、塵埃フィルタと送風ファンとを備えた送風手段の設置が簡単なものとなる。
【００１５】
本発明にかかる清掃装置の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記送風手段が、縦軸心周りで回転する送風ファンを備え且つ前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記清掃対象箇所から上方に間隔を隔てた箇所に設けられ、前記送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われている点にある。
【００１６】
すなわち、送風手段の下端面が多孔状の板状体にて覆われており、送風手段と板状体との間に空気が溜まるチャンバー室が形成される。そのため、送風ファンに対して清掃対象箇所の面積が広い場合でも、チャンバー室の機能により清掃対象箇所の広範囲にわたって均一化された空気を供給することができる。
【００１７】
本発明にかかる清掃装置の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記送風手段の作動を制御する制御手段と、前記送風手段に対して電力を供給するバッテリーと、前記清掃装置が前記物品支持台上に移動されたことを検出する移動検出手段とを備え、前記制御手段が、前記移動検出手段にて前記清掃装置が前記物品支持台上に移動したことが検出されるに伴って前記送風手段を作動させ、前記送風手段の作動開始から設定時間経過後に前記送風手段の作動を停止させるべく、前記送風手段の作動を制御するように構成されている点にある。
【００１８】
すなわち、バッテリーが備えられているため、例えば物品搬送車から清掃装置に給電を行うための給電線を設ける等の必要がなく、清掃装置を取り扱い易いものとなる。
そして、移動検出手段にて清掃装置が物品支持台上に移動が検出されると送風手段が作動し、その送風手段の作動開始から設定時間経過後に送風手段の作動が停止される。よって、送風手段は、物品支持台上に移動する前、及び、物品支持台上に移動されて清掃対象箇所を清掃するのに必要な設定時間が経過した後は作動が停止されるため、省電力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】物品搬送設備の横側面図
【図２】物品収納容器を走行用位置に支持している天井搬送車の側面図
【図３】物品収納容器が走行用位置から下降させている天井搬送車の側面図
【図４】清掃装置を走行用位置に支持している天井搬送車の側面図
【図５】清掃装置の一部切り欠き側面図
【図６】制御ブロック図
【図７】清掃処理の作用図
【図８】別実施形態における清掃装置の一部切り欠き側面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明にかかる清掃装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車１と、基板に対して処理を行う処理装置３に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台４と、物品支持台４上を清掃する清掃装置５（図４参照）とが設けられている。
【００２１】
物品として、複数枚の基板を収納した基板収納容器６が天井搬送車１にて搬送されており、具体的には、半導体ウェハーを収容したＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が搬送されている。
基板収納容器６の上面には、天井搬送車１の支持体としての支持機構１４にて支持されるトップフランジ７が形成され、基板収納容器６の底面には、物品支持台４に備えられた突起部が係合する容器凹入部が備えられている。
【００２２】
〔天井搬送車〕
図２及び図３に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を走行経路に沿って走行する走行部１１と、走行レール２の下方に位置するように走行部１１に吊り下げ支持され且つ基板収納容器６を昇降移動自在に支持する本体部１２とを備えて構成されている。
【００２３】
本体部１２には、基板収納容器６を支持する支持機構１４と、支持機構１４を昇降移動させる昇降操作機構１５と、搬送用位置に位置する基板収納容器６の上方側及び走行経路長手方向の両側を覆うカバー部１６と、支持機構１４にて支持された基板収納容器６の落下を防止する落下防止体１７と、支持機構１４にて支持された基板収納容器６の揺れを防止する揺れ防止体１８とを備えて構成されている。
【００２４】
支持機構１４には、横軸心周りに揺動自在な一対の把持爪１４ａが備えられており、一対の把持爪１４ａは、互いに接近するように揺動して基板収納容器６のトップフランジ７を把持する把持姿勢と、互いに離間するように揺動してトップフランジ７に対する把持を解除する解除姿勢とに姿勢変更自在に構成されている。
【００２５】
昇降操作機構１５は、先端部に支持機構１４を連結支持した巻き取りベルト１５ａを巻取り及び繰出し自在に構成されており、巻き取りベルト１５ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１４を昇降移動させるように構成されている。図１に示すように、巻き取りベルト１５ａを巻き取った状態では、支持機構１４に支持された基板収納容器６はカバー部１６内の搬送用位置に位置している。
【００２６】
落下防止体１７は、搬送用位置の基板収納容器６の直下に位置する受止位置（図２参照）と、支持機構１４の昇降による基板収納容器６の昇降経路から退避させた退避位置（図３参照）とに位置変更自在に構成されている。そして、落下防止体１７を受止位置に位置させることで、天井搬送車１の走行中に支持機構１４による支持が外れても基板収納容器６を落下防止体１７にて受け止めることで基板収納容器６の落下を防止することができ、落下防止体１７を退避位置に位置させることで、支持機構１４を昇降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すことや物品支持台４から基板収納容器６を受け取ることができるようになっている。
【００２７】
揺れ防止体１８は、搬送用位置の基板収納容器６に対して走行経路長手方向の両側から接当する接当位置（図２参照）と、搬送用位置の基板収納容器６に対して走行経路長手方向に離間させた離間位置（図３参照）とに位置変更自在に構成されている。そして、揺れ防止体１８を接当位置に位置させることで、天井搬送車１の走行中の基板収納容器６の揺れが防止されており、揺れ防止体１８を離間位置に位置させることで、支持機構１４を昇降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すことや物品支持台４から基板収納容器６を受け取ることができるようになっている。
【００２８】
天井搬送車１は、支持機構１４にて基板収納容器６を支持した状態で走行移動するときは、巻き取りベルト１５ａが巻き取られ且つ基板収納容器６を把持するべく把持爪１４ａが把持姿勢になっており、落下防止体１７は受止位置に位置し且つ揺れ防止体１８は接当位置に位置している。このとき、基板収納容器６は搬送用位置に位置している。
また、天井搬送車１は、支持機構１４にて物品を支持していない状態で走行移動するときは、巻き取りベルト１５ａが巻き取られ且つ把持爪１４ａが解除姿勢になっており、落下防止体１７は退避位置に位置し且つ揺れ防止体１８は離間位置に位置している。
【００２９】
そして、天井搬送車１が物品支持台４に基板収納容器６を受け渡すときは、天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させた後、巻き取りベルト１５ａを繰り出して基板収納容器６を支持する支持機構１４を下降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に降ろし、把持爪１４ａを把持解除姿勢に切り換えて基板収納容器６に対する把持を解除し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取って基板収納容器６を支持しない支持機構１４を上昇移動させることで、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すようになっている。
【００３０】
また、天井搬送車１が物品支持台４から基板収納容器６を受け取るときは、天井搬送車１を物品支持台４の直上に停止させた状態で、巻き取りベルト１５ａを繰り出して基板収納容器６を支持しない支持機構１４を下降移動させた後、把持爪１４ａを把持姿勢に切り換えて物品支持台４に載置された基板収納容器６を把持し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取って基板収納容器６を支持する支持機構１４を上昇移動させ、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させることで、基板収納容器６を物品支持台４から受け取るようになっている。
【００３１】
このように、天井搬送車１は、支持機構１４の下降により基板収納容器６を物品支持台４に受け渡し、支持機構１４の上昇により基板収納容器６を物品支持台４から受け取るように構成されており、物品支持用の支持機構１４の下降により支持機構１４にて支持している基板収納容器６を物品支持台４に載置させる形態で受け渡し自在に構成されている。
【００３２】
また、物品支持台４の上面には、清掃装置５にて清掃する清掃対象箇所Ｅが設定されており、この清掃対象箇所Ｅ内に基板収納容器６に係合する３箇所の突起部が位置するように清掃対象箇所Ｅが設定されている。換言すれば、３箇所の突起部は、物品支持台４の上面における清掃対象箇所Ｅに備えられている。
【００３３】
〔清掃装置〕
図５に示すように、清掃装置５は、天井搬送車１の支持機構１４にて支持される被支持部２１を備えて構成されており、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態で支持機構１４の下降により物品支持台４上に移動自在に構成されている。そして、清掃装置５は、物品支持台４上に位置する状態で物品支持台４の上面における清掃対象箇所Ｅを清掃するように構成されている。
【００３４】
また、清掃装置５は、その外形が天井搬送車１のカバー部１６に収まる大きさに形成されており、基板収納容器６と同様に天井搬送車１にて搬送されるように構成されている。つまり、支持機構１４にて被支持部２１が支持されて清掃装置５が搬送用位置に位置する状態で天井搬送車１が走行移動し、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態での支持機構１４の下降により物品支持台４に受け渡され、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態での支持機構１４の上昇により物品支持台４から受け取られるように構成されている。
【００３５】
清掃装置５は、物品支持台４の清掃対象箇所Ｅを覆うカバー体２２と、カバー体２２にて清掃対象箇所Ｅを覆った状態でカバー体２２に囲まれた領域内において清掃対象箇所Ｅに向けて空気を送風する送風手段２３と、送風手段２３の送風により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段２４とを備えて構成されている。
【００３６】
カバー体２２は、内部空間Ｓ１を形成する下部分２２ａと、バッテリー３５等が設けられた上部分２２ｂとを備えて構成されている。下部分２２ａは、側面側及び上面側が閉塞され且つ下面側が開放された形状に形成されて、内部に内部空間Ｓ１が形成されている。また、下部分２２ａは、その下部が四角筒状に形成されており、上部が上方側ほど内部空間Ｓ１の横断面積が小さくなる先細り形状に形成されている。
そして、カバー体２２は、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において清掃対象箇所Ｅを覆うように清掃装置５に設けられており、天井板２５の上面の中央に、天井搬送車１の支持機構１４にて支持される被支持部２１が連結されている。
【００３７】
下部分２２ａにおける周壁の下面には、その全周に亘って上下方向に変形自在な変形部材２６が設けられており、この変形部材２６は弾性変形自在なスポンジゴムにて構成されている。このようにして、カバー体２２の下端部が、カバー体２２の内部空間Ｓ１と外部空間Ｓ０とを遮蔽するべく物品支持台４の上面に沿って変形自在に構成されている。
【００３８】
送風手段２３は、塵埃を除去する除塵フィルタ２８とその除塵フィルタ２８を通して清掃対象箇所Ｅに空気を送風する送風ファン２９とを一体的に組み付けたファンフィルタユニットＦにて構成されている。
このファンフィルタユニットＦは、カバー体２２の天井板２５から下方に間隔を隔て、且つ、カバー体２２の周壁から横側方に間隔を隔てるとともに、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において清掃対象箇所Ｅから上方に間隔を隔てた状態となるように、カバー体２２の内部空間Ｓ１に設けられている。そして、内部空間Ｓ１におけるファンフィルタユニットＦの上方には集塵用空間３０が形成され、内部空間Ｓ１におけるファンフィルタユニットＦの横側方には、清掃対象箇所Ｅに向けて送風された空気をファンフィルタユニットＦの横側方を通して集塵用空間３０に案内する空気案内経路３１が形成されている。
【００３９】
塵埃回収手段２４は、集塵用空間３０に備えられており、ファンフィルタユニットＦの上面側を覆う状態で設けられている。この塵埃回収手段２４は、紙等の通気自在な材質にて空気の流動方向の上流側が開口する袋状に形成されており、塵埃回収手段２４を通気する空気から塵埃を塵埃回収手段２４内に集塵するようになっている。ちなみに、塵埃回収手段２４は、着脱自在に構成されており交換可能となっている。
また、ファンフィルタユニットＦの下端面は、多孔状の板状体３３にて覆われている。この板状体３３は、ファンフィルタユニットＦの下面側を覆う状態で設けられており、ファンフィルタユニットＦから下方に膨出する形状に形成されている。そのため、ファンフィルタユニットＦの除塵フィルタ２８と板状体３３との間にチャンバー室Ｃが形成されている。
【００４０】
ファンフィルタユニットＦは、送風ファン２９が縦軸心周りで回転するようにカバー体２２に支持されており、送風ファン２９を回転させることで、ファンフィルタユニットＦの上方に位置する集塵用空間３０の空気を吸引し、ファンフィルタユニットＦの下方の清掃対象箇所Ｅに向けて送風するように構成されている。
【００４１】
送風ファン２９にて下方の清掃対象箇所Ｅに向けて供給される空気は、塵埃回収手段２４にて回収されなかった細かい塵埃が除塵フィルタ２８にて除去されて、清浄化されている。また、送風ファン２９から供給される空気に脈動が生じていたとしても、チャンバー室Ｃの機能によりその脈動が抑えられて、清掃対象箇所Ｅの広範囲にわたって均一化された空気が供給される。
【００４２】
そして、ファンフィルタユニットＦの送風作用により、ファンフィルタユニットＦの上方の集塵用空間３０では負圧となり、ファンフィルタユニットＦの下方の送風用空間３２（清掃対象箇所Ｅの上方の空間）では正圧となる。そのため、送風用空間３２の空気が空気案内経路３１を通って集塵用空間３０に流動する。ファンフィルタユニットＦによる清掃対象箇所Ｅへの空気の供給及び送風用空間３２から集塵用空間３０への空気の流動により、清掃対象箇所Ｅに存在していた塵埃が巻き上げられて集塵用空間３０に運ばれ、その集塵用空間３０に運ばれた塵埃は塵埃回収手段２４にて回収されるようになっている。
このように、ファンフィルタユニットＦの送風作用により、カバー体２２内で空気を循環させて、清掃対象箇所Ｅの塵埃をカバー体２２内で巻き上げて塵埃回収手段２４にて塵埃を回収するようになっている。
【００４３】
〔制御装置〕
図６に示すように、物品搬送設備には、天井搬送車１の作動を制御する制御手段としての搬送制御装置Ｈ１が設けられている。
搬送制御装置Ｈ１は、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡す受渡処理と、基板収納容器６を物品支持台４から受け取る受取処理と、清掃装置５を物品支持台４に受け渡した後、予め設定された清掃用待機時間だけ経過した後に清掃装置５を物品支持台４から受け取る清掃処理とを実行するべく、天井搬送車１の作動を制御するように構成されている。
【００４４】
受渡処理では、基板収納容器６を支持する天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させ、巻き取りベルト１５ａの繰り出した後に把持爪１４ａの解除姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取られる。
また、受取処理では、基板収納容器６を支持しない天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１５ａを繰り出した後に把持爪１４ａを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器６を物品支持台４から受け取り、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取り、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させる。
尚、受渡処理では、物品支持台４に受け渡す清掃装置５は、基板収納容器６を収納する収納部や清掃装置５を保管する専用の保管部から搬送し、受取処理では、物品支持台４から受け取った清掃装置５を収納部や保管部に搬送するようになっている。
【００４５】
清掃処理では、図７（ａ）に示すように、清掃装置５を支持する天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させ、巻き取りベルト１５ａを繰り出して清掃装置５を物品支持台４に載置させる。そして、清掃装置５を物品支持台４に受け渡すに伴って、清掃装置５を物品支持台４に受け渡したことを示す受け渡し完了情報を送信装置３４から清掃装置５に送信する。
また、清掃処理では、図７（ｃ）に示すように、受け渡し完了情報を清掃装置５に送信してから清掃用待機時間以上経過した後に当該清掃装置５を物品支持台４から受け取るように、基板収納容器６を支持しない天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１５ａを繰り出した後に把持爪１４ａを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器６を物品支持台４から受け取り、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取り、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させる。
【００４６】
清掃装置５には、ファンフィルタユニットＦ（送風ファン２９）の作動を制御する制御手段としての清掃制御装置Ｈ２と、ファンフィルタユニットＦ（送風ファン２９を回転駆動させる電動モータ）に対して電力を供給するバッテリー３５と、送信装置３４から送信される受け渡し完了情報を受信する受信装置３６とが設けられている。
【００４７】
図７（ｂ）に示すように、清掃制御装置Ｈ２は、搬送制御装置Ｈ１からの受け渡し完了情報を受信装置３６にて受信するに伴ってファンフィルタユニットＦを作動させ、ファンフィルタユニットＦの作動開始から設定時間経過後にファンフィルタユニットＦの作動を停止させるべく、ファンフィルタユニットＦの作動を制御するように構成されている。
【００４８】
そのため、清掃装置５は、天井搬送車１にて物品支持台４に受け渡された後にファンフィルタユニットＦを作動させて清掃対象箇所Ｅを清掃し、ファンフィルタユニットＦの作動開始から設定時間経過後にファンフィルタユニットＦの作動が停止される。このようにファンフィルタユニットＦの作動が停止された後に、当該清掃装置５を物品支持台４に受け渡した天井搬送車１とは別の天井搬送車１にて受け取られるようになっている。
尚、設定時間は、清掃用待機時間より短い時間が設定されている。
また、受信装置３６は、清掃装置５が物品支持台４上に移動されるに伴って送信される受け渡し完了情報を受信するものであり、清掃装置５が物品支持台４上に移動されたことを検出する移動検出手段に相当する。
【００４９】
このように、基板収納容器６を搬送する天井搬送車１にて清掃装置５が物品支持台４上に受け渡される。そして、ファンフィルタユニットＦを作動させることで、物品支持台４の清掃対象箇所Ｅに存在する塵埃をカバー体２２内で巻き上げて塵埃回収手段２４にて回収している。そのため、清掃装置５にて清掃対象箇所Ｅを清掃したときに塵埃が周囲に飛散しないようになっている。
【００５０】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、塵埃回収手段２４を、ファンフィルタユニットＦの除塵フィルタ２８とは別に設けたが、図８に示すように、ファンフィルタユニットＦにおける除塵フィルタ２８を塵埃回収手段２４としてもよい。
また、清掃対象箇所Ｅに対して直上から空気を送風したが、図８に示すように、清掃対象箇所Ｅに対して横側方から空気を送風してもよい。
【００５１】
（２）  上記実施形態では、カバー体２２内で空気が循環するように構成したが、カバー体２２に、内部空間Ｓ１から外部空間Ｓ０に空気が流動自在な通気部を設け、送風手段２３を、外部空間Ｓ０の空気を内部空間Ｓ１に送風するようにカバー体２２に設けて、カバー体２２内で空気が循環しないように構成してもよい。ちなみに、この場合では、塵埃回収手段２４は通気部に設ける。
【００５２】
（３）  上記実施形態では、送風ファン２９を縦軸心周りに回転する状態で送風手段２３に備えたが、図８に示すように、送風ファン２９を横軸心周りに回転する状態で送風手段２３に備えてもよい。
また、上記実施形態では、送風手段２３を、送風ファン２９と除塵フィルタ２８とを一体的に組み付けたファンフィルタユニットＦにて構成したが、送風手段２３を、送風ファン２９のみにて構成してもよく、また、送風手段２３を、送風ファン２９と除塵フィルタ２８とを備えて構成する場合でも、これら送風ファン２９と除塵フィルタ２８とを個別にカバー体２２に取り付けるように構成してもよい。
【００５３】
（４）  上記実施形態では、変形部材２６をスポンジゴムにて構成して、カバー体２２の下端部を物品支持台４の上面に沿って変形自在に構成したが、カバー体２２の下端部を変形自在にする構成は適宜変更可能であり、例えば、カバー体２２の下端部に、棒状又は板状の閉止体を周壁に沿って複数並べて設け、その複数の閉止体の夫々を、下方へは移動が規制され且つ上方へは移動自在な状態でカバー体２２の下端から下方に突出するように設け、複数の閉止体の夫々が、物品支持台４の上面に接触することで上方に持ち上げられるようにして、カバー体２２の下端部を変形自在に構成してもよい。
また、物品支持台４の上面が平坦な場合では、カバー体２２の下端部に変形部材２６を設けないようにして、カバー体２２の下端部を、上下方向に変形不能に構成してもよい。
【００５４】
（５）  上記実施形態では、送風手段２３の下端面を覆う状態で多孔状の板状体３３を設けたが、この多孔状の板状体３３を設けなくてもよい。
また、板状体３３の孔の形状は適宜変更可能であり、パンチングメタルにて構成して丸孔を多数備えたものでもよく、スリット状の孔を複数備えたものでもよい。
【００５５】
（６）  上記実施形態では、移動検出手段として、搬送制御装置Ｈ１からの受け渡し完了情報を受信する受信装置３６を設けたが、移動検出手段として、清掃装置５が物品支持台４上に移載されるに伴ってオン操作される接触式センサ等の物品支持台４に対する清掃装置５の位置を検出する位置検出センサを設けてもよい。
【００５６】
（７）  上記実施形態では、ファンフィルタユニットＦの作動開始から予め設定された設定時間経過後にファンフィルタユニットＦの作動を停止させたが、清掃装置５にパーティクルカウンタ等の塵埃濃度計測手段を設けて、ファンフィルタユニットＦの作動が開始した後、塵埃濃度計測手段にて計測されるカバー体内の塵埃濃度が閾値以下になることでファンフィルタユニットＦの作動を停止させてもよい。
【００５７】
（８）  上記実施形態では、物品搬送車を、天井側に配設された走行レール２に沿って走行移動する天井搬送車１とし、巻き取りベルト１５ａの繰り出し及び巻き取りにより支持体を昇降させたが、物品搬送車を、床面側に配設されたスタッカークレーンとし、昇降台の昇降移動により支持体を昇降させてもよい。
【００５８】
（９）  上記実施形態では、物品支持台４に清掃装置５を受け渡した物品搬送車とは別の物品搬送車にて、物品支持台４から清掃装置５を受け取るようにしたが、物品支持台４に清掃装置５を受け渡した物品搬送車にて、物品支持台４から清掃装置５を受け取るようにしてもよい。
ちなみに、物品搬送設備に清掃装置５を１台だけ設けてもよく複数台設けてもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１    物品搬送車
２    走行レール
５    物品支持台
６    物品
１４    支持体
２１    被支持部
２２    カバー体
２３    送風手段
２４    塵埃回収手段
２８    除塵フィルタ
２９    送風ファン
３０    集塵用空間
３３    板状体
３５    バッテリー
３６    移載検出手段
Ｅ    清掃対象箇所
Ｆ    ファンフィルタユニット
Ｈ２  制御手段
Ｓ０  外部空間
Ｓ１  内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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