(57)【要約】【課題】インク室部材を構成するフィルタによってインク流路を遮蔽しても後の組立て作業に影響を与えず、組立て工程においてインク流路内への異物の侵入を防止できるインクジェットヘッドの製造方法の提供。【解決手段】複数のノズル231、圧力室及び圧力発生手段214を有するヘッド基板2と、ヘッド基板2を保持固定する保持基板3と、ヘッド基板2外部から流入するインク中の異物を捕捉するフィルタ521を有するインク室部材5とを備えたインクジェットヘッド1において、インク室部材5を、内部にインク室511を形成したインク室部材5本体と、フィルタ521が予め設置されたフィルタホルダ52との少なくとも２部品に分けて形成し、フィルタホルダ52を、フィルタ521で圧力室へのインク流路を被覆するように保持基板3に接合した後、該保持基板3とヘッド基板2とを接合し、その後、フィルタ521を覆うようにインク室部材5本体を接合して保持基板3上にインク室部材を形成する。【選択図】図１
2013147008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に供給するためのインク又は前記ヘッド基板内から排出されたインクを収容すると共に、前記ヘッド基板外部から流入するインク中の異物を捕捉するためのフィルタを有するインク室部材と、を備えてなるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク室部材を、内部にインク室を形成したインク室部材本体と、前記フィルタが予め設置されたフィルタホルダとの少なくとも２部品に分けて形成し、
前記フィルタホルダを、前記フィルタで前記圧力室へのインク流路を被覆するように前記保持基板に接合した後、該保持基板と前記ヘッド基板とを接合し、その後、前記フィルタを覆うように前記インク室部材本体を接合して前記保持基板上に前記インク室部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記フィルタは前記フィルタホルダに接着剤を介さずに、溶着によって一体化されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記フィルタは金属製フィルタであると共に、前記フィルタホルダは合成樹脂からなり、前記金属製フィルタは溶着によって前記フィルタホルダに一体化されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記保持基板と前記ヘッド基板とを接合した後であって、前記インク室部材本体を接合する前に、前記圧力発生手段に対して給電を行うための配線が形成された外部配線部材を前記保持基板に接合すると共に前記配線と前記圧力発生手段との間をボンディングワイヤで電気的に接続することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に供給するためのインク又は前記ヘッド基板内から排出されたインクを収容すると共に、前記ヘッド基板外部から流入するインク中の異物を捕捉するためのフィルタを有するインク室部材と、を備えてなるインクジェットヘッドであって、
前記インク室部材は、内部にインク室を形成したインク室部材本体と、前記フィルタが設置されたフィルタホルダとの少なくとも２部品によって構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記フィルタは前記フィルタホルダに接着剤を介さずに、溶着によって一体化されていることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記フィルタは金属製フィルタであると共に、前記フィルタホルダは合成樹脂からなり、前記金属製フィルタは溶着によって前記フィルタホルダに一体化されていることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドに関し、詳しくは、組立て時の異物の侵入を防止してインク滴吐出の信頼性を高め、製造時の歩留まりを向上させることのできるインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
記録紙等の被記録媒体上に微小なインク滴を吐出して画像等を記録するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドでは、ＰＺＴ等の圧電素子からなる圧力発生手段の駆動によって圧力室内のインクに圧力変化を発生させ、該圧力室内のインクをノズルから吐出させる。近年、インクジェット記録装置による高精度、高精細な画像形成を実現するため、インクジェットヘッドにおけるノズルの高精細化が求められている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドでは、インク中にゴミや気泡等の異物が混入していると吐出不良の原因となる。特にノズルは微細化しているため、僅かなゴミや気泡が混入しているだけでもノズル詰まりを発生させて不吐出の原因となる。このため、従来のインクジェットヘッドでは、各圧力室に供給されるインクをフィルタに通過させることで、インク中のゴミや気泡等の異物を予め除去するようにしている（特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１０３０７６号公報
【特許文献２】特開２００４−１３０５７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
インクジェットヘッドには、圧力室の近傍で複数の圧力室に対して安定してインクを供給できるようにするため、内部に比較的多量のインクを収容可能なインク室を形成したインク室部材（マニホールドともいう。）をヘッド自体に接合するようにしたものがある。この場合、インク中の異物を除去するためのフィルタは、通常、このインク室部材の内部に設けられる。
【０００６】
このようなフィルタは、一般にメッシュ状であることから、ヘッド完成後のインク中の異物を除去する働きだけでなく、ヘッドの組立て時においてもインク流路内への異物の侵入を防止する働きもあると考えられる。ヘッドの組立て時にインク流路内に僅かな異物でも侵入するとノズル詰まりが生じるおそれがあり、組立て中においても異物の侵入を防止することが望まれるためである。この異物侵入防止のためにフィルタを利用すれば、わざわざ異物侵入防止専用の部品を別途用意する必要がなく便利である。
【０００７】
しかし、このようなインク室部材は、外部のインクタンクとの間をつなぐインクチューブを接続するための接続部となる流路口が突出している等、構造が複雑な立体形状であるため、ヘッドに対する接合工程は、他の部品の接合作業の邪魔にならないように、一般にインクジェットヘッドの一連の組立て工程における下流部分に配置される。このため、組立て中においてフィルタによってインク流路を遮蔽して異物の侵入を阻止する効果は望めない。
【０００８】
一方、フィルタによってインク流路を遮蔽するべく、フィルタを有するインク室部材を組立て工程の上流部分に配置してしまうと、複雑な立体形状であるため、その後の部品の組立て作業に影響を及ぼし、組立て精度が低下してインク滴吐出の信頼性の低下や、インクジェットヘッドの品質低下を招き、製品の歩留まりが低下するおそれがある。
【０００９】
また、インク室部材の構造に着目した場合、インク室部材の内部にフィルタを設けることが難しい問題もある。すなわち、フィルタはメッシュ状であるため、接着剤を用いた湿式での接着を行うと、毛管作用によって接着剤がフィルタ内に浸入してフィルタの目を塞いでしまう問題がある。このため、フィルタを接着剤を介することなく熱や超音波による溶着の他、かしめ等によってインク室部材内に固着することが考えられるが、このような作業には専用の治具を用いる必要があるため、複雑な立体形状をしたインク室部材の内部に対して作業を行うことは困難である。
【００１０】
そこで、本発明は、インク室部材を構成するフィルタによってインク流路を遮蔽しても後の組立て作業に影響を与えることがなく、組立て工程においてインク流路内への異物の侵入を防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【００１１】
また、本発明は、インク室部材の内部に容易にフィルタを設置することができるインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
【００１２】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１４】
１．インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に供給するためのインク又は前記ヘッド基板内から排出されたインクを収容すると共に、前記ヘッド基板外部から流入するインク中の異物を捕捉するためのフィルタを有するインク室部材と、を備えてなるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク室部材を、内部にインク室を形成したインク室部材本体と、前記フィルタが予め設置されたフィルタホルダとの少なくとも２部品に分けて形成し、
前記フィルタホルダを、前記フィルタで前記圧力室へのインク流路を被覆するように前記保持基板に接合した後、該保持基板と前記ヘッド基板とを接合し、その後、前記フィルタを覆うように前記インク室部材本体を接合して前記保持基板上に前記インク室部材を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【００１５】
２．前記フィルタは前記フィルタホルダに接着剤を介さずに、溶着によって一体化されることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【００１６】
３．前記フィルタは金属製フィルタであると共に、前記フィルタホルダは合成樹脂からなり、前記金属製フィルタは溶着によって前記フィルタホルダに一体化されることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【００１７】
４．前記保持基板と前記ヘッド基板とを接合した後であって、前記インク室部材本体を接合する前に、前記圧力発生手段に対して給電を行うための配線が形成された外部配線部材を前記保持基板に接合すると共に前記配線と前記圧力発生手段との間をボンディングワイヤで電気的に接続することを特徴とする前記１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【００１８】
５．インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
前記保持基板における前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に供給するためのインク又は前記ヘッド基板内から排出されたインクを収容すると共に、前記ヘッド基板外部から流入するインク中の異物を捕捉するためのフィルタを有するインク室部材と、を備えてなるインクジェットヘッドであって、
前記インク室部材は、内部にインク室を形成したインク室部材本体と、前記フィルタが設置されたフィルタホルダとの少なくとも２部品によって構成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１９】
６．前記フィルタは前記フィルタホルダに接着剤を介さずに、溶着によって一体化されていることを特徴とする前記５記載のインクジェットヘッド。
【００２０】
７．前記フィルタは金属製フィルタであると共に、前記フィルタホルダは合成樹脂からなり、前記金属製フィルタは溶着によって前記フィルタホルダに一体化されていることを特徴とする前記５記載のインクジェットヘッド。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、インク室部材を構成するフィルタによってインク流路を遮蔽しても後の組立て作業に影響を与えることがなく、組立て工程においてインク流路内への異物の侵入を防止できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【００２２】
また、本発明によれば、インク室部材の内部に容易にフィルタを設置することができるインクジェットヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図
【図２】本発明に係るインクジェットヘッドを図１中の(ii)-(ii)線に沿う部分で切断した断面図
【図３】本発明に係るインクジェットヘッドを図１中の(iii)-(iii)線に沿う部分で切断した断面図
【図４】図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の層構成を示す部分断面図
【図５】図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の部分平面図
【図６】本発明に係るインクジェットヘッドの製造工程の説明図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２５】
図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図、図２は、インクジェットヘッドを図１中の(ii)-(ii)線に沿う部分で切断した断面図、図３は、インクジェットヘッドを図１中の(iii)-(iii)線に沿う部分で切断した断面図、図４は、図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の層構成を示す部分断面図、図５は、図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の部分平面図である。
【００２６】
図１において、１はインクジェットヘッドであり、インクジェットヘッド１は、ヘッド基板２と保持基板３と外部配線部材４とインク室部材５とを有している。
【００２７】
ヘッド基板２は、ボディプレート２１、中間プレート２２、ノズルプレート２３の３枚の基板が積層一体化されることによって構成されている。
【００２８】
ボディプレート２１は、図１中のＡ方向に沿って長さが長く、厚みが１００〜３００μｍ程度のＳｉ基板からなり、一方の面（図１における下面）をエッチングすることによって、平面視で略円形状となる複数の圧力室２１１と、複数の圧力室２１１に対して共通にインクを供給するための凹溝からなる共通流路２１２と、共通流路２１２と各圧力室２１１とを個別に連通し、共通流路２１２内のインクを圧力室２１１に供給するための細溝からなるインク供給路２１３とが凹設された流路形成基板である。
【００２９】
各圧力室２１１は、後述する中間プレート２２に形成された連通孔２２１との連通部となるための、一部が外側に膨出する形状となる膨出部２１１ａを有している。図１では、１６個の圧力室２１１をＡ方向に沿って配列したボディプレート２１を示しており、一つおきの８個ずつの圧力室２１１に対してそれぞれインクを供給するための２本の共通流路２１２が、間に圧力室２１１の列を挟むように配置されている。
【００３０】
ボディプレート２１の他方の面（図１における上面）には、各圧力室２１１の位置に対応するように圧力発生手段であるＰＺＴ等からなる圧電素子２１４が積層されており、この圧電素子２１４の駆動時に、該圧電素子２１４と圧力室２１１との間の壁面を振動板２１５として振動させることで、圧力室２１１内のインクに吐出のための圧力を付与するようになっている。
【００３１】
各共通流路２１２は、ボディプレート２１の長手方向であるＡ方向に沿って延びており、その端部は、ボディプレート２１のＡ方向の両端部近傍においてボディプレート２１を表裏に貫通するように形成されている貫通口２１６にそれぞれ連通している。貫通口２１６は、ボディプレート２１の各端部において、２つずつがＡ方向と直交するボディプレート２１の短手方向であるＢ方向に沿うように並んで配置されており、各々共通流路２１２の端部と連通している。
【００３２】
中間プレート２２は、ボディプレート２１と平面視形状が同一形状で、厚みが１００〜３００μｍ程度のガラス基板からなり、ボディプレート２１と積層された際に、ボディプレート２１の圧力室２１１に形成された膨出部２１１ａに対応する位置に、それぞれ中間プレート２２を表裏に貫通し、吐出時のインク流路となる連通孔２２１が個別に形成されている。この中間プレート２２には、ほうケイ酸ガラス（例えばテンパックスガラス（商品名））が好ましく用いられる。
【００３３】
ノズルプレート２３は、厚みが１００〜３００μｍ程度のＳｉ基板からなり、中間プレート２２と積層された際に、中間プレート２２の連通孔２２１に対応する位置に、それぞれインク滴を吐出するノズル２３１が形成されている。各ノズル２３１はノズルプレート２３における中間プレート２２とは反対面に開口しており、中間プレート２２側の面からは、ノズル２３１と連通し、該ノズル２３１よりも大径な凹部からなる大径部２３２が凹設されている。
【００３４】
なお、ノズルプレート２３においてノズル２３１が開口するノズルの形成面（ノズル面）２３０には、不図示の撥インク膜が形成されている。
【００３５】
ヘッド基板２は、圧力室２１１の膨出部２１１ａ、連通孔２２１、大径部２３２（ノズル２３１）がそれぞれ連通するように、ボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３が位置合わせされて積層され、一体に接合されることによって構成される。ボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３の接合方法としては、一般に陽極接合が用いられる。
【００３６】
これらボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３の接合により、ボディプレート２１の圧力室２１１、共通流路２１２、インク供給路２１３の下面は閉塞されると共に、各共通流路２１２の両端部にそれぞれ連通する貫通口２１６は、ヘッド基板２の図１中の上面のみに開口し、各共通流路２１２へのインクの供給又は各共通流路２１２からのインクの排出のための開口部となる。
【００３７】
保持基板３は、ヘッド基板２の強度保持のために該ヘッド基板２に対して接着剤を用いて接合され、ヘッド基板２を保持固定する基板であり、厚みが０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度のＳｉ基板又はガラス基板からなる。ガラス基板としては、ヘッド基板２の中間プレート２２と同様、ほうケイ酸ガラス（例えばテンパックスガラス（商品名））が好ましく用いられる。
【００３８】
保持基板３の平面視形状は、Ａ方向及びＢ方向のいずれにおいてもヘッド基板２よりも大きく形成されている。特に保持基板３のＡ方向に沿う両端部はヘッド基板２のＡ方向の両端からそれぞれ大きく張り出している。
【００３９】
保持基板３の中央部には、ヘッド基板２と接合された際に、該ヘッド基板２のボディプレート２１上に配列されている全ての圧電素子２１４を取り囲むことができる大きさの一つの開口部３１が貫通形成されている。開口部３１は図１中のＡ方向に沿って延びる矩形状に形成され、その内部にヘッド基板２上の全ての圧電素子２１４を取り囲み得るが、ヘッド基板２の両端部にそれぞれ開口する２つずつの貫通口２１６の位置までには至らない大きさに形成されている。
【００４０】
保持基板３のＡ方向の両端部近傍には、それぞれヘッド基板２の上面に開口する２つずつの貫通口２１６を取り囲み得る大きさのインク流路となる貫通孔３２が１つずつ形成されている。従って、１つの貫通孔３２は、ヘッド基板２上に並列する２つの貫通口２１６、２１６と連通する。
【００４１】
この保持基板３は、開口部３１内にヘッド基板２上の全ての圧電素子２１４が位置すると共に、各貫通口２１６が貫通孔３２内に位置して連通するようにヘッド基板２と位置合わせされ、接着剤によって一体に接合される。保持基板３はＳｉ基板又はガラス基板からなり、ヘッド基板２を構成するＳｉ基板やガラス基板と線膨張係数が近いため、接着剤として熱硬化性接着剤等の加熱を伴う接合方法を用いた場合でも、この保持基板３とヘッド基板２との間の反りは抑制される。
【００４２】
また、保持基板３がガラス基板からなる場合は、紫外線透過性を有するため、接着剤としてＵＶ硬化性接着剤又はＵＶ熱硬化性接着剤を用いて、初期硬化において加熱を伴わない接合方法を用いてもよい。
【００４３】
なお、保持基板３の下面（ヘッド基板２との接合面）は、Ｂ方向が開口部３１よりも大きな領域に亘る凹部３３が形成されている。この凹部３３は、図２に示すように、保持基板３とヘッド基板２とが接合された際、ヘッド基板２の２本の共通流路２１２を含み得る大きさに形成されている。これにより、ヘッド基板２における全ての圧電素子２１４はもちろんのこと、各圧力室２１１、両端部を除く共通流路２１２、インク供給路２１３は保持基板３の凹部３３内に配置され、該保持基板３と直に接合されないようになっている。
【００４４】
外部配線部材４は、不図示の駆動回路からの駆動信号を各圧電素子２１４に印加するために、該駆動回路との間を電気的に接続する配線（図示せず）が設けられた配線部材であり、例えばＦＰＣ等からなる。外部配線部材４の一端は、保持基板３上のＡ方向に沿う開口部３１の一方側部に接着剤によって接合されている。外部配線部材４の各配線と各圧電素子２１４との間は、図２に示すように、保持基板３の開口部３１を利用して、ボンディングワイヤ４１によってそれぞれ個別に電気的に接続されている。
【００４５】
インク室部材５は、インク室部材本体５１とフィルタホルダ５２との少なくとも２部品に分かれており、これらインク室部材本体５１とフィルタホルダ５２とが一体となって一つのインク室部材５を構成している。本実施形態に示すインクジェットヘッド１には、保持部材３上のＡ方向の両端部にそれぞれ１つずつのインク室部材５が配置されている。
【００４６】
インク室部材本体５１は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）等の合成樹脂材料によって一面（図示下面）が開口する箱型形状に形成されてなり、内部が各圧力室２１１に供給するインクを収容するためのインク室５１１とされている。
【００４７】
各インク室部材本体５１は、不図示のインクタンク等から供給されるインクをインク室５１１に一旦貯留し、保持基板３の貫通孔３２、ボディプレート２１の貫通口２１６、共通流路２１２及びインク供給路２１３を介して、各圧力室２１１内にインクを供給し、又は、その逆に各圧力室２１１内のインクをインク供給路２１３、共通流路２１２、ボディプレート２１の貫通口２１６及び保持基板３の貫通孔３２を介して受け入れ、不図示の廃インクタンク等に排出するためのものである。インク室部材本体５１の上面には、インク供給又はインク排出のためのインクチューブとの接続部となる流路口５１２が突設されている。
【００４８】
フィルタホルダ５２は、好ましくはインク室部材本体５１と同様の合成樹脂材料によって、該インク室部材本体５１の開口の周縁５１３の形状に合致する形状に形成された枠状体からなり、このフィルタホルダ５２にはフィルタ５２１が張設されている。本実施形態では、インク室部材本体５１は平面視で四角形状をしており、その開口の周縁５１３も四角形状となっている。このため、フィルタホルダ５２も、この開口の周縁５１３の四角形状に合致した四角形状の枠状体となっている。
【００４９】
フィルタ５２１は、通常、インク室５１１に貯留されたインクが保持基板３の貫通孔３２に向けて流出する際に、インク中のゴミや気泡等の異物を捕捉してヘッド基板２内への異物の流入を防止する。このフィルタ５２１は、フィルタホルダ５２に接着剤を介さずに溶着によって一体化されることが好ましい。接着剤を用いた接着では、接着剤が毛管現象によってフィルタ５２１内に浸透してフィルタ５２１の目を塞いでしまうおそれがあるためである。フィルタ５２１は例えばＳＵＳ等の金属メッシュからなる金属製フィルタであることが好ましく、合成樹脂製のフィルタホルダ５２に対して溶着によって一体化されることが好ましい。
【００５０】
フィルタホルダ５２は、フィルタ５２１が予め設置された状態で、ヘッド基板２の圧力室２１１へのインク流路となる保持基板３の貫通孔３２をフィルタ５２１の部分で被覆するように該保持基板３上に接合されている。図１中の符号ａは、フィルタホルダ５２が接合される領域を示している。貫通孔３２はこの領域ａ内に配置されている。そして、インク室部材本体５１は、その開口の周縁５１３が枠状体からなるフィルタホルダ５２上に載置されるようにして接着剤によって接合されている。
【００５１】
本発明では、このようにインク室部材５を、内部にインク室５１１を有するインク室部材本体５１と、フィルタ５２１を有するフィルタホルダ５２とに分けたため、フィルタ５２１をインク室５１１内に配置させて固着作業を行う必要はなく、単なる薄板状の枠状体に対して固着、好ましくは溶着作業するだけでフィルタ５２１を極めて簡単に張設することができる。フィルタホルダ５２は単なる薄板状の枠状体であるため、複雑な形状をしたインク室部材本体５１と異なって上下両面が開放しており、フィルタ５２１の設置状態を保持基板３への接合前に容易に確認することができる。従って、完成後のインク室部材５に異物の捕捉漏れが生じるようなことはない。
【００５２】
更に、フィルタ５２１が予め設置されたフィルタホルダ５２を保持基板３上に接合するため、フィルタ５２１を保持基板３の貫通孔３２に近い位置に配置させることができる。これにより、フィルタホルダ５２そのものの発塵の侵入を防ぐことが可能となる。
【００５３】
これら保持基板３上に設けられる２つのインク室部材５は、一方をインク供給用、他方をインク排出用として機能させてもよいが、両インク室部材５をインク供給用として機能させてもよい。本実施形態では、各インク室部材５の容積は比較的小型となるものの、内部にインクが収容可能なインク室部材５は保持基板３上に２つ配置されるため、両インク室部材５、５によって多量のインクを貯留でき、貯留可能なインク量については、従来の１つだけのインク室部材と比べて何ら遜色はない。各インク室部材５は同一形状（同一容積）とするものに限らず、必要に応じて形状（容積）を異ならせるようにしてもよい。
【００５４】
なお、本発明においてインク室部材５はインク室５１１を有するインク室部材本体５１と、フィルタ５２１を有するフィルタホルダ５２とを有するものであれば、全体が３つ以上に分かれるように構成されていてもよい。
【００５５】
次に、かかるインクジェットヘッド１の製造方法について図６を用いて説明する。
【００５６】
本発明において、インク室部材５は、予めフィルタ５２１が張設されたフィルタホルダ５２の部分のみをインク室部材本体５１とは分離させた状態とし、そのうちのフィルタホルダ５２のみを、既に開口部３１と貫通孔３２が形成された保持基板３上から、該貫通孔３２の部分をフィルタ５２１で覆うように位置合わせしてそれぞれ接合しておく。このとき保持基板３にはまだヘッド基板２は接合されていない（図６（ａ））。
【００５７】
次いで、ボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３を一体に接合して形成されたヘッド基板２を、該ヘッド基板２上面に開口する貫通口２１６がそれぞれ保持基板３の貫通孔３２と一致するように位置合わせして、保持基板３のフィルタホルダ５２が接合された面の反対面に接着剤によって接合する（図６（ｂ））。
【００５８】
次いで、２つのフィルタホルダ５２間の保持基板３上の一側部に外部配線部材４の一端を接着剤によって接合し（図６（ｃ））、その後、外部配線部材４上の各配線（図示せず）と保持基板３の開口部３１から臨む各圧電素子２１４とをボンディングワイヤ４１によって電気的に接続する。このとき、保持基板３上には薄板状のフィルタホルダ５２のみが接合されているだけであり、大きく突出する部材は存在しないため、ワイヤボンド作業に支障をきたすおそれはない。しかも、ヘッド基板２へのインク流路となる貫通孔３２はフィルタ５２１で覆われて遮蔽されているため、作業時に発生したゴミや塵等の異物が侵入するおそれもない。
【００５９】
保持基板３上での作業が完了したら、最後に各フィルタホルダ５２の上にそれぞれフィルタ５２１を覆うようにインク室部材本体５１を載置させ、接着剤によって接合し、保持基板３上にインク室部材５を形成する（図６（ｄ））。これによってインクジェットヘッド１が完成する。
【００６０】
このように、インク室部材５がインク室部材本体５１とフィルタホルダ５２との少なくとも２部品に分かれており、そのうちのフィルタ５２１が予め設置されたフィルタホルダ５２をインク室部材本体５１に先立って保持基板３に接合することにより、フィルタ５２１によってインク流路となる保持基板３の貫通孔３２を遮蔽しても、その後の組立て作業に影響を与えることはなく、組立て工程においてインク流路内への異物の侵入を防止することができる。その結果、インク滴吐出の信頼性の高いインクジェットヘッド１を製造することができると共に、製造時の歩留まりの向上を図ることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１：インクジェットヘッド
２：ヘッド基板
２１：ボディプレート
２１１：圧力室
２１１ａ：膨出部
２１２：共通流路
２１３：インク供給路
２１４：圧電素子（圧力発生手段）
２１５：振動板
２１６：貫通口
２２：中間プレート
２２１：連通孔
２３：ノズルプレート
２３０：ノズルの形成面（ノズル面）
２３１：ノズル
２３２：大径部
３：保持基板
３１：開口部
３２：貫通孔
３３：凹部
４：外部配線部材
４１：ボンディングワイヤ
５：インク室部材
５１：インク室部材本体
５１１：インク室
５１２：流路口
５２：フィルタホルダ
５２１：フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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