(57)【要約】【課題】ロールに巻き付けられたフィルム部材の皺や積層部材同士の剥離等の発生を防止できるロールプロテクタ、ロール保持体およびロールの保管方法を提供すること。【解決手段】本発明のロールプロテクタ１は、フィルム部材４２が芯材４１に巻き付けられているロール４０の一端面側に当接して装着される第一基板１０と、ロール４０の他端面側に当接して装着される第二基板２０と、第一基板１０および第二基板２０を連結するとともに、第一基板１０および第二基板２０がロール４０に装着されている際に第一基板１０および第二基板２０からロール４０の幅方向内側へ向かって加わる力に抗する支持部３０と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム部材が芯材に巻き付けられているロールの一端面側に当接して装着される第一基板と、
前記ロールの他端面側に当接して装着される第二基板と、
前記第一基板および前記第二基板を連結するとともに、前記第一基板および前記第二基板が前記ロールに装着されている際に前記第一基板および前記第二基板から前記ロールの幅方向内側へ向かって加わる力に抗する支持部と、を備える
ことを特徴とするロールプロテクタ。
【請求項２】
請求項１に記載のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板の少なくともいずれかと一体化されている
ことを特徴とするロールプロテクタ。
【請求項３】
請求項１に記載のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板とは別体化されている
ことを特徴とするロールプロテクタ。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板の間に配置される支柱である
ことを特徴とするロールプロテクタ。
【請求項５】
フィルム部材が芯材に巻き付けられているロールと、
請求項１から請求項４までのいずれかに記載のロールプロテクタと、を備え、
前記第一基板が前記ロールの一端面側に当接して装着され、
前記第二基板が前記ロールの他端面側に当接して装着され、
前記芯材に巻き付けられた状態で前記フィルム部材同士の間に隙間が形成されている
ことを特徴とするロール保持体。
【請求項６】
請求項５に記載のロール保持体において、
前記フィルム部材は、半導体加工用フィルム部材である
ことを特徴とするロール保持体。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載のロール保持体としてロールを保管するロールの保管方法。
【請求項８】
請求項７に記載のロールの保管方法において、
前記ロールが−４０℃以上１０℃以下の温度で保管される
ことを特徴とするロールの保管方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールプロテクタ、ロール保持体およびロールの保管方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムを芯材に巻き付けた円筒状のロールを搬送する際に、当該ロールの幅方向両端に装着させるロールプロテクタが用いられている（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
特許文献１および特許文献２に記載されたロール部材用プロテクタ（ロールプロテクタ）は、略正方形の平板部と、この平板部の中央部に設けられたロール部材の保持部と、平板部の周縁部に連接された矩形枠状の側壁部とを備えている。
【０００３】
図１２には、従来のロールプロテクタ１００でロール２００を保持した状態を示す斜視図が示され、図１３には、その状態の断面図が示されている。
ロール２００は、中空の円筒状の芯材２０１にフィルム部材２０２が巻き付けられている。ロールプロテクタ１００は、図１２および図１３に示すように、平板状の基板１０１を有し、その表面部１０２から厚み方向に窪む凹部１０４が形成されており、その凹部の底面には、装着時にロール２００の幅方向端部が当接する底部１０５が形成されている。ロール２００の幅方向両端側は、図１３に示すように、芯材２０１とフィルム部材２０２の端部が同一面に揃えられているので、装着時には、底部１０５がこれらに当接した状態となる。このように当接させることで、ロール幅方向でフィルムがずれること（以下、巻ずれという場合がある。）を防止できる。底部１０５の中央部にはロールの保持部１０７が形成されており、この保持部１０７がロール２００の芯材２０１の中空部分に挿入されて保持される。
ロールプロテクタ１００を装着させた後、図１２および図１３に示すように、結束バンド３００でロールプロテクタ１００の外側から抑えるように固定した状態でロール２００が搬送される。ロール２００からロールプロテクタ１００が外れないようにするためである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１０２１６号公報
【特許文献２】特許第３９７８５９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１２および図１３に示すように結束バンド３００でロールプロテクタ１００を固定すると、ロール２００の両端に装着された各基板１０１からロール幅方向内側へ向かう力がロール２００に対して加わる。このとき、基板１０１の底部１０５は、芯材２０１とフィルム部材２０２の端部に当接しているので、フィルム部材２０２にも同じ方向に力が加わろうとする。
フィルム部材２０２は、芯材２０１に比べて薄く柔らかい材質で形成されているので、フィルム部材２０２がその幅方向両側から押されて撓み、皺が発生し易いという問題がある。特に、ロール２００の表層側に巻き付けられている部分で皺が発生し易い。
また、フィルム部材２０２が複数のフィルムや粘着剤層を積層させたような積層フィルムである場合には、フィルム部材２０２の撓みによって積層部材同士が剥離する場合があるという問題もある。さらに、フィルム部材２０２の性能や用途によっては、ロール２００がロールプロテクタ１００で保持された状態のまま低温で保管されることもある。このような場合、結束バンド３００が低温になって収縮し、ロール２００両端から内側へ向かう力がさらに大きくなるので、上記のようなフィルム部材２０２の皺や剥離が発生し易くなるという問題もある。結束バンド３００は、樹脂製であることが多く、例えばポリプロピレン製であれば、低温での収縮が大きくなるので、フィルムの皺や積層部材同士の剥離等の問題が発生し易くなる。
【０００６】
本発明の目的は、ロールに巻き付けられたフィルム部材の皺の発生や、フィルム部材が積層フィルムの場合には積層部材同士の剥離の発生を防止できるロールプロテクタ、ロール保持体およびロールの保管方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のロールプロテクタは、
フィルム部材が芯材に巻き付けられているロールの一端面側に当接して装着される第一基板と、
前記ロールの他端面側に当接して装着される第二基板と、
前記第一基板および前記第二基板を連結するとともに、前記第一基板および前記第二基板が前記ロールに装着されている際に前記第一基板および前記第二基板から前記ロールの幅方向内側へ向かって加わる力に抗する支持部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板の少なくともいずれかと一体化されていることが好ましい。
【０００９】
一方で、本発明のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板とは別体化されている場合でも、上述のように一体化されている場合とは異なる効果を奏するので、好ましい。
【００１０】
本発明のロールプロテクタにおいて、
前記支持部は、前記第一基板および前記第二基板の間に配置される支柱であることが好ましい。
【００１１】
本発明のロール保持体は、
フィルム部材が芯材に巻き付けられているロールと、
上記いずれかに記載の本発明のロールプロテクタと、を備え、
前記第一基板が前記ロールの一端面側に当接して装着され、
前記第二基板が前記ロールの他端面側に当接して装着され、
前記芯材に巻き付けられた状態で前記フィルム部材同士の間に隙間が形成されている
ことを特徴とする。
【００１２】
本発明のロール保持体において、
前記フィルム部材は、半導体加工用フィルム部材であることが好ましい。
【００１３】
本発明のロールの保管方法は、上記本発明のロール保持体としてロールを保管することを特徴とする。
【００１４】
本発明のロールの保管方法において、
前記ロールが−４０℃以上１０℃以下の温度で保管されることが好ましい。
【００１５】
本発明のロールプロテクタによれば、支持部を備え、この支持部は、第一基板および第二基板を連結するとともに、第一基板および第二基板がロールに装着されている際に、両基板からロール幅方向内側へ向かう圧縮力（以下、このような力を基板圧縮力という。）に抗し、当該基板圧縮力が当該ロールに対して加わることを防ぐ。
例えば、ロールの一端面側に第一基板を当接させて装着し、他端面側に第二基板を当接させて装着し、さらに結束バンド等で固定すると、両基板は、互いに近接する方向に押される。ロールに対して第一基板および第二基板が当接していると、上述の基板圧縮力がフィルムに加わろうとするが、本発明の支持部は、当該基板圧縮力に抗することができる。ゆえに、本発明によれば、保持されるロールのフィルム部材の皺の発生を防止したり、フィルム部材が積層フィルムの場合に積層部材同士の剥離を防止したりすることができる。
【００１６】
本発明のロール保持体では、芯材に巻き付けられた状態でフィルム部材同士の間に隙間が形成されているロールを本発明のロールプロテクタで保持する。
通常のロールプロテクタに保持されるロールにおいて、上述のようにフィルム部材同士の間に隙間が形成されている場合、上述の基板圧縮力が加わると、フィルム部材の皺の発生や積層部材同士の剥離が発生しやすい。
しかしながら、本発明のロール保持体では、本発明のロールプロテクタが装着されており、フィルム部材の皺の発生や積層部材同士の剥離を防止できる。
【００１７】
本発明のロールの保管方法によれば、上述のような本発明のロール保持体を保管するので、保管時においてフィルム部材の皺の発生や積層部材同士の剥離を防止できる。
【００１８】
本発明のロールプロテクタにおいて、支持部が第一基板および第二基板の少なくともいずれかに一体化されていると、第一基板と第二基板とをロールを挟み込むように装着することで支柱が基板間に配置されるようになり、ロール保持作業が容易になる。
本発明のロールプロテクタにおいて、支持部が第一基板および第二基板とは別体化されていると、支柱の長さ寸法を変えることで、様々な幅方向寸法のロールに対応して保持できる。
【００１９】
本発明のロールプロテクタにおいて、第一基板および第二基板が、ロールに装着されている際に、当該基板間に支柱が配置されるので、ロール両端から内側へ向かって加わる力に対する抗力が発生し易い。
【００２０】
本発明のロール保持体において、保持対象が、半導体加工用フィルム部材が芯材に巻き付けられたロールであっても、フィルム部材の皺の発生や積層部材同士の剥離を防止できるので、半導体製造工程の歩留まり低下を防止できる。
【００２１】
本発明のロールの保管方法においては、ロールが−４０℃以上１０℃以下の温度で保管されるので、例えば、ロールの第一基板および第二基板を装着させた状態でさらに結束バンド等で固定されていると、低温状態になった結束バンドが収縮する。そのため、常温時と比べてより大きな上述の基板圧縮力がロールに対して加わろうとする。しかしながら、本発明においては、上述の本発明のロールプロテクタが、支持部を有しているので、低温時においても上述の基板圧縮力に抗することができる。ゆえに、低温保管時においてもフィルム部材の皺の発生や積層部材同士の剥離を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係るロールプロテクタでロールを保持した状態を示す斜視図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における矢視方向断面図。
【図３】（Ａ）前記第一実施形態に係るロールプロテクタの第一基板の平面図、（Ｂ）図３（Ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線における矢視方向断面図。
【図４】（Ａ）前記第一実施形態に係るロールプロテクタの第二基板の平面図、（Ｂ）図４（Ａ）のＩＶ−ＩＶ線における矢視方向断面図。
【図５】本発明の第二実施形態に係るロールプロテクタでロールを保持した状態を示す断面図。
【図６】本発明の第三実施形態に係るロールプロテクタでロールを保持した状態を示す分解斜視図。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線における本発明の第三実施形態に係るロールプロテクタでロールを保持した状態の矢視方向断面図。
【図８】本発明の第四実施形態に係るロールプロテクタでロールを保持した状態を示す断面図。
【図９】本発明のロールプロテクタで保持されるロールを示す斜視図
【図１０】フィルム部材の図９のＸ−Ｘ線における矢視方向断面図。
【図１１】前記第二実施形態に係るロールプロテクタの支持部の別の例を示す斜視図。
【図１２】従来のロールプロテクタでロールを保持した状態を示す斜視図。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線における矢視方向断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
＜第一実施形態＞
図１には、本発明の第一実施形態に係るロールプロテクタ１でロール４０を保持したロール保持体が示されている。図２には、ロールプロテクタ１の断面図が示されている。ロール４０は、図２に示されているように、円柱状の芯材４１の周りにフィルム部材４２が巻き付けられている。ロール４０の幅方向両端（図２では、ロール４０の上端および下端）については、図２に示すように、芯材４１とフィルム部材４２の端部が同一面に揃えられている。芯材４１は、ロールプロテクタ１で保持するために、芯材４１の幅方向全体にわたって中空の円筒状に形成されている。ただし、芯材は、必ずしも幅方向全体にわたって中空である必要は無い。少なくとも幅方向両端側が中空の円筒状に形成されていれば、幅方向全体にわたって中空でなくともロールプロテクタ１でロール４０を保持することができる。フィルム部材４２としては、単層フィルムや複数のフィルムが積層された積層フィルム、基材フィルムに粘着層が積層された粘着シートなどが挙げられ、可撓性を有している。積層フィルムの例として、後述する第五実施形態の半導体加工用フィルム部材４３（図９及び図１０参照）等が挙げられる。
【００２４】
（ロールプロテクタ）
ロールプロテクタ１は、図１および図２に示されているように、ロール４０の一端側（図２では、ロール４０の下側）に装着されている板状の第一基板１０と、ロール４０の他端側（図２では、ロール４０の上側）に装着されている板状の第二基板２０と、第一基板１０および第二基板２０を連結する２つの支持部３０とを備える。
また、図１および図２に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ１は、ロールプロテクタ１の外側から抑えるように巻き付けられた結束バンド５０で締め付けて固定されている。
【００２５】
（第一基板）
図３（Ａ）には、第一基板１０の平面図が示され、図３（Ｂ）には、第一基板１０の断面図が示されている。
第一基板１０は、ロール４０の一端面側に当接して装着されて、ロール４０を保持するとともに、ロール４０に巻き付けられたフィルム部材４２の巻ずれを防止する。
第一基板１０は、図３（Ａ）に示されているように、第一基板１０の厚み方向で見た平面視（以下、基板平面視という。）で略長方形状に形成された板状の部材である。
第一基板１０は、図１〜図３に示されているように、ロール４０が装着される側の表面部１２と、表面部１２から略垂直方向に立設する２本の支柱１１と、表面部１２から第一基板１０の厚み方向に窪んで形成されている基板凹部１４と、基板凹部１４の底面に形成されている底部１５と、底部１５に形成されている複数の開口部１６と、底部１５の略中央に表面部１２方向に突出して形成されている保持部１７と、を備える。
【００２６】
支柱１１は、後述する第二基板２０の支柱２１（図１、図２および図４参照）と係合して、支持部３０を構成する。
支柱１１は、円柱状に形成されている。支柱１１の先端には、支柱１１の直径よりも小さな直径を有する円柱状の支柱凸部１１ａが形成されている。支柱凸部１１ａは、支柱１１の支柱上面１１ｂから突出しており、支柱凸部１１ａの上面は、支柱凸部上面１１ｃである。第一基板１０が備える２本の支柱１１は、同じ形状であり、いずれも第一基板１０と一体に形成されている。支柱１１の詳細については、支持部３０の説明と共に後に説明する。
【００２７】
基板凹部１４は、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されているように、円柱状に窪んでおり、ロール４０の一端側を一部収容する。また、基板凹部１４の両側には、支柱１１が１つずつ配置されている。
底部１５は、図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されているように、円柱状に窪む基板凹部１４の底面に円形薄板状に形成されている。底部１５には、図１および図２に示されているように、ロール４０の一端面側が当接している。上記のとおり、芯材４１およびフィルム部材４２の端部が同一面に揃えられているので、芯材４１およびフィルム部材４２の端部は、底部１５に当接している。
開口部１６は、図３（Ａ）に示されているように、扇形に形成され、第一基板１０の表面部１２とは反対側の裏面側まで貫通する。このような開口部１６を複数設けることで、第一基板１０の軽量化を図ることができる。開口部１６が形成されているため、底部１５は、その中心から外側に放射状に延びる梁部１５ａが形成されていることになる。図２に示されているように、この梁部１５ａに対して、芯材４１の一部およびフィルム部材４２が当接している。
保持部１７は、芯材４１の一端面側に着脱可能に係合して、ロール４０の一端側を保持する。保持部１７は図３（Ａ）および図３（Ｂ）に示されているように、中空の略円筒状に形成されている。保持部１７の側面は、図３に示されているように、テーパー状に形成されている。
【００２８】
（第二基板）
図４（Ａ）には、第二基板２０の平面図が示され、図４（Ｂ）には、第二基板２０の断面図が示されている。
第二基板２０は、ロール４０の他端面側に当接して装着されて、ロール４０を保持するとともに、ロール４０に巻き付けられたフィルム部材４２の巻ずれを防止する。
第二基板２０も、図４（Ａ）に示されているように、第一基板１０と同様、第二基板２０の厚み方向で見た平面視（以下、基板平面視という。）で略長方形状に形成された板状の部材である。
第二基板２０は、図２および図４に示されているように、ロール４０が装着される側の表面部２２と、表面部２２から略垂直方向に立設する２本の支柱２１と、表面部２２から第二基板２０の厚み方向に窪んで形成されている基板凹部２４と、基板凹部１４の底面に形成されている略円形薄板状の底部２５と、底部２５に形成されている複数の開口部２６と、底部２５の略中央から放射状に延びる梁部２５ａと、底部２５の略中央に表面部２２方向に突出して形成されている保持部２７と、を備える。
第二基板２０も基本的に第一基板１０と同様の構造を有するが、支柱２１の形状が、第一基板１０の支柱１１の形状と異なる。支柱２１は、円柱状に形成されている。支柱２１の先端には、支柱凹部２１ａが形成されている。支柱凹部２１ａは、支柱２１の上面にあたる支柱上面２１ｂに形成されている。具体的には、支柱凹部２１ａは、支柱２１の直径よりも小さな直径を有する円柱状に窪んで形成されている。支柱凹部２１ａの底面は、支柱凹部底面２１ｃである。第二基板２０が備える２本の支柱２１は、同じ形状であり、いずれも第二基板２０と一体に形成されている。
支柱２１以外の、表面部２２、基板凹部２４、底部２５、梁部２５ａ、開口部２６および保持部２７は、対応する名称を有する第一基板１０の各部位と同様であるため、説明を省略する。
【００２９】
第一基板１０および第二基板２０は、成形性、軽量性、価格等の観点から、合成樹脂からなることが好ましく、より好ましくは射出成形により作製可能な熱可塑性樹脂からなることが好ましい。合成樹脂としては、特に制限されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル (Acrylonitrile)、ブタジエン(Butadiene)、スチレン(Styrene)共重合樹脂）、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。
【００３０】
（支持部）
支持部３０は、ロール４０に対して第一基板１０および第二基板２０が装着されている際に、第一基板１０の支柱１１と第二基板２０の支柱２１とが係合されることで構成される。支持部３０は、第一基板１０と第二基板２０との間に立設する支柱として、第一基板１０および第二基板２０がロール４０に装着されている際に、両基板１０，２０からロール幅方向内側へ向かってロール４０に対して加わる力（上述の基板圧縮力）に抗する。
ここで、支持部３０を構成する支柱１１および支柱２１について説明する。ロール４０に対して第一基板１０および第二基板２０が装着されている際に、支柱１１の支柱凸部１１ａと支柱２１の支柱凹部２１ａは、互いに着脱可能に係合するように、その寸法が設定されている。このように係合するとき、支柱１１の先端部と支柱２１の先端部とが当接している。具体的には、支柱上面１１ｂと支柱上面２１ｂとが当接し、支柱凸部上面１１ｃと支柱凹部底面２１ｃとが当接している。
また、支柱１１の高さ寸法（表面部１２から支柱凸部１１ａの根元までの寸法）および支柱２１の高さ寸法（表面部２２から支柱２１の先端までの寸法）は、ロール４０に対して第一基板１０および第二基板２０が装着された際に、ロール４０の両端が、第一基板１０の底部１５および第二基板２０の底部２５にそれぞれ当接するような寸法に設定されている。
支持部３０は、上述の基板圧縮力に抗することのできる材質で形成されている。例えば、成形性、軽量性、価格等の観点から、第一基板１０および第二基板２０で説明した合成樹脂の中から選ばれる。その他、金属製、木製等のものであっても良い。
【００３１】
（ロールの保持方法）
ロールプロテクタ１を用いてロール４０を保持する方法に関しては、次のような手順が実施される。
まず、第一基板１０の保持部１７をロール４０の芯材４１の一端側の開口に挿入し、ロール４０の一端面側を第一基板１０の底部１５に当接させる。
続いて、第二基板２０の保持部２７を芯材４１の他端側の開口に挿入し、ロール４０の他端面側を第二基板２０の底部２５に当接させるとともに、第一基板１０の２つの支柱１１の支柱凸部１１ａと、第二基板２０の２つの支柱２１の支柱凹部２１ａとを係合させる。
さらに、図１や図２に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ１の外側から結束バンド５０を巻き付けて固定する。結束バンドとしては、例えば、ポリプロピレン製のものが挙げられる。
なお、第一基板１０および第二基板２０をどちらか一方を先に装着しても良いし、同時に装着しても良い。
【００３２】
（ロール保管方法）
上記の通り、ロール４０をロールプロテクタ１で保持した後は、図１や図２に示されているように、縦置きの状態で保管しても良いし、横倒しにして横置きの状態で保管しても良い。ロール４０の保管としては、例えば、保管室に置いておく場合や、ロール４０を搬送する車両等の搬送コンテナ内に置いておく場合が挙げられる。
さらに、ロール４０をロールプロテクタ１で保持したまま、防湿袋などの保護袋に入れて保管しても良い。
ロールプロテクタ１で保持されたロール４０は、低温に維持された搬送コンテナや保管室内にて保管しても良い。特に、フィルム部材４２が、後述するような半導体加工用フィルム部材の場合には、剥離フィルム上に熱硬化成分を含む粘着剤層が積層されていることが多い。そのため、保管時に粘着剤層が変質しないよう、低温で保管し、粘着剤層の反応性を抑え、保存期間を延ばすことがなされる場合がある。低温での保管条件としては、例えば、−４０℃以上１０℃以下である。なお、低温になり過ぎるとフィルム部材４２の構成材料の線膨張係数の差により、皺や剥離が発生するおそれがある。
【００３３】
〔第一実施形態の作用効果〕
第一実施形態に係るロールプロテクタ１によれば、次のような効果を奏する。
ロールプロテクタ１は、支持部３０を備え、この支持部３０が、第一基板１０および第二基板２０を連結するとともに、第一基板１０および第二基板２０がロール４０に装着されている際に、上述の基板圧縮力に抗する。ロール４０の両端は、それぞれ第一基板１０の底部１５および第二基板２０の底部２５に当接した状態で保持されているが、支持部３０は、当該基板圧縮力がフィルム部材４２に加わるのを防ぐことができる。したがって、フィルム部材４２の皺の発生を防止したり、積層フィルムの場合に積層部材同士の剥離を防止したりすることができる。
特に、ロールプロテクタが結束バンド５０で固定されている場合には、当該基板圧縮力が加わり易いが、第一実施形態に係るロールプロテクタ１によれば、支持部３０によって上述のフィルムの皺や剥離を防止できる。さらに、低温で保管された場合、結束バンド５０が収縮して、当該基板圧縮力が大きくなるが、ロールプロテクタ１によれば、支持部３０が当該基板圧縮力に対して抗するので、上述のフィルムの皺や剥離を防止できる。
【００３４】
また、ロールプロテクタ１によれば、第一基板１０および第二基板２０が、ロール４０に装着されている際に、当該基板１０，２０間に支持部３０としての支柱が配置される。そのため、上述の基板圧縮力に対する抗力を発生させ易い。
【００３５】
また、ロールプロテクタ１の装着時には、支柱上面１１ｂと支柱上面２１ｂとが当接し、支柱凸部上面１１ｃと支柱凹部底面２１ｃとが当接しているので、基板圧縮力に対して、これらの当接面で抗力が生じる。その結果、ロールプロテクタ１によれば、支持部３０の当該基板圧縮力に対する抗力をより確実に発生させることができる。
【００３６】
さらに、ロールプロテクタ１によれば、第一基板１０に支柱１１が一体化され、第二基板２０に支柱２１が一体化されている。そのため、支柱凸部１１ａと、支柱凹部２１ａとを係合させるように第一基板１０および第二基板２０をロール４０に対して装着すれば、当該基板１０，２０間に支持部３０としての支柱が配置されるので、ロール保持作業が容易になる。
【００３７】
また、ロールプロテクタ１では、第一基板１０および第二基板２０にそれぞれ開口部１６および開口部２６を形成して軽量化を図っている。そのため、第一基板１０の底部１５には、梁部１５ａが形成され、第二基板２０の底部２５には、梁部２５ａが形成されており、この梁部１５ａ，２５ａに対して、芯材４１の一部およびフィルム部材４２の端部が当接している。フィルム部材４２の端部に対して梁部１５ａ，２５ａが所定間隔を置いて当接していると、フィルム部材４２の当該当接部分に上述の基板圧縮力が集中的に加わる。そのため、従来の支柱が無いロールプロテクタ１００を装着した状態では、フィルム部材４２がより撓み易く、皺が発生し易くなる。しかしながら、ロールプロテクタ１は、支持部３０としての支柱が形成されているので、当該基板圧縮力の集中的な付与が防止される。その結果、軽量化を図るために第一基板１０および第二基板２０に開口部１６および開口部２６を形成しても、皺の発生等を防止できる。
【００３８】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態に係るロールプロテクタ２について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部分については、同一符号を付してその説明を省略又は簡略する。
図５には、ロール４０を保持した状態のロールプロテクタ２の断面図が示されている。なお、断面の位置は、第一実施形態に係るロールプロテクタ１の図２と同様である。また、ロールプロテクタ２の斜視図は、省略するが、ロールプロテクタ１の斜視図である図１の支持部３０とは形状が異なる以外同様となる。
ロールプロテクタ２は、支持部の構成が、第一実施形態のロールプロテクタ１の支持部３０と異なる。ロールプロテクタ１の支持部３０においては、第一基板１０および第二基板２０にそれぞれ一体化された支柱１１および支柱２１が係合して構成されるのに対し、ロールプロテクタ２の支持部３１は、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａとは別体に形成されている点で相違する。
【００３９】
（ロールプロテクタ）
ロールプロテクタ２は、図５に示されているように、ロール４０の一端側（図５では、ロール４０の下側）に装着されている板状の第一基板１０Ａと、ロール４０の他端側（図５では、ロール４０の上側）に装着されている板状の第二基板２０Ａと、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａを連結する２つの支持部３１とを備える。
また、図５に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ２は、第一実施形態と同様に結束バンド５０で固定されている。
【００４０】
（第一基板および第二基板）
第二実施形態における第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａは、それぞれ第一実施形態の第一基板１０および第二基板２０の支柱１１および支柱２１を備えず、代わりに係合凹部１８，係合凹部２８を備える点以外は、第一基板１０および第二基板２０と同様の構成を備えている。
第一基板１０Ａの係合凹部１８は、図５に示されているように、保持部１７を挟んで両側の表面部１２に一つずつ形成されている。係合凹部１８は、表面部１２から円柱状に窪んで形成されている。係合凹部１８の底面は、係合凹部底面１８ａである。
第二基板２０Ａの係合凹部２８も、図５に示されているように、保持部２７を挟んで両側の表面部２２に一つずつ形成されている。係合凹部２８は、表面部２２から円柱状に窪んで形成されている。係合凹部２８の底面は、係合凹部底面２８ａである。
【００４１】
（支持部）
支持部３１は、図５に示されているように円柱状に形成されている。支持部３１は、支持部３０と同様に、第一基板１０Ａと第二基板２０Ａとの間に立設する支柱として、上述の基板圧縮力に抗する。
支持部３１は、長手方向両端の端面３１ｂから外側に向かって円柱状に突出する支柱凸部３１ａを有する。支柱凸部３１ａの端部には、平坦状の支柱凸部表面３１ｃが形成されている。
ここで、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａと、支持部３１との連結状態について説明する。第一基板１０Ａの係合凹部１８および第二基板２０Ａの係合凹部２８と、支持部３１の支柱凸部３１ａとは、互いに着脱可能に係合するようにその寸法が設定されている。このように係合するとき、支持部３１の２つの支柱凸部３１ａは、それぞれ第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａの表面と当接している。具体的には、第一基板１０Ａ側では、支持部３１の一方側の端面３１ｂと表面部１２とが当接し、支柱凸部表面３１ｃと係合凹部底面１８ａとが当接している。また、第二基板２０Ａ側では、支持部３１の他方側の端面３１ｂと表面部２２とが当接し、支柱凸部表面３１ｃと係合凹部底面２８ａとが当接している。
また、支持部３１の長さ寸法は、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａの間に支持部３１が設置されるとともにロール４０に対して装着されている際に、ロール４０の両端が、底部１５および底部２５にそれぞれ当接するような寸法に設定されている。なお、ここでの支持部３１の長さ寸法は、一方の端面３１ｂから他方の端面３１ｂまでの寸法をいう。
【００４２】
（ロールの保持方法）
ロールプロテクタ２を用いてロール４０を保持する方法に関しては、次のような手順が実施される。
まず、第一基板１０Ａの保持部１７をロール４０の芯材４１の一端側の開口に挿入し、ロール４０の一端面側を第一基板１０Ａの底部１５に当接させる。
続いて、第一基板１０Ａの２つの係合凹部１８に対して、２つの支持部３１の一端側の支柱凸部３１ａを係合させる。
その後、第二基板２０Ａの保持部２７を芯材４１の他端側の開口に挿入し、ロール４０の他端面側を第二基板２０Ａの底部２５に当接させるとともに、すでに第一基板１０Ａに連結している支持部３１の他端側の支柱凸部３１ａと第二基板２０Ａの係合凹部２８とを係合させる。
さらに、第一実施形態と同様にして、ロール４０に装着されたロールプロテクタ２の外側から結束バンド５０を巻き付けて固定する。
なお、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａをどちらか一方を先に装着しても良いし、同時に装着しても良い。
【００４３】
（ロール保管方法）
第二実施形態のロールプロテクタ２で保持したロール４０も、第一実施形態と同様にして、保管される。
【００４４】
〔第二実施形態の作用効果〕
第二実施形態に係るロールプロテクタ２によれば、次のような効果を奏する。
ロールプロテクタ２は、支持部３１を備え、この支持部３１は、第一実施形態の支持部３０と同様に、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａを連結するとともに、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａがロール４０に装着されている際に、上述の基板圧縮力に抗する。そのため、ロールプロテクタ２によれば、第一実施形態の支持部３０と同様に、フィルム部材４２の皺の発生を防止したり、積層フィルムの場合に積層部材同士の剥離を防止したりすることができる。結束バンド５０で固定されている場合、および低温保管されている場合についても同様に効果を奏する。
【００４５】
また、ロールプロテクタ２によれば、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａが、ロール４０に装着されている際に、当該基板１０Ａ，２０Ａ間に支持部３１としての支柱が配置される。そのため、上述の基板圧縮力に対する抗力を発生させ易い。
【００４６】
また、ロールプロテクタ２の装着時には、第一基板１０Ａ側では、支持部３１の一方側の端面３１ｂと表面部１２とが当接し、支柱凸部表面３１ｃと係合凹部底面１８ａとが当接している。一方、第二基板２０Ａ側では、支持部３１の他方側の端面３１ｂと表面部２２とが当接し、支柱凸部表面３１ｃと係合凹部底面２８ａとが当接している。そのため、基板圧縮力に対して、これらの当接面で抗力が生じる。ゆえに、ロールプロテクタ２によれば、支持部３１の当該基板圧縮力に対する抗力をより確実に発生させることができる。
【００４７】
さらにロールプロテクタ２によれば、支持部３１が第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａとは別体化されている。そのため、ロール４０とは異なる幅方向寸法を有する別のロールを保持したい場合には、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａはそのまま共通して利用でき、当該別のロールの幅方向寸法に対応した長さ寸法の別の支持部を用意すればよい。このように、支持部の長さ寸法を変えることで、様々な幅方向寸法のロールに対して対応できるので、ロールプロテクタの部材の種類を増やさずに済み、コストを低減できる。
【００４８】
＜第三実施形態＞
次に、本発明の第三実施形態に係るロールプロテクタ３について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部分については、同一符号を付してその説明を省略又は簡略する。
図６には、ロール４０を保持した状態のロールプロテクタ３の分解斜視図が示されている。図７には、ロールプロテクタ３の断面図が示されている。
ロールプロテクタ３は、支持部の構成が、第一実施形態の支持部３０や第二実施形態の支持部３１と異なる。ロールプロテクタ１の支持部３０においては、第一基板１０に一体化された支柱１１および第二基板２０に一体化された支柱２１が係合して構成されるのに対し、ロールプロテクタ３の支持部３２は、第一基板１０Ａおよび第二基板２０Ａとは別体に形成されている点で相違する。また、ロールプロテクタ２の支持部３１は、２つの基板の表面部１２と表面部２２との間に立設する円柱状の支柱であるのに対し、ロールプロテクタ３の支持部３２は、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂのそれぞれの側面に係合して両基板１０Ｂ，２０Ｂを連結する点で相違する。
【００４９】
（ロールプロテクタ）
ロールプロテクタ３は、図６および図７に示されているように、ロール４０の一端側（図７では、ロール４０の下側）に装着されている板状の第一基板１０Ｂと、ロール４０の他端側（図７では、ロール４０の上側）に装着されている板状の第二基板２０Ｂと、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂを連結する２つの支持部３２とを備える。
また、図７に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ２は、第一実施形態と同様に結束バンド５０で固定されている。
【００５０】
（第一基板および第二基板）
第三実施形態における第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂは、それぞれ第一実施形態の第一基板１０および第二基板２０の支柱１１および支柱２１を備えていない。その代わりに、第一基板１０Ｂの基板側面１９に側面凹部１９ａが形成され、第二基板２０Ｂの基板側面２９に側面凹部２９ａが形成されている。それ以外の点は、第一基板１０および第二基板２０と同様の構成を備えている。
第一基板１０Ｂの側面凹部１９ａは、図６および図７に示されているように、基板側面１９の４つの面のうち、一つの側面に４箇所形成され、この面とは反対側の側面にも４箇所形成されている。側面凹部１９ａの配置は、２行２列の配置となっている。第二基板２０Ｂの側面凹部２９ａについても、図６および図７に示されているように、側面凹部１９ａと同様に形成されている。側面凹部１９ａおよび側面凹部２９ａは、それぞれ基板側面１９および基板側面２９から円柱状に窪んで形成されている。
【００５１】
（支持部）
支持部３２は、図６および図７に示されているように、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂの基板側面１９および基板側面２９に係合し、両基板１０Ｂ，２０Ｂを連結するとともに側面から支持する支柱として、上述の基板圧縮力に抗する。
支持部３２は、ロール４０に第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂが装着されている際に、基板側面１９と基板側面２９とに渡って連結可能な長さ寸法の長尺状の板状部材である。支持部３２は、板状部材の表面から円柱状に突出する係合凸部３２ａを有する。係合凸部３２ａは、長手方向の一端側に８個形成され、他端側にも８個形成されている。一端側および他端側においても、図６および図７に示されているように、４行２列の配置となっている。
上述の側面凹部１９ａ、側面凹部２９ａ、および係合凸部３２ａは、支持部３２を第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂに対して装着させるときに、これらが係合可能に配置されている。本実施形態では、１６個の係合凸部３２ａの内、支持部３２の長手方向端部寄りの４個（２行２列）の組合せが、それぞれ、側面凹部１９ａの４箇所および側面凹部２９ａの４箇所と係合可能に配置されている。また、側面凹部１９ａおよび側面凹部２９ａと、係合凸部３２ａとは、互いに着脱可能に係合するようにその寸法が設定されている。
【００５２】
（ロールの保持方法）
ロールプロテクタ３を用いてロール４０を保持する方法に関しては、次のような手順が実施される。
まず、第一基板１０Ｂの保持部１７をロール４０の芯材４１の一端側の開口に挿入し、ロール４０の一端面側を第一基板１０Ｂの底部１５に当接させる。
続いて、第二基板２０Ｂの保持部２７を芯材４１の他端側の開口に挿入し、ロール４０の他端面側を第二基板２０Ｂの底部２５に当接させる。
次に、支持部３２の長手方向一端側の４個の係合凸部３２ａを第一基板１０Ｂの４箇所の側面凹部１９ａに挿入して係合させるとともに、他端側の４個の係合凸部３２ａを第二基板２０Ｂの４箇所の側面凹部２９ａに挿入して係合させる（図６参照）。支持部３２は、ロール４０に対して両側に配置されるように２つ装着させる。
さらに、図７に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ１の外側から結束バンド５０を巻き付けて固定する。
なお、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂをどちらか一方を先に装着しても良いし、同時に装着しても良い。
【００５３】
（ロールの保管方法）
第三実施形態のロールプロテクタ３で保持したロール４０も、第一実施形態と同様にして、保管される。
【００５４】
〔第三実施形態の作用効果〕
第三実施形態に係るロールプロテクタ３によれば、次のような効果を奏する。
ロールプロテクタ３は、支持部３２を備え、この支持部３２は、第一実施形態の支持部３０や第二実施形態の支持部３１と同様に、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂを連結するとともに、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂがロール４０に装着されている際に、上述の基板圧縮力に抗する。そのため、ロールプロテクタ３によれば、支持部３０や支持部３１と同様に、フィルム部材４２の皺の発生を防止したり、積層フィルムの場合に積層部材同士の剥離を防止したりすることができる。結束バンド５０で固定されている場合、および低温保管されている場合についても同様に効果を奏する。
【００５５】
また、ロールプロテクタ３によれば、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂが、ロール４０に装着されている際に、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂの側面から係合し、支持部３２としての支柱が配置される。そのため、上述の基板圧縮力に対する抗力を発生させ易い。
【００５６】
さらに、ロールプロテクタ３によれば、保持部１７および保持部２７と、芯材４１とが係合する方向（ロール４０の幅方向）に対して交差する方向で、側面凹部１９ａおよび側面凹部２９ａと、係合凸部３２ａとが係合している。そのため、ロール４０から第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂが離脱することを防止できる。この場合、結束バンド５０を用いずにロール４０を支持することも可能である。
【００５７】
さらにロールプロテクタ３によれば、支持部３２が第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂとは別体化されている。そのため、ロール４０とは異なる幅方向寸法を有する別のロールを保持したい場合には、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂはそのまま共通して利用でき、支持部３２について当該別のロールの幅方向寸法に対応した位置に係合凸部３２ａを形成しておけば、係合凸部３２ａと側面凹部１９ａ，側面凹部２９ａとの係合位置を調整できる。
例えば、ロール４０よりもロール幅方向寸法が小さい小ロールであれば、当該小ロールに対して、第一基板１０Ｂおよび第二基板２０Ｂを装着させた後、支持部３２の長手方向の内側寄りの４つの係合凸部３２ａの組合せを側面凹部１９ａおよび側面凹部２９ａに係合させることで、別の支持部を用いずに当該小ロールを保持できる。
このように、様々な幅方向寸法のロールに対して対応できるので、ロールプロテクタの部材の種類を増やさずに済み、コストを低減できる。
【００５８】
＜第四実施形態＞
次に、本発明の第四実施形態に係るロールプロテクタ４について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部分については、同一符号を付してその説明を省略又は簡略する。
図８には、ロール４０を保持した状態のロールプロテクタ４の断面図が示されている。なお、断面の位置は、第一実施形態に係るロールプロテクタ１の図２と同様である。また、ロールプロテクタ４の斜視図は、省略するが、ロールプロテクタ１の斜視図である図１の支持部３０とは形状が異なる以外同様となる。
ロールプロテクタ４は、ロールを保持する基板の構造が、第一実施形態のロールプロテクタ１の基板と異なる。ロールプロテクタ１においては、第一基板１０と第二基板２０との構造が異なるのに対して、ロールプロテクタ４においては、第一基板１０Ｃと第二基板２０Ｃとが同じ構造である点で相違する。
【００５９】
（ロールプロテクタ）
ロールプロテクタ４は、図８に示されているように、ロール４０の一端側（図８では、ロール４０の下側）に装着されている板状の第一基板１０Ｃと、ロール４０の他端側（図８では、ロール４０の上側）に装着されている板状の第二基板２０Ｃと、第一基板１０Ｃおよび第二基板２０Ｃを連結する２つの支持部３３とを備える。
また、図８に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ４は、第一実施形態と同様に結束バンド５０で固定されている。
【００６０】
（第一基板および第二基板）
第四実施形態における第一基板１０Ｃは、第一実施形態の第一基板１０の支柱１１と第二基板２０の支柱２１とを一つずつ備える。同じく、第二基板２０Ｃも、第一実施形態の第一基板１０の支柱１１と第二基板２０の支柱２１とを一つずつ備える。
【００６１】
（支持部）
支持部３３は、第一基板１０Ｃと第二基板２０Ｃとの間に立設する支柱として、上述の基板圧縮力に抗する。
上述のように、第一基板１０Ｃおよび第二基板２０Ｃは、それぞれ一つずつ第一実施形態の第一基板１０の支柱１１と第二基板２０の支柱２１とを備える。そのため、第一基板１０Ｃと第二基板２０Ｃとの連結は、第一基板１０Ｃの支柱１１の支柱凸部１１ａと、第二基板２０Ｃの支柱２１の支柱凹部２１ａとが係合することでなされ、図８の左側の支持部３３が形成されている。さらに、第一基板１０Ｃの支柱２１の支柱凹部２１ａと、第二基板２０Ｃの支柱１１の支柱凸部１１ａとが係合することで連結がなされ、図８の右側の支持部３３が形成されている。
【００６２】
（ロールの保持方法）
ロールプロテクタ４を用いてロール４０を保持する方法に関しては、次のような手順が実施される。
まず、第一基板１０Ｃの保持部１７をロール４０の芯材４１の一端側の開口に挿入し、ロール４０の一端面側を第一基板１０Ｃの底部１５に当接させる。
続いて、第二基板２０Ｃの保持部２７を芯材４１の他端側の開口に挿入し、ロール４０の他端面側を第二基板２０Ｃの底部２５に当接させるとともに、第一基板１０Ｃの支柱１１の支柱凸部１１ａと、第二基板２０Ｃの支柱２１の支柱凹部２１ａとを係合させ、さらに、第一基板１０Ｃの支柱２１の支柱凹部２１ａと、第二基板２０Ｃの支柱１１の支柱凸部１１ａとが係合させる。
そして、図８に示されているように、ロール４０に装着されたロールプロテクタ４の外側から結束バンド５０を巻き付けて固定する。結束バンドとしては、例えば、ポリプロピレン製のものが挙げられる。
なお、第一基板１０Ｃおよび第二基板２０Ｃをどちらか一方を先に装着しても良いし、同時に装着しても良い。
【００６３】
（ロール保管方法）
第四実施形態のロールプロテクタ４で保持したロール４０も、第一実施形態と同様にして、保管される。
【００６４】
〔第四実施形態の作用効果〕
第四実施形態に係るロールプロテクタ４によれば、第一実施形態のロールプロテクタ１と同様の効果に加え、次のような効果を奏する。
第一基板１０Ｃと第二基板２０Ｃとは、同じ構造である。そのため、ロールプロテクタ４によれば、第一実施形態のロールプロテクタ１のように２種類の基板（第一基板１０および第二基板２０）を用意する必要が無く、１種類の基板を用意すればよいのでコストを低減できる。例えば、第一基板１０Ｃおよび第二基板２０Ｃが射出成形により作製可能な熱可塑性樹脂製である場合、成形金型を１種類用意すればよい。
【００６５】
＜第五実施形態＞
次に、本発明の第五実施形態について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、既に説明した部分と同一の部分については、同一符号を付してその説明を省略又は簡略する。
第五実施形態では、芯材４１に巻き付けられるフィルムが、積層フィルムであるとともに、フィルム上に段差が形成されているようなフィルムである場合を例に挙げて説明する。
図９には、芯材４１に半導体加工用フィルム部材４３が巻き付けられたロール４０の斜視図が示されている。図９では、説明のため、半導体加工用フィルム部材４３が一部展開された状態が示されている。ロール４０の幅方向両端側は、図１０に示すように、芯材４１と半導体加工用フィルム部材４３の端部が同一面に揃えられている。
図１０には、図９のＸ−Ｘ線における矢視方向断面図（半導体加工用フィルム部材４３の厚さ方向断面図）が示されている。
【００６６】
半導体加工用フィルム部材４３は、半導体加工プロセスで用いられるフィルム部材であって、具体的にはシリコンウエハのダイシング・ダイボンディング工程で用いられるものである。図１０に示されているように、半導体加工用フィルム部材４３は、剥離フィルム４３１側から順に、第一粘着剤層４３２、第一フィルム層４３３、第二粘着剤層４３４、第二フィルム層４３５が積層されている。
このような半導体加工用フィルム部材４３を半導体ウエハ（図示せず）に貼付する際は、まず、剥離フィルム４３１を剥離し、図９に示されているような円形にプリカットされた第二粘着剤層４３４部分を露出させる。次に、この露出した第二粘着剤層４３４部分に半導体ウエハを貼付する。また、第二粘着剤層４３４の当該円形部分外周には、円形枠状に露出する第一粘着剤層４３２が形成されており、この第一粘着剤層４３２部分に半導体ウエハを保持するリングフレーム（図示せず）を貼付する。このように半導体加工用フィルム部材４３が貼付された半導体ウエハおよびこれを保持するリングフレームは、その後、ダイシング工程へ搬送され、さらにその後、ダイボンディング工程へと搬送される。
半導体加工用フィルム部材４３は、半導体ウエハおよびリングフレームが貼付される上述の円形部分とその他の部分とを区分するようにプリカットされているため、図１０に示されているように、段差Ｄ１を有する。また、半導体加工用フィルム部材４３は、半導体ウエハが貼付される第二粘着剤層４３４部分が円形に露出するようにプリカットされているため、図１０に示されているように、段差Ｄ２を有する。このような段差Ｄ１および段差Ｄ２を有する半導体加工用フィルム部材４３が芯材４１に巻き付けられていると、剥離フィルム４３１側にさらに第二フィルム層４３５が配置された状態となる。そうすると、剥離フィルム４３１と第二フィルム層４３５とで挟まれた段差Ｄ１および段差Ｄ２の部分が隙間となる。
このような半導体加工用フィルム部材４３が芯材４１に巻き付けられて上述のような隙間を有するロール４０に対しても、上述のロールプロテクタ１，２，３，４を装着させることが可能である。
【００６７】
〔第五実施形態の作用効果〕
第五実施形態によれば、次のような効果を奏する。
半導体加工用フィルム部材４３が巻き付けられたロール４０のように半導体加工用フィルム部材４３同士の間に隙間が形成されていると、上述の基板圧縮力が半導体加工用フィルム部材４３に加わったときに、当該隙間部分で撓みやすい。しかしながら、上述のロールプロテクタ１，２，３，４を装着させることで、半導体加工用フィルム部材４３に基板圧縮力が加わるのを防ぐことができる。そのため、フィルム部材４２の皺の発生を防止することができる。
また、半導体加工用フィルム部材４３のように、複数層が積層されている積層フィルムの場合には、異なる部材同士の界面が存在する。そのため、基板圧縮力がフィルムに加わると、当該界面から積層されているフィルム等の部材同士が剥離してしまうおそれがある。しかしながら、上述のロールプロテクタ１，２，３，４を装着させることで、上記と同様に、積層部材同士の剥離を防止することができる。
【００６８】
また、半導体加工用フィルム部材４３はシリコンウエハのダイシング・ダイボンディング工程で用いられるものであり、第二粘着剤層４３４には、熱硬化成分が含まれている。そのため、半導体加工用フィルム部材４３が巻き付けられたロールを、低温で保管する必要がある。低温保管されると上述のとおり基板圧縮力がロールに対して加わろうとし、かつ半導体加工用フィルム部材４３は、上述のような隙間部分を有するので撓み易い。しかしながら、第五実施形態においては、半導体加工用フィルム部材４３が巻き付けられたロールに上述のロールプロテクタ１等を装着することで、低温時においても上述の基板圧縮力に抗することができる。ゆえに、低温保管時においても半導体加工用フィルム部材４３の皺の発生や積層部材同士の剥離を防止できる。
【００６９】
＜実施形態の変形＞
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で、以下に示される変形等をも含む。
【００７０】
支持部は、上記実施形態で例に挙げて説明したような円柱状や板状以外にも、角柱状やその他の形状であっても、上述の基板圧縮力に抗することのできる形状であればよい。
【００７１】
上記実施形態では、支持部は、２つの場合を例に挙げたが、これに限定されず、１つであっても良いし、３つ以上であっても良い。例えば、基板の４つのコーナー部分に支持部を配置することで、１つや２つの場合に比べて、よりバランスよく基板圧縮力に抗することができる。
【００７２】
上記実施形態では、一つのロールプロテクタでロールを１本ずつ保持する例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、第一基板や第二基板を２つずつ連結させた構造の基板とし、ロールを２本ずつ保持できる態様としても良い。
【００７３】
第一基板１０および第二基板２０は、図３（Ａ）や図４（Ａ）に示されているように、基板厚み方向で見た平面視で長方形状に形成されている板状部材であるが、このような形状に限定されない。当該平面視で正方形や正八角形などの多角形状や円形状や楕円形状であってもよい。多角形状とすることで、第一基板１０および第二基板２０の側面部が平面状となるので、ロールプロテクタ１を装着した状態でロールを横倒した際のロールの転がりを防止できる。
【００７４】
第一実施形態では、支柱１１と支柱２１とを係合させたときに、支柱上面１１ｂと支柱上面２１ｂとが当接し、かつ支柱凸部上面１１ｃと支柱凹部底面２１ｃとが当接している例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、支柱上面１１ｂと支柱上面２１ｂとが当接するか、もしくは支柱凸部上面１１ｃと支柱凹部底面２１ｃとが当接していれば、基板圧縮力に対する抗力を、当接面で生じさせることができる。第二実施形態から第四実施形態までについても、このような当接面での抗力について、同様のことが言える。
【００７５】
第一実施形態では、支柱の先端に形成されている支柱凸部１１ａや支柱凹部２１ａは、円柱状に突出したり窪んだりした形状で説明したがこれに限定されない。例えば、角柱状等、その他の形状であっても良い。
第二実施形態から第四実施形態までにおいても基板と支持部との係合に関する形状について円柱状の場合を例に挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、角柱状等、その他の形状であっても良い。
【００７６】
上記実施形態では、支持部と基板との連結に、凸部と凹部との係合による方法を用いた例を挙げて説明したが、これに限定されない。
例えば、第二実施形態では、支持部３１の円柱状の支柱凸部３１ａにねじを切り、係合凹部１８および係合凹部２８をねじ穴とし、これらを螺合させる方法でもよい。また、第二実施形態において、第一基板１０Ａや第二基板２０Ａが中空状の場合には、係合凹部１８および係合凹部２８を形成していた部分を貫通穴とし、この貫通穴の位置に合わせて基板１０Ａ，２０Ａの内面側に裏ナットを固定させておく。そして、上記と同様に支持部３１の円柱状の支柱凸部３１ａにねじを切り、この支柱凸部３１ａと裏ナットとを螺合させる方法でもよい。
その他、第三実施形態のような板状の支持部３２を連結させる場合、例えば、支持部３２の係合凸部３２ａに対応する位置に貫通穴を形成し、側面凹部１９ａや側面凹部２９ａを上記と同様にねじ穴とし、ボルトを当該貫通穴に挿通させると共に、当該ねじ穴に螺合させる方法でもよい。
【００７７】
第二実施形態における支持部３１の変形例として、その長さ寸法を変更できるような構成も挙げられる。例えば、図１１に示されているような支持部３１Ａは、ターンバックルのような構成を備えており、このような支持部３１Ａをロールプロテクタ２に対しても適用することができる。このように、長さ寸法を変更可能な構成を備える可変支持部を用いれば、異なる幅方向寸法を有する様々なロールに対しても、第一基板１０Ａ、第二基板２０Ａおよび当該可変支持部で構成されるロールプロテクタで対応でき、幅方向寸法ごとに部材を揃える必要が無く、コストを低減できる。
【００７８】
半導体加工用フィルム部材として、ダイシング・ダイボンディング工程で利用される半導体加工用フィルム部材４３を例に挙げて説明したが、これに限定されず、その他のバックグラインド工程で利用されるフィルム部材等であっても良い。
なお、半導体加工用フィルム部材として、その他、例えば、特許第３５２１０９９号公報、特許第４６７７７５８号公報、特開２００５−３５０５２０号公報に記載されたものが挙げられる。
【符号の説明】
【００７９】
１，２，３，４…ロールプロテクタ、
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…第一基板、
１１…支柱、
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…第二基板、
２１…支柱、
３０，３１，３１Ａ，３２，３３…支持部、
４０…ロール、
４１…芯材、
４２…フィルム部材、
４３…半導体加工用フィルム部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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