(57)【要約】【課題】搬送時の衝撃などに起因するウェーハの破損の恐れを低下させたウェーハカセットを提供すること。【解決手段】ウェーハ（Ｗ１）又は粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレーム（Ｆ１）を複数枚収容するためのウェーハカセット（４，４ａ）であって、対向する側板（４１ａ，４１ｂ）に複数形成されたウェーハ又は環状フレームを収容する収容棚（４２）と、ウェーハ又は環状フレームを出し入れする開口部（Ｏ１）と、ウェーハ又は環状フレームを背部（Ｅ１，Ｅ１ａ，Ｅ１ｂ）で支持する背止部（４１ｃ）と、収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームの搬出を規制する規制部（４４）と、背止部に配設された弾性部材（４３，４３ａ，４３ｂ）と、を備え、収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームは規制部と弾性部材とで挟持されるようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ又は粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するためのウェーハカセットであって、
対向する側板に複数形成されたウェーハ又は環状フレームを収容する収容棚と、
ウェーハ又は環状フレームを出し入れする開口部と、
ウェーハ又は環状フレームを背部で支持する背止部と、
前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームの搬出を規制する規制部と、
前記背止部に配設された弾性部材と、を備え、
前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームは前記規制部と前記弾性部材とで挟持されることを特徴とするウェーハカセット。
【請求項２】
前記弾性部材には、各前記収容棚と同等の高さ位置にウェーハ又は環状フレームを支持する支持溝が形成されたことを特徴とする請求項１記載のウェーハカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを収容するウェーハカセットに関し、特に、搬送時におけるウェーハの破損の恐れを低下させたウェーハカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、集積回路毎にウェーハを切断分離するダイシング工程が行われる。加工対象のウェーハは、粘着テープを介して環状のフレームに固定され、搬送用のウェーハカセットに収容されて切削装置に搬送される。このウェーハカセットは、一般に、複数の水平な溝を有する一対の側板を対向させた構成を有しており（例えば、特許文献１参照）、溝の一端側の挿入口から各溝に沿ってフレームが挿入されることで、複数枚のウェーハを収容できるようになっている。
【０００３】
ウェーハカセットの搬送時などにおいて溝に保持されるフレームの脱落を防止するため、ウェーハカセットにはストッパーを設けることがある。ストッパーは、例えば、フレームの搬送経路となる溝の挿入口側に設けられ、溝を塞いでフレームの搬出を規制する閉位置と、規制が解除されてフレームを搬出可能な開位置とに選択的に位置付けることができるように構成される。ウェーハカセットにフレームを収容させた後にストッパーを閉位置に位置付ければ、ウェーハカセットの搬送時におけるフレームの脱落を防止できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−８０９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のウェーハカセットにおいては、ストッパーを閉位置に位置付けてフレームの搬送経路となる溝を塞ぐようにしているので、ウェーハカセットの搬送時に加わる外力でウェーハカセットからフレームが飛び出してウェーハが破損することはない。しかしながら、近年、ウェーハは大径化（大口径化）される傾向にあり、それに起因してフレームの飛び出しとは異なる要因によるウェーハの破損の恐れが高まっている。
【０００６】
例えば、搬送時に加わる外力でフレームが移動され、ウェーハカセットの内壁面にフレームが衝突されると、ウェーハには衝撃が加わる。この衝撃の大きさは、ウェーハの重量に依存するため、大径化により重量が増大されたウェーハには非常に大きな衝撃が加わることになり、ウェーハの破損の恐れは高くなる。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、搬送時におけるウェーハの破損の恐れを低下させたウェーハカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のウェーハカセットは、ウェーハ又は粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するためのウェーハカセットであって、対向する側板に複数形成されたウェーハ又は環状フレームを収容する収容棚と、ウェーハ又は環状フレームを出し入れする開口部と、ウェーハ又は環状フレームを背部で支持する背止部と、前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームの搬出を規制する規制部と、前記背止部に配設された弾性部材と、を備え、前記収容棚に収容されたウェーハ又は環状フレームは前記規制部と前記弾性部材とで挟持されることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、ウェーハ又は環状フレームを背部で支持する背止部に弾性部材を配設し、ウェーハ又は環状フレームを規制部と弾性部材とで挟持させるようにしたので、搬送時の外力などによるウェーハ又は環状フレームの動きを抑制して衝撃を緩和できる。このため、搬送時におけるウェーハの破損の恐れを低下させることができる。
【００１０】
本発明のウェーハカセットにおいて、前記弾性部材には、各前記収容棚と同等の高さ位置にウェーハ又は環状フレームを支持する支持溝が形成されることが好ましい。この構成によれば、弾性部材にウェーハ又は環状フレームを支持する支持溝が形成されているので、ウェーハ又は環状フレームの撓みを抑制できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、搬送時におけるウェーハの破損の恐れを低下させたウェーハカセットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１に係るウェーハカセットが用いられる切削装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１に係るウェーハカセットの構成例を示す模式図である。
【図３】実施の形態２に係るウェーハカセットの構成例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下においては、切削ブレードによってウェーハを切削加工する切削装置に本発明のウェーハカセットが適用された構成について説明するが、本発明のウェーハカセットが適用されるウェーハ処理装置は、切削装置に限定されるものではない。ウェーハ処理装置は、レーザ発振器からのレーザ光を集光してウェーハを加工するレーザ加工装置であっても良い。また、他の研削装置、研磨装置、洗浄装置、検査装置、ダイボンディング装置などであっても良い。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係るウェーハカセットが用いられる切削装置の斜視図である。切削装置１は、ウェーハカセット４に収容されるウェーハＷ１を引出部５１によって搬出し、切削ユニット８によって切削加工できるように構成されている。
【００１５】
切削装置１の加工対象となるウェーハＷ１は、略円板状の外形形状を有している。ウェーハＷ１の裏面側は、ダイシングテープ（粘着テープ）Ｔ１を介して円環状のフレーム（環状フレーム）Ｆ１に貼着されている。ウェーハＷ１の表面は、格子状に配列されたストリート（加工予定ライン）によって複数の領域に区画されている。ウェーハＷ１において、ストリートで区画された各領域には、デバイス（デバイスパターン）が形成されている。ウェーハＷ１は、各ストリートに沿って切削され、個々のデバイスに分割される。なお、切削装置１の加工対象は半導体ウェーハに限定されるものではない。
【００１６】
切削装置１は、上面形状が略平坦な基台２を有している。基台２は、略直方体状の基部２１と、その一部の角部において前方に突設された突設部２２とを備える。突設部２２には内部空間が形成されており、この内部空間には、カセットエレベータ３が上下動可能に設けられている。カセットエレベータ３の上面には、フレームＦ１に保持されたウェーハＷ１を収容するウェーハカセット４が載置される。ウェーハカセット４の構成については後に詳述する。
【００１７】
基部２１の上面には、カセットエレベータ３と隣接する位置に仮置き機構５が設けられている。仮置き機構５は、引出部５１と一対のレール５２とを備えている。引出部５１は第１方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成されており、カセットエレベータ３の上下動により引出部５１と同じ高さに位置付けられたウェーハＷ１（フレームＦ１）をレール５２側に引き出す。レール５２は略Ｌ字型の断面形状を有しており、第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）において相互に離間接近可能に構成されている。ウェーハＷ１は、引出部５１によってレール５２上の所定位置まで引き出され、一対のレール５２の相互の接近によって第２方向において挟み込まれる。これにより、ウェーハＷ１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において位置合わせされる。
【００１８】
基部２１の仮置き機構５に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延在する開口が形成されている。開口は、テーブル移動基台６及び防水カバー６１により覆われている。防水カバー６１の下方には、テーブル移動基台６をＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動機構（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のガイドレール、ガイドレール間のＸ軸ボールねじ、及びＸ軸ボールねじを回転駆動するＸ軸パルスモータ（いずれも不図示）を備える。テーブル移動基台６は、ナット部（不図示）を介してＸ軸ボールネジと連結され、Ｘ軸ボールネジの回転によりガイドレールに沿って移動される。
【００１９】
テーブル移動基台６上には、チャックテーブル６２が設けられている。チャックテーブル６２は小径の円板状に形成されており、その上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面６３が設けられている。吸着面６３においてウェーハＷ１を裏面側から吸着することで、ウェーハＷ１はチャックテーブル６２上の所定位置に保持される。チャックテーブル６２は、回転機構（不図示）によりテーブル移動基台６上でＺ軸周りに回転可能に支持されている。チャックテーブル６２には、仮置き機構５でＸ軸方向及びＹ軸方向に位置合わせされたウェーハＷ１が不図示の搬送手段によって搬送される。
【００２０】
Ｙ軸方向においてテーブル移動基台６と隣接する位置には、テーブル基台７が配置されている。テーブル基台７には、Ｙ軸移動機構７１が設けられている。Ｙ軸移動機構７１は、Ｙ軸方向に平行な一対のガイドレール７２、ガイドレール７２間のＹ軸ボールねじ（不図示）、及びＹ軸ボールねじを回転駆動するＹ軸パルスモータ７３を備える。テーブル基台７の上面には、Ｙ軸テーブル７４が支持されている。Ｙ軸テーブル７４は、テーブル基台７に接する基部７４ａと、基部７４ａに対して立設された壁部７４ｂとを備えている。Ｙ軸テーブル７４は、基部７４ａに設けたナット部（不図示）を介してＹ軸ボールネジと連結され、Ｙ軸ボールネジの回転によりガイドレール７２に沿って移動される。
【００２１】
Ｙ軸テーブル７４の壁部７４ｂには、Ｚ軸移動機構７５が設けられている。Ｚ軸移動機構７５は、壁部７４ｂの前面に配置されＺ軸方向に平行な一対のガイドレール７６と、ガイドレール７６間のＺ軸ボールねじ７７と、Ｚ軸ボールねじ７７と連結されるＺ軸パルスモータ７８とを備える。壁部７４ｂの前面には、Ｚ軸テーブル７９が支持されている。Ｚ軸テーブル７９は、壁部７４ｂに接する基部７９ａと、基部７９ａの端部において前方（Ｙ軸方向）に突設された壁部７９ｂとを備えている。Ｚ軸テーブル７９は、基部７９ａに設けたナット部を介してＺ軸ボールねじ７７と連結され、Ｚ軸ボールねじ７７の回転によりガイドレール７６に沿って移動される。
【００２２】
Ｚ軸テーブル７９の壁部７９ｂには、チャックテーブル６２の上方の位置において切削ユニット８が支持されている。切削ユニット８は、円筒状のスピンドル８１と、スピンドル８１の一端部に着脱可能に装着される切削ブレード８２とを備える。スピンドル８１の他端部側にはモータ８３が連結されており、スピンドル８１に装着された切削ブレード８２を回転できるようになっている。この切削ブレード８２を回転させてウェーハＷ１に接触させることで、ウェーハＷ１は切削される。切削ユニット８には、切削ブレード８２に隣接して撮像ユニット９が設けられている。
【００２３】
切削装置１の制御部（不図示）は、撮像ユニット９で撮像された撮像画像に基づいて、Ｘ軸移動機構及びＹ軸移動機構７１を制御して、切削ユニット８の切削ブレード８２をウェーハＷ１のストリートに位置合わせする。切削ブレード８２と位置合わせされたウェーハＷ１は、切削水を噴き付けられながら、回転された切削ブレード８２によって切り込まれる。切削されたウェーハＷ１は、搬送手段（不図示）によってピックアップされて、基部２１の上面に設けられた洗浄乾燥機構１０に移動される。
【００２４】
洗浄乾燥機構１０は、基台２に形成された円筒状の空間においてウェーハＷ１を保持するスピンナテーブル１０１を備えている。また、洗浄乾燥機構１０は、洗浄液噴射機構及び気体噴射機構（いずれも不図示）を備えている。スピンナテーブル１０１の下方には、回転機構（不図示）が設けられている。回転機構は、スピンナテーブル１０１に対して回転力を付与するスピンナテーブルモータ（不図示）を有しており、スピンナテーブル１０１を所定の速度で回転できるようになっている。スピンナテーブル１０１にウェーハＷ１が保持されると、円筒状の空間内においてスピンナテーブル１０１は回転される。この状態において、洗浄液噴射機構から洗浄液が噴射されることでウェーハＷ１は洗浄される。洗浄後において、ウェーハＷ１は、気体噴射機構から噴射されるエアによって乾燥される。
【００２５】
図２は、ウェーハカセット４の構成例を示す模式図である。なお、図２においては、説明の便宜上、構成の一部を省略するなどして模式的に示している。
【００２６】
カセット４は、対向配置された一対の側板４１ａ，４１ｂと、側板４１ａ，４１ｂの一端側に設けられた奥板（背止部）４１ｃとを備えており、側板４１ａ，４１ｂの他端側において開口されている。側板４１ａの上端部及び下端部と、側板４１ｂの上端部及び下端部とは、それぞれ上板４１ｄ（図２において不図示、図１参照）及び下板４１ｅにより連結されている。また、側板４１ａ，４１ｂの下端部には脚部（不図示）が設けられており、カセットエレベータ３に載置された状態で側板４１ａ，４１ｂの下端部とカセットエレベータ３の上面との間に隙間ができるようになっている。これにより、後述するストッパー（規制部）４４は、カセットエレベータ３の上面と接すること無く回動できる。
【００２７】
側板４１ａ，４１ｂの内側面には、水平方向に延びる複数の横板４１ｆが略等間隔に設けられており、隣接する横板４１ｆの間に溝Ｄ１が形成されている。溝Ｄ１は、側板４１ａ，４１ｂにおいて略等しい高さにそれぞれ形成されており、対向する溝Ｄ１の組によってウェーハＷ１を収容する収容棚４２が構成されている。
【００２８】
側板４１ａ，４１ｂの他端側において、収容棚４２には、フレームＦ１（ウェーハＷ１が保持されたフレームＦ１）を搬入、又は搬出するための開口部Ｏ１が設けられている。開口部Ｏ１から溝Ｄ１に沿ってフレームＦ１が挿入されることで、ウェーハＷ１は収容棚４２に収容される。奥板４１ｃの内側面には、上下方向に延在する弾性部材４３（４３ａ，４３ｂ）が設けられている。弾性部材４３は、ゴムなどの緩衝材料で構成されており、収容棚４２に収容されたフレームＦ１の端部（背部）Ｅ１（Ｅ１ａ，Ｅ１ｂ）と当接される。この弾性部材４３により、フレームＦ１と奥板４１ｃの内側面との接触は防止され、フレームＦ１に加わる衝撃は緩和される。
【００２９】
側板４１ａの開口部Ｏ１側には、溝Ｄ１に対して略垂直な方向に延在するストッパー（規制部）４４が設けられている。ストッパー４４は、上下方向に延在する鉛直部４４ａと、鉛直部４４ａの両端部において水平方向に屈曲された一対の水平部４４ｂとを備えている。一対の水平部４４ｂの先端部には、側板４１ａ側に向かって突出された突出部４４ｃが設けられており、この突出部４４ｃは、側板４１ａの上下の端部に設けられた凹部（不図示）に係合されている。これにより、ストッパー４４は、突出部４４ｃを支点に回動可能になっている。
【００３０】
水平部４４ｂは所定の長さを有しており、鉛直部４４ａと側板４１ａとが接触してストッパー４４の回動の妨げとならないように構成されている。また、上述のように、脚部（不図示）により側板４１ａ，４１ｂの下端部とカセットエレベータ３の上面との間に隙間が形成されており、ストッパー４４の下端はカセットエレベータ３の上面に接触しないようになっている。
【００３１】
ストッパー４４は、突出部４４ｃを支点に回動されることで、フレームＦ１の搬出又は搬入が規制される閉位置Ｐ１と、規制が解除される開位置Ｐ２とに選択的に位置付けられる。閉位置Ｐ１は、ストッパー４４の鉛直部４４ａが側板４１ａの内側に配置され、収容棚４２に収容されたフレームＦ１の端部Ｅ２と鉛直部４４ａとが当接される位置である。ストッパー４４が閉位置Ｐ１に位置付けられると、収容されたフレームＦ１は、ストッパー４４と弾性部材４３とで挟持される。このため、この状態においては、外力によるウェーハＷ１の動きは抑制される。また、ストッパー４４が閉位置Ｐ１に位置付けられると、収容されたフレームＦ１は、鉛直部４４ａと端部Ｅ２との当接位置よりも開口部Ｏ１側に移動されなくなる。つまり、この状態においては、ウェーハＷ１の搬出又は搬入は規制される。
【００３２】
開位置Ｐ２は、ストッパー４４の鉛直部４４ａが側板４１ａの外側に配置され、フレームＦ１と鉛直部４４ａとの当接が解除される位置である。この開位置Ｐ２においては、フレームＦ１の搬送経路上に鉛直部４４ａが配置されないため、ウェーハＷ１を搬出又は搬入できる。
【００３３】
側板４１ａの上端部には、ストッパー４４の上側の水平部４４ｂが係合される溝Ｄ２が設けられている。溝Ｄ２は、ストッパー４４の閉位置Ｐ１を規定するように設けられており、上側の水平部４４ｂが溝Ｄ２に係合されると、ストッパー４４は閉位置Ｐ１に位置付けられる。ストッパー４４は、付勢部材（不図示）によって常時下向きに付勢されている。このため、付勢部材の付勢力に抗する上向きの力が作用しない限り、上側の水平部４４ｂと溝Ｄ２との係合は維持され、ストッパー４４が閉位置Ｐ１に位置付けられた状態は維持される。この付勢部材は、例えば、下側の突出部（不図示）に設けられる。
【００３４】
このように構成されたウェーハカセット４において、開口部Ｏ１を通じて収容棚４２にフレームＦ１が収容された後には、ストッパー４４は回動されて閉位置Ｐ１に位置付けられ、フレームＦ１はストッパー４４と弾性部材４３とで挟持される。この状態では、フレームＦ１はストッパー４４と弾性部材４３との間において隙間なく保持されるため、ウェーハカセット４の搬送によりフレームＦ１に外力が作用しても、フレームＦ１の動きは抑制される。また、弾性部材４３によりフレームＦ１への衝撃は緩和される。
【００３５】
このように、本実施の形態に係るウェーハカセット４においては、フレームＦ１（端部（背部）Ｅ１）を支持する奥板（背止部）４１ｃに弾性部材４３を配設し、フレームＦ１をストッパー（規制部）４４と弾性部材４３とで挟持させるようにしたので、搬送時の外力などによるフレームＦ１の動きを抑制して衝撃を緩和できる。このため、搬送時におけるウェーハＷ１の破損の恐れを低下させることができる。
【００３６】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１とは異なる態様のウェーハカセットについて説明する。図３は、実施の形態２に係るウェーハカセット４ａの構成例を示す模式図である。なお、図３において、図２と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。また、図３においては、説明の便宜上、構成の一部を省略するなどして模式的に示している。
【００３７】
ウェーハカセット４ａにおいて、弾性部材４３（４３ａ，４３ｂ）には、収容棚４２に対応する高さ位置に複数の溝（支持溝）Ｄ３（Ｄ３ａ，Ｄ３ｂ）が設けられている。具体的には、溝Ｄ３ａと溝Ｄ３ｂとは、側板４１ａ，４１ｂにおいて対向する溝Ｄ１と同じ高さ位置に設けられている。これにより、収容棚４２に収容されるフレームＦ１の端部Ｅ１ａと端部Ｅ１ｂ（共に図２参照）とは、溝Ｄ３ａと溝Ｄ３ｂとにより同じ高さ位置に支持される。
【００３８】
例えば、実施の形態１のウェーハカセット４において、フレームＦ１は、溝Ｄ１を構成する横板４１ｆによって支持されている。つまり、フレームＦ１は、横板４１ｆの延在する方向においてのみ支持されている。このため、フレームＦ１は、横板４１ｆの延在方向であるＡ方向において下方に撓みにくい一方で、Ａ方向に垂直なＢ方向（横板４１ｆの延在方向に垂直な方向）においては下方に撓み易くなっている。特に、大径化されたウェーハＷ１が用いられる場合、ウェーハＷ１及びフレームＦ１の重量によって、フレームＦ１は容易に撓んでしまう。
【００３９】
これに対し、本実施の形態に係るウェーハカセット４ａは、Ｂ方向においてフレームＦ１を支持する溝Ｄ３を備えているので、Ｂ方向におけるフレームＦ１の撓みを抑制できる。なお、Ｂ方向においてフレームＦ１が撓むと、フレームＦ１と側板４１ａ，４１ｂとの隙間が大きくなってＢ方向へのフレームＦ１の移動量は大きくなってしまう。これに対し、本実施の形態に係るウェーハカセット４ａでは、フレームＦ１の撓みは抑制されるため、フレームＦ１と側板４１ａ，４１ｂとの隙間は大きくならず、Ｂ方向へのフレームＦ１の移動は抑制される。その結果、フレームＦ１の移動に起因するウェーハＷ１への衝撃を小さくできるので、ウェーハＷ１の破損の恐れをさらに低下させることができる。
【００４０】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態においては、フレームに保持されたウェーハ（ダイシングテープに貼着されウェーハが一体となったフレーム）を収容するウェーハカセットを例示しているが、ウェーハカセットの構成はこれに限られない。ウェーハカセットは、ウェーハを直接収容するものでも良い。
【００４１】
また、上記実施の形態においては、ストッパーが閉位置に位置付けられた状態において、フレームがストッパーと弾性部材とで隙間なく挟持されているが、フレームはストッパーと弾性部材との間において僅かな隙間を持った状態で保持されるようにしても良い。この場合、搬送時の外力などでフレームは僅かに移動されることになるが、弾性部材によりフレームへの衝撃は吸収されるため、ウェーハＷ１への衝撃を緩和させて破損の恐れを低下させることができる。
【００４２】
また、上記実施の形態においては、ゴムなどの緩衝材料で構成される弾性部材が適用されているが、フレームの衝撃を緩和できるのであれば、弾性部材の材料、形状などは特に限定されない。例えば、金属材料などで構成される板ばねなどを弾性部材として用いても良い。また、上記実施の形態においては、２個の弾性部材を備えているが、弾性部材の数量についても特に限定されない。
【００４３】
また、上記実施の形態のウェーハカセットは、側板の下部において脚部を備えているが、ストッパーが回動可能であれば脚部を備えなくとも良い。その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、切削装置やレーザ加工装置などにおいて処理されるウェーハを収容するためのウェーハカセットとして有用である。
【符号の説明】
【００４５】
１  切削装置
３  カセットエレベータ
４，４ａ  ウェーハカセット
４１ａ，４１ｂ  側板
４１ｃ  奥板（背止部）
４１ｄ  上板
４１ｅ  下板
４１ｆ  横板
４２  収容棚
４３，４３ａ，４３ｂ  弾性部材
４４  ストッパー（規制部）
４４ａ  鉛直部
４４ｂ  水平部
４４ｃ  突出部
Ｄ１，Ｄ２  溝
Ｄ３，Ｄ３ａ，Ｄ３ｂ  溝（支持溝）
Ｅ１，Ｅ１ａ，Ｅ１ｂ  端部（背部）
Ｅ２  端部
Ｆ１  フレーム（環状フレーム）
Ｏ１  開口部
Ｐ１  閉位置
Ｐ２  開位置
Ｔ１  ダイシングテープ（粘着テープ）
Ｗ１  ウェーハ
【図１】
2013157395.tif 000003
【図２】
2013157395.tif 000004
【図３】
2013157395.tif 000005