(57)【要約】【課題】  液晶パネルを載置するステージについて、前記ステージに設けられた吸着口が、液晶パネルの液晶配向に悪影響を及ぼすことがないステージを提供すること。【解決手段】  二枚の光透過性基板に挟まれてなる空間に液晶が封入される画面部と、該画面部の周囲を封止する隔壁部と、を備える液晶パネル用のワークに対して、該ワークに紫外線を照射する光源部と、該ワークを載置するステージと、を備える紫外線照射装置において、  前記ステージは、前記ワークのいずれか一方の光透過性基板を載置する載置面と、載置された該ワークを吸引して保持固定する吸着口を備え、  前記載置面の面内に設けられた吸着口は、前記ワークに設けられた前記画面部と対向しない位置に配置させる。【選択図】図２
2013250502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二枚の光透過性基板に挟まれてなる空間に液晶が封入される画面部と、該画面部の周囲を封止する隔壁部と、を備える液晶パネル用のワークに対して、該ワークに紫外線を照射する光源部と、該ワークを載置するステージと、を備える紫外線照射装置において、
前記ステージは、前記ワークのいずれか一方の光透過性基板を載置する載置面と、載置された該ワークを吸引して保持固定する吸着口を備え、
前記載置面の面内に設けられた吸着口は、前記ワークの画面部でなく隔壁部に対して対向する位置に配置されることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記吸着口は、前記載置面の外周部分においてその外郭に沿って設けられていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記ステージは、前記載置面を備えるサーフェスプレートと、該サーフェスプレートと当接するベースプレートからなる二層構造体で構成されており、
前記サーフェスプレートは前記ベースプレートから着脱自在であり、
前記サーフェスプレートは、前記吸着口の配置が異なる載置面を備えた別のサーフェスプレートに取替えられることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造工程における液晶の光配向機構に関し、特に、液晶パネルに紫外線を照射する紫外線照射装置のステージ機構に関わるものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、二枚の光透過性基板（第一基板、第二基板）の間に液晶体を封入した構造であり、第一基板上の基板表面に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の半導体素子が複数配列され、その上に透明電極が形成され、その上に配向面が形成されている。第二基板にはカラーフィルタと透明電極が形成し、さらにその上に配向面が形成されている。第１基板と第２基板の間にはシール部材によって区分けされた枠（以下、隔壁部と称す）が形成されており、この枠の郭内（以下、画面部と称す）には、電圧印加によって方位性を持つ液晶が封入されている。
前記液晶パネルの製造には、通常、大型の光透過性基板が用いられ、液晶パネルの面取り数に応じて画面部が複数形成された大型パネル（以下、ワークと称す）を製造し、画面部ごとに裁断して液晶パネルが製造されている。
【０００３】
液晶パネルの製造工程において、従来から、液晶の配向制御の手段として光配向技術が用いられている。特に最近では、光反応性物質を利用して液晶に配向特性を付与させる、ＰＳＡ（Polymer  Sustained  Alignment）やＰＳＶA（Polymer  Sustained  Vertical  Alignment、高分子安定化垂直配向）技術が開発されている。例えば、特開２００８−１１６６７２号公報には、当該技術に関連する液晶パネルの製造技術について開示されている。
【０００４】
ＰＳＡによるワークの概念図を図６（ａ）に、またその要部拡大図を図６（ｂ）にそれぞれ示す。このＰＳＡでは、ワーク２の画面部２１に、電圧印加により配向性を有する液晶５０と、紫外線に反応して重合を起こす光反応性物質５１（以下、モノマーともいう）を封入している。
画面部２１内のモノマー５１は、その周囲の液晶５０と混在している。このワーク２に電圧を印加して液晶５０を配向させると、液晶５０の並びに沿ってモノマー５１も配向され、配向面２８であるポリイミドに近いエリアにプレチルト角θpを持った状態でモノマー５１が配列される。その後、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍに発光ピークを有する紫外線光源を用いて、電圧が印加されるワーク２に対して紫外線を照射することにより、画面部２１内部のモノマー５１を重合反応（以下、硬化、又はポリマー化と称す）させ、所望のプレチルト角θpを保持したモノマーの架橋構造体５３（以下、配向部と称す）を形成させることができる。通常、ワークに対して紫外線を照射する際は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の半導体素子が複数配列された側から、紫外線を照射する。便宜のため、図６（ａ）に電圧を印加するための電圧印加用パッドは省略している。
電圧印加を止めると液晶５０は元の並びに戻るが、配向部５３はプレチルト角θpを保った状態で配列し、液晶５０の配向特性をもつ。尚、便宜のため図６に示すモノマー５１は同一方向にのみ傾斜された状態を描写している。また、便宜のため図６（ｂ）はモノマー５１と配向部５３を同一の部分として描写している。
【０００５】
前記配向部５３を形成させるため、液晶５０及びモノマー５１を含有するワーク２は、紫外線照射装置に搬送され、該紫外線照射装置内でワーク全面に紫外線が一括照射される。このＰＳＡ技術に関わる紫外線照射装置は、例えば、特開２０１１−２１５４６３号公報にその技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１１６６７２号公報
【特許文献２】特開２０１１−２１５４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
紫外線照射装置を図７（ａ）に示す。不図示の搬送装置から搬送されたワーク２は紫外線照射装置のステージ９２に載置される。ステージ９２には複数の吸着口９３が形成されている。吸着口９３は真空装置４４と連通しており、吸着口９３はワーク２を吸引して固定することができる。この構成は、例えば、ワーク２に設けられた電圧印加用パッド２５と電圧印加するためのプローブピン４３先端が接触不良しないよう、ステージ９２上でワーク２を固定させるために必要となる。ワーク２を固定した後、上記のプローブピン４３によってワーク２に電圧を印加し、図６（b）で示すように画面部２１内の液晶５０及びモノマー５１を所望の傾きで配向面２８上に配列させる。またモノマー５１を配列させた状態でワーク２に紫外線を照射し、所望の傾きをもった配向部５３を形成させている。
【０００８】
上記紫外線照射装置において、ステージ９２に載置されたワーク２を保持するため、吸着口９３でワーク２を吸引した際、ワーク２と吸着口９３との当接箇所では、吸着口９３の吸引によってワークを構成する２つの基板同士の間隔Ｌ１、Ｌ２（以下、セルギャップと称す）にバラツキが生じる。例えば、図７（ｂ）に示すように、吸着口９３の直上では比較的セルギャップＬ２が大きくなる。セルギャップＬ１、Ｌ２にバラツキが生じると、ワーク２に印加される電圧にもバラツキが生じ、当該セルギャップＬ１、Ｌ２間での液晶５０及びモノマー５１の配向状態に差異が生じ、ワーク２内の液晶５０及びモノマー５１の配向が乱れてしまう。また、配向が乱れた状態でモノマー５１を硬化させて配向部５３を形成しても、その配向部５３の配向特性は損なわれたものとなり、図７（ｃ）に示すように、ワーク２内の液晶５０に配向ムラを発生させてしまう、という問題が発見された。
【０００９】
そこで本発明は、上記の問題点に鑑みて、液晶の光配向に悪影響を及ぼさないようワークを載置し保持固定できるステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するため以下の手段を採用した。
すなわち本発明は、ワークがステージに載置された際に、液晶パネルの有効な液晶画面領域となる各々の画面部の直下に吸着口が配置されないよう、ステージに吸着口を設けたことをその要旨とする。
【００１１】
前記課題を解決するために、本発明は、二枚の光透過性基板に挟まれてなる空間に液晶が封入される画面部と、該画面部の周囲を封止する隔壁部と、を備える液晶パネル用のワークに対して、該ワークに紫外線を照射する光源部と、該ワークを載置するステージと、を備える紫外線照射装置において、
前記ステージは、前記ワークのいずれか一方の光透過性基板を載置する載置面と、載置された該ワークを吸引して保持固定する吸着口を備え、前記載置面の面内に設けられた吸着口は、前記ワークの画面部でなく隔壁部に対して対向する位置に配置されることを特徴とする。
また前記吸着口は、前記載置面の外周部分においてその外郭に沿って設けられていることを特徴とする。
また前記ステージは、前記載置面を備えるサーフェスプレートと、該サーフェスプレートと当接するベースプレートからなる二層構造体で構成されており、
前記サーフェスプレートは前記ベースプレートから着脱自在であり、
前記サーフェスプレートは、前記吸着口の配置が異なる載置面を備えた別のサーフェスプレートに取替えられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では，ステージの載置面に設けられた吸着口が、液晶パネルの画素領域である画面部と対向しない位置に配置されるため、液晶パネル内の液晶の配向状態を悪化させることなくステージに液晶パネルを保持固定できる。
また前記吸着口は、前記載置面の外周部分においてその外郭に沿って設けられており、液晶パネルの画素領域である画面部と対向しない位置に配置されるため、液晶パネル内の液晶の配向状態を悪化させることなくステージに液晶パネルを保持固定できる。更に、比較的ワークが離間しやすいワークの外周域をより強固に保持固定できる。
また前記ステージは、前記載置面を備えるサーフェスプレートと、該サーフェスプレートと当接するベースプレートからなる二層構造体で構成されており、サーフェスプレートは、前記吸着口の配置が異なる載置面を備えた別のサーフェスプレートに取替え可能であるため、サーフェスプレートの交換によって載置面内の吸着口の配置を変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明にかかる紫外線照射装置の構成を示す一部断面図。
【図２】本発明にかかるステージの実施形態を示す上面図。
【図３】本発明にかかるステージ及びワークの斜視図。
【図４】本発明にかかるステージの他の実施形態を示す上面図。
【図５】本発明にかかる二層構造体からなるステージの構成を示す断面部図。
【図６】（ａ）ＰＳＡ技術を用いたワークの概念図、（ｂ）ワークの要部拡大図。
【図７】（ａ）従来の紫外線照射装置、（ｂ）及び（c）従来装置の課題を示す概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は、本発明にかかる紫外線照射装置の一構成例における内部構造の概略を示す説明図である。また図２は、図１に記載されるステージの構成を示す説明図である。紫外線照射装置は、大別して、光源ユニット１４を備える光源部１、ワーク２を載置するステージ３、冷却部４５、及び不図示のライトガイド部、不図示の電源部により構成されている。特に、本発明の主要部である光源部１及びステージ３の構成について図を用いて以下に説明する。
【００１５】
光源部１は、下方に開口する光照射用開口１３を有する全体が箱型形状のケーシング部材１２を備えており、このケーシング部材１２は、その内部空間が上下方向に区画されて下方側空間部に光源ユニット１４が配置されており、上方側空間部に光源ユニット１４に接続される不図示の電源部が配置されている。
【００１６】
光源ユニット１４は、各々、波長３００ｎｍ〜４００ｎｍに発光ピークを有する光を放射する長尺状の光源エレメント１５を備えている。
光源エレメント１５は、長尺状のランプ、又はこのランプが内部に挿通された長尺状の外套管により構成されており、例えば、各々のランプの軸中心が同一平面内に位置されると共に互いに平行に伸びる状態で、等間隔毎に並列に配置されて構成されている。
光源エレメント１５としては、例えば、エキシマランプが用いられており、ワーク２に含有される光反応性物質５１（モノマー）を重合するのに適した波長である３００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外線が放射される。
【００１７】
光源部１の下方にはワーク２を載置するステージ３が設けられており、光源ユニット１４はワーク２の一方向の幅に複数本の光源エレメント１５が並設されており、且つ、各々の光源エレメント１５はワーク２の他方向の幅以上の長さを備えているおり、ワーク２の全面に紫外線を一括照射することができる。
【００１８】
ステージ３には、ワーク２のいずれか一方の光透過性基板２９を載置する載置面３６と、載置されたワーク２を吸引して保持固定する吸着口３３が載置面の面内に複数設けられている。吸着口３３とは、ステージ３の面内に設けられた孔であり、ステージ３に穿孔３４を穿設することで形成されている。各々の吸着口３３は該穿孔３４と連通して外部の真空装置４４と連接されており、穿孔３４内部を真空装置４４で減圧させることにより、吸着口３３にワーク２を吸引させて保持固定できる。吸着口３３の大きさは、例えば、直径０．５ｍｍ〜２．０ｍｍの大きさで設けることが望ましい。吸着口が直径０．５ｍｍ未満だとワークを十分に吸引させることが難しくなる。また吸着口が直径２．０ｍｍを超えるとワークと吸着口の間に隙間が生じやすく、吸着不良を起こしやすい。
また、ステージ３にワーク２が載置された際に、載置面３６の面内に設けられた吸着口３３は、ワーク２の画面部２１でなく隔壁部２２と対向する場所に設けられている。上記の構成により、ワーク２の画面部２１は吸着口３３と当接することがないため、吸着口３３の吸引によって画面部２１のセルギャップにバラツキが生じることがない。よって、ワーク２の画面部２１内の液晶５０及びモノマー５１の配向を乱すことなくワーク２をステージ３に保持固定できる。
【００１９】
ステージ３の周囲には、ワーク２に電圧を印加するプローブピン４３が少なくとも１つ設けられている。このプローブピン４３は、ステージ３から光源部１に向かう方向に移動することができ、ステージ３に載置されたワーク２に対して近接移動させ、ワーク２の基板２９に設けられた電圧印加パッド２５に当接される。
【００２０】
図２は、本発明にかかるステージの実施形態（以下、実施形態１と称す）を示す上面図である。尚、本発明の第一の実施形態は、基本構造は図１に示した光源装置とほぼ同等であり、同一部材には図１で示した符号と同じ符号を付している。また、便宜のためステージ上に載置されるワークや画面部の一部や、後に説明する非吸着面の領域を二点鎖線で図示している。
図２に示すようにステージ３ａには、ワーク２を載置する載置面３６ａにおいて、複数の吸着口３３ａと、吸着口３３ａが存在せず吸着口３３ａに囲まれた矩形状の区画３５ａ（以下、この領域を非吸着面と称す）が設けられている。この非吸着面３５ａは、ワーク２の画面部２１と同等かそれ以上のスペースを有しており、載置面３６ａの面内において縦横に並設されている。非吸着面３５ａは、例えば、画面が３２インチサイズの液晶パネルを製造する場合であれば、ワーク２の一画面部２１にあたる４００ｍｍ×７００ｍｍ相当の大きさでステージ３ａの載置面３６ａに複数設けられている。各々の吸着口３３ａは、ステージ３ａに穿設された穿孔３４を介して、真空装置４４に接続されている。
【００２１】
紫外線照射装置に搬送されるワーク２は、ステージ３ａの載置面３６ａに載置される際、ワーク２の画面部２１が載置面３６ａに設けられた複数の吸着口３３ａと当接しない位置に配置されている。つまり、ワーク２の画面部２１は載置面３６ａの非吸着面３５ａと対向する位置に配置される。上記の構成により、ワーク２の画面部２１は吸着口３３ａと当接することがないため、吸着口３３ａの吸引によって画面部２１のセルギャップにバラツキが生じることがない。よって、ワーク２の画面部２１内の液晶５０及びモノマー５１の配向を乱すことなくワーク２をステージ３ａに保持固定できる。ステージ３ａの載置面３６ａに載置されたワーク２は、ステージ３ａの周囲に配備されるアライメント部４１や受渡しピン部４０によって、その位置調整が行える。
【００２２】
図３は、本発明にかかるステージ３ａと載置されるワーク２の配置を示す斜視図である。
ワーク２の画面部２１は、ステージ３ａの載置面３６ａの面内において縦横に並設されており、各々の画面部２１は隔壁部２２によって区分けされ、各々の画面部２１が隔離された状態で液晶５０及びモノマー５１が封入されている。ワーク２の画面部２１と画面部２１の間に設けられた隔壁部の領域２３（以下、隔壁面Ａと称す）や、ワーク２の画面部２１とワーク２の外郭の間に設けられた外周領域２４（以下、隔壁面Ｂと称す）は、例えば、幅２５ｍｍで形成されている。
【００２３】
図３に示すように、ワーク２の隔壁面２３，２４はステージ３ａの吸着口３３ａと対向する位置でステージ３ａに載置される。このとき、各々の画面部２１は、ステージ３ａの載置面３６ａに設けられた非吸着面３５ａとそれぞれ対向する位置に配置されている。
【００２４】
図２と図３に示す実施形態について、かかる構成要素の数値例を以下に示す。
ワーク（２）：２２００ｍｍ×２５００ｍｍ
ステージ（３ａ）：２１７０ｍｍ×２４７０ｍｍ
画面部（２１）：４００ｍｍ×７００ｍｍ
吸着口（３３ａ）：直径１ｍｍ、ピッチ幅５０ｍｍ
【００２５】
図４は、本発明にかかるステージの実施形態（以下、実施形態２と称す）を示す上面図であり、図２及び図３とは異なる実施形態を示したものである。尚、本発明の実施形態２は、基本構造は図１に示した光源装置とほぼ同等であり、同一部材には図１で示した符号と同じ符号を付している。また、便宜のためステージ上に載置されるワークや画面部の一部、非吸着面の領域を二点鎖線で図示している。
【００２６】
図４に示す実施形態２は、実施形態１とおおかた同様の構成と効果を有するものであるが、主に以下の相違点がある。すなわち、実施形態２のステージ３ｂは、その載置面３６ｂの内域部分に吸着口３３ｂを設けず、その載置面３６ｂの外周部分においてその外郭に沿って吸着口３３ｂが並設されており、吸着口３３ｂがワーク２の外周部分に形成された隔壁面Ｂ２４と当接する。また、載置面３６ｂに穿設される吸着口３３ｂの数は、実施形態１と比較して少ない。また、実施形態１よりも載置面３６ｂに形成される非吸着面３５ｂの面積が大きい。
上記の構成により、以下の効果が新たに付加される。すなわち、ステージ３ｂの載置面３６ｂに形成された吸着口３３ｂが、ワーク２の画面部２１と当接することがなく、さらに、ワーク２によって画面部２１のサイズが異なる場合であっても、吸着口３３ｂを画面部２１と当接させることなくワーク２をステージ３ｂに保持固定することができる。また、載置面３６ｂに穿設される吸着口３３ｂの数は比較的少なくなるため、各吸着口３３ｂによる吸引力が増大し、ワーク２の外周部分（例えば、隔壁面Ｂ２４）がより強固に保持固定できる。また非吸着面３５ｂは、実施形態１の非吸着面３６ａよりも面積が大きいため、ワーク２が受ける基板２９の歪みが軽減される。
【００２７】
ステージ３ａ、３ｂにワーク２が保持固定された後、液晶５０及びモノマー５１を配向させるため、ワーク２には電圧が印加される。ワーク２に電圧を印加する際、ステージ３ａ、３ｂの下部（図２及び図４における紙面奥側）から光源側（図２及び図４における紙面手前側）に向かって図１に記載のプローブピン４３が移動し、その先端がワーク基板２９に当接される。このときワーク２とプローブピン４３の当接部分では、該ワーク２がステージ３ａ、３ｂと離間する方向に力が働く。そのため、例えば、実施形態１のステージ３ａは、ワーク２の外周部分２４はその内域部分２３と比べて離間しやすい。しかしながら、実施形態２のステージ３ｂは、ワーク２の外周部分２４をより強固に保持することができるため、上記の事柄に対して有効に改善できる。
【００２８】
以下に記載する事項は、本発明のいずれの実施形態にも適用可能なステージの構成である。
【００２９】
図５は、二層構造体からなるステージの構成を示す断面図を示したものである。尚、図５に示すステージの構成は、本発明のいずれの実施形態にも適用することが可能である。本発明にかかるステージ３、３ａ、３ｂは、ワーク２を載置する載置面３６ｓを備えたサーフェスプレート３ｓと、その下面と当接するベースプレート３ｃとからなる2層構造体で構成することができる。サーフェスプレート３ｓは、ワークのいずれか一方の光透過性基板を載置する載置面３６ｓと、載置されたワークを吸引して保持固定する吸着口３３ｓを前記載置面３６ｓの面内に複数備えている。またベースプレート３ｃは、サーフェスプレート３ｓの下面（載置面と対向する面）に対して当接する当接面３７ｃと、前記当接面３７ｃの面内に複数の吸着口３３ｃを備えている。この吸着口３３ｓ、３３ｃは、各々のプレート３ｓ、３ｃに穿孔３４を穿設することで、前記載置面３６ｓ及び前記当接面３７ｃの面内に形成されている。
【００３０】
ベースプレート３ｃの吸着口３３ｃの一部はサーフェスプレート３ｓの吸着口３３ｓと連通しており、穿孔３４を介して外部の真空装置４４と連接している。穿孔３４内部を真空装置４４で減圧させることにより、穿孔３４と連通する吸着口３３ｓ、３３ｃは載置面３６ｓ上のワーク２を吸引し、ワーク２を載置面３６ｓに保持固定できる。
吸着口３３ｓ、３３ｃの大きさは、例えば、直径１ｍｍ程度の大きさで設けられている。吸着口３３ｓと吸着口３３ｃは同一の孔径でなくともよく、例えば、吸着口３３ｃを、吸着口３３ｓの２倍の孔径に形成させてもよい。これによって、サーフェスプレート３ｓの吸着口３３ｓとベースプレート３ｃの吸着口３３ｃを連通させる際、載置面３６ｓ上の吸着口３３ｓの配置に自由度を持たせることができる。
【００３１】
サーフェスプレート３ｓにワーク２を載置する際、載置面３６ｓの面内に設けられた吸着口３３ｓはワーク２の画面部２１と対向しない場所に設けられている。上記の構成により、ワーク２の画面部２１に吸着口３３ｓが当接することがなく、吸着口３３ｓの吸引によって画面部２１のセルギャップにバラツキを生じさせることがない。また、ベースプレート３ｃの一部の吸着口３３ｃがワーク２の画面部２１と対向する位置に配置される場合であっても、ワーク２とベースプレート３ｃの間にサーフェスプレート３ｓが介在することで、例えば、ワーク２の画面部２１と対向する位置に配置された吸着口３３ｘをサーフェスプレート３３ｓによって遮蔽される。
【００３２】
以上のように、サーフェスプレート３ｓは、ベースプレート３ｃに設けられた吸着口３３ｃのうちワーク２の画面部２１と対向してしまう不所望な吸着口３３ｘを選択的に遮蔽することができ、ワーク２の画面部２１に吸着口３３ｓ，３３ｃが当接することを防止する、という機能を備えている。
【００３３】
また、サーフェスプレート３ｓはベースプレート３ｃから着脱して交換することが可能であり、ワーク２に応じて載置面３６ｓの吸着口３３ｓの配置を変えることができる。例えば、ワーク２の画面部２１の大きさや並びが変更され、ステージ３の載置面３６ｓに設けられた吸着口３３ｓがワーク２の画面部２１と対向する位置に配置される場合、サーフェスプレート３ｓを交換することで載置面３６ｓの吸着口３３ｓの配置を適宜変更することができる。これによって、ベースプレート３ｃに設けられた吸着口３３ｃのうち、載置面３６ｓの吸着口３３ｓと連通させるか、若しくは、サーフェスプレート３ｓで遮蔽するか、を適宜選択することができ、ワーク２の画面部２１と対向しない位置に吸着口３３ｓ、３３ｃを配置させることができる。
【００３４】
上記のとおり、ステージ３を二重構造体とすることにより、ワーク２によって画面部２１の大きさが異なる場合であっても、必要に応じて吸着口３３ｓの配置を変更でき、本発明の実施上の有効性を高めることができる。
【００３５】
前記ステージ３の材料には、熱伝導率が優れた胴、アルミニウム又はアルミニウム系の合金が適している。また、前記サーフェスプレート３ｓや前記ベースプレート３ｃは、胴、アルミニウム又はアルミニウム系の合金のうち、いずれかの材料の組合せから構成することが好ましい。
【００３６】
本発明にかかるステージ３の載置面３６は、ワーク２を載置する際に平面度良く保持固定できるよう、高い平面精度で仕上げられている。また、ステージ３の周囲には、外部から搬送されたワーク２を受け取ってステージ３上に載置する為の受渡しピン部４０が設けられている。この受渡しピン部４０は、ステージ３と光源部１の間を上下移動する機構を備えている。受渡しピン部４０は、光源部１側に上昇させて外部から搬送されたワーク２を受け取り、ステージ３側に降下させることでステージ３上にワーク２を載置できる。また、ステージ３上のワーク２を離間させることもできる。尚、便宜のため図１と図３には受渡しピン部４０は図示していない。
【００３７】
本発明にかかるアライメント部について、以下に説明する。
ワーク２をステージ３の載置面３６に載置する際、ワーク２が所望の載置場所からずれてしまう場合は、ステージ３周囲に設けられたアライメント部４１によって位置調整を行なえる。このアライメント部４１は、制御部４２からの信号に基づいて、ステージ３の横（Ｘ軸）、縦（Ｙ軸）、の方向に移動し、位置を制御することができる。ワーク２の位置調整は以下の手順により行われる。先ず、ステージ３の平面方向にワーク２の位置調整がしやすいよう、ステージ３からワーク２に向けてエアーを吹きつける、又は、受渡しピン部４０によって、ステージ３からワーク２を離間させる。次に、ワーク２の四方の角、又はエッジの位置を検出し、その外縁と当接する位置にアライメント部４１を移動させる。次に、ワーク２の外縁と当接した状態でアライメント部４１を所望の位置に移動させ、アライメント部４１の移動方向にワーク２を移動させる。以上の工程により、アライメント部４１を移動させることでワーク２の位置を制御できる。
【００３８】
本発明にかかる紫外線照射装置において、その基本的動作を以下に記す。
（１）先ず、外部から紫外線照射装置にワーク２が搬送される、当該装置に搬送されたワーク２は、受渡しピン部４０上に載置される。
（２）次に、ステージ３を上昇させて、ステージ３上にワーク２を載置する。
（３）次に、ステージ３の周囲に設けられたアライメント部４１を移動させ、ワーク２の角又はエッジにアライメント部４１を当接させる。そして、ステージ３の吸着口３３とワーク２の画面部２１が対向しない位置にワーク２の位置を調整する。アライメント部４１による位置調整は、予め制御部４２にインプットされた位置情報に基づいて行われる。
（４）次に、ステージ３の吸着口３３に接続された真空装置４４によってワーク２を吸引し、ワーク２をステージ３に保持固定する。
（５）次に、ステージ３周囲に設けられた給電用のプローブピン４３をワーク基板２９に移動させ、ワーク基板２９の電圧印加用パッド２５とプローブピン４３先端を当接させる。
（６）次に、プローブピン４３を介してワーク２に電圧を印加する。これによってワーク内部の液晶５０及びモノマー５１が所定の方向に配向される。
（７）次に、光源部１内の光源ユニット１４を用いてステージ３上のワーク１全面に紫外線を照射する。これにより、ワーク１内のモノマー５１を硬化させて配向面２８上に配向部５３を形成する。
（８）次に、紫外線の照射及び電圧印加を止めて、プローブピン４３をワーク基板２９から離間させる。また真空装置４４を停止させ、ワーク２の吸引を止める。
（９）ステージ３を下降させてワーク２をステージ３から離間させ、受渡しピン部４０でワーク３を保持し、その後、紫外線照射装置の外にワーク２を搬送する。
【００３９】
本発明は、ステージの吸着口の配置場所を調整することにより、ワークに及ぼされる配向乱れを防ぐことができる。これにより、液晶パネル製造の歩留まり向上が期待できる。
【符号の説明】
【００４０】
１      光源部
１２    ケーシング部材
１３    光照射用開口
１４    光源ユニット
１５    光源エレメント
２      ワーク
２１    画面部
２２    隔壁部
２３    隔壁面Ａ
２４    隔壁面Ｂ（外周部分）
２５    電圧印加用パッド
２６    透明電極
２７    薄膜トランジスタ
２８    配向面
２９    ワーク基板
３      ステージ
３ｓ    サーフェスプレート
３ｃ    ベースプレート
３３    吸着口
３４    穿孔
３５    非吸着面
３６    載置面
４０    受渡しピン部
４１    アライメント部
４２    制御部
４３    プローブピン
４４    真空装置
４５    冷却部
５０    液晶
５１    モノマー
θp    プレチルト角
５３    モノマーの架橋構造体（配向部）
Ｌ１    セルギャップ
Ｌ２    セルギャップ
９２    ステージ
９３    吸着口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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