(57)【要約】【課題】簡単な構成で、塗布対象に塗布剤を薄く均一な厚さで確実活用に塗布することができる塗布装置を提供する。【解決手段】開閉部材４０の各連通部４１は、開閉部材４０が閉状態から開状態となるように回動されるときに、開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側Ｃの連通部４１が、供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１よりも先に開状態となり、開閉部材４０が開状態から閉状態となるように回動されるときに、開閉部材４０の供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１が、供給部２と対応する位置から離れた側Ｃの連通部４１よりも先に閉状態となるよう、各連通部４１が開閉部材４０の周方向に位相を漸次異ならせて形成されている。【選択図】図５
2013121572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布剤を塗布対象に塗布する塗布装置であって、
塗布対象に対して相対的に移動されるノズル本体を備えており、
該ノズル本体は、塗布剤が供給される供給部と、塗布対象の幅方向に延び塗布剤が吐出される吐出部と、供給部と吐出部とを連通または非連通とすることにより開閉する制御手段とを備えており、
該制御手段は、前記供給部と吐出部との間に、前記相対的な移動方向に対して直交する方向に軸方向が延び、且つ、軸回りに回動可能に配置された開閉部材を備えており、
該開閉部材は、軸方向に複数配設され、それぞれ径方向に貫通するように形成され、開閉部材が軸回りに回動されることで開閉される連通部を有しており、
開閉部材が閉状態から開状態となるように回動されるときに、開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部が、供給部と対応する位置の側の連通部よりも先に開状態となり、開閉部材が開状態から閉状態となるように回動されるときに、開閉部材の供給部と対応する位置の側の連通部が、供給部と対応する位置から離れた側の連通部よりも先に閉状態となるよう、各連通部が開閉部材の周方向に位相を漸次異ならせて形成されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部間のピッチが、供給部と対応する位置の側の連通部間のピッチよりも小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布剤を塗布対象に塗布するための塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
塗布対象に塗布剤を塗布するための一般的な従来の技術としては、塗布対象を治具で保持し、ノズルから所定量の塗布剤を吐出させながら塗布対象に対してノズルを相対的に移動させ、塗布対象に塗布剤を塗布する（図１を参照）。この場合、図７に示すように、ノズル１’の塗布剤Ｔを吐出する吐出部３’は、塗布対象Ｗの塗布する領域の幅（塗布対象Ｗの表面上で、相対的に移動される方向に対して直交する方向）と対応した長さを有しており、ノズル１’に塗布剤Ｔを供給するための供給部２’は、単一で、ノズル１’の長さ（塗布領域の幅）方向の略中央Ａに接続されている。ノズル１’は、塗布剤Ｔを塗布する厚さに応じて、塗布対象Ｗの表面から離されて、塗布対象Ｗに対して相対的に移動される。このとき、図８および図９に示すように、ノズル１’の先端のリップｂにより、塗布剤Ｔの表面が均される。なお、図７においては、ノズル１’の構成と、このノズル１’により塗布剤Ｔが塗布された領域の形状とを説明するために、ノズル１’を縦断正面図で示し、塗布対象Ｗに塗布された塗布剤Ｔを平面図で示していることに注意されたい。
【０００３】
ところで、例えばパワー素子モジュールにおいては、パワー半導体をリードフレーム等とともに樹脂で固められており、このパワー素子モジュールが駆動時に発生する熱を放熱するために、一般にパワー素子モジュールの表面に冷却器が組み付けられている。パワー素子モジュールの熱を効率よく放熱するためには、パワー素子モジュールの表面と冷却器とを密着させる必要がある。そのため、一般に図６に示すように、パワー素子モジュール（塗布対象）Ｗの表面に放熱グリス（塗布剤）Ｔを塗布して冷却器Ｒを組み付けている。この場合、放熱グリスＴは、例えば１００μｍ以下の薄さで、均一な厚さに塗布する必要がある。
【０００４】
このように、塗布対象Ｗに塗布剤Ｔを薄く均一な厚さで塗布するための技術としては、スクリーン印刷が従来から一般に行われている。スクリーン印刷では、塗布対象Ｗの表面にスクリーンを配置して、ノズル１’から所定量の塗布剤Ｔを吐出させながらノズル１’を相対的に移動させる。この場合には、スクリーンを透過した塗布剤Ｔが塗布対象Ｗに塗布されることとなる。
【０００５】
また、半導体ウエハ（塗布対象）の表面に現像液（塗布剤）を塗布するための技術として、特許文献１に開示されているように、現像液供給ノズルを使用することが知られている。特許文献１における現像液供給ノズルは、略棒状の形状を有しており，その長さがウェハの直径以上の長さを有しており、その底部には、長手方向に沿って直線上に並べて配置された等口径、等間隔の現像液吐出孔を多数備えていることが記載されている（００２４）。現像液供給ノズルの内部には現像液供給源から供給された現像液を貯留する貯留部などが設けられている。そして、現像液供給源から貯留部内に供給された現像液は、現像液供給ノズル底部の各現像液吐出孔から吐出されるようになっている。なお、現像液供給ノズルの内部の貯留部には、現像液供給源から現像液を供給するために、単一の管路が現像液供給ノズルの略中央に接続されている。すなわち、特許文献１においても、図７に示した場合と同様に供給部２’がノズル１’の長さ方向の中央Ａとなっている。
【０００６】
そして、特許文献１には、塗布対象の表面に塗布剤を均一に塗布するために、現像液供給ノズルの中央に位置する現像液吐出孔を遮蔽するためのダイアフラムを設けたり（図９）、各現像液吐出孔を開閉するために設けられた遮蔽板の開口部の口径を中央部に行くほど小さく端部に行くほど大きくすること（図１２）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１５５９８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の技術のうち、ノズル１’の長さ方向の略中央Ａに単一の供給部２’を接続する場合にあっては、特に塗布剤Ｔが粘性を有する場合に図７に矢印の長さで表したように、ノズル１’に対する供給部２’と対応する位置（図７では中央）Ａにおける塗布剤Ｔの圧力が最も高く、供給部２’と対応する位置から離れた側（図７では両端部）Ｃにおける塗布剤Ｔの圧力が最も低くなる傾向にある。そして、この圧力の差は、塗布剤Ｔがグリースのように粘性が高い場合に、特に大きくなる傾向にある。そのため、図７に示した場合には、ノズル１’の左右両端Ｃからの塗布剤Ｔの吐出が中央Ａと比較して遅れたり吐出量が少なくなり、塗布剤Ｔの吐出開始と同時にノズル１’を塗布対象に対して相対的に移動させると、図７の下方に平面図で示したように、塗布対象Ｗの表面に塗布剤Ｔが塗布された領域の端部がノズル１’の吐出部３’と対応した直線状とならず、また、塗布剤Ｔを均一な厚さで塗布することができないなどの問題があった。
【０００９】
また、図８の（ａ）に示したように、ノズル１’の吐出部３’から全体的に塗布剤Ｔを充分に吐出させ、その後図８の（ｂ）に示したように、ノズル１’と塗布対象Ｗの相対的な移動を開始すると、ノズル１’内の塗布剤Ｔの圧力が高い部分（図７においては中央）Ａでは、特に塗布剤Ｔの塗布を開始した端部（塗布開始位置）において、塗布剤Ｔの塗布量が過多となる。この塗布量が過多となった塗布剤Ｔを塗布対象Ｗに対するノズル１’の相対的な移動によりリップｂで均すと、図９の（ｄ）に示すように、塗布剤Ｔがリップの周囲に多量に付着することとなる。そのため、周囲を汚すことがないようにリップｂに付着した塗布剤Ｔを頻繁に除去する必要があった。
【００１０】
そして、図９の（ｄ）に示すように、ノズル１’と塗布対象Ｗの相対的な移動を続け、図９の（ｅ）に示したように塗布対象Ｗの塗布領域の端部で相対的な移動を停止させるとともに、塗布剤Ｔの吐出を停止してノズル１’を塗布対象Ｗの表面から引き離すと、塗布剤Ｔの流動慣性による吐出や、塗布剤Ｔの自重などにより、塗布剤Ｔの供給を停止しても、実際にはノズル１’から塗布剤Ｔが吐出され、かかる塗布剤Ｔが延びることとなる。そして、図９の（ｆ）に示したように、ノズル１’をさらに塗布対象Ｗから引き離すと、延びた塗布剤Ｔが切断され、さらに塗布対象Ｗの表面に塗布剤Ｔが供給される。その結果、塗布剤Ｔの塗布を停止した端部（塗布停止位置）においても、塗布剤Ｔの塗布量が過多となり、均一な厚さで塗布剤を塗布することができないという問題があった。
【００１１】
また、上記従来の技術のうち、スクリーン印刷にあっては、スクリーンを透過せず塗布対象に塗布されなかった塗布剤がスクリーン上やノズルの周囲に付着することとなる。そのため、塗布剤に無駄が生じるという問題や、ノズルのリップだけでなく、スクリーン上に残留した塗布剤を除去する必要があり、そのための時間や手間がかかるという問題があった。
【００１２】
さらに、上記従来の技術のうち、特許文献１にあっては、特にグリースなどのような粘性を有する塗布剤を塗布する場合に適用すると、図７に矢印の長さにより圧力の高さを示したのと同様に、ノズルの内部の貯留部に圧力差が生じる。その結果、特許文献１のようにダイアフラムによりノズルの中央部の吐出孔を遮蔽したり、遮蔽板の開口部の口径を中央部に行くほど小さく且つ端部に行くほど大きくしても、ノズルの管路が接続された部分（塗布剤供給位置）に近い中央の吐出孔から吐出される塗布剤の量が過多となったり、ノズルのから離れた両端部の吐出孔から吐出される塗布剤の量が過少となり、また、中央からの塗布剤の吐出開始から遅れて両端部からの塗布剤が吐出を開始することとなり、塗布剤を均一に塗布領域の全面にわたって塗布することができなかった。
【００１３】
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたもので、塗布剤が比較的粘性を有する場合であっても、簡単な構成で、塗布対象に塗布剤を薄く均一な厚さで確実活用に塗布することができる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１の塗布装置に係る発明は、上記目的を達成するため、塗布剤を塗布対象に塗布する塗布装置であって、塗布対象に対して相対的に移動されるノズル本体を備えており、該ノズル本体は、塗布剤が供給される供給部と、塗布対象の幅方向に延び塗布剤が吐出される吐出部と、供給部と吐出部とを連通または非連通とすることにより開閉する制御手段とを備えており、該制御手段は、前記供給部と吐出部との間に、前記相対的な移動方向に対して直交する方向に軸方向が延び、且つ、軸回りに回動可能に配置された開閉部材を備えており、該開閉部材は、軸方向に複数配設され、それぞれ径方向に貫通するように形成され、開閉部材が軸回りに回動されることで開閉される連通部を有しており、開閉部材が閉状態から開状態となるように回動されるときに、開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部が、供給部と対応する位置の側の連通部よりも先に開状態となり、開閉部材が開状態から閉状態となるように回動されるときに、開閉部材の供給部と対応する位置の側の連通部が、供給部と対応する位置から離れた側の連通部よりも先に閉状態となるよう、各連通部が開閉部材の周方向に位相を漸次異ならせて形成されていることを特徴とする。
請求項２の塗布装置に係る発明は、請求項１に記載の発明において、開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部間のピッチが、供給部と対応する位置の側の連通部間のピッチよりも小さくなるように形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明によれば、ノズル本体の供給部と吐出部との間に配置された開閉部材を閉状態から開状態となるように回動させるときに、開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部が、供給部と対応する位置の側の連通部よりも先に開状態となり、また、開閉部材を開状態から閉状態となるよう回動させるときに、開閉部材の供給部と対応する位置の側の連通部が、供給部と対応する位置から離れた側の連通部よりも先に閉状態となるよう、各連通部が開閉部材の周方向に位相を漸次異ならせて形成されているという簡単な構成により、塗布剤が比較的粘性を有する場合であっても、塗布剤の塗布を開始するときに、ノズル本体に供給される塗布剤の圧力が比較的低くなる傾向にある供給部と対応する位置から離れた側の連通部を塗布剤が先に通り、ノズル本体に供給される塗布剤の圧力が比較的高くなる傾向にある供給部と対応する位置の側に向かって各連通部を塗布剤が遅れて通る。その結果、ノズル本体の吐出部からその全長にわたって塗布剤が均等に吐出され塗布対象の表面に対する塗布を開始する。そして、ノズル本体を塗布対象に対して相対的に移動させることにより、塗布を継続させる。また、塗布剤の塗布を停止するときに、ノズル本体に供給される塗布剤の圧力が比較的高くなる傾向にある供給部と対応する位置の側の連通部が先に塗布剤の通過を遮断し、ノズル本体に供給される塗布剤の圧力が比較的低くなる傾向にある供給部と対応する位置から離れた側の連通部が遅れて塗布剤の通過を遮断する。その結果、ノズル本体の吐出部からその全長にわたって塗布剤が吐出されるのを均等に停止させ、塗布対象の表面に対する塗布を停止する。そのため、塗布対象に塗布剤を均一な厚さで確実に薄く塗布することが可能な塗布装置を提供することができる。
また、請求項２の発明によれば、請求項１に記載の発明において、開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側の連通部間のピッチが、供給部と対応する位置の側の連通部間のピッチよりも小さくなるように形成されていることにより、供給部と対応する位置から離れた比較的圧力が低くなる傾向にある側においては塗布剤が比較的多く吐出部に流動し、供給部と対応する位置の比較的圧力が高くなる傾向にある側においては塗布剤が比較的少なく吐出部に流動するよう作用するので、ノズル本体の吐出部から全体にわたって均一に塗布剤が吐出される。そのため、塗布対象に塗布剤を均一な厚さで確実に薄く塗布することが可能な塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の塗布装置の全体と、塗布対象を説明するために概略で示した側面図である。
【図２】本発明によるノズル本体の実施の一形態を示した平面図である。
【図３】図２の縦断側面図である。
【図４】本発明による開閉部材を説明するために示した平面図である。
【図５】本発明による開閉部材の、開閉部材の供給部と対応する位置に応じて周方向に異ならせた連通部の位相と、回動による各連通部の開閉状態とをそれぞれ説明するために示した実施の一形態の部分拡大断面である。
【図６】塗布剤を塗布対象に塗布する例として、冷却器を密着させるために、放熱グリスをパワー素子モジュールに塗布する場合を示した部分拡大断面図である。
【図７】従来の一般的な構成におけるノズルの中央に単一の供給部が接続された場合の、ノズル内に供給された塗布剤の圧力と、このノズルにより塗布剤が塗布された領域の形状を示した説明図である。
【図８】従来の一般的な技術によりノズルから塗布対象に塗布剤が塗布される状態を順に示した説明図である。
【図９】図８から続いて、ノズルから塗布対象に塗布剤が塗布される状態を順に示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の塗布装置の実施の一形態を、ノズル本体の中央に単一の供給部を接続する場合により、図１〜図５に基づいて詳細に説明する。なお、図において同じ符号は、同様または相当する部分を示すものとする。
本発明の塗布装置は、概略、塗布剤Ｔを塗布対象Ｗに塗布するものであって、塗布対象Ｗに対して相対的に移動されるノズル本体１を備えている。ノズル本体１は、塗布剤Ｔが供給される供給部２と、塗布対象Ｗの幅方向に延び塗布剤Ｔが吐出される吐出部３と、供給部２と吐出部３とを連通または非連通とすることにより開閉する制御手段４とを備えている。制御手段４は、供給部２と吐出部３との間に、塗布対象Ｗの表面上であってノズル本体１の相対的な移動方向に対して直交する方向に軸Ｊ方向が延び、且つ、軸Ｊ回りに回動可能に配置された開閉部材４０を備えている。開閉部材４０は、軸Ｊ方向に複数配設され、それぞれ径方向に貫通するように形成され、開閉部材４０が軸Ｊ回りに回動されることで開閉される連通部４１を有している。そして、各連通部４１は、開閉部材４０が閉状態から開状態となるように回動されるときに、開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側Ｃの連通部４１が、供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１よりも先に開状態となり、開閉部材４０が開状態から閉状態となるように回動されるときに、開閉部材４０の供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１が、供給部２と対応する位置から離れた側Ｃの連通部４１よりも先に閉状態となるよう、各連通部４１が開閉部材４０の周方向に位相を漸次異ならせて形成されている。
さらに、本発明の塗布装置は、開閉部材４０の供給部２と対応する位置Ａから離れた側Ｃの連通部４１，４１間のピッチＰが、供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１間のピッチＰよりも小さくなるように、各連通部４１が開閉部材４０に形成されている。ここで、ノズル本体１の供給部２と対応する位置の側（この実施の形態では中央）Ａの方が、開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側（この実施の形態では両端部）Ｃよりも、マニホールド２１からリップ前室３１へ流れるグリスなどの塗布剤Ｔの流量が多くなり、そのため、ノズル本体１の供給部２と対応する位置の側Ａと、開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側Ｃとで、塗布剤Ｔの塗布量（ひいては塗布品質）に差が生じてしまう。そこで、本発明では、ノズル本体１の供給部２と対応する位置の側Ａに対して開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側Ｃに塗布剤Ｔが流動し易くしてその流量（吐出部３に供給する量）を多くするために、開閉部材４０の供給部２と対応する位置Ａから離れた側Ｃの連通部４１，４１間のピッチＰを、供給部２と対応する位置の側Ａの連通部４１間のピッチＰよりも小さくして、開閉部材４０の単位長さあたりの連通部４１段面積の合計を開閉部材４０の供給部２と対応する位置Ａよりも開閉部材４０の供給部２と対応する位置Ａから離れた側Ｃを大きくすることで、ノズル本体１の供給部２と対応する位置の側Ａと、開閉部材４０の供給部２と対応する位置から離れた側Ｃとにバランスの取れた均一な塗布剤Ｔの塗布が可能となる。
【００１８】
塗布装置は、図１に示した実施の形態では、塗布対象Ｗの塗布剤Ｔを塗布する表面が鉛直となるように塗布対象Ｗが治具５０により保持されており、ノズル本体１が塗布対象に対して昇降移動するよう構成されている。そのため、アクチュエータ５１により昇降移動される昇降台５２が設けられている。昇降台５２には、ノズル本体１に一定量の塗布剤を供給するためのポンプ５３が回動可能に支持されているとともに、ノズル本体１が接続されたポンプ５３を回動させることによりリップ１０ａ、１１ａを塗布対象Ｗに対して所定の間隔に位置させるためのアクチュエータ５４が設けられている。
【００１９】
ノズル本体１は、図２および図３に示すように、上ダイ１０と、下ダイ１１と、上ダイ１０と下ダイ１１の間に配設されるスペーサ１２と、サイドプレート１３，１３とを備えている。上ダイ１０と下ダイ１１の先端（図２および図３の左方）には、塗布剤を吐出させるリップ１０ａ、１１ａがそれぞれ形成されている。上ダイ１０と下ダイ１１には、開閉部材４０を保持するための保持部１０ｂ、１１ｂがそれぞれ形成されている。上ダイ１０と下ダイ１１との間、スペーサ１２と開閉部材４０との間、および、サイドプレート１３，１３の間によって、マニホールド２１が形成されている。また、上ダイ１０には、マニホールド２１に塗布剤を供給するための供給部２を構成する供給通路２０が単一でノズル本体１の幅方向（図２に平面図で示した上下方向）の略中央に形成されている。さらに、上ダイ１０と下ダイ１１との間、開閉部材４０と両リップ１０ａ、１１ａとの間、および、サイドプレート１３，１３の間によって、リップ前室３１が形成されている。吐出部３は、リップ前室３１と連通して両リップ１０ａ、１１ａの間に形成される開口により構成されている。
【００２０】
図４に示すように、開閉部材４０は断面が円形で中実の棒状の部材であり、サイドプレート１３，１３間の位置には、複数の連通部４１が径方向に貫通するように形成されている。そして、開閉部材４０は、上ダイ１０と下ダイ１１の保持部１０ｂ、１１ｂに回動可能に保持されている。開閉部材４０の一方の端部には、開閉部材４０を軸Ｊ回りに回動駆動するためのレバー４２が取り付けられている。レバー４２の操作、つまり回動部材４０の軸Ｊ回りの回動は、手動または適当な駆動手段により行うことができる。各連通部４１の開口がマニホールド２１とリップ前室３１に位置するように開閉部材が軸Ｊ回りに回動されることにより両者２１，３１が連通状態となり、塗布剤Ｔがマニホールド２１から連通部４１を通ってリップ前室３１に流動し、吐出部３から吐出されることとなる。また、各連通部４１の開口が保持部１０ｂ、１１ｂに位置して閉鎖されるように開閉部材が軸Ｊ回りに回動されることにより、マニホールド２１とリップ前室３１が非連通状態となり、塗布剤Ｔの吐出部３からの吐出が停止される。
【００２１】
そして、開閉部材４０の軸Ｊ方向における供給通路２０と対応する位置から離れた側（この実施の形態では両端部）Ｃの連通部４１は、開閉部材４０の周方向に対して、開閉部材４０が閉状態から開状態となるように回動される方向に先行するよう位相が設定されている。一方、開閉部材４０の軸Ｊ方向における供給通路２０と対応する位置の側（この実施の形態では中央）Ａの連通部４１は、開閉部材４０の周方向に対して、開閉部材４０が開状態から閉状態となるように回動される方向に後退するよう位相が設定されている。そして、供給通路２０と対応する位置から離れた側Ｃと供給通路２０と対応する位置の側Ａとの間の中間部Ｂは、供給通路２０と対応する位置から離れた側Ｃにおける連通部４１から供給通路２０と対応する位置の側Ａにおける連通部４１に向かって次第に後退するよう位相が設定されている。
【００２２】
さらに、図４に示した実施の形態では、互いに隣接する連通部４１，４１間の、開閉部材４０の軸Ｊ方向のピッチＰは、供給部２と対応する位置の側Ａが比較的大きく、供給部２と対応する位置Ａから離れた側Ｃが比較的小さくなるように設定されている。
【００２３】
以上のように構成された塗布装置では、塗布対象Ｗを治具５０に保持し、ノズル本体１のリップ１０ａ、１１ａが塗布対象に対して所定のギャップＧを有するように、アクチュエータ５４によってノズル本体１を塗布対象Ｗの表面に近づける。そして、アクチュエータ５１を駆動して、塗布対象Ｗの塗布剤を塗布する領域の端部にノズル本体１の吐出部３が位置するよう昇降台５２の高さを調整する。このとき、開閉部材４０の各位置Ａ，Ｂ，Ｃにおける連通部４１は、図５の「閉」の行に示したように、すべて開口が閉鎖するよう保持部１０ｂ、１１ｂに位置しており、閉状態となっている。
【００２４】
この状態から、開閉部材４０をその軸Ｊ回りに開状態となるように回動させ、ポンプ５３により塗布剤Ｔをノズル本体１の供給路２０に供給しつつ、アクチュエータ５１の駆動によって昇降台５２を昇降移動させ、ノズル本体１を塗布対象Ｗに対して相対的に移動させる。このとき、図５の「途中」の行に示したように、開閉部材４０の軸Ｊ方向における端部Ｃに位置する連通部４１が最初にマニホールド２１とリップ前室３１に開口するよう位置し、マニホールド２１とリップ前室３１を連通させる（開状態）。そして、開閉部材４０の軸Ｊ方向における端部Ｃから中央Ａに向かって順次連通部４１が開状態となる。そして最終的に、図５の「開」の行で示したように、すべての連通部４１が開状態となる。
【００２５】
ここで、ノズル本体１の幅方向中央に位置する供給路２０から供給された塗布剤Ｔの圧力は、図７に矢印で示したように、供給路２０と対応する中央部が最も高く、端部に向かって徐々に低くなる傾向にある。しかしながら、上述したように本発明では、端部Ｃから中央Ａに向かって連通部４１が順次開状態となり、しかも、連通部４１間のピッチＰが端部Ｃで小さく中央Ａで大きく設定されているため、塗布剤Ｔが比較的粘性を有する場合であっても、比較的圧力が低くなる傾向にある端部Ｃと比較的圧力が高くなる傾向にある中央Ａとにおいて、吐出部３から同様に塗布剤が吐出されて、塗布対象Ｗの表面に塗布されることとなる。
【００２６】
塗布対象に塗布剤を塗布する領域の端部までノズル本体１が相対的に移動すると、開閉部材４０が開状態から閉状態となるように、閉状態から開状態への回動と反対方向へ軸Ｊ回りに回動される。このとき、図５の「途中」の行に示したように、中央Ａに位置する連通部４１が最初に保持部１０ｂ、１１ｂによって閉鎖される（閉状態）。そして、開閉部材４０の軸Ｊ方向における中央Ａから端部Ｃに向かって順次連通部４１が閉状態となる。そして最終的に、図５の「閉」の行で示したように、すべての連通部４１が閉状態となる。
【００２７】
ここで、上述したように塗布剤Ｔの圧力の比較的高くなる傾向にある中央Ａの連通部から、塗布剤Ｔの圧力の比較的低くなる傾向にある端部Ｃに向かって順次閉状態となり、しかも、連通部４１間のピッチＰが端部Ｃで小さく中央Ａで大きく設定されているため、塗布剤Ｔが比較的粘性を有する場合であっても、比較的圧力が低くなる傾向にある端部Ｃと比較的圧力が高くなる傾向にある中央Ａとにおいて、吐出部３からの塗布剤の吐出が同様に停止されるため、塗布対象Ｗの表面に対する塗布剤Ｔの塗布を適切に終了することができる。塗布剤Ｔの塗布が終了すると、アクチュエータ５４の駆動によってノズル本体１が接続されたポンプ５３を回動させて、ノズル本体１を塗布対象Ｗから引き離し、塗布対象Ｗを交換する。
【００２８】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されることはなく、例えば、図８および図９に示したように、塗布対象Ｗの表面を水平に保持し、吐出部３が上向きまたは下向きとなるようにノズル本体１の姿勢を保持して、塗布対象Ｗの表面と平行にノズル本体１を水平方向に相対的に移動させるなど、相対的な移動方向が特に限定されない。また、供給部２は、ノズル本体１に対して中央に、単一で設けることに限定されることはなく、ノズル本体１の一方の端部または両端部に設けることもできる。
【符号の説明】
【００２９】
１：ノズル本体、  ２：供給部、  ３：吐出部、  ４：制御部、  ４０：開閉部材、  ４１：連通部、  ２１：マニホールド、  ３１：リップ前室、  Ｗ：塗布対象、  Ｔ：塗布剤、  Ａ：軸方向中央（供給部と対応する位置の側）、  Ｃ：軸方向端部（開閉部材の供給部と対応する位置から離れた側）、  Ｊ：開閉部材の軸、  Ｐ：連通部間のピッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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