(57)【要約】【課題】構成が簡単でしかも安定してガラス基板を搬送し又、ガラス基板の受け入れ、受け渡しの際のアライメントを省くことを可能とするガラス基板搬送ローラを提供する。【解決手段】ガラス基板を載置し搬送するコロを有するシャフトの長さ方向の中心に設けられた第一のコロと、シャフトの長さ方向の中心から等距離に設けられ直径が同じ２個の搬送コロの複数の組と、を備え、前記直径が同じ２個の搬送コロの複数の組は、シャフトの中心から外側に向かって直径が大きくなるように配置され、複数の組の搬送コロの内、１組の第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢはシャフトに固定されシャフトの回転によって回転し、ガラス基板と接してガラス基板を搬送し、第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢ以外の複数の組の搬送コロと第一の搬送コロはシャフトに固定されずシャフトの回転とはフリーでガラス基板と接して回転することを特徴とする基板搬送ローラ。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を処理装置内あるいは処理装置間で、受け渡しや受け入れを行う際に用いられる基板搬送ローラであって、
前記ガラス基板を載置し搬送するコロを有するシャフトの長さ方向の中心に設けられた第一のコロと、
シャフトの長さ方向の中心から等距離に設けられ直径が同じ２個の搬送コロの複数の組と、を備え、
前記直径が同じ２個の搬送コロの複数の組は、シャフトの中心から外側に向かって直径が大きくなるように配置され、
複数の組の搬送コロの内、１組の第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢはシャフトに固定されシャフトの回転によって回転しガラス基板と接してガラス基板を搬送し、
第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢ以外の複数の組の搬送コロと第一の搬送コロはシャフトに固定されずシャフトの回転とはフリーでガラス基板と接して回転することを特徴とする基板搬送ローラ。
【請求項２】
前記第一のコロ及び複数の組の搬送コロはガラス基板との摩擦係数の小さなものであって、搬送中にガラス基板をシャフトの長さ方向の中心部に寄せることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ローラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルター等のガラス基板を搬送するための装置であって、特に、搬送ローラによってガラス基板を搬送する基板搬送ローラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にガラス基板の一例としてカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
上記カラーフィルタの製造工程では、処理工程内の各処理装置内や処理装置間でも搬送装置が用いられている。搬送装置によるガラス基板の搬送方法としては図３（ａ）に示されるローラ１１上にガラス基板１０を載置し、ローラ１１を回転させることにより矢印１２の方向に搬送するローラ方式や、図３（ｂ）に示されるエアー１３によりガラス基板１０を浮かせガイド等でガラス基板を支持しながら矢印１２の方向に搬送するエアー浮上方式が多く用いられている。特に、処理装置間で用いる搬送方法としては、安価で制御しやすいことからローラ方式が多く採用されている。
【０００６】
ローラ方式ではガラス基板とローラが常に接触する為、硬い素材を選ぶと共に極力点接触にすることにより、磨耗を抑える工夫がなされている。又、ローラ方式で下流装置にガラス基板を渡したり、又上流から受け取った際にガラス基板の位置ずれを直す為、図４に示すようにガラス基板位置決め機構によって例えば右側に蛇行したガラス基板１０（図４（ａ））をガラス基板位置決めピン１４、１５によって矢印１４ａ及び１５ａで示される方向にガラス基板１０を押し込んで位置決めしている（図４（ｂ））。これによりガラス基板を位置決めして受け渡し、受け取りを行っている。位置決めが正確に行われていない場合には、次工程処理装置へのガラス基板の受け入れ受け渡しの際にガラス基板の割れや不良品が発生するといった原因となる。特に近年のガラス基板の大型化に伴い、ローラ方式でガラス基板を搬送する際にはガラス基板の位置ずれが大きくなったりして、ガラス基板を安定して搬送することが難しくなっている。
【０００７】
上記問題に対して、比較的大きなガラス基板を搬送するために、直径の異なるコロを備えた搬送ローラで、基板を撓ませて搬送する搬送装置が提案されている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−３５２４２７号公報
【特許文献２】特開平９−２０８０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１で提案されているガラス基板搬送装置を図５に示す。図５に示す搬送装置はガラス基板２１の端部に接する端部用コロ２２が、端部用シャフト２３に取り付けられ、ガラス基板２１を載置し、ガラス基板２１の中央部に接する中央部用コロ２４が、中央部用シャフト２５に取り付けられている。端部用シャフト２３と中央部用シャフト２５は、１本おきに、交互に取り付けられている。又、ガラス基板の両端面と接するようにガイド用コロ２６が設けられている。しかしながら、この方法では、シャフトに取り付けてあるコロ２２とコロ２４の直径が異なるため、シャフトを同じ回転速度で回転させた場合、載置したガラス基板２１の搬送方向の搬送速度が、直径の大きいコロ２４と小さいコロ２２で異なるため、直径の大きさによってシャフト２３とシャフト２５の回転速度を変えなければならない。この場合、シャフトの回転制御系が複雑になり、設備費用が高価になるといった問題がある。
【００１０】
又、図６に示す上記特許文献２で提案されている搬送装置はガラス基板２７を搬送するローラのシャフトとして、凹型あるいは凸型に撓んだシャフト（図６では凹型に撓んだシャフトを示す）を用いて、同一の直径を持つ複数のコロ２８を、取り付けシャフト２９に垂直に交わるように固定されている。しかしながらこの方法では、凹型あるいは凸型に撓んだシャフトを用いているが、そのシャフト２９は変形であるために製作の費用が高価であったり又、強度面の問題が発生する。
【００１１】
そこで本発明は、構成が簡単でしかも安定してガラス基板を搬送し又、ガラス基板の受け入れ、受け渡しの際のアライメントを省くことを可能とするガラス基板搬送ローラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板を処理装置内あるいは処理装置間で、受け渡しや受け入れを行う際に用いられる基板搬送ローラであって、
前記ガラス基板を載置し搬送するコロを有するシャフトの長さ方向の中心に設けられた第一のコロと、
シャフトの長さ方向の中心から等距離に設けられ直径が同じ２個の搬送コロの複数の組と、を備え、
前記直径が同じ２個の搬送コロの複数の組は、シャフトの中心から外側に向かって直径が大きくなるように配置され、
複数の組の搬送コロの内、１組の第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢはシャフトに固定されシャフトの回転によって回転し、ガラス基板と接してガラス基板を搬送し
第二の搬送コロＡ及び第二の搬送コロＢ以外の複数の組の搬送コロと第一の搬送コロは、シャフトに固定されずシャフトの回転とはフリーでガラス基板と接して回転することを特徴とする基板搬送ローラである。
【００１３】
本発明の請求項２に係る発明は、前記第一のコロ及び複数の組の搬送コロは、ガラス基
板との摩擦係数の小さなものであって、搬送中にガラス基板をシャフトの長さ方向の中心部に寄せることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ローラである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板搬送ローラによれば、簡単な構成で大型のガラス基板を安定して搬送し又、ガラス基板の受け入れ、受け渡しの際のアライメントを省くことが可能となり、その結果、ガラス基板の受け渡し受け入れに要する時間を短縮することが出来、更にガラス基板の受け入れ受け渡しの際のガラス基板の割れや不良品の発生を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】カラーフィルタ基板の一例をを断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】従来の搬送装置でのガラス基板の搬送方法を示す図。（ａ）はローラ方式を示す。（ｂ）はエアー浮上方式を示す。
【図４】ガラス基板を位置決めする方法の一例を示す図。
【図５】特許文献１で提案されているガラス基板搬送装置を示す図。
【図６】特許文献２で提案されているガラス基板搬送装置を示す図。
【図７】本発明の基板搬送ローラの概要図。（ａ）は正面から見た図。（ｂ）は側面から見た図。
【図８】図７とは別の本発明の基板搬送ローラの概要図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る基板搬送ローラを実施するための形態を説明する。
【００１７】
図７に本発明の基板搬送ローラの一例の概要図を示す。図６（ａ）は基板搬送ローラを正面から見た図を示し、図６（ｂ）は基板搬送ローラを側面から見た図である。
【００１８】
本発明に係る基板搬送ローラはガラス基板３０を載置し搬送するコロを有するシャフト３１の長さ方向の中心（Ｌ１＝Ｌ１´）に設けられた第一のコロ３２と、シャフトの長さ方向の中心から等距離に設けられ直径が同じ２個の搬送コロの複数の組３３ａ、３３ｂ（シャフトの長さ方向の中心から等距離Ｌ２＝Ｌ２´に設けられる）と、３４ａと３４ｂ（シャフトの長さ方向の中心から等距離Ｌ３＝Ｌ３´に設けられる）を備え、上記直径が同じ２個の搬送コロの複数の組（３３ａ、３３ｂの組と、３４ａと３４ｂの組）は、シャフトの中心から外側に向かって直径が大きくなるように（３３ａ、３３ｂよりも外側の３４ａと３４ｂは直径が大きい）配置されている。
【００１９】
複数の組の搬送コロの内、１組の第二の搬送コロＡ３３ａ及び第二の搬送コロＢ３３ｂはシャフトに固定されシャフトの回転によって回転し、ガラス基板３０と接してガラス基板を搬送する。第二の搬送コロＡ３３ａ及び第二の搬送コロＢ３３ｂ以外の組の搬送コロ３４ａ、３４ｂと第一の搬送コロ３２はシャフト３１に固定されずシャフトの回転とはフリーでガラス基板３０と接して回転する。
【００２０】
シャフトの長さ方向の中心から一番外側に設けられた搬送コロの組である３４ａと３４ｂの搬送コロはガラス基板３０の幅方向の端部に近接した部分に接するように設けられることが望ましい。
【００２１】
更に、第一のコロ３２と、２個の搬送コロの複数の組３３ａ、３３ｂと３４ａと３４ｂ
はガラス基板との摩擦係数が小さなコロを用いることが望ましい。
【００２２】
このように摩擦係数が小さなコロを用い、又シャフトの長さ方向の中心から、外側に向かってコロの直径を大きくすることによって、ガラス基板を中心に寄せることが出来、又第二の搬送コロＡ３３ａと第二の搬送コロＢ３３ｂをシャフト３１に固定し、又第一のコロ３２と第三の搬送コロＡ３４ａ及び第三の搬送コロＢ３４ｂはシャフト３１を固定せずにシャフトの回転とはフリーで回転させることによって、ローラ径の違いによるガラス基板の中央部と端辺部の搬送速度の差を生じることなく、搬送することが出来る。
【００２３】
図７はシャフト３１に固定されずシャフトの回転とはフリーでガラス基板３０と接して回転する第一の搬送コロ３２と搬送コロ３４ａ、３４ｂとを示したが、これに限定されず例えば図８に示すように第一の搬送コロ３２と搬送コロ３４ａ、３４ｂに加えて、第三の搬送コロ３５ａ、３５ｂと第四の搬送コロ３６ａ、３６ｂ等を設けても良く、シャフトの回転とはフリーで回転する搬送コロの組数はガラス基板の大きさや撓みの大きさによって適宜選択することが望ましい。
【００２４】
以上のように本発明の搬送ローラによれば、簡単な構成で大型のガラス基板を安定して搬送し又、ガラス基板の受け入れ、受け渡しの際のアライメントを省くことが可能となり、その結果、ガラス基板の受け渡し受け入れに要する時間を短縮することが出来、更にガラス基板の受け入れ受け渡しの際のガラス基板の割れや不良品の発生を抑制することが可能となる。
【符号の説明】
【００２５】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１０・・・ガラス基板
１１・・・ローラ
１２・・・ガラス基板の搬送方向を示す矢印
１３・・・エアー
１４，１５・・・ガラス基板位置決めピン
１４ａ、１５ｂ・・・ガラス基板をガラス基板位置決めピンによって押し込む方向を示す矢印
２１・・・ガラス基板
２２・・・端部用コロ
２３・・・端部用シャフト
２４・・・中央部用コロ
２５・・・中央部用シャフト
２６・・・ガイド用コロ
２７・・・ガラス基板
２８・・・同一の直径を持つ複数のコロ
２９・・・取り付けシャフト
３０・・・ガラス基板
３１・・・シャフト
３２・・・第一のコロ
３３ａ、３３ｂ・・・直径が同じ２個の搬送コロの組でシャフトの長さ方向の中心から等距離（Ｌ２＝Ｌ２´）にあるコロ
３４ａ、３４ｂ・・・直径が同じ２個の搬送コロの組でシャフトの長さ方向の中心から等距離（Ｌ３＝Ｌ３´）にあるコロ
３５ａ、３５ｂ・・・第三の搬送コロ
３６ａ、３６ｂ・・・第四の搬送コロ
【図２】
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【図５】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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