(57)【要約】      （修正有）【課題】電気ケーブルが伝送する信号は、ノイズ、干渉、および、信号を劣化させる、かつひずませる場合がある他の外部の影響を受けやすい。これらの影響を低減し、センサと診断構成要素との間の可能な分離距離を増大させることができる検査システムを提供する。【解決手段】センサ１０４と処理構成要素１１２との間で光を伝送可能である導管１２５を備える検査システム１００を提供する。一実施形態では、センサ１０４は、処理構成要素１１２からの入力に応答して電磁場を生成する要素を備える。入力は、導管１２５をセンサに通過する光信号を含む。センサは、光信号を、要素を動作させるための電気信号に変換する。一例では、センサは、導管１２５を診断構成要素１０８にさらに通過する、複数の光信号を生成し、診断構成要素１０８では、光信号が、一例では、センサに対する対象の近接度を決定するために処理される。【選択図】図１
2013137310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサと、
前記センサに結合される光学データ導管と、
前記光学データ導管に結合されるセンサ信号処理制御構成要素とを備え、
前記センサおよび前記センサ信号処理制御構成要素が、前記光学データ導管を介して光信号を交換し、
前記センサが、電気駆動信号を生成可能である光検出器、前記電気駆動信号を、前記電気駆動信号に応答して電磁場を生成可能である要素に、および光源に方向変更する方向性結合器を備え、
前記光源が、前記要素での前記電気駆動信号の反射に応答した逆方向反射光学信号、および、前記電気駆動信号の特性に基づく特性を伴う順方向反射信号を生成可能であり、
前記センサ信号処理制御構成要素が、前記逆方向反射光学信号を、前記センサに対する対象の近接度を特定可能である逆方向反射処理信号に変換可能である光検出器を備える、センサ組立体。
【請求項２】
前記特性が、前記電気駆動信号の周波数、位相、および振幅を含む、請求項１記載のセンサ組立体。
【請求項３】
前記光源が、前記順方向反射光学信号を生成可能である第１の発光ダイオード、および、前記逆方向反射光学信号を生成可能である第２の発光ダイオードを備える、請求項２記載のセンサ組立体。
【請求項４】
前記光検出器が、フォトダイオードを備える、請求項１記載のセンサ組立体。
【請求項５】
前記光学データ導管に結合される光学フィルタをさらに備え、前記光学フィルタが、前記逆方向反射光学信号および前記順方向反射光学信号を、１対のフォトダイオードに方向変更可能である、請求項１記載のセンサ組立体。
【請求項６】
センサ信号処理制御構成要素に結合される光学データ導管と、
前記光学データ導管に結合されるセンサであって、前記センサ信号処理制御構成要素からの光学駆動信号に応答して電磁場を生成可能である要素を備えるセンサとを備え、
前記センサが、前記光学導管を通過する複数の光学信号を生成し、
前記センサ信号処理制御構成要素が、前記センサに対する対象の近接度を特定する前記光学信号から、１つまたは複数の処理信号を生成可能である、検査システム。
【請求項７】
電気信号発振器をさらに備え、前記電気信号発振器が、前記電磁場を生じさせ得る周波数で電気駆動信号を生成する、請求項６記載の検査システム。
【請求項８】
前記周波数が３００ＭＨｚ以上である、請求項７記載の検査システム。
【請求項９】
前記光学信号が、前記要素の離調を表す逆方向反射光学信号、および、前記電気駆動信号の特性に基づく特性を伴う順方向反射光学信号を含む、請求項６記載の検査システム。
【請求項１０】
前記光学信号を受信する光学フィルタをさらに備え、前記光学フィルタが、前記逆方向反射光学信号を順方向反射光学信号から分離可能であり、前記順方向反射光学信号が、前記電気駆動信号に基づく振幅および位相を有する、請求項９記載の検査システム。
【請求項１１】
前記光ファイバケーブルが、前記センサと前記センサ信号処理制御構成要素との間で前記光学信号を搬送する、マルチモードケーブルを備える、請求項６記載の検査システム。
【請求項１２】
前記センサに結合される電源をさらに備える、請求項６記載の検査システム。
【請求項１３】
第１の光源が、発光ダイオードを備える、請求項６記載の検査システム。
【請求項１４】
複数の光源と、
前記複数の光源に結合される光ファイバケーブルと、
前記光ファイバケーブルに結合される複数の光検出器と、
前記光源から前記光検出器に前記光ファイバケーブルを通過する光に応答して、電磁場を生成する要素とを備え、
前記光源が、電気駆動信号に基づく特性を伴う順方向反射光学信号、および、前記電磁場との対象の干渉に応答した逆方向反射光学信号を生成し、
前記光検出器が、前記順方向反射光学信号および前記逆方向反射光学信号を、前記要素に対する前記対象の近接度を定量化可能である、１つまたは複数の処理信号に変換する、検査システム。
【請求項１５】
前記光源が、発光ダイオードを備える、請求項１４記載の検査システム。
【請求項１６】
前記光検出器が、フォトダイオードを備える、請求項１４記載の検査システム。
【請求項１７】
前記光源の１つに結合される発振器をさらに備え、前記発振器が、前記電磁場を生じさせ得る電気駆動信号を生成可能である、請求項１４記載の検査システム。
【請求項１８】
前記電気駆動信号が、周波数が約３００Ｍｈｚ以上である、請求項１７記載の検査システム。
【請求項１９】
前記センサに結合される電源をさらに備える、請求項１４記載の検査システム。
【請求項２０】
前記光ファイバケーブルに結合される光学フィルタをさらに備え、前記光学フィルタが、１対の前記光源からの光を、１対の前記光検出器に方向変更可能である、請求項１４記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示する主題は、検査システムに関し、より詳細には、センサを動作させるために光を使用する検査システムの実施形態に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械は、動作中に異常な挙動（例えば、過大な振動）を示す場合がある。検査システムは、この異常な挙動を測定し、異常な挙動についての警報または他の指示を提供することができる。例えば、これらの検査システムは、機械の振動、運動、または他の動作特性の量を決定するために、１つまたは複数のセンサを機械に近接して配備する場合がある。センサは、信号を処理可能であり、一例ではデータのグラフィカル表現を表示可能である、検査システムの他の構成要素に信号を提供する。
【０００３】
多くの検査システムは、センサを動作させる、かつ／またはセンサからの信号を受信および処理する構成要素にセンサを結合するために、電気ケーブル（例えば、銅ケーブル、同軸ケーブル等）を使用する。しかしながら、電気ケーブルが伝送する信号は、ノイズ、干渉、および、信号を劣化させる、かつひずませる場合がある他の外部の影響を受けやすい。さらに、これらの問題は、電気ケーブルの長さが増大するにつれて、より顕著になる。
【０００４】
上記の考察は、一般的な背景情報に関して提供するものにすぎず、特許請求する主題の範囲を決定する際に、一助として使用されることは意図されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１０／０２１１３３４号明細書
【発明の概要】
【０００６】
近接度検査システムが開示され、近接度検査システムは、センサと信号処理制御構成要素との間で光信号を伝送可能である導管を備える。検査システムの一部の開示する実施形態を実践する際に実現され得る利点は、ひずみ、および、従来の電気ケーブルで見出される他の問題点を低減し、それによって、センサと診断構成要素との間の可能な分離距離を増大させることである。
【０００７】
本発明のこの簡単な説明は、１つまたは複数の例示的な実施形態によって、本明細書で開示する主題の概観を提供することが意図されているにすぎず、特許請求の範囲を解釈する指針として、または、添付の特許請求の範囲によってのみで定義される本発明の範囲を定義もしくは限定するように働くものではない。この簡単な説明は、下記の詳細な説明でさらに説明する、概念の例示的な選択を、単純化した形態で紹介するために提供されている。この簡単な説明は、請求する主題の主要な特徴または本質的な特徴を特定することは意図されておらず、請求する主題の範囲を決定する際に、一助として使用されることもまた意図されていない。請求する主題は、背景技術に記した、いずれかまたはすべての欠点を解決する実装形態に限定されない。
【０００８】
本発明の特徴が理解され得るように、本発明の詳細な説明を、一部を添付の図面に例示する、ある決まった実施形態を参照して行うことができる。しかしながら、図面は、本発明のある決まった実施形態のみを例示し、したがって、その範囲を限定するものとみなされるべきではないということに留意されたい、というのは、本発明の範囲は、他の同等に効果的な実施形態を包含するからである。図面は、必ずしも原寸に比例しておらず、一般に、発明のある決まった実施形態の特徴を例示することに重きを置く。図面では、同じ数字を、様々な図を通して同じ部分を指示するように使用する。したがって、本発明のさらなる理解のために、以下の詳細な説明に対する参照を、図面とともに読むことで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】検査システムの一例としての実施形態の概略図である。
【図２】検査システムの別の一例としての実施形態の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、対象１０２を測定、監視、かつ検査可能である検査システム１００の一例としての実施形態を例示する。検査システム１００は、電磁場１０６を生成可能であるセンサ１０４、ならびに、制御構成要素１１０および処理構成要素１１２を伴う診断構成要素１０８を備える。検査システム１００は、センサ１０４に電力（例えば、＋５ＶＤＣ）を供給する電源１１４、ならびに、ディスプレイ１１６および／またはコンピューティングデバイス１１８などの、１つまたは複数の周辺デバイスをさらに備える。検査システム１００は、ネットワーク１２２、および、１つまたは複数の外部サーバ１２４を備える、ネットワークシステム１２０の一部であり得る。
【００１１】
検査システム１００は、センサ１０４を信号処理制御構成要素１２６に結合する第１のデータ導管１２５をさらに含む。一例では、センサ１０４および信号処理制御構成要素１２６は、センサ組立体とみなされ得る。検査システム１００は、信号処理制御構成要素１２６を診断構成要素１０８に結合するための、第２のデータ導管１２７をさらに含む。第１のデータ導管１２５は、光および／または光信号を、センサ１０４に、および信号処理制御構成要素１２６に伝送可能である。光信号は、本例では、駆動光信号１２８および受信光信号１３０と確認される。
【００１２】
検査システム１００の実施形態では、電気信号を光信号（例えば、駆動光信号１２８および受信光信号１３０）に、およびその逆に変換する。光信号は、センサ１０４と信号処理制御構成要素１２６との間の通信を容易にする。通信の媒体として光を使用することは、センサ１０４と信号処理制御構成要素１２６との間のより大きな分離を考慮するものである。光は、ノイズおよび電気的干渉を受けにくく、概してそれらによる影響を受けない。これらの問題は、従来の電気ケーブル（例えば、銅ケーブル）を介して進行する信号をひずませる場合がある。ひずみを効果的になくすことにより、検査システム１００の実施形態によって、第１のデータ導管１２５の長さが、同等の電気ケーブルの長さより大きくなるので、センサ１０４を信号処理制御構成要素１２６から、少なくとも約８２３０ｍｍ（２７フィート）以上分離することが可能になる。さらに、光信号を使用してひずみがないことによって、より精密かつ効果的な測定をもたらし、特に近距離場領域での測定に有用である、より高い周波数のデバイス（例えば、センサ１０４）を使用することが可能になる。
【００１３】
センサ１０４は、既知の渦電流センサ、磁気ピックアップセンサ、および静電容量センサの代わりに用いることができる。センサ１０４の例は、対象１０２に対する近接度および／または距離を測定可能である。他の例は、任意の数の用途で使用され得る。一部の用途では、例えば、センサ１０４が、例えば、対象１０２の膨張および／または収縮を測定するために、対象１０２の近接度を検出する静的検出を必要とする場合がある。他の用途では、センサ１０４が、回転するタービン軸の運動、例えば振動を検出するために、対象１０２の近接度を測定する動的検出用に、センサ１０４を配備する場合がある。
【００１４】
第１のデータ導管１２５は、光を伝達可能である１つまたは複数の繊維要素を用いた、光学繊維および／または光ファイバのケーブルを備え得る。検査システム１００の実施形態では、任意の数の光ファイバケーブル、例えば、駆動光信号１２８用の光ファイバケーブル、および別個に、光信号１３０を受信するための光ファイバケーブルを配備する場合がある。一実施形態では、第１のデータ導管１２５は、センサ１０４とセンサ信号処理制御構成要素１２６との間で、複数の異なる光信号を伝送可能である、単一の光ファイバケーブルを備える。電力ケーブルが、電源１１４からセンサ１０４に電力を伝送するために、光ファイバケーブルとともに（またはその一部として）同一の広がりをもって張りめぐらされ得る。
【００１５】
診断構成要素１０８の例は、工業環境での設備の動作状態を表す信号を受信する、独立した構成要素であり得る。これらの信号は、工業環境での設備および資産の温度、速度、振動、位置等のような、様々な動作状況を表すことができる。診断構成要素１０８は、これらの信号を処理可能であり、一例では、ディスプレイ、監視制御およびデータ収集（ＳＣＡＤＡ）システム等のような、さらなる構成要素に伝送される、１つまたは複数の出力信号を生成する。
【００１６】
一実施形態では、制御構成要素１１０は、様々なプラント資産の動作および機能を制御可能である、可変の周波数および状態での電気信号を生成する。例えば、制御構成要素１１０は、タービンに進入する蒸気の量を調節する弁を制御するために使用される、ＤＣ電圧のレベルを変動させることができる。制御構成要素１１０の例には、発振器、継電器、および電圧出力がある。処理構成要素１１２は、電気信号を処理し、一例では、２つの電気信号を、それらの間の差を決定するために比較可能である。比較の結果は、処理された信号および／または他の電気出力として表現される。
【００１７】
ディスプレイ１１６およびコンピューティングデバイス１１８は、処理された信号を、その処理された信号によって符号化されていたデータおよび／または情報のグラフィカル表現として表示可能である。デバイスの例は、オシロスコープまたは関係する試験計器を含み得る。他の例は、エンドユーザが、診断構成要素１０８、およびネットワークシステム１２０の他の部分と、それによりインターフェース可能である、グラフィカルユーザインターフェース（ＧＵＩ）または他のディスプレイをさらに提供し得る。一実施形態では、エンドユーザは、異なる設定、例えば、データのサンプリングレート、サンプリング時間期間、可変周波数、可変電圧等を、選択かつ／または選定することによるなどして、処理された信号を操作することができる。
【００１８】
センサ信号処理制御構成要素１２６は、駆動光信号１２８を生成可能である。センサ１０４は、電磁場１０６を生じさせる電気駆動信号（図示せず）を生成するために、駆動光信号１２８を使用する。対象１０２が電磁場１０６と干渉する場合に、ひずみが電磁場１０６に誘導され、それがセンサ１０４により検知される。一実施形態では、センサ１０４は、異なる波長の光の受信光信号１３０を生成可能である。異なる波長によって、受信光信号１３０は、駆動光信号１２８と区別される。受信光信号１３０は、対象１０２が電磁場１０６と干渉する場合に、インピーダンス不整合により発生されるひずみを表す。
【００１９】
図２は、電磁場２０６を用いて対象２０２を監視するための、検査システム２００の別の実施形態を例示する。検査システム２００は、第１のデータ導管２２５および第２のデータ導管２２７を含む。検査システム２００は、電気信号発振器２３４、光学フィルタ２３６、第１の光検出器２３８、第２の光源２４０、および第３の光源２４２に結合される、第１の光源２３２をさらに含む。検査システム２００は、電磁場２０６を生成する要素２４４をさらに含む。方向性結合器２４６は、第１の光検出器２３８、第２の光源２４０、および第３の光源２４２を要素２４４に結合する。検査システム２００は、第２の光検出器２４８および第３の光検出器２５０をさらに含む。
【００２０】
検査システム２００が生成可能である種々の信号（すなわち「入力および出力」）を、図２にさらに示す。これらの信号は、電気信号および光信号を含む。信号の詳細を、検査システム２００の一例としての動作の考察とともに下記で説明する。
【００２１】
一実施形態では、電気信号発振器２３４は、電気駆動信号２５２を生成し、この信号を、第１の光源２３２が光学駆動信号２５４に変換する。この信号は、第１のデータ導管２２５を第１の光検出器２３８に通過し、この光検出器は、光学駆動信号２５４を、復元駆動信号２５６として示す電気信号に戻すように変換する。一例では、方向性結合器２４６は、復元駆動信号２５６の一部分を、順方向反射（ｆｏｒｗａｒｄ  ｒｅｆｌｅｃｔｅｄ）電気信号２５８として方向変更する。順方向反射電気信号２５８は、復元駆動信号２５６の特性と合致する、かつ／またはそれに比例する、かつ／またはそれに基づく特性（例えば、位相および周波数）を有する。一例では、順方向反射電気信号２５８は、復元駆動信号２５６と同じ周波数および位相の特性を、ただしより小さな振幅で有する。
【００２２】
方向性結合器２４６は、復元駆動信号２５６の一部分を要素２４４にさらに方向変更することになり、それによって、要素２４４が電気的に励起し、電磁場２０６が発生する。一例では、電磁場２０６に対する対象２０２の容量結合および／または誘導結合が、要素２４４の共振応答を「離調する」または変化させる。これらの変化が、要素２４４に負荷を誘導し、それによって、復元駆動信号２５６が、要素２４４で、および逆方向反射（ｒｅｖｅｒｓｅ  ｒｅｆｌｅｃｔｅｄ）電気信号２６０として要素２４４から反射する。
【００２３】
第２の光源２４０および第３の光源２４２は、順方向反射電気信号２５８および逆方向反射電気信号２６０を、光信号に、より詳細には、順方向反射光学信号２６２および逆方向反射光学信号２６４に変換する。これらの光信号は、導管２２５を通過する。順方向反射光学信号２６２および逆方向反射光学信号２６４は、同じケーブルを通過する場合があり、または、別の例では、導管２２５は、順方向反射光学信号２６２および逆方向反射光学信号２６４に対して別個のケーブルを備える場合がある。同様に、光学駆動信号２５４、順方向反射光学信号２６２、および逆方向反射光学信号２６４は、必要に応じて、同じ、および／または別個のケーブルを通過する場合がある。
【００２４】
光学フィルタ回路２３６の一例としての構成は、異なる波長の光を分離可能である。この特徴は、例えば、第２の光源２４０からの光（例えば、順方向反射光学信号２６２）および第３の光源２４２からの光（例えば、逆方向反射光学信号２６４）を、特にこの光が単一の光ファイバ導管を通過する場合に、分離するのに有用である。プリズムおよび同様の光学的に構成されたデバイスが、光学フィルタ２３６の例示的なものである。
【００２５】
第２の光検出器２４８および第３の光検出器２５０は、順方向反射光学信号２６２および逆方向反射光学信号２６４を、順方向反射処理信号２６６および逆方向反射処理信号２６８などの電気信号に変換可能である。これらの電気信号のさらなる処理が、例えば、差信号（図示せず）を生成可能である処理構成要素２１２で行われ得る。この信号は、検査システム２００が測定すべき、対象２０２の特質、特性、関係、および他の側面を定義する。一例では、差信号は、センサ２０４に対する対象２０２の近接度（ｍＶ／ｍｍ）を表す。
【００２６】
検査システム２００の実施形態では、例えば、要素２４４に対する対象２０２の位置の変化を決定するために、順方向反射処理信号２６６を逆方向反射処理信号２６８と比較する。差信号は、スクリーンまたは他のデバイス（例えば、図１のディスプレイ１１６および／またはコンピューティングデバイス１１８）上に表示され得る。同様に、差信号に蓄積される情報は、診断構成要素２０８もしくは他の場所（例えば、図１のコンピューティングデバイス１１８および外部サーバ１２４）の中のメモリに記憶され得る、または、将来の使用のために保持され得る。
【００２７】
一実施形態では、電気信号の１つまたは複数は、マイクロ波信号である。本明細書では、用語「マイクロ波」は、周波数が約３００ＭＨｚ以上、および一例では、約３００ＭＨｚから約３００ＧＨｚまでの信号を指す。一実施形態では、電気駆動信号２５２の周波数は、約３ＭＨｚから約６ＧＨｚまでであるが、周波数は、本明細書で考察かつ企図するような、センサ２０４の構造様式によって変動し得る。要素２４４の構造様式に対する一例としての要素および材料は、一般に、関連性のあるセンサの技術分野の当業者により認識される。一例では、復元駆動信号２５６の周波数は、電気信号発振器２３４が生成する電気駆動信号２５２の周波数と同じ、または実質的に同じである。
【００２８】
光源（例えば、第１の光源２３２、第２の光源２４０、第３の光源２４２）は、発光ダイオード（ＬＥＤ）、および他の発光、光生成デバイスを備え得る。光検出器（例えば、第１の光検出器２３８、第２の光検出器２４８、第３の光検出器２５０）は、フォトダイオード、および／または、光を電気信号、例えば電圧もしくは電流に変換可能である他のデバイスを備え得る。本例、および全体としての本開示での背景では、フォトダイオードは、ＬＥＤから光信号を受信すること、および光信号を電気信号に変換することが可能である。一実施形態では、検査システム２００は、異なる波長を用いるＬＥＤを配備する。適した波長は、約７００ｎｍから約１６００ｎｍまで変動し得るものであり、一般には、約８５０ｎｍより大きい。一例では、第１の光源２３２用のＬＥＤは、８００ｎｍで光を生成し、第２の光源２４０用のＬＥＤは、１０００ｎｍで光を生成し、第３の光源２４２は、１３００ｎｍで光を生成する。
【００２９】
図２をなおも参照すると、検査システム２００の実施形態は、混合器２７０、処理フィルタ２７２、および、最終的な電圧出力を受け取り、それを（対数的または指数的ではなく）線形にする信号線形化器２７４をさらに備え得る。診断構成要素２０８は、結果として得られる「線形化した」出力を、例えば、第２のデータ導管２２７を介して受信可能である。
【００３０】
混合器２７０および処理フィルタ２７２の例は、（上記で考察し、図２に示す）基準信号および離調信号を比較する機能などの信号処理機能を容易にする。関連性のある信号処理およびセンサの技術分野の当業者は、検査システムが、そのような比較の機能性、および本開示が企図する他の機能を提供するために使用可能である、様々な例示的な回路、デバイス、および要素を認識するであろう。
【００３１】
本開示は、図１および２に示す構成要素の様々な構成を企図するが、一例では、センサ２０４は、第１の光検出器２３８、第２の光源２４０、第３の光源２４２、要素２４４、および方向性結合器２４６を備え得る。信号処理制御構成要素２２６は、第１の光源２３２、電気信号発振器２３４、光学フィルタ２３６、第２の光検出器２４８、および第３の光検出器２５０を備え得る。さらに他の実施形態では、信号処理制御構成要素２２６は、他の構成要素、例えば、処理構成要素２１２および／またはその構成要素を含み得る。
【００３２】
上記で図示かつ説明した構成要素に加えて、本開示の検査システムは、本明細書で開示する機能および動作を容易にする、１つまたは複数の、プロセッサ（複数可）、メモリ（複数可）、および他の補助要素を備え得る。プロセッサは、１つまたは複数の、マイクロコントローラ、マイクロプロセッサ、縮小命令セット回路（ＲＩＳＣ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラマブルロジック回路（ＰＬＣ）、およびフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）を含み得る。プロセッサは、入力の受信および出力の生成が可能な、状態機械回路網または他の適した構成要素をさらに含み得る。メモリは、揮発性および不揮発性のメモリを備え得るものであり、実行可能な命令（例えば、ソフトウェアおよび／またはファームウェア）および構成設定の記憶のために使用され得る。一部の実施形態では、プロセッサ、メモリ、および他の回路網は、単一の集積回路（ＩＣ）または他の構成要素に包含され得る。別の例として、プロセッサは、ＲＡＭおよび／またはＲＯＭなどの集積型のプログラムメモリを含み得る。同様に、これらの構成要素の任意の１つまたは複数の機能は、さらなる構成要素（例えば、複数のプロセッサまたは他の構成要素）にわたって分散され得る。
【００３３】
本明細書では、単数形で記載し、単語「ａ」または「ａｎ」によって処置する、要素または機能は、複数の前記要素または機能を除外しないと、そのような除外を明示的に記載しない限りは理解すべきである。さらに、請求する発明の「一実施形態」に対する言及は、記載した特徴をやはり組み込む、さらなる実施形態の存在を除外すると解釈すべきではない。
【００３４】
この記述した説明では、最良の形態を含めて、本発明を開示するために、さらに、任意のデバイスまたはシステムを作製かつ使用すること、および任意の組み込まれた方法を遂行することを含めて、任意の当業者が本発明を実践することを可能にするために、例を使用する。本発明の特許的な範囲は、特許請求の範囲により定義され、当業者が想到する他の例を含み得る。そのような他の例は、それらが、特許請求の範囲の文字通りの文言と異ならない構造要素を有するならば、または、それらが、特許請求の範囲の文字通りの文言と実質的な違いのない等価の構造要素を含むならば、特許請求の範囲の範囲内にあることが意図される。
【符号の説明】
【００３５】
１００  検査システム
１０２  対象
１０４  センサ
１０６  電磁場
１０８  診断構成要素
１１０  制御構成要素
１１２  処理構成要素
１１４  電源
１１６  ディスプレイ
１１８  コンピューティングデバイス
１２０  ネットワークシステム
１２２  ネットワーク
１２４  外部サーバ
１２５  第１のデータ導管
１２６  制御構成要素
１２７  第２のデータ導管
１２８  駆動光信号
１３０  受信光信号
２００  検査システム
２０２  対象
２０４  センサ
２０６  電磁場
２０８  診断構成要素
２１２  処理構成要素
２２５  第１のデータ導管
２２６  制御構成要素
２２７  第２のデータ導管
２３２  第１の光源
２３４  電気信号発振器
２３６  光学フィルタ回路
２３８  第１の光検出器
２４０  第２の光源
２４２  第３の光源
２４４  要素
２４６  方向性結合器
２４８  第２の光検出器
２５０  第３の光検出器
２５２  電気駆動信号
２５４  光学駆動信号
２５６  復元駆動信号
２５８  順方向反射電気信号
２６０  逆方向反射電気信号
２６２  順方向反射光学信号
２６４  逆方向反射光学信号
２６６  順方向反射処理信号
２６８  逆方向反射処理信号
２７０  混合器
２７２  処理フィルタ
２７４  信号線形化器
【図１】
2013137310.tif 000003
【図２】
2013137310.tif 000004
【外国語明細書】
2013137310000001.pdf