(57)【要約】【課題】所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子間の寸法精度を確保することが可能な磁気センサ装置を提供する。【解決手段】磁気センサ装置１は、複数の磁気抵抗素子３と、複数の磁気抵抗素子３のそれぞれが固定される複数の素子固定部が形成される筺体８と、複数の磁気抵抗素子３が実装される共通の基板７とを備えている。磁気センサ装置１では、複数の磁気抵抗素子３のそれぞれが固定される複数の素子固定部が筺体８に形成されているため、素子固定部を用いて磁気抵抗素子３を位置決めすることが可能になり、その結果、所定の間隔で基板７上に実装される複数の磁気抵抗素子３間の寸法精度を確保することが可能になる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気抵抗素子と、複数の前記磁気抵抗素子のそれぞれが固定される複数の素子固定部が形成される筺体と、複数の前記磁気抵抗素子が実装される共通の基板とを備えることを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項２】
前記筺体は、金属材料で形成され、
複数の前記素子固定部のそれぞれの間に壁部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
【請求項３】
前記筺体は、非磁性材料で形成されていることを特徴とする請求項２記載の磁気センサ装置。
【請求項４】
前記磁気抵抗素子は、平板状に形成されるとともに、その厚さ方向と前記壁部の高さ方向とが略一致するように前記素子固定部に固定され、
前記壁部の高さは、前記磁気抵抗素子の厚さ以上となっており、
前記磁気抵抗素子は、前記壁部の高さ方向における前記壁部の端面から突出しないように前記素子固定部に固定されていることを特徴とする請求項２または３記載の磁気センサ装置。
【請求項５】
複数の前記壁部の間には、前記壁部の高さ方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記素子固定部は、前記壁部の壁面から前記貫通孔の内側へ向かって突出するとともに前記磁気抵抗素子が固定される突出部を備え、
前記壁面にも前記磁気抵抗素子が固定されており、前記壁面は、前記素子固定部の一部となっていることを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の磁気センサ装置。
【請求項６】
前記壁部には、前記壁部の壁面に沿った方向における前記磁気抵抗素子の一方の端面が当接する当接部が形成されていることを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載の磁気センサ装置。
【請求項７】
非磁性の金属材料によってシート状に形成され複数の前記磁気抵抗素子の感磁面を覆う共通のシート状部材を備え、
前記シート状部材は、前記筺体に固定されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の磁気センサ装置。
【請求項８】
非磁性の金属材料によって平板状に形成され前記基板を覆う板状部材を備え、
前記板状部材は、前記筺体に固定されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の磁気センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の磁気抵抗素子を有する磁気センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、平板状に形成された基板と、基板上に設けられた複数の磁気抵抗素子とを備える磁気センサ装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の磁気センサ装置では、基板上に所定の間隔で複数の磁気抵抗素子が実装されている。また、この磁気センサ装置では、複数の磁気抵抗素子の間に軟磁性体が配置されている。磁気抵抗素子と軟磁性体との間には、隙間が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４８３７７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の磁気センサ装置は、平板状に形成された基板上に複数の磁気抵抗素子が単に実装されているだけの構成であるため、この磁気センサ装置では、所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子間の寸法精度を確保することが困難である。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子間の寸法精度を確保することが可能な磁気センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の磁気センサ装置は、複数の磁気抵抗素子と、複数の磁気抵抗素子のそれぞれが固定される複数の素子固定部が形成される筺体と、複数の磁気抵抗素子が実装される共通の基板とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の磁気センサ装置では、複数の磁気抵抗素子のそれぞれが固定される複数の素子固定部が筺体に形成されている。そのため、素子固定部を用いて磁気抵抗素子を位置決めすることが可能になる。したがって、本発明では、複数の素子固定部を筺体に精度良く形成することで、所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子間の寸法精度を確保することが可能になる。
【０００８】
本発明において、筺体は、金属材料で形成され、複数の素子固定部のそれぞれの間に壁部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、筺体が磁性を有する金属材料で形成されている場合には、壁部を介して隣り合う磁気抵抗素子間の電磁信号の干渉を抑制することが可能になるため、この電磁信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、筺体が磁性を有する金属材料で形成されている場合には、磁気センサ装置の外部からの電磁信号に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、このように構成すると、筺体が非磁性の金属材料で形成されている場合には、壁部を介して隣り合う磁気抵抗素子間の電気信号の干渉を抑制することが可能になるため、この電気信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、筺体が非磁性の金属材料で形成されている場合には、磁気センサ装置の外部からの電気信号に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【０００９】
本発明において、筺体は、たとえば、非磁性材料で形成されている。この場合には、上述のように、壁部を介して隣り合う磁気抵抗素子間の電気信号の干渉を抑制することが可能になるため、この電気信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、磁気センサ装置の外部からの電気信号に起因して各磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【００１０】
本発明において、磁気抵抗素子は、平板状に形成されるとともに、その厚さ方向と壁部の高さ方向とが略一致するように素子固定部に固定され、壁部の高さは、磁気抵抗素子の厚さ以上となっており、磁気抵抗素子は、壁部の高さ方向における壁部の端面から突出しないように素子固定部に固定されていることが好ましい。このように構成すると、筺体が磁性を有する金属材料で形成されている場合には、壁部を介して隣り合う磁気抵抗素子間の電磁信号の干渉を効果的に抑制することが可能になる。また、このように構成すると、筺体が非磁性の金属材料で形成されている場合には、壁部を介して隣り合う磁気抵抗素子間の電気信号の干渉を効果的に抑制することが可能になる。
【００１１】
本発明において、複数の壁部の間には、壁部の高さ方向に貫通する貫通孔が形成され、素子固定部は、壁部の壁面から貫通孔の内側へ向かって突出するとともに磁気抵抗素子が固定される突出部を備え、壁部の壁面にも磁気抵抗素子が固定されており、この壁面は、素子固定部の一部となっていることが好ましい。このように構成すると、突出部と壁面とに磁気抵抗素子が固定されているため、磁気抵抗素子の筺体への固定強度を高めることが可能になる。また、このように構成すると、壁部の壁面を用いて、磁気抵抗素子を位置決めすることが可能になるため、筺体の構成を簡素化することが可能になる。
【００１２】
本発明において、壁部には、壁部の壁面に沿った方向における磁気抵抗素子の一方の端面が当接する当接部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、当接部を用いて、壁面に沿った方向における磁気抵抗素子の位置決めをすることが可能になる。
【００１３】
本発明において、磁気センサ装置は、非磁性の金属材料によってシート状に形成され複数の磁気抵抗素子の感磁面を覆う共通のシート状部材を備え、シート状部材は、筺体に固定されていることが好ましい。このように構成すると、磁気センサ装置の外部からの電気信号に起因して磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、このように構成すると、複数の磁気抵抗素子の感磁面のそれぞれを覆う複数のシート状部材が設けられている場合と比較して、磁気センサ装置の構成を簡素化することが可能になり、また、磁気センサ装置の組立が容易になる。
【００１４】
本発明において、磁気センサ装置は、たとえば、非磁性材料によって平板状に形成され基板を覆う板状部材を備え、板状部材は、筺体に固定されている。この場合には、磁気センサ装置の外部からの電気信号に起因して基板や磁気抵抗素子に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明の磁気センサ装置では、所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子間の寸法精度を確保することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる磁気センサ装置の平面図である。
【図２】図１に示す磁気センサ装置の底面図である。
【図３】図１に示す磁気センサ装置の分解斜視図である。
【図４】図３に示す筺体に磁気抵抗素子が固定されている状態を別の方向から示す斜視図である。
【図５】図３に示す筺体の斜視図である。
【図６】図３に示す筺体を別の方向から示す斜視図である。
【図７】図６のＥ部を別の方向から示す拡大斜視図である。
【図８】図６のＥ部の拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（磁気センサ装置の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる磁気センサ装置１の平面図である。図２は、図１に示す磁気センサ装置１の底面図である。図３は、図１に示す磁気センサ装置１の分解斜視図である。図４は、図３に示す筺体８に磁気抵抗素子３が固定されている状態を別の方向から示す斜視図である。図５は、図３に示す筺体８の斜視図である。図６は、図３に示す筺体８を別の方向から示す斜視図である。図７は、図６のＥ部を別の方向から示す拡大斜視図である。図８は、図６のＥ部の拡大平面図である。
【００１９】
本形態の磁気センサ装置１は、電子部品の実装装置や工作機械等においてその可動側の部材の位置や速度を検出するための磁気式リニアエンコーダである。この磁気センサ装置１は、図示を省略する磁気スケールと、複数の磁気抵抗素子３を内部に有するヘッド部４と、図示を省略するケーブルを介してヘッド部４に接続される本体部（図示省略）とを備えている。磁気スケールには、その長さ方向において、Ｎ極とＳ極とが交互に着磁されている。磁気センサ装置１は、磁気抵抗素子３と同数の複数の磁気スケールを備えており、複数の磁気スケールは、その長さ方向に直交する方向において、所定の間隔で配置されている。本形態の磁気センサ装置１は、６個の磁気抵抗素子３を備えており、６本の磁気スケールがその長さ方向に直交する方向において、所定の間隔で配置されている。
【００２０】
磁気センサ装置１では、たとえば、実装装置等の複数の可動側の部材のそれぞれに複数の磁気スケールのそれぞれが取り付けられ、実装装置等の固定側の部材にヘッド部４および本体部が取り付けられている。また、複数の磁気スケールおよびヘッド部４は、複数の磁気スケールのそれぞれにヘッド部４内の複数の磁気抵抗素子３のそれぞれが対向するように配置されており、複数の磁気抵抗素子３のそれぞれから出力される信号に所定の処理を行うことで、実装装置等の複数の可動側の部材のそれぞれの位置や速度が検出される。
【００２１】
なお、以下の説明では、磁気スケールの長さ方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とし、磁気スケールの長さ方向に直交する複数の磁気スケールの配列方向（図１等のＹ方向）を「前後方向」とし、磁気スケールの長さ方向と複数の磁気スケールの配列方向とに直交する方向（図１等のＺ方向）を「上下方向」とする。また、図１等のＺ１方向側を「上」側とし、Ｚ２方向側を「下」側とする。また、左右方向（Ｘ方向）と前後方向（Ｙ方向）とから構成される平面を「ＸＹ平面」とし、前後方向（Ｙ方向）と上下方向（Ｚ方向）と構成される平面を「ＹＺ平面」とし、上下方向（Ｚ方向）と左右方向（Ｘ方向）とから構成される平面を「ＺＸ平面」とする。
【００２２】
ヘッド部４は、上述の複数の磁気抵抗素子３に加えて、複数の磁気抵抗素子３が実装される１枚の基板７と、複数の磁気抵抗素子３および基板７が固定される筺体８とを備えている。また、ヘッド部４は、複数の磁気抵抗素子３の感磁面を覆う１枚のシート状部材９と、基板７の一方の面を覆う１枚の板状部材１０とを備えている。
【００２３】
基板７は、ガラスエポキシ樹脂等で形成された剛性基板である。この基板７は、長方形の板状に形成されている。基板７の一方の面には、コネクタ１２が実装されている。コネクタ１２には、ヘッド部４と本体部とを繋ぐケーブルの一端が接続される。
【００２４】
磁気抵抗素子３は、シリコンやセラミックス等で形成された剛性基板と、この剛性基板に形成される磁気抵抗パターンとによって構成されており、略長方形の平板状に形成されている。複数の磁気抵抗素子３は、前後方向において所定の間隔で筺体８に固定されている。また、複数の磁気抵抗素子３は、基板７の他方の面に実装されている。すなわち、本形態では、複数の磁気抵抗素子３が共通の基板７に実装されている。
【００２５】
筺体８は、導電性を有する金属材料で形成されている。また、筺体８は、非磁性の金属材料で形成されている。具体的には、筺体８は、アルミニウム合金で形成されている。また、筺体８は、略長方形の板状の底部８ａと、略四角筒状の筒部８ｂとを有する扁平な底付きの略四角筒状に形成されている。底部８ａの上面８ｃおよび下面８ｄは、ＸＹ平面と略平行になっている。
【００２６】
底部８ａの下面８ｄには、図４、図６に示すように、下方向へ突出する凸部８ｅが形成されている。凸部８ｅは、上下方向から見たときの形状が長方形状となるように形成されている。また、凸部８ｅは、下面８ｄの、左右方向における中心位置に、かつ、左右方向における所定の範囲に形成されている。また、凸部８ｅは、下面８ｄの、前後方向における全域に形成されている。
【００２７】
左右方向における底部８ａの中心位置には、上下方向に貫通する複数の貫通孔８ｆが形成されている。本形態では、６個の貫通孔８ｆが形成されている。複数の貫通孔８ｆは、前後方向において所定の間隔で形成されている。また、複数の貫通孔８ｆは、左右方向において凸部８ｅが形成された位置に形成されている。貫通孔８ｆは、上下方向から見たときの形状が略長方形状となるように形成されている。左右方向における貫通孔８ｆの幅は、略長方形の平板状に形成される磁気抵抗素子３の長手方向の幅よりも広くなっている。前後方向における貫通孔８ｆの幅は、磁気抵抗素子３の短手方向の幅と略等しくなっている。複数の貫通孔８ｆのそれぞれの間は、壁部８ｇとなっている。また、前後方向の両端に配置される貫通孔８ｆの左右方向の外側は、壁部８ｈとなっている。
【００２８】
壁部８ｇの一方の壁面８ｊ（図８参照）および他方の壁面８ｋは、ＺＸ平面と略平行になっている。また、壁面８ｊ、８ｋは、前後方向における貫通孔８ｆの側面となっている。壁面８ｊには、前後方向における貫通孔８ｆの内側へ突出する突出部８ｍが形成され、壁面８ｋには、前後方向における貫通孔８ｆの内側へ突出する突出部８ｎが形成されている。突出部８ｍ、８ｎの上面および下面は、ＸＹ平面と略平行になっている。突出部８ｍ、８ｎの上面は、図５に示すように、底部８ａの上面８ｃと同一平面上に配置されている。突出部８ｍの下面と突出部８ｎの下面とは、同一平面上に配置されている。また、突出部８ｍ、８ｎの下面は、図６等に示すように、凸部８ｅの下面８ｐよりも上側に配置されている。なお、本形態では、突出部８ｍ、８ｎの下面は、底部８ａの下面８ｄと略同一平面上に配置されている。
【００２９】
突出部８ｍは、左右方向における壁面８ｊの全域に形成されている。左右方向における突出部８ｍの中間位置は、左右方向における突出部８ｍの両端部よりも貫通孔８ｆの内側へ突出した凸部８ｑとなっており、突出部８ｍは、上下方向から見たときの形状が階段状になるように形成されている。左右方向における凸部８ｑの幅は、略長方形の平板状に形成される磁気抵抗素子３の長手方向の幅と略等しくなっている。突出部８ｎは、左右方向における壁面８ｋの中間位置に形成されている。この突出部８ｎは、上下方向から見たときの形状が長方形状となるように形成されている。左右方向における突出部８ｎの幅は、略長方形の平板状に形成される磁気抵抗素子３の長手方向の幅よりも狭くなっている。
【００３０】
前後方向における壁面８ｋからの突出部８ｎの突出量は、前後方向における壁面８ｊからの凸部８ｑの突出量と略等しくなっている。また、２個の壁部８ｈのうちの一方の壁部８ｈの前後方向の内側の壁面には、突出部８ｍが形成され、２個の壁部８ｈのうちの他方の壁部８ｈの前後方向の内側の壁面には、突出部８ｎが形成されている。
【００３１】
左右方向における壁面８ｋの一端には、前後方向における貫通孔８ｆの内側へわずかに突出する当接部８ｒが形成されている。当接部８ｒの上面および下面は、ＸＹ平面と略平行になっている。図７等に示すように、当接部８ｒの下面は、凸部８ｅの下面８ｐと同一平面上に配置され、当接部８ｒの上面は、底部８ａの上面８ｃよりも下側に配置されている。本形態では、当接部８ｒの上面は、突出部８ｍ、８ｎの下面と略同一平面上に配置されている。当接部８ｒは、上下方向から見たときの形状が長方形状となるように形成されており、左右方向における当接部８ｒの端面８ｓは、ＹＺ平面と略平行になっている。前後方向における壁面８ｋからの当接部８ｒの突出量は、前後方向における壁面８ｋからの突出部８ｎの突出量よりも小さくなっている。
【００３２】
磁気抵抗素子３は、壁部８ｇ、８ｈの高さ方向となる上下方向と磁気抵抗素子３の厚さ方向とが略一致するように、かつ、磁気抵抗素子３の感磁面が下側を向くように、壁部８ｈと壁部８ｇとの間および壁部８ｇ間に固定されている。また、磁気抵抗素子３は、突出部８ｍの凸部８ｑが形成された部分および突出部８ｎと上下方向で重なるように、突出部８ｍ、８ｎの下面に当接した状態で固定されている。さらに、磁気抵抗素子３は、壁面８ｇ、８ｈに沿った方向となる左右方向における磁気抵抗素子３の一方の端面が当接部８ｒの端面８ｓに当接した状態で固定されている。また、磁気抵抗素子３は、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに磁気抵抗素子３の短手方向の端面が軽く接触するか、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋと磁気抵抗素子３の短手方向の端面との間にわずかな隙間をあけた状態で固定されている。
【００３３】
また、磁気抵抗素子３は、突出部８ｍ、８ｎの下面、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに塗布される接着剤によって、突出部８ｍ、８ｎの下面、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに固定されている。本形態では、突出部８ｍ、８ｎと、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋとによって、磁気抵抗素子３が固定される素子固定部が構成されており、筺体８には、複数の磁気抵抗素子３のそれぞれが固定される複数の素子固定部が所定の間隔で形成されている。また、複数の素子固定部のそれぞれの間に壁部８ｇが形成されている。
【００３４】
壁部８ｇ、８ｈの高さ（上下方向の高さ）は、磁気抵抗素子３の厚み以上となっている。本形態では、突出部８ｍ、８ｎの下面と、壁部８ｇ、８ｈの下面（すなわち、凸部８ｅの下面８ｐ）との上下方向における距離が磁気抵抗素子３の厚み以上となっている。そのため、突出部８ｍ、８ｎの下面に当接した状態で固定される磁気抵抗素子３の下面は、凸部８ｅの下面８ｐと同一平面上か、下面８ｐよりも上側に配置されており、下面８ｐから突出していない。なお、本形態では、筺体８に固定された後の複数の磁気抵抗素子３が基板７に実装される。
【００３５】
筒部８ｂの内周側には、基板７が固定されている。基板７は、コネクタ１２が実装された一方の面が上側を向くように筒部８ｂの内周側に固定されている。略四角筒状に形成される筒部８ｂの左右の側面部８ｔは、筒部８ｂの前後の側面部８ｕよりも厚くなっている。また、筒部８ｂの四隅のそれぞれには、上方向へ突出する凸部８ｖが形成されている。本形態では、凸部８ｖを利用して、ヘッド部４が実装装置等の固定側の部材に固定される。
【００３６】
シート状部材９は、導電性を有する金属材料によってシート状に形成されている。また、シート状部材９は、非磁性の金属材料で形成されている。具体的には、シート状部材９は、アルミニウム箔である。このシート状部材９は、凸部８ｅの下面８ｐよりもわずかに小さな略長方形状に形成されており、下面８ｐに固定されている。シート状部材９は、複数の磁気抵抗素子３の感磁面を覆っている。すなわち、本形態では、複数の磁気抵抗素子３の感磁面が共通のシート状部材９によって覆われている。本形態では、シート状部材９が固定された凸部８ｅの下面８ｐは、磁気スケールに対向配置されるセンサ面となっている。
【００３７】
板状部材１０は、導電性を有する金属材料によって平板状に形成されている。また、板状部材１０は、非磁性の金属材料で形成されている。具体的には、板状部材１０は、アルミニウム合金で形成されている。この板状部材１０は、略長方形状に形成されている。板状部材１０の左右の端面には、板状部材１０を筺体８に固定するための固定用凸部１０ａが左右方向の外側に突出するように形成されている。固定用凸部１０ａは、筒部８ｂの側面部８ｔの上面に固定されている。また、板状部材１０には、コネクタ１２が挿通される貫通孔１０ｂが形成されている。板状部材１０は、基板７の上面を覆っている。
【００３８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、磁気抵抗素子３は、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに磁気抵抗素子３の短手方向の端面が軽く接触するか、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋと磁気抵抗素子３の短手方向の端面との間にわずかな隙間をあけた状態で筺体８に固定されている。そのため、本形態では、壁部８ｇ、８ｈを用いて前後方向における磁気抵抗素子３の位置決めをすることが可能になる。したがって、本形態では、前後方向において所定の間隔で基板上に実装される複数の磁気抵抗素子３間の寸法精度を確保することが可能になる。また、本形態では、壁部８ｇ、８ｈを用いて前後方向における磁気抵抗素子３の位置決めをすることが可能になるため、前後方向において磁気抵抗素子３を位置決めするための構成を筺体８に別途設ける場合と比較して、筺体８の構成を簡素化することが可能になる。
【００３９】
本形態では、筺体８は導電性を有する非磁性の金属材料で形成されている。そのため、壁部８ｇを介して隣り合う磁気抵抗素子３間の電気信号の干渉を壁部８によって抑制することが可能になる。したがって、本形態では、この電気信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、本形態では、ヘッド部４の外部からの電気信号に起因して各磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【００４０】
特に本形態では、突出部８ｍ、８ｎの下面に当接した状態で固定される磁気抵抗素子３の下面は、凸部８ｅの下面８ｐと同一平面上か、下面８ｐよりも上側に配置されており、磁気抵抗素子３は、上下方向において、壁部８ｇよりも突出していない。そのため、本形態では、壁部８ｇを介して隣り合う磁気抵抗素子３間の電気信号の干渉を壁部８によって効果的に抑制することが可能になる。したがって、本形態では、この電気信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子３に生じるノイズを効果的に低減させることが可能になる。
【００４１】
本形態では、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに塗布される接着剤に加え、突出部８ｍ、８ｎの下面に塗布される接着剤によって、磁気抵抗素子３が筺体８に固定されている。そのため、本形態では、磁気抵抗素子３の筺体８への固定強度を高めることが可能になる。
【００４２】
本形態では、左右方向における壁面８ｋの一端に当接部８ｒが形成されており、左右方向における当接部８ｒの端面８ｓは、ＹＺ平面と略平行になっている。また、本形態では、左右方向における磁気抵抗素子３の一方の端面が端面８ｓに当接した状態で磁気抵抗素子３が筺体８に固定されている。そのため、本形態では、当接部８ｒを用いて、左右方向における磁気抵抗素子３の位置決めをすることができる。
【００４３】
本形態では、複数の磁気抵抗素子３の感磁面を覆うシート状部材９は、導電性を有する非磁性の金属材料で形成されている。そのため、本形態では、ヘッド部４の外部からの電気信号に起因して磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、本形態では、共通のシート状部材９によって複数の磁気抵抗素子３の感磁面が覆われているため、複数の磁気抵抗素子３の感磁面のそれぞれを覆う複数のシート状部材が設けられている場合と比較して、磁気センサ装置１の構成を簡素化することが可能になり、また、磁気センサ装置１の組立が容易になる。
【００４４】
本発明において、基板７の上面を覆う板状部材１０は、導電性を有する非磁性の金属材料で形成されている。そのため、本形態では、ヘッド部４の外部からの電気信号に起因して基板７や磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【００４５】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００４６】
上述した形態では、筺体８の壁面８ｊ、８ｋに突出部８ｍ、８ｎが形成されているが、筺体８の壁面８ｊ、８ｋに突出部８ｍ、８ｎが形成されなくても良い。この場合には、磁気抵抗素子３は、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに塗布される接着剤によって、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋに固定される。また、この場合には、壁部８ｈの前後方向の内側の壁面および壁面８ｊ、８ｋによって、磁気抵抗素子３が固定される素子固定部が構成される。
【００４７】
上述した形態では、突出部８ｍ、８ｎの下面に当接した状態で固定される磁気抵抗素子３の下面は、凸部８ｅの下面８ｐと同一平面上か、下面８ｐよりも上側に配置されており、磁気抵抗素子３は、上下方向において、壁部８ｇよりも突出していない。この他にもたとえば、静電シールドおよび電磁シールドの効果を壁部８ｇに持たせることができるのであれば、磁気抵抗素子３は、上下方向において、壁部８ｇから突出しても良い。
【００４８】
上述した形態では、筺体８は、導電性を有する非磁性の金属材料によって形成されているが、筺体８は、軟磁性材料によって形成されても良いし、樹脂材料によって形成されても良い。筺体８が軟磁性の金属材料で形成される場合には、壁部８ｇを介して隣り合う磁気抵抗素子３間の電磁信号の干渉を抑制することが可能になるため、この電磁信号の干渉に起因して各磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。また、この場合には、ヘッド部４の外部からの電磁信号に起因して各磁気抵抗素子３に生じるノイズを低減させることが可能になる。
【００４９】
上述した形態では、磁気センサ装置１は、６個の磁気抵抗素子３を備えているが、磁気センサ装置１が備える磁気抵抗素子３の数は、２個から５個のいずれかであっても良いし、７個以上であっても良い。
【符号の説明】
【００５０】
１  磁気センサ装置
３  磁気抵抗素子
７  基板
８  筺体
８ｆ  貫通孔
８ｇ  壁部
８ｊ、８ｋ  壁面（素子固定部の一部）
８ｍ、８ｎ  突出部（素子固定部の一部）
８ｐ  下面（壁部の端面）
８ｒ  当接部
９  シート状部材
１０  板状部材
Ｘ  壁面に沿った方向
Ｚ  壁部の高さ方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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