(57)【要約】【課題】精度の高い露点センサを提供する。【解決手段】発熱抵抗素子１と、発熱抵抗素子１の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子１に電流を供給する電流供給装置２と、発熱抵抗素子１に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子３と、発熱抵抗素子１に供給される電流に基づき、湿度検出素子３に接する気体の温度を特定する気温特定部と、を備える、露点センサ。【選択図】図１
2013113778.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱抵抗素子と、
前記発熱抵抗素子の発熱温度が一定となるように前記発熱抵抗素子に電流を供給する電流供給装置と、
前記発熱抵抗素子に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子と、
前記湿度検出素子に接する気体の温度を特定する気温特定部と、
を備える、露点センサ。
【請求項２】
前記気温特定部が、前記発熱抵抗素子に供給される電流に基づき、前記湿度検出素子に接する気体の温度を特定する、請求項１に記載の露点センサ。
【請求項３】
測温素子を更に備え、
前記気温特定部が、前記測温素子で測定された気温を、前記湿度検出素子に接する気体の温度として特定する、請求項１に記載の露点センサ。
【請求項４】
前記湿度検出素子の電気特性と、前記気温特定部で特定された前記気体の温度と、に基づいて、露点を特定する露点特定部を更に備える、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項５】
前記電流供給装置が、前記発熱抵抗素子に接する気体の温度の低下により前記発熱抵抗素子の抵抗が低下すると、前記発熱抵抗素子に供給する前記電流を増加させ、前記気体の温度の上昇により前記発熱抵抗素子の抵抗が上昇すると、前記発熱抵抗素子に供給する前記電流を減少させる、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項６】
前記発熱抵抗素子が、ブリッジ回路の一部をなしている、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項７】
前記ブリッジ回路が、前記発熱抵抗素子に直列に接続された第１の抵抗素子と、前記発熱抵抗素子及び前記第１の抵抗素子と並列に接続された第２及び第３の抵抗素子と、を備える、請求項６に記載の露点センサ。
【請求項８】
前記電流供給装置が、第１の入力端子、第２の入力端子、及び出力端子を備えるオペアンプを備え、
前記発熱抵抗素子と前記第１の抵抗素子の接点に前記第１の入力端子が接続され、前記第２の抵抗素子と前記第３の抵抗素子の接点に前記第２の入力端子が接続される、請求項７に記載の露点センサ。
【請求項９】
前記湿度検出素子が、静電容量の変化に基づき、湿度を検出する、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項１０】
前記湿度検出素子が、インピーダンスの変化に基づき、湿度を検出する、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項１１】
前記湿度検出素子が、高分子又は酸化アルミニウムからなる吸湿膜を備える、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項１２】
前記湿度検出素子が、前記発熱抵抗素子によって、応答速度が最も速くなる温度に保たれる、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の露点センサ。
【請求項１３】
発熱抵抗素子の発熱温度が一定となるように前記発熱抵抗素子に電流を供給することと、
湿度検出素子を前記発熱抵抗素子に接触させ、前記湿度検出素子を一定温度に保つことと、
前記湿度検出素子に接する気体の温度を特定することと、
を含む、露点の測定方法。
【請求項１４】
前記発熱抵抗素子に供給される電流に基づき、前記湿度検出素子に接する気体の温度を特定する、請求項１３に記載の露点の測定方法。
【請求項１５】
前記湿度検出素子に接する気体の温度を、測温素子を用いて特定する、請求項１３に記載の露点の測定方法。
【請求項１６】
前記湿度検出素子の電気特性と、前記特定された前記気体の温度と、に基づいて、露点を特定することを更に含む、請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項１７】
前記発熱抵抗素子に電流を供給することにおいて、前記発熱抵抗素子に接する気体の温度の低下により前記発熱抵抗素子の抵抗が低下した場合に、前記発熱抵抗素子に供給される前記電流が増加させられ、前記気体の温度の上昇により前記発熱抵抗素子の抵抗が上昇した場合に、前記発熱抵抗素子に供給される前記電流が減少させられる、請求項１３乃至１６のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項１８】
前記発熱抵抗素子が、ブリッジ回路の一部をなしている、請求項１３乃至１７のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項１９】
前記ブリッジ回路が、前記発熱抵抗素子に直列に接続された第１の抵抗素子と、前記発熱抵抗素子及び前記第１の抵抗素子と並列に接続された第２及び第３の抵抗素子と、を備える、請求項１８に記載の露点の測定方法。
【請求項２０】
前記発熱抵抗素子と前記第１の抵抗素子の接点がオペアンプの第１の入力端子に接続され、前記第２の抵抗素子と前記第３の抵抗素子の接点が前記オペアンプの第２の入力端子に接続されている、請求項１９に記載の露点の測定方法。
【請求項２１】
前記湿度検出素子が、静電容量の変化に基づき、湿度を検出する、請求項１３乃至２０のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項２２】
前記湿度検出素子が、インピーダンスの変化に基づき、湿度を検出する、請求項１３乃至２０のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項２３】
前記湿度検出素子が、高分子又は酸化アルミニウムからなる吸湿膜を備える、請求項１３乃至２２のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【請求項２４】
前記湿度検出素子が、前記発熱抵抗素子によって、応答速度が最も速くなる温度に保たれる、請求項１３乃至２３のいずれか１項に記載の露点の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検出技術に係り、露点センサ及び露点の測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
冷蔵・冷凍保管庫、及び食品工場などでは、装置や製品の結露や着霜に伴うカビや雑菌の発生、あるいは錆の発生を抑制するために、低湿環境を提供する空調設備として、デシカント空調機が利用されている。このような低湿環境においては、露点を管理することが重要である。ここで、露点とは、水蒸気を含む空気を冷却したとき、凝結が始まる温度をいう。換言すれば、露点とは、空気の相対湿度が１００％となる温度である。露点は、例えば鏡面式露点計によって正確に計測可能であるが、鏡面式露点計は高価である。そのため、例えば、温度検出素子と、静電容量式の湿度検出素子と、を備える安価な露点計（例えば、特許文献１乃至４参照。）が広く採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−９８１４１号公報
【特許文献２】特表平１０−５０８０９６号公報
【特許文献３】特開平７−２９４４６９号公報
【特許文献４】特開平１−２９５１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の静電容量式の露点計は、温度検出素子の応答速度と、湿度検出素子の応答速度と、が異なるため、露点の測定精度が低いという問題があった。そこで、本発明は、精度の高い露点センサ及び露点の測定方法を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様によれば、（ａ）発熱抵抗素子と、（ｂ）発熱抵抗素子の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子に電流を供給する電流供給装置と、（ｃ）発熱抵抗素子に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子と、（ｄ）湿度検出素子に接する気体の温度を特定する気温特定部と、を備える、露点センサが提供される。
【０００６】
また、本発明の態様によれば、（ａ）発熱抵抗素子の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子に電流を供給することと、（ｂ）湿度検出素子を発熱抵抗素子に接触させ、湿度検出素子を一定温度に保つことと、（ｃ）湿度検出素子に接する気体の温度を特定することと、を含む、露点の測定方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、精度の高い露点センサ及び露点の測定方法を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る露点センサの一部の回路図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る露点センサの一部の模式図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る湿度検出素子の模式図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る露点センサの一部の回路図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る露点センサの一部の回路図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る露点センサの一部の回路図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１０】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る露点センサは、図１に示すように、発熱抵抗素子１と、発熱抵抗素子１の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子１に電流を供給する電流供給装置２と、発熱抵抗素子１に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子３と、を備える。さらに、第１の実施の形態に係る露点センサは、発熱抵抗素子１に供給される電流に基づき、湿度検出素子３に接する気体の温度を特定する図２に示す気温特定部３０１と、図１に示す湿度検出素子３の電気特性、及び図２に示す気温特定部３０１で特定される気体の温度に基づいて露点を特定する露点特定部３０３と、を備える。気温特定部３０１と、露点特定部３０３と、は、例えば中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれている。
【００１１】
図１に示す発熱抵抗素子１は、例えば白金、タングステン、及び白金イリジウム等の抵抗温度係数の大きな金属からなる細線である。発熱抵抗素子１の抵抗は、発熱抵抗素子１に接する周囲の気体の温度が低下すると、低下する。また、発熱抵抗素子１の抵抗は、発熱抵抗素子１に接する周囲の気体の温度が上昇すると、上昇する。
【００１２】
発熱抵抗素子１は、ブリッジ回路の一部をなしている。ブリッジ回路は、発熱抵抗素子１に直列に接続された第１の抵抗素子１１と、発熱抵抗素子１及び第１の抵抗素子１１と並列に接続された第２及び第３の抵抗素子１２、１３と、を備える。第１乃至第３の抵抗素子１１、１２、１３のそれぞれは、例えば抵抗温度係数の低い金属等からなる。第１乃至第３の抵抗素子１１、１２、１３のそれぞれは、発熱抵抗素子１に接する気体から断熱されていてもよい。
【００１３】
第１の抵抗素子１１と、第３の抵抗素子１３と、の接点が、ブリッジ回路の入力端子をなしている。また、発熱抵抗素子１と、第２の抵抗素子１２と、の接点が、ブリッジ回路の出力端子をなしている。ブリッジ回路の出力端子は、例えば、接地されている。
【００１４】
電流供給装置２は、反転入力端子（−）である第１の入力端子２１、非反転入力端子（＋）である第２の入力端子２２、及び出力端子２３を備えるオペアンプ２０を備える。オペアンプ２０の第１の入力端子２１は、発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点に接続されている。また、オペアンプ２０の第２の入力端子２２は、第２の抵抗素子１２と第３の抵抗素子１３の接点に接続されている。オペアンプ２０の出力端子２３は、ブリッジ回路の入力端子に接続されている。
【００１５】
発熱抵抗素子１に接する気体の温度の低下により発熱抵抗素子１の抵抗が低下すると、オペアンプ２０の反転入力端子（−）である第１の入力端子２１に接続されている発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点の電圧も低下する。すると、オペアンプ２０の出力端子２３からブリッジ回路に供給されるフィードバック電流が増加する。一方、発熱抵抗素子１に接する気体の温度の上昇により発熱抵抗素子１の抵抗が上昇すると、発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点の電圧も上昇する。すると、オペアンプ２０の出力端子２３からブリッジ回路に供給するフィードバック電流が減少する。このように、発熱抵抗素子１の抵抗の変動に応じて、発熱抵抗素子１にフィードバック電流が供給されるため、発熱抵抗素子１の発熱温度ＴHが一定に保たれる。
【００１６】
第１の実施の形態に係る露点センサは、オペアンプ２０の出力端子２３と、ブリッジ回路の入力端子と、の間に設けられ、オペアンプ２０からのフィードバック電流を計測する電流計２５をさらに備える。電流計２５は、図２に示すＣＰＵ３００に接続されている。ＣＰＵ３００には、関係記憶装置４０１が接続されている。上述したように、図１に示すオペアンプ２０のフィードバック電流は、発熱抵抗素子１に接する気体の温度に相関する。図２に示す関係記憶装置４０１は、予め取得された、図１に示す発熱抵抗素子１に接する気体の温度と、電流計２５で計測される電流と、の関係を保存する。
【００１７】
図２に示す気温特定部３０１は、関係記憶装置４０１から、気体の温度と、電流と、の関係を読み出す。さらに、気温特定部３０１は、図１に示す電流計２５から電流の計測値を受信すると、受信した電流の計測値と、関係と、に基づいて、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の温度の値を特定する。例えば、図２に示す関係記憶装置４０１から読み出した関係が、図１に示す発熱抵抗素子１に接する気体の温度を従属変数とし、電流計２５で計測される電流を独立変数とする関数で表現されている場合、図２に示す気温特定部３０１は、関数の独立変数に電流の計測値を代入して、図１に示す発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の温度の値を算出する。
【００１８】
湿度検出素子３は、吸湿膜を有し、水分子の吸脱着による吸湿膜の誘電率あるいはインピーダンス等の電気特性の変化を検出する素子であれば、限定されない。ここでは、静電容量式を例にとって、湿度検出素子３を説明する。静電容量式の湿度検出素子３は、図３に示すように、絶縁性の基板３１と、基板３１上に配置された下部電極３２と、下部電極３２上に配置された吸湿膜３３と、吸湿膜３３上に配置された上部電極３４と、を備える。
【００１９】
絶縁性の基板３１は、ガラスやセラミック等からなる。下部電極３２及び上部電極３４のそれぞれは、金等の導電体からなる。上部電極３４は、吸湿膜３３への透湿性を確保するため、メッシュ構造を有していてもよい。吸湿膜３３は、セルロース・アセテート等のセルロース・エステル化合物、ポリビニル・アルコール、ポリアクリル・アミド、及びポリビニル・ピロリドン等の高分子、あるいは酸化アルミニウム等からなる。吸湿膜３３の比誘電率は、吸湿膜３３に接する気体に含まれる水分の吸脱着により変化し、湿度検出素子３の静電容量が変化する。したがって、湿度検出素子３の静電容量は、湿度検出素子３に接する気体の湿度に相関する。
【００２０】
図１に示す発熱抵抗素子１は、例えば、図３に示す湿度検出素子３の絶縁性の基板３１の下面に接して設けられている。発熱抵抗素子１から湿度検出素子３に供給される供給熱量Ｑは、下記（１）式で与えられる。
Ｑ＝ＩH2ＲH−ＨH＝ＶH2／ＲH−ＨH  ・・・（１）
（１）式において、ＩHは発熱抵抗素子１を流れる電流、ＲHは発熱抵抗素子１の抵抗、ＶHは発熱抵抗素子１の両端に加わる電圧、ＨHは発熱抵抗素子１から周囲の気体への放熱量である。
【００２１】
湿度検出素子３から周囲の気体への放熱量ＨCは、下記（２）式で与えられる。
ＨC＝（ａ＋ｂＵ1/2）（ＴC−Ｔａ）  ・・・（２）
（２）式において、ａ，ｂは定数、Ｕは湿度検出素子３に接する気体の風速、ＴCは湿度検出素子３の温度、Ｔａは湿度検出素子３に接する気体の温度である。発熱温度ＴHが一定の発熱抵抗素子１に接しているため、湿度検出素子３の温度ＴCも一定に保たれる。湿度検出素子３は、湿度検出素子３に接する気体の温度が低くなるほど、応答速度が遅くなる傾向にある。応答速度が遅くなる原因としては、水分子の吸湿膜３３への吸着速度が遅くなることが挙げられる。これに対し、例えば湿度検出素子３は、発熱抵抗素子１によって、湿度検出素子３の応答速度が最も速くなる温度ＴCに保たれる。
【００２２】
発熱温度Hが一定の発熱抵抗素子１から湿度検出素子３に供給される供給熱量Ｑと、湿度検出素子３から周囲の気体への放熱量ＨCと、は、下記（３）式に示すように、平衡状態になる。
Ｑ＝ＨC  ・・・（３）
したがって、湿度検出素子３の熱容量を、実質的にゼロとみなすことが可能となる。そのため、湿度検出素子３の応答速度を向上させることが可能となる。
【００２３】
図２に示す関係記憶装置４０１は、予め取得された、図１に示す湿度検出素子３に接する気体の湿度と、湿度検出素子３の静電容量と、の関係をさらに保存する。図２に示すＣＰＵ３００は、湿度特定部３０２をさらに備える。湿度特定部３０２は、関係記憶装置４０１から、気体の湿度と、静電容量と、の関係を読み出す。さらに、湿度特定部３０２は、図１に示す湿度検出素子３の静電容量の計測値を受信すると、受信した静電容量の計測値と、関係と、に基づいて、湿度検出素子３に接する気体の湿度の値を特定する。例えば、図２に示す関係記憶装置４０１から読み出した関係が、図１に示す湿度検出素子３に接する気体の湿度を従属変数とし、湿度検出素子３の静電容量を独立変数とする関数で表現されている場合、図２に示す湿度特定部３０２は、関数の独立変数に静電容量の計測値を代入して、図１に示す湿度検出素子３に接する気体の湿度の値を算出する。
【００２４】
露点特定部３０３は、上述したように気体の湿度に相関する湿度検出素子３の電気特性と、気温特定部３０１が特定した気温と、に基づき、露点を演算する。ＣＰＵ３００には、入力装置３１２及び出力装置３１３がさらに接続されている。入力装置３１２としては、例えばキーボード、及びマウス等のポインティングデバイス等が使用可能である。関係記憶装置４０１に保存されている関係は、例えば入力装置３１２から入力される。出力装置３１３には液晶ディスプレイ、モニタ等の画像表示装置、及びプリンタ等が使用可能である。出力装置３１３は、例えば、露点特定部３０３が特定した露点を出力する。
【００２５】
従来の露点センサは、気体の温度が低い場合、湿度検出素子の応答速度が、温度検出素子の応答速度よりも遅い傾向にある。そのため、例えば露点温度が上昇した場合には、湿度検出素子の静電容量等の電気特性を検出した時点における温度検出素子の検出温度を露点とすると、実際の露点よりも低い露点温度を、露点として特定してしまう場合がある。これに対し、第１の実施の形態に係る露点センサにおいては、上述したように、湿度検出素子３の熱容量を、実質的にゼロとみなすことが可能であるため、湿度検出素子３の応答速度が速い。そのため、露点を正確に特定することが可能となる。また、湿度検出素子３の静電容量と、湿度と、の関係は、気体の温度に依存して変化し得る。そのため、従来の湿度センサは、静電容量と、湿度と、の関係を、様々な温度条件下において、予め取得しておく必要があった。これに対し、第１の実施の形態に係る露点センサにおいては、湿度検出素子３が一定の温度ＴCに保たれる。そのため、関係記憶装置４０１は、一定の温度ＴCにおける、静電容量と、湿度と、の関係を保存すればよい。
【００２６】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る露点計は、図１に示した電流計２５の代わりに、図４に示すように、電圧計２６を備えている。電圧計２６の入力端子は、オペアンプ２０の出力端子２３に接続されている。また、電圧計２６の出力端子は、接地されている。これにより、電圧計２６は、オペアンプ２０の出力電圧を計測する。オペアンプ２０の出力電圧は、オペアンプ２０のフィードバック電流に比例する。したがって、第２の実施の形態において、図２に示す気温特定部３０１は、オペアンプ２０の出力電圧に基づいて、図１に示す発熱抵抗素子１に接する気体の温度の値を算出する。この場合、関係記憶装置４０１は、予め取得された、図４に示す発熱抵抗素子１に接する気体の温度と、電圧計２６で計測される電圧と、の関係を保存する。以上説明したように、本開示において、発熱抵抗素子１に供給される電流に基づき、発熱抵抗素子１に接する気体の温度を特定することとは、発熱抵抗素子１に加えられる電圧に基づき、発熱抵抗素子１に接する気体の温度を特定することを包含する。第２の実施の形態に係る露点計のその他の構成要素は、第１の実施の形態に係る露点計と同じであるので、説明は省略する。
【００２７】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る露点計は、図５に示すように、ｎｐｎ型のバイポーラトランジスタ４０をさらに備える。トランジスタ４０は、ベースがオペアンプ２０の出力端子２３に接続され、コレクタが電源５０に接続され、エミッタがブリッジ回路の入力端子に接続されている。これにより、オペアンプ２０のフィードバック電流がベース電流として流れると、コレクタからエミッタにコレクタ電流が流れる。そのため、より大きな電流を、発熱抵抗素子１に供給することが可能となる。第３の実施の形態に係る露点計のその他の構成要素は、第２の実施の形態に係る露点計と同じであるので、説明は省略する。
【００２８】
（第４の実施の形態）
第１乃至第３の実施の形態では、第１の抵抗素子１１と、第３の抵抗素子１３と、の接点が、ブリッジ回路の入力端子をなし、発熱抵抗素子１と、第２の抵抗素子１２と、の接点が、ブリッジ回路の出力端子をなしている例を説明した。これに対し、図６に示すように、第４の実施の形態に係る露点計においては、第１の抵抗素子１１と、第３の抵抗素子１３と、の接点が、ブリッジ回路の出力端子をなし、発熱抵抗素子１と、第２の抵抗素子１２と、の接点が、ブリッジ回路の入力端子をなしている。
【００２９】
この場合、オペアンプ１２０の非反転入力端子（＋）である第１の入力端子１２１に、発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点が接続される。また、オペアンプ１２０の反転入力端子（−）である第２の入力端子１２２に、第２の抵抗素子１２と第３の抵抗素子１３の接点が接続される。
【００３０】
発熱抵抗素子１に接する気体の温度の低下により発熱抵抗素子１の抵抗が低下すると、オペアンプ１２０の非反転入力端子（＋）である第１の入力端子１２１に接続されている発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点の電圧が上昇する。すると、オペアンプ１２０の出力端子１２３からブリッジ回路に供給されるフィードバック電流が増加する。一方、発熱抵抗素子１に接する気体の温度の上昇により発熱抵抗素子１の抵抗が上昇すると、発熱抵抗素子１と第１の抵抗素子１１の接点の電圧が下降する。すると、オペアンプ１２０の出力端子１２３からブリッジ回路に供給するフィードバック電流が減少する。
【００３１】
図６に示す回路においても、発熱抵抗素子１の抵抗の変動に応じて、発熱抵抗素子１にフィードバック電流が供給されるため、発熱抵抗素子１の発熱温度ＴHが一定に保たれる。第４の実施の形態に係る露点計のその他の構成要素は、第１の実施の形態に係る露点計と同じであるので、説明は省略する。
【００３２】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態に係る露点計において、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の風速が変動すると、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３から気体への放熱量が変動し得る。そのため、実施の形態に係る露点計が配置されるパイプ等に、燒結金属フィルタ等を設けて、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の風速を一定にしてもよい。あるいはマスフローコントローラ等の定流量弁を用いて、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の風速を一定にしてもよい。またあるいは、発熱抵抗素子１及び湿度検出素子３に接する気体の風速を一定にできない場合は、別途、測温素子を設けて気体の温度Ｔａを計測し、湿度検出素子の静電容量の変化の出力と、測温素子で測定した温度Ｔａと、の関係から露点を演算してもよい。この場合、例えば、図２に示す気温特定部３０１は、測温素子で測定された気温Ｔａを、湿度検出素子に接する気体の温度として特定する。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３３】
１      発熱抵抗素子
２      電流供給装置
３      湿度検出素子
１１    第１の抵抗素子
１２    第２の抵抗素子
１３    第３の抵抗素子
２０、１２０    オペアンプ
２１、１２１    第１の入力端子
２２、１２２    第２の入力端子
２３、１２３    出力端子
２５    電流計
２６    電圧計
３１    基板
３２    下部電極
３３    吸湿膜
３４    上部電極
４０    バイポーラトランジスタ
５０    電源
３００  中央演算処理装置
３０１  気温特定部
３０２  湿度特定部
３０３  露点特定部
３１２  入力装置
３１３  出力装置
４０１  関係記憶装置
【図１】
2013113778.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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