(57)【要約】【課題】発光効率の高い緑色発光酸窒化物蛍光体を提供する。【解決手段】本発明に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ（ここで、Ｍ１は、第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属、Ｍ２は、Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属、Ｒｅは付活剤であり、０．０１≦ａ≦０．２０、０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、０＜ｚ／ｙ≦１．０）で表される。Ｍ１は、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ、Ｚｎ及びＳｎのうち少なくとも一つを含有する。Ｍ２は、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ及びＴｉのうち少なくとも一つを含有する。Ｒｅは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｍｎ、Ｂｉ及びＳｂのうち少なくとも一つを含有する。【選択図】図１
2013256675.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ
（ここで、
Ｍ１は、第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属、
Ｍ２は、Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属、
Ｒｅは付活剤であり、
０．０１≦ａ≦０．２０、
０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、
０＜ｚ／ｙ≦１．０）
で表されることを特徴とする、緑色発光酸窒化物蛍光体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、緑色発光酸窒化物蛍光体に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオードは、発光効率が良く、鮮やかな色で発光する。そのため各種インジケータや光源として利用されている。
しかし、発光ダイオードは、優れた単色性ピーク波長を有するので、白色系の発光をすることが困難である。
【０００３】
そこで、紫外線発光ダイオードと蛍光物質とを組み合わせ、紫外線発光ダイオードからの光と、その光により励起されて色変換された蛍光物質の発色との混色により白色系の光を生み出す技術が開示されている。
例えば、紫外線発光ダイオードにより青色蛍光体を励起し、その青色励起光によりＹＡＧ系蛍光体を励起する二段階励起により白色光を得る技術がある。
【０００４】
しかし、このような二段階励起の方式は高発光効率の白色光を得ることは困難である。
そこで、紫外線発光ダイオードと青色、緑色、赤色蛍光体を組み合わせた３波長型の白色発光素子が開発されている。そして、緑色発光蛍光体としては、例えば希土類元素を発光中心に用いた酸化物系蛍光体がある。
【０００５】
しかし、緑色発光の酸窒化物蛍光体についてはあまり研究・開発されていない。例えば、特許文献１には緑色発光酸窒化物が開示されているが、発光効率が高いものとはいえない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２００５−２４８１８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、発光効率の高い緑色発光酸窒化物蛍光体を提供することを目的とするものである。即ち、紫外線発光ダイオードの高い発光効率の波長領域の光を効率よく吸収して発光する緑色発光酸窒化物蛍光体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、この発明の第１の観点に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、
一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ
（ここで、
Ｍ１は、第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属、
Ｍ２は、Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属、
Ｒｅは付活剤であり、
０．０１≦ａ≦０．２０、
０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、
０＜ｚ／ｙ≦１．０）
で表されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを説明する図である。
【図２】実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを説明する図である。
【図３】実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを説明する図である。
【図４】実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを説明する図である。
【図５】実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを説明する図である。
【図６】実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを説明する図である。
【図７】実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを説明する図である。
【図８】実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを説明する図である。
【図９】実施例にかかる発光素子を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
発明者らは鋭意研究を重ねた結果、
一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ
（ここで、
Ｍ１は、第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属、
Ｍ２は、Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属、
Ｒｅは付活剤であり、
０．０１≦ａ≦０．２０、
０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、
０＜ｚ／ｙ≦１．０）
で表される緑色発光酸窒化物蛍光体が、紫外線発光ダイオードの高い発光効率の波長領域の光を効率よく吸収して発光することを見いだした。
【００１２】
（実施例１）
実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体（組成式Ｃａ８．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ８Ｏ１０Ｎ１０）の励起スペクトルを図１に、発光スペクトルを図２に示す。
図１に示されるように、実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、波長３００〜４００ｎｍ付近に励起帯がある。約３６０ｎｍに発光ピークがあり、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
また、図２に示されるように、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約５８ｎｍ程度であり、ブロードな発光ピークである。
【００１３】
（実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法）
原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）と、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）と、ユーロピウム化合物としての塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）と、を準備する。
窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）は、アルゴン雰囲気中で原料としてのカルシウムを粉砕し、粉砕したカルシウムを窒素雰囲気中で窒化することにより得る。カルシウムの窒化反応は、６００〜９００℃で、約５〜６時間行う。原料としてのカルシウムはカルシウム単体のものを使用するのが望ましいが、イミド化合物、アミド化合物、酸化カルシウム等のカルシウム化合物を用いることも可能である。
窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）は、アルゴン雰囲気中で原料としてのケイ素を粉砕し、粉砕したケイ素を窒素雰囲気中で窒化することにより得る。ケイ素の窒化反応は、８００〜１２００℃で、約５〜６時間行う。原料としてのケイ素はケイ素単体のものを使用するのが望ましいが、イミド化合物、アミド化合物を用いることも可能である。Ｓｉ（ＮＨ２）２等を使用することができる。
ユーロピウム化合物は、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）やフッ化ユーロピウム（ＥｕＦ３）等であってもよい。また、ユーロピウム化合物はイミド化合物やアミド化合物を用いることも可能である。酸化ユーロピウム（Ｅｕ２Ｏ３）は市販の物を用いることができるが、高純度の物が望ましい。
さらに、加熱処理の際に蛍光体粒子の結晶成長を促進するような添加物であるフラックス材として塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を準備する。なお、フラックス材は、フッ化アルミニウム（ＡｌＦ３）等のハロゲン化アンモニウム、ＮａＣＯ３、ＬｉＣＯ３等のアルカリ金属炭酸塩、ＬｉＣｌ、ＮａＣｌ、ＫＣｌ等のアルカリハロゲン化物、ＣａＣｌ３、ＣａＦ２、ＢａＦ２のようなアルカリ土類金属のハロゲン化物、Ｂ２Ｏ３、Ｈ３ＢＯ３、ＮａＢ４Ｏ７のようなホウ酸塩化合物、Ｌｉ３ＰＯ４、ＮＨ４Ｈ２ＰＯ４のようなリン酸塩等が使用できる。
そして、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）は１．０９６０ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）は０．７５１０ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）は０．３５０７ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）は０．０１９２ｇ秤量する。塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）は０．０３ｇ秤量する。
【００１４】
これら原料粉末を、瑪瑙製若しくはアルミナ製乳鉢にて、１５分間粉砕混合する。このような乾式の混合では、湿式の混合と比較して有機溶媒を乾燥させる工程がない点で有利である。
【００１５】
次に、得られた原料粉末を、窒化ホウ素坩堝に充填し、電気炉にセットする。なお、得られた原料粉末は、アルミナ坩堝やアルミナトレイ、カーボン坩堝やカーボントレイ、窒化ホウ素トレイ等の耐熱容器に充填することも可能である。
そして、アンモニア雰囲気下で焼成する。なお、水素−窒素を混合させた還ガス元雰囲気中で焼成することも可能であり、さらには一酸化炭素気流中で焼成することも可能である。
【００１６】
焼成する場合における圧力は１．１気圧である。焼成する場合における圧力は、１．００〜１．５０気圧が良い。圧力が１．００気圧より低いと反応が十分に促進されない可能性があるからであり、一方、圧力が１．５０気圧よりも高いと窒素ガスを閉じこめる容器を頑丈にする必要がありそのため製造装置が高価な物になる可能性があるからである。焼成する場合の圧力は、より好ましくは１．０２〜１．３気圧、さらに好ましくは１．０５〜１．２気圧にすると良い。
【００１７】
焼成温度は１３５０℃である。焼成温度は、１０００℃〜１４００℃が良い。焼成温度が１０００℃よりも小さいと反応の進行度が遅くて反応に時間がかかるおそれがあるからであり、一方、焼成温度が１４００℃よりも大きいと予期せぬ副反応が生じるおそれがあるからである。焼成する温度は、より好ましくは１１００〜１３５０℃が良い。
【００１８】
焼成時間は３時間である。焼成時間は、３〜１０時間で焼成するのが好ましい。
焼成が終了すると、徐々に冷却し、そして得られた焼成物を粉砕し混合する。これにより実施例１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体（組成式Ｃａ８．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ８Ｏ１０Ｎ１０）を得ることができる。その後さらに得られた緑色発光酸窒化物蛍光体をさらに再焼成することも可能である。
【００１９】
なお、得られた緑色発光酸窒化物蛍光体は、平均粒子径が２０〜２２０μｍ、特に８０〜１６０μｍのものである。平均粒子径が２２０μｍを超えると、蛍光体の均一な分散が得られなくなるおそれがあり、また、他の蛍光体と併用した場合、色むらが起こるおそれがあるからである。一方、平均粒子径が２０μｍより小さいと、かえって強度が低下するおそれがあるからである。
【００２０】
（実施例２〜５）
実施例２に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３Ｏ３．６Ｎ３．６である。実施例３に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３Ｏ４．５Ｎ３．０である。実施例４に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３Ｏ５．４Ｎ２．４である。実施例５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３Ｏ６．０Ｎ２．０である。
【００２１】
実施例２に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．３７１１ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．０３１１ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．５３５０ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７３９ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２２】
実施例３に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．３５３１ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．２７２０ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．３３００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７２９ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２３】
実施例４に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．３３２６ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．５０３３ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．１３００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７１８ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２４】
実施例５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．３１６４ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．６５００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７０９ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２５】
実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを図３に示す。また、実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを図４に示す。
図３に示されるように、実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、波長３００〜４００ｎｍ付近に励起帯がある。
実施例２に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３５０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例３に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３４０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例４に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３４０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３３０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例２〜５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
また、図４に示されるように、実施例２に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約９７ｎｍ程度であり、実施例３に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１０７ｎｍ程度であり、実施例４に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１０３ｎｍ程度であり、実施例５に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１０３ｎｍ程度であり、いずれもブロードな発光ピークである。なお、実施例２に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、やや青緑色に発光する一方、実施例３に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、やや黄緑色に発光する。
【００２６】
（実施例６〜８）
実施例６に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ３．４Ｎ３．４である。実施例７に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ３．９Ｎ３．０である。実施例８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ４．８Ｎ２．４である。
【００２７】
実施例６係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．４４７２ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．０１５８ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．４８００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７８０ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２８】
実施例７に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．４３５１ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．１６９２ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．３５００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７７３ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００２９】
実施例８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．４１４６ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．４１８５ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．１３８０ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７６２ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００３０】
実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを図５に示す。また、実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを図６に示す。
図５に示されるように、実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、波長３００〜４００ｎｍ付近に励起帯がある。
実施例６に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３６０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例７に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３４０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３３０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例６〜８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
また、図６に示されるように、実施例６に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約８３ｎｍ程度であり、実施例７に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約９７ｎｍ程度であり、実施例８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１００ｎｍ程度であり、いずれもブロードな発光ピークである。なお、実施例６に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、やや青緑色に発光する一方、実施例８に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、やや黄緑色に発光する。
【００３１】
（実施例９〜１１）
実施例９に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ３．１Ｎ３．１である。実施例１０に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．２Ｎ２．４である。実施例１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０である。
【００３２】
実施例９に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．５３７６ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．００２２ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．４２００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０８２９ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００３３】
実施例１０係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．４８６４ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．３０４２ｇ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を０．１４５０ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０８０１ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００３４】
実施例１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）を１．４７５９ｇ、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を１．４８００ｇ、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を０．０７９５ｇ、塩化アンモニウム（ＮＨ４Ｃｌ）を０．０３ｇ秤量する。そしてこれら原料粉末を粉砕混合し、窒化ホウ素坩堝に充填してアンモニア雰囲気下で焼成し、焼成後は徐冷して得られた焼成物を粉砕混合して得た。
【００３５】
実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の励起スペクトルを図７に示す。また、実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の発光スペクトルを図８に示す。
図７に示されるように、実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、波長３００〜４００ｎｍ付近に励起帯がある。
実施例９に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３６０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例１０に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３４０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は３４０ｎｍに近い位置に発光ピークがあり、実施例９〜１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
また、図８に示されるように、実施例９に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約６０ｎｍ程度であり、実施例１０に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１００ｎｍ程度であり、実施例１１に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光スペクトルの発光ピークの半値幅は約１００ｎｍ程度であり、いずれもブロードな発光ピークである。なお、実施例９に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、やや青緑色に発光する。
【００３６】
次に、表１に、上述した実施例１〜１１における蛍光体組成式を一覧として示す。
【００３７】
【表１】
2013256675.tif 000003
【００３８】
次に、表２に実施例１〜１１における蛍光体組成式の組成比、及び、ｘ／（ｗ＋ａ）及びｚ／ｙを示す。
【００３９】
【表２】
2013256675.tif 000004
【００４０】
（緑色発光酸窒化物蛍光体を用いた発光素子）
図９は、本実施例に係る緑色発光酸窒化物蛍光体を用いた発光素子１１１の断面図である。発光素子１１１は、前面に透明基板１０１を備える。また、発光素子１１１は、ドーム状に形成された透明樹脂１０３の内側に発光ダイオード１０５を配置する。
透明樹脂１０３は、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリビニル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、等で構成される。なお、シリコン樹脂若しくはエポキシ樹脂を透明樹脂１０３として用いる方が、蛍光体粉の分散性が良い。
【００４１】
蛍光体の粉を透明樹脂中に分散させる場合、蛍光体粉と透明樹脂との合計に対するその蛍光体粉の重量割合は、通常０．１〜２０重量％、好ましくは０．３〜１５重量％である。この範囲よりも蛍光体が多すぎると蛍光体粉の凝集により発光効率が低下することがあるからであり、一方、少なすぎると今度は樹脂による光の吸収や散乱のため発光効率が低下することがあるからである。透明樹脂中には、色斑（ムラ）を防止するため増量剤を添加してもよい。
発光ダイオード１０５は紫外線発光ダイオードＩｎＧａＮまたはＧａＮが用いられている。
【００４２】
透明樹脂１０３にはそれぞれ赤、緑、青色発光の三種類の蛍光体粉末１０２を混入してあり、透明樹脂の表面はミラー１０４として作用するようにミラー加工を施してある。赤色発光蛍光体にはＳｒＳ：Ｅｕを用いる。青色発光蛍光体にはＳｒ５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕを用いる。そして、緑色発光酸窒化物蛍光体にはＣａ８．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ８Ｏ１０Ｎ１０を用いる。
赤、緑、青色の各色発光の蛍光体はその紫外線発光ダイオード１０５に励起されて、これにより透明基板１０１から白色光が放射される。そのため、発光素子１１１は白色発光素子である。
【００４３】
なお、透明樹脂１０３に拡散剤を含有させることにより、紫外線発光ダイオード１０５からの指向性を緩和させて視野角をさらに増大させることも可能である。拡散剤としては、チタン酸バリウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等を用いることができる。さらに透明樹脂１０３はドーム状に形成されるが、これを所望の形状に形成することにより、紫外線発光ダイオード１０５からの発光を収束させたり拡散させたり等のレンズ効果をもたらすことが可能である。
【００４４】
（その他の実施形態）
なお、本実施例に係る発光素子は、暖色系や寒色系等の色調の光を発光する発光素子としてもよい。勿論、緑色単色の発光素子としてもよい。
【００４５】
上述の実施例では、組成式Ｃａ８．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ８．０Ｏ１０Ｎ１０（実施例１）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６（実施例２）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ４．５Ｎ３．０（実施例３）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ５．４Ｎ２．４（実施例４）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ６．０Ｎ２．０（実施例５）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ３．４Ｎ３．４（実施例６）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ３．９Ｎ３．０（実施例７）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．７Ｏ４．８Ｎ２．４（実施例８）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ３．１Ｎ３．１（実施例９）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．２Ｎ２．４（実施例１０）、組成式Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０（実施例１１）の緑色発光酸窒化物蛍光体について、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光することを示した。
【００４６】
同様に、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）等についても、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
【００４７】
また、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｂａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｍｇ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｚｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｇｅ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｚｒ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）、（Ｓｎ２．９７Ｅｕ０．０３Ｔｉ２．４Ｏ４．８Ｎ２．０）等についても、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
【００４８】
また、（Ｃａ２．９９Ｅｕ０．０１Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９５Ｅｕ０．０５Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９３Ｅｕ０．０７Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９０Ｅｕ０．１０Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．８７Ｅｕ０．１３Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．８５Ｅｕ０．１５Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．８３Ｅｕ０．１７Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．８０Ｅｕ０．２０Ｇｅ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）等についても、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
【００４９】
また、付活剤はＥｕについて示したものであるが、付活剤がＬａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｍｎ、Ｂｉ、Ｓｂであっても本実施例に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
例えば、（Ｃａ２．９７Ｌａ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｃｅ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｐｒ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｎｄ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｓｍ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｇｄ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｔｂ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｄｙ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｈｏ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｒ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｔｍ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｙｂ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｌｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｍｎ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｂｉ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｓｂ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）等についても、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
【００５０】
また、Ｍ１とＭ２は、複数の金属を含有することも可能である。例えば、（Ｂａ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．０Ｇｅ１．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．０Ｚｒ１．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｃａ２．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．０Ｔｉ１．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ１．０Ｓｒ１．０Ｃａ０．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ１．０Ｍｇ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｎ１．０Ｚｎ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ３．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｂａ１．０Ｓｒ１．０Ｃａ０．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．０Ｇｅ１．０Ｏ３．６Ｎ３．６）、（Ｓｒ１．０Ｍｇ１．０Ｃａ１．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ２．０Ｚｒ１．０Ｏ３．６Ｎ３．６）等についても、紫外線発光ダイオードに対して効率よく発光する。
【００５１】
また、上述の実施例では、原料粉末として、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）と、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）と、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）と、塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）と、を混合させた。もっとも、本発明に係る緑色発光酸窒化物蛍光体はかかる実施例に限定されない。カルシウム化合物としては、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）、亜塩素酸カルシウム（Ｃａ（ＣｌＯ２）２）、亜硫酸カルシウム（ＣａＳＯ３）、亜リン酸カルシウム（ＣａＰＨＯ３）、アルミノケイ酸一カルシウム（ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３）、過塩素酸カルシウム（Ｃａ（ＣｌＯ４）２）等を用いることも可能である。
また、原料粉末として、カルシウム化合物の代わりに、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）や硫酸バリウム（ＢａＳＯ４）、塩化バリウム（ＢａＣｌ２）、硝酸バリウム（ＢａＮＯ３）、水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）２）、過酸化バリウム等のバリウム化合物を用いることも可能である。
また、原料粉末として、カルシウム化合物の代わりに、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ３）や硫酸ストロンチウム（ＳｒＳＯ４）、臭化ストロンチウム（ＳｒＢｒ）等のストロンチウム化合物を用いることも可能である。
さらには、これらのカルシウム化合物、ストロンチウム化合物及びバリウム化合物を混合して用いることも可能である。
また、原料粉末として、カルシウム化合物の代わりに、炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ３）や硫酸マグネシウム（ＭｇＳＯ４）、臭化マグネシウム（ＭｇＢｒ２）等のマグネシウム化合物を用いることも可能である。
また、原料粉末として、カルシウム化合物の代わりに、塩化亜鉛（ＺｎＣｌ２）、炭酸亜鉛（ＺｎＣＯ３）、硫酸亜鉛（ＺｎＳＯ４）、臭化亜鉛（ＺｎＢｒ２）等の亜鉛化合物を用いることも可能である。
また、原料粉末として、カルシウム化合物の代わりに、塩化スズ（ＳｎＣｌ２）、硫酸スズ（ＳｎＳＯ４）等のスズ化合物を用いることも可能である。
さらには、これらのカルシウム化合物、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、マグネシウム化合物、亜鉛化合物及びスズ化合物を混合して用いることも可能である。
【００５２】
また、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）の代わりに、一酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ）や二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）を用いることもできる。さらには、これらの酸化物を混合して用いることも可能である。
【００５３】
また、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）の代わりに、窒化ゲルマニウム（Ｇｅ３Ｎ４）、窒化ジルコニウム（ＺｒＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）を用いることもできる。さらには、これらの窒化物を混合して用いることも可能である。
【００５４】
上述の実施例では、付活剤として塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）を用いた。もっともこれに限定されない。塩化ランタン、硝酸ランタン、硝酸セリウム、塩化セリウム、硝酸第１セリウムアンモニウム、硝酸２アンモニウムセリウム、酸化プラセオジム、塩化プラセオジム、塩化ネオジム、酸化ネオジム、塩化サマリウム、塩化ガドリニウム、酸化ガドリニウム、塩化テルビウム、酸化テルビウム、塩化ジスプロシウム、酸化ジスプロシウム、塩化ホルミニウム、酸化ホルミニウム、酸化エルビウム、塩化ツリウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム、塩化イッテルビウム、酸化ルテチウム、塩化マンガン、硝酸マンガン、硫酸マンガン、炭酸マンガン、硫酸ビスマス、酸化ビスマス、水酸化ビスマス、三塩化アンチモン、五酸化アンチモン、三酸化アンチモン、硫酸アンチモン等を用いることができる。
【００５５】
上述の実施例に係る発光素子１１１では、赤色発光蛍光体にはＳｒＳ：Ｅｕを、青色発光蛍光体にはＳｒ５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕを、緑色発光酸窒化物蛍光体にはＣａ８．９７Ｅｕ０．０３Ｓｉ８Ｏ１０Ｎ１０を用いた。
もっとも、これに限定されない。赤色発光蛍光体には、ＣａＳ：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ及びＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ等を用いることができる。また、青色傾向発光体は、（Ｂａ，Ｓｒ）ＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ，Ｍｎ、（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ，Ｍｇ）１０（ＰＯ４）６Ｃｌ２：Ｅｕ及びＺｎＳ：Ａｇ等を用いることができる。さらに、緑色発光酸窒化物蛍光体には、本実施例に係る種々の緑色発光酸窒化物蛍光体を用いることができる。
【００５６】
さらに、発光素子１１１では、本実施例に係る緑色発光酸窒化物蛍光体に加えて、以下に示す緑色発光酸窒化物蛍光体を混合して使用することも可能である。例えば、ＢａＭｇ２Ａｌ１６Ｏ２７：Ｅｕ、ＭｎやＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、Ｍｎで表されるユーロピウム付活アルミン酸塩蛍光体、（ＭｇＣａＳｒＢａ）Ｓｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕで表されるユーロピウム付活アルカリ土類シリコンオキシナイトライド系蛍光体、Ｂａ２ＳｉＯ４：Ｅｕで表されるユーロピウム付活アルカリ土類金属珪酸塩系蛍光体等を、本実施例に係る緑色発光酸窒化物蛍光体に加えて使用することも可能である。
【００５７】
上述の実施例では、原料粉末を乾式で混合した。もっとも湿式で混合することも可能である。湿式で混合するためにアセトン、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、エタノール等の有機溶媒を用いる。水で混合することも可能であるが、有機溶媒を用いることが好ましい。アセトン等の有機溶媒と秤量した原料とに、さらにジルコニアボールを加えて、セラミックス製ボールミルに入れ、１２時間混合する。混合時間は１時間以上２４時間以下の範囲で行うことが好ましい。混合が終了するとジルコニアボールを篩により分離させ、その後、有機溶媒を乾燥させ、原料粉末を得る。なお、カルシウム化合物としての窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）は乾式混合の時のみ使用可能であるため、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）、亜塩素酸カルシウム（Ｃａ（ＣｌＯ２）２）等の他のカルシウム化合物を用いる。
【００５８】
上述の実施例では、紫外線発光ダイオードとしてＩｎＧａＮまたはＧａＮが用いられた。もっともこれに限定されない。発光素子を形成するための発光ダイオードとしては、ＩｎＡｌＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＢＡｌＧａＮ、ＢＩｎＡｌＧａＮ等を用いることが可能である。
【００５９】
本実施例に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法において、あらかじめ、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）と酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を０．９ＭＰａの圧力下で反応させてＳｉ−Ｏ−Ｎ系前駆体を合成し、その後に、窒化カルシウム（Ｃａ３Ｎ２）と塩化ユーロピウム（ＥｕＣｌ３）とを混合させて原料粉末を得て、その原料粉末を焼成することも可能である。
原料に窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を用いる場合、１３００℃以上の高温で焼成すると窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）の分解飛散する場合がある。窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）が分解飛散すると、目的とする組成の蛍光体を得ることが困難であり、高純度な緑色発光酸窒化物蛍光体が得られない可能性がある。そこで、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）の分解飛散による蛍光体純度の低下を抑制するために、あらかじめ（Ｓｉ３Ｎ４）と酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を０．９ＭＰａの圧力下で反応させてＳｉ−Ｏ−Ｎ系前駆体を合成するのである。
【００６０】
（付記１）
一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ
（ここで、
Ｍ１は、第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属、
Ｍ２は、Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属、
Ｒｅは付活剤であり、
０．０１≦ａ≦０．２０、
０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、
０＜ｚ／ｙ≦１．０）
で表されることを特徴とする、緑色発光酸窒化物蛍光体。
【００６１】
（付記２）
前記Ｍ１は、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ、Ｚｎ及びＳｎの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記１記載の緑色発光酸窒化物蛍光体。
【００６２】
（付記３）
前記Ｍ２は、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ及びＴｉの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記１又は２に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体。
【００６３】
（付記４）
前記Ｒｅは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｍｎ、Ｂｉ及びＳｂの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体。
【００６４】
（付記５）
前記緑色発光酸窒化物蛍光体は、波長３００ｎｍ以上４００ｎｍ以下に励起帯を有する、
ことを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体。
【００６５】
（付記６）
第ＩＩ族元素若しくはＳｎを含有する金属Ｍ１と、
Ｓｎを除く第ＩＶ族元素を含有する金属Ｍ２と、
付活剤Ｒｅと、
窒素と、
酸素と、を、
Ｍ１、Ｍ２、Ｒｅ、窒素及び酸素が、
一般式Ｍ１ｗＲｅａＭ２ｘＯｙＮｚ
（ここで、
０．０１≦ａ≦０．２０、
０．８≦ｘ／（ｗ＋ａ）≦１．０、
０＜ｚ／ｙ≦１．０）
で表される比率をみたすように混合して、原料粉末を作成する、混合工程と、
前記原料粉末を加圧状態下にして焼成する、焼成工程と、
を有することを特徴とする、緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００６６】
（付記７）
前記Ｍ１は、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｍｇ、Ｚｎ及びＳｎの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記６記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００６７】
（付記８）
前記Ｍ２は、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｚｒ及びＴｉの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記６又は７に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００６８】
（付記９）
前記Ｒｅは、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｍｎ、Ｂｉ及びＳｂの少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記６乃至８のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００６９】
（付記１０）
前記焼成工程は、水素及び窒素を混合させた還元ガス雰囲気下で焼成する、
ことを特徴とする付記６乃至９のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００７０】
（付記１１）
前記焼成工程は、アンモニア雰囲気下で焼成する、
ことを特徴とする付記６乃至１０のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００７１】
（付記１２）
前記焼成工程は、１０００℃以上１４００℃以下の温度で行われる、
ことを特徴とする付記６乃至１１のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００７２】
（付記１３）
前記混合工程は、
前記金属Ｍ１の窒化物と、前記金属Ｍ２の窒化物と、前記金属Ｍ２の酸化物と、を含んで混合する、
ことを特徴とする付記６乃至１２のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００７３】
（付記１４）
前記金属Ｍ２の窒化物は、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）であり、
前記金属Ｍ２の酸化物は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）であり、
前記混合工程は、
窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）と酸化ケイ素（ＳｉＯ２）とを加圧力条件下で反応させてＳｉ−Ｏ−Ｎ系前駆体を合成し、
前記Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系前駆体に、前記金属Ｍ１の窒化物と前記付活剤Ｒｅとを混合させ、原料粉末を作成する、
ことを特徴とする付記１３に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法。
【００７４】
（付記１５）
付記１乃至５のいずれか１項に記載の緑色発光酸窒化物蛍光体と、
蛍光体の励起光源としての紫外線発光ダイオードと、
を有することを特徴とする発光素子。
【００７５】
（付記１６）
赤色発光蛍光体と、青色発光蛍光体と、
を有することを特徴とする付記１５記載の発光素子。
【００７６】
（付記１７）
前記赤色発光蛍光体は、ＳｒＳ：Ｅｕ、ＣａＳ：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ及びＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕのうち少なくともいずれか一つを含有し、
前記青色傾向発光体は、（Ｂａ，Ｓｒ）ＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ，Ｍｎ、（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ，Ｍｇ）１０（ＰＯ４）６Ｃｌ２：Ｅｕ、Ｓｒ５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕ及びＺｎＳ：Ａｇのうち少なくともいずれか一つを含有する、
ことを特徴とする付記１６記載の発光素子。
【００７７】
（付記の目的）
本付記は、発光効率の高い緑色発光酸窒化物蛍光体を提供することを目的とするものである。即ち、紫外線発光ダイオードの高い発光効率の波長領域の光を効率よく吸収して発光する緑色発光酸窒化物蛍光体を提供することを目的とするものである。
また、そのような緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法を提供することを目的とするものである。
さらに、そのような緑色発光酸窒化物蛍光体を用いた高輝度の発光素子を提供することを目的とするものである。
【００７８】
（付記の効果）
本付記に係る緑色発光酸窒化物蛍光体は、発光効率が高い。さらに、本付記に係る緑色発光酸窒化物蛍光体の製造方法は、発光効率の高い緑色発光酸窒化物蛍光体を製造することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１０１ 透明基板
１０２ 三種類の蛍光体粉末
１０３ 透明樹脂
１０４ ミラー
１０５ 発光ダイオード
１１１ 実施例に係る発光素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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