(57)【要約】【課題】基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離し回収するシート剥離装置において、基板から剥離したシートフィルムをより確実に回収する。【解決手段】巻き取りローラ２２０により基板から巻き取ったシートフィルムは、該シートフィルムを把持可能な先端部材８３１ａ，８３１ｂを有する把持部８３１，８３２によって把持しながらフィルムサポート８１０上へ引き出す。フィルムサポート８１０は複数のプレート部材８１１〜８１７に分割されており、把持部８３１，８３２はその隙間を通って進退移動する。フィルムサポート８１０上へシートフィルムが引き出されると突き出しバー８５１を下降させ、フィルムサポート８１０の空隙部ＧＰを介してシートフィルムを下方へ突き出して回収ボックス８７０に収容する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板から剥離したシートフィルムを胴部に巻き取る巻き取りローラと、
上面が前記シートフィルムを載置可能なシート載置面となるとともに、該シート載置面から下方へ貫通する空隙部が設けられたシート受取手段と、
前記巻き取りローラに巻き取られた前記シートフィルムの端部を保持して該端部を前記巻き取りローラから離間する方向に移動させ、前記シートフィルムを前記巻き取りローラから前記シート受取手段の前記シート載置面上に引き出す引き出し手段と、
前記シート載置面上に引き出された前記シートフィルムのうち前記空隙部に臨む部位を下方へ突き出して、前記シートフィルムを屈曲状態で前記空隙部を通過させる突き出し手段と、
前記シート受取手段の前記空隙部の下方に設けられて、前記空隙部から下方へ突き出された前記シートフィルムを収容するシート収容部と
を備えることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記シート受取手段は、前記空隙部の側壁面に該空隙部の内側に向かって突出する突出部位を有する請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記引き出し手段は、前記シートフィルムの端部を把持可能な把持部と、前記把持部を前記巻き取りローラに対して進退移動させる移動部とを有する請求項１または２に記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記シート受取手段は、互いに離隔配置されてそれぞれの上面が前記シート載置面の一部となる複数のプレート部材を有しており、該プレート部材間の隙間が、前記把持部の進退経路となるとともに前記空隙部となっている請求項３に記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記把持部は、前記シート載置面に平行かつ前記シートフィルムの引き出し方向に垂直な方向に互いに離隔した複数箇所で前記シートフィルムを把持する請求項３または４に記載のシート剥離装置。
【請求項６】
前記突き出し手段は、前記シートフィルムの前記空隙部に臨む部位に上方から当接しながら前記空隙部内に進入することで前記シートフィルムを下方へ突き出す当接部材を有する請求項１ないし５のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項７】
前記引き出し手段は、前記シートフィルムの中心が前記空隙部に臨む位置まで前記シートフィルムを引き出す請求項１ないし６のいずれかに記載のシート剥離装置。
【請求項８】
前記シート載置面が水平面である請求項１ないし７のいずれかに記載のシート剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離して回収するシート剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板などの基板に薄膜を形成する技術の１つとして、予め薄膜（またはその材料による膜）を形成したシートフィルムを基板に密着させた後、シートフィルムのみを剥離することで薄膜を基板に転写する技術が提案されている。このような薄膜形成技術に適用可能な技術として、本願出願人は、基板に貼付されたシートフィルムを効率よく剥離することのできる技術を先に開示した（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の技術においては、基板に貼付されたシートフィルムを巻き取りローラに巻き取ることで基板から剥離するとともに、剥離されたシートフィルムを巻き取りローラから引き出しつつ搬送ローラ対で挟み込んで搬送することにより、シートフィルムを基板から離間させ回収ボックスへ導いている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２３９０７２号公報（例えば、図１４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
シートフィルムが例えば絶縁性樹脂製である場合など、基板から剥離する際にシートフィルムが帯電することがある。このことに起因して、搬送ローラによるシートフィルムの搬送では、シートフィルムがローラに巻き付いたり、搬送経路上の複数のローラ間の隙間に入り込んでしまうなどの搬送不良が生じ、シートフィルムを回収することができなくなるケースが生じる場合がある。しかしながら、現状ではシートフィルムとしては薄膜の均質さや基板への転写性が重視されており、剥離後の回収についてまで十分な検討がなされているとは言えない。
【０００６】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板に密着させたシートフィルムを基板から剥離し回収するシート剥離装置において、基板から剥離したシートフィルムをより確実に回収することのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明にかかるシート剥離装置は、上記目的を達成するため、基板から剥離したシートフィルムを胴部に巻き取る巻き取りローラと、上面が前記シートフィルムを載置可能なシート載置面となるとともに、該シート載置面から下方へ貫通する空隙部が設けられたシート受取手段と、前記巻き取りローラに巻き取られた前記シートフィルムの端部を保持して該端部を前記巻き取りローラから離間する方向に移動させ、前記シートフィルムを前記巻き取りローラから前記シート受取手段の前記シート載置面上に引き出す引き出し手段と、前記シート載置面上に引き出された前記シートフィルムのうち前記空隙部に臨む部位を下方へ突き出して、前記シートフィルムを屈曲状態で前記空隙部を通過させる突き出し手段と、前記シート受取手段の前記空隙部の下方に設けられて、前記空隙部から下方へ突き出された前記シートフィルムを収容するシート収容部とを備えることを特徴としている。
【０００８】
このように構成された発明では、巻き取りローラからシート載置面に引き出したシートフィルムを、シート載置面に設けた空隙部から突き出し手段が突き出すことによりシート収容部へ収容する。このため、ローラによる搬送を必要とせず、ローラへのシートフィルムの巻き付きという問題は原理的に生じない。その一方、このような収容の仕方においても、シートフィルムが平滑に保たれた状態ではシート載置面やその他の部材との接触面積が大きくなるため、帯電したシートフィルムの静電気に起因する貼り付きが生じる。そこで、この発明では、突き出し手段がシートフィルムを突き出すことによってシートフィルムを屈曲させた状態で空隙部を通過させる。そのため、シートフィルムと周辺部材との接触面積が小さくなって静電気力による付着が抑制され、より確実にシートフィルムをシート収容部に回収することができる。また剥離したシートフィルムをローラで搬送する装置に比べて、より簡素な構成でシートフィルムを回収することが可能である。
【０００９】
この発明において、例えば、シート受取手段は、空隙部の側壁面に該空隙部の内側に向かって突出する突出部位を有するように構成されてもよい。このようにすると、空隙部へ突き出されたシートフィルムが部分的に突出部位に引っ掛かることでより複雑な形状に屈曲し、周辺部材への静電気力による付着をより効果的に抑制することが可能となる。
【００１０】
また例えば、引き出し手段は、シートフィルムの端部を把持可能な把持部と、把持部を巻き取りローラに対して進退移動させる移動部とを有するように構成されてもよい。このような構成では、把持部を巻き取りローラに接近移動させてシートフィルムを把持させた後、把持部を巻き取りローラから離間させることにより、シートフィルムの引き出しが可能である。
【００１１】
この場合において、例えば、シート受取手段は、互いに離隔配置されてそれぞれの上面がシート載置面の一部となる複数のプレート部材を有しており、該プレート部材間の隙間が、把持部の進退経路となるとともに空隙部となっているようにしてもよい。つまり、シート載置面が複数のプレート部材に分割されて複数のプレート部材各々の上面の集合体としてシート載置面が構成されてもよい。シートフィルムを把持した把持部がプレート部材の隙間を通って移動することができるので、シートフィルムをシート載置面に沿ってスムーズに引き出すことができる。また、シートフィルムが通過する空隙部としてプレート部材の隙間を利用し、シートフィルムを屈曲させた状態で下方へ突き出すことができる。
【００１２】
また例えば、把持部は、シート載置面に平行かつシートフィルムの引き出し方向に垂直な方向に互いに離隔した複数箇所でシートフィルムを把持するようにしてもよい。こうすることで、巻き取りローラからシートフィルムを引き出す際により確実にシートフィルムを保持し、シートフィルムが破れて引き出しに失敗する確率を低減することができる。
【００１３】
また例えば、突き出し手段は、シートフィルムの空隙部に臨む部位に上方から当接しながら空隙部内に進入することでシートフィルムを下方へ突き出す当接部材を有してもよい。このように当接部材をシートフィルムの上面に当接させた状態で下方へ突き出すことで、シートフィルムを確実にシート収容部へ送り込んで回収することができる。
【００１４】
また例えば、引き出し手段は、シートフィルムの中心が空隙部に臨む位置までシートフィルムを引き出すようにしてもよい。こうすることで、シートフィルムの中心を突き出すことが可能となり、シートフィルム全体が確実に空隙部を通過させるための突き出し動作のストロークを小さくすることができる。また引き出されたシートフィルムは静電気力によってシート載置面に付着する可能性があるが、シートフィルムの中心付近を突き出すことにより、静電気による付着力に打ち勝ってシートフィルムを確実に下方へ突き出すことができる。
【００１５】
これらの発明においては、例えばシート載置面が水平面であってもよい。巻き取りローラから引き出したシートフィルムを水平なシート載置面に引き出すことで、柔軟なシートフィルムの姿勢を安定させることができ、巻き取りローラからの引き出し動作およびシート収容部への収容動作を安定的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、基板から剥離されたシートフィルムが帯電した場合でも、静電気力によるシートフィルムの周辺部材への付着を防止して、シートフィルムを確実に回収することが可能である。またシートフィルムを回収するための構成を簡素化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明にかかるシート剥離装置の一実施形態を示す図である。
【図２】図１のシート剥離装置の主要な制御構成を示すブロック図である。
【図３】回収ユニットの主要構成を示す図である。
【図４】この実施形態における剥離・回収動作を示すフローチャートである。
【図５】剥離・回収動作の第１の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図６】剥離・回収動作の第２の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図７】剥離・回収動作の第３の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図８】剥離・回収動作の第４の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図９】剥離・回収動作の第５の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図１０】剥離・回収動作の第６の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図１１】剥離・回収動作の第７の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【図１２】剥離・回収動作の第８の時点での装置の状態を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１はこの発明にかかるシート剥離装置の一実施形態を示す図である。より詳しくは、図１（ａ）はシート剥離装置１の外観上面図、図１（ｂ）はその側面図である。また、図２は図１のシート剥離装置の主要な制御構成を示すブロック図である。なお、図１においては、装置の主要構成を明示するために、装置を構成する各部材を支持するフレームやブラケット等の一部について図示を省略している。
【００１９】
このシート剥離装置１は、シートフィルムを貼付された状態で外部から搬入される基板をワークとして受け入れて、該シートフィルムを基板から剥離・回収するための装置である。このシート剥離装置１は、基板からシートフィルムを剥離するための剥離ユニット１０、剥離されたシートフィルムを回収するための回収ユニット８０、装置全体の動作を制御する制御ユニット７０およびこれらを固定するフレーム９０を備えている。
【００２０】
剥離ユニット１０は、基板をその上方から吸着保持するための吸着ステージブロック１００、こうして吸着保持された基板の下方を移動しながらシートフィルムを巻き取り剥離するための巻き取りブロック２００、巻き取りブロック２００を略水平方向（図１のＸ方向）に移動させるためのガイドレールブロック３００、および、外部から基板を受け入れて吸着ステージブロック１００に受け渡すための仮置きステージブロック４００を備えている。
【００２１】
この剥離ユニット１０では、表面にシートフィルムが貼り付けられた基板が吸着ステージブロック１００によって吸着保持されるとともに、巻き取りブロック２００に設けられた巻き取りローラ２２０がその胴部にシートフィルムを巻き取ることで基板表面からシートフィルムを剥離する。
【００２２】
これらの各機能ブロックとしては、本願出願人が既に開示した前述の特許文献１（特開２００９−２３９０７２号公報）に記載されたものと同一のものを適用することが可能である。また、それらの機能ブロックにより実行される、基板からシートフィルムを剥離する剥離動作についても、上記文献に記載されたものを利用することが可能である。そこで、本実施形態においても、吸着ステージブロック１００、巻き取りブロック２００、ガイドレールブロック３００および仮置きステージブロック４００として特許文献１に開示された同一名称の構成をそれぞれ適用するものとし、それらの構成および動作についての詳しい説明を省略する。
【００２３】
この実施形態では、基板から剥離されて巻き取りローラ２２０に巻き取られたシートフィルムを回収する回収ユニットの構造が特許文献１のものとは異なっている。この実施形態における回収ユニット８０は、互いに離隔配置された複数のプレート部材８１１〜８１７より構成されて上面にシートフィルムを略水平状態に載置可能なフィルムサポート８１０と、該フィルムサポート８１０上に巻き取りローラ２２０からシートフィルムを引き出すフィルム引き出し部８３０と、フィルムサポート８１０上に引き出されたシートフィルムをプレート部材８１１〜８１７の隙間から下方へ突き出すフィルム突き出し部８５０と、突き出されたシートフィルムを回収する回収ボックス８７０とを備えている。
【００２４】
巻き取りローラ２２０の胴部に巻き取られたシートフィルムは、シート剥がし機構５１０によってその端部が巻き取りローラ２２０から取り出されて回収ユニット８０に受け渡される。シート剥がし機構５１０の構成および動作は、特許文献１に記載された同一名称のものと同じである。
【００２５】
図３は回収ユニットの主要構成を示す図である。図３の上部は回収ユニット８０の主要構成を示す側面図であり、下部はその上面図である。フィルムサポート８１０は７枚のプレート部材８１１〜８１７を有しており、これらが所定の間隔を隔てて互いに離隔配置されている。各プレート部材８１１〜８１７の上面は、巻き取りローラ２２０の底部とほぼ同じ高さの同一平面上にあり、これらのプレート部材８１１〜８１７の上面が一体として、シートフィルムを下方から略水平状態に支持するフィルム載置面ＳＳとなっている。各プレート部材の上面およびその間の空隙部を含んだフィルムサポート８１０全体としての平面サイズは、シートフィルムＦの平面サイズと同等またはこれより大きいことが望ましい。各プレート部材は例えば金属板の折り曲げ加工によって、または押し出し成型品の組み合わせにより形成することができる。
【００２６】
フィルムサポート８１０を挟んで巻き取りローラ２２０と反対側に、フィルム引き出し部８３０が設けられている。フィルム引き出し部８３０では、先端部が開閉自在となって該先端部でシートフィルムを把持可能に構成された１対の把持部８３１，８３２が、同一高さで、かつ巻き取りローラ２２０の回転軸と平行な方向に互いに位置を異ならせて設けられている。１対の把持部８３１，８３２はそれぞれブラケット８３３に固定されており、ブラケット８３３は制御ユニット７０により制御される把持部進退機構８３４によって、水平方向かつ巻き取りローラ２２０の回転軸に直交する方向すなわちＸ方向に進退駆動される。これにより、２つの把持部８３１，８３２が一体的に、巻き取りローラ２２０に対して進退移動可能となっている。
【００２７】
このとき、２つの把持部８３１，８３２は、フィルムサポート８１０を構成するプレート部材間に設けられた隙間を通って進退移動し、これによりフィルムサポート８１０との干渉が回避されている。また、把持部８３１，８３２は、高さ方向にはフィルム載置面ＳＳに沿って進退移動する。
【００２８】
把持部８３１は、例えば市販のエアチャック機構を備え制御ユニット７０により制御される把持部開閉機構８３５によって開閉駆動される１対の先端部材８３１ａ，８３１ｂを有しており、先端部材８３１ａ，８３１ｂが閉状態のときこれらの間にシートフィルムを挟み込むことで、シートフィルムの端部を保持することができる。一方、先端部材８３１ａ，８３１ｂが開状態となることで該保持を解除することができる。先端部材８３１ａ，８３１ｂのうち閉状態で互いに当接する部分はシートフィルムをしっかりと把持することができるように、表面の摩擦係数が大きいことが望ましく、さらには弾性を有していることが望ましい。この意味において、先端部材８３１ａ，８３１ｂの表面をゴム製とすることができる。もう一方の把持部８３２も同様の構造を有している。
【００２９】
図３に点線で示すように、把持部８３１，８３２が最も巻き取りローラ２２０に近接した状態では、先端部材８３１ａ，８３１ｂがこれに対応してプレート部材８１１に設けられた切り欠き部の内部に入り込む。シート剥がし機構５１０によって取り出されたシートフィルム端部がプレート部材８１１上にあるとき、先端部材８３１ａ，８３１ｂが閉じられると、シートフィルム端部を把持部８３１，８３２により把持することができる。この状態で把持部８３１，８３２が把持部進退機構８３４によって巻き取りローラ２２０から離間する方向（＋Ｘ方向）に移動されると、巻き取りローラ２２０に巻き付いていたシートフィルムがフィルムサポート８１０上に引き出される。
【００３０】
フィルムサポート８１０の上方にはフィルム突き出し部８５０が設けられている。より詳しくは、プレート部材８１２〜８１７の間の空隙部ＧＰの上方には、巻き取りローラ２２０の回転軸に平行なＹ方向に延設された突き出しバー８５１が配設されており、該突き出しバー８５１は、制御ユニット７０により制御される突き出しバー昇降機構８５２により昇降駆動される。これにより、突き出しバー８５１は、フィルム載置面ＳＳよりも上方の退避位置（図３において実線で示す位置）と、空隙部ＧＰを通ってフィルム載置面ＳＳよりも下方の突き出し位置（図３において点線で示す位置）との間で昇降可能となっている。
【００３１】
巻き取りローラ２２０から引き出されたシートフィルムがフィルムサポート８１０のフィルム載置面ＳＳ上にあるとき、突き出しバー８５１の下降によって、シートフィルムはフィルムサポート８１０の下方へ突き出される。フィルムサポート８１０の下方には回収ボックス８７０が配置されており、突き出されたシートフィルムは回収ボックス８７０に収容される。
【００３２】
次に、上記のように構成されたシート剥離装置１における、基板からのシートフィルムの剥離およびその回収ボックスへの回収動作（以下、これらを合わせて「剥離・回収動作」と称する）について説明する。
【００３３】
図４はこの実施形態における剥離・回収動作を示すフローチャートである。まず、巻き取りブロック２００を作動させて、基板からシートフィルムを剥離させ巻き取りローラ２２０に巻き取る（ステップＳ１０１）。この際の動作は特許文献１に記載のものと同一とすることができるので、本明細書では説明を省略する。次に、シート剥がし機構５１０を作動させてシートフィルムの端部を取り出し（ステップＳ１０２）、さらにこれを把持部８３１，８３２で把持することにより（ステップＳ１０３）、シートフィルムが巻き取りローラ２２０から回収ユニット８０に受け渡される。
【００３４】
把持部８３１，８３２はシートフィルムをフィルムサポート８１０上に引き出した後、把持を解除し（ステップＳ１０４）、突き出しバー８５１が下降することでシートフィルムをフィルムサポート８１０の空隙部ＧＰから下方へ突き出して（ステップＳ１０５）、回収ボックスに回収する（ステップＳ１０６）。上記一連の動作における各時点での装置の状態を、図５ないし図１２を用いて具体的に説明する。
【００３５】
図５ないし図１２は、それぞれ剥離・回収動作のある時点での装置の状態を模式的に示す図である。このうち図５（ａ）、図６、図７、図８（ａ）、図９（ａ）、図１０（ａ）、図１１（ａ）および図１２（ａ）は装置を側面から見た図であり、図５（ｂ）、図８（ｂ）、図９（ｂ）、図１０（ｂ）、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）は装置を上面から見た図である。また、図５、図８、図９、図１０、図１１および図１２においては、各図（ａ）と各図（ｂ）とは同じ時点での装置の状態を示している。なお、動作説明に直接関係しない構成については適宜省略または簡略化している。
【００３６】
ステップＳ１０１での巻き取りローラ２２０によるシートフィルムの巻き取りが終了した時点では、図５に示すように、シートフィルムＦはその端部Ｆｓ近傍をシートクランプ２２３，２２５にクランプされて巻き取りローラ２２０に巻き付いた状態となっている。このときシート剥がし機構５１０の本体５１１が巻き取りローラ２２０に近接配置されている一方、把持部８３１，８３２はフィルムサポート８１０を挟んで巻き取りローラ２２０と反対側の退避位置に位置決めされている。また突き出しバー８５１はフィルムサポート８１０のシート載置面ＳＳよりも上方の退避位置に位置決めされている。
【００３７】
続くステップＳ１０２では、図６（ａ）に示すように、シートクランプ２２３，２２５によるクランプが解除されるとともに、シート剥がし機構５１０の本体５１１からシート剥がし爪５１２が巻き取りローラ２２０側に伸びてシートフィルム端部Ｆｓを引っ掛ける。さらにシート剥がし爪５１２が本体５１１側に引き戻されることで、図６（ｂ）に示すように、シートフィルム端部Ｆｓがシート剥がし機構５１０に把持される。
【００３８】
この状態で、図７（ａ）に示すように、シート剥がし機構５１０の本体５１１が斜行機構５１３によって同図の矢印Ｄ1方向に移動されると、図７（ｂ）に示すように、巻き取りローラ２２０に巻き付いていたシートフィルムＦがフィルムサポート８１０を構成する１つのプレート部材８１１上に引き下ろされてくる。そして、最終的には、図８に示すように、シートフィルムＦの端部Ｆｓがプレート部材８１１の上面に引き出された状態で、シート剥がし機構５１０によるシートフィルムの把持が解除される。これとともに、把持部進退機構８３４の作動により、把持部８３１，８３２が巻き取りローラ２２０側へ近接移動される。
【００３９】
ステップＳ１０３では、図９に示すように、把持部８３１，８３２の先端がプレート部材８１１の切り欠き部に到達し、把持部開閉機構８３５により先端部材８３１ａ，８３１ｂが閉じられることにより、シートフィルムＦの端部Ｆｓが把持部８３１，８３２により把持される。ステップＳ１０４では、図１０に示すように、シートフィルムＦを把持した把持部８３１，８３２が把持部進退機構８３４により同図矢印Ｄ2方向（＋Ｘ方向）に移動されることで、シートフィルムＦが巻き取りローラ２２０からフィルムサポート８１０のフィルム載置面ＳＳ上へ引き出されてくる。このとき、２つの把持部８３１，８３２により複数個所でシートフィルムＦを把持することにより、シートフィルムＦと巻き取りローラ２２０との間の摩擦力や静電気による吸着力に打ち勝って、シートフィルムＦを確実に引き出すことが可能である。
【００４０】
図１１（ｂ）に示すように、シートフィルムＦの全体がフィルムサポート８１０上に引き出された状態では、シートフィルムＦの中心Ｃｆが各プレート部材８１２〜８１７により囲まれてこれらの間に形成される空隙部ＧＰに臨んでいる。言い換えれば、このような状態となるように、フィルムサポート８１０が複数のプレート部材に分割されるとともに、把持部進退機構８３４が把持部８３１，８３２を進退駆動する。この状態で把持部８３１，８３２による把持が解除される。
【００４１】
ステップＳ１０５では、突き出しバー昇降機構８５２の作動により突き出しバー８５１が下降する。このとき、図１１（ｂ）に示すように、シートフィルムＦの中心Ｃｆが空隙部ＧＰに臨んでいるため、下降する突き出しバー８５１はシートフィルムＦの中心を含む表面領域に当接し、空隙部ＧＰを通過してさらに下降することで、シートフィルムＦを空隙部ＧＰからフィルムサポート８１０の下方へ突き出す。突き出されたシートフィルムＦは回収ボックス８７０に収容される。
【００４２】
フィルムサポート８１０は複数のプレート部材８１１〜８１７に分割されており、それらの隙間がシートフィルムＦを通過させる空隙部ＧＰとなっている。このため、空隙部ＧＰの端面形状は平滑なものではなく、局所的にはプレート部材の角部Ｅが当該空隙部ＧＰの内側に向けて突出した突出部位となっている。突き出しバー８５１によって下方へ押し出されたシートフィルムＦは部分的に突出部位Ｅに引っ掛かりながら下方へ押し出されるため、図１２に示すように、シートフィルムＦは不規則な形状に屈曲した状態で空隙部ＧＰを通過することとなる。
【００４３】
薄膜形成用のシートフィルムＦとしては樹脂素材のものを好適に使用可能であるが、絶縁性材料である場合、基板から引き剥がされたシートフィルムＦが静電気を帯びてしまうことがある。フィルムサポート８１０に引き出されたシートフィルムＦに静電気が残留していると、その吸着力によってフィルムサポート８１０や突き出しバー８５１等の周辺部材に貼り付いてしまい、回収ボックス８７０への送り込みに失敗することがあり得る。
【００４４】
そこで、この実施形態では、シートフィルムＦの中心付近を空隙部に臨ませて突き出すこと、および、突き出す際にシートフィルムＦを不規則に屈曲変形させることにより、このようなシートフィルムＦの周辺部材への貼り付きを防止して、シートフィルムＦを回収ボックス８７０へ確実に送り込むことができるようにしている。
【００４５】
すなわち、シートフィルムＦの中心から離れた位置に突き出しバーを当接させた場合、該当接位置から離れた位置においては摩擦力や静電気力によるシートフィルムＦとフィルムサポート８１０との付着を引き離す作用が十分に及ばず、シートフィルムＦの一部だけが空隙部ＧＰを通過するものの他の部分がフィルムサポート８１０上に残ってしまい、結果的にはシートフィルムＦがフィルムサポート８１０から垂れ下がった状態で終わってしまうことがあり得る。シートフィルムＦの中心付近に突き出しバー８５１を当接させることで、このような作用の偏りを回避してシートフィルムＦを空隙部ＧＰから下方へ確実に通過させることができる。また、突き出しバーの上下動ストロークを小さくすることができるという効果もある。
【００４６】
また、シートフィルムＦを屈曲変形させた状態で突き出すことにより、フィルムサポート８１０等の部材とシートフィルムＦとの間の接触面積が小さくなるため、静電気力による相互の吸着をより効果的に防止することができる。特に、シートフィルムＦを平滑な状態に保ったまま突き出しバーにより突き出すと、当接により撓んだシートフィルムＦが突き出しバーに巻き付くように絡まってしまうおそれがあるが、本実施形態ではそのような問題が生じない。また、シートフィルムＦとフィルムサポート８１０との接触面積を小さくすることで摩擦抵抗も軽減され、より円滑にシートフィルムＦを回収ボックス８７０へ送り込むことが可能となる。
【００４７】
以上のように、この実施形態では、巻き取りローラ２２０によって巻き取られたシートフィルムＦを巻き取りローラ２２０からフィルムサポート８１０上面のフィルム載置面ＳＳに移行させる。この過程では、ローラによる搬送を行わず、シートフィルムＦの端部Ｆｓを把持部８３１，８３２で把持しつつ該端部Ｆｓを先頭にしてシートフィルムＦを引き出すのみであるので、ローラ等へのシートフィルムの巻き付きの問題は生じない。また、ローラによる搬送機構よりも装置を簡素化することができる。
【００４８】
そして、この実施形態では、平坦な状態のままフィルムサポート８１０に引き出されたシートフィルムＦを、フィルムサポート８１０に設けた空隙部ＧＰを通して下方へ突き出して回収ボックス８７０に送り込む。このとき、シートフィルムＦの中心付近に突き出しバー８５１を当接させることで、シートフィルムＦ全体を空隙部ＧＰから下方へ押し出すことができる。また、突き出しバー８５１を当接させてシートフィルムＦを屈曲させることにより、摩擦や静電気に起因する周辺部材へのシートフィルムＦの付着を防止して、シートフィルムＦを確実に回収することができる。このために、空隙部ＧＰの形状を工夫し、その側壁面に部分的に内側へ突出した突出部位Ｅを設けることが効果的である。
【００４９】
またこの実施形態では、引き出されたシートフィルムＦを一時的に載置するフィルムサポート８１０を複数のプレート部材８１１〜８１７により構成し、これらのプレート部材の隙間を把持部８３１，８３２の進退経路とするとともに、シートフィルムＦを下方へ突き出すための空隙部として機能させている。このような構成によれば、フィルムサポート８１０、把持部８３１，８３２および突き出しバー８５１が互いに干渉することなく、簡単な構成で所期の機能を果たすことができる。また、装置全体を小型に構成することができる。
【００５０】
以上説明したように、この実施形態では、巻き取りローラ２２０、フィルムサポート８１０、引き出し部８３０、突き出し部８５０および回収ボックス８７０が、それぞれ本発明の「巻き取りローラ」、「シート受取手段」、「引き出し手段」、「突き出し手段」および「シート収容部」として機能している。また、引き出し部８３０において、把持部８３１，８３２が本発明の「把持部」として機能し、把持部進退機構８３４が本発明の「移動部」として機能している。また、突き出し部８５０における突き出しバー８５１が、本発明の「当接部材」として機能している。また、フィルムサポート８１０の上面のフィルム載置面ＳＳが、本発明の「シート載置面」に相当している。
【００５１】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、本発明の「当接部材」として水平方向に延びる突き出しバー８５１を設けているが、当接部材としてはこのような形状のものに限定されない。例えば、下方に向かって突出した突き出しピンを単独でまたは複数本並べて、これらのピンの下端をシートフィルムに当接させる「当接部材」として機能させてもよい。その先端形状も任意であるが、シートフィルムＦの破損や貫通を防止するために鋭利な形状を避けることが望ましい。
【００５２】
また、上記実施形態のフィルムサポート８１０は、複数のプレート部材８１１〜８１７によって構成されているが、本発明の「シート受取手段」としてはこのような構造に限定されず、またその形状も任意である。例えば把持部との干渉が問題とならなければ、把持部を進退させるための空隙は不要であり、シート受取手段としては例えば平板に「空隙部」としての開口が設けられたものであってもよい。この場合、その開口形状は任意であるが、上記したとおり、単純な丸穴や長穴とするよりも、側壁面に何らかの突出部位が設けられることが好ましい。また「シート受取手段」の上面は必ずしも平面である必要はなく、例えば全体に浅溝やディンプルを設けて摩擦をより軽減させるようにしてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態の「突き出し手段」はシートフィルムＦの上面に当接してこれを下方へ押し出す突き出しバー８５１を有するものであるが、このようにシートフィルムに当接するものに限定されず、例えば空気圧によってシートフィルムを空隙部に突き出すものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
この発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などを含む基板全般を処理対象とし、これらの基板に貼付されたシート状の基材を剥離するシート剥離装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  シート剥離装置
２２０  巻き取りローラ
８１０  フィルムサポート（シート受取手段）
８１１〜８１７  プレート部材
８３０  引き出し部（引き出し手段）
８３１，８３２  把持部（引き出し手段）
８３４  把持部進退機構（移動部、引き出し手段）
８５０  突き出し部（突き出し手段）
８５１  突き出しバー（当接部材）
８７０  回収ボックス（シート収容部）
Ｃｆ  （シートフィルムＦの）中心
Ｆ  シートフィルム
ＧＰ  空隙部
ＳＳ  フィルム載置面（シート載置面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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