(57)【要約】【課題】歯のピッチ幅が変動する周期特性を有するベルトを使用しながらも、かかるピッチ幅の変動以下の高精度で駆動源の回転を伝達すること。【解決手段】駆動側プーリと、従動側プーリと、ベルトとを備えるように伝達機構を構成する。駆動側プーリは、駆動軸に設けられ、所定のピッチ幅で外歯を有する。従動側プーリは、従動軸に設けられ、上記ピッチ幅で外歯を有する。ベルトは、駆動側プーリおよび従動側プーリの外歯とかみあう内歯を上記ピッチ幅で有する。また、ベルトは、一定の周期で上記ピッチ幅が変動する周期特性を有する複数のサブベルトからなり、各サブベルトは、上記周期特性の位相がずれた状態でそれぞれ配置される。【選択図】図４Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸に設けられ、所定のピッチ幅で外歯を有する駆動側プーリと、
従動軸に設けられ、前記ピッチ幅で外歯を有する従動側プーリと、
前記駆動側プーリおよび前記従動側プーリの外歯とかみあう内歯を前記ピッチ幅で有するベルトと
を備え、
前記ベルトは、
一定の周期で前記ピッチ幅が変動する周期特性を有する複数のサブベルトからなり、各サブベルトは、前記周期特性の位相がずれた状態でそれぞれ配置されること
を特徴とする伝達機構。
【請求項２】
前記ベルトは、
２つの前記サブベルトからなり、各サブベルト間の前記位相のずれは１８０度であること
を特徴とする請求項１に記載の伝達機構。
【請求項３】
前記サブベルトは、
チューブ状の部材を等間隔で輪切りとした場合の隣り合う切断部材であること
を特徴とする請求項１または２に記載の伝達機構。
【請求項４】
前記ベルトは、
前記サブベルトの端面同士を接合することによって得られること
を特徴とする請求項１、２または３に記載の伝達機構。
【請求項５】
前記ベルトは、
前記サブベルトの端面同士の間隔が０以上の所定の距離となるように配置されること
を特徴とする請求項１、２または３に記載の伝達機構。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の伝達機構と、
前記駆動軸を回転させるモータと、
前記従動軸に連結され、前記従動軸の回転に応じて回転する基板用の載置台と
を備えることを特徴とする基板位置決め装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の伝達機構
を備えることを特徴とするロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、伝達機構、基板位置決め装置およびロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータ、ベルトおよびプーリなどを含んで構成され、平行する２軸間でモータの回転を伝達する伝達機構が知られている。
【０００３】
かかる伝達機構は、たとえば、ＥＦＥＭ（Equipment  Front  End  Module）と呼ばれる局所クリーン装置内に形成された空間において、ウェハなどの基板をロボットが搬送する際に基板の位置決めを行うアライメント装置などに用いられる。以下では、かかるアライメント装置を「基板位置決め装置」と記載する。
【０００４】
具体的には、基板位置決め装置は、モータの出力軸に固定された第１のプーリと、基板を載置するテーブルの支持軸に固定された第２のプーリとの間にベルトを掛け回し、モータにテーブルを従動させることで、基板を位置決めする（たとえば、特許文献１参照）。なお、上記のベルトには、ゴム製の歯付ベルトなどが用いられるのが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２００６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した歯付ベルトを用いた場合には、従来の伝達機構は、モータの回転を正確に伝達できないおそれがある。これは、歯付ベルトには、成形時の誤差などにより、歯のピッチ幅が変動する場合があるためである。
【０００７】
なお、かかる課題は、基板位置決め装置だけでなく、上記の伝達機構を用いてアームなどを駆動するロボットについても同様に生じる課題である。
【０００８】
実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、歯のピッチ幅が変動する周期特性を有するベルトを使用しながらも、かかるピッチ幅の変動以下の高精度で駆動源の回転を伝達することができる伝達機構、基板位置決め装置およびロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
実施形態の一態様に係る伝達機構は、駆動側プーリと、従動側プーリと、ベルトとを備える。前記駆動側プーリは、駆動軸に設けられ、所定のピッチ幅で外歯を有する。前記従動側プーリは、従動軸に設けられ、前記ピッチ幅で外歯を有する。前記ベルトは、前記駆動側プーリおよび前記従動側プーリの外歯とかみあう内歯を前記ピッチ幅で有する。また、前記ベルトは、一定の周期で前記ピッチ幅が変動する周期特性を有する複数のサブベルトからなり、各サブベルトは、前記周期特性の位相がずれた状態でそれぞれ配置される。
【発明の効果】
【００１０】
実施形態の一態様によれば、歯のピッチ幅が変動する周期特性を有するベルトを使用しながらも、かかるピッチ幅の変動以下の高精度で駆動源の回転を伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態に係る基板位置決め装置およびロボットを備える搬送システムの全体構成を示す模式図である。
【図２Ａ】図２Ａは、実施形態に係る基板位置決め装置の構成を示す模式透視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、センサ部の模式拡大図である。
【図３Ａ】図３Ａは、実施形態に係る伝達機構の模式上面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図３Ａに示すＭ１部の模式拡大図である。
【図４Ａ】図４Ａは、ベルトの位相をずらす一例を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、ベルトの位相をずらす一例を示す図である。
【図５】図５は、駆動プーリに対する従動プーリの位相ずれを示す模式図である。
【図６】図６は、駆動プーリに対する従動プーリのずれ量を示す実験結果である。
【図７Ａ】図７Ａは、サブベルトの成形の一例を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、サブベルトの配置の一例を示す図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、サブベルトの配置の一例を示す図である。
【図８】図８は、実施形態に係るロボットの構成を示す模式側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する伝達機構、基板位置決め装置およびロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１３】
また、以下では、ロボットを用いて半導体ウェハを搬送する搬送システムを例に挙げて説明することとし、かかる「半導体ウェハ」を「ウェハ」と記載する。また、ロボットの「エンドエフェクタ」については、「ハンド」と記載する。また、「歯付ベルト」を「ベルト」と記載する。
【００１４】
まず、実施形態に係る基板位置決め装置およびロボットを備える搬送システムの全体構成について図１を用いて説明する。図１は、実施形態に係る基板位置決め装置およびロボットを備える搬送システム１の全体構成を示す模式図である。
【００１５】
なお、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直上向きを正方向とし、鉛直下向き（すなわち、「鉛直方向」）を負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。したがって、ＸＹ平面に沿った方向は、「水平方向」を指す。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。
【００１６】
また、以下では、複数個で構成される構成要素については、複数個のうちの１個にのみ符号を付し、その他については符号の付与を省略する場合がある。かかる場合、符号を付した１個とその他とは同様の構成であるものとする。
【００１７】
図１に示すように、搬送システム１は、基板搬送部２と、基板供給部３と、基板処理部４とを備える。基板搬送部２は、ロボット１０と、かかるロボット１０を内部に配設する筐体２０とを備える。なお、基板供給部３は、かかる筐体２０の一方の側面２１に設けられ、基板処理部４は、他方の側面２２に設けられる。また、図中の符号１００は、搬送システム１の設置面を示している。
【００１８】
ロボット１０は、搬送対象物であるウェハＷを上下２段で保持可能なハンド１１を有するアーム部１２を備える。アーム部１２は、筐体２０の底壁部を形成する基台設置フレーム２３上に設置される基台１３に対して昇降自在、かつ水平方向に旋回自在に支持される。なお、ロボット１０については、図８を用いて後述する。
【００１９】
筐体２０は、いわゆるＥＦＥＭであり、上部に備えるフィルタユニット２４を介してクリーンエアのダウンフローを形成する。かかるダウンフローにより、筐体２０の内部は高クリーン度状態に保たれる。また、基台設置フレーム２３の下面には脚具２５が備えられており、筐体２０と設置面１００との間に所定のクリアランスＣを設けつつ筐体２０を支持する。
【００２０】
基板供給部３は、複数のウェハＷを高さ方向に多段に収納するフープ３０と、かかるフープ３０の蓋体を開閉して、ウェハＷを筐体２０内へ取り出せるようにするフープオープナ（図示せず）とを備える。なお、フープ３０およびフープオープナのセットは、所定の高さを有するテーブル３１上に所定の間隔をおいて複数セット並設することができる。
【００２１】
基板処理部４は、たとえば、洗浄処理や成膜処理、フォトリソグラフィ処理といった半導体製造プロセスにおける所定のプロセス処理をウェハＷに対して施すプロセス処理部である。基板処理部４は、かかる所定のプロセス処理を行う処理装置４０を備える。かかる処理装置４０は、筐体２０の他方の側面２２に、ロボット１０を挟んで基板供給部３と対向するように配置される。
【００２２】
また、筐体２０の内部には、ウェハＷの位置決めを行う基板位置決め装置５０が設けられる。なお、基板位置決め装置５０の詳細については、図２Ａ以降を用いた説明で後述する。
【００２３】
そして、かかる構成に基づき、搬送システム１は、ロボット１０に昇降動作や旋回動作をとらせながら、フープ３０内のウェハＷを取り出させ、基板位置決め装置５０を介してウェハＷを処理装置４０へ搬入する。そして、処理装置４０において所定のプロセス処理を施されたウェハＷをふたたびロボット１０の動作によって搬出および搬送し、フープ３０へ再収納する。
【００２４】
次に、実施形態に係る基板位置決め装置５０の構成について図２Ａを用いて説明する。図２Ａは、実施形態に係る基板位置決め装置５０の構成を示す模式透視図である。
【００２５】
図２Ａに示すように、基板位置決め装置５０は、モータ５１と、伝達機構５２と、載置台５３と、センサ部５４とを備える。伝達機構５２は、駆動側プーリ５２ａと、従動側プーリ５２ｂと、ベルト５２ｃとをさらに備える。
【００２６】
モータ５１は、軸ＡＸ１を回転させる駆動源である。かかるモータ５１の出力軸（すなわち、駆動軸。以下、軸ＡＸ１に対応）には、伝達機構５２の駆動側プーリ５２ａが設けられ、モータ５１が回転駆動するのにともなって回転する。なお、モータ５１の回転角度（すなわち、駆動側プーリ５２ａの回転角度）は、図示略のエンコーダなどによって随時検出される。
【００２７】
従動側プーリ５２ｂは、軸ＡＸ２まわりの回転軸（図示略。以下、従動軸として軸ＡＸ２に対応）に回転可能に設けられる。
【００２８】
そして、駆動側プーリ５２ａと従動側プーリ５２ｂとの間には、ベルト５２ｃが掛け回される。かかるベルト５２ｃは、駆動側プーリ５２ａの回転を伝達して、従動側プーリ５２ｂを従動して回転させる。
【００２９】
なお、駆動側プーリ５２ａ、従動側プーリ５２ｂおよびベルト５２ｃの形状ほか詳細については、図３Ａおよび図３Ｂを用いて後述する。
【００３０】
そして、従動側プーリ５２ｂには、ウェハＷを載置する載置台５３が連結される。載置台５３は、従動側プーリ５２ｂが従動して回転するのに応じて、載置されたウェハＷを位置合わせのために回転させる。かかる位置合わせについては、図２Ｂの説明で後述する。
【００３１】
また、図示していないが、載置台５３にウェハＷを吸着する吸着部を備えることとしたうえで、ウェハＷを所定の保持力（すなわち、吸着力）をもって保持し、遠心力によるずれを防いで位置合わせの精度を高めることとしてもよい。
【００３２】
センサ部５４は、たとえば、ウェハＷの周縁に設けられた切り欠き（以下、「ノッチ」と記載する）などを検出する検出部である。なお、本実施形態では、光学式センサを用いてセンサ部５４を構成した場合を例に挙げて説明するが、センサ部５４の構成を限定するものではない。
【００３３】
ここで、ウェハＷの位置合わせについて、図２Ｂを用いて説明しておく。図２Ｂは、センサ部５４の模式拡大図である。図２Ｂに示すように、センサ部５４は、受光部５４ａと、投光部５４ｂとをさらに備える。また、受光部５４ａは、ラインセンサ５４ａａをさらに備える。
【００３４】
受光部５４ａと投光部５４ｂとは、ウェハＷのエッジが通過する間隙をおいて対向配置され、かかる間隙には、投光部５４ｂからの光によって光軸Ｒが形成される。そして、ラインセンサ５４ａａは、かかる光軸Ｒを遮りつつウェハＷが回転する際の光軸Ｒの光量の変化に基づいてノッチＷｎを検出する。
【００３５】
すなわち、基板位置決め装置５０によるウェハＷの位置合わせは、かかるラインセンサ５４ａａがノッチＷｎを検出する位置まで載置台５３を回転させることによって行われる。なお、光量の変化に基づいてウェハＷのエッジを検出し、偏芯量などを演算してウェハＷのセンタリングを行なってもよい。また、ウェハＷを撮像し、かかる撮像画像に基づいてもよい。
【００３６】
また、センサ部５４は、かかる位置合わせにおけるウェハＷの回転角度（図中の矢印２０１参照）もあわせて検出しており、かかるウェハＷの回転角度（すなわち、従動側プーリ５２ｂの回転角度）と、前述のエンコーダなどによって検出される駆動側プーリ５２ａの回転角度とを正確にマッチングさせることが、精度のよい位置合わせの一つの指標となる。
【００３７】
すなわち、駆動側プーリ５２ａの回転を正確に従動側プーリ５２ｂへ伝達することが肝要である。そこで、実施形態に係る伝達機構５２では、かかる点においてベルト５２ｃに着目し、ベルト５２ｃの有する歯のピッチ幅の変動の周期特性の位相を、ベルト５２ｃを構成する複数のサブベルト間であえてずらすことによって、ベルト５２ｃの歯のピッチ幅の変動の周期特性を平均化することとした。以下、かかる点について、具体的に説明する。
【００３８】
図３Ａは、実施形態に係る伝達機構５２の模式上面図であり、図３Ｂは、図３Ａに示すＭ１部の模式拡大図である。図３Ａに示すように、軸ＡＸ１まわりに回転する駆動側プーリ５２ａは、所定のピッチ幅Ｐで配設された外歯を有している。また、軸ＡＸ２まわりに回転する従動側プーリ５２ｂもまた、上記のピッチ幅Ｐで配設された外歯を有している。
【００３９】
また、図３Ｂに示すように、ベルト５２ｃは、やはり上記のピッチ幅Ｐで配設された内歯を有している。したがって、図３Ａに示すように、ベルト５２ｃは、駆動側プーリ５２ａと従動側プーリ５２ｂとの間に掛け回された場合、かかる内歯において駆動側プーリ５２ａおよび従動側プーリ５２ｂの外歯とかみあうこととなる。これにより、平行する軸ＡＸ１および軸ＡＸ２間で、モータ５１（図２Ａ参照）の回転を伝達することができる。
【００４０】
ところで、ベルト５２ｃは、たとえば、ゴムなどの弾性素材により形成されることが一般的であるが、成形時の誤差などにより、内歯のピッチ幅Ｐが変動する場合がある。かかる場合、駆動側プーリ５２ａの回転角度に対する従動側プーリ５２ｂの回転角度の進みや遅れ、すなわち、回転むらが生じやすい。
【００４１】
そこで、実施形態に係る伝達機構５２では、かかる回転むらを、ベルト５２ｃの位相をずらすことによって低減する。かかる点について、図４Ａおよび図４Ｂを用いて具体的に説明する。
【００４２】
図４Ａおよび図４Ｂは、ベルト５２ｃの位相をずらす一例を示す図である。なお、以下では、ベルト５２ｃ１周分の歯のピッチ幅Ｐの変動の周期特性を例に挙げ、説明を行う。
【００４３】
ここで、図４Ａに示すように、ベルト５２ｃには、説明の便宜上、ベルト５２ｃの所定位置を示すマーキングＭを付す。この点は、図４Ｂについても同様である。
【００４４】
まず、図４Ｂの上段に示すように、本実施形態では、１本のベルト５２ｃを複数のサブベルトからなるものとしてみなし、複数のサブベルトに分割する。たとえば、図４Ｂの上段に示す破線を切断線としてベルト５２ｃを切断し、１本のベルト５２ｃを図４Ｂの下段に示す２本のサブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２へ分割する。
【００４５】
そして、図４Ｂの下段に示すように、たとえば、サブベルト５２ｃ−２を半周分の１８０度回転させる（図中のカーブ矢印および破線のマーキングＭを参照）。そして、かかるマーキングＭの位置をそれぞれ保持したまま、２本のサブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２を駆動側プーリ５２ａと従動側プーリ５２ｂとの間に掛け回す。すなわち、２本のサブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２は、１周分の周期特性の位相が１８０度ずれた状態でそれぞれ配置されることとなる。
【００４６】
なお、このとき、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２相互の端面を再度接合してもよいし、接合せずに並列させてもよい。かかる点については、図７Ｂおよび図７Ｃを用いた説明で後述する。
【００４７】
また、ここでは、サブベルト５２ｃ−２を１８０度回転させる例を示したが、サブベルト５２ｃ−１を回転させてもよい。
【００４８】
ここで、図４Ｂに示したようにベルト５２ｃの位相をずらした場合の、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂの位相ずれおよびずれ量について、図５および図６を用いて説明する。
【００４９】
図５は、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂの位相ずれを示す模式図であり、図６は、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂのずれ量を示す実験結果である。なお、図５および図６の上段には、ベルト５２ｃの位相をずらす前の状態を、図５および図６の下段には、ベルト５２ｃの位相をずらした後の状態を、それぞれ示している。
【００５０】
図５の上段に示すように、ベルト５２ｃの位相をずらす前では、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂの位相ずれは、従動側プーリ５２ｂの進みや遅れに応じて、たとえば、一定の周期ｃごとに上下する正弦波に似たカーブａを描く。
【００５１】
これは、一定の周期ｃをベルト５２ｃの１周分とすれば、ベルト５２ｃは、カーブａで描かれる１周ごとの周期特性を有しているということである。なお、一定の周期ｃは、特に１周分でなくともよい。
【００５２】
ここへ、ベルト５２ｃを２分割し、一方の位相を半周分の１８０度ずらして双方を回転させた場合（図４Ｂ参照）、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂの位相ずれには、サブベルト５２ｃ−２の描くカーブｂが加味されることとなる（図５の下段参照）。
【００５３】
これにより、分割前のベルト５２ｃと略同等のサブベルト５２ｃ−１が描くカーブａは、カーブｂと打ち消しあうこととなるので、理想的には、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂの位相ずれをフラットにすることができる（図中のａ＋ｂ参照）。
【００５４】
言い換えれば、歯のピッチ幅Ｐが変動する周期特性を有するベルト５２ｃを使用しながらも、駆動側プーリ５２ａに対して従動側プーリ５２ｂを素直に追従させることができるので、かかるピッチ幅Ｐの変動以下の高精度で駆動側プーリ５２ａの回転を従動側プーリ５２ｂへ伝達することできる。
【００５５】
また、駆動側プーリ５２ａに対してどれだけ従動側プーリ５２ｂが追従しているかは、駆動側プーリ５２ａに対する従動側プーリ５２ｂのずれ量の振幅によってより明確に示すことができる。
【００５６】
たとえば、図６の上段に示すように、ベルト５２ｃの位相をずらす前のずれ量が、ずれ量「０」を挟んで比較的大きな振幅を示すものだったとする。
【００５７】
ここで、ベルト５２ｃの位相をずらした場合（図４Ｂ参照）には、前述の位相の打ち消し合いによって、図６の下段に示すように、「０」を挟んだずれ量の振幅を小さくすることができる。すなわち、これは、駆動側プーリ５２ａに対して従動側プーリ５２ｂをより追従させられることを示している。したがって、駆動側プーリ５２ａの回転をピッチ幅Ｐの変動以下の高精度で従動側プーリ５２ｂへ伝達することができる。
【００５８】
なお、これまでは、ベルト５２ｃを２分割し、一方を１８０度回転させることによってベルト５２ｃの位相をずらす例を挙げたが、かかる例に限られるものではない。たとえば、ベルト５２ｃを３分割し、１２０度ずつ位相をずらすこととしてもよい。
【００５９】
また、これまでは、ベルト５２ｃの１周の３６０度に対して、ベルト５２ｃの分割数に応じた均等割りに位相をずらす場合について説明したが、かかる場合に限られるものではない。たとえば、任意に位相をずらしてもよい。
【００６０】
かかる任意に位相をずらす場合には、たとえば、図６に示したずれ量の振幅が最も小さくなるように、ずらす位相を適宜チューニングもしくはシミュレートしつつ決定するといった手法を用いることが好ましい。また、たとえば、図５に示した位相ずれのカーブａおよびカーブｂが最大限に互いを打ち消し合えるようにしてもよい。
【００６１】
なお、このように任意に位相をずらせることは、駆動側プーリ５２ａに対して従動側プーリ５２ｂが追従する精度を、任意に操作可能であるとも言うことができる。
【００６２】
次に、サブベルトの成形の一例について、図７Ａを用いて説明する。図７Ａは、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２，５２ｃ−３の成形の一例を示す図である。
【００６３】
図７Ａに示すように、ベルト５２ｃは、一般的に、チューブ状のブロック５２ｃＢを等間隔で輪切りにして形成される切断部材である場合が多い。このとき、ブロック５２ｃＢには、前述のような成形時の誤差が不均一に生じているおそれがある。
【００６４】
そこで、かかるブロック５２ｃＢからサブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２，５２ｃ−３を成形する場合には、かかる誤差が近いと想定される、隣り合う切断部材であることが好ましい。
【００６５】
たとえば、２分割のベルト５２ｃを構成する場合には、図７Ａに示した例でいえば、あらかじめブロック５２ｃＢにマーキングＭを付したうえで切断した、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２、もしくは、サブベルト５２ｃ−２，５２ｃ−３を組み合わせることが好適である。
【００６６】
また、３分割のベルト５２ｃを構成する場合には、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２，５２ｃ−３の並びを崩さずに組み合わせることが好適である。
【００６７】
このように、誤差が近いと想定される隣り合う切断部材でベルト５２ｃを構成することによって、位相をずらすことによるピッチ幅Ｐの変動の周期特性の平均化を容易に果たすことができる。すなわち、容易に駆動側プーリ５２ａの回転をピッチ幅Ｐの変動以下の高精度で従動側プーリ５２ｂへ伝達させることができる。
【００６８】
次に、サブベルトの配置の一例について、図７Ｂおよび図７Ｃを用いて説明する。図７Ｂおよび図７Ｃは、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２の配置の一例を示す図である。
【００６９】
まず、図７Ｂに示すように、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２の端面同士を接着等により接合させてもよい。
【００７０】
また、図７Ｃに示すように、サブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２の端面同士の間隔が、０以上の（すなわち、接触させる場合を含む）所定の距離となるように並列配置させてもよい。
【００７１】
なお、図７Ｂおよび図７Ｃのサブベルト５２ｃ−１，５２ｃ−２は、隣接する切断部材であるので（図７Ａ参照）、上下逆に配置してもよい。また、ここでは、取り扱いの容易さから隣接する切断部材としたが、必ずしも隣接する切断部材である必要はなく、同様の効果が得られるならば、１つのチューブ状のブロック５２ｃＢから形成される隣接しない切断部材であってもよい。さらに、別のチューブ状のブロック５２ｃＢから形成されるものであってもよい。
【００７２】
ところで、これまでは、伝達機構５２が、基板位置決め装置５０に備えられる場合について説明したが、搬送システム１のロボット１０が備えることとしてもよい。そこで、かかる場合について、図８を用いて説明する。
【００７３】
図８は、実施形態に係るロボット１０の構成を示す模式側面図である。なお、図８には、図１に示したロボット１０のハンド１１およびアーム部１２を主に示している。また、下段のハンド１１については、上段のハンド１１と同様の形態で設けられるものとして破線で示すこととし、その説明を省略する。また、ロボット１０が備える伝達機構については、符号「５２’」を付している。
【００７４】
図８に示すように、ロボット１０は、ハンド１１と、アーム部１２と、伝達機構５２’とを備える。アーム部１２は、第１アーム１２ｃと、関節部１２ｄと、第２アーム１２ｅと、関節部１２ｆとをさらに備える。
【００７５】
第１アーム１２ｃは、基台１３（図１参照）から鉛直方向（Ｚ軸方向）にスライド可能に設けられる昇降部（図示略）に対して旋回可能に連結される。
【００７６】
また、関節部１２ｄは、軸ａ１まわりの回転関節である。かかる関節部１２ｄは、図８に示すように、たとえば、モータ５１’とかかるモータ５１’の出力軸に連結された駆動側プーリ５２ａ’によって構成することができる。
【００７７】
第２アーム１２ｅは、かかる関節部１２ｄを介し、第１アーム１２ｃに対して旋回可能に連結される。
【００７８】
また、関節部１２ｆは、軸ａ２まわりの回転関節である。かかる関節部１２ｆは、図８に示すように、たとえば、駆動側プーリ５２ａ’からベルト５２ｃ’を介して回転を伝達される従動側プーリ５２ｂ’を含んで構成することができる。
【００７９】
なお、図８に示すように、２個以上の従動側プーリ５２ｂ’を配設し、２個以上のベルト５２ｃ’を介して回転を伝達することとしてもよい。
【００８０】
ハンド１１は、かかる関節部１２ｆを介し、第２アーム１２ｅに対して旋回可能に連結される。
【００８１】
そして、各ベルト５２ｃ’は、伝達機構５２の場合と同様に複数のサブベルトからなり、各サブベルトは周期特性の位相をずらしてそれぞれ配置される。このように伝達機構５２’を備えることによって、ロボット１０は、アーム部１２の軽量化を実現しつつ、モータ５１’の回転をピッチ幅Ｐの変動以下の高精度で伝達してアーム部１２およびハンド１１を動作させることができる。
【００８２】
すなわち、精密な動作を要求されるロボット１０の動作精度を向上させることができる。また、振動の要因ともなるベルト５２ｃ’の回転むらを低減できることから、やはりロボット１０の動作精度の向上に資することができる。
【００８３】
上述してきたように、実施形態に係る伝達機構、基板位置決め装置およびロボットは、駆動側プーリと、従動側プーリと、ベルトとを備える。駆動側プーリは、駆動軸に設けられ、所定のピッチ幅で外歯を有する。従動側プーリは、従動軸に設けられ、上記ピッチ幅で外歯を有する。ベルトは、上記駆動側プーリおよび上記従動側プーリの外歯とかみあう内歯を上記ピッチ幅で有する。また、ベルトは、一定の周期で上記ピッチ幅が変動する周期特性を有する複数のサブベルトからなり、各サブベルトは、上記周期特性の位相がずれた状態でそれぞれ配置される。
【００８４】
したがって、実施形態に係る伝達機構、基板位置決め装置およびロボットによれば、歯のピッチ幅が変動する周期特性を有するベルトを使用しながらも、かかるピッチ幅の変動以下の高精度で駆動源の回転を伝達することができる。
【００８５】
なお、上述した実施形態では、駆動源がモータである場合について説明したが、減速機を介する場合に適用できることは言うまでもない。かかる場合、駆動側プーリは減速機の出力軸を駆動軸として設けられることとすればよい。
【００８６】
また、上述した実施形態では、基板が主にウェハである場合を例に挙げて説明したが、基板の種別を問わず適用できることは言うまでもない。
【００８７】
また、上述した実施形態では、単腕ロボットを例に挙げて説明したが、双腕以上の多腕ロボットに適用することとしてもよい。
【００８８】
また、上述した実施形態では、基板の搬送システムが備える伝達機構を例に挙げて説明を行ったが、かかる伝達機構が備えられるシステムの種別を問うものではない。また、システムではなく、装置単体に伝達機構が備えられる場合でもその装置の種別を問うものではない。
【００８９】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１    搬送システム
２    基板搬送部
３    基板供給部
４    基板処理部
１０    ロボット
１１    ハンド
１２    アーム部
１２ｃ  第１アーム
１２ｄ  関節部
１２ｅ  第２アーム
１２ｆ  関節部
１３    基台
２０    筐体
２１、２２  側面
２３    基台設置フレーム
２４    フィルタユニット
２５    脚具
３０    フープ
３１    テーブル
４０    処理装置
５０    基板位置決め装置
５１、５１’  モータ
５２、５２’  伝達機構
５２ａ、５２ａ’  駆動側プーリ
５２ｂ、５２ｂ’  従動側プーリ
５２ｃ、５２ｃ’  ベルト
５２ｃ−１、５２ｃ−２、５２ｃ−３  サブベルト
５３    載置台
５４    センサ部
５４ａ  受光部
５４ｂ  投光部
１００    設置面
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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