(57)【要約】【課題】給気時および停止時において多孔質フィルムの形状が安定するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するワーク浮上装置を提供すること。【解決手段】複数の気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１３０と、多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材１４０と、多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材１５０と、第１平板状通気部材の上に配設して第１穴部１１１を有した第１ベースプレート１１０と、第２平板状通気部材の下に配設して第１穴部と対向する位置に第２穴部１２１を有した第２ベースプレート１２０とで構成され、第１平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第２平板状通気部材が、第１穴部と第２穴部との間に配設され、多孔質フィルムが、第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置１００。【選択図】図５
2013245732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を複数の気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、
前記複数の気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材と、前記第１平板状通気部材の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部を有した第１ベースプレートと、前記第２平板状通気部材の下に配設して第１穴部と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部を有した第２ベースプレートとでそれぞれ構成され、
前記第１平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第２平板状通気部材が、前記第１穴部と第２穴部との間に配設されているとともに、前記多孔質フィルムが、前記第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置。
【請求項２】
前記複数の気体絞り機構のうちの一部が、前記ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、前記複数の気体絞り機構のうちの残りが、前記ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることを特徴とする請求項１に記載のワーク浮上装置。
【請求項３】
前記複数の気体絞り機構が、前記第１ベースプレートと第２ベースプレートとの間に配設されるＯリングをそれぞれ有し、
前記第１ベースプレートが、該第１ベースプレートの下側面で第１穴部の周囲に形成された複数の凹部を有し、
前記第２ベースプレートが、該第２ベースプレートの上側面で第２穴部の周囲にそれぞれ形成されＯリングの厚み分より浅い深さの環状溝部を有し、
該環状溝部のそれぞれの内周側に第２平板状通気部材を配置して環状溝部のそれぞれにＯリングを入れて該Ｏリングに多孔質フィルムを載置するとともに第１ベースプレートの凹部に第１平板状通気部材をそれぞれ配置した状態で、前記第１ベースプレートが、前記第２ベースプレート上に配設されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク浮上装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や液晶ディスプレイ等の板状ワークをベース面から浮上させて非接触支持するワーク浮上装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
ここで、ワーク浮上装置は、例えば、液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）アレイの検査工程で用いられるものであり、この液晶ガラスのカラーフィルタやＴＦＴアレイの検査工程では、液晶ディスプレイの高精細化に対応するために焦点深度の浅い高精度ＣＣＤ（Ｃｈａｎｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）カメラを使用して計測、画像認識が行われており、ワーク浮上装置によるワークの浮上量の精度が求められている。
【０００３】
従来のワーク浮上装置は、ベース本体と、このベース本体とほぼ同じサイズの多孔質フィルムと、支持板としての多孔質板とを備え、多孔質フィルムの上に多孔質板を積層した状態で多孔質フィルムと多孔質板とがベース本体に取り付けられていた。
そして、多孔質フィルムおよび多孔質板の下方から上方へ気体を送り、ベース面とベース面上のワークとの間に気体を送り込むことにより、ワークを浮上させるように構成されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１５６３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来のワーク浮上装置は、多孔質フィルムの上面のみが多孔質板と接触している構造であったため、給気休止時では多孔質フィルムが自重で下方に弛むという問題や、給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することが困難という問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、給気時および停止時において多孔質フィルムの形状が安定するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するワーク浮上装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本請求項１に係る発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を複数の気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、前記複数の気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、該多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、前記多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材と、前記第１平板状通気部材の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部を有した第１ベースプレートと、前記第２平板状通気部材の下に配設して第１穴部と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部を有した第２ベースプレートとでそれぞれ構成され、前記第１平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第２平板状通気部材が、前記第１穴部と第２穴部との間に配設されているとともに、前記多孔質フィルムが、前記第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【０００８】
本請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記複数の気体絞り機構のうちの一部が、前記ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、前記複数の気体絞り機構のうちの残りが、前記ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【０００９】
本請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載されたワーク浮上装置の構成に加えて、前記複数の気体絞り機構が、前記第１ベースプレートと第２ベースプレートとの間に配設されるＯリングをそれぞれ有し、前記第１ベースプレートが、該第１ベースプレートの下側面で第１穴部の周囲に形成された複数の凹部を有し、前記第２ベースプレートが、該第２ベースプレートの上側面で第２穴部の周囲にそれぞれ形成されＯリングの厚み分より浅い深さの環状溝部を有し、該環状溝部のそれぞれの内周側に第２平板状通気部材を配置して環状溝部のそれぞれにＯリングを入れて該Ｏリングに多孔質フィルムを載置するとともに第１ベースプレートの凹部に第１平板状通気部材をそれぞれ配置した状態で、前記第１ベースプレートが、前記第２ベースプレート上に配設されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のワーク浮上装置は、このワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させる気体の気体量を複数の気体絞り機構を介して調整することにより、ワークを浮上させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏することができる。
【００１１】
本請求項１に係る発明のワーク浮上装置によれば、複数の気体絞り機構が、気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、この多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材と、第１平板状通気部材の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部を有した第１ベースプレートと、第２平板状通気部材の下に配設して第１穴部と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部を有した第２ベースプレートとでそれぞれ構成され、第１平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第２平板状通気部材が、第１穴部と第２穴部との間に配設されているとともに、多孔質フィルムが、第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、給気時は第１平板状通気部材で多孔質フィルムが上から押さえ付けられ停止時は第２平板状通気部材で多孔質フィルムが下から支えられるため、給気時および停止時において多孔質フィルムの形状を安定させることができる。
さらに、給気の場合および排気の場合の両方で多孔質フィルムの形状が安定するため、一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することができる。
【００１２】
本請求項２に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、複数の気体絞り機構のうちの一部が、ベース面とワークとの間へ気体を給気する給気用として設けられ、複数の気体絞り機構のうちの残りが、ベース面とワークとの間から気体を排気する排気用として設けられていることにより、ベース面とワークとの間の気体を単に小さい孔から吸引して外部へ排気する構成と比べて気体の流速が遅くなるとともに多孔質金属と比べて各孔に対応する多孔質フィルムの通気率のバラツキが小さいため、複数の気体絞り機構のうちの残りのそれぞれで排気側の圧力を精度よく調整することができる。
さらに、複数の気体絞り機構のうちの残りのそれぞれの間での排気量のバラツキが小さくなるため、ワーク浮上装置全体で排気によるワークを吸引する吸引力を高精度で調整することができる。
また、給気による浮上力だけでなく同時に排気による吸引力をも精度よく調整してワークの支持バランスがよくなるため、ワークを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークの撓みを小さくして平面度を高めることができる。
【００１３】
本請求項３に係る発明のワーク浮上装置によれば、請求項１または請求項２に係る発明が奏する効果に加えて、複数の気体絞り機構が、第１ベースプレートと第２ベースプレートとの間に配設されるＯリングをそれぞれ有し、第１ベースプレートが、この第１ベースプレートの下側面で第１穴部の周囲に形成された複数の凹部を有し、第２ベースプレートが、この第２ベースプレートの上側面で第２穴部の周囲にそれぞれ形成されＯリングの厚み分より浅い深さの環状溝部を有し、この環状溝部のそれぞれの内周側に第２平板状通気部材を配置して環状溝部のそれぞれにＯリングを入れてこのＯリングに多孔質フィルムを載置するとともに第１ベースプレートの凹部に第１平板状通気部材をそれぞれ配置した状態で、第１ベースプレートが、第２ベースプレート上に配設されていることにより、第１穴部から第２穴部へ流れる気体または第２穴部から第１穴部へ流れる気体がＯリングによって上下方向以外の方向へ漏れないため、気体の流量を容易に調整することができる。
さらに、複数の通気部に対して大きな多孔質フィルムを一枚用いるだけでよいため、簡単な構造とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例であるワーク浮上装置を示す斜視図。
【図２】本発明の実施例であるワーク浮上装置の平面図。
【図３】本発明の実施例であるワーク浮上装置の第１ベースプレートを取り外した状態の平面図。
【図４】図２の４−４で視たワーク浮上装置１００の要部拡大分解斜視断面図。
【図５】図２の５−５で視たワーク浮上装置１００の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明は、ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を複数の気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、複数の気体絞り機構が、気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、この多孔質フィルムの上に積層される第１平板状通気部材と、多孔質フィルムの下に積層される第２平板状通気部材と、第１平板状通気部材の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部を有した第１ベースプレートと、第２平板状通気部材の下に配設して第１穴部と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部を有した第２ベースプレートとでそれぞれ構成され、第１平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第２平板状通気部材が、第１穴部と第２穴部との間に配設されているとともに、多孔質フィルムが、第１平板状通気部材と第２平板状通気部材とで挟持されていることにより、給気時および停止時において多孔質フィルムの形状が安定するとともに、一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するものであれば、その具体的な実施態様は、如何なるものであっても構わない。
【００１６】
例えば、多孔質フィルムは、化学製品で多孔質のものであって第１平板状通気部材および第２平板状通気部材より通気性能が低いものであれば、如何なるものであっても構わない。
また、第１平板状通気部材および第２平板状通気部材は、平らで通気性を有する部材で多孔質フィルムの形状を安定させるものであれば、如何なるものであっても構わない。
さらに、気体絞り機構を介して気体をベース面とワークとの間へ供給するコンプレッサー等および気体をベース面とワークとの間から吸引する真空ポンプ等は、ワーク浮上装置と別体に構成してもよいし一体に構成してもよい。
また、第１ベースプレートおよび第２ベースプレートの数は、気体絞り機構の数に対して同じでもよいし、少なくしてもよい。
【実施例】
【００１７】
以下に、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００について、図１乃至図５に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００を示す斜視図であり、図２は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の平面図であり、図３は、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の第１ベースプレート１１０および多孔質フィルム１３０を取り外した状態の平面図であり、図４は、図２の４−４で視たワーク浮上装置１００の要部拡大分解斜視断面図であり、図５は、図２の５−５で視たワーク浮上装置１００の断面図である。
【００１８】
本発明の実施例であるワーク浮上装置１００は、図１乃至図５に示すように、ワーク浮上装置１００のベース面１１３とワークＷとの間に介在させる気体の気体量を複数の気体絞り機構Ａを介して調整するように構成されている。
本実施例では、複数の気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１３０と、この多孔質フィルム１３０の上に積層される第１平板状通気部材１４０と、多孔質フィルム１３０の下に積層される第２平板状通気部材１５０と、第１平板状通気部材１４０の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部１１１を有した第１ベースプレート１１０と、第２平板状通気部材１５０の下に配設して第１穴部１１１と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部１２１を有した第２ベースプレート１２０とでそれぞれ構成されている。
【００１９】
さらに、第１平板状通気部材１４０、多孔質フィルム１３０および第２平板状通気部材１５０が、第１穴部１１１と第２穴部１２１との間に配設されているとともに、多孔質フィルム１３０が、第１平板状通気部材１４０と第２平板状通気部材１５０とで挟持されている。
これにより、給気時は第１平板状通気部材１４０で多孔質フィルム１３０が上から押さえ付けられ停止時は第２平板状通気部材１５０で多孔質フィルム１３０が下から支えられる。
さらに、給気の場合および排気の場合の両方で多孔質フィルム１３０の形状が安定する。
【００２０】
具体的に、ワーク浮上装置１００は、気体絞り機構Ａを複数有しており、この気体絞り機構Ａは、上から順に積層された第１平板状通気部材１４０、多孔質フィルム１３０、第２平板状通気部材１５０を第１ベースプレート１１０と第２ベースプレート１２０とで挟んで構成されている。
ここで、第１平板状通気部材１４０および第２平板状通気部材１５０の縁部は、第１ベースプレート１１０の第１穴部１１１の周囲と第２ベースプレート１２０の第２穴部１２１の周囲とによって挟持されている。
【００２１】
なお、本実施例では、多孔質フィルム１３０を使用していることにより、単なる孔から気体を給気・排気する構造と比べて、気体の消費流量が少なくなるという利点がある。
参考までに本実施例の多孔質フィルム１３０は、厚み３８μｍ、引張強度（ＭＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張強度（ＣＤ）８Ｎ／ｃｍ、引張伸度（ＭＤ）２８０％、引張伸度（ＣＤ）２６０％、透気度２１０ｓｅｃ／１００ｃｃ、透湿度１２，０００ｇ／平方ｍ・２４ｈｒ、耐水圧９８ｋＰａ以上（１．０ｋｇ／平方ｃｍ以上）である。
また、本実施例では、多孔質フィルム１３０が、ポリプロピレン樹脂からなる。
これにより、多孔質フィルム１３０が化学製品であるため、多孔質の金属部材と比べて物性のバラツキを小さくすることができる。
さらに、汎用樹脂の中で強度が高くて比重が最も小さくなるため、耐久性に優れた軽量な気体絞り機構Ａを供給できる。
【００２２】
また、第１平板状通気部材１４０および第２平板状通気部材１５０が、不織布からなる。
これにより、汎用性および通気性を有するとともにある程度の強度を有するものとなるため、汎用性のある素材で多孔質フィルム１３０の形状を安定させることができる。
第１ベースプレート１１０上には、格子状に設けられた溝部１１３ａによって仕切られたマスがあり、複数の気体絞り機構Ａは、溝部１１３ａによって仕切られたマス内に一つずつ配設されている。
【００２３】
さらに、本実施例では、複数の気体絞り機構Ａのうちの一部が、図示しないコンプレッサー等によりベース面１１３とワークＷとの間へ気体を給気する給気用気体絞り機構ＡＳとして設けられ、複数の気体絞り機構Ａのうちの残りが、図示しない真空ポンプ等によりベース面１１３とワークＷとの間から気体を排気する排気用気体絞り機構ＡＥとして設けられている。
これにより、ベース面１１３とワークＷとの間の気体を単に小さい孔から吸引して外部へ排気する構成と比べて気体の流速が遅くなるとともに多孔質金属と比べて各孔に対応する多孔質フィルム１３０の通気率のバラツキが小さいとともに複数の排気用気体絞り機構ＡＥ間での排気量のバラツキが小さくなる。
さらに、給気による浮上力だけでなく同時に排気による吸引力をも精度よく調整してワークＷの支持バランスがよくなる。
【００２４】
具体的には、一例として給気用気体絞り機構ＡＳと排気用気体絞り機構ＡＥとが交互になるように構成されている。
また、図３乃至図５に示すように、複数の気体絞り機構Ａが、第１ベースプレート１１０と第２ベースプレート１２０との間に配設されるＯリング１６０をそれぞれ有している。
【００２５】
そして、第１ベースプレート１１０が、この第１ベースプレート１１０の下側面１１２で第１穴部１１１の周囲に形成された複数の凹部１１２ａを有し、第２ベースプレート１２０が、この第２ベースプレート１２０の上側面１２２で第２穴部１２１の周囲にそれぞれ形成されＯリング１６０の厚み分より浅い深さの環状溝部１２２ａを有している。
【００２６】
さらに、この環状溝部１２２ａのそれぞれの内周側に第２平板状通気部材１５０を配置して環状溝部１２２ａのそれぞれにＯリング１６０を入れてこのＯリング１６０に多孔質フィルム１３０を載置するとともに第１ベースプレート１１０の凹部１１２ａに第１平板状通気部材１４０をそれぞれ配置した状態で、第１ベースプレート１１０が、第２ベースプレート１２０上に配設されている。
これにより、第１穴部１１１から第２穴部１２１へ流れる気体または第２穴部１２１から第１穴部１１１へ流れる気体がＯリング１６０によって上下方向以外の方向へ漏れない。
さらに、複数の通気部に対して大きな多孔質フィルム１３０を一枚用いるだけでよい。
【００２７】
続いて、本発明の実施例であるワーク浮上装置１００の動作について説明する。
図５に示すように、給気用気体絞り機構ＡＳでは、気体Ｓａが下方から上方へ向かって送られ、さらにベース面１１３とワークＷとの間へ送られる。
そして、給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍では、気圧が高くなるため、ワークＷを浮上させる浮上力が生じる。
この際、多孔質フィルム１３０の孔の分布のバラツキが小さいため、各給気用気体絞り機構ＡＳで気体の流量を高精度で調整することができる。
さらに、各給気用気体絞り機構ＡＳ間での給気量のバラツキが小さくなるため、ワーク浮上装置１００全体で浮上力を高精度で調整することができる。
【００２８】
他方の排気用気体絞り機構ＡＥでは、図示しない真空ポンプ等の作用による吸引によって気体Ｅａがベース面１１３とワークＷとの間から吸引され、さらに上方から下方へ向かって吸引される。
そして、排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍では、気圧が低くなるため、ワークＷを吸引する吸引力が生じる。
ここで、吸引力が、浮上力より小さく設けられていることは言うまでもない。
この際、給気用気体絞り機構ＡＳの場合と同様、多孔質フィルム１３０の孔の分布のバラツキが小さいため、各排気用気体絞り機構ＡＥで気体の流量を高精度で調整することができ、さらに、各排気用気体絞り機構ＡＥ間での排気量のバラツキが小さくなるため、吸引力を高精度で調整することができる。
【００２９】
また、本実施例では、ベース面１１３上における給気用気体絞り機構ＡＳと排気用気体絞り機構ＡＥとの間に溝部１１３ａが配設されており、この溝部１１３ａは、第１ベースプレート１１０の端部まで延設されている。
例えば、給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍の気圧が、排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍の気圧と比べて著しく高い場合、給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍の気体が、排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍へ流れずに溝部１１３ａに流れ込み、溝部１１３ａを介して第１ベースプレート１１０の端部側の大気へ排出される。
【００３０】
つまり、溝部１１３ａを設けることにより、給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍の気圧が排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍の気圧に及ぼす影響を小さくすることができ、条件しだいで、給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍の気圧が排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍の気圧に及ぼす影響を無にして給気用気体絞り機構ＡＳの上方近傍の気圧と排気用気体絞り機構ＡＥの上方近傍の気圧とをそれぞれ独立させることが可能となる。
【００３１】
以上、説明したように、ワークＷに作用する浮上力と吸引力とを高精度で調整してワークＷの支持バランスがよくなるため、ワークＷを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークＷの撓みを小さくして平面度を高めることができる。
【００３２】
このようにして得られた本発明の実施例であるワーク浮上装置１００は、複数の気体絞り機構Ａが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム１３０と、この多孔質フィルム１３０の上に積層される第１平板状通気部材１４０と、多孔質フィルム１３０の下に積層される第２平板状通気部材１５０と、第１平板状通気部材１４０の上に配設して上下方向に延びた複数の第１穴部１１１を有した第１ベースプレート１１０と、第２平板状通気部材１５０の下に配設して第１穴部１１１と対向する位置に上下方向に延びた複数の第２穴部１２１を有した第２ベースプレート１２０とでそれぞれ構成され、第１平板状通気部材１４０、多孔質フィルム１３０および第２平板状通気部材１５０が、第１穴部１１１と第２穴部１２１との間に配設されているとともに、多孔質フィルム１３０が、第１平板状通気部材１４０と第２平板状通気部材１５０とで挟持されていることにより、給気時および停止時において多孔質フィルム１３０の形状を安定させることができるとともに、一つの気体絞り機構Ａにおける給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応することができる。
【００３３】
さらに、複数の気体絞り機構Ａのうちの一部が、ベース面１１３とワークＷとの間へ気体を給気する給気用気体絞り機構ＡＳとして設けられ、複数の気体絞り機構Ａのうちの残りが、ベース面１１３とワークＷとの間から気体を排気する排気用気体絞り機構ＡＥとして設けられていることにより、各排気用気体絞り機構ＡＥのそれぞれで排気側の圧力を精度よく調整することができるとともにワーク浮上装置１００全体で排気によるワークＷを吸引する吸引力を高精度で調整することができ、さらに、ワークＷを所望の浮上レベルで精度よく支持できるだけでなく、さらに、ワークＷの撓みを小さくして平面度を高めることができる。
【００３４】
また、複数の気体絞り機構Ａが、第１ベースプレート１１０と第２ベースプレート１２０との間に配設されるＯリング１６０をそれぞれ有し、第１ベースプレート１１０が、この第１ベースプレート１１０の下側面１１２で第１穴部１１１の周囲に形成された複数の凹部１１２ａを有し、第２ベースプレート１２０が、この第２ベースプレート１２０の上側面１２２で第２穴部１２１の周囲にそれぞれ形成されＯリング１６０の厚み分より浅い深さの環状溝部１２２ａを有し、この環状溝部１２２ａのそれぞれの内周側に第２平板状通気部材１５０を配置して環状溝部１２２ａのそれぞれにＯリング１６０を入れてこのＯリング１６０に多孔質フィルム１３０を載置するとともに第１ベースプレート１１０の凹部１１２ａに第１平板状通気部材１４０をそれぞれ配置した状態で、第１ベースプレート１１０が、第２ベースプレート１２０上に配設されていることにより、気体の流量を容易に調整することができるとともに、簡単な構造とすることができるなど、その効果は甚大である。
【符号の説明】
【００３５】
１００    ・・・  ワーク浮上装置
１１０    ・・・  第１ベースプレート
１１１    ・・・  第１穴部
１１２    ・・・  下側面
１１２ａ  ・・・  凹部
１１３    ・・・  ベース面
１１３ａ  ・・・  溝部
１２０    ・・・  第２ベースプレート
１２１    ・・・  第２穴部
１２２    ・・・  上側面
１２２ａ  ・・・  環状溝部
１３０    ・・・  多孔質フィルム
１４０    ・・・  第１平板状通気部材
１５０    ・・・  第２平板状通気部材
１６０    ・・・  Ｏリング
Ａ        ・・・  気体絞り機構
ＡＥ      ・・・  排気用気体絞り機構
ＡＳ      ・・・  給気用気体絞り機構
Ｅａ      ・・・  気体（排気）
Ｓａ      ・・・  気体（給気）
Ｗ        ・・・  ワーク
【図１】
2013245732.tif 000003
【図２】
2013245732.tif 000004
【図３】
2013245732.tif 000005
【図４】
2013245732.tif 000006
【図５】
2013245732.tif 000007