(57)【要約】【課題】隔壁形状や接着用部材の特性を維持しつつ隔壁の頂部に軟化点の低いガラス粉末を用いた接着部材を塗布して隔壁の頂部とこれに対向するガラス板とを接着し、優れた画像表示が可能なプラズマディスプレイの製造方法を提供する。【解決手段】基板上に、低軟化点ガラスとフィラーを含有し、３層以上の層からなる隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、最上層の低軟化点ガラスの軟化点Ｔｓ１（℃）、上から３番目の層の低軟化点ガラスの軟化点Ｔｓ３（℃）、最上層のフィラー含有量Ｆ１（体積％）、上から２番目の層のフィラー含有量Ｆ２（体積％）、上から３番目の層のフィラー含有量Ｆ３（体積％）、最上層の厚さｄ１（μｍ）、上から２番目の層の厚さｄ２（μｍ）、上から３番目以下の層の厚さの合計ｄ３（μｍ）が所定の関係式を満足することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、低軟化点ガラスとフィラーを含有し、３層以上の層からなる隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、最上層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ１（℃）、上から３番目の層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ３（℃）、最上層のフィラー含有量をＦ１（体積％）、上から２番目の層のフィラー含有量をＦ２（体積％）、上から３番目の層のフィラー含有量をＦ３（体積％）、最上層の厚さをｄ１（μｍ）、上から２番目の層の厚さをｄ２（μｍ）、上から３番目以下の層の厚さの合計をｄ３（μｍ）としたとき、下記式（１）〜（７）を満足することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材。
３８０≦Ｔｓ１＋３０≦Ｔｓ３≦６５０  （１）
０≦Ｆ１≦２０  （２）
５０≦Ｆ２≦１００  （３）
５≦Ｆ３≦５０  （４）
５≦ｄ１≦３０  （５）
２≦ｄ２≦１５  （６）
４０≦ｄ３≦２００  （７）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略す）が注目されている。
【０００３】
図２は一般的なＰＤＰの１つの画素の構成を示した模式図である。背面板１８は、光の３原色である赤・青・緑の放電セルを規則的に配置した構造を有しており、各放電セルの間をストライプ状の主隔壁１０が形成された構造を有している。主隔壁１８に直交するように補助隔壁１１を有する背面板も存在する。
【０００４】
背面板１８のガラス基板４上には、その内面に、ストライプ状のアドレス電極５が複数本、前面板１７側のガラス基板１２上に形成されているスキャン電極１３およびサステイン電極１４と直交する方向に並走している。アドレス電極５の上には下地誘電体層６が全面に形成されており、更にその下地誘電体層６の上のそれぞれのアドレス電極５の間の位置に、ストライプ状の主隔壁１０がそれぞれ１本ずつ、アドレス電極５に略平行に設けられている。そして、下地誘電体層６の上には、各主隔壁１０の側面上も含めて、蛍光体膜が形成されている。この蛍光体膜は可視光発光のためのもので、カラー表示のプラズマディスプレイであれば、Ｒ（赤色）蛍光体膜７、Ｇ（緑色）蛍光体膜８、Ｂ（青色）蛍光体膜９の３色の蛍光体膜が交互に規則的に形成されている。
【０００５】
前面板の誘電体層１５は、ガラス基板１２上にスキャン電極１３およびサステイン電極１４またはそれらの前駆体を形成した後、ガラス粉末とバインダー樹脂を含むガラスペーストを塗布し、焼成することによって形成する。誘電体層１５の上には保護層１６がコートされている。
【０００６】
前面板１７のスキャン電極１３およびサステイン電極１４は、背面板の主隔壁１０と略直交するように配置される。ＰＤＰはこれら両ガラス板の外周縁部に低軟化点ガラス粉末を含む接着部材を塗布して封止するという工程を経て作製される。一般的にＰＤＰの封入ガスの圧力は大気圧より小さく、２枚のガラス板は圧力差により圧着された状態にあるが、高地での使用等の環境の変化により、封入ガス圧に対して外圧が低い状態になると、パネルが膨張し隔壁の頂部がガラス板と離れる可能性がある。これは、隔壁で仕切られていた隣接セル間での誤放電を招き、時として著しい画像の乱れを誘引する。このため、封入ガス圧を十分に高くすることができず発光効率の低下を引き起こしている。このような問題は、両ガラス板を封着する際に、外周縁部だけでなく前記隔壁の頂部にも低軟化点ガラス粉末を含む接着部材を塗布して、ガラス板全面で接着させれば十分な強度を持たせることができ解消されると考えられている。（特許文献１、２参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２０４０４０号公報
【特許文献２】特開２０００−１３３１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１、２に開示されるプラズマディスプレイパネルの製造方法において、隔壁には封着の際、形状を維持できるように、接着部材より軟化点の高いガラスが用いられており、接着部材を隔壁の頂部に塗布すると、隔壁材料中のガラス成分と封着部材中のガラス成分が反応することで十分な接着特性を得られないほか、隔壁の形状が維持できなくなるなどの問題がある。
【０００９】
本発明は上記課題に対してなされたもので、目的は、隔壁形状や接着用部材の特性を維持しつつ隔壁の頂部に軟化点の低いガラス粉末を用いた接着部材を塗布して隔壁の頂部とこれに対向するガラス板とを接着し、優れた画像表示が可能なプラズマディスプレイの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上に、低軟化点ガラスとフィラーを含有し、３層以上の層からなる隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、最上層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ１（℃）、上から３番目の層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ３（℃）、上から２番目の層のフィラー含有量をＦ２（体積％）、上から２番目の層の厚さをｄ２（μｍ）、上から３番目以下の層の厚さの合計をｄ３（μｍ）としたとき、下記式（１）〜（７）を満足することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材である。
【００１１】
３８０≦Ｔｓ１＋３０≦Ｔｓ３≦６５０  （１）
０≦Ｆ１≦２０  （２）
５０≦Ｆ２≦１００  （３）
５≦Ｆ３≦５０  （４）
５≦ｄ１≦３０  （５）
２≦ｄ２≦１５  （６）
４０≦ｄ３≦２００  （７）
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、背面板の隔壁の頂部に形成された接着用部材の特性を損なうことなく、前面板と背面板を十分な強度で接着させることができ、高品質な画像の表示が可能なＰＤＰを実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレイ用背面板の隔壁断面の模式図である。
【図２】プラズマディスプレイパネルの１つの画素の構成の従来例を模式的に示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレイ用部材は、隔壁の最頂部に存在する接着用部材と隔壁の主形状をなす層の中間に低軟化点ガラスとの反応性の低い層を有することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材である。すなわち、基板上に、低軟化点ガラスとフィラーを含有し、３層以上の層からなる隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、最上層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ１（℃）、上から３番目の層の低軟化点ガラスの軟化点をＴｓ３（℃）、最上層のフィラー含有量をＦ１（体積％）、上から２番目の層のフィラー含有量をＦ２（体積％）、上から３番目の層のフィラー含有量をＦ３（体積％）、最上層の厚さをｄ１（μｍ）、上から２番目の層の厚さをｄ２（μｍ）、上から３番目以下の層の厚さの合計をｄ３（μｍ）としたとき、（１）〜（７）を満足することを特徴とするプラズマディスプレイ用部材である。
【００１５】
３８０≦Ｔｓ１＋３０≦Ｔｓ３≦６５０  （１）
０≦Ｆ１≦２０  （２）
５０≦Ｆ２≦１００  （３）
５≦Ｆ３≦５０  （４）
５≦ｄ１≦３０  （５）
２≦ｄ２≦１５  （６）
４０≦ｄ３≦２００  （７）
【００１６】
本実施態様においては、以下に述べる構造を有した隔壁を形成することによって、ディスプレイパネルの外周縁部だけでなくガラス板全面で接着させ、ディスプレイパネルに加わる振動、衝撃等に強く、誤放電の少なく優れた画像表示が可能なプラズマディスプレイ用部材を実現することができる。以下に、ＡＣ型プラズマディスプレイの背面板を例に説明するが、本発明はこれに限定されるわけではない。
【００１７】
本実施態様において、低軟化点ガラスとは、軟化点が３５０〜６５０℃の範囲内であるガラスをいう。また、フィラーとは、一般的な焼成温度でも軟化または融解しない無機粉末をいい、具体的には軟化温度が６５０℃よりも高いガラス粉末、または６５０℃以下に軟化点および融点のいずれも有さない無機粉末のことである。
【００１８】
図１は本実施態様における隔壁の断面を模式的に示したものである。本実施態様のプラズマディスプレイ用部材の隔壁は、最上層１に軟化特性の高い、すなわち軟化温度の低い層を持ち、上から３層目の下層３により主形状をなす隔壁において、その間に位置する中間層２に低軟化点ガラスとの反応性の低いフィラーを多く含有させることにより、最上層１と主形状をなす下層３との反応を抑制することができる。また、最上層１に軟化特性の高い層を設けることで、中間層２のフィラー隙間を最上層１の低軟化点ガラスにより埋めることができ、中間層２の強度不足を改善することができる。図１は３層構成の隔壁を示しているが、中間層２より隔壁底部側に位置する部分である下層３は、それぞれ複数の層からなるものであっても構わない。
【００１９】
ここでいうフィラー含有量とは、隔壁を形成する際に用いるペースト中に含まれる無機成分の合計量を１００％とした時の、フィラーの体積の占める割合をいう。ディスプレイの隔壁からフィラー含有量を求める手段としては、例えば、隔壁の断面がわかるように割断し樹脂埋めした後、サンドペーパーを用いて研磨し、ＳＥＭやＴＥＭを用いて断面を観察し、溶解している部分（低軟化点ガラス）としていない部分（フィラー）がコントラストを有する条件で観察し両者の面積比を求めることによって低軟化点ガラスとフィラーの体積比を求める方法がある。また、フィラーとして６５０℃より高温に軟化点を有するガラス等を用いる場合、示差走査熱量計（ＤＳＣ）を用いて隔壁材料の融解時の吸熱／発熱挙動を測定し、吸熱ピークのトップ温度およびそれぞれの融解熱量、ならびに各材料の単位重さあたりの吸熱量から重量比を求める方法もある。
【００２０】
ここで、本実施態様における最上層１のフィラー含有量は、２０重量％以下であることが必要である。好ましくは１０重量％以下であり、より好ましくは５重量％以下である。２０重量％よりも多いと、低軟化点ガラスの流動が妨げられ十分な接着特性を得ることができない。また、最上層の厚みは５〜３０μｍである必要がある。５μｍより薄いと十分な接着特性を得ることができない。３０μｍより厚いと隔壁形状を維持することができない。また、最上層１の低軟化点ガラスの軟化点は、隔壁主形状をなす下層３の低軟化点ガラスのそれよりも３０℃以上低い必要がある。好ましくは５０℃以上であり、より好ましくは８０℃以上である。軟化点の差が３０℃より小さいと、下層３の形状を維持できるような焼成温度では、中間層２のフィラーの隙間に最上層１の低軟化点ガラスを十分に充填することができず、強度不足となる。
【００２１】
本実施態様における中間層２のフィラー含有量は、５０重量％〜１００重量％であることが必要である。好ましくは７０重量％〜１００重量％であり、より好ましくは、８０重量％〜１００重量％である。中間層２のフィラー含有量が、５０重量％より低いと最上層１の低軟化点ガラスと下層３の低軟化点ガラスとの反応を十分に抑制することができない。また、中間層２の厚みは２〜１５μｍである必要がある。好ましくは３〜１０μｍであり、より好ましくは４〜７μｍである。２μｍより薄いと反応を十分抑制することができない。１５μｍより厚いとフィラーの隙間に最上層の低軟化点ガラスを十分に充填させることができず、強度不足となる。
【００２２】
本実施態様において、中間層２より下にある層の厚さの合計は４０〜２００μｍである必要がある。４０μｍより薄いとディスプレイパネルにおいて十分な放電空間を維持することができない。２００μｍより厚いと隔壁の強度が低下して隔壁の倒壊等を起こす。また、中間層２より下にある下層３のフィラー含有量は５重量％〜５０重量％である必要がある。５重量％よりも小さいと、形状を維持するのが困難である。５０重量％よりも大きいと、焼成が不十分になってしまう。
【００２３】
本実施態様において、フィラーは、隔壁の主形状をなす下層３の低軟化点ガラスよりも軟化点が５０℃以上高いガラス、若しくは６５０℃以下に軟化点および融点のいずれも有さない無機粉末である必要がある。フィラーとしてガラス粉末を用いる場合、軟化点の差が５０℃未満では、低軟化点ガラスとの反応を十分に抑制することができない。好ましくは７０℃以上であり、より好ましくは９０℃以上である。フィラーとしてガラス以外の無機粉末を用いる場合、軟化点若しくは融点が６５０℃より高い必要がある。軟化点及び融点が６００℃よりも低いと、焼成時に軟化若しくは融解してしまいフィラーとしての役割を果たさない。好ましくは１０００℃以上の高融点を持つセラミックスであり、シリカ、チタニア、アルミナ、コーディエライト、ムライト、ジルコニア等を用いることができる。
【００２４】
本実施態様で用いるプラズマディスプレイ用部材の基板として、ガラス基板の例としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子社製の“ＰＰ８”などが挙げられる。
【００２５】
隔壁の形成方法としては、サンドブラスト法、型転写法、フォトリソグラフィー法等が挙げられる。本発明に使用する隔壁の材料としては特に限定されず、公知の材料を適用することができる。隔壁のパターンは特に限定されないが、ストライプ状、格子状、ワッフル状などが好ましい。本発明では前面板と接触する隔壁を上述の式（１）〜（７）を満たす３層以上の隔壁とすることによって、隔壁最上層に形成された接着用部材の特性を損なうことなく、前面板と背面板を十分な強度で接着させることができる。
【００２６】
隔壁の形成方法としては、アスペクト比の高い隔壁を形成する場合の加工精度、均一性といった点から、サンドブラスト法やフォトリソグラフィー法が好ましい。例えば、フォトリソグラフィー法の場合、隔壁ペーストとして低軟化点ガラス、フィラー等の無機微粒子および感光性有機成分を含む感光性ペーストを用いることができる。
【００２７】
本実施態様の隔壁は、軟化点が３５０〜６５０℃の低軟化点ガラス微粒子および低軟化点ガラスより軟化点が５０度以上高いガラス微粒子もしくはセラミック微粒子から選ばれるフィラーを含む無機微粒子ならびに有機バインダー等の有機成分を含むガラスペーストを用いて形成する。ガラスペースト中に含まれる低軟化点ガラスとフィラーの含有量を調整し、隔壁の各層の前駆体となる各ガラスペースト層の厚みを制御してガラスペーストを塗布、乾燥、パターン化するか、パターン塗布した後に乾燥することによって隔壁パターンを形成し、これを焼成して有機成分を除去し、低軟化点ガラスを焼結することによって本実施態様の隔壁を作製することができる。
【００２８】
低軟化点ガラスとしては、ケイ素および／またはホウ素の酸化物を含有したガラスが好ましく用いられる。
【００２９】
酸化ケイ素は、３〜６０重量％の範囲で配合されていることが好ましい。３重量％以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨張係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、６０重量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。
【００３０】
酸化ホウ素は、５〜５０重量％の範囲で配合することが好ましく、この範囲とすることによって、電気絶縁性、強度、熱膨張係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。５０重量％以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。
【００３１】
さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも１種類を合計で５〜５０重量％含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができるため好ましい。特に、酸化ビスマスを５〜５０重量％含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
【００３２】
酸化ビスマス：１０〜４０重量％
酸化ケイ素：３〜５０重量％
酸化ホウ素：１０〜４０重量％
酸化バリウム：８〜２０重量％
酸化アルミニウム：１０〜３０重量％
【００３３】
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも１種類を３〜２５重量％含むガラス微粒子を用いてもよい。
【００３４】
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨張係数を容易にコントロールすることができる。
【００３５】
また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨張係数の点からは、その含有量は、４０重量％以下が好ましく、より好ましくは２５重量％以下である。
【００３６】
以下、フォトリソグラフィー法を用いた本実施態様の隔壁の形成方法について説明する。
【００３７】
フォトリソグラフィー法で用いる感光性ガラスペーストは上述の低軟化点ガラス微粒子およびフィラーを含む無機微粒子ならびに感光性有機成分を含む有機成分からなる。
【００３８】
感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーから選ばれた少なくとも１種類の感光性成分を含有することが好ましく、さらに、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加する。
【００３９】
感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは１種または２種以上使用することができる。
【００４０】
これら隔壁形成工程において、感光性ペーストを塗布する方法としては、バーコーター、ロールコーター、スリットダイコーター、ブレードコーター、スクリーン印刷等がある。塗布厚みは、所望の隔壁の高さとペーストの焼成による収縮率、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度によって調整できる。
【００４１】
３層以上の層を露光する方法としては、感光性ガラスペースト層を上記のいずれかの塗布方法により塗布し、乾燥する工程を３回以上繰り返した後に、３層以上の塗布膜を一括で露光しても、２回以上露光しても良い。一括露光すると、隔壁の形状が矩形になり、複数回露光すると、露光回数が多い層ほど幅が広くなるため、下部に向かって幅が広がった形状になる。
【００４２】
格子状の隔壁パターンを形成する際に一括露光する場合は、隔壁上部の塗布・乾燥した後、格子状パターンを有するフォトマスクを用いる、または、横隔壁のパターンに対応したフォトマスクと縦隔壁のパターンに対応したフォトマスクの両方を用いる。
【００４３】
格子状の隔壁パターンを形成する際に複数回露光する場合は、隔壁下部および／または中間層を露光する際に格子状パターンを有するフォトマスク、あるいは、横隔壁のパターンに対応したフォトマスクを少なくとも１層の露光に用いる。露光しない層があっても、縦隔壁に対応したパターンを有するフォトマスクを用いても良い。
【００４４】
横隔壁が縦隔壁よりも低い段違いの格子状隔壁パターンを形成する際には、縦隔壁に対応したパターンを有するフォトマスクを用いて、隔壁上部を露光する。中間層および／または隔壁下部の露光においては、少なくとも１回横隔壁に対応したパターンを有するフォトマスク、または、格子状パターンのフォトマスクを用いる。
【００４５】
本実施態様の隔壁を有するＰＤＰ用部材は、他にアドレス電極、誘電体層、蛍光体層を形成されたものであることが好ましい。
【００４６】
基板上に、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりストライプ状のアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷し、４００〜６００℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する方法や、金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光後、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに４００〜６００℃に加熱、焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。なお、アドレス電極の焼成は後述の誘電体層の焼成または誘電体層および隔壁の焼成と同時に行ってもよい。
【００４７】
前記アドレス電極を被覆して、誘電体層が形成される。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストを、アドレス電極を覆う形で塗布した後に、４００〜６００℃で焼成することにより形成することができる。前記誘電体層を形成したのちに、上述の方法で隔壁を形成する。
【００４８】
また、蛍光体の形成方法として、所定のアドレス電極と平行方向に形成された隔壁間に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。
【００４９】
続いて、前面板の製造方法の例を説明する。前面板に使用するガラス基板としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の耐熱ガラスである旭硝子製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子製の“ＰＰ８”を用いることができる。まず、ガラス基板上に、ＩＴＯをスパッタし、フォトエッチング法によりスキャン電極およびサステイン電極のパターンを形成する。次いで、黒色電極を形成するため、酸化コバルト等の黒色顔料と低軟化点ガラス、感光性有機成分を含む感光性黒電極ペーストを印刷する。この黒色電極は抵抗率が大きいので、抵抗率の小さい電極も作製してバス電極を形成するため、導電性の高い感光性電極用ペースト（例えば導電性粉末としてＡｇを主成分とするもの）を、感光性黒電極ペーストの印刷面上に印刷する。そして、一括露光／現像してバス電極パターンを作製する。導電性を確実に確保するため、現像前に導電性の高い電極ペーストを再び印刷し、再露光後一括現像してもよい。バス電極パターンの形成後、焼成する。その後、コントラスト向上のため、ブラックストライプやブラックマトリクスを形成するのが好ましい。次に、低軟化点ガラス粉末と有機バインダーを含む透明誘電体を塗布する。さらに、ＭｇＯからなる保護膜を形成する。
【００５０】
次にプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。上述の背面板と前面板を封着後、２枚の基板間隔に形成された空間を加熱しながら真空排気を行った後に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入して封止する。放電電圧と輝度の両面からはＸｅ５〜１５％−Ｎｅｂａｌ．混合ガスが好ましい。紫外線の発生効率を大きくするために、さらにＸｅを３０％程度まで高くしてもよい。
【００５１】
最後に、駆動回路を装着し、エージングすることによって、ＰＤＰを作製できる。
【実施例】
【００５２】
以下に、実施例を用いて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されない。
【００５３】
（実施例１）
４２インチサイズのフルハイビジョンパターン（約２００万画素）ＡＣ（交流）型プラズマディスプレイパネルを形成し、評価を実施した。ガラス基板として、５９０×９６４×１．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に、書き込み電極として、平均粒径２．０μｍの銀粉末を７０重量部、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／Ｂ２Ｏ３＝６９／２４／４／３（質量％）からなる平均粒径２．２μｍのガラス粉末２重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー８重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート７重量部、ベンゾフェノン３重量部、ブチルカルビトールアクリレート７重量部、ベンジルアルコール３重量部からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィー法により、ピッチ２４０μｍ、線幅１００μｍ、焼成後厚み３μｍのストライプ状のアドレス電極を形成した。
【００５４】
この基板に、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＺｎＯ／Ｂ２Ｏ３＝７８／１４／３／３／２（質量％）からなる体積平均粒子径２μｍの低融点ガラス微粒子を６０重量部、平均粒子径０．３μｍの酸化チタン粉末を１０重量部、エチルセルロース１５重量部、テルピネオール１５重量部からなる誘電体ペーストを塗布した後、１２０℃で乾燥して、誘電体層を形成した。
【００５５】
隔壁形成用の感光性ペーストは以下の成分を配合、分散して用いた。
【００５６】
下層３用の無機成分：Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｂ２Ｏ３からなり、軟化点が５８０℃である平均粒径２μｍのガラス粉末を８０重量部、及び平均粒径１μｍのシリカからなるフィラーを２０重量部配合した。
【００５７】
中間層２用の無機成分：Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｂ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏからなり、軟化点が５３０℃である平均粒径２μｍのガラス粉末を１０重量部、及び平均粒径１μｍのシリカからなるフィラーを９０重量部配合した。
【００５８】
最上層１用の無機成分：Ｂｉ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｂ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｒＯ２からなり軟化点が４９０℃である平均粒径２μｍのガラス粉末。
【００５９】
ポリマー：”サイクロマー”Ｐ（ＡＣＡ２５０、ダイセル化学工業社製）  １０重量部
【００６０】
有機溶剤（１）：ベンジルアルコール  ４重量部
【００６１】
有機溶剤（２）：ブチルカルビトールアセテート  ３重量部
【００６２】
モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート  ８重量部
【００６３】
光重合開始剤：ベンゾフェノン  ３重量部
【００６４】
酸化防止剤：１，６−ヘキサンジオール−ビス［（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］  １重量部
【００６５】
有機染料：ベージックブルー２６  ０．０１重量部
【００６６】
チキソトロピー付与剤：Ｎ，Ｎ’−１２−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン：０．５重量部
【００６７】
界面活性剤：ポリオキシエチレンセチルエーテル：０．４９重量部
【００６８】
隔壁３層目形成用の感光性ガラスペーストをスリットダイコーターにより厚み２４０μｍで塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、４０分の乾燥を行い、塗布膜を形成した。形成された塗布膜に対し、ピッチ４８０μｍ、線幅３０μｍの補助隔壁パターン（アドレス電極に直交するストライプ状パターン）で露光を行った。フォトマスクとのギャップを３００μｍとり、積算露光量４５０ｍＪ／ｃｍ２で露光を実施した。その上に隔壁２層形成用の感光性ガラスペーストをスリットダイコーターにより厚み２０μｍで塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、３０分の乾燥を行い塗布膜を形成した。さらに、隔壁上部形成用の感光性ガラスペーストをスリットダイコーターにより厚み３０μｍで塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、３０分の乾燥を行い塗布膜を形成した。そして、補助隔壁パターンと直交するようにピッチ１６０μｍ、線幅３０μｍの主隔壁パターン（アドレス電極と平行のストライプパターンで、露光部が各アドレス電極間に位置するように配置）で露光を行った。フォトマスクとのギャップを３００μｍとり、積算露光量４００ｍＪ／ｃｍ２で露光を実施した。隔壁を現像後、最高温度５９０℃条件下１５０分間の焼成を行い、主隔壁の高さが１２０μｍであり、補助隔壁が主隔壁よりも２０μｍ低い格子状隔壁を作製した。
【００６９】
縦隔壁の幅は頂部３８μｍ、底部６０μｍ、ピッチは１６０μｍ、横隔壁の幅は頂部３５μｍ、底部６０μｍ、ピッチは４８０μｍとした。  
【００７０】
形成された隔壁にディスペンサー法を用いて各色蛍光体ペーストを塗布、焼成（５００℃、３０分）して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。
【００７１】
次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、ガラス基板として５９０×９６４×１．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を用い、このガラス基板上にＩＴＯをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光、現像処理、エッチング処理によって厚み０．１μｍ、線幅２００μｍの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み５μｍのスキャン電極とサステイン電極を形成した。電極はそれぞれピッチ５００μｍ、線幅８０μｍのものを作製した。
【００７２】
次に、酸化鉛を７５質量％含有する低融点ガラスの粉末を７０重量部、エチルセルロース２０重量部、テルピネオール１０重量部を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように５０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃、１５分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。
【００７３】
誘電体を形成した基板上に、保護膜として、電子ビーム蒸着により厚み０．５μｍの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。
【００７４】
得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを圧力９０ｋＰａで封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイを作製した。
【００７５】
（実施例２〜１１及び比較例１〜１３）
隔壁のガラス種類、フィラー添加量、厚さ、焼成温度、封着温度を表１および表２のように変更をして、実施例１と同様にプラズマディスプレイを作製した。
【００７６】
【表１】
2013157247.tif 000003
【００７７】
【表２】
2013157247.tif 000004
【００７８】
（背面ガラス基板の評価方法）
背面ガラス基板を５ｍｍ角で切り出し、直径５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍの石英板を上に乗せて、荷重０．９８Ｎ、昇温１０℃／分の条件でＴＭＡにて屈伏する温度Ｔｄ１（℃）を測定した。また、最上層１に用いられる低軟化点ガラスを用いて直径５ｍｍ、厚さ１０ｍｍのペレット状サンプルを作製して、荷重０．９８N、昇温１０℃／分の条件でＴＭＡにて屈伏する温度Ｔｄ２（℃）を測定した。ΔＴｄ（℃）＝Ｔｄ１（℃）−Ｔｄ２（℃）として、ΔＴｄにより最上層１の熱特性の変化を評価した。ΔＴｄが大きいほど最上層１の熱特性の変化が大きく、ΔＴｄが１５℃以下であれば、最上層１と下層３の反応を十分に抑制できていると判断できる。
【００７９】
（パネルの評価方法）
＜隔壁形状＞
作製したＰＤＰを割断し、隔壁の断面をマイクロスコープ（キーエンス社製ＶＨ−５５００）で観察した。以下基準で判定した。なお、隔壁形状で不良品レベルであったものは、隔壁形状評価以降の評価は行っていない。
【００８０】
○：隔壁断面の頂部の中心位置と底部の中心位置との基板と平行な方向へのずれが５μｍ以下（良品レベル）△：隔壁断面の頂部の中心位置と底部の中心位置との基板と平行な方向へのずれが５μｍより大きく１０μｍ以下（やや劣るが良品レベル）×：隔壁断面の頂部の中心位置と底部の中心位置との基板と平行な方向へのずれが１０μｍより大きい（不良品レベル）
【００８１】
＜ノイズ＞
作製したプラズマディスプレイを減圧チャンバー内で点灯させ、周囲を９０ｋＰａ（差圧０ｋＰａ）から６０ｋＰａ（差圧３０ｋＰａ）まで減圧していき、ノイズが発生したときのチャンバー内の圧力を測定し、パネル内外差圧より接着強度を評価した。ノイズが発生する差圧が２５ｋＰａ以上であれば接着強度は十分強いと判断できる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明に係るプラズマディスプレイ用部材は、薄型・大型テレビのディスプレイを製造するための部材として利用可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１：最上層
２：中間層
３：下層
４：ガラス基板
５：アドレス電極
６：下地誘電体層
７：Ｒ（赤色）蛍光体膜
８：Ｇ（緑色）蛍光体膜
９：Ｂ（青色）蛍光体膜
１０：主隔壁
１１：補助隔壁
１２：ガラス基板
１３：スキャン電極
１４：サステイン電極
１５：誘電体層
１６：保護層
１７：前面板
１８：背面板
【図１】
2013157247.tif 000005
【図２】
2013157247.tif 000006