(57)【要約】【課題】塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置及び物品搬送設備を提供する。【解決手段】清掃対象箇所Ｅを覆うカバー体２２と、下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２への一方向の空気の流動を許容する仕切り体２３と、外部空間Ｓ０と下部空間Ｓ１との間での空気の流動を許容する吸気部２４と、上部空間Ｓ２から外部空間Ｓ０への一方向の空気の流動を許容する排気部２５とを備え、体積増減手段２６の減少状態から増大状態への切り換えにより生じた外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１への空気の流動により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段２７を備える。【選択図】図６
2013216447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置であって、
前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台に受け渡され、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の上昇作動により前記物品支持台から受け取られるように構成され、
前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体の内部空間を下部空間と上部空間とに仕切り且つ前記下部空間から前記上部空間への一方向の空気の流動を許容する仕切り体と、前記カバー体の外部空間と前記下部空間との間での空気の流動を許容する吸気部と、前記上部空間から前記外部空間への一方向の空気の流動を許容する排気部とを備え、
前記カバー体の前記上部空間を形成する上部分に、前記上部空間の体積を上下方向に増大させた増大状態と前記上部空間の体積を上下方向に減少させた減少状態とに切換自在な体積増減手段が備えられ、前記体積増減手段の上部に連結された前記被支持部を支持した前記支持体が上昇して前記被支持部が引き上げられることにより前記体積増減手段が前記減少状態から前記増大状態に切り換えられ、前記被支持部を支持した前記支持体とともに前記被支持部が下降することにより前記体積増減手段が前記増大状態から前記減少状態に切り換えられるように構成され、
前記体積増減手段の前記減少状態から前記増大状態への切り換えにより生じた前記外部空間から前記下部空間への空気の流動により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段を備えて構成されている清掃装置。
【請求項２】
前記体積増減手段が、前記被支持部が連結され且つ上下方向軸心の筒状体の内部を上下方向に移動自在なヘッド部を備え、前記ヘッド部が前記筒状体の内部において上方に移動することで前記増大状態に切り換えられ、前記ヘッド部が前記筒状体の内部において下方に移動することで前記減少状態に切り換えられるように構成されている請求項１記載の清掃装置。
【請求項３】
前記体積増減手段が、上部に前記被支持部が連結され且つ上下方向に伸縮自在な筒状部を備え、前記筒状部が上下方向に伸長することで前記増大状態に切り換えられ、前記筒状部が上下方向に短縮することで前記減少状態に切り換えられるように構成されている請求項１記載の清掃装置。
【請求項４】
前記塵埃回収手段が、前記仕切り体における前記下部空間から前記上部空間に空気を通気させる通気部分に備えられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項５】
前記カバー体の下端部が、前記下部空間と前記外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項６】
前記吸気部が、前記外部空間と前記下部空間との間で水平方向に空気を流動させる状態で前記カバー体の下端部に備えられ、
前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記下部空間における前記清掃対象箇所の近くから前記上部空間に空気を通気させる通気部分に空気を案内する案内経路が形成され、
前記案内経路における上流側端部に位置する導入口が、水平方向に向けて開口している請求項１〜５のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項７】
前記カバー体の下端部における一部が通気可能な通気部に構成され、前記カバー体の下端部における残る一部が前記通気部より通気し難い難通気部に構成され、
前記吸気部が、前記カバー体の下端部における前記通気部にて構成され、
前記仕切り体が、前記カバー体の下端部における前記難通気部との間に隙間を形成する状態で設けられ、
前記仕切り体と前記カバー体との間に形成された隙間により前記案内経路の一部又は全部が形成され、前記仕切り体と前記難通気部の下端とにより前記導入口が形成されている請求項６記載の清掃装置。
【請求項８】
前記物品支持台が、物品としての基板収納容器の下面部に備えられた容器凹入部に係合して前記基板収納容器を水平方向に位置決めする突起部を前記清掃対象箇所に備えて構成され、
前記突起部に係合して水平方向に位置決めされる装置凹入部が、前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記物品支持台の上面から上方に離間する状態で備えられている請求項１〜７のいずれか１項に記載の清掃装置。
【請求項９】
前記請求項１〜８のいずれか１項に記載の清掃装置が備えられた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車の作動を制御する制御手段が設けられ、
前記制御手段が、前記清掃装置が前記物品支持台に支持された状態で前記被支持部を支持した前記支持体を複数回往復昇降移動させて前記清掃装置にて前記清掃対象箇所を清掃させる清掃処理を実行するように構成されている物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃する清掃装置、及び、その清掃装置が備えられた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる清掃装置は、物品搬送車にて物品が搬送される物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであり、物品搬送車の支持体にて支持される被支持部を備えて、物品を搬送するための物品搬送車を利用して清掃対象箇所に搬送されるようになっているものである。
そして、このような清掃装置において、従来では、清掃対象箇所に存在する塵埃を掃き出すための掃出部を備えて、掃出部が清掃対象箇所に接触した状態で物品搬送車に備えられた移載装置の出退作動により水平方向に移動することで、塵埃を清掃対象箇所から掃き出して清掃対象箇所を清掃するように構成されているものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０６−０６１８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の清掃装置では、掃出部にて清掃対象箇所から塵埃を掃き出すように構成されており、清掃対象箇所から掃き出された塵埃が周囲に飛散するため、飛散した塵埃が床面上に落下する等、飛散した塵埃により清掃対象箇所の周囲を汚損してしまう問題があった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、塵埃が周囲に飛散することを防止できる清掃装置及び物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる清掃装置は、走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品支持用の支持体の下降により前記支持体にて支持している物品を物品支持台に載置させる形態で受け渡し自在に構成された物品搬送車の前記支持体にて支持される被支持部を備え、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台上に移動自在に構成され、前記物品支持台上に位置する状態で前記物品支持台の上面における清掃対象箇所を清掃するものであって、その第１特徴構成は、
前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の下降により前記物品支持台に受け渡され、前記被支持部が前記支持体にて支持された状態での前記支持体の上昇作動により前記物品支持台から受け取られるように構成され、前記物品支持台の前記清掃対象箇所を覆うカバー体と、前記カバー体の内部空間を下部空間と上部空間とに仕切り且つ前記下部空間から前記上部空間への一方向の空気の流動を許容する仕切り体と、前記カバー体の外部空間と前記下部空間との間での空気の流動を許容する吸気部と、前記上部空間から前記外部空間への一方向の空気の流動を許容する排気部とを備え、前記カバー体の前記上部空間を形成する上部分に、前記上部空間の体積を上下方向に増大させた増大状態と前記上部空間の体積を上下方向に減少させた減少状態とに切換自在な体積増減手段が備えられ、前記体積増減手段の上部に連結された前記被支持部を支持した前記支持体が上昇して前記被支持部が引き上げられることにより前記体積増減手段が前記減少状態から前記増大状態に切り換えられ、前記被支持部を支持した前記支持体とともに前記被支持部が下降することにより前記体積増減手段が前記増大状態から前記減少状態に切り換えられるように構成され、前記体積増減手段の前記減少状態から前記増大状態への切り換えにより生じた前記外部空間から前記下部空間への空気の流動により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段を備えて構成されている点にある。
【０００７】
すなわち、物品支持台の清掃を行う清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が下降することより物品支持台に受け渡され、物品支持台の清掃が完了した清掃装置は、物品搬送車の支持体にて支持された状態で支持体が上昇作動することにより物品支持台から受け取られるようになっている。このように、清掃装置は、物品を搬送する物品搬送車にて物品支持台との間で授受されるようになっている。
【０００８】
そして、清掃装置が物品支持台に載置支持されている状態で、被支持部を支持した支持体が上昇して被支持部が引き上げられることにより体積増減手段が減少状態から増大状態に切り換えられ、被支持部を支持した支持体とともに被支持部が下降することにより体積増減手段が増大状態から減少状態に切り換えられるように構成されている。
体積増減手段が増大状態に切り換えられると、上部空間の体積が増大して上部空間の内部気圧が負圧となる。これにより、下部空間の空気が通気部分を通して吸引されて上部空間に流動するとともに、外部空間の空気が吸気部を通して吸引されて下部空間に流動することとなる。このように、空気は、外部空間から下部空間に流動し、その下部空間から上部空間に流動することになる。
また、体積増減手段が減少状態に切り換えられると、上部空間の体積が上下方向に減少して上部空間の内部気圧が正圧となる。これにより、上部空間の空気が排気部を通して外部空間に流動して排気されることになる。
【０００９】
そして、体積増減手段の増大状態への切り換えにより生じる外部空間から下部空間への空気の流動により、物品支持台の上面の清掃対象箇所に存在している塵埃がカバー体内で巻き上げられ、その巻き上げられた塵埃は塵埃回収手段にて回収されるため、塵埃が周囲に飛散することを防止できる。
【００１０】
本発明にかかる清掃装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記体積増減手段が、前記被支持部が連結され且つ上下方向軸心の筒状体の内部を上下方向に移動自在なヘッド部を備え、前記ヘッド部が前記筒状体の内部において上方に移動することで前記増大状態に切り換えられ、前記ヘッド部が前記筒状体の内部において下方に移動することで前記減少状態に切り換えられるように構成されている点にある。
【００１１】
すなわち、体積増減手段は、ヘッド部を上下に移動させることで増大状態や減少状態に切り換えることができ、体積増減手段を増大状態や減少状態に切り換えるときに筒状体を変形させる必要がないため、筒状体を強固に構成することができる。そのため、体積増減手段を増大状態や減少状態に切り換えるときに、不測に筒状体が変形することを防止することができ、体積増減手段を増大状態や減少状態に適確に切り換えることができる。
【００１２】
本発明にかかる清掃装置の第３特徴構成は、第１特徴構成において、前記体積増減手段が、上部に前記被支持部が連結され且つ上下方向に伸縮自在な筒状部を備え、前記筒状部が上下方向に伸長することで前記増大状態に切り換えられ、前記筒状部が上下方向に短縮することで前記減少状態に切り換えられるように構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、体積増減手段は、筒状部を伸縮させることで増大状態や減少状態に切り換えることができ、筒状体が変形しないように強固に構成する必要がなく、筒状部を軽量な樹脂製の蛇腹等を用いることができるため、体積増減手段、引いては、清掃装置の軽量化を図ることができる。
【００１４】
本発明にかかる清掃装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記塵埃回収手段が、前記仕切り体における前記下部空間から前記上部空間に空気を通気させる通気部分に備えられている点にある。
【００１５】
すなわち、塵埃回収手段が、仕切り体における下部空間から上部空間に空気を通気させる通気部分に備えられているため、体積増減手段の増大状態への切り換えにより生じた空気の流動により塵埃が巻き上げられると、その空気の流れに乗って塵埃を通気部分に送られて塵埃回収手段にて回収される。
つまり、体積増減手段の増大状態への切り換えにより塵埃を巻き上げて塵埃回収手段に回収することができるため、巻き上げられた塵埃が塵埃回収手段にて回収される前に清掃装置の塵埃回収手段以外の箇所に沈下し難く、塵埃を塵埃回収手段にて回収し易い。
【００１６】
本発明にかかる清掃装置の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記カバー体の下端部が、前記下部空間と前記外部空間とを遮蔽するべく前記物品支持台の上面の形状に沿って変形自在に構成されている点にある。
【００１７】
すなわち、物品支持台の上面には凹凸が形成されている場合があるが、カバー体の下端部はその上面の形状に沿って変形することができため、物品支持台に載置された清掃装置が物品支持台の上面に形成された凹凸に乗り上げることにより傾いた姿勢で載置されることが防止される。そのため、物品支持台の上面に凹凸が形成されていても、清掃装置を清掃に適した姿勢で物品支持台に載置することができ、清掃対象範囲を適切に清掃し易い。
【００１８】
本発明にかかる清掃装置の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記吸気部が、前記外部空間と下部空間との間で水平方向に空気を流動させる状態で前記カバー体の下端部に備えられ、前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記下部空間における前記清掃対象箇所の近くから前記上部空間に空気を通気させる通気部分に空気を案内する案内経路が形成され、前記案内経路における上流側端部に位置する導入口が、水平方向に向けて開口している点にある。
【００１９】
すなわち、導入口が高い位置に鉛直方向に向けて開口している場合には、塵埃を導入口より高い高さまで巻き上げる必要があるので、導入口に塵埃を導入させ難いが、導入口を清掃対象箇所の近くの低い位置に水平方向に向けて開口させることで、塵埃を高く巻き上げる必要がなく、吸気部を通して外部空間から内部空間に流動した空気の流れにより水平方向に開口された導入口に塵埃を導入させ易くなる。
【００２０】
本発明にかかる清掃装置の第７特徴構成は、第６特徴構成において、前記カバー体の下端部における一部が通気可能な通気部に構成され、前記カバー体の下端部における残る一部が前記通気部より通気し難い難通気部に構成され、前記吸気部が、前記カバー体の下端部における前記通気部にて構成され、前記仕切り体が、前記カバー体の下端部における前記難通気部との間に隙間を形成する状態で設けられ、前記仕切り体と前記カバー体との間に形成された隙間により前記案内経路の一部又は全部が形成され、前記仕切り体と前記難通気部の下端とにより前記導入口が形成されている点にある。
【００２１】
すなわち、カバー体の下端部における一部が難通気部に構成されているため、カバー体の下端部全部を通気部に形成した場合に比べて、カバー体内に流入する空気の風速を高めることができ、塵埃を巻き上げ易くなる。また、導入口の下方は難通気部となっているため、導入口に流入する空気の流れが、難通気部からカバー体内に流入する空気により乱され難くなるので、塵埃を導入口に導入させ易くなる。
【００２２】
本発明にかかる清掃装置の第８特徴構成は、第１〜第７特徴構成のいずれか１つにおいて、前記物品支持台が、物品としての基板収納容器の下面部に備えられた容器凹入部に係合して前記基板収納容器を水平方向に位置決めする突起部を前記清掃対象箇所に備えて構成され、前記突起部に係合して水平方向に位置決めされる装置凹入部が、前記清掃装置が前記物品支持台に載置された状態において前記物品支持台の上面から上方に離間する状態で備えられている点にある。
【００２３】
すなわち、清掃装置の装置凹入部が物品支持台の突起部に係合して水平方向に位置決めされることで、物品支持台の清掃対象箇所に対して適した位置に清掃装置を位置決めすることができる。
そして、このように清掃装置を清掃対象箇所に対して位置決めした状態でも、物品載置台の上面と装置凹入部との間に空気が流動できる隙間が形成されるため、通気部から流入した空気の流れを装置凹入部にて妨害し難く、空気を円滑に流して塵埃を回収し易いものとなる。
【００２４】
本発明にかかる物品搬送設備は、第１〜第８特徴構成のいずれかの清掃装置を備えたものであって、その特徴構成は、
前記物品搬送車の作動を制御する制御手段が設けられ、前記制御手段が、前記清掃装置が前記物品支持台に支持された状態で前記被支持部を支持した前記支持体を複数回往復昇降移動させて前記清掃装置にて前記清掃対象箇所を清掃させる清掃処理を実行するように構成されている点にある。
【００２５】
すなわち、清掃処理を実行することで清掃装置が物品支持台に支持された状態で被支持部を支持した支持体を複数回昇降移動するころで、清掃装置の体積増減手段を減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを複数回行われる。このように、体積増減手段の減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを複数回行うことで、このような切り換えを１回だけ行う場合に比べて清掃対象箇所の塵埃を回収し易く、清掃対象箇所を適確に清掃できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態の物品搬送設備の横側面図
【図２】第１実施形態の物品収納容器を走行用位置に支持している天井搬送車の側面図
【図３】第１実施形態の物品収納容器が走行用位置から下降させている天井搬送車の側面図
【図４】第１実施形態の清掃装置を走行用位置に支持している天井搬送車の側面図
【図５】第１実施形態の清掃装置の下面を示す斜視図
【図６】第１実施形態の体積増減手段が増大状態に切り換えられている清掃装置の側面図
【図７】第１実施形態の体積増減手段が減少状態に切り換えられている清掃装置の側面図
【図８】第１実施形態の清掃装置を物品支持台上に載置した状態の横断平面図
【図９】第１実施形態の仕切り体を示す横断平面図
【図１０】第１実施形態における清掃処理の作用図
【図１１】第２実施形態の体積増減手段が増大状態に切り換えられている清掃装置の縦断側面図
【図１２】第２実施形態の体積増減手段が減少状態に切り換えられている清掃装置の縦断側面図
【図１３】別実施形態の清掃装置の縦断側面図
【図１４】別実施形態の清掃装置の縦断側面図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
〔第１実施形態〕
以下、本発明にかかる清掃装置を備えた物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な物品搬送車としての天井搬送車１と、基板に対して処理を行う処理装置３に隣接する状態で床側に設けられた物品支持台４と、物品支持台４上を清掃する清掃装置５とが設けられている。
【００２８】
物品として、複数枚の基板を収納した基板収納容器６が天井搬送車１にて搬送されており、具体的には、半導体ウェハーを収容したＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が搬送されている。
基板収納容器６の上面には、天井搬送車１の支持体としての支持機構１４にて支持されるトップフランジ７が形成され、基板収納容器６の底面には、物品支持台４に備えられた突起部４ａが係合する容器凹入部（図示せず）が備えられている。
【００２９】
〔天井搬送車〕
図２及び図３に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を走行経路に沿って走行する走行部１１と、走行レール２の下方に位置するように走行部１１に吊り下げ支持され且つ基板収納容器６を昇降移動自在に支持する本体部１２とを備えて構成されている。
【００３０】
本体部１２には、基板収納容器６を支持する支持機構１４と、支持機構１４を昇降移動させる昇降操作機構１５と、搬送用位置に位置する基板収納容器６の上方側及び走行経路長手方向の両側を覆うカバー部１６と、支持機構１４にて支持された基板収納容器６の落下を防止する落下防止体１７と、支持機構１４にて支持された基板収納容器６の揺れを防止する揺れ防止体１８とを備えて構成されている。
【００３１】
支持機構１４には、横軸心周りに揺動自在な一対の把持爪１４ａが備えられており、一対の把持爪１４ａは、互いに接近するように揺動して基板収納容器６のトップフランジ７を把持する把持姿勢と、互いに離間するように揺動してトップフランジ７に対する把持を解除する解除姿勢とに姿勢変更自在に構成されている。
【００３２】
昇降操作機構１５は、先端部に支持機構１４を連結支持した巻き取りベルト１５ａを巻取り及び繰出し自在に構成されており、巻き取りベルト１５ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１４を昇降移動させるように構成されている。図２に示すように、巻き取りベルト１５ａを巻き取った状態では、支持機構１４に支持された基板収納容器６はカバー部１６内の搬送用位置に位置している。
【００３３】
落下防止体１７は、搬送用位置の基板収納容器６の直下に位置する受止位置（図２参照）と、支持機構１４の昇降による基板収納容器６の昇降経路から退避させた退避位置（図３参照）とに位置変更自在に構成されている。そして、落下防止体１７を受止位置に位置させることで、天井搬送車１の走行中に支持機構１４による支持が外れても基板収納容器６を落下防止体１７にて受け止めることで基板収納容器６の落下を防止することができ、落下防止体１７を退避位置に位置させることで、支持機構１４を昇降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すことや物品支持台４から基板収納容器６を受け取ることができるようになっている。
【００３４】
揺れ防止体１８は、搬送用位置の基板収納容器６に対して走行経路長手方向の両側から接当する接当位置（図２参照）と、搬送用位置の基板収納容器６に対して走行経路長手方向に離間させた離間位置（図３参照）とに位置変更自在に構成されている。そして、揺れ防止体１８を接当位置に位置させることで、天井搬送車１の走行中の基板収納容器６の揺れが防止されており、揺れ防止体１８を離間位置に位置させることで、支持機構１４を昇降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すことや物品支持台４から基板収納容器６を受け取ることができるようになっている。
【００３５】
天井搬送車１は、支持機構１４にて基板収納容器６を支持した状態で走行移動するときは、巻き取りベルト１５ａが巻き取られ且つ基板収納容器６を把持するべく把持爪１４ａが把持姿勢になっており、落下防止体１７は受止位置に位置し且つ揺れ防止体１８は接当位置に位置している。このとき、基板収納容器６は搬送用位置に位置している。
また、天井搬送車１は、支持機構１４にて物品を支持していない状態で走行移動するときは、巻き取りベルト１５ａが巻き取られ且つ把持爪１４ａが解除姿勢になっており、落下防止体１７は退避位置に位置し且つ揺れ防止体１８は離間位置に位置している。
【００３６】
そして、天井搬送車１が物品支持台４に基板収納容器６を受け渡すときは、天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させた後、巻き取りベルト１５ａを繰り出して基板収納容器６を支持する支持機構１４を下降移動させて基板収納容器６を物品支持台４に降ろし、把持爪１４ａを把持解除姿勢に切り換えて基板収納容器６に対する把持を解除し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取って基板収納容器６を支持しない支持機構１４を上昇移動させることで、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡すようになっている。
【００３７】
また、天井搬送車１が物品支持台４から基板収納容器６を受け取るときは、天井搬送車１を物品支持台４の直上に停止させた状態で、巻き取りベルト１５ａを繰り出して基板収納容器６を支持しない支持機構１４を下降移動させた後、把持爪１４ａを把持姿勢に切り換えて物品支持台４に載置された基板収納容器６を把持し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取って基板収納容器６を支持する支持機構１４を上昇移動させ、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させることで、基板収納容器６を物品支持台４から受け取るようになっている。
【００３８】
このように、天井搬送車１は、支持機構１４の下降により基板収納容器６を物品支持台４に受け渡し、支持機構１４の上昇により基板収納容器６を物品支持台４から受け取るように構成されており、物品支持用の支持機構１４の下降により支持機構１４にて支持している基板収納容器６を物品支持台４に載置させる形態で受け渡し自在に構成されている。
【００３９】
〔物品支持台〕
図８に示すように、物品支持台４の上面には、基板収納容器６の被係合部１３に係合して基板収納容器６を水平方向に位置決めする突起部４ａが３箇所に備えられており、３箇所の突起部４ａが基板収納容器６の被係合部１３に係合することで基板収納容器６が物品支持台４上の規定位置に位置決めするように構成されている。
尚、物品支持台４には突起部４ａとは別に適宜凹凸が形成されている場合があり、この凹凸は物品支持台４により位置や数が異なる。
【００４０】
また、物品支持台４の上面には、清掃装置５にて清掃する清掃対象箇所Ｅが設定されており、この清掃対象箇所Ｅ内に３箇所の突起部４ａが位置するように清掃対象箇所Ｅが設定されている。換言すれば、３箇所の突起部４ａは、物品支持台４の上面における清掃対象箇所Ｅに備えられている。
【００４１】
〔清掃装置〕
図４に示すように、清掃装置５は、天井搬送車１の支持機構１４にて支持される被支持部２１を備えて構成されており、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態で支持機構１４の下降により物品支持台４上に移動自在に構成されている。そして、清掃装置５は、物品支持台４上に位置する状態で物品支持台４の上面における清掃対象箇所Ｅを清掃するように構成されている。
【００４２】
また、清掃装置５は、その外形が天井搬送車１のカバー部１６に収まる大きさに形成されており、基板収納容器６と同様に天井搬送車１にて搬送できるように構成されている。つまり、支持機構１４にて被支持部２１が支持されて清掃装置５が搬送用位置に位置する状態で天井搬送車１が走行移動し、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態での支持機構１４の下降により物品支持台４に受け渡され、被支持部２１が支持機構１４にて支持された状態での支持機構１４の上昇により物品支持台４から受け取られるように構成されている。
【００４３】
図６及び図７に示すように、清掃装置５は、物品支持台４の清掃対象箇所Ｅを覆うカバー体２２と、カバー体２２の内部空間を下部空間Ｓ１と上部空間Ｓ２とに仕切り且つ下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２への一方向の空気の流動を許容する仕切り体２３と、カバー体２２の外部空間Ｓ０と下部空間Ｓ１との間での空気の流動を許容する吸気部２４と、上部空間Ｓ２から外部空間Ｓ０への一方向の空気の流動を許容する排気部２５とを備えて構成されている。尚、外部空間Ｓ０は、カバー体２２の外部の空間である。
【００４４】
そして、カバー体２２の上部空間Ｓ２を形成する上部分２２ａに、上部空間Ｓ２の体積を上下方向に増大させた増大状態（図６参照）と上部空間Ｓ２の体積を上下方向に減少させた減少状態（図７参照）とに切換自在な体積増減手段２６と、体積増減手段２６の上部に連結され且つ本体部１２にて支持される被支持部２１とが備えられている。
清掃装置５が物品支持台４に載置支持されている状態で、被支持部２１を支持した支持機構１４が上昇して被支持部２１が引き上げられることにより体積増減手段２６が減少状態から増大状態に切り換えられ、被支持部２１を支持した支持機構１４が下降して被支持部２１が押し下げられることにより体積増減手段２６が増大状態から減少状態に切り換えられるように構成されている。
【００４５】
また、清掃装置５は、体積増減手段２６の減少状態から増大状態への切り換えにより生じた外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１への空気の流動により巻き上げられた塵埃を回収する塵埃回収手段２７を備えて構成されている。つまり、清掃装置５は、体積増減手段２６が減少状態から増大状態に切り換えられて上部空間Ｓ２の体積が増大することでカバー体２２の内部空間が減圧される。そのため、外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１に吸気部２４を通して空気が流動し、この空気の流動により物品支持台４上の塵埃を巻き上げ、その巻き上げられた塵埃を塵埃回収手段２７にて回収するように構成されている。
【００４６】
次に、清掃装置５の具体的構成について説明を加える。
清掃装置５には、筒状のピストン用筒状体３１とそのピストン用筒状体３１の下方に連結されて横断面がピストン用筒状体３１より小さな四角筒状の集塵用筒状体３２とが備えられており、これらピストン用筒状体３１及び集塵用筒状体３２は、その軸心が上下方向に向く姿勢で設けられている。
ピストン用筒状体３１の下端部には、ピストン用筒状体３１の下面側を閉じる状態で底板３１ａが設けられており、この底板３１ａに集塵用筒状体３２が連結されている。底板３１ａには開口が形成されており、この開口を形成することでピストン用筒状体３１と集塵用筒状体３２との間で空気が流動自在に連通されている。これらピストン用筒状体３１と集塵用筒状体３２とでカバー体２２が形成されており、ピストン用筒状体３１がカバー体２２の上部分２２ａに相当し、集塵用筒状体３２がカバー体２２の下部分２２ｂに相当する。また、ピストン用筒状体３１が上下方向軸心の筒状体に相当する。
【００４７】
図５〜図８に示すように、集塵用筒状体３２における周壁の下面には、その全周に亘って上下方向に変形自在な変形部材３３が設けられており、この変形部材３３は弾性変形自在なスポンジゴムにて構成されている。
説明を加えると、集塵用筒状体３２における装置横幅方向に対向する２面の横側壁部３２ａについては、他の装置前後方向に対向する２面の前後側壁部３２ｂより下方に長く形成されている。
横側壁部３２ａの下面には、上方に凹入する凹入部が形成されており、その下面の凹入部に変形部材３３が取り付けられている。この変形部材３３は、横側壁部３２ａの長手方向に沿って連続した状態で設けられている。そして、図６及び図７に示すように、清掃装置５を物品支持台４に載置させたときは、変形部材３３は物品支持台４の上面に接触することで弾性変形して凹入部内に収まり、横側壁部３２ａが物品支持台４の上面に載置されるようになっている。
【００４８】
また、前後側壁部３２ｂの下面は平坦に形成されており、その下面に変形部材３３が取り付けられている。この変形部材３３は、横側壁部３２ａの下面より下方に突出する大きさに形成されており、また、前後側壁部３２ｂの長手方向に沿って断続した状態で設けられている。そして、清掃装置５を物品支持台４に載置させたときは、変形部材３３は物品支持台４の上面に接触することで弾性変形するものの前後側壁部３２ｂと物品支持台４の上面との間には隙間が形成されるようになっている。
【００４９】
このようにして、カバー体２２の下端部が、下部空間Ｓ１と外部空間Ｓ０とを遮蔽するべく物品支持台４の上面に沿って変形自在に構成されている。
そして、前後側壁部３２ｂの下端部は、物品支持台４の上面との間には隙間が形成される形状に形成されており、この前後側壁部３２ｂの下端部にて、通気可能な通気部３４が構成されている。また、横側壁部３２ａの下端部は、物品支持台４の上面との間に隙間が形成されない形状に形成されており、この横側壁部３２ａの下端部にて、通気部３４より通気し難い難通気部３５が構成されている。つまり、カバー体２２の下端部における一部が通気可能な通気部３４に構成され、カバー体２２の下端部における残る一部が通気部３４より通気し難い難通気部３５に構成されている。
このように構成されたカバー体２２の下端部における通気部３４にて吸気部２４が構成されており、吸気部２４は、外部空間Ｓ０と下部空間Ｓ１との間で水平方向に空気を流動させる状態でカバー体２２の下端部に備えられている。
【００５０】
ピストン用筒状体３１と集塵用筒状体３２とが連通する箇所にカバー体２２の内部空間を上部空間Ｓ２と下部空間Ｓ１とに仕切る仕切り体２３が設けられている。この仕切り体２３は、底板３１ａに形成された開口の装置横幅方向の両側に設けられた一対の通気用枠体３６と、この一対の通気用枠体３６に亘って設けられた板状体３７とを備えて構成されている。
【００５１】
通気用枠体３６は、四角筒状の枠体にて構成されており、その長手方向が装置前後方向に沿う横倒れ姿勢で底板３１ａの下面に連結されている。
また、通気用枠体３６は、集塵用筒状体３２の一対の前後側壁部３２ｂに亘る長さに形成され且つ一対の横側壁部３２ａにおける近い側の横側壁部３２ａとの間に隙間が形成される状態で設けられている。そして、通気用枠体３６には、その装置横幅方向の外方側に位置する下部空間Ｓ１から内方側に位置する上部空間Ｓ２に空気が流動自在となるように通気孔３６ａが形成されている。また、通気用枠体３６に形成される一対の通気孔３６ａのうちの内方側（上部空間Ｓ２側）に位置する通気孔３６ａには、その下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２への空気の流動は許容し且つ上部空間Ｓ２から下部空間Ｓ１への空気の流動を防止する吸気側弁体３８が設けられている。
【００５２】
板状体３７は、集塵用筒状体３２における装置前後方向に対向する２面の周壁に亘って設けられ且つ装置横幅方向に対向する２面の周壁との間に隙間が形成される状態で、一対の通気用枠体３６の下面に連結されている。また、板状体３７は、カバー体２２の棚横幅方向の下端部における難通気部３５との間に上下方向に隙間が形成される状態で設けられている。
【００５３】
このような通気用枠体３６と板状体３７とを備えて仕切り体２３を構成することで、吸気部２４から下部空間Ｓ１に導入された空気は、板状体３７と集塵用筒状体３２との間の隙間、通気用枠体３６と集塵用筒状体３２との間の隙間、及び、通気用枠体３６の内部空間を通って上部空間Ｓ２に流動するように構成されている。また、仕切り体２３は、吸気側弁体３８を備えることで、下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２への一方向の空気の流動が許容されており、上部空間Ｓ２から下部空間Ｓ１への空気の流動が防止されている。
【００５４】
そして、通気用枠体３６にて、下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２に空気を通気させる通気部分が形成されている。また、仕切り体２３とカバー体２２との間に形成された隙間により、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において下部空間Ｓ１における物品支持台４の清掃対象箇所Ｅ近くから上部空間Ｓ２に空気を案内する案内経路３９が形成されている。また、仕切り体２３と難通気部３５とにより、案内経路３９の上流側端部に位置し且つ水平方向に向けて開口している導入口４０が形成されている。
【００５５】
塵埃回収手段２７は、通気用枠体３６の内部空間における装置横幅方向の内方側に設けられた除塵フィルタ４１と、除塵フィルタ４１にて上部空間Ｓ２への侵入が防がれた塵埃を通気用枠体３６の内部空間に貯留自在に形成された通気用枠体３６の下部とで構成されており、このように塵埃回収手段２７は、仕切り体２３における下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２に空気を通気させる通気用枠体３６に備えられている。
【００５６】
図５及び図８に示すように、清掃装置５には、物品支持台４に備えられた突起部４ａに係合して位置決めされる装置凹入部５ａが備えられており、この装置凹入部５ａは板状体３７の下面に取り付けられている。装置凹入部５ａは、円錐形状に上方に凹入する形状に形成されており、その凹入量が突起部４ａの突出量より小さくなるように形成されている。そのため、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において、装置凹入部５ａが物品支持台４の上面から上方に離間するようになっており、物品支持台４の上面と装置凹入部５ａとの間を空気が流動できるようになっている。
【００５７】
図６及び図７に示すように、ピストン用筒状体３１の内部には、リニアガイドレール４３に案内される状態で上下方向に移動自在にヘッド部４４が設けられている。このヘッド部４４の上面の中央には、天井搬送車１の支持機構１４にて支持される被支持部２１が連結されている。また、ヘッド部４４には、そのヘッド部４４の下方側に位置する上部空間Ｓ２から上方側に位置する外部空間Ｓ０に空気が流動自在となるように排気孔４５が形成されている。また、その排気孔４５には、上部空間Ｓ２から外部空間Ｓ０への空気の流動は許容し且つ外部空間Ｓ０から上部空間Ｓ２への空気の流動を防止する排気側弁体４６が設けられている。尚、排気孔４５と排気側弁体４６とで、排気部２５が構成されている。
【００５８】
体積増減手段２６は、上述のピストン用筒状体３１とヘッド部４４とを備えて構成されており、ヘッド部４４がピストン用筒状体３１の内部において上方に移動することで上部空間Ｓ２の体積が上下方向に増大されて増大状態に切り換わり、ヘッド部４４がピストン用筒状体３１の内部において下方に移動することで上部空間Ｓ２の体積が上下方向に減少されて減少状態に切り換わるように構成されている。
【００５９】
そして、体積増減手段２６が増大状態に切り換えられると、上部空間Ｓ２の体積が増大して上部空間Ｓ２の内部気圧が負圧となる。これにより、下部空間Ｓ１の空気が吸引されて通気用枠体３６を通して上部空間Ｓ２に流動するとともに外部空間Ｓ０の空気が吸引されて吸気部２４を通して下部空間Ｓ１に流動することとなり、空気は、外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１に空気に流動し、その下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２に流動することになる。
このように体積増減手段２６の増大状態への切り換えにより生じた外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１への空気の流動により、物品支持台４の上面の清掃対象箇所Ｅに存在していた塵埃が巻き上げられ、空気の上部空間Ｓ２への流動により通気用枠体３６の内部に運ばれ、通気用枠体３６の塵埃回収手段２７にて塵埃が回収されるようになっている。
【００６０】
また、体積増減手段２６が減少状態に切り換えられると、上部空間Ｓ２の体積が上下方向に減少して上部空間Ｓ２の内部気圧が正圧となる。これにより、上部空間Ｓ２の空気が排気部２５を通して外部空間Ｓ０に流動して排気されることになる。
【００６１】
図４に示すように、被支持部２１は、基板収納容器６のトップフランジ７と同じ形状に形成されており、天井搬送車１の支持機構１４にて基板収納容器６のトップフランジ７と同様に支持機構１４にて支持できるように構成されている。
そして、図１０（ａ）に示すように、支持機構１４にて清掃装置５を支持した状態で巻き取りベルト１５ａを繰り出して清掃装置５を物品支持台４上に降ろした後、図１０（ｂ）に示すように、さらに巻き取りベルト１５ａを繰り出すことで、支持機構１４にて被支持部２１が押し下げられてヘッド部４４が下方に移動し、体積増減手段２６が減少状態に切り換えられるように構成されている。
また、図１０（ｃ）に示すように、巻き取りベルト１５ａを巻き取ることで支持機構１４にて被支持部２１が引き上げられてヘッド部４４が上方に移動し、体積増減手段２６が増大状態に切り換えられ、図１０（ｄ）に示すように、ヘッド部４４が上限まで移動している状態でさらに巻き取りベルト１５ａを巻き取ることで、清掃装置５を引き上げることができるように構成されている。
【００６２】
図５〜図７に示すように、ピストン用筒状体３１の底板３１ａの下面に、集塵用筒状体３２の横側方に位置するように突起部材４７が連結されている。突起部材４７は、受止位置の落下防止体１７の直上に位置し且つ接当位置の揺れ防止体１８が接当する位置に設けられている。そのため、天井搬送車１の走行中に支持機構１４による支持が外れても突起部材４７が落下防止体１７にて受け止められて清掃装置５の落下が防止され、また、接当位置に移動した揺れ防止体１８が突起部材４７に接当して天井搬送車１の走行中の清掃装置５の揺れが防止されるようになっている。
【００６３】
〔制御装置〕
図１０に示すように、物品搬送設備には、天井搬送車１の作動を制御する制御手段としての制御装置Ｈが設けられている。
制御装置Ｈは、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡す受渡処理と、基板収納容器６を物品支持台４から受け取る受取処理と、清掃装置５を支持した支持体を複数回昇降移動させて清掃装置５にて物品支持台４の清掃対象箇所Ｅを清掃する清掃処理とを実行するべく、天井搬送車１の作動を制御するように構成されている。
【００６４】
受渡処理では、基板収納容器６を支持する天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させ、巻き取りベルト１５ａの繰り出した後に把持爪１４ａの解除姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器６を物品支持台４に受け渡し、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取られる。
また、受取処理では、基板収納容器６を支持しない天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１５ａを繰り出した後に把持爪１４ａを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器６を物品支持台４から受け取り、その後、巻き取りベルト１５ａを巻き取り、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させる。
【００６５】
清掃処理では、図１０（ａ）に示すように、清掃装置５を支持する天井搬送車１を物品支持台４に対応する停止位置に停止させた状態で、落下防止体１７を退避位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を離間位置に移動させ、巻き取りベルト１５ａを繰り出して清掃装置５を物品支持台４に載置させる。
その後、図１０（ｂ）に示すように、さらに巻き取りベルト１５ａを繰り出して、体積増減手段２６を減少状態に切り換えた後、図１０（ｃ）に示すように、巻き取りベルト１５ａを巻き取って、体積増減手段２６を増大状態に切り換える。この体積増減手段２６を減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを予め設定された複数回（例えば３回）繰り返すべく、ピストン用筒状体３１の内部においてヘッド部４４が昇降移動できる範囲で、巻き取りベルト１５ａの繰り出しと巻き取りが繰り返される。
そして、巻き取りベルト１５ａの繰り出しと巻き取りとを繰り返した後、図１０（ｄ）に示すように、巻き取りベルト１５ａを巻き取って清掃装置５を搬送用位置まで持ち上げ、その後、落下防止体１７を受止位置に移動させ且つ揺れ防止体１８を接当位置に移動させる。
このように、清掃処理では、清掃装置５が物品支持台４に支持された状態で被支持部２１を支持した支持機構１４を複数回昇降移動させて清掃装置５にて清掃対象箇所Ｅを清掃させるようになっている。
【００６６】
尚、体積増減手段２６は、ヘッド部４４、被支持部２１及び天井搬送車１の支持機構１４の重量により増大状態から減少状態に切り換えられるように構成されている。また、清掃装置５の重量及び清掃処理における巻き取りベルト１５ａの巻き取り速度は、体積増減手段２６を減少状態から増大状態に切り換えるときに清掃装置５が物品支持台４から持ち上げられない重量及び速度に設定されている。
【００６７】
このように、基板収納容器６を搬送する天井搬送車１にて清掃装置５が物品支持台４上に搬送される。そして、体積増減手段２６を減少状態と増大状態とに切り換えることで、物品支持台４の清掃対象箇所Ｅに存在する塵埃をカバー体２２内で巻き上げて塵埃回収手段２７にて回収している。そのため、清掃装置５にて清掃対象箇所Ｅを清掃したときに塵埃が周囲に飛散しないようになっている。
【００６８】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
尚、第２実施形態を説明するにあたり、第１実施形態と異なる構成について主に説明し、第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００６９】
図１１及び図１２に示すように、清掃装置５には、筒状の蛇腹体５１とその蛇腹体５１の下方に連結されて横断面が蛇腹体５１より小さな四角筒状の集塵用筒状体３２とが備えられており、これらピストン用筒状体３１及び集塵用筒状体３２は、その軸心が上下方向に向く姿勢で設けられている。
蛇腹体５１の底部に設けられた底板５１ａには開口が形成されており、この底板５１ａに集塵用筒状体３２が連結されて、蛇腹体５１と集塵用筒状体３２との間で空気が流動自在に連通されている。これら蛇腹体５１と集塵用筒状体３２とでカバー体２２が形成されており、蛇腹体５１がカバー体２２の上部分２２ａに相当する。また、蛇腹体５１が上下方向に伸縮自在な筒状部に相当する。
【００７０】
蛇腹体５１の上端部に上面側を閉じる状態で天井板５１ｂが設けられている。この天井板５１ｂの上面の中央には、被支持部２１が連結されている。また、天井板５１ｂには、その天井板５１ｂの下方側に位置する上部空間Ｓ２から上方側に位置する外部空間Ｓ０に空気が流動自在となるように排気孔４５が形成されている。
【００７１】
体積増減手段２６は、蛇腹体５１を備えて構成されており、蛇腹体５１が上下方向に伸長することで上部空間Ｓ２の体積が上下方向に増大されて増大状態に切り換わり、蛇腹体５１が上下方向に短縮することで上部空間Ｓ２の体積が上下方向に減少されて減少状態に切り換わるように構成されている。
そして、体積増減手段２６の増大状態への切り換えにより生じた外部空間Ｓ０から下部空間Ｓ１への空気の流動により、物品支持台４の上面の清掃対象箇所Ｅに存在していた塵埃が巻き上げられ、空気の上部空間Ｓ２への流動により通気用枠体３６の内部に運ばれ、通気用枠体３６の塵埃回収手段２７にて塵埃が回収されるようになっている。
尚、体積増減手段２６は、天井板５１ｂ及び天井搬送車１の支持機構１４の重量により増大状態から減少状態に切り換えられるように構成されている。
【００７２】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、塵埃回収手段２７を、仕切り体２３における下部空間Ｓ１から上部空間Ｓ２に空気を通記させる通気部分に備えて、体積増減手段２６を減少状態から増大状態に切り換えたときに塵埃回収手段２７にて塵埃を回収するように構成したが、図１３及び図１４に示すように、塵埃回収手段２７を、上部空間Ｓ２から外部空間Ｓ０に空気を通気させる排気部２５に備えて体積増減手段２６を増大状態から減少状態に切り換えたときに塵埃回収手段２７にて塵埃を回収するように構成してもよい。
なお、図１３及び図１４に示す清掃装置５の場合、筒状体と集塵用筒状体３２の一部（仕切り体２３より上方に位置する部分）とで上部分２２ａが形成され、集塵用筒状体３２の残る一部（仕切り体２３より下方に位置する部分）にて下部分２２ｂが形成されている。
【００７３】
（２）  上記実施形態では、変形部材３３をスポンジゴムにて構成して、カバー部１６の下端部を物品支持台４の上面に沿って変形自在に構成したが、カバー部１６の下端部を変形自在にする構成は適宜変更可能であり、例えば、集塵用筒状体３２の下端部に、棒状又は板状の閉止体を集塵用筒状体３２の周壁に沿って複数並べて設け、その複数の閉止体の夫々を、下方へは移動が規制され且つ上方へは移動自在な状態で集塵用筒状体３２の下端から下方に突出するように設け、複数の閉止体の夫々が、物品支持台４の上面に接触することで上方に持ち上げられるようにして、カバー部１６の下端部を変形自在に構成してもよい。
また、物品支持台４の上面が平坦な場合では、集塵用筒状体３２の下端部に変形部材３３を設けないようにして、カバー体２２の下端部を、上下方向に変形不能に構成してもよい。
【００７４】
（３）  上記実施形態では、カバー体２２の下端と物品支持台４の上面との間に隙間を形成することでカバー体２２の下端部に吸気部２４を備えたが、集塵用筒状体３２の下端部に吸気用の孔を形成することでカバー体２２の下端部に吸気部２４を備えてもよい。
【００７５】
（４）  上記実施形態では、清掃装置５に、清掃対象箇所Ｅ近くから通気部分に空気を案内する案内経路３９を形成したが、図１３及び図１４に示すように、清掃装置５に案内経路３９を形成しなくてもよい。
【００７６】
（５）  上記実施形態では、カバー体２２の下端部における一部が通気可能な通気部３４に構成し、カバー体２２の下端部における残る一部が通気部３４より通気し難い難通気部３５に構成したが、例えば、カバー体２２における横側壁部３２ａと前後側壁部３２ｂとを上下方向に同じ長さに形成し、そのカバー体２２の下端部の全周に亘って連続した状態で変形部材３３を設けて、カバー体２２の下端部を均一の通気状態に構成してもよい。
【００７７】
（６）  上記実施形態では、排気部２５を、上部分２２ａの天井面を形成するヘッド部４４や天井板５１ｂに備えたが、図１３及び図１４に示すように、排気部２５を、上部分２２ａの側面部に形成してもよい。
【００７８】
（７）  上記実施形態では、装置凹入部５ａを、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において物品支持台４の上面から離間する状態で清掃装置５に備えたが、装置凹入部５ａの凹入量を突起部４ａの突出量と同じ又は突起部４ａの突出量より大きくなるように形成して、装置凹入部５ａを、清掃装置５が物品支持台４に載置された状態において物品支持台４の上面に接触する状態で清掃装置５に備えてもよい。
【００７９】
（８）  上記実施形態では、清掃処理において体積増減手段２６を減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを複数回（例えば３回）繰り返したが、清掃処理において体積増減手段２６を減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを１回のみ行ってもよい。
また、清掃装置５にパーティクルカウンタ等の塵埃濃度計測手段を設けて、体積増減手段２６を減少状態に切り換えた後に増大状態に切り換えることを、塵埃濃度計測手段にて計測されるカバー体内の塵埃濃度が閾値以下になるまで繰り返すように構成してもよい。
【００８０】
（９）  上記実施形態では、物品搬送車を、天井側に配設された走行レールに沿って走行移動する天井搬送車とし、巻き取りベルトの繰り出し及び巻き取りにより支持体を昇降させたが、物品搬送車を、床面側に配設されたスタッカークレーンとし、昇降台の昇降移動により支持台を昇降させてもよい。
【符号の説明】
【００８１】
１    物品搬送車
２    走行レール
４    物品支持台
４ａ  突起部
５    清掃装置
５ａ  装置凹入部
６    物品
１４    支持体
２１    被支持部
２２    カバー体
２２ａ  上部分
２２ｂ  下部分
２３    仕切り体
２４    吸気部
２５    排気部
２６    体積増減手段
２７    塵埃回収手段
３１    筒状体
３４    通気部
３５    難通気部
３６    通気部分
３９    案内経路
４０    導入口
４４    ヘッド部
５１    筒状部
Ｅ    清掃対象箇所
Ｈ    制御手段
Ｓ０  外部空間
Ｓ１  下部空間
Ｓ２  上部空間
【図１】
2013216447.tif 000003
【図２】
2013216447.tif 000004
【図３】
2013216447.tif 000005
【図４】
2013216447.tif 000006
【図５】
2013216447.tif 000007
【図６】
2013216447.tif 000008
【図７】
2013216447.tif 000009
【図８】
2013216447.tif 000010
【図９】
2013216447.tif 000011
【図１０】
2013216447.tif 000012
【図１１】
2013216447.tif 000013
【図１２】
2013216447.tif 000014
【図１３】
2013216447.tif 000015
【図１４】
2013216447.tif 000016