(57)【要約】【課題】操作のキャンセルに対応しつつコストダウンに寄与できる処理装置を提供する。【解決手段】処理対象に対して所定の処理を実行する処理実行部１００と、据付設置され処理実行部による所定の処理の開始に関する第１情報を指示する開始指示部８０と、処理実行部の動作を制御するとともに、開始指示部からの第１情報の指示に関する第２情報を出力する実行制御部１０８と、第２情報が入力するとともに、所定の処理の開始解除を指示する解除指示部を選択可能に表示し、第２情報の入力または解除指示部の選択に応じて、実行制御部に対して処理実行部の動作開始指示または動作開始解除指示を出力するインターフェイス部ＩＦと、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象に対して所定の処理を実行する処理実行部と、
据付設置され前記処理実行部による前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示する開始指示部と、
前記処理実行部の動作を制御するとともに、前記開始指示部からの前記第１情報の指示に関する第２情報を出力する実行制御部と、
前記第２情報が入力するとともに、前記所定の処理の開始解除を指示する解除指示部を選択可能に表示し、前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記実行制御部に対して前記処理実行部の動作開始指示または動作開始解除指示を出力するインターフェイス部と、
を備えることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の処理装置において、
前記インターフェイス部は、前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して前記処理実行部に指示することを特徴とする処理装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の処理装置において、
前記所定の処理は、基材に対して吐出ヘッドから液滴を吐出してパターンを形成する印刷に関連する処理であることを特徴とする処理装置。
【請求項４】
請求項３記載の処理装置において、
前記吐出ヘッドは、活性光線で硬化する液体の液滴を前記基材に吐出することを特徴とする処理装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の処理装置において、
前記吐出ヘッドは、前記基材に設けられた半導体装置に前記液滴を吐出することを特徴とする処理装置。
【請求項６】
処理実行部により、処理対象に対して所定の処理を実行させる処理装置の制御方法であって、
据付設置された開始指示部により、前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示するステップと、
前記開始指示部から前記第１情報が指示されたときに、該第１情報の指示に関する第２情報をインターフェイス部に出力するステップと、
前記所定の処理の開始を解除する解除指示部を前記インターフェイス部に選択可能に表示するステップと、
前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記所定の処理の動作開始指示、または前記所定の処理の動作開始解除指示を出力するステップと、
を含むことを特徴とする処理装置の制御方法。
【請求項７】
請求項６記載の処理装置の制御方法において、
前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して出力することを特徴とする処理装置の制御方法。
【請求項８】
処理実行部により、処理対象に対して所定の処理を実行させる処理装置の制御プログラムであって、
据付設置された開始指示部により、前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示するステップと、
前記開始指示部から前記第１情報が指示されたときに、該第１情報の指示に関する第２情報をインターフェイス部に出力するステップと、
前記所定の処理の開始を解除する解除指示部を前記インターフェイス部に選択可能に表示するステップと、
前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記所定の処理の動作開始指示、または前記所定の処理の動作開始解除指示を出力するステップと、
をコンピュータに実行させる処理装置の制御プログラム。
【請求項９】
請求項８記載の処理装置の制御プログラムにおいて、
前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して出力することを特徴とする処理装置の制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置とその制御方法並びに処理装置の制御プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、紫外線照射によって硬化する紫外線硬化型インクを用いて、基材である記録媒体に画像またはパターンを印刷処理する処理装置が注目されている。この種の処理装置においては、印刷に関連する処理、例えば液滴を吐出するヘッドのクリーニング処理や、液滴の予備吐出処理等は、装置に据付設置された「開始スイッチ」、「ＯＫスイッチ」、「停止スイッチ」等をオペレーターが操作することで処理実行用コントローラーに指示を通知している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２７７３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
装置のコストダウン等を目的として、スイッチを構成する部品の点数を減らす場合、安全の観点から「開始スイッチ」を残し、「停止スイッチ」を設けないと、オペレーターが開始しようとした操作をキャンセルできないという問題が生じる。
【０００５】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、操作のキャンセルに対応しつつコストダウンに寄与できる処理装置とその制御方法並びに処理装置の制御プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の処理装置は、処理対象に対して所定の処理を実行する処理実行部と、据付設置され前記処理実行部による前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示する開始指示部と、前記処理実行部の動作を制御するとともに、前記開始指示部からの前記第１情報の指示に関する第２情報を出力する実行制御部と、前記第２情報が入力するとともに、前記所定の処理の開始解除を指示する解除指示部を選択可能に表示し、前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記実行制御部に対して前記処理実行部の動作開始指示または動作開始解除指示を出力するインターフェイス部と、を備えることを特徴とするものである。
【０００７】
従って本発明の処理装置では、処理実行部により処理対象に対して所定の処理を実行させる場合には、装置に据付設置された開始指示部により指示することで、開始指示が第１情報として実行制御部に入力した後に、開始指示が入力したことを示す第２情報がインターフェイス部に入力する。インターフェイス部は、第２情報が入力すると、実行制御部に処理実行部の動作開始指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理が実行される。一方、インターフェイス部に表示された解除指示部を選択することにより、インターフェイス部は、実行制御部に処理実行部の動作開始解除指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理開始が解除される。本発明における解除指示部は、装置に据付設置されるものではなく、インターフェイス部に表示されるものなので、スイッチ類の点数を減らしてコストダウンに寄与できる。また、本発明では、所定の処理の動作開始が据付設置された開始指示部を介して指示するため、例えば、インターフェイス部にソフトウェア的に開始指示部を設けた場合に誤動作等により所定の処理の動作が開始されることを防止できる。
【０００８】
上記構成における前記インターフェイス部としては、前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して前記処理実行部に指示する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、一方の指示を出した後に、誤って他方の指示を出した場合でも、誤動作を起こすことを回避することができる。
【０００９】
上記構成における前記所定の処理としては、基材に対して吐出ヘッドから液滴を吐出してパターンを形成する印刷に関連する処理である構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、液滴吐出方式でパターンを形成する際に、印刷に関連する吐出ヘッドへの液体の充填処理、吐出ヘッドからの液体の抜取処理、及び吐出ヘッドの内部の洗浄処理等のメンテナンス処理等を、コストダウンされた装置により安全に実施することが可能になる。
【００１０】
前記吐出ヘッドとしては、活性光線で硬化する液体の液滴を前記基材に吐出する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、基材に対して吐出された液滴に活性光線を照射することで、迅速且つ小さな環境負荷で効率的な印刷処理を実行することができる。
【００１１】
上記構成の場合、前記吐出ヘッドとしては、前記基材に設けられた半導体装置に前記液滴を吐出する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、半導体装置の属性情報等を示す印刷パターンを安定して効率的に成膜・印刷することができる。
【００１２】
一方、本発明の処理装置の制御方法は、処理実行部により、処理対象に対して所定の処理を実行させる処理装置の制御方法であって、据付設置された開始指示部により、前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示するステップと、前記開始指示部から前記第１情報が指示されたときに、該第１情報の指示に関する第２情報をインターフェイス部に出力するステップと、前記所定の処理の開始を解除する解除指示部を前記インターフェイス部に選択可能に表示するステップと、前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記所定の処理の動作開始指示、または前記所定の処理の動作開始解除指示を出力するステップと、を含むことを特徴とする。
【００１３】
従って本発明の処理装置の制御方法では、処理実行部により処理対象に対して所定の処理を実行させる場合には、装置に据付設置された開始指示部により指示することで、開始指示が第１情報として実行制御部に入力した後に、開始指示が入力したことを示す第２情報がインターフェイス部に入力する。インターフェイス部は、第２情報が入力すると、実行制御部に処理実行部の動作開始指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理が実行される。一方、インターフェイス部に表示された解除指示部を選択することにより、インターフェイス部は、実行制御部に処理実行部の動作開始解除指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理開始が解除される。本発明における解除指示部は、装置に据付設置されるものではなく、インターフェイス部に表示されるものなので、スイッチ類の点数を減らしてコストダウンに寄与できる。また、本発明では、所定の処理の動作開始が据付設置された開始指示部を介して指示するため、例えば、インターフェイス部にソフトウェア的に開始指示部を設けた場合に誤動作等により所定の処理の動作が開始されることを防止できる。
【００１４】
上記制御方法においては、前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して出力する手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、一方の指示を出した後に、誤って他方の指示を出した場合でも、誤動作を起こすことを回避することができる。
【００１５】
また、本発明の処理装置の制御プログラムは、処理実行部により、処理対象に対して所定の処理を実行させる処理装置の制御プログラムであって、据付設置された開始指示部により、前記所定の処理の開始に関する第１情報を指示するステップと、前記開始指示部から前記第１情報が指示されたときに、該第１情報の指示に関する第２情報をインターフェイス部に出力するステップと、前記所定の処理の開始を解除する解除指示部を前記インターフェイス部に選択可能に表示するステップと、前記第２情報の入力または前記解除指示部の選択に応じて、前記所定の処理の動作開始指示、または前記所定の処理の動作開始解除指示を出力するステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１６】
従って本発明の処理装置の制御プログラムでは、処理実行部により処理対象に対して所定の処理を実行させる場合には、装置に据付設置された開始指示部により指示することで、開始指示が第１情報として実行制御部に入力した後に、開始指示が入力したことを示す第２情報がインターフェイス部に入力する。インターフェイス部は、第２情報が入力すると、実行制御部に処理実行部の動作開始指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理が実行される。一方、インターフェイス部に表示された解除指示部を選択することにより、インターフェイス部は、実行制御部に処理実行部の動作開始解除指示を出力することにより、処理実行部による処理対象への所定の処理開始が解除される。本発明における解除指示部は、装置に据付設置されるものではなく、インターフェイス部に表示されるものなので、スイッチ類の点数を減らしてコストダウンに寄与できる。また、本発明では、所定の処理の動作開始が据付設置された開始指示部を介して指示するため、例えば、インターフェイス部にソフトウェア的に開始指示部を設けた場合に誤動作等により所定の処理の動作が開始されることを防止できる。
【００１７】
上記制御プログラムにおいては、前記第２情報の入力と前記解除指示部の選択との双方が行われたときに、先に行われた一方に対応する指示を優先して出力する手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、一方の指示を出した後に、誤って他方の指示を出した場合でも、誤動作を起こすことを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（ａ）は半導体基板を示す模式平面図、（ｂ）は印刷装置を示す模式平面図。
【図２】塗布部１０の概略構成を示す模式図。
【図３】液滴吐出ヘッドのノズル形成面におけるノズルの配列状態を示す図である。
【図４】液滴吐出ヘッドの内部構成を示す部分断面図。
【図５】印刷装置における要部の制御ブロック構成図。
【図６】表示部９２の表示画面上に現れる表示例。
【図７】表示部９２の表示画面上に現れる表示例。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の処理装置とその制御方法並びに処理装置の制御プログラムの実施の形態を、図１ないし図７を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００２０】
本実施形態では、本発明の特徴的な処理装置とその制御方法並びに処理装置の制御プログラムの例について、図１〜図７に従って説明する。なお、本実施形態では、描画対象である半導体基板に設けられた半導体装置に対して、紫外線の照射により硬化する液体の液滴を吐出して、半導体基板の属性情報等を示す各種マーク（パターン）を、処理装置としての印刷装置が印刷処理する場合の例について説明する。
【００２１】
（半導体基板）
まず、印刷装置を用いて描画（印刷）する対象の一例である半導体基板について説明する。
図１（ａ）は半導体基板を示す模式平面図である。図１（ａ）に示すように、基材としての半導体基板１は基板２及び半導体装置３を備えている。基板２は耐熱性があり半導体装置３を実装可能であれば良く、基板２にはガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、紙エポキシ基板等を用いることができる。被記録媒体としての半導体装置３は、パッケージ基材であってもよいし、半導体基材であってもよい。
【００２２】
基板２上には半導体装置３が実装されている。そして、半導体装置３上には会社名マーク４、機種コード５、製造番号６等のマーク（パターン）が描画されている。これらのマークが後述する印刷装置によって描画される。
【００２３】
（印刷装置）
図１（ｂ）は印刷装置を示す模式平面図である。
図１（ｂ）に示すように、印刷装置（処理装置）７は主に供給部８、前処理部９、塗布部１０、冷却部１１、収納部１２、搬送部１３、後処理部１４の各種印刷に関連する処理をそれぞれ行う複数の処理実行部（便宜上、処理実行部１００と称する；図５参照）と、これらの処理実行部１００を統括的に制御する処理制御部ＣＯＮＴ（図５参照）から構成されている。なお、供給部８、収納部１２が並ぶ方向、及び前処理部９、冷却部１１、後処理部１４が並ぶ方向をＸ方向とする。Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向には塗布部１０、冷却部１１、搬送部１３が並んで配置されている。そして、鉛直方向をＺ方向とする。
【００２４】
供給部８は、複数の半導体基板１が収納された収納容器を備えている。そして、供給部８は中継場所８ａを備え、収納容器から中継場所８ａへ半導体基板１を供給する。中継場所８ａには、Ｘ方向に延びＹ方向に間隔をあけて設けられた一対のレール８ｂが、収納容器から送り出される半導体基板１の高さと略同一の高さに設けられている。
【００２５】
前処理部９は、半導体装置３の表面を加熱しながら改質する機能を有する。前処理部９により半導体装置３は吐出された液滴の広がり具合及び印刷するマークの密着性が調整される。前処理部９は第１中継場所９ａ及び第２中継場所９ｂを備え、処理前の半導体基板１を第１中継場所９ａまたは第２中継場所９ｂから取り込んで表面の改質を行う。その後、前処理部９は処理後の半導体基板１を第１中継場所９ａまたは第２中継場所９ｂに移動して、半導体基板１を待機させる。第１中継場所９ａ及び第２中継場所９ｂを合わせて中継場所９ｃとする。そして、前処理部９の内部で前処理が行われる場所を処理場所９ｄとする。
【００２６】
冷却部１１は、塗布部１０の中継場所に配置されており、前処理部９で加熱及び表面改質が行われた半導体基板１を冷却する機能を有している。冷却部１１は、それぞれが半導体基板１を保持して冷却する処理場所１１ａ、１１ｂを有している。処理場所１１ａ、１１ｂは、適宜、処理場所１１ｃと総称するものとする。
【００２７】
塗布部１０は、半導体装置３に液滴を吐出してマークを描画（印刷）処理するとともに、描画されたマークを固化または硬化する機能を有する。塗布部１０は中継場所としての冷却部１１から描画前の半導体基板１を移動させて描画処理及び硬化処理を行う。その後、塗布部１０は描画後の半導体基板１を冷却部１１に移動させて、半導体基板１を待機させる。
【００２８】
図２は、塗布部１０の概略構成を示す模式図である。
塗布部１０は、半導体装置３上に紫外線硬化型インクの液滴を吐出し、半導体装置３に着弾した液滴に対して紫外線照射を行って該液滴を硬化させ、半導体装置３上に画像や各種の模様等のパターンを描画するものである。
【００２９】
紫外線硬化型インクは、紫外線を照射するまでは硬化が非常に遅く、紫外線を照射すると急速に硬化するという、印刷インクとして好ましい特性を有する。また、硬化にあたって溶剤を揮発させることがないので、環境負荷が小さいという利点もある。
さらに、紫外線硬化型インクは、ビヒクルの組成により種々の記録媒体に高い付着性を発揮する。また、硬化した後は化学的に安定で、接着性、耐薬剤性、耐候性、耐摩擦性等が高く、屋外環境にも耐える等、優れた特性を有する。このため、紙、樹脂フィルム、金属箔等の薄いシート状の記録媒体の他、記録媒体のレーベル面、テキスタイル製品等、ある程度立体的な表面形状を有するものに対しても画像を形成できる。
なお、以下「紫外線硬化型インク」について説明するときは、便宜上、単に「インク」ということがある。
【００３０】
この塗布部１０は、半導体基板１を載置する基台１０２と、基台１０２上の半導体基板１を図２中のＸ方向に搬送する搬送装置１０３と、インクを吐出する液滴吐出ヘッド１０９と、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）１０９を複数備えてなるキャリッジ１０４と、このキャリッジ１０４をＹ方向に移動させる送り装置１０５と、紫外線照射部１１２と、検査媒体ＣＰを載置する検査ステージ１１３と、撮像手段１１５と、判定部１４０と、各種構成部品による処理の実行を制御する実行制御部１０８と、を具備して構成されている。搬送装置１０３及び送り装置１０５により、半導体基板１とキャリッジ１０４とを、Ｘ方向とＹ方向とにそれぞれ相対移動させる移動装置が構成されている。
【００３１】
搬送装置１０３は、基台１０２上に設けられたステージ１０６及びステージ移動装置１０７を備えて構成されたものである。ステージ１０６は、ステージ移動装置１０７によって基台１０２上をＸ方向に移動可能に設けられたもので、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送される記録媒体Ｐを、例えば真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持するものである。
【００３２】
ステージ移動装置１０７は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたもので、実行制御部１０８から入力される、ステージ１０６のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ステージ１０６をＸ方向に移動させるよう構成されたものである。
【００３３】
キャリッジ１０４は、送り装置１０５に移動可能に取り付けられた矩形板状のもので、その底面側に複数の液滴吐出ヘッド１０９を、Ｙ方向に沿って配列させた状態で保持したものである。
これら複数の液滴吐出ヘッド１０９（１０９Ｙ,１０９Ｃ,１０９Ｍ,１０９Ｋ）は、後述するように複数のノズル１１７を備えたもので、実行制御部１０８から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、インクの液滴を吐出するものである。また、これら複数の液滴吐出ヘッド１０９（１０９Ｙ,１０９Ｃ,１０９Ｍ,１０９Ｋ）は、Ｙ（イエロー）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｋ（黒）に対応したインクをそれぞれ吐出するもので、それぞれの液滴吐出ヘッド１０９には、図２に示すようにキャリッジ１０４を介してチューブ（配管）１１０が連結されている。
【００３４】
そして、Ｙ（イエロー）に対応する液滴吐出ヘッド１０９Ｙには、チューブ１１０を介してＹ（イエロー）用のインクを充填・貯蔵したインクパック（インク貯留室）１１Ｙが接続されており、これによって液滴吐出ヘッド１０９Ｙには、このインクパック１１ＹからＹ（イエロー）用のインクが供給されるようになっている。同様に、Ｃ（シアン）に対応する液滴吐出ヘッド１０９ＣにはＣ（シアン）用のインクを充填したインクパック１１Ｃが接続され、Ｍ（マゼンタ）に対応する液滴吐出ヘッド１０９ＭにはＭ（マゼンタ）用のインクを充填したインクパック１１Ｍが接続され、Ｋ（黒）に対応する液滴吐出ヘッド１０９ＫにはＫ（黒）用のインクを充填したインクパック１１Ｋが接続されている。このような構成によって液滴吐出ヘッド１０９Ｃには、インクパック１１ＣからＣ（シアン）用のインクが供給されるようになっており、液滴吐出ヘッド１０９Ｍには、インクパック１１ＭからＭ（マゼンタ）用のインクが供給されるようになっており、液滴吐出ヘッド１０９Ｋには、インクパック１１ＫからＫ（黒）用のインクが供給されるようになっている。
【００３５】
ここで、インクは、例えば紫外線硬化型のインクなど、所定波長の光を受けて硬化するタイプのもので、モノマーと光重合開始剤と各色に対応する顔料とを含有し、さらに必要に応じて、界面活性剤や熱ラジカル重合禁止剤などの各種添加剤が配合されたものである。なお、このようなインクは、通常はその成分（配合）等によって吸収する光（紫外線）の波長域等が異なることから、硬化する波長の最適値、すなわち最適硬化波長も、インク毎に異なっている。
【００３６】
例えば、インクは、ビヒクル、光重合開始剤および顔料の混合物に、消泡剤、重合禁止剤等の補助剤を添加して調合される。ビヒクルは、光重合硬化性を有するオリゴマー、モノマー等を、反応性希釈剤により粘度調整して調合される。したがって、インクを硬化させる目的で溶媒を揮発させることはない。
【００３７】
ここで、図３及び図４を参照して液滴吐出ヘッド１０９の構成について説明する。図３は、液滴吐出ヘッド１０９のノズル形成面１２１Ａにおけるノズル１１７の配列状態を示す図である。図４は、液滴吐出ヘッド１０９の内部構成を示す部分断面図である。
【００３８】
図３に示すように、ノズル１１７はノズル形成面１２１Ａにおいて半導体基板１の搬送方向（Ｘ方向）に沿って複数設けられ、ノズル列１１６を形成している。このノズル列１１６は、液滴吐出ヘッド１０９の走査方向（Ｙ方向）に沿って計５列設けられている。なお、液滴吐出ヘッド１０９に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能である。また、液滴吐出ヘッド１０９どうしをノズル１１７間のピッチの半分だけ左右方向にずらして配置してもよい。これにより、半導体基板１に対して印字する解像度を向上させることができる。
【００３９】
図４に示すように、液滴吐出ヘッド１０９は、ヘッド本体１１８と、ヘッド本体１１８に接続された流路形成ユニット１２２とを備える。流路形成ユニット１２２は、振動板１１９と、流路基板１２０と、ノズル基板１２１とを備えるとともに、共通インク室１２９と、インク供給口１３０と、圧力室１３１とを形成する。さらに、流路形成ユニット１２２は、ダイヤフラム部として機能する島部１３２と、共通インク室１２９内の圧力変動を吸収するコンプライアンス部１３３とを備える。ヘッド本体１１８には、固定部材１２６とともに駆動ユニット１２４を収容する収容空間１２３と、インクを流路形成ユニット１２２に案内する内部流路１２８とが形成される。
【００４０】
上記構成の液滴吐出ヘッド１０９によれば、ケーブル１２７を介して駆動ユニット１２４に駆動信号が入力されると、圧電素子１２５が伸縮する。これにより、振動板１１９が圧力室１３１に接近する方向（−Ｚ方向）及び圧力室１３１から離れる方向（＋Ｚ方向）に変形（移動）する。このため、圧力室１３１の容積が変化し、インクを収容した圧力室１３１の圧力が変動する。この圧力の変動によって、ノズル１１７からインクが噴射される。
【００４１】
図２に戻り、キャリッジ１０４を移動させる送り装置１０５は、例えば基台１０２を跨ぐ橋梁構造をしたもので、Ｙ方向及びＸＹ平面に直交するＺ方向に対して、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備えたものである。このような構成のもとに送り装置１０５は、実行制御部１０８から入力される、キャリッジ１０４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ１０４をＹ方向に移動させるとともに、Ｚ方向にも移動させるようになっている。
【００４２】
また、図２に示すキャリッジ１０４には、液滴吐出ヘッド１０９の全てに対して、該液滴吐出ヘッド１０９の近傍にそれぞれ紫外線照射部１１２が配置されている。具体的には、紫外線照射部１１２は、キャリッジ１０４の移動方向の前後に設けられており、液滴吐出ヘッド１０９の走査移動とともに移動するようになっている。紫外線照射部１１２は、半導体基板１に吐出されたインクを硬化させるためのもので、本実施形態では多数のＬＥＤ（発光ダイオード）からなっている。ただし、本発明では、ＬＥＤに限定されることなく、これ以外にも例えばレーザーダイオード（ＬＤ）や、さらには水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等を紫外線照射部１１２として用いることができる。
【００４３】
本実施形態のＬＥＤからなる紫外線照射部１１２は、それぞれ照射する光が、対応する液滴吐出ヘッド１０９Ｙ,１０９Ｃ,１０９Ｍ,１０９Ｋが吐出するインクの、最適硬化波長に対応した波長を有している。つまり、前述したように各インクは、その成分（配合）等によって最適硬化波長が異なっており、これに対して紫外線照射部１１２は、対応するインクの最適硬化波長を有した光を照射するようになっている。
【００４４】
検査ステージ１１３は、ステージ移動装置１０７によって基台１０２上をＸ方向に移動可能に設けられている。つまり、検査ステージ１１３は上述したステージ１０６とともに移動するようになっている。この検査ステージ１１３は、例えばプラスチックフィルム等の検査媒体ＣＰを、例えば真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持するものである。
【００４５】
撮像手段１１５は、検査媒体ＣＰの上方に設けられており、ここでは１台配置されている。この撮像手段１１５は、検査媒体ＣＰに形成されたドットパターンを撮像するものである。撮像手段１１５としては、例えばＣＣＤカメラを用いることができる。撮像手段１１５によって撮像された各種データは、判定部１４０に入力される。
【００４６】
実行制御部１０８は、ステージ移動装置１０７にステージ位置制御信号を出力し、送り装置１０５にキャリッジ位置制御信号を出力し、さらには液滴吐出ヘッド１０９の駆動回路基板（図示せず）に描画データ及び駆動制御信号を出力するものである。これによって実行制御部１０８は、半導体基板１とキャリッジ１０４とを相対移動させるべく、ステージ１０６の移動による半導体基板１の位置決め動作、及びキャリッジ１０４の移動による液滴吐出ヘッド１０９の位置決め動作の同期制御を行い、さらに液滴吐出ヘッド１０９に液滴吐出動作を行わせることにより、半導体基板１上あるいは検査媒体ＣＰ上の所定の位置にインクの液滴を配するようになっている。また、この実行制御部１０８は、液滴吐出ヘッド１０９に液滴吐出動作を行わせるのとは別に、紫外線照射部１１２に光照射動作を行わせるようになっている。
【００４７】
また、基台１０２内の右端部（−Ｙ方向端部）に位置する非液滴吐出領域には、実行制御部１０８の制御下で、非印刷時に液滴吐出ヘッド１０９のメンテナンス（例えば、吐出回復動作、ヘッドクリーニングやフラッシング等）を行うためのメンテナンス装置１１４が設けられている。メンテナンス装置１１４は、液滴吐出ヘッド１０９のノズル形成面１２１Ａを封止可能なキャップ（図示略）を備えている。
【００４８】
図１に戻り、後処理部１４は、塗布部１０で描画処理が施された後、冷却部１１に載置された半導体基板１に対して後処理として再加熱処理を行うものである。後処理部１４は、第１中継場所１４ａ及び第２中継場所１４ｂを備えている。第１中継場所１４ａ及び第２中継場所１４ｂを合わせて中継場所１４ｃとする。
【００４９】
収納部１２は、半導体基板１を複数収納可能な収納容器を備えている。そして、収納部１２は中継場所１２ａを備え、中継場所１２ａから収納容器へ半導体基板１を収納する。中継場所１２ａには、Ｘ方向に延びる一対のレール１２ｂが、半導体基板１を収容する収納容器と略同一の高さに設けられている。操作者は半導体基板１が収納された収納容器を印刷装置７から搬出する。
【００５０】
印刷装置７の中央の場所には、搬送部１３が配置されている。搬送部１３は腕部１３ｂを備えたスカラー型ロボットが用いられている。そして、腕部１３ｂの先端には半導体基板１を裏面（下面）から支持しつつ、側縁を片持ちで把持する把持部１３ａが設置されている。中継場所８ａ，９ｃ，１１、１４ｃ、１２ａは把持部１３ａの移動範囲内に位置している。従って、把持部１３ａは中継場所８ａ，９ｃ，１１、１４ｃ、１２ａ間で半導体基板１を移動することができる。処理制御部ＣＯＮＴは、印刷装置７の全体の動作を制御する装置であり、印刷装置７の各部の動作状況を管理する。そして、搬送部１３に半導体基板１を移動する指示信号を出力する。これにより、半導体基板１は各部を順次通過して描画されるようになっている。
【００５１】
図５は、印刷装置７における制御ブロック図である。
上述した処理制御部ＣＯＮＴには、キーボードやマウス（他のポインティングデバイスでもよい）などを含む入力部９１、液晶ディスプレイなどの表示部９２、印刷処理及び印刷に関連する各種関連処理に関するデータを保持するデータ保持部９３が接続されている。これら処理制御部ＣＯＮＴ、入力部９１、表示部９２及びデータ保持部９３によって、本発明に係るインターフェイス部ＩＦが構成される。なお、タッチパネル方式の液晶ディスプレイ等を用いて、入力部９１と表示部９２とを統合させる構成としてもよい。
【００５２】
また、処理制御部ＣＯＮＴには、上述した印刷に関連する各種処理を実行する処理実行部１００の動作をコントロールする実行制御部１０８が接続されている。実行制御部１０８には、処理実行部１００による処理の開始情報（第１情報；以下、単に開始情報と称する）を指示するスタートスイッチ（開始指示部）８０から開始情報が入力する。スタートスイッチ８０は、印刷装置７に据付設置された機械式のスイッチ（ボタン式スイッチや、ジョイスティック式のスイッチ）であり、オペレータが操作することにより、処理実行部１００の動作開始指示を出力できる。
【００５３】
続いて、上記印刷装置７の動作について説明する。
ここでは、処理実行部１００が塗布部１０において、処理対象である液滴吐出ヘッド１０９に対してクリーニング処理を実行するメンテナンス装置１１４である場合を例示して説明する。
【００５４】
オペレーターが、図６に示すように、表示部９２に表示された操作メニューのうち、「ヘッドクリーニング」を入力部９１により選択すると、例えば図７に示すように、スタートスイッチ８０の押下を促すダイアログが表示される。このダイアログには、クリーニング処理開始を解除するための解除指示部として、「中止」の表示が選択可能に含まれている。
このとき、処理制御部ＣＯＮＴは、実行制御部１０８に対してルートＲ１でスタートスイッチ８０が押下される可能性があることを通知する。実行制御部１０８は、この通知を受けてクリーニング処理開始指示の待機状態となる。
【００５５】
そして、オペレーターがスタートスイッチ８０を押下して、クリーニング処理の開始を指示すると、クリーニング処理の開始情報がルートＲ３で実行制御部１０８に入力する。開始情報が入力すると、実行制御部１０８は、処理制御部ＣＯＮＴ（インターフェイス部ＩＦ）に対してスタートスイッチ８０の押下によりクリーニング処理の開始情報が指示されたことを示す情報（第２情報）をルートＲ２で出力する。
【００５６】
実行制御部１０８からの第２情報が入力すると、処理制御部ＣＯＮＴは、表示部９２に対して図７に示したダイアログの表示を閉じさせるとともに、実行制御部１０８に対してメンテナンス装置１１４の動作開始指示をルートＲ１で出力する。動作開始指示が入力した実行制御部１０８は、メンテナンス装置１１４を制御して吐出ヘッド１０９に対するクリーニング処理を実行させる。
【００５７】
一方、スタートスイッチ８０の押下を促すダイアログが表示された際に、オペレータが入力部９１によってクリーニング処理開始の「中止」を選択した場合、処理制御部ＣＯＮＴは、表示部９２に対して図７に示したダイアログの表示を閉じさせるとともに、実行制御部１０８に対して動作開始解除指示を出力する。動作開始解除指示が入力した実行制御部１０８は、クリーニング処理開始の待機を解除して処理が終了する。
【００５８】
なお、スタートスイッチ８０の押下を促すダイアログが表示された際に、何らかの理由でスタートスイッチ８０の押下による指示と、入力部９１によるクリーニング処理開始の中止選択の指示との双方がなされた場合、処理制御部ＣＯＮＴは、先に行われた指示を優先し、この指示を実行制御部１０８に対して出力する。
【００５９】
以上のように、本実施形態では、インターフェイス部ＩＦにおける入力部９１を介してクリーニング処理開始の解除を指示するため、据付設置されるスイッチ類を削減してコストダウンに寄与しつつ、操作の解除に対応することが可能になる。また、本実施形態では、スタートスイッチ８０の押下により処理開始指示の情報が実行制御部１０８に対して出力された場合でも、直ちにメンテナンス装置１１４による処理を開始するのではなく、一旦、処理開始指示に関する情報を処理制御部ＣＯＮＴに出力し、処理制御部ＣＯＮＴからの指示に応じてクリーニング処理を開始するため、クリーニング処理の動作開始を解除指示した後に、誤ってスタートスイッチ８０を押下してしまった場合でも、メンテナンス装置１１４が処理を開始してしまうことを防止でき、安全性を高めることが可能になる。
【００６０】
なお、図５に示した制御系の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより処理装置の制御を行ってもよい。
なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００６１】
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。
【００６２】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６３】
例えば、上記実施形態では、クリーニング処理の開始・開始解除の指示を例示して説明したが、上述したように、他の処理（図６に示されるノズルチェック処理やインク充填処理等）についても本発明を適用可能であることは言うまでもなく、さらに、印刷装置７を構成する供給部８、前処理部９、塗布部１０、冷却部１１、収納部１２、搬送部１３、後処理部１４の各装置毎に本発明を適用することも可能である。また、上記実施形態では、処理装置として印刷処理及び印刷に関連する処理を行う印刷装置７を用いて説明したが、これに限定されるものではなく、据付設置された開始指示部を用いて処理を開始する各種生産装置（製造装置）等に広く適用可能である。
【００６４】
また、上記実施形態では、ＵＶインクとして紫外線硬化型インクを用いたが、本発明はこれに限定されず、可視光線、赤外線を硬化光として使用することができる種々の活性光線硬化型インクを用いることができる。
また、光源も同様に、可視光等の活性光を射出する種々の活性光光源を用いること、つまり活性光線照射部を用いることができる。
【００６５】
ここで、本発明において「活性光線」とは、その照射によりインク中において開始種を発生させうるエネルギーを付与することができるものであれば、特に制限はなく、広く、α線、γ線、Ｘ線、紫外線、可視光線、電子線などを包含するものである。中でも、硬化感度及び装置の入手容易性の観点からは、紫外線及び電子線が好ましく、特に紫外線が好ましい。従って、活性光線硬化型インクとしては、本実施形態のように、紫外線を照射することにより硬化可能な紫外線硬化型インクを用いることが好ましい。
【００６６】
上記実施形態における基材としての半導体基板１は、半導体装置３が実装された基板２であったが、シリコンなどの半導体で形成された基板であってもよい。被記録媒体としての半導体装置３は、樹脂でモールドした半導体装置であってもよいし、半導体装置そのものであってもよい。
【００６７】
また、上記実施形態においては、記録媒体上に紫外線硬化型インクを吐出し、記録媒体に着弾した紫外線硬化型インクに対して紫外線照射を行って該紫外線硬化型インクを硬化させ、記録媒体上に画像や各種の模様等のパターンを描画するものであったが、これに限られない。例えば、熱により硬化するインクを用いてもよい。
また、液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造における色材を吐出する液滴吐出装置に適用してもよいし、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の製造における電極形成のための液滴吐出装置に適用してもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１…半導体基板（基材）、  ７…印刷装置（処理装置）、  ８０…スタートスイッチ（開始指示部）、  １００…処理実行部、  １０８…実行制御部、  １０９…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）、  ＩＦ…インターフェイス部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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