(57)【要約】【課題】振動や温度変化による位置ずれを抑制した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口２３が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッド２０と、複数の前記液体噴射ヘッド２０が位置決めされて固定された固定部材３０と、を具備し、各液体噴射ヘッド２０は、前記ノズル開口２３の並設方向Ｘにおける両端部が固定手段４０によって前記固定部材３０に固定され、前記ノズル開口２３の並設方向Ｘの一端部側を固定する一方の固定手段４０が前記液体噴射ヘッド２０を固定する力は、前記ノズル開口２３の並設方向Ｘの他端部側を固定する他方の固定手段４０が前記液体噴射ヘッド２０を固定する力よりも大きい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドと、
複数の前記液体噴射ヘッドが位置決めされて固定された固定部材と、を具備し、
各液体噴射ヘッドは、前記ノズル開口の並設方向における両端部が固定手段によって前記固定部材に固定され、
前記ノズル開口の並設方向の一端部側を固定する一方の固定手段が前記液体噴射ヘッドを固定する力は、前記ノズル開口の並設方向の他端部側を固定する他方の固定手段が前記液体噴射ヘッドを固定する力よりも大きいことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記固定手段の前記液体噴射ヘッドを固定する力は、前記締結部材の締め付けトルクで調整されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記他方の前記固定手段である前記締結部材と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの間には、前記一方の前記締結部材と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの摩擦係数よりも低い摩擦係数のワッシャーが配されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記他方の固定手段と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの間には、付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記一方の固定手段として設けられた前記締結部材の数が、前記他方の固定手段として設けられた前記締結部材の数よりも多いことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項６】
前記一方の固定手段として、前記固定部材と前記液体噴射ヘッドとを接着剤で接着することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項７】
前記固定部材及び前記液体噴射ヘッドの何れか一方には、位置決めピンが設けられており、他方には前記位置決めピンが挿入される位置決め穴が設けられており、前記位置決めピン及び前記位置決め穴が、前記ノズル開口の並設方向の両端部に設けられており、
前記一方の固定手段側の前記位置決め穴が、単穴で設けられており、
前記他方の固定手段側の前記位置決め穴が、前記ノズル開口の並設方向に長軸となる長穴で設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、カートリッジやタンク等の貯留されたインクなどの液体を液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドを具備する。
【０００３】
このような液体噴射装置に用いられる液体噴射ヘッドは、単体でノズル開口の長尺化（多ノズル化）や高密度化を行うのは、液体噴射ヘッドが大型化して歩留まりが低下すると共に、製造コストが高価になってしまうため困難である。このため、複数の液体噴射ヘッドを共通のプレートである固定部材に固定してユニット化した液体噴射ヘッドユニット（以下、単にヘッドユニットとも言う）が提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、液体噴射ヘッドのノズル開口の並設方向の一端部側を固定部材に固定し、他方を固定部材に固定しない自由端とした液体噴射ヘッドユニットが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−３０２３０号公報
【特許文献２】特開２００２−１９２７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、固定部材に位置決めされて固定された複数のインクジェット式記録ヘッドは、温度変化によってインクジェット式記録ヘッドの相対位置がずれてしまうという問題がある。
【０００７】
また、インクジェット式記録ヘッドのノズル開口の並設方向の両端を固定した場合、温度変化によって膨張し、インクジェット式記録ヘッドに反りが発生してしまうという問題がある。
【０００８】
さらに、特許文献２のようにノズル開口の並設方向の一端部側を固定し、他端部側を自由端とした場合、駆動時や移動時などの振動によって自由端側に浮きが発生したり、インクジェット式記録ヘッドが固定端を軸として回転してしまうという問題がある。
【０００９】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、振動や温度変化による位置ずれを抑制した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドと、複数の前記液体噴射ヘッドが位置決めされて固定された固定部材と、を具備し、各液体噴射ヘッドは、前記ノズル開口の並設方向における両端部が固定手段によって前記固定部材に固定され、前記ノズル開口の並設方向の一端部側を固定する一方の固定手段が前記液体噴射ヘッドを固定する力は、前記ノズル開口の並設方向の他端部側を固定する他方の固定手段が前記液体噴射ヘッドを固定する力よりも大きいことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、液体噴射ヘッドユニットの環境に温度変化や湿度変化が生じた際に、液体噴射ヘッドは、固定部材に対して固定力の弱い側が伸長・収縮するように移動し、元の環境に戻った際に移動した固定力の弱い側が元の位置に戻るため、複数の液体噴射ヘッドの相対位置が環境変化によって位置ずれするのを抑制することができる。これにより、液体の被記録媒体への着弾位置を向上することができる。
【００１２】
ここで、前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記固定手段の前記液体噴射ヘッドを固定する力は、前記締結部材の締め付けトルクで調整されていることが好ましい。これによれば、締付けトルクを調整するという簡便な方法で固定力を調整することができるため、部品点数を増大させることなく、また、製造工程を煩雑化させることなくコストを低減することができる。さらに、液体噴射ヘッドが固定部材から着脱自在となるため、液体噴射ヘッドのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。
【００１３】
また、前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記他方の前記固定手段である前記締結部材と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの間には、前記一方の前記締結部材と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの摩擦係数よりも低い摩擦係数のワッシャーが配されていることが好ましい。これによれば、ワッシャーを配することで、容易に固定力を調整することができる。また、液体噴射ヘッドが固定部材から着脱自在となるため、液体噴射ヘッドのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。
【００１４】
また、前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記他方の固定手段と前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドとの間には、付勢部材が設けられていることが好ましい。これによれば、付勢部材を配することで、容易に固定力を調整することができる。また、液体噴射ヘッドが固定部材から着脱自在となるため、液体噴射ヘッドのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。
【００１５】
また、前記固定手段が、前記固定部材又は前記液体噴射ヘッドに締結される締結部材であると共に、前記一方の固定手段として設けられた前記締結部材の数が、前記他方の固定手段として設けられた前記締結部材の数よりも多いことが好ましい。これによれば、締結部材の数を調整することで、容易に固定力を調整することができる。また、液体噴射ヘッドが固定部材から着脱自在となるため、液体噴射ヘッドのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。
【００１６】
また、前記一方の固定手段として、前記固定部材と前記液体噴射ヘッドとを接着剤で接着することが好ましい。これによれば、接着することで、容易に固定力を調整することができる。
【００１７】
また、前記固定部材及び前記液体噴射ヘッドの何れか一方には、位置決めピンが設けられており、他方には前記位置決めピンが挿入される位置決め穴が設けられており、前記位置決めピン及び前記位置決め穴が、前記ノズル開口の並設方向の両端部に設けられており、前記一方の固定手段側の前記位置決め穴が、単穴で設けられており、前記他方の固定手段側の前記位置決め穴が、前記ノズル開口の並設方向に長軸となる長穴で設けられていることが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドを固定部材に固定する固定力が弱い側を積極的に伸長・収縮して移動させることができる。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、環境変化に伴う位置ずれが生じるのを抑制して信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る温度変化による位置ずれを示す模式図である。
【図５】従来構成による温度変化による位置ずれを示す模式図である。
【図６】本発明の実施形態２に係るヘッドユニットの断面図である。
【図７】本発明の実施形態３に係るヘッドユニットの断面図である。
【図８】本発明の実施形態４に係るヘッドユニットの平面図である。
【図９】本発明の実施形態５に係るヘッドユニットの断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの概略斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドユニットのノズル開口側の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ'線断面図及びＢ−Ｂ'線断面図である。
【００２１】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１０は、複数のインクジェット式記録ヘッド２０と、これら複数のインクジェット式記録ヘッド２０が位置合わせされた状態で固定された固定部材３０と、を具備する。
【００２２】
本実施形態では、２つのインクジェット式記録ヘッド２０が固定部材３０に固定されている。
【００２３】
ここで、インクジェット式記録ヘッド２０は、複数のヘッド本体２１と、ヘッド本体２１が固定された保持部材２２と、を具備する。
【００２４】
ヘッド本体２１は、一端面にノズル開口２３が並設されたノズル列を具備する。以降、この方向をノズル開口２１の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、ヘッド本体２１には、ノズル開口２３が並設されたノズル列が、第１の方向Ｘに直交する方向に複数列、本実施形態では、２列設けられている。このノズル列の列設方向である第１の方向Ｘに直交する方向を以降、第２の方向Ｙと称する。なお、ノズル列の数は特に限定されず、例えば、１列であってもよく、３列以上であってもよい。
【００２５】
このヘッド本体２１の内部には、図示していないが、ノズル開口２３に連通する流路の一部を構成する圧力発生室と、圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル開口２３からインクを吐出させる圧力発生手段とが設けられている。圧力発生手段は、特に限定されないが、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を２つの電極で挟んだ圧電素子を用いたものや、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口２３から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口２３から液滴を吐出させるものなどを用いることができる。また、圧電素子としては、圧力発生室側から下電極、圧電材料及び上電極を積層して撓み変形させる撓み振動型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを用いることができる。
【００２６】
このようなヘッド本体２１は、ノズル開口２３とは反対面側が保持部材２２に保持される。この保持部材２２には、特に図示していないが、外部から直接又は供給管を介してインクが供給されると共に、供給されたインクをヘッド本体２１に供給する流路が設けられている。
【００２７】
また、１つの保持部材２２には、複数、本実施形態では、４個のヘッド本体２１が保持されている。具体的には、本実施形態では、保持部材２２には、ヘッド本体２１を第１の方向Ｘに並設した２個のヘッド本体２１の列と、第１の方向Ｘに並設した２個のヘッド本体２の列とが第２の方向Ｙに列設されている。
【００２８】
１つのインクジェット式記録ヘッド２０において、複数のヘッド本体２１は、第１の方向Ｘにノズル列が連続するように第１の方向Ｘに沿って千鳥状に配置されている。これにより、合計４個のヘッド本体２１によって、１つのヘッド本体２１のノズル列の約４倍の長さで第１の方向Ｘに連続するノズル列を形成することができる。これにより、１つのヘッド本体２１のノズル列で印刷を行う場合に比べて、広範囲な印刷を高速で行わせることができる。なお、ヘッド本体２１のノズル列が、第１の方向Ｘに連続するとは、第２の方向Ｙで互いに隣接するヘッド本体２１において、一方のヘッド本体２１のノズル列の端部のノズル開口２３と、他方のヘッド本体２１のノズル列の端部のノズル開口２３とが、第１の方向Ｘで同一位置となるように配置されていることを言う。
【００２９】
このような保持部材２２の第１の方向Ｘの両端部側には、外側に突出するフランジ部２４が設けられている。本実施形態では、第１の方向Ｘの一方のフランジ部２４を第１のフランジ部２４１と称し、他方のフランジ部２４を第２のフランジ部２４２と称する。ちなみに、以下、フランジ部２４と称する際は、第１のフランジ部２４１及び第２のフランジ部２４２の両方を指すものである。
【００３０】
また、各フランジ部２４には、厚さ方向に貫通した固定孔２５が設けられている。本実施形態では、第１の方向Ｘの両側の各フランジ部２４にそれぞれ２個の固定孔２５を第２の方向Ｙに並設した。なお、ここで言う厚さ方向とは、インク滴の吐出方向のことであり、以降、この方向を第３の方向Ｚと称する。
【００３１】
さらに、第１のフランジ部２４１には、単穴の第１の位置決め穴２６が設けられている。また、第２のフランジ部２４２には、第１の方向Ｘに長い長穴の第２の位置決め穴２７が設けられている。なお、ここで言う単穴とは、開口が正円又は正円に近いものを言い、長穴とは、開口が楕円又は楕円に近いものを言う。
【００３２】
このようなインクジェット式記録ヘッド２０は、固定手段によって複数個が相対的に位置決めされた状態で固定部材３０に固定されてインクジェット式記録ヘッドユニット１０を構成する。なお、本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッドユニット１０には、２つのインクジェット式記録ヘッド２０を設けたが、インクジェット式記録ヘッド２０の数は特にこれに限定されるものではなく、インクジェット式記録ヘッド２０は３個以上であってもよい。
【００３３】
固定部材３０は、図１に示すように、各インクジェット式記録ヘッド２０のノズル開口２３側が挿入される保持孔３１が設けられた金属又は樹脂等の板状部材からなる。
【００３４】
固定部材３０の保持孔３１は、第２の方向Ｙの幅が、インクジェット式記録ヘッド２０の第２の方向Ｙの幅を２つ合わせた幅よりも若干大きい開口を有する。また、保持孔３１は、第１の方向Ｘの幅が、インクジェット式記録ヘッド２０のフランジ部２４よりも若干小さな開口を有する。これにより、固定部材３０の１つの保持孔３１には、２つのインクジェット式記録ヘッド２０のノズル開口２３側が挿入される。また、保持孔３１にノズル開口２３側が挿入されたインクジェット式記録ヘッド２０は、フランジ部２４が、保持孔３１の周縁部に当接されて固定手段によって固定される。なお、インクジェット式記録ヘッド２０と保持孔３１との間には、空隙が設けられており、この空隙によってインクジェット式記録ヘッド２０は固定部材３０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙが若干移動可能に設けられている。
【００３５】
また、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、ノズル開口２３が相対的に位置決めされた状態で固定部材３０に固定される。具体的には、固定部材３０の保持孔３１の周囲のフランジ部２４が当接する領域のそれぞれには、位置決めピン３２が設けられている。すなわち、位置決めピン３２は、１つのインクジェット式記録ヘッド２０に対して一対（２個）設けられている。この位置決めピン３２をフランジ部２４に設けられた第１の位置決め穴２６及び第２の位置決め穴２７に挿入させることで、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、互いに相対的な位置決めが行われるようになっている。
【００３６】
なお、第１の位置決め穴２６は単穴からなるため、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行い、第２の位置決め穴２７は長穴からなるため、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の位置決め穴２６を軸とした回転方向の位置決めを行うようになっている。すなわち、第２の位置決め穴２７を長穴とすることで、固定部材３０やインクジェット式記録ヘッド２０の寸法公差によって第２の位置決め穴２７に位置決めピン３２が挿入されなくなるのを抑制している。
【００３７】
また、このようなインクジェット式記録ヘッド２０を固定部材３０に固定する固定手段は、本実施形態では、締結部材４０を用いた。
【００３８】
締結部材４０は、雄ねじからなり、インクジェット式記録ヘッド２０のフランジ部２４に設けられた固定孔２５に挿通されて、その先端部側が固定部材３０に螺合する。これにより、インクジェット式記録ヘッド２０は、締結部材４０によって固定部材３０に締結される。なお、本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッド２０に４個の固定孔２５を設けたため、締結部材４０も固定孔２５と同じ数、すなわち、４個設けられている。
【００３９】
ここで、第１のフランジ部２４１を固定する締結部材４０と、第２のフランジ部２４２を固定する締結部材４０とは、異なる締め付けトルクで締結されている。
【００４０】
具体的には、第１のフランジ部２４１を固定する締結部材４０は、第２のフランジ部２４２を締結する締結部材４０よりも高い締め付けトルクで締結されている。これにより、固定手段である締結部材４０が第１のフランジ部２４１を固定部材３０に固定する力の方が、第２のフランジ部２４２を固定部材３０に固定する力よりも大きくなっている。なお、ここで言う固定する力（固定力）とは、締結部材４０と固定部材３０との間でフランジ部２４を挟持する圧力のことであるが、実質的には、ノズル開口２３が開口する液体噴射面の面内方向、つまり、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに移動するのを抑える力のことである。すなわち、本実施形態では、第１のフランジ部２４１を締結する締結部材４０の締め付けトルクと、第２のフランジ部２４２を締結する締結部材４０の締め付けトルクとを異なる締め付けトルクとすることで、第１のフランジ部２４１を固定部材３０に固定する力の方が、第２のフランジ部２４２を固定部材３０に固定する力よりも大きくしたが、特にこれに限定されるものではない。例えば、固定部材３０の表面粗さを第１のフランジ部２４１が当接される領域を粗く、第２のフランジ部２４２が当接される領域を平滑にした場合、同じ締め付けトルクであっても、第１のフランジ部２４１を固定部材３０に固定する力の方が、第２のフランジ部２４２を固定部材３０に固定する力よりも大きくなる。
【００４１】
また、本実施形態では、固定部材３０には２つのインクジェット式記録ヘッド２０が保持されているが、２つのインクジェット式記録ヘッド２０を第１のフランジ部２４１が第１の方向Ｘで同じ側となるように固定部材３０に保持し、且つ２つのインクジェット式記録ヘッド２０で第１のフランジ部２４１側の締結部材４０による締め付けトルクを高く、第２のフランジ部２４２側の締結部材４０による締め付けトルクを低くしている。
【００４２】
このように、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の固定手段である締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の固定手段である締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力よりも高くすることで、温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。ここで、温度変化及び湿度変化に伴うインクジェット式記録ヘッド２０の相対位置のずれについて図４を参照して説明する。なお、図４は、インクジェット式記録ヘッドの温度変化及び湿度変化に伴う位置ずれを示す模式図である。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、常温・常湿の環境でインクジェット式記録ヘッドユニット１０の製造を行うことによって、２つのインクジェット式記録ヘッド２０はノズル開口２３が互いに相対位置が位置決めされた状態で固定部材３０に固定される。このとき、固定手段である締結部材４０は、第１のフランジ部２４１側が高い締め付けトルク（高い固定力）で、第２のフランジ部２４２側が低い締め付けトルク（低い締結力）でインクジェット式記録ヘッド２０を固定部材３０に固定している。なお、図４では、高い締め付けトルクで締結した締結部材４０を黒丸で、低い締め付けトルクで締結した締結部材４０を白丸で示している。
【００４４】
次に、図４（ｂ）に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が高温・高湿の環境にさらされると、インクジェット式記録ヘッド２０は、固定部材３０に対して、第１のフランジ部２４１側が高い固定力で固定され、第２のフランジ部２４２側が低い固定力で固定されているため、第１のフランジ部２４１側は移動せずに、第２のフランジ部２４２側のみが移動する。
【００４５】
なお、本実施形態では、締め付けトルクが小さい（固定する力が小さい）第２のフランジ部２４２側の第２の位置決め穴２７を第１の方向Ｘに長い長穴としたため、第２のフランジ部２４２側を伸長によって移動させることができる。ちなみに、第２のフランジ部２４２側の第２の位置決め穴２７を単穴（正円の開口）とした場合、第２のフランジ部２４２側を伸長によって移動させようとしても、第２の位置決め穴２７が位置決めピン３２に当接し、移動が規制されるため、固定手段である締結部材４０の固定力に差を付けたとしても、第１のフランジ部２４１側が伸長によって移動する虞があるので好ましくない。
【００４６】
そして、図４（ｃ）に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が常温・常湿の環境に戻ると、伸長していたインクジェット式記録ヘッド２０は元の長さに収縮する。このとき、インクジェット式記録ヘッド２０は、固定部材３０に対して、第１のフランジ部２４１側が高い固定力で固定され、第２のフランジ部２４２側が低い固定力で固定されているため、第１のフランジ部２４１側は移動せずに、第２のフランジ部２４２側のみが移動する。すなわち、第１の方向Ｘの外側に移動していた第２のフランジ部２４２が元の位置に戻るため、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対位置は、高温・高湿の環境にさらされる前と同じ位置、すなわち、ノズル開口２３が互いに相対位置が位置決めされた位置となる。
【００４７】
これに対して、本実施形態では締結部材４０の締め付けトルクを異なる構成とした場合、ここでは、例えば、締結部材４０の締め付けトルクを全て同じ締め付けトルク（高トルク）で締結した場合について、図５を参照して説明する。なお、図５は、比較のため従来のインクジェット式記録ヘッドの温度変化及び湿度変化に伴う位置ずれを示す模式図である。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、常温・常湿の環境でインクジェット式記録ヘッドユニット１０の製造を行うことによって、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は相対位置が位置決めされた状態で固定部材３０に固定される。このとき、固定手段である締結部材４０は、全て同じ高トルク（高い固定力）でインクジェット式記録ヘッド２０を固定部材３０に固定している。
【００４９】
次に、図５（ｂ）に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が高温・高湿の環境にさらされると、インクジェット式記録ヘッド２０は、第１のフランジ部２４１側又は第２のフランジ部２４２側が伸長によってランダムに移動する。本実施形態では、一方のインクジェット式記録ヘッド２０は第１のフランジ部２４１側が移動し、他方のインクジェット式記録ヘッド２０は第２のフランジ部２４２側が移動する。なお、インクジェット式記録ヘッド２０が伸長（移動）する方向は、締結部材４０の締付けトルクのばらつきや、位置決めピン３２と位置決め穴２６、２７とのクリアランス等によって決まるため、第１の方向Ｘのどちらに伸長（移動）するかは予測するのが困難である。
【００５０】
そして、図５（ｃ）に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が常温・常湿の環境に戻ると、伸長したインクジェット式記録ヘッド２０は収縮する。このとき、収縮方向は、締め付けトルクのばらつきや、位置決めピン３２と位置決め穴２６、２７とのクリアランス等によって決まるため、第１の方向Ｘのどちら側の端部が移動するかランダムになり、予測するのは困難である。本実施形態では、一方のインクジェット式記録ヘッド２０は、移動した第１のフランジ部２４１側が移動して元の位置に戻るが、他方のインクジェット式記録ヘッド２０は、高温・高湿の環境下で移動した第２のフランジ部２４２側とは反対側の第１のフランジ部２４１側が第１の方向Ｘの内側に移動する。すなわち、一方のインクジェット式記録ヘッド２０は元の位置に戻るが、他方のインクジェット式記録ヘッド２０は、元の位置とは異なる位置となる。したがって、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、高温・高湿の環境にさらされることによって、高温・高湿の環境にさらされる前とは異なる相対位置となる。これにより、インクジェット式記録ヘッドユニット１０からインク滴を吐出させた際に、インク滴の被記録媒体への着弾位置にずれが生じ、印刷品質が低下してしまう。
【００５１】
なお、上述した例では、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が高温・高湿の環境にさらされることによる位置ずれについて説明したが、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が低温・低湿の環境にさらされたとしても同様に、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００５２】
以上説明したように、本実施形態では、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力よりも高くすることで、温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。これにより、２つのインクジェット式記録ヘッド２０から吐出されるインク滴が被記録媒体に着弾する着弾位置のずれを抑制して、印刷品質を向上することができる。
【００５３】
また、本実施形態では、固定手段である締結部材４０の締付けトルク（固定力）の弱い第２のフランジ部２４２側も締結部材４０によって固定されているため、インクジェット式記録ヘッドユニット１０の移動時や駆動時などの振動によっても、インクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００５４】
さらに、本実施形態では、第１のフランジ部２４１側の締結部材４０を締結するトルクと、第２のフランジ部２４２側の締結部材４０を締結するトルクとを調整することで、固定する力に差が生じるようにしたため、部品点数が増大することなく、トルクの管理という簡便な方法で、温度変化や湿度変化によって伸長又は収縮し、元に戻った際の位置ずれを抑制することができる。したがって、コストを低減することができる。
【００５５】
（実施形態２）
図６は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５６】
図６に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１０Ａは、２つ（図示しない）のインクジェット式記録ヘッド２０と、２つのインクジェット式記録ヘッド２０が固定手段によって固定される固定部材３０と、を具備する。
【００５７】
インクジェット式記録ヘッド２０は、４個（図示しない）のヘッド本体２１と、４個のヘッド本体２１を保持する保持部材２２とを具備する。
【００５８】
そして、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、固定手段である締結部材４０によって固定部材３０に固定されている。
【００５９】
締結部材４０は、雄ねじからなり、インクジェット式記録ヘッド２０のフランジ部２４に設けられた固定孔２５に挿通されて、その先端部側が固定部材３０に螺合する。これにより、インクジェット式記録ヘッド２０は、締結部材４０によって固定部材３０に締結される。
【００６０】
また、第２のフランジ部２４２を固定する締結部材４０の頭部と第２のフランジ部２４２との間には、低摩擦ワッシャー４１が配されており、第２のフランジ部２４２は、低摩擦ワッシャー４１を介して締結部材４０によって締結されている。
【００６１】
ここで、低摩擦ワッシャー４１とは、摩擦係数が、締結部材４０よりも低いものを言う。このような低摩擦ワッシャー４１としては、例えば、ポリスライダーワッシャー（株式会社旭ポリスライダー社製）等を用いることができる。なお、第１のフランジ部２４１に設けられた締結部材４０が、通常のワッシャーを用いた場合には、低摩擦ワッシャー４１は、第１のフランジ部２４１に設けられたワッシャーよりも摩擦係数が低い低摩擦ワッシャーを用いればよい。
【００６２】
このように、第２のフランジ部２４２と締結部材４０との間に低摩擦ワッシャー４１を設けることで、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力よりも高くすることができる。したがって、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ａが置かれた環境に温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、固定手段である締結部材４０の締付けトルク（固定力）の弱い第２のフランジ部２４２側も締結部材４０と低摩擦ワッシャー４１とによって固定されているため、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ａの移動時や駆動時などの振動によっても、インクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００６４】
（実施形態３）
図７は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６５】
図７に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｂは、２つのインクジェット式記録ヘッド２０と、２つのインクジェット式記録ヘッド２０が固定手段によって固定される固定部材３０と、を具備する。
【００６６】
インクジェット式記録ヘッド２０は、４個のヘッド本体２１と、４個のヘッド本体２１を保持する保持部材２２とを具備する。
【００６７】
そして、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、固定手段である締結部材４０によって固定部材３０に固定されている。
【００６８】
締結部材４０は、雄ねじからなり、インクジェット式記録ヘッド２０のフランジ部２４に設けられた固定孔２５に挿通されて、その先端部側が固定部材３０に螺合する。これにより、インクジェット式記録ヘッド２０は、締結部材４０によって固定部材３０に締結される。
【００６９】
また、第２のフランジ部２４２を固定する締結部材４０の頭部と第２のフランジ部２４２との間には、付勢部材４２が配されており、第２のフランジ部２４２は、付勢部材４２を介して締結部材４０によって固定されている。
【００７０】
ここで、付勢部材４２は、締結部材４０に対して第２のフランジ部２４２を固定部材３０側に付勢するものであれば、特に限定されず、コイルばね、板バネ等を用いることができる。本実施形態では、付勢部材４２として、内径が位置決め穴よりも大きく、且つ外径が締結部材４０の頭部よりも小さなコイルばねを用いた。
【００７１】
このように、第２のフランジ部２４２と締結部材４０との間に付勢部材４２を設けることで、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力よりも高くすることができる。したがって、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｂが置かれた環境に温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００７２】
また、本実施形態では、固定手段である締結部材４０の締付けトルク（固定力）の弱い第２のフランジ部２４２側も締結部材４０と付勢部材４２とによって固定されているため、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｂの移動時や駆動時などの振動によっても、インクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００７３】
（実施形態４）
図８は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７４】
図８に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｃは、２つのインクジェット式記録ヘッド２０Ａと、２つのインクジェット式記録ヘッド２０Ａが固定手段によって固定される固定部材３０と、を具備する。
【００７５】
インクジェット式記録ヘッド２０Ａは、４個のヘッド本体２１と、４個のヘッド本体２１を保持する保持部材２２Ａとを具備する。
【００７６】
そして、２つのインクジェット式記録ヘッド２０Ａは、固定手段である締結部材４０によって固定部材３０に固定されている。
【００７７】
ここで、インクジェット式記録ヘッド２０Ａの第１のフランジ部２４１には、２つの固定孔２５が第２の方向Ｙに並設されている。また、第２のフランジ部２４２には、１つの固定孔２５が設けられている。このため、インクジェット式記録ヘッド２０Ａは、第１のフランジ部２４１側で２つの締結部材４０によって固定部材３０に締結され、第２のフランジ部２４２側で１つの締結部材４０によって固定部材３０に締結されている。
【００７８】
なお、１つのインクジェット式記録ヘッド２０Ａを固定部材３０に固定する３つの締結部材４０は、同じ締め付けトルクで締結すればよい。ただし、第１のフランジ部２４１を締結する２つの締結部材４０による合計の固定力が、第２のフランジ部２４２を締結する１つの締結部材４０による固定力よりも大きければ、締め付けトルクにばらつきがあってもよい。
【００７９】
このように、第１のフランジ部２４１を締結する締結部材４０の数を、第２のフランジ部２４２を締結する締結部材４０の数よりも多くすることで、インクジェット式記録ヘッド２０Ａの第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０Ａを固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０Ａを固定する力よりも高くすることができる。したがって、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｃが置かれた環境に温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０Ａの相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００８０】
また、本実施形態では、固定手段である締結部材４０の締付けトルク（固定力）の弱い第２のフランジ部２４２側も締結部材４０によって固定されているため、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｃの移動時や駆動時などの振動によっても、インクジェット式記録ヘッド２０Ａの相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００８１】
（実施形態５）
図９は、本発明の実施形態５に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８２】
図９に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｄは、２つのインクジェット式記録ヘッド２０と、２つのインクジェット式記録ヘッド２０が固定手段によって固定される固定部材３０と、を具備する。
【００８３】
インクジェット式記録ヘッド２０は、４個のヘッド本体２１と、４個のヘッド本体２１を保持する保持部材２２Ａとを具備する。
【００８４】
そして、２つのインクジェット式記録ヘッド２０は、固定手段である締結部材４０によって固定部材３０に固定されている。
【００８５】
締結部材４０は、雄ねじからなり、インクジェット式記録ヘッド２０のフランジ部２４に設けられた固定孔２５に挿通されて、その先端部側が固定部材３０に螺合する。これにより、インクジェット式記録ヘッド２０は、締結部材４０によって固定部材３０に締結されている。また、第１のフランジ部２４１は、固定部材３０に接着剤からなる接着層４３を介して接着されている。すなわち、本実施形態の固定手段は、フランジ部２４を締結する締結部材４０と、第１のフランジ部２４１と固定部材３０とを接着する接着層４３とで構成されている。
【００８６】
このように、第１のフランジ部２４１を締結部材４０によって締結すると共に、第１のフランジ部２４１と固定部材３０とを接着剤からなる接着層４３によって接着することで、インクジェット式記録ヘッド２０の第１の方向Ｘの一端部側（第１のフランジ部２４１側）を固定する一方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力を、第１の方向Ｘの他端部側（第２のフランジ部２４２側）を固定する他方の締結部材４０がインクジェット式記録ヘッド２０を固定する力よりも高くすることができる。したがって、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｄが置かれた環境に温度変化や湿度変化が生じても、２つのインクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００８７】
なお、本実施形態では、固定部材３０とインクジェット式記録ヘッド２０とが接着層４３を介して接着された構成を有するため、インクジェット式記録ヘッド２０の着脱を伴う交換や調整を行うのが困難である。これに対して、上述した実施形態１〜４の構成であれば、インクジェット式記録ヘッド２０、２０Ａを固定部材３０から容易に着脱することができるため、上述した実施形態１〜４のインクジェット式記録ヘッドユニット１０〜１０Ｃでは、インクジェット式記録ヘッド２０、２０Ａの着脱を伴う交換や調整を容易に行うことができる。
【００８８】
また、本実施形態では、固定手段である締結部材４０の締付けトルク（固定力）の弱い第２のフランジ部２４２側も締結部材４０によって固定されているため、インクジェット式記録ヘッドユニット１０Ｄの移動時や駆動時などの振動によっても、インクジェット式記録ヘッド２０の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００８９】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した各実施形態では、固定部材３０に２個のインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａを固定したインクジェット式記録ヘッドユニット１０〜１０Ｄを例示したが、インクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａの数や配置は上述したものに限定されるものではなく、インクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａが３個以上設けられたものであってもよい。また、同様に、上述した各実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａに４個のヘッド本体２１を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、１個のヘッド本体２１を有するインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａであってもよく、また、４個以外の複数のヘッド本体２１を有するインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａであってもよい。
【００９０】
また、上述した実施形態１〜５では、固定手段として締結部材４０を設けるようにしたが、固定方法は特に限定されるものではなく、例えば、板状部材でフランジ部２４を固定部材３０との間で挟持する構造であってもよい。
【００９１】
さらに、上述した実施形態１〜５では、インクジェット式記録ヘッドユニット１０〜１０Ｄに複数、例えば、２つのインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａを設け、２つのインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａの第１の方向Ｘの同じ側である第１のフランジ部２４１側を第２のフランジ部２４２側よりも高い固定力で固定部材３０に固定するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、一方のインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａを第１の方向Ｘの一方側、例えば、第１のフランジ部２４１側を第２のフランジ部２４２よりも高い固定力で固定部材３０に固定し、他方のインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａを第１の方向Ｘの他方側、例えば、第２のフランジ部２４２側を第１のフランジ部２４１側よりも高い固定力で固定部材３０に固定するようにしてもよい。すなわち、インクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａは、第１の方向Ｘで一方側が他方側よりも高い固定力で固定部材３０に固定されていれば、複数のインクジェット式記録ヘッド１０、１０Ａ間で高い固定力で固定される側が、同じ側となっていなくてもよい。また、上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニットは、インクジェット式記録装置に搭載される。図１０、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００９２】
図１０に示すように、本実施形態のインクジェット式記録装置１は、インクジェット式記録ヘッドユニット１０が固定されて、被記録媒体である紙などの記録シートＳを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。
【００９３】
具体的には、インクジェット式記録装置１は、装置本体２と、装置本体２に固定されたインクジェット式記録ヘッドユニット１０と、被記録媒体である記録シートＳを搬送する搬送手段３と、記録シートＳのインクジェット式記録ヘッドユニット１０に相対向する印刷面とは反対の裏面側を支持するプラテン４とを具備する。
【００９４】
インクジェット式記録ヘッドユニット１０は、記録ヘッド２０のノズル開口２３の並設方向である第１の方向Ｘ（図１参照）が記録シートＳの搬送方向と交差する方向となるように装置本体２に固定されている。
【００９５】
搬送手段３は、インクジェット式記録ヘッドユニットに対して記録シートＳの搬送方向の両側に設けられた第１の搬送手段５と、第２の搬送手段６とを具備する。
【００９６】
第１の搬送手段５は、駆動ローラー５ａと、従動ローラー５ｂと、これら駆動ローラー５ａ及び従動ローラー５ｂに巻回された搬送ベルト５ｃとで構成されている。また、第２の搬送手段６は、第１の搬送手段５と同様に駆動ローラー６ａ、従動ローラー６ｂ及び搬送ベルト６ｃで構成されている。
【００９７】
これらの第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６のそれぞれの駆動ローラー５ａ、６ａには、図示しない駆動モーター等の駆動手段が接続されており、駆動手段の駆動力によって搬送ベルト５ｃ、６ｃが回転駆動することで、記録シートＳをインクジェット式記録ヘッドユニット１０の上流及び下流側で搬送する。
【００９８】
なお、本実施形態では、駆動ローラー５ａ、６ａ、従動ローラー５ｂ、６ｂ及び搬送ベルト５ｃ、６ｃで構成される第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６を例示したが、記録シートＳを搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に保持させる保持手段をさらに設けてもよい。保持手段としては、例えば、記録シートＳの外周面を帯電させる帯電手段を設け、この帯電手段によって帯電した記録シートＳを誘電分極の作用により搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に吸着させるようにしてもよい。また、保持手段として、搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に押えローラーを設け、押えローラーと搬送ベルト５ｃ、６ｃとの間で記録シートＳを挟持させるようにしてもよい。
【００９９】
プラテン４は、第１の搬送手段５と第２の搬送手段６との間に、インクジェット式記録ヘッドユニット１０に相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなる。プラテン４は、第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６によって搬送された記録シートＳを、インクジェット式記録ヘッドユニット１０に相対向する位置で支持する。
【０１００】
なお、プラテン４には、搬送された記録シートＳをプラテン４上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。
【０１０１】
また、インクジェット式記録ヘッドユニット１０の各インクジェット式記録ヘッドには、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどのインク貯留手段がインクを供給可能に接続されている。インク貯留手段は、例えば、インクジェット式記録ヘッドユニット１０上に保持されていても、また、装置本体２内のインクジェット式記録ヘッドユニット１０とは異なる位置に保持されてチューブ等を介して接続されていてもよい。さらに、インクジェット式記録ヘッドユニット１０の各インクジェット式記録ヘッドには、図示しない外部配線が接続されている。
【０１０２】
このようなインクジェット式記録装置１では、搬送手段５によって記録シートＳが搬送され、インクジェット式記録ヘッドユニット１０によってプラテン４上で支持された記録シートＳに印刷が実行される。印刷された記録シートＳは、搬送手段３によって搬送される。
【０１０３】
なお、図１０に示す例では、インクジェット式記録ヘッドユニットが装置本体２に固定されて印刷を行う、いわゆるライン型記録装置を例示したが、本発明のインクジェット式記録装置１は、記録シートＳの搬送方向とは交差する方向にインクジェット式記録ヘッドＩを移動させて印刷を行うインクジェット式記録装置にも適用することができる。
【０１０４】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１０５】
１  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０〜１０Ｄ  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ２０、２０Ａ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２１  ヘッド本体、  ２２、２２Ａ  保持部材、  ３０  固定部材、  ４０  締結部材（固定手段）、  ４１  低摩擦ワッシャー、  ４２  付勢部材、  ４３  接着層、  Ｘ  第１の方向（ノズル開口の並設方向）、  Ｙ  第２の方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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