(57)【要約】【課題】小型化すると共にノズル開口の位置決め精度を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口２８が第１の方向Ｘに並設されたノズル列２８１を有するノズルプレート２９と、該ノズルプレート２９が一方面に固定されて前記ノズル開口２８に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、を具備し、前記ノズルプレート２９には、前記流路形成基板に位置決めされる位置決め孔１００、１０１が設けられており、該位置決め孔１００、１０１が、前記ノズル列２８１の前記第１の方向Ｘと直交する第２の方向Ｙ側に配置されて、前記第１の方向Ｘにおいて前記ノズル列２８１の両端部の前記ノズル開口２８の間に設けられている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が第１の方向に並設されたノズル列を有するノズルプレートと、
該ノズルプレートが一方面に固定されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、を具備し、
前記ノズルプレートには、前記流路形成基板に位置決めされる位置決め孔が設けられており、
該位置決め孔が、前記ノズル列の前記第１の方向と直交する第２の方向側に配置されて、前記第１の方向において前記ノズル列の両端部の前記ノズル開口の間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記位置決め孔が、丸穴の第１位置決め孔と、該第１位置決め孔に向かう方向が長軸となる長穴の第２位置決め孔とで構成され、前記第１位置決め孔が、前記ノズル列の前記第１の方向の中央部に設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレートには、複数のノズル列が前記第２の方向に列設されており、
前記位置決め孔が、前記第２の方向で隣り合う前記ノズル列の間に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの液体噴射面に摺接するブレード部材を具備するワイピング装置と、を具備し、
前記ブレード部材は、前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面に前記第１の方向に向かって移動して摺接することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、ノズルプレートが一方面に固定されてノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備し、圧力発生手段が流路内に圧力変化を生じさせることでノズル開口からインク滴が吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドを構成するノズルプレートと流路部材とは、所定位置に位置決めされた状態で接合される。ノズルプレートと流路部材との位置決め方法としては、例えば、ノズルプレートと流路部材とのそれぞれに位置決め孔を形成し、これらの位置決め孔に位置決めピンを挿入することでノズル開口が開口する液体噴射面の面方向の相対位置の位置決めを行なっている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１５９８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面をワイピングするブレード部材は、ノズル開口が並設された第１の方向に直交する第２の方向に向かって移動して液体噴射面に摺接するため、ブレード部材の位置決め孔を摺接した領域がノズル開口を摺接すると、位置決め孔に付着したインクや固化したインク、埃等の異物がブレード部材に付着し、ブレードに付着した異物をノズル開口に摺り込んでしまい、インク滴の吐出不良が発生してしまう。このため、ノズルプレートと流路部材とを位置決めする位置決め孔はブレードに摺接しない位置、すなわち、ノズル列の第１の方向の外側に配置する必要があり、インクジェット式記録ヘッドが第１の方向に大型化してしまうという問題がある。
【０００６】
また、一般的に位置決め孔は、液体噴射面の面内の第１の方向及び第２の方向の位置決めを行う第１位置決め孔と、第１位置決め孔を軸とした回転方向の位置決めを行う第２位置決め孔との２つで構成されているが、第１位置決め孔と第２位置決め孔とをノズル列を挟んだ第１の方向の両側に配置すると、第２位置決め孔側に設けられたノズル開口と第１位置決め孔との距離が遠くなり、ノズル開口の位置決め精度が低下してしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、小型化すると共にノズル開口の位置決め精度を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が第１の方向に並設されたノズル列を有するノズルプレートと、該ノズルプレートが一方面に固定されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、を具備し、前記ノズルプレートには、前記流路形成基板に位置決めされる位置決め孔が設けられており、該位置決め孔が、前記ノズル列の前記第１の方向と直交する第２の方向側に配置されて、前記第１の方向において前記ノズル列の両端部の前記ノズル開口の間に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、位置決め孔をノズル列の第１の方向の両端部のノズル開口の間に設けることで、位置決め孔をノズル列の第１の方向の両側に設けるスペースが不要となって、液体噴射ヘッドの第１の方向を小型化することができる。また、位置決め孔からノズル開口までの距離を短くして位置決め精度を向上することができる。
【００１０】
ここで、前記位置決め孔が、丸穴の第１位置決め孔と、該第１位置決め孔に向かう方向が長軸となる長穴の第２位置決め孔とで構成され、前記第１位置決め孔が、前記ノズル列の前記第１の方向の中央部に設けられていることが好ましい。これによれば、交差する２つの方向（第１の方向及び第２の方向）の位置決めを行う第１位置決め孔を中央部に設けることで、さらに第１位置決め孔とノズル開口との距離を短くすることができる。
【００１１】
また、前記ノズルプレートには、複数のノズル列が前記第２の方向に列設されており、前記位置決め孔が、前記第２の方向で隣り合う前記ノズル列の間に設けられていることが好ましい。これによれば、第２の方向の小型化も図ることができる。
【００１２】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドの液体噴射面に摺接するブレード部材を具備するワイピング装置と、を具備し、前記ブレード部材は、前記液体噴射ヘッドの前記液体噴射面に前記第１の方向に向かって移動して摺接することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、ブレード部材の位置決め孔上を摺接した領域がノズル開口上を摺接することがないため、位置決め孔に付着した異物をノズル開口に摺り込んで吐出不良が生じるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図８】本発明の実施形態１に係るワイピング装置の斜視図である。
【図９】本発明の実施形態１に係るワイピングを示す記録ヘッドの平面図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの他の例を示す平面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図５は図２のＣ−Ｃ′線断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、流路ユニット２と、流路ユニット２上に固定された一対のアクチュエーターユニット３と、流路ユニット２上に固定されてアクチュエーターユニット３を内部に収容可能な収容部４が設けられたケース５と、流路ユニット２のアクチュエーターユニット３が固定された面とは反対面側を覆うカバー６と、を具備する。
【００１６】
流路ユニット２は、流路形成基板２０、振動板２７及びノズルプレート２９等を具備する。
【００１７】
流路形成基板２０には、その一方面側の表層部分に、隔壁によって区画された圧力発生室２１が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２８が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室２１の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板２０には、圧力発生室２１が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室２１が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室２１の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。
【００１８】
また、各圧力発生室２１の列の外側には、ケース５の液体導入路であるインク導入路（図示なし）を介してインクが供給されるマニホールド２２が、流路形成基板２０を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、マニホールド２２と各圧力発生室２１とは、第２の方向Ｙにおいて圧力発生室２１の一端部側に設けられたインク供給路２３を介して連通し、各圧力発生室２１には、インク導入路（図示なし）、マニホールド２２及びインク供給路２３を介してインクが供給される。インク供給路２３は、本実施形態では、圧力発生室２１よりも狭い幅（第１の方向Ｘの幅）で形成されており、マニホールド２２から圧力発生室２１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、第２の方向Ｙにおいて圧力発生室２１のマニホールド２２とは反対の端部側には、流路形成基板２０を貫通してノズル開口２８と連通するノズル連通孔２４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板２０に液体流路として、圧力発生室２１、マニホールド２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４が設けられている。このような流路形成基板２０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板２０に設けられる上記圧力発生室２１等は、流路形成基板２０をエッチングすることによって形成されている。
【００１９】
この流路形成基板２０の一方面側にはノズル開口２８が穿設されたノズルプレート２９が接合され、各ノズル開口２８は、流路形成基板２０に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室２１と連通している。
【００２０】
ここで、ノズルプレート２９に設けられたノズル開口２８は、第１の方向Ｘに並設されたノズル列２８１が、第１の方向Ｘと直交する第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では２列設けられている。本実施形態では、２つのノズル列２８１の一方をノズル列２８１Ａ、他方をノズル列２８１Ｂとしている。また、ノズル開口２８が開口する流路形成基板２０とは反対側の面を液体噴射面２９Ａと称する。
【００２１】
また、ノズルプレート２９には、厚さ方向（ノズルプレート２９と流路形成基板２０との積層方向）に貫通する位置決め孔が設けられている。位置決め孔は、本実施形態では、第１位置決め孔１００と第２位置決め孔１０１とで構成されており、これら第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１は、ノズル列２８１の第２の方向Ｙ側に配置されて、ノズル列２８１の第１の方向Ｘの範囲内に配置されている。
【００２２】
つまり、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１は、第１の方向Ｘでは、ノズル列２８１の第１の方向Ｘの両端のノズル開口２８の間に配置されている。また、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１は、第２の方向Ｙにおいて、２つのノズル列２８１の間、すなわち、ノズル列２８１Ａとノズル列２８１Ｂとの間に配置されている。
【００２３】
ここで、第１位置決め孔１００は、流路形成基板２０に対してノズルプレート２９の液体噴射面２９Ａの面内における第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの移動が規制されるように、丸穴、すなわち、正円又は正円に近い開口形状を有する。このような第１位置決め孔１００は、ノズル列２８１の第１の方向Ｘの中央部に設けられている。
【００２４】
また、第２位置決め孔１０１は、流路形成基板２０に対してノズルプレート２９の液体噴射面２９Ａの面内における第１位置決め孔１００を中心（軸）とした回転方向の移動が規制されるように、第１の方向Ｘに長い長穴、すなわち、第１の方向Ｘが長軸となる楕円又は楕円に近い開口形状を有する。このような第２位置決め孔１０１は、ノズル列２８１の第１の方向Ｘの一端部側に設けられている。このように第２位置決め孔１０１を長穴で形成することで、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１の位置や、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１に挿入される位置決めピンの外径や位置に誤差が生じたとしても、位置決めピンを第２位置決め孔１０１に確実に挿入して、流路形成基板２０とノズルプレート２９とを位置決めすることができる。
【００２５】
なお、流路形成基板２０には、ノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１に対応して、第３位置決め孔１０２と第４位置決め孔１０３とが設けられている。これら、流路形成基板２０に設けられた第３位置決め孔１０２と第４位置決め孔１０３とは、それぞれノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１と同じ開口形状で、且つ同じ間隔で設けられている。
【００２６】
そして、詳しくは後述するが、ノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００と、流路形成基板２０に設けられた第３位置決め孔１０２とに位置決めピンを挿入すると共に、ノズルプレート２９に設けられた第２位置決め孔１０１と、流路形成基板２０に設けられた第４位置決め孔１０３とに位置決めピンを挿入することで、流路形成基板２０とノズルプレート２９とは互いに液体噴射面２９Ａの面内での位置決めが行われる。
【００２７】
なお、本実施形態では、詳しくは後述する振動板２７にも、流路形成基板２０の第３位置決め孔１０２と第４位置決め孔１０３とに対応して第５位置決め孔１０４と第６位置決め孔１０５とが設けられている。また、ケース５にも、振動板２７の第５位置決め孔１０４と第６位置決め孔１０５とに対応して第７位置決め孔１０６と第８位置決め孔１０７とが設けられている。これら第５位置決め孔１０４及び第６位置決め孔１０５や、第７位置決め孔１０６及び第８位置決め孔１０７は、それぞれノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１と同じ開口形状で且つ同じ間隔で設けられている。
【００２８】
なお、このような流路形成基板２０、ノズルプレート２９等で構成される流路ユニット２のノズル開口２８が開口する面側には、ノズル開口２８を露出する露出開口部６１が設けられたカバー６が設けられており、ノズル開口２８が開口する液体噴射面はカバー６によって覆われている。
【００２９】
また、流路形成基板２０の他方面側、すなわち、圧力発生室２１の開口面側には振動板２７が接合されて、各圧力発生室２１はこの振動板２７によって封止されている。
【００３０】
振動板２７は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２５と、この弾性膜２５を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２６との複合板で形成されており、弾性膜２５側が流路形成基板２０に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２５は、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２６は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）などからなる。
【００３１】
また、振動板２７の各圧力発生室２１に対向する領域内には、圧電アクチュエーター３１の先端部が当接する島部２７ａが設けられている。すなわち、振動板２７の各圧力発生室２１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２７ｂが形成されて、この薄肉部２７ｂの内側にそれぞれ島部２７ａが設けられている。このような島部２７ａには、後述するアクチュエーターユニット３の圧電アクチュエーター３１の先端部が、例えば、接着剤等を介して固定される。
【００３２】
また、本実施形態では、振動板２７のマニホールド２２に対向する領域に、薄肉部２７ｂと同様に、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２５のみで構成されるコンプライアンス部２７ｃが設けられている。なお、このコンプライアンス部２７ｃは、マニホールド２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２７ｃの弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００３３】
なお、本実施形態では、振動板２７を弾性膜２５と支持板２６とで構成し、島部２７ａの周辺部及びコンプライアンス部２７ｃを弾性膜２５のみで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板として、１枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部等を設けることで、島部２７ａ及びコンプライアンス部２７ｃを形成するようにしてもよい。
【００３４】
アクチュエーターユニット３は、図４に示すように、複数の圧電アクチュエーター３１がその幅方向（第１の方向Ｘ）に並設された圧電アクチュエーター形成部材３２と、圧電アクチュエーター形成部材３２の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板３４とを有する。
【００３５】
圧電アクチュエーター形成部材３２は、圧電材料層と、圧電アクチュエーター３１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電アクチュエーター３１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極と、隣接する圧電アクチュエーター３１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極とを交互に挟んで積層することにより形成されている。圧電材料層と、個別内部電極及び共通内部電極との積層方向は、本実施形態では、圧電アクチュエーター３１の先端面の面方向と同じ方向であり、圧電アクチュエーター３１の先端面が島部２７ａに固定された際に、第２の方向Ｙと同一方向となっている。
【００３６】
この圧電アクチュエーター形成部材３２には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット３３が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーター３１の列が形成されている。なお、圧電アクチュエーター３１の列の両外側には、各圧電アクチュエーター３１よりも広い幅を有する位置決め部３９が設けられている。この位置決め部３９は、圧電アクチュエーター３１と同様に、圧電アクチュエーター形成部材３２で形成されているが、実質的に駆動されない非駆動振動子であり、アクチュエーターユニット３を記録ヘッド１に組み込む際に、位置決め部３９をケース５に設けられた収容部４の側面に当接させて、アクチュエーターユニット３を高精度に位置決めするためのものである。
【００３７】
ここで、圧電アクチュエーター３１の固定板３４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター３１を構成する個別内部電極及び共通内部電極間に電圧を印加すると、固定板３４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター３１の先端面が、上述した振動板２７の島部２７ａに接着剤等を介して固定される。
【００３８】
また、アクチュエーターユニット３の各圧電アクチュエーター３１には、当該圧電アクチュエーター３１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路１１１が搭載されたＣＯＦ等の回路基板１１０が接続されている。
【００３９】
そして、回路基板１１０の各配線（図示なし）は、その先端部側で、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電アクチュエーター３１の外周面に設けられて個別内部電極と導通する個別外部電極と、共通内部電極と導通する共通外部電極とに接続されている。これにより、外部からの駆動信号は、回路基板１１０を介して圧電アクチュエーター３１に選択的に印加される。
【００４０】
ケース５は、流路形成基板２０の振動板２７上に固定されたものであり、図示しないインクカートリッジ等の液体貯留部が接続されて、マニホールド２２にインクを供給するインク供給路５１が設けられている（図１参照）。
【００４１】
また、ケース５には、厚さ方向に貫通する２つの収容部４が設けられており、各収容部４にアクチュエーターユニット３が位置決めされて固定されている。
【００４２】
このようなケース５の収容部４は、図１に示すように、固定板３４が固定される側に固定板３４の幅よりも幅広に設けられた固定板保持部４１と、圧電アクチュエーター形成部材３２側に固定板保持部４１よりも幅狭で且つ圧電アクチュエーター形成部材３２よりも若干幅広に設けられた圧電アクチュエーター保持部４２とを有する。なお、ここで言う幅は、圧電アクチュエーター３１（圧力発生室２１）の並設方向である第１の方向Ｘのことである。また、図３に示すように、収容部４の固定板保持部４１には、貫通方向において振動板２７側が幅狭となるように段差部４３が設けられており、固定板３４は、圧電アクチュエーター３１が突出する端面が段差部４３に当接して固定される。
【００４３】
なお、本実施形態では、２つの収容部４は、図１に示すように、互いに圧電アクチュエーター保持部４２を相対向させるように配置されている。
【００４４】
また、ケース５には、図３に示すように、コンプライアンス部２７ｃに対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間５２が設けられている。このコンプライアンス空間５２によってコンプライアンス部２７ｃは変形可能に保持される。
【００４５】
このようなケース５は、例えば、樹脂材料によって低コストで製造することができる。また、ケース５は、成形することで、比較的低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００４６】
このようなインクジェット式記録ヘッド１の製造方法について、図６を参照して詳細に説明する。なお、図６は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す、図２のＣ−Ｃ′線断面図に相当する断面図である。
【００４７】
図６（ａ）に示す治具１２０を用いて、各部材の位置決めを行う。具体的には、治具１２０は、基台１２１と、基台１２１に設けられた２つの第１位置決めピン１２２及び第２位置決めピン１２３と、を具備する。第１位置決めピン１２２は、ノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００に挿入可能な外径を有する。また、第２位置決めピン１２３は、第２の方向Ｙにおいて第２位置決め孔１０１に内接し、第１の方向Ｘにおいて第２位置決め孔１０１との間に隙間が画成される外径を有する。
【００４８】
まず、図６（ａ）に示すように、治具１２０の基台１２１上にノズルプレート２９を載置する。ノズルプレート２９は、液体噴射面２９Ａが基台１２１側となるように配置される。また、このとき治具１２０の第１位置決めピン１２２をノズルプレート２９に設けられた第１位置決め孔１００に挿入することで、治具１２０に対してノズルプレート２９の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの移動を規制して位置決めする。また、治具１２０の第２位置決めピン１２３をノズルプレート２９の第２位置決め孔１０１に挿入することで、治具１２０に対してノズルプレート２９の第１位置決め孔１００を中心とした回転方向の移動を規制する。
【００４９】
次に、図６（ｂ）に示すように、ノズルプレート２９上に流路形成基板２０及び振動板２７を積層する。このとき、治具１２０の第１位置決めピン１２２を流路形成基板２０の第３位置決め孔１０２と振動板２７の第５位置決め孔１０４に挿入する。同様に、治具１２０の第２位置決めピン１２３を流路形成基板２０の第４位置決め孔１０３と振動板２７の第６位置決め孔１０５に挿入する。これにより、流路形成基板２０とノズルプレート２９との液体噴射面２９Ａの面内での相対位置が位置決めされる。また、流路形成基板２０と振動板２７との液体噴射面２９Ａの面内での相対位置が位置決めされる。
【００５０】
なお、各部材を積層する前に、各部材には予め接着剤等を塗布しておくことで、各部材は位置決めされた状態で接合される。
【００５１】
次に、図６（ｃ）に示すように、振動板２７上にケース５を積層する。このとき、治具１２０の第１位置決めピン１２２をケース５の第７位置決め孔１０６に挿入すると共に、治具１２０の第２位置決めピン１２３をケース５の第８位置決め孔１０７に挿入する。これにより、振動板２７とケース５との位置決めが行われる。もちろん、振動板２７とケース５とを積層する際に、何れか一方又は両方に接着剤等を塗布しておくことで位置決めした状態で固定することができる。そして、各部材が接合された後は、治具１２０を除去すると共にカバー６を固定することで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１となる。
【００５２】
このように本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１では、ノズルプレート２９と流路形成基板２０とを位置決めする第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１を、ノズルプレート２９のノズル列２８１の第２の方向Ｙ側に配置すると共に、ノズル列２８１の第１の方向Ｘの範囲内に配置するようにした。このため、ノズルプレート２９のノズル列２８１の第１の方向Ｘの両側に位置決め孔（第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１）を設けるスペースが不要となり、インクジェット式記録ヘッド１の第１の方向Ｘを小型化することができる。ちなみに、ノズルプレート２９にノズル列２８１の第１の方向Ｘの両側に第１位置決め孔１００と第２位置決め孔１０１とを設ける場合、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１を設けるスペースが必要になって第１の方向Ｘに大型化してしまう。
【００５３】
また、本実施形態では、第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１を２つのノズル列２８１Ａ、２８１Ｂの間に配置するようにしたため、第２の方向Ｙの小型化も図ることができる。
【００５４】
さらに、ノズルプレート２９と流路形成基板２０との第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行う第１位置決め孔１００をノズル列２８１の第１の方向Ｘの中央部に設けたため、第１位置決め孔１００からノズル開口２８までの距離を短くして、ノズル開口２８の位置決めを高精度に行うことができる。すなわち、例えば、第１位置決め孔１００をノズル列２８１の第１の方向Ｘの外側（一方）に配置した場合、第１位置決め孔１００と他方のノズル開口２８との距離が遠くなり、第１位置決め孔１００に対するノズル開口２８の位置精度が低くなる。そして、このような第１位置決め孔１００を基準として位置決めした場合、ノズル連通孔２４とノズル開口２８との位置ずれが生じ、ノズル開口２８とノズル連通孔２４の壁との距離が近くなってインク吐出特性に悪影響を与えることや、ノズル開口２８からインク滴が正常に吐出されない吐出不良が発生する虞がある。
【００５５】
本実施形態では、第１位置決め孔１００とノズル開口２８との距離を短く、すなわち、最長でも１つのノズル列２８１の第１の方向Ｘの半分の長さとすることができるため、第１位置決め孔１００に対するノズル開口２８の位置精度を向上して、第１位置決め孔１００を基準として位置決めすることでノズル開口２８とノズル連通孔２４との位置決めを高精度に行うことができ、インク吐出特性や吐出不良が発生するのを抑制することができる。
【００５６】
また、このようなインクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置に搭載される。ここで、インクジェット式記録装置の一例について図７を参照して説明する。なお、図７は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
【００５７】
図７に示すインクジェット式記録装置２００において、複数のインクジェット式記録ヘッド１を搭載したインクジェット式記録ヘッドユニット２０１（以下、単にヘッドユニット２０１とも言う）にはインク供給手段を構成するカートリッジ２０２が着脱可能に設けられている。また、ヘッドユニット２０１を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動可能に設けられている。このヘッドユニット２０１は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５８】
そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、ヘッドユニット２０１を搭載したキャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン２０８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５９】
なお、本実施形態では、図１のインクジェット式記録ヘッド１は、第２の方向Ｙがキャリッジ軸２０５の軸方向、すなわち、キャリッジ２０３の移動方向となるようにキャリッジ２０３に搭載される。
【００６０】
また、インクジェット式記録装置２００のキャリッジ２０３の移動方向の端部である非印刷領域には、インクジェット式記録ヘッド１の液体噴射面２９Ａをブレード部材によってワイピングするワイピング装置２１０が設けられている。ここでワイピング装置２１０について図８を参照して説明する。なお、図８は、ワイピング装置の概略斜視図であり、図９は、ワイピングを示す液体噴射面側の平面図である。
【００６１】
図８に示すように、ワイピング装置２１０は、インクジェット式記録ヘッド１側が開口した箱形状を有するワイピング装置本体２１１と、ワイピング装置本体２１１に移動可能に設けられた保持部材２１２と、保持部材２１２に保持されたブレード部材２１３と、を具備する。
【００６２】
保持部材２１２は、ワイピング装置本体２１１の開口部に、キャリッジ２０３の移動方向とは直交する方向、すなわち、第１の方向Ｘに向かって移動可能に設けられている。具体的には、保持部材２１２は、板状の保持部２１４と、保持部２１４の両端部を屈曲することで設けられた２つの脚部２１５と、を具備し、２つの脚部２１５がワイピング装置本体２１１の相対する２つの側面の外側に配置されることで、保持部２１４がワイピング装置本体２１１の開口に跨って設けられている。
【００６３】
また、保持部２１４上（ワイピング装置本体２１１とは反対側）には、ブレード部材２１３が保持されている。
【００６４】
ブレード部材２１３は、ゴムやエラストマー等の弾性材料からなる板状部材であり、先端が自由端となるように、その基端部が保持部材２１２に固定されている。
【００６５】
なお、ブレード部材２１３は一方面側が凹となるように第２の方向Ｙに湾曲した状態で保持部材２１２に固定されている。また、ブレード部材２１３は、図９（ａ）に示すように、保持部材２１２の移動方向である第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙの幅が、カバー６の第２の方向Ｙの幅よりも幅広に設けられている。
【００６６】
なお、ブレード部材２１３を保持した保持部材２１２は、ワイピング装置本体２１１の内部に設けられたモーター２１６によって駆動される。具体的には、ワイピング装置本体２１１内に設けられたモーター２１６はワイピング装置本体２１１の一側面に固定されている。このモーター２１６の回転軸２１６ａは、ワイピング装置本体２１１の一側面から外部に突出して設けられており、一側面から突出した回転軸２１６ａには円形歯車である小歯車２１７が設けられている。また、ワイピング装置本体２１１の小歯車２１７が設けられた一側面には、小歯車２１７に噛み合う円形歯車である大歯車２１８が回転可能に設けられている。そして、保持部材２１２の脚部２１５には、大歯車２１８に噛み合う直線歯車であるラックが設けられており、モーター２１６の回転は、小歯車２１７及び大歯車２１８を介してラックが設けられた脚部２１５に伝わり、保持部材２１２をワイピング装置本体２１１の開口に沿って水平移動させることで、ブレード部材２１３を第１の方向Ｘに移動させる。
【００６７】
このようなワイピング装置２１０では、印刷開始前、印刷中、印刷後及び定期的なタイミングで、図９に示すように、ブレード部材２１３をインクジェット式記録ヘッド１の液体噴射面２９Ａに摺接させて、液体噴射面２９Ａに付着したインクや毛羽、ホコリ、紙粉等を除去する。このとき、本実施形態では、ブレード部材２１３は液体噴射面２９Ａに第１の方向Ｘに移動しながら摺接するため、ブレード部材２１３は第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１上を摺接した領域が、ノズル開口２８上を摺接することがない。ちなみに、ブレード部材２１３を第２の方向Ｙに移動させて液体噴射面２９Ａに摺接させると、ブレード部材２１３の位置決め孔（第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１）上を摺接した領域がノズル開口２８上を摺接してしまう。このとき、位置決め孔（１００及び１０１）内にインクや、インクが乾燥して高粘度となったインク、インクに埃が混合したものなどの異物が付着していると、位置決め孔（１００及び１０１）上を摺接したブレード部材２１３に異物が付着し、異物が付着したブレード部材２１３でノズル開口２８上を摺接することで、異物をノズル開口２８に摺り込んで付着させてしまい、ノズル開口２８からインク滴を正常に吐出させることができなくなる虞がある。
【００６８】
本実施形態では、ブレード部材２１３をノズル列２８１と位置決め孔（１００及び１０１）との並び方向である第２の方向Ｙとは直交する第１の方向Ｘに移動させて液体噴射面２９Ａをクリーニングするため、位置決め孔（１００及び１０１）に付着した異物をノズル開口２８に摺り込むことがなく、液体噴射面２９Ａのクリーニングを確実に行うことができる。
【００６９】
なお、本実施形態では、２つのノズル列２８１Ａ、２８１Ｂの間に位置決め孔（１００及び１０１）を設けることで、第１の方向Ｘの小型化を図ることができるが、位置決め孔（１００及び１０１）の位置は特にこれに限定されない。ここで、位置決め孔の他の例を図１０に示す。なお、図１０は、本発明の実施形態１に係る位置決め孔の変形例を示すインクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図である。
【００７０】
図に示すように、位置決め孔は、第１位置決め孔１００Ａと、第２位置決め孔１０１Ａとを具備し、これら第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａは、２つのノズル列２８１Ａ、２８１Ｂの第２の方向Ｙの外側に設けられている。すなわち、第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａは、ノズル列２８１Ｂのノズル列２８１Ａとは反対側に設けられている。このように第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａを２つのノズル列２８１Ａ、２８１Ｂの第２の方向Ｙの外側に設けた場合であっても、インクジェット式記録ヘッド１の第１の方向Ｘの小型化を図ることができる。なお、第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａを図１０に示す位置に配置した場合、ブレード部材２１３を第２の方向Ｙのノズル列２８１Ａ側から第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａに向かって第２の方向Ｙに移動させて液体噴射面２９Ａをクリーニングすることもできるが、第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａに付着した異物がブレード部材２１３に付着し、次回の液体噴射面２９Ａのクリーニング時に、ブレード部材２１３に付着した異物をノズル開口２８に摺り込んでしまう虞がある。このため、第１位置決め孔１００Ａ及び第２位置決め孔１０１Ａを２つのノズル列２８１Ａ、２８１Ｂの第２の方向Ｙの外側に配置した場合であっても、上述したインクジェット式記録装置２００と同様に、ブレード部材２１３を第１の方向Ｘに移動させて液体噴射面２９Ａに摺接させて、液体噴射面２９Ａのクリーニングを行うのが好ましい。
【００７１】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００７２】
例えば、上述した実施形態１では、第１位置決め孔１００、１００Ａをノズル列２８１の第１の方向Ｘの中央部に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１位置決め孔１００、１００Ａをノズル列２８１の第１の方向Ｘの一端部側に設け、第２位置決め孔１０１、１０１Ａをノズル列２８１の第１の方向Ｘの他端部側に設けるようにしてもよい。
【００７３】
また、上述した実施形態１では、流路形成基板２０に第３位置決め孔１０２及び第４位置決め孔１０３を設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図１１に示すように、流路形成基板２０にノズルプレート２９の第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１に挿入される位置決めピン１２４、１２５を一体的に設け、この流路形成基板２０の位置決めピン１２４、１２５にノズルプレート２９の第１位置決め孔１００及び第２位置決め孔１０１を嵌合させることで、流路形成基板２０とノズルプレート２９との位置決めを行うようにしてもよい。
【００７４】
さらに、上述した実施形態１では、第１位置決め孔１００、１００Ａを丸穴で、第２位置決め孔１０１、１０１Ａを長穴で形成したが、位置決め孔の開口形状は特にこれに限定されるものではなく、位置決め孔は三角形状、四角形状等の多角形状であってもよい。
【００７５】
また、上述した実施形態１では、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター３１を用いて説明したが、圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを添付する等の方法により形成される圧膜型などの撓み振動型の圧電アクチュエーターを用いることができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００７６】
また、上述した実施形態１のインクジェット式記録装置２００では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０１がキャリッジ２０３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００７７】
さらに、上述した実施形態１では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０１をインクジェット式記録装置２００に搭載するようにしたが、ヘッドユニット２０１には、それぞれ１つの記録ヘッド１が搭載されていてもよく、また、単数又は複数の記録ヘッド１が直接インクジェット式記録装置２００に搭載されていてもよい。
【００７８】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００７９】
１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３  アクチュエーターユニット、  ４  収容部、  ５  ケース、  ６  カバー、  ２１  圧力発生室、  ２７  振動板、  ２８  ノズル開口、  ２９  ノズルプレート、  ２９Ａ  液体噴射面、  ３１  圧電アクチュエーター、  ３２  圧電アクチュエーター形成部材、  ３４  固定板、  １００、１００Ａ  第１位置決め孔、  １０１、１０１Ａ  第２位置決め孔、  １２０  治具、  １２１  基台、  １２２  第１位置決めピン、  １２３  第２位置決めピン、  ２００  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ２１０  ワイピング装置、  ２１３  ブレード部材
【図１】
2013256010.tif 000003
【図２】
2013256010.tif 000004
【図３】
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【図４】
2013256010.tif 000006
【図５】
2013256010.tif 000007
【図６】
2013256010.tif 000008
【図７】
2013256010.tif 000009
【図８】
2013256010.tif 000010
【図９】
2013256010.tif 000011
【図１０】
2013256010.tif 000012
【図１１】
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