(57)【要約】【課題】トレイを搬送する搬送部を有し、当該トレイに対し処理を行うロボットが搭載されるトレイ搬送装置、及びこのトレイ搬送装置に水平多関節ロボットが搭載されたトレイ搬送システムにて、ロボットのアーム長が長くなることを抑えることの可能なトレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムを提供する。【解決手段】トレイ搬送システムは、基台１１と、基台１１の上面に配置された搬送板１２，１３とを備え、上面と交差する方向に搬送板１２，１３を貫通し、且つ、トレイ１０が通過できる第２昇降孔１２ｂ及び第４昇降孔１３ｂと、搬送板１２，１３の上面にて第２昇降孔１２ｂと第４昇降孔１３ｂとに挟まれたロボット載置部１８Ａとを備えている。また、搬送板１２，１３に対して水平多関節ロボット１８の載置側と反対側の搬送空間１１Ａ内にて第２昇降孔１２ｂと第４昇降孔１３ｂとの間でトレイ１０を搬送する内部搬送系２０を備えている。【選択図】図１
2013121863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台の上面に配置された載置板とを備え、
前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部とを備え、
前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、
前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部を備える
トレイ搬送装置。
【請求項２】
前記第１貫通孔上にて前記トレイが載置される第１載置部と、
前記第２貫通孔上にて前記トレイが載置される第２載置部と、
前記第１載置部に供給されるトレイが貯められる第１ストッカーと、
前記第２載置部から回収されるトレイが貯められる第２ストッカーとを備え、
前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、
前記第２載置部から前記第２ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部とを更に備える
請求項１に記載のトレイ搬送装置。
【請求項３】
前記第１載置部は、
前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第１載置部材を有し、
前記一対の第１載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、
前記一対の第１載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、
前記第１載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記第１載置部の前記トレイを前記第２載置部側へ搬送するとき、
前記一対の第１載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第１載置部材の間にトレイを通過させる
請求項２に記載のトレイ搬送装置。
【請求項４】
前記供給搬送部は、前記トレイが載置され、前記第１ストッカーから前記第１載置部へ前記トレイを搬送する供給搬送ベルトを有し、
前記第１載置部材が、前記供給搬送ベルトに対し当該供給搬送ベルトの搬送方向に並設されて前記トレイを載置する供給載置ベルトを有し、
前記供給載置ベルトが、前記供給搬送ベルトと連動する
請求項３に記載のトレイ搬送装置。
【請求項５】
前記第２載置部は、
前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第２載置部材を有し、
前記一対の第２載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、
前記一対の第２載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、
前記第２載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記第２載置部の前記トレイを前記第１載置部側へ搬送するとき、
前記一対の第２載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第２載置部材の間にトレイを通過させる
請求項２〜４のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。
【請求項６】
前記回収搬送部が、前記トレイが載置され、前記第２載置部から前記第２ストッカーへ前記トレイを搬送する回収搬送ベルトを有し、
前記第２載置部材が、前記回収搬送ベルトに対し当該回収搬送ベルトの搬送方向とは反対方向に並設されてトレイを載置する回収載置ベルトを有し、
前記回収載置ベルトが、前記回収搬送ベルトと連動する
請求項５に記載のトレイ搬送装置。
【請求項７】
前記制御部は、
前記内部搬送部が前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、
前記供給搬送部に前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を開始させる
請求項３〜６のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記内部搬送部が前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、
前記回収搬送部に前記トレイの回収を開始させる
請求項５〜７のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。
【請求項９】
前記制御部は、
前記ロボットの駆動の態様を制御し、
前記トレイが前記第１載置部又は前記第２載置部に載置されているときに、
前記トレイに載置された対象物の外部装置への供給、及び、前記外部装置から前記トレイへの対象物の回収の少なくとも一方を前記ロボットに実行させる
請求項３〜８のいずれか一項に記載のトレイ搬送装置。
【請求項１０】
基台と、
前記基台の上面に配置された載置板とを備え、
前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部とが形成され、
前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、
前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、
前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える
トレイ搬送システム。
【請求項１１】
前記水平多関節ロボットが、対象物を保持する保持部を有し、
前記保持部と前記対象物との少なくとも一方を撮像する撮像部と、
前記水平多関節ロボットの駆動の態様を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記保持部に対する前記対象物の位置を把握する
請求項１０に記載のトレイ搬送システム。
【請求項１２】
基台と、
前記基台の上面に配置された載置板とを備え、
前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部と、
前記第１貫通孔上にて前記トレイが載置される第１載置部と、
前記第２貫通孔上にて前記トレイが載置される第２載置部と、
前記第１載置部に供給されるトレイが貯められる第１ストッカーと、
前記第２載置部から回収されるトレイが貯められる第２ストッカーとを備え、
前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、
前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、
前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、
前記第２載置部から前記第２ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部と、
前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える
トレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレイを搬送するトレイ搬送装置、及び、トレイが作業の対象となるロボットを搭載したトレイ搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１に記載のような水平多関節ロボットと、トレイの搬送機構とを搭載するトレイ搬送システムが知られている。こうしたトレイ搬送システムでは、水平多関節ロボットを用いたトレイに対する部品の供給及び回収と、トレイの搬送機構を用いたトレイの搬送とが行われる。
【０００３】
以下、トレイ搬送システムの構成及び動作について、図１１を参照して説明する。図１１（ａ）に示されるように、トレイ搬送システムの基台１００の上面である搬送面１００Ｓには、所定の方向である供給方向にトレイを１枚ずつ供給する供給ストッカー１０１が搭載され、供給ストッカー１０１の供給方向には、供給ストッカー１０１から供給されたトレイを保持する第１トレイ保持部１０２が搭載されている。また、第１トレイ保持部１０２に対する供給方向と直交する搬送方向には、第１トレイ保持部１０２から搬送されたトレイを保持する第２トレイ保持部１０３が搭載され、第１トレイ保持部１０２に対する供給方向とは反対の方向である回収方向には、第２トレイ保持部１０３で保持されたトレイを１枚ずつ回収する回収ストッカー１０４が搭載されている。
【０００４】
そして、搬送面１００Ｓに搭載された水平多関節ロボット１０５が、第１トレイ保持部１０２に保持されたトレイ、あるいは第２トレイ保持部１０３に保持されたトレイに対し、部品の供給や回収等の所定の処理を行う。例えば、供給ストッカー１０１に貯められた複数のトレイの各々に部品が収容されている場合、第１トレイ保持部１０２に保持されたトレイ上の部品が、水平多関節ロボット１０５によって外部装置１１０に搬送される。そして、第１トレイ保持部１０２に保持されたトレイから全ての部品が搬出されると、第１トレイ保持部１０２に保持された空のトレイが、第２トレイ保持部１０３へ搬送され、その後、回収ストッカー１０４に回収される。また、例えば、供給ストッカー１０１に貯められた複数のトレイの各々に部品が収容されていない場合、第１トレイ保持部１０２に保持された空のトレイが、第２トレイ保持部１０３に搬送され、第２トレイ保持部１０３に保持された空のトレイ上には、外部装置１１０から供給される部品が、水平多関節ロボット１０５によって収容される。そして、第２トレイ保持部１０３に保持されたトレイの各収容部に部品が収容されると、第２トレイ保持部１０３に保持されたトレイが回収ストッカー１０４に回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１０４７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した水平多関節ロボット１０５の配置や構造は、トレイに対する部品の供給や回収、及びトレイそのものの搬送を実現するうえで下記の２つの制約を受ける。
【０００７】
まず、第１トレイ保持部１０２に保持されたトレイが第２トレイ保持部１０３に搬送される場合、搬送面１００Ｓ上では、第１トレイ保持部１０２から第２トレイ保持部１０３に向けてトレイが平行移動する。そのため、第１トレイ保持部１０２と第２トレイ保持部１０３との間には、トレイが平行移動するための経路である搬送経路が予め確保される必要がある。そして、搬送面１００Ｓに搭載される水平多関節ロボット１０５には、通常、搬送面１００Ｓに立設された主軸が備えられるため、１つ目の制約として、搬送面１００Ｓ上にて搬送経路と主軸とが重ならないように、水平多関節ロボット１０５は配置される必要がある。
【０００８】
次いで、こうした水平多関節ロボット１０５のエンドエフェクターには、第１トレイ保持部１０２及び第２トレイ保持部１０３の各々に到達することが求められる。それゆえに、２つ目の制約として、水平多関節ロボット１０５の動作範囲１０５Ｓには、水平多関節ロボット１０５の主軸を中心として、少なくとも第１トレイ保持部１０２及び第２トレイ保持部１０３の含まれる範囲が必要になる。
【０００９】
この際、水平多関節ロボット１０５の動作範囲１０５Ｓとは、通常、主軸を中心とした略環状に定められる。そして、第１トレイ保持部１０２及び第２トレイ保持部１０３の含まれる範囲となれば、第１トレイ保持部１０２と第２トレイ保持部１０３との中間に主軸が配置される形態にて、水平多関節ロボット１０５の動作範囲１０５Ｓは最小になる。しかしながら、上述したように、水平多関節ロボット１０５の主軸に対しては、１つ目の制約としてトレイの搬送経路と重ならないことが求められる。そのため、第１トレイ保持部１０２と第２トレイ保持部１０３との中間から主軸が離れる分だけ、水平多関節ロボット１０５の動作範囲１０５Ｓを広げること、ひいては水平多関節ロボット１０５のアーム長を長くすることが余儀なくされている。
【００１０】
なお、図１１（ｂ）に示されるように、水平多関節ロボット１０５の主軸が、搬送経路に対して外部装置１１０とは反対側に配置されることになれば、水平多関節ロボット１０５の動作範囲１０５Ｓが外部装置１１０から離れてしまう。そのため、エンドエフェクターが外部装置１１０に到達する動作範囲１０６Ｓとなるように、水平多関節ロボット１０５のアーム長をさらに長くすることが余儀なくされる。
【００１１】
また、こうした問題は、トレイに対する処理を行うロボットが、上述した水平多関節ロボットである場合に限らず、垂直多関節ロボット等の他のロボットである場合であっても、概ね共通するものである。
【００１２】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、トレイを搬送する搬送部を有し、当該トレイに対し処理を行うロボットが搭載されるトレイ搬送装置、及びこのトレイ搬送装置に水平多関節ロボットが搭載されたトレイ搬送システムにて、ロボットのアーム長が長くなることを抑えることの可能なトレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
本発明におけるトレイ搬送装置の一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部とを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部を備える。
【００１４】
本発明におけるトレイ搬送装置の一態様によれば、ロボットを挟む２つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、ロボットを挟む２つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら２つの貫通孔の間にロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行うロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。
【００１５】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記第１貫通孔上にて前記トレイが載置される第１載置部と、前記第２貫通孔上にて前記トレイが載置される第２載置部と、前記第１載置部に供給されるトレイが貯められる第１ストッカーと、前記第２載置部から回収されるトレイが貯められる第２ストッカーとを備え、前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第２載置部から前記第２ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部とを更に備える。
【００１６】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によって搬送されるトレイが第１載置部及び第２載置部に載置されるため、トレイがこれら載置部に載置されている間には、他のトレイの搬送を内部搬送部で担うことが可能になる。それゆえに、例えば載置部に載置されたトレイに対してロボットが処理を行う間に、内部搬送部によるトレイの搬送を行うことが可能になる。また、内部搬送部によってトレイの搬送が行われる間に、後続するトレイを予め第１載置部や第２載置部に載置することが可能になる。このようにして、内部搬送部における搬送処理の待ち時間を少なくすることができるため、搬送部によるトレイの搬送の効率を高めることが可能ともなる。
【００１７】
また、上記態様によれば、第１載置部に載置されるトレイが第１ストッカーに貯められ、且つ第２載置部に載置されたトレイが第２ストッカーに貯められる。そのため、第１載置部に載置されるトレイが供給されないことによって、内部搬送部による搬送が遅れること、及び、第２載置部に載置されたトレイが回収されないことによって、同じく内部搬送部による搬送が遅れることを抑えることが可能にもなる。すなわち、内部搬送部による搬送を円滑に行うことが可能にもなる。
【００１８】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記第１載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第１載置部材を有し、前記一対の第１載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第１載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第１載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第１載置部の前記トレイを前記第２載置部側へ搬送するとき、前記一対の第１載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第１載置部材の間にトレイを通過させる。
【００１９】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、トレイの載置される一対の載置部材でこれらの間隔が変わることにより、一対の載置部材によるトレイの載置と一対の載置部材の間を通じた搬送部へのトレイの供給とが可能になる。一方、載置部が固定されている構成では、こうした載置部を避けるように搬送部がトレイを搬送する必要があるため、トレイの搬送される経路を複雑にすることが余儀なくされる。この点、上述した態様であれば、トレイの供給される経路を避けるように載置部が移動する分、トレイの供給される経路が簡略化されるため、搬送部の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。
【００２０】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記供給搬送部は、前記トレイが載置され、前記第１ストッカーから前記第１載置部へ前記トレイを搬送する供給搬送ベルトを有し、前記第１載置部材が、前記供給搬送ベルトに対し当該供給搬送ベルトの搬送方向に並設されて前記トレイを載置する供給載置ベルトを有し、前記供給載置ベルトが、前記供給搬送ベルトと連動する。
【００２１】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、供給搬送ベルトと供給載置ベルトとが連動するため、第１ストッカーから第１載置部へのトレイの供給が円滑になる。そして、こうした供給載置ベルトにトレイが載置されるため、トレイを載置するための第１載置部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。
【００２２】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記第２載置部は、前記トレイの載置される互いに向い合う一対の第２載置部材を有し、前記一対の第２載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも小さい状態である載置状態と、前記一対の第２載置部材の間隔が前記トレイの幅よりも大きい状態である非載置状態とを有し、前記第２載置部及び前記内部搬送部の駆動の態様を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記第２載置部の前記トレイを前記第１載置部へ搬送するとき、前記一対の第２載置部材を前記載置状態から前記非載置状態に変えて前記一対の第２載置部材の間にトレイを通過させる。
【００２３】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、トレイの載置される一対の載置部材でこれらの間隔が変わることにより、一対の載置部材によるトレイの載置と一対の載置部材の間を通じた内部搬送部からのトレイの回収とが可能になる。一方、載置部が固定されている構成では、こうした載置部を避けるように内部搬送部がトレイを搬送する必要があるため、トレイの搬送される経路を複雑にすることが余儀なくされる。この点、上述した態様であれば、トレイの回収される経路を避けるように載置部が移動する分、トレイの回収される経路が簡略化されるため、内部搬送部の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。
【００２４】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様は、前記回収搬送部が、前記トレイが載置され、前記第２載置部から前記第２ストッカーへ前記トレイを搬送する回収搬送ベルトを有し、前記第２載置部材が、前記回収搬送ベルトに対し当該回収搬送ベルトの搬送方向とは反対方向に並設されてトレイを載置する回収載置ベルトを有し、前記回収載置ベルトが、前記回収搬送ベルトと連動する。
【００２５】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、回収搬送ベルトと回収載置ベルトとが連動するため、第２載置部から第２ストッカーへのトレイの回収が円滑になる。そして、こうした回収載置ベルトにトレイが載置されるため、トレイを載置するための第２載置部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。
【００２６】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記内部搬送部が前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記供給搬送部に前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を開始させる。
【００２７】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によるトレイの搬送と供給搬送部によるトレイの供給とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。
【００２８】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記内部搬送部が前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて前記トレイを搬送する間に、前記回収搬送部に前記トレイの回収を開始させる。
【００２９】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、内部搬送部によるトレイの搬送と回収搬送部によるトレイの回収とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。
【００３０】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様では、前記制御部は、前記ロボットの駆動の態様を制御し、前記トレイが前記第１載置部又は前記第２載置部に載置されているときに、前記トレイに載置された対象物の外部装置への供給、及び、前記外部装置から前記トレイへの対象物の回収の少なくとも一方を前記ロボットに実行させる。
【００３１】
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、第１載置部又は第２載置部に載置されたトレイに対しロボットが処理を行うため、搬送部におけるトレイの搬送とロボットにおける処理との干渉を抑えることが可能にもなる。
【００３２】
本発明におけるトレイ搬送システムの一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部とが形成され、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える。
【００３３】
本発明におけるトレイ搬送システムの一態様によれば、水平多関節ロボットを挟む２つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボットを挟む２つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら２つの貫通孔の間に水平多関節ロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行う水平多関節ロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、水平多関節ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。
【００３４】
本発明におけるトレイ搬送システムの他の態様は、前記水平多関節ロボットが、対象物を保持する保持部を有し、前記保持部と前記対象物との少なくとも一方を撮像する撮像部と、前記水平多関節ロボットの駆動の態様を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記撮像部によって撮像された画像に基づいて前記保持部に対する前記対象物の位置を把握する。
本発明におけるトレイ搬送装置の他の態様によれば、水平多関節ロボットによって搬送される対象物の位置の精度を高めることが可能にもなる。
【００３５】
本発明におけるトレイ搬送システムの一態様は、基台と、前記基台の上面に配置された載置板とを備え、前記上面と交差する方向に前記載置板を貫通し、且つ、トレイが通過できる第１貫通孔及び第２貫通孔と、前記載置板の上面にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とに挟まれたロボット載置部と、前記第１貫通孔上にて前記トレイが載置される第１載置部と、前記第２貫通孔上にて前記トレイが載置される第２載置部と、前記第１載置部に供給されるトレイが貯められる第１ストッカーと、前記第２載置部から回収されるトレイが貯められる第２ストッカーとを備え、前記基台には、前記載置板に対して前記ロボットの載置側と反対側の搬送空間が形成され、前記基台の前記搬送空間内にて前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間で前記トレイを搬送する内部搬送部と、前記第１ストッカーから前記第１載置部への前記トレイの供給を行う供給搬送部と、前記第２載置部から前記第２ストッカーへの前記トレイの回収を行う回収搬送部と、前記載置部に載置された水平多関節ロボットとを備える。
【００３６】
本発明におけるトレイ搬送システムの一態様によれば、水平多関節ロボットを挟む２つの貫通孔の間でトレイを搬送する際に、載置板に対してロボットの載置側とは異なる同載置部の反対側にて、内部搬送部を用いてトレイを搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボットを挟む２つの貫通孔の間に、これらの間でトレイを搬送するための経路を確保する必要がないため、これら２つの貫通孔の間に水平多関節ロボットを配置することが可能にもなる。その結果、トレイを搬送する内部搬送部と当該トレイに対し処理を行う水平多関節ロボットとが搭載されたトレイ搬送装置にて、水平多関節ロボットのアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明のトレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムを具体化した一実施形態の斜視構造を示す斜視図。
【図２】トレイ搬送装置の有する各搬送ガイド及びその周辺構造を示す斜視図。
【図３】（ａ）（ｂ）トレイ搬送装置の有する内部搬送系の斜視構造を示す斜視図。
【図４】トレイ搬送システムの電気的構成を示すブロック図。
【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）トレイ搬送システムの作動態様を示す図であって、トレイ搬送システムの正面構造と、内部搬送系の端面構造とを対応付けて示す図。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）トレイ搬送システムの作動態様を示す図であって、トレイ搬送システムの正面構造と、内部搬送系の端面構造とを対応付けて示す図。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）変形例における、トレイ搬送システムの作動態様を示す図であって、トレイ搬送システムの正面構造と、内部搬送系の端面構造とを対応付けて示す図。
【図８】変形例のトレイ搬送システムにおけるトレイの搬送態様を示す図。
【図９】変形例のトレイ搬送システムにおけるトレイの搬送態様を示す図。
【図１０】変形例のトレイ搬送システムにおけるトレイの搬送態様を示す図。
【図１１】（ａ）（ｂ）従来のトレイ搬送システムの概略構成を示すブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明のトレイ搬送装置、及び、トレイ搬送システムを具体化した一実施形態について、図１〜図１０を参照して説明する。まず、トレイ搬送装置、及びトレイ搬送システムの全体構成について図１を参照して説明する。
【００３９】
［トレイ搬送装置及びトレイ搬送システムの全体構成］
図１に示されるように、直方体形状をなす基台１１の上面には、一つの方向に延びる帯状をなす供給側搬送板１２と、同じく一つの方向に延びる帯状をなす回収側搬送板１３とが並んで配置されている。これら供給側搬送板１２と回収側搬送板１３とによって、載置板が構成される。
【００４０】
供給側搬送板１２における長手方向の一方には、供給側搬送板１２を上下方向であって上述の上面と交差する方向に貫通する第１昇降孔１２ａが形成されている。また、供給側搬送板１２における長手方向の他方には、同じく供給側搬送板１２を上下方向であって上面と交差する方向に貫通する第１貫通孔としての第２昇降孔１２ｂが形成されている。
【００４１】
第１昇降孔１２ａと第２昇降孔１２ｂとの各々は、供給側搬送板１２の長手方向に延びる矩形孔である。第１昇降孔１２ａは、平面視にてトレイ１０の通過できない大きさである一方、第２昇降孔１２ｂは、平面視にてトレイ１０の通過できる大きさである。
【００４２】
供給側搬送板１２上には、第１昇降孔１２ａの短辺方向にて第１昇降孔１２ａが挟まれるように、一対の第１搬送ガイド１４が搭載され、また第２昇降孔１２ｂの短辺方向にて第２昇降孔１２ｂが挟まれるように、一対の第２搬送ガイド１５が搭載されている。
【００４３】
回収側搬送板１３における長手方向の一方には、回収側搬送板１３を上下方向であって上述の上面と交差する方向に貫通する第３昇降孔１３ａが形成されている。また、回収側搬送板１３における長手方向の他方には、同じく回収側搬送板１３を上下方向であって上面と交差する方向に貫通する第２貫通孔としての４昇降孔１３ｂが形成されている。回収側搬送板１３は、第３昇降孔１３ａが第１昇降孔１２ａと並び、また、第４昇降孔１３ｂが第２昇降孔１２ｂと並ぶように配置される。
【００４４】
第３昇降孔１３ａと第４昇降孔１３ｂとは、それぞれ回収側搬送板１３の長手方向に延びる矩形孔であって、第３昇降孔１３ａは、平面視にてトレイ１０の通過できない大きさである一方、第４昇降孔１３ｂは、平面視にてトレイ１０の通過できる大きさである。
【００４５】
回収側搬送板１３上には、第３昇降孔１３ａの短辺方向にて第３昇降孔１３ａが挟まれるように、一対の第３搬送ガイド１６が搭載され、また第４昇降孔１３ｂの短辺方向にて第４昇降孔１３ｂが挟まれるように、一対の第４搬送ガイド１７が搭載されている。
【００４６】
一対の第２搬送ガイド１５と一対の第４搬送ガイド１７との間には、供給側搬送板１２と回収側搬送板１３とに跨るロボット載置部１８Ａに水平多関節ロボット１８が搭載されている。水平多関節ロボット１８は、供給側搬送板１２の第２昇降孔１２ｂ上に配置されたトレイ１０、または回収側搬送板１３の第４昇降孔１３ｂ上に配置されたトレイ１０に対し、トレイ１０に収容された対象物である部品の外部装置への搬出や、外部装置に収容された部品のトレイ１０への搬入を行う。
【００４７】
基台１１の内部である搬送空間１１Ａには、供給側搬送板１２上にて搬送されたトレイ１０を搬入して回収側搬送板１３上へ搬出する内部搬送部としての内部搬送系２０と、水平多関節ロボット１８における駆動の態様を含め、トレイ搬送装置における駆動の態様を制御する制御部を構成する制御装置２１とが搭載されている。なお、基台１１の上面側が、載置板に対する水平多関節ロボットの載置側であり、基台１１の内側が、載置板に対する載置側とは反対側である上述の搬送空間１１Ａである。
【００４８】
［供給側搬送ガイド周辺の詳細構成］
以下、各搬送ガイド１４〜１７周辺の構成について、図２を参照してより詳しく説明する。図２に示されるように、一対の第１搬送ガイド１４の各々には、空圧駆動式の２つの供給側爪駆動部２２が、第１搬送ガイド１４の延びる方向に間隔を空けて固定されている。一対の第１搬送ガイド１４に固定された４つの供給側爪駆動部２２の各々には、一つのトレイ支持爪２３が、一対の第１搬送ガイド１４に挟まれた空間である第１搬送空間１４Ｓの直上に進入及び退出可能に連結されている。
【００４９】
そして、第１搬送空間１４Ｓの直上にトレイ支持爪２３を進出させるための駆動圧が各供給側爪駆動部２２に供給されると、各供給側爪駆動部２２に連結されたトレイ支持爪２３が第１搬送空間１４Ｓの直上に進入する。このように、４つのトレイ支持爪２３が第１搬送空間１４Ｓの直上に進入することによって、積み重ねられた状態の複数のトレイ１０が、４つのトレイ支持爪２３により第１搬送空間１４Ｓの直上で支持される。
【００５０】
他方、第１搬送空間１４Ｓの直上からトレイ支持爪２３を退出させるための解除圧が各供給側爪駆動部２２に供給されると、各供給側爪駆動部２２に連結されたトレイ支持爪２３が、第１搬送空間１４Ｓの直上から第１搬送ガイド１４上に退出し、４つのトレイ支持爪２３に支持されたトレイ１０が、第１搬送空間１４Ｓに向けて下降可能になる。
【００５１】
一対の第１搬送ガイド１４の両端部には、第１搬送空間１４Ｓ上に積み上げられるトレイ１０をその四隅で保持するための４つのトレイ保持枠２４が立設されている。また、一対の第１搬送ガイド１４の各々の両端部には、他方の第１搬送ガイド１４に向けて延びる平行な一対の第１回転軸２５が軸支されている。
【００５２】
また、一対の第１搬送ガイド１４の各々における第１搬送空間１４Ｓ側には、第１搬送ガイド１４に沿って延びる供給搬送ベルトとしての第１搬送ベルト２６が、プーリーを介して一対の第１回転軸２５に掛け渡されている。これら一対の第１搬送ベルト２６に挟まれた隙間の下方には、一対の第１回転軸２５の一方に回転力を加える供給モーター２７と、第１搬送ガイド１４に沿って延びる板状をなすストッカーステージ２８とが配置されている。
【００５３】
さらに、ストッカーステージ２８の下方には、ストッカーステージ２８から下方に延びる連結軸２９を介して空圧駆動式のストッカーステージ駆動部３０が連結され、このストッカーステージ駆動部３０には、下記最上位置駆動圧、中間位置駆動圧、及び最下位置駆動圧が供給される。
【００５４】
ここで、ストッカーステージ２８が移動する範囲のうち、ストッカーステージ２８から数えて１段目のトレイ１０がトレイ支持爪２３よりも高くなる場合のストッカーステージ２８の位置を最上位置とする。また、１段目のトレイ１０と２段目のトレイ１０との隙間がトレイ支持爪２３と同じ高さになる場合のストッカーステージ２８の位置を中間位置とし、第１搬送ベルト２６よりも低いストッカーステージ２８の位置を最下位置とする。そして、ストッカーステージ駆動部３０に供給される駆動圧のうち、ストッカーステージ２８を最上位置に配置するための駆動圧を最上位置駆動圧とし、ストッカーステージ２８を中間位置に配置するための駆動圧を中間位置駆動圧とし、ストッカーステージ２８を最下位置に配置するための駆動圧を最下位置駆動圧とする。
【００５５】
そして、４つのトレイ支持爪２３が複数のトレイ１０を支持している状態で最上位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部３０に供給されると、ストッカーステージ２８が最上位置に移動し、トレイ支持爪２３に支持されたトレイ１０がトレイ支持爪２３から持ち上げられる。
【００５６】
この状態から、４つのトレイ支持爪２３の各々が第１搬送空間１４Ｓの直上から退出し、中間位置駆動圧がストッカーステージ駆動部３０に供給されると、ストッカーステージ２８が中間位置に配置され、１段目のトレイ１０と２段目のトレイ１０との隙間と４つのトレイ支持爪２３とが互いに向かい合う。
【００５７】
続いて、４つのトレイ支持爪２３の各々が第１搬送空間１４Ｓの直上に進入し、最下位置駆動圧がストッカーステージ駆動部３０に供給されると、ストッカーステージ２８が最下位置に到達するまでに、２段目以上のトレイ１０が４つのトレイ支持爪２３に支持され、１段目のトレイ１０が一対の第１搬送ベルト２６上に載置される。
【００５８】
ここで、供給モーター２７が正転すると、供給モーター２７の回転力が第１回転軸２５を介して第１搬送ベルト２６に伝わり、第１搬送ベルト２６上に載置されたトレイ１０が第１搬送ベルト２６の回転に合わせて第１搬送空間１４Ｓから搬出される。なお、供給側爪駆動部２２、トレイ支持爪２３、及びトレイ保持枠２４によって第１ストッカーが構成されている。また、供給モーター２７、ストッカーステージ２８、及びストッカーステージ駆動部３０によって供給搬送部が構成されている。
【００５９】
一対の第２搬送ガイド１５の各々の両端部には、他方の第２搬送ガイド１５に向けて延びる互いに平行な一対の第２回転軸３１が挿通されている。一対の第２搬送ガイド１５の各々は、第２回転軸３１に対して軸方向に摺動可能に連結され、これら一対の第２搬送ガイド１５で挟まれた空間である第２搬送空間１５Ｓに対し、第２回転軸３１の軸方向における幅を変更可能に構成されている。一対の第２回転軸３１の各々は、一対の第２搬送ガイド１５を挟む一対の軸支部３２によって軸支され、一対の第２回転軸３１のうちで第１回転軸２５に近い方の第２回転軸３１には、第１回転軸２５の回転を当該第２回転軸３１に伝える伝達機構３３が連結されている。
【００６０】
また、一対の第２搬送ガイド１５の各々における第２搬送空間１５Ｓ側には、第２搬送ガイド１５に沿って延びる供給載置ベルトとしての第２搬送ベルト３４が、第２回転軸３１の軸方向へ移動可能なプーリー３５を介して一対の第２回転軸３１に掛け渡されている。さらに、一対の第２回転軸３１の各々に連結された各プーリー３５の下側には、当該プーリー３５を第２回転軸３１の軸方向にて変位させる空圧駆動式の第２ガイド駆動部３６が連結され、この第２ガイド駆動部３６には、下記載置状態駆動圧、及び非載置状態駆動圧が供給される。
【００６１】
ここで、第２回転軸３１の軸方向にて第２搬送ガイド１５の内側間の距離がトレイ１０の幅よりも例えば０．５ｍｍ程度広く、且つ、第２搬送ベルト３４間がトレイ１０の幅よりも小さくなる状態を載置状態とし、第２回転軸３１の軸方向にて第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなる状態を非載置状態とする。そして、第２ガイド駆動部３６に供給される駆動圧のうち、一対の第２搬送ベルト３４を載置状態にする駆動圧を載置状態駆動圧とし、一対の第２搬送ベルト３４を非載置状態にする駆動圧を非載置状態駆動圧とする。
【００６２】
そして、４つのガイド駆動部３６の各々に載置状態駆動圧が供給された状態で供給モーター２７が正転すると、供給モーター２７の回転が第１回転軸２５、伝達機構３３、及び第２回転軸３１を介して第２搬送ベルト３４に伝わり、第１搬送空間１４Ｓから搬出されるトレイ１０が、第２搬送ベルト３４の回転に合わせて第２搬送空間１５Ｓに搬入される。
【００６３】
次いで、第２搬送空間１５Ｓに搬入されたトレイ１０が第２昇降孔１２ｂと対向する位置に到達するタイミングで供給モーター２７の正転が停止すると、第２搬送空間１５Ｓに搬入されたトレイ１０が第２昇降孔１２ｂの直上で保持される。この状態から４つのガイド駆動部３６の各々に非載置状態駆動圧が供給されると、一対の第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなるように、４つのガイド駆動部３６がプーリー３５を第２回転軸３１の軸方向へ変位させる。これにより、第２搬送空間１５Ｓに搬入されたトレイ１０は、一対の第２搬送ベルト３４に妨げられることなく、供給側搬送板１２の上方から基台１１の内部に向けて、第２昇降孔１２ｂを通過することが可能になる。なお、一対の第２搬送ベルト３４によって第１載置部材が構成され、第２回転軸３１、一対の第２搬送ベルト３４、プーリー３５、及び第２ガイド駆動部３６によって第１載置部が構成されている。
【００６４】
［回収側搬送ガイド周辺の詳細構成］
同じく図２に示されるように、一対の第３搬送ガイド１６の各々には、空圧駆動式の２つの回収側爪駆動部４２が、第３搬送ガイド１６の延びる方向に間隔を空けて固定されている。一対の第３搬送ガイド１６に固定された４つの回収側爪駆動部４２の各々には、一つのトレイ支持爪４３が、一対の第３搬送ガイド１６に挟まれた空間である第３搬送空間１６Ｓの直上に進入及び退出可能に連結されている。
【００６５】
そして、第３搬送空間１６Ｓの直上にトレイ支持爪４３を進出させるための駆動圧が各回収側爪駆動部４２に供給されると、各回収側爪駆動部４２に連結されたトレイ支持爪４３が第３搬送空間１６Ｓの直上に進入する。このように、４つのトレイ支持爪４３が第３搬送空間１６Ｓの直上に進入することによって、積み重ねられた状態の複数のトレイ１０が、４つのトレイ支持爪４３により第３搬送空間１６Ｓの直上で支持される。
【００６６】
他方、第３搬送空間１６Ｓの直上からトレイ支持爪４３を退出させるための解除圧が各回収側爪駆動部４２に供給されると、各回収側爪駆動部４２に連結されたトレイ支持爪４３が、第３搬送空間１６Ｓの直上から第３搬送ガイド１６上に退出し、４つのトレイ支持爪４３に支持されたトレイ１０が、第３搬送空間１６Ｓに向けて下降可能になる。
【００６７】
一対の第３搬送ガイド１６の両端部には、第３搬送空間１６Ｓ上に積み上げられるトレイ１０をその四隅で保持するための４つのトレイ保持枠４４が立設されている。また、一対の第３搬送ガイド１６の各々の両端部には、他方の第３搬送ガイド１６に向けて延びる平行な一対の第３回転軸４５が軸支されている。
【００６８】
そして、一対の第３搬送ガイド１６の各々における第３搬送空間１６Ｓ側には、第３搬送ガイド１６に沿って延びる回収搬送ベルトとしての第３搬送ベルト４６が、プーリーを介して一対の第３回転軸４５に掛け渡されている。これら一対の第３搬送ベルト４６に挟まれた隙間の下方には、一対の第３回転軸４５の一方に回転力を加える回収モーター４７と、第３搬送ガイド１６に沿って延びる板状をなすストッカーステージ４８とが配置されている。
【００６９】
さらに、ストッカーステージ４８の下方には、ストッカーステージ４８から下方に延びる連結軸４９を介して空圧駆動式のストッカーステージ駆動部５０が連結され、このストッカーステージ駆動部５０には、下記最上位置駆動圧、中間位置駆動圧、及び最下位置駆動圧が供給される。
【００７０】
ここで、ストッカーステージ４８が移動する範囲のうち、ストッカーステージ４８から数えて１段目のトレイ１０がトレイ支持爪４３よりも高くなる場合のストッカーステージ４８の位置を最上位置とする。また、１段目のトレイ１０と２段目のトレイ１０との隙間がトレイ支持爪４３と同じ高さになる場合のストッカーステージ４８の位置を中間位置とし、第３搬送ベルト４６よりも低いストッカーステージ４８の位置を最下位置とする。そして、ストッカーステージ駆動部５０に供給される駆動圧のうち、ストッカーステージ４８を最上位置に配置するための駆動圧を最上位置駆動圧とし、ストッカーステージ４８を中間位置に配置するための駆動圧を中間位置駆動圧とし、ストッカーステージ４８を最下位置に配置するための駆動圧を最下位置駆動圧とする。
【００７１】
そして、４つのトレイ支持爪４３が複数のトレイ１０を支持している状態で回収モーター４７が正転すると、回収モーター４７の回転力が第３回転軸４５を介して第３搬送ベルト４６に伝わり、第３搬送ベルト４６における第４搬送ガイド１７側に載置されたトレイ１０が、第３搬送ベルト４６の回転に合わせて第３搬送空間１６Ｓに搬入される。これにより、新たなトレイ１０が複数のトレイ１０の直下にまで搬送される。
【００７２】
続いて、中間位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部５０に供給されると、ストッカーステージ４８が中間位置に移動し、トレイ支持爪４３が新たに１段目となるトレイ１０と複数のトレイ１０の１段目であって新たに２段目となるトレイ１０との間に位置する。
【００７３】
ここで、４つのトレイ支持爪４３の各々が第３搬送空間１６Ｓの直上から退出し、最上位置駆動圧が各ストッカーステージ駆動部５０に供給されると、ストッカーステージ４８が最上位置に移動し、複数のトレイ１０における１段目のトレイ１０がトレイ支持爪４３よりも高い位置まで持ち上げられる。
【００７４】
続いて、４つのトレイ支持爪４３の各々が第３搬送空間１６Ｓの直上に進入し、最下位置駆動圧がストッカーステージ駆動部５０に供給されると、ストッカーステージ４８が最下位置に到達するまでに、複数のトレイ１０が４つのトレイ支持爪２３によって支持される。なお、回収側爪駆動部４２、トレイ支持爪４３、及びトレイ保持枠４４によって第２ストッカーが構成されている。また、回収モーター４７、ストッカーステージ４８、及びストッカーステージ駆動部５０によって回収搬送部が構成されている。
【００７５】
一対の第４搬送ガイド１７の各々の両端部には、他方の第４搬送ガイド１７に向けて延びる互いに平行な一対の第４回転軸５１が挿通されている。一対の第４搬送ガイド１７の各々は、第４回転軸５１に対して軸方向に摺動可能に連結され、これら一対の第４搬送ガイド１７で挟まれた空間である第２位置としての第４搬送空間１７Ｓに対し、第４回転軸５１の軸方向における幅を変更可能に構成されている。一対の第４回転軸５１の各々は、一対の第４搬送ガイド１７を挟む一対の軸支部５２によって軸支され、一対の第４回転軸５１のうちで第３回転軸４５に近い方の第４回転軸５１には、第３回転軸４５の回転を当該第４回転軸５１に伝える伝達機構５３が連結されている。
【００７６】
また、一対の第４搬送ガイド１７の各々における第４搬送空間１７Ｓ側には、第４搬送ガイド１７に沿って延びる回収載置ベルトとしての第４搬送ベルト５４が、第４回転軸５１の軸方向へ移動可能なプーリー５５を介して一対の第４回転軸５１に掛け渡されている。さらに、一対の第４回転軸５１の各々に連結された各プーリー５５の下側には、当該プーリー５５を第４回転軸５１の軸方向にて変位させる空圧駆動式の第４ガイド駆動部５６が連結され、この第４ガイド駆動部５６には、下記載置状態駆動圧、及び非載置状態駆動圧が供給される。
【００７７】
ここで、第４回転軸５１の軸方向にて第４搬送ガイド１７の内側間の距離がトレイ１０の幅より例えば０．５ｍｍ程度広く、且つ、第４搬送ベルト５４間の距離がトレイ１０の幅よりも小さくなる状態を載置状態とし、第４回転軸５１の軸方向にて第４搬送ベルト５４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなる状態を非載置状態とする。そして、第４ガイド駆動部５６に供給される駆動圧のうち、一対の第４搬送ベルト５４を載置状態にする駆動圧を載置状態駆動圧とし、一対の第４搬送ベルト５４を非載置状態にする駆動圧を非載置状態駆動圧とする。
【００７８】
そして、４つのガイド駆動部５６の各々に非載置状態駆動圧が供給されると、一対の第４搬送ベルト５４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなるように、４つのガイド駆動部５６がプーリー５５を第４回転軸５１の軸方向へ変位させる。これにより、第４搬送空間１７Ｓに搬入されるトレイ１０は、一対の第４搬送ベルト５４に妨げられることなく、基台１１の内部から回収側搬送板１３の上方に向けて、第４昇降孔１３ｂを通過することが可能になる。
【００７９】
この状態から、４つのガイド駆動部５６に載置状態駆動圧が供給されると、一対の第４搬送ガイド１７の内側間の距離がトレイ１０の幅よりも例えば０．５ｍｍ程度広くなるように、４つのガイド駆動部５６がプーリー５５を第４回転軸５１の軸方向へ変位させる。これにより、第４搬送ベルト５４間の幅がトレイ１０の幅よりも小さくなり、第４搬送空間１７Ｓに搬入されたトレイ１０は、一対の第４搬送ベルト５４上に保持される。
【００８０】
そして、４つのガイド駆動部５６の各々に載置状態駆動圧が供給された状態で回収モーター４７が正転すると、回収モーター４７の回転が第３回転軸４５、伝達機構５３、及び第４回転軸５１を介して第４搬送ベルト５４に伝わり、第４搬送空間１７Ｓから搬出されるトレイ１０が、第４搬送ベルト５４の回転に合わせて第３搬送空間１６Ｓに搬入される。
【００８１】
次いで、第３搬送空間１６Ｓに搬入されたトレイ１０が第３昇降孔１３ａと対向する位置に到達するタイミングで回収モーター４７の正転が停止すると、第３搬送空間１６Ｓに搬入されたトレイ１０が第３昇降孔１３ａの直上で保持される。なお、一対の第４搬送ベルト５４によって第２載置部材が構成され、第４回転軸５１、一対の第４搬送ベルト５４、プーリー５５、及び第４ガイド駆動部５６によって第２載置部が構成されている。
【００８２】
［内部搬送系の詳細構成］
以下、トレイ搬送装置の有する内部搬送系２０について、図３を参照してより詳しく説明する。図３（ａ）に示されるように、内部搬送系２０を構成する平行移動レール６１は、上述した第２昇降孔１２ｂの直下から第４昇降孔１３ｂの直下に向けて延びる板状に形成されている。平行移動レール６１には、平行移動レール６１の延びる方向へ往復移動可能に、平行移動スライダー６２が連結されている。平行移動スライダー６２は、図示されない平行移動モーターの駆動軸に連結され、平行移動モーターが正転及び反転することによって、第２昇降孔１２ｂの直下であるトレイ搬入位置と第４昇降孔１３ｂの直下であるトレイ搬出位置との間を平行移動する。
【００８３】
平行移動スライダー６２には、平行移動スライダー６２から上方へ延びる昇降機構支持プレート６３が固定され、昇降機構支持プレート６３の上端部には、平行移動レール６１に沿って延びる帯状をなす一対の平行移動保持枠６４が固定されている。一対の平行移動保持枠６４の各々の先端には、上方に延びる平行移動保持爪６５が形成され、これら一対の平行移動保持爪６５の間には、平行移動スライダー６２の移動する方向にてトレイ１０の幅と同じ程度の隙間が空けられている。
【００８４】
昇降機構支持プレート６３の一側面には、上下方向に延びる昇降レール６６が固定され、昇降レール６６には、上下方向へ延びる昇降スライダー６７が、昇降レール６６に沿って上下方向へ往復移動可能に連結されている。昇降スライダー６７は、図示されない昇降モーターの駆動軸に連結され、昇降モーターが正転及び反転することによってトレイ保持位置とトレイ離脱位置との間を上昇及び下降する。
【００８５】
昇降スライダー６７の上端部には、平板状をなす昇降ステージ６８が固定されている。昇降ステージ６８は、平行移動保持枠６４の延びる方向と直交する方向に延びる平板状をなし、且つ、平行移動保持枠６４の延びる方向にて第２搬送ベルト３４間よりも小さい幅を有している。また、昇降ステージ６８の延びる方向における両端部には、一対の昇降保持爪６９が折り曲げ形成されている。これら一対の昇降保持爪６９の間には、昇降ステージ６８の延びる方向にてトレイ１０の幅と同じ程度の隙間が空けられている。
【００８６】
そして、平行移動スライダー６２がトレイ搬入位置に配置される状態で昇降モーターが正転すると、昇降スライダー６７に固定された昇降ステージ６８が、昇降機構支持プレート６３の上端部であるトレイ保持位置からトレイ離脱位置まで昇降スライダー６７とともに上昇し、第２搬送ベルト３４によって支持されているトレイ１０を第２搬送ベルト３４の上に持ち上げる。
【００８７】
この状態から、第２搬送ベルト３４間が広げられて昇降モーターが反転すると、昇降スライダー６７に固定された昇降ステージ６８が、トレイ離脱位置からトレイ保持位置まで昇降スライダー６７とともに下降し、図３（ａ）に示されるように、第２搬送ベルト３４の上に持ち上げたトレイ１０を第２搬送ベルト３４の下に移動させる。この際、昇降ステージ６８が下降する間、昇降ステージ６８に載置されたトレイ１０の昇降ステージ６８に対する移動は、昇降ステージ６８の有する昇降保持爪６９によって係止される。
【００８８】
続いて、平行移動モーターが正転すると、平行移動レール６１に連結された平行移動スライダー６２が、トレイ搬入位置の下方からトレイ搬出位置まで移動する。この際、平行移動スライダー６２が平行移動する間、昇降ステージ６８に載置されたトレイ１０では、昇降ステージ６８の有する昇降保持爪６９と平行移動保持枠６４の有する平行移動保持爪６５とによって、昇降ステージ６８に対する移動が係止される。
【００８９】
そして、昇降モーターが正転すると、図３（ｂ）に示されるように、昇降スライダー６７に固定された昇降ステージ６８が、トレイ保持位置からトレイ離脱位置まで昇降スライダー６７とともに上昇する。この状態から、第４搬送ベルト５４間が狭められて昇降モーターが反転すると、昇降スライダー６７に固定された昇降ステージ６８が、トレイ離脱位置からトレイ保持位置まで昇降スライダー６７とともに下降し、昇降ステージ６８に載置されていたトレイ１０が第４搬送ベルト５４上に載置される。
【００９０】
［トレイ搬送装置の電気的構成］
以下、上述したトレイ搬送装置の電気的構成について、図４を参照して説明する。制御装置２１に備えられた制御部７１は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。
【００９１】
制御部７１は、主制御部７１Ａ、副制御部７１Ｂ、記憶部７１Ｃ、モーター駆動用入出力部７１Ｄ、電磁弁駆動用入出力部７１Ｅ、及び外部入出力部７１Ｆを有している。主制御部７１Ａは、記憶部７１Ｃに記憶された搬送プログラムを解釈し、搬送プログラムに基づく水平多関節ロボット１８の軌道を生成する。また、主制御部７１Ａは、各モーターに対する位置指令を生成し、この位置指令を副制御部７１Ｂに出力する。また、主制御部７１Ａは、空圧式の供給部を構成する電磁弁に対する開閉指令を生成し、この開閉指令に基づく開閉制御信号を生成して電磁弁駆動用入出力部７１Ｅに出力する。
【００９２】
副制御部７１Ｂは、主制御部７１Ａから入力された位置指令と、各モーターに接続された回転検出器からのフィードバック信号とに基づいて電流指令を生成し、この電流指令に基づくＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。
【００９３】
記憶部７１Ｃには、トレイ搬送システムを駆動するための搬送プログラムが記憶され、搬送プログラムには、例えば、内部搬送系２０を駆動するための平行移動プログラム、水平多関節ロボット１８のエンドエフェクターを駆動するためのピックプログラム、及び、水平多関節ロボット１８のアームを駆動するためのアーチプログラム等が含まれる。
【００９４】
モーター駆動用入出力部７１Ｄには、各モーターを回転駆動させるモーター駆動部７２〜７６が接続されている。モーター駆動部７２〜７６の各々には、水平多関節ロボット１８を駆動するロボットモーター１８Ｍ、供給モーター２７、回収モーター４７、平行移動スライダー６２を駆動する平行移動モーター６２Ｍ、及び昇降スライダー６７を駆動する昇降モーター６７Ｍが、一対一で順に接続されている。モーター駆動用入出力部７１Ｄは、副制御部７１Ｂから入力されたＰＷＭ信号を各モーター駆動部７２〜７６に出力し、各モーター駆動部７２〜７６は、入力されたＰＷＭ信号に基づいて各モーター１８Ｍ，２７，４７，６２Ｍ，６７Ｍの駆動電流を生成して各モーター１８Ｍ，２７，４７，６２Ｍ，６７Ｍに供給する。また、モーター駆動用入出力部７１Ｄには、各モーター１８Ｍ，２７，４７，６２Ｍ，６７Ｍの回転検出器が接続され、この回転検出器からのフィードバック信号が入力される。
【００９５】
電磁弁駆動用入出力部７１Ｅには、電磁弁を開閉駆動させる電磁弁駆動部７７〜８２が接続されている。電磁弁駆動部７７〜８２の各々には、供給側爪駆動部２２、ストッカーステージ駆動部３０，５０、第２ガイド駆動部３６、回収側爪駆動部４２、及び第４ガイド駆動部５６の各々を構成する電磁弁が、一対一で順に接続されている。電磁弁駆動用入出力部７１Ｅは、副制御部７１Ｂから入力された開閉制御信号を各電磁弁駆動部７７〜８２に出力し、各電磁弁駆動部７７〜８２は、入力された開閉制御信号に基づいて各電磁弁の駆動電圧を生成して各電磁弁に供給する。
【００９６】
外部入出力部７１Ｆには、トレイ１０に収容される部品に対して所定の処理を行う外部装置の制御部である外部装置制御部８５が接続されている。外部入出力部７１Ｆには、回収されるべき部品が外部装置の搬出部にあるときに、回収開始信号が外部装置制御部８５から入力される。また、外部入出力部７１Ｆには、外部装置に対して供給されるべき部品があるときに、供給開始信号が外部装置制御部８５から入力される。外部入出力部７１Ｆは、上述の回収開始信号及び供給開始信号を主制御部７１Ａに出力する。
【００９７】
［トレイ搬送装置の作用］
次に、トレイ搬送装置にて行われるトレイの搬送態様について図５及び図６を参照して説明する。外部装置制御部８５が供給開始信号を生成して外部入出力部７１Ｆに出力すると、外部入出力部７１Ｆが主制御部７１Ａに供給開始信号を出力する。主制御部７１Ａは、供給開始信号が入力されると、上述した搬送プログラムの解釈を開始する。
【００９８】
これにより、主制御部７１Ａが供給モーター２７に対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７３にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７３がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して供給モーター２７に出力する。
【００９９】
これにより、供給モーター２７が駆動され、図５（ａ）に示されるように、第１搬送空間１４Ｓ上のトレイ１０が、第１搬送ベルト２６及び第２搬送ベルト３４に沿って第２搬送空間１５Ｓに搬入される。このとき、内部搬送系２０の平行移動スライダー６２がトレイ搬入位置にあり、且つ、昇降スライダー６７がトレイ保持位置にある。
【０１００】
次いで、主制御部７１Ａがロボットモーター１８Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７２にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７２がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成してロボットモーター１８Ｍに出力する。
【０１０１】
これにより、ロボットモーター１８Ｍが駆動され、水平多関節ロボット１８のエンドエフェクターが、第２搬送空間１５Ｓ上のトレイ１０に収容された部品と外部装置１１０との間を移動する。なお、このとき、主制御部７１Ａが、エンドエフェクターに対する保持指令と解除指令とを生成することにより、エンドエフェクターによる部品の保持と保持の解除とが行われる。
【０１０２】
外部装置１１０への部品の供給が終了すると、主制御部７１Ａが、昇降モーター６７Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７６にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７６がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター６７Ｍに出力する。
【０１０３】
これにより、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図５（ｂ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ離脱位置にまで上昇し、第２搬送空間１５Ｓ上のトレイ１０が、昇降ステージ６８によって第２搬送ベルト３４上から持ち上げられる。
【０１０４】
昇降スライダー６７が上昇すると、主制御部７１Ａが第２ガイド駆動部３６に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部７１Ｅに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部７１Ｅが電磁弁駆動部７９に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部７９がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第２ガイド駆動部３６に出力する。これにより、第２ガイド駆動部３６に非載置状態駆動圧が供給され、第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなる。
【０１０５】
次いで、主制御部７１Ａが昇降モーター６７Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７６にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７６がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター６７Ｍに出力する。これにより、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図５（ｃ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、トレイ１０が昇降ステージ６８に保持された状態で下降する。
【０１０６】
昇降スライダー６７が下降すると、主制御部７１Ａが第２ガイド駆動部３６に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部７１Ｅに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部７１Ｅが電磁弁駆動部７９に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部７９がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第２ガイド駆動部３６に出力する。これにより、第２ガイド駆動部３６に載置状態駆動圧が供給され、第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも小さくなる。
【０１０７】
次いで、主制御部７１Ａが平行移動モーター６２Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７５にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７５がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター６２Ｍに出力する。
【０１０８】
これにより、平行移動モーター６２Ｍが駆動され、図５（ｃ）及び図６（ａ）に示されるように、平行移動スライダー６２がトレイ搬出位置にまで移動し、これに伴い、トレイ１０が昇降ステージ６８に保持された状態でトレイ搬出位置にまで移動する。
【０１０９】
続いて、主制御部７１Ａが第４ガイド駆動部５６に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部７１Ｅに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部７１Ｅが電磁弁駆動部８２に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部８２がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第４ガイド駆動部５６に出力する。これにより、第４ガイド駆動部５６に昇降搬送駆動圧が供給され、第４搬送ベルト５４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなる。
【０１１０】
次いで、主制御部７１Ａが昇降モーター６７Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７６にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７６がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター６７Ｍに出力する。
【０１１１】
これにより、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図６（ａ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ離脱位置にまで上昇し、これに伴い、トレイ１０が昇降ステージ６８に保持された状態で上昇する。
【０１１２】
昇降スライダー６７が上昇すると、主制御部７１Ａが第４ガイド駆動部５６に対する開閉指令を生成し、該開閉指令に基づき生成した開閉制御信号を電磁弁駆動用入出力部７１Ｅに出力する。そして、電磁弁駆動用入出力部７１Ｅが電磁弁駆動部８２に開閉制御信号を出力し、電磁弁駆動部８２がこの開閉制御信号に基づいて駆動電圧を生成して第４ガイド駆動部５６に出力する。これにより、第４ガイド駆動部５６に載置状態駆動圧が供給され、第４搬送ベルト５４間の距離がトレイ１０の幅よりも小さくなる。
【０１１３】
次いで、主制御部７１Ａが昇降モーター６７Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７６にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７６がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して昇降モーター６７Ｍに出力する。
【０１１４】
これにより、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図６（ｂ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、昇降ステージ６８に保持されていたトレイ１０が、第４搬送ベルト５４に載置されることで、第４搬送空間１７Ｓ上に保持される。
【０１１５】
続いて、主制御部７１Ａが回収モーター４７に対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７４にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７４がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して回収モーター４７に出力する。
【０１１６】
これにより、回収モーター４７が駆動され、図６（ｃ）に示されるように、第４搬送空間１７Ｓ上のトレイ１０が、第４搬送ベルト５４と第３搬送ベルト４６とに沿って第３搬送空間１６Ｓ上に搬入される。
【０１１７】
次いで、主制御部７１Ａが平行移動モーター６２Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づき生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７５にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７５がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター６２Ｍに出力する。これにより、平行移動モーター６２Ｍが駆動され、図６（ｃ）に示されるように、平行移動スライダー６２が、トレイ搬出位置からトレイ搬入位置まで移動する。こうして、平行移動スライダー６２がトレイ搬入位置にまで移動することにより、主制御部７１Ａによる搬送プログラム解釈が終了される。
【０１１８】
以上説明した実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）水平多関節ロボット１８を挟む２つの貫通孔の間でトレイ１０を搬送する際に、水平多関節ロボット１８が搭載される基台１１の上面とは異なる基台１１の内側を通じてトレイ１０を搬送することが可能になる。そして、水平多関節ロボット１８を挟む２つの貫通孔の間に、これらの間でトレイ１０を搬送するための経路を確保する必要がないため、これら２つの貫通孔の間に水平多関節ロボット１８を配置することが可能にもなる。その結果、水平多関節ロボット１８のアーム長が長くなることを抑えることが可能となる。
【０１１９】
（２）内部搬送系２０によって搬送されるトレイ１０が予め第２搬送ベルト３４に載置されるため、トレイ１０が第２搬送ベルト３４に載置されている間には、他のトレイ１０の搬送を内部搬送系２０で担うことが可能になる。それゆえに、例えば第２搬送ベルト３４に載置されたトレイ１０に対して水平多関節ロボット１８が処理を行う間に、内部搬送系２０によるトレイ１０の搬送を行うことが可能になる。
【０１２０】
（３）また、内部搬送系２０によって搬送されたトレイ１０が第４搬送ベルト５４に載置されるため、トレイ１０が第４搬送ベルト５４に載置されている間には、他のトレイ１０の搬送を内部搬送系２０で担うことが可能になる。このようにして、内部搬送系２０における搬送処理の待ち時間を少なくすることができるため、内部搬送系２０によるトレイ１０の搬送の効率を高めることが可能ともなる。
【０１２１】
（４）第２搬送ベルト３４に載置されるトレイ１０が予め第１ストッカーに貯められ、且つ第４搬送ベルト５４に載置されたトレイ１０が逐次第２ストッカーに貯められる。そのため、第２搬送ベルト３４に載置されるトレイ１０が供給されないことによって、内部搬送系２０による搬送が遅れること、第４搬送ベルト５４に載置されたトレイ１０が回収されないことによって、同じく内部搬送系２０による搬送が遅れること、これらを抑えることが可能にもなる。すなわち、内部搬送系２０による搬送を円滑に行うことが可能にもなる。
【０１２２】
（５）トレイ１０の載置される一対の第２搬送ベルト３４及び一対の第４搬送ベルト５４でこれらの間隔が変わることにより、一対の第２搬送ベルト３４及び一対の第４搬送ベルト５４によるトレイ１０の載置と一対の第２搬送ベルト３４及び一対の第４搬送ベルト５４の間を通じた内部搬送系２０へのトレイの供給とが可能になる。これにより、トレイ１０の供給される経路を避けるように第２搬送ベルト３４が移動する分、トレイ１０の供給される経路が簡略化される。また、トレイ１０の回収される経路を避けるように第４搬送ベルト５４が移動する分、トレイ１０の回収される経路が簡略化される。そのため、内部搬送系２０の構成が複雑になることを抑えることが可能にもなる。
【０１２３】
（６）第１搬送ベルト２６と第２搬送ベルト３４とが連動するため、第１ストッカーから第２搬送ベルト３４へのトレイ１０の供給が円滑になる。そして、こうした第２搬送ベルト３４にトレイ１０が載置されるため、トレイ１０を載置するための部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。
【０１２４】
（７）第３搬送ベルト４６と第４搬送ベルト５４とが連動するため、第３搬送ベルト４６から第２ストッカーへのトレイ１０の回収が円滑になる。そして、こうした第４搬送ベルト５４にトレイ１０が載置されるため、トレイ１０を載置するための部材が別途設けられる構成と比較して、トレイ搬送装置における部材の点数を少なくすることが可能にもなる。
【０１２５】
なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・第１載置部及び第２載置部の少なくとも１つが割愛される構成であってもよい。例えば、内部搬送系２０によって第２位置に搬送されたトレイが外部の搬送ロボットによってトレイ搬送装置から搬出される構成であってもよい。また、内部搬送系２０が第１位置に配置されたときに、当該内部搬送系２０に対して外部の搬送ロボットからトレイが供給される構成であってもよい。
【０１２６】
・第１ストッカー及び第２ストッカーの少なくとも１つが割愛される構成であってもよい。
・第１位置でトレイを載置する載置部は、第２搬送ベルト３４に限らず、第１位置に進入及び退出する載置ステージ等に具体化することも可能である。要は、搬送部がトレイを受け取る際に、当該搬送部と干渉しない構造でトレイを載置する構成であればよい。
【０１２７】
・第２位置でトレイを載置する載置部は、第４搬送ベルト５４に限らず、第２位置に進入及び退出する載置ステージ等に具体化することも可能である。要は、搬送部がトレイを受け渡す際に、当該搬送部と干渉しない構造でトレイを載置する構成であればよい。
【０１２８】
・トレイの供給態様は、第１搬送ベルト２６と第２搬送ベルト３４とが互いに異なるモーターによって各別に駆動される態様であってもよい。
・トレイの回収態様は、第３搬送ベルト４６と第４搬送ベルト５４とが互いに異なるモーターによって各別に駆動される態様であってもよい。
【０１２９】
・制御部７１は、内部搬送系２０が基台１１の内側でトレイ１０を搬送する間に、供給モーター２７を駆動し、第２搬送ベルト３４の回転によりトレイ１０の供給を開始することも可能である。
【０１３０】
つまり、第２搬送空間１５Ｓ上のトレイ１０から外部装置１１０に対して部品の供給が行われた後、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図７（ａ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ離脱位置にまで上昇し、第２搬送空間１５Ｓ上のトレイ１０が、昇降ステージ６８によって第２搬送ベルト３４から持ち上げられる。続いて、第２ガイド駆動部３６に非載置状態駆動圧が供給され、第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも大きくなる。次いで、図７（ｂ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ保持位置にまで下降し、これに伴い、トレイ１０が昇降ステージ６８に保持された状態で下降する。そして、第２ガイド駆動部３６に載置状態駆動圧が供給され、第２搬送ベルト３４間の距離がトレイ１０の幅よりも小さくなる。
【０１３１】
次いで、供給モーター２７が駆動され、第１搬送空間１４Ｓ上のトレイ１０が、第１搬送ベルト２６及び第２搬送ベルト３４を介して第２搬送空間１５Ｓに搬入され始める。この際、主制御部７１Ａが平行移動モーター６２Ｍに対する位置指令を生成して副制御部７１Ｂに出力し、副制御部７１Ｂが位置指令及びフィードバック信号に基づいて生成した電流指令からＰＷＭ信号を生成してモーター駆動用入出力部７１Ｄに出力する。そして、モーター駆動用入出力部７１Ｄがモーター駆動部７５にＰＷＭ信号を出力し、モーター駆動部７５がこのＰＷＭ信号に基づいて駆動電流を生成して平行移動モーター６２Ｍに出力する。これにより、平行移動モーター６２Ｍが駆動され、平行移動スライダー６２のトレイ搬出位置にまでの移動と第２搬送空間１５Ｓへのトレイ１０の供給とが同時に行われる。そして、昇降モーター６７Ｍが駆動され、図７（ｃ）に示されるように、昇降スライダー６７がトレイ離脱位置にまで上昇し、これに伴い、トレイ１０が昇降ステージ６８に保持された状態で上昇する。
【０１３２】
このような搬送の態様によれば、内部搬送系２０によるトレイ１０の搬送と第２搬送ベルト３４によるトレイ１０の供給とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。
【０１３３】
・制御部７１は、内部搬送系２０が基台１１の内側でトレイ１０を搬送する間に、回収モーター４７を駆動し、第４搬送ベルト５４の回転によりトレイ１０の回収を開始することも可能である。このような搬送の態様によれば、内部搬送系２０によるトレイ１０の搬送と第４搬送ベルト５４によるトレイ１０の回収とが同時に行われるため、トレイ搬送装置におけるトレイの搬送効率を高めることが可能にもなる。
【０１３４】
・制御部７１は、第２搬送空間１５Ｓ及び第４搬送空間１７Ｓにトレイ１０が配置されていないときに、外部装置に対する部品の供給、及び回収の少なくとも一方を水平多関節ロボット１８に実行させることも可能である。
【０１３５】
・水平多関節ロボット１８がトレイ１０に対して行う処理は、部品の収容されたトレイから外部装置１１０への部品の供給に限らず、部品を供給する外部装置１１０からトレイ１０への部品の供給、部品に処理を行う外部装置１１０への部品の供給と処理後の部品の回収等、トレイ１０に収容される対象物をトレイ１０に搬入する、又は、対象物をトレイ１０から搬出する処理であればよい。
【０１３６】
・水平多関節ロボット１８が行う処理の対象は、第２搬送空間１５Ｓ上のトレイ１０に限らず、第４搬送空間１７Ｓ上のトレイ１０、あるいは第２搬送空間１５Ｓのトレイ１０及び第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０の両方であってもよい。なお、図８に示されるように、第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０が空のトレイ１０である場合、第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０に行われる処理の一例には、トレイ１０に収容される対象物の搬入処理があげられる。また、第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０に対象物が収容されている場合、第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０に行われる処理の一例には、トレイ１０に収容される対象物の搬出処理、トレイ１０に収容される対象物の搬出処理とその後の搬入処理があげられる。
【０１３７】
・図９に示されるように、水平多関節ロボット１８に保持される対象物を撮像する撮像部としての撮像装置９１が、供給側搬送板１２や回収側搬送板１３に搭載されてもよい。この他、水平多関節ロボット１８に保持される対象物を検査する検査装置や水平多関節ロボット１８に保持される対象物に加工処理を行う加工装置等の他の処理装置が、供給側搬送板１２や回収側搬送板１３に搭載されてもよい。また、第２搬送空間１５Ｓのトレイ１０から搬出される対象物の搬出先や第２搬送空間１５Ｓのトレイ１０から搬入される対象物の搬入元は、外部装置１１０に限らず、上述のような他の処理装置のみであってもよい。さらに、図１０に示されるように、第２搬送空間１５Ｓのトレイ１０から搬出される対象物の搬送先が第４搬送空間１７Ｓのトレイ１０であってもよい。
【０１３８】
・載置板は、供給側搬送板１２及び回収側搬送板１３の２つの搬送板からなるようにしたが、単一の板状部材からなるものであってもよい。この場合、２つの貫通孔の間にロボット載置部が設けられていればよい。
【０１３９】
・トレイ搬送システムに搭載されるロボットは、上述の水平多関節ロボットに限らず、例えば六軸ロボットを含む垂直多関節ロボット等、他のロボットであってもよい。
【符号の説明】
【０１４０】
１０…トレイ、１１，１００…基台、１１Ａ…搬送空間、１２…供給側搬送板、１２ａ…第１昇降孔、１２ｂ…第２昇降孔、１３…回収側搬送板、１３ａ…第３昇降孔、１３ｂ…第４昇降孔、１４…第１搬送ガイド、１４Ｓ…第１搬送空間、１５…第２搬送ガイド、１５Ｓ…第２搬送空間、１６…第３搬送ガイド、１７…第４搬送ガイド、１８，１０５…水平多関節ロボット、１８Ａ…ロボット載置部、１８Ｓ，１０５Ｓ，１０６Ｓ…動作範囲、２０…内部搬送系、２１…制御装置、２２…供給側爪駆動部、２３，４３…トレイ支持爪、２４，４４…トレイ保持枠、２５…第１回転軸、２６…第１搬送ベルト、２７…供給モーター、２８，４８…ストッカーステージ、２９，４９…連結軸、３０，５０…ストッカーステージ駆動部、３１…第２回転軸、３２，５２…軸支部、３３，５３…伝達機構、３４…第２搬送ベルト、３５，５５…プーリー、３６…第２ガイド駆動部、４２…回収側爪駆動部、４５…第３回転軸、４６…第３搬送ベルト、４７…回収モーター、５１…第４回転軸、５４…第４搬送ベルト、５６…第４ガイド駆動部、６１…平行移動レール、６２…平行移動スライダー、６３…昇降機構支持プレート、６４…平行移動保持枠、６５…平行移動保持爪、６６…昇降レール、６７…昇降スライダー、６８…昇降ステージ、６９…昇降保持爪、７０…制御装置、７１…制御部、７１Ａ…主制御部、７１Ｂ…副制御部、７１Ｃ…記憶部、７１Ｄ…モーター駆動用入出力部、７１Ｅ…電磁弁駆動用入出力部、７１Ｆ…インターフェース、７２〜７６…モーター駆動部、７７〜８２…電磁弁駆動部、８５…外部装置制御部、９１…撮像装置、１０１…供給ストッカー、１０２…第１トレイ保持部、１０３…第２トレイ保持部、１０４…回収ストッカー、１１０…外部装置。
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図１】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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