(57)【要約】【課題】光学部品の欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることのできる検査用治具を提供する。【解決手段】光学顕微鏡による光学部品Ｋの検査時に用いる検査用治具１００であって、基台２０と、基台２０上に直線状に設けられた第１レール３０と、第１レール３０上に当該第１レール３０に沿って移動可能に配された支持部４０と、支持部４０に、第１レール３０の延在方向に沿った固定ピン４５により揺動可能に支持された保持体５０と、保持体５０上に第１レール３０の延在方向と直交するよう直線状に設けられた第２レール６０と、第２レール６０上に当該第２レール６０に沿って移動可能に配され、複数の光学部品Ｋを保持したトレー１０の載置される可動部７２と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学顕微鏡による光学部品の検査時に用いる検査用治具であって、
基台と、
前記基台上に直線状に設けられた第１レールと、
前記第１レール上に当該第１レールに沿って移動可能に配された支持部と、
前記支持部に、前記第１レールの延在方向に沿った回動軸に対して揺動可能に支持された保持体と、
前記保持体上に前記第１レールの延在方向と直交するよう直線状に設けられた第２レールと、
前記第２レール上に当該第２レールに沿って移動可能に配され、複数の光学部品を保持したトレーの載置される可動部と、
を備えることを特徴とする光学部品の検査用治具。
【請求項２】
前記支持部には、前記回動軸に対して直交する方向から抜き差し可能に挿通され、前記回動軸に当接した状態において前記回動軸の回動を規制する回動規制部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光学部品の検査用治具。
【請求項３】
前記支持部には、上下方向に抜き差し可能に挿通され、前記基台に当接した状態において前記支持部の前記第１レールに沿った移動を規制する第１移動規制部材を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学部品の検査用治具。
【請求項４】
前記保持体には、前記第１レールに沿った方向から抜き差し可能に挿通され、前記可動部に当接した状態において前記可動部の前記第２レールに沿った移動を規制する第２移動規制部材を備えたことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の光学部品の検査用治具。
【請求項５】
前記可動部の側面には、前記支持部及び可動部の移動と、前記保持体の揺動とを実行する際に、ユーザーが操作する操作部が備えられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の検査用治具。
【請求項６】
前記トレーが前記可動部に載置された場合、前記トレーの端部は前記可動部の端部から突出することを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の光学部品の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学顕微鏡による光学部品の欠陥検査時に用いる検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種の光学機器に使用される光学部品の製造工程において、当該光学部品を複数個ひとまとまりとしてトレーと称される保持具により保持して管理する方法が知られている。
図１１に、光学部品を保持した状態のトレーの断面図を示す。
光学部品１は、レンズ部２と、レンズ部２の外周を囲うフランジ部３との２つの部位を備えて構成されている。
また、トレー４には、複数の凹部５が形成され、各凹部５の中央には、貫通孔６が形成されており、トレー４の各凹部５に光学部品１のフランジ部３が載置されて、貫通孔６からレンズ部２の一面が露出するようになっている。
【０００３】
ところで、光学部品には、その製造過程においてキズや割れ等の各種の欠陥が生じることがある。こうした欠陥は、光学部品の性能に甚大な影響を及ぼす恐れがあるため、欠陥検査を入念に行う必要がある。欠陥検査としては、例えば、光学顕微鏡を利用した目視検査が行われている。また、ＣＣＤ画像を撮像し、その画像から欠陥を検出することも行われている。
こうした欠陥検査は、光学部品がトレーに保持された状態のまま行う方法が一般的に用いられる。かかる方法であれば、当該欠陥検査終了後にも、光学部品がトレーに整列された状態となっているため好ましい。
近年では、欠陥検査を自動的に行う装置が提案されており、例えば、トレーをＸＹ方向に移動可能なテーブルや位置決め機能を備えたロボットにセットし、固定された検査用カメラと検査用光源に対してトレーを移動させて、当該トレーに保持された光学部品の欠陥検査用の画像を得る装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
更に、このような欠陥検査においては、光学部品のレンズ部周縁部（レンズ部のフランジ部に近い部分）を検査する場合、レンズ部中央部を検査する場合と焦点位置が異なるため、焦点位置合わせのためにトレーを傾けることも行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５５０６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、トレーを傾けて検査する場合、例えば、トレーの回転軸中心から離れた位置にある光学部品を検査するには、トレーの回転軸中心近くの光学部品を検査するのに比べて焦点位置合わせのためにトレーを傾ける際の移動量が大きくなるため、焦点位置合わせにおける作業負荷が大きく、結果として１つのトレーにかかる検査時間を長時間化させるという問題があった。
【０００６】
本発明の課題は、光学部品の欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることのできる光学部品の検査用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一の態様によれば、
光学顕微鏡による光学部品の検査時に用いる検査用治具であって、
基台と、
前記基台上に直線状に設けられた第１レールと、
前記第１レール上に当該第１レールに沿って移動可能に配された支持部と、
前記支持部に、前記第１レールの延在方向に沿った回動軸に対して揺動可能に支持された保持体と、
前記保持体上に前記第１レールの延在方向と直交するよう直線状に設けられた第２レールと、
前記第２レール上に当該第２レールに沿って移動可能に配され、複数の光学部品を保持したトレーを載置する可動部と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学顕微鏡の光軸中心を回動軸上に合わせ、その交点を観察ポイントとし、トレーを第１レールと第２レールに沿って移動させて当該観察ポイントに順番に光学部品を合せて検査を行うようになっている。
このとき、保持体と別個に可動部が第２レールに沿って移動できるので、観察ポイントが常に回動軸上となるように可動部を移動させることができることとなって、トレー上のどの位置にある光学部品であっても、焦点合わせのためのトレーの移動量を最小ですませることができる。よって、光学部品の欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態にかかる検査用治具を示す斜視図である。
【図２】図１の検査用治具を示す上面図である。
【図３】図１の検査用治具を前側からみた正面図である。
【図４】図１の検査用治具を左側からみた側面図である。
【図５】図４の検査用治具を揺動させた状態を示す図である。
【図６】トレーを示す斜視図である。
【図７】図６のトレーの要部構成を示す断面図である。
【図８】図２の検査用治具を後側に移動させた状態を示す上面図である。
【図９】図８の検査用治具を左側からみた側面図である。
【図１０】図９の検査用治具を揺動させた状態を示す図である。
【図１１】光学部品を保持した状態のトレーを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。
【００１１】
先ず、構成について説明する。
本発明の実施の形態にかかる検査用治具１００は、光学顕微鏡により光学部品Ｋのキズや割れ、異物混入などの欠陥検査を行うために用いられるものである。
検査用治具１００は、光学顕微鏡の対物レンズの下方に設置され、複数の光学部品Ｋをひとまとまりとして載置したトレー１０を水平面内で移動させて、当該トレー１０に載置された複数の光学部品Ｋに対して順番に目視観察を行うことを可能とする。
【００１２】
検査用治具１００は、図１〜５に示すように、基台２０と、基台２０上に設けられた第１レール３０と、第１レール３０上に配された支持部４０と、支持部４０に揺動可能に支持された保持体５０と、保持体５０上に設けられた第２レール６０と、第２レール６０上に配され、トレー１０が載置されるステージ７０と、操作部８０と、等を備えて構成されている。
なお、以下の説明において、第１レール３０の延在方向を左右方向（Ｘ方向）とし、第２レール６０の延在方向を前後方向（Ｙ方向）とし、Ｘ及びＹ方向と直交する方向を上下方向（Ｚ方向）とする。
【００１３】
ここで、トレー１０について説明する。
トレー１０は、図６、７に示すように、その上面側に光学部品Ｋの載置される平面視略矩形状のプレートである。
トレー１０には、その上面から下面側に向けて窪む平面視円形状の凹部１１がマトリックス状を成して複数形成されており、各凹部１１の中央には、その上下面を貫通する平面視円形状の貫通孔１２が形成されている。
また、トレー１０の左側部及び右側部には、それぞれ２つずつ切り欠き１３、１３が形成されている。
また、光学部品Ｋは、光学機能を有する光学面Ｒ１の形成されたレンズ部Ｒと、レンズ部Ｒの外周を囲うフランジ部Ｆとの２つの部位を備えている。光学面Ｒ１は、フランジ部Ｆより凸となっている。
そして、トレー１０の各凹部１１に光学部品Ｋのフランジ部Ｆが載置され、貫通孔１２に光学部品Ｋの一方の光学面Ｒ１が配置されるようにして、トレー１０に、複数の光学部品Ｋが載置される。
従って、光学部品Ｋは、トレー１０に載置された状態で、他方の光学面Ｒ１及びフランジ部Ｆが上面に露出されている。
【００１４】
なお、トレー１０に載置される光学部品Ｋとしては、例えば、眼鏡、カメラ、撮像素子、光ピックアップ装置等に使用される樹脂性の光学レンズなどが挙げられる。
また、本実施形態の検査用治具１００において検査可能な光学部品Ｋの大きさに特に制限はないが、例えば、平面視における直径（フランジ部Ｆまで含む）が５．５ｍｍ〜３ｍｍに設計されたものなどに好適に用いられる。
また、トレー１０に載置される光学部品Ｋの数に特に限定はないが、本実施形態においては、図６に示すように、Ｘ方向にａ〜ｆの６列、Ｙ方向にＡ〜Ｇの７行の計４２個の光学部品Ｋが保持されたトレー１０を例示する。
【００１５】
基台２０は、水平に配される長方形状の水平板２１と、４本の脚部２２とを備え、光学顕微鏡の観察台（図示省略）を跨ぐように設置される。
水平板２１の後部中央には、光学顕微鏡に押し当てる凹部２１ａが形成されている。
【００１６】
第１レール３０は、平行な一対のレール部材３１、３２を備えている。
レール部材３１、３２は直線状であって、水平板２１上の一方向（左右方向：Ｘ方向）に延在するように配設されている。
レール部材３１、３２の上には、当該レール部材３１、３２に沿って移動する支持部４０が設置される。
【００１７】
支持部４０は、レール部材３１、３２に掛け渡すように配され、左右一対となる右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌを備えている。
右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌは、レール部材３１、３２のそれぞれに摺動可能に嵌め込まれる２つの嵌合部４１、４２と、２つの嵌合部４１、４２を連結する連結部４３とを備えている。なお、嵌合部４１、４２及び連結部４３は、一体に形成されることとしても良い。
また、右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌにおいて、連結部４３の中央部には、固定ピン保持部４４が立設され、固定ピン保持部４４の上端部には、Ｘ方向に沿った固定ピン４５が挿通されている。
なお、以下の説明において、右支持部４０Ｒの固定ピン４５と、左支持部４０Ｌの固定ピン４５とを結んだ仮想線を回動軸Ｌ１と称する。
【００１８】
また、固定ピン保持部４４には、固定ピン４５に直交する方向に抜き差し可能な固定ネジ（回動規制部材）４６が備えられている。固定ネジ４６は、ユーザーにより固定ピン４５に対して抜き差しされ、その先端部が固定ピン４５に当接した状態において、当該固定ピン４５が回動しないよう固定させるものである。
【００１９】
このような右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌの間には、保持体５０が固定ピン４５、４５を介して備えられており、これにより、右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌは連結されて同時に左右方向に移動するようになっている。
なお、かかる支持部４０（右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌ）の移動は、後述する操作部８０をユーザーが左右に動かすことによって実行される。
【００２０】
また、左支持部４０Ｌの連結部４３には、上下方向に貫通して抜き差し可能な固定ネジ（第１移動規制部材）４７が備えられている。固定ネジ４７は、ユーザーにより連結部４３に対して上下方向に抜き差しされ、その先端部が水平板２１に当接した状態において、支持部４０が移動しないよう固定させるものである。
【００２１】
また、右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌにおいて、連結部４３の前側上部には、左右方向にスライド可能なストッパー４８が備えられている。
ストッパー４８は、保持体５０に当接した状態において当該保持体５０が水平状態を維持するように固定させるものである。
【００２２】
保持体５０は、右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌの固定ピン４５、４５により、支持部４０に揺動可能に支持されている。
具体的に、保持体５０は、Ｙ方向に長尺な左右一対の側面部５１Ｒ、５１Ｌと、側面部５１Ｒ、５１Ｌの下端部から互いに向かい合うように延出したＹ方向に長尺な底面部５２Ｒ、５２Ｌと、を備えている。
そして、側面部５１Ｒ、５１Ｌの後方は、固定ピン４５、４５を介して右支持部４０Ｒ及び左支持部４０Ｌに固定され、保持体５０は、この固定ピン４５、４５を軸として揺動可能となっている（図５参照）。
なお、最大傾斜角は、±１２°程度である。
かかる保持体５０の揺動は、後述する操作部８０をユーザーが動かすことによって実行される。
【００２３】
また、側面部５１Ｌには、左右方向に貫通して抜き差し可能な固定ネジ（第２移動規制部材）５３が備えられている。固定ネジ５３は、ユーザーにより側面部５１Ｌに対して左右方向に抜き差しされ、当該固定ネジ５３の側面部が、後述するステージ７０の可動部７２の後端部に当接した状態において、この可動部７２が移動しないよう固定させるものである。
また、底面部５２Ｒ、５２Ｌの上には、第２レール６０が設置されている。
【００２４】
第２レール６０は、平行な一対のレール部材６１、６２を備えている。
レール部材６１、６２は、第１レール３０の延在方向（Ｘ方向）と直交する方向（前後方向：Ｙ方向）に延在するよう配設されている。
このうち、レール部材６１は、下部材６１ａと、下部材６１ａ上をＹ方向にスライド可能な上部材６１ｂとが重ね合わされて構成されている。なお、上部材６１ｂをスライドさせた際に、当該上部材６１ｂが下部材６１ａから抜け落ちることはない。
下部材６１ａは、保持体５０の底面部５２Ｌ上に載置され、図示しない係止ピンによって固定されている。また、上部材６１ｂは、図示しない係止ピンによってその上部に配される可動部７２に固定されている。
同様に、レール部材６２も、下部材６２ａと、下部材６２ａ上をＹ方向にスライド可能な上部材６２ｂとが重ね合わされて構成されている。なお、上部材６２ｂをスライドさせた際に、当該上部材６２ｂが下部材６２ａから抜け落ちることはない。
下部材６２ａは、保持体５０の底面部５２Ｒ上に載置され、図示しない係止ピンによって固定されている。また、上部材６２ｂは、図示しない係止ピンによってその上部に配される可動部７２に固定されている。
【００２５】
ステージ７０は、２枚の板体である固定部７１及び可動部７２を重ね合わせて構成されている。
【００２６】
固定部７１は、保持体５０の側面部５１Ｒと側面部５１Ｌとの間を固定するための部材であり、レール部材６１、６２の間隙に嵌め込まれて、その左右両側部が底面部５２Ｌ、５２Ｒ上に載置されるように設置されている。
また、固定部７１上には、可動部７２がＹ方向にスライド可能に保持されている。
なお、固定部７１は、その後端部が回動軸Ｌ１より手前に位置するように設計されることが好ましい。これにより、固定部７１の後端部が回動軸Ｌ１と重なり光学部品Ｋの観察の邪魔となるのを防止することができる。
【００２７】
可動部７２は、固定部７１より左右方向に幅広な寸法に形成され、その左右方向両側部がレール部材６１、６２の上部材６１ｂ、６２ｂ上に配された状態で固定されている。このため、可動部７２は、図８、９に示すように、レール部材６１、６２の上部材６１ｂ、６２ｂのスライドに伴ってＹ方向にスライドすることとなる。
【００２８】
なお、可動部７２の前端部両側方には図示しない突起部が備えられている。
かかる突起部は、可動部７２を後方にスライドさせた場合に、底面部５２Ｒ、５２Ｌの後端部に設けられた突起部（図示省略）と当接し、可動部７２の後方へのスライドを所定位置にて停止させるものである。突起部は、例えば、トレー１０のＡ行からＧ行にかけて検査を行う場合、最終行であるＧ行が光軸中心Ｌ２の下となる位置で可動部７２のスライドが停止するように、位置決めされる。
これによって、検査中、可動部７２を後方にスライドさせた場合に、凹部２１ａに設置された光学顕微鏡に当該可動部７２が衝突するのが防止されるようになっている。即ち、凹部２１ａに設置された光学顕微鏡に可動部７２が不用意に衝突して光学部品Ｋがトレー１０から飛散する事態が発生するのを防止することができる。
なお、可動部７２のスライド停止機構は、上記した構成に限定されるものではなく、可動部７２のスライドを所定位置で停止できるものであれば如何なる構成であっても良い。
また、かかる可動部７２のスライドは、後述する操作部８０をユーザーが前後に動かすことによって実行される。
【００２９】
また、可動部７２は、平面視略矩形状に形成され、可動部７２上面には、トレー１０を載置した際に当該トレー１０の位置を決める位置決め部材７３が備えられている。
位置決め部材７３は、可動部７２上面より上方に突出し、可動部７２上面の左側部及び右側部にそれぞれ２つずつ配されている。各位置決め部材７３は、その内側に、トレー１０の切り欠き１３に嵌め込むための凸部７３aが設けられている。
トレー１０は、位置決め部材７３の凸部７３aが切り欠き１３に嵌め込まれることで可動部７２上に固定され、移動や傾斜した際に不用意に位置ずれするのが防止されるようになっている。
また、トレー１０を可動部７２上に固定した状態において、当該トレー１０の前端部及び後端部が可動部７２の前端部及び後端部より僅かに突出するように構成されており、これによりトレー１０の着脱を容易に行うことができるようになっている。
また、左手前方の位置決め部材７３の上部には、操作部８０が備えられている。
【００３０】
操作部８０は、左手前方の位置決め部材７３の上部に設置された固定部８１と、固定部８１から前方に突出した棒状の把持部８２と、を備えている。
この操作部８０は、トレー１０を左右方向（Ｘ方向）や前後方向（Ｙ方向）に移動させる場合や、トレー１０を傾斜させる場合に、ユーザーが使用するためのものである。
【００３１】
具体的に、ユーザーが把持部８２に対して前後方向に力を加えると、固定部８１を介して可動部７２に前後方向の力が作用し、可動部７２が前後方向に移動するので、図８、９に示すように、トレー１０も前後方向（Ｙ方向）に移動することとなる。
また、ユーザーが把持部８２に対して左右方向に力を加えると、固定部８１、ステージ７０、第２レール６０、保持体５０、及び支持部４０に左右方向の力が作用し、これらが一体となって左右方向にスライドするので、図示はしないが、トレー１０が左右方向（Ｘ方向）に移動することとなる。
また、ユーザーが把持部８２に対して上下方向に力を加えると、固定部８１、ステージ７０、第２レール６０、及び保持体５０に上下方向の力が作用し、これらが一体となって固定ピン４５に対して揺動することで、図５、１０に示すように、トレー１０が傾斜することとなる。
このように、操作部８０を操作することで、トレー１０の移動量・傾斜角度をユーザーが任意に調節することができる。
なお、把持部８２の長さは、例えば三段階に切り替え可能となっており、ユーザーの好みに応じて調節することが可能である。
【００３２】
次に、上述のような検査用治具１００を用いた欠陥検査の動作を説明する。
なお、この欠陥検査は、ユーザーが左手で操作部８０を操作し、右手にピンセット等を持った状態にて、Ａ行ａ列の光学部品Ｋ（図６参照）から、Ｇ行ｆ列の光学部品Ｋ（図６参照）まで順番に観察し、不良品が発見された場合には、その場でその不良品をトレー１０から取り出すようにして行われるものである。
【００３３】
先ず、ユーザーは、支持部４０が、図１、２等に示すように、右手前方にある状態（当初位置）であることを確認する。
次いで、ユーザーは、光学部品Ｋを保持したトレー１０を、位置決め部材７３の間にセットする。
なお、当初位置においては、保持体５０、第２レール６０、及びステージ７０が一体となって、その前端部が下方となるように傾斜することとなるため、保持体５０が水平状態を維持するようにストッパー４８にて固定し、この状態においてトレー１０のセットを行う。
【００３４】
次いで、ユーザーは、当初位置において、光学顕微鏡の対物レンズ９０の光軸中心Ｌ２が、回動軸Ｌ１上に重なるように位置合わせを行う。この光軸中心Ｌ２と回動軸Ｌ１との交点が、観察ポイントとなる。
また、ユーザーは、操作部８０を操作して、Ａ行ａ列（図６参照）の光学部品Ｋを観察ポイントに合せる。これにより、Ａ行の全列の光学部品Ｋの光学面Ｒ１の中心が回動軸Ｌ１上に重なることとなる。
なお、本実施形態においては、検査用治具１００は、支持部４０が当初位置にある場合に、水平板２１の凹部２１ａに光学顕微鏡を押し当てた際に、対物レンズ９０の光軸中心Ｌ２が、回動軸Ｌ１上のＡ行ａ列の光学部品Ｋに重なるように設計されており、上記したセッティング作業（光軸中心Ｌ２と回動軸Ｌ１とＡ行ａ列の光学部品Ｋとの位置合わせ）を短時間で容易に行うことが可能となっている。
【００３５】
次いで、ユーザーは、保持体５０に当接したストッパー４８を、保持体５０から離間させるようにスライドさせて保持体５０の固定を解除する。
【００３６】
次いで、ユーザーは、Ａ行ａ列の光学部品Ｋの観察を行う。
次いで、ユーザーは、操作部８０を操作して、トレー１０をＸ方向（左方向）に移動させながら、Ａ行の光学部品Ｋをｂ列目からｆ列目まで順に観察する。
このとき、Ａ行の光学部品Ｋの光学面Ｒ１の中心は回動軸Ｌ１上に在るため、トレー１０を一列ずつＸ方向（左方向）に移動させるだけで、ｂ列目からｆ列目までの光学部品Ｋを順番に観察ポイントに合せることができる。
【００３７】
次いで、Ａ行ｆ列の光学部品Ｋの観察まで終了すると、ユーザーは、操作部８０を操作して、トレー１０をＹ方向（後ろ方向）に１行分移動させ、Ｂ行ｆ列の光学部品Ｋを観察ポイントに合せる。即ち、回動軸Ｌ１に対してトレー１０をＹ方向（後ろ方向）に１行分移動させ、これにより、Ｂ行の全列の光学部品Ｋの光学面Ｒ１の中心が回動軸Ｌ１上に重なることとなる。
次いで、ユーザーは、このＢ行ｆ列の光学部品Ｋの観察を行う。
【００３８】
次いで、ユーザーは、操作部８０を操作して、トレー１０をＸ方向（右方向）に移動させながら、Ｂ行の光学部品Ｋをｅ列目からａ列目まで順に観察する。
このとき、Ｂ行の光学部品Ｋの光学面Ｒ１の中心は回動軸Ｌ１上に在るため、トレー１０を一列ずつＸ方向（右方向）に移動させるだけで、ｅ列目からａ列目までの光学部品Ｋを順番に観察ポイントに合せることができる。
【００３９】
以下、同様にして、Ｇ行ｆ列の光学部品Ｋまで順次観察を行い、全ての観察が終了すると支持部４０を当初位置に戻し、ストッパー４８を保持体５０に当接するようスライドさせて保持体５０を固定し、一連の動作は終了する。
【００４０】
また、上記した一連の動作において、光学部品Ｋを斜めから観察する場合には、図５、１０に示すように、操作部８０を上下に操作することでトレー１０を傾斜させ、光学部品Ｋを光軸に対して傾斜させる。
このとき、光軸中心Ｌ２（観察ポイント）が回動軸Ｌ１上にあるため、焦点合わせのためのトレー１０の移動量を最小ですませることができる。
【００４１】
また、上記した一連の動作において、固定ネジ４６、４７、５３を差し込むことで、トレー１０を適宜固定することができる。
【００４２】
以上のように、本実施形態によれば、光学顕微鏡の光軸中心Ｌ２を回動軸Ｌ１上に合わせ、その交点を観察ポイントとし、トレー１０を第１レール３０と第２レール６０に沿って移動させて当該観察ポイントに順番に光学部品Ｋを合せて検査を行うようになっている。
このとき、保持体５０と別個に可動部７２が第２レール６０に沿って移動できるので、観察ポイントが常に回動軸Ｌ１上となるように可動部７２を移動させることができることとなって、トレー１０上のどの位置にある光学部品Ｋであっても、焦点合わせのためのトレー１０の移動量を最小ですませることができる。
よって、光学部品Ｋの欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることができる。
また、ＸＹ方向にトレー１０を順番に移動させていく構成であるため、欠陥検査の際の列飛ばしが減少し、操作性が良好となる。
また、欠陥検査には、光学部品Ｋに上方から光を照射して反射させ、主に光学部品Ｋ表面の傷や汚れ等を観察する手法と、光学部品Ｋに下方から光を照射して透過させ、光学部品Ｋ内部の異物等を観察する手法と、の２種類がある。このため、基台２０の水平板２１、及びトレー１０が載置される可動部７２は透明部材である必要があり、また、この透明部材に傷や汚れ等があると、光学部品Ｋの不良とユーザーが誤判定する虞があって作業性が低下するため、当該透明部材においては傷や汚れ等が無いことが求められる。
本実施形態によれば、基台２０に接触して移動する部材がないため、基台２０に傷や汚れ等ができづらく、このため、基台２０の傷や汚れに起因する誤判定の可能性が低減され、作業性が低下することがない。
【００４３】
また、本実施形態によれば、支持部４０には、固定ピン４５に対して直交する方向から抜き差し可能に挿通され、固定ピン４５に当接した状態において固定ピン４５の回動を規制する固定ネジ４６を備えている。
このため、トレー１０を傾斜させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
【００４４】
また、本実施形態によれば、支持部４０には、上下方向に抜き差し可能に挿通され、基台２０の水平板２１に当接した状態において支持部４０の第１レール３０に沿った移動を規制する固定ネジ４７を備えている。
このため、トレー１０をＸ方向に任意の距離移動させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
【００４５】
また、本実施形態によれば、保持体５０には、第１レール３０に沿った方向から抜き差し可能に挿通され、可動部７２に当接した状態において可動部７２の第２レール６０に沿った移動を規制する固定ネジ５３を備えている。
このため、トレー１０をＹ方向に任意の距離移動させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
【００４６】
また、本実施形態によれば、可動部７２の側面には、支持部４０及び可動部７２の移動と、保持体５０の揺動とを実行する際に、ユーザーが操作する操作部８０が備えられている。
このため、ユーザーは操作部８０を用いて、トレー１０の移動及び傾斜を実行することができ、作業性が向上する。
【００４７】
また、本実施形態によれば、トレー１０が可動部７２に載置された場合、トレー１０の端部は可動部７２の端部から突出するよう構成されている。
このため、トレー１０の可動部７２への着脱を容易に行うことができる。
【００４８】
なお、実施形態の詳細な部分については、上記実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、位置決め部材７３の凸部７３aをトレー１０の切り欠き１３に嵌め込むことでトレー１０を可動部７２に固定する構成を例示して説明したが、可動部７２の上面に枠状の保持部を設け、その枠状の保持部内にトレー１０を載置する構成等とすることもできる。
【００４９】
また、上記実施形態においては、固定ネジ４７が、左支持部４０Ｌの連結部４３にのみ備えられた構成を例示して説明したが、右支持部４０Ｒにも固定ネジ４７を備えることとしても良い。
同様に、上記実施形態においては、固定ネジ５３が、保持体５０の側面部５１Ｌにのみ備えられた構成を例示して説明したが、側面部５１Ｒにも固定ネジ５３を備えることとしても良い。
【００５０】
また、上記実施形態においては、操作部８０は、ユーザーが左手で操作することを想定してトレー保持部７２ａの左側面前方に設置した構成を例示して説明したが、その取付位置は適宜変更可能である。例えば、ユーザーが右手で操作することを想定してトレー保持部７２ａの右側面前方に設置することとしても良い。
また、操作部８０を備えない構成とすることもできる。かかる構成であっても、ステージ７０の可動部７２や支持部４０を押すなどして力を加えることで、これらをスライドさせることができる。
【００５１】
また、上記実施形態においては、第１レール３０として、一対のレール部材３１、３２を備えた構成を例示して説明したが、支持部４０がＸ方向に移動可能に設置できるものであればその構成はこれに限定されず、例えば、第１レール３０として、一本の直線状のレールを備えることとしても良いし、三本以上の直線状のレールを備えることとしても良い。
同様に、第２レール６０として、一対のレール部材６１、６２を備えた構成を例示して説明したが、可動部７２をＹ方向に移動可能に設置できるものであればその構成はこれに限定されず、第２レール６０として、一本の直線状のレールを備えることとしても良いし、三本以上の直線状のレールを備えることとしても良い。
【００５２】
また、上記実施形態においては、光学部品として、レンズ部Ｒの上下の光学面が凸となった光学部品Ｋを例示して説明したが、検査用治具１００を使用可能な光学部品Ｋの形状はこれに限定されるものではなく、例えば、一方の光学面が凸形状で他方の光学面が凹形状の光学部品や、両面が凹形状の光学部品等であっても良い。
【符号の説明】
【００５３】
１００  検査用治具
２０  基台
２１  水平板
２２  脚部
３０  第１レール
３１、３２  レール部材
４０  支持部
４０Ｌ  左支持部
４０Ｒ  右支持部
４１、４２  嵌合部
４３  連結部
４４  回動軸保持部
４５  固定ピン
４６  固定ネジ（回動規制部材）
４７  固定ネジ（第１移動規制部材）
４８  ストッパー
５０  保持体
５１Ｒ、５１Ｌ  側面部
５２Ｒ、５２Ｌ  底面部
５３  固定ネジ（第２移動規制部材）
６０  第２レール
６１、６２  レール部材
７０  ステージ
７１  固定部
７２  可動部
７３  位置決め部材
７３a  凸部
７２ａ  トレー保持部
８０  操作部
８１  固定部
８２  把持部
１０  トレー
１１  凹部
１２  貫通孔
１３  切り欠き
Ｋ  光学部品
Ｌ１  回動軸
Ｌ２  光軸中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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