(57)【要約】【課題】  本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供することにある。【解決手段】  本発明は、磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載された第２微動アクチュエータと、前記第２微動アクチュエータに搭載された第１微動アクチュエータと、を有し、前記第１微動アクチュエータは、ピエゾアクチュエータを備える固定部と、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記ＨＧＡを移動させる可動部と、前記ＨＧＡを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたＨＧＡ交換機構と、を有する。【選択図】  図３
2013211072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、
前記粗動アクチュエータに搭載された第２微動アクチュエータと、
前記第２微動アクチュエータに搭載された第１微動アクチュエータと、を有し、
前記第１微動アクチュエータは、
ピエゾアクチュエータを備える固定部と、
先端側にヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記ＨＧＡを移動させる可動部と、
前記ＨＧＡを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたＨＧＡ交換機構と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項２】
前記固定部は、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、
前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた２つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記２つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項３】
前記２つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項４】
前記押付力発生部は、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記ＨＧＡに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、
前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記ＨＧＡを保持するＨＧＡ保持部と、前記押付力によって前記ＨＧＡを係止するストッパとを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項５】
前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、
前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、
前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、
ことを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項６】
前記押付力発生手段は、ねじりコイルバネであり、他端を固定するバネ固定部を有し、
前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定されたバネ固定部と、前記押付力を解除する操作部とを有し、
前記保持棒は、その他端側が前記バネ固定部に固定され、前記ヘッド保持部を挟んで前記バネ固定部とは反対側に設けられたもう一つの他端部に前記操作部を有する、
ことを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項７】
前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、
前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、
前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、
前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
を有することを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項８】
前記押付力発生手段はエアシリンダであり、
前記保持棒は他端側がシリンダロッド又は前記エアシリンダの本体に固定され、
前記操作手段は、逆に前記シリンダの本体又は前記シリンダロッドに固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、
を特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項９】
前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、
前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記ＨＧＡの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に係り、特に磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッド検査装置を、図１に示す本発明の実施形態を参照して説明する。磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド５をスピンドルＳにより回転された磁気ディスクＨ上で浮上させながら、磁気ディスクへのデータの記録，再生を行い、磁気ヘッドの試験を行なう。
【０００３】
磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド６を搭載して移動する第１微動アクチュエータ１００と、この第１微動アクチュエータ１００を搭載して移動する第２微動アクチュエータ９と、第２微動アクチュエータ９を搭載して移動するＸ方向粗動アクチュエータであるＸ方向キャリッジ３及びＹ方向粗動アクチュエータであるＹ方向キャリッジ１０とからなっている。
【０００４】
第１微動アクチュエータ１００は、カートリッジベース９ｄに取り付けられた固定部１と、一端が固定部１に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ２と、このピエゾアクチュエータ２の伸縮により移動される可動部７とを有している。可動部７は、ビーム部４２と、ビーム部の先端側に設けられ、磁気ヘッド６をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２を保持するヘッド固定部であるアーム５とを有する。
【０００５】
磁気ヘッド６の試験は、ＨＧＡ１２を次々と交換して行なわれる。そのために、ＨＧＡ１２を交換できるＨＧＡ交換機構が必要である。従来のＨＧＡ交換機構としては、例えば、図８に模式的に示す特許文献１で開示されたものがある。図８に示すＨＧＡ交換機構は、ＨＧＡ１２を保持するためにＨＧＡ１２をストッパ６３に押付ける板バネ８１と、ＨＧＡ１２を次のＨＧＡ１２に交換するために、当該押付けを解除する一端が板バネに固定された固定棒８３を回転させる操作レバー８２とを可動部７のアーム５に設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２２５２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
昨今の磁気ディスクの高密度化に伴い、より一層の磁気ヘッドの位置決め精度が要求されるようになってきた。この要求に応えるためには、可動部の軽量化、共振周波数の高周波化が望まれる。従来の磁気ヘッド検査装置では、ＨＧＡ交換機構が磁気ヘッド位置決め装置の可動部に設けられているため、その分だけ可動部の重量が重くなり、慣性力が大きくなる。また、その板バネは、共振周波数の低下を齎す一因となっていた。
【０００８】
本発明の目的は、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、磁気ヘッドを２次元に粗動動作させる粗動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータに搭載された第２微動アクチュエータと、前記第２微動アクチュエータに搭載された第１微動アクチュエータと、を有し、前記第１微動アクチュエータは、ピエゾアクチュエータを備える固定部と、先端側にヘッドジンバルアセンブリ(ＨＧＡ)保持するヘッド保持部を有し、前記ピエゾアクチュエータによって前記ＨＧＡを移動させる可動部と、前記ＨＧＡを保持するための押付力を発生する押付力発生手段を有する押付力発生部と前記押付発生部を固定する交換機構固定部とを前記固定部に設けたＨＧＡ交換機構と、を有することを第１の特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、前記固定部が、前記ピエゾアクチュエータの先端側であって、前記ピエゾアクチュエータの伸縮方向の中心線に対して左右に前記固定部に設けられたヒンジを有し、前記可動部は、前記ヒンジがそれぞれ設けられた２つのビームと、前記ヘッド保持部を有し、前記２つのビームの先端側に設けられたヘッド固定部と、を有することを第２の特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明は、前記２つのビームの少なくとも一方と前記ヘッド固定部とのそれ等も含む間に所定の位置を設け、前記所定の位置と前記固定部との間に追加ヒンジを設けたことを第３の特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、前記押付力発生部が、前記押付力を解除する操作手段と、一端側が前記ＨＧＡに設けた保持孔に前記押付力を作用させる保持棒とを有し、前記ヘッド保持部は、前記ヘッド固定部に固定され、前記ＨＧＡを保持するＨＧＡ保持部と、前記押付力によって前記ＨＧＡを係止するストッパとを有することを第４の特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、前記押付力発生手段が、ねじりコイルバネであり、前記操作手段は、一端側が前記交換機構固定部に固定された前記ねじりコイルバネの他端側に固定された操作部を有し、前記保持棒は、その他端側が前記操作部に固定された、ことを第５の特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、前記押付力発生手段は、引張バネ又は圧縮バネであり、前記保持棒は、他端側が前記引張バネ又は前記圧縮バネの一端側に固定され、前記操作手段は、前記引張バネ又は前記圧縮バネの他端側に固定されている操作部と、前記固定部又は前記交換機構固定部に固定され、前記操作部を保持する操作部保持部と、を有することを第６の特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、前記押付発生部を磁気ディスクに面する基面に設けたことを第７の特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、第１乃至第７の特徴のいずれかに記載の磁気ヘッド位置決め装置と、前記磁気ヘッド位置決め装置を制御し、前記ＨＧＡの先端に設けられた磁気ヘッドからデータを読み取り、前記磁気ヘッドの良否を判定する制御処理装置と、を有することを第８の特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、上記の課題に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドの位置決め精度の向上を図れる磁気ヘッド位置決め装置及び磁気ヘッド検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。
【図２】本実施形態における第１微動アクチュエータの構成と動作を示す説明図である。
【図３】図２に示した第１微動アクチュエータ及びＨＧＡ交換機構の概観図である。
【図４】ＨＧＡ交換機構の第１の実施例を示す図である。
【図５】図４(ａ)の断面図である。
【図６】ＨＧＡ交換機構の第２の実施例を示す図である。
【図７】ＨＧＡ交換機構の第３の実施例を示す図である。
【図８】従来のＨＧＡ交換機構を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態説明をする。図１は、本発明の実施形態である磁気ヘッド検査装置の概観図である。
磁気ヘッド検査装置２００は、磁気ヘッド位置決め装置２０と、磁気ヘッド位置決め装置２０を制御し、磁気ヘッド６からデータを読み取り磁気ヘッド６の良否を判定する制御処理装置３０とを有する。
【００２０】
磁気ヘッド位置決め装置２０は、第１微動アクチュエータ１００と第２微動アクチュエータ９と、第２微動アクチュエータ９を搭載して移動するＸ方向粗動アクチュエータであるＸ方向キャリッジ３及びＹ方向粗動アクチュエータであるＹ方向キャリッジ１０と、記録媒体である磁気ディスクＨを高速に回転するスピンドルＳ、Ｘ方向キャリッジ３、Ｙ方向キャリッジ１０及びスピンドルＳを搭載する定盤２１と、磁気ディスクＨに面する基面に設けられ、ＨＧＡ１２を交換するＨＧＡ交換機構７０とを有する。なお、本実施形態では、磁気ヘッド位置決め装置２０を横置きにして図１を平面図としているが、磁気ヘッド位置決め装置２０を縦置きとしてもよい。
【００２１】
記録媒体である磁気ディスクＨは、スピンドルＳに着脱可能に装着されており、トラック幅が狭小化された高密度記録面を有するものである。スピンドルＳはスピンドルモータ（図示せず）に装着され、スピンドルモータの回転に伴って高速に回転される。スピンドルモータは、定盤２１に固定され、後部の左右中央部に設置されている。定盤２１は薄型の矩形状に形成されており、その長手方向（前後方向）がＸ方向、その短手方向（左右方向）がＹ方向となる。
【００２２】
Ｘ方向キャリッジ３は、スピンドルＳの前方に隣接して配置され、定盤２１上に搭載されている。このＸ方向キャリッジ３は、定盤２１に固定されたＸモータ３ａと、Ｘモータ３ａの回転軸に固定されＸ方向に延びたＸスクリュー３ｂと、Ｘスクリュー３ｂに移動可能に取り付けられたＸ移動部材３ｃと、Ｘ移動部材３ｃの遊端部に固定されこのＸ移動部材３ｃと共に移動可能なＸ移動ベース３ｄとからなっている。Ｘスクリュー３ｂとＸ移動ベース３ｄとは左右に並置されている。Ｘモータ３ａの回転軸が回転することによりＸスクリュー３ｂが回転し、これによってＸ移動部材３ｃ及びＸ移動ベース３ｄが矢印Ｘ方向に移動する。Ｘ方向キャリッジ３は、磁気ヘッド６をＸ方向に移動するための粗動アクチュエータである。
【００２３】
Ｙ方向キャリッジ１０は、Ｘ移動ベース３ｄ上に搭載されて固定されたＹモータ１０ａと、Ｙモータ１０ａの回転軸に固定されＹ方向に延びたＹスクリュー１０ｂと、Ｙスクリュー１０ｂに移動可能に取り付けられたＹ移動部材１０ｃと、Ｙ移動部材１０ｃの遊端部に固定されこのＹ移動部材１０ｃと共に移動可能なＹ移動ベース１０ｄとからなっている。Ｙスクリュー１０ｂとＹ移動ベース１０ｄとは、前後に並置されている。Ｙモータ１０ａの回転軸が回転することによりＹスクリュー１０ｂが回転し、これによってＹ移動部材１０ｃ及びＹ移動ベース１０ｄがＹ方向（矢印Ｂ方向）に移動する。Ｙ方向キャリッジ１０は、磁気ヘッドをＹ方向に移動するための粗動アクチュエータである。なお、Ｘ方向キャリッジ３及びＹ方向キャリッジ１０は、上述した構成に限るものではなく、直動モータ等においても代用可能である。
【００２４】
第２微動アクチュエータ９は、第１微動アクチュエータ１００を搭載する第２ヘッドユニット９ｂと、第２ヘッドユニット９ｂを駆動する第２駆動手段９ａとを有する。
【００２５】
第１微動アクチュエータ１００は、カートリッジベース９ｄに取り付けられた固定部１と、一端が固定部１に固定されて伸縮するピエゾアクチュエータ２と、このピエゾアクチュエータ２の伸縮により、アセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２をＥ方向に移動させる可動部７とを有している。可動部７は、ピエゾアクチュエータ２の伸縮により、ＨＧＡ１２を方向Ｅに移動させるビーム部４２と、ビーム部の先端側には、磁気ヘッド６をアセンブルしたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２を保持するアーム５とを有する。ピエゾアクチュエータ２は、第２微動アクチュエータ９より軽量で高速に駆動できるように構成されている。
【００２６】
このような構成によって、Ｘキャリッジ３とＹキャリッジ１０が磁気ディスクＨ上面まで移動し、第２微動アクチュエータ９が微動することで検査位置まで磁気ヘッド６を運ぶ。そして、第１微動アクチュエータ１００を磁気ディスクの回転周波数と同期して方向Ｅに動き、磁気ヘッド６の検査を行う。
【００２７】
図２は、本実施形態における第１微動アクチュエータ１００の構成と動作を示す説明図である。図３は、図２に示した第１微動アクチュエータ１００及びＨＧＡ交換機構７０の概観図である。第１微動アクチュエータ１００において、磁気ディスクＨに面する方を基面とし、その反対側を上面とすると、図２は、上面から見た図であり、図３は基面側から見た鳥瞰図である。なお、図３の２ａは、ピエゾアクチュエータ２を設置する場所を示す。
【００２８】
図２及び図３に示すように、第１微動アクチュエータ１００は、固定部１に取り付けられた１つのピエゾアクチュエータ２と、ピエゾアクチュエータ２の先端に圧接されているビーム結合部４３とを有する。また、第１微動アクチュエータ１００は、ピエゾアクチュエータ２の伸縮方向の中心線１６に対して左右に配置したヒンジ４ａ、ヒンジ４ｂと、それぞれのヒンジ４ａ、４ｂが設けられ前記ビーム結合部４３と結合し、ビーム部４２を構成するｐｕｓｈビーム４２ａ及びｐｕｌｌビーム４２ｂと、ｐｕｓｈビーム４２ａ又はｐｕｌｌビーム４２ｂに接続されているヒンジ接続部８ａ、８ｂとを有する。
【００２９】
さらに、第１微動アクチュエータ１００は、ヒンジ接続部８ａ、８ｂの先に接続されているヘッド固定部であるアーム５と、ヒンジ接続部８ａ、８ｂの近傍で、アーム５と固定部１との間に追加ヒンジ４１と、を有する。ヒンジ接続部８ａ、８ｂはアーム５の根元５ａにおいてアーム５の長手方向の中心線５ｃに対して左右に接続されている。また、ヒンジ接続部８ａ、８ｂ間の距離Ｌ９に対しアームの長さＬ１が大きくなっており、ＨＧＡ１２の先端１２１の移動距離（以下ストロークと呼ぶ）を大きくできる。
【００３０】
ＨＧＡ交換機構７０(７０Ａ）は、アーム５に隣接した固定部１に設けられ、ＨＧＡ１２を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部５０（５０Ａ）と、可動部７のアーム５に設けられ、ＨＧＡ１２を保持するヘッド保持部６０（６０Ａ）とを有する。このＨＧＡ交換機構７０によって、ＨＧＡ１２をアーム５に着脱可能である。なお、ＨＧＡ交換機構７０の詳細は後述する。
【００３１】
図２に示すように、ピエゾアクチュエータ２が伸びると、ｐｕｓｈビーム４２ａ及びｐｕｌｌビーム４２ｂがそれぞれ矢印１３ａ、１３ｂの様に左右に開く。左右に開いたｐｕｓｈビーム４２ａ又はｐｕｌｌビーム４２ｂに接続されたヒンジ接続部８ａ、８ｂは、一方が押され、他方は引っ張られ、アーム５が回動し、それに取り付けられたＨＧＡ１２は矢印１５のように変位する。
【００３２】
本実施形態では、ピエゾアクチュエータ２がニュートラルの状態にあるときは、ｐｕｓｈビーム４２ａ及びｐｕｌｌビーム４２ｂは固定部1に対して平行で、且つピエゾアクチュエータ２の伸縮方向の中心線１６と直交している。従って、磁気ヘッド位置決めに使用するときは、第１微動アクチュエータ１００を所定のバイアス角度を持って設置する。勿論、ピエゾアクチュエータ２がニュートラルの状態にあるときに、ｐｕｓｈビーム４２ａ及びｐｕｌｌビーム４２ｂを、互いに平行で、且つピエゾアクチュエータ２の伸縮方向の中心線１６と直交を維持しながら、固定部1に対して所定のバイアス角度を持って設置しても良い。
【００３３】
第１微動アクチュエータ１００において、ヒンジ４ａ、４ｂを押すアクチュエータとしてピエゾアクチュエータ２を利用する理由は、ピエゾアクチュエータの特徴が位置決め用のアクチュエータとして適しているためである。ピエゾアクチュエータの特徴としては、発生力が大きくかつ小形であることや高い変位分解能を有すること、電磁式と比較して消費電力が小さい、磁界を必要としないため漏洩磁束の問題がないことがある。
【００３４】
本実施形態においては、追加ヒンジ４１を有することにより、磁気ヘッド位置決め微動アクチュエータ１００の共振周波数を高めている。例えば、図２において追加ヒンジ４１を設けることで、設けないときに比べ共振周波数を３０％高めることができる。また、追加ヒンジ位置がＨＧＡ１２の先端１２１に近づく、即ちＬ２が小さくなるほど、先端１２１のストロークが低下し、逆に遠くなるほど共振周波数は小さくなる。しかし、Ｌ２を適切な位置に設定することで、ストロークを然程小さくすることなく、共振周波数を高めることができる。
【００３５】
（ＨＧＡ交換機構の実施例１）
図４は、ＨＧＡ交換機構７０の第１の実施例７０Ａを示す図である。図４(ａ）は、図３において矢印Ａ方向から見た図である。図４(ｂ)は、図４(ａ)において矢印Ｂから見た図である。図５は、図４(ａ)の断面図である。以下、図４を主体に、図３及び図５と合わせて実施例１であるＨＧＡ交換機構７０Ａを説明する。
【００３６】
ＨＧＡ交換機構７０Ａは、前述したように、アーム５に隣接した固定部１に設けられ、ＨＧＡ１２を保持するための押付力を発生する押付力発生手段及び押付力を解除する操作手段を有する押付力発生部５０Ａと、アーム５に設けられ、ＨＧＡ１２を保持するヘッド保持部６０Ａとを有する。
【００３７】
押付力発生部５０Ａは、押付力発生手段であるねじりコイルバネ５２と、ねじりコイルバネ５２を矢印Ｈの反対方向に回転させ、押付力を解除する操作手段である操作部５１と、一端が操作部５１に固定され、他端側でＨＧＡ１２を保持するＬ字状の保持棒５４と、保持棒５４を矢印Ｈの方向に回転可能する貫通孔５３ｈを備える交換機構固定部５３とを有する。保持棒５４は、貫通孔５３ｈを通る貫通棒部５４ａと、貫通棒部５４ａと直交し、ＨＧＡ１２を保持する保持棒部５４ｂとを有する。
【００３８】
ねじりコイルバネ５２は、その一端側を操作部５１に、その他端側を交換機構固定部５３に固定されており、常に矢印Ｈ方向にねじり力を発生させている。
なお、実施例では、操作部５１を固定部１側に設けたが、実施例１で説明した操作部５１をねじりコイルバネ５２の単なるバネ固定部とし、アーム５、即ちヘッド保持部を挟んで固定部１とは反対側に貫通棒部５４ａを延在し、その端部に実際の操作部を設けてもよい。この場合は、保持棒５４はＴ字状となり、Ｔの横棒を形成する貫通棒部５４ａは２つの端部を有する。
【００３９】
また、本実施例では、ねじりコイルバネ５２は枠５２ｗで保持されているが、ねじりコイルバネ５２自体に操作部５１を保持する保持力があれば、或いは、貫通孔５３ｈに貫通棒部５４ａを保持する保持機構を設け、操作部５１を保持することよって、枠５２ｗを設けなくともよい。保持機構としては、ベアリングを設けてもよいし、貫通孔５３の内面を摩擦抵抗の小さい摺動面としてもよい。
【００４０】
一方、ヘッド保持部６０Ａは、アーム５の両側に設けられたＨＧＡ保持部６１と、アーム５に固定され、保持棒５４を内在する保持棒枠６２と、アーム５に固定されたＨＧＡ１２のストッパ６３とを有する。保持棒枠６２は、貫通棒部５４ａが通る孔６２ｈを備え、アーム５は、保持棒部５４ｂの矢印Ｈの方向に回転を可能とする保持棒部可動孔５ｈを備えている。なお、保持棒枠６２は必ず設ける必要がなく、保持棒部５４ｂを裸の状態にしてもよい。
【００４１】
このような構成によるＨＧＡ交換機構７０Ａの動作を説明する。ねじりコイルバネ５２は、常に、Ｈ方向にねじり力を発生させている。従って、図４(ｂ)に示すように、保持棒部５４ｂは、常にＨ’方向に押付力を発生させている。それ故、ＨＧＡ保持部６１にＨＧＡ１２が載置されていれば、ＨＧＡ１２は、その有する保持孔１２ｈに内在する保持棒部５４ｂの押付力によって、ＨＧＡ１２を係止するストッパ６３に押付けられ、ＨＧＡ保持部６１に保持される。
ＨＧＡ１２をＨＧＡ保持部６１から取り出すときは、操作部５１をＨ方向とは反対方向に回転させ、押付力を解除することにより、保持棒部５４ｂをＨＧＡ１２から離間させ,ＨＧＡ１２を取り出す。
【００４２】
従って、以上説明した実施例１によれば、ＨＧＡ交換機構７０Ａの押付力発生部５０Ａを第１微動アクチュエータ１００の固定部１に設けることにより、可動部７を軽くすることができる。その結果、可動部７の慣性力が小さくなり磁気ヘッド６の位置決め精度を向上することができる。それに伴い、ピエゾアクチュエータの出力も小さくなり、その結果ピエゾアクチュエータを小さくすることができ、省エネにもつながる。
【００４３】
さらに、以上説明した実施例１によれば、ＨＧＡ１２を固定するのに板ばねを使用しないため、装置の共振周波数を高くすることができ、磁気ヘッドの位置決め精度が向上することができる。
【００４４】
（ＨＧＡ交換機構の実施例２）
図６は、ＨＧＡ交換機構７０の第２の実施例７０Ｂを示す図である。図６(ａ）は、図４(ｂ)に対応する図で、ヘッド保持部６０Ｂを図４(ａ)に示す矢印Ｂから見た図である。図６(ｂ)は、図４(ａ)に対応する実施例２において、図４(ａ)示す矢印Ｃから見た図である。なお、実施例２において、実施例１と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
【００４５】
実施例２の実施例１と異なる点は、ストッパ６３をＨＧＡ１２の中心側に設けた点である。それに伴い、次の２点を変更している。第１に、ＨＧＡ１２の中心側に、ストッパ６３が通りストッパ６３との接触部を有するストッパ貫通孔１２ｓを設けた点である。第２に、ねじりコイルバネ５２ｂが常にねじり力の発生する方向を、実施例１のＨ方向とは反対方向とした点である。その他の点は、実施例１と同じである。
【００４６】
実施例２においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【００４７】
（ＨＧＡ交換機構の実施例３）
図７は、ＨＧＡ交換機構７０の第３の実施例７０Ｃを示す図である。図７(ａ）は、図４(ａ)に対応する実施例３において矢印Ｂから見た図である。図７(ｂ)は、ヘッド保持部６０Ｃを図７(ａ)において矢印Ｄから見た図である。なお、実施例３において、実施例１と同じ構造又は機能を有するものは同一符号を付している。
【００４８】
実施例３の実施例１と異なる点は、保持棒部５４ｂのストッパ６３への押付力の発生の仕方が異なる。実施例１では、ねじりコイルバネ５２ｂで発生させていたのに対し、実施例３では、引張バネ５７で押付力を矢印Ｇ方向に発生させている。引張バネ５７は、その一端側が保持棒部５４ｂに、その他端側を操作部５１に固定されている。操作手段は、操作部５１と、図示しない磁石を有し操作部５１を磁力的に保持し、固定部１又は交換機構固定部５３に固定された操作部保持部５７ｓとを有する。また、貫通棒部５４ａは回転支点５４ｃを有し、回転支点を中心に紙面内で回転し、それに伴い保持棒部５４ｂは回転支点を中心に紙面に垂直な面で回転する。
【００４９】
なお、操作部保持部５７は、フック又は粘着材によって操作部５１を保持する構成としてもよい。
その他の点は実施例１と同じである。
【００５０】
このような構成によるＨＧＡ交換機構７０Ｃの動作を説明する。引張バネ５７は、操作部５１が操作部保持部５７ｓに保持されているときには、Ｇ方向の引張力を発生させている。その結果、保持棒部５４ｂは、支点５４ｃを中心に、Ｈ’方向に押付力を発生させている。それ故、ＨＧＡ保持部６１にＨＧＡ１２が載置されていれば、ＨＧＡ１２は、その有する保持孔１２ｈに内在する保持棒部５４ｂの押付力によってストッパ６３に押付けられ、ＨＧＡ保持部６１に保持される。
ＨＧＡ１２をＨＧＡ保持部６１から取り出すときは、操作部５１を操作部保持部５７ｓから離間させＧと反対方向に押し込むことにより、保持棒部５４ｂをＨＧＡ１２から離間させ、ＨＧＡ１２を取り出す。
【００５１】
なお、引張バネの替わりに圧縮バネを使用する場合は、図７(ａ)に示すバネの位置を貫通棒部５４ａに対して線対称の位置に設ければよい。
【００５２】
実施例３においても、実施例１と同様な効果を奏することができる。
【００５３】
（ＨＧＡ交換機構の他の実施例）
押付力発生手段として、図７(ａ）に示す引張バネの替わりに、エアシリンダを用いてもよい。この場合は、シリンダロッド又はエアシリンダの本体を貫通棒部５４ａに、逆にシリンダの本体又はシリンダロッドを操作部５１に接続する。操作手段の構成は実施例３と同様な構成とする。シリンダを操作部に接続した状態でＨＧＡ１２を保持するように押付力を矢印Ｇ方向に発生させる。
【００５４】
また、実施例３では、支点５４ｃを中心とした貫通棒部５４の回転によって、引張バネの引張力を、ＨＧＡ１２に対する押付力を変換しているが、支点を設ける替わりに貫通棒部５４ａを平行移動させるリニアガイドを設けて押付力を発生してもよい。
【００５５】
さらに、以上説明した実施例においては、押付力発生部５０を第１微動アクチュエータの固定部１の基面に設けたが、図１に破線で示した位置の表面に設けてもよい。その場合、保持棒部５４ｂは、基面に設けた場合に比べ長くなる。
【符号の説明】
【００５６】
１：固定部                              ２：ピエゾアクチュエータ
３：Ｘ方向キャリッジ（Ｘ方向粗動アクチュエータ）
４ａ、４ｂ：ヒンジ                      ５：アーム(ヘッド固定部）
６：磁気ヘッド                          ７：可動部
８ａ、８ｂ：ヒンジ接続部                ９：第２微動アクチュエータ
１０：Ｙ方向キャリッジ（Ｙ方向粗動アクチュエータ）
１２：ＨＧＡ(ヘッドジンバルアセンブリ)  ２０：磁気ヘッド位置決め装置
２１：定盤                              ３０：制御処理装置
４１：追加ヒンジ                        ４２：ビーム部
４２ａ：ｐｕｓｈビーム                  ４２ｂ：ｐｕｌｌビーム
５０、５０Ａ、５０Ｃ：押付力発生部      ５１：操作部
５２：ねじりコイルバネ                  ５３：交換機構固定部
５３ｈ：貫通孔                          ５４：保持棒
５４ａ：貫通棒部                        ５４ｂ：保持棒部
５７；引張バネ                          ５７ｓ：操作部保持部
６０、６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ：ヘッド保持部
６１：ＨＧＡ保持部                      ６２：保持棒枠
６３：ストッパ
７０、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ：ＨＧＡ交換機構
８１：板ばね                            ８２：操作レバー
８３：板バネ押付棒                      １００：第１微動アクチュエータ
２００：磁気ヘッド検査装置              Ｈ：磁気ディスク
Ｓ：スピンドル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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