(57)【要約】【課題】ノズルと切削ブレードの位置関係が容易に確認可能な切削装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削加工を施す切削ブレード及び切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、を備える切削装置であって、少なくとも一つの仕切壁部にて区画形成され、加工手段を収容する加工領域を有し、少なくとも一つの仕切壁部には、ノズルから放出される切削液を映し出すための鏡部材を有する視認機構が設けられ、鏡部材は角度変更可能とする。【選択図】図２
2013039642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物に切削加工を施す切削ブレード及び該切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、を備える切削装置であって、
少なくとも一つの仕切壁部にて区画形成され、該加工手段を収容する加工領域を有し、
少なくとも一つの該仕切壁部には、
該ノズルから放出される該切削液を映し出すための鏡部材を有する視認機構が設けられ、
該鏡部材は角度変更可能とする、
ことを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造工程や各種の電子部品製造工程にて使用される切削装置では、ダイシングソーと呼ばれる極薄の切削ブレードを高速回転させることで、被加工物が個々の製品やチップに分割される。切削ブレードの周囲には複数のノズルが配設され、ノズルから切削ブレードに対して切削液を供給することで、切削加工によって発生する切削屑を被加工物表面に付着しないように洗浄したり、加工によって発生する熱を冷却したりすることが行われる。
【０００３】
ノズルについては、切削ブレードの両側面から切削液を供給する側面ノズル（ブレードクーラーノズル）や、切削ブレードの外周面に対して切削液を供給する外周ノズル（シャワーノズル）が配設される構成が知られている。これらのノズルの位置は、洗浄や冷却を確実に行ううえで重要であり、その位置の微調整を行うために様々な機構が採用されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００４】
切削ブレードを備える切削ユニットは、装置の仕切り壁部やカバーによって密閉された加工領域内に配設され、切削液を加工領域外に飛散させない構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８７８４９号公報
【特許文献２】特開２０１０−０４２４９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ノズルの向きや高さ等を調整する方法はいくつかあっても、切削ユニットは仕切り壁部などに囲まれた加工領域内に設けられるため、ノズルと切削ブレードの位置関係を確認する作業が困難な状況が生じていた。
【０００７】
例えば、作業者から見てノズルと切削ブレードが切削ユニットの裏側に配置されるような場合では、作業者は棒材の先端に鏡を備える検査鏡を手で持ち、切削ユニットの裏側に鏡を挿し込んでノズルと切削ブレードの位置関係を目視確認していた。この場合、鏡を見ながらノズルの位置調整をする場合には、検査鏡を掴む手がふさがってしまうため、片手でノズルの位置調整をしなければならなかった。
【０００８】
加えて、実際にノズルから切削ブレードに対して切削液を供給することで、切削ブレードに切削液が降り掛かる様子を確認することも行われる。この確認作業の際には、鏡に切削液が降りかかるため、エアーガンを用いて鏡に降り掛かる切削液の除去が並行して行われるが、この場合、作業者は片手に検査鏡、片手にエアーガンを持つことになるため、作業者の両手が塞がってしまうことになる。したがって、この確認作業は、切削液の様子を単に確認するだけの作業となってしまい、確認しつつノズルの位置調整を同時に行うことは困難であった。
【０００９】
そこで、本発明は、ノズルと切削ブレードの位置関係が容易に確認可能な切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削加工を施す切削ブレード及び切削ブレードに切削液を供給するノズルを有する加工手段と、を備える切削装置であって、少なくとも一つの仕切壁部にて区画形成され、加工手段を収容する加工領域を有し、少なくとも一つの仕切壁部には、ノズルから放出される切削液を映し出すための鏡部材を有する視認機構が設けられ、鏡部材は角度変更可能とすることを特徴とする切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、直接目視確認することが難しい、切削ブレードとノズルの相対位置関係を確認する際において、検査鏡などを特段準備することなく容易に確認作業ができる。鏡部材が仕切壁部に固定されており検査鏡を持つ必要がなくなるため、エアーガンで切削液を吹き飛ばしつつ、ノズルの位置調整を行うことが可能となり、良好な作業性が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】視認機構の構成について示す正面図である。
【図３】視認機構の構成について示す側面図である。
【図４】切削ユニットの外観について示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例である切削装置２を示す全体斜視図である。図２は切削ユニットなどが収容される加工領域内の構成について示す側面図である。
【００１４】
切削装置２は、切削装置２に向かって左側に配置される加工領域４と、向かって右側に配置される搬出入領域６を備えている。加工領域４の上方には、タッチパネル機能を備えた表示モニタ８が備えられる。
【００１５】
加工領域４と搬出入領域６は、板状の仕切壁部１１によって遮られている。仕切壁部１１の下部には、加工領域４と搬出入領域６とを連通させるゲート１９が形成されており、このゲート１９を通過してチャックテーブル１８を移動させることにより、チャックテーブル１８上に保持された半導体ウェーハなどの被加工物が、加工領域４と搬出入領域６の間で移動される。
【００１６】
加工領域４は、その右側に配置される仕切壁部１１のほか、切削装置２に向かって切削ユニット２４の後ろ側に配置される板状の仕切壁部１２、さらには、上面仕切壁部１３ａ、左側仕切壁部１３ｂ、正面仕切壁部１３ｃを有する防護カバー１３によって取囲まれることで、閉じられた空間として区画形成される。好ましくは、防護カバー１３は、内部を視認可能とする透明体にて構成される。
【００１７】
図４は、加工領域４内に収容される切削ユニット２４の斜視図を示すものであり、切削ユニット２４は、図示せぬ駆動装置により回転駆動されるスピンドル２６の前端に装着される切削ブレード２８を有する。この切削ブレード２８の下部の両側にはパイプノズル４３，４４が配置され、パイプノズル４３，４４から切削ブレード２８に向けて切削液が供給されるようになっている。
【００１８】
パイプノズル４３，４４は、ノズルアセンブリ４１から延出されるものであり、ボルト４２を緩めてノズルアセンブリ４１の上下位置を調整することによって、パイプノズル４３，４４の上下位置が調整され得るようになっている。
【００１９】
以上の構成とする切削ユニット２４は、加工領域４内に収容されているため、各ノズルから放出される切削液の状況を視認し難い構成となる。特に、本実施形態の場合には、加工領域４と搬出入領域６の間を仕切る仕切壁部１１の側から切削液の状況を視認することが困難な構成となっている。
【００２０】
そこで、本実施形態では、図２及び図３に示すように、加工領域４と搬出入領域６の間を仕切る仕切壁部１１に、放出される切削液を映し出すための鏡部材５１を有する視認機構５０が設けられる。
【００２１】
視認機構５０は、仕切壁部１１の表面に固定される固定部５２に板状の鏡部材５１を吊設して構成される。固定部５２と鏡部材５１の間には、固定部５２に対する鏡部材５１の角度を自由に設定可能な自在継手５３が介設されている。これにより、鏡部材５１を手で掴んで動かすことにより、鏡部材５１の角度が適宜変更可能となっている。
【００２２】
なお、鏡部材５１は、本実施形態では、切削ユニット２４に対向する反射面５１ａを有する板状の部材にて構成されており、仕切壁部１１と平行に配置される状態を基準位置として設けられる。そして、自在継手５３については、切削ユニット２４側から仕切壁部１１に向かって見た場合に、鏡部材５１が基準位置の状態から、反射面５１ａの左右端部の奥行方向の相対位置を任意に設定可能とする第一の回転軸（図２の矢印Ｒ１の回転）と、反射面５１ａの上下端部の奥行方向の相対位置を任意に設定可能とする第二の回転軸（図２の矢印Ｒ２の回転）の少なくとも２つの回転軸を備えることで、反射面５１ａの角度が任意に設定できるようになっている。
【００２３】
鏡部材５１は、好ましくは、樹脂製（ポリカーボネート等）、軽量で割れ難い素材からなるものが使用される。加えて、鏡部材５１の表面は、親水性（物の表面に水が薄く広がる性質）を有するコーティング材の塗布などにより防汚効果を持たせることが好ましい。これにより、切削加工において鏡部材５１の表面に付着する切削液（例えば、純水）により鏡部材５１が汚れ、切削液の放出の状況が見難くなることを防止できる。
【００２４】
図２においては、鏡部材５１に映るパイプノズル４３，４４と、切削ブレード２８が示されており、切削ユニット２４に対するパイプノズル４３，４４の相対位置を容易に視認できることが示されている。また、パイプノズル４３，４４から切削液９が切削ブレード２８に向けて放出される様子が鏡部材５１によって視認できることも示されている。
【００２５】
パイプノズル４３，４４の切削ブレード２８に対する相対位置や、パイプノズル４３，４４から放出される切削液９の噴射位置などが適切でない場合には、本実施形態では、ボルト４２（図４）を緩めてパイプノズル４３，４４の上下位置の調整が行われる。なお、切削ユニット２４の構成によってはパイプノズル４３，４４の上下位置を調整するほか、パイプノズル４３，４４の角度を調整することなども考えられる。
【００２６】
以上のように、本実施形態では、図２に最もよく示されるように、被加工物を保持するチャックテーブル１８と、チャックテーブル１８に保持された被加工物に切削加工を施す切削ブレード２８及び切削ブレード２８に切削液９を供給するパイプノズル４３，４４等を有する加工手段としての切削ユニット２４と、を備える切削装置２であって、少なくとも一つの仕切壁部１１にて区画形成され、切削ユニット２４を収容する加工領域４を有し、少なくとも一つの仕切壁部１１には、パイプノズル４３，４４から放出される切削液９を映し出すための鏡部材５１を有する視認機構５０が設けられ、鏡部材５１は角度変更可能としている。
【００２７】
そして、本実施形態によれば、切削ユニット２４に向かって正面側から直接目視確認することが難しい、切削ブレード２８とパイプノズル４３，４４の相対位置関係を確認する際においても、検査鏡などを特段準備することなく容易に確認作業ができる。加えて、鏡部材５１は角度変更可能とすることで、視認しやすい位置に鏡部材５１の角度を設定することが可能となり、良好な作業性が得られる。
【００２８】
図１の構成において、防護カバー１３がアクリル板などの透明体で構成される場合には、防護カバー１３を透過して鏡部材５１に映る像を確認できるため、防護カバー１３を閉じたままでパイプノズル４３，４４の位置など確認することが可能である。
【００２９】
加えて、防護カバー１３を開けて確認することも可能である。この場合、例えば、エアーガン１６を用いて鏡部材５１に降り掛かる切削液を除去しながら切削液９の状況を確認することができる。このような作業をする場合、従来であれば、作業者は片手に検査鏡、片手にエアーガン１６を持つことになり、両手が塞がってしまうものであったが、本実施形態であれば、鏡部材５１が仕切壁部１１に固定されており検査鏡を持つ必要がなくなるため、エアーガン１６で切削液を吹き飛ばしつつ、パイプノズル４３，４４の位置調整を行うことが可能となり、良好な作業性が実現できる。
【００３０】
本実施形態では、切削ユニット２４を収容する加工領域４を区画形成する一つの仕切壁部１１についてのみ視認機構５０を設けることとしたが、切削ユニット２４に設けられる各種ノズルの配置などに応じて、もう一つの仕切壁部１２や、防護カバー１３の左側仕切壁部１３ｂといった他の仕切壁部にも視認機構５０を適宜設けることとしてもよい。
【００３１】
さらに、視認機構５０を用いたパイプノズル４３，４４などの位置確認の際には、鏡部材５１にパイプノズル４３，４４などを映り易くするように、切削ユニット２４などの位置を自動的に設定することとしてよい。具体的には、例えば、「ノズル位置確認モード」などとして、チャックテーブル１８を搬出入領域６に移動させるとともに、スピンドルハウジング２９をＺ軸方向に最大高さ位置まで移動させて、切削ブレード２８を鏡部材５１と同程度の高さに設定する、といった自動制御を切削装置２にて行うことが考えられる。
【符号の説明】
【００３２】
２    切削装置
４    加工領域
６    搬出入領域
８    表示モニタ
９    切削液
１１    仕切壁部
１２    仕切壁部
１３    防護カバー
１８    チャックテーブル
１９    ゲート
２４    切削ユニット
２８    切削ブレード
４３    パイプノズル
４４    パイプノズル
５０    視認機構
５１    鏡部材
５２    固定部
５３    自在継手
【図１】
2013039642.tif 000003
【図２】
2013039642.tif 000004
【図３】
2013039642.tif 000005
【図４】
2013039642.tif 000006