(57)【要約】【課題】２段アクチュエータを用いた時の外乱振動を補正することが可能な磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】外乱振動検出部１５Ａは、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂによる検出結果に基づいて、ボイスコイルモータ４およびマイクロアクチュエータ７に対する外乱振動成分を検出し、移動位置制御部１５Ｃは、ボイスコイルモータ４およびマイクロアクチュエータ７を駆動させることで磁気ヘッド９の移動位置を制御し、外乱補償部１５Ｂは、外乱振動検出部１５Ａにて検出された外乱振動成分が抑圧されるように磁気ヘッド９の移動位置を補正する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクと、
前記磁気ディスクに対して設けられる磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを微動させる微動アクチュエータと、
前記磁気ヘッドを粗動させる粗動アクチュエータと、
前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータを駆動させることで前記磁気ヘッドの移動位置を制御する移動位置制御部と、
前記磁気ヘッドの移動位置の制御に対する外乱振動成分を検出する外乱振動検出部と、
前記外乱振動検出部にて検出された外乱振動成分が抑圧されるように前記移動位置を補正する外乱補償部とを備える磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータが搭載された基材上に配置され、前記外乱振動成分の検出に用いられる加速度センサを備える請求項１に記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記加速度センサは、前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータが実装されたプリント基板または前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータが収容されたケースまたは前記ケース外に固定されたプリント基板に搭載される請求項２に記載の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記移動位置制御部は、
前記磁気ヘッドの目標位置と検出位置と間の誤差位置に基づいて前記微動アクチュエータの駆動制御を行うことで、前記磁気ヘッドの移動位置を微細に制御する微動制御部と、
前記磁気ヘッドの目標位置と検出位置と間の誤差位置に基づいて前記粗動アクチュエータの駆動制御を行うことで、前記磁気ヘッドの移動位置を粗く制御する粗動制御部と、
前記微動アクチュエータの駆動制御と協調して前記粗動アクチュエータが駆動制御されるように前記粗動制御部に入力される誤差位置を補正するオブザーバとを備える請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項５】
前記外乱補償部は、前記外乱振動検出部にて検出された外乱振動成分が抑圧されるように前記微動制御部にて制御される移動位置を補正する微動外乱補償部を備える請求項４に記載の磁気ディスク装置。
【請求項６】
前記微動外乱補償部は、
前記外乱振動成分を位置成分に変換する高次フィルタと、
前記高次フィルタの出力ゲインを調整する第１増幅器とを備える請求項５に記載の磁気ディスク装置。
【請求項７】
前記外乱補償部は、前記外乱振動検出部にて検出された外乱振動成分が抑圧されるように前記粗動制御部にて制御される移動位置を補正する粗動外乱補償部を備える請求項６に記載の磁気ディスク装置。
【請求項８】
前記微動外乱補償部は、前記外乱振動成分の高域成分に基づいて前記移動位置を補正し、前記粗動外乱補償部は、前記外乱振動成分の低域成分に基づいて前記移動位置を補正する請求項７に記載の磁気ディスク装置。
【請求項９】
前記微動外乱補償部に入力される外乱振動成分から直流成分を除去するＤＣカットフィルタを備える請求項５から８のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項１０】
前記微動外乱補償部の出力範囲を制限する出力範囲制限部を備える請求項５から９のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項１１】
磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを微動させる微動アクチュエータと、前記磁気ヘッドを粗動させる粗動アクチュエータとを備える磁気ディスク装置での外乱補償方法であって、
前記微動アクチュエータと前記粗動アクチュエータとの協調動作に基づいて移動位置が制御される前記磁気ヘッドの目標位置から検出位置を減算することで誤差位置を生成するステップと、
前記誤差位置に基づいて前記微動アクチュエータの微動制御値を生成するステップと、
前記微動アクチュエータに対して前記粗動アクチュエータが協調制御されるように前記微動制御値から推定値を生成するステップと、
前記誤差位置と前記推定値との加算結果に基づいて、前記粗動アクチュエータの粗動制御値を生成するステップと、
前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータに対する外乱角加速度成分に基づいて、前記外乱角加速度成分を抑圧する粗動補正値を生成するステップと、
前記粗動制御値と前記粗動補正値との加算結果に基づいて、前記粗動アクチュエータを駆動するステップと、
前記微動アクチュエータに対する外乱角加速度成分に基づいて、前記外乱角加速度成分を抑圧する微動補正値を生成するステップと、
前記微動制御値と前記微動補正値との加算結果に基づいて、前記微動アクチュエータを駆動するステップとを備える２段アクチュエータの外乱補償方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は磁気ディスク装置および２段アクチュエータの外乱補償方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置においては、磁気ヘッドを移動させるアクチュエータとしてボイスコイルモータが一般的に用いられている。このボイスコイルモータでは、トラックピッチの微細化に応じて、トラッキング制御の精度を確保するには限界がある。このため、ボイスコイルモータを用いた粗動アクチュエータ上にピエゾ素子を用いた微動アクチュエータを搭載した２段アクチュエータが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３０６７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の一つの実施形態の目的は、２段アクチュエータを用いた時の外乱振動を補正することが可能な磁気ディスク装置および２段アクチュエータの外乱補償方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の磁気ディスク装置によれば、磁気ディスクと、前記磁気ディスクに対して設けられた磁気ヘッドと、微動アクチュエータと、粗動アクチュエータと、外乱振動検出部と、移動位置制御部と、外乱補償部とが設けられている。微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを微動させる。粗動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを粗動させる。外乱振動検出部は、前記微動アクチュエータに対する外乱振動成分を検出する。移動位置制御部は、前記微動アクチュエータおよび前記粗動アクチュエータを駆動させることで前記磁気ヘッドの移動位置を制御する。外乱補償部は、前記外乱振動検出部にて検出された外乱振動成分が抑圧されるように前記移動位置を補正する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１実施形態に係る磁気ディスク装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、第２実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、第３実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図４】図４（ａ）は、図３の位相補償フィルタのゲイン特性を示す図、図４（ｂ）は、図３の位相補償フィルタの位相特性を示す図である。
【図５】図５は、第４実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、第５実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図７】図７は、２段アクチュエータの外乱補償の有無と圧縮特性との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施形態に係る磁気ディスク装置および２段アクチュエータの外乱補償方法について図面を参照しながら説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る磁気ディスク装置の概略構成を示すブロック図である。
図１において、この磁気ディスク装置には、磁気ディスク２が設けられ、磁気ディスク２はスピンドル３を介して支持されている。また、磁気ディスク装置には、磁気ヘッド９が設けられ、磁気ヘッド９は、磁気ディスク２に対向するように配置されている。ここで、磁気ヘッド９は、サスペンション８およびアーム６を介して磁気ディスク２上に保持されている。アーム６は、回転軸５を介して磁気ディスク２上に支持されている。
【０００９】
また、アーム６の一端には、アーム６を駆動するボイスコイルモータ４が設けられ、サスペンション８の一端には、サスペンション８を駆動するマイクロアクチュエータ７が設けられている。なお、マイクロアクチュエータ７としては、例えば、圧電素子を用いることができる。そして、マイクロアクチュエータ７がアーム６にて支持されることで２段アクチュエータが構成されている。また、この２段アクチュエータが搭載された基材上には、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂが設けられている。なお、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂは、２段アクチュエータが搭載された基材上で互いに直交する２成分の加速度を検出できるように配置することができる。例えば、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂは、２段アクチュエータが実装されたプリント基板上に搭載するようにしてもよいし、２段アクチュエータが収容されたケース１に搭載するようにしてもよいし、ケース１の外部に固定されたプリント基板に搭載するようにしてもよい。
【００１０】
そして、磁気ディスク２、スピンドル３、ボイスコイルモータ４、アーム６、マイクロアクチュエータ７、サスペンション８、磁気ヘッド９および加速度センサ１０Ａ、１０Ｂは、ケース１に収容されている。
【００１１】
また、磁気ディスク装置には磁気記録制御部１１が設けられ、磁気記録制御部１１には、ヘッド制御部１２、パワー制御部１３、リードライトチャネル１４およびハードディスク制御部１５が設けられている。なお、磁気記録制御部１１は、ケース１の裏面側に固定されたプリント基板に搭載することができる。加速度センサ１０Ａ、１０Ｂは、このプリント基板に搭載するようにしてもよい。ヘッド制御部１２には、再生信号検出部１２Ａが設けられている。パワー制御部１３には、スピンドルモータ制御部１３Ａ、ボイスコイルモータ制御部１３Ｂおよびマイクロアクチュエータ制御部１３Ｃが設けられている。ハードディスク制御部１５には、外乱振動検出部１５Ａ、外乱補償部１５Ｂおよび移動位置制御部１５Ｃが設けられている。
【００１２】
ヘッド制御部１２は、記録再生時における信号を増幅することができる。再生信号検出部１２Ａは、磁気ヘッド９にて読み出された信号を検出することができる。パワー制御部１３は、ボイスコイルモータ４およびマイクロアクチュエータ７を駆動するとともに、スピンドル３を回転させるスピンドルモータを駆動することができる。スピンドルモータ制御部１３Ａは、スピンドルモータの回転を制御することができる。ボイスコイルモータ制御部１３Ｂは、ボイスコイルモータ４の駆動を制御することができる。マイクロアクチュエータ制御部１３Ｃは、マイクロアクチュエータ７の駆動を制御することができる。リードライトチャネル１４は、磁気ヘッド９にて再生される信号をホスト１６で扱われるデータ形式に変換したり、ホスト１６から出力されるデータを磁気ヘッド９にて記録される信号形式に変換したりすることができる。このような形式変換としては、ＤＡ変換や符号化を挙げることができる。また、リードライトチャネル１４は、磁気ヘッド９にて再生された信号のデコード処理を行ったり、ホスト１６から出力されるデータをコード変調したりすることができる。ハードディスク制御部１５は、ホスト１６からの指令に基づいて記録再生制御を行ったり、ホスト１６とリードライトチャネル１４との間でデータの受け渡しを行ったりすることができる。
【００１３】
また、磁気記録制御部１１はホスト１６に接続されている。なお、ホスト１６としては、書き込み指示や読み出し指示を磁気ディスク装置に行うパーソナルコンピュータであってもよいし、外部インターフェースであってもよい。
【００１４】
そして、スピンドルモータにて磁気ディスク２が回転されながら、磁気ヘッド９を介して磁気ディスク２から信号が読み出され、再生信号検出部１２Ａにて検出される。再生信号検出部１２Ａにて検出された信号は、リードライトチャネル１４にてデータ変換された後、ハードディスク制御部１５に送られる。そして、移動位置制御部１５Ｃにおいて、再生信号検出部１２Ａにて検出された信号に含まれるサーボパターンデータに基づいて磁気ヘッド９の移動位置が制御される。
【００１５】
この時、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂにて検出された加速度は、ハードディスク制御部１５に送られる。そして、外乱振動検出部１５Ａにおいて、加速度センサ１０Ａ、１０Ｂによる検出結果に基づいて外乱角加速度成分が検出され、外乱補償部１５Ｂに送られる。そして、外乱補償部１５Ｂにおいて、外乱振動検出部１５Ａにて検出された外乱角加速度成分が抑圧されるように、ボイスコイルモータ４およびマイクロアクチュエータ７の駆動が制御され、磁気ヘッド９の移動位置が補正される。
【００１６】
ここで、外乱角加速度成分が抑圧されるようにマイクロアクチュエータ７の駆動を制御させることにより、高周波までの幅広い帯域の外乱を補償させることができ、２段アクチュエータによる磁気ヘッド９の位置決め精度を向上させることができる。
【００１７】
（第２実施形態）
図２は、第２実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
図２において、この制御系には、フィードバック制御系３４および微動外乱補償部３１が設けられている。ここで、フィードバック制御系３４は、磁気ヘッド９の移動位置の検出結果に基づいてフィードバック制御することにより、微動アクチュエータ２４および粗動アクチュエータ２９を駆動することができる。微動外乱補償部３１は、外乱角加速度成分ＷＡに基づいてフィードフォワード制御することにより、微動アクチュエータ２４の外乱を補償することができる。
【００１８】
ここで、フィードバック制御系３４には、磁気ヘッド９、微動アクチュエータ２４、粗動アクチュエータ２９、微動制御部２２、粗動制御部２８、オブザーバ２６、減算器２１、加算器２３、２５、２７および位置検出部３０が設けられている。微動外乱補償部３１には、高次フィルタ３２および増幅器３３が設けられている。
【００１９】
なお、微動アクチュエータ２４は、磁気ヘッド９を微動させることができる。この微動アクチュエータ２４は、例えば、圧電素子を用いることができる。粗動アクチュエータ２９は、磁気ヘッド９を粗動させることができる。この粗動アクチュエータ２９は、例えば、ボイスコイルモータを用いることができる。微動制御部２２は、微動アクチュエータ２４の駆動制御を行うことで磁気ヘッド９の移動位置を微細に制御することができる。粗動制御部２８は、微動アクチュエータ２４の駆動制御と協調して粗動アクチュエータ２９の駆動制御を行うことで磁気ヘッド９の移動位置を粗く制御することができる。オブザーバ２６は、微動アクチュエータ２４の駆動制御と協調して粗動アクチュエータ２９が駆動制御されるように粗動制御部２８に入力される誤差位置ＥＰを補正することができる。位置検出部３０は、磁気ヘッド９にて読み出された信号に基づいて磁気ヘッド９の位置を検出することができる。高次フィルタ３２は、外乱角加速度成分ＷＡを位置成分に変換することができ、外乱角加速度成分ＷＡの２次の積分動作とハイパスフィルタ動作を行うことができる。
【００２０】
そして、粗動アクチュエータ２９による移動量と微動アクチュエータ２４による移動量とが加算器２５にて加算され、その加算結果に基づいて磁気ヘッド９の移動位置が制御される。そして、磁気ヘッド９を介して磁気ディスクから信号が読み出され、位置検出部３０に送られる。そして、位置検出部３０において、磁気ヘッド９から読み出された信号に含まれるサーボパターンに基づいて磁気ヘッド９の検出位置ＤＰが生成され、減算器２１に送られる。そして、減算器２１において、磁気ヘッド９の目標位置ＭＰから検出位置ＤＰが減算されることで誤差位置ＥＰが生成され、微動制御部２２および加算器２７に送られる。
【００２１】
そして、微動制御部２２において、誤差位置ＥＰに基づいて微動アクチュエータ２４の微動制御値ＭＳが生成され、オブザーバ２６および加算器２３に送られる。そして、オブザーバ２６において、微動アクチュエータ２４に対して粗動アクチュエータ２９が協調制御されるように微動制御値ＭＳから推定値ＨＳが生成され、加算器２７に送られる。そして、加算器２７において、誤差位置ＥＰと推定値ＨＳとが加算され、その加算結果が粗動制御部２８に送られる。そして、粗動制御部２８において、誤差位置ＥＰと推定値ＨＳとの加算結果に基づいて粗動アクチュエータ２９の粗動制御値ＶＳが生成され、粗動アクチュエータ２９に送られる。
【００２２】
また、外乱角加速度成分ＷＡは高次フィルタ３２に入力される。そして、高次フィルタ３２において、外乱角加速度成分ＷＡの２次の積分動作とハイパスフィルタ動作が行われた後、増幅器３３にてゲインが乗算されることで微動補正値ＶＥが生成され、加算器２３に送られる。そして、加算器２３において、微動制御値ＭＳと微動補正値ＶＥとが加算され、その加算結果が微動アクチュエータ２４に送られる。
【００２３】
そして、微動制御値ＭＳと微動補正値ＶＥとの加算結果に基づいて微動アクチュエータ２４が駆動されるとともに、粗動制御値ＶＳに基づいて粗動アクチュエータ２９が駆動されることで、磁気ヘッド９の移動位置が制御される。
【００２４】
ここで、微動制御値ＭＳを微動補正値ＶＥにて補正することにより、外乱角加速度成分ＷＡが抑圧されるように微動アクチュエータ２４を駆動させることができ、２段アクチュエータによる磁気ヘッド９の位置決め精度を向上させることができる。
【００２５】
（第３実施形態）
図３は、第３実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
図３において、この制御系では、図２の微動外乱補償部３１の代わりに微動外乱補償部４１が設けられるとともに、図２の微動外乱補償部３１に粗動外乱補償部４２および加算器４０が追加されている。
【００２６】
微動外乱補償部４１は、外乱角加速度成分ＷＡに基づいてフィードフォワード制御することにより、微動アクチュエータ２４の外乱を補償することができる。ここで、微動外乱補償部４１には、図２の増幅器３３の代わりに可変増幅器４３が設けられている。粗動外乱補償部４２は、外乱角加速度成分ＷＡに基づいてフィードフォワード制御することにより、粗動アクチュエータ２９の外乱を補償することができる。ここで、粗動外乱補償部４２には、位相補償フィルタ４４および増幅器４５が設けられている。位相補償フィルタ４４は、外乱角加速度成分ＷＡの位相を補償することができる。
【００２７】
なお、微動外乱補償部４１は、外乱角加速度成分ＷＡの高域成分に基づいて微動制御値ＭＳを補正し、粗動外乱補償部４２は、外乱角加速度成分ＷＡの低域成分に基づいて粗動制御値ＶＳを補正することができる。また、微動外乱補償部４１は、シーク時にはトラッキング時に比べて微動制御値ＭＳの補正量を減少させ、粗動外乱補償部４２は、シーク時にはトラッキング時に比べて粗動制御値ＶＳの補正量を増大させることができる。
【００２８】
そして、減算器２１において、磁気ヘッド９の目標位置ＭＰから検出位置ＤＰが減算されることで誤差位置ＥＰが生成され、微動制御部２２および加算器２７に送られる。
【００２９】
そして、微動制御部２２において、誤差位置ＥＰに基づいて微動アクチュエータ２４の微動制御値ＭＳが生成され、オブザーバ２６および加算器２３に送られる。そして、オブザーバ２６において、微動アクチュエータ２４に対して粗動アクチュエータ２９が協調制御されるように微動制御値ＭＳから推定値ＨＳが生成され、加算器２７に送られる。そして、加算器２７において、誤差位置ＥＰと推定値ＨＳとが加算され、その加算結果が粗動制御部２８に送られる。
【００３０】
そして、粗動制御部２８において、誤差位置ＥＰと推定値ＨＳとの加算結果に基づいて粗動アクチュエータ２９の粗動制御値ＶＳが生成され、加算器４０に送られる。
【００３１】
また、外乱角加速度成分ＷＡは高次フィルタ３２および位相補償フィルタ４４に入力される。そして、高次フィルタ３２において、外乱角加速度成分ＷＡの２次の積分動作とハイパスフィルタ動作が行われた後、増幅器４３にてゲインが乗算されることで微動補正値ＶＥが生成され、加算器２３に送られる。また、位相補償フィルタ４４において、外乱角加速度成分ＷＡの位相補償が行われた後、増幅器４５にてゲインが乗算されることで粗動補正値ＭＥが生成され、加算器４０に送られる。ここで、可変増幅器４３では、シーク時にはトラッキング時に比べてゲインが減少されることで微動補正値ＶＥが減少される。また、位相補償フィルタ４４では、シーク時にはトラッキング時に比べて粗動補正値ＭＥが増大される。
【００３２】
そして、加算器２３において、微動制御値ＭＳと微動補正値ＶＥとが加算され、その加算結果が微動アクチュエータ２４に送られる。また、加算器４０において、粗動制御値ＶＳと粗動補正値ＭＥとが加算され、その加算結果が粗動アクチュエータ２９に送られる。
【００３３】
そして、微動制御値ＭＳと微動補正値ＶＥとの加算結果に基づいて微動アクチュエータ２４が駆動されるとともに、粗動制御値ＶＳと粗動補正値ＭＥとの加算結果に基づいて粗動アクチュエータ２９が駆動されることで、磁気ヘッド９の移動位置が制御される。
【００３４】
ここで、微動制御値ＭＳを微動補正値ＶＥにて補正し、粗動制御値ＶＳを粗動補正値ＭＥにて補正することにより、外乱角加速度成分ＷＡが抑圧されるように微動アクチュエータ２４および粗動アクチュエータ２９を駆動させることができ、２段アクチュエータによる磁気ヘッド９の位置決め精度を向上させることができる。
【００３５】
図４（ａ）は、図３の位相補償フィルタのゲイン特性を示す図、図４（ｂ）は、図３の位相補償フィルタの位相特性を示す図である。
図４（ａ）および図４（ｂ）において、位相のゼロクロス付近で帯域が伸びるように位相補償フィルタ４２の特性が設定される。そして、シーク時にはトラッキング時に比べてゲインが増大されることで粗動補正値ＭＥが増大される。
【００３６】
ここで、シーク時にはトラッキング時に比べて粗動補正値ＭＥを増大させることで、可動範囲の広い粗動アクチュエータ２９を主に動作させることができ、シーク動作を高速化することが可能となる。また、シーク時にはトラッキング時に比べて微動補正値ＶＥを増大させることで、位置決め精度の高い微動アクチュエータ２４を主に動作させることができ、トラッキング精度を向上させることが可能となる。
【００３７】
（第４実施形態）
図５は、第４実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
図５において、この制御系では、図３の制御系に出力範囲制限部４６が追加されている。この出力範囲制限部４６は、微動外乱補償部４１と加算器２３との間に接続することができる。ここで、出力範囲制限部４６は、微動外乱補償部４１の出力範囲を制限することができる。すなわち、出力範囲制限部４６は、微動アクチュエータ２４の動作精度が良好な範囲に収まるように微動外乱補償部４１の出力の上限値および下限値を設定することができる。
【００３８】
ここで、微動外乱補償部４１の後段に出力範囲制限部４６を設けることにより、微動アクチュエータ２４の可動範囲に応じて微動外乱補償部４１の出力範囲を制限することができ、微動アクチュエータ２４の可動範囲が狭い場合においても、微動アクチュエータ２４の動作精度を維持することができる。
【００３９】
（第５実施形態）
図６は、第５実施形態に係る２段アクチュエータの制御系の概略構成を示すブロック図である。
図６において、この制御系では、図３の制御系にＤＣカットフィルタ５２が追加されている。このＤＣカットフィルタ５２は、微動外乱補償部５１の前段に接続することができる。ここで、ＤＣカットフィルタ５２は、微動外乱補償部５１に入力される外乱角加速度成分ＷＡから直流成分を除去することができる。
【００４０】
ここで、微動外乱補償部５１に入力される外乱角加速度成分ＷＡから直流成分を除去することにより、高次フィルタ３２における２次の積分動作に悪影響がでるのを防止することができる。
【００４１】
図７は、２段アクチュエータの外乱補償の有無と圧縮特性との関係を示す図である。なお、２段アクチュエータの圧縮特性は、外乱発生時の２段アクチュエータの振動の指標とすることができる。また、Ｐ１は、粗動アクチュエータ２９を用いた時の粗動外乱補償部４２がない時の圧縮特性、Ｐ２は、粗動アクチュエータ２９を用いた時の粗動外乱補償部４２がある時の圧縮特性、Ｐ３は、微動アクチュエータ２４および粗動アクチュエータ２９を用いた時の微動外乱補償部４１および粗動外乱補償部４２がある時の圧縮特性を示す。
図７において、微動外乱補償部４１を設けることにより、１１００Ｈｚ以上の高域において外乱圧縮値を１０ｄＢ以上低下させることができる。
【００４２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４３】
１  ケース、２  磁気ディスク、３  スピンドル、４  ボイスコイルモータ、５回転軸、６  アーム、７  マイクロアクチュエータ、８  サスペンション、９  磁気ヘッド、１０Ａ，１０Ｂ  加速度センサ、１１  磁気記録制御部、１２  ヘッド制御部、１２Ａ  再生信号検出部、１３  パワー制御部、１３Ａ  スピンドルモータ制御部、１３Ｂ  ボイスコイルモータ制御部、１３Ｃ  マイクロアクチュエータ制御部、１４  リードライトチャネル、１５  ハードディスク制御部、１５Ａ  外乱振動検出部、１５Ｂ  外乱補償部、１５Ｃ  移動位置制御部、１６  ホスト、２１  減算器、２２  微動制御部、２３、２５、２７、４０  加算器、２４  微動アクチュエータ、２６  オブザーバ、２８  粗動制御部、２９  粗動アクチュエータ、３０  位置検出部、３１、４１、５１  微動外乱補償部、３２  高次フィルタ、３３、４５  増幅器、３４  フィードバック制御系、４２  粗動外乱補償部、４３  可変増幅器、４４  位相補償フィルタ、４６  出力範囲制限部、５２  ＤＣカットフィルタ
【図１】
2013157063.tif 000003
【図２】
2013157063.tif 000004
【図３】
2013157063.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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