(57)【要約】【課題】真空処理室内でマスクを再利用した場合、マスクに熱が蓄積して熱膨張するという問題があった。【解決手段】基板Ｇが搬入出される基板搬入部１１及び基板搬出部１２と、マスク９が搬入出されるマスク搬入部１３及びマスク搬出部１４と、マスク９を基板Ｇに取り付ける取り付け機構５１と、基板Ｇを基板搬出部１２側へ搬送する真空搬送機構４と、基板搬出部１２側でマスク９を基板Ｇから取り外す取り外し機構５２とを有する真空処理室と、大気雰囲気中へマスク９を搬出する搬出側ロードロック装置６２と、大気雰囲気中へ搬出されたマスク９を、マスク搬入部側へ搬送する大気搬送機構７と、大気雰囲気中へ搬出されたマスク９を冷却する冷却装置８と、真空処理室１内へマスク９を搬入する搬入側ロードロック装置６１とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口を有するマスクを用いて、基板に薄膜をパターン形成する基板処理システムであって、
基板が搬入出される基板搬入部及び基板搬出部を備える真空処理室と、
前記マスクが搬入されるマスク搬入部と、
前記マスク搬入部から搬入された前記マスクを基板に取り付ける取り付け機構と、
前記基板搬出部側で前記マスクを前記基板から取り外す取り外し機構と、
前記取り外し機構によって基板から取り外された前記マスクが搬出されるマスク搬出部と、
室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、前記マスク搬出部を通じて大気雰囲気中へ前記マスクを搬出する搬出側ロードロック装置と、
該搬出側ロードロック装置を介して大気雰囲気中へ搬出された前記マスクを、前記マスク搬入部側へ搬送する大気搬送機構と、
大気雰囲気中へ搬出された前記マスクを冷却する冷却装置と、
室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、前記マスク搬入部を通じて前記真空処理室内へ前記マスクを搬入する搬入側ロードロック装置と
を備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
大気雰囲気中へ搬出された前記マスクを洗浄する洗浄装置を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記マスクは、
前記複数の開口が形成されたシート部材と、
該シート部材を略平面状に保持する枠体と
を備え、
前記取り付け機構は、
前記マスク搬入部から搬入された前記マスクのシート部材上に基板を載置するようにしてある
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記マスクは、
基板が載置される前記シート部材の一面側を覆う覆板を備える
ことを特徴とする請求項３に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記覆板は、
前記枠体側へ突出したピンを周縁部に備え、
前記枠体は、
前記ピンが進退可能に挿通する挿通孔を有し、
前記シート部材は、
周縁部に孔部を有し、
前記取り付け機構及び前記取り外し機構は、
前記孔部に挿通し、前記シート部材上で基板を昇降させる第１昇降ピンと
前記ピンの先端部に当接し、前記覆板を昇降させる第２昇降ピンと
を備えることを特徴とする請求項４に記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記枠体に設けられており、前記シート部材に載置された基板を該シート部材に押さえ付ける固定機構を備える
ことを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか一つに記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記基板搬入部を通じて前記真空処理室内へ基板を搬入する基板搬入装置と、
前記基板搬出部を通じて前記真空処理室外へ基板を搬出する基板搬出装置と
を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の開口を有するマスクを用いて、基板に薄膜をパターン形成する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）発光素子を備えた有機ＥＬカラーディスプレイが注目されている。有機ＥＬ発光素子は、有機ＥＬ発光素子は、下部電極と上部電極との間に、ホール注入層、ホール輸送層、有機発光層等を積層させてなる有機層が配されてなり、低電圧直流駆動によって発光する。
有機ＥＬ発光素子を用いてフルカラー対応の有機ＥＬカラーディスプレイを製造するためには、その製造の過程において、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の各色成分に対応した有機発光層、電極層などを、蒸着によって基板上にパターン成膜する必要がある。各層のパターン形成には、それぞれの層のパターンに合わせた蒸着用のマスクが用いられている。マスクは、複数の開口が形成されたシート部材を備え、マスクフレームと呼ばれる枠体に該シート部材を架張溶接することによって撓みを無くした状態で使用されることが一般的である（例えば、特許文献１）。以下、枠体にシート部材が架張されたものをマスクと呼ぶ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１８３０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明者は、基板に成膜処理を行う真空処理室内でマスクを循環させることにより、マスクを再利用することを検討した。しかしながら、真空処理室内でマスクを再利用した場合、マスクに熱が蓄積して熱膨張するという問題があった。マスクが熱膨張した場合、基板に対するマスクの開口が位置ずれし、成膜パターンが設計仕様から外れてしまう。
なお、マスクに面接触して該マスクを冷却する冷却装置を真空処理室内に設けることにより、前記問題が解決するようにも思えるが、減圧雰囲気中ではマスクを効果的に冷却することができない。微視的には、マスクと、冷却装置とが点接触しており、マスクから熱を効果的に除去することができないためである。
【０００５】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、マスクを効果的に冷却し、マスクの熱膨張を抑制しつつ、該マスクを再利用することができる基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板処理装置は、複数の開口を有するマスクを用いて、基板に薄膜をパターン形成する基板処理システムであって、基板が搬入出される基板搬入部及び基板搬出部を備える真空処理室と、前記マスクが搬入されるマスク搬入部と、前記マスク搬入部から搬入された前記マスクを基板に取り付ける取り付け機構と、前記基板搬出部側で前記マスクを前記基板から取り外す取り外し機構と、前記取り外し機構によって基板から取り外された前記マスクが搬出されるマスク搬出部と、室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、前記マスク搬出部を通じて大気雰囲気中へ前記マスクを搬出する搬出側ロードロック装置と、該搬出側ロードロック装置を介して大気雰囲気中へ搬出された前記マスクを、前記マスク搬入部側へ搬送する大気搬送機構と、大気雰囲気中へ搬出された前記マスクを冷却する冷却装置と、室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、前記マスク搬入部を通じて前記真空処理室内へ前記マスクを搬入する搬入側ロードロック装置とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明にあっては、真空処理室の内外をマスクが循環する。マスクが真空処理室外の大気雰囲気中にある場合、該マスクは、減圧雰囲気中にある場合に比べ、効果的に放熱する。従って、マスクの熱膨張が抑制される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、マスクの熱膨張を抑制しつつ、該マスクを再利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る基板処理システムの一構成例を示した横断面図である。
【図２】真空搬送機構の内部構成例を示した平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】マスクトレーの一構成例を示した平面図及び側断面図である。
【図５】マスクトレーの一部を拡大して示した側断面図である。
【図６】マスクの一構成例を示した斜視図である。
【図７】マスクを搬送方向から見た側断面図である。
【図８】取り付け機構の一構成例を示した平面図及び側断面図である。
【図９】基板が載置される直前のマスクを示した側断面図である。
【図１０】基板を載置した状態にあるマスクを示した側断面図である。
【図１１】変形例に係る基板処理システムの一構成例を示した横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
図１は、本実施の形態に係る基板処理システムの一構成例を示した横断面図である。本発明の実施の形態に係る基板処理システムは、内部で基板Ｇに対して成膜処理を行うための真空処理室１を備える。真空処理室１は、搬送方向を長手方向とする中空略直方体形状をなし、アルミニウム、ステンレス等で構成されている。真空処理室１の長手方向一端側の面（図１中左端面）には、基板Ｇを真空処理室１内に搬入するための基板搬入部１１が形成され、長手方向他端側の面（図１中右端面）には、基板Ｇを真空処理室１外へ搬出するための基板搬出部１２が形成されている。基板搬入部１１及び基板搬出部１２は、搬入方向に対して直交した長手方向を有するスリット状の開口を含み、基板搬入部１１及び基板搬出部１２の長手方向は水平である。以下、基板搬入部１１及び基板搬出部１２の長手方向を縦方向、該縦方向及び搬送方向に直交する方向を上下方向という。
【００１１】
真空処理室１の下部、搬送方向略中央部には、基板Ｇに対して所定の処理を行う基板処理部１５が設けられている。基板処理部１５は、例えば、基板Ｇに対して真空蒸着法にて成膜を行う複数の有機蒸着ヘッド１５ａと、有機蒸着ヘッド１５ａに有機成膜材料の蒸気を供給する材料容器１５ｂとを有する。
【００１２】
基板搬入部１１には、基板搬入装置２１が設けられている。基板搬入装置２１は、搬入側基板ストッカ３１から基板Ｇを取り出し、基板搬入部１１を通じて真空処理室１内へ基板Ｇを搬入するロボットを有する。同様に、基板搬出部１２には、基板搬出装置２２が設けられている。基板搬出装置２２は、基板搬出部１２を通じて真空処理室１外へ基板Ｇを搬出し、搬出側基板ストッカ３２へ基板Ｇを受け渡すロボットを有する。
【００１３】
また、真空処理室１内部には、基板搬入装置２１により、基板搬入部１１から搬入された基板Ｇを基板搬出部１２側へ搬送する真空搬送機構４が設置されている。真空搬送機構４の詳細は後述する。更に、真空処理室１の適宜箇所には、図示しない排気孔が形成されており、排気孔には、真空処理室１の外部に配された真空ポンプが排気管を介して接続されている。真空ポンプが駆動することにより、真空処理室１の内部は減圧雰囲気となる。
【００１４】
更にまた、真空処理室１の搬入側における側壁には、マスク９が搬入されるマスク搬入部１３が設けられている。マスク搬入部１３はスリット状等の開口を含み、真空処理室１の内部にはマスク搬入部１３から搬入されたマスク９を基板Ｇに取り付ける取り付け機構５１が搬入側に配されている。取り付け機構５１は、マスク９と基板Ｇとの位置合わせを行う位置合わせ手段（アライナ）を含んでよい。マスク搬入部１３には、室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、マスク搬入部１３を通じて真空処理室１内へマスク９を搬入する搬入側ロードロック装置６１が設けられている。同様に、真空処理室１の搬出側における側壁には、マスク９が搬出されるマスク搬出部１４が設けられている。マスク搬出部１４はスリット状等の開口を含み、基板搬出部１２側でマスク９を基板Ｇから取り外す取り外し機構５２が搬出側に配されている。マスク搬出部１４には、室内の雰囲気を大気雰囲気及び減圧雰囲気の間で切り替え、マスク搬出部１４を通じて大気雰囲気中へマスク９を搬出する搬出側ロードロック装置６２が設けられている。取り付け機構５１及び取り外し機構５２の詳細は後述する。なお、搬入側ロードロック装置６１及び搬出側ロードロック装置６２と、真空処理室１及び外部とは、ゲートバルブ６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６２ｂを介して連結している。
【００１５】
搬出側ロードロック装置６２と、搬入側ロードロック装置６１との間には、搬出側ロードロック装置６２を介して大気雰囲気中へ搬出されたマスク９を、マスク搬入部１３側へ搬送、つまり、真空搬送機構４で搬送される方向と逆方向へ搬送する大気搬送機構７が配設されている。大気搬送機構７の構成は、真空搬送機構４と同様であってよい。大気搬送機構７及びその搬送路は、マスク９の汚染を防止すべく、クリーングローブボックスのような室内に配すると良い。該室内は、例えば、窒素等の不活性ガス雰囲気が好ましく、少なくとも水分が入り込まないように構成すると良い。
【００１６】
大気搬送機構７の搬送路の途中には、大気雰囲気中へ搬出されたマスク９を冷却する冷却装置８が設置されている。マスク９は、複数の開口が形成されたシート部材９１と、該シート部材９１を略平面状に保持する枠体９２とを有しており（図３，図６参照）、冷却装置８は、例えば、シート部材９１に、冷却ガスを吹き付けるノズルと、枠体９２に接触し、該枠体９２を冷却する冷却枠部とを有する。冷却ガスは、例えば常温の空気、窒素等の不活性ガスであってよい。冷却枠部は、熱伝導性及び放熱に優れた金属製であり、放熱フィン等を有する。もちろん、内部にペルチェ素子などの冷却素子を設け、マスク９を冷却するように構成しても良い。なお、冷却装置８は、単にマスク９を冷却するのみならず、マスク９の温度を所定の温度に制御するように構成しても良い。また、冷却装置８は、マスク搬入部１３側に配置するのが好ましい。真空処理室１に搬入する前に、マスク９の温度を一定範囲内にすることが容易になるためである。
【００１７】
また、大気搬送機構７の搬送路の適宜箇所には、大気ロボット２３が配置されてよく、大気ロボット２３の両側にはマスクストッカ３３、３４が設けられていてよい。大気ロボット２３は、複数回再利用されたマスク９を必要に応じて回収し、新しいマスク９を投入する。さらに、図示しないが、ロードロック装置６２にマスクストッカを隣接して配置させ、大気搬送路に戻す前にマスクを回収する機構を設けてもよい。
【００１８】
図２は、真空搬送機構４の内部構成例を示した平面図、図３は図２のIII−III線断面図、図４は、マスクトレー１０の一構成例を示した平面図及び側断面図、図５は、マスクトレー１０の一部を拡大して示した側断面図である。真空搬送機構４は、マスク９を載置し、搬送するための矩形枠状のマスクトレー１０を有する。マスクトレー１０は、矩形枠状の部材であり、該部材の長辺部分から外側へ突出した板部１０ａと、マスク９の枠体９２が上方から嵌り込み、該マスク９を支持する支持枠部１０ｂとを有する。支持枠部１０ｂには、マスク９に基板Ｇを着脱するための貫通孔１０ｃが搬送方向に沿って複数形成されている。貫通孔１０ｃは、マスクトレー１０にマスク９を嵌め込んだ状態で、後述するマスク９の挿通孔９２ａ及びロック解除用挿通孔９２ｂの位置と一致するような箇所に形成されている。また、板部１０ａの搬送方向両端部は、図５に示すようにテーパ１０ｄが形成されている。テーパ１０ｄは、ローラによる搬送を円滑にするためのものである。
【００１９】
真空搬送機構４は、マスク９が載置される矩形枠状のマスクトレー１０の板部１０ａを上下から挟み、マスク９を基板搬入部１１側から基板搬出部１２側へ搬送する駆動ローラ４１及び下搬送ローラ４２と、上搬送ローラ４４とを有する。複数の下搬送ローラ４２は、真空処理室１の両側壁から内側へ、回転軸が搬送方向に対して略直交するように突出し、各下搬送ローラ４２は、真空処理室１の長手方向に並んで設けられている。駆動ローラ４１は、駆動モータ４３によって回転するローラであり、複数並ぶ下搬送ローラ４２の間に、下搬送ローラ４２と同様にして設けられている。各下搬送ローラ４２及び駆動ローラ４１はステンレス製のベルト４５で連結されている。複数の下搬送ローラ４２の上方、真空処理室１の内壁には、上搬送ローラ４４を支持するためのローラ支持板４７が設けられており、ローラ支持板４７には付勢部材４６を介して上搬送ローラ４４が設けられている。上搬送ローラ４４は、下搬送ローラ４２に対向しており、付勢部材４６によってマスクトレー１０の板部１０ａが上搬送ローラ４４及び下搬送ローラ４２によって挟みこまれるように構成されている。また、下搬送ローラ４２、駆動ローラ４１、上搬送ローラ４４及び付勢部材４６は、防着板４８によって覆われている。防着板４８は、有機蒸着ヘッド１５ａから吹き出した有機成膜材料が各駆動系に付着することを防止する。なお、駆動ローラ４１、下搬送ローラ４２及び上搬送ローラ４４は、磁気シールによってシールされている。
このように構成された真空搬送機構４によれば、駆動モータ４３を動作させることによって、駆動ローラ４１が回転し、ベルト４５に連結した下搬送ローラ４２も回転する。マスク９を載せたマスクトレー１０は、駆動ローラ４１及び下搬送ローラ４２の回転力によって、真空処理室１内を移動し、マスク９を基板搬入部１１側から基板搬出部１２側へ搬送する。
【００２０】
図６は、マスク９の一構成例を示した斜視図、図７は、マスク９を搬送方向から見た側断面図である。マスク９は、基板Ｇに薄膜をパターン形成するための複数の開口が形成された略矩形のシート部材９１と、該シート部材９１を略平面状に保持する略矩形の角形部材からなる枠体９２と、基板Ｇが載置されるシート部材９１の一面側、例えば上面側を覆う覆板９３とを有する。覆板９３は、枠体９２の内寸法よりも大寸法である。なお、覆板９３は、透明の部材で構成すると良い。マスク９を構成するシート部材９１の状態を上方から視認することができ、異常の確認が容易になるためである。また、覆板９３は、枠体９２側へ突出した複数のピン９５を周縁部に備え、枠体９２には、ピン９５が進退可能に挿通する挿通孔９２ａが形成されている。シート部材９１は、熱膨張率が低い材質、例えばインバー材等で形成されている。シート部材９１は、上面側に載置される基板Ｇを昇降させることによって、基板Ｇを着脱するための複数の孔部９１ａを、枠体９２に沿った周縁部に有する。更に、枠体９２には、シート部材９１上に載置された基板Ｇを該シート部材９１に押さえ付ける固定機構９４が設けられている。固定機構９４は、例えば、断面Ｌ字状の鉤状部材９４ａを有し、鉤状部材９４ａの一端側が軸部９４ｂによって枠体９２に回動自在に支持され、回動に伴って鉤状部材９４ａの一端側がシート部材９１上の基板Ｇに接離するように構成されている（図９，図１０参照）。枠体９２は、鉤状部材９４ａが設けられた箇所に、該鉤上部材による基板Ｇの固定を解除するためのロック解除用挿通孔９２ｂが形成されている。ロック解除用挿通孔９２ｂに、後述の第３昇降ピン５１ｄが下方から差し込まれると、第３昇降ピン５１ｄによって、鉤状部材９４ａは、その他端が基板Ｇから離れる方向に回動し、ロックが解除される（図９，図１０参照）。
【００２１】
図８は、取り付け機構５１の一構成例を示した平面図及び側断面図である。取り付け機構５１及び取り外し機構５２は、構成が同様であるため、以下、取り付け機構５１の構成を説明する。取り付け機構５１は、マスク搬入部１３から搬入されたマスク９のシート部材９１上に基板Ｇを載置するものであり、マスク９の枠体９２と同形、略同寸法の昇降板部材５１ａを有する。昇降板部材５１ａには、図示しない駆動軸が設けられており、リニアモータ、ボールねじ機構などを用いて該昇降板部は昇降する。昇降板部材５１ａの周縁には、枠体９２の挿通孔９２ａに挿通し、覆板９３のピン９５の先端部、即ち下側の先端部に当接して、覆板９３を昇降させる第１昇降ピン５１ｂが設けられている。また、昇降板部材５１ａには、マスク９のシート部材９１の孔部９１ａに挿通し、シート部材９１上で基板Ｇを昇降させる第２昇降ピン５１ｃが設けられている。更に、昇降板部材５１ａには、マスク９の枠体９２に形成されたロック解除用挿通孔９２ｂに挿通し、固定機構９４の鉤状部材９４ａを回動させる第３昇降ピン５１ｄが設けられている。第３昇降ピン５１ｄは、第１昇降ピン５１ｂ及び第２昇降ピン５１ｃよりも長い。また、第２昇降ピン５１ｃは、覆板９３のピン９５及び第１昇降ピン５１ｂの長さを合算した長さよりも短く構成されている。
【００２２】
図９は、基板Ｇが載置される直前のマスク９を示した側断面図、図１０は、基板Ｇを載置した状態にあるマスク９を示した側断面図である。取り付け機構５１の昇降板部材５１ａが上昇した場合、まず、図９に示すように、ロック解除用挿通孔９２ｂに第３昇降ピン５１ｄが下側から挿通し、固定機構９４の鉤状部材９４ａが上方へ押しあげられ、枠体９２の外側まで回動する。次いで、昇降板部材５１ａが上昇した場合、第２昇降ピン５１ｃの上端部が、覆板９３のピン９５の先端部に当接し、この状態で第２昇降ピン５１ｃが上昇すると、覆板９３が枠体９２から持ち上げられ、基板Ｇを枠体９２内に嵌め込むための隙間ができる。この状態で、基板搬入装置２１は、真空処理室１内に搬入した基板Ｇを、覆板９３と、枠体９２との隙間に差し入れ、第１昇降ピン５１ｂ上に載置する。
次いで、取り付け機構５１の昇降板部材５１ａを降下させると、覆板９３と共に基板Ｇも降下し、覆板９３はシート部材９１上を覆い、基板Ｇはシート部材９１上に載置される。そして、固定機構９４の鉤状部材９４ａは自重で下方に回動し、鉤状部材９４ａの先端部が基板Ｇに当接し、該基板Ｇはマスク９のシート部材９１上に固定される。
【００２３】
取り外し機構５２は、取り付け機構５１の上述の手順を逆順で実行することにより、基板Ｇをシート部材９１から持ち上げ、取り外し可能にする。
【００２４】
このように構成された真空処理システムによれば、真空処理室１の左側からマスク９及び基板Ｇが搬入され、取り付け機構５１によってマスク９のシート部材９１上に基板Ｇが載置される。そして、基板Ｇを載置したマスク９は、真空搬送機構４によって、基板搬入部１１側から基板搬出部１２側へ移動し、その移動途中で有機成膜処理が施される。有機成膜処理が施された基板Ｇは、取り外し機構５２によって、マスク９から取り外され、真空処理装置の外部へ搬出される。他方、使用済みのマスク９は、搬出側ロードロック装置６２を介して、減圧雰囲気中から大気雰囲気中へ搬出され、大気搬送機構７によって、基板搬入部１１側へ移動する。マスク９は、有機成膜処理によって高温になっているが、大気中を移動する過程で冷却される。また、マスク搬入部１３側に設けられた冷却装置８によって、基板Ｇは所定の温度範囲まで冷却される。冷却されたマスク９は、搬入側ロードロック装置６１を介して再び、真空処理室１内に搬入され、再利用される。
このように、本実施の形態によれば、マスク９の熱膨張を抑制しつつ、マスク９を再利用することができる。
【００２５】
また、冷却装置８を備えることによって、マスク９を自然放熱させる場合に比べて、より速やかにマスク９を冷却することができる。
【００２６】
更に、マスク９が大気雰囲気中を移動する際に、マスク９に粉塵などのパーティクルが付着することを防止することができる。
【００２７】
更にまた、固定機構９４によって、基板Ｇ及びマスク９を互いに固定し、成膜処理を行うことができる。
【００２８】
（変形例）
図１１は、変形例に係る基板処理システムの一構成例を示した横断面図である。変形例に係る基板処理システムは、上述の実施の形態で説明した構成に加え、更に大気雰囲気中へ搬出された基板Ｇを洗浄する洗浄装置２００を大気搬送機構７の搬送路の途中に備える。洗浄装置２００は、例えば、有機溶媒をマスク９の下面に吹き付ける等して、マスク９の洗浄を行う。なお、洗浄装置２００は、冷却装置８と、マスク搬出部１４との間に設けると良い。マスク９から溶媒を蒸発させる時間を確保し、マスク９の温度を一定範囲内に制御することが容易になるためである。
【００２９】
変形例に係る基板処理システムによれば、マスク９を大気雰囲気中で洗浄することができるため、マスク９の再利用回数を増やすことができる。
【００３０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００３１】
１  真空処理室
４  真空搬送機構
７  大気搬送機構
８  冷却装置
９  マスク
１０  マスクトレー
１１  基板搬入部
１２  基板搬出部
１３  マスク搬入部
１４  マスク搬出部
１５  基板処理部
２１  基板搬入装置
２２  基板搬出装置
２３  大気ロボット
３１  搬入側基板ストッカ
３２  搬出側基板ストッカ
３３、３４  マスクストッカ
５１  取り付け機構
５１ａ  昇降板部材
５１ｂ  第１昇降ピン
５１ｃ  第２昇降ピン
５１ｄ  第３昇降ピン
５２  取り外し機構
６１  搬入側ロードロック装置
６２  搬出側ロードロック装置
９１  シート部材
９１ａ  孔部
９２  枠体
９２ａ  挿通孔
９２ｂ  ロック解除用挿通孔
９３  覆板
９４  固定機構
９５  ピン
２００  洗浄装置
Ｇ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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