(57)【要約】【課題】マスクと基板との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止して印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】マスクホルダ１３が備える一対のマスク載置部材１３ｃの間隔はマスク１４の大きさに応じて変化させることができるようになっており、マスクホルダ１３には、一対のマスク載置部材１３ｃそれぞれの延びる方向に移動してマスク１４の大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベース２１及び移動ベース２１に設けられてマスク本体１４ａを上方から押圧して基板２の上面に接触させる押圧シリンダ２３から成る複数のマスク押圧ユニット１５が取り付けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に電極が設けられた基板を保持する基板保持部と、
基板の電極に対応するパターン孔が設けられた板状のマスク本体及びマスク本体の周囲を支持する矩形のマスク枠を有して成り、基板保持部の上方に設置されたマスクホルダが備える一対のマスク載置部材にマスク枠の対向する一の両辺が載置されるマスクと、
マスク本体のパターン孔と基板の電極とが合致するように基板の上面が接触されたマスク本体上を摺動してマスク本体上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備え、
マスクホルダが備える前記一対のマスク載置部材の間隔はマスクの大きさに応じて変化させることができるようになっており、
マスクホルダには、前記一対のマスク載置部材それぞれの延びる方向に移動してマスクの大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベース及び移動ベースに設けられてマスク本体を上方から押圧して基板の上面に接触させる押圧部から成る複数のマスク押圧ユニットが取り付けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
各マスク押圧ユニットの移動ベースは、マスクホルダの各マスク載置部材に設けられたガイドに沿って移動自在に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させてマスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上の電極に半田等のペーストを印刷する装置としてスクリーン印刷機が知られている。このスクリーン印刷機は、基板保持部により保持した基板を水平姿勢に保持されたマスクに下方から接触させ、マスク上でスキージを摺動させることにより、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機において、マスクは基板の電極に対応するパターン孔が設けられた板状のマスク本体及びマスク本体の周囲を支持する矩形のマスク枠を有して成り、マスク枠の対向する一の両辺が基板保持部の上方に設置されたマスクホルダの一対のマスク載置部材に載置される。そして、基板をマスクに接触させる際には、基板の電極とマスクのパターン孔とが上下に対向するようにマスクに対する基板の位置合わせをしたうえで基板が上昇されるが、スキージの摺動時に基板とマスクとの間の位置ずれ（すなわち基板の電極とマスクのパターン孔との間の位置ずれ）を起きるのを防止する目的等から、基板保持部に設けられた吸着手段によってマスクを下方から吸着することにより、基板とマスクとを密着させて相互に固定するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−９２５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷機では、マスク枠とマスク載置部材との間に異物等があるような場合には、マスク載置部材に対してマスクが浮き上がった状態となり、吸着手段によってマスクを吸着しようとしてもうまく吸着することができずにマスクと基板との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われて基板に品質不良が発生するケースがあり得るという問題点があった。また、基板の大きさが変わるとマスクの大きさも変わるが、マスクの吸着すべき最適の位置（例えば、マスク本体部の四隅の部分）を吸着手段による吸着できるとは限らないため、マスクと基板との間の密着度を十分に保つことができない場合があった。
【０００６】
そこで本発明は、マスクと基板との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止して印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、上面に電極が設けられた基板を保持する基板保持部と、基板の電極に対応するパターン孔が設けられた板状のマスク本体及びマスク本体の周囲を支持する矩形のマスク枠を有して成り、基板保持部の上方に設置されたマスクホルダが備える一対のマスク載置部材にマスク枠の対向する一の両辺が載置されるマスクと、マスク本体のパターン孔と基板の電極とが合致するように基板の上面が接触されたマスク本体上を摺動してマスク本体上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備え、マスクホルダが備える前記一対のマスク載置部材の間隔はマスクの大きさに応じて変化させることができるようになっており、マスクホルダには、前記一対のマスク載置部材それぞれの延びる方向に移動してマスクの大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベース及び移動ベースに設けられてマスク本体を上方から押圧して基板の上面に接触させる押圧部から成る複数のマスク押圧ユニットが取り付けられている。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、各マスク押圧ユニットの移動ベースは、マスクホルダの各マスク載置部材に設けられたガイドに沿って移動自在に設けられている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、複数のマスク押圧ユニットの押圧部によってマスク本体を上方から押圧して基板の上面に接触させるようになっており、マスク枠とマスク載置部材との間に異物等があってマスク載置部材に対してマスクが浮き上がった状態となっている場合であってもマスクを基板に確実に接触させることができるので、マスクと基板との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止でき、印刷不良の発生を抑えることができる。また、マスク押圧ユニットは、一対のマスク載置部材それぞれの延びる方向に移動してマスクの大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベースに設けられており、マスク上の最適の位置を押圧部によって押圧して基板に接触させることができるので、この面からもマスクと基板との間の密着度が不十分な状態となることを防止して印刷不良の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの（ａ）平面図（ｂ）一部断面図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダの斜視図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダの部分斜視図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるマスクホルダをマスクとともに示す平面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、上面に多数の電極２ａが設けられた基板２を搬入し、その搬入した基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する作業（スクリーン印刷作業）を実行するものであり、基台１０に設けられた基板保持ユニット移動機構１１、基板保持ユニット移動機構１１によって移動される基板保持ユニット１２、基板保持ユニット１２の上方に設置されたマスクホルダ１３、マスクホルダ１３によって水平姿勢に保持されたマスク１４、マスクホルダ１３に保持されたマスク１４を下方に押圧する複数のマスク押圧ユニット１５、マスク１４の下方を移動自在に設けられたカメラユニット１６、マスク１４の上方を移動自在に設けられたスキージユニット１７及びスクリーン印刷機１の各部の作動制御を行う制御装置１８を備えている。
【００１２】
図１及び図３（ａ）において、マスクホルダ１３は、基台１０の上方領域をオペレータＯＰから見た前後方向（Ｙ軸方向とする）に延び、オペレータＯＰから見た左右方向（Ｘ軸方向とする）に対向して設けられた左右一対のＹ軸ビーム１３ａ、左右一対のＹ軸ビーム１３ａの上方をＸ軸方向に延び、Ｙ軸方向に対向して設けられた前後一対のＸ軸ビーム１３ｂ、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向し、一対のＸ軸ビーム１３ｂによって支持された断面「Ｌ」字状の左右一対のマスク載置部材１３ｃを有している。左右一対のＹ軸ビーム１３ａと前後一対のＸ軸ビーム１３ｂは基台１０に対して固定されており、左右一対のマスク載置部材１３ｃはそれぞれ前後のＸ軸ビーム１３ｂに対して（すなわち基台１０に対して）Ｘ軸方向に相対移動自在となっている。
【００１３】
図１及び図３（ａ）において、左右のＹ軸ビーム１３ａにはそれぞれマスク載置部材駆動シリンダ１３ｓが設けられている。各マスク載置部材駆動シリンダ１３ｓのＸ軸方向に延びたピストンロッドはマスク載置部材１３ｃに連結されており、２つのマスク載置部材駆動シリンダ１３ｓのピストンロッドが同期して進退すると左右のマスク載置部材１３ｃが前後のＸ軸ビーム１３ｂに沿って（すなわちＸ軸方向に）互いに反対方向に移動する。
【００１４】
図２に示すように、制御装置１８にはオペレータＯＰによって操作される間隔調整操作部１９が接続されており、制御装置１８は間隔調整操作部１９の操作方向及び操作量に応じて左右のマスク載置部材駆動シリンダ１３ｓの作動方向及び作動量を制御する。このためオペレータＯＰは間隔調整操作部１９を操作することで左右のマスク載置部材１３ｃの間隔調整を行うことができる。
【００１５】
図３（ａ），（ｂ）において、マスク１４は、薄肉金属製で矩形の板状部材から成るマスク本体１４ａ、マスク本体１４ａの外縁に取り付けられた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部材１４ｂ及びシート状部材１４ｂの外縁を支持することによってマスク１４の周囲を支持する矩形のマスク枠１４ｗを有して成り、マスク本体１４ａには基板２の電極２ａに対応する多数のパターン孔１４ｈが設けられている。図３（ａ）の矢視Ｖ−Ｖから見た一部断面図である図３（ｂ）に示すように、マスク１４のシート状部材１４ｂはマスク枠１４ｗの下面に接着剤ＢＤによって接着されている。
【００１６】
図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク本体１４ａにはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１４ｍが設けられている（図３（ａ）も参照）。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１４ｍを上下に対向させた状態で基板２を上昇させてマスク１４に基板２を接触させると、基板２の電極２ａとマスク本体１４ａに設けられたパターン孔１４ｈとが合致した状態となる。
【００１７】
図１において、基板保持ユニット１２は、基板２を保持する基板保持部として機能するものであり、基台１０に対して昇降自在に設けられたベース部１２ａ、ベース部１２ａに取り付けられてＸ軸方向に基板２を搬送するコンベア１２ｂ、コンベア１２ｂによって搬送されて所定の基板保持位置に位置決めされた基板２を下受け部材１２ｃによって下受けした状態で昇降させる基板昇降シリンダ１２ｄ及び基板昇降シリンダ１２ｄによって押し上げられた基板２をＹ軸方向からクランプして保持する一対のクランプ部材１２ｅを有して成る。コンベア１２ｂによる基板２の搬送及び位置決め動作、基板昇降シリンダ１２ｄによる基板２の昇降動作及び一対のクランプ部材１２ｅによる基板２のクランプ動作は制御装置１８によって制御される。
【００１８】
基板保持ユニット移動機構１１はＸＹＺロボットから成り、制御装置１８によって作動制御されて基板保持ユニット１２を水平面内で移動（回転も含む）させるとともに、基板保持ユニット１２を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる。
【００１９】
図１、図３及び図４（ａ）において、マスク押圧ユニット１５はマスクホルダ１３を構成する２つのマスク載置部材１３ｃそれぞれに前後２つずつ設けられている。各マスク押圧ユニット１５は、マスク載置部材１３ｃの外面をＹ軸方向に延びて設けられたガイドレール１３ｇに係合した状態でガイドレール１３ｇに沿ってＹ軸方向に移動自在な上下方向に延びた柱状の移動ベース２１、移動ベース２１からＸ軸方向（保持したマスク１４の内方に向く側）に延びた水平アーム２２及び水平アーム２２の先端に設けられてピストンロッド２３ａ（図４（ｂ））を上下動させる押圧シリンダ２３から成る。
【００２０】
図４（ａ）に示すように、各マスク載置部材１３ｃの外側面のガイドレール１３ｇの前後の位置にはそれぞれブロック部材３１が上方に延びて設けられている。各ブロック部材３１には、図４（ｂ）に示すように上方貫通穴３２ａと下方貫通穴３２ｂが上下に並んで設けられており、各マスク押圧ユニット１５の移動ベース２１には上方シャフト穴２１ａと下方シャフト穴２１ｂが上下に並んで設けられている。
【００２１】
図４（ａ）に示すように、各マスク載置部材１３ｃにおいて、前後の両マスク押圧ユニット１５の上方シャフト穴２１ａには前後のブロック部材３１の上方貫通穴３２ａを貫通して延びた（前後のブロック部材３１によって前後両端が支持された）上方螺子シャフト３３が貫通して延びており、前後の両マスク押圧ユニット１５の下方シャフト穴２１ｂには前後のブロック部材３１の下方貫通穴３２ｂを貫通して延びた（前後のブロック部材３１によって前後両端が支持された）下方螺子シャフト３４が貫通して延びている。
【００２２】
ここで、図４（ａ），（ｂ）に示すように、各マスク載置部材１３ｃにおいて、上方螺子シャフト３３の表面には前側半分のみ螺子山３３ａが形成されており、各マスク載置部材１３ｃにおける前方のブロック部材３１の上方貫通穴３２ａには上方螺子シャフト３３の螺子山３３ａと螺合する螺子溝が形成されている。また、各マスク載置部材１３ｃにおいて、下方螺子シャフト３４の表面には後側半分のみ螺子山３４ａが形成されており、各マスク載置部材１３ｃにおける後方のブロック部材３１の下方貫通穴３２ｂには下方螺子シャフト３４の螺子山３４ａと螺合する螺子溝が形成されている。そして、各マスク載置部材１３ｃにおいて、前方のブロック部材３１には上方螺子シャフト３３を回転駆動する前方モータ３５が取り付けられており、各マスク載置部材１３ｃにおいて、後方のブロック部材３１には下方螺子シャフト３４を回転駆動する後方モータ３６が取り付けられている。
【００２３】
このため、前方モータ３５が制御装置１８により制御されて正方向又は逆方向に回転すると、上方螺子シャフト３３が正方向又は逆方向に回転し、これに伴って前方のマスク押圧ユニット１５がガイドレール１３ｇに沿って前後方向に移動する。また、後方モータ３６が制御装置１８により制御されて正方向又は逆方向に回転すると、下方螺子シャフト３４が正方向又は逆方向に回転し、これに伴って後方のマスク押圧ユニット１５がガイドレール１３ｇに沿って前後方向に移動する。このように本実施の形態において、前方モータ３５及び後方モータ３６は、各マスク押圧ユニット１５をマスクホルダ１３に対して前後方向に移動させるマスク押圧ユニット移動機構１５Ｍ（図２）となっている。
【００２４】
各マスク押圧ユニット１５の前後方向への移動は、オペレータＯＰによって操作されるマスク押圧ユニット位置調整操作部３７の操作に応じて制御装置１８が前方モータ３５及び後方モータ３６の回転制御を行うことによってなされる。また、各マスク押圧ユニット１５が備える押圧シリンダ２３のピストンロッド２３ａの上下動動作は、オペレータＯＰによって操作される押圧シリンダ作動操作部３８の操作に応じて制御装置１８が図示しない空圧制御バルブ等を備えて構成されるマスク押圧ユニット駆動機構１５Ｇ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。なお、４つの押圧シリンダ２３のピストンロッド２３ａの上下動動作は同時に（同期して）行われる。
【００２５】
図１及び図２において、カメラユニット１６は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１６ａと、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１６ｂを備えて成り、制御装置１８により作動制御されるカメラユニット移動機構１６Ｍ（図１）によってマスクホルダ１３に保持されたマスク１４の下方の水平面内を移動する。
【００２６】
下方撮像カメラ１６ａの撮像動作及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作は制御装置１８によって制御され、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置１８に送られて制御装置１８の画像認識部１８ａ（図２）において画像認識される。
【００２７】
図１及び図２において、スキージユニット１７は、図示しない直交テーブル機構及びそのアクチュエータから成るスキージユニット移動機構１７Ｍの作動によってマスク１４の上方を水平面内方向（図２の紙面の左右方向）に移動自在なベース部１７ａの下方に、ベース部１７ａの移動方向に対向して設けられた２つのスキージ１７ｂを備えた構成を有しており、各スキージ１７ｂは、ベース部１７ａに取り付けられた２つの空圧シリンダ１７ｃによってそれぞれ独立してベース部１７ａの下方を昇降されるようになっている。スキージユニット移動機構１７Ｍの作動制御及び各空圧シリンダ１７ｃの作動によるスキージ１７ｂの昇降制御は制御装置１８によってなされる。
【００２８】
このような構成のスクリーン印刷機１においてスクリーン印刷作業を行うときには、オペレータＯＰは先ず、スクリーン印刷の対象とする基板２に応じたマスク１４を用意して、そのマスク１４をマスクホルダ１３に設置するとともに、４つの押圧シリンダ２３をマスク１４の大きさに応じた位置に位置させる前準備を行う。この前準備では、オペレータＯＰは、初めに間隔調整操作部１９の操作を行ってマスク載置部材駆動シリンダ１３ｓを作動させ、マスクホルダ１３を構成する左右のマスク載置部材１３ｃをＸ軸方向に移動させて（図５（ａ）及び図４（ａ）中に示す矢印Ａ）、左右のマスク載置部材１３ｃのＸ軸方向の間隔Ｗ（図５（ａ））がマスク１４の大きさ（Ｘ軸方向の寸法）に応じた間隔になるように調整する。そして、マスクホルダ１３の前方から左右のマスク載置部材１３ｃの間にマスク１４を水平に挿入し、マスク枠１４ｗの後端がマスク載置部材１３ｃの後部に設けられたマスクストッパ１３ｐ（図５（ａ），（ｂ））に当接するまでマスク１４を押し込む。これによりマスク枠１４ｗの左右両辺（すなわちマスク枠１４ｗの対向する一の両辺）が左右のマスク載置部材１３ｃによって載置され、水平姿勢に保持された状態となる。
【００２９】
オペレータＯＰは、マスクホルダ１３にマスク１４を保持させたら、マスク押圧ユニット位置調整操作部３７の操作を行って４つのマスク押圧ユニット１５をそれぞれマスク載置部材１３ｃに沿って前後方向に移動させ（図５（ｂ）及び図４（ａ）中に示す矢印Ｂ）、４つの押圧シリンダ２３がマスクホルダ１３に設置されたマスク本体１４ａ上の最適押圧位置（ここではマスク本体１４ａの四隅としている）の上方に位置するようにする。これにより前準備が終了する（図５（ｂ））。
【００３０】
上記前準備が終了した後、スクリーン印刷機１の制御装置１８は、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２をコンベア１２ｂによって搬入し、基板保持位置に位置決めする（図６に示すステップＳＴ１）。そして、基板昇降シリンダ１２ｄによる基板２の押し上げ（図７（ａ）中に示す矢印Ｃ）とクランプ部材１２ｅによる基板２のクランプ（図７（ａ）中に示す矢印Ｄ）を行って基板２を保持する（図７（ａ）。図６に示すステップＳＴ２）。なお、この基板２の保持工程では、基板２は上面の高さがクランプ部材１２ｅの上面の高さと同じになるように基板昇降シリンダ１２ｄによって押し上げられる。
【００３１】
制御装置１８は、上記のようにして基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１６Ｍの作動制御を行い、下方撮像カメラ１６ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させたうえで下方撮像カメラ１６ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせてその画像データから基板２の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ１６ｂをマスク本体１４ａに設けられたマスク側マーク１４ｍの直下に位置させたうえで上方撮像カメラ１６ｂにマスク側マーク１４ｍの撮像を行わせてその画像データからマスク１４の位置を把握する。そして、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１４ｍとが上下に対向するようにして、マスク１４に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図６に示すステップＳＴ３）。
【００３２】
制御装置１８は、マスク１４に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１１の作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、基板２の上面（及び一対のクランプ部材１２ｅの上面）をマスク本体１４ａの下面に下方から近づける（図７（ｂ）。図６に示すステップＳＴ４）。
【００３３】
制御装置１８は、ステップＳＴ４で基板２の上面をマスク本体１４ａの下面に下方から近づけたら、４つのマスク押圧ユニット１５の押圧シリンダ２３のピストンロッド２３ａを下動させてマスク本体１４ａを下方に押圧し（図８（ａ）中に示す矢印Ｆ１）、マスク本体１４ａを基板保持ユニット１２に保持された基板２の上面に押し付けて接触させる（図８（ａ）。図６に示すステップＳＴ５）。これにより基板２上の電極２ａとマスク１４のパターン孔１４ｈとが合致し、基板２とマスク１４は十分な密着度で相互に固定された状態となる。なお、このときマスク１４を基板２に押し付けるために４つの押圧シリンダ２３のピストンロッド２３ａを下動させる動作量のデータは、制御装置１８が備える記憶部１８ｂ（図２）に予め記憶されている。
【００３４】
制御装置１８は、基板２をマスク１４に接触させたら、スキージ１７ｂによるスキージングを行って、予めマスク１４上に供給されたペーストＰｔを基板２の電極２ａに転写させる（図６に示すステップＳＴ６）。
【００３５】
このスキージングは、具体的には、スキージユニット１７が備える２つのスキージ１７ｂのうちの一方を下動させ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）、マスク１４の上面に当接させた状態を維持したままベース部１７ａを水平方向（図８（ｂ）中に示す矢印Ｈ）に移動させることによって行う。これによりマスク１４上でスキージ１７ｂが摺動し、マスク１４上のペーストＰｔはスキージ１７ｂによって掻き寄せられてマスク１４のパターン孔１４ｈ内に押し込まれ、各基板２の電極２ａ上に転写される。
【００３６】
このように本実施の形態において、スキージ１７ｂは、マスク本体１４ａのパターン孔１４ｈと基板２の電極２ａとが合致するように基板２の上面が接触されたマスク本体１４ａ上を摺動してマスク本体１４ａ上に供給されたペーストＰｔを基板２に転写させるものとなっている。
【００３７】
制御装置１８は、スキージングを行って基板２の電極２ａにペーストＰｔを転写させたら、マスク１４に当接させていたスキージ１７ｂを上動させたうえで（図９（ａ）中に示す矢印Ｇ２）、４つのマスク押圧ユニット１５の押圧シリンダ２３のピストンロッド２３ａを上動させ（図９（ａ）中に示す矢印Ｆ２）、マスク１４を基板２から離間させることによって、マスク１４から基板２を版離れさせる（図９（ａ）。図６に示すステップＳＴ７）。
【００３８】
制御装置１８は版離れが終了したら、基板保持ユニット移動機構１１を作動させ、基板保持ユニット１２を下降させることによって基板２をマスク１４から更に離間させる（図９（ｂ）中に示す矢印Ｅ２。図６に示すステップＳＴ８）。そして、クランプ部材１２ｅを開かせたうえで基板昇降シリンダ１２ｄを作動させて基板２を下降させ、基板２の両端を一対のコンベア１２ｂ上に降ろす。これにより基板保持ユニット１２による基板２の保持が解除された状態となる（図２参照。図６に示すステップＳＴ９）。
【００３９】
制御装置１８は、基板２の保持を解除したら、コンベア１２ｂを作動させて基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図６に示すステップＳＴ１０）。
【００４０】
制御装置１８は基板２を搬出したら、基板２の投入待ち状態に入り（図６に示すステップＳＴ１１）、一定時間内に基板２が投入されてきた場合にはステップＳＴ１に戻って新たに基板２の搬入を行い、一定時間内に基板２が投入されてこなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００４１】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、マスクホルダ１３が備える一対のマスク載置部材１３ｃの間隔をマスク１４の大きさに応じて変化させることができるようになっており、マスクホルダ１３には、一対のマスク載置部材１３ｃそれぞれの延びる方向（Ｙ軸方向）に移動してマスク１４の大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベース２１及び移動ベース２１に設けられてマスク本体１４ａを上方から押圧して基板２の上面に接触させる押圧部である押圧シリンダ２３から成る複数のマスク押圧ユニット１５が取り付けられた構成となっている。
【００４２】
このように本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、複数のマスク押圧ユニット１５の押圧シリンダ２３によってマスク本体１４ａを上方から押圧して基板２の上面に接触させるようになっており、マスク枠１４ｗとマスク載置部材１３ｃとの間に異物（例えば、図３（ｂ）に示す接着剤ＢＤ）等があってマスク載置部材１３ｃに対してマスク１４が浮き上がった状態となっている場合であってもマスク１４を基板２に確実に接触させることができるので、マスク１４（マスク本体１４ａ）と基板２との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止でき、印刷不良の発生を抑えることができる。
【００４３】
また、マスク押圧ユニット１５は、一対のマスク載置部材１３ｃそれぞれの延びる方向（Ｙ軸方向）に移動してマスク１４の大きさに応じた位置に位置決めされる移動ベース２１に設けられており、マスク１４上の最適の位置（例えば、上述の実施の形態に示したようにマスク本体１４ａの四隅）を押圧シリンダ２３によって押圧して基板２に接触させることができるので、この面からもマスク１４と基板２との間の密着度が不十分な状態となることを防止して印刷不良の発生を抑えることができる。
【００４４】
なお、上述の実施の形態では、各マスク押圧ユニット１５の移動ベース２１は、マスクホルダ１３の各マスク載置部材１３ｃに設けられた構成となっていたが、マスク押圧ユニット１５は必ずしもマスク載置部材１３ｃに設けられている必要はなく、マスクホルダ１３上のいずれかの位置に設けられていればよい。しかし、上述の実施の形態に示したように、各マスク押圧ユニット１５の移動ベース２１が、マスクホルダ１３の各マスク載置部材１３ｃに設けられたガイド（ガイドレール１３ｇ）に沿って移動自在に設けられているのであれば、左右のマスク載置部材１３ｃが左右方向に移動すると、これに伴ってマスク押圧ユニット１５もマスクホルダ１３の左右方向に移動することとなるため、各マスク押圧ユニット１５の水平アーム２２をＸ軸方向に伸縮する構成とする必要がなく、機構を簡単にできるので好ましい。
【００４５】
なお、上述の実施の形態では、マスク押圧ユニット１５の数は各マスク載置部材１３ｃについて２つずつ設けられていたが、これは一例であり、マスク押圧ユニット１５の数は限定されない。また、上述の実施の形態では、各マスク載置部材１３ｃについて、２つのマスク押圧ユニット１５は互いに独立してＹ軸方向に移動するようになっていたが、必ずしも独立して移動するようになっていなくてもよく、２つが一体となって移動するようになっていてもよい。しかし、２つのマスク押圧ユニット１５が独立して移動できるようになっていれば、マスク本体１４ａ上の最適の箇所を押圧し易くなるので好ましい。
【００４６】
また、上述の実施の形態では、各マスク載置部材１３ｃについて、マスク押圧ユニット１５をＹ軸方向に移動させる機構としてモータによって駆動される螺子シャフトが用いられていたが、これは一例であり、ベルト機構やシリンダ等の他の機構を用いてもよい。
【００４７】
上述の実施の形態のスクリーン印刷機１は、マスクホルダ１３（左右一対のＹ軸ビーム１３ａと前後一対のＸ軸ビーム１３ｂ）は基台１０に対して固定され、基板保持ユニット１２を基台１０に対して移動できる構成となっていたことから、マスク１４に対する基板２の位置合わせ時には、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１４ｍとを上下に対向するようにマスク１４に対して基板保持ユニット１２が（すなわち基板２が）移動するようになっていたが、スクリーン印刷機によっては、基板保持ユニット１２が基台１０に対して固定され、マスクホルダ１３（すなわちマスク１４）が基台１０に対して移動する（又は手動によって移動させる）ようになっているマスク移動タイプのものもある。このようなマスク移動タイプのスクリーン印刷機では、マスク１４に対する基板２の位置合わせ時には、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１４ｍとが上下に対向するようにマスクホルダ１３が（マスク１４が）基板２に対して移動することとなるが、このようなマスク移動タイプのスクリーン印刷機であっても、マスク１４の大きさに応じた最適な位置を押圧して基板２に接触させることができるので、上述の実施の形態の場合と同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
マスクと基板との間の密着度が不十分なままスクリーン印刷が行われることを防止して印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機を提供する。
【符号の説明】
【００４９】
１  スクリーン印刷機
２  基板
２ａ  電極
１２  基板保持ユニット（基板保持部）
１３  マスクホルダ
１３ｃ  マスク載置部材
１３ｇ  ガイドレール（ガイド）
１４  マスク
１４ａ  マスク本体
１４ｈ  パターン孔
１４ｗ  マスク枠
１５  マスク押圧ユニット
１７ｂ  スキージ
２１  移動ベース
２３  押圧シリンダ（押圧部）
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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