(57)【要約】【課題】板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、水平面に対して傾斜した傾斜面２１を有し、当該傾斜面２１で板状部材ＷＦを支持する支持手段２と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを繰出対象物として繰り出す繰出手段３と、繰出手段３で繰り出された原反ＲＳの剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段４と、剥離手段４で剥離された接着シートＡＳを板状部材ＷＦに押圧する押圧手段５と、支持手段２と押圧手段５とを傾斜面２１の面内方向に相対移動させて板状部材ＷＦに接着シートＡＳを貼付する移動手段７とを備える。【選択図】図１
2013157517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、
帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、
前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段と、
前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記支持手段は、前記板状部材の外縁に当接して当該板状部材を前記傾斜面の所定位置に位置決めする第１位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、
前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第２位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項７】
水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出し、
繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、
剥離された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項８】
水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、
帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出し、
繰り出された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、
前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付し、
前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、板状部材である半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）の表面に保護シートやマウント用シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープ等の接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハを吸着保持するテーブルと、保持されたウェハに帯状の接着シートを貼付するシート貼付部と、接着シートを切断するカッターユニットとを備え、ウェハに帯状の接着シートが貼付された状態で当該接着シートを切断することにより、所定形状の接着シートをウェハに貼付可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年はウェハの大径化が進み、大きなものでは１８インチサイズ（ウェハ外径が約４５０ｍｍ）のものまで処理対象となっている。特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、重力方向上方から見たときのウェハの支持面やウェハの搬送経路、ウェハのストック領域等の専有面積が大きくなる。このため、従来のシート貼付装置では、ウェハが大きくなるほど、装置の設置面積（装置設置のための水平投影面積）が大きくなるという不都合がある。
また、支持手段が水平に設けられているので、大気中の塵や埃等の不純物がウェハ上に落下しやすくなり、ウェハと接着シートとの間に不純物が混入するリスクが大きくなるという不具合もある。
【０００５】
本発明の目的は、板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のシート貼付装置は、水平面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面で板状部材を支持する支持手段と、帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された接着シートを前記板状部材に押圧する押圧手段と、前記支持手段と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付する移動手段と、前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明のシート貼付装置において、前記支持手段は、前記板状部材の外縁に当接して当該板状部材を前記傾斜面の所定位置に位置決めする第１位置決め手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段による板状部材の支持が解除されたときに当該板状部材を受け止める受止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記繰出手段は、前記繰出対象物の繰出方向に直交する幅方向が前記傾斜面と平行となる状態で当該繰出対象物を繰出可能に設けられ、前記繰出対象物が前記幅方向に蛇行することを防止する蛇行防止手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記支持手段と前記繰出手段とを前記繰出対象物の幅方向に相対移動させて、前記板状部材に対する前記接着シートの位置決めを行う第２位置決め手段を備えていることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰出対象物として繰り出し、繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離し、剥離された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のシート貼付方法は、水平面に対して傾斜した傾斜面で板状部材を支持し、帯状の接着シートを繰出対象物として繰り出し、繰り出された接着シートを押圧手段により前記板状部材に押圧し、前記板状部材と前記押圧手段とを前記傾斜面の面内方向に相対移動させて前記板状部材に前記接着シートを貼付し、前記板状部材に貼付された接着シートを所定形状に切断することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
以上のような本発明によれば、板状部材を水平面に対して傾けた状態で接着シートを貼付することができるので、板状部材のサイズの増加に伴う設置面積の増加を極力抑制することができる。
また、板状部材を水平面に対して傾けた状態で接着シートを貼付するので、大気中の不純物が板状部材上に落下する可能性を低減し、仮に板状部材上に落下したとしても、重力により板状部材上から落ちやすくなるため、不純物が板状部材上に残存することを抑制でき、板状部材と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。
【００１２】
本発明において、第１位置決め手段を設ければ、板状部材を傾斜面に支持させる場合でも、板状部材を当接部に当接させるだけで板状部材を位置決めすることができる。このため、板状部材の位置決めに要する時間を短縮することができるので、単位時間あたりの処理能力を向上させることができる。
また、受止手段を設ければ、万が一板状部材の支持が解除されたとしても、当該板状部材が落下して破損することを防止することができる。
また、蛇行防止手段を設ければ、繰出対象物が自重により繰出方向に直交する方向に蛇行することを防止することができ、板状部材に対する繰出対象物の繰出位置がずれてしまうような不都合を防止することができる。
さらに、第２位置決め手段を設ければ、板状部材に対する接着シートの繰出位置を任意に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置を示す斜視図。
【図２】図１のシート貼付装置の正面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。また、各軸において方向を示す場合、「＋」は各軸の矢印方向、「−」は矢印の反対方向とする。
【００１５】
〔第１実施形態〕
図１において、シート貼付装置１は、板状部材としてのウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付するものである。ここで、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有するとともに、所定サイズの外形に予め切断され、接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬに仮着された繰出対象物としての原反ＲＳとして予め準備されている。
【００１６】
シート貼付装置１は、ウェハＷＦを支持する支持手段２と、原反ＲＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された原反ＲＳの剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段４と、剥離手段４で剥離された接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧する押圧手段５と、ウェハＷＦに対する接着シートＡＳの位置決めを行う第２位置決め手段としてのシート位置決め手段６と、支持手段２と押圧手段５とを相対移動させて接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付する移動手段７と、支持手段２によるウェハＷＦの支持が解除されたときに当該ウェハＷＦを受け止める受止手段８とを備えている。なお、本実施形態では、ウェハＷＦの搬送を行う搬送手段９が、シート貼付装置１に併設されている。
【００１７】
支持手段２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によってウェハＷＦを吸着保持可能な傾斜面としての支持面２１を有するテーブル２２と、テーブル２２内に設けられた駆動機器としての直動モータ２３（図２）と、直動モータ２３に支持されて支持面２１の開口２４から突没可能とされるとともに、支持面２１から突出した状態でウェハＷＦを位置決めする第１位置決め手段としての当接部２５（図２）とを備えている。支持面２１は、Ｘ軸及びＺ軸を含む平面と平行な面とされ、水平面に対して傾斜した状態（傾斜角９０°）で配置されている。
【００１８】
繰出手段３は、原反ＲＳを巻回して支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ３２と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ３３と、駆動ローラ３３との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３４と、図示しない駆動機器によって駆動されて剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３５とを備え、その全体がベースフレーム３０に支持されている。繰出手段３は、原反ＲＳの繰出方向に直交する幅方向が支持面２１と平行となる状態（Ｚ軸方向となる状態）で当該原反ＲＳを繰出可能に構成されている。また、ベースフレーム３０によって蛇行防止手段が構成され、原反ＲＳがその幅方向へ蛇行することを防止するようになっている。
【００１９】
剥離手段４は、ベースフレーム３０によってＺ軸方向に延びた姿勢で支持された剥離板４１を備え、当該剥離板４１の端縁で原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返すことで、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離するように構成されている。
【００２０】
押圧手段５は、Ｚ軸方向に延びた姿勢で配置された押圧ローラ５１を備えている。この押圧ローラ５１は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材によって構成されている。
【００２１】
シート位置決め手段６は、図示しない出力軸がベースフレーム３０に固定された駆動機器としての直動モータ６１を備え、当該直動モータ６１によりベースフレーム３０をＺ軸方向に移動させることで、支持手段２と繰出手段３とを支持面２１の面内方向であって原反ＲＳの幅方向に相対移動可能に構成されている。
【００２２】
移動手段７は、Ｘ軸方向に延設された駆動機器としてのリニアモータ７２を備え、そのスライダ７１がテーブル２２を支持してＸ軸方向に移動可能に構成されている。
【００２３】
受止手段８は、テーブル２２の移動する範囲の下方で、Ｘ軸方向に沿って設けられた断面Ｕ字形状の収容部材８１と、テーブル２２の移動する範囲で支持面２１に平行に配置された２つの傾倒防止板８２とを備えている。収容部材８１におけるウェハＷＦの収容部および傾倒防止板８２におけるテーブル２２側の面には、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性部材で構成された緩衝手段８３，８４が設けられている。また、傾倒防止板８２同士の間には、押圧ローラ５１が接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧することを許容する隙間８２Ａが設けられている。
【００２４】
搬送手段９は、駆動機器としての多関節ロボット９１と、この多関節ロボット９１の先端部に着脱可能に設けられた吸着ツール９２とを備え、図示しない吸引ポンプ等の吸引手段に吸着ツール９２を接続することでウェハＷＦを吸着保持可能に構成されている。多関節ロボット９１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット９１の作業範囲内において吸着ツール９２を何れの位置、何れの角度にでも変位可能に構成されている。
【００２５】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図１に示すようにセットする。また、直動モータ６１を駆動してベースフレーム３０をＺ軸方向に移動させ、ウェハＷＦに対する接着シートＡＳの繰出位置の位置決めを行う。
【００２６】
次に、搬送手段９が多関節ロボット９１を駆動し、吸着ツール９２を介してウェハ収納カセットＣＴからウェハＷＦを取り出し、図１中二転鎖線で示す位置に待機しているテーブル２２の支持面２１にウェハＷＦを当接させる。このとき、搬送手段９は、支持面２１から突出された当接部２５にウェハＷＦの外縁の２点を当接させ、当該ウェハＷＦを支持面２１の所定位置に位置決めする。次いで、支持手段２が図示しない吸着保持手段を駆動し、ウェハＷＦを支持面２１で吸着保持するとともに、直動モータ２３を駆動し、図２に示すように、当接部２５をテーブル２２内に退避させる。
【００２７】
そして、移動手段７がリニアモータ７２を駆動し、テーブル２２を＋Ｘ軸方向に移動させる。ウェハＷＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル２２の移動に同期して繰出手段３が駆動ローラ３３を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板４１で剥離シートＲＬから剥離され、剥離された接着シートＡＳは、押圧ローラ５１によってウェハＷＦに押圧されて貼付される。この際、原反ＲＳは、ベースフレーム３０により−Ｚ軸方向への移動が規制されることで、Ｚ軸方向の蛇行が防止される。
【００２８】
接着シートＡＳの貼付が完了すると、移動手段７がリニアモータ７２の駆動を停止する。その後、搬送手段９が多関節ロボット９１を駆動し、吸着ツール９２でウェハＷＦを吸着保持すると、支持手段２が図示しない吸着保持手段の駆動を停止する。そして、搬送手段９が多関節ロボット９１を駆動し、ウェハＷＦをウェハ収納カセットＣＴに収納する。
その後、移動手段７がリニアモータ７２を駆動し、テーブル２２を−Ｘ軸方向に移動させて、図１中二転鎖線で示す位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２９】
ここで、ウェハＷＦがテーブル２２に支持されているときに、何らかの要因で吸着保持手段での吸着保持が解除されてしまうと、ウェハＷＦが落下して損傷してしまう。本実施形態の場合、万が一吸着保持手段での吸着保持が解除されてしまった場合でも、図２中二転鎖線で示すように、ウェハＷＦは、収容部材８１及び傾倒防止板８２で支持されるのでウェハＷＦが損傷してしまうような不都合は発生しない。まして、収容部材８１の緩衝手段８３および傾倒防止板８２の緩衝手段８４が、ウェハＷＦが落下したときの衝撃を吸収するため、ウェハＷＦの損傷をより確実に抑制することができる。
【００３０】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、支持手段２が水平面に対して傾斜した支持面２１でウェハＷＦを支持し、移動手段７が支持手段２と押圧手段５とを支持面２１の面内方向に相対移動させてウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する。従って、ウェハＷＦのサイズの増加に伴う装置の設置面積の増加を極力抑制することができる。
また、支持面２１が水平面に対して傾斜しているので、大気中の不純物がウェハＷＦ上に落下する可能性を低減し、仮にウェハＷＦ上に落下したとしても、重力によりウェハＷＦ上から落ちやすくなるため、不純物がウェハＷＦ上に残存することを抑制でき、ウェハＷＦと接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。
【００３１】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図３に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ａは、剥離手段を備えていない点と、切断手段１０を備え、帯状の基材シートＢＳ１の一方の面に接着剤層ＡＤ１を有する繰出対象物としての帯状の接着シートＡＳ１をウェハＷＦに貼付した後、当該接着シートＡＳ１を切断する点とが第１実施形態と相違する。また、繰出手段３Ａおよび移動手段７Ａの構成が、第１実施形態と相違する。
【００３２】
繰出手段３Ａは、帯状の接着シートＡＳ１を巻回して支持する支持ローラ３１と、接着シートＡＳ１を案内するガイドローラ３２と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ３３と、駆動ローラ３３との間に接着シートＡＳ１を挟み込むピンチローラ３４と、帯状の接着シートＡＳ１の切断により生じた不要シートＵＳを案内する複数のガイドローラ３６と、図示しない駆動機器によって駆動され、不要シートＵＳを巻き取って回収する回収ローラ３５と、図示しない駆動機器によって駆動される駆動ローラ３７と、駆動ローラ３７との間に接着シートＡＳ１を挟み込むピンチローラ３８とを備えている。この繰出手段３Ａにおいて、支持ローラ３１、ガイドローラ３２、駆動ローラ３３、およびピンチローラ３４は、ベースフレーム３０に支持されている。一方、ガイドローラ３６および回収ローラ３５は、蛇行防止手段ともなり得る回収側フレーム３９に支持されている。
【００３３】
移動手段７Ａは、Ｘ軸方向に延設され、押圧ローラ５１を支持した第１スライダ７３を駆動する駆動機器としてのリニアモータ７４と、リニアモータ７４をＹ軸方向に移動可能に支持する図示しない駆動機器とを備え、支持手段２に対して押圧手段５をＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動可能に構成されている。なお、繰出手段３Ａの駆動ローラ３７およびピンチローラ３８は、リニアモータ７４の第２スライダ７５に支持され、支持手段２に対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動可能に構成されている。
【００３４】
切断手段１０は、搬送手段９と兼用される多関節ロボット９１と、この多関節ロボット９１に着脱可能に設けられ、カッター刃９３を有するカッターツール９４とを備え、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳ１をウェハＷＦの外縁に沿って切断可能に構成されている。
【００３５】
以下、シート貼付装置１Ａの動作を説明する。
先ず、接着シートＡＳ１を図３に示すようにセットする。このとき、押圧ローラ５１、駆動ローラ３７、およびピンチローラ３８は、駆動ローラ３３の近傍に位置して不要シートＵＳと支持面２１との間に隙間が形成されている。そして、第１実施形態と同様に搬送手段９がウェハＷＦを搬送し、当該ウェハＷＦが支持面２１に吸着保持されると、繰出手段３Ａが駆動ローラ３７の回転を停止した状態でリニアモータ７４を駆動し、駆動ローラ３７およびピンチローラ３８を＋Ｘ軸方向に移動させる。このとき、不要シートＵＳは、回収ローラ３５の駆動によって巻き取られる。これにより、接着シートＡＳ１の未使用部分がウェハＷＦの＋Ｙ軸方向で対向した状態となるように繰り出される。このときも、接着シートＡＳ１と支持面２１との間に若干の隙間が形成されている。
【００３６】
次に、移動手段７Ａが図示しない駆動機器を駆動し、押圧ローラ５１を−Ｙ軸方向に移動させ、図３中二点差線で示すように、押圧ローラ５１で接着シートＡＳ１を支持面２１に押圧する。次いで、移動手段７Ａがリニアモータ７４を駆動し、押圧ローラ５１を＋Ｘ軸方向に移動させることで、ウェハＷＦに接着シートＡＳ１を貼付する。この間に、切断手段１０が多関節ロボット９１を駆動し、吸着ツール９２からカッター刃９３にツール交換を行わせる。次いで、切断手段１０が多関節ロボット９１を駆動し、カッター刃９３を接着シートＡＳ１に突き刺すとともに、ウェハＷＦの外縁に沿ってカッター刃９３を移動させることで、接着シートＡＳ１をその外縁に沿って切断する。
【００３７】
接着シートＡＳ１の貼付および切断が完了したら、切断手段１０が多関節ロボット９１を駆動し、カッター刃９３から吸着ツール９２に再びツール交換を行わせる。次いで、第１実施形態と同様に、搬送手段９がウェハＷＦをウェハ収納カセットＣＴに収納する。その後、移動手段７Ａがリニアモータ７４を駆動し、押圧ローラ５１、駆動ローラ３７、およびピンチローラ３８を−Ｘ軸方向に移動させた後、図示しない駆動手段を駆動してリニアモータ７４を＋Ｙ軸方向に移動させる。これにより、支持面２１上に貼付された不要シートＵＳを剥離して、不要シートＵＳと支持面２１との間に隙間を形成する。そして、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００３８】
以上のような本実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３９】
なお、シート貼付装置１Ａにおいて、テーブル２２は、円筒状の開口を有する外側テーブルと、外側テーブルの開口内に配置され、ウェハＷＦを吸着保持する円盤状の外形を有した内側テーブルとを備え、外側テーブルに固定された駆動機器としての直動モータにより、内側テーブルをＹ軸方向に移動可能に支持させてもよい。当該構成によれば、直動モータの駆動により外側テーブルの支持面に対して内側テーブルの支持面をＹ軸方向に相対移動させることができるため、ウェハＷＦの外縁部分へ接着シートＡＳ１を回り込ませた状態で貼付したり、ウェハＷＦのシート貼付面と外側テーブルのシート貼付面とを同レベルとし、押圧ローラ５１による単位面積あたりの押圧力を略等しくして接着シートＡＳ１をウェハＷＦに貼付したりすることができる。また、外側テーブルと内側テーブルとの間にカッター刃９３が入り込む隙間を形成することもできる。
【００４０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００４１】
例えば、前記実施形態では、支持面２１の傾斜角を９０°としたものを例示したが、支持面２１は、水平面に対して傾斜して配置されていればよく、例えば、傾斜角が９０°よりも小さくなるように（支持面２１が重力方向上方から見える向きとなるように）設定したり、９０°よりも大きくなるように（支持面２１が重力方向上方から見えない向きとなるように）設定してりしてもよいが、装置の設置面積の増加を抑制する観点から、傾斜角は、水平面に対して４５°〜１３５°であることが好ましい。
【００４２】
また、支持手段２がリングフレームとウェハＷＦとを支持できるように構成し、シート貼付装置１，１Ａを、ウェハＷＦおよびリングフレームにマウント用シートを貼付するマウント装置として構成してもよい。
【００４３】
さらに、当接部２５は、常に支持面２１から突出した状態（突没不能）にしてもよい。
【００４４】
また、シート位置決め手段６は、繰出手段３を停止させた状態で支持手段２を移動させてもよいし、支持手段２と繰出手段３との両方を移動させてもよい。
さらに、移動手段７は、支持手段２と押圧手段５との両方を移動させてもよい。
【００４５】
また、受止手段８は、収容部材８１と傾倒防止板８２とを連続させた１つの部材として構成してもよいし、受止手段８を設けなくてもよい。
さらに、押圧手段５は、押圧ローラ５１に替えて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、剥離手段４は、剥離板４１に替えてローラを採用してもよい。
さらに、第２実施形態において、帯状の接着シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着されたものを繰出対象物とし、ピンチローラ３４の近傍に、繰出手段３Ａで繰り出された帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離する剥離手段を設けたり、駆動ローラ３３に帯状の剥離シートを掛け回し、当該帯状の剥離シートから帯状の接着シートを剥離するような構成としてもよい。
【００４６】
さらに、板状部材は、ウェハＷＦ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材などや、板状部材以外のものも対象とすることができる。そして、ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳ，ＡＳ１は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。
【００４７】
また、接着シートＡＳ，ＡＳ１の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよいし、基材シートＢＳを有さない接着剤層ＡＤ単体のものでもよい。
さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４８】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４９】
１，１Ａ    シート貼付装置
２          支持手段
３，３Ａ    繰出手段
４          剥離手段
５          押圧手段
６          シート位置決め手段（第２位置決め手段）
７，７Ａ    移動手段
８          受止手段
１０        切断手段
２１        支持面（傾斜面）
２５        当接部（第１位置決め手段）
３０        ベースフレーム（蛇行防止手段）
３９        回収側フレーム（蛇行防止手段）
ＡＳ        接着シート
ＡＳ１      接着シート（繰出対象物）
ＲＬ        剥離シート
ＲＳ        原反（繰出対象物）
ＷＦ        ウェハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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