(57)【要約】      （修正有）【課題】裏面電極型太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールの製造において、裏面電極型太陽電池セルのダメージが少なく、封止プロセス性に優れるモジュール製造方法を提供する。【解決手段】基板フィルム２０１、パターン化接着層３０１、配線形成層３０２がこの順で配置された配線前駆体シート３００を用いた裏面電極型太陽電池モジュールの製造方法。配線形成層３０２には、金属箔からなる配線形成領域３０４と配線非形成領域３０５、および、少なくとも両領域３０４，３０５の境界に金属箔の不連続部または金属箔の存在しない境界領域を有する。パターン化接着層３０１は、接着剤の存在する接着剤存在領域３０６と接着剤の存在しない接着剤非存在領域３０７とからなり、配線形成領域３０４の対応領域は接着剤存在領域３０６の面積の割合が２０％以下であり、配線非形成領域３０５の対応領域は接着剤存在領域３０６の面積の割合が８０〜１００％である。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板フィルム、パターン化接着層、配線形成層がこの順で配置された配線前駆体シートであって、前記配線形成層には、金属箔からなる配線形成領域、金属箔からなる配線非形成領域、および、少なくとも前記両領域の境界に金属箔の不連続部または金属箔の存在しない境界領域が形成され、前記パターン化接着層は接着剤の存在する接着剤存在領域と接着剤の存在しない接着剤非存在領域とからなり、前記配線形成領域を前記パターン化接着層に投影した対応領域は接着剤存在領域の面積の割合が２０％以下であり、配線非形成領域を前記パターン化接着層に投影した対応領域は接着剤存在領域の面積の割合が８０〜１００％であることを特徴とする配線前駆体シート。
【請求項２】
配線形成領域を前記パターン化接着層に投影した対応領域において配線形成層の配線形成領域の金属箔の端部から０．５ｍｍ以内の範囲に接着剤が存在する請求項１記載の配線前駆体シート。
【請求項３】
前記基板フィルムがＰＥＴフィルムである請求項１または２に記載の配線前駆体シート。
【請求項４】
前記金属箔が銅箔である請求項１〜３のいずれかに記載の配線前駆体シート。
【請求項５】
請求項１の配線前駆体シートの配線形成領域と裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続し、前記配線前駆体シートの配線形成層の配線形成領域以外を剥離した後、表面保護部材と、封止材シートと、裏面保護部材とを積層し、加熱ラミネートを行うことを特徴とする裏面電極型太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は配線前駆体シート、および裏面電極型太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、資源の有効利用やＣＯ２排出量削減の観点から、太陽光を直接電気エネルギーに変換する太陽電池が注目され、技術開発が進められている。通常の太陽電池セルでは、シリコン基板の受光面側に、シリコン基板とは反対の導電型の不純物を拡散することによりｐｎ接合を形成し、シリコン基板の受光面および裏面に電極を形成する両面電極構造となっている。
【０００３】
しかし、図１に示すような両面電極型の太陽電池セルを用いた場合には受光面の電極部分が発電に寄与しないため、高発電効率化を目的に近年ではシリコン基板の裏面に図２（Ｂ）に示すようなｐ型用電極とｎ型用電極の双方を形成した、いわゆる裏面電極型太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールの開発が進められている（たとえば、特許文献１〜３）。
【０００４】
特許文献１では、隣接する裏面電極型太陽電池セルの端部同士を図３に示す相互接続部１００により接続し、複数のセルをマトリクス的に配列したセルマトリクスを形成する。ガラスおよび封止材シート上にセルマトリクスを吸着パッドなどの手段により搬送し、更に封止材シート、裏面保護部材を積層し、真空・加熱条件下でラミネートを行い、太陽電池モジュールとする方法が記されている。
【０００５】
特許文献２には、裏面電極型太陽電池セルを図５に示す配線シートに接着し、配線シート付き太陽電池セルをガラスや封止材シート、裏面保護部材と積層する方法が記されている。
【０００６】
特許文献３には、裏面電極型太陽電池セルを配線シートに接着し、ガラス、封止材シート、バックシートと積層する直前に配線シートから基板フィルムを剥離する方法が記されている。
【０００７】
現在、コストダウンのため裏面電極型太陽電池セルの薄型化が進行しているが、特許文献１の製造方法では、セルマトリクスの搬送時にセルクラックが発生し、モジュールの発電効率の低下や工程収率が低下する問題が生じることが懸念される。
【０００８】
特許文献２では、裏面電極型太陽電池セルが配線シートに接続されるため、搬送時の裏面電極型太陽電池セルのダメージを低減できるものの、裏面電極型太陽電池セルの裏面と配線シートの間の空隙を封止することが難しいという問題がある。
【０００９】
特許文献３では、積層前に基板フィルムを剥離することでセル裏面に樹脂を充填する工程が不要となり工程削減が可能となるが、配線パターンと基板フィルム間の剥離力を熱、光エネルギーで制御しているため面内の接着強度ムラが生じやすく、基板フィルム剥離時のセルクラックが起こりやすいという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特表２００８−５０２１４９号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４５３９９号公報
【特許文献３】特開２０１１−１０８９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記のような従来技術の問題点に鑑み、本発明では裏面電極型太陽電池セルの封止プロセス性に優れ、クラックの少ない裏面電極型太陽電池モジュールの製造に用いられる配線前駆体シート、および該配線前駆体シートを用いた裏面電極型太陽電池モジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を行い、以下の構成を採ることにより、上記課題を解決できることを見出した。すなわち、本発明の配線前駆体シートは、基板フィルム、パターン化接着層、配線形成層がこの順で配置された配線前駆体シートであって、前記配線形成層には、金属箔からなる配線形成領域、金属箔からなる配線非形成領域、および、少なくとも前記両領域の境界に金属箔の不連続部または金属箔の存在しない境界領域が形成され、前記パターン化接着層は接着剤の存在する接着剤存在領域と接着剤の存在しない接着剤非存在領域とからなり、前記配線形成領域を前記パターン化接着層に投影した対応領域は接着剤存在領域の面積の割合が２０％以下であり、配線非形成領域を前記パターン化接着層に投影した対応領域は接着剤存在領域の面積の割合が８０〜１００％であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、裏面電極型太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールの製造において、裏面電極型太陽電池セルのダメージを低減し発電効率や工程収率を向上させ、かつ裏面電極型太陽電池セルの封止プロセス性の向上により製造コスト低減やモジュールの信頼性向上に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来の両面電極型太陽電池セルの受光面側の模式図である。
【図２】本発明に用いられる裏面電極型太陽電池セルの模式図である。
【図３】従来の裏面電極型太陽電池セルの接続に用いられる相互接続部の一例である。
【図４】図３の相互接続部を用いて製造される裏面電極型太陽電池モジュールの断面の一例である。
【図５】従来の裏面電極型太陽電池モジュールに使用される配線シートの模式図である。
【図６】図５の配線シートを用いて製造される従来の裏面電極型太陽電池モジュールの断面の模式図である。
【図７】本発明の配線前駆体シートを製造するための積層シートの模式図である。
【図８】本発明に用いる配線前駆体シートの模式図である。
【図９】配線前駆体シート付きセルの断面の模式図である。
【図１０】配線前駆体シート付きセルの積層工程を示す模式図である。
【図１１】配線前駆体シートから剥離したセルマトリクスの断面の模式図である。
【図１２】モジュール積層工程を示す模式図である。
【図１３】本発明の配線前駆体シートを用いて製造される裏面電極型太陽電池モジュールの断面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の配線前駆体シート、および裏面電極型太陽電池モジュールの製造方法について、図を参照しながら説明する。
【００１６】
図２は、本発明に用いる裏面電極型太陽電池セル２０の模式図である。  
【００１７】
図２（Ｃ）に断面を示すように、裏面電極型太陽電池セル２０の基板には、ｎ型またはｐ型の半導体基板であるシリコン基板２１が用いられ、裏面電極型太陽電池セル２０の受光面側には、反射防止膜２２が形成されており、裏面側にはパッシベーション膜２７が形成されている。また、シリコン基板２１のパッシベーション膜２７の内側に、ホウ素などのｐ型不純物が拡散されたｐ型不純物拡散領域２３と、リンなどのｎ型不純物が拡散されたｎ型不純物拡散領域２４とが形成されている。ｐ型不純物拡散領域２３とｎ型不純物拡散領域２４とは、互いに所定の間隔を空けて交互に形成されている。そして、パッシベーション膜２７に設けられたコンタクトホールを通してｐ型不純物拡散領域２３に接続されたｐ型用電極２５、および、パッシベーション膜２７に設けられたコンタクトホールを通してｎ型不純物拡散領域２４に接続されたｎ型用電極２６が、パッシベーション膜２７の外側（シリコン基板２１の裏面側）に突き出すように形成されている。
【００１８】
図２（Ｂ）に裏面を示すように、ｐ型用電極２５とｎ型用電極２６は櫛形の形状をしており、ｐ型用電極２５の櫛歯に対応する部分とｎ型用電極２６の櫛歯に対応する部分とが交互に噛み合うように配置されている。ｐ型用電極２５の基台に対応する部分２５ａとｎ型用電極２６の基台に対応する部分２６ａは、それぞれ裏面電極型太陽電池セルの相対する辺に位置する。
【００１９】
図７は、本発明に用いる配線前駆体シートを製造するための積層シート２０８の模式図である。積層シート２０８は、基板フィルム２０１に接着剤２０５をパターン塗布したパターン化接着層３０１を有し、その上に金属箔２０６を積層した構成である。  
【００２０】
基板フィルム２０１は材質としてポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリビニルフルオライド、ポリイミド樹脂などを用いることができる。基板フィルム２０１は裏面電極型太陽電池セルの搬送時の作業性を向上するため適度な剛性があることが好ましく、ＰＥＴやＰＥＮであることが好ましい。
【００２１】
基板フィルム２０１の厚みは、コストと配線前駆体シート３００のハンドリング性のバランスから２０〜５００μｍが好ましく、より好ましくは２５〜２００μｍであり、更に好ましくは５０〜１００μｍである。また単層構造であってもよく、２層以上からなる複層構造であっても良い。
【００２２】
接着剤２０５は、例えばポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸のエチル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホモポリマー、或いは、これらとメタクリル酸メチル、アクリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなるポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレート系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アクリル酸、メタクリル酸等のモノマーとの共重合体等からなるエチレン共重合体系接着剤、セルロース系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からなるアミノ樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着剤、エポキシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）アクリル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム等からなるゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、アルカリ金属シリケート、低融点ガラス等からなる無機系接着剤等が挙げられる。
後述の金属箔２０６にパターン加工を施して配線前駆体シート３００を形成する工程で、金属箔２０６と基板フィルム２０１とが剥離しない接着力が必要であるため、接着剤２０５の厚みは１〜３０μｍが好ましく、より好ましくは５〜２０μｍである。
【００２３】
接着剤２０５を基板フィルム２０１上にパターン塗布する方法としては、フレキソ印刷、グラビア印刷、グラビアオフセット印刷、オフセット印刷、スクリーン印刷、ロータリースクリーン印刷などが挙げられる。なお、接着剤２０５は金属箔２０６に塗布してもよい。
【００２４】
パターン化接着層３０１を介して基板フィルム２０１と金属箔２０６とを貼り合わせる方法としてはドライラミネート方式などが挙げられるが、特に限定されるものではない。
【００２５】
金属箔２０６は導電性の材質であれば特に限定無く用いることができ、例えば、銅箔、アルミニウム箔、銀箔などを用いることが出来るが、中でも銅箔が好ましい。また金属箔２０６は十分な導電性を有し、かつ配線としての機械的強度が必要であるため、厚みは１０〜１００μｍが好ましく、より好ましくは２０〜５０μｍである。
【００２６】
続いて、積層シート２０８の金属箔２０６をパターン加工して図８に示す配線前駆体シート３００を形成する。パターン加工方法には、打ち抜き刃によるハーフカット処理、レーザー処理などがあり、特に限定されるものではない。
【００２７】
図８（Ｂ）（Ｃ）に示す通り、配線前駆体シート３００は、基板フィルム２０１、パターン化接着層３０１、配線形成層３０２がこの順で配置される。配線形成層３０２には、金属箔からなる配線形成領域３０４と配線非形成領域３０５、および、少なくとも前記両領域の境界に金属箔の不連続部または金属箔の存在しない境界領域３０３が形成される。配線形成領域３０４は、ｐ型配線２０２、ｎ型配線２０３、ｐ型配線２０２とｎ型配線２０３を結ぶ連結配線２０４とから構成される。（図９〜図１３では作図の都合上、連結配線２０４は省略している）  なお、配線非形成領域３０５は、裏面電極型太陽電池モジュールの製造工程において取り除かれ、モジュール中に残らない金属箔のことである。金属箔の不連続部または金属箔の存在しない境界領域３０３は、前記配線形成層３０２において、前記配線形成領域３０４と前記配線非形成領域３０５とを隔てるために配される部分または領域である。
【００２８】
パターン化接着層３０１は、接着剤２０５の存在する接着剤存在領域３０６と接着剤の存在しない接着剤非存在領域３０７とからなる。配線形成領域の対応領域３０８（配線形成領域３０４を構成するｐ型配線２０２、ｎ型配線２０３、連結配線２０４をパターン化接着層３０１や基板フィルム２０１上へ投影した領域）では、接着剤存在領域３０６の面積の割合が２０％以下であることが望ましい。接着剤存在領域３０６の面積の割合が２０％を超えると、配線形成領域３０４と基板フィルム２０１の接着強度が高くなり、配線形成領域３０４を基板フィルム２０１から剥離する工程で剥離不良が起こり、セルクラックが発生し好ましくない。一方、配線非形成領域の対応領域３０９（配線非形成領域３０５をパターン化接着層３０１や基板フィルム２０１上へ投影した領域）では、接着剤存在領域３０６の面積の割合が８０〜１００％であることが望ましい。接着剤存在領域３０６の面積の割合が８０％未満である場合、配線非形成領域３０５と基板フィルム２０１との接着強度が低くなり、金属箔２０６をパターン加工する工程で配線非形成領域３０５が部分的に剥離し、工程通過性が悪化する。
【００２９】
配線形成領域の対応領域３０８において、配線形成領域３０４（ｐ型配線２０２、ｎ型配線２０３、連結配線２０４）の金属箔の端部から０．５ｍｍ以内の範囲に接着剤が存在することが好ましい。金属箔の端部から０．５ｍｍを超えて離れた範囲内に接着剤存在領域３０６が存在すると、配線形成領域３０４と基板フィルム２０１の接着強度が高くなり、配線形成領域３０４を基板フィルム２０１から剥離する工程で剥離不良が起こり、セルクラックが発生する場合がある。
【００３０】
かかる配線前駆体シートを用いて裏面電極型太陽電池モジュールを製造する方法は、配線前駆体シートの配線形成領域と裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続し、前記配線前駆体シートの配線形成層の配線形成領域以外を剥離した後、表面保護部材、封止材シート、裏面保護部材と加熱ラミネートを行うものであり、具体的な手順としては、以下の通りである。
【００３１】
配線前駆体シートの配線形成領域と裏面電極型太陽電池セルとを電気的に接続するにはまず、導電性を有する接着手段２０７を裏面電極型太陽電池セル２０のｐ型用電極２５、ｎ型用電極２６、および／または、配線前駆体シート３００のｐ型配線２０２、ｎ型配線２０３、連結配線２０４の表面に配する。導電性を有する接着手段２０７として、はんだや導電性接着剤などが挙げられ特に限定されないが、基板フィルム２０１の耐熱性に合わせて選択すればよい。基板フィルム選択の自由度の観点から、接着温度が１００〜２５０℃であることが好ましく、１４０〜１６０℃であることがより好ましい。接着手段２０７をｐ型用電極２５、ｎ型用電極２６、または、配線前駆体シート３００のｐ型配線２０２、ｎ型配線２０３、連結配線２０４の表面に配する方法としては、配線パターン上に適切に配置することができる方法であれば、既存のいかなる方法を適用しても良い。たとえば、スクリーン印刷などが挙げられる。次に、図９に示す通り、裏面電極型太陽電池セル２０のｐ型用電極２５と配線前駆体シート３００のｐ型配線２０２を対向させ、また、ｎ型用電極２６をｎ型配線２０３に対向させ、その接点部にある導電性を有する接着手段２０７を加熱などの手段により電気的に接続し、配線前駆体シート付きセル３０を形成する。導電性を有する接着手段２０７の加熱方法は熱風吹きつけや誘導加熱などの手段が使用できるが、特に限定されるものではない。
【００３２】
次に配線前駆体シート付きセル３０を上下反転させた後、ガラス１５０、受光面側封止材シート１５３の上に搬送し、図１０に示す通りに積層する。このように裏面電極型太陽電池セル２０は配線前駆体シート３００に支持された状態で搬送されるため、裏面電極型太陽電池セルに対するダメージを低減することができる。
【００３３】
その後配線前駆体シート３００の配線形成領域３０４を、基板フィルム２０１から剥離し、図１１に示すようなセルマトリクス４０が得られる。本発明の配線前駆体シートは配線形成領域３０４と基板フィルム２０１との接着強度が低く、面内でムラがないことから、容易に剥離することが出来る。
【００３４】
図１２に示す通り、セルマトリクス４０の上に裏面側封止材シート１５４、裏面保護部材１５２を積層し、真空・加熱条件下でラミネートを行い、太陽電池モジュールとする。この時、セルマトリクス４０は基板フィルム２０１が剥離された状態であるため、裏面側封止材シート１５４の樹脂が裏面電極型太陽電池セル２０のｐ型用電極２５やｎ型用電極２６の隙間にまで容易に回り込むことができる。
【００３５】
このように本発明のプロセスでは、セルマトリクス４０の状態での搬送がないため裏面電極型太陽電池セルのダメージを低減でき、また、モジュールのラミネート前に基板フィルム２０１と配線形成領域３０４を容易に剥離することができ、封止プロセス性良好である。
【実施例】
【００３６】
（実施例１）
パターン化接着層の配線形成領域の対応領域の面積の１５％、配線形成領域の金属箔の端部から０．２５ｍｍ以内、配線非形成領域の対応領域の面積の９０％の領域に印刷が可能なシルクスクリーン版を作製した。  
【００３７】
基板フィルムとして７５μｍのＰＥＴフィルム（東レ(株)製  ルミラーＵ３４）を用い、該ＰＥＴフィルムの上に、ドライラミネート用２液型接着剤（東洋モートン（株）製  主剤ＡＤ−７６Ｐ１／硬化剤ＣＡＴ−１０Ｌを主剤１０量部に対し硬化剤１重量部の割合で混合した）を上記シルクスクリーン版を使用したスクリーン印刷によって塗布し、厚み２０μｍのパターン化接着層を形成した。次いでパターン化接着層の上に、厚み３５μｍの圧延銅箔（古河サーキットフォイル（株）製  ＢＷ−Ｓ）を積層し加圧、加熱後１週間室温下でエージングを行い、銅箔ラミネートフィルムを得た。この銅箔ラミネートフィルムにハーフカット処理を施し、銅箔のみを切断することで裏面電極型太陽電池セルのｐ型用電極およびｎ型用電極の形状に対応する配線パターンを形成し、１ｍ×１ｍサイズの配線前駆体シートを得た。  
【００３８】
５インチ（１２７ｍｍ）サイズの裏面電極型太陽電池セルのｐ型用電極およびｎ型用電極上にフラックスおよびはんだペースト（リフロー温度１５０℃）をスクリーン印刷により塗布した後、配線前駆体シート上の所定の位置に合計３６枚（６列×６行）の裏面電極型太陽電池セルを配置し、裏面電極型太陽電池セルの側から１８０℃の熱風を６０秒間吹きつけて裏面電極型太陽電池セルのｐ型、ｎ型用電極と配線前駆体シートのｐ型、ｎ型配線を電気的に接続し、配線前駆体シート付きセルを作製した。配線前駆体シート付きセルを上下反転させた後、ガラスおよびＥＶＡ封止材シート上に積層し、配線形成領域を除く配線前駆体シートを剥離させて除去した後、ＥＶＡ封止材シートおよび裏面保護部材としての透明ＰＥＴフィルムをさらにこの順で積層後、真空ラミネーターを使用し、１５０℃の加熱炉中で０．１ＭＰaの圧力が付加されるように真空ラミネート処理を１０分間行うことにより、裏面電極型太陽電池モジュールを作製した。  
【００３９】
目視およびＥＬ検査装置を用いてモジュール中の裏面電極型太陽電池セルを確認したが、セルクラックは認められなかった。また、モジュール裏側から裏面電極型太陽電池セルの裏面の封止状況を確認したが、気泡は認められず、裏面電極型太陽電池セルが良好に封止されていることを確認した。
【００４０】
（比較例１）
パターン化接着層の配線形成領域の対応領域の面積の３０％、配線形成領域の金属箔の端部から０．２５ｍｍ以内、配線非形成領域の対応領域の面積の９０％の領域に印刷が可能なシルクスクリーン版を作製し、スクリーン印刷によって接着剤を塗布した以外は実施例１記載の方法で行ったが、配線形成領域と基板フィルムとの接着強度が高く、基板フィルムと配線形成領域を剥離する工程でセルクラックが発生した。
【００４１】
（比較例２）
パターン化接着層の配線形成領域の対応領域の面積の１５％、配線形成領域の金属箔の端部から０．２５ｍｍ以内、配線非形成領域の対応領域の面積の７０％の領域に印刷が可能なシルクスクリーン版を作製し、スクリーン印刷によって接着剤を塗布した以外は実施例１記載の方法で行ったが、配線非形成領域と基板フィルムとの接着強度が低く、金属箔のパターン加工工程で配線非形成領域と基板フィルムが部分的に剥離してしまった。
【００４２】
（比較例３）
パターン化接着層の配線形成領域の対応領域の面積の１５％、配線形成領域の金属箔の端部から０．７５ｍｍ以内、配線非形成領域の対応領域の面積の９０％の領域に印刷が可能なシルクスクリーン版を作製し、スクリーン印刷によって接着剤を塗布した以外は実施例１記載の方法で行ったが、配線形成領域と基板フィルムとの接着強度が高く、基板フィルムと配線形成領域を剥離する工程で剥離が不可能であった。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
裏面電極型太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールの製造方法および配線前駆体シートに関する。
【符号の説明】
【００４４】
１０    両面電極型太陽電池セル
１１    バスバー電極
１２    フィンガー電極
２０    裏面電極型太陽電池セル
２１    シリコン基板
２２    反射防止膜
２３    ｐ型不純物拡散領域
２４    ｎ型不純物拡散領域
２５    ｐ型用電極
２５ａ  ｐ型用電極の基台に対応する部分
２６    ｎ型用電極
２６ａ  ｎ型用電極の基台に対応する部分
２７    パッシベーション膜
３０    配線前駆体シート付きセル
４０    セルマトリクス
１００    相互接続部
１０１    スリット
１５０    ガラス
１５１    封止材
１５２    裏面保護部材
１５３    受光面側封止材シート
１５４    裏面側封止材シート
２００    配線シート
２０１    基板フィルム
２０２    ｐ型配線
２０３    ｎ型配線
２０４    連結配線
２０５    接着剤
２０６    金属箔
２０７    導電性を有する接着手段
２０８    積層シート
３００    配線前駆体シート
３０１    パターン化接着層
３０２    配線形成層
３０３    境界領域
３０４    配線形成領域
３０５    配線非形成領域
３０６    接着剤存在領域
３０７    接着剤非存在領域
３０８    配線形成領域の対応領域
３０９    配線非形成領域の対応領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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