(57)【要約】  【課題】磁気ヘッドのローバーに形成された個々の磁気ヘッド素子が形成する磁場の二次元分布を外部環境の影響を受けることなく測定することを可能にする。  【解決手段】  磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査装置において、トレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部とを外部からの振動を遮断する除振テーブル部に搭載し、トレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部と除振テーブル部とを防音部で覆って外部の騒音を遮断する構成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査装置であって、
検査前のローバーと検査後のローバーとを分離して収納するトレイ部と、
検査位置と試料受渡位置との間を移動可能なステージ部と、
前記トレイ部から検査前のローバーを取出して前記試料受渡位置で待機している前記ステージ部に受け渡す試料受渡部と、
前記試料受渡位置で前記検査前のローバーを受け取った前記ステージが前記検査位置に移動した状態で前記ローバーに形成された磁気ヘッドに交流電流を印加することにより発生する磁場を計測する磁場計測部と、
該磁場計測部で計測して得たデータに基づいて前記磁気ヘッドに形成されたライトトラックの実効トラック幅の良否を判定する実効トラック幅計測部と、
前記トレイ部と前記ステージ部と前記試料受渡部と前記磁場計測部と前記実効トラック幅計測部とを搭載した外部からの振動を遮断する除振テーブル部と、
前記トレイ部と前記ステージ部と前記試料受渡部と前記磁場計測部と前記実効トラック幅計測部と前記除振テーブル部とを覆って外部の騒音を遮断する防音部と
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド素子検査装置。
【請求項２】
前記ステージ部はリニアモータを備え、前記ステージ部の検査位置と試料受渡位置との間の移動をガイドするガイドレール部を更に備え、前記ステージ部は前記リニアモータに駆動されて前記検査位置と試料受渡位置との間を前記ガイドレールに沿って移動することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド素子検査装置。
【請求項３】
前記試料受渡部は前記ローバーを真空吸着する真空吸着ヘッドを有し、前記トレイに収納されている検査前のローバーを前記真空吸着ヘッドで真空吸着して取出して前記試料受渡位置で待機している前記ステージ部に受け渡すことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド素子検査装置。
【請求項４】
前記試料受渡部は前記ローバーの端部を引っかけるフック部を有し、前記トレイに収納されている検査前のローバーを前記フック部で前記ローバーを引っかけて取出して前記試料受渡位置で待機している前記ステージ部に受け渡すことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド素子検査装置。
【請求項５】
前記磁場計測部は、前記ステージ部に載置されたローバーを観察するための観察ユニットを備え、該観察ユニットで観察した前記ローバーの位置情報に基づいて前記ステージ部で前記ローバーの位置を調整することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド素子検査装置。
【請求項６】
磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライト実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査方法であって、
供給用トレイから検査前のローバーを取出して試料受渡位置で待機しているステージに受渡し、
該検査前のローバーが受け渡された前記ステージを検査位置に移動させ、
該ステージが検査位置に移動した状態で前記ローバーと磁気力顕微鏡のカンチレバーの先端部付近に取付けられた探針とのギャップが所定の量にあるように前記ステージで前記ローバーを上昇させ、
該ローバーを上昇させた状態で該ローバーに形成された多数の磁気ヘッド素子のうちの一つの磁気ヘッド素子に交流電流を印加して該一つの磁気ヘッド素子により磁場を発生させて前記磁気力顕微鏡で該発生させた磁場の状態を計測し、
該計測した磁場の状態に基づいて前記一つの磁気ヘッド素子に形成されたライトトラックの実効トラック幅の良否を判定し、
該ライトトラックの実効トラック幅の良否の判定が終わった前記ローバーを前記ステージで下降させ、
該下降させたローバーを前記ステージで前記検査位置から前記試料受渡位置へ搬送し、
該試料受渡位置へ搬送された前記ローバーを前記ライトトラックの実効トラック幅の良否の判定結果に基づいて良品を収納するトレイ又は不良品を収納するトレイの何れかに収納する
ことを外部の振動を遮断する除振テーブル上で外部の騒音を遮断する防音壁で覆われた環境で実行することを特徴とする磁気ヘッド素子検査方法。
【請求項７】
前記ステージはリニアモータに駆動されて前記検査位置と試料受渡位置との間をガイドレールに沿って移動することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド素子検査方法。
【請求項８】
前記トレイに収納されている検査前のローバーを真空吸着ヘッドで真空吸着して取出して前記試料受渡位置で待機している前記ステージに受け渡すことを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド素子検査方法。
【請求項９】
前記トレイに収納されている検査前のローバーをフック部で前記ローバーを引っかけて取出して前記試料受渡位置で待機している前記ステージに受け渡すことを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド素子検査方法。
【請求項１０】
前記ステージに載置されたローバーを観察ユニットで観察し、該観察した前記ローバーの位置情報に基づいて前記ステージで前記ローバーの位置を調整することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド素子検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド素子を検査する方法及びその装置に係り、特に磁気ヘッド素子製造工程の途中で、基板上に多数形成された磁気ヘッド素子が個々に分離される前のローバーの状態でライトトラックの実効トラック幅を測定するのに適した磁気ヘッド素子検査方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドを非破壊で検査する装置としては、光学顕微鏡を用いる方法、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope: SEM）を用いる方法、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:  AFM)を用いる方法、磁気力顕微鏡（Magnetic Force Microscope: MFM）を用いる方法などがある。
【０００３】
上記した方法にはそれぞれ一長一短があるが、ハードディスクに書き込むために磁気ヘッドが発生する磁場を非破壊で検査できるという点においては、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いる方法が、他の方式の観察手段を用いる方法よりも優れている。
【０００４】
この磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いて磁気ヘッド素子が個々に分離される前のローバーの状態でライトトラックの実効トラック幅を測定することについては、例えば特開２０１０−１７５５３４号公報(特許文献１)に記載されている。即ち、特許文献１には、試料であるローバーの磁気ヘッド回路パターンに電流を印加することにより磁場を発生させ、この発生した磁場にカンチレバーに取付けた磁性探針を近づけてカンチレバーの探針の変位量を検出することをカンチレバーを２次元走査させて行うことにより試料の発生する磁場を２次元測定することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１７５５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１には、探針を持つカンチレバーを２次元走査することによって、磁気ヘッドのローバーに形成された個々の磁気ヘッド素子が形成する磁場の二次元分布を測定することが記載されているが、試料を計測位置に設定して周囲の環境の影響を受けずに高精度に測定するための構成及びその方法については触れられていない。
【０００７】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決して、磁気ヘッドのローバーに形成された個々の磁気ヘッド素子が形成する磁場の二次元分布を測定することを可能にする磁気ヘッド素子検査方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査装置を、検査前のローバーと検査後のローバーとを分離して収納するトレイ部と、検査位置と試料受渡位置との間を移動可能なステージ部と、トレイ部から検査前のローバーを取出して試料受渡位置で待機しているステージ部に受け渡す試料受渡部と、試料受渡位置で検査前のローバーを受け取ったステージが検査位置に移動した状態でローバーに形成された磁気ヘッドに交流電流を印加することにより発生する磁場を計測する磁場計測部と、この磁場計測部で計測して得たデータに基づいて磁気ヘッドに形成されたライトトラックの実効トラック幅の良否を判定する実効トラック幅計測部と、トレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部とを搭載して外部からの振動を遮断する除振テーブル部とトレイ部とステージ部と試料受渡部と磁場計測部と実効トラック幅計測部と除振テーブル部とを覆って外部の騒音を遮断する防音部とを備えて構成した。
【０００９】
また、上記した課題を解決するために、本発明では、磁気ヘッドが多数形成されたローバーの各磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を検査する磁気ヘッド素子検査方法において、供給用トレイから検査前のローバーを取出して試料受渡位置で待機しているステージに受渡し、この検査前のローバーが受け渡されたステージを検査位置に移動させ、ステージが検査位置に移動した状態でローバーと磁気力顕微鏡のカンチレバーの先端部付近に取付けられた探針とのギャップが所定の量になるようにステージでローバーを上昇させ、このローバーを上昇させた状態でローバーに形成された多数の磁気ヘッド素子のうちの一つの磁気ヘッド素子に交流電流を印加してこの一つの磁気ヘッド素子により磁場を発生させてこの発生させた磁場の状態を磁気力顕微鏡で計測し、この計測した磁場の状態に基づいて一つの磁気ヘッド素子に形成されたライト実効トラック幅の良否を判定し、このライトトラックの実効トラック幅の良否の判定が終わったローバーをステージで下降させ、下降させたローバーをステージで検査位置から試料受渡位置へ搬送し、この試料受渡位置へ搬送されたローバーをライトトラックの実効トラック幅の良否の判定結果に基づいて、良品を収納するトレイ又は不良品を収納するトレイの何れかに収納することを外部の騒音を遮断する防音壁で覆われた環境で実行するようにした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、磁気ヘッド素子の磁気特性を、周辺の雑音や振動を遮断した環境でローバーの状態で検査して、不良品を良品から分離して回収できるので、磁気ヘッドの製品歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の全体の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の構成を示す平面図である。
【図３】本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の測定部の概略の構成を示す図２のＡ−Ａ断面矢視図である。
【図４Ａ】本発明で検査の対象とするローバーの斜視図である。
【図４Ｂ】本発明の実施例におけるローバーに形成された磁気ヘッド素子の電極にプローブの先端部分を接触させた状態を示す磁気ヘッド素子の平面図である。
【図５】本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の搬送部の概略の構成を示す図２のＢ−Ｂ断面矢視図である。
【図６】本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の測定部の制御系の概略の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施例における磁気ヘッド素子を検査する処理の流れを示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施形態を、図を用いて説明する。  
図１は、本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の全体の構成を示すブロック図である。磁気ヘッド素子検査装置は、測定部１００、モニター部２００、搬送部３００、及び信号処理・制御部４００を備えている。
【００１３】
測定部１００、モニター部２００と搬送部３００は、防音ボックス６００で覆われており、外部からの音が測定に影響を与えないように遮音する構成になっている。
【００１４】
図２は、本発明の実施例における磁気ヘッド素子検査装置の構成を示す平面図である。
磁気ヘッド素子検査装置は、防音ボックス６００で覆われた除振テーブル５００上に、測定部１００と搬送部３００を配置して構成されている。
【００１５】
搬送部３００は、搬送ロボット３１０と搬送ロボット３１０のＸ方向の移動をガイドするガイドレール３２０、検査前及び検査後のローバーを搭載する供給用トレイ３３１〜３３３を載置するトレイ載置部３３０を備えている。  
Ｈは試料受渡ステーションで、Ｍは試料計測ステーションである。
【００１６】
図３は、図２のＡ−Ａ断面矢視図で、測定部１００の詳細な構成を示す。測定部１００は、ＸＹＺ粗動ステージユニット１１０、ＸＹＺ微動ステージユニット１２０、探針ユニット１３０、プローブユニット１４０、観察ユニット１５０、Ｘ軸ガイドレール１６０を備えている。
【００１７】
ＸＹＺ粗動ステージユニット１１０は、Ｘ粗動ステージ１１１、Ｙ粗動ステージ１１２、Ｚ粗動ステージ１１３を備えている。Ｘ粗動ステージ１１１はリニアモータ１６１で駆動されてＸ軸ガイドレール１６０に沿ってＸ軸方向に移動可能で、試料受渡ステーションＨと試料計測ステーションＭとの間を移動する。
【００１８】
ＸＹＺ微動ステージユニット１２０はＸ微動ステージ１２１、Ｙ微動ステージ１２２、Ｚ微動ステージ１２３を備え、それぞれ図示していないｎｍ（ナノメータ）オーダの分解能をもつ駆動源（例えば、ピエゾ素子）で駆動される。
【００１９】
探針ユニット１３０は、カンチレバー１３１と、探針１３２、加振器１３３、位置検出器１３４、加振器ベース１３５を備え、加振器１３３で振動を加えられたカンチレバー１３１の先端部付近に取付けられた探針１３２の振動によるカンチレバー１３１の振れを、位置検出器１３４で検出する。位置検出器１３４は、カンチレバー１３１に光ビームを照射してその反射光を検出し、その反射光を検出した位置からカンチレバーの傾き角を求め、探針１３２の変位量を求める。探針１３２は磁性材料で形成されており、計測対象の磁場の強さによってカンチレバー１３１の振幅が変化する。即ち、測定部１００は、磁気力顕微鏡（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＭＦＭ）として機能する。
【００２０】
プローブユニット１４０は、プローブガード１４１と、プローブガード１４１に取付けられたプローブ１４２を備えている。一方、ローバー１は、図４Ａに示すように磁気ヘッド素子が多数形成された角棒状の基板であり、図４Ｂに示したように磁気ヘッド素子のローバー１の内部に形成されたプローブ電極１１と１２とにプローブ１４２の先端部分１４２１と１４２２とを接触させた状態で交流電流１４３を印加することにより、書込み回路部１３から磁界が発生する。ローバー１に印加する交流電流の周波数を、カンチレバー１３１の共振周波数とは異なる周波数とすることによって、ローバー１から発生する磁界の分布を高速に測定し、ライト実行トラック幅を測定することができる。
【００２１】
プローブガード１４１は、図示していない構成によりＹ方向に移動可能な構成になっていて、プローブ１４２の先端部分１４２１及び１４２２とプローブ電極１１及び１２とが接触、離れの動作を行うように駆動する。
【００２２】
観察ユニット１５０は、磁気ヘッド素子のローバー１とカンチレバー１３１とを観察する上方観察用カメラ１５１と、磁気ヘッド素子のローバー１とプローブ１４２の先端部分１４２１及び１４２２とが観察できる側方観察用カメラ１５２を備えている。１５３は上方観察用カメラ１５１を支持して除振テーブル５００に固定するカメラ固定部材、１５４は側方観察用カメラを支持して除振テーブル５００に固定するカメラ固定部材である。
【００２３】
ＸＹＺ粗動ステージユニット１１０により、探針１３２の観察位置への粗いアプローチやローバー１測定後の探針１３２の退避、ローバー１の交換時または探針１３２の交換時のＸＹＺ微動ステージユニット１２０の退避を実現できる。
【００２４】
また、ＸＹＺ微動ステージユニット１２０は図示していないピエゾ素子を駆動源として備えており、サブナノメートルの水平分解能及び垂直分解能をもっている。これにより、探針１３２の先端とローバー１の表面の間隔及び探針１３２とローバー１の水平方向の相対的な位置をサブナノメートルのオーダーで変化させることができる。
【００２５】
図５は、図２のＢ−Ｂ断面矢視図である。搬送ロボット３１０は、図５に示すように、ベース３１１、メインフレーム３１２、第１アーム３１３、第２アーム３１４、ワーク吸着ヘッド部３１５、ワーク吸着部３１６、第１関節部３１７、第２関節部３１８及び第３関節部３１９を備えており、検査前及び検査後のローバー１をワーク吸着ヘッド部３１５のワーク吸着部３１６で真空吸着してトレイ載置部３３０のトレイと測定部１００との間を搬送する。
【００２６】
なお、搬送ロボット３１０は、ワーク吸着ヘッド部３１５とワーク吸着部３１６を使用せずに、ローバー１の両端をフック部（図示せず）に引っかけて、持上げたり、あるいは下ろしたりするようにしてもよい。
【００２７】
図６は、測定部１００と信号処理制御部４００に含まれる測定部１００を制御し、検出信号を処理する回路構成の概略を示す。信号処理制御部４００に含まれる測定部１００を制御し、検出信号を処理する回路には、加振器１３３を励振させる発振器４０１、位置検出器１３４から出力された信号を増幅するアンプ４０２、ＸＹＺ微動ステージユニット１２０を制御するＸＹＺ微動ステージ制御器４１１、ＸＹＺ粗動ステージユニット１１０を制御するＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２、プローブ１４２に直流電流を印加する定流電源４２１、プローブ１４２の先端部分１４２１及び１４２２との間の抵抗値を測定する抵抗測定器４２２、プローブガード１４１を上下方向に駆動してプローブ１４２の先端部分１４２１及び１４２２とをローバー１の電極１１及び１２への接触／非接触（ＯＮ／ＯＦＦ）を制御するプローブガード制御部４２３、アンプ４０２に入力させる信号を発信器４０１からの信号と定電流源４２１からの信号との間で切替えるスイッチ４３１、信号処理・画像処理及び全体の制御を行う制御器４４０および表示器４５０を備えている。
【００２８】
アンプ４０２としてロックインアンプを用い、スイッチ４３１を発振器４０１の側に接続し、発振器４０１の発振周波数にロックすることで、カンチレバー１３１の振動に起因する信号成分だけを選択的に取得することができる。
【００２９】
また、スイッチ４３１を定流電源４２１の側に切替えて、ロックインアンプであるアンプ４０２を定流電源４２１の交流電流の周波数にロックすることにより、位置検出器１３４の出力信号からローバー１の磁気ヘッド素子を励磁したことによるカンチレバー１３１の応答を選択的に検出することができる。
【００３０】
このような構成で、トレイ載置部３３０の供給用トレイ３３１に収納されたローバー１を搬送ロボット３１０で取出して測定部１００に搬送し、測定部１００で測定を終えたローバー１を、測定の結果に応じてトレイ載置部３３０の良品収納用トレイ３３２又は不良品収納用トレイ３３３に収納するまでの一連の動作を、図７を用いて説明する。
【００３１】
まず、トレイ載置部３３０の供給用トレイ３３１に収納されたローバー１を、搬送ロボット３１０によりワーク吸着ヘッド３１５のワーク吸着部３１６で真空吸着して取出す。搬送ロボット３１０は、ワーク吸着ヘッド部３１５とワーク吸着部３１６を使用せずに、フック部を使用するときは、このフック部がローバー１の両端を引っかけて取出す（Ｓ７０１）。次に、搬送ロボット３１０はガイドレール３２０に沿って移動してワーク受渡位置Ｈまで移動して試料受渡ステーションＨで待機している測定部１００のＸＹＺ粗動ステージユニット１１０上のＸＹＺ微動ステージユニット１２０上に搭載する(Ｓ７０２)。ＸＹＺ微動ステージユニット１２０上にローバー１が搭載された状態で、ＸＹＺ粗動ステージユニット１１０はＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２で制御されてＸ軸ガイドレール１６０に沿って移動して試料計測ステーションＭへ移動する（Ｓ７０３）。
【００３２】
測定位置Ｍへの移動が完了した状態で、ＸＹＺ微動ステージユニット１２０のＺ微動ステージ１２３はＸＹＺ微動ステージ制御器４１１で制御されて上昇して、ローバー１の上面とカンチレバー１３１の先端部付近に取付けられた探針１３２とのギャップが所定の量になるようにする（Ｓ７０４）。
【００３３】
ローバー１をこのような状態にセットした後、上方観察系１５１でカンチレバー１３１とローバー１とを撮像し、撮像して得た画像を制御器４４０処理して探針１３２とローバー１の表面の観察対象面との位置ずれ量を算出し、ＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２を介してＸＹＺ粗動ステージユニット１１０又はＸＹＺ微動ステージ制御器４１１を介してＸＹＺ微動ステージユニット１２０を制御して探針１３２を観察対象領域へ粗アプローチさせる(Ｓ７０５)。
【００３４】
次に、側方観察系１５２でローバー１の電極が形成されている面(図３又は図６で、ローバー１の左側の面)とプローブ１４２の先端を撮像し、撮像して得た画像を制御器４４０では画像処理してプローブ１４２とローバー１との接近の具合、ローバー１の端面の位置、ローバー１のシリアルナンバー等を検知し、ＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２を介してＸＹＺ粗動ステージユニット１１０又はＸＹＺ微動ステージ制御器４１１を介してＸＹＺ微動ステージユニット１２０を制御してローバー１が所定の測定位置に位置するように補正する（Ｓ７０６）。また、側方観察系１５２で撮像して得た画像を、表示器４５０の画面上に表示してもよい。
【００３５】
つぎに、プローブ１４２の先端部分１４２１と１４２２とをローバー１に形成された素子の電極面１１と１２とに接触させ（Ｓ７０７）、探針１３２を所望の振幅で振動させている状態で、プローブ１４２から電極面１１と１２とを介して書込み回路部１２に交流電流を流して磁界を発生させる（Ｓ７０８）。この状態で、発振器４０１で加振器１３３を励振させてカンチレバー１３１を振動させることにより、カンチレバー１３１の先端部付近に取付けた探針１３２を振動させ、ＸＹＺ微動ステージ制御器４１１でＸ微動ステージ１２１とＹ微動ステージ１２２とを駆動してローバー１をＸ−Ｙ方向に移動させることにより探針１３２で書込み回路部１２の上面の領域を走査する（Ｓ７０９）。
【００３６】
このとき、検査装置全体が防音ボックス６００で覆われているために、外部の騒音によるカンチレバー１３１や探針１３２にノイズが載るのを防止することができる。また、除振テーブル５００により外部の振動を遮断することができるので、カンチレバー１３１や探針１３２にノイズが載るのを防止することができ、より高精度な測定を行うことが可能になる。
【００３７】
この書込み回路部１２に磁界を発生させた状態で振動している探針１３２によるカンチレバー１３１の先端部付近の変位量を位置検出器１３４で検出し、検出信号をアンプ４０２で増幅して制御器４４０に入力し、この入力した信号を処理して磁気ヘッドのライトトラックの実効トラック幅を求め、この求めたライトトラックの実効トラック幅を予め設定しておいた基準幅範囲と比較して合否判定を行う（Ｓ７１０）。すなわち、計測して求めたライトトラックの実効トラック幅が基準幅の範囲内であるならば合格、基準幅の範囲から外れていれば不合格と判定する。この判定の結果は制御器４４０に入力されて記憶される。
【００３８】
検出信号をアンプ４０２へ送った後、カンチレバー１３２に振動を停止させ、プローブ１４２の先端部分１４２１と１４２２とをローバー１に形成された素子の電極面１１と１２とから離し（Ｓ７１１）、Ｚ微動ステージ制御器４１１で制御してローバー１と探針１３２との間に十分なギャップができるまでＺ微動ステージ１２３を下降させる（Ｓ７１２）。
【００３９】
次に、ローバー１に未測定の箇所があるかをチェックし（Ｓ７１３）、未測定の箇所がある場合（ＮＯ）には、ＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２でＸ粗動ステージ１１１を駆動して、又は、ＸＹＺ微動ステージ制御器４１１でＸ微動ステージ１２１を駆動して、ローバー１の次のヘッド素子の電極１１および１２がプローブ１４２の先端部分１４２１と１４２２との位置に来るように１ピッチ分移動し（Ｓ７１４）、Ｓ７０４からＳ７１２までを繰返す。
【００４０】
ローバー１の全てのヘッド素子の測定を終わった後（Ｓ７１３でＹＥＳの場合）、ＸＹＺ粗動ステージ制御器４１２でＸ粗動ステージ１１１を駆動して、測定済みのローバー１を試料計測ステーションＭから試料受渡ステーションＨまで移動させ（Ｓ７１５）、搬送ロボット３１０で測定済みのローバー１をＸＹＺ微動ステージ１２０から搬出し（Ｓ７１６）、測定結果に応じて、良品は良品収納用トレイ３３２に収納し、不良品は不良品収納用トレイ３３３に収納する（Ｓ７１７）。
【００４１】
この一連の動作Ｓ７０１からＳ７１７までを、トレイ載置部３３０の供給用トレイ３３１に収納されたローバー１がなくなるまで繰返して行う（Ｓ７１８）。
【００４２】
測定が終了して良品収納用トレイ３３２に収納された良品と判定されたローバーは、磁気ヘッド製造の次工程に搬送さて処理される。一方、不良品収納用トレイ３３３に収納された不良と判定されたローバー１は、次工程に送られずに廃棄されるか、又は不良原因究明のために不良解析工程に搬送される。
【００４３】
上記に説明した実施例においては、プローブ１４２からローバー１に形成された素子の電極１１と１２とに交流電流を印加して、書込み回路部１３から磁場を発生させた状態で探針１３２を振動させてその振動の状態を計測する方式、即ちＭＦＭ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：磁気力顕微鏡）方式でローバー１に形成されたヘッド素子の状態を計測する方法について説明したが、プローブ１４２からローバー１に形成された素子の電極１１と１２とに交流電流を印加せず、書込み回路部１３による磁場が発生していない状態で探針１３２を振動させてローバー１に接触させ、その振動の状態を計測する方式、即ちＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：原子間力顕微鏡）方式でローバー１の表面形状を計測する場合にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１…ローバー    １００…測定部    １１０…ＸＹＺ粗動ステージユニット    １２０…ＸＹＺ微動ステージユニット    １３０…探針ユニット    １４０…プローブユニット    １５０…観察ユニット    ３１０…搬送ロボット    ３３０…トレイ載置部    ４００…信号処理制御部    ５００…除振テーブル    ６００…防音ボックス。
【図１】
2013058288.tif 000003
【図２】
2013058288.tif 000004
【図３】
2013058288.tif 000005
【図４Ａ】
2013058288.tif 000006
【図４Ｂ】
2013058288.tif 000007
【図５】
2013058288.tif 000008
【図６】
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【図７】
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