(57)【要約】【課題】均一なインク乾燥を実現するとともに、装置周りの外部環境を良好に保つインク乾燥装置、を提供する。【解決手段】インク乾燥装置は、ポリイミド溶液が塗布された基板２１が設置される乾燥炉１２と、基板２１上に配置され、乾燥炉１２内に空気を送る送風機４１と、乾燥炉１２内に設けられ、基板２１と送風機４１との間に配置されるパンチング板５１とを備える。パンチング板５１は、基板２１を平面的に見た場合のその外周領域６１に向けて空気を供給可能なように設けられる。【選択図】図２
2013040689.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが塗布された基板が設置される乾燥炉と、
基板上に配置され、前記乾燥炉内に空気を送る送風機と、
前記乾燥炉内に設けられ、基板と前記送風機との間に配置される第１の導風部材とを備え、
前記第１の導風部材は、基板を平面的に見た場合のその外周領域に向けて空気を供給可能なように設けられる、インク乾燥装置。
【請求項２】
前記第１の導風部材は、基板の外周領域に対向する領域に複数の孔が形成されるパンチング板を有する、請求項１に記載のインク乾燥装置。
【請求項３】
前記複数の孔は、基板の外周領域に対向する領域の全周に渡って形成される、請求項２に記載のインク乾燥装置。
【請求項４】
前記パンチング板に対してスライド可能に設けられ、前記複数の孔が開口する範囲を可変とするスライド板をさらに備える、請求項２または３に記載のインク乾燥装置。
【請求項５】
前記乾燥炉に接続され、前記乾燥炉内から空気を排気する排気部をさらに備え、
前記排気部は、前記乾燥炉内に開口し、空気が流通する排気口を有し、
前記排気口は、基板の外周領域に重なる位置であって、前記送風機から見て、前記乾燥炉に設置された基板よりも後退した位置に設けられる、請求項１から４のいずれか１項に記載のインク乾燥装置。
【請求項６】
前記乾燥炉内に設けられ、基板と前記送風機との間に配置される第２の導風部材をさらに備え、
前記第２の導風部材は、基板表面に向けて空気を供給可能なように設けられる、請求項１から５のいずれか１項に記載のインク乾燥装置。
【請求項７】
前記第２の導風部材は、基板表面に対向する領域に複数の孔が形成されるパンチング板を有する、請求項６に記載のインク乾燥装置。
【請求項８】
前記第１の導風部材により形成される空気流路と、前記第２の導風部材により形成される空気流路との間を区画する壁部材をさらに備える、請求項６または７に記載のインク乾燥装置。
【請求項９】
複数の前記送風機が設けられ、
複数の前記送風機は、前記第１の導風部材に対して空気を供給する第１の送風機と、前記第２の導風部材に対して空気を供給する第２の送風機とを含む、請求項６から８のいずれか１項に記載のインク乾燥装置。
【請求項１０】
前記第１の送風機と前記第２の送風機とは、各送風機の駆動が互いに独立して制御可能なように設けられる、請求項９に記載のインク乾燥装置。
【請求項１１】
前記第２の送風機に空気を取り込むための経路上に設けられ、前記経路を一時的に閉塞可能なように開閉される扉部材をさらに備える、請求項９または１０に記載のインク乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的には、インク乾燥装置に関し、より特定的には、液晶ディスプレイの配向膜を形成する工程において、基板表面上に印刷されたポリイミド（ＰＩ）膜を仮乾燥させるインク乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインク乾燥装置に関して、たとえば、特開２００２−１１０５３５号公報には、清浄空気を速い流速で基板に当てたときにも、基板乾燥時に発送する乾燥ムラを少なくすることを目的とした基板処理装置が開示されている（特許文献１）。特許文献１に開示された基板処理装置は、スピンコータ部と、エッジリンス部と、スピンコータ部およびエッジリンス部の間に配置される乾燥促進処理部とを有する。乾燥促進処理部は、レジストが塗布された基板に対して上方から清浄空気を当てることによって基板の乾燥を促進させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１０５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶ディスプレイの配向膜を形成する方法として、オフセット印刷法などの手段を用いて、基板の表面上にポリイミド（ＰＩ）膜などを形成する印刷工程と、印刷されたポリイミド膜を乾燥させる仮乾燥工程と、ポリイミド膜を熱硬化させる焼成工程とが実施されることが知られている。この仮乾燥工程を実施するためのインク乾燥装置においては、乾燥炉内部の圧力を高めるための送風機を設けることにより、外部からのパーティクルの侵入を防ぎ、基板を清浄に保っている。
【０００５】
しかしながら、送風機から乾燥炉内部に空気が供給されると、基板表面が局所的に風を受けたり、基板表面上で予期しない気流が発生したりするおそれがある。この場合、基板上のポリイミド膜に乾燥ムラが生じ、得られた配向膜の表面に風紋のような模様が残るおそれがある。このような模様の発生は、液晶ディスプレイの性能を悪化させる原因となる。
【０００６】
一方、液晶ディスプレイの配向膜を形成する際の印刷工程時においては、ポリイミドを溶媒に溶かしたポリイミド溶液が用いられ、仮乾燥工程時に、ポリイミド溶液中の溶媒成分が基板の表面上から揮発する。しかしながら、この揮発した溶媒成分が乾燥炉内から適切に排気されないと、乾燥炉のシャッターが開いたタイミングで溶媒成分が外部に漏れ出すおそれがある。このような溶媒成分の漏洩は、臭気を発生させ、外部環境を悪化させる原因となる。
【０００７】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、均一なインク乾燥を実現するとともに、装置周りの外部環境を良好に保つインク乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に従ったインク乾燥装置は、インクが塗布された基板が設置される乾燥炉と、基板上に配置され、乾燥炉内に空気を送る送風機と、乾燥炉内に設けられ、基板と送風機との間に配置される第１の導風部材とを備える。第１の導風部材は、基板を平面的に見た場合のその外周領域に向けて空気を供給可能なように設けられる。
【０００９】
このように構成されたインク乾燥装置によれば、送風機から供給される空気を第１の導風部材によって基板の外周領域に向かわせる。これにより、空気が直接、基板表面に当たることを抑制し、基板に塗布されたインクをより均一に乾燥することができる。また、送風機から基板の外周領域に向かう空気流れにより、基板表面上の空間とその外部とを遮ることができる。これにより、乾燥時に生じるインクの揮発成分が外部に漏れ出すことを抑制し、装置周りの外部環境を良好に保つことができる。
【００１０】
また好ましくは、第１の導風部材は、基板の外周領域に対向する領域に複数の孔が形成されるパンチング板を有する。このように構成されたインク乾燥装置によれば、送風機から供給される空気を、パンチング板に形成された複数の孔を通じて基板の外周領域に向かわせることができる。
【００１１】
また好ましくは、複数の孔は、基板の外周領域に対向する領域の全周に渡って形成される。このように構成されたインク乾燥装置によれば、基板の外周領域の全周を覆うような空気流れを形成することにより、インクの揮発成分の漏洩をより確実に防ぐことができる。
【００１２】
また好ましくは、インク乾燥装置は、スライド板をさらに備える。スライド板は、パンチング板に対してスライド可能に設けられ、複数の孔が開口する範囲を可変とする。このように構成されたインク乾燥装置によれば、スライド板をスライドさせることにより、送風機から供給された空気が向かう基板の外周領域の範囲をチューニングすることができる。
【００１３】
また好ましくは、インク乾燥装置は、乾燥炉に接続され、乾燥炉内から空気を排気する排気部をさらに備える。排気部は、乾燥炉内に開口し、空気が流通する排気口を有する。排気口は、基板の外周領域に重なる位置であって、送風機から見て、乾燥炉に設置された基板よりも後退した位置に設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、排気口を通じて乾燥炉から排気部に排気される空気の流れが、基板表面上に気流を生じさせることを抑制できる。
【００１４】
また好ましくは、インク乾燥装置は、乾燥炉内に設けられ、基板と送風機との間に配置される第２の導風部材をさらに備える。第２の導風部材は、基板表面に向けて空気を供給可能なように設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、送風機から供給される空気を第２の導風部材によって基板表面に向かわせる。これにより、基板表面上に滞留するインクの揮発成分を排気することができる。
【００１５】
また好ましくは、第２の導風部材は、基板表面に対向する領域に複数の孔が形成されるパンチング板を有する。このように構成されたインク乾燥装置によれば、送風機から供給される空気を、パンチング板に形成された複数の孔を通じて基板表面に向かわせることができる。
【００１６】
また好ましくは、インク乾燥装置は、第１の導風部材により形成される空気流路と、第２の導風部材により形成される空気流路との間を区画する壁部材をさらに備える。このように構成されたインク乾燥装置によれば、壁部材を設けることによって、送風機から供給された空気が、第２の導風部材により形成される空気流路から第１の導風部材により形成される空気流路に侵入することを防止する。これにより、意図しないタイミングで空気が基板表面に向かうことを防ぐ。
【００１７】
また好ましくは、複数の送風機が設けられる。複数の送風機は、第１の導風部材に対して空気を供給する第１の送風機と、第２の導風部材に対して空気を供給する第２の送風機とを含む。このように構成されたインク乾燥装置によれば、第１および第２の送風機から供給された空気を、それぞれ、第１および第２の導風部材によって、基板の外周領域および基板表面に向かわせる。
【００１８】
また好ましくは、第１の送風機と第２の送風機とは、各送風機の駆動が互いに独立して制御可能なように設けられる。このように構成されたインク乾燥装置によれば、基板の外周領域および基板表面に向けて、それぞれ適当なタイミングで空気を向かわせることができる。
【００１９】
また好ましくは、インク乾燥装置は、第２の送風機に空気を取り込むための経路上に設けられ、その経路を一時的に閉塞可能なように開閉される扉部材をさらに備える。このように構成されたインク乾燥装置によれば、第２の送風機に空気を取り込むための経路を扉部材により閉塞することによって、意図しないタイミングで空気が基板表面に向かうことを防ぐ。
【発明の効果】
【００２０】
以上に説明したように、この発明に従えば、均一なインク乾燥を実現するとともに、装置周りの外部環境を良好に保つインク乾燥装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置を示す断面図である。
【図２】図１中のインク乾燥装置の一部を模式的に表わした断面図である。
【図３】図１中の乾燥炉内に形成された空気流れを示す斜視図である。
【図４】図２中の２点鎖線ＩＶにより囲まれた範囲を拡大して示す断面図である。
【図５】この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置を示す断面図である。
【図６】図５中の乾燥炉内に形成された空気流れを示す斜視図である。
【図７】ポリイミド膜の仮乾燥時に実施される各工程を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００２３】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置を示す断面図である。図２は、図１中のインク乾燥装置の一部を模式的に表わした断面図である。
【００２４】
図１および図２を参照して、本実施の形態におけるインク乾燥装置１０の基本的な構造についてまず説明すると、インク乾燥装置１０は、インクとしてのポリイミド溶液が塗布された基板２１が設置される乾燥炉１２と、基板２１上に配置され、乾燥炉１２内に空気を送る送風機４１と、乾燥炉１２内に設けられ、基板２１と送風機４１との間に配置される第１の導風部材としてのパンチング板５１とを備える。パンチング板５１は、基板２１を平面的に見た場合のその外周領域６１に向けて空気を供給可能なように設けられる。
【００２５】
続いて、図１および図２中のインク乾燥装置１０の構造について詳細に説明する。
インク乾燥装置１０は、液晶ディスプレイの製造工程において、基板２１に形成される配向膜の仮乾燥工程に用いられる。
【００２６】
基板２１に配向膜を形成する場合、まず、オフセット印刷法などの手段を用いて、基板２１の表面２１ａに配向膜の原料となるポリイミドを印刷する（印刷工程）。次に、ポリイミド膜が形成された基板２１を印刷装置からインク乾燥装置１０に搬送し、インク乾燥装置１０においてポリイミド膜を乾燥させる（仮乾燥工程）。次に、基板２１をインク乾燥装置１０から熱処理装置に搬送し、熱処理装置においてポリイミド膜を焼成させる（焼成工程）。
【００２７】
なお、基板２１の表面２１ａに印刷される材料は、ポリイミドに限られず、配向膜の原料となりうる材料が適宜選択される。
【００２８】
乾燥炉１２は、筐体形状に形成されており、下壁１３ｄと、下壁１３ｄに対向して配置される上壁１３ｕとを有する。乾燥炉１２の内部には、空間１４および空間１５が形成されている。空間１４と空間１５とは、下壁１３ｄによって互いに区画されている。空間１４は、空間１５の上側に配置されている。
【００２９】
空間１４には、ポリイミド膜が形成された基板２１が設置される。空間１４には、基板２１を加熱し、ポリイミド膜を乾燥させるためのホットプレート２３がさらに設けられている。基板２１は、縦横に配列された複数のピン１８（図２を参照のこと）によって、ホットプレート２３から隙間を隔てた上側に位置決めされる。乾燥炉１２には、空間１４に基板２１を搬入し、搬出するための開口部１６と、開口部１６を開閉するための可動扉１７とが設けられている。
【００３０】
本実施の形態において、配向膜を形成する基板２１は、２１６０×２４６０ｍｍ、もしくは２８５０×３０５０ｍｍのサイズを有する大型基板である。但し、本発明におけるインク乾燥装置を用いて処理される基板の大きさは、上記サイズに限られるものではない。
【００３１】
空間１５には、駆動部としてのモータ３２および昇降ピン３１が設けられている。昇降ピン３１は、空間１５から下壁１３ｄを貫通し、空間１４に達するように形成されている。昇降ピン３１の一方端は、空間１５においてモータ３２に接続されており、昇降ピン３１の他方端は、空間１４において基板２１の裏面に当接するように設けられている。基板２１の搬送時、モータ３２の駆動により昇降ピン３１がその軸方向に移動することによって、基板２１が複数のピン１８上に載置されたり、複数のピン１８上から離脱されたりする。
【００３２】
送風機４１は、基板２１上に配置されている。送風機４１は、乾燥炉１２の上壁１３ｕに取り付けられており、空間１４の外側の空間に配置されている。送風機４１は、空間１４に設置された基板２１から距離を隔てた位置に設けられている。本実施の形態では、複数の送風機４１が設けられている。複数の送風機４１は、矩形形状を有するパンチング板５１の四隅に対応する位置に設けられている。なお、送風機４１が設けられる数や位置は、特に限定されない。
【００３３】
送風機４１は、図示しないファンを有し、そのファンが回転することにより、送風機４１から基板２１が設置される空間１４に向けて送風が行なわれる。これにより、空間１４内部の圧力が高まるため、外部から空間１４への塵や埃などのパーティクルの侵入を防ぎ、空間１４内部の清浄度を保つことができる。
【００３４】
本実施の形態では、送風機４１に、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）が設けられている。ＨＥＰＡフィルタとは、空気中からゴミ、塵埃などを取り除き、空間１４に供給する空気を清浄するためのエアフィルタである。
【００３５】
図３は、図１中の乾燥炉内に形成された空気流れを示す斜視図である。図１から図３を参照して、パンチング板５１は、乾燥炉１２内の空間１４に設けられている。パンチング板５１は、送風機４１と、乾燥炉１２内に設置された基板２１との間に配置されている。パンチング板５１は、複数の孔５２が形成された板部材により形成されている。パンチング板５１は、乾燥炉１２内に設置された基板２１の表面２１ａに平行に延在するように設けられている。パンチング板５１と上壁１３ｕとの間には、送風機４１から供給された空気が流入する空気流路４６が形成されている。複数の孔５２は、基板２１が設置された空間１４と、空気流路４６との間を連通させるように形成されている。
【００３６】
基板２１を平面的に見た場合、言い換えれば、ポリイミド膜が形成される基板２１の表面２１ａを正面から見た場合に、基板２１の外周上には外周領域６１が規定されている。外周領域６１は、表面２１ａの外周上において環状に延在して規定されている。基板２１が矩形の平面形状を有する本実施の形態においては、外周領域６１は、矩形の四辺に沿って延在するように規定されている。基板２１を平面的に見た場合に、外周領域６１は、表面２１ａに重ならない領域に規定されている。
【００３７】
パンチング板５１は、外周領域６１に向けて空気を供給可能なように設けられる。より具体的には、複数の孔５２が、外周領域６１に対向するパンチング板５１の周縁領域５３（図３を参照のこと）に形成されている。複数の孔５２は、周縁領域５３の全周に渡って形成されている。複数の孔５２は、周縁領域５３が延在する周方向に沿って連続的に形成されている。複数の孔５２は、互いに同一の開口形状を有するように形成されている。複数の孔５２は、互いに等間隔となるように配列されている。
【００３８】
孔５２は、円形の開口形状を有する。孔５２は、円形に限られず、たとえば、矩形や多角形等の開口形状を有してもよい。
【００３９】
複数の孔５２は、基板２１の表面２１ａに対向するパンチング板５１の中央領域５４（図３を参照のこと）に形成されない。すなわち、パンチング板５１は、周縁領域５３に複数の孔５２が形成され、その内側の中央領域５４が閉塞された形状を有する。
【００４０】
図１および図２を参照して、インク乾燥装置１０は、排気部３６および排気部３８をさらに有する。
【００４１】
排気部３６および排気部３８は、それぞれ空間１４および空間１５に連通するように乾燥炉１２に接続されている。送風機４１から空気が供給されることによって空間１４内部の圧力が高まり、空間１４内部の空気が、排気部３６を通じて乾燥炉１２の外部に排気される。空間１４から空気が侵入することによって空間１５内部の圧力が高まり、空間１５内部の空気が、排気部３８を通じて乾燥炉１２の外部に排気される。
【００４２】
排気部３６は、空間１４に開口し、空気が流通する排気口３７を有する。排気口３７は、送風機４１から見て、乾燥炉１２に設置された基板２１よりも後退した位置に設けられている。排気口３７は、送風機４１から供給される空気の送風方向において、送風機４１と排気口３７との間の距離が送風機４１と基板２１との間の距離よりも大きくなる位置に設けられている。排気口３７は、下壁１３ｄの直上に設けられている。基板２１を平面的に見た場合に、排気口３７は、外周領域６１に重なる位置に形成されている。
【００４３】
図４は、図２中の２点鎖線ＩＶにより囲まれた範囲を拡大して示す断面図である。図４を参照して、本実施の形態におけるインク乾燥装置１０は、スライド板６６をさらに有する。スライド板６６は、パンチング板５１に対してスライド可能に設けられている。スライド板６６は、矢印１０３に示すように、パンチング板５１の延在方向に平行な方向にスライド可能に設けられている。パンチング板５１は、複数の孔５２と重なる位置と、複数の孔５２からずれた位置との間でスライド可能に設けられている。このような構成を備えるスライド板６６をスライドさせることによって、複数の孔５２が開口する範囲を調整することが可能となる。
【００４４】
続いて、本実施の形態におけるインク乾燥装置１０によって奏される作用、効果について説明する。
【００４５】
図１から図３を参照して、本実施の形態におけるインク乾燥装置１０においては、送風機４１から供給された空気が、空気流路４６および複数の孔５２を順に通って空間１４に送り出される。空気は、図２中の矢印１０１に示すように、パンチング板５１を介することによって外周領域６１に向かうため、空間１４に送り出された空気が直接、基板２１の表面２１ａに当たることを抑制できる。これにより、ポリイミド膜の仮乾燥工程時に乾燥ムラが生じることを防止できる。
【００４６】
また、ポリイミド膜の印刷工程には、インクジェット方式などにより印刷されるポリイミドの粘性を上げるため、ポリイミドを溶媒に溶かしたポリイミド溶液が用いられる。このため、仮乾燥工程時に、ポリイミド溶液中の溶媒成分が基板２１の表面２１ａ上から揮発する。
【００４７】
本実施の形態におけるインク乾燥装置１０においては、図２中の矢印１０２に示すように、基板２１からの揮発溶媒が、パンチング板５１を介して外周領域６１に向かう空気流れに引き込まれることによって、表面２１ａ上から排気される。また、パンチング板５１を介して外周領域６１に向かう空気流れは、基板２１の外周上を周回するドーナツ型の気流となるため、揮発溶媒を閉じ込めるエアカーテンとして機能する。これにより、基板２１の搬出時に可動扉１７を開く場合においても、基板２１からの揮発溶媒が外部に漏洩することを防止できる。
【００４８】
また、本実施の形態では、排気口３７が、送風機４１から見て基板２１よりも後退した位置に設けられている。このような構成により、空間１４から排気口３７を流通して排気部３６に向かう空気流れが、基板２１の表面２１ａ上に意図しない気流を生じさせることを抑制できる。また、本実施の形態では、複数の孔５２が開口する範囲を調整可能とするスライド板６６が設けられる。このような構成により、空気が直接、基板２１の表面２１ａに当たらないように、外周領域６１に向かう空気流れの幅を調整することができる。
【００４９】
このように構成された、この発明の実施の形態１におけるインク乾燥装置１０によれば、送風機４１と基板２１との間にパンチング板５１を配置することによって、ポリイミド膜の乾燥ムラを抑えることができる。これにより、ポリイミド膜の表面に風紋のような模様が生じることを抑制し、基板２１に高品質な配向膜を形成することができる。また、外周領域６１に向かう空気流れをエアカーテンとして利用することにより、ポリイミド膜の仮乾燥時に生じる揮発溶媒を装置内部に閉じ込めることができる。これにより、装置外部で臭気が発生することを防止できる。
【００５０】
なお、本実施の形態では、送風機４１からの送風を外周領域６１に向かわせる手段としてパンチング板５１を用いたが、本発明はこれに限定されず、たとえば、外周領域６１に対向する位置に開口部を有するダクトを用いてもよい。
【００５１】
また、本実施の形態では、複数の孔５２が周縁領域５３の全周に渡って形成される場合を説明したが、周縁領域５３の周方向における一部範囲に複数の孔５２が形成されない範囲が存在してもよい。この場合であっても、外周領域６１に向かう空気流れのエアカーテンとしての機能は多少損なわれるものの、ポリイミド膜の乾燥ムラを抑える効果が同様に奏される。
【００５２】
（実施の形態２）
図５は、この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置を示す断面図である。図６は、図５中の乾燥炉内に形成された空気流れを示す斜視図である。本実施の形態におけるインク乾燥装置は、実施の形態１におけるインク乾燥装置１０と比較して、基本的には同様の構造を備える。以下、重複する構造については、その説明を繰り返さない。
【００５３】
図５および図６を参照して、本実施の形態におけるインク乾燥装置７０においては、パンチング板５１が、外周領域６１に加えて基板２１の表面２１ａに向けて空気を供給可能なように設けられている。
【００５４】
より具体的には、パンチング板５１には、複数の孔５２に加えて複数の孔８１が形成されている。複数の孔８１は、基板２１の表面２１ａに対向するパンチング板５１の領域、すなわち中央領域５４に形成されている。複数の孔８１は、中央領域５４の中心部に形成されている。複数の孔８１は、互いに同一の開口形状を有するように形成されている。複数の孔８１は、互いに等間隔となるように配列されている。
【００５５】
孔８１は、円形の開口形状を有する。孔８１は、円形に限られず、たとえば、矩形や多角形等の開口形状を有してもよい。孔５２の開口形状と孔８１の開口形状とは、互いに同一であってもよいし、異なってもよい。
【００５６】
本実施の形態におけるインク乾燥装置７０は、複数の孔８１を通じて基板２１の表面２１ａ上に空気を供給するための送風機７１をさらに有する。送風機７１は、複数の孔８１が形成された中央領域５４に対向する位置に設けられている。送風機７１は、パンチング板５１の四隅に対応する位置に設けられた複数の送風機４１の中心位置に配置されている。
【００５７】
送風機７１は、基本的に、送風機４１と同一構造を有する。複数の送風機４１と、送風機７１とは、互いに独立して各送風機の駆動が制御可能なように設けられている。たとえば、複数の送風機４１を駆動させつつ、送風機７１の駆動を停止させることが可能である。
【００５８】
インク乾燥装置７０は、壁部としての仕切り板７２をさらに有する。仕切り板７２は、上壁１３ｕとパンチング板５１との間に設けられている。仕切り板７２は、送風機４１から供給された空気が流入する空気流路４６と、送風機７１から供給された空気が流入する空気流路４７との間を区画するように設けられている。
【００５９】
インク乾燥装置７０は、送風機ケース７３と、扉部としてのシャッター７４とをさらに有する。送風機ケース７３は、乾燥炉１２の外部で送風機７１を覆うように設けられている。送風機ケース７３には、外部空間から送風機７１に空気を取り込む経路となる開口部が形成されており、シャッター７４は、その開口部を閉じるように設けられている。シャッター７４は、エアシリンダー等から構成される駆動部７５に接続されている。駆動部７５の駆動によりシャッター７４が開閉し、これに伴って、送風機ケース７３の開口部が開放されたり閉塞されたりする。
【００６０】
図７は、ポリイミド膜の仮乾燥時に実施される各工程を示すフローチャート図である。以下、図５から図７を参照しつつ、本実施の形態におけるインク乾燥装置７０によって奏される作用、効果について説明する。
【００６１】
ポリイミド膜の仮乾燥工程には、まず、先の印刷工程でポリイミド膜が形成された基板２１を、開口部１６を通じて乾燥炉１２内に搬入する（Ｓ１：基板搬入工程）。
【００６２】
次に、ホットプレート２３からの伝熱により、基板２１に形成されたポリイミド膜を乾燥させる（Ｓ２：基板乾燥工程）。この際、送風機４１を駆動させることによって、空間１４内部の圧力を高め、外部から空間１４への塵や埃などのパーティクルの侵入を防ぐ。送風機４１から供給された空気は、空気流路４６および複数の孔５２を順に通って、外周領域６１に向かうため、ポリイミド膜を均一に乾燥させることができる。
【００６３】
また、シャッター７４を閉操作することにより、外部空間から送風機７１への空気の流入を遮断する。排気部３６，３８を通じた排気によって乾燥炉１２の内部が負圧となり、このため、送風機７１の駆動を停止した状態であっても、複数の孔８１を通って基板２１上に空気が流入する場合がある。本実施の形態では、外部空間から送風機７１への空気の流入を遮断することにより、基板２１上に意図しない気流が発生することを防ぐ。さらに、乾燥炉１２には、空気流路４６と空気流路４７との間を区画する仕切り板７２が設けられている。このような構成により、送風機４１から供給された空気が複数の孔８１を通って基板２１上に流入することを防止する。
【００６４】
次に、ポリイミド膜の乾燥が完了したら、空間１４内部に滞留する揮発溶媒を装置外部に排気する（Ｓ３：排気工程）。この際、送風機７１を駆動させる。送風機７１から供給された空気は、空気流路４７および複数の孔８１を順に通って、基板２１上の空間に送り出される。これにより、基板２１上に滞留する揮発溶媒を、図５中の矢印１０６に示すように排気口３７を通じて装置外部に排気する。一方、ポリイミド膜の乾燥は完了しているため、基板２１上を流れる気流がポリイミド膜の乾燥に悪影響を与えるということがない。揮発溶媒の排気が完了すれば、送風機７１の駆動を再び停止する。
【００６５】
次に、ポリイミド膜が乾燥した基板２１を、開口部１６を通じて乾燥炉１２外に搬出する（Ｓ４：基板搬出工程）。この際、パンチング板５１を介して外周領域６１に向かう空気流れがエアカーテンとして機能する。このため、仮に乾燥炉１２の内部に揮発溶媒が残存する場合があっても、その揮発溶媒が開口部１６を通じて装置外部に漏れ出すということがない。
【００６６】
以上の工程により、ポリイミド膜の仮乾燥工程が完了する。
この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置７０は、乾燥炉１２内に設けられ、基板２１と送風機７１との間に配置される第２の導風部材としてのパンチング板５１を有する。パンチング板５１は、基板２１の表面２１ａに向けて空気を供給可能なように設けられる。
【００６７】
なお、本実施の形態では、図７中の基板乾燥工程時に送風機７１を停止させる場合について説明したが、ポリイミド膜の乾燥に悪影響を与えない程度に風量を抑えて送風機７１を駆動させてもよい。この場合、送風機７１として、風量可変式の送風機を用いる。
【００６８】
また、本実施の形態では、本発明における第１の導風部材と第２の導風部材とが、単一のパンチング板５１によって構成されている場合を説明したが、これに限られず、第１の導風部材と第２の導風部材とが別々の部材から構成されてもよい。
【００６９】
このように構成された、この発明の実施の形態２におけるインク乾燥装置７０によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００７０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
この発明は、主に、液晶ディスプレイの配向膜を形成する工程において、基板に塗布された配向膜材料を乾燥させる装置として利用される。
【符号の説明】
【００７２】
１０，７０  インク乾燥装置、１２  乾燥炉、１３ｕ  上壁、１３ｄ  下壁、１４，１５  空間、１６  開口部、１７  可動扉、１８  ピン、２１  基板、２１ａ  表面、２３  ホットプレート、３１  昇降ピン、３２  モータ、３６，３８  排気部、３７  排気口、４１，７１  送風機、４６，４７  空気流路、５１  パンチング板、５２，８１  孔、５３  周縁領域、５４  中央領域、６１  外周領域、６６  スライド板、７２  仕切り板、７３  送風機ケース、７４  シャッター、７５  駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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