(57)【要約】【課題】プローブ連結体に軸方向の圧縮力が与えられた際、プローブ連結体の各プローブにおける連結部の先端側の部分及び後端側の部分に対して撓み変形のための軸方向の圧縮力を確実に与えることができる検査治具を提供する。【解決手段】この検査治具１では、プローブ連結体１１の２つのプローブ２１，２２が連結部２３にて連結されるとともに、各プローブ２１，２２の連結部よりも先端側の部分及び後端側の部分において、各プローブ２１，２３が互いに独立して撓み変形可能となっている。後端側プローブ保持部材１７は、プローブ連結体１１の後端側が挿通される第１の後端側貫通孔１７１を有する。後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１の第１の小径部１７１ａ，１７１ｂは、プローブ連結体１１の装着状態において、プローブ連結体１１の連結部２３が設けられた部分を外囲し、その部分の軸直角方向の変位を規制する。【選択図】図１
2013181865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の電気特性の検査を行う検査装置に備えられる検査治具であって、
可撓性を有し、略針状の複数のプローブが互いに絶縁されて並列配置された状態で連結部にて連結されるとともに、前記各プローブの前記連結部よりも先端側の部分及び後端側の部分において、各プローブが互いに独立して撓み変形可能とされたプローブ連結体と、
前記プローブ連結体の検査対象に接触される先端側が挿通される先端側貫通孔を有する先端側プローブ保持部材と、
前記先端側プローブ保持部材と間隔をあけて配置され、前記プローブ連結体の後端側が挿通される後端側貫通孔を有する後端側プローブ保持部材と、
前記プローブ連結体の前記複数のプローブの後端部がそれぞれ当接される複数の電極部が設けられる電極ユニットと、
前記プローブ連結体が前記先端側プローブ保持部材及び前記後端側プローブ保持部材により保持された状態において、前記プローブ連結体の前記連結部が設けられた部分を外囲し、その部分の前記プローブ連結体の軸方向と直角な軸直角方向の変位を規制する規制孔部と、
を備えることを特徴とする検査治具。
【請求項２】
請求項１に記載の検査治具において、
前記プローブ連結体の前記連結部は、該プローブ連結体が前記先端側プローブ保持部材及び前記後端側プローブ保持部材により保持された際に、該プローブ連結体における前記後端側プローブ保持部材の前記後端側貫通孔内に位置する部分に設けられ、
前記後端側プローブ保持部材の前記後端側貫通孔は、
該後端側貫通孔の前記検査対象側に位置する部分に設けられ、前記規制孔部として機能する第１の小径部と、
該後端側貫通孔の前記電極部側に位置する部分に設けられ、前記プローブ連結体の後端側の部分を外囲し、その部分の前記軸直角方向の変位を規制する第２の小径部と、
該後端側貫通孔の前記第１の小径部と前記第２の小径部との間に設けられ、前記第１の小径部及び前記第２の小径部よりも大きな内径を有し、前記プローブ連結体の前記各プローブの撓み変形を許容するバックリング空間形成部と、
を有することを特徴とする検査治具。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の検査治具において、
前記プローブ連結体は、２つのプローブが前記連結部にて連結されて構成され、
前記プローブ連結体の前記２つのプローブの先端側では、当該各プローブの中心軸よりも相手側のプローブ寄りの位置に前記検査対象と接触する先端が形成され、前記２つのプローブの後端側では、当該各プローブの中心軸よりも相手側のプローブと反対側の位置に前記電極部と当接する後端が形成されていることを特徴とする検査治具。
【請求項４】
請求項３に記載の検査治具において、
前記プローブ連結体の前記２つのプローブの一方は前記検査対象に設定された検査点に対する検査のめの電力供給用のプローブであり、他方は前記検査対象の前記検査点の電位測定用のプローブであることを特徴とする検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の電気特性の検査を行う検査装置に備えられる検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査内容又は検査手法等によっては、例えば４端子測定のように、微細化された配線パターン上に設けられた１つの検査点に複数（例えば、２つ）のプローブを同時に接触させる必要がある。しかし、検査対象である基板等によっては配線パターン等の微細化が進んでおり、複数のプローブを１つの検査点に如何に正確に接触させるかが課題となっている。
【０００３】
このような課題に関する従来技術としては、例えば特許文献１に記載のものがある。この特許文献１に記載の技術では、２つのプローブをその軸方向の中間部に設けられた接着剤等からなる保持部材により固定し、各プローブの保持部材の上下の部分が撓み変形可能となっている（段落［００４０］、図５等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２７９１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の技術では、保持部材により連結された２つのプローブが装着される検査治具の構成において、プローブの撓み変形の節となるべき保持部材が設けられる部分に対する動きの規制が行われていない。このため、検査時にプローブの先端部が検査対象に接触され、プローブに軸方向の圧縮力が与えられた際、プローブの保持部材が軸方向と直角な軸直角方向にずれるため、プローブにおける保持部材の先端側及び後端側の一方で、プローブの撓み変形を誘起する軸方向の圧縮力がうまく伝わり難いおそれがある。例えば、保持部材がプローブの軸方向の中心よりも後端側に位置している場合、プローブの保持部材よりも後端側の部分が撓み難くなり、２つのプローブの後端の軸方向の位置ずれが撓みにより十分に吸収されず、プローブと電極部との間の接触不良が生じるおそれがある。
【０００６】
そこで、本発明の解決すべき課題は、プローブ連結体に軸方向の圧縮力が与えられた際、プローブ連結体の各プローブにおける連結部の先端側の部分及び後端側の部分に対して撓み変形のための軸方向の圧縮力を確実に与えることができる検査治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の第１の局面では、検査対象の電気特性の検査を行う検査装置に備えられる検査治具であって、可撓性を有し、略針状の複数のプローブが互いに絶縁されて並列配置された状態で連結部にて連結されるとともに、前記各プローブの前記連結部よりも先端側の部分及び後端側の部分において、各プローブが互いに独立して撓み変形可能とされたプローブ連結体と、前記プローブ連結体の検査対象に接触される先端側が挿通される先端側貫通孔を有する先端側プローブ保持部材と、前記先端側プローブ保持部材と間隔をあけて配置され、前記プローブ連結体の後端側が挿通される後端側貫通孔を有する後端側プローブ保持部材と、前記プローブ連結体の前記複数のプローブの後端部がそれぞれ当接される複数の電極部が設けられる電極ユニットと、前記プローブ連結体が前記先端側プローブ保持部材及び前記後端側プローブ保持部材により保持された状態において、前記プローブ連結体の前記連結部が設けられた部分を外囲し、その部分の前記プローブ連結体の軸方向と直角な軸直角方向の変位を規制する規制孔部と、を備える。
【０００８】
また、本発明の第２の局面では、上記第１の局面に係る検査治具において、前記プローブ連結体の前記連結部は、該プローブ連結体が前記先端側プローブ保持部材及び前記後端側プローブ保持部材により保持された際に、該プローブ連結体における前記後端側プローブ保持部材の前記後端側貫通孔内に位置する部分に設けられ、前記後端側プローブ保持部材の前記後端側貫通孔は、該後端側貫通孔の前記検査対象側に位置する部分に設けられ、前記規制孔部として機能する第１の小径部と、該後端側貫通孔の前記電極部側に位置する部分に設けられ、前記プローブ連結体の後端側の部分を外囲し、その部分の前記軸直角方向の変位を規制する第２の小径部と、該後端側貫通孔の前記第１の小径部と前記第２の小径部との間に設けられ、前記第１の小径部及び前記第２の小径部よりも大きな内径を有し、前記プローブ連結体の前記各プローブの撓み変形を許容するバックリング空間形成部と、を有する。
【０００９】
また、本発明の第３の局面では、上記第１又は第２の局面に係る検査治具において、前記プローブ連結体は、２つのプローブが前記連結部にて連結されて構成され、前記プローブ連結体の前記２つのプローブの先端側では、当該各プローブの中心軸よりも相手側のプローブ寄りの位置に前記検査対象と接触する先端が形成され、前記２つのプローブの後端側では、当該各プローブの中心軸よりも相手側のプローブと反対側の位置に前記電極部と当接する後端が形成されている。
【００１０】
また、本発明の第４の局面では、上記第３の局面に係る検査治具において、前記プローブ連結体の前記２つのプローブの一方は前記検査対象に設定された検査点に対する検査のめの電力供給用のプローブであり、他方は前記検査対象の前記検査点の電位測定用のプローブである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の第１の局面に係る検査治具によれば、プローブ連結体が先端側プローブ保持部材及び後端側プローブ保持部材により保持された状態において、規制孔部により、プローブ連結体の連結部が設けられた部分が外囲され、その部分のプローブ連結体の軸方向と直角な軸直角方向の変位が規制される。それ故、検査時にプローブ連結体の先端部が検査対象に接触され、プローブ連結体に軸方向の圧縮力が与えられた際、各プローブの連結部が設けられた部分の軸直角方向へのずれを規制して、各プローブにおける連結部の先端側の部分及び後端側の部分の両方に対し、各プローブの撓み変形を誘起する軸方向の圧縮力を確実に伝えることができ、各プローブの撓み変形を効果的に誘起させることができる。その結果、例えば、連結部がプローブ連結体の軸方向の中心よりも大きく後端側寄り又は先端側寄りに位置している場合であっても、各プローブにおける連結部の後端側又は先端側の部分が撓み難くなるのを回避し、各プローブの後端又は先端の軸方向の位置ずれ等を撓みにより確実に吸収させ、各プローブの後端又は先端を電極部又は検査点と確実に接触させることができる。
【００１２】
本発明の第２の局面に係る検査治具によれば、プローブ連結体の装着状態において、その連結部がプローブ連結体の後端側プローブ保持部材の後端側貫通孔内に位置する部分に設けられるとともに、プローブ連結体の後端側を保持する後端側プローブ保持部材の後端側貫通孔に、規制孔部として機能する第１の小径部、及びプローブ連結体の各プローブの撓み変形を許容するバックリング空間形成部が設けられる。それ故、既存の構成である後端側プローブ保持部材の後端側貫通孔の構成を変更するのみで、プローブ連結体を検査治具に導入でき、プローブ連結体の連結部が設けられた部分を規制する規制孔部を形成するための専用の部材等を新たに設ける必要がない。その結果、プローブ連結体と通常の単体で設置される単体プローブとを検査治具内に併存させる等の対応も容易に行うことができる。
【００１３】
本発明の第３の局面に係る検査治具によれば、プローブ連結体が、２つのプローブが連結部にて連結されて構成され、その２つのプローブの先端側では、各プローブの中心軸よりも相手側のプローブ寄りの位置に検査対象と接触する先端が形成され、２つのプローブの後端側では、各プローブの中心軸よりも相手側のプローブと反対側の位置に電極部と当接する後端が形成されている。それ故、プローブ連結体の先端側では、２つのプローブの先端間の間隔を小さくして、微細な検査点にも確実に２つのプローブの先端を接触させることができるとともに、プローブ連結体の後端側では、２つのプローブの後端間の間隔を大きくして、隣接する電極部間の間隔等を無理に小さくすることなく、電極部との電気接続を無理なく行うことができる。
【００１４】
本発明の第４の局面に係る検査治具によれば、２つのプローブを接触させるべき検査点が微細化されている場合であっても、４端子測定による検査を良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査治具に構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図１の検査治具に備えられるプローブ連結体の構成を示す図である。
【図３】図１の検査治具のプローブ保持部材に設けられる貫通孔の構成を示す図である。
【図４】図１の検査治具のプローブ保持部材に設けられる貫通孔の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１ないし図４を参照して、本発明の一実施形態に係る検査治具について説明する。本実施形態に係る検査治具１は、検査対象である被検査基板２に設けられた配線パターンの電気特性の検査を行う図示しない基板検査装置に備えられる。その検査内容には、例えば配線パターンの導通性に関する導通検査、及び配線パターン間の絶縁性に関する絶縁検査等が含まれる。
【００１７】
この検査治具１は、図１に示すように、複数のプローブ連結体１１及び単体プローブ１２を備えたヘッド部１３と、電極ユニット１４とを備えて構成される。ヘッド部１３は、複数のプローブ連結体１１及び単体プローブ１２と、先端側プローブ保持部材１６と、後端側プローブ保持部材１７と、複数の連結部材１８とを備えて構成される。なお、図１に示す構成では、便宜上、検査治具１にプローブ連結体１１と単体プローブ１２とが１つずつしか示されていないが、実際にはそれぞれ複数設けられる。
【００１８】
プローブ連結体１１は、図２に示すように、２つのプローブ２１，２２と、連結部２３とを備えて構成されている。なお、本実施形態では２つのプローブ２１，２２を連結部２３により連結してプローブ連結体１１を構成したが、３つ以上のプローブを連結部２３により連結してプローブ連結体１１を構成してもよい。
【００１９】
プローブ２１，２２は、導電性を有し、略針状の形態を有する芯線２４と、芯線２４の外周を被覆する絶縁樹脂等からなる絶縁層２５とを備えて構成され、可撓性を有している。芯線２４の材料としては、例えばタングステン等が用いられる。絶縁層２５は、芯線２４の先端部及び後端部を除く中間部分の外周を覆うように設けられている。
【００２０】
連結部２３は、２つのプローブ２１，２２を密着して並列配置した状態で、２つのプローブ２１，２２の先端部２１ａと後端部２１ｂとの間のいずれかの部分で２つのプローブ２１，２２を連結している。この連結状態において、プローブ２１，２２同士は絶縁層２５により互いに絶縁されている。また、各プローブ２１，２２の連結部２３よりも先端側の部分及び後端側の部分において、各プローブ２１，２３が互いに独立して撓み変形可能となっている。なお、連結部２３としては、接着剤、カシメ具等が用いられる。本実施形態では、例えば連結部２３として接着剤が用いられている。また、本実施形態では、連結部２３がプローブ２１，２２の軸方向の中心よりも大きく後端側寄りの位置に設けられている。なお、以下の記載において「軸方向」とは、プローブ連結体１１、プローブ２１，２３又は単体プローブ１２の軸方向をいうものとする。
【００２１】
また、各プローブ２１，２２の芯線２４の先端部２１ａ，２２ａには、検査対象に接触される先鋭状の先端２１ｃ，２２ｃが設けられ、後端部２１ｂ，２２ｂには、後述する電極部１４１，１４２に当接される先鋭状の後端２１ｄ，２２ｄが設けられている。ここで、プローブ２１，２２の先端２１ｃ，２２ｃは、当該プローブ２１，２２の中心軸２１ｅ，２２ｅに対し、それよりも相手側のプローブ２１，２２寄りの位置に位置するように形成されている。また、プローブ２１，２２の先鋭状の後端２１ｄ，２２ｄは、中心軸２１ｅ，２２ｅに対し、それよりも相手側のプローブ２１，２２と反対側の位置（相手側のプローブ２１，２２から遠ざかる位置）に位置するように形成されている。
【００２２】
単体プローブ１２は、通常の１つのプローブからなるものであり、プローブ連結体１１のプローブ２１又は２２とほぼ同様な構成を有している。
【００２３】
先端側プローブ保持部材１６は、絶縁樹脂等からなる略板状の形態を有し、プローブ連結体１１及び単体プローブ１２の検査対象に接触される先端側がそれぞれ挿通される複数の第１及び第２の先端側貫通孔１６１，１６２が設けられており、プローブ連結体１１及び単体プローブ１２の先端側を保持する。また、本実施形態では、１枚の板状部材により先端側プローブ保持部材１６を構成しているが、複数枚の板状部材を積層して先端側プローブ保持部材１６を構成してもよい。
【００２４】
なお、本実施形態では、第１の先端側貫通孔１６１には、プローブ連結体１１のプローブ２１，２２の先端側の絶縁層２５が設けられていない部分が挿通されている。また、第２の先端側貫通孔１６２には、単体プローブ１２の先端側の絶縁層が設けられていない部分が挿通されている。第１の先端側貫通孔１６１及び後述する第１の後端側貫通孔１７１の断面の形状等については、後述する。
【００２５】
後端側プローブ保持部材１７は、絶縁樹脂等からなる略板状の形態を有し、先端側プローブ保持部材１６と軸方向に間隔をあけて配置され、プローブ連結体１１及び単体プローブ１２の後端側がそれぞれ挿通される複数の第１及び第２の後端側貫通孔１７１，１７２が設けられており、プローブ連結体１１及び単体プローブ１２の後端側を保持する。なお、本実施形態では、複数（図１の例では、４枚）の樹脂製の板状部材１７ａ〜１７ｄを積層して後端側プローブ保持部材１７を構成しているが、１枚の板状部材により後端側プローブ保持部材１７を構成してもよい。
【００２６】
複数の連結部材１８は、先端側プローブ保持部材１６と後端側プローブ保持部材１７とを軸方向に間隔をあけた状態で連結固定する。
【００２７】
電極ユニット１４は、電極部１４１〜１４３と、それらの電極部１４１〜１４３を保持する基台部材１４４とを備えて構成され、ヘッド部１３の検査対象の反対側の面に対向配置された状態で、ヘッド部１３と固定される。基台部材１４４は、絶縁樹脂等からなる板状部材であり、電極部１４１〜１４３が配設される複数の貫通孔が設けられている。電極部１４１，１４２には、プローブ連結体１１の２つのプローブ２１，２２の後端部２１ｂ，２２ｂがそれぞれ当接される。電極部１４３には、単体プローブ１２の後端部１２ｂが当接される。電極部１４１〜１４３は、プローブ２１，２２，１２の数に合わせてそれぞれ複数設けられている。また、電極部１４１〜１４３は、図示しないリード線と接続されており、プローブ連結体１１の各プローブ２１，２２及び単体プローブ１２が、第１ないし第３の電極部１４１〜１４３及びリード線等を介して、図示しない基板検査装置本体側の検査ユニットと接続される。
【００２８】
また本実施形態では、プローブ連結体１１の連結部２３は、プローブ連結体１１がプローブ保持部材１６，１７により保持された際に、プローブ連結体１１における後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１内に位置する部分に設けられている。
【００２９】
そして、後端側プローブ保持部材１７の第２の後端側貫通孔１７１には、第１の小径部１７１ａ，１７１ｂ、第２の小径部１７１ｃ、バックリング空間形成部１７１ｄ及び後端小径部１７１ｅが設けられている。なお、本実施形態では、第１の小径部１７１ａ，１７１ｂが軸方向に間隔をあけて２カ所に設けられているが、第１の小径部１７１ａ，１７１ｂのいずれか一方を省略してもよい。
【００３０】
第１の小径部１７１ａ，１７１ｂは、第１の後端側貫通孔１７１の検査対象側の端部に設けられ、本発明に係る規制孔部としての役割を担っている。これに対応して、プローブ連結体１１の連結部２３は、プローブ連結体１１がプローブ保持部材１６，１７により保持された際に、プローブ連結体１１における第１の小径部１７１ａ，１７１ｂの少なくともいずれか一方に対向する部分に設けられている。そして、プローブ連結体１１がプローブ保持部材１６，１７により保持された状態において、第１の小径部１７１ａ，１７１ｂが、プローブ連結体１１の連結部２３が設けられた部分を外囲し、その部分の軸方向と直角な軸直角方向の変位を規制するようになっている。これにより、後述するように、検査時にプローブ連結体１１に軸方向の圧縮力が付与された際に、連結体２３が設けられた部分の軸直角方向へのぶれが抑えられ、各プローブ２１，２２の連結体２３の先端側及び後端側の部分が確実に撓み変形するようになっている。
【００３１】
第２の小径部１７１ｃは、第１の後端側貫通孔１７１の電極ユニット１４側に位置する部分に設けられ、プローブ連結体１１の後端側の部分を外囲し、その部分の軸直角方向の変位を規制する。この第２の小径部１７１ｃと後述する後端小径部１７１ｅにより、プローブ連結体１１の各プローブ２１，２２の後端部の電極ユニット１４の対応する電極部１４１，１４１に対する位置決めが行われる。本実施形態では、第２の小径部１７１ｃは、プローブ連結体１１のプローブ２１，２２の絶縁層２５が設けられた部分の後端部を外囲するようになっている。
【００３２】
バックリング空間形成部１７１ｄは、第１の後端側貫通孔１７１の第１の小径部１７１ａ，１７１ｂと第２の小径部１７１ｃとの間に設けられ、プローブ連結体１１の各プローブ２１，２２の連結部２３よりも後端側の部分の撓み変形を許容するように、第１の小径部１７１ａ，１７１ｂ及び第２の小径部１７１ｃの内径よりも十部に大きな内径に設定されている。なお、プローブ連結体１１の各プローブ２１，２２の連結部２３よりも先端側の部分については、その部分が先端側プローブ保持部材１６と後端側プローブ保持部材１７との間の隙間空間内に位置しているため、その隙間空間内で自由に撓み変形できるようになっている。
【００３３】
後端小径部１７１ｅは、第１の後端側貫通孔１７１の第２の小径部１７１ｃよりも後端側であって後端側貫通孔１７１の後端側端部に設けられている。この後端小径部１７１ｅには、プローブ連結体１１のプローブ２１，２２の後端部の絶縁層２５が設けられていない部分が挿通され、これによってプローブ２１，２２の後端部の最終的な位置決めが行われる。
【００３４】
また、本実施形態では、プローブ連結体１１がプローブ保持部材１６，１７の貫通孔１６１，１７１内で回転すると、各プローブ２１，２２の後端部と電極部１４１，１４２との位置関係がずれるおそれがある。そこで、本実施形態では、先端側プローブ保持部材１６の第１の先端側貫通孔１６１、及び、後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１の第１の小径部１７１ａ，１７１ｂ、第２の小径部１７１ｃ及び後端小径部１７１ｅの少なくともいずれか１つ（好ましくは、２つ以上）は、プローブ連結体１１の回転を止めるべく、図３で示すように、２つの円が連なってなる略メガネ形の断面形状３１を有している。具体的には、例えば先端側プローブ保持部材１６の第１の先端側貫通孔１６１と、後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１の後端小径部１７１ｅとが略メガネ形の断面形状３１を有している。第１の後端側貫通孔１７１の他の部分については、例えば図４に示すように略円形の断面形状３２を有している。
【００３５】
このように構成される検査治具１は、基板検査装置に備えられ、図示しない治具昇降機構により昇降駆動され、検査対象の被検査基板２に対して近接、離反されるようになっている。そして、検査時は、検査治具１が被検査基板２に近接され、検査治具１のプローブ連結体１１の各プローブ２１，２２の先端部２１ａ，２２ａが、被検査基板２の配線パターン上等に設けられた検査点（例えば、ランド部、ハンダバンプ等）２ａに押し当てられるようにして接触される。これと同時に、単体プローブ１２の先端部１２ａも被検査基板２の検査点２ｂに押し当てられるようにして接触される。
【００３６】
プローブ連結体１１の各プローブ２１，２２の先端部２１ａ，２２ａが検査点２ａに押し当てられた際、プローブ連結体１１が被検査基板２と電極ユニット１４との間で軸方向に押圧され、プローブ連結体１１が軸方向に圧縮され、各プローブ２１，２２の連結部２３の先端側の部分及び後端側の部分が撓み変形する。同様に、単体プローブ１２も、その先端部１２ａが検査点２ｂに押し当てられ、被検査基板２と電極ユニット１４との間で軸方向に押圧されて圧縮されるのに伴って撓み変形するようになっている。
【００３７】
このとき、後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１に設けられた第１の小径部１７１ａ，１７１ｂにより、プローブ連結体１１の連結部２３が設けられた部分の軸直角方向の変位が規制されているため、各プローブ２１，２２における連結部２３の先端側の部分及び後端側の部分の両方に対し、各プローブ２１，２２の撓み変形を誘起する軸方向の圧縮力を確実に伝えることができ、各プローブ２１，２２の撓み変形を効果的に誘起させることができるようになっている。
【００３８】
その結果、例えば、本実施形態のように連結部２３がプローブ連結体１１の軸方向の中心よりも大きく後端側寄りに位置している場合であっても、各プローブにおける連結部の後端側の部分が撓み難くなるのを回避し、各プローブの後端の軸方向の位置ずれ等を撓みにより確実に吸収させ、各プローブの後端を電極部１４１，１４２に確実に接触させることができる。同様に、仮に連結部２３がプローブ連結体１１の軸方向の中心よりも大きく先端側寄りに位置している場合であっても、各プローブにおける連結部の先端側の部分が撓み難くなるのを回避し、各プローブの先端の軸方向の位置ずれ等を撓みにより確実に吸収させ、各プローブの先端を検査点２ａに確実に接触させることができる。
【００３９】
また、本実施形態では、上記のように、プローブ連結体１１の装着状態において、その連結部２３がプローブ連結体１１の後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１内に位置する部分に設けられるとともに、後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１に、規制孔部として機能する第１の小径部１７１ａ，１７１ｂ、第２の小径部１７１ｃ及びバックリング空間形成部１７１ｄが設けられる。それ故、既存の構成である後端側プローブ保持部材１７の第１の後端側貫通孔１７１の構成を変更するのみで、プローブ連結体１２を検査治具１に導入でき、プローブ連結体１１の連結部２３が設けられた部分を規制する規制孔部を形成するための専用の部材等を新たに設ける必要がない。その結果、プローブ連結体１１と通常の単体で設置される単体プローブ１２とを検査治具１内に併存させる等の対応も容易に行うことができる。
【００４０】
また、本実施形態では、上記のように、プローブ連結体１１を構成する２つのプローブ２１，２２の先端側では、各プローブ２１，２２の中心軸２１ｅ，２２ｅよりも相手側のプローブ２１，２２寄りの位置に先鋭状の先端２１ｃ，２２ｃが形成され、２つのプローブ２１，２２の後端側では、各プローブ２１，２２の中心軸２１ｅ，２２ｅよりも相手側のプローブ２１，２２と反対側の位置に先鋭状の後端２１ｄ，２２ｄが形成されている。それ故、プローブ連結体１１の先端側では、２つのプローブ２１，２２の先端２１ｃ，２２ｃ間の間隔を小さくして、微細な検査点２ａにも確実に２つのプローブ２１，２２の先端２１ｃ，２２ｃを接触させることができるとともに、プローブ連結体１１の後端側では、２つのプローブ２１，２２の後端２１ｄ，２２ｄ間の間隔を大きくして、隣接する電極部１４１，１４２間の間隔等を無理に小さくすることなく、電極部１４１，１４２との電気接続を無理なく行うことができる。
【００４１】
また、本実施形態では、プローブ連結体１１の２つのプローブ２１，２２を利用して４端子測定により被検査基板２の配線パターンの電気的特性を測定するようになっている。具体的には、例えば被検査基板２の配線パターンの導通検査に伴う抵抗値測定の際に、プ２つのプローブ２１，２２の一方が、検査対象の配線パターンに対する検査電力（例えば、電流）の供給に用いられ、他方が検査対象の配線パターン間に付与された電位差の測定に用いられる。これにより、２つのプローブ２１，２２を接触させるべき検査点２ａが微細化されている場合であっても、４端子測定による検査を良好に行うことができる。
【符号の説明】
【００４２】
１  検査治具、２  被検査基板、２ａ，２ｂ  検査点、１１  プローブ連結体、１２  単体プローブ、１３  ヘッド部、１４  電極ユニット、１４１〜１４３  電極部、１４４  基台部材、１６  先端側プローブ保持部材、１６１  第１の先端側貫通孔、１６２  第２の先端側貫通孔、１７  後端側プローブ保持部材、１７ａ〜１７ｄ  板状部材、１７１  第１の後端側貫通孔、１７１ａ，１７１ｂ  第１の小径部、１７１ｃ  第２の小径部、１７１ｄ  バックリング空間形成部、１７１ｅ  後端小径部、１７２  第２の後端側貫通孔、１８  連結部材、２１，２２  プローブ、２１ａ，２２ａ  先端部、２１ｂ，２１ｂ  後端部、２１ｃ，２２ｃ  先端、２１ｄ，２２ｄ  後端、２１ｅ，２２ｅ  中心軸、２３  連結部、２４  芯線、２５  絶縁層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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