(57)【要約】【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。【選択図】図１
2013049001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤が塗布される前の基板を収容した基板供給用のマガジンが設置される基板供給部と、基板供給部に設置された基板供給用のマガジンから取り出されて作業位置に移送された基板に液剤を塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドにより液剤が塗布された基板を収容する基板回収用のマガジンが設置された基板回収部とを備えた液剤塗布装置であって、
基板供給部と基板回収部は上下方向に並んで位置していることを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項２】
基板供給部の基板供給用のマガジン及び基板回収部の基板回収用のマガジンは一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置しており、これら基板供給用のマガジン及び基板回収用のマガジンをマガジン昇降手段によって同時に昇降させて基板を取り出す際の基板供給用のマガジンの上下方向の位置決め及び基板を回収する際の基板回収用のマガジンの上下方向の位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の液剤塗布装置。
【請求項３】
基板供給部において空になった基板供給用のマガジンが基板回収部に移動されて基板回収用のマガジンとして用いられることを特徴とする請求項１又は２に記載の液剤塗布装置。
【請求項４】
作業位置を２つ有し、基板供給用のマガジンから取り出された基板の作業位置への移送及び作業位置において液剤が塗布された基板の基板回収用のマガジンへの移送を行う基板移送手段は、一方の作業位置に移送した基板に対する液剤の塗布が行われている間に、基板供給用のマガジンから取り出された基板を他方の作業位置に移送し、或いは他方の作業位置において液剤の塗布が行われた基板を基板回収用のマガジンに移送することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の液剤塗布装置。
【請求項５】
基板供給部に設置された基板供給用のマガジンから液剤が塗布される前の基板を取り出して作業位置に移送する工程と、
作業位置に移送した基板に液剤を塗布する工程と、
液剤を塗布した基板を作業位置から移送して基板供給部と上下方向に並んで位置する基板回収部に設置された基板回収用のマガジンに収容する工程とを含むことを特徴とする液剤塗布方法。
【請求項６】
基板供給部の基板供給用のマガジン及び基板回収部の基板回収用のマガジンは一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置しており、これら基板供給用のマガジン及び基板回収用のマガジンを同時に昇降させて基板を取り出す際の基板供給用のマガジンの上下方向の位置決め及び基板を回収する際の基板回収用のマガジンの上下方向の位置決めを行うことを特徴とする請求項５に記載の液剤塗布方法。
【請求項７】
基板供給部において空になった基板供給用のマガジンを基板回収部に移動させて基板回収用のマガジンとして用いることを特徴とする請求項５又は６に記載の液剤塗布方法。
【請求項８】
作業位置を２つ有し、一方の作業位置に移送した基板に対する液剤の塗布を行っている間に、基板供給用のマガジンから取り出した基板を他方の作業位置に移送し、或いは他方の作業位置において液剤の塗布を行った基板を基板回収用のマガジンに移送することを特徴とする請求項５乃至７の何れかに記載の液剤塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に樹脂等の液剤を塗布する液剤塗布装置及び液剤塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板或いは基板上の部品に樹脂等の液剤を塗布する装置として知られた液剤塗布装置は、基板供給用のマガジンから液剤が塗布される前の基板を取り出して作業位置に移送し、作業位置で基板に液剤を塗布した後、基板を作業位置から移送して基板回収用のマガジンに収容するようになっている。ここで、基板供給用のマガジンが設置される基板供給部と基板回収用のマガジンが設置される基板回収部は基板に液剤が塗布される作業位置を挟んで対向する位置に設けられており、基板供給用のマガジンから取り出された基板は作業位置で液剤が塗布された後、基板供給用のマガジンから作業位置に移送されたときと同方向に移送されて基板回収部用のマガジンに収容される（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４３７３０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の液剤塗布装置のように、基板供給部と基板回収部が作業位置を挟んで対向する位置に位置されていると、液剤塗布装置の平面視において少なくとも基板供給用のマガジンと基板回収用のマガジンの設置スペースが必要であり、その分液剤塗布装置の全体のサイズの小型化が妨げられるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の液剤塗布装置は、液剤が塗布される前の基板を収容した基板供給用のマガジンが設置される基板供給部と、基板供給部に設置された基板供給用のマガジンから取り出されて作業位置に移送された基板に液剤を塗布する塗布ヘッドと、塗布ヘッドにより液剤が塗布された基板を収容する基板回収用のマガジンが設置された基板回収部とを備えた液剤塗布装置であって、基板供給部と基板回収部は上下方向に並んで位置している。
【０００７】
請求項２に記載の液剤塗布装置は、請求項１に記載の液剤塗布装置であって、基板供給部の基板供給用のマガジン及び基板回収部の基板回収用のマガジンは一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置しており、これら基板供給用のマガジン及び基板回収用のマガジンをマガジン昇降手段によって同時に昇降させて基板を取り出す際の基板供給用のマガジンの上下方向の位置決め及び基板を回収する際の基板回収用のマガジンの上下方向の位置決めを行う。
【０００８】
請求項３に記載の液剤塗布装置は、請求項１又は２に記載の液剤塗布装置であって、基板供給部において空になった基板供給用のマガジンが基板回収部に移動されて基板回収用のマガジンとして用いられる。
【０００９】
請求項４に記載の液剤塗布装置は、請求項１乃至３の何れかに記載の液剤塗布装置であって、作業位置を２つ有し、基板供給用のマガジンから取り出された基板の作業位置への移送及び作業位置において液剤が塗布された基板の基板回収用のマガジンへの移送を行う基板移送手段は、一方の作業位置に移送した基板に対する液剤の塗布が行われている間に、基板供給用のマガジンから取り出された基板を他方の作業位置に移送し、或いは他方の作業位置において液剤の塗布が行われた基板を基板回収用のマガジンに移送する。
【００１０】
請求項５に記載の液剤塗布方法は、基板供給部に設置された基板供給用のマガジンから液剤が塗布される前の基板を取り出して作業位置に移送する工程と、作業位置に移送した基板に液剤を塗布する工程と、液剤を塗布した基板を作業位置から移送して基板供給部と上下方向に並んで位置する基板回収部に設置された基板回収用のマガジンに収容する工程とを含む。
【００１１】
請求項６に記載の液剤塗布方法は、請求項５に記載の液剤塗布方法であって、基板供給部の基板供給用のマガジン及び基板回収部の基板回収用のマガジンは一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置しており、これら基板供給用のマガジン及び基板回収用のマガジンを同時に昇降させて基板を取り出す際の基板供給用のマガジンの上下方向の位置決め及び基板を回収する際の基板回収用のマガジンの上下方向の位置決めを行う。
【００１２】
請求項７に記載の液剤塗布方法は、請求項５又は６に記載の液剤塗布方法であって、基板供給部において空になった基板供給用のマガジンを基板回収部に移動させて基板回収用のマガジンとして用いる。
【００１３】
請求項８に記載の液剤塗布方法は、請求項５乃至７の何れかに記載の液剤塗布方法であって、作業位置を２つ有し、一方の作業位置に移送した基板に対する液剤の塗布を行っている間に、基板供給用のマガジンから取り出した基板を他方の作業位置に移送し、或いは他方の作業位置において液剤の塗布を行った基板を基板回収用のマガジンに移送する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、液剤が塗布される前の基板を収容した基板供給用のマガジンが設置される基板供給部と、液剤が塗布された基板を収容する基板回収用のマガジンが設置される基板回収部とが上下方向に並んで位置しているので、液剤塗布装置の平面視において基板供給部（基板供給用のマガジン）と基板回収部（基板回収用のマガジン）のうちの一方分の設置スペースがあればよく、その分、液剤塗布装置の全体のサイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の本体部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の基板供給回収部の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の基板供給回収部の正面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるマガジンを基板とともに示す斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における基板供給回収部が備えるマガジン移動機構の一部の正面図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における基板供給回収部が備えるマガジン移動機構の一部の正面図
【図８】本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の制御系統を示すブロック図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の動作説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態における液剤塗布装置の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１に示す液剤塗布装置１は本体部２と基板供給回収部３から成っている。本体部２は供給された基板４（或いは基板４上に設けられた図示しない部品に）樹脂等の液剤を供給し、基板供給回収部３は、液剤が塗布される前の基板４の本体部２への供給と、本体部２において液剤が塗布された後の基板４の回収とを行う。基板供給回収部３は後述するように、本体部２への基板４の供給と本体部２からの基板４の回収を、複数の基板４を上下方向に並べて収容するマガジン５を介して行う。以下、本体部２と基板供給回収部３が並ぶ方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内の方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、左右方向（Ｘ軸方向）のうち、オペレータＯＰから見た左側（基板供給回収部３が設けられている側）を左方、オペレータＯＰから見た右側を右方と定義し、更に、オペレータＯＰから見て手前側を前方、オペレータＯＰから見て奥側を後方と定義する。
【００１７】
図２において、本体部２は平らな作業平面１１ａを有した基台部１１と、基台部１１の作業平面１１ａの上方空間を覆って設けられたカバー部１２を有して成る。基台部１１の作業平面１１ａ上にはＹ軸方向に延びてＸ軸方向（左右方向）に対向した一対のＹ軸テーブル１３ａ、Ｘ軸方向に延びて両端が一対のＹ軸テーブル１３ａに支持されたＸ軸テーブル１３ｂ及びＸ軸テーブル１３ｂに沿ってＸ軸方向に移動自在に設けられた移動ステージ１３ｃから成る塗布ヘッド移動機構１３が設けられており、塗布ヘッド移動機構１３の移動ステージ１３ｃには塗布ヘッド１４が取り付けられている。
【００１８】
塗布ヘッド移動機構１３は、一対のＹ軸テーブル１３ａに対するＸ軸テーブル１３ｂのＹ軸方向の移動及びＸ軸テーブル１３ｂに対する移動ステージ１３ｃのＸ軸方向の移動を組み合わせることによって塗布ヘッド１４を水平面内方向に移動させる。塗布ヘッド１４は内部に樹脂等の液剤Ｑを収容しており、その収容した液剤Ｑを下方に延びた塗布ノズル１４ａの先端部から下方に吐出する。
【００１９】
作業平面１１ａの左方領域には、基板供給回収部３から送られてきた基板４を受け取る受け取りコンベア１５が設けられており、基台部１１の作業平面１１ａの中央部には２つの位置決めコンベア１６（後方に位置する後方位置決めコンベア１６ａ及び前方に位置する前方位置決めコンベア１６ｂ）がＹ軸方向（前後方向）に並んで設けられている。
【００２０】
受け取りコンベア１５と２つの位置決めコンベア１６はそれぞれ基板４をＸ軸方向に搬送する姿勢で取り付けられている。受け取りコンベア１５は基台部１１の作業平面１１ａ上に設けられた受け取りコンベア移動機構１７によってＹ軸方向に移動され、２つの位置決めコンベア１６のうちの一方と選択的にＸ軸方向に向き合わされる。
【００２１】
カバー部１２の左側の側面には、基板供給回収部３との間で基板４を通過させるための基板通路開口１２ｈが設けられており、受け取りコンベア１５は、基板供給回収部３内に設置された基板供給用のマガジン５（液剤Ｑが塗布される前の基板４が収容されたマガジン５）から基板通路開口１２ｈを介して供給された基板４を受け取って後方位置決めコンベア１６ａ又は前方位置決めコンベア１６ｂに受け渡す。そして、後方位置決めコンベア１６ａは受け取りコンベア１５から受け取った基板４を後方位置決めコンベア１６ａ上に設定された作業位置（後方作業位置と称する）に基板４を位置決めし、前方位置決めコンベア１６ｂは受け取りコンベア１５から受け取った基板４を前方位置決めコンベア１６ｂ上に設定された作業位置（前方作業位置と称する）に位置決めする。また、後方位置決めコンベア１６ａは、塗布ヘッド１４による液剤Ｑの塗布作業が終了した基板４を受け取りコンベア１５に受け渡し、前方位置決めコンベア１６ｂは、塗布ヘッド１４による液剤Ｑの塗布作業が終了した基板４を受け取りコンベア１５に受け渡す。受け取りコンベア１５は、後方位置決めコンベア１６ａ又は前方位置決めコンベア１６ｂから受け取った基板４を基板供給回収部３内に設置された基板回収用のマガジン５（液剤Ｑが塗布された後の基板４が収容されるマガジン５）に受け渡す。
【００２２】
すなわち、本実施の形態における液剤塗布装置１は作業位置を２つ有しており、受け取りコンベア１５と２つの位置決めコンベア１６（後方位置決めコンベア１６ａ及び前方位置決めコンベア１６ｂ）は、基板供給用のマガジン５から取り出された基板４の作業位置への移送及び作業位置において液剤Ｑが塗布された基板４の基板回収用のマガジン５への移送を行い、塗布ヘッド１４は、基板供給用のマガジン５から取り出され、後方位置決めコンベア１６ａによって後方作業位置又は前方位置決めコンベア１６ｂによって前方作業位置に移送（位置決め）された基板４に液剤Ｑを塗布するようになっている。
【００２３】
図３及び図４において、基板供給回収部３は、マガジン５を移動させるマガジン移動機構２１及び本体部２の左側の側面に取り付けられてマガジン移動機構２１全体を覆う右方に開口したカバー部材２２を有して成る。
【００２４】
マガジン移動機構２１によって移動される各マガジン５は、図５に示すように、基板供給回収部３内に設置された状態で左右方向（Ｘ軸方向）に貫通する形状をした外郭部５ａと、外郭部５ａ内に上下方向に並んで設けられた複数の棚部５ｂを有している。各棚部５ｂには基板４が載置されて収納され、マガジン５が基板供給回収部３内に設置された状態で左側となる背面開口５ｃから右側となる正面開口５ｄに向かって基板４が後述するマガジン移動機構２１の基板押し引き機構３５によって押圧されることでその基板４を正面開口５ｄから本体部２側に供給することができ、正面開口５ｄ側に位置した基板４を基板押し引き機構３５によって背面開口５ｃ側から引き寄せることで基板４を棚部５ｂ上に収納することができる。
【００２５】
図３及び図４において、マガジン移動機構２１はマガジン搬入コンベア３１、マガジンガイド３２、マガジン受け渡し機構３３、マガジン昇降機３４、基板押し引き機構３５、上部クランパ３６、下部クランパ３７及びマガジン搬出コンベア３８を備えて成る。
【００２６】
図３及び図４において、マガジン搬入コンベア３１は、液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５を前方から後方に向かって（マガジンガイド３２の上部に向けて）搬送する。カバー部材２２の前面の上部にはマガジン投入口２２ａが設けられており、マガジン搬入コンベア３１の前端部はこのマガジン投入口２２ａに近接して位置している。
【００２７】
なお、ここでは液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５を前方から後方に向かって搬送するものとしてコンベア（マガジン搬入コンベア３１）を用いているが、これはシリンダを用いた押し込み機構等であってもよい。
【００２８】
図３及び図４において、マガジンガイド３２は、Ｚ軸方向に延びた４本のガイド部材３２ａを有して成り、マガジン５の四隅を支持してマガジン５の上下方向への移動をガイドする。
【００２９】
図３において、マガジン受け渡し機構３３は、マガジン搬入コンベア３１によってマガジンガイド３２の上部の近傍位置（マガジン搬入コンベア３１の後端部）まで搬送されたマガジン５を下方から支持して後方に移動し、そのマガジン５をマガジンガイド３２内に受け渡す。
【００３０】
図３及び図４において、マガジン昇降機３４は、マガジンガイド３２の後方に上下方向に延びて設けられた昇降機構部３４ａと、昇降機構部３４ａによって上下動される昇降部３４ｂを有して成る。昇降部３４ｂは前方に突出して延びた複数の柱状のマガジン支持部３４ｃを有しており、これら複数のマガジン支持部３４ｃをマガジンガイド３２内のマガジン５に下方か接触させた状態で昇降部３４ｂを昇降機構部３４ａによって上下動させることで、昇降部３４ｂによって直接支持したマガジン５（及びそのマガジン５の上面に載置されている他のマガジン５）をマガジンガイド３２に沿って昇降させることができる。
【００３１】
図４において、マガジンガイド３２によるマガジン５の上下方向の移動領域のうち、マガジン搬入コンベア３１によって前方から後方に搬送されるマガジン５と同じ高さに位置するマガジン５の１個分の領域はマガジン搬入コンベア３１によって搬入されたマガジン５が保持される第１のマガジン保持領域Ｓ１となっており、第１のマガジン保持領域Ｓ１の直下のマガジン５の１個分の領域は第１のマガジン保持領域Ｓ１に保持されたマガジン５がその後一時的に保持される第２のマガジン保持領域Ｓ２となっている。また、図４において、マガジン昇降機３４によって昇降される上下に重ねられた２つのマガジン５のうち上側のマガジン５が占める領域は基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１となっており、マガジン昇降機３４によって昇降される上下に重ねられた２つのマガジン５のうち下側のマガジン５が占める領域は基板回収用のマガジン５が設置される基板回収部Ｒ２となっている。
【００３２】
このように液剤塗布装置１は基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１と基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２とが上下方向に並んで位置しており、マガジン昇降手段としてのマガジン昇降機３４は、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５及び基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５を同時に昇降させて基板４を取り出す際の基板供給用のマガジン５の上下方向の位置決め及び基板４を回収する際の基板回収用のマガジン５の上下方向の位置決めを行う。
【００３３】
図３及び図４において、基板押し引き機構３５は、マガジンガイド３２の上下方向の中間部の左方の位置に設けられている。基板押し引き機構３５は、マガジン昇降機３４によって昇降される基板供給用のマガジン５が備える複数の棚部５ｂのうちのひとつが本体部２側の基板通路開口１２ｈと一致した状態において、その棚部５ｂ内の基板４（液剤塗布前の基板４）を背面開口５ｃ側から正面開口５ｄ側に押し出してその基板４を本体部２の受け取りコンベア１５に送り込む基板供給動作（図６（ａ）→図６（ｂ））と、マガジン昇降機３４によって昇降される基板回収用のマガジン５が備える複数の棚部５ｂのうちのひとつが本体部２側の基板通路開口１２ｈと一致した状態において、本体部２の受け取りコンベア１５から正面開口５ｄに送られてきた基板４（液剤塗布後の基板４）を背面開口５ｃ側から引き寄せて基板回収用のマガジン５が備える棚部５ｂに載置させる基板収容動作（図７（ａ）→図７（ｂ））を行う。
【００３４】
なお、ここでは本体部２の受け取りコンベア１５から正面開口５ｄに送られてきた基板４を基板回収用のマガジン５に収容するにおいて、基板押し引き機構３５が受け取りコンベア１５上の基板４を基板回収用のマガジン５内に引き寄せる構成となっているが、受け取りコンベア１５の下部等に設けた基板押し込み機構によって、受け取りコンベア１５上の基板４を基板回収用のマガジン５に押し込んで収容するようにしてもよい。
【００３５】
図３及び図４において、上部クランパ３６は、マガジンガイド３２内の第１のマガジン保持領域Ｓ１を挟んで左右方向（Ｘ軸方向）に対向する一対の部材から成り、マガジン受け渡し機構３３によってマガジンガイド３２内の第１のマガジン保持領域Ｓ１に受け渡されたマガジン５をＸ軸方向にクランプして保持する。
【００３６】
図３及び図４において、下部クランパ３７は、マガジンガイド３２内の第２のマガジン保持領域Ｓ２を挟んで左右方向（Ｘ軸方向）に対向する一対の部材から成り、マガジン昇降機３４によって第１のマガジン保持領域Ｓ１から下降されて第２のマガジン保持領域Ｓ２に位置したマガジン５をＸ軸方向にクランプして保持する。
【００３７】
図３及び図４において、マガジン搬出コンベア３８は、液剤塗布後の基板４を収容した基板回収用のマガジン５をマガジンガイド３２の下部から前方に向けて水平方向に搬送する。カバー部材２２の前面の下部にはマガジン取り出し口２２ｂが設けられており、マガジン搬出コンベア３８の前端部はこのマガジン取り出し口２２ｂに近接して位置している。
【００３８】
なお、ここでは液剤塗布後の基板４を収容した基板供給用のマガジン５をマガジンガイド３２の下部から前方に向けて搬送するものとしてコンベア（マガジン搬出コンベア３８）を用いているが、これはシリンダを用いた押し出し機構等であってもよい。
【００３９】
本体部２が備える塗布ヘッド移動機構１３による塗布ヘッド１４の水平面内方向への移動動作の制御、塗布ヘッド１４による液剤Ｑの吐出動作の制御、受け取りコンベア１５による基板４の搬送動作の制御、後方位置決めコンベア１６ａによる後方作業位置への基板４の搬送動作の制御、前方位置決めコンベア１６ｂによる前方作業位置への基板４の搬送動作の制御及び受け取りコンベア移動機構１７による受け取りコンベア１５のＹ軸方向への移動動作の制御は液剤塗布装置１が備える制御装置４０によってなされる（図４）。
【００４０】
また、基板供給回収部３が備えるマガジン搬入コンベア３１による基板供給用のマガジン５の搬送動作の制御、マガジン受け渡し機構３３による第１のマガジン保持領域Ｓ１へのマガジン５の移動動作の制御、マガジン昇降機３４によるマガジン５の昇降動作の制御、基板押し引き機構３５による基板供給動作及び基板収容動作の制御、上部クランパ３６による第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置したマガジン５のクランプ動作とその解除動作の制御、下部クランパ３７による第２のマガジン保持領域Ｓ２に位置したマガジン５のクランプ動作とその解除動作の制御及びマガジン搬出コンベア３８による基板回収用のマガジン５の搬送動作の制御も制御装置４０によってなされる（図４）。
【００４１】
次に、図９〜図１３を用いて上記構成の液剤塗布装置１による基板４への液剤塗布作業の実行手順（液剤塗布方法）について説明する。制御装置４０は、オペレータＯＰによって基板供給回収部３のマガジン投入口２２ａから１つの空のマガジン５、次いで液剤塗布前の基板４が収容された基板供給用のマガジン５が投入された後、マガジン搬入コンベア３１を作動させてこれらのマガジン５をマガジンガイド３２に向かって搬送する。そして、先頭の空のマガジン５がマガジン搬入コンベア３１の後端部に位置したら、その空のマガジン５をマガジン受け渡し機構３３によってマガジンガイド３２内の第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させた後（図９（ａ）中に示す矢印Ａ１）、上部クランパ３６により空のマガジン５をクランプする（図９（ａ））。
【００４２】
制御装置４０は、マガジン保持領域Ｓ１に位置した空のマガジン５を上部クランパ３６によってクランプしたら、マガジン昇降機３４の昇降部３４ｂを上昇させ（図９（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）、マガジン保持領域Ｓ１に保持したマガジン５を昇降部３４ｂによって支持する（図９（ｂ））。そして、上部クランパ３６による空のマガジン５の保持を解除したうえで、マガジン昇降機３４の昇降部３４ｂを下降させ（図９（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）、空のマガジン５を第２のマガジン保持領域Ｓ２（若しくはその下方）に位置にさせたうえで、マガジン搬入コンベア３１を作動させて、マガジン搬入コンベア３１の後端部に位置している基板供給用のマガジン５をマガジンガイド３２内の第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させる（図９（ｃ）中に示す矢印Ａ２）。そして、上部クランパ３６を作動させて、第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させた基板供給用のマガジン５をクランプする（図９（ｃ））。
【００４３】
制御装置４０は、第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させた基板供給用のマガジン５を上部クランパ３６によってクランプしたら、マガジン昇降機３４によって空のマガジン５を上昇させ（図９（ｄ）中に示す矢印Ｂ３）、空のマガジン５を第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置している基板供給用のマガジン５に下方から接触させ、そのうえで上部クランパ３６による基板供給用のマガジン５のクランプを解除する（図９（ｄ））。これにより基板供給部Ｒ１に基板供給用のマガジン５が位置し、基板回収部Ｒ２に基板回収用のマガジン５が位置した状態となる。
【００４４】
制御装置４０は、上部クランパ３６による基板供給用のマガジン５のクランプを解除したら、マガジン昇降機３４によって、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５と基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５を同時に（一体の状態で）昇降させ（図１０（ａ）及び図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ４）、本体部２への基板４の供給（基板押し引き機構３５による基板供給動作）と本体部２からの基板４の回収（基板押し引き機構３５による基板収容動作）を行いつつ、後述する手順で本体部２における基板４に対する液剤Ｑの塗布作業を行う。
【００４５】
本体部２への基板４の供給と本体部２からの基板４の回収は図６及び図７を用いて説明した前述の要領で行うが、基板供給用のマガジン５から基板４を供給するときは、基板供給用のマガジン５内の下方に位置する棚部５ｂから順に基板４を押し出して本体部２に供給することが好ましい。このようにすれば、基板供給用のマガジン５から基板４を押し出し出した際に基板４やマガジン５内から埃等が落下したとしても、その埃等が基板供給用のマガジン５内の他の基板４に付着することを防止できる。
【００４６】
また、基板回収用のマガジン５に基板４を回収するときは、基板回収用のマガジン５内の上方に位置する棚部５ｂから順に基板４を収容するようにすることが好ましい。このようにすれば、基板回収用のマガジン５に基板４を引き寄せた際に基板４やマガジン５内から埃等が落下したとしても、その埃等が基板回収用のマガジン５内の他の基板４に付着することを防止できる。
【００４７】
本体部２による基板４に対する液剤Ｑの塗布作業では、制御装置４０は、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５から押し出された基板４を受け取りコンベア１５によって受け取って基板４を取り出した後（図１２（ａ）。基板取り出し工程）、その受け取った基板４を後方位置決めコンベア１６ａに受け渡し（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、次いで後方基板位置決めコンベア１６ａを作動させて基板４を後方作業位置に移送（位置決め）する（図１２（ｂ）。作業位置移送工程）。
【００４８】
制御装置４０は、基板４を後方作業位置に移送したら、塗布ヘッド移動機構１３による塗布ヘッド１４の移動動作の制御と塗布ヘッド１４による液剤Ｑの吐出動作の制御とを行って、後方作業位置に位置決めした基板４に対する液剤塗布作業を行う（図１２（ｂ）。液剤塗布工程）。
【００４９】
制御装置４０は、後方作業位置に位置決めした基板４に対する塗布ヘッド１４による液剤塗布作業を開始したら、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５から新たに押し出された基板４を受け取りコンベア１５によって受け取って基板４を取り出す（基板取り出し工程）。そして、受け取りコンベア移動機構１７によって受け取りコンベア１５を前方に移動させて（図１２（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）、前方位置決めコンベア１６ｂに基板４を受け渡すとともに（図１２（ｃ）中に示す矢印Ｃ２）、前方位置決めコンベア１６ｂを作動させて基板４を前方作業位置に移送（位置決め）し、基板４を待機状態にする（図１２（ｃ）。作業位置移送工程）。
【００５０】
制御装置４０は、基板４を前方作業位置に移送した後、後方作業位置に位置決めした基板４に対する液剤塗布作業が終了したら、塗布ヘッド１４を移動させて、前方作業位置に待機状態させておいた基板４に対する液剤塗布作業を実行する（液剤塗布工程）。そして、その液剤塗布作業を行っている間に受け取りコンベア１５を後方に移動させ（図１２（ｄ）中に示す矢印Ｄ２）、後方作業位置に位置した基板４を受け取りコンベア１５経由で基板供給回収部３に搬送して（図１２（ｄ）。図中に示す矢印Ｃ３）、基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５内に液剤塗布後の基板４を収容する（図１２（ｄ）。基板収容工程）。
【００５１】
制御装置４０は、後方作業位置において液剤塗布作業が終了した基板４を基板回収用のマガジン５内に収容したら、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５から新たに押し出された基板４を受け取りコンベア１５によって受け取って基板４を取り出した後（基板取り出し工程）、受け取りコンベア１５経由で後方位置決めコンベア１６ａに受け渡した後（図１３（ａ）中に示す矢印Ｃ４）、後方基板位置決めコンベア１６ａを作動させて基板４を後方作業位置に移送し、基板４を待機状態にする（図１３（ａ）。作業位置移送工程）。
【００５２】
制御装置４０は、基板４を後方作業位置に移送した後、前方作業位置に位置決めした基板４に対する塗布ヘッド１４による液剤塗布作業が終了したら、塗布ヘッド１４を移動させて、後方作業位置に待機状態にさせておいた基板４に対する液剤塗布作業を実行する（液剤塗布工程）。そして、その液剤塗布作業を行っている間に受け取りコンベア１５を前方及び後方に移動させ（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｄ３）、前方作業位置に位置した基板４を受け取りコンベア１５経由で基板供給回収部３に搬送して（図１３（ｂ）。図中に示す矢印Ｃ５）、基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５内に液剤塗布後の基板４を収容する（図１３（ｂ）。基板収容工程）。
【００５３】
制御装置４０は、前方作業位置において液剤塗布作業が終了した基板４を基板回収用のマガジン５内に収容したら、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５から新たに押し出された基板４を受け取りコンベア１５によって受け取って基板４を取り出した後（基板取り出し工程）、受け取りコンベア１５を前方に移動させて（図１３（ｃ）中に示す矢印Ｄ４）、基板４を前方位置決めコンベア１６ｂに受け渡す（図１３（ｃ）中に示す矢印Ｃ６）。そして、前方基板位置決めコンベア１６ｂを作動させて基板４を前方作業位置に移送し、基板４を待機状態にする（図１３（ｃ）。作業位置移送工程）。
【００５４】
制御装置４０は、基板４を前方作業位置に移送した後、後方作業位置に位置決めした基板４に対する液剤塗布作業が終了したら、塗布ヘッド１４を移動させて、前方作業位置に待機状態にさせておいた基板４に対する液剤塗布作業を実行する（液剤塗布工程）。そして、その液剤塗布作業を行っている間に受け取りコンベア１５を後方に移動させ（図１３（ｄ）中に示す矢印Ｄ５）、後方作業位置に位置した基板４を受け取りコンベア１５経由で基板供給回収部３に搬送して（図１３（ｄ）。図中に示す矢印Ｃ７）、基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５内に液剤塗布後の基板４を収容する（図１３（ｄ）。基板収容工程）。そして、以後は図１３（ａ）→図１３（ｂ）→図１３（ｃ）→図１３（ｄ）→図１３（ａ）→・・・の工程を繰り返す。
【００５５】
制御装置４０は、上記のように、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５と基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５を同時に（一体の状態で）昇降させて、本体部２への基板４の供給と本体部２からの基板４の回収を行いつつ、本体部２における基板４に対する液剤Ｑの塗布作業を実行するが、その間に、マガジン搬入コンベア３１とマガジン受け渡し機構３３を作動させて、マガジン搬入コンベア３１の先頭に位置する基板供給用のマガジン５をマガジンガイド３２内の第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させる（図１０（ｂ）中に示す矢印Ａ３）。そして、上部クランパ３６を作動させて、第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させた基板供給用のマガジン５をクランプする（図１０（ｂ））。
【００５６】
制御装置４０は、マガジン保持領域Ｓ１に位置した基板供給用のマガジン５を上部クランパ３６によってクランプした後、基板４に対する液剤塗布作業が進行して基板供給部Ｒ１に設置した基板供給用のマガジン５が空になったら、マガジン昇降機３４によって、空になった基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５と液剤塗布後の基板４が収容された基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５を同時に（一体の状態で）上昇させ（図１０（ｃ）中に示す矢印Ｂ５）、空になった基板供給用のマガジン５を第２のマガジン保持領域Ｓ２に位置させたうえで、空になった基板供給用のマガジン５を下部クランパ３７によってクランプする（図１０（ｃ））。そして、制御装置４０は、マガジン昇降機３４によって基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５をのみを下降させ（図１０（ｄ）中に示す矢印Ｂ６）、基板回収用のマガジン５をマガジン搬出コンベア３８上に載置したうえで、マガジン搬出コンベア３８によって基板回収用のマガジン５を前方に向けて搬送する（図１１（ａ）。図中に示す矢印Ｅ）。
【００５７】
制御装置４０は、基板回収用のマガジン５をマガジン搬出コンベア３８によって前方に搬送したら、マガジン昇降機３４の昇降部３４ｂを上昇させて（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｂ７）、マガジン保持領域Ｓ２に保持したマガジン５を昇降部３４ｂによって支持する（図１１（ｂ））。そして、下部クランパ３７による空のマガジン５の保持を解除してマガジン昇降機３４の昇降部３４ｂを上昇させ（図１１（ｃ）中に示す矢印Ｂ８）、空のマガジン５の上面を第１のマガジン保持領域Ｓ１に保持した基板供給用のマガジン５の下面に接触させたうえで、上部クランパ３６による第１のマガジン保持領域Ｓ１に位置させた基板供給用のマガジン５のクランプを解除する（図１１（ｃ））。
【００５８】
これにより基板供給部Ｒ１に基板供給用のマガジン５が位置し、基板回収部Ｒ２に基板回収用のマガジン５が位置した状態となるので、その後はマガジン昇降機３４によって、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５と基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５を同時に（一体の状態で）昇降させて（図１１（ｄ）中に示す矢印Ｂ９）、本体部２への基板４の供給と本体部２からの基板４の回収を行いつつ、本体部２における基板４に対する液剤Ｑの塗布作業を行う。そして、以後は図１０（ｂ）→図１０（ｃ）→図１０（ｄ）→図１１（ａ）→図１１（ｂ）→図１１（ｃ）→図１１（ｄ）→図１０（ｂ）→・・・の工程を繰り返す。
【００５９】
このような一連の工程において、オペレータＯＰは、マガジン投入口２２ａからマガジン搬入コンベア３１への基板供給用のマガジン５の投入と、マガジン搬出コンベア３８によってマガジン取り出し口２２ｂに搬出された基板回収用のマガジン５の取り出しとを適宜行う。
【００６０】
このように、本実施の形態における液剤塗布装置１は、液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えたものにおいて、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置したものとなっている。
【００６１】
そして、この液剤塗布装置１による液剤塗布方法は、基板供給部Ｒ１に設置された基板用のマガジン５から液剤Ｑが塗布される前の基板を取り出して作業位置に移送する工程（上述の基板取り出し工程、作業位置移送工程）と、作業位置に移送した液剤Ｑを塗布する工程（上述の液剤塗布工程）と、液剤Ｑを塗布した基板４を作業位置から移送して基板供給部Ｒ１と上下方向に並んで位置する基板回収部Ｒ２に設置された基板回収用のマガジン５に収容する工程（上述の基板収容工程）を含むものとなっている。
【００６２】
本実施の形態における液剤塗布装置１及び液剤塗布方法では、液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１と、液剤Ｑが塗布された後の基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置される基板回収部Ｒ２とが上下方向に並んで位置しているので、液剤塗布装置１の平面視において基板供給部Ｒ１（基板供給用のマガジン５）と基板回収部Ｒ２（基板回収用のマガジン５）のうちの一方分の設置スペースがあればよく、その分、液剤塗布装置１の全体のサイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる。
【００６３】
また、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５及び基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５は一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置しており、これら基板供給用のマガジン５及び基板回収用のマガジン５をマガジン昇降手段であるマガジン昇降機３４によって同時に昇降させて基板４を取り出す際の基板供給用のマガジン５の上下方向の位置決め及び基板４を回収する際の基板回収用のマガジン５の上下方向の位置決めを行うようになっているので、液剤塗布装置１の平面視において基板供給部Ｒ１（基板供給用のマガジン５）と基板回収部Ｒ２（基板回収用のマガジン５）のうちの一方分の設置スペースがあればよく、その分、液剤塗布装置１の全体のサイズの小型化を図ることができる。
【００６４】
しかも、基板供給部Ｒ１において空になった基板供給用のマガジン５が基板回収部Ｒ２に移動されて基板回収用のマガジン５として用いられるようになっており、それまで基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５を基板回収用のマガジン５として使用するようになっていることから、基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５の液剤塗布装置１外への運び出し作業と新たな基板回収用のマガジン５の液剤塗布装置１内への運び入れ作業が不要である。このため従来のローダ、アンローダタイプで必要な空マガジンのセッティング工数が削減され、その分製造コストを低減することができる。
【００６５】
更に、本実施の形態における液剤塗布装置１では、作業位置を２つ有し、受け取りコンベア１５及び２つの位置決めコンベア１６から成る基板移送手段が、一方の作業位置に移送した基板４に対する液剤Ｑの塗布が行われている間に、基板供給用のマガジン５から取り出された基板４を他方の作業位置に移送し、或いは他方の作業位置において液剤Ｑの塗布が行われた基板４を基板回収用のマガジン５に移送するようになっているので、搬送待ちによる塗布工程の停止による時間のロスを最小化することができる。
【００６６】
なお、上述の実施の形態では、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５が基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５の上に載った状態で上下方向に並んで位置したものを示したが、マガジン搬入コンベア３１とマガジン搬出コンベア３８の配置によっては、基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５が基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５の上に載った状態で上下方向に並んで位置させることもでき、基板供給部Ｒ１の基板供給用のマガジン５及び基板回収部Ｒ２の基板回収用のマガジン５は一方が他方の上に載った状態で上下方向に並んで位置されていればよい。また、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５を新たな基板供給用のマガジン５に交換する場合としては、必ずしも基板供給用のマガジン５内の基板４（液剤塗布前の基板４）が空になった場合に限られない。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供する。
【符号の説明】
【００６８】
１  液剤塗布装置
４  基板
５  マガジン
１４  塗布ヘッド
１５  受け取りコンベア（基板移送手段）
１６  位置決めコンベア（基板移送手段）
３４  マガジン昇降機（マガジン昇降手段）
Ｒ１  基板供給部
Ｒ２  基板回収部
Ｑ  液剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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