(57)【要約】      （修正有）【課題】厳しい環境下で動作可能なエンコーダを提供する。【解決手段】コード部材３２０のベース構造３２１は所定の周期的様式で配列され、各ベース構造は第１及び第２の金属層３２１ａ、３２１ｂを備える。ベース構造３２１は、第１の金属層３２１ａの表面が外部に露出し、かつ、第２の金属層３２１ｂが封入剤から作られた本体３２２の内部に完全にに埋め込まれる。それらのエンコーダには、透過型光学エンコーダ及び反射型光学エンコーダ、並びに、磁気式エンコーダ及び静電容量式エンコーダなどの非光学式エンコーダが含まれる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コード部材であって、
複数のベース構造と、
前記複数のベース構造を封入する本体
を備え、
前記ベース構造の各々は、互いに接続された第１の金属層及び第２の金属層を備え、
前記第１の金属層は前記本体の内部に埋め込まれ、及び、該第１の金属層は外部に露出した表面を有し、
前記第２の金属層は、前記第２の金属が前記本体と前記第１の金属層によって囲まれるように前記本体の内部に埋め込まれ、
前記複数のベース構造は、放射源からセンサーへと放射される放射を変調するために、所定の周期的様式で配列されることからなる、コード部材。
【請求項２】
前記本体と前記第１の金属層の前記表面は、前記放射源から放射された放射を、所定の周期的様式にしたがって、前記センサーに向けて送るように構成された領域を画定する、請求項１のコード部材。
【請求項３】
前記第１の金属層は、耐腐食性の金属から構成される、請求項１のコード部材。
【請求項４】
前記本体は、予め選択された放射源に対して透明な部分を有する、請求項１のコード部材。
【請求項５】
前記第２の金属層は銅から構成される、請求項１のコード部材。
【請求項６】
前記第２の金属層はニッケルから構成される、請求項１のコード部材。
【請求項７】
前記複数のベース構造の各々は、隣接する別のベース構造から５０マイクロメートルより短い距離だけ離れている、請求項１のコード部材。
【請求項８】
前記第２の金属層の厚さは、５マイクロメートル〜１００マイクロメートルの範囲内にある、請求項１のコード部材。
【請求項９】
前記ベース構造の各々は、前記本体と前記ベース構造の間に機械式連結機構を提供するためのインターロック構造をさらに備える、請求項１のコード部材。
【請求項１０】
前記本体はシリコンから構成される、請求項１のコード部材。
【請求項１１】
前記コード部材、前記放射源、及び前記センサーは、静電容量式エンコーダの一部を形成する、請求項１のコード部材。
【請求項１２】
前記コード部材、前記放射源、及び前記センサーは、磁気式エンコーダの一部を形成する、請求項１のコード部材。
【請求項１３】
光学エンコーダであって、
光を生成するように構成された光源と、
センサーと、
前記光源からの光を、前記センサーに選択的に方向づけて送るためのコード部材
を備え、
前記コード部材は、複数のベース構造及び本体を備え、
前記ベース構造の各々は、互いに接続された第１の金属層と第２の金属層を備え、
前記第１の金属層及び前記第２の金属層は、前記第１の金属層の一つの側が外部に露出し、かつ、前記第２の金属層が、前記本体と前記第１の金属層によって囲まれるように、前記本体に埋め込まれ、
前記複数のベース構造は、前記光源から前記センサーへと放射された光を変調するために、所定の周期的様式で配列されることからなる、光学エンコーダ。
【請求項１４】
前記第１の金属層の前記一つの側と前記本体は、前記光源から放射された光を、所定の周期的様式にしたがって、前記センサーに向けて送るように構成された領域を画定する、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項１５】
前記第１の金属層は、耐腐食性の金属から構成される、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項１６】
前記本体は、透明な部分を有する、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項１７】
前記複数のベース構造の各々は、隣接するベース構造から５０マイクロメートルより短い距離だけ離れている、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項１８】
前記第２の金属層の厚さは、５マイクロメートル〜１００マイクロメートルの範囲にある、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項１９】
前記ベース構造は、前記本体と前記ベース構造の間に機械式連結機構を提供するためのインターロック構造さらに備える、請求項１３の光学エンコーダ。
【請求項２０】
エンコーダシステムであって、
放射を放出するように構成された放射源と、
前記放射を変調するためのコード部材と、
前記コード部材によって変調された放射を検出するためのセンサーと、
前記センサーに電気的に接続されたコントローラ
を備え、
前記コード部材は、複数のベース構造と、前記複数のベース構造を封入する本体とを備え、
前記ベース構造の各々は、互いに接続された第１の金属層及び第２の金属層を備え、
前記第１の金属層及び前記第２の金属層は、前記第１の金属層が外部に露出した表面を有し、かつ、前記第２の金属層が、前記本体と前記第１の金属層によって囲まれるように、前記本体の内部に埋め込まれ、
前記複数のベース構造は、前記放射源から放射された放射を変調するために、所定の周期的様式で配列されることからなる、エンコーダシステム。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
エンコーダ（エンコーダはエンコーダーと記載される場合もある）は、動き（運動）を検出して測定するための検出装置である。多くの自動化システムにおいて、エンコーダは、絶対位置、または、所定の基準位置に対する構成要素の相対的な位置を測定するために使用されている。絶対位置を決定するために使用されるエンコーダは、アブソリュートエンコーダとして一般に知られており、相対位置を決定するために使用されるエンコーダは、インクリメンタルエンコーダとして一般に知られている。一般に、エンコーダは、放射源、コード部材、及びセンサーを備える。放射源は、技術のタイプに依存して、光源、容量性プレート（capacitive plate）、または、磁石とすることができる。エンコーダの主なタイプには、静電容量式エンコーダ（capacitive encoder）、磁気式エンコーダ（magnetic encoder）、及び、光学エンコーダ（光学式エンコーダともいう）の３つがある。静電容量式エンコーダは静電容量の変化を検出することによって動作し、磁気式エンコーダは磁場の変化を検出することによって動作し、光学エンコーダは光の変化を検出することによって動作する。
【０００２】
エンコーダシステムを種々の用途で使用することができる。産業オートメーションなどのいくつかの用途では、エンコーダは、高温や高圧などの厳しい条件下で動作することが要求される。プリンタなどのいくつかの他の民生用電子機器用途では、動作条件はそれほど厳しくないであろう。民生用電子機器用途用のエンコーダは、産業オートメーションで要求される信頼性性能を有していない場合がある。エンコーダの信頼性は、コード部材を製造する際に使用される技術に大きく依存する。
【０００３】
現在、一般的に使用されているコード部材の例は、ガラスコードホイール、金属（メタル）コードホイール、ポリマーベースのコードホイールである。金属コードホイールのコードパターン（符号化パターンともいう）は、エッチングによって形成され、金属表面からの突出部（または隆起部）によって特徴づけられる。ガラスコードホイールは、通常、薄い平坦なガラスベースの本体（部）を有している。コードパターン（コードパターンは通常は金属から作られる）は、スパッターによってガラス表面に形成される。この結果、ガラスコードホイールは、金属が、通常、薄い平坦なガラスから突き出ているという事実によって特徴づけられる。ポリマーベースのコードホイールは、通常、ポリマーベースの本体を有している。感光性材料を有する乳剤層（エマルジョン層）が本体内部に完全に埋め込まれている。通常、この感光性材料がコードパターンを画定する。ポリマーベースのコードホイールは、乳剤層が本体のどの表面からも外部に露出していないという点でガラスや金属をベースとするコードホイールとは少なくとも異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第2003/0224263号明細書
【図面の簡単な説明】
【０００５】
【図１】反射型エンコーダの斜視図である。
【図２】エンコーダで使用されるコードホイールを示している。
【図３】コード部材の破断図である。
【図４】インターロック（連結）アパーチャを示す。
【図５】反射型エンコーダにおいてコード部材がどのように作用するかを示している。
【図６】透過型エンコーダにおいてコード部材がどのように作用するかを示している。
【図７】コード部材がどのように製作されるかを示している。
【発明を実施するための形態】
【０００６】
例示的な実施形態（本発明を限定するものではない）が図面に示されている。発明の詳細な説明及び図面を通じて、同じ参照符号が同様の要素を特定するために使用されている。
【０００７】
図１は、エンコーダ１００の斜視図である。エンコーダ１００は、一般に、動いているディスク（円盤）の回転を検知及び検出するために使用される。エンコーダ１００は、放射源１１０、コード部材１２０、及びセンサー１４０を備えている。放射源１１０は、光などの電磁放射１１１を生成して、それをコード部材１２０に向けて送る。エンコーダ１００を、発光ダイオード（以下LEDという）などの光源である放射源１１０と対になった光反射型エンコーダとすることができる。コード部材１２０は、放射１１１の方向づけ、経路の変更（すなわち放射の向きを変える）、もしくは反射を選択的に行うための１つの領域１２５を有している。図１に示す実施形態では、領域１２５は平面であるが、別の実施形態では、領域１２５を、放射１１１を集束させるように構成された曲面とすることができる。コード部材１２０は、領域１２５上のコードパターンにしたがって（または、該コードパターンに合わせて）配置乃至配列された複数のベース構造（下部構造ともいう）１２１を有している。コードパターンは、空間フィルターで使用されているものと類似の所定の周期パターンを画定することができる。コード部材１２０は、その処理において、放射源１１０から放射されてコードパターンに応じてセンサー１４０に送られた放射１１１を検出し、該放射１１１に空間（的）情報を変調するように構成されている。
【０００８】
図１の実施形態に示すように、ベース構造１２１は、コード部材１２０の中心のまわりの周辺部に整然と乃至規則正しく隔置された列をなすように配置されている。コード部材１２０を、コード部材１２０の中心が固定軸（たとえば、モーターシステム乃至運動系の回転軸）上にあり、かつ、ベース構造１２１が該固定軸のまわりを回転するように、該固定軸のまわりを回転する回転物体に取り付けることができる。放射源１１０は、コード部材１２０に向けて放射１１１を放射するように構成されている。放射１１１は、ベース構造１２１によってセンサー１４０に向かって反射される。しかしながら、コード部材１２０が回転すると、放射１１１は、ベース構造１２１の外側にあるコード部材１２０の別の部分１２２に当たり、その部分１２２では反射されない。コード部材１２０の部分１２２では、放射１１１を吸収し、または、透過させ、または、センサー１４０から離れる方に向けて送るようにすることができる。このプロセスは、コード部材１２０がさらに回転を続けるにしたがって繰り返される。このようにして、コード部材１２０の周期パターンは、放射１１１中に変調され、その後、センサー１４０によって検出される。
【０００９】
回転構造で使用されるコード部材１２０はコードホイールとして知られている。別の実施形態では、複数のベース構造１２１を直線状に配列して、コード部材１２０が、回転運動ではなく直線状に前後に動けるようにすることができる。直線運動を行うそのようなコード部材１２０は、「コードストリップ」として知られている。「コードホイール」及び「コードストリップ」は、当業界で一般的に使用されている用語である。しかしながら、「コードホイール」及び「コードストリップ」という用語は、特定のタイプのエンコーダのみを指すものとして狭く解釈される場合がある。そのような混乱を回避するために、以下では、動き検出のためのそのようなコードパターンを有するコードホイール、コードストリップ、及び任意の幾何学的形状を有する類似の任意の他の構造を含む「コード部材」という用語を使用する。本明細書では、「コードホイール」や「コードストリップ」などの特定のタイプのコード部材が説明されているが、明示的に定義されていない限り、可能性のある全ての構成が考慮されている。
【００１０】
複数のベース構造１２１は、放射１１１をセンサー１４０に選択的に向けるかまたはセンサー１４０へと反射するのに適した任意の形状を画定することができる。図１に示す実施形態では、ベース構造１２１の各々は実質的に矩形（長方形）の形状を画定している。正弦信号が好ましい場合には、ベース構造１２１は、センサー１４０で検出される信号が疑似（もしくは準）正弦波形または正弦波形を有するように、ダイヤモンド形状、卵形、または円形を画定するようにしてもよい。
【００１１】
光学エンコーダの場合は、放射源１１０とコード部材１２０の間、または、コード部材１２０とセンサー１４０の間、または、それらの両方に光学レンズ（不図示）を配置することができる。いくつかの実施形態では、十字線（レチクル）をコード部材１２０とセンサー１４０の間に配置することができる。特定の実施形態が図１に示されているが、本願の教示から逸脱することなく、他の配列及び組み合わせからなるエンコーダを実施することができる。
【００１２】
図２は、回転運動検出用のコード部材２２０の平面図である。コード部材２２０は、本体２２２と複数のベース構造２２１を備えている。複数のベース構造２２１は、所定の周期パターンで配列されている。本体２２２は、２つの部分、たとえば、複数のベース構造２２１に隣接する部分２２２ａと、ベース構造２２１からより離れたところにあるもう一方の部分２２２ｂに分けられる。コード部材は、該コード部材２２０の中心部にオプションの空洞（または穴）２２９を有することができる。図示の実施形態では、部分２２２ａは透明（または光透過性）であり、一方、部分２２２ｂを透明（または光透過性）かまたは不透明（または光を通さない性質のもの）とすることができる。オプションとして、部分２２２ａ及び２２２ｂを、互いに異なる材料を用いて形成することができる。
【００１３】
コード部材２２０は、たとえば、反射型光学エンコーダ、透過型光学エンコーダ、静電容量式エンコーダ、磁気式エンコーダ（但し、これらのエンコーダには限定されない）で使用される部品とすることができる。反射型光学エンコーダの場合は、ベース構造２２１を、光を反射するように構成された反射面とすることができる。図２に示す実施形態では、本体２２２を、光を吸収して反射を低減するように構成することができる。透過型光学エンコーダの場合は、部分２２２ａは、光が通過できる空隙または穴を備えることができる。磁気式エンコーダの場合は、ベース構造２２１を、磁場を生成するように構成された磁極を有する構造とすることができ、一方、本体２２２を、磁気的性質を有しない任意の材料とすることができる。静電容量式エンコーダの場合は、ベース構造２２１を、外部回路に電気的に接続するように構成された導電プレートとすることができ、一方、本体２２２を、電気絶縁材料とすることができる。静電容量式及び磁気式エンコーダの場合は、コード部材２２０は、放射源１１０（図１を参照）をさらに備えることができる。
【００１４】
図３は、コード部材３２０の１実施形態の破断図である。コード部材３２０は、複数のベース構造３２１及び本体３２２を備えている。複数のベース構造３２１を、所定の周期的様式（たとえば、所定の周期的間隔または一定の繰り返し間隔）で配列することができる。隣接する２つのベース構造３２１間の間隔（乃至距離）３０８によって、エンコーダシステムの解像度が決まる。たとえば、高解像度エンコーダの１実施形態では、間隔３０８は５０マイクロメートルよりも小さい。
【００１５】
複数のベース構造３２１の各々は、第１の金属層３２１ａ及び第２の金属層３２１ｂを備えている。複数のベース構造３２１は、表面３２５ａを画定している第１の金属層３２１ａの一方の側が外部に露出している以外は、本体３２２の内部に完全に埋め込まれている。表面３２５ａを平らな面（平面）とすることができ、または、表面３２５ａは、たとえば放射を平行化するために曲率を有する（または曲面とする）ことができる。第２の金属層３２１ｂは、該第２の金属層３２１ｂが本体３２２及び第１の金属層３２１ａによって囲まれるように、本体３２２の内部に封入される。コード部材３２０は、放射源１１０（図１を参照）から放射された放射をセンサー１４０（図１を参照）に選択的に向けて送るように構成された少なくとも１つの領域３２５を有する。図３に示す実施形態では、領域３２５は、第１の金属層３２１ａの表面３２５ａ及び本体３２２の表面部分３２５ｂによって画定されている表面である。
【００１６】
図３に示す実施形態のコード部材３２０は、複数のベース構造３２１が、突き出していないが、表面３２５ａが外部に露出した状態で本体３２２の内部に完全に埋め込まれている点で少なくとも、従来技術による金属（ベースの）コードホイール及びガラス（ベースの）コードホイールとは異なる。図３に示されているコード部材３２０には突出部がない。したがって、領域３２５に当たった光は消えない（もしくは見えなくならない）。同様に、この実施形態では、コード部材３２０は、ベース構造３２１が完全には埋め込まれていないが、外部に露出した１つの表面３２５ａを有しているという点で少なくとも、従来のポリマー（ベースの）コードホイールとは異なる。これによって、領域３２５に当たった光が、従来のポリマー（ベースの）コードホイールの任意の防護コーティングによって屈折するのが防止される。
【００１７】
第１の金属層３２１ａは第２の金属層３２１ｂに接続されている。第１の金属層３２１ａを、第２の金属層３２１ｂ上にコーティングし、または、第２の金属層３２１ｂ上に形成することができる。第１の金属層３２１ａを、放射源からの放射を反射するために高反射性とすることができる。たとえば、反射型エンコーダ１００（図１を参照）で使用されるときは、第１の金属層３２１ａは、放射源１１０（図１を参照）から放射された放射１１１を反射するように構成される。図３に示されている実施形態では、第１の金属層３２１ａは、耐腐食性の金属から作られる。別の実施形態では、第１の金属層３２１ａは、金などの耐酸化性も有する貴金属である。さらに別の実施形態では、第１の金属層３２１ａの厚さを、１マクロメートルよりも小さくすることができる。
【００１８】
第２の金属層３２１ｂは、固定手段（アンカー）を提供し、ベース構造３２１及びコード部材３２０を支持する。第２の金属層３２１ｂを、固定の目的に適した銅、ニッケル、または、他の金属材料から作ることができる。オプションとして、障壁金属（barrier metal。不図示）の層を第１の金属層３２１ａと第２の金属層３２１ｂの間に形成して、それら２つの金属層３２１ａと３２１ｂの拡散を防止することができる。障壁金属の例は、パラジウムやニッケルパラジウム（nickel palladium）である。第２の金属層３２１ｂは、５〜１００マイクロメートルの範囲内の厚さ３０７を有することができる。
【００１９】
図３の実施形態に示されている本体３２２は、シリコン（またはケイ素。以下、同じ）、エポキシ（またはエポキシ樹脂）、シリコンとエポキシ（またはエポキシ樹脂）の混成物、非晶質ポリアミド樹脂（amorphous polyamide resin）、または、フッ化炭素（fluorocarbon）、プラスチック、ガラス充填材（glass filler）、シリカ充填剤（silica filler）、窒化アルミニウム充填剤（aluminum nitride filler）、または、それらの組み合わせなどの封入剤（もしくはカプセル材料）から作られる。本体３２２を、透明（もしくは光透過性）または不透明（もしくは光を通さない性質のもの）とすることができる。しかしながら、光学エンコーダで使用する場合は、本体３２２は、放射源１１０（図１を参照）から放射される放射に対して透明である。
【００２０】
図４に示すインターロックアパーチャ（以下ではインターロック構造ともいう）４２６を、信頼性性能を高めるために形成することができる。このようなインターロックアパーチャ４２６は、本体４２２とベース構造４２１との間の機械式の連結機構を形成して、本体４２２とベース構造４２１との結合を強化する。インターロック構造４２６を、第１の金属層４２１ａと第２の金属層４２１ｂの少なくとも一方から形成することができ、または、第１の金属層４２１ａと第２の金属層４２１ｂの両方から形成することができる。
【００２１】
図５は、コード部材５２０が反射型構成でどのように作用するかを示し、図６は、コード部材６２０が透過型構成でどのように作用するかを示している。図５の実施形態は、放射源５１０、コード部材５２０、及びセンサー５４０を備えるエンコーダ５００を示している。放射源５１０及びセンサー５４０は、放射源５１０から放射された放射５９１及び５９２を受けるように構成乃至配置された領域５２５に面した同じ側に配置されている。領域５２５を、平坦な面（平面）とすることができ、または、その代わりに、放射５９１及び５９２を方向付け、もしくは、それらの放射の向きを向け直すのに適した他の幾何学的形状とすることができる。コード部材５２０は、本体５２２、並びに、第１の金属層５２１ａ及び第２の金属層５２１ｂを備える複数のベース構造５２１を有する。１実施形態では、センサー５４０は、複数のベース構造５２１にしたがって（または複数のベース構造５２１に合わせて）配列乃至配置されたフォトダイオードなどの複数の検出ユニットを備えることができる。
【００２２】
放射源５１０から放射された放射の一部分５９１は、ベース構造５２１によってセンサー５４０に向けて送られるか、または、センサー５４０に向けて反射される。しかしながら、図５の実施形態の本体５２２は放射５９２に対して透明であるので、放射の別の部分５９２は、本体５２２を通過して、センサー５４０から離れる方へと送られる。別の実施形態では、本体５２２を、放射５９２を吸収するように構成することができる。さらに別の実施形態では、その代わりに、本体５２２は、放射５９２をセンサー５４０から離れる方へと反射することができる。コード部材５２０が方向５０９ａまたは５０９ｂのどちらかに沿って動くと、センサー５４０は、反射された放射５９２は検出するが、放射５９１は検出しなくなる。センサー５４０の異なる部分（不図示）を用いて、放射５９１及び５９２を検出することができる。コード部材５２０がさらに動くと、放射５９１が検出される。放射５９１と５９２は、所定の周期的様式（たとえば、所定の周期的時間間隔または一定の時間間隔）で交互に検出される。センサー５４０で検出された信号は、その後、動きを検出するために、または、動きの速度を計算するために処理される。
【００２３】
図６に示すような透過型構成のエンコーダ６００の場合は、センサー６４０と放射源６１０は、コード部材６２０の互いに異なる側に配置されている。図６に示す実施形態では、放射源６１０は、放射源６１０から放射された放射６９１及び６９２を受けるように構成された領域６２５に面して配置されている。放射の一部分６９１は、複数のベース構造６２１によってセンサー６４０から離れる方に反射されるか、または、センサー６４０から離れる方に向けて送られるが、放射のもう一方の部分６９２は、本体６２２を通過してセンサー６４０に向けて送られる。コード部材６２０が動くと、放射６９１が検出され、放射６９２は、センサー６４０から離れる方に向けて送られる。かかる動作は、コード部材６２０がさらに動くにしたがって繰り返され、検出された信号を用いて動きまたは速度を検出することができる。
【００２４】
図７は、コード部材７２０を製作する方法を示している。プロセスは、ステップ１に示されているベース金属（ベースすなわち土台となる金属）７８０から開始する。ベース金属７８０を、製作プロセスの終わりに除去される製作用ジグの一部とすることができる。ベース構造７２１をベース金属７８０上に形成して該ベース金属７８０に固着乃至接着することができるように、ベース金属７８０を、ベース構造７２１を形成するのに使用される材料に適合したものとすることができる。次に、ステップ２に示すように、ベース金属７８０が、フォトレジスト材料７８２でコーティングされる（または、ベース金属７８０に、フォトレジスト材料７８２を塗布する）。次に、フォトレジスト材料７８２は、写真技術を用いて所定のパターンで照らされる光にさらされる。次に、ステップ３において、光が（当たるのが）遮られたフォトレジスト材料７８２の部分が除去され、光にさらされたフォトレジスト材料７８２の部分が残される。この段階で、フォトレジスト材料７８２は複数のアパーチャ（開口部）７８３を画定する。
【００２５】
次に、プロセスはステップ４に進んで、めっき行程を施すことによって第１の金属層７２１ａの層がアパーチャ７８３に付加される。このめっき行程を、典型的な電着プロセス、または、置換金めっき法（immersion gold plating process。浸漬金めっき法ともいう）などの無電解析出（electro-less deposition）プロセスのいずれかとすることができる。続いて、ステップ５では、第２の金属層７２１ｂが第１の金属層７２１ａ上に付加されて所望の総金属厚が得られる。費用効果をよくするために、第１の金属層７２１ａを金とすることができるが、第２の金属層７２１ｂを、銅やニッケルなどの他のより安価な材料とすることができる。第２の金属層７２１ｂが空隙（キャビティ）７８からあふれ出して（乃至はみ出して）、図４に示すきのこ形状のインターロック構造４２６を形成するように、第２の金属層７２１ｂの厚さを、フォトレジスト材料７８２よりも厚くすることができる（そのように第２の金属層７２１ｂを形成することができる）。
【００２６】
ステップ６では、フォトレジスト材料７８２を除去して、第１の金属層７２１ａ及び第２の金属層７２１ｂによって画定される複数のベース構造７２１を残す。次に、ステップ７に示すように、複数のベース構造７２１が封入剤（またはカプセル材料）によって封入される。該封入剤は本体７２２を形成し、これは、最初は液体状態または半流動体状態でありうるが、プロセスの終わりには固体状態に硬化させることができる。本体７２２を、トランスファー成形、鋳造（または成形）、射出成形、または、他の類似のプロセスを用いて形成することができる。本体７２２は、エポキシ（またはエポキシ樹脂）、シリコン、シリコンとエポキシ（またはエポキシ樹脂）の混成物、非晶質ポリアミド樹脂（amorphous polyamide resin）、または、フッ化炭素（fluorocarbon）、プラスチック、ガラス充填材（glass filler）、シリカ充填剤（silica filler）、窒化アルミニウム充填剤（aluminum nitride filler）、または、それらの組み合わせから構成されることができる。たとえば、該封入剤を、日東電工（株）のNT-330HQとすることができ、または、不透明材料、たとえば、日東電工（株）のNT-8570、または、住友ベークライト（株）のEME-E670とすることができる。
【００２７】
ステップ８では、たとえば、化学溶液を用いてエッチング除去することによって、ベース金属７８０が除去される。このプロセスの間、第１の金属層７２１ａは、エッチングレジスト（etch-resist）層として作用する。金属エッチングプロセスによって、放射を方向づけ、または、放射の向きを向け直すための表面を画定する領域７２５が形成され、完全なコード部材７２０が生成される。
【００２８】
本発明の特定の実施形態を説明し図示したが、本発明は、説明し図示した構成要素乃至部品の特定の形態もしくは配置には限定されない。たとえば、放射源は、光を放出するように構成された発光ダイオードでありうるが、放射源を、人間の目には見えない異なる波長の電磁波を放射するように構成された他の放射源とすることもできる。本発明の思想から逸脱することなく、記述されている放射源及び他の要素を、後で開発される他の要素とすることができる。図示及び説明（の内容）は狭く解釈されるべきではないことが理解されよう。本発明の範囲は、特許請求の範囲及びそれの等価物によって画定されるべきものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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