(57)【要約】【課題】ロードセルの特性を劣化させることなく、歪ゲージ部分を密封することを目的とする。【解決手段】固定部３、可動部４及びそれらを連結する上下のビーム部５，６を有する起歪体２と、起歪体２に装着される歪ゲージ８ａ，８ｂと、歪ゲージ８ａ，８ｂを収納する起歪体２に形成された収納室９を塞ぐ蓋体１１とを備え、上下の各ビーム部５，６は、薄肉の起歪部５ａ，５ｂ；６ａ，６ｂをそれぞれ有し、各起歪部５ａ，５ｂ；６ａ，６ｂにそれぞれ対応して前記歪ゲージ８ａ，８ｂが、各ビーム部５，６にそれぞれ形成された収納室９内の扁平な表面に装着され、蓋体１１が、起歪体２と同一種類の金属材料から構成され、収納室９の開口部周縁と蓋体１１とが、溶接によって接合される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部、可動部及びそれらを連結する上下のビーム部を有する起歪体と、該起歪体に装着される歪ゲージと、蓋体とを備え、
前記上下の各ビーム部は、薄肉の起歪部をそれぞれ有すると共に、起歪部に対応して装着される前記歪ゲージを収納する収納室をそれぞれ有し、前記歪ゲージが、前記収納室内の扁平な表面に装着され、前記蓋体が、前記歪ゲージが装着された前記収納室の開口部を塞ぐロードセルであって、
前記蓋体が、前記起歪体と同一種類の金属材料から構成され、前記収納室の開口部周縁と前記蓋体とが、溶接によって接合される、
ことを特徴とするロードセル。
【請求項２】
前記収納室の開口部周縁の接合される部分と前記蓋体の接合される部分との形状を、前記溶接の熱が均等に伝達されるように略等しい形状とした、
請求項１に記載のロードセル。
【請求項３】
前記収納室の開口部周縁には、周壁が突出形成されると共に、該周壁の幅を、前記蓋体の接合される部分の厚みと等しくした、
請求項２に記載のロードセル。
【請求項４】
前記収納室の開口部周縁には、周壁が突出形成されると共に、該周壁の幅を、前記薄肉の起歪部の厚み以下とした、
請求項１ないし３のいずれかに記載のロードセル。
【請求項５】
前記収納室が、前記各ビーム部の前記起歪部に個別的に対応して形成される、
請求項１ないし４のいずれかに記載のロードセル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、台秤、計量タンク、計量ホッパ等の各種計量装置に用いられるロードセルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロードセル、例えば、平行四辺形型のロードセルでは、固定部側と可動部側とを連結する２本の平行な上下のビーム部の所定位置に薄肉の起歪部を形成し、前記起歪部の表面に歪ゲージを貼着し、負荷荷重による起歪部の伸縮量を歪ゲージの抵抗値変化による電気信号に変換して負荷荷重の大きさに比例する荷重信号を発生させる。
【０００３】
起歪部に貼着される歪ゲージは、ポリイミドやエポキシなどの樹脂フィルム上に、Ｃｕ−Ｎｉ合金などの金属の配線パターンが所定形状に形成されて構成される。この金属の配線パターンは、水蒸気、特に塩素や硫黄成分が含まれる水蒸気が結露して生じた水分に触れると腐食しやく、また、前記樹脂フィルムも吸湿すると、厚みが変化し、歪ゲージの荷重信号出力の零点やスパンが変化することになり、正確な測定が困難となる。
【０００４】
このため、歪ゲージ部分の腐食等を防止するために、例えば、特許文献１には、図１７に示すように、起歪体３０の歪ゲージ３１を貼着する上下の面を、その周辺部よりも低くして歪ゲージ３１の収納室３２をそれぞれ形成し、その上に金属製のカバー３３をそれぞれ被せて収納室３２を密閉する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開昭６１−３０８３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１には、前記金属製のカバー３３を、前記収納室３２の側壁３２ａに接着剤によって接着する、あるいは、前記カバー３３としてリン青銅や黄銅などを用いる一方、収納室３２が形成された起歪体３０に半田性の優れた金属メッキを施して半田によって接着することが記載されている。
【０００７】
しかしながら、金属製のカバー３３を収納室３２の側壁３２ａに接着する接着剤は、有機材料であって、本質的に多孔質で通気性を有するので、長期に亘って気体を完全に遮断することはできない。また、接着力を高めるためには、図１７に示される収納室３２の側壁３２ａの幅Ｗを大きくする必要があるが、側壁３２ａの幅Ｗを大きくすると、歪応力検出部における負荷荷重に対する剛性が高まるために、小容量を定格荷重とするロードセルに適用するのは困難である。
【０００８】
一方、金属製のカバー３３を、収納室３２に半田によって接着する場合には、十分な接着力を得るために、多くの量の半田を用いて接着しなければならないが、歪応力検出部の近傍に、一様な量で均質に半田を塗布して接着するのは困難であり、ロードセルの応力−歪特性に悪影響を与える。
【０００９】
また、半田材料は、金属製のカバー３３とも起歪体３０とも異なる材料であるので、その応力−歪特性は、金属製のカバー３３や起歪体３０の特性と異なり、ロードセルの応力−歪特性を劣化させる。
【００１０】
更に、金属製のカバー３３と起歪体３０と半田の材料がそれぞれ異なると、周囲温度の変化による各材料の伸縮量に差が生じ、発生する内部応力が歪応力検出部に対して影響を与え、ロードセルの応力−歪特性についての温度特性を低下させる。
【００１１】
このように特許文献１では、長期に亘って完全に外気を遮断することができず、あるいは、ロードセルの特性を劣化させる。
【００１２】
本発明は、上述のような実情に着目してなされたものであって、ロードセルの特性を劣化させることなく、歪ゲージ部分を完全に密封できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明では次のように構成している。
【００１４】
（１）本発明のロードセルは、固定部、可動部及びそれらを連結する上下のビーム部を有する起歪体と、該起歪体に装着される歪ゲージと、蓋体とを備え、前記上下の各ビーム部は、薄肉の起歪部をそれぞれ有すると共に、起歪部に対応して装着される前記歪ゲージを収納する収納室をそれぞれ有し、前記歪ゲージが、前記収納室内の扁平な表面に装着され、前記蓋体が、前記歪ゲージが装着された前記収納室の開口部を塞ぐロードセルであって、前記蓋体が、前記起歪体と同一種類の金属材料から構成され、前記収納室の開口部周縁と前記蓋体とが、溶接によって接合される。
【００１５】
本発明のロードセルによると、歪ゲージを収納する収納室の開口部周縁は、蓋体が溶接されて密閉されるので、接着剤で蓋体を接着して密閉する従来例に比べて、長期に亘って外気を完全に遮断して密封することができ、これによって、収納室内の歪ゲージの腐食等を防止することができる。
【００１６】
更に、蓋体は、収納室が形成された起歪体と同一種類の金属材料から構成されると共に、蓋体と収納室の開口部周縁とは、蓋体と起歪体の接合部とを溶融させる溶接によって接合されるので、異なる材料からなる蓋体と起歪体とが、半田を介して接合される従来例のように、異なる材料の力学的な性質の相違等に起因してロードセルの特性が劣化するのを防止することができる。
【００１７】
（２）本発明のロードセルの好ましい実施態様では、前記収納室の開口部周縁の接合される部分と前記蓋体の接合される部分との形状を、前記溶接の熱が均等に伝達されるように略等しい形状とした。
【００１８】
この実施態様によると、収納室の開口部周縁の接合される部分と、蓋体の接合される部分との形状を略等しい形状としたので、接合される部分の熱伝達特性及び熱容量を略等しくすることができ、溶接の際の熱が、収納室の開口部周縁と蓋体とに略均等に伝達され、収納室の開口部周縁の材料と蓋体の材料とを均等に溶融させて接合することができる。
【００１９】
（３）上記（２）の実施態様では、前記収納室の開口部周縁に、周壁を突出形成すると共に、該周壁の幅を、前記蓋体の接合される部分の厚みと等しくしてもよい。
【００２０】
この実施態様によると、収納室の開口部周縁に突出形成した周壁の幅と、この周壁に接合される蓋体の厚みを等しくしたので、溶接する際の熱が、収納室の開口部周縁の周壁と蓋体の接合される部分とに均等に伝達されて、収納室の周壁の材料と蓋体の材料とを均等に溶融させて接合することができる。
【００２１】
（４）本発明のロードセルの他の実施態様では、前記収納室の開口部周縁には、周壁が突出形成されると共に、該周壁の幅を、前記薄肉の起歪部の厚み以下とした。
【００２２】
この実施態様によると、収納室の開口部周縁の周壁の幅を、起歪部の厚み以下と小さくすることによって、歪応力検出部における負荷荷重に対する剛性を低くして、小容量の定格荷重のロードセルに適用することができる。
【００２３】
（５）本発明の更に他の実施態様では、前記収納室が、前記各ビーム部の前記起歪部に個別的に対応して形成される。
【００２４】
この実施態様によると、ビーム部の各起歪部に対応して装着される歪ゲージ毎に、収納室を形成して収納するので、伸長側の起歪部の歪ゲージと圧縮側の起歪部の歪ゲージとを個別の収納室に収納することができ、伸長側と圧縮側との蓋体による相互の干渉を抑制して精度の高い測定が可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
このように本発明のロードセルによれば、蓋体を、収納室が形成された起歪体と同一種類の金属材料から構成すると共に、蓋体と収納室の開口部周縁とを、溶接によって接合するので、ロードセルの荷重特性を劣化させることなく、歪ゲージが装着された収納室の通気を長期に亘って完全に遮断して収納室内の歪ゲージの腐食等を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は本発明の一実施形態のロードセルの取付け状態を示す図である。
【図２】図２は図１のロードセルの正面図である。
【図３】図３は図１のロードセルの平面図である。
【図４】図４は図３の矢視Ａ−Ａ部分断面図である。
【図５】図５は図３の矢視Ｂ−Ｂ部分断面図である。
【図６】図６は起歪体の平面図である。
【図７】図７は溶接部分を示す断面図である。
【図８】図８は本発明の他の実施形態のロードセルの正面図である。
【図９】図９は図８のロードセルの平面図である。
【図１０】図１０は図９の矢視Ｃ−Ｃ部分断面図である。
【図１１】図１１は図９の矢視Ｄ−Ｄ部分断面図である。
【図１２】図１２は起歪体の平面図である。
【図１３】図１３は本発明の他の実施形態のロードセルの正面図である。
【図１４】図１４は図１３のロードセルの平面図である。
【図１５】図１５は図１４の矢視Ｅ−Ｅ部分断面図である。
【図１６】図１６は、蓋体の他の例を示す部分断面図である。
【図１７】図１７は従来例の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面によって本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００２８】
(実施形態１)
図１は、本発明の一実施形態のロードセルの取付け状態を示す図であり、図２は、図１のロードセルの正面図であり、図３は、その平面図であり、図４は、図３の矢視Ａ−Ａ部分断面図であり、図５は、図３の矢視Ｂ−Ｂ部分断面図である。
【００２９】
この実施形態のロードセル１は、アルミニウム、鉄、ステンレス合金などの直方体状の金属弾性体である起歪体２を備えている。この起歪体２は、左右方向の一端側の固定部３及び他端側の可動部４を備え、前記両部３，４間には、図１及び図２に示すように、上下に長い左右の長円孔が連結された貫通孔７が形成され、前記両部３，４の上下部分が、２本の平行リンクを構成する上下のビーム部５，６でそれぞれ連結された平行四辺形型のロードセルである。
【００３０】
固定部３の下面には、当該ロードセル１を、計量装置の基台１６等のベースに固定するためのねじ孔１７ａ，１７ｂが形成されており、可動部４の側面には、被計量物の荷重を受ける荷重受け台１８を取付けるためのねじ孔１９ａ，１９ｂが形成されている。
【００３１】
上下に長い左右の二つ長円孔が連結された上記貫通孔７によって、図１及び図２に示すように、上ビーム部５には、薄肉の起歪部（歪発生部）５ａ，５ｂがそれぞれ形成され、下ビーム部６には、薄肉の起歪部６ａ，６ｂがそれぞれ形成される。各起歪部５ａ，５ｂ；６ａ，６ｂは、荷重に応じた歪を生じる。
【００３２】
上ビーム部５の上表面及び下ビーム部６の下表面は、切削加工によって、上記各起歪部５ａ，５ｂ；６ａ．６ｂに対応して装着される歪ゲージ８ａ，８ｂを収納する収納室９がそれぞれ形成されている。この収納室９は、図３及び図６の起歪体２の平面図に示すように、左右の二つの半円が直線で連結された角丸長方形に切下げ加工されて形成される。上ビーム部５収納室９の底面と下ビーム部６の収納室９の底面は、互いに平行であり、各収納室９内の扁平な底面に、歪ゲージ８ａ，８ｂが貼着される。
【００３３】
上下の各ビーム部５，６の表面の固定部３側及び可動部４側には、収納室９の開口部周縁に、全周に亘って周壁９ａを突出形成するために、凹部１０が形成されている。
【００３４】
図２に示される各起歪部５ａ，５ｂ；６ａ．６ｂの上下方向の肉厚ｄが、定格容量の負荷に対して、収納室９を密閉する蓋体１１の持つバネ定数も考慮の上、定格の歪量が得られる厚さになるように、言い換えれば、所定の大きさの荷重信号出力が得られるように、周壁９ａを残して収納室９の内部及び周囲を切り下げ加工して、収納室９を形成する。
【００３５】
この実施形態では、歪ゲージ８ａ，８ｂが装着された収納室９を、ロードセル１の特性を劣化させることなく、完全に密封するために、収納室９の開口部周縁の周壁９ａに、起歪体２と同一種類の金属材料からなる蓋体１１を、溶接によって接合している。この溶接では、溶接棒を使用することなく、起歪体２の収納室９の周壁９ａと蓋体１１の接合部を溶融させて接合する。蓋体１１は、起歪体２と同一種類の金属材料、例えば、起歪体２がステンレス合金であれば、ステンレス合金からなり、起歪体２が、アルミニウム合金であれば、アルミニウム合金からなる。この蓋体１１は、収納室９の周壁９ａに対応した角丸長方形の平板状である。
【００３６】
溶接部分の断面図である図７に示すように、起歪体２の上ビーム部５及び下ビーム部６の各収納室９には、その周壁９ａと、該周壁９ａ上に載置される蓋体１１の周縁とを、例えば、ＴＩＧ（ティグ）溶接によって接合し、収納室９の開口部を完全に塞いで密封している。
【００３７】
このように起歪体２と同一種類の金属材料からなる蓋体１１を、起歪体２の収納室９の周壁９ａに溶接によって接合するので、蓋体を接着剤によって起歪体に接着する従来例に比べて、長期に亘って外気を完全に遮断して密封することができ、収納室９内の歪ゲージ８ａ，８ｂの湿気などによる腐食等を防止することができる。
【００３８】
この蓋体１１は、起歪体２と同一種類の金属材料であるが、結晶構造等が全く同一ではないので、蓋体１１の歪特性がロードセル１の歪応力検出部に影響を与えないように、図７に示す蓋体１１の厚みｅ１は薄いのが好ましい。
【００３９】
収納室９の周壁９ａと蓋体１１の周縁とを溶接するために、双方の接合部における材料を溶融させることになるが、溶融した部分は、溶融しなかった部分と、例えば、応力の伝達特性が変化し、異なる力学的性質となる。したがって、溶接部における材料の溶融量が増えると、ロードセルとしての応力−歪特性を劣化させることになる。
【００４０】
このため、接合部における材料の溶融量を少なくするために、図７に示す収納室９の周壁９ａの幅ｅ２は、細いのが好ましい。周壁９ａの幅ｅ２は、検出する歪応力に影響を与える部位、すなわち、歪ゲージ８ａ，８ｂの貼着部分近傍のみを細くしてもよいが、加工性を考慮して、収納室９の全周に亘って細く加工している。
【００４１】
このように蓋体１１の厚みｅ１を薄くすると共に、収納室９の周壁９ａの幅ｅ２を細くすることによって、溶接する際に、少ないエネルギーで、少ない材料の溶融量で接合できるので、溶接部の周辺の材料と力学的性質が異なる部分を少なくすることができる。
【００４２】
この実施形態では、収納室９の周壁９ａの幅ｅ２と、蓋体１１の厚みｅ１とを略同じにしている、すなわち、略同じ形状としている。これによって、接合部において、互いに接する部分の熱容量及び伝熱特性が略等しくなり、蓋体１１と収納室９の周壁９ａとを溶接する際に、互いに伝熱、蓄積する熱量が偏らないようにすることができ、いずれか一方のみが溶融するといったことがなく、均等に溶融させて接合することができる。
【００４３】
収納室９の周壁９ａの幅ｅ２と、蓋体１１の厚みｅ１としては、例えば、図２及び図７に示されるロードセル１の各起歪部５ａ，５ｂ；６ａ，６ｂの上下方向の厚みをｄとすると、ロードセル１の容量と起歪体２の材料にもよるが、起歪体２の材料が、ＳＵＳであり、定格荷重が１０ｋｇ前後の仕様であれば、前記ｄは略１ｍｍ前後となり、収納室９の周壁９ａの幅ｅ２と、蓋体１１の厚みｅ１とは、前記ｄよりも薄く、例えば、０．２ｍｍ前後となる。
【００４４】
起歪体２と蓋体１１とは、同一種類の金属材料からなるので、ロードセル１の使用時に、周囲温度が大きく変化しても、起歪体２と蓋体１１とに伸縮量の差が生ずることがなく、荷重検出特性に悪影響を与えないようにすることができる。
【００４５】
また、収納室９の周壁９ａの幅が細く、蓋体１１の厚みが薄い程、バネ定数が小さくなるので、小容量のロードセルを製作しても、ロードセルとしての荷重特性への影響を少なくできる。
【００４６】
図２及び図３に示すように、収納室９の歪ゲージ８ａ，８ｂからの配線と、固定部３の側面の外部配線孔１４から導入される配線を、起歪体２の固定部３に切削加工した円孔形状の配線接続室１２で接続する。このため、収納室９から配線接続室１２に向けて斜め方向に孔加工した配線孔１３を設けている。
【００４７】
外部配線孔１４内には、配線接続用ピンが埋め込まれたセラミック板の外周が金属枠で囲まれた端子板（図示せず）の前記金属枠を、起歪体２の外部配線孔１４の周壁に溶接し、外部配線孔１４からの外気の流入を遮断する一方、前記配線接続用ピンを介して外部配線孔１４の内外を気密に接続する。すなわち、各収納室９の歪ゲージ８ａ，８ｂは、配線孔１３、配線接続室１２及び外部配線孔１４を介して外部と配線接続される。
【００４８】
配線接続作業の終了後に、配線接続室１２の開口部に、配線接続室用の金属製の蓋体１５を被せてその周縁部を溶接する。これによって、完全に収納室９及び配線接続室１２は外気から遮断された密閉室となる。
【００４９】
この実施形態のロードセル１に、図１に示す荷重受け台１８を介して負荷荷重が可動部４に加えられると、２本の平行リンクである上下のビーム部５，６の起歪部５ａ，５ｂ；６ａ，６ｂが撓むことによって、各収納室９の歪ゲージ８ａ，８ｂによって伸縮歪応力を検出し、負荷荷重が荷重信号に変換される。
【００５０】
なお、上述のＴＩＧ溶接に代えて、レーザー溶接を適用する場合には、より小さな領域に熱を集中して溶接できるので、収納室９の周壁９ａと蓋体１１との接合部の熱容量、伝熱特性について、ＴＩＧ溶接ほど厳密に規定する必要はない。
【００５１】
(実施形態２)
図８は、本発明の他の実施形態のロードセル１ａの正面図であり、図９は、その平面図であり、図１０は、図９の矢視Ｃ−Ｃ部分断面図であり、図１１は、図９の矢視Ｄ−Ｄ部分断面図であり、上述の実施形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００５２】
上述の実施形態では、上ビーム部５の収納室９は、上ビーム部５の二箇所の起歪部５ａ，５ｂにそれぞれ対応する二つの歪ゲージ８ａ，８ｂの両方を収納し、また、下ビーム部６の収納室９は、下ビーム部６の二箇所の起歪部６ａ．６ｂにそれぞれ対応する二つの歪ゲージ８ａ，８ｂの両方を収納した。
【００５３】
これに対して、この実施形態では、上ビーム部５及び下ビーム部６には、各歪ゲージ８ａ，８ｂに個別的に対応する二つの収納室９1，９2をそれぞれ形成すると共に、各収納室９1，９2を、二つの蓋体１１1，１１2によってそれぞれ密封するようにしている。
【００５４】
各収納室９1，９2は、図１２の起歪体２の平面図に示すように、円形に切下げ加工されて形成される。更に、上述の実施形態と同様に、各収納室９1，９2の開口部周縁の全周に亘って周壁９1ａ，９2ａを突出形成するために、各収納室９1．９2の両側には、その周辺に凹部１０1，１０2を形成している。
【００５５】
上ビーム部５の各収納室９1．９2の底面に歪ゲージ８ａ．８ｂがそれぞれ貼着され、下ビーム部６の各収納室９1．９2の底面に歪ゲージ８ａ．８ｂがそれぞれ貼着される。
【００５６】
各収納室９1．９2の開口部周縁には、上述の実施形態と同様に、起歪体２と同一種類の金属材料からなる蓋体１１1，１１2を、例えば、ＴＩＧ溶接によってそれぞれ接合している。
【００５７】
この実施形態では、歪ゲージ８ａ，８ｂ毎に収納室９1．９2を個別に形成する、すなわち、伸長側の起歪部と圧縮側の起歪部とに対応させて収納室９1．９2を形成し、蓋体１１1，１１2もそれぞれ分離して設けられるので、蓋体が伸長側と圧縮側とで一体であるものに比べ、蓋体の歪の状態による伸長側と圧縮側との相互の干渉を抑制することができる。
【００５８】
また、可動部４側の収納室９1の配線は、固定部３側の収納室９2の配線と共に、配線接続室１２に導入する必要があり、このため、図８及び図９に示すように、各ビーム部５，６の両収納室９1．９2の中間部分の、荷重負荷によって歪応力の発生しない部分に、中継配線接続室２０が前後方向（図８の紙面に垂直方向、図９の上下方向）の両側にそれぞれ設けられている。
【００５９】
更に、可動部４側の収納室９1と中継配線接続室２０との間、固定部３側の収納室９2との間には、それぞれ中継配線孔２１が前後方向の両側にそれぞれ形成される。
【００６０】
この実施形態では、両側の中継配線接続室２０及び中継配線孔２１の内の一方側の中継接続配線室２０及び中継配線孔２１を利用して配線の接続を行っている。
【００６１】
また、この実施形態では、可動部４側の収納室９1からの配線を、一旦、中継配線接続室２０へ取り込み、取り込んだ配線を、中継配線接続室２０から固定部３側の収納室９2へ導入する作業を行うか、あるいは、可動部４側の収納室９1からの配線と、固定部３側の収納室９2からの配線を、中継配線接続室２０で接続する作業を行う。
【００６２】
配線接続作業の終了後に、配線接続室１２及び中継配線接続室２０の開口部に、配線接続室用及び中継配線接続室用の金属製の蓋体１５及び蓋体２２を被せてその周縁部を溶接する。これによって、完全に収納室９1，９2、配線接続室１２及び中継配線接続室２０は外気から遮断された密閉室となる。
【００６３】
その他の構成は、上述の実施形態と同様である。
【００６４】
(実施形態３)
図１３は、本発明の更に他の実施形態のロードセル１ｂの正面図であり、図１４は、その平面図であり、図１５は、図１４の矢視Ｅ−Ｅ部分断面図であり、上述の実施形態に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００６５】
上述の各実施形態では、各収納室９，９1，９2の周囲には、全周に亘って周壁９ａ，９1ａ，９2ａを形成したけれども、この実施形態では、収納室９の周囲には、蓋体１１の厚みに対応する段部２３が形成されており、この段部２３に平板状の蓋体１１の周縁部を嵌め込み、図１５に示すように、例えば、レーザー溶接によって表面側を接合している。
【００６６】
その他の構成は、上述の実施形態と同様である。
【００６７】
（その他の実施形態）
収納室の形状は、長円形や円形に限らず、矩形その他の形状であってもよい。
【００６８】
蓋体１１は、平板状に限らず、例えば、図１６に示すように、蓋体１１の周縁部が屈曲していてもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１，１ａ，１ｂ               ロードセル
２                           起歪体
３                           固定部
４                           可動部
５                           上ビーム部
６                           下ビーム部
５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ       起歪部
８ａ，８ｂ                   歪ゲージ
９，９1．９2                 収納室
９ａ，９1ａ．９2ａ           周壁
１１，１１1，１１2            蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
2013205220.tif 000005
【図４】
2013205220.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2013205220.tif 000009
【図８】
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【図９】
2013205220.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2013205220.tif 000013
【図１２】
2013205220.tif 000014
【図１３】
2013205220.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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