(57)【要約】      （修正有）【課題】隙測定面の高低差を認識して、高さが高い測定面と高さが低い測定面とを容易に識別できる隙間ゲージを提供する。【解決手段】隙間ゲージ１は、据え置き面である底面２と、底面２と平行に形成され高さの異なる第一の測定面３ａ、第二の測定面３ｂ及び第三の測定面３ｃと、底面２の端部から第一の測定面３ａ、第二の測定面３ｂ及び第三の測定面３ｃの端部に向けて立設された側面４ａ及び測面４ｂと、により構成され、長手方向にのびる一方の側面４ａには、識別部５が形成されている。そして、識別部５を手で触ることで、高さのもっとも高い第一の測定面３ａ側と高さのもっとも低い第三の測定面３ｃ側とを容易に識別することができ、測定面の高低差を逐一確認することなく、隙間ゲージ１を研削ホイールの研削面とチャックテーブルの保持面との間に挟ませることが可能となる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
段階的に高さの異なる複数の測定面を備える隙間ゲージにおいて、
該隙間ゲージは、据え置き面である底面と、該底面と平行に形成される高さの異なる複数の測定面と、該底面の端部から該測定面の端部に向けて立設された側面と、により構成されており、
長手方向にのびる一対の側面は、掴持部となっており、
長手方向にのびる一方の側面には、識別部が形成され、
該識別部によって、段階的に高さの異なる測定面の段階方向を識別可能とした隙間ゲージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを研削する研削装置において、研削手段の研削送り高さを研削送り手段に把握させるために用いる隙間ゲージに関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークを研削する研削装置は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを研削する研削砥石が環状に固着された研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、該研削手段を保持手段に接近および離反させる研削送り手段と、から少なくとも構成されている。そして、回転する研削砥石がチャックテーブルに保持された板状ワークに接触して押圧することにより、板状ワークを所定の厚みに仕上げることができる。
【０００３】
研削装置によって板状ワークを継続して研削すると、板状ワークに接触する研削ホイールの研削砥石が磨耗するため、研削ホイールを適宜交換している。そして、研削ホイールを交換した後には、研削砥石の下面の位置を正確に制御するために、所定の厚みを有する隙間ゲージを研削砥石の下面（研削面）とチャックテーブルの保持面との間に挿入し、研削手段を降下させて研削面とチャックテーブルの保持面との間に隙間ゲージが挟まれた時の研削面の鉛直方向の位置を装置に認識させ、その位置情報を実際の研削時の研削送りに利用している。具体的には、研削送り手段は、研削砥石が板状ワークの上面に接触するまでは研削手段を高速で下降させ、研削砥石が板状ワークの上面に接触した後は、所定速度で研削手段を下降させ、板状ワークの研削を行っている。また、研削面とチャックテーブルの保持面との距離を装置が認識していることで、研削面が保持面に接触することを回避している。
【０００４】
例えば、図６に示す従来の隙間ゲージ５０は、ブロック状に形成され、所定の段差を設けた測定面５１を複数有している。そして、板状ワークの加工前において、オペレーターは、この隙間ゲージ５０を研削面とチャックテーブルの保持面との間に挟ませ、この時における研削手段の研削送り高さを測定して研削装置に認識させている。
【０００５】
他の隙間ゲージとしては、被測定物の隙間の寸法測定を行う計測板を備えているものがある（例えば、下記の特許文献１を参照）。また、底面と傾斜面とを有し、該傾斜面に目盛りを備えているものがある（例えば、下記の特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３１７９０５号公報
【特許文献２】特開平０９−０７９８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、オペレーターが、研削面とチャックテーブルの保持面との間に隙間ゲージを挟ませる時、隙間ゲージを挟ませる箇所が研削手段の陰になることがあるため、隙間ゲージも陰に隠れてしまい、測定面の高低差がわからなくなることがある。そのため、オペレーターは、隙間ゲージの測定面の高低差を確認した後、再度隙間ゲージを研削ホイールの研削面とチャックテーブルの保持面との間に挟ませなければならず、作業効率が悪いという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、隙間ゲージの測定面の高さが高い側と高さが低い側とを容易に識別できるようにすることに発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、段階的に高さの異なる複数の測定面を備える隙間ゲージにおいて、該隙間ゲージは、据え置き面である底面と、該底面と平行に形成される高さの異なる複数の測定面と、該底面の端部から該測定面の端部に向けて立設された側面と、により構成されており、長手方向にのびる一対の側面は、掴持部となっており、長手方向にのびる一方の側面には、識別部が形成され、該識別部によって、段階的に高さの異なる測定面の段階方向を識別可能としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、底面と平行で段階的に形成される測定面を複数有しており、長手方向にのびる一方の側面には、識別部が形成されているため、識別部を手で触れば、高さがもっとも高くなっている測定面側または高さがもっとも低くなっている測定面側を容易に識別することができる。したがって、隙間ゲージを研削手段と保持テーブルとの間に挟ませる際に、隙間ゲージの識別部を手で触ることで、高さのもっとも高い測定面から高さのもっとも低い測定面側にかけての段階方向を容易に識別することができるため、隙間ゲージの測定面の高低差を逐一確認することなく、隙間ゲージを研削ホイールの研削面とチャックテーブルの保持面との間に挟ませることが可能となり、作業効率が悪いという問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置の一部の構成を示す断面図である。
【図２】隙間ゲージの構成を示す斜視図である。
【図３】隙間ゲージの構成を示す側面図である。
【図４】隙間ゲージの構成を示す平面図である。
【図５】オペレーターが隙間ゲージを研削ホイールとチャックテーブルとの間に挟ませる状態を示す平面図である。
【図６】従来の隙間ゲージの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す研削装置１０は、板状ワークを研削する加工装置であって、Ｙ軸方向にのびる装置ベース１００を備えている。装置ベース１００の上面には、回転可能なターンテーブル１１が配設されている。ターンテーブル１１の中央部分には、ターンテーブル１１を回転させる回転軸１０１が配設されている。さらに、ターンテーブル１１には、板状ワークを保持し自転可能なチャックテーブル１２が複数配設されている。ターンテーブル１１が回転すると、複数のチャックテーブル１２を公転させることができる。
【００１３】
チャックテーブル１２は、多孔質部材１２ａを備え、多孔質部材１２ａの表面が板状ワークを保持する保持面１２ｂとなっている。チャックテーブル１２の下部には、回転軸１０３が連結されている。また、多孔質部材１２ａは、回転軸１０３の下部に連結された吸引源１０４に連通している。そして、吸引源１０４から発生する吸引力により板状ワークを下方から吸引し、チャックテーブル１２に板状ワークを保持することができる。
【００１４】
回転軸１０３の近傍には、チャックテーブル１２の回転駆動源となるモータ１０５が配設されている。回転軸１０３とモータ１０５との間には、ベルト１０６がかけられており、モータ１０５の駆動によってベルト１０６が回転軸１０３を回転させ、チャックテーブル１２を回転させることが可能となっている。
【００１５】
装置ベース１００には、Ｚ軸方向にのびるコラム１０２が立設されており、コラム１０２の側部に設けられた第一の研削送り手段４０によって第一の研削手段２０が昇降可能に支持されている。第一の研削手段２０は、回転可能なスピンドル２１と、スピンドル２１を回転可能に支持するスピンドルハウジング２２と、スピンドル２１の下端にマウンタ２３を介して装着された研削ホイール２４と、研削ホイール２４の下部に環状に固着された複数の研削砥石２５とを備えており、スピンドル２１の回転により研削ホイール２４を回転させることができる。
【００１６】
第一の研削送り手段４０は、回動可能なボールネジ４１と、ボールネジ４１の上端に接続されたサーボモータ４２と、Ｚ軸方向に移動する移動基台４３とを少なくとも備えている。サーボモータ４２は、制御部６０に接続されており、制御部６０がサーボモータ４２を駆動することによりボールネジ４１が回動して移動基台４３が昇降し、移動基台４３に支持された第一の研削手段２０をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１７】
図２に示す隙間ゲージ１は、上記の研削装置１０の研削砥石２５の下面（研削面）２５ａとチャックテーブル１２の保持面１２ｂとの間に挟ませるための隙間ゲージである。図２に示すように、隙間ゲージ１は、隙間ゲージ１を平面に据え置きするための面である底面２と、底面２と平行に形成される第一の測定面３ａ、第二の測定面３ｂ及び第三の測定面３ｃと、底面２の端部から第一の測定面３ａ、第二の測定面３ｂ及び第三の測定面３ｃの端部に向けて立設された側面４ａ及び側面４ｂと、により構成されている。
【００１８】
図３に示すように、第一の測定面３ａは、底面２を基準としてもっとも高い高さＢ１を有する位置に形成されており、第一の測定面３ａは平面状に形成されている。
【００１９】
第二の測定面３ｂは、底面２を基準として高さＢ２を有する位置に形成され、第一の測定面３ａよりも低い位置にある。第二の測定面３ｂも、平面状に形成されている。第一の測定面３ａと第二の測定面３ｂとの間には、所定の高低差Ｈ１を有する段差６が形成されている。段差６の高低差Ｈ１は、例えば２０μｍに形成されている。
【００２０】
さらに、第三の測定面３ｃは底面２を基準としてもっとも低い高さＢ３を有する位置に形成され、第二の測定面３ｂよりも低い位置にある。第三の測定面３ｃも、平面状に形成されている。第二の測定面３ｂと第三の測定面３ｃとの間には、所定の高低差Ｈ２を有する段差７が形成されている。段差７の高低差Ｈ２は、例えば２０μｍに形成されている。このように、第一の測定面３ａ、第二の測定面３ｂ及び第三の測定面３ｃは、段階的に高さの異なる測定面を構成しており、長手方向の一方の端部から他方の端部に向けて段階方向を有している。
【００２１】
長手方向にのびる一対の側面４ａは、オペレーターの手で掴むことができる掴持部となっている。そして、オペレーターが一対の側面４ａを挟み込むようにして掴持することにより、隙間ゲージ１を移動させることができる。
【００２２】
図２及び図３に示すように、隙間ゲージ１の一方の側面４ａには、第一の測定面３ａから底面２に至るまで面取りした識別部５が形成されている。隙間ゲージ１では、段差６の高低差Ｈ１と段差７の高低差Ｈ２とがそれぞれ２０μｍと非常に小さいことから、オペレーターが第一の測定面３ａから第三の測定面３ｃにかけて手でなぞるように触ったとしても、高低差を識別することは困難である。そのため、識別部５を手で触って確認することにより、高さが高い方の第一の測定面３ａがどちら側にあるのかを識別できるようにしている。さらに、識別部５によって第一の測定面３ａ側を確認できれば、隙間ゲージ１の他方側にあるのが第三の測定面３ｃ側であると容易に識別することが可能となる。
【００２３】
上記のように構成される隙間ゲージ１は、図１に示した研削装置１０による板状ワークの加工前または研削ホイール２４の交換時において使用される。すなわち、板状ワークと接触する研削砥石２５の研削面２５ａとチャックテーブル１２の保持面１２ｂとの間に隙間ゲージ１を挟ませ、その時の研削手段２０の研削送り高さを認識する。そして、この高さ情報を制御部６０に把握させる。
【００２４】
図５に示すように、研削装置１０は、第一の研削手段２０とともに第二の研削手段３０を備えている。第二の研削手段３０は、図１に示した第一の研削手段２０とほぼ同様に構成されるが、研削砥石２５については、第一の研削手段２０では粗研削用の研削砥石であるのに対し、第二の研削手段３０では仕上げ研削用の研削砥石となっている。また、第二の研削手段３０も、図１に示した第一の研削送り手段４０と同様の構成の研削手段によって鉛直方向に送られる構成となっている。図５に示すオペレーターＰ及びオペレーターＰ’は、研削面と保持面１２ｂとの間に隙間ゲージ１を挟ませる者である。
【００２５】
図５に示すターンテーブル１１は、回転軸１０１の回転により矢印Ａ１方向に回転し、チャックテーブル１２を第一の研削手段２０の下方に移動させる。チャックテーブル１２が矢印Ａ２方向に回転するとともに第一の研削手段２０の下方に移動すると、図１に示した第一の研削送り手段４０は、第一の研削手段２０をＺ軸方向に下降させる。
【００２６】
次に、図５に示すオペレーターＰは、図３に示した隙間ゲージ１の一対の側面４ａを掴持し、隙間ゲージ１を手で触って識別部５がどの箇所にあるのかを確認する。オペレーターＰが一対の側面４ａ及び一対の側面４ｂに沿って手で触ると識別部５を確認することができる。これにより、高さがもっとも高い第一の測定面３ａ側と、高さがもっとも低い第三の測定面３ｃ側とを容易に識別することできる。
【００２７】
こうして隙間ゲージ１の向きを確認した後、図５に示すように、チャックテーブル１２の保持面１２ｂと図１に示した研削面２５ａとの間に隙間ゲージ１を挟ませる。オペレーターＰは、図３に示した識別部５によって、隙間ゲージ１の高さのもっとも高い第一の測定面３ａ側と、高さのもっとも低い第三の測定面３ｃ側とを識別して段階方向を把握した後、高さがもっとも低くなっている第三の測定面３ｃ側を第一の研削手段２０の中心に向ける。
【００２８】
隙間ゲージ１の向きを確認した後、図５に示すオペレーターＰは、高さのもっとも低い第三の測定面３ｃ側から挿入位置８に隙間ゲージ１を挿入する。この際、第一の研削手段２０の陰に挿入位置８とこれに挿入する隙間ゲージ１とが隠れてしまい、隙間ゲージ１に形成された高低差が分からなくなることがある。この場合でも、オペレーターＰは、隙間ゲージ１の識別部５を手で触ることで、少なくとも高さのもっとも高い第一の測定面３ａ側と、高さのもっとも低い第三の測定面３ｃ側とを常に識別することができるため、隙間ゲージ１の高低差を確認する必要はなくなる。
【００２９】
ここで、底面２を基準として、例えば、第一の測定面３ａの高さが７４０μｍ、第二の測定面３ｂの高さが７２０μｍ、第三の測定面３ｃの高さが７００μｍである場合において、例えば、図１に示す保持面１２ｂと研削面２５ａとの間の距離Ｄを７００μｍとしたい場合は、研削砥石２５の直下に第三の測定面３ｃが位置するように、隙間ゲージ１をすべりこませる。そして、第一の研削手段２０の下降動作によって、挿入位置８に挿入された隙間ゲージ１は、チャックテーブル１２の保持面１２ｂと研削面２５ａとの間に挟まれる。
【００３０】
こうしてチャックテーブル１２の保持面１２ｂと研削面２５ａとの間に隙間ゲージ１が挟まれると、そのときの第一の研削手段７０のＺ軸方向の位置を、第一の研削送り手段４０を制御する制御部６０が認識する。そして、その位置を基準として、以降の第一の研削手段７０の高さ制御を行う。例えば、研削対象の板状ワークの厚みが７００μｍである場合は、研削面２５ａがチャックテーブル１２の保持面１２ｂよりも７００μｍ高い位置まで降下するまでは高速に第一の研削手段２０を降下させ、その後は、所定の速さで研削送りを行って研削を行う。
【００３１】
また、図５に示した第二の研削手段３０についても、同様に、チャックテーブル１２の保持面１２ｂと研削面との間に隙間ゲージ１をすべりこませ、同様の制御を行うことにより、正確かつ効率よく研削送りの制御を行うことができる。
【００３２】
以上のように、隙間ゲージ１は、一方の側面４ａ側に識別部５が形成されていることから、オペレーターが隙間ゲージ１を研削砥石２５の下面２５ａと保持テーブル１２の保持面１２ｂとの間に挟ませる際に、隙間ゲージ１の識別部５を手で触ることで、高さのもっとも高い第一の測定面３ａ側または高さのもっとも低い第三の測定面３ｃ側とを容易に識別できるため、隙間ゲージ１の測定面の高低差を確認する必要がなくなる。したがって、測定面の高低差を逐一確認することなく、隙間ゲージ１を研削ホイール２４の研削面とチャックテーブル１２の保持面１２ｂとの間に挟ませることが可能となる。
【００３３】
なお、本実施形態で示した隙間ゲージ１は、もっとも高さが高い第一の測定面３ａ側に識別部５が形成されているが、もっとも高さが低い第三の測定面３ｃ側に識別部５を形成した構成としてもよい。さらに、隙間ゲージ１の段差の数は、本実施形態に示した構成に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００３４】
１：隙間ゲージ
２：底面  ３ａ：第一の測定面  ３ｂ：第二の測定面  ３ｃ：第三の測定面
４ａ，４ｂ：側面  ５：識別部  ６、７：段差
８：挿入位置
１０：研削装置  １００：装置ベース  １０１：回転軸  １０２：コラム
１０３：回転軸  １０４：吸引源
１０５：モータ  １０６：ベルト
１１：ターンテーブル  １２：チャックテーブル  １２ａ：  多孔質部材１２ｂ：保持面
２０：第一の研削手段  ２１：スピンドル  ２２：スピンドルハウジング
２３：マウント  ２４：研削ホイール  ２５：研削砥石  ２５ａ：下面
３０：第二の研削手段
４０：研削送り手段  ４１：ボールネジ  ４２：モータ  ４３：移動基台
５０：隙間ゲージ  ５１：測定面
６０：制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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