(57)【要約】【課題】加熱により筒状形状に変形することにより回収を容易とする易剥離性粘着フィルムは、粘着剤層表面に凹凸が存在し荒れている場合には、被加工物表面に十分に密着できず、ダイシングを行う際に水が侵入することにより粘着剤層が被加工物表面から剥がれて表面保護の目的を果たせない可能性があり、さらに、易剥離性粘着フィルムが加熱により筒状形状に変形するときに被加工物との間の剥離応力が不均一となる可能性があり、結果的に円滑に筒状形状に変形できなくなる恐れがあると共に、通常のピール剥離による剥離よりも、被加工物表面にて多くの糊残りが発生することになる。【解決手段】少なくとも1層の熱収縮フィルムを含む多層基材、粘着剤層及びセパレーターから成る粘着フィルムにおいて、セパレーター剥離後の粘着層表面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下である自発巻回性粘着フィルム。【選択図】図１
2013181063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱収縮フィルムを含む多層基材、粘着剤層及びセパレーターから成る粘着フィルムにおいて、セパレーター剥離後の粘着剤層面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下である自発巻回性粘着フィルム。
【請求項２】
セパレーター離型面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下で、且つ、セパレーター剥離力が１．０Ｎ／５０ｍｍ以下である請求項１記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項３】
熱収縮フィルムは７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の収縮率が３０〜９０％である請求項１記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項４】
該多層基材は剛性フィルムを含み、その剛性フィルムは８０℃におけるヤング率と厚みの積が３．０×１０５Ｎ／ｍ以下である請求項１記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項５】
熱収縮フィルムは７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の収縮率が３０〜９０％であり、かつ剛性フィルムの８０℃におけるヤング率と厚みの積は３．０×１０５Ｎ／ｍ以下である請求項１記載の自発巻回性粘着フィルム。  
【請求項６】
熱収縮フィルム、接着剤層、剛性フィルム、粘着剤層、セパレーターの順に積層された請求項１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項７】
セパレーター上に粘着剤層を設けた後に、多層基材に貼り合わせることで得られる請求項１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項８】
剛性フィルムと粘着剤層との間に有機コーティング層を設けた請求項１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項９】
粘着剤層がエネルギー線硬化型または感圧型である請求項１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項１０】
熱収縮フィルム層と前記剛性フィルム層との引き剥がしに必要な剥離力（１８０°ピール剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が７０℃において２．０Ｎ／１０ｍｍ以上である請求項１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルムを被切断体に貼付し、    前記被切断体を小片に切断し、該自発巻回性粘着フィルムを加熱して巻回させ、該被切断体から剥離する被切断体の加工方法。
【請求項１２】
被切断体が、半導体ウエハ又は光学素子保護用部材である請求項１１に記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱により筒状に変形し、その変形した形状を保持するフィルムを使用した粘着フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
粘着フィルム用離型シートが平滑であれば対向する粘着剤層表面も平滑であり、そのような粘着フィルムを使用することにより被加工物に対して密着させることができ、粘着フィルムとしての機能を十分に発揮できることは下記の特許文献１〜３に記載されている。
また、本発明者はこれまでに、熱収縮フィルム層／接着剤層（粘着剤層）／剛直樹脂フィルム層の積層体を基材とした易剥離性粘着フィルムを開発してきた(特許文献４及び５)。
このフィルムの特徴は、基材を加熱することで発生する収縮応力を積層体でトルクに変換し、あたかも手で剥離（ピール剥離）するかのごとく粘着フィルムが被加工物より剥離できる点にある。また、剥離後のフィルム形状は筒状となる。
このフィルムが実用として有用である為には、筒状物を簡便に回収する必要があり、より詳細には剥離後に筒状となった状態を維持する必要がある。なぜならば、筒状に変形したフィルムを実用上有用な方法で回収するには、剥離フィルムを用いた回収のほか、ロボットアーム等でつまみあげる、風により吹き飛ばすなどが考えられるが（特許文献６）、いずれの方法においても、筒状形状がこれら回収操作での応力により容易に変形すると、粘着フィルムが被加工物に再付着するなどして回収困難となるおそれがあるためである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１５４６８９号公報
【特許文献２】特開２００２−３６３５１０号公報
【特許文献３】特開平１１−３５３７０９号公報
【特許文献４】特開２０１０−１９４８１９号公報
【特許文献５】特許第４１５１８５０号公報
【特許文献６】特開２０１１−５４６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
粘着剤層表面に異物が付着することを防止する観点から、粘着フィルムの使用直前まで離型シートを該粘着剤層表面に設けておくことが望ましいことは通常のことである。  
さらにその際に離型シートの離型面が可能な限り平滑であると、離型シートを剥離した後の粘着剤層表面は対象物により密着するように粘着できるという優れた性質を発揮できる。つまり、粘着剤層表面に凹凸が存在しないので対象物表面に十分な強度を持って粘着することができる。例えば、ダイシング工程用の保護シートとして粘着フィルムを使用した場合には、切断線に沿って水が侵入することなく、対象物と粘着フィルムとの間に空間を生じないので、対象物を保護する目的を達成できる。
加えて粘着剤層がエネルギー線硬化型樹脂からなる場合には、粘着剤層表面の凹凸に気泡が存在しなければ硬化障害を起こさずに十分に硬化できる。
しかも、粘着剤層表面が平滑であるため、対象物から剥離する際の剥離応力が場所によって異なることがなく均一である。
このように粘着剤層表面が平滑であることにより多くの効果を発揮することができるが、一方粘着剤層表面が平滑であることによって、粘着フィルムを剥離する際に粘着フィルムの端部に、該フィルムを摘むための起点が存在しないので、対象物を加工後に対象物表面から粘着フィルムを剥離することが極めて困難となる。
そのため、粘着剤層表面が平滑であると本来ならば剥離時において糊残りを生じることはないが、剥離時の取り扱い方によっては糊残りを生じたり、対象物からの剥離のきっかけとなる箇所において対象物を傷つけたりする可能性があるために、粘着剤層表面が平滑であることの効果を十分に発揮し切れていない。
従来の易剥離性粘着フィルムは、加熱により筒状形状に変形することにより回収を容易とするが、しかしながら、粘着剤層表面に凹凸が存在し荒れている場合には、被加工物表面に十分に密着できず、ダイシングを行う際に水が侵入することにより粘着剤層が被加工物表面から剥がれて表面保護の目的を果たせない可能性がある。
特に、粘着剤層表面に凹凸が存在し荒れている場合には、易剥離性粘着フィルムが加熱により筒形形状に変形するときに被加工物との間の剥離応力が不均一となる可能性があり、結果的に円滑に筒形形状に変形できなくなる恐れと共に、通常のピール剥離による剥離よりも、被加工物表面にて多くの糊残りが発生することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
１．熱収縮フィルムを含む多層基材、粘着剤層及びセパレーターから成る粘着フィルムにおいて、セパレーター剥離後の粘着剤層面の算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下である自発巻回性粘着フィルム。
２．セパレーターは算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下で、かつ、セパレーター剥離力が１．０Ｎ／５０ｍｍ以下である、１．記載の自発巻回性粘着フィルム。
３．熱収縮フィルムは７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の収縮率が３０〜９０％である１記載の自発巻回性粘着フィルム。
４．該多層基材は剛性フィルムを含み、その剛性フィルムは８０℃におけるヤング率と厚みの積が３．０×１０５Ｎ／ｍ以下である１記載の自発巻回性粘着フィルム。
５．熱収縮フィルムの７０〜１８０℃の範囲の所定温度における主収縮方向の収縮率が３０〜９０％であり、かつ剛性フィルムの８０℃におけるヤング率と厚みの積が３．０×１０５Ｎ／ｍ以下である１記載の自発巻回性粘着フィルム。
６．熱収縮フィルム、接着層、剛性フィルム、粘着剤層、セパレーターの順に積層された１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
７．セパレーター上に粘着剤層を設けた後に、基材に貼り合わせることで得られる１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
８．剛性フィルムと粘着剤層との間に有機コーティング層を設けた１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
９．粘着剤層がエネルギー線硬化型または感圧型である１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
１０．熱収縮フィルム層と前記剛性フィルム層との引き剥がしに必要な剥離力（１８０°ピール剥離、引張速度３００ｍｍ／分）が７０℃において２．０Ｎ／１０ｍｍ以上である１〜５のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルム。
１１．１〜１０のいずれかに記載の自発巻回性粘着フィルムを被切断体に貼付し、前記被切断体を小片に切断し、該自発巻回性粘着フィルムを加熱して巻回させ、該被切断体から剥離する被切断体の加工方法。
１２．被切断体が、半導体ウエハ又は光学素子保護用部材である１１に記載の加工方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、自発巻回性粘着フィルムが被加工物表面に十分に密着できるので、粘着剤層と被加工物表面との間に気泡が存在しない。
このため、平滑な表面の粘着剤層により被加工物表面に均一の粘着力にて固定されていても、加工工程後に加熱による自発巻回を起こして自発巻回性粘着フィルムを剥離するので、剥離のきっかけを人為的に作る必要がなく、その過程にて被加工物を傷つけることがない。さらに、剥離応力が均一となるので、円滑な自発巻回によって安定して自発巻回性粘着フィルムを剥離することができる。
しかも、上記のように気泡が存在しないので、ダイシング工程時に水が粘着剤層と被加工物表面との間に侵入することがなく、粘着剤がエネルギー線硬化型である場合でも硬化障害を起こすことが無く均一に硬化できる。本発明によれば、このようにして、本来の目的である表面保護機能を確実に発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の粘着フィルムを構成するためのフィルムの断面図。
【図２】本発明の粘着フィルムの断面図。
【図３】本発明のフィルム及び粘着フィルムが巻回する態様の図。
【図４】本発明のフィルム及び粘着フィルムが巻回する態様の図。
【図５】本発明の粘着フィルムがダイシング用表面保護フィルムとして使用される際に巻回する図。
【図６】筒状形状物を巻き戻す際の概念図。
【図７】必要荷重を測定する方法を示す図。
【図８】実施例１によるダイシング後の剥がれの写真
【図９】比較例２によるダイシング後の剥がれの写真
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明について図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明の自発巻回性粘着フィルム（以下、単に「粘着フィルム」とも言う）用基材であるフィルムを示す断面図である。図２は、本発明の自発巻回性粘着フィルムを示す断面図である。図１に示されるフィルム１は、熱収縮性を有する熱収縮フィルム２と、該熱収縮フィルム２の収縮を拘束する剛性フィルム４とを接着剤層３により積層させてなるフィルムである。また、図２に示される粘着フィルム５は、図１に示されるフィルムの剛性フィルム４側に粘着剤層６が積層されたフィルムである。この場合、フィルム１は粘着フィルム５の支持基材として機能する。
【０００９】
本発明における自己巻回性とは、熱等の刺激の付与により、その後は特に外力を加えることなく自己巻回して巻回体を形成する性質をいう。自己巻回を促す刺激としては、熱、光、電気等が挙げられるが、特に熱が好ましい。なお、支持フィルムは、熱等の刺激により巻回して、両端が重なって完全に筒状に巻回した筒状巻回体を形成するのが好ましいが、完全に筒状に巻回するには至らなくても、本発明の目的を達成できる範囲において、両端が重ならずに、筒の側面の一部が長さ方向に開いた形状であってもよい。
自己巻回性を生じる機構は、片面のみが収縮するフィルムに対して収縮を起こすことにより、該フィルムが均一に収縮できず、収縮しない他面が外面になるようにして筒形に変形する。変形後の筒状物は特に他面の収縮しない材料の物性により物理的強度を備えるものである。
【００１０】
熱収縮フィルム２としては、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよく、熱収縮フィルム、光により収縮性を示すフィルム、電気的刺激により収縮するフィルム等の何れで構成されていてもよい。なかでも、作業効率等の観点から、熱収縮フィルムで構成されているのが好ましい。熱収縮フィルム２は、１軸方向のみに収縮性を有していてもよいし、或る方向（１軸方向）に主たる収縮性を有し、該方向とは異なる方向（例えば、該方向に対して直交する方向）に副次的な収縮性を有していてもよい。熱収縮フィルム２は単層であってもよく、２以上の層からなる複層であってもよい。
【００１１】
熱収縮フィルム２を構成する熱収縮フィルムの主収縮方向の収縮率は、好ましくは３０〜９０％である。収縮フィルム２が熱収縮フィルムで構成されている場合、該熱収縮フィルムの主収縮方向の収縮率は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば９５℃、１４０℃等）において、好ましくは３０〜９０％である。
【００１２】
前記熱収縮フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリイミド、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなる１軸延伸フィルムが挙げられる。なかでも、接着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む）、ポリウレタン系樹脂からなる１軸延伸フィルムが好ましい。このような熱収縮フィルムとして、東洋紡社製の「スペースクリーン」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、東レ社製の「トレファン」、東レ社製の「ルミラー」、ＪＳＲ社製の「アートン」、日本ゼオン社製の「ゼオノア」、旭化成社製の「サンテック」などの市販品の利用が可能である。
このような延伸フィルムを使用することにより、自発巻回性粘着フィルムが収縮した後に自発的に元の形状に戻ることはない。もちろん収縮後の自発巻回性粘着フィルムを伸ばすようにして引っ張ると元の平面に近い形状の自発巻回性粘着フィルムとなり、その際に加えた引っ張る力を元にしてヤング率を求めることができる。
【００１３】
なお、フィルム１をエネルギー線硬化型である粘着剤層６を有するときの粘着フィルム５の支持基材として用いる場合において、エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化する際、エネルギー線照射を熱収縮フィルム２を通して行うときには、熱収縮フィルム２は所定量以上のエネルギー線を透過しうる材料（例えば透明性を有する樹脂等）で構成する必要がある。
【００１４】
熱収縮フィルム２の厚みは、一般には５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。熱収縮フィルム２の厚みがこの範囲であれば、剛性が高くなりすぎず、筒状形状に変形でき、熱収縮フィルム２と剛性フィルム４との間で分離することがなく、フィルム破壊を起こさない。また剛性の大きなフィルムは、フィルム貼り合わせ時の応力が残存して起こる、弾性変形力が大きく、ウェハを薄くした際に反りが大きくなりやすいことが知られている。熱収縮フィルム２の表面は、隣接する層との密着性、保持性などを高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理等が施されていてもよい。
【００１５】
剛性フィルム４は熱収縮フィルム２の収縮を拘束し、反作用力を生み出すことにより、フィルム全体としてトルクを生み出し、巻回を引き起こす駆動力となる。また、この剛性フィルム４により、熱収縮フィルム２の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない熱収縮フィルム２の収縮方向が一方向に収斂する働きもあると考えられる。このため、フィルム１に熱収縮フィルム２の収縮を促す熱等の刺激を与えると、剛性フィルム４における熱収縮フィルム２の収縮力に対する反発力が駆動力となって、フィルム１の外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、熱収縮フィルム２側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、熱熱収縮フィルムの主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状形状に変形するものと考えられる。また、この剛性フィルム４により、熱収縮フィルム２の収縮変形により生じる剪断力が粘着剤層６や被加工物に伝達されるのを防ぐことができるため、再剥離時の粘着力の低下した粘着剤層６（例えば、硬化した粘着剤層）の破損や、被加工物の破損、前記破損した粘着剤層６による被加工物の汚染等を防止できる。
【００１６】
剛性フィルム４を設けることにより、熱収縮フィルム２に熱等の収縮原因となる刺激が付与された際、積層シート又は粘着フィルムが、途中で停止したり方向がずれたりすることなく円滑に自発巻回し、形の整った筒状巻回体を形成することができる。
剛性フィルム層のヤング率と厚みとの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは３．０×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０2〜３．０×１０5Ｎ／ｍ）、さらに好ましくは２．８×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０3〜２．８×１０5Ｎ／ｍ）である。これにより、収縮性フィルム層の収縮応力を巻回応力へと変換する作用及び方向性収斂作用を確保することができる。また、過度の剛性を防止して、上述した接着剤層の厚み等と相まって、迅速な巻回を促進することができる。
剛性フィルム層のヤング率は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは１０ＧＰａ以下、さらに好ましくは５ＧＰａ以下である。ヤング率をこの範囲とすることにより、自発巻回を促進し、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができる。なお、ヤング率は、例えば、ＪＩＳ−Ｋ７１２７に記載の方法で測定することができる。
剛性フィルム層の厚みは、例えば、５〜１００μｍ程度が適しており、８〜５０μｍ程度が好ましい。これにより、自己巻回性を確保して、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができる。また、取扱性及び経済性を向上させることができる。剛性フィルム層は、製造上及び／又は作業性等の観点から、厚みを容易に調整することができ、フィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものが好ましい。
なお、後述するように、自発巻回性粘着シートの粘着剤層としてエネルギー線硬化型粘着剤を用いることが適しているが、エネルギー線硬化型粘着剤を硬化する際、エネルギー線照射を、剛性フィルム層を通して行うために、剛性フィルム層は所定量以上のエネルギー線を透過し得る材料（例えば、透明性を有する樹脂等、使用するエネルギー線を９０％以上、８０％以上、７０％以上透過し得る材料）で構成することが好ましい。
【００１７】
剛性フィルム４を構成するフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリスチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム等が好ましい。剛性フィルム４は単層であっても２以上の層が積層された複層であってもよい。剛性フィルム４を構成するフィルムは非収縮性であり、収縮率は、例えば５％以下、好ましくは３％以下、さらに好ましくは１％以下である。
【００１８】
剛性フィルム４は熱収縮フィルム２の収縮を拘束する機能を発現するため、弾性接着性（粘着性を含む）を有している。また、剛性フィルム４は筒状巻回体を円滑に形成させるため、ある程度の靱性あるいは剛性を備えているのが好ましい。剛性フィルム４は単層で構成されていてもよく、また機能を複数の層に分担させた複層で構成されていてもよい。
【００１９】
図１、図２の例では、接着剤層３は剛性フィルム４と共に非熱収縮性を備えている。
接着剤層３は、熱収縮フィルム２の収縮時の温度下（自発巻回性積層シートを自発巻回性粘着フィルムの支持基材として用いる場合は、粘着フィルムの剥離時の温度下）で変形しやすいこと、すなわちゴム状態であることが好ましい。但し、流動性のある材料では、十分な反作用力が生じず、最終的には熱収縮フィルム単独で収縮してしまい、変形（自発巻回）を起こすことができない。従って、接着剤層３は３次元架橋等により流動性を抑えたものが好ましい。また、接着剤層３は、その厚みによっても、熱収縮フィルム２の非一様な収縮力のうち弱い力の成分に抵抗して、該弱い力の成分による収縮変形を防ぐことで、一様な収縮方向へと変換する作用を有する。ウエハ研削後によって生じる反りは、ウエハへ粘着フィルムを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって熱収縮フィルムが弾性変形することによって生じると考えられるが、接着剤層はこの残存応力を緩和して反りを低下させる働きもある。
【００２０】
従って、接着剤層３は、粘着性を有し、ガラス転移温度が例えば５０℃以下、好ましくは室温（２５℃）以下、より好ましくは０℃以下の樹脂で形成するのが望ましい。接着剤層３の熱収縮フィルム２側の表面の粘着力は、１８０°ピール剥離試験（ＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠、引張り速度３００ｍｍ／分、５０℃）の値で、好ましくは０．５Ｎ／１０ｍｍ以上の範囲である。この粘着力の範囲であれば、熱収縮フィルム２と接着剤層３との間で剥離を生じない。
また、熱収縮フィルム２と剛性フィルム４との引き剥がしに必要な剥離力（７０℃における１８０°ピール強度、引張速度３００ｍｍ／分）が、２．０Ｎ／１０ｍｍ以上、好ましくは４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であると、巻回工程を通じて熱収縮フィルム２と剛性フィルム４とが分離することがない。
【００２１】
また、接着剤層３のせん断貯蔵弾性率G’は室温から剥離時温度（例えば８０℃）において、１×１０4Ｐａ〜５×１０6Ｐａ（特に、０．０５×１０6Ｐａ〜３×１０6Ｐａ）が好ましい。
せん断貯蔵弾性率が高いほど収縮力がトルクへ変換されやすくなるが、あまりに弾性率が高いとトルクによって筒状に変形しにくくなるためである。接着剤層３の厚みとしては、接着力が十分に発現する厚みを基準とすべきであるが、好ましくは０．０１〜１５０μｍ程度、より好ましくは０．１〜１０μｍ程度である。この厚みの範囲内であれば、筒状形状への変形性が低下せず、また取扱性、経済性に優れる。
【００２２】
また、接着剤層３としては、粘着剤層６がエネルギー線硬化型粘着剤層の場合にはエネルギー線を透過しやすい材料で形成され、製造上や作業性等の観点から厚みが適宜選択できてフィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものであるのが好ましい。
【００２３】
接着剤層３として、例えば、ゴム、熱可塑性エラストマー等を素材とする非発泡樹脂フィルム等の樹脂フィルム（シートを含む）などを使用できる。粘着処理に用いる粘着剤としては、特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤などの公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用いることができる。特に、粘着力の調整などの点から、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。またウレタン系接着剤やポリエステル系接着剤などからなるラミネート接着剤層を採用することもできる。
【００２４】
上記アクリル系粘着剤は、アクリル系重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー；（メタ）アクリロニトリルなどのシアノ基含有モノマー；（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル等］との共重合体などが挙げられる。
【００２５】
アクリル系重合体は、既知の重合法によって製造することが可能であり、例えば、上記に例示の単量体成分（及び重合開始剤）溶媒中での熱重合のほか、上記に例示の単量体成分（及び重合開始剤）を無溶剤で光（紫外線等）重合により得ることができる。
【００２６】
架橋剤としては、特に制限はなく、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、等のほか、イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステル等を用いた紫外線（ＵＶ）反応性架橋剤であってもよい。架橋剤の添加量は、通常、上記ベースポリマー１００重量部に対して０．０１〜１５重量部程度、好ましくは０．０５〜１２重量部程度である。
【００２７】
アクリル系粘着剤は、ベースポリマー及び架橋剤のほかに、架橋促進剤、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂など）、増粘剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【００２８】
接着剤層３には、例えば、特開２００８−１５５６１９号公報等に記載されている架橋型アクリル系粘着剤等や東洋紡社製バイロン等のポリエステル系接着剤などのラミネート用接着剤を用いることができるが、作業性などの観点からドライラミネート接着剤として使われるウレタン系接着剤が好ましい。
ウレタン系接着剤は、官能基としてイソシアネート基を有する化合物と水酸基を有する化合物とを混合し、化学反応によってウレタン結合を生成させる接着剤である。ウレタン結合は強い水素結合性を有するため、被着体分子との分子間相互作用が強く働き、特に極性材料からなるフィルムを接合するために好適である。また、接着剤分子同士の分子間力も強いため、接着剤を加熱しても軟化が起こりにくく、温度依存性が小さい。
ウレタン系接着剤としては、熱安定性の高い、脂肪族系ウレタンを用いたものが好ましい。さらに、環式骨格によって剛性を有する部分とエーテル結合又はエステル結合など、分子鎖を屈曲させる働きの強い柔軟骨格を組み合わせたものが好ましい。
具体的には、三井化学製のタケラック（登録商標）又はタケネート（登録商標）類、大日精化製のセイカボンド（登録商標）類、東洋モートン株式会社製のＴＭ５６９等を用いることができる。
【００２９】
上記ウレタン系接着剤には硬化促進剤を用いても良く、スズ、チタン、ジルコニウムなどからなる有機金属化合物やアミン系硬化促進剤が好ましい。
アミン系硬化促進剤の具体例として、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチル−１，３−ブタンジアミン、エチルモルホリン、ジアザビシクロウンデセン、ジアザビシクロノネン等が挙げられる。硬化促進剤の添加量はウレタンプレポリマーに対して０．００１〜５重量％であり、添加量がこの範囲であれば、ウレタン系接着剤が適度な強度を有し、かつポットライフが短くならない。
【００３０】
ウレタン系接着剤は、上記アクリル系接着剤と同様に、架橋促進剤の他に、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂など）、増粘剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【００３１】
セパレーターＰは、粘着剤層６の上に設けられる層であり、粘着剤層６表面に汚れ等が付着しないように保護することを目的として使用される。加えて、本発明においては、セパレーターＰの該粘着剤層表面と接する剥離面の表面粗さを算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下としてなるものであり、好ましくは０．７０μｍ以下、さらに好ましくは０．５０μｍ以下とする。
表面粗さがこの範囲であれば、セパレータの該剥離面の表面の形状を反映してなる粘着剤層６の表面形状も、算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下と十分に平滑な状態である。このようにして得られた粘着剤層表面の算術平均粗さＲａは、好ましくは０．７０μｍ以下、さらに好ましくは０．４０μｍ以下である。本発明において粘着剤層表面の算術平均粗さＲａを１．０μｍ以下とすることにより、ダイシングの浮きを生じることがなく、巻回剥離後糊残りや、手による剥離後の糊残りの個数を削減することができる。
Ｒａの下限として特に限定するものはないが、平滑であれば良いことからもっとも好ましい値(理想値)は０μｍであり、技術的に達成し得るという観点からすると０．０００１μｍ以上のものは本発明において有用であると考える。
以下セパレータ表面及び粘着剤層表面の粗さの算術平均粗さを、共に単に表面粗さ又はＲａとする。
このため、被加工物表面に貼り付けられた場合にその表面を十分に保護でき、ダイシング時における切断に伴い、被加工物表面と粘着剤層表面の間に水等が侵入する空間を形成しない。
また、加工後に自発巻回性粘着フィルムを巻回する場合であっても、被加工物表面への粘着力が均一であるから、剥離後に被加工物表面の糊残りは減少する。
【００３２】
セパレーターＰは１層以上からなる延伸又は無延伸の基材フィルムからなっていても良く、あるいは該基材フィルムの片面に離型剤層を設けても良い。
【００３３】
セパレーターＰが特段離型剤層を設けてなるものではない場合、即ち基材フィルムのみからなる場合には、その少なくとも粘着剤層６に接触する側の層としては、表面自由エネルギーの低い樹脂組成物であり、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリスチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム等が好ましい。
【００３４】
セパレーターＰに離型剤層を設けてなる場合、即ち基材フィルムに離型層を設ける場合には、上質、クルパック、グラシン、クレープ等の紙、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、エチレン−α−オレフィン共重合体等からなるフィルム４の一方の面に、ジメチルシロキサンやジフェニルシロキサン等のシリコーン化合物、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アシオレジン等の長鎖アルキル系化合物、を塗布したり、これらの樹脂組成物をラミネートすることができる。また、必要に応じて樹脂組成物の上にさらにシリコーン化合物などの離型剤を塗布することもある。
【００３５】
加えて、基材フィルムをフッ素原子含有物質又はケイ素化合物雰囲気中でプラズマ処理、コロナ放電処理して、離型剤層を形成することも可能である。
離型剤層は基材フィルム表面に一様に塗布され、均一な表面自由エネルギーとなっていることが好ましい。なぜならば、粘着剤層６からセパレーターＰを剥離する際、表面自由エネルギーが不均一であると、その部位では剥離応力も不均一となり、粘着剤層６から粘着剤が脱落して粘着剤層６の表面粗さが増すことになるからである。
このようにして得たセパレーターＰは粘着剤層６からの剥離力が１．０Ｎ／５０ｍｍ以下であることが好ましく、この範囲であれば本発明の自発巻回性粘着フィルムにおいて、粘着剤層６からセパレーターを円滑に剥離することができ、粘着剤層６の表面粗さが１．０μｍ以下という平滑な状態で使用することが可能になる。  
【００３６】
これらの離型剤層の厚さは任意であり、十分な離型性を有するに要する範囲でよい。同じく該基材フィルムの厚さについてもセパレーターＰの基材として十分に機能でき、取り得扱い性に優れる範囲であれば良い。
表面粗さを上記の範囲内とするため、上記の樹脂を成膜、あるいはさらに延伸することによって十分に上記の表面粗さとなる場合は他の特段の手段を要しない。しかしながら、さらに表面粗さを小さくする場合、あるいは平滑にすることが困難な樹脂を使用する等の場合には、基材フィルムの成膜時に平滑な加圧ローラ等により基材フィルムを両面から加圧する等の操作を行うことが必要である。
【００３７】
図３に示すように、本発明の自発巻回性粘着フィルムは加熱等の刺激を受けて巻回する。
図３（Ａ）は被加工物表面に貼り付けられた自発巻回性粘着フィルムが巻回開始時にその端部から被加工物表面より剥がれて反る段階を示す。そしてその反った端部が熱収縮フィルムの収縮によって巻回することになる。
巻回により自発巻回性粘着フィルムが一回りした状態を図３（Ｂ）として取り出して説明する。この段階の図は、巻回するにつれて自発巻回性粘着フィルムの端部は断面が円を描くようにして、まだ自発巻回性粘着フィルムの一部は被加工物表面に貼着されているか、剥がれたばかりの自発巻回性粘着フィルムは、その端部が自発巻回性粘着フィルムの背面である熱収縮フィルムからなる層に接触した状態の図である。
その接触してなる点が円内の接触点１０であり、巻回された自発巻回性粘着フィルムは、その接触点１０において１周巻回された状態である。
【００３８】
その後、自発巻回性粘着フィルムの端部は巻回に伴う該端部の動きによって、自発巻回性粘着フィルムの熱収縮フィルムからなる層の背面を滑って、接触点１０は移動し、該端部は巻回してなる円筒形の自発巻回性粘着フィルムの外径ｒが小さくなるように、巻締まることで小さく丸まるようになる。
その結果、図３（Ｃ）に示すように被加工物表面に形成された熱収縮してなる円筒形の自発巻回性粘着フィルムの外径ｒは小さくなり、被加工物表面から自発巻回性粘着フィルムが巻回することにより剥離する過程において、被加工物表面から自発巻回性粘着フィルムの剥離角度θが大きくなる。
そのため、その被加工物にかかる剥離応力は小さくなり、脆弱な被加工物を破壊することがない。
【００３９】
巻回が進展した図３（Ｄ）に示す状態は、自発巻回性粘着フィルムの表面積が小さいので、加熱された自発巻回性粘着フィルムが放熱されにくく、熱がこもることにより加熱された温度を維持する傾向が強いために収縮されやすい。その結果、さらに巻締まり外径が小となる傾向が現れる。
【００４０】
粘着剤層６としては、もともと粘着力の小さい粘着剤層を用いることや、接着力が小さい接着剤層を用いることもできるが、被加工物に貼着可能な粘着性を有しており、所定の役割が終了した後には、何らかの方法（低粘着化処理）で粘着性が低下又は消失可能な再剥離性の粘着剤層であるのが好ましい。このような再剥離性粘着剤層は、公知の再剥離性粘着フィルムの粘着剤層と同様に構成できる。自己巻回性の観点から、粘着剤層又は低粘着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り速度３００ｍｍ／分）は、例えば常温（２５℃）で、５０Ｎ／１０ｍｍ以下、好ましくは２５Ｎ／１０ｍｍ以下、より好ましくは１０Ｎ／１０ｍｍであるのが望ましい。
【００４１】
粘着剤層６としては、特にエネルギー線硬化型粘着剤層であるのが好ましい。エネルギー線硬化型粘着剤層は、初期には粘着性を有し、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線の照射により３次元網目構造を形成して高弾性化するような材料で構成することができ、このような材料として、エネルギー線硬化型粘着剤等を利用できる。エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、又はエネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化性樹脂）を含有する。従って、エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、又はエネルギー線硬化性化合物を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【００４２】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧性接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用することができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲなどのゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。
【００４３】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等］との共重合体などのアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【００４４】
エネルギー線硬化型粘着剤をエネルギー線硬化させるための化学修飾に用いるエネルギー線反応性官能基、及びエネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、エネルギー線照射後のエネルギー線硬化型粘着剤の３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基などの炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらの官能基は、エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。なかでも、（メタ）アクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できるなど、反応性、作業性の観点から好ましい。
【００４５】
エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及びエネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネートなど］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【００４６】
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば０．０１〜１００重量％である。前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する基及びエネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば１〜１００モル％、好ましくは２０〜９５モル％である。
【００４７】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマーなど、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマーなどが挙げられる。さらに高エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサンなどが挙げられる。
また、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等のポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物等の炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物などが挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物が好ましく、例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。以下、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物を、「アクリレート系架橋剤」と称する場合がある。
さらに、エネルギー線硬化性化合物としては、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含まれ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。
なお、エネルギー線硬化性化合物を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。
【００４８】
エネルギー線硬化型粘着剤としては、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体（側鎖にエネルギー線反応性官能基が導入されたアクリル系重合体）と前記エネルギー線硬化性化合物（炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物など）との組み合わせからなるものが特に好ましい。前記組み合わせは、エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すアクリレート基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせの具体例として、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体と、炭素−炭素二重結合を有する官能基（特にアクリレート基）を２つ以上有する化合物との組み合わせ等が挙げられる。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【００４９】
前記側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の調製法としては、例えば、側鎖に水酸基を含むアクリル系重合体に、アクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタクリロイルオキシエチルイソシアナートなどのイソシアナート化合物を、ウレタン結合を介して結合する方法等を用いることができる。
【００５０】
エネルギー線硬化性化合物の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．００１〜５００重量部程度、好ましくは０．０１〜２００重量部、さらに好ましくは０．１〜１５０重量部程度の範囲である。
【００５１】
エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるためのエネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。
【００５２】
エネルギー線重合開始剤は、用いるエネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的なエネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤などが挙げられるが、これらに限定されない。市販品として、例えば、ＢＡＳＦ社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」などがある。
【００５３】
エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。エネルギー線重合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記エネルギー線重合開始剤とともにエネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
【００５４】
エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【００５５】
また、粘着剤層６を構成する粘着剤として、上記アクリル系粘着剤を母剤とした非エネルギー線硬化型粘着剤を用いることも可能である。この場合には、筒状巻回体を形成する際の剥離応力よりも小さな粘着力を有するものが適合可能であり、例えば、シリコンミラーウェハを被加工物に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、５０Ｎ／１０ｍｍ以下、好ましくは２５Ｎ／１０ｍｍ以下、より好ましくは１０Ｎ／１０ｍｍ以下のものを用いることができる。
【００５６】
このような粘着力の小さいアクリル系粘着剤を母剤とした非エネルギー線硬化型粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル］と、反応性官能基を有するモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等］と、必要に応じて用いられる他の共重合性モノマー［例えば、（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル、アクリロニトリル等］との共重合体に、前記反応性官能基と反応しうる架橋剤［例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等］を添加して架橋させたアクリル系粘着剤などが好ましく用いられる。
【００５７】
粘着剤層６は、例えば、粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、剛性フィルム４の表面に塗布する方法、剥離ライナー（セパレーター）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを剛性フィルム４上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、剛性フィルム４との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。粘着剤層６は単層、複層の何れであってもよい。
【００５８】
さらに、粘着剤層６の算術平均粗さＲａを１．０μｍ以下とするには塗布方法は重要である。
塗布する方法としては、塗布する粘着剤の粘度や目的とする厚みに応じて任意選択すべきものであり、例えば、グラビアコータ、リバースグラビアコータ、バーコータ、コンマコータ、ダイコーターなど公知の塗付方法を利用すればよい。但し、粘着剤溶液に含まれる気泡が一緒に塗布されると、粘着剤層の表面粗さが大きくなる原因となるために注意が必要である。この場合、塗布前に粘着剤溶液をフィルターに通すことで脱泡することが可能となる。このような観点から密閉系ダイ方式を用いることが好ましい。
また、粘着剤溶液の塗布時のフィルムの静電気対策も重要である。なぜならば、基材フィルムの剥離やパスラインロールとの擦れにより帯電した場合、誘電分極により粘着剤溶液が電気的にはじかれるため、粘着剤層の表面粗さが大きくなる。従って、粘着剤溶液を塗布する前に、除電布による除電、イオナイザによる電荷中和、加湿による帯電防止などの対策が重要である。
溶剤に混合した粘着剤層６を塗布する場合には、乾燥温度や塗布ライン速度など溶剤乾燥条件も重要になる。なぜならば、例えば、溶剤沸点温度以上の温度で乾燥を行うと粘着剤表面から溶剤が激しく揮発し、粘着剤層の表面粗さが大きくなる。この場合セパレーターＰの算術平均粗さＲａが１．０μｍ以下のものを用いても、粘着剤層表面が平滑にならないためである。従って、溶剤の沸点以下の温度で予備乾燥させた後に、沸点以上の温度により本乾燥させることが好ましい。
【００５９】
粘着剤層６の厚みは、一般には１〜２００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ、さらに好ましくは３０〜６０μｍである。この厚みであれば、粘着力が不足することがなく、被加工物を保持、仮固定することができ、かつ不経済とはならず、取扱性に優れるので好ましい。
【００６０】
本発明の自発巻回性粘着フィルムは、熱収縮フィルム２と剥離ライナー付粘着剤層６が形成された剛性フィルム４を接着剤層３を介して重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブなどの大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。または、粘着剤層６を熱収縮フィルム２と接着剤層３により積層された剛性フィルム４側に形成することにより製造できる。
また、本発明の粘着フィルムは、前記自発巻回性積層フィルムの剛性フィルム４の表面に粘着剤層６を設けることにより、あるいは予め片面に粘着剤層６を設けた剛性フィルム４を熱収縮フィルム２と接着剤層３を介して重ね合わせて積層することにより製造できる。
【００６１】
本発明の粘着フィルム５は、例えば、半導体等の保護用粘着フィルム、半導体ウエハ等の固定用粘着フィルムとして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着フィルム、化合物半導体バックグラインド用粘着フィルム、シリコン半導体ダイシング用粘着フィルム、化合物半導体ダイシング用粘着フィルム、半導体パッケージダイシング用粘着フィルム、ガラスダイシング用粘着フィルム、セラミックスダイシング用粘着フィルム等として使用できる。特に、半導体保護用粘着フィルム、半導体ウエハ固定用粘着フィルム等の半導体用粘着フィルムとして有用である。
【００６２】
次に、本発明の粘着フィルムを用いた被加工物の加工方法について説明する。本発明の粘着フィルムを被加工物に貼着して仮固定し、被加工物に所要の加工を施した後、粘着フィルムの粘着剤層の粘着力を低下させるとともに、熱収縮フィルムの収縮原因となる熱等の刺激を付与し、粘着フィルムの１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ又は対向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）自発的に巻回させ、１又は２個の筒状形状を形成させることにより被加工物から剥離し、加工品を得ることができる。なお、粘着フィルムの１端部から１方向へ変形する場合は、１個の筒状形状が形成され（一方向巻回剥離）、粘着フィルムの対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場合は、平行に並んだ２個の筒状形状が形成される（二方向巻回剥離）。
【００６３】
被加工物の代表的な例として、シリコンやＧａＡｓ等の化合物からなる半導体ウエハ、フィルタ、ガラス、石英等の光学部品等が挙げられる。 加工の種類には、例えば、研削、切断、研磨、エッチング、旋盤加工、加熱（但し、収縮フィルムが熱収縮性フィルムの場合には、熱収縮開始温度以下の温度に限られる）などが含まれ、該粘着フィルムを用いて施しうる加工であれば特に限定されない。
【００６４】
被加工物の加工後、例えば、粘着剤層がエネルギー線硬化型粘着剤層である場合には、その粘着剤層にエネルギー線照射を行うとともに、所要の加熱手段により熱収縮フィルムを加熱すると、粘着剤層は硬化して粘着力を失い、熱収縮フィルムが収縮変形しようとするため、粘着フィルム外縁部が浮き上がって、その外縁部（又は対向する二つの端部）より粘着フィルムが巻回しつつ、一方向（又は方向が互いに逆の二方向（中心方向））へ自走して１個（又は２個）の筒状形状を形成する。この際、剛性フィルムによって粘着フィルムの収縮方向が調整されるので、一軸方向へ巻回しつつ速やかに筒状形状が形成される。そのため、粘着フィルムを被加工物から極めて容易に且つ綺麗に剥離することができる。加熱温度は熱収縮フィルムの収縮性に応じて適宜選択でき、例えば７０〜１８０℃、好ましくは７０〜１４０℃である。エネルギー線照射、加熱処理は同時に行ってもよく、段階的に行ってもよい。また加熱は被加工物全面に均一に加温するだけでなく、全面を段階的に加温する、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に加熱してもよく、易剥離性を活用する目的において適宜選択すべきである。
【００６５】
図４は本発明の自発巻回性粘着フィルムが筒状形状に変形する様子を示す図（斜視図）であり、（Ａ）は自発巻回性粘着フィルムの収縮原因となる刺激を付与する前の自発巻回性粘着フィルムを示す図、（Ｂ）自発巻回性粘着フィルムの収縮原因となる刺激が付与された自発巻回性粘着フィルム（粘着剤層の粘着力が低下又は消失した後の自発巻回性粘着フィルム）がフィルム外縁部（１端部）から一方向（通常、自発巻回性粘着フィルムの主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図、（Ｃ）は自発巻回性粘着フィルムの巻回が終了して１個の筒状形状が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図である。
また、（Ｄ）は自発巻回性粘着フィルムの対向する２端部から中心に向かって（通常、自発巻回性粘着フィルムの主収縮軸方向へ）自発的に変形して２個の筒状形状が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。なお、自発巻回性粘着フィルムと、この自発巻回性粘着フィルムの粘着剤層が設けられている基材のフィルムとは、筒状形状への変形性に実質的な差はほとんどない。自発巻回性粘着フィルムが一方向巻回を起こすのか、或いは二方向巻回を起こすのかは、剛性フィルムの熱収縮フィルムに対する粘着力や剛性フィルム（特に接着剤層）のヤング率もしくはせん断貯蔵弾性率等によって変わる。
【００６６】
図４において、Ｌはフィルム１又は粘着フィルム５の巻回方向（通常、熱収縮フィルムの主収縮軸方向）の長さ（フィルムが円形状の場合は直径）を示し（図５（Ａ））、ｒは形成された筒状形状の直径（フィルムが円形状等の場合のように筒状形状の直径が筒の長さ方向において一定でない場合は、最大直径）を示す（図５（Ｃ）、（Ｄ））。本発明のフィルム又は粘着フィルムにおいては、ｒ／Ｌの値は粘着フィルムがどの程度巻回するかを示しており、好ましくは０．０００１〜０．９９９の範囲、さらに好ましくは０．００１〜０．３３３の範囲である。
なお、Ｌは、例えば１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍである。フィルム又は粘着フィルムにおけるＬに直交する方向の長さは、例えば１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍ程度である。ｒ／Ｌの値は、熱収縮フィルム２、剛性フィルム４及び接着剤層３、粘着剤層６の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に剛性フィルム４を構成する接着剤層３のせん断貯蔵弾性率、厚み、剛性フィルム４のヤング率及び厚みを調整することにより上記の範囲にすることができる。この例では、フィルム又は粘着フィルムの形状は四角形であるが、これに限らず、目的に応じて適宜選択でき、円形状、楕円形状、多角形状等の何れであってもよい。
【００６７】
被加工物の加工に本発明の粘着フィルムを用いると、剥離時の応力による被加工物の破損を回避でき、例えば厚みの薄い半導体ウエハなどの脆弱な被加工物を加工する場合であっても、それを破損したり汚染することなく、簡易に粘着フィルムを該被加工物から剥離することができる。
その様子を例えば図５に示す。図５においては本発明の粘着フィルムを脆弱な被加工物表面に貼り、その後ダイシング工程等を経て、該粘着フィルムを該被加工物から剥離させる際には、加熱等を行ってダイシング工程と共に切断された該粘着フィルムを収縮させて円筒形に変形させる。その後、被加工物表面から円筒形に変形された該粘着フィルムのみを剥がしてダイシングされた被加工物を得る。
【００６８】
本発明は上記の材料及び層構成からなり、熱収縮フィルムに接着剤層を介して非熱収縮性基材を積層させてなるフィルム及び粘着フィルムであって、さらに、加熱されて筒状形状となった後に、自動的に復元しないという性質を有することが求められる。
この性質を確認するために、図６に示すように、例えば、フィルムを長さ５０ｍｍ幅２０ｍｍの大きさに切断し、これをＡ工程にて加熱することにより形成される筒状形状物を、Ｂ工程にて加熱前のもとの長さ５０ｍｍに巻き戻すために必要な力Ｆが０．０１Ｎを超えれば確実に筒状形状となったフィルムが自動的に復元することがないと判断することができる。
なぜならば、筒状形状物はぜんまいのように働くため、巻き戻すための力が必要であるが、その必要な力は筒状形状物の剛性に依る。つまり巻き戻すために必要な力が、０．０１Ｎを超える場合には、筒状形状物を構成するフィルムは高い剛性を持っており、例えば、被加工物に接着させた後に筒状形状物とし、これを剥離・除去する操作における応力により、該筒状物が押しつぶされるような場合でも、容易に再付着するような変形となる程度に押しつぶされることがない。もしくは再付着したとしても、高い剛性（弾性）による変形回復が起こって再付着部分が剥離するため、回収作業が簡便となる。さらに、その力が０．０５Ｎ以上であればより硬く筒状形状を形成できる。
なお、上記では、フィルムの大きさを長さ５０ｍｍ幅２０ｍｍとしているが、フィルムの大きさを規定するものではなく、あくまで一例として示したにすぎない。
もちろん、フィルムの大きさが異なれば、おのずと必要な力はその大きさに依存して変化するので、加熱前のもとの長さに巻き戻すために必要な力は、０．０１Ｎとは異なる力となる。
【００６９】
そのような、筒状形状となった後には自動的に復元しない性質を備える本発明のフィルムに必要な物性として、熱収縮フィルムのヤング率と厚みの積が４２０００Ｎ／ｍ以上であってもよく、さらに好ましくは８００００Ｎ／ｍ以上である。なぜならば、ぜんまいとして強くあるためには、積層樹脂層を構成する材料の剛性が高いことが必要であるからである。
なお、熱収縮フィルムのヤング率に関して、熱収縮フィルムは一般に２軸延伸によって作製されるためにフィルム面内で異方性を持つ(フィルムの縦方向、横方向で異なる値となる)が、本発明では、両方向のヤング率のうちより高い値を採用できる。
【００７０】
また、図７に示すように、フィルムを１０×１０ｍｍに切断し、加熱して筒状形状としたものに対して、荷重を加えて、荷重を加える前の初期の直径（Ｌ）に対する荷重を加えた後の直径（Ｌ’）が１／２となるために必要な荷重が１Ｎ以上であると、外部応力に強く、剥離・除去するに十分な硬さの筒状形状を呈するが、さらに１．２Ｎ以上であれば、より剥離・除去に十分な硬度を備えることができる。
【００７１】
以下、実施例に基づいて本発明による効果を説明する。
【実施例】
【００７２】
（セパレーター１製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にヘプタン希釈１％シリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)をグラビアコーターで塗布、乾燥して、セパレーター１を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａは０．０３μｍであった。
【００７３】
（セパレーター２製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にサンドブラスト処理を行い、その処理面にシリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)を塗布、乾燥して、セパレーター２を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝０．１２μｍであった。
【００７４】
（セパレーター３製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にサンドブラスト処理を行い、その処理面にシリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)を塗布、乾燥して、セパレーター３を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝０．２７μｍであった。
【００７５】
（セパレーター４製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にサンドブラスト処理を行い、その処理面にシリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)を塗布、乾燥して、セパレーター４を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝０．３μｍであった。
【００７６】
（セパレーター５製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にサンドブラスト処理を行い、その処理面にシリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)を塗布、乾燥して、セパレーター５を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝０．３６μｍであった。
【００７７】
（セパレーター６製造例）
厚さ１５μｍのＰＥ（ポリエチレン）からなるフィルム、厚さ６０μｍのＰＰ（ポリプロピレン）からなるフィルム、及び、厚さ１５μｍのＰＥ（ポリエチレン）からなるフィルムをこの順で積層させ、総厚９０μｍのセパレーター６を得た。
より詳細には、低密度ポリエチレン（ＰＥ）（宇部興産株式会社製 Ｆ５２２Ｎ）を内層（Ａ）と外層（Ａ）となるように２台の押出し機を用いて溶融し、さらにもう１台の押出し機を用いて、非晶質ポリオレフィンと結晶性ポリプロピレン（ＰＰ）との組成物（宇部興産株式会社製ＣＡＰ３５５）を中間層（Ｂ）となるように溶融し、２５０℃の１つのＴダイ内で（Ａ）／（Ｂ）／（Ａ）の順になるように融着積層してＴダイから押出し、７０℃の温湯を内部に通した、エアーナイフ付きの引き取りロール（ロール表面は６ｓの梨地状）を用いてドロー比２．５で引き取り、内層（Ａ）と外層（Ａ）とが共に１５μｍ、中間層（Ｂ）が６０μｍ、合計９０μｍのフィルムを得た。外層（Ａ）表面はエンボス加工し、内層（Ａ）は艶面とし、艶面側を離型面として使用した。
離型面の算術平均粗さＲａ＝０．１６μｍであった。
【００７８】
（セパレーター７製造例）  
王子特殊紙製の上質紙「ＮＳＷＦ１０１−７８」の片面にコロナ処理を行い、その処理面に旭化成ケミカルズ製低密度ポリエチレン「サンテック−ＬＤ  Ｌ４４９０」を押し出し成型し、そのポリエチレン表面に荒川化学工業製シリコーン離型剤（「シリコリースＡＳＴ−６Ａ」および「シリコリースＡＳＴ−６Ｂ」）を塗布、乾燥してセパレーター７を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝０．６９μｍであった。
【００７９】
（セパレーター８製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にヘプタン希釈０．２％シリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−３７０３」および「ＫＳ−３８００」、および触媒「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)をグラビアコーターで塗布、乾燥して、セパレーター８を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａは０．０４μｍであった。
【００８０】
（セパレーター９製造例）
王子製紙性の未晒クラフト紙「クラフトCPK」の片面にコロナ処理を行い、その処理面に旭化成ケミカルズ製低密度ポリエチレン「サンテック−ＬＤ  Ｌ４４９０」を押し出し成型し、そのポリエチレン表面に信越シリコーン製シリコーン離型剤（「ＫＮＳ−３００１」および「ＣＡＴ−ＰＬ−５６」）を塗布、乾燥してセパレーター9を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａ＝１．４５μｍであった。
【００８１】
（セパレーター１０製造例）
東レ製５０μｍ厚PETフィルム「ルミラーＳ１０」の片方の面にヘプタン希釈０．０４％シリコーン製離型剤(信越シリコーン製、商品名： 離型剤「ＫＳ−７７４」および触媒「ＣＡＴ ＰＬＲ−１」、「ＰＬＲ−２」および「ＣＡＴ ＰＬ−５０Ｔ」)をグラビアコーターで塗布、乾燥して、セパレーター１０を得た。離型剤塗布面の算術平均粗さＲａは０．０３μｍであった。
【００８２】
（粘着剤製造例）
粘着剤１
２−エチルヘキシルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝９０：１０（重量比）混合物１００重量部に重合開始剤ベンジルパーオキサイド０．２重量部を加えたトルエン溶液から共重合してアクリル系重合体(重量平均分子量７０万)を得た。
得られた前記アクリル系重合体に２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の５０モル％の２−イソシアナトエチルメタクリレート（商品名：カレンズＭＯＩ、昭和電工株式会社製）と前記アクリル系重合体１００重量部に対して、ジブチル錫ジラウリレート０．０３重量部とを配合し、空気雰囲気下、５０℃で２４時間反応させて、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。
得られたアクリル系重合体１００重量部に対して、ラジカル系光重合開始剤（イルガキュア６５１、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ＢＡＳＦ社製）１重量部、イソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業（株）製、 商品名コロネートＬ）１．５重量部を加え、ＵＶ硬化型粘着剤１を得た。
【００８３】
粘着剤２
エチルアクリレート：２−エチルヘキシルアクリレート：メチルメタアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝７０：３０：５：４（重量比）混合物１００重量部に重合開始剤ベンジルパーオキサイド０．２重量部を加えたトルエン溶液から共重合してアクリル系重合体(重量平均分子量４８万)を得た。
得られたアクリル系重合体１００重量部に対して、イソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業（株）製、 商品名コロネートＬ）２重量部、スズ触媒(東京ファインケミカル(株)製、商品名エンビライザー OL-1)０．０２５重量部を加え、非ＵＶ硬化型粘着剤２を得た。
【００８４】
粘着剤３
ブチルアクリレート：アクリル酸＝１００：５（重量比）混合物１００重量部に重合開始剤ベンジルパーオキサイド０．２重量部を加えた酢酸エチル溶液から共重合してアクリル系重合体(重量平均分子量１２５万)を得た。
得られたアクリル系重合体１００重量部に対して、イソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業（株）製、 商品名コロネートＬ）２重量部、エポキシ化合物(三菱瓦斯化学(株)製、商品名TETRAD-C)０．５重量部を加え、非ＵＶ硬化型粘着剤３を得た。
【００８５】
粘着剤４
エチルアクリレート：ブチルアクリレート：アクリル酸：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝３０：７０：５：１（重量比）混合物１００重量部に重合開始剤2,2’-アゾビスイソブチロニトリル０．２重量部を加えた酢酸エチル溶液から共重合してアクリル系重合体(重量平均分子量１００万)を得た。
得られたアクリル系重合体１００重量部に対して、イソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業（株）製、 商品名コロネートＬ）２重量部、エポキシ化合物(三菱瓦斯化学(株)製、商品名TETRAD-C)０．５重量部を加え、非ＵＶ硬化型粘着剤４を得た。
【００８６】
粘着剤５
メチルアクリレート：２−エチルヘキシルアクリレート：アクリル酸＝７０：３０：１０（重量部比）混合物１００重量部に重合開始剤ベンゾイルパーオキサイト０．２重量部を加えた酢酸エチル溶液から共重合して得られたアクリル系重合体（重量平均分子量８３万）を製造した。
得られたアクリル共重合体１００重量部に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業（株）製、 商品名コロネート）３重量部、エポキシ系架橋剤（三菱瓦斯化学(株)製、商品名ＴＥＴＲＡＤ−Ｃ）０．７５重量部、多官能ウレタンアクリレートオリゴマー(日本化薬株式会社製、商品名ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ−４０Ｈ)５０重量部、光重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「イルガキュア６５１」）３重量部を加え、ＵＶ硬化型粘着剤５を得た。
【００８７】
（自発巻回性粘着フィルム用フィルム製造例）
剛性フィルムとして、ポリエチレンテレフタレート(ＰＥＴ)フィルム(東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーＳ１０５（厚み３８μｍ）)を用いた。
この剛性フィルム層のコロナ処理面側に、ＮＢ３００（大日精化社製、薄青色顔料入り）を乾燥後の膜厚が１〜２μｍとなるようにグラビアコーターで塗布、乾燥することで有機コーティング層付き剛性フィルムを得た。
前記剛性フィルム層の有機コーティング層の反対面と熱収縮ポリエステルフィルム（東洋紡社製、スペースクリーンＳ７２００、膜厚３０μｍ、片面コロナ処理済み）のコロナ処理面とを接着剤を用いてドライラミネート法で貼り合わせ、自発巻回性のテープ基材を作製した。
なおドライラミネートに用いた接着剤は三井化学社製タケラックＡ５２０、タケネートＡ１０及び酢酸エチルを重量比で６：１：５．５となるよう混合したものを用いた。また、乾燥後の接着剤の厚みは２〜４μｍであった。
【００８８】
(自発巻回粘着フィルム実施例)
実施例１
粘着剤製造例で得られたＵＶ硬化型粘着剤混合物を、ダイコーターを用いて、セパレーター１の離型剤塗布面に、乾燥膜厚が３０μｍとなるように塗布した後、製造例で得た自発巻回性粘着フィルム用フィルムの有機コーティング層側に貼り合せて、自発巻回性粘着フィルム１を得た。尚、粘着剤乾燥は７０℃で予備乾燥を行った後に１２０℃で本乾燥を行った。
【００８９】
実施例２
セパレーター１の代わりにセパレーター２を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム２を得た。
【００９０】
実施例３
セパレーター１の代わりにセパレーター３を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム３を得た。
【００９１】
実施例４
セパレーター１の代わりにセパレーター４を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム４を得た。
【００９２】
実施例５
セパレーター１の代わりにセパレーター５を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム５を得た。
【００９３】
実施例６
セパレーター１の代わりにセパレーター６離型面を用いたこと以外は実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム６を得た。
【００９４】
実施例７
セパレーター１の代わりにセパレーター７を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム７を得た。
【００９５】
実施例８
セパレーター１の代わりにセパレーター８を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム８を得た。
【００９６】
実施例９
ＵＶ硬化型粘着剤１の代わりに、非ＵＶ硬化型粘着剤２を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により、自発巻回粘着フィルム９を得た。
【００９７】
実施例１０
ＵＶ硬化型粘着剤１の代わりに、非ＵＶ硬化型粘着剤３を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により、粘着自発巻回粘着フィルム１０を得た。
【００９８】
実施例１１
ＵＶ硬化型粘着剤１の代わりに、非ＵＶ硬化型粘着剤４を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により、自発巻回粘着フィルム１１を得た。
【００９９】
実施例１２
ＵＶ硬化型粘着剤１の代わりに、ＵＶ硬化型粘着剤５を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により、自発巻回性粘着フィルム１２を得た。
【０１００】
比較例１
セパレーター１の代わりにセパレーター９を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回性粘着フィルム１３を得た。
【０１０１】
比較例２
予備乾燥を行わないこと以外は実施例1と同様の操作により自発巻回粘着フィルム１４を得た。
【０１０２】
比較例３
セパレーター１の代わりにセパレーター１０を用いたこと以外は、実施例１と同様の操作により自発巻回粘着フィルム１５を得た。
【０１０３】
[表面粗さ測定]
粘着剤層表面およびセパレーター離型面の算術平均粗さＲａはその素材に応じて、接触式表面粗さ計あるいは非接触式表面粗さ計を用いて測定した。
接触式表面粗さ計：ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ製 「Ｐ−１５」
測定長さ ＝ １０００μｍ
測定速度 ＝ １０μｍ／秒
針圧  ＝  ５ｍｇ
非接触式表面粗さ計：Ｖｅｅｃｏ製 「Ｗｙｋｏ ＮＴ９１００」
測定モード  ＝  ＶＳＩ
対物レンズ  ＝  ５０倍あるいは１０倍
内部レンズ  ＝  １.０倍
測定面積  ＝  ０．５ｍｍ×０．５ｍｍ  （Ｓｔｉｔｃｈｉｎｇ機能を使用）
【０１０４】
[剥離後糊残り]
実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着フィルムを自重２kgのハンドローラーで4インチの清浄表面を有するシリコンウエハのミラー面に貼り合せ、23℃雰囲気下で60分放置後、UV照射機(日東精機社製UM810)を用い、粘着テープの基材側からUVを150mJ/cm2照射することで、粘着剤層を硬化させた。
次に、100℃のホットプレート上で、巻回剥離した後の該ウエハミラー面をパーティクルチェッカー（KLA-Tencor製サーフスキャン6200）で測定、直径0.28μｍ以上のパーティクルを糊残り量として測定した。
パーティクル数は、１０００個以下を○、それ以上のものを×とした。
なお、上記同様に作製した試料を、室温において手でピール剥離した場合にもパーティクルを測定した。
【０１０５】
[ダイシング後の剥がれ]
実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着フィルムを自重２kgのハンドローラーで4インチの清浄表面を有するシリコンウエハ(ミラー面)に貼り合せた。23℃雰囲気下で60分放置後、UV照射機(日東精機社製UM810)を用い、粘着テープ側のウエハ外周5mmより内側の面にUVを150mJ/cm2照射して粘着剤を硬化させた。次にダイシングテープ「DU300」(日東電工製)を用いてテープ付きウエハをダイシングリングにマウントした後、ダイサー(ディスコ社製DFD6450)で10mm×10mmのサイズにダイシングした。
ダイシング後のダイシングラインをレーザー顕微鏡（キーエンス社製VK8510、50倍）で観察し、ライン近傍に直径5μｍ以上の気泡が生じているものを×、気泡が無いもしくは気泡が生じても直径が5μｍ以下のものを○とした。
【０１０６】
［ｒ／Ｌ値の測定］
実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着フィルムを１００×１００ｍｍに切断した後、ＵＶ型粘着剤を用いたものについては、ＵＶを約５００ｍＪ／ｃｍ２となるように照射した。
粘着シートの１端部を収縮フィルムの収縮軸方向に沿って８０℃の温水に浸漬し、変形を促した。
筒状巻回体となったものについては、直径(r)を定規を用いて求め、この値をL(=１００ｍｍ)で除してｒ／Ｌとした。
【０１０７】
［剛性フィルム層のヤング率（８０℃）の測定］
剛性フィルム層のヤング率はＪＩＳ Ｋ７１２７に準じ以下の方法で測定した。引張り試験機として島津社製オートグラフＡＧ−１ｋＮＧ（加温フード付き）を用いた。長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍに切り取った剛性フィルムをチャック間距離１００ｍｍで取り付けた。加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【０１０８】
［熱収縮フィルムと剛性フィルムとの剥離力の測定］
製造例で得た自発巻回性粘着フィルム用フィルムを長さ７０ｍｍ×幅１０ｍｍの大きさに切断し、剛性フィルム層側の面(有機コーティング層側)と、剛直支持基材としてシリコンウエハとを両面粘着テープ (日東電工製、商品名No.5000N)を用いて貼り合わせ、この貼り合わせ品を７０℃加温ステージ上に、剛直支持基材側が接触するよう、設置した。
収縮性フィルム層側表面とピール剥離試験機の引張り治具とを、ピール角度１８０°になるよう粘着フィルムを用いて結合した。
引張り冶具を長さ方向と平行になるよう、引張り速度３００ｍｍ/分で引張り、収縮性フィルム層と接着層との間で剥離が生じたときの力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
【０１０９】
［セパレーター剥離力の測定］
実施例もしくは比較例で得た自発巻回性粘着フィルムを長さ１２０ｍｍ×幅５０ｍｍの大きさに切断た。
自発巻回性粘着フィルムの熱収縮フィルム側と、剛直支持基材としてシリコンウエハとを両面粘着テープ（日東電工製、商品名No.5000N）を用いて貼り合せた。
セパレーター離型剤塗布のされていない面とピール剥離試験機の引っ張り冶具とをピール角度が１８０°となるよう粘着テープを用いて結合した。
室温(約２３℃)雰囲気下、引っ張り冶具を長さ方向と平行になるよう、引っ張り速度３００ｍｍ/分で引っ張り、セパレーターと粘着剤層との間で剥離した時の力(Ｎ／５０ｍｍ)を測定した。
【０１１０】
【表１】
2013181063.tif 000003
【０１１１】
【表２】
2013181063.tif 000004
【０１１２】
実施例１〜１２、比較例１〜３の結果から粘着剤層面のＲａが１．０μｍ以下であることが、被着体との密着性に重大な影響を及ぼすことが確認できる。特に比較例1では、自発巻回剥離とピール剥離との間で糊残りの数が著しく異なることから、巻回剥離を効果的に利用するためには粘着剤層面のＲａが重要であることがわかる。
また、粘着剤層面のＲａを１．０μｍ以下にするには、セパレータのＲａ(比較例１）、セパレータ剥離力(比較例３)が重要であり、粘着剤塗工条件(比較例２）なども制御因子となりうることがわかる。
【０１１３】
ダイシング後の自発巻回性粘着フィルムのウエハからの剥がれの状況を図８及び９に示す。
図８に示すように、実施例１の自発巻回性粘着フィルムを用いてダイシングした後は、切断部１３付近であっても、ウエハと粘着剤層との間に気泡が存在せず、ダイシング時に水が切断部から侵入した跡もない。
これに対して図９に示すように、比較例１の自発巻回性粘着フィルムを用いてダイシングした後は、切断部１３以外の多くの箇所にて気泡１５がみられる。これはダイシングより前に自発巻回性粘着フィルムをウエハに貼着した時点で生じたものである。さらに切断部１３付近の自発巻回性粘着フィルムの貼着部には水侵入箇所１４が存在することが明らかである。
【０１１４】
１・・・フィルム
２・・・熱収縮フィルム
３・・・接着剤層
４・・・剛性フィルム
５・・・粘着フィルム
６・・・粘着剤層
７・・・被加工物
８・・・両面フィルム
１０・・・接触点
１１・・・支持板  
１２・・・支持板  
１３・・・切断部
１４・・・水侵入箇所
１５・・・気泡
Ｐ・・・セパレーター
【図１】
2013181063.tif 000005
【図２】
2013181063.tif 000006
【図３】
2013181063.tif 000007
【図４】
2013181063.tif 000008
【図５】
2013181063.tif 000009
【図６】
2013181063.tif 000010
【図７】
2013181063.tif 000011
【図８】
2013181063.tif 000012
【図９】
2013181063.tif 000013