(57)【要約】【課題】保存安定性に優れ、特に長期間保存した後であってもゲル化せず、かつ良好な高精細パターンを形成可能な感光性銅ペーストを得る。【解決手段】  感光性有機成分を含む有機成分と銅粉末を含有する感光性銅ペーストであって、感光性銅ペースト中における感光性有機成分１００重量部に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含む感光性銅ペーストとする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性有機成分を含む有機成分と銅粉末を含有する感光性銅ペーストであって、感光性銅ペースト中における感光性有機成分１００重量部に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含むことを特徴とする感光性銅ペースト。
【請求項２】
前記光重合開始剤の全量に対する前記オキシムエステル化合物の含有量が５０質量%以上であることを特徴とする請求項１および２に記載の感光性銅ペースト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘度安定性に優れた感光性銅ペーストに関する。本発明の感光性銅ペーストは、ディスプレイや電子回路部品に用いられる。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品やディスプレイにおいて、高精細化が進んでおり、それに伴って微細な無機物のパターンを形成する技術が望まれている。微細な無機物のパターンを形成する技術としては、無機粉末と感光性成分を含む有機成分からなる感光性ペーストを基板上に塗布した後、露光、現像によってパターンを形成し、焼成することによって感光性成分を含む有機成分を揮散し、無機粉末を焼結させることによって微細な無機物のパターンを形成する方法が知られている。
【０００３】
微細な導電パターンを形成するためには、無機粉末として導電性粉末を使用する事が必要となる。現在は主に価格、性能の観点から銀が用いられている。しかし、マイグレーションが発生する点や、価格競争の激化にともないコスト面が問題となっている。そこで、銀の代替材料として銅の使用が検討されている。しかし、銅は、溶液中に溶出した銅イオンと、プロトン遊離後に生成される有機成分中のアニオンとが反応し、イオン架橋による三次元ネットワークが形成され、その結果ペーストのゲル化が生じてしまう。感光性銅ペーストがゲル化すると、ペースト加工時における塗布工程が困難となり、さらにその後の現像工程でのばらつきが大きくなってしまうという問題が起きる。
【０００４】
感光性ペーストのゲル化を抑制する方法としては、特許文献1に示されるようにベンゾトリアゾールなどのアゾール構造を持つ化合物を導入することが挙げられる。また、特許文献２に示される無機粉末としてガラス粉末を含有するペーストでは、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシルアミン塩とフェノール系化合物、キノン系化合物、アミン系化合物の内少なくとも1種を含有させる方法が開示されている。しかし、それらの方法について、感光性銅ペーストに対する効果は十分なものではなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２１８５０８
【特許文献２】特開２００９−１８６６４３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、保存安定性に優れ、特に長期間保存した後であってもゲル化せず、かつ良好な高精細パターンを形成可能な感光性銅ペーストを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明は、感光性有機成分を含む有機成分と銅粉末を含有する感光性銅ペーストであって、感光性銅ペースト中における感光性有機成分１００重量部に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含むことを特徴とする感光性銅ペーストである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、保存安定性に優れた感光性銅ペーストを提供できる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明は、感光性有機成分を含む有機成分と銅粉末を含有する感光性銅ペーストであって、感光性銅ペースト中における感光性有機成分１００重量部に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含むことが必要となる。
【００１０】
本発明における感光性有機成分とは、紫外線などの光を照射した場合に硬化する有機成分を指し、具体的には、感光性モノマー、感光性オリゴマーおよび感光性ポリマーから選ばれた少なくとも１種を含むものである。
【００１１】
感光性モノマーとしては、活性な炭素−炭素２重結合を有する化合物を用いることができる。官能基として、ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能化合物が応用できる。アクリレートまたはメタクリレート官能基を有する多官能化合物には多様な種類の化合物が開発されているので、それらから反応性、屈折率などを考慮して選択することが可能である。具体的には、アリル化シクロヘキシルジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジアクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡ−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビスフェノールＡ−プロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、または上記化合物のアクリル基を１部または全てメタクリル基に代えた化合物等が挙げられる。
【００１２】
感光性ペーストを構成する感光性有機成分として、光反応で形成される硬化物の物性の向上や感光性ペーストの粘度の調整などの役割を果たす成分としてオリゴマーまたはポリマーが用いられる。そのオリゴマーまたはポリマーは、炭素−炭素２重結合を有する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得られる。
【００１３】
共重合するモノマーとしては、不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後にアルカリ水溶液での現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸またはこれらの酸無水物などが挙げられる。
【００１４】
こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価（ＡＶ）は５０〜１８０、さらには７０〜１４０の範囲が好ましい。酸価が１８０を超えると、現像許容幅が狭くなる。また、酸価が５０以下になると未露光部の現像液に対する溶解性が低くなるため現像液濃度を濃くする必要があり、その結果露光部まで剥がれが発生し、高精細なパターンが得られにくくなる。
【００１５】
以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマーや感光性オリゴマーとして用いることができる。
【００１６】
好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。
【００１７】
このような側鎖をオリゴマーやポリマーに付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライドを付加反応させて作る方法がある。
【００１８】
グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエーテルなどが挙げられる。イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリロイルイソシアナート、（メタ）アクリロイルエチルイソシアネートなどがある。また、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライドは、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して０．０５〜１モル等量付加させることが好ましい。
【００１９】
本発明では、分子内にカルボキシル基と不飽和２重結合を含有する重量平均分子量５００〜１０万のオリゴマーもしくはポリマーを含有させることが好ましい。
【００２０】
バインダー成分が必要な場合には、ポリマーとして、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸−メタクリル酸エステル重合体、ブチルメタクリレート樹脂等を用いることができる。
【００２１】
本発明における感光性ペーストは、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーあるいはバインダー樹脂を含有するが、これらの成分はいずれも活性光線のエネルギー吸収能力はないため、光反応を開始するためには光重合開始剤を用いる必要がある。
【００２２】
感光性ペーストによるパターン形成は、露光された部分の感光性成分を重合および架橋させて現像液に不溶化することであり、上記のように感光性を示す官能基はラジカル重合性であるため、光重合開始剤はラジカル種を発生するものから選んで用いられる。
【００２３】
本ペーストにおける光重合開始剤には、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含むことが必要となる。オキシムエステル化合物は、高感度のため、少量の添加でも光重合反応を開始させることができる。オキシムエステル化合物の量が２質量％以下となると、ペーストの反応性が不足し、パターン形成が困難となる。また、５質量％以上となると、ラジカルが過剰発生し、遊離している銅イオンと反応しペーストの安定性に影響を及ぼす。
【００２４】
本発明におけるオキシムエステル化合物の例としては、１，２−オクタンジオン−１−［４−（フェニルチオ）−２−］Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン−１−「９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９−Ｈ−カルバゾール−３−イル」−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、２−（アセチルオキシミノメチル）チオキサンテン−９−オンなどが挙げられる。本発明では、これらの中から1種類または２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００２５】
また、本発明では感光性銅ペースト中に含まれる光重合開始剤の全量に対し、オキシムエステル化合物の含有量が５０質量%以上であることが好ましい。さらに好ましくは、７０質量％以上、さらには９０質量％以上であることが最も好ましい。オキシムエステル化合物の含有量が光重合開始剤の全量に対し５０質量％未満となった場合、ペーストの反応性が不足し、パターン形成性が悪化する。また、パターンの硬化が不足し、現像時におけるパターン抜けが発生する。また、パターンが硬化するために必要な露光量が莫大となり、製造工程への負荷が大きくなる。
【００２６】
オキシムエステル化合物と共に使用する光重合開始剤の具体例としては、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−１−プロパノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２，２−ジヒドロキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン等が挙げられる。本発明では、これらを１種または２種以上使用することができる。
【００２７】
また、光重合開始剤と共に増感剤を使用し、感度を向上させたり、反応に有効な波長範囲を拡大したりすることができる。光重合開始剤や増感剤としては、長波長まで感度を有するものが好適である。光線の波長が短くなるほど、吸収や散乱の影響を受けやすいため、感光性導電ペーストの塗布膜内部まで硬化させるためには長波長まで感度を有することが好ましい。増感剤は、長波長まで感度を有するものが多いため、光重合開始剤と併用もしくは、増感剤単独で使用すると厚膜での加工性に優位に働く。
【００２８】
増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジメチルアミノ）カルコン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）カルコン、ｐ−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、ｐ−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、２−（ｐ−ジメチルアミノフェニルビニレン）イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノフェニルビニレン）イソナフトチアゾール、１，３−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）アセトン、１，３−カルボニルビス（４−ジエチルアミノベンザル）アセトン、３，３−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、銅Ｎ−フェニル−Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−フェニルエタノールアミン、Ｎ−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、３−フェニル−５−ベンゾイルチオテトラゾール、１−フェニル−５−エトキシカルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。
【００２９】
本発明ではこれらを１種または２種以上使用することができる。増感剤を本発明の感光性銅ペーストに添加する場合、その添加量は感光性成分に対して通常０．０５〜１０重量％、より好ましくは０．１〜１０重量％である。増感剤の量が少なすぎると光感度を向上させる十分な効果が発揮されず、増感剤の量が多すぎると露光部の残存率が小さくなる恐れがある。
【００３０】
本発明における感光性銅ペースト中には、粘度を調整したい場合有機溶媒を添加してもよい。添加する有機溶媒の例としては、メチルセルソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシ−３−メチル−１−プロパノール、乳酸エチル、テトラヒドロフルフリルアルコールなどが挙げられる。その中でも、感光性銅ペーストにおいてはジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３−メトキシ−３−メチル−１−プロパノールのいずれかを用いることが好ましい。
【００３１】
本発明において使用する銅粉末は、単独、合金のいずれの状態であってもよい。また、銅粉末の表面を銀、ニッケルなど異種金属にてコーティングされた粉末であってもよい。
【００３２】
銅粉末の形状としては、球状、板状、鱗片状、円錐状、角状、棒状、粒状、針状などであるが、単分散で凝集がなく、球状あるいは粒状であることが好ましい。この場合、球状とは球形率が８０個数％以上であるのが好ましい。球径率の測定は、粉末を光学式顕微鏡で３００倍の倍率で撮影して計数し球状のものの比率を表した。球状粉末を用いると露光時の光線の散乱が少なくなることにより、塗布膜内部まで光線を透過させやすくなるため好ましい。
【００３３】
本発明においては、感光性導電ペースト中にガラス粉末を含有することもできる。ガラス粉末を含有させることで、導電性粉末をガラス基板やセラミック基板上に強固に焼き付けることができる。また、導電性粉末を焼結するための焼結助剤の効果や導体抵抗を下げる効果がある。ガラス粉末としては、特に限定されるものではないが、ガラス転移温度（Ｔｇ）および軟化点（Ｔｓ）は、それぞれ３００〜８００℃、３５０〜８５０℃であることが好ましく、より好ましくはそれぞれ、３５０〜７５０℃、４００〜８００℃であることが好ましい。Ｔｇ、Ｔｓがそれぞれ３００℃、３５０℃未満では、有機成分が蒸発する前にガラスの焼結が始まることで緻密かつ低抵抗の導体膜を得ることができない。Ｔｇ、Ｔｓがそれぞれ８００℃、８５０℃を超える場合では、９００℃以下の温度で焼き付けた場合に、導電膜と基板との充分な接着強度や緻密な導体膜が得られにくい。また、ガラス粉末の成分は特に限定されるものではない。さらに、積層体の導体パターンに用いる場合、繰り返しの焼成に耐えるよう結晶性のガラス粉末であってもよい。
【００３４】
本発明の感光性銅ペーストでは、添加物成分として、分散剤、チキソ剤、可塑剤、染料等の紫外線吸収剤、重合禁止剤等を目的に応じて適宜用いることができる。
【００３５】
本発明の感光性銅ペーストは、各種成分を所定の組成となるように調合した後、プラネタリーミキサー等のミキサーによって予備分散した後、三本ローラーなどの分散機を用いて分散、混練することによって均質に作製する。
【００３６】
このようにして得られる感光性銅ペーストを用いて、次のようにパターン形成することができる。
【００３７】
まず、ガラスやアルミナ等の基板、またはグリーンシート上に、感光性銅ペーストを全面塗布、もしくは部分的に塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどの方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、吐出圧力、定量ポンプの送り量、感光性銅ペーストの粘度等を選ぶことによって調節可能である。
【００３８】
ここで感光性銅ペーストを基板上に塗布する場合、基板と塗布膜との密着性を高めるために基板の表面処理を行うことができる。表面処理液としては、シランカップリング剤、例えば、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、トリス（２−メトキシエトキシ）ビニルシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−（メタクリロキシプロピル）トリメトキシシラン、γ−（２−アミノエチル）アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシランなど、あるいは有機金属、例えば有機チタン、有機アルミニウム、有機ジルコニウムなどを用いることができる。シランカップリング剤あるいは有機金属を有機溶媒、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコールなどで０．１〜５質量％の濃度に希釈したものを用いる。次にこの表面処理液をスピナーなどで基板上に均一に塗布した後に８０〜１４０℃で１０〜６０分間乾燥することによって表面処理ができる。
【００３９】
塗布した後、熱風乾燥機、ＩＲ乾燥機などの乾燥機を用いて塗布膜を乾燥させる。乾燥温度は、ペースト中の溶剤を揮発させることができ、かつ熱による重合反応が進行しない温度で実施する。好ましくは７０〜１３０℃、より好ましくは８０〜１１０℃で実施する。
【００４０】
ペーストを塗布、乾燥した後、露光装置を用いて露光を行う。露光装置としては、プロキシミティ露光機などを用いることができる。また、大面積の露光を行う場合には、基板上に感光性銅ペーストを塗布した後に、搬送しながら露光を行うことによって、小さな露光面積の露光機で大きな面積を露光することができる。
【００４１】
露光後、露光部分と未露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して現像を行うが、この場合、浸漬法やスプレー法、ブラシ法で行う。現像液には、感光性銅ペースト中の有機成分が溶解可能である有機溶媒を用いる。また、該有機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。感光性銅ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、水酸化カルシウムなどの水溶液や、有機アルカリ水溶液を用いることができる。有機アルカリ水溶液としては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどが挙げられる。
【００４２】
アルカリ水溶液の濃度は、通常０．０５〜５質量％、より好ましくは０．１〜１質量％である。アルカリ濃度が低すぎれば可溶部が除去されず、アルカリ濃度が高すぎれば、パターン部を剥離させ、また非可溶部を腐食させる恐れがある。また、現像時の現像温度は、２０〜５０℃で行うことが工程上好ましい。
【実施例】
【００４３】
以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４４】
（感光性銅ペーストの作製）
平均粒子径３．０μｍの銅粉末、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート（ＢＣＡ；協和発酵ケミカル社製)、感光性有機成分（マープルーフＸ４００７；日本油脂社製、ＤＰＨＡ；日本化薬社製）、光重合開始剤（ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２；ＢＡＳＦ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ３６９；ＢＡＳＦ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ９０７；ＢＡＳＦ社製）を表1に示す割合で混合し、３本ローラーにて混練し作製した。
【００４５】
（ペースト粘度安定性の評価）
感光性銅ペーストの粘度は、ブルックフィールド社製Ｂ型粘度計ＲＶＤＶ−II＋Ｐｒｏを用いて測定した（測定温度２５℃、３ｒｐｍ）。その後、２３℃、６０％ＲＨのデシケーター内で感光性銅ペーストを保管し、７日後、１４日後に粘度を再測定した。それぞれの期間保管した後の粘度について、初期粘度からの変化率が１０％未満のものを○、１０％以上２０％未満のものを△、２０％以上のものを×で表２中に示した。
（パターン加工性の評価）
基板（アルミナ基板、７６ｍｍ角、厚さ０．７５ｍｍ）上にマイクロテック社製スクリーン印刷機および３２５メッシュのスクリーン版を用いて感光性銅ペーストを全面に印刷し、タバイ社製熱風乾燥機を用いて１００℃で１０分乾燥した。乾燥後の膜厚は１２μｍとした。乾燥後、Ｌ／Ｓ＝２０μｍ／２０μｍのスパイラルパターンが形成されたフォトマスクを介して露光を行った。露光機は、大日本スクリーン社製露光機（光源：２ｋＷ超高圧水銀灯）を用いた。露光後、０．２％炭酸ナトリウム水溶液を用いて６０秒間シャワー現像を行い、パターンを得た（現像液温度は２３℃とした）。現像後、光学顕微鏡を用いてスパイラルパターンの解像性を調べた。表２において、倍率２００倍で観察した時にスペース部分にペースト残渣がない状態、またパターンの欠落が無い状態を○とした。スペース部分にペースト残渣がある状態、またパターンに欠落した部分がある状態を×とした。また、２３℃、６０％ＲＨのデシケーター内で感光性銅ペーストを保管し、７日後、１４日後にも同様にパターン加工性を評価した。
【００４６】
実施例１〜１８
実施例１〜１８の結果を表２に示す。感光性銅ペースト中における感光性有機成分１００重量部に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤を２重量部以上５重量部未満含み、かつ感光性銅ペースト中に含まれる光重合開始剤の全重量に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤が５０質量％以上含まれている実施例１〜１２は、どれも１４日後までの粘度安定性に優れていた。また、パターン加工性についても、作製時と同等のパターンを形成することができた。感光性銅ペースト中に含まれる光重合開始剤の全重量に対し、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤が５０質量％未満の割合で含まれている実施例１３〜１８は、パターン加工性については問題ないものの、ペーストの粘度安定性について１４日後には変化率が２０％を超える結果となり、５０質量％以上の割合で含まれているものと比較するとペーストの粘度安定性が若干劣る結果となった。
比較例１〜７
比較例１〜７の結果を表２に示す。感光性有機成分１００重量部に対するオキシムエステル化合物を含む光重合開始剤の含有量が２重量部未満の比較例１〜３の場合、パターン加工性が悪く、一部のパターンが欠けていた。また、オキシムエステル化合物を含む光重合開始剤の含有量が５重量部以上の比較例４〜７の場合は、ペーストの粘度安定性が悪く、保管７日後で初期粘度からの変化率が２０％を超える結果となった。また、パターン形成性が悪く、現像後パターンのスペース部分にペースト残渣が見られた。
【００４７】
【表１】
2013205554.tif 000002
【００４８】
【表２】
2013205554.tif 000003