(57)【要約】【課題】低コストで容易且つ確実にセンサーヘッドとスケールの間の隙間調整やセンサーヘッドの傾き調整を行うことができる隙間調整用フイルムシート及びこれを用いたリニアスケール隙間調整方法を提供する。【解決手段】両面に低摩擦層３３，３４が形成されている隙間調整用フイルムシート３１を用いる。隙間調整の方法は、センサーヘッド１２とスケール１３との間の隙間Ｇに隙間調整用フイルムシート３１を挿入する第１の手順と、ブラケット１５とともにセンサーヘッド１２をスケール１３の方向へ移動させ、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けることにより、センサーヘッド１２とスケール１３とで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込んで隙間Ｇを調整する第２の手順と、この状態でブラケット１５を可動部１５に固定する第３の手順と、隙間調整用フイルムシート３１を隙間Ｇから引き抜く第４の手順とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアスケールのセンサーヘッドとスケールとの間に挟み込まれて前記センサーヘッドと前記スケールとの間の隙間を調整し、且つ、前記隙間を調整後に前記隙間から引き抜かれる隙間調整用フイルムシートであって、
一方の表面に第１の低摩擦層が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層が形成された構成であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項２】
請求項１に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
１枚の中間フイルム、又は、複数枚のフイルムを貼り合せた中間フイルムと、
一方の面が前記中間フイルムの一方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第１の低摩擦層が形成されている第１の外側フイルムと、
一方の面が前記中間フイルムの他方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第２の低摩擦層が形成されている第２の外側フイルムと、
を有する構成であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第１の低摩擦層は、摩擦係数が０．２以下であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、シリコンをコーティングしたシリコンコート層であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、ナイロンをコーティングしたナイロンコート層であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、フッ素樹脂をコーティングしたフッ素樹脂コート層であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の隙間調整用フイルムシートにおいて、
引張り強度が１ｋｇｆ以上であることを特徴とする隙間調整用フイルムシート。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の隙間調整用フイルムシートを用いるリニアスケール隙間調整方法であって、
ブラケットに固定された前記センサーヘッドと、固定部に固定された前記スケールとの間の隙間に前記隙間調整用フイルムシートを挿入する第１の手順と、
前記ブラケットとともに前記センサーヘッドを前記スケールの方向へ移動させ、前記センサーヘッドによって前記隙間調整用フイルムシートを前記スケールに押し付けることにより、前記センサーヘッドと前記スケールとで前記隙間調整用フイルムシートを挟み込んで前記隙間を調整する第２の手順と、
前記センサーヘッドによって前記隙間調整用フイルムシートを前記スケールに押し付けて前記センサーヘッドと前記スケールとで前記隙間調整用フイルムシートを挟み込んだ状態で、前記ブラケットを可動部に固定する第３の手順と、
前記隙間調整用フイルムシートを前記隙間から引き抜く第４の手順と、
を有することを特徴とするリニアスケール隙間調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアスケールのセンサーヘッドとスケールとの間の隙間を調整するための隙間調整用フイルムシート及びこれを用いたリニアスケール隙間調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアスケール（リニアエンコーダとも称される）は、工作機械や産業機械などの機器において可動部（直線軸）の位置検出を行うために用いられるものである。リニアスケールには電磁誘導式、光学式、磁気式などがある。
これらのリニアスケールは前記可動部（直線軸）の位置検出に使用する位置情報パターンを有するスケールと、位置を検出するセンサーヘッドとが分離及び別設置式となっている。従って、これらのリニアスケールの何れかを前記機器に設置する際には、当該リニアスケールのセンサーヘッドとスケールとの間の隙間（センサーヘッドとスケールの間隔）を適切に調整する必要がある。
【０００３】
図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、電磁誘導式などのリニアスケール１を工作機械や産業機械などの機器に設置する場合、リニアスケール１のセンサーヘッド２はＬ字状のブラケット４を介して前記機器の可動部５に固定され、リニアスケール１のスケール３は前記機器の固定部６に固定される。可動部５は、固定部６に設けられたガイドレール６に案内されて直線軸上を移動可能になっている。
【０００４】
そして、このリニアスケール１の隙間調整作業は、従来、次のような方法によって実施されていた。
【０００５】
（１）  第１の隙間調整方法（シクネスゲージや紙を用いる方法）
シクネスゲージ７又は厚さの分かっている紙を、センサーヘッド２とスケール３の間の隙間（センサーヘッド２とスケール３の間隔）Ｇに挿入して、この隙間Ｇが目標値になっているか、センサーヘッド２が矢印Ａ，Ｂのように傾いていないかを確認しながら、可動部５へのブラケット４の取り付け位置を調整する。
【０００６】
（２）  第２の隙間調整方法（寸法測定・機械加工を行う方法）
センサーヘッド２からスケール３までの物理的な寸法、即ち隙間Ｇの寸法を測定し、センサーヘッド２を取り付けるブラケット４を機械加工して、隙間Ｇが目標値となるように調整する。
【０００７】
（３）  第３の隙間調整方法（調整機構を用いる方法）
センサーヘッド２を取り付けるブラケット４に隙間Ｇとセンサーヘッド２の傾きを調整する調整機構（ガイド機構や調整セットビス）を設け、シクネスゲージ７や紙で隙間Ｇを確認しながら、調整機構によって隙間Ｇやセンサーヘッド２の傾きを調整する。
【０００８】
なお、リニアスケールの隙間調整について記載されている先行技術文献としては、下記の特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１２７５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
第１の隙間調整方法では、シクネスゲージ７や紙をセンサーヘッド２とスケール３とで挟み込んだ状態で隙間Ｇの調整を行うと、隙間Ｇを調整後にシクネスゲージ７や紙が隙間Ｇから引き抜けなくなる。シクネスゲージ７や紙が引き抜けなくなったときには、ブラケット４の取り付け位置を再調整する必要がある。
また、隙間Ｇやセンサーヘッド２の傾き調整がずれていた場合には、シクネスゲージ７や紙を隙間Ｇに挿入して隙間Ｇやセンサーヘッド２の傾きを確認しながら、何度もブラケット４の取り付け位置を調整する必要がある。
また、隙間Ｇの確認は、作業員がシクネスゲージ７や紙を隙間Ｇに挿入したときの感覚で行うため、作業員によってセンサーヘッド２の取り付け位置にバラツキが生じる。このようなバラツキを無くすため、作業員にはある程度の隙間調整作業の経験が必要となる。
【００１１】
第２の隙間調整方法では、隙間Ｇの寸法測定やブラケット４の機械加工に時間が掛かる。しかも、ブラケット４の機械加工が必要であるため、ブラケット４の部品代が高くなる。
【００１２】
第３の隙間調整方法では、ブラケット４に調整機構を設ける必要があるため、ブラケット４の部品代が高くなる。
【００１３】
従って本発明は上記の事情に鑑み、低コストで容易且つ確実にセンサーヘッドとスケールの間の隙間調整やセンサーヘッドの傾き調整を行うことができる隙間調整用フイルムシート及びこれを用いたリニアスケール隙間調整方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決する第１発明の隙間調整用フイルムシートは、リニアスケールのセンサーヘッドとスケールとの間に挟み込まれて前記センサーヘッドと前記スケールとの間の隙間を調整し、且つ、前記隙間を調整後に前記隙間から引き抜かれる隙間調整用フイルムシートであって、
一方の表面に第１の低摩擦層が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層が形成された構成であることを特徴とする。
【００１５】
また、第２発明の隙間調整用フイルムシートは、第１発明の隙間調整用フイルムシートにおいて、
１枚の中間フイルム、又は、複数枚のフイルムを貼り合せた中間フイルムと、
一方の面が前記中間フイルムの一方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第１の低摩擦層が形成されている第１の外側フイルムと、
一方の面が前記中間フイルムの他方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第２の低摩擦層が形成されている第２の外側フイルムと、
を有する構成であることを特徴とする。
【００１６】
また、第３発明の隙間調整用フイルムシートは、第１又は第２発明の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第１の低摩擦層は、摩擦係数が０．２以下であることを特徴とする。
【００１７】
また、第４発明の隙間調整用フイルムシートは、第１又は第２発明の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、シリコンをコーティングしたシリコンコート層であることを特徴とする。
【００１８】
また、第５発明の隙間調整用フイルムシートは、第１又は第２発明の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、ナイロンをコーティングしたナイロンコート層であることを特徴とする。
【００１９】
また、第６発明の隙間調整用フイルムシートは、第１又は第２発明の隙間調整用フイルムシートにおいて、
前記第１の低摩擦層及び前記第２の低摩擦層は、フッ素樹脂をコーティングしたフッ素樹脂コート層であることを特徴とする。
【００２０】
また、第７発明の隙間調整用フイルムシートは、第１〜第６発明の何れか１つの隙間調整用フイルムシートにおいて、
引張り強度が１ｋｇｆ以上であることを特徴とする。
【００２１】
また、第８発明のリニアスケール隙間調整方法は、第１〜第７発明の何れか１つの隙間調整用フイルムシートを用いるリニアスケール隙間調整方法であって、
ブラケットに固定された前記センサーヘッドと、固定部に固定された前記スケールとの間の隙間に前記隙間調整用フイルムシートを挿入する第１の手順と、
前記ブラケットとともに前記センサーヘッドを前記スケールの方向へ移動させ、前記センサーヘッドによって前記隙間調整用フイルムシートを前記スケールに押し付けることにより、前記センサーヘッドと前記スケールとで前記隙間調整用フイルムシートを挟み込んで前記隙間を調整する第２の手順と、
前記センサーヘッドによって前記隙間調整用フイルムシートを前記スケールに押し付けて前記センサーヘッドと前記スケールとで前記隙間調整用フイルムシートを挟み込んだ状態で、前記ブラケットを可動部に固定する第３の手順と、
前記隙間調整用フイルムシートを前記隙間から引き抜く第４の手順と、
を有することを特徴とする
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、隙間調整用フイルムシートは一方の表面に第１の低摩擦層が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層が形成された構成であることを特徴としており、この隙間調整用フイルムシートを用いてセンサーヘッドとスケールとの間の隙間調整を行うため、センサーヘッドによって隙間調整用フイルムシートをスケールに押し付けてセンサーヘッドとスケールとで隙間調整用フイルムシートを挟み込んだ状態でも、隙間調整用フイルムシートをセンサーヘッドとスケールとの間の隙間から容易に引き抜くことができる。
このため、センサーヘッドによって隙間調整用フイルムシートをスケールに押し付けてセンサーヘッドとスケールとで隙間調整用フイルムシートを挟み込むことにより、センサーヘッドとスケールとの間の隙間を、隙間調整用フイルムシートの厚さに倣って調整することができる。また、このとき同時に隙間調整用フイルムシートに倣ってセンサーヘッドの傾きも調整される。
このことから、目標の隙間や傾きになっていることを確認する必要がなくなるため、作業員によってセンサーヘッドの取り付け位置にバラツキが生じることがなく、作業員の経験は不要となる。また、寸法測定や機械加工を行う必要がなく、調整機構で調整する必要もないため、寸法測定に要していた時間が不要となり、ブラケットの部品代が安くなる。更には、隙間調整用フイルムシートは、フイルムシートであるため、センサーヘッドやスケールを傷つけることがない。
【００２３】
また、隙間調整用フイルムシートを、１枚の中間フイルム、又は、複数枚のフイルムを貼り合せた中間フイルムと、一方の面が前記中間フイルムの一方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第１の低摩擦層が形成されている第１の外側フイルムと、一方の面が前記中間フイルムの他方の面に貼り付けられ、他方の面に前記第２の低摩擦層が形成されている第２の外側フイルムとを有する構成とした場合には、１枚の中間フイルムの厚さを変更すること、又は、貼り合せるフイルムの枚数を変更して中間フイルムの厚さを変更することによって容易に任意の厚さの隙間調整用フイルムシートを製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態例に係るリニアスケールの隙間調整方法を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態例に係るリニアスケールの隙間調整方法を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態例に係るリニアスケールの隙間調整方法を示す図である。
【図４】（ａ）は本発明の実施の形態例に係る隙間調整用フイルムシートの貼り合せ前の状態を示す図、（ｂ）は前記隙間調整用フイルムシートの構成を示す図である。
【図５】（ａ）は本発明の実施の形態例に係る他の例の隙間調整用フイルムシートの貼り合せ前の状態を示す図、（ｂ）は前記隙間調整用フイルムシートの構成を示す図である。
【図６】（ａ）は本発明の実施の形態例に係る他の例の隙間調整用フイルムシートの貼り合せ前の状態を示す図、（ｂ）は前記隙間調整用フイルムシートの構成を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態例に係る他の例の隙間調整用フイルムシートの構成を示す図である。
【図８】（ａ）は従来のリニアスケールの隙間調整方法を示す図、（ｂ）は（ａ）のＣ方向矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２６】
図１〜図３には本発明の実施の形態例に係るリニアスケール隙間調整方法の手順を示している。図１及び図２は隙間調整途中の状態であり、図３は隙間調整後の状態である。また、図４〜図７には本発明の実施の形態例に係る隙間調整用フイルムシートの構成例を示している。
【００２７】
図１〜図３に例示するリニアスケール１１は電磁誘導式のものである。これに限らず、本発明は光学式や磁気式のリニアスケールにも適用することができる。
【００２８】
まず、図３に基づき、リニアスケール１１の取り付け状態（隙間調整後の状態）などについて説明する。
【００２９】
図３に示すように、リニアスケール１１は、工作機械や産業機械など機器の可動部（直線軸）の位置検出に使用する位置情報パターンを有するスケール１３と、位置を検出するセンサーヘッド１２（スライダとも称される）とを有し、これらのスケール１３とセンサーヘッド１２が分離及び別設置式のものである。
付言すると、図示は省略するが、センサーヘッド１２とスケール１３にはジグザグ状のコイルパターンが形成さている。センサーヘッド１２のコイルパターンに交流電流を流すと、電磁誘導作用によってスケール１３のコイルパターンに誘起電圧が発生し、この誘起電圧がセンサーヘッド１２の移動位置に応じて変化する。従って、この誘起電圧に基づいてセンサーヘッド１２の移動位置を検出することができる。
【００３０】
かかる構成のリニアスケール１１を工作機械や産業機械などの機器に設置する場合、センサーヘッド１２はブラケット１４を介して前記機器の可動部１５（例えば工作機械のテーブルなど）に固定され、スケール１３は前記機器の固定部１６（例えば工作機械のベッドなど）に固定される。可動部１５は、固定部１６に設けられたガイドレール（図示省略）に案内されて直線軸上を矢印Ｄの如く移動可能になっている。
【００３１】
ブラケット１４は、基端側の板材１４Ａと先端側の板材１４Ｂとがボルト１７で接続されて、Ｌ字状になっている。センサーヘッド１２は、ブラケット１４の先端側の板材１４Ｂの内側面（スケール１３側の面）１４ａにボルト１８で固定されており、スケール１３と対向している。スケール１３は、その長手方向が可動部１５及びセンサーヘッド１２が移動する方向（矢印Ｄ方向）に沿うように配置され、固定部１６にボルト１９で固定されている。
【００３２】
ブラケット１４の基端側の板材１４Ａには、互いに平行な一対の長穴２１が形成されている。これらの長穴２１の長手方向は、隙間Ｇの幅方向、即ちセンサーヘッド１２とスケール１３とが対向する方向（矢印Ｅ方向）に沿っている。ボルト２２は、その軸部２２ａが長穴２１に挿通され、可動部１５に形成されたボルト孔１５ａに螺合されて固定されている。
【００３３】
次に、リニアスケール１１の隙間調整方法を図１〜図３に基づいて説明する。なお、下記の隙間調整作業は作業員の手作業によって実施される。
【００３４】
まず、図１に示すように、スケール１３は固定部１６にボルト１９で固定する一方、センサーヘッド１２はブラケット１４の先端側の板材１４Ｂにボルト１８で固定する。ボルト２２は、その軸部２２ａを長穴２１に挿通し、ボルト２２の頭部２２ｂの六角穴２２ｃに挿入した六角レンチ４１によってボルト孔１５ａに緩く螺合させる。このことによって、ブラケット１４を可動部１５に仮止めし、ブラケット１４が長穴２１の長手方向に移動できるようにしておく。
【００３５】
かかる状態において、隙間調整用フイルムシート３１を、矢印Ｆの如く、センサーヘッド１２とスケール１３との間の隙間Ｇに挿入する。かくして第１の手順が実施される。なお、図１では挿入前の隙間調整用フイルムシート３１を実線で示し、挿入後の隙間調整用フイルムシート３１を一点鎖線で示している。
【００３６】
続いて、図２に示すように、ブラケット１４とともにセンサーヘッド１２を矢印Ｈの如くスケール１３の方向（即ちセンサーヘッド１２をスケール１３に近づけて隙間Ｇを狭める方向）へ移動させることにより、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けて、センサーヘッド１２とスケールとで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込む。その結果、隙間Ｇが、隙間調整用フイルムシート３１の厚さに倣って調整される。かくして第２の手順が実施される。
また、このとき同時に隙間調整用フイルムシート３１に倣ってセンサーヘッド１２の傾きも調整される。即ち、スケール１３に対してセンサーヘッド１２が傾いていた場合、当該センサーヘッド１２は、隙間調整用フイルムシート３１に倣うことにより、傾きが解消されてスケール１３と平行になる。このため隙間Ｇが均一になる。なお、ボルト２２の軸部２２ａの太さ（直径）に比べて長穴２１の幅の方が大きく、ボルト２２の軸部２２ａと長穴２１との間には隙間（ガタ）があることから、この隙間（ガタ）分だけブラケット１４（基端側の板材１４Ｂ）を傾かせることができるため、センサーヘッド１２の傾きを調整することができる。
【００３７】
なお、隙間Ｇの目標値は、リニアスケール１１の機種によって例えば０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍの４種類がある。この場合、隙間調整用フイルムシート３１も、０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍの４種類の厚さのものが用意され、目標の隙間Ｇに応じた厚さのものが選択される。
【００３８】
上記第２の手順を実施後、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けてセンサーヘッド１２とスケール１３とで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込んだ状態のまま、六角レンチ４１によってボルト２２を強く締め付けることにより、ブラケット１４（基端側の板材１４Ｂ）を可動部１５に固定する。かくして第３の手順が実施される。
【００３９】
そして、図３に示すように、隙間調整用フイルムシート３１を矢印Ｊの如く隙間Ｇから引き抜く。かくして第４の手順が実施される。なお、図３では引き抜き前の隙間調整用フイルムシート３１を一点鎖線で示し、引き抜き後の隙間調整用フイルムシート３１を実線で示している。
【００４０】
次に、図４に基づき、上記の隙間調整方法で用いた隙間調整用フイルムシート３１の構成について説明する。
【００４１】
図４に示すように、隙間調整用フイルムシート３１は、一方の表面に第１の低摩擦層３３が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層３４が形成された構成のものである。即ち、隙間調整用フイルムシート３１は、両面に滑りのよい低摩擦層３３，３４を有していることを特徴としている。
【００４２】
詳述すると、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す隙間調整用フイルムシート３１は、１枚の中間フイルム３２に対して第１の外側フイルム３３と第２の外側フイルム３４とを貼り付けものである。図４（ａ）には貼り合せ前の状態を示し、図４（ｂ）には貼り合せ後の状態を示す。
中間フイルム３２はポリエステルフイルムである。第１の外側フイルム３５はポリエステルフイルムであり、一方の面３５ａが中間フイルム３２の一方の面３２ａに接着剤で貼り付けられ、他方の面３５ｂに第１の低摩擦層３３が形成されている。第２の外側フイルム３６はポリエステルフイルムであり、一方の面３６ａが中間フイルム３２の他方の面３２ｂに接着剤で貼り付けられ、他方の面３６ｂに第２の低摩擦層３４が形成されている。低摩擦層３３，３４はシリコンをコーティングしたシリコンコート層である。
この場合、中間フイルム３２の厚さを変更することによって、任意の厚さ（例えば０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ）の隙間調整用フイルムシート３１を製作する。
【００４３】
ここで隙間調整用フイルムシート３１に関する厚さ、摩擦係数、引張り強度、硬さ、材質、他の構成例について以下に示す。
【００４４】
（１）  厚さ
中間フイルム３２や外側フイルム３５，３６として用いるポリエステルフイルムの厚さｔのバラツキはｔ±５％以内であり、ｔ＝０．２５ｍｍ程度とすると、０．２５±０．０１２５ｍｍ以内のバラツキでポリエステルフイルム（中間フイルム３２、外側フイルム３５，３６）を製作することができる。従って、隙間調整用フイルムシート３１による隙間Ｇの調整誤差は、この厚さｔのバラツキ分となる。
【００４５】
（２）  摩擦係数
低摩擦層３３，３４の摩擦係数は、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けてセンサーヘッド１２とスケール１２とで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込んだ状態でも、隙間Ｇから隙間調整用フイルムシート３１を引き抜くことができる程度の摩擦係数である必要がある。
例えば、作業員がセンサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けたときの押し付け力（垂直力）Ｎを約５ｋｇｆとし、この約５ｋｇｆの押し付け力が作用している状態の隙間調整用フイルムシート３１を、作業員が約０．５ｋｇｆの引き抜き力Ｆで隙間Ｇから引き抜いたとすると、摩擦係数μは、μ＝Ｆ／Ｎ＝０．５／５＝０．１となる。
従って、この場合の低摩擦層３３，３４の摩擦係数は０．１程度であることが要求される。これに対して低摩擦層３３，３４はシリコンコート層であり、このシリコンコート層の摩擦係数は０．１程度であるため、上記の要求を満たしている。
実用的には、隙間調整用フイルムシート３１を容易に引く抜くことができるようにするため、低摩擦層３３，３４の摩擦係数は０．２以下とすればよい。
【００４６】
（３）  引張り強度
ポリエステルフイルムの引張り強度（ＪＩＳＣ２１５１）は約１５０ＭＰａ（＝１５３０ｋｇｆ／ｃｍ2）である。即ち、ポリエステルフイルムは、１ｃｍ2当たり１５３０ｋｇｆ／ｃｍ2以上の引張り力（引き抜き力）が作用すると破断する。
中間フイルム３２や外側フイルム３５，３６として用いたポリエステルフイルムの幅を３ｃｍ、厚さを０．０２５ｃｍとすると、当該ポリエステルフイルムの断面積は３×０．０２５＝０．０７５ｃｍ2である。従って、この場合のポリエステルフイルム（中間フイルム３２と外側フイルム３５，３６を貼り合せたもの）は、引張り強度が１５３０×０．０７５＝１１４．７５ｋｇｆであり、前述の引き抜き力（０．５ｋｇｆ）に十分に耐えられるものである。
実用的には、隙間調整用フイルムシート３１の引張り強度は、前述の引き抜き力（０．５ｋｇｆ）の２倍程度の引き抜き力を考慮して、１ｋｇｆ以上であればよい。
【００４７】
（４）  硬さ
一般にセンサーヘッド１２及びスケール１３は金属等であるのに対して、隙間調整用フイルムシート３１はモース硬度で２程度であるため、隙間調整用フイルムシート３１によってセンサーヘッド１２及びスケール１３に傷が付くことはない。因みにモース硬度でナイロンは２、金属は５、ガラスは７である。
【００４８】
（５）  材質
低摩擦層３３，３４の材料としては、必ずしもシリコン系の材料に限定するものでなく、前述の実用的な摩擦係数の要求値（０．２以下）を満たすことができれば、非シリコン系の材料であってもよい。摩擦係数が０．２以下の材料のなかで隙間調整用フイルムシートの低摩擦層として用いる現実的なものとしては、四ふっ化エチレン樹脂（テフロン：登録商標）などのフッ素樹脂や、ナイロンなどがある。
【００４９】
（６）  他の構成例
隙間調整用フイルムシート３１は、必ずしも図４に示す構成に限定するものでなく、図５〜図７に示すような構成であってもよい。
図５〜図７に示す隙間調整用フイルムシート３１も、基本的には図４に示す隙間調整用フイルムシート３１と同様に一方の表面に第１の低摩擦層３３が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層３４が形成された構成のものである。
【００５０】
詳述すると、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す隙間調整用フイルムシート３１は、複数枚（図示例では２枚）のフイルム３２Ａを貼り合せた中間フイルム３２に対して第１の外側フイルム３３と第２の外側フイルム３４とを貼り合せたものである。図５（ａ）には貼り合せ前の状態を示し、図５（ｂ）には貼り合せ後の状態を示す。
中間フイルム３２（フイルム３２Ａ，３２Ｂ）はポリエステルフイルムである。第１の外側フイルム３５はポリエステルフイルムであり、一方の面３５ａが中間フイルム３２（フイルム３２Ａ）の一方の面３２ａに接着剤で貼り付けられ、他方の面３５ｂに第１の低摩擦層３３が形成されている。第２の外側フイルム３６はポリエステルフイルムであり、一方の面３６ａが中間フイルム３２の他方の面３２ｂに接着剤で貼り付けられ、他方の面３６ｂに第２の低摩擦層３４が形成されている。低摩擦層３３，３４はシリコンをコーティングしたシリコンコート層である。
この場合、中間フイルム３２を形成するフイルム３２Ａの枚数を変更することよって、任意の厚さ（例えば０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ）の隙間調整用フイルムシート３１を製作する。
【００５１】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す隙間調整用フイルムシート３１は、第１のフイルム３７と第２のフイルム３８とを貼り合せたものである。図６（ａ）には貼り合せ前の状態を示し、図６（ｂ）には貼り合せ後の状態を示す。
これらのフイルム３７，３８はポリエステルフイルムである。第１のフイルム３７の一方の面３７ａと第２のフイルム３８の一方の面３８ａが接着剤で貼り合わされており、第１のフイルム３７の他方の面３７ｂに第１の低摩擦層３３が形成され、第２のフイルム３８の他方の面３８ｂに第２の低摩擦層３４が形成されている。低摩擦層３３，３４はシリコンをコーティングしたシリコンコート層である。
この場合、フイルム３７，３８の厚さを変更することよって、任意の厚さ（例えば０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ）の隙間調整用フイルムシート３１を製作する。
【００５２】
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す隙間調整用フイルムシート３１は、１枚のフイルム３９を用いたものであり、このフイルム３９の一方の面３９ａに第１の低摩擦層３３が形成され、他方の面３９ｂに第２の低摩擦層３４が形成されている。低摩擦層３３，３４はシリコンをコーティングしたシリコンコート層である。
この場合、フイルム３９の厚さを変更することよって、任意の厚さ（例えば０．１５ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４ｍｍ）の隙間調整用フイルムシート３１を製作する。
【００５３】
なお、図５〜図７の隙間調整用フイルムシート３１に関しても、厚さ、摩擦係数、引張り強度、硬さ、材質については、上記のとおり、図４の隙間調整用フイルムシート３１の場合と同様である。
【００５４】
以上のように、本実施の形態例によれば、隙間調整用フイルムシート３１は一方の表面に第１の低摩擦層３３が形成され、他方の表面に第２の低摩擦層３４が形成された構成であることを特徴としており、この隙間調整用フイルムシート３１を用いてセンサーヘッド１２とスケール１３との間の隙間調整を行うため、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１２に押し付けてセンサーヘッド１２とスケール１３とで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込んだ状態でも、隙間調整用フイルムシート３１をセンサーヘッド１２とスケール１３との間の隙間Ｇから容易に引き抜くことができる。
このため、センサーヘッド１２によって隙間調整用フイルムシート３１をスケール１３に押し付けてセンサーヘッド１２とスケール１３とで隙間調整用フイルムシート３１を挟み込むことにより、センサーヘッド１２とスケール１３との間の隙間Ｇを、隙間調整用フイルムシート３１の厚さに倣って調整することができる。また、このとき同時に隙間調整用フイルムシート３１に倣ってセンサーヘッド１２の傾きも調整される。
このことから、目標の隙間や傾きになっていることを確認する必要がなくなるため、作業員によってセンサーヘッドの取り付け位置にバラツキが生じることがなく、作業員の経験は不要となる。また、寸法測定や機械加工を行う必要がなく、調整機構で調整する必要もないため、寸法測定に要していた時間が不要となり、ブラケットの部品代が安くなる。更には、隙間調整用フイルムシート３１は、フイルムシートであるため、センサーヘッド１２やスケール１３を傷つけることがない。
【００５５】
また、隙間調整用フイルムシート３１を、１枚の中間フイルム３２、又は、複数枚のフイルム３２Ａを貼り合せた中間フイルム３２と、一方の面３５ａが中間フイルム３２の一方の面３２ａに貼り付けられ、他方の面３５ｂに第１の低摩擦層３３が形成されている第１の外側フイルム３５と、一方の面３６ａが中間フイルム３２の他方の面３２ｂに貼り付けられ、他方の面３６ｂに第２の低摩擦層３４が形成されている第２の外側フイルム３６とを有する構成とした場合には、１枚の中間フイルム３２の厚さを変更すること、又は、貼り合せるフイルム３２Ａの枚数を変更して中間フイルム３２の厚さを変更することによって容易に任意の厚さの隙間調整用フイルムシート３１を製作することができる。
【００５６】
なお、先にも述べたとおり、本発明は電磁誘導式のリニアスケールにおけるスケールとセンサーヘッドの間の隙間調整に限定するものではなく、工作機械や産業機械などの機器の可動部（直線軸）の位置検出に使用する位置情報パターンを有するスケールと、位置を検出するセンサーヘッドとが分離及び別設置式の光学式リニアスケールや磁気式リニアスケールにおけるスケールとセンサーヘッドの間の隙間調整にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明はリニアスケールのセンサーヘッドとスケールとの間の隙間を調整するための隙間調整用フイルムシート及びこれを用いたリニアスケール隙間調整方法に関するものであり、低コストで容易且つ確実にセンサーヘッドとスケールの間の隙間調整やセンサーヘッドの傾き調整を行う場合に適用して有用なものである。
【符号の説明】
【００５８】
１１  リニアスケール
１２  センサーヘッド
１３  スケール
１４  ブラケット
１４Ａ  ブラケットの基端側の板材
１４Ｂ  ブラケットの先端側の板材
１４ａ  ブラケット（先端側の板材）の内側面
１５  可動部
１５ａ  可動部のボルト孔
１６  固定部
１７，１８，１９  ボルト
２１  ブラケット（基端側の板材）の長穴
２２  ボルト
２２ａ  ボルトの軸部
２２ｂ  ボルトの頭部
２２ｃ  ボルトの六角穴
３１  隙間調整用フイルムシート
３２  中間フイルム
３２ａ  中間フイルムの一方の面
３２ｂ  中間フイルムの他方の面
３２Ａ  フイルム
３３  第１の低摩擦層
３４  第２の低摩擦層
３５  第１の外側フイルム
３５ａ  第１の外側フイルムの一方の面
３５ｂ  第１の外側フイルムの他方の面
３６  第２の外側フイルム
３６ａ  第２の外側フイルムの一方の面
３６ｂ  第２の外側フイルムの他方の面
３７  第１のフイルム
３７ａ  第１のフイルムの一方の面
３７ｂ  第１のフイルムの他方の面
３８  第２のフイルム
３８ａ  第２のフイルムの一方の面
３８ｂ  第２のフイルムの他方の面
３９  フイルム
３９ａ  フイルムの一方の面
３９ｂ  フイルムの他方の面
４１  六角レンチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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