(57)【要約】【課題】軽量簡略な電磁ノイズ測定装置を提供する。【解決手段】測定対象の電子装置が載置される載置台と、上記電子装置から発せられる電磁的なノイズを検出するセンサと、上記載置台に載置された電子装置の上方で上記センサを移動自在に保持し、その保持したセンサの移動を、その載置台に沿ったＸ方向およびＹ方向に伸びたレールでＸ方向およびＹ方向に案内する案内機構と、上記センサに連結されてセンサの移動に連動して移動し、位置を検出するマウスと、上記センサによって検出されたノイズと、上記マウスによって検出された位置とを読み込んでノイズの分布を表示する表示器と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の電子装置が載置される載置台と、
前記電子装置から発せられる電磁的なノイズを検出するセンサと、
前記載置台に載置された電子装置の上方で前記センサを移動自在に保持し、その保持したセンサの移動を、該載置台に沿ったＸ方向およびＹ方向に伸びたレールで該Ｘ方向および該Ｙ方向に案内する案内機構と、
前記センサに連結されて該センサの移動に連動して移動し、位置を検出するマウスと、
前記センサによって検出されたノイズと、前記マウスによって検出された位置とを読み込んで該ノイズの分布を表示する表示器と、
を備えたことを特徴とする電磁ノイズ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本件開示は、電磁ノイズ測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子装置や基板から発せられる電磁ノイズを測定するための電磁ノイズ測定装置が知られている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の電磁ノイズ測定装置では、電磁界センサを測定対象物に沿ってスキャンするために３軸ロボットを使用しており、重くて複雑な装置とならざるを得ず、導入が躊躇われる原因となっている。
【０００４】
上記事情に鑑み、本発明は、軽量簡略な電磁ノイズ測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成する電磁ノイズ測定装置は、
測定対象の電子装置が載置される載置台と、
上記電子装置から発せられる電磁的なノイズを検出するセンサと、
上記載置台に載置された電子装置の上方で上記センサを移動自在に保持し、その保持したセンサの移動を、その載置台に沿ったＸ方向およびＹ方向に伸びたレールでＸ方向およびＹ方向に案内する案内機構と、
上記センサに連結されてセンサの移動に連動して移動し、位置を検出するマウスと、
上記センサによって検出されたノイズと、上記マウスによって検出された位置とを読み込んでノイズの分布を表示する表示器と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の電磁ノイズ測定装置によれば、レールによる案内構造で３軸ロボットが不要となり軽量化が図られる。また、マウスによって位置を検出するので構造の簡略化も図られる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】電磁ノイズ測定装置の一実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して具体的な実施形態について説明する。
【０００９】
図１は、電磁ノイズ測定装置の一実施形態を示す図である。
【００１０】
本実施形態の電磁ノイズ測定装置１０は、デジタイザ１００とパーソナルコンピュータ２００を備えている。
【００１１】
デジタイザ１００にはテーブル１１０とＸ方向案内レール１２０と一対のＹ方向案内レール１３０とセンサホルダ１４０とセンサ１５０とマウスホルダ１６０とマウス１７０が備えられている。
【００１２】
テーブル１１０の手前側（図の左下側）に位置する載置スペース１１１は、被測定物である電子装置（例えば電子基板）が載置されるスペースである。
【００１３】
テーブル１１０の奥側（図の右上側）に位置するマウススペース１１２は、マウス１７０が位置を読み取るのに適した表面構造に加工されている。
【００１４】
センサ１５０は電界と磁界とを同時に検出することが出来る電界・磁界同時センサであり、被測定物から発せられる電磁的なノイズが有している電界および磁界を検出する。センサ１５０による電界および磁界の検出値（すなわち電磁的なノイズの検出値）を表した信号はパーソナルコンピュータ２００に取り込まれる。
【００１５】
センサホルダ１４０はセンサ１５０を保持しているが、センサ１５０の上下位置は操作者によって移動自在となっている。
【００１６】
Ｘ方向案内レール１２０はセンサホルダ１４０を、Ｘ方向案内レール１２０の延伸方向であるＸ方向に移動自在に保持している。一対のＹ方向案内レール１３０はＸ方向案内レール１２０を、Ｙ方向案内レール１３０の延伸方向であるＹ方向に移動自在に保持している。
【００１７】
Ｘ方向案内レール１２０とＹ方向案内レール１３０とセンサホルダ１４０とを合わせた保持案内機構によってセンサ１５０は、テーブル１１０の載置スペース１１１の上方（すなわち被測定物の上方）で保持されるとともにＸ方向およびＹ方向に案内される。操作者は、センサ１５０をつかんで動かす操作によってセンサ１５０を被測定物の上方でＸ方向およびＹ方向に自在に移動させることが出来る。
【００１８】
マウスホルダ１６０はセンサホルダ１４０に固定されていて、テーブル１１０のマウススペース１１２の上方へと伸びている。マウスホルダ１６０にはマウス１７０が固定されていて、センサ１５０が操作者によって被測定物の上方で移動されると、その移動に連動してマウス１７０がマウススペース１１２内を移動する。その結果、マウス１７０によって位置が読み取られる。この読み取られた位置は直接的にはマウス１７０の位置を示すが、マウス１７０とセンサ１５０とのＸ方向およびＹ方向の距離は常に一定であるため、マウス１７０で読み取れた位置は間接的にセンサ１５０の位置も示している事になる。
【００１９】
このような構造のデジタイザ１００は、センサ１５０を移動させるモータなどが不要であるとともに、レールによる簡便な案内機構が採用されているため、軽量化が実現されている。また、センサ１５０の位置をマウス１７０を使用して検知する方式が採用された結果として構造の簡略化も実現されている。すなわち、一般的な検出機構の形態としては、Ｘ方向案内レール１２０上でのセンサホルダ１４０の位置を検出するための検出機構とＹ方向案内レール１３０上でのＸ方向案内レール１２０の位置を検出するための検出機構とを組み合わせた２次元検出機構を組み込んだ形態が考えられるが、そのような形態に比べて本実施形態のようにマウス１７０を利用した機構は、技術開発の観点でも製造の観点でも構造の簡略化が実現されているといえる。その一方で、検出精度としては十分な精度が期待できる。
【００２０】
パーソナルコンピュータ２００にはキーボード２０１と表示画面２０２が備えられている。また、パーソナルコンピュータ２００には、デジタイザ１００のセンサ１５０によって検出された電磁的なノイズを取り込んでマッピング表示するためのノイズ測定プログラムが組み込まれている。パーソナルコンピュータ２００上でこのノイズ測定プログラムが動作することにより、表示画面２０２には電磁的なノイズの分布を表示するための画面イメージが表示される。
【００２１】
その画面イメージには、マップ表示欄２１０と、カラーバー２２０と、カラー選択ボタン２３０と、クリアボタン２４０と、範囲サイズ設定バー２５０と、２値化オンオフボタン２６０と、保存ボタン２７０と、終了ボタン２８０が備えられている。
【００２２】
マップ表示欄２１０には、被測定物の写真２１１が表示されるとともに、その写真２１１に重ねて、色でノイズの強度を表したカラータイル２１２が表示される。このカラータイル２１２の集合によってノイズのマップが描かれることとなる。
【００２３】
カラーバー２２０は、カラータイル２１２が表しているノイズの強度とカラータイル２１２の色との対応関係を表したものであり、そのカラーバー２２０上に示された矢印２２１は最新のノイズ検出値を指し示している。カラー選択ボタン２３０は、ノイズの強度に対応する色を選択的に設定するためのボタンである。
【００２４】
クリアボタン２４０は、ノイズの検出結果をクリアするためのボタンである。
【００２５】
範囲サイズ設定バー２５０は、１つの測定値に対して表示されるカラータイル２１２のサイズを設定するためのものである。
【００２６】
２値化オンオフボタン２６０は、被測定物の写真２１１の表示をカラー表示とモノクロ表示とに切り替えるためのボタンであり、モノクロ表示の事をここでは「２値化」と称している。被測定物自身の色によってカラータイル２１２によるノイズのマップが見にくくなるような場合には、「２値化」を選択することで見やすさが改善する。
【００２７】
保存ボタン２７０は、ノイズの検出結果を保存するためのボタンであり、終了ボタン２８０は、ノイズ測定プログラムを終了させるボタンである。
【００２８】
ノイズ測定プログラムによるセンサ１５０からのノイズの検出値の取り込みは、キーボード２０１のスペースキー２０３が押下される度に実行される。このノイズの検出値の取込に際しては、マウス１７０による位置の検出値もノイズ測定プログラムによって取り込まれる。
【００２９】
このような電磁ノイズ測定装置１０を用いて被測定物の電磁的なノイズを測定する手順について以下説明する。
【００３０】
まず、被測定物である基板などを測定者（即ち電磁ノイズ測定装置１０の操作者）がデジタイザ１００のテーブル１１０の載置スペース１１１に載置する。そして、パーソナルコンピュータ２００でノイズ測定プログラムを起動し、被測定物の写真を取り込む。パーソナルコンピュータ２００の表示画面２０２には、ノイズ測定プログラムによって上述した画面イメージが表示されるとともに、マップ表示欄２１０には被測定物の写真２１１が表示される。このとき、２値化オンオフボタン２６０を測定者が操作することで、写真２１１の表示をモノクロ表示とカラー表示との何れかに選択することが出来る。
【００３１】
次に測定者は、デジタイザ１００のセンサ１５０を掴んで持ち上げ、被測定物上の測定位置へと移動させる。このときセンサ１５０はセンサホルダ１４０に保持されたままで移動し、センサ１５０の移動に伴ってマウス１７０がマウススペース１１２内で移動する。測定者は測定位置でセンサ１５０を降ろし、センサ１５０の先端を被測定物の表面に接触させる。そして、測定者は、パーソナルコンピュータ２００のキーボード２０１のスペースキー２０３を押下する。すると、センサ１５０によるノイズの検出値とマウス１７０による位置の検出値がノイズ測定プログラムによってパーソナルコンピュータ２００に取り込まれる。マウス１７０による位置の検出値はノイズ測定プログラムによって、被測定物上での（即ち載置スペース１１１上での）センサ１５０の位置に換算される。また、センサ１５０によるノイズの検出値に相当するカラーバー２２０上の位置にノイズ測定プログラムによって矢印２２１が表示される。更にノイズ測定プログラムは、マップ表示欄２１０内に表示されている写真２１１上の、位置の検出値が間接的に表しているセンサ位置に、ノイズの検出値に対応した色を有し範囲サイズ設定バー２５０で設定された大きさを有するカラータイル２１２を、写真２１１に重ねて表示する。
【００３２】
測定者が、センサ１５０の移動とスペースキー２０３の押下とを繰り返す度にマップ表示欄２１０にはカラータイル２１２が追加表示されて行ってノイズのマップが表示されることとなる。
【００３３】
十分に多くのカラータイル２１２（即ち測定点）が得られてマップが完成すると、測定者は保存ボタン２７０を操作してマップのデータを保存する。続けて同一あるいは別の被測定物についてノイズを測定する場合には、測定者はクリアボタン２４０を操作してノイズのマップを消去するとともに、必要に応じて別の被測定物の写真をノイズ測定プログラムに取り込ませる。
【００３４】
以上説明した手順により測定者は、被測定物が発するノイズのマップを得ることが出来る。
【００３５】
なお、上述した実施形態では、ノイズのマップを表示する機能を有する表示装置としてパーソナルコンピュータ２００が利用されているが、これはセンサ１５０およびマウス１７０の検出値を取り込むためのインタフェースとして利用可能な汎用のインタフェースを備えているからであって、本発明では必ずしもパーソナルコンピュータ２００を利用する必要はない。本発明の電磁ノイズ測定装置は、マウスの検出値を取り込むインタフェースを有するものであれば専用のハードウェアを表示装置として用いるものであってもよい。
【００３６】
また、上述したマウス１７０は、光学式のマウスであってもよいし、ボール式のマウスであってもよい。更に上記では有線で検出値を出力するマウスを例にして説明したが、無線で検出値を出力するマウスを採用することも出来る。
【００３７】
上述したセンサ１５０としては、電界・磁界同時センサを例に説明されているが、本発明の電磁ノイズ測定装置には、電界と磁界との一方のみを検出するセンサが採用されても良い。また、センサ１５０は、検出値を有線で出力する例が説明されているが、本発明の電磁ノイズ測定装置には、検出値を無線で出力するセンサが採用されても良い。
【００３８】
上述したレールは、１対のＹ方向レールにＸ方向レールが保持された例であるが、本発明の電磁ノイズ測定装置は、Ｘ方向レールにＹ方向レールが保持されたものであってもよい。また、レール自体の構造としても、凸型レール、溝型レール、丸棒型レールなど各種の構造が採用され得る。
【符号の説明】
【００３９】
１０    電磁ノイズ測定装置
１００    デジタイザ
１１０    テーブル
１２０    Ｘ方向案内レール
１３０    Ｙ方向案内レール
１４０    センサホルダ
１５０    センサ
１６０    マウスホルダ
１７０    マウス
２００    パーソナルコンピュータ
２０１    キーボード
２０２    表示画面
２０３    スペースキー
２１０    マップ表示欄
２１１    被測定物の写真
２１２    カラータイル
２２０    カラーバー
２２１    矢印
２３０    カラー選択ボタン
２４０    クリアボタン
２５０    範囲サイズ設定バー
２６０    ２値化オンオフボタン
２７０    保存ボタン
２８０    終了ボタン
【図１】
2013242261.tif 000003