(57)【要約】【課題】比較的簡素な構成で、ワーク保持具が搭載された可動体の回転動作や停止動作の高速化を図るとともに、かかる速度に対応する速度で、ワーク保持具が各エリアでワークの受け渡しを行うことのできるワーク回転搬送装置を提供すること。【解決手段】ワーク回転搬送装置１００では、可動体３の回転駆動にダイレクトドライブモータ４を用いたため、回転動作や停止動作を瞬時に行うことができる。また、可動体３に搭載された複数のワーク保持具６に対しては共通のリニアドライブ機構５が設けられており、かかるリニアドライブ機構５は、固定体２側に設けられている。ダイレクトドライブモータ４の回転軸４１は筒状であり、リニアドライブ機構５の直動軸５５は、回転軸４１の内部に同軸状に設けられている。【選択図】図５
2013040001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定体と、
可動体と、
前記可動体に接続された回転軸をもって前記固定体に保持され、当該可動体を前記回転軸の回転中心軸線周りに間欠的に回転させるダイレクトドライブモータと、
前記可動体の前記回転中心軸線周りの互いに異なる角度位置に前記回転中心軸線に平行に変位可能に搭載された複数のワーク保持具と、
前記複数のワーク保持具に前記回転中心軸線方向に平行な往復移動を行わせる直動軸をもって前記固定体に保持され、当該複数のワーク保持具に対して共通の駆動機構としてのリニアドライブ機構と、を有していることを特徴とするワーク回転搬送装置。
【請求項２】
前記回転軸および前記直動軸のうちの一方の軸は筒状であり、
他方の軸は、当該一方の軸の内部に同軸状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のワーク回転搬送装置。
【請求項３】
前記一方の軸は前記回転軸であり、
前記他方の軸は前記直動軸であることを特徴とする請求項２に記載のワーク回転搬送装置。
【請求項４】
前記リニアドライブ機構は、モータと、該モータの回転動作を直動動作に変換して前記直動軸に伝達する送りねじ機構と、を備えていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のワーク回転搬送装置。
【請求項５】
前記直動軸には、前記複数のワーク保持具に対して前記回転中心軸線方向で当接する駆動側伝達部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のワーク回転搬送装置。
【請求項６】
前記可動体の外周側には、前記ワーク保持具にワークを渡すローディングエリアと、当該ローディングエリアと異なる角度位置で前記ワーク保持具からワークが排出されるアンローディングエリアと、が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のワーク回転搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等のワークを回転搬送するワーク回転搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種電子部品の製造工程において、電気特性の検査等を行う場合、いわゆるターンテーブル装置等と称せられるワーク回転搬送装置が用いられる。かかるワーク回転搬送装置では、可動体の回転中心軸線周りに複数のワーク保持具を搭載しておく一方、可動体の周りには、ローディングエリア、極性検査エリア、検査エリア、アンローディングエリア等の複数のエリアが設定されており、可動体の間欠回転に伴って、ワーク保持具が移動することを利用して、各エリアで所定の処理が行われる。
【０００３】
このようなワーク回転搬送装置において、可動体を回転駆動する駆動源としてダイレクトドライブモータを用いる一方、複数のエリアの各々に、ワーク保持具を可動体の回転中心軸線と平行可能な方向に変位させる駆動ユニットを設け、駆動ユニットによってワーク保持具を上下させて、ワーク保持具と各エリアとの間でワークを受け渡し可能にした構成が提案されている（特許文献１、２参照）。
【０００４】
また、可動体を回転駆動する駆動源としてダイレクトドライブモータを用いる一方、複数のワーク保持具の各々を上下動させるリニアモータを可動体に搭載した構成が提案されている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２０２８５１号公報
【特許文献２】特開２００６−３０６６１７号公報
【特許文献３】特開２００２−１２７０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１、２に記載の構成では、可動体の回転駆動にダイレクトドライブモータを用いたため、回転動作や停止動作を瞬時に行うことができるという利点があるにもかかわらず、処理速度の大幅な向上を実現できないという問題点がある。より具体的には、特許文献１、２に記載の構成では、複数のエリアの各々に駆動ユニットを設けたため、駆動ユニット同士のタイミングのずれや、可動体の回転動作と複数の駆動ユニットの動作とのタイミングのずれを考慮すると、処理速度の大幅な向上を図ることができないのである。
【０００７】
また、特許文献３に記載の構成では、複数のワーク保持具の各々にリニアモータを設けたため、リニアモータ同士のタイミングのずれや、可動体の回転動作と複数のリニアモータの動作とのタイミングのずれを考慮すると、処理速度の大幅な向上を図ることができない。さらに、特許文献３に記載の構成では、複数のリニアモータを用いた分、コストが増大するとともに、複数のリニアモータを可動体に搭載したため、可動体の重量が増大するので、処理速度の大幅な向上を図ることができない。
【０００８】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、比較的簡素な構成で、ワーク保持具が搭載された可動体の回転動作や停止動作の高速化を図るとともに、かかる速度に対応する速度で、ワーク保持具が各エリアでワークの受け渡しを行うことのできるワーク回転搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係るワーク回転搬送装置は、固定体と、可動体と、前記可動体に接続された回転軸をもって前記固定体に保持され、当該可動体を前記回転軸の回転中心軸線周りに間欠的に回転させるダイレクトドライブモータと、前記可動体の前記回転中心軸線周りの互いに異なる角度位置に前記回転中心軸線に平行に変位可能に搭載された複数のワーク保持具と、前記複数のワーク保持具に前記回転中心軸線方向に平行な往復移動を行わせる直動軸をもって前記固定体に保持され、当該複数のワーク保持具に対して共通の駆動機構としてのリニアドライブ機構と、を有していることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、可動体の回転駆動にダイレクトドライブモータを用いたため、カム機構を介して可動体を駆動する場合と違って、可動体の回転動作や停止動作を瞬時に行うことができる。また、可動体に搭載された複数のワーク保持具に対しては共通のリニアドライブ機構が設けられているため、リニアドライブ機構とダイレクトドライブモータとに発生するタイミングのずれを最小限に抑えることができる。従って、可動体の回転動作や停止動作の高速化を実現することができる。また、リニアドライブ機構は、複数のワーク保持具に対しては共通の駆動機構であるため、使用部品が少なく済む分、コストを低減することができる。さらに、リニアドライブ機構は固定体側に設けられているので、可動体にリニアドライブ機構を設けた場合と違って、可動体の軽量化を図ることができる。従って、可動体の慣性力を小さくすることができるので、可動体の回転動作や停止動作を高速化するのに適している。
【００１１】
本発明において、前記回転軸および前記直動軸のうちの一方の軸は筒状であり、他方の軸は、当該一方の軸の内部に同軸状に設けられていることが好ましい。この場合、例えば、前記一方の軸は前記回転軸であり、前記他方の軸は前記直動軸である構成を採用することができる。かかる構成によれば、リニアドライブ機構とダイレクトドライブモータとを可動体に対して中心に設けることができるので、リニアドライブ機構を複数のワーク保持具に対する共通の駆動機構として設けるのに適している。
【００１２】
本発明において、前記リニアドライブ機構は、モータと、該モータの回転動作を直動動作に変換して前記直動軸に伝達する送りねじ機構と、を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、ダイレクトドライブモータにおける動作開始や動作停止の高速化に対応して、リニアドライブ機構における動作開始や動作停止を高速化することができる。それ故、可動体の回転動作や停止動作の高速化を実現することができる。
【００１３】
本発明において、前記直動軸には、前記複数のワーク保持具に対して前記回転中心軸線方向で当接する駆動側伝達部材が取り付けられていることが好ましい。かかる構成によれば、固定体側に設けたリニアドライブ機構によって複数のワーク保持具を駆動する場合でも、ワーク保持具と可動体とがともに回転するのをリニアドライブ機構が妨げることがない。
【００１４】
本発明に係るワーク回転搬送装置に対しては、前記可動体の外周側に、前記ワーク保持具にワークを渡すローディングエリアと、当該ローディングエリアと異なる角度位置で前記ワーク保持具からワークが排出されるアンローディングエリアと、が設けられた構成を採用することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、可動体の回転駆動にダイレクトドライブモータを用いたため、回転動作や停止動作を瞬時に行うことができる。また、可動体に搭載された複数のワーク保持具に対しては共通のリニアドライブ機構が設けられているため、リニアドライブ機構とダイレクトドライブモータとに発生するタイミングのずれを最小限に抑えることができるので、可動体の回転動作や停止動作の高速化に対応することができる。また、リニアドライブ機構は、複数のワーク保持具に対しては共通の駆動機構であるため、使用部品が少なく済む分、コストを低減することができる。さらに、リニアドライブ機構は固定体側に設けられているので、可動体にリニアドライブ機構を設けた場合と違って、可動体の軽量化を図ることができる。従って、可動体の慣性力を小さくすることができるので、可動体の回転動作や停止動作を高速化するのに適している。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を適用したワーク回転搬送装置の要部を示す斜視図である。
【図２】本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体の説明図である。
【図３】本発明を適用したワーク回転搬送装置の分解斜視図である。
【図４】本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体周辺の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明を適用したワーク回転搬送装置の断面図である。
【図６】本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体周辺の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図面を参照して本発明を適用したワーク回転搬送装置を説明する。なお、以下の説明では、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸として説明する。また、以下の説明では、Ｘ軸方向の一方側を＋Ｘとし、Ｘ軸方向の他方側を−Ｘとし、Ｙ軸方向の一方側を＋Ｙとし、Ｙ軸方向の他方側を−Ｙとし、Ｚ軸方向（上下方向）の一方側を＋Ｚとし、Ｚ軸の他方側を−Ｚとして説明する。
【００１８】
（全体構成）
図１は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の要部を示す斜視図である。図２は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体の説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）は．可動体の外周側に設定された各エリアの説明図、および可動体の説明図である。図３は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の分解斜視図である。
【００１９】
図１、図２および図３に示すワーク回転搬送装置１００は、概ね、機台等の固定体２の一部として設けられたベース２１と、可動体３と、ベース２１（固定体２）に固定されたダイレクトドライブモータ４とを有しており、可動体３は、ベース２１と、固定体２の一部としてベース２１に対して上方位置で対向する円形の固定板２３との間において軸線Ｌ（回転中心軸線）周りに回転可能に設けられている。ダイレクトドライブモータ４は、サーボモータやステッピングモータ等から構成されており、詳しくは後述するように、可動体３を軸線Ｌ周りに間欠回転させるための駆動源として用いられている。本形態において、ダイレクトドライブモータ４にはサーボモータが用いられている。
【００２０】
本形態において、可動体３は、上下方向で対向する下側円板３１と上側円板３２とが複数本の支柱３３によって連結された構造になっている。下側円板３１と上側円板３２との間にはワーク保持具６が配置されている。また、上側円板３２の上方にはワーク保持具６の内部に連通するコネクタ６８が設けられている。
【００２１】
ワーク保持具６は、上下方向に延在する円筒部材６０と、円筒部材６０の下端部に設けられたワーク吸着部６１とを有しており、ワーク吸着部６１は、下側円板３１の孔から下方に突出している。ここで、円筒部材６０の内部およびワーク吸着部６１の内部は連通しており、円筒部材６０の内部は、ワーク吸着部６１においてワークを真空吸着する際の真空経路の一部を構成している。円筒部材６０の上端部には、可撓性のチューブ６９が連結されており、円筒部材６０の内部は、チューブ６９を介してコネクタ６８の内部に連通している。かかる構成のワーク保持具６では、コネクタ６８およびチューブ６９等の通路を介して内部が吸引されることにより、ワーク吸着部６１においてワークを吸着し、保持する。本形態において、ワークは電子部品Ｗ（図２（ｂ）参照）である。
【００２２】
ワーク保持具６は、下側円板３１に形成された孔および上側円板３２に形成された孔を貫通するように設けられており、上下方向に移動可能である。ワーク吸着部６１と下側円板３１との間には圧縮コイルバネ６４が設けられており、ワーク保持具６は、下方に付勢されている。また、ワーク保持具６において、ワーク吸着部６１の上端部分にはフランジ部６１０が形成されており、フランジ部６１０は、下側円板３１に当接することにより、ワーク吸着部６１の最下位置を規定するストッパとして機能する。このため、ワーク吸着部６１およびワーク保持具６は、後述するリニアドライブ機構５によって上方に押圧されない限り、下方位置にある。ここで、ワーク保持具６の円筒部材６０にはＬ字形の支持板３５が連結されているとともに、支持板３５の上端部には、径方向内側に突出する従動側伝達部材３６が取り付けられている。
【００２３】
なお、図１〜図３等には、ワーク保持具６が１つしか図示されていないが、ワーク保持具６は、可動体３の回転中心軸線（軸線Ｌ）周りに複数、等角度関係で搭載されている。本形態において、ワーク保持具６の数は１２個であり、かかる１２個のワーク保持具６はいずれも同一の構成を有している。従って、上側円板３２および下側円板３１には、１２個分のワーク保持具６やコネクタ６８等を設けるための孔が形成されている。
【００２４】
かかる可動体３を有するワーク回転搬送装置１００は、電子部品製造装置や電子部品検査装置等に搭載される際、図２（ａ）に示すように、可動体３の外周側には複数のエリア１０１が等角度間隔に設定される。例えば、ワーク回転搬送装置１００が電子部品検査装置等に搭載される場合、複数のエリア１０１には、ワークがワーク回転搬送装置１００に投入されるローディングエリア１０２、位置決めエリア１０３、極性測定エリア１０４、反転エリア１０５、電気特性の検査エリア１０６、ワークがワーク回転搬送装置１００から排出されるアンローディングエリア１０７、強制排出エリア１０８等がこの順に周方向に設定される。本形態では、アンローディングエリア１０７にはテーピング装置１１０が接続されており、ワーク回転搬送装置１００から排出されたワークは、順次テーピング装置１１０によってテーピングされる。
【００２５】
本形態のワーク回転搬送装置１００においては、ワーク保持具６が各エリア１０１でワークの受け渡しを行う際に、ワーク保持具６が下方に位置し、各エリア１０１でワークの受け渡しを終えた後、ワーク保持具６を元の上方位置に移動させる。かかる往復動作をワーク保持具６に行わせるにあたって、本形態では、リニアドライブ機構５が設けられており、本形態において、リニアドライブ機構５は、詳しくは後述するように、固定体２の一部としてベース２１に固定されたケーシング２５の内側などを利用して設けられている。
【００２６】
（ダイレクトドライブモータ４等の詳細構成）
図４は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体周辺の構成を示す斜視図である。図５は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の断面図であり、図５（ａ）、（ｂ）は、ＹＺ断面図およびＸＺ断面図である。図６は、本発明を適用したワーク回転搬送装置の可動体周辺の断面図であり、図６（ａ）、（ｂ）は、ＹＺ断面図およびＸＺ断面図である。
【００２７】
図１、図３、図４、図５および図６に示すように、本形態のワーク回転搬送装置１００において、ダイレクトドライブモータ４のモータ本体４５（ステータ）は、ベース２１に固定されており、かかるダイレクトドライブモータ４のロータ４０には出力部材４６が連結されている。本形態において、出力部材４６は、ロータ４０に連結されたフランジ部４２と、フランジ部４２から上方に延在する回転軸４１とを備えている。
【００２８】
回転軸４１およびモータ本体４５は円筒状であり、かかる回転軸４１およびモータ本体４５の内側には、円筒状のスリーブ２６が通されている。ここで、スリーブ２６は、固定体２の一部として、下方側の端部がベース２１にブシュ２７０およびブシュ取り付け部材２７を介して固定されている。また、スリーブ２６の上方側の端部外周面と回転軸４１の上方側の端部内周面との間には軸受４０１が設けられており、回転軸４１は、軸受４０１を介してスリーブ２６に回転可能に支持されている。
【００２９】
回転軸４１の上端部は、可動体３の下側円板３１にボルト等により連結されている。このため、可動体３はダイレクトドライブモータ４によって回転駆動される。その際、モータ４は、ワーク保持具６が各エリア１０１の上方に位置した際に可動体３が停止するように間欠的に回転駆動する。
【００３０】
なお、本形態では、可動体３の上方に配置された固定板２３は、円筒状の固定テーブル２３５を備えている。固定テーブル２３５の上端部では円板部２３６が拡径しており、かかる円板部２３６には、回り止め金具２３７とグロメット２３９とが設けられている。回り止め金具２３７は、固定体２の他の部分に結合されて、固定板２３の回転を防止する。固定テーブル２３５の下端部には円筒状のソレノイドテーブル２３４が設けられており、ソレノイドテーブル２３４の内側には軸受２３８が設けられている。かかる軸受２３８は、可動体３において上側円板３２から上方に突出する円筒部３２０を回転可能に支持している。
【００３１】
本形態において、ソレノイドテーブル２３４の外周面は多角形になっており、かかる多角形の各面には、Ｌ字形の取り付け板７９を介してソレノイド７が設けられている。ソレノイド７は、ワーク保持具６の停止位置に対して１対１の関係をもって設けられている。また、ソレノイド７は、ソレノイドテーブル２３４に複数搭載されており、本形態において、ソレノイド７の数は、ワーク保持具６と同様、１２個である。ここで、ソレノイド７は、固定体２（固定板２３）の側に設けられており、対応する位置に到来したワーク保持具６における吸着動作を制御する。より具体的には、可動体３において円筒部３２０にはジョイント３９が連結されており、かかるジョイント３９は、真空ポンプ（図示せず）に接続されている。また、上側円板３２において、その肉厚部分には、複数のワーク保持具６に接続された複数の流路３２９が形成されており、かかる流路３２９は、真空バルブ９を介してワーク保持具６のワーク吸着部６１に接続されている。真空バルブ９は、上側円板３２の下面側に設けられており、可動体３と一体に回転する。また、真空バルブ９は、上側円板３２から上方に突出した作動ピン９０を有しており、作動ピン９０がソレノイド７によって下方に押圧されると、流路３２９とワーク吸着部６１と連通が遮断され、ワーク吸着部６１は大気開放状態となる。このため、可動体３が停止した際、図２（ａ）に示す複数のエリア１０１のうち、ソレノイド７が作動ピン９０を押圧しないエリアでは、ワーク保持具６は吸引状態にあるので、ワーク保持具６はワーク吸着部６１においてワークを吸着可能である。これに対して、ソレノイド７が、対応する位置に到来した真空バルブ９の作動ピン９０を押し下げると、流路３２９とワーク吸着部６１との連通が遮断され、ワーク吸着部６１は大気開放状態となるため、ワーク保持具６での吸引が停止されるので、ワーク吸着部６１はワークを解放することになる。
【００３２】
（リニアドライブ機構５等の詳細構成）
図１、図３、図４、図５および図６に示すように、本形態のワーク回転搬送装置１００においては、ケーシング２５の内部等を利用してリニアドライブ機構５が設けられている。より具体的には、まず、ケーシング２５の下端部には、サーボモータ５０が設けられており、サーボモータ５０のモータ軸５１にはカップリング５２を介してボールネジ５３が連結されている。ボールネジ５３は、ケーシング２５にサポートベース５８０を介して保持されたサポートユニット５８によって回転可能に支持されている。また、ボールネジ５３には、ナットホルダー５４が設けられており、かかるナットホルダー５４内のボールおよびボールネジ５３により、サーボモータ５０の回転駆動力を直線駆動力に変換する機構が構成されている。
【００３３】
ここで、ナットホルダー５４は筒状であり、ナットホルダー５４の内側にボールネジ５３が配置されている。このため、リニアドライブ機構５は、サーボモータ５０のモータ軸５１、ボールネジ５３、およびナットホルダー５４が同軸状に配置されている。
【００３４】
ケーシング２５には、回り止めベース５５１が取り付けられている一方、ナットホルダー５４には、孔が形成されたクランプ板５６が設けられており、かかるクランプ板５６は、ケーシング２５の側面に形成された開口部２５０から外側に突出している。また、クランプ板５６に形成されている孔には、回り止めベース５５１から下方に延びたリニアシャフト５５２が遊びをもって嵌っている。このため、ナットホルダー５４は上下方向には移動可能であるが、回転することはない。
【００３５】
このようにして、ナットホルダー５４には供回り防止機構が構成されているので、サーボモータ５０が回転した際、ナットホルダー５４はＺ軸方向（上下方向）に直動する。また、ナットホルダー５４には直動軸５５が連結されており、ナットホルダー５４が直動した際、直動軸５５も直動する。かかる直動軸５は、ナットホルダー５４と同様、上下方向には移動するが、回転することはない。
【００３６】
なお、ナットホルダー５４の外周面において、ケーシング２５の開口部２５０と重なる位置には検出板９１が固定されている。検出板９１においてケーシング２５の側面に回り込んだ部分にはフォトマイクロスイッチ９２が取り付けられており、かかるフォトマイクロスイッチ９２によってナットホルダー５４の位置が検出されるようになっている。
【００３７】
（ワーク保持具６と直動軸５５との機構的な接続構造）
図４および図６を参照して説明したように、ワーク保持具６の円筒部材６０にはＬ字形の支持板３５が連結されており、かかる支持板３５の上端側には、径方向内側に突出するように、従動側伝達部材３６が取り付けられている。
【００３８】
また、図５等に示すように、直動軸５５は、上端部が可動体３の内側（下側円板３１と上側円板３２との間）まで延在しており、かかる直動軸５５の上端部には、上下方向で対向するように２枚の円形の支持板５９１、５９２が連結されている。
【００３９】
図４、図５および図６に示すように、支持板５９１、５９２の間にはカム部材としての駆動側伝達部材５９０が固定されており、かかる駆動側伝達部材５９０は、可動体３の従動側伝達部材３６に対して下側で重なる位置にある。このため、直動軸５５が上方に移動すると、駆動側伝達部材５９０は、可動体３の従動側伝達部材３６を上方に押圧することになる。なお、支持板５９１、５９２の間のうち、所定の位置のみに駆動側伝達部材５９０を設ければ、駆動側伝達部材５９０が設けられている位置のみで可動体３の従動側伝達部材３６を上方に押圧し、駆動側伝達部材５９０が設けられていない位置では可動体３の従動側伝達部材３６に対する押し上げは行われないことになる。
【００４０】
（動作）
本形態のワーク回転搬送装置１００では、ダイレクトドライブモータ４によって、可動体３が回転している際、ワーク保持具６は、リニアドライブ機構５によって上方に変位している駆動側伝達部材５９０によって上方に押圧されて上方に位置する。そして、ダイレクトドライブモータ４による駆動が休止して、可動体３が停止すると、リニアドライブ機構５では、駆動側伝達部材５９０を下方に変位させる。その結果、ワーク保持具６は、圧縮コイルバネ６４の付勢力によって下方に変位する。その際、各エリア１０１では各処理が行われる。
【００４１】
例えば、ローディングエリア１０２に位置するワーク保持具６は、ワーク供給装置（図示せず）から供給されたワークを受け取る。また、極性測定エリア１０４に位置するワーク保持具６はワークを極性検査端子に当接させ、ワークの極性判定が行われる。反転エリア１０５に位置するワーク保持具６は、現在保持しているワークの極性が反対である場合には、ワークを反転装置にワークを渡し、ワークの反転が行われる。なお、反転エリア１０５に位置するワーク保持具６は、現在保持しているワークの極性が正常である場合には、ワークを反転装置に渡さない。なお、反転エリア１０５に位置するワーク保持具６は、現在保持しているワークの極性が正常である場合も、ワークを反転装置に渡すが、反転装置ではワークの反転が行われない構成を採用してもよい。電気特性の検査エリア１０６に位置するワーク保持具６は、ワークを電気特性検査端子に当接させ、ワークの電気特性検査が行われる。アンローディングエリア１０７に位置するワーク保持具６は、現在保持しているワークの電気特性が正常な場合、ワークをテーピング装置に渡す一方、現在保持しているワークの電気特性に不具合がある場合、ワークを保持し続け、次の強制排出エリア１０８に到達した際に排出する。
【００４２】
なお、各ワーク保持具６でのワークの吸着や解放は、ソレノイド７が真空バルブ９を制御することによってワーク保持具６のワーク吸着部６１を負圧状態とするか、あるいは大気開放した状態とするかによって制御される。
【００４３】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のワーク回転搬送装置１００では、可動体３の回転駆動にダイレクトドライブモータ４を用いたため、回転動作や停止動作を瞬時に行うことができる。また、可動体３に搭載された複数のワーク保持具６に対しては共通のリニアドライブ機構５が設けられているため、リニアドライブ機構５とダイレクトドライブモータ４とに発生するタイミングのずれを最小限に抑えることができる。それ故、可動体３の回転動作や停止動作の高速化を実現することができる。
【００４４】
また、リニアドライブ機構５は、複数のワーク保持具６に対しては共通の駆動機構であるため、使用部品が少なく済む分、コストを低減することができる。さらに、リニアドライブ機構５は固定体２側に設けられているので、可動体３にリニアドライブ機構を設けた場合と違って、可動体３の軽量化を図ることができる。従って、可動体３の慣性力を小さくすることができるので、可動体３の回転動作や停止動作を高速化するのに適している。
【００４５】
また、本形態において、回転軸４１および直動軸５５のうち、回転軸４１（一方の軸）は筒状であり、直動軸５５（他方の軸）は、回転軸４１の内部に同軸状に設けられている。このため、リニアドライブ機構５とダイレクトドライブモータ４とを可動体３の中心に設けることができるので、リニアドライブ機構５を複数のワーク保持具６に対する共通の駆動機構として設けるのに適している。
【００４６】
また、リニアドライブ機構５は、サーボモータ５０と、サーボモータ５０の回転動作を直動動作に変換して直動軸５５に伝達する送りねじ機構（ボールネジ５３およびナットホルダー５４とを備えているため、ダイレクトドライブモータ４における動作開始や動作停止の高速化に対応して、リニアドライブ機構５における動作開始や動作停止を高速化することができる。それ故、可動体３の回転動作や停止動作の高速化を実現することができる。
【００４７】
また、直動軸５５には、複数のワーク保持具６に対して回転中心軸線方向で当接する駆動側伝達部材５９０が取り付けられているため、固定体２側に設けたリニアドライブ機構５によって複数のワーク保持具６を駆動する場合でも、リニアドライブ機構５がワーク保持具６と可動体３とがともに回転するのを妨げることがない。
【００４８】
（他の実施の形態）
上記実施の形態では、圧縮コイルバネ６４の付勢力によってワーク保持具６を下方に付勢したが、圧縮コイルバネ６４の付勢力によってワーク保持具６を上方に付勢し、直動軸５５の下方向への移動によって、ワーク保持具６が下方に移動する構成を採用してもよい。また、直動軸５５の上下方向への移動によって、ワーク保持具６が上下方向に移動する構成を採用してもよい。
【００４９】
上記実施の形態では、可動体３に対して下方側にダイレクトドライブモータ４およびリニアドライブ機構５を設けたが、可動体３に対する上方側および下方側のうちの一方にダイレクトドライブモータ４を設け、他方にリニアドライブ機構５を設けてもよい。
【００５０】
上記実施の形態において、リニアドライブ機構５は、全てのワーク保持具６を上下方向に駆動したが、駆動側伝達部材５９０の形状等をカム形状とし、複数のエリア１０１の一部のエリア１０１に到達したワーク保持具６については上方向あるいは下方向に移動させ、他のエリア１０１に到達したワーク保持具６については上下方向に移動させない構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５１】
２・・固定体、３・・可動体、４・・ダイレクトドライブモータ、５・・リニアドライブ機構、６・・ワーク保持具、７・・ソレノイド、９・・真空バルブ、３６・・従動側伝達部材、４１・・回転軸、５０・・サーボモータ、５３・・ボールネジ、５４・・ナットホルダー、５５・・直動軸、６１・・ワーク吸着部、６４・・圧縮コイルバネ、１００・・ワーク回転搬送装置、１０１・・エリア、５９０・・駆動側伝達部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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