(57)【要約】【課題】投影装置のレジストレーションを高精度に調整可能とする。【解決手段】投影装置は、反射パネルユニット、プリズムユニット、および反射パネルユニットをプリズムユニットに固着する固着部材を有する光学装置を備える。反射パネルユニットは、反射型光変調素子を備える。プリズムユニットは、反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および偏光光学装置の出射光を入射して合成出力する色合成プリズムを備える。固着部材は、第１の面とその第１の面に交差する第２の面を有し、第１の面および第２の面がそれぞれ反射パネルユニットの第３の面およびプリズムユニットの第４の面に接着層を介して接着される。【選択図】図６
2013054143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射型光変調素子を備える反射パネルユニットと、
前記反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットと、
前記反射パネルユニットを前記プリズムユニットに固着する第１の固着部材と、
を有し、
前記第１の固着部材は、第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有し、
前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットはそれぞれ、前記第１の面および前記第２の面が接着層を介して接着される第３の面および第４の面を有する、
光学装置。
【請求項２】
前記接着層には、光硬化型樹脂が用いられ、
前記第１の固着部材には、前記接着層が硬化する光に対して透明な材料が用いられる請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記第１の固着部材にガラスが用いられる請求項１に記載の光学装置。
【請求項４】
前記反射パネルユニットは、前記第３の面を有する第２の固着部材を備える請求項１に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第２の固着部材にガラスが用いられる請求項４に記載の光学装置。
【請求項６】
前記プリズムユニットは、前記偏光光学装置と前記色合成プリズムを支持し、前記第４の面を有する支持プレートを備える請求項１に記載の光学装置。
【請求項７】
光源と、
前記光源からの出射光を波長帯域にしたがい分離する分離光学系と、
前記分離光学系で分離された光を変調し、変調光を合成して出射する光学装置と、
前記光学装置からの出射光を投影出力する投影部と、
を備え、
前記光学装置は、
反射型光変調素子を備える反射パネルユニットと、
前記反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットと、
前記反射パネルユニットを前記プリズムユニットに固着する固着部材と、
を有し、
前記固着部材は、第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有し、
前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットはそれぞれ、前記第１の面および前記第２の面が接着層を介して接着される第３の面および第４の面を有する、
投影装置。
【請求項８】
反射型光変調素子を備える反射パネルユニットを準備する工程と、
前記反射型光変調素子が変調する光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットを準備する工程と、
第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有する固着部材を、前記第１の面および前記第２の面がそれぞれ接着層を介して前記反射パネルユニットの第３の面および前記プリズムユニットの第４の面に対向するように配置する工程と、
前記反射パネルユニットを、前記第１の面に沿って移動させ、または前記固着部材と共に前記第４の面に沿って移動させて、前記反射パネルユニットの前記プリズムユニットに対する位置を調整する工程と、
前記反射パネルユニットの位置を調整した後、前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットを前記接着層で接着固定する工程と、
を有する光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、光学装置、投影装置、および光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
映像表示装置の１つとして、３板式の投射型表示装置（投影装置）が知られている。３板式の投影装置は、光源からの白色光をＲＧＢ（赤色、緑色、青色）の３原色光に分解し、各色光をそれぞれに対応して設けられた光変調素子に入射して変調し、変調された各色光を色（光）合成プリズムなどで光学的に合成して、スクリーン上に投射する。このような投影装置には、たとえば、光変調素子として透過型光変調素子を用いたものや、ＤＭＤ（Digital Micromirror Device）を用いたものが知られている。近年では、より高解像度化が可能な、反射型光変調素子を備えた反射型液晶パネル（反射パネルユニット）を用いた投影装置も実用化されている。
【０００３】
反射パネルユニットを用いた投影装置の組み立てにおいては、ＲＧＢの各色光がスクリーン上の正位置で重ならずにずれる、いわゆるレジストレーションずれが生じないように、反射パネルユニットを、色合成プリズムなどに対する位置を調整したうえで、固定することがおこなわれている。反射パネルユニットの固定には、たとえば、半田や接着剤が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１９７１８５号公報
【特許文献２】特開２００７−２６４４１９号公報
【特許文献３】特開２００７−１９９４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、反射パネルユニットを用いた投影装置では、その組み立て時に、反射パネルユニットをレジストレーションずれが生じないような位置に精度良く固定することができない場合があった。また、一旦固定した反射パネルユニットの位置が、投影装置の使用に伴う温度上昇による構成部品の熱膨張によってずれてしまい、レジストレーションずれが生じる場合があった。
【０００６】
本技術は、このような点に鑑みてなされたものであり、レジストレーションが高精度に調整されて組み立てられ、かつ、使用時の温度上昇に起因したレジストレーションずれの発生を抑えた光学装置および投影装置を提供することを目的とする。また、そのような光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、反射パネルユニット、プリズムユニット、および反射パネルユニットをプリズムユニットに固着する固着部材を有する光学装置が提供される。反射パネルユニットは、反射型光変調素子を備える。プリズムユニットは、反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および偏光光学装置の出射光を入射して合成出力する色合成プリズムを備える。固着部材は、第１の面とその第１の面に交差する第２の面を有し、この第１の面および第２の面がそれぞれ反射パネルユニットの第３の面およびプリズムユニットの第４の面に接着層を介して接着される。
【０００８】
さらに、上記課題を解決するために、光源、分離光学系、光学装置および投影部を備える投影装置が提供される。分離光学系は、光源からの出射光を波長帯域にしたがい分離する。光学装置は、分離光学系で分離された光を変調し、変調光を合成して出射する。光学装置は、反射パネルユニット、プリズムユニット、および反射パネルユニットをプリズムユニットに固着する固着部材を有する。反射パネルユニットは、反射型光変調素子を備える。プリズムユニットは、反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および偏光光学装置の出射光を入射して合成出力する色合成プリズムを備える。固着部材は、第１の面とその第１の面に交差する第２の面を有し、この第１の面および第２の面がそれぞれ反射パネルユニットの第３の面およびプリズムユニットの第４の面に接着層を介して接着される。投影装置の投影部は、光学装置からの出射光を投影出力する。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、反射パネルユニットを準備する工程、偏光光学装置および色合成プリズムを備えるプリズムユニットを準備する工程、反射パネルユニットをプリズムユニットに固着する工程を有する光学装置の製造方法が提供される。反射パネルユニットをプリズムユニットに固着する際には、第１の面とその第１の面に交差する第２の面を有する固着部材を、第１の面および第２の面がそれぞれ接着層を介して反射パネルユニットの第３の面およびプリズムユニットの第４の面に対向するように配置する。そして、その反射パネルユニットを、固着部材の第１の面に沿って移動させ、または固着部材と共にプリズムユニットの第４の面に沿って移動させて、反射パネルユニットのプリズムユニットに対する位置を調整する。反射パネルユニットの位置調整後、反射パネルユニットおよびプリズムユニットを各面間の接着層で接着固定する。
【発明の効果】
【００１０】
開示の技術によれば、レジストレーションが高精度に調整されて組み立てられ、かつ、使用時の温度上昇に起因したレジストレーションずれの発生を抑えた光学装置および投影装置が実現可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】投影装置の構成例を示す図である。
【図２】光学装置の一例の斜視図である。
【図３】光学装置の一例の分解斜視図（その１）である。
【図４】光学装置の一例の分解斜視図（その２）である。
【図５】反射パネルユニットの一例の要部拡大図である。
【図６】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その１）である。
【図７】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その２）である。
【図８】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その３）である。
【図９】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その４）である。
【図１０】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その５）である。
【図１１】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その６）である。
【図１２】反射パネルユニットの固着方法の説明図（その７）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本技術の実施の形態を、図面を参照して説明する。
図１は投影装置の構成例を示す図である。
投影装置１は、光源２、リフレクタ３、フライアイレンズ４、フライアイレンズ５、偏光ビームスプリッタ（偏光素子）６、コンデンサーレンズ７、分離合成光学系（後述の光学装置を含む）、および投影レンズ（投影部）１６を有している。
【００１３】
光源２は、たとえば、超高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどのＨＩＤ（High Intensity Discharge）ランプであり、白色光を出射する。光源２は、リフレクタ３の焦点位置に配置され、リフレクタ３は、光源２から出射した白色光を反射して略平行光を生成する。
【００１４】
リフレクタ３で反射した略平行光は、フライアイレンズ４およびフライアイレンズ５に入射し、偏光ビームスプリッタ６に出射される。フライアイレンズ４およびフライアイレンズ５は、後述する反射型光変調素子１４に入射する光の照度を均一化する。
【００１５】
偏光ビームスプリッタ６は、出射光の偏光軸を所定方向に揃える。たとえば、偏光ビームスプリッタ６は、ｓ偏光とｐ偏光を含む光を入射して、ｐ偏光を出射する。コンデンサーレンズ７は、偏光ビームスプリッタ６の出射光を入射して集光する。コンデンサーレンズ７を出射した白色光は、分離合成光学系に入射する。
【００１６】
分離合成光学系は、コンデンサーレンズ７からの入射光をＲＧＢの各色光に分離する光学系（分離光学系）を有し、当該光学系で分離した各色光を、それぞれに対応して設けられた反射型光変調素子１４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）で空間変調した後に合成して、その出射光により投影画像を形成する。
【００１７】
分離合成光学系は、ダイクロイックミラー８、ダイクロイックミラー９、ミラー（反射ミラー）１０、フィールドレンズ１１、反射型偏光素子１２、光学補償素子１３、反射型光変調素子１４（１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ）、および色合成プリズム１５を有している。
【００１８】
ダイクロイックミラー８およびダイクロイックミラー９は、ＲＧＢの各色光をその波長帯域により選択的に透過、または反射する。ダイクロイックミラー８は、赤色波長帯域の光を透過し、緑色波長帯域および青色波長帯域の光を反射する。ダイクロイックミラー９は、青色波長帯域の光を透過し、緑色波長帯域の光を反射する。これにより、白色光は、ＲＧＢの３原色に色分離される。ミラー１０は、赤色波長帯域の光を反射する。反射型偏光素子１２は、色分離された光束を偏光する。反射型光変調素子１４Ｒは、赤色波長帯域の光を空間変調する。反射型光変調素子１４Ｇは、緑色波長帯域の光を空間変調する。反射型光変調素子１４Ｂは、青色波長帯域の光を空間変調する。
【００１９】
ダイクロイックミラー８およびダイクロイックミラー９によって色分離された光束はそれぞれ、フィールドレンズ１１に入射され、反射型偏光素子１２に入射されて偏光された後、反射型光変調素子１４Ｒ、反射型光変調素子１４Ｇ、反射型光変調素子１４Ｂに入射する。
【００２０】
反射型光変調素子１４Ｒ、反射型光変調素子１４Ｇ、および反射型光変調素子１４Ｂで光変調され、反射されたＲＧＢの各色光は、光学補償素子１３で光学補償（位相変調量の微調整）された後、反射型偏光素子１２に入射する。光学補償素子１３は、より好適な光学補償を得るため、対となる反射型光変調素子１４に対して所定の傾きを有して設けられる。反射型光変調素子１４から反射型偏光素子１２に入射したＲＧＢの各色光は、光変調の度合いにより、一部は透過して光源２の方向に戻り、一部は反射して色合成プリズム１５に入射する。なお、光学補償素子１３は、その材料として、たとえば、サファイア、水晶、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）などの各種材料を用いることができる。
【００２１】
色合成プリズム１５は、緑色波長帯域の入射光を透過し、赤色波長帯域および青色波長帯域の入射光を投影レンズ１６方向に反射するように構成されている。色合成プリズム１５は、たとえば、複数のガラスプリズム（４つの略同形状の直角二等辺プリズム）を接合することによって構成されており（プリズムブロック）、各ガラスプリズムの接合面には、所定の光学特性を有する第１、第２の２つの干渉フィルタが形成されている。第１の干渉フィルタは、青色波長帯域の入射光を反射し、赤色波長帯域および緑色波長帯域の入射光を透過する。第２の干渉フィルタは、赤色波長帯域の入射光を反射し、緑色波長帯域および青色波長帯域の入射光を透過する。これにより、反射型光変調素子１４Ｒ、反射型光変調素子１４Ｇ、および反射型光変調素子１４Ｂによって変調されたＲＧＢの各色光は、色合成プリズム１５で合成されて、投影レンズ１６に入射する。
【００２２】
投影レンズ１６は、分離合成光学系からの出射光を所定の倍率に拡大してスクリーン（図示せず）に映像を投影する。
【００２３】
次に、上記のような投影装置１が備える光学装置の一例について説明する。
図２は光学装置の一例の斜視図である。図３及び図４は光学装置の一例の分解斜視図である。
【００２４】
光学装置１００は、上記のダイクロイックミラー８、ダイクロイックミラー９、ミラー（反射ミラー）１０、フィールドレンズ１１とともに、投影装置１の分離合成光学系を構成する。光学装置１００は、ＲＧＢに色分離された各色光を反射型光変調素子１４で空間変調した後に合成して、その出射光により投影画像を形成する。
【００２５】
光学装置１００は、図２及び図３に示すように、プリズムユニット１５０、第１反射パネルユニット２００ａ、第２反射パネルユニット２００ｂ、第３反射パネルユニット２００ｃを備える。
【００２６】
第１反射パネルユニット２００ａは、上記の光学補償素子１３及び反射型光変調素子１４Ｂを備え、青色波長帯域の光変調をおこなう。第２反射パネルユニット２００ｂは、上記の光学補償素子１３および反射型光変調素子１４Ｇを備え、緑色波長帯域の光変調をおこなう。第３反射パネルユニット２００ｃは、上記の光学補償素子１３および反射型光変調素子１４Ｒを備え、赤色波長帯域の光変調をおこなう。
【００２７】
３つの反射パネルユニット２００（第１反射パネルユニット２００ａ、第２反射パネルユニット２００ｂ、第３反射パネルユニット２００ｃ）はそれぞれ、額縁状のパネルホルダ２０１に保持された、光学補償素子１３および反射型光変調素子１４（１４Ｂ，１４Ｇ，１４Ｒ）を含むユニット（後述の光変調部２０５）を備える。さらに、反射パネルユニット２００はそれぞれ、反射型光変調素子１４に電気的に接続されたフレキシブルプリント基板２０２を備える。さらにまた、反射パネルユニット２００はそれぞれ、パネルホルダ２０１の上縁部と下縁部にそれぞれ固着部材２０３を備える。固着部材２０３は、たとえば、直方体形状とされ、その一表面（側面）で、所定のパネルホルダ２０１の、所定の位置に、接着して固定される。
【００２８】
なお、固着部材２０３のパネルホルダ２０１への接着には、種々の接着剤を用いることができる。固着部材２０３の接着には、たとえば、紫外線（Ultra Violet；ＵＶ）硬化型樹脂等の光硬化型樹脂を用いることができる。このような光硬化型樹脂を用いる場合、固着部材２０３には、その光硬化型樹脂の硬化に用いる光に対して透明な材料が用いられる。このような材料としては、たとえば、ガラスを挙げることができる。
【００２９】
プリズムユニット１５０は、図４に示すように、色合成プリズム１５と、色合成プリズム１５の周囲三方（光の入射面）に配置された３つの偏光光学装置３００を備える。色合成プリズム１５は、複数のガラスプリズムが接合されたプリズムブロック１１０と、そのプリズムブロック１１０の偏光光学装置３００が配置される面（光の入射面）にそれぞれ設けられた偏光板１１１およびガラス板１１２を備える。偏光光学装置３００は、たとえば、その外形が略三角柱状（内部は中空）となるように構成され、その傾斜面に相当する部分に上記の反射型偏光素子１２が設けられる。このような略三角柱状の偏光光学装置３００は、傾斜面相当の部分と向き合う、交差２面相当の部分のうち、一方の面に相当する部分が色合成プリズム１５の一の面に向けられて配置され、他方の面に相当する部分に、上記の反射パネルユニット２００が取り付けられる（図２及び図３）。
【００３０】
プリズムユニット１５０において、色合成プリズム１５と３つの偏光光学装置３００は、図４に示すように、上部支持プレート１０１と下部支持プレート１０２の間に挟まれ、上部支持プレート１０１と下部支持プレート１０２に支持されて固定される。３つの偏光光学装置３００と下部支持プレート１０２の間には、色合成プリズム１５に対する各偏光光学装置３００の位置（高さ）を調節するスペーサプレート１０６が配置される。また、プリズムユニット１５０は、プリズム位置決め部品１０４によって投影レンズ１６との位置関係が決められるようになっている。
【００３１】
上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２には、図２〜図４に示すように、３つの反射パネルユニット２００が取り付けられる位置にそれぞれ、固着部材１０３が配置される。固着部材１０３は、上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２の表面に接着固定されるとともに、上記の反射パネルユニット２００の固着部材２０３に接着固定される。このような固着部材１０３により、３つの反射パネルユニット２００がプリズムユニット１５０に固定（固着）される。
【００３２】
なお、固着部材１０３の上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２の表面への接着、ならびに反射パネルユニット２００の固着部材２０３への接着には、種々の接着剤を用いることができる。固着部材１０３の接着には、たとえば、ＵＶ硬化型樹脂等の光硬化型樹脂を用いることができる。このような光硬化型樹脂を用いる場合、固着部材１０３には、その光硬化型樹脂の硬化に用いる光に対して透明な材料が用いられる。このような材料としては、たとえば、ガラスを挙げることができる。
【００３３】
反射パネルユニット２００は、プリズムユニット１５０の組み立て後、レジストレーションの調整をおこない、固着部材２０３と上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２とに上記の固着部材１０３を接着することで、プリズムユニット１５０に固着される。
【００３４】
ところで、反射パネルユニットを、上記のような固着部材１０３および固着部材２０３を用いずに、半田や、ＵＶ硬化型樹脂などの接着剤を用いて、プリズムユニットに固着することで、光学装置を組み立てる方法がある。このような光学装置の組み立て方法では、たとえば、次のようにして反射パネルユニットがプリズムユニットに固着される。
【００３５】
即ち、反射パネルユニットは、レジストレーションずれが生じないように、その反射型光変調素子の画素面内方向（Ｘ，Ｙ方向）とフォーカス方向（Ｚ方向）の位置を調整（画素位置調整とフォーカス調整）しながら、プリズムユニットに固着される。その際、プリズムユニットには、反射パネルユニットを固着するための固着用部位（１箇所）を予め設けておき、反射パネルユニットは、所定の位置調整をおこなって、当該固着用部位に、半田や接着剤を用いて固着される。
【００３６】
ここで、反射パネルユニットとプリズムユニットの間には、位置調整時に反射パネルユニットをＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させることができるように、一定のクリアランスが必要になる。反射パネルユニットの固着には、そのような位置調整に必要なプリズムユニット（固着用部位）とのクリアランスが確保されるように、一定の厚み（量）の半田や接着剤が用いられる。
【００３７】
一方、組み立て後の光学装置を備える投影装置では、その構成によっては、その使用に伴う光学装置の温度上昇によってその構成部品や構成部材が熱膨張し、反射パネルユニットとプリズムユニット（色合成プリズム）の位置関係がずれ、レジストレーションずれが生じ得ることが知られている。
【００３８】
固着部材１０３および固着部材２０３を用いず、上記のように反射パネルユニットをプリズムユニットの固着用部位に半田で固着した場合には、そのような投影装置の使用に伴う光学装置の温度上昇に起因したレジストレーションずれが比較的生じ難い。しかし、半田は、光学装置の組み立て時に反射パネルユニットの位置をレジストレーションずれが生じないように調整する際、一旦溶融（この間にレジストレーションが調整）された後に冷却されて固化される。半田を用いた時のレジストレーションの調整においては、このような半田冷却前後で反射パネルユニットの位置変動が比較的生じ易く、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の位置をすべて高精度に合わせることができず、レジストレーションの調整を高精度におこなうことができない場合がある。
【００３９】
固着部材１０３および固着部材２０３を用いず、上記のように反射パネルユニットをプリズムユニットの固着用部位に接着剤で固着する場合には、接着剤をＵＶ照射などで硬化しても、固着に半田を用いた時のような光学装置の組み立て時における反射パネルユニットの位置変動が比較的生じ難い。しかし、接着剤を用いた場合、投影装置の使用に伴う光学装置の温度上昇に起因したレジストレーションずれが比較的生じ易く、固着部位の接着剤の量が多くなるほど（接着剤の層が厚くなるほど）、そのようなレジストレーションずれが生じ易くなる。
【００４０】
これに対し、上記のような固着部材１０３および固着部材２０３を用いると、高精度にレジストレーションを調整して光学装置１００を組み立てることが可能になり、さらに、投影装置１の使用に伴う光学装置１００の温度上昇に起因したレジストレーションずれの発生を抑えることが可能になる。以下、これらの点について、光学装置１００の組み立て工程の一例とともに説明する。
【００４１】
光学装置１００の組み立てにおいては、上記の図３に示したような各部品が準備され、プリズムユニット１５０が組み立てられる。その際は、まず色合成プリズム１５の周囲三方の光入射面（偏光板１１１およびガラス板１１２の配置面）にそれぞれ、反射型偏光素子１２を含む偏光光学装置３００を所定の向きで配置する。そして、これらの色合成プリズム１５と偏光光学装置３００を、スペーサプレート１０６とともに、上部支持プレート１０１と下部支持プレート１０２の間に挟み、固定する。たとえば、上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２と、偏光光学装置３００とを、ねじ止めによって固定する。上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２には、プリズム位置決め部品１０４を取り付ける。たとえばこのようにして、光学装置１００のプリズムユニット１５０が組み立てられる。
【００４２】
また、光学装置１００の組み立てにおいては、上記のようなプリズムユニット１５０とともに、上記の図２および図３、ならびに次の図５に示すような反射パネルユニット２００が準備される。なお、図５は反射パネルユニットの一例の要部拡大図である。
【００４３】
反射パネルユニット２００は、図５に示すように、上記の光学補償素子１３および反射型光変調素子１４を含む光変調部２０５を備え、このような光変調部２０５がパネルホルダ２０１で保持される。フレキシブルプリント基板２０２は、光変調部２０５の反射型光変調素子１４に電気的に接続されている。
【００４４】
このようなアセンブリの、パネルホルダ２０１表面の所定位置に、光変調部２０５を挟んで一対の固着部材２０３を接着固定する。たとえば、固着部材２０３にガラス、接着剤にＵＶ硬化型樹脂を用い、固着部材２０３を、ＵＶ硬化型樹脂を介してパネルホルダ２０１表面の所定位置に配置し、そこにＵＶ照射をおこなう。ＵＶは、ガラスの固着部材２０３を透過し、ＵＶ硬化型樹脂を硬化させる。これにより、パネルホルダ２０１に固着部材２０３を接着固定した反射パネルユニット２００が得られる。
【００４５】
このようにして得られた反射パネルユニット２００を、上記のようにして組み立てられたプリズムユニット１５０に固着する。その際、反射パネルユニット２００は、レジストレーションの調整をおこなって、その固着部材２０３、および固着部材１０３を用いて、組み立て後のプリズムユニット１５０に固着される。
【００４６】
図６〜図１２は反射パネルユニットの固着方法の説明図である。
なお、ここではプリズムユニット１５０の上部支持プレート１０１側での反射パネルユニット２００の固着を例にして説明する。図６は反射パネルユニットとプリズムユニットの固着部の拡大斜視図である。図７は固着部材と反射パネルユニットおよび上部支持プレートとの固着部断面の一例の模式図である。図８〜図１２は固着時のプリズムユニットの挙動を説明する図である。
【００４７】
プリズムユニット１５０に反射パネルユニット２００を固着する際は、図６に示すように、反射パネルユニット２００の固着部材２０３と、上部支持プレート１０１の上面１０１ａとに、接着剤（接着層）を介して固着部材１０３を配置する。固着部材１０３は、図７に示すように、その下面１０３ａが、接着剤４００ａを介して上部支持プレート１０１の上面１０１ａに対向するように配置され、その一側面１０３ｂが、接着剤４００ｂを介して反射パネルユニット２００の固着部材２０３の一側面２０３ｂに対向するように配置される。この固着部材１０３の配置段階では、接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂはいずれも未硬化の状態である。
【００４８】
このようにして固着部材１０３を配置した後、反射パネルユニット２００の位置の調整（レジストレーションの調整）をおこなう。
【００４９】
その際、たとえばＸＹ面内（反射型光変調素子１４の画素面内）方向のうち、Ｘ方向については、図８に示すようにして反射パネルユニット２００の位置を調整する。即ち、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを互いに接着剤４００ｂ側に押圧し、かつ、固着部材１０３を接着剤４００ａ側に押圧した状態とする。そして、その状態から、固着部材１０３が接着剤４００ａを介して上部支持プレート１０１の上面１０１ａに沿って移動するように、反射パネルユニット２００をＸ方向に移動させる。
【００５０】
ＸＹ面内方向のうち、Ｙ方向については、図９に示すようにして反射パネルユニット２００の位置を調整する。即ち、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを互いに接着剤４００ｂ側に押圧し、かつ、固着部材１０３を接着剤４００ａ側に押圧した状態とする。そして、その状態から、反射パネルユニット２００の固着部材２０３の側面２０３ｂが接着剤４００ｂを介して固着部材１０３の側面１０３ｂに沿って移動するように、反射パネルユニット２００をＹ方向に移動させる。
【００５１】
ＸＹ面内の回転方向については、図１０に示すようにして反射パネルユニット２００の位置を調整する。即ち、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを互いに接着剤４００ｂ側に押圧し、かつ、固着部材１０３を接着剤４００ａ側に押圧した状態とする。そして、その状態から、反射パネルユニット２００の固着部材２０３の側面２０３ｂが接着剤４００ｂを介して固着部材１０３の側面１０３ｂに沿って移動するように、反射パネルユニット２００をＸＹ面内回転方向に移動させる。
【００５２】
Ｚ方向（フォーカス方向）については、図１１のようにして反射パネルユニット２００の位置を調整する。即ち、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを互いに接着剤４００ｂ側に押圧し、かつ、固着部材１０３を接着剤４００ａ側に押圧した状態とする。そして、その状態から、固着部材１０３が接着剤４００ａを介して上部支持プレート１０１の上面１０１ａに沿って移動するように、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを一緒にＺ方向に移動させる。
【００５３】
ＸＺ面内の回転方向（あおり方向）については、図１２のようにして反射パネルユニット２００の位置を調整する。即ち、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを互いに接着剤４００ｂ側に押圧し、かつ、固着部材１０３を接着剤４００ａ側に押圧した状態とする。そして、その状態から、固着部材１０３が接着剤４００ａを介して上部支持プレート１０１の上面１０１ａに沿って移動するように、反射パネルユニット２００と固着部材１０３とを一緒にＸＺ面内回転方向に移動させる。
【００５４】
このような方法により、反射パネルユニット２００のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置調整、即ち画素位置調整とフォーカス調整（レジストレーション調整）をおこなうことができる。
【００５５】
反射パネルユニット２００の位置調整段階では、接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂが未硬化であるため、上記のような固着部材１０３の、上部支持プレート１０１の上面１０１ａに沿った移動、反射パネルユニット２００（固着部材２０３）の、固着部材１０３の側面１０３ｂに沿った移動が円滑におこなえるようになっている。また、このような上部支持プレート１０１の上面１０１ａに沿った固着部材１０３の移動、固着部材１０３に沿った反射パネルユニット２００の移動の際、接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂは、固着部材１０３の下面１０３ａ、側面１０３ｂに、均一性良く、薄く、濡れ広がるようになる。
【００５６】
上記のようにして反射パネルユニット２００の位置を調整した後は、その調整した位置を保持してＵＶ照射をおこない、接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂを硬化させる。固着部材１０３および固着部材２０３に共にガラスのようなＵＶに対して透明な材料を用いていることで、ＵＶ照射によって２箇所の接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂを一緒に硬化させることができる。
【００５７】
上記のような方法により、反射パネルユニット２００が、そのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置を精度良く調整されて、プリズムユニット１５０に固着される。なお、ここでは上部支持プレート１０１側での反射パネルユニット２００の固着を例にして説明したが、反射パネルユニット２００は、これと同様にして下部支持プレート１０２側でもプリズムユニット１５０に固着される。
【００５８】
上記の固着方法では、反射パネルユニット２００のＸ，Ｙ方向の位置を、固着部材１０３の側面１０３ｂの接着剤４００ｂによって固定することができ、反射パネルユニット２００のＺ方向の位置を、固着部材１０３の下面１０３ａの接着剤４００ａによって固定することができる。このように上記の固着方法では、反射パネルユニット２００をプリズムユニット１５０に対して固着する部位を、Ｘ，Ｙ方向の位置を固定する部位と、Ｚ方向の位置を固定する部位の、２つに分割する。
【００５９】
この固着方法では、反射パネルユニットとプリズムユニットの間を１箇所の固着部位で固着するときのように、位置調整に要するクリアランスに応じた一定の厚み（量）の半田や接着剤を設けることは不要になる。固着部材１０３と上部支持プレート１０１および下部支持プレート１０２とを接着する接着剤４００ａの厚み、ならびに固着部材１０３と反射パネルユニット２００の固着部材２０３とを接着する接着剤４００ｂの厚みは、充分薄くすることができる。そのため、反射パネルユニット２００の固着に半田を用いたり、厚い接着剤を用いたりした場合に比べて、反射パネルユニット２００の位置調整を高精度におこない、レジストレーションの調整を高精度におこなうことができる。また、接着剤４００ａおよび接着剤４００ｂの厚みを薄くすることができるため、投影装置１の使用時に光学装置１００の温度が上昇した場合にも、反射パネルユニット２００の位置ずれ、それによるレジストレーションずれを効果的に抑制することができる。たとえば、反射パネルユニット２００の位置ずれを、Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向について０．１ｍｍ以下に抑えることができる。
【００６０】
さらに、プリズムユニット１５０と反射パネルユニット２００の間の接着面積は、固着部材１０３の下面１０３ａおよび側面１０３ｂのサイズとすることができ、充分大きく確保することができる。そのため、プリズムユニット１５０と反射パネルユニット２００との接着強度を向上させることができる。
【００６１】
また、プリズムユニット１５０と反射パネルユニット２００の間を固着する固着部材１０３および固着部材２０３には、上記のように、ガラスを用いることができる。ガラスの固着部材１０３および固着部材２０３は、プリズムブロック１１０同様、低い線膨張係数を示す。そのため、投影装置１の使用時に光学装置１００の温度が上昇した場合にも、固着部材１０３自体、固着部材２０３自体の熱膨張を抑え、反射パネルユニット２００の位置ずれ、それによるレジストレーションずれを効果的に抑制することができる。
【００６２】
なお、以上の説明では、反射パネルユニット２００に、固着部材１０３と接着剤４００ｂを介して接着される固着部材２０３を設けるようにした。このほか、反射パネルユニット２００の、固着部材１０３の側面１０３ｂと対向する領域に、平坦な領域があれば、固着部材２０３を設けずに、上記のような固着をおこなうようにしてもよい。
【００６３】
また、上記のように、固着部材１０３を用いたプリズムユニット１５０と反射パネルユニット２００の固着は、その固着部材１０３の下面１０３ａと側面１０３ｂにおいておこなわれる。したがって、下面１０３ａの面積および側面１０３ｂの面積を大きくするほど、それぞれプリズムユニット１５０および反射パネルユニット２００との接着面積を大きくすることができる。以上の説明では固着部材１０３として一定サイズの直方体形状のものを例示したが、このような接着面積の観点から、そのサイズ、形状を設定するようにしてもよい。同様に、反射パネルユニット２００に設ける固着部材２０３についても、固着部材１０３との接着面積の観点から、そのサイズ、形状を設定するようにしてもよい。
【００６４】
なお、本技術は、以下のような構成も採ることができる。
（１）反射型光変調素子を備える反射パネルユニットと、
前記反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットと、
前記反射パネルユニットを前記プリズムユニットに固着する第１の固着部材と、
を有し、
前記第１の固着部材は、第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有し、
前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットはそれぞれ、前記第１の面および前記第２の面が接着層を介して接着される第３の面および第４の面を有する、
光学装置。
（２）前記接着層には、光硬化型樹脂が用いられ、
前記第１の固着部材には、前記接着層が硬化する光に対して透明な材料が用いられる前記（１）に記載の光学装置。
（３）前記第１の固着部材にガラスが用いられる前記（１）または（２）に記載の光学装置。
（４）前記反射パネルユニットは、前記第３の面を有する第２の固着部材を備える前記（１）から（３）のいずれかに記載の光学装置。
（５）前記第２の固着部材にガラスが用いられる前記（４）に記載の光学装置。
（６）前記プリズムユニットは、前記偏光光学装置と前記色合成プリズムを支持し、前記第４の面を有する支持プレートを備える前記（１）から（５）のいずれかに記載の光学装置。
（７）光源と、
前記光源からの出射光を波長帯域にしたがい分離する分離光学系と、
前記分離光学系で分離された光を変調し、変調光を合成して出射する光学装置と、
前記光学装置からの出射光を投影出力する投影部と、
を備え、
前記光学装置は、
反射型光変調素子を備える反射パネルユニットと、
前記反射型光変調素子が変調した光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットと、
前記反射パネルユニットを前記プリズムユニットに固着する固着部材と、
を有し、
前記固着部材は、第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有し、
前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットはそれぞれ、前記第１の面および前記第２の面が接着層を介して接着される第３の面および第４の面を有する、
投影装置。
（８）反射型光変調素子を備える反射パネルユニットを準備する工程と、
前記反射型光変調素子が変調する光を出射する偏光光学装置、および前記偏光光学装置から前記光を入射して合成出力する色合成プリズムを備えるプリズムユニットを準備する工程と、
第１の面および前記第１の面に交差する第２の面を有する固着部材を、前記第１の面および前記第２の面がそれぞれ接着層を介して前記反射パネルユニットの第３の面および前記プリズムユニットの第４の面に対向するように配置する工程と、
前記反射パネルユニットを、前記第１の面に沿って移動させ、または前記固着部材と共に前記第４の面に沿って移動させて、前記反射パネルユニットの前記プリズムユニットに対する位置を調整する工程と、
前記反射パネルユニットの位置を調整した後、前記反射パネルユニットおよび前記プリズムユニットを前記接着層で接着固定する工程と、
を有する光学装置の製造方法。
【００６５】
なお、上述の実施の形態は、実施の形態の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加えることができる。
【００６６】
さらに、上述の実施の形態は、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６７】
１……投影装置、２……光源、３……リフレクタ、４，５……フライアイレンズ、６……偏光ビームスプリッタ、７……コンデンサーレンズ、８，９……ダイクロイックミラー、１０……ミラー、１１……フィールドレンズ、１２……反射型偏光素子、１３……光学補償素子、１４，１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂ……反射型光変調素子、１５……色合成プリズム、１６……投影レンズ、１００……光学装置、１０１……上部支持プレート、１０１ａ……上面、１０２……下部支持プレート、１０３，２０３……固着部材、１０３ａ……下面、１０３ｂ，２０３ｂ……側面、１０４……プリズム位置決め部品、１０６……スペーサプレート、１１０……プリズムブロック、１１１……偏光板、１１２……ガラス板、１５０…プリズムユニット、２００，２００ａ，２００ｂ，２００ｃ……反射パネルユニット、２０１……パネルホルダ、２０２……フレキシブルプリント基板、２０５……光変調部、３００……偏光光学装置、４００ａ，４００ｂ……接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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