(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなう。【解決手段】インクを収容可能な共通液室１０１と、共通液室１０１から流入されるインクをエネルギー発生素子２０２によって吐出可能なノズル１０２ごとのノズルチャンバ１０３とを含み構成されるインク室１１０を区画する壁部のうち、インクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される基板２０１および保護膜２０３と、ノズルチャンバを区画するノズル層２０４と、を有し、基板２０１、保護膜２０３およびノズル層２０４とは異なる場所に形成され、１１０インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、犠牲層が除去された後、犠牲層除去口を封止する封止部材としての接点保護材１３０と、を備える。【選択図】図２
2013049210.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを収容可能な共通液室と、前記共通液室から流入される前記インクをエネルギー発生素子によって吐出可能なノズルごとのノズルチャンバとを含み構成されるインク室を区画する壁部のうち、前記インクの供給を受け付ける供給口が形成される供給口壁部と、
前記壁部のうち、前記供給口壁部とは異なる、前記ノズルチャンバを区画するノズル壁部と、を有し、
前記供給口壁部および前記ノズル壁部とは異なる場所に形成され、前記インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、
前記犠牲層が除去された後、前記犠牲層除去口を封止する封止部材と、
を備えることを特徴とするインク吐出ヘッド。
【請求項２】
前記犠牲層除去口は、前記壁部のうち、前記供給口壁部および前記ノズル壁部とは異なる流路壁部に設けられ、前記犠牲層を可溶な溶媒の流動方向が、前記内部空間中における前記ノズルチャンバに向かう方向となるよう配置されることを特徴とする請求項１に記載のインク吐出ヘッド。
【請求項３】
前記インク室を区画する流路壁部のうち、前記ノズルチャンバを区画形成していない流路壁部は、前記犠牲層除去口から流入される前記犠牲層を可溶な溶媒の流動方向を変換可能な変換手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のインク吐出ヘッド。
【請求項４】
前記犠牲層除去口は、前記インク室内側の開口部の断面積が外側の開口部の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のインク吐出ヘッド。
【請求項５】
前記犠牲層除去口は、前記インク室を区画する流路壁部のうち、前記ノズル列の外側に少なくとも２つ配置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のインク吐出ヘッド。
【請求項６】
インクを収容可能なインク室を区画する壁部のうち、前記インクを供給可能な供給口が形成される供給口壁部上に、１以上のエネルギー発生素子を配置する素子配置工程と、
前記インク室における、前記エネルギー発生素子によって加熱される前記インクを吐出可能なノズルごとのノズルチャンバを区画するノズル壁部を形成するノズル壁形成工程と、
前記供給口壁部上に、前記インク室を区画する流路壁部を形成する流路壁形成工程と、
前記流路壁部に、前記インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口を形成する除去口形成工程と、
前記供給口壁部と、前記流路壁部と、前記ノズル壁部とによって区画される領域に対し、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
前記犠牲層除去口を経由して、前記犠牲層を可溶な溶媒の流入、前記犠牲層の溶出をおこなう犠牲層除去工程と、
を含むことを特徴とするインク吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記犠牲層除去工程によって前記犠牲層が除去された後、前記犠牲層除去口を封止部材によって封止する封止工程を含むことを特徴とする請求項６に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットプリンターなどに用いられるインク吐出ヘッドおよびインク吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱源駆動方式を用いたインク吐出ヘッドは、インク室内部に設けられた熱源によってインクに気泡を発生させる。インク吐出ヘッドは、発生させた気泡の膨張力によって、ノズルからインクを用紙面に吐出する。
【０００３】
従来のインク吐出ヘッドは、インク室の内部空間を形成するため、熱源が設けられた基板上に犠牲層を形成する。犠牲層は、インク室壁部に設けられた犠牲層除去口を介して溶解除去される。近年では、犠牲層除去口としてのスリットを、インク室壁部のうちノズルを有するノズル壁部に設けて、犠牲層を除去する提案がされている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７３２５３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載の技術は、ノズルが形成されるノズル壁部に犠牲層除去口としてのスリットを設け、犠牲層除去後にスリットの埋め込みをおこなう構成である。したがって、スリットの形成や埋め込みの際の応力によって歪みが生じてノズル形状の精度を保持することが困難になり、インク吐出の精度が低下するという問題が一例として挙げられる。また、スリットの形成や埋め込みをおこなう必要が生じるため、工程が増加し効率的なインク吐出ヘッドの製造をおこなうことができないという問題が一例として挙げられる。
【０００６】
この発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を確保しつつ犠牲層の除去をおこなうことができるインク吐出ヘッドおよびインク吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項１の発明のインク吐出ヘッドは、インクを収容可能な共通液室と、前記共通液室から流入される前記インクをエネルギー発生素子によって吐出可能なノズルごとのノズルチャンバとを含み構成されるインク室を区画する壁部のうち、前記インクの供給を受け付ける供給口が形成される供給口壁部と、前記壁部のうち、前記供給口壁部とは異なる、前記ノズルチャンバを区画するノズル壁部と、を有し、前記供給口壁部および前記ノズル壁部とは異なる場所に形成され、前記インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、前記犠牲層が除去された後、前記犠牲層除去口を封止する封止部材と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明のインク吐出ヘッドは、上記発明において、前記犠牲層除去口は、前記壁部のうち、前記供給口壁部および前記ノズル壁部とは異なる流路壁部に設けられ、前記犠牲層を可溶な溶媒の流動方向が、前記内部空間中における前記ノズルチャンバに向かう方向となるよう配置されることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明のインク吐出ヘッドは、上記発明において、前記インク室を区画する流路壁部のうち、前記ノズルチャンバを区画形成していない流路壁部は、前記犠牲層除去口から流入される前記犠牲層を可溶な溶媒の流動方向を変換可能な変換手段を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明のインク吐出ヘッドは、上記発明において、前記犠牲層除去口は、前記インク室内側の開口部の断面積が外側の開口部の断面積よりも小さいことを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明のインク吐出ヘッドは、上記発明において、前記犠牲層除去口は、前記インク室を区画する流路壁部のうち、前記ノズル列の外側に少なくとも２つ配置されることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明のインク吐出ヘッドの製造方法は、インクを収容可能なインク室を区画する壁部のうち、前記インクを供給可能な供給口が形成される供給口壁部上に、１以上のエネルギー発生素子を配置する素子配置工程と、前記インク室における、前記エネルギー発生素子によって加熱される前記インクを吐出可能なノズルごとのノズルチャンバを区画するノズル壁部を形成するノズル壁形成工程と、前記供給口壁部上に、前記インク室を区画する流路壁部を形成する流路壁形成工程と、前記流路壁部に、前記インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口を形成する除去口形成工程と、前記供給口壁部と、前記流路壁部と、前記ノズル壁部とによって区画される領域に対し、犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、前記犠牲層除去口を経由して、前記犠牲層を可溶な溶媒の流入、前記犠牲層の溶出をおこなう犠牲層除去工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明のインク吐出ヘッドの製造方法は、上記発明において、前記犠牲層除去工程によって前記犠牲層が除去された後、前記犠牲層除去口を封止部材によって封止する封止工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、インク室を区画する壁部のうち、インク吐出の際にインクの流路となるノズルおよび供給口が形成される壁部とは異なる壁部に犠牲層除去口を設けて犠牲層を除去することができる。したがって、インクの流路に関する部位と、犠牲層除去口とが離れて形成されるため、インクの流路に関する部位における形状の精度を確保することで、インク吐出ヘッドにおけるインク吐出の精度の向上を図ることができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、犠牲層を除去する溶媒の流動方向を、インク室におけるノズルチャンバに向かう方向とすることができる。したがって、インク吐出をおこなうノズルを有するノズルチャンバにおける犠牲層を確実に除去し、インク吐出の精度の向上を図ることができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、インク室においてノズルチャンバを区画していない流路壁部に設けられる変換部によって、溶媒の流動方向を変換することができる。したがって、犠牲層除去のための溶媒の流動方向を変換させて容易に犠牲層を除去することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、インク室内側における犠牲層除去口の断面積が外側よりも小さい断面積とすることで、溶媒を容易に流入させることができる一方、溶媒の流出を抑制することができる。したがって、犠牲層の除去を確実におこなうことができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、犠牲層除去口をノズル列の外側に設けることで、溶媒を確実にインク室全域に流入させることができる。したがって、確実な犠牲層の除去を図り、インク吐出の精度を向上させることができる。
【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、インク室を区画する壁部のうち、インク吐出の際にインクの流路となるノズルおよび供給口が形成される壁部とは異なる壁部に犠牲層除去口を設けて犠牲層を除去することができる。したがって、インクの流路に関する部位と、犠牲層除去口とが離れて形成されるため、インクの流路に関する部位における形状の精度を保持することで、インク吐出ヘッドにおけるインク吐出の精度の向上を図ることができる。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、犠牲層除去口を封止することで、インク吐出ヘッドを使用する際に、インクの漏洩なくインク吐出をおこなう事ができるので、画質の向上やインク吐出の精度の向上を図ることができる。
【００２１】
以上説明したように、本発明にかかるインク吐出ヘッドおよびインク吐出ヘッドの製造方法によれば、ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなうことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの一例を示す平面図である。
【図２】本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドにおいて図１に示すＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図３】本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドにおいて図１に示すＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの生成工程の一例を示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態にかかる犠牲層除去における溶媒の流入工程の一例を示す説明図である。
【図６】本発明の変形例における犠牲層除去口の一例を示す説明図である。
【図７】本発明の変形例における側壁部の一例を示す説明図である。
【図８】本発明の変形例における犠牲層除去口の配置の一例について示す説明図である。
【図９】本発明の変形例における犠牲層除去口の封止の一例を示す説明図である。
【図１０】本発明の変形例におけるインク室への溶媒の流入方向の一例（その１）を示す説明図である。
【図１１】本発明の変形例におけるインク室への溶媒の流入方向の一例（その２）を示す説明図である。
【図１２】本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について説明する説明図である。
【図１３】本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について図１２に示したＣ−Ｃ線拡大断面図である。
【図１４】本発明の変形例における犠牲層除去口を封止するめっき層を電源配線とする一例を示す説明図である。
【図１５】本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について図１４に示したＤ−Ｄ線拡大端断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかるインク吐出ヘッドおよびインク吐出ヘッドの製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００２４】
（実施形態）
（インク吐出ヘッドの構成）
図１〜図３を用いて、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの構成について説明する。図１は、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの一例を示す平面図である。図２は、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドにおいて図１に示すＡ−Ａ線拡大断面図である。図３は、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドにおいて図１に示すＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【００２５】
インク室１１０は、壁部であるノズルチャンバ１０３や共通液室１０１を区画する側壁部１０４と、供給口１０５を備える供給口壁部としてのシリコンなどからなる基板２０１およびエネルギー発生素子２０２や導電線１０７を保護する保護膜２０３と、側壁部１０４上に形成され、ノズル１０２が設けられたノズル壁部としてのノズル層２０４とによって区画されている。なお、特に図示しないが、基板２０１上には、保護膜２０３と側壁部１０４など各層を接続する密着層、ノズル層２０４上の撥水膜、エネルギー発生素子２０２上のタンタル（Ｔａ）製の耐キャビテーション膜などが形成されることとしてもよい。
【００２６】
また、インク室１１０は、インク室１１０の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去するための犠牲層除去口１０６を有している。犠牲層除去口１０６は、インク室１１０の内部空間に一時的に形成される犠牲層を除去するため、犠牲層を除去する溶媒の流入および犠牲層の流出をおこなう流路である。
【００２７】
犠牲層除去口１０６は、インク室１１０における配線基板１２０側の側壁部１０４に形成される構成である。すなわち、犠牲層除去口１０６は、側壁部１０４のうち、ノズルチャンバ１０３が形成される側壁部１０４に形成される。犠牲層除去口１０６をインクの流路となる供給口１０５が形成される供給口壁部である基板２０１および保護膜２０３やノズル１０２が形成されるノズル壁部であるノズル層２０４とは異なる側壁部１０４に形成することによって、供給口１０５やノズル１０２の形状に不具合を与えることなくインクの流路を適切に形成することができる。
【００２８】
配線基板１２０上の電源配線Ｖｃｃは、エネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７に接続され、不図示の電源装置からの電源をエネルギー発生素子２０２へ供給する。制御配線ＣｈＮは、エネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７に接続され、不図示の制御回路からの制御信号により、選択的に電源からのエネルギーをエネルギー発生素子２０２へ伝達する。
【００２９】
接点保護材１３０は、配線基板１２０上の電源配線Ｖｃｃおよび制御配線ＣｈＮと、インク室１１０の導電線１０７との接点となる接合部材２０５，３０５を保護する。接点保護材１３０は、犠牲層除去口１０６を封止する封止材としても機能する。具体的には、接点保護材１３０は、インク室１１０の内部空間を形成するために一時的に形成される犠牲層を除去した後、犠牲層除去口１０６からインク室１１０のインクが流出するのを防ぐ。このようにして、犠牲層除去口１０６を封止するための工程や構成を設ける必要がなく、接点を保護する工程によって犠牲層除去口１０６の封止もおこなうこととなるため、効率的にインク吐出ヘッドの生成をおこなうことができる。
【００３０】
（インク吐出ヘッドの製造方法）
図４および図５を用いて、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッド１００の生成工程について説明する。図４は、本発明の実施形態にかかるインク吐出ヘッドの生成工程の一例を示す説明図である。なお、図４では説明を簡単にするため、保護膜２０３や導電線１０７などの形成については省略し、基板２０１、流路壁１０４およびノズル層２０４で区画されるインク室１１０を形成する場合について説明する。
【００３１】
図４（ａ）における工程４００では、基板２０１上にエネルギー発生素子２０２を配置する。エネルギー発生素子２０２は、たとえば、タンタルとアルミニウムの合金（ＴａＡｌ）などを含む発熱抵抗体であり、解像度に応じて所定の間隔で配置され、図示しない導電線１０７が延設される。
【００３２】
図４（ｂ）における工程４０１では、基板２０１上にインク室１１０を区画する壁部である流路壁部としての側壁部１０４が形成される。側壁部１０４は、たとえば、図示しない密着層などによって基板２０１上に接合される。そして、本実施形態では、側壁部１０４のうち、電源配線Ｖｃｃを備えるノズル１０２側の壁部に図１に示した犠牲層除去口１０６が形成される。
【００３３】
図４（ｃ）における工程４０２では、インク室１１０の内部空間を保持するための犠牲層４５０が形成される。犠牲層４５０は、側壁部１０４を覆う領域にも形成される。犠牲層４５０の形成は、たとえば、供給口壁部となる基板２０１、側壁部１０４によって形成されるインク室１１０の内部空間に、半硬化樹脂などを注入し乾燥させることによっておこなわれる。
【００３４】
図４（ｄ）における工程４０３では、犠牲層４５０で埋められた領域がインク室１１０の内部空間となるよう、犠牲層４５０の上面が平坦になるよう削除される。犠牲層４５０は、たとえば、犠牲層４５０と側壁部１０４の上面が同一平面上に位置するまで切削、研磨や溶解などによって削除される。
【００３５】
図４（ｅ）における工程４０４では、犠牲層４５０と、側壁部１０４とを覆うようにノズル層２０４が形成される。ノズル壁部としてのノズル層２０４は、たとえば、塗布や貼付によって形成される。このように、同一平面となった犠牲層４５０と側壁部１０４の上面にノズル層２０４を形成することで、平坦なノズル層２０４を形成することができる。
【００３６】
図４（ｆ）における工程４０５では、工程４０４によって形成されたノズル層２０４にノズル１０２を形成する。ノズル１０２は、たとえば、インク室１１０におけるエネルギー発生素子２０２の対向する位置に形成される。ノズル１０２の形成は、たとえば、機械加工、フォトリソグラフィー、犠牲層４５０を溶解しない溶媒などによっておこなわれる。また、工程４０４において、あらかじめノズル１０２の形成されたノズル層２０４を貼付することとしてもよい。
【００３７】
図４（ｇ）における工程４０６では、供給口壁部である基板２０１、側壁部１０４、ノズル壁部であるノズル層２０４などの壁部によって区画されるインク室１１０の内部空間に形成されている犠牲層４５０を除去する。犠牲層４５０の除去は、犠牲層除去口１０６から犠牲層４５０を可溶な溶媒を流入させて、流入された溶媒によって溶解された犠牲層４５０を犠牲層除去口１０６から流出させる。
【００３８】
ここで、図５を用いて、犠牲層４５０の除去における溶媒の流入の概要について説明する。図５は、本発明の実施形態にかかる犠牲層除去における溶媒の流入工程の一例を示す説明図である。図５において、インク室１１０は、共通液室１０１と、ノズルチャンバ１０３とに犠牲層４５０が埋め込まれている。犠牲層除去口１０６は、矢印５０１の方向に犠牲層４５０を可溶な溶媒をインク室１１０に流入させ、溶解された犠牲層４５０を流出させる。
【００３９】
犠牲層除去口１０６は、側壁部１０４のうち、ノズル１０２を有するノズルチャンバ１０３側の側壁部１０４に形成されている。具体的には、ノズル１０２が形成されるノズル層２０４や供給口１０５が形成される基板２０１や保護膜２０３などを含む供給口壁部とは異なる壁部に形成される。犠牲層除去口１０６をインクの流路となる供給口１０５やノズル１０２が形成される壁部とは異なる側壁部１０４に形成することによって、供給口１０５やノズル１０２の形状に不具合を与えることなくインクの流路を形成することができる。
【００４０】
図５の例では、犠牲層除去口１０６は、ノズルチャンバ１０３側の側壁部１０４のうち、インク室１１０に配列されたノズル１０２およびノズルチャンバ１０３の外側（図５における上下方向）に２つ配置されている。このように、ノズル１０２列の外側に設けることで、溶媒がインク室１１０全域に行き渡り、確実に犠牲層４５０を除去することができる。
【００４１】
犠牲層４５０は、犠牲層除去口１０６から流入された溶媒によって溶解する。基板２０１、側壁部１０４、ノズル層２０４などの壁部は、溶媒に対して不溶であり、犠牲層４５０は、溶媒に対して可溶である。溶媒によって溶解された犠牲層４５０は、犠牲層除去口１０６を介して除去される。
【００４２】
図４に戻って、図４（ｈ）における工程４０７では、基板２０１などの供給口壁部に対して、図示しないインクタンクからのインクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される。供給口１０５は、たとえば、機械加工や薬液によるエッチングなどによって形成される。
【００４３】
インク室１１０が形成されると、インク室１１０と、配線基板１２０とを接点保護材１３０で接続する。具体的には、接点保護材１３０は、封止工程として図１〜図３に示したように犠牲層除去口１０６を封止しつつ、導電線１０７と、電源配線Ｖｃｃおよび制御配線ＣｈＮとの接続部を覆うよう塗布されることとなる。
【００４４】
具体的には、接点保護材１３０は、インク室１１０の内部空間を形成するために一時的に形成される犠牲層を除去した後、犠牲層除去口１０６からインク室１１０のインクが流出するのを防ぐ。このようにして、犠牲層除去口１０６を封止するための工程や構成を設ける必要がないため、効率的にインク吐出ヘッドの生成をおこなうことができる。換言すれば、必要不可欠である導電線１０７と、電源配線Ｖｃｃおよび制御配線ＣｈＮとの接点を保護する工程によって、犠牲層除去口１０６の封止もおこなうことができる。
【００４５】
なお、接点保護材１３０による犠牲層除去口１０６の封止は、図４（ｈ）における工程４０７の後工程として説明したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層４５０が除去される工程４０６の後であればよい。
【００４６】
なお、本発明の各構成要素における処理と、本発明の実施形態の各工程とを関連付けて説明すると、図４（ａ）に示した工程４００によって、本発明の素子配置工程が実行される。図４（ｂ）に示した工程４０１によって、本発明のノズル壁形成工程および流路壁形成工程および除去口形成工程が実行される。図４（ｃ）〜（ｆ）に示した工程４０２，４０３，４０４，４０５によって、本発明の犠牲層形成工程が実行される。図４（ｇ）に示した工程４０６によって、本発明の犠牲層除去工程が実行される。
【００４７】
以上説明したように、本発明の実施形態によれば、インク室１１０を区画する壁部のうち、ノズル層２０４からなるノズル壁部と、基板１０２などからなる供給口壁部とは異なる側壁部１０４に犠牲層除去口１０６を形成しているため、インクの流路となる供給口やノズル１０２の形状の精度を保持しつつ、インク吐出ヘッドの生成をおこなうことができる。したがって、精度の高いノズル１０２によるインク吐出の精度向上を図ることができる。
【００４８】
また、犠牲層除去口１０６を、ノズル１０２列の外側に設けることによって、溶媒がインク室全域に行き渡り、確実に犠牲層４５０を除去することができる。また、流入する溶媒の流れが直接ノズル１０２に向かうことを防ぎ、ノズル１０２の破損を予防することで、ノズル１０２の形状の精度を確保することができる。
【００４９】
また、犠牲層除去口１０６を封止する工程を特別に設けることなく、インク室１１０と、配線基板１２０とを接続する接点保護材１３０によって、犠牲層除去口１０６を封止することができるため、工程の簡略化を実現し、インク吐出ヘッド製造の効率化を図ることができる。
【００５０】
（その他一部の変形例）
本発明の実施形態では特に、犠牲層除去口１０６の形状について対向する側壁１０４が平行な流路として図１および図５に図示したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層除去口１０６の開口部について、インク室１１０の内側の断面積の方が、外側の断面積よりも小さい流路であってもよい。
【００５１】
図６を用いて、本発明の変形例における犠牲層除去口１０６の一例について説明する。図６は、本発明の変形例における犠牲層除去口の一例を示す説明図である。図６において、犠牲層除去口１０６は、矢印６０１の方向から犠牲層４５０を可溶な溶媒をインク室に流入させ、溶解された犠牲層４５０を流出させる。犠牲層除去口１０６は、溶媒の流入に対して下流となるインク室１１０側の開口部の断面積が、溶媒の流入に対して上流となる配線基板１２０側の開口部の断面積よりも小さい。このようにすることで、溶媒の流入を容易にすることができるため、確実に犠牲層を除去することができる。
【００５２】
また、本発明の実施形態では特に、インク室１１０において、犠牲層除去口１０６を有するノズル１０２側の側壁部１０４に対向する側壁部１０４が平坦であることとして図１および図５に図示したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層除去口１０６から流入する溶媒の流動方向となるノズル１０２側の側壁部１０４の対向側の側壁部１０４に、溶媒の流動方向の変換手段を設けることとしてもよい。
【００５３】
図７を用いて、本発明の変形例における側壁部１０４の一例について説明する。図７は、本発明の変形例における側壁部の一例を示す説明図である。図７において、犠牲層４５０が埋め込まれるインク室１１０の内部空間には、犠牲層除去口１０６を介して、矢印７０１の方向に溶媒が流入し、溶解された犠牲層４５０が流出する。
【００５４】
犠牲層除去口１０６を介して、インク室１１０に流入した溶媒は、犠牲層除去口１０６と対向する側壁部１０４に向かい、側壁部１０４に設けられている変換手段としての流路変換部７１０によって、矢印７０２の方向に流動方向が変換される。流動方向が変換された溶媒は、ノズル１０２側へ流動し、ノズル１０２上に埋め込まれた犠牲層４５０を溶解する。このようにすることで、狭隘な部位であるノズルチャンバ１０３などインク室１１０内に確実に溶媒を浸透させることができる。したがって、犠牲層４５０を除去するための溶媒の流動方向の最適化を図り、的確に犠牲層４５０を除去することができる。換言すれば、犠牲層除去のための溶媒の流動方向を変換させて、容易に犠牲層を除去することができる。
【００５５】
なお、図７の例では、流路変換部７１０として、側壁部１０４に凸部を１つ設けて説明したが、これに限ることはない。具体的には、インク室１０４内部に溶媒が行き渡る構成であればよく、側壁部１０４に複数の凸部を設けたり、図示の上下の側壁部１０４に設けたりしてもよい。このようにすることで、確実に溶媒をインク室１１０に浸透させることができ、インク室１１０に埋め込まれた犠牲層４５０を確実に除去することができる。
【００５６】
また、本発明の実施形態では特に、犠牲層除去口１０６は、インク室１１０に配列されたノズル１０２側の側壁部１０４に形成されることとして説明したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層除去口は、側壁部１０４のうち、ノズル１０２側およびノズル１０２と対向する側とは異なる側壁部１０４に形成されることとしてもよい。
【００５７】
図８を用いて、本発明の変形例における犠牲層除去口の配置の一例について説明する。図８は、本発明の変形例における犠牲層除去口の配置の一例について示す説明図である。図８において、犠牲層除去口８０６は、側壁部１０４のうち、ノズル１０２を有するノズルチャンバ１０３を形成する側壁部１０４側およびノズルチャンバ１０３を形成する側壁部１０４と対向する側壁部１０４とは異なる側壁部１０４（図８における上側および下側の側壁部１０４）に配置されている。具体的には、犠牲層除去口８０６は、インク室１１０の犠牲層４５０を除去する溶媒の流路となり、矢印８０１の方向に溶媒を流入させるとともに、溶解された犠牲層４５０を流出させる。犠牲層除去口８０６は、インクの流路となる供給口１０５やノズル１０２が形成される壁部とは異なる壁部である側壁部１０４に形成されることとなる。したがって、犠牲層除去口８０６の形成によって、供給口１０５やノズル１０２の形状に不具合を与えることがないため、インクの流路を適切に形成することができる。
【００５８】
図９を用いて、本発明の変形例における図８に示した犠牲層除去口８０６の封止の一例について説明する。図９は、本発明の変形例における犠牲層除去口の封止の一例を示す説明図である。図９において、インク吐出ヘッド１００は、接点保護材１３０によって配線基板１２０上の電源配線Ｖｃｃおよび制御配線ＣｈＮと、インク室１１０の導電線１０７との接点が保護されたインク室１１０および配線基板１２０が、接着剤９１０によってインクタンク９０１に接続されている。
【００５９】
具体的には、接着剤９１０は、図８に示したインク室１１０における犠牲層除去口８０６を封止するとともに、インク室１１０、配線基板１２０およびインクタンク９０１を接着している。すなわち、必要な工程であるインクタンク９０１との接着工程によって、犠牲層除去口８０６の封止もおこなわれる構成である。したがって、犠牲層除去口８０６を封止するための工程を別途設けることなく、効率的にインク吐出ヘッドの生成をおこなうことができる。
【００６０】
図８に示した変形例では、インク室１１０内部に流入する溶媒の方向は、矢印８０１に示すように、犠牲層除去口８０６が配置された側壁部１０４に対して垂直な方向として説明したが、これに限ることはない。具体的には、インク室１１０内において、溶媒を向かわせたい方向に対して開口する構成でもよい。
【００６１】
図１０を用いて、本発明の変形例におけるインク室１１０への溶媒の流入方向の一例（その１）について説明する。図１０は、本発明の変形例におけるインク室への溶媒の流入方向の一例（その１）を示す説明図である。図１０において、犠牲層除去口１００６は、側壁部１０４のうち、ノズル１０２側およびノズル１０２と対向する側とは異なる側壁部１０４に配置されている。犠牲層除去口１００６における溶媒の流路は、矢印１００１の方向に溶媒が流入し、溶解された犠牲層４５０が流出するよう形成されている。このようにノズル１０２を有するノズルチャンバ１０３に向けて溶媒を流入させることで、狭隘な部位にまで溶媒を浸透させ、確実に犠牲層４５０を除去することができる。
【００６２】
なお、図１０の説明では、側壁部１０４のうち、ノズル１０２側およびノズル１０２と対向する側とは異なる側壁部１０４に形成される犠牲層除去口１００６について、ノズル１０２を有するノズルチャンバ１０３に向けて溶媒を流入させる方向に開口しているが、これに限ることはない。具体的には、ノズル１０２側およびノズル１０２と対向する側とは異なる側壁部１０４に形成される犠牲層除去口が、側壁部１０４のうち、ノズル１０２と対向する側の側壁部１０４に向けて溶媒を流入させる方向に開口する。その際、流入する溶媒の流動方向となるノズル１０２側の側壁部１０４の対向側の側壁部１０４に、溶媒の流動方向の変換手段を設けることとしてもよい。
【００６３】
図１１を用いて、本発明の変形例におけるインク室１１０への溶媒の流入方向の一例（その２）について説明する。図１１は、本発明の変形例におけるインク室への溶媒の流入方向の一例（その２）を示す説明図である。図１１において、犠牲層除去口１１０６は、側壁部１０４のうち、ノズル１０２側およびノズル１０２と対向する側とは異なる側壁部１０４に配置されている。犠牲層除去口１１０６における溶媒の流路は、矢印１１０１の方向に溶媒が流入し、溶解された犠牲層４５０が流出するよう形成されている。
【００６４】
犠牲層除去口１１０６を介して、インク室１１０に流入した溶媒は、犠牲層４５０を溶解しつつノズル１０２側の側壁部１０４に向かい、側壁部１０４に設けられている変換手段としての流路変換部１１１０によって、矢印１１０２の方向に流動方向が変換される。流動方向が変換された溶媒は、ノズル１０２側へ流動し、ノズル１０２上に埋め込まれた犠牲層４５０を溶解する。このようにすることで、狭隘な部位であるノズルチャンバ１０３などインク室１１０内に確実に溶媒を浸透させることができる。したがって、犠牲層４５０を除去するための溶媒の流動方向の最適化を図り、的確に犠牲層４５０を除去することができる。換言すれば、犠牲層除去のための溶媒の流動方向を変換させて、容易に犠牲層を除去することができる。
【００６５】
また、本発明の実施形態では特に、ノズル１０２側の側壁部１０４にインク除去口１０６が設けられる場合、インク室１１０と、配線基板１２０とを接続する接点保護材１３０によって封止することとして説明したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層除去口１０６の開口部に対応する部位における導電線１０７と、図示しない電源配線Ｖｃｃとの接続部位にめっき層を設け、めっき層によって開口部を封止する構成でもよい。
【００６６】
図１２を用いて、本発明の変形例における犠牲層除去口１０６の封止について説明する。図１２は、本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について説明する説明図である。図１２において、犠牲層除去口１０６の開口部は、導電線１０７と、図示しない電源配線の接続部位となっている。接続部位には、図３に示した接合部材３０５を設ける代わりにめっき層１２０１を設ける構成である。
【００６７】
図１３は、本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について図１２に示したＣ−Ｃ線拡大端面図である。図１３において、インク吐出ヘッド１００のインク室１１０は、共通液室１０１および犠牲層除去口１０６を含み構成されており、基板２０１と、基板２０１上に形成されるエネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７を保護する保護膜２０３と、保護膜２０３上に形成される側壁部１０４と、を有している。
【００６８】
導電線１０７は、図示しないエネルギー発生素子２０２から延設され、めっき層１２０１を介して電源配線Ｖｃｃに接続されることとなる。すなわち、めっき層１２０１は、電源配線Ｖｃｃとしての電極として機能するとともに、図３に示した接合部材３０５の代わりとしても機能して、図示のように犠牲層除去口１０６を封止する封止部材となる。
【００６９】
また、図１３では、ノズル１０２列の外側に設けられた電源配線Ｖｃｃに対してめっき層を設け、犠牲層除去口１０６を封止するとともに、電源配線Ｖｃｃと、導電線１０７とを接続することとして説明したが、これに限ることはない。具体的には、犠牲層除去口１０６を封止するめっき層を電源配線Ｖｃｃとして設け、各エネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７に接続する構成としてもよい。
【００７０】
図１４は、本発明の変形例における犠牲層除去口を封止するめっき層を電源配線とする一例を示す説明図である。図１４において、めっき層１４０１は、ノズル１０２における各エネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７と接続される。具体的には、めっき層１４０１は、エネルギー発生素子２０２に電源を供給するための導電線１０７と接続され、制御配線ＣｈＮと接続される導電線１０７とは絶縁される構成である。換言すれば、めっき層１４０１は、犠牲層除去口１０６の開口部を封止しつつ、各エネルギー発生素子へ電源を供給する電源配線としての機能を有する。
【００７１】
図１５は、本発明の変形例における犠牲層除去口の封止について図１４に示したＤ−Ｄ線拡大端面図である。図１５において、インク吐出ヘッド１００のインク室１１０は、共通液室１０１およびノズルチャンバ１０３を含み構成されており、基板２０１と、基板２０１上に形成されるエネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７を保護する保護膜２０３と、保護膜２０３上に形成される側壁部１０４と、を有している。
【００７２】
導電線１０７は、図示しない制御配線ＣｈＮと接続される配線であり、めっき層１４０１とは、絶縁層１５０１によって絶縁されている。すなわち、エネルギー発生素子２０２から延設される導電線１０７のうち、制御配線ＣｈＮと接続される導電線１０７は、絶縁層１５０１によって絶縁され、エネルギー発生素子２０２に電源を供給する導電線は、電源配線として機能するめっき層と接続されることとなる。このように、接点保護材１３０の代わりにめっき層１２０１，１４０１を用いて犠牲層除去口１０６を封止することで、各基板との接続の信頼性を向上させることができる。
【００７３】
また、上述した説明では、実施形態および一部の変形例について別々の例として説明したが、これに限ることはない。すなわち、それぞれを組み合わせた構成として、実施形態および一部の変形例を適宜組み合わせて利用してもよい。
【００７４】
なお、上述で説明した方法は、あらかじめ用意されたプログラムをパーソナルコンピュータやワークステーションなどのコンピュータで実行することにより実現することができる。このプログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤなどのコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行される。またこのプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することが可能な伝送媒体であってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１００  インク吐出ヘッド
１０１  共通液室
１０２  ノズル
１０３  ノズルチャンバ
１０４  側壁部
１０５  供給口
１０６  犠牲層除去口
１０７  導電線
１１０  インク室
１２０  配線基板
１３０  接点保護材
Ｖｃｃ  電源配線
ＣｈＮ  制御配線
２０１  基板
２０２  エネルギー発生素子
２０３  保護膜
２０４  ノズル層
２０５，３０５  接合部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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