(57)【要約】      （修正有）【課題】目標充填量に達するまでの移動回数を少なくして所要時間を短縮することができる粒子の充填方法および粒子充填部材を提供する。【解決手段】２枚の基板を対向配置したパネルの、当該基板間を隔壁４で区画して形成した複数のセル内に、帯電性を有する粒子３を充填するに際し、複数の開口を有するマスク１１を前記基板上に形成した隔壁上に配置するマスク配置ステップと、前記マスク上に前記粒子を含む粒子群を載置する粒子群載置ステップと、前記マスク上に載置された粒子群を、粒子移動部材２２−１、２２−２を用いて前記マスク上を移動させながら前記セル内に充填する粒子群充填ステップと、を含む粒子の充填方法であって、２枚以上の板状の粒子移動部材を粒子移動部材固定治具２３に固定して粒子充填部材とし、前記２枚以上の粒子移動部材を前記マスクと接触させた状態で前記粒子充填部材を移動させ、前記粒子群を前記セル内に充填する。【選択図】図４
2013205483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板を対向配置したパネルの、当該基板間を隔壁で区画して形成した複数のセル内に、帯電性を有する粒子を充填するに際し、複数の開口を有するマスクを前記基板上に形成した隔壁上に配置するマスク配置ステップと、前記マスク上に前記粒子を含む粒子群を載置する粒子群載置ステップと、前記マスク上に載置された粒子群を、粒子移動部材を用いて前記マスク上を移動させながら前記セル内に充填する粒子群充填ステップと、を含む粒子の充填方法であって、
２枚以上の板状の粒子移動部材を粒子移動部材固定治具に固定して粒子充填部材とし、前記２枚以上の粒子移動部材を前記マスクと接触させた状態で前記粒子充填部材を移動させ、前記粒子群を前記セル内に充填することを特徴とする粒子の充填方法。
【請求項２】
前記２枚以上の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、各粒子移動部材の移動方向前方にそれぞれ粒子群を載置した状態で、前記粒子充填ステップを実行する、請求項１に記載の粒子の充填方法。
【請求項３】
前記２枚以上の粒子移動部材のすべての先端が前記マスクの表面と接する位置を原点として、該原点から前記粒子移動部材を前記マスクに向かう方向に１．０ｍｍ〜３．０ｍｍ押し込んだ状態で、前記粒子充填ステップを実行する、請求項１または２に記載の粒子の充填方法。
【請求項４】
前記２枚以上の粒子移動部材を前記粒子移動部材固定治具に固定した、請求項１〜３のいずれか１項に記載の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材であって、
２枚以上の板状の粒子移動部材を、２枚のプレート治具で挟んで前記粒子移動部材固定治具の基台に固定したことを特徴とする粒子充填部材。
【請求項５】
前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、各粒子移動部材の高さ方向の長さ及び隣り合う２枚の粒子移動部材の間隔を、前記粒子充填部材を前記マスクの表面に対し所定の角度に傾けてセットしたとき、すべての粒子移動部材の先端が前記マスクの表面に接する長さ及び間隔とした、請求項４に記載の粒子充填部材。
【請求項６】
前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、隣り合う２枚の粒子移動部材の間隔をＬとしたとき、間隔Ｌを０ｍｍ≦Ｌ≦５ｍｍとした、請求項４または５に記載の粒子充填部材。
【請求項７】
前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、前記２枚以上の粒子移動部材のそれぞれが、前記粒子移動部材固定治具から高さ方向の長さにおいて５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で露出して固定され、前記２枚以上の板状の粒子移動部材の前記粒子移動部材固定治具から露出した部分の厚さがそれぞれ０．５ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲とされた、請求項４〜６のいずれか１項に記載の粒子充填部材。
【請求項８】
前記板状の粒子移動部材を二層以上の複層構造とし、粒子に接する側の一層を他の層より低弾性の材料で構成した、請求項４〜７のいずれか１項に記載の粒子充填部材。
【請求項９】
前記板状の粒子移動部材を二層構造とし、粒子に接する側の一層をシリコーン系ゴム層とし、他層をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層とした、請求項８に記載の粒子充填部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に形成した隔壁で囲まれた領域内に帯電性粒子を充填して配置する粒子の充填方法および粒子充填部材に関するものである。
【０００２】
隔壁で囲まれた領域内に帯電性粒子を充填して配置する粒子の充填方法の従来例としては、情報表示用パネルの表示媒体とする粒子群（帯電性粒子を含む粒子群）を、パネル用の基板上に形成された隔壁で区画されたセル内に充填する方法が知られている。例えば、図１２に示すように、パネル用の基板５１に形成された隔壁５４上にスクリーンとも呼ばれるマスク６５を配置し、マスク６５上載せた粒子群５３を、スキージとも呼ばれる粒子移動部材７０を１枚用いて、粒子移動部材７０をマスク６５と接触させた状態でマスク６５の一端から他端まで移動させることで、マスク６５を介して、粒子群５３をセル５７内に充填する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。なお、５５は基板５１上に形成した電極、７１は１枚の粒子移動部材７０を含む粒子充填部材である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４８３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来の粒子の充填方法では、１枚の粒子移動部材を用いて粒子を隔壁で囲まれた領域（セルともいう）内に充填しており、目標充填量に達するまでに粒子充填部材を移動させる回数が多くなるため、粒子に過剰な応力がかかりダメージを与えてしまう問題や、粒子充填に多くの時間を要してしまう問題があった。
【０００５】
また、充填する粒子群は、帯電性粒子のほかに微小粒子を含んでいたり、帯電性粒子の表面に微小粒子を付着させた構成を有していたりする場合がある。そのため、マスク上で長い距離移動させられるとその間に粒子群に含まれる微粒子が凝着してマスクの開口部を塞いでしまったり、マスク面に付着してマスク面の平滑性を損なってしまったり、あるいは、粒子表面に付着していた微小粒子が粒子から脱落して、脱落した微小粒子が凝着してマスクの開口部を塞いでしまったり、マスク面に付着してマスク面の平滑性を損なってしまったりする場合があった。その場合に、基板上に形成された各セル内に粒子が均一に充填配置されなくなり、粒子配置にむらができてしまう。情報表示用パネルにおいて、粒子配置のむらは、画像表示状態の不良に繋がってしまう問題となっていた。
【０００６】
さらに、情報表示用パネルにおいては、過剰な応力によりダメージを受けた粒子や表面から微粒子が脱落した粒子がセル内に充填配置された場合に、表示画像の書換えを繰り返すと、次第にその書換えがし難くなることがあり、情報表示用パネルではその耐久性を低下させてしまう問題となっていた。
【０００７】
本発明の目的は、目標充填量に達するまでの所要時間を短縮することができるとともに、上述した課題を解消できる粒子の充填方法および粒子充填部材を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の粒子の充填方法は、２枚の基板を対向配置したパネルの、当該基板間を隔壁で区画して形成した複数のセル内に、帯電性を有する粒子を充填するに際し、複数の開口を有するマスクを前記基板上に形成した隔壁上に配置するマスク配置ステップと、前記マスク上に前記粒子を含む粒子群を載置する粒子群載置ステップと、前記マスク上に載置された粒子群を、粒子移動部材を用いて前記マスク上を移動させながら前記セル内に充填する粒子群充填ステップと、を含む粒子の充填方法であって、２枚以上の板状の粒子移動部材を粒子移動部材固定治具に固定して粒子充填部材とし、前記２枚以上の粒子移動部材を前記マスクと接触させた状態で前記粒子充填部材を移動させ、前記粒子群を前記セル内に充填することを特徴とするものである。
この構成によれば、目標充填量に達するまでに粒子充填部材を移動させる回数を少なくして所要時間を短縮することができる。その結果、過剰応力によるダメージを粒子に与えることがなくなる。また、粒子の表面から微粒子が脱落することがなくなる。さらにまた、粒子群に含まれる微小粒子や粒子の表面から脱落した微小粒子が、凝集してマスクの開口部を塞ぐことや、マスクの表面に付着してマスクの平滑性を損なわれることがなくなる。そして、帯電性粒子を含んだ粒子群を用いた情報表示用パネルなどの電子デバイスにおいてその性能を良好に発揮することができる。特に情報表示用パネルにおいては、表示画像を繰り返して書換える際の耐久性を良好に維持することができる。
【０００９】
本発明の粒子の充填方法の好適例としては、前記２枚以上の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、各粒子移動部材の移動方向前方にそれぞれ粒子群を載置した状態で、前記粒子充填ステップを実行することがある。この構成によれば、より正確な充填量で粒子の充填を行うことができる。
また、本発明の粒子の充填方法の別の好適例としては、前記２枚以上の粒子移動部材のすべての先端が前記マスクの表面と接する位置を原点として、該原点から前記粒子移動部材を前記マスクに向かう方向に１．０ｍｍ〜３．０ｍｍ押し込んだ状態で、前記粒子充填ステップを実行することがある。この構成によれば、粒子の充填方法をより好適に実施することができる。
【００１０】
本発明の粒子充填部材は、前記２枚以上の粒子移動部材を前記粒子移動部材固定治具に固定した、上述した粒子の充填方法に用いる粒子充填部材であって、２枚以上の板状の粒子移動部材を、２枚のプレート治具で挟んで前記粒子移動部材固定治具の基台に固定したことを特徴とするものである。この構成の粒子充填部材を用いて粒子充填を実施すれば、目標充填量に達するまでに粒子充填部材を移動させる回数を少なくして所要時間を短縮することができる。その結果、過剰応力によるダメージを粒子に与えることがなくなる。また、粒子の表面から微小粒子が脱落することがなくなる。さらにまた、粒子群に含まれる微小粒子や粒子の表面から脱落した微小粒子が、凝集してマスクの開口部を塞ぐことや、マスクの表面に付着してマスクの平滑性を損なわれることがなくなる。そして、帯電性粒子を含んだ粒子群を用いた情報表示用パネルなどの電子デバイスにおいてその性能を良好に発揮することができる。特に情報表示用パネルにおいては、表示画像を繰り返して書き換える際の耐久性を良好に維持することができる。
【００１１】
本発明の粒子充填部材の好適例としては、前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、各粒子移動部材の高さ方向の長さ及び隣り合う２枚の粒子移動部材の間隔を、前記粒子充填部材を前記マスクの表面に対し所定の角度に傾けてセットしたとき、すべての粒子移動部材の先端が前記マスクの表面に接する長さ及び間隔としたこと、前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、隣り合う２枚の粒子移動部材の間隔をＬとしたとき、間隔Ｌを０ｍｍ≦Ｌ≦５ｍｍとしたこと、前記２枚以上の板状の粒子移動部材が固定された粒子充填部材において、前記２枚以上の粒子移動部材のそれぞれが、前記粒子移動部材固定治具から高さ方向の長さにおいて５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で露出して固定され、前記２枚以上の板状の粒子移動部材の前記粒子移動部材固定治具から露出した部分の厚さがそれぞれ０．５ｍｍ〜１．５ｍｍの範囲とされたこと、前記板状の粒子移動部材を二層以上の積層構造とし、粒子に接する側の一層を他層より低弾性の材料で構成したこと、前記板状の粒子移動部材を二層構造とし、粒子に接する側の一層をシリコーンゴム、変性シリコーンゴム等のシリコーン系ゴム層とし、他層をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層としたこと、がある。
いずれの好適例においても、各構成の粒子充填部材を用いて粒子充填を実施することで、粒子の充填をより好適に実施することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、目標充填量に達するまでの移動回数を少なくして所要時間を短縮することができる粒子の充填方法および粒子充填部材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明を適用する情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法の一例としてマスク配置ステップと粒子群載置ステップを説明するための概略図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法の一例として粒子群充填ステップを説明するための概略図である。
【図４】本発明の粒子の充填方法における好適例を説明するための図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法における別の好適例を説明するための図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材の好適例を説明するための図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材を構成する粒子移動部材の好適例を説明するための図である。
【図８】本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材を構成する粒子移動部材の別の好適例を説明するための図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材の配置例を説明するための図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材の固定例を説明するための図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法におけるさらに別の好適例を説明するための図である。
【図１２】従来法に従う粒子群の充填要領を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明につき、本発明の実施形態を例示しつつ説明する。
＜本発明の適用対象となる情報表示用パネルについて＞
図１（ａ）、（ｂ）に示す、本発明を適用する情報表示用パネルの一例では、光学的反射率および帯電極性が異なる二種類の粒子を含んだ二種類の粒子群３（ここでは、正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ黒色粒子群３Ｂと、負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ白色粒子群３Ｗとを示す）が、表示画面領域において隔壁４で区画形成された各セル７内に収められる。そして、基板１に設けられた導電性膜５（ここではストライプ電極）と観察側の表示画面領域が透明な基板２に設けた透明導電性膜６（ここでは透明ストライプ電極）とが対向して形成された電極対の間に形成された電界に応じて、二種類の粒子群（黒色粒子群および白色粒子群）が、基板１、２と略垂直方向に、それぞれが反対の方向に移動する。そして、図１（ａ）に示すように、白色粒子群３Ｗを観察者に表示媒体として視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように、黒色粒子群３Ｂを観察者に表示媒体として視認させて黒色の表示を行う。ここでは、対向配置された導電性膜（電極）に電圧を印加して、電極対間に電界を形成する。電極対はマトリックス配置してあるので、１電極対を１画素（１ドット）とするドットマトリックス表示を白黒で行うことができる。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、図面手前にある隔壁は省略している。ここではセルと画素（ドット）とが一対一に対応する例を示しているが、セルと画素とは対応していなくてもよい。
【００１５】
＜本発明の粒子の充填方法および粒子充填部材について＞
本発明の粒子の充填方法は、図１（ａ）、（ｂ）に示した構成の情報表示用パネルなどの帯電性粒子を含んだ粒子群を用いた電子デバイスにおいて、基板例えば図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、観察側の基板２上に形成した隔壁４で区画形成されたセル７内に、粒子群３を充填配置するために用いられる。
本発明の粒子の充填方法は、複数の開口を有するマスクを基板上に形成した隔壁上に配置するマスク配置ステップと、マスク上に粒子を含む粒子群を載置する粒子群載置ステップと、マスク上に載置された粒子群を、粒子移動部材を用いてマスク上を移動させながらセル内に充填する粒子群充填ステップと、を含んでいる。
【００１６】
図２（ａ）、（ｂ）および図３（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法の一例を説明するための概略図である。図２（ａ）にマスク配置ステップを示し、図２（ｂ）に粒子群載置ステップを示し、図３（ａ）、（ｂ）に粒子群充填ステップを示している。なお、粒子群充填ステップにおける粒子充填部材の構成を分かり易くするために、図３（ａ）では側面の概略を示し、図３（ｂ）では正面の概略を示している。セルおよびマスクについてはその断面を示している。まず、図２（ａ）に示すように、隔壁４上にマスク１１を配置するマスク配置ステップと、図２（ｂ）に示すように、マスク１１上に粒子群３を載置する粒子群載置ステップとを実行する。この２ステップの順序は問わない。その後、板状の粒子移動部材２２−１、２２−２が粒子移動部材固定治具２３に取り付けられた粒子充填部材２１を図３（ａ）の矢印方向に移動させる。粒子充填部材２１の移動は、粒子移動部材２２−１、２２−２の先端がマスク１１に接するように撓ませた状態で行う。粒子移動部材２２−１、２２−２をマスクの一端から他端まで移動させることで、粒子群３を帯同移動させて、マスク１１の開口を介して、粒子群３をセル７内に充填する。
【００１７】
本発明の粒子の充填方法の特徴は、図３（ａ）、（ｂ）に示す例において、粒子充填部材２１として、２枚以上（ここでは２枚）の板状の粒子移動部材２２−１、２２−２を粒子移動部材固定治具２３に取り付けた粒子充填部材２１を用い、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２をマスク１１と接触させた状態でマスクの一端から他端まで移動させ、粒子群３をセル７内に充填することにある。なお、粒子移動部材２２−１、２２−２をマスクの一端から他端まで移動する操作を何回も繰り返すことで、所定の充填量を得ている。本例において、板状の粒子移動部材２２−１、２２−２は弾性体であり、厚さも薄いため撓むように変形するので、マスク１１の表面に押し当てられるのは粒子移動部材の移動方向側面の先端付近部分となる。
【００１８】
なお、図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２は粒子移動部材固定治具２３により、互いに略平行になるようその一端側の所定領域を固定されて、粒子充填部材２１を構成している。しかし、粒子充填部材２１の構成は、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を略平行に粒子移動部材固定治具２３に固定する構成に限定されるものではなく、後述する好適例で説明するように、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の粒子移動部材固定治具２３を取り付ける位置において略平行となっていることが好ましく、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の対向面が必ずしも略平行となっていなくても良い。また、ここでは複数枚の板状の粒子移動部材として２枚の板状の粒子移動部材の例を示したが、３枚以上の板状の粒子移動部材でも２枚の板状移動部材を用いた場合と同一の作用効果を得ることができる。枚数としては、２枚〜４枚の粒子移動部材により粒子充填部材を構成することが好ましく、５枚以上の板状の粒子移動部材により粒子充填部材を構成してもそれ以上の効果は得られにくい。
【００１９】
図３（ａ）、（ｂ）に示す本発明では、１枚の板状の粒子移動部材を用いて粒子の充填を行う場合と比べて、２枚以上（ここでは２枚）の板状の粒子移動部材２２−１、２２−２を用いることで、目標充填量に達するまでの粒子充填部材２１の移動回数を少なくして所要時間を短縮することができる。その結果、粒子移動部材からの過剰応力によるダメージを粒子に与えることがなくなる。また、粒子の表面から微粒子が脱落することがなくなる。さらにまた、粒子群に含まれる微小粒子や粒子の表面から脱落した微小粒子が、凝集してマスクの開口部を塞ぐことや、マスクの表面に付着してマスクの平滑性を損なわれることがなくなる。そして、帯電性粒子を含んだ粒子群を用いた情報表示用パネルなどの電子デバイスにおいてその性能を良好に発揮することができる。特に情報表示用パネルにおいては、表示画像を繰り返して書換える際の耐久性を良好に維持することができる。
【００２０】
＜本発明の粒子の充填方法および粒子充填部材の好適例について＞
図４は本発明の粒子の充填方法における好適例を説明するための図である。図４に示す例においては、２枚以上（ここでは２枚）の粒子移動部材２２−１、２２−２において、各粒子移動部材２２−１、２２−２の移動方向（矢印方向）の前方にそれぞれ粒子群３を配置した状態で、粒子充填ステップを実行している。この場合、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の間にも粒子群３が挟まれるように配置されている。このように、移動方向に対して２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２のそれぞれの前に粒子群３が十分配置されている状態で粒子充填ステップを実行することで、目標粒子充填量に近い正確な充填量を得ることができるため好ましい。
【００２１】
図５（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法における別の好適例を説明するための図である。図５（ａ）、（ｂ）に示す例においては、図５（ａ）に示すように、２枚以上（ここでは２枚）の粒子移動部材２２−１、２２−２のすべての先端がマスク１１の表面と接する位置を原点として、図５（ｂ）に示すように、原点から粒子部材２１をマスク１１の方向（矢印方向）に距離Ａだけ（ここでは、１．０ｍｍ〜３．０ｍｍ）押し込んだ状態で、粒子充填ステップを実行している。このように、粒子充填部材２１を距離Ａだけ押し込むことにより、弾性体で形成してある薄い板状の粒子移動部材２２−１、２２−２を撓んだ状態で粒子群３をマスク面に押し当てながら進行方向へ押し出すように移動させることができる。従って、粒子充填部材２１により粒子群３をセル７内に充填するに先立ち、粒子群３中に散在する粒子の凝集体を解きほぐすことができる。なお、押し込む距離Ａについては、１．０ｍｍ未満であると粒子の凝集を解きほぐす効果を十分に得ることができない場合や所定量の粒子群を充填するために要する粒子充填部材を移動させる回数が増えてしまう場合があり、この場合には、粒子移動部材の移動方向に対してスジが出やすくなる。また、３．０ｍｍを超えると粒子移動部材２２−１、２２−２が粒子群３を押し込みすぎてマスク１１の孔を塞ぐ場合があり、この場合には、粒子充填量にむらが出やすくなる。したがって、この押し込み距離Ａは１．０ｍｍ〜３．０ｍｍとすることが好ましい。
【００２２】
図６（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材の好適例となる板状の粒子移動部材２２−１、２２−２の配置例を説明するための図である。図６（ａ）、（ｂ）に示す例においては、図６（ａ）に示すように、２枚以上（ここでは２枚）の板状の粒子移動部材２２−１、２２−２において、各粒子移動部材２２−１、２２−２の高さ方向の長さＨ１、Ｈ２を、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、粒子移動部材２２−１、２２−２をマスク１１の表面に対し所定の角度（θ）に傾けてセットしたとき、すべての粒子移動部材２２−１、２２−２の先端がマスク１１の表面に接する長さとしている。このように構成することで、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、複数の粒子移動部材をマスクに対し押し込む際、複数の粒子移動部材に均等に押し込み力を働かせることができるため好ましい。なお、ここでは２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を略平行に配置しているが、後述するように、非平行に配置してもよい。この場合も、すべての粒子移動部材２２−１、２２−２の先端がマスク１１の表面に接する長さとする。
【００２３】
また、図６（ａ）、（ｂ）に示す例において、図６（ａ）に示すように、２枚以上（ここでは２枚）の板状の粒子移動部材２２−１、２２−２において、隣り合う２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の間隔をＬとしたとき、間隔Ｌを０ｍｍ≦Ｌ≦５ｍｍとする。このように構成することで、後述する実施例から明らかなように、粒子をセル内に充填した後の充填むらを良好にすることができるため好ましい。ここで、５ｍｍを超えると充填むらの発生が多くなるため、間隔Ｌを０ｍｍ≦Ｌ≦５ｍｍとすることが好ましい。ここでＬは、粒子移動部材固定用治具２３から露出している粒子移動部材２２−１部分と粒子移動部材２２−２との間隔である。２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を接して重ねて配置した場合は、Ｌ＝０ｍｍである。Ｌ＝０ｍｍとなるように配置して粒子移動部材固定治具に取り付けられた粒子移動部材２２−１、２２−２の先端は、角度θでマスク面に接した後撓められた状態でマスク面を移動するときに、まず、粒子移動部材２２−１の先端が移動し、次に僅かに遅れて粒子移動部材２２−２の先端が移動するようになるため、両者の先端には空間ができる。その空間が好適に働いて充填むらを作らない粒子充填が行えるものと考えられる。
【００２４】
図７（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材を構成する粒子移動部材の好適例を説明するための図である。図７（ａ）では側面の概略を示し、図７（ｂ）では正面の概略を示している。図７（ａ）、（ｂ）に示す例において、板状の粒子移動部材２２−１（２２−２）の形状を、図７（ａ）に示すように、厚さｄが０．５ｍｍ〜１．５ｍｍとなるようにするとともに、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、高さ方向の長さＨＬが５ｍｍ〜１５ｍｍとなるようにしている。ここに示すＨＬは、図６（ａ）に示すＨ１またはＨ２に対応しており、粒子移動部材２２−１（２２−２）において、粒子移動部材固定治具に固定されないで粒子移動部材固定治具から露出した部分の長さとなる。なお、粒子移動部材２２−１（２２−２）の幅については、図７（ｂ）や図３（ｂ）に示す粒子移動部材２２−１（２２−２）の紙面左右方向の長さとなり、この長さはマスク１１の全体に亘る幅を有することが好ましいが、特に限定されるものではない。このように構成することで、粒子移動部材２２−１（２２−２）を押し込んだ際の撓みを好適にコントロールすることができるため好ましい。ここで、粒子移動部材の厚さｄが０．５ｍｍ未満であると、粒子移動部材の撓みをコントロールして、適度な押圧力で粒子移動部材を撓ませることが難しい場合があるとともに、粒子移動部材の厚さが１．５ｍｍを超えると、粒子移動部材が撓み難い場合があるため、厚さｄが０．５ｍｍ〜１．５ｍｍとなるようにすることが好ましい。また、粒子移動部材の高さ方向の長さＨＬが５ｍｍ未満であると、粒子移動部材が撓み難い場合があるとともに、粒子移動部材の高さ方向の長さＨＬが１５ｍｍを超えると、粒子移動部材の撓みをコントロールして、適度な押圧力で粒子移動部材を撓ませることが難しい場合があるため、高さ方向の厚さＨＬが５ｍｍ〜１５ｍｍとなるようにすることが好ましい。
【００２５】
図８は本発明の粒子の充填方法に用いる粒子充填部材を構成する粒子移動部材の別の好適例を説明するための図である。図８に示す例において、板状の粒子移動部材２２−１（２２−２）を移動方向の前側にあたる、粒子と接する第１層２４−１と反対側の第２層２４−２とからなる二層構造とし、粒子に接する側の一層である第１層２４−１を他層である反対側の第２層２４−２より低弾性の材料で構成することが好ましい。このように構成することで、移動させる粒子が粒子移動部材やマスクから受けるダメージを少なくできるとともにマスクの開口部上にいる粒子を開口部内に好適に誘導し易くなる。第１層２４−１は、第２層２４−２よりも低弾性率層とし、二層は貼り合わされていることが好ましい。また、粒子と接するだけでなくマスクとも接する第１層２４−１は、低摩擦を実現できる材料で構成するのが好ましく、第１層２４−１の裏打ち補強材にもなる第２層２４−２は、撓んだ状態から元の状態への復元力を利用して、粒子を開口部内に誘導しやすくできる効果が得られやすい高弾性率の材料で構成するのが好ましい。二層の弾性率のバランスを考慮した組み合わせで粒子移動部材を構成することによって、好適な粒子移動部材を得ることができる。なお、第１層２４−１の厚さは０．２ｍｍ〜１．４ｍｍが好ましく、第２層２４−２の厚さは第１層２４−１の厚さによって幾分変化するが、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍが好ましい。二層の合計となる粒子移動部材の総厚が、０．５ｍｍ〜１．５ｍｍになるように二層の厚さを調整する。
【００２６】
また、図８に示す例において、移動方向の前側の粒子と接する一層である第１層２４−１と他層である第２層２４−２との二層構造の好適例として、粒子に接する側の一層である第１層２４−１をシリコーン系ゴム層とし、他層である第２層２４−２をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層とすることが挙げられる。
【００２７】
第１層２４−１に好適な材料として、上記シリコーンゴムのほか各種ゴムが挙げられ、特に、低摩擦を発現できるシリコーンゴム、変性シリコーンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムが好ましい。第１層２４−１に好適な材料の弾性率については、ＪＩＳ−Ａ硬度で３０°以上６０°以下、好ましくは３０°以上４０°以下、すなわち、ＪＩＳ  Ｋ６２５３におけるタイプＡデュロメータで求められる硬さで前記範囲の低弾性率であることが好ましい。また、第１層２４−１に好適な構造として、発泡ゴムのように内部に空隙を有するスポンジ構造が挙げられる。この構造によって、低弾性にしやすくなる。さらに、低弾性ゴム材料の粒子と接する側の表面に、低摩擦性を発現するシリコーン系材料やフッ素系材料をスプレーで塗布したりして、薄膜コート層を形成してもよい。この場合、下地ゴムの低弾性およびコート層の低摩擦性が得られる。粒子群３およびマスク面と接触する側の面となる第１層２４−１に上記のような弾性材料を用いることによって、粒子やマスク面との接触状態が好適となり、粒子移動部材がマスク上を滑らかに移動しながら、粒子をスムーズに移動させるようになるからである。また、特にシリコーンゴム、変性シリコーンゴム等のシリコーン系ゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムを用いた場合、マスク面との低摩擦が得られるだけでなく、粒子を適度な力で押し出せるようになるからである。
第２層２４−２に好適な材料として、上記ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）のほか各種樹脂や各種金属材料が挙げられる。第２層２４−２は、低弾性である第１層２４−１を補強する裏打ち材としても機能するため、適度な弾性を発現するものが好ましく、樹脂材料としては、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）、ポリスチレン樹脂（ＰＳ）、ポリイミド樹脂（ＰＩ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリウレタン樹脂（ＰＵ）などが挙げられる。金属材料としては、銅、アルミニウム、ステンレス鋼、鉄などが挙げられる。また、第２層２４−２に好適な弾性を付与するために、第２層２４−２の構造として、上記した材料層を複数積層した積層構造としてもよい。
第１層２４−１と第２層２４−２とは貼り合わされ、先端部分において互いにずれないようにする。これによって、粒子を好適に移動させやすくなる。
上述のように構成することで、上記二層以上の複層構造の効果をより好適に発揮させることができる。
【００２８】
なお、上述した板状の粒子移動部材２２−１、２２−２は、例えば、シリコーンゴム層とＰＥＴ層とを積層したシート部材から切り出して作製することができる。このとき、切り出しは、トムソン刀で打抜いたり、ナイフで切断したりして行うことができる。
【００２９】
次に、図８に示す粒子移動部材２２−１（２２−２）の好適例における、第１層２４−１と第２層２４−２との二層以上の複層構造について、さらに説明する。
第１層２４−１は、二層以上の複層構造において粒子と接する一層である。第２層２４−２は、二層以上の複層構造において粒子と接しない他層であり、一材料層であってもよいし、複数材料層であってもよい。第１層２４−１を構成する材料は、第２層２４−２を構成する材料よりも低弾性である。
【００３０】
第１層２４−１及び第２層２４−２の各材料は上記の通りであり、第１層２４−１の厚さｄ１は、上記の通り０．２ｍｍ〜１．４ｍｍとすることが好ましい。第２層２４−２の厚さｄ２は、第１層２４−１の厚さｄ１によって幾分変化するが、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍとすることが好ましい。
本発明の粒子充填部材２１を構成する粒子移動部材２２−１（２２−２）は、これら第１層２４−１及び第２層２４−２の二層積層構造を有することが好ましい。移動する粒子を、この粒子移動部材２２−１（２２−２）の第１層２４−１と接するように構成する。粒子移動部材固定用治具２３に固定された粒子移動部材２２−１（２２−２）の第１層２４−１がマスク面及びマスク上の粒子と接するように配置する。二層以上の複層構造の一層である第１層２４−１の厚さは、他層である第２層２４−２の厚さ以上として、厚くすることが好ましい。これは、二層以上の積層構造の粒子移動部材２２−１（２２−２）が適度に撓むようにするためである。粒子移動部材２２−１（２２−２）の撓み易さは、部材を構成する材料の弾性率に基づく剛性に加えて、材料の厚さにも影響される。すなわち、低弾性率材料の方が、高弾性率材料よりも撓み易く、薄い材料の方が厚い材料よりも撓み易い。従って、上記の関係を与えることにより、二層以上の複層構造の粒子移動部材２２−１（２２−２）が適度な撓みを有するようにすることができる。具体的には、第１層２４−１の厚さは、第２層２４−２の厚さの３〜８倍であることが好ましく、更に好ましくは、第１層２４−１の厚さは第２層２４−２の厚さの４．５〜５．５倍である。
貼り合わせ手段は特に限定されるものではなく、一般的な接着剤や粘着剤を用いて貼り合わせる方法、また熱を利用して貼り合わせる方法等が使用できる。また、一方の層を構成するシート材に粘着性があれば、重ね合わせることによっても貼り合わせることができ、この場合には、単に重ね合わせるだけでよい。また、ここでは、一層の第１層２４−１と一層の第２層２４−２で構成された二層構造の例を示したが、例えば他層である第２層２４−２をさらに複数層とした、複数積層構造体とすることもできる。
【００３１】
上記のように、粒子群およびマスク面と接触する側の粒子移動部材２２−１（２２−２）の第１層２４−１を低弾性率材料で形成すれば、粒子移動部材全体の剛性の低くなるので、これをマスク面へ当接させる際に、粒子移動部材２２−１（２２−２）に対して鉛直方向にかける力、すなわち粒子移動部材２２−１（２２−２）によるマスク面への押圧力が低減される。従って、マスク面に粒子移動部材２２−１（２２−２）を押し当てながら移動する際に発生する摩擦力が低減され、粒子群を構成する各粒子へのダメージは低下する。その結果、粒子の損傷に起因した、コントラスト低下のような表示品質の劣化の発生を抑制することができる。さらに、マスク面に押し付けられる面となる第１層２４−１を構成する弾性材料シートを、シリコーンゴム、変性シリコーンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴムのように低摩擦係数を有するとともに低弾性である材料で構成すれば上記効果がより得られやすくなる。
また、粒子移動部材２２−１（２２−２）及びマスク面への全体の押圧力が低減されるので、粒子移動部材全体に対して、均一に力を負荷し易くなる。加えて、上記の通り、粒子の損傷を防ぐことができるため、損傷した粒子の凝集体によって粒子移動部材に疵が発生することも防ぐことができる。結果、粒子群が均一にマスク上を移動して基板上のセル内へ充填され、情報表示用パネルにおける表示媒体とする粒子群の充填ムラを回避して、スジ状の表示不良が発生するのを抑制することができる。
【００３２】
このように、弾性材料の厚さを調製して、粒子移動部材２２−１（２２−２）の厚さを従来の厚さよりも薄くして剛性を低くすれば、粒子移動部材をマスク面に押し付ける押圧力が小さくなり、既に説明した通り、マスク面上で粒子移動部材を移動させる際に発生する摩擦力を低減して、粒子の損傷を防ぐことができる。なお、弾性材料の厚さを０．２ｍｍ〜１．４ｍｍとしたのは、０．２ｍｍに満たないと、裏側面に第２層２４−２を積層した構造となっている板状の粒子移動部材全体で実現する弾性率が、第２層を構成する補強用材料に支配されて粒子移動部材が好適に撓まなくなってしまうからであり、１．４ｍｍを超えると、低弾性の材料で構成した第１層材料自体の剛性が高くなり、粒子移動部材全体の剛性も高くなり、好適に撓まなくなってしまうからである。
【００３３】
しかしながら、粒子移動部材の厚さを単に薄くしただけでは、今度は剛性が低くなり過ぎて、粒子移動部材が粒子群及びマスク面との抵抗に耐えることができずに反り過ぎてしまうおそれがある。その結果、粒子群を十分に移動させることができず、所望量の粒子を基板上のセル内に充填することができなくなり、充填むらが発生するおそれがある。従って、剛性の低い低弾性率の第１層に対して、これよりも剛性の高い補強用材料を裏当て補強材として第２層を配置した層構造とすれば、粒子移動部材全体の剛性は高くなる。このように、それぞれ機能が異なる２枚の材料を重ねて配置した層構造とすれば、粒子移動部材をマスクに押し付けながら移動するときにマスク上の粒子に負けて反り過ぎることが無く、所望量の粒子をセル内へ充填することが可能となる。
【００３４】
また、上記第２層２４−２の厚さを０．１ｍｍ〜０．３ｍｍとしたのは、０．３ｍｍより厚いと、裏面からの補強が強過ぎて、粒子移動部材全体の剛性が高くなってしまい、結局、従来の粒子移動部材を用いる場合と同様に、押圧力を大きくして、粒子に損傷を与えるおそれがあり、一方、０．１ｍｍより薄くなると、今度は第１層２４−１を裏面から補強する役割を果たすことができず、粒子移動部材全体が移動時に粒子に負けて反り過ぎてしまい、粒子を移動させることができなくなってしまうからである。
【００３５】
さらに、第１層の厚さと第２層の厚さとの関係は、前述したとおり、第１層の厚さが第２層よりも厚くなるようにし、第１層の厚さが、第２層の厚さの３〜８倍、好ましくは４．５〜５．５倍とすることが望ましい。このような厚み関係とすることにより、情報表示用パネルの表示品質がより良好となり、スジ状のむらの発生がさらに抑制可能であることが確認されている。
【００３６】
なお、上記例では、第１層２４−１及び第２層２４−２が各単層である粒子移動部材について示したが、本発明の粒子移動部材２２−１（２２−２）は、第１層２４−１及び第２層２４−２が各々複数層で構成されるものであっても良いことはすでに説明した通りである。
【００３７】
＜本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材について＞
上述した実施例では、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を粒子移動部材固定用治具２３に取り付ける部分および粒子移動部材２２−１、２２−２の全体を略平行に配置した例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。図９（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材を粒子移動部材固定用治具２３に取り付けた配置を説明するための図である。図９（ａ）〜（ｄ）に示す各々の例において、上部Ａに粒子移動部材２２−１、２２−２を粒子移動部材固定治具２３に固定する固定位置の配置状態を示し、下部Ｂに２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係を示している。
【００３８】
図９（ａ）に示す例において、粒子移動部材２２−１、２２−２は、固定位置Ａでは略平行に固定されており、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係を示すＢでも略平行の関係となっている。図９（ｂ）に示す例において、粒子移動部材２２−１、２２−２は、固定位置Ａでは略平行に固定されており、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係を示すＢでは先端に向かって開く関係となっている。図９（ｃ）に示す例において、粒子移動部材２２−１、２２−２は、固定位置Ａでは略平行に固定されており、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係を示すＢでは先端に向かって閉じる関係となっている。図９（ｄ）に示す例において、粒子移動部材２２−１、２２−２は、固定位置Ａでは略平行に固定されており、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係を示すＢでも互いに接触して略平行の関係となっている。以上のように、粒子移動部材２２−１、２２−２は、少なくとも上述した固定位置Ａにおいて、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように０度±０．５度未満程度の範囲で略平行に固定されていることが好ましいが、０．５度〜１０度程度のやや非平行の配置であっても構わない。２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２の全体の配置関係（図９のＢに示す関係）は、２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２がそれぞれ撓んでマスク面に接しながら移動する際に形成されるものであり、上述した粒子移動部材２２−１、２２−２の高さ方向の長さＨＬや粒子移動部材２２−１、２２−２の弾性による撓み具合によって形成され、図９（ａ）〜（ｄ）に示す各々の例のいずれかとなる。
【００３９】
＜本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材固定治具について＞
図１０（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の粒子充填部材を構成する粒子移動部材固定治具の例を説明するための図である。粒子移動部材固定治具２３は、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、基台３１および２枚のプレート治具３２−１、３２−２で構成される。２枚のプレート治具３２−１、３２−２で、少なくとも２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を挟み、２枚のプレート治具３２−１、３２−２を基台３１に取り付けることで、少なくとも２枚の粒子移動部材２２−１、２２−２を固定する。
図１０（ａ）、（ｂ）に示す例では２枚のプレート治具３２−１、３２−２で、２枚の粒子移動部材２２−１〜２２−２を挟んで基台３１に取り付けて固定している。図１０（ｃ）に示す例では２枚のプレート治具３２−１、３２−２で、３枚の粒子移動部材２２−１、２２−２、２２−３を挟んで基台３１に取り付けて固定している。ここでは、粒子移動部材２２−１と２２−２との間および粒子移動部材２２−２、２２−３との間にはそれぞれスペーサ３３−１、３３−２を挟んでいるが、スペーサの代わりに、粒子移動部材２２−１、２２−２、２２−３を基台３１に取り付ける部分の厚さを、上述した粒子移動部材２２−１、２２−２の高さ方向の長さＨＬに当たる部分の厚さよりも厚くして構成してもよい。基台３１となる部分は、図１０（ａ）〜（ｃ）に断面で示した矩形のほか、平行四辺形や台形にすることができる。図１０（ａ）〜（ｃ）に示した断面が矩形や平行四辺形の場合には、プレート治具３２−１、３２−２が取り付けられる面が略平行でるので、図９（ａ）のＢに示すように、２枚以上の粒子移動部材を略平行に配置できる。図１０（ａ）〜（ｃ）に示した断面が台形の場合には、プレート治具３２−１、３２−２が取り付けられる面が非平行であるので、図９（ｂ）、（ｃ）のＢに示すように、２枚以上の粒子移動部材を非平行に配置しやすい。
また、プレート治具３２−１、３２−２が取り付けられる面が、図１０（ａ）〜（ｃ）の紙面垂直方向において略平行にしてあれば、２枚以上の粒子移動部材を略平行に配置できるし、プレート治具３２−１、３２−２が取り付けられる面が、図１０（ａ）〜（ｃ）の紙面垂直方向において所定の非平行にしてあれば、２枚以上の粒子移動部材を所定の非平行に配置できる。このように基台３１において、プレート治具３２−１、３２−２が取り付けられる面の平行度を調整することによって、２枚以上の粒子移動部材を好適に配置した粒子充填部材とすることができる。
【００４０】
図１０（ｃ）に示すように、スペーサ３３−１、３３−２を用いて、３枚の粒子移動部材２２−１〜２２−３を配置することもできる。スペーサ３３−１、３３−２の断面形状を、矩形や台形の中から適用に組み合わせて配置することで、３枚の粒子移動部材２２−１〜２２−３が好適に配置された粒子充填部材とすることができる。
なお、２枚のプレート治具３２−１、３２−２を基台３１に取り付ける方法としては、ねじ方式やクリップ方式などが挙げられる。
【００４１】
＜粒子の充填方法に関連する電子デバイスの各部材について＞
以下、マスク及び粒子の充填方法に関連する電子デバイスの一例である図１（ａ）、（ｂ）に例示した情報表示用パネルの各部材について、セルを形成する隔壁、情報表示領域に設ける電極、情報表示領域に表示媒体として配置する粒子について順に説明する。
【００４２】
（マスクについて）
マスクの開口部は、隔壁で囲まれたセル開口部と同じ形状にしてもよいし、異なる形状としてもよいが、隔壁で囲まれたセル開口部よりも小さい開口とする。特に、同じセル開口に対して、２種類の粒子を順番にセル内に充填する際、第１の粒子用マスクの開口部と、第２の粒子用マスクの開口部との位置がずれて、できるだけ重ならないようにすると、２種類の粒子をセル内により均一に充填することができるため好ましい。
【００４３】
マスクの開口は、隔壁で囲まれたセル開口部１個に対して１個を配置してもよいし、複数個を配置してもよい。いずれの場合にも、同じセル開口に対して、第１のマスクの開口部と、第２のマスクの開口部との位置がずれて、できるだけ重ならないようにすることが好ましい。マスク開口部の形状はどのような形状であっても良いが、マスク目詰まりが起きにくい角丸付き四角形、角丸付き六角形、楕円形、円形などが好ましく用いられる。
【００４４】
マスクは、材料にステンレス鋼（ＳＵＳ）、アルミニウム、鉄、銅等の金属を用いたメタルマスクや、汎用プラスチックを用いた樹脂製マスクおよびメタルと樹脂とを組み合せた積層マスクなどが用いられる。少なくともパネル基板上のセル開口と対向する側のマスクの面は導電性にするのが好ましい。導電性金属でマスク全体を導電性としたメタルマスクとしてもよい。また、部分的に絶縁性部分を有する導電性メタルマスクとしたり、樹脂製マスクの一方の面に導電層を設けて導電性樹脂製マスクとしたりしてもよい。
マスクの製法として、電鋳法が挙げられる。この方法では、開口部を形成するためのピンを立てた周囲に電鋳技術によってニッケルなどの金属を形成してマスク部を形成する。電鋳後にピンを取り外した部分が開口部となるマスクが得られる。
【００４５】
（セルを形成する隔壁について）
基板間空間をセルに仕切るための隔壁（セル形成用隔壁）４の配置は、平面視で、格子状、ハニカム状、網目状などにすることができる。セルの横断面（基板に平行な面による断面）形状は、四角形、三角形、六角形等の多角形や、円形、楕円形、レーストラック形等いずれでも良いし、複数の形状を組み合わせても良い。表示部の開口率を大きくできる点からは四角形や六角形が好ましく、表示媒体を構成する粒子を移動しやすくできる点からは曲線を有する形状が好ましい。前記二つの点から角丸付きの四角形や角丸付きの六角形が好ましく用いられる。
【００４６】
基板間空間を保持するための隔壁（基板間ギャップ保持用隔壁）やセル形成用隔壁の形成材料としては、ドライフィルムレジスト材や液状レジスト材が好適に用いられる。ドライフィルムレジスト材の一例として、アルフォＮＩＴ２（ニチゴーモートン社製）やＰＤＦ３００（新日鐵化学社製）を使用することができる。
【００４７】
（情報表示領域に設ける電極について）
必要に応じて基板に配置する電極を構成する導電性膜５、６の材料としては、観察側基板２には透明な導電性膜を設ける必要があり、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛添加酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の透明導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン（例えば、
poly (3, 4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)(PEDOT:PSS)）等の透明導電性高分子類が挙げられる。
【００４８】
背面側基板１に設ける導電性膜５としては、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛添加酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン（例えば、
poly (3, 4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)(PEDOT:PSS)）等の導電性高分子類や、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム等の金属や、これらの金属を主成分とする合金が挙げられ、必要な形状にパターニングして用いる。背面側基板に設ける導電性膜は透明であってもよいし、透明でなくても良い。
【００４９】
導電性膜で構成する電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したり、印刷したりする方法が用いられる。パターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、表示面側の情報表示領域に設ける電極の厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。また、背面側や情報表示領域の外側に設ける電極の厚みは、導電性が確保できれば良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。
【００５０】
観察側基板の情報表示領域に設ける電極として好適なＩＴＯなどの金属酸化物系の透明導電性材料は、金属材料に比べて可撓性が小さいので、情報表示領域に設ける電極をこれら金属酸化物系の透明導電性材料で構成する場合には、金属酸化物系の透明電極材中での断線防止のため、可撓性に優れる銅、アルミニウム、ニッケルやそれやの合金などの金属細線と併用することが好ましい。この金属細線の幅は、１μｍ〜１０μｍとすれば表示視認性の妨げとならないので好ましい。情報表示領域以外や背面側基板に設ける電極は光透過性を考慮する必要がないので電気抵抗が小さく、撓むことが可能な前記金属材料が好適に用いられる。
【００５１】
（パネルの基板間のセル内に配置する粒子について）
本発明に係る粒子は平均粒子径d(0.5)が、１μｍ〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径d(0.5)がこの範囲より大きいと、表示媒体とした場合には表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために粒子の移動に支障をきたすようになる。
更に本発明では、各粒子の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを好ましくは５未満、さらに好ましくは３未満とするのがよい。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5)
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、各粒子のサイズが揃い、均一な粒子移動が可能となる。
【００５２】
また、２種類の粒子を用いる場合は、２種類の粒子の内、平均粒子径が大きい粒子の平均粒子径d(0.5)に対する平均粒子径が小さい粒子の平均粒子径d(0.5)の比を１０以下とすることが好ましい。たとえ粒子径分布Spanを小さくしたとしても、互いに帯電特性の異なる粒子が互いに反対方向に動くので、互いの粒子サイズを近づけることにより、互いの粒子が反対方向に容易に移動できるようになるからである。
【００５３】
なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mstersizer2000(Malvern Instruments Ltd.）測定機を用いて、窒素気流中に粒子群を投入し、付属の解析ソフト（Mie理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行なうことができる。
【実施例】
【００５４】
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に何ら限定されるものではない。
以下の実施例では、実験例Ａとして、粒子移動部材の枚数による充填所要時間および充填量の比較について説明する。また、実験例Ｂとして、２枚の粒子移動部材の配置間隔に対する充填後の状態について比較して説明する。さらに、実験例Ｃとして、マスク上の粒子と２枚の粒子移動部材との配置関係が粒子充填量に及ぼす影響について説明する。
【００５５】
なお、実験例Ａ、Ｂ、Ｃを説明する前に、実験例Ａ、Ｂ、Ｃを通じて共通して用いられる黒色粒子群または白色粒子群、粒子移動部材の構成について説明した後、実験例Ａ、Ｂ、Ｃについて説明する。
【００５６】
＜黒色粒子群について＞
正帯電性の黒色粒子を含んだ黒色粒子群の作製法を説明する。
メチルメタクリレートモノマー（関東化学株式会社製）６０質量部及びエチレングリコールジメタクリレート（和光純薬工業株式会社製）４０質量部（約２５ｍｏｌ％）に、正帯電の荷電制御剤としてニグロシン化合物「ボントロンＮ０７」（オリエント化学工業株式会社製）３質量部、及び黒色顔料としてカーボンブラック（スペシャルブラック、デグッサ社製）５質量部をサンドミルにより分散させ、（メタ）アクリル系樹脂−炭化水素系樹脂ブロックコポリマー「モディパーＦ６００」（日油株式会社製）５質量部を溶解させ、さらにラウリルパーオキサイド「パーロイルＬ」（日油株式会社製）２質量部を溶解させた。得られた溶液を、界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸ナトリウム「ラテムルＥ−１１８Ｂ」（花王株式会社製）が０．５％添加された精製水に懸濁して重合させた。
得られた懸濁液をろ過した後、乾燥し、分級機「ＭＤＳ−２」（日本ニューマチック工業株式会社製）を用いて分級し、平均粒子径９．２μｍの正帯電性黒色粒子を得た。
次に、シリカ微小粒子（Ｗａｃｋｅｒ社製  Ｈ３０５０ＶＰ）を黒色粒子表面に付着させて、黒色粒子群を得た。
【００５７】
＜白色粒子群について＞
負帯電性の白色粒子を含んだ白色粒子群の作製法を説明する。
ポリメチルペンテン「ＴＰＸ−Ｒ１８」（三井化学株式会社製）１００質量部と、着色剤として二酸化チタン「タイペークＣＲ−９０」（石原産業株式会社製）１００質量部と、負帯電の荷電制御剤としてフェノール系縮合物「ボントロンＥ８９」（オリエント化学工業株式会社製）５質量部とを二軸混練機により溶融混練し、ジェットミル（ラボジェットミルＩＤＳ−ＬＪ型、日本ニューマチック工業株式会社製）で細かく粉砕し、分級機「ＭＤＳ−２」（日本ニューマチック工業株式会社製）を用いて分級し、次いで溶融球状化装置「ＭＲ−１０」（日本ニューマチック工業株式会社製）を用いて溶融球状化し、平均粒子径９．５μｍで負帯電性の白色粒子を得た。
次に、シリカ微小粒子（Ｗａｃｋｅｒ社製  Ｈ３００４）を白色粒子表面に付着させて、白色粒子群を得た。
【００５８】
＜実施例で用いた粒子移動部材について＞
粒子移動部材はいずれもシリコーンゴム層およびポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）層を積層した板状部材とした。板状部材はいずれも、シリコーンゴム層が０．６ｍｍ厚で、ＰＥＴ層が０．１８８ｍｍ厚の２層積層構成とした。  
【００５９】
（１）実験例Ａ
上記２層構造の粒子移動部材を１枚つけた比較例Ａ１の粒子充填部材と、上記２層構造の粒子移動部材を２枚つけた実施例Ａ１の粒子充填部材、および、上記２層構造の粒子移動部材を３枚つけた実施例Ａ２の粒子充填部材とを使用して、それぞれ、同じ形状のセル内に同じマスクを使用して、黒色粒子群の充填を実施した。そして、充填に要する時間を比較した。粒子移動部材は、断面形状が矩形の粒子移動部材固定治具の基台に、断面形状が矩形のスペーサ（厚さ４．５ｍｍ）を用いて固定し、間隔４．５ｍｍで互いに平行に配置した。ここでは、基板上の複数のセルのそれぞれに充填する粒子総量の目標を約０．１９３ｇとした。
【００６０】
板状の粒子移動部材はいずれも、移動方向に対して前側にシリコーンゴム層が配置され、移動方向に対して後ろ側にＰＥＴ層が配置されるようにした。板状の粒子移動部材を１枚だけ用いた比較例Ａ１では、撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ０を１０ｍｍとした。板状の粒子移動部材を２枚用いた実施例Ａ１では、２枚の板状の粒子移動部材において、移動方向に対して前側に配置される第１の第１の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ１を１０ｍｍとし、第２の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ２を１２．６ｍｍとした。板状の粒子移動部材を３枚用いた実施例Ａ２では、３枚の板状の粒子移動部材において、移動方向に対して前側に配置される第１の第１の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ１を１０ｍｍとし、第２の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ２を１２．６ｍｍとし、第３の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ３を１５．２ｍｍとした。２枚および３枚の板状の粒子移動部材において、各粒子移動部材間の間隔は４．５ｍｍとし、それぞれマスク面とのなす角を６０°にし、マスク面への押込み量Ａを２．０ｍｍと固定した。
【００６１】
この粒子充填部材を用いて、予め重量を測定しておいた、セルが形成されているパネル用の基板に黒色粒子群を充填して、目標充填量（約０．１９３ｇ）になるまでの所要時間を計測した。この時重量の測定には電子天秤を用いた。
なお、本実験例Ａでの粒子充填ステップは、図１１（ａ）に示した方法で行った。結果を以下の表１に示す。
【００６２】
【表１】
2013205483.tif 000003
【００６３】
表１の結果から、２枚の粒子移動部材を備えた粒子充填部材を用いて粒子群の充填を行った実施例Ａ１および３枚の粒子移動部材を備えた粒子充填部材を用いて粒子群の充填を行った実施例Ａ２は、１枚の粒子移動部材を備えた粒子充填部材を用いて粒子群の充填を行った比較例Ａ１と比べて、充填にかかる所要時間を大幅に短縮できることがわかる。また、実施例Ａ１、Ａ２は比較例Ａ１と比べて、目標充填量に近い正確な充填量を得ることができることがわかる。
【００６４】
（２）実験例Ｂ
板状の粒子移動部材を２枚用いた粒子充填部材の構成において、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを８ｍｍ、５ｍｍ、３ｍｍ、１ｍｍ、０ｍｍと変化させた実施例Ｂ１〜実施例Ｂ５に係る粒子充填部材を使用して、白色粒子群の充填を行った。２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを４．５ｍｍから変えた以外は、実験例Ａの実施例Ａ１で用いた粒子充填部材と同じ構成とし、粒子充填ステップも実験例Ａと同じにして行った。ここでは、基板上のセルのそれぞれに充填する粒子総量の目標を約０．２２ｇとした。
【００６５】
２枚の板状の粒子移動部材は、移動方向に対して前側にシリコーンゴム層が配置され、移動方向に対して後ろ側にＰＥＴ層が配置されるようにした。２枚の板状の粒子移動部材において、移動方向に対して前側に配置される第１の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ１を１０ｍｍとし、第２の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ２は１４．６ｍｍとした。第１の粒子移動部材と第２の粒子移動部材とがそれぞれマスク面と接触する状態で、粒子充填部材を移動した。
なお、本実験例Ｂでの粒子充填ステップは、図１１（ｃ）に示した方法で行った。
【００６６】
粒子移動部材の間隔を変えて粒子充填を終えた後のパネル基板の状態を目視観察して充填むらがないかどうかを確認する充填むら検査を行った。検査方法は検査員５人が目視判定を行ない、３人以上が良好とした場合を良好判定（○）とし、３人に満たなかった場合を不良判定（×）とした。結果を以下の表２に示す。
【００６７】
【表２】
2013205483.tif 000004
【００６８】
表２の結果から、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを８ｍｍ、５ｍｍ、３ｍｍ、１ｍｍ、０ｍｍと変化させた実施例Ｂ１〜実施例Ｂ５の中でも、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを５ｍｍ、３ｍｍ、１ｍｍ、０ｍｍと変化させた実施例Ｂ２〜実施例Ｂ５は、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを８ｍｍとした実施例Ｂ１と比べて、良好な充填むらの評価結果を得ることができることがわかる。以上の結果から、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌを０ｍｍ≦Ｌ≦５ｍｍとすることが好適であることがわかる。
【００６９】
（３）実験例Ｃ
板状の粒子移動部材を２枚用いた構成において、粒子充填ステップ前の、２枚の粒子移動部材と、マスク上の粒子群との配置関係を、図１１（ａ）に示すように移動方向に対して２枚の粒子移動部材の前に粒子が十分配置されている状態である配置関係１、図１１（ｂ）に示すように２枚の粒子移動部材の間のみに粒子が配置されている状態である配置関係２、図１１（ｃ）に示すように移動方向に対して２枚の粒子移動部材の先頭の粒子移動部材の前にのみ粒子が配置されている状態である配置関係３のいずれかに変化させて、黒色粒子群の充填を行った。ここでは、配置関係１〜３すべての実施にて、２枚の粒子移動部材の間隔Ｌは３ｍｍ、押込量Ａは１．２ｍｍとした。また、移動速度、移動回数もすべて同じとした。実験例Ａの実施例Ａ１で用いた粒子移動部材固定治具と同じものに、上記条件で２枚の粒子移動部材を固定して構成した粒子充填部材を用いて行った。ここでは、基板上のセルのそれぞれに充填する粒子総量の目標を約０．２ｇとした。
【００７０】
２枚の板状の粒子移動部材は、移動方向に対して前側にシリコーンゴム層が配置され、移動方向に対して後ろ側にＰＥＴ層が配置されるようにした。２枚の板状の粒子移動部材において、移動方向に対して前側に配置される第１の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ１を１０ｍｍとし、第２の粒子移動部材の撓み代（高さ方向の長さ）ＨＬ２は１４．６ｍｍとした。第１の粒子移動部材と第２の粒子移動部材とがそれぞれマスク面と接触する状態で、粒子充填部材を移動した。２枚の粒子移動部材と、マスク上の粒子との配置関係を変えた以外はすべて同じにして粒子充填を終えた後の粒子充填量（総充填量）を測定した。粒子充填を行うパネル基板の重量を予め測定しておき、粒子充填を終えたパネル基板の重量との差分で算出した。この測定には電子天秤を用いた。結果を以下の表３に示す。
【００７１】
【表３】
2013205483.tif 000005
【００７２】
表３の結果から、図１１（ａ）に示すように移動方向に対して２枚の粒子移動部材の前に粒子が十分配置されている状態である配置関係１の例が、図１１（ｂ）に示すように２枚の粒子移動部材の間のみに粒子が配置されている状態である配置関係２の例および図１１（ｃ）に示すように移動方向に対して２枚の粒子移動部材の先頭の粒子移動部材の前にのみ粒子が配置されている状態である配置関係３の例と比べて、正確な充填量を得ることができることがわかる。以上の結果から、複数の粒子移動部材において、各粒子移動部材の移動方向前方にそれぞれ粒子群を配置した状態で、粒子充填ステップを実行することが好ましいことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明によれば、基板に形成した隔壁で囲まれた領域内に帯電性粒子を充填して配置する際に、２枚以上の板状の粒子移動部材を備えた粒子充填部材を用いることで、目標充填量に達するまでの移動回数を少なくして所要時間を短縮することができるとともに、正確な充填量を得ることができる粒子の充填方法および粒子移動部材を提供することができる。したがって、本発明を用いることで、帯電性粒子を利用した電子デバイスを好適に製造することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１、２  基板
３  粒子群
３Ｂ  正帯電性黒色粒子群（黒色表示媒体）
３Ｗ  負帯電性白色粒子群（白色表示媒体）
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
４  隔壁
５、６  導電性膜（電極）
７  セル
１１  マスク
２１  粒子充填部材
２２−１、２２−３  粒子移動部材
２３  粒子移動部材固定治具
２４−１  第１層
２４−２  第２層
３１  基台
３２−１、３２−２  プレート治具
３３−１、３３−２  スペーサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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