(57)【要約】      （修正有）【課題】テスト時間の増大を抑制し、スキャンチェーンの故障診断を容易化し故障箇所推定用の故障診断時間の短縮を図る。【解決手段】スキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込むシステムは、バイパステストモードでのテストパタンと、圧縮テストモードでのテストパタンの両方で故障候補スキャンＦＦを絞り込む手段２４と、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する手段２３と、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャンＦＦの範囲に変換する手段２７と、圧縮テストモードのテストパタンを用いて故障候補を含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードのテスト結果と照合し、照合結果を出力装置に出力する手段２５を備える。【選択図】図１
2013036903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
を備えたことを特徴とする、故障箇所推定システム。
【請求項２】
バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第１、第２のスキャン・フリップフロップと、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を、期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する前記スキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、
回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャンチェーン特定手段と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
前記バイパステストモードの１次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの１次故障候補を圧縮テストモードでの１次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記１次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、前記比較での一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力する前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置と
を備えたことを特徴とする、請求項１記載の故障箇所推定システム。
【請求項３】
前記スキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャン・フリップフロップ情報と圧縮テストのスキャンチェーンのスキャン・フリップフロップ情報を比較して、両者のスキャン・フリップフロップ番号の対応関係情報を算出し、スキャン・フリップフロップ対応関係情報として記憶するスキャンチェーン情報解析手段と、
前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報を基に、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャン入力端に接続するスキャン・フリップフロップとスキャン出力端に接続するスキャン・フリップフロップをキーポイント・スキャン・フリップフロップとして記憶し、前記キーポイント・スキャン・フリップフロップのバイパステストモードでのスキャン・フリップフロップ番号を特定し、
所与のバイパステストモードのテストパタンからキーポイント・スキャン・フリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャン・フリップフロップの出力期待値が所望の値となっているテストベクタを抽出し、
キーポイント・スキャン・フリップフロップとその前後の所定ビット分のスキャン・フリップフロップの出力期待値は、前記テストベクタに規定されたままの状態値決定スキャン・フリップフロップとし、それ以外のスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの出力期待値をＤｏｎ’ｔ  ｃａｒｅ（‘Ｘ’）でマスクする状態値未決定スキャン・フリップフロップとして分類するスキャン・フリップフロップ検索特定手段と、
前記スキャン・フリップフロップの分類情報を基に、バイパステストのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン故障診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部に記憶する診断パタン作成手段と、
を備えたことを特徴とする、請求項１又は２記載の故障箇所推定システム。
【請求項４】
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段が、
前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶されたバイパステストモードの１次故障候補情報から得られたスキャン・フリップフロップの範囲に対して、前記論理回路情報記憶部２に記憶されたスキャン・フリップフロップ対応関係情報を基に、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを算出するバイパス故障候補算出手段と、
前記スキャン・フリップフロップに対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し、１次故障候補を書き換えて前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する圧縮スキャン・フリップフロップ変換手段と、
を備えたことを特徴とする、請求項３記載の故障箇所推定システム。
【請求項５】
スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置が、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶し、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込み、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換し、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する、
ことを特徴とする故障箇所推定方法。
【請求項６】
前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン診断パタン作成手段が、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第１、第２のスキャン・フリップフロップと、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶し、
前記故障箇所推定装置のテスト結果取得手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャンチェーン特定手段が、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段が、前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置の故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段が、前記バイパステストモードの１次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの１次故障候補を圧縮テストモードでの１次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶し、
前記故障箇所推定装置のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段が、前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記１次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する、ことを特徴とする、請求項５記載の故障箇所推定方法。
【請求項７】
スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定装置を構成するコンピュータに、
バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶する処理と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む処理と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶し、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する処理と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、前記故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力する処理と、
を実行させるプログラム。
【請求項８】
バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出し、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第１、第２のスキャン・フリップフロップと、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶する処理と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶する処理と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記バイパステストモードの１次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの１次故障候補を圧縮テストモードでの１次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する処理と、
前記圧縮テストモードに書き換えられた前記１次故障候補の範囲に対して前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力し、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力装置に出力する処理と、
を前記コンピュータに実行させる請求項７記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、故障診断技術に関し、特に、故障箇所推定システム、故障箇所推定方法及び故障箇所推定用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路（論理回路）の大規模化、微細化、多層化によって、故障箇所の物理的な特定が困難になってきており、物理解析前に予め故障箇所を絞り込むことが重要である。その事前の絞り込み手法の１つとして、テスト用回路（スキャンチェーン）を組み込んだスキャン設計回路（スキャン回路）では、論理的な故障診断手法が利用される。スキャン・テストモード時に、ＬＳＩ回路内に設けられた複数のスキャン・フリップフロップ（「スキャンＦＦ」と略記される）をシリアルに接続してテスト用回路（スキャンチェーン）を構成し、外部スキャン入力（Ｓｃａｎ  Ｉｎ）端子からパタンをシリアルに供給し（ロード）、検査対象の論理回路の入力に出力が接続された複数のスキャンＦＦからパタンがパラレルに印加され、論理回路の出力に入力が接続された複数のスキャンＦＦに、論理回路の出力が取り込まれ、当該複数のスキャンＦＦの出力を外部スキャンアウト（Ｓｃａｎ  Ｏｕｔ）端子よりシリアルに出力し（アンロード）、ＬＳＩテスタで当該出力パタンを取り込み期待値パタンと比較する。
【０００３】
論理的な故障診断手法は、スキャン回路のスキャンチェーンが正常に動作することを前提として、スキャンチェーンの入出力期待値、及び、テスタから得られるスキャンチェーンを利用したテスト結果（ロジックテスト結果）と、回路の設計情報とを利用してテスト対象としているロジック部分の故障箇所を推定する。この診断を「ロジック故障診断」と呼ぶ。
【０００４】
スキャンチェーン自体が故障していた場合、データ入力時（ロード動作）、データ出力時（アンロード動作）で故障の影響を受けるため、論理回路への入力値が入力期待値と異なること、及び、スキャンチェーンの出力値がロジックテスト結果をそのまま示していないことにより、通常の論理的な故障診断手法は利用できない。そこで、スキャンチェーン上の故障箇所を特定する論理的な故障診断（スキャンチェーン故障診断）システムが開発されている。近時、論理回路に占めるスキャンチェーンの割合（チェーン本数、チェーン長）が増大し、それに伴いスキャンチェーン自体が動作不良を起こすサンプル（ＳＣ不良サンプル）の割合が増える傾向にある。このため、スキャンチェーン故障診断の重要性が増している。
【０００５】
また、近時、スキャン回路では、テスト時間の短縮のため、スキャンチェーンを圧縮化した圧縮回路を組み込んだ構成が増えている。回路内部の複数のスキャンチェーンを圧縮回路を使ってテスト結果を束ねることで圧縮し、１本のスキャンチェーンのテスト結果として出力する。圧縮回路を利用したテストでは、複数本のスキャンチェーンを同時にテストすることになるため、圧縮回路を利用しないテストに比べて、テスト時間を短縮することができる。
【０００６】
しかしながら、故障診断では、ＬＳＩテスタ等によるテスト結果を、半導体集積回路内部のスキャンチェーン上の故障検出箇所（「故障スキャンＦＦ」という）に置き換える必要がある。すなわち、スキャンチェーン上のスキャンＦＦに、テスト結果のフェイル情報に割り当てる必要がある。テスト結果が圧縮されていると、テスト結果のスキャンチェーン上の故障検出箇所への置き換え時に、複数の仮定が発生し（複数本のスキャンチェーンのうちのどれを故障とするか等に関して複数の仮定が存在する）、診断結果の故障候補数が増加する。このため、故障診断は、非圧縮テストによるフェイル情報を用いることが多い。
【０００７】
デバイス内部に組み込まれたスキャン回路が不良の場合、当該デバイスはデータのロード、アンロード動作時に、必ず、スキャン回路の故障箇所の影響を受ける。この結果、デバイスのテストにおいて、本来の被検査対象のロジック部（論理回路）の故障よりも、スキャン回路の不良によるフェイルの数が増大する場合もある。これに伴い、テスト時間、及び、フェイル情報を格納する出力ファイル（ログ）の容量が増大する。その結果、当該デバイスのフェイルの後に行われるスキャンチェーンの故障診断の処理時間も長くなる。このため、故障診断用に、圧縮回路を利用したテスト結果を用いることは、一般に、敬遠される。
【０００８】
以上のことから、テスト時間を短縮し、かつ、故障スキャンチェーンを特定することが可能な故障診断手法（システム）を確立することが望まれている。
【０００９】
スキャン回路（非圧縮スキャン回路）の動作、圧縮スキャン回路との違い、スキャンチェーン上に故障が及ぼす影響について以下に説明する。
【００１０】
圧縮器を利用したスキャン回路のテストを「圧縮テストモード」という。圧縮器を利用しないスキャン回路のテストを「バイパステストモード」という。また、各モードのテスト時に用いるテストパタン（被試験デバイスに印加される活性化（入力）パタンと、当該活性化（入力）パタンに対する被試験デバイスからの出力パタンと比較される期待値パタンを含む）は、複数のテストベクタから構成される。テストベクタとはデータの入力、動作実行、データ出力までの一連の動作の流れの最小単位である。
【００１１】
以下では、スキャン回路に関する用語、及び、バイパステストモードにおける、通常のスキャン回路の動作について図９を用いて説明する。図９は、バイパステストモードのスキャン回路を模式的に示す図である。図９には、１本のスキャンチェーンが存在するスキャン回路が例示されており、外側の実線は回路全体を表し、回路内の点線がスキャンチェーンを表している。スキャンチェーンは、スキャンＦＦ、信号線、及びセルからなる。図９において、破線上の四角がスキャンＦＦを表し、点線で囲まれた長方形部分がスキャンチェーンで区切られたＵｓｅｒ回路（組み合わせ回路）がテスト対象回路となる。
【００１２】
バイパステスト動作は、スキャンチェーンの上流側（スキャン入力端子ＳＩＮ側）のスキャンＦＦからパタン値が入力転送され（シフトイン）、各スキャンＦＦに値が順次設定される（ロード動作）。
【００１３】
その後、システムクロック（キャプチャクロック）を印加して、Ｕｓｅｒ回路（組み合わせ論理回路）の入力にデータを印加する。Ｕｓｅｒ回路の出力はＵｓｅｒ回路後段のスキャンＦＦに取り込まれる（キャプチャ動作）。
【００１４】
スキャンチェーンの下流側（ＳＯＵＴ側）のスキャンＦＦからスキャンＦＦ内に取り込まれた状態値を出力（シフトアウト）することで（アンロード動作）、Ｕｓｅｒ回路（組み合わせ論理回路）の内部情報を得ることができる。
【００１５】
この通常のスキャン回路の動作を「ロジック部動作テスト」という。この動作を実行するためのパタンを「ロジック部動作テストパタン」という。また、ロジック部動作テストからキャプチャ動作を除いたテストを「スキャンチェーン動作確認テスト」という。スキャンチェーン上に正常にデータが印加され、出力されることを確かめるためのテストとする。この動作を実行するためのパタンを「スキャンチェーン動作確認テストパタン」という。
【００１６】
スキャンチェーンが正常であり、Ｕｓｅｒ回路（テスト対象回路）内に故障が存在する場合、ロード動作によってスキャンチェーンに正しい状態値を設定し、キャプチャ動作によってＵｓｅｒ回路内の故障から生じた誤り状態を伝搬させスキャンＦＦ（図９ではＦ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４）に取り込み、アンロード動作によって、Ｕｓｅｒ回路内の故障によって生じた誤りの振る舞いを、バイパステストモード結果として得ることができる。
【００１７】
次に、図１０を用いて、圧縮テストモードの動作と、圧縮テストモードの特徴、利点等を説明する。圧縮テストモードの動作は、シフトイン時に、展開器によって外部入力端子の数から内部のスキャンチェーンの数に対応して、データが展開される。
【００１８】
図１０の例では、テスタからＳＩＮ端子にテストパタンが入力され、展開器では、Ｎｏ．１−１〜３の３つのチェーンに展開し、それぞれのスキャンチェーンにパタンがシフトインされる。次に、キャプチャ動作を実行し、Ｕｓｅｒ回路内の故障から生じた誤り状態を伝搬させ、スキャンチェーンＮｏ．１−１のスキャンＦＦ（図１０では、Ｆ１、Ｆ２）、スキャンチェーンＮｏ．１−２、３のスキャンＦＦ（Ｆ３、Ｆ４）にそれぞれ取り込む。その後、シフトアウト時に、圧縮器にはチェーンＮｏ１−１〜３の３本のスキャンチェーンのシフトアウト結果が入力され、圧縮器ではこれらを外部出力端子数（ＳＯＵＴ）の数に圧縮しテスト結果をテスタ等に出力する。
【００１９】
バイパステストモードと圧縮テストモードでは、スキャンチェーンの繋がり方が異なり、チェーンの本数、チェーン長が異なるが、スキャンチェーンに用いるスキャンＦＦは、２つのテストモードで同じものが利用される。なお、特に制限されないが、展開器と圧縮器を備え、圧縮テストモード機能を備えた半導体デバイスでは、通常、バイパステストモードでのテストに切替可能な構成とされる。
【００２０】
圧縮テストモードでは、展開器と圧縮器を用いることで、外部端子よりも多くのスキャンチェーンにデータを設定してテストすることできる。すなわち、バイパステストモードに比べて、スキャンチェーン本数が増える。また、各スキャンチェーンのチェーン長が短くなる。
【００２１】
例えば、図９のバイパステストモードでは、１本のスキャンチェーンでチェーン長が７ｂｉｔ（シリアル接続されるスキャンＦＦが７個）であるが、図１０の圧縮テストモードでは、３本のスキャンチェーンでチェーン長は２または３ｂｉｔとなる。テスト時間は、シリアルに接続されたスキャンＦＦで構成されるシフトレジスタのシフト回数に依存する。圧縮テストモードでは、チェーン長が短くなった分、テスト時間が短くなる。
【００２２】
ロジック故障診断は、上記のテスト結果と、スキャン回路の構成情報や信号線の期待値等を利用して、故障シミュレーションを行う方法や故障の伝搬経路を遡る方法によって、故障箇所を推定する。
【００２３】
ロジック故障診断の前提条件として、テストにおいて、ロード動作時に、スキャンＦＦに正しく状態値（テストパタン）を設定し、アンロード動作時に、スキャンＦＦに取り込まれた状態値（Ｕｓｅｒ回路の出力値）がスキャンチェーン上の故障の影響を受けることなく出力される必要がある。
【００２４】
スキャンチェーン上に故障が存在していると、スキャンシフト中に当該故障箇所を通過した論理値は、その故障の影響を受ける。ロード動作において、故障箇所の下流に位置するスキャンＦＦには、当該故障箇所を通過した値が設定される。このため、故障箇所の下流側のスキャンＦＦには正しい値を設定することができない。アンロード動作では、故障箇所の上流側のスキャンＦＦの論理値が、故障箇所を通過してシフトアウトするため、スキャンＦＦの保持していた論理値がそのまま出力されない場合がある。故障箇所のＦＦの出力がＳｔｕｃｋ  ａｔ−１故障の場合、上流のスキャンＦＦの値０はシフトアウト時、全て、値１に置き換えられる。この場合、スキャンチェーンが正常動作をしていることを前提としている、ロジック故障診断は適用できない。
【００２５】
しかし、実際の製品の故障は、スキャンチェーン上に故障が存在することもあり、不良と判定された半導体集積回路（半導体デバイス）の故障診断において、スキャンチェーン上の故障箇所の絞込みが必要となる。
【００２６】
スキャン設計回路におけるスキャンチェーン上の故障の推定を行う故障箇所推定システムとして、例えば特許文献１の故障箇所推定方式を利用することができる。このシステムは、スキャンチェーン動作確認用のテストパタンにおいて、フェイルした論理回路の内、単一スキャンチェーン故障と確認されたものを対象として、特定のロジック部動作テストパタンで不良品をテストし、得られたテスト結果から、故障スキャンＦＦの故障範囲を絞り込み、その後、故障シミュレーションで詳細に故障箇所を特定する故障箇所推定システムである。
【００２７】
以下、ロジック（論理回路）故障診断において、最初の絞込みで求めた候補を「１次故障候補」、最終的に故障シミュレーションで求めた候補を「最終故障候補」と呼ぶ。
【００２８】
スキャンチェーン上に故障が生じたときの現象と用語の定義について、図１１を用いて説明する。図１１には、説明の簡単のため、１０個のスキャンＦＦからなるスキャンチェーンが示されている。スキャンＦＦは、ＳＯＵＴ側から順番にＩｎｄｅｘ番号が付けられる。この例では、Ｉｎｄｅｘ番号０−９が付けられている。あるスキャンＦＦに注目すると、そのスキャンＦＦのＳＩＮ側を「上流」（ｕｐｓｔｒｅａｍ）、ＳＯＵＴ側を「下流」（ｄｏｗｎｓｔｒｅａｍ）と呼ぶ。例えば、図１１のスキャンＦＦ５の上流にはスキャンＦＦ６、７、８、９があり、下流にはスキャンＦＦ４、３、２、１、０がある。注目しているスキャンＦＦ自身を下流に含めることもある。
【００２９】
図１１において、スキャン入力端子ＳＩＮからのシリアルテストパターンを、スキャン入力端子ＳＩＮ側のスキャンＦＦから入力しスキャンクロック信号に同期させて順次シフトさせて値を入力する（状態値を印加する）ことを「ロード動作」という。スキャンＦＦの値をスキャン出力端子ＳＯＵＴから出力することを「アンロード動作」という。「ロード」は「スキャンイン」または「シフトイン」ともいう。「アンロード」は、「スキャンアウト」又は「シフトアウト」という場合もある。ロード／アンロード動作時には、スキャンチェーン上の状態値は、スキャン入力端子ＳＩＮからスキャン出力端子ＳＯＵＴに向かってスキャンシフトする。
【００３０】
ロード動作、及びロード動作のデータ（設定値）の表記方法としては、スキャン入力端子ＳＩＮに近いスキャンＦＦから論理値が列挙される。例えば、｛００１１００１１｝という表記があった場合、左端が、スキャン入力端子ＳＩＮ側で右側がスキャン出力端子ＳＯＵＴ側のデータを表している。
【００３１】
スキャンチェーンが正常動作しているか否かの確認は、スキャンチェーン動作確認テスト（「フラッシュテスト」、「スキャンチェック」ともいう）を利用するスキャンチェーン動作確認テストは、ロード動作時に、
｛００００００００｝（ａｌｌ−０）、
｛１１１１１１１１｝（ａｌｌ−１）、
｛００１１００１１｝
等の特別なパタンのテストベクタを印加し、キャプチャ動作は行わず、そのまま、アンロード動作で状態値を出力する。
【００３２】
スキャンチェーン動作確認テストにおいて、正常動作した場合（不良が検出されない場合）、キャプチャ動作を行わないため、テスタからスキャン入力端子ＳＩＮへのロードしたデータが、そのままスキャン出力端子ＳＯＵＴからシリアルに出力される。一方、スキャンチェーン上に故障がある場合（正常動作しない場合）には、テスタからシリアル入力端子ＳＩＮへのロードしたデータと、シリアル出力端子ＳＯＵＴからシリアルに出力されるデータの値が異なる。このため、故障スキャンチェーンを特定できる。
【００３３】
ここで、スキャンチェーンの不良動作を、固定故障と不定故障の２つに分けて考える。スキャンチェーンの固定故障は、スキャンチェーン動作確認テストにおいて、いなかるテストベクタを印加しても、得られるテスト結果の出力値がすべて‘０’又は‘１’に固定されている状態である。出力値が‘０’に固定されている場合、故障種別を、スキャンチェーン上の「ｓｔｕｃｋ−ａｔ  ０故障」という。出力値が‘１’に固定されている場合、故障種別を、スキャンチェーン上の「ｓｔｕｃｋ−ａｔ  １故障」という。
【００３４】
スキャンチェーンの不定故障は、スキャンチェーンの動作確認テストでテスト結果の出力値が‘０’でも‘１’でも、フェイル信号を検出する状態とする。
【００３５】
図１２は、非特許文献１に開示された構成を説明するための図である。テスタ、キーボードまたは外部とのインターフェース部がある入力装置１と、プログラム制御により動作するデータ処理装置２と、ハードディスクやメモリなどの情報を記憶する記憶装置３と、外部とのインターフェース部であるディスプレイ装置や印刷装置などの出力装置４を備える。図１２を参照して、各構成要素と各実行手段について説明する。なお詳細は非特許文献１が参照される。
【００３６】
記憶装置３は、テスタで取得したテスト結果を記憶するテスト結果記憶部３１と、論理回路のネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を記憶する論理回路情報記憶部３２と、故障スキャンチェーン、故障種別、を記憶する故障スキャンチェーン記憶部３３と、故障候補スキャンＦＦ番号、スキャンチェーン上の信号線名、信号線の分岐位置番号を記憶した故障候補スキャンＦＦ記憶部３４と、を備える。
【００３７】
既存テスタを用いて被疑回路用のテストパタンで、パス／フェイルテストを実行し、テストパタン内のスキャンチェーン動作確認テストパタンのテスト結果を用いて、故障スキャンチェーンと故障種別を特定し、テストパタン内のロジック部動作テストのテスト結果を用いて、各スキャンＦＦの期待値と、不良品のテスト結果との比較から、故障スキャンＦＦの可能性が高い範囲（１次候補）を絞り込み、故障候補内の信号線の分岐毎に、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行して、テスト結果と照合し、照合結果を出力する。
【００３８】
図１２のテスト結果取得手段２１において、テスタやＤＦＴ（Ｄｅｓｉｇｎ  Ｆｏｒ  Ｔｅｓｔａｂｌｉｔｙ）テスタなどのＬＳＩテスト装置５を用いて、被疑サンプルの全スキャンチェーンに対して、“００００”、“１１１１”、“０１０１”、“００１１”や“０００１１１”のような特定の論理値を繰り返し、そのまま結果を出力するスキャンチェーン動作確認テストと、被疑サンプルのロジック部動作テストを実行し、その結果をテスト結果記憶部３１に記憶する。
【００３９】
例えば、スキャンチェーン上に、ｓｔｕｃｋ−ａｔ故障が存在すると、スキャンチェーン上のスキャンＦＦの約半分が故障値となる場合がある。近時、論理回路は、非圧縮テストモード、スキャンチェーン長が例えば１万ｂｉｔ以上の製品が一般的に存在している。このような製品（半導体装置）において、スキャンチェーン故障が生じると、テスト時間の長期化、出力ファイル容量の増大を招く。
【００４０】
診断初期設定手段２２において、被疑サンプルのネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を読み込み、所定の情報を設定する。
【００４１】
次に、故障スキャンチェーン特定手段２３において、テスト結果取得手段２１のスキャンチェーン動作確認テストのテスト結果を基に、故障が生じているスキャンチェーンを特定し、特定された故障スキャンチェーンの出力値と出力期待値と比較して、故障種別を特定し、故障スキャンチェーン情報と故障種別情報を、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【００４２】
バイパステストモードの場合、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４において、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、図１４に示すように、各スキャンＦＦの出力期待値と、被疑サンプルのロジック部動作テスト結果から得られる各スキャンＦＦの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。このとき、故障スキャンＦＦの絞り込み方法は、例えば、同一論理の連続性を利用して、同一論理が始まる最も下流（ＳＯＵＴ）側のスキャンＦＦから、最も上流（ＳＩＮ）側のスキャンＦＦとしてもよい。
【００４３】
また、シフトイン時の入力値を故障値と同値とすることで、シフトイン時の故障の影響をキャンセルし、シフトアウトすることで、故障の範囲を絞り込む場合もある。
【００４４】
圧縮テストモードの場合、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４において、外部スキャンチェーンから推定される内部スキャンチェーンのすべてを１次故障候補と推定して、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【００４５】
スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５において、診断初期設定手段２２、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４によって推定された故障候補スキャンＦＦの範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段２３で特定した故障種別に従って、それぞれ故障を仮定し、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と、不良品のテスト結果とを比較し、最も一致率の高い箇所を、最終故障候補として出力する。
【００４６】
図１３は、図１２の関連技術の故障診断動作を示す流れ図である。
【００４７】
テスト結果取得手段２１がデバイスのテスト結果を取得する（Ａ１）。
【００４８】
診断初期設定手段２２が初期設定する（Ａ２）。
【００４９】
故障スキャンチェーン特定手段２３において故障スキャンチェーンと故障モードを特定する（Ａ３）。
【００５０】
バイパステストモードの場合（図１３の判定「圧縮？」のｎｏ分岐）、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４において、故障スキャンＦＦの範囲を絞り込む（Ａ４）。
【００５１】
スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５において、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４によって推定された故障候補スキャンＦＦの範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段２３で特定した故障種別に従って故障を仮定し、スキャンチェーンの故障シミュレーションの結果と照合する。
【００５２】
圧縮テストモードの場合、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４において、故障が特定できない場合（図１３の判定「特定？」のｎｏ分岐）、スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５において、故障シミュレーションの結果と照合する。
【００５３】
図１４（Ｂ）は、バイパステストモードにおけるスキャンチェーン動作確認テストのパタンと、不良品でのテスト時の動作を模式的に示している。スキャンチェーンテスト、「不良品」のスキャンチェーンの破線矢印で示す箇所に「ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障」があるものとする。「不良品」内の３行（各７個の箱）の中の値は、スキャンＦＦ（の値）を示している。右側の出力パタンの２行目の下流から４個目のスキャンＦＦから上流側が１とされており、このスキャンＦＦよりも上流側に故障が存在することが推定される。
【００５４】
図１４（Ａ）は、左側の「ロードの下」に示すパタンを入力したときのシミュレーション結果（右側の「アンロード」の下のパタン）である。なお、パタンＸは、コンペアをマスクするパタンであり、したがって、１又は０のいずれでもよい（すなわち、「Ｄｏｎ’ｔ  Ｃａｒｅ」パタンである）。
【００５５】
圧縮テストモードの場合は、図１５に示すように、出力値が正常スキャンチェーンの出力値と故障スキャンチェーンの出力値とで圧縮された値として出力される。このため、圧縮スキャンチェーンの各スキャンＦＦの状態値を一意に特定することが難しい。そのため、圧縮テストモードのスキャンチェーン故障診断は、１次候補の故障範囲を絞り込むために、パスしたスキャンＦＦに対しても、圧縮器によってフェイル情報がマスクされたと仮定して推定する必要があり、診断が複雑化する。実際は仮定数が膨大なため実用的な絞り込みは不可能である。
【００５６】
なお、図１５（Ｂ）は、圧縮テストモードにおいて、「不良品」内の展開器と圧縮器の間の３行（７個）の箱の中の値は３本のスキャンチェーンの各スキャンＦＦの値を示している。「不良品」の中央のスキャンチェーンの破線矢印で示す箇所（下流から４個目）に、「ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障」があるものとする。圧縮器から出力されたパタンの下流から４個目のスキャンＦＦより上流側は、中央のスキャンチェーンの故障箇所（ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障）の影響を受けているが、圧縮器で圧縮された結果であるため、出力期待値（図１５（Ａ）のシミュレーションの出力パタン）と比較しても、故障と判断することはできない。
【００５７】
圧縮器では、３本のスキャンチェーンから入力される対応する段の３つのスキャンＦＦの値が同一の場合、０、１つでも異なる場合、１、Ｘ（コンペアマスク）の１つでも存在する場合、Ｘを出力する。
【００５８】
なお、スキャンチェーン故障診断に関連して特許文献１等も参照される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５９】
【特許文献１】特開２０１０−２８６３８３号公報
【非特許文献】
【００６０】
【非特許文献１】船津他、“スキャンチェーン故障診断手法の診断精度の向上”、  ＬＳＩテスティングシンポジウム２００９、Ｎｏｖ．２００９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００６１】
以下に関連技術の分析を与える。
【００６２】
（Ａ）スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、圧縮テストモードでテストを実行すると、複数本のスキャンチェーン上のフェイル情報が圧縮されるため、故障によっては、テスト結果のフェイル情報が正しく外部に出力されない場合がある。このため、テスト結果を用いた故障診断において、故障の１次候補の絞り込みができず、例えば複数本のスキャンチェーンが全て故障候補となる場合もある。この場合、故障シミュレーション回数が増大し、実用的な時間での故障診断が難しい。
【００６３】
（Ｂ）スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、チェーン長が長い。このため、スキャンチェーンの故障診断時の故障シミュレーションの時間（回数）が増大し、診断時間が長くなる。
【００６４】
（Ｃ）スキャンチェーン不良の被試験デバイスに対して、バイパステストモードを実行すると、１本のスキャンチェーンあたりのスキャンＦＦ数が圧縮テストモードの場合よりも多くなる。このため、１本のスキャンチェーンあたり、フェイルするスキャンＦＦの数も多くなり、故障診断のためのフェイル情報のログ（フェイル・ログ）を記憶する出力ファイルの容量が増大する。この結果、テスト時間が長くなる。この結果、実用的な時間で、診断のためのフェイル・ログを取得することが容易ではない。
【課題を解決するための手段】
【００６５】
上記問題点の少なくとも１つを解決するため、本発明によれば、概略以下の構成とされる（ただし、以下に制限されない）。
【００６６】
本発明によれば、スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報からスキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムであって、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成して記憶部に記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記バイパステストモードでのスキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方でのテスト結果から、故障候補スキャン・フリップフロップを絞り込む故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較し、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から、圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定して記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係に基づき、バイパステストモードの故障候補の範囲を圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの範囲に変換する故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
圧縮テストモードのテストパタンを用いて、故障候補のスキャン・フリップフロップを含むスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、圧縮テストモードでのテスト結果と照合し照合結果を出力装置に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、を備えた故障箇所推定システムが提供される。
【００６７】
本発明によれば、スキャン・フリップフロップからなるスキャンチェーンのテスト結果のフェイル情報から、故障スキャンチェーン上の故障の範囲を絞り込む故障箇所推定システムは、バイパステストモードと圧縮テストモードとのスキャンチェーン情報を比較して、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップの対応関係を算出する手段と、
圧縮テストモードのスキャンチェーンの入力端、出力端にそれぞれ位置する第１、第２のスキャン・フリップフロップと、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビットに対応するバイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャン・フリップフロップの番号を特定し、
バイパステストモードのテストパタンに対して、前記番号を特定した前記スキャン・フリップフロップに出力値を設定し、前記第１、第２のスキャン・フリップフロップの前後の所定ビット以外のスキャン・フリップフロップの出力値を期待値との比較をマスクする値に設定し、スキャンチェーン故障診断用テストパタンとして記憶するスキャンチェーン診断パタン作成手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるスキャンチェーンのテスト結果を取得し、テスト結果記憶部に記憶するテスト結果取得手段と、
回路の設計情報とテスト結果を読み込み、故障診断の初期設定を行う初期設定手段と、
前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンによるテスト結果から得られるスキャン・フリップフロップの出力値と出力期待値とを比較して、バイパステストモードでの故障スキャンチェーンおよび故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャンチェーン特定手段と、
前記テスト結果記憶部に記憶された前記スキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部のテスト結果を参照し、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャン・フリップフロップの出力期待値と前記ロジック部のテスト結果から得られる各スキャン・フリップフロップの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部に記憶する故障スキャン・フリップフロップ絞り込み手段と、
前記バイパステストモードの１次故障候補のスキャン・フリップフロップの範囲と、前記スキャン・フリップフロップ対応関係情報とを参照して、バイパステストモードのスキャン・フリップフロップを対応する圧縮テストモードのスキャン・フリップフロップ情報に変換し前記バイパステストモードの１次故障候補を圧縮テストモードでの１次故障候補に書き換え、前記故障スキャンチェーン記憶部に記憶する前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段と、
前記故障スキャン・フリップフロップ圧縮変換手段で書き換えられた前記１次故障候補の範囲に対して、前記故障種別に従って、スキャン・フリップフロップ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後を故障候補として区別してそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、一致率に基づき、スキャン・フリップフロップと信号線を故障種別と共に出力するスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段と、
前記スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段からの出力を受け、前記故障スキャンチェーンと、前記故障スキャン・フリップフロップと、前記故障種別と、故障信号線と、故障信号線の故障分岐位置とを出力する出力装置とを備える。
【発明の効果】
【００６８】
本発明によれば、テスト時間の増大を抑制し、スキャンチェーンの故障診断を容易化するとともに、故障箇所推定用の故障診断時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施形態の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態の手順を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン診断パタン作成手段の構成例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン診断パタン作成手段の動作を説明する図である。
【図５】スキャンチェーン回路例を模式的に示す図である。
【図６】（Ａ）はバイパステストモードのスキャンチェーン構成、（Ｂ）は出力期待値、（Ｃ）は出力値を示す図である。
【図７】故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７の構成を示す図である。
【図８】バイパステストモードから圧縮テストモードへのスキャンＦＦ変換を模式的に示す図である。
【図９】バイパステストモードで故障が生じた論理回路を模式的に示す図である。
【図１０】圧縮テストモードのスキャン回路を模式的に示す図である。
【図１１】スキャンチェーン上に故障が生じたときの現象と用語の定義について説明する図である。
【図１２】関連技術として非特許文献１に開示された構成を示す図である。
【図１３】図１２の関連技術の故障診断動作を説明する流れ図である。
【図１４】（Ａ）はバイパステストモードでのシミュレーション、（Ｂ）はバイパステストモードのテスト時の動作を模式的に示す図である。
【図１５】（Ａ）は圧縮テストモードでのシミュレーション、（Ｂ）は圧縮テストモードのテスト時の動作を模式的に示す図である。
【図１６】本発明の一実施形態におけるスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００７０】
本発明の実施形態について説明する。好ましい形態によれば、バイパステストモードでスキャンチェーン故障診断用のテストパタンを作成し、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンと、圧縮テストモードでのスキャンチェーン用のテストパタンの両方で、テストを行い、前記スキャンチェーン故障診断用テストパタンのテスト結果から、故障候補スキャンＦＦを絞り込み、さらに、圧縮テストモードスキャンチェーン用のテストパタンを用いたテスト結果と比較して、圧縮テストモードとバイパステストモードでのスキャンチェーン構造の差異から圧縮テストモードにおける故障スキャンチェーンを特定し、前記故障スキャンチェーンの故障候補スキャンＦＦの範囲を絞り込み、前記故障候補スキャンＦＦに繋がる信号線の分岐毎に、圧縮テストモードのテストパタンを用いてスキャンチェーンの故障シミュレーションを実行し、テスト結果と照合して該照合結果を出力する。
【００７１】
図１は、本発明の一実施形態の構成を示す図である。キーボード、または外部とのインターフェース部がある入力装置と、プログラム制御により動作するデータ処理装置と、ハードディスクやメモリなどの情報を記憶する記憶装置と、外部とのインターフェース部であるディスプレイ装置や印刷装置などの出力装置と備える。図１を参照して、各構成要素と各実行手段について説明する。記憶装置３は、テスタ（不図示）で得たテスト結果を記憶するテスト結果記憶部３１と、論理回路のネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を記憶する論理回路情報記憶部３２と、故障スキャンチェーン情報、故障種別情報、を記憶する故障スキャンチェーン記憶部３３と、故障候補スキャンＦＦ番号、スキャンチェーン上の信号線名、信号線の分岐位置番号を記憶した故障候補スキャンＦＦ記憶部３４と、を備える。
【００７２】
スキャンチェーン診断パタン作成手段２６は、ネットリスト情報、バイパステストモードのスキャンチェーン構成情報、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成情報を元に、バイパステストモードのスキャンＦＦ情報と、圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報との対応情報を作成して記憶する。そして、スキャンチェーン診断パタン作成手段２６は、圧縮テストモードの各スキャンチェーンの最もＳＩＮ側のスキャンＦＦ（ＳＩＮに入力端子が接続するスキャンＦＦ）及び最もＳＯＵＴ側のスキャンＦＦ（ＳＯＵＴに出力端子が接続するスキャンＦＦ）と同一のスキャンＦＦを、バイパステストモードのスキャンチェーン上で検索し、バイパステストモードのテストパタンに対して、検索結果のスキャンＦＦ情報を元に、出力期待値を設定するスキャンＦＦと、Ｄｏｎ’ｔ  ｃａｒｅ（‘Ｘ’）でマスクするスキャンＦＦに分類し、スキャンチェーン故障診断用のバイパステストパタンを作成し、論理回路情報記憶部３２に記憶する。
【００７３】
テスト結果取得手段２１は、テスタやＤＦＴ（Ｄｅｓｉｇｎ  Ｆｏｒ  Ｔｅｓｔａｂｉｌｉｔｙ）テスタなどのＬＳＩテスト装置を用いて、被疑サンプルに対して、被疑サンプルの全スキャンチェーンに対して、スキャンチェーン動作確認テストと、ロジック部動作テストを実行し、その結果をテスト結果記憶部３１に記憶する。
【００７４】
診断初期設定手段２２は、被疑サンプルのネットリスト情報、テストパタン情報、スキャンチェーン情報やテスト結果情報を読み込み、所定の情報を設定する。
【００７５】
故障スキャンチェーン特定手段２３は、テスト結果記憶部３１に記憶されたスキャンチェーン故障診断用テストパタンを用いたスキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンＦＦの出力値と、各スキャンＦＦの出力期待値とを比較して、バイパステストモードの故障スキャンチェーン及びその故障種別を特定し、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【００７６】
故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４は、テスト結果記憶部３１に記憶されたスキャンチェーン診断用テストパタンのロジック部動作テスト結果を参照し、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶された故障スキャンチェーンと故障種別を用いて、各スキャンＦＦの出力期待値とロジック部動作テスト結果から得られる各スキャンＦＦの出力値とを比較して、１次故障候補を絞り込み、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【００７７】
故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７は、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶されたバイパステストモードの１次故障候補情報から得られたスキャンＦＦの範囲に対して、論理回路情報記憶部３２に記憶されたバイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンＦＦ対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンＦＦを算出し、当該スキャンＦＦに対応する圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報に変換し、前記１次故障候補を書き換えた上で故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【００７８】
スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５は、故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７で推定した１次故障候補の範囲に対して、故障スキャンチェーン特定手段２３で特定した故障種別に従って、スキャンＦＦ間の信号線が分岐していた場合、該分岐の前後を故障候補として区別して、それぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行する。そして、圧縮テストモードのパタンを用いたスキャンチェーンの故障シミュレーション結果と、圧縮テストモードのテスト結果とを比較し、例えば、最も一致率の高いスキャンＦＦ及び信号線を故障種別と共に出力する。
【００７９】
図２は、図１の実施形態の故障診断の全体の手順を説明する流れ図である。
【００８０】
スキャンチェーン診断パタン作成手段２６は、スキャンチェーン診断用のテストパタンを生成する（Ａ０）。
【００８１】
テスト結果取得手段２１はテスト結果を取得する（Ａ１）。
【００８２】
診断初期設定手段２２は、故障診断初期設定を行う（Ａ２）。
【００８３】
故障スキャンチェーン特定手段２３は、スキャンチェーン動作の確認テスト結果から得られる各スキャンＦＦの出力値と、各スキャンＦＦの出力期待値に基づき、故障スキャンチェーンと故障モードを特定する（Ａ３）。
【００８４】
故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４は、故障スキャンＦＦの範囲の絞り込みを行う（Ａ４）。
【００８５】
故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７は、バイパステストモードのスキャンＦＦを算出し、当該スキャンＦＦに対応する圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報に変換し１次故障候補を書き換える（Ａ６）。
【００８６】
スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５は、スキャンＦＦ間の信号線が分岐していた場合、分岐前後で前記分岐に故障を仮定し（Ａ８）、圧縮テストモードのテストパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを実行し、故障シミュレーション結果と圧縮テストモードのテスト結果とを照合し、故障スキャンＦＦを特定する（Ａ５）。
【００８７】
なお、図１の各手段はコンピュータ上で動作するプログラムによりその機能・処理を実現するようにしてもよい。この場合、当該コンピュータプログラム、該プログラムを記録したコンピュータで読み出し可能な記録媒体が本発明により提供される。
【００８８】
次に、図１のスキャンチェーン診断パタン作成手段２６を説明する。図３は、スキャンチェーン診断パタン作成手段２６の構成例を示す図である。図３に示すように、スキャンチェーン診断パタン作成手段２６は、スキャンチェーン情報解析手段２６１と、スキャンＦＦ分類特定手段２６２と、診断パタン作成手段２６３を備えている。各手段の処理を以下に説明する。
【００８９】
スキャンチェーン情報解析手段２６１は、バイパステストモードのスキャンチェーンのスキャンＦＦ情報と、圧縮テストモードのスキャンチェーンのスキャンＦＦ情報の対応関係情報を算出し、スキャンＦＦ対応関係情報として、論理回路情報記憶部３２に記憶する。
【００９０】
スキャンＦＦ検索特定手段２６２は、スキャンチェーン情報解析手段２６１で算出され論理回路情報記憶部３２に記憶されたスキャンＦＦ対応関係情報を基に、圧縮テストモードの全スキャンチェーンの最もＳＩＮ側に位置するスキャンＦＦと、最もＳＯＵＴ側に位置するスキャンＦＦにそれぞれ対応する、バイパステストモードのスキャンチェーン上のスキャンＦＦと特定し、バイパステストモードの各スキャンチェーンのチェーン長を基に、より少ないスキャンＦＦ数にて当該スキャンチェーンの故障種別が特定できる出力期待値を算出し、‘０’または‘１’に設定するスキャンＦＦと、Ｄｏｎ’ｔ  ｃａｒｅ（‘Ｘ’）によって期待値との比較（コンペア）をマスクするスキャンＦＦとに分類する。
【００９１】
診断パタン作成手段２６３は、スキャンＦＦ検索特定手段２６２で取得されたスキャンＦＦ分類情報を基に、バイパステストモードのスキャンチェーンのテストパタンの値を編集し、スキャンチェーン診断用のテストパタンとして、論理回路情報記憶部３２に記憶する。
【００９２】
図４は、スキャンチェーン診断パタン作成手段２６の動作を説明する図である。図４（Ａ）、（Ｂ）は、バイパステストモードと圧縮テストモードのスキャンチェーン構成を表している。図４（Ａ）を参照すると、バイパステストモードのスキャンチェーン構成は、
チェーン本数：１本
チェーン長：２４ｂｉｔ
チェーン名：Ｃ１
である。スキャンチェーンにおいて、ＳＯＵＴ側からのスキャンＦＦ番号をＳ１、Ｓ２、…Ｓ２４とする。
【００９３】
図４（Ｂ）を参照すると、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成は、
チェーン本数：３本
チェーン長：各８ｂｉｔ
チェーン名：Ｃ１−１、Ｃ１−２、Ｃ１−３
である。３本のチェーンの各々において、ＳＯＵＴ側からのスキャンＦＦ番号をＳ１、Ｓ２、…、Ｓ２４とする。
【００９４】
バイパステストモードのスキャンチェーン構成と、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成とを照合し、スキャンチェーン上の全てのスキャンＦＦに対して、バイパステストモードと、圧縮テストモードの対応情報を作成して記憶する。
【００９５】
例えば図４において、Ｓ１７は、バイパステストモードのチェーン名Ｃ１、１７ｂｉｔ目のスキャンＦＦであると同時に、図４（Ｂ）の圧縮テストモードのチェーン名Ｃ１−１、１ｂｉｔ目のスキャンＦＦと同一であるという対応情報を算出し、全スキャンＦＦに対する両者の対応情報を作成して記憶する。
【００９６】
次に、圧縮テストモードのスキャンチェーン構成から、各スキャンチェーンの最もスキャン入力端子ＳＩＮ、スキャン出力端子ＳＯＵＴ側のスキャンＦＦ（ＳＩＮに入力が接続されるＳ８とＳＯＵＴに出力が接続されるＳ１）をキーポイント・スキャンＦＦとして検索し、前記対応情報に基づき、バイパステストモードのスキャンチェーン上における圧縮テストモードのキーポイント・スキャンＦＦを特定する。
【００９７】
例えば図４（Ｂ）におけるチェーン名Ｃ１−１のキーポイント・スキャンＦＦのＳ８、Ｓ１は、図４（Ａ）におけるチェーン名Ｃ１のＳ２４、Ｓ１７にそれぞれ対応し、
図４（Ｂ）におけるチェーン名Ｃ１−２のキーポイント・スキャンＦＦのＳ８、Ｓ１は、図４（Ａ）におけるチェーン名Ｃ１のＳ９、Ｓ１６にそれぞれ対応し、
図４（Ｂ）におけるチェーン名Ｃ１−３のキーポイント・スキャンＦＦＳ８、Ｓ１は、図４（Ａ）におけるチェーン名Ｃ１のＳ８、Ｓ１にそれぞれ対応する。
【００９８】
最後に、診断パタン作成手段２６３は、前記キーポイント・スキャンＦＦ情報に基づき、バイパステストパタンに対して、キーポイント・スキャンＦＦと、その前後の数ｂｉｔ分のスキャンＦＦの出力期待値が‘０’または‘１’の任意の値となるように設定し、それ以外のスキャンＦＦは出力期待値が‘Ｘ’となるように編集する。
【００９９】
図４（Ｃ）は、完成したスキャンチェーン故障診断用バイパステストパタンの出力期待値のイメージ図である。バイパステストモードの長いスキャンチェーンのポイントごとに期待値が設定されることになる。
【０１００】
診断パタンの作成には、最も簡単な方法として、既存のバイパステストモードのテストパタンから、所望の出力期待値を持つテストベクタを抽出して、不必要な情報を、マスクする方法がある。しかし、この方法では、シフトイン動作とキャプチャ動作で故障状態となるスキャンＦＦと、シフトアウト動作で故障状態となるスキャンＦＦとを区別することができないことから、故障スキャンＦＦの絞り込み精度が悪くなる。
【０１０１】
最良の診断パタン作成方法は、キーポイント・スキャンＦＦとする任意のスキャンＦＦ（ターゲット  スキャンＦＦとする）に対して、ターゲット  スキャンＦＦのデータ入力側の前段のスキャンＦＦのなかから、別スキャンチェーン上のスキャンＦＦを検索し、前段スキャンＦＦの期待値を自由に設定し、ターゲット  スキャンＦＦの出力値を決定することで（既存の設計ツール等が利用できる）、シフトイン動作と、キャプチャ動作で故障状態となるスキャンＦＦの影響を受けないパタンを作成することができる。
【０１０２】
このとき、スキャンチェーンが十分長い場合は、
スキャン入力端子ＳＩＮ側のキーポイント・スキャンＦＦから８ｂｉｔ分を“００１１００１１”、
スキャン出力端子ＳＯＵＴ側のキーポイント・スキャンＦＦから８ｂｉｔ分を“１１００１１００”とすることで、一つのテストパタンで、ｓｔｕｃｋ−ａｔ故障だけでなく、不定故障や遷移故障の故障種別の特定をより効率的に行うことができる。
【０１０３】
バイパステストモードのスキャンチェーンは、チェーン長が極めて長いことが多く、チェーン上に故障が存在すると、フェイル数が多くなり、テスト時間が長くなるという問題があるが、本実施形態によれば、スキャンチェーン上の故障をマスクすることで、診断に不必要なフェイル情報を出力しないため、テスト時間を格段に短縮でき、かつ、フェイル情報量を少なくすることができる。
【０１０４】
スキャンチェーン故障診断用のテストパタンは、予め作成しておくことで、テストパタン生成手順（図２のＡ０）をスキップしてもよい。
【０１０５】
図１の故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４の動作について図５と図６を参照して以下に詳しく説明する。図５は、回路例を模式的に示す図である。図５に示すように、回路内に２４個のスキャンＦＦが配置されており、上から２段目、右から３番目のスキャンＦＦに「ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障」が存在するものと仮定する。図６（Ａ）は、図５のバイパステストモードのスキャンチェーン構成を示し、図５のｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障の箇所がチェーン名Ｃ１、スキャンＦＦ番号Ｓ１３であることを示している。図６（Ｂ）はバイパステストモードの出力期待値、図６（Ｃ）はバイパステストモードの出力値の例である。
【０１０６】
図６（Ｂ）に示すように、出力期待値は、Ｓ１が‘０’、Ｓ２が‘１’、Ｓ７が‘０’、Ｓ８が‘１’、Ｓ９が‘０’、Ｓ１０が‘１’、Ｓ１５が‘０’、Ｓ１６が‘１’、Ｓ１７が‘０’、Ｓ１８が‘１’、Ｓ２３が‘０’、Ｓ２４が‘１’、他は‘Ｘ’とする。
【０１０７】
図６（Ｃ）に示すように、出力値は、Ｓ１が‘０’、Ｓ２が‘１’、Ｓ７が‘１’、Ｓ８が‘１’、Ｓ９が‘０’、Ｓ１０が‘１’、Ｓ１５が‘１’、Ｓ１６が‘１’、Ｓ１７が‘１’、Ｓ１８が‘１’、Ｓ２３が‘１’、Ｓ２４が‘１’、他は‘Ｘ’である。
【０１０８】
故障スキャンチェーン特定手段２３を用いて、故障種別がｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障であることが予め分かっているため、スキャンチェーン回路（圧縮テストモード）のシフトアウト動作時に、ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障の影響を受けた可能性がある範囲は、図６（Ｃ）に示すように、出力値‘Ｘ’を除いて、出力値‘１’が連続している範囲である図６（Ａ）のスキャンＦＦ  Ｓ１０からＳ２４までと推定することができる。
【０１０９】
図６では、２ｂｉｔ分のスキャンＦＦしか値（パタン）が設定されていないが（すなわち、‘０１’、他は‘Ｘ’）、‘０１０１’や‘００１１’などの設定値を用いてもよい。複数テストパタンを使用することで、より狭い範囲に故障スキャンＦＦの範囲を絞り込むことができる。
【０１１０】
図７は、図１の故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７の構成を示す図である。図７を参照すると、故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７は、バイパス故障候補算出手段２７１と、圧縮スキャンＦＦ変換手段２７２を備えている。バイパス故障候補算出手段２７１は、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶されたバイパステストモードの１次故障候補情報から得られたスキャンＦＦの範囲に対して、論理回路情報記憶部３２に記憶されたスキャンＦＦ対応関係情報に基づき、バイパステストモードのスキャンＦＦを算出し、圧縮スキャンＦＦ変換手段２７２は、そのスキャンＦＦに対応する圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報に変換し、１次故障候補を書き換えて故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【０１１１】
図８は、故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７の具体的な動作を説明する図である。図８（Ａ）は、バイパステストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名、スキャンＦＦ番号は、図６と同一であるものとする。
【０１１２】
図８（Ｂ）は、圧縮テストモードのスキャンチェーンの構成を示す図である。スキャンチェーン名は、上段からＣ１−１、Ｃ１−２、Ｃ１−３とし、各スキャンチェーンの左から順にＳ１、Ｓ２、・・・と番号付けする。スキャンチェーン故障診断パタンの作成時に得られたスキャンＦＦ対応関係情報を用いると、バイパステストモードのＣ１、Ｓ１７が、圧縮テストモードのＣ１−１、Ｓ２に対応し、その他のスキャンＦＦについても同様に対応関係がわかる。図６に示したように、ｓｔｕｃｋ−ａｔ１故障の影響を受けた可能性がある範囲であるスキャンＦＦ  Ｓ１０からＳ２４は、圧縮テストモードのチェーン名Ｃ１−２のスキャンチェーンのＳ７からチェーン名Ｃ１−１のスキャンチェーンのＳ８であることが分かる。
【０１１３】
故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７は、この対応関係情報を用いて、故障スキャンＦＦ絞り込み手段２４で得られたバイパステストモードの故障スキャンＦＦの範囲に対して、圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報に変換し、変換結果を、１次故障候補として書き換え、故障スキャンチェーン記憶部３３に記憶する。
【０１１４】
図１６に、図１のスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５の構成の一例を示す。なお、故障候補スキャンＦＦに繋がる信号線の分岐を考慮したスキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５は、特許文献１の記載が参照される（特許文献１の図１の分岐考慮故障シミュレーション照合部２６に一部対応している（図１６は、特許文献１の図５に基づく）。
【０１１５】
図１６において、スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段２５は、故障スキャンＦＦ選択部２５１、信号線分岐区別部２５２、スキャンチェーン故障シミュレーション部２５３及びシミュレーション結果照合部２５４を備えている。
【０１１６】
故障スキャンＦＦ選択部２５１は、故障スキャンチェーン記憶部３３の故障スキャンチェーンと、故障スキャンＦＦ圧縮変換手段２７で変換された圧縮テストモードのスキャンＦＦ情報を参照して、圧縮テストモードでのスキャンチェーン故障シミュレーションを行うための１次故障候スキャンＦＦの中から故障仮定スキャンＦＦを選択する。
【０１１７】
信号線分岐区別部２５２は、論理回路情報記憶部３２を参照して、故障仮定スキャンＦＦのスキャン出力から下流のスキャンＦＦまでの間の信号線群を、分岐ごとに区別する。
【０１１８】
スキャンチェーン故障シミュレーション部２５３は、論理回路情報記憶部３１と、故障スキャンチェーン記憶部３３に記録された、故障スキャンチェーンの故障種別を参照して、分岐を考慮した信号線に対して、分岐前後のそれぞれ故障を仮定し、圧縮テストモードのパタンを用いて、スキャンチェーン故障シミュレーションを行う。
【０１１９】
シミュレーション結果照合部２５４は、スキャンチェーン故障シミュレーション結果と、テスト結果記憶部３１に記録されたテスト結果（圧縮テストモードのテスト結果）を照合し、両者が一致している割合を算出する。シミュレーション結果照合部２５４は、両者が最も一致している割合が高いスキャンＦＦおよび信号線を故障種別と共に出力する。なお、所定の閾値を設けて、一致又は不一致の判定結果を出力してもよいし、一致する割合を故障可能性の度合いとして出力してもよい。なお、故障シミュレーション結果とテスト結果の一致率の算出方法は、上記した特許文献１の方法のほか、既存の一致率算出方法をそのまま利用しても良いし、独自に算出方法を組み込んでもよい。
【０１２０】
なお、上記の特許文献、非特許文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示（請求の範囲を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【符号の説明】
【０１２１】
１  入力装置
２  データ処理装置
３  記憶装置
４  出力装置
５  ＬＳＩテスト装置
２１  テスト結果取得手段
２２  故障初期設定手段
２３  故障スキャンチェーン特定手段
２４  故障スキャンＦＦ絞り込み手段
２５  スキャンチェーン故障シミュレーション照合手段
２６  スキャンチェーン診断パタン作成手段
２７  故障スキャンＦＦ圧縮変換手段
３１  テスト結果記憶部
３２  論理回路情報記憶部
３３  故障スキャンチェーン記憶部
３４  故障候補スキャンＦＦ記憶部
２５１  故障スキャンＦＦ選択部
２５２  信号線分岐区別部
２６３  スキャンチェーン故障シミュレーション部
２５４  シミュレーション結果照合部
２６１  スキャンチェーン情報解析手段
２６２  スキャンＦＦ検索特定手段
２６３  診断パタン作成手段
２７１  バイパス故障候補算出手段
２７２  圧縮スキャンＦＦ変換手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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