(57)【要約】【課題】発塵量を低く抑えると共に、強度を確保することができ、更に長期に亘って使用した際の耐久性を高めることができる、転がり軸受及びこれを用いたフィルムの搬送装置を提供する。【解決手段】  この転がり軸受１０Ａ，１０Ｂは、内輪２０と、その外周に配置される外輪２５と、内輪２５及び外輪３５の間に転動自在に配設された複数の転動体３０と、該転動体３０を回転可能に保持する保持器とを備え、一部の転動体３０ａが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されている。そして、この転がり軸受１０Ａ，１０Ｂを用いたフィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱硬化する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を規制するためのテンター装置４０として用いることができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と、その外周に配置される外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記転動体を回転可能に保持する保持器とを備え、前記転動体の一部のものが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されていることを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
前記内輪の外周面に形成された前記転動体の転走面、及び／又は、前記外輪の内周面に形成された前記転動体の転走面には、フッ素系樹脂による被膜が形成されている請求項１記載の転がり軸受。
【請求項３】
前記転動体の一部のものが、全体をフッ素系樹脂で形成されている請求項１又は２記載の転がり軸受。
【請求項４】
少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成された転動体が、全体を金属又はセラミックで形成された転動体の間に、前記保持器を介して等間隔で配置されている請求項１〜３のいずれか１つに記載の転がり軸受。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の転がり軸受を用いたフィルムの搬送装置。
【請求項６】
前記フィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、
前記テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、
前記テンターチェーンは、その走行方向と直交する支軸を介して回転可能に装着された上方転がり軸受を有し、該上方転がり軸受が、前記ガイド部材に当接して、前記チェーンを移動可能に支持しており、
前記上方転がり軸受が、請求項１〜４のいずれかに記載の転がり軸受で構成されている請求項５記載のフィルムの搬送装置。
【請求項７】
前記フィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、
前記テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、
前記テンターチェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンと、前記ブッシュの外周に装着されたローラ及び下方転がり軸受と、前記外側プレートにアームを介して連結された前記保持プレートとを有し、
前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたそれぞれのガイド部材は、前記ローラ及び前記下方転がり軸受を挟むように平行に立設された一対のガイドレールを有し、
前記下方転がり軸受が、請求項１〜４のいずれかに記載の転がり軸受で構成されている請求項５記載のフィルムの搬送装置。
【請求項８】
前記フィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、
前記テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、
前記テンターチェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンと、前記ブッシュの外周に装着されたローラ及び下方転がり軸受と、前記外側プレートにアームを介して連結された前記保持プレートと、前記外側プレートの長手方向と直交する支軸を介して回転可能に装着された前記上方転がり軸受とを有し、
前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたそれぞれのガイド部材は、前記ローラ及び前記下方転がり軸受を挟むように平行に立設された一対のガイドレールを有し、
前記上方転がり軸受が、前記ガイド部材のガイドレールに当接して前記テンターチェーンを移動可能に支持しており、
前記上方転がり軸受及び前記下方転がり軸受が、請求項１〜４のいずれかに記載の転がり軸受で構成されている請求項５記載のフィルムの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、グリースや潤滑油等が使用できない高温環境下や真空環境下などにおいて用いられる転がり軸受、及び、この転がり軸受を用いたフィルムの搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
内輪と、その外周に配置される外輪と、これらの間に配置される複数の転動体と、該転動体を保持する保持器とからなる転がり軸受は、各種機械に広く用いられており、上記転がり軸受には、転動体と内輪及び外輪との潤滑性を確保すべく、グリースや潤滑油等を用いることが一般的である。
【０００３】
例えば、フレキシブル配線基板材料およびＣＯＦ用基板材料等に用いられるポリイミドフィルムの製造工程において、ポリアミック酸溶液から形成された自己支持性フィルム（以下、単に「ポリイミドの自己支持性フィルム」ということがある）を加熱硬化する際に、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するための、フィルムの搬送装置としてのテンター装置が用いられている。このテンター装置として、転がり軸受を用いたものも知られているが、このような高温下で使用される転がり軸受では、グリースや潤滑油等が蒸発して回転性能が低下してしまうおそれがあった。そこで、そのような高温条件下では、フッ素系樹脂や二硫化モリブデン等の固体潤滑剤を有する転がり軸受が用いられている。
【０００４】
例えば、下記特許文献１には、内輪と、その外周に配置される外輪と、内輪及び外輪の間に転動自在に配設される複数の転動体と、固体潤滑剤を含有する材料からなるスペーサと、少なくとも１個のスペーサ及び１個の転動体を収納するポケットを備えた、固体潤滑転がり軸受が記載されている。前記スペーサは、二硫化モリブデン等の固体潤滑材料を、ガラス繊維等と混合してバインダーで固めて、円柱状に焼成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】再公表特許ＷＯ９９／６０２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１記載の固体潤滑転がり軸受の場合、保持器のポケットに収納されたスペーサにより潤滑性が付与されるようになっている。しかしながら、上記固体潤滑転がり軸受を長期に亘って使用した場合、スペーサと共に保持器のポケット内に収納された転動体がスペーサを押圧するため、スペーサが徐々に摩耗し、磨耗量が多くなってくると、鳴き音やゴリ付き感が生じることがあった。また、スペーサが主に二硫化モリブデンから構成されているので、転動体に押されて摩耗したときの、発塵量が比較的多いという不都合もある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、高温条件下でも使用でき、発塵量を低く抑えると共に、強度を確保することができ、更に長期に亘って使用した際の耐久性を高めることができる、転がり軸受及びこの転がり軸受を用いたフィルムの搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一つは、内輪と、その外周に配置される外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配設された複数の転動体と、前記転動体を回転可能に保持する保持器とを備え、前記転動体の一部のものが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されていることを特徴とする転がり軸受を提供するものである。
【０００９】
本発明の転がり軸受によれば、転動体の一部のものが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されているので、該転動体と内輪及び外輪との摩擦抵抗がフッ素系樹脂によって低減され、回転をスムーズに行うことができる。また、該転動体の表面から摩擦により削られたフッ素系樹脂が、他の転動体や内輪及び外輪の転走面に移着し、他の転動体と内輪及び外輪との摩擦抵抗も低減される。更に、全ての転動体ではなく、一部の転動体の少なくとも外周がフッ素系樹脂で形成されているので、他の転動体は、その全体を金属、セラミック等の硬度並びに耐熱性に優れた材料で形成でき、転がり軸受の強度や耐久性も維持することができる。また、他の転動体と内輪及び外輪との摩擦抵抗を低くして、それらを摩耗しにくくさせると共に、比較的発塵量の多い二硫化モリブデンを用いずに、フッ素系樹脂によって摩擦軽減を図れる転動体を形成しているので、発塵量を低く抑えることができる。
【００１０】
本発明の転がり軸受においては、前記内輪の外周面に形成された前記転動体の転走送面、及び／又は、前記外輪の内周面に形成された前記転動体の転走面には、フッ素系樹脂により被膜が形成されていることが好ましい。この態様によれば、内輪及び／又は外輪の転走面にフッ素系樹脂により被膜が形成されているので、転動体と内輪及び外輪との摩擦抵抗をより低減することができる。
【００１１】
本発明の転がり軸受においては、前記転動体の一部のものが、全体をフッ素系樹脂で形成されていることが好ましい。この態様によれば、前記転動体の一部のものが、全体をフッ素系樹脂で形成されているので、フッ素系樹脂が削られても金属表面が露出することがなく、フッ素系樹脂による潤滑性付与効果を長期に亘って持続することができる。
【００１２】
本発明の転がり軸受においては、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成された転動体が、全体を金属又はセラミックで形成された転動体の間に、前記保持器を介して等間隔で配置されていることが好ましい。この態様によれば、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成された転動体が、全体を金属又はセラミックで形成された転動体の間に、前記保持器を介して等間隔で配置されているので、摩擦により削られたフッ素系樹脂が、全体を金属又はセラミックで形成された転動体の表面に付着しやすくなり、全体としての潤滑性をより向上できる。また、全体を金属又はセラミックで形成された剛性の高い転動体が均等配置されることになるので、転がり軸受の強度や耐久性も維持しやすくすることができる。
【００１３】
一方、本発明のもう一つは、上記発明に係る転がり軸受けを用いたフィルムの搬送装置を提供するものである。
【００１４】
本発明のフィルムの搬送装置によれば、上記発明に係る転がり軸受けを用いることにより、転がり軸受の耐久性を維持しつつ、その摩擦抵抗を低減して、その回転を長期に亘ってスムーズに維持することができると共に、転がり軸受の摩耗による粉塵の発生を抑制し、粉塵が付着することによるフィルムの不良品の発生を低減することができる。
【００１５】
本発明のフィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、該テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、前記テンターチェーンは、その走行方向と直交する支軸を介して回転可能に装着された上方転がり軸受を有し、該上方転がり軸受が、前記ガイド部材に当接して、前記チェーンを移動可能に支持しており、前記上方転がり軸受が、上記発明に係る転がり軸受で構成されていることが好ましい。
【００１６】
この態様によれば、上方転がり軸受を介してガイド部材に当接させたことにより、テンターチェーンをガイド部材に対してスムーズに移動させることができる。また、該転がり軸受の転動体の一部のものが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されているので、ポリイミドの自己支持性フィルムの加熱硬化工程の環境下においても、転がり軸受の耐久性を維持しつつ、その摩擦抵抗を低減して、その回転を長期に亘ってスムーズに維持することができると共に、粉塵の発生を抑制し、ポリイミドフィルムの不良品の発生を低減することができる。
【００１７】
本発明のフィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、該テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、前記テンターチェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンと、前記ブッシュの外周に装着されたローラ及び下方転がり軸受と、前記外側プレートにアームを介して連結された前記保持プレートとを有し、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたそれぞれのガイド部材は、前記ローラ及び前記下方転がり軸受を挟むように平行に立設された一対のガイドレールを有し、前記下方転がり軸受が、上記発明に係る転がり軸受で構成されていることが好ましい。
【００１８】
この態様によれば、下方転がり軸受が、フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたそれぞれのガイド部材の一対のガイドレールの間に挿入されているので、テンターチェーンがフィルムの収縮力によって搬送方向と直角方向に引っ張られたとき、下方転がり軸受の外周面が、フィルム搬送経路側に位置するガイドレールの内面に当接し、テンターチェーンのピンの軸心が、ガイドレールに対して傾きにくくなるのに加え、下方転がり軸受によって、テンターチェーンとガイド部材との摩擦力をより効果的に軽減することができる。また、下方転がり軸受の、転動体の一部のものが、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されているので、ポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理工程の環境下において、転がり軸受の耐久性を維持しつつ、その摩擦抵抗を低減して、その回転を長期に亘ってスムーズに維持し、粉塵の発生を抑制して、ポリイミドフィルムの不良品の発生を低減することができる。
【００１９】
本発明のフィルムの搬送装置は、帯状をなして搬送されるポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理する際、その両端部を保持して加熱に伴う収縮を抑制しながら搬送するためのテンター装置であって、該前記テンター装置は、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材と、このガイド部材に沿って移動するテンターチェーンと、該テンターチェーンに取付けられた、前記フィルムの両端部を保持する保持プレートとを備え、前記テンターチェーンは、一対の外側プレートと、一対の内側プレートと、前記内側プレートの端部どうしを貫通して配置されたブッシュと、前記ブッシュ内に挿入されて、前記外側プレート及び前記内側プレートの端部どうしを連結するピンと、前記ブッシュの外周に装着されたローラ及び下方転がり軸受と、前記外側プレートにアームを介して連結された前記保持プレートと、前記外側プレートの長手方向と直交する支軸を介して回転可能に装着された前記上方転がり軸受とを有し、前記フィルムの搬送経路の両側に沿って配置されたそれぞれのガイド部材は、前記ローラ及び前記下方転がり軸受を挟むように平行に立設された一対のガイドレールを有し、前記上方転がり軸受が、前記ガイド部材のガイドレールに当接して前記テンターチェーンを移動可能に支持しており、前記上方転がり軸受及び前記下方転がり軸受が、上記発明に係る転がり軸受で構成されていることが好ましい。
【００２０】
この態様によれば、上方転がり軸受及び下方転がり軸受の両者について、ポリイミドの自己支持性フィルムを加熱処理工程の環境下での、耐久性を維持することができると共に、摩擦抵抗を低減して、その回転を長期に亘ってスムーズに維持することができ、その結果、粉塵の発生を効果的に抑制することができ、ポリイミドフィルムの不良品の発生をより確実に低減することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、一部の転動体の少なくとも外周がフッ素系樹脂で形成されているので、他の転動体は、その全体を金属、セラミック等の硬度並びに耐熱性に優れた材料で形成でき、転がり軸受の強度や耐久性も維持することができると共に、他の転動体と内輪及び外輪との摩擦抵抗を低くして、それらを摩耗しにくくさせ、粉塵を発生しにくくさせ、フッ素系樹脂によって摩擦軽減を図れる転動体を形成しているので、発塵量を低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る転がり軸受の一実施形態を示しており、一部を破断した斜視図である。
【図２】同転がり軸受の平面図である。
【図３】同転がり軸受の要部拡大断面図である。
【図４】本発明に係るフィルムの搬送装置としての、テンター装置の一実施形態を示しており、その平面図である。
【図５】同テンター装置の要部拡大平面図である。
【図６】同テンター装置の要部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して、本発明に係る転がり軸受について説明する。また、この転がり軸受を適用した本発明に係る、フィルムの搬送装置としてのテンター装置の一実施形態について説明する。なお、本発明の転がり軸受を用いたフィルムの搬送装置は、テンター装置に限定されない。
【００２４】
図６に示すように、この実施形態に係るテンター装置４０には、本発明に係る転がり軸受である下方転がり軸受１０Ａと上方転がり軸受１０Ｂとが組み込まれている。図６は、下方転がり軸受１０Ａと上方転がり軸受１０Ｂとが組み込まれている形態を示しているが、下方転がり軸受１０Ａまたは上方転がり軸受１０Ｂのいずれか１つでも良い。まず、図１〜３を参照して、これらの転がり軸受１０Ａ，１０Ｂについて説明する。
【００２５】
各転がり軸受１０Ａ，１０Ｂは、円筒状の内輪２０と、同じく円筒状をなし前記内輪２０の外周に所定間隔を設けて同心状に配置される外輪２５と、内輪２０及び外輪２５の間に転動自在に配設された複数の転動体３０と、これらの転動体３０を回転可能に保持する保持器３５と、環状をなすと共に前記内輪２０及び前記外輪２５の隙間に装着された一対のシールド３９，３９（図３参照）とから構成されている。なお、図１及び図２においては、便宜上、シールド３９を記載していない。
【００２６】
また、前記内輪２０の外周面に、凹溝状をなした転走面２１が形成されていると共に、前記外輪２５の内周面にも、凹溝状をなした転走面２６が形成されており、これらの転走面２１，２６により転動体３０が転動自在に挟持されるようになっている。更にこの実施形態における保持器３５は、周方向に複数の円弧状枠部３６ａが設けられた環状フレーム３６，３６どうしをピンやカシメ等により連結して、１個の転動体３０を保持するポケット３７が周方向に沿って均等な間隔で形成された構造をなしている。この実施形態の保持器３５は、９個のポケット３７を備えている。なお、保持器としては、例えば、ポケットを周方向に広く形成して、複数の転動体３０を収納保持するようにしてもよく、その構造は特に限定されない。
【００２７】
上記の内輪２０、外輪２５、保持器３５は、例えば、軸受鋼（ＳＵＪ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタン合金、銅合金、アルミニウム合金等の金属や、セラミック、更にはポリイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の樹脂から形成することができる。
【００２８】
また、内輪２０の転走面２１や外輪２５の転走面２６に、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等のフッ素系樹脂による被膜を形成することが好ましく、特にＰＴＦＥが、ポリイミドフィルムを製造する際の耐熱性の観点から好ましい。
【００２９】
前記保持器３５に保持される球状の転動体３０のいくつかは、例えば、軸受鋼（ＳＵＪ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、チタン合金、銅合金、アルミニウム合金等の金属や、セラミックで形成されている。
【００３０】
そして、複数の転動体３０のうち、一部の転動体３０ａは、少なくともその外周をフッ素系樹脂により形成されている。この転動体３０ａに用いられるフッ素系樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等を用いることができるが、特にＰＴＦＥが、ポリイミドフィルムを製造する際の耐熱性の観点から好ましい。
【００３１】
また、上記転動体３０ａは、その全体が上記フッ素系樹脂で形成されていることが好ましいが、外周のみフッ素系樹脂で被覆されていてもよい。全体がフッ素系樹脂からなる転動体３０ａは、例えば、フッ素系樹脂粉末をバインダーを介して球状に成形したり、溶融したフッ素系樹脂を射出成形又はプレス成形したりする方法で形成でき、外周にフッ素系樹脂が被覆された転動体３０ａは、例えば、金属又はセラミックスからなる球体の外周に、フッ素系樹脂の分散液をコーティングして溶媒を乾燥したり、溶融したフッ素系樹脂をコーティングしたりして形成できる。
【００３２】
図２に示すように、この実施形態では、保持器３５の９個のポケット３７のうち、等間隔で配置された３個のポケット３７に、少なくとも外周がフッ素系樹脂により形成された転動体３０ａ（「フッ素系樹脂付き転動体３０ａ」とする）が収納され、それらの間に配置された残りの６個のポケット３７に、金属やセラミックからなる転動体３０（以下「通常の転動体３０」とする）が収納されている。
【００３３】
フッ素系樹脂付き転動体３０ａの数は、少なくとも１つ以上あって、かつ、全部でなければよい。また、フッ素系樹脂付き転動体３０ａが複数あって、それらが保持器３５を介して、通常の転動体３０を間にして、周方向に等間隔で配置されていることが好ましい。更に、通常の転動体３０とフッ素系樹脂付き転動体３０ａとの割合は、８：１〜５：４であることが好ましく、８：１〜６：３であることが更に好ましい。
【００３４】
次に、図４〜６を参照して、上記構造の転がり軸受１０Ａ，１０Ｂを用いたテンター装置４０について説明する。
【００３５】
図４に示すように、この実施形態におけるテンター装置４０は、図示しないローラから引き出されて帯状をなして搬送されるフィルムＦの、搬送経路の両側に沿って配置されたガイド部材４５と、このガイド部材４５に沿って移動する無端状のテンターチェーン５０，５０とを有している。なお、前記フィルムＦは、ポリイミド前駆体の溶媒溶液を支持体上に流延又は塗布してなる、ポリイミドの自己支持性フィルムとされている。また、各テンターチェーン５０の一端部には、図示しない駆動手段により回動可能とされた駆動スプロケット４７が歯合し、他端部には従動スプロケット４８が歯合しており、図示しない駆動手段により駆動スプロケット４７が回動すると、各テンターチェーン５０が図４の矢印に示す方向に移動するようになっている。
【００３６】
この実施形態のテンター装置４０は、フィルムＦの両側部それぞれに、一対のガイド部材４５，４５が平行に配設されており、合計で４つのガイド部材４５を備えている。各ガイド部材４５は、レール状に伸びると共に所定間隔で互いに平行に配置された一対のガイドレール４６，４６からなり、これらのガイドレール４６，４６の間にテンターチェーン５０が挟持され、その移動がガイドされるようになっている。
【００３７】
図５及び図６に示すように、無端状のテンターチェーン５０は、互いに平行な一対の外側プレート５１，５２と、互いに平行な一対の内側プレート５３，５４とが、交互に連結された構造となっている。内側プレート５３，５４の両端部には、ローラ６０を回動可能に外装したブッシュ５５の上下両端部がそれぞれ圧入され、内側プレート５３，５４どうしが一体化されている。また、内側プレート５３，５４の端部外側に外側プレート５１，５２の端部が配置され、それらの端部どうしが、外側プレート５１，５２及びブッシュ５５内に挿入されるピン５６を介して、互いに回動可能となるように連結されている。このピン５６の一端が外側プレート５２に係合し、他端がワッシャ５７を介してナット５８により締付け固定され、両プレートが抜け止め保持されている。
【００３８】
そして、前記ブッシュ５５の外周であって前記ローラ６０の上方に、ガイド部材４５のガイドレール４６，４６の間に挟み込まれるようにして、下方転がり軸受１０Ａが回動可能に配置されている。なお、この下方転がり軸受１０Ａは、外輪２５の外径が前記ローラ６０よりも大きく形成されている。
【００３９】
図５及び図６に示すように、上方の外側プレート５１の中間部には、その長手方向及びテンターチェーン５０の走行方向（図５の矢印Ａ参照）に直交する支軸６２が固設されている。そして、この支軸６２の両端に上方転がり軸受１０Ｂ，１０Ｂが回動可能にそれぞれ取付けられている。これらの上方転がり軸受１０Ｂ，１０Ｂが、各ガイド部材４５のガイドレール４６，４６上に当接配置され、テンターチェーン５０がガイド部材４５の長手方向に沿って移動可能に支持されるようになっている。
【００４０】
上記外側プレート５１には、フィルムＦの搬送経路内に向けて延出されたアーム７５を介して、フィルムＦの長辺側の一端部を保持する保持プレート７０が取付けられている。この保持プレート７０は長板状をなし、上面から複数の突き刺しピン７０ａが突設され、これがフィルムＦに突き刺さって、フィルムＦを保持するようになっている（図５及び図６参照）。
【００４１】
図５及び図６に示すように、この実施形態のアーム７５は、略コ字状に屈曲形成された屈曲部７７と、この屈曲部７７の一側部７７ａに対して外方に曲げられ、前記保持プレート７０に固定される先端部７９と、前記屈曲部７７の他側部７７ｂに対して外方に曲げられ、前記外側プレート５１に固定される基端部８１，８１とから構成されており、アーム７５は、基端部８１，８１を介してテンターチェーン５０の外側プレート５１に取付けられるようになっている。
【００４２】
次に、上記構造からなるテンター装置４０の使用方法、及び、同テンター装置４０に適用した転がり軸受の作用効果について説明する。
【００４３】
そして、フィルムＦの長辺側の両端部を、各テンターチェーン５０にアーム７５を介して取付けられた保持プレート７０，７０の間に配置し、それらの突き刺しピン７０ａをフィルムＦに突き刺すことにより、フィルムＦの両端部が保持プレート７０，７０に保持される。
【００４４】
この状態で図示しない駆動手段により駆動スプロケット４７を回動させると、各テンターチェーン５０が、一対のガイドレール４６，４６からなるガイド部材４５によりガイドされつつ、ガイドレール４６，４６上を移動する上方転がり軸受１０Ｂ，１０Ｂに支持されながら図４の矢印方向に回動すると共に、このテンターチェーン５０の回動に伴って、アーム７５を介して保持プレート７０，７０がフィルムＦの両端部を保持しながら移動して、フィルムＦが図４，５の矢印Ａに示す方向に走行するようになっている。
【００４５】
このテンター装置４０においては、上方転がり軸受１０Ｂ，１０Ｂを、ガイド部材４５のガイドレール４６，４６上に当接配置させた構造となっているので、テンターチェーン５０をスムーズに移動させることができる。
【００４６】
また、ポリイミドの自己支持性フィルムの加熱硬化（キュア）工程時のように、フィルムＦが搬送中に収縮すると、保持プレート７０及びアーム７５を介して、テンターチェーン５０にフィルムＦの走行方向と直角方向（図６の矢印Ｂ参照）に張力が作用する。すると、下方転がり軸受１０Ａの外周面が、フィルムＦの搬送経路側のガイドレール４６の内面に当接するので、テンターチェーン５０のピン５６の軸心Ｃ（図６参照）が、ガイドレール４６に対して傾きにくくさせることができると共に、テンターチェーン５０とガイドレール４６との摩擦力を効果的に軽減することができる。
【００４７】
そして、各転がり軸受１０Ａ，１０Ｂは、保持器３５の複数のポケット３７に保持された複数の転動体３０のうち、３個の転動体３０ａが、その外周をフッ素系樹脂により形成されているので、内輪２０及び外輪２５が複数の転動体３０を介して相対的に回転したとき、転動体３０ａと内輪２０及び外輪２５との摩擦抵抗を、フッ素系樹脂によって低減させることができ、その回転をスムーズにさせることができる。
【００４８】
また、内輪２０及び外輪２５の間を転動するフッ素系樹脂付き転動体３０ａは、摩擦によりその表面からフッ素系樹脂が徐々に削られていくが、この削られたフッ素系樹脂が、他の転動体３０や、内輪２０の転走面２１、外輪２５の転走面２６に付着するので、他の転動体３０と内輪２０及び外輪２５との摩擦抵抗も低減させることができる。
【００４９】
更に、全ての転動体３０ではなく、一部の転動体３０ａの外周をフッ素系樹脂で形成したので、他の転動体３０は、その全体を金属やセラミック等の硬度並びに耐熱性に優れた材料で形成でき、転がり軸受１０Ａ，１０Ｂの強度や耐久性も維持することができる。  また、フッ素系樹脂付き転動体３０ａの効果により、他の転動体３０と内輪２０及び外輪２５との摩擦抵抗を低減して、それらを摩耗しにくくさせることができると共に、比較的発塵量の多い二硫化モリブデンを用いずに、フッ素系樹脂によって摩擦軽減を図れる転動体３０ａを用いたので、粉塵の発生量を少なくして、粉塵がフィルムＦに付着することを抑制することができる。
【００５０】
更にこの実施形態の場合、保持器３５の複数のポケット３７に、フッ素系樹脂付き転動導体３０ａが等間隔で配置され、それらの間に金属やセラミックからなる通常の転動体３０が配置されているので（図２参照）、摩擦によって転動体３０ａから削られたフッ素系樹脂が、通常の転動体３０の表面に付着しやすくなり、全体としての潤滑性をより向上させることができる。また、剛性の高い通常の転動体３０が、内輪２０及び外輪２５の周方向に沿って均等に配置されることになるので、転がり軸受１０の強度や耐久性を維持しやすくなる。
【００５１】
また、内輪２０の転走面２１や外輪２５の転走面２６にフッ素系樹脂による被膜を形成されている場合には、転動体３０，３０ａと内輪２０及び外輪２５との摩擦抵抗をより低減することができる。
【００５２】
なお、転動体３０ａが、芯体が金属で外周がフッ素系樹脂でコーティングされて形成されている場合、外周のフッ素系樹脂が摩擦力により削られると、芯体の金属表面が露出することがある。これに対して、転動体３０ａの外周のみをフッ素系樹脂で形成したのではなく、転動体３０ａの全体をフッ素系樹脂で形成した場合には、フッ素系樹脂が削られてとしても金属表面が露出することがなく、フッ素系樹脂による潤滑性付与効果を長期に亘って持続することができる。
【００５３】
そして、このテンター装置４０によれば、上記構造からなる転がり軸受を下方転がり軸受１０Ａや上方転がり軸受１０Ｂとして用いたので、ポリイミドの自己支持性フィルムの加熱処理工程のように、グリースや潤滑油等が使用できない高温雰囲気の環境下であっても、各転がり軸受１０ａ，１０ｂの耐久性を維持しつつ、転動体３０と内輪２０及び外輪２５との摩擦抵抗を低減して、その回転を長期に亘ってスムーズに維持することができ、また、粉塵の発生を抑制することができるので、ポリイミドフィルムの不良品の発生を低減することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１０Ａ，１０Ｂ  転がり軸受
２０  内輪
２１  転走面
２５  外輪
２６  転走面
３０  転動体
３０ａ  少なくとも外周がフッ素系樹脂からなる転動体
３５  保持器
３６  環状フレーム
３６ａ  円弧状枠部
３７  ポケット
３９  シールド
４０  テンター装置
４５  ガイド部材
４６  ガイドレール
４７  駆動スプロケット
４８  従動スプロケット
５０  テンターチェーン
５１，５２  外側プレート
５３，５４  内側プレート
５５  ブッシュ
５６  ピン
５７  ワッシャ
５８  ナット
６０  ローラ
６２  支軸
７０  保持プレート
７０ａ  突き刺しピン
７５  アーム
７７  屈曲部
７７ａ  一側部
７７ｂ  他側部
７９  先端部
８１  基端部
Ｆ  フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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