(57)【要約】 【課題】分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供する。【解決手段】本発明の表面汚染分析装置１００は、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置である。この表面汚染分析装置１００は、外部からの光を遮断する遮光容器１１０と、遮光容器１１０の中に配置され、透明板状部材を保持する保持部１２０と、透明板状部材の一方の端面に光を照射して、透明板状部材の内部に光を透過させる照明部１３０と、透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段１４０と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置であって、
外部からの光を遮断する遮光容器と、
前記遮光容器の中に配置され、前記透明板状部材を保持する保持部と、
前記透明板状部材の一方の端面に光を照射して、前記透明板状部材の内部に前記光を透過させる照明部と、
前記透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段と、
を備える、表面汚染分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表面汚染分析装置において、
前記透明板状部材を通過した前記光を反射する反射手段をさらに備え、
前記反射手段は、反射した前記光が前記透明板状部材の内部を再び透過するように構成された、表面汚染分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載の表面汚染分析装置において、
前記保持部が位置調節機能を有する、表面汚染分析装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれか一項に記載の表面汚染分析装置において、
前記照明部が位置調節機能を有する、表面汚染分析装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれか一項に記載の表面汚染分析装置において、
前記透明板状部材の前記端面に照射する前記光を集光する集光手段をさらに備える、表面汚染分析装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれか一項に記載の表面汚染分析装置において、
前記透明板状部材の前記端面に照射する前記光が発光ダイオードからの光である、表面汚染分析装置。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれか一項に記載の表面汚染分析装置において、
前記照明部が波長切り替え機能を有する、表面汚染分析装置。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれか一項に記載の表面汚染分析装置において、
前記表面分析手段が画像処理手段を含む、表面汚染分析装置。
【請求項９】
透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する方法であって、
外部からの光が遮断された遮光容器の中に、前記透明板状部材を配置し、
前記透明板状部材の一方の端面に照明部により光を照射して、前記透明板状部材の内部に前記光を透過させながら、前記透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する工程を含む、表面汚染の分析方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の表面汚染の分析方法において、
前記汚染物を分析する工程では、
前記透明板状部材を通過した前記光を反射させ、反射した前記光を前記透明板状部材の内部に再び透過させる、表面汚染の分析方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の表面汚染の分析方法において、
前記透明板状部材を配置した後に、前記透明板状部材および前記照明部の少なくとも一方の位置を調節する、表面汚染の分析方法。
【請求項１２】
請求項９乃至１１いずれか一項に記載の表面汚染の分析方法において、
前記透明板状部材の前記端面に照射する前記光が、発光ダイオードからの光である、表面汚染の分析方法。
【請求項１３】
請求項９乃至１２いずれか一項に記載の表面汚染の分析方法において、
前記汚染物の量を定量化する画像処理工程をさらに含む、表面汚染の分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面汚染分析装置および表面汚染の分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
粘着フィルムまたはシートは、製品の表面を塵の付着、汚れ、傷などから保護するための表面保護フィルムとして用いられてきた。近年、精密電子部品の表面保護フィルムとしても用いられている。
【０００３】
この粘着フィルムまたはシートには、粘着層と被着体との粘着力は適度に強いことが求められる。この適度な強さとは、自然に自己剥離したり軽い振動や衝撃で脱落したりすることが無い強さであり、かつ、剥離するときには被着体表面に粘着層を残すことなく剥離できる強さをいう。
【０００４】
得られた粘着フィルムまたはシートが被着体表面に粘着層を残すことなく剥離できるかどうかの評価として、特許文献１（国際公開第２００９／０８４５１７号）に記載されているような被着体への耐汚染性評価が用いられている。以下、特許文献１に記載されている被着体への耐汚染性評価について説明する。
【０００５】
はじめに、粘着フィルムサンプルの粘着層を、ゴムローラーを用いて黒色アクリル板へ貼付けて、試験サンプルを作成する。つぎに、この試験サンプルをオーブンへ投入し、エージングする。つづいて、それぞれの試験サンプルから粘着フィルムサンプルを剥離してアクリル板表面に転写があるか目視で評価する。評価基準は以下の通りである。
○：汚染なし
△：わずかに汚染あり
×：顕著な汚染あり
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００９／０８４５１７号パンフレット
【特許文献２】特開２００３−７５３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のように目視による被着体への耐汚染性評価は簡便であるため、粘着フィルムまたはシートの粘着性評価の一つとして一般的に用いられている。しかしながら、この評価方法は、評価者によって結果にバラツキが生じたり、わずかな汚染を見逃してしまったりする場合があった。また、○、△、×など定性的な評価のため、サンプル間で精度良く優劣をつけることが難しかった。
【０００８】
一方、特許文献２には、透明板状体に光を照射し、透明板状体の欠点で散乱した光を検知する透明板状体の欠点検出装置が記載されている。この欠点検出装置は、透明板状体の端面から光を照射して透明板状体の内部を透過させる照明器と、透明板状体の面側から照
射する照明器とを備えてある。この装置によれば、透明板状体の表面に付着した汚れや埃を透明板状体のキズや異物などの欠点と区別することが可能であるとされている。
しかしながら、特許文献２のような装置は、複数の照明器が必要であり、装置の構成が複雑であった。また、この装置を用いて、透明板状体の表面に付着した汚れや埃を分析するには、透明板状体に対して複数の方向から光を照射する必要があるため、分析方法も複雑であった。
【０００９】
本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、
透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する装置であって、
外部からの光を遮断する遮光容器と、
前記遮光容器の中に配置され、前記透明板状部材を保持する保持部と、
前記透明板状部材の一方の端面に光を照射して、前記透明板状部材の内部に前記光を透過させる照明部と、
前記透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段と、
を備える、表面汚染分析装置が提供される。
【００１１】
また、本発明によれば、  
透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する方法であって、
外部からの光が遮断された遮光容器の中に、前記透明板状部材を配置し、
前記透明板状部材の一方の端面に光を照射して、前記透明板状部材の内部に前記光を透過させながら、前記透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析する工程を含む、表面汚染の分析方法が提供される。
【００１２】
外部からの光を遮断する遮光容器の中に透明板状部材を配置し、その透明板状部材の一方の端面に光を照射して、透明板状部材の内部に光を透過させると、透明板状部材の汚染物が付着した部分は乱反射され白っぽく観察される。また、汚染物が付着していない部分は光が透過し、透明のまま観察される。
したがって、この発明によれば、透明板状部材の表面に付着した汚染物を精度良く、かつ、簡便に分析することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、分析精度に優れ、かつ、簡便に透明板状部材の表面に付着した汚染物を分析できる装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態における表面汚染分析装置の構成を示す側面断面図である。
【図２】本実施形態における表面汚染分析装置の構成を示す正面図である。
【図３】本実施形態における保持部の構成の一例を示す正面断面図である。
【図４】本実施形態における保持部および反射手段の構成の一例を示す正面断面図である。
【図５】本実施形態における照明部および集光手段の構成の一例を示す上面図である。
【図６】本実施形態における表面汚染分析装置の構成を示す側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宣説明を省略する。
【００１６】
＜表面汚染分析装置＞
はじめに、本実施形態における表面汚染分析装置１００について説明するが、本実施形態における表面汚染分析装置１００はこれらに限定されるものではない。  
【００１７】
図１は、本実施形態に係る表面汚染分析装置１００の構成を示す側面断面図である。図２は、本実施形態に係る表面汚染分析装置１００の構成を示す正面図である。図３は、本実施形態における保持部１２０の構成の一例を示す正面断面図である。
【００１８】
表面汚染分析装置１００は、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する装置である。この表面汚染分析装置１００は、外部からの光を遮断する遮光容器１１０と、遮光容器１１０の中に配置され、透明板状部材１２８を保持する保持部１２０と、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに光を照射して、透明板状部材１２８の内部に光を透過させる照明部１３０と、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段１４０と、を備えている。
【００１９】
透明板状部材１２８は、粘着フィルムまたはシートの被着体への耐汚染性評価に使用される透明の板である。例えば、アクリル板などのプラスチック板、ガラス板などが挙げられる。
【００２０】
遮光容器１１０は、外部からの光を遮断できる。遮光容器１１０の中には、保持部１２０と、照明部１３０とが配置されている。遮光容器１１０の外には、保持部１２０に保持された透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する表面分析手段１４０が配置されている。
【００２１】
遮光容器１１０の材質、形状や大きさは、外部からの光を遮断できれば、とくに限定されない。透明板状部材１２８の大きさによって適宜決められる。
遮光容器１１０は、遮光容器１１０の中を観察できる観察窓１５５を有する開閉板１５０を備えている。観察窓１５５から遮光容器１１０の内部を観察でき、透明板状部材１２８の表面を分析できる。また、開閉板１５０は上下にスライドできる。開閉板１５０を上下にスライドすることによって、観察窓１５５の位置を調節できる。
【００２２】
保持部１２０は、透明板状部材１２８を保持するための部材であり、遮光容器１１０の中に配置されている。保持部１２０は、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに、照明部１３０からの光が照射されるように透明板状部材１２８を支持でき、かつその状態を保持できるように構成されている。また、保持部１２０は、表面分析手段１４０により透明板状部材１２８の表面を分析できるように支持でき、かつその状態を保持できるように構成されている。
【００２３】
保持部１２０は、透明板状部材１２８の位置を調節する機能をもつ位置調節機能を有していることが好ましい。位置調節機能は、例えば、回転軸１２２である。回転軸１２２は、自由に回転できる。回転軸１２２を回転させることにより、透明板状部材１２８を自由に回転させることができ、その結果、透明板状部材１２８端部への光の照射角度を調節できる。回転軸１２２は、回転目盛りを有していることが好ましい。回転目盛りにより光の照射角度を任意の角度に再現性良く設定できる。
【００２４】
また、回転軸１２２は、上下に自由に移動できることが好ましい。上下に自由に移動できると、透明板状部材１２８と、照明部１３０との間の距離を任意に調節できる。つまり、表面汚染分析装置１００は、回転軸１２２により、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する際の照射角度および照射距離を任意に設定できる。
【００２５】
保持部１２０の構成は、図３に示すような構成が好ましい。図３は、本実施形態における保持部１２０の構成の一例を示す正面断面図である。以下、図３を用いて保持部１２０の構成について説明する。
保持部１２０は、回転軸１２２、固定軸１２４、取り付け部１２６Ａ、Ｂを有している。回転軸１２２は、自由に回転できる。取り付け部１２６Ａは透明板状部材１２８の一方の端を固定でき、取り付け部１２６Ｂは透明板状部材１２８の他方の端を固定できる。固定軸１２４は、取り付け部１２６Ａ、Ｂを固定し、回転軸１２２と接続している。
【００２６】
透明板状部材１２８の取り付け時の利便性から、取り付け部１２６Ａ、Ｂの少なくとも一方は着脱可能であることが好ましい。少なくとも一方が着脱可能であれば、あらかじめ透明板状部材１２８を着脱可能な取り付け部に取り付けた後、固定軸１２４に固定できる。
また、取り付け部１２６Ａ、Ｂの少なくとも一方は長軸方向に長さを調節できることが好ましい。こうすることにより、透明板状部材１２８の大きさが変わっても、固定軸１２４に安定的に固定できる。
【００２７】
本実施形態における表面汚染分析装置１００は、図４のように、透明板状部材１２８を通過した光を反射する反射手段をさらに備えていることが好ましい。図４は、本実施形態における保持部１２０および反射手段１６０の構成の一例を示す正面断面図である。反射手段１６０は、照明部１３０から透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに向かって照射され、透明板状部材１２８の内部または外部を通過した光を反射する。反射手段１６０で反射された光は、透明板状部材１２８の内部に再び透過する。よって、反射手段１６０を備えると、透明板状部材１２８を通過した光を再度使用することができ、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物をより一層精度良く分析できる。反射手段１６０は、光を反射できればとくに限定されないが、板状であり、かつ、光を反射できる反射板であることが好ましい。例えば、アルミニウム、銀、ステンレスなどの金属板、プラチック板やガラス板などの基材の表面に金属を蒸着させた板などである。
また、固定軸１２４が反射手段１６０を兼ねることが好ましい。
【００２８】
本実施形態における照明部１３０は、遮光容器１１０の中に配置されており、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに光を照射する。また、照明部１３０は、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに光を照射できる位置に配置されている。
【００２９】
照明部１３０は、透明板状部材１２８との間の距離を調節する機能をもつ位置調節機能を有していることが好ましい。位置調節機能は、例えば、回転軸１３２である。回転軸１３２は、自由に回転できる。回転軸１３２を回転させることにより、照明部１３０を回転させることができ、その結果、透明板状部材１２８端部への光の照射角度を調節できる。回転軸１３２は、回転目盛りを有していることが好ましい。回転目盛りにより光の照射角度を任意の角度に再現性良く設定できる。
【００３０】
また、照明部１３０は、上下に自由に移動できることが好ましい。例えば、回転軸１３２により照明部１３０が上下に自由に移動できると、透明板状部材１２８と、照明部１３０との間の距離を任意に調節できる。
また、照明部１３０は、横方向にも自由に移動できることが好ましい。例えば、回転軸１３２により照明部１３０が横方向に自由に移動できると、透明板状部材１２８を斜めに回転させることにより透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａが横方向にずれても、照射光を透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに照射することができる。
つまり、表面汚染分析装置１００は、回転軸１３２により、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する際の照射角度および照射距離を任意に設定できる。
【００３１】
照明部１３０の光源１３４には、ハロゲン、キセノン、水銀、ナトリウムまたは発光ダイオードなどの各種ランプ、Ｈｅ−Ｎｅレーザー、Ａｒレーザー、ダイレーザー、発光ダイオードレーザーなどの各種レーザーなど、可視域の光を発光するものを使用できる。これらの中でも、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａを照明するには、指向性が優れる発光ダイオード、または光がビーム状に出る各種レーザーを光源１３４に使用することが好ましい。
【００３２】
照明部１３０の光源１３４には、とくに、発光ダイオードが好ましい。発光ダイオードは指向性が優れるため、透明板状部材１２８の端面を効率良く照明できる。また、発光ダイオードの中でも白色発光ダイオードがとくに好ましい。
【００３３】
また、本実施形態における表面汚染分析装置１００は、図５のように、透明板状部材１２８の端面に照射する光を集光する集光手段１７０を有することが好ましい。図５は、本実施形態における照明部１３０および集光手段１７０の構成の一例を示す上面図である。
集光手段１７０は、光源１３４上に配置され、光源１３４から照射された光を集光し、透明板状部材１２８の端面に照射光を効率良く導くことができる。
集光手段１７０は、例えば、スリット、凸レンズ、ガラスファイバーなどが挙げられる。これらの中でも、照射光の幅を任意に設定可能なスリットがとくに好ましい。
また、本実施形態において、照射光の幅は、透明板状部材１２８の厚みよりも小さい方が好ましい。こうすることにより、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａから透明板状部材１２８の内部に、照射光をより一層効率良く透過させることができる。
【００３４】
また、照明部１３０は波長切り替え機能を有していることが好ましい。照射光の波長を切り替えることにより、汚染物の種類によって最適な照射光を設定できる。
【００３５】
本実施形態における表面分析手段１４０は、保持部１２０に保持された透明板状部材１２８の表面を分析する。表面分析手段１４０は、固定台１４５に固定されており、遮光容器１１０の外に配置されている。
固定台１４５は、上下および前後いずれにも移動できる。表面分析手段１４０を固定台１４５に固定後、固定台１４５の位置を移動させることによって、表面分析手段１４０を観察窓１５５に接続できる。
観察窓１５５に接続した表面分析手段１４０は、観察窓１５５を介して遮光容器１１０の中に配置された透明板状部材１２８の表面を分析することができる。
【００３６】
表面分析手段１４０は、画像を撮像できるカメラを用いることが好ましい。表面分析手段１４０で取り込んだ画像は、ＣＲＴや液晶パネルなどのモニターに表示してもよい。
また、表面分析手段１４０としてカメラを用いる場合、透明板状部材１２８の少なくとも１箇所にフォーカスマークをつけておくことが好ましい。こうすることにより、透明板状部材１２８の画像のピントを合わせやすくなる。フォーカスマークは、シールで貼って付けてもよいし、透明板状部材１２８の一部を有色にして付けてもよい。
【００３７】
また、表面分析手段１４０は、図６に示すように、撮像した画像の処理をおこなう画像処理手段２１０を含むことが好ましい。図６は、本実施形態に係る表面汚染分析装置２００の構成を示す側面断面図である。
画像処理手段２１０は、例えば、演算処理機能をもつコンピューターである。画像処理手段２１０は、通信手段２２０を介して表面分析手段１４０に接続している。画像処理手段２１０は、表面分析手段１４０が撮像した画像を用いて、透明板状部材１２８の汚染部分の面積や濃淡を数値化する。こうすることにより、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物の量を定量化することができ、サンプル間でより一層精度良く優劣をつけることができる。
【００３８】
＜表面汚染の分析方法＞
つづいて、表面汚染分析装置１００を用いて、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する方法について説明する。本実施形態における透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する方法は、外部からの光が遮断された遮光容器１１０の中に、表面に汚染物が付着した透明板状部材１２８を配置し、透明板状部材１２８の一方の端面に照明部１３０から光を照射して、透明板状部材１２８の内部に光を透過させながら、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する工程を含んでいる。
【００３９】
以下、図１〜図６を参照しながら詳細に説明する。
はじめに、外部からの光が遮断された遮光容器１１０の中の保持部１２０に、表面に汚染物が付着した透明板状部材１２８を取り付ける。このとき、保持部１２０は、透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに照明部１３０からの光が照射でき、かつ、表面分析手段１４０により透明板状部材１２８の表面を分析できるように透明板状部材１２８を保持する。
また、保持部１２０は、固定軸１２４が照明部１３０からの光を反射でき、かつ、その反射光が透明板状部材１２８の他方の端面１２８Ｂに照射されるように透明板状部材１２８を保持することが好ましい。
【００４０】
保持部１２０に透明板状部材１２８を取り付ける方法はとくに限定されない。例えば、透明板状部材１２８の端を取り付け部１２６Ａに取り付けた後、固定軸１２４に接続されている取り付け部１２６Ｂに取り付ける。このとき、取り付け部１２６ＡまたはＢの長さを調節してもよい。長さを調節することにより、透明板状部材１２８を安定的に固定できる。
また、透明板状部材１２８を保持部１２０に取り付けた後、回転軸１２２により、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する際の照射角度および照射距離を調節してもよい。
また、回転軸１２２を設けることによって生じる隙間などから、遮光容器１１０の中に外部からの光が入り込まないように、生じる隙間に遮光カバーを掛けるのが好ましい。こうすることにより、遮光容器１１０の中に外部からの光が入り込むのをより一層防ぐことができる。
【００４１】
透明板状部材１２８を遮光容器１１０の中に配置した後、照明部１３０から透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに光を照射して、透明板状部材１２８の内部に光を透過させる。このとき、回転軸１３２により、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する際の照射角度および照射距離を調節してもよい。また、汚染物の種類に応じて、照明部１３０の照射光の波長を切り替え、最適な照射光を設定してもよい。さらに、集光手段１７０の幅や種類を調節することにより、照射光が透明板状部材１２８の端面に効率良く導かれるようにしてもよい。
【００４２】
次いで、透明板状部材１２８の内部に光を透過させながら、表面分析手段１４０により透明板状部材１２８の表面を分析する。
以下、表面分析手段１４０により透明板状部材１２８の表面を分析する方法について説明する。まず、表面分析手段１４０を固定台１４５に固定する。つぎに、固定台１４５および観察窓１５５の位置をそれぞれ調節し、表面分析手段１４０を観察窓１５５に接続させる。
そして、透明板状部材１２８の内部に光を透過させながら、表面分析手段１４０により、透明板状部材１２８の表面を分析する。このとき、透明板状部材１２８の汚染された部分は乱反射され白っぽく観察される。また、汚染されていない部分は光が透過し、透明のまま観察される。また、表面分析手段１４０で取り込んだ画像は、ＣＲＴや液晶パネルなどのモニターに表示してもよい。モニターを用いることにより、汚染物をより一層明瞭に分析できる。ここで、表面分析手段１４０で取り込んだ画像は、後の画像処理工程のために、コンピューターに保存することが好ましい。
【００４３】
（画像処理工程）
本実施形態における表面汚染の分析方法は、表面分析工程後に、撮像した画像から汚染物の量を定量化する画像処理工程をさらにおこなってもよい。まず、表面分析手段１４０により撮像した画像を通信手段２２０を用いて画像処理手段２１０に送信する。そして、画像処理手段２１０により、撮像した画像を用いて、透明板状部材１２８の汚染部の面積や濃淡を数値化する。画像処理工程をさらにおこなうことにより、透明板状部材１２８の汚染物の量を定量化でき、サンプル間でより一層精度良く優劣をつけることができる。
【００４４】
以上のようにして、本実施形態における表面汚染分析装置１００を用いて、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を分析する。
【００４５】
つづいて、本実施形態の効果について説明する。
外部からの光を遮断する遮光容器１１０の中に透明板状部材１２８を配置し、その透明板状部材１２８の一方の端面１２８Ａに光を照射して、透明板状部材１２８の内部に光を透過させると、透明板状部材１２８の汚染された部分は乱反射され白っぽく観察される。また、汚染されていない部分は光が透過し、透明のまま観察される。したがって、本実施形態によれば、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物を精度良く分析することができる。
また、反射手段１６０をさらに備えると、透明板状部材１２８を通過した光を再度使用することができ、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物をより一層精度良く分析できる。
また、画像処理手段２１０をさらに備えると、透明板状部材１２８の表面に付着した汚染物の量を定量化できる。したがって、本実施形態によれば、サンプル間でより一層精度良く優劣をつけることができる。
【００４６】
以上のように、本実施形態によれば、分析精度に優れ、かつ、簡便な、透明板状部材１２８の表面汚染分析装置および表面汚染の分析方法が提供できる。
【００４７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。例えば、以下のような構成が挙げられる。
【００４８】
本実施形態では、保持部１２０の下方向にのみ照明部１３０が配置されている場合を示したが、保持部１２０の上下両方や上方向にのみ照明部１３０が配置されている構成を採用することもできる。
【００４９】
また、本実施形態では、表面分析手段１４０が遮光容器１１０の外に配置されている場合を示したが、表面分析手段１４０が遮光容器１１０の中に配置されている構成を採用することもできる。この場合は、取り込んだ画像を外部のＣＲＴや液晶パネルなどのモニターに表示させることが好ましい。
【００５０】
また、本実施形態では、表面分析手段１４０で取り込んだ画像を通信手段２２０を用いて画像処理手段２１０に送信する場合を示したが、表面分析手段１４０で取り込んだ画像を記録媒体に保存し、その記録媒体から画像処理手段２１０に画像を読み込ませる方法を用いてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１００    表面汚染分析装置
１１０    遮光容器
１２０    保持部
１２２    回転軸
１２４    固定軸
１２６Ａ  取り付け部
１２６Ｂ  取り付け部
１２８    透明板状部材
１２８Ａ  端面
１２８Ｂ  端面
１３０    照明部
１３２    回転軸
１３４    光源
１４０    表面分析手段
１４５    固定台
１５０    開閉板
１５５    観察窓
１６０    反射手段
１７０    集光手段
２００    表面汚染分析装置
２１０    画像処理手段
２２０    通信手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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