(57)【要約】【課題】装置を大型化することなく、小型化されたワークに対し、そのワークの封入路の末端の細部まで封入液を満たす。【解決手段】装置本体１の内部空間をダイアフラム１０で仕切って封入液収容室１−１を形成する。封入液収容室１−１の流出口１−１ｂとワーク２００の封入口１−１ｂとを連通させ、真空引きで封入液３を封入液収容室１−１に取り込み、連通路２００ｂを通して封液室２００ｃに充填させて行く。この後、所定時間の経過を待って、封入液３の取込みを中断する。次に、空気圧ＰＧの供給を開始し、ダイアフラム１０を封入液収容室１−１の内側に撓ませる。これにより、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃに更に送られるものとなる。そして、封入液収容室１−１と空気圧供給室１−２との間の差圧ΔＰが零となった時点で、空気圧ＰＧの供給を停止する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部に開口した封入口と、この封入口と連通する連通路と、この連通路と連通する封液室とを備えた対象物をワークとし、このワークの封液室に前記封入口から前記連通路を通して封入液を充填する封入液の封入装置において、
前記封入液の流入口と流出口とを有し、前記流出口が前記ワークの封入口と連通され、前記流入口より前記封入液が真空引きで取り込まれて収容される封入液収容室と、
前記封入液収容室の一部を構成するとともに、外部からの圧力を受けて前記封入液収容室の容積を変化させ、その容積の変化分に対応する量の封入液を前記ワークの封液室に更に送る圧力動作機構と
を備えることを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項２】
請求項１に記載された封入液の封入装置において、
前記圧力動作機構は、
前記封入液収容室の内側に臨む第１の面と、前記封入液収容室の外側に臨み前記外部からの圧力を受ける第２の面とを有するダイアフラムで構成されている
ことを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項３】
請求項１に記載された封入液の封入装置において、
前記圧力動作機構は、
前記外部からの圧力を受けて撓む第１のダイアフラムと、
前記封入液収容室の一部を構成する第２のダイアフラムと、
前記第１のダイアフラムの前記外部からの圧力を受ける面とは反対側の面と前記第２のダイアフラムの前記封入液収容室の内側に臨む面とは反対側の面との間に封入された圧力伝達媒体とで構成されている
ことを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項４】
請求項１に記載された封入液の封入装置において、
前記圧力動作機構は、
前記封入液収容室の内側に臨む第１の面と、前記封入液収容室の外側に臨み前記外部からの圧力を受ける第２の面とを有するピストンと、
前記ピストンの外周面と接する内周面を有するシリンダとで構成されている
ことを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項５】
請求項１に記載された封入液の封入装置において、
前記圧力動作機構は、
前記封入液収容室の内側に臨む第１の面と、前記封入液収容室の外側に臨み前記外部からの圧力を受ける第２の面とを有するベローズで構成されている
ことを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載された封入液の封入装置において、
前記封入液収容室の室内の圧力を第１の圧力とし、前記圧力動作機構が受ける外部からの圧力を第２の圧力とし、この第１の圧力と第２の圧力との差圧を検出する差圧検出器
を備えることを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項７】
請求項１に記載された封入液の封入装置において、
前記圧力動作機構は、差圧発信器により構成され、
前記差圧発信器は、
前記封入液収容室の一部を構成する第１の受圧ダイアフラムと、
前記外部からの圧力を受けて撓む第２の受圧ダイアフラムと、
前記第１の受圧ダイアフラムと前記第２の受圧ダイアフラムとの間に設けられたセンタダイアフラムと、
前記第１の受圧ダイアフラムの前記封入液収容室の内側に臨む面とは反対側の面と前記センタダイアフラムの一方の面との間に封入された第１の圧力伝達媒体と、
前記第２の受圧ダイアフラムの前記外部からの圧力を受ける面とは反対側の面と前記センタダイアフラムの他方の面との間に封入された第２の圧力伝達媒体と、
前記第１の圧力伝達媒体がその一方の面に導かれ、前記第２の圧力伝達媒体がその他方の面に導かれ、この第１の圧力伝達媒体および第２の圧力伝達媒体によって導かれた圧力の差圧に応じた信号を出力するセンサダイアフラムとを備える
ことを特徴とする封入液の封入装置。
【請求項８】
外部に開口した封入口と、この封入口と連通する連通路と、この連通路と連通する封液室とを備えた対象物をワークとし、このワークの封液室に請求項６又は７に記載された封入液の封入装置を用いて封入液を充填する封入方法であって、
前記ワークの封入口と前記封入液収容室の流出口とを連通させてから、前記封入液収容室の流入口からの前記封入液収容室への前記封入液の真空引きでの取り込みを開始する第１工程と、
前記第１工程の後、所定時間の経過を待って、前記封入液収容室への封入液の取込みを中断する第２工程と、
前記第２工程の後、前記圧力動作機構を動作させ、前記封入液収容室の容積の変化分に対応する量の封入液を前記ワークの封液室に更に送る第３工程と、
前記第３工程の後、前記差圧検出器が検出する差圧が零となった時に、前記圧力動作機構の動作を停止させる第４工程と
を備えることを特徴とする封入液の封入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、封液室を備えた対象物をワークとし、このワークの封液室に封入液を充填する封入液の封入装置および封入方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工業用の差圧発信器（伝送器）として、圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを用いた差圧発信器が用いられている。この差圧発信器は、高圧側および低圧側の受圧ダイアフラムに加えられる各測定圧を、圧力伝達媒体としての封入液によってセンサダイアフラムの一方の面および他方の面に導き、そのセンサダイアフラムの歪みを例えば歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出し、この抵抗値変化を電気信号に変換して取り出すように構成されている。
【０００３】
このような差圧発信器は、例えば石油精製プラントにおける高温反応塔等の被測定流体を貯蔵する密閉タンク内の上下２位置の差圧を検出することにより、液面高さを測定するときなどに用いられる。
【０００４】
この差圧発信器において、圧力伝達媒体としての封入液は、封入装置を用いて内部の封液室に充填される。この封液室に封入液を充填する封入装置の一例が特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示された封入装置は、図１３に示すように、外部に開口した封入口１２１と、この封入口１２１と連通する連通路１１４と、この連通路１１４と連通する封液室１１３とを備えた構造の発信器本体１１１をワーク（対象物）とし、このワークに封入液を充填する装置として用いられる。
【０００５】
この封入装置は、発信器本体１１１を支持する治具１２５と、治具１２５を装着することで発信器本体１１１を含めた空間を真空にすることができる真空室１２６と、真空室１２６を真空にするための真空ポンプ１２７と、拡散ポンプ１２８及びそれに付帯する配管やバルブと、真空状態を確認するためのピラニ真空計１２９及び電離真空計１３０と、封入液として圧力伝達用オイル１３１を発信器本体１１１に封入するためのオイル注入ノズル１３２及びオイルポット１３３と、圧力伝達用オイル１３１中の空気や水分を取り除くための温度調節器１３４と、ロータリーポンプ１３５及びそれに付帯する配管やバルブとによって構成されている。オイル注入ノズル１３２の先端には発信器本体１１１の封入口１２１に係合する注入端部１３６が設けられている。発信器本体１１１の封液室１１３はその内壁面の一部がダイアフラム１１２とされている。
【０００６】
このように構成された封入装置において、発信器本体１１１に圧力伝達用オイル１３１を封入するためには、先ず、治具１２５によって支持した発信器本体１１１を真空室１２６の中に設置し、真空ポンプ１２７を駆動させて真空室１２６を真空にする。そして、真空室１２６の真空を確認後、図１４に示すように、オイル注入ノズル１３２の先端の注入端部１３６を発信器本体１１１の封入口１２１に取り付け、圧力伝達用オイル１３１を注入する。
【０００７】
注入された圧力伝達用オイル１３１は、封入口１２１より感圧素子室１１５に入り、連通路１１４を通って、封液室１１３に至る。このようにして、封入口１２１より注入された圧力伝達用オイル１３１は、連通路１１４を通して、封液室１１３に充填されて行く。
【０００８】
そして、この封液室１１３への圧力伝達用オイル１３１の充填完了後、真空室１２６を大気圧にし、注入端部１３６を封入口１２１から外し、図１５に示すように、金属ボール１２２と押しねじ１２３とで封入口１２１を封止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−３３１３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
差圧発信器は、その設置場所の制約から、小型化が望まれる。差圧発信器を小型化すると、それにつれ、封入液の封入路の径も小さくなって行く。そうすると、封入液の粘性や表面張力が重力（自重）に対して相対的に大きくなり、特許文献１に開示されているような封入装置では、封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが難しくなるという問題がある。なお、その対応策として、オイルポット１３３と封入口１２１との高低差を更に大きくとることが考えられるが、封入装置が大型化するという問題がある。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、装置を大型化することなく、小型化されたワークに対し、そのワークの封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが可能な封入液の封入装置および封入方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために本発明は、外部に開口した封入口と、この封入口と連通する連通路と、この連通路と連通する封液室とを備えた対象物をワークとし、このワークの封液室に封入口から連通路を通して封入液を充填する封入液の封入装置において、封入液の流入口と流出口とを有し、流出口がワークの封入口と連通され、流入口より封入液が真空引きで取り込まれて収容される封入液収容室と、封入液収容室の一部を構成するとともに、外部からの圧力を受けて封入液収容室の容積を変化させ、その容積の変化分に対応する量の封入液をワークの封液室に更に送る圧力動作機構とを備えることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、封入液収容室の流入口より封入液が真空引きで取り込まれて、封入液収容室に収容される。この際、封入液収容室の流出口はワークの封入口と連通しているので、真空引きで取り込まれた封入液は、封入液収容室を経由し、ワークの封入口より、連通路を通して封液室に充填されて行く。ここで、封入液の粘性や表面張力によって、封入液を完全に充填できない場合がある。このような場合、圧力動作機構を動作させることにより、そのワークの封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが可能となる。すなわち、圧力動作機構に外部から圧力を加えると、封入液収容室の容積が変化し、その容積の変化分に対応する量の封入液がワークの封液室に更に送られるようになる。これにより、ワークの封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが可能となり、連通路を通して、封液室に封入液を完全に充填することができるようになる。
【００１４】
本発明において、圧力動作機構は、封入液収容室の内側に臨む第１の面と、封入液収容室の外側に臨み外部からの圧力を受ける第２の面とを有するダイアフラムで構成したり、外部からの圧力を受けて撓む第１のダイアフラムと、封入液収容室の一部を構成する第２のダイアフラムと、第１のダイアフラムの外部からの圧力を受ける面とは反対側の面と第２のダイアフラムの封入液収容室の内側に臨む面とは反対側の面との間に封入された圧力伝達媒体とで構成したり、封入液収容室の内側に臨む第１の面と、封入液収容室の外側に臨み外部からの圧力を受ける第２の面とを有するピストンと、ピストンの外周面と接する内周面を有するシリンダとで構成したり、入液収容室の内側に臨む第１の面と、封入液収容室の外側に臨み外部からの圧力を受ける第２の面とを有するベローズで構成したりすることができる。
【００１５】
また、本発明において、封入液収容室の室内の圧力を第１の圧力とし、圧力動作機構が受ける外部からの圧力を第２の圧力とし、この第１の圧力と第２の圧力との差圧を検出する差圧検出器を設けるようにしてもよい。このような差圧検出器を設けると、この差圧検出器が検出する差圧が零になった時点を、封液室への封入液の充填が完了した時点、すなわち封液室に封入液が完全に充填された時点として知ることが可能となる。この場合、差圧検出器が検出する差圧が零になった時点で、圧力動作機構の動作を停止させるようにすると、封液室への封入液の充填が自動的に完了する。
【００１６】
また、本発明において、圧力動作機構を差圧発信器により構成し、差圧発信器の受圧ダイアフラムの１つを封入液収容室の一部を構成するダイアフラムとして用い、差圧発信器の受圧ダイアフラムのもう１つを外部からの圧力を受けるダイアフラムとして用い、差圧発信器のセンサ部を差圧検出器として用いるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、封入液収容室の一部を構成するとともに、外部からの圧力を受けて封入液収容室の容積を変化させ、その容積の変化分に対応する量の封入液をワークの封液室に更に送る圧力動作機構を設けたので、装置を大型化することなく、小型化されたワークに対し、そのワークの封入路の末端の細部まで封入液を満たすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る封入装置の実施の形態１の要部を示す構成図である。
【図２】実施の形態１の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図３】本発明に係る封入装置の実施の形態２の要部を示す構成図である。
【図４】実施の形態２の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図５】本発明に係る封入装置の実施の形態３の要部を示す構成図である。
【図６】実施の形態３の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図７】本発明に係る封入装置の実施の形態４の要部を示す構成図である。
【図８】実施の形態４の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図９】本発明に係る封入装置の実施の形態５の要部を示す構成図である。
【図１０】実施の形態５の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図１１】本発明に係る封入装置の実施の形態６の要部を示す構成図である。
【図１２】実施の形態６の封入装置において封入液収容室の容積が変化した状態を示す図である。
【図１３】特許文献１に示された封入装置の要部を示す構成図である。
【図１４】この封入装置を用いて発信器本体の封液室に圧力伝達用オイルが充填されて行く様子を示す図である。
【図１５】この封入装置を用いて発信器本体の封液室に圧力伝達用オイルを充填した後に封入口を封止した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔実施の形態１〕
図１はこの発明に係る封入液の封入装置の実施の形態１の要部を示す構成図である。同図において、１は装置本体、２はオイルポット、３はオイルポットに蓄えられた封入液（圧力伝達用オイル）、４は真空ポンプ、５は差圧センサ、６はコントローラ、７は空気圧発生部、８，９はバルブであり、これらによって本実施の形態の封入装置１００Ａが構成されている。
【００２０】
装置本体１には、その内部空間を２つの室に仕切るダイアフラム１０が設けられており、このダイアフラム１０によって仕切られる第１の室が封入液収容室１−１とされ、第２の室が空気圧発生部７からの空気圧ＰＧが供給される空気圧供給室１−２とされている。ダイアフラム１０は、封入液収容室１−１の一部を構成しており、このダイアフラム１０が本発明でいう圧力動作機構を構成する。
【００２１】
封入液収容室１−１は、封入液の流入口１−１ａと流出口１−１ｂ１，１−１ｂ２とを有し、封入液の流入口１−１ａとオイルポット２とをつなぐ管路Ｌ１にバルブ８が設けられている。また、封入液収容室１−１は、真空ポンプ４によってその室内を真空とすることが可能とされており、真空ポンプ４と封入液収容室１−１とをつなぐ管路Ｌ２にバルブ９が設けられている。
【００２２】
差圧センサ５は、封入液収容室１−１の室内の圧力を第１の圧力Ｐ１とし、空気圧供給室１−２の室内の圧力を第２の圧力Ｐ２とし、この第１の圧力Ｐ１と第２の圧力Ｐ２との差圧ΔＰを検出する。この差圧センサ５が検出する差圧ΔＰはコントローラ６へ与えられる。
【００２３】
コントローラ６は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、真空ポンプ４の起動／停止、バルブ８，９の開／閉、空気圧発生部７からの空気圧供給室１−２への空気圧ＰＧの供給を制御する。
【００２４】
２００はこの封入装置１００Ａにセットされるワーク（対象物）である。このワーク２００は、例えば差圧発信器であり、外部に開口した封入口２００ａ１，２００ａ２と、この封入口２００ａ１，２００ａ２と連通する連通路２００ｂ１，２００ｂ２と、この連通路２００ｂ１，２００ｂ２と連通する封液室２００ｃ１，２００ｃ２と、封液室２００ｃ１と２００ｃ２とを仕切るセンサダイアフラム２００ｄとを備えている。
【００２５】
〔ワークへの封入液の充填〕
ワーク２００に封入液を充填する場合、封入装置１００Ａにワーク２００をセットし、ワーク２００の封入口２００ａ１，２００ａ２と封入液収容室１−１の流出口１−１ｂ１，１−１ｂ２とを連通させた後、コントローラ６に充填開始の指示を与える。この場合、真空ポンプ４は停止状態にあり、バルブ８，９は閉じた状態、空気圧発生部７は空気圧ＰＧを発生していない状態にあるものとする。
【００２６】
充填開始の指示が与えられると、コントローラ６は、真空ポンプ４を起動すると共に、バルブ９を開とする。これにより、ワーク２００の連通路２００ｂ１，２００ｂ２および封液室２００ｃ１，２００ｃ２も含めて、封入液収容室１−１の室内が真空とされる。そして、この後、コントローラ６は、真空ポンプ４を停止し、バルブ９を閉とする。
【００２７】
次に、コントローラ６は、バルブ８を開とする。これにより、オイルポット２に蓄えられている封入液３が流入口１−１ａから封入液収容室１−１に流れ込み、封入液収容室１−１への封入液３の真空引きでの取り込みが開始される。この際、封入液収容室１−１の流出口１−１ｂ１，１−１ｂ２はワーク２００の封入口２００ａ１，２００ａ２と連通しているので、真空引きで取り込まれた封入液３は、封入液収容室１−１を経由し、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して封液室２００ｃ１，２００ｃ２に充填されて行く。
【００２８】
そして、コントローラ６は、この真空引きでの封入液収容室１−１への封入液３の取り込み開始後、所定時間の経過を待って、バルブ８を閉とする。これにより、封入液収容室１−１への封入液３の取込みが中断される。
【００２９】
コントローラ６は、封入液収容室１−１への封入液３の取込みを中断した後、空気圧発生部７からの空気圧供給室１−２への空気圧ＰＧの供給を開始する。この空気圧供給室１−２に供給された空気圧ＰＧは、ダイアフラム１０の封入液収容室１−１の外側に臨む面１０ｂに作用する。すなわち、ダイアフラム１０の封入液収容室１−１の内側に臨む面１０ａを第１の面、ダイアフラム１０の封入液収容室１−１の外側に臨む面１０ｂを第２の面とした場合、ダイアフラム１０の第２の面１０ｂに外部からの圧力ＰＧが作用する。
【００３０】
これにより、図２に示すように、ダイアフラム１０が封入液収容室１−１の内側に撓み、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００３１】
コントローラ６は、差圧センサ５からの差圧ΔＰを監視しており、この差圧ΔＰが零となると、空気圧発生部７からの空気圧供給室１−２への空気圧ＰＧの供給を停止する。すなわち、コントローラ６は、差圧センサ５が検出する差圧ΔＰが零となった時点を、封液室２００ｃ１，２００ｃ２への封入液３の充填が完了した時点と判断し、空気圧発生部７からの空気圧供給室１−２への空気圧ＰＧの供給を停止する。
【００３２】
このようにして、実施の形態１の封入装置１００Ａでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧによってダイアフラム１０を撓ませることによって、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。
【００３３】
〔実施の形態２〕
実施の形態１では、装置本体１の内部に１枚のダイアフラム１０を設け、この１枚のダイアフラム１０によって圧力動作機構を構成するものとした。
【００３４】
これに対して、実施の形態２では、図３に示すように、封入液収容室１−１の一部を構成するダイアフラム１０に加え、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを受けて撓むダイアフラム１１を設け、このダイアフラム１１の空気圧ＰＧを受ける面（第１の面）１１ａとは反対側の面（第２の面）１１ｂとダイアフラム１０の封入液収容室１−１の内側に臨む面１０ａ（第１の面）とは反対側の面（第２の面）１０ｂとの間に圧力伝達媒体１２を封入するようにしている。
【００３５】
すなわち、実施の形態２では、２枚のダイアフラム１０，１１と、このダイアフラム１０，１１の間に封入された圧力伝達媒体１２とによって、圧力動作機構を構成するものとしている。この実施の形態２の封入装置を１００Ｂとする。
【００３６】
この封入装置１００Ｂでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを受けてダイアフラム１１が撓み、そのダイアフラム１１が受けた空気圧ＰＧが圧力伝達媒体１２を介してダイアフラム１０に作用する。すなわち、ダイアフラム１０の封入液収容室１−１の外側に臨む面（第２の面）１０ｂに空気圧ＰＧが作用する。
【００３７】
これにより、図４に示すように、ダイアフラム１０が封入液収容室１−１の内側に撓み、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００３８】
コントローラ６は、差圧センサ５からの差圧ΔＰを監視しており、この差圧ΔＰが零となると、封液室２００ｃ１，２００ｃ２への封入液３の充填が完了したと判断し、空気圧発生部７からのダイアフラム１１に対する空気圧ＰＧの供給を停止する。
【００３９】
このようにして、実施の形態２の封入装置１００Ｂでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧをダイアフラム１１に加え、その加えた空気圧ＰＧを圧力伝達媒体１２を介してダイアフラム１０に伝え、このダイアフラム１０を撓ませることによって、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。
【００４０】
〔実施の形態３〕
実施の形態３では、図５に示すように、ピストン１３とシリンダ１４とで圧力動作機構を構成する。この場合、ピストン１３の封入液収容室１−１の内側に臨む面（下面）１３ａを第１の面とし、封入液収容室１−１の外側に臨む面（上面）１３ｂを第２の面とし、第１の面１３ａを封入液収容室１−１の一部を構成する面とする。また、装置本体１の一部をシリンダ１４とし、このシリンダ１４の内周面１４ａにピストン１３の外周面１３ｃを接するようにして設ける。ピストン１３の外周にはオイル漏れを防止するためのＯリング１５を設ける。
【００４１】
また、実施の形態３では、空気圧発生部７に代えて駆動力発生部１６を設け、この駆動力発生部１６が発生する駆動力ＰＦによってピストン１３を駆動するものとする。なお、この例において、駆動力ＰＦは油圧とする。
【００４２】
また、実施の形態３では、封入液収容室１−１の室内の圧力を第１の圧力Ｐ１とし、ピストン１３が受ける駆動力ＰＦを第２の圧力Ｐ２とし、この第１の圧力Ｐ１と第２の圧力Ｐ２との差圧ΔＰを差圧センサ５によって検出するようにする。この実施の形態３の封入装置を１００Ｃとする。
【００４３】
この封入装置１００Ｃでは、駆動力発生部１６からの駆動力ＰＦがピストン１３に与えられる。すなわち、ピストン１３の封入液収容室１−１の外側に臨む面（第２の面）１３ｂに外部からの駆動力ＰＦが作用する。
【００４４】
これにより、図６に示すように、ピストン１３が封入液収容室１−１の内側に移動し、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００４５】
コントローラ６は、差圧センサ５からの差圧ΔＰを監視しており、この差圧ΔＰが零となると、封液室２００ｃ１，２００ｃ２への封入液３の充填が完了した判断し、駆動力発生部１６からのピストン１３への駆動力ＰＦの供給を停止する。
【００４６】
このようにして、実施の形態３の封入装置１００Ｃでは、駆動力圧発生部１６からの駆動力ＰＦをピストン１３に加え、このピストン１３を移動させることによって、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。
【００４７】
〔実施の形態４〕
実施の形態４では、図７に示すように、ベローズ１７で圧力動作機構を構成する。この場合、ベローズ１７の封入液収容室１−１の内側に臨む面１７ａを第１の面とし、封入液収容室１−１の外側に臨む面１７ｂを第２の面とし、第１の面１７ａを封入液収容室１−１の一部を構成する面とする。ベローズ１７は、提灯のような形とされており、内部空間１７ｃに空気が入ると、蛇腹形状とされた胴部１７ｄが縦方向に伸縮する。この実施の形態４の封入装置を１００Ｄとする。
【００４８】
この封入装置１００Ｄでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧがベローズ１７の内部空間１７ｃに与えられる。すなわち、ベローズ１７の封入液収容室１−１の外側に臨む面（第２の面）１７ｂに外部からの圧力ＰＧが作用する。
【００４９】
これにより、図８に示すように、ベローズ１７の胴部１７ｄが伸び、すなわちベローズ１７の封入液収容室１−１の内側に臨む面（第１の面）１７ａが封入液収容室１−１の内側に移動し、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００５０】
コントローラ６は、差圧センサ５からの差圧ΔＰを監視しており、この差圧ΔＰが零となると、封液室２００ｃ１，２００ｃ２への封入液３の充填が完了したと判断し、空気圧発生部７からのベローズ１７の内部空間１７ｃへの空気圧ＰＧの供給を停止する。
【００５１】
このようにして、実施の形態４の封入装置１００Ｄでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧをベローズ１７の内部空間１７ｃへ送り、ベローズ１７の胴部１７ｄを伸ばすことにより、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。
【００５２】
〔実施の形態５〕
実施の形態５では、図９に示すように、ダイアフラム１０とピストン１３とシリンダ１４と圧力伝達媒体１２とで圧力動作機構を構成する。この場合、装置本体１の一部をシリンダ１４とし、このシリンダ１４の内周面１４ａにピストン１３の外周面１３ｃを接するようにして設ける。ピストン１３の外周にはオイル漏れを防止するためのＯリング１５を設ける。また、ピストン１３の下面（第１の面）１３ａとダイアフラム１０の封入液収容室１−１の外側に臨む面（第２の面）１０ｂとの間に圧力伝達媒体１２を封入する。
【００５３】
また、実施の形態３と同様にして駆動力発生部１６を設け、この駆動力発生部１６が発生する駆動力ＰＦによってピストン１３を駆動するものとする。また、封入液収容室１−１の室内の圧力を第１の圧力Ｐ１とし、ピストン１３が受ける駆動力ＰＦを第２の圧力Ｐ２とし、この第１の圧力Ｐ１と第２の圧力Ｐ２との差圧ΔＰを差圧センサ５によって検出するようにする。この実施の形態５の封入装置を１００Ｅとする。
【００５４】
この封入装置１００Ｅでは、駆動力発生部１６からの駆動力ＰＦがピストン１３に与えられて、ピストン１３が移動し、その駆動力ＰＦが圧力伝達媒体１２を介してダイアフラム１０に作用する。すなわち、ダイアフラム１０の封入液収容室１−１の外側に臨む面（第２の面）１０ｂに駆動力ＰＦが作用する。
【００５５】
これにより、図１０に示すように、ダイアフラム１０が封入液収容室１−１の内側に撓み、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００５６】
このようにして、実施の形態５の封入装置１００Ｅでは、駆動力発生部１６からの駆動力ＰＦをピストン１３に加え、その駆動力ＰＦを圧力伝達媒体１２を介してダイアフラム１０に伝え、このダイアフラム１０を撓ませることによって、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。
【００５７】
〔実施の形態６〕
実施の形態６では、図１１に示すように、差圧発信器１８で圧力動作機構を構成する。この差圧発信器１８はワーク２００の完成品を使用したものである。なお、図中、ワーク２００については、封入路に関する部分しか示していない。
【００５８】
差圧発信器１８は、ボディ１８−０の側面に一対の受圧部をなすバリアダイアフラム（受圧ダイアフラム）１８−１，１８−２を備え、ボディ１８−０の中央部にはセンタダイアフラム１８−３が設けられている。バリアダイアフラム１８−１とセンタダイアフラム１８−３との間には圧力伝達媒体１８−４が封入されており、バリアダイアフラム１８−２とセンタダイアフラム１８−３との間には圧力伝達媒体１８−５が封入されている。
【００５９】
また、差圧発信器１８は、センサ部１８−５を備えており、センサ部１８−５にはセンサダイアフラム１８−５１が設けられている。センサダイアフラム１８−５１の表面には歪抵抗ゲージが形成されており、その一方の面にバリアダイアフラム１８−１とセンタダイアフラム１８−３との間に封入された圧力伝達媒体１８−４が導かれ、その他方の面にバリアダイアフラム１８−２とセンタダイアフラム１８−３との間に封入された圧力伝達媒体１８−５が導かれるものとされている。センタダイアフラム１８−３はシリコンやガラスなどからなる保持部材１８−５２と１８−５３との間に保持されている。
【００６０】
この差圧発信器１８では、バリアダイアフラム１８−１，１８−２に加えられる圧Ｐ１，Ｐ２が、圧力伝達媒体１８−４，１８−５によってセンサダイアフラム１８−５１の一方の面および他方の面に導かれ、これによって生じるセンサダイアフラム１８−５１の歪みが歪抵抗ゲージの抵抗値変化として検出され、この抵抗値変化が測定圧Ｐ１，Ｐ２の差圧ΔＰを示す信号として出力される。
【００６１】
すなわち、実施の形態６では、差圧発信器１８のバリアダイアフラム１８−１を封入液収容室１−１の一部を構成するダイアフラムとして用い、差圧発信器１８のバリアダイアフラム１８−２を空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを受けるダイアフラムとして用い、差圧発信器１８のセンサ部１８−５を圧力Ｐ１とＰ２との差圧ΔＰを検出する差圧センサとして用いるようにしている。この実施の形態６の封入装置を１００Ｆとする。
【００６２】
この封入装置１００Ｆでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを受けてバリアダイアフラム１８−２が撓み、このバリアダイアフラム１８−２の撓みによって生じた力が圧力伝達媒体１８−５を介してセンタダイアフラム１８−３に作用する。これにより、センタダイアフラム１８−３が撓み、このセンタダイアフラム１８−３の撓みによって生じた力が圧力伝達媒体１８−４を介してバリアダイアフラム１８−１に作用する。
【００６３】
これにより、図１２に示すように、バリアダイアフラム１８−１が封入液収容室１−１の内側に撓み、封入液収容室１−１の容積が変化（容積が減少）し、その容積の変化分に対応する量の封入液３がワーク２００の封液室２００ｃ１，２００ｃ２に更に送られるものとなる。
【００６４】
コントローラ６は、センサ部１８−５からの差圧ΔＰを監視しており、この差圧ΔＰが零となると、封液室２００ｃ１，２００ｃ２への封入液３の充填が完了したと判断し、空気圧発生部７からのダイアフラム１１に対する空気圧ＰＧの供給を停止する。この時、センサ部１８−５への圧力Ｐ１は封入液収容室１−１内の圧力を示し、圧力Ｐ２は空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを示す。
【００６５】
このようにして、実施の形態６の封入装置１００Ｆでは、空気圧発生部７からの空気圧ＰＧを差圧発信器１８のバリアダイアフラム１８−２に加え、その加えた空気圧ＰＧを圧力伝達媒体１８−５を介してセンタダイアフラム１８−３へ伝え、さらにこのセンタダイアフラム１８−３に伝えられた空気圧ＰＧを圧力伝達媒体１８−４を介してバリアダイアフラム１８−１へ伝え、このバリアダイアフラム１８−１を撓ませることによって、ワーク２００の封入路の末端の細部まで封入液３を満たすことが可能となり、装置を大型化することなく、小型化されたワーク２００に対して、連通路２００ｂ１，２００ｂ２を通して、封液室２００ｃ１，２００ｃ２に封入液３を完全に充填することができるようになる。特に、この実施の形態６では、差圧発信器１８を圧力動作機構として流用することができるので、封入装置１００Ｆを簡単に製作することが可能となる。
【００６６】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００６７】
１…装置本体、１−１…封入液収容室、１−１ａ…流入口、１−１ｂ１，１−ｂ２…流出口、１−２…空気圧供給室、２…オイルポット、３…封入液、４…真空ポンプ、５…差圧センサ、６…コントローラ、７…空気圧発生部、８，９…バルブ、１０，１１…ダイアフラム、１２…圧力伝達媒体、１３…ピストン、１４…シリンダ、１５…Ｏリング、１６…駆動力発生部、１７…ベローズ、１８…差圧発信器、１８−０…ボディ、１８−１，１８−２…バリアダイアフラム（受圧ダイアフラム）、１８−３…センタダイアフラム、１８−４，１８−５…圧力伝達媒体、１８−５…センサ部、１８−５１…センサダイアフラム、１８−５２，１８−５３…保持部材、１００Ａ〜１００Ｆ…封入装置、２００…ワーク、２００ａ１，１００ａ２…封入口、２００ｂ１，２００ｂ２…連通路、２００ｃ１，２００ｃ２…封液室、２００ｄ…センサダイアフラム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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