(57)【要約】【課題】差圧センサのゼロ点調整機構をなくす。差圧センサの組立完了後に独立した工程としてゼロ点の調整を行う必要をなくす。ゼロ点調整の長期安定性を保障する。【解決手段】封入室６−１および６−２を真空とし、封入室６−１に圧力伝達用媒体５−１を封入し、封入室６−２に圧力伝達用媒体５−２を封入する。そして、圧力伝達用媒体５−２を封入室６−２内に封止し、圧力伝達用媒体５−１を加圧封入しながら、センサダイアフラム３−１から出力される信号ΔＰを監視し、ゼロ点出力値として予め定められている設定値に達したことが確認された時に圧力伝達用媒体５−１の加圧封入を終了し、圧力伝達用媒体５−１を封入室６−１内に封止する。【選択図】  図６
2013181950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備えたセンサチップと、
前記センサチップをその内部空間に収容したボディと、
前記ボディの内部空間に連通する第１の開口部に設けられた第１の受圧ダイアフラムと、
前記ボディの内部空間に連通する第２の開口部に設けられた第２の受圧ダイアフラムと、
前記第１の受圧ダイアフラムと前記センサダイアフラムの一方の面との間に作られる第１の封入室に封入液として封止され、前記第１の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第１の圧力伝達媒体と、
前記第２の受圧ダイアフラムと前記センサダイアフラムの他方の面との間に作られる第２の封入室に封入液として封止され、前記第２の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第２の圧力伝達媒体とを備えた差圧センサの封入液封入方法であって、
前記第１の封入室および前記第２の封入室を真空にする第１工程と、
前記第１工程の後に、前記第１の封入室へ前記第１の圧力伝達用媒体を封入すると共に前記第２の封入室に前記第２の圧力伝達用媒体を封入する第２工程と、
前記第２の封入室への前記第２の圧力伝達用媒体の封入終了後、この第２の封入室に封入された第２の圧力伝達用媒体を封止する第３工程と、
前記第１の封入室への前記第１の圧力伝達用媒体の封入終了後、前記第１の封入室へ前記第１の圧力伝達用媒体を加圧封入する第４工程と、
前記第４工程の実行中、前記センサダイアフラムから出力される信号を監視する第５工程と、
前記第５工程で監視される前記センサダイアフラムから出力される信号の値が前記第１の受圧ダイアフラムが受ける圧力と前記第２の受圧ダイアフラムが受ける圧力との差圧が零のときに出力されるべき値として予め定められている設定値に達したことが確認された時に前記第１の封入室への前記第１の圧力伝達用媒体の加圧封入を終了する第６工程と、
前記第１の封入室への前記第１の圧力伝達用媒体の加圧封入の終了後、この第１の封入室に加圧封入された第１の圧力伝達用媒体を封止する第７工程と
を備えることを特徴とする差圧センサの封入液封入方法。
【請求項２】
請求項１に記載された差圧センサの封入液封入方法において、
前記ボディは、
貫通路を有する隔壁によって区画された第１の空間と第２の空間とを前記内部空間として有し、
前記第１の受圧ダイアフラムは、
前記第１の空間の開口部に設けられ、
前記第２の受圧ダイアフラムは、
前記第２の空間の開口部に設けられ、
前記センサチップは、
前記センサダイアフラムの一方の面を前記第１の受圧ダイアフラムに臨むようにして、前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を前記隔壁の貫通路に連通させるようにして、前記第１の空間側に位置する前記隔壁の壁面に接合され、
前記第１の圧力伝達媒体は、
前記第１の空間に封止され、
前記第２の圧力伝達媒体は、
前記第２の空間および前記隔壁の貫通路および前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止される
ことを特徴とする差圧センサの封入液封入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、封入液として圧力伝達用媒体を封止する封入液封止型の差圧センサの封入液封入方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、差圧センサとしては種々のタイプのものがあるが、その中に封入液として圧力伝達用媒体を封止した封入液封止型の差圧センサがある（例えば、特許文献１参照）。この封入液封止型の差圧センサにおいて、圧力伝達用媒体としては、シリコーンオイル等の非圧縮性流体が用いられる。図８に従来の封入液封止型の差圧センサの一例の要部の断面図を示す。
【０００３】
図８において、１は金属製のボディであり、内部空間として、隔壁１−１によって区画された第１の空間１−２と第２の空間１−３とを有している。隔壁１−１には第１の空間１−２と第２の空間１−３とを連通する貫通路１−４が設けられている。第１の空間１−２の開口部１−２ａには第１の金属ダイアフラム（第１の受圧ダイアフラム）２−１が設けられており、第２の空間１−３の開口部１−３ａには第２の金属ダイアフラム（第２の受圧ダイアフラム）２−２が設けられている。
【０００４】
３はセンサチップであり、センサダイアフラム３−１と、台座３−２とから構成されている。センサダイアフラム３−１はシリコンなどから成り、台座３−２はシリコンやガラスなどから成る。センサダイアフラム３−１はその中央部が薄肉状とされており、その一方の面３−１ａに対する他方の面３−１ｂに凹部３−１ｃが形成され、この凹部３−１ｃが形成された他方の面３−１ｃ側に台座３−２の一方の端面３−２ａが接合されている。台座３−２は筒状とされており、その中空部３−２ｃとセンサダイアフラム３−１の凹部３−１ｃとによって、センサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３が形成されている。
【０００５】
センサチップ３は、センサダイアフラム３−１の一方の面３−１ａを第１の受圧ダイアフラム２−１に臨むようにして、センサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３を隔壁１−１の貫通路１−４に連通させるようにして、第１の空間１−２側に位置する隔壁１−１の壁面１−１ａに接合されている。すなわち、台座３−２の中空部３−２ｃを隔壁１−１の貫通路１−４に連通させるようにして、台座３−２の他方の端面３−２ｂを隔壁１−１の壁面１−１ａに接合させている。以下、台座３−２と隔壁１−１との接合部を第１の接合部４−１とし、台座３−２とセンサダイアフラム３−１との接合部を第２の接合部４−２とする。
【０００６】
ボディ１には、第１の空間１−２を第１の封入室６−１として、第１の圧力伝達用媒体５−１が封止されている。また、第２の空間１−３および隔壁１−１の貫通路１−４およびセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３を第２の封入室６−２として、第２の圧力伝達用媒体５−２が封止されている。この第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の封止および第２の封入室６−２への第２の圧力伝達用媒体５−２の封止は、どちらも同じ条件（大気圧下）で行われており、第１の圧力伝達用媒体５−１および第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧は等しくされている。
【０００７】
この封入液封止型の差圧センサ１００では、第１の受圧ダイアフラム２−１が受けた圧力Ｐ１が第１の圧力伝達用媒体５−１を介してセンサダイアフラム３−１の一方の面３−１ａに伝達され、第２の受圧ダイアフラム２−２が受けた圧力Ｐ２が第２の圧力伝達用媒体５−２を介してセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに伝達される。その結果、センサダイアフラム３−１が圧力Ｐ１とＰ２との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号がセンサダイアフラム３−１から出力される。センサダイアフラム３−１には、圧力差に応じた信号を出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
【０００８】
通常、圧力Ｐ１を受ける第１の受圧ダイアフラム２−１側を高圧側、圧力Ｐ２を受ける第２の受圧ダイアフラム２−２側を低圧側として定めて使用される。
【０００９】
この差圧センサ１００において、内部のセンサチップ３は、個々に特性のバラツキがあるので、受圧ダイアフラム２−１，２−２への圧力Ｐ１，Ｐ２の差圧が零の時の出力（ゼロ点出力）をある一定値になるように調整する工程（ゼロ点調整）が差圧センサ１００の組立完了後に行われる。
【００１０】
なお、この差圧センサのゼロ点調整の方法・機構を開示したものとして、特許文献２が存在する。この特許文献２には、差圧センサ内に設けたゼロ点調整機構の数々の例が開示されている。例えば、特許文献２の図１には、高圧側に設けた受圧ダイアフラム変位手段により、高圧側受圧ダイアフラムを凹ませることで、膨張したときの剛性を低圧側受圧ダイアフラムより小さくし、高圧側圧力伝達用媒体の封入量が多い分による出力の正側へのずれを小さくするようにする構成が示されている。また、特許文献２の図４には、高圧側圧力伝達用媒体と低圧側圧力伝達用媒体とを連通する連通路を設け、この連通路の途中に、高圧側圧力伝達用媒体と低圧側圧力伝達用媒体の封入量の割合を可変する弁機構を設けるようにした構成が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平１−２４１１９３号公報（特許第２５９５７４９号）
【特許文献２】特開２０００−２０５９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献２に示されている数々のゼロ点調整機構は、差圧センサが長期使用させるにしたがって劣化したり、受圧ダイアフラムに過大圧が印加された場合に調整がずれたりする可能性があり、ゼロ点調整の長期安定性が保障されない、という問題があった。また、ゼロ点を調整する機構を持たせなければならず、また差圧センサの組立完了後にゼロ点を調整する工程も必要となる。
【００１３】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、差圧センサにゼロ点調整機構を設けたり、差圧センサの組立完了後に独立した工程としてゼロ点の調整を行う必要がなく、ゼロ点調整の長期安定性を保障することが可能な差圧センサの封入液封入方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような目的を達成するために本発明は、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備えたセンサチップと、センサチップをその内部空間に収容したボディと、ボディの内部空間に連通する第１の開口部に設けられた第１の受圧ダイアフラムと、ボディの内部空間に連通する第２の開口部に設けられた第２の受圧ダイアフラムと、第１の受圧ダイアフラムとセンサダイアフラムの一方の面との間に作られる第１の封入室に封入液として封止され、第１の受圧ダイアフラムが受けた圧力をセンサダイアフラムの一方の面に伝達する第１の圧力伝達用媒体と、第２の受圧ダイアフラムとセンサダイアフラムの他方の面との間に作られる第２の封入室に封入液として封止され、第２の受圧ダイアフラムが受けた圧力をセンサダイアフラムの他方の面に伝達する第２の圧力伝達用媒体とを備えた差圧センサの封入液封入方法であって、第１の封入室および第２の封入室を真空にする第１工程と、第１工程の後に、第１の封入室へ第１の圧力伝達用媒体を封入すると共に第２の封入室に第２の圧力伝達用媒体を封入する第２工程と、第２の封入室への第２の圧力伝達用媒体の封入終了後、この第２の封入室に封入された第２の圧力伝達用媒体を封止する第３工程と、第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の封入終了後、第１の封入室へ第１の圧力伝達用媒体を加圧封入する第４工程と、第４工程の実行中、センサダイアフラムから出力される信号を監視する第５工程と、第５工程で監視されるセンサダイアフラムから出力される信号の値が第１の受圧ダイアフラムが受ける圧力と第２の受圧ダイアフラムが受ける圧力との差圧が零のときに出力されるべき値として予め定められている設定値に達したことが確認された時に第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入を終了する第６工程と、第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入の終了後、この第１の封入室に加圧封入された第１の圧力伝達用媒体を封止する第７工程とを備えることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、第１の工程で第１の封入室および第２の封入室が真空とされ、第２の工程で第１の封入室へ第１の圧力伝達用媒体が封入され、第２の封入室に第２の圧力伝達用媒体が封入される。そして、第２の封入室への第２の圧力伝達用媒体の封入終了後、第２の圧力伝達用媒体が第２の封入室に封止される。また、第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の封入終了後、第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入が開始され、この第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入中、センサダイアフラムから出力される信号が監視される。そして、このセンサダイアフラムから出力される信号の値が、第１の受圧ダイアフラムが受ける圧力と第２の受圧ダイアフラムが受ける圧力との差圧が零のときに出力されるべき値として予め定められている設定値に達すると、第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入が終了される。そして、この第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入の終了後、第１の圧力伝達用媒体が第１の封入室に封止される。
【００１６】
これにより、本発明によれば、差圧センサへの第１の圧力伝達用媒体および第２の圧力伝達用媒体の封止を完了した時点で、差圧センサのゼロ点調整が実質的に行われるものとなる。このため、差圧センサの組立完了後に独立した工程としてゼロ点調整を行う必要がなくなり、差圧センサにゼロ点調整機構を設ける必要もなくなる。また、差圧センサにゼロ点調整機構が存在しないので、長期間使用しても劣化の虞がなく、ゼロ点調整の長期安定性を保障することが可能となる。
【００１７】
本発明において、差圧センサには、その内部空間にセンサチップが収容されている。例えば、貫通路を有する隔壁によって区画された第１の空間と第２の空間とを内部空間として有するボディを用い、このボディの第１の空間の開口部に第１の受圧ダイアフラムを設け、第２の空間の開口部に第２の受圧ダイアフラムを設ける。そして、センサダイアフラムの一方の面を第１の受圧ダイアフラムに臨むようにして、センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を隔壁の貫通路に連通させるようにして、第１の空間側に位置する隔壁の壁面にセンサチップを接合する。そして、第１の圧力伝達用媒体を第１の空間に封止し、第２の圧力伝達用媒体を第２の空間および隔壁の貫通路およびセンサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止する。
【００１８】
なお、本発明において、センサチップは、センサダイアフラムを備えていればよく、必ずしもセンサダイアフラムと台座とを備えた構成でなくてもよい。センサチップをセンサダイアフラムと台座とを備えた構成とした場合、センサチップの接合部は、台座の一方の端面とセンサダイアフラムの他方の面側との接合部と、台座の他方の端面と隔壁の壁面との接合部の２箇所となる。センサチップをセンサダイアフラムのみの構成とした場合、センサチップの接合部は、隔壁の壁面とセンサダイアフラムの他方の面側との接合部の１箇所となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、第２の封入室への第２の圧力伝達用媒体の封入を完了した後、第１の封入室へ第１の圧力伝達用媒体を加圧封入し、この第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入中、センサダイアフラムから出力される信号を監視し、このセンサダイアフラムから出力される信号の値が第１の受圧ダイアフラムが受ける圧力と第２の受圧ダイアフラムが受ける圧力との差圧が零のときの出力値として予め定められている設定値に達したことが確認された時に第１の封入室への第１の圧力伝達用媒体の加圧封入を終了し、この第１の封入室に加圧封入された第１の圧力伝達用媒体を封止するようにしたので、差圧センサへの第１の圧力伝達用媒体および第２の圧力伝達用媒体の封止を完了した時点で、差圧センサのゼロ点調整が実質的に行われるものとなる。このため、差圧センサの組立完了後に独立した工程としてゼロ点調整を行う必要がなくなり、差圧センサにゼロ点調整機構を設ける必要もなくなる。また、差圧センサにゼロ点調整機構が存在しないので、長期間使用しても劣化の虞がなく、ゼロ点調整の長期安定性を保障することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る差圧センサの封入液封入方法を用いて封入液が封止された差圧センサの一実施の形態（実施の形態１）の要部を示す断面図である。
【図２】本発明に係る差圧センサの封入液封入方法を用いて封入液が封止された差圧センサの他の実施の形態（実施の形態２）の要部を示す断面図である。
【図３】実施の形態１の差圧センサの封入液の封入工程（第１工程）を説明する図である。
【図４】実施の形態１の差圧センサの封入液の封入工程（第２工程）を説明する図である。
【図５】実施の形態１の差圧センサの封入液の封入工程（第３工程）を説明する図である。
【図６】実施の形態１の差圧センサの封入液の封入工程（第４工程、第５工程、第６工程）を説明する図である。
【図７】実施の形態１の差圧センサの封入液の封入工程（第７工程）を説明する図である。
【図８】従来の封入液封止型の差圧センサの一例の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明に係る差圧センサの封入液封入方法を用いて封入液が封止された差圧センサの一実施の形態（実施の形態１）の要部を示す断面図である。同図において、図８と同一符号は図８を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
【００２２】
この実施の形態１の差圧センサにおいて、第１の封入室６−１に封止された第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧は、第２の封入室６−２に封止された第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くされている。この第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧を第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くした差圧センサを図８に示した差圧センサ１００と区別するために符号２００で示す。
【００２３】
また、この差圧センサ２００では、センサダイアフラム３−１と台座３−２とを合わせた構成をセンサチップ３としたが、図２に示すように、台座３−２を省略し、センサダイアフラム３−１をセンサチップ３として、隔壁１−１の壁面１−１ａに接合するようにした構成（実施の形態２）としてもよい。この差圧センサ３００では、センサダイアフラム３−１の凹部３−１ｃがセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３となる。また、センサチップ３の接合部は、ダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂ側と隔壁１−１の壁面１−１ａとの接合部４−１の１箇所のみとなる。
【００２４】
〔封入液の封入〕
次に、図３〜図７を用いて、本発明に係る封入液の封入方法の一実施の形態として、差圧センサ２００を組み立てる際の封入液の封入工程について説明する。
【００２５】
図３において、７はオイルポット、８はオイルポットに蓄えられた封入液（圧力伝達用媒体）、９は真空ポンプ、１０は加圧装置、１１はコントローラ、１２〜１６はバルブであり、これらによって差圧センサ２００に対する封入液の封入装置４００が構成されている。
【００２６】
なお、この封入装置４００において、バルブ１５は差圧センサ２００の第１の封入室６−１への連通路Ｌ１に設けられており、バルブ１４は差圧センサ２００の第２の封入室６−２への連通路Ｌ２に設けられている。連通路Ｌ１，Ｌ２はバルブ１５，１４を介して主管路Ｌ３に連通されており、主管路Ｌ３とオイルポット７との間にバルブ１３が設けられ、主管路Ｌ３と真空ポンプ９との間にバルブ１２が設けられ、主管路Ｌ３と加圧装置１０との間にバルブ１６が設けられている。
【００２７】
コントローラ１１は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現される。このコントローラ１１には、差圧センサ２００におけるセンサダイアフラム３−１から出力される信号ΔＰ、すなわちセンサダイアフラム３−１の一方の面３−１ａと他方の面３−２ａとが受ける圧力差に応じた信号ΔＰが送られるようになっている。
【００２８】
また、コントローラ１１には、センサダイアフラム３−１からの信号ΔＰの値と比較される設定値ΔＰ０が設定されている。この設定値ΔＰ０は、第１の受圧ダイアフラム２−１が受ける圧力Ｐ１と第２の受圧ダイアフラム２−２が受ける圧力Ｐ２との差圧が零のときにセンサダイアフラム３−１から出力されるべき信号ΔＰの値（ゼロ点出力値）として予め定められている。
【００２９】
このように構成され接続された封入装置４００を用いて、次のような工程を経て、差圧センサ２００の第１の封入室６−１へ第１の圧力伝達用媒体５−１を、第２の封入室６−２へ第２の圧力伝達用媒体５−２を封入する。この圧力伝達用媒体５−１，５−２の封入は、一定温度の下、大気圧下で行う。
【００３０】
〔第１工程〕
先ず、図３に示すように、バルブ１３とバルブ１６を閉じ、バルブ１２，１４，１５を開いて、真空ポンプ９を起動し、差圧センサ２００の第１の封入室６−１および第２の封入室６−２内を真空とする。
【００３１】
〔第２工程〕
次に、図４に示すように、バルブ１２を閉じ、バルブ１３を開いて、差圧センサ２００の第１の封入室６−１および第２の封入室６−２内にオイルポット７に蓄えられている封入液８を流し込む。すなわち、第１の封入室６−１に第１の圧力伝達用媒体５−１を封入し、第２の封入室６−２に第２の圧力伝達用媒体５−２を封入する。
【００３２】
〔第３工程〕
そして、封入終了後、図５に示すように、バルブ１３とバルブ１４を閉じ、連通路Ｌ２を閉塞して切り離し、第２の封入室６−２内に第２の圧力伝達用媒体５−２を封止する。これにより、第２の圧力伝達用媒体５−２が第２の封入室６−２内に大気圧で封止される。
【００３３】
〔第４工程〕
次に、図６に示すように、バルブ１６を開いて、加圧装置１０を起動させ、第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の加圧封入を開始する。
【００３４】
〔第５工程〕
この加圧装置１０による第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の加圧封入中、コントローラ１１は、センサダイアフラム３−１から出力される信号ΔＰを監視する。
【００３５】
〔第６工程〕
コントローラ１１は、センサダイアフラム３−１から出力される信号ΔＰから出力される信号ΔＰの値がゼロ点出力値として予め定められている設定値ΔＰ０に達したことを確認すると、加圧装置１０に停止信号を送る。これにより、第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の加圧封入が終了する。
【００３６】
〔第７工程〕
そして、この第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の加圧封入の終了後、図７に示すように、バルブ１５とバルブ１６を閉じ、連通路Ｌ１を閉塞して切り離し、第１の封入室６−１内に第１の圧力伝達用媒体５−１を封止する。これにより、第１の圧力伝達用媒体５−１が第１の封入室６−１内に加圧された状態で封止される。
【００３７】
このような封入工程を経ることによって、第２の封入室６−２内に第２の圧力伝達用媒体５−２が大気圧で封止され、この第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くされた状態で、第１の封入室６−１内に第１の圧力伝達用媒体５−１が封止されるものとなる。
【００３８】
また、このような封入工程を経ることによって、第１の圧力伝達用媒体５−１および第２の圧力伝達用媒体５−２の封止を完了した時点で、差圧センサ２００のゼロ点調整が実質的に行われるものとなる。これにより、差圧センサ２００の組立完了後に独立した工程としてゼロ点調整を行う必要がなくなり、差圧センサ２００にゼロ点調整機構を設ける必要もなくなる。また、ゼロ点調整機構が差圧センサ２００に存在しないので、長期間使用しても劣化の虞がなく、ゼロ点調整の長期安定性を保障することが可能となる。また、ゼロ点調整に関する設計への制約がなくなるため、設計自由度が上がり、設計の負担低減、製品性能の向上が期待できる。
【００３９】
なお、上述した封入液の封入工程では、第１の封入室６−１および第２の封入室６−２への第１の圧力伝達用媒体５−１および第２の圧力伝達用媒体５−２の封入の終了を待って、第２の圧力伝達用媒体５−２の封止を行い、その後、第１の圧力伝達用媒体５−１の加圧封入を開始するようにしたが、第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の封入と第２の封入室６−２への第２の圧力伝達用媒体５−２の封入とを独立して行うようにし、第２の圧力伝達用媒体５−２の封止作業を行いながら、第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の封入および加圧封入を続けるようにしてもよい。
【００４０】
また、上述した封入液の封入工程において、真空ポンプ９の起動、加圧装置１０の起動、バルブ１２〜１６の開閉、第１の圧力伝達用媒体５−１や第２の圧力伝達用媒体５−２の封止は、自動的に行われるものとしてもよく、手動で行うものとしてもよい。
【００４１】
また、この封入液の封入工程は、封入液封止タイプのゲージ圧センサ、絶対圧センサにも適用でき、封止圧の調整によりゼロ点を一定にすることにより、同様の効果が期待できる。
【００４２】
また、上述した実施の形態では、センサダイアフラム３−１を圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージを形成したタイプとしているが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間（容量室）を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。
【００４３】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１…ボディ、１−１…隔壁、１−１ａ…壁面、１−２…第１の空間、１−３…第２の空間、１−４…貫通路、２−１…第１の受圧ダイアフラム、２−２…第２の受圧ダイアフラム、３…センサチップ、３−１…センサダイアフラム、３−１ａ…一方の面、３−１ｂ…他方の面、３−１ｃ…凹部、３−２…台座、３−３…連通路、４−１…第１の接合部、４−２…第２の接合部、５−１…第１の圧力伝達用媒体、５−２…第２の圧力伝達用媒体、６−１…第１の封入室、６−２…第２の封入室、７…オイルポット、８…封入液（圧力伝達用媒体）、９…真空ポンプ、１０…加圧装置、１１…コントローラ、１２〜１６…バルブ、２００，３００…差圧センサ、４００…封入装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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