(57)【要約】【課題】ロールツウロール方式における遮光性フィルムのピンホール検査を、１つの検出手段で可能にするピンホール検査方法および検査装置を提供することである。【解決手段】被検査物である遮光性フィルムに光を照射する光照射工程と、前記光照射工程にて、複数のセグメントに分割された光源から、各セグメント毎に異なる単色光が照射された結果、前記遮光性フィルムのどこかで光が透過した場合に、ロッドレンズアレイによって集光される集光工程と、前記集光工程にて、集光された光が検出部の全ての分光手段に入射され、前記分光手段に備えられた光センサによって検出される検出工程と、前記検出工程にて、どのセグメントで光が検出されたかを判定し、ピンホールの位置を特定する位置特定工程とからなり、前記光照射工程から前記位置特定工程までの全ての工程が同時に実施されることを特徴とするピンホール検査方法。【選択図】図１
2013174526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールツウロール方式の処理装置で使用するピンホール検査装置であって、
少なくとも、
被検査物である遮光性フィルムを長さ方向に搬送する搬送手段と、
遮光性フィルムを幅方向に複数のセグメントに分割し、セグメント毎に異なる波長の単色光を照射する光照射手段と、
前記光照射手段にて照射された単色光のうち、遮光フィルムのピンホールを通過した単色光を集光し、
集光された単色光を検出手段に導く導光手段と、
前記導光手段にて、導光された単色光の波長を検出する検出手段と、
前記検出手段にて、検出された単色光の波長より、ピンホールの幅方向の位置を特定する幅方向位置特定手段と、
を具備することを
特徴とするピンホール検査装置。
【請求項２】
更に、ピンホールを検出した長さ方向の位置を特定する長さ方向位置特定手段と、
を具備することを特徴する請求項１記載のピンホール検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールツウロール方式の処理装置における遮光性フィルムのピンホール検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高分子フィルムにアルミニウムなどの遮光性のガスバリア層が設けられた包装材は、その高いガスバリア性と遮光性のため、広い分野で使用されているが、アルミニウムの層にピンホールがあると、ガスバリア性が著しく低下する。
【０００３】
そのため、ピンホールの有無を検査することが必要となる。ピンホールの検出には光学的な方法が知られている。この検査方法は、光源と検出手段の間に被検査物を配置し、光源から発せられた光が被検査物のピンホールを透過し、その透過した光を検出手段で検出することにより、一定レベル以上の光量が検出された場合に不良と判定する方法である。
【０００４】
検出手段としては、ＣＣＤラインセンサなどの固体撮像デバイスを使用するものやフォトマルチプライヤを使用する方法が知られている。ＣＣＤラインセンサを用いる場合は、１台のセンサで検査可能な領域が限られるため、複数のＣＣＤラインセンサを設置する。また、フォトマルチプライヤを用いる場合は、ピンホールを透過した光を集光して検出手段に導光するための導光手段を使用する方法がある。
【０００５】
ロールツウロール方式の処理装置で幅広のフィルムの検査を行う場合、ＣＣＤカメラを用いた方法では、複数台のＣＣＤカメラが必要になりコストが高くなるが、欠陥の発生位置を特定することができる。一方、フォトマルチプライヤを用いた方法では、フォトマルチプライヤは１台で対応可能であるが、欠陥の発生位置を特定することができない。
【０００６】
例えば、特許文献１にはロールツウロール方式で幅広のフィルムの欠陥検査を行うに際して、幅方向を複数のリニアＣＣＤカメラを用いて、分割して検査する欠陥検査装置が開示されているが、上記の問題点を抱えている。
【０００７】
また特許文献２にはウェブ方式で幅広のフィルムの欠陥検査を行うに際して、少なくとも２本の、フィルムの全幅に亘るスリットを通ってくる検査光をそれぞれのスリットに設けてあるリニアＣＣＤカメラで検出する方法が開示されている。その２本のスリットはウェブの幅方向に対して、相対的に斜めに設置されているために、１つのピンホールが２つのリニアＣＣＤカメラで検出されるまでの時間から、ピンホールが幅方向のどの位置にあるかを特定できる方法であるが、少なくともリニアＣＣＤカメラが２台のほか、関連して必要な検出タイミング装置や位置演算装置などが必要であり、必ずしも低コストな装置とはならないと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平３−１３１７４５号公報
【特許文献２】特開２０００−１４６８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、上記の問題点に鑑み、ロールツウロール方式における遮光性フィルムのピンホール検査を、１つの検出手段で可能にするピンホール検査装置を提供することで
ある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決する手段として、本発明の請求項１は、ロールツウロール方式の処理装置で使用するピンホール検査装置であって、少なくとも、被検査物である遮光性フィルムを長さ方向に搬送する搬送手段と、遮光性フィルムを幅方向に複数のセグメントに分割し、セグメント毎に異なる波長の単色光を照射する光照射手段と、前記光照射手段にて照射された単色光のうち、遮光フィルムのピンホールを通過した単色光を集光し、集光された単色光を検出手段に導く導光手段と、前記導光手段にて、導光された単色光の波長を検出する検出手段と、前記検出手段にて、検出された単色光の波長より、ピンホールの幅方向の位置を特定する幅方向位置特定手段と、を具備することを特徴とするピンホール検査装置である。
【００１１】
請求項２は、更に、ピンホールを検出した長さ方向の位置を特定する長さ方向位置特定集団と、を具備することを特徴する請求項１記載のピンホール検査装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のピンホール検査装置によれば、ロールツウロール方式の処理装置で処理する遮光性フィルムのピンホール検査を１つの検出手段で実施することができ、検査装置を低コスト化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の検査装置の装置構成の一例を示す概略概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明を、図面を用いて詳しく説明する。
図１は、本発明の検査装置の装置構成の一例を示す概略概念図である。被検査物である遮光性フィルム２を長さ方向に搬送する搬送手段（図示せず）とは、長手の遮光性フィルムを検査のために検査装置に供給する手段であって、金属ローラー、ゴムローラなどの公知の搬送手段を用いることができる。また、本検査装置をロールツウロール方式の蒸着装置などの処理装置に組み込む場合は、処理装置の搬送手段を利用しても良い。
【００１５】
図１に示したピンホール検査装置においては、幅方向とは、遮光フィルム２の左右方向であり、長さ方向（搬送方向）とは、図面の裏面から前面方向となる。
【００１６】
次に、遮光性フィルムを幅方向に複数のセグメントに分割し、セグメント毎に異なる波長の単色光を照射する光照射手段には、青〜赤外の１ｍＷ〜１００Ｗ程度の各種の市販の半導体レーザ、各種のガスレーザ、固体レーザ、発光ダイオード、ハロゲンランプ、高圧水銀ランプなど、公知の光源１を使用することができる。ここで本発明における単色光とは、他のセグメントの光源から照射される単色光と波長が重なる領域がないという意味であり、厳密に単一の波長ということを意味するものではない。また単色性を上げる必要がある場合には、多層干渉フィルタによるバンドパスフィルタを使用して使用するレーザ光の単色性を調整することができる。必要な光の強度や波長の数によって使い分ければ良い。
【００１７】
図１に示したピンホール検査装置においては、幅６００ｍｍの遮光性フィルムを幅方向に４つのセグメントに分割し、それぞれのセグメントに４種類の異なる波長（１ａ〜１ｄ）の半導体レーザを光源として配置し、１つの光源で１５０ｍｍ幅を受け持たせている。また単色光の照射領域を限定するため、各セグメントの間の光源と遮光性フィルムの間に壁を設けても良い。
【００１８】
次に、光照射手段にて照射された単色光のうち、遮光フィルムのピンホールを通過した単色光を集光し、集光された単色光を検出手段に導く導光手段とは、特に限定されるものではないが、例えば、単色光を集光する屈折率分布型ロットレンズアレイと単色光を反射するミラーの組み合わせや、一端側が各セグメントに照射された単色光が集光される部分、他端が検出手段となっている光ファイバーの束や、単色光を拡散する物質を分散させたロッドレンズなどが挙げられる。
【００１９】
図１に示したピンホール検査装置においては、各セグメントに照射された単色光を集光する機能を有するロットレンズアレイ３と、集光された単色光を検出手段に反射する光路変更用のミラー５、ダイクロイックミラーの組み合わせで導光手段を構成している。
【００２０】
ロッドレンズアレイ３は、円柱状のレンズを一列に配置して、固定したものであり、遮光フィルム２に焦点を合わせ、且つ導光体中に設けられた光路変更用ミラー５に焦点を結ぶ役割を果す。必要に応じて、遮光フィルム２とロッドアレイレンズ３の間に光学系を入れて、１つのロッドレンズが受け持つ幅を拡げることができる。これにより６００ｍｍの幅の遮光フィルム２をロッドレンズアレイ３の中の４つのロッドレンズを使用して、導光体中に設けられた光路変更用ミラーに結像させることができる。この場合、ロッドレンズアレイを使用せず、１つ１つ個別のロッドレンズを配置しても良い。そして光路変更用ミラー５に結像された光は、そのミラーによって光路を変更され、検出部６に到達する。
【００２１】
そして被検査物である遮光フィルム２に波長が異なる単色光源１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄからピンホールを検査するための光が照射されると、遮光フィルム２にピンホール４があるとそこから単色光が透過する。透過した単色光は、ロッドレンズアレイ３によって集光される。集光された光は、光路変更用の（ダイクロイック）ミラーに焦点を結び、光路が変更される。光路が変更された単色光は、検出部６に到達する。
【００２２】
次に、導光手段にて、導光された単色光の波長を検出する検出手段とは、少なくとも、検査装置に使用している全ての単色光の波長の強度を検出できる検出部６を備えている。このような検出部には公知の分光器を用いることが出来る。図１に示したピンホール検査装置においては、ピンホール４は、１ｃ（セグメント）の下部にあるので、光源１ｃの波長を検出した。
【００２３】
最後に、検出手段にて、検出された単色光の波長より、ピンホールの幅方向の位置を特定する幅方向位置特定手段とは、検出手段により、どの波長の単色光を検出したかによって、どのセグメントにピンホールが存在するか、遮光フィルムにおける幅方向の位置を特定する。この幅方向位置特定手段は、波長と幅方向の位置を記憶することが可能な公知のコンピュータシステムにより実現することが出来る。図１に示したピンホール検査装置においては、光源１ｃの波長を検出したので、光源１ｃ（セグメント）の下部にピンホール４が存在すると幅方向の位置を特定した。
【００２４】
また、請求項２記載のピンホール検査装置においては、更に、ピンホールを検出した長さ方向の位置を特定する長さ方向位置特定手段を具備する。前記長さ方向位置特定手段とは、例えば、搬送手段に設けられたロータリーエンコーダなどの遮光フィルムの長さを測定する手段からなる。この長さ方向位置特定手段も、ピンホールを検出すると、そのときの長さを出力することが可能な公知のコンピュータシステムにより実現することが出来る。図１に示したピンホール検査装置においては、前記幅方向位置特定手段でピンホール４の位置を特定したときのロータリーエンコーダの出力を参照し、遮光フイルムの始端から５０ｍ巻き出したところにあると、長さ方向の位置を特定した。
【００２５】
そして、ピンホールが検出されたときの遮光フィルムの長さを検査装置に出力すれば、ピンホールの発生した幅方向の位置とともに、ピンホールの発生した長さ方向の位置も特定することが出来る。
【００２６】
本発明に係るピンホール検査装置によれば、ピンホールの発生した部位を特定することが出来るので、その部位を除去する際の負荷を大幅に軽減することが可能となる。
【符号の説明】
【００２７】
１・・・光源
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ・・・波長が異なる単色光源
２・・・遮光性フィルム
３・・・ロッドレンズアレイ
４・・・ピンホール
５・・・光路変更用ミラー
６・・・検出部
【図１】
2013174526.tif 000003