(57)【要約】【課題】安定して有機材の蒸着状態を測定できる。【解決手段】所定の倍率で有機材６を観察する対物レンズ８を有する顕微鏡１２と、前記有機材に対して吹き付ける不活性ガスを噴出する噴出部２０と、前記噴出部により前記不活性ガスが噴出された状態で前記有機材に対して紫外線を照射する照射部１６と、前記紫外線が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部１４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の倍率で有機材を観察する対物レンズを有する顕微鏡と、
前記有機材に対して吹き付ける不活性ガスを噴出する噴出部と、
前記噴出部により前記不活性ガスが噴出された状態で前記有機材に対して紫外線を照射する照射部と、
前記紫外線が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部と
を備えることを特徴とする測定機。
【請求項２】
前記対物レンズの外周を覆い、前記有機材側に開口部を有する筒状のカバーを備え、
前記噴出部は、前記カバー内部に前記不活性ガスを噴出することを特徴とする請求項１記載の測定機。
【請求項３】
前記カバーは、前記開口部が狭くなるように形成されていることを特徴とする請求項２記載の測定機。
【請求項４】
前記カバーは、弾性を有する部材から形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の測定機。
【請求項５】
前記不活性ガスは、窒素、キセノン、及びヘリウムの中の少なくとも一つの気体から成るガスであることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機材の蒸着状態を測定する測定機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板上に有機材を蒸着して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２７２３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述の有機ＥＬ表示装置の製造方法を用いて有機ＥＬ表示装置を製造する場合、ガラス基板上に有機材が蒸着された後に有機材の蒸着状態を測定することが考えられる。この場合、有機材に対して紫外光（以下、ＵＶ光という。）を照射し、有機材を発光させた状態で蒸着状態の測定を行う必要がある。
【０００５】
しかしながら、有機材に対してＵＶ光を照射すると、有機材が空気中の酸素と反応して劣化する。このため有機材が発光しなくなり、安定して蒸着状態を測定できなくなるという問題が生じる。
【０００６】
本発明の目的は、安定して有機材の蒸着状態を測定できる測定機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の測定機は、所定の倍率で有機材を観察する対物レンズを有する顕微鏡と、前記有機材に対して吹き付ける不活性ガスを噴出する噴出部と、前記噴出部により前記不活性ガスが噴出された状態で前記有機材に対して紫外線を照射する照射部と、前記紫外線が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の測定機は、前記対物レンズの外周を覆い、前記有機材側に開口部を有する筒状のカバーを備え、前記噴出部が、前記カバー内部に前記不活性ガスを噴出することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の測定機は、前記開口部が狭くなるように形成されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の測定機は、前記カバーが、弾性を有する部材から形成されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の測定機は、前記不活性ガスが、窒素、キセノン、及びヘリウムの中の少なくとも一つの気体から成るガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の測定機によれば、安定して有機材の蒸着状態を測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態に係る測定機を側面から視た図である。
【図２】実施の形態に係る開口部の狭いカバーを取り付けた測定機を示す図である。
【図３】実施の形態に係る測定機において不活性ガスを下方に噴出する状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る測定機について、有機ＥＬ表示装置の製造工程においてガラス基板上に蒸着された有機材の蒸着状態を測定する測定機を例に説明する。図１は、実施の形態に係る測定機を側面から視た図である。図１に示すように、測定機２は、ガラス基板４に蒸着された有機材６を所定の倍率で観察する対物レンズ８を有する顕微鏡１２、顕微鏡１２の上部に取付けられ対物レンズ８によって観察される有機材６の像を撮像するカメラ１４、有機材６を照射するＵＶ光を射出する照射部１６、顕微鏡１２の下部に取付けられ対物レンズ８の外周を覆う円筒形状のカバー１８、及びカバー１８内に窒素ガスを噴出する噴出部２０を備えている。なお、顕微鏡１２の内部には、ＵＶ光を反射し可視光を透過するダイクロイックミラー２１が備えられている。また、有機材６は、赤色有機材６ｒ、緑色有機材６ｇ、及び青色有機材６ｂの３種の異なる発光色を有する有機材から構成されている。
【００１５】
次に、図面を参照して実施の形態に係る測定機の測定処理について説明する。まず、有機ＥＬ表示装置の製造工程において、ガラス基板４の表面に有機材６を蒸着する処理が完了すると、測定機２を移動させ、対物レンズ８の位置を有機材６における測定対象領域の直上の位置に合わせる。
【００１６】
次に、制御部は、噴出部２０からカバー１８内に窒素ガスを噴出させる。ここで、カバー１８内に噴出された窒素ガスは、カバー１８の外壁によってカバー１８外部への漏洩を妨げられ、カバー１８内を窒素雰囲気にした後、開口部１８ａを介して有機材６に吹き付けられる。これにより、測定対象領域の近傍の酸素濃度が低下する。
【００１７】
次に、制御部は、窒素ガスを有機材６に吹き付けた状態において、照射部１６からＵＶ光を射出する。射出されたＵＶ光は、ダイクロイックミラー２１で反射された後、対物レンズ４を介して測定対象領域を照射する。ここで、測定対象領域の近傍の酸素濃度は窒素ガスによって低下しているため、測定対象領域の有機材６は、空気中の酸素と反応して劣化することなくそれぞれの発光色で発光する。例えば、赤色有機材６ｒは赤色で発光し、緑色有機材６ｇは緑色で発光し、青色有機材６ｂは青色で発光する。
【００１８】
有機材６から発光された光は、対物レンズ８に入射した後、ダイクロイックミラー２１を透過して図示しない撮像素子に結像し、撮像素子に結像した像がカメラ１４によって撮像される。次に、制御部は、撮像された撮像データに基づいて有機材６の蒸着状態を測定する。
【００１９】
例えば、制御部は、撮像データに基づいて、赤色有機材６ｒ、緑色有機材６ｇ、及び青色有機材６ｂの幅を計測する。また、赤色有機材６ｒと緑色有機材６ｇとのオーバーラップ量、及び緑色有機材６ｇと青色有機材６ｂとのオーバーラップ量等を計測する。そして、制御部は、これらの計測結果に基づいて有機材６の蒸着ズレを測定する。
【００２０】
この実施の形態に係る測定機２によれば、有機材に窒素ガスを吹き付けながらＵＶ光を照射することにより、有機材が発光した状態で安定して蒸着状態を測定することができる。
【００２１】
なお、上述の実施の形態においては、図１に示すように、円筒形状のカバー１８を顕微鏡１２の下部に取付けているが、図２に示すように、開口部２２ａの口径を狭くしたカバー２２を顕微鏡１２の下部に取付けるようにしてもよい。これにより、測定対象領域に対して高密度で窒素ガスを吹き付けることができ、測定対象領域の有機材６が酸素と反応して劣化することを効果的に防止することができる。
【００２２】
また、上述の実施の形態において、カバー１８がゴム等の弾性を有する部材によって形成されるようにしてもよい。これにより、例えば、測定処理の最中にカバー１８がガラス基板４と接触した場合等においてもガラス基板４を傷つけずに測定を継続することができる。なお、図２に示すカバー２２が弾性を有する部材により形成されるようにしてもよい。
【００２３】
また、上述の実施の形態において、顕微鏡１２にカバー１８を取付けないようにしてもよい。この場合、噴出部２０を有機材６の近傍に配置し、測定対象領域に直接窒素ガスを吹き付けた状態でＵＶ光を照射するようにしてもよい。
【００２４】
また、上述の実施の形態において、図３に示すように、噴出部２０が下方に向けて所定の傾斜角度で窒素ガスをカバー１８内に噴出するようにしてもよい。
【００２５】
また、上述の実施の形態においては、不活性ガスとして窒素ガスを用いる場合を例に説明しているが、不活性ガスは窒素ガスに限定されない。例えば、キセノンガスやヘリウムガス等を用いてもよい。
【００２６】
また、上述の実施の形態においては、ＵＶ光がダイクロイックミラー２１で反射された後に対物レンズ８を介して有機材６に照射される場合を例に説明しているが、ＵＶ光がダイクロイックミラー２１及び対物レンズ８を介さずに直接有機材６に照射されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
２…測定機、４…ガラス基板、６…有機材、８…対物レンズ、１２…顕微鏡、１４…カメラ、１６…照射部、１８…カバー、２０…噴出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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