(57)【要約】【課題】過大な強磁界を形成しなくても低い酸素濃度の測定ガスの検出感度を向上させるような磁気式酸素計を提供する。【解決手段】測定セル７の上流に配置される分離セル３内の空間において分離セル磁界領域１４と非磁界領域が形成されており、分離セル磁界領域１４への酸素分子の引き付けにより酸素濃度を高めた測定ガスを測定セル７へ出力し、このような測定ガスを用いて低いい酸素濃度であっても確実な検出できるようなする磁気式酸素計１とした。【選択図】図１
2013205062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ガスと補助ガスとが導入される測定セルに磁界領域を形成し、補助ガスが流れ込む位置に印加される磁界への酸素分子の引き付けに基づく磁気圧力の上昇を利用した補助ガスの流れの変化から酸素の量を測定する磁気式酸素計において、
測定セルの上流に配置される分離セルを備え、分離セル内に形成される磁界領域への酸素分子の引き付けにより酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを測定セルへ流出させることを特徴とする磁気式酸素計。
【請求項２】
測定ガス導入流路と、
測定ガス導入流路と接続される分離セルと、
分離セルに接続される高濃度測定ガス導入流路と、
補助ガス導入流路と、
高濃度測定ガス導入流路および補助ガス導入流路が接続される測定セルと、
測定セルに接続される排出流路と、
分離セルから排出流路へバイパス接続されるバイパス流路と、
分離セルに分離セル磁界領域を形成する分離セル磁界発生部と、
測定セルに測定セル磁界領域を形成する測定セル磁界発生部と、
を備え、測定セルの測定セル磁界領域付近に補助ガスを流入させて、補助ガスが流れ込む位置にある測定セル磁界領域に印加される磁界への酸素分子の引き付けに基づく磁気圧力の上昇を利用した補助ガスの流れの変化から酸素の量を測定する磁気式酸素計であって、
分離セルは、分離セル内に形成される分離セル磁界領域に印加される磁界への酸素分子の引き付けにより酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを高濃度測定ガス導入流路を通じて測定セルへ流出させ、また、残る測定ガスをバイパス流路を通じて排出流路へ流出させることを特徴とする磁気式酸素計。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気式酸素計において、
前記分離セルは、分離セル磁界領域が形成される分離セルを多段にｎ個配置して形成したものであり、上段の分離セルは、分離セル磁界領域で酸素分子を集めて酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを下段の分離セルへ流出させることを特徴とする磁気式酸素計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定ガス中の酸素濃度を測定する磁気式酸素計に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気式酸素計は、酸素分子が磁力に吸引される性質を利用して測定ガス中の酸素濃度を測定する装置である。このような磁気式酸素計の従来技術について図を参照しつつ説明する。図３は、従来技術の磁気式酸素計の構成図である。
磁気式酸素計１００は、測定セル１０１、測定ガス導入流路１０２、補助ガス導入流路１０３、補助ガス排出口１０３ａ、補助ガス導入流路１０４、補助ガス排出口１０４ａ、排出流路１０５を備え、測定セル１０１内に磁界領域１０６が形成されている。
【０００３】
続いて磁気式酸素計１００の動作について説明する。磁気式酸素計１００では、補助ガスを用いて測定ガスの酸素濃度が測定される。まず、測定ガスおよび補助ガスの流れについて説明する。測定ガスは、測定ガス導入流路１０２を通じて測定セル１０１へ流入する。また、補助ガスは、２本の補助ガス導入流路１０３，１０４を通じて測定セル１０１へ流入する。測定セル１０１内の測定ガスと補助ガスとは、排出流路１０５を通じて外部へ排出される。
【０００４】
測定セル１０１内であって一方の補助ガス排出口１０３ａの近傍には、測定ガスの流れに対して垂直（例えば図３の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向）に磁界が印加されており、磁界領域１０６が形成されている。他方の補助ガス排出口１０４ａの近傍には磁界は印加されておらず、磁界領域は形成されていない。
【０００５】
続いて、測定について説明する。
測定ガス中に酸素分子が存在する場合、酸素分子が磁界領域１０６に引き付けられる。すると、補助ガス排出口１０３ａ近傍の圧力が高くなり、補助ガス導入流路１０３では補助ガスが流れにくくなる。もう一方の補助ガス排出口１０４ａ近傍は磁界の影響を受けないため、補助ガス導入流路１０３では補助ガスの流れは阻害されない。この二流路の補助ガス導入流路１０３，１０４を流れる補助ガスの流量差を圧力センサや流量センサ等で物理的に検出し、この検出結果に基づいて酸素濃度を測定する。
【０００６】
なお、測定ガス中に酸素分子が存在しない場合、補助ガス排出口１０３ａ，１０４ａの付近では圧力に変化はなく、二流路の補助ガス導入流路１０３，１０４では、それぞれ同じ流量の補助ガスが流れる。したがって、流量差が０であり、酸素分子がないと検出される。従来技術の磁気式酸素計１００はこのようなものである。
【０００７】
また、磁気式酸素計の他の従来技術として、例えば、特許文献１（特開２００４−３２５０９８号公報、発明の名称「磁気式酸素計」）に記載の発明が知られている。
特許文献１の図１で示すように、この磁気式酸素計は、酸素分子が低濃度であるときには強磁界が形成されている第３の補助ガス流路１４を利用し、酸素分子が高濃度であるときには弱磁界が形成されている第２の補助ガス流路１３を利用するようにしている。このような磁気式酸素計は、高濃度酸素濃度や低濃度酸素濃度の測定をともに可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−３２５０９８号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、図３に示した先行技術による磁気式酸素計では、測定ガス中の酸素濃度が低い場合は、磁界領域１０６に引き付けられる酸素分子も僅かであり、補助ガス排出口１０３ａ，１０４ａの近傍における酸素分子による圧力差が小さくなる。
【００１０】
このように酸素濃度が低い測定ガスに対して測定を行う磁気式酸素計では、補助ガスの流量差を高感度で検知する必要があり、高額なセンサを使用しなければならないという問題があった。また、圧力差を大きくするために磁界の強度を上げようとすると、高い磁性特性を有する高価な材料による磁石等を用いて広い磁界領域を形成する必要が生じるため、磁界印加装置が高額化・大型化するという問題があった。両者ともにコスト上昇の要因であった。
【００１１】
また、特許文献１に記載の先行技術でも、酸素分子が低濃度のときには強磁界が形成されている補助ガス流路を利用し、酸素分子が高濃度のときは、弱磁界が形成されている補助ガス流路を利用するようにしている。したがって、磁界の強度を上げることができれば、酸素分子がより低濃度でも検出することができるようになる。しかしながら、磁界の強度には上限があり、測定できる酸素濃度の下限にも限界があるという問題があった。
【００１２】
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、過大な強磁界を形成しなくても測定可能な酸素濃度の下限を低くし、安価かつ小型の構成で、測定ガスに対する酸素濃度の検出感度を向上させるような磁気式酸素計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に係る磁気式酸素計は、
測定ガスと補助ガスとが導入される測定セルに磁界領域を形成し、補助ガスが流れ込む位置に印加される磁界への酸素分子の引き付けに基づく磁気圧力の上昇を利用した補助ガスの流れの変化から酸素の量を測定する磁気式酸素計において、
測定セルの上流に配置される分離セルを備え、分離セル内に形成される磁界領域への酸素分子の引き付けにより酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを測定セルへ流出させることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係る磁気式酸素計は、
測定ガス導入流路と、
測定ガス導入流路と接続される分離セルと、
分離セルに接続される高濃度測定ガス導入流路と、
補助ガス導入流路と、
高濃度測定ガス導入流路および補助ガス導入流路が接続される測定セルと、
測定セルに接続される排出流路と、
分離セルから排出流路へバイパス接続されるバイパス流路と、
分離セルに分離セル磁界領域を形成する分離セル磁界発生部と、
測定セルに測定セル磁界領域を形成する測定セル磁界発生部と、
を備え、測定セルの測定セル磁界領域付近に補助ガスを流入させて、補助ガスが流れ込む位置にある測定セル磁界領域に印加される磁界への酸素分子の引き付けに基づく磁気圧力の上昇を利用した補助ガスの流れの変化から酸素の量を測定する磁気式酸素計であって、
分離セルは、分離セル内に形成される分離セル磁界領域に印加される磁界への酸素分子の引き付けにより酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを高濃度測定ガス導入流路を通じて測定セルへ流出させ、また、残る測定ガスをバイパス流路を通じて排出流路へ流出させることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項３に係る磁気式酸素計は、
請求項２に記載の磁気式酸素計において、
前記分離セルは、分離セル磁界領域が形成される分離セルを多段にｎ個配置して形成したものであり、上段の分離セルは、分離セル磁界領域で酸素分子を集めて酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを下段の分離セルへ流出させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、過大な強磁界を形成しなくても測定可能な酸素濃度の下限を低くし、安価かつ小型の構成で、測定ガスに対する酸素濃度の検出感度を向上させるような磁気式酸素計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を実施するための形態の磁気式酸素計の全体構成図である。
【図２】本発明を実施するための他の形態の磁気式酸素計の全体構成図である。
【図３】従来技術の磁気式酸素計の全体構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
続いて、本発明を実施するための形態に係る磁気式酸素計について図を参照しつつ以下に説明する。図１は、本形態の磁気式酸素計の全体構成図である。
本形態の磁気式酸素計１は、測定ガス導入流路２、分離セル３、高濃度測定ガス導入流路４、補助ガス導入流路５，６、測定セル７、排出流路８、バイパス流路９、センサ１０，１１、分離セル磁界発生部１２、測定セル磁界発生部１３を備える。分離セル３内には分離セル磁界発生部１２により分離セル磁界領域１４が形成され、また、測定セル７内には測定セル磁界発生部１３により測定セル磁界領域１５が形成されている。
【００１９】
続いて各構成について説明する。
測定ガス導入流路２は、外部プロセスから測定ガスが流入する。
分離セル３は、測定ガス導入流路２と接続されており、測定ガス導入流路２から分離セル３の空間内に測定ガスが導入される。
【００２０】
高濃度測定ガス導入流路４は、分離セル３に接続され、分離セル３から高濃度測定ガスが流入する。
補助ガス導入流路５，６は、測定セル７と接続されており、外部の補助ガス供給部から補助ガスが流入する。
【００２１】
測定セル７は、高濃度測定ガス導入流路４と接続されており、高濃度測定ガス導入流路４から高濃度測定ガスが導入される。また、測定セル７は、補助ガス導入流路５，６と接続されており、補助ガス導入流路５，６から補助ガスが導入される。
【００２２】
排出流路８は、測定セル７に接続されており、測定セル７から高濃度測定ガスおよび補助ガスが排出される。
バイパス流路９は、分離セル３と排出流路８との間で連通されており、測定セル７を迂回するバイパス流路を形成する。分離セル３からの測定ガスがバイパス流路９を介して排出流路８へ流出される。
【００２３】
センサ１０は、補助ガス導入流路５を流れる補助ガスの圧力を検出する圧力センサである。
センサ１１は、補助ガス導入流路６を流れる補助ガスの圧力を検出する圧力センサである。
センサ１０，１１には、図示しない信号演算処理部が接続されており、この信号演算処理部は、センサ１０，１１からそれぞれ得られる圧力信号から流量差を算出し、この流量差に基づいて酸素濃度を演算する。なお、ある流量差における酸素濃度がどのような値になるかは、工場出荷時に信号演算処理部が内蔵するメモリに登録した値を使用したり、磁気式酸素計１の使用直前に校正により求めた値を使用すれば良い。
【００２４】
あるいは、センサ１０が補助ガス導入流路５を流れる補助ガスの流量を検出する流量センサであり、また、センサ１１が補助ガス導入流路６を流れる補助ガスの流量を検出する流量センサであっても良い。この場合にはセンサ１０，１１に接続される図示しない信号演算処理部が、センサ１０，センサ１１からそれぞれ得られる流量信号から流量差を算出し、この流量差に基づいて酸素濃度を演算する。
【００２５】
分離セル磁界発生部１２は、分離セル３内において、測定ガスの流れに対して垂直方向（図１の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向）に磁界を形成し、分離セル磁界領域１４を形成する。分離セル磁界領域１４は、測定ガス導入流路２の流出側の開口付近から高濃度測定ガス導入流路４の流入側の開口付近まで形成される。
測定セル磁界発生部１３は、測定セル７内において、測定ガスの流れに対して垂直方向（図１の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向）に磁界を形成し、測定セル磁界領域１５を形成する。測定セル磁界領域１５は、一方（本形態では上側）の補助ガス排出口５ａ付近に形成される。
磁気式酸素計１の構成はこのようなものである。
【００２６】
続いて、このような磁気式酸素計１による動作について説明する。
測定ガス導入流路２から分離セル３内へ測定ガスが流入する。分離セル３内には測定ガスの流れに対し垂直に設置した磁界によって、分離セル磁界領域１４が形成されている。また、分離セル磁界領域１４が及ばない非磁界領域も併せて形成されている。
【００２７】
ここで、分離セル磁界領域１４により測定ガス中に含まれる酸素分子の引き付けが発生する。測定ガス中の酸素分子は、非磁界領域側から分離セル磁界領域１４側へ引き付けられる。これにより分離セル磁界領域１４の付近を流れる測定ガスは、ガス中の酸素濃度を高めた高濃度測定ガスとなっている。このような高濃度測定ガスが高濃度測定ガス導入流路４の流入側開口へ流出し、高濃度測定ガス導入流路４を介して測定セル７へ導入される。また、もう一方のバイパス流路９へは酸素分子が少なくなって酸素濃度が低い測定ガスが流出され、測定セル７を迂回して排出流路８へ排出される。
【００２８】
測定セル７では、高濃度測定ガス導入流路４から高濃度測定ガスが流出される。また、測定セル７に接続されている２つの補助ガス排出口５ａ，６ａからも、補助ガスがそれぞれ測定セル７に流れ込む。
【００２９】
ここで測定セル７では、高濃度測定ガス導入流路４から流入する高濃度測定ガスに対し、高濃度測定ガスの流れに対して垂直に形成された測定セル磁界領域１５により高濃度測定ガス中に含まれる酸素分子の引き付けが発生し、補助ガスが流れ込む補助ガス排出口５ａ付近においては磁気圧力が上昇し、補助ガス導入流路５中の補助ガスが流れにくくなる。また、もう一方の補助ガス排出口６ａ近傍は磁界の影響を受けないため、補助ガスの流れは阻害されない。そして補助ガス導入流路６を流れる補助ガスの流量や圧力と比較すると、補助ガス導入流路５を流れる補助ガスの流量は下がり、また、圧力が高くなる。
【００３０】
センサ１０が、補助ガス導入流路５を流れる補助ガスの流量または圧力を検出して図示しない信号演算処理部へ検出信号を出力し，また、補助ガス導入流路６を流れる補助ガスの流量または圧力を検出して図示しない信号演算処理部へ検出信号を出力する。信号演算処理部が流量差・圧力差から濃度を演算算出する。
【００３１】
なお、測定ガス中に酸素分子が存在しない場合には分離セル４からの高濃度測定ガスにも酸素分子は存在せず、酸素分子の引き付けが発生しないことから磁気圧力の上昇もなく、補助ガス導入流路５，６を流れるそれぞれの補助ガスは、同等の流量が流れる。この場合は、信号演算処理部が流量差・圧力差が０であると判定し、酸素分子の濃度を０と演算算出する。
【００３２】
測定セル７の高濃度測定ガスと補助ガスは、排出流路８へ流出する。排出流路８からは、分離セル３からの測定ガス、および、測定セル７からの高濃度測定ガスと補助ガス、が外界へ排出される。本形態の磁気式酸素計１はこのように動作する。
【００３３】
このような本発明によれば、上流側の分離セル３中において、高濃度測定ガス導入流路４の開口付近に分離セル磁界領域１４を形成するため、測定セル７へは酸素濃度を高めた高濃度測定ガスを流出させるようにしており、測定セル７では酸素濃度が高い高濃度測定ガスにより濃度分析する。したがって、磁気式酸素計１に導入される測定ガスの酸素濃度が低くても、分離セル３で酸素濃度を高くして測定セル７で確実に酸素を検出できるように配慮しているので、補助ガスの流量差・圧力差が大きい値で検出できるようにして検出可能な下限濃度を低くしており、検出能力を高めた磁気式酸素計１とすることができる。また、分離セル磁界発生部１２や測定セル磁界発生部１３は安価なものを採用してもよく、コスト低減にも寄与する。
【００３４】
続いて本発明の他の形態について図を参照しつつ説明する。図２は、他の形態の磁気式酸素計の全体構成図である。
本形態の磁気式酸素計１’は、測定ガス導入流路２、分離セル３０、高濃度測定ガス導入流路４、補助ガス導入流路５，６、測定セル７、排出流路８、バイパス流路９、センサ１０，１１、測定セル磁界発生部１３を備える。測定セル７内には測定セル磁界発生部１３により測定セル磁界領域１５が形成されている。
【００３５】
先の形態では１個のセルによる分離セル３を用いるものであったが、本形態では、先の形態の分離セル３に代えて、特にｎ個の第１分離セル，・・・，第ｎ分離セルを直列方向に配置した分離セル３０を採用する点が相違する。本形態ではこの分離セル３０を重点的に説明するとともに、他の構成については、同じ符号を付するとともに重複する説明を省略する。また、本形態では説明の具体化のため、特にｎ＝２とし、２個の第１分離セル、第２分離セルを備えるものとして説明する。
【００３６】
分離セル３０は、さらに第１分離セル３１、高濃度測定ガス導入流路３２、第１バイパス流路３３、第２分離セル３４、第２バイパス流路３５、第１分離セル磁界発生部３６、第２分離セル磁界発生部３７を備える。第１分離セル３１内には第１分離セル磁界発生部３６により第１分離セル磁界領域３８が形成されている。また、第２分離セル３４内には第２分離セル磁界発生部３７により第２分離セル磁界領域３９が形成されている。
【００３７】
続いて各構成について説明する。
第１分離セル３１は、測定ガス導入流路２と接続されており、測定ガス導入流路２から第１分離セル３１の空間内に測定ガスが導入される。
高濃度測定ガス導入流路３２は、第１分離セル３１に接続され、第１分離セル３１から高濃度測定ガスが流入する。
【００３８】
第１バイパス流路３３は、第１分離セル３１と、排出流路８に接続されるバイパス流路９と、の間で連通されており、第２分離セル３４および測定セル７を迂回するバイパス流路を形成する。
第２分離セル３４は、高濃度測定ガス導入流路３２と接続されており、高濃度測定ガス導入流路３２を通じて第２分離セル３４の空間内に高濃度測定ガスが導入される。高濃度測定ガス導入流路４は、この第２分離セル３４に接続され、第２分離セル３４から高濃度測定ガスが流入する。
【００３９】
第２バイパス流路３５は、第２分離セル３４と、排出流路８に接続されるバイパス流路９と、の間で連通されており、測定セル７を迂回するバイパス流路を形成する。
第１分離セル磁界発生部３６は、第１分離セル３１内において、測定ガスの流れに対して垂直方向（図２の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向）に磁界を形成し、第１分離セル磁界領域３８を形成する。第１分離セル磁界領域３８は、測定ガス導入流路２の流出側の開口付近から高濃度測定ガス導入流路３２の流入側の開口付近まで形成される。
【００４０】
第２分離セル磁界発生部３７は、第２分離セル３４内において、高濃度測定ガスの流れに対して垂直方向（図２の紙面に対して垂直に裏表に向かう方向）に磁界を形成し、第２分離セル磁界領域３９を形成する。第２分離セル磁界領域３９は、高濃度測定ガス導入流路３２の流出側の開口付近から高濃度測定ガス導入流路４の流入側の開口付近まで形成される。
分離セル３０はこのようなものである。
【００４１】
続いて分離セル３０による動作について説明する。
測定ガス導入流路２から第１分離セル３１内へ測定ガスが流入する。第１分離セル３１内には測定ガスの流れに対し垂直に設置した磁界によって、第１分離セル磁界領域３８が形成されている。また、第１分離セル磁界領域３８が及ばない非磁界領域も併せて形成されている。
【００４２】
ここで、第１分離セル磁界領域３８により測定ガス中に含まれる酸素分子の引き付けが発生する。測定ガス中の酸素分子は、非磁界領域側から第１分離セル磁界領域３８側へ引き付けられる。これにより第１分離セル磁界領域３８付近を流れる測定ガス中の酸素濃度を高め、高濃度測定ガスとなっている。このように酸素濃度を高めた高濃度測定ガスが高濃度測定ガス導入流路３２の流入側の開口へ流出し、高濃度測定ガス導入流路３２を介して第２分離セル３４へ導入される。また、もう一方の第１バイパス流路３３へは酸素分子が少なくなって酸素濃度が低い測定ガスが流出され、測定セル７を迂回してバイパス流路９を経由して排出流路８へ排出される。
【００４３】
そして、高濃度測定ガス導入流路３２から第２分離セル３４内へ高濃度測定ガスが流入する。第２分離セル３４内には高濃度測定ガスの流れに対し垂直に設置した磁界によって、第２分離セル磁界領域３９が形成されている。また、第２分離セル磁界領域３９が及ばない非磁界領域も併せて形成されている。
【００４４】
ここで、第２分離セル磁界領域３９により高濃度測定ガス中に含まれる酸素分子の引き付けが発生する。測定ガス中の酸素分子は、非磁界領域側から第２分離セル磁界領域３９側へ引き付けられる。これにより第２分離セル磁界領域３９付近を流れる高濃度測定ガス中の酸素濃度をさらに高めた高濃度測定ガスとなっている。このように酸素濃度を高めた高濃度測定ガスが高濃度測定ガス導入流路４の流入側の開口へ流出し、高濃度測定ガス導入流路４を介して測定セル７へ導入される。また、もう一方の第２バイパス流路３５へは酸素分子が少なくなって酸素濃度が低い高濃度測定ガスが流出され、測定セル７を迂回してバイパス流路９を経由して排出流路８へ排出される。そして、測定セル７では上記の原理により酸素濃度の検出が行われる。
【００４５】
このような本発明によれば、第１分離セル３１中において、高濃度測定ガス導入流路３２の開口付近に第１分離セル磁界領域３８を形成するため、第２分離セル３４へ流れ込む測定ガス中の酸素濃度を高めており、第２分離セル３４では酸素濃度を高めた高濃度測定ガスとする。さらに、第２分離セル３４中において、高濃度測定ガス導入流路４の開口付近に第２分離セル磁界領域３９を形成するため、測定セル７へ流れ込む高濃度測定ガス中の酸素濃度をさらに高めており、測定セル７では酸素濃度をより高い高濃度測定ガスとする。特に２個の第１分離セル，第２分離セルを直列方向に配置した分離セル３０として、測定ガス中の酸素濃度を多重（本形態では二重）に高めており、測定セル７に導入される高濃度測定ガスは酸素濃度が高くなっている。したがって、補助ガスの流量差・圧力差の検出が容易となって、検出可能な下限濃度を低くしており、検出能力を高めた磁気式酸素計１’とすることができる。
【００４６】
また、本形態では２個の第１分離セル、第２分離セルにより二重に濃度を高める分離セルであるものとして説明した。そして、分離セルをｎ個の第１分離セル，・・・，第ｎ分離セルを直列方向に配置した分離セルとすれば、酸素濃度をより高めることができ、検出可能な下限濃度をさらに低くすることができる。ｎの具体的な数値は実際の測定対象に応じて適宜選択される。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の磁気式酸素計は、一例を挙げれば、加熱炉・触媒再生塔［石油・科学分野］、アンモニアプラント・電解プラント［化学］、熱風炉・転炉［鉄鋼］、焼鈍炉・加熱炉［非鉄金属］、ゴミ消却炉・汚泥焼却炉［環境］の分野など、酸素濃度の測定を必要とする各種分野で有用である。
【符号の説明】
【００４８】
１：磁気式酸素計
２：測定ガス導入流路
３：分離セル
４：高濃度測定ガス導入流路
５：補助ガス導入流路
５ａ：補助ガス排出口
６：補助ガス導入流路
６ａ：補助ガス排出口
７：測定セル
８：排出流路
９：バイパス流路
１０，１１：センサ
１２：分離セル磁界発生部
１３：測定セル磁界発生部
１４：分離セル磁界領域
１５：測定セル磁界領域
３０：分離セル
３１：第１分離セル
３２：高濃度測定ガス導入流路
３３：第１バイパス流路
３４：第２分離セル
３５：第２バイパス流路
３６：第１分離セル磁界発生部
３７：第２分離セル磁界発生部
３８：第１分離セル磁界領域
３９：第２分離セル磁界領域
【図１】
2013205062.tif 000003
【図２】
2013205062.tif 000004
【図３】
2013205062.tif 000005