(57)【要約】【課題】平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納ケースの外部から容易に認識できる基板収納ケースを提供すること。【解決手段】収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われることを特徴とする基板収納ケース。
【請求項２】
請求項１に記載の基板収納ケースにおいて、基板固定治具の一部が基板の載置の有無に対応して屈曲変形することにより、基板有無表示部の表示変更が生じることを特徴とする基板収納ケース。
【請求項３】
基板有無表示部が発光ダイオードを有し、発光ダイオードを点灯させる電源を接続可能に付設し、基板固定治具には、発光ダイオードと電源とが閉回路を形成できる電気配線が収納され、基板が載置される際に基板固定治具に収納された電気配線が発光ダイオードと電源との閉回路を形成することにより、基板有無表示部の発光ダイオードが点灯することを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクを始めとする平板状基板を収納するための基板収納ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板製造工程のフォトマスクを用いたフォトリソグラフィ法において、使用されるフォトマスクの保管や搬送で、機械的な衝撃を避けて基板の破損やキズを防止するとともに、塵埃や液滴等からの汚染を防止するために、個別管理を可能とする各種の工夫を施した基板収納ケースが利用されている。
【０００３】
レチクルやフォトマスクブランクスやその他のガラス基板、電子回路基板等の平板状基板においても、用いられる基板収納ケースの例として、例えば、清浄な硬質樹脂製の箱の側面から箱の内面に加工した溝状のガイドに沿って基板を差し込み、基板挿入口に蓋を被せる簡単な形状の基板収納ケースがある。
【０００４】
上記の問題を解決するために、上蓋を開けて基板を平坦に出し入れできる基板収納ケースの提案があり、基板端部とケース内面との擦れを回避する方式の基板収納ケースが使われるようになった。図３は、上述のような改良タイプの従来の基板収納ケースにより基板を収納した状態を説明するための模式断面図である。一部を省略して示すが、表示されていない左側部分は表示された右側部分と略対称的で同様の状態である。
【０００５】
基板収納ケース１２は、基板１が平行に載置される底面部２と、底面部に支持されて該基板を載置する基板固定治具３と、底面部２と咬合して基板１を密封収納する蓋部４と、蓋部４に支持されて基板１を上から押さえる他の基板固定治具３０とを有している。底面部２と咬合する蓋部４を着脱する機構や蓋部４を密閉するための留め具は記載していないが一般的に利用される各種の機構を用いることができる。また、基板収納を行う際に基板を一時的に支えるピンや基板固定治具３、３０をスライドさせたり適当な位置でネジ留めするための可動機構等も可能であるが図では省略し、基板固定後の主要部の状態のみを示す。さらに、前記の基板収納ケース１２への基板１の収納が容易に行え、収納とは逆の手順により、基板１を取り出すための開梱作業が行える基板収納ケースであることは言うまでも無い。
【０００６】
基板収納ケースを構成する材料として、一般に強度と加工性の良好な、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体からなるＡＢＳ樹脂や、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）等のアクリル樹脂が用いられている。しかし、上記の樹脂材料は、半導体製造工程で使用される化学増幅型レジストに対して影響を与える酸やアルカリ系のガスを多量に含んでいることが多い。このため、フォトマスク基板に化学増幅型レジストを塗布した状態の基板を上記の樹脂材料で成形された基板収納ケースに収納してフォトマスク製造工程で工程間搬送を行うと、感光性レジストの感度劣化が生じて形成するパターンの形状に不具合が発生することがある。
【０００７】
前述の不具合を避けるための方策として、基板収納ケースを構成する材料として、構成樹脂からの発生ガス量が少ないポリカーボネート樹脂（ＰＣ）やポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ）等の耐熱性樹脂を用いることができる。また、これらの樹脂に導電性材料を添加して帯電防止性能を付与することにより、発塵を防止することができる。しかし、導電性材料としてカーボンナノチューブやカーボンファイバー等のカーボン系材料を添加することにより、遮光性の高い材料となり、基板収納ケースの外部から内部の状態
を確認することが難しくなる。帯電防止性能を有する基板収納ケースの遮光性を回避するために、特許文献１にあるように基板収納ケースの一部に窓部を設けた構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平３−１２２４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述の帯電防止性能を有する基板収納ケースにおいて、遮光性のために基板収納ケースの外部から内部の状態を確認することが一般的に難しくなるので、例えば、フォトマスク製造工程で工程間搬送を行う際に、基板を収納していない基板収納ケースを製造装置に投入するトラブルや、基板収納された状態のままケースの洗浄工程に投入するトラブルを事前のチェックで防止することが難しい。前記特許文献１の窓部の構造により、一定のトラブル防止効果は得られるが、収納される基板の形状と窓部の配置との関係の制約と確認のし難さが残るため、対策としては不充分である。
【００１０】
また、透明性の良好な基板収納ケースを使用する場合であっても、収納基板に石英基板のような透明性の極めて良好な基板を適用する場合には、基板収納ケース内部の基板の有無状態を外部から判別することが照明条件によってはかなり難しくなる。
【００１１】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納ケースの外部から容易に認識できる基板収納ケースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われることを特徴とする基板収納ケースである。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板収納ケースにおいて、基板固定治具の一部が基板の載置の有無に対応して屈曲変形することにより、基板有無表示部の表示変更が生じることを特徴とする基板収納ケースである。
【００１４】
また、請求項３に記載の発明は、基板有無表示部が発光ダイオードを有し、発光ダイオードを点灯させる電源を接続可能に付設し、基板固定治具には、発光ダイオードと電源とが閉回路を形成できる電気配線が収納され、基板が載置される際に基板固定治具に収納された電気配線が発光ダイオードと電源との閉回路を形成することにより、基板有無表示部の発光ダイオードが点灯することを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納ケースである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、基板収納ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われることを特徴とする基板収納ケースであるので、平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納
ケースの外部から容易に認識でき、基板収納ケース内の基板有無の認識間違いによる工程トラブルを未然に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一例の構造を説明するための模式図であって、（ａ）は、内部に基板が無い状態の部分断面図、（ｂ）は、内部に基板が有る状態の部分断面図、（ｃ）は、上面図である。
【図２】本発明の他の一例の構造を説明するための模式図であって、（ａ）は、内部に基板が無い状態の部分断面図、（ｂ）は、内部に基板が有る状態の部分断面図、（ｃ）は、上面図である。
【図３】従来の基板収納ケースにより基板を収納した状態を説明するための模式断面図である。
【図４】本発明の第三の例の構造を説明するための模式図であって、（ａ）は、内部に基板が無い状態の部分断面図、（ｂ）は、内部に基板が有る状態の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の一例の構造を説明するための模式図であって、（ａ）は、内部に基板が無い状態の部分断面図、（ｂ）は、内部に基板が有る状態の部分断面図、（ｃ）は、上面図である。図１（ａ）、（ｂ）は、一部を省略して示しており、表示されていない左側部分は、表示された右側部分と略対称的で同様の形態であっても良いし、図３のように従来の基板収納ケースの場合の右側部分と略対称的な単純な形態であっても良い。
【００１８】
本実施例の基板収納ケース１０は、収納される基板１が平行に載置される底面部２と、少なくとも一部が底面部２に支持されて該基板１を保持できる基板固定治具３と、底面部２と咬合して基板１を密封収納できる蓋部４とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部５がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具３への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部５の表示変更が行われることを特徴とする。
【００１９】
また、本実施例では、図１（ａ）の基板無しの状態から図１（ｂ）の基板有りの状態に移行する際に、基板固定治具３の一部の３１が、基板１の厚さの影響により図の上方に持ち上がるように屈曲変形する。本実施例では、前記基板有無表示部５が発光ダイオード５１を蓋部４の外面側に有しており、発光ダイオード５１を点灯させる電源６としてボタン型電池を近傍に電気的に接続可能な状態で付設している。すなわち、発光ダイオード５１の一方の電極端子は点灯回路部７を介してボタン型電池である電源６に接続する。また、基板固定治具３１には、発光ダイオード５１と電源６とが閉回路を形成できる電気配線が収納されている。基板１が載置される際に、上記基板無しの状態から基板有りの状態への移行に伴って、基板固定治具３１が屈曲変形して発光ダイオード５１の他方の電極端子に接触する状態となる。その結果、基板固定治具３１に収納された電気配線により閉回路が形成されるため、図１（ａ）では無点灯状態だった発光ダイオード５１が図１（ｂ）で点灯状態となる。なお、基板有無表示部５の取り付け構造および内部構造において、基板収納ケース１０の外部と内部との境界に設ける部分には、Ｏ−リング等によるシールが必要であり、以下に述べる他種の基板有無表示部においても同様である。
【００２０】
上述の結果、図１（ｃ）の上面図に示すように、発光ダイオード５１は基板１が載置される平面領域の近傍である基板収納ケース１０の表面の隅に寄った位置に少なくとも一箇所設置され、基板収納ケース１０内部の基板１の有無に対応して、点灯状態と無点灯状態との間で表示変更が行われることになるので、基板収納ケース１０の外部からの基板有無確認が極めて容易に行える。
【００２１】
なお、基板固定治具３への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部５の表示変更が行われる形態としては、本例のように基板固定治具の一部が屈曲変形することに限定されない。例えば、基板の載置の有無を検知する近接センサを基板固定治具の近傍に設けておき、基板の載置の有無により変化する信号により基板有無表示部５の表示変更を行うことが可能である。その場合の表示変更の内容は、図１の例と同様に発光ダイオードの点灯と消灯によるものでも良いが、センサ信号の変化を感知して他の方式による表示の切り換えを行う既存の手段のいずれも適用可能であり、特に限定されない。
【００２２】
また、基板固定治具３への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部５の表示変更が行われる形態として、基板固定治具の一部が屈曲変形する場合であっても、本実施例のように基板有無表示部が発光ダイオードを有し、発光ダイオードの点灯と消灯による表示変更に限定されるものではない。例えば、図４に示す基板収納ケース１３のように、図４（ｂ）の基板載置状態における基板固定治具の一部３４の持ち上がりによる屈曲変形を基板有無表示部５の内部に設けたカラー塗り分け表示体の回転位置に伝えて、球面を異なる色に塗り分けたカラー塗り分け表示部（Ａ）５２とカラー塗り分け表示部（Ｂ）５３との間の表示変更として示すことができる。例えば、上記の球状のカラー塗り分け表示体を回転時に摩擦の少ない液体中に設けて、基板有無表示部５の筒状容器の形状と球内の重心の制御とにより安定状態を固定する一方、下からの治具の変形圧力を利用して、カラー塗り分け表示部（Ａ）５２と異なるカラー塗り分け表示部（Ｂ）５３に表示変更することができる。上記のような機械式の表示変更は図１において説明したような電子式表示変更とともに、各種表示方法の適用が可能であり、説明した例に限定されない。この他の表示方法としてマグネットを利用した２状態変化や、化学的な呈色反応を利用して表示変更を行う手段も可能である。
【００２３】
図２は、本発明の他の実施例の構造を説明するための模式図であって、（ａ）は、内部に基板が無い状態の部分断面図、（ｂ）は、内部に基板が有る状態の部分断面図、（ｃ）は、上面図である。本実施例は、図１で説明した実施例と同様に、基板固定治具の一部が基板の載置の有無に対応して変形することにより、基板有無表示部の表示変更が生じるとともに、基板有無表示部が発光ダイオードを有し、発光ダイオードを点灯させる電源を接続可能に付設し、基板固定治具には、発光ダイオードと電源とが閉回路を形成できる電気配線が収納され、基板が載置される際に基板固定治具に収納された電気配線が発光ダイオードと電源との閉回路を形成することにより、基板有無表示部の発光ダイオードが点灯する構造となっている。
【００２４】
本実施例では、図２（ａ）の基板無しの状態から図２（ｂ）の基板有りの状態に移行する際に、基板固定治具３の一部の３２が、基板１を突き当てた影響により図の右方に押し付けられるように変形する。具体的にはバネ構造の部品を基板固定治具３の一部の３２として使用できる。本実施例では、前記基板有無表示部５が発光ダイオード５１を蓋部４の外面側に有しており、発光ダイオード５１を点灯させる電源６としてボタン型電池を近傍に電気的に接続可能な状態で付設している。また、基板固定治具３の左に開いた凹部内側の基板端部が載置接触する近傍に２本の電気配線３３の端子部が接続され、他の端子部はそれぞれ発光ダイオード５１と電源６とにクリップ端子等を介して接続させることができる。基板固定治具３２の外形変化について説明すると、例えば基板１の端部による圧力でバネ構造部の端部に設けた電気配線が右方に動くことによって基板固定治具３の左に開いた凹部内側斜面に押し付けられ、発光ダイオード５１と電源６とが閉回路を形成できる。上述のように、基板１が載置される際に、上記基板無しの状態から基板有りの状態への移行に伴って、基板固定治具３２の外形が変形し、基板固定治具３２に収納された電気配線により閉回路が形成されるため、図２（ａ）では無点灯状態だった発光ダイオード５１が図２（ｂ）で点灯状態となる。
【００２５】
すなわち、図２（ｃ）の上面図に示すように、発光ダイオード５１は基板１が載置される平面領域の近傍である基板収納ケース１１の表面の隅に寄った位置に少なくとも一箇所設置され、基板収納ケース１１内部の基板１の有無に対応して、点灯状態と無点灯状態との間で表示変更が行われることになるので、基板収納ケース１１の外部からの基板有無確認が極めて容易に行える。
【符号の説明】
【００２６】
１・・・基板
２・・・底面部
３、３０、３１、３２、３４・・・基板固定治具
３３・・・電気配線
４・・・蓋部
５・・・基板有無表示部
５１・・・発光ダイオード
５２・・・カラー塗り分け表示部（Ａ）
５３・・・カラー塗り分け表示部（Ｂ）
６・・・電源
７・・・点灯回路部
１０、１１、１２、１３・・・基板収納ケース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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