(57)【要約】【課題】十分な冷却性能を得る構造や配置等の制約を改善した沸騰冷却装置を提供する。【解決手段】本発明の冷却装置は、冷媒が封入された容器と、容器内の圧力を調整する圧力調整部と、容器の外面に設けられた冷媒冷却部と、容器の外面に設けられた冷却対象を設置する冷却対象設置部と、冷却対象設置部に対応する容器の内面に、冷却対象の熱が伝導するように設けられた冷却対象冷却部と、を備える。圧力調整部が、容器内の圧力を調整することにより、冷媒冷却部によって冷却された液相状態の冷媒を低温状態のまま気相状態の冷媒に変化させるとともに、低温状態で気相状態の冷媒を冷却対象冷却部に輸送し、圧力調整部が、容器内の圧力を調整することにより、輸送された低温状態で気相状態の冷媒を低温状態で液相状態の冷媒に戻し、冷却対象の熱を気化熱として受け取って低温状態で液相状態の冷媒を気化させて冷却対象の冷却を実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
沸騰冷却装置であって、
冷媒が封入された容器と、
前記容器内の圧力を調整する圧力調整部と、
前記容器の外面に設けられた冷媒冷却部と、
前記容器の外面に設けられた冷却対象を設置する冷却対象設置部と、
前記冷却対象設置部に対応する前記容器の内面に、前記冷却対象の熱が伝導するように設けられた冷却対象冷却部と、
を備え、
前記圧力調整部が、前記容器内の圧力を調整することにより、前記冷媒冷却部によって冷却された液相状態の前記冷媒を低温状態のまま気相状態の前記冷媒に変化させるとともに、前記低温状態で気相状態の冷媒を前記冷却対象冷却部に輸送し、
前記圧力調整部が、前記容器内の圧力を調整することにより、輸送された前記低温状態で気相状態の冷媒を前記低温状態で液相状態の冷媒に戻し、前記冷却対象の熱を気化熱として受け取って前記低温状態で液相状態の冷媒を気化させて前記冷却対象の冷却を実行する
ことを特徴とする沸騰冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、沸騰冷却装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
沸騰冷却装置は、冷媒を収容した容器と冷却対象である発熱体とを接触させ、発熱体の熱を気化熱として奪って容器内の冷媒を液体から気体へ変化（気化）させることにより発熱体を冷却し、気化された冷媒を冷して液化させ、液化させた冷媒を再び気化熱により気化させる、というサイクルを繰り返すことにより発熱体を冷却させる装置である。
【０００３】
特許文献１に記載の沸騰冷却装置は、圧力センサにより圧力容器の内部圧力を測定し、内部圧力の大きさにより出力制限率αを決定する装置である。そして、この沸騰冷却装置では、出力制限率αは、沸騰冷却装置の内部圧力が所定値以上のとき１００％未満であるので、発熱体であるインバータへの出力値が制限され、インバータの発熱が抑えられ、沸騰冷却装置の内部圧力が適正範囲に維持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２５３６７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の沸騰冷却装置は、液化された冷媒が発熱体の熱を気化熱として十分に奪うことができるように、冷媒を収容した容器の下方部分で発熱体を接触させ、容器を無視したとしたら液化された冷媒が発熱体に定常的かつ直接的に接触しているとみなすことができる状態（以下、「実質的に接触した状態」と言う）として、冷却性能を得る構造としている。このため、液化された冷媒が発熱体に実質的に接触した状態とならない構造や配置の場合には十分な冷却性能を得ることができない可能性があるという課題があった。従って、従来の沸騰冷却装置は、十分な冷却性能を得るための構造や配置等の設計に制約があり、設計の自由度の向上や、使い勝手の向上等、更なる工夫が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、沸騰冷却装置が提供される。この沸騰冷却装置は、冷媒が封入された容器と；前記容器内の圧力を調整する圧力調整部と；前記容器の外面に設けられた冷媒冷却部；前記容器の外面に設けられた冷却対象を設置する冷却対象設置部と；前記冷却対象設置部に対応する前記容器の内面に、前記冷却対象の熱が伝導するように設けられた冷却対象冷却部と；を備える。そして、前記圧力調整部が、前記容器内の圧力を調整することにより、前記冷媒冷却部によって冷却された液相状態の前記冷媒を低温状態のまま気相状態の前記冷媒に変化させるとともに、前記低温状態で気相状態の冷媒を前記冷却対象冷却部に輸送し；前記圧力調整部が、前記容器内の圧力を調整することにより、輸送された前記低温状態で気相状態の冷媒を前記低温状態で液相状態の冷媒に戻し、前記冷却対象の熱を気化熱として受け取って前記低温状態で液相状態の冷媒を気化させて前記冷却対象の冷却を実行する。この形態の沸騰冷却装置によれば、冷媒冷却部によって冷却された液相状態の冷媒を低温状態のまま気相状態の冷媒に変化させて冷却対象冷却部に輸送し、輸送された低温状態で気相状態の冷媒を低温状態で液相状態の冷媒に戻し、冷却対象の熱を気化熱として受け取って低温状態で液相状態の冷媒を気化させて冷却対象の冷却を実行することができる。これにより、課題で説明したように、液化された冷媒が冷却対象に実質的に接触した状態とならない構造や配置であっても、十分な冷却性能を得ることが可能である。従って、この沸騰冷却装置では、構造や配置の制約の改善を図ることができ、設計の自由度の向上や、使い勝手の向上を図ることができる。
【０００８】
本発明は、沸騰冷却装置だけでなく沸騰冷却装置の制御方法等の種々の形態で実現することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態としての沸騰冷却装置の構成を示す概略断面図である。
【図２】図１の沸騰冷却装置で用いる冷媒の条件を示す説明図である。
【図３】相センサによる冷媒の状態の検出の仕組みを示す説明図である。
【図４】沸騰冷却装置の冷却サイクルの工程１について示す説明図である。
【図５】沸騰冷却装置の冷却サイクルの工程２について示す説明図である。
【図６】沸騰冷却装置の冷却サイクルの工程３について示す説明図である。
【図７】沸騰冷却装置の冷却サイクルの工程４について示す説明図である。
【図８】沸騰冷却装置の冷却サイクルの工程５について示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は本発明の一実施形態としての沸騰冷却装置の構成を示す概略断面図である。この沸騰冷却装置１０は、冷媒が封入された容器１１と、容器１１内の圧力を調整する圧力調整装置（圧力調整部）１４と、容器１１の外面の一部に設けられた冷媒冷却部１６と、容器１１の外面の一部に設けられた冷却対象設置部１２と、冷却対象設置部１２に対応する容器１１の内面に設けられた冷却対象冷却部１３と、を備えている。冷却対象設置部１２には、冷却対象としての発熱部２０が容器１１の外面に接触するように設置される。発熱部２０としては、動作によって発熱する種々の部品や装置等が適用される。圧力調整装置１４としては、容器１１内の圧力を任意の圧力に調整可能な装置を用いて構成することができる。例えば、コンプレッサを用いて構成することができる。なお、容器１１内の圧力は、コンプレッサ内に備える圧力センサによって測定される。また、コンプレッサ内に圧力センサを備えない場合には、別途設けた圧力センサによって測定されてコンプレッサの動作が制御される。
【００１１】
容器１１は、あらかじめ定めた一定量の空気（ａｉｒ）と冷媒とを封入する圧力容器である。容器１１としては、熱伝導性が良く、調整される内部の圧力に対して変形しない構造とすることが可能な、金属等の種々の一般的な材料を用いて構成することができる。
【００１２】
図２は、図１の沸騰冷却装置で用いる冷媒の条件を示す説明図である。図２は温度および圧力に応じた物質の状態として固相状態と液相状態と気相状態の３つの相状態を示す３相図である。冷媒として適用可能な物質としては、温度を一定にした状態で圧力を上昇させることにより、気相状態Ｐａから液相状態Ｐｂに相変化させることができ、圧力を一定にした状態で温度を上昇させることにより、液相状態Ｐｃから気相状態Ｐｄに相変化させることができる性質を有すること、が条件となる。従って、例えば、水、エタノール等の種々の物質を冷媒として適用することができる。本例では、水を冷媒として用いるものとする。なお、封入する空気と冷媒との関係については後述する。
【００１３】
冷媒冷却部１６は、冷媒冷却部１６が設けられている容器１１の外面部分に対応する容器１１の内部領域１１ｂに存在する空気および冷媒の熱を外部へ放出するための放熱性を高めるために、例えば、表面の凹凸を大きくすることにより大きな表面積を確保することができるフィンで構成される。冷媒冷却部１６としては、熱伝導性が良い金属等の種々の一般的な材料を用いて構成することができる。冷却対象冷却部１３は、後述するようにして凝縮して液相状態とされた冷媒との接触性を高めるために、冷媒冷却部１６と同様のフィンで構成される。冷却対象冷却部１３としては、容器１１と同様に、熱伝導性が良く、調整される内部の圧力変化に対して変形しない構造とすることが可能な、金属等の種々の一般的な材料を用いて構成することができる。
【００１４】
また、沸騰冷却装置１０は、冷媒冷却部１６に対応する容器１１の内部領域１１ｂに含まれる冷媒の状態を検出する相センサ１８を備えている。相センサ１８は、レーザ発信部１８ｅとレーザ受信部１８ｒとで構成される。レーザ発信部１８ｅからレーザ受信部１８ｒへ向けて直進するレーザの進路上に、気相状態、すなわち、気体（蒸気）状の冷媒が存在すると、これに当たったレーザは吸収等される。このため、レーザ受信部１８ｒにおけるレーザの受信量は、内部領域１１ｂの空気中に含まれる気相状態の冷媒の量に応じて変化する。
【００１５】
図３は、相センサによる冷媒の状態の検出の仕組みを示す説明図である。図３（Ａ）に示すように、冷媒冷却部１６による内部領域１１ｂの冷却が十分ではなく、冷媒の凝縮が十分ではない場合には、液相状態、すなわち、液体（液滴）状の冷媒は少なく、気相状態、すなわち、気体（蒸気）状の冷媒が多く存在することになる。これにより、レーザ発信部１８ｅから発信されたレーザは、気相状態の冷媒によって吸収等される量が多くなり、レーザ受信部１８ｒにおける受信量の低下が大きくなる。これに対して、図３（Ｂ）に示すように、冷媒冷却部１６による内部領域１１ｂの冷却が十分で、冷媒の凝縮が十分である場合には、液相状態の冷媒が多くなり、気相状態の冷媒は少なくなる。これにより、レーザ発信部１８ｅから発信されたレーザは、気相状態の冷媒によって吸収等される量が少なくなり、レーザ受信部１８ｒにおける受信量の低下が小さくなる。
【００１６】
従って、相センサ１８は、内部領域１１ｂの空気中に含まれる気相状態の冷媒の量に応じて変化するレーザ受信量の減少度合いに基づいて、内部領域１１ｂにおける冷媒の相状態を検出することができる。
【００１７】
ところで、本例では、上記したように、中赤外線（波長２．５μｍ〜４μｍ）および遠赤外線（波長４μｍ〜１０００μｍ）の吸収度が高い水を、冷媒として採用している。そこで、本例では、レーザ発信部１８ｅから発信するレーザとして、例えば、炭酸ガスレーザ（波長１０．６μｍ）やＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット：Yttrium Aluminum Garnet ）レーザ（波長２．９４μｍ）を用いることが好ましい。
【００１８】
なお、相センサ１８によって内部領域１１ｂにおける冷媒の相状態のみを検出しているのは、容器１１内において定常的に発生している気相状態の冷媒（水蒸気）の影響を排除するためである。また、相センサ１８は、レーザの進路が内部領域１１ｂを斜めに横切るように傾斜配置されている。これは、レーザの発信窓およびレーザの受信窓の結露を防止するためである。
【００１９】
以上説明した構成の沸騰冷却装置１０は、下記５つの工程によるサイクル（以下、「冷却サイクル」とも呼ぶ）を繰り返すことにより、発熱部２０の冷却を実行することができる。
工程１：極低気圧状態から高気圧状態へ変化（冷却開始），
工程２：高気圧状態を維持（冷却），
工程３：高気圧状態から低気圧状態へ変化（冷媒冷却開始），
工程４：低気圧状態を維持（冷媒冷却），
工程５：低気圧状態から極低気圧状態へ変化（冷却準備）
【００２０】
図４〜図８は、沸騰冷却装置の冷却サイクルの各工程について示す説明図である。なお、図４（Ａ）〜図８（Ａ）は各工程における沸騰冷却装置１０の容器１１内部の冷媒の状態を模式的に示し、図４（Ｂ）〜図８（Ｂ）は各工程における冷媒の相変化を相図により示している。
【００２１】
［工程１：極低気圧状態から高気圧状態へ変化（冷却開始）］
工程１（Ｃ１）では、圧力調整装置１４によって容器１１内の圧力を極低気圧状態の第１の状態Ｐ１〜高気圧状態の第２のＰ１状態へ変化させることにより、発熱部２０の冷却を開始し、工程２に移行する。ここで、第１の状態Ｐ１は、容器１１内温度、より具体的には、冷媒（水）の温度がＴｃｌ（例えば、５０℃）の低温状態ではあるが容器１１内の圧力がＰｅｌ（例えば、０．０６ｂａｒ）の極低気圧状態に調整されていることにより、冷媒が気相状態（水蒸気）となって空気中に含まれている状態である。言い換えると、極低圧状態としての圧力Ｐｅｌは、温度Ｔｃｌの低温状態において、冷媒（水）が気相状態（水蒸気）となる圧力である。第２の状態Ｐ２は、第１の状態Ｐ１に対して、容器１１内の圧力がＰｈ（例えば、１ｂａｒ）の高圧状態に調整されることにより、冷媒（水）が気相状態の水（水蒸気）から凝縮して液相状態（液滴，液体）の水（水滴，液水）となる状態である。言い換えると、高気圧状態としての圧力Ｐｈは、温度Ｔｃｌの低温状態において、冷媒（水）が液相状態の水（水滴，液水）となる圧力である。従って、第２の状態Ｐ２では、冷媒（水）は温度Ｔｃｌの低温状態を維持したまま凝縮して液相状態、すなわち、液滴（液体）状の水（液水）に変化することにより、冷却対象冷却部１３のフィン上に凝縮した液水が付着する。
【００２２】
［工程２：高気圧状態を維持（冷却）］
工程２（Ｃ２）では、工程１において圧力調整装置１４によって変化させた高気圧状態を一定時間維持して、発熱部２０の冷却を実行する。このとき、冷却対象冷却部１３のフィンに付着した液相状態の水は、発熱部２０から伝導してくる熱を気化熱として受け取って（奪って）蒸発し、圧力Ｐｈの高圧状態で温度Ｔｃｌの低温状態の第２の状態Ｐ２から、圧力Ｐｈの高圧状態を維持したまま温度Ｔｃｈ（例えば、Ｐｈ＝１ｂａｒの場合Ｔｈ＝１００℃）の高温状態の第３の状態Ｐ３に変化する。気相状態に変化した水（水蒸気）は、容器１１内における空気に対する水蒸気の分圧差に応じて拡散し、冷媒冷却部１６側の内部領域１１ｂへ移動する。すなわち、冷却対象である発熱部２０の冷却に供された冷媒としての水は、冷却のために、冷媒冷却部１６側の内部領域１１ｂへ輸送される。
【００２３】
ここで、一定時間が短いと冷媒としての水の凝縮および蒸発が不十分になり、発熱部２０の冷却が不十分になって発熱部２０の温度が上昇することになる。また、一定時間が長いと冷却サイクルの１サイクル分の時間（サイクル時間）が長くなるので、冷却サイクル数が不足して発熱部２０の冷却が不十分になり、発熱部２０の温度が上昇する場合もある。そこで、この一定時間はこれらの問題を考慮して適切な時間に設定される。本例では、十分な凝縮と蒸発が行われると想定される時間、例えば、０．１秒に設定される。なお、以下のように、発熱部２０の温度に応じて一定時間を変更するようにしてもよい。発熱部２０を温度測定デバイス（温度センスダイオードやサーミスタ等）を用いて測定し、設計時に設定した基準温度以上になった場合には、冷却サイクル数が不足していると判断して、一定時間を短い時間、例えば、０．１秒から０．０９秒に変更して冷却サイクル数を増加させる。この変更により、冷却効果が高まって温度が低下した場合には、さらに、一定時間の短い時間への変更と温度測定による冷却効果の有無の判断とを、基準温度以下となるまで一定時間間隔で繰り返していく。一定時間を短い時間に変更しても、温度が低下せず、基準温度以下にならなかった場合には、冷却不可と判断して、発熱部２０を含むシステムの動作を停止させる。このようにすれば、発熱部２０の温度を管理することが可能である。なお、基準温度は、例えば、発熱部２０の定格温度に対して余裕を持って十分低い温度、例えば、１０％〜３０％程度低い温度に設定される。
【００２４】
［工程３：高気圧状態から低気圧状態へ変化（冷媒冷却開始）］
工程３（Ｃ３）では、工程２における第３の状態Ｐ３から、圧力調整装置１４によって容器１１内の圧力を調整して、第３の状態と同じ温度Ｔｃｈを維持した状態で圧力がＰｌの低気圧状態である第４の状態Ｐ４に変化させることにより、冷媒冷却部１６による冷媒の冷却を開始し、工程４へ移行する。このとき、容器１１内の圧力が圧力Ｐｈの高気圧状態から圧力Ｐｌの低気圧状態へ変化しても、容器１１内の冷媒としての水の相状態は変化せず、第４の状態Ｐ４における冷媒としての水は、第３の状態Ｐ３と同じ気相状態の水、すなわち、水蒸気として空気中に含まれている。
【００２５】
［工程４：低気圧状態を維持（冷媒冷却）］
工程４（Ｃ４）では、工程３において圧力調整装置１４によって変化させた低気圧状態を維持して、冷媒冷却部１６によって、内部領域１１ｂにおける空気中に含まれる気相状態の冷媒としての水（水蒸気）の冷却を実行する。このとき、内部領域１１ｂの空気および冷媒の熱は容器１１および冷媒冷却部１６のフィンを介して放熱されて冷却される。これにより、内部領域１１ｂの空気中に含まれる気相状態の水（水蒸気）は、圧力Ｐｌの低圧状態で温度Ｔｃｈの高温状態の第４の状態Ｐ４から、圧力Ｐｌの低圧状態を維持したまま温度Ｔｃｌの低温状態の第５の状態Ｐ５となって、低温状態の液相状態の水（液水）に戻る。なお、工程３における第４の状態Ｐ４および本工程における第５の状態Ｐ５では、同じ低気圧状態の圧力Ｐｌにおいて、高温の温度Ｔｃｈの気相状態の水、すなわち、水蒸気から、低温の温度Ｔｃｌの液相状状態の水、すなわち、液水に変化するものとしている。ここで、例えば、Ｔｃｌ＝５０℃において冷媒としての水が液相状態となる圧力は０．１２ｂａｒ以上である。そこで、低気圧状態の圧力Ｐｌとしては、Ｔｃｌ＝５０℃の場合において０．１２ｂａｒよりも大きい圧力、例えば、０．２ｂａｒに設定される。
【００２６】
なお、工程４の状態は、相センサ１８によって検出される気相状態の水（水蒸気）の量が基準以下となるまで維持され、基準以下となった場合には工程４へ移行する。なお、一定量一定気圧の空気中に存在できる最大の水蒸気量は一定量となる。例えば、１気圧において１ｋｇの空気中に存在できる最大の水蒸気量は９ｇとなる。そこで、例えば、容器１１中において、この関係が成り立つように空気および冷媒をそれぞれ封入しておく。例えば、容器１１の要量が２２．４Ｌの場合には、空気１ｍｏｌと水１ｍｏｌ（１８ｇ）を封入すればよい。そして、冷媒冷却部１６のフィンの温度を３０℃と設定しておき、このとき、相センサ１８で検出されるレーザ受信量を、水蒸気の基準量（９ｇ）に対応する基準量として設定することにより、内部領域１１ｂにおける気相状態の水（水蒸気）の量が基準以下となるか否か判断することができる。
【００２７】
［工程５：低気圧状態から極低気圧状態へ変化（冷却準備）］
工程５（Ｃ５）では、工程４における第５の状態Ｐ５から、圧力調整装置１４によって容器１１内の圧力を調整して、第５の状態と同じ温度Ｔｃｌの低温状態で圧力がＰｅｌの極低気圧状態の第１の状態Ｐ１に変化させて、冷却準備を行う。このとき、第５の状態Ｐ５において液相状態であった水（液水）は、温度Ｔｃｌの低温状態ではあるが気相状態の水（水蒸気）に変化する。気相状態に変化した水は、容器１１内における空気内の水蒸気の分圧差に応じて拡散し、冷却対象設置部１２に設置された発熱部２０側の内部領域１１ａに移動する。これにより、上記した工程１および２によって発熱部２０を冷却するための冷媒としての水が、冷却対象冷却部１３に対して輸送される。
【００２８】
工程１〜工程５を１サイクルとする冷却サイクルを繰り返し実行することにより、発熱部２０の冷却を実行することができる。特に、工程５において、冷媒冷却部１６側の内部領域１１ｂに存在する冷媒としての水を、低温状態のまま液相状態の水から気相状態の水（水蒸気）に変化させ、容器１１内の空気中の分圧差を利用して、発熱部２０が設置された冷却対象設置部１２側の内部領域１１ａに輸送することができる。そして、工程１及び２において、内部領域１１ａに輸送された気相状態の水を凝縮させて低温状態で液相状態の水に戻し、発熱部２０から伝導された熱を冷却対象冷却部１３のフィンを介して気化熱として受け取って（奪って）蒸発させることにより、発熱部２０を冷却することができる。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態の沸騰冷却装置１０では、従来例で説明したような発熱部２０が液化された冷媒に実質的に接触した状態の構造でなくても、発熱部２０を冷却することが可能であり、十分な冷却性能を得ることができる。従って、この沸騰冷却装置１０では、十分な冷却性能を得るための構造や配置等の設計に制約という従来の問題点を改善し、設計の自由度の向上や、使い勝手の向上等を図ることができる。
【００３０】
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００３１】
上記実施形態の沸騰冷却装置１０では、容器１１に対して、その中心に圧力調整装置１４を配置し、冷媒冷却部１６と冷却対象設置部１２とが互いに反対側の端部に位置するように配置された構造を例に示しているが、これに限定されるものではなく、冷媒冷却部１６と１２とが異なる位置関係となるように配置された構造であればよい。ただし、実施の形態の沸騰冷却装置１０の構成にすれば、分圧差による冷媒の輸送がより効果的に行われる。
【００３２】
上記実施形態の沸騰冷却装置１０では、容器１１内に空気と冷媒を封入して場合を例に説明したが、冷媒が第１の状態Ｐ１〜第５の状態Ｐ４に変化する状態であっても変化することなく安定に各気圧状態で気体の状態を維持するものを用いてもよい。
【００３３】
上記した実施形態の１０では、冷媒を水とし、Ｔｃｌ＝５０℃、Ｔｃｈ＝１００℃、Ｐｅｌ＝０．０６ｂａｒ、Ｐｌ＝０．２ｂａｒ、および、Ｐｈ＝１ｂａｒとして例示したが、これに限定されるものではなく、第１の状態Ｐ１において温度Ｔｃｌ（低温）および圧力Ｐｅｌ（極低気圧）で気相状態、第２の状態Ｐ２において温度Ｔｃｌおよび圧力Ｐｈ（高気圧）で液相状態、第３の状態Ｐ３において温度Ｔｃｈ（高温）および圧力Ｐｈで気相状態、第４の状態Ｐ４において温度Ｔｃｈおよび圧力Ｐｌ（低気圧）で気相状態、および、第５の状態Ｐ５において温度Ｔｃｌおよび圧力Ｐｌで気相状態の関係が成立するような、温度Ｔｃｌ，Ｔｃｈおよび圧力Ｐｅｌ，Ｐｌ，Ｐｈであればよい。
【００３４】
また、冷媒としては、エタノール等を用いてもよく、温度を一定にした状態で圧力を上昇させることにより、気相状態Ｐａから液相状態Ｐｂに相変化させることができ、圧力を一定にした状態で温度を上昇させることにより、液相状態Ｐｃから気相状態Ｐｄに相変化させることができる性質を有する、種々の物質を冷媒として用いることができる。
【００３５】
また、上記実施形態では、冷媒を水とし、圧力を調整することにより、冷媒を液相状態と気相状態との間で変化させることによって冷却を実行する場合を例に説明したが、冷媒によっては、固相状態と気相状態との間で変化させることによって冷却を実行することも可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１０…沸騰冷却装置
１１…容器
１１ａ…内部領域
１１ｂ…内部領域
１２…冷却対象設置部
１３…冷却対象冷却部
１４…圧力調整装置
１６…冷媒冷却部
１８…相センサ
１８ｅ…レーザ発信部
１８ｒ…レーザ受信部
２０…発熱部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2013253751.tif 000008
【図７】
2013253751.tif 000009
【図８】
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