(57)【要約】【課題】２枚の金属プレートの間に半導体素子を挟みこんだ状態で、当該金属プレートおよび半導体素子を樹脂でモールドする態様の樹脂モールド部品において、モールドする樹脂に生じる内部応力の測定が容易な樹脂モールド部品および内部応力を容易に測定するための樹脂モールド部品の内部応力測定方法を提供する。【解決手段】、金属プレート２・２をモールド樹脂４で固めて形成される部品たる樹脂モールド部品１において、モールド樹脂４に生じる内部応力を測定するための内部応力測定方法であって、金属プレート２に、応力によって変形可能な複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・を有する応力検出部５を付設し、応力検出部５ごと金属プレート２・２をモールド樹脂４で固めて樹脂モールド部品１を形成し、樹脂モールド部品１を非破壊検査して、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・の変形量Δｄ１を測定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部材を樹脂モールドして構成される樹脂モールド部品であって、
前記金属部材には、
応力によって変形可能な複数の応力検出子を有する応力検出部が付設される、
ことを特徴とする樹脂モールド部品。
【請求項２】
前記応力検出子を、
球体とする、
ことを特徴とする請求項１に記載の樹脂モールド部品。
【請求項３】
前記球体を、
気泡により構成する、
ことを特徴とする請求項２に記載の樹脂モールド部品。
【請求項４】
前記球体を、
球状の樹脂により構成する、
ことを特徴とする請求項２に記載の樹脂モールド部品。
【請求項５】
前記応力検出部を、
膜状とする、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の樹脂モールド部品。
【請求項６】
前記応力検出部は、
前記複数の応力検出子を含むペーストを前記金属部材に塗布し、塗膜を形成することによって、前記金属部材に付設される、
ことを特徴とする請求項５に記載の樹脂モールド部品。
【請求項７】
金属部材を樹脂で固めて形成される部品たる樹脂モールド部品において、前記樹脂に生じる内部応力を測定するための樹脂モールド部品の内部応力測定方法であって、
前記金属部材に、応力によって変形可能な複数の応力検出子を有する応力検出部を付設し、
前記応力検出部ごと前記金属部材を樹脂で固めて前記樹脂モールド部品を形成し、
前記樹脂モールド部品を非破壊検査して、前記複数の応力検出子の変形量を測定する、
ことを特徴とする樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【請求項８】
前記応力検出子を、
球体とする、
ことを特徴とする請求項７に記載の樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【請求項９】
前記球体を、
気泡により構成する、
ことを特徴とする請求項８に記載の樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【請求項１０】
前記球体を、
球状の樹脂により構成する、
ことを特徴とする請求項８に記載の樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【請求項１１】
前記応力検出部を、
膜状とする、
ことを特徴とする請求項７から請求項１０のいずれか一項に記載の樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【請求項１２】
前記応力検出部は、
前記複数の応力検出子を含むペーストを前記金属部材に塗布し、塗膜を形成することによって、前記金属部材に付設される、
ことを特徴とする請求項１１に記載の樹脂モールド部品の内部応力測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容易に内部応力の測定を行うことができる樹脂モールド部品およびその樹脂モールド部品を用いた内部応力測定方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、２枚の金属プレートの間に半導体素子等を挟みこんだ状態で、当該金属プレートおよび半導体素子をモールド樹脂で固めた態様の部品（以下、樹脂モールド部品と呼ぶ）が存在している。
前記樹脂モールド部品においては、モールド樹脂の硬化条件の設定が適当でない場合に、金属プレートからモールド樹脂が剥離する場合がある。
このようなモールド樹脂の剥離現象は、モールド樹脂が硬化収縮する際に生じる内部応力に起因していると考えられている。
このため、モールド樹脂で固める際に生じる内部応力を測定するための技術が種々検討されており、例えば、以下に示す特許文献１〜特許文献４にその技術が開示され公知となっている。
【０００３】
例えば、以下に示す特許文献１では、円盤状の部材と円筒状の部材を組み合わせた容器にモールド樹脂を充填する場合において、当該モールド樹脂に生じる内部応力を測定するための従来技術が開示されている。
特許文献１に係る従来技術では、円盤状の部材と円筒状の部材を組み合わせた容器に歪みゲージを貼り付けておき、その容器に充填したモールド樹脂が硬化収縮する際に、当該円筒状の部材に生じる歪み量を歪みゲージで測定して、歪み量の測定結果からモールド樹脂に生じる内部応力を求める構成としている。
【０００４】
また、以下に示す特許文献２では、金属パイプ（円筒状の部材）の周囲をモールド樹脂で固める場合において、当該モールド樹脂に生じる内部応力を測定するための従来技術が開示されている。
特許文献２に係る従来技術では、金属パイプの内面に歪みゲージを貼り付けた状態で金属パイプの周囲をモールド樹脂で固めて、モールド樹脂が硬化した後に当該モールド樹脂を引き抜いて、その引き抜く際に生じる歪み量を歪みゲージで測定する構成としている。
そして、歪み量の測定結果からモールド樹脂に生じる内部応力を求めることができる。
【０００５】
また、以下に示す特許文献３では、容器にモールド樹脂を充填する場合に、当該モールド樹脂に生じる内部応力を測定するための従来技術が開示されている。
特許文献３に係る従来技術では、容器に温度センサと圧力センサを入れた状態でモールド樹脂を充填し、さらにモールド樹脂を加圧しながら温度変化と圧力変化を測定して、モールド樹脂の体積変化を求めて、当該モールド樹脂の収縮率を求める構成としている。
そして、収縮率の測定結果からモールド樹脂に生じる内部応力を求めることができる。
【０００６】
さらに、以下に示す特許文献４では、モールド樹脂に硬質磁性粉末を添加しておき、樹脂モールド部品を生成した後に、当該樹脂モールド部品の磁束密度を測定することによって、モールド樹脂に生じる内部応力を求めることができる従来技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６１−７５２４７号公報
【特許文献２】特開昭６２−１１０１５１号公報
【特許文献３】特開２００９−６３３５８号公報
【特許文献４】特開平３−３５１３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示されている従来技術では、円筒状の部材を対象としており、金属プレート等を対象とした樹脂モールド部品とは、充填時におけるモールド樹脂の流れや伝熱特性等が異なってくるため、当該樹脂モールド部品に従来技術をそのまま適用しても、実際に型内で生じている現象を正確に捉えることができなかった。
【０００９】
また、特許文献１および特許文献２に開示されている従来技術では、歪みゲージを貼り付けた面に作用するせん断方向の応力しか測定することができないため、モールド樹脂の剥離に影響を及ぼす可能性が最も高い、金属プレート面に対して法線方向に作用する応力を測定することができなかった。
【００１０】
また、特許文献３に開示されている従来技術で使用する各センサは比較的大型であり、金属プレート等の間に各センサを配置することが困難であるため、金属プレート等からなる樹脂モールド部品には、特許文献３に係る従来技術をそのまま適用することが困難であった。
【００１１】
また、仮に、小型のセンサを用いて、金属プレート間に各センサを配置し、特許文献３に係る従来技術を適用したとしても、各センサがモールド樹脂の流れや伝熱を妨げる外乱要素となるため、実際に型内で生じている現象を正確に捉えることができなかった。
【００１２】
さらに、特許文献４に開示されている従来技術では、磁束密度を測定する必要があるが、金属プレートを内包している樹脂モールド部品においては、磁束が金属プレートを通過できず、磁束密度の測定をうまくすることができないため、実際の製品形状のままで、内部応力を測定することができなかった。
【００１３】
また、特許文献４に開示されている従来技術では、モールド樹脂に硬質磁性粉末を添加すると、モールド樹脂の流動性等が変化するため、実際に使用するモールド樹脂において生じる現象を再現することが困難であった。
【００１４】
このように、２枚の金属プレートの間に半導体素子等を挟みこんだ状態で、当該金属プレートおよび半導体素子を樹脂でモールドする態様の樹脂モールド部品においては、樹脂内部においてどのような内部応力（大きさや方向）が生じているかということを、従来技術によっては精度良く測定することができなかった。
【００１５】
本発明は、斯かる現状の課題を鑑みて成されたものであり、２枚の金属プレートの間に半導体素子を挟みこんだ状態で、当該金属プレートおよび半導体素子を樹脂でモールドする態様の樹脂モールド部品において、モールドする樹脂に生じる内部応力の測定が容易な樹脂モールド部品および内部応力を容易に測定するための樹脂モールド部品の内部応力測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１７】
即ち、請求項１においては、金属部材を樹脂モールドして構成される樹脂モールド部品であって、前記金属部材には、応力によって変形可能な複数の応力検出子を有する応力検出部が付設されるものである。
【００１８】
請求項２においては、前記応力検出子を、球体とするものである。
【００１９】
請求項３においては、前記球体を、気泡により構成するものである。
【００２０】
請求項４においては、前記球体を、球状の樹脂により構成するものである。
【００２１】
請求項５においては、前記応力検出部を、膜状とするものである。
【００２２】
請求項６においては、前記応力検出部は、前記複数の応力検出子を含むペーストを前記金属部材に塗布し、塗膜を形成することによって、前記金属部材に付設されるものである。
【００２３】
請求項７においては、金属部材を樹脂で固めて形成される部品たる樹脂モールド部品において、前記樹脂に生じる内部応力を測定するための樹脂モールド部品の内部応力測定方法であって、前記金属部材に、応力によって変形可能な複数の応力検出子を有する応力検出部を付設し、前記応力検出部ごと前記金属部材を樹脂で固めて前記樹脂モールド部品を形成し、前記樹脂モールド部品を非破壊検査して、前記複数の応力検出子の変形量を測定するものである。
【００２４】
請求項８においては、前記応力検出子を、球体とするものである。
【００２５】
請求項９においては、前記球体を、気泡により構成するものである。
【００２６】
請求項１０においては、前記球体を、球状の樹脂により構成するものである。
【００２７】
請求項１１においては、前記応力検出部を、膜状とするものである。
【００２８】
請求項１２においては、前記応力検出部は、前記複数の応力検出子を含むペーストを前記金属部材に塗布し、塗膜を形成することによって、前記金属部材に付設されるものである。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００３０】
請求項１においては、実際の製品形状、型形状、成型条件においてモールド樹脂に生じる現象を精度良く再現しつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３１】
請求項２においては、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３２】
請求項３においては、応力検出部を簡易な構成としつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３３】
請求項４においては、応力検出部を簡易な構成としつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３４】
請求項５においては、金属部材に対して、応力検出部を容易に付設することができる。
【００３５】
請求項６においては、金属部材に対して、応力検出部を容易に付設することができる。
【００３６】
請求項７においては、実際の製品形状、型形状、成型条件においてモールド樹脂に生じる現象を精度良く再現しつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３７】
請求項８においては、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３８】
請求項９においては、応力検出部を簡易な構成としつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００３９】
請求項１０においては、応力検出部を簡易な構成としつつ、モールド樹脂に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００４０】
請求項１１においては、金属部材に対して、応力検出部を容易に付設することができる。
【００４１】
請求項１２においては、金属部材に対して、応力検出部を容易に付設することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品を示す模式図、（ａ）側面断面模式図、（ｂ）図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、（ｃ）図１（ａ）におけるＢ部拡大図。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の製造過程を示す模式図。
【図３】本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品における応力検出部による応力の検出方法の説明図、（ａ）応力検出部の変形態様を示す模式図、（ｂ）検量線の作成方法を示す模式図。
【図４】本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品を示す模式図、（ａ）側面断面模式図、（ｂ）図４（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図、（ｃ）図４（ａ）におけるＤ部拡大図。
【図５】本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品における応力検出部による応力の検出方法の説明図、（ａ）応力検出子の変形態様を示す模式図、（ｂ）検量線の作成方法を示す模式図。
【図６】樹脂モールド部品の別実施形態（その１）を示す模式図、（ａ）側面断面模式図、（ｂ）図６（ａ）におけるＥ部拡大図。
【図７】樹脂モールド部品の別実施形態（その２）を示す模式図、（ａ）側面断面模式図、（ｂ）図７（ａ）におけるＦ部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の全体構成について、図１から図３を用いて説明をする。
図１（ａ）（ｂ）に示す如く、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１は、一対の金属プレート２・２の間に、例えばＩＧＢＴやダイオード等の素子３を挟みこんで形成される中間部品８を、モールド樹脂４で一体的に固めることによって生成される部品である。
【００４４】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１では、金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位（面）に、モールド樹脂４が硬化収縮する際に生じる内部応力を検出するための部位である応力検出部５が付設されている。
【００４５】
樹脂モールド部品１に付設される応力検出部５は、膜状の部位として構成されており、より詳しくは、図１（ｃ）に示す如く、固化する性質を有するペースト状の基材５ａを金属プレート２に対して塗布し、塗布した基材５ａが固化して塗膜を形成することによって、金属プレート２に対して応力検出部５を付設する構成としている。
【００４６】
ここで、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１の製造過程について、説明をする。
図２に示す如く、樹脂モールド部品１の製造過程においては、まず始めに、一対の金属プレート２・２によって、素子３を挟みこんだ状態の中間部品８を形成しておく。
尚、中間部品８を構成する金属プレート２には、応力検出部５が付設されている。
【００４７】
次に、中間部品８を金型９の内部に配置し、そして、金型９内にモールド樹脂４を充填する。
そして、モールド樹脂４が硬化するまで放置した後に、金型９を除去して、本発明の第１の実施形態に係る樹脂モールド部品１が生成される。
モールド樹脂４は硬化する際に収縮するため、樹脂モールド部品１を構成するモールド樹脂４には内部応力が生じている。
【００４８】
ここで、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１における内部応力の測定方法について、説明をする。
図１（ｃ）に示す如く、応力検出部５を構成する基材５ａには、その内部に複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・が含有されている。
応力検出子５ｂは、弾性変形可能な樹脂等を中空の球状に形成した部材（即ち、球体）であって、かつ、応力が作用することによって変形する性質を有するものである。
【００４９】
図３（ａ）に示す如く、基材５ａ中に存在する応力検出子５ｂは、応力検出部５に応力が作用することによって変形し、また、応力の作用方向に応じてその変形後の形状が異なるように構成されている。
樹脂モールド部品１においては、硬化したモールド樹脂４に生じた内部応力が基材５ａの応力検出子５ｂに作用し、その内部応力の作用方向および大きさに応じて応力検出子５ｂが変形するように構成されている。
【００５０】
さらに詳述すると、例えば、初期状態（応力が作用する前）において球体である応力検出子５ｂに対して、検出面５ｃに垂直な方向への引張り力が作用すると、応力検出子５ｂは図３（ａ）に示すような応力の作用方向に伸長した楕円状に変形し、検出面５ｃに対して斜め方向への引張り力が作用すると、応力検出子５ｂは図３（ａ）に示すような傾斜した楕円状に変形する。さらに、検出面５ｃに垂直な方向への圧縮力が作用すると、応力検出子５ｂは図３（ａ）に示すような応力の作用方向に対して直交する方向に伸長した楕円状に変形する。
【００５１】
即ち、応力検出子５ｂの変形後の形状を観察すれば、応力検出部５（検出面５ｃ）に対して、どのような方向に内部応力が作用したのかを知得することができる。
そして、応力検出子５ｂの変形後の形状を観察することによって、主応力の作用方向を決定する。
【００５２】
また、図３（ｂ）に示す如く、基材５ａ中に存在する応力検出子５ｂは、応力検出部５に付与される応力の大きさに応じて、変形量が異なるように構成されている。
ここでは、直径ｄ１の球体であった応力検出子５ｂが楕円球状に変形したときの、長軸方向（即ち、主応力の作用方向）への径の増分Δｄ１を、応力検出子５ｂの変形量Δｄ１として規定している。
また、直径ｄ１に対する変形量Δｄ１の比（即ち、Δｄ１／ｄ１の値）を、歪みとして規定している。
【００５３】
そして、応力検出子５ｂに対しては、使用する応力検出子５ｂの種類ごとに事前に実験等を行って、付与した応力σ１と、歪みΔｄ１／ｄ１の相関を表す検量線７を予め求めておくようにしている。
検量線７を用いれば、応力検出子５ｂの変形量Δｄ１を測定することによって、樹脂モールド部品１においてモールド樹脂４の内部で生じている応力（内部応力）σ１を算出することができる。
【００５４】
例えば、応力検出子５ｂの変形量Δｄ１は、樹脂モールド部品１を生成した後に、Ｘ線ＣＴ装置等を用いて非破壊で応力検出子５ｂの変形状態を観察することによって、測定することができる。
あるいは、樹脂モールド部品１を実際に切断して断面を研磨し、その断面を観察することによっても、応力検出子５ｂの変形量Δｄ１を測定することができる。
【００５５】
そして、測定した内部応力の値と、応力検出子５ｂの変形方向（主応力の作用方向）の情報を総合して判断することによって、実際の製品形状および成型条件のもと、実際に使用する金型９（図２参照）内で生じているモールド樹脂４の収縮量および樹脂モールド部品１の内部で生じている現象等を精度よく把握することが可能になる。
【００５６】
尚、本実施形態において示す各応力検出子５ｂ・５ｂ・・・は、応力検出部５において一定の間隔を保持しつつ規則的に配置されているが、各応力検出子５ｂ・５ｂ・・・の配置は、不規則（ランダム）な配置であってもよい。
例えば、モールド樹脂４を充填する前後のそれぞれにおける応力検出部５の状態をＸ線ＣＴ装置等を用いて観察し、モールド樹脂４を充填する前後において応力検出部５（応力検出子５ｂ・５ｂ・・・）の状態を比較することによって、内部応力の値や作用方向を知得することができる。
【００５７】
即ち、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１においては、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・を、球体としている。
【００５８】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法においては、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・を、球体としている。
【００５９】
このような構成により、モールド樹脂４に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００６０】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１においては、前記球体を、気泡により構成するものである。
【００６１】
さらに、本発明の一実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法においては、前記球体を、気泡により構成するものである。
【００６２】
このような構成により、応力検出部５を簡易な構成としつつ、モールド樹脂４に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、応力検出子５ｂが中空の球体である場合を例示しているが、例えば、弾性変形可能な樹脂等からなる中実の球体とすることも可能である。
【００６４】
即ち、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１においては、前記球体を、球状の樹脂により構成するものである。
【００６５】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法においては、前記球体を、球状の樹脂により構成するものである。
【００６６】
このような構成により、応力検出部５を簡易な構成としつつ、モールド樹脂４に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００６７】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１において、応力検出部５は、膜状である。
【００６８】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法において、応力検出部５は、膜状である。
【００６９】
このような構成により、金属プレート２に対して、応力検出部５を容易に付設することができる。
【００７０】
また、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１において、応力検出部５は、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・を含むペーストたる基材５ａを金属プレート２に塗布し、塗膜を形成することによって、金属プレート２に付設されるものである。
【００７１】
さらに、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法において、応力検出部５は、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・を含むペーストたる基材５ａを金属プレート２に塗布し、塗膜を形成することによって、金属プレート２に付設されるものである。
【００７２】
このような構成により、金属プレート２に対して、応力検出部５を容易に付設することができる。
【００７３】
次に、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品の全体構成について、図４および図５を用いて説明をする。
図４（ａ）（ｂ）に示す如く、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品１１は、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１と同様に、一対の金属プレート２・２の間に素子３を挟みこんで形成される中間部品１８を、モールド樹脂４で一体的に固めることによって生成される部品である。
【００７４】
そして、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品１１は、金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位（面）に、モールド樹脂４が硬化収縮する際に生じる内部応力を検出するための部材である応力検出部１５を付設する構成としている点で、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１と相違している。
【００７５】
樹脂モールド部品１１に付設される応力検出部１５は、膜状の部位として構成されている。
さらに詳述すると、応力検出部１５は、図４（ｃ）に示す如く、異なる性質を有する２種の基材１５ａ・１５ｂを網の目状に組み合わせた複合材料であり、金属プレート２に対して接着剤等を用いて貼設される構成としている。基材１５ａと基材１５ｂとは、図４（ｂ）に示すように、基材１５ａを井桁状に配置するとともに、井桁の内部を埋めるように基材１５ｂを配置する構成としたり、あるいは、例えば、基材１５ａと基材１５ｂを行方向および列方向に交互に配置する構成としたりすることができる。
そして、応力検出部１５は、各基材１５ａ・１５ｂが、本発明の第一の実施形態に係る樹脂モールド部品１における応力検出子５ｂと同様の役割を果たす構成としている。
【００７６】
応力検出子たる基材１５ａ・１５ｂは、弾性変形可能な樹脂（エポキシ、ポリイミド等）により構成され、応力が作用することによって変形する性質を有している。
【００７７】
図５（ａ）に示す如く、例えば、基材１５ｂは、応力検出部１５に応力が付与されることによって変形し、また、応力の作用方向に応じてその変形後の形状が異なるように構成されている。
【００７８】
例えば、断面視において長方形状である基材１５ｂに対して、検出面１５ｃに垂直な方向への引張り力が作用すると、基材１５ｂは図５（ａ）に示すようなさらに縦長の長方形状に変形し、検出面１５ｃに対して斜め方向への引張り力が作用すると、基材１５ｂは図５（ａ）に示すような傾斜した平行四辺形状に変形する。さらに、検出面１５ｃに垂直な方向への圧縮力が作用すると、基材１５ｂは図５（ａ）に示すような横長の長方形状に変形する。
【００７９】
即ち、基材１５ｂ（あるいは、基材１５ａでもよい）の変形後の形状を観察すれば、応力検出部１５（検出面１５ｃ）に対して、どの方向に内部応力が作用したのかを知得することができる。
そして、基材１５ｂの変形後の形状を観察することによって、主応力の作用方向を決定する。
【００８０】
また、図５（ｂ）に示す如く、基材１５ｂは、応力検出部１５に付与される応力の大きさに応じて、変形量が異なるように構成されている。
ここでは、高さｄ２であった基材１５ｂがさらに縦長の長方形状に変形したときの、主応力の作用方向への高さの増分Δｄ２を、基材１５ｂの変形量Δｄ２として規定している。
また、高さｄ２に対する変形量Δｄ２の比（即ち、Δｄ２／ｄ２の値）を、歪みとして規定している。
【００８１】
そして、基材１５ｂに対しては、使用する各基材１５ａ・１５ｂの種類ごとに事前に実験等を行って、付与した応力σ２と、歪みΔｄ２／ｄ２の相関を表す検量線１７を予め求めておくようにしている。
これにより、基材１５ｂ（あるいは、基材１５ａでもよい）の変形量Δｄ２を測定すれば、検量線１７を用いることによって、樹脂モールド部品１１においてモールド樹脂４の内部で生じている応力（内部応力）σ２を算出することができる。
【００８２】
例えば、基材１５ｂの変形量Δｄ２は、樹脂モールド部品１１を生成した後に、Ｘ線ＣＴ装置等を用いて非破壊で基材１５ｂの変形状態を観察することによって、測定することができる。
あるいは、樹脂モールド部品１１を実際に切断して断面を研磨し、その断面を観察することによっても、基材１５ｂの変形量Δｄ２を測定することができる。
【００８３】
そして、測定した内部応力の値と、各基材１５ａ・１５ｂの変形方向（主応力の作用方向）の情報を総合して判断することによって、実際の製品形状および成型条件のもと、実際に使用する金型９（図２参照）内で生じているモールド樹脂４の収縮量および樹脂モールド部品１１の内部で生じている現象等を精度よく把握することが可能になる。
【００８４】
尚、本実施形態において示す応力検出部１５は、２種類の基材１５ａ・１５ｂからなる構成としているが、応力検出部を構成するために組み合わせる素材の種類数を、これに限定するものではない。
【００８５】
即ち、本発明の第一および第二の実施形態に係る各樹脂モールド部品１・１１は、金属プレート２・２をモールド樹脂４で固めて形成される部品であって、金属プレート２には、応力によって変形可能な複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・（あるいは、基材１５ａ・１５ａ・・・あるいは基材１５ｂ・１５ｂ・・・）を有する応力検出部５（あるいは応力検出部１５）が付設されるものである。
【００８６】
また、本発明の第一および第二の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法は、金属プレート２・２をモールド樹脂４で固めて形成される部品たる樹脂モールド部品１において、モールド樹脂４に生じる内部応力を測定するための内部応力測定方法であって、金属プレート２に、応力によって変形可能な複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・（あるいは、複数の基材１５ａ・１５ａ・・・および複数の基材１５ｂ・１５ｂ・・・）を有する応力検出部５（あるいは応力検出部１５）を付設し、応力検出部５（あるいは応力検出部１５）ごと金属プレート２・２をモールド樹脂４で固めて樹脂モールド部品１を形成し、樹脂モールド部品１を非破壊検査して、複数の応力検出子５ｂ・５ｂ・・・（あるいは、複数の基材１５ａ・１５ａ・・・および複数の基材１５ｂ・１５ｂ・・・）の変形量Δｄ１（あるいはΔｄ２）を測定するものである。
【００８７】
このような構成により、実際の製品形状、金型９の形状、成型条件においてモールド樹脂４に生じる現象を精度良く再現しつつ、モールド樹脂４に生じている内部応力を容易に精度良く測定することができる。
【００８８】
また、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品１１において、応力検出部１５は、膜状である。
【００８９】
さらに、本発明の第二の実施形態に係る樹脂モールド部品の内部応力測定方法において、応力検出部１５は、膜状である。
【００９０】
このような構成により、金属プレート２に対して、応力検出部１５を容易に付設することができる。
【００９１】
次に、さらに別の実施形態に係る樹脂モールド部品について、図６を用いて説明をする。
図６に示す如く、樹脂モールド部品２１は、本発明の第一および第二の実施形態に係る各樹脂モールド部品１・１１と同様に、一対の金属プレート２・２の間に素子３を挟みこんで形成される中間部品８を、モールド樹脂４で一体的に固めることによって生成される部品である。
【００９２】
そして、樹脂モールド部品２１は、金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位（面）に、モールド樹脂４が硬化収縮する際に生じる内部応力を検出するための部位である応力検出部２５を備える点で、本発明の第一および第二の実施形態に係る各樹脂モールド部品１・１１と、内部応力を検出するための部位の構成が相違している。
【００９３】
応力検出部２５は、モールド樹脂４により固められて一体的に変位する部位である変位部２５ａと、当該変位部２５ａの変位を検出するためのセンサ部２５ｂを備えており、金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位（面）に形成された凹部２ａに収容されている。
【００９４】
応力検出部２５を構成するセンサ部２５ｂとしては、例えば、圧電素子等を採用することができる。あるいは、センサ部２５ｂとしては、多軸方向への応力が測定可能なロードセル等を採用することも可能であり、この場合には、内部応力の作用方向（モールド樹脂４の収縮方向）を検出することができる。
センサ部２５ｂは、図示しないＰＣ（パーソナルコンピュータ）等に接続され、応力の測定結果を当該ＰＣに取り込んでデータ処理ができるように構成されている。
【００９５】
そして、樹脂モールド部品２１では、センサ部２５ｂによって、変位部２５ａの変位量Δｄ３を測定することができ、Ｘ線ＣＴ装置を用いたり、あるいは、実際に樹脂モールド部品を切断したりして、応力検出部２５を観察する必要がない。
また、モールド樹脂４を充填して固めているときの、モールド樹脂４の状況をリアルタイムで把握することができる。
【００９６】
そして、樹脂モールド部品２１においては、センサ部２５ｂによる変位量Δｄ３の測定結果と検量線に基づいて、モールド樹脂４に生じる内部応力を求めることができる。
変位量Δｄ３と応力との相関を表す検量線は、予め実験等により取得しておく。
あるいは、モールド樹脂４の縦弾性係数と変位量Δｄ３に基づき算出する歪みの積として、内部応力を求めることもできる。
【００９７】
次に、またさらに別の実施形態に係る樹脂モールド部品について、図７を用いて説明をする。
図７（ａ）に示す如く、樹脂モールド部品３１は、本発明の第一および第二の実施形態に係る各樹脂モールド部品１・１１と同様に、一対の金属プレート２・２の間に素子３を挟みこんで形成される中間部品８を、モールド樹脂４で一体的に固めることによって生成される部品である。
【００９８】
そして、樹脂モールド部品３１は、金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位（面）に、モールド樹脂４が硬化収縮する際に生じる内部応力を検出するための部材である各応力検出部５・１５を備えていない点で、本発明の第一および第二の実施形態に係る各樹脂モールド部品１・１１と相違している。
【００９９】
即ち、樹脂モールド部品２１では、各応力検出部５・１５を備えることなく、モールド樹脂４が硬化収縮する際に生じる内部応力を検出することができるように構成されている点に特徴を有している。
【０１００】
図７（ｂ）に示す如く、例えば、樹脂モールド部品３１においては、一方の金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位に離型剤３５が塗布されており、また、他方の金属プレート２におけるモールド樹脂４の剥離が懸念される部位に接着剤３６が塗布されている。
このような構成により、モールド樹脂４が硬化収縮するときには、接着剤３６を塗布した側の金属プレート２においては剥離せず、離型剤３５を塗布した側の金属プレート２において選択的に剥離するようになり、収縮量が離型剤３５を塗布した側に集約された結果、その収縮量の総和を表す隙間３７が生じる。
【０１０１】
例えば、隙間３７の大きさΔｄ４は、樹脂モールド部品３１を生成した後に、Ｘ線ＣＴ装置等を用いて非破壊でモールド樹脂４の変形状態を観察することによって、測定することができる。
あるいは、樹脂モールド部品３１を実際に切断して断面を研磨し、その断面を観察することによっても、隙間の大きさΔｄ４を測定することができる。
【０１０２】
そして、樹脂モールド部品３１においては、隙間３７の大きさΔｄ４の測定結果と検量線に基づいて、モールド樹脂４に生じる内部応力を求めることができる。
また、樹脂モールド部品３１における、隙間の大きさΔｄ４と応力との相関を表す検量線は予め実験等により取得しておく。
あるいは、モールド樹脂４の縦弾性係数と隙間Δｄ４に基づき算出する歪みの積として、内部応力を求めることもできる。
【符号の説明】
【０１０３】
１    樹脂モールド部品（第一の実施形態）
２    金属プレート
３    素子
４    モールド樹脂
５    圧力検出部
５ｂ  圧力検出子
１１  樹脂モールド部品（第二の実施形態）
１５ａ  基材
１５ｂ  基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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