(57)【要約】【課題】処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供する。【解決手段】ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、ガラス基板を収納したカセットとガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。【選択図】図８
2013115302.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、
処理装置に投入されるガラス基板を収納したカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、
載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。
【請求項２】
前記第一搬送手段は、横行可能コンベア又はトラバーサーであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダー。
【請求項３】
前記第二の搬送手段は、搬送コンベアであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダー。
【請求項４】
第三の搬送手段は、横行可能コンベア又はトラバーサーと、ガラス基板を昇降する昇降装置又はガラス基板を搬送するロボットであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダー。
【請求項５】
ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置から処理されたガラス基板を回収する方法であって、
処理装置に投入されるガラス基板を収納したカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部に載置されたカセットの内、ガラス基板を収納したカセットから、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる二個の横行可能コンベア又はトラバーサーと、左右二列と上下二段からなる四個のコンベアと、横行可能コンベア又はトラバーサーと、ガラス基板を昇降する昇降装置又はガラス基板を搬送するロボットと、によって下流に位置する処理装置にガラス基板を投入し、収納されている全てのガラス基板が投入されて空となったカセットを回収用のカセットとして使用し、前記載置部に載置されている新たに処理されるガラス基板を収納したカセットから下流に位置する処理装置にガラス基板を投入し、一方、処理されたガラス基板を上流に位置する処理装置から回収し、収納限界まで回収したカセットをカセットの格納場所に搬送した後、前記空となったカセットを用いて処理されたガラス基板を上流に位置する処理装置から回収することを特徴とするガラス基板の投入・回収方法。
【請求項６】
前記上下二段からなる二個の横行可能コンベア又はトラバーサーの内、一方が故障した場合は他の一方によってガラス基板の投入と回収を行うことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の投入・回収方法。
【請求項７】
前記左右二列と上下二段からなる四個のコンベアの内、いずれかが故障した場合は他の三個のコンベアによってガラス基板の投入と回収を行うことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の投入・回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラスガラス基板を製造するカラーフィルタ製造ラインにガラス基板を投入及び処理されたガラス基板を回収する高速マルチローダー及びガラス基板の投入・回収方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）間ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３は一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図であって、１色の画素を形成する場合の製造ラインの工程を示すものである。カラーフィルタが製造される場合には先ず、ガラス基板が収納されているカセットが、ストッカー１０からストッカー装置内の搬送路を介してローダ（以下、ＬＤ）１１に搬送される。次にガラス基板がローダ１１によって製造ラインに投入される。その後コンベア１２、１６、１８、２２や、ロボット１３、２０によって、プロセス処理装置１５、１７、２１、その他の図示しないプロセス処理装置や、検査装置１４、１９に搬送され、プロセス処理や検査が行われる。その後、アンローダ（以下、ＵＬＤ）２３によってカセットに回収される。カセットに回収されたガラス基板は、図示しないストッカー内の搬送路を介して再びストッカー１０に搬送され保管されるか、又は次の色の画素を形成するラインに直接搬送される。ガラス基板がラインに直接搬送される場合には、上記のようにカセットに回収されてラインに直接搬送されても良く、またカセットに回収されずに１枚毎ラインに直接搬送されても良い。ここで言うプロセス処理１５、１７、２１は、例えば塗布装置やオーブンや露光装置や現像装置といった装置であって、検査装置１４、１９は外観検査装置や異物検査装置といった検査装置である。
【０００６】
図４はＬＤ及びＵＬＤの機能を説明するための図で、ＬＤ１１はストッカー１０から運ばれてくるガラス基板入りカセットを受け取り、ガラス基板を製造ラインの下流装置に投入し、カセット内のガラス基板を全て払出すと、ストッカーに空のカセットを回収させる装置であって、上記カセットの受け取りとガラス基板の投入とを繰り返す装置である。
【０００７】
ＵＬＤ２３はストッカー１０より空のカセットを受け取り、カラーフィルタ製造ラインで処理されたガラス基板を空カセットに回収し、カセットが満載になるとストッカーに回収させる装置であって、上記空のカセットの受け取りとガラス基板の回収とを繰り返す装置である。
【０００８】
このようにＬＤ１１とＵＬＤ２３は動作が異なるため分割してそれぞれ設置される。一方、近年マルチローダーが多く採用される傾向にある。図５はマルチローダーの概略機能を説明するための図である。マルチローダーは、上記ＬＤ、ＵＬＤを分割した設備構成とせず、ＬＤとＵＬＤを一体化設備構成としたものであり、ストッカーに格納されているガラス基板をカラーフィルタ製造ラインへ投入し、処理されたガラス基板を回収しストッカーに格納するものである。この場合、ＬＤ側のカセットが空になった場合に、空カセットをストッカーに回収させずにＵＬＤ側のカセットとして使用する装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−１４５８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図６はマルチローダー動作を説明するための図である。図６で示されるマルチローダー３０は、Ａと示される載置台ＡとＢと示される載置台Ｂと、横行コンベア（クロスコンベアと呼ばれる）又はトラバーサー（走行コンベアと呼ばれる）から構成され、カセットに収納されているガラス基板を下流装置３１に投入し、また処理されたガラス基板を上流装置３２から回収する。
【００１１】
図６（ａ）は載置台Ａに処理されるガラス基板が収納されたカセット３３がセットされ、載置台Ｂには空のカセットがセットされた状態を示す。次に図６（ｂ）に示すように、載置台Ａにセットされたカセットからガラス基板が下流装置に投入され、一方載置台Ｂにセットされた空のカセットに処理されたガラス基板が上流装置から回収される（破線は投入、実線は回収を示す。以下同じ）。その後、図６（ｃ）に示すように、載置台Ａにセットされたカセット内のガラス基板が空になり、一方載置台Ｂにセットされたカセット内には処理されたガラス基板が収納限度（満載）になるまで上流装置から回収される。ガラス基板が満載になるまで回収されたカセット３４はストッカーへ搬送される。次に図６（ｄ）に示すように、載置台Ｂには次に処理されるガラス基板が収納されたカセット３５がストッカーから搬入されセットされる。更に図６（ｅ）で示すように、載置台Ｂにセットされたカセットからガラス基板が下流装置に投入され、一方載置台Ａにセットされた空のカセットに処理されたガラス基板が上流装置から回収される。このようにして、図６（ｆ）で示すように載置台Ｂにセットされたカセット内のガラス基板が空になり、一方、載置台Ａにセットされたカセット内には処理されたガラス基板が満載になるまで上流装置から回収される。
【００１２】
図７は、図６に示されるマルチローダーの動作フローを示す図である。ＬＤ部に処理されるガラス基板が収納されたカセットをセット（Ｌ１）した後、ＬＤ部から下流装置へガラス基板を投入する（Ｌ２）。ＬＤ部のカセットにガラス基板がなくなるまで（Ｌ３のＮＯ）、ガラス基板投入が続けられる。ＬＤ部のカセットにガラス基板がなくなった場合には（Ｌ３のＹＥＳ）、ＬＤ部の空カセットは上流装置からガラス基板を回収するカセットとなる。即ちＬＤ部はＵＬＤ部となる（Ｌ４）。ＵＬＤ部の空カセットに上流装置からガラス基板を回収し（ＬＤ１）、ＵＬＤ部のカセットが満載になるまで（ＬＤ２のＮＯ）、回収は続行される。一方満載になった時点（ＬＤ２のＹＥＳ）で、満載となったカセット
をストッカーに排出し（ＬＤ３）、カセットが無くなったＵＬＤ部はＬＤ部となり、ガラス基板が収納されたカセットがセットされる（ＬＤ４）。ここで、ステップ（ＬＤ４）とステップ（Ｌ１）は同一ステップで、またステップ（Ｌ２）〜ステップ（Ｌ３）とステップ（ＬＤ１）〜ステップ（ＬＤ２）は同一時刻に行われるものである。
【００１３】
このように載置台Ａにセットされ、ガラス基板が空となったカセット３３のストッカーへの搬送をなくすことが可能となり、ストッカーの搬送効率が良くなる。
【００１４】
しかしながら、上記マルチローダーでは搬送コンベア又はトラバーサーを１台しか使用しないため、ガラス基板の投入、処理されたガラス基板の回収を交互に行わなければならない。そのため処理装置の処理速度が速くなると上記１台の搬送コンベア又はトラバーサーではマルチローダーでの対応が不可となる。
【００１５】
また、新たに処理するガラス基板を収納したカセットを載置台に搬送する際に、処理装置側ではガラス基板の待ちの状態となり、設備効率の低下の原因となっていた。また逆に処理装置から処理されたガラス基板をＵＬＤに回収する場合に回収カセットが無い場合には、カセット待ちの状態となり、同様に設備効率の低下の原因となっていた。
【００１６】
更に、図６（ｅ）で示されるように載置台Ｂのカセットから下流装置にガラス基板を投入し、処理されたガラス基板を上流装置からに載置台Ａのカセットに回収する際に、横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合には、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来なくなってしまう。
【００１７】
そこで本発明は、処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、
処理装置に投入されるガラス基板を収納したカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、
載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダーである。
【００１９】
本発明の請求項２に係る発明は、前記第一搬送手段は、横行可能コンベア又はトラバーサーであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダーである。
【００２０】
本発明の請求項３に係る発明は、前記第二の搬送手段は、搬送コンベアであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダーである。
【００２１】
本発明の請求項４に係る発明は、第三の搬送手段は、横行可能コンベア又はトラバーサーと、ガラス基板を昇降する昇降装置又はガラス基板を搬送するロボットであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の高速マルチローダーである。
【００２２】
本発明の請求項５に係る発明は、ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置から処理されたガラス基板を回収する方法であって、
処理装置に投入されるガラス基板を収納したカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部に載置されたカセットの内、ガラス基板を収納したカセットから、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる二個の横行可能コンベア又はトラバーサーと、左右二列と上下二段からなる四個のコンベアと、横行可能コンベア又はトラバーサーと、ガラス基板を昇降する昇降装置又はガラス基板を搬送するロボットと、によって下流に位置する処理装置にガラス基板を投入し、収納されている全てのガラス基板が投入されて空となったカセットを回収用のカセットとして使用し、前記載置部に載置されている新たに処理されるガラス基板を収納したカセットから下流に位置する処理装置にガラス基板を投入し、一方、処理されたガラス基板を上流に位置する処理装置から回収し、収納限界まで回収したカセットをカセットの格納場所に搬送した後、前記空となったカセットを用いて処理されたガラス基板を上流に位置する処理装置から回収することを特徴とするガラス基板の投入・回収方法である。
【００２３】
本発明の請求項６に係る発明は、前記上下二段からなる二個の横行可能コンベア又はトラバーサーの内、一方が故障した場合は他の一方によってガラス基板の投入と回収を行うことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の投入・回収方法である。
【００２４】
本発明の請求項７に係る発明は、前記左右二列と上下二段からなる四個のコンベアの内、いずれかが故障した場合は他の三個のコンベアによってガラス基板の投入と回収を行うことを特徴とする請求項５に記載のガラス基板の投入・回収方法である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明による高速マルチローダーによれば、ガラス基板の処理装置への投入と処理装置からの回収を従来のマルチローダーと比較して高速で行うことが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、ガラス基板の投入や回収を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】カラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ層の製造工程を示すフロー図。
【図３】一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図。
【図４】ＬＤ及びＵＬＤの機能を説明するための図。
【図５】マルチローダーの概略機能を説明するための図。
【図６】マルチローダー動作を説明するための図。（ａ）は載置台Ａに処理されるガラス基板が収納されたカセットがセットされ、載置台Ｂには空のカセットがセットされた状態を示す図。（ｂ）は載置台Ａにセットされたカセットからガラス基板が下流装置に投入され、載置台Ｂにセットされた空のカセットに処理されたガラス基板が上流装置から回収される状態を示す図。（ｃ）は載置台Ａにセットされたカセット内のガラス基板が空になり、載置台Ｂにセットされたカセット内には処理されたガラス基板が満載になるまで上流装置から回収される状態を示す図。（ｄ）は載置台Ｂには次に処理されるガラス基板が収納されたカセットがストッカーから搬入されセットされる状態を示す図。（ｅ）は載置台Ｂにセットされたカセットからガラス基板が下流装置に投入され、載置台Ａにセットされた空のカセットに処理されたガラス基板が上流装置から回収される状態を示す図。（ｆ）は載置台Ｂにセットされたカセット内のガラス基板が空になり、載置台Ａにセットされたカセット内には処理されたガラス基板が満載になるまで上流装置から回収される状態を示す図。
【図７】マルチローダーの動作フローを示す図。
【図８】本発明の高速マルチローダーの構成図。
【図９】本発明の高速マルチローダーによってガラス基板を投入、回収する場合のガラス基板の搬送ルートを説明するための図。（ａ）は破線６１ａで示される搬送ルートで下流処理装置に搬送され、上流処理装置から実線６２ａで示されるルートで空カセットに搬送されるルートを示す。（ｂ）は破線６１ｂで示されるルートで下流処理装置に搬送され、上流処理装置から実線６２ｂで示されるルートで空カセットに搬送されるルートを示す。
【図１０】本発明による高速マルチローダーの場合の第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７、又は第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１のいずれかが故障した場合のガラス基板の投入と回収について説明するための図。（ａ）は第一搬送部Ｂ４７が故障した場合のガラス基板の投入と回収を行う場合を示す図。（ｂ）は第二搬送部Ｂｂ５１が故障した場合のガラス基板の投入と回収を行う場合を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して本発明の高速マルチローダーを実施するための形態を説明する。
【００２８】
図８は本発明の高速マルチローダーの構成図を示す。高速マルチローダー１００は図示しない処理するガラス基板をカセットから上流に位置する上流処理装置に矢印４０で示される方向に搬送し、処理装置で処理されたガラス基板を下流に位置する下流処理装置から矢印４１で示される方向に搬送し回収カセットに回収するマルチローダーであって、処理装置に投入されるガラス基板を収納するカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットを載置可能な載置部４２〜４５と、載置部４２〜４５から処理装置側に順に設けられ上下二段からなる第一搬送手段である第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７と、第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段である第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１と、第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１とガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段である第三搬送部Ａａ５２と第三搬送部Ａｂ５６及び第三搬送部Ｂ５３と第三搬送部Ｃ５４と、を備えている。第三搬送部Ｂ５３と第三搬送部Ｃ５４は矢印５５ａ及び矢印５５ｂで示す方向にガラス基板を昇降する。
【００２９】
載置部４２〜４５は図８では４個のカセットを載置することが出来ることを示しているが、少なくとも３個以上のカセットを載置することが出来れば良い。しかしＬＤの部分とＵＬＤの部分にそれぞれ２個のカセットを載置できるように４個分の載置部を設けることが望ましい。それによって、下流装置へのガラス基板の投入待ちや上流装置からのガラス基板の回収待ちの時間を無くすことが出来る。
【００３０】
上下二段からなる第一搬送手段である第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７は、横行可能コンベア又はトラバーサーであって、第一搬送部Ａ４６が上段に、第一搬送部Ｂ４７が下段に設けられており、通常は上段に設けられた第一搬送部Ａ４６によって、処理されるガラス基板をＬＤの部分から第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９に搬送される。また下段に設けられた第一搬送部Ｂ４７は、処理されたガラス基板を第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１からＵＬＤの部分に搬送する。
【００３１】
左右二列で上下二段からなる第二の搬送手段である第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１は、第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９が左右２列に上段に設けられ、第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１が左右２列に下段に設けられており、第三搬送部Ａａ５２及び第三搬送部Ａｂ５６とガラス基板の受け入れ受け渡しを行うもので、第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７と第三搬送部Ａａ５２及び第三搬送部Ａｂ５６とを繋ぐものである。第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１には、コンベアによる搬送装置を用いることが出来る。
【００３２】
第三の搬送手段は例えば第三搬送部Ａａ５２及び第三搬送部Ａｂ５６、第三搬送部Ｂ５３、第三搬送部Ｃ５４で構成され、第三搬送部Ａａ５２は第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と、第三搬送部Ａｂ５６は第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１と上流処理装置及び下流処理装置とを繋ぐ搬送装置であって、更に第三搬送部Ｂ５３と第三搬送部Ｃ５４はガラス基板を矢印５５ａ及び矢印５５ｂに示す方向に昇降する機構となっている。この場合の第三搬送部Ａａ５２及び第三搬送部Ａｂ５６は横行可能コンベア又はトラバーサーであって、第三搬送部Ｂ５３と第三搬送部Ｃ５４は昇降コンベアである。上記第三の搬送手段の別の構成としては、上記に示す第三搬送部Ｂ５３、第三搬送部Ｃ５４によってガラス基板を昇降する代わりにロボットによってガラス基板を搬送する構成でも良い。
【００３３】
図９は本発明の高速マルチローダーによってガラス基板を投入、回収する場合のガラス基板の搬送ルートを説明するための図である。例えば、当初図９（ａ）で示される載置部４２と４５には処理されるガラス基板を収納したカセットが載置され、載置部４３と４４には処理が行われたガラス基板を回収するカセットが載置される。次にガラス基板を収納したカセットが載置された載置部４２の部分から破線６１ａで示される搬送ルートで搬送された後、図示しない下流処理装置に矢印４０で示す方向に投入される。一方、処理されたガラス基板は上流処理装置から矢印４１で示される方向に回収された後、実線６１ｂで示されるルートで空カセットが載置された載置部４３ＵＬＤに搬送される。
【００３４】
上記搬送ルートでガラス基板の投入と回収が行われ、載置部４２に載置されたカセットのガラス基板がすべて投入され、空カセットとなった場合には載置部４２に載置されたカセットがＵＬＤ用のカセットとなる。また、載置部４３に載置されたカセットに回収されたガラス基板が満載になった場合には、そのカセットはストッカーに搬送され、載置部４３には新たに処理されるガラス基板を収納したカセットがストッカーから搬送される。
【００３５】
次に図９（ｂ）に示すように載置部４５に載置されたカセットから処理されるガラス基板が破線６２ａで示されるルートで搬送され下流処理装置に投入される。一方、載置部４４に載置された空カセットへ上流処理装置で処理されたガラス基板が回収され、破線６２ｂで示されるルートで搬送される。この結果、載置部４５に載置されたカセットから処理されるガラス基板が全て投入された後は、載置部４５に載置されたカセットは空カセットとなり、一方、載置部４４に載置されたカセットが処理されたガラス基板で満載になった後は、そのカセットはカセットの格納場所であるストッカーに搬送され、載置部４４には新たにガラス基板を収納したカセットがストッカーから搬送される。
【００３６】
上記載置部は処理装置に投入されるガラス基板を収納するカセットと処理装置で処理されたガラス基板を回収するカセットを合わせて３個以上載置可能であれば、ガラス基板の投入と回収を、空きカセットをストッカーに搬送することなく行うことが出来る。
【００３７】
更に図９から明らかなように、ガラス基板の投入、回収の際には二段からなる第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７の内、第一搬送部Ａ４６がガラス基板の投入時に専用に用
いられ、第一搬送部Ｂ４７が処理されたガラス基板の回収時に専用に用いられる。その結果、従来のマルチローダーと比較してガラス基板の投入、回収を高速に行うことが出来る。
【００３８】
上記図９に示される載置部はカセットを４個載置出来る場合を示した。４個載置することによって、カセットから投入する場合とカセットへ回収する場合の、カセットの空になるタイミングとカセットが満載になるタイミングが一致しない場合であっても、投入するガラス基板を収納したカセットの待ち時間や、回収するカセットの待ち時間が発生することを防ぐことが出来る。
【００３９】
第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７、又は第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１のいずれかが故障した場合のガラス基板の投入と回収について説明する。
【００４０】
図７に示される従来用いられていたマルチローダーは、横行コンベア又はトラバーサーが故障した場合には、ガラス基板の投入や回収が不可能となるが、本発明による高速マルチローダーの場合の第一搬送部Ａ４６及び第一搬送部Ｂ４７、又は第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９と第二搬送部Ｂａ５０及び第二搬送部Ｂｂ５１のいずれかが故障した場合のガラス基板の投入と回収について図１０を用いて説明する。
【００４１】
図１０（ａ）は例えば第一搬送部Ｂ４７が故障した場合のガラス基板の投入と回収を行う場合を示す図で、図１０（ｂ）は例えば第二搬送部Ｂｂ５１が故障した場合のガラス基板の投入と回収を行う場合を示す図である。
【００４２】
図１０（ａ）の第一搬送部Ｂ４７が故障した場合のガラス基板の投入と回収は、第一搬送部Ａ４６と第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ａｂ４９を使用して、破線７１ａの次に破線７２ａで示すガラス基板の投入を、また実線７１ｂの次に実線７２ｂで示すガラス基板の回収を行う。
【００４３】
図１０（ｂ）の第二搬送部Ｂｂ５１が故障した場合のガラス基板の投入と回収は、第一搬送部Ａ４６と第一搬送部Ｂ４７と第二搬送部Ａａ４８及び第二搬送部Ｂａ５０を使用して、破線８１ａの次に破線８２ａで示すガラス基板の投入を、また実線８１ｂの次に実線８２ｂで示すガラス基板の回収を行う。
【００４４】
この場合、図１０（ａ）に示される第一搬送部Ｂ４７が故障した場合には、第一搬送部Ａ４６が律速となり、従来のマルチローダーと速度は同じになる可能性があるが、処理装置にガラス基板を投入したり処理装置からガラス基板を回収する動作が中止することが避けられる。また、図１０（ｂ）に示される第二搬送部Ｂｂ５１が故障した場合はガラス基板の投入と回収は速度の低下が避けられる。即ち第二搬送部Ａａ４８と第二搬送部Ａｂ４９、及び第二搬送部Ｂａ５０と第二搬送部Ｂｂ５１はお互いが故障時のバックアップとなるように作用する。
【００４５】
以上のように本発明による高速マルチローダーによれば、ガラス基板の処理装置への投入と処理装置からの回収を従来のマルチローダーと比較して、投入するガラス基板の待ちや回収するカセットの待ちが無いため、高速で行うことが出来、また横行コンベア又はトラバーサーやコンベアが故障してしまった場合であっても、ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１０・・・ストッカー
１１・・・ローダ（ＬＤ）
１２、１６、１８、２２・・・コンベア
１３、２０・・・ロボット
１４、１９・・・検査装置
１５、１７、２１・・・プロセス処理装置
２３・・・アンローダ（ＵＬＤ）
３０・・・マルチローダー
３１・・・下流装置
３２・・・上流装置
３３・・・処理されるガラス基板が収納されたカセット
３４・・・ガラス基板が満載になるまで回収されたカセット
３５・・・次に処理されるガラス基板が収納されたカセット
１００・・・高速マルチローダー
４０・・・処理されるガラス基板の搬送方向を示す矢印
４１・・・処理されたガラス基板の搬送方向を示す矢印
４２〜４５・・・載置部
４６・・・第一搬送部Ａ
４７・・・第一搬送部Ｂ
４８・・・第二搬送部Ａａ
４９・・・第二搬送部Ａｂ
５０・・・第二搬送部Ｂａ
５１・・・第二搬送部Ｂｂ
５２・・・第三搬送部Ａａ
５２ａ・・・第三搬送部Ａが最下位置に降下された場合の第三搬送部Ａ
５３・・・第三搬送部Ｂ
５４・・・第三搬送部Ｃ
５５ａ・・・第三搬送部Ｂによってガラス基板が昇降される方向を示す矢印
５５ｂ・・・第三搬送部Ｃによってガラス基板が昇降される方向を示す矢印
５６・・・第三搬送部Ａｂ
６１ａ、６２a・・・収納したカセットからガラス基板が下流処理装置に投入される搬送ルート
６１ｂ、６２ｂ・・・処理されたガラス基板が上流処理装置から搬送されるルート
７１ａ、７２ａ・・・第一搬送部Ｂが故障した場合の収納したカセットからガラス基板が下流処理装置に投入される搬送ルート
７１ｂ、７２ｂ・・・第一搬送部Ｂが故障した場合の処理されたガラス基板が上流処理装置から搬送されるルート
８１ａ、８２ａ・・・第一搬送部Ｂが故障した場合の収納したカセットからガラス基板が下流処理装置に投入される搬送ルート
８１ｂ、８２ｂ・・・第一搬送部Ｂが故障した場合の処理されたガラス基板が上流処理装置から搬送されるルート
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図１】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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