(57)【要約】【課題】従来よりも欠陥の検出精度を向上させる。【解決手段】非破壊検査装置１０は、電磁波を出力する送信器１２と、被検査部位２２からの前記電磁波の反射波を受信する受信器１４と、被検査部位２２と前記受信器１４の間隔を変更する変位手段１６と、を備える。さらに、異なる被検査部位２２について複数の前記間隔毎に前記受信器１４で受信された反射波の差又は比を用いて当該被検査部位２２の欠陥の有無を判定する判定部４４を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波を出力する送信器と、
被検査部位からの前記電磁波の反射波を受信する受信器と、
被検査部位と前記受信器の間隔を変更する変位手段と、
異なる被検査部位について複数の前記間隔毎に前記受信器で受信された反射波の差又は比を用いて当該被検査部位の欠陥の有無を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の非破壊検査装置であって、
前記判定部は、前記差又は前記比の最大値が所定の基準値を超過したときに欠陥が有ると判定することを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の非破壊検査装置であって、
前記異なる被検査部位の１つは無欠陥部位であることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項記載の非破壊検査装置であって、
前記受信器と前記被検査部位との間隔の最大値と最小値の差は前記電磁波の中心波長の０．２５倍以上であることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載の非破壊検査装置であって、
前記受信器と前記被検査部位との間隔の最大値は前記電磁波の中心波長の２倍以下であることを特徴とする非破壊検査装置。
【請求項６】
磁束を発生させる励磁手段と、
前記磁束の印加により被検査部位に生じた渦電流を検出する検出器と、
被検査部位と前記検出器の間隔を変更する変位手段と、
異なる被検査部位について複数の前記間隔毎に前記検出器で検出された渦電流の差又は比を用いて当該被検査部位の欠陥の有無を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は非破壊検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、検査対象物を破壊することなく、当該検査対象物の欠陥を検出可能な非破壊検査装置が知られている。例えば、特許文献１、２では、導電性材料の被検査部位に渦電流を生じさせるとともに、その渦電流の変化に基づいて当該被検査部位の欠陥を検出している。また、特許文献３や非特許文献１では、マイクロ波を誘電体材料の被検査部位に照射するとともに、その反射波の振幅または位相の変化に基づいて当該被検査部位の欠陥を検出している。
【０００３】
これらの非破壊検査装置は、リフトオフの変動によって渦電流や反射波の受信感度が変動することが知られている。なお、リフトオフとは、被検査部位と反射波を受信する受信器との間隔である。受信感度の変動を抑制するため、欠陥検出を行う前にリフトオフを調整するキャリブレーションを行う場合がある。
【０００４】
例えば、特許文献３では、割れや剥離のない基準部位上に受信器を配置する。さらにリフトオフを変化させながら反射波を受信する。次に図１１に示すようにリフトオフ毎の反射波の振幅の中から最小値を求めるとともに、当該最小値に対応するリフトオフｄ０を設定値とする。欠陥検出を行う際にはリフトオフを設定値ｄ０に維持して被検査部位からの反射波を受信する。受信した反射波の振幅と、基準部位におけるリフトオフｄ０のときの反射波の振幅の差に基づいて当該被検査部位における欠陥の有無を判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２７４０１７号公報
【特許文献２】特開２００９−２９４５号公報
【特許文献３】特開平１１−２８１５９１号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】巨  陽、外２名、「非破壊検査工学最前線」、初版、共立出版株式会社、平成２１年７月２５日、p. １４９―２１８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、実際の欠陥検出ではキャリブレーションにより求めた設定値よりも欠陥の検出精度の高いリフトオフが存在する場合がある。図１２の点１００は無欠陥の被検査部位からの反射波の振幅と基準部位からの反射波の振幅との差を示している。また、点１０２は欠陥を含む被検査部位からの反射波の振幅と基準部位からの反射波の振幅との差を示している。これらはいずれもリフトオフを設定値ｄ０に設定した場合の反射波である。
【０００８】
一方、点１０４は点１００と同一の被検査部位からの反射波の振幅と基準部位からの反射波の振幅との差を示している。また、点１０６は点１０２と同一の被検査部位からの反射波の振幅と基準部位からの反射波の振幅との差を示している。これらはいずれも設定値ｄ０とは異なるリフトオフｄ１に設定した場合の反射波である。
【０００９】
図１２に示されるように、点１００と点１０２との差異よりも点１０４と点１０６との差異の方が大きい。つまり、後者の方が欠陥部位と無欠陥部位との差が大きく表れる。したがって、後者は前者よりも欠陥判定の際に誤判定となるおそれが低い。このように、キャリブレーションによって決定されたリフトオフよりも欠陥の検出精度の高いリフトオフが存在する場合があり、従来の非破壊検査装置には欠陥検出の精度を向上させる余地があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は非破壊検査装置に関するものである。当該非破壊検査装置は、電磁波を出力する送信器と、被検査部位からの前記電磁波の反射波を受信する受信器と、被検査部位と前記受信器の間隔を変更する変位手段と、を備える。さらに、異なる被検査部位について複数の前記間隔毎に前記受信器で受信された反射波の差又は比を用いて当該被検査部位の欠陥の有無を判定する判定部を備える。
【００１１】
また、上記発明において、前記判定部は、前記差又は前記比の最大値が所定の基準値を超過したときに欠陥が有ると判定することが好適である。
【００１２】
また、上記発明において、前記異なる被検査部位の１つは無欠陥部位であることが好適である。
【００１３】
また、上記発明において、前記受信器と前記被検査部位との間隔の最大値と最小値の差は前記電磁波の中心波長の０．２５倍以上であることが好適である。
【００１４】
また、上記発明において、前記受信器と前記被検査部位との間隔の最大値は前記電磁波の中心波長の２倍以下であることが好適である。
【００１５】
また、本発明は非破壊検査装置に関するものである。当該非破壊検査装置は、磁束を発生させる励磁手段と、前記磁束の印加により被検査部位に生じた渦電流を検出する検出器と、被検査部位と前記検出器の間隔を変更する変位手段と、を備える。さらに、異なる被検査部位について複数の前記間隔毎に前記検出器で検出された渦電流の差又は比を用いて当該被検査部位の欠陥の有無を判定する判定部を備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来よりも欠陥の検出精度を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態にかかる非破壊検査装置を例示する図である。
【図２】アンテナを例示する図である。
【図３】欠陥検出工程を説明する図である。
【図４】欠陥検出工程を説明する図である。
【図５】欠陥検出工程を説明する図である。
【図６】欠陥検出工程を説明する図である。
【図７】他の実施形態にかかる非破壊検査装置を例示する図である。
【図８】他の実施形態にかかる非破壊検査装置を例示する図である。
【図９】他の実施形態にかかる非破壊検査装置を例示する図である。
【図１０】欠陥検出工程を説明する図である。
【図１１】従来の欠陥検出を説明する図である。
【図１２】従来の欠陥検出を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本実施の形態に係る非破壊検査装置を図１に例示する。なお、図１では紙面の左方向に延伸する軸をＸ軸とし、紙面の上方向に延伸する軸をＺ軸とし、紙面の奥行き方向に延伸する軸をＹ軸とする。非破壊検査装置１０は、送信器１２、受信器１４、三次元移動機構１６、演算処理部１８及び信号源２０を含んで構成される。
【００１９】
送信器１２は、検査対象物２１の被検査部位２２に電磁波を出力する機器である。例えば、送信器１２は信号源２０に接続されており、信号源２０から送信器１２に伝送された電磁波が送信器１２から出力可能となっている。
【００２０】
受信器１４は、被検査部位２２から反射された電磁波を受信する機器である。例えば、受信器１４は演算処理部１８に接続されており、受信器１４に受信された反射波は演算処理部１８に伝送される。
【００２１】
なお、送信器１２と受信器１４を別々の機器から構成してもよいし、一体の機器として構成してもよい。例えば図２に示すように、送信器１２と受信器１４とを一体化したアンテナ２４として両者を構成してもよい。アンテナ２４の形状は電磁波の出力及びその反射波の受信が可能な形状であればよく、例えば略円錐形状のホーンアンテナとすることができる。
【００２２】
図１に戻り、信号源２０は、所望の周波数の電磁波を出力する機器である。例えば、信号源２０は、マイクロ波の周波数帯である３００ＭＨｚ以上３００ＧＨｚ以下の電磁波を出力可能であることが好適である。
【００２３】
三次元移動機構１６は、アンテナ２４と検査対象物２１との相対位置を変更することの可能な変位手段である。例えば、三次元移動機構１６は、ベース２６、Ｘステージ２８、Ｙステージ３０、Ｚリフト３２及び固定ステージ４１を備えている。Ｘステージ２８はベース２６に対してＸ軸方向に移動可能な部材である。具体的にはＸステージ２８はベース２６上に配置されるとともにＸステージ移動用モータ３４によって移動可能となっている。Ｙステージ３０はベース２６に対してＹ軸方向に移動可能な部材である。具体的にはＹステージ３０はＸステージ２８上に配置されるとともにＹステージ移動用モータ３６によって移動可能となっている。また、Ｚリフト３２はベース２６に対してＺ軸方向に移動可能な部材である。具体的にはＺリフト３２はＹステージ３０から延伸するアーム３８に保持されるとともにＺリフト移動用モータ４０によって移動可能となっている。さらに、Ｚリフト３２の先端には保持部３９が設けられている。
【００２４】
固定ステージ４１は、保持部３９の移動可能範囲内に設けられている。保持部３９と固定ステージ４１の一方がアンテナ２４を保持し、他方が検査対象物２１を保持する。検査対象物２１の種類や大きさによってはその重量が保持部３９の保持可能な最大重量を超過する場合もあることから、保持部３９にアンテナ２４を保持させることが好適である。
【００２５】
演算処理部１８は、三次元移動機構１６、アンテナ２４及び信号源２０に接続されている。演算処理部１８は、これらの機器から送られた信号の演算処理を行ったり、これらの機器に対して制御信号を送信する機器である。演算処理部１８は記憶部４２と演算部４４を含んで構成されている。記憶部４２には、例えば、アンテナ２４の移動経路や後述する基準部位における反射波のデータ等が記憶されている。記憶部４２はこれらの情報を記憶可能な機器であればよく、例えばＲＯＭやＲＡＭ、ＥＰＲＯＭ、ハードディスク装置等の１つまたは複数の組み合わせから構成することができる。
【００２６】
演算部４４は、アンテナ２４の位置を制御するための制御信号を演算する機器である。例えば、アンテナ２４を所望の位置に移動させるためのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の変位量を算出するとともに、Ｘステージ移動用モータ３４、Ｙステージ移動用モータ３６、Ｚリフト移動用モータ４０に対して各変位量に応じた駆動信号を送信可能となっている。また、演算部４４は、後述する被検査部位２２の欠陥判定を行う判定部の機能も有する。演算部４４はこれらの演算処理や判定処理が可能な機器であればよく、例えばマイクロコンピュータユニットを含んで構成されている。
【００２７】
次に、本実施の形態における非破壊検査装置１０の欠陥検出工程について説明する。図３〜図５に示すように、欠陥検出工程は大きく分けて、基準反射波の取得工程Ｓ１００、被検査反射波の取得工程Ｓ２００、及び欠陥判定工程Ｓ３００の処理を含んで構成される。なお、工程Ｓ１００と工程Ｓ２００の順番は入れ替えてもよい。
【００２８】
図３に示すように、演算部４４は、工程Ｓ１００において基準部位から反射した基準反射波を取得する。ここで、基準部位とは、表面や内部における欠陥の有無が他の非破壊検査手段や破壊を伴う検査手段等により予め分かっている部位である。例えば、基準部位は、表面や内部に欠陥のない（無欠陥の）標準試料等の部位とする。演算部４４は、基準部位に対するリフトオフを変更させてリフトオフ毎に基準反射波を取得する。ここで、リフトオフとは電磁波が反射する反射部位とアンテナ２４との間隔を指している。基準反射波の取得は非破壊検査装置１０で行ってもよく、アンテナ２４と基準部位とのリフトオフの変更が可能な他の装置やシミュレーション等によって求めてもよい。
【００２９】
まず、演算部４４は、リフトオフが予め定めた初期値ＤIとなるように基準部位に対するアンテナ２４の位置を定める（Ｓ１０２）。例えば、基準部位にアンテナ２４を接触させ（リフトオフ＝０）、その後、Ｚリフト移動用モータ４０を駆動させる。このとき、Ｚリフト移動用モータ４０の回転数からリフトオフを算出することでリフトオフを初期値ＤIに設定する。例えば、リフトオフの初期値は０．５ｍｍとする。その後、アンテナ２４から電磁波を照射する。このとき、基準部位からの反射波（基準反射波）がアンテナ２４に受信される（Ｓ１０４）。
【００３０】
さらに、演算部４４は、リフトオフが予め定めた最大リフトオフに到達したか否かを判定する（Ｓ１０６）。最大リフトオフに到達していない場合は、リフトオフを予め定めたピッチ分だけ増加させて、基準部位からアンテナ２４を離間させる（Ｓ１０８）。例えばＺリフト移動用モータ４０を所定の回転数だけ駆動させてリフトオフを増加させる。リフトオフ増加後にステップＳ１０４に戻り、増加後のリフトオフにおける基準反射波を受信する。このようにして最大リフトオフに到達するまで基準反射波を受信する。受信された反射波はリフトオフ毎に記憶部４２に記憶される。
【００３１】
次に、図４に示すように、演算部４４は、工程Ｓ２００において被検査部位２２から反射した被検査反射波を取得する。次に、作業者等によりアンテナ２４のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動範囲が演算処理部１８に入力される（Ｓ２０２）。さらに、この移動範囲に基づいてアンテナ２４のＸ−Ｙ平面上の移動に関する始点、終点及び移動経路が決定される。
【００３２】
次に、演算部４４は、Ｘ座標及びＹ座標の始点にアンテナ２４を移動させる（Ｓ２０４）。続いて、演算部４４は、被検査部位２２に対するアンテナ２４のリフトオフを初期値ＤIに設定する（Ｓ２０６）。その後、アンテナ２４から電磁波が照射されるとともに被検査部位２２からの反射波（被検査反射波）がアンテナ２４に受信される（Ｓ２０８）。
【００３３】
さらに、演算部４４は、リフトオフが予め定めた最大リフトオフに到達したか否かを判定する（Ｓ２１０）。到達していない場合は、演算部４４はＺリフト移動用モータ４０を駆動させて、基準反射波を取得したときと同一のピッチ分だけリフトオフを増加させ、被検査部位２２からアンテナ２４を離間させる（Ｓ２１２）。ここで、同一とは完全な同一のみに限られず、機械的な誤差も含むものとする。例えば所定のピッチに対して１０％以下の誤差を含むものとする。リフトオフを増加させた後、ステップＳ２０８に戻る。
【００３４】
また、ステップＳ２１０においてリフトオフが最大リフトオフに到達した場合はアンテナ２４を次の被検査部位に移動させる。すなわち、演算部４４は、アンテナ２４がＸ軸座標及びＹ軸座標の終点座標に到達しているか否かを判定する（Ｓ２１４）。到達していない場合は、演算部４４は予め定めたピッチ分アンテナ２４をＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方向に移動させる（Ｓ２１６）。さらに、移動後の被検査部位においてステップＳ２０６−Ｓ２１４を繰り返す。このようにしてすべての被検査部位に亘って反射波を取得する。受信された被検査反射波は、Ｘ座標、Ｙ座標及びリフトオフ別に記憶部４２に記憶される。
【００３５】
基準反射波及び被検査反射波の取得が完了すると、演算部４４は欠陥判定工程Ｓ３００（図５）を実行する。演算部４４は、Ｘ座標及びＹ座標の始点における被検査部位２２のリフトオフ毎の被検査反射波データを記憶部４２から呼び出す（Ｓ３０２）。さらに、演算部４４は、リフトオフ毎の基準反射波データを記憶部４２から呼び出す（Ｓ３０４）。次に、演算部４４は、同一のリフトオフ別に基準反射波と被検査反射波の差を求める（Ｓ３０６）。例えば、両反射波の振幅の差を求める。
【００３６】
図６に、基準反射波と被検査反射波の振幅の差分値をプロットしたグラフを示す。なお、グラフの横軸はリフトオフであり、縦軸は振幅の差分値である。図６では、予め無欠陥と判明している被検査部位２２からの被検査反射波と基準反射波の振幅の差分値がリフトオフ毎に塗りつぶし四角プロット（■）で示されている。また、欠陥を含む被検査部位２２からの被検査反射波と基準反射波の振幅の差分値がリフトオフ毎に白抜き丸プロット（○）で示されている。図６に示されるように、無欠陥の被検査部位２２からの被検査反射波と基準反射波の振幅の差分に比べて、欠陥を含む被検査部位２２からの被検査反射波と基準反射波の振幅の差分は大きく変動する傾向を示す。
【００３７】
演算部４４は、この差分値の変動傾向を利用して被検査部位２２の欠陥の有無を判定する（図５のＳ３０８）。例えば、演算部４４は、無欠陥の被検査部位２２からの被検査反射波の振幅Ｓ1と基準反射波の振幅Ｓ0の差分値ΔＳ01をリフトオフ毎に求める。さらに。差分値ΔＳ01の最大値ΔＳ01#MAXを基準値ΔＳTh0として設定する。続いて、演算部４４は、欠陥検出対象の被検査部位２２からの被検査反射波の振幅Ｓ2と基準反射波の振幅Ｓ0の差分値ΔＳ02をリフトオフ毎に求める。さらに、差分値ΔＳ02のいずれかの値（例えば最大値ΔＳ02#MAX）が基準値ΔＳTh0を超えた場合に、当該被検査部位２２は欠陥を含むものと判定する（図５のＳ３１０、Ｓ３１２）。なお、図６に示すように、基準値ΔＳTh0は最大値ΔＳ01#MAXより大きい値としてもよい。例えば、基準値ΔＳTh0は、最大値ΔＳ01#MAXの１．２倍の値としてもよい。
【００３８】
または、差分値ΔＳ01の最大値と最小値の差を基準値ΔＳTh1として設定してもよい。この場合は、差分値ΔＳ02の最大値と最小値の差が基準値ΔＳTh1を超えた場合に、被検査部位２２は欠陥を含むものと判定する。
【００３９】
なお、基準反射波と被検査反射波の振幅の差を用いて欠陥判定を行う代わりに、基準反射波とその入射波の位相差と、被検査反射波とその入射波の位相差との差分を用いて欠陥判定を用いてもよい。例えば、無欠陥の被検査部位２２からの被検査反射波とその入射波との位相差φ1と、基準反射波とその入射波との位相差φ0の差分Δφ01をリフトオフ毎に求める。さらに、差分Δφ01の最大値または最大値より大きい値を基準値ΔφTh0として設定する。または、差分Δφ01の最大値と最小値の差を基準値ΔφTh1として設定する。この場合において、演算部４４は、欠陥検出対象の被検査部位２２からの被検査反射波とその入射波の位相差φ2と、基準反射波とその入射波の位相差φ0の差分Δφ02をリフトオフ毎に求める。さらに差分Δφ02のいずれかの値が基準値ΔφTh0を超えた場合に、当該被検査部位２２が欠陥を含むものと判定する。または、差分Δφ02の最大値と最小値の差が基準値ΔφTh1を超えた場合に、当該被検査部位２２は欠陥を含むものと判定する。
【００４０】
さらに、被検査反射波と基準反射波の差を用いる代わりに、被検査反射波と基準反射波の比を用いてもよい。例えば、無欠陥の被検査部位２２からの被検査反射波の振幅Ｓ1と基準反射波の振幅Ｓ0の比Ｓ1／Ｓ0をリフトオフ毎に求める。さらに比Ｓ1／Ｓ0の最大値または最大値より大きい値を基準値ＳTh0として設定する。または、比Ｓ1／Ｓ0の最大値と最小値の差を基準値ＳTh1として設定する。この場合において、演算部４４は、欠陥検出対象の被検査部位２２からの被検査反射波の振幅Ｓ2と基準反射波の振幅Ｓ0の比Ｓ2／Ｓ0をリフトオフ毎に求める。さらに比Ｓ2／Ｓ0のいずれかの値が基準値ＳTh0を超えた場合に、当該被検査部位２２が欠陥を含むものと判定する。または、比Ｓ2／Ｓ0の最大値と最小値の差が当該基準値ＳTh1を超えた場合に、当該被検査部位は欠陥を含むものと判定する。
【００４１】
また、被検査反射波とその入射波の位相差と基準反射波とその入射波の位相差の比を用いてもよい。例えば、無欠陥の被検査部位２２からの被検査反射波とその入射波の位相差φ1と、基準反射波とその入射波の位相差φ0の比φ1／φ0をリフトオフ毎に求める。さらに、比φ1／φ0の最大値または最大値より大きい値を基準値ＳTh0として設定する。または、比φ1／φ0の最大値と最小値の差を基準値ＳTh1として設定する。この場合において、演算部４４は、欠陥検出対象の被検査部位２２からの被検査反射波とその入射波の位相差φ2と、基準反射波とその入射波の位相差φ0の比φ2／φ0をリフトオフ毎に求める。さらに、比φ2／φ0のいずれかの値が基準値ＳTh0を超えた場合に、当該被検査部位２２が欠陥を含むものと判定する。または、比φ2／φ0の最大値と最小値の差が基準値ＳTh1を超えた場合に、当該被検査部位は欠陥を含むものと判定する。
【００４２】
さらに、演算部４４は判定結果をＸ座標及びＹ座標別に記憶部４２に記憶する（図５のＳ３１４）。さらに演算部４４は被検査反射波のＸ座標及びＹ軸座標が終点座標に到達しているか否かを判定する（Ｓ３１６）。到達していない場合は、演算部４４は、Ｘ座標及びＹ軸座標の少なくとも一方を変更する（Ｓ３１８）。変更後、つまり他の被検査部位についてステップＳ３０６〜Ｓ３１６を繰り返す。このようにして被検査部位全体に亘って欠陥の有無が判定される。
【００４３】
なお、図６に示されるように、被検査部位２２からの被検査反射波と基準反射波の振幅の差分値の変動には周期性がある。変動周期は、アンテナ２４から照射される電磁波の中心波長の半波長とほぼ一致する。このことから、リフトオフの最小値（初期値）と最大値の差は少なくとも電磁波の中心波長の１／４波長以上なければ１周期中の極大値と極小値を得ることは困難となる。したがって、リフトオフの最小値と最大値との差はアンテナ２４から照射される電磁波の中心波長の０．２５倍以上とすることが好適である。
【００４４】
また、図６に示されているように、リフトオフが大きくなるに従って差分値の振幅が減衰し、リフトオフの最大値では欠陥を含む場合の差分値（■）と欠陥を含まない場合の差分値（○）の差異が小さくなる。このことから、両者の差異が判別可能な範囲でリフトオフの最大値を定めることが好適である。図６ではリフトオフの最大値を電磁波の中心波長の２倍の値に設定しており、その最大値周辺においては欠陥を含む場合の差分値と無欠陥の差分値との差異が相対的に小さくなっている。このことから、アンテナ２４から照射される電磁波の中心波長の２倍以下となるようにリフトオフの最大値を設定することが好適である。
【００４５】
なお、上述の実施の形態においては、基準反射波と被検査反射波とを個別に取得していたが、同時に取得するようにしてもよい。例えば、図７に示すようにアンテナ２４ａ、２４ｂ、Ｚリフト３２ａ、３２ｂ及びＺリフト駆動用モータ４０ａ、４０ｂを設けて同時に２つの被検査部位２２ａ、２２ｂを検査可能としてもよい。この場合、いずれか一方の反射波を基準反射波として、他方を被検査反射波としてもよい。
【００４６】
また、上述した実施の形態では被検査部位２２に電磁波を照射して反射波を取得することで被検査部位２２の欠陥を検出していたが、この形態に限られない。例えば図８に示すように渦電流を用いて欠陥検出を行ってもよい。
【００４７】
非破壊検査装置１０は、コイル６０、検出回路６２及び電源６４を含んで構成されている。コイル６０は、被検査部位２２に磁束を印加する励磁手段である。コイル６０は電源６４に接続されており、電源６４から所定の周波数の交流電流が送られる。検出回路６２は、被検査部位２２の渦電流の変化を検出可能な回路である。検出回路６２は、例えば、図９に示すように、コイル６０、インピーダンスＺ１〜Ｚ３及び増幅回路６６を含んだブリッジ回路から構成される。
【００４８】
渦電流を用いた欠陥検出について説明する。電源６４から交流電流がコイル６０に送られると、コイル６０に変動磁界が発生する。この状態でコイル６０を被検査部位２２に近づけると、コイル６０に生じた変動磁界を受けて被検査部位２２の表面に渦電流が発生する。その結果、コイル６０を流れる電流が変化する。無欠陥の被検査部位２２と欠陥を含む被検査部位２２とでは渦電流の流れが異なり、コイル６０の電流変化も異なるものとなる。この電流変化を検出回路６２で検出するとともに検出された電流変化に基づいて欠陥の有無を判定する。
【００４９】
本実施の形態では、基準部位とコイル６０とのリフトオフを変更させて検出回路６２を流れる基準電流値をリフトオフ毎に検出する。さらに、被検査部位２２とコイル６０とのリフトオフを変更させて検出回路６２を流れる被検査電流値をリフトオフ毎に検出する。さらに同一のリフトオフ毎に基準電流値と被検査電流値の差または比を算出する。
【００５０】
図１０には、無欠陥の被検査部位２２における被検査電流値と基準電流値との差分値７０と、欠陥を含む被検査部位２２における被検査電流値と基準電流値との差分値７２をリフトオフ別に示したグラフが示されている。この図に示されているように、後者の差分値は前者の差分値と比較して大きく変動する傾向を示す。演算部４４はこの変動傾向を利用して被検査部位２２の欠陥の有無を判定する。例えば上述した実施形態と同様にして、リフトオフ毎に求めた基準電流値と被検査電流値の差分値（または比）の最大値に対して基準値を設定してもよい。または当該差分値または比の最大値と最小値の差に対して基準値を設定してもよい。この場合、欠陥検出対象の被検査部位２２から生じた被検査電流値と基準電流値のリフトオフ毎の差分値（または比）の最大値、または最大値と最小値の差が当該基準値を超過した場合に、当該被検査部位２２は欠陥を含むものと判定する。
【符号の説明】
【００５１】
１０  非破壊検査装置、１２  送信器、１４  受信器、１６  三次元移動機構、１８  演算処理部、２０  信号源、２１  検査対象物、２２  被検査部位、２４  アンテナ、２６  ベース、２８  Ｘステージ、３０  Ｙステージ、３２  Ｚリフト、３４  Ｘステージ移動用モータ、３６  Ｙステージ移動用モータ、３８  アーム、３９  保持部、４０  Ｚリフト移動用モータ、４１  固定ステージ、４２  記憶部、４４  演算部、６０  コイル、６２  検出回路、６４  電源、６６  増幅回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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