(57)【要約】【課題】被露光部材とマスクとのアライメントを行うための位置調整を単純化することによって効率的なアライメントを可能とする。【解決手段】被露光部材２０の位置を調整する被露光部材位置調整装置１００と、被露光部材２０に形成すべき所定のパターン象が描かれているマスク３０の位置を調整するマスク位置調整装置２００とを備える露光装置１０であって、直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、被露光部材位置調整装置１００は、被露光部材２０をＸ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面上におけるＸ軸に沿った方向及びＹ軸に沿った方向に移動可能に構成され、マスク位置調整装置２００は、マスク３０をＸＹ平面に直交するＺ軸に沿った軸を中心に回転可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被露光部材の位置を調整する被露光部材位置調整装置と、前記被露光部材に形成すべき所定のパターン象が描かれているマスクの位置を調整するマスク位置調整装置とを備える露光装置であって、
直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、
前記被露光部材位置調整装置は、前記被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向及び前記Ｙ軸に沿った方向に移動可能に構成され、
前記マスク位置調整装置は、前記マスクを前記ＸＹ平面に直交するＺ軸に沿った軸を中心に回転可能に構成されていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置において、
前記被露光部材位置調整装置は、前記Ｘ軸に沿った方向に移動可能なＸ軸テーブル及び当該Ｘ軸テーブルを駆動するＸ軸テーブル駆動機構と、前記Ｙ軸に沿った方向に移動可能なＹ軸テーブル及び当該Ｙ軸テーブルを前記Ｙ軸に沿った方向に移動させるためのＹ軸テーブル駆動機構とを備え、
前記マスク位置調整装置は、前記Ｚ軸に沿った軸を中心に回転可能なマスクテーブル及び当該マスクテーブルを所定範囲内の任意の角度で回転させるためのマスクテーブル駆動機構を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の露光装置において、
前記マスクテーブル駆動機構は、前記被露光部材よりも前記Ｚ軸に沿った下側の位置に設けられていることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、長尺シート状の被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向に搬送させる搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送されてくる被露光部材に所定のパターン象を形成する露光装置と、
を有する露光装置ユニットであって、
前記露光装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置であることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項５】
請求項４に記載の露光装置ユニットにおいて、
前記被露光部材の搬送方向における前記露光装置の入口側及び出口側において前記被路後部材をクランプ可能とする入り口側クランパー及び出口側クランパーをさらに備えることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項６】
請求項５に記載の露光装置ユニットにおいて、
前記Ｙ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｙ軸方向とし、当該第１Ｙ軸方向とは反対方向を第２Ｙ軸方向としたとき、
前記入口側クランパー及び出口側クランパーは、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第１Ｙ軸方向に移動し、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第２Ｙ軸方向に移動するように構成されていることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項７】
請求項４又は５に記載の露光装置ユニットにおいて、
前記Ｘ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｘ軸方向とし、当該第１Ｘ軸方向とは反対方向を第２Ｘ軸方向としたとき、
前記入口側クランパー及び出口側クランパーは、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｘ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第１Ｘ軸方向に移動し、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｘ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第２Ｘ軸方向に移動するように構成されていることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれかに記載の露光装置ユニットにおいて、
前記露光装置よりも前記被露光部材の搬送方向後方側に設けられ、前記被露光部材の前記Ｙ軸に沿った方向の位置を調整可能なＹ軸位置調整装置をさらに備えることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項９】
請求項８に記載の露光装置ユニットにおいて、
前記Ｙ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｙ軸方向とし、当該第１Ｙ軸方向とは反対方向を第２Ｙ軸方向としたとき、
前記Ｙ軸位置調整装置は、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に移動させ、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に移動させることを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項１０】
被露光部材の位置調整を行う被露光部材位置調整装置と、前記被露光部材に形成すべき所定のパターンが描かれているマスクの位置調整を行うマスク位置調整装置とを備える露光装置において、前記被露光部材と前記マスクとのアライメントを行う被露光部材とマスクとのアライメント方法であって、
前記マスク及び前記被露光部材のそれぞれ対応する位置にアライメント用マークを設定し、
直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、前記被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向に移動させる工程、前記被露光部材を前記Ｙ軸に沿った方向に移動させる工程、前記マスクを前記ＸＹ平面に直交するＺ軸に沿った軸を中心に回転させる工程のうち少なくとも１つの工程を行うことにより、前記マスク及び前記被露光部材のそれぞれに設定されているアライメント用マークを対応付けることを特徴とする被露光部材とマスクとのアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、露光装置ユニット及び被露光部材とマスクとのアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスクを被露光部材に対向配置した状態として、当該マスクを介して被露光部材に光を照射することにより、被露光部材の表面に所定のパターン像を形成する露光装置は、従来から種々提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図４は、従来の露光装置９００を説明するために示す図である。従来の露光装置９００は、図４に示すように、被露光部材９１０を保持する被露光部材保持装置９２０と、マスク９３０を保持するマスク保持装置９４０と、マスク保持装置９４０に保持されているマスク９３０に光を照射する照明光学系９５０と、マスク９３０に描かれているパターン（回路パターン）を被露光部材９１０上に投影する投影光学系９６０とを有している。
【０００４】
被露光部材保持装置９２０は、被露光部材９１０を保持する被露光部材テーブル９２１を有し、被露光部材テーブル９２１によって、被露光部材９１０を保持した状態で当該被露光部材テーブル９２１をＸ軸に沿った方向、Ｙ軸に沿った方向及びＺ軸に沿った方向に往復動可能とするとともに、Ｘ軸に沿った軸、Ｙ軸の沿った軸及びＺ軸に沿った軸を中心に回転可能としている。被露光部材テーブル９２１の駆動は、被露光部材テーブル駆動装置９７０によって行われる。
【０００５】
マスク保持装置９４０は、マスク９３０を保持するマスクテーブル９４１を有し、マスクテーブル９４１によって、マスク９３０を保持した状態で当該マスクテーブル９４１をＸ軸に沿った方向及びＹ軸に沿った方向に往復動可能とするとともに、Ｚ軸に沿った軸を中心に回転可能としている。なお、マスクテーブル９４１の駆動は、マスクテーブル駆動装置９８０によって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１２３３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の露光装置９００においては、被露光部材９１０とマスク９３０との位置の対応付け（アライメントともいう。）を行う際の被露光部材テーブル９２１の位置調整は、被露光部材テーブル９２１をＸ軸に沿った方向、Ｙ軸に沿った方向及びＺ軸に沿った方向に所定量だけ移動させるとともに、Ｘ軸に沿った軸、Ｙ軸の沿った軸及びＺ軸に沿った軸を中心に所定の回転角度だけ回転させることによりを行う。一方、マスクテーブル９４１における位置調整は、マスクテーブル９４１をＸ軸に沿った方向及びＹ軸に沿った方向に所定量だけ移動させるとともに、Ｚ軸に沿った軸を中心に所定の回転角度だけ回転させることにより行うようにしている。
【０００８】
このように、従来の露光装置９００においては、被露光部材保持装置９２０における位置調整は、被露光部材テーブル９２１を３軸（Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸）に沿った方向に移動させる制御と、３軸（Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸）に沿った軸を中心として回転させる制御が必要となる。また、マスク保持装置９４０における位置調整は、マスクテーブル９４１を２軸（Ｘ軸及びＹ軸）に沿った方向に移動させる制御と、１軸（Ｚ軸）に沿った軸を中心として回転させる制御が必要となる。
【０００９】
このため、従来の露光装置９００においては、被露光部材テーブル９２１を駆動するための駆動機構及びマスクテーブル９４１を駆動するための駆動機構は、それぞれ複雑な機構となる。また、被露光部材９１０とマスク９３０とのアライメントを行うための被露光部材テーブル９２１の位置調整及びマスクテーブル９４１の位置調整も複雑なものとなり、被露光部材９１０とマスク９３０とのアライメントが完了するまでに両者を複雑に位置調整しなければならない場合もある。このため、被露光部材９１０とマスク９３０とのアライメントが完了するまでに多くの時間を要する場合もあるといった課題がある。
【００１０】
また、従来の露光装置９００は、マスクテーブル９４１側だけでなく被露光部材テーブル９２１側においても、回転を伴う位置制御を行うような構造となっている。このため、被露光部材９１０が長尺シートである場合には、被露光部材テーブル９２１が回転する動作を行うと、被露光部材９１０に捻じれが生じてしまい、高精度なアライメントが行えないといった問題が生じる。
【００１１】
そこで本発明は、被露光部材とマスクとのアライメントを行うための位置調整を単純化することによって効率的なアライメントを可能とする露光装置、露光装置ユニット及び被露光部材とマスクとのアライメント方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
［１］本発明の露光装置は、被露光部材の位置を調整する被露光部材位置調整装置と、前記被露光部材に形成すべき所定のパターン像が描かれているマスクの位置を調整するマスク位置調整装置とを備える露光装置であって、直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、前記被露光部材位置調整装置は、前記被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向及び前記Ｙ軸に沿った方向に移動可能に構成され、前記マスク位置調整装置は、前記マスクを前記ＸＹ平面に直交するＺ軸に沿った軸を中心に回転可能に構成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の露光装置によれば、被露光部材の位置調整を行う際は、被露光部材位置調整装置によって、被露光部材をＸ軸に沿った方向及び／又はＹ軸に沿った方向に移動させるだけよく、また、マスクの位置調整は、マスク位置調整装置によって、マスクをＺ軸周りに回転させるだけでよい。このため、本発明の露光装置によれば、被露光部材とマスクとのアライメントを行うための位置調整を単純化することができ、効率的なアライメントが可能となる。
また、被露光部材の位置調整は、被露光部材を回転させる動作を含まず、被露光部材を直線上に移動させる動作のみで行うため、被露光部材が長尺シートである場合には、被露光部材に捻じれが生じるのを防止することができ、それによって、高精度な位置調整が可能となる。
【００１４】
［２］本発明の露光装置においては、請求項１に記載の露光装置において、前記被露光部材位置調整装置は、前記Ｘ軸に沿った方向に移動可能なＸ軸テーブル及び当該Ｘ軸テーブルを駆動するＸ軸テーブル駆動機構と、前記Ｙ軸に沿った方向に移動可能なＹ軸テーブル及び当該Ｙ軸テーブルを前記Ｙ軸に沿った方向に移動させるためのＹ軸テーブル駆動機構とを備え、前記マスク位置調整装置は、前記Ｚ軸に沿った軸を中心に回転可能なマスクテーブル及び当該マスクテーブルを所定範囲内の任意の角度で回転させるためのマスクテーブル駆動機構を備えていることが好ましい。
【００１５】
このような構成とすることにより、被露光部材とマスクとのアライメントを行うための位置調整を単純な機構によって実現することができる。
【００１６】
［３］本発明の露光装置においては、前記マスクテーブル駆動機構は、前記被露光部材よりも前記Ｚ軸に沿った下側の位置に設けられていることが好ましい。
【００１７】
このような構成とすることにより、マスク位置調整装置のマスクテーブル駆動機構が動作する際に発生する塵埃やマスクテーブル駆動機構の動作を円滑にするために塗布されている潤滑剤などが落下して、被露光部材の表面（感光層が形成されている面）に付着することを防止することができる。これにより、被露光部材の表面に付着した塵埃や潤滑剤などがパターン像の形成に悪影響を及ぼすことがなくなり、それによって、正確なパターン像を形成することができる。なお、「Ｚ軸に沿った下側の位置」というのは「重力に沿った方向の下側の位置」を意味している。
【００１８】
［４］本発明の露光装置ユニットは、直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、長尺シート状の被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向に搬送させる搬送機構と、前記搬送機構によって搬送されてくる被露光部材に所定のパターン像を形成する露光装置とを有する露光装置ユニットであって、前記露光装置は、［１］〜［３］のいずれかに記載の露光装置であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の露光装置ユニットは、露光装置として前記［１］〜［３］のいずれかに記載の露光装置を用いていることにより、［１］〜［３］に記載したと同様の効果が得られる。特に、被露光部材が長尺シート状である場合においては、当該被露光部材の位置調整を行うと、被露光部材に捻じれが生じてしまう場合があるが、本発明の露光装置ユニットによれば、被露光部材の位置調整は、被露光部材を回転させる動作を含まず、被露光部材を直線上に移動させる動作のみで行うため、被露光部材に捻じれが生じるのを防止することができ、それによって、高精度な位置調整が可能となる。
【００２０】
［５］本発明の露光装置ユニットにおいては、前記被露光部材の搬送方向における前記露光装置の入口側及び出口側において前記被路後部材をクランプ可能とする入り口側クランパー及び出口側クランパーをさらに備えることが好ましい。
【００２１】
このような構成とすることにより、長尺シート状の被露光部材を露光装置内において適切な状態で保持することができる。
【００２２】
［６］本発明の露光装置ユニットにおいては、前記Ｙ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｙ軸方向とし、当該第１Ｙ軸方向とは反対方向を第２Ｙ軸方向としたとき、前記入口側クランパー及び出口側クランパーは、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第１Ｙ軸方向に移動し、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、記被露光部材をクランプした状態で前記第２Ｙ軸方向に移動するように構成されていることが好ましい。
【００２３】
このような構成とすることにより、被露光部材をＹ軸に沿った方向（第１Ｙ軸方向又は第２Ｙ軸方向）に移動させる際に、被露光部材に捻じれが生じるのを防止することができ、被露光部材を確実にＹ軸に沿った方向（第１Ｙ軸方向又は第２Ｙ軸方向）に移動させることができる。
【００２４】
［７］本発明の露光装置ユニットにおいては、前記Ｘ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｘ軸方向とし、当該第１Ｘ軸方向とは反対方向を第２Ｘ軸方向としたとき、前記入口側クランパー及び出口側クランパーは、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｘ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第１Ｘ軸方向に移動し、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｘ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して、前記被露光部材をクランプした状態で前記第２Ｘ軸方向に移動するように構成されていることが好ましい。
【００２５】
このような構成とすることにより、被露光部材をＸ軸に沿った方向（第１Ｘ軸方向又は第２Ｘ軸方向）に移動させる際に、被露光部材に弛みが生じることなく、被露光部材を確実にＸ軸に沿った方向（第１Ｘ軸方向又は第２Ｘ軸方向）に移動させることができる。
【００２６】
［８］本発明の露光装置ユニットにおいては、前記露光装置よりも前記被露光部材の搬送方向後方側に設けられ、前記被露光部材の前記Ｙ軸に沿った方向の位置を調整可能なＹ軸位置調整装置をさらに備えることが好ましい。
【００２７】
このような構成とすることにより、被露光部材のＹ軸に沿った方向の位置を入口側クランパーよりもさらに搬送方向後方側において、適切な位置に調整することができる。このため、被露光部材のＹ軸に沿った方向の位置が適切に保持された状態で、当該被露光部材をＸ軸に沿った方向に搬送させることができ、それによって、露光装置において行う被露光部材の位置調整を効率よく行うことができる。
【００２８】
［９］本発明の露光装置ユニットにおいては、前記Ｙ軸に沿った方向のうちの一方の方向を第１Ｙ軸方向とし、当該第１Ｙ軸方向とは反対方向を第２Ｙ軸方向としたとき、前記Ｙ軸位置調整装置は、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して前記被露光部材を前記第１Ｙ軸方向に移動させ、前記被露光部材位置調整装置が前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に所定の移動量だけ移動させる動作を行う際には、前記被露光部材位置調整装置に連動して前記被露光部材を前記第２Ｙ軸方向に移動させることが好ましい。
【００２９】
このように、Ｙ軸テーブルをＹ軸に沿った方向に移動させる際には、Ｙ軸位置調整装置も、Ｙ軸テーブルに連動してＹ軸テーブルと同方向に移動するため、被露光部材が局所的ではなく、長い区間においてＹ軸に沿った方向に移動することとなり、被露光部材の露光装置への搬送をより円滑にすることができる。
【００３０】
［１０］本発明の露光装置ユニットにおいては、被露光部材の位置調整を行う被露光部材位置調整装置と、前記被露光部材に形成すべき所定のパターンが描かれているマスクの位置調整を行うマスク位置調整装置とを備える露光装置において、前記被露光部材と前記マスクとのアライメントを行う被露光部材とマスクとのアライメント方法であって、前記マスク及び前記被露光部材のそれぞれ対応する位置にアライメント用マークを設定し、直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、前記被露光部材を前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸を含むＸＹ平面上における前記Ｘ軸に沿った方向に移動させる工程、前記被露光部材を前記Ｙ軸に沿った方向に移動させる工程、前記マスクを前記ＸＹ平面に直交するＺ軸に沿った軸を中心に回転させる工程のうち少なくとも１つの工程を行うことにより、前記マスク及び前記被露光部材のそれぞれに設定されているアライメント用マークを対応付けることを特徴とする。
【００３１】
このような工程によって被露光部材とマスクとのアライメントを行うことにより、効率的、かつ適切なアライメントを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態に係る露光装置１０を説明するために示す図である。
【図２】被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行う際の手順の一例を示すフローチャートである。
【図３】実施形態に係る露光装置ユニット５０を説明するために示す図である。
【図４】従来の露光装置９００を説明するために示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、実施形態に係る露光装置１０を説明するために示す図である。実施形態に係る露光装置１０において露光対象となる被露光部材２０は、長尺シート状のベースフィルムに銅箔層が形成されているとともに当該銅箔層の表面に感光層が形成されているものであるとする。また、当該被露光部材２０は、直交する２軸の一方の軸をＸ軸とし、他方の軸をＹ軸としたとき、当該Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面上をＸ軸に沿って矢印Ｘ方向に搬送されるものとする。なお、露光装置１０を基準として考えた場合、露光装置１０よりも図１において右方向を搬送方向前方側とし、露光装置１０よりも図１において左方向を搬送方向後方側とする。
【００３４】
図１（ａ）は露光装置１０をＹ軸に沿った方向に見た場合の内部構成を模式的に示す図であり、一部の構成要素を除いて断面図として示している。また、図１（ｂ）は露光装置１０を被露光部材２０の搬送方向前方側から見た場合の内部構成を模式的に示す図であり、一部の構成要素を除いて断面図として示している。
【００３５】
実施形態に係る露光装置１０は、図１に示すように、被露光部材２０の位置調整を行う被露光部材位置調整装置１００と、マスク３０の位置調整を行うマスク位置調整装置２００と、光源及びレンズを含む照明光学系３００とを有している。なお、露光装置１０としては、図示されている構成要素以外にも種々の構成要素が存在するが、実施形態１に係る露光装置１０を説明する上で特に必要のない構成要素は図示が省略されている。
【００３６】
被露光部材位置調整装置１００は、被露光部材２０を載置した状態でＸ軸に沿って、所定範囲内における任意の移動量で往復動可能なＸ軸テーブル１１０と、当該Ｘ軸テーブル１１０を駆動するＸ軸テーブル駆動機構１２０と、Ｙ軸に沿って所定範囲内における任意の移動量で往復動可能なＹ軸テーブル１３０と、Ｙ軸テーブル１３０を駆動するＹ軸テーブル駆動機構１４０と、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０を設置するテーブル設置台１５０とを有している。
【００３７】
Ｘ軸テーブル駆動機構１２０は、Ｙ軸テーブル１３０の上面に、被露光部材２０の搬送方向（Ｘ軸に沿った方向）に沿って敷設されているＸ軸ガイドレール１２１と、Ｘ軸テーブル１１０を往復動させるための駆動力を与えるＸ軸テーブル駆動装置１２２とを有している。これによって、Ｘ軸テーブル１１０は、Ｙ軸テーブル１３０の上面に敷設されたＸ軸ガイドレール１２１のガイドによりＸ軸に沿った方向に往復動可能となっている。
【００３８】
Ｙ軸テーブル駆動機構１４０は、テーブル設置台１５０の上面に、被露光部材２０の搬送方向（Ｘ軸に沿った方向）に直交する方向（Ｙ軸に沿った方向）に沿って敷設されているＹ軸ガイドレール１４１と、Ｙ軸テーブル１３０を往復動させるための駆動力を与えるＹ軸テーブル駆動装置１４２とを有している。これによって、Ｙ軸テーブル１３０は、テーブル設置台１５０の上面に敷設されたＹ軸ガイドレール１４１のガイドによりＹ軸に沿った方向に往復動可能となっている。
【００３９】
このように、Ｘ軸テーブル１１０とＹ軸テーブル１３０とは重なった状態となっており、かつ、Ｘ軸テーブル１３０をガイドするためのＸ軸ガイドレール１２１は、Ｙ軸テーブル１３０の上面に敷設されている。このため、Ｘ軸テーブル１１０はＹ軸テーブル１３０とともに移動するようになっている。すなわち、Ｘ軸テーブル１１０はＹ軸テーブル１３０がＹ軸に沿った方向に往復動することにより、Ｙ軸テーブル１３０の移動に伴ってＹ軸に沿って往復動するようになっている。
【００４０】
マスク位置調整装置２００は、マスク３０を保持するマスクテーブル２１０と、マスクテーブル２１０をＸＹ平面上で、時計方向及び反時計方向に所定範囲内の任意の角度だけ回転させるためのマスクテーブル駆動機構２２０を有している。
【００４１】
マスクテーブル駆動機構２２０は、マスクテーブル２１０を回転させるための回転台２２１と、露光装置設置台４０上に敷設され、回転台２２１の回転をガイドする環状ガイドレール２２２と、マスクテーブル２１０に回転駆動力を与える回転駆動装置２２３とを有している。回転台２２１の下面（裏面）の中心にはＺ軸方向に沿った方向に回転軸２２４が延出しているとともに、当該回転軸２２４を中心として円を描くような環状の凹溝２２５が設けられている。当該環状の凹溝２２５は環状ガイドレール２２２に対応するものであり、凹溝２２５には環状ガイドレール２２２が入り込むようになっている。
【００４２】
マスクテーブル駆動機構２２０がこのような構成となっているため、回転台２２１を環状ガイドレール２２２のガイドにより、ＸＹ平面上において、時計方向又は反時計方向に所定範囲内の任意の角度だけ回転させるようにすることができる。
【００４３】
また、回転台２２１にはマスクテーブル２２０を支える複数本（例えば４本）の支柱２２６がそれぞれ離間した位置に立設されており、マスクテーブル２１０は当該複数本の支柱２２６によって支持されている。このため、マスクテーブル２１０は回転台２２１に対して所定の間隔を隔てた位置に設けられており、スクテーブル２１０と回転台２２１との間には上記した被露光部材位置調整装置１００が設けられている。なお、被露光部材位置調整装置１００のＸ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０は、各支柱２２６に接触することなく、移動可能となっている。また、マスクテーブル２２０は、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０に接触することなく、回転可能となっている。
【００４４】
ところで、実施形態に係る露光装置１０においては、マスク位置調整装置２００のマスクテーブル駆動機構２２０は、被露光部材２０よりもＺ軸に沿った方向の下側（重力に沿った方向の下側）に設けられている。
【００４５】
このように構成された露光装置１０は、被露光部材２０とマスク３０との位置の対応付け（アライメント）を行った状態で、被露光部材２０の所定範囲（パターン像を形成するパターン像形成範囲）をマスク３０に対向させた状態で、照明光学系３００によってマスク３０に光を照射すると、被露光部材２０のパターン像形成範囲に所定のパターン像を形成することができる。
【００４６】
被露光部材２０とマスク３０とのアライメントは、例えば、図示しない撮像装置（カメラ）によってマスク３０の所定位置と被露光部材２０の所定位置とを撮像し、その撮像データに基づいて行うことができる。
【００４７】
図２は、被露光部材２０とマスク３０とのアライメント方法を説明するためのフローチャートである。被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行う際は、Ｘ軸テーブル１１０をＸ軸に沿った方向（図１（ａ）における矢印Ｘ方向又は矢印Ｘ’方向）に移動させるとともにＹ軸テーブル１３０をＹ軸に沿った方向（図１（ｂ）における矢印Ｙ方向又は矢印Ｙ’方向）に移動させるとともに、マスクテーブル２１０をＺ軸に沿った軸を中心に回転（時計方向への回転又は反時計方向への回転）させる（ステップＳ１，Ｓ２）。なお、矢印Ｘ方向を第１Ｘ軸方向、矢印Ｘ’方向を第２Ｘ軸方向ともいう。また、矢印Ｙ方向を第１Ｙ軸方向、矢印Ｙ’方向を第２Ｙ軸方向ともいう。
【００４８】
上記ステップＳ１及びステップＳ２を行うことにより、被露光部材２０とマスク３０とに設定されたアライメント用マークを対応付ける（ステップＳ３）。このような工程を行うことによって、被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行うことができる。
【００４９】
なお、ステップＳＳ３は、具体的には、マスク３０側に例えば複数箇所にアライメント用マーク（マスク側アライメントマークという。）を設けるとともに、被露光部材２０側にもマスク側アライメントマークに対応するアライメント用マーク（被露光部材側アライメントマークという。）を設け、図示しない撮像装置によって、マスク側アライメントマークと被露光部材側アライメント用マークとを撮像し、その撮像画像データに基づき、マスク側アライメント用マークと被露光部材側アライメント用マークとが一致するように被露光部材テーブル（Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０）とマスクテーブル２１０とをそれぞれ位置調整する。
【００５０】
なお、図２においては、アライメントの順序として、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０を移動（ステップＳ１）させてから、マスクテーブル２１０を回転させる（ステップＳ２）といった順序が示されているが、ステップＳ１とステップＳ２とは逆であってもよい。また、マスクテーブル２１０、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０は、これらすべてをそれぞれ位置調整させる必要がある場合もあるが、マスクテーブル２１０、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０を必要に応じて選択的に位置調整させるだけで被露光部材２０とマスク３０とのアライメントが可能となる場合もある。
【００５１】
このように、実施形態に係る露光装置１０においては、被露光部材２０とマスク３０との位置の対応付け（アライメント）を行う際には、マスク３０側における位置調整は、マスクテーブル２１０をＺ軸周りに回転させればよく、被露光部材２０側においては、Ｘ軸テーブル１１０をＸ軸に沿った方向に移動させるとともにＹ軸テーブル１３０をＹ軸に沿った方向に移動させればよい。
【００５２】
すなわち、実施形態に係る露光装置１０においては、被露光部材２０側の位置調整は、被露光部材２０を回転させる動作を含まず、被露光部材２０を直線上に移動させる動作のみで行うため、被露光部材２０に捻じれが生じるのを防止することができ、それによって、高精度な位置調整が可能となる。
【００５３】
また、被露光部材位置調整装置１００においてはＸ軸テーブル１１０をＸ軸に沿った方向に移動させるとともにＹ軸テーブル１３０をＹ軸に沿った方向に移動させるだけよく、マスク位置調整装置２００においてはマスクテーブル２１０をＺ軸周りに回転させるだけでよいため、被露光部材位置調整装置１００の駆動機構（Ｘ軸テーブル及びＹ軸テーブルを駆動させるための駆動機構）及びマスク位置調整装置２００を駆動させるための駆動機構（マスクテーブル駆動機構２２０）をそれぞれ単純な機構とすることができ、また、これらの駆動機構の制御も単純なものとすることができる。
【００５４】
また、実施形態に係る露光装置１０においては、マスク位置調整装置２００のマスクテーブル駆動機構２２０が被露光部材２０よりもＺ軸に沿った方向において下側に位置するような構造としている。このような構造としたのは、マスクテーブル駆動機構２２０の動作を円滑にするために塗布されている潤滑剤などが落下して、被露光部材２０の表面（感光層が形成されている面）に付着することを防止するためである。具体的には、回転台２２１が回転する際の擦れなどにより発生する塵埃や回転台２２１の動作を円滑にするために塗布されている潤滑剤などが落下して、被露光部材２０の表面（感光層が形成されている面）に付着することを防止するためである。
【００５５】
すなわち、仮に、マスク位置調整装置２００のマスクテーブル駆動機構２２０が被露光部材２０よりもＺ軸に沿った方向において上側に位置していると、塵埃や潤滑剤などが落下して、被露光部材２０の表面に付着してしまうといった可能性があり、被露光部材２０の表面に塵埃や潤滑剤などが付着した状態で、光が照射されると、パターン像の形成に悪影響を及ぼし、正確なパターン像が形成されないといった不具合が生じる可能性がある。
【００５６】
そこで、実施形態に係る露光装置１０においては、マスク位置調整装置２００を駆動するためのマスクテーブル駆動機構２２０を被露光部材２０よりも下側に配置している。これにより、上記したような不具合の発生を防止することができる。
【００５７】
図３は、実施形態に係る露光装置ユニット５０を説明するために示す図である。なお、図３（ａ）は露光装置ユニット５０をＺ軸に沿って上方から見下ろした場合の構成を模式的に示す図であり、図３（ｂ）は露光装置ユニット５０をＹ軸に沿った方向に見た場合の構成を模式的に示す図である。
【００５８】
露光装置ユニット５０は、図３に示すように、長尺シート状の被露光部材２０をＸ軸に沿った方向（矢印Ｘ方向）に搬送させる搬送機構５１０としての供給ローラー５１１及び巻き取りローラー５１２と、当該搬送機構５１０によって搬送されてくる被露光部材２０にパターン像を形成する露光装置１０と、当該露光装置１０の入口側に設けられている入口側クランパー５２０と、露光装置１０の出口側に設けられている出口側クランパー５３０と、入口側クランパー５２０と供給ローラー５１１との間に設けられ、被露光部材２０のゴミや埃を除去する動作（クリーニング動作という。）を行うクリーンローラー５４０と、当該クリーンローラー５４０と入口側クランパー５２０との間に設けられ、被露光部材２０のＹ軸に沿った方向の位置を微調整するＹ軸位置調整装置５５０とを有している。
【００５９】
なお、搬送機構５１０としては、供給ローラー５１１及び巻き取りローラー５１２以外にも例えばテンションローラーなど種々の構成要素が存在するが、実施形態１に係る露光装置ユニット５０を説明する上で特に必要のない構成要素は図示が省略されている。また、露光装置ユニット５０全体の構成要素も、図示されている構成要素以外に種々の構成要素が存在するが、実施形態１に係る露光装置ユニット５０を説明する上で特に必要のない構成要素は図示が省略されている。
【００６０】
入口側クランパー５２０は、被露光部材２０を露光装置１０の入口側においてクランプ又はクランプ解除の動作を行い、出口側クランパー５３０は、被露光部材２０を露光装置１０の出口側においてクランプ又はクランプ解除の動作を行うものである。これら入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、露光装置１０内において被露光部材２０に対し、適度なテンションをかけた状態とする機能を有する。
【００６１】
また、これら入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、被露光部材２０をクランプした状態となっている場合には、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０と連動する。
【００６２】
例えば、Ｘ軸テーブル１１０が矢印Ｘ方向（第１Ｘ軸方向）にΔＸ１だけ移動する動作を行う場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、被露光部材２０をクランプした状態でそれぞれ矢印Ｘ方向にΔＸ１だけ移動する。また、Ｘ軸テーブル１１０が矢印Ｘ’方向（第２Ｘ軸方向）にΔＸ’１だけ移動する動作を行う場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、被露光部材２０をクランプした状態でそれぞれ矢印Ｘ’方向にΔＸ’１だけ移動する。
【００６３】
一方、Ｙ軸テーブル１３０が矢印Ｙ方向（第１Ｙ軸方向）にΔＹ１だけ移動する場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、被露光部材２０をクランプした状態でそれぞれ矢印Ｙ方向にΔＹ１だけ移動する。また、Ｙ軸テーブル１３０が矢印Ｙ’方向（第２Ｙ軸方向）にΔＹ’１だけ移動する動作を行う場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０は、被露光部材２０をクランプした状態でそれぞれ矢印Ｙ’方向にΔＹ’１だけ移動する。
【００６４】
Ｙ軸位置調整装置５５０は、被露光部材２０のエッジ（被露光部材２０の幅方向の端部）のうち、Ｘ軸に沿った所定位置（例えば、位置Ｘｐとする。）のＹ軸方向に沿った位置（Ｙｐとする。）をエッジセンサー５５１で検出し、当該エッジセンサー５５１で検出したエッジ位置情報に基づいて、被露光部材２０のＹ軸に沿った方向の位置を微調整する機能を有する。具体的には、エッジセンサー５５１によって検出した被露光部材２０のエッジ位置情報に基づいて、被露光部材２０の当該エッジ位置が基準位置に一致するように被露光部材２０のＹ軸に沿った方向の位置を微調整する機能を有する。
【００６５】
このように、被露光部材２０を露光装置１００の手前側（搬送方向後方側）において、Ｙ軸方向の位置を調整するのは、クリーンローラ５４０が被露光部材２０に対してクリーニング動作を行う際に、被路後部材２０におけるＹ軸方向の位置がずれる場合があり、被路後部材２０のＹ軸方向の位置ずれを補正する必要があるからである。
【００６６】
また、Ｙ軸位置調整装置５５０は、Ｙ軸テーブル１３０がＹ軸方向（矢印Ｙ方向又は矢印Ｙ’方向）に移動する動作を行う際、当該Ｙ軸テーブル１３０に連動して、被露光部材２０を矢印Ｙ方向又は矢印Ｙ’方向に移動させる機能も有する。なお、Ｙ軸位置調整装置５５０は、被露光部材２０のエッジの位置を数１００μｍ以下（例えば２００μｍ程度）の精度で位置調整が可能である。
【００６７】
露光装置ユニット５０がこのように構成されているため、被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行うに先立って、Ｙ軸位置調整装置５５０により、被露光部材２０のＹ軸に沿った方向の位置を基準位置に一致するように微調整した状態で、被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行うことができる。被露光部材２０とマスク３０とのアライメントは、図示しない撮像装置によって撮像された撮像画像データに基づいて、マスクテーブル２１０、被露光部材位置調整装置１００のＸ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０のうちの少なくとも１つを駆動させることによって行う。
【００６８】
なお、アライメントを行う際に、例えば、Ｘ軸テーブル１１０を矢印Ｘ方向にΔＸ１だけ移動させる場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０もＸ軸テーブル１１０の移動に連動させて矢印Ｘ方向にΔＸ１だけ移動させる。また、例えば、Ｙ軸テーブル１３０を矢印Ｙ方向にΔＹ１だけ移動させる場合には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０もＹ軸テーブル１３０の移動に連動させて、矢印Ｙ方向にΔＹ１だけ移動させる。
【００６９】
このように、マスクテーブル２１０、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０をそれぞれ必要に応じて位置調整することにより、被露光部材２０とマスク３０とのアライメントを行うことができる。なお、マスクテーブル２１０、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０のすべてを位置調整しなくても被露光部材２０とマスク３０とを高精度に対応付けできる場合もある。例えば、Ｘ軸テーブル１１０のみを位置調整するだけで被露光部材２０とマスク３０とを高精度に対応付けできる場合には、Ｘ軸テーブル１１０のみの位置調整を行えばよい。また、Ｙ軸テーブル１３０のみを位置調整するだけで被露光部材２０とマスク３０とを高精度に対応付けできる場合には、Ｙ軸テーブル１３０のみの位置調整を行えばよい。また、マスクテーブル２１０のみを位置調整するだけで被露光部材２０とマスク３０とを高精度に対応付けできる場合には、マスクテーブル２１０のみの位置調整を行えばよい。
【００７０】
このように、実施形態に係る露光装置ユニット５０においては、被露光部材２０側の位置調整は、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０をＸ軸に沿った方向及びＹ軸に沿った方向に所定量だけ移動させることにより行い、マスク３０側の位置調整はマスクステーブル２１０を回転させることによって行うようにしている。すなわち、被露光部材２０側の位置調整は、直線的な移動でのみで行うため、被露光部材２０に捻じれが生じるのを防止することができ、それによって、高精度な位置調整が可能となる。
【００７１】
また、Ｘ軸テーブル１１０を例えば矢印Ｘ方向にΔＸ１だけ移動させる際又はＹ軸テーブル１３０を例えば矢印Ｙ方向にΔＹ１だけ移動させる際には、入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０もＸ軸テーブル１１０又はＹ軸テーブル１３０の移動に連動させて、Ｘ軸又はＹ軸に沿った方向にΔＸ１及びΔＹ１だけ移動させるようにしている。これにより、被露光部材２０は、Ｘ軸テーブル１１０及びＹ軸テーブル１３０に連動する入口側クランパー５２０及び出口側クランパー５３０によって確実にＸＹ平面上をＸ軸又はＹ軸に沿った方向に移動する動作を行うため、これによっても、被露光部材２０に捻じれが生じるのを防止することができ、それによって、高精度な位置調整が可能となる。
【００７２】
また、Ｙ軸テーブル１３０をＹ軸に沿った方向に移動させる際には、Ｙ軸位置調整装置５５０も、Ｙ軸テーブル１３０に連動してＹ軸テーブル１３０と同方向に移動するため、被露光部材２０を局所的ではなく、供給ローラー５１１から露光装置１０までの間において長い区間がＹ軸に沿った方向に移動することとなり、被露光部材２０の露光装置１０への搬送をより円滑にすることができる。
【００７３】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。
【００７４】
（１）上記実施形態に係る露光装置の構成として示した図１は一例であって、必ずしも図１に示すような構成に限られるものではなく、種々の変形が可能である。同様に、上記実施形態に係る露光装置ユニットの構成として示した図３も一例であって、必ずしも図３に示すような構成に限られるものではなく、種々の変形が可能である。
【００７５】
（２）上記実施形態においては、被露光部材は、ベースフィルムに銅箔層が形成され、さらに、当該銅箔層の表面に感光層が形成されたものであるとして説明したが、被露光部材としては、露光装置とマスクとを用いて当該マスクに描かれているパターン像を形成するように構成されている被露光部材であれば、上記実施形態において示したような構成のものに限られるものではない。
【００７６】
（３）上記実施形態においては、被露光部材が長尺シート状の被露光部材である場合を例示したが、被露光部材は長尺シート状であることに限定されるものではなく、例えば、個々に切り離された状態となっている短尺の被露光部材であってもよい。このような短尺の被露光部材の場合には、図３に示すような搬送機構５１０、すなわち、供給ローラー５１１と巻き取りローラー５１２とを有する搬送機構５１０によって被露光部材を搬送させながら露光装置１０で露光を行うといった構成ではなく、個々の被露光部材を露光装置１０に供給するような構成とする。
【符号の説明】
【００７７】
１０・・・露光装置、２０・・・被露光部材、３０・・・マスク、５０・・・露光装置ユニット、１００・・・被露光部材位置調整装置、１１０・・・Ｘ軸テーブル、１２０・・・Ｘ軸テーブル駆動機構、１２１・・・Ｘ軸ガイドレール、１３０・・・Ｙ軸テーブル、１４０・・・Ｙ軸テーブル駆動機構、１４１・・・Ｙ軸ガイドレール、２００・・・マスク位置調整装置、２１０・・・マスクテーブル、２２０・・・マスクテーブル駆動機構、２２１・・・回転台、２２２・・・環状ガイドレール、２２３・・・回転第駆動装置、２２４・・・回転軸、３００・・・照明光学系、５１０・・・搬送機構、５１１・・・供給ローラー、５１２・・・巻き取りローラー、５２０・・・入口側クランパー、５３０・・・出口側クランパー、５４０・・・クリーンローラー、５５０・・・Ｙ軸位置調整装置
【図１】
2013115332.tif 000003
【図２】
2013115332.tif 000004
【図３】
2013115332.tif 000005
【図４】
2013115332.tif 000006