(57)【要約】【課題】レンズ部材の特性が悪くなることを抑制する。【解決手段】コア層１２０は、下部クラッド層１１０の一部上に形成されている。上部クラッド層１４０は、下部クラッド層１１０及びコア層１２０上に形成されており、コア層１２０を覆っている。レンズ部材１３０は、下部クラッド層１１０とコア層１２０に挟まれている。レンズ部材１３０は、コア層１２０の端部に対向しており、一体的に形成されている。導波路１００において、レンズ部材１３０は下部クラッド層１１０とコア層１２０に挟まれており、下部クラッド層１１０の端部と対向している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を備える光導波路。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路において、
前記レンズ部材は、断面視において縁が前記コア層からはみ出ている光導波路。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光導波路において、
前記レンズ部材は、前記コア層と同一の材料により形成されている光導波路。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路において、
前記下部クラッド層は、前記コア層を埋め込むための凹部を有しており、
前記コア層は前記凹部に埋め込まれている光導波路。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の光導波路において、
前記下部クラッド層、前記コア層、及び前記上部クラッド層は、樹脂材料により形成されている光導波路。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の光導波路において、
前記コア層の前記端部は、レンズ形状を有している光導波路。
【請求項７】
基材上に、下部クラッド層となる第１樹脂材料を配置する工程と、
前記第１樹脂材料に第１の金型を押し付けることにより、前記下部クラッド層を形成すると共に、前記下部クラッド層に第１凹部を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に、コア層となる第２樹脂材料を配置する工程と、
前記第２樹脂材料に、前記第１凹部に対向する位置に第２凹部を有する第２の金型を押し付けることにより、前記コア層を形成するとともに、前記第１凹部及び前記第２凹部を前記第２樹脂材料で埋め込むことにより、レンズ部材を形成する工程と、
前記下部クラッド層上、前記コア層上、及び前記レンズ部材上に、上部クラッド層となる第３樹脂材料を配置する工程と、
前記第３樹脂材料に第３金型を押し付けることにより、前記上部クラッド層を形成する工程と、
を備える光導波路の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の光導波路の製造方法において、
前記第１の金型は、前記第１凹部を形成するための第１凸部、及び前記コア層を形成するための第２凸部を有しており、
前記第１樹脂材料に前記第１の金型を押し付ける工程において、前記下部クラッド層に、前記第２凸部に対応する第３凹部が形成され、
前記コア層及び前記レンズ部材を形成する工程において、前記第３凹部に前記第２樹脂材料を埋め込むことにより、前記コア層が形成される光導波路の製造方法。
【請求項９】
光信号の入出力の少なくとも一方が行われる光デバイスと、
前記光信号を伝達する光導波路と、
を備え、
前記光導波路は、
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を有する光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光信号を伝達する光導波路、光導波路の製造方法、及び光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光信号を送受信する場合、光インタコネクションにおいて、光信号の入出力が行われる光デバイスと、光ファイバの間を、導波路を介して接続することがある。この場合、光ファイバと導波路の間には、これらの間で生じる損失を少なくするために、光学部材が配置される。このような導波路に関する技術としては、例えば特許文献１，２に記載のものがある。
【０００３】
特許文献１，２には、導波路と光学部材とを同一の金型を用いて形成することが記載されている。詳細には、まず、導波路と光学部材を上下に２分割した部材を金型で形成する。次いで、この部材を２つ張り合わせることで、導波路及び光学部材が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２４２３３８号公報
【特許文献２】特開２００３−４３２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術では、２つの部材を張り合わせることにより導波路及びレンズ部材が形成されている。この場合、張り合わせによって生じる界面により、レンズ部材の特性が悪くなる可能性がある。
【０００６】
本発明の目的は、レンズ部材の特性が悪くなることを抑制できる光導波路、光導波路の製造方法、及び光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を備える光導波路が提供される。
【０００８】
本発明によれば、基材上に、下部クラッド層となる第１樹脂材料を配置する工程と、
前記第１樹脂材料に第１の金型を押し付けることにより、前記下部クラッド層を形成すると共に、前記下部クラッド層に第１凹部を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に、コア層となる第２樹脂材料を配置する工程と、
前記第２樹脂材料に、前記第１凹部に対向する位置に第２凹部を有する第２の金型を押し付けることにより、前記コア層を形成するとともに、前記第１凹部及び前記第２凹部を前記第２樹脂材料で埋め込むことにより、レンズ部材を形成する工程と、
前記下部クラッド層上、前記コア層上、及び前記レンズ部材上に、上部クラッド層となる第３樹脂材料を配置する工程と、
前記第３樹脂材料に第３金型を押し付けることにより、前記上部クラッド層を形成する工程と、
を備える光導波路の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明によれば、光信号の入出力の少なくとも一方が行われる光デバイスと、
前記光信号を伝達する光導波路と、
を備え、
前記光導波路は、
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を有する光モジュールが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、レンズ部材の特性が悪くなることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、第１の実施形態に係る導波路の構成を示す断面図であり、（ｂ）は、導波路の上面図である。
【図２】図１に示した導波路の斜視図である。
【図３】図１及び図２に示した導波路の製造方法を示す断面図である。
【図４】図１及び図２に示した導波路の製造方法を示す断面図である。
【図５】図１及び図２に示した導波路の製造方法を示す断面図である。
【図６】第２の実施形態に係る導波路の製造方法を説明するための断面図である。
【図７】第２の実施形態に係る導波路の製造方法を説明するための断面図である。
【図８】第３の実施形態に係る導波路の斜視図である。
【図９】第４の実施形態に係る導波路の斜視図である。
【図１０】第５の実施形態に係る導波路の断面図である。
【図１１】第６の実施形態に係る導波路の斜視図である。
【図１２】第７の実施形態に係る光モジュールの構成を示す図である。
【図１３】図１（ａ）の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、第１の実施形態に係る導波路１００の構成を示す断面図である。図１（ｂ）は、導波路１００の上面図であり、図２は、図１に示した導波路１００の斜視図である。導波路１００は、下部クラッド層１１０、コア層１２０、レンズ部材１３０、及び上部クラッド層１４０を備えている。コア層１２０は、下部クラッド層１１０の一部上に形成されている。上部クラッド層１４０は、下部クラッド層１１０及びコア層１２０上に形成されており、コア層１２０を覆っている。レンズ部材１３０は、下部クラッド層１１０とコア層１２０に挟まれている。レンズ部材１３０は、コア層１２０の端部に対向しており、一体的に形成されている。
【００１４】
導波路１００において、レンズ部材１３０は下部クラッド層１１０とコア層１２０に挟まれており、下部クラッド層１１０の端部と対向している。このため、レンズ部材１３０とコア層１２０のアライメントがずれることを抑制できる。また、レンズ部材１３０は一体的に形成されているため、内部に界面が存在しない。従って、レンズ部材１３０の特性が劣化することを抑制できる。以下、詳細に説明する。
【００１５】
下部クラッド層１１０、コア層１２０、レンズ部材１３０、及び上部クラッド層１４０は、いずれも樹脂により形成されている。具体的には、下部クラッド層１１０及び上部クラッド層１４０は、エポキシ系、アクリル系、またはポリイミド系の樹脂により形成されている。コア層１２０は、下部クラッド層１１０及び上部クラッド層１４０よりも屈折率が高い樹脂材料により形成されている。レンズ部材１３０は、コア層１２０と同一の樹脂材料により形成されている。
【００１６】
コア層１２０は、下部クラッド層１１０上に位置している。一方、レンズ部材１３０は、下部が下部クラッド層１１０の第１凹部１１２内に入り込んでおり、上部が上部クラッド層１４０の凹部１４２内に入り込んでいる。第１凹部１１２及び凹部１４２は、いずれもレンズ部材１３０に沿った形状を有しており、内面がレンズ部材１３０に接触している。そしてレンズ部材１３０は、コア層１２０が延伸する方向と垂直な断面で見た場合、縁がコア層１２０から食み出している。このため、レンズ部材１３０は、コア層１２０から放射された光を効率よく集光することができる。すなわち、コア層１２０とレンズ部材１３０の間における結合損失を少なくすることができる。なお、本図に示す例では、レンズ部材１３０は球面レンズである。
【００１７】
図３、図４、及び図５は、図１及び図２に示した導波路１００の製造方法を示す断面図である。この導波路１００の製造方法は、以下の工程を有している。まず、基材３００上に、下部クラッド層１１０となる第１樹脂材料２００を配置する。次いで、第１樹脂材料２００に第１の金型３１０を押し付けることにより、下部クラッド層１１０を形成すると共に、下部クラッド層１１０に第１凹部１１２を形成する。次いで、下部クラッド層１１０上に、コア層１２０となる第２樹脂材料２１０を配置する。次いで、第２樹脂材料２１０に、第２の金型３２０を押し付ける。第２の金型３２０は、第１凹部１１２に対向する位置に第２凹部３２２を有する。これにより、コア層１２０が形成される。また、第１凹部１１２及び第２凹部３２２に第２樹脂材料２１０が埋め込まれ、これによりレンズ部材１３０が形成される。次いで、下部クラッド層１１０上、コア層１２０上、及びレンズ部材１３０上に、上部クラッド層となる第３樹脂材料２２０を配置する。次いで、第３樹脂材料２２０に第３の金型３３０を押し付けることにより、上部クラッド層１４０を形成する。以下、詳細に説明する。
【００１８】
まず、図３（ａ）に示すように、基材３００上に第１樹脂材料２００を乗せる。基材３００は、例えばシリコン、セラミック、石英、又はガラスエポキシなどにより形成されており、上面が平坦である。第１樹脂材料２００は、熱硬化性又は光硬化性の樹脂材料であるが、基材３００上に載せられた段階では硬化していない。
【００１９】
次いで図３（ｂ）に示すように、第１樹脂材料２００の上から第１の金型３１０を押し付ける。第１の金型３１０は、下面に凸部３１２を有している。凸部３１２は、レンズ部材１３０の下部と同様の形状を有している。そして第１樹脂材料２００に第１の金型３１０を押し付けた状態で第１樹脂材料２００を硬化させる。これにより、下部クラッド層１１０が形成される。また、下部クラッド層１１０のうち凸部３１２が入り込んでいた部分には、第１凹部１１２が形成される。なお、この工程において、第１の金型３１０の形状を調節することにより、下部クラッド層１１０の厚さの分布を調節することができる。
【００２０】
その後、図３（ｃ）に示すように、下部クラッド層１１０から第１の金型３１０を外す。
【００２１】
次いで図４（ａ）に示すように、下部クラッド層１１０上に第２樹脂材料２１０を配置する。このとき、第１凹部１１２内にも第２樹脂材料２１０を入り込ませる。第２樹脂材料２１０は、熱硬化性又は光硬化性の樹脂材料であるが、下部クラッド層１１０上に載せられた段階では硬化していない。
【００２２】
次いで図４（ｂ）に示すように、第２樹脂材料２１０に第２の金型３２０を押し付ける。第２の金型３２０は、コア層１２０となる部分に凹部３２４を有すると共に、第１凹部１１２に対向する部分に第２凹部３２２を有している。凹部３２４の内部に第２樹脂材料２１０が入り込むことにより、コア層１２０が形成される。また、第１凹部１１２及び第２凹部３２２に第２樹脂材料２１０が入り込むことにより、レンズ部材１３０が一体的に形成される。そしてこの状態で、第２樹脂材料２１０を硬化させる。
【００２３】
その後、図４（ｃ）に示すように、コア層１２０及びレンズ部材１３０から、第２の金型３２０を外す。
【００２４】
次いで図５（ａ）に示すように、下部クラッド層１１０上、コア層１２０上、及びレンズ部材１３０上に第３樹脂材料２２０を配置する。第３樹脂材料２２０は、例えば第１樹脂材料２００と同一の材料であり、図５（ａ）に示す段階では硬化していない。
【００２５】
次いで図５（ｂ）に示すように、第３樹脂材料２２０上に第３の金型３３０を押し付ける。この状態で第３樹脂材料２２０を硬化させる。これにより、上部クラッド層１４０が形成される。なお、この工程において、第３の金型３３０の形状を調節することにより、上部クラッド層１４０の厚さの分布を調節することができる。例えば図１３に示すように、上部クラッド層１４０のうち、コア層１２０の上部に位置する部分を、レンズ部材１３０の上部に位置する部分よりも薄くすることで、レンズ部材１３０と導波路１００の結合損失を軽減できる。
【００２６】
その後、図５（ｃ）に示すように、上部クラッド層１４０から第３の金型３３０を外す。これにより、導波路１００が形成される。
【００２７】
以上、本実施形態によれば、導波路１００の内部にレンズ部材１３０を組み込むことができる。そして、コア層１２０とレンズ部材１３０とを同一の金型で形成することができる。このため、コア層１２０とレンズ部材１３０のアライメントがずれることを抑制できる。この場合、コア層１２０とレンズ部材１３０の結合損失を少なくすることができる。例えば導波路１００は、ＧＩ−ＭＭＦ（Graded Index Multimode Fiber）型の光ファイバと結合することがある。ＧＩ−ＭＭＦ型の光ファイバは、径方向に屈折率分布を有している。このため、コア層１２０、レンズ部材１３０、及び光ファイバのアライメントがずれると、結合損失が特に大きくなる。これに対して本実施形態では、コア層１２０、レンズ部材１３０、及び光ファイバのアライメントがずれることを抑制できるため、ＧＩ−ＭＭＦ型の光ファイバを用いる場合でも、結合損失を少なくすることができる。また、伝達特性の劣化も抑制できる。
【００２８】
また、レンズ部材１３０を一体的に形成することができるため、レンズ部材１３０の内部に界面が存在しない。従って、レンズ部材１３０の特性が劣化することを抑制できる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図６及び図７は、第２の実施形態に係る導波路１００の製造方法を説明するための断面図である。本実施形態は、第１の金型３１０が第２凸部３１４を有している点を除いて、第１の実施形態に係る導波路１００の製造方法と同様である。第２凸部３１４は、コア層１２０が形成される部分に対応して設けられている。以下、詳細に説明する。
【００３０】
まず図６（ａ）に示すように、基材３００上に第１樹脂材料２００を乗せる。次いで、第１樹脂材料２００の上から第１の金型３１０を押し付け、この状態で第１樹脂材料２００を硬化させる。これにより、下部クラッド層１１０が形成される。
【００３１】
次いで、図６（ｂ）に示すように、下部クラッド層１１０から第２凸部３１４を外す。上記したように、第１の金型３１０は第２凸部３１４を有しているため、下部クラッド層１１０には、第２凸部３１４に対応した第３凹部１１４が形成される。第３凹部１１４は、コア層１２０が埋め込まれる部分である。
【００３２】
次いで図６（ｃ）に示すように、下部クラッド層１１０上に第２樹脂材料２１０を配置する。このとき、第１凹部１１２内及び第３凹部１１４内に第２樹脂材料２１０を入り込ませる。次いで、第２樹脂材料２１０に第２の金型３２０を押し付け、この状態で第２樹脂材料２１０を硬化させる。これにより、コア層１２０及びレンズ部材１３０が形成される。
【００３３】
その後、図７（ａ）に示すように、コア層１２０及びレンズ部材１３０から第２の金型３２０を外す。その後、図７（ｂ）に示すように、下部クラッド層１１０上、コア層１２０上、及びレンズ部材１３０上に第３樹脂材料２２０を配置する。次いで、第３樹脂材料２２０上に第３の金型３３０（図５に図示）を押し付ける。この状態で第３樹脂材料２２０を硬化させる。その後、第３の金型３３０を外す。このようにして、導波路１００が形成される。
【００３４】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第１の金型３１０に第２凸部３１４を形成しているため、コア層１２０の中心位置を、下にずらすことができる。このため、コア層１２０の中心をレンズ部材１３０の中心を合わせやすくなる。その結果、レンズ部材１３０を、コア層１２０と同軸にして、コア層１２０に対して中心対称にすることができる。
【００３５】
（第３の実施形態）
図８は、第３の実施形態に係る導波路１００の斜視図である。本実施形態に係る導波路１００は、以下の点を除いて、第１又は第２の実施形態と同様である。
【００３６】
まず、コア層１２０の端部１１１は、レンズ形状になっている。具体的には、コア層１２０の端部１１１は、コア層１２０の幅方向にレンズ効果を有している。また、レンズ部材１３０は、シリンドリカルレンズであり、コア層１２０の高さ方向にレンズ効果を有している。
【００３７】
本実施形態によっても、第１又は第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、下部クラッド層１１０上にコア層１２０を複数並べて配置した場合、一つのレンズ部材１３０を複数のコア層１２０に対向させることができる。この場合、コア層１２０一つあたりの導波路１００の製造コストを低くすることができる。また、第１の金型３１０、第２の金型３２０、及び第３の金型３３０を導波路１００別に作る必要がなくなるため、金型の製造コストも低くなる。
【００３８】
（第４の実施形態）
図９は、第４の実施形態に係る導波路１００の斜視図である。本実施形態に係る導波路１００は、レンズ部材１３０が一対のレンズ部材１３１，１３２で構成されている点を除いて、第１又は第２の実施形態と同様である。レンズ部材１３１，１３２は、球面レンズであり、共焦点光学系となるように配置されている。すなわち、レンズ部材１３１，１３２が例えば平凸レンズであり、レンズ部材１３１の焦点距離に光導波路（コア）１２０の端面を配置する。このようにすると、レンズ部材１３１、１３２間を平行光が通る。
【００３９】
本実施形態によっても、第１又は第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、レンズ部材１３０をレンズ部材１３１，１３２で構成したため、下部クラッド層１１０とレンズ部材１３０の光軸のずれに起因して結合損失が発生することを抑制できる。また、レンズ部材１３０の配置や大きさによって光導波路の端面から光を選択的に集光・結合できるため、伝送特性劣化の要因となる散乱光や高次モードの光を抑制できる。
【００４０】
（第５の実施形態）
図１０は、第５の実施形態に係る導波路１００の断面図である。本実施形態に係る導波路１００は、レンズ部材１３０が上下に非対称な形状を有している点を除いて、第１又は第２の実施形態に係る導波路１００と同様の構成である。詳細には、レンズ部材１３０は、下部クラッド層１１０内に位置する部分の上下方向の径と、上部クラッド層１４０内に位置する部分の上下方向の径が、異なる。本図に示す例では、上部クラッド層１４０内に位置する部分の上下方向の径が、下部クラッド層１１０内に位置する部分の上下方向の径よりも大きい。
【００４１】
本実施形態によっても、第１又は第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、レンズ部材１３０が上下に非対称な形状を有しているため、その非対称性を制御することで、導波路１００から放射される光の角度や光の強度分布やニアフィールドパターンを制御することができる。
【００４２】
（第６の実施形態）
図１１は、第６の実施形態に係る導波路１００の斜視図である。本実施形態に係る導波路１００は、レンズ部材１３０の構成を除いて、第１又は第２の実施形態に係る導波路１００と同様である。
【００４３】
本実施形態において、レンズ部材１３０は、シリンドリカルレンズ部１３６の上下に球面レンズ部１３５，１３７を配置した構造を有している。詳細には、シリンドリカルレンズ部１３６は、コア層１２０の幅方向にレンズ効果を有する向きに配置されており、コア層１２０の端部に対向している
【００４４】
本実施形態によっても、第１又は第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、レンズ部材１３０は、シリンドリカルレンズ部１３６の上下に球面レンズ部１３５，１３７を配置した構造を有しているため、コア層１２０とレンズ部材１３０の結合損失をさらに少なくすることができる。
【００４５】
（第７の実施形態）
図１２は、第７の実施形態に係る光モジュールの構成を示す図である。この光モジュールは、光モジュール４００、配線基板５００、導波路１００、コネクタ７００、及び光ファイバ６００を有している。光モジュール４００及び導波路１００は配線基板５００上に実装されている。導波路１００は、第１〜第７の実施形態のいずれかに示した構造を有している。また光ファイバ６００は、コネクタ７００を用いて光ファイバ６００に取り付けられている。光ファイバ６００は、例えばＧＩ−ＭＭＦ型の光ファイバである。導波路１００のレンズ部材１３０と光ファイバ６００の端部は、互いに対向している。
【００４６】
光モジュール４００は、配線基板５００上に実装されている。光モジュール４００は、発光デバイス４２０及びその駆動回路デバイス４１０を有している。発光デバイス４２０は、光信号となるレーザ光を発振し、かつ発振したレーザ光を変調して光信号を生成する。駆動回路デバイス４１０は、発光デバイス４２０を制御する。なお、発光デバイス４２０は、光信号を受信するデバイスであってもよい。
【００４７】
導波路１００のコア層１２０は、発光デバイス４２０が生成した光信号を、光ファイバ６００に向けて導光する。コア層１２０によって導光された光信号は、レンズ部材１３０を介して光ファイバ６００に入射する。
【００４８】
本実施形態によれば、導波路１００を用いているため、光ファイバ６００の間の結合損失を少なくすることができる。
【００４９】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００５０】
なお、上記実施形態によれば、以下の発明が開示されている。
（付記１）
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を備える光導波路。
（付記２）
付記１に記載の光導波路において、
前記レンズ部材は、断面視においてに縁が前記コア層からはみ出ている光導波路。
（付記３）
付記１又は２に記載の光導波路において、
前記レンズ部材は、前記コア層と同一の材料により形成されている光導波路。
（付記４）
付記１〜３のいずれか一つに記載の光導波路において、
前記下部クラッド層は、前記コア層を埋め込むための凹部を有しており、
前記コア層は前記凹部に埋め込まれている光導波路。
（付記５）
付記１〜４のいずれか一つに記載の光導波路において、
前記下部クラッド層、前記コア層、及び前記上部クラッド層は、樹脂材料により形成されている光導波路。
（付記６）
付記１〜５のいずれか一つに記載の光導波路において、
前記コア層の前記端部は、レンズ形状を有している光導波路。
（付記７）
基材上に、下部クラッド層となる第１樹脂材料を配置する工程と、
前記第１樹脂材料に第１の金型を押し付けることにより、前記下部クラッド層を形成すると共に、前記下部クラッド層に第１凹部を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に、コア層となる第２樹脂材料を配置する工程と、
前記第２樹脂材料に、前記第１凹部に対向する位置に第２凹部を有する第２の金型を押し付けることにより、前記コア層を形成するとともに、前記第１凹部及び前記第２凹部を前記第２樹脂材料で埋め込むことにより、レンズ部材を形成する工程と、
前記下部クラッド層上、前記コア層上、及び前記レンズ部材上に、上部クラッド層となる第３樹脂材料を配置する工程と、
前記第３樹脂材料に第３金型を押し付けることにより、前記上部クラッド層を形成する工程と、
を備える光導波路の製造方法。
（付記８）
付記７に記載の光導波路の製造方法において、
前記第１の金型は、前記第１凹部を形成するための第１凸部、及び前記コア層を形成するための第２凸部を有しており、
前記第１樹脂材料に第１の金型を押し付ける工程において、前記下部クラッド層に、前記第２凸部に対応する第３凹部が形成され、
前記コア層及び前記レンズ部材を形成する工程において、前記第３凹部に前記第２樹脂材料を埋め込むことにより、前記コア層が形成される光導波路の製造方法。
（付記９）
光信号の入出力の少なくとも一方が行われる光デバイスと、
前記光信号を伝達する光導波路と、
を備え、
前記光導波路は、
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層の一部上に形成されたコア層と、
前記コア層上及び前記下部クラッド層上に形成された上部クラッド層と、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層に挟まれており、前記コア層の端部と対向しており、一体的に形成されているレンズ部材と、
を有する光モジュール。
（付記１０）
付記９に記載の光モジュールにおいて、
前記レンズ部材は、断面視においてに縁が前記コア層からはみ出ている光モジュール。
（付記１１）
付記９又は１０に記載の光モジュールにおいて、
前記レンズ部材は、前記コア層と同一の材料により形成されている光モジュール。
（付記１２）
付記９〜１１のいずれか一つに記載の光モジュールにおいて、
前記下部クラッド層は、前記コア層を埋め込むための凹部を有しており、
前記コア層は前記凹部に埋め込まれている光モジュール。
（付記１３）
付記９〜１２のいずれか一つに記載の光モジュールにおいて、
前記下部クラッド層、前記コア層、及び前記上部クラッド層は、樹脂材料により形成されている光モジュール。
（付記１４）
付記９〜１３のいずれか一つに記載の光モジュールにおいて、
前記コア層の前記端部は、レンズ形状を有している光モジュール。
【符号の説明】
【００５１】
１００ 導波路
１１０ 下部クラッド層
１１１ 端部
１１２ 第１凹部
１１４ 第３凹部
１２０ コア層
１３０ レンズ部材
１３１ レンズ部材
１３２ レンズ部材
１３５ 球面レンズ
１３６ シリンドリカルレンズ部
１３７ 球面レンズ部
１４０ 上部クラッド層
１４２ 凹部
２００ 第１樹脂材料
２１０ 第２樹脂材料
２２０ 第３樹脂材料
３００ 基材
３１０ 第１の金型
３１２ 凸部
３１４ 第２凸部
３２０ 第２の金型
３２２ 第２凹部
３２４ 凹部
３３０ 第３の金型
４００ 光モジュール
４１０ 駆動回路デバイス
４２０ 発光デバイス
５００ 配線基板
６００ 光ファイバ
７００ コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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