(57)【要約】【課題】ウエハの状態で複数個の磁気センサを同時にかつ高精度に検査する。【解決手段】ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサが載置され水平方向及び垂直方向に移動可能なステージ１２と、このステージ１２の上方に対向配置され磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群１３を有するプローブカード９と、このプローブカード９を介して対峙しプローブ群１３の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイル３〜８と、プローブカード９におけるプローブ群１３の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサ１４〜１７と、これら磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果に基づき磁場発生コイル３〜８の出力を制御する磁場制御部とを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサが載置され水平方向及び垂直方向に移動可能なステージと、このステージの上方に対向配置され前記磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を有するプローブカードと、このプローブカードを介して対峙し前記プローブ群の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイルと、前記プローブカードにおける前記プローブ群の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサと、これら磁場環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力を制御する磁場制御部とを備えることを特徴とする磁気センサの検査装置。
【請求項２】
前記プローブカードにおける各磁場環境測定センサの近傍位置に、温度環境測定センサが配設され、前記磁場制御部は、前記温度環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場環境測定センサの測定結果を補正し、その補正した測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力を制御するものであることを特徴とする請求項１記載の磁気センサの検査装置。
【請求項３】
前記ステージに温度調整手段が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気センサの検査装置。
【請求項４】
ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を有するプローブカードと、このプローブカードを介して対峙し前記プローブ群の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイルと、前記プローブカードにおける前記プローブ群の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサとをこれらの相対位置を固定した状態に設けておき、前記ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサをステージ上に載置し、このステージを水平方向及び垂直方向に移動して、前記プローブカードのプローブ群に前記磁気センサを複数個ずつ接触させながら、前記磁場発生コイルによって磁場を発生した状態で前記磁気センサの出力を検査するとともに、前記磁気センサの出力を検査するときに予め前記磁場環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力をフィードバック制御することを特徴とする磁気センサの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気センサの磁気特性を検査する装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気センサの磁気特性を検査する場合、ヘルムホルツコイル等の磁場発生コイルにより発生させた磁場内に磁気センサを配置し、その磁気センサの出力信号を測定するようにしている。この場合、パッケージ封入された後の磁気センサを1個ずつ検査するのでは、その取り扱いが煩雑であるとともに、検査で異常と判断された磁気センサの組み立てコストが無駄になるため、ウエハの状態で検査することが有効である。
磁気センサをウエハの状態で検査する技術として、例えば特許文献１及び特許文献２に記載のものがある。
【０００３】
特許文献１記載の技術は、ウエハの状態の磁気センサにコイルプローバの先端部分を近接させて磁気センサに磁界を印加し、磁気センサの出力信号をプローブで測定している。この特許文献１記載の技術においては、コイルプローバの先端部分から発生させることができる磁界が単一方向のため、複数方向の外部磁界に対する磁気センサの出力を検査するためには、コイルプローバと磁気センサとを相対的に回転させる必要がある。
【０００４】
特許文献２記載の技術では、プローブカードに複数のコイルを設けておき、このプローブカードを、磁気センサが形成されているウエハに接触させた状態において、プローブカードのコイルに電流を供給して磁気センサに磁界を印加し、プローブカードによって磁気センサの出力信号を検出するようにしている。この場合、複数のコイルに供給する電流を変化させることにより磁気センサに印加する磁界の大きさや方向を変化させることができる。
【０００５】
また、特許文献３記載の技術は、ウエハ状態の磁気センサの検査ではないが、基板状のテーブルに、磁気センサを配置するためのソケット、及び磁界発生用のコイルとともに、発生した磁界を検知する検知用センサが設けられ、その検知用センサの検知結果を磁界発生コイルにフィードバックしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−５５９７７号公報
【特許文献２】特開２００７−５７５４７号公報
【特許文献３】特開２００４−１５１０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、ウエハの状態で磁気センサを検査する場合、磁気センサを1個ずつ検査するのではなく、複数個の磁気センサを同時に検査することができると効率的である。この場合、複数個の磁気センサを含む広い検査領域に磁場を発生させるため、コイルを大きくする必要があるが、特許文献１又は特許文献２記載の技術では、プローブカードにコイルを設けているため、その大型化には限界がある。また、検査領域内で発生する磁場に局所的にばらつきが生じる可能性があり、これら特許文献記載の技術のように、所望の磁場が発生しているか否かをコイルの電流によって判断するだけでは正確性に欠けるという問題がある。
【０００８】
この場合、特許文献３記載のように、磁場検知のための検知用センサを設けてフィードバックすることが有効であるが、検知用センサがソケットやコイルとともに一つのテーブルに配置されるため、これらソケットやコイルの設置スペースとの干渉を避ける必要から、特許文献３ではソケットとは反対側のテーブルの裏面に配置しており、ソケット内の磁気センサに作用する磁場を正確に検知しているとは言い難く、検査精度低下の原因となり易い。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ウエハの状態で複数個の磁気センサを同時にかつ高精度に検査することができる検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気センサの検査装置は、ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサが載置され水平方向及び垂直方向に移動可能なステージと、このステージの上方に対向配置され前記磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を有するプローブカードと、このプローブカードを介して対峙し前記プローブ群の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイルと、前記プローブカードにおける前記プローブ群の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサと、これら磁場環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力を制御する磁場制御部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の磁気センサの検査方法は、ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群を有するプローブカードと、このプローブカードを介して対峙し前記プローブ群の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイルと、前記プローブカードにおける前記プローブ群の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサとをこれらの相対位置を固定した状態に設けておき、前記ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサをステージ上に載置し、このステージを水平方向及び垂直方向に移動して、前記プローブカードのプローブ群に前記磁気センサを複数個ずつ接触させながら、前記磁場発生コイルによって磁場を発生した状態で前記磁気センサの出力を検査するとともに、前記磁気センサの出力を検査するときに予め前記磁場環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力をフィードバック制御することを特徴とする。
【００１２】
すなわち、磁場発生コイルをプローブカード上ではなく、その外方に配置することにより、プローブ群の周辺の広い領域に磁場を発生し、その磁場発生状態においてプローブ群に複数個の磁気センサを接触することにより、これら複数個の磁気センサに同時に磁場を作用させて、これらを同時に検査することができる。また、その検査に際しては、プローブカードにおける測定領域内の磁場を磁場環境測定センサによって測定し、その結果を磁場発生コイルにフィードバックすることにより、測定領域内に所望の磁場を正確に発生させることができる。そして、ステージを移動しながら、ウエハ状態の各磁気センサを複数個ずつプローブ群に接触させて、連続的に検査することができる。
【００１３】
また、本発明の磁気センサの検査装置において、前記プローブカードにおける各磁場環境測定センサの近傍位置に、温度環境測定センサが配設され、前記磁場制御部は、前記温度環境測定センサの測定結果に基づき前記磁場環境測定センサの測定結果を補正し、その補正した測定結果に基づき前記磁場発生コイルの出力を制御するものであるとよい。
磁場環境測定センサは温度によって感度が変わる場合があるので、各磁場環境測定センサ近傍に設けた温度環境測定センサの測定結果に基づき、磁場環境測定センサの測定結果を補正し、その補正した測定結果により磁場発生コイルの出力を制御することにより、環境の温度に影響されずに正確に磁気検査することができる。
【００１４】
また、本発明の磁気センサの検査装置において、前記ステージに温度調整手段が設けられているとよい。
ステージを適宜の温度に設定して検査することにより、温度による磁気特性の変化も容易に検査することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気センサを個片状態ではなくウエハ状態で検査するので、複数個の磁気センサに同時に磁場を作用させて、これらを同時に検査することができるとともに、プローブカードに設けた磁場環境測定センサによって測定領域の磁場を測定してフィードバックしているので、測定領域に所望の磁場を正確に発生させることができ、検査精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る磁気センサの検査装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】図１の検査装置のシステムブロック図である。
【図３】図１の検査装置におけるステージとプローブカードとの水平面上の位置関係を示す平面図である。
【図４】図１の検査装置におけるプローブカードの正面図である。
【図５】図１の検査装置におけるプローブカード及びステージの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図面を参照しながら説明する。
本実施形態の磁気センサの検査装置１は、図１に示すように、枠状に形成した架台２に、６個の磁場発生コイル３〜８と１個のプローブカード９とが固定されるとともに、ウエハ状態の磁気センサ１０からなるセンサ集合体１１を載置する移動可能なステージ１２が設けられている。
【００１８】
磁場発生コイル３〜８は、それぞれ軸方向に沿って対向する２個を一組として構成されており、架台２の両側部、上部及び下部、前面及び背面でそれぞれ一組ずつ配設され、これら３組の磁場発生コイル３〜８が軸方向を相互に直交させていることにより、全体として正六面体を構成するように配置されている。
具体的には、架台２の両側部に、水平方向に沿う軸方向（Ｘ軸方向とする）を一致させた一組のＸ軸磁場発生コイル３，４が設けられ、これらＸ軸方向磁場発生コイル３，４の軸方向と直交する水平方向に軸方向（Ｙ軸方向とする）を向けた一組のＹ軸方向磁場発生コイル５，６が架台２の前面及び背面に設けられ、これらＸ軸方向磁場発生コイル３，４とＹ軸方向磁場発生コイル５．６との両軸方向のいずれにも直交する垂直方向に軸方向（Ｚ軸方向とする）を向けた一組のＺ軸方向磁場発生コイル７．８が架台２の上部及び下部に設けられている。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸を一点鎖線で示している。そして、これら各組の磁場発生コイル３〜８が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の３軸方向に磁界を発生することにより、これら磁場発生コイル３〜８の軸方向が交差する中心位置Ｃには、３軸の合成磁界が作用するようになっている。
【００１９】
また、この磁場発生コイル３〜８により囲まれた空間の中心位置Ｃにおいて、架台２にプローブカード９が固定されている。図１には説明の便宜上、プローブカード９に対する固定部分は省略している。
このプローブカード９は、図５に示すように、その基部となるプリント配線板９ａが水平方向に沿って固定されており、ウエハ状態に並べられているセンサ集合体１１の多数の磁気センサ１０のうち、平面視が正方形をなす特定の領域Ｆ内の複数個の磁気センサ１０に対して同時に接触可能なプローブ群１３，１３…がプリント配線板９ａから下方に向けて突出して設けられている。図３〜図５には、一つの磁気センサ１０に接触されるプローブの集合を符号１３で示しており、プローブ群１３，１３，…は、１個のプローブカード９に設けられるプローブのすべての集合体である。例えば、１個が２ｍｍ四方の磁気センサ１０に対して、プローブ群１３，１３…は、縦５個×横５個の合計２５個の磁気センサ１０に同時に接触して検査することができるように、１枚のプローブカード９の１ｃｍ四方の領域に２５組設けられている。
【００２０】
この場合、図２及び図３にＸ，Ｙで示したように、これらプローブ群１３，１３…の集合体がなす四辺の中間位置（縦５個の中間位置及び横５個の中間位置）が磁場発生コイル３〜８のＸ軸及びＹ軸上に配置されるように架台２に固定されている。したがって、磁場発生コイル３〜８の軸方向が交差する中心位置Ｃは、これらプローブ群１３，１３，…により構成されるマトリクスの中心（３列３行目の中心）に配置される。
【００２１】
そして、これらプローブ群１３，１３，…の集合体の外方であってプローブカード９の外周部に、複数の磁場環境測定センサ１４〜１７と温度環境測定センサ１８〜２１とが対をなすように設けられている。
各磁場環境測定センサ１４〜１７は、例えば、磁気抵抗効果素子等を用いたＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向に感度軸を有する三つのセンサチップを内蔵することにより、互いに９０°異なる３軸方向に感度軸を有するセンサとされ、これらセンサチップに順次通電することにより、各軸方向の磁場を測定することができるようになっている。
【００２２】
そして、これら磁場環境測定センサ１４〜１７は、プローブカード９の外周部においてプローブ群１３がなす四辺の中間位置に一個ずつ対峙するように配置されていることにより、Ｘ軸方向磁場発生コイル３，４の磁界発生軸Ｘ及びＹ軸方向磁場発生コイル５，６の磁界発生軸Ｙに沿ってそれぞれ並ぶように配置されている。図３及び図４に示す例では、磁場環境測定センサ１４，１５がＸ軸、磁場環境測定センサ１６，１７がＹ軸に沿って並んでいる。これら各磁場環境測定センサ１４〜１７の近傍位置に各温度環境測定センサ１８〜２１が配設されている。
【００２３】
ステージ１２は、プローブカード９のプローブ群１３，１３，…よりも下方位置に配置され、ウエハ状態に並んだ磁気センサ１０のセンサ集合体１１を上面に載置して固定するようになっている。
これら磁気センサ１０は、ウエハ表面に半導体プロセスによって作成され、ダイシングテープ（図示略）が貼付された状態で、そのダイシングテープ上で各個片に切断分離されたものであり、ダイシングテープ上にマトリクス状に貼付され、そのダイシングテープ毎、リング状のキャリア治具（図示略）に保持されている。そして、ステージ１２は、このキャリア治具に保持された状態の磁気センサ１０のセンサ集合体１１が載置され、真空吸着によって固定するようになっている。また、ステージ１２をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動する図示略の移動手段が設けられている。
【００２４】
一方、図２に示すように、磁場発生コイル３〜８には、駆動電源を備えた磁場制御部２５が接続され、この磁場制御部２５によって各磁場発生コイル３〜８の出力が制御される。また、プローブカード９には、テスト制御部２６が接続され、このテスト制御部２６では、予めプログラムされたテスト手順にしたがってプローブ群１３，１３，…を介して磁気センサ１０に通電し、その出力から磁気センサ１０の検出特性をチェックする機能を有している。また、このテスト制御部２６は、磁場制御部２５に対して磁場の大きさ、発生方向等に関する指令を出力する。
そして、磁場制御部２５は、このテスト制御部２６の指令値に対応して磁場発生コイル３〜８に駆動電圧を供給するとともに、磁場環境測定センサ１４〜１７からの測定結果が入力され、この測定結果に基づき磁場発生コイル３〜８の駆動電圧をフィードバック制御する。また、これら磁場環境測定センサ１４〜１７とともにプローブカード９に設けられている各温度環境測定センサ１８〜２１の測定結果に基づき、磁場制御部２５では、温度により変動する磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果を補正し、磁場環境測定センサ１４〜１７の補正後の測定結果に応じて磁場発生コイル３〜８の出力を制御する。
【００２５】
また、ステージ１２の移動手段には、ステージ１２のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の移動を制御するステージ制御部２７が接続されている。
さらに、このステージ１２は、図４に示すように内部に熱媒体流通管２８が埋設されており、温度制御部２９によって熱媒体の温度が制御され、表面を所望の温度に設定することができるようになっている。この温度制御部２９もテスト制御部２６からの指令に応じてステージ１２を所定の温度に制御するもので、ステージ１２に設けられたステージ温度センサ３０またはプローブカード９に設けられた各温度環境測定センサ１８〜２１のいずれかの検出結果に基づきフィードバック制御される。
【００２６】
なお、図１中符号３１は、各制御部２５，２６，２７，２９が収納される制御ボックスを示している。また、プローブ群１３，１３，…には、例えばばね性を有するりん青銅が用いられ、架台２、ステージ１２、キャリア治具等にはＴｉ等が用いられるなど、それぞれ磁場発生時に磁気センサ１０の出力に影響を与えないように非磁性材によって形成されている。
【００２７】
このように構成した検査装置１を使用して磁気センサ１０を検査する方法について説明する。
磁気センサ１０は、ウエハ上に多数形成され、ダイシングテープの上でダイシングされた状態とされており、ダイシングテープはキャリア治具に保持されている。この状態では、各磁気センサ１０は、相互に分離され個片化されているが、ダイシングテープ上にマトリクス状に並べられた状態で貼付され、センサ集合体１１として保持されている。本発明では、この状態の磁気センサ１０のセンサ集合体１１を「ウエハ状態の磁気センサ」と称している。
このウエハ状態の磁気センサ（センサ集合体１１）に対して、次の（１）〜（６）の手順によって磁気特性の検査が実施される。
【００２８】
（１）ウエハ状態の磁気センサ（センサ集合体１１）をステージ１２の上に真空吸着によって固定するとともに、ステージ１２の表面温度を所定の温度Ｔａとするように熱媒体流通管２８内に所定の熱媒体を流通する。このとき、ステージ１２の温度をステージ温度センサ３０により検出しながら、温度制御部２９は、必要に応じて熱媒体の温度を変えるなどにより、ステージ１２の表面温度を所定温度Ｔａに設定する。
（２）ステージ１２を移動することにより、プローブカード９のプローブ群１３，１３，…に磁気センサ１０を対峙する。プローブ群１３，１３，…は、本実施形態の場合、前述したように縦５個×横５個の合計２５個の磁気センサ１０と対峙される。そして、ステージ１２を上昇することにより、プローブ群１３，１３，…に各磁気センサ１０を接触させる。
【００２９】
（３）磁場制御部２５により磁場発生コイル３〜８を駆動して、プローブ群１３，１３，…付近の測定領域Ｆにテスト制御部２６からの指令に対応する所望の磁場を発生する。このとき、プローブカード９の外周部に設けられている磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果を磁場制御部２５にフィードバックし、テスト制御部２６からの指令値と比較することにより、磁場発生コイル３〜８に対する駆動を制御する。
また、磁場環境測定センサ１４〜１７とともにプローブカード９に設けられている温度環境測定センサ１８〜２１によって温度を測定し、磁場制御部２５では、その測定結果に基づき、必要に応じて磁場環境測定センサ１４〜１７の温度による感度の変動を補正し、磁場環境測定センサ１４〜１７の補正後の測定結果により磁場発生コイル３〜８に対する駆動を制御する。
【００３０】
（４）測定領域Ｆに所定温度Ｔａで指定の磁場が発生していることが確認されたら、テスト制御部２６からプローブ群１３，１３，…に通電して、測定領域Ｆ内の各磁気センサ１０に対する所定の磁気テストが実施される。
（５）測定領域Ｆに配置された一つのブロックの磁気センサ（縦５個×横５個の合計２５個の磁気センサ）１０のテストが終了したら、ステージ１２を下降することにより、プローブ群１３，１３，…との接触状態を解放する。
【００３１】
（６）ステージ１２を水平移動して、次のブロックの磁気センサ１０をプローブ群１３，１３，…に対峙させ、上記の（２）〜（５）の操作を繰り返す。
この一連の操作を繰り返すことにより、所定温度Ｔａのときの磁気テストについて、一つのウエハのすべての磁気センサ１０をブロック毎にプローブ群１３，１３，…に同時に接触しながら実施する。
【００３２】
所定温度Ｔａにおいて、一つのウエハの磁気センサ１０に対する磁気テストがすべて終了したら、次に、ステージ１２の温度を前述とは異なる所定温度Ｔｂに設定し、前述の（２）〜（６）と同様の操作を繰り返して、この所定温度Ｔｂでの一つのウエハのすべての磁気センサ１０をブロック毎に磁気テストする。
この所定温度Ｔｂでの磁気テストが終了したら、一つのウエハの検査は終了である。
【００３３】
以上の検査において、（３）の磁場のフィードバック制御の具体的方法は、特に限定されるものではないが、例えば次のようにして行われる。
測定領域Ｆに作用する磁場は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の各磁場発生コイル３〜８からの磁場の合成された磁場となる。各磁場環境測定センサ１４〜１７は、いずれも３軸方向に測定可能であるので、その合成磁場の各軸方向の磁場強度を測定する。そして、プローブカード９に設けられている４個の磁場環境測定センサ１４〜１７のうち、Ｘ軸方向に並ぶ２個の磁場環境測定センサ１４，１５のＸ軸方向の測定結果の平均によりＸ軸方向の磁場の大きさを求め、Ｙ軸方向に並ぶ２個の磁場環境測定センサ１６，１７のＹ軸方向の測定結果の平均によりＹ軸方向の磁場の大きさを求める。また、Ｚ軸方向の磁場は、４個の磁場環境測定センサ１４〜１７のＺ軸方向の測定結果の平均によって求める。
これら各軸方向の磁場の測定結果をテスト制御部２６からの指令値と比較し、そのずれの大きさに応じて、対応する磁場発生コイル３〜８の出力を補正する。
【００３４】
このフィードバック制御は、ステージ１２を移動して、新たなブロックの磁気センサ１０をプローブ群１３，１３，…に接触させた都度、行われる。
前述したように検査装置１の各構成要素は非磁性材によって構成されているため、ステージ１２の移動等による磁場の変動は小さいと考えられるが、測定領域Ｆからは離間しているもののモータ等の駆動源も配置されているため、このステージ１２の移動毎に新たに磁場環境を測定し、小さな変動も測定して磁場の駆動をフィードバック制御する。このとき、各磁場環境測定センサ１４〜１７に付属するように設けられている各温度環境測定センサ１８〜２１からの測定結果により、磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果を補正し、その補正した測定結果により磁場発生コイル３〜８に対する駆動を制御する。
【００３５】
なお、ステージ１２の温度は、このステージ１２に設けたステージ温度センサ３０あるいはプローブカード９に設けた各温度環境測定センサ１８〜２１のいずれかにより確認することができ、テスト制御部２６からの指示に応じて温度制御部２９によって熱媒体流通管２８への熱媒体の流通が制御される。この熱媒体流通管２８、ステージ温度センサ３０又は温度環境測定センサ１８〜２１及び温度制御部２９によってステージ１２に対する温度調整手段が構成される。
【００３６】
以上説明したように、この磁気センサの検査装置１では、磁気センサ１０を個片状態ではなくウエハ状態で検査して、複数個の磁気センサ１０に同時に磁場を作用させて、これらを同時に検査することができ、磁気センサ１０のハンドリングを容易にして生産性を向上させることができる。
そして、その場合に、プローブカード９に磁場環境測定センサ１４〜１７を設けて、測定領域Ｆにおける磁場を測定しつつ磁場制御部２５にフィードバックしているので、測定領域Ｆに所望の磁場を正確に発生させることができ、検査精度を高めることができる。また、その際に、温度特性を有する磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果を温度環境測定センサ１８〜２１の測定結果により補正し、その補正後の結果により磁場を制御しており、精度の高い磁気テストを実施することができる。
【００３７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、磁場環境測定センサ１４〜１７を測定領域Ｆの周囲に４個配設したが、この配置は限定されるものではなく、１個又は２個以上設けたものも含むものとする。また、すべて３軸のセンサとしたが、２軸センサ及び１軸センサの組み合わせ等としてもよい。
また、図５に示す例ではプローブ群１３，１３，…は垂直に突出しているが、傾斜する姿勢で突出していてもよい。
また、前記実施形態では、各磁気センサがダイシングテープに貼付された状態のものを検査対象としたが、ダイシングテープに貼付されていない状態でダイシングされていないウエハの状態のものを検査対象とすることも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１…検査装置、２…架台、３〜８…磁場発生コイル、９…プローブカード、９ａ…プリント配線板、１０…磁気センサ、１１…センサ集合体（ウエハ状態の磁気センサ）、１２…ステージ、１３，１３，…プローブ群、１４〜１７…磁場環境測定センサ、１８〜２１…温度環境測定センサ、２５…磁場制御部、２６…テスト制御部、２７…ステージ制御部、２８…熱媒体流通管、２９…温度制御部、３０…ステージ温度センサ、３１…制御ボックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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