(57)【要約】【課題】インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を、コンデンサを回路に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できるコンデンサ容量測定方法を提供する。【解決手段】第１の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２を並列接続したときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定する。第２の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を測定する。算出段階では、第１の測定段階で測定された合成容量と、第２の測定段階で測定された容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量をそれぞれ算出する。【選択図】図１
2013108903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階と、
を備え、
前記第１の測定段階では、
前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、
前記第２の測定段階は、
前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を与え、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を与えるとともに、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を調整した状態で、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を第１電圧測定値として測定する第１の電圧測定段階と、
前記第２コンデンサの前記第３接続部に対して、前記第２の出力信号を与え、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第３の出力信号を与えるとともに、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を調整した状態で、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を第２電圧測定値として測定する第２の電圧測定段階と、
前記第１の電圧測定段階及び前記第２の電圧測定段階で測定された前記第１の電圧測定値及び前記第２の電圧測定値に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階と、
を備えることを特徴とするコンデンサ容量測定方法。
【請求項２】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階と、
を備え、
前記第１の測定段階では、
前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、
前記第２の測定段階は、
前記第１コンデンサの前記第４接続部と前記第２コンデンサの前記第６接続部とが接続されていない場合は前記第４接続部と前記第６接続部とを接続する一方、前記第４接続部と前記第６接続部とが接続されている場合はそのままとし、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を与え、かつ前記第２コンデンサの前記第５接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を与えるとともに、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号又は前記第３の出力信号を調整した状態で、前記第２の出力信号と前記第３の出力電圧との位相差を測定する電圧信号測定段階と、
前記電圧信号測定段階で測定された前記位相差に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階と、
を備えることを特徴とするコンデンサ容量測定方法。
【請求項３】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階と、
を備え、
前記第１の測定段階では、
前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、
前記第２の測定段階は、
前記第１コンデンサの前記第４接続部と前記第２コンデンサの前記第６接続部とが接続されていない場合は前記第４接続部と前記第６接続部とを接続する一方、前記第４接続部と前記第６接続部とが接続されている場合はそのままとし、前記第１コンデンサの前記第３接続部と前記第２コンデンサの前記第５接続部とに対して、周波数と振幅が同じで、位相が互いに１８０度ずれた交流信号である第２及び第３の出力信号をそれぞれ与えつつ、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧信号の位相を測定する電圧信号測定段階と、
前記電圧信号測定段階で測定された前記電圧信号の位相に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階と、
を備えることを特徴とするコンデンサ容量測定方法。
【請求項４】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、
前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、
測定のための出力信号を出力する電源手段と、
電気特性に関する測定を行う測定手段と、
前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、
前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部と、
を備え、
前記第１測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、
前記第２測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第５接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を第１電圧測定値として前記測定手段に測定させ、
前記接続切替手段を制御して、前記第２コンデンサの前記第３接続部に対して、前記第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第３接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を第２電圧測定値として前記測定手段に測定させ、
得られた前記第１の電圧測定値及び前記第２の電圧測定値に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出することを特徴とするコンデンサ容量測定装置。
【請求項５】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、
前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、
測定のための出力信号を出力する電源手段と、
電気特性に関する測定を行う測定手段と、
前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、
前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部と、
を備え、
前記第１測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、
前記第２測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第２コンデンサの前記第５接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第４接続部及び第６接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号又は前記第３の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第２の出力信号と前記第３の出力電圧との位相差を前記測定手段に測定させ、
得られた前記位相差に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出することを特徴とするコンデンサ容量測定装置。
【請求項６】
第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、
前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、
測定のための出力信号を出力する電源手段と、
電気特性に関する測定を行う測定手段と、
前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、
前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、
前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、
前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部と、
を備え、
前記第１測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、
前記第２測定処理部は、
前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部と前記第２コンデンサの前記第５接続部とに対して、周波数と振幅が同じで、位相が互いに１８０度ずれた交流信号である第２及び第３の出力信号を前記電源手段にそれぞれ与えさせつつ、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧信号の位相を前記測定手段に測定させ、
得られた前記電圧信号の位相に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出することを特徴とするコンデンサ容量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなるコンデンサ回路におけるコンデンサンの容量を測定するコンデンサ容量測定方法及び測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を測定しようとした場合、インピーダンス素子の影響や、２つのコンデンサ同士の影響を排除して測定を行う必要がある。しかし、各コンデンサを回路内に接続したままの状態では、インピーダンス素子の影響等を排除するのは容易ではなかった。
【０００３】
特に、近年の基板製造技術の発達に伴い、多層化された基板にコンデンサやコイルが内臓される内蔵型基板（エンベデット基板）の開発が進んでいる。このような微細化且つ複雑化された基板において、外部装置との電気的な接続を行うことができるのは、基板上に形成されるパッドしかないため、内蔵されるコンデンサが所望する容量を有して内蔵されているかどうか検査することは極めて難しかった。
【０００４】
なお、先行技術文献としては、例えば特許文献１、２が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２１１１１３号公報
【特許文献２】特開２００６−２５０７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の解決すべき課題は、インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を、コンデンサを回路に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できるコンデンサ容量測定方法及び測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明のコンデンサ容量測定方法の第１の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階とを備え、前記第１の測定段階では、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、前記第２の測定段階は、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を与え、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を与えるとともに、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を調整した状態で、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を第１電圧測定値として測定する第１の電圧測定段階と、前記第２コンデンサの前記第３接続部に対して、前記第２の出力信号を与え、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第３の出力信号を与えるとともに、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を調整した状態で、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を第２電圧測定値として測定する第２の電圧測定段階と、前記第１の電圧測定段階及び前記第２の電圧測定段階で測定された前記第１の電圧測定値及び前記第２の電圧測定値に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階とを備える。
【０００８】
また、本発明のコンデンサ容量測定方法の第２の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階とを備え、前記第１の測定段階では、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、前記第２の測定段階は、前記第１コンデンサの前記第４接続部と前記第２コンデンサの前記第６接続部とが接続されていない場合は前記第４接続部と前記第６接続部とを接続する一方、前記第４接続部と前記第６接続部とが接続されている場合はそのままとし、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を与え、かつ前記第２コンデンサの前記第５接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を与えるとともに、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号又は前記第３の出力信号を調整した状態で、前記第２の出力信号と前記第３の出力電圧との位相差を測定する電圧信号測定段階と、前記電圧信号測定段階で測定された前記位相差に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階とを備える。
【０００９】
また、本発明のコンデンサ容量測定方法の第３の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定方法であって、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１の測定段階と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２の測定段階と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出段階とを備え、前記第１の測定段階では、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を与えることにより、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を測定し、前記第２の測定段階は、前記第１コンデンサの前記第４接続部と前記第２コンデンサの前記第６接続部とが接続されていない場合は前記第４接続部と前記第６接続部とを接続する一方、前記第４接続部と前記第６接続部とが接続されている場合はそのままとし、前記第１コンデンサの前記第３接続部と前記第２コンデンサの前記第５接続部とに対して、周波数と振幅が同じで、位相が互いに１８０度ずれた交流信号である第２及び第３の出力信号をそれぞれ与えつつ、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧信号の位相を測定する電圧信号測定段階と、前記電圧信号測定段階で測定された前記電圧信号の位相に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する容量比算出段階とを備える。
【００１０】
また、本発明のコンデンサ容量測定装置の第１の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、測定のための出力信号を出力する電源手段と、電気特性に関する測定を行う測定手段と、前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部とを備え、前記第１測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、前記第２測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第５接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を第１電圧測定値として前記測定手段に測定させ、前記接続切替手段を制御して、前記第２コンデンサの前記第３接続部に対して、前記第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部に対して、前記第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第１コンデンサの前記第３接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第３接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第２コンデンサの前記第５接続部の電圧を第２電圧測定値として前記測定手段に測定させ、得られた前記第１の電圧測定値及び前記第２の電圧測定値に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する。
【００１１】
また、本発明のコンデンサ容量測定装置の第２の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、測定のための出力信号を出力する電源手段と、電気特性に関する測定を行う測定手段と、前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部とを備え、前記第１測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、前記第２測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部に対して、交流信号である第２の出力信号を前記電源手段に与えさせ、かつ前記第２コンデンサの前記第５接続部に対して、前記第２の出力信号と同じ周波数の交流信号である第３の出力信号を前記電源手段に与えさせるとともに、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧を前記測定手段に測定させ、その第４接続部及び第６接続部の電圧がゼロボルトになるように、前記第２の出力信号又は前記第３の出力信号を前記電源手段に調整させた状態で、前記第２の出力信号と前記第３の出力電圧との位相差を前記測定手段に測定させ、得られた前記位相差に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する。
【００１２】
また、本発明のコンデンサ容量測定装置の第３の局面では、第１及び第２接続部を有するインピーダンス素子と、第３及び第４接続部を有し、前記第３の接続部が前記インピーダンス素子の前記第１接続部と接続された第１コンデンサと、第５及び第６接続部を有し、前記第５接続部が前記インピーダンス素子の前記第２接続部と接続され、前記第６接続部が前記第１コンデンサの前記第４接続部と接続された第２コンデンサとを有するコンデンサ回路における、前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を測定するコンデンサ容量測定装置であって、前記インピーダンス素子の前記第１接続部と前記第１コンデンサの第３接続部との間の導電路、前記インピーダンス素子の前記第２接続部と前記第２コンデンサの第５接続部との間の導電路、前記第１コンデンサの第４接続部と前記第２コンデンサの第６接続部との間の導電路に、それぞれ少なくとも１つずつ接触された複数の接触ピンと、測定のための出力信号を出力する電源手段と、電気特性に関する測定を行う測定手段と、前記複数の接触ピンと、前記電源手段及び前記測定手段との間の電気的な接続関係を切り替える接続切替手段と、前記接続切替部の制御を行うとともに、前記測定手段の測定結果に基づいて前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサの容量を算出する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとを並列接続したときの前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの合成容量を測定する第１測定処理部と、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの容量比を測定する第２測定処理部と、前記第１の測定段階で測定された前記合成容量と、前記第２の測定段階で測定された前記容量比とに基づいて、前記第１コンデンサの容量と前記第２コンデンサの容量とを算出する算出処理部とを備え、前記第１測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部及び前記第２コンデンサの前記第５接続部と、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部との間に、出力電圧が周期的に変動する第１の出力信号を前記電源手段に与えさせ、前記測定手段に並列接続された前記第１コンデンサ及び前記第２コンデンサに関する電気的特性を測定させ、その測定結果に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記合成容量を算出し、前記第２測定処理部は、前記接続切替手段を制御して、前記第１コンデンサの前記第３接続部と前記第２コンデンサの前記第５接続部とに対して、周波数と振幅が同じで、位相が互いに１８０度ずれた交流信号である第２及び第３の出力信号を前記電源手段にそれぞれ与えさせつつ、前記第１コンデンサの前記第４接続部及び前記第２コンデンサの前記第６接続部の電圧信号の位相を前記測定手段に測定させ、得られた前記電圧信号の位相に基づいて、前記第１コンデンサと前記第２コンデンサとの前記容量比を算出する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るコンデンサ容量測定方法における上記第１ないし第３の局面によれば、インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を、コンデンサを回路に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できる。
【００１４】
本発明に係るコンデンサ容量測定装置における上記第１ないし第３の局面によれば、インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を、コンデンサを回路に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法における第１の測定段階の説明図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法の第２の測定段階における第１の電圧測定段階の説明図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法の第２の測定段階における第２の電圧測定段階の説明図である。
【図４】図２に示す測定回路の等価回路を示す図である。
【図５】図３に示す測定回路の等価回路を示す図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられるコンデンサ容量測定装置の電気的構成を示すブロック図であって、第１の測定段階の動作を説明するための図である。
【図７】図６のコンデンサ容量測定装置における第２の測定段階の第１の電圧測定段階の動作を説明するための図である。
【図８】図６のコンデンサ容量測定装置における第２の測定段階の第２の電圧測定段階の動作を説明するための図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るコンデンサ容量測定方法の第２の測定段階の説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられるコンデンサ容量測定装置の電気的構成を示すブロック図であって、第１の測定段階の動作を説明するための図である。
【図１１】図１０のコンデンサ容量測定装置における第２の測定段階の動作を説明するための図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係るコンデンサ容量測定方法の第２の測定段階の説明図である。
【図１３】本発明の第３実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられるコンデンサ容量測定装置の電気的構成を示すブロック図であって、第１の測定段階の動作を説明するための図である。
【図１４】図１３のコンデンサ容量測定装置における第２の測定段階の動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜第１実施形態＞
まず図１ないし図３を参照して、本発明の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法について説明する。なお、第１ないし３実施形態の説明では、説明の都合上、デルタ型の所定の位置のみに接触ピンを当接させているが、実際の接触ピンは基板上に予め設定される所定の位置に接触ピンが配置され当接されている。
【００１７】
このコンデンサ容量測定方法は、図１に示すように、インピーダンス素子としてのインダクタＬの両側に２つのコンデンサＣ１，Ｃ２がデルタ型又はπ型に接続されてなるコンデンサ回路１の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量（静電容量）を測定するためのものである。より詳細には、この図１に示すコンデンサ回路１は、デルタ型の接続構成を有し、インダクタＬの両側の第１及び第２接続部Ｐ１，Ｐ２のうちの第１接続部Ｐ１に第１コンデンサＣ１の第３接続部Ｐ３が接続され、第２接続部Ｐ２に第２コンデンサＣ２の第５接続部Ｐ５が接続され、第１コンデンサＣ１の第４接続部Ｐ４と第２コンデンサＣ２の第６接続部Ｐ６とが接続されている。本実施形態では、コンデンサ回路１は基板に内蔵されているものとする。以下、第１ないし第６接続部Ｐ１〜Ｐ６は単に接続部Ｐ１〜Ｐ６と呼ぶこととする。
【００１８】
なお、本実施形態では、インピーダンス素子の一例としてインダクタＬを挙げたが、インピーダンスを有している素子であれば他の素子でもよい。また、本実施形態では、コンデンサ回路１が、第１コンデンサＣ１の第４接続部Ｐ４と第２コンデンサＣ２の第６接続部Ｐ６とが接続されたデルタ型の構成を有しているが、第４接続部Ｐ４と第６接続部Ｐ６とが接続されていないπ型の構成を有していてもよい。
【００１９】
このコンデンサ容量測定方法は、図１に示す第１の測定段階と、図２及び図３に示す第２の測定段階と、算出段階とを備えている。第１の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２を並列接続したときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定する。第２の測定段階は、後述する第１の電圧測定段階と、第２の電圧測定段階と、容量比算出段階とを有し、この第２の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を測定する。算出段階では、第１の測定段階で測定された合成容量と、第２の測定段階で測定された容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量をそれぞれ算出する。
【００２０】
より具体的には、第１の測定段階では、図１に示すように、コンデンサ容量測定装置２により、第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５と、第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ４及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ６との間に、出力電圧が周期的に変動する出力信号（本実施形態では、交流電圧）を与えることにより、両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定する。この合成容量の測定手法としては、種々の手法が採用可能であるが、その一例として、例えば、接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に出力信号を与えたときに、接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間の電圧、及び接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に流れる電流を測定し、その電圧測定値及び電流測定値に基づいて合成容量を算出する手法が挙げられる。
【００２１】
第２の測定段階の第１の電圧測定段階では、図２に示すように、第１及び第２電源部１１，１２、第１及び第２電圧測定部１３，１４及び電流測定部１５を用いて測定が行われる。第１及び第２の電源部１１，１２は、同じ周波数の交流信号（交流電圧）である出力信号をそれぞれ出力する。但し、第１の電源部１１は、第２電圧測定部１４からその測定電圧に応じて出力される制御信号に基づき、第２電圧測定部１４が測定した電圧がゼロボルトになるように、その出力信号の位相及び振幅を調整する機能を有している。この第１及び第２の電源部１１，１２が出力する出力信号は、本発明に係る第２及び第３の出力信号にそれぞれ相当している。なお、電流測定部１５は、第１電源部１１から出力される出力信号の電流値を測定するものであるが、必須のものではなく、省略可能である。
【００２２】
具体的な測定方法としては、第１電源部１１の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３に対して与え、かつ第２電源部１２の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ４及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ６に対して与える。このとき、第１及び第２電源部１１，１２の正負２つの出力端子のうちの一方側はグランドに接続されており、第１及び第２電源部１１，１２の他方側の出力端子からの出力が出力信号としてコンデンサ回路１中の所定位置に供給される。
【００２３】
これと同時に、第２電圧測定部１４によって第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、そのように接続部Ｐ２の電圧をゼロボルトに調整しつつ、第１電圧測定部１３によって、第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧を第１電圧測定値として測定する。なお、より詳細には第１電圧測定部１３は接続部Ｐ３とグランドとの間の電圧を測定し、第２電圧測定部１４は接続部Ｐ５とグランドとの間の電圧を測定する。
【００２４】
第２の測定段階の第２の電圧測定段階でも、図３に示すように、第１の電圧測定段階と同じ設備構成を用いて測定が行われる。但し、第１の電圧測定段階とは、コンデンサ回路１に接続される第１の電源部１１、第１及び第２電圧測定部１３，１４及び電流測定部１５の位置が変更されている。第２の電源部１２の接続位置には変更がない。
【００２５】
その具体的な測定方法としては、第１電源部１１の出力信号を第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５に対して与え、かつ第２電源部１２の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ４及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ６に対して与える。このとき、第２電源部１２の出力信号の出力電圧は上記の第２の電圧測定段階のときと同じ値に設定される（後述する図８に示す測定動作でも同様である）。また、第１及び第２電源部１１，１２の正負２つの出力端子のうちの一方側はグランドに接続されており、第１及び第２電源部１１，１２の他方側の出力端子からの出力が出力信号としてコンデンサ回路１中の所定位置に供給される。
【００２６】
これと同時に、第２電圧測定部１４によって第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、そのように接続部Ｐ２の電圧をゼロボルトに調整しつつ、第１電圧測定部１３によって、第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧を第２電圧測定値として測定する。なお、より詳細には第１電圧測定部１３は接続部Ｐ５とグランドとの間の電圧を測定し、第２電圧測定部１４は接続部Ｐ３とグランドとの間の電圧を測定する。
【００２７】
そして、容量比算出段階にて、第１及び第２の電圧測定段階で測定された第１及び第２の電圧測定値に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。この容量比の算出の原理について、図２及び図３の回路に対する図４及び図５に示す等価回路を参照して説明する（図４は図２に対応、図５は図３に対応）。
【００２８】
図４及び図５の等価回路において、第２電源部１２の出力電圧は図４及び図５ともにｖ０とすると、第２電圧測定部１４の測定電圧がゼロボルトになるように第１電源部１１の出力信号の位相及び振幅が調整されているため、回路中の各素子の両端の電圧は、図中にｖ０，ｖＬ１，ｖ０＋ｖＬ１，ｖＬ２，ｖ０＋ｖＬ２で表された関係を有する。
【００２９】
また、図４中の第２コンデンサＣ２とリアクタＬに流れる電流は同じであり、図５中の第１コンデンサＣ１とリアクタＬに流れる電流は同じである。
【００３０】
このため、コンデンサＣ１，Ｃ２のリアクタンスをＸＣ１，ＸＣ２とし、リアクタＬのリアクタンスをＸＬのとすると、図４より、
ｖ０／ＸＣ２ ＝ ｖＬ２／ＸＬ
の関係が得られ、これより
ｖ０ ＝（ＸＣ２／ＸＬ）・ｖＬ２    （式１）
の関係が得られる。
【００３１】
また、図５より、
ｖ０／ＸＣ１ ＝ ｖＬ１／ＸＬ
の関係が得られ、これより
ｖ０ ＝（ＸＣ１／ＸＬ）・ｖＬ１    （式２）
の関係が得られる。
【００３２】
そして、（式１），（式２）より、
（ＸＣ２／ＸＬ）・ｖＬ２ ＝（ＸＣ１／ＸＬ）・ｖＬ１    （式３）
の関係が得られる。
【００３３】
ｖＬ２，ｖＬ１は、第１電圧測定部１３の測定電圧ｖｍ２，ｖｍ１の絶対値とそれぞれ等しいため、
ｖＬ２ ＝ ｖｍ２ ，ｖＬ１ ＝ ｖｍ１
であり、これを（式３）に代入して式変形すると、
ＸＣ２：ＸＣ１ ＝ ｖｍ１：ｖｍ２    （式４）
なる関係が得られる。これより、図４、図５の電圧ｖｍ１，ｖｍ２を測定することにより、電圧ｖｍ１，ｖｍ２の比でコンデンサＣ１，Ｃ２の容量比が算出できる。
【００３４】
続く算出段階では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量（ＸＣ１＋ＸＣ２）と、第２の測定段階で測定された（式４）の容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量がそれぞれ算出される。
【００３５】
次に、図６ないし図８を参照して、本実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられるコンデンサ容量測定装置（以下、単に「測定装置」という）について説明する。この測定装置２は、図６に示すように、複数（図６の図示例では６つ）の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と、電源手段３と、測定手段４と、接続切替手段５と、制御手段６と、表示手段７とを備えている。
【００３６】
接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６は、測定装置２とコンデンサ回路１の各部との電気接続を得るためのものであり、コンデンサ回路１の所定部位に電気的に接触される。具体的には、接触ピンＣＰ１，ＣＰ６は、インダクタＬと第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路に電気的に接触され、接触ピンＣＰ２，ＣＰ３はインダクタＬと第１コンデンサＣ１との間を接続する導電路に電気的に接触され、接触ピンＣＰ４，ＣＰ５は第１コンデンサＣ１と第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路に電気的に接触される。
【００３７】
電源手段３は、測定のための出力信号を供給するためものものであり、第１及び第２電源部１１，１２を有している。この電源手段３に含まれる第１及び第２電源部１１，１２、後述する測定手段４に含まれる第１及び第２電圧測定部１３，１４、及び第１電流測定部１５は、上述の図４、図５に示すものと実質的に同じ機能を有する同一のものであり、ここではこれらの機能に関する説明を省略する。
【００３８】
測定手段４は、コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を測定するために必要な電気特性の測定を行うものであり、第１及び第２電圧測定部１３，１４、及び第１及び第２電流測定部１５，１６を有している。第２電流測定部１６は、第２電源部１２から出力される第２出力信号の電流値を測定する。各測定部１３〜１６の測定値である測定結果は、制御手段６に与えられる。また、第２電圧測定部１４からはその測定電圧に応じた信号を制御信号として第１電源部１１に与えられる。
【００３９】
接続切替手段５は、制御手段６の制御によりオン、オフ等の切り替え動作を行う複数のスイッチング素子（例えば、半導体スイッチング素子）を有して構成され、複数の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と、電源手段３の電源部１１，１２、及び測定手段４の測定部１３〜１６との間の電気的な接続関係等を切り替える。具体的には、接続切替手段５には、６つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６と、スイッチング素子ＳＷ１１，ＳＷ１２とが備えられている。スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６に含まれる後述する各スイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４、及びスイッチング素子ＳＷ１１，ＳＷ１２は、制御手段６によってオン、オフ等の切り替えが制御される。
【００４０】
６つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６は、６つの接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６に１つずつ対応して設けられており、各スイッチング群ＳＧ１〜ＳＧ６には、例えば４つのスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４がそれぞれ備えられている。各スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ１は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と第２電源部１２との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ２は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と第１電圧測定部１３との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ３は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と、第２電圧測定部１４の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６側に配置されたスイッチング素子ＳＷ１２との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ４は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６と第１電源部１１との間の導電路をオン、オフするためのものである。
【００４１】
スイッチング素子ＳＷ１１は、第１電源測定部１３により第２電源部１２が出力する出力信号の電圧を測定可能とするために、第１電源測定部１３と第２電源部１２の出力信号が伝搬する導電路との間をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ１２は、各スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ３がオンのときに、接触ピンＣＰ１〜ＣＰ６を第２電圧測定部１４に接続するか、グランドに接続するかを切り替えるためのものである。
【００４２】
表示手段７は、測定結果（各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量）及び操作に必要な情報等の表示が行われる。
【００４３】
制御手段６は、接続切替手段５内の各スイッチング素子の制御を含むこの測定装置２全体の制御、及びコンデンサＣ１，Ｃ２の容量を測定するために必要な情報処理等を行う。制御手段６の機能要素としては、上述の第１の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量の測定のための動作を司る第１測定処理部２１と、第２の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比の測定のための動作を司る第２測定処理部２２と、算出段階における第１及び第２の測定段階により得られた測定結果に基づいた両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の算出処理を司る算出処理部２３とを備えている。
【００４４】
以下では、制御手段６の各処理部２１〜２３の制御動作について説明しながら、この測定装置２の測定動作を説明していく。
【００４５】
第１の測定段階における第１測定処理部２１による制御動作では、まず図６に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４のうち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ５のスイッチング素子ＳＷ３のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１１がオンされるとともに、スイッチング素子ＳＷ１２がグランド側に接続される。
【００４６】
これにより、第２電源部１２の出力信号（出力電圧）が、スイッチ群ＳＧ１，ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ５のスイッチング素子ＳＷ３、及び接触ピンＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ５を介して、コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に供給可能となる。また、第１電圧測定部１３による第２電源部１２の出力信号の電圧測定が可能となる。
【００４７】
そして、第２電源部１２の交流信号である出力信号（出力電圧）をコンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に与えつつ、第２電源部１２の出力信号に対する第１電圧測定部１３による電圧測定、及び第２電流測定部１６による電流測定が行われ、その測定電圧及び測定電流に基づいて並列接続されたときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量が算出される。
【００４８】
続く第２の測定段階の第１の電圧測定段階における第２測定処理部２２による制御動作では、まず図７に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４のうち、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ４、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２、スイッチ群ＳＧ４のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ３のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１１がオフされるとともに、スイッチング素子ＳＷ１２が第２電圧測定部１４側に接続される。
【００４９】
これにより、上述の図２及び図４に示す回路に対応する接続関係が得られ、第１電源部１１の出力信号が、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ４及び接触ピンＣＰ２を介して、コンデンサＣ１の接続部Ｐ３に供給可能となり、第２電源部１２の出力信号が、スイッチ群ＳＧ４のスイッチング素子ＳＷ１及び接触ピンＣＰ４を介して、コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６に供給可能となる。また、第１電圧測定部１３によるコンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧測定が、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２及び接触ピンＣＰ２を介して可能となるとともに、第２電圧測定部１４によるコンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧測定が、スイッチング素子ＳＷ１２、スイッチ群ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ３及び接触ピンＣＰ６を介して可能となる。
【００５０】
そして、第１電源部１１の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３に対して与え、かつ第２電源部１２の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ４及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ６に対して与える。これと同時に、第２電圧測定部１４によって第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、そのように接続部Ｐ２の電圧をゼロボルトに調整しつつ、第１電圧測定部１３によって、第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧を第１電圧測定値として測定する。
【００５１】
続く第２の測定段階の第２の電圧測定段階における第２測定処理部２２による制御動作では、まず図８に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４のうち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ４、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ３、スイッチ群ＳＧ４のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ２のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ４は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１１がオフされるとともに、スイッチング素子ＳＷ１２が第２電圧測定部１４側に接続される。
【００５２】
これにより、上述の図３及び図５に示す回路に対応する接続関係が得られ、第１電源部１１の出力信号が、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ４及び接触ピンＣＰ１を介して、コンデンサＣ２の接続部Ｐ５に供給可能となり、第２電源部１２の出力信号が、スイッチ群ＳＧ４のスイッチング素子ＳＷ１及び接触ピンＣＰ４を介して、コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６に供給可能となる。また、第１電圧測定部１３によるコンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧測定が、スイッチ群ＳＧ６のスイッチング素子ＳＷ２及び接触ピンＣＰ６を介して可能となるとともに、第２電圧測定部１４によるコンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧測定が、スイッチング素子ＳＷ１２、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ３及び接触ピンＣＰ２を介して可能となる。
【００５３】
そして、第１電源部１１の出力信号を第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５に対して与え、かつ第２電源部１２の出力信号を第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ４及び第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ６に対して与える。これと同時に、第２電圧測定部１４によって第１コンデンサＣ１の接続部Ｐ３の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、そのように接続部Ｐ２の電圧をゼロボルトに調整しつつ、第１電圧測定部１３によって、第２コンデンサＣ２の接続部Ｐ５の電圧を第２電圧測定値として測定する。
【００５４】
続く第２の測定段階の容量比算出段階における第２測定処理部２２による処理動作では、第１及び第２の電圧測定段階で測定された第１及び第２の電圧測定値に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。より具体的には、第１及び第２の電圧測定値の比に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比が算出される。
【００５５】
続く算出段階における算出処理部２３による処理動作では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量がそれぞれ算出され、その算出結果が表示手段７に表示される。
【００５６】
以上のように、本実施形態によれば、インピーダンス素子であるインダクタＬの両側に２つのコンデンサＣ１，Ｃ２がデルタ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路１内の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を、コンデンサＣ１，Ｃ２を回路１に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できる。
【００５７】
＜第２実施形態＞
次に図９を参照して、本発明の第２実施形態に係るコンデンサ容量測定方法について説明する。本実施形態に係るコンデンサ容量測定方法も、上述の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法と同様な図９に示すコンデンサ回路１内の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の措定を行うためのものである。
【００５８】
このコンデンサ容量測定方法は、第１の測定段階と、図９に示す第２の測定段階と、算出段階とを備えている。第１の測定段階は、両コンデンサＣ１，Ｃ２を並列接続したときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定するためのものであり、上述の第１実施形態に係る第１の測定段階と同様な測定手法が用いられるため、詳細な説明は省略する。
【００５９】
第２の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比が測定される。続く算出段階で、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量が算出される。
【００６０】
より詳細には、第２の測定段階は、後述する電圧信号測定段階と、容量比算出段階とを備えている。電圧信号測定段階では、図９に示す測定設備を用いて測定が行われる。なお、図９において、測定のための設備（第１及び第２電源部１１，１２、第１及び第２電圧測定部１３，１４及び電流測定部１５）自体は、上述の図２の設備とほぼ同一であるため、同一の参照符号を用いて説明を省略する。なお、電流測定部１５は必須のものではなく、省略可能である。
【００６１】
ここで、仮にコンデンサ回路１の構成がコンデンサＣ１の接続部Ｐ４とコンデンサＣ２の接続部Ｐ６とが接続されていないπ型である場合には、この第２の測定段階では、接続部Ｐ４と接続部Ｐ６との間を接続回路により接続する必要がある。それは、例えば、配線により互いに接続された２つの接触ピンを接続部Ｐ４，Ｐ６に導通させることにより行われる。
【００６２】
具体的には、第１電源部１１の交流信号である出力信号をコンデンサＣ２の接続部Ｐ５に与えるとともに、第１電源部１１の出力信号と同じ周波数を有する交流信号である第２電源部１２の出力信号をコンデンサＣ１の接続部Ｐ３に与える。これと同時に、第２電圧測定部１４によりコンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、第１電源部１１にその出力信号を接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧がゼロボルトになるように調整させつつ、第１電圧測定部１３に、第１電源部１１が出力する出力信号の出力電圧と、第２電源部１２が出力する出力信号の出力電圧との位相差を測定させる。
【００６３】
このとき、第１及び第２電源部１１，１２の正負２つの出力端子のうちの一方側はグランドに接続されており、第１及び第２電源部１１，１２の他方側の出力端子からの出力が出力信号としてコンデンサ回路１中の所定位置に供給される。また、より具体的には、第２電圧測定部１４は、接続部Ｐ４，Ｐ６とグランドとの間の電圧を測定するようになっている。
【００６４】
なお、変形例として、第１電圧測定部１３に、両電源部１１，１２が出力する出力信号の位相差とともに、振幅差を測定させてもよい。そして、その測定された振幅差に基づいて、第１電源部１１の出力信号を接続部Ｐ５に供給するための接触ピンＣＰ１（図１１参照）のコンデンサ回路１との接触部の接触抵抗と、第２電源部１２の出力信号を接続部Ｐ３に供給するための接触ピンＣＰ２（図１１参照）のコンデンサ回路１との接触部の接触抵抗との差を検出するようにしてもよい。
【００６５】
続く第２の測定段階の容量比算出段階では、上述の電圧信号測定段階で測定された両電源部１１，１２の出力信号の位相差に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。
【００６６】
続く算出段階では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を算出する。
【００６７】
次に、図１０及び図１１を参照して、本実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられる測定装置２ａについて説明する。この測定装置２ａは、図１０に示すように、複数（図１０の図示例では３つ）の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と、電源手段３と、測定手段４と、接続切替手段５と、制御手段６と、表示手段７とを備えている。なお、この図１０に示す構成と上述の図６に示す構成とが実質的に異なっている点は、接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３の数、接続切替手段５の構成、第１電圧測定部１３の接続形態、及び制御手段６の制御動作のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明の重複を回避する。
【００６８】
この測定装置２ａでは、接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３が、インダクタＬと第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路、インダクタＬと第１コンデンサＣ１との間を接続する導電路、及び第１コンデンサＣ１と第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路にそれぞれ１つずつ電気的に接触される。
【００６９】
また、第１電圧測定部１３の２つの測定端子のうちの一方側は、第２電源部１２から接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３側に向かう出力信号の出力ラインに接続されており、その他方側は、後述する接続切替手段５のスイッチング素子ＳＷ１３により、グランド、又は第１電源部１１から接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３側に向かう出力信号の出力ラインに選択的に接続される。このため、スイッチング素子ＳＷ１３がグランド側に接続されているときは、第１電圧測定部１３によって、第１電源部１１から出力される出力信号のグランド電位に対する電圧が測定可能となる。また、スイッチング素子ＳＷ１３が第１電源部１１の出力ライン側に接続されているときは、第１電圧測定部１３によって、第１電源部１１から出力される出力信号と第２電源部１２から出力される出力信号との位相差（あるいは、位相差及び振幅差）が測定可能となる。
【００７０】
接続切替手段５には、３つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３と、スイッチング素子ＳＷ１２，ＳＷ１３とが備えられている。スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３に含まれる後述する各スイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３、及びスイッチング素子ＳＷ１２，ＳＷ１３は、制御手段６によってオン、オフ等の切り替えが制御される。
【００７１】
３つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３は、３つの接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３に１つずつ対応して設けられており、各スイッチング群ＳＧ１〜ＳＧ３には、例えば３つのスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３がそれぞれ備えられている。各スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と第２電源部１２との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ２は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と、第２電圧測定部１４の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３側に配置されたスイッチング素子ＳＷ１２との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ３は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と第１電源部１１との間の導電路をオン、オフするためのものである。
【００７２】
スイッチング素子ＳＷ１２は、各スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２がオンのときに、接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３を第２電圧測定部１４に接続するか、グランドに接続するかを切り替えるためのものである。スイッチング素子ＳＷ１３は、第１電圧測定部１３との関係で既に説明した通りである。
【００７３】
制御手段６は、機能要素として、上述の第１の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量の測定のための動作を司る第１測定処理部２１ａと、第２の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比の測定のための動作を司る第２測定処理部２２ａと、算出段階における第１及び第２の測定段階により得られた測定結果に基づいた両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の算出処理を司る算出処理部２３ａとを備えている。
【００７４】
以下では、制御手段６の各処理部２１ａ〜２３ａの制御動作について説明しながら、この測定装置２ａの測定動作を説明していく。
【００７５】
第１の測定段階における第１測定処理部２１ａによる制御動作では、まず図１０に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３うち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１２，ＳＷ１３がグランド側に接続される。
【００７６】
これにより、第２電源部１２の出力信号（出力電圧）が、スイッチ群ＳＧ１，ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２、及び接触ピンＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ３を介して、コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に供給可能となる。また、第１電圧測定部１３による第２電源部１２の出力信号の電圧測定が可能となる。
【００７７】
そして、第２電源部１２の交流信号である出力信号（出力電圧）をコンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に与えつつ、第２電源部１２の出力信号に対する第１電圧測定部１３による電圧測定、及び第２電流測定部１６による電流測定が行われ、その測定電圧及び測定電流に基づいて並列接続されたときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量が算出される。
【００７８】
続く第２の測定段階の電圧信号測定段階における第２測定処理部２２ａによる制御動作では、まず図１１に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３のうち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ３、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１２が第２電圧測定部１４側に接続されるとともに、スイッチング素子Ｓ１３が第１電源部１１の出力ライン側に接続される。
【００７９】
これにより、上述の図９に示す回路に対応する接続関係が得られ、第１電源部１１の出力信号が、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ３及び接触ピンＣＰ１を介して、コンデンサＣ２の接続部Ｐ５に供給可能となり、第２電源部１２の出力信号が、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１及び接触ピンＣＰ２を介して、コンデンサＣ１の接続部Ｐ３に供給可能となる。また、第１電圧測定部１３による両電源部１１，１２の出力ライン間の電圧測定が、スイッチング素子ＳＷ１３を介して可能となるとともに、第２電圧測定部１４による両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧測定が、スイッチング素子ＳＷ１２、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２及び接触ピンＣＰ３を介して可能となる。
【００８０】
そして、第１電源部１１の交流信号である出力信号をコンデンサＣ２の接続部Ｐ５に与えるとともに、第１電源部１１の出力信号と同じ周波数を有する交流信号である第２電源部１２の出力信号をコンデンサＣ１の接続部Ｐ３に与える。これと同時に、第２電圧測定部１４によりコンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧を測定し、その測定電圧がゼロボルトになるように、第１電源部１１にその出力信号の位相及び振幅を調整させる。そして、第１電源部１１にその出力信号を接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧がゼロボルトになるように調整させつつ、第１電圧測定部１３に、第１電源部１１が出力する出力信号の出力電圧と、第２電源部１２が出力する出力信号の出力電圧との位相差を測定させる。
【００８１】
続く第２の測定段階の容量比算出段階における第２測定処理部２２ａによる処理動作では、上述の電圧信号測定段階で測定された両電源部１１，１２の出力信号の位相差に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。
【００８２】
続く算出段階における算出処理部２３ａによる処理動作では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を算出し、その算出結果を表示手段７に表示する。
【００８３】
以上のように、本実施形態によれば、インピーダンス素子であるインダクタＬの両側に２つのコンデンサＣ１，Ｃ２がデルタ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路１内の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を、コンデンサＣ１，Ｃ２を回路１に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できる。
【００８４】
＜第３実施形態＞
次に図１２を参照して、本発明の第３実施形態に係るコンデンサ容量測定方法について説明する。本実施形態に係るコンデンサ容量測定方法も、上述の第１実施形態に係るコンデンサ容量測定方法と同様な図１２に示すコンデンサ回路１内の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の措定を行うためのものである。
【００８５】
このコンデンサ容量測定方法は、第１の測定段階と、図１２に示す第２の測定段階と、算出段階とを備えている。第１の測定段階は、両コンデンサＣ１，Ｃ２を並列接続したときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定するためのものであり、上述の第１実施形態に係る第１の測定段階と同様な測定手法が用いられるため、詳細な説明は省略する。
【００８６】
第２の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比が測定される。続く算出段階で、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量が算出される。
【００８７】
より詳細には、第２の測定段階は、後述する電圧信号測定段階と、容量比算出段階とを備えている。電圧信号測定段階では、図１２に示す測定設備を用いて測定が行われる。なお、図１２において、測定のための設備（第１及び第２電源部１１，１２、及び電圧測定部１４）自体は、上述の図９の設備とほぼ同一であるため、同一の参照符号を用いて説明を省略する。なお、電流測定部１５は必須のものではなく、省略可能である。
【００８８】
ここで、仮にコンデンサ回路１の構成がコンデンサＣ１の接続部Ｐ４とコンデンサＣ２の接続部Ｐ６とが接続されていないπ型である場合には、この第２の測定段階では、接続部Ｐ４と接続部Ｐ６との間を接続回路により接続する必要がある。それは、例えば、配線により互いに接続された２つの接触ピンを接続部Ｐ４，Ｐ６に導通させることにより行われる。
【００８９】
具体的には、第１及び第２電源部１１，１２に周波数及び振幅が同じで位相が互いに１８０度ずれた交流信号である出力信号をそれぞれ出力させ、その両出力信号を、コンデンサＣ１の接続部Ｐ３とコンデンサＣ２の接続部Ｐ５とに与える。そして、そのように両出力信号を与えつつ、電圧測定部１４により、両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号の位相を測定する。
【００９０】
このとき、第１及び第２電源部１１，１２の正負２つの出力端子のうちの一方側はグランドに接続されており、第１及び第２電源部１１，１２の他方側の出力端子からの出力が出力信号としてコンデンサ回路１中の所定位置に供給される。また、より具体的には、電圧測定部１４は、グランド電位を基準として接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号及びその位相を測定するようになっている。
【００９１】
なお、変形例として、電圧測定部１４に、接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号の位相とともに、電圧信号の振幅を測定させてもよい。そして、その測定された振幅に基づいて、第１電源部１１の出力信号を接続部Ｐ３に供給するための接触ピンＣＰ２（図１４参照）のコンデンサ回路１との接触部の接触抵抗と、第２電源部１２の出力信号を接続部Ｐ３に供給するための接触ピンＣＰ１（図１４参照）のコンデンサ回路１との接触部の接触抵抗との差を検出するようにしてもよい。
【００９２】
続く第２の測定段階の容量比算出段階では、上述の電圧信号測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号の位相に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。両電源部１１，１２からは同一周波数かつ同一振幅の交流信号の出力信号が逆位相で出力されるため、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の相違（容量比）が接続部Ｐ４，Ｐ６での電圧信号の位相に反映される。
【００９３】
続く算出段階では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を算出する。
【００９４】
次に、図１３及び図１４を参照して、本実施形態に係るコンデンサ容量測定方法に用いられる測定装置２ｂについて説明する。この測定装置２ｂは、図１３に示すように、複数（図１３の図示例では３つ）の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と、電源手段３と、測定手段４と、接続切替手段５と、制御手段６と、表示手段７とを備えている。なお、この図１３に示す構成と上述の図１０に示す構成とが実質的に異なっている点は、接続切替手段５の構成、第１電圧測定部１３の接続形態、及び制御手段６の制御動作のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付して説明の重複を回避する。
【００９５】
この測定装置２ｂにおいても、接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３が、インダクタＬと第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路、インダクタＬと第１コンデンサＣ１との間を接続する導電路、及び第１コンデンサＣ１と第２コンデンサＣ２との間を接続する導電路にそれぞれ１つずつ電気的に接触される。
【００９６】
接続切替手段５には、３つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３と、スイッチング素子ＳＷ１２とが備えられている。スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３に含まれる後述する各スイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３、及びスイッチング素子ＳＷ１４は、制御手段６によってオン、オフ等の切り替えが制御される。
【００９７】
３つのスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３は、３つの接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３に１つずつ対応して設けられており、各スイッチング群ＳＧ１〜ＳＧ３には、例えば３つのスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３がそれぞれ備えられている。各スイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と第２電源部１２との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ２は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と、電圧測定部１３の接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３側に配置されたスイッチング素子ＳＷ１４との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ３は、対応する接触ピンＣＰ１〜ＣＰ３と第１電源部１１との間の導電路をオン、オフするためのものである。スイッチング素子ＳＷ１２は、上述の図１０のスイッチング素子ＳＷ１２と同様な役割を担っている。
【００９８】
また、図１３に示す構成では、第１電圧測定部１３が、第２電源部１２の出力信号の出力ラインに常時接続され、出力信号の電圧を常時測定可能となっている。
【００９９】
制御手段６は、機能要素として、上述の第１の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量の測定のための動作を司る第１測定処理部２１ｂと、第２の測定段階における両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比の測定のための動作を司る第２測定処理部２２ｂと、算出段階における第１及び第２の測定段階により得られた測定結果に基づいた両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量の算出処理を司る算出処理部２３ｂとを備えている。
【０１００】
以下では、制御手段６の各処理部２１ｂ〜２３ｂの制御動作について説明しながら、この測定装置２ｂの測定動作を説明していく。
【０１０１】
第１の測定段階における第１測定処理部２１ｂによる制御動作では、まず図１３に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３うち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、及びスイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１４がグランド側に接続される。
【０１０２】
これにより、第２電源部１２の出力信号（出力電圧）が、スイッチ群ＳＧ１，ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２、及び接触ピンＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ３を介して、コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に供給可能となる。
【０１０３】
そして、第２電源部１２の交流信号である出力信号（出力電圧）をコンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ３，Ｐ５と接続部Ｐ４，Ｐ６との間に与えつつ、第２電源部１２の出力信号に対する第１電圧測定部１３による電圧測定、及び第２電流測定部１６による電流測定が行われ、その測定電圧及び測定電流に基づいて並列接続されたときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量が算出される。
【０１０４】
続く第２の測定段階の電圧信号測定段階における第２測定処理部２２ｂによる制御動作では、まず図１４に示すように、接続切替手段５のスイッチ群ＳＧ１〜ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３のうち、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ１、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ３、及びスイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２のみがオンされ、他のスイッチング素子ＳＷ１〜ＳＷ３は全てオフされる。また、スイッチング素子ＳＷ１２が第２電圧測定部１４側に接続される。
【０１０５】
これにより、上述の図１２に示す回路に対応する接続関係が得られ、第１電源部１１の出力信号が、スイッチ群ＳＧ２のスイッチング素子ＳＷ３及び接触ピンＣＰ２を介して、コンデンサＣ１の接続部Ｐ３に供給可能となり、第２電源部１２の出力信号が、スイッチ群ＳＧ１のスイッチング素子ＳＷ１及び接触ピンＣＰ１を介して、コンデンサＣ２の接続部Ｐ５に供給可能となる。また、第２電圧測定部１４による両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧測定が、スイッチング素子ＳＷ１２、スイッチ群ＳＧ３のスイッチング素子ＳＷ２及び接触ピンＣＰ３を介して可能となる。
【０１０６】
そして、第１及び第２電源部１１，１２に周波数及び振幅が同じで位相が互いに１８０度ずれた交流信号である出力信号をそれぞれ出力させ、その両出力信号を、コンデンサＣ１の接続部Ｐ３とコンデンサＣ２の接続部Ｐ５とに与える。そして、そのように両出力信号を与えつつ、第２電圧測定部１４により、両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号の位相を測定する。
【０１０７】
続く第２の測定段階の容量比算出段階における第２測定処理部２２ｂによる処理動作では、上述の電圧信号測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の接続部Ｐ４，Ｐ６の電圧信号の位相に基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を算出する。
【０１０８】
続く算出段階における算出処理部２３ｂによる処理動作では、第１の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量と、第２の測定段階で測定された両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比とに基づいて、各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を算出し、その算出結果を表示手段７に表示する。
【０１０９】
以上のように、本実施形態によれば、インピーダンス素子であるインダクタＬの両側に２つのコンデンサＣ１，Ｃ２がデルタ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路１内の各コンデンサＣ１，Ｃ２の容量を、コンデンサＣ１，Ｃ２を回路１に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できる。
【符号の説明】
【０１１０】
１  コンデンサ回路、２，２ａ，２ｂ  コンデンサ容量測定装置、３  電源手段、４  測定手段、５  接続切替手段、６  制御手段、７  表示手段、１１  第１電源部、１２  第２電源部、１３  第１電圧測定部、１４  第２電圧測定部、１５  第１電流測定部、１６  第２電流測定部、２１，２１ａ，２１ｂ  第１測定処理部、２２，２２ａ，２２ｂ  第２測定処理部、２３，２３ａ，２３ｂ  算出処理部、Ｃ１  第１コンデンサ、Ｃ２  第２コンデンサ、ＣＰ１〜ＣＰ６  接触ピン、Ｌ  リアクタ、Ｐ１  第１接続部、Ｐ２  第２接続部、Ｐ３  第３接続部、Ｐ４  第４接続部、Ｐ５  第５接続部、Ｐ６  第６接続部、ＳＧ１〜ＳＧ６  スイッチ群、ＳＷ１〜ＳＷ４，ＳＷ１１〜ＳＷ１３  スイッチング素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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