(57)【要約】【課題】  通過特性が広帯域であり、フィルタの膜厚が８％λ程度であって、通過帯域内のリップルと反射特性を改善することができる弾性表面波フィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】  縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入力側の１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚と出力側の２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚を８％λ程度で形成し、リップルを打ち消すような膜厚となるようモニタリングしながら、１段目の電極膜を削って、２段目の電極の膜厚より１段目の膜厚を薄くする弾性表面波フィルタ及びその製造方法である。【選択図】        図２
2013192097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタであって、
前記２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚が略８％λであり、
前記１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚を前記２段目の電極の膜厚に対して薄くしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極がアルミニウムで形成され、
前記１段目の電極の膜厚を前記２段目の電極の膜厚に対して３〜５％薄くしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法であって、
前記１段目及び前記２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、
前記１段目の電極を削って、前記１段目の電極の膜厚を前記２段目の電極の膜厚に対して薄くしたことを特徴とする弾性表面波フィルタの製造方法。
【請求項４】
１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極をアルミニウムで形成し、
前記１段目の電極の膜厚を前記２段目の電極の膜厚に対して３〜５％薄くしたことを特徴とする請求項３記載の弾性表面波フィルタの製造方法。
【請求項５】
１段目の電極を削る場合に、リップルを打ち消すような膜厚となるようモニタリングしながら行うことを特徴とする請求項３又は４記載の弾性表面波フィルタの製造方法。
【請求項６】
入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法であって、
前記１段目及び前記２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、
前記２段目の電極に金属膜を積層して、前記２段目の電極の膜厚を前記１段目の電極の膜厚に対して厚くしたことを特徴とする弾性表面波フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタに係り、特に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善した弾性表面波フィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
縦結合共振子（ＣＬＭＲ：Composite Longitudinal Mode Resonator）型弾性表面波フィルタに要求される電気特性項目で、通過帯域内の振幅偏差（リップル）と反射特性は非常に重要な項目である。
一般に、２個の共振子型弾性表面波フィルタを直列に接続（２段縦接続）することにより、共振子型弾性表面波フィルタが１個の場合よりも大きな減衰特性を得られる。
【０００３】
［関連技術］
尚、関連する先行技術として、特開２００４−３１２５７６号公報「弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置」（株式会社村田製作所）［特許文献１］、特開２００１−３２６５５７号公報「弾性表面波装置」（株式会社村田製作所）［特許文献２］、特開２０００−２９５０７６号公報「縦結合二重モードＳＡＷフィルタ」（東洋通信株式会社）［特許文献３］がある。
【０００４】
特許文献１には、弾性表面波装置において、１段目の縦結合共振子型弾性表面波素子と２段目の縦結合共振子型弾性表面波素子とで、狭ピッチ電極指部の電極指本数及び電極指ピッチの少なくとも一方を異ならせることが示されている。
【０００５】
特許文献２には、弾性表面波装置において、第１と第２の弾性表面波フィルタの一方と入力端子との間に直列に一端子対弾性表面波共振子を設け、その反共振周波数が弾性表面波フィルタの通過帯域より高周波側に位置されていることが示されている。
【０００６】
特許文献３には、縦結合二重モードＳＡＷフィルタにおいて、ライン占有率を適切に設定することにより正規型ＩＤＴ電極及び反射反転型ＩＤＴ電極のストップバンド幅をほぼ等しくしたことが示されている。尚、特許文献３には、正規型ＩＤＴ電極の膜厚（ｈ＝１．６％λ（λ：ＩＤＴ電極周期））より反射反転型ＩＤＴ電極の膜厚（ｈ＝３％λ）を厚くしてストップバンド幅を広げることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３１２５７６号公報
【特許文献２】特開２００１−３２６５５７号公報
【特許文献３】特開２０００−２９５０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の弾性表面波フィルタでは、２段縦接続の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの構成とすることで、大きな減衰特性が得られるものの、通過帯域内のリップルは大きくなり、反射特性も悪くなるという問題点があった。
【０００９】
上記特許文献１−３では、１段目の弾性表面波フィルタの膜厚に対して２段目の弾性表面波フィルタの膜厚を厚くする構成とはなっていない。
特に、特許文献３は、反射反転型ＩＤＴ電極（１段目のＩＤＴ電極）の膜厚を正規型ＩＤＴ電極（２段目のＩＤＴ電極）の膜厚より厚くしたものであり、膜厚も厚い方が３％λで、薄い方が１．６％λであり、フィルタ特性も狭帯域を対象としたものである。
【００１０】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、通過特性が広帯域であり、フィルタの電極の膜厚が８％λ程度であって、通過帯域内のリップルと反射特性を改善することができる弾性表面波フィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタであって、２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚が略８％λであり、１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して薄くしたことを特徴とする。
【００１２】
本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極がアルミニウムで形成され、１段目の電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して３〜５％薄くしたことを特徴とする。
【００１３】
本発明は、入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法であって、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、１段目の電極を削って、１段目の電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して薄くしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明は、上記弾性表面波フィルタの製造方法において、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極をアルミニウムで形成し、１段目の電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して３〜５％薄くしたことを特徴とする。
【００１５】
本発明は、上記弾性表面波フィルタの製造方法において、１段目の電極を削る場合に、リップルを打ち消すような膜厚となるようモニタリングしながら行うことを特徴とする。
【００１６】
本発明は、入力側の１段目の弾性表面波フィルタと出力側の２段目の弾性表面波フィルタを備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法であって、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、２段目の電極に金属膜を積層して、２段目の電極の膜厚を１段目の電極の膜厚に対して厚くしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚が略８％λであり、１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して薄くした縦結合共振子型弾性表面波フィルタとしているので、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できる効果がある。
【００１８】
本発明によれば、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、１段目の電極を削って、１段目の電極の膜厚を２段目の電極の膜厚に対して薄くした縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法としているので、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できる効果がある。
【００１９】
本発明によれば、１段目及び２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を略８％λの膜厚で形成し、２段目の電極に金属膜を積層して、２段目の電極の膜厚を１段目の電極の膜厚に対して厚くした縦結合共振子型弾性表面波フィルタの製造方法としているので、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの概略図である。
【図２】実施の形態に係るＣＬＭＲ型弾性表面波フィルタの断面説明図である。
【図３】実施の形態の通過帯域内振幅特性を示す図である。
【図４】実施の形態の通過帯域内ＶＳＷＲを示す図である。
【図５】従来の通過帯域内振幅特性を示す図である。
【図６】従来の通過帯域内ＶＳＷＲを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入力側の１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚と出力側の２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚の膜厚を８％λ程度の膜厚とし、２段目の電極の膜厚に対して１段目の電極の膜厚を３〜５％薄くしたものであり、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できるものである。
【００２２】
また、本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの製造方法は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入力側の１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚と出力側の２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を８％λ程度の膜厚で形成し、リップルを打ち消すような膜厚となるようモニタリングしながら、１段目の電極膜を削って、２段目の電極の膜厚より１段目の膜厚を３〜５％薄くするものであり、モニタリングで確認しながら、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できるものである。
【００２３】
［本フィルタの概略：図１］
本発明の実施の形態に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタについて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタの概略図である。
本発明の実施の形態に係る縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（本フィルタ）は、図１に示すように、圧電基板上に、１段目として、入力用交叉指電極ＩＤＴ１と、出力用交叉指電極ＩＤＴ２，ＩＤＴ３と、反射器電極群ＲＥＦ１，ＲＥＦ２とを有し、２段目として、入力用交叉指電極ＩＤＴ４，ＩＤＴ５と、出力用交叉指電極ＩＤＴ６と、反射器電極群ＲＥＦ３，ＲＥＦ４とを有している。
【００２４】
［本フィルタの動作］
本フィルタは、入力用交叉指電極ＩＤＴ１に接続する入力ポートから入力された信号は、入力用交叉指電極ＩＤＴ１で交叉指電極と垂直な方向に弾性表面波を励振する。
そして、出力用交叉指電極ＩＤＴ２と出力用交叉指電極ＩＤＴ３の外側に配置された反射器電極群ＲＥＦ１と反射器電極群ＲＥＦ２との間でキャビティ（Cavity：空洞）を形成する。
【００２５】
キャビティ間には定在波が発生し、これを出力用交叉指電極ＩＤＴ２と出力用交叉指電極ＩＤＴ３で１段目の出力信号として取り出し、これを２段目の入力用交叉指電極ＩＤＴ４と入力用交叉指電極ＩＤＴ５に接続することにより、１段目と同様の現象によって出力用交叉指電極ＩＤＴ６から所望の周波数特性を持つ出力信号を取り出す。
【００２６】
ここで、弾性表面波フィルタを２段直列に接続した本フィルタの構成における周波数特性は、通過帯域外の減衰特性が大きくなるメリットがあるが、逆に、通過帯域内のリップルや反射特性（ＶＳＷＲ：Voltage Standing Wave Ratio：電圧定在波比）が悪くなるデメリットがある。
【００２７】
通過帯域内のリップルや反射特性の改善のためには、１段目の弾性表面波フィルタと２段目の弾性表面波フィルタの電極間隔や電極本数をわずかに異ならせることが特許文献１に記載されている。
【００２８】
本フィルタでは、１段目の弾性表面波フィルタと２段目の弾性表面波フィルタの電極間隔や電極本数を異ならせることなく、１段目と２段目の電極の膜厚を異ならせることで、通過帯域内のリップルや反射特性を改善するものである。
［電極の膜厚：図２］
次に、本フィルタの１段目の弾性表面波フィルタと２段目の弾性表面波フィルタの膜厚について図２を参照しながら説明する。図２は、実施の形態に係るＣＬＭＲ型弾性表面波フィルタの断面説明図である。特に図２（ａ）が１段目、図２（ｂ）が２段目の電極の膜厚を示している。
圧電基板１１上に１段目の弾性表面波フィルタの電極１２ａをアルミニウム（Ａｌ）で膜厚Ｘを３８００オングストローム（Å）とし、２段目の弾性表面波フィルタの電極１２ｂをＡｌで膜厚Ｙを３９５０オングストローム（Å）としている。つまり、１段目の電極に対して２段目の電極の膜厚を厚くしている。
【００２９】
特許文献３では狭帯域で膜厚が１．５％λと薄いものであったが、これに対して、本フィルタでは電極１２ａ，１２ｂの膜厚を共に約８％λ（λ：ＩＤＴ電極周期）程度の厚みとし、広帯域に対応させたものである。
【００３０】
［製造方法］
製造方法は、基板１上にＡｌの電極を厚み３９５０Åで１段目と２段目を形成し、モニタリングしながらリップルを打ち消すよう１段目の電極膜を削って、２段目の電極の膜厚に対して１段目の電極の膜厚を薄くする。その結果、１段目の電極１２ａは３８００Åとなった。削り幅は、上記の例では、２段目の電極１２ｂの膜厚に対して約３．８％（＝（３９５０−３８００）／３９５０）であり、３〜５％程度が望ましい。
尚、１段目と２段目の電極の膜厚を３８００Åで形成し、２段目の電極にＡｌを積層して３９５０Åの膜厚としてもよい。
【００３１】
［通過帯域内振幅特性：図３、図５］
次に、本フィルタと従来のフィルタとを比較した場合の通過帯域内振幅特性について説明する。図３は、実施の形態の通過帯域内振幅特性を示す図であり、図５は、従来の通過帯域内振幅特性を示す図である。尚、従来のフィルタは、本フィルタと同様の電極指の本数、電極間ピッチで、１段目と２段目が共に膜厚３８００Åとした構成である。
【００３２】
本フィルタでは、図３に示すように、通過帯域内のリップルは０．８５ｄＢであり、従来のフィルタでは、図５に示すように、通過帯域内のリップルは１．０４ｄＢであった。
つまり、本フィルタは従来のフィルタに比べて通過帯域内のリップルが改善されている。
【００３３】
［通過帯域内ＶＳＷＲ：図４、図６］
次に、本フィルタと従来のフィルタとを比較した場合の通過帯域内ＶＳＷＲについて説明する。図４は、実施の形態の通過帯域内ＶＳＷＲを示す図であり、図６は、従来の通過帯域内ＶＳＷＲを示す図である。
【００３４】
本フィルタでは、図４に示すように、通過帯域内のＶＳＷＲは２．４３であり、従来のフィルタでは、図６に示すように、通過帯域内のＶＳＷＲは２．５５であった。
つまり、本フィルタは従来のフィルタに比べて通過帯域内のＶＳＷＲが改善されている。
【００３５】
［実施の形態の効果］
本フィルタによれば、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入力側の１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚と出力側の２段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚を８％λ程度とし、２段目の電極の膜厚に対して１段目の電極の膜厚を薄くしたものであり、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できる効果がある。
【００３６】
本フィルタの製造方法によれば、縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、入力側の１段目の弾性表面波フィルタにおける電極の膜厚と出力側の２段目の弾性表面波フィルタにおける電極を８％λ程度の膜厚で形成し、リップルを打ち消すような膜厚となるようモニタリングしながら、１段目の電極膜を削って、２段目の電極の膜厚より１段目の膜厚を薄くするものであり、モニタリングで確認しながら、通過特性が広帯域の場合に、通過帯域内のリップルと反射特性を改善できる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、通過特性が広帯域であり、フィルタの電極の膜厚が８％λ程度であって、通過帯域内のリップルと反射特性を改善することができる弾性表面波フィルタ及びその製造方法に好適である。
【符号の説明】
【００３８】
１１...圧電基板、  １２ａ...１段目の弾性表面波フィルタの電極、  １２ｂ...２段目の弾性表面波フィルタの電極、  ＩＤＴ１...入力用交叉指電極、  ＩＤＴ２...出力用交叉指電極、  ＩＤＴ３...出力用交叉指電極、  ＲＥＦ１...反射器電極群、  ＲＥＦ２...反射器電極群、  ＩＤＴ４...入力用交叉指電極、  ＩＤＴ５...入力用交叉指電極、  ＩＤＴ６...出力用交叉指電極、  ＲＥＦ３...反射器電極群、  ＲＥＦ４...反射器電極群
【図１】
2013192097.tif 000003
【図２】
2013192097.tif 000004
【図３】
2013192097.tif 000005
【図４】
2013192097.tif 000006
【図５】
2013192097.tif 000007
【図６】
2013192097.tif 000008