(57)【要約】【課題】微振動を生起させる微振動用の駆動信号の波形等、微振動を生起する要件の適正化を実現して良好な増粘抑制効果を得ることができる液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクが充填される圧力発生室１２、駆動信号の供給により圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせる圧電素子１８と、前記圧力変化に伴い圧力発生室１２内の液体を吐出させるノズル開口１３とを備えた記録ヘッド１０と、圧力発生室１２を膨張させる膨張要素および圧力発生室１２を収縮させる収縮要素を含むとともにノズル開口１３からインクを吐出させることなく圧力発生室１２内にインクの微振動を生起させるための微振動用の駆動信号を圧電素子１８に供給する制御手段とを備えた液体噴射装置であって、前記微振動用の駆動信号は、前記膨張要素の傾きが、前記収縮要素の傾きよりも大きくなるように形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される圧力発生室と、駆動信号の供給により前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力変化に伴い前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを備えた液体噴射ヘッドと、前記圧力発生室を膨張させる膨張要素および前記圧力発生室を収縮させる収縮要素を含むとともに前記ノズル開口から液体を吐出させることなく前記圧力発生室内に前記液体の微振動を生起させるための微振動用の駆動信号を前記圧力発生手段に供給する制御手段とを備えた液体噴射装置であって、
前記微振動用の駆動信号は、前記膨張要素の傾きが、前記収縮要素の傾きよりも大きくなるように形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射装置において、
前記微振動用の駆動信号における前記膨張要素の傾きと前記収縮要素の傾きとの関係が、
（膨張要素の傾き）≧２×（収縮要素の傾き）
となっていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する液体噴射装置において、
前記液体噴射ヘッドは、圧力発生室に充填される液体が循環される循環路を有するものであることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射装置において、
前記液体噴射ヘッドのノズル開口は径が開口に向かって漸小されるテーパー形状に形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
液体が充填される圧力発生室と、駆動信号の供給により前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力変化に伴い前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の制御方法であって、
前記圧力発生室を膨張させる膨張要素の傾きが前記圧力発生室を収縮させる収縮要素の傾きよりも大きくなるような微振動用の駆動信号で、前記ノズル開口から液体を吐出させることなく前記圧力発生室内の液体に微振動を生起させるように制御することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射装置およびその制御方法に関し、特に微振動駆動信号によりノズル開口近傍の圧力発生室内で液体を振動させて攪拌する場合に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置としては、例えば圧電素子からなる圧力発生手段によりインク滴吐出のための圧力を発生させる複数の圧力発生室と、共通のマニホールドから各圧力発生室に個別にインクを供給するインク供給路と、各圧力発生室に形成されてインク滴を吐出するノズル開口とを備えたインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録装置がある（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
かかるインクジェット式記録装置では、印字信号に対応するノズル開口と連通した圧力発生室内のインクに吐出エネルギーを付与してインク滴をノズル開口から外部に吐出させ、紙等の媒体の所定位置に着弾させている。
【０００４】
したがって、この種のインクジェット式記録装置では、ノズル開口が大気に臨むことになる。このため、ノズル開口を介した水分の蒸発によりインクが増粘される。この結果、増粘されたインクに起因してインク滴の吐出特性に悪影響を及ぼす場合が発生する。すなわち、増粘されたインクが一部でも存在するとノズル開口を介するインク滴の吐出量および吐出速度が変化し、着弾のばらつきを生起するという不都合が発生する。
【０００５】
このため、従来技術に係る汎用的なインクジェット式記録装置では、１）インクが増粘される前に、インクジェット式記録ヘッドをメディア以外の部分に移動させて適宜インクを吐き捨てることによりノズル開口近傍のインクを常に新鮮な状態に維持するか、２）インク滴を吐出させない場合には、圧力発生手段であるＰＺＴ等により圧力発生室に微振動を発生させ圧力発生室内のインクを攪拌することにより、いくらかでも増粘を抑制する工夫をしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３５５９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、１）インクが増粘される前に、インクジェット式記録ヘッドをメディア以外の部分に移動させて適宜インクを吐き捨てる方法ではインクを無駄に廃棄することになり、２）圧力発生室に微振動を発生させ圧力発生室内のインクを攪拌することにより増粘を抑制する方法では、微振動用の駆動信号における膨張要素（圧力発生室内の容積を増大させてインクを引き込むための要素；以下、同じ）と収縮要素（圧力発生室内の容積を縮小させてインクを吐出するための要素；以下、同じ）との傾きを、通常、同様にしているので、インクが振動はしていても増粘を防止するための適正な微振動になっているか否かは不明であるという問題を有していた。
【０００８】
なお、このような問題は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明は、上記従来技術に鑑み、微振動を生起させる微振動用の駆動信号の波形等、微振動を生起する要件の適正化を実現して良好な増粘抑制効果を得ることができる液体噴射装置およびその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する本発明の構成は、微振動による増粘抑制の適正化を図るべく、微振動用の駆動信号の波形、ノズル開口の形状等を検討した結果得られた知見を基礎とするものである。なお、微振動モードとは、圧力発生室を膨張させる膨張要素および圧力発生室を収縮させる収縮要素を含む駆動信号を圧力発生手段に供給して、ノズル開口からインクを吐出させることなく圧力発生室内のインクに微振動を生起させることにより、ノズル開口近傍のインクを攪拌してインクの増粘を防止することを目的として実行する記録ヘッドの駆動モードである。
【００１１】
図５および図６は微振動によるインクの攪拌状況のシミュレーションに用いた微振動用の駆動信号を示す波形図である。図５に示す駆動信号Ｓ２２は、収縮要素Ｅ２３と、保持要素Ｅ２２に連続して膨張要素Ｅ２１が形成されている１ショットパルスである。ここで、収縮要素Ｅ２３の傾きは、膨張要素Ｅ２１の傾きの５倍に形成してある。具体的には、収縮要素Ｅ２３、保持要素Ｅ２２、膨張要素Ｅ２１が、それぞれ２μｓ、１μｓ、１０μｓとなっている。また、最大電位と最小電位との差は、１６Ｖである。かかる駆動信号Ｓ２２では、引きよりも押しが強くなる。
【００１２】
一方、図６に示す駆動信号Ｓ２３は、膨張要素Ｅ３１と、保持要素Ｅ３２に連続して収縮要素Ｅ３３が形成されている１ショットパルスである。ここで、膨張要素Ｅ３１の傾きは、収縮要素Ｅ３３の傾きの５倍に形成してある。具体的には、膨張要素Ｅ３１、保持要素Ｅ３２、収縮要素Ｅ３３が、それぞれ２μｓ、１μｓ、１０μｓとなっている。また、最大電位と最小電位との差は、１６Ｖである。かかる駆動信号Ｓ２３では、押しよりも引きが強くなる。
【００１３】
図７は駆動信号Ｓ２２で微振動を発生させた場合、図８は駆動信号Ｓ２３で微振動を発生させた場合のシミュレーション結果をそれぞれ示しており、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に異なる時刻の様子を時系列的に示したものである。なお、物件提出書に添付した図面中、青→水色→緑→赤の部分の順にインクの粘度が高くなっている（以下、シミュレーション結果を示す図９〜図１２においても同様である）。
【００１４】
駆動信号Ｓ２２を使用した場合には、図７に示すように、図中に赤い部分として示される先端の増粘部が、収縮要素Ｅ２３で、（ａ）に示すようにノズル開口１３Ａから突出され、膨張要素Ｅ２１で、（ｂ）に示すようにノズル開口１３Ａから内部に引かれることにより先端部がちぎれて、（ｃ）に示すようにノズル開口１３Ａから吐出されてしまっている。これでは、微振動の目的を達成することはできない。
【００１５】
一方、駆動信号Ｓ２３を使用した場合には、図８に示すように、図中に赤い部分として示される先端の増粘部が、膨張要素Ｅ３１で、（ａ）に示すように一旦引き込まれ、（ｂ）に示すように収縮要素Ｅ３３でノズル開口１３Ａから押し出されようとするが、（ｃ）ではノズル開口１３Ａの内部に再度引き込まれている。したがって、この場合には増粘部の攪拌を良好に行うことができる。
【００１６】
図９は図７と同波形の駆動信号Ｓ２２で微振動を発生させた場合、図１０は駆動信号Ｓ２３と同波形の駆動信号Ｓ２３で微振動を発生させた場合のシミュレーション結果をそれぞれ示している。これらは、図７および図８に示すシミュレーションが１ショットの駆動信号Ｓ２２，Ｓ２３を用いて微振動を発生させたものであるのに対し、図９および図１０の場合は、５０Ｈｚの信号とした。また、最大電位と最小電位との差は１２Ｖであり、１ｍｓ後の状態を示している。
【００１７】
図９を参照すれば、ノズル開口１３Ａの先端部に高粘度のインクが残存しているのに対し、図１０を参照すれば、高粘度のインクはノズル開口１３Ａの圧力発生室側に引き込まれて良好な攪拌が行われていることが分かる。
かかるシミュレーション結果に基づけば、微振動モードにおいては引きを強くして押しを弱くするのが適当であることが分かる。
【００１８】
図１１および図１２はノズル開口の形状による攪拌効果の違いをシミュレートしたものであり、いずれも（ａ）、（ｂ）に順序で時間が経過している。図１１は、ノズル開口１３Ｂの形状を２段ノズル形状とした場合である。図１２は、ノズル開口１３Ａの形状を開口先端に向けて径が漸小するテーパー形状とした場合である。図１１と図１２とを較べれば、図１２の場合には、高粘度のインクは深く拡散し、良好な攪拌効果を得ていることが分かる。この結果、微振動による攪拌効果においてはノズル開口がテーパー形状であるのが望ましい。
【００１９】
上記知見に基づく本発明の態様は、液体が充填される圧力発生室と、駆動信号の供給により前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力変化に伴い前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを備えた液体噴射ヘッドと、前記圧力発生室を膨張させる膨張要素および前記圧力発生室を収縮させる収縮要素を含むとともに前記ノズル開口から液体を吐出させることなく前記圧力発生室内に前記液体の微振動を生起させるための微振動用の駆動信号を前記圧力発生手段に供給する制御手段とを備えた液体噴射装置であって、前記微振動用の駆動信号は、前記膨張要素の傾きが、前記収縮要素の傾きよりも大きくなるように形成されていることを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、膨張要素による液体の引きが収縮要素による押しよりも急激に行われるので、図８に示すように微振動により、高粘度化した液体部分をノズル開口とは反対の圧力発生室側に引き込むことができ、ノズル開口を介しての液体の吐出特性は良好に維持することができる。
【００２０】
ここで、前記微振動駆動信号における前記膨張要素の傾きと前記収縮要素の傾きとの関係は、（膨張要素の傾き）≧２×（収縮要素の傾き）となっていることが望ましい。この場合には、微振動による液体の攪拌に伴い、増粘した液体を圧力発生室側に確実に引き込むことができるからである。
【００２１】
前記液体噴射ヘッドは、圧力発生室に充填される液体が循環される循環路を有するものであることが望ましい。この場合には、液体循環に伴いノズル開口近傍の液体が常に入れ替わり、微振動による液体の攪拌効果と相乗されてノズル開口近傍における圧力発生室内の液体の粘度上昇を効果的に抑制できるからである。
【００２２】
また、前記液体噴射ヘッドのノズル開口は径が開口に向かって漸小されるテーパー形状に形成されていのが望ましい。図１２に示すとおり、微振動による液体の攪拌効果をノズル開口の形状の面で最適化できるからである。
【００２３】
本発明の他の態様は、液体が充填される圧力発生室と、駆動信号の供給により前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記圧力変化に伴い前記圧力発生室内の液体を吐出させるノズル開口とを備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の制御方法であって、前記圧力発生室を膨張させる膨張要素の傾きが前記圧力発生室を収縮させる収縮要素の傾きよりも大きくなるような微振動用の駆動信号で、前記ノズル開口から液体を吐出させることなく前記圧力発生室内の液体に微振動を生起させるように制御することを特徴とする液体噴射装置の制御方法にある。
本態様によれば、膨張要素による液体の引きが収縮要素による押しよりも急激に行われるので、図８に示すように液体の高粘度化した部分を圧力発生室の内部側に引き込んで、ノズル開口を介しての液体の吐出特性を良好に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態における記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】図１のインクジェット式記録装置の制御系を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態に用いる微振動用の駆動信号を示す波形図である。
【図５】シミュレーションに用いた微振動用の一つの駆動信号を示す波形図である。
【図６】シミュレーションに用いた微振動用の他の駆動信号を示す波形図である。
【図７】図５の駆動信号を使用したシミュレーション結果を示す写真である。
【図８】図６の駆動信号を使用したシミュレーション結果を示す写真である。
【図９】高周波数の微振動用の一つの駆動信号でのシミュレーション結果である。
【図１０】高周波数の微振動用の他の駆動信号でのシミュレーション結果である。
【図１１】２段形状ノズル開口を使用した微振動時のシミュレーション結果である。
【図１２】テーパー状ノズル開口を使用した微振動時のシミュレーション結果である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。同図に示すように、本形態に係るインクジェット式記録装置Ｉは、詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドともいう）１Ａ及び１Ｂを有しており、さらに記録ヘッド１Ａ，１Ｂにインクを供給する供給手段を構成するインクカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられている。記録ヘッド１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッド１Ａ及び１Ｂは、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出する。
【００２６】
また、キャリッジ軸５の一端部近傍には、駆動モーター６が設けられており、駆動モーター６の軸の先端部には外周に溝を有する第１のプーリー６ａが設けられている。さらに、キャリッジ軸５の他端部近傍には、駆動モーター６の第１のプーリー６ａに対応する第２のプーリー６ｂが回転自在に設けられており、これら第１のプーリー６ａと第２のプーリー６ｂとの間には環状でゴム等の弾性部材からなるタイミングベルト７が掛けられている。
【００２７】
そして、駆動モーター６の駆動力がタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられている。このプラテン８は図示しない紙送りモーターの駆動力により回転できるようになっており、給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００２８】
ここで、上述のようなインクジェット式記録装置Ｉに搭載されるインクジェット式記録ヘッドについて説明する。図２は、本発明の実施の形態におけるインクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【００２９】
図２に示すインクジェット式記録ヘッド１０は、縦振動型の圧電素子を有するタイプであり、流路基板１１には、複数の圧力発生室１２が並設され、流路基板１１の厚さ方向（図中の上下方向）の両側は、各圧力発生室１２に対応してノズル開口１３を有するノズルプレート１４と、振動板１５とにより封止されている。ここで、ノズル開口１３は、径が開口に向かって漸小されるテーパー形状に形成されている。
【００３０】
また、流路基板１１には、各圧力発生室１２毎にそれぞれインク供給口１６を介して連通されて複数の圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１７が形成されている。マニホールド１７にはケースヘッド２３および振動板１５を貫通してインクを導入するインク供給路２４の一方（図中、下端側）の開口部が臨んでいる。インク供給路２４の他方（図中、上端側）の開口部は流路２５を介してインクを貯留しているインクカートリッジ２６に連通されている。
【００３１】
一方、振動板１５の圧力発生室１２とは反対側には、各圧力発生室１２に対応する領域にそれぞれ圧電素子１８の先端が当接されている。これらの圧電素子１８は、圧電材料１９と、電極形成材料２０及び２１とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層され、振動に寄与しない不活性領域が固定基板２２を介してケースヘッド２３に固着されている。なお、固定基板２２と、振動板１５、流路基板１１及びノズルプレート１４とは、ケースヘッド２３を介して一体的に固定されている。
【００３２】
このように構成されたインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ２６に連通される流路２５およびインク供給路２４を介してマニホールド１７にインクが供給され、インク供給口１６を介して各圧力発生室１２に分配される。かかる状態で圧電素子１８に電圧を印加することにより圧電素子１８を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１８と共に変形されて（図中上方向に引き上げられて）圧力発生室１２の容積が広げられ、圧力発生室１２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３に至るまでの内部をインクで満たした後、制御部１１０（図３参照）の駆動信号生成部１１３（図３参照）から送出される吐出用の駆動信号に基づき圧電素子１８の電極形成材料２０及び２１に印加していた電圧を解除すると、圧電素子１８が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板１５も変位して元の状態に戻るため圧力発生室１２が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。すなわち、本形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として縦振動型の圧電素子１８が設けられている。
【００３３】
さらに、本形態では外部の駆動源であるポンプ２７を利用してインクを循環させる強制循環方式を採用している。この場合のインク循環は、インクを貯留しているインクカートリッジ２６から流路２５およびインク供給路２４を介してマニホールド１７内に至り、インク供給口１６、圧力発生室１２、循環用流通路２８、他の液体貯留部の一種であるマニホールド２９、インク供給路３０、流路２５およびポンプ２７を介してインクカートリッジ２６に戻る経路で行われる。ここで、循環用流通路２８は、圧力発生室１２よりもノズル開口側にノズル開口１３と並列に形成されて圧力発生室１２から排出されたインクの一部を分流させるようになっている。かくして、圧力発生室１２とマニホールド２９間が連通される。また、マニホールド２９には振動板１５およびケースヘッド２３を貫通してポンプ２７により吸引されるインクを流通させるインク供給路３０の一方（図中、下端側）の開口部が臨むとともに、インク供給路３０の他方（図中、上端側）の開口部が流路２５を介してポンプ２７およびインクカートリッジ２６に連通されている。
【００３４】
図３はインクジェット式記録装置Ｉの制御系を示すブロック線図である。同図に示すように、インクジェット式記録装置Ｉ内には、インクジェット式記録装置Ｉの制御を行う制御部１１０が設けられている。制御部１１０は、ＣＰＵ１１１と、装置制御部１１２と、容量性負荷である圧電素子１８を駆動する吐出用の駆動信号Ｓ１および微振動用の駆動信号Ｓ２を生成する駆動信号生成部１１３とを備えている。
【００３５】
さらに詳言すると、ＣＰＵ１１１からキャリッジ３（図１参照）の移動を示す信号が装置制御部１１２に入力されると、装置制御部１１２は、駆動モーター６を駆動させてキャリッジ３をキャリッジ軸５に沿って移動させるとともに、ＣＰＵ１１１からの記録シートＳ（図１参照）の搬送を示す信号が装置制御部１１２に入力され、装置制御部１１２は、給紙ローラー９を駆動して記録シートＳを搬送させる。同時に、本形態においてはポンプ２７が駆動され、上述の循環路を介してインクが循環される。
【００３６】
一方、駆動信号生成部１１３には、ＣＰＵ１１１から吐出用の駆動信号Ｓ１および微振動用の駆動信号Ｓ２を生成するためのデータとともに、吐出モードであるか微振動モードであるかを判断して、いずれかの駆動信号Ｓ１またはＳ２をインクジェット式記録ヘッド１０に送出する。この結果、駆動信号生成部１１３はインクジェット式記録ヘッド１０の各圧電素子１８に駆動信号Ｓ１，Ｓ２を選択的に印加してインクを吐出させるか、または微振動を発生させる。ここで、インクジェット式記録ヘッド１０は図示しないドライバーＩＣがＣＰＵ１１１からヘッド制御信号を供給されて各圧電素子１８を選択的に駆動させる。
【００３７】
図４は本形態における微振動用の駆動信号を示す波形図である。同図に示すように、本形態における微振動用の駆動信号Ｓ２１は、インクを引き込む膨張要素Ｅ１１と、所定の膨張状態を保持する保持要素Ｅ１２に連続してインクを押し出す収縮要素Ｅ１３を有している。ここで、膨張要素Ｅ１１の傾きは、収縮要素Ｅ１３の傾きの２倍に形成してある。すなわち、押しよりも引きが強くなるように構成してある。
【００３８】
この結果、本形態の微振動モードにおいては、膨張要素Ｅ１１によりインクを圧力発生室１２内へ引き込む動作が収縮要素Ｅ１３による押し出す動作よりも急激に行われるので、微振動により、高粘度化したインクをノズル開口１３とは反対の圧力発生室１２側に引き込むことができる。この結果、ノズル開口１３の近傍部分で高粘度化したインクが良好に攪拌され、ノズル開口１３を介してのインクの吐出特性を良好に維持することができる。
【００３９】
さらに、本形態における記録ヘッド１０は、圧力発生室１２に充填されるインクを、循環用流通路２８を介して循環させているので、このインク循環に伴いノズル開口１３近傍のインクが常に入れ替わり、微振動によるインクの攪拌効果と相乗されてノズル開口１３近傍における圧力発生室１２内のインクの粘度上昇をさらに効果的に抑制できる。また、本形態における記録ヘッド１０では、ノズル開口１３の径が開口端に向かって漸小されるテーパー形状に形成されていので、微振動によるインクの攪拌効果をノズル開口１３の形状の面でも最適化できる。
【００４０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれに限るものでは勿論ない。例えば、微振動モードにおける膨張要素と収縮要素との関係は、時間軸に対する前者の傾き（変化率）が後者のそれよりも大きければ、本発明の技術思想の範囲に含まれる。
【００４１】
また、上記実施の形態に係るインクジェット式記録ヘッドは圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型アクチュエーターを有するヘッドであるが、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として薄膜型のアクチュエーターである圧電素子を有するヘッド、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエーターである圧電素子を有するヘッド等にも同様に適用できる。さらに、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出させるいわゆるバブル式アクチュエーターや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーター等にも適用することもできる。
【００４２】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えばプリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４３】
Ｉ  インクジェット式記録装置、  １０  インクジェット式記録ヘッド、  １２  圧力発生室、  １３  ノズル開口、  １７，２９  マニホールド、  １８  圧電素子、  ２４，３０  インク供給路、  ２５  流路、  ２６  インクカートリッジ、  ２７  ポンプ、  ２８  循環用流通路、  １１０  制御部、  １１１  ＣＰＵ、  １１３  駆動信号生成部、  Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３  微振動用の駆動信号、  Ｅ１１，Ｅ２１，Ｅ３１  膨張要素、  Ｅ１３，Ｅ２３，Ｅ３３  収縮要素
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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