(57)【要約】【課題】ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止する。【解決手段】ワークが搭載されるワーク搭載面１６ｃが研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブル１６であって、前記ワーク搭載面１６ｃの前記ワークが搭載される領域に溝１８が形成されている。【選択図】図２
2013024823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搭載するワーク搭載面が研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブルであって、
前記ワーク搭載面の前記ワークが搭載される領域に溝が形成されていることを特徴とするワーク搭載用テーブル。
【請求項２】
前記溝は、格子状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項３】
前記溝は、渦巻状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項４】
前記溝は、該溝が延びる方向と直交する面における断面形状が矩形形状であることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項５】
前記溝は、該溝が延びる方向と直交する面における断面形状がV字形状であることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項６】
前記ワーク搭載面と前記溝の側面との境界部に曲面部が設けられていることを特徴とする請求項４または請求項５記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項７】
前記ワーク搭載面の平面度を調整する平面度調整機構を備えることを特徴とする請求項１〜請求項６の何れか一項に記載のワーク搭載用テーブル。
【請求項８】
前記溝内に設けられた、エアを噴出しまたは吸引するエア噴出吸引口と、
該ワーク搭載用テーブルの下部に配置され前記エア噴出吸引口に連通接続される配管と
を備え、
前記溝は、前記ワーク搭載面の前記配管に対応する位置に形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項７の何れか一項に記載のワーク搭載用テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板等のワークを搭載するワーク搭載用テーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルや有機ＥＬパネル等のフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板に形成された回路パターンの形状や寸法、基準マークの位置等を測定する座標測定機が存在する。この座標測定機を用いて測定を行う場合には、ワーク搭載用テーブルにワークであるガラス基板が搭載される。ワーク搭載用テーブルには一体構造のものや分割構造のものが存在するが、ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面は、座標測定機の測定精度の向上のため精密に研削され且つポリシング加工され高精度の平面度を有している。
【０００３】
ここでワーク搭載用テーブルは枠体により周縁部が支持される構造であるため、自重により撓みワーク搭載用テーブルのワーク搭載面の平面度が悪化することがあった。従ってこれを回避するために、ワーク搭載面の平面度を調整する平面度調整機構を備えるワーク搭載用テーブルが存在する（例えば、特許文献１参照）。このワーク搭載用テーブルによれば、ワーク搭載面の平面度を平面度調整機構を用いて調整することにより高精度に維持することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３３２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで近年上述のような座標測定機を用いて測定を行なうガラス基板の大型化が進んでおり、これに伴い座標測定機に設けられるワーク搭載用テーブルも大型化している。ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に液晶パネルや有機ＥＬパネルに用いられる大型の薄板ガラス基板等のワークを搭載した場合には、ワーク搭載面の平面度が高精度に維持されているため、ワーク搭載用テーブルとワークとがオプティカルコンタクト等により貼りつくことがあった。ワーク搭載用テーブルにワークが貼りついた場合には、その部分においてワークが変形して、座標測定機の測定精度の悪化の要因になることがあった。また、ワーク搭載用テーブルからワークを搬出する際に、ワークをワーク搭載面から円滑に剥がすことができず破損することがあった。
【０００６】
本発明の目的は、ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止することができるワーク搭載用テーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のワーク搭載用テーブルは、ワーク搭載面が研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブルであって、前記ワーク搭載面の前記ワークが搭載される領域に溝が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
また本発明のワーク搭載用テーブルは、前記溝が格子状に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
また本発明のワーク搭載用テーブルは、前記溝が渦巻状に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
また本発明のワーク搭載用テーブルにおいて、前記溝は該溝が延びる方向と直交する面における断面形状が矩形形状であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明のワーク搭載用テーブルにおいて、前記溝は該溝が延びる方向と直交する面における断面形状がV字形状であることを特徴とする。
【００１２】
また本発明のワーク搭載用テーブルは、前記ワーク搭載面と前記溝の側面との境界部に曲面部が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
また本発明のワーク搭載用テーブルは、前記ワーク搭載面の平面度を調整する平面度調整機構を備えることを特徴とする。
【００１４】
また本発明のワーク搭載用テーブルは、前記溝内に設けられた、エアを噴出しまたは吸引するエア噴出吸引口と、該ワーク搭載用テーブルの下部に配置され前記エア噴出吸引口に連通接続される配管とを備え、前記溝は、前記ワーク搭載面の前記配管に対応する位置に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のワーク搭載用テーブルによれば、ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態に係る二次元座標測定機の外観を示す斜視図である。
【図２】実施の形態に係るワーク搭載用テーブルの斜視図である。
【図３】実施の形態に係るワーク搭載用テーブルの溝の断面形状を示す図である。
【図４】実施の形態に係るワーク搭載用テーブルの斜視図である。
【図５】実施の形態に係るワーク搭載用テーブルの溝の断面形状を示す図である。
【図６】実施の形態に係るワーク搭載用テーブルの溝の形成状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態に係る二次元座標測定機のワーク搭載用テーブルについて説明する。図１は、実施の形態に係る二次元座標測定機の外観を示す斜視図である。なお、以下の説明においては、図中に示したＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸が水平面に対して平行となるように設定され、Ｚ軸が水平面と直交する方向に設定されている。
【００１８】
図１に示すように、二次元座標測定機２は、基台４と、基台４上のX軸方向の両端部にＹ軸方向に平行に設けられた一対のガイドレール６と、ガイドレール６にガイドされてＹ軸方向にスライド可能に設けられたＸ軸フレーム８と、Ｘ軸フレーム８をガイドレール６に沿って移動させるＹ軸駆動部１２と、Ｘ軸フレーム８の長手軸方向にスライド可能に設けられたＣＣＤカメラ１０と、ＣＣＤカメラ１０をＸ軸フレーム８に沿って移動させるＸ軸駆動部１４とを備えている。
【００１９】
Ｘ軸フレーム８は、断面凹形状に形成され、Ｘ軸フレーム８の上面には２本のガイドレール８ａがＸ軸方向に平行に設けられている。また、ガイドレール８ａにガイドされてＸ軸方向にスライド可能に載置台１８が設けられ、載置台１８にはワークを図示しない顕微鏡を介して撮影するＣＣＤカメラ１０が固定されている。従って、ＣＣＤカメラ１０はワーク搭載用テーブル１６上の任意の位置へ移動可能となり、照明装置（図示せず）から射出される照明光により上方または下方から照明される測定対象部の撮影を行なう。
【００２０】
Ｙ軸駆動部１２は、モータにより回転駆動されるボールねじと、このボールねじに螺合され且つＸ軸フレーム８の下部に設けられた連結板とを備えている。Ｙ軸駆動部１２によりボールねじが回転駆動されると連結板がＹ軸方向に移動し、Ｘ軸フレーム８がガイドレール６に沿って移動する。なお、Ｙ軸駆動部１２を使用せずＸ軸フレーム８の両端部にリニアモータ等のサーボモータを設置して、サーボモータの駆動によりＸ軸フレーム８をガイドレール６に沿って移動させるようにしてもよい。
【００２１】
Ｘ軸駆動部１４は、モータにより回転駆動されるボールねじと、このボールねじに螺合され且つ載置台１８の下部に設けられた連結板とを備えている。Ｘ軸駆動部１４によりボールねじが回転駆動されると連結板がＸ軸方向に移動し載置台１８がガイドレール８ａに沿って移動する。
【００２２】
基台４の上部には、ワークを搭載する透明なガラス製のワーク搭載用テーブル１６が設置されている。ワーク搭載用テーブル１６の下部には複数のリフトピンをＺ軸方向に昇降させるリフトピン昇降機構（図示せず）、及びワーク搭載用テーブル１６に対してエアを供給しまたは吸引するエア配管が配設されている。なお、基台４の内部にはＣＣＤカメラ１０、Ｙ軸駆動部１２、Ｘ軸駆動部１４、リフトピン昇降機構、及びワーク搭載用テーブル１６に対するエアの供給及び吸引を行なうエア制御部（図示せず）を制御するコントローラ（図示せず）が収容されている。
【００２３】
図２に示すワーク搭載用テーブル１６は、矩形形状の上ガラス板１６ａ及び下ガラス板１６ｂを重ね合わせて構成されている。上ガラス板１６ａと下ガラス板１６ｂの間には複数の平面度調整機構（図示せず）が配設されている。ここで平面度調整機構は、上ガラス板１６ａを上下方向に移動させるものである。平面度調整機構によりワーク搭載用テーブル１６の上ガラス板１６ａを部分的に上下動させることによりワーク搭載面１６ｃの平面度を高精度に調整する。
【００２４】
図２に示すように、ワーク搭載用テーブル１６の上ガラス板１６ａの上面、即ちワーク搭載面１６ｃには溝１８が格子状に形成されている。図３はワーク搭載面１６ｃに形成された溝１８の断面形状を示す図である。図３に示すように、溝１８は溝が延びる方向と直交する面における断面形状が矩形形状を有している。またワーク搭載面１６ｃと溝１８の側壁との境界部には所定の曲面部１８ａが形成されている。なお、溝１８の底部には、上述のエア配管に連通接続されエアを噴出または吸引するエア噴出吸引口（図示せず）が所定の間隔で形成されている。また溝１８の溝が延びる方向と直交する面における溝の幅、及び溝の深さはワーク搭載面１６ｃに搭載されるワークの大きさ及び厚さ等により適宜定められる。
【００２５】
ワーク搭載用テーブル１６のワーク搭載面１６ｃに溝１８を形成する場合には、ワーク搭載面１６ｃにサンドブラストまたは研削により格子状に溝１８を形成し、その後ワーク搭載面１６ｃをポリッシングすることにより、ワーク搭載面１６ｃと溝１８の側壁との境界部の面取りを行ない所定の曲面部１８ａを形成する。このように所定の曲面１８ａを形成することによりワーク搭載面１６ｃにワークを搭載した場合にワークに傷がつくのを防止することができる。
【００２６】
二次元座標測定機２において、液晶パネルまたは有機ＥＬパネル等に用いる大型の薄板ガラス基板の回路パターンの形状や寸法を測定する場合、まずワーク搬送装置（図示せず）のアームにより薄板ガラス基板を保持し二次元座標測定機２のワーク搭載用テーブル１６の上方に搬送する。次にリフトピン昇降機構によりワーク搭載面１６ｃ上にリフトピンを突出させた状態で、ワーク搬送装置のアームを降下させてリフトピンにより薄板ガラス基板を支持させる。そしてワーク搬送装置のアームをワーク搭載用テーブル１６上から退避させリフトピンを降下させることにより薄板ガラス基板をワーク搭載用テーブル１６のワーク搭載面１６ｃに搭載する。次に、エア制御部を制御してエア噴出吸引口からエアの吸引を行い薄板ガラス基板をワーク搭載用テーブル１６のワーク搭載面１６ｃに吸着させる。次に、二次元測定機２は、照明装置（図示せず）によりワーク搭載用テーブル１６の上方または下方から照明光を薄板ガラス基板に対して照射し、ＣＣＤカメラ１０により測定対象部の撮影を行なって、薄板ガラス基板に形成されている回路パターンの形状や寸法等を測定する。測定結果は、薄板ガラス基板に形成されている回路パターンの形状や寸法が設計図面と正確に一致しているか否かの検査に用いられる。
【００２７】
測定が終了するとエア制御部を制御してエア噴出吸引口からエアの噴出を行い薄板ガラス基板をワーク搭載面１６ｃから浮き上がらせながらリフトピン昇降機構によりワーク搭載面１６ｃ上にリフトピンを突出させてリフトピンにより薄板ガラス基板を支持する。そしてワーク搭載用テーブル１６上の薄板ガラス基板がワーク搬送装置のアームに受け渡されワーク搭載用テーブル１６上から搬出され次の工程に送られる。
【００２８】
この実施の形態に係るワーク搭載用テーブルによれば、ワーク搭載面１６ｃに溝１８が形成されているため、ワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板との接触面積がワーク搭載用テーブルに溝が形成されていない場合と比較して小さくなる。従って、ワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板とがオプティカルコンタクト等により貼りつくことを防止することができる。特にこの実施の形態に係るワーク搭載用テーブル１６は、平面度調整機構を備えているためワーク搭載面１６ｃの平面度が高精度に維持されている。従って、ワーク搭載面１６ｃに薄板ガラス基板が貼りつきやすくなるが、ワーク搭載面に溝１８が形成されているため、ワーク搭載面１６ｃに薄板ガラス基板が貼りつくことを防止することができる。
【００２９】
またこの実施の形態に係るワーク搭載用テーブルによれば、仮にワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板とが一部の領域において貼りついた場合においても、溝１８が格子状に形成されているため貼りついた領域の広がりを防止することができる。
【００３０】
また、この実施の形態に係るワーク搭載用テーブルによれば、溝１８の底部にエア噴出吸引口が設けられているため、エアの吸引を行なう場合に吸引面積が大きくなり薄板ガラス基板を吸着させる力を増大させることができる。またエアの噴出を行なう場合に噴出面積が大きくなり薄板ガラス基板を浮き上がらせやすくすることができる。
【００３１】
また、この実施の形態に係るワーク搭載用テーブルによれば、ワーク搭載用テーブル１６とワークの貼りつきを防止することができるため、ワークを破損させずにワーク搭載用テーブル１６から搬出することができる。また、ワーク搭載用テーブル１６にワークが貼りつくことによるワークの変形を防止することができるため、高精度の測定を行なうことができる。
【００３２】
なお、上述の実施の形態においては、ワーク搭載用テーブル１６の上ガラス板１６ａの上面、即ちワーク搭載面１６ｃに格子状の溝１８を形成しているが、図４に示すように、ワーク搭載用テーブル１６のワーク搭載面１６ｃに渦巻状の溝２０を形成するようにしてもよい。この場合においても、ワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板との接触面積をワーク搭載用テーブル１６に溝が形成されていない場合と比較して小さくでき、ワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板とが貼りつくことを防止することができる。また仮にワーク搭載面１６ｃと薄板ガラス基板とが一部の領域において貼りついた場合においても、溝２０が渦巻状に形成されているため貼りついた領域の広がりを防止することができる。
【００３３】
また、上述の実施の形態においては、溝１８は溝が延びる方向と直交する面における断面形状が矩形形状を有しているが、図５に示すように溝が延びる方向と直交する面における断面形状がV字形状の溝２２を形成するようにしてもよい。このように溝の断面形状をV字形状とすることにより、研削により溝を形成する場合などには効率よく溝の形成を行うことができる。また、断面形状がV字形状の溝２２を形成する場合においても、ワーク搭載面１６ｃに研削等により溝２２を形成した後に、ワーク搭載面１６ｃをポリッシングすることにより、ワーク搭載面１６ｃと溝２２の側壁との境界部の面取り処理を行ない所定の曲面部２２ａを形成する。このように所定の曲面部２２ａを形成することによりワーク搭載面１６ｃにワークを搭載した場合にワークに傷がつくのを防止することができる。
【００３４】
また、上述の実施の形態においては、図６に示すように、ワーク搭載用テーブル１６に複数の平面度調整機構３０が配設されており、ワーク搭載用テーブル１６の下部には、ワーク搭載用テーブル１６に形成されたエア噴出吸引口３２に対してエアを供給し、または吸引するためのエア配管３４が配設されている。従って、ワーク搭載用テーブル１６のワーク搭載面１６ｃのエア配管３４に対応する位置であって、平面度調整機構３０が存在しない位置に上述の断面矩形形状の溝１８または断面Ｖ字形状の溝２２を形成するようにしても良い。このようにワーク搭載面１６ｃのエア配管３４に対応する位置に断面矩形形状の溝１８または断面Ｖ字形状の溝２２を形成することにより、ワーク搭載用テーブル１６の下方から照明を行なって測定を行なう場合に、測定ができない領域を最小限とすることができる。
【００３５】
また、上述の実施の形態に係るワーク搭載用テーブルは、ワーク搭載用テーブル上をＸ軸方向及びＹ軸方向にＣＣＤカメラが移動する二次元座標測定機に備えられているが、上述の実施の形態に係るワーク搭載用テーブルを、Ｘ軸方向にＣＣＤカメラが移動しＹ軸方向にワーク搭載用テーブルが移動する二次元座標測定機、またはＣＣＤカメラが固定されておりＸ軸方向及びＹ軸方向にワーク搭載用テーブルが移動する二次元座標測定機に備えるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３６】
２…二次元座標測定機、４…基台、８…Ｘ軸フレーム、１０…ＣＣＤカメラ、１２…Ｙ軸駆動部、１４…Ｘ軸駆動部、１６…ワーク搭載用テーブル，１６ｃ…ワーク搭載面、１８，２２…溝、３０…平面度調整機構、３２…エア噴出吸引口、３４…エア配管。
【図１】
2013024823.tif 000003
【図２】
2013024823.tif 000004
【図３】
2013024823.tif 000005
【図４】
2013024823.tif 000006
【図５】
2013024823.tif 000007
【図６】
2013024823.tif 000008