(57)【要約】【課題】正確な波面収差測定を行うことが可能な波面収差測定装置を提供する。【解決手段】波面収差測定装置１は、被検レンズ１０を通過した光を受光して平行光にするリレー光学系３１と、リレー光学系３１からの平行光を分割して検出する波面センサ４１と、波面センサ４１により分割されて検出された光の検出信号に基づいて、被検レンズ１０の波面収差を求める分析装置５２と、被検レンズ１０の射出瞳１１と共役な位置に波面センサ４１のマイクロレンズアレイ４２が位置するように、波面センサ４１を光軸に沿って移動させる駆動装置４６とを備えて構成される。【選択図】図１
2013148436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズを通過した光を受光して平行光にするリレー光学系と、
前記リレー光学系からの平行光を分割して検出する波面センサと、
前記波面センサにより分割されて検出された光の検出信号に基づいて、前記被検レンズ
の波面収差を求める演算部と、
前記被検レンズの射出瞳と共役な位置に前記波面センサが位置するように、前記波面セ
ンサを光軸に沿って移動させる駆動部とを備えて構成されることを特徴とする波面収差測
定装置。
【請求項２】
前記波面センサは、前記リレー光学系からの平行光を分割して集光するマイクロレンズ
アレイと、前記マイクロレンズアレイにより集光された光を検出する撮像素子とを有し、
前記駆動部は、前記被検レンズの射出瞳と共役な位置に前記マイクロレンズアレイが位
置するように、前記波面センサを光軸に沿って移動させることを特徴とする請求項１に記
載の波面収差測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の波面収差測定装置を用いて被検レンズの波面収差を測定し、
前記波面収差の測定結果に基づいて前記被検レンズを検査することを特徴とするレンズ
の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象となるレンズの波面収差を測定するために用いられる波面収差測定
装置に関する。また、この波面収差測定装置を用いたレンズの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
波面測定の方法としてシャック・ハルトマン型センサが知られている。例えば、鶴田匡
夫著「第４・光の鉛筆」（新技術コミュニケーションズ、１９９７年、２１２頁）に波面
測定センサの代表例としての解説がある。
【０００３】
このような波面収差測定装置では、複数のマイクロレンズごとの開口で分割された光束
がそれぞれ撮像素子上に集光されてスポット光となる。このスポット光は撮像素子で検出
され、分析装置がスポット光の検出位置を求めることで波面の傾きを測定する。複数のマ
イクロレンズ（マイクロレンズアレイ）は被検レンズの射出瞳と合致していることが望ま
しいが、写真レンズでは、そのレンズ構成や絞りの位置によって射出瞳の位置が異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１２１３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
被検レンズの射出瞳と共役な位置にマイクロレンズアレイが配置されていない場合、射
出瞳像がぼけてしまうために、マイクロレンズごとに入射すべき光が隣接するマイクロレ
ンズに混じり合って入射する。そのため、被検レンズに対する波面収差の測定精度が低下
する。特に、軸外の斜入射による被検レンズの波面収差測定において測定精度の低下が顕
著になる。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、正確な波面収差測定を行うこ
とが可能な波面収差測定装置およびこれを用いたレンズの製造方法を提供することを目的
とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的達成のため、本発明を例示する態様に従えば、被検レンズを通過した光
を受光して平行光にするリレー光学系と、前記リレー光学系からの平行光を分割して検出
する波面センサと、前記波面センサにより分割されて検出された光の検出信号に基づいて
、前記被検レンズの波面収差を求める演算部と、前記被検レンズの射出瞳と共役な位置に
前記波面センサが位置するように、前記波面センサを光軸に沿って移動させる駆動部とを
備えて構成されることを特徴とする波面収差測定装置が提供される。
【０００８】
また、本発明を例示する態様に従えば、上述の波面収差測定装置を用いて被検レンズの
波面収差を測定し、前記波面収差の測定結果に基づいて前記被検レンズを検査することを
特徴とするレンズの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、正確な波面収差測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】波面収差測定装置の概要構成図である。
【図２】波面収差測定装置の拡大図である。
【図３】被検レンズが単レンズの場合の波面収差測定装置の拡大図である。
【図４】（ａ）が第１の変形例におけるマイクロレンズアレイの正面図であり、（ｂ）がマイクロレンズアレイの側面図であり、（ｃ）がスポット光の位置を示す説明図である。
【図５】（ａ）が第２の変形例におけるマイクロレンズアレイの正面図であり、（ｂ）がマイクロレンズアレイの側面図であり、（ｃ）がスポット光の位置を示す説明図である。
【図６】レンズの製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。本実施形態の波面
収差測定装置１を図１に示す。本実施形態において、図１の紙面と垂直な方向をｘ方向と
し、図１の上下方向をｙ方向とし、図１の左右方向をｚ方向として説明する。本実施形態
の波面収差測定装置１は、被検レンズ１０の波面収差を測定するための装置であり、照明
部２０と、検出部３０と、データ記憶装置５１と、分析装置５２とを備えて構成される。
照明部２０は、ファイバー２１と、コリメーターレンズ２３とを有して構成され、被検レ
ンズ１０を照明する。ファイバー２１は、不図示の光源から射出された光をコリメーター
レンズ２３に導く。ファイバー２１の射出端には、所定の直径を有した絞り２２が設けら
れる。コリメーターレンズ２３は、ファイバー２１から射出された光を平行光にして被検
レンズ１０に導く。
【００１２】
被検レンズ１０は、照明部２０から射出された平行光を集光して絞り２２の像（以下適
宜、絞り像Ｉａ，Ｉｂと称する）を結像させる。被検レンズ１０を透過して結像した絞り
像Ｉａからの発散光は、検出部３０で検出される。なお、図１および図２に示す被検レン
ズ１０は、レンズ鏡筒およびレンズ鏡筒内に収容された複数のレンズ部品から構成される
。
【００１３】
検出部３０は、リレー光学系３１と、波面センサ４１とを有して構成される。リレー光
学系３１は、図２に示すように、対物レンズ３２と、第１リレーレンズ３４と、第２リレ
ーレンズ３５とを有して構成され、絞り像Ｉａからの発散光を平行光にして波面センサ４
１に導く。対物レンズ３２は、絞り像Ｉａからの発散光を受光し、当該発散光を平行光に
して第１リレーレンズ３４および第２リレーレンズ３５に導く。第１リレーレンズ３４お
よび第２リレーレンズ３５は、対物レンズ３２からの平行光をリレー拡大して波面センサ
４１に導く。このとき、第１リレーレンズ３４は、対物レンズ３２からの平行光を集光し
て絞り像Ｉｂを結像させ、第２リレーレンズ３５は、絞り像Ｉｂからの発散光をマイクロ
レンズアレイ４２等の大きさに合わせて拡大した平行光にして波面センサ４１に導く。な
お、検出部３０は、不図示の合焦検出装置を用いて、被検レンズ１０の集光点と対物レン
ズ３２の焦点が一致するように（すなわち、絞り像Ｉａに対して合焦状態となるように）
位置調整されているものとする。
【００１４】
波面センサ４１は、図２に示すように、マイクロレンズアレイ４２と、第１撮像素子４
３と、ミラー４４と、第２撮像素子４５とを有して構成される。マイクロレンズアレイ４
２は、光軸と垂直な面内（ｘ−ｙ平面内）に二次元的に配列された複数のマイクロレンズ
から構成され、被検レンズ１０の射出瞳１１と共役な位置に配置される。マイクロレンズ
アレイ４２は、複数のマイクロレンズによりリレー光学系３１からの平行光を分割集光し
、第１撮像素子４３上に（マイクロレンズの数に応じた）複数のスポット光（絞り像）を
形成する。第１撮像素子４３は、撮像面上に形成されたスポット光を光電変換し、検出信
号をデータ記憶装置５１に出力する。なお、マイクロレンズアレイ４２と第１撮像素子４
３は一体的に構成され、第１撮像素子４３上の１つのマイクロレンズに対応する領域ごと
に、複数の受光素子（画素）が配置される。また、第１撮像素子４３および第２撮像素子
４５には、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide S
emiconductor）などが用いられる。
【００１５】
ミラー４４は、リレー光学系３１とマイクロレンズアレイ４２との間の光路上へ挿抜可
能に設けられる。ミラー４４が光路上から抜去された状態で、リレー光学系３１からの平
行光がマイクロレンズアレイ４２に導かれ、図２に示すようにミラー４４が光路上に挿入
された状態で、リレー光学系３１からの平行光が第２撮像素子４５に導かれる。第２撮像
素子４５は、被検レンズ１０の射出瞳１１と共役な位置に配置され、リレー光学系３１か
らミラー４４で反射して撮像面上に達した光（射出瞳のリレー像Ｒｂ）を光電変換し、検
出信号をデータ記憶装置５１に出力する。すなわち、ミラー４４が光路上に挿入された状
態で、被検レンズ１０の射出瞳１１と、対物レンズ３２の射出瞳３３と、第２撮像素子４
５での射出瞳のリレー像Ｒｂが共役となる。一方、ミラー４４が光路上から抜去された状
態で、被検レンズ１０の射出瞳１１と、対物レンズ３２の射出瞳３３と、マイクロレンズ
アレイ４２での射出瞳のリレー像Ｒａが共役となる。
【００１６】
データ記憶装置５１は、第１撮像素子４３から入力されたスポット光の検出データ（検
出信号）を記憶し、分析装置５２に送る。また、データ記憶装置５１は、第２撮像素子４
５から入力された光（射出瞳のリレー像Ｒｂ）の検出データ（検出信号）を記憶し、分析
装置５２に送る。分析装置５２は、データ記憶装置５１から送られたスポット光の検出デ
ータに基づいて、リレー光学系３１からの平行光の波面の傾きを求め、被検レンズ１０の
波面収差の解析等を行う。また、分析装置５２は、データ記憶装置５１から送られた光（
射出瞳のリレー像Ｒｂ）の検出データに基づいて、被検レンズ１０の射出瞳１１の形状を
求め、瞳形状の解析等を行う。
【００１７】
波面センサ４１には、波面センサ４１を光軸に沿って移動させる駆動装置４６が設けら
れる。駆動装置４６は、波面センサ４１をスライド移動可能に支持する支持部材（図示せ
ず）と、この支持部材とともに波面センサ４１を駆動するモータ（図示せず）等から構成
され、被検レンズ１０の射出瞳１１と共役な位置にマイクロレンズアレイ４２が位置する
ように、波面センサ４１を光軸に沿って移動させる。なお、被検レンズ１０の射出瞳１１
と共役な位置は、被検レンズ１０の設計データ等から予め算出され、データ記憶装置５１
に記憶される。
【００１８】
以上のように構成される波面収差測定装置１において、不図示の光源から射出された光
は、照明部２０のファイバー２１によってコリメーターレンズ２３に導かれ、当該コリメ
ーターレンズ２３で平行光となって被検レンズ１０に達する。被検レンズ１０を透過した
平行光は集光されて絞り像Ｉａが結像し、絞り像Ｉａからの発散光は検出部３０に達する
。検出部３０に達した絞り像Ｉａからの発散光は、リレー光学系３１により平行光となっ
て波面センサ４１に導かれる。
【００１９】
波面センサ４１のミラー４４が光路上から抜去された状態では、リレー光学系３１から
の平行光がマイクロレンズアレイ４２に導かれ、複数のマイクロレンズにより分割集光さ
れて、第１撮像素子４３上に（マイクロレンズの数に応じた）複数のスポット光（絞り像
）が形成される。第１撮像素子４３は、撮像面上に形成されたスポット光を光電変換し、
検出信号をデータ記憶装置５１に出力する。データ記憶装置５１は、第１撮像素子４３か
ら入力されたスポット光の検出データ（検出信号）を記憶し、分析装置５２に送る。分析
装置５２は、データ記憶装置５１から送られたスポット光の検出データに基づいて、リレ
ー光学系３１からの平行光の波面の傾きを求め、被検レンズ１０の波面収差の解析等を行
う。なお、マイクロレンズアレイ４２により形成されるスポット光は、波面収差に応じて
光軸（入射波面の法線）と垂直な方向にシフトされるため、第１撮像素子４３で検出され
るスポット光の位置（画素位置）から、複数のマイクロレンズで分割された平行光の波面
の傾きを求めることができる。
【００２０】
一方、ミラー４４が光路上に挿入された状態では、リレー光学系３１からの平行光がミ
ラー４４で反射して第２撮像素子４５に達する。第２撮像素子４５は、撮像面上に達した
光（射出瞳のリレー像Ｒｂ）を光電変換し、検出信号をデータ記憶装置５１に出力する。
データ記憶装置５１は、第２撮像素子４５から入力された光（射出瞳のリレー像Ｒｂ）の
検出データ（検出信号）を記憶し、分析装置５２に送る。分析装置５２は、データ記憶装
置５１から送られた光（射出瞳のリレー像Ｒｂ）の検出データに基づいて、被検レンズ１
０の射出瞳１１の形状を求め、瞳形状の解析等を行う。
【００２１】
被検レンズの種類によって射出瞳の位置が変わると、射出瞳のリレー像の位置も光軸方
向（マイクロレンズアレイ４２での射出瞳のリレー像Ｒａはｚ方向、第２撮像素子４５で
の射出瞳のリレー像Ｒｂはｙ方向）に変化する。本実施形態では、駆動装置４６により波
面センサ４１を光軸に沿って移動させることができるので、被検レンズの射出瞳の位置変
化に対応して、被検レンズの射出瞳と共役な位置に波面センサ４１の位置を合わせること
ができる。
【００２２】
図３は、単レンズから構成された被検レンズ１５に対する波面センサ４１の配置を示す
。単レンズからなる被検レンズ１５の射出瞳１６の位置は、複数のレンズからなる被検レ
ンズ１０の射出瞳１１の位置と異なっている。このような場合、駆動装置４６により、単
レンズからなる被検レンズ１５の射出瞳１６と共役な位置にマイクロレンズアレイ４２が
位置するように、波面センサ４１を（複数のレンズからなる被検レンズ１０の場合に対し
てプラスｚ方向に）光軸に沿って移動させる。これにより、射出瞳のリレー像Ｒａの位置
がマイクロレンズアレイ４２の位置と一致して、射出瞳のリレー像Ｒａがボケることなく
マイクロレンズアレイ４２上に結像するため、光波の分割精度がよくなり、高精度な波面
収差の測定を行うことができる。
【００２３】
なおこのとき、単レンズからなる被検レンズ１５の射出瞳１６と共役な位置に第２撮像
素子４５も位置する。すなわち、ミラー４４が光路上に挿入された状態で、被検レンズ１
５の射出瞳１６と、対物レンズ３２の射出瞳３３と、第２撮像素子４５での射出瞳のリレ
ー像Ｒｂが共役となる。一方、ミラー４４が光路上から抜去された状態で、被検レンズ１
５の射出瞳１６と、対物レンズ３２の射出瞳３３と、マイクロレンズアレイ４２での射出
瞳のリレー像Ｒａが共役となる。また、各被検レンズ１０，１５の射出瞳１１，１６と共
役な位置は、データ記憶装置５１に記憶されており、不図示の制御装置によって、（デー
タ記憶装置５１に記憶された）各被検レンズ１０，１５の射出瞳１１，１６と共役な位置
にマイクロレンズアレイ４２が位置するように、駆動装置４６の作動が制御される。
【００２４】
このように、本実施形態によれば、被検レンズ１０，１５の射出瞳１１，１６と共役な
位置に波面センサ４１が位置するように、波面センサ４１を光軸に沿って移動させる駆動
装置４６が設けられるため、被検レンズの射出瞳の位置によらず正確な波面収差を測定す
ることができる。なお、単レンズからなる被検レンズ１５の場合には、射出瞳１６はレン
ズ面に位置するが、射出瞳１６の位置は被検レンズ１５の焦点距離によって大きく異なる
。このような場合でも、本実施形態によれば、射出瞳１６の変化に対する測定位置の補正
が可能である。
【００２５】
またこのとき、駆動装置４６は、被検レンズ１０，１５の射出瞳１１，１６と共役な位
置にマイクロレンズアレイ４２が位置するように、波面センサ４１を光軸に沿って移動さ
せるため、より正確な波面収差を測定することができる。
【００２６】
上述の実施形態において、不図示の制御装置によって、被検レンズ１０，１５の射出瞳
１１，１６と共役な位置にマイクロレンズアレイ４２が位置するように、駆動装置４６の
作動が制御されるが、これに限られるものではない。例えば、手動操作により駆動装置４
６を作動させてもよい。また、被検レンズ１０，１５を光軸に対して傾けてもスポット光
が第１撮像素子４３上で動かなくなるマイクロレンズアレイ４２の位置を、被検レンズ１
０，１５の射出瞳１１，１６と共役な位置として求めるようにしてもよい。
【００２７】
上述の実施形態において、第１撮像素子４３上で大きく外れたスポット光が形成される
のを防止するため、リレー光学系３１において絞り像Ｉｂが結像する位置に、制限絞りが
設けられてもよい。
【００２８】
上述の実施形態において、複数のマイクロレンズ（マイクロレンズアレイ４２）のうち
少なくとも一つの透過率が他の透過率と異なるようにしてもよい。従来のシャック・ハル
トマン型センサでは、マイクロレンズアレイを構成する複数のマイクロレンズの微小開口
の形状は、円形または四角形であるのが一般的である。また、従来のマイクロレンズの透
過率は一定であり、表面反射の場合などを除けば、各マイクロレンズは無色透明である。
【００２９】
従来のマイクロレンズは概ね焦点距離が１０mm以下の凸レンズが用いられ、各マイクロ
レンズの微小開口が光軸と直交する方向に平面的に並んでいる。微小開口の大きさに相当
するマイクロレンズの直径は、分割するサイズにより異なるが、一般に１mm以下である。
そのため、従来の製造方法として、例えば特許第４２９６７７９号に記載されているよう
に、フォトレジストをエッチングマスクとして用いて微小なマイクロレンズアレイを作製
する方法が知られている。
【００３０】
従来のマイクロレンズアレイ、波面センサ及び波面収差測定装置では、複数のマイクロ
レンズごとの開口で分割された光束がそれぞれ撮像素子上に集光されてスポット光となる
。撮像素子によりスポット光の位置を検出するが、隣接するマイクロレンズとの間隔の半
分を超えるスポット光の位置ずれ（光軸と直交する方向の位置ずれ）が生じた場合、該マ
イクロレンズのスポット光なのか隣接するマイクロレンズのスポット光なのか判別できな
くなり、誤計測の要因となる。例えば、マイクロレンズ同士の間隔が０．２mmならば、判
別可能なスポット光の位置ずれ量は０．１mmとなる。このように、判別可能な位置ずれ量
によって、波面の傾きの検出範囲に制限が生じる。
【００３１】
そこで、マイクロレンズアレイの変形例について説明する。第１の変形例に係るマイク
ロレンズアレイ６２は、図４（ａ）に示すように、正の屈折力を有する複数のマイクロレ
ンズＬ１１〜Ｌ９９から構成される。ここで、図４（ａ）における上からｉ行目（ｉは自
然数）、左からｊ列目（ｊは自然数）のマイクロレンズをＬｉｊとする。すなわち、第１
の変形例に係るマイクロレンズアレイ６２は、光軸と垂直な面内に二次元的に配列された
９行９列のマイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９から構成される。なお、マイクロレンズの数は
、この例に限られるものではなく、より多数のマイクロレンズから構成されている方が望
ましく、例えば１００行１００列等として、この中のより狭い範囲に光束が集光されるよ
うに構成する。
【００３２】
各マイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９は、例えば、焦点距離が１０mmで、開口が０．２mm×
０．２mmのものが用いられる。上から５行目、左から５列目のマイクロレンズＬ５５は、
マイクロレンズアレイ６２の中央に位置し、他のマイクロレンズよりも透過率が低くなっ
ている。このマイクロレンズＬ５５には減光フィルターが設けられ、例えば透過率が５０
％に設定される。
【００３３】
以上のように構成されるマイクロレンズアレイ６２において、図４（ｂ）に示すように
、リレー光学系３１からの平行光がマイクロレンズアレイ６２に導かれ、複数のマイクロ
レンズＬ１１〜Ｌ９９により分割集光されて、第１撮像素子４３上に複数のスポット光が
形成される。第１撮像素子４３は、撮像面上に形成されたスポット光を光電変換し、検出
信号をデータ記憶装置５１に出力する。データ記憶装置５１は、第１撮像素子４３から入
力されたスポット光の検出データ（検出信号）を記憶し、分析装置５２に送る。分析装置
５２は、データ記憶装置５１から送られたスポット光の検出データに基づいて、リレー光
学系３１からの平行光の波面の傾きを求め、被検レンズ１０の波面収差の解析等を行う。
【００３４】
このとき、上から５行目、左から５列目のマイクロレンズＬ５５は、他のマイクロレン
ズよりも透過率が低いので、当該マイクロレンズＬ５５により集光されたスポット光Ｓ５
５（図４（ｂ）および図４（ｃ）を参照）は、これに隣接するマイクロレンズＬ４５，Ｌ
６５により集光されたスポット光Ｓ４５，Ｓ６５よりも暗くなる。そのため、分析装置５
２等において、複数のマイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９の中から、中央のマイクロレンズＬ
５５により集光されたスポット光Ｓ５５を識別することができる。
【００３５】
これにより、第１撮像素子４３における１つのマイクロレンズに対応した領域内で複数
のスポット光が検出される場合であっても、中央のマイクロレンズＬ５５により集光され
たスポット光Ｓ５５を基準として、複数のマイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９のうちいずれの
マイクロレンズにより集光されたスポット光であるかをそれぞれ識別することが可能にな
る。例えば、上から６行目、左から５列目のマイクロレンズＬ６５により集光されたスポ
ット光Ｓ６５と、上から７行目、左から５列目のマイクロレンズＬ７５により集光された
スポット光Ｓ７５のような場合である（図４（ｂ）および図４（ｃ）を参照）。
【００３６】
このように、第１の変形例によれば、スポット光の検出範囲および波面の傾きの検出範
囲を広げることができるため、より正確な波面収差を測定することができる。
【００３７】
次に、マイクロレンズアレイの第２の変形例について説明する。第２の変形例に係るマ
イクロレンズアレイ７２は、図５（ａ）に示すように、第１の変形例の場合と同様の複数
のマイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９から構成される。なお、第１の変形例の場合と同様に、
図５（ａ）における上からｉ行目（ｉは自然数）、左からｊ列目（ｊは自然数）のマイク
ロレンズをＬｉｊとする。
【００３８】
第２の変形例では、上から３行目、左から５列目のマイクロレンズＬ３５と、上から７
行目、左から５列目のマイクロレンズＬ７５とが、他のマイクロレンズよりも透過率が低
くなっている。この２つのマイクロレンズＬ３５，Ｌ７５には減光フィルターが設けられ
、例えば透過率が５０％に設定される。
【００３９】
以上のように構成されるマイクロレンズアレイ７２において、図５（ｂ）に示すように
、リレー光学系３１からの平行光がマイクロレンズアレイ７２に導かれ、複数のマイクロ
レンズＬ１１〜Ｌ９９により分割集光されて、第１撮像素子４３上に複数のスポット光が
形成される。第１撮像素子４３は、撮像面上に形成されたスポット光を光電変換し、検出
信号をデータ記憶装置５１に出力する。そして、第１の変形例の場合と同様の処理が行わ
れる。
【００４０】
このとき、上から３行目、左から５列目のマイクロレンズＬ３５は、他のマイクロレン
ズよりも透過率が低いので、当該マイクロレンズＬ３５により集光されたスポット光Ｓ３
５（図５（ｂ）および図５（ｃ）を参照）は、これに隣接するマイクロレンズＬ４５によ
り集光されたスポット光Ｓ４５よりも暗くなる。同様に、上から７行目、左から５列目の
マイクロレンズＬ７５は、他のマイクロレンズよりも透過率が低いので、当該マイクロレ
ンズＬ７５により集光されたスポット光Ｓ７５（図５（ｂ）および図５（ｃ）を参照）は
、これに隣接するマイクロレンズＬ６５により集光されたスポット光Ｓ６５よりも暗くな
る。そのため、分析装置５２等において、複数のマイクロレンズＬ１１〜Ｌ９９の中から
、透過率が低いマイクロレンズＬ３５，Ｌ７５により集光されたスポット光Ｓ３５，Ｓ７
５を識別することができる。
【００４１】
これにより、第１撮像素子４３における１つのマイクロレンズに対応した領域内で複数
のスポット光が検出される場合であっても、透過率が低いマイクロレンズＬ３５，Ｌ７５
により集光されたスポット光Ｓ３５，Ｓ７５を基準として、複数のマイクロレンズＬ１１
〜Ｌ９９のうちいずれのマイクロレンズにより集光されたスポット光であるかをそれぞれ
識別することが可能になる。例えば、上から６行目、左から５列目のマイクロレンズＬ６
５により集光されたスポット光Ｓ６５と、上から７行目、左から５列目のマイクロレンズ
Ｌ７５により集光されたスポット光Ｓ７５のような場合である（図５（ｂ）および図５（
ｃ）を参照）。
【００４２】
このように、第２の変形例によれば、スポット光の検出範囲および波面の傾きの検出範
囲を広げることができるため、より正確な波面収差を測定することができる。なお、透過
率が低いマイクロレンズの数は、２つに限られるものではなく、より多数であってもよい
。この場合、透過率が低いマイクロレンズを互いに隣接しないように配置することが好ま
しい。
【００４３】
次に、複数のレンズ部品を有するレンズ（レンズ系）の製造方法について、図６に示す
フローチャートを参照しながらその概略を説明する。まず、レンズ鏡筒内に複数のレンズ
部品を配置して、レンズ系を組み立てる（ステップＳＴ１０１）。次に、組み立てたレン
ズ系の波面収差（すなわち、被検レンズの波面収差）を、上述した図１に示す波面収差測
定装置１を用いて測定する（ステップＳＴ１０２）。そして、波面収差の測定結果により
、組み立てたレンズ系の良否を判定することで、レンズ系の検査を行う（ステップＳＴ１
０３）。
【００４４】
このような製造方法によれば、上述した波面収差測定装置１を用いて、正確に波面収差
を測定することができるので、レンズ（レンズ系）の製造品質を向上させることができる
。なお、単レンズの場合にも、同様の製造を行うことができる。すなわち、レンズについ
ては、複数のレンズ部品からなるレンズ系でも、単レンズでもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１  波面収差測定装置
１０  被検レンズ                        １１  射出瞳
１５  被検レンズ                        １６  射出瞳
３０  検出部                            ３１  リレー光学系
４１  波面センサ
４２  マイクロレンズアレイ              ４３  第１撮像素子
４４  ミラー                            ４５  第２撮像素子
４６  駆動装置
５１  データ記憶装置                    ５２  分析装置（演算部）
Ｉａ，Ｉｂ  絞り像
Ｒａ，Ｒｂ  リレー像
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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