(57)【要約】【課題】ミスト等の浮遊異物を効果的に排除可能な液滴吐出装置を提供する。【解決手段】記録媒体１に液滴を吐出する記録ヘッド４９と、記録ヘッドが収容される収容空間ＣＡの気体を排出する排気装置８０とを備える。記録ヘッドと記録媒体との間の気体の温度よりも高い温度の第２気体を内部空間に給気する給気装置７０を備える。【選択図】図２
2013223823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に液滴を吐出する記録ヘッドと、前記記録ヘッドが収容される収容空間の気体を排出する排気装置とを備えた液滴吐出装置であって、
前記記録ヘッドと前記記録媒体との間の気体の温度よりも高い温度の第２気体を前記収容空間に給気する給気装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記給気装置は、前記記録ヘッドよりも下方に前記第２気体を給気し、
前記排気装置は、前記収容空間における前記記録ヘッドよりも上方の気体を排出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２記載の液滴吐出装置において、
前記給気装置は、前記記録媒体を支持する支持部から前記第２気体を給気することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３記載の液滴吐出装置において、
前記給気装置は、前記吐出ヘッドから前記液滴が吐出される方向と平行な方向に前記第２気体を給気することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記液滴の吐出に関する所定情報に基づいて、前記排気装置の排気量と前記給気装置の給気量とを同期して制御する制御部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５記載の液滴吐出装置において、
前記所定情報は、前記記録ヘッドと前記記録媒体との距離に関する情報を含むことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５または６記載の液滴吐出装置において、
前記所定情報は、前記記録ヘッドから前記記録媒体へ吐出される前記液滴の吐出量に関する情報を含むことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記記録ヘッドから吐出され活性光線で硬化する性質の液滴に前記活性光線を照射する照射部と、
前記活性光線の光源に温度調整用気体を供給して冷却する冷却装置とを備え、
前記給気装置は、前記光源との間の熱交換で温度が高くなった前記温度調整用気体の少なくとも一部を前記第２気体として前記収容空間に給気することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出装置として、例えば記録媒体に文字や画像等を記録するインクジェット式記録装置などが知られている。インクジェット式記録装置は、記録媒体と噴射ヘッドとを相対的に移動させつつ、吐出ヘッドに設けられたノズルから当該記録媒体にインクを噴射することで、記録媒体に記録を行う構成となっている。
【０００３】
インクジェット式記録装置においては、噴射ヘッドからインクを噴射する際に、当該インクの噴射動作に伴う風圧などによってインクミストが発生する場合がある。インクミストが記録媒体や装置の各部に付着すると、記録品質の低下を引き起こしたり、動作不良の原因になったりする。このため、例えば特許文献１には、装置に湿度センサー及び吸引ファンを設け、湿度センサーの検出結果に応じた回転数で吸引ファンを動作させることによりインクミストによる悪影響を排除する構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−５９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
吸引ファン近傍に浮遊するインクミストは排出されるものの、分散して吸引ファンから離れた位置で浮遊するインクミストに対しては吸引力が十分に作用せずに上記の問題を解決できない可能性がある。
【０００６】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、ミスト等の浮遊異物を効果的に排除可能な液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出装置は、記録媒体に液滴を吐出する記録ヘッドと、前記記録ヘッドが収容される収容空間の気体を排出する排気装置とを備えた液滴吐出装置であって、前記記録ヘッドと前記記録媒体との間の気体の温度よりも高い温度の第２気体を前記収容空間に給気する給気装置を備えることを特徴とするものである。
【０００８】
従って、本発明の液滴吐出装置では、収容空間の気体よりも温度が高く比重の小さい第２気体は、ミスト等の浮遊物を伴って上昇するため、浮遊物を収容空間の上方に集中させることが可能になる。そのため、本発明では、集中した浮遊物を排気装置によって効果的に排出することができる。
【０００９】
上記構成の液滴吐出装置においては、分散した浮遊物を効果的に集中させ、一括的に排出するために、前記給気装置が、前記記録ヘッドよりも下方に前記第２気体を給気し、前記排気装置が、前記収容空間における前記記録ヘッドよりも上方の気体を排出する構成を好適に採用できる。
【００１０】
上記構成の液滴吐出装置においては、前記給気装置が、前記記録媒体を支持する支持部から前記第２気体を給気する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、浮遊物が生じやすい吐出ヘッド近傍に効果的に第２気体を給気することが可能になる。
【００１１】
また、この構成においては、前記吐出ヘッドから前記液滴が吐出される方向と平行な方向に前記第２気体を給気する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、第２気体の流れにより、液滴の吐出方向に悪影響が及ぶことを防止できる。
【００１２】
上記構成の液滴吐出装置においては、前記液滴の吐出に関する所定情報に基づいて、前記排気装置の排気量と前記給気装置の給気量とを同期して制御する制御部を備える構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、液滴の吐出に関する所定情報から浮遊物が増加すると判断される場合には、排気装置の排気量と給気装置の給気量とを同期して増加させ、逆に液滴の吐出に関する所定情報から浮遊物が減少すると判断される場合には、排気装置の排気量と給気装置の給気量とを同期して減少させることにより、浮遊物の量に応じて排気装置及び給気装置を最適な駆動量で駆動させることができる。
【００１３】
この場合、前記液滴の吐出に関する所定情報としては、前記記録ヘッドと前記記録媒体との距離に関する情報や、前記記録ヘッドから前記記録媒体へ吐出される前記液滴の吐出量に関する情報を含むものとすることで、浮遊物の量に応じて排気装置及び給気装置を最適な駆動量で駆動させることができる。
【００１４】
上記構成の液滴吐出装置においては、前記記録ヘッドから吐出され活性光線で硬化する性質の液滴に前記活性光線を照射する照射部と、前記活性光線の光源に温度調整用気体を供給して冷却する冷却装置とを備え、前記給気装置が、前記光源との間の熱交換で温度が高くなった前記温度調整用気体の少なくとも一部を前記第２気体として前記収容空間に給気する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、給気装置、特に、記録ヘッドと記録媒体との間の気体の温度よりも第２気体の温度を高くするための装置を別途設ける必要がなくなり、装置の小型化及び低価格化を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出装置の概略的な断面正面図。
【図３】ヘッドユニット４７を示す模式図。
【図４】液滴吐出装置１０の制御に係るブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の液滴吐出装置の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
本実施形態では、記録媒体である半導体基板に液滴を吐出してマークを形成する液滴吐出装置に本発明を適用する場合について説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００１７】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１０は、半導体基板（記録媒体）１に液滴を吐出するものであって、筺体Ｃの収容空間ＣＡに収容された、基台３７、ステージ（支持部）３９、キャリッジ４５、ヘッドユニット４７と、概略的な断面正面図である図２に示す冷却装置６０、給気装置７０、排気装置８０、制御部ＣＯＮＴ（図４参照）を主体に構成されている。
【００１８】
なお、以下の説明では、液滴を吐出するときにヘッドユニット４７と半導体基板１とが相対移動する方向を主走査方向とする。そして、主走査方向と直交する方向を副走査方向とする。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向である。本実施形態ではＹ方向を主走査方向とし、Ｘ方向を副走査方向とする。これらＸ方向及びＹ方向は水平方向であり、Ｘ方向及びＹ方向と直交する上下方向（鉛直方向）をＺ方向とする（＋Ｚ側を上側とする）。
【００１９】
基台３７は、直方体形状に形成されている。基台３７の上面３７ａには、Ｘ方向に延在する一対の案内レール３８がＸ方向全幅にわたり凸設されている。その基台３７の上側には、一対の案内レール３８に対応する図示しない直動機構を備えたステージ３９が取付けられている。そのステージ３９の直動機構は、リニアモーターやネジ式直動機構等を用いることができる。本実施形態では、例えば、リニアモーターを採用している。そして、ステージ３９は、Ｘ方向に沿って所定の速度で往動または復動するようになっている。往動と復動を繰り返すことを走査移動と称す。さらに、基台３７の上面３７ａには、案内レール３８と平行に副走査位置検出装置４０が配置され、副走査位置検出装置４０によりステージ３９の位置が検出される。
【００２０】
そのステージ３９の上面には載置面４１が形成され、その載置面４１には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。載置面４１上に半導体基板１が載置された後、半導体基板１は基板チャック機構により載置面４１に固定（支持）される。
【００２１】
基台３７のＹ方向両側には一対の支持台４２が立設され、その一対の支持台４２にはＹ方向に延びる案内部材４３が架設されている。案内部材４３の下側にはＹ方向に延びる案内レール４４がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００２２】
キャリッジ４５は、略直方体形状に形成され、案内レール４４に沿って移動可能に取り付けられる。キャリッジ４５は直動機構を備え、その直動機構は、例えば、ステージ３９が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、キャリッジ４５がＹ方向に沿って走査移動する。案内部材４３とキャリッジ４５との間には主走査位置検出装置４６が配置され、キャリッジ４５の位置が計測される。キャリッジ４５の下側にはヘッドユニット４７が設置され、ヘッドユニット４７のステージ３９側の面には、液滴吐出ヘッド４９（図１では図示せず、図３参照）が凸設されている。
【００２３】
キャリッジ４５の半導体基板１側（−Ｚ側）には、ヘッドユニット４７と一対の照射部としての硬化ユニット４８とが、Ｙ方向に関してキャリッジ４５の中心からそれぞれ等間隔で配置されている。ヘッドユニット４７の半導体基板１側には液滴を吐出する液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）４９が凸設されている。
【００２４】
キャリッジ４５の図中上側には収容タンク５０が配置され、収容タンク５０には機能液が収容されている。液滴吐出ヘッド４９と収容タンク５０とは図示しないチューブにより接続され、収容タンク５０内の機能液がチューブを介して液滴吐出ヘッド４９に供給される。
【００２５】
機能液は樹脂材料、硬化剤としての光重合開始剤、溶媒または分散媒を主材料とする。この主材料に顔料または染料等の色素や、親液性または撥液性等の表面改質材料等の機能性材料を添加することにより固有の機能を有する機能液を形成することができる。本実施形態では、例えば、白色の顔料を添加している。機能液の樹脂材料は樹脂膜を形成する材料である。樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによりポリマーとなる材料であれば特に限定されない。さらに、粘性の小さい樹脂材料が好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。モノマーの形態であればさらに好ましい。光重合開始剤はポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤であり、例えば、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール等を用いることができる。溶媒または分散媒は樹脂材料の粘度を調整するものである。機能液を液滴吐出ヘッドから吐出し易い粘度にすることにより、液滴吐出ヘッドは安定して機能液を吐出することができるようになる。
【００２６】
図３（ａ）は、ヘッドユニット４７を示す模式平面図である。図３（ａ）に示すように、ヘッドユニット４７には、２つの液滴吐出ヘッド（記録ヘッド）４９が副走査方向（Ｘ方向）に間隔をあけて配置され、各液滴吐出ヘッド４９の表面にはノズルプレート５１（図３（ｂ）参照）がそれぞれ配置されている。各ノズルプレート５１には複数のノズル５２が配列して形成されている。
【００２７】
図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド４９はノズルプレート５１を備え、ノズルプレート５１にはノズル５２が形成されている。ノズルプレート５１の上側であってノズル５２と相対する位置にはノズル５２と連通するキャビティ５３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド４９のキャビティ５３には機能液（液体）５４が供給される。
【００２８】
キャビティ５３の上側には上下方向に振動してキャビティ５３内の容積を拡大縮小する振動板５５が設置されている。振動板５５の上側でキャビティ５３と対向する場所には上下方向に伸縮して振動板５５を振動させる圧電素子５６が配設されている。圧電素子５６が上下方向に伸縮して振動板５５を加圧して振動し、振動板５５がキャビティ５３内の容積を拡大縮小してキャビティ５３を加圧する。それにより、キャビティ５３内の圧力が変動し、キャビティ５３内に供給された機能液５４はノズル５２を通って−Ｚ側（下側）に吐出される。
【００２９】
圧電素子５６の駆動による吐出ヘッド４９からの機能液５４の吐出は、ヘッド駆動回路を有するヘッド駆動部４９Ａを介して制御部ＣＯＮＴにより制御される（図４参照）。また、ヘッドユニット４７は、距離制御モーター９０（図４参照）の駆動によってＺ方向に移動する。ヘッドユニット４７のＺ方向の位置、すなわち、吐出ヘッド４９と半導体基板１とのギャップ量は、モーター駆動回路を有するモーター駆動部９０Ａを介して制御部ＣＯＮＴにより制御される（図４参照）。
【００３０】
硬化ユニット４８は、図２及び図３（ａ）に示すように、主走査方向（相対移動方向）においてヘッドユニット４７を挟んだ両側の位置に配置されている。硬化ユニット４８の内部には吐出された液滴を硬化させる紫外線（活性光線）を照射する照射装置が配置されている。照射装置は発光ユニット（光源）と放熱板等から構成されている。発光ユニットには多数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）素子が配列して設置されている。このＬＥＤ素子は、電力の供給を受けて紫外線の光である紫外光を発光する素子である。硬化ユニット４８の下面には、照射口４８ａが形成されている。そして、照射装置が発光する紫外光が照射口４８ａから半導体基板１に向けて照射される。
【００３１】
図２に戻り、冷却装置６０は、硬化ユニット４８における発光ユニットを冷却するものであって、冷媒供給部６１、冷媒供給路６２、冷媒回収路６３を備えている。冷媒供給部６１は、発光ユニットを冷却するための冷媒（温度調整用気体）として、所定温度に調整されたクリーンエアーを冷媒供給路６２を介して供給する。発光ユニットを冷却したクリーンエアーは、冷媒回収路６３を介して回収される。
【００３２】
給気装置７０は、収容空間ＣＡにミスト等の浮遊物を排出するための気体として加熱エアーを給気するものであって、ブロアユニット７１、ダンパー装置７２、給気孔７３、給気路７４を備えている。
【００３３】
ブロアユニット７１は、冷媒回収路６３の終端部に接続されており、冷媒回収路６３を介して回収されるクリーンエアーをダンパー装置７２に向けて送出するものである。ブロアユニット７１の駆動は、ブロア駆動部７１Ａを介して制御部ＣＯＮＴにより制御される（図４参照）。
【００３４】
ダンパー装置７２は、給気路７４の中途に介装されており、開閉に応じてブロアユニット７１から送出されたクリーンエアーの流路を装置外部への排気路７２Ａと給気路７４との間で切り換えるものである。ダンパー装置７２の開閉は、ダンパー駆動部７２Ａを介して制御部ＣＯＮＴにより制御される（図４参照）。
【００３５】
給気孔７３は、図１及び図２に示すように、載置面４１における半導体基板１の保持領域の周囲に、Ｚ方向に延在するように複数配置されている。給気孔７３からは、給気路７４を介して供給されるされるクリーンエアー（第２気体）が収容空間ＣＡに向けて給気される。
【００３６】
排気装置８０は、収容空間ＣＡの空気を排出するものであって、筺体Ｃの天部に複数設けられた排気ファン８１によって構成される。排気ファン８１の駆動（回転数）は、ドライバ回路を有するファン駆動部８１Ａを介して制御部ＣＯＮＴにより制御される（図４参照）。
【００３７】
図４は、液滴吐出装置１０の制御に係るブロック図である。
上述した吐出ヘッド４９、冷媒供給部６１、ブロアユニット７１、ダンパー装置７２、排気ファン８１、距離制御モーター９０の駆動は制御部ＣＯＮＴにより制御される。また、制御部ＣＯＮＴに対しては、ユーザ用コンピューター等の入力部９５から機能液５４の吐出量や、吐出ヘッド４９と半導体基板１とのギャップ量等の液滴吐出に関する情報が入力される。
【００３８】
上記の液滴吐出装置１０においては、ヘッドユニット４７が半導体基板１に対して相対移動しつつ、圧電素子５６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受け取った吐出ヘッド４９から、機能液５４が液滴５７となって吐出される。機能液５４が塗布された半導体基板１に対しては、照射口４８ａから紫外光が照射され、硬化剤を含んだ機能液５４を固化または硬化させるようになっている。
【００３９】
上記の液滴吐出処理及び紫外光照射処理時には、発光ユニットの温度が上昇するが、冷媒供給部６１から冷媒供給路６２を介して供給された、例えば収容空間ＣＡの空気、より詳細には吐出ヘッド４９と半導体基板１との間の空気の温度とほぼ同じ温度のクリーンエアーとの熱交換により、発光ユニットは冷却される。逆に、クリーンエアーは、発光ユニットとの熱交換により、収容空間ＣＡの空気（吐出ヘッド４９と半導体基板１との間の空気）の温度よりも高くなった状態になる。
【００４０】
温度上昇したクリーンエアーは、ブロアユニット７１の駆動及び冷媒供給部６１からのエアー供給圧力により、冷媒回収路６３を介して給気路７４に送出される。給気路７４に送出されたクリーンエアーは、ダンパー装置７２の開閉に応じて流路が切り換えられる。
【００４１】
ここで、制御部ＣＯＮＴは、予め入力されている吐出ヘッド４９からの機能液５４の吐出量に応じてダンパー装置７２の開閉を制御する。具体的には、機能液５４の吐出量が所定のしきい値よりも少ない場合には、ダンパー装置７２を開状態として、ブロアユニット７１によって送出されたクリーンエアーを排気路７２Ａから排出させ、クリーンエアーが給気孔７３に向けて送出されないように制御する。
【００４２】
逆に、機能液５４の吐出量が所定のしきい値よりも多い場合に制御部ＣＯＮＴは、ダンパー装置７２を閉状態として、ブロアユニット７１によって送出されたクリーンエアーを排気路７２Ａから排出させず、クリーンエアーが給気孔７３に向けて送出されるように制御する。
【００４３】
ダンパー装置７２で給気路７４に流路が設定されたクリーンエアーは、第２気体として給気孔７３から収容空間ＣＡに＋Ｚ方向に向けて給気される。収容空間ＣＡに給気されたクリーンエアーは、周辺の空気（吐出ヘッド４９と半導体基板１との間の空気）の温度よりも高い温度で比重が小さくなっているため、上昇して収容空間ＣＡの天部周辺に集中することになる。
【００４４】
ここで、吐出ヘッド４９から機能液５４の吐出で生じるミスト等の浮遊物は、吐出ヘッド４９と半導体基板１との間に多く存在するが、給気孔７３が載置面４１に形成され、吐出ヘッド４９よりも下方に位置していることから、クリーンエアーは浮遊物を伴って上昇し、浮遊物も収容空間ＣＡの天部周辺に集中することになる。
【００４５】
収容空間ＣＡの天部に集中した温度の高いクリーンエアー及び浮遊物は、同様に天部に配置された排気ファン８１によって外部に排出される。排気ファン８１の駆動についても、制御部ＣＯＮＴは、ダンパー装置７２に対する制御と同様に、吐出量が少ない場合には排気ファン８１の駆動を低下させ（回転数を下げ）、逆に、吐出量が多い場合には排気ファン８１の駆動（回転数）を上げる。これにより、収容空間ＣＡの天部に集中した温度の高いクリーンエアー及び浮遊物は、その量に応じた駆動量で駆動される排気ファン８１によって筺体Ｃから排出される。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態では、吐出ヘッド４９と半導体基板１との間の空気の温度よりも高い温度のクリーンエアーを収容空間ＣＡに給気するため、クリーンエアーの上昇に伴って天部に集中する浮遊物を効果的に排出することが可能になる。特に、本実施形態では、給気孔７３が吐出ヘッド４９よりも下方に配置され、排気ファン８１が収容空間ＣＡの天部に配置されているため、吐出ヘッド４９と半導体基板１との間に多く浮遊する浮遊物を、より効果的に集中させて排出することが可能となっている。
【００４７】
また、本実施形態では、機能液５４の吐出量に応じて、収容空間ＣＡへのクリーンエアーの給気及び排気ファン８１の駆動状態を調整しているため、想定される浮遊物の量に応じた最適な浮遊物排除が可能になる。さらに、本実施形態では、給気するクリーンエアーの温度を、発光ユニットの冷却に係る熱交換で上昇させているため、クリーンエアーを温度上昇させるための加熱装置を別途設ける必要がなくなり、装置の小型化・低価格化を図ることができる。
加えて、本実施形態では、クリーンエアーをＺ方向沿って給気するため、Ｚ方向に吐出される機能液５４の飛行経路に悪影響を及ぼすことを抑制可能となっている。
【００４８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４９】
例えば、上記実施形態では、クリーンエアーの収容空間ＣＡへの給気と、排気ファン８１による排気とを同期制御する際の液滴吐出に関する情報として、吐出ヘッド４９から吐出される機能液５４の吐出量に応じて、収容空間ＣＡへの給気及び排気ファン８１の動作を切り換える構成としたが、この情報以外にも、吐出ヘッド４９と半導体基板１との間のギャップ量（距離）が所定のしきい値以下の場合には、収容空間ＣＡへの給気を停止させるとともに、排気ファン８１の駆動を低下させ、逆に、吐出ヘッド４９と半導体基板１との間のギャップ量が所定のしきい値を超える場合には浮遊物の発生が見込まれるため、収容空間ＣＡにクリーンエアーを給気させるとともに、排気ファン８１の駆動を上げる構成としてもよい。
【００５０】
さらに、上記実施形態では、液滴吐出に関する情報に基づいて二者択一で、クリーンエアーの給気・給気停止を切り換え、排気ファン８１の動作低下・動作向上を切り換える構成としたが、例えば、ダンパー装置７２の開度の割合を調整可能な構成とし、吐出時の条件で想定される、あるいは予め実験等で得られた浮遊物の量に応じて、クリーンエアーの収容空間ＣＡへの給気量の割合及び排気ファン８１の駆動量（回転数）の割合を微調整する構成であってもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、硬化ユニット４８における発光ユニット（光源）をキャリッジ４５に搭載する構成としたが、これに限定されるものではなく、発光ユニットを筺体Ｃの内部あるいは外部に固定して設け、発光ユニットからの紫外線を光ファイバ等で硬化ユニット４８に導光し、半導体基板１に向けて照射する構成であってもよい。この構成においても、発光ユニット（光源）の冷却に供されて温度が上昇した後のクリーンエアーを収容空間ＣＡに給気すればよい。この構成を採ることで、ヘッドユニット４７の軽量化を図ることができる。
【００５２】
また、上記実施形態では、硬化ユニット４８をヘッドユニット４７に搭載する構成としたが、これに限られず、例えば半導体基板１の搬送方向の上流側にヘッドユニット４７が設けられ、下流側に硬化ユニット４８が設けられ、ヘッドユニット４７で液滴吐出処理が施されて下流側に搬送された半導体基板１に対して硬化ユニット４８からの紫外線により硬化処理が施される構成であってもよい。
この構成においては、硬化ユニット４８が半導体基板１の搬送方向と直交する幅方向に走査移動する構成であっても、半導体基板１の幅以上の長さを有するライン状に固定されて一括的に紫外線を照射する構成であってもよい。
【００５３】
また、上記実施形態では、発光ユニットの冷却に用いられて温度上昇したクリーンエアーを収容空間ＣＡに給気する構成としたが、冷却処理が行われる他の機器において冷却に用いられて温度上昇したクリーンエアーを収容空間ＣＡに給気する構成としてもよく、さらに、より高精度に温度調整されたエアーを給気する場合には、専用の温度調整装置を設ける構成としてもよい。
【００５４】
また、上記実施形態では、クリーンエアーの給気孔をステージ３９に設ける構成としたが、この構成以外にも、例えば、基台３７に設ける構成や、吐出ヘッド４９よりも下方に位置する筺体Ｃの壁部に設ける構成であってもよい。この場合であっても、機能液５４の吐出に悪影響を及ぼさないように、クリーンエアーの給気方向はＺ方向に沿った方向とすることが好ましい。
【００５５】
また、上記実施形態では、ＵＶインクとして紫外線硬化型インクを用いたが、本発明はこれに限定されず、可視光線、赤外線を硬化光として使用することができる種々の活性光線硬化型インクを用いることができる。
また、光源も同様に、可視光等の活性光を射出する種々の活性光光源を用いること、つまり活性光線照射部を用いることができる。
【００５６】
ここで、本発明において「活性光線」とは、その照射によりインク中において開始種を発生させうるエネルギーを付与することができるものであれば、特に制限はなく、広く、α線、γ線、Ｘ線、紫外線、可視光線、電子線などを包含するものである。中でも、硬化感度及び装置の入手容易性の観点からは、紫外線及び電子線が好ましく、特に紫外線が好ましい。従って、活性光線硬化型インクとしては、本実施形態のように、紫外線を照射することにより硬化可能な紫外線硬化型インクを用いることが好ましい。
【符号の説明】
【００５７】
１…半導体基板（記録媒体）、  １０…液滴吐出装置、  ４７…ヘッドユニット、  ４８…硬化ユニット（照射部）、  ４９…吐出ヘッド（記録ヘッド）、  ６０…冷却装置、  ７０…給気装置、  ８０…排気装置、  ＣＡ…収容空間
【図１】
2013223823.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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