(57)【要約】【課題】本発明は、スプールケース内にワイヤを保管しても、変色や鳥肌状の変質が発生せず、スプールケース内のイオン濃度を低下維持することができるスプールケースを提供することを目的とする。【解決手段】半導体ボンディングワイヤ６０が巻かれたスプール５０を収納するスプールケースであって、  相互に嵌合する弾性材からなる容器１０と蓋２０とを有し、  該容器と該蓋とが嵌合して前記スプールを収納したときに、前記ボンディングワイヤに接触しないように活性炭及び／又は酸素吸収剤４０〜４２も収納したことを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ボンディングワイヤが巻かれたスプールを収納するスプールケースであって、
相互に嵌合する弾性材からなる容器と蓋とを有し、
該容器と該蓋とが嵌合して前記スプールを収納したときに、前記ボンディングワイヤに接触しないように活性炭及び／又は酸素吸収剤も収納したことを特徴とするスプールケース。
【請求項２】
前記容器及び前記蓋の少なくとも一方に、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を保持する保持部材が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のスプールケース。
【請求項３】
前記収納部材は、前記スプールの円筒面よりも内周側に前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を保持するように設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載のスプールケース。
【請求項４】
前記保持部材は、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を挟持する挟持部材であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスプールケース。
【請求項５】
前記保持部材は、通気性メッシュを有する収納部材であり、前記活性炭及び／又は酸素吸収材を収納して保持することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスプールケース。
【請求項６】
前記活性炭は、液体で洗浄可能であるとともに繰り返し使用可能であり、
前記通気性メッシュの目は、前記活性炭の粒子サイズよりも細かいことを特徴とする請求項５に記載のスプールケース。
【請求項７】
前記容器は、前記スプールの内周面と嵌合するスプール保持部と、前記スプールの外周面を覆う円筒状収納部とを有し、
前記蓋は、前記スプールの内周面と嵌合するとともに、前記スプールの端部を軸方向から押さえて固定するスプール固定部と、前記容器の前記円筒状収納部と嵌合する円盤部とを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のスプールケース。
【請求項８】
前記蓋は、前記スプール固定部が存在しない空隙部を有し、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤の通気性を保つことを特徴とする請求項７に記載のスプールケース。
【請求項９】
前記空隙部は、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を通過させない大きさを有することを特徴とする請求項８に記載のスプールケース。
【請求項１０】
前記蓋は、軸方向外側に突出した複数のツマミ部を有し、該ツマミ部に力を加えることにより該蓋を弾性変形させて前記容器と嵌合させることが可能となっていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のスプールケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプールケースに関し、特に、半導体ボンディングワイヤが巻かれたスプールを収納するスプールケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体素子上のチップ電極と外部電極との結線（以下ボンディングという）には、直径１２〜３３μｍの金、銀あるいは銅といった極細いワイヤが用いられている。このような極細のワイヤは、スプールに５００〜１００００ｍといった長尺で多層に巻かれ、スプールケースに収納されて供給される。こうした多層に巻かれた金属極細線ワイヤは、半導体素子生産時のスプールからのワイヤ供給時には、巻部にわずかな引っ掛かりがあっても、ワイヤの折れ曲がりやカールと呼ばれる変形癖の原因となる。これらのワイヤの折れ曲がりや変形癖はまた、キャピラリと呼ばれるワイヤボンダに装着されているワイヤを通すための細管内で、ワイヤ表面へ吸着する異物とともに金属粉の発生の原因となり、キャピラリ詰まりやボンディングされたワイヤの形状不良の原因となる。
【０００３】
そこで、ワイヤの折れ曲がりや変形癖を防止するために、巻荷重、巻ピッチ、段積み方法などといった巻き条件や、ハンドフリーケースなどのワイヤ巻き面へのハンドリングミスを防止するスプールケース等が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の構成によれば、スプールに直接手を触れることなく着脱が可能であるので、ワイヤボンダへの装着作業時におけるワイヤ表面への接触によるワイヤの損傷といった問題を解決することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−８６３２６号公報
【特許文献２】特開２００７−２５０７５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、金価格高騰の影響で、金線に代わり銅線や銀線といった材料価格の安価なボンディングワイヤが使用される傾向にある。一方、半導体素子を生産するための工場は台湾や中国などへの進出が進んでいるが、最近になって使用途中のスプールをスプールケース内に収納して保管していても、ワイヤ表面が変色したり鳥肌状になったりして、極端な場合にはボンディングされたワイヤのループ形状が変形したり、キャピラリ詰まりが発生しやすいといった現象が観察されるようになっている。半導体素子の製造は通常クリーンルームと呼ばれる粉塵が極めて少ない部屋の中で行われるが、クリーンルームに供給するクリーン空気のためのフィルタにイオン除去機能が噴かされていない場合があり、工場の外の環境の硫酸イオンなどが除去されずにクリーンルーム内に持ち込まれ、これがワイヤの表面に吸着し、表面が変色したり鳥肌状になったりするものと推察されている。
【０００６】
このように、特許文献１のような構成で、ワイヤボンダへの装着作業時におけるワイヤの損傷を防止したとしても、保管自体でワイヤ表面が変色したり鳥肌状になったりする場合があり、そのためスプールケース内でワイヤを保管しても、変色や鳥肌状の変質が発生しないスプールケースや、銅線での酸化を防止するスプールケースの開発が強く望まれていた。
【０００７】
そこで、表面酸化を抑制し、接合性等使用性能の経時劣化を抑えることができるボンディングワイヤの保管方法として、気化性防錆剤を、スプールケース又はスプールケースを収容する保護袋に同封して密封する保管方法も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
しかしながら、特許文献２に記載の構成では、気化性防錆剤がスプール内の空間に比較して相当に小さく、また気化防錆剤はスプールケース内又は保護袋に何ら固定等されることなく同封されているだけであるので、気化防錆剤がスプールケースや保護袋の内部で移動し、スプールに巻回されたボンディングワイヤに接触してしまい、ボンディングワイヤに折れ曲がりや変形癖を発生させるおそれがあるという問題があった。
【０００９】
また、気化防錆材を使用すると、ワイヤ表面に酸化防止剤の薄い有機被膜が形成され、ワイヤボンディング時にはワイヤと被接合部との界面で接合を阻害するため、見かけは接合されていても十分な接合強度が得られなかったり、ワイヤボンディング中にテール接合が不十分となってワイヤが被接合部からはがれてワイヤボンダが停止してしまい、半導体素子組立の生産性が低下するといった問題も生じた。
【００１０】
そこで、本発明は、スプールケース内にワイヤを保管しても、スプールに折れ曲がりや変形癖を発生させないとともに、変色や鳥肌状の変質を発生させず、スプールケース内のイオン濃度を低下維持することができるスプールケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るスプールケースは、半導体ボンディングワイヤが巻かれたスプールを収納するスプールケースであって、
相互に嵌合する弾性材からなる容器と蓋とを有し、
該容器と該蓋とが嵌合して前記スプールを収納したときに、前記ボンディングワイヤに接触しないように活性炭及び／又は酸素吸収剤も収納したことを特徴とする。
【００１２】
これにより、活性炭及び／又は酸素吸収剤がボンディングワイヤに接触してワイヤを変形させることがなく、活性炭及び／又は酸素吸収剤がスプールケース内に侵入する硫酸イオン又は酸素をはじめとするボンディングワイヤ表面に吸着する可能性のあるイオンを捕捉して、スプールケース内のイオン濃度を低下維持し、ボンディングワイヤの表面の変色、鳥肌状の変質、ワイヤ表面の酸化を防止することができる。
【００１３】
また、前記容器及び前記蓋の少なくとも一方に、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を保持する保持部材が設けられてもよい。
【００１４】
これにより、スプールケースの開閉作業において、活性炭及び／又は酸素吸収剤が容器又は蓋と一体物として取り扱いが可能となるため、活性炭及び／又は酸素吸収剤を取り扱う手間を省くことができ、作業性を向上させることができる。
【００１５】
また、前記収納部材は、前記スプールの円筒面よりも内周側に前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を保持するように設けられてもよい。
【００１６】
また、前記保持部材は、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を挟持する挟持部材であってもよい。
【００１７】
また、前記保持部材は、通気性メッシュを有する収納部材であり、前記活性炭及び／又は酸素吸収材を収納して保持してもよい。
【００１８】
また、前記活性炭は、液体で洗浄可能であるとともに繰り返し使用可能であり、
前記通気性メッシュの目は、前記活性炭の粒子サイズよりも細かいことが好ましい。
【００１９】
これにより、容器又は蓋を洗浄することで活性炭の洗浄も可能となり、洗浄の手間が省け、かつ複数回のリユースが可能となり、リユースのための作業効率や活性炭の使用量を低減させることができる。
【００２０】
また、前記容器は、前記スプールの内周面と嵌合するスプール保持部と、前記スプールの外周面を覆う円筒状収納部とを有し、
前記蓋は、前記スプールの内周面と嵌合するとともに、前記スプールの端部を軸方向から押さえて固定するスプール固定部と、前記容器の前記円筒状収納部と嵌合する円盤部とを有してもよい。
【００２１】
また、前記蓋は、前記スプール固定部が存在しない空隙部を有し、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤の通気性を保つことが好ましい。
【００２２】
また、前記空隙部は、前記活性炭及び／又は酸素吸収剤を通過させない大きさを有してもよい。
【００２３】
また、前記蓋は、軸方向外側に突出した複数のツマミ部を有し、該ツマミ部に力を加えることにより該蓋を弾性変形させて前記容器と嵌合させることが可能となっていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ワイヤの変質や表面の酸化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施例１に係るスプールケースの一例を示した外観図である。図１（Ａ）は、実施例１に係るスプールケースの側面図である。図１（Ｂ）は、実施例１に係るスプールケースの平面図である。
【図２】本発明の実施例１に係るスプールケースの内部構成の一例を示した図である。図２（Ａ）は、図１の断面Ａで切った断面形状を示した図である。図２（Ｂ）は、図１の断面Ｂで切った断面形状を示した図である。
【図３】実施例１に係るスプールケースの容器と蓋の嵌合方法の一例を示した図である。
【図４】実施例２に係るスプールケースの一例を示した断面構成図である。図４（Ａ）は、実施例２に係るスプールケースの図１のＡ断面における断面構成図であり、図４（Ｂ）は、実施例２に係るスプールケースの図１のＢ断面における断面構成図である。
【図５】実施例２に係るスプールケースの嵌合方法の一例を示した図である。
【図６】本発明の実施例３に係るスプールケースの一例を示した断面図である。図６（Ａ）は、図１のＡ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図である。図６（Ｂ）は、図１のＢ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図である。
【図７】本発明の実施例４に係るスプールケースの一例を示した断面構成図である。図７（Ａ）は、図１のＡ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図である。図７（Ｂ）は、図１のＢ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本発明の実施例１に係るスプールケースの一例を示した外観図である。図１（Ａ）は、実施例１に係るスプールケースの側面図であり、図１（Ｂ）は、実施例１に係るスプールケースの平面図である。図１（Ａ）、（Ｂ）において、実施例１に係るスプールケースは、容器１０と、蓋２０とを備える。また、蓋２０の表面には、ツマミ部材２３が形成されている。
【００２８】
図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、実施例１に係るスプールケースは、円筒状の容器１０と、突起状のツマミ部材２３を有する円盤状の蓋２０から構成される。図１では、容器１０と蓋２０が相互に嵌合し、蓋２０を閉じて容器１０と蓋２０とが一体化した状態のスプールケースが示されている。ツマミ部２３は、円柱状の突起の真ん中をくり抜いて直線状の平坦部２４を形成したような形状となっている。よって、ツマミ部２３は、円弧と弦で囲まれた平面形状を有しており、蓋２０の上面に２つ形成されている。
【００２９】
図２は、本発明の実施例１に係るスプールケースの内部構成の一例を示した図である。図２（Ａ）は、図１の断面Ａで切った断面形状を示しており、図２（Ｂ）は、図１の断面Ｂで切った断面形状を示している。
【００３０】
図２（Ａ）において、本実施例に係るスプールケースは、容器１０と、蓋２０と、活性炭収納小袋４０とを有する。また、関連構成要素として、図２（Ａ）において、スプール５０と、ボンディングワイヤ６０が示されている。
【００３１】
容器１０は、スプール５０を収納して保持する手段であり、スプール保持部１１と円筒状収納部１２と、底面部１３とを有する。また、容器１０は、弾性材から構成される。スプール保持部１１は、スプール５０の円筒の内周面と嵌合し、スプール５０を保持する役割を果たす部分である。容器１０は、弾性材から構成されているので、スプール保持部１１は、スプール５０の内径と同じか少しだけ大きい外径を有して形成され、スプール５０の内周面５１内にやや縮むようにして挿入され、半径方向外側に伸びる弾性力でスプール５０を内周面５１から固定支持する。円筒状収納部１２は、スプール保持部１１から半径方向外側に延びた部分と、スプール５０の外周面５３を覆うように円筒状に延びた部分とを有する。スプール５０は、円筒状収納部１２に収納された状態となって保持される。底面部１３は、容器１０の底面を形成する部分であり、スプール５０の底面を覆う。
【００３２】
蓋２０は、容器１０と相互に嵌合して密閉空間を内部に形成し、スプール５０を内部空間に収納するとともに、スプール５０を保持するための手段である。容器１０と同様に、弾性材で構成される。蓋２０は、スプール固定部２１と、円盤部２２と、ツマミ部２３と、平坦部２４とを有する。スプール固定部２１は、スプール５０をスプールケースの内部で固定するための部分であり、スプール５０の内周面５１と嵌合する部分と、スプール５０の端部５３を軸方向外側から押さえて固定する部分とを有する。円盤部２２は、円盤の外周部分を構成し、容器１０の円筒状収納部１２の端部と嵌合する部分である。なお、円盤部２２における容器１０との嵌合も、蓋２０の弾性を利用し、蓋２０を半径方向内側に縮めるようにして容器１０に挿入し、蓋２０が半径方向外側に伸びる弾性力により容器１０と嵌合して一体化されてよい。
【００３３】
ツマミ部２３は、円盤部２２から軸方向外側に隆起した突起である。これにより、ユーザが指で蓋２０を取り扱うことが容易となる。平坦部２４は、２つのツマミ部２３同士の間に形成された平坦な部分であり、これによりツマミ部２３を摘むことを容易にしている。
【００３４】
活性炭収納小袋４０は、内部に活性炭を収容した小袋であり、容器１０と蓋２０により形成された内部空間に収納される。活性炭収納小袋４０に収容された活性炭が、スプールケース内部の水分やイオンを吸着し、ワイヤ６０の変色、鳥肌状への変質、表面の酸化を防ぐ。活性炭収納小袋４０は、スプール５０の内周面５１よりも内部に収納され、スプール５０の外周面５３に巻かれたボンディングワイヤ６０に接触せず、ボンディングワイヤ６０と干渉しない状態でスプールケース内に収納される。これにより、ボンディングワイヤ６０のループ形状の変化やキャピラリ詰まりの発生を防止することができるとともに、ボンディングワイヤ６０の酸化を防止することができる。なお、活性炭収納小袋４０は、活性炭の粉塵が小袋の外に漏れずかつ通気性のある紙製袋であってもプラスチック製袋あるいはプラスチック製容器であっても良い。
【００３５】
スプール５０は、ボンディングワイヤ６０を巻回させるための部材であり、ボンディングワイヤ６０を巻き付けるための外周面５３と、ボンディングワイヤ６０が軸方向に外れないようにするため端部５２とを有する。また、スプール５０は、内周面５１を有し、上述のように、容器１０及び蓋２０のスプール５０保持に利用される。
【００３６】
ボンディングワイヤ６０は、半導体チップの実装配線に用いられるワイヤである金、銀、銅、アルミニウム、銅をパラジウムで被覆したもの等、種々の金属材料が用いられ得る。ボンディングワイヤ６０は、例えば、低コスト化の要請に応えて、銅又は銅をパラジウムで被覆したもので構成されてもよい。本実施例に係るスプールケースは、内部に、ボンディングワイヤ６０とともに活性炭入り小袋４０を有しているので、銅又は銅のパラジウム被覆材料を用いた場合であっても、ボンディングワイヤ６０の表面の酸化を防止することができる。
【００３７】
図２（Ｂ）において、蓋２０とスプール５０との間にスプール固定部２１が存在しない空隙部２５が形成されている。空隙部２５を設けることにより、円筒状収納部１２の内側と活性炭収納小袋４０が収納された空間との間は空気の出入りが可能な構成となっている。なお、空隙部２５は、蓋２０の平坦部２４に形成されている。
【００３８】
空隙部２５は、活性炭収納小袋４０が、スプールケース１０の円筒状収納部１２とスプール５０の外周面５３で形成される空間に移動することを許容しない大きさに形成される。これにより、活性炭収納小袋４０は、スプール５０の内周面５１内に閉じ込められた状態となり、スプール５０の外周面５３に巻回されたボンディングワイヤ６０との接触を防止することができる。つまり、ボンディングワイヤ６０に折れ曲がりや変形癖を発生させるおそれが無い構成となっている。
【００３９】
なお、活性炭収納小袋４０は、空隙部２５を通過しない大きさに形成されていればよいが、図２（Ａ）に示すように、スプールケースの内部空間に固定されるような大きさを有するように構成されてもよい。これにより、スプールケース１０が搬送等により移動しても、活性炭収納小袋４０はスプールケース内を大きく移動することが無くなるので、振動等を発生させず、安定した状態を保つことができる。
【００４０】
このように、実施例１に係るスプールケースによれば、スプール５０を保持することができるとともに、ボンディングワイヤ６０に干渉しない位置に活性炭収納小袋４０を設けることができ、ボンディングワイヤ６０の折れ曲がり、変形癖とともに変色、鳥肌状への変質、表面の酸化を防止することができる。
【００４１】
なお、実施例１において、活性炭収納小袋４０を用いた例を説明したが、活性炭の全部又は一部に代えて酸素吸収剤を用いることができ、酸素吸収剤入り小袋として構成してもよい。このように、スプールケースの内部には、活性炭及び／又は酸素吸収剤を収納することができる。
【００４２】
図３は、実施例１に係るスプールケースの容器１０と蓋２０の嵌合方法の一例を示した図である。図３において、今まで説明した構成要素には、今までと同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００４３】
図３に示すように、実施例１に係るスプールケースの蓋２０は、ツマミ部２３を指７０、７１で摘むことにより、保持することができる。そして、指７０、７１により、蓋２０を半径方向内側に縮める方向に力を加え、蓋２０を縮めて容器１０の円筒状収納部１２の端部と嵌合させるようにすれば、ボンディングワイヤ６０及びスプール５０に接触することなく蓋２０を容器１０に嵌合させることができ、ボンディングワイヤ６０に損傷が発生するのを防ぐことができる。
【００４４】
このように、実施例１に係るスプールケースによれば、容器１０と蓋２０の嵌合作業も安全かつ容易に行うことができる。
【実施例２】
【００４５】
図４は、実施例２に係るスプールケースの一例を示した断面構成図である。なお、実施例２においても、外観構成は実施例１の図１で示した構成と同様である。よって、実施例２に係るスプールケースにおいても、図１のＡ断面とＢ断面で切断した断面構成を示して説明を行う。図４（Ａ）は、実施例２に係るスプールケースの図１のＡ断面における断面構成図であり、図４（Ｂ）は、実施例２に係るスプールケースの図１のＢ断面における断面構成図である。
【００４６】
図４（Ａ）、（Ｂ）において、実施例２に係るスプールケースは、容器１０と、蓋２０と、活性炭収納小袋４０とを有する点で、実施例１に係るスプールケースと共通する。また、容器１０が、スプール保持部１１と、円筒状収納部１２と、底面部１３とを有し、蓋２０が、スプール固定部２１と、円盤部２２と、ツマミ部２３と、平坦部２４と、空隙部２５とを有する点においても、実施例１に係るスプールケースと共通する。また、スプール５０の外周面５３にボンディングワイヤ６０が巻回され、内周面５１がスプール保持部１１及びスプール固定部２１、端部５２がスプール固定部２１に保持されている点も、実施例１に係るスプールケースと同様である。よって、これらの構成要素には、実施例１と同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００４７】
実施例２に係るスプールケースにおいては、容器１０の底面１３の内部に保持部材３０が更に設けられた点で、実施例１に係るスプールケースと異なっている。保持部材３０は、活性炭収納小袋４０を保持する部材である。これにより、活性炭収納小袋４０を、スプール５０の内周面５１よりも内側に固定支持することができ、活性炭収納小袋４０を安定した状態で保持することができる。
【００４８】
また、空隙部２５の大きさが大きく、活性炭収納小袋４０が通過できるような大きさの場合であっても、保持部材３０により活性炭収納小袋４０はスプール５０の内周面５１の内部に保持されているので、スプール５０の外周面５１に巻かれたボンディングワイヤ６０との接触を確実に防止することができる。
【００４９】
保持部材３０は、活性炭収納小袋４０を固定支持して保持できれば、種々の保持機構を用いることができるが、例えば、図４（Ａ）に示すように、活性炭収納小袋４０を両側から挟むようにして挟持する挟持部材が用いられてもよい。
【００５０】
なお、図４（Ｂ）に示すように、保持部材３０は、活性炭収納小袋４０の周囲全体を囲む必要は無く、活性炭収納小袋４０を保持できるように活性炭収納小袋４０の一部を保持する構成であってもよい。また、図４（Ｂ）に示すように、空隙部２５を設け、ボンディングワイヤ６０と活性炭収納小袋４０との通気が図れるように構成されている点も、実施例１に係るスプールケースと同様である。
【００５１】
また、活性炭収納小袋４０に収納されるのは、酸素吸収剤であってもよく、活性炭及び／又は酸素吸収剤が活性炭収納小袋４０に収納されてよい点も、実施例１に係るスプールケースと同様である。
【００５２】
図５は、実施例２に係るスプールケースの嵌合方法の一例を示した図である。図５に示すように、指７０、７１で蓋２０のツマミ部２３を摘んで力を加え、弾性材からなる蓋２０を径方向内側に縮めて容器１０に挿入することにより、容器１０と容易に嵌合させることができる。その際、活性炭収納小袋４０は、保持部材３０に保持された状態で嵌合作業を行うことができるので、より容易に容器１０と蓋２０との嵌合を行うことができる。
【００５３】
なお、蓋２０を容器１０から外すときにも、ツマミ部２３を内側に縮めることにより、容易に取り外しを行うことができる。
【００５４】
実施例２に係るスプールケースによれば、活性炭収納小袋４０を保持部材３０で保持することにより、ボンディングワイヤ６０の折れ曲がり、変形癖を確実に防止できるとともに、安定した状態で活性炭によるイオン吸着効果を発揮させることができる。
【実施例３】
【００５５】
図６は、本発明の実施例３に係るスプールケースの一例を示した断面図である。なお、実施例３に係るスプールケースも、外観は実施例１の図１に示したスプールケースと同様である。よって、図６（Ａ）は、図１のＡ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図を示しており、図６（Ｂ）は、図１のＢ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図を示している。
【００５６】
図６（Ａ）、（Ｂ）において、実施例３に係るスプールケースは、容器１０と、蓋２０とを有する点で、実施例１、２に係るスプールケースと共通する。また、容器１０が、スプール保持部１１と、円筒状収納部１２と、底面部１３とを有し、蓋２０が、スプール固定部２１と、円盤部２２と、ツマミ部２３と、平坦部２４と、空隙部２５とを有する点においても、実施例１、２に係るスプールケースと共通する。また、スプール５０の外周面５３にボンディングワイヤ６０が巻回され、内周面５１がスプール保持部１１及びスプール固定部２１、端部５２がスプール固定部２１に保持されている点も、実施例１、２に係るスプールケースと同様である。よって、これらの構成要素には、実施例１、２と同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００５７】
実施例３に係るスプールケースにおいては、活性炭収納小袋４１が２つ設けられ、各々が蓋２０の内側に設けられた２つの保持部材３１に保持されている点で、実施例２に係るスプールケースと異なっている。このように、活性炭収納小袋４１は、スプールケース内部に複数個収納するようにしてもよい。また、保持部材３１は、容器１０側ではなく、蓋２０側に設けるようにしてもよい。実施例３に係るスプールケースにおいても、活性炭収納小袋４１は、スプール５０の内周面５１よりも径方向内側に設けられているので、スプール５０の外周面５３に巻かれているボンデシングワイヤ６０と干渉することが無い構成となっている。
【００５８】
図６（Ａ）において、保持部材３１は、ツマミ部２３の内径側を延長し、ツマミ部２３の外径側とで活性炭収納小袋４１を挟持して保持する構成となっている。そして、ツマミ部２３の外径側は、スプール固定部２１が利用されている。このように、スプール固定部２１を利用して、必要最小限の保持部材３１を設けて活性炭収納小袋４１を固定支持するように構成してよい。簡素な構成で、確実に活性炭収納小袋４１を保持することができる。
【００５９】
なお、図６（Ｂ）において、蓋２０とスプール５０の外側端部５２との間に空隙部２５が設けられ、空気の流通が図られている点は、実施例１、２と同様である。また、実施例３に係るスプールケースにおいては、活性炭収納小袋４１が、断面Ａにおいて中央よりも外側に設けられているので、断面Ｂにおいては、活性炭収納小袋４１が現れない構成となっている。
【００６０】
実施例３に係るスプールケースによれば、蓋２０の内部構成を利用しつつ保持部材３１を構成し、簡素の構成でありながら複数の活性炭収納小袋４１をボンディングワイヤ６０に接触させずに安定して固定保持でき、十分なイオン吸着及び酸化防止効果を得ることができる。
【実施例４】
【００６１】
図７は、本発明の実施例４に係るスプールケースの一例を示した断面構成図である。実施例４に係るスプールケースも、外観は実施例１の図１に示したスプールケースと同様である。よって、図７（Ａ）は、図１のＡ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図を示しており、図７（Ｂ）は、図１のＢ断面における実施例３に係るスプールケースの断面構成図を示している。
【００６２】
図７（Ａ）、（Ｂ）において、実施例４に係るスプールケースは、容器１０と、蓋２０とを有する点で、実施例１乃至３に係るスプールケースと共通する。また、容器１０が、スプール保持部１１と、円筒状収納部１２と、底面部１３とを有し、蓋２０が、スプール固定部２１と、円盤部２２と、ツマミ部２３と、平坦部２４と、空隙部２５とを有する点においても、実施例１乃至３に係るスプールケースと共通する。また、スプール５０の外周面５３にボンディングワイヤ６０が巻回され、内周面５１がスプール保持部１１及びスプール固定部２１、端部５２がスプール固定部２１に保持されている点も、実施例１乃至３に係るスプールケースと同様である。よって、これらの構成要素には、実施例１乃至３と同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００６３】
図７（Ａ）、（Ｂ）において、実施例４に係るスプールケースは、活性炭粒４２がそのまま用いられているとともに、保持部材３２が箱のような収納部材として容器１０の底面部１３の内側に形成されている点で、実施例２、３と異なっている。ここで、活性炭粒子４２は、液体により洗浄可能であり、繰り返し使用が可能なものが用いられている。そして、保持部材３２は、容器１０の底面部１３の内側に設けられたねじ部３３と、ねじ部３３と係合して活性炭粒子４２を覆うカバー部３４とを有する。カバー部３４にも、ねじ部３３と螺合するねじが切られている。また、カバー部３４は、活性炭粒子４２の粒子サイズよりも細かな目を有する通気性メッシュで構成されている。そして、スプールケース内のイオン性浮遊物質を活性炭粒子４２に吸着する構造となっている。このように、保持部材３２を、通気性メッシュの収納容器として構成し、その中に活性炭粒子４２を保持してもよい。この場合、カバー部３４は、ねじによりねじ部３３から取り外し可能であるので、活性炭粒子４２を外に取り出すことができる。よって、活性炭粒子４２を液体で洗浄し、再度保持部材３２の内部に収納することにより、繰り返し活性炭粒子４２を使用することが可能となる。これにより、低コストで活性炭粒子４２を利用しつつ、ボンディングワイヤ
６０の変色、鳥肌状の変質、表面酸化を効果的に防止することができる。
【００６４】
また、活性炭粒子５２は、保持部材３２の内部に完全に収容され、ねじ部３３と螺合したカバー部３４を外さない限り、外部に出てくることは無いので、ボンディングワイヤ６０との接触を確実に防止することができる。
【００６５】
また、図７（Ｂ）において、スプール５０の端部５２と蓋２０との間に空隙部２５が設けられ、ボンディングワイヤ６０と活性炭粒子４２との通気がとられ、空気の出入りが可能な点は、実施例１乃至３と同様である。
【００６６】
また、液体による洗浄はできないが、実施例４に係るスプールケースにおいて、活性炭粒子４２の代わりに酸素吸収剤を用いて良い点も、実施例１乃至３と同様である。酸素吸収剤は、例えば、酸素吸収剤の鉄粉を樹脂に固定してシート状にして用いることができる。酸素吸収剤自体は、細かい鉄粉等であるから、これを直接洗浄することはできないが、シート状の酸素吸収剤を保持部材３２の中に収容して用いることが可能である。小袋等を介さないので、より高い酸素吸収効果が期待できる。また逆に、酸素吸収剤を小袋等に収容し、酸素吸収剤を収納した小袋を保持部材３２の中に収容してもよい。このように、実施例４に係るスプールケースも、実施例１乃至３に係るスプールケースと同様に、酸素吸収剤を用いて構成してもよい。
【００６７】
なお、本実施例に係るスプールケースに銀線を収納し、外気が入る一般作業場に放置したところ、活性炭を収納しなかった場合には３ヶ月後には黄銅色に変色し、６ヶ月後には鳥肌状に変質したが、スプールケースに活性炭を収納した場合では６ヵ月後であっても変色も変質も観察されなかった。
【００６８】
このように、本実施例に係るスプールケースによれば、蓋を閉めたスプールケース内で、活性炭及び／又は酸素吸収材がボンディングワイヤに接触することなく収納されることにより、ボンディングワイヤに変形を生じさせず、金属極細線に吸着する可能性があるイオンを吸収し、スプールケース内のイオン濃度を低減維持することができる。これにより、ボンディングワイヤの表面へのイオンの吸着を防止し、ボンディングワイヤの表面の変色や鳥肌状化を防止し、さらに活性炭の取り扱いの手間を省いて作業性を向上し、活性炭のリユースも可能にする。また本ケースを使用して供給されるボンディングワイヤを用いて半導体素子の生産を行うことでワイヤ表面の鳥肌状化によるキャピラリ詰まりの発生が無く、キャピラリ寿命が長くなると同時に、半導体素子内にワイヤから持ち込まれる塩素や硫黄といった有害イオンも低減できる。
【００６９】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、半導体ボンディングワイヤが巻かれたスプールを収納するスプールケースに利用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１０    容器
１１    スプール保持部
１２    円筒状収納部
１３    底面部
２０    蓋
２１    スプール固定部
２２    円盤部
２３    ツマミ部
２４    平坦部
２５    空隙部
３０、３１、３２    保持部材
３３    ねじ部
３４    カバー部
４０、４１    活性炭収納小袋
４２    活性炭粒子
５０    スプール
５１    内周面
５２    端部
５３    外周面
６０    ボンディングワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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