(57)【要約】【課題】イオン交換樹脂の再生を行う酸の再生にかかるエネルギー、コスト、時間を低減する。【解決手段】１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことで、銅除去工程にて精製酸程度まで銅を除去する場合に比べ、酸の再生にかかる時間が短くなることから、エネルギー、コストを削減するという効果を奏する。  これにより、新規に追加する酸の量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができる、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置を提供することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、
銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことを特徴とする、
イオン交換樹脂の再生方法。
【請求項２】
銅を除去する銅除去手段に、
電気分解を用いることを特徴とする、
請求項１に記載のイオン交換樹脂の再生方法。
【請求項３】
酸が硫酸であることを特徴とする、
請求項１または２記載のイオン交換樹脂の再生方法。
【請求項４】
イオン交換樹脂が、イミノ二酢酸型キレート樹脂であることを特徴とする、
請求項１から３のいずれかに記載のイオン交換樹脂の再生方法。
【請求項５】
銅を吸着したイオン交換樹脂を内部に充填したイオン交換樹脂塔を備え、
請求項１から４のいずれかに記載のイオン交換樹脂の再生方法を用いて、前記イオン交換樹脂の再生とこの再生に用いた酸の再生を行うことを特徴とする、
イオン交換樹脂の再生装置。
【請求項６】
請求項５記載のイオン交換樹脂の再生装置のイオン交換樹脂塔に、銅エッチング液を流入させて銅エッチング液を再生する装置であって、
前記イオン交換樹脂塔に流入させる対象が、銅エッチング液か、酸かを切替える切替手段を備え、
前記切替手段により、銅エッチング液の再生とイオン交換樹脂の再生とを切替えることを特徴とする、
銅エッチング液の再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイなどの配線には、アルミニウムが用いられてきたが、ディスプレイの大型化や高解像度化に伴い、信号遅延などの問題を解消するため、より電気抵抗の低い銅が用いられている。
【０００３】
ディスプレイの銅配線を行う際の工法としてウエットエッチングを利用する場合、エッチング液が必要であるが、銅の配線形状に微細な加工精度が求められることから、従来プリント基板等のエッチング用に用いられてきたエッチング液とは、異なるエッチング液が開発されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
このようなエッチング液は、エッチング性能が低下すると廃棄処分されるが、環境負荷ならびにコストの低減といった観点から、再生して再利用することが望まれている。
【０００５】
エッチング液を再生するためには、エッチング液中の銅を除去することと、消費された化学物質の補充が必要である。
【０００６】
従来の方法としては、例えば、塩化第二鉄を主成分とするエッチング液では、陽イオン交換樹脂により溶解した金属を吸着除去することにより、エッチング液の再生を行っている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−３０２７８０号公報
【特許文献２】特開昭６１−１４９４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、イオン交換樹脂を利用してエッチング液を再生すると、イオン交換樹脂は金属イオンを吸着するため、定期的に酸などで洗浄し、イオン交換樹脂の再生を行う必要があるが、このとき用いられた酸などの洗浄液は、高純度で高価にもかかわらず有料の廃棄処分がなされており、洗浄液を大量に使用し、かつ処理費用も掛かるという課題があった。また、酸の再生を行う場合、高純度の酸同様まで再生を行うと、多大な再生時間がかかり、付随してエネルギー、コストなどの処理費用が高くなるという課題があった。
【０００９】
そこで本発明では、イオン交換樹脂再生に用いる酸を効率よく再生することで、新規に酸を購入するコストを削減し、酸の再生にかかるエネルギー、コスト、時間を削減することができる、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして、この目的を達成するために、１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことによる、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置、ならびに銅エッチング液再生装置としたものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことを特徴とする、イオン交換樹脂再生方法により、銅除去工程にて精製酸程度まで銅を除去する場合に比べ、酸の再生にかかる時間が短くなるという効果を有する。
【００１２】
そのため、例えば銅除去手段として電気分解を用いた場合にかかるエネルギー、電気代などのコストを削減し、例えば吸着剤を用いた場合の使用量を削減し、薬品代も削減できる。また晶析を用いた場合にかかる電気代、薬品代などのコストを削減するという効果を奏する。
【００１３】
また例えば電気分解のような銅除去手段においては、酸に銅が含まれるほどに導電率が向上し、電気分解効率が上がり、銅をほとんど含まない精製硫酸程度まで銅除去する場合に比べ、銅を除去するエネルギー、コスト、時間が少なくてすむという効果を奏する。加えて、銅を含む酸でイオン交換樹脂を再生するので、イオン交換樹脂再生後、必ずしも銅除去工程を行う必要がない。そのためイオン交換樹脂再生に銅をほとんど含まない精製硫酸程度の酸を使用して、毎回銅除去工程する場合に比べ、新規に酸を購入するコストを削減し、銅除去工程の回数が減ることで、再生にかかるエネルギー、コスト、時間が少なくてすむという効果を有する。
【００１４】
これにより、新規に追加する酸の量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができる、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のイオン交換樹脂再生方法のブロック図
【図２】本発明のイオン交換樹脂再生装置の図
【図３】本発明の銅エッチング液再生装置の図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の請求項１記載のイオン交換樹脂再生方法は、１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことを特徴とする、イオン交換樹脂再生方法である。
【００１７】
これにより、銅除去工程にて精製酸程度まで銅を除去する場合に比べ、酸の再生にかかる時間が短くなり、酸の再生工程にかかるエネルギー、コストを削減できるとともに、イオン交換樹脂再生工程と銅除去工程を並行して行うことができるという効果を有する。
【００１８】
また、銅を除去する銅除去手段に、電気分解を用いてもよい。電気分解では、導電率が高いほうが除去効率がよく、本発明の銅を含む酸を使用する場合においては、銅を含む酸の導電率が高いことから、効率よく銅を除去するという効果を奏する。そのため、銅除去にかかる時間が少なくてすみ、電気代などの投入エネルギーが少なくてすみ、電気代などのコスト削減が可能となる。また除去した銅を有価物として回収できるという効果を有する。
【００１９】
また、酸が硫酸であってもよい。これにより、特に酸の再生のため銅を除去する銅除去手段に電気分解を使用する場合において、有機酸は銅と錯体形成することで電気分解に必要な電圧が高くなる点、無機酸でも塩酸の場合は電気分解の際に陽極から腐食性の高い塩素ガスが発生する点、硝酸の場合は銅金属と反応し、銅が溶解する点において課題が生じるが、硫酸ではそのような課題が存在せず、効率よく酸の再生を行うことができるという効果を奏する。
【００２０】
また、イオン交換樹脂はイミノ二酢酸型キレート樹脂であってもよい。これにより、特に銅を選択的に吸着させることが可能となるため、銅を効率的に除去できるという効果を奏する。
【００２１】
また銅を吸着したイオン交換樹脂を内部に充填したイオン交換樹脂塔を備え、請求項１から４のいずれかに記載のイオン交換樹脂の再生方法を用いて、前記イオン交換樹脂の再生とこの再生に用いた酸の再生を行うことを特徴とする、イオン交換樹脂の再生装置としてもよい。
【００２２】
これより、請求項１〜４の効果に加えて、新規に追加する酸の量を低減し、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができる、イオン交換樹脂の再生装置を提供することができる。加えて銅金属の回収と、硫酸から銅を除去する際の発熱を利用することによるイオン交換樹脂の再生効率の向上が可能となる。
【００２３】
また請求項５記載のイオン交換樹脂の再生装置のイオン交換樹脂塔に、銅エッチング液を流入させて銅エッチング液を再生する装置であって、前記イオン交換樹脂塔に流入させる対象が、銅エッチング液か、酸かを切替える切替手段を備え、前記切替手段により、銅エッチング液の再生とイオン交換樹脂の再生とを切替えることを特徴とする、銅エッチング液の再生装置としてもよい。
【００２４】
これにより、請求項１〜５の効果に加えて、銅エッチング液の再生と、イオン交換樹脂の再生と、酸の再生とを１つの装置で並行して行うことによって、従来廃棄されていた銅エッチング液、使用済酸を繰返し使用することができるだけでなく、銅金属の回収が可能となる。これにより、廃棄物ならびに、新液の購入費用の大幅な削減が可能となる。
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
図１に本発明のイオン交換樹脂再生方法のブロック図を示す。
【００２７】
酸再生工程とは、使用済酸から銅を除去する銅除去手段により、銅が除去され、少なくとも銅を含む酸として、酸が再生される工程である。
【００２８】
イオン交換樹脂再生工程とは、少なくとも銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去し、イオン交換樹脂は再生され、酸は使用済酸として排出される工程である。
【００２９】
イオン交換樹脂再生工程において、一般的にイオン交換樹脂の再生には、酸以外にも、塩化ナトリウム水溶液などの塩類が用いられるが、本発明では、イオン交換樹脂が銅を吸着する際の銅含有溶液に、銅以外の金属イオンの混入を防ぐために、酸を用いることを前提としている。
【００３０】
酸再生工程における銅を除去する銅除去手段は、吸着剤による吸着、晶析、電気分解などにより行うことが可能である。特に電気分解は、銅を含む酸の導電率が高い場合に、効率よく銅を除去することができ、銅除去にかかる時間が短くなるため好ましい。
【００３１】
また、吸着剤による吸着や、晶析といった方法が、銅を例えば硫酸銅五水和物といった銅化合物の形で除去するのに対して、電気分解では銅金属として銅を除去するため、除去した銅を有価物としても回収できるため優れている。
【００３２】
電気分解では、流れた電流によって電気分解反応が進むため、電圧を上げることで電流を流している。しかしながら一定以上の電圧では水素が発生し、防爆などの対策が必要となるため、水素が発生しない電圧で使用することが好ましい。そのような電圧で電気分解反応を起こすには、導電率が高いほうが低電圧で電流が流れるためよい。本発明においては導電率の高い銅を１４ｐｐｍ以上含む酸を使用するため、電流が流れやすく、電気分解効率がよくなるという効果を有し、銅除去にかかる時間が短くて済み、電気分解のための投入エネルギーが少なく、電気代などのコストの削減となるため、電気分解を銅除去手段として用いることが好ましい。
【００３３】
さらに、電気分解中は流れた電流により発生するジュール熱によって、酸の液温が上昇することも、電気分解が銅除去手段として優れている理由のひとつである。
【００３４】
そのため、同じ濃度変化であれば、初期銅濃度が高いほうが、導電率が高くなり、時間当たりの流れる電流が多くなることで、銅除去効率が向上し、銅除去に必要なエネルギー、コスト、時間の削減が可能となる。
【００３５】
イオン交換樹脂再生に使用する酸は硫酸、塩酸、硝酸などの無機酸、酢酸、クエン酸などの有機酸などを用いることができるが、特に酸の再生のため銅を除去する銅除去手段に電気分解を使用する場合において、有機酸は銅と錯体形成することで電気分解に必要な電圧が高くなる点、無機酸でも塩酸の場合は電気分解の際に陽極から腐食性の高い塩素ガスが発生する点、硝酸の場合は銅金属と反応し、銅が溶解する点において課題が生じるが、硫酸ではそのような課題が存在せず、効率よく酸の再生を行うことができるため、硫酸が好ましい。
【００３６】
一般に、銅を吸着したイオン交換樹脂を再生する酸は、銅の脱着を促進するため、酸に含まれる銅が低濃度であるほど好ましいが、１０００ｐｐｍ以下なら、銅の脱着速度はほとんど変わらず、本願の銅濃度１４ｐｐｍ以上では１４ｐｐｍ未満と比べて銅の脱着性能にほとんど差はない。
【００３７】
しかしながら、酸に含まれる銅濃度を低濃度とするには、多くのエネルギー、コスト、時間を消費するため、酸に含まれる銅濃度を低減させるには、実使用上限界が生じる。
【００３８】
また、例えば硫酸協会硫酸規格２０１０によると、硫酸中の銅濃度は、精製希硫酸においては０．００１％以下にするとある。丸善出版株式会社、化学便覧基礎編改定５版記載の硫酸密度１．３９１１（硫酸５０％）から計算すると、その濃度は１４ｐｐｍとなる。
【００３９】
そのため精製希硫酸を用いて銅を吸着したイオン交換樹脂を再生する場合と比較すると、精製希硫酸に含まれる銅濃度が１４ｐｐｍ以下であるため、再生後の銅濃度を１４ｐｐｍより高くすることで、精製希硫酸と同等の銅濃度にする場合と比べて、再生に必要な時間を短くでき、これにより、様々な効果が創出できる。
【００４０】
例えば、再生方法で電気分解を用いた場合、投入エネルギー、電気代などのコストを削減するという効果、吸着剤を用いた場合は、必要な吸着剤の量を削減することが可能で、使用する薬品代の削減、晶析を用いた場合には、電気代、薬品代の削減という効果を奏する。
【００４１】
上限については銅の溶解度を鑑みて、丸善出版株式会社、化学便覧基礎編改定５版記載の４０℃における硫酸銅としての飽和溶解度である２２．３ｇ／１００ｇと密度２．２９ｇ／ｃｍ３より計算した、５１２９００ｐｐｍが好ましい。より好ましくは、室外などで使用されることを想定し、イオン交換樹脂内で銅が析出するのを防ぐため、前記化学便覧記載の０℃のときの飽和溶解度１２．３ｇ／１００ｇより２８２９００ｐｐｍ以下である。
【００４２】
また、より好ましくはイオン交換樹脂再生効率が半減する銅濃度１００００ｐｐｍが上限である。使用方法としては例えば、１００００ｐｐｍ以下では銅除去工程を行わず、そのまま循環使用し、１００００ｐｐｍを超えたとき、銅除去工程で銅を除去するといった使用方法が可能となる。そのため、新規に追加する酸の量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができ、再生そのものを行わない場合も存在し、再生にかかるエネルギー、コスト、時間の削減が可能となる。
【００４３】
また、イオン交換樹脂はイミノ二酢酸型キレート樹脂が好ましい。これにより、特に銅を選択的に吸着させることが可能となるため、銅を効率的に除去できるという効果を奏する。
【００４４】
また、酸の再生工程で除去した銅を有価物として回収する際は、除去される銅の比率が高いほど価値が高まる。このため、イオン交換樹脂が銅を吸着する際の銅含有溶液は、含有する金属中の銅の比率が高いほど有利である。
【００４５】
このような溶液として、例えば銅エッチング液がある。銅エッチング液は主として銅をエッチングしていることから、銅以外の金属を含む率が低い。このため、銅除去手段にて、高い含有率で銅を回収することが可能となることから、本発明のイオン交換樹脂再生方法は、銅エッチング液から銅を除去することにより、銅エッチング液を再生するために用いられたイオン交換樹脂の再生において好ましい。
【００４６】
銅エッチング液においては、特に銅以外の金属の混入はエッチング性能を左右する。そのため、銅以外の金属を含むような硫酸、例えば精製硫酸によるイオン交換樹脂の再生よりも、少なくとも銅を含む硫酸を電気分解により再生し、イオン交換樹脂の再生に用いることが好ましい。
【００４７】
以上のように、本発明では、イオン交換樹脂再生に用いる酸を効率よく再生することで、新規に酸を購入するコストを削減し、酸の再生にかかるエネルギー、コスト、時間を削減することができる。
【００４８】
（実施の形態２）
図２に、本発明のイオン交換樹脂再生装置の実施の一例を示す。図１と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４９】
イオン交換樹脂再生装置には、銅を吸着したイミノ二酢酸型キレート樹脂１を内部に充填したイオン交換樹脂塔２と、銅除去装置３とが配管によりつながれており、これらの間に、ポンプ４、硫酸６の溜められた硫酸タンク５、銅濃度測定装置７が、それぞれつながれている。
【００５０】
イミノ二酢酸型キレート樹脂１は、三菱化学社製ＣＲ１１を見かけの体積で１５０ｍＬ、ガラスカラムを利用したイオン交換樹脂塔２に充填し、銅を含む、たとえば銅濃度１４ｐｐｍの１ｍｏｌ／Ｌの硫酸を流速４５０ｍＬ／ｈにて流通した。ポンプ４はチューブポンプを用いた。
【００５１】
イオン交換樹脂再生工程として、硫酸タンク５に溜められた硫酸６は、イミノ二酢酸型キレート樹脂１の充填されたイオン交換樹脂塔２に入り、銅を吸着したイミノ二酢酸型キレート樹脂１から銅を脱着して、イオン交換樹脂塔２から排出される。
【００５２】
銅を含有した硫酸６は、銅濃度測定手段を有する銅濃度測定装置７を通る。これにより、イミノ二酢酸型キレート樹脂１の再生が完了するタイミングを検出することが可能となる。例えば、銅濃度測定装置７で測定した銅濃度が投入する硫酸中の銅濃度以下になった時に、再生が完了したと判断し、再生工程を終了させる。
【００５３】
銅濃度測定装置７としては、一定時間ごとにサンプリングした硫酸を、日本分光製紫外可視分光光度計Ｖ−６５０を用い、２．５％アンモニア水溶液にて５倍希釈した銅エッチング液の６０４ｎｍの吸光度を測定し、ランベルト・ベールの法則に従って銅濃度を定量する方法を用いた。銅濃度を測定する手段は、この方法以外でもかまわない。
【００５４】
上記硫酸を流して１時間後の銅濃度は、１４ｐｐｍであった。
【００５５】
酸の再生工程として、銅除去手段を有する銅除去装置３に入り、銅をある程度除去された後、再び硫酸タンク５に入る。
【００５６】
銅除去手段としては電気分解法が好ましい。電気分解槽８中に、陽極板９、陰極板１０を、その両極板間を硫酸が通じるようピッチ１．５ｍｍで並べ、安定化電源１１にて、定電圧を印加したものである。陽極板９には白金担持チタンの不溶性電極を、陰極板１０には無酸素銅を用い、両極間に２．０Ｖの定電圧を印加した。このとき陽極からは酸素ガスが発生し、陰極板１０には銅が析出する。
【００５７】
このとき、再生開始時の硫酸タンク５での硫酸温度はジュール熱により上昇する。
【００５８】
温度が上がった硫酸を使用することにより、銅脱着効率が上昇するという効果があるため、酸の再生後すぐにイオン交換樹脂に通液する循環式の装置構成も可能となる。
【００５９】
この装置により、１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことで、銅除去工程にて精製酸程度まで銅を除去する場合に比べ、酸の再生にかかる時間が短くなることから、エネルギー、コストを削減するという効果を奏する。
【００６０】
また、酸を再生して再利用するため、新規に追加する酸の量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減することができる、イオン交換樹脂の再生方法と再生装置ならびにこれを用いた銅エッチング液再生装置を提供することができる。
【００６１】
加えて銅金属の回収と、硫酸から銅を除去する際の発熱を利用することによるイオン交換樹脂の再生効率の向上が可能となる。
【００６２】
（実施の形態３）
図３に、本実施形態の銅エッチング液再生装置の一例を示す。図１および図２と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００６３】
本実施形態の銅エッチング液再生装置は、実施の形態１、２の酸再生工程、イオン交換樹脂再生工程以外に、銅エッチング液再生工程を切替えて行える装置である。
【００６４】
銅エッチング液再生工程として、使用済銅エッチング液タンク２２に溜められた、使用済銅エッチング液２１は、切替バルブ２３、ポンプ４を通過した後、イミノ二酢酸型キレート樹脂１の充填されたイオン交換樹脂塔２で銅を除去され、銅濃度測定装置７にて銅が除去されたことを確認の上、切替バルブ２４を通過して、再生銅エッチング液２５として再生銅エッチング液タンク２６に溜められる。
【００６５】
使用済銅エッチング液２１から銅を除去することにより、イミノ二酢酸型キレート樹脂１には銅が吸着される。銅の吸着量が規定量に達したイミノ二酢酸型キレート樹脂１を再生するために、イオン交換樹脂再生工程として、硫酸タンク５に溜められた硫酸６は、切替バルブ２３、ポンプ４を通過し、イミノ二酢酸型キレート樹脂１の充填されたイオン交換樹脂塔２に入り、銅を吸着したイミノ二酢酸型キレート樹脂１から、銅を脱着する代わりに、使用済硫酸として、イオン交換樹脂塔２から排出される。
【００６６】
排出された使用済硫酸は、銅濃度測定装置７にて銅含有量を確認した後、切替バルブ２４を通過して、銅除去装置３に入る。
【００６７】
酸の再生工程として、銅除去装置３にて銅を除去された後、銅を除去された硫酸は、再び硫酸タンク５へと戻る。
【００６８】
イオン交換樹脂塔２に流入する使用済銅エッチング液２１と硫酸６とは、切替バルブ２３、切替バルブ２４で切替えられることで、それぞれの液が混合することを最小限に抑えることができる。そのため、切替バルブ２３ならびに切替バルブ２４は、使用済銅エッチング液２１と硫酸６とが両方同時にイオン交換樹脂塔２に流入することがないように、一方の弁が開いているときはもう一方の弁が閉まっているものが好ましく、例えば三方弁などがある。
【００６９】
また、イオン交換樹脂塔２に残留する使用済銅エッチング液２１または硫酸６によって、切替え時に両液が混合するため、使用済銅エッチング液２１と硫酸６との切替え前に、純水などをイオン交換樹脂塔２に通液し、イミノ二酢酸型キレート樹脂１を洗浄しておくことが好ましい。
【００７０】
実施の形態３に示した銅エッチング液再生装置によって、使用済銅エッチング液２１は、例えば銅エッチング液を使用する工場から回収した上で、本発明の再生装置によって再生銅エッチング液２５として再販することが可能となる。また、銅エッチング装置と本発明の銅エッチング液再生装置とを配管でつなぐことにより、銅エッチングと銅エッチング液再生とを連続して行うことも可能となる。
【００７１】
また、銅エッチング液のｐＨ領域はｐＨ＝３〜４の酸性域であって、イミノ二酢酸型キレート樹脂は同ｐＨ域において高い吸着能を示すため、銅を効率的に除去できるという効果を得ることができる。
【００７２】
この装置によって、１４ｐｐｍより高い濃度の銅を含む酸によって銅を吸着したイオン交換樹脂から銅を除去するイオン交換樹脂再生工程と、銅除去手段により前記酸に含まれる銅を除去する銅除去工程を行うことで、銅除去工程にて精製酸以下まで銅を除去する場合に比べ、酸の再生にかかる時間が短くなることから、エネルギー、コストを削減するという効果を奏する。
【００７３】
加えて銅エッチング液の再生と、イオン交換樹脂の再生と、酸の再生とを１つの装置で並行して行うことによって、従来廃棄されていた銅エッチング液、使用済硫酸を繰返し使用することができるだけでなく、銅金属の回収が可能となる。これにより、廃棄物ならびに、新液の購入費用の大幅な削減が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明にかかるイオン交換樹脂の再生方法は、銅を吸着したイオン交換樹脂の再生を可能とするものであり、新規に追加する酸の量を低減するとともに、酸の廃棄処分のための処理費用を低減や環境負荷低減に有用である。
【符号の説明】
【００７５】
１    イミノ二酢酸型キレート樹脂
２    イオン交換樹脂塔
３    銅除去装置
４    ポンプ
５    硫酸タンク
６    硫酸
７    銅濃度測定装置
８    電気分解槽
９    陽極板
１０  陰極板
１１  安定化電源
２１  使用済銅エッチング液
２２  使用済銅エッチング液タンク
２３  切替バルブ
２４  切替バルブ
２５  再生銅エッチング液
２６  再生銅エッチング液タンク
【図１】
2013188720.tif 000003
【図２】
2013188720.tif 000004
【図３】
2013188720.tif 000005