(57)【要約】【課題】基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、該基板と該繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を提供する。【解決手段】本発明の繊維状柱状構造体集合体は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、該複数の繊維状柱状構造体の片端が該基板の表面に密着しており、該複数の繊維状柱状構造体と該基板の表面との密着力が２５℃において２５Ｎ／ｃｍ２以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、
該複数の繊維状柱状構造体の片端が該基板の表面に密着しており、
該複数の繊維状柱状構造体と該基板の表面との密着力が２５℃において２５Ｎ／ｃｍ２以上である、
繊維状柱状構造体集合体。
【請求項２】
前記基板の表面粗さＲａが５０ｎｍ〜２０００ｎｍである、請求項１に記載の繊維状柱状構造体集合体。
【請求項３】
前記基板の材料の融点が５００℃以上である、請求項１または２に記載の繊維状柱状構造体集合体。
【請求項４】
前記複数の繊維状柱状構造体を成長させるための成長基板がそのまま前記基板として用いられている、請求項１から３までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体。
【請求項５】
前記繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである、請求項１から４までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体を含む、粘着部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、繊維状柱状構造体集合体に関する。詳細には、本発明は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体に関する。本発明は、また、該繊維状柱状構造体集合体を含む粘着部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
繊維状柱状構造体は、その構造等に起因する特異な性質を発現し得る。特に、カーボンナノチューブについては、それが発現し得る特異な性質により、様々な機能性材料への展開が期待され、品質、生産性、用途等、種々の検討がなされている。カーボンナノチューブを機能性材料として実用化させていくためには、例えば、多数本のカーボンナノチューブからなる集合体とし、その集合体の特性を向上させていくことが考えられる。
【０００３】
カーボンナノチューブ集合体の用途としては、例えば、粘着剤が挙げられる（特許文献１および特許文献２参照）。産業用途の粘着剤として、種々の材料が使われているが、そのほとんどは柔軟にバルク設計された粘弾性体である。粘弾性体は、そのモジュラスの低さから被着体にぬれて馴染み、接着力を発揮する。一方、カーボンナノチューブは、その直径がナノサイズであるため、被着体の表面凹凸に追従し、ファンデルワールス力によって接着力を発揮することが明らかとなっている。しかし、その粘着特性が不十分な場合がある。
【０００４】
カーボンナノチューブ集合体は、粘着部材等の様々な用途に適用することが可能である。
【０００５】
ここで、カーボンナノチューブ集合体は一般的に４００℃以上の高温下で成長基板上に成長させて形成させるため、該成長基板にはシリコンウェハなどの剛直で高耐熱性の材料が用いられる。しかし、このような成長基板とカーボンナノチューブとの密着性は低いため（特許文献３および特許文献４参照）、カーボンナノチューブ集合体を粘着部材等に用いる場合には、成長基板上に形成されたカーボンナノチューブ集合体を該成長基板より剥がして別の基板に固定する必要がある。このため、カーボンナノチューブ集合体の形成工程で得られる、成長基板上にカーボンナノチューブ集合体が設けられた部材を、そのまま、粘着部材等に用いることは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４／００７１８７０号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００６／００６８１９５号
【特許文献３】特開２００５−９７１１１号公報
【特許文献４】特開２００４−６７４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、該基板と該繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、
基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、
該複数の繊維状柱状構造体の片端が該基板の表面に密着しており、
該複数の繊維状柱状構造体と該基板の表面との密着力が２５℃において２５Ｎ／ｃｍ２以上である。
【０００９】
好ましい実施形態においては、上記基板の表面粗さＲａが５０ｎｍ〜２０００ｎｍである。
【００１０】
好ましい実施形態においては、上記基板の材料の融点が５００℃以上である。
【００１１】
好ましい実施形態においては、上記複数の繊維状柱状構造体を成長させるための成長基板がそのまま上記基板として用いられている。
【００１２】
好ましい実施形態においては、上記繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである。
【００１３】
本発明の別の実施形態においては、粘着部材を提供する。本発明の粘着部材は、本発明の繊維状柱状構造体集合体を含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体であって、該基板と該繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の好ましい実施形態における繊維状柱状構造体集合体の概略断面図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態における繊維状柱状構造体集合体製造装置の概略断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
≪≪繊維状柱状構造体集合体≫≫
図１は、本発明の好ましい実施形態における繊維状柱状構造体集合体の概略断面図（各構成部分を明示するために縮尺は正確に記載されていない）を示す。本発明の繊維状柱状構造体集合体は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備える。図１においては、繊維状柱状構造体集合体１０は、基板１と、繊維状柱状構造体２を備える。本発明の繊維状柱状構造体集合体は、複数の繊維状柱状構造体の片端が基板の表面に密着している。図１においては、繊維状柱状構造体の片端２ａは、基板１に固定されている。繊維状柱状構造体２は、長さ方向Ｌに配向している。繊維状柱状構造体２は、好ましくは、基板１に対して略垂直方向に配向している。
【００１７】
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、複数の繊維状柱状構造体と基板の表面との密着力が、２５℃において、２５Ｎ／ｃｍ２以上であり、好ましくは３０Ｎ／ｃｍ２以上であり、より好ましくは３５Ｎ／ｃｍ２以上であり、さらに好ましくは４０Ｎ／ｃｍ２以上であり、特に好ましくは４５Ｎ／ｃｍ２以上であり、最も好ましくは５０Ｎ／ｃｍ２以上である。上記密着力の上限は、高ければ高いほど良いが、現実的には、２５℃において、好ましくは１００００Ｎ／ｃｍ２以下であり、より好ましくは５０００Ｎ／ｃｍ２以下であり、さらに好ましくは１０００Ｎ／ｃｍ２以下であり、特に好ましくは５００Ｎ／ｃｍ２以下であり、最も好ましくは３００Ｎ／ｃｍ２以下である。本発明の繊維状柱状構造体集合体は、複数の繊維状柱状構造体と基板の表面との密着力が上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体とすることができ、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。本発明の繊維状柱状構造体集合体が発現し得る２５℃において２５Ｎ／ｃｍ２以上という密着力は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備える繊維状柱状構造体集合体の従来品においては実現が困難であった非常に高い密着力である。
【００１８】
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、好ましくは、複数の繊維状柱状構造体を成長させるための成長基板がそのまま基板として用いられる。従来の繊維状柱状構造体集合体においては、成長基板と繊維状柱状構造体との密着性が低いため、製造された繊維状柱状構造体集合体を粘着部材等に用いる場合には、成長基板上に形成された複数の繊維状柱状構造体を該成長基板より剥がして別の基板に固定する必要がある。本発明の繊維状柱状構造体集合体は、成長基板と繊維状柱状構造体との密着性が高いため、繊維状柱状構造体集合体を粘着部材等に用いる場合に、成長基板上に形成された複数の繊維状柱状構造体を該成長基板より剥がして別の基板に固定する必要がない。成長基板上に複数の繊維状柱状構造体が設けられた繊維状柱状構造体集合体は、そのまま本発明の繊維状柱状構造体集合体として、粘着部材等に用いることが可能である。
【００１９】
〔繊維状柱状構造体〕
繊維状柱状構造体の材料としては、任意の適切な材料を採用し得る。繊維状柱状構造体の材料としては、例えば、アルミ、鉄などの金属；シリコンなどの無機材料；カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブなどのカーボン材料；エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどの高モジュラスの樹脂；などが挙げられる。樹脂の具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリアミドなどが挙げられる。樹脂の分子量などの諸物性は、本発明の目的を達成しうる範囲において、任意の適切な物性を採用し得る。
【００２０】
繊維状柱状構造体の形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。また、上記繊維状柱状構造体は、中空であっても良いし、充填材料であっても良い。
【００２１】
繊維状柱状構造体の長さは、任意の適切な長さに設定され得る。この繊維状柱状構造体の長さは、好ましくは５０μｍ以上、より好ましくは５０μｍ〜１００００μｍ、さらに好ましくは１００μｍ〜１０００μｍ、特に好ましくは２００μｍ〜８００μｍである。本発明において、繊維状柱状構造体の長さが上記範囲内にあることにより、該繊維状柱状構造体は優れた機械的特性を発現でき、該繊維状柱状構造体は優れた粘着特性を示す繊維状柱状構造体集合体となり得る。
【００２２】
繊維状柱状構造体の横断面が略円形の場合、その直径は、任意の適切な長さに設定され得る。その直径は、好ましくは０．１ｎｍ〜２０００ｎｍ、より好ましくは１ｎｍ〜１００００ｎｍ、さらに好ましくは１ｎｍ〜５００ｎｍ、特に好ましくは２ｎｍ〜１００ｎｍである。本発明において、繊維状柱状構造体の横断面が略円形の場合、その直径が上記範囲内にあることにより、該繊維状柱状構造体は優れた機械的特性を発現でき、該繊維状柱状構造体は優れた粘着特性を示す繊維状柱状構造体集合体となり得る。
【００２３】
繊維状柱状構造体は、好ましくは、金属材料、無機材料であり、より好ましくは、カーボンナノチューブである。
【００２４】
繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合、該カーボンナノチューブは、単層であっても多層であってもよい。また、上記繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合、該カーボンナノチューブの直径、比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。
【００２５】
繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合、該カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。
【００２６】
繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合、該カーボンナノチューブの長さは、任意の適切な長さに設定され得る。このカーボンナノチューブの長さは、好ましくは５０μｍ以上、より好ましくは５０μｍ〜１００００μｍ、さらに好ましくは１００μｍ〜１０００μｍ、特に好ましくは２００μｍ〜８００μｍである。本発明において、繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合、該カーボンナノチューブの長さが上記範囲内にあることにより、該カーボンナノチューブは優れた機械的特性を発現でき、該カーボンナノチューブは優れた粘着特性を示すカーボンナノチューブ集合体となり得る。
【００２７】
〔基板〕
基板の材料としては、任意の適切な材料を採用し得る。基板の材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどが挙げられる。エンジニアリングプラスチックおよびスーパーエンジニアリングプラスチックの具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミドが挙げられる。
【００２８】
基板の表面粗さＲａは、好ましくは５０ｎｍ〜２０００ｎｍであり、より好ましくは７０ｎｍ〜２０００ｎｍであり、さらに好ましくは１００ｎｍ〜１５００ｎｍであり、特に好ましくは１５０ｎｍ〜１０００ｎｍである。基板の表面粗さＲａが上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を容易に提供することが可能となり、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。
【００２９】
基板の表面粗さＲａを上記範囲内とするための手段としては、任意の適切な手段を採用し得る。例えば、金属の圧延、電解膜の生成壁面による凹凸コントロール、サンドブラスト、エッチング（例えば、フォトリソパターンによるもの）などが挙げられる。
【００３０】
基板の材料の融点は、好ましくは５００℃以上であり、より好ましくは６００℃以上であり、さらに好ましくは７００℃以上である。基板の材料の融点の上限は、高ければ高いほど良いが、現実的には、好ましくは２０００℃以下であり、より好ましくは１８００℃以下であり、さらに好ましくは１５００℃以下である。基板の材料の融点が上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を容易に提供することが可能となり、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。
【００３１】
基板の厚みとしては、任意の適切な厚みを採用し得る。基板の厚みとしては、好ましくは１μｍ〜１０００μｍであり、より好ましくは５μｍ〜５００μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ〜２００μｍである。基板の厚みが上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を容易に提供することが可能となり、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。
【００３２】
≪≪繊維状柱状構造体集合体の製造方法≫≫
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、基板の表面に複数の繊維状柱状構造体を備えた繊維状柱状構造体集合体とすることができ、該複数の繊維状柱状構造体の片端が該基板の表面に密着しているようにできれば、任意の適切な方法で製造することができる。
【００３３】
本発明の繊維状柱状構造体集合体の製造方法の好ましい実施形態の例として、繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブである場合の製造方法を説明する。
【００３４】
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、例えば、平滑な基板の表面に蒸着によりＡｌ２Ｏ３膜を形成し、該Ａｌ２Ｏ３膜上に触媒層を形成し、該触媒層上にカーボンナノチューブを成長させて得られ得る。この際、化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）が好ましく用いられる。このような方法によって、基板からほぼ垂直に複数のカーボンナノチューブが配向して成長形成した繊維状柱状構造体集合体を製造し得る。
【００３５】
本発明の繊維状柱状構造体集合体を製造するための装置としては、任意の適切な装置を採用し得る。例えば、熱ＣＶＤ装置が挙げられ、図２に示すような、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気管状炉で囲んで構成されたホットウォール型などが挙げられる。その場合、反応容器としては、例えば、耐熱性の石英管などが好ましく用いられる。
【００３６】
Ａｌ２Ｏ３膜の膜厚は、好ましくは５０ｎｍ以下、より好ましくは０．０１ｎｍ〜３０ｎｍ、さらに好ましくは０．１ｎｍ〜２０ｎｍ、特に好ましくは１ｎｍ〜１５ｎｍ、最も好ましくは１ｎｍ〜１０ｎｍである。
【００３７】
上記Ａｌ２Ｏ３膜の膜厚が上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を容易に提供することが可能となり、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。
【００３８】
触媒層を形成する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をＥＢ（電子ビーム）、スパッタなどにより蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗布する方法などが挙げられる。
【００３９】
触媒層を形成するために用いる触媒（触媒層の材料）としては、任意の適切な触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒が挙げられる。
【００４０】
触媒層の厚みは、好ましくは０．０１ｎｍ〜２０ｎｍ、より好ましくは０．１ｎｍ〜１０ｎｍ、さらに好ましくは０．１ｎｍ〜５ｎｍ、特に好ましくは０．１ｎｍ〜３ｎｍである。触媒層の厚みが上記範囲内にあることにより、基板と繊維状柱状構造体との密着力が非常に高い繊維状柱状構造体集合体を容易に提供することが可能となり、そのまま、粘着部材等に用いることが可能となる。
【００４１】
カーボンナノチューブの原料となる炭素源としては、任意の適切な炭素源を用い得る。例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；などが挙げられる。
【００４２】
本発明の繊維状柱状構造体集合体を製造する際の製造温度としては、任意の適切な温度を採用し得る。好ましくは４００〜１０００℃、より好ましくは５００〜９００℃、さらに好ましくは６００〜８００℃である。
【００４３】
≪≪粘着部材≫≫
本発明の繊維状柱状構造体集合体を用いて粘着部材とすることができる。このような粘着部材は、好ましくは、本発明の繊維状柱状構造体集合体をそのまま用いるものであっても良いし、本発明の繊維状柱状構造体集合体が基材に固定されたものであっても良い。
【００４４】
このような粘着部材としては、具体的には、例えば、粘着シート、粘着フィルムが挙げられる。
【００４５】
このような粘着部材に用い得る基材としては、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどが挙げられる。エンジニアリングプラスチックおよびスーパーエンジニアリングプラスチックの具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミドが挙げられる。
【００４６】
このような粘着部材に用い得る基材の厚みは、目的に応じて、任意の適切な値に設定され得る。このような基材の厚みは、好ましくは１μｍ〜１００００μｍ、より好ましくは５μｍ〜５０００μｍ、さらに好ましくは１０μｍ〜１０００μｍである。
【００４７】
このような粘着部材に用い得る基材の表面は、隣接する層との密着性，保持性などを高めるために、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的処理，下塗剤（例えば、上記粘着性物質）によるコーティング処理が施されていてもよい。
【００４８】
このような粘着部材に用い得る基材は、単層であっても良いし、多層体であっても良い。
【００４９】
本発明の繊維状柱状構造体集合体を基材に固定する場合、その方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、基材に接着層を設けて固定してもよい。また、基材が熱硬化性樹脂の場合は硬化処理を行って固定すれば良い。また、基材が熱可塑性樹脂や金属などの場合は、溶融した状態で圧着させた後に室温まで冷却して固定すれば良い。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例には限定されない。なお、特に明記しない限り、実施例における部および％は重量（質量）基準である。
【００５１】
≪表面粗さＲａの測定≫
ＫＥＹＥＮＣＥ社製のカラー３Ｄレーザ顕微鏡「ＶＫ−８７００／９７００」（形状解析アプリケーション「ＶＫ−Ｈ１Ａ１」）を用い、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４の「算術平均粗さ（Ｒａ）」に従って測定した。
【００５２】
≪複数の繊維状柱状構造体と基板の表面との密着力の測定≫
繊維状柱状構造体集合体の繊維状柱状構造体の先端を粘着テープ（日東電工株式会社製、３１Ｂ）に５ｋｇローラーで一往復圧着させて貼り合わせ、３０分放置した後、引張り試験機（Ｉｎｓｔｒｏｎ  Ｔｅｎｓｉｌ  Ｔｅｓｔｅｒ）を用いて、引張り速度５０ｍｍ／ｍｉｎで引っ張った。剥離面が基板と繊維状柱状構造体との界面であることを確認後、単位面積あたりのせん断力を求め、密着力とした。
【００５３】
〔実施例１〕
基板としてステンレス鋼（ＳＵＳ４３０、表面仕上げ：ＢＡ、厚み：４０μｍ、表面粗さＲａ：１３８ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用い、その上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）によりＡｌ２Ｏ３薄膜（厚み：２０ｎｍ）を形成した。このＡｌ２Ｏ３薄膜上にさらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にて鉄薄膜（厚み：１ｎｍ）を蒸着した。その後、この基板を石英管内に設置し、水分６００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合気体を３０分間、石英管に流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて７６５℃にて安定させた。温度を保持したままで、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率：６００ｐｐｍ）の混合ガスを管内に充填させ、６０分間放置して、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３１１μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５４】
〔実施例２〕
基板として圧延銅箔（ＨＡ、Ｃ１１００、厚み：１７μｍ、表面粗さＲａ：１９１ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３０５μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５５】
〔実施例３〕
基板として圧延銅箔（ＨＡ、Ｃ１１００、厚み：３５μｍ、表面粗さＲａ：２０８ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは２８９μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５６】
〔実施例４〕
基板としてステンレス鋼（ＳＵＳ３０４−ＨＴＡ、厚み：３０μｍ、表面粗さＲａ：２６２ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは２７５μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５７】
〔実施例５〕
基板として電解銅箔（ＪＴＣＳ、厚み：３５μｍ、表面粗さＲａ：２７０ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３３３μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５８】
〔実施例６〕
基板としてステンレス鋼（ＳＵＳ３０４−ＨＴＡ、厚み：７０μｍ、表面粗さＲａ：７８０ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３４２μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００５９】
〔実施例７〕
基板として電解銅箔（ＪＴＣＳ、厚み：７０μｍ、Ｍ面、表面粗さＲａ：１３１９ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３６０μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００６０】
〔比較例１〕
基板としてシリコンウェハＰ型（厚み：５２５μｍ、表面粗さＲａ：２０ｎｍ、シリコンテクノロジー製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは４５８μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００６１】
〔比較例２〕
基板として電解銅箔（ＨＬＰＬＣ、厚み：２０μｍ、表面粗さＲａ：６８ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３５１μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００６２】
〔比較例３〕
基板として電解銅箔（ＪＴＣＳ、厚み：３５μｍ、Ｍ面、表面粗さＲａ：２２６７ｎｍ、ＪＸ日鉱日石金属製）を用いた以外は、実施例１と同様に行い、基板上にカーボンナノチューブを成長させた。得られたカーボンナノチューブは２〜１０層の多層ナノチューブであり、長さは３２５μｍであった。
得られた繊維状柱状構造体集合体について、複数のカーボンナノチューブと基板の表面との密着力の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００６３】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明の繊維状柱状構造体集合体は、粘着シート、粘着フィルムなどの粘着部材に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１０        繊維状柱状構造体集合体
１          基板
２          繊維状柱状構造体
【図１】
2013014449.tif 000004
【図２】
2013014449.tif 000005