(57)【要約】【課題】光近接効果補正処理の誤りをより確実に検出すること。【解決手段】検証装置１は、記憶部２に記憶された設計データに含まれる信号線２ａ、２ｂの各辺の幅と各辺間の距離とに応じてマスクパターン３ａ、３ｂの移動量が設定されたルールテーブルＴ１を参照することによりマスクパターン３ａ、３ｂの辺３ａ１、３ｂ１の両端部ｐ１、ｐ２、ｐ３、ｐ４の座標を決定する決定部１ａと、決定部１ａにより決定された両端部ｐ１、ｐ２、ｐ３、ｐ４の座標に基づき光近接効果補正処理によりマスクパターン３ａ、３ｂの辺３ａ１、３ｂ１を移動させた後のマスクパターン３ａ、３ｂの辺３ａ２、３ｂ２の両端部ｐ１ａ、ｐ２ａ、ｐ３ａ、ｐ４ａの座標との一致を判断し、比較結果が異なる場合にエラー情報を出力する判断部１ｅとを有する。【選択図】図１
2013148647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の設計データに基づいて形成する基板露光用のマスクパターンの検証方法において、
コンピュータが、
前記設計データに含まれる信号線の各辺の幅と前記各辺間の距離とに応じて前記マスクパターンの移動量が設定された設定情報を参照することにより決定される前記マスクパターンの辺の移動予定量と、前記移動予定量に基づき光近接効果補正処理により前記マスクパターンの辺を移動させた後の前記マスクパターンの辺の実移動量との一致を判断し、
比較結果が異なる場合にエラー情報を出力する、
ことを特徴とする検証方法。
【請求項２】
移動対象の辺の両端部の座標と、光近接効果補正処理により移動させた前記移動対象の辺の両端部の座標の一致を判断することを特徴とする請求項１記載の検証方法。
【請求項３】
半導体装置の設計データに基づいて形成する基板露光用のマスクパターンの検証プログラムにおいて、
コンピュータに、
前記設計データに含まれる信号線の各辺の幅と前記各辺間の距離とに応じて前記マスクパターンの移動量が設定された設定情報を参照することにより決定される前記マスクパターンの辺の移動予定量と、前記移動予定量に基づき光近接効果補正処理により前記マスクパターンの辺を移動させた後の前記マスクパターンの辺の実移動量との一致を判断し、
比較結果が異なる場合にエラー情報を出力する、
処理を実行させることを特徴とする検証プログラム。
【請求項４】
半導体装置の設計データに基づいて形成する基板露光用のマスクパターンの検証装置において、
第１の記憶部に記憶された前記設計データに含まれる信号線の各辺の幅と前記各辺間の距離とに応じて前記マスクパターンの移動量が設定された設定情報を参照することにより前記マスクパターンの辺の移動予定量を決定する決定部と、
前記決定部により決定された移動予定量を記憶する第２の記憶部と、
前記第２の記憶部に記憶されている移動予定量に基づき光近接効果補正処理により前記マスクパターンの辺を移動させた後の前記マスクパターンの辺の実移動量との一致を判断し、比較結果が異なる場合にエラー情報を出力する判断部と、
を有することを特徴とする検証装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検証方法、検証プログラムおよび検証装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の高集積化による微細化に伴い、露光工程における近接効果の影響が顕著に現われるようになってきている。このため、近接効果の影響を事前に取得して設計通りの寸法が得られるように、設計データの回路パターンを補正する光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）技術が知られている。
【０００３】
ＯＰＣ技術の１つに、設計データにおいて回路パターンの幅や、隣接する回路パターンまでの距離に応じた補正量を規定した補正テーブルを用いて補正するＯＰＣ処理（以下、ルールベースＯＰＣ処理という）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２６４２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ルールベースＯＰＣ処理を実行するプログラムのバグ等によって、ルールベースＯＰＣ処理の処理結果が、予定した処理結果と異なる場合がある。このため、ルールベースＯＰＣ処理後に、処理結果が誤っていないかの検証方法を考える。一例として、ルールベースＯＰＣ処理に用いた補正テーブルに設定された最大補正量の絶対値を超えたか否かを判断し、最大補正量の絶対値を超えた場合に過剰な補正が行われたことを検出する方法が考えられる。
【０００６】
しかし、この方法では最大補正量の絶対値以内の処理結果の誤りは検出できないという問題がある。
１つの側面では、本発明は、光近接効果補正処理の誤りをより確実に検出することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、開示の検証方法が提供される。この検証方法は、半導体装置の設計データに基づいて形成する基板露光用のマスクパターンの検証方法であり、コンピュータが、設計データに含まれる信号線の各辺の幅と各辺間の距離とに応じてマスクパターンの移動量が設定された設定情報を参照することにより決定されるマスクパターンの辺の移動予定量と、移動予定量に基づき光近接効果補正処理によりマスクパターンの辺を移動させた後のマスクパターンの辺の実移動量との一致を判断し、比較結果が異なる場合にエラー情報を出力する。
【発明の効果】
【０００８】
１態様では、光近接効果補正処理の誤りをより確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態の設計支援装置を示す図である。
【図２】第２の実施の形態の設計支援装置のハードウェア構成を示す図である。
【図３】第２の実施の形態の設計支援装置の機能を示すブロック図である。
【図４】ルールベースＯＰＣ処理の一例を説明する図である。
【図５】移動量決定部の処理を説明する図である。
【図６】辺移動処理部の処理結果を示す図である。
【図７】辺移動処理部の他の処理結果を示す図である。
【図８】設計支援装置の処理を示すフローチャートである。
【図９】出力画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施の形態の設計支援装置を、図面を参照して詳細に説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態の設計支援装置を示す図である。
【００１１】
第１の実施の形態の検証装置（コンピュータ）１は、決定部１ａと記憶部１ｂと、辺移動部１ｃと、記憶部１ｄと、判断部１ｅを有している。
決定部１ａは、記憶部２に記憶されている設計対象の半導体装置の設計データにルールベースＯＰＣ処理を施すことにより、半導体装置の製造に用いるフォトマスクのマスクパターンの辺の移動予定量を決定する。近接効果の影響を踏まえてマスクパターンを事前に補正することにより、設計寸法通りの信号線を得ることができる。
【００１２】
具体的には、決定部１ａは、設計対象の半導体装置の信号線の幅と信号線間の距離とに応じてマスクパターンの辺の移動量が設定されたルールテーブルＴ１を参照し、マスクパターンの辺の移動予定量を決定する。ルールテーブルＴ１には、行方向に信号線の幅（線幅）を示す値（ｎｍ）が設定されており、列方向に信号線間の距離（線間距離）を示す値（ｎｍ）が設定されている。線幅と線間距離の交わる欄には、マスクパターンの辺の移動量（補正値）が設定されている。値が正の移動量は、隣接する信号線に対応するマスクパターン間を接近させる方向に補正する値であり、値が負の移動量は、隣接する信号線に対応するマスクパターン間を離間させる方向に補正する値である。
【００１３】
図１に示す記憶部２に記憶されている設計データは、配線パターンを形成する信号線２ａ、２ｂを有している。信号線２ａの線幅ｈ１、信号線２ｂの線幅ｈ２はいずれも１１０ｎｍであるものとする。信号線２ａの辺２ａ１、信号線２ｂの辺２ｂ１間の線間距離Ｓ１は９０ｎｍであるものとする。
【００１４】
決定部１ａは、ルールテーブルＴ１を参照し、信号線２ａ、２ｂに基づき形成するマスクパターン３ａ、３ｂの辺の移動予定量を決定する。具体的には、決定部１ａは、線幅ｈ１、ｈ２、および線間距離Ｓ１をルールテーブルＴ１に当てはめる。すると、線間距離Ｓ１が９０ｎｍであるため、決定部１ａは、線間距離Ｓ１が９０〜１１０ｎｍの範囲にあるか否かを調べる。線間距離Ｓ１は９０ｎｍであるため、決定部１ａは、辺３ａ１と、３ｂ１を、移動対象の辺に決定する。決定部１ａは、移動対象の辺３ａ１の両端部の座標（−１，１００）、（−１，−１０）を、ルールテーブルＴ１に設定された移動量２ｎｍだけ辺３ｂ１と離間させる方向に移動させた場合の辺３ａ２の両端部ｐ１、ｐ２の座標（−３，１００）、（−３，−１０）を記憶部１ｂに記憶する。また、決定部１ａは、移動対象の辺３ｂ１の辺３ａ１に対向する部位の辺３ｂ２の両端部の座標（９０，１００）、（９０，−１０）を、ルールテーブルＴ１に設定された移動量２ｎｍだけ辺３ａ１と離間させる方向に移動させた場合の辺３ｂ２の両端部ｐ３、ｐ４の座標（９２，１００）、（９２，−１０）を記憶部１ｂに記憶する。
【００１５】
辺移動部１ｃは、記憶部１ｂに記憶された座標に基づきルールベースＯＰＣ処理プログラムに従い、移動量２ｎｍ分、辺３ａ１、３ｂ２それぞれを互いに離間する方向に移動させる。そして、辺を実際に移動させた後の辺３ａ２の両端部ｐ１ａ、ｐ２ａ、および辺３ｂ２の両端部ｐ３ａ、ｐ４ａの座標を記憶部１ｄに記憶する。
【００１６】
ここで、辺移動部１ｃの辺移動時にルールベースＯＰＣ処理の補正に異常が発生する場合がある。例えば、辺を形成する２頂点のうち、１つの頂点を決定した移動予定量だけ移動させると、ルールベースＯＰＣ処理プログラムの変数定義の誤り等により、移動させた頂点が目標とする位置とは異なる位置に位置する場合がある。
【００１７】
図１は、辺移動部１ｃにて誤った計算が行われ、移動予定量以上に辺が移動された場合を示している。すなわち、記憶部１ｂに記憶された座標ｐ３、ｐ４は、マスクパターン３ｂの辺３ｂ２を２ｎｍ右側に移動させた場合の座標であるが、記憶部１ｄに記憶された辺３ｂ２の両端部ｐ３ａ、ｐ４ａの座標（９４，１００）、（９４，−１０）は、マスクパターン３ｂの辺３ｂ２が４ｎｍ右側に移動したことを示している。
【００１８】
判断部１ｅは、記憶部１ｂに記憶されている頂点の座標ｐ１、ｐ２、ｐ３、ｐ４と記憶部１ｄに記憶されている頂点の座標ｐ１ａ、ｐ２ａ、ｐ３ａ、ｐ４ａとを比較し、これらの座標が一致するか否かを判断する。これらの座標が一致しない場合、判断部１ｅは、エラー情報をモニタ４に出力する。
【００１９】
この検証装置１によれば、辺の移動予定量を記憶部１ｂに記憶し、実移動量と比較するようにした。そして、これらの移動量が一致しない場合、エラー情報を出力するようにした。これにより、ルールテーブルＴ１の最大補正量の絶対値５ｎｍ以内の処理結果の誤りを検出することができる。設計者は、誤りを補正することで、作成するフォトマスクの精度を高めることができる。
【００２０】
なお、決定部１ａ、辺移動部１ｃ、および判断部１ｅは、検証装置１が有するＣＰＵ（Central Processing Unit）が備える機能により実現することができる。
また、記憶部１ｂ、１ｄは、検証装置１が有するＲＡＭ（Random Access Memory）やハードディスクドライブ（ＨＤＤ:Hard Disk Drive）等が備えるデータ記憶領域により実現することができる。
【００２１】
以下、第２の実施の形態において、開示の設計支援装置をより具体的に説明する。
＜第２の実施の形態＞
図２は、第２の実施の形態の設計支援装置のハードウェア構成を示す図である。
【００２２】
検証装置１０は、ＣＰＵ１０１によって装置全体が制御されている。ＣＰＵ１０１には、バス１０８を介してＲＡＭ１０２と複数の周辺機器が接続されている。
ＲＡＭ１０２は、検証装置１０の主記憶装置として使用される。ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１に実行させるＯＳ（Operating System）のプログラムやアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１による処理に使用する各種データが格納される。
【００２３】
バス１０８には、ハードディスクドライブ１０３、グラフィック処理装置１０４、入力インタフェース１０５、ドライブ装置１０６、および通信インタフェース１０７が接続されている。
【００２４】
ハードディスクドライブ１０３は、内蔵したディスクに対して、磁気的にデータの書き込みおよび読み出しを行う。ハードディスクドライブ１０３は、検証装置１０の二次記憶装置として使用される。ハードディスクドライブ１０３には、ＯＳのプログラム、アプリケーションプログラム、および各種データが格納される。なお、二次記憶装置としては、フラッシュメモリ等の半導体記憶装置を使用することもできる。
【００２５】
グラフィック処理装置１０４には、モニタ１０４ａが接続されている。グラフィック処理装置１０４は、ＣＰＵ１０１からの命令に従って、画像をモニタ１０４ａの画面に表示させる。モニタ１０４ａとしては、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）を用いた表示装置や、液晶表示装置等が挙げられる。
【００２６】
入力インタフェース１０５には、キーボード１０５ａとマウス１０５ｂとが接続されている。入力インタフェース１０５は、キーボード１０５ａやマウス１０５ｂから送られてくる信号をＣＰＵ１０１に送信する。なお、マウス１０５ｂは、ポインティングデバイスの一例であり、他のポインティングデバイスを使用することもできる。他のポインティングデバイスとしては、例えばタッチパネル、タブレット、タッチパッド、トラックボール等が挙げられる。
【００２７】
ドライブ装置１０６は、例えば、光の反射によって読み取り可能なようにデータが記録された光ディスクや、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等の持ち運び可能な記録媒体に記録されたデータの読み取りを行う。例えば、ドライブ装置１０６が光学ドライブ装置である場合、レーザ光等を利用して、光ディスク２００に記録されたデータの読み取りを行う。光ディスク２００には、Ｂｌｕ−ｒａｙ（登録商標）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＣＤ−Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）等が挙げられる。
【００２８】
通信インタフェース１０７は、ネットワーク５０に接続されている。通信インタフェース１０７は、ネットワーク５０を介して、他のコンピュータまたは通信機器との間でデータを送受信する。
【００２９】
以上のようなハードウェア構成によって、本実施の形態の処理機能を実現することができる。
図２に示すようなハードウェア構成の検証装置１０内には、以下のような機能が設けられる。
【００３０】
図３は、第２の実施の形態の設計支援装置の機能を示すブロック図である。
検証装置１０は、設計情報記憶部１１と、ルールテーブル記憶部１２と、移動量決定部１３と、設定情報記憶部１４と、辺移動処理部１５と、移動情報記憶部１６と、補正結果記憶部１７と、補正判定部１８と、判定結果記憶部１９とを有している。
【００３１】
設計情報記憶部１１には、設計対象の半導体集積回路の配線パターン（信号線）等の設計情報が記憶されている。
ルールテーブル記憶部１２には、ルールベースＯＰＣ処理の際に用いるルールテーブルが記憶されている。近接効果の影響を踏まえてマスクパターンを事前に補正することにより、設計情報の寸法通りの信号線を得ることができる。
【００３２】
移動量決定部１３は、設計情報とルールテーブルとを用いてルールベースＯＰＣ処理を実行し、半導体集積回路の製造に用いるフォトマスクのマスクパターンの辺の移動予定量を決定する。
【００３３】
図４は、ルールベースＯＰＣ処理の一例を説明する図である。
ルールテーブル１２ａには、行方向に信号線の幅を示す値（ｎｍ）が設定されており、列方向に信号線間の線間距離を示す値（ｎｍ）が設定されている。信号線の幅と線間距離の交わる欄には、信号線に対応するマスクパターンの移動量（補正値）が設定されている。値が正の移動量は、隣接する２つの信号線に対応するマスクパターンを接近させる方向に補正する値であり、値が負の移動量は、２つの信号線に対応するマスクパターンを離間させる方向に補正する値である。
【００３４】
図４には、信号線の線幅および線間距離に一致する（補正前の）フォトマスクのマスクパターン２１、２２、２３が図示されている。マスクパターン２１、２２、２３の図４中横方向の幅をパターン幅という。マスクパターン２１のパターン幅ＷＬ１、マスクパターン２２のパターン幅ＷＬ２、およびマスクパターン２３のパターン幅ＷＬ３はいずれも９０ｎｍであるものとする。また、マスクパターン２１、２２間、およびマスクパターン２２、２３間の図４中横方向の間隙を線間距離という。マスクパターン２１、２２間の線間距離ＷＳ１は１１０ｎｍ、マスクパターン２２、２３間の線間距離ＷＳ２は１２０ｎｍであるものとする。
【００３５】
移動量決定部１３は、ルールテーブル１２ａを参照し、辺２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂのうち、移動対象の辺を決定する。具体的には、移動量決定部１３は、パターン幅ＷＬ１〜ＷＬ３、および線間距離ＷＳ１、ＷＳ２をルールテーブル１２ａに当てはめる。すると、線間距離ＷＳ１が１１０ｎｍであるため、移動量決定部１３は、線間距離ＷＳ１を形成するマスクパターン２１、２２のパターン幅ＷＬ１、ＷＬ２が９０〜１１０ｎｍの範囲にあるか否かを調べる。パターン幅ＷＬ１、ＷＬ２はいずれも９０ｎｍであるため、移動量決定部１３は、線間距離ＷＳ１を形成する辺２１ｂ、２２ａを、移動対象の辺に決定する。移動量決定部１３は、決定した移動対象の辺２１ｂ、２２ａの両端部の座標を、ルールテーブル１２ａに設定された移動量５ｎｍだけ移動させた場合の座標を設定情報記憶部１４に記憶する。
【００３６】
次に、辺移動処理部１５は、設定情報記憶部１４に記憶された座標に基づきルールベースＯＰＣ処理プログラムに従い、移動量５ｎｍ分、辺２１ｂ、２２ａそれぞれを互いに近接する方向に移動させる。この結果、移動後のマスクパターン２１１のパターン幅ＷＬ１１、マスクパターン２２１のパターン幅ＷＬ２１は、それぞれ９５ｎｍになる。また、辺２１ｂ、２２ａの線間距離ＷＳ３は、１００ｎｍになる。
【００３７】
辺移動処理部１５は、近接する方向に移動させた辺２１ｂ、２２ａの両端部の座標を移動情報記憶部１６および補正結果記憶部１７に記憶する。
ところで、設定情報記憶部１４に記憶された座標と、移動情報記憶部１６に記憶された座標とは、必ずしも一致しない場合がある。例えば、ルールベースＯＰＣ処理プログラムで変数定義の誤りがあると、移動情報記憶部１６に記憶された座標は、設定情報記憶部１４に記憶された座標に比べ、移動量が過剰であったり、移動量が不足したりする場合がある。
【００３８】
以下、図４に示した設計情報とは異なる設計情報を用いて検証装置１０の処理を説明する。
図５は、移動量決定部の処理を説明する図である。
【００３９】
図５ではマスクパターン３１の辺３１１、３１２と、マスクパターン３２の辺３２１がルールベースＯＰＣ処理対象の辺となるものとする。移動量決定部１３は、ルールテーブル１２ａを参照し、図４にて説明した方法と同様の方法を用いて辺３１１、３１２、３２１のうち、移動対象の辺を決定する。すると、移動量決定部１３は、辺３１２、３２１を、移動対象の辺に決定する。移動量決定部１３は、移動対象の辺３１２の両端部３１ｃ、３１ｄを、ルールテーブル１２ａに設定された移動量−２ｎｍだけ移動させた場合の両端部３１ｃ１、３１ｄ１の各座標ｃ＝（−３，１００）、ｄ＝（−３，−１０）を設定情報記憶部１４に記憶する。また、移動量決定部１３は、移動対象の辺３２１の辺３１１に対向する部位の両端部３１ｆ、３１ｇを、ルールテーブル１２ａに設定された移動量−２ｎｍだけ移動させた場合の両端部３１ｆ１、３１ｇ１の各座標ｆ＝（９２，−１０）、ｇ＝（９２，１００）を設定情報記憶部１４に記憶する。
【００４０】
次に、辺移動処理部１５は、設定情報記憶部１４に記憶された座標に基づきルールベースＯＰＣ処理プログラムに従い、移動量２ｎｍ分、辺３１２、３２１それぞれを互いに離間する方向に移動させる。
【００４１】
図６は、辺移動処理部の処理結果を示す図である。
図６は、辺移動処理の際に誤った計算が行われ、補正値以上に辺が移動された場合を示している。すなわち、設定情報記憶部１４に記憶された座標は、マスクパターン３２の辺３２１を２ｎｍ右側に移動させるよう設定されていたが、移動情報記憶部１６に記憶された移動後の辺３２１の両端部３１ｆ２、３１ｇ２の座標ｆ＝（９４，−１０）、ｇ＝（９４，１００）は、マスクパターン３２の辺３２１が４ｎｍ右側に移動したことを示している。
【００４２】
図７は、辺移動処理部の他の処理結果を示す図である。
図７は、辺移動処理の際に誤った計算が行われた他の処理結果を示している。すなわち、設定情報記憶部１４に記憶された座標は、マスクパターン３１の辺３１２を２ｎｍ左側に移動させるよう設定されていたが、移動情報記憶部１６に記憶された移動後の辺３１２の両端部３１ｃ２、３１ｈ、３１ｉ、３１ｄ１の各座標ｃ＝（−５，−１００）、ｈ＝（−３，５０）、ｉ＝（−５，５０）、ｄ＝（−３，−１０）は、マスクパターン３１の辺３１２が４ｎｍ右側に移動したことを示している。
【００４３】
補正判定部１８は、設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標を比較する。そして、相違する座標が存在する場合、その座標を判定結果記憶部１９に記憶する。
【００４４】
図５に示す設定情報記憶部１４に記憶されている座標は、ｃ＝（−３，１００）、ｄ＝（−３，−１０）、ｆ＝（９２，−１０）、ｇ＝（９２，１００）である。これに対し、例えば図６に示す移動情報記憶部１６に記憶されている座標は、ｃ＝（−３，１００）、ｄ＝（−３，−１０）、ｆ＝（９４，−１０）、ｇ＝（９４，１００）である。設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致しないため、補正判定部１８は、相違する座標を判定結果記憶部１９に記憶する。
【００４５】
その後、補正判定部１８は、判定結果記憶部１９に記憶されている情報に基づき正常通知画面、またはエラー通知画面を作成し、モニタ１０４ａに表示する。
次に、検証装置１０の処理を、フローチャートを用いて説明する。
【００４６】
図８は、設計支援装置の処理を示すフローチャートである。
［ステップＳ１］  移動量決定部１３は、設計情報記憶部１１に記憶されている設計情報とルールテーブル１２ａとを用いてルールベースＯＰＣ処理を実行し、マスクパターンの辺の移動量を設定する。移動量決定部１３は、決定した移動対象の辺の両端部の座標を設定情報記憶部１４に記憶する。その後、ステップＳ２に遷移する。
【００４７】
［ステップＳ２］  辺移動処理部１５は、設定情報記憶部１４に記憶されている座標を用いて辺を近接または離間する方向に移動させる。辺移動処理部１５は、近接または離間する方向に移動させた辺の両端部の座標を移動情報記憶部１６に記憶する。その後、ステップＳ３に遷移する。
【００４８】
［ステップＳ３］  補正判定部１８は、設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標を比較する。その後、ステップＳ４に遷移する。
［ステップＳ４］  補正判定部１８は、ステップＳ３の比較により設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致するか否かを判断する。設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致する場合（ステップＳ４のＹｅｓ）、ステップＳ５に遷移する。設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致しない場合（ステップＳ４のＮｏ）、ステップＳ６に遷移する。なお、補正判定部１８は、設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致しても一致しなくても比較結果を判定結果記憶部１９に記憶する。
【００４９】
［ステップＳ５］  補正判定部１８は、判定結果記憶部１９に記憶されている情報に基づき正常通知画面を作成し、モニタ１０４ａに表示する。その後、図８の処理を終了する。
【００５０】
［ステップＳ６］  補正判定部１８は、判定結果記憶部１９に記憶されている情報に基づきエラー通知画面を作成し、モニタ１０４ａに表示する。その後、図８の処理を終了する。
【００５１】
図９は、出力画面の一例を示す図である。
図９（ａ）は、座標が一致した場合の正常通知画面を示している。正常通知画面１９ａには、設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致したことを示す検証結果＝ＯＫ、および相違座標数を示すｃｏｕｎｔ＝０を出力する。
【００５２】
図９（ｂ）は、座標が一致しなかった場合の画面例を示している。エラー通知画面１９ｂには、設定情報記憶部１４に記憶されている座標と移動情報記憶部１６に記憶されている座標が一致しなかったことを示す検証結果＝ＮＧ、相違する座標数を示すｃｏｕｎｔ＝２、および相違する座標ｆ、ｇを出力する。
【００５３】
以上述べたように、検証装置１０によれば、設定情報記憶部１４に記憶された座標と、移動情報記憶部１６に記憶された座標とを座標単位で比較することで、ルールベースＯＰＣ処理が正しく実行されたか否かを容易に検証することができる。また、前述したルールベースＯＰＣ処理に用いた補正テーブルに設定された最大補正量の絶対値を超えた場合に過剰な補正が行われたことを検出する場合に比べ、最大補正量以内の辺移動の不一致についても検出することができる。
【００５４】
なお、検証装置１０が行った処理が、複数の装置によって分散処理されるようにしてもよい。例えば、１つの装置が、設定情報および実移動情報を生成しておき、他の装置が、その設定情報および実移動情報を用いてルールベースＯＰＣ処理が正しく実行されたか否かを検証するようにしてもよい。
【００５５】
以上、本発明の検証方法、検証プログラムおよび検証装置を、図示の実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。
【００５６】
また、本発明は、前述した各実施の形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、検証装置１、１０が有する機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、磁気記憶装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等が挙げられる。磁気記憶装置には、ハードディスクドライブ、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープ等が挙げられる。光ディスクには、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ／ＲＷ等が挙げられる。光磁気記録媒体には、ＭＯ（Magneto-Optical disk）等が挙げられる。
【００５７】
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
【００５８】
プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、ネットワークを介して接続されたサーバコンピュータからプログラムが転送される毎に、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
【００５９】
また、上記の処理機能の少なくとも一部を、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＰＬＤ（Programmable Logic Device）等の電子回路で実現することもできる。
【符号の説明】
【００６０】
１、１０  検証装置
１ａ  決定部
１ｂ、１ｄ、２  記憶部
１ｃ  辺移動部
１ｅ  判断部
２ａ、２ｂ  信号線
２ａ１、２ｂ１、３ａ１、３ａ２、３ｂ１、３ｂ２、２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、３１１、３１２、３２１  辺
３ａ、３ｂ、２１、２２、２３、２１１、２２１、３１、３２  マスクパターン
１１  設計情報記憶部
１２  ルールテーブル記憶部
１２ａ、Ｔ１  ルールテーブル
１３  移動量決定部
１４  設定情報記憶部
１５  辺移動処理部
１６  移動情報記憶部
１７  補正結果記憶部
１８  補正判定部
１９  判定結果記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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