(57)【要約】【課題】サスペンション基板の接続端子を外部接続基板の接続端子に対して容易に位置決めすること。【解決手段】サスペンション基板組合体１０は、一つのプラッター１００を挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板１０ａ，１０ｂを含む。各サスペンション基板１０ａ，１０ｂは、磁気ヘッド９６が実装されるヘッド部１１ａ，１１ｂと、外部接続基板６０が接続される接続端子を含むテール部１２ａ，１２ｂとを有している。各サスペンション基板１０ａ，１０ｂの前記テール部１２ａ，１２ｂは、絶縁層１６と、絶縁層１６の表面に設けられた配線を含む配線層１７とを有している。一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａは、他方のサスペンション基板１０ｂ側に突出する凸部４１を有し、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂは、凸部４１の入り込む凹部４２を有している。サスペンション基板の延在する方向において、凸部４１の端部４１ｅが凹部４２の端部４２ｅの位置に対応されて設けられている。【選択図】図２
2013164884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体であって、
各サスペンション基板は、磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
各サスペンション基板の前記テール部は、絶縁層と、絶縁層の表面に設けられた配線を含む配線層とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部は、他方のサスペンション基板側に突出する凸部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部は、前記凸部の入り込む凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記凸部の端部が前記凹部の端部の位置に対応されて設けられていることを特徴とするサスペンション基板組合体。
【請求項２】
前記凸部は、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記絶縁層に設けられ、
前記凹部は、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記絶縁層に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項３】
前記一方のサスペンション基板の前記凸部の前記絶縁層の表面に、前記配線層が設けられていないことを特徴とする請求項２に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項４】
前記絶縁層の裏面に設けられた金属支持層をさらに備え、
前記一方のサスペンション基板の前記凸部の前記絶縁層の裏面に、前記金属支持層が設けられていないことを特徴とする請求項２又は３のいずれかに記載のサスペンション基板組合体。
【請求項５】
前記他方のサスペンション基板の前記凹部に該他方のサスペンション基板の長手方向で隣接する前記絶縁層のうち少なくとも一方側の表面に、前記配線層が設けられていないことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項６】
前記他方のサスペンション基板の前記凹部に該他方のサスペンション基板の長手方向で隣接する前記絶縁層のうち少なくとも一方側の裏面に、前記金属支持層が設けられていないことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項７】
前記絶縁層の裏面に設けられた金属支持層をさらに備え、
前記凸部は、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記金属支持層に設けられ、
前記凹部は、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記金属支持層に設けられることを特徴とする請求項１に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項８】
他方のサスペンション基板のテール部は、一方のサスペンション基板側に突出する二つの凸部を有し、該二つの凸部の間の間隙によって該他方のサスペンション基板の前記凹部が形成され、
一方のサスペンション基板のテール部は、前記二つの凸部が入り込む二つの凹部を有し、該二つの凹部の間に該一方のサスペンション基板の前記凸部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項にサスペンション基板組合体。
【請求項９】
一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体であって、
各サスペンション基板は、磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部は、他方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部は、前記一方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の位置に対応されて設けられていることを特徴とするサスペンション基板組合体。
【請求項１０】
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の長さが、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の長さと同じ長さからなることを特徴とする請求項９に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項１１】
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の端部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の端部の位置に対応して設けられることを特徴とする請求項９に記載のサスペンション基板組合体。
【請求項１２】
外部接続基板と、
前記外部接続基板に接続され、一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むスペンション基板組合体と、
前記サスペンション基板組合体の各サスペンション基板に設けられた磁気ヘッドと、を備え、
各サスペンション基板は、前記磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、前記外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
各サスペンション基板の前記テール部は、絶縁層と、絶縁層の表面に設けられた配線を含む配線層とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部は、他方のサスペンション基板側に突出する凸部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部は、前記凸部の入り込む凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記凸部の端部が前記凹部の端部の位置に対応されて設けられていることを特徴とするヘッドスタックアッセンブリ。
【請求項１３】
外部接続基板と、
前記外部接続基板に接続され、一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体と、
前記サスペンション基板組合体の各サスペンション基板に設けられた磁気ヘッドと、を備え、
各サスペンション基板は、前記磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、前記外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部は、他方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部は、前記一方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の位置に対応されて設けられていることを特徴とするヘッドスタックアッセンブリ。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載のヘッドスタックアッセンブリを備えたハードディスクドライブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体と、当該サスペンション基板組合体を含むヘッドスタックアッセンブリ及びハードディスクドライブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、データが記憶されるプラッターに対してデータの書き込み及び読み取りを行う磁気ヘッドサスペンションを備えたハードディスクドライブ（ＨＤＤ）が知られている。この磁気ヘッドサスペンションは、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）等からなる外部接続基板と、一つのプラッターを挟み込む一対のサスペンション基板と、各サスペンション基板に設けられた磁気ヘッドと、を有している。
【０００３】
サスペンション基板を外部接続基板であるフレキシブルプリント基板に接続するのに先立ち、サスペンション基板の接続端子がフレキシブルプリント基板の接続端子に対して位置合わせされる。この位置合わせは、位置測定や位置補正を随時行うことにより実施される。位置合わせは作業者の手動作業で行われることもあるが、撮像装置で撮影された画像を認識した結果を受けてアクチュエータを自動制御することによって行われることもある（特許文献１参照）。
【０００４】
また、サスペンション基板の接続端子を、フレキシブルプリント基板の接続端子に対して位置合わせする際に、位置決め端子を基準にして、画像上で位置合わせを行う制御を行うことも知られている（特許文献２参照）。
【０００５】
このようにサスペンション基板の接続端子を外部接続基板の接続端子に対して位置決めする際、その位置決めを容易にできることに対して、高い要求がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−０４７２０４号公報
【特許文献２】特開２００６−３３８７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような点に鑑み、本発明は、サスペンション基板の接続端子を外部接続基板の接続端子に対して容易に位置決めすることができるサスペンション基板組合体と、当該サスペンション基板組合体を含むヘッドスタックアッセンブリ及びハードディスクドライブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体は、
一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体であって、
各サスペンション基板が、磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
各サスペンション基板の前記テール部が、絶縁層と、絶縁層の表面に設けられた配線を含む配線層とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部が、他方のサスペンション基板側に突出する凸部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部が、前記凸部の入り込む凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記凸部の端部が前記凹部の端部の位置に対応されて設けられていることを特徴とする。
【０００９】
このような本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体によれば、一方のサスペンション基板のテール部が他方のサスペンション基板側に突出する凸部を有し、他方のサスペンション基板のテール部が、当該凸部の入り込む凹部を有している。そして、サスペンション基板の延在する方向において、凸部の端部が凹部の端部の位置に対応されて設けられている。このため、サスペンション基板の延在する方向において、一方のサスペンション基板の凸部の端部を他方のサスペンション基板の凹部の端部に合わせることで、一方のサスペンション基板に対する他方のサスペンション基板の位置決めを容易にすることができる。この結果、サスペンション基板の接続端子を、外部接続基板の接続端子に対して容易に位置合わせすることができる。
【００１０】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体において、
前記凸部は、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記絶縁層に設けられ、
前記凹部は、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記絶縁層に設けられていてもよい。
【００１１】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体において、
前記一方のサスペンション基板の前記凸部の前記絶縁層の表面に、前記配線層が設けられていなくてもよい。
【００１２】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体は、
前記絶縁層の裏面に設けられた金属支持層をさらに備え、
前記一方のサスペンション基板の前記凸部の前記絶縁層の裏面に、前記金属支持層が設けられていなくてもよい。
【００１３】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体において、
前記他方のサスペンション基板の前記凹部に該他方のサスペンション基板の長手方向で隣接する前記絶縁層のうち少なくとも一方側の表面に、前記配線層が設けられていなくてもよい。
【００１４】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体において、
前記他方のサスペンション基板の前記凹部に該他方のサスペンション基板の長手方向で隣接する前記絶縁層のうち少なくとも一方側の裏面に、前記金属支持層が設けられていなくてもよい。
【００１５】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体は、
前記絶縁層の裏面に設けられた金属支持層をさらに備え、
前記凸部が、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記金属支持層に設けられ、
前記凹部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記金属支持層に設けられてもよい。
【００１６】
本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体において、
他方のサスペンション基板のテール部は、一方のサスペンション基板側に突出する二つの凸部を有し、該二つの凸部の間の間隙によって該他方のサスペンション基板の前記凹部が形成され、
一方のサスペンション基板のテール部は、前記二つの凸部が入り込む二つの凹部を有し、該二つの凹部の間に該一方のサスペンション基板の前記凸部が形成されてもよい。
【００１７】
本発明の第２の態様によるサスペンション基板組合体は、
一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体であって、
各サスペンション基板が、磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部が、他方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部が、前記一方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の位置に対応されて設けられている。
【００１８】
このような本発明の第２の態様によるサスペンション基板組合体によれば、一方のサスペンション基板のテール部が他方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、他方のサスペンション基板のテール部が一方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、サスペンション基板の延在する方向において、一方のサスペンション基板の凹部が他方のサスペンション基板の凹部の位置に対応されて設けられている。このため、サスペンション基板の延在する方向において、一方のサスペンション基板の凹部の位置を他方のサスペンション基板の凹部の位置に合わせることで、一方のサスペンション基板に対する他方のサスペンション基板の位置決めを容易にすることができる。この結果、サスペンション基板の接続端子を、外部接続基板の接続端子に対して容易に位置合わせすることができる。
【００１９】
本発明の第２の態様によるサスペンション基板組合体において、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の長さが、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の長さと同じ長さからなってもよい。
【００２０】
このような構成によれば、サスペンション基板の延在する方向において、一方のサスペンション基板のテール部の凹部の位置を、他方のサスペンション基板のテール部の凹部の位置に合わせるだけで、一方のサスペンション基板を他方のサスペンション基板に対して位置合わせをすることができる。
【００２１】
本発明の第２の態様によるサスペンション基板組合体において、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の端部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の端部の位置に対応して設けられてもよい。
【００２２】
このような構成によれば、サスペンション基板の延在する方向において、一方のサスペンション基板のテール部の凹部の端部の位置を、他方のサスペンション基板のテール部の凹部の端部の位置に合わせるだけで、一方のサスペンション基板を他方のサスペンション基板に対して位置合わせをすることができる。
【００２３】
本発明の第１の態様によるヘッドスタックアッセンブリは、
外部接続基板と、
前記外部接続基板に接続され、一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体と、
前記サスペンション基板組合体の各サスペンション基板に設けられた磁気ヘッドと、を備え、
各サスペンション基板が、前記磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、前記外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
各サスペンション基板の前記テール部が、絶縁層と、絶縁層の表面に設けられた配線を含む配線層とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部が、他方のサスペンション基板側に突出する凸部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部が、前記凸部の入り込む凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記凸部の端部が前記凹部の端部の位置に対応されて設けられている。
【００２４】
本発明の第２の態様によるヘッドスタックアッセンブリは、
外部接続基板と、
前記外部接続基板に接続され、一つのプラッターを挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板を含むサスペンション基板組合体と、
前記サスペンション基板組合体の各サスペンション基板に設けられた磁気ヘッドと、を備え、
各サスペンション基板が、前記磁気ヘッドが実装されるヘッド部と、前記外部接続基板が接続される接続端子を含むテール部とを有し、
一方のサスペンション基板のテール部は、他方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
他方のサスペンション基板のテール部は、前記一方のサスペンション基板側の側部に凹部を有し、
サスペンション基板の延在する方向において、前記一方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部が、前記他方のサスペンション基板の前記テール部の前記凹部の位置に対応されて設けられている。
【００２５】
本発明のハードディスクドライブは、
本発明の第１の態様によるヘッドスタックアッセンブリ又は本発明の第２の態様によるヘッドスタックアッセンブリを備えている。
【００２６】
上述した本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体や、本発明の第２の態様によるサスペンション基板組合体を備えたヘッドスタックアッセンブリ及びハードディスクドライブによれば、当然、本発明の第１の態様によるサスペンション基板組合体及び第２の態様によるサスペンション基板組合体の有する効果を奏することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、サスペンション基板の接続端子を外部接続基板の接続端子に対して容易に位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるヘッドスタックアッセンブリを側方から見た側方図。
【図２】本発明の第１の実施の形態に用いられるサスペンション基板が並列配置された多面付けサスペンション用基板シートの一部を示した上方平面図。
【図３】図２に示した多面付けサスペンション用基板シートのうち金属支持層のみを示した上方平面図。
【図４】図２の直線IV-IV’でサスペンション基板を切断した横断面図。
【図５Ａ】本発明の第１の実施の形態によるサスペンション基板組合体において、一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した概略側方図。
【図５Ｂ】図５Ａに対応する図であり、図５Ａに示したものとは別の態様によって一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した図。
【図５Ｃ】図５Ａに対応する図であり、図５Ａ及び図５Ｂに示したものとは別の態様によって一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した図。
【図６】本発明の第１の実施の形態の変形例１及び変形例２に用いられるサスペンション基板が並列配置された多面付けサスペンション用基板シートの一部を示した上方平面図。
【図７】本発明の第１の実施の形態の変形例１及び変形例２によるサスペンション基板組合体において、一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した概略側方図。
【図８】複数のサスペンション基板組合体において、一対のサスペンション基板が位置合わせされたかを確認する際の画像を示した図。
【図９】本発明の第１の実施の形態によるハードディスクドライブを示した斜視図。
【図１０】本発明の第２の実施の形態によるサスペンション基板組合体において、一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した概略側方図。
【図１１】本発明の第２の実施の形態の変形例によるサスペンション基板組合体において、一対のサスペンション基板が位置合わせされる様子を示した概略側方図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
第１の実施の形態
≪構成≫
以下、本発明に係るサスペンション基板組合体、ヘッドスタックアッセンブリ及びハードディスクドライブの第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図９は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００３０】
図９に示すように、本実施の形態のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）９０は、磁気ディスクＤを回転させるスピンドルモータ９２と、データが記憶されるプラッター１００（図１参照）に対してデータの書き込み及び読み取りを行う磁気ヘッド９６を有する磁気ヘッドサスペンション９５と、磁気ヘッドサスペンション９５を駆動するアクチュエータ（例えばボイスコイルモータ）９１とを備えている。このアクチュエータ９１は、プラッター１００上の所望のデータトラックに磁気ヘッド９６を移動させるために、サーボコントロールシステム（図示せず）によって制御される。
【００３１】
ハードディスクドライブ９０は、ヘッドスタックアッセンブリ１を備えている。このヘッドスタックアッセンブリ１は、図１に示すように、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ基板）等からなる外部接続基板６０と、一つのプラッター１００を挟み込む、互いに隣接配置される一対のサスペンション基板１０ａ，１０ｂからなるサスペンション基板組合体１０と、サスペンション基板組合体１０の各サスペンション基板１０ａ，１０ｂに設けられた磁気ヘッド９６と、サスペンション基板１０ａ，１０ｂに設けられたヘッドアーム２０と、外部接続基板６０に設けられ、サスペンション基板１０ａ，１０ｂに電気的に接続されたヘッドアンプＩＣ６５と、を有している。サスペンション基板組合体１０は、その接続端子（例えばフライングリード）が外部接続基板６０の接続端子（例えばＦＰＣ端子）に電気的に接続されることで、外部接続基板６０に接続される。
【００３２】
各サスペンション基板１０ａ，１０ｂは、図２に示すように、磁気ヘッド９６が実装されるヘッド部１１ａ，１１ｂと、外部接続基板６０が接続される接続端子を含むテール部１２ａ，１２ｂと、ヘッド部１１ａ，１１ｂからテール部１２ａ，１２ｂにかけて延在する延在部１４ａ，１４ｂと、を有している。また、テール部１２ａ，１２ｂには、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの配線（図４参照）の導通を検査するためのテスト部１３ａ，１３ｂが連結されている。なお、図２は、本実施の形態のサスペンション基板１０ａ，１０ｂが並列配置された多面付けサスペンション用基板シートの一部を示した上方平面図である。また、図３は、図２に示した多面付けサスペンション用基板シートのうち金属支持層１５のみを示した上方平面図である。図３に示すように、多面付けサスペンション用基板シートにおいては、各サスペンション基板１０ａ，１０ｂの後述する金属支持層１５（１５ａ，１５ｂ）が枠体２１に一体となって形成されている。
【００３３】
枠体２１からサスペンション基板１０ａ，１０ｂを切り離す際、サスペンション基板１０ａ，１０ｂは断裁箇所（図２参照）で切断される。このため、最終的には、テスト部１３ａ，１３ｂはサスペンション基板１０ａ，１０ｂから取り除かれる。なお、サスペンション基板１０ａ，１０ｂを枠体２１から切り離す前においては、サスペンション基板１０ａ，１０ｂはヘッド部１１ａ，１１ｂとテスト部１３ａ，１３ｂで枠体２１に連結されている。
【００３４】
層構成で言うと、各サスペンション基板１０ａ，１０ｂは、図４に示すように、絶縁層１６（１６ａ，１６ｂ）と、絶縁層１６の表面（図４の上側の面）に設けられた配線を含む配線層１７（１７ａ，１７ｂ）と、絶縁層１６の裏面（図４の下側の面）に設けられた金属支持層１５と、を有している。なお、図４は、図２のIV-IV’でサスペンション基板１０ａ，１０ｂを切断した横断面図である。
【００３５】
図示していないが、絶縁層１６及び配線層１７の上には、これらを覆う保護層が設けられてもよい。また、絶縁層１６と配線層１７との間には、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）等からなり、約３００ｎｍの厚さを有するシード層（図示せず）が介在されてよい。このようなシード層を用いることで、絶縁層１６と配線層１７との間の密着性を向上させることができる。
【００３６】
絶縁層１６の材料としては、所望の絶縁性を有する材料であれば特に限定されることはないが、例えばポリイミド（ＰＩ）を用いることが好適である。なお、絶縁層１６の材料は感光性材料であっても非感光性材料であってもよい。絶縁層１６の厚さは例えば５μｍ〜３０μｍとなっている。
【００３７】
各配線は、電気信号を伝送するための導体として構成されている。各配線を構成する配線層１７の材料としては、所望の導電性を有する材料であれば特に限定されることはないが、銅（Ｃｕ）を用いることが好適である。銅以外にも純銅に準ずる電気特性を有する材料であれば用いることもできる。配線層１７の厚さは例えば１μｍ〜１８μｍとなっている。
【００３８】
金属支持層１５の材料としては、所望の導電性、弾力性及び強度を有するものであれば特に限定されることはない。金属支持層１５の材料としては、例えば、ステンレス、アルミニウム、ベリリウム銅又はその他の銅合金を用いることができるが、ステンレスを用いることが好適である。金属支持層１５の厚さは例えば１０μｍ〜３０μｍとなっている。
【００３９】
図２に示すように、サスペンション基板１０ａ，１０ｂは、延在部１４ａ，１４ｂとテール部１２ａ，１２ｂとの間に、約９０度に折り曲げ可能な折り曲げ箇所を有している。そして、サスペンション基板１０ａ，１０ｂを外部接続基板６０に取り付けるのに先立ち、当該折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ａ，１０ｂを約９０度で折り曲げることとなる。
【００４０】
図５Ａ（ａ）（ｂ）に示すように、サスペンション基板組合体１０のうち一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａは、他方のサスペンション基板１０ｂ側に突出する凸部４１を有している。図２に示した多面付けサスペンション用基板シートで説明すると、本実施の形態による一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１は、テール部１２ａの短手方向（図２のＸ方向）の端部であって折り曲げ箇所と反対側（Ｘ方向のマイナス側、つまり図２の左側）の端部に設けられている。このため、折り曲げ箇所で一方のサスペンション基板１０ａが約９０度で折り曲げられると（このとき、図２の紙面に対して山折りされる。）、図５Ａ（ａ）（ｂ）に示すように、凸部４１は、折り曲げ箇所と反対側の端部に位置することになる。なお、図５Ａ（ａ）（ｂ）では、折り曲げ箇所で折り曲げられた一方のサスペンション基板１０ａを、テール部１２ａの表面側から見た態様を示している。
【００４１】
また、サスペンション基板組合体１０のうち他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂは凸部４１の入り込む凹部４２を有している。図２に示した多面付けサスペンション用基板シートで説明すると、本実施の形態による他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２は、テール部１２ｂの短手方向（図２のＸ方向）の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部（Ｘ方向のプラス側、つまり図２の右側）に設けられている。このため、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ｂが約９０度で折り曲げられると（このとき、図２の紙面に対して山折りされる。）、図５Ａ（ａ）（ｂ）に示すように、凹部４２は、折り曲げ箇所と反対側の端部に位置することになる。なお、図５Ａ（ａ）（ｂ）では、折り曲げ箇所で折り曲げられた他方のサスペンション基板１０ｂを、テール部１２ｂの表面側から見た態様を示している。
【００４２】
本実施の形態では、サスペンション基板の延在する方向（図５Ａ（ａ）（ｂ）のＹ方向）において、凸部４１の両端部４１ｅ，４１ｅが凹部４２の両端部４２ｅ，４２ｅの位置に対応されて設けられている態様で説明しているが、これに限られることはない。サスペンション基板の延在する方向において、凸部の端部が凹部の端部の位置に対応されて設けられていればよく、例えば、図５Ｂ（ａ）（ｂ）に示すように、凹部４２の一端部４２ｐｅの位置に対応されて設けられた小さな一方の凸部４１ｐと、凹部４２の他端部４２ｑｅの位置に対応されて設けられた小さな他方の凸部４１ｑとが設けられ、一方の凸部４１ｐの一端部４１ｐｅを凹部４２の一端部４２ｐｅに位置づけ、他方の凸部４１ｑの他端部４１ｑｅを凹部４２の他端部４２ｑｅに位置づけるようにしてもよい。また、図５Ｃ（ａ）（ｂ）に示すように、凹部４２の一端部４２ｅの位置に対応されて設けられた小さな凸部４１が１つだけ設けられ、当該凸部４１の一端部４１ｅを凹部４２の一端部４２ｅに位置づけるようにしてもよい。なお、図５Ｃ（ａ）（ｂ）では、凹部４２のＹ方向のプラス側の端部に対応させた凸部４１を設けた態様を示しているが、これに限られることはなく、凹部４２のＹ方向のマイナス側の端部に対応させた凸部を設けてもよい。
【００４３】
図２に示すように、本実施の形態において、凸部４１は、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの絶縁層１６に設けられている。そして、この凸部４１の絶縁層１６の表面（図４の上側の面）には配線層１７が設けられておらず、また、この凸部４１の絶縁層１６の裏面（図４の下側の面）には金属支持層１５も設けられていない。
【００４４】
また、図２に示すように、本実施の形態において、凹部４２も、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの絶縁層１６に設けられている。そして、この凹部４２に他方のサスペンション基板１０ｂの長手方向で隣接する絶縁層１６の両側（図２のα方向の両側）の表面には配線層１７が設けられておらず、また、その裏面には金属支持層１５が設けられていない。
【００４５】
本実施の形態では、凸部４１を構成する絶縁層１６の表面に配線層１７が設けられておらず、かつ、その裏面に金属支持層１５が設けられていない態様を用いて説明したが、これに限られることはない。例えば、凸部４１を構成する絶縁層１６の表面に配線層１７は設けられていないが、当該絶縁層１６の裏面に金属支持層１５が設けられている態様であってもよい。また逆に、凸部４１を構成する絶縁層１６の表面に配線層１７は設けられているが、当該絶縁層１６の裏面に金属支持層１５が設けられていない態様であってもよい。
【００４６】
また、本実施の形態では、凹部４２に隣接する絶縁層１６の両側の表面（図２のα方向の両側）に配線層１７が設けられておらず、かつ、その裏面に金属支持層１５が設けられていない態様を用いて説明したが、これに限られることはない。凹部４２に隣接する絶縁層１６の両側の表面に配線層１７が設けられていないが、その裏面に金属支持層１５が設けられている態様であってもよい。また逆に、凹部４２に隣接する絶縁層１６の両側の表面に配線層１７が設けられているが、その裏面に金属支持層１５が設けられていない態様であってもよい。
【００４７】
また、凹部４２に隣接する絶縁層１６の一方側（図２のα方向の一方側、すなわち図２の上側又は下側）だけ配線層１７及び金属支持層１５が設けられていなくてもよいし、また、凹部４２に隣接する絶縁層１６の一方側（図２のα方向の一方側、すなわち図２の上側又は下側）だけ、配線層１７及び金属支持層１５の一方のみが設けられている態様であってもよい。
【００４８】
≪作用・効果≫
次に、上述した構成からなるサスペンション基板組合体１０、ヘッドスタックアッセンブリ１及びハードディスクドライブ９０の作用・効果について説明する。
【００４９】
まず、複数のサスペンション基板１０ａ，１０ｂが並列配置された多面付けサスペンション用基板シートが製造される（図２参照）。
【００５０】
そして、この多面付けサスペンション用基板シートが断裁箇所（図２参照）で切断され、各サスペンション基板１０ａ，１０ｂが製造される。
【００５１】
次に、各サスペンション基板１０ａ，１０ｂが折り曲げ箇所において約９０度で折り曲げられる。
【００５２】
この際、各サスペンション基板１０ａ，１０ｂは外部接続基板６０の接続端子に対して整列していない。このため、続いて、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの例えばフライングリードからなる接続端子を、外部接続基板６０の例えばＦＰＣ端子からなる接続端子に対して位置合わせする必要がある。
【００５３】
このとき、本実施の形態によるサスペンション基板組合体１０によれば、この位置合わせを容易に行うことができる。すなわち、本実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１がテール部１２ａの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられている（図２参照）。このため、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ａ，１０ｂが約９０度で折り曲げられると、凸部４１が折り曲げ箇所と反対側の端部に位置することになる（図５Ａ（ａ）参照）。また、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２がテール部１２ｂの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられている（図２参照）。このため、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ｂが約９０度で折り曲げられると、凹部４２が折り曲げ箇所と反対側の端部に位置することになる（図５Ａ（ａ）参照）。
【００５４】
そして、一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１を他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２に挿入することで（図５Ａ（ｂ）参照）、一方のサスペンション基板１０ａに対する他方のサスペンション基板１０ｂの位置決めを容易にすることができる。この結果、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子を外部接続基板６０の接続端子に対して、容易に位置合わせすることができる。
【００５５】
また、一方のサスペンション基板１０ａを他方のサスペンション基板１０ｂに対して位置合わせする際、撮影装置（図示せず）によって撮影された画像を画面（図示せず）で確認しながら行うが、本実施の形態によれば、上述したように他方のサスペンション基板１０ｂが一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１の入り込む凹部４２を有しているので、一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１が他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２の正確な位置に入り込んでいるかを画像で確認するだけで、一方のサスペンション基板１０ａの他方のサスペンション基板１０ｂに対する位置合わせが正確に行われたかを確認することができる（図８参照）。このため、一方のサスペンション基板１０ａに対する他方のサスペンション基板１０ｂの位置決めを容易にすることができ、ひいては、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子の外部接続基板６０の接続端子に対する位置合わせを容易に行うことができる。
【００５６】
なお、この効果は、図５Ｂ（ａ）（ｂ）で示すように、凹部４２の一端部４２ｐｅの位置に対応されて設けられた小さな一方の凸部４１ｐと、凹部４２の他端部４２ｑｅの位置に対応されて設けられた小さな他方の凸部４１ｑとが設けられている態様や、図５Ｃ（ａ）（ｂ）に示すように、凹部４２の一端部４２ｅの位置に対応されて設けられた小さな凸部４１が１つだけ設けられる態様であっても奏することができる。但し、より容易に正確な位置合わせをするには、凹部４２の両端部４２ｅ，４２ｅで位置決めすることができる図５Ａで示した態様や図５Ｂで示した態様が好ましい。
【００５７】
図２に示すように、凸部４１の絶縁層１６の表面に配線層１７が設けられていないことから、画像処理がしやすく、一方のサスペンション基板１０ａの他方のサスペンション基板１０ｂに対する位置合わせの確認を行いやすい。
【００５８】
また、図２に示すように、凸部４１の絶縁層１６の裏面に金属支持層１５が設けられていないことから、一方のサスペンション基板１０ａが他方のサスペンション基板１０ｂに対して正確に位置合わせされているかを、透過光で確認することができる。
【００５９】
また、ヘッドスタックアッセンブリ１及びハードディスクドライブ９０に、本実施の形態によるサスペンション基板組合体１０を用いれば、当然、同様の効果を奏することができる。
【００６０】
上述したように、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子が外部接続基板６０の接続端子に対して位置合わせされると、図示しないボンディングツールによって、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子が外部接続基板６０の接続端子に対して押圧される。その後、ボンディングツールを超音波振動させることで、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子が外部接続基板６０の接続端子に対して超音波接合される。
【００６１】
第１の実施の形態の変形例１
上述した第１の実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１がテール部１２ａの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられ、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２がテール部１２ｂの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられている態様を用いて説明した。しかしながら、これに限られることはない。図６に示した多面付けサスペンション用基板シートで説明すると、一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１がテール部１２ａの短手方向（図６のＸ方向）の端部であって折り曲げ箇所側（Ｘ方向のプラス側、つまり図６の右側）の端部に設けられ、かつ、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２がテール部１２ｂの短手方向（図６のＸ方向）の端部であって折り曲げ箇所側（Ｘ方向のマイナス側、つまり図６の左側）の端部に設けられてもよい。この場合には、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ａ，１０ｂが約９０度で折り曲げられると、図７（ａ）（ｂ）に示すように、凸部４１が折り曲げ箇所側の端部に位置し、凹部４２が折り曲げ箇所側の端部に位置することになる。
【００６２】
本変形例によっても上述した第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００６３】
第１の実施の形態の変形例２
また、上述した第１の実施の形態では凸部４１が一方のサスペンション基板１０ａの端部から延び、凹部４２が他方のサスペンション基板１０ｂの端部に形成されている態様を用いて説明したが、これに限られることはない。例えば、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂが一方のサスペンション基板１０ａ側に突出する二つの凸部４６，４７を有し、この二つの凸部４６，４７の間の間隙によって他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２が形成され、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａが他方のサスペンション基板１０ｂの二つの凸部４６，４７が入り込む二つの凹部４８，４９を有し、この二つの凹部４８，４９の間に一方のサスペンション基板１０ａの凸部４１が形成されていてもよい（図６参照）。
【００６４】
本変形例によっても上述した第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００６５】
なお、このような態様は、図６に示すように折り曲げ箇所側に凸部４１及び凹部４２が形成されるものであってもよいし、それに限られることはなく、折り曲げ箇所側と反対側に凸部４１及び凹部４２が形成されるものであってもよい。
【００６６】
ところで、本願の特許請求の範囲で記載された「二つの凸部」とは少なくとも二つの凸部を有していれば足り、少なくとも二つの凸部を有していれば本件特許発明の技術的範囲に含まれる。また同様に、本願の特許請求の範囲で記載された「二つの凹部」とは少なくとも二つの凹部を有していれば足り、少なくとも二つの凹部を有していれば本件特許発明の技術的範囲に含まれる。
【００６７】
第１の実施の形態の変形例３
また、上述した第１の実施の形態では凸部４１及び凹部４２が絶縁層１６に形成されている態様を用いて説明したが、これに限られることはない。凸部４１が絶縁層１６ではなく一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの金属支持層１５に設けられ、かつ、凹部４２が他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの金属支持層１５に設けられてもよい。
【００６８】
本変形例によっても上述した第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００６９】
なお、この変形は、第１の実施の形態の変形例１及び第１の実施の形態の変形例２にも適用されうる。
【００７０】
第２の実施の形態
第１の実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａが他方のサスペンション基板１０ｂ側に突出する凸部４１を有し、かつ、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂが当該凸部４１の入り込む凹部４２を有している態様であった。本実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａに凸部４１が設けられる代わりに凹部４２ａが設けられ、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂには、第１の実施の形態と同様、凹部４２ｂが設けられている。なお、これらの凹部４２ａ，４２ｂは絶縁層１６に形成されている。
【００７１】
その他の構成は第１の実施の形態と略同一である。第２の実施の形態において、図１乃至図９に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７２】
本実施の形態の構成について図１０（ａ）（ｂ）を用いて具体的に説明する。
【００７３】
図１０（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態の一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａは他方のサスペンション基板１０ｂ側（図１０（ａ）（ｂ）のＺ方向のプラス側）の側部に凹部４２ａを有し、かつ、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂは一方のサスペンション基板１０ａ側（図１０（ａ）（ｂ）のＺ方向のマイナス側）の側部に凹部４２ｂを有している。そして、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向（図１０（ａ）（ｂ）のＹ方向）において、一方のサスペンション基板１０ａの凹部４２ａが他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２ｂの位置に対応されて設けられている。さらに具体的には、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの長さが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの長さと同じ長さからなっている。なお、本願の特許請求の範囲で記載された「同じ長さ」とは、厳密に「同じ長さ」からなる場合に限定されず、製造誤差や画像処理が可能な範囲での誤差等があってもよく、概ね「同じ長さ」からなる場合を含んでいる。
【００７４】
第１の実施の形態で述べたように、一方のサスペンション基板１０ａを他方のサスペンション基板１０ｂに対して位置合わせする際、撮影装置（図示せず）によって撮影された画像を画面（図示せず）で確認しながら行う。本実施の形態によれば、上述したように一方のサスペンション基板１０ａの凹部４２ａの長さが、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２ｂの長さと同じ長さからなっているので、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの位置を、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの位置に合わせることで、一方のサスペンション基板１０ａを他方のサスペンション基板１０ｂに対して位置合わせをすることができる（図１０（ｂ）参照）。このため、一方のサスペンション基板１０ａに対する他方のサスペンション基板１０ｂの位置決めを容易にするすることができ、ひいては、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子を外部接続基板６０の接続端子に容易に位置合わせすることができる。
【００７５】
第２の実施の形態の変形例１
上述した実施の形態では、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの長さが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの長さと同じ長さからなっていた。本変形例では、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向（図１１（ａ）（ｂ）のＹ方向）において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの一端部４２ａｅが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの一端部４２ｂｅの位置に対応して設けられている（図１１（ａ）（ｂ）参照）。
【００７６】
このため、本変形例によれば、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの一端部４２ａｅの位置を、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの一端部４２ｂｅの位置に合わせることで、一方のサスペンション基板１０ａを他方のサスペンション基板１０ｂに対して位置合わせをすることができる（図１１（ｂ）参照）。この結果、一方のサスペンション基板１０ａに対する他方のサスペンション基板１０ｂの位置決めを容易にすることができ、ひいては、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの接続端子を外部接続基板６０の接続端子に容易に位置合わせすることができる。
【００７７】
なお、図１１（ａ）（ｂ）では、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの延在部１４ａ側（図１１（ａ）（ｂ）のＹ方向のプラス側）の凹部４２ａの一端部４２ａｅが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの延在部１４ｂ側（図１１（ａ）（ｂ）のＹ方向のプラス側）の凹部４２ｂの一端部４２ｂｅに対応している態様を用いて説明したが、これに限られることはない。一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの延在部１４ａと反対側（図１１（ａ）（ｂ）のＹ方向のマイナス側）の凹部４２ａの他端部が、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの延在部１４ｂと反対側（図１１（ａ）（ｂ）のＹ方向のマイナス側）の凹部４２ｂの他端部に対応している態様であってもよい。
【００７８】
第２の実施の形態の変形例２
上述した第２の実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａの凹部４２ａがテール部１２ａの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられ、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２ｂがテール部１２ｂの短手方向の端部であって折り曲げ箇所と反対側の端部に設けられている態様を用いて説明した。しかしながら、これに限られることはない。一方のサスペンション基板１０ａの凹部４２ａがテール部１２ａの短手方向の端部であって折り曲げ箇所側の端部に設けられ、かつ、他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２ｂがテール部１２ｂの短手方向の端部であって折り曲げ箇所側の端部に設けられてもよい。この場合には、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ａが約９０度で折り曲げられると、凹部４２ａが折り曲げ箇所側の端部に位置し、凹部４２ｂが折り曲げ箇所側の端部に位置することになる。
【００７９】
本変形例によっても上述した第２の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００８０】
なお、この変形を、第２の実施の形態の変形例１にも適用することができ、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの一端部４２ａｅが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの一端部４２ｂｅの位置に対応して設けられている態様にも適用することができる。
【００８１】
第２の実施の形態の変形例３
また、上述した第２の実施の形態では、一方のサスペンション基板１０ａの端部と他方のサスペンション基板１０ｂの端部の各々が凹むことで、各々の凹部４２ａ，４２ｂが形成されている態様を用いて説明したが、これに限られることはない。例えば、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａが他方のサスペンション基板１０ｂ側に突出する二つの凸部を有し、この二つの凸部の間の間隙によって一方のサスペンション基板１０ａの凹部４２ａが形成され、同様に、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂが一方のサスペンション基板１０ａ側に突出する二つの凸部を有し、この二つの凸部の間の間隙によって他方のサスペンション基板１０ｂの凹部４２ｂが形成されてもよい。
【００８２】
本変形例によっても上述した第２の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００８３】
なお、この変形は、第２の実施の形態の変形例１にも適用することができ、サスペンション基板１０ａ，１０ｂの延在する方向において、一方のサスペンション基板１０ａのテール部１２ａの凹部４２ａの一端部４２ａｅが、他方のサスペンション基板１０ｂのテール部１２ｂの凹部４２ｂの一端部４２ｂｅの位置に対応して設けられている態様にも適用することができる。
【００８４】
また、この変形例は、第２の実施の形態の変形例２にも適用することができ、折り曲げ箇所でサスペンション基板１０ａが約９０度で折り曲げられると、凹部４２ａが折り曲げ箇所側の端部に位置し、凹部４２ｂが折り曲げ箇所側の端部に位置する態様にも適用することができる。
【００８５】
第２の実施の形態の変形例４
また、上述した実施の形態では各凹部４２ａ，４２ｂが絶縁層１６に形成されている態様を用いて説明したが、これに限られることはない。凹部４２ａ，４２ｂが絶縁層１６ではなくサスペンション基板１０ａ，１０ｂのテール部１２ａ，１２ｂの金属支持層１５に形成されてもよい。
【００８６】
本変形例によっても上述した第２の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００８７】
なお、この変形は、第２の実施の形態の変形例１、第２の実施の形態の変形例２及び第２の実施の形態の変形例３にも適用されうる。
【符号の説明】
【００８８】
１０      サスペンション基板組合体
１０ａ，１０ｂ  サスペンション基板
１１ａ，１１ｂ  ヘッド部
１２ａ，１２ｂ  テール部
１３ａ，１３ｂ  テスト部
１５      金属支持層
１６      絶縁層
１７      配線層
４１      凸部
４２      凹部
４２ａ，４２ｂ  凹部
４６      凸部
４７      凸部
４８      凹部
４９      凹部
６０      外部接続基板
１００    プラッター
【図１】
2013164884.tif 000003
【図２】
2013164884.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2013164884.tif 000012
【図９】
2013164884.tif 000013
【図１０】
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【図１１】
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