(57)【要約】【課題】消費電力を抑制する。【解決手段】電源装置から印加された電源電圧により動作する対象回路の消費電流を補償する補償装置であって、電源装置から対象回路へと電源電圧を供給するための電源配線に接続され、電源配線に流れる電流を消費する電流消費部と、電流消費部に印加される電源電圧に応じて電流消費部により消費される電流を変化させる電流制御部と、電流消費部の基準電流量を変更する設定部と、を備え、設定部は、対象回路がスタンバイ状態において、基準電流量を低減する補償装置を提供する。【選択図】図２
2013058908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源装置から印加された電源電圧により動作する対象回路の消費電流を補償する補償装置であって、
前記電源装置から前記対象回路へと電源電圧を供給するための電源配線に接続され、前記電源配線に流れる電流を消費する電流消費部と、
前記電流消費部に印加される電源電圧に応じて前記電流消費部により消費される電流を変化させる電流制御部と、
前記電流消費部の基準電流量を変更する設定部と、
を備える補償装置。
【請求項２】
前記設定部は、前記対象回路がスタンバイ状態において、前記基準電流量を低減する
請求項１に記載の補償装置。
【請求項３】
前記設定部は、前記基準電流量を変更する場合に、前記電源装置の応答帯域の上限よりも低い帯域で前記電流消費部に流れる電流を変化させる
請求項１または２に記載の補償装置。
【請求項４】
前記設定部は、前記対象回路がアクティブ状態となる前に前記基準電流量を増加させ、前記対象回路がスタンバイ状態となった後に前記基準電流量を低減する
請求項１から３の何れか１項に記載の補償装置。
【請求項５】
前記電流制御部は、
印加される前記電源電圧に応じて周波数が変化する周期信号を出力する発振器と、
基準クロックの位相と前記周期信号の位相とを比較する位相比較器と、
前記位相比較器の比較結果に応じてカウント値を増減させるカウンタ部と、
を有し、
前記電流消費部は、前記カウント値に応じた電流を消費する
請求項１から４の何れか１項に記載の補償装置。
【請求項６】
前記電流制御部は、
基準クロックを印加される前記電源電圧に応じた遅延時間分遅延させた周期信号を出力する可変遅延回路と、
前記基準クロックの位相と前記周期信号の位相とを比較する位相比較器と、
前記位相比較器の比較結果に応じてカウント値を増減させるカウンタ部と、
を有し、
前記電流消費部は、前記カウント値に応じた電流を消費する
請求項１から４の何れか１項に記載の補償装置。
【請求項７】
前記設定部は、前記カウンタ部の基準となるカウント値を変更することにより前記基準電流量を変更する
請求項５または６に記載の補償装置。
【請求項８】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを載置するボードと、
前記ボード上に設けられ、前記被試験デバイスの消費電流を補償する請求項１から７の何れか１項に記載の補償装置と、
を備える試験装置。
【請求項９】
前記補償装置の前記設定部は、前記被試験デバイスから出力された前記被試験デバイスのモードを示すモード信号または当該試験装置により生成されたモードを示すモード信号に応じて、前記基準電流量を変更する
請求項８に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記補償装置の前記設定部は、前記被試験デバイスに電源ノイズを印加する耐性試験において、前記電流消費部により消費される電流を予め定められたパターンに応じて変化させる
請求項８から９の何れか１項に記載の試験装置。
【請求項１１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験するための試験信号の発生タイミングを生成するタイミング発生器と、
前記タイミング発生器の消費電流を補償する請求項１から７の何れか１項に記載の補償装置と、
を備える試験装置。
【請求項１２】
前記補償装置の前記設定部は、前記被試験デバイスを試験する場合に、予め定められた精度に応じて前記基準電流量を変化させる
請求項１１に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、補償装置および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｃ−ＭＯＳ論理回路等は、その動作内容によって消費電流が大きく変動する。Ｃ−ＭＯＳ論理回路等の消費電流が大きく変動すると、電源配線に流れる電流の変動により電源ノイズが発生される。特許文献１および特許文献２には、Ｃ−ＭＯＳ論理回路等の消費電流の変動を補償することにより、消費電流の変動に伴い発生する電源ノイズを低減する補償回路が記載されている。
特許文献１  特開２００６−２２９６２２号公報
特許文献２  特開２００７−０９６５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述の従来の補償回路は、Ｃ−ＭＯＳ論理回路が安定動作している状態でも一定の電流を消費する。これにより、従来の補償回路は、消費電力が高くなってしまっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、電源装置から印加された電源電圧により動作する対象回路の消費電流を補償する補償装置であって、前記電源装置から前記対象回路へと電源電圧を供給するための電源配線に接続され、前記電源配線に流れる電流を消費する電流消費部と、前記対象回路の電源電圧に応じて前記電流消費部により消費される電流を変化させる電流制御部と、前記電流消費部の基準電流量を変更する設定部と、を備える補償装置、および、このような補償装置を備える試験装置を提供する。
【０００５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施形態に係る電源補償システム１０の構成を示す。
【図２】本実施形態に係る補償装置４０の第１の構成例を対象回路３０とともに示す。
【図３】本実施形態に係る補償装置４０の第２の構成例を対象回路３０とともに示す。
【図４】図４（Ａ）は対象回路３０の消費電流の時間変化を示し、図４（Ｂ）は補償装置４０に流れる電流の時間変化を示し、図４（Ｃ）は対象回路３０の消費電流および補償装置４０に流れる電流の合計電流の時間変化を示す。
【図５】本実施形態に係る試験装置１００の構成を被試験デバイス２００とともに示す。
【図６】本実施形態に係る試験装置本体部１１０の構成を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００８】
図１は、本実施形態に係る電源補償システム１０の構成を示す。本実施形態に係る電源補償システム１０は、電源装置２０と、対象回路３０と、補償装置４０とを備える。
【０００９】
電源装置２０は、予め定められた直流の電源電圧を発生する。電源装置２０は、発生した電源電圧を電源配線２２を介して対象回路３０に印加する。
【００１０】
対象回路３０は、電源配線２２に流れる電流を消費して動作する。即ち、対象回路３０は、電源装置２０から電源配線２２を介して印加された電源電圧により動作する。
【００１１】
対象回路３０は、一例として、Ｃ−ＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）の論理回路である。対象回路３０は、動作内容によって消費電流が変化する。対象回路３０は、一例として、通常の動作を行うアクティブ状態と消費電力を抑制した動作を行うスタンバイ状態とに動作状態が切り替わる。対象回路３０は、スタンバイ状態においては、主な内部回路の動作が停止され、消費電流の変動も抑制される。
【００１２】
補償装置４０は、電源配線２２に流れる電流を消費する。即ち、補償装置４０は、電源装置２０から供給された電力を消費する。
【００１３】
補償装置４０は、電源配線２２上における電源装置２０より対象回路３０の近くに、対象回路３０に対して並列に接続される。補償装置４０は、電源配線２２上における対象回路３０の直近に接続されてもよい。また、補償装置４０は、対象回路３０と同一の基板上に設けられてもよい。また、補償装置４０は、対象回路３０と同一のチップ上に形成されてもよい。
【００１４】
補償装置４０は、当該補償装置４０に印加される電源電圧の変動に応じて、消費する電流量を変化させる。より詳しくは、補償装置４０は、印加される電源電圧が予め定められた値の状態において一定の電流量（基準電流量）を消費する。そして、補償装置４０は、印加される電源電圧が増加した場合には電圧増加量に応じて消費電流量を大きくし、印加される電源電圧が減少した場合には電圧減少量に応じて消費電流量を小さくする。これにより、補償装置４０は、対象回路３０の消費電流を補償して、電源装置２０から対象回路３０側に流れる電流を一定として、電流変動に伴い発生する電源ノイズを低減することができる。
【００１５】
さらに、補償装置４０は、電源電圧が予め定められた値の状態において流れるべき基準電流量を、対象回路３０の状態に応じて変更する。補償装置４０は、一例として、対象回路３０がスタンバイ状態の場合には、アクティブ状態の場合と比較して、基準電流量を低減する。これにより、補償装置４０は、スタンバイ状態において消費電力を抑制することができる。
【００１６】
図２は、本実施形態に係る補償装置４０の第１の構成例を対象回路３０とともに示す。補償装置４０は、電流消費部４２と、電流制御部４４と、設定部４６とを有する。
【００１７】
電流消費部４２は、電源装置２０から対象回路３０へと電源電圧を供給するための電源配線２２に接続され、電源配線２２に流れる電流を消費する。また、電流消費部４２は、電流制御部４４により消費電流量が制御される。
【００１８】
電流消費部４２は、一例として、ＤＡコンバータである。このＤＡコンバータは、抵抗ラダー回路と、抵抗ラダー回路の合成抵抗値を切り替えるスイッチ群とを含む。このＤＡコンバータは、リファレンス電圧に代えて電源配線２２から電源電圧が印加され、電流制御部４４によりスイッチ群が切り替えられる。これにより、このＤＡコンバータは、電流制御部４４により合成抵抗値が切り替えられて、消費電流が変更される。
【００１９】
電流制御部４４は、電流消費部４２に印加される電源電圧に応じて電流消費部４２により消費される電流を変化させる。より具体的には、電流制御部４４は、電流消費部４２に印加される電源電圧が予め定められた基準電圧値の場合には、電流消費部４２により消費される電流を一定の電流量とする。また、電流制御部４４は、電流消費部４２に印加される電源電圧が増加した場合には電圧増加量に応じて電流消費部４２の消費電流量を大きくし、印加される電源電圧が減少した場合には電圧減少量に応じて電流消費部４２の消費電流量を小さくする。
【００２０】
第１の構成例においては、電流制御部４４は、発振器５２と、周期調整部５４と、位相比較器５６と、カウンタ部５８とを含む。発振器５２は、電流消費部４２に印加される電源電圧に応じて周波数が変化する周期信号を出力する。発振器５２は、一例として、電源配線２２上における電流消費部４２への配線の分岐部分の電源電圧に応じて周期信号の周波数を変化させる。発振器５２は、リングオシレータであってもよい。この場合、リングオシレータは、電源配線２２からの電源電圧が駆動電圧として印加される複数のインバータ素子を含み、これら複数のインバータ素子がリング状に接続された構成となっている。
【００２１】
周期調整部５４は、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに発振器５２から出力されるべき周期信号の周波数を調整する。より具体的には、周期調整部５４は、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに発振器５２から出力されるべき周期信号の周波数が、外部から入力される基準クロックの整数倍の周波数または整数分の１の周波数と一致するように調整する。また、この場合、周期調整部５４は、発振器５２から出力される周期信号の周期を周波数カウンタで測定して、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに発振器５２から出力されるべき周期信号の周波数を調整してもよい。
【００２２】
位相比較器５６は、外部から入力される基準クロックの位相と、発振器５２から出力される周期信号の位相とを比較する。位相比較器５６は、一例として、基準クロックおよび周期信号のうちの一方の位相が進んでいればＨ論理となり、他方の位相が進んでいればＬ論理となる比較信号を出力する。
【００２３】
カウンタ部５８は、位相比較器５６の比較結果に応じてカウント値を増減させる。カウンタ部５８は、一例として、位相比較器５６による位相の比較結果を表す比較信号がＨ論理であればカウント値を増加させ、Ｌ論理であればカウント値を減少させる。
【００２４】
そして、カウンタ部５８は、カウント値に応じて、電流消費部４２の電流消費量を変更する。カウンタ部５８は、一例として、カウント値をＤＡコンバータである電流消費部４２の入力に与えて合成抵抗値を変化させて、ＤＡコンバータの消費電流量を変更する。これにより、電流消費部４２は、カウント値に応じた電流を消費することができる。
【００２５】
カウンタ部５８は、比較信号の時系列変化をデジタルフィルタリングするフィルタ機能を有してもよい。カウンタ部５８は、比較信号の値を増幅または減衰させてカウント値のゲインを調整する機能を有してもよい。また、カウンタ部５８は、比較信号のサンプルを間引くことによりカウント値のゲインを調整する機能を有してもよい。このようなカウンタ部５８は、適切な応答特性で電流消費部４２の電流消費量を制御することができる。
【００２６】
設定部４６は、電流消費部４２の基準電流量を、当該補償装置４０の外部からの設定に応じて変更する。ここで、基準電流量とは、電流消費部４２に印加される電源電圧が予め定められた値の場合に、電流消費部４２に流すべき電流量をいう。電源電圧が予め定められた値とは、例えば、対象回路３０の設計仕様で定められた電源電圧である。即ち、対象回路３０の消費電流が一定で、設計仕様で定められた電源電圧が対象回路３０に安定して印加されている状態においては、電流消費部４２は、基準電流量の電流を流す。
【００２７】
設定部４６は、カウンタ部５８の基準となるカウント値を変更することにより、電流消費部４２の基準電流量を変更する。カウンタ部５８の基準となるカウント値とは、基準クロックと発振器５２から出力される周期信号との位相差が０で安定している状態（例えば比較信号のＨ論理およびＬ論理がほぼ同一の割合で出力される状態）におけるカウント値である。例えば、設定部４６は、カウンタ部５８から出力されるカウント値のオフセット量を変更することにより、基準となるカウント値を変更する。
【００２８】
設定部４６は、一例として、対象回路３０がアクティブ状態において、基準電流量を予め定められた第１設定値に設定する。また、設定部４６は、対象回路３０がスタンバイ状態の場合には、基準電流量を第１設定値よりも低い第２設定値に低減する。例えば、第２設定値は、０であってもよい。これにより、設定部４６は、対象回路３０がスタンバイ状態の場合に、電流消費部４２が消費する電流量を低減することができる。
【００２９】
設定部４６は、一例として、対象回路３０から、当該対象回路３０のモードを表すモード信号を受け取って、基準電流量を変更してもよい。また、設定部４６は、一例として、対象回路３０のモードを制御する制御装置からの信号に応じて、基準電流量を変更してもよい。
【００３０】
以上のような補償装置４０によれば、対象回路３０がアクティブ状態で動作している場合には、対象回路３０の消費電流を補償して、電源装置２０から対象回路３０側に流れる消費電流を一定の値に安定化させることができる。さらに、補償装置４０によれば、対象回路３０がスタンバイ状態で動作している場合には、消費電流を抑制することができる。
【００３１】
なお、設定部４６は、アクティブ状態とスタンバイ状態の切り換え時のみならず、対象回路３０の交換により対象回路３０の種類が変更された場合に、基準電流量を変更してもよい。設定部４６は、一例として、消費電流の変動が大きい種類の対象回路３０が接続された場合には、基準電流量を大きくし、消費電流の変動が小さい種類の対象回路３０が接続された場合には、基準電流量を小さくしてもよい。これにより、補償装置４０は、接続された対象回路３０を補償するために適した電流を消費することができる。
【００３２】
図３は、本実施形態に係る補償装置４０の第２の構成例を対象回路３０とともに示す。補償装置４０の第２の構成例は、図２に示した第１の構成例と略同一の構成および機能であるので、略同一および機能の構成要素には、図面中に同一の符号を付けて、相違点を除き説明を省略する。
【００３３】
第２の構成例に係る電流制御部４４は、発振器５２および周期調整部５４に代えて、可変遅延回路６２および遅延量調整部６４を含む。可変遅延回路６２は、基準クロックが入力され、入力された基準クロックを電流消費部４２に印加された電源電圧に応じた遅延時間分遅延させた周期信号を出力する。可変遅延回路６２は、一例として、電源配線２２上における電流消費部４２への配線の分岐部分の電源電圧に応じて、基準クロックの遅延時間を変化させる。可変遅延回路６２は、直列に接続された複数のバッファであってもよい。この場合、複数のバッファは、電源配線２２から電源電圧が供給され、供給された電源電圧により駆動する。
【００３４】
遅延量調整部６４は、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに可変遅延回路６２から出力されるべき周期信号の遅延量を調整する。より具体的には、遅延量調整部６４は、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに可変遅延回路６２から出力されるべき周期信号の遅延時間が、基準クロックの整数倍の周期または整数分の１の周期と一致するように調整する。また、この場合、遅延量調整部６４は、可変遅延回路６２から出力される周期信号の遅延時間を周波数カウンタで測定して、対象回路３０の電源電圧が予め定められた電圧のときに可変遅延回路６２から出力されるべき周期信号の遅延時間を調整してもよい。
【００３５】
図４（Ａ）は対象回路３０の消費電流の時間変化を示し、図４（Ｂ）は補償装置４０に流れる電流の時間変化を示し、図４（Ｃ）は対象回路３０の消費電流および補償装置４０に流れる電流の合計電流の時間変化を示す。
【００３６】
対象回路３０は、スタンバイ状態においては、例えば、リーク電流、アナログ回路のＤＣ電流およびクロックの入力に関わる電流等を消費する。従って、図４（Ａ）のスタンバイ期間に示されるように、対象回路３０は、スタンバイ状態においては、消費する電流の変動が少なく安定している。
【００３７】
これに対して、対象回路３０は、アクティブ状態においては、基本的に全ての回路が動作する。従って、図４（Ａ）のアクティブ期間に示されるように、対象回路３０は、アクティブ状態においては、動作率およびマーク率によって消費電流が大きく変動する。
【００３８】
また、図４（Ｂ）のアクティブ期間に示されるように、補償装置４０は、アクティブ期間においては、アクティブ時の基準電流量（第１設定値）を中心として、対象回路３０の消費電流と同一の絶対値であって逆符号の電流を流す。これにより、補償装置４０は、図４（Ｃ）のアクティブ期間に示されるように、対象回路３０による消費電流の変化を相殺して、対象回路３０に流れる電流と当該補償装置４０に流れる電流との合計電流を、一定とすることができる。これにより、補償装置４０は、対象回路３０の消費電流の変化による電源ノイズを抑制することができる。
【００３９】
また、図４（Ｂ）のスタンバイ期間に示されるように、補償装置４０は、スタンバイ期間においては、スタンバイ時の基準電流量（第２設定値、例えば０）を流す。これにより、図４（Ｃ）のスタンバイ期間に示されるように、補償装置４０は、合計電流を非常に小さくすることができる。
【００４０】
また、図４（Ｂ）の遷移期間（増加）に示されるように、補償装置４０の設定部４６は、スタンバイ期間からアクティブ期間へと移る遷移期間においては、基準電流量を第２設定値から第１設定値へと徐々に増加させる。また、図４（Ｂ）の遷移期間（減少）に示されるように、補償装置４０の設定部４６は、アクティブ期間からスタンバイ期間へと移る遷移期間においては、基準電流量を第１設定値から第２設定値へと徐々に減少させる。
【００４１】
ここで、設定部４６は、対象回路３０がアクティブ状態となる前に基準電流量を増加させて、対象回路３０がアクティブ状態となった時点においては、基準電流量を第１設定値としている。また、設定部４６は、対象回路３０がスタンバイ状態となった後に基準電流量を減少させて、対象回路３０がアクティブ状態である時点においては、基準電流量を第１設定値としている。これにより、設定部４６は、対象回路３０がアクティブ状態において、確実に、消費電流を補償することができる。
【００４２】
さらに、設定部４６は、基準電流量を変化させる場合、電源装置２０の時定数よりも大きな時定数により変化させる。即ち、設定部４６は、電源装置２０の応答帯域の上限よりも低い帯域で、基準電流量を変化させる。更に、言い換えれば、設定部４６は、電源装置２０の応答速度の上限よりも低い速度で基準電流量を変化させる。これにより、設定部４６は、電流消費部４２の基準電流量の変化によって電源配線２２上の電源電圧の変動が生じないので、電流制御部４４の回路が応答せずに、精度良く基準電流量を設定することができる。
【００４３】
図５は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を被試験デバイス２００とともに示す。本実施形態の試験装置１００は、試験装置本体部１１０と、パフォーマンスボード１２０と、ボード上補償装置１３０とを備え、被試験デバイス２００を試験する。
【００４４】
試験装置本体部１１０は、被試験デバイス２００を試験するための試験信号を発生して、被試験デバイス２００に印加する。更に、試験装置本体部１１０は、試験信号を印加したことに応じて被試験デバイス２００から出力される応答信号を取得し、取得した応答信号を期待値と比較して被試験デバイス２００の良否を判定する。
【００４５】
パフォーマンスボード１２０は、被試験デバイス２００を載置する。パフォーマンスボード１２０は、被試験デバイス２００と試験装置本体部１１０との間を接続するための配線が形成されている。また、パフォーマンスボード１２０は、被試験デバイス２００に電源電圧を供給するための電源配線１２２が形成されている。
【００４６】
ボード上補償装置１３０は、パフォーマンスボード１２０上における被試験デバイス２００の近傍に設けられる。ボード上補償装置１３０は、電源配線１２２に流れる電流を消費して被試験デバイス２００の消費電流を補償する。これにより、ボード上補償装置１３０は、被試験デバイス２００の消費電流の変動に応じた電源ノイズの発生を抑制することができる。なお、ボード上補償装置１３０は、図１〜図４を参照して説明した補償装置４０と同一の機能および構成を有しており、詳細な説明を省略する。
【００４７】
さらに、ボード上補償装置１３０内の設定部４６は、被試験デバイス２００から、パフォーマンスボード１２０上の配線を介して、当該被試験デバイス２００のモードを示すモード信号を受け取る。そして、ボード上補償装置１３０は、受け取ったモード信号に応じて基準電流量を変更する。これにより、ボード上補償装置１３０は、試験装置本体部１１０の制御負担を軽減し、更に、試験装置本体部１１０とボード上補償装置１３０との間の制御線を無くすことができる。なお、ボード上補償装置１３０は、試験装置本体部１１０からの制御に応じて基準電流量を変更するものであってもよい。また、ボード上補償装置１３０は、試験装置本体部１１０からモードを示すモード信号を受け取ってもよい。
【００４８】
また、ボード上補償装置１３０の設定部４６は、被試験デバイス２００に電源ノイズを印加する耐性試験において、電流消費部４２により消費される電流を予め定められたパターンに応じて変化させてもよい。例えば、ボード上補償装置１３０の設定部４６は、メモリ等に記録されたパターンに応じてカウント値の値を変更する。これにより、試験装置１００は、比較的に容易にノイズ耐性試験を実行させることができる。
【００４９】
図６は、本実施形態に係る試験装置本体部１１０の構成を示す。試験装置本体部１１０は、タイミング発生器１４０と、パターン発生器１４２と、信号供給部１４４と、信号取得部１４６と、電源装置１５０と、本体内補償装置１６０とを有する。
【００５０】
タイミング発生器１４０は、試験信号の発生タイミングの基準となるタイミング信号および応答信号と期待値とを比較タイミングの基準となるストローブ信号を発生する。パターン発生器１４２は、試験信号の波形パターンを表すパターン信号および応答信号の期待値を表す期待値信号を発生する。
【００５１】
信号供給部１４４は、タイミング発生器１４０により発生されたタイミング信号およびパターン発生器１４２により発生されたパターン信号に基づき、被試験デバイス２００に印加すべき試験信号を生成する。そして、信号供給部１４４は、生成した試験信号を被試験デバイス２００に印加する。
【００５２】
信号取得部１４６は、被試験デバイス２００から出力された応答信号を取得する。そして、信号取得部１４６は、タイミング発生器１４０により発生されたストローブ信号のタイミングにおいて、応答信号の論理値とパターン発生器１４２により発生された期待値とを比較して、被試験デバイス２００の良否を判定する。
【００５３】
電源装置１５０は、タイミング発生器１４０の駆動電圧となる直流の電源電圧を発生する。電源装置１５０は、発生した電源電圧を電源配線１５２を介してタイミング発生器１４０に供給する。
【００５４】
本体内補償装置１６０は、タイミング発生器１４０の近傍に設けられる。本体内補償装置１６０は、電源配線１５２に流れる電流を消費してタイミング発生器１４０の消費電流を補償する。これにより、本体内補償装置１６０は、タイミング発生器１４０の消費電流の変動に応じた電源ノイズの発生を抑制することができる。なお、本体内補償装置１６０は、図１〜図４を参照して説明した補償装置４０と同一の機能および構成を有しており、詳細な説明を省略する。
【００５５】
さらに、本体内補償装置１６０の設定部４６は、当該試験装置本体部１１０を制御する制御装置から、基準電流量を変更するための制御信号を受け取る。本体内補償装置１６０の設定部４６は、制御装置からの制御に対応して、被試験デバイスを試験する場合に、予め定められた精度に応じて基準電流量を変化させる。例えば、本体内補償装置１６０の設定部４６は、制御装置からの制御に応じて、予め定められた精度以上のタイミングで被試験デバイスを試験する場合に、基準電流量を予め定められた値に設定し、他の試験においては基準電流量を０とする。
【００５６】
即ち、本体内補償装置１６０の補償装置４０は、比較的にタイミング精度が厳しい試験を実行する場合には、タイミング発生器１４０を補償して電源ノイズを抑制した状態で試験を実行させる。また、本体内補償装置１６０の補償装置４０は、比較的にタイミング精度が緩い試験を実行する場合には、タイミング発生器１４０を補償せずに、消費電力が低い状態で試験を実行させる。これにより、本体内補償装置１６０は、試験内容に応じて消費電力を制御することができる。
【００５７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５８】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００５９】
１０  電源補償システム、２０  電源装置、２２  電源配線、３０  対象回路、４０  補償装置、４２  電流消費部、４４  電流制御部、４６  設定部、５２  発振器、５４  周期調整部、５６  位相比較器、５８  カウンタ部、６２  可変遅延回路、６４  遅延量調整部、１００  試験装置、１１０  試験装置本体部、１２０  パフォーマンスボード、１２２  電源配線、１３０  ボード上補償装置、１４０  タイミング発生器、１４２  パターン発生器、１４４  信号供給部、１４６  信号取得部、１５０  電源装置、１５２  電源配線、１６０  本体内補償装置、２００  被試験デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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