(57)【要約】【課題】外部から基板を受け入れる際に、クリーンルーム内の空気清浄度の低下を抑制する。【解決手段】壁部１３１は、クリーンルーム１０１の外部と内部とを区切っている。空気調整部１６０は、クリーンルーム１０１の内部の空気清浄度を外部の空気清浄度より高くし、かつ、内部の気圧を外部の気圧より高くしている。開口部１４１は、壁部１３１の一部に位置している。搬送コンベア６００は、開口部１４１を通じて基板４００を搬送するように、壁部１３１を挟んでクリーンルーム１０１の外部および内部に配置されている。整流部７００，７１０は、壁部１３１におけるクリーンルーム１０１の内部側において、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の少なくとも一方の主面に対向する開口部１４１の縁に配置され、空気調整部１６０によるクリーンルーム１０１の内部と外部との気圧差により発生する気流１７１，１７２の流速を増加させている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から基板を受け入れて内部で基板が処理されるクリーンルームであって、
外部と内部とを区切る壁部と、
内部の空気清浄度を外部の空気清浄度より高くし、かつ、内部の気圧を外部の気圧より高くする、空気調整部と、
前記壁部の一部に位置する開口部と、
前記開口部を通じて基板を搬送するように、前記壁部を挟んで外部および内部に配置された基板搬送部と、
前記壁部の内部側において、前記基板搬送部により搬送される基板の少なくとも一方の主面に対向する前記開口部の縁に配置され、前記空気調整部による内部と外部との気圧差により発生する気流の流速を増加させる整流部と
を備えた、クリーンルーム。
【請求項２】
前記整流部は、前記基板搬送部により搬送される基板の少なくとも一方の主面に対向する前記開口部の縁に沿って延設され、前記主面に対面する整流面を有する、請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記整流面は、前記主面に対して、０°より大きく６０°以下の傾斜角を有する、請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記整流面は、基板の搬送方向における該整流面の中央部の方が両端部より基板側に凸状に湾曲した湾曲面である、請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記整流部においては、基板の搬送方向における長さが前記壁部の厚さの２倍以上である、請求項１から４のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項６】
前記整流部においては、基板の搬送方向と直交する方向における幅が、該方向の基板の幅以上である、請求項１から５のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項７】
前記整流部は、前記整流面の前記傾斜角を調節可能なように前記壁部に取付けられている、請求項３に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに関し、特に、内部が陽圧に保たれているクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
外部からの異物の浸入を抑制するために、外部より気圧が高い陽圧状態を保持したクリーンルームを開示した先行文献として、特許文献１がある。特許文献１に記載されたクリーンルームにおいては、常時、クリーンルーム内の気圧を検出し、外調機の送風ファンの回転数を変化させることにより、外部よりも気圧が一定値だけ高い陽圧状態になるように内部の気圧をコントロールしている。
【０００３】
内部の空気清浄度が異なる複数のクリーンルームが、互いに隣接して設けられる場合がある。この場合、空気清浄度が高い方のクリーンルーム内の気圧が、空気清浄度が低い方のクリーンルーム内の気圧より高くすることにより、空気清浄度が高い方のクリーンルーム内の空気清浄度が低下することを抑制している。
【０００４】
図６は、従来のクリーンルームの構成を示す一部断面図である。図６に示すように、従来のクリーンルームにおいては、内部の空気清浄度がクリーン度１０であり空気清浄度の比較的高いクリーンルーム１００と、内部の空気清浄度がクリーン度５０００であり空気清浄度の比較的低いクリーンルーム５００とが隣接して設けられている。
【０００５】
クリーンルーム１００においては、天井部１１０、床部１２０、および、天井部１１０と床部１２０とを繋ぐ壁部１３０により部屋空間が形成されている。クリーンルーム５００においては、天井部５１０、床部５２０、および、天井部５１０と床部５２０とを繋ぐ壁部１３０により部屋空間が形成されている。クリーンルーム１００とクリーンルーム５００とは、壁部１３０により区切られている。
【０００６】
クリーンルーム１００の天井部１１０には配管１５０の一端が接続され、配管１５０の他端が空気調整部１６０に接続されている。空気調整部１６０によりクリーンルーム１００の内部の空気清浄度がクリーン度１０になるように調整されている。
【０００７】
クリーンルーム５００の天井部５１０には配管５５０の一端が接続され、配管５５０の他端が空気調整部５６０に接続されている。空気調整部５６０によりクリーンルーム５００の内部の空気清浄度がクリーン度５０００になるように調整されている。
【０００８】
空気調整部１６０と空気調整部５６０とは、クリーンルーム１００の内部の気圧がクリーンルーム５００の内部の気圧より高くなるように調節されている。壁部１３０には、開口部１４０が設けられている。上記のクリーンルーム１００の内部とクリーンルーム５００の内部との気圧差により、開口部１４０の近傍において、クリーンルーム１００側からクリーンルーム５００側に向かう気流１７０が発生する。
【０００９】
クリーンルーム１００の内部においては、複数の基板４００を水平に収容するカセット３００が、カセット台２００に載置されている。カセット台２００は、カセット３００を上下に移動させることができる。クリーンルーム５００の内部においては、カセット３００がカセット台２００に載置されている。
【００１０】
クリーンルーム５００からクリーンルーム１００に開口部１４０を通じて基板４００を搬送するように、壁部１３０を挟んで、クリーンルーム５００の内部およびクリーンルーム１００の内部に搬送コンベア６００が配置されている。搬送コンベア６００は、ローラ上に基板４００を載置しつつ、図６中における白抜きの矢印で示す向きに基板４００を搬送する。
【００１１】
クリーンルーム５００内のカセット３００においては、カセット３００の下側から順に基板４００が取出される。そのため、カセット３００内において最も下側に収容されている基板４００が、搬送コンベア６００のローラ上に載置されるように、クリーンルーム５００内のカセット台２００の高さが調節される。
【００１２】
搬送コンベア６００により、クリーンルーム１００内に搬送された基板４００は、カセット３００の上側から順に収容される。そのため、搬送されてくる基板４００が、カセット３００内の基板４００を収容する位置の最上段に収容されるように、クリーンルーム１００内のカセット台２００の高さが調節される。
【００１３】
クリーンルーム５００内のカセット台２００は、カセット３００内から基板４００が１枚取出される度に、カセット３００内において最も下側に収容されている基板４００が、搬送コンベア６００のローラ上に載置されるように下降する。
【００１４】
一方、クリーンルーム１００内のカセット台２００は、カセット３００内に基板が１枚収容される度に、次に搬送されてくる基板４００がカセット３００内において基板４００をまだ収容していない基板収容位置のうち最も上段の位置に収容されるように上昇する。
【００１５】
上記のように、基板４００がクリーンルーム５００内のカセット３００から、クリーンルーム１００内のカセット３００に移送される。クリーンルーム１００内のカセット３００に移送された基板４００は、クリーンルーム１００内において、図示しない基板処理装置において処理される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開平１０−９６３３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
図６に示すような従来のクリーンルームにおいては、空気清浄度の高い方のクリーンルーム内の気圧が、空気清浄度が低い方のクリーンルーム内の気圧より高くすることにより、空気清浄度の高い方のクリーンルームから空気清浄度の低い方のクリーンルームに向かう気流を発生させて、空気清浄度が高い方のクリーンルーム内の空気清浄度が低下することを抑制している。
【００１８】
しかし、空気清浄度の低い方のクリーンルームから空気清浄度の高い方のクリーンルームに基板を搬送する際に、基板とともに清浄度の低い空気および基板に付着しているダストなどが空気清浄度の高い方のクリーンルームに流入する。その結果、空気清浄度の高い方のクリーンルームの空気清浄度が低下する問題があった。
【００１９】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、外部から基板を受け入れる際に、クリーンルーム内の空気清浄度の低下を抑制することができるクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に基づくクリーンルームは、外部から基板を受け入れて内部で基板が処理されるクリーンルームである。クリーンルームは、壁部と空気調整部と開口部と基板搬送部と整流部とを備えている。壁部は、クリーンルームの外部と内部とを区切っている。空気調整部は、クリーンルームの内部の空気清浄度を外部の空気清浄度より高くし、かつ、内部の気圧を外部の気圧より高くしている。開口部は、壁部の一部に位置している。基板搬送部は、開口部を通じて基板を搬送するように、壁部を挟んでクリーンルームの外部および内部に配置されている。整流部は、壁部におけるクリーンルームの内部側において、基板搬送部により搬送される基板の少なくとも一方の主面に対向する開口部の縁に配置され、空気調整部によるクリーンルームの内部と外部との気圧差により発生する気流の流速を増加させている。
【００２１】
好ましくは、整流部は、基板搬送部により搬送される基板の少なくとも一方の主面に対向する開口部の縁に沿って延設され、主面に対面する整流面を有している。
【００２２】
本発明の一形態においては、整流面は、上記主面に対して、０°より大きく６０°以下の傾斜角を有している。
【００２３】
本発明の一形態においては、整流面は、基板の搬送方向における整流面の中央部の方が両端部より基板側に凸状に湾曲した湾曲面である。
【００２４】
好ましくは、整流部においては、基板の搬送方向における長さが壁部の厚さの２倍以上である。
【００２５】
好ましくは、整流部においては、基板の搬送方向と直交する方向における幅がこの方向の基板の幅以上である。
【００２６】
本発明の一形態においては、整流部は、整流面の上記傾斜角を調節可能なように壁部に取付けられている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、外部から基板を受け入れる際に、クリーンルーム内の空気清浄度の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係るクリーンルームの構成を示す一部断面図である。
【図２】同実施形態に係るクリーンルームの開口部周辺をクリーンルーム１０１側から見た側面図である。
【図３】同実施形態に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態３に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。
【図６】従来のクリーンルームの構成を示す一部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明に係るクリーンルームの実施形態１について図面を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰返さない。
実施形態１
図１は、本発明の実施形態１に係るクリーンルームの構成を示す一部断面図である。図１に示すように、本発明の実施形態１に係るクリーンルームにおいては、内部の空気清浄度がクリーン度１０であり空気清浄度の比較的高いクリーンルーム１０１と、内部の空気清浄度がクリーン度５０００であり空気清浄度の比較的低いクリーンルーム５００とが隣接して設けられている。
【００３０】
クリーンルーム１０１においては、天井部１１０、床部１２０、および、天井部１１０と床部１２０とを繋ぐ壁部１３１により部屋空間が形成されている。クリーンルーム５００においては、天井部５１０、床部５２０、および、天井部５１０と床部５２０とを繋ぐ壁部１３１により部屋空間が形成されている。クリーンルーム１０１とクリーンルーム５００とは、壁部１３１により区切られている。
【００３１】
クリーンルーム１０１の天井部１１０には配管１５０の一端が接続され、配管１５０の他端が空気調整部１６０に接続されている。空気調整部１６０によりクリーンルーム１０１の内部の空気清浄度がクリーン度１０になるように調整されている。
【００３２】
クリーンルーム５００の天井部５１０には配管５５０の一端が接続され、配管５５０の他端が空気調整部５６０に接続されている。空気調整部５６０によりクリーンルーム５００の内部の空気清浄度がクリーン度５０００になるように調整されている。
【００３３】
空気調整部１６０と空気調整部５６０とは、クリーンルーム１０１の内部の気圧がクリーンルーム５００の内部の気圧より高くなるように調節されている。壁部１３１には、開口部１４１が設けられている。上記のクリーンルーム１０１の内部とクリーンルーム５００の内部との気圧差により、開口部１４１の近傍において、クリーンルーム１０１側からクリーンルーム５００側に向かう気流１７１および気流１７２が発生する。気流１７１は、基板４００の上面側に発生する気流であり、気流１７２は、基板４００の下面側に発生する気流である。
【００３４】
クリーンルーム１０１の内部においては、複数の基板４００を水平に収容するカセット３００が、カセット台２００に載置されている。カセット台２００は、カセット３００を上下に移動させることができる。クリーンルーム５００の内部においては、カセット３００がカセット台２００に載置されている。
【００３５】
クリーンルーム５００からクリーンルーム１０１に開口部１４１を通じて基板４００を搬送するように、壁部１３１を挟んで、クリーンルーム５００の内部およびクリーンルーム１０１の内部に基板搬送部である搬送コンベア６００が配置されている。搬送コンベア６００は、ローラ上に基板４００を載置しつつ、図１中における白抜きの矢印で示す向きに基板４００を搬送する。
【００３６】
クリーンルーム５００内のカセット３００においては、カセット３００の下側から順に基板４００が取出される。そのため、カセット３００内において最も下側に収容されている基板４００が、搬送コンベア６００のローラ上に載置されるように、クリーンルーム５００内のカセット台２００の高さが調節される。
【００３７】
搬送コンベア６００により、クリーンルーム１０１内に搬送された基板４００は、カセット３００の上側から順に収容される。そのため、搬送されてくる基板４００が、カセット３００内の基板４００を収容する位置の最上段に収容されるように、クリーンルーム１０１内のカセット台２００の高さが調節される。
【００３８】
クリーンルーム５００内のカセット台２００は、カセット３００内から基板４００が１枚取出される度に、カセット３００内において最も下側に収容されている基板４００が、搬送コンベア６００のローラ上に載置されるように下降する。
【００３９】
一方、クリーンルーム１００内のカセット台２００は、カセット３００内に基板が１枚収容される度に、次に搬送されてくる基板４００がカセット３００内において基板４００をまだ収容していない基板収容位置のうち最も上段の位置に収容されるように上昇する。
【００４０】
上記のように、基板４００がクリーンルーム５００内のカセット３００から、クリーンルーム１０１内のカセット３００に移送される。クリーンルーム１０１内のカセット３００に移送された基板４００は、クリーンルーム１０１内において、図示しない基板処理装置において処理される。
【００４１】
本実施形態においては、壁部１３１の一部に位置する開口部１４１は、基板４００を搬送コンベア６００で搬送するために最低限必要な大きさで設けられている。具体的には、開口部１４１の上下方向の長さは約５０ｍｍとした。開口部１４１の大きさを小さくすることにより、開口部１４１を通過する際の気流１７１の流速を大きくすることができる。また、空気清浄度の低い空気およびダストなどがクリーンルーム１０１内に流入可能な開口部１４１の面積を減少させることができる。
【００４２】
また、壁部１３１におけるクリーンルーム１０１の内部側に、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上面側の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７００が配置されている。また、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下面側の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７１０が配置されている。
【００４３】
整流部７００は、基板４００の上面側の主面に対面する整流面７０１を有している。整流面７０１は、開口部１４１に向かって気流１７１の流速を増加させるために、気流１７１の流動方向において気流１７１の流路が狭くなるように形成されている。整流部７００は、空気調整部１６０および空気調整部５６０によるクリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１７１の流速を増加させる。
【００４４】
整流部７１０は、基板４００の下面側の主面に対面する整流面７１１を有している。整流面７１１は、開口部１４１に向かって気流１７２の流速を増加させるために、気流１７２の流動方向において気流１７２の流路が狭くなるように形成されている。整流部７１０は、空気調整部１６０および空気調整部５６０によるクリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１７２の流速を増加させる。
【００４５】
このように、クリーンルーム１０１からクリーンルーム５００に向かう気流１７１，１７２の流速を増加させることにより、開口部１４１にいわゆるエアーカーテンを形成することができる。その結果、搬送されてくる基板４００とともに清浄度の低い空気および基板に付着しているダストなどがクリーンルーム１０１に流入することを抑制することができる。
【００４６】
本実施形態においては、整流部７００と整流部７１０とを配置したが、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の少なくとも一方の主面に対向する開口部の縁に整流部が配置されていればよい。そのため、整流部７００または整流部７１０のどちらか一方のみを配置するようにしてもよい。好ましくは、基板処理が行なわれる側の主面に対向する開口部の縁に整流部が配置されている。
【００４７】
図２は、本実施形態に係るクリーンルームの開口部周辺をクリーンルーム１０１側から見た側面図である。図２に示すように、本実施形態の整流部７００は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。また、整流部７００においては、基板４００の搬送方向と直交する方向における幅Ｌ0が基板４００の幅ＬS以上となるように形成されている。この構成により、基板の上面の全体において流速が増加された気流１７１を発生させることができる。
【００４８】
本実施形態の整流部７１０は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。また、整流部７１０においては、基板４００の搬送方向と直交する方向における幅Ｌ0が基板４００の幅ＬS以上となるように形成されている。この構成により、基板の下面の全体において流速が増加された気流１７２を発生させることができる。
【００４９】
本実施形態においては、整流部７００の上記幅と整流部７１０の上記幅とを同一としたが、必ずしも同一でなくてもよい。
【００５０】
図３は、本実施形態に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。図３に示すように、本実施形態に係るクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７００が配置されている。
【００５１】
整流部７００の基板４００の主面に対面する整流面７０１は、基板４００の主面に対して傾斜角αを有している。傾斜角αは、０°より大きく６０°以下であることが好ましい。
【００５２】
傾斜角αが大きくなるに従って、基板４００の主面に対して垂直方向に流れる気流成分が大きくなり、基板４００に付着したダストの除去力が大きくなる。ただし、傾斜角αが大きくなるに従って、基板４００の主面に対して水平方向に流れる気流成分が小さくなり、基板４００の主面から除去したダストをクリーンルーム５００側に排除する排出力が小さくなる。よって、傾斜角αは、処理される基板４００によって、適宜、０°＜α≦６０°の範囲内において設定されることが望ましい。
【００５３】
整流部７００においては、基板４００の搬送方向における長さＬ1が、壁部１３１の厚さＨの２倍以上であることが好ましい。長さＬ1が厚さＨの２倍より小さい場合、整流面７０１と気流１７１との接触長さを十分に確保することができないため、整流部７００による気流１７１の整流効果を得ることができない。ここで、整流効果とは、気流が乱流になることを十分に抑制することをいう。
【００５４】
整流部７００の長さＬ1を壁部１３１の厚さＨの２倍以上とすることにより、気流１７１を整えて、清浄度の低い空気および基板４００から除去したダストなどを安定して、クリーンルーム５００側に排出することができる。
【００５５】
本実施形態に係るクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７１０が配置されている。
【００５６】
整流部７１０の基板４００の主面に対面する整流面７１１は、基板４００の主面に対して傾斜角βを有している。傾斜角βは、０°より大きく６０°以下であることが好ましい。
【００５７】
傾斜角βが大きくなるに従って、基板４００の主面に対して垂直方向に流れる気流成分が大きくなり、基板４００に付着したダストの除去力が大きくなる。ただし、傾斜角βが大きくなるに従って、基板４００の主面に対して水平方向に流れる気流成分が小さくなり、基板４００の主面から除去したダストをクリーンルーム５００側に排除する排出力が小さくなる。
【００５８】
整流部７１０が配置される基板４００の下面側においては、搬送コンベア６００に含まれる搬送ローラ６１０と搬送ローラ６１０を支持する軸部６２０が配置されている。傾斜角βが小さくした場合、後述するように基板４００の搬送方向における整流部７１０の長さＬ2を長くして、整流面７１１と気流１７２との接触長さを確保することが好ましい。
【００５９】
整流部７１０の長さＬ2が長くした場合、整流部７１０と干渉しないように搬送ローラ６１０および軸部６２０を設けるために、クリーンルーム５００内において壁部１３１の最も近傍に配置された搬送ローラ６１０と、クリーンルーム１０１内において壁部１３１の最も近傍に配置された搬送ローラ６１０との間の距離が長くなる。
【００６０】
上記のようにクリーンルーム５００内の搬送ローラ６１０と、クリーンルーム１０１内の搬送ローラ６１０との間の距離が長くなった場合、基板４００がクリーンルーム５００からクリーンルーム１０１内に搬送される際に、基板４００のバタツキが大きくなり好ましくない。
【００６１】
具体的には、クリーンルーム５００内の搬送ローラ６１０上を通過した基板４００の搬送方向の先頭側は、重力により下方にたわむ。クリーンルーム１００内の搬送ローラ６１０までの距離が長くなっている場合、このたわみ量が大きくなるため、クリーンルーム１００内の搬送ローラ６１０上に基板４００の搬送方向先頭側が乗り上げる際の衝撃が大きくなる。
【００６２】
そのため、傾斜角βは、処理される基板４００および整流部７１０の長さＬ2との兼ね合いを考慮して、適宜、０°＜β≦６０°の範囲内において設定されることが望ましい。
【００６３】
整流部７１０においては、基板４００の搬送方向における長さＬ2が、壁部１３１の厚さＨの２倍以上であることが好ましい。長さＬ2が厚さＨの２倍より小さい場合、整流面７１１と気流１７２との接触長さを十分に確保することができないため、整流部７１０による気流１７２の整流効果を得ることができない。
【００６４】
整流部７１０の長さＬ2を壁部１３１の厚さＨの２倍以上とすることにより、気流１７２を整えて、清浄度の低い空気および基板４００から除去したダストなどを安定して、クリーンルーム５００側に排出することができる。
【００６５】
整流部７００を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１７３は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００上に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００６６】
同様に、整流部７１０を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１７４は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００の下側に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００６７】
本実施形態においては、空気清浄度が異なるクリーンルームが隣接して設けられている場合について説明したが、クリーンルームの１０１の外部が通常の部屋または屋外であってもよい。
【００６８】
以下、本発明に係るクリーンルームの実施形態２について図面を参照して説明する。
実施形態２
図４は、本発明の実施形態２に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。図４に示すように、本発明の実施形態２に係るクリーンルームにおいては、整流部の整流面が、基板の搬送方向における整流面の中央部の方が両端部より基板側に凸状に湾曲した湾曲面である。その他の構成については、実施形態１のクリーンルームと同様であるため説明を繰返さない。
【００６９】
本実施形態のクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７２０が配置されている。整流部７２０は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。
【００７０】
整流部７２０は、基板４００の上面側の主面に対面する整流面７２１を有している。整流面７２１は、開口部１４１に向かって気流１７５の流速を増加させるために、気流１７５の流動方向において気流１７５の流路が狭くなるように形成されている。整流部７２０は、クリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１７５の流速を増加させる。
【００７１】
具体的には、整流面７２１は、基板４００の搬送方向における整流面７２１の中央部７２２の方が両端部より基板４００側に凸状に湾曲している。
【００７２】
本実施形態のクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７３０が配置されている。整流部７３０は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。
【００７３】
整流部７３０は、基板４００の下面側の主面に対面する整流面７３１を有している。整流面７３１は、開口部１４１に向かって気流１７６の流速を増加させるために、気流１７６の流動方向において気流１７６の流路が狭くなるように形成されている。整流部７３０は、クリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１７６の流速を増加させる。
【００７４】
具体的には、整流面７３１は、基板４００の搬送方向における整流面７３１の中央部７３２の方が両端部より基板４００側に凸状に湾曲している。
【００７５】
上記のように、整流部７２０と整流部７３０とを配置することにより、上下方向における整流部７２０の端部と整流部７３０の端部との間の距離Ａの範囲に存在する空気を、整流部７２０の整流面７２１または整流部７３０の整流面７３１に沿って流動させることができる。つまり、広い範囲から空気を集めて、開口部１４１に向けて流動させることが可能となる。
【００７６】
また、整流部７２０と整流部７３０とを配置することにより、上下方向における気流の流路の長さは、整流部７２０の中央部７２２と整流部７３０の中央部７３２との間の距離Ｂとなる。この距離Ｂは、開口部１４１の上下方向の長さより小さいことが好ましい。この場合、整流部７２０と整流部７３０との間を通過する気流の流路をより狭くすることができるため、さらに気流の流速を増加させることができる。
【００７７】
整流部７２０を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１７７は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００上に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００７８】
同様に、整流部７３０を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１７８は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００の下側に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００７９】
以下、本発明に係るクリーンルームの実施形態３について図面を参照して説明する。
実施形態３
図５は、本発明の実施形態３に係るクリーンルームの開口部周辺を示す断面図である。図５に示すように、本発明の実施形態３に係るクリーンルームにおいては、整流部は、整流面の傾斜角を調節可能なように壁部に取付けられている。その他の構成については、実施形態１のクリーンルームと同様であるため説明を繰返さない。
【００８０】
本実施形態のクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７４０が配置されている。整流部７４０は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の上面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。
【００８１】
整流部７４０は、基板４００の上面側の主面に対面する整流面７４１を有している。整流面７４１は、開口部１４１に向かって気流１８０の流速を増加させるために、気流１８０の流動方向において気流１８０の流路が狭くなるように形成されている。整流部７４０は、クリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１８０の流速を増加させる。
【００８２】
整流部７４０は、取付部１３３を介して壁部１３２に取付けられている。取付部１３３は、整流面７４１と基板４００の主面に対する傾斜角γが調節可能なように、整流部７４０を保持している。たとえば、取付部１３３と整流部７４０とが、ボールジョイントにより接続されている。
【００８３】
傾斜角γを大きくするに従って、基板４００の主面に対して垂直方向に流れる気流成分が大きくなり、基板４００に付着したダストの除去力が大きくなる。ただし、傾斜角γを大きくするに従って、基板４００の主面に対して水平方向に流れる気流成分が小さくなり、基板４００の主面から除去したダストをクリーンルーム５００側に排除する排出力が小さくなる。よって、傾斜角γは、処理される基板４００によって、適宜、０°＜γ≦６０°の範囲内において調節されることが望ましい。
【００８４】
本実施形態のクリーンルームにおいては、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下方の主面に対向する開口部１４１の縁に整流部７５０が配置されている。整流部７５０は、搬送コンベア６００により搬送される基板４００の下面側の主面に対向する開口部１４１の縁に沿って延設されている。
【００８５】
整流部７５０は、基板４００の下面側の主面に対面する整流面７５１を有している。整流面７５１は、開口部１４１に向かって気流１８１の流速を増加させるために、気流１８１の流動方向において気流１８１の流路が狭くなるように形成されている。整流部７５０は、クリーンルーム１０１内とクリーンルーム５００内との気圧差により発生する気流１８１の流速を増加させる。
【００８６】
整流部７５０は、取付部１３４を介して壁部１３２に取付けられている。取付部１３４は、整流面７５１と基板４００の主面に対する傾斜角ωが調節可能なように、整流部７５０を保持している。たとえば、取付部１３４と整流部７５０とが、ボールジョイントにより接続されている。
【００８７】
傾斜角ωが大きくするに従って、基板４００の主面に対して垂直方向に流れる気流成分が大きくなり、基板４００に付着したダストの除去力が大きくなる。ただし、傾斜角ωを大きくするに従って、基板４００の主面に対して水平方向に流れる気流成分が小さくなり、基板４００の主面から除去したダストをクリーンルーム５００側に排除する排出力が小さくなる。よって、傾斜角ωは、処理される基板４００によって、適宜、０°＜ω≦６０°の範囲内において調節されることが望ましい。
【００８８】
整流部７４０を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１８２は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００上に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００８９】
同様に、整流部７５０を配置したことにより、開口部１４１を通過直後の気流１８３は、開口部１４１を通過する前に比べて流速が増加され、かつ、整流にされている。その結果、開口部１４１において基板４００の下側に均一性の高い強力なエアーカーテンが形成される。そのため、基板４００の搬送に伴ってクリーンルーム５００側から空気清浄度の低い空気および基板４００上に付着したダストなどが、クリーンルーム１０１内に流入することを抑制することができる。よって、クリーンルーム１０１内の空気清浄度が低下することを抑制できる。
【００９０】
本実施形態においては、整流面７４１および整流面７５１の傾斜角を調節可能にしているため、処理される基板４００の種類によって傾斜角を変更して、クリーンルーム内の空気清浄度を維持するために最適な条件で基板搬送を行なうことができる。
【００９１】
なお、今回開示した上記実施形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００９２】
１０１，５００  クリーンルーム、１１０，５１０  天井部、１２０，５２０  床部、１３１，１３２  壁部、１３３，１３４  取付部、１４１  開口部、１５０，５５０  配管、１６０，５６０  空気調整部、１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１８０，１８１，１８２，１８３  気流、２００  カセット台、３００  カセット、４００  基板、６００  搬送コンベア、６１０  搬送ローラ、６２０  軸部、７００，７１０，７２０，７３０，７４０，７５０  整流部、７０１，７１１，７２１，７３１，７４１，７５１  整流面、７２２，７３２  中央部。
【図１】
2013148221.tif 000003
【図２】
2013148221.tif 000004
【図３】
2013148221.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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