(57)【要約】【課題】マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】ノズル３１の上端の真空吸引口３１ａによりペーパー部材３２をマスク１５の下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスク１５に対して相対移動してマスク１５の下面に付着したペーストＰｔを拭き取って除去するマスククリーナ１８が、真空吸引時にノズル３１内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔３４ａを有した一又は複数の整流板３４をノズル３１内に着脱自在に備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、
真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機のマスククリーニング装置。
【請求項２】
基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、
真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の上面に接触させて用いられるスクリーン印刷用のマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置及びこのマスククリーニング装置を備えたスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は基板上の電極に半田等のペーストを印刷する装置であり、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が合致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せ、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、基板に対するスクリーン印刷作業が進むと、マスクの下面に付着したペーストの影響によって印刷状態が不良になってくるおそれがあるため、スクリーン印刷機にはマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置を備えている。このマスククリーニング装置は、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取る構成となっている。
【０００４】
また、このようなマスククリーニング装置の中には、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した板状の整流部がノズル内に固定して設けられたものが知られている（例えば、特許文献１）。このような整流部を有したノズル内の空気の流れ（流速等）は、整流部に設けられた整流孔の大きさや隣接する整流孔同士のピッチ間隔等に応じたものとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１９３５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように整流部を有したノズルを用いてマスククリーニングを行う場合、ノズル内の空気の流れをマスクの種類に応じた最適なものとするためには、整流部の整流孔の大きさや隣接する整流孔同士のピッチ間隔が異なる複数種類のノズルを予め用意したうえで、マスクを変えるごとにノズルを交換する必要があったため、コストが高くなり、作業性もよくないという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のマスククリーニング装置は、基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。
【０００９】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられており、マスクの種類を変えるときにはそのマスクの種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔を有した整流板のみをノズルに対して着脱（交換）すればよいので、マスクごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの平面図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナの斜視図（ｂ）側断面図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナが備えるノズルの拡大斜視図（ｂ）平面図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの斜視図（ｂ）側断面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるマスククリーニング作業の実行手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台１０上に設けられた基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２及び基板搬出コンベア１３、基板保持ユニット１２の上方に設けられたマスクホルダ１４、マスクホルダ１４によって水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の上方に設けられたスキージヘッド１６、マスク１５の下方に設けられたカメラユニット１７及びマスククリーナ１８並びに基台１０内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置１９を備えている。
【００１３】
基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入し（図１中に示す矢印Ｒ１）、基板保持ユニット１２に受け渡す。基板搬出コンベア１３は基板保持ユニット１２から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１中に示す矢印Ｒ２）。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２、基板搬出コンベア１３の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１４】
基板保持ユニット１２は、ＸＹＺロボットから成るユニット移動機構１２ＡによってＸＹ平面内での移動（回転も含む）及びＺ軸方向への移動が自在なユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて基板２のＸ軸方向への搬送及び所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降され、コンベア２２によって作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持する下受け部２４及びＹ軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する一対のクランプ部材２５を備えている。
【００１５】
図３において、マスク１５は基板２上の電極３の配置に対応して設けられた多数のパターン孔１５ｈを有した矩形の金属板から成るマスク本体１５ａ、マスク本体１５ａの周囲に設けられた樹脂（例えばポリエステル）製のメッシュ状の膜部材１５ｂ及び膜部材１５ｂの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠１５ｗから成る。
【００１６】
図３において、マスクホルダ１４は、基台１０の上方をＹ軸方向に延びた断面Ｌ字状の左右一対のレール部材１４ａから成り、マスク１５はこれら左右一対のレール部材１４ａによってＸ軸方向に対向する左右両辺が下方から支持される。
【００１７】
図１及び図２において、スキージヘッド１６は、マスクホルダ１４に保持されたマスク１５の上方領域をＹ軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材４１、ベース部材４１に取り付けられてピストンロッド４２ａをベース部材４１の下方に突出させた２つのスキージ昇降シリンダ４２、各スキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２ａの下端に取り付けられてＸ軸方向に延びたスキージ保持具４３及び各スキージ保持具４３に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る２つのスキージ４４を備えている。
【００１８】
図１及び図２において、カメラユニット１７は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂを備えて成る。カメラユニット１７は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構１７Ａによってマスク１５の下方領域を水平面内方向に移動される。
【００１９】
図４（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１８は、Ｘ軸方向に延びて上端に矩形の真空吸引口３１ａを有したノズル３１及びノズル３１の真空吸引口３１ａに上方から接し、真空吸引口３１ａの開口部を含む幅を有してＹ軸方向に横断して延びたペーパー部材３２を有して成る。ペーパー部材３２のノズル３１の真空吸引口３１ａの上面に接してＹ軸方向に延びた部分はマスククリーナ１８におけるクリーニング面１８ａとなっており、このクリーニング面１８ａは、ノズル３１を挟んでＹ軸方向に対向配置された一対のローラ部材３３（図２も参照）の回転によるペーパー部材３２のＹ軸方向への送り動作によって更新される。
【００２０】
ノズル３１は一対のローラ部材３３とともにＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられており、マスククリーナ１８は、ノズル３１の上端の真空吸引口３１ａによりペーパー部材３２（クリーニング面１８ａ）をマスク１５の下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスク１５に対してＹ軸方向に相対移動することで、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔを拭き取って除去する。
【００２１】
図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１８のノズル３１内には、真空吸引時にノズル３１内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔３４ａを有した長尺の板部材から成る整流板３４が設けられている。この整流板３４は、ノズル３１の長手方向（Ｘ軸方向）の一端部側の壁面に開口して形成された整流板挿入口３１ｂからノズル３１内に挿入され、ノズル３１の内壁面を水平面内方向に延びて設けられた整流板挿入溝３１ｃによって長手方向の両側辺を支持されてノズル３１内に着脱自在に取り付けられる。整流板３４の長手方向（Ｘ軸方向）の一方側の端部に直角に折り曲げられて成る折り曲げ部３４ｂは、整流板３４を整流板挿入溝３１ｃから引き抜くときのつまみ部として利用される。
【００２２】
図５（ｂ）に示すように、本実施の形態では、整流板３４に形成される各整流孔３４ａはその長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０に対して傾いた配置で設けられているが、整流板３４における整流孔３４ａの設け方は特に限定されない。なお、本実施の形態のように、各整流孔３４ａの長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０に対した傾いた方向に延びて設けられていると、各整流孔３４ａの長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０と平行に延びて設けられている場合よりも、マスククリーナ１８をマスク１５に対して相対移動させて（図５（ｂ）中に矢印Ｐ）行うマスククリーニングの際、より多くのマスク１５の下面領域を整流孔３４ａが通過することになるので、効率のよいマスククリーニングを行うことができる。
【００２３】
図４（ｂ）及び図５（ａ）において、整流板挿入溝３１ｃはノズル３１内を上下方向に複数並んで設けられており、ノズル３１内に一又は複数の整流板３４を取り付けることができるようになっている。図４（ａ），（ｂ）はノズル３１の内部に４つの整流板挿入溝３１ｃが上下方向に並んで設けられ、そのうちの２つの整流板挿入溝３１ｃに２つの整流板３４が取り付けられている例であるが、ノズル３１の内部に設けられる整流板挿入溝３１ｃの数は任意であり、取り付けられる整流板３４の数も任意である。
【００２４】
また、ノズル３１は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル３１内の中央部にノズル３１の長手方向に延びる仕切り壁３１ｄが設けられた形状を有していてもよく、この場合には、仕切り壁３１ｄの両側面にも整流板挿入溝３１ｃの一部を形成することで、仕切り壁３１ｄを挟む両位置に整流板３４を取り付けることができる。図６（ａ），（ｂ）のように、ノズル３１内の中央部に仕切り壁３１ｄが設けられている場合には、ノズル３１によるペーパー部材３２のマスク１５の下面への押し付け面積が仕切り壁３１ｄの上面の分だけ増大するので、マスク１５の下面のペーストＰｔの拭き取り効率を向上させることができる。
【００２５】
基板保持ユニット１２のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置１９が下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１２Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１２の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置１９が前述のユニット移動機構１２Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア１１による基板２の搬入動作及び基板搬出コンベア１３による基板２の搬出動作も制御装置１９によってなされる。
【００２６】
図２において、スキージヘッド１６（ベース部材４１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構１６Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ４４のベース部材４１に対する昇降動作は、制御装置１９がそのスキージ４４に対応するスキージ昇降シリンダ４２の作動制御を行ってスキージ保持具４３を上下させることによってなされる。
【００２７】
図２において、カメラユニット１７の水平面内での移動動作は、制御装置１９が前述のカメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置１９によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置１９に送信されて制御装置１９の画像認識部１９ａにおいて画像認識処理される。
【００２８】
マスククリーナ１８の水平面内での移動と昇降移動は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーナ１８が備えるペーパー部材３２の送り動作は、制御装置１９が前述の一対のローラ部材３３を作動させることによってなされる。
【００２９】
マスククリーナ１８のノズル３１による真空吸引動作は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構１８Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。ノズル３１による真空吸引動作が行われると、ノズル３１の真空吸引口３１ａから吸い込まれた空気は整流板３４に設けられた整流孔３４ａを通過してノズル３１内を下方に流れるが（図４（ｂ）及び図６（ｂ）中に示す矢印Ｑ）、このとき空気の流れ（流速等）は整流孔３４ａの大きさや隣接する整流孔３４ａ同士のピッチ間隔等に応じたものとなる。このため、整流孔３４ａの大きさや隣接する整流孔３４ａ同士のピッチ間隔が異なる複数種類の整流板３４を予め用意しておき、マスク１５を変えるごとに整流板３４を交換するようにすれば、ノズル３１内の空気の流れをマスク１５の種類に応じた最適な状態にして効率のよいマスククリーニングを行うことができる。
【００３０】
このような構成のスクリーン印刷機１が行うスクリーン印刷作業では、制御装置１９は先ず、上流工程側の他の装置から基板２が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア１１と基板保持ユニット１２のコンベア２２を作動させ、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入したうえで（図７に示すステップＳＴ１。図８（ａ））、基板保持機構１２Ｂの作動制御を行って基板２を保持する（図７に示すステップＳＴ２。図８（ｂ））。基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げる一方（図８（ｂ）中に示す矢印Ａ１）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図８（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）ことによって行う。
【００３１】
制御装置１９は基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行い、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍ（図１）の直上に位置させて下方撮像カメラ１７ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ１７ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図１及び図３）の直下に位置させて上方撮像カメラ１７ｂにマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク２ｍの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク１５ｍの画像データからマスク１５の位置を把握し、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図７に示すステップＳＴ３）。
【００３２】
制御装置１９は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構１２Ａの作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図９（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材２５がマスク１５の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材２５及び基板２それぞれの上面をマスク１５の下面に接触させる（図７に示すステップＳＴ４。図９（ａ））。これにより基板２上の電極３とマスク１５のパターン孔１５ｈとが合致した状態となる。
【００３３】
制御装置１９は基板２をマスク１５に接触させたら、制御装置１９に繋がるディスプレイ装置ＤＰ（図２）に、オペレータＯＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図７に示すステップＳＴ５）。この表示に対してオペレータＯＰは、現時点でマスク１５上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ（図示せず）により、マスク１５上にペーストＰｔの供給を行う。そしてオペレータＯＰは、ペーストＰｔの供給が終わり、或いはペーストＰｔの供給が不要と判断したときには、制御装置１９に繋がる動作開始ボタンＢＴ（図２）の操作を行う。
【００３４】
制御装置１９は、ディスプレイ装置ＤＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作開始ボタンＢＴの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図７に示すステップＳＴ６）、動作開始ボタンＢＴからの信号出力に基づいて、オペレータＯＰによって動作開始ボタンＢＴの操作がなされたことを検知したときには、スキージ４４によるスキージングを行ってマスク１５上のペーストＰｔを基板２に転写させる（図７に示すステップＳＴ７）。
【００３５】
このスキージングは、具体的には、スキージヘッド１６から２つのスキージ４４のうちの一方を下降させ、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部材４１をＹ軸方向に移動させることによって行う（図９（ｂ）中に示す矢印Ｄ）。これによりマスク１５上でスキージ４４が摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ４４によって掻き寄せられてマスク１５のパターン孔１５ｈ内に押し込まれ、基板２の電極３上に転写される。なお、制御装置１９は、スキージヘッド１６を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ４４をマスク１５上に当接させ、スキージヘッド１６を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ４４をマスク１５上に当接させるようにする。
【００３６】
制御装置１９は、スキージングを行って基板２にペーストＰｔを転写させたら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、マスク１５から基板２及び一対のクランプ部材２５を離間させて版離れを行う（図７に示すステップＳＴ８。図１０（ａ））。これにより基板２の電極３上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。
【００３７】
制御装置１９は版離れが終わったら、基板保持ユニット１２による基板２の保持を解除する（図７に示すステップＳＴ９。図１０（ｂ））。この基板２の保持の解除は、具体的には、制御装置１９が基板保持機構１２Ｂを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受け部２４を下降させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろすことによって行う。
【００３８】
制御装置１９は基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえでコンベア２２及び基板搬出コンベア１３を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図７に示すステップＳＴ１０）。
【００３９】
制御装置１９は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図７に示すステップＳＴ１１）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００４０】
スクリーン印刷機１は上記手順によって基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業を行うが、このようなスクリーン印刷作業を数枚〜十数枚（或いは数十枚）の基板２に対して行うと、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、定期的にマスククリーナ１８を用いたマスククリーニング作業を実行する。
【００４１】
マスククリーニング作業では、先ず、オペレータＯＰは、これからマスククリーニングを行おうとするマスク１５の種類に応じ、ノズル３１内の空気の流れが最適なものとなる整流板３４を予め用意された複数種の整流板３４の中から選択し、その選択した整流板３４を前述の要領でノズル３１に取り付ける。オペレータＯＰは、マスク１５の種類に応じた最適の整流板３４をマスククリーナ１８のノズル３１に取り付けたら、前述の動作開始ボタンＢＴの操作を行う。
【００４２】
制御装置１９は、オペレータＯＰにより動作開始ボタンＢＴが操作されたことを検知したら、クリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行って、マスククリーナ１８をマスク実行領域であるマスク本体１５ａの下方に位置させ、そこからマスククリーナ１８を上昇させて（図１１中に示す矢印Ｗ１）、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させる。
【００４３】
制御装置１９は、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させたら、クリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行い、ノズル３１に真空吸引を行わせながら、マスククリーナ１８をマスク１５の下面沿ってＹ軸方向に移動させて、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａ（ペーパー部材３２）により、マスク１５の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取る（図１１中に示す矢印Ｗ２及び矢印Ｗ３）。そして、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａがマスク本体１５ａの端部に達したことを検知したら、マスククリーナ１８を下降させて、クリーニング面１８ａをマスク１５の下面から離間させる（図１１中に示す矢印Ｗ４）。これによりマスク１５の１枚当たりのマスククリーニングが終了する。制御装置１９は、マスク１５の１枚当たりのマスククリーニングが終了したら、一対のローラ部材３３を作動させてペーパー部材３２の巻き取りを行い、クリーニング面１８ａを更新させる。
【００４４】
以上説明したように、本実施の形態におけるマスククリーナ１８（マスククリーニング装置）は、真空吸引時にノズル３１内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔３４ａを有した一又は複数の整流板３４がノズル３１内に着脱自在に設けられており、マスク１５の種類を変えるときにはそのマスク１５の種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔３４ａを有した整流板３４のみをノズル３１に対して着脱（交換）すればよいので、マスク１５ごとにノズル３１を交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。また、このマスククリーナ１８を備えたスクリーン印刷機１は、マスククリーニングに要する作業時間を短縮することができるので、基板２の生産効率の向上を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供する。
【符号の説明】
【００４６】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１５  マスク
１８  マスククリーナ（マスククリーニング装置）
３１  ノズル
３１ａ  真空吸引口
３２  ペーパー部材
３４  整流板
３４ａ  整流孔
４４  スキージ
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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