(57)【要約】【課題】テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供する。【解決手段】観察面Ｆｐが設定される観察光学系（１１）と、観察光学系側から観察面Ｆｐを照明する反射照明機構１２と、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐを照明する透過照明機構１４と、観察面Ｆｐに沿う平坦面（３５ａ）を形成する保持機構１３と、を備える検査装置１０である。保持機構１３は、透過照明機構１４からの照明光の透過を許しかつ平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材（３５）と、透過部材を取り囲んで保持する保持部材（３４）と、を有し、保持部材は、観察光学系側へと突出しつつ平坦面を取り囲む環状突部３４ｈと、それと平坦面とにより規定される内方凹所３４ｌを外部に連通させる吸引孔３８と、を有し、吸引孔３８には、内方凹所３４ｌの空気を吸引する吸引装置３６が接続されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、
前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、
該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、
該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子を検査対象物として検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＥＤチップ等の半導体素子に、種々の照明光を照射しつつその半導体素子を観察光学系で観察することにより、当該半導体素子を検査対象物として検査する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この検査装置では、種々の照明光の１つとして、検査対象物から見て観察光学系とは反対側から当該検査対象物を照明する透過照明機構からの透過照明を用いている。
【０００３】
ここで、半導体素子は、テープ（フィルム）に貼り付けられままウェハから切り出され、そのテープが環状部材に保持されている状態で取り扱われることが多く見られる。このため、上述した検査装置では、テープを透過する光を透過照明として用いて、環状部材に保持されたテープに貼り付けられた状態の検査対象物に対して、種々の照明光を照射しつつ検査対象物の検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１０７２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、観察光学系では、検査対象物を適切に観察するためには、その検査対象物を合焦位置に適切に配置させる必要がある。ところが、上述したように、検査対象物が環状部材に保持されたテープに貼り付けられた状態である場合、検査対象物を含む自重によりテープが撓んでしまうことから、検査対象物を合焦位置に適切に配置することが困難である。
【０００６】
このため、透過照明の透過を許す材料から為り、検査対象物が貼り付けられたテープの略全体を載せることのできる大きさ寸法の平坦な載置面を形成する透過部材を用いるとともに、その載置面にテープを吸引により吸着させることが考えられる。
【０００７】
しかしながら、透過部材では、透過照明の透過を許す材料で形成する必要があることから、載置面全体に吸引のための構成を設けることは困難である。このため、環状部材の近傍位置から載置面とテープとの間を吸引することが考えられるが、載置面とテープとの間に空気溜りが生じてしまうので、テープを載置面に沿わせることができず、検査対象物を合焦位置に適切に配置することが困難である。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることのできる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置であって、前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置であって、前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の検査装置であって、前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることを特徴とする。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置であって、前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の検査装置によれば、テープに貼り付けられた検査対象物を透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることができる。
【００１５】
上記した構成に加えて、前記吸引孔は、前記環状突部における前記内方凹所に臨む内周面を開口して前記内方凹所に通じていることとすると、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープが平坦面に吸着されていっても、そのテープにより吸引孔の内方凹所に通じる箇所（開口）が塞がれることを防止することができるので、テープにおけるより広い領域を平坦面に吸着させることができる。
【００１６】
上記した構成に加えて、前記保持部材は、前記透過部材の外方であって前記平坦面の他部を形成する環状底面を有していることとすると、平坦面のうち透過部材により形成される箇所の全領域に渡ってテープを吸着させることができる。
【００１７】
上記した構成に加えて、前記吸引孔は、前記環状底面を開口して前記内方凹所に通じていることとすると、内方凹所の空気を吸引する吸引孔の形成を容易なものとすることができる。
【００１８】
上記した構成に加えて、前記保持機構では、前記平坦面に対する前記環状突部の突出量が、検査対象物が貼付されるテープを前記環状突部の突出端面上に配置した際、前記テープが自重で撓み変形することにより前記平坦面に接することを防止することを可能とするとともに、前記テープが前記吸引装置での空気の吸引で撓み変形することにより前記平坦面の中心位置から所定の領域に渡り前記テープが接することを可能とすべく設定されていることとすると、環状凸部の内方の内方凹所とテープとにより規定された空間の圧力の低下による押圧力を利用して、テープの中央位置から放射方向の外側に向けてテープと透過部材が形成する平坦面との間の空気を押し出しつつテープを平坦面に吸着することをより確実なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本願発明に係る本実施例の検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。
【図２】検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。
【図３】検査装置１０の保持機構１３における保持ステージ３４および透過ステージ３５を模式的に示す斜視図である。
【図４】図３のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面を示す断面図である。
【図５】検査対象ワーク４０の種類を説明するための説明図であり、（ａ）は各半導体素子４４がテープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断された状態を示し、（ｂ）はテープ４２が引き伸ばされて各半導体素子４４が各個に分断された状態を示している。
【図６】検査装置１０の保持機構１３および透過照明機構１４を模式的に示す斜視図である。
【図７】図６に示すＩＩ−ＩＩ線に沿う箇所を部分的な断面で示す説明図である。
【図８】比較のための他の構成の検査装置９０における保持機構９１を示す図４と同様の説明図である。
【図９】保持機構１３による検査対象ワーク４０の吸着保持の過程を示す図４と同様の説明図であり、（ａ）は保持機構１３に検査対象ワーク４０を載置した様子を示し、（ｂ）は吸引が開始された後の様子を示し、（ｃ）は（ｂ）の後に吸引が継続された様子を示す。
【図１０】保持機構１３において、載置された検査対象ワーク４０を吸着保持した様子を示す図４と同様の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本願発明に係る検査装置の一例について図面を参照しつつ説明する。
【本実施例】
【００２１】
先ず、本願発明に係る一実施例の検査装置１０の概略的な構成について説明する。図１は、本願発明に係る検査装置の一例としての検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は、検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。なお、図６では、理解容易のために、検査対象ワーク４０におけるウェハ４１およびテープ４２を省略して示している。
【００２２】
検査装置１０は、図１および図２に示すように、観察機構１１と、反射照明機構１２と、保持機構１３と、透過照明機構１４と、制御機構１５と、から大略構成されている。この検査装置１０は、図１に示すように、本体部２１を有する。この本体部２１には、図示は略すが、リレーレンズやレボルバー式のターレット部が設けられており、そのターレット部には複数個の対物レンズ鏡筒２２（図１では１個のみ図示）が設けられている。この各対物レンズ鏡筒２２には、対物レンズ２３が設けられている。
【００２３】
この本体部２１の上部に、撮像カメラ２４が取り付けられている。この撮像カメラ２４は、設定された対物レンズ２３により定まる倍率にしたがって、当該対物レンズ２３および本体部２１（リレーレンズ）を経て、その光軸（観察光軸Ｏａ）上の所定の位置の画像データを取得することができる。このため、撮像カメラ２４、本体部２１、各対物レンズ鏡筒２２およびその対物レンズ２３は、観察機構１１における観察光学系として機能し、その光軸が観察光軸Ｏａとなる。この観察機構１１（観察光学系）は、観察光軸Ｏａが鉛直方向と一致されて配置されている。また、観察光軸Ｏａ上における撮像カメラ２４が適切な画像を取得可能な位置すなわち観察光学系における焦点位置を含み当該観察光軸Ｏａに直交する平面（物体側の結像面）が観察面Ｆｐとなる。以下では、観察光軸Ｏａの方向をＺ軸方向とし、そこに直交する面をＸ−Ｙ平面とする。この撮像カメラ２４により取得された画像データは、後述する画像制御部６１により、適宜解析されるとともにモニタ３９に表示可能とされている（図２参照）。
【００２４】
その本体部２１の内部には、観察光軸Ｏａ上に反射部材２５が設けられている。この反射部材２５は、ハーフミラーまたはプリズムで構成することができる。本体部２１では、反射部材２５による観察光軸Ｏａからの反射方向に、コネクタ部２６を介して導光ファイバ２７が取り付けられている。この導光ファイバ２７は、同軸用光源２８から出射された照射光を反射部材２５へと導光することが可能とされている。その同軸用光源２８は、図２に示すように、ハロゲンランプ２８ａとストロボ２８ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ２７へと出射させることが可能とされている。この同軸用光源２８から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ２７および反射部材２５を経て観察光軸Ｏａ上を進行し、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３を経て観察光軸Ｏａ上で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、同軸用光源２８、導光ファイバ２７および反射部材２５は、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３との協働により、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの同軸方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち同軸落射照明機構２９として機能する。
【００２５】
この本体部２１は、後述するＺ軸駆動機構６７（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。このため、観察機構１１における観察光学系と、同軸落射照明機構２９とは、一体的に観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。
【００２６】
また、本体部２１には、図１に示すように、対物レンズ鏡筒２２の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤３０が設けられている。この照明光導出用リング盤３０は、図示は略すが観察光軸Ｏａと所定の間隔を置いて当該観察光軸Ｏａを取り囲むように複数の発光部が設けられており、各発光部は観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向から観察面Ｆｐへ向けて照射可能とされている。照明光導出用リング盤３０には、導光ファイバ３１が取り付けられている。この導光ファイバ３１は、リング用光源３２から出射された照射光を照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）へと導光することが可能とされている。そのリング用光源３２は、図２に示すように、ハロゲンランプ３２ａとストロボ３２ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ３１へと出射させることが可能とされている。このリング用光源３２から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ３１を経て、照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）から観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、リング用光源３２、導光ファイバ３１および照明光導出用リング盤３０（その各発光部）は、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの観察光軸Ｏａに傾斜する方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち斜光照明機構３３として機能する。この照明光導出用リング盤３０は、後述するＺ軸駆動機構６７（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。この観察光軸Ｏａ方向への移動は、本体部２１と一体的なものであってもよく、互いに独立するものであってもよい。
【００２７】
この本体部２１および照明光導出用リング盤３０の下方に、保持機構１３が設けられている。この保持機構１３は、保持ステージ３４と透過ステージ３５と吸引装置３６とを備える。この保持ステージ３４は、図３および図４に示すように、全体に円筒形状を呈し、外観形状が、上側（観察機構１１側）となる一端側が相対的に径寸法（観察光軸Ｏａ方向に直交する方向（径方向）で見た観察光軸Ｏａを基準とする外径寸法）の小さい段付きの形状とされている。この保持ステージ３４では、径寸法の大きい拡径部に複数の固定部材３４ａが設けられている。この各固定部材３４ａは、図示を略す基台に保持ステージ３４を固定するものである。
【００２８】
保持ステージ３４では、透過ステージ３５の保持のために、中心位置を観察光軸Ｏａ方向に沿って貫通する貫通孔３４ｂが設けられている。この貫通孔３４ｂは、図４に示すように、上側（観察機構１１側）が透過ステージ３５よりも大きな内径寸法の大内径部３４ｃとされており、その下側が大内径部３４ｃよりも小さな内径寸法であって透過ステージ３５に適合する内径寸法の中内径部３４ｄとされており、その下側が中内径部３４ｄ（透過ステージ３５）よりも小さな内径寸法の小内径部３４ｅとされている。貫通孔３４ｂでは、大内径部３４ｃと中内径部３４ｄとの内径寸法の差異により、観察光軸Ｏａを取り巻く環状底面３４ｆが形成され、中内径部３４ｄと小内径部３４ｅとの内径寸法の差異により、観察光軸Ｏａを取り巻く環状係合面３４ｇが形成されている。この環状底面３４ｆおよび環状係合面３４ｇは、観察光軸Ｏａに直交する面に沿って存在している。
【００２９】
このため、保持ステージ３４では、環状底面３４ｆを基準とすると、大内径部３４ｃを規定する壁部により、環状底面３４ｆよりも観察機構１１側に突出しつつ環状底面３４ｆを取り囲む環状凸部３４ｈが形成されていることとなる。この環状凸部３４ｈの突出端、すなわち保持ステージ３４において照明光導出用リング盤３０に最も近接する位置で対向される箇所には、観察光軸Ｏａに直交する突出端面３４ｉが設けられている。保持ステージ３４では、環状底面３４ｆと突出端面３４ｉとの観察光軸Ｏａ方向で見た設定位置の差分（環状凸部３４ｈの高さ寸法）が、後述するように検査対象ワーク４０（そのテープ４２）の特性を考慮して適宜設定され、本実施例では２．５ｍｍとされている。この保持ステージ３４では、環状係合面３４ｇ（後述する内方凹所３４ｌ）に封止部材３７が設けられる。この封止部材３７は、環状のシール部材である。
【００３０】
保持ステージ３４では、吸引孔３８が設けられている。この吸引孔３８は、保持ステージ３４に孔加工が施されて形成されており、本実施例では、観察光軸Ｏａに直交する面に沿う方向で見て、観察光軸Ｏａを中心とする直交方向上の４箇所（図３および図４にはそれぞれ２箇所を図示）に設けられている。この各吸引孔３８は、周面孔部３８ａと底面孔部３８ｂと合流孔部３８ｃとを有する。その周面孔部３８ａは、一端が大内径部３４ｃの内周面３４ｊを開口し、他端が合流孔部３８ｃに連通している。底面孔部３８ｂは、一端が環状底面３４ｆを開口し、他端が合流孔部３８ｃに連通している。合流孔部３８ｃは、周面孔部３８ａと底面孔部３８ｂとを合流させた後、保持ステージ３４における下端面３４ｋを開口している。このため、各吸引孔３８は、大内径部３４ｃ（環状凸部３４ｈ）の内方の空間（後述する内方凹所３４ｌ）を、保持ステージ３４の内部を通じて当該保持ステージ３４の外部へと連通させている。
【００３１】
この保持ステージ３４は、図１に示すように、後述するＸＹ駆動機構６５（図２参照）により、観察光軸Ｏａ（観察光学系）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で移動可能とされている。また、保持ステージ３４は、後述する回転駆動機構６６（図２参照）により、Ｚ軸回りに回転可能とされている。この保持ステージ３４では、その内方に透過ステージ３５が設けられる。
【００３２】
透過ステージ３５は、図１、図３、図４、図６および図７に示すように、円板形状を呈し、上側（観察光学系側）の上端面３５ａが平坦面とされており、下側（透過照明機構１４側）の下端面３５ｂが散乱面とされている。この上端面３５ａは、本実施例では、研磨された平坦面とされており、下端面３５ｂは、後述するような散乱効果を得る観点から拡散率等を適宜考慮して設定される。この透過ステージ３５は、少なくとも透過照明機構１４（その出射部５３）から出射された透過光の透過を許す透明な部材（透過部材）で形成されており、本実施例では、ガラスで形成されている。透過ステージ３５は、保持ステージ３４の大内径部３４ｃ側（観察機構１１側）の開口から貫通孔３４ｂへと挿入されて、中内径部３４ｄに嵌め込まれつつ周縁部の下端が環状係合面３４ｇに押し当てられることにより、貫通孔３４ｂ内に収容される。このとき、封止部材３７は、透過ステージ３５の下端面３５ｂと環状係合面３４ｇ（その凹所）とで適切に圧縮されることにより、その下端面３５ｂと環状係合面３４ｇ（その凹所）との間、すなわち透過ステージ３５と保持ステージ３４との間での空気の出入りを防止する。このため、保持ステージ３４では、透過ステージ３５の周囲における十分な封止性能を有している。
【００３３】
このとき、透過ステージ３５の上端面３５ａは、環状底面３４ｆと同一の平坦面を形成している。このため、保持機構１３では、透過ステージ３５の上端面３５ａと保持ステージ３４の環状底面３４ｆとにより、観察光学系の観察光軸Ｏａに直交する（観察面Ｆｐに平行な）平坦面が規定される。また、保持機構１３では、大内径部３４ｃの内方の空間に、当該平坦面と保持ステージ３４の環状凸部３４ｈとにより、後述するようにテープ４２が載置される載置面としての保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉの内方を凹ませる内方凹所３４ｌが規定される。
【００３４】
透過ステージ３５では、厚さ寸法すなわち上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔（貫通孔３４ｂの中内径部３４ｄの長さ寸法）が、透過ステージ３５における光学的な特性および硬度特性を勘案しつつ、全体に均等なものとされるとともに、以下の３点を考慮して設定されている。
【００３５】
１点目は、透過照明機構１４から出射されて下端面３５ｂへと入射し上端面３５ａから出射した透過光において、所定の光量を確保することができることである。これは、透過ステージ３５では、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した画像で見て、後述する検査対象物（４４）が適切に照明されている必要があることによる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の上限値に影響する。
【００３６】
２点目は、周縁部の下端が下方から支持されていることに起因して、中央位置において、落ち込むような撓み変形の変形量が所定の範囲以内であることである。これは、透過ステージ３５では、後述するように、上端面３５ａが、後述する検査対象物（４４）を観察光学系における適切な位置である観察面Ｆｐ上に存在（配置）させる機能を有していることから、上端面３５ａを全面に渡って観察面Ｆｐに沿うものとする必要があることによる。このため、上述した変形量における所定の範囲とは、最大で観察光学系における被写界深度となる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の下限値に影響する。
【００３７】
３点目は、散乱面とされた下端面３５ｂによる散乱効果が、上端面３５ａから出射される透過光において十分に得られていることである。この散乱効果とは、観察光学系を経て観察面Ｆｐ上を取得することにより得た撮像カメラ２４からの画像データにおいて、観察面Ｆｐ上で透過照明機構１４からの透過光が照射された後述するテープ４２が一様に明るい状態となることを言う。これは、後述するテープ４２では、透過照明が照射された状態を観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データで観察すると、何らの部材が貼り付けられていない状態であっても、一様に明るい状態ではなく線状や点状の部分的に暗い箇所が存在してしまうことによる。この暗い箇所は、テープ４２に塵埃等が付着していたり接着剤の斑が存在したりすることに起因するものと考えられる。検査装置１０では、上述した散乱効果を十分に得ることにより、テープ４２に影の部分が生じることを防止することができるので、画像データ上におけるノイズ成分を除去することができる。
【００３８】
この保持機構１３では、図１に示すように、保持ステージ３４の各吸引孔３８に吸引装置３６が接続されている。この吸引装置３６は、各吸引孔３８の合流孔部３８ｃにおいて、保持ステージ３４における下端面３４ｋを開口する箇所に接続されている。吸引装置３６は、後述する保持制御部６４（図２参照）の制御下で、各吸引孔３８から空気を吸引する（真空引きする）ことが可能とされている。このため、保持機構１３では、吸引装置３６による吸引により、各吸引孔３８を経て、内方凹所３４ｌ（大内径部３４ｃ（環状凸部３４ｈ）の内方の空間）を真空引きすることができる。この各吸引孔３８と吸引装置３６とは、内方凹所３４ｌの空気を吸引可能な吸引機構として機能する。このため、保持機構１３では、保持ステージ３４が透過ステージ３５を封止して保持した状態において、その環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉ上に載置した検査対象ワーク４０を吸着保持することができる（図１０等参照）。この吸着保持およびその作用については、後に詳細に説明する。
【００３９】
検査対象ワーク４０は、図５に示すように、ウェハ４１（ガラス基板等も含むものとする）が貼り付けられたテープ（フィルム）４２を、環状部材４３の内方で保持して構成されている。この検査対象ワーク４０では、（ａ）に示すように、ウェハ４１から形成される複数の半導体素子４４が、テープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断（ダイシング）された状態であるものと、（ｂ）に示すように、テープ４２に貼り付けられて切断された後にテープ４２が引き伸ばされて各個に分断（エキスパンド）された状態であるものとがある。ここで、環状部材４３は、本実施例では、状態の差異（検査対象ワーク４０の種類）に拘らず、保持ステージ３４の環状凸部３４ｈ（図３参照）よりも大きな径寸法とされて、その突出端面３４ｉの外側と一部が重複可能な径寸法とされている。検査装置１０では、それらのいずれの状態であっても、各半導体素子４４が適切に形成されているか否かを検査するために用いられる。このため、各半導体素子４４を検査対象物として、検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行うことができる。この検査対象ワーク４０は、上述したように、保持機構１３により吸着保持される。このとき、検査対象ワーク４０では、後述するように、テープ４２が透過ステージ３５の上端面３５ａに張り付くように平坦化されて、観察面Ｆｐ上に配置される（図１０等参照）。
【００４０】
この透過ステージ３５は、後述するように、上端面３５ａに張り付くように平坦化されるテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、観察面Ｆｐ上の位置に存在させることを可能とすべく、保持ステージ３４とともに観察光軸Ｏａに関して位置調整が為されて設けられている。その透過ステージ３５（保持ステージ３４）の下方に透過照明機構１４が設けられている（図１参照）。
【００４１】
透過照明機構１４は、図１に示すように、保持ステージ３４により吸着保持された検査対象物（検査対象ワーク４０の各半導体素子４４）に対して、観察光学系（観察機構１１）とは反対側から透過光を照射するものである。この透過照明機構１４は、後述する導光部５２を経て透過用光源５１から出射された透過光を後述する出射部５３へと導光することが可能とされている。その透過用光源５１は、図２に示すように、ハロゲンランプ５１ａとストロボ５１ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光部５２へと出射させることが可能とされている。
【００４２】
透過照明機構１４は、上述した透過用光源５１（図２参照）に加えて、図６および図７に示すように、導光部５２と出射部５３と支持部５４とを有する。導光部５２は、図示は略すが一端側に設けられた入射面が透過用光源５１（図２参照）のハロゲンランプ５１ａおよびストロボ５１ｂから発光された光（透過光）を入射可能とすべくそれぞれに対向されて設けられており、当該入射面から入射された透過用光源５１（図２参照）からの透過光を他端側に設けられた出射面５２ａ（図７参照）へと導く。この導光部５２は、本実施例では、光ファイバで形成されている。導光部５２の出射面５２ａに出射部５３が接続されている（図７参照）。
【００４３】
その出射部５３は、筒状の筐体５３ａに少なくとも１つ以上の光学素子５３ｂが収容されて構成されている。この光学素子５３ｂは、導光部５２の出射面５２ａに対向する入射面５３ｃと、そこから入射された透過光を出射する出射面５３ｄと、を構成している。光学素子５３ｂは、入射面５３ｃから入射された透過光を所望の状態として出射面５３ｄから出射すべく、所定の光学的特性を有するものとされている。この光学素子５３ｂの中心軸位置となる回転対称軸を、透過照明機構１４（透過照明系）の透過光軸Ｐａ（図１参照）とする。この透過照明機構１４では、導光部５２から出射部５３へと透過光が入射されると、出射部５３から透過光軸Ｐａに沿う透過光を出射する。光学素子５３ｂにおける所定の光学的特性とは、進行方向となる透過光軸Ｐａに直交する断面で見た光量分布が均一化されていることと、照射領域の拡がり（拡散）が抑制されていることと、を言う。この光学素子５３ｂは、上述した所定の光学的特性（インテグレータ機能および拡散防止（集光）機能）を有する光学素子で構成されており、本実施例では、光学素子５３ｂは、ロッドインテグレータ光学部材で構成されている。
【００４４】
また、本実施例では、筐体５３ａにおいて光学素子５３ｂの入射面５３ｃよりも下方の下端部５３ｅが筒状とされており、導光部５２の他端部（出射面５２ａが設けられている側の端部）を内方に嵌入可能とされている。このため、出射部５３と導光部５２とは、導光部５２の他端部を出射部５３の下端部５３ｅに嵌入することにより、導光部５２の出射面５２ａと出射部５３の入射面５３ｃとが突き合わされて連結（接続）される。この状態において、導光部５２と出射部５３とが、支持部５４により固定的に支持されている。
【００４５】
このため、透過照明機構１４では、透過用光源５１から出射した透過光を、導光部５２を経て出射部５３へと進行させ、均一な光量分布の略平行光として出射部５３から透過光軸Ｐａ（図１参照）方向へ向けて出射させて、透過ステージ３５の下端面３５ｂを照射することができる。この透過光は、散乱面とされた下端面３５ｂにより、散乱光とされて観察面Ｆｐを裏面側から照射する。この透過光は、少なくとも保持機構１３に吸着保持された検査対象ワーク４０のテープ４２を透過して、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能とされている（図１参照）。このため、透過照明機構１４（透過用光源５１、導光部５２および出射部５３）は、散乱面とされた透過ステージ３５の下端面３５ｂと協働として、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐ（検査対象物（半導体素子４４））を照射する適切に散乱された透過光を生成する。本実施例では、透過光軸ＰａがＺ軸方向に平行に設定されており、透過光軸Ｐａと観察光軸Ｏａとが一致するように、観察光学系に対する透過照明機構１４の位置が設定されている。また、透過照明機構１４は、ロッドインテグレータ光学部材で構成された光学素子５３ｂにより、観察面Ｆｐ上で見た透過光の照射領域で、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能な観察領域を充足することを可能とするように設定されている。
【００４６】
この検査装置１０では、上述したように構成された観察機構１１、反射照明機構１２、保持機構１３および透過照明機構１４が、制御機構１５（図２参照）の制御下で統括的に制御される。この制御機構１５は、図２に示すように、画像制御部６１と、照明制御部６２と、駆動制御部６３と、保持制御部６４と、を有している。
【００４７】
画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データを適宜解析する。この解析とは、テープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）の輪郭線を認識することや、観察点におけるフォーカス状態を判断することや、各検査対象物における欠陥を認識することや、各検査対象物に設けられた電極や配線等の不備を認識することや、ウェハ４１からの各検査対象物（半導体素子４４）の切り出し不良を認識すること等があげられる。また、画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像をモニタ３９に表示させる。
【００４８】
照明制御部６２は、同軸用光源２８とリング用光源３２と透過用光源５１とを適宜点消灯制御を行う。すなわち、照明制御部６２は、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１において、ハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）もしくはストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）を選択的に適宜点消灯させるとともに、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１を、同時にまたは個別に点灯および消灯させる。このハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）は、観察用照明として用いるものであり、ストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）は検査用照明として用いるものである。また、照明制御部６２は、各光源（２８、３２、５１）において、検査用照明としてのストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）の明るさ調整が可能とされている。この明るさ調整は、例えば、複数のＮＤフィルタのいずれかを適宜選択することで、実現することができる。
【００４９】
駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６５、回転駆動機構６６およびＺ軸駆動機構６７を適宜駆動制御する。すなわち、駆動制御部６３は、Ｚ軸駆動機構６７を駆動制御することにより、観察機構１１における観察光学系および同軸落射照明機構２９を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができるとともに、斜光照明機構３３を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができる。これにより、保持機構１３に吸着保持された検査対象ワーク４０の検査対象物（各半導体素子４４）を、適切な照明の下で、適切に観察することを可能とする。また、駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６５および回転駆動機構６６を駆動制御することにより、保持ステージ３４すなわちそこに吸着保持された検査対象ワーク４０を、観察光軸Ｏａ（観察光学系）および透過光軸Ｐａ（透過照明機構１４）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で適宜移動させることができるとともに、観察光軸Ｏａ（透過光軸Ｐａ（Ｚ軸方向））回りに適宜回転させることができる。これにより、保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０における任意の位置の検査対象物（半導体素子４４）を検査することが可能となる。
【００５０】
保持制御部６４は、吸引装置３６を適宜駆動制御する。すなわち、保持制御部６４は、吸引装置３６を適宜駆動制御することにより、保持機構１３が検査対象ワーク４０を吸着保持することと、それを解除することと、を切り替えることができる。
【００５１】
制御機構１５では、この他にも、検査のための画像データの比較等が可能とされている。この制御機構１５の制御下で統括的に制御される検査装置１０では、次のように検査対象ワーク４０のテープ４２に貼り付けられたすべての検査対象物（半導体素子４４）の検査を行う。
【００５２】
検査装置１０では、先ず、保持制御部６４により吸引装置３６を駆動させることにより、保持機構１３で検査対象ワーク４０を吸着保持して、チップスキャンを行う。このチップスキャンでは、保持機構１３における透過ステージ３５の上端面３５ａすなわち検査対象ワーク４０（テープ４２）において上端面３５ａに吸着された箇所を全面に渡って走査するように、駆動制御部６３により、観察光軸Ｏａに直交する面（Ｘ−Ｙ平面）に沿って保持ステージ３４を移動させる。この走査では、透過照明機構１４からの透過光を照射しつつ撮像カメラ２４による画像の取得を行う。
【００５３】
次に、チップマップの作成を行う。このチップマップとは、検査対象ワーク４０（テープ４２）における各検査対象物（半導体素子４４）の位置、および姿勢を示すものである。制御機構１５では、チップスキャンにより、輪郭線を認識することでテープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）を判別するとともに、駆動制御部６３による移動位置情報を加味することで、各検査対象物（半導体素子４４）の位置および姿勢を取得する。
【００５４】
次に、検査対象物（半導体素子４４）の判定を行う。この判定では、作成したチップマップに基づいて、観察光学系による観察位置を決定し、その決定に応じて駆動制御部６３により保持ステージ３４を移動させる。その後、その観察位置にある検査対象物（半導体素子４４）を、その検査対象物の良品のデータと比較し、当該検査対象物（半導体素子４４）の良否の判断を行う。この良否の判断は、撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより行う。
【００５５】
この検査対象物（半導体素子４４）の判定を、作成したチップマップに基づいて、検査対象ワーク４０（テープ４２）上のすべての検査対象物（半導体素子４４）に対して順次行うことにより、当該検査対象ワーク４０に対する検査が終了する。なお、この検査は、画像制御部６１の制御下でモニタ３９に表示された、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像を目視することにより、行うこともできる。
（技術の課題）
次に、従来の検査装置における技術の課題について、図８を用いて説明する。この図８は、比較のための他の構成の検査装置９０における保持機構９１を示す図４と同様の説明図である。この検査装置９０は、保持機構９１の構成を除くと他の構成は検査装置１０と同様であることから図示を略しており、その図示を略す他の構成に関しては検査装置１０と同様の名称および符号を用いて説明する。なお、図８では、理解容易のために、空気溜りＡｐを強調して示しているが、実際に形成される空気溜りＡｐと必ずしも一致するものではない。
【００５６】
検査装置１０と同様の検査装置では、観察光学系（観察機構１１）で検査対象物を適切に観察するためには、その検査対象物を合焦位置に適切に配置させる必要がある。ここで、上述したようなテープ４２に貼り付けられた各半導体素子４４を検査対象物として、検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行う場合、その検査対象物を含む自重によりテープが撓んでしまうことから、観察光学系（観察機構１１）の合焦位置となる観察面Ｆｐに沿う状態としつつその観察面Ｆｐ上に存在させることが困難であるので、その観察面Ｆｐ上に検査対象物を適切に配置することが困難である。
【００５７】
このため、検査対象ワーク４０のテープ４２を平坦な状態で保持するために、図示は略すが平坦な載置面を有する載置台を用いるとともに、その載置面に複数の吸着孔を設けることにより、テープ４２を載置面に吸着させて保持する構成とすることが考えられる。ところが、載置台では、少なくとも透過照明機構１４から出射された透過光の透過を許す透明な部材（透過部材）で形成し、その透過照明機構１４からの透過光による検査対象物（各半導体素子４４）の照射を可能とする必要がある。このため、載置台の載置面に複数の吸着孔を設ける構成とすることは困難である。
【００５８】
このことから、検査装置９０では、図８に示すように、保持機構９１を用いることが考えられる。この保持機構９１は、少なくとも透過照明機構１４から出射された透過光の透過を許す透明な部材（透過部材）で形成された透過ステージ９２を、全体に円筒形状を呈する保持ステージ９３で保持する構成とされている。その透過ステージ９２は、上側（観察機構１１側）となる上端面９２ａが平坦とされており、載置面を構成している。保持ステージ９３は、上側（観察機構１１側）となる上端面９３ａが透過ステージ９２の上端面９２ａと同一の平面を形成している。その保持ステージ９３には、複数の吸引孔９４（図８では２つのみを図示している）が設けられている。各吸引孔９４は、一端が上端面９３ａを開口するとともに、他端が保持ステージ９３の下端面９３ｂを開口している。この各吸引孔９４の他端には、空気を吸引する（真空引きする）ことのできる吸引装置９５が接続されている。この保持機構９１では、検査対象ワーク４０のテープ４２を、透過ステージ９２の上端面９２ａおよび保持ステージ９３の上端面９３ａに載置させた状態で、吸引装置９５により各吸引孔９４の空気を吸引する（真空引きする）ことにより、テープ４２を上端面９２ａおよび上端面９３ａに吸着させて保持することができる。
【００５９】
ところが、このような構成の保持機構９１では、透過ステージ９２の上端面９２ａ上において、テープ４２を平坦な状態とする、すなわちテープ４２を上端面９２ａに満遍なく沿わせつつ張り付かせることが困難である。これは、保持ステージ９３の各吸引孔９４から吸引すると、テープ４２と透過ステージ９２の上端面９２ａとの間には、複数の空気溜りＡｐが生じてしまうことによる。この各空気溜りＡｐは、各吸引孔９４に近い箇所から、テープ４２が上端面９２ａに吸着することに起因して生じるものと考えられる。このため、保持機構９１を用いる検査装置９０では、各空気溜りＡｐによりテープ４２を平坦な状態とすることができないので、観察光学系（観察機構１１）の合焦位置となる観察面Ｆｐ上に検査対象物（各半導体素子４４）を適切に配置することが困難であり、正確な検査を行うことができなくなってしまう。
（保持機構１３における作用）
次に、検査装置１０の保持機構１３における作用について、図９および図１０を用いて説明する。この図９は、保持機構１３による検査対象ワーク４０の吸着保持の過程を示す図４と同様の説明図であり、（ａ）は保持機構１３に検査対象ワーク４０を載置した様子を示し、（ｂ）は吸引が開始された後の様子を示し、（ｃ）は（ｂ）の後に吸引が継続された様子を示す。図１０は、保持機構１３において、載置された検査対象ワーク４０を吸着保持した様子を示す図４と同様の説明図である。なお、図９および図１０では、理解容易のために、検査対象ワーク４０におけるテープ４２の撓み状態を強調して示しているが、実際のテープ４２の撓み状態と必ずしも一致するものではない。
【００６０】
検査装置１０の保持機構１３では、図９（ａ）に示すように、各半導体素子４４を検査対象物として検査対象ワーク４０の状態を維持したまま、保持ステージ３４の突出端面３４ｉ上に検査対象ワーク４０の環状部材４３の一部とともに内方位置のテープ４２を載置する。すると、検査対象ワーク４０では、テープ４２の周縁部が下方から支持されていることに起因して、テープ４２上に大きな偏りなく貼り付けられた各半導体素子４４（検査対象物）の重さを含む自重により、中央位置が落ち込むように撓み変形する。ここで、保持機構１３では、内方凹所３４ｌが形成されている、すなわち透過ステージ３５の上端面３５ａおよび保持ステージ３４の環状底面３４ｆが、保持ステージ３４の突出端面３４ｉに対して、観察光軸Ｏａ方向（鉛直方向）の下方側に同一の平坦面を形成していることから、テープ４２における中央位置が落ち込むように撓み変形することを可能としている。この内方凹所３４ｌは、保持機構１３において載置面としての保持ステージ３４の突出端面３４ｉに載置された検査対象ワーク４０のテープ４２の中央位置が落ち込むように撓み変形することを許容する機能を有する。
【００６１】
その後、保持機構１３では、保持制御部６４（図２参照）の制御下で、吸引装置３６を駆動させて各吸引孔３８から空気を吸引する（真空引きする）。このとき、保持機構１３では、保持ステージ３４が透過ステージ３５を封止して保持するとともに、平坦とされた保持ステージ３４の突出端面３４ｉにテープ４２が載置されていることにより、内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の気密性が確保されている。このため、内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間、すなわち透過ステージ３５の上端面３５ａ、保持ステージ３４の環状底面３４ｆ、保持ステージ３４の環状凸部３４ｈおよび保持ステージ３４の突出端面３４ｉに載置されたテープ４２により規定された空間の圧力が低下する。すると、テープ４２は、当該空間とその周辺雰囲気との圧力の差により、中央近傍から透過ステージ３５の上端面３５ａに張り付き（図９（ｂ）参照）、そのテープ４２の上端面３５ａに張り付く領域が放射状に広がっていく（図９（ｃ）参照）。これは、次のことが考えられる。
【００６２】
当該空間とその周辺雰囲気との間で圧力差が生じると、当該空間を規定する部材には外方から内方へ向けた押圧力が作用する。すると、当該空間を規定する部材のうち、最も柔軟なテープ４２が変形する。ここで、テープ４２は、周辺雰囲気から当該空間に向けて同一の力が全体に均等に作用すると、環状部材４３により周辺が全周に渡って保持されていることから、中央部分が最も大きく変位して、透過ステージ３５の上端面３５ａに到達する。その後、さらに当該空間の圧力が低下することにより、テープ４２における上端面３５ａに到達した箇所の周辺が上端面３５ａに到達する。このため、テープ４２では、中央近傍から放射方向へと環状部材４３（突出端面３４ｉ）へ向かう順に、透過ステージ３５の上端面３５ａに張り付く（図９（ｂ）から（ｃ）参照）。すると、保持機構１３では、図１０に示すように、透過ステージ３５の上端面３５ａから、そこと同一の平坦面を形成する保持ステージ３４の環状底面３４ｆに渡って、テープ４２が張り付くこととなる。このとき、テープ４２では、中央近傍から放射方向へと環状部材４３（突出端面３４ｉ）へ向かう順に上端面３５ａおよび環状底面３４ｆに張り付くことから、上端面３５ａおよび環状底面３４ｆとの間の空気を放射方向外側すなわち各吸引孔３８側へと押し出すことができるので、上端面３５ａおよび環状底面３４ｆとの間に空気溜りが形成されることを防止することができる（図９（ｂ）から（ｃ）参照）。このため、保持機構１３では、内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定される空間の空気を吸引することにより、テープ４２を透過ステージ３５の上端面３５ａおよび保持ステージ３４の環状底面３４ｆに張り付くように平坦化させて保持（吸着保持）することができ、このテープ４２に貼り付けられた各半導体素子４４（検査対象物）を観察面Ｆｐ上に適切に配置することができる。
【００６３】
この内方凹所３４ｌの観察光軸Ｏａ方向で見た段差、すなわち保持ステージ３４の突出端面３４ｉと、透過ステージ３５の上端面３５ａ（保持ステージ３４の環状底面３４ｆ）と、の観察光軸Ｏａ方向で見た設定位置の差分は、以下の２点を考慮して設定している。
【００６４】
１点目は、対象とする検査対象ワーク（４０）のテープ（４２）を突出端面３４ｉに載置した状態において、自重による撓み変形により、テープ（４２）の中央位置が上端面３５ａに接することのないものとする、もしくは上端面３５ａとの間の空気を放射方向外側（各吸引孔３８側）へと押し出すことを可能とする観点から、上端面３５ａへの接触箇所を少なくする。ここで自重による撓み変形とは、テープ（４２）とそこに貼付された検査対象物（本実施例では各半導体素子４４）との重さに起因して撓み変形することをいう。この点は、主に内方凹所３４ｌの段差（当該設定位置の差分）の下限値に影響する。
【００６５】
２点目は、対象とする検査対象ワーク（４０）のテープ（４２）を突出端面３４ｉに載置した状態において、吸引装置３６での空気の吸引による撓み変形により、少なくとも上端面３５ａの中心位置から所定の領域に渡ってテープ（４２）が平坦化して接する状態とすることを可能とする。このテープ（４２）における中心位置からの所定の領域とは、検査対象物（本実施例では各半導体素子４４）が貼付されている領域をいう。この点は、主に内方凹所３４ｌの段差（当該設定位置の差分）の上限値に影響する。
【００６６】
なお、テープ（４２）における撓み変形の量および状態と、変形可能な量とは、テープ４２の材質や、環状部材４３によるテープ４２の保持位置（テープ４２の突出端面３４ｉに載置された位置）、テープ４２に貼付された各半導体素子４４の位置および個数等に応じて異なるものであることから、検査対象ワーク４０の種類に応じて異なるものとなる。このため、当該設定位置の差分は、対象とする検査対象ワーク（４０）（そのテープ（４２））に応じて、適宜設定する必要がある。本実施例では、上述したように、この設定位置の差分を２．５ｍｍとしている。なお、２．５ｍｍ以外の差分としても良く、適時設定可能である。
【００６７】
このように、本発明に係る検査装置１０では、保持機構１３において、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４の環状凸部３４ｈ（その突出端面３４ｉ）に検査対象ワーク４０のテープ４２を載置するとともに、その保持ステージ３４に形成した各吸引孔３８から吸引装置３６で空気を吸引することにより、環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の圧力の低下による押圧力を利用して、テープ４２の中央位置から放射方向の外側に向けてテープ４２と透過ステージ３５の上端面３５ａとの間の空気を押し出しつつテープ４２を上端面３５ａに吸着することができる。このため、空気溜りが形成されることを防止して、テープ４２を上端面３５ａに張り付くように平坦化させることができるので、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（本実施例では各半導体素子４４）を観察面Ｆｐ上に適切に配置することができ、当該検査対象物を観察光学系により適切に観察することができ、その情報を正確に得ることができる。
【００６８】
また、検査装置１０では、保持機構１３において、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４の環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方に内方凹所３４ｌを形成していることから、保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉに検査対象ワーク４０のテープ４２を載置して、内方凹所３４ｌの空気を吸引装置３６で吸引することにより、テープ４２の中央位置が落ち込むように撓み変形することを許容することができるので、中央位置から放射方向の外側に向けてテープ４２を上端面３５ａに吸着させることができる。
【００６９】
さらに、検査装置１０では、保持機構１３において、環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方に内方凹所３４ｌを形成していることから、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉに検査対象ワーク４０のテープ４２を載置した際、自重によりテープ４２の中央位置が落ち込むように撓み変形した状態とすることができるので、各吸引孔３８からの吸引によるテープ４２の中央位置からの上端面３５ａへの吸着をより確実なものとすることができる。
【００７０】
検査装置１０では、保持機構１３において、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４に形成した各吸引孔３８から内方凹所３４ｌの空気を吸引するものであることから、テープ４２の中央位置が上端面３５ａに吸着されてもその吸着箇所を取り囲む環状の空間の圧力を均一に低下させることができるので、テープ４２の中央位置から放射方向の外側に向けた上端面３５ａへの吸着をより確実なものとすることができる。
【００７１】
検査装置１０では、保持機構１３の各吸引孔３８が、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４に形成されていることから、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ４２が上端面３５ａに吸着されていっても、当該吸着箇所が保持ステージ３４（その各吸引孔３８が設けられた位置）に至るまでは上述した環状の空間の圧力を均一に低下させることができるので、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ４２における保持ステージ３４の各吸引孔３８が設けられた位置まで偏りなく吸着させることができ、テープ４２を透過ステージ３５の上端面３５ａの全領域に渡ってより確実に吸着させることができる。
【００７２】
検査装置１０では、保持機構１３の各吸引孔３８が、一端が大内径部３４ｃの内周面３４ｊを開口する周面孔部３８ａを有するものであることから、中央位置から放射方向の外側へ向けてテープ４２が上端面３５ａに吸着されていっても、テープ４２により周面孔部３８ａが塞がれることを防止することができるので、テープ４２におけるより広い領域を透過ステージ３５の上端面３５ａおよびそこと同一の平坦面を形成する保持ステージ３４の環状底面３４ｆに吸着させることができる。これは、テープ４２の撓み変形の量には限界があることによる。
【００７３】
検査装置１０では、保持機構１３の各吸引孔３８が、一端が大内径部３４ｃの内周面３４ｊを開口する周面孔部３８ａと、一端が環状底面３４ｆを開口する底面孔部３８ｂと、を有するものであることから、環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の空気を効率よく吸引することができる。
【００７４】
検査装置１０では、保持機構１３の各吸引孔３８として、一端が環状底面３４ｆを開口する底面孔部３８ｂが設けられていることから、透過ステージ３５を取り囲んで保持する保持ステージ３４に内方凹所３４ｌの空気を吸引する各吸引孔３８の形成を容易なものとすることができる。
【００７５】
検査装置１０では、保持機構１３の保持ステージ３４が、透過ステージ３５の上端面３５ａと同一の平坦面を形成する環状底面３４ｆを有するものとされていることから、透過ステージ３５の上端面３５ａの全領域に渡ってテープ４２を吸着させることができ、観察光軸Ｏａ（透過光軸Ｐａ）に直交する方向で見て透過ステージ３５の全領域で検査対象物（本実施例では各半導体素子４４）を適切に検査することができる。これは、環状底面３４ｆが設けられていることにより、検査対象ワーク４０のテープ４２が載置される保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉと、透過ステージ３５の上端面３５ａの最外位置と、を観察光軸Ｏａに直交する方向で見て間隔を置くものとすることができるので、撓み変形の量には限界があるテープ４２であっても最外位置まで上端面３５ａに吸着させることが可能となることによる。
【００７６】
検査装置１０では、保持機構１３の保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉにテープ４２を載置することにより、環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の気密性を確保するものであることから、簡易な構成とすることができるとともに検査作業を簡易なものとすることができる。
【００７７】
検査装置１０では、保持機構１３において、保持ステージ３４が透過ステージ３５を封止して保持するものであることから、簡易な構成で環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の気密性を確保することができる。
【００７８】
検査装置１０では、上端面３５ａが設けられた透過ステージ３５の下端面３５ｂが散乱面とされていることから、透明のテープ４２に貼り付けられた検査対象物（本実施例では各半導体素子４４）を検査する場合、そのテープ４２の画像データ上におけるノイズ成分を除去することができるので、より適切な検査を行うことができる。
【００７９】
したがって、本発明に係る検査装置１０では、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明で照明しつつ観察光学系により正確な情報を得ることができる。
【００８０】
なお、上記した実施例では、本発明に係る検査装置の一例について説明したが、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、該透過照明機構と前記観察光学系との間に前記観察面に沿う平坦面を形成する保持機構と、を備える検査装置であって、前記保持機構は、前記透過照明機構からの照明光の透過を許しかつ前記平坦面の少なくとも一部を形成する透過部材と、該透過部材を取り囲んで保持する保持部材と、を有し、該保持部材は、前記平坦面よりも前記観察光学系側へと突出しつつ前記平坦面を取り囲む環状突部と、該環状突部と前記平坦面とにより規定される内方凹所を外部に連通させる吸引孔と、を有し、該吸引孔には、前記内方凹所の空気を吸引する吸引装置が接続されている検査装置であればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８１】
また、上記した実施例では、各吸引孔３８が、周面孔部３８ａと底面孔部３８ｂとを有する構成とされていたが、吸引装置３６により環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の空気を吸引することを可能とすべく保持ステージ３４に設けられているものであれば、周面孔部３８ａのみを有する構成であっても、底面孔部３８ｂのみを有する構成であっても、他の構成であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８２】
さらに、上記した実施例では、観察光軸Ｏａを中心とする直交方向上の４箇所に吸引孔３８が設けられていたが、内方凹所３４ｌの空気を吸引することにより保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉに載置したテープ４２を、中央位置から放射方向の外側に向けて上端面３５ａに吸着させることを可能とするものであれば、個数および配置位置は適宜設定すればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８３】
上記した実施例では、保持機構１３の保持ステージ３４が、透過ステージ３５の上端面３５ａと同一の平坦面を形成する環状底面３４ｆを有するものとされていたが、透過ステージ３５を取り囲んで保持するとともに、その透過ステージ３５の平坦面である上端面３５ａよりも観察光学系側へと突出しつつ当該平坦面（上端面３５ａ）を取り囲む環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）を有するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８４】
上記した実施例では、保持ステージ３４の環状凸部３４ｈの突出端面３４ｉに、環状部材４３の一部とその内方位置のテープ４２を載置していたが、テープ４２を利用して環状凸部３４ｈ（大内径部３４ｃ）の内方の内方凹所３４ｌとテープ４２とにより規定された空間の気密性を確保することを可能とするものであれば、環状部材４３全体を突出端面３４ｉに載置するものであってもよく、テープ４２のみを突出端面３４ｉに載置するものであってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８５】
上記した実施例では、透過ステージ３５の下端面３５ｂと環状係合面３４ｇ（その凹所）との間に環状の封止部材３７を設けていたが、透過ステージ３５と保持ステージ３４との間での空気の出入りを防止することができるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００８６】
以上、本発明の検査装置を実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、この実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【符号の説明】
【００８７】
１０  検査装置
１１  （観察光学系としての）観察機構
１２  反射照明機構
１３  保持機構
１４  透過照明機構
２４  （観察光学系としての）撮像カメラ
３４  （保持部材としての）保持ステージ
３４ｆ  環状底面
３４ｈ  環状凸部
３４ｉ  突出端面
３４ｊ  内周面
３４ｌ  内方凹所
３５  （透過部材としての）透過ステージ
３５ａ  （平坦面としての）上端面
３６  吸引装置
３８  吸引孔
４２  テープ
４４  （検査対象物としての）半導体素子
Ｆｐ  観察面
Ｏａ  観察光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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