(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする洗浄液生成装置を提供する。【解決手段】洗浄液生成装置１は、過飽和液ＬＳを生成する過飽和液生成装置２と、過飽和液ＬＳに刺激を与えて洗浄液ＬＣを生成する刺激器４と、前記過飽和液ＬＳ及び前記洗浄液ＬＣを通す経路３と、単位体積の洗浄液ＬＳに含まれる微細気泡の数である気泡密度を計測する下流側気泡密度計測器５と、気泡密度の増大／減少に対して刺激の強さが減少／増大するように前記刺激器４を制御する制御器６とを備え、前記経路３内の所定の領域Ａで、経路３を流れる過飽和液ＬＳに刺激器４で刺激を与え、前記領域Ａの下流側において前記気泡密度が一定に保たれるように、前記下流側気泡密度計測器５の計測に基づいて前記刺激器４を前記制御器６により制御する。【選択図】図１
2013123702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、
前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、
前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、
前記領域の下流側において、単位体積の前記洗浄液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する下流側気泡密度計測器と、
前記気泡密度が一定に保たれるように、気泡密度の増大／減少に対して刺激の強さが減少／増大するように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている、洗浄液生成装置。
【請求項２】
前記領域の上流側において、前記経路を流れる前記過飽和液に溶存している前記気体の濃度を計測する上流側濃度計測器と、
前記濃度が所定の基準濃度以下である濃度異常を検出する濃度異常検出器と、
前記濃度異常の検出に基づいて警報を出す濃度異常警報器とを、更に備えており、
前記基準濃度は、前記過飽和液の溶媒における前記気体の溶解度よりも小さく設定されている、請求項１に記載の洗浄液生成装置。
【請求項３】
前記領域の上流側において、単位体積の前記過飽和液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する上流側気泡密度計測器と、
前記気泡密度が所定の基準密度以上である気泡密度異常を検出する気泡密度異常検出器と、
前記気泡密度異常の検出に基づいて警告を出力する気泡密度異常警報器とを、更に備えており、
前記基準密度は、前記過飽和液が前記経路を通過することによる結果として推定される前記気泡密度よりも大きく設定されている、請求項１又は請求項２に記載の洗浄液生成装置。
【請求項４】
前記下流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項５】
前記下流側気泡密度計測器は、前記洗浄液に電流を流すことによって前記洗浄液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項６】
前記下流側気泡密度計測器は、前記洗浄液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項７】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項３、又は請求項３を引用する請求項４から請求項６のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項８】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に電流を流すことによって前記過飽和液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項３、又は請求項３を引用する請求項４から請求項６のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項９】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項３、又は請求項３を引用する請求項４から請求項６のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項１０】
前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、
上流側濃度計測器は、前記過飽和液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている、請求項２、又は請求項２を引用する請求項３から請求項９のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項１１】
過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、
前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、
前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、
前記領域の下流側において、前記経路を流れる前記洗浄液に溶存している前記気体の濃度を計測する下流側濃度計測器と、
前記濃度の増大／減少に対して前記刺激の強さを増大／減少させるように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている、洗浄液生成装置。
【請求項１２】
前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、
下流側濃度計測器は、前記洗浄液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている、請求項１１に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１３】
過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、
前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、
前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、
前記領域の上流側において、前記経路を流れる前記過飽和液に溶存している前記気体の濃度を計測する上流側濃度計測器と、
前記濃度の増大／減少に対して前記刺激の強さを減少／増大させるように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている、洗浄液生成装置。
【請求項１４】
前記経路を流れる前記過飽和液又は前記洗浄液の流量を計測する流量計測器を備えており、
前記制御器は、更に、前記流量の増大／減少に対して前記刺激の強さを減少／増大させるように前記刺激器を制御する、請求項１３に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１５】
前記濃度が所定の基準濃度以下である濃度異常を検出する濃度異常検出器と、
前記濃度異常の検出に基づいて警報を出す濃度異常警報器とを、更に備えており、
前記基準濃度は、前記過飽和液の溶媒における前記気体の溶解度よりも小さく設定されている、請求項１３又は請求項１４に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１６】
前記領域の上流側において、単位体積の前記過飽和液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する上流側気泡密度計測器と、
前記気泡密度が所定の基準密度以上である気泡密度異常を検出する気泡密度異常検出器と、
前記気泡密度異常の検出に基づいて警告を出力する気泡密度異常警報器とを、更に備えており、
前記基準密度は、前記過飽和液が前記経路を通過することによる結果として推定される前記気泡密度よりも大きく設定されている、請求項１３から請求項１５のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【請求項１７】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１６に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１８】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に電流を流すことによって前記過飽和液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１６に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１９】
前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている、請求項１６に記載の洗浄液生成装置。
【請求項２０】
前記流量計測器は、前記撮影部と、前記画像又は映像に基づいて前記流量を推定する推定部を備えている、請求項１４を引用する請求項１９に記載の洗浄液生成装置。
【請求項２１】
前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、
上流側濃度計測器は、前記過飽和液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている、請求項１３から請求項２０のいずれか１つに記載の洗浄液生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄方法として、化学的な洗浄や、物理的な洗浄がある。前者として、洗浄剤を用いた洗浄がある。アルコールも、洗浄剤の一例である。一方、後者として、超音波洗浄がある。超音波洗浄は、洗浄剤を用いた洗浄とは異なり、洗浄剤のような薬剤を用いないので、環境に対して大きな負荷をかけない。
【０００３】
超音波洗浄の例として、特許文献１は超音波洗浄装置を開示しており、特許文献２は超音波洗浄用の洗浄液の製造装置を開示している。これらの超音波洗浄は、キャビテーションを利用して対象物を洗浄している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３３１１３号公報
【特許文献２】特開２００８−１１９６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
超音波洗浄は、超音波によりキャビテーションを発生させる。具体的には、超音波が流体の圧力を局所的に低下させることによって、流体内に圧力差が発生する。この圧力差により、短時間で気泡の生成及び消滅が繰り返され、強い圧力波が発生する。この圧力波が対象物を洗浄するが、この圧力波が洗浄の対象物を損傷させる虞もある。このため、損傷しやすい対象物や人体を洗浄するには、超音波洗浄は適していない。
【０００６】
そこで、本発明は、洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る洗浄液生成装置は、過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、前記領域の下流側において、単位体積の前記洗浄液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する下流側気泡密度計測器と、前記気泡密度が一定に保たれるように、気泡密度の増大／減少に対して刺激の強さが減少／増大するように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている。
【０００８】
好ましくは、前記洗浄液生成装置は、前記領域の上流側において、前記経路を流れる前記過飽和液に溶存している前記気体の濃度を計測する上流側濃度計測器と、前記濃度が所定の基準濃度以下である濃度異常を検出する濃度異常検出器と、前記濃度異常の検出に基づいて警報を出す濃度異常警報器とを、更に備えており、前記基準濃度は、前記過飽和液の溶媒における前記気体の溶解度よりも小さく設定されている。
【０００９】
好ましくは、前記洗浄液生成装置は、前記領域の上流側において、単位体積の前記過飽和液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する上流側気泡密度計測器と、前記気泡密度が所定の基準密度以上である気泡密度異常を検出する気泡密度異常検出器と、前記気泡密度異常の検出に基づいて警告を出力する気泡密度異常警報器とを、更に備えており、前記基準密度は、前記過飽和液が前記経路を通過することによる結果として推定される前記気泡密度よりも大きく設定されている。
【００１０】
好ましくは、前記下流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１１】
好ましくは、前記下流側気泡密度計測器は、前記洗浄液に電流を流すことによって前記洗浄液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１２】
好ましくは、前記下流側気泡密度計測器は、前記洗浄液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１３】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１４】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に電流を流すことによって前記過飽和液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１５】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００１６】
好ましくは、前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、上流側濃度計測器は、前記過飽和液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている。
【００１７】
本発明に係る洗浄液生成装置は、過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、前記領域の下流側において、前記経路を流れる前記洗浄液に溶存している前記気体の濃度を計測する下流側濃度計測器と、前記濃度の増大／減少に対して前記刺激の強さを増大／減少させるように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている。
【００１８】
好ましくは、前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、下流側濃度計測器は、前記洗浄液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている。
【００１９】
本発明に係る洗浄液生成装置は、過飽和液に物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、前記過飽和液から微細気泡を含む洗浄液を生成する洗浄液生成装置であって、前記過飽和液及び前記洗浄液を通す経路と、前記経路内の所定の領域で、前記経路を流れる前記過飽和液に前記刺激を与える刺激器と、前記領域の上流側において、前記経路を流れる前記過飽和液に溶存している前記気体の濃度を計測する上流側濃度計測器と、前記濃度の増大／減少に対して前記刺激の強さを減少／増大させるように前記刺激器を制御する制御器とを、備えている。
【００２０】
好ましくは、前記洗浄液生成装置は、前記経路を流れる前記過飽和液又は前記洗浄液の流量を計測する流量計測器を備えており、前記制御器は、更に、前記流量の増大／減少に対して前記刺激の強さを減少／増大させるように前記刺激器を制御する。
【００２１】
好ましくは、前記洗浄液生成装置は、前記濃度が所定の基準濃度以下である濃度異常を検出する濃度異常検出器と、前記濃度異常の検出に基づいて警報を出す濃度異常警報器とを、更に備えており、前記基準濃度は、前記過飽和液の溶媒における前記気体の溶解度よりも小さく設定されている。
【００２２】
好ましくは、前記洗浄液生成装置は、前記領域の上流側において、単位体積の前記過飽和液に含まれる前記微細気泡の数である気泡密度を計測する上流側気泡密度計測器と、前記気泡密度が所定の基準密度以上である気泡密度異常を検出する気泡密度異常検出器と、前記気泡密度異常の検出に基づいて警告を出力する気泡密度異常警報器とを、更に備えており、前記基準密度は、前記過飽和液が前記経路を通過することによる結果として推定される前記気泡密度よりも大きく設定されている。
【００２３】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に光を照射する発光部と、前記過飽和液を透過する／又は前記過飽和液から反射する前記光の強度を検出する検出部と、前記強度に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００２４】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液に電流を流すことによって前記過飽和液の電気抵抗を検出する検出部と、前記電気抵抗に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００２５】
好ましくは、前記上流側気泡密度計測器は、前記過飽和液の画像又は映像を撮影する撮影部と、前記画像又は前記映像に基づいて前記気泡密度を推定する推定部とを、備えている。
【００２６】
好ましくは、前記流量計測器は、前記撮影部と、前記画像又は映像に基づいて前記流量を推定する推定部を備えている。
【００２７】
好ましくは、前記気体は一定の割合で酸素を含んでおり、上流側濃度計測器は、前記過飽和液の酸素濃度を検出する検出部と、前記酸素濃度に基づいて前記気体の前記濃度を推定する推定部とを、備えている。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係る洗浄液生成装置は、洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする。また、本発明に係る洗浄液生成装置は、洗浄液の性能の変動を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、第１実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図３】図３は、第２実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図４】図４は、第３実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図５】図５は、第４実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図６】図６は、第５実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図７】図７は、第６実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図８】図８は、第７実施形態に係る下流側気泡密度計測器の構成を示す図である。
【図９】図９は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１０】図１０は、第９実施形態に係る洗浄液生成装置を示す図である。
【図１１】図１１は、第１０実施形態に係る上流側濃度計測器の構成を示す図である。
【図１２】図１２は、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１３】図１３は、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１４】図１４は、第１３実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１５】図１５は、第１３実施形態に係る流量計測器の構成を示す図である。
【図１６】図１６は、第１４実施形態に係る流量計測器の構成を示す図である。
【図１７】図１７は、第１５実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１８】図１８は、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置の構成を示す図である。
【図１９】図１９は、第１７実施形態に係る上流側気泡密度計測器及び流量計測器の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。洗浄液生成装置１は、過飽和液ＬＳに物理的な又は電気的な刺激を加えることによって、過飽和液ＬＳから微細気泡を含む洗浄液ＬＣを生成する。飽和又は飽和していない溶液が安定状態にあるのに対して、過飽和液ＬＳは、準安定状態にある。このため、過飽和液ＬＳに刺激を加えることによって、準安定状態が安定状態に変化し、過飽和液ＬＳに溶存している気体の一部が微小気泡に変化する。この結果、過飽和液ＬＳから、微小気泡を含む洗浄液ＬＣが生成される。
【００３１】
図１において、洗浄液生成装置１は、過飽和液生成装置２、経路３、刺激器４、下流側気泡密度計測器５、及び第１制御器６を備えている。過飽和液生成装置２は、過飽和液ＬＳを生成する。経路３は、過飽和液ＬＳ及び洗浄液ＬＣを流す。経路３の始端は、過飽和液生成装置２に接続されている。刺激器４は、経路３内の所定の領域Ａで、経路３を流れる過飽和液ＬＳに刺激を与える。領域Ａにおいて、過飽和液ＬＳが洗浄液ＬＣに変化する。このため、領域Ａの上流側において、過飽和液ＬＳが経路３を流れており、領域Ａの下流側において洗浄液ＬＣが経路３を流れている。下流側気泡密度計測器５は、領域Ａの下流側において、洗浄液ＬＣの気泡密度を計測する。洗浄液ＬＣの気泡密度は、単位体積の洗浄液ＬＣに含まれる微細気泡の数である。第１制御器６は、洗浄液ＬＣの気泡密度が一定に保たれるように、気泡密度の増大／減少に対して刺激の強さが減少／増大するように刺激器４を制御する。第１制御器６は、下流側気泡密度計測器５によって検出された気泡密度を認識できる。
【００３２】
領域Ａの下流側には、洗浄液ＬＣによって洗浄される対象物が配置されている。経路３は、例えば、水道の蛇口である。この場合、食器や手が洗浄の対象物である。
【００３３】
第１実施形態では、過飽和液ＬＳの溶媒としての液体は水であり、過飽和液ＬＳの溶質としての気体は水素である。
【００３４】
気泡密度は次のようにして一定に保たれる。刺激の強さの増大／減少に応じて、微細気泡の発生が容易／困難になる。このため、気泡密度の増大／減少に対して刺激の強さを減少／増大させることにより、気泡密度の変動が抑制される。このため、気泡密度を一定に保つように、第１制御器６は刺激器４を制御できる。
【００３５】
作用は次の通りである。洗浄液生成装置１は、過飽和液ＬＳに刺激を与えることによって微細気泡を発生させる。このため、超音波によるキャビテーションと比べて、洗浄液ＬＣ中に発生する圧力差が小さく、微細気泡は比較的緩やかに消滅する。つまり、洗浄液ＬＣが洗浄の対象物に与える衝撃は、超音波によるキャビテーションと比べて、小さい。また、洗浄液ＬＣの気泡密度が一定に保たれる。
【００３６】
図２は、第１実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図２において、下流側気泡密度計測器５は、発光部４１、第１検出部４２、及び推定部４３を備えている。発光部４１及び検出部４２は、経路３の両側にそれぞれ配置されている。発光部４１は、洗浄液ＬＣに光を照射する。検出部４２は、洗浄液ＬＣを透過する光の強度を検出する。推定部４３は、その強度に基づいて洗浄液ＬＣの気泡密度を推定する。
【００３７】
気泡密度は次のようにして推定される。微細気泡の存在により洗浄液ＬＣの屈折率は、気泡の存在しない溶媒の屈折率よりも増大する。屈折によって光の方向が曲げられると、直進する光の割合が減少する。つまり、屈折率の増大／減少に応じて、検出される光の強度が減少／増大する。このため、光の強度に基づいて、気泡密度が特定される。
【００３８】
作用は次の通りである。光を用いた計測は、洗浄液ＬＣに対して非接触の計測であり、洗浄液ＬＣの流れを妨げない。
【００３９】
（第２−７実施形態）
第２−７実施形態に係る洗浄液生成装置１のそれぞれは、第１実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１）を備えている。ただし、第２−７実施形態に係る洗浄液生成装置１のそれぞれにおいて、下流側気泡密度計測器５の構成は変更されている。特に、第２−５実施形態に係る下流側気泡密度計測器５は、いずれも光を用いた計測を行っている。また、第２−７実施形態に係る洗浄液生成装置１のそれぞれは、洗浄液ＬＣに対して非接触の計測を行っており、第１実施形態に係る洗浄液生成装置１と同一の作用を有している。
【００４０】
（第２実施形態）
図３は、第２実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図３において、下流側気泡密度計測器５は、発光部４１、第２検出部４４、及び推定部４３を備えている。発光部４１及び第２検出部４４は、経路３の片側に配置されている。第２検出部４４は、洗浄液ＬＣから反射する光の強度を検出する。
【００４１】
気泡密度は次のようにして推定される。微細気泡の存在により洗浄液ＬＣの屈折率は、気泡の存在しない溶媒の屈折率よりも増大する。屈折によって光の方向が曲げられると、一部の光は、反対方向に反射される。つまり、屈折率の増大／減少に応じて、反射光の強度が増大／減少する。このため、反射光の強度に基づいて、気泡密度が特定される。
【００４２】
（第３実施形態）
図４は、第３実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図４において、下流側気泡密度計測器５は、発光・検出部４５、及び推定部４３を備えている。発光・検出部４５は、経路３の片側に配置されている。発光・検出部４５は、洗浄液ＬＣに光を照射し、且つ洗浄液ＬＣから反射する光の強度を検出する。
【００４３】
発光・検出部４５に入る光は、洗浄液ＬＣで反射された反射光である。このため、気泡密度は、第２実施形態に係る下流側気泡密度計測器５と同様の原理に基づいて、推定される。
【００４４】
（第４実施形態）
図５は、第４実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図５において、下流側気泡密度計測器５は、発光部４１、推定部４３、ピンホール鏡４６、反射鏡４７、及び第３検出部４８を備えている。ピンホール鏡４６は、点光源としての役割と反射鏡としての役割とを有している。第３検出部４８は、入力される光の強度を検出する。発光部４１、ピンホール鏡４６、及び第３検出部４８は、経路３の一側に設けられており、反射鏡４７は経路３の他側に設けられている。ピンホール鏡４６は、発光部４１の照射方向における前方に配置されており、発光部４１が光を照射するとき、ピンホール鏡４６のピンホールが点光源として機能する。ピンホール鏡４６の鏡面は、反射鏡４７と第３検出部４８との間を向いている。つまり、反射鏡４７からピンホール鏡４６に向かう光が第３検出部３８に向かうように、ピンホール鏡４６の姿勢が選択されている。
【００４５】
発光部４１から照射された光は、まず、ピンホール鏡４６内のピンホールを通過する。ピンホールから光が拡散され、第１光は反射鏡４７に向かい、第２光は第３検出部４８に向かう。第１光及び第２光は共に、ピンホールから拡散される光の一部である。第１光は、洗浄液ＬＣを透過し、洗浄液ＬＣで反射され、更に洗浄液ＬＣを透過し、ピンホール鏡４６で反射され、第３検出部４８に到達する。第２光は、そのまま第３検出部４８に到達する。第３検出部４８は、第１光及び第２光を合わせた強度を検出する。
【００４６】
第３検出部４８に入る光は、洗浄液ＬＣを透過した透過光（第１光）及び発光部４１からの直接光（第２光）である。このため、気泡密度は、第５実施形態に係る下流側気泡密度計測器５と同様の原理に基づいて、推定される。
【００４７】
（第５実施形態）
図６は、第５実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図６において、下流側気泡密度計測器５は、発光部４１、第１検出部４２、推定部４３、及びピンホール壁４９を備えている。ピンホール壁４９は、点光源としての役割を有している。発光部４１及びピンホール壁４９は、経路３の一側に設けられており、検出部４２は、他側に設けられている。ピンホール壁４９は、発光部４１の照射方向における前方に配置されており、発光部４１が光を照射するとき、ピンホール壁４９のピンホールが点光源として機能する。
【００４８】
発光部４１から照射された光は、まず、ピンホール壁４９内のピンホールを通過する。ピンホールから拡散される光の一部は、第１検出部４２に到達する。
【００４９】
第１検出部４２に入る光は、洗浄液ＬＣを透過した透過光である。このため、気泡密度は、第１実施形態に係る下流側気泡密度計測器５と同様の原理に基づいて、推定される。
【００５０】
（第６実施形態）
図７は、第６実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図７において、下流側気泡密度計測器５は、検出部５１及び推定部５２を備えている。検出部５１は、洗浄液ＬＣに電流を流すことによって洗浄液ＬＣの電気抵抗を検出する。推定部５２は、電気抵抗に基づいて気泡密度を推定する。ここで、検出部５１は、２つの電極５３、電源、及び電流計を有する電気回路を備えている。２つの電極５３は、経路３の両側にそれぞれ配置されている。２つの電極５３間に電圧を加えることにより、電気回路を流れる電流に基づいて、洗浄液ＬＣの電気抵抗が特定される。
【００５１】
気泡密度は次のようにして推定される。微細気泡の存在により洗浄液ＬＣの電気抵抗は、気泡の存在しない溶媒の電気抵抗よりも増大する。このため、電気抵抗に基づいて、気泡密度が特定される。
【００５２】
（第７実施形態）
図８は、第７実施形態に係る下流側気泡密度計測器５の構成を示す図である。図８において、下流側気泡密度計測器５は、洗浄液ＬＣの画像又は映像を撮影する撮影部６１と、画像又は映像に基づいて流量を推定する推定部６２とを備えている。
【００５３】
気泡密度は次のようにして推定される。まず、画像又は瞬間の映像（すなわち画像）に基づいて、画像範囲内の微細気泡の数が特定される。一定範囲内の微細気泡の数は、気泡密度に相当する。このため、画像又は映像に基づいて、気泡密度が特定される。
【００５４】
（第８実施形態）
図９は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図９において、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１）に加えて、上流側濃度計測器７、濃度異常検出器８、及び濃度異常警報器９を備えている。
【００５５】
上流側濃度計測器７は、領域Ａの上流側において、経路３を流れる過飽和液ＬＳに溶存している気体の濃度を計測する。濃度異常検出器８は、濃度異常を検出する。濃度異常は、濃度が所定の基準濃度以下であることを指している。基準濃度は、過飽和液ＬＳの溶媒における気体の溶解度よりも小さく設定されている。濃度異常検出器８は、上流側濃度計測器７によって計測された濃度を認識できる。濃度異常警報器９は、濃度異常の検出に基づいて警報を出す。
【００５６】
作用は次の通りである。濃度が溶解度より小さい場合、刺激によって発生する微小気泡の量が著しく低下する。気泡密度が著しく低下している場合、洗浄液ＬＣの洗浄における性能は大きく低下する。このような濃度異常が発生した場合に、濃度異常警報器９は警報を出す。
【００５７】
（第９実施形態）
図１０は、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１を示す図である。図１０において、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１）に加えて、上流側気泡密度計測器１０、気泡密度異常検出器１１、及び気泡密度異常警報器１２を備えている。
【００５８】
上流側気泡密度計測器１０は、領域Ａの上流側において、過飽和液ＬＳの気泡密度を計測する。過飽和液ＬＳの気泡密度は、単位体積の過飽和液ＬＳに含まれる微細気泡の数である。気泡密度異常検出器１１は、気泡密度異常を検出する。気泡密度異常は、気泡密度が所定の基準密度以上であることを指している。基準密度は、過飽和液ＬＳが前記経路を通過することによる結果として推定される気泡密度よりも大きく設定されている。気泡密度異常検出器１１は、上流側気泡密度計測器１０によって計測された気泡密度を認識できる。気泡密度異常警報器１２は、気泡密度異常の検出に基づいて警告を出力する。
【００５９】
作用は次の通りである。過飽和液ＬＳの気泡密度が基準密度以上である場合、過飽和液ＬＳは、経路３から通常以上の刺激を受けている。ここで、経路３内の損傷は、過飽和液ＬＳに通常以上の刺激を与える。このような気泡密度異常が発生した場合に、気泡密度異常警報器１２は警告を出す。
【００６０】
上流側気泡密度計測器１０は、第１−７実施形態に係る下流側気泡密度計測器５のいずれか１つと同様の構成を採用できる。ただし、第１−７実施形態に係る下流側気泡密度計測器５は洗浄液ＬＣの気泡密度を計測するが、上流側気泡密度計測器１０は過飽和液ＬＳの気泡密度を計測する。
【００６１】
変形例において、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第８実施形態に係る上流側濃度計測器７、濃度異常検出器８、及び濃度異常警報器９を備えてもよい。
【００６２】
（第１０実施形態）
図１１は、第１０実施形態に係る上流側濃度計測器７の構成を示す図である。第１０実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図９）を備えている。ただし、第８実施形態では、気体の組成は水素のみから構成されており、第８実施形態に係る上流側濃度計測器７は、水素濃度を計測する。これに対して、第１０実施形態では、気体は空気であり、一定の割合で酸素を含んでいる。これに対応して、第１０実施形態に係る上流側濃度計測器７は、酸素濃度の検出に基づいて、空気濃度を計測する。
【００６３】
図１１において、上流側濃度計測器７は、検出部７１及び推定部７２を備えている。検出部７１は、過飽和液ＬＳの酸素濃度を検出する。推定部７２は、酸素濃度に基づいて空気の濃度を推定する。
【００６４】
（第１１実施形態）
図１２は、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図１２において、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、過飽和液生成装置２、経路３、刺激器４、下流側濃度計測器１３、及び第２制御器１４を備えている。
【００６５】
下流側濃度計測器１３は、領域Ａの下流側において、経路３を流れる洗浄液ＬＣに溶存している気体の濃度を計測する。第２制御器１４は、濃度の増大／減少に対して刺激の強さを増大／減少させるように刺激器４を制御する。
【００６６】
作用は次の通りである。まず、刺激の強さの増大／減少に応じて、微細気泡の発生が容易／困難になる。微細気泡の発生が容易／困難になると、過飽和液ＬＳに溶存している気体が微細気泡になる割合が増大／減少する。一方、過飽和液ＬＳに溶存している気体が微細気泡になる割合が増大／減少するにつれて、洗浄液ＬＣに溶存している気体の濃度が減少／増大する。ここで、洗浄液ＬＣに溶存している気体は、過飽和液ＬＳ中で微細気泡に変化しなかった気体である。このため、濃度の増大／減少に対して刺激の強さが増大／減少すると、気泡密度の大きな変動が抑制される。
【００６７】
気体の組成が空気のように複数の元素を含んでいる場合、第１１実施形態に係る下流側濃度計測器１３は、第１０実施形態に係る上流側濃度計測器７と同一の構成（図１０）を利用できる。
【００６８】
（第１２実施形態）
図１３は、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図１３において、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１は、過飽和液生成装置２、経路３、刺激器４、上流側濃度計測器７、及び第３制御器１５を備えている。第３制御器１５は、濃度の増大／減少に対して刺激の強さを減少／増大させるように刺激器４を制御する。
【００６９】
作用は次の通りである。濃度の増大／減少に応じて、刺激による微細気泡の発生が容易／困難になる。濃度の増大／減少に対して刺激の強さが減少／増大するので、気泡密度の大きな変動が抑制される。
【００７０】
気体の組成が空気のように複数の元素を含んでいる場合、第１２実施形態に係る上流側濃度計測器７は、第１０実施形態に係る上流側濃度計測器７と同一の構成（図１０）を利用できる。
【００７１】
（第１３実施形態）
図１４は、第１３実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図１４において、第１４実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１３）に加えて、流量計測器１６を備えている。流量計測器１６は、経路３を流れる過飽和液ＬＳの流量を計測する。第３制御器１５は、更に、流量の増大／減少に対して刺激の強さを減少／増大させるように刺激器４を制御する。つまり、濃度の変化及び流量の変化に応じて、刺激の強さが変更される。
【００７２】
作用は次の通りである。流量の増大／減少に応じて、単位体積あたりに加えられる刺激の強さが減少／増大し、気泡密度が減少／増大する。流量の増大／減少に対して刺激の強さが増大／減少するので、気泡密度の大きな変動が抑制される。
【００７３】
図１５は、第１３実施形態に係る流量計測器１６の構成を示す図である。図１５において、流量計測器１６は、羽根３１及び推定部３２を備えている。羽根３１は、経路３を流れる過飽和液ＬＳと接触するように配置されており、過飽和液ＬＳの流速に対応する回転速度で回転する。推定部３２は、羽根３１の回転速度に基づいて、過飽和液ＬＳの流量を推定する。ここで、流量は、流速及び経路３の開口断面積に基づいて特定される。
【００７４】
（第１４実施形態）
図１６は、第１４実施形態に係る流量計測器１６の構成を示す図である。第１４実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１３実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１４）を備えている。ただし、流量計測器１６の構成は変更されている。第１４実施形態に係る流量計測器１６は、羽根３１の代わりに回転体３３を備えている。
【００７５】
図１６において、回転体３３は、経路３を流れる過飽和液ＬＳと接触するように配置されており、過飽和液ＬＳの流速に対応する回転速度で回転する。推定部３２は、回転体３３の回転速度に基づいて、過飽和液ＬＳの流量を推定する。
【００７６】
（第１５実施形態）
図１７は、第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図１７において、第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１３）に加えて、濃度異常検出器８及び濃度異常警報器９を備えている。
【００７７】
第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１と同様に、上流側濃度計測器８、濃度異常検出器８、及び濃度異常警報器９を備えている。このため、第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１の特徴的な作用は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１の特徴的な作用と同様である。
【００７８】
（第１６実施形態）
図１８は、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成を示す図である。図１８において、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１３）に加えて、上流側気泡密度計測器１０、気泡密度異常検出器１１、及び気泡密度異常警報器１２を備えている。
【００７９】
第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１と同様に、上流側気泡密度計測器１０、気泡密度異常検出器１１、及び気泡密度異常警報器１２を備えている。このため、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１の特徴的な作用は、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１の特徴的な作用と同様である。
【００８０】
上流側気泡密度計測器１０は、第１−７実施形態に係る下流側気泡密度計測器５のいずれか１つと同様の構成を採用できる。ただし、第１−７実施形態に係る下流側気泡密度計測器５は洗浄液ＬＣの気泡密度を計測するが、上流側気泡密度計測器１０は過飽和液ＬＳの気泡密度を計測する。
【００８１】
変形例において、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１３実施形態に係る流量計測器１６、及び／又は第１５実施形態に係る構成要素（濃度異常検出器８、濃度異常警報器９）を備えても良い。
【００８２】
（第１７実施形態）
図１９は、第１７実施形態に係る上流側気泡密度計測器１０及び流量計測器１６の構成を示す図である。第１７実施形態に係る洗浄液生成装置１は、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１の構成要素（図１８）を備えている。ただし、上流側気泡密度計測器１０及び流量計測器１６の構成が部分的に変更されている。
【００８３】
図１９において、上流側気泡密度計測器１０は、上述したように撮影部６１及び推定部６２を備えている。一方、流量計測器１６は、撮影部６１及び推定部６３を備えている。推定部６３は、画像又は映像に基づいて流量を推定する。つまり、上流側気泡密度計測器１０及び上流側流量計測器１６は、撮影部６１を兼用している。
【００８４】
流量は次のようにして推定される。異なる時刻に撮影された複数の画像又は映像に基づいて、微細気泡の移動速度が特定される。微細気泡の移動速度は、過飽和液ＬＳの流速に等しい。更に、流速に基づいて、流量が特定される。
【００８５】
作用は次の通りである。流量を計測する計測器及び気泡密度を計測する計測器が、部分的に共通部品を用いて構成される。
【００８６】
（本実施形態の効果）
本実施形態に係る洗浄液生成装置１は、次の効果を有している。
【００８７】
第１−９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、経路３、刺激器４、下流側密度計測器５、及び第１制御器６を備えている。このため、第１−９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする。また、第１−９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄液ＬＣの性能の変動を抑制できる。
【００８８】
第８実施形態に係る洗浄液生成装置１は、濃度異常検出器８及び濃度異常警報器９を備えている。このため、第８実施形態に係る洗浄液生成装置１は、不良な洗浄液ＬＣが発生する可能性があることを警告できる。
【００８９】
第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、上流側気泡密度計測器１０、気泡密度異常検出器１１、及び気泡密度異常警報器１２を備えている。このため、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、経路３に損傷が発生している可能性があることを検出できる。
【００９０】
第１−５実施形態に係る洗浄液生成装置１において、下流側気泡密度計測器５は、発光部（４１、４５）、検出部（４２、４４、４５、４８）、及び推定部４３を備えている。このため、第１−５実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９１】
第６実施形態に係る洗浄液生成装置１において、下流側気泡密度計測器５は、電気抵抗を検出する検出部５１及び推定部５２を備えている。このため、第６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９２】
第７実施形態に係る洗浄液生成装置１において、下流側気泡密度計測器５は、撮影部６１及び推定部６２を備えている。このため、第７実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９３】
第９実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、発光部（４１、４５）、検出部（４２、４４、４５、４８）、及び推定部４３を備えてもよい。この場合、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９４】
第９実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、電気抵抗を検出する検出部５１及び推定部５２を備えてもよい。この場合、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９５】
第９実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、撮影部及６１及び推定部６２を備えてもよい。この場合、第９実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【００９６】
第１０実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側濃度計測器７は、酸素濃度を検出する検出部７１と、推定部７２とを備えている。このため、第１０実施形態に係る洗浄液生成装置１は、空気のように酸素を含む気体の濃度を計測できる。
【００９７】
第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、経路３、刺激器４、下流側濃度計測器１３、及び第２制御器１４を備えている。このため、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする。また、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄液ＬＣの性能の大幅な変動を抑制できる。
【００９８】
第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１において、下流側濃度計測器１３は、上流側濃度計測器７と同一の構成を採用しても良い。この場合、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、空気のように酸素を含む気体の濃度を計測できる。
【００９９】
第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１は、経路３、刺激器４、上流側濃度計測器７、及び第２制御器１５を備えている。このため、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄の対象物を大きく損傷させることなく、物理的な洗浄を可能とする。また、第１１実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄液ＬＣの性能の大幅な変動を抑制できる。
【０１００】
第１３、１４実施形態に係る洗浄液生成装置１は、流量計測器１６を備えており、第３制御器１５は流量に基づいて刺激の強さを制御する。このため、第１３、１４実施形態に係る洗浄液生成装置１は、洗浄液の性能の大幅な変動を抑制できる。
【０１０１】
第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１は、濃度異常検出器８及び濃度異常警報器９を備えている。このため、第１５実施形態に係る洗浄液生成装置１は、不良な洗浄液が発生する可能性があることを警告できる。
【０１０２】
第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、上流側気泡密度計測器１０、気泡密度異常検出器１１、及び気泡密度異常警報器１２を備えている。このため、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、経路３に損傷が発生している可能性があることを検出できる。
【０１０３】
第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、発光部（４１、４５）、検出部（４２、４４、４５、４８）、及び推定部４３を備えてもよい。この場合、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【０１０４】
第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、電気抵抗を検出する検出部５１及び推定部５２を備えてもよい。この場合、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【０１０５】
第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側気泡密度計測器１０は、撮影部及６１及び推定部６２を備えてもよい。この場合、第１６実施形態に係る洗浄液生成装置１は、気泡密度の計測のために洗浄液ＬＣの流れが阻害されることを防止できる。
【０１０６】
第１７実施形態に係る洗浄液生成装置１において、流量計測器１６は、撮影部６１及び推定部６３を備えており、流量計測器１６及び上流側気泡密度計測器１０は撮影部６１を兼用している。このため、第１７実施形態に係る洗浄液生成装置１は、計測に関連する構成を簡素化できる。
【０１０７】
第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１において、上流側濃度計測器７は、酸素濃度を検出する検出部７１と、推定部７２とを備えてもよい。この場合、第１２実施形態に係る洗浄液生成装置１は、空気のように酸素を含む気体の濃度を計測できる。
【符号の説明】
【０１０８】
１  洗浄液生成装置
２  過飽和液生成装置
３  経路
４  刺激器
５  下流側気泡密度計測器
６  第１制御器
７  上流側計測器
８  濃度異常検出器
９  濃度異常警報器
１０  上流側気泡密度計測器
１１  気泡密度異常検出器
１２  気泡密度異常警報器
１３  下流側濃度計測器
１４  第２制御器
１５  第３制御器
１６  流量計測器
Ａ  領域
ＬＳ  過飽和液
ＬＣ  洗浄液
【図１】
2013123702.tif 000003
【図２】
2013123702.tif 000004
【図３】
2013123702.tif 000005
【図４】
2013123702.tif 000006
【図５】
2013123702.tif 000007
【図６】
2013123702.tif 000008
【図７】
2013123702.tif 000009
【図８】
2013123702.tif 000010
【図９】
2013123702.tif 000011
【図１０】
2013123702.tif 000012
【図１１】
2013123702.tif 000013
【図１２】
2013123702.tif 000014
【図１３】
2013123702.tif 000015
【図１４】
2013123702.tif 000016
【図１５】
2013123702.tif 000017
【図１６】
2013123702.tif 000018
【図１７】
2013123702.tif 000019
【図１８】
2013123702.tif 000020
【図１９】
2013123702.tif 000021