(57)【要約】【課題】軸体を小さな角速度で微回転可能な粗微回転駆動装置を提供すること。【解決手段】円盤状回転体１１を持つ軸体を回転可能に収容する筒状取付部、そして上記回転体に第一の回転伝達機構２１を介して連結された環状粗回転駆動ハンドル３１と第二の回転伝達機構２２を介して連結された微回転駆動ハンドル３２を含み、上記機構２１、２２は共に、ハンドル３２に連結する楕円状回転板２３の周囲に球軸受２４を介して配置した可撓性環状歯車２５、歯車２５に一部分が噛み合う歯を内周面に備えた二つの剛性環状歯車、ただし一方の歯車Ａの歯数は歯車２５の歯数と同一で、他方の歯車Ｂの歯数は歯車２５の歯数よりも多い、を含む歯車装置を介する機構であり、上記機構２１は、歯車Ａ、歯車２５、そして歯車Ｂを介して回転体１１とハンドル３１とを連結し、上記機構２２は、回転板２３、歯車２５、そして歯車Ｂを介して回転体１１とハンドル３２とを連結している粗微回転駆動装置。【選択図】図２
2013148166.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部に円盤状回転体を備えた軸体、該軸体を回転可能に収容保持する筒状取付部、円盤状回転体に第一の回転伝達機構を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル、そして円盤状回転体に第二の回転伝達機構を介して連結されている微回転駆動ハンドルを含み、第一の回転伝達機構と第二の回転伝達機構とは共に、微回転駆動ハンドルに連結する楕円状回転板、該楕円状回転板の円周に沿って付設された球軸受、該球軸受の外周側に配置された可撓性環状歯車、そして該可撓性環状歯車と少なくとも前記楕円状回転板の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた互いに歯数が異なる二つの剛性環状歯車、ただし一方の剛性環状歯車Ａの歯数は前記可撓性環状歯車の歯数と同一であり、他方の剛性環状歯車Ｂの歯数は前記可撓性環状歯車の歯数よりも多い、を含む歯車装置を介する回転伝達機構であるが、第一の回転伝達機構は、剛性環状歯車Ａ、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体と環状粗回転駆動ハンドルとを連結しており、第二の回転伝達機構は、楕円状回転体、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体と微回転駆動ハンドルとを連結していることを特徴とする一本の軸体に角速度の異なる回転運動を与えることのできる粗微回転駆動装置。
【請求項２】
一方の端部に円盤状回転体を備えた軸体、該軸体を回転可能に収容保持する筒状取付部、円盤状回転体に第一の回転伝達機構を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル、そして円盤状回転体に第二の回転伝達機構を介して連結されている微回転駆動ハンドルを含み、第一の回転伝達機構と第二の回転伝達機構とは共に、微回転駆動ハンドルに連結する楕円状回転板、該楕円状回転板の円周に沿って付設された球軸受、該球軸受の外周側に配置された可撓性環状歯車、そして該可撓性環状歯車と少なくとも前記楕円状回転板の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた剛性環状歯車、ただし該剛性環状歯車の歯数は前記可撓性環状歯車の歯数よりも多い、を含む歯車装置を介する回転伝達機構であるが、第一の回転伝達機構は、剛性環状歯車、そして可撓性環状歯車を介して円盤状回転体と環状粗回転駆動ハンドルとを連結しており、第二の回転伝達機構は、楕円状回転体、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車を介して円盤状回転体と微回転駆動ハンドルとを連結していることを特徴とする一本の軸体に角速度の異なる回転運動を与えることのできる粗微回転駆動装置。
【請求項３】
環状粗回転駆動ハンドルが、環状部が筒状取付部の周囲まで延びた筒状のフランジを備えていて、該筒状フランジの内周面と筒状取付部の外周面とが摩擦発生手段を介して摺動可能に固定されている請求項１または２に記載の粗微回転駆動装置。
【請求項４】
摩擦発生手段がＯリングである請求項３に記載の粗微回転駆動装置。
【請求項５】
軸体の周囲に歯車が備えられてなる請求項１乃至４のうちのいずれかの項に記載の粗微回転駆動装置。
【請求項６】
ラックを備えたテーブルの該ラックに歯車を係合させて、該歯車を粗微回転させることによりテーブルの位置を調節するための請求項５に記載の粗微回転駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機械に組み込まれる位置決め装置の駆動装置、特に各種の光学機器や機械加工装置に組み込まれる位置決め装置の駆動装置として有利に用いることができる粗微回転駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の光学機器、例えば、顕微鏡や望遠鏡には、観察対象の試料に焦点を合わせる際に試料台や対物レンズを光軸方向に直線移動させて位置決めする装置が組み込まれている。また、各種の機械加工装置には、加工対象物を支持する試料台を水平方向あるいは垂直方向に直線移動させて位置決めする装置が組み込まれている。
【０００３】
このような位置決め装置の駆動装置として、手動による簡易な操作を目的として、軸体（駆動軸）を相対的に大きな角速度で回転させることのできる粗回転駆動ハンドルと、上記軸体を相対的に小さな角速度で回転させることのできる微回転駆動ハンドルとを備えた粗微回転駆動装置を用いることは知られている。
【０００４】
特許文献１に記載の顕微鏡には、顕微鏡の試料台を上下方向に移動させて位置決めする装置として、上記の試料台に備えられたラック、ラックに噛み合わされたピニオン、および前記ピニオンが装着された軸体（駆動軸）を備える粗微回転駆動装置が組み込まれている。
【０００５】
同文献に記載の粗微回転駆動装置は、軸体を相対的に大きな角速度で周方向に回転（以下「粗回転」とも云う）させるための粗回転駆動ハンドル（粗動ハンドル）、前記軸体を相対的に小さな角速度で周方向に回転（以下「微回転」とも云う）させるための微回転駆動ハンドル（微動ハンドル）、そして微回転駆動ハンドルの角速度を減速して上記軸体に伝達する回転伝達機構として遊星歯車（減速機）を備えている。
【０００６】
上記の粗回転駆動ハンドルは、軸体に直接的に接続されていて、そして微回転駆動ハンドルは、軸体に遊星歯車を介して接続されている。
【０００７】
従って、上記の粗回転駆動ハンドルを回転させることにより、粗回転駆動ハンドルに接続している軸体をその周囲に装着されたピニオンと共に粗回転させ、そしてピニオンに噛み合わされているラックを試料台と共に大きな速度で直線移動（以下「粗動」とも云う）させることができる。
【０００８】
一方、上記の微回転駆動ハンドルを回転させることにより、微回転駆動ハンドルに遊星歯車（減速機）を介して接続している軸体をその周囲に装着されたピニオンと共に微回転させ（詳細には、微回転駆動ハンドルの角速度を遊星歯車の減速比で除した角速度にて回転させ）、そしてピニオンに噛み合わされているラックを試料台と共に相対的に小さな速度で直線移動（以下「微動」とも云う）させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２４２３８７号公報（第３図参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
例えば、顕微鏡により高倍率で試料を観察する場合には、微回転駆動ハンドルの操作により微回転する軸体の角速度が小さいことが望まれる場合がある。軸体の微回転の角速度を小さくするためには、高い減速比を示す遊星歯車を用いればよいが、それでも十分な減速比が得られない場合がある。
【００１１】
本発明の課題は、微回転駆動ハンドルの操作により軸体を小さな角速度で微回転させることができる粗微回転駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
減速装置としては、遊星歯車を利用する装置の他に各種知られているが、その中でも特に高い減速比での減速を可能にする減速機構として波動歯車機構が知られていて、その波動歯車機構に基づく減速装置として各種の構成の波動歯車装置が既に製品化され、市販されている。しかしながら、そのような波動歯車装置を利用した粗微回転駆動装置はこれまでに知られていない。
【００１３】
本発明者は、そのような波動歯車装置を利用することにより、上記の課題を解決できる粗微回転駆動装置を製造することができるのではないかと考え、研究を行なった。そして、その研究の結果、本発明者は、各種の波動歯車装置のうちの特定の構成の波動歯車装置を選び、さらにその特定の構成の波動歯車装置を介して、回転軸と、粗回転を駆動させるための粗回転駆動ハンドルそして微回転を駆動させるための微回転駆動ハンドルとを特定の構成の連結手段によりそれぞれ連結することによって、上記の課題の解決が可能となることを見出し、本発明に到達した。
【００１４】
本発明は、一方の端部に円盤状回転体を備えた軸体、軸体を回転可能に収容保持する筒状取付部、円盤状回転体に第一の回転伝達機構を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル、そして円盤状回転体に第二の回転伝達機構を介して連結されている微回転駆動ハンドルを含み、第一の回転伝達機構と第二の回転伝達機構とは共に、微回転駆動ハンドルに連結する楕円状回転板、楕円状回転板の円周に沿って付設された球軸受、球軸受の外周側に配置された可撓性環状歯車、そして可撓性環状歯車と少なくとも前記楕円状回転板の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた互いに歯数が異なる二つの剛性環状歯車、ただし一方の剛性環状歯車Ａの歯数は前記可撓性環状歯車の歯数と同一であり、他方の剛性環状歯車Ｂの歯数は前記可撓性環状歯車の歯数よりも多い、を含む歯車装置を介する回転伝達機構であるが、第一の回転伝達機構は、剛性環状歯車Ａ、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体と環状粗回転駆動ハンドルとを連結しており、第二の回転伝達機構は、楕円状回転板、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体と微回転駆動ハンドルとを連結していることを特徴とする一本の軸体に角速度の異なる回転運動を与えることのできる粗微回転駆動装置にある。
【００１５】
本発明はまた、一方の端部に円盤状回転体を備えた軸体、軸体を回転可能に収容保持する筒状取付部、円盤状回転体に第一の回転伝達機構を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル、そして円盤状回転体に第二の回転伝達機構を介して連結されている微回転駆動ハンドルを含み、第一の回転伝達機構と第二の回転伝達機構とは共に、微回転駆動ハンドルに連結する楕円状回転板、楕円状回転板の円周に沿って付設された球軸受、球軸受の外周側に配置された可撓性環状歯車、そして可撓性環状歯車と少なくとも前記楕円状回転板の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた剛性環状歯車、ただし剛性環状歯車の歯数は前記可撓性環状歯車の歯数よりも多い、を含む歯車装置を介する回転伝達機構であるが、第一の回転伝達機構は、剛性環状歯車、そして可撓性環状歯車を介して円盤状回転体と環状粗回転駆動ハンドルとを連結しており、第二の回転伝達機構は、楕円状回転板、可撓性環状歯車、そして剛性環状歯車を介して円盤状回転体と微回転駆動ハンドルとを連結していることを特徴とする一本の軸体に角速度の異なる回転運動を与えることのできる粗微回転駆動装置にもある。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の粗微回転駆動装置は、高い減速比を示す歯車装置（波動歯車装置）を用いているため、微回転駆動ハンドルの操作により軸体を十分に小さな角速度で微回転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の粗微回転駆動装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した粗微回転駆動装置１０の断面図である。
【図３】図２の粗微回転駆動装置１０を支持板４１に固定した状態で示す図である。
【図４】図２に示す歯車装置２９の楕円状回転板２３、球軸受２４、可撓性環状歯車２５、および剛性環状歯車Ｂの構成の概略を示す右側面図である。
【図５】図４に示す楕円状回転板２３を一回転させたときの剛性環状歯車Ｂの配置を示す図である。
【図６】図２に示す歯車装置２９の楕円状回転板２３、球軸受２４、可撓性環状歯車２５、および剛性環状歯車Ａの構成の概略を示す右側面図である。
【図７】図６に示す楕円状回転板２３を一回転させたときの剛性環状歯車Ａの配置を示す図である。
【図８】本発明の粗微回転駆動装置の別の構成例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
先ず、本発明の粗微回転駆動装置の代表的な構成例について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は、本発明の粗微回転駆動装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した粗微回転駆動装置１０の断面図である。そして図３は、図２の粗微回転駆動装置１０を支持板４１に固定した状態で示す図である。
【００２０】
図４は、図２に示す歯車装置２９の楕円状回転板２３、球軸受２４、可撓性環状歯車２５、および剛性環状歯車Ｂの構成の概略を示す右側面図であり、そして図５は、図４に示す楕円状回転板２３を一回転させたときの剛性環状歯車Ｂの配置を示す図である。
【００２１】
図６は、図２に示す歯車装置２９の楕円状回転板２３、球軸受２４、可撓性環状歯車２５、および剛性環状歯車Ａの構成の概略を示す右側面図であり、そして図７は、図６に示す楕円状回転板２３を一回転させたときの剛性環状歯車Ａの配置を示す図である。
【００２２】
上記の図４〜図７は、本発明の粗微回転駆動装置の技術内容を容易に理解することができるように、以下のように作成している。楕円状回転板２３、球軸受２４、および可撓性環状歯車は２５は、それぞれ楕円の形状に記入しているが、この楕円の長軸（長径）の長さに対する短軸（短径）の長さの比は実際よりも小さな値に設定している。従って、本明細書で云う「楕円」には、長軸の長さに対する短軸の長さの比が１に近いもの、すなわち円に近いものも含まれる。また、可撓性環状歯車２５および剛性環状歯車Ａ、Ｂの各々が備える歯は、実際よりも大きな寸法で且つ概略的な形状にて記入してある。更にまた、上記の各図面に、図２に示す楕円状回転板２３の中央の開口部２３ａ、そして球軸受２４の内輪２４ａと外輪２４ｂは記入していない。
【００２３】
粗微回転駆動装置１０は、一方の端部に円盤状回転体１１を備えた軸体１２、軸体１２を回転可能に収容保持する筒状取付部１３、円盤状回転体１１に第一の回転伝達機構２１を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル３１、そして円盤状回転体１１に第二の回転伝達機構２２を介して連結されている微回転駆動ハンドル３２から構成されていて、上記の一本の軸体１２に角速度の異なる回転運動を与えることができる装置である。
【００２４】
第一の回転伝達機構２１と第二の回転伝達機構２２とは共に、微回転駆動ハンドル３２に連結する楕円状回転板２３、楕円状回転板２３の円周に沿って付設された球軸受２４、球軸受２４の外周側に配置された可撓性環状歯車２５、そして可撓性環状歯車２５と前記楕円状回転板２３の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた互いに歯数が異なる二つの剛性環状歯車Ａ、Ｂを含む歯車装置２９を介する回転伝達機構である。歯車装置２９としては、公知の波動歯車装置が用いられている。
【００２５】
上記の歯車装置２９の二つの剛性環状歯車Ａ、Ｂのうちの一方の剛性環状歯車Ａの歯数は可撓性環状歯車２５の歯数と同一であり、そして他方の剛性環状歯車Ｂの歯数は可撓性環状歯車２５の歯数よりも多い。
【００２６】
図４〜図７に示すように、可撓性環状歯車２５は、例えば、歯ａ1から歯ａ358までの合計で３５８枚の歯を備えていて、そして直径方向の厚みが小さいため可撓性を示す。
【００２７】
剛性環状歯車Ａは、例えば、歯ｃ1から歯ｃ358までの合計で３５８枚の歯、すなわち可撓性環状歯車２５の歯数と同一の歯数の歯を備えていて、そして直径方向の厚みが大きいため高い剛性を示す（可撓性を示さない）。そして剛性環状歯車Ｂは、例えば、歯ｂ1から歯ｂ360までの合計で３６０枚の歯、すなわち可撓性環状歯車２５の歯数よりも二枚多い歯数の歯を備えていて、そして直径方向の厚みが大きいため高い剛性を示す（可撓性を示さない）。
【００２８】
第一の回転伝達機構２１は、剛性環状歯車Ａ、可撓性環状歯車２５、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体１１と環状粗回転駆動ハンドル３１とを連結している。そして第二の回転伝達機構２２は、楕円状回転板２３、可撓性環状歯車２５、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体１１と微回転駆動ハンドル３２とを連結している。
【００２９】
上記本発明の粗微回転駆動装置１０は、図３に示すように、例えば、開口部４１ａが設けられた支持板４１に支持固定される。
【００３０】
粗微回転駆動装置１０を支持板４１の開口部４１ａの内側に位置決めするため、筒状取付部１３には、前記開口部４１ａの内側に嵌め合いとなる環状の突起１３ｃが設けられている。支持板４１と筒状取付部１３とは、例えば、ボルト（図示していない）を介して互いに固定される。図１に示すように、筒状取付部１３の前面には、前記ボルトをねじ込むねじ孔１３ａが形成されている。
【００３１】
次に、環状粗回転駆動ハンドル３１を回転させた場合の粗微回転駆動装置１０の動作について説明する。
【００３２】
前記のように、環状粗回転駆動ハンドル３１には、第一の回転伝達機構２１を介して、すなわち剛性環状歯車Ａ、歯車Ａに噛み合う可撓性環状歯車２５、そして可撓性環状歯車２５に噛み合う剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体１１が連結されている。
【００３３】
従って、環状粗回転駆動ハンドル３１を、図２の右側から見て、例えば、時計回り方向に一回転させると、円盤状回転体１１に接続している軸体１２もまた時計回り方向に一回転する。詳細には、粗微回転駆動装置１０の筒状取付部１３を除く全ての部品（前記軸体１２を含む）が、筒状取付部１３に支持された状態にて時計回り方向に一回転する。
【００３４】
このように、環状粗回転駆動ハンドル３１を回転させることにより、ハンドル３１の角速度と同一の角速度にて軸体１２を回転（粗回転）させることができる。
【００３５】
続いて、微回転駆動ハンドル３２を回転させた場合の粗微回転駆動装置１０の動作について説明する。
【００３６】
前記のように、微回転駆動ハンドル３２には、第二の回転伝達機構２２を介して、すなわち楕円状回転板２３、可撓性環状歯車２５、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体１１が連結されている。
【００３７】
微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に回転させる前には、図４に示すように、例えば、可撓性環状歯車２５の歯ａ1と剛性環状歯車Ｂの歯ｂ1とが噛み合っている。
【００３８】
詳細には、楕円状回転板２３の周囲に球軸受２４を介して装着された可撓性環状歯車２５が、楕円状回転板２３の形状に応じた形状に弾性変形し、このため楕円状回転板２３の長軸方向の延長部において可撓性環状歯車２５の歯ａ1と剛性環状歯車Ｂの歯ｂ1とが噛み合っている。
【００３９】
このように、歯ａ1と歯ｂ1とが噛み合った状態で、微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に、例えば、時計回り方向に回転させていくと、回転する楕円状回転板２３の長軸方向の向き（配置）に応じて、上記の歯ａ1と歯ｂ1との噛み合いに続いて、歯ａ2と歯ｂ2、そして歯ａ3と歯ｂ3とが順次噛み合っていく。
【００４０】
そして微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に一回転させると、剛性環状歯車Ｂの歯数が可撓性環状歯車２５の歯数よりも２枚多いことから、図５に示すように可撓性環状歯車２５の歯ａ1は、剛性環状歯車Ｂの歯ｂ359と噛み合うことになる。
【００４１】
このため、微回転駆動ハンドル３２を回転させる前に歯ａ1と噛み合っていた歯ｂ1は、微回転駆動ハンドルを一回転させると歯車の周方向に沿って歯数二枚分だけ微動、すなわち剛性環状歯車Ｂが歯数二枚分だけ（２度の角度にて）微回転する。
【００４２】
このように、微回転駆動ハンドル３２を回転させることにより、ハンドル３２の角速度に対して非常に小さな角速度にて軸体１２を回転（微回転）させることができる。
【００４３】
以下では、上記のように微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に一回転させているときの剛性環状歯車Ａの動作について説明する。
【００４４】
上記のように微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に回転させる前には、図６に示すように、例えば、可撓性環状歯車２５の歯ａ1と剛性環状歯車Ａの歯ｃ1とが噛み合っている。
【００４５】
そして微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に一回転させると、剛性環状歯車Ａの歯数が可撓性環状歯車２５の歯数と同一であることから、図７に示すように可撓性環状歯車２５の歯ａ1は、剛性環状歯車Ａの歯ｃ1と再び噛み合うことになる。
【００４６】
従って、微回転駆動ハンドル３２を楕円状回転板２３と共に一回転（あるいはそれ以上回転）させても、剛性環状歯車Ａが可撓性環状歯車２５に対して回転することはない。
【００４７】
本発明においては、高い減速比を示す歯車装置（波動歯車装置）を組み込んだ粗微回転駆動装置を実現するため、筒状取付部を用いた装置の取り付け構造を採用し、そして環状粗回転駆動ハンドルを回転させた際には、筒状取付部を除く全ての部品（軸体を含む）が回転するように、その一方で微回転駆動ハンドルを回転させた際には、環状粗回転駆動ハンドルの回転が抑制（あるいは防止）されるように、軸体が備える円盤状回転体と環状粗回転駆動ハンドル及び微回転駆動ハンドルのそれぞれとを連結する、上記歯車装置を介した第一の回転伝達機構と第二の回転伝達機構とを設けることにより、一本の軸体に角速度の異なる回転運動を与えることを可能としている。
【００４８】
本発明の粗微回転駆動装置は、高い減速比を示す歯車装置（波動歯車装置）を用いているため、微回転駆動ハンドルを回転することにより軸体を十分に小さな角速度にて微回転させることができる。
【００４９】
図８は、本発明の粗微回転駆動装置の別の構成例を示す断面図である。
【００５０】
粗微回転駆動装置８０は、一方の端部に円盤状回転体１１を備えた軸体１２、軸体１２を回転可能に収容保持する筒状取付部１３、円盤状回転体１１に第一の回転伝達機構８１を介して連結されている環状粗回転駆動ハンドル３１、そして円盤状回転体１１に第二の回転伝達機構８２を介して連結されている微回転駆動ハンドル３２から構成されていて、上記の一本の軸体１２に角速度の異なる回転運動を与えることができる装置である。
【００５１】
第一の回転伝達機構８１と第二の回転伝達機構８２とは共に、微回転駆動ハンドル３２に連結する楕円状回転板２３、楕円状回転板２３の円周に沿って付設された球軸受２４、球軸受２４の外周側に配置された可撓性環状歯車８５、そして可撓性環状歯車８５と前記楕円状回転板２３の長軸方向の延長部にて噛み合う歯を内周面に備えた剛性環状歯車Ｂを含む歯車装置８９を介する回転伝達機構である。歯車装置８９としては、公知の波動歯車装置が用いられている。
【００５２】
剛性環状歯車Ｂは、可撓性環状歯車８５の歯数よりも多い歯数の歯を備えていて、そして直径方向の厚みが大きいため高い剛性を示す（可撓性を示さない）。
【００５３】
第一の回転伝達機構８１は、剛性環状歯車Ｂ、そして可撓性環状歯車８５を介して円盤状回転体１１と環状粗回転駆動ハンドル３１とを連結している。そして第二の回転伝達機構８２は、楕円状回転板２３、可撓性環状歯車８５、そして剛性環状歯車Ｂを介して円盤状回転体１１と微回転駆動ハンドル３２とを連結している。
【００５４】
図８の粗微回転駆動装置８０の構成は、使用する歯車装置（波動歯車装置）の構成が異なること以外は図２の粗微回転駆動装置１０の構成と同様である。
【００５５】
図８の粗微回転駆動装置８０に使用する歯車装置８９は、可撓性環状歯車８５の歯数と同一の歯数の歯を持つ剛性環状歯車（すなわち図２に示す剛性環状歯車Ａ）を備えておらず、その代わりに、可撓性環状歯車８５の一方の端部に一体に形成されたカップ状の接続部８５ａを備えていて、この接続部８５ａに環状粗回転駆動ハンドル３１が接続される。歯車装置８９のそれ以外の構成については、図２に示す歯車装置２９の構成と同様である。
【００５６】
図８の粗微回転駆動装置８０の動作は、歯車装置８９の可撓性環状歯車８５が、図２に示す歯車装置２９の可撓性環状歯車２５及び剛性環状歯車Ａと同様に機能すること以外は図２の粗微回転駆動装置１０の動作と同様である。
【００５７】
以下では、本発明の粗微回転駆動装置の構成とその好ましい実施態様とについて、図２に示す粗微回転駆動装置を代表例として詳しく説明する。
【００５８】
本発明の粗微回転駆動装置１０を構成する各部品は、鋼やアルミニウムに代表される金属材料、あるいは樹脂材料から形成することができる。
【００５９】
粗微回転駆動装置１０に組み込まれる歯車装置２９としては、公知の波動歯車装置が用いられる。歯車装置２９を構成する各部品は、鋼に代表される金属材料から形成することが好ましい。
【００６０】
歯車装置２９の球軸受２４は、内輪２４ａと外輪２４ｂとの間に複数個の転動体（代表例、球体）２４ｃを配置した構成を有している。球軸受２４は、外輪２４ｂが可撓性を示すため、楕円状回転板２３の周囲に配置された状態では、楕円状回転板２３の形状に対応する楕円の形状にある。そして楕円状回転板２３の周囲に球軸受２４を介して装着された可撓性環状歯車２５もまた、楕円状回転板２３の周囲に配置された状態では、楕円状回転板２３の形状に対応する楕円の形状にある。剛性環状歯車Ａ、Ｂの形状は通常、円形に設定される。
【００６１】
粗微回転駆動装置１０の微回転駆動ハンドル３２の回転の角速度に対する軸体１２の微回転の角速度は、剛性環状歯車Ｂの歯数及び可撓性環状歯車２５の歯数の設定により調節することができる。剛性環状歯車Ｂの歯数と可撓性環状歯車２５の歯数との差は、通常は二以上の偶数に設定される。
【００６２】
本発明の粗微回転駆動装置では、その使用用途に応じて、前記の減速比を、例えば、５０〜３００の範囲内の任意の値に設定することができる。
【００６３】
微回転駆動ハンドル３２を回転させる際の環状粗回転駆動ハンドル３１の回転を抑制あるいは防止するため、図２に示すように、環状粗回転駆動ハンドル３１は、環状部が筒状取付部１３の周囲まで延びた筒状のフランジ３１ａを備えていて、この筒状フランジ３１ａの内周面と筒状取付部１３の外周面とが摩擦発生手段（代表例、Ｏリング）１４を介して摺動可能に固定されていることが好ましい。
【００６４】
上記の摩擦発生手段１４として用いるＯリングに代えて、あるいはＯリングと共に、筒状取付部１３に回転可能に保持されていて、上記の環状粗回転駆動ハンドル３１（フランジ３１ａを含む）に接触配置された転動体（代表例、球体）３４を摩擦発生手段として用いることもできる。転動体３４は、例えば、筒状取付部１３のねじ孔１３ｂにねじ込み固定された筒体１３ｄに収容保持されている。筒体１３ｄには、環状粗回転駆動ハンドル３１の表面に転動体３４を接触させるための弾性体（代表例、コイルバネ）１３ｅが収容されている。
【００６５】
なお、上記の摩擦発生手段（Ｏリング及び転動体）を備えていなくとも、粗微回転駆動装置１０の筒状取付部１３、微回転駆動ハンドル３２、および楕円状回転板２３を除く部品の自重により、微回転駆動ハンドル３２を回転させる際の環状粗回転駆動ハンドル３１の回転を抑制（あるいは防止）することはできる。
【００６６】
筒状取付部１３と軸体１２との間には、軸体１２が円滑に回転するように、一もしくは二以上の軸受（例えば、球軸受３５ａ、３５ｂ）が備えられていることが好ましい。
【００６７】
図３に示すように、粗微回転駆動装置１０は、軸体１２の周囲に歯車１５を備えていてもよい。このような歯車１５を備える粗微回転駆動装置１０は、ラック４３を備えたテーブル（例、顕微鏡の試料台）４２の前記ラック４３に歯車１５を係合させて、軸体１２と共に歯車１５を粗微回転させることによりテーブル４２の位置を調節するために用いることができる。
【００６８】
粗微回転駆動装置１０はまた、その軸体１２を、直線移動させる対象物（例、機械加工装置の試料台）に備えられている、ねじ軸とねじ軸の周囲に装着されたナットから構成される送りねじの前記ねじ軸に接続して、軸体１２と共に前記ねじ軸を粗微回転させることにより上記対象物の位置を調節するために用いることもできる。
【符号の説明】
【００６９】
１０  粗微回転駆動装置
１１  円盤状回転体
１２  軸体
１３  筒状取付部
１３ａ、１３ｂ  ねじ孔
１３ｃ  環状の突起
１３ｄ  筒体
１３ｅ  弾性体
１４  摩擦発生手段
１５  歯車
２１  第一の回転伝達機構
２２  第二の回転伝達機構
２３  楕円状回転板
２３ａ  開口部
２４  球軸受
２４ａ  内輪
２４ｂ  外輪
２４ｃ  転動体
２５  可撓性環状歯車
２９  歯車装置
３１  環状粗回転駆動ハンドル
３１ａ  筒状のフランジ
３２  微回転駆動ハンドル
３４  転動体
３５ａ、３５ｂ  球軸受
４１  支持板
４１ａ  開口部
４２  テーブル
４３  ラック
８０  粗微回転駆動装置
８１  第一の回転伝達機構
８２  第二の回転伝達機構
８５  可撓性環状歯車
８５ａ  接続部
８９  歯車装置
Ａ、Ｂ  剛性環状歯車
ａ1、ａ2、ａ3、ａ356、ａ357、ａ358  歯
ｂ1、ｂ2、ｂ3、ｂ358、ｂ359、ｂ360  歯
ｃ1、ｃ2、ｃ3、ｃ356、ｃ357、ｃ358  歯
【図１】
2013148166.tif 000003
【図２】
2013148166.tif 000004
【図３】
2013148166.tif 000005
【図４】
2013148166.tif 000006
【図５】
2013148166.tif 000007
【図６】
2013148166.tif 000008
【図７】
2013148166.tif 000009
【図８】
2013148166.tif 000010