(57)【要約】【課題】主感度軸に加えて感度影響軸を有する感磁素子を用いた場合にも、近隣電流による誘導磁界の影響を抑制でき、被測定電流の測定精度を向上できる電流センサを提供すること。【解決手段】本発明の電流センサ（１）は、被測定電流が通流する被測定電流路（１１）と、被測定電流路に配設されており、前記被測定電流による誘導磁界の方向に沿う主感度軸（１３１）と前記主感度軸に直交する感度影響軸（１３２）とを有する感磁素子（１３）と、被測定電流路に平行であり、前記主感度軸の延長線上に配設された近隣電流路（１２）と、を備え、前記主感度軸の方向及び前記感度影響軸の方向が前記近隣電流路を通流する近隣電流による誘導磁界の方向とそれぞれ直交する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定電流が通流する被測定電流路と、
前記被測定電流路に配設されており、前記被測定電流による誘導磁界の方向に沿う主感度軸と前記主感度軸に直交する感度影響軸とを有する感磁素子と、
前記被測定電流路に平行であり、前記主感度軸の延長線上に配設された近隣電流路と、を備え、
前記主感度軸の方向及び前記感度影響軸の方向が前記近隣電流路を通流する近隣電流による誘導磁界の方向とそれぞれ直交することを特徴とする電流センサ。
【請求項２】
前記被測定電流路及び前記近隣電流路は、横断面において一対の主面及び一対の側面を有する矩形形状であり、
前記近隣電流路は、前記主感度軸の方向が前記近隣電流路の側面と直交するように配設されたことを特徴とする請求項１に記載の電流センサ。
【請求項３】
前記感度影響軸は、感度変化軸であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電流センサ。
【請求項４】
前記感磁素子は、ハードバイアス層を有する磁気抵抗効果素子であり、
前記感度変化軸は、前記ハードバイアス層からのバイアス磁界の印加方向と同一の方向であることを特徴とする請求項３に記載の電流センサ。
【請求項５】
前記感度影響軸は、副感度軸であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電流センサ。
【請求項６】
前記感磁素子は、フリー磁性層を有する磁気抵抗効果素子であり、
前記副感度軸は、前記フリー磁性層内で前記主感度軸と直交する方向であることを特徴とする請求項５に記載の電流センサ。
【請求項７】
前記感磁素子は、磁気収束板を有するホール素子であり、
前記副感度軸は、前記磁気収束板の主面に沿う方向であることを特徴とする請求項５に記載の電流センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定電流による誘導磁界に基づいて被測定電流値を測定する電流センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気自動車やハイブリッドカーにおけるモータ駆動技術などの分野では、比較的大きな電流が取り扱われるため、このような用途向けに、大電流を非接触で測定することが可能な電流センサが求められている。このような電流センサとして、電流路を通流する電流による誘導磁界を感磁素子によって検出する方式のものが実用化されている。
【０００３】
感磁素子を用いる電流センサとしては、被測定電流路を通流する被測定電流による誘導磁界を検出する感磁素子と当該被測定電流路に近接する近隣電流路との位置関係を調整することで、近隣電流路を通流する近隣電流による誘導磁界の影響を低減したものが知られている（例えば、特許文献１）。この電流センサでは、近隣電流による誘導磁界の方向が感磁素子の感度軸に対して直交するように、当該感磁素子と近隣電流路とを配置することで、近隣電流による誘導磁界の影響を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−７４７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、感磁素子の中には、最も感度が高い方向の軸（以下、主感度軸という）に直交する方向で検出感度に影響を及ぼす軸（以下、感度影響軸という）を有するものがある。このように、主感度軸に加えて感度影響軸を有する感磁素子を用いた電流センサにおいては、近隣電流による誘導磁界の方向と主感度軸とが直交するように感磁素子と近隣電流路との位置関係を調整しても、近隣電流による誘導磁界の影響を十分に抑制できない場合があるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、主感度軸に加えて感度影響軸を有する感磁素子を用いた場合にも、近隣電流による誘導磁界の影響を抑制でき、被測定電流の測定精度を向上できる電流センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電流センサは、被測定電流が通流する被測定電流路と、前記被測定電流路に配設されており、前記被測定電流による誘導磁界の方向に沿う主感度軸と前記主感度軸に直交する感度影響軸とを有する感磁素子と、前記被測定電流路に平行であり、前記主感度軸の延長線上に配設された近隣電流路と、を備え、前記主感度軸の方向及び前記感度影響軸の方向が前記近隣電流路を通流する近隣電流による誘導磁界の方向とそれぞれ直交することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、主感度軸の方向及び感度影響軸の方向が近隣電流による誘導磁界の方向とそれぞれ直交するので、主感度軸に加えて感度影響軸を有する感磁素子を用いた場合にも、近隣電流による誘導磁界の影響を抑制でき、被測定電流の測定精度を向上できる。
【０００９】
本発明の電流センサにおいて、前記被測定電流路及び前記近隣電流路は、横断面において一対の主面及び一対の側面を有する矩形形状であり、前記近隣電流路は、前記主感度軸の方向が前記近隣電流路の側面と直交するように配設されてもよい。
【００１０】
本発明の電流センサにおいて、前記感度影響軸は、感度変化軸であってもよい。
【００１１】
本発明の電流センサにおいて、前記感磁素子は、ハードバイアス層を有する磁気抵抗効果素子であり、前記感度変化軸は、前記ハードバイアス層からのバイアス磁界の印加方向と同一の方向であってもよい。
【００１２】
本発明の電流センサにおいて、前記感度影響軸は、副感度軸であってもよい。
【００１３】
本発明の電流センサにおいて、前記感磁素子は、フリー磁性層を有する磁気抵抗効果素子であり、前記副感度軸は、前記フリー磁性層内で前記主感度軸と直交する方向であってもよい。
【００１４】
本発明の電流センサにおいて、前記感磁素子は、磁気収束板を有するホール素子であり、前記副感度軸は、前記磁気収束板の主面に沿う方向であってもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、主感度軸に加えて感度影響軸を有する感磁素子を用いた場合にも、近隣電流による誘導磁界の影響を抑制でき、被測定電流の測定精度を向上できる電流センサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施の形態に係る電流センサを示す模式図である。
【図２】第１の実施の形態に係る電流センサの感磁素子を説明するための図である。
【図３】第２の実施の形態に係る電流センサを示す模式図である。
【図４】第２の実施の形態に係る電流センサの感磁素子を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明者らは、ＧＭＲ素子やホール素子などの感磁素子を用いた電流センサにおいて、近隣電流による誘導磁界の影響を十分に抑制できない要因が、最も感度が高い軸（以下、主感度軸という）に直交する方向で検出感度に影響を与える軸（以下、感度影響軸という）にあることを見出した。感度影響軸としては、例えば、主感度軸と直交する方向の感度の軸（以下、副感度軸という）や、感度を変化させるために主感度軸と直交する方向に印加する磁界の印加方向（以下、感度変化軸という）がある。このように、主感度軸に直交する方向に感度影響軸を有する感磁素子を用いた電流センサでは、主感度軸と近隣電流による誘導磁界の方向とが直交するように感磁素子と近隣電流路との位置関係を調整するだけでは、近隣電流による誘導磁界の影響を十分に抑制できない。
【００１８】
このような知見に基づき、本発明者らは、主感度軸の方向及び感度影響軸の方向が近隣電流による誘導磁界の方向とそれぞれ直交するように感磁素子と近隣電流路の位置関係を調整することで、主感度軸の方向だけでなく感度影響軸の方向に現れる近隣電流による誘導磁界の影響を抑制するという着想を得た。
【００１９】
すなわち、本発明の骨子は、被測定電流が通流する長尺の被測定電流路と、前記被測定電流路に配設されており、前記被測定電流による誘導磁界の方向に沿う主感度軸と前記主感度軸に直交する感度影響軸とを有する感磁素子と、前記主感度軸の延長線上に配置される近隣電流路と、を備えた電流センサであり、前記主感度軸の方向と前記感度影響軸の方向の双方が前記近隣電流路を通流する近隣電流による誘導磁界の接線方向と直交するように構成するものである。これにより、主感度軸の方向だけでなく感度影響軸の方向に現れる近隣電流による誘導磁界の影響を抑制でき、被測定電流の測定精度を向上できる。
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る電流センサ１の模式図である。図１Ａは、電流センサ１の外観を示す斜視図であり、図１Ｂは、電流センサ１の平面図である。図１Ａに示すように、電流センサ１は、同一方向（図１ＡではＸ方向）に向かって電流ＩＡ、ＩＢが通流する電流路１１、１２と、測定対象の電流（以下、被測定電流という）ＩＡが通流する電流路１１に配設された感磁素子１３と、を備えている。
【００２２】
電流路１１、１２は、同一方向（図１ＡではＸ方向）に沿って存在する断面矩形状の長尺体である。電流路１１、１２は、それぞれの主面１１１、１２１が互いに平行となるが面一とはならないように、併設されている。また、図１Ｂに示すように、電流路１１、１２の周りには、電流路１１、１２を通流する電流ＩＡ、ＩＢによる誘導磁界Ａ、Ｂがそれぞれ形成される。図１Ｂに示すように、電流路１２の誘導磁界Ｂが電流路１１に配設された感磁素子１３で検出される程度に、電流路１１、１２は近接して配置される。以下、説明の便宜上、被測定電流ＩＡが通流する電流路１１を被測定電流路１１、被測定電流路１１に隣接する電流路１２を近隣電流路１２という。
【００２３】
感磁素子１３は、主面１３３と被測定電流路１１の主面１１１とが平行となるように、被測定電流路１１に配設される。例えば、図１Ａ及び１Ｂにおいて、感磁素子１３は、主面１１１側の基板（不図示）上に設けられるものとするが、主面１１１上に直接設けられてもよい。感磁素子１３は、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１と、主面１３３に対して平行で主感度軸１３１に対して直交する感度影響軸１３２とを有する。
【００２４】
主感度軸１３１の方向は、被測定電流路１１を通流する被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの方向に沿う。具体的には、主感度軸１３１の方向は、被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの接線方向（図１ＢにおけるＹ方向）に平行である。一方、主感度軸１３１に直交する感度影響軸１３２の方向は、被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの接線方向に直交する方向（図１ＢにおけるＸ方向）である。このように、主感度軸１３１が誘導磁界Ａの方向に沿う一方、感度影響軸１３２が誘導磁界Ａの方向に沿わないように感磁素子１３を配置することで、主感度軸１３１で誘導磁界Ａを検出できるので、被測定電流ＩＡの測定精度を向上させることができる。
【００２５】
また、感磁素子１３は、近隣電流路１２と高さ方向のレベルが等しくなるように、被測定電流路１１に配設される。具体的には、感磁素子１３は、主感度軸１３１と近隣電流路１２の側面１２２とが直交するように、被測定電流路１１に配設される。すなわち、感磁素子１３は、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１の延長線Ｌ上に近隣電流路１２が存在するように、被測定電流路１１に配設される。ここで、主感度軸１３１の延長線Ｌ（すなわち、主感度軸１３１の方向）と近隣電流路１２の側面１２２とが直交することが好ましい。特に、側面１２２の高さ方向の中心位置Ｃで、主感度軸１３１の延長線Ｌと側面１２２とが直交することが最も好ましい。これにより、主感度軸１３１の方向（図１ＢにおけるＹ方向）と、感磁素子１３と重なる誘導磁界Ｂの方向（図１ＢにおけるＺ方向）とが直交し、主感度軸１３１の方向に現れる誘導磁界Ｂの影響を抑制できるからである。また、主感度軸１３１に直交する感度影響軸１３２の方向（図１ＢにおけるＸ方向）と、感磁素子１３と重なる誘導磁界Ｂの方向（図１ＢにおけるＺ方向）とが直交し、感度影響軸１３２の方向に現れる誘導磁界Ｂの影響も抑制できるからである。
【００２６】
以上のように、主感度軸１３１の方向及び感度影響軸１３２の方向が誘導磁界Ｂの方向とそれぞれ直交するように感磁素子１３と近隣電流路１２との位置関係を調整することで、感磁素子１３が受ける誘導磁界Ｂの影響を抑制できる。
【００２７】
なお、第１の実施の形態では、図１Ａ及び１Ｂに示すように、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１を有する感磁素子１３を用いている。このような感磁素子１３としては、例えば、ＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子やＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌ  Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子のような磁気抵抗効果素子がある。
【００２８】
ここで、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１を有する感磁素子１３（例えば、ＧＭＲ素子）を用いる場合の感度影響軸１３２について詳述する。このような感磁素子１３の感度影響軸１３２としては、感磁素子１３の感度を変化させるために主感度軸１３１と直交する方向に印加する磁界の印加方向である感度変化軸や、主感度軸１３１と直交する方向に有する感度の軸である副感度軸がある。
【００２９】
図２を参照し、感度影響軸１３２としての感度変化軸を説明する。図２は、感磁素子１３としてＧＭＲ素子を用いた場合の素子構造の一例を示す図である。なお、図２は、ＧＭＲ素子の素子構造を模式的に示したものにすぎず、図示しない層や他の構成を備えてもよいことは勿論である。また、ＧＭＲ素子は、図２に示す素子構造を配列して構成されてもよい。
【００３０】
図２に示すように、感磁素子１３としてのＧＭＲ素子は、積層構造を有する素子部１３４と、素子部１３４に隣接して設けられるハードバイアス層１３５とを含んで構成される。素子部１３４は、反強磁性層１３４ａ、固定磁性層１３４ｂ、非磁性層１３４ｃ、フリー磁性層１３４ｄを有する。ハードバイアス層１３５は、後述するように、フリー磁性層１３４ｄに対してバイアス磁界を印加する。
【００３１】
反強磁性層１３４ａは、固定磁性層１３４ｂの磁化を一定方向に固定する層である。固定磁性層１３４ｂは、反強磁性層１３４ａにより一定方向に磁化が固定された磁性層である。フリー磁性層１３４ｄは、外部磁界（例えば、図１Ｂにおける誘導磁界Ａ）により磁化変動する磁性層である。フリー磁性層１３４ｄは、ハードバイアス層１３５から印加されるバイアス磁界により初期的には一定方向（例えば、固定磁性層１３４ｂと同一方向で主感度軸１３１に直交する方向）に磁化されている。外部磁界により変動したフリー磁性層１３４ｄの磁化方向と固定磁性層１３４ｂの磁化方向（フリー磁性層１３４ｄの初期状態の磁化方向と同一）との差分を検出することで、外部磁界の大きさが検出される。
【００３２】
ハードバイアス層１３５からのバイアス磁界の印加方向は、フリー磁性層１３４ｄの初期状態の磁化方向を定めるものである。上述のように、外部磁界の大きさは、フリー磁性層１３４ｄの初期状態の磁化方向（固定磁性層１３４ｂの磁化方向）から差分により決定されることから、フリー磁性層１３４ｄの初期状態の磁化方向を定めるバイアス磁界の印加方向は、感磁素子１３の感度を変化させることとなる。このように、ハードバイアス層１３５からのバイアス磁界は、感磁素子１３の感度を変化させるために主感度軸１３１と直交する方向に印加されるものである。このため、当該バイアス磁界の印加方向が、感度変化軸となる。なお、バイアス磁界の印加方向は、主感度軸１３１と直交する方向である場合に最も感磁素子１３の感度が良くなるが、直交する方向だけに限られるものではない。
【００３３】
次に、感度影響軸１３２としての副感度軸を説明する。感磁素子１３としてＧＭＲ素子を用いる場合、図２に示すフリー磁性層１３４ｄにおいて、主感度軸１３１に対して直交する方向の感度軸が副感度軸となる。かかる副感度軸により、主感度軸１３１に直交する方向の磁界が検出される。
【００３４】
以上のように、感度影響軸１３２は、感度変化軸（バイアス磁界の印加方向）又は副感度軸のいずれであってもよい。すなわち、感度影響軸１３２が感度変化軸又は副感度軸のいずれである場合であっても、図１Ｂに示すように、感磁素子１３の主面１３３と近隣電流路１２の側面１２２とが直交する（すなわち、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１の延長線Ｌと側面１２２とが直交する）ので、主面１３３に対して平行で主感度軸１３１に対して直交する感度影響軸１３２の方向（Ｘ方向）は、誘導磁界Ｂの方向（Ｚ方向）に直交する。また、主感度軸１３１の方向（Ｙ方向）も、誘導磁界Ｂの方向（Ｚ方向）に直交する。このように、主感度軸１３１の方向及び感度影響軸１３２の方向が誘導磁界Ｂの方向に直交するので、主感度軸１３１の方向だけでなく感度影響軸１３２の方向に現れる近隣電流ＩＢによる誘導磁界Ｂの影響を抑制できる。
【００３５】
以上のように、第１の実施の形態に係る電流センサ１によれば、主感度軸１３１の方向だけでなく感度影響軸１３２の方向に現れる近隣電流ＩＢによる誘導磁界Ｂの影響を抑制でき、被測定電流路１１を通流する被測定電流ＩＡの測定精度を向上できる。
【００３６】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態に係る電流センサ２について、第１の実施の形態に係る電流センサ１との相違点を中心に説明する。上述の第１の実施の形態の電流センサ１は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、主面１３３に対して平行な主感度軸１３１を有する感磁素子１３（例えば、ＧＭＲ素子やＴＭＲ素子などの磁気抵抗効果素子）を具備するものである。第２の実施の形態に電流センサ２は、感磁面１４３に対して垂直な主感度軸１４１を有する感磁素子１４（例えば、ホール素子）を具備する点で、第１の実施の形態の電流センサ１と異なる。
【００３７】
図３は、第２の実施の形態に係る電流センサ２の模式図である。図３Ａは、電流センサ２の外観を示す斜視図であり、図３Ｂは、電流センサ２の平面図である。図３Ａに示すように、電流センサ２は、同一方向（図３ＡではＸ方向）に向かって電流ＩＡ、ＩＢが通流する電流路１１、１２と、測定対象の電流（以下、被測定電流という）ＩＡが通流する電流路１１に配設された感磁素子１４と、を備えている。
【００３８】
感磁素子１４は、感磁面１４３と被測定電流路１１の主面１１１とが直交するように、被測定電流路１１に配設される。例えば、図３Ａ及び３Ｂにおいて、感磁素子１４は、主面１１１側の基板（不図示）上に設けられるものとするが、主面１１１上に直接設けられてもよい。感磁素子１４は、感磁面１４３に対して直交する主感度軸１４１と、感磁面１４３に対して平行な（すなわち、主感度軸１４１に対して直交する）感度影響軸１４２とを有する。
【００３９】
第２の実施の形態では、図３Ａ及び３Ｂに示すように、感磁面１４３に対して直交する主感度軸１４１を有する感磁素子１４を用いている。このような感磁素子１４としては、例えば、ホール素子が用いられる。
【００４０】
主感度軸１４１の方向は、被測定電流路１１を通流する被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの方向に沿う。具体的には、主感度軸１４１の方向は、被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの接線方向（図３ＢにおけるＹ方向）に平行である。一方、主感度軸１４１に直交する感度影響軸１４２の方向は、被測定電流ＩＡによる誘導磁界Ａの接線方向に直交する方向（図３ＢにおけるＸ方向）である。このように、主感度軸１４１が誘導磁界Ａの方向に沿う一方、感度影響軸１４２が誘導磁界Ａの方向に沿わないように感磁素子１４を配置することで、主感度軸１４１で誘導磁界Ａを検出できるので、被測定電流ＩＡの測定精度を向上させることができる。
【００４１】
また、感磁素子１４は、感磁面１４１と近隣電流路１２の側面１２２とが互いに平行に向き合うように、被測定電流路１１に配設される。すなわち、感磁素子１４は、感磁面１４１に対して直交する主感度軸１４１の延長線Ｌ上に近隣電流路１２が存在するように、被測定電流路１１に配設される。ここで、主感度軸１４１の延長線Ｌ（すなわち、主感度軸１４１の方向）と近隣電流路１２の側面１２２とが直交することが好ましい。特に、側面１２２の高さ方向の中心位置Ｃで、主感度軸１４１の延長線Ｌと側面１２２とが直交することが最も好ましい。これにより、主感度軸１４１の方向（図３ＢにおけるＹ方向）と、感磁素子１４と重なる誘導磁界Ｂの方向（図３ＢにおけるＺ方向）とが直交し、主感度軸１４１の方向に現れる誘導磁界Ｂの影響を抑制できるからである。また、主感度軸１４１に直交する感度影響軸１４２の方向（図３ＢにおけるＸ方向）と、感磁素子１４と重なる誘導磁界Ｂの方向（図３ＢにおけるＺ方向）とが直交し、感度影響軸１４２の方向に現れる誘導磁界Ｂの影響も抑制できるからである。
【００４２】
以上のように、主感度軸１４１の方向及び感度影響軸１４２の方向が誘導磁界Ｂの方向とそれぞれ直交するように感磁素子１４と近隣電流路１２との位置関係を調整することで、感磁素子１４が受ける誘導磁界Ｂの影響を抑制できる。
【００４３】
以上の点において、第１の実施の形態に係る電流センサ１と第２の実施の形態に係る電流センサ２とは共通する。一方、図３Ａ及び３Ｂの感磁素子１４の主感度軸１４１は、図１Ａ及び１Ｂに示す感磁素子１３と異なり、感磁素子１４の感磁面１４３に対して垂直である。このように、感磁面１４３に対して垂直な主感度軸１４１を有する感磁素子１４としては、例えば、ホール素子が用いられる。
【００４４】
ここで、感磁面１４３に対して垂直な主感度軸１４１を有する感磁素子１４（例えば、ホール素子）を用いる場合の感度影響軸１４２について詳述する。かかる場合、感度影響軸１４２は、主感度軸１４１と直交する方向に有する感度の軸である副感度軸である。
【００４５】
図４を参照し、感度影響軸１４２としての副感度軸を説明する。図４は、感磁素子１４としてのホール素子の一例を示す図である。なお、図４は、ホール素子を模式的に示したものにすぎず、図示しない層や他の構成を備えてもよいことは勿論である。
【００４６】
図４に示すように、感磁素子１４としてのホール素子は、感磁面１４３上に配置される磁気収束板１４４を含んで構成される。磁気収束板１４４は、感磁素子１４内部の様々な磁化方向を一定の方向に収束させるものである。磁気収束板１４４内部において、主感度軸１４１に対して直交する方向が副感度軸である。また、副感度軸は、磁気収束板１４４の主面１４４ａに沿う方向である。このような副感度軸により、主感度軸１４１に直交する方向の磁界が検出される。
【００４７】
以上のように、感度影響軸１４２が磁気収束板１４４の主面１４４ａに沿う副感度軸である場合にも、図３Ｂに示すように、感磁素子１４の感磁面１４３と近隣電流路１２の側面１２２とが互いに平行に向き合う（すなわち、感磁面１４３に対して直交する主感度軸１４１の延長線Ｌと側面１２２とが直交する）ので、感磁面１４３に対して平行な感度影響軸１４２の方向（Ｘ方向）は、誘導磁界Ｂの方向（Ｚ方向）に直交する。また、主感度軸１４１の方向（Ｙ方向）も、誘導磁界Ｂの方向（Ｚ方向）に直交する。このように、主感度軸１４１の方向及び感度影響軸１４２の方向が誘導磁界Ｂの方向にそれぞれ直交するので、主感度軸１４１の方向だけでなく感度影響軸１４２の方向に現れる近隣電流ＩＢによる誘導磁界Ｂの影響を抑制できる。
【００４８】
以上のように、第２の実施の形態に係る電流センサ２によれば、主感度軸１４１の方向だけでなく感度影響軸１４２の方向に現れる近隣電流ＩＢによる誘導磁界Ｂの影響を抑制でき、被測定電流ＩＡの測定精度を向上できる。
【００４９】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００５０】
例えば、上述した実施の形態においては、被測定電流ＩＡの通流方向と近隣電流ＩＢの通流方向は同一の方向（Ｘ方向）であるものとして説明したが、互いに平行であれば逆方向であってもよい。また、上述した実施の形態では、被測定電流路１１及び近隣電流路１２は、断面矩形状の長尺体であるものとして説明したが、例えば、断面円形の導線や断面楕円形の長尺体などであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の電流センサは、例えば、電気自動車やハイブリッドカーのモータ駆動用の電流の大きさを検知するために用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１、２…電流センサ
１１…被測定電流路
１２…近隣電流路
１３、１４…感磁素子
１１１…主面
１２２…側面
１３１…主感度軸
１３２…感度影響軸
１３３…主面
１３４…素子部
１３４ａ…反強磁性層
１３４ｂ…固定磁性層
１３４ｃ…非磁性層
１３４ｄ…フリー磁性層
１３５…ハードバイアス層
１４１…主感度軸
１４２…感度影響軸
１４３…感磁面
１４４…磁気収束板
１４４ａ…主面
【図１】
2013142569.tif 000003
【図２】
2013142569.tif 000004
【図３】
2013142569.tif 000005
【図４】
2013142569.tif 000006