(57)【要約】【課題】ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることが可能なガス検出装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】ガス検出装置１は、接触燃焼式ガスセンサ３１に印加される駆動電圧がオフのタイミングにおいて、駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を接触燃焼式ガスセンサ３１に印加するに先立って、ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を接触燃焼式ガスセンサ３１に印加し、センサ部３０から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達しないと判断できる場合に、ヒートアップ電圧を印加する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部と、
前記接触燃焼式ガスセンサに対して所定間隔で駆動電圧を印加する駆動電圧印加手段と、
前記駆動電圧印加手段により印加される駆動電圧がオンのタイミングにおいて前記センサ部からの出力によって警報を発するかを判断する警報判断手段と、
前記駆動電圧印加手段により印加される駆動電圧がオフのタイミングにおいて、前記駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加するヒートアップ電圧印加手段と、を備え、
前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記ヒートアップ電圧を印加する前に前記ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加し、前記センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に前記接触燃焼式ガスセンサが異常温度に達しないと判断できる場合に、前記ヒートアップ電圧を印加する
ことを特徴とするガス検出装置。
【請求項２】
前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記ヒートアップ電圧を印加する直前に前記判別電圧を印加する
ことを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項３】
前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記判別電圧が印加されたときの前記センサ部の出力が所定閾値以下である場合に、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断する
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のガス検出装置。
【請求項４】
前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記センサ部からの出力によって前記警報判断手段により警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断された場合、発しないと判断されたときの駆動電圧がオンのタイミングと次の駆動電圧がオンとなるタイミングとの間における駆動電圧のオフのタイミングにおいて、前記判別電圧を印加する
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のガス検出装置。
【請求項５】
前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記警報判断手段により警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンからオフに切り替わった時点から所定時間経過後に前記判別電圧を印加する
ことを特徴とする請求項４に記載のガス検出装置。
【請求項６】
前記判別電圧は、前記駆動電圧の電圧値と同等とされている
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のガス検出装置。
【請求項７】
触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサに対してパルス電圧を駆動電圧として印加する駆動電圧印加工程と、
前記駆動電圧印加工程において印加される駆動電圧がオンのタイミングにおいて前記接触燃焼式ガスセンサを有するセンサ部からの出力によって警報を発するかを判断する警報判断工程と、
前記駆動電圧印加工程において印加される駆動電圧がオフのタイミングにおいて、前記駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加するヒートアップ電圧印加工程と、を備え、
前記ヒートアップ電圧印加工程では、前記ヒートアップ電圧を印加する前に前記ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加し、前記センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断できる場合に、前記ヒートアップ電圧を印加する
ことを特徴とするガス検出装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス検出装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したガス検出装置が提案されている。このガス検出装置では、可燃性ガスの濃度に応じてセンサ抵抗の抵抗値が変化して接触燃焼式ガスセンサの出力が変化する。マイコン等は、この出力から可燃性ガスの濃度を検出することとなる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３６５２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、接触燃焼式ガスセンサには、使用環境によっては、センサ触媒の表面に吸着水やカーボン等の吸着物が堆積する。これらの吸着物はセンサの駆動温度である約４００℃に加熱しても脱離しないものがあるため、脱離しきれない吸着物が堆積することで劣化を招いてしまう問題があった。
【０００５】
そこで、当該センサを用いたガス検出装置では触媒表面に堆積した吸着物を除去するために駆動電圧よりも高い電圧をセンサに印加してセンサを５００℃以上の温度まで高めるヒートアップクリーニングが行われる。
【０００６】
しかし、従来のガス検出装置ではヒートアップクリーニングを行ったときに接触燃焼式ガスセンサが置かれている雰囲気に可燃性ガスが存在する場合、ヒートアップクリーニング時に可燃性ガスが触媒と反応して接触燃焼式ガスセンサが破壊される温度まで上昇してしまう可能性があった。
【０００７】
本発明はこのような従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることが可能なガス検出装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のガス検出装置は、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサを有したセンサ部と、前記接触燃焼式ガスセンサに対して所定間隔で駆動電圧を印加する駆動電圧印加手段と、前記駆動電圧印加手段により印加される駆動電圧がオンのタイミングにおいて前記センサ部からの出力によって警報を発するかを判断する警報判断手段と、前記駆動電圧印加手段により印加される駆動電圧がオフのタイミングにおいて、前記駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加するヒートアップ電圧印加手段と、を備え、前記ヒートアップ電圧印加手段は、前記ヒートアップ電圧を印加する前に前記ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加し、前記センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に前記接触燃焼式ガスセンサが異常温度に達しないと判断できる場合に、前記ヒートアップ電圧を印加することを特徴とする。
【０００９】
このガス検出装置によれば、ヒートアップ電圧を印加する前にヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を接触燃焼式ガスセンサに印加し、センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサが異常温度に達しないと判断できる場合に、ヒートアップ電圧を印加する。このため、たとえ接触燃焼式ガスセンサが置かれている雰囲気に可燃性ガスが存在したとしても、ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧の印加により接触燃焼式ガスセンサが置かれている雰囲気を判断することが可能となる。このため、判別電圧の印加により可燃性ガスの存在が確認できた場合には、ヒートアップクリーニングを中止できることとなり、ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることができる。
【００１０】
また、本発明のガス検出装置において、ヒートアップ電圧印加手段は、前記ヒートアップ電圧を印加する直前に前記判別電圧を印加することが好ましい。
【００１１】
このガス検出装置によれば、ヒートアップ電圧を印加する直前に判別電圧を印加するため、判別電圧印加後にすぐにヒートアップ電圧が印加されることとなる。これにより、両者の間隔が開いて判別電圧印加後に可燃性ガスの濃度が高まって、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサが高濃度の可燃性ガスに曝されてしまう可能性を低減することができる。従って、より一層センサ故障の可能性を抑えることができる。
【００１２】
また、本発明のガス検出装置において、ヒートアップ電圧印加手段は、前記判別電圧が印加されたときの前記センサ部の出力が所定閾値以下である場合に、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断することが好ましい。
【００１３】
このガス検出装置によれば、判別電圧が印加されたときの接触燃焼式ガスセンサの出力が所定閾値以下である場合に、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断するため、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断するにあたり所定閾値を設定しておけば足り、構成の簡素化につなげることができる。
【００１４】
また、本発明のガス検出装置において、ヒートアップ電圧印加手段は、前記センサ部からの出力によって前記警報判断手段により警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断された場合、発しないと判断されたときの駆動電圧がオンのタイミングと次の駆動電圧がオンとなるタイミングとの間における駆動電圧のオフのタイミングにおいて、前記判別電圧を印加することが好ましい。
【００１５】
このガス検出装置によれば、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断された場合、発しないと判断されたときの駆動電圧がオンのタイミングと次の駆動電圧がオンとなるタイミングとの間における駆動電圧のオフのタイミングにおいて、判別電圧を印加する。このため、この判別電圧の印加によりヒートアップ電圧を印加すると判断された場合には、ヒートアップクリーニングが実施されることとなり、次のヒートアップクリーニングのタイミングを待つことなく接触燃焼式ガスセンサに堆積した吸着物を迅速に脱離させることができる。従って、効果的にヒートアップクリーニングを実施することができる。
【００１６】
また、本発明のガス検出装置において、ヒートアップ電圧印加手段は、前記警報判断手段により警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンからオフに切り替わった時点から所定時間経過後に前記判別電圧を印加することが好ましい。
【００１７】
このガス検出装置によれば、警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンからオフに切り替わった時点から所定時間経過後に判別電圧を印加する。ここで、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断されてから、すぐに判別電圧を印加すると濃度が充分に低下していない場合には、ヒートアップクリーニングが実施できなくなってしまう可能性がある。しかし、所定時間経過後に判別電圧を印加するため、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断されてから、可燃性ガスの濃度が充分に低下する時間を設けることとなり、効果的にヒートアップクリーニングを実施する頻度を高めることができる。
【００１８】
また、本発明のガス検出装置において、判別電圧は、前記駆動電圧の電圧値と同等とされていることが好ましい。
【００１９】
このガス検出装置によれば、判別電圧は、駆動電圧のオン時における電圧値と同等とされているため、両者の電圧値が大きく異なる場合ように回路構成が複雑とならず、構成の簡素化につなげることができる。
【００２０】
また、本発明のガス検出装置の制御方法は、触媒に付着したガスの燃焼により発生した燃焼熱によって出力が変化する接触燃焼式ガスセンサに対してパルス電圧を駆動電圧として印加する駆動電圧印加工程と、前記駆動電圧印加工程において印加される駆動電圧がオンのタイミングにおいて前記接触燃焼式ガスセンサを有するセンサ部からの出力によって警報を発するかを判断する警報判断工程と、前記駆動電圧印加工程において印加される駆動電圧がオフのタイミングにおいて、前記駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加するヒートアップ電圧印加工程と、を備え、前記ヒートアップ電圧印加工程では、前記ヒートアップ電圧を印加する前に前記ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を前記接触燃焼式ガスセンサに印加し、前記センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断できる場合に、前記ヒートアップ電圧を印加することが好ましい。
【００２１】
このガス検出装置の制御方法によれば、ヒートアップ電圧を印加する前にヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を接触燃焼式ガスセンサに印加し、センサ部から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサが異常温度に達しないと判断できる場合に、ヒートアップ電圧を印加する。このため、たとえ接触燃焼式ガスセンサが置かれている雰囲気に可燃性ガスが存在したとしても、ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧の印加により接触燃焼式ガスセンサが置かれている雰囲気を判断することが可能となる。このため、判別電圧の印加により可燃性ガスの存在が確認できた場合には、ヒートアップクリーニングを中止できることとなり、ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることが可能なガス検出装置及びその制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係るガス検出装置を示す構成図である。
【図２】図１に示した接触燃焼式ガスセンサの詳細を示す外観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は断面図を示している。
【図３】比較例に係るガス検出装置の動作を示すタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサに印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサの温度を示している。
【図４】本実施形態に係るガス検出装置の動作を示すタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサに印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサの温度を示している。
【図５】本実施形態に係るガス検出装置の動作を示す第２のタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサに印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサの温度を示している。
【図６】本実施形態に係るガス検出装置の動作を示す第３のタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサに印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサの温度を示している。
【図７】本実施形態に係るガス検出装置の制御方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
まず、本実施形態に係るガス検出装置を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るガス検出装置を示す構成図である。図１に示すように、ガス検出装置１は、所定濃度以上の被検出対象となる可燃性ガスが検出された場合に警報を出力するものであって、制御部１０と、センサ駆動回路（駆動電圧印加手段、ヒートアップ電圧印加手段）２０と、接触燃焼式ガスセンサ３１を有したセンサ部３０と、警報部４０とを備えている。
【００２５】
制御部１０は、センサ部３０の駆動制御、及び、ガス濃度の算出等を行うものであって、例えばＭＰＵ（Microprocessor  Unit）により構成されている。この制御部１０は、信号出力部１１、及び警報判断部（警報判断手段）１２を備えている。
【００２６】
信号出力部１１は、センサ駆動回路２０に信号を出力するものであって、駆動信号出力部（駆動電圧印加手段）１１ａと、ヒートアップ信号出力部（ヒートアップ電圧印加手段）１１ｂとを備えている。
【００２７】
駆動信号出力部１１ａは、センサ駆動回路２０に対して駆動信号を出力するものである。ここで、駆動信号とは、所定間隔（一定間隔であっても不定間隔であってもよい）でオンオフが繰り返されるパルス信号である。
【００２８】
ヒートアップ信号出力部１１ｂは、センサ駆動回路２０に対してヒートアップ信号を出力するものである。ここで、ヒートアップ信号とは、接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップクリーニングを実行させる際に出力される信号である。
【００２９】
警報判断部１２は、センサ部３０から出力電圧の情報を取得し、取得した出力電圧に基づいて警報を発するか否かを判断するものである。警報部４０は、警報判断部１２により警報を発すると判断された場合、警報を発するものである。この警報部４０は、ブザーやスピーカなどの音声出力部と、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの表示部とから構成されている。
【００３０】
センサ駆動回路２０は、信号出力部１１からの信号に応じて、センサ部３０の接触燃焼式ガスセンサ３１に対して電圧を印加するものである。具体的にセンサ駆動回路２０は、駆動信号出力部１１ａから駆動信号を入力した場合、駆動信号がオンとなるタイミングにおいて接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧を印加する。駆動電圧が印加されると接触燃焼式ガスセンサ３１は約４００℃に高温化して触媒に付着したガスを燃焼させることとなる。また、センサ駆動回路２０は、ヒートアップ信号出力部１１ｂからヒートアップ信号を入力した場合、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧よりも高いヒートアップ電圧を印加する。ヒートアップ電圧が印加されると接触燃焼式ガスセンサ３１は約５００℃に高温化して触媒に堆積した吸着物を脱離させることとなる。
【００３１】
センサ部３０は、接触燃焼式ガスセンサ３１、計装アンプ３２、及びＡ／Ｄ変換器３３等を有している。接触燃焼式ガスセンサ３１は、センサ抵抗Ｒｒ、リファレンス抵抗Ｒｓ及び固定抵抗Ｒ１，Ｒ２を有し、これらによりブリッジ回路を構成している。具体的に固定抵抗Ｒ１は、一端がセンサ駆動回路２０側に接続され、他端が接続点Ｂにつながっている。固定抵抗Ｒ２は、固定抵抗Ｒ１と直列接続され、一端が接続点Ｂに接続され、他端がグランド接続されている。リファレンス抵抗Ｒｒは、一端がセンサ駆動回路２０側につながっており、他端が接続点Ａに接続されている。センサ抵抗Ｒｓは、リファレンス抵抗Ｒｒと直列接続され、一端が接続点Ａにつながっており、他端がグランド接続されている。
【００３２】
図２は、図１に示した接触燃焼式ガスセンサ３１の詳細を示す外観図であり、（ａ）は上面図を示し、（ｂ）は断面図を示している。なお、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ断面を示している。
【００３３】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す接触燃焼式ガスセンサ３１は、半導体製造プロセス技術を用いて製造されている。この接触燃焼式ガスセンサ３１は、シリコンウェハ３１ａ上に、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、及び酸化ハフニウム膜等からなる絶縁膜３１ｂが形成されており、絶縁膜３１ｂ上にセンサ抵抗Ｒｓとリファレンス抵抗Ｒｒが設けられている。
【００３４】
センサ抵抗Ｒｓは、白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むように触媒層３１ｓが設けられている。触媒層３１ｓは、例えばパラジウムを担持したアルミナからなるＰｄ／Ａｌ２Ｏ３によって構成されている。また、リファレンス抵抗Ｒｒは、センサ抵抗Ｒｓと同様に白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むようにアルミナ層３１ｒが設けられている。
【００３５】
また、シリコンウェハ３１ａ上には３つのボンディングパッド３１ｃ〜３１ｅが形成されている。第１ボンディングパッド３１ｃはグランド接続される。第２ボンディングパッド３１ｄは接続点Ａとなる。また、第３ボンディングパッド３１ｅは、グランド接続される。
【００３６】
さらに、シリコンウェハ３１ａは、センサ抵抗Ｒｓ及びリファレンス抵抗Ｒｒに対応する位置に、裏面から異方性エッチングによって凹部３１ｆ，３１ｇが形成されている。センサ部３０は、これらの凹部３１ｆ，３１ｇによって熱容量が小さくなっている。
【００３７】
再度、図１を参照する。計装アンプ３２は、非反転入力端子と反転入力端子に入力する電圧の差を増幅するものである。この計装アンプ３２は、非反転入力端子が接続点Ａにつながっており、反転入力端子が接続点Ｂにつながっている。このため、計装アンプ３２は、接続点Ａと接続点Ｂとの電圧差を増幅することとなる。また、計装アンプ３２には、可変抵抗Ｒ３が接続されている。可変抵抗Ｒ３はオフセット調整するためのものである。Ａ／Ｄ変換器３３は、計装アンプ３２から出力されたアナログの電圧を入力し、Ａ／Ｄ変換したうえで制御部１０に出力するものである。
【００３８】
なお、本実施形態では図２に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１が半導体製造プロセス技術を用いて製造されているが、特にこれに限られるものではない。また、センサ部３０は、計装アンプ３２、Ａ／Ｄ変換器３３、及び可変抵抗Ｒ３等を有しているが、特にこれに限らず、いずれかの構成を省略して、又は他の構成を追加して形成されていてもよい。
【００３９】
次に、本実施形態に係るガス検出装置１の動作を説明するのに先立って、比較例に係るガス検出装置の動作を説明する。図３は、比較例に係るガス検出装置の動作を示すタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサ３１の温度を示している。
【００４０】
図３（ａ）に示すように、まず時刻ｔ１において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオンとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧を印加する。このとき、図３（ａ）の破線に示すように、可燃性ガスの濃度は略ゼロとなっている。このため、図３（ｂ）に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１は駆動温度（約４００℃）まで上昇する。
【００４１】
このとき、警報判断部１２は、センサ部３０からの出力電圧を入力し、出力電圧が警報閾値Ｖｔｈ以上であるか否かを判断する。この時点では可燃性ガスの濃度が略ゼロであるため、出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以上とならず、警報判断部１２は、警報を発しないと判断する。
【００４２】
その後、図３（ａ）に示すように、駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオフとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧を遮断する。なお、この際駆動電圧を遮断しなくともよく、より低電圧で駆動するようにしてもよい。以下、駆動電圧は遮断されるものとして説明する。
【００４３】
次いで、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、時刻ｔ２において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオンとなると、上記と同様に、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加され、接触燃焼式ガスセンサ３１は駆動温度（約４００℃）まで上昇する。そして、警報判断部１２は警報を発するか否かを判断し、時刻ｔ３においてパルス信号がオフとなることから、接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧は遮断される。
【００４４】
次に、図３（ａ）に示すように、時刻ｔ３からｍ（ｍは任意の数）秒経過した時刻ｔ４においてヒートアップ信号出力部１１ｂはヒートアップ信号を出力する。これにより、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップ電圧を印加する。なお、ヒートアップ信号の出力タイミング、すなわちヒートアップ電圧の印加タイミングは、時刻ｔ３〜ｔ５のように駆動電圧がオフとなる期間（タイミング）である。
【００４５】
このヒートアップ電圧の印加により、図３（ｂ）に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１はヒートアップ温度（約５００℃）まで昇温することとなり、堆積した吸着物が脱離することとなる。
【００４６】
その後、時刻ｔ５及びｔ６において時刻ｔ１と同じ処理が実行される。
【００４７】
次いで、時刻ｔ７において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオンとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧を印加する。このとき、図３（ａ）の破線に示すように、可燃性ガスの濃度がやや上昇している。このため、図３（ｂ）に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１は駆動温度を超える温度まで上昇する。しかし、この場合においてもガス濃度はそれほど高まっておらず、センサ部３０から出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以上とならず、警報判断部１２は、警報を発しないと判断する。
【００４８】
なお、図３（ｂ）に示した警報開始温度は、出力電圧が警報閾値Ｖｔｈとなる温度であり、接触燃焼式ガスセンサ３１の温度が警報開始温度以上となると、出力電圧が警報閾値Ｖｔｈとなっており、警報判断部１２は警報を発すると判断することとなる。
【００４９】
そして、時刻ｔ８において図３（ａ）に示すように、駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオフとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧を遮断する。
【００５０】
次に、図３（ａ）に示すように、時刻ｔ８からｍ秒経過した時刻ｔ９においてヒートアップ信号出力部１１ｂはヒートアップ信号を出力する。これにより、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップ電圧を印加する。
【００５１】
この際、図３（ａ）の破線に示すように、可燃性ガスの濃度がかなり上昇している。このため、接触燃焼式ガスセンサ３１は図３（ｂ）に示すようにヒートアップ温度（約５００℃）を超える温度まで上昇してしまい、異常温度に達してしまう。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１は破壊されてしまう可能性がある。
【００５２】
その後、時刻ｔ１０において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオンとなると、上記と同様に、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。このとき、図３（ｂ）に示すように、接触燃焼式ガスセンサ３１の温度が警報開始温度以上となり、出力電圧が警報閾値Ｖｔｈとなっていることから、警報判断部１２は警報を発すると判断する。そして、警報部４０は警報動作を行うこととなる。
【００５３】
このように、比較例に係るガス検出装置では、ヒートアップクリーニングを行ったときに接触燃焼式ガスセンサ３１が置かれている雰囲気に可燃性ガスが存在する場合、ヒートアップクリーニング時に可燃性ガスが触媒と反応して接触燃焼式ガスセンサ３１が破壊される温度まで上昇してしまう可能性があった。
【００５４】
図４は、本実施形態に係るガス検出装置１の動作を示すタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサ３１の温度を示している。
【００５５】
図４（ａ）に示す時刻ｔ１〜ｔ３において図３に示す時刻ｔ１〜ｔ３と同じ動作が実行される。次いで、時刻ｔ３からｎ（ｎは任意の数）秒経過した時刻ｔ４においてヒートアップ信号出力部１１ｂは、判別信号を出力する。これにより、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対して判別電圧を印加する。この判別電圧は、ヒートアップ電圧よりも低い電圧であり、本実施形態では駆動電圧の電圧値と同等とされている。
【００５６】
また、判別電圧が印加されると制御部１０は、センサ部３０からの出力電圧とヒートアップ閾値（所定閾値）とを比較する。そして、制御部１０は、このときの出力電圧がヒートアップ閾値以下であると判断した場合、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達しないと判断する。一方、制御部１０は、出力電圧がヒートアップ閾値以下でないと判断した場合、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達すると判断する。なお、図４（ｂ）に示すヒートアップ閾値は、その電圧値を温度換算して示している。
【００５７】
ここで、図４に示す例では、時刻ｔ４における可燃性ガスの濃度が略ゼロとなっており、判別電圧印加時における出力電圧はヒートアップ閾値以下となる。このため、ヒートアップクリーニング時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度まで達しないと予測できる。よって、時刻ｔ５に示すようにヒートアップ信号出力部１１ｂはヒートアップ信号を出力し、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップ電圧を印加する。このように、本実施形態ではヒートアップ電圧印加前に判別電圧を印加してヒートアップクリーニング時に異常温度に達しないことを確認しつつ、ヒートアップクリーニングを実施することとなる。
【００５８】
次いで、時刻ｔ６〜時刻ｔ９において図３に示す時刻ｔ５〜ｔ８と同じ動作が実行される。次いで、時刻ｔ９からｎ秒経過した時刻ｔ１０において時刻ｔ４と同じ動作が実行される。このとき、図４（ａ）の破線に示すように、可燃性ガスの濃度がかなり上昇しており、判別電圧印加時における出力電圧はヒートアップ閾値を超えてしまう。
【００５９】
このため、ヒートアップクリーニング時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達すると予測できる。よって、時刻ｔ１１においてヒートアップ信号出力部１１ｂはヒートアップ信号を出力せず、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対してヒートアップ電圧を印加しないこととなる。このように、本実施形態ではヒートアップクリーニング時に異常温度に達すると予測できる場合には、ヒートアップクリーニングを実施せず、接触燃焼式ガスセンサ３１の故障を防止することとしている。
【００６０】
そして、時刻ｔ１２において図３に示した時刻ｔ１０と同じ動作が実行される。
【００６１】
なお、本実施形態において判別電圧はヒートアップ電圧印加タイミングの直前に印加されることが好ましい。すなわち、図４（ａ）に示すように、ヒートアップ電圧が印加される場合には、判別電圧とヒートアップ電圧のパルスが一体となっていることが望ましい。例えば両者の間隔が開いている場合、判別電圧印加後に可燃性ガスの濃度が高まって、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が高濃度の可燃性ガスに曝されてしまう可能性があるからである。
【００６２】
図５は、本実施形態に係るガス検出装置１の動作を示す第２のタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサ３１の温度を示している。なお、図５（ｂ）においても図４（ｂ）と同様に、ヒートアップ閾値は、その電圧値を温度換算して示している。
【００６３】
まず、図５（ａ）に示す時刻ｔ１〜ｔ３において図４に示した時刻ｔ１〜ｔ３と同じ動作が実行される。次いで、時刻ｔ３からｎ秒経過した時刻ｔ４においてヒートアップ信号出力部１１ｂは、判別信号を出力する。これにより、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に対して判別電圧を印加する。ここで、時刻ｔ４の時点おいて可燃性ガスの濃度がかなり上昇しており、判別電圧印加時における出力電圧はヒートアップ閾値を超えてしまう。このため、時刻ｔ５においてヒートアップ信号は出力されずヒートアップ電圧の印加は中止される。
【００６４】
そして、時刻ｔ６において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオンとなると、接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。そして、警報判断部１２は警報を発するか否かを判断する。このとき、可燃性ガスの濃度がかなり上昇しているため、接触燃焼式ガスセンサ３１は警報開始温度以上に上昇し、すなわちセンサ部３０からの出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以上となり、警報判断部１２は警報を発すると判断する。そして、警報部４０から警報動作が行われる。
【００６５】
次いで、時刻ｔ７において接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。この時点においても可燃性ガスの濃度が充分低下しておらず、警報部４０から警報動作が行われる。
【００６６】
次に、時刻ｔ８において接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。このとき、可燃性ガスの濃度は充分に低下していることから、接触燃焼式ガスセンサ３１は駆動温度をやや超える温度までしか上昇しない。すなわち、センサ部３０からの出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以上とならず、警報判断部１２は警報を発しないと判断する。
【００６７】
そして、時刻ｔ９において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオフとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧を遮断する。
【００６８】
次いで、本実施形態に係るガス検出装置１は、時刻ｔ９からｎ秒経過した時刻ｔ１０において接触燃焼式ガスセンサ３１に判別電圧を印加させる。通常ヒートアップクリーニングは、例えば３０日毎など一定周期で実施される。このため、判別電圧も３０日毎に印加されるはずであるが、本実施形態に係るガス検出装置１は、警報動作終了後に判別電圧を印加してヒートアップクリーニングの実施を試みるようになっている。
【００６９】
具体的に説明すると、まず、制御部１０は、警報判断部１２により警報を発すると判断された後、警報を発しないと判断された場合（すなわち時刻ｔ８〜ｔ９の時点）に該当するかを判断する。該当する場合、ヒートアップ信号出力部１１ｂは、判別信号を出力して判別電圧を印加させる。印加タイミングは、警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンのタイミング（すなわち時刻ｔ８〜ｔ９の時点）と、次に駆動電圧がオンとなるタイミング（すなわち時刻ｔ１２の時点）との間における駆動電圧がオフのタイミング（すなわち時刻ｔ９〜ｔ１２）である。
【００７０】
このように、本実施形態では警報動作終了後に判別電圧を印加してヒートアップクリーニングの実施を試みるため、ヒートアップクリーニングの実施頻度が低くなってしまう事態を抑制するようにしている。すなわち、図５に示す例では、時刻ｔ４〜ｔ５において判別電圧が印加されており、その後ヒートアップクリーニングが実行されていない。このため、ヒートアップクリーニングが例えば３０日毎に実施される場合、時刻ｔ４から３０日経過した時点で再度判別電圧が印加されることとなり、時刻ｔ５におけるヒートアップクリーニングの機会を逸してしまう。しかし、本実施形態では警報動作終了後に判別電圧を印加してヒートアップクリーニングの実施を試みるため、判別電圧の印加によりヒートアップ電圧を印加すると判断された場合には、時刻ｔ１１に示すように、ヒートアップクリーニングが実施されることとなり、次のヒートアップクリーニングのタイミング（すなわち３０日周期のタイミング）を待つことなく接触燃焼式ガスセンサ３１に堆積した吸着物を迅速に脱離させることができる。
【００７１】
特に、本実施形態においてヒートアップ信号出力部１１ｂは、警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンからオフに切り替わった時点（時刻ｔ９の時点）からｎ秒（所定時間）経過後に判別信号を出力する。ここで、時刻ｔ９の時点からすぐに判別信号を出力して判別電圧を印加すると濃度が充分に低下していない場合には、ヒートアップクリーニングが実施できなくなってしまう可能性がある。しかし、ｎ秒経過後に判別信号を出力するため、警報を発しないと判断されてから、可燃性ガスの濃度が充分に低下する時間を設けることとなり、効果的にヒートアップクリーニングを実施する頻度を高めることができる。
【００７２】
そして、時刻ｔ１２において時刻ｔ１と同じ動作が実行される。なお、上記ｎ秒は、センサの性能及び設置状態、並びに、ガス検出装置１の用途及び使用環境によって適切に設定されるものであり、固定値であってもよいし、可変とされていてもよい。
【００７３】
図６は、本実施形態に係るガス検出装置１の動作を示す第３のタイミングチャートであり、（ａ）は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加される電圧及びガス濃度を示し、（ｂ）は接触燃焼式ガスセンサ３１の温度を示している。なお、図６（ｂ）においても図４（ｂ）と同様に、ヒートアップ閾値は、その電圧値を温度換算したものを示している。
【００７４】
まず、時刻ｔ１〜ｔ７において図５に示した時刻ｔ１〜ｔ７と同じ動作が実行される。
【００７５】
次いで、時刻ｔ８において接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。この時点では可燃性ガスの濃度が時刻ｔ７よりもやや低下して接触燃焼式ガスセンサ３１の出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以下となるため、警報動作は停止することとなる。すなわち、警報判断部１２により警報を発すると判断された後、警報を発しないと判断された場合（すなわち時刻ｔ８〜ｔ９の時点）に該当する。このとき、制御部１０は、出力電圧がヒートアップ閾値以下であるか否かを判断する。時刻ｔ８の時点では出力電圧がヒートアップ閾値以下となっていない。このため、制御部１０は、図５に示した例とは異なり、時刻ｔ８〜ｔ９の間に判別電圧を印加すること自体を禁止する。
【００７６】
次に、時刻ｔ９において接触燃焼式ガスセンサ３１に対して駆動電圧が印加される。このとき、可燃性ガスの濃度は充分に低下していることから、接触燃焼式ガスセンサ３１は駆動温度をやや超える温度までしか上昇しない。すなわち、センサ部３０からの出力電圧は警報閾値Ｖｔｈ以上とならず、警報判断部１２は警報を発しないと判断する。さらに、この時点において制御部１０は、出力電圧がヒートアップ閾値以下であるか否かを判断する。時刻ｔ９の時点においては、出力電圧がヒートアップ閾値印加となっている。このため、上記のように判別電圧の印加を禁止しないこととなる。
【００７７】
そして、時刻ｔ１０において駆動信号出力部１１ａから出力されるパルス信号がオフとなり、センサ駆動回路２０は接触燃焼式ガスセンサ３１に印加していた駆動電圧を遮断する。
【００７８】
次いで、本実施形態に係るガス検出装置１は、時刻ｔ１０からｎ秒経過した時刻ｔ１１において接触燃焼式ガスセンサ３１に判別電圧を印加させる。以後、図５に示した時刻ｔ１１と同様に、ヒートアップクリーニングが実行されることとなる。
【００７９】
このように、警報動作後にヒートアップクリーニングを試みるべく判別電圧を印加する構成によれば、時刻ｔ６〜ｔ８のように警報動作が長引いたとしても、時刻ｔ９において警報動作が解除された場合には、時刻ｔ１１に示すように判別電圧が印加されることとなる。よって、この場合であっても、次のヒートアップクリーニングのタイミング（すなわち３０日周期のタイミング）を待つことなく接触燃焼式ガスセンサ３１に堆積した吸着物を迅速に脱離させることができる。特に、図６に示す例では警報解除時における駆動電圧がヒートアップ閾値以下でない場合には、その後（次の駆動電圧印加までの期間）に判別電圧を印加すること自体を禁止する。このように、本実施形態では駆動電圧と判別電圧が同じ電圧値であることを利用し、警報解除時においても判別電圧印加時と同様にヒートアップ閾値との比較を行い、ヒートアップ閾値以下でない場合には判別電圧の印加自体を禁止するため、消費電力を抑える等の効果を奏することができる。そして、判別電圧の印加を禁止した場合には、次回の駆動電圧印加時においてもヒートアップ閾値との比較を行い、ヒートアップ閾値以下でない場合には判別電圧の印加自体を禁止し、ヒートアップ閾値以下である場合には、そのｎ秒後に判別電圧を印加することとなる。
【００８０】
次に、本実施形態に係るガス検出装置１の制御方法について説明する。図７は、本実施形態に係るガス検出装置１の制御方法を示すフローチャートである。なお、図７に示す処理はガス検出装置１の電源がオフされるまで、繰り返し実行される。
【００８１】
図７に示すように、ガス検出装置１は、ステップＳ１〜Ｓ５においてガス濃度検出及び警報等を行う。また、ガス検出装置１は、ステップＳ６〜Ｓ１０において判別電圧及びヒートアップ電圧の印加処理を実行する。さらに、ガス検出装置１は、ステップＳ１１〜Ｓ１３において、図５及び図６に示したように、警報を発すると判断した後に発しないと判断した場合における処理を実行する。以下、詳細に説明する。
【００８２】
まず、制御部１０は駆動電圧の印加タイミングであるか否かを判断する（Ｓ１）。ここで、駆動電圧は図３〜図６に示したように一定間隔で印加されるものであり、制御部１０は上記一定間隔に相当する時間が経過したか否かを判断することとなる。なお、駆動電圧は、一定間隔に限らず不定間隔で印加されるものであってもよい。
【００８３】
駆動電圧の印加タイミングであると判断した場合（Ｓ１：ＹＥＳ）、駆動信号出力部１１ａは駆動信号を出力する（Ｓ２）。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１には駆動電圧が印加される。次いで、警報判断部１２は駆動電圧がオンとなるタイミングにおいてセンサ部３０からの出力電圧が警報閾値Ｖｔｈ以上であるか否かを判断する（Ｓ３）。
【００８４】
出力電圧が警報閾値Ｖｔｈ以上であると判断した場合（Ｓ３：ＹＥＳ）、警報判断部１２は警報を発すると判断し、警報部４０に警報動作を実行させる（Ｓ４）。その後、制御部１０は警報フラグを「１」に設定し（Ｓ５）、図７に示す処理は終了する。この警報フラグとは、警報動作の実行時に「１」に設定され、警報動作の非実行時に「０」に設定されるものである。
【００８５】
ところで、駆動電圧の印加タイミングでないと判断した場合（Ｓ１：ＮＯ）、制御部１０は警報フラグが「０」であるか否かを判断する（Ｓ６）。警報フラグが「０」でないと判断した場合（Ｓ６：ＮＯ）、警報動作中であることからヒートアップクリーニングの実行を中止すべく処理はステップＳ１に移行する。
【００８６】
一方、警報フラグが「０」であると判断した場合（Ｓ６：ＹＥＳ）、制御部１０は、判別電圧の印加タイミングであるか否かを判断する（Ｓ７）。例えば３０日毎にヒートアップクリーニングが行われている場合、制御部１０は前回のヒートアップクリーニングから３０日経過したか否かを判断する。
【００８７】
判別電圧の印加タイミングでないと判断した場合（Ｓ７：ＮＯ）、処理はステップＳ１に移行する。判別電圧の印加タイミングであると判断した場合（Ｓ７：ＹＥＳ）、ヒートアップ信号出力部１１ｂは判別信号を出力する（Ｓ８）。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１には判別電圧が印加される。
【００８８】
次に、制御部１０は、センサ部３０からの出力電圧がヒートアップ閾値以下であるか否かを判断する（Ｓ９）。ヒートアップ閾値以下でないと判断した場合（Ｓ９：ＮＯ）、接触燃焼式ガスセンサ３１が可燃性ガスの雰囲気に曝されていることから、ヒートアップクリーニングを中止すべく処理はステップＳ１に移行する。
【００８９】
一方、ヒートアップ閾値以下であると判断した場合（Ｓ９：ＹＥＳ）、ヒートアップ信号出力部１１ｂは、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達しないと判断できることから、ヒートアップ信号を出力する（Ｓ１０）。これにより、接触燃焼式ガスセンサ３１にはヒートアップ電圧が印加され、ヒートアップクリーニングが実行される。その後、図７に示す処理は終了する。
【００９０】
ところで、ステップＳ３において出力電圧が警報閾値Ｖｔｈ以上でないと判断した場合（Ｓ３：ＮＯ）、制御部１０は警報フラグが「１」であるか否かを判断する（Ｓ１１）。警報フラグが「１」でないと判断した場合（Ｓ１１：ＮＯ）、処理はステップＳ１に移行する。
【００９１】
一方、警報フラグが「１」であると判断した場合（Ｓ１１：ＹＥＳ）、前回処理において警報動作が実行され、今回処理のステップＳ３において出力電圧が警報閾値Ｖｔｈ以上でないと判断できることから、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断された場合といえる。このため、警報判断部１２は警報部４０に警報停止を実行させる（Ｓ１２）。
【００９２】
次に、制御部１０はステップＳ３における出力電圧がヒートアップ閾値以下であるかを判断し（Ｓ１３）、ヒートアップ閾値以下でないと判断した場合（Ｓ１３：ＮＯ）、処理はステップＳ１に移行する。
【００９３】
一方、ヒートアップ閾値以下であると判断した場合（Ｓ１３：ＹＥＳ）、制御部１０は、ヒートアップ閾値以下であると判断されてから、ｎ秒経過したか否かを判断する（Ｓ１４）。
【００９４】
ｎ秒経過していないと判断した場合（Ｓ１４：ＮＯ）、経過したと判断されるまで、この処理が繰り返される。一方、ｎ秒経過したと判断した場合（Ｓ１４：ＹＥＳ）、制御部１０は、まず警報フラグを「０」に設定し（Ｓ１５）、処理はステップＳ８に移行する。そして、上記したステップＳ８〜Ｓ１０の処理が実行され、図７に示す処理は終了することとなる。
【００９５】
このようにして、本実施形態に係るガス検出装置１及びその制御方法によれば、ヒートアップ電圧を印加する前にヒートアップ電圧よりも低い判別電圧を接触燃焼式ガスセンサ３１に印加し、センサ部３０から得られた出力からヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が異常温度に達しないと判断できる場合に、ヒートアップ電圧を印加する。このため、たとえ接触燃焼式ガスセンサ３１が置かれている雰囲気に可燃性ガスが存在したとしても、ヒートアップ電圧よりも低い判別電圧の印加により接触燃焼式ガスセンサ３１が置かれている雰囲気を判断することが可能となる。このため、判別電圧の印加により可燃性ガスの存在が確認できた場合には、ヒートアップクリーニングを中止できることとなり、ヒートアップクリーニング時におけるセンサ故障の可能性を抑えることができる。
【００９６】
また、ヒートアップ電圧を印加する直前に判別電圧を印加するため、判別電圧印加後にすぐにヒートアップ電圧が印加されることとなる。これにより、両者の間隔が開いて判別電圧印加後に可燃性ガスの濃度が高まって、ヒートアップ電圧印加時に接触燃焼式ガスセンサ３１が高濃度の可燃性ガスに曝されてしまう可能性を低減することができる。従って、より一層センサ故障の可能性を抑えることができる。
【００９７】
また、判別電圧が印加されたときの接触燃焼式ガスセンサ３１の出力が所定閾値以下である場合に、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断するため、ヒートアップ電圧印加時に異常温度に達しないと判断するにあたり所定閾値を設定しておけば足り、構成の簡素化につなげることができる。
【００９８】
また、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断された場合、発しないと判断されたときの駆動電圧がオンのタイミングと次の駆動電圧がオンとなるタイミングとの間における駆動電圧のオフのタイミングにおいて、判別電圧を印加する。このため、この判別電圧の印加によりヒートアップ電圧を印加すると判断された場合には、ヒートアップクリーニングが実施されることとなり、次のヒートアップクリーニングのタイミングを待つことなく接触燃焼式ガスセンサ３１に堆積した吸着物を迅速に脱離させることができる。従って、効果的にヒートアップクリーニングを実施することができる。
【００９９】
また、警報を発しないと判断されたときの駆動電圧がオンからオフに切り替わった時点から所定時間経過後に判別電圧を印加する。ここで、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断されてから、すぐに判別電圧を印加すると濃度が充分に低下していない場合には、ヒートアップクリーニングが実施できなくなってしまう可能性がある。しかし、所定時間経過後に判別電圧を印加するため、警報を発すると判断された後に警報を発しないと判断されてから、可燃性ガスの濃度が充分に低下する時間を設けることとなり、効果的にヒートアップクリーニングを実施する頻度を高めることができる。
【０１００】
また、判別電圧は、駆動電圧のオン時における電圧値と同等とされているため、両者の電圧値が大きく異なる場合ように回路構成が複雑とならず、構成の簡素化につなげることができる。
【０１０１】
以上、実施形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更を加えてもよい。
【０１０２】
例えば、本実施形態では、図２を参照して接触燃焼式ガスセンサ１０を説明したが、これに限らず、接触燃焼式ガスセンサ１０の構成は図２に示す構成に限られるものではない。また、接触燃焼式ガスセンサ１０のガス濃度検出回路は図１に示すブリッジ回路に限定されるものではない。
【０１０３】
さらに本実施形態において可能であれば駆動電圧と判別電圧を共通化するようにしてもよい。これにより、駆動電圧がオフの期間に新たに判別電圧を印加する必要性がなくなり、構成を簡素化できるからである。
【符号の説明】
【０１０４】
１  ガス検出装置
１０  制御部
１１  信号出力部
１１ａ  駆動信号出力部（駆動電圧印加手段）
１１ｂ  ヒートアップ信号出力部（ヒートアップ電圧印加手段）
１２  警報判断部（警報判断手段）
１３  差分算出部
１４  記憶部
２０  センサ駆動回路（駆動電圧印加手段、ヒートアップ電圧印加手段）
３０  センサ部
３１  接触燃焼式ガスセンサ
３１ａ  シリコンウェハ
３１ｂ  絶縁膜
３１ｃ〜３１ｅ  ボンディングパッド
３１ｆ，３１ｇ  凹部
３１ｒ  アルミナ層
３１ｓ  触媒層
３２  計装アンプ
３３  Ａ／Ｄ変換器
４０  警報部
Ｒｓ  センサ抵抗
Ｒｒ  リファレンス抵抗
Ｒ１〜Ｒ３  抵抗
【図１】
2013164287.tif 000003
【図２】
2013164287.tif 000004
【図３】
2013164287.tif 000005
【図４】
2013164287.tif 000006
【図５】
2013164287.tif 000007
【図６】
2013164287.tif 000008
【図７】
2013164287.tif 000009