(57)【要約】【課題】カラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置にガラス基板の全数を投入する必要が無い場合、ロボット及びカラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置を増設することなくカラーフィルタ製造ラインのタクトの低下を防ぐダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法を提供する。【解決手段】ダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置と、下流に位置する処理装置と、前記上流に位置する処理装置の下流にあってしかも前記上流に位置する処理装置と前記下流に位置する処理装置と分岐した位置に設けられた処理装置と、の間でガラス基板の受け取りと受け渡しを行うダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法であって、第一の搬送と、第二の搬送と、を繰り返し行うことによってガラス基板を搬送することを特徴とするダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法。【選択図】図１１
2013148817.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の処理を行う複数の処理装置からなる製造ラインにおいて、ダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置と、下流に位置する処理装置と、前記上流に位置する処理装置の下流にあってしかも前記上流に位置する処理装置と前記下流に位置する処理装置と分岐した位置に設けられた処理装置と、の間でガラス基板の受け取りと受け渡しを行うダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法であって、
上流に位置する処理装置からガラス基板（２）をダブルハンドの片方の第一のハンドによって受け取った後、分岐した位置に設けられた処理装置からガラス基板（１）を他方の第二のハンドによって受け取り、その後前記ガラス基板（１）を下流に位置する処理装置に受け渡す第一の搬送と、その後更に、
上流に位置する処理装置からガラス基板（３）をダブルハンドの空きとなった第二のハンドによって受け取った後、前記第一のハンドに載置されているガラス基板（２）を分岐した位置に設けられた処理装置に受け渡し、その後前記第二のハンドに載置されているガラス基板（３）を下流に位置する処理装置に受け渡す第二の搬送と、
前記第一の搬送と第二の搬送とを繰り返し行うことによってガラス基板を搬送することを特徴とするダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法。
【請求項２】
前記分岐した位置に設けられた処理装置は製造ラインで処理されるガラス基板の全数の１／２以下を処理する場合に適用されることを特徴とする請求項１に記載のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板を製造するカラーフィルタ製造ラインで用いられるダブルハンドロボットによる搬送方法に関するもので、更に詳しくはカラーフィルタ製造ライン内に設けられた上流に位置する上流処理装置と、上流処理装置の下流に位置する下流処理装置と、前記上流に位置する処理装置の下流にあってしかも前記上流に位置する処理装置と前記下流に位置する処理装置と分岐した位置に設けられた処理装置と、でガラス基板の受け取りと受け渡し（払い出しまたは投入とも言う）を行う場合に用いられるダブルハンドロボットの動作をカラーフィルタ製造ラインのタクト（（この場合のタクトとはガラス基板を下流装置へ投入する時間間隔）に間に合うようしたダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３にカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図３に示される製造装置１１はある特定の１色（例えばＲ画素）の着色パターンを形成するためのもので、ストッカ装置１２と、ストッカ装置から処理装置に投入する搬入装置１３と、洗浄装置１４と、塗布装置１５と、露光装置１６と、現像装置１７と、ベーク装置１８と、ガラス基板をストッカ装置に搬出する搬出装置１９とを備えている。また、塗布装置１５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置２７が設けられ、現像装置１７の後には異物やパターンの欠けを検査する検査装置２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１）２１から搬送装置（６）２６によって接続されている。更に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後に、搬送装置（６）２６の外に設けられた検査装置２９や修正装置３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１９を経てストッカ装置１２に搬出される。尚、搬入装置１３からストッカ装置１２へ空のカセットが回収され、また、ストッカ装置１２は、空のカセットを搬出装置１９に供給する。
【０００６】
上記カラーフィルタ製造ラインにおいて、装置間のガラス基板の受け取り、受け渡しを
行う場合の搬送手段としてはガラス基板搬送ロボットやガラス基板搬送コンベアが広く用いられている。カラーフィルタ製造ラインにおいては、設備台数の削減や省スペース化の観点から、ガラス基板の投入と排出を同一箇所から行う処理装置(図３での検査装置２７や検査装置２８)がカラーフィルタ製造ラインに設けられる場合がある。このような処理装置に対しては、図４に示すようなガラス基板搬送ロボットがガラス基板の受け取り、受け渡しに用いられていた。
【０００７】
図４はガラス基板の受け取り、受け渡しに用いられるガラス基板搬送ロボットの一例で、シングルハンドを備えた搬送ロボットを示す図で、図４（ａ）はシングルハンドロボットと、受け取り、受け渡しを行う処理装置を側面から見た図で、図４（ｂ）及び図４（ｃ）は処理装置に基板の受け取り、受け渡しをする場合を説明するための処理装置に設けられた搬送コロを正面から見た図を示す。図４（ａ）に示すように、シングルハンドロボットの本体５１の先端には矢印５２の方向に移動するロボットハンド５３が備えられている。例えば、処理装置５５に設けられた搬送装置５６の搬送コロは、図４（ｂ）に示す切り欠き型の搬送コロ５６ａや、図４（ｃ）に示す大型コロ５６ｂが用いられ、欠き型の搬送コロ６５ａや大型コロ５６ｂの隙間５７ａ、５７ｂにロボットハンド５３が挿入され、基板の受け取り、受け渡しが行われる。
【０００８】
上記従来のロボットハンドを備えた搬送ロボットの場合には、ロボットの性能、即ちロボット駆動部の速度の限界や、受け渡し箇所との接触ダメージによる基板の傷つきや割れの発生の問題からロボットは一定以上の速度を出すことが出来ない。更に製造ラインのラインタクトは高速化しているため上記シングルハンドのロボットでは対応出来ないといった問題がある。そこでシングルハンドロボットに替わってハンドを２つ持つ２枚同時搬送可能なダブルハンドタイプのものが使われるようになってきた。
【０００９】
図５及び図６に示すロボットはロボットハンド５３ａと５３ｂを備えたダブルハンドロボットであって、処理装置である検査装置６１に載置されたガラス基板５４ａをロボットハンド５３ａによって検査装置６１から引き抜き、更にロボットハンド５３ｂによってガラス基板５４ｂを検査装置６１を受け渡す場合を示す図である。先ず、検査装置６１にはガラス基板５４ａが載置されている（図５（ａ））。ロボットハンド５３ａを矢印５２ａで示す方向に移動し搬送コロ５６の隙間に挿入し、ガラス基板５４ａの下方まで移動する（図５（ｂ））。その後、ロボットの本体５１を矢印６２ａで示す方向に持ち上げてロボットハンド５３ｂに載置されたガラス基板５４ｂをリフトアップし、同時にロボットハンド５３ａを持ち上げてガラス基板５４ａを搬送コロの上方にリフトアップし（図５（ｃ））、ロボットハンド５３ａを矢印５２ｂで示す方向に移動してガラス基板５４ａを検査装置６１から引き抜く。一方ロボットハンド５３ｂを矢印５２ｃで示す方向に移動する（図５（ｄ））。図５（ｄ）はガラス基板５４ａと５４ｂの交換は同時に行われる場合を示しているが、分割して行われる場合もある。更に搬送コロ５６の上方に移動したロボットハンド５３ｂに載置されたガラス基板５４ｂを（図６（ｅ））、ロボットの本体５１を矢印６２ｂで示す方向に下げて、搬送コロ５６上に載置する。また、この時ロボットハンド５３ａに載置されたガラス基板５４ａもリフトダウンされる（図６（ｆ））。その後矢印５２ｄで示す方向にロボットハンド５３ｂを引き抜いて、ガラス基板５４ｂが検査装置６１の搬送コロ５６上に載置されガラス基板５４ａとの交換は終了する（図６（ｇ））。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−１７９１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図７はダブルハンドタイプのロボットハンドを有するロボットによって、ガラス基板を上流の処理装置から受け取り、製造ラインから分岐して設置された処理装置（例えば、検査装置）とガラス基板を交換し、分岐して設置された処理装置から受け取ったガラス基板を下流の処理装置へ払い出す場合の一例を示す図である。
【００１２】
図７では上流処理装置にガラス基板（２）があり、検査装置にはガラス基板（１）がある（図７（ａ））（ガラス基板（１）はガラス基板（２）より先に上流処理装置で処理された後、検査装置で検査された基板である）。次に上記ロボットによって上流処理装置にガラス基板（２）と検査装置上のガラス基板（１）とを交換し、即ち検査装置にあるガラス基板（１）を受け取り、ガラス基板（２）を検査装置に受け渡し（図７（ｂ））、更に交換したガラス基板（１）を下流の処理装置に受け渡す場合（図７（ｃ））を示している。
【００１３】
しかしながら、ガラス基板の大型化に伴いロボットハンドの動作時間は長くなる傾向にあり、上記図７（ｃ）の場合にはガラス基板（１）の下流装置への払い出しが終わる前に、上流処理装置にはガラス基板（３）が到達してしており、ガラス基板（３）はロボットによる基板の受け取りを待機する状態となっている。即ちロボットの動作時間が律速となり、その結果カラーフィルタ製造ラインのタクトの遅延といった問題が発生していた。
【００１４】
図８、図９においてダブルハンドタイプのロボットハンドによって、上流処理装置、検査装置、下流処理装置間のガラス基板の搬送に要する時間（Ｔ´）は、上流装置からのガラス基板の受け取り（Ｔ１）（図８（ａ）、図９（ａ））とダブルハンドによる検査装置でのガラス基板の交換時間（Ｔ２）（図８（ｂ）、図９（ｂ））と下流装置へのガラス基板の払い出し（受け渡し）時間（Ｔ３）（図８（ｃ）、図９（ｃ））の合計（Ｔ´＝Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）で、Ｔ´≦Ｔ（Ｔは製造ラインのタクト（この場合のタクトとはガラス基板を下流装置へ投入する時間間隔））であれば図８（ｄ）のように上流処理装置へ次のガラス基板（３）が搬送されるまでにガラス基板（２）の下流装置への搬送が終了し、ロボットの動作時間が律速とならない。しかし図９（ｄ）のように、次のガラス基板（３）が搬送されるまでにガラス基板（２）の下流装置への搬送が終了せず、この場合はＴ´＞Ｔとなり、ロボットの動作時間が律速となってしまう。
【００１５】
また、カラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置（図７では検査装置）の動作時間が律速となることも多く、ラインタクト高速化の要求がある一方で、ライン設計上の制約や、ロボットハンドの増設や検査装置のようなカラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置の増設による設備費用増の問題があった。
【００１６】
そこで本発明では、カラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置にガラス基板の全数を投入する必要が無い場合、ロボット及びカラーフィルタ製造ラインと分岐して設置された処理装置を増設することなくカラーフィルタ製造ラインのタクトの低下を防ぐダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、
ガラス基板の処理を行う複数の処理装置からなる製造ラインにおいて、ダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置と、下流に位置する処理装置と、前記上流に位置する処理装置の下流にあってしかも前記上流に位置する処理装置と前記下流に位置する処理装置と分岐した位置に設けられた処理装置と、の間でガラス基板の受け取りと受け渡しを行うダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法であって、
上流に位置する処理装置からガラス基板（２）をダブルハンドの片方の第一のハンドによって受け取った後、分岐した位置に設けられた処理装置からガラス基板（１）を他方の
第二のハンドによって受け取り、その後前記ガラス基板（１）を下流に位置する処理装置に受け渡す第一の搬送と、その後更に、
上流に位置する処理装置からガラス基板（３）をダブルハンドの空きとなった第二のハンドによって受け取った後、前記第一のハンドに載置されているガラス基板（２）を分岐した位置に設けられた処理装置に受け渡し、その後前記第二のハンドに載置されているガラス基板（３）を下流に位置する処理装置に受け渡す第二の搬送と、
前記第一の搬送と第二の搬送とを繰り返し行うことによってガラス基板を搬送することを特徴とするダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法である。
【００１８】
前記分岐した位置に設けられた処理装置は製造ラインで処理されるガラス基板の全数の１／２以下を処理する場合に適用されることを特徴とする請求項１に記載のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法によれば、分岐した位置に設けられた処理装置にガラス基板の全数を投入する必要が無い場合、ロボットを増設することなく製造ラインのタクトの低下を防ぎ、その結果、設備効率の低下を防ぎ又、設備費用と設備設置スペースの増大を抑制することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】カラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ層の製造工程を示すフロー図。
【図３】カラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図４】ガラス基板搬送ロボットの一例を示す図。
【図５】ダブルハンドロボットによってガラス基板の受け渡し、受け取りを行う場合の一例を示す図。（ａ）は検査後のガラス基板を引き抜き、検査前基板を受け渡す際のロボットハンドを示す。（ｂ）は検査後のガラス基板を引き抜くロボットハンドが基板の下方に移動する場合を示す。（ｃ）は検査後のガラス基板をロボットハンドが持ち上げ、同時に検査前の基板が持ち上げられることを示す。（ｄ）は基板交換の様子を示す。
【図６】ダブルハンドロボットによってガラス基板の受け渡し、受け取りを行う場合の一例を示す図。（ｅ）は検査前基板がロボットハンドによって搬送ローラの上方に移動されたことを示す（ｆ）は検査前基板が搬送ローラ上に載置された状態を示す。（ｇ）は検査前基板を移動したロボットハンドが本体方向に移動することを示す。
【図７】ダブルハンドタイプのロボットハンドのロボットによって、ガラス基板を上流の処理装置、製造ラインに設置された処理装置Ａ（検査装置）、下流の処理装置の間で受け取り、受け渡しを行う場合の一例を示す図。（ａ）は上流処理装置にガラス基板（２）があり、検査装置にはガラス基板（１）がある場合を示す。（ｂ）はロボットによって上流処理装置のガラス基板（２）と検査装置上のガラス基板（１）とを交換する場合を示す。（ｃ）は交換したガラス基板（１）を下流の処理装置に受け渡し、更に上流の装置にガラス基板（３）が到着した場合を示す。
【図８】ダブルハンドタイプのロボットハンドのロボットによって、ガラス基板が製造ラインのタクト内で搬送される場合を示す図。（ａ）はダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置にガラス基板（２）があり、検査装置に検査後のガラス基板（１）がある場合を示す。（ｂ）はダブルハンドの片方の第一のハンドによってガラス基板（２）を受け取った場合を示す。（ｃ）は処理装置Ａからガラス基板（１）を他方の第二のハンドによって受け取り、ガラス基板（２）を検査装置に受け渡した場合を示す。（ｄ）はガラス基板（１）を下流に位置する処理装置に払い出しが終わり、上流に位置する処理装置にガラス基板（３）が投入されたことを示す。
【図９】ダブルハンドタイプのロボットハンドのロボットによって、ガラス基板が製造ラインのタクト内で搬送されない場合を示す図。（ａ）はダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置にガラス基板（２）があり、検査装置に検査後のガラス基板（１）がある場合を示す。（ｂ）はダブルハンドの片方の第一のハンドによってガラス基板（２）を受け取った場合を示す。（ｃ）は処理装置Ａからガラス基板（１）を他方の第二のハンドによって受け取り、ガラス基板（２）を検査装置に受け渡した場合を示す。（ｄ）はガラス基板（１）を下流に位置する処理装置に払い出しが終わる前に、上流に位置する処理装置にガラス基板（３）が投入されたことを示す。
【図１０】本発明に係るダブルハンドタイプのロボットハンドのロボットが適用される製造ラインの一部を示す図。
【図１１】本発明のダブルハンドロボットによるガラス基板の搬送方法を説明するための図。（ａ）はダブルハンドロボットの上流に位置する処理装置にガラス基板（２）がある場合を示す。（ｂ）はダブルハンドの片方の第一のハンドによってガラス基板（２）を受け取った場合を示す。（ｃ）は処理装置Ａからガラス基板（１）を他方の第二のハンドによって受け取った場合を示す。（ｄ）はガラス基板（１）を下流に位置する処理装置に払い出す場合を示す。（ｅ）は上流に位置する処理装置からガラス基板（３）を受け取った場合を示す。（ｆ）はガラス基板（２）を処理装置Ａに受け渡す場合を示す。（ｇ）はガラス基板（３）を下流装置に受け渡す直前の場合を示す。（ｈ）はガラス基板（３）を下流装置に払い出し、同時に上流装置にガラス基板（４）が投入された場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明に係るダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法を実施するための形態を説明する。
【００２２】
図１０は本発明に係るダブルハンドロボットが適用されるガラス基板の製造ラインの一部を例示する図である。ガラス基板の製造ラインでは、ダブルハンドロボット１００の上流に位置する処理装置１０１と、下流に位置する処理装置１０２と、前記上流に位置する処理装置の下流にあってしかも前記上流に位置する処理装置と前記下流に位置する処理装置と分岐した位置に設けられた処理装置１０３（以下、処理装置Ａ１０３）と、の間でダブルハンドロボット１００によってガラス基板１１１〜１１３の受け取りと受け渡しの搬送が行われる。ダブルハンドロボット１００はその上流に位置する処理装置１０１から矢印１０４で示す方向にガラス基板を受け取り、処理装置Ａ１０３から矢印１０５で示す方向にガラス基板の交換（受け取りと投入）を行い、下流に位置する処理装置１０２へ矢印１０６で示す方向にガラス基板を受け渡す（払い出す）。
【００２３】
図１１は本発明に係るダブルハンドロボットによるガラス基板の搬送方法を説明するための図である。ダブルハンドロボット１００は上流に位置する処理装置１０１（図１１（ａ））からガラス基板（２）をダブルハンドの片方の第一のハンドによって受け取った（図１１（ｂ））後、処理装置Ａ（例えば検査のために設置された検査装置）１０３からガラス基板（１）を他方の第二のハンドによって受け取り（図１１（ｃ））、その後前記ガラス基板（１）を下流に位置する処理装置１０２に払い出す（図１１（ｄ））。上記図１１（ａ）から図１１（ｄ）を第一の搬送とし、その後更に、上流に位置する処理装置１０１からガラス基板（３）をダブルハンドの空きとなった第二のハンドによって受け取った（図１１（ｅ））後、前記第一のハンドに載置されているガラス基板（２）を処理装置Ａ１０３に受け渡し（図１１（ｆ））、その後前記第二のハンドに載置されているガラス基板（３）（図１１（ｇ））を下流に位置する処理装置１０２に受け渡す（払い出す）（図１１（ｈ））。これを第二の搬送とする。本発明に係るダブルハンドロボットによるガラス基板の搬送方法は上記第一の搬送と上記第二の搬送を繰り返し行うことによって、ガラス基板を搬送する方法である。
【００２４】
上記図１１に示す合計の搬送時間ＴＳは、（第一の搬送時間）＋（第二の搬送時間）である。（第一の搬送時間）＝（上流装置からの受け取り時間Ｔ１＋処理装置Ａから受け取り時間ｔ２+下流装置への払い出し時間Ｔ３）であって（厳密には下流装置へ払い出し後の上流装置へのロボットの移動を含むが、説明の都合上これを含まないで説明する）、（第二の搬送時間）＝（上流装置からの受け取り時間Ｔ１＋処理装置Ａへの投入時間ｔ２´+下流装置への払い出し時間Ｔ３）となり、即ちＴＳ＝（Ｔ１＋ｔ２＋Ｔ３）＋（Ｔ１+ｔ２´+Ｔ３）となり、この間にガラス基板（１）とガラス基板（３）の２枚を下流に位置する処理装置１０２に払い出している。
【００２５】
上記２枚のガラス基板を搬送する時間ＴＳと、従来の図９に示されるガラス基板を搬送する時間Ｔ´＝（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）とを比較する。従来の図９に示される搬送では、２枚のガラス基板を搬送する場合の搬送時間は２Ｔ´＝２（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）となる。従って２枚のガラス基板を搬送する従来の搬送方法で要する搬送時間２Ｔ´と、本発明による方法で２枚のガラス基板を搬送する方法で要する搬送時間ＴＳの差（２Ｔ´−ＴＳ）は、（２Ｔ´−ＴＳ）＝２（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）−｛（Ｔ１＋ｔ２＋Ｔ３）＋（Ｔ１+ｔ２´+Ｔ３）｝＝２×Ｔ２−（ｔ２＋ｔ２´）となる。ここで一般的にｔ２及びｔ２´は処理装置Ａのガラスの受け取りと、処理装置Ａへの投入を行う基板交換動作Ｔ２の半分程度（Ｔ２／２＋α）であり（言い換えれば２×Ｔ２＞（ｔ２＋ｔ２´）であり）、その結果（２Ｔ´−ＴＳ）＞０となって、本発明によるダブルハンドロボットによるガラス基板の搬送は従来の搬送方法と比較してガラス基板２枚あたりの搬送速度を短縮することが出来る。
【００２６】
又、この場合の処理装置Ａである検査装置の処理時間ＴＫは、ＴＫ＜２Ｔ−（ｔ２＋ｔ２´）であれば良い。即ち処理装置Ａがガラス基板の全数の１／２以下を処理する場合に本発明のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法は適用される。言い換えれば、例えば処理装置Ａがガラス基板の全数の１／２を処理する場合にはダブルハンドによって基板交換に必要な時間を短縮した分（余裕分）だけ検査時間を多くとることが出来る。
【００２７】
上記本発明のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法では、従来の搬送方法と比較してガラス基板１枚あたりの搬送速度を短縮することが出来るが、下流の処理装置へ払い出されるガラス基板の順番は、基板（１）→基板（３）→基板（２）→基板（５）→基板（４）→・・・と順序が逆となったり又、処理装置Ａで検査できるガラス基板は（基板（１）→基板（２）→基板（４）→・・・と最大でも全体の半数のガラス基板となってしまうが、順序が逆になる基板は下流装置の更に下流に設けられる簡単な入れ替え装置で入れ替えることが出来、ガラス基板を全数検査する必要でない場合、例えば塗布装置によ
る着色フォトレジストの塗布後の着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置には本発明のダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法を適用することが出来る。
【００２８】
本発明を実施するための形態ではダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法をカラーフィルタの製造ラインに適用することを例示したが、これに限定することなくガラス基板を処理する製造ラインに広く用いることが出来る。
【００２９】
以上のように本発明によるダブルハンドロボットによるガラス基板搬送方法によれば、製造ラインの処理装置Ａにガラス基板の全数を投入する必要が無い場合、ロボットを増設することなく、製造ラインのタクトの低下を防ぎ、その結果、設備効率の低下を防ぎ又、設備費用と設備設置スペースの増大を抑制することが出来る。
【符号の説明】
【００３０】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１１・・・カラーフィルタ製造装置
１２・・・ストッカ装置
１３・・・搬入装置
１４・・・洗浄装置
１５・・・塗布装置
１６・・・露光装置
１７・・・現像装置
１８・・・ベーク装置
１９・・・搬出装置
２１〜２６・・・搬送装置（１）〜搬送装置（６）
２７〜２９・・・検査装置
３０・・・修正装置
５１・・・シングルハンドロボットの本体
５２・・・ロボットハンドが移動する方向を示す矢印
５３・・・ロボットハンド
５５・・・処理装置
５６・・・搬送装置
５６ａ・・・切り欠き型の搬送コロ
５６ｂ・・・大型コロ
５７ａ、５７ｂ・・・欠き型の搬送コロの隙間、大型コロの隙間
５３ａ、５３ｂ・・・ロボットハンド
６１・・・検査装置
５４ａ、５４ｂ・・・基板
５２ａ〜５２ｄ・・・ロボットハンドを移動する方向を示す矢印
６２ａ、６２ｂ・・・ロボットの本体が動作する方向を示す矢印
７１・・・ガラス基板受け渡し装置
７１−１ａ・・・ガラス基板受け渡し装置の第一の上昇ピン
７１−１ｂ・・・ガラス基板受け渡し装置の第二の上昇ピン
７１−２ａ、２ｂ・・・ガラス基板受け渡し装置の搬送ローラ
７１−３ａ、３ｂ・・・ガラス基板受け渡し装置ベース台
７２−１ａ、７２−１ｂ・・・ロボットハンド
１００・・・ダブルハンドロボット
１０１・・・上流に位置する処理装置
１０２・・・下流に位置する処理装置
１０３・・・処理装置Ａ
１０４・・・ダブルハンドロボットが上流に位置する処理装置からガラス基板を受け取る方向を示す矢印
１０５・・・ダブルハンドロボットが処理装置Ａとガラス基板の交換を行う方向を示す矢印
１０６・・・ダブルハンドロボットが下流に位置する処理装置にガラス基板を受け渡す方向を示す矢印
１１１〜１１３・・・ガラス基板
【図２】
2013148817.tif 000003
【図３】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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