(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドを構成する各部材のうち、片面に撥インク膜が形成される部材と他の部材とを接着剤で接合する際に、接着剤の接合面に撥インク成分が付着した場合でも信頼性の高い接合を行う。【解決手段】液滴が吐出されるノズル穴４０を有する板状のノズル板１１と、ノズル板１１の液滴が吐出される側の面である液滴吐出面の裏側の面である接合面にて、ノズル板１１と接着剤１６により接合するフレーム４と、を備える。ノズル板１１の液滴吐出面には撥インク膜１０が成膜されている。ノズル板１１の外周部に、接合面から液滴吐出面に貫通する開口部２７が形成されている。接着剤１６は、フレーム４及びノズル板１１の間と、開口部２７と、ノズル板１１の外周と、液滴吐出面における開口部２７及び外周の間とにわたって、開口部２７と外周との間に外周部に形成されるリブ２９を覆うように存在している。【選択図】図６
2013014085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴が吐出されるノズルを有する板状の第１の部材と、
前記第１の部材の液滴が吐出される側の面である液滴吐出面の裏側の面である接合面にて、前記第１の部材と接着剤により接合する第２の部材と、を備え、
前記第１の部材の前記液滴吐出面には撥インク膜が成膜されており、
前記第１の部材の外周部に、前記接合面から前記液滴吐出面に貫通する開口部が形成されており、
前記接着剤は、前記第２の部材及び前記第１の部材の間と、前記開口部と、前記第１の部材の外周と、前記液滴吐出面における前記開口部及び前記外周の間とにわたって、前記開口部と外周の間に形成される第１のリブを覆うように存在している
ことを特徴とする、液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記開口部は、前記第１の部材の外周全体に沿って内側に形成されていることを特徴とする、請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の部材の外周部と前記第１の部材の中央部とをつなぐ複数の第２のリブを有し、
前記開口部は、複数であって、隣り合う二つの前記開口部の間に前記第２のリブが存在することを特徴とする、請求項２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１の部材の端面における、隣り合う二つの第２のリブの中間に相当する位置に、前記第１の部材を加工時に保持する切断用リブが形成されていることを特徴とする、請求項３記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記開口部は、前記第１の部材の外周全体に沿って内側に、２列で、且つ、千鳥格子状に配置されていることを特徴とする、請求項３又は４記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記接着剤の塗布厚みが、前記第１の部材の厚みの２倍以下であることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする、画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液滴吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、インクジェットヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行なうものであり、インクジェットヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、インクジェットヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。
【０００３】
なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を３次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０００４】
インクジェットヘッドには、種々の構造のものが知られている。インクジェットヘッドの典型例の一つは、インク滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに対応して設けられた電気機械変換素子や、発熱抵抗体などのアクチュエータとを備えている。そして、各ノズルに対応したアクチュエータが選択的に駆動することにより、記録信号に応じたインク滴をノズルより吐出し、画像を形成する。
【０００５】
インクジェットヘッドの一例として、圧電セラミックスであるＰＺＴを用いたピエゾ方式（以下、「ＰＺＴ方式」と呼ぶ）が知られている。ＰＺＴ方式には、基板上に複数の圧電素子を設け、この圧電素子に振動板の変位部を接合し、この振動板と液室を形成するための流路板を接合し、この流路板上に、振動板の変位部に各ノズルが対応するように、ノズル板を接合し、圧電素子を駆動することにより、振動板を介して液室内のインクを加圧し、ノズル板のノズルからインクを吐出するようにしたものがある。このようなインクジェットヘッドにおいて、高密度、高品質記録を行うためには、インクジェットヘッドを構成する部品、ノズル板、流路板、振動板、圧電素子等の各微細部品を高い信頼性を有して組み立てる必要がある。
【０００６】
ノズル板と流路板等の他の微細部品を高い信頼性を有して組み立てるという観点から、本願に関連する先行技術として、特許文献１ないし３に記載の発明が挙げられる。
【０００７】
特許文献１では、微細構造形成部位への接着剤のはみ出しがあるため、接合信頼性が低いという従来の課題に対し、流路板とノズル板とを接着層を介して接合する際、少なくとも一つの接合面においてノズル板に薄肉部を設けている。また、接着剤の接合面に未着領域が発生しやすく接合信頼性が低くなるという課題に言及している。
【０００８】
特許文献２には、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを提供するという課題や、「ノズルプレート」と「基板」とを「接合膜」を介して接合し、当該「接合膜」を、プラズマ重合法で形成されシロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むよう構成することなどについて、記載がある。
【０００９】
特許文献３には、「貫通部」を有する「板状部材」に、「貫通部」を通して「突起部」が挿入され、「突起部」の先端が「ヘッドホルダ」に硬化した接着剤により固着されることが記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１〜３には、液滴吐出ヘッドを構成する各部材を接着剤で貼り合わせる際の技術的課題及びその解決手段について記載していると考えられる。しかしながら、これらの文献には、部材の接合面に撥水性や撥インク性を持った撥インク膜が形成された場合に、接合力を維持し続けることが困難になるという課題については言及がない。
【００１１】
液滴吐出ヘッドでは例えばノズル板に、インクの吐出を安定させるために撥インク膜を積層することが行われている。ところが、この撥インク膜の成分が撥インク膜の成膜時や液滴吐出ヘッドの組み立て工程において、流路板やヘッドのフレームとの接合面へ拡散してしまう場合がある。その場合、撥インク成分は接着剤と部材との密着を阻害してしまい、接着力を維持し続けることが困難になる場合があった。
【００１２】
そこで本発明は、上記実情に鑑みて、液滴吐出ヘッドを構成する各部材のうち、片面に撥インク膜が形成される部材と他の部材とを接着剤で接合する際に、接着剤の接合面に撥インク成分が付着した場合でも高い信頼性を有して接合される液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために本発明は、第１の態様として、液滴が吐出されるノズルを有する板状の第１の部材と、前記第１の部材の液滴が吐出される側の面である液滴吐出面の裏側の面である接合面にて、前記第１の部材と接着剤により接合する第２の部材と、を備え、前記第１の部材の前記液滴吐出面には撥インク膜が成膜されており、前記第１の部材の外周部に、前記接合面から前記液滴吐出面に貫通する開口部が形成されており、前記接着剤は、前記第２の部材及び前記第１の部材の間と、前記開口部と、前記第１の部材の外周と、前記液滴吐出面における前記開口部及び前記外周の間とにわたって、前記開口部と外周の間に形成される第１のリブを覆うように存在していることを特徴とする、液滴吐出ヘッドを提供する。
また、第２の態様として、上記液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする、画像形成装置を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、液滴吐出ヘッドを構成する各部材のうち、片面に撥インク膜が形成される部材と他の部材とを接着剤で接合する際に、接着剤の接合面に撥インク成分が付着した場合でも高い信頼性を有して接合することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による実施形態のインクジェットヘッドの外観例を示す図である。
【図２】図１のインクジェットヘッド１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図２の流路板１２を図２の上方から見下ろした平面図である。
【図４】図２のノズル板１１を図２の上方から見下ろした平面図である。
【図５】図４のノズル板１１の細部の概念を説明するための図である。
【図６】図１のインクジェットヘッド１のＢ−Ｂ断面の一部を拡大して示す図である。
【図７】図１のインクジェットヘッド１を用いたインクジェットヘッドユニットを具備する画像形成装置の一例を示す概略図である。
【図８】図７の搬送ベルト１００を上方から見下ろした概念図である。
【図９】図２のノズル板１１の他の構成例を図２の上方から見下ろした平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜インクジェットヘッド＞
以下、本発明を好適に実施した一形態のインクジェットヘッドについて説明する。
図１に、本実施形態のインクジェットヘッドの外観例を示す。
図１のインクジェットヘッド１は、液室ユニット２や駆動ユニット３等が納められた中空のフレーム４に、ノズル板１１が、フレーム４の開口面（図１の上面）を覆うように固定された構成である。ノズル板１１には、インク液滴が吐出するノズル穴４０が複数、所定の間隔で並んで配置されている。ノズル板１１には、ノズル板１１と液室ユニット２の他の部材との位置決めに用いられる位置決め穴２１が設けられていてもよい。ここではノズル穴４０が１列に設けられる構成を示しているが、複数列を設けた構成としてもよい。
【００１７】
インクジェットヘッド１を図１の上から見て短手方向を、本明細書では「チャンネル方向」と呼ぶ。図２に、チャンネル方向と同じ方向から見たインクジェットヘッド１の断面図を示す（Ａ−Ａ断面）。また、図６に、チャンネル方向と直交する方向から見たインクジェットヘッド１の断面図を示す（Ｂ−Ｂ断面）。
【００１８】
図２では、フレーム４を省略して記載している。
図２に示すように、インクジェットヘッド１は、駆動ユニット３と、この駆動ユニット３に接合した液室ユニット２とを備えている。まず、駆動ユニット３は、基板１５上に圧電素子１４を配置し接着剤によって接合している。
【００１９】
圧電素子１４にダイシングソー等を用いたスリット加工を行うことにより一列に配列した複数の圧電素子柱１７が製作される。圧電素子柱１７は、より詳細には駆動部１７ａと支柱部１７ｂとに分割されている。駆動部１７ａは、液室３０に対向して配置され、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが与えられて駆動する。一方、支柱部１７ｂは、駆動部１７ａの間に位置し駆動パルスを与えられずに単に液室ユニット２を支える。圧電素子１４としては、例えば、１０層以上の積層型圧電素子が用いられる。しかしながら、本実施形態のインクジェットヘッド１の構成例としては、圧電素子に換えて、他の電気機械変換素子や発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いてもよい。
【００２０】
図２に示すように、圧電素子１４の両端部にはアライメント溝やアライメント溝が形成される溝状段差面などが形成される。これらは液室ユニット２と駆動ユニット３との組み立てを高精度で正確に位置決めするために用いられるものである。これらについては本実施形態の要旨との関連が薄いので説明を省略する。
【００２１】
液室ユニット２は、接着剤１８を介して駆動ユニット３に接合する。液室ユニット２は、インク液滴を吐出する複数のノズル穴４０を有するノズル板１１と、各ノズル穴４０に対応する液室３０（図６等参照）が形成されている流路板１２と、各液室３０に駆動部１７ａの振動を伝える振動板１３を有する構成である。
【００２２】
ノズル板１１と流路板１２、振動板１３と流路板１２も、液室ユニット２と駆動ユニット３同様に、接着剤（図示は省略）を介して接合される。
【００２３】
図３に、流路板１２を図２の上方から見下ろした平面図を示す。
流路板１２には、複数のノズル穴４０のそれぞれに対応した液室３０が形成されている。また、図１に示したノズル板１１の位置決め穴２１に対応する位置にマーク２２が形成されている。位置決め穴２１を通してマーク２２が光学的に検出可能である。インクジェットヘッド１の組み立ての際は、流路板１２にノズル板１１を紫外線硬化型接着剤（ＵＶ接着剤））で接合させた後、撮像手段により位置決め穴２１を通してマーク２２を検出する。画像処理によってノズル板１１のズレを検出して接合位置の微調整を行い、紫外線光により硬化を促進させて紫外線硬化型接着剤を硬化させる。このようにして、高精度の位置決めが実現する。
【００２４】
図４に、ノズル板１１を図２の上方から見下ろした平面図を示す。また、図５に、ノズル板１１の細部の概念を説明するための図を示す。
【００２５】
図４に示すように、ノズル板１１の外周部には全周にわたって、開口部２７が設けられている（なお、図１では開口部２７の記載を省略している）。
【００２６】
ここでいう「外周部」は、図５（ａ）に示すように、ノズル板１１の中央部に対してノズル板１１のふちにあたる部位を指す（「端部」ないし「縁部」と呼んでもよい）。ノズル板１１の表面には撥インク性を持った撥インク膜が形成されるが、種々の理由で撥インク成分が裏面（流路板１２やフレーム４との接合面）にも拡散したり回り込んだりする場合がある。本実施形態では、図４や図６などに示す構成により、撥インク成分の拡散により弱化しがちな外周部裏面の接合を強固にし、全体として接着力の向上を実現する。
【００２７】
開口部２７と開口部２７の間には、リブ２８が設けられ、ノズル板１１の剛性を保っている。本実施形態においては、リブ２８の幅は、開口部２７の幅よりも狭い（図５（ａ）参照）。開口部２７とリブ２８の物理的位置関係は、換言すれば、外周部に設けられた大きな開口部をリブ２８によって複数個の開口部２７に分割されているものであるとも言える。隣り合う二つの開口部２７の間にリブ２８が存在することで、ノズル板１１の剛性が保たれる。
【００２８】
さらに、位置決め穴２１が形成されていて、流路板１２との接合時に位置確認用に利用される。流路板１２との接合時、位置決め穴２１を通して流路板１２上に形成されたマーク２２が見える。位置決め穴２１の中心とマーク２２の中心を検出してから、ノズル板１１と流路板１２の各部品のセンターを演算し、ノズル板１１を基準に流路板１２の位置をＸＹθ補正し、各部品のセンターの位置のずれ量が規格値以下となった後、加重して、紫外線硬化型接着剤等で仮止めする。
【００２９】
また、ノズル板１１の外周部には、部品を加工時に保持する切断用リブ２６が形成されている。部品シートの完成後にこの切断用リブ２６を切断することで、ノズル板１１が個片化される。
【００３０】
本実施形態においては、ノズル板１１を個片化するための切断用リブ２６の位置を、リブ２８とリブ２８が設けられる位置の中間に配置する。リブ２８は、図５に示したノズル板１１の中央部と外周部とを架橋してノズル板１１の剛性を保つ作用をする。そして、切断用リブ２６が二つのリブ２８の中間に配置されることによって、ノズル板１１の個片化の際に、切断用リブ２６における切断によって起きる変形の影響が二つのリブ２８に均等に吸収されることになる。したがって、個片化のための切断の際に起きる変形の影響を最小限にすることができる。
【００３１】
また、ノズル板１１の外周部には、開口部２７が設けられることによって、開口部２７と外周との間にリブ２９が形成される。図５（ｂ）に示すように、リブ２９は、ノズル板１１の端部の最も外側に形成されるので、ノズル板１１の端面がリブ２９の一部となる。
【００３２】
図２〜４を参照しながら説明したインクジェットヘッド１を構成する各部品を組み立てて、図１の外観例のようなインクジェットヘッド１が作成される。図１のＢ−Ｂ断面をチャンネル方向と直交する方向から見て、一部を拡大した図を図６に示す。
【００３３】
図６に示すように、ノズル板１１の片面（インク吐出面）には撥インク膜１０が成膜される。しかしながら、工程条件によっては、少量が流路板１２やフレーム４との接合面側へ移動していることがある。この場合、接合強度が落ちる可能性がある。
【００３４】
図６において、インク液は、インク供給流路５を通って、液室３０に入る。駆動部１７ａの振動を伝える振動板１３の振動により、少量が液滴となってノズル穴４０から吐出される。
【００３５】
また、図６に示すように、ノズル板１１は、その外周部（端部）が接着剤１６で固定されている。接着剤１６は、ノズル板１１の外周部を、接合面と開口部２７からインク吐出面と端面まで、覆うように塗布され、硬化している。このように接着剤１６が存在しているので、ノズル板１１はフレーム４に強固に掛止される。これは、開口部２７が設けられることによって形成されたリブ２９に、接着剤１６がリブ２９を覆うように接合面の裏面まで回り込むことで引っ掛かり、固定されるためである。
【００３６】
接着剤１６の材料としては、種々のものが利用できるが、インク液滴の組成材料に耐性のあるものであることが好ましい。インク液滴の組成材料に耐性のある材料の中でも特に、エポキシ系の接着剤であれば、高い耐性があるため、より好ましい。この場合、高い固定強度に加えて、インク液滴に曝される環境下における劣化に対して高い耐性が得られる。
【００３７】
接着剤１６の塗布厚みは、ノズル板１１の厚みの２倍以下であることが好ましい。こうすることによって、接着剤１６の塗布後に部品を接合した際に、接着剤１６が開口部２７からノズル板１１上を覆うような形状を取ることできる。
【００３８】
＜インクジェットヘッドユニット及び画像形成装置＞
上述したインクジェットヘッド１を少なくとも一つ用いて、インクジェットヘッドユニットを製造することができる。当該インクジェットヘッドユニットは、インクジェットヘッド１を並べて作成した、記録媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列を有するライン型の液滴吐出ヘッド（ラインヘッド）であってもよい。また、記録媒体の印字領域幅以下のノズル列を有するインクジェットヘッドユニット（シリアルヘッド）であってもよい。シリアルヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向へ往復移動しながら記録媒体上にインクを吐出して画像形成する。
【００３９】
なお、図１ないし図６では、インクジェットヘッド１のインク吐出選択的に行う方式としてピエゾ素子を用いたＰＺＴ方式を利用したが、他にも、サーマル方式等、当業者によく知られた種々の方式が利用できる。
【００４０】
上記ラインヘッドやシリアルヘッドを用いて、画像形成装置とすることができる。当該画像形成装置は、オンデマンド型のインクジェットプリンタであってもよく、他にも、いわゆる連続吐出型と呼ばれる、吐出し続けるインク液滴の飛翔軌道を偏向電極で曲げて高速な画像形成を行う方式のインクジェットプリンタであってもよい。
【００４１】
図７に、本実施形態のインクジェットヘッド１を有する画像形成装置の一典型例の要部構成を示す。図７のインクジェット記録装置は、インクジェットヘッド１を複数有するシリアルヘッドである「記録ヘッド１０３」を具備している。
【００４２】
このインクジェット記録装置は、装置本体と、装置本体に装着した、記録媒体である用紙Ｐを装填するための給紙トレイ１０５と、装置本体に装着され画像が記録（形成）された用紙Ｐをストックするための排紙トレイ１１４とを備え、さらに、装置本体の前面の一端部側には、前面から前方側に突き出し、上面よりも低くなったカートリッジ装填部（不図示）を有し、このカートリッジ装填部の上面に操作キーや表示器などの操作部（不図示）を配置している。給紙トレイ１０５の用紙積載部（圧板）上に積載した用紙を給紙するための給紙部として、用紙積載部から用紙Ｐを１枚づつ分離給送する給紙コロ（半月コロ）１０６及び給紙コロ１０６に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド１０７を備え、この分離パッド１０７は給紙コロ１０６側に付勢されている。
【００４３】
そして、この給紙部から給紙された用紙を記録ヘッド１０３の下方側で搬送するための搬送部として、用紙Ｐを静電吸着して搬送するための搬送ベルト１００と、給紙部から搬送ガイド１０８を介して送られる用紙Ｐを搬送ベルト１００との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ（不図示）と、略鉛直上方に送られる用紙Ｐを略９０°方向転換させて搬送ベルト１００上に倣わせるための搬送ガイド１０８と、押さえ部材１１５で搬送ベルト１００側に付勢された先端加圧コロ１１０とを備えている。また、搬送ベルト１００表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ１１１を備えている。ここで、搬送ベルト１００は、無端状ベルトであり、搬送ローラ１１６とテンションローラ１１３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向に周回するように構成している。帯電ローラ１１１は、搬送ベルト１００の表層に接触し、搬送ベルト１００の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。
【００４４】
また、搬送ベルト１００の裏側には、記録ヘッド１０３による印写領域に対応してガイド部材１１７を配置している。このガイド部材１１７は、上面が搬送ベルトを支持する２つのローラ（搬送ローラ１１６とテンションローラ１１３）の接線よりも記録ヘッド側に突出している（なお、図７では、図面が繁雑になるのを避けるため、この突出については表現していない）。これにより、搬送ベルト１００は印写領域ではガイド部材１１７の上面にて押し上げられてガイドされるので、高精度な平面性を維持される。さらに、このガイド部材１１７の搬送ベルト１００の裏面と接触する面側には、主走査方向、すなわち搬送方向と直交する方向に複数の溝を形成して、搬送ベルト１００との接触面積を少なくし、搬送ベルト１００がスムーズにガイド部材１１７表面に沿って移動できるようにしている。さらに、記録ヘッド１０３で記録された用紙Ｐを排紙するための排紙部として、搬送ベルト１００から用紙を分離するための分離爪１１８と、排紙ローラ１１２及び排紙コロ（不図示）とを備え、排紙ローラ１１２の下方に排紙トレイ１１４を備えている。ここで、排紙ローラ１１２と排紙コロ（不図示）との間から排紙トレイ１１４までの高さは排紙トレイ１１４にストックできる量を多くするためにある程度高くしている。
【００４５】
また、装置本体の背面部には両面印刷用用紙反転ユニット１０９が着脱自在に装着されている。この両面印刷用用紙反転ユニット１０９は搬送ベルト１００の逆方向回転で戻される用紙Ｐを取り込んで反転させて再度カウンタローラ（不図示）と搬送ベルト１００との間に給紙する。また、この両面印刷用用紙反転ユニット１０９の上面には手差し給紙部を設けている。
【００４６】
図８に、図７の搬送ベルト１００をキャリッジ１０２上から見た構成を示す概略図を示す。図８に示すように、インクジェット記録装置による画像形成時、用紙Ｐは、用紙搬送方向の上流から下流へ搬送される。搬送中に、キャリッジ１０２がガイドロッド１２０に沿って主走査方向に往復移動しつつ記録ヘッド１０３からインク液滴を吐出して、用紙Ｐに画像を形成する。なお、用紙搬送方向は、「副走査方向」と呼ぶ場合もある。
【００４７】
図８に示す「記録ヘッド１０３」に、図１ないし図６を参照して説明した本実施形態に係るインクジェットヘッド１が用いられている。
【００４８】
＜インクジェットヘッドの他の構成＞
上述したインクジェットヘッドについて、図９に示すように構成すると、接着・接合の信頼性はさらに向上する。図９は、図２のノズル板１１の他の構成例を図２の上方から見下ろした平面図である。図４に示したノズル板１１に対して、図１０に示したノズル板１１は、外周部に開口部２７が２列で、且つ、いわゆる千鳥格子（ｃｒｏｓｓ−ｓｔｉｔｃｈ）状に配置されている。このように配置すると、接着・接合の信頼性はさらに向上する。その結果、インクジェットヘッド１を高い信頼性で長期にわたって吐出を安定させることが可能となる。
【００４９】
なお、上記実施形態においては、開口部２７の形状について、矩形のものを示したが、これに限定するものではない。円形や楕円形のものでも同様の効果が奏せられる。
【００５０】
なお、上記実施形態においては、ノズル板１１とフレーム４との接合を接着剤１６によって高信頼に接合させることを記載しているが、上記実施形態が開示する技術的思想の範囲はこの記載に限定されない。ノズル板１１は、撥インク膜の成膜が意図される面（インク吐出面）とその裏面（接合面）とがある板状の部材の一例である。フレーム４は、その接合面に接着剤１６によって接合される部材の一例である。上記同様の技術的思想を適用して、ノズル板１１と流路板１２とを高信頼に接合させることも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１    インクジェットヘッド
２    液室ユニット
３    駆動ユニット
４    フレーム
５    インク供給流路
１０    撥インク膜
１１    ノズル板
１２    流路板
１３    振動板
１４    圧電素子
１５    基板
１６    接着剤
１７    圧電素子柱
１７ａ    駆動部
１７ｂ    支柱部
１８    接着剤
２１    位置決め穴
２２    マーク
２６    切断用リブ
２７    開口部
２８    リブ
２９    リブ
３０    液室
４０    ノズル穴
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５２】
【特許文献１】特開２００２−０５２７２３号公報
【特許文献２】特開２０１０−０４７０２５号公報
【特許文献３】特開２００８−１８８８７９号公報
【図１】
2013014085.tif 000003
【図２】
2013014085.tif 000004
【図３】
2013014085.tif 000005
【図４】
2013014085.tif 000006
【図５】
2013014085.tif 000007
【図６】
2013014085.tif 000008
【図７】
2013014085.tif 000009
【図８】
2013014085.tif 000010
【図９】
2013014085.tif 000011