(57)【要約】【課題】フラットパネルディスプレイの製造工程において破損が生じるのを防ぐことができるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】板厚方向に対向する第１及び第２の主面を有し、且つ、第２の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、前記滑剤は、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第２の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように設けられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板厚方向に対向する第１及び第２の主面を有し、且つ、第２の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板であって、
前記滑剤は、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第２の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように設けられる、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項２】
前記滑剤は、前記第２の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域に付着されている、請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項３】
前記第２の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域の形状に形成された、不水溶性材料からなる部材を、前記滑剤を覆うように設けた、請求項２に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板。
【請求項４】
板厚方向に対向する第１及び第２の主面を有し、且つ、第２の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法であって、
前記滑剤を、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第２の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように付着する付着工程を含む、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスリボンを成形する成形工程と、
成形工程後のガラスリボンを採板することによりガラス基板を得る採板工程とを含む、請求項４に記載のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造には、厚さが例えば０．１〜１．５ｍｍである薄いガラス基板が用いられる。近年では、フラットパネルディスプレイの大型化が進んでおり、これに伴って、例えば、サイズが２２００ｍｍ×２５００ｍｍのガラス基板が用いられる。
【０００３】
このようなガラス基板は、多数のガラス基板を積層してなる積層体が梱包装置に収納されて一度に納入先に搬送される。納入先では、Ｓｉ薄膜等をガラス基板に成膜することによって、半導体素子等がガラス基板に形成される。
【０００４】
一般的に、ガラス基板を搬送する際には、互いに隣接するガラス基板の接触によってガラス基板の表面に傷が付くことを防止することにより、フラットパネルディスプレイの製造工程に複数のガラス基板を安定して供給することができ、フラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。ガラス基板の表面に傷が付くことを防止するためには、保護紙や保護フィルム等の保護シートがガラス基板間に挟められる。
【０００５】
また、ガラス基板が納入先に搬送される際にガラス基板の表面に傷が付くことを防止するための他の方法が提案されている（特許文献１）。当該方法は、ガラス基板の表面を保護するための滑剤を含んだ紙またはフィルムをガラス基板の表面に押圧して、滑剤をガラス基板の表面に転写させる。ガラス基板の表面に転写された滑剤は、複数のガラス基板を搬送する際に、隣接するガラス基板が接触することによって、ガラス基板の表面に傷が生じるのを抑制するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−４６５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、納入先に搬送される際にガラス基板の表面に傷が付くことを防ぐ方法については、前記特許文献に記載された技術の他にも様々な工夫がなされているが、納入先にてフラットパネルディスプレイの製造工程が実施される際にガラス基板が破損することを防ぐ方法については知られていない。例えば、前記特許文献１に記載された技術では、ガラス基板に転写された滑剤を洗浄工程において容易に除去するようになっているので、洗浄工程後に、例えば搬送ローラや突き上げピン等の搬送部材を用いてガラス基板が搬送される際、搬送部材がガラス基板に直接接触することにより、ガラス基板に傷が付き、さらにはガラス基板が破断するおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、フラットパネルディスプレイの製造工程において破損が生じるのを防ぐことができるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様は、板厚方向に対向する第１及び第２の主面を有し、且つ、第２の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板である。当該フラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、
前記滑剤が、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第２の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように設けられる。
【００１０】
前記滑剤は、前記第２の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域に付着されている、ことが好ましい。
また、前記第２の主面の領域のうち前記搬送部材と接触する領域の形状に形成された、不水溶性材料からなる部材を、前記滑剤を覆うように設ける、ことが好ましい。
【００１１】
本発明の他の態様は、板厚方向に対向する第１及び第２の主面を有し、且つ、第２の主面のみに滑剤が付着したフラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
前記滑剤を、フラットパネルディスプレイの製造工程において前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板が搬送されるときに、前記第２の主面と、前記フラットパネルディスプレイ用ガラス基板を搬送する搬送部材との間に介在するように付着する付着工程を含む。
また、オーバーフローダウンドロー法を用いてガラスリボンを成形する成形工程と、成形工程後のガラスリボンを採板することによりガラス基板を得る採板工程とを含む、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
上記態様のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法によれば、フラットパネルディスプレイの製造工程において破損が生じるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態のガラス基板を収納する梱包装置の分解斜視図である。
【図２】ガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。
【図３】ガラス基板の第２の主面の要部拡大斜視図である。
【図４】滑剤が付着されたガラス基板を説明する図である。
【図５】（ａ）は、吸着テーブルの載置面におけるガラス基板の載置状態を示す図であり、（ｂ）は、ガラス基板が吸着テーブルから離間したときの状態を示す図である。
【図６】滑剤の付着態様を説明する図である。
【図７】滑剤の付着方法の一例を説明する図である。
【図８】滑剤の付着方法の一例を説明する図である。
【図９】ガラス基板と保護紙との配置を説明する図である。
【図１０】ガラス基板と保護シートとの配置を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板（以下、ガラス基板という）及びその製造方法について説明する。
【００１５】
図１は、本実施形態のガラス基板２０を収納する梱包装置１００を示す図である。
梱包装置１００は、複数のガラス基板２０を板厚方向に積層してなる積層体１０を梱包するために用いられる装置である。
梱包装置１００は、支持台１１０と、コンテナ筐体１２０と、を有する。支持台１１０は、積層体１０を支持し固定する。コンテナ筐体１２０は、支持台１１０に固定された積層体１０を、支持台１１０と共に覆う。なお、梱包装置の構成は上記のものに限定されない。
積層体１０を構成する複数のガラス基板２０は、例えば、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造に使用される。
【００１６】
（ガラス基板の概略説明）
以下、ガラス基板２０の概略を説明する。
ガラス基板２０の厚さは、０．１〜１．５ｍｍであり、好ましい厚さの上限値は、１．１ｍｍ、０．７ｍｍ、０．５ｍｍであり、最も好ましい上限値は０．４ｍｍである。ここで、ガラス基板２０の厚さが薄いほど、ガラス基板２０自体の強度は低下する。そのため、フラットパネルディスプレイの製造工程において、ガラス基板２０の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板２０を搬送する際に、例えばガラス基板２０の厚さが０．５ｍｍ以下の場合には、後述するように、ガラス基板２０の破断の問題が顕著となる。
そこで、本実施形態のガラス基板２０には、後述するように、滑剤３０（図４参照）が付着される。滑剤３０がガラス基板２０に付着されることにより、ガラス基板２０の厚さが０．５ｍｍ以下の場合であっても、ガラス基板２０の搬送時におけるガラス基板２０の破断を防止するという顕著な効果を有する。一方、好ましい厚さの下限値は、０．２ｍｍである。
【００１７】
また、ガラス基板２０のサイズは、５００〜２５００ｍｍ×２５００〜３５００ｍｍ（短手方向長さ×長手方向長さ）である。なお、ガラス基板２０のサイズが大きくなるほどガラス基板２０の自重が大きくなるため、フラットパネルディスプレイの製造工程において、ガラス基板２０の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板２０を搬送する際に、ガラス基板２０の自重によってガラス基板２０が破断するという問題が顕著となる。この問題２０は、ガラス基板の短手方向の長さが２０００ｍｍを超えると顕著となる。
一方、本実施形態のガラス基板２０では、滑剤が付着されているため、ガラス基板２０の短手方向の長さが２０００ｍｍ以上、特に２５００ｍｍ以上であっても、ガラス基板２０の搬送時におけるガラス基板２０の破断を防止するという顕著な効果を有する。
【００１８】
ガラス基板２０の種類は、ボロシリケイトガラス、アルミノシリケイトガラス、アルミノボロシリケイトガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケイトガラス、アルカリアルミノシリケイトガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラス等が挙げられる。なお、液晶ディスプレイ用ガラス基板や有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板としては、アルカリを実質的に含有しない、あるいはアルカリを極微量しか含有しないガラス基板を適用することが好ましい。
【００１９】
本実施形態のガラス基板２０は、液晶ディスプレイ用であり、図４に示すように、板厚方向に対向する第１の主面２２と第２の主面２４とを有している。第１の主面２２は、液晶ディスプレイに用いられる半導体素子アレイ又はカラーフィルタなどの薄膜が形成される平滑な面であり、第２の主面２４は、偏光フィルタが形成される平滑な面である。また、第２の主面２４には、偏光フィルタが形成される前に、後述する滑剤３０（図４参照）が付着される。
【００２０】
ガラス基板２０は、例えば、下記に示す組成からなる。下記括弧内に記載された数値は好ましい組成比率である。下記組成比率の％表示はいずれも質量％を意味する。
ＳｉＯ２：５０〜７０％（５７〜６４％）、
Ａｌ２Ｏ３：５〜２５％（１２〜１８％）、
Ｂ２Ｏ３：０〜１５％（６〜１３％）。
なお、下記に示す組成を任意に含んでもよい。
ＭｇＯ：０〜１０％（０．５〜４％）、
ＣａＯ：０〜２０％（３〜７％）、
ＳｒＯ：０〜２０％（０．５〜８％、より好ましくは３〜７％）、
ＢａＯ：０〜１０％（０〜３％、より好ましくは０〜１％）、
ＺｒＯ２：０〜１０％（０〜４％，より好ましくは０〜１％）。
また、上記の組成のうち、特に、ＳｉＯ２：５０〜７０％、Ｂ２Ｏ３：５〜１８％、Ａｌ２Ｏ３：１０〜２５％、ＭｇＯ：０〜１０％、ＣａＯ：０〜２０％、ＳｒＯ：０〜２０％、ＢａＯ：０〜１０％、ＲＯ:５〜２０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種である）を含有することが好ましい。
さらに、Ｒ’２Ｏ:０．２０％を超え２．０％以下（ただし、Ｒ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種である）を含むことがより好ましい。
さらにまた、清澄剤を合計で０．０５〜１．５％含み、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３及びＰｂＯを実質的に含まないことが好ましい。Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３及びＰｂＯは、ガラスを清澄する効果を有する物質ではあるが、環境負荷が大きい物質であるためである。ここで、実質的に含まないとは、質量％が０．０１％未満であって、不純物を除き意図的に含有させないことを意味する。
また、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％であることが好ましい。
【００２１】
（各成分）
ＳｉＯ２はガラス基板のガラスの骨格をなす成分であり、ガラスの化学的耐久性と耐熱性を高める効果を有している。ＳｉＯ２の含有率が低すぎる場合には化学的耐久性と耐熱性の効果が十分に得られず、ＳｉＯ２の含有率が高すぎるとガラスが失透を起こしやすくなり、成形が困難になるとともに、粘性が上昇してガラスの均質化が困難になる。
【００２２】
Ａｌ２Ｏ３はガラスの骨格をなす成分であり、ガラスの化学的耐久性と耐熱性を高める効果を有している。また、Ａｌ２Ｏ３は、ガラスのエッチング速度を高める効果も有している。Ａｌ２Ｏ３の含有率が低すぎる場合にはガラスの化学的耐久性と耐熱性の効果が十分に得られない。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有率が高すぎると、ガラスの粘性が上昇して溶解が困難になるとともに、耐酸性が低下する。
【００２３】
Ｂ２Ｏ３はガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。Ｂ２Ｏ３の含有率が低すぎると、ガラスの耐酸性が低下するためガラスの均質化が困難になる。
【００２４】
ＭｇＯ及びＣａＯは、ガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。また、ＭｇおよびＣａは、アルカリ土類金属の中ではガラスの密度を上昇させる割合が小さいため、得られるガラスを軽量化しつつ熔解性を向上するためには有利な成分である。ただし、ＭｇＯ及びＣａＯの含有率が高くなりすぎると、ガラスの化学的耐久性が低下する。
【００２５】
ＳｒＯ及びＢａＯは、ガラスの粘性を下げて、ガラスの熔解及び清澄を促進する成分である。また、ガラス原料の酸化性を高めて清澄性を高める成分でもある。ただし、ＳｒＯ及びＢａＯの含有率が高くなりすぎると、ガラスの密度が上昇し、ガラス板の軽量化が図れないととともに、ガラスの化学的耐久性が低下する。
【００２６】
Ｋ２Ｏは、ガラスの高温粘度を低下させて、ガラスの熔解性や成形性を向上させると同時に、耐失透性を改善する成分である。Ｋ２Ｏの含有率が低すぎると、ガラスの熔解性が低下するため、ガラスの熔解工程にかかるコストが高くなる。また、ガラスの耐失透性が低下してガラスが失透しやすくなるため、後述するガラスの成形工程においてダウンドロー法を利用することが困難になる。一方、Ｋ２Ｏの含有率が高くなりすぎると、ガラスバランス悪化による耐失透性の低下が生じるため、上記ダウンドロー法を利用することが困難になる。
【００２７】
Ｋ２Ｏは、ガラスから溶出して半導体装置のＴＦＴ（Thin Film Transistor）特性を劣化させる成分であることから、液晶表示装置用ガラス基板として適用する場合には、多量に含有することは好ましくない。具体的には、Ｋ２Ｏの含有量は、例えば２．０％以下にすることが好ましい。しかし、ガラス中に上記成分を敢えて特定量含有させることによって、ＴＦＴ特性の劣化やガラスの熱膨張を一定範囲内に抑制しつつ、ガラスの塩基性度を高め、価数変動する金属の酸化を容易にして、清澄性を発揮させることが可能である。
【００２８】
ＺｒＯ２は、ガラスの失透温度付近の粘性や歪点を高くする成分である。また、ＺｒＯ２は、ガラスの耐熱性を向上させる成分でもある。しかし、ＺｒＯ２の含有率が高すぎると、ガラスの失透温度が上昇して、ガラスの耐失透性が低下する。
【００２９】
また、ガラスには、ガラス中の気泡を脱泡させる成分として、清澄剤を添加してもよい。清澄剤の成分は、環境負荷が小さく、ガラスの清澄性に優れたものであれば、特に制限されない。清澄剤の成分としては、例えば、酸化スズ、酸化鉄、酸化セリウム、酸化テルビウム、酸化モリブデン及び酸化タングステン等の金属酸化物のうち少なくとも１つが挙げられる。
【００３０】
（ガラス基板の製造方法）
図２は、ガラス基板２０の製造方法のフローの一例を説明する図である。本実施形態のガラス基板２０の製造方法は、熔解工程（ステップＳ１０）と、清澄工程（ステップＳ２０）と、攪拌工程（ステップＳ３０）と、成形工程（ステップＳ４０）と、徐冷工程（ステップＳ５０）と、採板工程（ステップＳ６０）と、形状加工工程（ステップＳ７０）と、研磨工程（ステップＳ８０）と、洗浄工程（ステップＳ９０）と、検査工程（ステップＳ１００）と、付着工程（ステップＳ１１０）と、梱包工程（ステップＳ１２０）とを主に有する。
【００３１】
熔解工程（ステップＳ１０）では、図示されない熔解炉で、ガラス原料が化石燃料の燃焼による間接加熱および電気通電による直接加熱により加熱されて溶融ガラスが作られる。ガラスの熔解は、これ以外の方法で行われてもよい。
【００３２】
次に、清澄工程が行われる（ステップＳ２０）。清澄工程では、溶融ガラスが図示されない液槽に貯留された状態で、溶融ガラス中の気泡が上述の清澄剤を用いて取り除かれる。具体的には、溶融ガラス中で価数変動する金属酸化物の酸化還元反応によって行われる。高温時の溶融ガラスにおいて、金属酸化物は還元反応により酸素を放出し、この酸素がガスとなって、溶融ガラス中の気泡を成長させて液面に浮上させる。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。あるいは、酸素ガスの気泡は、溶融ガラス中の他の気泡中のガスを取り込んで成長し、溶融ガラスの液面に浮上する。これにより、溶融ガラス中の気泡は脱泡される。
【００３３】
次に、攪拌工程が行われる（ステップＳ３０）。攪拌工程では、ガラスの化学的および熱的均一性を保つために、垂直に向けられた図示されない撹拌槽に溶融ガラスが通される。溶融ガラスは、攪拌槽に設けられたスターラによって攪拌されながら、垂直下方向底部に移動し、後工程に導かれる。これによって、脈理等のガラスの不均一性を抑制することができる。
【００３４】
次に、成形工程が行われる（ステップＳ４０）。成形工程では、ガラス基板２０の成形方法として、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、フロート法、リドロー法等が用いられる。オーバーフローダウンドローやスロットダウンドロー等を含むダウンドロー法は、例えば特開２０１０−１８９２２０号公報、特許第３５８６１４２号公報等に記載された公知の方法である。これにより、所定の厚さ、幅を有するシート状のガラスリボンが成形される。成形方法としては、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法を用いることが好ましい。これは、オーバーフローダウンドロー法では、ガラスリボンの表面が成形体と接触せずに形成されることから、成形体との接触によるガラスリボンの表面の汚染を防止することができ、表面品質の良好なガラスリボンを成形することができるためである。したがって、オーバーフローダウンドロー法を用いることは、表面品質の良好なガラスリボンが成形されることにより後述の研磨工程を省略することができ、結果としてガラス基板の製造コストを低減し得るので有用である。
【００３５】
次に、徐冷工程が行われる（ステップＳ５０）。具体的には、ガラスリボンは、歪みが発生しないように冷却速度を制御して、図示されない徐冷炉にて徐冷点以下に冷却される。
次に、採板工程が行われる（ステップＳ６０）。具体的には、連続的に生成されるガラスリボンが一定の長さ毎に採板されることにより、ガラス基板が得られる。
【００３６】
次に、形状加工工程が行われる（ステップＳ７０）。形状加工工程では、所定のサイズや形状のガラス基板２０が切り出される。形状加工は、サンドブラスト、カッターやレーザを用いた物理的手段を用いてもよく、エッチングなどの化学的手段を用いてもよい。
【００３７】
次に、研磨工程が行われる（ステップＳ８０）。研磨工程では、ガラス基板２０の表面及び端面の研削・研磨が行われる。研磨工程では、例えば、ダイヤモンドホイールや樹脂ホイールなどが用いられる。
研磨工程では、図３に示すように、複数のガラス基板２０それぞれの第２の主面２４の四隅の少なくとも一つに、面取りが施されることにより形成された面取り部２４ａが設けられる。図３は、ガラス基板２０の第２の主面２４の要部拡大斜視図である。また、面取部２４ａは目印の一例である。面取部２４ａが複数のガラス基板２０それぞれの第２の主面２４のみに形成されることにより、第１の主面２２と第２の主面２４とを容易に区別することができる。
なお、ガラス基板２０の第２の主面２４のみ、あるいは第１の主面２２のみに面取部を形成してもよい。また、目印となる切欠や面取部等を、第１の主面２２又は第２の主面２４の四辺の端部に形成してもよい。さらに、シールやスタンプ等を目印として付してもよい。
【００３８】
この後、洗浄工程が行われる（ステップＳ９０）。洗浄工程では、研磨工程においてガラス基板２０の表面及び端面に付着した研磨剤や不純物を、例えば超音波や薬液等を用いて洗浄することにより除去する。
【００３９】
次に、検査工程が行われる（ステップＳ１００）。検査工程では、ガラス基板２０中の気泡による欠陥の発生頻度を調べ、この発生頻度が所定頻度以下か否かを、洗浄工程後のガラス基板２０について調べる。
【００４０】
次に、付着工程が行われる（ステップＳ１１０）。付着工程では、図４に示すように、ガラス基板２０の第２の主面２４のみに水溶性の低い滑剤３０を付着する。図４は、滑剤３０が付着されたガラス基板を説明する図である。
ここで、水溶性の低い滑剤３０を用いるのは、液晶ディスプレイの製造工程において、ガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、滑剤３０が容易に除去されないようにするためである。
【００４１】
また、第２の主面２４のみに滑剤３０を付着するのは、滑剤３０が第１の主面２２に付着した場合に、液晶ディスプレイの製造工程において生じる問題を防止するためである。具体的に説明すると、例えば、滑剤３０が付着した第１の主面２２に対して半導体素子アレイを形成する場合には、第１の主面２２に蒸着される金属薄膜の密着性が劣化して、金属薄膜が第１の主面２２から剥離するおそれがある。また、滑剤３０が付着した第１の主面２２に対してカラーフィルタを形成する場合には、第１の主面２２に対するカラーフィルタ用ブラックマトリクスの密着性が高くなり過ぎて、ブラックマトリクスのパターンを形成することが困難になる。
これらの問題が生じるのを防止するためには、半導体アレイ又はカラーフィルタの形成工程前に、滑剤３０を第１の主面２２から除去するという煩雑な工程が必要になる。そこで、本実施形態では、ガラス基板２０の第２の主面２４のみに滑剤３０を付着することにより、上記の問題を防止することができるとともに、第１の主面２２から滑剤３０を除去する工程を省略することができる。
【００４２】
さらに、滑剤３０は、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０が搬送されるときに、第２の主面２４と、ガラス基板２０の板厚方向が鉛直方向に沿った状態でガラス基板２０を搬送する搬送部材（例えば、搬送ローラや突き上げピン等）との間に介在するように設けられていることが好ましい。具体的には、滑剤３０は、第２の主面２４の領域のうち搬送部材と接触する領域に少なくとも付着していることが好ましい。これは、搬送部材がガラス基板２０の第２の主面２４に直接接触することにより、ガラス基板２０に傷が付くこと、さらにはガラス基板２０が破断することを防ぐためである。
【００４３】
例えば、半導体素子アレイ又はカラーフィルタが第１の主面２２に形成される際には、図５（ａ）に示すように、第２の主面２４が吸着テーブル２００の載置面に吸着されることにより、ガラス基板２０が吸着テーブル２００上に載置される。そして、半導体素子アレイ又はカラーフィルタが第１の主面２２に形成された後に、ガラス基板２０は、吸着テーブル２００の載置面から上方に突出する突き上げピン２０２に支持されながら上方に移動することにより、吸着テーブル２００から離間する。ここで、滑剤３０が第２の主面２４に付着していない場合、第２の主面２４は、突き上げピン２０２がガラス基板２０に接触したときの衝撃を直接受けることにより、傷が付くおそれがある。また、板厚の薄いガラス基板２０を用いた場合には、ガラス基板２０の強度が小さくなることから、当該衝撃によってガラス基板２０が破断するおそれがある。
【００４４】
本実施形態では、図５（ｂ）に示すように、第２の主面２４の領域のうち突き上げピン２０２と接触する領域に滑剤３０が付着しているため、第２の主面２４が突き上げピン２０２から受ける衝撃を、滑剤３０によって緩和することができる。これにより、突き上げピン２０２から受ける衝撃によって第２の主面２４に傷が付くのを防ぐことができる。
また、滑剤３０が第２の主面２４に付着していることにより、第２の主面２４が吸着テーブル２００に直接接触しない。このため、吸着テーブル２００と接触することによって、第２の主面２４に傷が付くことを防ぐことができる。
さらに、ガラス基板２０を搬送する搬送ローラにガラスの破片が付着していた場合でも、ガラス基板２０が搬送ローラによって搬送されるときに、ガラスの破片がガラス基板２０に接触することにより、ガラス基板２０に傷が付くことを防ぐことができる。
【００４５】
なお、液晶ディスプレイの製造工程において、第２の主面２４に偏光フィルムが形成される際には、第２の主面２４から滑剤３０が除去されていることが好ましい。第２の主面２４に偏光フィルムが形成される際に滑剤３０が第２の主面２４に付着していると、偏光フィルムに位相差フィルムが付着し難くなるという問題が生じるためである。
【００４６】
次に、滑剤３０の種類を説明する。
滑剤３０は、酸アミド、特に有機化合物の酸アミドであることが好ましい。酸アミドは、水によって容易に除去される程の高い水溶性を有していないためである。これにより、例えば、ガラス基板２０が搬送部材によって搬送される前に水で洗浄された場合に、ガラス基板２０の第２の主面２４から滑剤３０が容易に除去されるのを防ぐことができる。
【００４７】
また、滑剤３０は、脂肪酸、特に不飽和脂肪酸であることが好ましい。脂肪酸は滑性効果を有していることから、積層体１０内で隣接するガラス基板２０間の接触や摩擦により、ガラス基板２０の表面に傷が付くのを防ぐことができるためである。
さらに、不飽和脂肪酸は、飽和脂肪酸と比較して溶融温度が低いので、より好ましい。これは、滑剤３０を溶融して第２の主面２４に塗布する場合に、滑剤３０の溶融温度が高すぎると、滑剤３０を第２の主面２４に塗布し終える前に脂肪酸が結晶化して、滑剤３０を第２の主面２４に均一に塗布するのが困難になるためである。
【００４８】
さらに、滑剤３０の炭素数は８〜１００であり、好ましい炭素数は１０〜５０であり、最も好ましい炭素数は１０〜３０である。炭素数が少なすぎる場合には、十分な滑性効果が得られないためである。また、炭素数が少なすぎる場合には、滑剤３０の水溶性が高くなることから、ガラス基板２０が搬送部材によって搬送される前に水で洗浄されると、滑剤３０が第２の主面２４から容易に除去されるおそれがある。一方、炭素数が高すぎる場合には、滑剤３０の溶融温度が高くなることから、滑剤３０を第２の主面２４に塗布し終える前に脂肪酸が結晶化して、滑剤３０を第２の主面２４に均一に塗布するのが困難になるためである。
【００４９】
これらの観点から、脂肪酸アミド、特に不飽和脂肪酸アミドを滑剤３０として用いることが好ましい。ここで、不飽和脂肪酸アミドとしては、オレイン酸アミド、エルカ酸アミド、ステアリン酸アミド、ベヘニン酸アミド、パルミトレイン酸アミド、バクセン酸アミド、リノール酸アミド、リノレン酸アミド、アラキドン酸アミド、ネルボン酸アミド等が挙げられる。なお、本実施形態では、エルカ酸アミドを滑剤３０として用いている。
また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、滑剤３０の全てが除去されないようにするためには、滑剤３０における質量％が１０〜１００質量％のエルカ酸アミドを含む滑剤３０を用いることが好ましい。
なお、第２の主面２４の単位面積あたりのエルカ酸アミドの量は、１ｎｇ〜１ｍｇ／ｃｍ２、好ましくは１０ｎｇ〜５００ｎｇ／ｃｍ２、より好ましくは２０ｎｇ〜２００ｎｇ／ｃｍ２である。単位面積あたりのエルカ酸アミドの量が少なすぎると、ガラス基板２０の破断やガラス基板２０に傷が付くことを防止するという効果を奏することが困難になる。一方、単位面積あたりのエルカ酸アミドの量が多すぎると、エルカ酸アミドが凝集して、ガラス基板２０から剥離するおそれがある。この剥離したエルカ酸アミドは、液晶ディスプレイを製造工程にて発生する不具合の原因となる場合がある。
【００５０】
付着工程では、第２の主面２４の全面に滑剤３０を付着してもよいし、図６に示すように、搬送部材と接触する領域に滑剤３０を付着してもよい。例えば、第２の主面２４の領域のうち突き上げピン２０２と接触する領域に滑剤３０を付着する場合には、滑剤３０は、図６（ａ）に示すように、第２の主面２４の四隅のそれぞれから第２の主面２４の短手方向の寸法以下の範囲内（例えば、第２の主面２４の短手方向の寸法の１０％以下、２０％以下、４０％以下等）の領域に付着されてもよいし、図６（ｂ）に示すように、第２の主面２４の四辺の中央から第２の主面２４の短手方向の寸法以下の範囲内の領域に付着されてもよい。また、図６（ｃ）〜（ｅ）に示すように、例えば、第２の主面２４の短手方向の寸法以下の直径を有する円状に形成された滑剤３０を、第２の主面２４の四隅の近傍、第２の主面２４の四辺の中央の近傍、又は第２の主面２４の中央に付着してもよい。なお、滑剤３０は、多角形状に形成されてもよい。
さらに、第２の主面２４の領域のうち搬送ローラと接触する領域に滑剤３０を付着する場合には、図６（ｆ）に示すように、第２の主面２４の短手方向に延びる複数の直線状に滑剤３０を付着してもよい。あるいは、第２の主面２４の長手方向に延びる複数の直線状に滑剤３０を付着してもよい。さらには、第２の主面２４上に格子状に滑剤３０を付着してもよい。
また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、滑剤３０の全てが除去されないようにするためには、滑剤３０を第２の主面２４に厚く（例えば、厚さ１ｎｍ〜２ｍｍ）付着することが好ましい。
【００５１】
次に、滑剤３０の付着方法を説明する。
滑剤３０をガラス基板２０の第２の主面２４に付着する場合には、まず、滑剤３０を溶融し、溶融された滑剤３０をガラス基板２０の第２の主面２４に蒸着あるいは塗布する。また、溶媒に溶かされた滑剤３０を、スプレー等を用いて噴霧することにより、滑剤３０を第２の主面２４に付着させてもよい。ここで、溶媒としては、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類を用いることが好ましい。
【００５２】
また、液晶ディスプレイの製造工程において、製造処理開始前にガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、滑剤３０の全てが除去されないようにするために、図７あるいは図８に示す方法を用いてもよい。図７は、滑剤３０の付着方法の一例を説明する図である。
まず、図７（ａ）に示すように、第２の主面２４の全面に滑剤３０を付着する。ここで、搬送部材と接触する領域が第２の主面２４の四隅のそれぞれから所定範囲（例えば、ガラス基板２０の短手方向の寸法の４０％）内の領域である場合には、当該領域の形状に形成された不水溶性樹脂からなるシートＳを、当該領域を覆うように貼り付ける。ここで、シートＳは、不水溶性材料からなる部材の一例である。その後、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０が水で洗浄された場合、ガラス基板２０の洗浄時間によっては、図７（ｂ）に示すように、第２の主面２４に付着した滑剤３０が除去される。この場合、前記領域に付着した滑剤３０はシートＳによって覆われているので、当該領域に付着した滑剤３０が洗浄によって全て除去されるのを防ぐことができる。そして、ガラス基板２０が洗浄された後に、図７（ｃ）に示すように、シートＳを除去する。このようにして、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、第２の主面２４の領域のうち搬送部材と接触する領域に滑剤３０を残存させることができる。
【００５３】
図８は、滑剤３０の付着方法の他の一例を説明する図である。
図８（ａ）に示すように、第２の主面２４には滑剤３０が付着されていない。ここで、搬送部材と接触する領域が第２の主面２４の四隅のそれぞれから所定範囲（例えば、ガラス基板２０の短手方向の寸法の４０％）内の領域である場合には、当該領域の形状に形成された保護フィルム５０を、図８（ｂ）に示すように、当該領域を覆うように貼り付ける。ここで、保護フィルム５０は、不水溶性樹脂から形成されており、不水溶性材料からなる部材の一例である。保護フィルム５０の表面のうち第２の主面２４と接触する表面には滑剤３０が付着しており、保護フィルム５０が第２の主面２４に貼り付けられることにより、滑剤３０が第２の主面２４に付着する。ここで、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０が水で洗浄された場合であっても、滑剤３０が全て除去されるのを保護フィルム５０によって防ぐことができる。そして、ガラス基板２０が洗浄された後に、図８（ｃ）に示すように、保護フィルム５０を除去する。このようにして、第２の主面２４の領域のうち搬送部材と接触する領域に滑剤３０を残存させることができる。
このようにして、本実施形態の液晶ディスプレイ用ガラス基板２０が製造される。
【００５４】
次に、梱包工程が行われる（ステップＳ１２０）。
ガラス基板２０は、図９に示すように、一枚ずつ搬送されて支持台１１０に載せられ、既に載せられたガラス基板２０の板厚方向に積み重ねられる。ガラス基板２０を積層する場合、ガラス基板２０の表面を保護するための保護紙４０を、ガラス基板２０の第２の主面２４と、当該ガラス基板２０と隣接する他のガラス基板２０の第１の主面２２との間に介在するように挟む。このように保護紙２０を介在させることにより、積層体１０内のガラス基板２０の表面に傷が付くことを防止し、さらには、積層体１０内のガラス基板２０が静電気を帯びて互いに密着するのを防止することができる。また、保護紙４０がガラス基板２０間に介在することにより、ガラス基板２０の第２の主面２４に付着した滑剤３０が、当該ガラス基板２０と隣接する他のガラス基板２０の第１の主面２２に付着するのを防止することができるので、液晶ディスプレイの製造工程において、第１の主面２２から滑剤３０を除去するという煩雑な工程を省略することができる。
なお、ガラス基板２０間に保護紙４０のみを介在させることにより、保護紙４０を含む積層体１０の厚み寸法を、例えば保護フィルム５０等をさらに含む積層体１０の厚み寸法と比較して低減することができる。したがって、梱包装置１００に収納可能なガラス基板２０の数を増やすことができるので、一度に多数のガラス基板２０を液晶ディスプレイの製造工程に供給することができる。したがって、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。
【００５５】
また、ガラス基板２０は、第１の主面２２が同一方向（図９のＡ方向）に向くように板厚方向に積層される。これにより、例えば、積層体１０の複数のガラス基板２０それぞれの第１の主面２２及び第２の主面２４を、ガラス基板２０の納入先において容易に判別することができる。よって、液晶ディスプレイの製造工程において、ガラス基板２０の各主面２２，２４を誤って判別することがないので、各主面２２，２４に対する加工を正確に行うことができる。したがって、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。
また、ガラス基板２０の第２の主面２４の端部には面取部２４ａが形成されているので、面取部２４ａが同一方向を向き、且つ、板厚方向に揃うようにガラス基板２０を積層することにより、第１の主面２２が同一方向に向くようにガラス基板２０を容易に積層することができる。
【００５６】
なお、図１０に示すように、ガラス基板２０間に保護フィルム５０を積み重ねてもよい。この場合、保護フィルム５０は、ガラス基板２０と保護紙４０の間に着脱可能に挟み込まれる。ここで、保護フィルム５０の表面のうちガラス基板２０の第２の主面２４に接触する表面には滑剤３０が付着しており、保護フィルム５０とガラス基板２０とが積層されることによって、保護フィルム５０に付着した滑剤３０がガラス基板２０の第２の主面２４に転写される。
このように、第２の主面２４に滑剤３０を付着させるための保護フィルム５０がガラス基板２０間に介在することにより、滑剤３０をガラス基板２０の第２の主面２４に容易に付着させることができる。
【００５７】
以上のように、本実施形態のガラス基板２０によれば、滑剤３０が、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０が搬送されるときに、第２の主面２４と、搬送部材との間に介在するように設けられるので、搬送部材がガラス基板２０の第２の主面２４に直接接触するのを防ぐことができる。したがって、搬送部材によって、ガラス基板２０に傷が付くこと、さらにはガラス基板２０が破断することを防ぐことができるので、液晶ディスプレイの製造工程においてガラス基板２０の破損が生じるのを防ぐことができる。これにより、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造効率を向上させることができる。
【００５８】
以上、本発明のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板及びその製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５９】
１０  積層体
２０  ガラス基板
２２  第１の主面
２４  第２の主面
２４ａ  面取部
３０  滑剤
４０  保護紙
５０  保護フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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