(57)【要約】【課題】プローブシートの突起のかみ込みと、プローブシートのシート本体のたわみとを改善することができる電子部品測定用治具を提供する。【解決手段】支持部材３０の主面３０ａには、突起２４が形成されたプローブシート２０のシート本体２１の中央部に対向する凹部３４と、プローブシート２０のシート本体２１の周辺部に対向する開口３２ｓとが形成されている。凹部３４には、支持部材３０よりも弾性変形しやすい緩衝部材３８が配置される。支持部材３０の開口３２ｓからの真空吸引により、プローブシート２０は吸着され支持部材３０の主面３０ａに固定される。緩衝部材３８は、電子部品２の外部接続用端子４がプローブシート２０の突起２４に当接するように電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに弾性変形する。【選択図】図１
2013148500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート本体と、測定対象の電子部品が有する外部接続用端子が当接できるように前記シート本体の一方主面に形成された導電性を有する突起とを含むプローブシートと、
前記プローブシートの前記シート本体の他方主面に対向する主面を有し、該主面に、前記プローブシートの前記シート本体に対向する凹部と、前記凹部のまわりに配置された第１の開口とが形成された支持部材と、
前記支持部材の前記凹部に配置され、前記支持部材よりも弾性変形しやすい緩衝部材と、
を備え、
前記プローブシートは、前記支持部材の前記第１の開口からの真空吸引により、前記プローブシートの前記シート本体の前記他方主面が吸着されて前記支持部材の前記主面に固定され、
前記緩衝部材は、前記プローブシートの前記シート本体に覆われ、前記電子部品の前記外部接続用端子が前記プローブシートの前記突起に当接するように前記電子部品が前記プローブシートに押し当てられたときに弾性変形することを特徴とする、電子部品特性測定用治具。
【請求項２】
前記支持部材の前記凹部の内周面又は底面に第２の開口が形成され、
前記支持部材の前記凹部の前記内周面と前記緩衝部材との間に隙間が形成され、
前記第２の開口からの真空吸引により、前記隙間を介して、前記プローブシートの前記シート本体の前記他方主面が前記緩衝部材に当接するように吸着されることを特徴とする、請求項１に記載の電子部品特性測定用治具。
【請求項３】
前記緩衝部材の硬度（ショアＡ硬さ）は、９０以下であり、且つ、７０より大きいことを特徴とする、請求項１又は２に記載の電子部品特性測定用治具。
【請求項４】
前記緩衝部材はゴムからなることを特徴とする、請求項１又は２に記載の電子部品特性測定用治具。
【請求項５】
前記プローブシートの前記突起は、前記電子部品が有するＢＧＡの１０個以下の前記外部接続用端子が当接できるように形成されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の電子部品特性測定用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品特性測定用治具に関し、詳しくは、電子部品の外部接続用端子と導通するための突起が形成されたプローブシートを備えた電子部品特性測定用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
パッケージしていないベアチップや、ＣＳＰ（Chip Size Package）の電子部品の特性を測定する場合、電子部品特性測定用治具に電子部品を搭載し、電子部品特性測定用治具を介して、電子部品の外部接続用端子と測定装置との間を電気的に接続する。
【０００３】
電子部品特性測定用治具は、例えば図５及び図６に示すように、測定対象の電子部品の外部接続用端子と接続するための突起が形成されたプローブを備えている。図５は、プローブ１００の平面図である。図６は、図５の線Ａ−Ａに沿って切断した断面図である。図５及び図６に示すように、ポリイミド等の絶縁基板（絶縁シート）１１０上に、銅箔等の導電性薄膜によって配線パターン１１１が形成されている。配線パターン１１１上には、めっき突起１１２が形成されている。めっき突起１１２は、チップや電子部品のはんだボールなどの外部接続用端子の１個に対して、複数個の小めっき突起１１２ａ，１１２ｂが一組となって接触して導通を確保する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９８０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
剛性の高い基板の代わりに、柔軟性を有し容易に曲がるシート本体上に、測定対象の電子部品の外部接続用端子と導通するための突起が形成されたプローブシートが提供されている。
【０００６】
このようなプローブシートを電子部品特性測定用治具に取り付けて、ＢＧＡ（Ball Grid Array）の電子部品の特性を測定すると、次のような問題があった。
【０００７】
（１）  はんだボールやはんだバンプなどの外部接続用端子を持つ電子部品をプローブシートに押し当てたときに、プローブシートの突起が電子部品の外部接続用端子に強固にかみ込んで両者が強固に接合し、電子部品をプローブシートから離せなくなるワーク残り現象が発生することがある。ワーク残り現象が発生すると、プローブシートの交換時期が早まる。また、電子部品の特性を測定して良品を選別する工程でワーク残り現象が発生すると、誤選別率、設備稼働率の悪化につながる。
【０００８】
（２）  電子部品がプローブシートに押し当てられるとプローブシートの突起は電子部品の外部接続用端子を挟み込んだ状態となり、電子部品をプローブシートから離すときに、プローブシートの突起は、すぐには電子部品の外部接続用端子から外れない。電子部品をプローブシートから離すときに、プローブシートは、突起を介して引っ張られてシート本体が浮き上がり、その後、突起が電子部品の外部接続用端子から外れると、シート本体は元に戻る。このようにしてプローブシートのシート本体にたわみが発生すると、プローブシートの突起に応力が作用する。そのため、測定の繰り返しによって、プローブシートの突起に疲労破壊（クラック）が生じて、電気的測定ができなくなる。
【０００９】
（３）  電子部品をプローブシートから離すときにプローブシートのシート本体にたわみが発生すると、プローブシートの位置がずれ、プローブシートの突起が電子部品の外部接続用端子に接触する位置がばらつき、測定精度が低下する。そのため、電子部品の特性を測定して良品を選別する工程において、良品であるにもかかわらず特性不良と判定し、誤選別率（不良率）が高くなる。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、かかる実情に鑑み、プローブシートの突起のかみ込みと、プローブシートのシート本体のたわみとを改善することができる電子部品測定用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品特性測定用治具を提供する。
【００１２】
電子部品特性測定用治具は、プローブシートと、支持部材と、衝撃緩和部材とを備える。前記プローブシートは、シート本体と、測定対象の電子部品が有する外部接続用端子が当接できるように前記シート本体の一方主面に形成された導電性を有する突起とを含む。前記支持部材は、前記プローブシートの前記シート本体の他方主面に対向する主面を有し、該主面に、前記プローブシートの前記シート本体に対向する凹部と、前記凹部のまわりに配置された第１の開口とが形成されている。前記緩衝部材は、前記支持部材の前記凹部に配置され、前記支持部材よりも弾性変形しやすい。前記プローブシートは、前記支持部材の前記第１の開口からの真空吸引により、前記プローブシートの前記シート本体の前記他方主面が吸着されて前記支持部材の前記主面に固定される。前記緩衝部材は、前記プローブシートの前記シート本体に覆われ、前記電子部品の前記外部接続用端子が前記プローブシートの前記突起に当接するように前記電子部品が前記プローブシートに押し当てられたときに弾性変形する。
【００１３】
上記構成において、プローブシートは、シート本体が支持部材に吸着固定されている。このとき、シート本体と支持部材の凹部との間の空間も真空状態となるので、シート本体も吸着される。
【００１４】
上記構成よれば、電子部品の外部接続用端子がプローブシートの突起に接触するときの衝撃が、緩衝部材の弾性変形によって緩和される。この衝撃緩和効果により、電子部品がプローブシートに押し当てられたときに、プローブシートの突起は、電子部品の外部接続用端子に徐々にかみ込み、強固にかみ込むことなく、両者が接合する。このときのプローブシートの突起のかみ込み強さは、緩衝部材による衝撃緩和効果なしにプローブシートの突起が電子部品の外部接続用端子にかみ込む場合よりも小さくなる。そのため、ワーク残り現象の発生を防止することができる。
【００１５】
電子部品がプローブシートに押し当てられたときに、プローブシートの突起は電子部品の外部接続用端子を挟み込んだ状態となり、電子部品をプローブシートから離すときに、すぐには電子部品の外部接続用端子とプローブシートの突起とが離れない。そのため、電子部品をプローブシートから離すときに、プローブシートは、突起を介してシート本体が引っ張られる。しかし、シート本体は吸着されているため、突起を介してシート本体が引っ張られても、シート本体にたわみが発生しにくい。その結果、プローブシートの突起の疲労破壊が低減し、プローブシートの寿命が伸びる。また、プローブシートの突起と電子部品の外部接続用端子との接触位置のばらつきが低減し、測定の信頼性が向上する。
【００１６】
好ましくは、前記支持部材の前記凹部の内周面又は底面に第２の開口が形成されている。前記支持部材の前記凹部の前記内周面と前記緩衝部材との間に隙間が形成されている。前記第２の開口からの真空吸引により、前記隙間を介して、前記プローブシートの前記シート本体の前記他方主面が前記緩衝部材に当接するように吸着される。
【００１７】
この場合、支持部材の凹部の内周面と緩衝部材との間の隙間を介して、プローブシートのシート本体をより確実に吸着し、プローブシートのシート本体のたわみ発生をより一層抑制することができる。その結果、プローブシートの突起の疲労破壊がさらに低減し、プローブシートの寿命がさらに伸びる。
【００１８】
好ましくは、前記緩衝部材の硬度（ショアＡ硬さ）は、９０以下であり、且つ、７０より大きい。
【００１９】
緩衝部材の硬度を９０以下にすると、電子部品がプローブシートに押し当てられたときの衝撃を十分に緩和できる。一方、緩衝部材の硬度を７０より大きくすると、電子部品がプローブシートに押し当てられたときに電子部品の外部接続用端子とプローブシートの突起との接触を十分に安定させることができる。
【００２０】
好ましくは、前記緩衝部材は、ゴムからなる。
【００２１】
この場合、気体や液体を閉じ込めた袋などの緩衝部材などに比べ、所望の硬度を有する緩衝部材を容易に作製することができる。
【００２２】
好ましくは、前記プローブシートの前記突起は、前記電子部品が有するＢＧＡ（Ball Grid Array）の１０個以下の前記外部接続用端子が当接できるように形成されている。
【００２３】
ワーク残り現象は外部接続用端子の個数が少ない電子部品ほど発生しやすいため、特に高い効果が得られる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、プローブシートの突起のかみ込みと、プローブシートのシート本体のたわみとを改善し、ワーク残り現象の防止と、プローブシートの長寿命化と、測定の信頼性向上とを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】電子部品特性測定用治具の断面図である。（実施例）
【図２】電子部品特性測定用治具の平面図である。（実施例）
【図３】電子部品特性測定用治具の断面図である。（実施例）
【図４】電子部品特性測定用治具の断面図である。（比較例）
【図５】プローブ基板の平面図である。（従来例）
【図６】プローブ基板の断面図である。（従来例）
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図４を参照しながら説明する。
【００２７】
まず、本発明の実施例の電子部品特性測定用治具１０の構成について、図１〜図３を参照しながら説明する。図１は、電子部品特性測定用治具１０の構成を模式的に示す断面図である。図２は、図１の線Ａ−Ａに沿って見た電子部品特性測定用治具１０の平面図である。図３は、図１の線Ｂ−Ｂに沿って見た電子部品特性測定用治具１０の断面図である。
【００２８】
図１に示すように、電子部品特性測定用治具１０は、ベース板１２と、ベース板１２の上面１２ａに配置された支持部材３０と、支持部材３０の上面３０ａに配置されたプローブシート２０とを備えている。支持部材３０とプローブシート２０は、ベース板１２の上面１２ａに固定された位置決めピン１３が挿通されて位置決めされている。ベース板１２の側面１２ｓには側板１４が固定されている。側板１４には、コネクタ１６が取り付けられている。
【００２９】
支持部材３０には、プローブシート２０を吸着して固定するための第１及び第２の貫通孔３２，３３と、凹部３４とが形成されている。第１の貫通孔３２は、支持部材３０を貫通し、支持部材３０の上面３０ａと下面３０ｂとに開口３２ｓ，３２ｔを有する。支持部材３０の上面３０ａに形成された第１の貫通孔３２の開口３２ｓは、第１の開口である。凹部３４は、内周面３４ａ及び底面３４ｂを有し、支持部材３０の上面３０ａに開口３４ｓを有する。第２の貫通孔３３は、支持部材３０を貫通し、凹部３４の底面３４ｂと支持部材３０の下面３０ｂとに開口３３ｓ，３３ｔを有する。凹部３４の底面３４ｂに形成された第２の貫通孔３３の開口３３ｓは、第２の開口である。
【００３０】
図１及び図３に示すように、凹部３４の開口３４ｓは、支持部材３０の上面３０ａの中央部に矩形に形成されている。支持部材３０の上面３０ａの周辺部には、凹部３４の開口３４ｓのまわりを取り囲むように、複数個の第１の貫通孔３２の開口３２ｓが形成されている。第２の貫通孔３３は、凹部３４の底面３４ｂの四隅に形成されている。
【００３１】
支持部材３０は、電子部品の特性測定にできるだけ影響を与えないように適宜な誘電率を有する材料、例えば樹脂を用いて形成する。
【００３２】
図１及び図２に示すように、プローブシート２０は、樹脂等のシート本体２１の一方主面である上面２１ａに、金属薄膜等を用いて放射状に配線２２が形成されている。配線２２の一方の端部２２ａは、プローブシート２０の端部に配置され、コネクタ１６に電気的に接続されている。配線２２の他方の端部２２ｂは、プローブシート２０の中央部に配置され、支持部材３０の凹部３４に対向している。配線２２の他方の端部２２ｂ上には、金属めっき等によって複数個の突起２４が形成されている。突起２４は、測定対象の電子部品２のはんだバンプやはんだボールなどの外部接続用端子４に接触させ導通させるため、１個の外部接続用端子４に対して複数個（図では２個）が形成されている。
【００３３】
図１及び図３に示すように、支持部材３０の凹部３４には、緩衝部材３８が配置される。凹部３４に配置された緩衝部材３８の上面３８ａは、支持部材３０の上面３０ａと略同じ高さである。すなわち、緩衝部材３８の上面３８ａは、支持部材３０の上面３０ａと同一面に含まれていても、支持部材３０の上面３０ａに対して多少出没していても構わない。
【００３４】
緩衝部材３８は、支持部材３０よりも弾性変形しやすい。緩衝部材３８には、ゴムやスポンジ等の弾性部材や、気体や液体、流動体、粒状の弾性部材などのうち１又は２以上を詰めた袋状部材などを用いることができる。緩衝部材３８にゴムを用いると、所望の硬度（ショアＡ硬さ）の緩衝部材３８を容易に作製できるので好ましい。
【００３５】
図１に示すように、ベース板１２には、ベース板１２の上面１２ａに開口する有底溝１２ｐが形成されている。有底溝１２ｐは、支持部材３０の第１及び第２の貫通孔３２，３３に連通している。また、有底溝１２ｐは、ベース板１２の内部に形成された吸引流路１２ｑに連通している。吸引流路１２ｑは真空継手１１を介して、不図示の真空源に接続される。ベース板１２と支持部材３０とは、真空が漏れないように密着している。
【００３６】
第１及び第２の貫通孔３２，３２が、ベース板１２の有底溝１２ｐ及び吸引流路１２ｑを介して真空源に接続されると、プローブシート２０は、第１及び第２の貫通孔３２，３２を介して真空吸引され、シート本体２１の周辺部の他方主面である下面２１ｂが支持部材３０の上面３０ａに吸着され固定される。このとき、緩衝部材３８の上面３８ａが、突起２４が形成されたプローブシート２０のシート本体２１の中央部の下面２１ｃに当接するように構成することが望ましい。
【００３７】
なお、凹部３４内は、その周囲の第２の貫通孔３３の開口３３ｓを介して真空吸引することが可能であるので、凹部３４に直接連通する第２の貫通孔３３を無くした構成とすることが可能である。しかしながら、凹部３４に直接連通する第２の貫通孔３３を設けると、プローブシート２０のシート本体２１の中央部に対する吸着力を容易に調整することができる。
【００３８】
プローブシート２０に対する吸着力は、支持部材３０に形成する第１及び第２の貫通孔３２，３３や凹部３４の大きさ、形状、個数、分布状態や、ベース板１２に形成する有底溝１２ｐや吸引流路１２ｑの大きさや形状、真空源の真空圧等によって調整することができる。
【００３９】
次に、電子部品特性測定用治具１０を用いた電子部品２の特性測定について説明する。
【００４０】
測定時には、真空吸引により、プローブシート２０が吸着され支持部材３０の上面３０ａに固定された状態とする。そして、図１において矢印２ｘで示すように、不図示のハンドリング装置で把持した電子部品２を下降させ、電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４とが接触するように電子部品２をプローブシート２０に押し当て、電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４との導通を安定させる。このとき、下降する電子部品２の外部接続用端子４の位置を画像処理装置で認識し、ステージ上に固定された電子部品特性測定用治具１０の位置を補正すると、電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４との位置ずれを抑制し、導通をより安定させることができる。
【００４１】
電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４との導通した状態で、コネクタ１６を介して接続された測定装置を用いて電子部品２の特性を測定する。例えば、ネットワークアナライザ等の測定装置を用いて、電子部品２のある外部接続用端子４に信号を入力し、電子部品２の他の外部接続用端子４からの出力を検出することによって、電子部品２の特性を測定する。
【００４２】
プローブシート２０に電子部品２を押し当て、電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４とを接触させたときに、プローブシート２０の突起２４は、支持部材３０の凹部３４に配置された緩衝部材３８を介して支持される。支持部材３０の凹部３４に配置された緩衝部材３８は、電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４との間に力が加わると弾性変形する。
【００４３】
そのため、下降した電子部品２の外部接続用端子４がプローブシート２０の突起２４に当たり、接触を開始するときの衝撃が、緩衝部材３８の弾性変形によって緩和される。この衝撃緩和効果により、電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに、プローブシート２０の突起２４は、電子部品２の外部接続用端子４に徐々にかみ込み、強固にかみ込むことなく、両者が接合する。このときのプローブシート２０の突起２４のかみ込み強さは、緩衝部材３８による衝撃緩和効果なしにプローブシート２０の突起２４が電子部品２の外部接続用端子４にかみ込む場合よりも小さくなる。そのため、ワーク残り現象の発生を防止することができる。
【００４４】
その結果、例えば電子部品の特性を測定して良品を選別する工程において、誤選別率の低減、設備稼働率の向上を図ることができる。
【００４５】
電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに、プローブシート２０の突起２４は、電子部品２の外部接続用端子４を挟み込んだ状態となる。そのため、測定が終了して電子部品２をプローブシート２０から離すときに、プローブシート２０の突起２４は、すぐには電子部品２の外部接続用端子４から外れない。
【００４６】
このような場合に、プローブシート２０を真空吸引していないと、プローブシート２０のシート本体２１は、電子部品２の移動に伴い、電子部品２の外部接続用端子４を挟み込んだプローブシート２０の突起２４によって引っ張られて浮き上がる。その後、プローブシート２０の突起２４が電子部品２の外部接続用端子４から外れると、プローブシート２０のシート本体２１は元の状態に戻る。このようにしてプローブシート２０のシート本体２１にたわみが発生すると、プローブシート２０の突起２４に応力が加わるため、測定を繰り返すと、プローブシート２０の突起２４に疲労破壊（クラック）が生じる。
【００４７】
これに対し、プローブシート２０が真空吸引されていると、プローブシート２０は、シート本体２１がプローブシート２０の突起２４を介して引っ張られても浮き上がりにくくなるため、プローブシート２０のシート本体２１のたわみは発生しにくくなる。そのため、プローブシート２０の突起２４の疲労破壊が抑制され、プローブシート２０の寿命が伸びる。また、プローブシート２０の突起２４と電子部品２の外部接続用端子４との接触位置のばらつきが低減し、測定の信頼性が向上する。
【００４８】
緩衝部材３８は、電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに適度に弾性変形するように形成する。すなわち、緩衝部材３８は、電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに衝撃を十分に緩和できる程度に柔らかくする（例えば、硬度（ショアＡ硬さ）を９０以下にする）。一方、電子部品２がプローブシート２０に押し当てられたときに電子部品２の外部接続用端子４とプローブシート２０の突起２４との接触を十分に安定させることができる程度に硬くする（例えば、硬度（ショアＡ硬さ）を７０より大きくする）。
【００４９】
好ましくは、図１及び図３に示すように、支持部材３０の凹部３４の内周面３４ａと緩衝部材３８との間に、隙間３９が形成されるようにする。そして、第２の貫通孔３３の開口３３ｓからの真空吸引により、隙間３９を介して、プローブシート２０のシート本体２１の中央部の他方主面である下面２１ｃが、緩衝部材３８の上面３８ａに当接するようにする。この場合、第２の貫通孔３３の開口は、凹部３４の内周面３４ａに形成しても構わない。
【００５０】
このように構成すると、支持部材３０の凹部３４の内周面３４ａと緩衝部材３８との間の隙間３９を介して、プローブシート２０のシート本体２１の中央部をより確実に吸着し、プローブシート２０のシート本体２１のたわみ発生をより一層抑制することができる。その結果、プローブシート２０の突起２４の疲労破壊がさらに低減し、プローブシート２０の寿命がさらに伸びる。
【００５１】
次に、電子部品特性測定用治具１０の作製例について説明する。
【００５２】
作製例では、樹脂のシート本体２１の中央部に金属めっきにより突起２４が形成された総厚み６０μｍのプローブシート２０と、厚み２．４ｍｍの樹脂の支持部材３０とが、アルミのベース板１２に圧入により固定され２１ｍｍピッチで配置された直径１ｍｍのステンレスの位置決めピン１３によって、位置決めされている。
【００５３】
支持部材３０には、８ｍｍ×５．２ｍｍ×深さ０．５１ｍｍの凹部３４が形成されている。凹部３４内には、緩衝部材３８として厚み０．５ｍｍでショア硬さＡ９０のウレタンゴムが、凹部３４の底面３４ｂに両面テープで接着固定されている。
【００５４】
支持部材３０には、真空経路として、凹部３４の４隅に直径１ｍｍの第２の貫通孔３３が形成されている。また、凹部３４の周囲において凹部３４を中心として約１６ｍｍ×８ｍｍの範囲に渡って、縦横それぞれ１ｍｍピッチに並んだ直径０．４ｍｍの第１の貫通孔３２が形成されている。
【００５５】
ベース板１２には、真空経路として有底溝１２ｐ及び吸引流路１２ｑが形成され、吸引流路１２ｑは、ベース板１２の中で１か所の真空継手１１につながっている。真空継手１１には直径６ｍｍのウレタンチューブの一端が接続され、このウレタンチューブの他端は真空源と接続される。
【００５６】
真空源と真空継手１１の間に、すなわちウレタンチューブの中間位置に、真空圧を管理するためのスピコンを設置するか、もしくは真空制御機器を接続して、真空圧を−１０ｋＰａ〜−６０ｋＰａの範囲内に管理することが望ましい。−１０ｋＰａ〜−２０ｋＰａの範囲内に管理するとさらに望ましい。
【００５７】
真空引きによって、ウレタンゴムの緩衝部材３８が配置された支持部材３０の凹部３４の内部は真空タンク状態となり、真空吸引により吸着されるプローブシート２０の中央部は、ウレタンゴムの緩衝部材３８によって支持される。プローブシート２０の周辺部は、直径０．４ｍｍの第１の貫通孔３２を介して、支持部材３０の上面３０ａに吸着保持される。
【００５８】
比較例として、図４に示す電子部品特性測定用治具１０ｘを作製した。比較例の電子部品特性測定用治具１０ｘは、有底溝や吸引流路が形成されていないベース板１２ｘ上に、貫通孔や凹部が形成されていない支持部材３０ｘが配置されている。支持部材３０ｘの上面２０ｓに配置されたプローブシート２０は、その両端が押さえ部材１５と支持部材３０ｘの上面２０ｓとの間に挟まれ固定されている。プローブシート２０及び押さえ部材１５は、位置決めピン１３によって位置決めされている。その他の構成は、作製例と同じである。
【００５９】
作製例と比較例の電子部品特性測定用治具を用いて、外部接続用端子として４個のはんだバンプを有するＢＧＡタイプのウェハレベルＣＳＰの複数個の電子部品について特性を測定した。
【００６０】
作製例の電子部品特性測定用治具は、比較例の電子部品特性測定用治具よりも、誤選別率が低減した。これは、比較例ではワーク残り現象が発生したのに対し、作製例では、ウレタンゴムの緩衝部材３８によって、外部接続用端子のはんだバンプへのプローブシートの突起の強固なかみ込みが抑制され、ワーク残り現象が発生しなくなったためである。
【００６１】
プローブシートの寿命（電子部品の特性測定ができなくなるまでの、電子部品の外部接続用端子とプローブシートの突起との接触回数）は、比較例では１０万回であり、作製例では４０万回であった。作製例では、プローブシートが常時吸着固定されることによってプローブシートのシート本体のたわみがほとんど発生しないため、プローブシートの突起に作用する応力を抑制し疲労破壊（クラック）の発生を防止できるため、比較例に比べ、プローブシートの耐久性が向上した。
【００６２】
複数個の電子部品を測定したときに、作製例の電子部品特性測定用治具を用いたときの方が、比較例の電子部品特性測定用治具を用いた場合よりも、良品率が高かった。作製例では、プローブシートが常時吸着固定されることによってプローブシートのシート本体のたわみがほとんど発生しないため、プローブシートの突起の微小な位置ずれが抑制され、比較例に比べ、接触位置の再現性が高くなるためである。
【００６３】
＜まとめ＞  以上に説明したように、プローブシートを真空吸引により吸着して支持部材に固定するとともに、プローブシートの突起に対応して支持部材に設けた凹部に、弾性変形しやすい緩衝部材を配置して突起を弾力的に支持する。これによって、プローブシートの突起のかみ込みと、プローブシートのシート本体のたわみとを改善し、ワーク残り現象の防止と、プローブシートの長寿命化と、測定の信頼性向上とを図ることができる。
【００６４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００６５】
例えば、４個の外部接続用端子を有する電子部品について用いる電子部品測定用治具を例示したが、電子部品の外部測定用端子の個数はこれに限るものではない。特に、ＢＧＡの１０個以下の外部接続用端子を有する電子部品について、本発明の電子部品特性測定用治具を好適に適用することができる。ワーク残り現象は外部接続用端子の個数が少ない電子部品ほど発生しやすいため、特に高い効果が得られるからである。
【符号の説明】
【００６６】
２  電子部品
４  外部接続用端子
１０，１０ｘ  電子部品特性測定用治具
１１  真空継手
１２，１２ｘ  ベース板
１２ａ  上面
１２ｐ  有底溝
１２ｑ  吸引流路
１２ｓ  側面
１３  位置決めピン
１４  側板
１５  押さえ部材
１６  コネクタ
２０  プローブシート
２０ｓ  上面
２１  シート本体
２１ａ  上面（一方主面）
２１ｂ，２１ｃ  下面（他方主面）
２２  配線
２２ａ，２２ｂ  端部
２４  突起
３０  支持部材
３０ａ  上面（主面）
３０ｂ  下面
３０ｘ  支持部材
３２  第１の貫通孔
３２ｓ  開口（第１の開口）
３２ｔ  開口
３３  第２の貫通孔
３３ｓ  開口（第２の開口）
３３ｔ  開口
３４  凹部
３４ａ  内周面
３４ｂ  底面
３４ｓ  開口
３８  緩衝部材
３８ａ  上面
３９  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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