(57)【要約】【課題】密着搬送ローラの熱伝導による温度上昇を常に抑制して高温となることを阻止し、もしフィルム交換などにより塗工が中断し、塗工膜のない（金属フィルムだけの部分）が搬送し、乾燥装置を搬送通過した後急激に冷却しても、予め密着搬送ローラは高温となっていない為その温度差を十分に小さく抑えることができ、前記しわの問題が生じない優れた膜塗工機を提供すること。【解決手段】膜塗工装置Ａに塗工を終えたフィルム状の被塗工体４の塗工膜５を乾燥する乾燥装置Ｂ（乾燥室６）を設けた膜塗工機であって、この乾燥室６よりも搬送下流側で、且つ前記フィルム状の金属製の被塗工体４に抱き角を有して接触する蛇行修正ローラ７Ａなどの密着搬送ローラ７よりも搬送上流側に、所定冷却範囲を送風冷却する多数の送風孔10が一様に広範囲に形成された送風装置から成る冷却装置８を近接配設した膜塗工機。【選択図】図１
2013123671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル部の先端吐出孔から塗工液を吐出しながら、このノズル部と対向するフィルム状の金属製の被塗工体をこのノズル部に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体に塗工液を膜状に塗工するように構成した膜塗工装置に、前記塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体の塗工膜を乾燥する乾燥室から成る乾燥装置を設けた膜塗工機であって、前記乾燥室よりも搬送下流側で、且つ前記乾燥室を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体の熱が伝導してしまう密着搬送ローラよりも搬送上流側に、前記フィルム状の金属製の被塗工体を冷却する冷却装置を配設し、この冷却装置は、前記フィルム状の金属製の被塗工体に近接対向状態に配設し、この対向面部に前記フィルム状の金属製の被塗工体に向けて送風する送風孔を多数形成した構成としたことをと特徴とする膜塗工機。
【請求項２】
前記多数の送風孔を、前記フィルム状の金属製の被塗工体のフィルム幅方向に長さを有し、且つフィルム長さ方向に長さを有する範囲に一様に形成して、前記フィルム状の金属製の塗工体の所定冷却範囲に向けて送風する構成とすると共に、前記フィルム状の金属製の被塗工体をバタつかせない送風速度及び離間距離に位置させ送風して、前記フィルム状の金属製の被塗工体を前記密着搬送ローラに搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラの温度上昇を抑制するように構成したことを特徴とする請求項１記載の膜塗工機。
【請求項３】
前記フィルム状の金属製の被塗工体を支承する支承ローラを、前記乾燥室よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラに支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体の上方に前記冷却装置を一若しくはこのフィルム状の金属製の被塗工体に沿って複数配設したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の膜塗工機。
【請求項４】
前記密着搬送ローラは、前記フィルム状の金属製の被塗工体にテンションを付与するテンションローラ、若しくは前記フィルム状の金属製の被塗工体の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラとし、この密着搬送ローラのうち最も前記乾燥室側の密着搬送ローラよりも搬送上流側に前記冷却装置を配設したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の膜塗工機。
【請求項５】
前記冷却装置は、送風部と、送風するエア中の塵を除去若しくはエアを整流するエアフィルタ部と、前記多数の送風孔を一様に配設した前記対向面部とから成る構成としたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の膜塗工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばスリット状の先端吐出孔から塗工液を吐出するノズル部に対して、フィルム状の被塗工体を搬送して表面に塗工膜を形成するように構成した膜塗工装置に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体の塗工膜を乾燥する乾燥装置を設けた膜塗工機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液供給部から供給された塗工液をスリット状の先端吐出孔から吐出するノズル部を有し、このノズル部の先端吐出孔から塗工液を吐出しながら、このノズル部と対向するフィルム状の被塗工体をこのノズル部に対して搬送させることで、このフィルム状の被塗工体に塗工液を膜状に塗工するように構成した膜塗工装置の搬送下流側に乾燥装置を設けて塗工を終えたフィルム状の被塗工体の塗工膜を乾燥する。
【０００３】
このようなフィルム塗工の量産性を向上するには、この乾燥装置での乾燥能力を高めて搬送スピードを高める必要がある。
【０００４】
特に、フィルム状の被塗工体の両面に塗工する場合、一旦被塗工体の片面に塗工後この塗工膜を乾燥し、更に反対面にも塗工した後この反対面の塗工膜も乾燥するため、各乾燥装置の乾燥能力が量産性に大きな影響を与える。
【０００５】
また塗工膜を精度良く塗工するために、供給ロールから引き出し搬送するフィルム状の被塗工体にテンションを付与するテンションローラを設けたり、フィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラを設けて、このようにして塗工し乾燥したフィルム状の被塗工体を巻取りロールに巻き取って行く構成としている。
【０００６】
具体的には、例えば、厚さ１５μｍ〜３０μｍオーダーのアルミ製又は銅製などの金属製フィルムを被塗工体とし、この表面にコバルト酸リチウムなどの正極活性物質又はグラファイトなどの負極活性物質にバインダーとＮＭＰなどの溶媒などを混合しこれを塗工液として、１００μｍオーダーの薄膜（ドライ膜厚）を両面に塗工形成するリチウムイオン電池形成材を作製する場合などに用いられてる。この場合も、塗工をスピーディーに精度良く均一に行いながら、量産性を高めるため塗工後の乾燥がスピーディーに行えるように構成している。
【０００７】
また乾燥スピード向上のため搬送スピードを上げようとすればそれだけ乾燥装置は長く大型となり、更に両面塗工にあってはこの大型な乾燥室を横に連ねるスペースがない場合には二階建て構成とし折り返し乾燥させる構成となり、大型化しコスト高にもなる。
【０００８】
また一方、この乾燥能力を高めるために熱風の送風量を乾燥初期段階から上げて急乾燥すると、フィルム状の被塗工体のバタ付きにより塗工膜の均一性や品質に支障を生じるおそれがあり、また塗工液中のバインダー粒子が偏在するバインダーマイグレーションも生じるおそれがある。従って、少なくとも乾燥初期段階から送風量を高めた急激な乾燥はできない。
【０００９】
また、ＩＲヒータなどの棒状ヒータ部を対向させて輻射熱により内部からも加熱乾燥させることもできるが、この輻射熱による内部乾燥だけでは乾燥能力は十分でなく、熱風による表面乾燥は欠かせない。
【００１０】
このようにこれまで様々な問題があり、これら問題を解決すべく出願人は様々な発明をし、改良を施してきている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、このような膜塗工機における乾燥装置の乾燥室は、高温でまたその長さも長いため、この乾燥装置を搬送通過したフィルム状の被塗工体は高温となりこの高温のまま搬送することとなる。
【００１２】
例えば、前述のようなリチウムイオン電池形成材を作製する膜塗工機の乾燥装置では、前記フィルム状の被塗工体が金属製のために、熱風やＩＲヒータによって１５０℃くらいまで熱せられ、この乾燥装置を搬送通過したフィルム状の金属製の被塗工体が抱き角を有する蛇行修正ローラやテンションローラなどこのフィルム状の金属製の被塗工体が密着する密着搬送ローラにこの熱を伝導することになり、この密着搬送ローラも１００℃近くになってしまう。
【００１３】
このような蛇行修正ローラやテンションローラなどが、フィルム状の金属製の被塗工体からの熱伝導によって高温になってしまうこと自体は大きな問題ではないにしても、膜塗工装置での塗工が中断された場合は、例えばフィルム切れに際して新しい供給ロールに交換し、この新しい供給ロールから引き出したフィルム状の金属製の被塗工体の先端を、先の供給ロールから引き出したフィルム状の金属製の被塗工体の後端につなぎ、搬送を継続し、再び膜塗工装置の作動を再開するような場合は、このつなぎ目の所定範囲では塗工膜はなく、塗工されていないフィルム状の金属製の被塗工体、即ち金属箔（金属フィルムだけ）のままで搬送される部分が生じる。
【００１４】
この場合、やはり乾燥装置を搬送通過すると１５０℃くらいに加熱されるが、塗工膜がない金属フィルムだけの部分は熱容量が小さく乾燥室を通過すると急激に温度が低下し、搬送距離が多少であっても、前述の密着搬送ロールに達するまでに３０℃くらいまですぐに冷えてしまう。
【００１５】
すると、密着搬送ローラは１００℃くらいまで熱くなっているためこれとの温度差が大きく、たとえこの温度差が小さくなるように抑えるように対応してみてもこの温度差が３０℃程度以上あると、この抱き角を有して密着する（抱き込んでいる）密着搬送ローラとの密着部分（金属フィルムだけの部分）で、熱膨張の逃げ場がないためにその中央長さ方向にしわが生じてしまう問題が生じることを見い出した。
【００１６】
即ち、この塗工膜を有さないフィルム状の金属製の被塗工体（金属フィルムだけの部分）にこのように所定値以上の温度差が生じると密着搬送ローラとの密着部分で縦じわが生じ、この縦じわが生じるとそこから切れたりするおそれがあり、またこれを巻取りロールに巻き取っていくと、このしわの上に積層されて行き塗工膜を傷めたり塗工膜に跡が付いたり膜性能に支障をきたすおそれがあることを見いだした。
【００１７】
そこで、例えば前記温度差が前記所定値より低くなるように密着搬送ローラを冷却するための強力なローラ冷却装置を設けたり、冷却機能付きローラとすることも考えられるが、この場合、最初の密着搬送ローラだけではこの問題は解消できず、数本をこのような冷却機能付きローラとしなければならないため、かなりのコスト高となってしまう。
【００１８】
本発明は、このような問題を解決したもので、密着搬送ローラの冷却に頼らず、搬送上流側でバタつかせずにフィルム状の金属製の被塗工体を効率良く冷却することで、密着搬送ローラの熱伝導による温度上昇を常に抑制して高温となることを阻止し、もしフィルム交換やその他の事情により膜塗工装置による塗工が中断し、塗工膜のないフィルム状の金属製の被塗工体（金属フィルムだけの部分）が搬送し、乾燥装置を搬送通過した後急激に冷却しても、予め密着搬送ローラは高温となっていない為その温度差を十分に小さく抑えることができ、前記しわの問題が生じない優れた膜塗工機を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００２０】
ノズル部１の先端吐出孔２から塗工液を吐出しながら、このノズル部１と対向するフィルム状の金属製の被塗工体４をこのノズル部１に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体４に塗工液を膜状に塗工するように構成した膜塗工装置Ａに、前記塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体４の塗工膜５を乾燥する乾燥室６から成る乾燥装置Ｂを設けた膜塗工機であって、前記乾燥室６よりも搬送下流側で、且つ前記乾燥室６を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体４に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体４の熱が伝導してしまう密着搬送ローラ７よりも搬送上流側に、前記フィルム状の金属製の被塗工体４を冷却する冷却装置８を配設し、この冷却装置８は、前記フィルム状の金属製の被塗工体４に近接対向状態に配設し、この対向面部９に前記フィルム状の金属製の被塗工体４に向けて送風する送風孔10を多数形成した構成としたことをと特徴とする膜塗工機に係るものである。
【００２１】
また、前記多数の送風孔10を、前記フィルム状の金属製の被塗工体４のフィルム幅方向に長さを有し、且つフィルム長さ方向に長さを有する範囲に一様に形成して、前記フィルム状の金属製の塗工体４の所定冷却範囲に向けて送風する構成とすると共に、前記フィルム状の金属製の被塗工体４をバタつかせない送風速度及び離間距離に位置させ送風して、前記フィルム状の金属製の被塗工体４を前記密着搬送ローラ７に搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラ７の温度上昇を抑制するように構成したことを特徴とする請求項１記載の膜塗工機に係るものである。
【００２２】
また、前記フィルム状の金属製の被塗工体４を支承する支承ローラ13を、前記乾燥室６よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラ13に支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体４の上方に前記冷却装置８を一若しくはこのフィルム状の金属製の被塗工体４に沿って複数配設したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の膜塗工機に係るものである。
【００２３】
また、前記密着搬送ローラ７は、前記フィルム状の金属製の被塗工体４にテンションを付与するテンションローラ７Ｂ、若しくは前記フィルム状の金属製の被塗工体４の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ７Ａとし、この密着搬送ローラ７のうち最も前記乾燥室６側の密着搬送ローラ７よりも搬送上流側に前記冷却装置８を配設したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の膜塗工機に係るものである。
【００２４】
また、前記冷却装置８は、送風部11と、送風するエア中の塵を除去若しくはエアを整流するエアフィルタ部12と、前記多数の送風孔10を一様に配設した前記対向面部９とから成る構成としたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の膜塗工機に係るものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は上述のように構成したから、密着搬送ローラの冷却に頼らず、搬送上流側でバタつかせずにフィルム状の金属製の被塗工体を効率良く冷却することで、密着搬送ローラの熱伝導により温度上昇を常に抑制して高温となることを阻止し、もしフィルム交換やその他の事情による膜塗工装置による塗工が中断し、塗工膜のないフィルム状の金属製の被塗工体（金属フィルムだけの部分）が搬送し、乾燥装置を搬送通過した後急激に冷却しても、予め密着搬送ローラは高温となっていない為その温度差を十分に小さく抑えることができ、前記しわの問題が生じない優れた膜塗工機となる。
【００２６】
また、請求項２〜４記載の発明においては、一層簡易な構成で前記作用・効果が良好に発揮される一層実用性に優れた膜塗工機となる。
【００２７】
また、請求項５記載の発明においては、冷却装置は、簡易な構成で容易に実現できる構成、あるいは既存の装置により構成可能（入手容易）な構成で、設定も容易でしかも予めエア中の塵の除去や整流により塗工膜に与える影響も一層少なく、極めて実用性に優れた膜塗工機となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施例の概略構成説明正面図である。
【図２】本実施例の要部の拡大作動説明正面図である。
【図３】本実施例の冷却装置の要部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００３０】
膜塗工装置Ａにより塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体４は、乾燥室６から成る乾燥装置Ｂで乾燥される。
【００３１】
この乾燥室６を搬送通過したフィルム状の金属製の被塗工体４は、単に下側から支承する支承ローラ13や、架設角度を回動微調整することでフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ７Ａ又は可動調整することでフィルムにテンションを調整付与するテンションローラ７Ｂなどフィルム状の金属製の被塗工体４が抱き角を持って接触（密着）する密着搬送ローラ７などを介して搬送され、巻取りロール14に巻き取られる。
【００３２】
この際、このフィルム状の金属製の被塗工体４は、アルミや銅などの箔（フィルム）であるため、支承ローラ13への熱伝導は小さいが、抱き角を持って（抱き込んで）接触（密着する）前記蛇行修正ローラ７Ａやテンションローラ７Ｂなどの密着搬送ローラ７への熱伝導は大きい。
【００３３】
従って、例えば乾燥装置Ｂの乾燥室６での熱風乾燥やＩＲヒータなどによりこれを搬送通過するフィルム状の金属製の被塗工体４が１５０℃くらいまで熱せられ、乾燥装置Ｂ通過後も塗工膜を有しているため熱容量が大きいためにすぐに冷えることなく１００℃くらいまでにしか下がらずに前記密着搬送ローラ７に達してしまう。そのため、前記密着搬送ローラ７は熱伝導により常時１００℃近くの高温となってしまっていた。
【００３４】
この点本発明は、この最初の密着搬送ローラ７に達するまでに、この乾燥装置Ｂ（乾燥室６）通過後のフィルム状の金属製の被塗工体４を冷却する冷却装置８を設け、密着搬送ローラ７の温度上昇を抑制している。
【００３５】
即ち、乾燥装置Ｂの乾燥室６の搬送下流側であって、最初の密着搬送ローラ７の搬送上流側に冷却装置８を配設し、密着搬送ローラ７が高温となることを防止している。
【００３６】
具体的には、例えば前述したリチウムイオン電池形成材の作製の場合、このフィルム状の金属製の被塗工体４と密着搬送ローラ７との温度差が、実験値で２０℃〜３０℃以上の差となってしまうと前記しわの問題が生じてしまうため、この温度差が２０℃〜３０℃以下となるように、即ち、密着搬送ローラ７がそのような温度差となる程の高温とならないように、この冷却装置８により密着搬送ローラ７より搬送上流側の所定冷却範囲を常時冷却する。
【００３７】
具体的には、フィルム状の金属製の被塗工体４をバタ付かせて塗工膜に支障をきたすことないような送風状態でそのような温度以下となるように広範囲を送風冷却する。
【００３８】
即ち、フィルム状の金属製の被塗工体４に冷却装置８（その対向する対向面部９）を近接させ、この対向面部９に一様に広範囲に設けた多数の送風孔10から広範囲に一様にエアを送風し、例えば弱い送風速度で、近接させた小孔群やスリット群から成る多数の送風孔10から広く一様にエアを当てることで、バタ付かせないようにして塗工膜に支障をきたさずに効率良く送風冷却し、前記問題となるしわが密着搬送ローラ７で生じない程度以下の温度にまで常時冷却する。
【００３９】
更に具体的に説明すれば、フィルム交換やその他の事情により膜塗工装置Ａによる塗工が中断され、金属フィルムだけの部分が搬送されてくる場合、この場合にも冷却装置８を止めずにいたとしても、このときの金属フィルムだけの部分の温度（例えば２０℃）と、常時熱伝導により高温となる密着搬送ローラ７との接触時の温度差が例えば２０℃〜３０℃以下となるようにするために、密着搬送ローラ７を常時例えば５０℃以下程度となるように、密着搬送ローラ７の搬送手前までにこのフィルム状の金属製の被塗工体４の区画範囲（冷却範囲）を冷却できるように冷却装置８を構成する。
【００４０】
これにより、常に密着搬送ローラ７の温度を前述のように例えば５０℃以下に保つことができ、前記金属フィルムだけの部分が搬送されてきてもこれとの温度差を２０℃〜３０℃以下にできているから前記しわの問題を防止できることとなる。
【実施例】
【００４１】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００４２】
本実施例は、供給ロール15から引き出したフィルム状の被塗工体４を塗工用のノズル部１と対向する支持ロール16を介して引き出し搬送し、このノズル部１の先端吐出孔２から塗工液を吐出させて、この支持ロール16で支承されている被塗工体４の片面に塗工するように構成した膜塗工装置Ａの搬送下流側に、前記塗工を終えたフィルム状の被塗工体４の塗工膜５を乾燥する乾燥室６から成る乾燥装置Ｂを設けた膜塗工機に本発明を適用したものである。
【００４３】
即ち、本実施例は、膜塗工装置Ａにより塗工を終えたフィルム状の金属製の被塗工体４の塗工膜５を乾燥する乾燥装置Ｂの乾燥室６よりも搬送下流側で、且つこの乾燥室６を搬送通過する前記フィルム状の金属製の被塗工体４に抱き角を有して接触しこのフィルム状の金属製の被塗工体４の熱が伝導してしまう密着搬送ローラ７よりも搬送上流側に、冷却装置８を配設している。
【００４４】
この冷却装置８は、前記フィルム状の金属製の被塗工体４の所定冷却範囲に近接対向状態に配設し、この対向面部９に前記所定冷却範囲に向けて送風する送風孔10を多数形成した構成としている。
【００４５】
この多数の送風孔10はスリット孔としても良いが、本実施例では小孔状とした多数の送風孔10を、前記フィルム状の金属製の被塗工体４のフィルム幅と略合致する幅（フィルム幅より少し幅広い幅あるいは少し幅狭い幅）であって、フィルム長さ方向にある程度の長さを有する広範囲に一様に形成し、この小孔状の送風孔10から噴出送風して広範囲（冷却範囲）を一様に押さえ付けることとなる弱いエアを当てて、前記フィルム状の金属製の被塗工体４をバタつかせないようにしながらも冷却効率（冷却能力）を上げている。
【００４６】
具体的には、フィルム幅全面でフィルム長さ方向に長さを有する区画範囲（冷却範囲）を、前記これよりもやや幅広い範囲あるいはやや幅狭い範囲に一様に多数の送風孔10を形成した対向面部９を近接するように冷却装置８を配設し、この各送風孔10から弱い送風速度（例えば０.５ｍ／ｓｅｃ）でまたこれを近接させて（例えば離間距離２５ｍｍの位置から）送風しバタ付きを抑えながら効率良く冷却する構成としている。
【００４７】
言い換えると、送風装置の底部となりフィルム状の金属製の被塗工体４に近接させて広範囲を覆う対向面部９に前述のように多数の送風孔10を一様に形成し、例えば乾燥室６通過直後の水平方向に並設した支承ローラ13に支承されながら搬送されるフィルム状の金属製の被塗工体４上に前記対向面部９を近接させて配設し、この対向面部９の広範囲に形成した送風孔10からエアを噴出させ、しかもこれを弱い送風量で、広範囲から一様に送風し、またしかも近接送風させることで、バタ付きをできるだけ抑えて十分に広範囲を一挙に簡易な送風手段で効率良く冷却する構成を実現している。
【００４８】
更に説明すると、本実施例は、前記フィルム状の金属製の被塗工体４を最初の前記密着搬送ローラ７に搬送到達する前で送風冷却しこの密着搬送ローラ７の温度上昇を抑制するように構成している。
【００４９】
即ち、前述のように支承ローラ13を前記乾燥室６よりも搬送下流側に複数並設状態に配設し、この支承ローラ13に支承されて搬送される前記フィルム状の金属製の被塗工体４の上方に前記冷却装置８をこのフィルム状の金属製の被塗工体４に沿って複数配設している。
【００５０】
また、前述のように送風速度を小さく設定して小孔状の送風孔10を近接させて送風するため、端部ではフィルムに沿って横方向へ送風される横風が遠くまで届くため、長さの短い冷却装置８（送風装置）に構成しても、あるいはそのような装置が容易に入手できる場合に、これを間隔を置いて複数並設することで広範囲を一層効率良く冷却できることとなる。
【００５１】
また前記密着搬送ローラ７は、前記フィルム状の金属製の被塗工体４にテンションを付与するテンションローラ７Ｂや前記フィルム状の金属製の被塗工体４の搬送方向に対して架設するローラ架設角度を微調整してフィルム蛇行を修正する蛇行修正ローラ７Ａなどであるが、本実施例では、最も乾燥室６側の（乾燥室６に近い）密着搬送ローラ７は蛇行修正ローラ７Ａである構成であるから（最初の密着搬送ローラ７はこの蛇行修正ローラ７Ａであるから）、この蛇行修正ローラ７Ａよりも搬送上流側に前記冷却装置８を配設した構成としている。
【００５２】
また本実施例の前記冷却装置８は、送風部11と、送風するエア中の塵を除去及び同時にエアを整流するエアフィルタ部12と、前記多数の送風孔10を一様に配設した前記対向面部９とから成る構成としている。
【００５３】
具体的には、（送風導入部を有する構成としても良いが）本実施例では送風ファンから成る送風部11と、例えば除塵機能や整流作用を果たすエアフィルタから成るエアフィルタ部12とを内装したボックスの対向面部９となる底面部に前記エアフィルタ部12を通過したエアが送出する前記多数の送風孔10を一様にして広範囲に形成したＦＦＵ（ファンフィルタユニット）を採用している。
【００５４】
そのため、本実施例は、入手が容易で設置も容易となる前記ＦＦＵを前記冷却装置８として採用し、これを一若しくは複数前記密着搬送ローラ７の搬送上流側に近接状態に設置することで前述のようにフィルムをバタ付かせずに広範囲を容易に効率良く冷却できることになり、コスト高とならずに前記しわの問題を確実に防止できる極めて実用性に優れた膜塗工機となる。
【００５５】
尚、本実施例の乾燥装置Ｂの前記乾燥室６は、例えば、乾燥室内水平方向に支承ローラを並設し、この支承ローラに支承させてこの乾燥室６内を水平搬送する前記フィルム状の被塗工体４の塗工膜５を熱風乾燥させる熱風を送出する熱風送風部と、この熱風を排出する熱風排出部とを設けて、この熱風送風部から送り込まれた熱風で塗工膜５の表面を加熱乾燥し、この熱風乾燥する熱風をこの塗工膜５から生じる気化ガスと共に熱風排出部から乾燥室６外へ排出されるように構成している。
【００５６】
そして例えばこの熱風乾燥と併用させて、輻射熱で塗工膜５の内部を加熱乾燥させ、弱風による熱風乾燥でも乾燥能力を高めることができる乾燥用ヒータ部（ＩＲヒータ）をフィルム状の被塗工体４に対向状態に近接配設している。
【００５７】
また、更に具体的に説明すると、本実施例では、例えば、厚さ１５μｍ〜３０μｍ程度のアルミ製又は銅製などの金属製フィルムを被塗工体４とし、この表面にコバルト酸リチウムなどの正極活性物質又はグラファイトなどの負極活性物質にバインダーとＮＭＰなどの溶媒などを混合しこれを塗工液として、１００μｍオーダーの薄膜（ドライ膜厚）を塗工形成するリチウムイオン電池形成材を作製する膜塗工装置Ａで、この片面毎塗工する各膜塗工装置Ａの搬送下流側に夫々前記乾燥装置Ｂを設けて、夫々の搬送下流側で且つ前記密着搬送ローラ７の搬送上流側に前記冷却装置８を配設している。
【００５８】
また本実施例では、前記乾燥室６から成る前記乾燥装置Ｂを上下複数段設け、この上側乾燥装置と下側乾燥装置の一方の乾燥装置（例えば下側乾燥装置）を、片側に設けた前記膜塗工装置Ａにより前記フィルム状の被塗工体４の片面に塗工した塗工膜５を乾燥する片面乾燥装置とし、他方の乾燥装置（例えば上側乾燥装置）を、この乾燥を終えた前記フィルム状の被塗工体４の反対面に更に反対側に設けた前記膜塗工装置Ａにより塗工し、この塗工を終えた前記フィルム状の被塗工体４の反対面の塗工膜５を乾燥する反対面乾燥装置として、この上下二段の前記上側乾燥装置と前記下側乾燥装置とにより前記フィルム状の被塗工体４の両面の塗工膜５を順次乾燥するように構成している。
【００５９】
本実施例では、このような乾燥室６から成る乾燥装置Ｂ（本実施例では上下二段の乾燥装置）の夫々の搬送下流側に前記冷却装置８を配設している。
【００６０】
またこの乾燥装置Ｂ（本実施例では上下二段の乾燥装置）を複数ブロックに分けて夫々を横方向に連設した構成とし、各ブロックの乾燥室毎（各ブロックの上下の乾燥装置の乾燥室６）に熱風送風部と、熱風排出部とを設けた構成とし、この各ブロックの乾燥室内を搬送通過するように構成している。
【００６１】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００６２】
Ｂ  乾燥装置
１  ノズル部
２  先端吐出孔
４  フィルム状の金属製の被塗工体
５  塗工膜
６  乾燥室
７  密着搬送ローラ
７Ａ  蛇行修正ローラ
７Ｂ  テンションローラ
８  冷却装置
９  対向面部
10  送風孔
11  送風部
12  エアフィルタ部
13  支承ローラ
【図１】
2013123671.tif 000003
【図２】
2013123671.tif 000004
【図３】
2013123671.tif 000005