(57)【要約】【課題】ガラスの主表面の一方のみをエッチングして他方の面をエッチング液から保護するとともに、廃棄物を生じず、かつガラスの貼り付け及び剥離作業を簡便に行うことができる片面エッチング用ガラス保持具を提供することを目的とする。【解決手段】可撓性の支持板と、該支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性の支持板と、該支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項２】
前記ガラス保持層は表面の算術平均粗さＲａが４．０μｍ以下である請求項１に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項３】
前記支持板は単位幅あたりの曲げ剛性が２００〜４００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍである、請求項１または２に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項４】
前記ガラス保持層と前記支持板とが、加熱圧着により一体化されたものであって、
前記支持板は、ＡＳＴＭ規格Ｄ６４８に定める熱変形温度が１３０℃以上である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項５】
前記支持板が、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、炭素繊維強化樹脂およびガラス繊維強化樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つである、請求項４に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項６】
前記フッ化水素酸に対して耐性を有するゴムが、クロロプレンゴム、ブチルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ＥＰＤＭゴムおよびフッ素ゴムからなる群より選ばれる少なくとも一つである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項７】
前記ガラス保持層は、前記支持板の両主表面及び端面を被覆するものである、請求項１〜６のいずれか１項に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
【請求項８】
以下の工程（１）〜（３）を順次含む片面エッチングガラスの製造方法。
（１）可撓性の支持板と、支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具の該ガラス保持層にガラスを密着させる工程
（２）前記ガラスにエッチング液を付与する工程
（３）前記ガラス保持層から前記ガラスを剥離する工程
【請求項９】
前記工程（３）の前に前記ガラス及び前記片面エッチング用ガラス保持具を洗浄する工程を含む、請求項８に記載の片面エッチングガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング加工時にガラスを保護する片面エッチング用ガラス保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話または携帯情報端末（ＰＤＡ）等のディスプレイの薄型化が進んでいる。ディスプレイは、例えば、ガラス基板、偏光板およびカラーフィルタ等の板状の部材を積層して構成され、ディスプレイの薄型化に伴って、ディスプレイを構成する部材についても小型化・薄型化への要求が高まっている。
【０００３】
中でも、ガラス基板は、液晶等の表示用流体を挟み込む基板として用いられるだけでなく、カラーフィルタの基板としても用いられるので、ガラス基板を軽量および薄型化することはディスプレイ全体を軽量および薄型化することに大きく寄与する。このため、ガラス基板を軽量および薄型化するために、ガラスの片面をエッチングすることが行われている。
【０００４】
また、ディスプレイに用いられるガラス基板は、ガラス表面にブラックマトリクス層等を形成した多層構造をとっている。その他にも、ガラス表面上に無電解めっき層またはポリシリコン膜層等を形成することが従来から行われている。これらのようなガラス表面上に形成される層は、形成層が剥離しないことが要求され、ガラス表面上の形成層の密着強度を高める必要がある。ガラス表面上の形成層とガラス表面の密着性を高める手段としては、ガラス表面の片面をエッチングして粗面化してから層形成する方法が採用されている。
【０００５】
さらに、ディスプレイを軽量および薄型化するためにガラス基板の厚さを薄くしていくと、強度が低下し、使用中または携帯中の落下などによりガラス基板自身が割れてしまうことがあり、ディスプレイを保護するという本来の役割を果たすことができなくなるという問題がある。また、ディスプレイを保護するために、最表面（利用者に最も近い位置）にカバーガラスを配置することが知られているが、カバーガラスについても同様に薄さが求められている。
【０００６】
このため、従来より、ガラス基板またはカバーガラスの耐傷性を向上させるため、ガラスを、化学強化することで表面に圧縮応力層を形成しガラス基板の耐傷性を高めている。フロート法により製造されたフロートガラスは化学強化後に反りが生じて平坦性が損なわれることが報告されている（特許文献１）。該反りは、フロート成形時に溶融錫と接触していないガラス面（以下、トップ面ともいう。）と、溶融錫と接触しているガラス面（以下、ボトム面ともいう。）との化学強化の入り方が異なることにより生じる。
【０００７】
従来、前記反りを低減して平坦な化学強化ガラス基板を得るため、化学強化前のフロートガラスの片面を保護して、もう一方の面をエッチングして表面異質層を除去した後に化学強化する対処方法がなされている。
【０００８】
エッチングは、エッチング液をガラスに吹き付けたり、ガラスをエッチング液に浸漬等することにより行う。このとき、ガラスにおけるエッチング処理しない面をエッチング液から保護する必要がある。
【０００９】
エッチング時に、ガラスにおけるエッチング処理しない面をエッチング液から保護する手段としては、水溶性ワックスを用いてガラスの主表面の一方を被覆する方法（例えば、特許文献２）、または保護テープを用いる方法（例えば、特許文献３および４）が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第２０３３０３４号公報
【特許文献２】特開２００３−１０４７５７号公報
【特許文献３】特開２０１１−２１０４９号公報
【特許文献４】特開２０１０−１２６６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２に記載の水溶性ワックスを用いてガラスの主表面の一方を被覆する方法は、塗布工程、および加熱冷却プロセスを含む除去・洗浄工程が必要となるため、工程が複雑化する。また、特許文献３および４に記載の保護テープを用いる方法では、保護テープの剥離工程が必要となり、工程が複雑化する。
【００１２】
また、水溶性ワックスを用いる方法、および保護テープを用いる方法は、共に水溶性ワックスおよび保護テープが再生可能材料ではないため、産業廃棄物が生じるという問題もある。
【００１３】
したがって、本発明は、ガラスの主表面の一方のみをエッチングして他方の面をエッチング液から保護するとともに、廃棄物を生じず、かつガラスの貼り付け及び剥離作業を簡便に行うことができる片面エッチング用ガラス保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者らは、板状の可撓性部材と、エッチング液に対する耐薬品性及びガラスに対する密着性を有する板状ゴム部材とを一体とした片面エッチング用ガラス保持具を、少なくともガラス基板の外周部に密着するように固定し、該片面エッチング用ガラス保持具を固定した面を保護した状態でガラス基板をエッチングした後に該片面エッチング用ガラス保持具を撓ませて、該片面エッチング用ガラス保持具からガラス基板を剥離することにより、エッチング液からガラスを保護することができることを見出し、この知見に基づいて、本発明を完成させた。
【００１５】
すなわち、本発明は以下の通りである。
１．可撓性の支持板と、該支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具。
２．前記ガラス保持層は表面の算術平均粗さＲａが４．０μｍ以下である前項１に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
３．前記支持板は単位幅あたりの曲げ剛性が２００〜４００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍである、前項１または２に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
４．前記ガラス保持層と前記支持板とが、加熱圧着により一体化されたものであって、
前記支持板は、ＡＳＴＭ規格Ｄ６４８に定める熱変形温度が１３０℃以上である、前項１〜３のいずれか１に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
５．前記支持板が、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、炭素繊維強化樹脂およびガラス繊維強化樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一つである、前項４に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
６．前記フッ化水素酸に対して耐性を有するゴムが、クロロプレンゴム、ブチルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ＥＰＤＭゴムおよびフッ素ゴムからなる群より選ばれる少なくとも一つである、前項１〜５のいずれか１に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
７．前記ガラス保持層は、前記支持板の両主表面及び端面を被覆するものである、前項１〜６のいずれか１に記載の片面エッチング用ガラス保持具。
８．以下の工程（１）〜（３）を順次含む片面エッチングガラスの製造方法。
（１）可撓性の支持板と、支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具の該ガラス保持層にガラスを密着させる工程
（２）前記ガラスにエッチング液を付与する工程
（３）前記ガラス保持層から前記ガラスを剥離する工程
９．前記工程（３）の前に前記ガラス及び前記片面エッチング用ガラス保持具を洗浄する工程を含む、前項８に記載の片面エッチングガラスの製造方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の片面エッチング用ガラス保持具は、ガラスへの貼り付けが容易であるとともに、加熱冷却プロセスおよび煩雑な剥離工程を経ることなくガラス基板から剥離することができ、貼り付け作業および剥離作業が簡便となる。また、本発明の片面エッチング用ガラス保持具は再利用が可能であり、廃棄物が生じないという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）および（ｂ）は、本発明の片面エッチング用ガラス保持具の断面図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態を示す図である。
【図３】図３は、本発明の一実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の片面エッチング用ガラス保持具は、可撓性の支持板と、該支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有することを特徴とする。
【００１９】
図１（ａ）および（ｂ）に本発明の片面エッチング用ガラス保持具の断面図を示す。本発明の片面エッチング用ガラス保持具には、図１（ａ）に示すように、支持板１２の両主表面及び端面を被覆するようにガラス保持層１１が配置されている場合（片面エッチング用ガラス保持具１０）と、図１（ｂ）に示すように、支持板２２の一方の主表面にガラス保持層２１が配置されている場合（片面エッチング用ガラス保持具２０）とが含まれる。
【００２０】
図２に片面エッチング用ガラス保持具１０を用いた一実施形態を示す。片面エッチング用ガラス保持具１０におけるガラス保持層１１にガラス１３を載せ、ガラス保持層１１とガラス１３とを密着させ、エッチング液１４がガラス１３の周辺部から侵入してガラス１３におけるエッチングしない面とエッチング液１４とが接触することを防いだ上で、搬送ローラー１５でガラス１３を移動しながら、ガラス１３のエッチングする面にエッチング液１４を付与する。
【００２１】
図３に片面エッチング用ガラス保持具２０を用いた一実施形態を示す。片面エッチング用ガラス保持具２０におけるガラス保持層２１にガラス１３を載せ、ガラス保持層２１とガラス１３とを密着させ、搬送ローラー１５でガラス１３を移動しながら、ガラス１３のエッチングする面にエッチング液１４を付与する。
【００２２】
〔フッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層〕
本発明において、ガラス保持層が「フッ化水素酸に対して耐性を有する」とは、ガラス保持層を温度２３±２℃のフッ化水素酸の１０％水溶液に２４時間浸漬したときの質量変化率が−２〜２％であることをいう。
【００２３】
ガラスのエッチング液としては、ガラス溶解性の薬品を含有する水溶液が使用される。ガラス溶解性の薬品には、フッ化物を含有する水溶液を使用するとよく、フッ化物としては、例えば、フッ化水素、フッ化アンモニウム、フッ化カリウムおよびフッ化ナトリウム等が挙げられる。またこれら水溶液に無機酸及び／又は有機酸を含有させてもよい。無機酸としては、塩酸、硫酸、リン酸および硝酸等から一種又は二種以上を選択するとよく、有機酸としては、酢酸およびコハク酸等から一種又は二種以上を選択するとよい。ガラス保持層がフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなることにより、エッチング液に対するマスキング効果を発揮することができる。
【００２４】
フッ化水素酸に対して耐性を有するゴムとしては、クロロプレンゴム、ブチルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ＥＰＤＭゴムおよびフッ素ゴムからなる群より選ばれる少なくとも１つが好ましい。これらの中でも、平滑な表面を得ることができることから、クロロプレンゴムが好ましい。
【００２５】
ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する。本発明において、ガラス保持層が「ガラスに対する密着性を有する」とは、ガラス保持層にガラスを保持させた時にガラスの周辺部から液体の侵入を防ぐことができることをいう。
【００２６】
ガラス保持層は表面の算術平均粗さＲａが４．０μｍ以下であることが好ましく、
１．０μｍ以下であることがより好ましい。ガラス保持層の表面の算術平均粗さＲａが４．０μｍ以下であることにより、ガラス保持層はガラスに対する優れた密着性を有することができる。算術平均粗さＲａはＪＩＳ  Ｂ０６０１（２００１年）で定められており，表面粗さ測定機により測定することができる。
【００２７】
ガラス保持層のショアＡ硬度は、３０〜９０であることが好ましく、４０〜７０であることがより好ましい。ガラス保持層のショアＡ硬度が当該範囲であることにより、ガラスに対する優れた密着性を有することができる。ショアＡ硬度はＪＩＳ  Ｋ６２５３（２０１２年）で定められる方法により測定することができる。
【００２８】
ガラス保持層の厚みは、０．１〜２０ｍｍであることが好ましく、０．５〜１０ｍｍであることがより好ましい。ガラス保持層の厚みを０．１ｍｍ以上とすることにより、表面に凹凸がある場合でも密着力が得られる。また、ガラス保持層の厚みを２０ｍｍ以下とすることにより、エッチング後にガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離する際に片面エッチング用ガラス保持具を曲げ易く、ガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離し易い。
【００２９】
〔可撓性の支持板〕
支持板は可撓性であり、単位幅あたりの曲げ剛性が２００〜４００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍであることが好ましく、１０００〜２００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍであることがより好ましい。単位幅あたりの曲げ剛性が２００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍ以上であることにより、剛性が十分となりエッチング中に片面エッチング用ガラス保持具からガラスが剥がれる部分が発生するのを防ぐことができる。また、４００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍ以下であることにより、エッチング後にガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離する際に片面エッチング用ガラス保持具を曲げ易く、ガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離し易い。
【００３０】
図１（ａ）に示すように支持板１２をガラス保持層１１でくるみ、支持板１２の両主表面及び端面をガラス保持層１１で被覆するように支持板１２にガラス保持層１１を積層した片面エッチング用ガラス保持具１０の製造方法としては、例えば、加熱圧着により支持板１２とガラス保持層１１を一体化する方法、または接着剤を塗布して支持板１２とガラス保持層１１を一体化する方法等が挙げられる。
【００３１】
具体的には、例えば、加熱圧着により片面エッチング用ガラス保持具１０を製造する方法として、支持板１２を２枚のそれぞれの厚みが好ましくは０．１〜１０ｍｍのフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるシートで挟んで支持板１２の側面を含む全面に接着剤を塗布した後に、プレス成型機において、好ましくは１３０〜２００℃の温度、好ましくは５０〜５００ＭＰａの圧力にて好ましくは５〜６０分成形する方法が挙げられる。
【００３２】
支持板１２の外側の部分では、上下の該ゴムからなるシートが押し出されたゴムにより接着剤無しで加硫により一体となってガラス保持層１１となり、片面エッチング用ガラス保持具１０が得られる。なお、片面エッチング用ガラス保持具１０の場合は、前記接着剤は、エッチング液に対する耐薬品性がなくてもよい。
【００３３】
ガラス保持層１１と支持板１２とを加熱圧着して一体化する条件としては、温度が１３０〜２００℃であることが好ましく、１５０〜１７０℃であることがより好ましい。また、圧力は５０〜５００ＭＰａであることが好ましく、１００〜３００ＭＰａであることがより好ましい。時間は５〜１２０分であることが好ましく、１０〜６０分であることがより好ましい。
【００３４】
加熱圧着により片面エッチング用ガラス保持具１０を製造する場合、ガラス保持層１１の熱変形温度における支持板１２の熱変形を防ぐ観点から、支持板１２のＡＳＴＭ規格Ｄ６４８に定める熱変形温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１５０℃以上であることがより好ましい。
【００３５】
ＡＳＴＭ規格Ｄ６４８に定める熱変形温度とは、試験片の両端を加熱浴槽中で支え、中央の荷重棒によって試験片に所定［１．８２ＭＰａ（１８．６ｋｇｆ／ｃｍ２）］の曲げ応力を加えつつ、加熱媒体の温度を２℃／分の速度で上昇させ、試験片のたわみが所定（０．３５ｍｍ）の量に達したときの加熱媒体の温度をもって、その材料の熱変形温度とするものである。
【００３６】
図２に示すように、エッチングの際、片面エッチング用ガラス保持具１０の支持板１２はエッチング液１４と接触することがないため、支持板１２は耐薬品性を有していなくてもよい。
【００３７】
支持板１２を構成する材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ、ＰＥＴ）樹脂、炭素繊維強化樹脂（ｃａｒｂｏｎ  ｆｉｂｅｒ  ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＣＦＲＰ）およびガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ  ｆｉｂｅｒ  ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＧＦＲＰ）、メラミン・ホルムアルデヒド、フェノール・ホルムアルデヒド等の樹脂、並びに鉄、ステンレス、アルミおよび銅等の金属または合金が挙げられる。
【００３８】
また、加熱圧着により片面エッチング用ガラス保持具１０を製造する場合、ガラス保持層１１の熱変形温度における支持板１２の熱変形を防ぐ観点から、支持板１２を構成する材料としては、炭素繊維強化樹脂またはガラス繊維強化樹脂が好ましく、炭素繊維強化エポキシ樹脂またはガラス繊維強化エポキシ樹脂がより好ましい。
【００３９】
片面エッチング用ガラス保持具１０の製造方法の具体例として、例えば、以下に記載する５００ｍｍ×４００ｍｍのガラスをエッチングするため保持具の製造方法が挙げられる。
（１）ゴムの原料を配合し、均質になるように練りながら、厚みが好ましくは０．１２〜１２ｍｍのシートにした後、好ましくは５１０〜７００ｍｍ×４１０〜６００ｍｍに裁断したシートを２枚製造する。
（２）好ましくは５０５〜６５０ｍｍ×４０５〜５５０ｍｍ×０．３〜３．０ｍｍの炭素繊維強化エポキシ樹脂からなる支持板１２の側面を含む全面に、接着剤を塗布する。
（３）下から（１）で製造したシート、（２）の支持板１２、（１）で製造したシート、の順に積層してプレス成型機に投入し、好ましくは１３０〜２００℃の金型温度、好ましくは５０〜５００ＭＰａの成形圧力、好ましくは５〜１２０分の加硫時間にて成形して、厚みが好ましくは０．５〜２３．０ｍｍの成型品を得る。支持板１２の外側の部分では，下側のシートと上側のシートと押し出されたゴムとが接着剤無しで加硫により一体となり、ガラス保持層１１となる。
（４）支持板１２が中央にくるように好ましくは５１０〜７００ｍｍ×好ましくは４１０〜６００ｍｍにゴムを裁断する。
【００４０】
図１（ｂ）に示すように、支持板２２の片面にガラス保持層２１を積層した片面エッチング用ガラス保持具２０の製造方法としては、ガラス保持層２１と支持板２２を積層して接着剤による接着または加熱圧着により両者を一体化する方法が挙げられる。接着剤は、フッ化水素酸に対して耐性であることが好ましい。
【００４１】
図３に示すように、エッチングの際、支持板２２はエッチング液１４と接触することから、フッ化水素酸に対して耐性を有するものであることが好ましい。支持板２２を構成する材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ、ＰＥＴ）樹脂、炭素繊維強化樹脂（ｃａｒｂｏｎ  ｆｉｂｅｒ  ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＣＦＲＰ）およびガラス繊維強化樹脂（Ｇｌａｓｓ  ｆｉｂｅｒ  ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ、ＧＦＲＰ）が挙げられる。
【００４２】
これらの中でも、ガラス保持層２１の熱変形温度における支持板２２の熱変形を防ぐ観点から、炭素繊維強化樹脂またはガラス繊維強化樹脂が好ましく、炭素繊維強化エポキシ樹脂またはガラス繊維強化エポキシ樹脂がより好ましい。
【００４３】
ゴムからなるガラス保持層２１の加熱圧着温度における支持板２２の変形を防ぐため、支持板２２のＡＳＴＭ規格Ｄ６４８に定める熱変形温度は、１３０℃以上であることが好ましく、１５０℃以上であることがより好ましい。
【００４４】
〔片面エッチングガラスの製造方法〕
本発明の片面エッチングガラスの製造方法は以下の（１）〜（３）の工程を含む。
（１）可撓性の支持板と、支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具のガラス保持層にガラスを密着させる工程
（２）前記ガラスにエッチング液を付与する工程
（３）ガラス保持側の面が凸になるように該片面エッチング用ガラス保持具を湾曲させることによりガラス保持層からガラスを剥離する工程
【００４５】
（１）可撓性の支持板と、支持板の少なくとも一面に積層されたフッ化水素酸に対して耐性を有するゴムからなるガラス保持層とを含み、該ガラス保持層はガラスに対する密着性を有する片面エッチング用ガラス保持具のガラス保持層にガラスを密着させる工程
工程（１）は、片面エッチング用ガラス保持具におけるガラス保持層にガラスを密着させて、ガラスの少なくとも外周部がガラス保持層に密着するように固定する工程である。なお、ガラス保持層はガラスの外周より大きいものであることが好ましい。
【００４６】
片面エッチング用ガラス保持具とガラスとを密着するように固定することにより、エッチング液がガラスの周辺部から侵入してガラスにおけるエッチングしない面とエッチング液とが接触することを防ぐことができる。
【００４７】
片面エッチング用ガラス保持具とガラスとは、その接触面においてガラスの外周部に開口気泡なく密着することが好ましい。たとえ開口気泡が存在しても、開口気泡をガラスの外周部有効エリア外の範囲にとどめることにより、ガラスにおけるエッチングしない面をエッチング液から保護することができる。
【００４８】
片面エッチング用ガラス保持具におけるガラス保持層とガラスとを密着させる方法としては、特に限定されないが、片面エッチング用ガラス保持具とガラスを重ねて、ガラスの外周部を加圧して固定する方法が、ガラスの外周部に開口気泡ができにくいため好ましい。なお、圧力は１０〜１０００ｋＰａであることが好ましい。
【００４９】
なお、エッチング終了まではガラスの端部がガラス保持層から剥がれるのを防ぐため、片面エッチング用ガラス保持具を撓ませないことが好ましい。特にガラス外周部において、ガラス面側が凸になるように撓ませないことが好ましい。
【００５０】
（２）前記ガラスにエッチング液を付与する工程
工程（２）は、ガラスのエッチングする面にエッチング液を付与する工程である。エッチングは、ガラスのエッチングする面がエッチング液に接触すればよく、特に限定されない。
【００５１】
例えば、図２に示すように、片面エッチング用ガラス保持具１０を下側、ガラス１３を上側として、搬送ローラー１５等で搬送しながら上方からエッチング液１４を散布する方法が、連続的に処理できるため好ましい。また、例えば、ガラス１３と片面エッチング用ガラス保持具１０の全体をエッチング液に浸漬させてもよい。
【００５２】
エッチング液としては、ガラス溶解性の薬品を含有する水溶液が使用される。ガラス溶解性の薬品には、フッ化物を含有する水溶液を使用するとよく、フッ化物としては、例えば、フッ化水素、フッ化アンモニウム、フッ化カリウムおよびフッ化ナトリウム等が挙げられる。またこれら水溶液に無機酸及び／又は有機酸を含有させてもよい。無機酸としては、塩酸、硫酸、リン酸および硝酸等から一種又は二種以上を選択するとよく、有機酸としては、酢酸およびコハク酸等から一種又は二種以上を選択するとよい。
【００５３】
なお、ガラスにエッチング液を付与する工程の後に、ガラス及び片面エッチング用ガラス保持具を洗浄する工程を経てもよい。ガラス及び片面エッチング用ガラス保持具を洗浄する方法としては、例えば、水洗浄、温水洗浄、シャワー洗浄、ブラシ洗浄および超音波洗浄等が挙げられる。これらを組み合わせて洗浄してもよい。
【００５４】
（３）ガラス保持層からガラスを剥離する工程
工程（３）は、ガラス保持層側のガラス表面が凸になるようにガラスまたは片面エッチング用ガラス保持具の少なくとも一方を撓ませてガラス保持層からガラスを剥離する工程である。ガラスまたは片面エッチング用ガラス保持具の少なくとも一方を端部から順に曲げて変形させると、ガラス保持層からガラスを剥離し易いため好ましい。
【００５５】
ガラスを固定し、片面エッチング用ガラス保持具を曲げて変形させるとガラスを破損させずにガラス保持層から剥離できるため、好ましい。ガラスを固定する方法としては、例えば、真空吸着等が挙げられる。なお、本発明の片面エッチング用ガラス保持具は繰り返し使用することができる。
【実施例】
【００５６】
〔実施例１〕
片面エッチング用ガラス保持具を以下の手順により製造した。
（１）ゴムの原料（ネオプレンゴム）を配合し、均質になるように練りながら厚み１．２ｍｍにした後、５８０ｍｍ×５４０ｍｍに裁断したシートを２枚をガラス保持層として製作した。
（２）５１０ｍｍ×４１０ｍｍ×厚み０．７ｍｍの炭素繊維強化エポキシ樹脂からなる支持板の側面を含む全面に、接着剤（ロードファーイースト社製ケムロックＴＳ１６７７）を塗布した。
（３）下から（１）のシート、（２）の支持板、（１）のシートの順に積層し、プレス成型機に投入し、金型温度１６５℃、成形圧力２００ＭＰａ、加硫時間２５分にて成形し、支持板の外側の部分において、厚み２．８ｍｍの片面エッチング用ガラス保持具を得た。
成型前の厚みは１．２＋０．７＋１．２＝３．１ｍｍなので、厚みが薄くなる分のシートを構成するゴムが支持板の外側に押し出されたことになる。下側の（１）のシートと上側の（１）のシートと押し出されたゴムとを接着剤無しで加硫により一体化させた。
（４）前記支持板が中央にくるように５２５ｍｍ×４２５ｍｍにゴムを裁断した。
【００５７】
片面エッチング用ガラス保持具内の支持板からはみ出さないようにガラス保持層上にガラス（５００ｍｍ×４００ｍｍ×厚さ０．７ｍｍ）を配置し、前記ガラスの外周部を加圧して、片面エッチング用ガラス保持具に密着させた。ガラスを片面エッチング用ガラス保持具に密着させた際、界面気泡が多数あったが、ガラス端部に開口気泡は無く、ガラスの端部は片面エッチング用ガラス保持具に密着されていた。
【００５８】
ガラスを保持した片面エッチング用ガラス保持具をエッチング液［１１０ＢＨＦ（バッファードフッ酸、フッ酸１０％）に１０分間浸漬した後、水洗して水分をふき取り、エアーブロー乾燥した後に、片面エッチング用ガラス保持具からガラスを剥離した。
【００５９】
剥離後のガラスを観察した結果、剥離界面にエッチング液の液滴は残っていなかった。また、片面エッチング用ガラス保持具で保護したガラスの保護面を蛍光灯下の目視検査で観察した結果、曇りおよび付着物が無く、片面エッチング用ガラス保持具によりガラスの保護面がエッチング液から保護されたことがわかった。また、エッチング後に片面エッチング用ガラス保持具を観察した結果、目視でのゴムのダメージは無く、片面エッチング用ガラス保持具は繰り返し使用できることがわかった。
【００６０】
［実施例２］
表１に示す３種類のゴムのシート（１００×１００ｍｍ、厚み１．０ｍｍ）を用いて、各シート表面における５箇所の算術平均粗さＲａ（μｍ）を評価した。なお、算術平均粗粗さＲａは表面粗さ測定機により測定した。また、各シートとガラス（８０×８０ｍｍ、厚み１．１ｍｍ）とを積層し、５０ｋＰａで加圧することにより、密着性を評価した。その結果を表１に示す。
【００６１】
表１において、ガラスに対する密着性は、界面に空気層が目視で観察されない場合に「良好」とし、観察される場合に「不可」とした。
【００６２】
【表１】
2013220977.tif 000002
【００６３】
表１に示すように、ゴム表面の算術平均粗さＲａが４．０μｍを超えると、ガラスに対する密着性が低下することがわかった。この結果から、ガラス保持層の表面の算術平均粗さは４．０μｍ以下とすることにより、ガラス保持層のガラスに対する密着性が得られることがわかった。
【００６４】
［実施例３］
表２に示す性質を有する可撓性板を調製し、単位幅あたりの曲げ剛性を測定した。その結果を表２に示す。
【００６５】
【表２】
2013220977.tif 000003
【００６６】
表２に示す結果から、片面エッチング用ガラス保持具における支持板の曲げ剛性は、２００〜４００００Ｎ・ｍｍ２／ｍｍとすることが好ましいことがわかった。この範囲であれば、剛性が十分となりエッチング中に片面エッチング用ガラス保持具からガラスが剥がれる部分が発生するのを防ぐことができ、かつ、エッチング後にガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離する際に片面エッチング用ガラス保持具を曲げ易く、ガラスから片面エッチング用ガラス保持具を剥離し易い。
【符号の説明】
【００６７】
１０，２０  片面エッチング用ガラス保持具
１１，２１  ガラス保持層
１２，２２  支持板
１３  ガラス
１４  エッチング液
１５  搬送ローラー
【図１】
2013220977.tif 000004
【図２】
2013220977.tif 000005
【図３】
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