(57)【要約】【課題】オペレータが誤って加工条件を書き換えてしまった場合であっても、過去の加工条件を復元でき、かつ、このことをオペレータの負担を増やさずに実現可能とする技術を提案する。【解決手段】被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を加工するための加工手段と、加工手段を制御する制御手段と、制御手段と接続され加工条件を入力する入力手段と、を含む加工装置であって、加工装置は、制御手段中のデータ設定部に設定された加工条件に基づき加工を行い、データ設定部上の加工条件はデータ設定部に接続された加工条件記憶手段に自動的に保存され、入力手段で過去の任意の時刻を指定することで、データ設定部に設定された現時点の加工条件を、任意の時刻の加工条件に置き換える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された該被加工物を加工するための加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段と接続され加工条件を入力する入力手段と、を含む加工装置であって、
該加工装置は、該制御手段中のデータ設定部に設定された加工条件に基づき加工を行い、該データ設定部上の該加工条件は該データ設定部に接続された加工条件記憶手段に自動的に保存され、該入力手段で過去の任意の時刻を指定することで、該データ設定部に設定された現時点の該加工条件を、該任意の時刻の加工条件に置き換える、ことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記制御手段と、前記加工条件記憶手段は、ネットワークを介して接続される、
ことを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では、略円盤形状の半導体ウェーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成される。こうしたウェーハは、裏面を研削装置のスピンドルに装着された研削ホイールや研磨パッドによって研削、研磨されて所定の厚みに形成され、最終的には切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードによってストリートが切削され個々のデバイスに分割される。
【０００３】
このような加工を行う各種加工装置では、切削ブレード、研削ホイール、又は研磨パッドを高速回転させることで加工がなされるが、加工の際には、その回転スピードやウェーハに切り込む又は当接させる速度等の「各種の条件」が設定される。
【０００４】
また、加工装置においては、切削ブレード、研削ホイールを装着するスピンドル、装置各所に設置された軸類といった各種装置のデフォルト状態（初期設定）を規定するための「固有のデータ」も記憶されている。例えば、特許文献１では、軸の原点位置等を記憶することについて開示しており、ある軸が他の軸と衝突することを防いだり、軸が規定した位置に正確に移動したりすることを可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０７１７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の「各種の条件」や「固有のデータ」といった各種データ（以下、「加工条件」とする。）は、被加工物について特定の加工を施す上で非常に重要である。
【０００７】
しかしながら、このような加工条件は非常に重要なものでありながら、オペレータが加工装置の入力手段を操作することで、誤って書き換えが生じてしまう可能性が存在した。
【０００８】
このため、ＵＳＢメモリなどの外部記憶装置に随時記憶して保存することで、いわゆるバックアップを蓄積する運用が考えられるが、当然ながら保存されていなかったデータは復元できないものとなる。また、データの復元性を高めためにはこまめなデータ保存が必須となるが、オペレータの負担が増加してしまうことになる。
【０００９】
そこで、本発明は、オペレータが誤って加工条件を書き換えてしまった場合であっても、過去の加工条件を復元でき、かつ、このことをオペレータの負担を増やさずに実現可能とする技術を提案する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明によると、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を加工するための加工手段と、加工手段を制御する制御手段と、制御手段と接続され加工条件を入力する入力手段と、を含む加工装置であって、加工装置は、制御手段中のデータ設定部に設定された加工条件に基づき加工を行い、データ設定部上の加工条件はデータ設定部に接続された加工条件記憶手段に自動的に保存され、入力手段で過去の任意の時刻を指定することで、データ設定部に設定された現時点の加工条件を、任意の時刻の加工条件に置き換えることを特徴とする加工装置が提供される。
【００１１】
好ましくは、制御手段と、加工条件記憶手段は、ネットワークを介して接続される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、例えば、オペレータが誤って加工条件を書き換えてしまった場合であっても、過去の特定の時間（任意の時間）の加工条件を復元できることになる。加えて、加工条件が加工条件記憶手段に自動的に保存されることによれば、データを保存する手間が省かれる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】加工装置の一例である切削装置の外観斜視図である。
【図２】制御手段と加工条件記憶手段について示すブロック図である。
【図３】加工条件記憶手段におけるデータ記憶について説明する図である。
【図４】第３の処理における表示画面例について示す図である。
【図５】制御手段と加工条件記憶手段の別実施形態について示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。
【００１５】
切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部に複数のウェーハ２２を収容したカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。
【００１６】
１６は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１８，２０は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン１８，２０を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００１７】
切削装置２には、所定の加工条件に基づいた加工を実施するために、切削装置２を自動制御するための制御手段３０が設けられている。図２の概略図に示されるように、制御手段３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラム等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。
【００１８】
ＲＯＭ３２には、所定の加工条件に基づいて切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムが格納されている。ここで加工条件には、切削ブレードの切り込み深さ、切削ブレードの回転数、チャックテーブル１２の加工送り速度などといった加工のためのデータ（前述の「各種の条件」）や、装置類のデフォルト状態（初期設定）を規定するためのデータ（前述の「固有のデータ」）が含まれる。
【００１９】
ＲＡＭ３３は、制御プログラムや加工条件の読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行うものであり、「データ設定部」として機能する。
【００２０】
入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。
【００２１】
入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
【００２２】
入出力インターフェース３４には、加工条件記憶手段４０が接続されている。この加工条件記憶手段４０は、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３３を主記憶装置とした場合に、いわゆる補助記憶装置として機能する装置であり、磁気ディスク、フラッシュメモリなどの形態で実現されるものである。
【００２３】
加工条件記憶手段４０は、本実施形態では磁気ディスクの形態として、制御手段３０と別の筐体４１内に設置され、入出力インターフェース３４とケーブルにて接続される構成としている。筐体４１は、切削装置２内に収容するほか、切削装置２の外部に付設してもよい。このほかにも、加工条件記憶手段４０は、例えばＵＳＢメモリにて構成され、入出力インターフェース３４に挿し込んだ状態で使用される形態なども考えられる。
【００２４】
また、加工条件記憶手段４０は、後述する加工条件Ｋや記録時刻情報Ｔを保存するための専用の記憶装置として切削装置２に備える記憶手段に追加的に設けるほか、各種のデータを保存するための切削装置２の記憶手段として設けられるものであってもよい。
【００２５】
以上の構成において、本発明の一実施形態として以下の処理が実行され得る。
即ち、入力手段にて任意に入力される加工条件をＲＡＭ３３上に一時的に記憶する第１の処理と、ＲＡＭ３３に一時的に記憶された加工条件を、加工条件記憶手段４０に対しその記録時間情報とともに記憶する第２の処理と、加工条件記憶手段４０に記憶された記憶された加工条件を、記録時間情報を指定して読み込む第３の処理、が実行され得る。
【００２６】
具体的には、まず、第１の処理は、オペレータが表示モニタ６を用いて任意に加工条件を入力した場合においてなされる処理である。制御手段３０は、オペレータによる任意入力による加工条件の設定、変更が許容される、いわゆる「自由設定・変更モード」での装置稼動を可能としている。なお、オペレータによる任意入力を禁止する「設定禁止モード」での装置稼動も可能としている。いずれのモードで装置稼動をさせるかは、装置の管理者により設定されることができる。
【００２７】
次に、第２の処理は、オペレータにより入力されてＲＡＭ３３上に一時的に記憶された加工条件を、加工条件記憶手段４０に対し記憶する処理であり、その記録の際に、加工条件に記録時間情報を付加して記憶をするという処理である。記録時間情報は、例えば、１３時０分０秒（１３：００：００）といった実際の時刻であり、加工条件が加工条件記憶手段４０に記憶されたタイミングを特定するための情報である。
【００２８】
図３では、この第２の処理を模式的に表したものであり、各時刻において、ＲＡＭ３３上に一時的に記憶されている加工条件Ｋが、記録時刻情報Ｔが付加された上で加工条件記憶手段４０に記憶されていることが示されている。
【００２９】
この第２の処理は、制御プログラムによって所定時間ごとに自動的に行なわせることができる。例えば、ＲＡＭ３３上にある加工条件Ｋを１分間隔で自動的処理にて加工条件記憶手段４０に保存させる形態である。また、加工条件Ｋの変更がなされたタイミングで自動的に加工条件記憶手段４０に保存させることも考えられる。さらに、このほか、オペレータの任意によって行われる、つまりは、任意のタイミング（時刻）でのマニュアル操作にて加工条件記憶手段４０に記憶させることも考えられる。これらの自動処理とマニュアル操作は両方が行なわれ得ることとしてもよい。
【００３０】
図３の例では、例えば、時刻１１：００：００に第２の処理がなされることにより、当該時刻において加工条件Ｋとして設定されている条件０１ａが、記録時刻情報Ｔ（１１：００：００）とともに加工条件記憶手段４０に記憶されていることが表されている。同様に、時刻１２：００：００に第２の処理がなされることにより、当該時刻において加工条件Ｋとして設定されている時刻１１：００：００とは異なる条件０２ａが、記録時刻情報Ｔ（１２：００：００）とともに加工条件記憶手段４０に記憶されていることが表されている。
【００３１】
次に、第３の処理においては、第２の処理によって加工条件記憶手段４０に記憶された加工条件Ｋを、記録時刻情報Ｔを指定して読み込むことが行われる。例えば、図４の表示モニタ６の例に示されるように、オペレータは、現在の時刻１３：００：００で条件０４ｃにて稼動している状況で、記録時刻情報Ｔ（時刻１１：００：００）を指定して、時刻１１：００：００における条件０１ａを読み込むことができる。そして、３０秒後の時刻１３：００：３０では、条件０１ａで稼動されることが示されている。
【００３２】
なお、第３の処理における記録時刻情報Ｔの指定は、図４の例に示されるように、任意の時刻を設定することとするほか、例えば、１０分前、３０分前、１時間前、など、遡る時間単位を任意の時刻として指定することで行なわれてもよい。また、任意の時刻を指定した際に、当該時刻に対応する記録時刻情報Ｔが存在しない場合には、当該時刻に最も近い記録時刻情報Ｔを選択候補として表示モニタに表示させることとしてもよい。
【００３３】
以上の第１〜第３の処理を実行可能に構成することで、例えば、オペレータが誤って加工条件を書き換えてしまった場合であっても、特定の時間の加工条件を復元できることになる。加えて、加工条件Ｋが加工条件記憶手段４０に自動的に保存されるため、データを保存する手間が省かれる。
【００３４】
以上の第１〜第３の処理を実施するための装置構成として、図１の例では、被加工物としてのウェーハ２２を保持する保持手段としてのチャックテーブル１２と、保持手段に保持された被加工物を加工するための加工手段としての切削ユニット１０と、切削ユニット１０を制御する制御手段３０（図２参照）と、制御手段３０と接続され加工条件を入力する入力手段としての表示モニタ６と、を含む加工装置である切削装置２であって、切削装置２は、制御手段３０中のデータ設定部となるＲＡＭ３３に設定された加工条件に基づき加工を行い、ＲＡＭ３３上の加工条件はＲＡＭ３３に接続された加工条件記憶手段４０に自動的に保存され、表示モニタ６で過去の任意の時刻を指定することで、ＲＡＭ３３に設定された現時点の加工条件（現在時刻における加工条件）を、任意の時刻の加工条件に置き換える構成となっている。
【００３５】
そして、この構成により、図３の例に示されるように、現在時刻１３：００：００において条件０４ｃであったものが、その２時間前の条件０１ａに置き換えられることが可能となる。
【００３６】
以上の実施形態に加え、図５に示すように、制御手段３０を備える切削装置と、切削装置とは別の場所に設置される加工条件記憶手段４０Ａとを、ネットワークＮを介して接続する形態も考えられる。ここで、「別の場所」とは、例えば、切削装置が設置される構内に隣接する別の建物構内や、地理的に遠く離れたデータセンターなどが考えられる。また、ネットワークＮには、イントラネット、インターネットのいずれも含まれる。
【００３７】
図５に示す制御手段３０Ａでは、通信手段３５を備えることにより、ネットワークＮを介したデータ通信を行い得る構成とする。加工条件記憶手段４０Ａについても同様に、ネットワークＮを介したデータ通信を行い得る構成とするものであって、いわゆるサーバー装置Ｓとして構成され得るものである。
【００３８】
以上の構成では、切削装置内や切削装置に付設して加工条件記憶手段４０を備える必要がなくなり、仮に切削装置の故障や、切削装置の設置構内において予期せぬ問題が生じた場合でも、加工条件記憶手段４０に記憶されたデータを紛失することがない。加えて、切削装置２とは独立して加工条件記憶手段４０を構成することができるため、データが増加した際に磁気ディスクを造設するなどのメンテナンスが容易に行うことが可能となる。
【符号の説明】
【００３９】
２    切削装置
４    加工装置本体
６    表示モニタ
８    ハウジング
１０    切削ユニット
１２    チャックテーブル
２２    ウェーハ
２４    カセット
３０    制御手段
３１    ＣＰＵ
３２    ＲＯＭ
３３    ＲＡＭ
３４    入出力インターフェース
４０    加工条件記憶手段
４１    筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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