(57)【要約】【課題】製造工場における生産設備の部材交換の最適化を容易にできる。【解決手段】製造工場における生産設備の部材交換を最適化するシステムであって、  製品の検査情報を管理する手段と、  製品の検査情報を監視するための情報を管理する手段と、  装置稼動実績情報を管理する手段と、  装置稼動実績情報を監視するための情報を管理する手段と、  製品の検査情報を、これを監視するための情報に基づいて監視し、装置稼動実績情報を、これを監視するための情報に基づいて監視して、部材交換の対象となる生産設備を判断する手段とを備えることを特徴とする生産設備部材交換最適化システム。【選択図】図２
2013175083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工場における生産設備の部材交換を最適化するシステムであって、
製品の検査情報を管理する手段と、
製品の検査情報を監視するための情報を管理する手段と、
装置稼動実績情報を管理する手段と、
装置稼動実績情報を監視するための情報を管理する手段と、
製品の検査情報を、これを監視するための情報に基づいて監視し、装置稼動実績情報を、これを監視するための情報に基づいて監視して、部材交換の対象となる生産設備を判断する手段とを備えることを特徴とする生産設備部材交換最適化システム。
【請求項２】
生産計画情報を管理する手段と、
生産実績情報を管理する手段と、
生産計画情報と、生産実績情報とに基づいて、部材交換の対象となった生産設備について、この部材を交換するスケジュールを計画する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の生産設備部材交換最適化システム。
【請求項３】
装置情報を管理する手段と、
製品在荷情報を管理する手段と、
装置情報に基づいて、部材交換の対象となった生産設備が属する工程で製品搬送の動作停止指令発行の対象となる生産設備を判断し、製品在荷情報に基づいて、この動作停止指令を発行するタイミングを判断し、このタイミングに、この動作停止指令を、この動作停止指令発行の対象となる生産設備に発行する手段とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の生産設備部材交換最適化システム。
【請求項４】
前記動作停止指令発行時に、前記装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を登録する手段と、
前記検査情報のうち、前記動作停止指令発行の対象となった生産設備が再び稼動した後のものを、前記検査情報を監視するための情報に基づいて監視して、前記装置稼動実績情報を監視するための情報を変更するかを判断し、変更すると判断した場合、この変更を交換実績情報に基づいて行う手段とを備えることを特徴とする請求項３記載の生産設備部材交換最適化システム。
【請求項５】
製造工場における生産設備の部材交換を最適化するシステムが実行する方法であって、
製品の検査情報を管理し、
製品の検査情報を監視するための情報を管理し、
装置稼動実績情報を管理し、
装置稼動実績情報を監視するための情報を管理し、
製品の検査情報を、これを監視するための情報に基づいて監視し、装置稼動実績情報を、これを監視するための情報に基づいて監視して、部材交換の対象となる生産設備を判断することを特徴とする生産設備部材交換最適化方法。
【請求項６】
生産計画情報を管理し、
生産実績情報を管理し、
生産計画情報と、生産実績情報とに基づいて、部材交換の対象となった生産設備について、この部材を交換するスケジュールを計画することを特徴とする請求項５記載の生産設備部材交換最適化方法。
【請求項７】
装置情報を管理し、
製品在荷情報を管理し、
装置情報に基づいて、部材交換の対象となった生産設備が属する工程で製品搬送の動作停止指令発行の対象となる生産設備を判断し、製品在荷情報に基づいて、この動作停止指令を発行するタイミングを判断し、このタイミングに、この動作停止指令を、この動作停止指令発行の対象となる生産設備に発行することを特徴とする請求項５又は６記載の生産設備部材交換最適化方法。
【請求項８】
前記動作停止指令発行時に、前記装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を登録し、
前記検査情報のうち、前記動作停止指令発行の対象となった生産設備が再び稼動した後のものを、前記検査情報を監視するための情報に基づいて監視して、前記装置稼動実績情報を監視するための情報を変更するかを判断し、変更すると判断した場合、この変更を交換実績情報に基づいて行うことを特徴とする請求項７記載の生産設備部材交換最適化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産設備部材交換最適化システム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、製造工場では、例えば、露光設備の露光ランプ（特許文献１参照）やスパッタ設備のＩＴＯターゲット（特許文献２及び３参照）のように、生産設備の運用として、製品の不良発生や特性値に起因する部材の交換を行っている。
【０００３】
例えば、品質不良発生時に、部材交換を実施する。
【０００４】
また例えば、人手での設備パラメーターの確認による部材交換時期の判定をし、メーカーの推奨時期（使用回数や装置稼働時間など）を基準に定期交換を実施する。
【０００５】
しかしながら、オペレータが定期的に製造実行システムや検査設備の製品の検査結果、装置稼働時間などを把握し、部材交換の判断を行っているので、メーカー推奨時期に沿った部材交換では、設備の機差や稼動状況により、交換時期の差異が発生し、必ずしも定期的な交換ができていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６７１９８号公報
【特許文献２】特開平１０−１５８８３１号公報
【特許文献３】特開２０１０−３７５９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、斯かる背景技術に鑑みてなされたもので、製造工場における生産設備の部材交換の最適化を容易にできることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、
製造工場における生産設備の部材交換を最適化するシステムであって、
製品の検査情報を管理する手段と、
製品の検査情報を監視するための情報を管理する手段と、
装置稼動実績情報を管理する手段と、
装置稼動実績情報を監視するための情報を管理する手段と、
製品の検査情報を、これを監視するための情報に基づいて監視し、装置稼動実績情報を、これを監視するための情報に基づいて監視して、部材交換の対象となる生産設備を判断する手段とを備えることを特徴とする生産設備部材交換最適化システムとしたものである。
【０００９】
また請求項２の発明では、
生産計画情報を管理する手段と、
生産実績情報を管理する手段と、
生産計画情報と、生産実績情報とに基づいて、部材交換の対象となった生産設備について、この部材を交換するスケジュールを計画する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の生産設備部材交換最適化システムとしたものである。
【００１０】
また請求項３に係わる発明では、
装置情報を管理する手段と、
製品在荷情報を管理する手段と、
装置情報に基づいて、部材交換の対象となった生産設備が属する工程で製品搬送の動作停止指令発行の対象となる生産設備を判断し、製品在荷情報に基づいて、この動作停止指令を発行するタイミングを判断し、このタイミングに、この動作停止指令を、この動作停止指令発行の対象となる生産設備に発行する手段とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の生産設備部材交換最適化システムとしたものである。
【００１１】
また請求項４の発明では、
前記動作停止指令発行時に、前記装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を登録する手段と、
前記検査情報のうち、前記動作停止指令発行の対象となった生産設備が再び稼動した後のものを、前記検査情報を監視するための情報に基づいて監視して、前記装置稼動実績情報を監視するための情報を変更するかを判断し、変更すると判断した場合、この変更を交換実績情報に基づいて行う手段とを備えることを特徴とする請求項３記載の生産設備部材交換最適化システムとしたものである。
【００１２】
また請求項５の発明では、
製造工場における生産設備の部材交換を最適化するシステムが実行する方法であって、
製品の検査情報を管理し、
製品の検査情報を監視するための情報を管理し、
装置稼動実績情報を管理し、
装置稼動実績情報を監視するための情報を管理し、
製品の検査情報を、これを監視するための情報に基づいて監視し、装置稼動実績情報を、これを監視するための情報に基づいて監視して、部材交換の対象となる生産設備を判断することを特徴とする生産設備部材交換最適化方法としたものである。
【００１３】
また請求項６の発明では、
生産計画情報を管理し、
生産実績情報を管理し、
生産計画情報と、生産実績情報とに基づいて、部材交換の対象となった生産設備について、この部材を交換するスケジュールを計画することを特徴とする請求項５記載の生産設備部材交換最適化方法としたものである。
【００１４】
また請求項７の発明では、
装置情報を管理し、
製品在荷情報を管理し、
装置情報に基づいて、部材交換の対象となった生産設備が属する工程で製品搬送の動作停止指令発行の対象となる生産設備を判断し、製品在荷情報に基づいて、この動作停止指令を発行するタイミングを判断し、このタイミングに、この動作停止指令を、この動作停止指令発行の対象となる生産設備に発行することを特徴とする請求項５又は６記載の生産設備部材交換最適化方法としたものである。
【００１５】
また請求項８の発明では、
前記動作停止指令発行時に、前記装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を登録し、
前記検査情報のうち、前記動作停止指令発行の対象となった生産設備が再び稼動した後のものを、前記検査情報を監視するための情報に基づいて監視して、前記装置稼動実績情報を監視するための情報を変更するかを判断し、変更すると判断した場合、この変更を交換実績情報に基づいて行うことを特徴とする請求項７記載の生産設備部材交換最適化方法としたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明は、製造工場における生産設備の部材交換の最適化を容易にできるという効果がある。
【００１７】
この結果、本発明は、品質不良の発生を防止し、しかも部材を有効活用し、さらに部材交換による生産停止ロスを低減できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】製造工場の設備構成を示す設備構成図。
【図２】本実施形態のシステムサーバにおけるデータの流れを示すデータフロー図。
【図３】交換計画処理の流れを示すフローチャート。
【図４】工程の設備構成例を示す図。
【図５】搬送制御処理の流れを示すフローチャート。
【図６】交換時期最適化処理の流れを示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００２０】
１．製造工場
本実施形態では、製造工場は、図１に示すように、生産設備（その付帯設備を含む）と、検査設備と、設備情報統括ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）と、ライン管理システムと、本発明のシステムサーバとを備える。
【００２１】
検査設備は、検査機と、検査情報保存システムとを備える。この検査情報保存システムは、各検査機からの検査情報（欠陥情報や特性情報）を一時格納し、システムサーバへ転送するパソコンである。システムサーバと検査情報保存システムとの間の接続は、ＥｎｔｈｅｒｎｅのＴＣＰ／ＩＰ接続であり、この接続により、検査情報保存システムからシステムサーバへ検査情報を、ＦＴＰ（Ｆｉｌｅ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）通信等で送信する。
【００２２】
設備情報統括ＰＬＣは、各生産設備からの稼動情報を一時集約し、システムサーバに転送するものである。また、設備情報統括ＰＬＣは、システムサーバから各生産設備への制御信号の通信も仲介する。システムサーバと設備情報統括ＰＬＣとの間の接続は、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）でのＵＤＰ／ＩＰ接続であり、設備情報統括ＰＬＣと各生産設備との接続は、光ファイバーケーブルを使用し、トランジェント伝送方式を用いたものであり、これらの接続により、各生産設備から設備情報統括ＰＬＣを介してシステムサーバへの稼動情報の送信が行われ、また、システムサーバから設備情報統括ＰＬＣを介して各生産設備への制御信号の送信も行われる。
【００２３】
ライン管理システムは、製造工場の生産ラインの管理システムであり、主な機能として、生産ラインへの製品投入実績、生産ラインからの製品回収実績、生産設備稼働実績の集計や、生産ラインでの製品の搬送制御を行う機能があって、設備情報統括ＰＬＣを介して、生産ラインへ製品投入するローダー設備と、生産ラインから製品を回収するアンローダー設備と通信を行い、生産実績情報を収集し管理し、生産実績情報をシステムサーバに転送するパソコンである。ライン管理システムと設備統括ＰＬＣとの間の接続、ライン管理システムとシステムサーバとの間の接続は、いずれもＥｎｔｈｅｒｎｅのＴＣＰ／ＩＰ接続であり、これらの接続により、生産実績が収集されてシステムサーバに送信される。
【００２４】
システムサーバは、図２に示すように、製品検査情報ＤＢ（ＤａｔａＢａｓｅ）と、装置情報ＤＢ（ＤａｔａＢａｓｅ）と、生産管理情報ＤＢ（ＤａｔａＢａｓｅ）と、部材交換情報ＤＢ（ＤａｔａＢａｓｅ）と、製品在荷情報を記憶する手段と、稼動状態情報を記憶する手段と、検査情報傾向監視処理部と、装置稼動情報監視処理部と、交換予定日判定処理部と、生産進捗管理判定処理部と、交換情報報告処理部と、装置停止可否判断処理部と、装置停止指令処理部と、交換時期最適化処理部とを備える。
【００２５】
２．製品検査情報ＤＢ
製品検査情報ＤＢは、製品検査情報とこれを監視するための情報とを管理するデータベースであって、以下の表１に示す製品検査値項目マスタテーブルと、以下の表２に示す製品検査情報テーブルとを有する。
【００２６】
製品検査値項目マスタテーブルは、以下の表１に示すように、製品検査情報テーブルで管理されている製品の検査情報の監視を行うための管理項目情報を管理するものである。
【００２７】
製品検査情報テーブルは、以下の表２に示すように、各工程の各検査設備から受信した製品の検査情報を管理するものである。
【００２８】
【表１】
2013175083.tif 000003
【００２９】
【表２】
2013175083.tif 000004
【００３０】
３．装置情報ＤＢ
装置情報ＤＢは、装置情報を管理するデータベースであって、以下の表３に示す装置稼動情報項目マスタテーブルと、以下の表４に示す装置情報マスタテーブルと、以下の表５に示す装置稼動実績情報テーブルとを有する。
【００３１】
装置稼動情報項目マスタテーブルは、以下の表３に示すように、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報の監視を行うための管理項目情報を管理するものである。
【００３２】
装置情報マスタテーブルは、以下の表４に示すように、装置停止の可否判定を行うための装置情報を管理するものである。
【００３３】
装置稼動実績情報テーブルは、以下の表５に示すように、各工程の各生産設備から受信した装置稼動実績情報（前回交換から経過した装置稼動や部材使用の時間、或いは、部材実測パラメーターなどの稼動パラメーターといったアナログ情報など）を管理するものである。
【００３４】
【表３】
2013175083.tif 000005
【００３５】
【表４】
2013175083.tif 000006
【００３６】
【表５】
2013175083.tif 000007
【００３７】
４．生産管理情報ＤＢ
生産管理情報ＤＢは、生産管理情報を管理するデータベースであって、以下の表６に示す生産計画情報マスタテーブルと、以下の表７に示す生産実績情報テーブルとを有する。
【００３８】
生産計画情報テーブルは、以下の表６に示すように、オペレータが入力して設定した各工程の生産計画情報を管理する。
【００３９】
生産実績情報テーブルは、以下の表７に示すように、ライン管理システムから受信した生産実績情報を管理する。
【００４０】
【表６】
2013175083.tif 000008
【００４１】
【表７】
2013175083.tif 000009
【００４２】
５．部材交換情報ＤＢ
部材交換情報ＤＢは、部材交換情報を管理するデータベースであって、以下の表８に示す交換部材マスタテーブルと、以下の表９に示す交換装置情報テーブルと、以下の表１０に示す交換計画情報テーブルと、以下の表１１に示す交換実績情報テーブルとを有する。
【００４３】
交換部材マスターテーブルは、以下の表８に示すように、部材の交換管理を行うための管理項目情報を管理するものである。
【００４４】
交換装置情報テーブルは、以下の表９に示すように、交換対象となった生産設備の交換部材の情報を管理するものである。
【００４５】
交換計画情報テーブルは、以下の表１０に示すように、交換対象となった生産設備の交換部材の交換計画の情報を管理するものである。
【００４６】
交換実績情報テーブルは、以下の表１１に示すように、交換対象となった生産設備の交換部材の交換実績の情報を管理するものである。装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が時間単位である場合、この交換実績情報は、装置稼動実績情報テーブルで管理されている管理項目情報とともに、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報の監視を行うたの情報となる。
【表８】
2013175083.tif 000010
【００４７】
【表９】
2013175083.tif 000011
【００４８】
【表１０】
2013175083.tif 000012
【００４９】
【表１１】
2013175083.tif 000013
【００５０】
６．製品在荷情報
製品在荷情報は、生産設備に在荷している製品の情報であって、生産設備からシステムサーバに送られて、システムサーバにて管理されるものである。本実施形態では、製品在荷情報は、ｂｉｔ形式のデータで表されている。
【００５１】
７．稼動状態情報
稼動状態情報は、生産設備の稼動状態の情報であって、０：稼動、１：停止、２：メンテナンス、３：上流待ち、４：下流待ち、などの値を取り、生産設備からシステムサーバに送られ、システムサーバにて管理されるものである。本実施形態では、稼動状態情報は、Ｗｏｒｄ形式のデータで表されている。
【００５２】
８．検査情報傾向監視処理部
検査情報傾向監視処理部は、製品検査値項目マスタテーブルで管理されている管理項目情報に基づいて、製品検査情報テーブルで管理されている製品検査情報の監視を行い、異常が発生したか、或いは異常発生の傾向となったかを判定し、異常が発生した、或いは異常発生の傾向となったと判定した場合、装置稼動情報監視処理部に装置稼動情報監視処理を実行させる検査情報傾向監視処理を実行する。
【００５３】
製品検査値項目マスタテーブルで管理されている検査値種類が特性値である場合、異常が発生したか、或いは異常発生の傾向となったかを判定する条件の例には、以下の（１）〜（３）がある。
【００５４】
（１）製品検査情報テーブルに検査実測値として管理されている特性値の測定値が、製品検査値項目マスタテーブルで管理されている管理値（ｍａｘ）よりも大きい、或いは、製品検査値項目マスタテーブルで管理されている管理値（ｍｉｎ）よりも小さい場合、異常が発生したと判断する。
【００５５】
（２）製品検査情報テーブルに検査実測値として管理されている特性値の測定値であって、オペレータが入力して指定した範囲内のロット分がマイナス傾向である場合、異常発生の傾向となったと判断する。
【００５６】
ここで、マイナス傾向とは、以下の表１２に示すように、指定範囲内の初期ロットの測定値を基準値とし、この基準値と、指定範囲内の初期ロット以後のロットの測定値のとの差を算出し、指定範囲内でマイナス値が多い場合である。
【００５７】
【表１２】
2013175083.tif 000014
【００５８】
（３）製品検査情報テーブルに検査実測値として管理されている特性値の測定値であって、オペレータが入力して指定した範囲内のロット分がプラス傾向である場合、異常発生の傾向となったと判断する。
【００５９】
ここで、プラス傾向とは、以下の表１３に示すように、指定範囲内の初期ロットの測定値を基準値とし、この基準値と、指定範囲内の初期ロット以後のロットの測定値のとの差を算出し、指定範囲内でプラス値が多い場合である。
【００６０】
【表１３】
2013175083.tif 000015
【００６１】
また、製品検査値項目マスタテーブルで管理されている検査値種類が欠陥情報である場合には、欠陥数や同一欠陥の増加についても、特性値の場合と同様に傾向監視を行って、異常、或いは、異常発生の傾向の判定を行う。
【００６２】
９．装置稼動情報監視処理部
装置稼動情報監視処理部は、装置稼動情報値項目マスタテーブルで管理されている管理項目情報に基づいて、或いは、この管理項目情報と、交換実績情報テーブルで管理されて
いる交換実績情報とに基づいて、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報の監視を行い、異常が発生したか、或いは異常発生の傾向となったかを判定し、部材交換情報ＤＢの交換部材マスタテーブルに基づいて、異常が発生した或いは異常発生の傾向となった生産設備の交換部材を把握し、この生産設備の交換部材が交換対象になったと判断して、この交換部材の情報を、部材交換情報ＤＢの交換装置情報テーブルに登録すると同時に、異常が発生した場合、装置停止可否判断処理部及び装置停止指令処理部に搬送制御処理を実行させ、異常発生の傾向となった場合、交換予定日判定処理部及び生産進捗管理判定処理部に交換計画処理を実行させる装置稼動情報監視処理を行う。
【００６３】
装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が稼動パラメーターである場合、異常が発生したか、或いは異常発生の傾向となったかを判定する条件の例には、以下の（１）〜（３）がある。
【００６４】
（１）装置稼動実績情報テーブルに稼動情報実測値として管理されている稼動パラメーターの実測値が、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている管理値（ｍａｘ）よりも大きい、或いは、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている管理値（ｍｉｎ）よりも小さい場合、異常が発生したと判断する。
【００６５】
（２）装置稼動実績情報テーブルに稼動情報実測値として管理されている稼動パラメーターの実測値であって、オペレータが入力して指定した時間の範囲内で取得したものが、マイナス傾向である場合、異常発生の傾向となったと判断する。
【００６６】
ここで、マイナス傾向とは、以下の表１４に示すように、指定時間範囲内で稼動パラメーターの実測値を最初に取得した時間を基準時間とし、この基準時間で取得した稼動パラメーターの実測値を基準値として、この基準値と、指定時間範囲内の基準時間以後に取得した稼動パラメーターの実測値のとの差を算出し、指定時間範囲内でマイナス値が多い場合である。
【００６７】
【表１４】
2013175083.tif 000016
【００６８】
（３）装置稼動実績情報テーブルに稼動情報実測値として管理されている稼動パラメーターの実測値であって、オペレータが入力して指定した時間の範囲内で取得したものが、プラス傾向である場合、異常発生の傾向となったと判断する。
【００６９】
ここで、プラス傾向とは、以下の表１５に示すように、指定時間範囲内で稼動パラメーターの実測値を最初に取得した時間を基準時間とし、この基準時間で取得した稼動パラメーターの実測値を基準値として、この基準値と、指定時間範囲内の基準時間以後に取得した稼動パラメーターの実測値のとの差を算出し、指定時間範囲内でプラス値が多い場合である。
【００７０】
【表１５】
2013175083.tif 000017
【００７１】
装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が時間単位である場合、異常が発生したか、或いは異常発生の傾向となったかを判定する条件の例には、以下の（１）〜（２）がある。
【００７２】
（１）装置稼動実績情報テーブルで管理されている最新の稼動情報実測値が、装置稼動情報項目マスタテーブルに管理値（ｍａｘ）として管理されている管理値を越えた場合、異常が発生したと判断する。
【００７３】
（２）部材交換情報ＤＢの交換実績情報テーブルから、オペレータが入力して指定した交換実施日時等の範囲内で、稼動情報実績値として管理されている交換実績時間を取得し、以下の表１６に示すように、装置稼動情報項目マスタテーブルに管理値（ｍａｘ）として管理されている管理値を基準とし、この管理値と、取得した交換実績時間との差を求め、差がマイナスで絶対値が一番大きい交換実績時間を閾値とする。そして、装置稼動実績情報テーブルに管理されている最新の稼動情報実測値が閾値を越えた場合、装置稼動実績情報テーブルに管理されている最新の稼動情報実測値が、装置稼動情報項目マスタテーブルに管理値（ｍａｘ）として管理されている管理値に近似しているとして、異常発生の傾向になったと判断する。
【００７４】
【表１６】
2013175083.tif 000018
【００７５】
１０．交換予定日判定処理部及び生産進捗管理判定処理部
交換予定日判定処理部及び生産進捗管理判定処理部は、交換対象となった生産設備の交換部材について、生産計画情報マスタテーブルで管理されている生産計画情報と、生産実績情報テーブルで管理されている生産実績情報とに基づいて、交換するスケジュールを計画して交換計画情報テーブルに登録すると同時に、装置停止可否判断処理部及び装置停止指令処理部に搬送制御処理を実行させる交換計画処理を行う。
【００７６】
以下に、交換計画処理の流れを、図３に示すフローチャートに従って説明する。
【００７７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；１
生産計画情報マスタテーブルから日割りの生産計画情報を、生産実績情報テーブルから現段階での生産実績情報を参照する。
【００７８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；２
生産実績情報と生産計画情報とを照合して、生産計画の進捗具合を判定し、
生産計画通りであれば、ＳＴＥＰ３に進み、
生産計画通りでなければ、ＳＴＥＰ４に進む。
【００７９】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；３
生産計画情報から、以下の表１７に示すように、生産計画の空き日を交換予定日と、空き日前に生産するロットを、交換実施予定前生産ロットと計画し、交換予定日及び交換実施予定前生産ロットを、交換計画情報テーブルに登録して、ＳＴＥＰ７に進む。
【００８０】
【表１７】
2013175083.tif 000019
【００８１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；４
交換対象となった生産設備を有する工程の在庫数により、進捗具合を判定し、
仕掛ロットが実施中ならば、ＳＴＥＰ５に進み、
仕掛ロットが未実施ならば、ＳＴＥＰ６に進む。
【００８２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；５
以下の表１８に示すように、仕掛りロットの生産が完了した後の生産計画の空き日を交換予定日と計画し、交換予定日を、交換計画情報テーブルに登録して、ＳＴＥＰ７に進む。
【００８３】
【表１８】
2013175083.tif 000020
【００８４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；６
以下の表１９に示すように、生産計画の空き日があっても、この空き日を生産予定日とはせず、進捗が生産計画通りになるのを待ち、進捗が生産計画通りになった場合に、ＳＴＥＰ３に戻る。
【００８５】
【表１９】
2013175083.tif 000021
【００８６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）；７
装置停止可否判断処理部及び装置停止指令処理部に搬送制御処理を実行させる。
【００８７】
１１．交換情報報告処理部
交換情報報告処理部は、交換予定日が交換計画情報テーブルされた後、交換対象となった生産設備の交換部材の交換計画情報を、交換計画情報から読み出して、オペレータに報告する交換情報報告処理を行う。
【００８８】
１２．装置停止可否判断処理部及び装置停止指令処理部
装置停止可否判断処理部及び装置停止指令処理部は、装置情報マスターテーブルで管理されている装置情報に基づいて、交換対象となった生産設備が属する工程で、交換対象となった生産設備と一緒に、製品搬送の動作停止指令発行の対象となる生産設備を判断し、製品在荷情報に基づいて、この動作停止指令を出すタイミングを判断し、このタイミングに、この停止指令を、対象となる生産設備に発行すると同時に、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を交換実績情報テーブルに登録する搬送制御処理を行う。
【００８９】
以下、この搬送制御処理の流れを、図５のフローチャートに従って説明する。
【００９０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
まず、交換対象となった生産設備が属する工程について、装置情報マスターテーブルで管理されている装置情報を工程内搬送順番で昇順にソーティングし、連続して停止可否フラグが１（製品停止可）となっている生産設備の中で一番遅いものと、一番遅いものに交換対象となった生産設備が含まれない場合には、交換対象となった生産設備も、製品搬送の動作停止指令発行の対象となる製品搬送停止装置とする。
【００９１】
例えば、交換対象となった生産設備が属する工程が、図４に示すものである場合、装置情報を工程内搬送順番で昇順にソーティングすると、以下の表２０に示すようになる。
【００９２】
【表２０】
2013175083.tif 000022
【００９３】
表２０に示す例では、連続して停止可否フラグが１（製品停止可）となっている生産設備の中で一番遅いものは、装置２と装置７である。装置２或いは装置７が、交換対象となった生産設備である場合は、そのまま装置２と装置７を製品搬送停止装置とし、装置２或いは装置７の何れも、交換対象となった生産設備でない場合は、装置２と装置７に加えて、交換対象となった生産設備も、製品搬送停止装置とする。
【００９４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
交換対象となった生産設備が属する工程について、この工程に属する各生産設備の製品在荷情報を参照して、製品搬送停止装置以外の生産設備に在荷があるか否かを確かめ、
製品搬送停止装置以外の生産設備に在荷がある場合は、ＳＴＥＰ３に進み、
製品搬送停止装置以外の生産設備に在荷がない場合は、ＳＴＥＰ４に進む。
【００９５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
製品搬送停止装置の停止は行わず、在荷中の処理を行わせ、この処理が完了した後に、ＳＴＥＰ４に進む。
【００９６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
製品搬送停止装置に、製品搬送の動作停止指令を発行する。
【００９７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報を交換実績情報テーブルに登録する。
【００９８】
例えば、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が、時間単位の場合、動作停止指令発行時に装置稼動実績情報テーブルに稼動情報実測として登録された、前回の交換から経過した時間を、前回の交換から今回の交換まで経過した交換実績時間として、交換実績情報テーブルの稼動情報実績値に登録する。
【００９９】
また例えば、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が、稼動パラメーターの場合、装置稼動実績情報テーブルに稼動情報実測値として登録された、稼動パラメーターの実測値から、前回の交換から今回の交換までの間の最大値及び最小値を求めて、交換実績情報テーブルの稼動情報実績値に登録する。
【０１００】
尚、製品搬送の動作停止指令を受け取った製品搬送停止装置は、動作を停止し、システムサーバに、稼動状態がメンテナンス状態になったことを報告し、システムサーバは、この報告を受けて、稼動状態情報における製品搬送停止装置の稼動状態をメンテナンス状態に変更する。
【０１０１】
１３．交換時期最適化処理部
交換時期最適化処理部は、製品搬送停止装置に、製品搬送の動作停止指令が発行され、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報が交換実績情報テーブルに登録され、さらに、稼動状態情報における製品搬送停止装置の稼動状態が稼動に変更された後に、交換時期最適化処理を行う。この交換時期最適化処理は、この稼動に変更された後に、各工程の各検査設備から受信して製品検査情報テーブルで管理されているｎ（ｎはユーザが任意に指定した数）ロット分の検査実測値全てが、製品検査値項目マスタテーブルで管理されているされている管理値以内である場合に、装置稼動情報項目マスタテーブルの管理値を、動作停止指令発行時に交換実績情報テーブルに登録された交換情報の稼動情報実績値に基づいて変更するものである。
【０１０２】
以下に、製品搬送停止装置に、製品搬送の動作停止指令が発行され、装置稼動実績情報テーブルで管理されている装置稼動実績情報に基づいて交換実績情報が交換実績情報テーブルに登録され、さらに、稼動状態情報における製品搬送停止装置の稼動状態が稼動に変更された後に行なわれる、交換時期最適化処理の流れを、図６のフローチャートに従って説明する。
【０１０３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
変数ｉを１に初期化する。
【０１０４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
製品検査情報テーブルから、稼動状態情報における製品搬送停止装置の稼動状態が稼動に変更された後のｉ番目のロットの検査実測値を読み出し、製品検査値項目マスタテーブルから管理値（ｍｉｎ）及び管理値（ｍａｘ）を読み出し、この検査実測値が、管理値（ｍａｘ）よりも大きいか、或いは、管理値（ｍｉｎ）よりも小さいという管理値外れの有無を確かめ、
管理値外れが有る場合、ＳＴＥＰ３に進み、
管理値外れが無い場合、ＳＴＥＰ４に進む。
【０１０５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
装置稼動情報項目マスタテーブルの管理値を変更せず、ＥＮＤに進む。
【０１０６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
ｉ≦ｎであるかを確かめ、
ｉ≦ｎである場合、ＳＴＥＰ５に進み、
ｉ＞ｎである場合、ＳＴＥＰ６に進む。
【０１０７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
変数ｉに１を加えて、ＳＴＥＰ２に戻る。
【０１０８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
装置稼動情報項目マスタテーブルの管理値を、動作停止指令発行とともに交換実績情報テーブルに登録された交換情報の稼動情報実績値に基づいて変更する。
【０１０９】
例えば、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が、時間単位の場合、装置稼動情報項目マスタテーブルのに管理値（ｍａｘ）として登録されている管理値を、動作停止指令発行時に交換実績情報テーブルに稼動情報実績値として登録された交換実績時間に変更する。
【０１１０】
また例えば、装置稼動情報項目マスタテーブルで管理されている稼動情報種類が、稼動パラメーターの場合、装置稼動情報項目マスタテーブルに管理値（ｍａｘ）として登録されている管理値の上限閾値を、動作停止指令発行時に交換実績情報テーブルに稼動情報実績値として登録された、前回の交換から今回の交換までの間の稼動パラメーターの実測値の最大値に変更し、かつ、装置稼動情報項目マスタテーブルに管理値（ｍｉｎ）として登録されている管理値の下限閾値を、動作停止指令発行時に交換実績情報テーブルに稼動情報実績値として登録された、前回の交換から今回の交換までの間の稼動パラメーターの実測値の最小値に変更する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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