(57)【要約】【課題】  オペレータが必要とするトラブル解消情報またはマニュアル情報等に迅速にアクセス可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続された加工条件を入力する入力手段と、加工条件を確認するモニタと、を備えた加工装置であって、該制御手段は、トラブルの解消方法を説明するトラブル解消情報が少なくとも登録されたサーバに接続されたインターフェースを備え、加工装置にトラブルが発生した際、該制御手段に接続された該入力手段からトラブル情報を入力し、該インターフェースを通じて該サーバから得た該トラブル解消情報を該モニタ上に表示することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続された加工条件を入力する入力手段と、加工条件を確認するモニタと、を備えた加工装置であって、
該制御手段は、トラブルの解消方法を説明するトラブル解消情報が少なくとも登録されたサーバに接続されたインターフェースを備え、
加工装置にトラブルが発生した際、該制御手段に接続された該入力手段からトラブル情報を入力し、該インターフェースを通じて該サーバから得た該トラブル解消情報を該モニタ上に表示することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続された加工条件を入力する入力手段と、加工条件を確認するモニタと、を備えた加工装置であって、
該制御手段は、加工装置の操作方法を説明するマニュアル情報が少なくとも登録されたサーバに接続されたインターフェースを備え、
加工装置を使用する際、該制御手段に接続された該入力手段から説明を受けたい操作方法を入力し、該インターフェースを通じて該サーバから得た該マニュアル情報を該モニタ上に表示することを特徴とする加工装置。
【請求項３】
前記制御手段は通信手段を更に備え、前記サーバは加工装置のメーカー側に設置されており、
該制御手段は、該通信手段及びインターネットを介して該サーバと接続されている請求項１又は２記載の加工装置。
【請求項４】
前記サーバの前記トラブル解消情報及び前記マニュアル情報は随時更新される請求項１〜３の何れか１つに記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を加工する切削装置、研削装置等の加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスでは、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成される。
【０００３】
半導体ウエーハは、研削装置の研削ホイールによって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、研磨装置の研磨パッドによって研削面が研磨されて研磨歪が除去された後、切削装置のスピンドルに装着された切削ブレードによってストリートに沿って切削されて個々のデバイスに分割される。
【０００４】
切削ブレード、研削ホイール、または研磨パッドは加工に伴って消耗するため、頻繁に交換が必要となる（例えば、特開２００２−３５９２１１号公報及び特開２００９−０００７９８号公報参照）が、その作業内容は複数の作業ステップがあるため、作業ステップを説明するマニュアルが加工装置メーカーによって提供されている。
【０００５】
また、切削装置においては、ブレード破損検出器の受光光量不足に対応する清掃や発光素子及び受光素子の位置調整（例えば、実用新案登録第２６０３６６号公報参照）等、研削装置においては、例えば各種テーブルサイズの誤入力（例えば、特開２０１１−０３１３５２号公報参照）等、加工装置を使用する上で種々のトラブルが発生するため、これらのトラブルに対処するトラブル解消情報も、マニュアルを参照しながら対処することが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３５９２１１号公報
【特許文献２】特開２００９−０００７９８号公報
【特許文献３】実用新案登録第２６０３６６号公報
【特許文献４】特開２０１１−０３１３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
年々その機能を高度化させている切削装置、研削装置等の加工装置は、マニュアル資料の情報量も膨大になっているため、マニュアルの冊数及び重量も増加傾向にある。その結果、オペレータが必要な情報に辿り着くまでに何冊ものマニュアル資料の中から該当する本を探し出し、その中から更に該当の情報を探し出すため、多くの工数を必要としてしまう。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、オペレータが必要とするトラブル解消情報またはマニュアル情報等に迅速にアクセス可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続された加工条件を入力する入力手段と、加工条件を確認するモニタと、を備えた加工装置であって、該制御手段は、トラブルの解消方法を説明するトラブル解消情報が少なくとも登録されたサーバに接続されたインターフェースを備え、加工装置にトラブルが発生した際、該制御手段に接続された該入力手段からトラブル情報を入力し、該インターフェースを通じて該サーバから得た該トラブル解消情報を該モニタ上に表示することを特徴とする加工装置が提供される。
【００１０】
請求項２記載の発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続された加工条件を入力する入力手段と、加工条件を確認するモニタと、を備えた加工装置であって、該制御手段は、加工装置の操作方法を説明するマニュアル情報が少なくとも登録されたサーバに接続されたインターフェースを備え、加工装置を使用する際、該制御手段に接続された該入力手段から説明を受けたい操作方法を入力し、該インターフェースを通じて該サーバから得た該マニュアル情報を該モニタ上に表示することを特徴とする加工装置が提供される。
【００１１】
好ましくは、制御手段は通信手段を更に備え、該サーバは加工装置のメーカー側に配設されており、制御手段はインターフェース及び通信手段を介してサーバに接続されている。好ましくは、サーバのトラブル解消情報及びマニュアル情報は随時更新される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の加工装置によると、加工装置から直接メーカー側に設置されているサーバ又は自社の工場内に設置されているサーバのトラブル解消情報やマニュアル情報を検索し、得た情報を加工装置のモニタに表示できるため、オペレータの工数を大幅に削減することができるという効果を奏する。
【００１３】
また、マニュアルの内容は装置のソフト変更等に伴い変更されることが多くあるが、常に最新の情報を提供することは紙のマニュアルでは非常に難しかったが、サーバの情報を更新することは容易であるため、加工装置から直接サーバの情報を入手する本発明の加工装置では、常に最新の情報を提供し易いという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】加工装置の外観斜視図である。
【図２】本発明第１実施形態の制御手段とサーバに格納されている情報との接続関係を示すブロック図である。
【図３】加工装置のトラブル発生時のモニタの表示例を示す説明図である。
【図４】第１実施形態の変形例の制御手段とサーバとの接続関係を示すブロック図である。
【図５】第２実施形態の制御手段とサーバに格納されている情報との接続関係を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、ハウジング内に収容された加工装置２の外観斜視図が示されている。加工装置２は例えば切削装置から構成され、図示しない骨組み内にチャックテーブル及び切削ユニット等の機構部が配設されている。
【００１６】
符号４，６，８は加工装置２の骨組みに取り外し可能に装着される外装カバーであり、これらの外装カバー４，６，８及び骨組みに固定された複数のパネル１０によりハウジング１２が構成される。
【００１７】
オペレータが加工装置２を操作する操作側にはオペレーション表示モニタ１４が配設されている。このオペレーション表示モニタ１４はタッチパネル式であり、オペレータはモニタ１４に表示された情報にタッチすることにより、加工装置２にコマンドを入力することができるとともに、加工装置２の稼動状況がこのモニタ１４上に表示される。
【００１８】
１６は加工装置２の稼働状況を示す表示ランプであり、加工装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１８は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタン１８を押すと加工装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００１９】
加工装置２の操作側には、観音開きに開閉可能な扉２０とスライドして開閉可能な扉２２が設けられている。例えば、加工装置２のチャックテーブルにウエーハを装着したり、又はスピンドルに装着された切削ブレードを交換したい等の場合には、これらの扉２０，２２を開閉して作業を実施する。
【００２０】
オペレーション表示モニタ１４は制御手段２４に接続されている。図２のブロック図に示されるように、制御手段２４はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）２６と、制御プログラム等を格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）２８と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）３０と、入出力インターフェース３２と、通信手段３４とを備えている。
【００２１】
入出力インターフェース３２には、切削ユニットのスピンドルを回転させるモータや、チャックテーブルを移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、更に各種センサ類及び操作ボタンからの信号は入出力インターフェース３２を介して制御手段２４に入力される。
【００２２】
通信手段３４は、インターネットＮを介して加工装置２のメーカー側に設置されたサーバ３６に接続されている。サーバ３６には各種のトラブル解消情報が格納されている。これらのトラブル解消情報は、メーカー側の作業員によって随時新たな情報に更新される。
【００２３】
以下、本実施形態の作用について説明する。加工装置２に何らかのトラブルが発生すると、加工装置２のオペレータはオペレーション表示モニタ１４の画面を切り替えて、図３（Ａ）に示すように、モニタ上にトラブル解消情報確認部４０を表示させる。
【００２４】
オペレータがトラブル解消情報確認部４０を押すと、加工装置２の制御手段２４はインターネットＮを介してメーカー側のサーバ３６にアクセスし、オペレーション表示モニタ１４上に図３（Ｂ）に示すようなトラブル解消情報３８を表示する。
【００２５】
モニタ画面上で「次へ」をタッチすると、画面が切り替わり他のトラブル解消情報を表示する。よって、オペレータは次々と画面を切り替えて、トラブル解消情報を探索し、最適なトラブル解消情報を迅速に容易に探し出すことができる。
【００２６】
サーバ３６は加工装置２のメーカー側に設置されているため、トラブル解消情報の更新または新たなトラブル解消情報を追加したい場合には、メーカー側の作業員が随時トラブル解消情報３８を更新することができる。よって、加工装置２のオペレータは、いつでも最新のトラブル解消情報３８を容易に入手することができる。
【００２７】
図４を参照すると、図２に示した第１実施形態の変形例のブロック図が示されている。本実施形態では、サーバ３６Ａは加工装置２のユーザー側の工場内に設置されており、この工場内に設置された全ての加工装置はこのサーバ３６Ａに接続されている。
【００２８】
よって、本実施形態では、メーカーからの情報を基に加工装置２のユーザー側の作業員が、サーバ３６Ａ内に格納されているトラブル解消情報３８の更新を担当する。勿論、ユーザー側の作業員が新たなトラブル解消情報を見出した場合には、サーバ３６Ａ内に格納されているトラブル解消情報３８の更新を行うことができる。
【００２９】
次に、図５を参照して、本発明第２実施形態の作用について説明する。本実施形態では、図２に示した第１実施形態と同様に、加工装置２を制御手段２４は通信手段３４及びインターネットＮを介してメーカー側に設置されたサーバ３６に接続されている。サーバ３６には、加工装置２の操作方法を説明するマニュアル情報４２が格納されている。
【００３０】
加工装置２のオペレータは、加工装置２を使用する際、制御手段２４に接続されたオペレーション表示モニタ１４から説明を受けたい操作項目を入力する。この入力情報は通信手段３４及びインターネットＮを介してメーカー側に設置されたサーバ３６に送信される。
【００３１】
サーバ３６では格納されているマニュアル情報４２から入力情報に応じたマニュアル情報を検索し、検索したマニュアル情報をインターネットＮを介してユーザー側の加工装置２に送信し、このマニュアル情報はオペレーション表示モニタ１４上に表示される。オペレータはこの表示されたマニュアル情報を読むことにより、必要とする加工装置の操作方法を取得することができる。
【００３２】
メーカー側のサーバ３６に格納されているマニュアル情報４２は、メーカー側の作業員により随時更新される。よって、ユーザー側の加工装置２のオペレータは、常に最新のマニュアル情報を得ることができる。
【００３３】
応用例として、ユーザー側の加工装置２の独自の仕様に合わせたマニュアル情報４２をサーバ３６内に格納しておき、このマニュアル情報をユーザー側からの要請に応じて提供することもできる。
【００３４】
本実施形態においても、図４に示した第１実施形態の変形例と同様に、マニュアル情報４２を格納したサーバ３６をユーザー側の工場内に設置し、メーカー側から提供されるマニュアル情報４２の更新情報に応じて、ユーザー側の作業者がマニュアル情報４２を更新するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
２    加工装置（切削装置）
１４    オペレーション表示モニタ
２４    制御手段
３２    入出力インターフェース
３４    通信手段
３６，３６Ａ    サーバ
３８    トラブル解消情報
４２    マニュアル情報
Ｎ    インターネット
【図１】
2013045867.tif 000003
【図２】
2013045867.tif 000004
【図３】
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【図４】
2013045867.tif 000006
【図５】
2013045867.tif 000007