(57)【要約】【課題】  本発明は、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供することである。【解決手段】  本発明は、マガジンの各段にウェハを載置し、前記段の前記ウェハの有無を検知し、前記ウェハ有無の検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップし、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填し、当該ウェハに対し上記処理を実施後、当該ウェハを前記マガジンに戻し、前記マガジンから取り出せない取り残しウェハを検出し、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する。【選択図】  図９
2013071741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェハをそれぞれ載置する段を有するマガジンと、
前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知手段と、
前記ウェハ有無検知手段の検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリング手段と、
載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップする取出ノズルと、
前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ノズルと、
前記挿取ハンドリング手段が取り残したウェハ取り残しを検出するウェハ取り残し検出手段と、
前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知手段と、
を有することを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
前記報知手段は、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを特徴とする請求項１に記載のテーピング装置。
【請求項３】
前記ウェハ有無検知手段は、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下・前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを特徴とする請求項２に記載のテーピング装置。
【請求項４】
前記取り残しウェハ検出手段は、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリング手段が前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記処理済みのデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項１に記載のテーピング装置。
【請求項５】
前記取り残しウェハ検出手段は、複数の前記ウェハの処理すべき前記ダイの個数と、処理された前記ダイの個数と、を比較して前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項１に記載のテーピング装置。
【請求項６】
マガジンの各段にウェハを載置する載置ステップと、
前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知ステップと、
前記ウェハ有無検知ステップの検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリングステップと、
載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップし、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ステップと、
前記挿取ハンドリングステップで取り残した取り残しウェハを検出する取り残しウェハ検出ステップと、
前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知ステップと、
を有することを特徴とするテーピング方法。
【請求項７】
前記報知ステップは、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを特徴とする請求項６に記載のテーピング方法。
【請求項８】
前記ウェハ有無検知ステップは、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下・前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを特徴とする請求項７に記載のテーピング方法。
【請求項９】
前記リカバリ処理は、前記取り残しウェハのみを前記マガジンにセットして行なうことを特徴とする請求項７に記載のテーピング方法。
【請求項１０】
前記取り残しウェハ検出ステップは、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリングステップで前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記処理済みのデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを特徴とする請求項６に記載のテーピング方法。
【請求項１１】
前記載置ステップは、同一ロットの前記ウェハを載置することを特徴とする請求項６に記載のテーピング方法。
【請求項１２】
前記載置ステップは前記マガジンに異なるロッドのウェハをそれぞれ分けて載置し、前記ロット単位で、前記載置ステップを除いて各ステップを行うことを特徴とする請求項６に記載のテーピング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーピング装置及びテーピング方法に係わり、特に、複数のウェハを収納したマガジン内のウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
テーピング装置では、ＳＵＳ材等のウェハリング内周にダイシングシートに粘着されたダイシング済みのウェハをエキスパンドリングにセットして、ウェハ内のダイ（半導体チップ）をテーピングする。ウェハ交換作業が効率的に連続して行えるために、ロット毎に生産された複数枚のウェハがセットされたマガジンを上下にステップ移動させて、ウェハを検知して自動的に取り出す。そして、ウェハリングにセットされているウェハをマガジンから自動取出しする際に、図１１に示すようにウェハリング１の汚れや湾曲、或いはウェハのセット不良等によりウェハを検知できないことがある。その結果、ウェハ取り残しが発生し、全てのダイを供給できず、余計な端数の供給テープができてしまい余分な作業が発生してしまう虞がある。このようなテーピング装置として特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２６２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来では、マガジンの交換時に作業者が気づく場合がある。その場合は、その後、再度、取り残したウェハをセットして再生産することができる。しかしながら、気づくのが遅かった場合、既に当該マガジンの作業を終えてしまっており、又は気づかなかった場合、全てのダイを供給できず、余計な端数の供給テープができてしまい、効率よく作業ができない。
【０００５】
従って、本発明の目的は、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために、少なくとも以下の特徴を有する。
本発明は、複数のウェハをそれぞれ載置する段を有するマガジンと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知手段と、前記ウェハ有無検知手段の検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリング手段と、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップする取出ノズルと、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ノズルと、前記挿取ハンドリング手段が取り残したウェハ取り残しを検出するウェハ取り残し検出手段と、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知手段と、を有することを第１の特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、マガジンの各段にウェハを載置する載置ステップと、前記段の前記ウェハの有無を検知するウェハ有無検知ステップと、前記ウェハ有無検知ステップの検知結果に基づいて前記マガジンから前記ウェハを取り出し所定位置に載置し、当該ウェハ処理後に当該ウェハを前記マガジンに戻すウェハ挿取ハンドリングステップと、載置された前記ウェハの有する複数のダイを順次ピックアップし、前記ピックアップした前記ダイをキャリアテープの凹部形状を有する各収納部に前記ダイを順次装填する装填ステップと、前記挿取ハンドリングステップで取り残した取り残しウェハを検出する取り残しウェハ検出ステップと、前記取り残しウェハの有無を作業員に報知する報知ステップと、を有することを第２の特徴とする。
さらに、本発明は、前記報知は、作業員に前記取り残しウェハのリカバリ処理を、前記取り残しウェハを検出前の一連の処理に連続して行うように促すことを第３の特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、前記ウェハ有無検知は、前記一連の処理に比べ、前記リカバリ処理において、ウェハ検知作業に時間をかける又は検知範囲を上下・前後に広くして前記ウェハの有無を検知することを第４の特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記リカバリ処理は、前記取り残しウェハのみを前記マガジンにセットして行なうことを第５の特徴とする。
さらに、本発明は、前記取り残しウェハ検出は、前記段のうち前記ウェハ挿取ハンドリングで前記ウェハを取り出せた段を処理済として記憶し、前記ウェハがあるべき段に前記記憶したデータがないことにより前記取り残しウェハを検出することを第６の特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態におけるテーピング装置１００の概略上面図である。
【図２】本実施形態におけるマガジンの概要を示す図である。
【図３】本実施形態におけるウェハリングの概要を示す図である。
【図４】本実施形態におけるマガジン部とウェハ挿取部の概略構成を示す図である。
【図５】マップデータを記憶しているメディア例又はネットワーク上のフォルダ例を示す図である。
【図６】マガジンロット管理データ例を示した図である。
【図７】実施形態であるテーピング装置におけるテーピング処理フローを示す図である。
【図８】処理すべきウェハの検索処理フローを示すサブルーティン１を示す図である。
【図９】マガジン内のウェハ取残しエラー処理フローを示す図である。
【図１０】ウェハ取残し時の警告メッセージ例を示す図である。
【図１１】本発明の課題を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は、本実施形態におけるテーピング装置１００の概略上面図である。テーピング装置１００は、取出ノズル５１によりウェハＷからダイＤをピックアップし、キャリアテープ７Ａの凹部形状を有する各収納部にダイを順次装填し、カバーテープ７Ｂで当該収納部の開口部を閉塞し、供給テープを作成する装置である。
【００１３】
テーピング装置１００は、ダイＤを粘着している複数のウェハＷを有するマガジン部２と、マガジン部２からウェハＷを取り出し元に戻すウェハ挿取部３と、取り出されたウェハＷを載置し、ダイＤのピックアップ位置にウェハＷを移動させるピックアップ部４と、円周状に配置された複数（図面では８本）の第１の取出ノズル５１を有する第１の回転盤部５と、円周状に配置され、第１の回転盤部５の取出ノズル５１からダイを受け取る複数（図面では８本）の第２の装填ノズル６１でキャリアテープ７Ａの各収納部内にダイを収納する第２の回転盤部６と、前記収納部開口部を閉塞し、供給テープを作成する供給テープ部７と、各部を制御する制御装置８と、を有する。
【００１４】
マガジン部２は、図２及び図４に示すように、複数のウェハリング１を多段（図２は７段）配置したマガジン２１と、マガジンをウェハリング１の間隔単位にステップ状に昇降するマガジン昇降駆動部２２とを有する。ウェハリング１は、図３に示すように、ダイＤを粘着するダイシングテープ１１にテンションを与えウェハＷを保持する。ウェハのロット番号とウェハ番号が記載されたバーコード１２が、ウェハリング１あるいはウェハＷのシート部に設けられている。マガジン２１内のウェハ群は１マガジン１ロットとして管理処理される場合が多い。
【００１５】
ウェハ挿取部３は、図４に示すように、マガジン２１からウェハリング１を取り出し、元の位置に戻すウェハ挿取ハンドリングユニット３１と、ウェハ挿取ハンドリングユニットのハンドの先端に設けられ、ウェハＷ（ウェハリング８）の有無を検知するウェハ有無検知センサ３２と、ウェハリング１あるいはウェハＷ上のバーコード１２を読み取るバーコート読取ユニット３３とを有する。ウェハ挿取ハンドリングユニット３１は、そのハンドをマガジン２１に近づけ、ウェハ有無検知センサ３２によって、ウェハＷを検出する。そして、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１は、そのハンドでウェハリング１を把持し、ピックアップ部４のエキスパンドリング４１に載置する。また、ウェハＷ上のダイのうちピックアップすべきダイＤ、例えば良品のダイＤがなくなった後に、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１は、そのウェハリング１をマガジン２１の元の段の位置に挿入し戻す。
【００１６】
ピックアップ部４は、図１に示すように、ウェハリング１を保持するエキスパンドリング４１と、ピックアップするために所定のダイＤを突き上げる突き上げユニット４２と、エキスパンドリング４１をＸ、Ｙ方向に移動させ、突き上げユニット４２の位置にピックアップするダイＤを移動させる図示しないＸＹ駆動部とを有する。ピックアップ部４は、突き上げユニット４２がダイＤを突き上げたときに、エキスパンドリング４１を下降させる。その結果、ウェハリング１に保持されている図３に示すダイシングテープ１１は引き伸ばされ、ダイＤの間隔が広がり、ダイＤのピックアップ性が向上させる。
【００１７】
第１の回転盤部５は、反時計回りに間欠回転する。間欠回転で停止する位置をステーションと呼ぶ。第１の回転盤部５は、８本の取出ノズル５１でウェハＷから順次しダイＤピックアップするピックアップステーションと、ダイＤの電極面を下面とするために図示しない反転機構でダイＤの姿勢を反転させる反転ステーションと、反転されたダイＤの位置を認識するする認識ステーションと、印字する印字ステーションと、第２の回転盤部の装填ノズル６１にダイＤを受け渡す受渡ステーション等とを有する。なお、白丸はダイＤを吸着していない取出ノズル５１を、丸に斜線はダイＤを吸着している取出ノズル５１を示す。この点は、次の第２の回転盤部６の装填ノズル６１も同様である。
【００１８】
第２の回転盤部６は、第１の回転盤部５の間欠回転に同期して、時計回りに間欠回転する。第２の回転盤部６は、第１の回転盤部５の取出ノズル５１からダイＤを受け取る受取ステーションと、例えばダイＤに流れる電流値が所定範囲であるかを検査する特性検査ステーションと、ダイＤの側面、底面を撮像して装填ノズル６１のダイＤの位置姿勢を認識する認識ステーションと、その認識結果に基づいてキャリアテープ７Ａの各収納部内にダイを装填する装填ステーション等とを有する。
【００１９】
供給テープ部７は、ダイＤが未収納なキャリアテープ７Ａを巻回したキャリアテープリール７１と、ダイＤの装填位置である装填ステーションにキャリアテープ７Ａを搬送する搬送部７２と、ダイＤが装填されたキャリアテープ７Ａを被覆するカバーテープ７Ｂを供給するカバーテープ供給リール７３と、キャリアテープ７Ａとカバーテープ７Ｂとを熱溶着する図示しないテープ圧着機構と、キャリアテープ７Ａとカバーテープ７Ｂとの熱溶着後の供給テープを巻回する図示しない供給テープリールとを有する。
【００２０】
制御装置８は、メモリ８１を有し、テーピング装置１００の各部を制御する。また、制御装置８は、図３に示すウェハリング１のバーコード１２からウェハのロット番号とウェハ番号を取り込む。そして、ウェハ番号に対応するウェハＷのマップデータをメモリ８１に取り込む。マップデータとは、ウェハ毎に良品のダイ又はグレード毎にダイＤの位置を示したマップである。図５（ａ）に示すように、マップデータはロット単位にネットワーク上のフォルダで、あるいはＦＤ（Floppy Disk：登録商標）、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等のメディアで管理され、記憶されているのが一般的である。図５（ｂ）は、ウェハＷ（マップデータ）を管理するネットワーク上の共有フォルダの構成例を示す。￥ＬＯＴ００１はロット番号を、ＷＡＦ００１．ＤＡＴ、ＷＡＦ０１０．ＤＡＴ等は、ウェハ番号を示す。
【００２１】
図６は、制御装置８がテーピング処理をするあたり、マガジンロット管理データの例を示した図である。マガジンロット管理データは、マガジン２１の各段の収納位置に対してウェハ番号データ及びマップデータ有無データ、並びに生産運転中に更新される生産済・未済データで構成されている。図６では、９段の収納位置を有するマガジン２１の上段から４段目乃至８段目にウェハリング１に保持されたウェハＷが収納されており、各ウェハＷはマップデータを有している。図６に示す生産済・未済データは、マガジン収納位置６段目のウェハＷが未だ処理されていないことを示す。
【００２２】
図７は、以上説明した実施形態であるテーピング装置のデータ構成におけるテーピング処理フローを示す図である。以下の説明では、図６のマガジンロット管理データに基づいて説明する。
まず、マガジン２１に同一ロットとして管理されるウェハをセットする。また、マップデータが記憶されているＦＤ、ＵＳＢメモリ等のいずれかのメディアを制御装置８にセットする、又はネットワークを制御装置８に接続する（ステップ１）。以下の説明では、メディアを制御装置にセットしたとする。
【００２３】
次に、最初に処理すべきウェハの検索を行なう（ステップ２）。図８は、処理すべきウェハの検索処理フローを示すサブルーティン１を示す。サブルーティン１では、まず、１枚目で有るか判断する（ステップＳ１１）。１枚目であれば、マガジン２１の最上段（最下段）をウェハ引出位置に移動する（ステップＳ１２）。１枚目でなければ、マガジンの次の段をウェハ引出位置に移動する（ステップＳ１３）。マガジン２１からのウェハ取り出し順は、マガジン２１の最上段（最下段）から開始し下段（上段）に向けて行なわれる。また、ウェハ引出位置は、マガジン２１が移動するために、固定位置であり、メモリ８１に記憶されている。
【００２４】
ステップＳ１２、Ｓ１３後、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１をウェハ引出位置に移動させ（ステップＳ１４）、ウェハ有無検知センサ３２によりウェハＷの有無を検知し（ステップＳ１５）。そひて、ウェハＷの有無を判断する（ステップＳ１６）。ウェハがあればウェハ有のフラグを立てて（ステップＳ１７）、メインルーティンに戻る。ウェハＷがなければ、現在の段がマガジン２１の最下段（最上段）であるかを判断する（ステップＳ１８）。最下段（最上段）であるかの判断は、マガジン２１の移動範囲又はリミッタなどのセンサに基づいて行なう。最下段（最上段）であれば、ウェハ無しのフラグを立てて（ステップＳ１９）、メインルーティンに戻る。
【００２５】
最下段（最上段）でなければ、ステップＳ１３に戻り、マガジン２１の位置を次の段に移動し、ステップＳ１５からのステップを繰り返す。図６のマガジンロット管理データによれば、最上段から４段目に初めてウェハＷが存在するので、ステップＳ１９からステップＳ１３に戻るステップを３回繰り返し、メインルーティンに戻ることになる。
【００２６】
ステップ２のサブルーティン１のウェハの検索処理では、最初であるので必ず処理すべきウェハＷは存在する。そこで、後述するステップ１０のように処理すべきウェハＷの有無を判断せず、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１を用いてマガジン２１からウェハＷ（ウェハリング１）を取り出し、ピックアップ部４にセットする（ステップ３）。
【００２７】
セット後、１枚目のウェハＷかを判断する（ステップ３）。１枚目のウェハＷであれば、バーコート読取ユニット３３でウェハリング１のバーコード１２からウェハのロット番号とウェハ番号を読み込む。そして、メディア内のデータを検索して当該マガジンのロット番号に対応する全てウェハ番号のマップデータを読み込み、メモリ８１に記憶する（ステップ５）。１枚目のウェハのウェハ番号に対応する生産済・未済データを“済”とする（ステップ６）。１枚目のウェハＷでなければ、直接ステップ６に行き、当該ウェハのウェハ番号に対応する生産済・未済データを“済”とする。
【００２８】
次に、当該ウェハのダイＤのうち処理すべきダイのテーピング処理を実施する（ステップ７）。テーピング処理が終了したら、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１を用いて処理されたウェハをマガジン２１の取り出した元の段に挿入する（ステップ８）。
【００２９】
次に、ステップ２で説明したサブルーティン１の処理フローに従い、次に処理するウェハの検索を行なう（ステップ９）。サブルーティン１で作成したフラグに基づいて、処理するウェハＷがあるかを判断する（ステップ１０）。処理するウェハＷがあれば、ステップ３に戻り、テーピング処理を継続する。処理するウェハＷがなければ、マガジンロット管理データ生産済・未済データに“未済”があるかを見て、マガジン２１内のウェハＷ全てを処理したかを判断する（ステップ１１）。“未済”がなければ、全てのウェハＷの処理ができたとして生産を終了する、“未済”があれば、マガジン２１内のウェハ取残しエラー処理を実施する（ステップ１２）。
【００３０】
ウェハＷ有りの判断は、言葉どおりであるが、ウェハＷ無しの判断は次の２つの場合がある。一つは本当にウェハＷが無い場合であり、他の一つは、課題で示したようにウェハリング１に汚れや湾曲等がありウェハリング１を検出できない場合である。従って、ウェハＷが無いからといって、即ウェハ取残しが発生したとは限らない。ウェハ取残しが発生したかどうかは、マガジンロット管理データの生産済・未済データに“未済”があることが重要である。例えば、図６において、７段目にウェハ番号データが無ければ、ウェハ取残しが無いことになる。
【００３１】
また、ウェハは必ず連続して何枚マガジン２１に載置した約束がなければ、該当する段でウェハを引き出さないとき場合は、“未済”と積極的に判定できない。連続する約束だけでも、ウェハが存在する最初の段、例えば図６に示す今回の実施形態のように４段目でウェハを引き出さないとき、必ずしも“未済”とは判断できない。
【００３２】
それ故、本実施形態では、ウェハ取り残しの判断は、マガジンロット管理データのウェハ番号データと、制御装置８で作成される生産済・未済データとで行なう。従って、ウェハ取り残し検出手段は、マガジンロット管理データのウェハ番号データと、生産済・未済データと、生産済・未済データを作成する制御装置８とで構成される。
【００３３】
図９は、マガジン内のウェハ取残しエラー処理フローを示す図である。
まず、図１０に示すような警告メッセージを、例えば図示しない表示装置に表示して、作業者に確認・リカバリ処理を促す（ステップＳ２１）。表示装置としては、所謂ディスプレイの他、プリンタでも良いし、警告を発するだけではあれば、マガジン上にランプを設け、そのランプを点滅するだけでもよい。このような表示装置と表示装置を制御する制御装置が報知手段を構成する。作業者はリカバリ処理を実施するかしないかを判断する（ステップＳ２２）。リカバリ処理を実施しないと判断したら、メインルーティンに戻り生産を終了する。
【００３４】
一方、リカバリ処理を実施する判断したら、警告メッセージに従い、マガジンロット管理データ生産済・未済データに基づいて、“済”のウェハをマガジン２１から取り除き、“未済み”のウェハのみをマガジンにセットする（ステップＳ２３）。この場合、未済み”のウェハのセット位置を変えてもよい。作業員が再スタートボタンを押したら（ステップＳ２４）、マガジン２１の位置を初期位置である最上段（最下段）に移動させ（ステップＳ２５）、図７に示すメインルーティンのステップ９に行き、最上段（最下段）から順次行なう。
【００３５】
リカバリ処理においもメインルーティンのステップ９において、即ち図８に示すサブルーティン１のステップ１５において、ウェハ有無検知センサ３２によりウェハの有無を検知する。このウェハ検知処理を通常と同じ様に処理したら、また、検知できない可能性が高い。従って、リカバリ処理においては、ウェハ検知作業に時間をかける、ウェハ挿取ハンドリングユニット３１での検知範囲を上下・前後に広くする等の精査処理方法を用いて、確実に検知できるようにする。
【００３６】
図９に示すウェハ取残しエラー処理において、“済”のウェハＷを取り除き、マガジン２１の位置を最上段（最下段）に移動させたが、“済”のウェハＷを取り除かず、マガジン２１の位置を“未済”の段に移動させて、そこからリカバリ処理を行なってもよい。
【００３７】
以上説明した実施形態によれば、ウェハの取り残しのない、マガジン内の全てのウェハを確実に処理できる生産性の高いテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。
また、以上説明した実施形態によれば、ウェハ取残しが発生した場合、後でウェハ取残しのウェハを処理するような作業手間をなくすことでき、作業効率のよいテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。
【００３８】
さらに、以上説明した実施形態によれば、全てのカバーテープ７Ｂの収納部にダイＤを収納していない端数を有する供給テープ数を低減できる。一般的に、マガジン２１内のウェハが全て生産終了した際に、最後の供給テープ（例：３０００ダイ／１供給テープ）は端数の供給テープとなる。しかしながら、ウェハ取残しができ、後でウェハ取り残し分を処理することになると、もう一本の端数の供給テープが発生してしまう。端数の供給テープが増えると電子部品装着装置における供給テープの交換が早まり、その交換作業の手間が増える。本実施形態によれば、この手間を省くことができ、作業効率のよいテーピング装置及びテーピング方法を提供できる。
【００３９】
以上の説明した実施形態は、１マガジン１ロットの例である。１マガジン１ロットの他に１ロットのウェハを複数のマガジンで処理、或いは逆に１マガジンで複数のロットのウェハを処理することもある。
【００４０】
前者の場合、マガジン毎に取残した取残しウェハを処理してもよいし、最後のマガジン処理後に纏めてウェハ取残しのウェハを処理してもよい。また、後者の場合は、ロット毎に連続した段に、或いは纏めて配置される。ロット番号が異なった場合に、ウェハ取残しのウェハＷが有る場合に、その旨を作業員に伝え、次のロット処理をする前に、引き続き当該ロットのウェハ取残しのウェハを処理してもよいし、全ロットの処理が済んだ後に、ウェハ取残しのあるロットに対して順次、ウェハ取残しのウェハを処理してもよい。
【００４１】
また、以上説明した実施形態では、マガジンロット管理データの生産済・未済データによって、ウェハ取残しを検出した。各ウェハのテーピング処理するダイの個数が分かれば、全ウェハの総テーピング処理するダイの個数と処理したダイの個数からウェハ取残しを検出してもよい。この場合は、どの段のウェハを取り残したかは不明であるので、全ての段に対してウェハの有無の検知処理を前述したリカバリ処理における精査処理方法で行ない、取り残したウェハの段を検出してウェハ取残しの処理をする。この場合のウェハ取り残し検出手段は、各ウェハのテーピング処理するダイの個数と、全ウェハの総テーピング処理するダイの個数カウントし、その差からウェハの取り残しを検出する制御装置８とで構成される。
【００４２】
以上のように本発明の実施形態について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００４３】
１：ウェハリング                        １１：ダイシングテープ
１２：バーコード                        ２：マガジン部
２１：マガジン                          ２２：マガジン昇降駆動部
３：ウェハ挿取部                        ３１：ウェハ挿取ハンドリングユニット
３２：ウェハ有無検知センサ              ３３：バーコート読取ユニット
４：ピックアップ部                      ４１：エキスパンドリング
４２：突き上げユニット                  ５：第１の回転盤部
５１：取出ノズル                        ６：第２の回転盤部
６１：装填ノズル                        ７：供給テープ部
７１：キャリアテープリール              ７２：搬送部
７３：カバーテープ供給リール            ７Ａ：キャリアテープ
７Ｂ：カバーテープ                      ８：制御装置
８１：メモリ                            １００：テーピング装置
Ｄ：ダイ                                Ｗ：ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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