(57)【要約】【課題】対向配置された第１、第２の押圧面間の距離が、第１、第２の押圧面を用いた対象物に対する処理が実際に実行される距離により近い状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる技術を提供する。【解決手段】第１、第２の押圧面（下面４４ａ、上面２６ａ）が互いに平行であれば検出される各押潰し面１０３の面積が均一になるので、検出された各バンプ１０２の押潰し面１０３の面積が均一になるように、第１、第２の押圧面間の相対的な距離が、第１、第２の押圧面間に板状部材１０１を有する較正用治具１００が挟まれた状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きが調整されるので、対向配置された第１、第２の押圧面間の距離が、第１、第２の押圧面を用いた対象物に対する押圧処理等が実際に実行される距離により近い状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する傾き調整方法において、
板状部材の一方主面に同一形状および同一材質のバンプが少なくとも３個配置されて成る較正用治具を用意する準備工程と、
前記板状部材を前記第１、第２の押圧面のいずれか一方に対して平行にした状態で前記較正用治具を前記第１、第２の押圧面間に配置する配置工程と、
前記較正用治具を前記第１、第２の押圧面で挟んで加圧し前記各バンプの先端を押し潰す加圧工程と、
前記加圧工程において押し潰された前記各バンプの先端の押潰し面の面積を検出する検出工程と、
検出された前記各バンプの押潰し面の面積が均一になるように、前記第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する傾き調整工程と
を備えることを特徴とする傾き調整方法。
【請求項２】
前記バンプが、前記板状部材に格子状に４個以上配置されていることを特徴とする請求項１に記載の傾き調整方法。
【請求項３】
前記加圧工程の実行状態において、前記検出工程および前記傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることを特徴とする請求項１または２に記載の傾き調整方法。
【請求項４】
前記加圧工程、前記検出工程および前記傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることを特徴とする請求項１または２に記載の傾き調整方法。
【請求項５】
前記配置工程よりも前に、前記第１、第２の押圧面を当接させて互いに平行に調整する倣い工程が実行されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の傾き調整方法。
【請求項６】
前記バンプは、円すい状、角すい状、球状、半球状のいずれかに形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の傾き調整方法。
【請求項７】
前記板状部材は、シリコン、ガラスまたはヒ化ガリウムで形成されており、前記バンプが、フォトリソグラフィを用いた金、インジウム、銀またはすずめっきにより形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の傾き調整方法。
【請求項８】
前記バンプが、熱可塑性樹脂により形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の傾き調整方法。
【請求項９】
前記バンプが、弾性部材により形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の傾き調整方法。
【請求項１０】
対向配置されたヘッドの第１の押圧面とステージの第２の押圧面との相対的な傾きを調整する傾き調整装置において、
前記第１、第２の押圧面のいずれか一方に保持された、板状部材の一方主面に同一形状および同一材質のバンプが少なくとも３個配置されて成る較正用治具を、前記ヘッドおよび前記ステージを近接移動させて加圧し前記各バンプの先端を押し潰す加圧手段と、
前記加圧手段により押し潰された前記各バンプの先端の押潰し面の面積を検出する検出手段と、
検出手段により検出された前記各バンプの押潰し面の面積が均一になるように、前記第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する制御手段と
を備えることを特徴とする傾き調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対向配置された第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電子機器やこれに搭載される各種デバイス等の小型化、高密度化が進み、ウエハや基板等の配線基板に設けられた微細な回路パターンの所定位置にチップ部品等の実装部品を正確に実装したり、配線基板にチップ部品等の微小な実装部品を高密度で高精度に実装することが要求されている。したがって、各種デバイスを形成するための実装装置、接合装置、露光装置等において、配線基板へ実装される各種実装部品の実装精度を向上したり、露光マスクを用いたウエハ等の露光基板に対する露光精度を向上するために、実装処理や露光処理が行われる前に、配線基板および実装部品間の相対的な傾きや、露光基板および露光マスク間の相対的な傾きを調整する傾き調整処理が実行されている。
【０００３】
具体的には、例えば、上記した配線基板や実装部品等の傾き調整対象物を保持するステージおよびヘッドそれぞれの対象物保持面を当接させて倣わせることにより互いに平行に調整する倣い調整が実行される。また、例えば、所定間隔で対向配置されたステージおよびヘッドの対象物保持面の傾きが、レーザ発光素子および受光素子から成るレーザセンサ等を用いてそれぞれ非接触で検出されることにより、検出された傾きに基づいて各対象物保持面の相対的な傾きが調整される。
【０００４】
また、各傾き調整対象物の相対的な傾きをさらに高精度に調整するために、傾き調整対象物の傾きを直接検出することにより各傾き調整対象物の相対的な傾きを調整する技術が提案されている。例えば、特許文献１に記載の露光装置では、傾き調整対象物である露光基板および露光マスクがそれぞれウエハホルダおよびマスクホルダにより保持されて所定間隔で対向配置され、露光基板と露光マスクとの間にキャリブレーション装置が挿入される。
【０００５】
キャリブレーション装置は、下面にレーザ発光素子および受光素子から成るセンサが複数設けられた板状の部材を備えており、該板状の部材の上面が露光マスクを保持するマスクホルダの下面に当接配置される。そして、キャリブレーション装置の板状の部材の下面に配置された各センサにより、露光マスクに対向配置されてウエハホルダに保持された露光基板の傾きが検出され、検出された露光基板の傾きに基づいてウエハホルダの傾きが調整されて、露光基板および露光マスクの相対的な傾きが調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１７３９０７号公報（段落０００７，０００８，００１２，００１９，００２８〜００３０、図３〜６，１２〜１６、要約書など）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、配線基板および実装部品間の相対的な距離や、露光基板および露光マスク間の相対的な距離は、これらの傾き調整対象物を保持するヘッドおよびステージが近接移動または離間移動することにより調整される。ところが、ヘッドおよびステージを近接移動または離間移動させる移動軸は、ヘッドおよびステージそれぞれの対象物保持面に対して製造誤差等に起因して僅かに傾いたり偏心したりしている。したがって、傾き調整処理後の各傾き調整対象物間の相対的な傾き状態を維持したままヘッドおよびステージを近接移動または離間移動するのは困難であり、傾き調整処理後に、実際に実装処理や露光処理が実行される位置までヘッドおよびステージが移動することにより、各傾き調整対象物間の相対的な傾き状態に誤差が生じるおそれがある。
【０００８】
すなわち、ステージおよびヘッドそれぞれの対象物保持面を当接させて倣わせることにより互いに平行に調整する倣い調整が実行された位置から、ステージおよびヘッドそれぞれに傾き調整対象物が保持されて、実装処理や露光処理が実際に実行される位置までステージおよびヘッドが移動して対向配置される際に、各傾き調整対象物間の相対的な傾きに誤差が生じるおそれがある。また、傾き調整対象物である露光基板と露光マスクとの間にキャリブレーション装置が挿入されることにより露光基板および露光マスクの相対的な傾きが調整された後に、キャリブレーション装置が待避されて、露光処理が実際に実行される位置まで露光基板および露光マスクが移動して対向配置される際に、露光基板および露光マスク間の相対的な傾きに誤差が生じるおそれがある。
【０００９】
本発明は、上記した課題に鑑みてなされたものであり、対向配置された第１、第２の押圧面間の距離が、第１、第２の押圧面を用いた対象物に対する処理が実際に実行される距離により近い状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明にかかる傾き調整方法は、対向配置された第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する傾き調整方法において、板状部材の一方主面に同一形状および同一材質のバンプが少なくとも３個配置されて成る較正用治具を用意する準備工程と、前記板状部材を前記第１、第２の押圧面のいずれか一方に対して平行にした状態で前記較正用治具を前記第１、第２の押圧面間に配置する配置工程と、前記較正用治具を前記第１、第２の押圧面で挟んで加圧し前記各バンプの先端を押し潰す加圧工程と、前記加圧工程において押し潰された前記各バンプの先端の押潰し面の面積を検出する検出工程と、検出された前記各バンプの押潰し面の面積が均一になるように、前記第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する傾き調整工程とを備えることを特徴としている（請求項１）。
【００１１】
また、前記バンプが、前記板状部材に格子状に４個以上配置されているとよい（請求項２）。
【００１２】
また、前記加圧工程の実行状態において、前記検出工程および前記傾き調整工程が連続して繰り返し実行されるとよい（請求項３）。
【００１３】
また、前記加圧工程、前記検出工程および前記傾き調整工程が連続して繰り返し実行されるとよい（請求項４）。
【００１４】
また、前記配置工程よりも前に、前記第１、第２の押圧面を当接させて互いに平行に調整する倣い工程が実行されるとよい（請求項５）。
【００１５】
また、前記バンプは、円すい状、角すい状、球状、半球状のいずれかに形成されているとよい（請求項６）。
【００１６】
また、前記板状部材は、シリコン、ガラスまたはヒ化ガリウムで形成されており、前記バンプが、フォトリソグラフィを用いた金、インジウム、銀またはすずめっきにより形成されているとよい（請求項７）。
【００１７】
また、前記バンプが、熱可塑性樹脂により形成されているとよい（請求項８）。
【００１８】
また、前記バンプが、弾性部材により形成されているとよい（請求項９）。
【００１９】
本発明にかかる傾き調整装置は、対向配置されたヘッドの第１の押圧面とステージの第２の押圧面との相対的な傾きを調整する傾き調整装置において、前記第１、第２の押圧面のいずれか一方に保持された、板状部材の一方主面に同一形状および同一材質のバンプが少なくとも３個配置されて成る較正用治具を、前記ヘッドおよび前記ステージを近接移動させて加圧し前記各バンプの先端を押し潰す加圧手段と、前記加圧手段により押し潰された前記各バンプの先端の押潰し面の面積を検出する検出手段と、検出手段により検出された前記各バンプの押潰し面の面積が均一になるように、前記第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する制御手段とを備えることを特徴としている（請求項１０）。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１，１０の発明によれば、板状部材の一方主面に同一形状および同一材質のバンプが少なくとも３個配置されて成る較正用治具が、板状部材を第１、第２の押圧面のいずれか一方に対して平行にした状態で第１、第２の押圧面間に配置される。そして、較正用治具が第１、第２の押圧面で挟まれて加圧されて各バンプの先端が押し潰されることにより形成される各バンプの先端の押潰し面の面積が検出される。このとき、例えば各バンプの先端の押潰し面を一般的な画像処理することにより、面積を検出することができる。
【００２１】
対向配置された第１、第２の押圧面が互いに平行であれば検出される各押潰し面の面積が均一になるので、検出された各バンプの押潰し面の面積が均一になるように、第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することにより、第１、第２の押圧面の相対的な傾きを互いに平行に調整することができる。このとき、第１、第２の押圧面間の相対的な距離が、第１、第２の押圧面間に板状部材を有する較正用治具が挟まれた状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きが調整される。したがって、対向配置された第１、第２の押圧面間の相対的な距離が、第１、第２の押圧面を用いた対象物に対する処理が実際に実行される距離により近い状態であるときの第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる。
【００２２】
請求項２の発明によれば、板状部材に格子状に４個以上のバンプが配置されているため、格子状に配置された各バンプの先端の押潰し面の面積を検出することにより、対向配置された第１、第２の押圧面の相対的な傾きをより正確に検出することができる。
【００２３】
請求項３の発明によれば、加圧工程の実行状態において、検出工程および傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることにより、加圧工程において各バンプの先端が徐々に押し潰されて形成される各バンプの先端の押潰し面の面積が精度よく均一となるように第１、第２の押圧面の相対的な傾きを効率よく調整することができる。
【００２４】
請求項４の発明によれば、加圧工程、検出工程および傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることにより、加圧工程において各バンプの先端が押し潰されて形成される各バンプの先端の押潰し面の面積が精度よく均一となるように第１、第２の押圧面の相対的な傾きを効率よく調整することができる。
【００２５】
請求項５の発明によれば、第１、第２の押圧面が当接されて互いに平行に調整される倣い工程が、較正用治具が第１、第２の押圧面間に配置される配置工程よりも前に実行されるので、第１、第２の押圧面の相対的な傾きが大まかに調整された後に、効率よく第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる。
【００２６】
請求項６の発明によれば、円すい状、角すい状、球状、半球状のいずれかにバンプが形成されることにより、加圧工程においてバンプの先端を効率よく押し潰すことができる。
【００２７】
請求項７の発明によれば、シリコン、ガラスまたはヒ化ガリウムを一般的な半導体基板成形技術を用いて加工することにより板状部材を精度よく形成することができ、シリコン、ガラスまたはヒ化ガリウムにより形成される板状部材にフォトリソグラフィを用いた金、インジウム、銀またはすずめっきにより非常に高精度にバンプを形成することができる。
【００２８】
請求項８の発明によれば、熱可塑性樹脂により形成されており、較正用治具を加熱しながら前記第１、第２の押圧面で挟んで加圧することにより、バンプが加熱されて軟らかくなるため、非常に低い加圧力でバンプの先端を効率よく押し潰すことができる。
【００２９】
請求項９の発明によれば、バンプが弾性部材により形成されており、第１、第２の押圧面の相対的な傾きの調整が終了した後に、バンプの先端がその弾性力により復元するので、較正用治具を再利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明にかかる傾き調整装置の第１実施形態たる接合装置を示す図である。
【図２】図１の接合装置が備える搭載手段の動作を示す図である。
【図３】図２の搭載手段を示す斜視図である。
【図４】傾き調整処理を示すフローチャートである。
【図５】較正用治具を示す図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図６】ステージ部と較正用治具との配置関係を示す図である。
【図７】傾き調整工程を説明するための図である。
【図８】較正用治具に設けられた各バンプの先端が押し潰された状態を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）および（ｃ）は（ａ）のＡ−Ｂ線上における第１、第２の押圧面の相対的な傾き状態を示す断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態における傾き調整処理を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の第３実施形態における接合装置を示す要部拡大図である。
【図１１】較正用治具の変形例を示す図であって、（ａ）は角すい状のバンプが板状部材に設けられている例を示し、（ｂ）は半球状のバンプが板状部材に設けられている例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について図１〜図８を参照して説明する。図１は本発明にかかる傾き調整装置の第１実施形態たる接合装置を示す図であり、図２は図１の接合装置が備える搭載手段の動作を示す図、図３は図２の搭載手段を示す斜視図である。図４は傾き調整処理を示すフローチャートである。図５は較正用治具を示す図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図であり、図６はステージ部と較正用治具との配置関係を示す図である。図７は傾き調整工程を説明するための図であり、図８は較正用治具に設けられた各バンプの先端が押し潰された状態を示す図であって、（ａ）は下面図、（ｂ）および（ｃ）は（ａ）のＡ−Ｂ線上における第１、第２の押圧面の相対的な傾き状態を示す断面図である。
【００３２】
１．装置構成
本実施形態における接合装置は、ステージ部１５に載置されたウエハやプリント基板等の配線基板に、ヘッド部３９に保持されたチップ部品等の電子部品を超音波振動を印加することにより接合するものであり、図１に示すように、搭載手段１と、加圧手段２と、検出手段６と、装置全体の動作の監視および制御を行う制御装置３とを備えている。
【００３３】
搭載手段１は、、図１〜図３に示すように、基台１０上に設けられたＸ−Ｙテーブル機構１１と、基台１０上にＸ−Ｙテーブル機構１１を囲んで立設された４本の支柱１２と、支柱１２上に固定配置された支持台１３と、支持台１３上に設けられたローラー１４ａ〜１４ｃと、ローラー１４ａ〜１４ｃにより摺接支持されて接合の対象物が載置されるステージ部１５と、Ｘ−Ｙテーブル機構１１およびステージ部１５を連結する連結機構１６とを備えている。
【００３４】
Ｘ−Ｙテーブル機構１１は、制御装置３に設けられたＸ−Ｙテーブル制御部５２により制御されるものであり、サーボモーターにより構成される駆動モーター２０ａ，２０ｂと、駆動モーター２０ａ，２０ｂそれぞれに連結されたボールねじ（図示省略）と、それぞれＸ方向、Ｙ方向に移動可能に構成された水平移動テーブル１１ａ，１１ｂとを備えている。駆動モーター２０ａ，２０ｂが励磁されて回転駆動されると、駆動モーター２０ａ，２０ｂの回転がそれぞれに連結されたボールねじに伝達されてボールねじが回転することにより、水平移動テーブル１１ａ，１１ｂがボールねじに沿ってＸ方向、Ｙ方向の一方向に移動する。また、駆動モーター２０ａ，２０ｂが逆方向に励磁されて回転駆動されると、ボールねじが逆方向に回転することにより、水平移動テーブル１１ａ，１１ｂがボールねじに沿ってＸ方向、Ｙ方向の他方向に移動する。
【００３５】
なお、駆動モーター２０ａ，２０ｂの励磁が解除された場合には、水平テーブル１１ａ，１１ｂは、駆動モーター２０ａ，２０ｂの動作とは関係なくそれぞれ自由にＸ方向、Ｙ方向に移動する。そして、駆動モーター２０ａ，２０ｂが励磁されて回転のためのサーボ制御信号が与えられた状態では、水平テーブル１１ａ，１１ｂは、駆動モーター２０ａ，２０ｂの回転に連動して移動する。また、駆動モーター２０ａ，２０ｂが励磁された状態で停止することにより、水平テーブル１１ａ，１１ｂは、それぞれＸ方向、Ｙ方向への移動がロックされて所定位置に固定される。
【００３６】
ステージ部１５は、円柱の周面の下側が球面状に加工されることにより下面側に球面を有する球面状基部２５と、平面視が球面状基部２５と同じ形状を成し上面２６ａ（本発明の「第２の押圧面」に相当）に対象物を保持するステージ基準部２６とを備えている。ステージ基準部２６には、平面視における上面２６ａのほぼ中央部分に設けられた第１の開口２７ａと外側面に設けられた第２の開口２７ｂとを連通して設けられた光路２７が形成されている。
【００３７】
また、ステージ基準部２６の上面２６ａの第１の開口２７ａには、透光性の硬質な部材である、例えばガラス２８が、当該上面２６ａと同一平面を成すように嵌め込まれて固定配置されている。また、ステージ基準部２６は、球面状基部２５の下面側の球面の曲率中心Ｐ（各図面における点Ｐが曲率中心に相当）の位置と、ステージ基準部２６の上面２６ａの中心とがほぼ一致するように配置されている。このように配置することにより、後述するように、各ローラー１４ａ〜１４ｃに摺接支持されたステージ部１５が曲率中心Ｐを中心に揺動するので、ステージ基準部２６の上面２６ａの中心（曲率中心Ｐ）を基準に傾き調整を行うと、曲率中心Ｐを通る平面に対して精度よくステージ基準部２６の上面２６ａの傾きを調整することができる。また、接合の対象物を上記したステージ基準部２６の上面２６ａの中心（曲率中心Ｐ）を含む位置に保持することにより、精度よく安定して対象物の傾きを調整することができる。
【００３８】
また、傾き調整の対象物が保持されるステージ基準部２６の上面２６ａには、接合の対象物を真空吸着や静電吸着により保持する吸着機構（図示省略）が設けられている。なお、対象物をステージ基準部２６の上面２６ａに保持する方法は上記した吸着機構によるものに限らず、機械的なチャック機構等によるものなど、その他の方法でもよい。また、ステージ基準部２６にヒーターを設け、上面２６ａに保持された対象物を加熱できるようにしてもよい。そして、球面状基部２５は連結機構１６を介してＸ−Ｙテーブル機構１１に連結されている。
【００３９】
連結機構１６は、図１および図２に示すように、上端が球面状基部２５の下面中央に固着された円筒状の円筒部３１と、円筒部３１下端の開口から該円筒部３１内に上端側から挿通された丸棒状の軸体および該軸体の下端に一体形成された球体から成る軸部３０と、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の上側の水平移動テーブル１１ａの上面に固着されて軸部３０の球体を摺動自在に支持する球面凹部が設けられた受部３２とを備えている。そして、軸部３０の軸体は円筒部３１の内周面により摺動自在に支持されており、Ｘ−Ｙテーブル機構１１が駆動されることにより水平移動テーブル１１ａに結合された受部３２が移動するのに伴い、軸部３０の球体が受部３２の球面凹部の内周面を摺動すると共に、軸部３０の軸体が円筒部３１内に進入または円筒部３１内から後退するように構成されている。
【００４０】
なお、軸部３０の軸体は、ステージ部１５の球面状基部２５の下面側の面の曲率中心Ｐを通る直線状に配設されている。
【００４１】
また、図３に示すように、支持台１３の上面には、正三角形の各頂点に相当する位置それぞれにローラー１４ａ〜１４ｃが設けられており、ステージ部１５は、次のような構成により、各ローラー１４ａ〜１４ｃにより摺接可能に支持されている。
【００４２】
各ローラー１４ａ〜１４ｃは、それぞれ水平方向に配設された軸３３と、軸３３に外挿されたストローク部３４とを備え、ストローク部３４は、軸３３の軸方向に所定量移動可能であると共に軸３３を回転中心として回転可能に設けられている。そして、各ローラー１４ａ〜１４ｃが軸３３周りに回転しながら、ステージ部１５の球面状基部２５の下面側の球面を摺接支持することにより、ステージ部１５のステージ基準部２６の上面２６ａの傾き角度が調整されるので、ステージ部１５は、その上面２６ａに当接される基準体の基準面（例えば図１中の符号４４）に対して当該上面２６ａの傾きが一致するように倣い移動することができる。
【００４３】
このように構成すると、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂの励磁が解除された状態では、ステージ基準部２６の上面２６ａが押圧されて、各ローラー１４ａ〜１４ｃに摺接支持されたステージ部１５が上面２６ａの中心（曲率中心Ｐ）を揺動の中心として揺動移動すると、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の水平移動テーブル１１ａ，１１ｂは、ステージ部１５が揺動するのに連動して移動する。また、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂが励磁されて水平移動テーブル１１ａ，１１ｂが所定の位置に固定されると、ステージ部１５は、その上面２６ａが所定の傾きを有した状態で固定される。
【００４４】
また、図２に示すように、Ｘ−Ｙテーブル機構１１を駆動して両水平テーブル１１ａ，１１ｂをＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ移動させることによりステージ部１５（上面２６ａ）の傾きを自在に調整することができる。すなわち、Ｘ−Ｙテーブル機構１１が駆動されて水平移動テーブル１１ａが移動して連結機構１６の受部３２が水平移動テーブル１１ａと一緒に移動するのに伴い、移動する受部３２の球面凹部内を軸部３０の球体が摺動する。そして、球体が受部３２の球面凹部内を摺動する軸部３０が、その軸体が円筒部３１内を軸方向および内周方向に摺動しながら円筒部３１内に進入または円筒部３１内から後退することにより、ステージ部１５とＸ−Ｙテーブル機構１１との間の相対位置の変動が吸収調整されると共に、軸部３０の傾きの変化に応じて円筒部３１の傾きが変化するので、円筒部３１に結合されてローラー１４ａ〜１４ｃに摺接支持されたステージ部１５が曲率中心Ｐを揺動の中心として揺動して、そのステージ基準部２６の上面２６ａの傾きが調整される。
【００４５】
加圧手段２は、制御装置３に設けられた制御部５１および超音波振動制御部５３により制御されるものであり、接合の対象物が保持されるヘッド部３９と、サーボモーターやリニアモーター等により構成され、ヘッド部３９を上下方向（Ｚ方向）に駆動することによりヘッド部３９に保持された接合の対象物をステージ部１５に載置された接合の対象物に当接させるための上下駆動機構４０とを備えている。
【００４６】
ヘッド部３９は、図１に示すように、超音波振動制御部５３により制御される振動子４１を有する共振器４２と、共振器４２を支持する共振器支持部４３とを備え、共振器４２は、最小振動振幅点に相当する位置において共振器支持部４３により支持される。また、共振器４２の最大振動振幅点に相当する中央部分には保持部４４が設けられており、保持部４４は、その下面４４ａ（本発明の「第１の押圧面」に相当）に接合の対象物や後述する較正用治具１００を保持する。
【００４７】
そして、ヘッド部３９は、制御部５１により上下駆動機構４０が制御されることでＺ方向に移動して、ステージ部１５に対して近接移動したりステージ部１５から離間移動したりする。また、ヘッド部３９は、制御部５１により制御される駆動機構（図示省略）により、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能である共に、θ方向に回転可能に構成されている。したがって、駆動機構が制御部５１により制御されて、ヘッド部３９のＸ，Ｙ，θ方向における位置が調整されることにより、ヘッド部３９に保持された対象物と、ステージ部１５に保持された対象物との相対的な位置関係を調整することができる。
【００４８】
なお、接合の対象物や較正用治具１００が保持される保持部４４の下面４４ａには、対象物を真空吸着や静電吸着により保持する吸着機構（図示省略）が設けられているが、対象物を保持部４４の下面４４ａに保持する方法は上記した吸着機構によるものに限らず、機械式のチャック機構等によるものなど、その他の方法でもよい。また、保持部４４は、最大振幅点に相当する共振器４２の両端位置など、共振器４２のどの位置に設けられてもよく、保持部４４にヒーターを設け、下面４４ａに保持された対象物を加熱できるようにしてもよい。
【００４９】
検出手段６は、配線基板や実装部品等の接合の対象物に設けられたアライメントマーク等を読取るために一般的に採用されているものであり、先端側に設けられた周知の２視野光学系レンズと、後端側に設けられ、２視野光学系レンズを介してその上下に隔離して配置された接合の対象物や較正用治具１００を撮像するＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等の撮像手段とを備え、制御装置３に設けられた制御部５１により制御される。また、検出手段６は、制御部５１により制御される駆動機構（図示省略）によりＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能に構成されている。
【００５０】
そして、駆動機構により駆動されて、検出手段６の先端側の２視野光学系レンズがヘッド部３９とステージ部１５との間に配置されることにより、ヘッド部３９の下面４４ａに保持されて検出手段６の２視野光学系レンズの上方に配置された対象物と、ステージ部１５の上面２６ａに保持されて検出手段６の２視野光学系レンズの下方に配置された対象物などを撮像手段により撮像することができる。また、駆動機構により駆動されて、検出手段６の先端側の２視野光学系レンズがステージ部１５の開口２７ｂを介して光路２７に挿入されることにより、２視野光学系レンズの上方に配置された、ステージ部１５の上面２６ａ上に配置された対象物およびヘッド３９の下面４４ａに保持された対象物などを下側から撮像手段により撮像することができる。
【００５１】
制御装置３は、検出部５０、制御部５１、Ｘ−Ｙテーブル制御部５２および超音波振動制御部５３を備えている。
【００５２】
検出部５０は、検出手段６により撮影された画像を画像処理することにより、後で図８を参照して説明するように、較正用治具１００の各バンプ１０２の先端１０２ａが押し潰されることにより形成された各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積を検出したり、ヘッド部３９およびステージ部１５にそれぞれ保持された各接合の対象物に設けられたアライメントマーク等を検出したりする。
【００５３】
制御部５１は、ヘッド３９をＺ方向に移動させる上下駆動機構４０およびＸ，Ｙ，θ方向に移動させる駆動機構（図示省略）を制御し、検出手段６をＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に移動させる駆動機構（図示省略）を制御する。具体的には、制御部５１は、検出部５０により検出された接合の対象物のアライメントマーク等に基づく位置情報に基づいて、ヘッド部３９のＸ，Ｙ，θ方向における位置を調整することにより、ヘッド部３９に保持された対象物と、ステージ部１５に保持された対象物との相対的な位置関係を調整する。
【００５４】
また、制御部５１は、ヘッド部３９のＺ方向における高さ位置を検出する高さ位置検出手段（図示省略）により検出されたヘッド部３９の高さ位置に基づいて上下駆動機構４０をフィードバック制御することにより、ヘッド部３９のＺ方向における高さ位置を調整する。また、制御部５１は、例えば支持台１３とローラー１４ａ〜１４ｃとの間に配設されたロードセル等により構成されて、ヘッド部３９の保持部４４の下面４４ａ（第１の押圧面）による、ステージ部１５のステージ基準部２６の上面２６ａ（第２の押圧面）に対する加圧力を検出する加圧力検出手段（図示省略）により検出された加圧力に基づいて上下駆動機構４０をフィードバック制御することにより、第１、第２の押圧面（下面４４ａ、上面２６ａ）間に配置された較正用治具１００や接合の対象物等に対する加圧力を調整する。
【００５５】
なお、上下駆動機構４０を構成するサーボモーターの回転数やリニアモーターが備える位置センサの検出信号に基づいて上下駆動機構４０を制御部５１により制御することにより、ヘッド部３９のＺ方向における高さ位置を調整してもよい。また、上下駆動機構４０を構成するサーボモーターの回転トルクやリニアモーターの駆動トルクを制御部５０により制御することで、第１、第２の押圧面間に配置された較正用治具１００や接合の対象物等に対する加圧力を調整してもよい。
【００５６】
Ｘ−Ｙテーブル制御部５２は、Ｘ−Ｙテーブル機構１１を制御することにより、ステージ部１５の上面２６ａの傾きを調整する。なお、ステージ部１５の上面２６ａの傾きの調整方法については後で詳細に説明する。
【００５７】
超音波振動制御部５３は、振動子４１の振動状態を制御することにより、接合の対象物どうしが接合される際に印加される超音波振動を調整する。
【００５８】
２．傾き調整処理
ヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａの相対的な傾きを調整する傾き調整処理について説明する。
【００５９】
まず、図５に示ように、平面視矩形状の板状部材１０１の一方主面に同一形状および同一材質の円すい状のバンプ１０２が、格子状に４個以上配置されて成る較正用治具１００が用意される（準備工程）。なお、円すい状のバンプの先端１０２ａにより所定の平面を規定できるように、少なくとも３個のバンプ１０２が板状部材１０１の一方主面に配置されていればよい。また、板状部材１０１は、シリコン（Ｓｉ）、ガラスまたはヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）で形成されており、バンプ１０２は、フォトリソグラフィを用いた金（Ａｕ）、インジウム（Ｉｎ）、銀（Ａｇ）またはすず（Ｓｎ）等のめっきにより形成され、例えば板状部材１０１の厚みが約５００μｍ、バンプ１０２の高さが約１０〜２０μｍに形成される。
【００６０】
次に、ヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとが、互いに当接することにより互いに平行に倣い調整される倣い工程が実行される（ステップＳ１０）。具体的には、まず、ステージ部１５のステージ基準部２６の上面２６ａが押圧されてステージ部１５が曲率中心Ｐを揺動の中心として揺動したときに、Ｘ−Ｙテーブル機構１１（水平移動テーブル１１ａ，１１ｂ）が自在に移動するように、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂの励磁が解除される。そして、平面視におけるヘッド部３９の下面４４ａの中央位置と曲率中心Ｐとがほぼ一致するようにヘッド部３９のＸ，Ｙ方向における位置が調整された後、上下駆動機構４０によりヘッド部３９が下方（Ｚ方向）に駆動されることにより、ヘッド部３９の下面４４ａが、ステージ基準部２６の上面２６ａの曲率中心Ｐの中心を含む所定位置に当接する。
【００６１】
ヘッド部３９の下面４４ａ（倣い基準面）がステージ基準部２６の上面２６ａに当接した状態で、制御部５１により上下駆動機構４０が駆動されることにより所定圧力が加えられて上面２６ａが押圧されると、ステージ部１５の球面状基部２５の下面側の球面が各ローラー１４ａ〜１４ｃを摺接し、ステージ部１５が曲率中心Ｐを揺動の中心として揺動することにより、ステージ基準部２６の上面２６ａの傾きが、ヘッド部３９の下面４４ａの傾きに倣うように倣い調整される。
【００６２】
すなわち、球面状基部２５の下面側の球面が各ローラー１４ａ〜１４ｃに摺接するのに伴い、各ローラー１４ａ〜１４ｃのストローク部３４が軸３３の軸方向に移動すると共に軸周りに回転するので、ステージ基準部２６の上面２６ａの傾きがヘッド部３９の下面４４ａの傾きに一致するように、ステージ部１５の上面２６ａの傾きが倣い調整される。そして、ステージ部１５が、球面状基部２５の下面側の球面の曲率中心Ｐを揺動の中心として揺動することにより上面２６ａの傾きがヘッド部３９の下面４４ａに対して倣い調整されるため、ステージ部１５が揺動するのに伴い、球面状基部２５の下面側の曲率中心Ｐを通る線上に結合された連結機構１６の円筒部３１がステージ部１５と一緒に傾くのと共に、円筒部３１に挿通された軸部３０が円筒部３１の内周面を軸方向および周方向に摺接しつつ軸方向に移動する。
【００６３】
このとき、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂの励磁が解除されて水平テーブル１１ａ，１１ｂが自由に動ける状態であるため、水平テーブル１１ａ，１１ｂは、連結機構１６の軸部３０の球体が受部３２の球面凹部内を摺動して水平テーブル１１ａに結合された受部３２が移動するのに連動して所定の倣い位置、すなわち、ステージ基準部２６の上面２６ａの傾きが、ヘッド部３９の下面４４ａの傾きに一致するように倣い調整されたときの位置に移動する。
【００６４】
そして、ステージ基準部２６の上面２６ａの傾きが倣い調整されて水平移動テーブル１１ａ，１１ｂが倣い位置において停止したときに、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂが励磁されることにより、水平移動テーブル１１ａ，１１ｂの位置が固定されるので、ステージ部１５の上面２６ａが、ヘッド部３９の下面４４ａの傾きに倣った状態の傾きで固定されて、ステージ部１５の上面２６ａの傾きのヘッド部３９の下面４４ａの傾きに対する倣い調整が終了する。なお、ヘッド部３９の保持部４４に倣い基準面を有する基準体を保持し、当該基準体の倣い基準面をステージ部１５の上面２６ａに当接させることにより、上記した倣い調整を行ってもよい。
【００６５】
ステージ部１５の上面２６ａの傾きのヘッド部３９の下面４４ａの傾きに対する倣い調整が終了すると、ヘッド部３９が上下駆動機構４０によって上昇されて、較正用治具１００が保持部４４に保持されることにより、板状部材１０１が保持部４４の下面４４ａに対して平行にされた状態で較正用治具１００が保持部４４の下面４４ａおよびステージ基準部２６の上面２６ａ間に配置される（配置工程）。
【００６６】
次に、較正用治具１００を保持するヘッド部３９が、上下駆動機構４０により所定の高さまで下降された後、図６に示すように、平面視における較正用治具１００の中央位置と曲率中心Ｐとがほぼ一致するようにヘッド部３９のＸ，Ｙ方向における位置が調整される（ステップＳ１２）。そして、上下行動機構４０が駆動されてヘッド部３９が下降されることにより、保持部４４の下面４４ａとステージ基準部２６の上面２６ａとの間に挟まれた較正用治具１００の各バンプ１０２の先端１０２ａの押し潰しが開始される（ステップＳ１３）。なお、このとき、較正用治具１００の各バンプ１０２の先端１０２ａが微小に少しずつ潰れて行くように上下駆動機構４０によりヘッド部３９が駆動されることによる加圧力が設定される。
【００６７】
続いて、図７に示すように、検出手段６の先端側に設けられた２視野光学系レンズが開口２７ｂから光路２７に挿入されて、較正用治具１００のバンプ１０２形成面が下側から検出手段６の撮像手段により撮像される。そして、検出手段６による撮影画像に基づいて、加圧工程において押し潰された各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積が検出部５０により検出される（ステップＳ１４）。
【００６８】
次に、検出部５０により検出された各バンプ１０２の押潰し面１０３の面積が均一になるように、Ｘ−Ｙテーブル制御部５２によりＸ−Ｙテーブル機構１１の駆動モーター２０ａ，２０ｂがフィードバック制御されて、水平移動テーブル１１ａ，１１ｂがＸ方向およびＹ方向にそれぞれ移動されることにより、ステージ部１５の上面２６ａのヘッド部３９の下面４４ａに対する相対的な傾きが調整される（ステップＳ１５：傾き調整工程）。
【００６９】
具体的には、検出部５０により検出された先端面１０３の面積が、例えば図８（ａ）に示すように、紙面に向かって右下が一番大きく、左上に向かって徐々に小さくなっていく場合には、図８（ｂ）に示すように、右下部分において保持部４４の下面４４ａおよびステージ基準部２６の上面２６ａの間隔が狭く、左上部分において保持部４４の下面４４ａおよびステージ基準部２６の上面２６ａの間隔が広くなっている。そこで、較正用治具１００の左上部分におけるバンプ１０２の先端１０２ａの押し潰し量を大きくして先端面１０３の面積を大きく増大させ、右下部分におけるバンプ１０２の先端１０２ａの押し潰し量を小さくして先端面１０３の面積が大きく増大しないように、図８（ｃ）に示すように、較正用治具１００の左上部分における保持部４４の下面４４ａおよびステージ基準部２６の上面２６ａの間隔が狭くなり、較正用治具１００の右下部分の保持部４４の下面４４ａおよびステージ基準部２６の上面２６ａの間隔が狭くなるように、ステージ部１５の上面２６ａの傾きが調整される。
【００７０】
その後、各押潰し面１０３の面積が均一となるまで、ステップＳ１４の検出工程とステップＳ１５の傾き調整工程とが連続して繰り返し実行されて（ステップＳ１６でＮＯ）、各押潰し面１０３の面積が均一となれば（ステップＳ１６でＹＥＳ）、Ｘ−Ｙテーブル機構１１の駆動モータ２０ａ，２０ｂが励磁状態のまま停止されて、ステージ基準部２６の上面２６ａの傾きが固定されると共に上下駆動機構４０が駆動されることによる較正用治具１００に対する加圧が停止され（ステップＳ１７）、ヘッド部３９が上昇されて処理が終了する。
【００７１】
３．接合処理
超音波振動を印加することにより接合の対象物どうしを接合する接合処理について説明する。上記した傾き調整処理が終了した後、例えばステージ部１５の上面２６ａに配線基板が載置され、ヘッド部３９の保持部４４の下面４４ａにチップ部品が保持される。そして、配線基板およびチップ部品間に検出手段６の先端側の２視野光学系レンズが配置されることにより、配線基板およびチップ部品の相対的な位置関係が検出部５０により検出される。
【００７２】
続いて、検出された位置情報に基づいてヘッド部３９のＸ，Ｙ，θ方向における位置が調整されることにより、配線基板およびチップ部品間の相対的な位置関係が調整された後、ヘッド部３９が上下駆動機構４０によって下降されてチップ部品が配線基板の所定位置に所定の加圧力で押圧される。そして、チップ部品が配線基板の所定位置に所定の加圧力で加圧された状態で、超音波振動制御部５３により振動子４１が駆動されて超音波振動が印加されることにより、チップ部品が配線基板の所定位置に接合される。
【００７３】
以上のように、この実施形態によれば、板状部材１００の一方主面に同一形状および同一材質のバンプ１０２が少なくとも３個配置されて成る較正用治具１００が、板状部材１００をヘッド部３９の下面４４ａに対して平行にした状態でヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａ間に配置される。そして、較正用治具１００が、ヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａで挟まれて加圧されて各バンプ１０２の先端１０２ａが押し潰されることにより形成される各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積が検出される。
【００７４】
ヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとが互いに平行であれば検出される各押潰し面１０３の面積が均一になるので、検出された各バンプ１０２の押潰し面１０３の面積が均一になるように、ヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとの相対的な傾きを調整することにより、当該下面４４ａおよび上面２６ａの相対的な傾きを互いに平行に調整することができる。
【００７５】
このとき、ヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａ間の相対的な距離が、当該下面４４ａおよび上面２６ａ間に板状部材１０１を有する較正用治具１００が挟まれた状態であるときの当該下面４４ａおよび上面２６ａの相対的な傾きが調整される。したがって、対向配置されたヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとの相対的な距離が、当該下面４４ａおよび上面２６ａを用いた対象物に対する押圧処理等が実際に実行される距離により近い状態であるときの当該下面４４ａおよおび上面２６ａの相対的な傾きを調整することができる。
【００７６】
また、板状部材１０１に格子状に４個以上のバンプ１０２が配置されているため、格子状に配置された各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積を検出することにより、対向配置されたヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとの相対的な傾きをより正確に検出することができる。
【００７７】
また、加圧工程の実行状態において、検出工程および傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることにより、加圧工程において各バンプ１０２の先端１０２ａが徐々に押し潰されて形成される各バンプ１０２の先端の押潰し面１０３の面積が精度よく均一となるようにヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａの相対的な傾きを効率よく調整することができる。
【００７８】
また、ヘッド部３９の下面４４ａとステージ部１５の上面２６ａとが当接されて互いに平行に調整される倣い工程が、較正用治具１００が当該下面４４ａおよび上面２６ａ間に配置される配置工程よりも前に実行されるので、当該下面４４ａおよび上面２６ａの相対的な傾きが大まかに調整された後に、当該下面４４ａおよび上面２６ａの相対的な傾きを効率よく調整することができる。
【００７９】
また、円すい状にバンプ１０２が形成されることにより、加圧工程においてバンプ１０２の先端１０２ａを効率よく押し潰すことができる。
【００８０】
また、シリコン、ガラスまたはヒ化ガリウムを一般的な半導体基板成形技術を用いて加工することにより板状部材１０１を精度よく形成することができる。
【００８１】
また、シリコンやガラス、ヒ化ガリウム等により形成される板状部材１０１にフォトリソグラフィを用いた金、インジウム、銀またはすず等のめっきにより非常に高精度にバンプ１０２を形成することができる。
【００８２】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について図９を参照して説明する。図９は本発明の第２実施形態における傾き調整処理を示すフローチャートである。この実施形態が上記した第１実施形態と異なるのは、図９に示すように、加圧工程（ステップＳ２３）において、バンプ１０２の先端１０２ａが押し潰された後、一旦、較正用治具１００に対する加圧が停止されて、検出工程（ステップＳ２４）および傾き調整工程（ステップＳ２５）が実行される点であり、バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積が均一になるまで、加圧工程、検出工程および傾き調整が連続して繰り返し実行される（ステップＳ２６でＮＯ）。その他の構成および動作については、上記した第１実施形態と同様であるため、その構成および動作の説明は省略する。
【００８３】
この実施形態では、上記した第１実施形態と同様の効果を奏することができ、加圧工程、検出工程および傾き調整工程が連続して繰り返し実行されることにより、加圧工程において各バンプ１０２の先端１０２ａが押し潰されて形成される各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３の面積が精度よく均一となるように、ヘッド部３９の下面４４ａおよびステージ部１５の上面２６ａの相対的な傾きを効率よく調整することができる。
【００８４】
＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について図１０を参照して説明する。図１０は本発明の第３実施形態における接合装置を示す要部拡大図である。この実施形態が上記した第２実施形態と異なるのは、図１０に示すように、ステージ基準部２６に光路２７が設けられておらず、加圧工程が実行された後、ヘッド部３９が上昇移動されて、検出手段６の先端側の２視野光学系レンズが、較正用治具１００とステージ部１５の上面２６ａとの間に配置されて各バンプ１０２の先端１０２ａの押潰し面１０３が検出されることにより、検出工程および傾き調整工程が実行される点である。その他の構成および動作については、上記した第２実施形態と同様であるため、その構成および動作の説明は省略する。
【００８５】
この実施形態においても、上記した第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８６】
＜較正用治具の変形例＞
較正用治具の変形例について図１１を参照して説明する。図１１は較正用治具の変形例を示す図であって、（ａ）は角すい状のバンプが板状部材に設けられている例を示し、（ｂ）は半球状のバンプが板状部材に設けられている例を示す。
【００８７】
図１１（ａ）に示すように、較正用治具２００は、板状部材２０１の一方主面に同一形状および同一材質の角すい状のバンプ２０２が格子状に配置されて形成されている。また、図１１（ｂ）に示すように、較正用治具３００は、板状部材３０１の一方主面に同一形状および同一材質の半球状のバンプ３０２が格子状に配置されて形成されている。
【００８８】
このように、角すい状または半球状にバンプ２０２，３０２が形成されることにより、上記した実施形態と同様に加圧工程においてバンプ２０２，３０２の先端を効率よく押し潰すことができる。
【００８９】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能であり、例えば、上記した実施形態では本発明の傾き調整装置が具現化された接合装置を例に挙げて説明したが、実装装置や露光装置、ナノインプリントに使用される加圧装置等に本発明の傾き調整装置を搭載してもよい。また、較正用治具の板状部材の平面視形状は上記した矩形状に限るものではなく、円形状など、どのような形状であってもよく、板状部材の厚みやバンプの高さはどのように構成してもよいが、較正用治具が使用される装置において加圧（押圧）される対象物の厚みとほぼ同じ厚みに板状部材を形成するとよい。このように構成すると、実際に対象物に対する加圧処理が実行される位置により近い位置において、第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整することができる。
【００９０】
また、上記した実施形態では、較正用治具をヘッド部（第１の押圧面）に保持して傾き調整処理を実行したが、較正用治具をステージ部（第２の押圧面）に保持したり載置したりして傾き調整処理を実行してもよく、較正用治具のバンプの先端を、第１、第２の押圧面のどちらの面で押し潰してもよい。なお、ヘッド部の第１の押圧面でバンプを押し潰す場合には、図１０に示すように検出手段をヘッド部とステージ部との間に配置してバンプ先端の押潰し面を検出してもよいし、上記したのと同様の光路をヘッド部に形成して、図７に示す例と同様にしてバンプ先端の押潰し面を上側から検出してもよい。
【００９１】
また、較正用治具のバンプの形状は上記した例に限られるものではなく、例えば球状にバンプを形成してもよく、その先端が押し潰され易いように先細りになる形状にバンプを形成するとよい。また、バンプの材質は、上記した例に限らず、どのような材質によりバンプを形成してもよいが、その先端が押し潰され易いように、上記した材質の他、はんだなど、塑性変形する軟らかい金属や、熱可塑性樹脂、シリコンゴム等の樹脂などの弾性部材によりバンプを形成するとよい。
【００９２】
バンプが弾性部材により形成されていると、第１、第２の押圧面の相対的な傾きの調整が終了した後に、バンプの先端がその弾性力により復元するので、較正用治具を再利用することができる。なお、バンプが弾性部材により形成されている場合には、傾き調整処理において、押し潰されたバンプの先端が復元しないように、図４に示すように、加圧工程の実行状態において、検出工程および傾き調整工程を連続して繰り返し実行するとよい。
【００９３】
また、バンプが熱可塑性樹脂により形成されていると、較正用治具を加熱しながら第１、第２の押圧面で挟んで加圧することにより、バンプが加熱されて軟らかくなるため、非常に低い加圧力でバンプの先端を効率よく押し潰すことができる。
【００９４】
熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ナイロン、ポリアセタール、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、環状ポリオレフィン、ポリフェニレンスルファイド、ポリテトラフロロエチレン、ポリスルホン、ポリエーテルサルフォン、非晶ポリアリレート、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、ポリアミドイミドなど、どどのようなものであってもよい。
【００９５】
また、板状部材の材質は上記した例に限られるものではなく、硬質の樹脂やセラミックなど、周知の基板材料により板状部材を形成してもよい。
【００９６】
また、板状部材およびバンプを一体形成して較正用治具を形成してもよい。
【００９７】
また、上記した実施形態では、Ｘ−Ｙテーブル機構の駆動モーターを励磁することによりＸ−Ｙテーブル機構の位置が固定されるように構成されているが、ブレーキ板などが設けられた固定機構を備えることにより、Ｘ−Ｙテーブル機構を倣い位置に固定するようにしてもよい。また、Ｘ−Ｙテーブル機構は、リニアモーターやその他の駆動機構を利用したものであってもよい。例えば、Ｘ方向に移動可能なテーブルおよびＹ方向に移動可能なテーブルが組み合わされて構成された水平移動テーブルの上面に結合された薄板（ダイアフラム）と、水平移動テーブルの周囲を囲んで柱状に配置されて薄板を下方から支持する複数のエアシリンダとを備え、水平移動テーブルを囲んで配置された各エアシリンダにより薄板の端縁部分の上下方向の位置が調整されることで当該薄板に結合された水平移動テーブルが駆動されるようにＸ−Ｙテーブル機構を構成してもよい。
【００９８】
また、上記した実施形態では、ステージ部の第２の押圧面の傾きが調整される装置を例にあげて説明したが、ヘッド部の第１の押圧面の傾きが調整されるように構成してもよく、第１、第２の押圧面の両方の傾きが調整されるように構成してもよい。また、押圧面の傾きを調整する調整機構の構成は上記した例に限られるものではなく、例えば、ピエゾ素子も用いた傾き調整機構など、周知のどのような構成の傾き調整機構であってもよい。
【００９９】
また、検出手段は上記した２視野光学系レンズを備えたものに限るものではなく、例えば、１視野光学系を備え１方向のみを検出するように構成されたものなど、較正用治具のバンプ先端に形成される押し潰し面の面積を検出できるものであれば、どのように検出手段を構成してもよい。
【０１００】
そして、本発明は、対向配置された第１、第２の押圧面の相対的な傾きを調整する技術に広く適用することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
２…加圧手段
３…制御装置（制御手段）
６…検出手段
１５…ステージ部（ステージ）
２６ａ…上面（第２の押圧面）
３９…ヘッド部（ヘッド）
４４ａ…下面（第１の押圧面）
５０…検出部（検出手段）
１００，２００，３００…較正用治具
１０１，２０１，３０１…板状部材
１０２，２０２，３０２…バンプ
１０２ａ…先端
１０３…押潰し面
【図１】
2013161940.tif 000003
【図２】
2013161940.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013161940.tif 000009
【図８】
2013161940.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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