(57)【要約】【課題】光量の損失が少ない顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】以下の条件式（１）、（２）を満足する。  ０．０５＜ＮＡ＜０．４      （１）  ３ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜５０ｍｍ      （２）  ここで、  ＮＡは、顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、  Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、である。さらに、以下の条件式（３）を満足することが好ましい。  ０．５＜Ｄ／ＡＤ＜７      （３）  ここで、  Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、  ＡＤは、顕微鏡対物レンズの各レンズ間の空気間隔の総和、である。【選択図】図１
2013178483.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡対物レンズであって、
以下の条件式（１）、（２）を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
０．０５＜ＮＡ＜０．４      （１）
３ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜５０ｍｍ      （２）
ここで、
ＮＡは、前記顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、
Ｄは、前記顕微鏡対物レンズの総肉厚、
である。
【請求項２】
以下の条件式（３）を満足することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．５＜Ｄ／ＡＤ＜７      （３）
ここで、
Ｄは、前記顕微鏡対物レンズの総肉厚、
ＡＤは、前記顕微鏡対物レンズの各レンズ間の空気間隔の総和、
である。
【請求項３】
以下の条件式（４）を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
０．２＜Ｄ／ｆ＜２      （４）
ここで、
Ｄは、前記顕微鏡対物レンズの総肉厚、
ｆは、前記顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。
【請求項４】
前記顕微鏡対物レンズを構成するレンズは、少なくとも２種類の硝材からなり、前記レンズのｄ線に対する屈折率は１．７以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記顕微鏡対物レンズは顕微鏡対物レンズユニットに収容され、前記顕微鏡対物レンズユニットは、観察装置に着脱可能な着脱部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
前記顕微鏡対物レンズの同焦点距離ＰＤは次式（５）で算出することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
ＰＤ＝４５＋１５ｍ      （５）
ここで、ｍは−１、０、１、２、３、又は４である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡対物レンズでは、倍率が高い顕微鏡対物レンズほど、多くのレンズが使用されている。一方、倍率が低い顕微鏡対物レンズでは、倍率が高い顕微鏡対物レンズほどではないものの、やはり多くのレンズが使用されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、８枚のレンズで構成された顕微鏡対物レンズが開示されている。この顕微鏡対物レンズは、倍率が４倍、ＮＡ（開口数）が０．１６、焦点距離が４５ｍｍの顕微鏡対物レンズである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６５０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の顕微鏡対物レンズでは、レンズの総肉厚は約２８ｍｍとなっている。そのため、光が顕微鏡対物レンズを通過する際、少なからず光量の損失が生じてしまう。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、光量の損失が少ない顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（１）、（２）を満足することを特徴とする。
０．０５＜ＮＡ＜０．４      （１）
３ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜５０ｍｍ      （２）
ここで、
ＮＡは、顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、
Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、
である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光量の損失が少ない顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、実施例１の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図３】本発明の実施例２の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、実施例２の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図５】本発明の実施例３の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、実施例３の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図７】本発明の実施例４の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、実施例４の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図９】本発明の実施例５の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は、実施例５の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図１１】本発明の実施例６の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）は、実施例６の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図１３】本発明の実施例７の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図１４】（ａ）〜（ｄ）、実施例７の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図１５】本発明の実施例８の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図１６】（ａ）〜（ｄ）は、実施例８の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図１７】本発明の実施例９の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図１８】（ａ）〜（ｄ）は、実施例９の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図１９】本発明の実施例１０の顕微鏡対物レンズのレンズ断面図である。
【図２０】（ａ）〜（ｄ）は、実施例１０の顕微鏡対物レンズの収差図である。
【図２１】結像レンズの断面図である。
【図２２】本発明の実施例１の顕微鏡対物レンズと結像レンズを組み合わせたときのレンズ断面図である。
【図２３】顕微鏡対物レンズユニットの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明にかかる顕微鏡対物レンズの実施形態及び実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態及び実施例によりこの発明が限定されるものではない。
以下の説明において、物体側とは試料側のことをいう。
【００１１】
本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（１）、（２）を満足することを特徴とする。
０．０５＜ＮＡ＜０．４      （１）
３ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜５０ｍｍ      （２）
ここで、
ＮＡは、顕微鏡対物レンズの物体側の開口数、
Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、
である。
【００１２】
条件式（２）は、顕微鏡対物レンズの物体側の開口数ＮＡと顕微鏡対物レンズの総肉厚Ｄの関係を定める条件式であり、条件式（１）は条件式（２）におけるＮＡの範囲を規定する条件である。
条件式（２）の下限を下回ると、総肉厚Ｄに対してＮＡが大きすぎるため、収差が大きくなり解像度が低くなる。
条件式（２）の上限を上回ると、総肉厚が厚い（Ｄが大きい）ため顕微鏡対物レンズで吸収される光量が多くなり、これにより透過率が低下する。
【００１３】
条件式（１）に代えて、以下の条件式（１’）を満足するとよい。
０．１＜ＮＡ＜０．３      （１’）
【００１４】
さらに好ましくは、条件式（１）に代えて、以下の条件式（１’’）を満足するとよい。
０．１５＜ＮＡ＜０．２５      （１’’）
【００１５】
条件式（２）に代えて、以下の条件式（２’）を満足するとよい。
４ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜３０ｍｍ      （２’）
【００１６】
さらに好ましくは、条件式（２）に代えて、以下の条件式（２’’）を満足するとよい。
５ｍｍ＜Ｄ／ＮＡ＜２２ｍｍ      （２’’）
また、条件式（１’）の上限値又は下限値を、条件式（１）、（１’’）の上限値又は下限値としても良いし、条件式（１’’）の上限値又は下限値を、条件式（１）、（１’）の上限値又は下限値としても良い。
また、条件式（２’）の上限値又は下限値を、条件式（２）、（２’’）の上限値又は下限値としても良いし、条件式（２’’）の上限値又は下限値を、条件式（２）、（２’）の上限値又は下限値としても良い。
【００１７】
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（３）を満足することが好ましい。
０．５＜Ｄ／ＡＤ＜７      （３）
ここで、
Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、
ＡＤは、顕微鏡対物レンズの各レンズ間の空気間隔の総和、
である。
【００１８】
条件式（３）は、顕微鏡対物レンズの総肉厚Ｄと顕微鏡対物レンズの各レンズ間の空気間隔の総和ＡＤの関係を定める条件式である。
条件式（３）の下限を下回ると、総肉厚が薄い（Ｄが小さい）ため非点収差と像面湾曲の補正を両立することができなくなる。
条件式（３）の上限を上回ると、総肉厚が厚い（Ｄが大きい）ため透過率が低下する。
【００１９】
条件式（３）に代えて、以下の条件式（３’）を満足するとよい。
１＜Ｄ／ＡＤ＜５      （３’）
【００２０】
さらに好ましくは、条件式（３）に代えて、以下の条件式（３’’）を満足するとよい。
１．５＜Ｄ／ＡＤ＜３．５      （３’’）
また、条件式（３’）の上限値又は下限値を、条件式（３）、（３’’）の上限値又は下限値としても良いし、条件式（３’’）の上限値又は下限値を、条件式（３）、（３’）の上限値又は下限値としても良い。
【００２１】
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（４）を満足することが好ましい。
０．２＜Ｄ／ｆ＜２      （４）
ここで、
Ｄは、顕微鏡対物レンズの総肉厚、
ｆは、顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離、
である。
【００２２】
条件式（４）は、顕微鏡対物レンズの総肉厚Ｄと顕微鏡対物レンズ全系の焦点距離ｆの関係を定める条件式である。
条件式（４）の下限を下回ると、顕微鏡対物レンズの焦点距離が長いため、高倍観察するには結像レンズの焦点距離も長くする必要がある。そのため、光学系全体が大きくなってしまう。
条件式（４）の上限を上回ると、総肉厚が厚い（Ｄが大きい）ため顕微鏡対物レンズで吸収される光量が多くなり、これにより透過率が低下する。
【００２３】
条件式（４）に代えて、以下の条件式（４’）を満足するとよい。
０．３＜Ｄ／ｆ＜１．３      （４’）
【００２４】
さらに好ましくは、条件式（４）に代えて、以下の条件式（４’’）を満足するとよい。
０．４＜Ｄ／ｆ＜１      （４’’）
また、条件式（４’）の上限値又は下限値を、条件式（４）、（４’’）の上限値又は下限値としても良いし、条件式（４’’）の上限値又は下限値を、条件式（４）、（４’）の上限値又は下限値としても良い。
【００２５】
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズにおいて、顕微鏡対物レンズを構成するレンズは、少なくとも２種類の硝材からなり、レンズのｄ線に対する屈折率は１．７以下であることが好ましい。
これにより、色収差の補正が可能となる。
また、屈折率が１．７以上になると、レンズ面と空気面の屈折率差が大きくなり、レンズ表面の反射率が高くなる。そのため、透過率が低下してしまう。
【００２６】
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズにおいて、顕微鏡対物レンズは顕微鏡対物レンズユニットに収容され、この顕微鏡対物レンズユニットは、観察装置に着脱可能な着脱部を有することが好ましい。
顕微鏡の観察範囲は、「視野数／（結像レンズの焦点距離／顕微鏡対物レンズの焦点距離）」であり、着脱部を有することにより様々な種類の顕微鏡に対して着脱できる。
【００２７】
また、本実施形態の顕微鏡対物レンズにおいて、顕微鏡対物レンズの同焦点距離ＰＤは
次式（５）で算出することが好ましい。
ＰＤ＝４５＋１５ｍ      （５）
ここで、ｍは−１、０、１、２、３、又は４である。
また、同焦点距離ＰＤはカバーガラスが無い場合の同焦点距離であって、カバーガラスがある場合の同焦点距離は、カバーガラスなしの場合の同焦点距離ＰＤにｔ（ｎ−１／ｎ）が加わったものである。ここで、ｔはカバーガラスの厚さ、ｎはカバーガラスの屈折率である。
上式（５）で算出する同焦点距離は、既存の顕微鏡対物レンズと同じ同焦点距離であるため、本顕微鏡対物レンズが選択されたときも、常に試料にピントを合わせることができる。
【００２８】
以下に、本発明に係る顕微鏡対物レンズの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【００２９】
以下、本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１〜１０について説明する。実施例１〜１０のレンズ断面図を、それぞれ図１、図３、図５、図７、図９、図１１、図１３、図１５、図１７、図１９に示す。これらの断面図中、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７は各レンズ、カバーガラスはＣで示してある。また、図２１は結像レンズの断面図、図２２は、本発明の顕微鏡対物レンズと結像レンズを組み合わせたときのレンズ断面図である。図２２において、ＯＢは対物レンズ、ＴＬは結像レンズである。
【００３０】
なお、実施例１〜１０の顕微鏡対物レンズは、無限遠補正の顕微鏡対物レンズである。無限遠補正の顕微鏡対物レンズでは、顕微鏡対物レンズから出射する光束が平行になるので、それ自体では結像しない。そのため、この平行光束は、例えば、図２１に示すような結像レンズで集光される。そして、平行光束が集光された位置に試料面の像が形成される。
【００３１】
実施例１の顕微鏡対物レンズは、図１に示すように、物体側より順に、両凹負レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
各実施例において、第１面ｒ１は試料面である。
【００３２】
非球面は、両凹負レンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、正メニスカスレンズＬ３の両面と、負メニスカスレンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計１０面に用いている。
【００３３】
実施例２の顕微鏡対物レンズは、図３に示すように、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
【００３４】
非球面は、負メニスカスレンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、正メニスカスレンズＬ３の両面と、負メニスカスレンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計１０面に用いている。
【００３５】
実施例３の顕微鏡対物レンズは、図５に示すように、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１と、両凹負レンズＬ２と、両凹負レンズＬ３と両凸正レンズＬ４の接合レンズと、両凸正レンズＬ５と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ６と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ７とで構成されている。
【００３６】
非球面は、正メニスカスレンズＬ１の両面と、両凹負レンズＬ２の両面と、両凹負レンズＬ３の物体側の面と、両凸正レンズＬ４の像側の面と、両凸正レンズＬ５の両面と、正メニスカスレンズＬ６の両面と、負メニスカスレンズＬ７の両面との合計１２面に用いている。
【００３７】
実施例４の顕微鏡対物レンズは、図７に示すように、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３と、両凸正レンズＬ４とで構成されている。
【００３８】
非球面は、負メニスカスレンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、負メニスカスレンズＬ３の両面との合計６面に用いている。
【００３９】
実施例５の顕微鏡対物レンズは、図９に示すように、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２と、両凸正レンズＬ３とで構成されている。
【００４０】
非球面は、負メニスカスレンズＬ１の両面と、負メニスカスレンズＬ２の両面と、両凸正レンズＬ３の両面との合計６面に用いている。
【００４１】
実施例６の顕微鏡対物レンズは、図１１に示すように、両凹負レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３と、両凹負レンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
【００４２】
非球面は、両凹負レンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、正メニスカスレンズＬ３の両面と、両凹負レンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計１０面に用いている。
【００４３】
実施例７の顕微鏡対物レンズは、図１３に示すように、両凹負レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３との接合レンズと、両凹負レンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
【００４４】
非球面は、両凹負レンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の物体側の面と、正メニスカスレンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３との接合面と、負メニスカスレンズＬ３の像側の面と、両凹負レンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計９面に用いている。
【００４５】
実施例８の顕微鏡対物レンズは、図１５に示すように、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、両凸正レンズＬ３と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
【００４６】
非球面は、負メニスカスレンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、両凸正レンズＬ３の両面と、負メニスカスレンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計１０面に用いている。
【００４７】
実施例９の顕微鏡対物レンズは、図１７に示すように、両凹負レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３との接合レンズと、両凹負レンズＬ４と、両凸正レンズＬ５とで構成されている。
【００４８】
非球面は、両凹負レンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の物体側の面と、正メニスカスレンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３との接合面と、負メニスカスレンズＬ３の像側の面と、両凹負レンズＬ４の両面と、両凸正レンズＬ５の両面との合計９面に用いている。
【００４９】
実施例１０の顕微鏡対物レンズは、図１９に示すように、両凹負レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、両凸正レンズＬ３と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４と、両凹負レンズＬ５と、両凸正レンズＬ６とで構成されている。
【００５０】
非球面は、両凹負レンズＬ１の両面と、正メニスカスレンズＬ２の両面と、両凸正レンズＬ３の両面と、正メニスカスレンズＬ４の両面と、両凹負レンズＬ５の両面と、両凸正レンズＬ６の両面との合計１２面に用いている。
【００５１】
結像レンズは、図２１に示すように、両凸レンズＬ１１と、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と、両凸レンズＬ１３と、両凹負レンズＬ１４とで構成されている。両凸レンズＬ１１と負メニスカスレンズＬ１２とが接合されている。また、両凸レンズＬ１３と両凹負レンズＬ１４とが接合されている。
【００５２】
以下に、上記各実施例の数値データを示す。記号は上記の外、ｒは各レンズ面の曲率半径、ｄは各レンズ面間の間隔、ｎｄは各レンズのｄ線の屈折率、νｄは各レンズのアッベ数である。また、焦点距離は全系の焦点距離、ＮＡは物体側の開口数、ＷＤは作動距離である。
【００５３】
また、非球面形状は、ｘを光の進行方向を正とした光軸とし、ｙを光軸と直交する方向にとると、下記の式にて表される。
ｘ＝（ｙ2／Ｒ）／［１＋｛１−（ｋ＋１）（ｙ／Ｒ）2｝1/2］
＋aｙ4 ＋bｙ6＋cｙ8＋dｙ10＋eｙ12＋fｙ14＋gｙ16
ただし、Ｒは近軸曲率半径、ｋは円錐係数、a、b、c、d、e、f、gはそれぞれ４次、６
次、８次、１０次、１２次、１４次、１６次の非球面係数である。また、非球面係数において、「ｅ−ｎ」（ｎは整数）は、「１０−ｎ」を示している。
【００５４】
数値実施例１
単位ｍｍ
面データ
面番号      r         d         nd       νd
1（物面）  ∞       0.17      1.5163    64.1
2          ∞       0.93
3*      -39.28      0.41      1.5307    55.7
4*        1.58      0.55
5*        1.08      0.69      1.5307    55.7
6*        1.16      0.31
7*        1.27      0.55      1.5307    55.7
8*        2.82      0.63
9*       -2.01      0.33      1.6349    23.9
10*       -7.77      0.04
11*        8.27      0.70      1.5307    55.7
12*       -1.74
非球面データ
第３面
k=1.5000e+001
a=1.5292e-002,b=-2.6082e-003,c=6.9681e-004,d=-3.0641e-005
第４面
k=-8.1764e-001
a=-7.7369e-002,b=1.0338e-002,c=1.0829e-004,d=-9.8389e-005
第５面
k=-1.2590e+000
a=-1.7655e-002,b=-2.5790e-003
第６面
k=-8.6895e-001
a=-1.0585e-001,b=1.7929e-002,c=1.6927e-003
第７面
k=-1.5753e+000
a=-4.1155e-002,b=1.4678e-002
第８面
k=1.3514e+000
a=1.7655e-002,b=-3.3527e-003
第９面
k=1.5046e+000
a=5.3763e-002,b=-2.9705e-002,c=-6.9808e-004
第１０面
k=3.5929e+000
a=3.4244e-002,b=-3.2268e-002,c=-2.1329e-003
第１１面
k=-5.0000e+000
a=-1.3838e-002,b=-5.7848e-004,c=4.1265e-004
第１２面
k=-1.1539e+000
a=-2.5780e-002,b=-2.2360e-003,c=3.7672e-003
焦点距離   4.5
ＮＡ       0.17
ＷＤ       0.93
最大像高   0.28
【００５５】
数値実施例２
単位ｍｍ
面データ
面番号      r         d         nd       νd
1（物面）  ∞       0.17      1.5163    64.1
2          ∞       1.10
3*        9.58      0.37      1.5337    55.9
4*        1.20      0.63
5*        1.43      0.66      1.5446    56.0
6*        4.75      0.31
7*        6.27      0.61      1.5446    56.0
8*       55.42      0.69
9*       -2.22      0.43      1.6142    25.6
10*      -10.83      0.06
11*       15.52      0.72      1.5337    55.9
12*       -1.93
非球面データ
第３面
k=-2.2071e+002
a=1.3211e-002,b=-8.2349e-004,c=2.0830e-004,d=-4.7133e-006,e=-1.0299e-006,
f=8.7247e-008,g=-9.5085e-010
第４面
k=-1.6336e+000
a=-2.8064e-002,b=2.8170e-003,c=-2.0563e-004,d=-1.9198e-005,e=2.9801e-006,
f=-4.5050e-008,g=1.3259e-008
第５面
k=-5.7921e-001
a=-1.0702e-002,b=-2.5916e-002,c=4.2975e-003,d=-3.7653e-004,e=-1.4533e-005,
f=-1.4245e-006,g=7.7289e-007
第６面
k=2.4836e-001
a=3.2573e-002,b=-3.3138e-002,c=2.5668e-002,d=-5.7221e-003,e=3.0196e-004,
f=-1.5543e-005,g=-1.2315e-005
第７面
k=-3.9383e+000
a=-6.7509e-003,b=2.0564e-002,c=3.5887e-003,d=-3.0518e-003,e=-4.9395e-005,
f=-9.4424e-006,g=1.4299e-006
第８面
k=-3.8964e+002
a=1.0676e-002,b=1.1249e-002,c=-9.4845e-003,d=1.2875e-003,e=-6.1447e-005,
f=-5.6834e-005,g=1.0704e-004
第９面
k=1.4272e+000
a=4.1289e-002,b=-1.6301e-002,c=1.4390e-002,d=-6.2550e-004,e=1.3290e-003,
f=4.5438e-004,g=-1.6981e-003
第１０面
k=-1.5658e+002
a=-1.4678e-002,b=3.2408e-002,c=-2.5992e-002,d=5.0919e-003,e=2.6945e-003,
f=4.2757e-003,g=-2.9207e-003
第１１面
k=-3.8871e+002
a=-3.3433e-002,b=1.6018e-002,c=-1.8520e-002,d=-1.1819e-003,e=-3.7513e-003,
f=-4.9674e-003,g=3.2479e-003
第１２面
k=2.6646e-001
a=-4.1496e-003,b=3.6642e-003,c=-9.0048e-003,d=-9.5081e-005,e=5.1015e-004,
f=4.2305e-004,g=-1.9400e-003
焦点距離   5.0
ＮＡ       0.21
ＷＤ       1.10
最大像高   0.30
【００５６】
数値実施例３
単位ｍｍ
面データ
面番号      r         d         nd       νd
1（物面）  ∞       0.17      1.5163    64.1
2          ∞       0.70
3*        4.72      0.82      1.8211    24.1
4*       13.45      1.50
5*      -50.02      0.42      1.7738    47.2
6*        4.61      0.96
7*       -4.75      0.49      1.8211    24.1
8         6.10      0.64      1.8514    40.1
9*       -5.58      0.19
10*       41.52      0.86      1.5920    67.0
11*       -2.03      3.67
12*       -5.26      0.67      2.1022    16.8
13*       -3.32      0.53
14*       -2.44      0.51      1.9027    31.0
15*      -27.74
非球面データ
第３面
k=-2.7220e+000
a=-1.4425e-002,b=3.8809e-003,c=-2.9335e-004
第４面
k=-1.3940e+000
a=-6.1447e-003,b=1.6318e-003,c=-1.5337e-004
第５面
k=-4.0363e+004
a=-2.8314e-002,b=1.7695e-002,c=-1.5017e-003
第６面
k=-3.1120e+000
a=-4.0760e-003,b=8.6040e-003,c=6.9363e-003
第７面
k=-3.2788e+001
a=-8.5977e-002,b=6.6520e-003,c=-1.5895e-002
第９面
k=4.8450e+000
a=1.1716e-003,b=-1.2806e-002,c=4.5774e-003
第１０面
k=-7.9163e+002
a=1.3920e-002,b=-1.2687e-002,c=3.0654e-003
第１１面
k=-9.8900e-001
a=-3.0943e-003,b=-1.0238e-003,c=-5.9130e-004
第１２面
k=-2.1342e+001
a=5.9690e-003,b=-9.0805e-004,c=-9.3268e-005
第１３面
k=-6.6050e+000
a=4.5399e-003,b=-2.7820e-003,c=1.4599e-004
第１４面
k=8.6000e-002
a=8.1220e-003,b=-4.8231e-003,c=1.1973e-003
第１５面
k=-2.2449e+002
a=-7.5280e-003,b=1.7458e-003,c=-9.3967e-005
焦点距離   3.5
ＮＡ       0.16
ＷＤ       0.7
最大像高   0.21
【００５７】
数値実施例４
単位ｍｍ
面データ
面番号      r         d         nd       νd
1（物面）  ∞       0.17      1.5163    64.1
2          ∞       1.41
3*       -1.09      0.59      1.5247    56.4
4*      -15.96      0.10
5*        1.04      0.91      1.5247    56.4
6*        3.91      0.78
7*       -3.17      0.37      1.6070    27.6
8*      -26.96      0.20
9        20.00      0.69      1.4845    70.2
10        -1.70 
非球面データ
第３面
k=-6.9786e+000
a=6.3761e-002,b=-1.8935e-002,c=5.0398e-003,d=-7.1260e-004,e=4.5015e-005
第４面
k=3.1388e+001
a=7.7831e-002,b=-1.9566e-002,c=8.0390e-004,d=3.7556e-004,e=-4.4489e-005
第５面
k=-4.3135e+000
a=5.7351e-002,b=-3.6453e-002,c=1.7406e-002,d=-7.9964e-003,e=1.1960e-003
第６面
k=-1.8788e+001
a=1.9904e-002,b=1.9157e-002,c=-1.0712e-002,d=6.1387e-003
第７面
k=-3.1804e+000
a=-1.0317e-002,b=8.5494e-003,c=-1.5358e-002,d=-1.1944e-003,e=-4.1261e-003
第８面
k=0.0000e+000
a=2.6155e-002,b=2.1272e-002,c=-3.8343e-002
焦点距離   4.5
ＮＡ       0.17
ＷＤ       1.41
最大像高   0.28
【００５８】
数値実施例５
単位ｍｍ
面データ
面番号      r         d         nd       νd
1（物面）  ∞       0.17      1.5163    64.1
2          ∞       1.39
3*       -1.95      0.78      1.5300    56.2
4*       -2.35      0.56
5*        1.31      0.44      1.5750    39.0
6*        0.81      0.42
7*        6.59      0.81      1.5300    56.2
8*       -1.61 
非球面データ
第３面
k=-1.0449e+001
a=5.5882e-002,b=-1.3350e-002,c=2.6973e-003,d=-1.0012e-004
第４面
k=-1.6403e+001
a=6.9137e-002,b=-3.4070e-002,c=1.1627e-002,d=-1.5912e-003
第５面
k=-9.3960e-001
a=-3.6455e-002,b=-3.0444e-001,c=3.8188e-003,d=6.7536e-002
第６面
k=-9.7480e-001
a=9.8250e-002,b=-3.8374e-001,c=3.9960e-001,d=-1.0609e-001
第７面
k=-1.0445e+000
a=1.8012e-001,b=1.3582e-001,c=8.8920e-002,d=-1.5580e-002
第８面
k=2.8889e-001
a=5.2987e-002,b=-3.7558e-002,c=2.3123e-001,d=5.2485e-003
焦点距離   4
ＮＡ       0.14
ＷＤ       1.39
最大像高   0.24
【００５９】
数値実施例６
単位  ｍｍ
面データ
面番号          r         d        nd        νd   
1（物面）    ∞       0.17     1.5163     64.1
2            ∞       0.79     
3*         -0.90      0.38     1.5346     56.2
4*          4.23      0.24     
5*          0.77      0.48     1.5346     56.2
6*          3.40      0.49     
7*        -14.41      0.31     1.5346     56.2
8*         -2.73      0.13     
9*         -2.47      0.27     1.6142     25.6
10*         11.08      0.04     
11*         10.28      0.42     1.5346     56.2
12*         -1.54    
非球面データ
第３面 
k=-7.2952e+000
a=8.2593e-002,b=-3.8628e-002,c=1.1216e-002,d=-1.6482e-003,
e=9.3301e-005,f=9.1826e-007
第４面 
k=-8.4623e+001
a=1.0703e-001,b=-4.8837e-002,c=3.2315e-003,d=1.2418e-003,
e=-3.7604e-005,f=-2.2653e-005
第５面 
k=-3.5235e+000
a=7.4952e-002,b=-1.0607e-001,c=-3.4672e-002,d=5.2016e-002,
e=-1.0626e-002
第６面 
k=-9.7572e+000
a=2.0008e-002,b=-2.0028e-002,c=6.8054e-004,d=7.8958e-002,
e=-3.9562e-002
第７面 
k=3.7214e-001
a=1.0621e-001,b=-9.4595e-003,c=2.0391e-001,d=-3.1096e-001
第８面 
k=-4.5023e+001
a=-1.1555e-002,b=1.8757e-001,c=-3.8287e-001,d=1.5204e-001
第９面 
k=-3.7611e+001
a=-2.0245e-001,b=-2.3268e-002,c=1.2746e-001,d=1.1058e-001,
e=-2.3861e-001
第１０面 
k=-2.1643e+002
a=2.1911e-002,b=-5.4176e-001,c=1.3602e+000,d=-1.2114e+000
第１１面 
k=-9.6108e+002
a=1.5497e-001,b=-4.0951e-001,c=1.0064e+000,d=-6.0425e-001
第１２面 
k=-1.4896e+000
a=-5.4856e-003,b=8.9888e-002,c=-1.2373e-001,d=4.2339e-001
焦点距離   3
ＮＡ       0.21
ＷＤ       0.79
最大像高   0.18
【００６０】
数値実施例７
単位  ｍｍ
面データ
面番号          r         d        nd        νd   
1（物面）    ∞       0.17     1.5163     64.1
2            ∞       1.28     
3*         -2.83      0.51     1.5337     55.9
4*          4.41      0.68     
5*          1.62      0.67     1.5240     50.4
6*          5.16      0.62     1.6170     27.2
7*          4.79      0.82     
8*         -3.80      0.35     1.6142     25.6
9*         59.08      0.08     
10*          6.36      1.22     1.5337     60.9
11*         -2.35   
非球面データ
第３面 
k=-1.2054e+001
a=2.1887e-002,b=-2.7506e-003,c=3.8796e-004,d=-1.9352e-005,
e=8.2592e-009,f=1.3377e-008
第４面 
k=0.0000e+000
a=6.8448e-003,b=3.3012e-004,c=-3.2337e-004,d=1.9812e-005
第５面 
k=-2.1483e+000
a=2.7806e-004,b=6.8437e-003,c=-2.0949e-003,d=1.9903e-004
第６面 
k=-1.4101e-001
a=-1.3732e-003,b=2.5922e-003,c=5.7859e-004,d=-2.7593e-005
第７面
k=1.0316e+001
a=6.9840e-003,b=3.6586e-004,c=-1.4058e-003,d=1.0346e-003
第８面
k=4.3350e+000
a=-2.6018e-003,b=1.0618e-003,c=4.4617e-004,d=-1.6020e-003,
e=1.4011e-004
第９面
k=2.1330e-003
a=3.5192e-003,b=1.8813e-003,c=4.8401e-004,d=-4.2478e-004
第１０面
k=1.8617e+000
a=1.0490e-002,b=7.5218e-003,c=2.1415e-003,d=1.0498e-003
第１１面
k=-9.0499e-001
a=-1.2710e-003,b=5.2158e-004,c=1.3057e-003,d=1.9679e-003
焦点距離   5.5
ＮＡ       0.18
ＷＤ       1.28
最大像高   0.34
【００６１】
数値実施例８
単位  ｍｍ
面データ
面番号          r         d        nd        νd   
1（物面）    ∞       0.17     1.5163     64.1
2            ∞       0.59     
3*         10.95      0.79     1.5307     55.7
4*          1.69      0.69     
5*          1.67      0.34     1.6035     28.2
6*          2.67      0.42     
7*         19.62      0.34     1.6035     28.2
8*        -19.55      0.27     
9*         -1.42      0.32     1.6349     23.9
10*         -5.84      0.06     
11*          6.06      0.54     1.5307     55.7
12*         -1.42    
非球面データ
第３面 
k=-6.3632e+002
a=2.2479e-002,b=1.6472e-003,c=4.9949e-004,d=-7.5157e-005
第４面 
k=-1.1119e+000
a=-6.1610e-002,b=7.8423e-003,c=-7.2282e-004,d=4.7832e-005
第５面 
k=3.3226e-001
a=-6.5088e-002,b=-2.7263e-002,c=5.5793e-003,d=-2.7152e-003
第６面 
k=9.1460e-001
a=4.9709e-002,b=7.5524e-002,c=3.0336e-003,d=2.8298e-002
第７面 
k=1.0177e+002
a=7.2606e-002,b=9.2291e-002,c=-1.2539e-001,d=-4.5273e-002
第８面 
k=4.1914e+001
a=8.2723e-002,b=6.5511e-002,c=-3.3606e-001,d=1.9090e-001
第９面 
k=-9.1829e-002
a=1.7279e-001,b=-3.0575e-001,c=2.8927e-001,d=-1.9949e-001
第１０面 
k=-1.7463e+002
a=-5.1617e-002,b=6.2326e-002,c=-1.6727e-001,d=4.5229e-002
第１１面 
k=-1.1751e+001
a=-7.9690e-002,b=1.0223e-001,c=-1.2552e-001,d=-5.6534e-003
第１２面 
k=-1.1700e-001
a=1.2533e-003,b=7.2215e-003,c=2.6487e-002,d=-3.5646e-002
焦点距離   4.3
ＮＡ       0.20
ＷＤ       0.59
最大像高   0.26
【００６２】
数値実施例９
単位  ｍｍ
面データ
面番号          r         d        nd        νd   
1（物面）    ∞       0.17     1.5163     64.1
2            ∞       1.04     
3*         -1.58      0.50     1.5337     55.9
4*          6.32      0.32     
5*          1.13      0.53     1.5240     50.4
6*          5.38      0.40     1.6170     27.2
7*          4.14      0.63     
8*         -2.88      0.35     1.6142     25.6
9*      14377.94      0.05     
10*          5.97      1.08     1.5337     55.9
11*         -1.86   
非球面データ
第３面 
k=-9.4343e+000
a=5.5641e-002,b=-1.3690e-002,c=3.1786e-003,d=-2.7276e-004,
e=-9.7009e-007,f=9.6475e-007,
第４面 
k=0.0000e+000
a=5.0196e-002,b=-5.2961e-003,c=-2.4022e-003,d=3.5040e-004,
第５面 
k=-3.4281e+000
a=6.3824e-002,b=-1.0565e-002,c=3.1794e-003,d=-2.3892e-003
第６面 
k=1.2640e+001
a=-6.4902e-003,b=1.7414e-002,c=1.8720e-002,d=-1.2693e-002
第７面 
k=1.1806e+001
a=2.5099e-003,b=2.1903e-002,c=-8.9325e-003,d=8.0857e-004
第８面 
k=-6.3806e-001
a=-1.5003e-003,b=7.3876e-004,c=4.2816e-003,d=-1.8874e-002,
e=5.0296e-003
第９面 
k=-1.0000e-006
a=6.1011e-002,b=1.7715e-002,c=-1.8570e-002,d=-1.7626e-003
第１０面 
k=-1.1323e+000
a=4.7125e-002,b=2.1068e-002,c=-9.0519e-003,d=6.5676e-003
第１１面 
k=-6.0790e-001
a=-5.3781e-003,b=1.3085e-002,c=-1.9077e-002,d=1.8726e-002
焦点距離   4.2
ＮＡ       0.24
ＷＤ       1.04
最大像高   0.26
【００６３】
数値実施例１０
単位  ｍｍ
面データ
面番号          r         d        nd        νd   
1（物面）    ∞       0.17     1.5163     64.1
2            ∞       0.89      
3*         -0.90      0.38     1.5346     56.2
4*          4.23      0.24     
5*          0.77      0.48     1.5346     56.2
6*          3.40      0.10     
7*          8.35      0.25     1.5346     56.2
8*        -10.21      0.19     
9*         -8.16      0.31     1.5346     56.2
10*         -4.37      0.13     
11*         -2.47      0.27     1.6142     25.6
12*         11.08      0.04     
13*         10.28      0.42     1.5346     56.2
14*         -1.54   
非球面データ
第３面 
k=-7.2952e+000
a=8.2593e-002,b=-3.8628e-002,c=1.1216e-002,d=-1.6482e-003,
e=9.3301e-005,f=9.1826e-007
第４面 
k=-8.4623e+001
a=1.0703e-001,b=-4.8837e-002,c=3.2315e-003,d=1.2418e-003,
e=-3.7604e-005,f=-2.2653e-005
第５面 
k=-3.5235e+000
a=7.4952e-002,b=-1.0607e-001,c=-3.4672e-002,d=5.2016e-002,
e=-1.0626e-002
第６面 
k=-9.7572e+000
a=2.0008e-002,b=-2.0028e-002,c=6.8054e-004,d=7.8958e-002,
e=-3.9562e-002
第７面 
k=1.2957e+002
a=-6.6967e-002,b=-3.9484e-001,c=-4.2037e-001,d=1.2865e+000
第８面 
k=-1.8875e+003
a=-1.3204e-001,b=-2.6347e-001,c=-3.8328e-001,d=6.9353e-001
第９面 
k=-1.1737e+003
a=1.5225e-001,b=8.2861e-002,c=2.6467e-001,d=-1.5780e+000
第１０面 
k=-1.9604e+002
a=1.4629e-001,b=3.8230e-001,c=-5.7452e-001,d=-4.8968e-001
第１１面 
k=-3.7611e+001
a=-2.0245e-001,b=-2.3268e-002,c=1.2746e-001,d=1.1058e-001,
e=-2.3861e-001
第１２面 
k=-2.1643e+002
a=2.1911e-002,b=-5.4176e-001,c=1.3602e+000,d=-1.2114e+000
第１３面 
k=-9.6108e+002
a=1.5497e-001,b=-4.0951e-001,c=1.0064e+000,d=-6.0425e-001
第１４面 
k=-1.4896e+000
a=-5.4856e-003,b=8.9888e-002,c=-1.2373e-001,d=4.2339e-001
焦点距離   3
ＮＡ       0.21
ＷＤ       0.89
最大像高   0.18
【００６４】
結像レンズ
単位ｍｍ
面番号    r           d         nd       νd
1      68.75       7.73     1.4875    70.2
2     -37.57       3.47     1.8061    40.9
3    -102.85       0.70
4      84.31       6.02     1.8340    37.2
5     -50.71       3.03     1.6445    40.8
6      40.66 
焦点距離      180
【００６５】
以上の実施例１〜１０の収差図をそれぞれ図２、図４、図６、図８、図１０、図１２、図１４、図１６、図１８、図２０に示す。各図中、”ＮＡ”は物体側の開口数を、”ＦＩＹ”は最大物体高を示す。なお、実施例１〜１０の各収差図における収差は、結像レンズ側から光線を入射させた時の物体面（試料面）での収差を示している。
【００６６】
これらの収差図において、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ、球面収差（ＳＡ）、非点収差（ＡＳ）、歪曲収差（ＤＴ）、軸外横収差（ＤＹ）を示す。
【００６７】
次に、各実施例における条件式（１）〜（４）の値を掲げる。
条件式  実施例１  実施例２  実施例３  実施例４  実施例５
(1)      0.17      0.21      0.16      0.17      0.14
(2)     15.8      13.3      28.3      11.0      14.5
(3)      1.75      1.65      0.64      1.73      2.07
(4)      0.60      0.56      1.26      0.42      0.51
条件式  実施例６  実施例７  実施例８  実施例９  実施例１０
(1)      0.21      0.18      0.20      0.24      0.21
(2)      8.9      18.7      11.7      11.9      10.2
(3)      2.07      2.13      1.62      2.85      2.98
(4)      0.62      0.61      0.54      0.68      0.71
【００６８】
図２１は、結像レンズの断面図である。図２２は、実施例１の顕微鏡対物レンズと結像レンズを組み合わせたときのレンズ断面図である。
【００６９】
図２３は顕微鏡対物レンズユニット１００の断面図を示している。顕微鏡対物レンズユニット１００は、レンズ鏡筒ＬＢ、レンズ鏡筒ＬＢの一方の端部に収容された顕微鏡対物レンズＯＢ、及び、レンズ鏡筒ＬＢの他方の端部に形成され、観察装置に着脱可能な着脱部Ｍを備える。
図２３において、ＰＤは同焦点距離(parfocalizing distance)である。顕微鏡対物レンズの同焦点距離ＰＤは、例えば、日本工業規格（ＪＩＳ）で規定されている。具体的には、カバーガラスなしの場合、同焦点距離は、ＰＤ＝４５＋１５ｍ（ｍ＝−１，０，１，２，３，４）と規定されている。カバーガラスありの場合は、カバーガラスなしの場合の同焦点距離にｔ（ｎ−１／ｎ）が加わったものになる。例えば、同焦点距離が４５ｍｍの場合、ＰＤ＝［４５＋ｔ（ｎ−１／ｎ）］と規定されている。ここで、ｔはカバーガラスの厚さ、ｎはカバーガラスの屈折率である。
ここで、実施例１の顕微鏡対物レンズでは、第１レンズから第５レンズまでの長さは４．２１ｍｍであるから、例えば、同焦点距離が４５ｍｍの場合、実施例１の顕微鏡対物レンズの同焦点距離に占める割合は約１／１０となる。このように、実施例の顕微鏡対物レンズは、従来の顕微鏡対物レンズにはないほど短い、光学系の長さを有している。なお、図２３において、対物レンズのスケールと、この対物レンズを保持する保持部材のスケールは同じではない。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
以上のように、本発明に係る顕微鏡対物レンズは、光量の損失を抑えることができる点において有用である。
【符号の説明】
【００７１】
Ｌ１〜Ｌ７…各レンズ
Ｌ１１〜Ｌ１４…結像レンズ
Ｍ…着脱部
Ｃ…カバーガラス
ＯＢ…顕微鏡対物レンズ
ＴＬ…結像レンズ
ＬＢ…レンズ鏡筒
ＡＸ…光軸
ＰＤ…同焦点距離
Ｍ…着脱部
１００…顕微鏡対物レンズユニット
【図１】
2013178483.tif 000003
【図２】
2013178483.tif 000004
【図３】
2013178483.tif 000005
【図４】
2013178483.tif 000006
【図５】
2013178483.tif 000007
【図６】
2013178483.tif 000008
【図７】
2013178483.tif 000009
【図８】
2013178483.tif 000010
【図９】
2013178483.tif 000011
【図１０】
2013178483.tif 000012
【図１１】
2013178483.tif 000013
【図１２】
2013178483.tif 000014
【図１３】
2013178483.tif 000015
【図１４】
2013178483.tif 000016
【図１５】
2013178483.tif 000017
【図１６】
2013178483.tif 000018
【図１７】
2013178483.tif 000019
【図１８】
2013178483.tif 000020
【図１９】
2013178483.tif 000021
【図２０】
2013178483.tif 000022
【図２１】
2013178483.tif 000023
【図２２】
2013178483.tif 000024
【図２３】
2013178483.tif 000025