(57)【要約】【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。【解決手段】有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク１６を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置１３は、蒸着マスク１６を収容する洗浄槽としての電解槽２０と、電解槽２０にアルカリ性の電解液を供給するポンプ２１および貯留槽２２からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極２３および陰極電極２４の電極と、陽極電極２３および陰極電極２４の電極間に通電する通電部２６と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスクを洗浄するための蒸着マスク洗浄装置であって、
前記蒸着マスクを収容する洗浄槽と、
前記洗浄槽にアルカリ性の電解液を供給する電解液供給部と、
前記洗浄槽内に設けられている陽極電極および陰極電極の各電極と、
前記陽極電極および陰極電極の各電極間に通電する通電部と、
を備えることを特徴とする蒸着マスク洗浄装置。
【請求項２】
前記アルカリ性の電解液は、その濃度が３％より大きい水酸化カリウム溶液であることを特徴とする請求項１記載の蒸着マスク洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽に貯留されている前記アルカリ性の電解液を撹拌するための撹拌手段をさらに備えることを特徴とする請求項１または２記載の蒸着マスク洗浄装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項記載の蒸着マスク洗浄装置と、
有機溶剤を用いて蒸着マスクを洗浄する溶剤洗浄装置と、を組み合わせたことを特徴とする蒸着マスク洗浄システム。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか一項記載の蒸着マスク洗浄装置を用いて蒸着マスクを洗浄する電解洗浄工程を実施することを特徴とする蒸着マスク洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスクを洗浄するための蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンスデバイス（以下、有機ＥＬデバイスと称する）は、発光素子の多くに低分子材料（以下、有機ＥＬ材料と称する）が用いられており、その製造時には有機ＥＬ材料を基材に蒸着する真空蒸着工程が多く実施されている。この真空蒸着工程では、発光素子のパターン形成すなわち基剤のマスクを目的として、例えば薄膜状や平板状に形成されその表面に微細なパターンが高精度に設けられた蒸着マスクが用いられる。この蒸着マスクは、真空蒸着工程において有機ＥＬ材料が付着することから、使用後には蒸着マスクに付着した有機ＥＬ材料などの付着物を除去する必要がある。そこで、蒸着マスクを例えば炭化水素系溶剤などに浸せきして付着物を除去するいわゆるウェット式の洗浄方法や、蒸着マスクに付着した付着物をレーザ光やプラズマガスなどを用いて付着物を物理的に除去するいわゆるドライ式の洗浄方法などが提案されている（例えば、特許文献１、２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１１３０４３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１８６１６７号公報
【特許文献３】特開２００３−３３２０５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、溶剤を用いたウェット式の洗浄方法の場合、蒸着時には蒸着マスクに有機ＥＬ材料などの付着物が強固に付着すること、また、付着物の量が多いことなどから、蒸着マスクに設けられているパターンの細孔部などに入り込んだ付着物の除去が困難である。また、ドライ式の洗浄方法の場合、付着物を物理的に除去する際の衝撃が大きく、蒸着マスクそのもの、あるいは蒸着マスクに設けられている微細なパターンなどを破損するおそれがある。
【０００５】
本発明は、蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明は、有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスクを洗浄するための蒸着マスク洗浄装置であって、前記蒸着マスクを収容する洗浄槽と、前記洗浄槽にアルカリ性の電解液を供給する電解液供給部と、前記洗浄槽内に設けられている陽極電極および陰極電極の各電極と、前記陽極電極および陰極電極の各電極間に通電する通電部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明は、前記アルカリ性の電解液は、その濃度が３％より大きい水酸化カリウム溶液であることを特徴とする。
請求項３に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明は、前記洗浄槽に貯留されている前記アルカリ性の電解液を撹拌するための撹拌手段をさらに備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載した蒸着マスク洗浄システムの発明は、請求項１から３のいずれか一項記載の蒸着マスク洗浄装置と、有機溶剤を用いて蒸着マスクを洗浄する溶剤洗浄装置と、を組み合わせたことを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載した蒸着マスク洗浄方法の発明は、請求項１から３のいずれか一項記載の蒸着マスク洗浄装置を用いて蒸着マスクを洗浄する電解洗浄工程を実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明、請求項４に記載した蒸着マスク洗浄システムの発明および請求項５に記載した蒸着マスク洗浄方法の発明によれば、アルカリ性の電解液を貯留した洗浄槽内に設けられている陽極および陰極の電極間に通電することにより、蒸着マスクを電解洗浄する。このとき、各電極には気泡が生じ、その気泡により蒸着マスクの表面やパターンあるいはパターンの側壁部などの微細に形成された部位が洗浄される。したがって、蒸着マスクに付着した有機ＥＬ材料などの付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去することができる。
【００１１】
請求項２に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明によれば、アルカリ性の電解液として水酸化カリウム溶液を用いているので、水酸化カリウム溶液によるエッチング効果によって蒸着マスクに強固に付着した付着物を除去することができる。また、水酸化カリウム溶液の濃度を３％よりも大きくすることにより、より効率よく付着物を除去することができ、洗浄効率を向上させることができる。
【００１２】
請求項３に記載した蒸着マスク洗浄装置の発明によれば、電解液を撹拌しつつ電解洗浄を実施するので、例えば電極に近接する部位と電極から離れた部位とにおける電解液の濃度にムラが生じることを防止できるとともに、電解洗浄工程に各電極で生じる気泡をまんべんなく蒸着マスクの全体に行き渡らせることができる。したがって、電解洗浄を効率よく実施することができるとともに、蒸着マスクの洗浄効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】一実施形態による電解洗浄装置を用いた蒸着マスク洗浄システムの構成を概略的に示す図
【図２】一実施形態による電解洗浄装置を模式的に示す図
【図３】一実施形態による蒸着マスクの洗浄処理の流れを示す図
【図４】一実施形態による水酸化カリウム溶液の濃度と剥離程度との関係を示す図
【図５】一実施形態による撹拌の有無と剥離程度との関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態による蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法について、図１から図５を参照しながら説明する。
図１に示すように、蒸着マスク洗浄システム１０は、溶剤洗浄装置１１、第一リンス装置１２、電解洗浄装置１３、第二リンス装置１４および乾燥装置１５を備えている。この蒸着マスク洗浄システム１０は、蒸着マスク１６を洗浄する。本実施形態で想定している蒸着マスク１６は、有機ＥＬデバイスの製造工程における真空蒸着工程において有機ＥＬ材料を蒸着する基材をマスクするためのものであり、図示は省略するが、その表面に微細なパターンが高精度に形成されている。蒸着マスク１６は、例えばニッケルおよびその合金あるいはステンレスなど導電性を有する材料により形成されている。本実施形態の蒸着マスク１６は、その外形が概ね６５ｍｍ×７５ｍｍ程度、厚みが概ね１ｍｍ程度の薄膜状に形成されている。なお、蒸着マスク１６は、対象となる基材の大きさにより様々な大きさ及び厚みのものが用いられる。つまり、本実施形態の、蒸着マスク洗浄システム１０は、様々な大きさの蒸着マスク１６を洗浄対象としている。なお、蒸着マスク洗浄システム１０には、図１に示す各装置間で蒸着マスク１６を搬送する図示しない搬送装置、および蒸着マスク洗浄システム１０の全体を制御するための図示しない主制御装置なども設けられている。
【００１５】
溶剤洗浄装置１１は、周知の構成もののであり、例えば炭化水素系の洗浄溶剤やＮ−メチルピロリドンなどの溶剤特には有機溶剤を用いて蒸着マスク１６を洗浄する。図１には模式的に蒸着マスク１６を浸せきする槽型の溶剤洗浄装置１１を示しているが、溶剤洗浄装置１１は、例えば溶剤を蒸着マスク１６に吐出するいわゆるシャワー型のものを採用してもよい。また、溶剤洗浄装置１１は、いわゆる超音波洗浄を行う超音波洗浄装置と組み合わせて用いてもよい。さらには、洗浄工程における洗浄効率すなわち洗浄のスループットを向上させるために溶剤洗浄装置１１を複数台設けた構成としてもよい。
【００１６】
第一リンス装置１２は、周知の構成のものであり、溶剤洗浄装置１１において蒸着マスク１６に付着した溶剤を例えば純水などのリンス剤により洗い流す。換言すると、第一リンス装置１２は、蒸着マスク１６をリンスする。図１では１台の第一リンス装置１２を示したが、一般的に第一リンス装置１２は複数台設けられており、蒸着マスク１６を段階的にリンスする構成となっている。この第一リンス装置１２は、例えば、図１に示すような蒸着マスク１６を浸せきする槽型のもの、あるいは、蒸着マスク１６にリンス剤を吐出するシャワー型のものなどを採用できる。また、槽型およびシャワー型のものを組み合わせた構成としてもよい。
【００１７】
電解洗浄装置１３は、特許請求の範囲に記載した蒸着マスク洗浄装置に相当し、蒸着マスク１６を電解洗浄する。つまり、本実施形態の蒸着マスク洗浄システム１０は、有機溶剤を用いて蒸着マスク１６を洗浄する周知の溶剤洗浄装置１１と、蒸着マスク１６を電解洗浄する電解洗浄装置１３とを組み合わせた構成となっている。電解洗浄装置１３は、図２に示すように、電解槽２０、ポンプ２１、貯留槽２２、陽極電極２３および陰極電極２４の各電極、マスク保持部２５、通電部２６および２つの撹拌翼２７を備えている。
【００１８】
電解槽２０は、特許請求の範囲に記載した洗浄槽に相当し、蒸着マスク１６を収容する。また、電解槽２０は、ポンプ２１によって貯留槽２２に貯留されているアルカリ性の電解液が供給される。本実施形態では、アルカリ性の電解液として、エッチング効果を奏する水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用いている。また、水酸化カリウム溶液は、後述するように濃度が３％より大きいものを用いている。これらポンプ２１および貯留槽２２は、特許請求の範囲に記載した電解液供給部を構成している。この電解槽２０には、後述する電解洗浄工程において、蒸着マスク１６ならびに陽極電極２３および陰極電極２４の各電極を浸せきできるだけの電解液が貯留される。
【００１９】
陽極電極２３および陰極電極２４の各電極は、電解槽２０の内部に設けられている。このうち、陽極電極２３は、電解槽２０の内部に設けられ蒸着マスク１６を保持するためのマスク保持部２５に取り付けられている。この陽極電極２３は、マスク保持部２５に保持された蒸着マスク１６に接触する位置関係となるように設けられている。つまり、電解洗浄時には、導電性を有する蒸着マスク１６自体が陽極として機能する。陰極電極２４は、電解槽２０の内壁に、陽極電極２３と離間した状態で設けられている。これら陽極電極２３および陰極電極２４は、通電部２６に接続している。通電部２６は、陽極電極２３および陰極電極２４の各電極間に通電するためのいわゆる直流電源装置である。本実施形態の場合、通電部２６は、電解洗浄工程において、１２Ｖより大きい直流電圧、４Ａより大きい直流電流を安定して通電可能に構成されている。
【００２０】
ここで、電解洗浄について簡単に説明する。電解液を貯留した状態で通電部２６から通電を行うと、各電極では以下のような化学反応が生じる。
陰極（−極）側：２Ｈ2Ｏ＋２ｅ-  →  Ｈ2＋２ＯＨ-
陽極（＋極）側：２ＯＨ  →  Ｈ2Ｏ＋１／２Ｏ2＋２ｅ-
このように電解槽２０の内部では、陰極側では水分子が還元されて水素が発生し、陽極側では水酸化イオンが酸化されて水分子および酸素が発生する。このとき、上記したように蒸着マスク１６自体が陽極として機能することから、酸素は蒸着マスク１６全体において発生する。そして、発生した酸素により蒸着マスク１６の表面に気泡が生じ、その気泡により蒸着マスク１６の表面に付着した汚れや付着物が除去される。なお、蒸着マスク１６の表面においては酸素の発生により酸化反応が生じるものの、付着物が付着することはない。
【００２１】
撹拌翼２７は、電解槽２０内に設けられており、図示しない回転駆動部に接続されている。撹拌翼２７は、電解洗浄工程には回転駆動部により回転駆動される。このとき、電解槽２０内には、撹拌翼２７によって対流や循環などの流れが形成される。つまり、電解槽２０内の電解液は、撹拌翼２７により撹拌される。この撹拌翼２７は、特許請求の範囲に記載した撹拌手段に相当する。
第二リンス装置１４は、図１に示すように、電解洗浄装置１３にて電解洗浄された蒸着マスク１６をリンスする。この第二リンス装置１４は、基本的な構成は上記した第一リンス装置１２と共通しており、蒸着マスク１６を例えば純水などによりリンスする。なお、第二リンス装置１４も、第一リンス装置１２と同様に複数台設ける構成としてもよい。
【００２２】
乾燥装置１５は、第二リンス装置１４でリンスされた蒸着マスク１６を乾燥させる。乾燥装置１５は、送風機２８から清浄な窒素ガスなどの不活性ガスを蒸着マスク１６に吹き付けることにより蒸着マスク１６を乾燥させる。この乾燥装置１５は、例えば自然乾燥によって蒸着マスク１６を乾燥させる構成、あるいは送風機２８と自然乾燥とを組み合わせた構成などであってもよい。また、乾燥装置１５が設置されている乾燥室内の温度を調整することにより、乾燥効率を向上させる構成としてもよい。
このような構成の蒸着マスク洗浄システム１０は、その全体あるいは一部の装置がクリーンルーム内に設けられており、蒸着マスク１６の洗浄を行っている。
【００２３】
次に、上記した構成の電解洗浄装置１３およびそれを用いた蒸着マスク洗浄システム１０の作用について洗浄処理の流れとともに説明する。
図３は、蒸着マスク洗浄システム１０による洗浄処理の大まかな流れを示している。蒸着マスク１６の洗浄処理では、まず、ステップＳ１において溶剤洗浄工程が実施される。この溶剤洗浄工程は、上記した溶剤洗浄装置１１による蒸着マスク１６の洗浄が行われる。なお、溶剤洗浄工程を実施する前に、プレシャワー装置にて蒸着マスク１６に付着したゴミなどを予め除去する工程を含めてもよい。
溶剤洗浄工程が終了すると、ステップＳ２において、溶剤リンス洗浄工程が実施される。このリンス工程では、溶剤洗浄工程で蒸着マスク１６を洗浄した溶剤が純水などにより洗い流される。
【００２４】
リンス工程が終了すると、ステップＳ３において、電解洗浄工程が実施される。つまり、本実施形態による蒸着マスク洗浄方法では、水酸化カリウム溶液のエッチング効果に着目し、従来の溶剤洗浄工程に追加して電解洗浄工程を実施している。この電解洗浄工程では、上記したように電解液である水酸化カリウム溶液を洗浄槽に貯留し、蒸着マスク１６を水酸化カリウム溶液に浸せきし、撹拌翼２７により水酸化カリウム溶液を撹拌した状態で、通電部２６による通電が行われる。ここで、発明者らは、蒸着マスク１６の洗浄度合いが水酸化カリウム溶液の濃度および通電部２６による通電量（電圧値、電流値）により変化することを見いだした。
【００２５】
図４は、電圧値を１２Ｖに一定にした状態で水酸化カリウム溶液の濃度および通電する電流値を変化させた場合における剥離程度の変化を示す試験データである。ここで、「剥離程度」とは、蒸着マスク１６の洗浄度合いを表す指標であり、洗浄後によって蒸着マスク１６から付着物、本実施形態の場合は蒸着工程で付着する有機ＥＬ材料、が剥離した度合いを数値化したものである。例えば剥離程度が「不可」は、電解洗浄を実施しても、試験的に有機ＥＬ材料を付着させたサンプル品の蒸着マスク１６ではそれほど剥離しなかった状態（再洗浄が必要な状態）を示している。また、剥離程度の数値が大きくなる程付着物が除去されたことを示しており、その数値が「５」で完全に除去されたことを示している。
【００２６】
また、「撹拌なし」と「撹拌あり」のデータは、撹拌翼２７を駆動した場合と駆動しなかった場合とにおけるデータ、すなわち、水酸化カリウム溶液を撹拌した場合と撹拌しなかった場合とにおけるデータを示している。このうち、「撹拌あり」のデータは、通電した状態で１０分間の撹拌を行った場合のデータである。なお、本実施形態で電圧値を１２Ｖとした理由は、電圧値を１２Ｖよりも小さくすると通電時の電流値が安定しなかったためである。この電圧値は通電部２６の仕様や洗浄対象となる蒸着マスク１６の大きさや形状などにより変化する可能性があるため、例えば事前試験などにより適切な電圧値を設定すればよい。すなわち、電圧値は１２Ｖに限定されるものではない。
【００２７】
この図４に示すように、水酸化カリウム溶液の濃度が１％の場合、電流値を変化させても剥離程度はいずれも不可であった。また、水酸化カリウム溶液を撹拌しても剥離程度は不可であった。つまり、水酸化カリウム溶液の濃度が１％の場合には、サンプル品の蒸着マスク１６では電解洗浄を実施しても付着物をほとんど除去できないことが明らかになった。なお、サンプル品では不可であったが、気泡後からによる洗浄および水酸化カリウム溶液のエッチング効果は期待できる。そのため、例えば有機ＥＬ材料の付着量が少ないかそれほど強固に付着していない蒸着マスク１６の洗浄、あるいは、パターンの側壁部など微細な部位に付着した有機ＥＬ材料を気泡の力により除去する目的には使用可能である。
【００２８】
これに対して、水酸化カリウム濃度が３％の場合、撹拌なしの状態では、電流値が１Ａで剥離程度が１、電流値が２Ａで剥離程度が１、電流値が３Ａで剥離程度が２、電流値が４Ａで剥離程度が３．５、電流値が５Ａで剥離程度が４．５となり、付着物を除去することができること、および、電流値を大きくするほど剥離程度が大きくなることが明らかになった。一方、撹拌ありの状態では、電流値が１Ａで剥離程度が１、電流値が２Ａで剥離程度が１．５、電流値が３Ａで剥離程度が３、電流値が４Ａで剥離程度が４、電流値が５Ａで剥離程度が４．８となり、撹拌なしの場合に比べて剥離程度が大きくなることが明らかになった。
【００２９】
さらに、水酸化カリウム濃度が５％の場合、図４および図５に示すように、撹拌なしの状態では、電流値が１Ａで剥離程度が１、電流値が２Ａで剥離程度が１．５、電流値が３Ａで剥離程度が２、電流値が４Ａで剥離程度が３、電流値が５Ａで剥離程度が４．５となり、付着物を除去することができ、電流値を大きくするほど剥離程度が大きくなる傾向にあることが明らかになった。一方、撹拌ありの状態では、電流値が１Ａで剥離程度が１．２、電流値が２Ａで剥離程度が１．７、電流値が３Ａで剥離程度が２．２、電流値が４Ａで剥離程度が４、電流値が５Ａで剥離程度が４．７となり、撹拌なしの場合に比べて剥離程度が大きくなる傾向にあることが明らかになった。
【００３０】
このように、水酸化カリウム溶液の濃度が概ね３％よりも大きくすることにより蒸着マスク１６の付着物を除去可能となることが確認できた。また、水酸化カリウム溶液を撹拌することにより、撹拌しない場合に比べて剥離程度が大きくなる傾向にあることも確認できた。そして、水酸化カリウム溶液の濃度を３％よりも大きくした場合（例えば５％にした場合）であっても、剥離程度にはそれほどの差違が生じない傾向にあることが確認できた。
【００３１】
また、水酸化カリウム溶液の濃度が同じ場合には、電流値を大きくすることにより、具体的には概ね３Ａ以上とすることにより実用上問題ない程度（剥離程度が３以上）での付着物の除去が可能となることが確認できた。さらに、より好ましくは、電流値を４Ａ以上とすることにより、撹拌なしの場合であっても実用上問題ない程度で付着物の除去が可能となることが確認できた。なお、電流値をさらに大きくしても同様の効果は得られるものの、蒸着マスク１６自体の発熱が大きくなる。そのため、電解洗浄工程においては上記したように水素が発生することから、作業の安全性などを考慮して上限となる電流値を適宜選択するようにするとよい。
【００３２】
電解洗浄工程が終了すると、ステップＳ４において、リンス工程が実施される。このリンス工程は、ステップＳ２のリンス工程と概ね共通する態様にて実施され、電解洗浄工程で蒸着マスク１６に付着した電解液がリンス剤により洗い流される。リンス工程が終了すると、ステップＳ５において、乾燥工程が実施され、蒸着マスク１６の乾燥が行われる。
このように、蒸着マスク洗浄システム１０では、蒸着マスク１６を電解洗浄する電解洗浄工程を実施するとともに、洗浄処理において周知の溶剤洗浄工程（ステップＳ１）と組み合わせて実施している。
【００３３】
以上説明した電解洗浄装置１３およびそれを用いた蒸着マスク洗浄システム１０によれば、次のような効果を得ることができる。
電解洗浄装置１３は、水酸化カリウム溶液を電解槽２０に貯留し、蒸着マスク１６を水酸化カリウム溶液に浸せきした状態で通電部２６から通電する。このとき、陽極電極２３を蒸着マスク１６に接触させているので、蒸着マスク１６自体が陽極として機能する。このため、電解洗浄時には、蒸着マスク１６の全体から酸素の発生に伴う気泡が生じる。そして、その気泡が蒸着マスク１６に設けられている例えばパターン表面やパターン側壁部あるいは細孔などの部位に入り込むことにより、蒸着マスク１６は洗浄される。したがって、蒸着マスク１６に付着した付着物特に真空蒸着工程において付着した有機ＥＬ材料を、蒸着マスク１６にダメージを与えるおそれを低減しつつ、蒸着マスク１６の表面に付着した付着物を除去することができる。このとき、微細に形成されたパターンなども除去できるので、蒸着マスク１６を効率よく洗浄することができる。
【００３４】
このとき、電解洗浄装置１３は、アルカリ性の電解液を用いているので、アルカリ性の電解液が奏するエッチング効果により、蒸着マスク１６に強固に付着した付着物であっても除去することができる。さらに、アルカリ性の電解液として、本実施形態では濃度が３％よりも大きい水酸化カリウム溶液を用いているので、上記した図４および図５にて示したように、蒸着マスク１６に付着した付着物を効率よく除去することができる。したがって、蒸着マスク１６の洗浄に要する時間や回数を削減でき、洗浄作業の効率を向上させることができる。
【００３５】
また、撹拌翼２７を回転駆動することにより電解液を撹拌しているので、例えば電極の近傍と電極から離れた部位における電解液の濃度ムラなどを防止でき、効果的に電解洗浄を実施することができる。また、撹拌することにより、電解洗浄工程において生じる気泡をまんべんなく蒸着マスク１６に行き渡らせることができ、蒸着マスク１６の洗浄効率を向上させることができる。さらに、蒸着マスク１６の表面に電解液の循環あるいは対流が形成されることにより、微細なパターン内にも気泡を導くことができる。したがって、電解洗浄時の洗浄効果および洗浄効率をより向上させることができる。
【００３６】
また、このような電解洗浄装置１３およびそれを用いた蒸着マスク洗浄システム１０により洗浄する蒸着マスク洗浄方法によれば、従来構成の溶剤洗浄装置１１と電解洗浄装置１３とを組み合わせることにより、従来構成の溶剤洗浄装置１１だけでは除去しきれなかった蒸着マスク１６に強固に付着した有機ＥＬ材料などの付着物を、蒸着マスク１６にダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去することができる。また、有機ＥＬ材料以外の付着物も除去することができる。
【００３７】
（その他の実施形態）
本発明は、上記した一実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲において次のように変形または拡張することができる。
一実施形態ではアルカリ性の電解液としてエッチング効果を奏する水酸化カリウム溶液を用いたが、強アルカリ性を有する他のアルカリ性溶液、例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）溶液などを用いてもよい。
【００３８】
一実施形態で撹拌手段として採用した撹拌翼２７の数や設置位置などは図２に例示したものに限定されず、電解槽２０内で電解液を撹拌可能な数や設置位置であればよい。また、撹拌手段は撹拌翼２７に限定されない。例えば磁力などにより電解槽２０の内側と外側とを直接的に接続することなく電解液を撹拌するいわゆるマグネチックスターラーのようなもの、あるいは高圧の電解液を吹き出すジェット噴流式によるものなどを採用することができる。すなわち、撹拌手段は、電解槽２０の形状や電解液の量などに応じて適切な数量および方式のものを適宜選択すればよい。この場合、気泡による洗浄効率を高めるため、蒸着マスク１６の表面および近傍において流れを形成するように配置するとなおよい。
【符号の説明】
【００３９】
図面中、１０は蒸着マスク洗浄システム、１１は溶剤洗浄装置、１３は電解洗浄装置（蒸着マスク洗浄装置）、１６は蒸着マスク、２０は電解槽（洗浄槽）、２１はポンプ（電解液供給部）、２２は貯留槽（電解液供給部）、２３は陽極電極（電極）、２４は陰極電極（電極）、２６は通電部、２７は撹拌翼（撹拌手段）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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