(57)【要約】【課題】環状ブレードを回転スピンドルに再装着した後の真円ドレスによる研削量を低減可能な環状ブレードの装着方法を提供すること。【解決手段】回転スピンドル（７１１）に装着され、円環形状の装着面（７４３ａ）を有するボス部（７４２）を備えるフランジ（７４）に、装着孔（７２ｂ）を有する環状ブレード（７２）を装着する環状ブレードの装着方法であって、環状ブレードの表面（７２ａ）に形成されたマーク（７２１）を所定方向に向けた状態で環状ブレードを装着面に装着する環状ブレード装着工程と、環状ブレードの外周が回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように真円ドレスを行う真円ドレス工程と、環状ブレードをフランジの装着面から取り外した後、環状ブレードのマークを所定方向に向けた状態で、環状ブレードを装着面に再装着する環状ブレード再装着工程と、から構成されるようにした。【選択図】図３
2013233613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転スピンドルに装着され且つ前記回転スピンドルの回転軸線方向に延在する円環形状の装着面を有するボス部を備えるフランジに、前記ボス部の前記装着面に係合される装着孔を有する環状ブレードを装着するための環状ブレードの装着方法であって、
前記環状ブレードの表面には任意の一箇所にマークが形成されており、
前記環状ブレードの前記マークを所定方向に向けた状態で前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に装着する環状ブレード装着工程と、
前記環状ブレード装着工程の後に、前記環状ブレードの外周が前記回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように真円ドレスを行う真円ドレス工程と、
前記真円ドレス工程を行い前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面から取り外した後、再度、前記環状ブレードの前記マークを前記所定方向に向けた状態で、前記真円ドレスを行った前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に再装着する環状ブレード再装着工程と、からなることを特徴とする環状ブレードの装着方法。
【請求項２】
前記フランジの前記ボス部の前記装着面には任意の一箇所に突起が形成され、前記環状ブレードには前記マークの代わりに前記突起が係合する係合溝が形成され、
前記環状ブレード装着工程及び前記環状ブレード再装着工程においては、前記フランジの前記突起は前記所定の方向に位置付けられ、前記突起に前記環状ブレードの前記係合溝を係合させた状態で、前記装着面に前記環状ブレードを装着又は再装着することを特徴とする請求項１記載の環状ブレードの装着方法。
【請求項３】
回転スピンドルに装着され且つ前記回転スピンドルの回転軸線方向に延在する円環形状の装着面を有するボス部を備えるフランジに、前記ボス部の前記装着面に係合される装着孔を有する環状ブレードを装着するための環状ブレードの装着方法であって、
前記環状ブレードの任意の箇所にマークを形成するマーク形成工程と、
前記マーク形成工程の後に、前記環状ブレードの前記マークを所定方向に向けた状態で前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に装着する環状ブレード装着工程と、
前記環状ブレード装着工程の後に、前記環状ブレードの外周が前記回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように真円ドレスを行う真円ドレス工程と、
前記真円ドレス工程を行い前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面から取り外した後、再度、前記環状ブレードの前記マークを前記所定方向に向けた状態で、前記真円ドレスを行った前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に再装着する環状ブレード再装着工程と、からなることを特徴とする環状ブレードの装着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環状ブレードを切削装置の回転スピンドルに装着する装着方法に関し、特に、真円ドレスされた環状ブレードを回転スピンドルから取り外した後に再び回転スピンドルに装着する装着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にデバイスの形成されたウェーハは、例えば、ブレードユニットを備える切削装置によって各チップに分割される。ブレードユニットは、モータの回転力を伝達する回転スピンドルと、回転スピンドルの一端側に取り付けられるフランジと、フランジに装着される環状の切削ブレード（環状ブレード）とを含んで構成されている。環状ブレードは、ダイヤモンドなどの砥粒と、砥粒を結合する結合部材とで形成されており、被加工物であるウェーハの種類に応じて適宜選択される。
【０００３】
環状ブレードは吸湿によって膨張されるので、フランジに装着された環状ブレードの中心位置は、回転スピンドルの回転軸線から僅かにずれてしまうことがある。そうすると、回転スピンドルの回転により環状ブレードはぶれてしまい、ウェーハにチッピング（欠け）を生じる恐れがある。このような加工品質の低下を防ぐため、環状ブレードの装着後には、環状ブレードの外周縁が回転軸線を中心とする円形となるように環状ブレードを研削する真円ドレスが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２１８５７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、真円ドレス後に環状ブレードを取り外して再びフランジに装着させると、環状ブレードの外周縁の中心位置は回転スピンドルの回転軸線からずれてしまうので、再度の真円ドレスが必要となる。しかし、このように、環状ブレードの装着の度に真円ドレスを行うと、真円ドレスによる研削量の増大で環状ブレードの寿命は短くなる。また、真円ドレスの頻度が高いと、それだけ真円ドレスに要する時間も多くなるので、切削装置の実質的な稼働時間を十分に確保できない。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、環状ブレードを回転スピンドルに再装着した後の真円ドレスによる研削量を低減可能な環状ブレードの装着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の環状ブレードの装着方法は、回転スピンドルに装着され且つ前記回転スピンドルの回転軸線方向に延在する円環形状の装着面を有するボス部を備えるフランジに、前記ボス部の前記装着面に係合される装着孔を有する環状ブレードを装着するための環状ブレードの装着方法であって、前記環状ブレードの表面には任意の一箇所にマークが形成されており、前記環状ブレードの前記マークを所定方向に向けた状態で前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に装着する環状ブレード装着工程と、前記環状ブレード装着工程の後に、前記環状ブレードの外周が前記回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように真円ドレスを行う真円ドレス工程と、前記真円ドレス工程を行い前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面から取り外した後、再度、前記環状ブレードの前記マークを前記所定方向に向けた状態で、前記真円ドレスを行った前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に再装着する環状ブレード再装着工程と、からなることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、真円ドレスされた環状ブレードは、マークを所定方向に向けた状態で再装着されるので、適切に真円ドレスされた後の状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の真円ドレスにおける環状ブレードの研削量を最小限に留めることができる。その結果、環状ブレードの装着の度に真円ドレスを行っても、環状ブレードの寿命の低下を抑制できると共に、切削装置の稼働時間を十分に確保可能になる。
【０００９】
本発明の環状ブレードの装着方法において、前記フランジの前記ボス部の前記装着面には任意の一箇所に突起が形成され、前記環状ブレードには前記マークの代わりに前記突起が係合する係合溝が形成され、前記環状ブレード装着工程及び前記環状ブレード再装着工程においては、前記フランジの前記突起は前記所定の方向に位置付けられ、前記突起に前記環状ブレードの前記係合溝を係合させた状態で、前記装着面に前記環状ブレードを装着又は再装着することができる。この構成によれば、フランジと環状ブレードとは突起によって係合されるので、適切に真円ドレスされた状態に近い状態を容易に再現して、再装着後の真円ドレスにおける環状ブレードの研削量を最小限に留めることができる。
【００１０】
また、本発明の環状ブレードの装着方法は、回転スピンドルに装着され且つ前記回転スピンドルの回転軸線方向に延在する円環形状の装着面を有するボス部を備えるフランジに、前記ボス部の前記装着面に係合される装着孔を有する環状ブレードを装着するための環状ブレードの装着方法であって、前記環状ブレードの任意の箇所にマークを形成するマーク形成工程と、前記マーク形成工程の後に、前記環状ブレードの前記マークを所定方向に向けた状態で前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に装着する環状ブレード装着工程と、前記環状ブレード装着工程の後に、前記環状ブレードの外周が前記回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように真円ドレスを行う真円ドレス工程と、前記真円ドレス工程を行い前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面から取り外した後、再度、前記環状ブレードの前記マークを前記所定方向に向けた状態で、前記真円ドレスを行った前記環状ブレードを前記フランジの前記装着面に再装着する環状ブレード再装着工程と、からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、環状ブレードを回転スピンドルに再装着した後の再度の真円ドレスによる研削量を低減可能な環状ブレードの装着方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１の装着方法に用いられる切削装置の構成を示す斜視図である。
【図２】切削装置のブレードユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】実施の形態１に係る装着方法の流れを示すフローチャートである。
【図４】実施の形態１に係る装着方法を説明する模式図である。
【図５】実施の形態２に係るブレードユニットの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。本発明の実施の形態に係る環状ブレードの装着方法は、表面に形成されたマークを所定方向に向けた状態で環状の切削ブレード（環状ブレード）を切削装置の回転スピンドルに装着させる環状ブレード装着工程と、回転スピンドルの回転軸線を中心とする真円になるように環状ブレードの外周を研削する真円ドレス工程と、取り外された環状ブレードを、マークを所定方向に向けた状態で切削装置に再装着させる環状ブレード再装着工程とを含む。
【００１４】
この装着方法において、環状ブレードは、マークを所定方向に向けた状態で再装着されるので、適切に真円ドレスされた後の状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の真円ドレスにおける環状ブレードの研削量を最小限に留めることができる。その結果、環状ブレードの装着の度に真円ドレスを行っても、環状ブレードの寿命の低下を抑制できると共に、切削装置の稼働時間を十分に確保可能になる。以下、本発明の実施の形態に係る装着方法の詳細について説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１を参照して、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置の構成について説明する。図１は、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置１の構成を示す斜視図である。図１には、切削装置１の加工対象となるウェーハＷを併せて示している。なお、本実施の形態の装着方法に用いられる切削装置及び切削装置の加工対象となるウェーハは、図１に示す切削装置１及びウェーハＷに限定されない。
【００１６】
図１に示すように、切削装置１の加工対象となるウェーハＷは、略円板状の外形形状を有している。ウェーハＷは、裏面側に貼着されるダイシングテープＴを介して円環状のフレームＦに支持されている。ウェーハＷの表面は、格子状に配列されたストリートによって複数の領域に区画されており、区画された各領域にはデバイスが形成されている。ウェーハＷは、各ストリートに沿って切削されて個々のチップに分割される。なお、切削装置１の加工対象はウェーハに限定されない。
【００１７】
切削装置１は、上面形状が略平坦な基台２を有している。基台２は、略直方体状の基部２１と、その一部の角部において前方に突設された突設部２２とを備える。突設部２２には内部空間が形成されており、この内部空間には、カセットエレベータ３が上下動可能に設けられている。カセットエレベータ３の上面にはウェーハＷを収納するカセット３１が載置されている。カセット３１は、高さ方向（Ｚ軸方向）において、ウェーハＷをそれぞれ１枚ずつ収納する複数の収納部３２を備えている。
【００１８】
基部２１の上面には、カセットエレベータ３と隣接する位置に仮置き機構４が設けられている。仮置き機構４は、引出部４１と一対のレール４２とを備えている。引出部４１は第１方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成されており、カセットエレベータ３の上下動により引出部４１と同じ高さに位置付けられたウェーハＷをレール４２側に引き出す。レール４２は略Ｌ字型の断面形状を有しており、第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）において相互に離間接近可能に構成されている。ウェーハＷは、引出部４１によってレール４２上の所定位置まで引き出され、一対のレール４２の相互の接近によって第２方向において挟み込まれる。これにより、ウェーハＷは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において位置合わせされる。
【００１９】
基部２１の仮置き機構４に隣接する位置には、Ｘ軸方向に延在する開口が形成されている。開口は、テーブル移動基台５及び防水カバー５１により覆われている。防水カバー５１の下方には、テーブル移動基台５をＸ軸方向に移動可能なＸ軸移動機構（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のガイドレール、ガイドレール間のＸ軸ボールねじ、及びＸ軸ボールねじを回転駆動するＸ軸パルスモータ（いずれも不図示）を備える。テーブル移動基台５は、ナット部（不図示）を介してＸ軸ボールネジと連結され、Ｘ軸ボールネジの回転によりガイドレールに沿って移動される。
【００２０】
テーブル移動基台５上には、チャックテーブル５２が設けられている。チャックテーブル５２は円板状に形成されており、その上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面５３が設けられている。吸着面５３においてウェーハＷを裏面側から吸着することで、ウェーハＷはチャックテーブル５２上の所定位置に保持される。チャックテーブル５２は、回転機構（不図示）によりテーブル移動基台５上においてＺ軸周りに回転（θ回転）可能に支持されている。チャックテーブル５２には、仮置き機構４でＸ軸方向及びＹ軸方向に位置合わせされたウェーハＷが不図示の搬送機構によって搬送される。
【００２１】
Ｙ軸方向においてテーブル移動基台５と隣接する位置には、テーブル基台６が配置されている。テーブル基台６には、Ｙ軸移動機構６１が設けられている。Ｙ軸移動機構６１は、Ｙ軸方向に平行な一対のガイドレール６２、ガイドレール６２間のＹ軸ボールねじ（不図示）、及びＹ軸ボールねじを回転駆動するＹ軸パルスモータ６３を備える。テーブル基台６の上面には、Ｙ軸テーブル６４が支持されている。Ｙ軸テーブル６４は、テーブル基台６に接する基部６４ａと、基部６４ａに対して立設された壁部６４ｂとを備えている。Ｙ軸テーブル６４は、基部６４ａに設けたナット部（不図示）を介してＹ軸ボールネジと連結され、Ｙ軸ボールネジの回転によりガイドレール６２に沿って移動される。
【００２２】
Ｙ軸テーブル６４の壁部６４ｂには、Ｚ軸移動機構６５が設けられている。Ｚ軸移動機構６５は、壁部６４ｂの前面に配置されＺ軸方向に平行な一対のガイドレール６６、ガイドレール６６間のＺ軸ボールねじ６７、及びＺ軸ボールねじ６７と連結されるＺ軸パルスモータ６８を備える。壁部６４ｂの前面には、Ｚ軸テーブル６９が支持されている。Ｚ軸テーブル６９は、壁部６４ｂに接する基部６９ａと、基部６９ａの端部において前方（Ｙ軸方向）に突設された壁部６９ｂとを備えている。Ｚ軸テーブル６９は、基部６９ａに設けたナット部を介してＺ軸ボールネジ６７と連結され、Ｚ軸ボールネジ６７の回転によりガイドレール６６に沿って移動される。
【００２３】
Ｚ軸テーブル６９の壁部６９ｂには、チャックテーブル５２の上方の位置においてブレードユニット７が支持されている。ブレードユニット７は、スピンドルユニット７１と、スピンドルユニット７１の一端側に着脱可能に装着される環状ブレード７２とを備える。スピンドルユニット７１の他端側にはモータ７３が連結されており、スピンドルユニット７１の一端側に装着された環状ブレード７２を回転できるようになっている。この環状ブレード７２を回転させてウェーハＷに切り込ませることで、ウェーハＷは切削される。ブレードユニット７には、環状ブレード７２に隣接して撮像ユニット８が設けられている。
【００２４】
切削装置１の制御部（不図示）は、撮像ユニット８で撮像された撮像画像に基づきＸ軸移動機構及びＹ軸移動機構６１を制御して、ブレードユニット８の環状ブレード７２をウェーハＷのストリートに位置合わせする。環状ブレード７２と位置合わせされたウェーハＷは、切削水を噴き付けられながら、回転された環状ブレード７２によって切り込まれる。切削されたウェーハＷは、搬送手段（不図示）によってピックアップされて、基部２１の上面に設けられた洗浄乾燥機構９に移動される。
【００２５】
洗浄乾燥機構９は、基台２に形成された円筒状の空間において基板Ｗを保持するスピンナテーブル９１を備えている。また、洗浄乾燥機構９は、洗浄液噴射機構及び気体噴射機構（いずれも不図示）を備えている。スピンナテーブル９１の下方には、回転機構（不図示）が設けられている。回転機構は、スピンナテーブル９１に対して回転力を付与するスピンナテーブルモータ（不図示）を有しており、スピンナテーブル９１を所定の速度で回転できるようになっている。スピンナテーブル９１に基板Ｗが保持されると、円筒状の空間内においてスピンナテーブル９１は回転される。この状態において、洗浄液噴射機構から洗浄液が噴射されることで基板Ｗは洗浄される。洗浄後の基板Ｗは、気体噴射機構から噴射されるエアにより乾燥される。
【００２６】
次に、図２を参照して、切削装置１のブレードユニット７について詳細に説明する。図２は、切削装置１のブレードユニット７の構成を示す斜視図である。上述のように、ブレードユニット７は、スピンドルユニット７１と環状ブレード７２とを備えている。スピンドルユニット７１は、回転軸線を構成する回転スピンドル（スピンドルシャフト）７１１と、回転スピンドル７１１を支持するスピンドルハウジング７１２とを含む。
【００２７】
スピンドルユニット７１は、例えば、エアスピンドルであり、圧縮エアのエア層により回転スピンドル７１１を浮動状態で支持する。回転スピンドル７１１の先端部は、スピンドルハウジング７１２から前方に突出されており、環状ブレード７２の装着されるマウントフランジ（フランジ）７４を取り付けることができるようになっている。回転スピンドル７１１の先端部には、ネジ穴７１１ａが設けられている。
【００２８】
マウントフランジ７４は、径方向外向きに延出されるフランジ部７４１と、フランジ部７４１から前方に突出されるボス部７４２とを有している。マウントフランジ７４の裏面側には、回転スピンドル７１１の先端部を嵌め込むことができる嵌合孔（不図示）が設けられている。マウントフランジ７４の嵌合孔に回転スピンドル７１１の先端部を嵌め込んだ状態でネジ穴７１１ａにネジ７７を締め込めば、マウントフランジ７４は回転スピンドル７１１に固定される。
【００２９】
マウントフランジ７４のフランジ部７４１は、環状ブレード７２の裏面が当接される当接面７４１ａを有している。ボス部７４２は、大径の円柱形状を有する基端部７４３と、小径の円筒形状を有する筒状部７４４とで構成されている。基端部７４３の外周には、環状ブレード７２の装着される装着面７４３ａが設けられている。この装着面７４３ａは、回転スピンドル７１１の回転軸線方向に延在するように形成されている。また、装着面７４３ａは、回転スピンドル７１１の回転軸線方向から見て円環形状となるように形成されている。筒状部７４４の外周には、リング状の固定ナット７６を締め込まれるネジ部７４４ａが設けられている。
【００３０】
環状ブレード７２は、例えば、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合材料で結合した円環状のワッシャーブレードであり、中央に、基端部７４３に嵌め込まれる円形の装着孔７２ｂを有している。装着孔７２ｂに基端部７４３の装着面７４３ａを係合させることで、環状ブレード７２はマウントフランジ７４に装着される。環状ブレード７２の表面７２ａには、環状ブレード７２の装着方向（装着位置、装着角度）を示す円形のマーク７２１が形成されている。このマーク７２１は、例えば、環状ブレード７２の表面７２ａの任意の位置に塗料を塗布することにより形成される。
【００３１】
環状ブレード７２は、環状ブレード７２の外径がフランジ部７４１の外径より大きくなるように形成されている。このため、環状ブレード７２をマウントフランジ７４に装着すると、環状ブレード７２の外周部は、フランジ部７４１の外周縁から径方向外側に張り出される。環状ブレード７２を回転させ、フランジ部７４１から張り出された環状ブレード７２をウェーハＷに接触させることで、ウェーハＷは切削加工される。
【００３２】
マウントフランジ７４に環状ブレード７２が装着された状態で、筒状部７４４には円環状の固定フランジ７５が取り付けられる。固定フランジ７５は、筒状部７４４に対応する係合孔７５ａを有している。係合孔７５ａに筒状部７４４を嵌め込むことで、固定フランジ７５は筒状部７４４に取り付けられる。筒状部７４４に固定フランジ７５が取り付けられると、ネジ部７４４ａにはリング状の固定ナット７６が締め込まれる。
【００３３】
ネジ部７４４ａに固定ナット７６が締め込まれると、固定フランジ７５は、マウントフランジ７４の方向に押圧される。これにより、環状ブレード７２は、マウントフランジ７４と固定フランジ７５とで挟持固定される。すなわち、環状ブレード７２の表面７２ａが固定フランジ７５の裏面に当接されると共に、環状ブレード７２の裏面がフランジ部７４１の当接面７４１ａに当接され、環状ブレード７２は所定位置に保持される。
【００３４】
次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態の装着方法の詳細を説明する。図３は、本実施の形態の装着方法の流れを示すフローチャートである。図４は、本実施の形態に係る装着方法を説明する模式図である。
【００３５】
まず、環状ブレード装着工程（ステップＳＴ１）において、表面７２ａにマーク７２１の形成された環状ブレード７２を、マーク７２１が所定方向を向くようにマウントフランジ７４に装着させる。すなわち、マーク７２１が所定位置（所定角度）に位置付けられるように、環状ブレード７２の装着孔７２ｂを基端部７４３に嵌め込む。これにより、装着孔７２ｂの内周は、基端部７４３の装着面７４３ａに当接される。図４Ａに示すように、本実施の形態では、マーク７２１が上方を向くように（上方に位置付けられるように）環状ブレード７２を装着させる。ただし、マーク７２１の向き（位置、角度）はこれに限られない。
【００３６】
その後、筒状部７４４に固定フランジ７５を取り付け、ネジ部７４４ａに固定ナット７６を締め込む（図２参照）。これにより、環状ブレード７２は、マーク７２１が上方を向いた状態でマウントフランジ７４及び固定フランジ７５に挟持固定され、回転スピンドル７１１と共に回転されるようになる。
【００３７】
この環状ブレード７２は、周囲の雰囲気中の水分の吸湿によって膨張される。このため、マウントフランジ７４への装着時において、環状ブレード７２の装着孔７２ｂは製造時より幾分（数μｍ程度）大きくなっていることがある。この場合、図４Ａに示すように、装着孔７２ｂの内径は基端部７４３の外径より大きくなるので、環状ブレード７２の自重により、環状ブレード７２の中心位置Ｏ２は回転スピンドル７１１（図４において不図示、図２参照）の回転軸線Ｏ１から下方にずれる。
【００３８】
このような状態で回転スピンドル７１１を回転させると、環状ブレード７２は回転軸線Ｏ１に直交する方向に振動されて、ウェーハＷにチッピング（欠け）を生じる恐れがある。そこで、環状ブレード７２の装着後には、環状ブレード７２の外周縁が回転軸線Ｏ１を中心とする真円となるように環状ブレード７２の外周を研削する真円ドレス工程（ステップＳＴ２）を行う。真円ドレスは、環状ブレード７２を回転させて真円ドレス用ボードに切り込ませることで行われる。真円ドレス用ボードを切削加工することで環状ブレード７２の外周は研削され、図４Ｂに示すように、環状ブレード７２の中心位置Ｏ２と回転スピンドル７１１の回転軸線Ｏ１とが一致される。これにより、環状ブレード７２の回転軸線Ｏ１に直交する方向の振動は低減され、加工品質の低下は抑制される。なお、真円ドレス後には、環状ブレード７２の目立てドレスを行う。
【００３９】
上述の真円ドレス工程の後に環状ブレード７２が取り外されてマウントフランジ７４に再び装着されると、環状ブレード７２の中心位置Ｏ２は回転スピンドル７１１の回転軸線Ｏ１から大きくずれてしまうことがある。例えば、上述のように真円ドレスされた環状ブレード７２（図４Ｂ参照）を、図４Ｃに示すように、マーク７２１が下方を向くようにマウントフランジ７４に装着させる場合を考える。環状ブレード７２は、マーク７２１が上方を向くように装着された状態で、環状ブレード７２の中心位置Ｏ２が図４Ａに示す状態から相対的に上方に移動されて回転軸線Ｏ１と一致されるように真円ドレスされている。このため、マーク７２１が下方を向くように環状ブレード７２を装着させると、図４Ｃのように、環状ブレード７２の中心位置Ｏ２は回転スピンドル７１１の回転軸線Ｏ１から大きく下方にずれてしまう。
【００４０】
このずれによる加工品質の低下を抑制するには、上述のような真円ドレスを再び行えば良いが、中心位置Ｏ２が回転軸線Ｏ１から大きくずれてしまうと、真円ドレスによる研削量は多くなり環状ブレード７２の寿命は短くなる。特に、環状ブレード７２の着脱頻度が高いと、それだけ真円ドレスの頻度も高くなるので、環状ブレード７２の寿命は著しく短くなってしまう。また、真円ドレスの頻度が高いと、真円ドレスの総時間も多くなり、切削装置１の実質的な稼働時間は短くなってしまう。
【００４１】
そこで、本実施の形態の装着方法では、環状ブレード再装着工程（ステップＳＴ３）において、マーク７２１が上方を向くように環状ブレード７２を装着させる（図４Ｂ参照）。このように、マーク７２１の向き（位置、角度）が真円ドレスを行った際のブレード装着時と同じになるように環状ブレード７２を装着させることで、真円ドレスを行った際の装着状態に近い装着状態が実現される。つまり、再装着後の真円ドレス工程おける環状ブレード７２の研削量を最小限に留めることができる。又は、再装着後の真円ドレス工程を省略できる。
【００４２】
このように、本実施の形態の装着方法によれば、環状ブレード７２は、マーク７２１を所定方向に向けた状態で再装着されるので、適切に真円ドレスされた後の状態に近い装着状態が再現されて、再装着後の真円ドレスにおける環状ブレード７２の研削量を最小限に留めることができる。その結果、環状ブレード７２の装着の度に真円ドレスを行っても、環状ブレード７２の寿命の低下を抑制できると共に、切削装置１の稼働時間を十分に確保可能になる。
【００４３】
なお、本実施の形態では、あらかじめ表面７２ａにマーク７２１の形成された環状ブレード７２を用いる例を説明しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、マークの形成されていない環状ブレードを用い、環状ブレード装着工程の前又は後にマークを形成するマーク形成工程を行うようにしても良い。
【００４４】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１とは異なる構成のブレードユニットを用いて行われる装着方法について説明する。図５は、本実施の形態のブレードユニット７の構成を示す斜視図である。なお、図５において、図２と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。また、図５では、説明の便宜上、ブレードユニット７の構成の一部を省略して示している。
【００４５】
本実施の形態のブレードユニット７において、マウントフランジ７４の基端部７４３は、装着面７４３ａから径方向外側に突出される突起７４５を有している。また、環状ブレード７２は、基端部７４３の突起７４５と係合される係合溝７２２を有している。このブレードユニット７は、マウントフランジ７４の突起７４５と環状ブレード７２の係合溝７２２とが係合されるように構成されているので、マウントフランジ７４に対する環状ブレード７２の装着位置は常に一定になる。
【００４６】
本実施の形態の装着方法では、まず、環状ブレード装着工程において、突起７４５が所定方向を向いた状態で、環状ブレード７２をマウントフランジ７４に装着させる。すなわち、突起７４５を所定位置（所定角度）に位置付けた状態で、環状ブレード７２の装着孔７２ｂを基端部７４３に係合させる。環状ブレード７２の装着後には、真円ドレス工程を行う。
【００４７】
環状ブレード再装着工程では、突起７４５が所定方向を向いた状態で環状ブレード７２をマウントフランジ７４に再装着させる。つまり、マウントフランジ７４の突起７４５の向き（位置、角度）を環状ブレード装着工程と同じくした状態で環状ブレード７２を再装着させる。これにより、環状ブレード７２に加わる重力の影響は、環状ブレード装着工程と環状ブレード再装着工程とで等しくなるので、環状ブレード装着工程による装着状態に近い装着状態を環状ブレード再装着工程で実現できる。
【００４８】
このように、本実施の形態のブレードユニット７は、マウントフランジ７４の突起７４５と環状ブレード７２の係合溝とが係合されるように構成されているので、マウントフランジ７４に対する環状ブレード７２の装着位置は常に一定である。このため、例えば、不慣れなオペレータが環状ブレード７２を再装着させるような場合でも、適切に真円ドレスされた状態に近い装着状態を容易に再現でき、その後の真円ドレスにおける環状ブレード７２の研削量を最小限に留めることができる。
【００４９】
なお、突起７４５の向き（位置、角度）は、どのように制御されても良い。例えば、環状ブレード装着工程及び環状ブレード再装着工程において突起７４５の向きが常に同じになるように、プログラムにより回転スピンドル７１１の停止位置（停止角度）を制御させても良い。もちろん、手動で突起７４５の向きを合わせるようにしても良い。
【００５０】
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、環状ブレードの表面に円形のマークを形成しているが、マークの形状はこれに限られない。例えば、三角形、四角形、矢印等の各種図形をマークとして形成しても良い。また、マークの大きさも任意である。同様に、突起及び係合溝の形状、大きさ等についても特に限定されない。
【００５１】
また、上記実施の形態の装着方法に用いられる環状ブレードの材質等についても特に限定されない。環状ブレードとしては、例えば、ダイヤモンド等からなる砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒をレジンボンドで結合したレジンブレード、ダイヤモンド等からなる砥粒を金属ボンドで焼き固めたメタルブレード等があるが、そのいずれを用いても良い。
【００５２】
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、真円ドレスされた環状ブレードを回転スピンドルから取り外して再装着する際に有用である。
【符号の説明】
【００５４】
１  切削装置
７  ブレードユニット
７１  スピンドルユニット
７２  環状ブレード
７２ａ  表面
７２ｂ  装着孔
７３  モータ
７４  マウントフランジ（フランジ）
７５  固定フランジ
７５ａ  係合孔
７６  固定ナット
７７  ネジ
７１１  回転スピンドル
７１１ａ  ネジ穴
７１２  スピンドルハウジング
７２１  マーク
７２２  係合溝
７４１  フランジ部
７４１ａ  当接面
７４２  ボス部
７４３  基端部
７４３ａ  装着面
７４４  筒状部
７４４ａ  ネジ部
７４５  突起
Ｏ１  回転軸線
Ｏ２  中心位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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