(57)【要約】【課題】  従来のエアシャワー装置のドア下側において、ドア開閉のため床面との間隙を持たせていたが、この間隙によりエアシャワー室内から塵埃などを含んだエアがクリーンルーム内に漏洩するということがあった。本発明は、エアシャワー室内からの塵埃の漏洩を防ぎ、気密性を高めることを目的とする。【解決手段】  ファンと加圧チャンバとフィルタとノズルとを備え、高速で作業者に清浄エアを吹き付け、塵埃などを吹き飛ばし除去するエアシャワー装置において、エアシャワー室内はノズルを備えた両側面とドアと天井面と床面とより構成し、加圧チャンバからドア下側に設置した弾性体に加圧したエアを送り膨張させ、床面との間隙を塞ぐ構成とし、クリーンルームなどへの塵埃の漏洩を防止した。【選択図】  図２
2013083406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、
該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、
該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、
該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、
を備え、
前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、
前記加圧チャンバから前記ドア下部に設けた弾性体に加圧したエアを送ることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、
該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、
該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、
該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、
を備え、
前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、
前記ドアを閉めた状態のドア下部に対応した床面に設置した弾性体に、前記加圧チャンバより加圧したエアを送ることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項1又は２記載のエアシャワー装置において、
前記弾性体の材質はゴムであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項1又は２記載のエアシャワー装置において、
前記ドアは、一方にドアハンドルを設け、他方に開閉するヒンジを設け、
該ヒンジ側の前記加圧チャンバから圧力の高いエアを送るチューブを設けた本体フレームとドア下部に設けた前記弾性体とを接続する部材は、蛇腹、チューブ又は孔を有した凹凸形状のゴム部材で形成したことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、
該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、
該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、
該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、
を備え、
前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、
前記ドアを閉めた状態のドア下部に対応した床面に設置した前記ドアと床面を塞ぐ構成をピストン構造とし、前記加圧チャンバより加圧したエアを送り、該ピストンを押し上げ間隙を塞ぐことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、
該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、
該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、
該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、
を備え、
前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、
前記ドアのロック機構を前記加圧チャンバから加圧したエアで駆動するピンで行うことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項６に記載のエアシャワー装置において、
前記加圧チャンバから加圧したエアで駆動するピンで行うロック機構は、エアシャワー装置に供えられたドア全てに設置することを特徴とするエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体及び精密機械等の製造、又は食品製造、加工を行うクリーンルーム又は作業室の出入口に設置され、クリーンルーム又は作業室の通路又は前室として使用され、クリーンルーム又は作業室の通路又は前室として使用され、クリーンルーム又は作業室への塵埃の流入、持ち込みを防止するエアシャワー装置に関し、特にファンで加圧されたエアを用い、エアシャワー室内のエアを室外に漏洩しないようにするエアシャワー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体及び精密機械の製造、食品製造、加工を行うクリーンルーム又は作業室の出入口にクリーンルーム又は作業室に塵埃や菌などを持ち込まないようにエアシャワー装置が設置され、作業者に高速のエアジェット気流を吹き付けて衣類や人体からの塵埃や髪の毛などを吹き飛ばして、クリーンルーム又は作業室に入り作業を行っている。
【０００３】
エアシャワー装置において、エアジェット気流によりエアシャワー室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除するためファンを用いて循環気流を形成している。
【０００４】
また、半導体及び精密機械を製造するクリーンルームは、クリーンルーム内の清浄度を保つために、クリーンルームの室外よりも約２０Ｐａ圧力を高くしている。エアシャワー室内よりもクリーンルーム内の圧力を高くすることで、エアシャワー室内よりクリーンルーム側へ塵埃などが流入し難くしている。
【０００５】
しかし、エアシャワー装置のドア周囲の隙間から塵埃などが漏洩する恐れがあった。これを防止するため、従来は図１２Ａ〜図１２Ｃに示すような構成にしており、この従来の構成について説明する。
【０００６】
図１２Ａは、従来のエアシャワー装置の作業者が出入りする進行方向の断面図を示している。
図１２Ａ〜図１２Ｃにおいて、１はエアシャワー装置、２は天井部、５は作業者が出入りするためのドア（ダーティ側ドアと呼ぶ）、８はドアを開閉するときのハンドル、９は作業者に高速のエアジェット気流を吹き付けるノズル、１１はエアシャワー室内のエアを吸い込み大きな塵埃を取るプレフィルタ、１２はクリーンルーム又は作業室に通じるドア（クリーン側ドアと呼ぶ）、１３はドアに設置されたハンドル、１４はエアシャワー装置をコントロールするコントロールパネルである。
【０００７】
作業者は、防塵服を身に付けて、エアシャワー装置１のドアハンドル８を回し、ドア５を開け、シャワー室内に入る。シャワー室内に入ると、ノズル９より作業者に対し、清浄エアを高速に約１０秒間くらい吹き付け、作業者に付着した塵埃や髪の毛などを吹き飛ばす。
【０００８】
ノズル９は、エアシャワー装置１の両側面に各々１０個近く設置され、天井面にも３，４個設置されている。ノズル９から噴き出された清浄エアは、作業者の塵埃や髪の毛と一緒にエアシャワー室内を舞い、エアシャワー下側に設置されたプレフィルタ１１より吸い込まれる。プレフィルタ１１の裏側には、ファンが設けられ、回転することによりエアシャワー室内のエアを吸い込む。これについては後で説明する。
【０００９】
高速のエアジェット気流を受けた作業者は、クリーンルーム又は作業室に連なるドア１２を開け、入室して作業することになる。
【００１０】
次に、従来のドアの隙間からの塵埃などの漏洩防止について説明する。
図１２Ａに示すドア上部のＤ部を部分拡大した図を図１２Ｂに示す。
図１２Ｂにおいて、ドア５と天井部２の本体との間には間隙３〜４ｍｍが存在し、これを塞ぐ構造として天井部２本体側にドアストッパ抑え１６を設置し、このドアストッパ抑え１６にドアストッパ１７を隙間を塞ぐように設置固定している。ドアストッパ１７は、材質がゴム製のもので、先端は中空の円柱状で、その下側は断面がギザギザ形状すなわち両刃のこぎりのような形状を成している。このドアストッパ１７をドア５の天井側及び両側面側に連続して設置している。ドア５の下側にもドアストッパ１７を設置したエアシャワー装置があるが、段差を形成することになるため、作業者がつまづいたり台車が振動したりして、精密機械や装置、部品を搬入するときは問題となり、一般には図１２Ｃに示すように、ドア下側には対策はされていなかった。また、ドア下側は、ドア開閉のため床面との間隙Ｌは７ｍｍ程度設けられている。
【００１１】
また、ドアパッキンを用いる公知例として、引用文献１（特開２０１１−６９０７９号公報）がある。引用文献１は、エアシャワー装置のドア構造において、ドアを框ドアとし、ドア中央部にガラス板を設けた窓の構成で、ガラス板は框の端部に設けたパッキンで固定し、塵埃の漏洩を防止し機密性を保つことが開示されている。しかし、本発明のようにドア周囲の隙間を塞ぐ構成については開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０１１−６９０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
一般的なエアシャワー装置の構造は、ドアを閉じた状態で上面及び両側面をドアストッパに接触することで気密性（密閉性）を上げているが、ドア下面はドアを開閉するために隙間を設けている。また、エアシャワー室内でエアジェット作動時には室内のエアが舞い上がり乱れるため、クリーンルーム側及びエアシャワー装置外へ塵埃などが流出する恐れがあった。
【００１４】
本発明の目的は、上記問題点を解決し、エアシャワー装置内でエアジェット作動時にドア下側の隙間を塞ぐように構成したエアシャワー装置を提供することにある。
【００１５】
また、本発明の別の目的は、エアジェットが作動している時、ダーティ側ドアとクリーン側ドアが開かないようにしたエアシャワー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明は、ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、を備え、前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、前記加圧チャンバから前記ドア下部に設けた弾性体に加圧したエアを送ることを特徴とする。
【００１７】
また、上記のエアシャワー装置において、前記弾性体の材質はゴムであることを特徴とする。
【００１８】
さらに、ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、エアシャワー室内のエアを吸い込み、圧縮して送風するファンと、該ファンから圧縮したエアを送る加圧チャンバと、該加圧チャンバから送られたエアをろ過するフィルタと、該フィルタを通過した清浄エアをエアシャワー室内に吹き出すノズルと、を備え、前記エアシャワー室内は、前記ノズルを設置した側面と、作業者が出入りするドアと、天井面と床面とより囲われて構成し、前記加圧チャンバから前記ドアに設けたピンを加圧したエアで駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、エアシャワー装置で、エアジェット動作時にファンにより加圧された圧力を利用して、ドア下側の床面との間隙を塞ぐ弾性体を設置し、圧力で弾性体を膨張させて隙間を塞ぐため、塵埃の漏洩を防止でき、エアシャワー室内の気密性（密閉性）を保持できる。
【００２０】
また、エアジェットの動作が終了すると、膨張していた弾性体は萎み、ドアと床面との隙間は復帰してドアはスムーズに開閉できる。
【００２１】
さらに、ファンで圧縮したエアを加圧チャンバに送り、加圧チャンバからピンを押し出すピストン機構に送り、エアジェット動作時にピンがドアに設けたピン抜け部に挿入され、ドアがロックされた状態となる。このような状態により作業者は勝手にクリーンルーム内に入ったり、エアシャワー装置外に出たりすることはできず、エアシャワー室内の塵埃が漏洩することはなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のエアシャワー装置の外観斜視図を示す。
【図２】本発明のドアに弾性体を設けたエアシャワーの正面図及び断面図を示す。
【図３】図２に示す一実施例のＡ−Ａ断面図を示す。
【図４】図２に示す別の実施例のＡ−Ａ断面図を示す。
【図５】図２に示すさらに別の実施例のＡ−Ａ断面図を示す。
【図６】図２に示す一実施例のＢ部詳細図を示す。
【図７】図２に示す別の実施例のＢ部詳細図を示す。
【図８】図２に示すさらに別の実施例を示すＢ部詳細図を示す。
【図９】本発明の床面に弾性体を設置したエアシャワー装置の正面図及び断面図を示す。
【図１０】図９に示す一実施例のＣ―Ｃ断面図を示す。
【図１１】図９に示す別の実施例のＣ−Ｃ断面図を示す。
【図１２Ａ】従来のドアを示すエアシャワー装置の断面図を示す。
【図１２Ｂ】図１２ＡのＤ部詳細図を示す。
【図１２Ｃ】図１２ＡのＥ部詳細図を示す。
【図１３】本発明のエアジェット動作時ドアをロックするピン構造を有したエアシャワー装置の正面図を示す。
【図１４】図１３に示すＦ部詳細図を示す。
【図１５】本発明の図１３のエアシャワー装置における入退室の制御を示すフロー図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
（実施例１）
図１は、本発明のエアシャワー装置の外観斜視図である。
図１において、１はエアシャワー装置、２は天井ケース、３は正面に向かって左側の本体ケース、４は正面に向かって右側の本体ケース、５はドア、６はガラス等を用いた窓、７はドアを開閉するためのヒンジ、８はドアハンドルである。９は清浄エアを吹き出すノズル、１０はエアシャワー室内空間を表している。
【００２４】
エアシャワー装置１は、天井を形成する天井ケース２、エアシャワー室内空間１０を挟んで本体ケース３に対向して配置された本体ケース４、エアシャワー室内に出入りするためのダーク側ドア５、クリーンルームに出入りするためのクリーン側ドア１２、及び床面より構成される。
また、ドア５の中央には、縦方向に細長い透明なガラス板で形成した窓６が設置され、エアシャワー室内が見えるように構成している。
ドア５の開閉は、ドアハンドル８を手に持って回転させて行う。エアシャワー室内には、清浄エアを吹き出すノズル９がエアシャワー室内の両側面に１０個程度整列し、また天井面に３，４個設置されている。
【００２５】
次に、本発明のエアシャワー装置の正面図及び断面図を図２に示し、ドア下部に設置した弾性体について説明する。
図２において、１８はファン、１９は加圧チャンバ、２０はＨＥＰＡフィルタ、９は清浄エアを吹き出すノズル、１１はプレフィルタ、２１は加圧チャンバからの加圧エアを送るチューブ、２２はドア５の下側に設置した弾性体である。
ここで、図２を用いて、エアシャワー装置の循環気流について説明する。
ＨＥＰＡフィルタ９を通過した清浄エアは、高速でノズル９よりエアシャワー室内にいる作業者に吹き付けられる。そして、作業者に付着している塵埃や髪の毛などが吹き飛ばされて、エアシャワー室内を舞い上がり室内の下側にあるプレフィルタ１１より室内のエアが吸い込まれ、ファン８で圧縮されて加圧チャンバ１９に送られ、加圧チャンバ１９では圧力が高められる。
加圧チャンバ１９にて圧力が高められたエアは、ＨＥＰＡフィルタ２０へ送られ、ＨＥＰＡフィルタ２０を通過したエアは、清浄エアとしてノズル９より噴き出される。
【００２６】
以上が、エアシャワー装置の循環気流の説明である。
【００２７】
次に、図２のドア下側に設置した弾性体について説明する。
図２の本発明の弾性体の一実施例のＡ−Ａ断面図を図３に示す。
図３は、ドア５の下側の構造を、凹部を有した溝形状とし、この凹部に中空の弾性体２２、即ちチューブ状の弾性体２２を設置する。
図３の構成において、エアジェットが作動していないときは、実線のように凹部の中に弾性体２２は収納された状態であるが、エアジェットが作動すると加圧チャンバ１９から送られた高圧のエアにより弾性体２２は膨張し、ドア５と床面１５との間隙を塞ぐ。エアジェットの作動が止まると、弾性体２２は圧力がなくなり萎んで、ドアの凹部の中に収納され、ドア５と床面１５との間隙が復帰し、ドアはスムーズに開閉することができる。
【００２８】
次にドア５と床面１５を塞ぐ別の実施例について、図４を用いて説明する。
図４は、ドア５の下側の構造を図３と同じように凹部を有した溝形状とし、凹部の先端部分に平面状の弾性体２４をカバーし、設置した構成を示している。
図４の構成において、床面１５に対抗したドア５の凹部の先端部分に平面状の弾性体２４をカバーし設置することで凹部の中に中空２３を形成でき、この部分にエアジェットが作動すると加圧チャンバ１９からの圧力の高いエアを送り、弾性体２４を、図４の点線で示すように膨張させ、ドア５と床面１５との間隙を塞ぐことができる。エアジェットの作動が止まると、膨張していた弾性体２４は、圧力がないため再び平面状に戻り、ドア５と床面１５には間隙が形成され、ドア５はスムーズに開閉することができる。
【００２９】
さらに、ドア５と床面１５との間隙を塞ぐ別に実施例を図５を用いて説明する。
図５は、ドア５の下側の構造を図３と同じように凹部を有した溝形状とし、この凹部の中に圧力によって動作する長手方向の仕切板を設置している。
図５の構成において、細長い凹部形状の中の奥に平板２５を設置固定し、この平板２５の中央部分には、加圧チャンバ１９から圧力の高いエアをチューブ２１を介して送る箇所を設置している。
また、ドア５との凹部形状の先端よりやや内側にも平板２９を設置固定する。この凹部形状の中に固定した平板２５と平板２９の間に可動する平板２６を設ける。平板２６は、固定された平板２５との間に圧力の高いエアが送られ、凹部形状の深さ方向に上下に可動する。
また、平板２６の中央部には、略垂直方向に仕切板２７を設置しており、仕切板２７は固定された平板２９の中央部に形成された細長いスリットの中を通過し、平板２９を通過した所で平板８に略垂直に設置固定している。
そして、平板２８は、ドア５の下側の凹部をカバーする幅とする。このように、細長い平板２６、仕切板２７及び平板２８で形成された断面がエ字形状の仕切板は、エアジェットが作動すると、加圧チャンバからチューブ２１を介して平板２５と平板２６の間に送られると、床面１５の方へ下がっていき、ドア５と床面１５との間隙を仕切板２７により塞ぐことになる。
【００３０】
また、エアジェットの作動が止まると、圧力はなくなるのでエ字形状の仕切板は押す力はなくなり、ドア側に収納され、ドア５の開閉はスムーズになる。
【００３１】
次に、図２に示した本体ケースとドアに設置した弾性体に圧力の高いエアを送るＢ部詳細について説明する。
先ず、図６は本体ケース３とドア５との間に蛇腹２９を設けた場合を示し、図６（ａ）はドア５を閉じた状態を示し、図６（ｂ）は開いた状態を示している。
エアシャワー装置において、実際はドア５と本体ケース３との隙間は、３〜４ｍｍであるため、蛇腹のひだは数多く取れないが、蛇腹２９を本体ケース３に取り付けている部分３０を本体ケース３の内側にすることで蛇腹のひだを増やすことは可能である。
また、この蛇腹２９の材質はゴムやプラスチックのものがある。
【００３２】
次に、本体ケース３からドア５に設置した弾性体に圧力の高いエアを送る別の実施例のＢ部詳細図を図７に示す。
図７は、加圧チャンバ１９の圧力の高いエアを送るチューブ２１を本体ケース３の下側よりドア下側に設置した弾性体に接続した図を示す。
ここで、図７（ａ）はドア５を閉じた状態を示し、図７（ｂ）はドア５を開いた状態を示している。
図７（ａ）（ｂ）において、圧力の高いエアを送るチューブ２１は、本体ケース３の下側より直接ドア５の端部に中継部５０を設け、この中継部５０を介してドア５内に設置した弾性体に接続している。
【００３３】
次に、本体ケース３とドア５に設置した弾性体に加圧したエアを送るさらに別の実施例のＢ部詳細図を図８に示す。
図８は、本体ケース３にチューブ２１の接続端子５０を取り付け、ドア側にも接続端子５０を取り付け、チューブ３４でドア５に設置した弾性体に加圧したエアを送る。そして、本体ケース３とドア５との間には、柔らかいゴム状の凹部形状をした物体３１と凸部形状をした物体３２を、本体ケース３側とドア５側に対向するように設置固定し、ドア５が閉じた状態で凹部物体３１と凸部物体３２が嵌め合うように構成する。そして、この凹部物体３１と凸部物体３２の中央には、加圧したエアが通過するように孔３３，３４を設けている。
図８において、図８（ａ）はドアを閉じた状態にした場合を示し、図８（ｂ）はドアを開にした状態の場合を示す。
【００３４】
次に、図９にドア５と床面１５との間隙を塞ぐ別の実施例を示す。
図９は、加圧チャンバ１９の圧力の高いチューブ２１を用いて床面１５において、ドア５が閉じた状態の対向する箇所に弾性体を設置した構成を示す。
【００３５】
先ず、図１０は、図９のＣ−Ｃ断面を示し、床面１５側よりドア５と床面１５との間隙を塞ぐ一実施例を示す。
図１０において、５はドアで、図３のようにドア５の下側は凹部形状は有しておらず平らな形状をしており、ドア５を閉じた状態のドア下側の対向する床面１５の部分に、ドアと床面との間隙を塞ぐ構造を設置する。
床面１５に加圧したエアを貯める細長い空間を有した溝３６を設置し、この溝３６の上部にエアによって膨張して膨らんだゴム製の弾性体３７を固定する。
溝３６には、加圧チャンバ１９より圧力の高いエアを送るチューブ２１が床面１５に埋め込まれ、接続されている。
このような構成において、エアジェットが作動すると、加圧チャンバ１９からチューブ２１を介して溝３６に加圧されたエアが送られ、弾性体３７が膨らんで床面１５とドア５との間の間隙を塞ぐ。そして、エアジェットの作動が止まると、溝３６には圧力は零となり弾性体３７は萎み、床面１５とドア５との間隙は復帰し、ドア５はスムーズに開閉できる。
【００３６】
次に、床面１５側よりドア５と床面１５との間隙を塞ぐ別の実施例を図１１に示す。
図１１は、図９のＣ−Ｃ断面を拡大して示した図で、ドア５を閉じた状態の対向する床面１５に細長い空間を有した溝３６を設け、この溝３６の空間にピストン構造で動作しドア５と床面１５を塞ぐ構成を設置している図を示す。
【００３７】
次にこのピストン構造について説明する。
図１１において、３８は平板で、チューブ２１から送られた圧力の高いエアでもって、溝３６内で深さ方向に上下するように形成する。３９は、平板３８の中央部に略垂直に設置固定された仕切板で、ドア側に移動したときドア５と床面１５とを塞ぐものである。仕切板３９には、平板３８と平行に即ち仕切板３９に垂直に平板４０を設置し固定する。
このような構成において、エアジェットの作動があると、加圧チャンバ１９より圧力の高いエアを床面１５に埋め込まれたチューブ２１より溝３６の下側より送りこまれ、並番３８の下側からエアの圧力で平板３８が持ち上がり、エ字形状の仕切板がドア５側に移動し、平板４０がドア５の下側に接触した状態を形成し、ドア５と床面１５との間隙が仕切板３９により塞がれる。
エアジェットの作動が止まると、チューブ２１から溝３６へ圧力の高いエアは送られないため、エ字形状の仕切板は溝３６に収納され、ドア５と床面１５との間隙が復帰し、ドア５はスムーズに開閉できる。
次に、エアシャワー装置１の加圧チャンバ１９の圧力を用いたドアロック構造について説明する。
【００３８】
図１３は、本発明のドアロック構造を示すエアシャワー装置１の正面図を示す。
図１３において、本発明のロック機構のＦ部詳細図を図１４に示す。図１４は、本発明の加圧チャンバの圧力の高いエアで、ドアをロックするピン方式のロック機構を示す断面図である。
図１４において、４１はチューブ、４２は円筒形状をした中空のケース、４３はエアを貯め円板４４を押し出す空間部、４５は円板４４に垂直に固定したピン、４６はピンを戻すためのバネ、４７はピン４５を受けるピン抜け部である。
図１４において、加圧チャンバ１９から送られる圧力の高いエアは、ピストン構造の空間部４３に入り、ピストンの円筒形のケース４２内の円板４４を押し出す。円板４４が押し出されると、円板４４に固定されたピン４５はドア５に設けられたピン抜け部４７に挿入され、ドア５がロックされる。
このドアのロック機構は、図１２（ａ）において、エアシャワー装置の室外側のドア５、及びクリーンルームに通じる側のドア１２（クリーン側ドア）に設けている。
従って、エアジェットが作動しているとき、ドア５（ダーク側ドア）とドア１２（クリーン側ドア）は同時にロック状態になる。
エアジェットの作動が止むと、ドアのロック状態は解除され、双方のドアは開にすることが可能となる。
ここで、エアシャワー装置のエアジェットが作動して、ドア５とドア１２が同時にロックしているとき緊急事態が発生した場合は、「非常時押ボタンスイッチ」を設け、エアジェットの作動を止め、ロックを解除する。
【００３９】
次に、本発明のエアシャワー装置のコントロールパネルに制御器において、入退室の制御について、図１５を用いて説明する。
図１５（１）は、エアシャワー装置に入退室時のフローチャートを示す。
ここで、ダーティ側ドア５は、図１２（ａ）に示すドア５を指し、クリーン側ドアは導図のドア１２を指している。
先ず、ドア１３であるダーティ側ドアを開き（ステップ６１）、エアシャワー室内へ入室（ステップ６２）し、ダーティ側ドアを閉める（ステップ６３）。ダーティ側ドア３が閉まると、エアシャワー室内の光電スイッチがＯＮとなり（ステップ６４）、照明が点灯し室内が明るくなり、エアジェットが作動する（ステップ６５）。
そして、ドアと床面との間隙を塞ぐ機構が動作し、ダーティ側ドアがロックされる（ステップ６６）。所定時間エアジェットが作動すると、エアジェットはＯＦＦとなる（ステップ６７）。
エアジェットの作動が終了すると、ドア下側の床面との間隙を塞いでいた弾性体が収納され、再度間隙が復帰し、ドアロックが解除される（ステップ６８）。
【００４０】
そして、クリーンルーム側のドアを開き（ステップ６９）、クリーンルームに入り、クリーンルーム側のドアを閉め（ステップ７０）、エアシャワー室内への入室は完了する（ステップ７１）。
【００４１】
次に、エアシャワー装置からの退室時のフローチャートを図１５（２）に示す。
先ず、クリーンルーム側ドア１２を開け（ステップ８０）、シャワー室内に入室し（ステップ８１）、クリーンルーム側ドア１２を閉める（ステップ８２）。エアシャワー室内に入室し、クリーンルーム側ドア１２を占めると、シャワー室内の光電スイッチがＯＮとなり、照明灯が点灯する（ステップ８３）。
ここで、退室時であるため、エアジェット停止回路が動作し、エアジェットは作動しない。次に、ダーティ側ドア５を開き（ステップ８４）、エアシャワー室外に出て、ダーティ側ドア５を閉め（ステップ８５）、退室は完了する（ステップ８６）。
以上が入退室のフローチャートの説明である。
【符号の説明】
【００４２】
１‥エアシャワー装置          ２‥天井ケース      ３‥本体ケース
４‥本体ケース              ５‥ドア            ６‥窓
７‥ヒンジ                  ８‥ハンドル        ９‥ノズル
１０‥エアシャワー空間      １１‥プレフィルタ    １２‥ドア
１３‥ハンドル            １４‥コントロールパネル    １５‥床面
１６‥ストッパ抑え        １７‥ドアストッパ        １８‥ファン
１９‥加圧チャンバ        ２０‥ＨＥＰＡフィルタ    ２１‥チューブ
２２‥弾性体              ２９‥蛇腹              ３１‥凹部形状部材
３２‥凸部形状部材        ３５‥床面の弾性体    
４５‥ピン                ４７‥ピン受け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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