(57)【要約】【課題】固定前と固定後でメタルマスクの検査対象領域の位置ズレを生じにくくすることができる。【解決手段】一対の張力装置６を用いてメタルマスク２の長手方向に張力を付与する張力付与工程と、前記張力付与工程において、前記張力が付与された前記メタルマスクをメタルマスクフレーム４に取付ける取付工程とを含むメタルマスク取付方法であって、前記張力付与工程において、前記一対の張力装置が前記メタルマスクから受ける反力を前記メタルマスクフレームに伝達させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の張力装置を用いてメタルマスクの長手方向に張力を付与する張力付与工程と、
前記張力付与工程において、前記張力が付与された前記メタルマスクをメタルマスクフレームに取付ける取付工程と
を含むメタルマスク取付方法であって、
前記張力付与工程において、前記一対の張力装置が前記メタルマスクから受ける反力を前記メタルマスクフレームに伝達させることを特徴とするメタルマスク取付方法。
【請求項２】
前記メタルマスクフレームは、矩形状の開口部を有し、
前記張力付与工程において、前記反力を前記メタルマスクフレームの前記開口部を形成する一対の側部の外壁部に伝達させ、
前記取付工程において、前記メタルマスクは、前記メタルマスクフレームの前記一対の側部のそれぞれに取付けられることを特徴とする請求項１記載のメタルマスク取付方法。
【請求項３】
前記取付工程において、前記メタルマスクは、溶接により前記メタルマスクフレームに取付けられることを特徴とする請求項１または２記載のメタルマスク取付方法。
【請求項４】
前記張力付与工程、及び前記取付工程を繰り返すことにより、一つの前記メタルマスクフレームに対して複数の前記メタルマスクを取付けることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のメタルマスク取付方法。
【請求項５】
前記メタルマスクは、前記メタルマスクフレームの外力による撓みの最も大きい位置から順に前記メタルマスクフレームに対して取付けられることを特徴とする請求項４記載のメタルマスク取付方法。
【請求項６】
前記メタルマスクは、半導体素子、プリント基板、液晶表示素子、及び有機ＥＬ素子の何れかの製造工程において用いられることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のメタルマスク取付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子等の製造工程において使用されるメタルマスクをメタルマスクフレームに取付けるメタルマスク取付方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、矩形状の金属薄板の両端を複数のクランプで把持して引っ張ることにより平坦に張った状態とし、平坦に張った状態の金属薄板を枠に固定する金属薄板の枠貼り方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。この金属薄板の枠貼り方法によれば、歪みや弛みのない状態で金属薄板を枠に固定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３１１３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この金属薄板の枠貼り方法においては、固定後に金属薄板が収縮し、収縮時の張力により枠縁が撓む場合がある。このため、固定前と固定後で金属薄板における検査対象領域の位置にズレが生じるという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、固定前と固定後でメタルマスクの検査対象領域の位置ズレが生じにくいメタルマスク取付方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のメタルマスク取付方法は、一対の張力装置を用いてメタルマスクの長手方向に張力を付与する張力付与工程と、前記張力付与工程において、前記張力が付与された前記メタルマスクをメタルマスクフレームに取付ける取付工程とを含むメタルマスク取付方法であって、前記張力付与工程において、前記一対の張力装置が前記メタルマスクから受ける反力を前記メタルマスクフレームに伝達させることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のメタルマスク取付方法は、前記メタルマスクフレームが、矩形状の開口部を有し、前記張力付与工程において、前記反力を前記メタルマスクフレームの前記開口部を形成する一対の側部の外壁部に伝達させ、前記取付工程において、前記メタルマスクが、前記メタルマスクフレームの前記一対の側部のそれぞれに取付けられることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明のメタルマスク取付方法は、前記取付工程において、前記メタルマスクが、溶接により前記メタルマスクフレームに取付けられることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のメタルマスク取付方法は、前記張力付与工程、及び前記取付工程を繰り返すことにより、一つの前記メタルマスクフレームに対して複数の前記メタルマスクを取付けることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のメタルマスク取付方法は、前記メタルマスクが、前記メタルマスクフレームの外力による撓みの最も大きい位置から順に前記枠に対して取付けられることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のメタルマスク取付方法は、前記メタルマスクが、半導体素子、プリント基板、液晶表示素子、及び有機ＥＬ素子の何れかの製造工程において用いられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のメタルマスク取付方法によれば、正確な位置への取付けができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態に係るメタルマスク取付方法において用いられるメタルマスクシート、メタルマスクフレーム、及び外部張力装置を上面から視た図である。
【図２】実施の形態に係るメタルマスク取付方法において用いられる外部張力装置を側面から視た図である。
【図３】実施の形態に係るメタルマスク取付方法において複数のメタルマスクシートをメタルマスクフレームに取付ける状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るメタルマスク取付方法について、有機ＥＬ素子の製造工程において真空蒸着を行う際に使用されるメタルマスクシートを例に説明する。図１は、実施の形態に係るメタルマスク取付方法において用いられるメタルマスクシート、メタルマスクフレーム、及び外部張力装置を上面から視た図である。
【００１５】
メタルマスクシート２は、一方向に長い矩形状の金属薄板により構成され、その長手方向がメタルマスクフレーム４の長手方向と直交するようにメタルマスクフレーム４に取付けられる。ここで、メタルマスクフレーム４は、メタルマスクシート２を取付けるための金属製のフレームであり、中央に矩形状の開口部を有している。
【００１６】
また、外部張力装置６は、メタルマスクシート２をメタルマスクフレーム４に取付ける際において、メタルマスクシート２の長手方向に張力を付与することによりメタルマスクシート２を歪みや弛みのない平坦に張った状態に保つための装置である。外部張力装置６は、一対のセットとして取扱われ、図１に示すように、メタルマスクフレーム４の両側部に互いに向かい合うようにして配置される。
【００１７】
図２は、実施の形態に係るメタルマスク取付方法において用いられる外部張力装置６を側面から視た図である。図２に示すように、外部張力装置６は、メタルマスクシート２の端部２ａを挟持する挟持部８、挟持部８により挟持されたメタルマスクシート２に矢印Ａの方向の張力を付与する張力部１０、張力部１０を固定する固定部材１２、固定部材１２を支持し、かつ、プレート１４上を矢印Ｂの方向に移動可能な台車部１６、矢印Ｂの方向に移動した台車部１６をメタルマスクフレーム４の側面４ａに当接する当接部１８を備えている。なお、一対のセットとして取扱われる二つの外部張力装置６の構成は同様であるため、図２に示されない他方の外部張力装置６については説明を省略する。
【００１８】
次に、図面を参照して実施の形態に係るメタルマスク取付方法について説明する。まず、一対の外部張力装置６がメタルマスクフレーム４の両側部の所定の位置に配置され（図１参照）、挟持部８によりメタルマスクシート２の両端部２ａが挟持される（図１及び図２参照）。そして、外部張力装置６は、当接部１８がメタルマスクフレーム４の側面４ａに接触するまでプレート１４上を矢印Ｂの方向に移動する。
【００１９】
当接部１８がメタルマスクフレーム４の側面４ａに接触し、メタルマスクフレーム４が２つの外部張力装置６により挟まれると、張力部１０により、メタルマスクシート２に対して矢印Ａの方向に張力が加えられる。これにより、メタルマスクシート２は、歪みや弛みのない平坦に張った状態に保たれる。
【００２０】
また、メタルマスクシート２に張力が加えられると、外部張力装置６がメタルマスクシート２から受ける反力が当接部１８を介してメタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａに伝達される。これにより、メタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａは、それぞれ内側に僅かに撓んだ状態となる。
【００２１】
次に、メタルマスクフレーム４の両側部の側面４ａが僅かに撓んだ状態において、メタルマスクシート２がメタルマスクフレーム４に取付けられる。即ち、メタルマスクシート２がメタルマスクフレーム４の両側部の表面に溶接され、固定される。そして、メタルマスクシート２がメタルマスクフレーム４に固定されると、挟持部８は、挟持していたメタルマスクシート２を解放する。
【００２２】
この実施の形態に係るメタルマスク取付方法によれば、メタルマスクシート２がメタルマスクフレーム４に固定された後において、メタルマスクシート２の収縮力によってメタルマスクフレーム４が更に撓むことを抑制できるため、固定前と固定後でメタルマスクシート２の検査対象領域の位置のズレを生じにくくすることができ、メタルマスクシート２を正確な位置に取付けることができる。なお、この実施の形態に係るメタルマスク取付方法は、大きな撓みを生じるおそれのある大型のメタルマスクフレームにメタルマスクシートを取付ける場合において、特に有効に用いることができる。
【００２３】
なお、上述の実施の形態において、一つのメタルマスクフレーム４に複数のメタルマスクシート２を取付けてもよい。この場合、取付けるメタルマスクシート２の枚数分（例えば、メタルマスクシートを４枚の取付ける場合は４回）上述のプロセスが繰り返される。また、メタルマスクシートは、メタルマスクフレーム４の中心に近い位置から順に取付けられる。例えば、図３に示すように、メタルマスクシートＡ、メタルマスクシートＢ、メタルマスクシートＣ、メタルマスクシートＤの順に取付けられる。
【００２４】
また、上述の実施の形態においては、メタルマスクシート２が有機ＥＬ素子の製造工程において用いられる場合を例に説明しているが、メタルマスクシート２は、半導体素子、プリント基板、液晶表示素子等の製造工程において用いられるものであってもよい。
【符号の説明】
【００２５】
２…メタルマスクシート、４…メタルマスクフレーム、６…外部張力装置、８…挟持部、１０…張力部、１２…固定部材、１４…プレート、１６…台車部、１８…当接部
【図１】
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【図２】
2013206570.tif 000004
【図３】
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