(57)【要約】【課題】表示パネル基板のソース辺とゲート側の辺を同時処理して、ＴＡＢやＣＯＦなどにより搭載部材を搭載するＦＰＤモジュール組立装置において、安定的、かつ、効率的に、様々な表示パネル基板のサイズに対応しうるようにする。【解決手段】各工程において、ソース側の辺とゲート側の辺を同時に処理するときに、表示パネル基板の処理辺を同時に保持する機構として、ソース側の辺に、表示パネル基板の下面から吸着・保持するソース側のＩ型の保持部材と、ゲート側の辺に、表示パネル基板の下面から吸着・保持する一対のＬ型のゲート側の保持部材を設け、表示パネル基板に関するデータに基づき、一対のゲート側の保持部材の相対距離を変更する。【選択図】  図２Ａ
2013083715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネル基板の各辺に搭載部材を接続するＦＰＤモジュール組立装置において、
前記表示パネル基板の第一の辺を、前記表示パネル基板の下面から保持する第一の保持部材と、
前記表示パネル基板の第二の辺を、前記表示パネル基板の下面から保持する一対の第二の保持部材とを有し、
前記一対の第二の保持部材の相対距離が、可変であることを特徴とするＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項２】
前記第一の保持部材と前記第二の保持部材は、前記表示パネル基板の下面と接する面に複数の吸着穴と、その吸着穴の下側にチャンバーが設けられており、前記吸着穴の下側のチャンバーを減圧することにより、前記第一の保持部材と前記第二の保持部材の吸着穴によって前記表示パネル基板を吸着することを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項３】
制御部と、記憶部とを有し、
前記制御部は、前記記憶部に格納された前記表示パネル基板に関するデータを読み込み、前記表示パネル基板に関するデータに基づき、前記第二の保持部材の相対距離を可変にするように制御することを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項４】
前記第一の保持部材が、Ｉ型形状であり、
前記第二の保持部材が、Ｌ型形状であることを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項５】
前記第二の保持部材が、二つのＩ型形状の保持部材の組合せであることを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項６】
前記第一の保持部材が、Ｔ型形状であることを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項７】
前記第一の保持部材が、Ｉ型形状であり、
前記第一の保持部材が、複数設けられたことを特徴とする請求項１記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項８】
表示パネル基板の各辺に搭載部材を接続するＦＰＤモジュール組立装置において、
前記表示パネル基板の第一の辺と第二の辺を、前記表示パネル基板の下面から同時に保持する左側のＬ型形状の保持部材と、
前記表示パネル基板の第一の辺と第二の辺を、前記表示パネル基板の下面から同時に保持する右側のＬ型形状の保持部材とを有し、
前記左側のＬ型形状の保持部材と右側のＬ型形状の保持部材との相対距離が、可変であることを特徴とするＦＰＤモジュール組立装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＰＤモジュール組立装置に係り、表示パネル基板に電子部品を加熱圧着をするときに、様々なサイズの表示パネル基板に対して、効率的に電子部品を装着しうるＦＰＤモジュール組立装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤモジュール組立装置は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）などのＦＰＤ（Flat Panel Display）の表示パネル基板に対して、複数の処理工程を順次おこなうことにより、表示パネル基板における周辺部に、駆動ＩＣの搭載や、ＣＯＦ（Chip on Film）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などのＴＡＢ（Tape Automated Bonding）接続、あるいは、表示基板の周辺に、ＰＣＢ（Printed Circuit Board）などの周辺基板などを実装する装置である。
【０００３】
以下の説明で「搭載部材」と称する電子部品は、その詳細形状や部材の厚さの差異などで、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）と呼称されたり、ＴＡＢと呼称されたり、ＣＯＦと呼称されたりする。これらＴＣＰやＴＡＢやＣＯＦは、スプロケット穴を有する長尺のポリイミドフィルムに配線を施したＦＰＣに、ＩＣチップを搭載し、ＦＰＣを切り出して構成されたものであり、実装する上での差異はない。また、パネルの設計によってはＩＣチップなしのＦＰＣのみを実装する場合もある。ＦＰＤモジュールの実装組立工程においては、これらの部品に実質上の差異はない。
【０００４】
ＦＰＤモジュール組立装置の処理工程としては、通常、（１）表示パネル基板端部のＴＡＢ貼付け部を清掃する端子クリーニング工程、（２）清掃後の表示パネル基板端部に異方性導電フィルム（ＡＣＦ:Anisotropic Conductive Film）を貼り付けるＡＣＦ工程、（３）表示パネル基板のＡＣＦを貼り付けた位置に、ＴＡＢやＩＣを位置決めして搭載する仮圧着工程、（４）搭載したＴＡＢやＩＣを加熱圧着してＡＣＦにより固定する本圧着工程、（５）ＴＡＢのパネル基板側と反対側に、予めＡＣＦを貼り付けたＰＣＢを貼付け搭載するＰＣＢ工程がある。
【０００５】
例えば、特許文献１には、このような処理工程により、ＦＰＤを生産するＦＰＤモジュール組立装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１６５８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＦＰＤモジュール組立装置は、上記の各工程において、処理ヘッドによって安定して処理をおこなうために、表示パネル基板の処理をおこなう一辺側を、パネル保持部材によって下側から吸着・保持する。
【０００８】
特許文献１の段落番号００２２、図２には、「表示基板１０１の作業辺を載せて吸着させることで平坦化を行う基準バー２４、３４、４４、５４、６４、７４および８４が設けられている。」と記載されている。
【０００９】
ところで、表示パネル基板には、ＴＡＢやＣＯＦにより周辺部に搭載部材を実装するときに、長辺側（ソース側）にデータ用ＩＣが搭載され、短辺側（ゲート側）に電源用ＩＣが搭載されるのが一般的である。中型までの表示パネルでゲート側の一辺のみに搭載部材を搭載するが、特に、大型の表示パネル基板では、ゲート側の二辺に搭載部材を搭載する。
【００１０】
従来では、周辺部に搭載部材を実装するときに、ソース側の処理とゲート側の処理は、別々におこなっていたため処理時間が長くかかっていた。
【００１１】
以下、図１２を用いて従来技術に係るＦＰＤモジュール組立装置による処理工程を説明する。
【００１２】
図１２は、従来技術に係るＦＰＤモジュール組立装置による端子クリーニング工程からＰＣＢ工程までの工程での処理を示す模式図である。
【００１３】
例えば、従来、ゲート側の二辺（それぞれ、「ゲート側１」、「ゲート側２」と記載する）に搭載部材を搭載する場合に、一つの表示パネル基板を処理するために、（端子クリーニング工程２００：ソース側）→（端子クリーニング工程２０１：ゲート側１、ゲート側２）→（ＡＣＦ工程２１０：ソース側）→（仮圧着工程２１１：ソース側）→（本圧着工程２１２：ソース側）→（ＡＣＦ工程２２０：ゲート側１）→（ＡＣＦ工程２２１：ゲート側２）→（仮圧着工程２２２：ゲート側１、ゲート側２）→（本圧着工程２３０：ゲート側１）→（本圧着工程２３１：ゲート側２）→（ＰＣＢ工程２４０：ゲート側２）→（ＰＣＢ工程２４１：ソース側）→（ＰＣＢ工程２４２：ゲート側１）のように処理される。
【００１４】
このように処理効率が悪いことを改良するために、各工程で、ソース側とゲート側（一辺または二辺）を同時処理するＦＰＤモジュール組立装置が提案されている。このようなＦＰＤモジュール組立装置では、ソース側とゲート側の各々に処理ヘッドが設けられ、一つの表示パネル基板に対して、ソース側とゲート側の各々がそれぞれの処理ヘッドで同時に処理され、処理効率を向上させることができる。
【００１５】
特許文献１では、表示パネル基板の一方向の辺のみの処理を、行っているため、基準バー（パネル保持部材）は、一方向しか設置されていない。
【００１６】
ソース側とゲート側を同時処理するためには、パネル保持部材は、ソース側とゲート側にそれぞれ必要であるが、単純にソース側とゲート側のそれぞれに、パネル保持部材を置くと、種々のサイズの表示パネル基板に対応できず、各工程の作業が円滑におこなえないという問題点がある。また、表示パネル基板のサイズに合わせて、パネル保持部材を取り外して、取り換えるのは、作業上、非効率である。
【００１７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、その目的は、表示パネル基板のソース側の辺とゲート側の辺を同時処理して、表示パネル基板に搭載部材を搭載するＦＰＤモジュール組立装置において、安定的、かつ、効率的に、様々な表示パネル基板のサイズに対応しうるＦＰＤモジュール組立装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明のＦＰＤモジュール組立装置は、表示パネル基板の各辺に搭載部材を接続する際に、各工程において、ソース側の辺と一対のゲート側の辺を同時処理するＦＰＤモジュール組立装置であって、表示パネル基板のソース側の辺を、表示パネル基板の下面から吸着・保持するソース側の保持部材と、表示パネル基板のゲート側の辺を、表示パネル基板の下面から吸着・保持する一対のゲート側の保持部材からなるものであり、一対のゲート側の保持部材の相対距離が、可変であるようにしたものである。
【００１９】
制御部は、記憶部に格納された表示パネル基板に関するデータを読み込み、その表示パネル基板に関するデータに基づき、ゲート側の保持部材の相対距離を保つように制御する。
【００２０】
また、保持部材の形状は、ソース側の辺の保持部材が、Ｉ型形状であり、ゲート側の辺の保持部材が、Ｌ型形状であるようにしたものである。
【００２１】
また、保持部材の形状は、ゲート側の辺の保持部材が、二つのＩ型形状の保持部材の組合せであるようにしたものである。
【００２２】
また、保持部材の形状は、ソース側の辺の保持部材が、Ｔ型形状であるようにしたものである。
【００２３】
また、保持部材の形状は、ソース側の辺の保持部材が、Ｉ型形状であり、ソース側の辺の保持部材が、複数設けられたようにしたものである。
【００２４】
以上により、本発明のＦＰＤモジュール組立装置は、以下の特徴を有する。
（１）各種表示パネル基板のサイズに合わせて、パネル処理辺保持部と表示パネル基板に対して、張り出し量を一定に保持させることが可能となる。
（２）各種表示パネル基板のサイズを変更する際に、パネル処理辺保持部の部品を変更する必要なく、表示パネル基板を処理することが可能となる。
（３）表示パネル基板のサイズを変更する際に、装置に保存された表示パネル基板のサイズデータを変更することにより、自動でパネル処理辺保持部が表示パネル基板の処理するために保持する適切な位置に移動することが可能となる。
（４）表示パネル基板サイズを変更する際に掛かる時間を短縮することが可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、表示パネル基板のソース側の辺とゲート側の辺を同時処理して、搭載部材を搭載するＦＰＤモジュール組立装置において、安定的、かつ、効率的に、様々な表示パネル基板のサイズに対応しうるＦＰＤモジュール組立装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る一実施形態のＦＰＤモジュール組立装置による端子クリーニング工程からＰＣＢ工程までの工程での処理を示す模式図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置の上面図である（その一）。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置の上面図である（その二）。
【図３】図２ＡのＡ方向から見た側面図である。
【図４】図２ＡのＢ方向から見た側面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置のパネル処理辺保持部に関する部分の機能ブロック図である。
【図６Ａ】パネル処理辺保持部２３の吸着機構を説明するための図である（その一）。
【図６Ｂ】パネル処理辺保持部２３の吸着機構を説明するための図である（その二）。
【図７】ソース側辺保持部をＩ型、左ゲート側辺保持部をＬ型、右ゲート側辺保持部をＬ型にしたときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【図８】パネル処理辺保持部を、Ｌ型の左ゲート側辺保持部と、Ｌ型の右ゲート側辺保持部で構成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【図９】Ｌ型の左ゲート側辺保持部を、Ｉ型の保持部材の組合せで形成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【図１０】ソース側辺保持部をＴ型の保持部材で形成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【図１１】ソース側辺保持部をＩ型、左ゲート側辺保持部をＬ型、右ゲート側辺保持部をＬ型にしたときで、Ｉ型のソース側辺保持部を複数有するようにしたときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【図１２】従来技術に係るＦＰＤモジュール組立装置による端子クリーニング工程からＰＣＢ工程までの工程での処理を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る一実施形態を、図１ないし図１１を用いて説明する。
先ず、図１を用いて本発明に係る一実施形態のＦＰＤモジュール組立装置により、ＦＰＤモジュールを組立てる工程について説明する。
図１は、本発明に係る一実施形態のＦＰＤモジュール組立装置による端子クリーニング工程からＰＣＢ工程までの工程での処理を示す模式図である。
【００２８】
ＦＰＤモジュールを組立てる工程では、以下の（ａ）〜（ｆ）が実施される。
（ａ）端子クリーニング工程（パネル側）１００：表示パネル基板の周辺端子領域を清掃する工程である。溶剤などを浸み込ませた清掃テープで、端子部の異物などを拭取り除去する。その他の異物除去方法としてはＵＶやプラズマを用いる方法もある。ここで、表示パネル基板の本発明の第一の辺であるソース側、本発明の第二の辺であるゲート側の両辺で、端子のクリーニングがおこなわれる。
（ｂ）ＡＣＦ貼付工程１０１：ＡＣＦを表示パネル基板、または、搭載部材に貼付ける工程である。ＡＣＦを熱により軟化させて表示パネル基板またはＴＡＢやＣＯＦの搭載部材の搭載位置に仮付けする。ここで、表示パネル基板のソース側、ゲート側の両辺にＡＣＦが貼り付けられる。
（ｃ）仮圧着工程１０２：表示パネル基板周縁部に、搭載部材を搭載し、仮圧着する工程である。 表示パネル基板に設けられた基準マークと、搭載部材に設けられた基準マークを検出位置決めし、既定の位置に搭載される。ここで、表示パネル基板のソース側、ゲート側の両辺に搭載部材が搭載されて、仮圧着される。
（ｄ）本圧着工程１０３：仮圧着工程で、表示パネル基板周辺に搭載された搭載部材を、圧着ヘッドにより、高温加熱することで導通を確保しＡＣＦを熱硬化して、搭載する工程である。ここで、表示パネル基板のソース側、ゲート側の両辺に搭載部材が、表示パネル基板と電気的に導通を確保された状態で搭載・固定される。
（ｅ）ＰＣＢ工程１０４：周辺回路基板にＡＣＦを貼り付け、周辺回路基板と表示パネル基板を熱圧着する工程である。表示パネル基板に取り付けられた搭載部材の反対側に周辺回路基板を位置決めし、高温加熱することで導通を確保しＡＣＦを熱硬化させて、搭載する工程である。ここで、表示パネル基板の少なくともソース側に、ＰＣＢが接続される。
【００２９】
ＦＰＤモジュールを組立てる際には、上記のように、各工程の処理するモジュール組立装置を連結して、ラインを形成し、連続的に組立処理を実施している。
【００３０】
以下、図２Ａないし図６Ｂを用いて本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置について説明する。
図２Ａおよび図２Ｂは、本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置の上面図である。
図３は、図２ＡのＡ方向から見た側面図である。
図４は、図２ＡのＢ方向から見た側面図である。
図５は、本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置のパネル処理辺保持部に関する部分の機能ブロック図である。
図６Ａおよび図６Ｂは、パネル処理辺保持部２３の吸着機構を説明するための図である。
【００３１】
ここで、図２Ａは、表示パネル基板のパネルサイズが最大であるときの状態を示し、図２Ｂは、表示パネル基板のパネルサイズが最小であるときの状態を示している。
【００３２】
上記のように、表示パネル基板のソース側の辺と、ゲート側の辺を同時にする処理（以下、簡単化のため「同時処理」という）は、端子クリーニング工程１００、ＡＣＦ貼付工程１０１、仮圧着工程１０２、本圧着工程１０３、ＰＣＢ工程１０４のいずれでも可能であるが、本実施形態では、代表として、仮圧着工程１０２に用いられるＦＰＤモジュール組立装置を例に取り説明する。
【００３３】
本実施形態のＦＰＤモジュール組立装置１は、図２Ａに示されるように、大別して、ソース側処理部２０と、左ゲート側処理部２１と、右ゲート側処理部２２と、パネル処理辺保持部２３と、パネル中央保持部２４とからなる。
【００３４】
ソース側処理部２０は、表示パネル基板Ｐの三辺の内の真ん中のソース側の辺の部分を処理する部分である。
【００３５】
左ゲート側処理部２１は、表示パネル基板Ｐの三辺の内の左側のゲート側の辺を処理する部分である。
【００３６】
右ゲート側処理部２２は、表示パネル基板Ｐの三辺の内の右側のゲート側の辺を処理する部分である。
【００３７】
パネル処理辺保持部２３は、表示パネル基板の各処理辺を支えて保持する部分である。
【００３８】
パネル中央保持部２４は、表示パネル基板の中央を支える部分である。パネル中央保持部２４は、左パネル中央保持部２４ａと右パネル中央保持部２４ｂからなる。
【００３９】
また、パネル処理辺保持部２３は、表示パネル基板Ｐの処理する三辺のうち真ん中の処理辺（ソース側の辺）を保持するソース側辺保持部２３ａ、向かって左側の処理辺（ゲート側の辺）を保持する左ゲート側辺保持部２３ｂ、向かって右側の処理辺（ゲート側の辺）を保持する右ゲート側辺保持部２３ｃの三つの保持機構からなる。
【００４０】
ソース側処理部２０は、処理ユニット可動ガイド２０ａと、処理ユニット２０ｂｌ，２０ｂｒからなり、処理ユニット２０ｂｌ，２０ｂｒは、処理ユニット可動ガイド２０ａ上を移動して、表示パネル基板のソース側に対して処理をおこなう。ここで、仮圧着工程に使われるＦＰＤモジュール組立装置での、処理ユニットは、搭載ヘッドであり、搭載部材を表示パネル基板のソース側の辺に搭載するものである。
【００４１】
左ゲート側処理部２１は、処理ユニット可動ガイド２１ａと、処理ユニット２１ｂと、スライドガイド２１ｃ、ボールねじ２１ｄ、モータ２１ｅ、ベース２１ｆからなる。
【００４２】
同様に、右ゲート側処理部２２は、処理ユニット可動ガイド２２ａと、処理ユニット２２ｂと、スライドガイド２２ｃ、ボールねじ２２ｄ、モータ２２ｅ、ベース２２ｆからなる。
【００４３】
右ゲート側処理部２２の処理ユニット２２ｂは、処理ユニット可動ガイド２２ａ上を移動して、表示パネル基板のゲート側に対して処理をおこなう。ここで、仮圧着工程に使われるＦＰＤモジュール組立装置での、処理ユニットは、搭載ヘッドであり、搭載部材３０を表示パネル基板のゲート側の辺側に搭載するものである。
【００４４】
左ゲート側処理部２１の処理ユニット２１ｂと処理ユニット可動ガイド２１ａに関する動作も同様である。
【００４５】
また、ＦＰＤモジュール組立装置１は、図５に示されるように、制御部３００と、記憶部３１０とを備え、制御部３００がモータ２１ｅ，２２ｅの回転量を制御できるようになっている。
【００４６】
また、右ゲート側処理部２２の処理ユニット２２ｂと、右ゲート側辺保持部２３ｃは、ベース２２ｆ上に設置されていて、図３、図４に示すように、モータ２２ｅを回転させて、ボールねじ２２ｄにより、ベース２２ｆが移動できるように取り付けられている。そして、記憶部３１０に格納されている表示パネル基板に関するデータを読み込むことにより、制御部３００は、パネルサイズを認識し、モータ２２ｅを適切量回転させて、ボールねじ２２ｄにより、ベース２２ｆをスライドガイド２２上に沿って、適正な位置へ移動させる。
【００４７】
また、左ゲート側処理部２１の処理ユニット２１ｂと、左ゲート側辺保持部２３ｂと、ベース２１ｆに関する動作も同様である。
【００４８】
表示パネル基板に対して処理中に、処理の支障のないように表示パネル基板をしっかりと支えるために、ソース側の辺には、ソース側辺保持部２３ａ、左側のゲート側の辺には、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右側のゲート側の辺には、右ゲート側辺保持部２３ｃが設けられ、処理中の表示パネル基板Ｐを保持固定し、かつ、表示パネル基板Ｐが有する反りやうねりなどを補正して、各々の処理辺の平面を保つようにする。
【００４９】
また、表示パネル基板の中央部でも、パネル中央保持部２４により、表示パネル基板の中央が支えられ、表示パネル基板に反りが出ないようにする。
【００５０】
ここで、ソース側辺保持部２３ａは、固定であり、左ゲート側辺保持部２３ｂと、右ゲート側辺保持部２３ｃは、ベース２１ｆ、ベース２２ｆを移動させることにより、各々処理ユニット２１ｂ、処理ユニット２２ｂと共に可動できるようになっている。
【００５１】
したがって、表示パネル基板が大きいときには、図２Ａに示す位置になるが、表示パネル基板がより小さいときには、図２Ｂに示すように、ベース２１ｆ、ベース２２ｆの距離が近くなり、左ゲート側辺保持部２３ｂと、右ゲート側辺保持部２３ｃの位置も近接し、表示パネル基板のサイズに合わせるように移動する。
【００５２】
表示パネル基板Ｐの処理端から保持位置までの適正な距離は、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃによる保持面のＺ方向位置と、各々の処理ユニット２０ｂｌ、２０ｂｒ、処理ユニット２１ｂ、処理ユニット２２ｂの処理位置のＺ方向位置に関連するものである。この表示パネル基板Ｐの処理端から保持位置までの距離は、表示パネル基板の反りや剛性とともに、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃの保持面のＺ方向精度や、各々の処理ユニット２０ｂｌ、２０ｂｒ、処理ユニット２１ｂ、処理ユニット２２ｂの処理位置のＺ方向精度などを考慮して、適正値を決める必要がある。
【００５３】
本実施形態では、ボールねじ２１ｄ、モータ２１ｅ、ベース２１ｆからなる左ゲート側処理部２１の可動機構と、ボールねじ２２ｄ、モータ２２ｅ、ベース２２ｆからなる右ゲート側処理部２２の可動機構により、自在に調整することができる。
【００５４】
また、図６Ａ（ａ）に示されるように、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃの上面には、吸着穴２８が穿たれている。そして、図６Ａ（ｂ）のＢ−Ｂ断面、図６Ａ（ｃ）のＡ−Ａ断面、で示されるように、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃの内部には、吸引チャンバ２５と切替えバルブ２６が設けられ、外部からの吸引負圧力を切替えバルブにより切替えることにより、吸引チャンバ内の圧力を大気圧または若干正圧と、負圧とを切替えることができるように構成されている。
【００５５】
吸引チャンバ２５と切替えバルブ２６は、図のように複数設けられ、切替えバルブ２６を切替えることにより、処理する基板サイズに応じて、吸着固定する領域を変えることができるように構成されている。
【００５６】
図６Ａは、サイズの小さな表示パネル基板を、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃの吸着穴２８により、吸着した例である。
【００５７】
図６Ａ（ｃ）に示されるように、表示パネル基板が上に載っているＬ型の右ゲート側辺保持部２３ｃの上側の一つの吸引チャンバ２５ａは、切替えバルブ２６ａを開放し、負圧吸引２７し、右ゲート側辺保持部２３ｃの図面下側の二つの吸引チャンバ２５ｂ，２５ｃの上には、表示パネル基板が載っていないので、下側の二つの切替えバルブ２６ｂ，２６ｃを閉鎖し、図６Ａ（ｂ）に示されるように、Ｉ型のソース側辺保持部２３ａとＬ型の右ゲート側辺保持部２３ｃが重なりあう部位のＩ型のソース側辺保持部２３ａの吸引チャンバ２５ｄ，２５ｅ，２５ｆの切替えバルブ２６ｄ，２６ｅ，２６ｆを閉鎖している。
【００５８】
一方、図６Ｂは、サイズの大きな表示パネル基板を、ソース側辺保持部２３ａ、左ゲート側辺保持部２３ｂ、右ゲート側辺保持部２３ｃの吸着穴２８により、吸着した例である。
【００５９】
図６Ｂ（ｃ）に示されるように、Ｌ型の右ゲート側辺保持部２３ｃの図面上側の吸引チャンバ２５ａ、図面下側の二つの吸引チャンバ２５ｂ，２５ｃの上には、表示パネル基板が載っているので、上側の切替えバルブ２６ａと、下側の二つの切替えバルブ２６ｂ，２６ｃは共に開放され、表示パネル基板Ｐのゲート側の辺を吸着する。
【００６０】
また、Ｉ型のソース側辺保持部２３ａとＬ型の右ゲート側辺保持部２３ｃは、離れた状態になるので、図６Ｂ（ｂ）に示されるように、Ｉ型の吸引チャンバ２５ｄ，２５ｅ，２５ｆの切替えバルブ２６ｄ，２６ｅ，２６ｆは、全て開放され、表示パネル基板Ｐのソース側の辺を吸着する。
【００６１】
このように、パネル処理辺保持部２３は、ソース側の辺に、Ｉ型のソース側辺保持部２３ａ、左側ゲート側の辺に、Ｌ型の左ゲート側辺保持部２３ｂ、右側のゲート側の辺に、Ｌ型の右ゲート側辺保持部２３ｃを有しており、表示パネル基板Ｐの各々のソース側、ゲート側の処理辺の１０〜１５０mm程度内側を吸着保持できるように構成されている。
【００６２】
次に、図７ないし図１１を用いてパネル処理辺保持部の形態の変形例について説明する。
図７は、ソース側辺保持部をＩ型、左ゲート側辺保持部をＬ型、右ゲート側辺保持部をＬ型にしたときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
図８は、パネル処理辺保持部を、Ｌ型の左ゲート側辺保持部と、Ｌ型の右ゲート側辺保持部で構成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
図９は、Ｌ型の左ゲート側辺保持部を、Ｉ型の保持部材の組合せで形成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
図１０は、ソース側辺保持部をＴ型の保持部材で形成したときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
図１１は、ソース側辺保持部をＩ型、左ゲート側辺保持部をＬ型、右ゲート側辺保持部をＬ型にしたときで、Ｉ型のソース側辺保持部を複数有するようにしたときのパネル処理辺保持部の形態を説明する図である。
【００６３】
上の説明では、図７に示されるように、ソース側辺保持部をＩ型、左ゲート側辺保持部をＬ型、右ゲート側辺保持部をＬ型にしたときのパネル処理辺保持部について説明した。
【００６４】
ここで、図７（ａ）は、表示パネル基板のサイズが小さいときの配置例であり、図７（ｂ）は、表示パネル基板のサイズが大きいときの配置例である。
【００６５】
また、別のパネル処理辺保持部２３の形態の例としては、図８に示されるように、パネル処理辺保持部２３を、Ｌ型の左ゲート側辺保持部２３ｂ′と、Ｌ型の右ゲート側辺保持部２３ｃ′で構成するようにしてもよい。
【００６６】
ここで、図８（ａ）は、表示パネル基板のサイズが小さいときの配置例であり、図８（ｂ）は、表示パネル基板のサイズが大きいときの配置例である。
【００６７】
この図８に示される例の場合、Ｌ型の左ゲート側辺保持部２３ｂ′の表示パネル基板のソース側に折れ曲がった部分が、Ｌ型の右ゲート側辺保持部２３ｃ′のソース側に折れ曲がった部分より、奥にあり、両者の折れ曲がった部分が、表示パネル基板のソース側辺を処理するとき、吸着保持する機能を有する。
【００６８】
図７に示されたパネル処理辺保持部と、図８に示されたパネル処理辺保持部の配置例を比較すると明らかなように、図７に示されたＩ型と、二つのＬ型のパネル処理辺保持部の組合せは、より大型の表示パネル基板の処理に向いており、図８に示された二つのＬ型のパネル処理辺保持部の組合せは、より小型の表示パネル基板の処理に向いているという特徴がある。
【００６９】
また、別の変形例としては、図９に示されるように、図７に示したＬ型の左ゲート側辺保持部２３ｂを、二つのＩ型のパネル保持部材２３ｄ、２３ｅをＬ型に配置するようにしても同等の効果が得られる。Ｌ型の右ゲート側辺保持部２３ｃも同様である。
【００７０】
また、別の変形例としては、図１０に示されるように、図７に示したＩ型のソース側辺保持部２３ａを、Ｔ型の保持部材２３ｆにしてもよい。これは、Ｉ型のソース側辺保持部２３ａに表示パネル基板の中心方向に向かう出っ張りをつけたものである。これにより、Ｉ型保持部材２３ａよりも表示パネル基板の中心部における撓みを低減させることができる。
【００７１】
また、別の変形例としては、図１１に示されるように、ソース側辺保持部として、Ｉ型の中央ソース側辺保持部２３ｉ、Ｉ型の左ソース側辺保持部２３ｇ、Ｉ型の右ソース側辺保持部２３ｈのように、三辺で構成してもよい。
【００７２】
これは、図７のパネル処理辺保持部と比較して、より大型の表示パネル基板Ｐを処理するために用いることができる。
【００７３】
また同様にＩ型のパネル処理保持部材、Ｌ型のパネル処理保持部材、Ｔ型のパネル処理保持部材の配置構成により多品種の表示パネル基板を保持することが可能である。
【符号の説明】
【００７４】
Ｐ…表示パネル基板
２０…ソース側処理部
２０ａ…処理ユニット可動ガイド（ソース側処理部）
２０ｂｌ，２０ｂｒ…処理ユニット（ソース側処理部）
２１…左ゲート側処理部
２１ａ…処理ユニット可動機構（左ゲート側処理部）
２１ｂ…処理ユニット（左ゲート側処理部）
２１ｃ…スライドガイド（左ゲート側処理部）
２１ｄ…ボールねじ（左ゲート側処理部）
２１ｅ…モータ（左ゲート側処理部）
２１ｆ…ベース（左ゲート側処理部）
２２…右ゲート側処理部
２２ａ…処理ユニット可動機構（右ゲート側処理部）
２２ｂ…処理ユニット（右ゲート側処理部）
２２ｃ…スライドガイド（右ゲート側処理部）
２２ｄ…ボールねじ（右ゲート側処理部）
２２ｅ…モータ（右ゲート側処理部）
２２ｆ…ベース（右ゲート側処理部）
２３…パネル処理辺保持部
２３ａ…ソース側辺保持部（Ｉ型）
２３ｂ，２３ｂ′…左ゲート側辺保持部（Ｌ型）
２３ｃ，２３ｃ′…右ゲート側辺保持部（Ｌ型）
２３ｄ，２３ｅ…左ゲート側辺保持部（Ｉ型）
２３ｆ…ソース側辺保持部（Ｔ型）
２３ｇ…左ソース側辺保持部
２３ｈ…右ソース側辺保持部
２３ｉ…中央ソース側辺保持部
２４…パネル中央保持部
２４ａ…左パネル中央保持部
２４ｂ…右パネル中央保持部
２５…吸引チャンバ
２６…切替バルブ
２７…負圧吸引
３０…搭載部材
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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