(57)【要約】【課題】振動腕の駆動効率の向上と、角速度の検出感度の向上とを両立可能なジャイロ素子の提供。【解決手段】ジャイロ素子１００は、基部１９０と、駆動用振動腕１０１，１０２及び検出用振動腕１０３，１０４と、駆動用振動腕１０１，１０２に設けられた駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０と、検出用振動腕１０３，１０４に設けられた検出用圧電素子１５０，１６０とを備え、駆動用圧電素子（１１０など）は、下部電極（１１１など）と上部電極（１１３など）との間にある駆動用圧電膜（１１２など）を有し、検出用圧電素子１５０，１６０は、下部電極１５１，１６１と上部電極１５３，１６３との間にある検出用圧電膜１５２，１６２を有し、駆動用圧電膜（１１２など）の圧電定数は、検出用圧電膜１５２，１６２の圧電定数より大きく、検出用圧電膜１５２，１６２の誘電率は、駆動用圧電膜（１１２など）の誘電率より小さい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延びる振動腕と、
前記振動腕の第１面に設けられ、前記振動腕を屈曲振動させる駆動用圧電素子と、
前記第１面に設けられた検出用圧電素子と、を備え、
前記駆動用圧電素子は、一対の電極の間にある駆動用圧電膜を有し、
前記検出用圧電素子は、一対の電極の間にある検出用圧電膜を有し、
前記駆動用圧電膜の圧電定数は、前記検出用圧電膜の圧電定数より大きく、
前記検出用圧電膜の誘電率は、前記駆動用圧電膜の誘電率より小さいことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項２】
請求項１に記載のジャイロ素子において、
前記駆動用圧電膜は、ＰＺＴを主成分とする材料を用い、
前記検出用圧電膜は、ＡｌＮまたはＺｎＯを主成分とする材料を用いることを特徴とするジャイロ素子。
【請求項３】
請求項１に記載のジャイロ素子において、
前記基部及び前記振動腕は、Ｓｉを主成分とする材料を用いることを特徴とするジャイロ素子。
【請求項４】
請求項１に記載のジャイロ素子において、
前記振動腕は、駆動用振動腕と検出用振動腕とを備え、
前記駆動用振動腕には、前記駆動用圧電素子が設けられ、
前記検出用振動腕には、前記検出用圧電素子が設けられていることを特徴とするジャイロ素子。
【請求項５】
請求項４に記載のジャイロ素子において、
前記基部の一端から延びる少なくとも２本の前記駆動用振動腕と、
前記基部の他端から延びる少なくとも２本の前記検出用振動腕と、を備えたことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項６】
請求項４に記載のジャイロ素子において、
前記基部の第１方向の両端から、平面視で前記第１方向と交差する第２方向に沿って前記基部の両側に延びる各一対の前記駆動用振動腕と、
前記基部の前記両側における各一対の前記駆動用振動腕の間に設けられ、前記第２方向に沿って延びる一対の前記検出用振動腕と、を備えたことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項７】
請求項６に記載のジャイロ素子において、
前記基部は、基部本体と、
前記基部本体の前記第１方向の両端から前記第１方向に沿って延びる一対の連結腕と、を含み、
各一対の前記駆動用振動腕が、前記一対の連結腕に設けられていることを特徴とするジャイロ素子。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載のジャイロ素子を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロ素子、及びこのジャイロ素子を備えた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度などの物理量を検出するジャイロ素子として、基部と、基部から延在された２つのアーム（以下、振動腕いう）と、２つの振動腕のそれぞれの主面上に形成された駆動部（以下、駆動用圧電素子という）及び検出部（以下、検出用圧電素子という）とが備えられた薄膜微小機械式共振子ジャイロ（以下、ジャイロ素子という）が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１のジャイロ素子の駆動用圧電素子は、主面における振動腕の延在方向に沿った中心線の内側及び外側に設けられた第１、第２の電極と、第１、第２の電極上に設けられた第１、第２の圧電薄膜（以下、駆動用圧電膜という）と、第１、第２の駆動用圧電膜上に設けられた第３、第４の電極とを有する。
また、検出用圧電素子は、駆動用圧電素子と同一主面に設けられ、第１、第２の電極と離れるようにして設けられた第５の電極と、第５の電極上に設けられた第３の圧電薄膜（以下、検出用圧電膜という）と、検出用圧電膜上に設けられた第６の電極とを有する。
そして、特許文献１のジャイロ素子は、駆動用圧電膜及び検出用圧電膜に、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴという）が主体の材料が用いられている。
【０００４】
特許文献１のジャイロ素子は、駆動用圧電膜に交流電圧が印加されて振動腕が腕幅方向に振動している状態で、振動腕の延在方向に沿った軸周りに角速度が加わると、振動腕の主面に対して直角方向に発生するコリオリ力によって、振動腕が厚み方向に振動する。
これにより、特許文献１のジャイロ素子は、検出用圧電膜が振動腕の厚み方向に撓むことから、圧電効果によって検出用圧電膜に発生した電荷を検出することで、角速度の検出が可能な構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２２７７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、特許文献１のジャイロ素子は、駆動用圧電膜及び検出用圧電膜に、ともにＰＺＴが主体の材料が用いられている。
ＰＺＴは、圧電歪定数（ｄ）（以下、圧電定数ともいう）の絶対値が、圧電材料の中で大きい方に位置付けられている。これにより、ＰＺＴは、所定の電気エネルギーを効率よく機械エネルギーに変換できることから、振動腕を効率よく駆動できるという長所を有する。
【０００７】
一方、ＰＺＴは、誘電率（ε）の絶対値が、圧電材料の中で大きい方に位置付けられている。これにより、ＰＺＴは、圧電効果によって生じる電荷を取り出しにくくなる虞がある。
例えれば、ＰＺＴは、湯が張られた公衆浴場の大きな湯船（静電容量が大きく、通常時に有している電荷が大きい）であり、そこにバケツ数杯分の湯（圧電効果によって生じる電荷）が足されても、湯が張られた一般家庭の小さな湯船（誘電率が小さい圧電材料：静電容量が小さく、通常時に有している電荷が小さい）にバケツ１杯分の湯を足したときのようには、湯量の変化を把握しにくいということである。
これにより、特許文献１のジャイロ素子は、振動腕の駆動効率の向上と、角速度の検出感度の向上とが両立しにくいという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例に係るジャイロ素子は、基部と、前記基部から延びる振動腕と、前記振動腕の第１面に設けられ、前記振動腕を屈曲振動させる駆動用圧電素子と、前記第１面に設けられた検出用圧電素子と、を備え、前記駆動用圧電素子は、一対の電極の間にある駆動用圧電膜を有し、前記検出用圧電素子は、一対の電極の間にある検出用圧電膜を有し、前記駆動用圧電膜の圧電定数は、前記検出用圧電膜の圧電定数より大きく、前記検出用圧電膜の誘電率は、前記駆動用圧電膜の誘電率より小さいことを特徴とする。
【００１０】
これによれば、ジャイロ素子は、振動腕の第１面に駆動用圧電素子と、検出用圧電素子とを備え、駆動用圧電膜の圧電定数が検出用圧電膜の圧電定数より大きく、検出用圧電膜の誘電率が駆動用圧電膜の誘電率より小さい。
このことから、ジャイロ素子は、駆動用圧電膜の圧電定数が大きいことで、駆動用圧電素子に印加された電荷が、効率よく圧電歪に変換されることにより、振動腕が屈曲振動しやすくなるとともに、検出用圧電膜の誘電率が小さいことで、角速度の印加に伴い検出用圧電素子に発生する電荷の、通常時の電荷に対する割合が大きくなることにより、角速度を感度よく検出することができる。
これによって、ジャイロ素子は、振動腕の駆動効率の向上と、角速度の検出感度の向上とを両立することが可能となる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記駆動用圧電膜は、ＰＺＴを主成分とする材料を用い、前記検出用圧電膜は、ＡｌＮまたはＺｎＯを主成分とする材料を用いることが好ましい。
【００１２】
これによれば、ジャイロ素子は、駆動用圧電膜にＰＺＴを主成分とする材料を用い、検出用圧電膜にＡｌＮ（窒化アルミニウム）またはＺｎＯ（酸化亜鉛）を主成分とする材料を用いる。
ＰＺＴは、他の材料に比べて圧電定数の大きな材料であり、駆動用圧電膜に用いることで、より効率よく振動腕を振動させることができる。
また、ＡｌＮまたはＺｎＯは、他の圧電材料に比べて誘電率の小さな圧電材料であり、検出用圧電膜に用いることで、より検出用圧電膜の静電容量を小さくし、角速度の印加に伴い発生する電荷の割合を大きくすることができる。
これらによって、ジャイロ素子は、振動腕の駆動効率と角速度の検出感度とを、より向上させることができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記基部及び前記振動腕は、Ｓｉを主成分とする材料を用いることが好ましい。
【００１４】
これによれば、ジャイロ素子は、基部及び振動腕にＳｉ（シリコン）を主成分とする材料を用いる。
Ｓｉは、他の材料と比較して高精度な微細加工が容易であるため、基部形状と振動腕形状とを高精度に製造することができる。
これによって、Ｓｉを用いたジャイロ素子は、振動腕の振動が安定し、振動腕の駆動効率と角速度の検出感度とを、更に向上させることができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記振動腕は、駆動用振動腕と検出用振動腕とを備え、前記駆動用振動腕には、前記駆動用圧電素子が設けられ、前記検出用振動腕には、前記検出用圧電素子が設けられていることが好ましい。
【００１６】
これによれば、ジャイロ素子は、振動腕が駆動用振動腕と検出用振動腕とを備え、駆動用振動腕には、駆動用圧電素子が設けられ、検出用振動腕には、検出用圧電素子が設けられている。
これにより、ジャイロ素子は、駆動用振動腕と検出用振動腕とが独立していることから、駆動用圧電素子による駆動用振動腕の振動が、検出用振動腕の検出用圧電素子へ及ぼす影響を抑制することができる。
これによって、ジャイロ素子は、検出用圧電素子に発生する本来の電荷に加わるノイズ成分を小さくできることから、より高感度及び高精度に角速度を検出することができる。
【００１７】
［適用例５］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記基部の一端から延びる少なくとも２本の前記駆動用振動腕と、前記基部の他端から延びる少なくとも２本の前記検出用振動腕と、を備えたことが好ましい。
【００１８】
これによれば、ジャイロ素子は、基部の一端から延びる少なくとも２本の駆動用振動腕と、基部の他端から延びる少なくとも２本の検出用振動腕と、を備えている。
これにより、ジャイロ素子は、駆動用振動腕と検出用振動腕とが独立し、基部を挟んで互いに反対側に延びていることから、駆動用圧電素子による駆動用振動腕の振動が、検出用振動腕の検出用圧電素子へ及ぼす影響を更に抑制することができる。
これによって、ジャイロ素子は、検出用圧電素子に発生する本来の電荷に加わるノイズ成分をより小さくできることから、更に高感度及び高精度に角速度を検出することができる。
【００１９】
［適用例６］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記基部の第１方向の両端から、平面視で前記第１方向と交差する第２方向に沿って前記基部の両側に延びる各一対の前記駆動用振動腕と、前記基部の前記両側における各一対の前記駆動用振動腕の間に設けられ、前記第２方向に沿って延びる一対の前記検出用振動腕と、を備えたことが好ましい。
【００２０】
これによれば、ジャイロ素子は、基部の両側に延びる各一対の駆動用振動腕と、各一対の駆動用振動腕の間に設けられた一対の検出用振動腕と、を備えている。
これにより、ジャイロ素子は、角速度の検出軸を第１面に対して直交する軸とすることができる。
【００２１】
［適用例７］上記適用例に係るジャイロ素子において、前記基部は、基部本体と、前記基部本体の前記第１方向の両端から前記第１方向に沿って延びる一対の連結腕と、を含み、各一対の前記駆動用振動腕が、前記一対の連結腕に設けられていることが好ましい。
【００２２】
これによれば、ジャイロ素子は、基部が基部本体と基部本体の両端から延びる一対の連結腕と、を含み、各一対の駆動用振動腕が、一対の連結腕に設けられている。
これにより、ジャイロ素子は、角速度が印加されたときの連結腕の揺動（振動）により、一対の検出用振動腕にコリオリ力が伝達されやすくなることから、角速度の検出感度を向上させることができる。
【００２３】
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれかに記載のジャイロ素子を備えたことを特徴とする。
【００２４】
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載のジャイロ素子を備えたことから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態１のジャイロ素子の概略構成を示す模式平面図。
【図２】図１の模式断面図であり、（ａ）は図１のＡ−Ａ線での模式断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線での模式断面図。
【図３】実施形態２のジャイロ素子の概略構成を示す模式平面図。
【図４】図３の模式断面図であり、（ａ）は図３のＡ−Ａ線での模式断面図、（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線での模式断面図、（ｃ）は図３のＣ−Ｃ線での模式断面図、（ｄ）は、図３のＤ−Ｄ線での模式断面図。
【図５】実施形態３のジャイロ素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図。
【図６】ジャイロ素子を備えた電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図７】ジャイロ素子を備えた電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図８】ジャイロ素子を備えた電子機器としてのデジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、分かりやすくするために、各構成要素の寸法比率を実際とは異ならせてある。
【００２７】
（実施形態１）
図１は、実施形態１のジャイロ素子の概略構成を示す模式平面図である。図２は、図１の模式断面図である。図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ線での模式断面図であり、図２（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線での模式断面図である。なお、図中のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交する軸である。
【００２８】
図１、図２に示すように、ジャイロ素子１００は、基部１９０、駆動用振動腕１０１，１０２、検出用振動腕１０３，１０４などから構成されている。
詳述すると、ジャイロ素子１００は、略矩形平板状の基部１０９の＋（プラス）Ｙ側の一端（一辺）から、Ｙ軸に沿って＋Ｙ方向に延びる互いに略平行な一対（２本）の角柱状の駆動用振動腕１０１，１０２と、基部１０９の−（マイナス）Ｙ側の他端（他辺）から、Ｙ軸に沿って−Ｙ方向に延びる互いに略平行な一対の角柱状の検出用振動腕１０３，１０４と、を有している。
【００２９】
ジャイロ素子１００の基部１９０、駆動用振動腕１０１，１０２、検出用振動腕１０３，１０４は、一体で形成され、例えば、Ｓｉを主成分とする材料が用いられている。ジャイロ素子１００は、その平面形状からＨ型ジャイロとも呼ばれている。
ここで、駆動用振動腕１０１，１０２（検出用振動腕１０３，１０４）において、駆動用振動腕１０１，１０２の延在方向（Ｙ軸方向）と駆動用振動腕１０１，１０２の配列方向（Ｘ軸方向）とにより規定される面に沿った面の一つを、第１面としての主面１９１とする。なお、主面１９１は、Ｚ軸と直交する面である。
【００３０】
駆動用振動腕１０１，１０２の主面１９１の根元寄りの領域には、Ｙ軸方向に延びる略矩形状の駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０が設けられている。
駆動用圧電素子１１０は、駆動用振動腕１０１の主面１９１上に設けられた下部電極１１１と、下部電極１１１と対になって上方に設けられた上部電極１１３との間にある駆動用圧電膜１１２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子１２０は、駆動用振動腕１０１の主面１９１上に設けられた下部電極１２１と、下部電極１２１と対になって上方に設けられた上部電極１２３との間にある駆動用圧電膜１２２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子１３０は、駆動用振動腕１０２の主面１９１上に設けられた下部電極１３１と、下部電極１３１と対になって上方に設けられた上部電極１３３との間にある駆動用圧電膜１３２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子１４０は、駆動用振動腕１０２の主面１９１上に設けられた下部電極１４１と、下部電極１４１と対になって上方に設けられた上部電極１４３との間にある駆動用圧電膜１４２とを有している。
【００３１】
検出用振動腕１０３，１０４の主面１９１の根元寄りの領域には、Ｙ軸方向に延びる略矩形状の検出用圧電素子１５０，１６０が設けられている。
検出用圧電素子１５０は、検出用振動腕１０３の主面１９１上に設けられた下部電極１５１と、下部電極１５１と対になって上方に設けられた上部電極１５３との間にある検出用圧電膜１５２とを有している。
同様に、検出用圧電素子１６０は、検出用振動腕１０４の主面１９１上に設けられた下部電極１６１と、下部電極１６１と対になって上方に設けられた上部電極１６３との間にある検出用圧電膜１６２とを有している。
【００３２】
駆動用圧電素子１１０と駆動用圧電素子１２０とは、駆動用振動腕１０１の主面１９１上の中心線Ｃ１に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
同様に、駆動用圧電素子１３０と駆動用圧電素子１４０とは、駆動用振動腕１０２の主面１９１上の中心線Ｃ２に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
検出用圧電素子１５０は、検出用振動腕１０３の主面１９１上の中心線Ｃ３に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが略線対称形状となるように設けられている。
検出用圧電素子１６０は、検出用振動腕１０４の主面１９１上の中心線Ｃ４に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが略線対称形状となるように設けられている。
【００３３】
なお、駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０及び検出用圧電素子１５０，１６０は、主面１９１上のみに設けられ、主面１９１の反対側の裏面１９２（−Ｚ側の面）には設けられていない。
【００３４】
下部電極１１１，１２１，１３１，１４１，１５１，１６１、上部電極１１３，１２３，１３３，１４３，１５３，１６３には、例えば、Ｐｔ（プラチナ）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）、Ｔｉ（チタン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）などが用いられている。
駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２には、ＰＺＴ（比誘電率（εｒ）＝８００〜３０００）が用いられ、検出用圧電膜１５２，１６２には、ＡｌＮまたはＺｎＯ（ともに比誘電率（εｒ）＝８〜１０）が用いられている。
これにより、ジャイロ素子１００は、検出用圧電膜１５２，１６２の誘電率を、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２の誘電率よりも小さくすることができる。
ここで、比誘電率（εｒ）とは、当該物質の誘電率（ε）と真空の誘電率（ε0）との比（εｒ＝ε／ε0）を表す。
【００３５】
下部電極１１１，１２１，１３１，１４１，１５１，１６１、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２、検出用圧電膜１５２，１６２、上部電極１１３，１２３，１３３，１４３，１５３，１６３の成膜には、例えば、スパッタ法が用いられ、パターニング（外形形状形成）には、例えば、フォトリソグラフィー法及びエッチング法が用いられる。
【００３６】
駆動用振動腕１０１，１０２の下部電極１１１と、上部電極１２３，１３３と、下部電極１４１とは、図示しない配線により互いに電気的に接続され、基部１９０に設けられた図示しない一方の駆動電極と接続されている。
駆動用振動腕１０１，１０２の上部電極１１３と、下部電極１２１，１３１と、上部電極１４３とは、図示しない配線により互いに電気的に接続され、基部１９０に設けられた図示しない他方の駆動電極と接続されている。
一方、検出用振動腕１０３，１０４の下部電極１５１，１６１と、上部電極１５３，１６３とは、それぞれ電気的に独立した状態で、基部１９０に設けられた図示しない各検出電極と接続されている。
【００３７】
ここで、ジャイロ素子１００の角速度を検出する動作について説明する。
まず、ジャイロ素子１００の一方の駆動電極と他方の駆動電極との間に交流電圧を印加することによって、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２が逆圧電効果によって伸長または収縮し、駆動用振動腕１０１，１０２が＋Ｘ方向と−Ｘ方向とに交互に屈曲振動する。このとき、駆動用圧電膜１１２，１４２が収縮しているときには駆動用圧電膜１２２，１３２は伸長し、駆動用圧電膜１１２，１４２が伸長しているときには駆動用圧電膜１２２，１３２は収縮する。
これにより、駆動用振動腕１０１が＋Ｘ方向へ振れるときには駆動用振動腕１０２は−Ｘ方向へ振れ、駆動用振動腕１０１が−Ｘ方向へ振れるときには駆動用振動腕１０２は＋Ｘ方向へ振れることとなる。
【００３８】
つまり、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１と駆動用振動腕１０２とが、Ｘ軸方向において、互いに近づいたり離れたりするように屈曲振動をする。このとき、検出用振動腕１０３，１０４は振動しない。
この際、ジャイロ素子１００は、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２の材料として圧電定数の大きな材料であるＰＺＴが用いられていることから、印加した交流電気エネルギーを効率よく駆動用振動腕１０１，１０２の振動エネルギーに変換することができ、駆動用振動腕１０１，１０２の振幅を大きくすることができる。
これにより、ジャイロ素子１００は、角速度に伴って生じるコリオリ力を受けやすくなる。
【００３９】
次に、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２が上記屈曲振動をしている状態で、Ｙ軸周りに角速度ωが加わると、駆動用振動腕１０１，１０２にコリオリ力が発生し、駆動用振動腕１０１，１０２が＋Ｚ方向（図１の紙面手前側）と−Ｚ方向（図１の紙面奥側）とに交互に屈曲振動する。
駆動用振動腕１０１，１０２がＺ軸方向に屈曲振動すると、駆動用振動腕１０１，１０２の振動エネルギーが基部１９０を通して検出用振動腕１０３，１０４に伝達される。これにより、検出用振動腕１０３，１０４は、駆動用振動腕１０１，１０２と同様に、＋Ｚ方向と−Ｚ方向とに交互に屈曲振動することとなる。
【００４０】
検出用振動腕１０３，１０４がＺ軸方向に屈曲振動すると、検出用圧電膜１５２，１６２に歪みが生じ、圧電効果によって検出用圧電膜１５２，１６２の表面に電荷が生じる。
ジャイロ素子１００は、検出用圧電膜１５２の表面に生じた電荷を下部電極１５１と上部電極１５３とを通して検出し、検出用圧電膜１６２の表面に生じた電荷を下部電極１６１と上部電極１６３とを通して検出する。
この際、ジャイロ素子１００は、検出用圧電膜１５２，１６２の材料として、ＰＺＴに比べて誘電率の小さな材料であるＡｌＮまたはＺｎＯを用いていることから、静電容量を小さくすることができ、コリオリ力によって発生した電荷を効率よく検出することができる。これにより、ジャイロ素子１００は、角速度ωの検出感度を向上させることが可能となる。
【００４１】
上述したように、実施形態１のジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２の主面１９１に駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０を備え、検出用振動腕１０３，１０４の主面１９１に検出用圧電素子１５０，１６０を備えている。
そして、ジャイロ素子１００は、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２の圧電定数が検出用圧電膜１５２，１６２の圧電定数より大きく、検出用圧電膜１５２，１６２の誘電率が駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２の誘電率より小さい。
【００４２】
ジャイロ素子１００は、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２の圧電定数が大きいことで、駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０に印加された電荷が、効率よく圧電歪に変換される。これにより、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２が屈曲振動しやすくなる。
加えて、ジャイロ素子１００は、検出用圧電膜１５２，１６２の誘電率が小さいことで、角速度ωの印加に伴い検出用圧電素子１５０，１６０に発生する電荷の、通常時の電荷に対する割合が大きくなることにより、角速度ωを感度よく検出することができる。
これらによって、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２の駆動効率の向上と、検出用圧電素子１５０，１６０による角速度ωの検出感度の向上とを両立することが可能となる。
【００４３】
具体的には、ジャイロ素子１００は、駆動用圧電膜１１２，１２２，１３２，１４２に圧電定数が大きいＰＺＴを用いることで、印加した電気エネルギーを効率良く駆動用振動腕１０１，１０２の振動エネルギーに変換することができ、駆動用振動腕１０１，１０２を大きく振動させることができるため、効率的にコリオリ力を受けることができる。
さらに、ジャイロ素子１００は、検出用圧電膜１５２，１６２にＰＺＴよりも誘電率が小さいＡｌＮやＺｎＯを用いることで、検出用圧電膜１５２，１６２の静電容量をより小さくし、角速度ωの印加に伴い発生する電荷の割合を大きくすることができる。
これにより、ジャイロ素子１００は、コリオリ力により発生する検出用圧電膜１５２，１６２の表面の電荷を効率よく検出することが可能となり、わずかなコリオリ力でも検出することが可能となる。
これらによって、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２の駆動効率の向上と、検出用圧電素子１５０，１６０による角速度ωの検出感度の向上とを両立することが可能となる。
【００４４】
また、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２と検出用振動腕１０３，１０４とが独立し、基部１９０を挟んで互いに反対側に延びていることから、駆動用圧電素子１１０，１２０，１３０，１４０による駆動用振動腕１０１，１０２の振動が、検出用振動腕１０３，１０４の検出用圧電素子１５０，１６０へ及ぼす影響を、例えば、駆動用振動腕と検出用振動腕とが一体の構成と比較して、大幅に抑制することができる。
これによって、ジャイロ素子１００は、検出用圧電素子１５０，１６０に発生する本来の電荷に加わるノイズ成分をより小さくできることから、更に高感度及び高精度に角速度ωを検出することができる。
【００４５】
また、ジャイロ素子１００は、基部１９０、駆動用振動腕１０１，１０２、検出用振動腕１０３，１０４に、Ｓｉを主成分とする材料が用いられている。ジャイロ素子１００は、Ｓｉが他の材料と比較して高精度な微細加工が容易であるため、基部１９０形状、駆動用振動腕１０１，１０２形状、検出用振動腕１０３，１０４形状を高精度に形成することができる。
これによって、ジャイロ素子１００は、駆動用振動腕１０１，１０２、検出用振動腕１０３，１０４の振動が安定し、駆動用振動腕１０１，１０２の駆動効率と角速度ωの検出感度とを、更に向上させることができる。
【００４６】
（実施形態２）
図３は、実施形態２のジャイロ素子の概略構成を示す模式平面図である。図４は、図３の模式断面図である。図４（ａ）は、図３のＡ−Ａ線での模式断面図であり、図４（ｂ）は、図３のＢ−Ｂ線での模式断面図であり、図４（ｃ）は、図３のＣ−Ｃ線での模式断面図であり、図４（ｄ）は、図３のＤ−Ｄ線での模式断面図である。なお、実施形態１との共通部分については、詳細な説明を省略する。
【００４７】
図３、図４に示すように、ジャイロ素子２００は、基部２９０、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂ、検出用振動腕２０３，２０４などから構成されている。
詳述すると、ジャイロ素子２００は、基部２９０の第１方向としてのＸ軸方向の両端から、平面視でＸ軸方向と交差する第２方向としてのＹ軸方向に沿って基部２９０のＹ軸方向の両側（＋Ｙ側、−Ｙ側）に延びる各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂを備えている。
そして、ジャイロ素子２００は、基部２９０のＹ軸方向の両側における各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂの間（２０１ａと２０２ａとの間及び２０１ｂと２０２ｂとの間）に設けられ、Ｙ軸方向に沿って＋Ｙ側及び−Ｙ側に延びる一対の検出用振動腕２０３，２０４とを備えている。
【００４８】
ジャイロ素子２００の基部２９０は、基部本体２９０ａと、基部本体２９０ａのＸ軸方向の両端からＸ軸方向に沿って延びる一対の連結腕２９３，２９４と、を含み、一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂが連結腕２９３に設けられ、もう一対の駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂが、連結腕２９４に設けられている。なお、ジャイロ素子２００は、その平面形状からＷＴ型ジャイロとも呼ばれている。
【００４９】
駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂの第１面としての主面２９１には、駆動用振動腕２０１ａと駆動用振動腕２０１ｂとの間、及び駆動用振動腕２０２ａと駆動用振動腕２０２ｂとの間に跨るように、Ｙ軸方向に延びる略矩形状の駆動用圧電素子２１０，２２０，２３０，２４０が設けられている。
駆動用圧電素子２１０は、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂの主面２９１上に設けられた下部電極２１１と、下部電極２１１と対になって上方に設けられた上部電極２１３との間にある駆動用圧電膜２１２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子２２０は、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂの主面２９１上に設けられた下部電極２２１と、下部電極２２１と対になって上方に設けられた上部電極２２３との間にある駆動用圧電膜２２２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子２３０は、駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂの主面２９１上に設けられた下部電極２３１と、下部電極２３１と対になって上方に設けられた上部電極２３３との間にある駆動用圧電膜２３２とを有している。
同様に、駆動用圧電素子２４０は、駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂの主面２９１上に設けられた下部電極２４１と、下部電極２４１と対になって上方に設けられた上部電極２４３との間にある駆動用圧電膜２４２とを有している。
【００５０】
検出用振動腕２０３，２０４の主面２９１の根元寄りの領域には、Ｙ軸方向に延びる略矩形状の検出用圧電素子２５０，２６０，２７０，２８０が設けられている。
検出用圧電素子２５０は、検出用振動腕２０３の主面２９１上に設けられた下部電極２５１と、下部電極２５１と対になって上方に設けられた上部電極２５３との間にある検出用圧電膜２５２とを有している。
同様に、検出用圧電素子２６０は、検出用振動腕２０３の主面２９１上に設けられた下部電極２６１と、下部電極２６１と対になって上方に設けられた上部電極２６３との間にある検出用圧電膜２６２とを有している。
同様に、検出用圧電素子２７０は、検出用振動腕２０４の主面２９１上に設けられた下部電極２７１と、下部電極２７１と対になって上方に設けられた上部電極２７３との間にある検出用圧電膜２７２とを有している。
同様に、検出用圧電素子２８０は、検出用振動腕２０４の主面２９１上に設けられた下部電極２８１と、下部電極２８１と対になって上方に設けられた上部電極２８３との間にある検出用圧電膜２８２とを有している。
【００５１】
駆動用圧電素子２１０と駆動用圧電素子２２０とは、駆動用振動腕２０１ａ（２０１ｂ）の主面２９１上の中心線Ｃ５に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
同様に、駆動用圧電素子２３０と駆動用圧電素子２４０とは、駆動用振動腕２０２ａ（２０２ｂ）の主面２９１上の中心線Ｃ６に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
同様に、検出用圧電素子２５０と検出用圧電素子２６０とは、検出用振動腕２０３の主面２９１上の中心線Ｃ７に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
同様に、検出用圧電素子２７０と検出用圧電素子２８０とは、検出用振動腕２０４の主面２９１上の中心線Ｃ８に対して、互いに略線対称形状となるように設けられている。
【００５２】
なお、駆動用圧電素子２１０，２２０，２３０，２４０及び検出用圧電素子２５０，２６０，２７０，２８０は、主面２９１上のみに設けられ、主面２９１の反対側の裏面２９２（−Ｚ側の面）には設けられていない。
【００５３】
なお、ジャイロ素子２００の各構成要素に用いられる材料、成膜方法、加工方法は、実施形態１と同様である。また、ジャイロ素子２００は、配線構成も実施形態１に準じている。
【００５４】
ここで、ジャイロ素子２００の角速度を検出する動作について説明する。
まず、ジャイロ素子２００の一方の駆動電極と他方の駆動電極との間に交流電圧を印加することによって、駆動用圧電膜２１２，２２２，２３２，２４２が逆圧電効果によって伸長または収縮し、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂが＋Ｘ方向と−Ｘ方向とに交互に屈曲振動する。
詳述すると、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂが＋Ｘ方向へ振れるときには駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂは−Ｘ方向へ振れ、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂが−Ｘ方向へ振れるときには駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂは＋Ｘ方向へ振れることとなる。
【００５５】
つまり、ジャイロ素子２００は、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂと駆動用振動腕２０２ａ，２０２ｂとが、Ｘ軸方向において、互いに近づいたり離れたりするように屈曲振動をする。このとき、検出用振動腕２０３，２０４は振動しない。
この際、上述したように、ジャイロ素子２００は、駆動用圧電膜２１２，２２２，２３２，２４２の材料として圧電定数の大きな材料であるＰＺＴが用いられていることから、印加した交流電気エネルギーを効率よく駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂの振動エネルギーに変換することができ、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂの振幅を大きくすることができる。
これにより、ジャイロ素子２００は、角速度に伴って生じるコリオリ力を受けやすくなる。
【００５６】
次に、ジャイロ素子２００は、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂが上記屈曲振動をしている状態で、Ｚ軸周りに角速度ωが加わると、コリオリ力により駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂが＋Ｙ方向と−Ｙ方向とに交互に揺動（振動）する。
駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂがＹ軸方向に揺動すると、この動きに連動して連結腕２９３，２９４がＹ軸方向に揺動（振動）し、この振動に連動して基部本体２９０ａが周方向に振動し、この基部本体２９０ａの周方向の振動に連動して検出用振動腕２０３，２０４がＸ軸方向に屈曲振動することとなる。
この検出用振動腕２０３，２０４の屈曲振動により、検出用圧電膜２５２，２６２，２７２，２８２に歪みが生じ、圧電効果によって検出用圧電膜２５２，２６２，２７２，２８２の表面に電荷が生じる。
ジャイロ素子２００は、検出用圧電膜２５２，２６２，２７２，２８２の表面に生じた電荷を検出することで角速度ωを検出する。
【００５７】
この際、ジャイロ素子２００は、検出用圧電膜２５２，２６２，２７２，２８２の材料として、ＰＺＴに比べて誘電率の小さな材料であるＡｌＮまたはＺｎＯを用いていることから、静電容量を小さくすることができ、コリオリ力によって発生した電荷を効率よく検出することができる。これにより、ジャイロ素子２００は、角速度ωの検出感度を向上させることが可能となる。
【００５８】
上述したように、実施形態２のジャイロ素子２００は、基部２９０の両側（＋Ｙ側、−Ｙ側）に延びる各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂと、各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂの間に設けられた一対の検出用振動腕２０３，２０４と、を備えている。
これにより、ジャイロ素子２００は、角速度ωの検出軸を主面２９１に対して直交する軸（Ｚ軸）とすることができる。
【００５９】
また、ジャイロ素子２００は、基部２９０が基部本体２９０ａと、基部本体２９０ａの両端からＸ軸方向に沿って延びる一対の連結腕２９３，２９４と、を含み、各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂが、一対の連結腕２９３，２９４に設けられている。
これにより、ジャイロ素子２００は、角速度ωが印加されたときの連結腕２９３，２９４の揺動（振動）により、一対の検出用振動腕２０３，２０４にコリオリ力が伝達されやすくなることから、角速度ωの検出感度を更に向上させることができる。
【００６０】
また、ジャイロ素子２００は、各一対の駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂ及び一対の検出用振動腕２０３，２０４の振動方向が、Ｘ軸方向とＹ軸方向のみであり、Ｚ軸方向には振動しないことから、実施形態１と比較して、駆動用振動腕２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂ及び検出用振動腕２０３，２０４の厚みのバラツキの影響を受けにくい。
【００６１】
（実施形態３）
図５は、実施形態３のジャイロ素子の概略構成を示す模式図である。図５（ａ）は、模式平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線での模式断面図である。なお、実施形態１との共通部分については、詳細な説明を省略する。
【００６２】
図５に示すように、ジャイロ素子３００は、基部３９０と、基部３９０から延びる一対の振動腕３０１，３０２などから構成されている。
詳述すると、ジャイロ素子３００は、略矩形平板状の基部３９０の＋Ｙ側の一端から、Ｙ軸に沿って＋Ｙ方向に互いに略平行に延びる角柱状の一対の振動腕３０１，３０２を備えている。なお、ジャイロ素子３００は、その平面形状から音叉型ジャイロとも呼ばれている。
【００６３】
振動腕３０１，３０２の第１面としての主面３９１の根元寄りの領域には、Ｙ軸方向に延びる略矩形状の駆動用圧電素子３１０，３２０，３３０，３４０が設けられている。
また、駆動用圧電素子３１０と駆動用圧電素子３２０との間には、検出用圧電素子３５０が設けられ、駆動用圧電素子３３０と駆動用圧電素子３４０との間には、検出用圧電素子３６０が設けられている。
【００６４】
駆動用圧電素子３１０と駆動用圧電素子３２０とは、振動腕３０１の主面３９１上の中心線Ｃ９に対して、互いに略線対称形状になるように設けられている。
駆動用圧電素子３３０と駆動用圧電素子３４０とは、振動腕３０２の主面３９１上の中心線Ｃ１０に対して、互いに略線対称形状になるように設けられている。
検出用圧電素子３５０は、振動腕３０１の主面３９１上の中心線Ｃ９に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが互いに略線対称形状になるように設けられている。
検出用圧電素子３６０は、振動腕３０２の主面３９１上の中心線Ｃ１０に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが互いに略線対称形状になるように設けられている。
【００６５】
駆動用圧電素子３１０，３２０，３３０，３４０及び検出用圧電素子３５０，３６０は、主面３９１上のみに設けられ、主面３９１の反対側の裏面３９２（−Ｚ側の面）には設けられていない。
なお、ジャイロ素子３００の各構成要素に用いられる材料、成膜方法、加工方法は、実施形態１と同様である。また、ジャイロ素子３００は、配線構成も実施形態１に準じている。
【００６６】
ここで、ジャイロ素子３００の角速度を検出する動作について説明する。
まず、ジャイロ素子３００の一方の駆動電極と他方の駆動電極との間に交流電圧を印加することによって、駆動用圧電膜３１２，３２２，３３２，３４２が逆圧電効果によって伸長または収縮し、振動腕３０１，３０２が＋Ｘ方向と−Ｘ方向とに交互に屈曲振動する。
つまり、ジャイロ素子３００は、振動腕３０１と振動腕３０２とが、Ｘ軸方向において、互いに近づいたり離れたりするように屈曲振動をする。
この際、ジャイロ素子３００は、駆動用圧電膜３１２，３２２，３３２，３４２の材料として圧電定数の大きな材料であるＰＺＴが用いられていることから、印加した交流電気エネルギーを効率よく振動腕３０１，３０２の振動エネルギーに変換することができ、振動腕３０１，３０２の振幅を大きくすることができる。
これにより、ジャイロ素子３００は、角速度に伴って生じるコリオリ力を受けやすくなる。
【００６７】
次に、ジャイロ素子３００は、振動腕３０１，３０２が上記屈曲振動をしている状態で、Ｙ軸周りに角速度ωが加わると、振動腕３０１，３０２にコリオリ力が発生し、振動腕３０１，３０２が＋Ｚ方向（図５（ａ）の紙面手前側）と−Ｚ方向（図５（ａ）の紙面奥側）とに交互に屈曲振動する。
振動腕３０１，３０２がＺ軸方向に屈曲振動すると、検出用圧電膜３５２，３６２に歪みが生じ、圧電効果によって検出用圧電膜３５２，３６２の表面に電荷が生じる。
ジャイロ素子３００は、検出用圧電膜３５２，３６２の表面に生じた電荷を検出することにより、角速度ωを検出する。
この際、ジャイロ素子３００は、検出用圧電膜３５２，３６２の材料として、ＰＺＴに比べて誘電率の小さな材料であるＡｌＮまたはＺｎＯを用いていることから、静電容量を小さくすることができ、コリオリ力によって発生した電荷を効率よく検出することができる。これにより、ジャイロ素子３００は、角速度ωの検出感度を向上させることが可能となる。
【００６８】
上述したように、実施形態３のジャイロ素子３００は、基部３９０と一対の振動腕３０１，３０２とを備えた構成であることから、他の実施形態と比較して、小型化が容易である。
また、ジャイロ素子３００は、外部部材への取り付けにおいて、基部３９０を外部部材へ固定しても、その音叉型の形状から他の実施形態と比較して、振動腕３０１，３０２への影響が極めて少ない。
【００６９】
（電子機器）
次に、上記各実施形態で述べたジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）を備えた電子機器について説明する。
図６は、ジャイロ素子を備えた電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
図６に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０１を有する表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）が内蔵されている。
【００７０】
図７は、ジャイロ素子を備えた電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
図７に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４及び送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０１が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、ジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）が内蔵されている。
【００７１】
図８は、ジャイロ素子を備えた電子機器としてのデジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図８には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面（紙面手前側）には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（紙面奥側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００７２】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。更に、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）が内蔵されている。
【００７３】
このような電子機器は、角速度の検出特性に優れたジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）を備えたことから、優れた性能を発揮することができる。
なお、上記ジャイロ素子（１００，２００，３００のいずれか）を備えた電子機器は、図６のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図７の携帯電話機、図８のデジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば、電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１００…ジャイロ素子、１０１，１０２…駆動用振動腕、１０３，１０４…検出用振動腕、１１０，１２０，１３０，１４０…駆動用圧電素子、１１１，１２１，１３１，１４１…下部電極、１１２，１２２，１３２，１４２…駆動用圧電膜、１１３，１２３，１３３，１４３…上部電極、１５０，１６０…検出用圧電素子、１５１，１６１…下部電極、１５２，１６２…検出用圧電膜、１５３，１６３…上部電極、１９０…基部、１９１…第１面としての主面、１９２…裏面、２００…ジャイロ素子、２０１ａ，２０１ｂ，２０２ａ，２０２ｂ…駆動用振動腕、２０３，２０４…検出用振動腕、２１０，２２０，２３０，２４０…駆動用圧電素子、２１１，２２１，２３１，２４１…下部電極、２１２，２２２，２３２，２４２…駆動用圧電膜、２１３，２２３，２３３，２４３…上部電極、２５０，２６０，２７０，２８０…検出用圧電素子、２５１，２６１，２７１，２８１…下部電極、２５２，２６２，２７２，２８２…検出用圧電膜、２５３，２６３，２７３，２８３…上部電極、２９０…基部、２９１…第１面としての主面、２９２…裏面、３００…ジャイロ素子、３０１，３０２…振動腕、３１０，３２０，３３０，３４０…駆動用圧電素子、３１１，３２１，３３１，３４１…下部電極、３１２，３２２，３３２，３４２…駆動用圧電膜、３１３，３２３，３３３，３４３…上部電極、３５０，３６０…検出用圧電素子、３５１，３６１…下部電極、３５２，３６２…検出用圧電膜、３５３，３６３…上部電極、３９０…基部、３９１…第１面としての主面、３９２…裏面、１１００…電子機器としてのパーソナルコンピューター、１１０１…表示部、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１２００…電子機器としての携帯電話機、１２０１…表示部、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１３００…電子機器としてのデジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６，Ｃ７，Ｃ８，Ｃ９，Ｃ１０…中心線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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