(57)【要約】      （修正有）【課題】オゾンと活性種の生成率を容易に制御できるプラズマ生成方法及び装置を提供する。【解決手段】供給されるガス７に電圧を印加することによって誘電体管１内の放電によりプラズマを生成させる方法であって、高電圧電極３が誘電体管１と通水管２が重なる部分の誘電体管１の外側に配設され、誘電体管１の内周に間隙を持った状態で誘電体管１内へ吐出される流体に接地電極４が配設され、電源装置５に接続された高電圧電極３と接地電極４に電圧を印加することによって誘電体管１の内壁と流体との間に放電を生起させる。また、誘電体管１、通水管２、供給されるガス７を導入するガス導入管６の連結がアスピレータ構造に形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高電圧電極が誘電体管の外側に配設され、該誘電体管の少なくとも一部の内部に流体が通り下流側に吐出口を有する通水管が配置され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接地電極が配設され、該誘電体管にガスを供給し電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁との間に放電を生起させるプラズマ生成方法において、該高電圧電極の配設位置又は該通水管の配置位置を該誘電体管の長手方向に操作することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁の少なくとも一方との間に生起される放電を調整し、オゾンと活性種の生成率を制御することを特徴とするプラズマ生成方法。
【請求項２】
高電圧電極が誘電体管の外側に配設され、該誘電体管の少なくとも一部の内部に流体が通り下流側に吐出口を有する通水管が配置され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接地電極が配設され、該誘電体管にガスを供給し電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁との間に放電を生起させるプラズマ生成方法において、該高電圧電極が該誘電体管と該通水管が重なる部分に対応する該誘電体管の外側と、流体が吐出される吐出口より下流側の該誘電体管の外側に各々少なくとも１つ配設され、少なくとも１つの該高電圧電極に電圧を印加することによって、オゾンと活性種の生成率を制御することを特徴とするプラズマ生成方法。
【請求項３】
供給される前記ガスの量と流体の量が、気液比０．５以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマ生成方法。
【請求項４】
供給される前記ガスが少なくとも酸素を含むガス、不活性ガスのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のプラズマ生成方法。
【請求項５】
前記放電が生起した部分を通過した流体を再度前記通水管の上流側へ返送し、該流体を循環させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のプラズマ生成方法。
【請求項６】
前記誘電体管、前記通水管、供給される前記ガスを導入する導入口の連結がアスピレータ構造に形成されている連結部を有し、該通水管の吐出口から吐出される流体と該誘電体管の内部の間隙に強い負圧を生じさせ、キャビテーションによって、放電により発生したガスを流体に溶かすことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のプラズマ生成方法。
【請求項７】
外側に高電圧電極が配設された誘電体管と、該誘電体管の少なくとも一部の内部に配置され下流側に吐出口を有する通水管と、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接するように設けられた接地電極と、該高電圧電極と該接地電極が接続された電源装置からなるプラズマ生成装置において、該通水管が該誘電体管の内部で該誘電体管の長手方向に移動可能な状態で配置されることを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項８】
外側に高電圧電極が配設された誘電体管と、該誘電体管の少なくとも一部の内部に配置され下流側に吐出口を有する通水管と、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接するように設けられた接地電極と、該高電圧電極と該接地電極が接続された電源装置からなるプラズマ生成装置において、該高電圧電極が該誘電体管と該通水管が重なる部分の該誘電体管の外側と、流体が吐出される吐出口より下流側の該誘電体管の外側に各々少なくとも１箇所に配設されたことを特徴とするプラズマ生成装置。
【請求項９】
前記接地電極が前記誘電体管の内部または該誘電体管から排出された前記流体に配設されることを特徴とする請求項７又は８に記載のプラズマ生成装置。
【請求項１０】
前記接地電極を絶縁化合物で被覆することを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
【請求項１１】
前記絶縁化合物がガラスであることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマ生成装置。
【請求項１２】
前記誘電体管が少なくともセラミックスかガラスのいずれか一方であることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
【請求項１３】
前記通水管がセラミックス、ガラス、樹脂、金属のいずれか１つからなることを特徴とする請求項７乃至１２のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
【請求項１４】
前記樹脂がフッ素系樹脂であることを特徴とする請求項１３に記載のプラズマ生成装置。
【請求項１５】
前記放電が生起した部分を通過した流体を再度前記通水管の上流側へ返送し、流体を循環させる構造を有していることを特徴とする請求項７乃至１４のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
【請求項１６】
前記誘電体管、前記通水管、該誘電体管に設けられたガス導入口がアスピレータ構造に形成されていることを特徴とする請求項７乃至１５のいずれかに記載のプラズマ生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体と誘電体の間に放電を生起させるプラズマ生成方法および生成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、上下水処理施設、化学工場、薬品工場、食品工場等において、細菌類、カビ類および酵母などの殺菌、アルデヒド、イオウ化合物、窒素化合物等の臭気物質の脱臭、し尿や染料廃液の脱色、有機溶剤などの有害物質を無害化するためにオゾン発生装置が用いられている。
【０００３】
この技術は一般に放電式オゾナイザでオゾンを生成して、バブラー、エジェクター、スタティックミキサーなどの気液混合部で処理が必要な水と混合して気液接触させるものである。
【０００４】
しかしながら、オゾンは酸素の同素体であり、また非常に不安定な気体であるため常温で酸素に分解する。そのため保存が困難であり、オゾンを使用する現場で生成する必要があると同時に、塩素による処理と比較して処理コストが高価であるという問題があった。
【０００５】
この問題に対して、多孔質セラミックスパイプの内部中央に高電圧電極を置いて多孔質セラミックスパイプと高電圧電極との間にガス通路を形成し、多孔質セラミックスパイプの外部に接地電極を置くとともに、この多孔質セラミックスパイプの外側面に直接、処理すべき水の通路を形成し、これら高電圧電極と接地電極間に高電圧高周波電源や高電圧パルス電源を接続することで該ガス通路においてオゾンを生成するオゾン水処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、前記のオゾン水処理装置の場合、多孔質セラミックスパイプの内部中央に高電圧電極を置いて、高電圧高周波電源や高電圧パルス電源による高電圧やパルス高電圧を印加するものであり、安定な放電を生起せしめるためには高電圧電極の精密な位置決め、および電極表面の稠密な誘電体による被覆処理、そして高価なパルス電源を必要とする。
【０００７】
また、これに対して、被処理水を加圧送給する加圧部の後段に設けられ通水管路の内径を縮小させたノズルを有し、キャビテーション気泡を発生させるキャビテーション発生部と、キャビテーション発生部の後段近傍に対向させて設けた高圧側電極及び接地側電極からなる対電極と、対電極間に高電圧を印加して放電プラズマを発生させることにより、被処理水中に含有する有機物等の被処理物質の分解や合成等の処理を行うもので、キャビテーション発生部内部の通水管路の内面に沿って、管路表面上に沿面放電を形成するように対電極を配置したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
しかしながら、前記のプラズマ生成装置の場合、予め被処理液に溶存するガスがキャビテーションにより気泡発生し、気液界面での放電を行うものであり、任意にガス量を調節することが難しく、被処理液が脱気された場合にはキャビテーション気泡が発生せず、また、キャビテーション気泡が生成するエリア以外では放電しないので、大型化し難いという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２―１２６７６９号公報
【特許文献２】特開２００９―１１９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記の問題点に鑑み本発明者は鋭意研究の結果、誘電体管内に流体を通過させながら放電を生起させることによって、任意の流体および任意のガスを任意の流量で制御でき、更にアスピレータ構造を形成することにより、高効率にガスを流体に溶かしながら気相及び液相にプラズマを生起させることができるプラズマ生成方法および生成装置を提供するに至った。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のプラズマ生成方法は、高電圧電極が誘電体管の外側に配設され、該誘電体管の少なくとも一部の内部に流体が通り下流側に吐出口を有する通水管が配置され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接地電極が配設され、該誘電体管にガスを供給し電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁との間に放電を生起させるプラズマ生成方法において、該高電圧電極の配設位置又は該通水管の配置位置を該誘電体管の長手方向に操作することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁の少なくとも一方との間に生起される放電を調整し、オゾンと活性種の生成率を制御することを第１の特徴とする。
【００１２】
また、高電圧電極が誘電体管の外側に配設され、該誘電体管の少なくとも一部の内部に流体が通り下流側に吐出口を有する通水管が配置され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接地電極が配設され、該誘電体管にガスを供給し電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって、該誘電体管の内壁と、該流体又は該通水管の管壁との間に放電を生起させるプラズマ生成方法において、該高電圧電極が該誘電体管と該通水管が重なる部分に対応する該誘電体管の外側と、流体が吐出される吐出口より下流側の該誘電体管の外側に各々少なくとも１つ配設され、少なくとも１つの該高電圧電極に電圧を印加することによって、オゾンと活性種の生成率を制御することを第２の特徴とする。
【００１３】
更に、供給される前記ガスの量と流体の量が、気液比０．５以下であることを第３の特徴とし、供給される前記ガスが少なくとも酸素を含むガス、不活性ガスのいずれかであることを第４の特徴とする。
【００１４】
更に、前記放電が生起した部分を通過した流体を再度前記通水管の上流側へ返送し、該流体を循環させることを第５の特徴とする。
【００１５】
また、前記誘電体管、前記通水管、供給される前記ガスを導入する導入口の連結がアスピレータ構造に形成されている連結部を有し、該通水管の吐出口から吐出される流体と該誘電体管の内部の間隙に強い負圧を生じさせ、キャビテーションによって、放電により発生したガスを該流体に溶かすことを第６の特徴とする。
【００１６】
外側に高電圧電極が配設された誘電体管と、該誘電体管の少なくとも一部の内部に配置され下流側に吐出口を有する通水管と、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接するように設けられた接地電極と、該高電圧電極と該接地電極が接続された電源装置からなるプラズマ生成装置において、該通水管が該誘電体管の内部で該誘電体管の長手方向に移動可能な状態で配置されることを第７の特徴とする。
【００１７】
また、外側に高電圧電極が配設された誘電体管と、該誘電体管の少なくとも一部の内部に配置され下流側に吐出口を有する通水管と、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接するように設けられた接地電極と、該高電圧電極と該接地電極が接続された電源装置からなるプラズマ生成装置において、該高電圧電極が該誘電体管と該通水管が重なる部分の該誘電体管の外側と、流体が吐出される吐出口より下流側の該誘電体管の外側に各々少なくとも１箇所に配設されたことを第８の特徴とする。
【００１８】
前記接地電極が前記誘電体管の内部または該誘電体管から排出された前記流体に配設されることを第９の特徴とし、前記接地電極を絶縁化合物で被覆することを第１０の特徴とし、前記絶縁化合物がガラスであることを第１１の特徴とする。
【００１９】
前記誘電体管が少なくともセラミックスかガラスのいずれか一方であることを第１２の特徴とする。
【００２０】
また、前記通水管がセラミックス、ガラス、樹脂、金属のいずれか１つからなることを第１３の特徴とし、前記樹脂がフッ素系樹脂であることを第１４の特徴とする。
【００２１】
前記放電が生起した部分を通過した流体を再度前記通水管の上流側へ返送し、流体を循環させる構造を有していることを第１５の特徴とし、前記誘電体管、前記通水管、該誘電体管に設けられたガス導入口がアスピレータ構造に形成されていることを第１６の特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るプラズマ生成方法および生成装置によれば、以下の優れた効果が得られる。
【００２３】
（１）オゾンとＯＨラジカル等の活性種の生成率を容易に制御することが可能。
（２）ＯＨラジカル等の活性種の生成率を上げると、オゾンのみでは分解が困難であった、難分解性物質の分解も可能。
（３）供給するガスが酸素を含むことによって、多量のオゾンを発生させることが可能であり、流体に直接多量のオゾンを供給することも可能になると共に、ＯＨラジカル等の活性種を生成することが可能となる。
（４）アスピレータ構造を形成することによって、通水管の吐出口から吐出される流体と誘電体管の内部の空間に強い負圧が生じ、キャビテーションによって更に高効率にオゾンガスを流体に溶かすことができる。
（５）寿命の短いＯＨラジカル等の活性種を効率的に利用することが可能。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第一の実施形態における実験装置のフロー図である。
【図２】本発明の第一の実施形態のプラズマ生成装置を示した図である。
【図３】本発明の第一の実施形態におけるプラズマ生成の様子を示した写真である。
【図４】本発明の第一の実施形態におけるプラズマ生成の様子を示した模式図である。
【図５】実施例１における放電時間毎の生成オゾン濃度及び溶存オゾン濃度の推移を示したグラフである。
【図６】実施例２から実施例４における実験装置のフロー図である。
【図７】実施例２から実施例４における放電の形態を示した図である。
【図８】実施例２から実施例４及び比較例１における酢酸の残存率を示したグラフである。
【図９】本発明の第二の実施形態における高電圧電極の配設位置を示した図である。
【図１０】実施例５におけるプラズマ生成の様子を示した写真である。
【図１１】本発明の第三の実施形態における実験装置のフロー図である。
【図１２】実施例６から実施例９及び比較例２における気液比と溶解効率の関係を示したグラフである。
【図１３】実施例１０における実験結果を示した写真である。
【図１４】実施例１１におけるプラズマ生成装置を示した図である。
【図１５】実施例１１における実験結果を示したグラフである。
【図１６】実施例１２における実験結果を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
（実施形態１）
以下、本発明における第一の実施形態について図２、図７を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。
【００２６】
図２において本発明のプラズマ生成装置は誘電体管１、通水管２、高電圧電極３、接地電極４、電源５、ガス導入管６からなり、アスピレータ構造を形成している。
【００２７】
誘電体管１は、ガラス製の略円筒状のものである。誘電体管１の断面は四角形、ひし形、多角形でも構わないが、高電圧電極３の配設しやすさから円形が望ましい。
【００２８】
通水管２は、誘電体管１の同一円心上にあり、通水管２の吐出口は誘電体管１に配設された高電圧電極３の配設範囲内に位置し、誘電体管１の内部で誘電体管１の長手方向に移動可能な状態で配置されている。通水管２の配置位置を操作することによって、誘電体管１の内壁と、流体又は通水管２の管壁との間に生起される放電を調整し、オゾンと活性種の生成率を制御することができる。
【００２９】
通水管２の断面は四角形、ひし形、多角形でも構わないが、通水管２は誘電体の働きをするので、誘電体管１とのギャップが均一となるように、誘電体管１と同じ形状が望ましい。
【００３０】
また、通水管２は移動させず、高電圧電極３の配設位置を該誘電体管の長手方向に操作することによっても同様の作用を行うことができる。
【００３１】
通水管２に導入される流体は高低差やポンプ等により加圧供給されれば良く、流体は液体や例えば蒸気のように液体を含むガスである。導入される流体は通水管２を通って誘電体管１の内部を通過するが、高電圧電極３が配設された部分の誘電体管１の内壁と流体の間に放電プラズマを生起させるため、流体は高電圧電極３が配設された部分の誘電体管１の内壁に付着しないことが望ましい。しかし、たとえ流体が誘電体管１の内壁に付着したとしても、ガスの導入によって流体にガス空間が形成されるので、放電プラズマは生起される。
【００３２】
流体の速度は任意に決定することができ、用いる電源５の周波数から算出される放電頻度より処理すべき流体の目的に応じた流速にすると良い。放電により生成したオゾン等のガスを流体に溶解させるには、流体とガスの量の比が気液比０．５以下であることが好ましい。更に、図２のようにアスピレータ構造を形成することによって、通水管２吐出口から吐出される流体により誘電体管１の内部空間に強い負圧が生じ、キャビテーションによって溶解効率が大きくなる。
【００３３】
高電圧電極３は、誘電体管１の外側に配設され、接地電極４は誘電体管１の内部中心に配設され、それぞれ電源５に接続され、ガス導入管６からガスを導入すると共に流体に電圧を印加することによって、高電圧電極３が配設された部分の誘電体管１の内壁と流体の間に円周状に放電が生起される
【００３４】
接地電極４は図２に示すように誘電体管１の内部、または図４に示すように誘電体管１から吐出された流体に配設されるが、誘電体管１の内部に接地電極４を配設した場合は、高電圧電極３と接地電極４のギャップが小さくなるので強い電界がかかり放電しやすくなる。しかしながら、例えば海水のように電気伝導度が大きい流体の場合には接地電極４が誘電体管１から吐出された流体に配設しても強い電界が生じ放電しやすい。従って、接地電極４の位置は流体の性質によって決めれば良い。
【００３５】
また、接地電極４の材質は流体の性質に応じて、銅やステンレス等の金属を選定すれば良いが、電子部品洗浄等のように金属成分が溶質しては困る場合には、接地電極４に絶縁化合物を被覆すれば良く、好ましくは誘電率が低く、流体への溶出が少ないガラスが良い。
【００３６】
誘電体管１の材質は耐プラズマ性、耐熱性、耐オゾン性があるセラミックスかガラスが良く、好ましくは誘電率が低いガラスが良い。
【００３７】
通水管２には直接電圧がかからないので、通水管２の材質は任意に選定することができるが、耐オゾン性、耐久性に優れているセラミックス、ガラス、樹脂、金属が良く、好ましくはガラス、フッ素系樹脂が良い。
【００３８】
供給されるガスはブロアやボンベ等により加圧供給されるか、流体を通水する際に生じる負圧を利用して自給することもでき、いずれの場合もガス導入管６を通じて誘電体管１の内部へと導入される。ガスは処理すべき流体の目的に応じて任意に決めることができるが、オゾンやＯＨラジカル等の活性種を生成させるには少なくとも酸素７を含むガスであれば良い。また、予め導入される流体に酸素７を含むガスが溶存している場合は不活性ガスを用いても良い。
【００３９】
（実施形態２）
次に、本発明における第二の実施形態について図９を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。
【００４０】
プラズマ生成装置の基本的な構成は第一の実施形態と同様であるが、図９に示すように高電圧電極３を誘電体管１の２箇所に配設し、そのうちの１箇所は高電圧電極３が誘電体管１と通水管２が重なる部分に対応する誘電体管１の外側に配設する。電圧を印加させる高電圧電極３を切り替えることによって、オゾンやＯＨラジカル等の活性種の生成率を制御する。
【００４１】
また、配線を分岐させ、同時に電圧を印加させることもできる。
【００４２】
（実施形態３）
次に、本発明における第三の実施形態について図１１を基に説明するが、本発明が本実施形態に限定されないことはいうまでもない。
【００４３】
装置の構成は、第一の実施形態と同じであるため説明を省略する。
【００４４】
図１１に示すように、本願装置を通過する流体を循環させずに通過させる。
【実施例】
【００４５】
本発明において前記の実施形態を用いて、放電時の写真撮影および排オゾン濃度及び溶存オゾン濃度の試験を行った。試験の測定方法を以下に示す。
【００４６】
（１）生成オゾン濃度の測定
気相オゾン濃度計：東亜ディーケーケー社製  OZ−3O
受水槽上部にオゾン濃度センサーを差込み、気相オゾン濃度計を用いて測定した。
（２）溶存オゾン濃度の測定
溶存オゾン濃度計：東亜ディーケーケー社製  OZ−2O
循環槽内に溶存オゾン濃度センサーを投入し測定した。
【００４７】
［実施例１］
図１に実験装置のフロー図を示す。実験装置はプラズマ生成装置と、プラズマ生成装置から吐出される処理水を受水し水面上部にオゾン濃度センサーを具備した受水槽（水量６Ｌ）と、この受水槽とパイプで接続され水道水を循環させ水中に溶存オゾン濃度センサーを備えた循環槽（水量２Ｌ）を具備しており、マグネットポンプとシリコンチューブを用いて循環槽からプラズマ生成装置に接続し、プラズマ生成装置のガス導入口と酸素ボンベをナイロンチューブで接続した。図２に示すように、プラズマ生成装置本体はガラス製でアスピレータ構造を形成し、通水管２（外径７ｍｍ、内径５ｍｍ）が誘電体管１（外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ）の同心円上部に配置され、通水管２の吐出口から下流側１０ｍｍ地点が中心となるように幅１０ｍｍの銅テープ製高電圧電極３を誘電体管１の外部に巻き付け、直径１ｍｍのステンレス製の接地電極４をガス導入口付近から通水管２及び誘電体管１に差込み、高電圧電極３と接地電極４を電源５へ接続し、マグネットポンプを起動させ８Ｌ／ｍｉｎの流速で水道水を循環し、一方酸素ボンベから３Ｌ／ｍｉｎの風量で酸素７を導入しながら電圧を印加（９ｋＶ、６ｋＨｚ）し放電を行い、放電の観察とオゾン濃度及び溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図３（写真）、図４（模式図）に示すように、誘電体管１の内壁と水道水の間に紫色の放電が観察された。また、酸素の存在下で放電が生じればオゾンが生成されることが知られており、放電が生起された証拠として、図５に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は１０００ｐｐｍとなり、溶存オゾン濃度は０．４７ｐｐｍとなった。
【００４８】
［実施例２］
図６に実験装置のフロー図を示す。実験装置はプラズマ生成装置と、プラズマ生成装置から吐出される処理水を受水し水面上部にオゾン濃度センサーを備えた受水槽（水量７Ｌ）と、この受水槽とパイプで接続され水道水を循環させる循環槽（水量３Ｌ）を具備しており、マグネットポンプとシリコンチューブを用いて循環槽からプラズマ生成装置に接続し、プラズマ生成装置のガス導入口と酸素ボンベをナイロンチューブで接続した。プラズマ生成装置本体はガラス製でアスピレータ構造を形成し、図７の（１）に示すように、通水管２（外径１４ｍｍ、内径１２ｍｍ）を誘電体管１（外径１８ｍｍ、内径１６ｍｍ）の同心円上部に配置し、誘電体管１に高電圧電極３（電極長５０ｍｍ）を取り付け、通水管２の吐出部が高電圧電極３の下端部または下端部より下流側になるように配設し、接地電極４を通水管２の円心円上部に配置し、高電圧電極３と接地電極４を電源５へ接続し、マグネットポンプを起動させ２０Ｌ／ｍｉｎの流速で１ｐｐｍ酢酸水溶液を循環し、一方酸素ボンベから３Ｌ／ｍｉｎの風量で酸素７を導入しながら、１５ｋＶ、７．４ｋＨｚの電圧を印加し放電を行い、酢酸分解量を測定し酢酸残存率を算出した。その結果を図８に示した。３０分処理のとき酢酸残存率は８９％となった。
【００４９】
［実施例３］
図７の（２）に示すように、通水管２の吐出部が高電圧電極３の中央部になるように配設し、印加電圧を１４．４ｋＶ、７．４ｋＨｚとした以外は実施例２と同様にして行い、酢酸分解量を測定し、酢酸残存率を算出した。その結果を図８に示した。３０分処理のとき酢酸残存率は８５％となった。
【００５０】
［実施例４］
図７の（３）に示すように、通水管２の吐出部が高電圧電極３の上端部または上端部より上流側になるように配設し、印加電圧を１３．４ｋＶ、７．５ｋＨｚとした以外は実施例２と同様にして行い、酢酸分解量を測定し、酢酸残存率を算出した。その結果を図８に示した。３０分処理のとき酢酸残存率は８１％となった。
【００５１】
［実施例５］
図９で示すように高電圧電極３を２箇所に配設した以外は実施例１を同様に行った結果、図１０（写真）に示すように両方の高電圧電極部位において紫色の放電が確認された。
【００５２】
[実施例６］
図１１に示すように、水道水を循環させずに連続通水し、酸素７の風量を４Ｌ／ｍｉｎ（気液比０．５）としたこと以外は実施例１と同様に行い、溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図１２に示すようにオゾン溶解効率は２１％となった。
【００５３】
[実施例７］
酸素７の風量を２．４Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は実施例６と同様に行い、溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図１２に示すようにオゾン溶解効率は２７％となった。
【００５４】
[実施例８］
酸素７の風量を０．８Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は実施例６と同様に行い、溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図１２に示すようにオゾン溶解効率は４８％となった。
【００５５】
[実施例９] 
酸素７の風量を０．４Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は実施例６と同様に行い、溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図１２に示すようにオゾン溶解効率は６７％となった。
【００５６】
[実施例１０] 
プラズマ生成装置に導入するガスをアルゴンガスとしたこと以外は実施例１と同様に行った。その結果、図１３（写真）及び図４（模式図）に示すように、誘電体管１の内壁と水道水の間に紫色の放電が観察された。
【００５７】
[実施例１１] 
図１４に示すように、プラズマ生成装置の通水管２に差し込まれた接地電極４がガラス被覆され、高電圧電極３の幅を１００ｍｍにした以外は実施例１と同様に行い、放電が生起された証拠として、生成オゾン濃度と溶存オゾン濃度を測定した。その結果、図１５に示すように、放電開始から３０分度の生成オゾン濃度は３９８５ｐｐｍ、溶存オゾン濃度は１．６８５ｐｐｍとなった。
【００５８】
〔実施例１２〕
プラズマ生成装置の通水管２の材質をＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）樹脂としたこと以外は実施例１と同様に行い、放電が生起された証拠として、生成オゾン濃度を測定した。その結果、図１６に示すように、放電開始から３０分後の生成オゾン濃度は２６５ｐｐｍとなった。
【００５９】
[比較例１] 
電圧を印加せずに実施例２と同様にして行い、酢酸分解量を測定し、酢酸分解率を算出した。その結果、全く分解されなかった。
【００６０】
[比較例２] 
酸素７の風量を４．８Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は実施例６と同様に行い、溶存オゾン濃度を測定した。その結果図１２に示すように、オゾン溶解効率は１８％となった。
【符号の説明】
【００６１】
１…誘電体管
２…通水管
３…高電圧電極
４…接地電極
５…電源
６…ガス導入管
７…酸素
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図３】
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【図１０】
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【図１３】
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