(57)【要約】【課題】剥離テーブルに保持された板状ワークから保護テープを剥離する際に、板状ワークが剥離テーブルから引き離されるのを防止する。【解決手段】剥離テーブル２を、板状ワークＷの中央部を吸引する中央エリア２０と、中央エリア２０を囲み板状ワークＷの中央部よりも外周側を吸引する外周エリア２１とに分割し、中央エリア２０と外周エリア２１とは、それぞれが別々の吸引源２４，２６に接続され、外周エリア２１に作用する吸引力を中央エリア２０に作用する吸引力よりも強くすることで、剥離テーブル２に保持された板状ワークＷに貼着された保護テープ１０を板状ワークＷから剥離する際に、板状ワークＷが剥離テーブル２から離れるのを防ぐことができ、保護テープ１０を円滑に剥離することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に保護テープが貼着された板状ワークの裏面を吸引保持する剥離テーブルと、
該保護テープより粘着力が強い剥離テープの一部が該保護テープの外周側にはみ出して該保護テープに貼着されることにより該剥離テープに形成されたはみ出し部を掴む掴持部と、
を備え、
該はみ出し部を掴んだ掴持部を該板状ワークの表面から離間する方向に動作させ、該保護テープを該板状ワークから剥離する保護テープ剥離装置であって、
該剥離テーブルは、該板状ワークの中央部を吸引する中央エリアと、該中央エリアを囲み該板状ワークの中央部よりも外周側を吸引する外周エリアとに分割され、
該中央エリアと該外周エリアとは、それぞれが別々の吸引源に接続され、該外周エリアに作用する吸引力を該中央エリアに作用する吸引力よりも強くすることを可能にした保護テープ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークに貼着された保護テープを剥離する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の板状ワークの一方の面を研削する際には、保持テーブルにおいて保持される他方の面に保護テープを貼着することにより当該他方の面を保護することとしており、研削加工の終了後は、保護テープを剥離する必要がある。
【０００３】
保護テープを剥離する場合は、板状ワークのうち保護テープが貼着されていない方の面を保持テーブルにおいて吸引保持するとともに、保護テープに剥離テープを貼り付け、剥離テープを引っ張って保護テープも引っ張ることにより、保護テープを板状ワークから引き剥がすようにしている。保持テーブルとしては、例えば、下記特許文献１に開示されたものを使用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６８０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、保護テープの剥離時は、保護テープとともに板状ワークが持ち上げられ、板状ワークが保持テーブルから離れることがある。特に、保護テープが持ち上げられて剥離が開始される時に板状ワークも浮き上がることが多く、板状ワークが少しでも保持テーブルから離れると、保持テーブルの吸引力が低下して板状ワークを保持することができなくなり、板状ワークから保護テープを剥離することができなくなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、板状ワークから保護テープを剥離する際に、板状ワークが保持テーブルから引き離されるのを防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、表面に保護テープが貼着された板状ワークの裏面を吸引保持する剥離テーブルと、保護テープより粘着力が強い剥離テープの一部が保護テープの外周側にはみ出して保護テープに貼着されることにより剥離テープに形成されたはみ出し部を掴む掴持部とを備え、はみ出し部を掴んだ掴持部を板状ワークの表面から離間する方向に動作させ、保護テープを板状ワークから剥離する保護テープ剥離装置に関し、剥離テーブルは、板状ワークの中央部を吸引する中央エリアと、中央エリアを囲み板状ワークの中央部よりも外周側を吸引する外周エリアとに分割され、中央エリアと外周エリアとは、それぞれが別々の吸引源に接続され、外周エリアに作用する吸引力を中央エリアに作用する吸引力よりも強くすることを可能にしている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、剥離テーブルの吸引エリアが中央エリアと外周エリアとに分割され、外周エリアに作用する吸引力を中央エリアに作用する吸引力よりも強くすることを可能にしたため、剥離テーブルに保持された板状ワークに貼着された保護テープを板状ワークから剥離する際に、板状ワークが剥離テーブルから離れるのを防ぐことができ、保護テープを円滑に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】保護テープ剥離装置の一例を示す斜視図である。
【図２】剥離テーブルの一例を示す平面図である。
【図３】同剥離テーブルの構成を略示的に示す断面図である。
【図４】同剥離テーブルに板状ワークを保持した状態を略示的に示す断面図である。
【図５】板状ワークからの保護テープの剥離開始時の状態を略示的に示す断面図である。
【図６】板状ワークから保護テープを剥離する状態を示す斜視図である。
【図７】板状ワークから保護テープを剥離する状態を略示的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す保護テープ剥離装置１は、デバイスＤが形成された表面Ｗ１に保護テープ１０が貼着された板状ワークＷを保持する剥離テーブル２と、剥離テーブル２に保持された板状ワークＷから保護テープを剥離する剥離手段３とを備えている。板状ワークＷは、裏面Ｗ２が研削されることにより薄く形成されている。
【００１１】
図２に示すように、剥離テーブル２は、円形の中央エリア２０と、中央エリア２０を囲むリング状の外周エリア２１とを備え、中央エリア２０と外周エリア２１とは独立しており、これらは例えば多孔質部材により形成されている。
【００１２】
図３に示すように、中央エリア２０及び外周エリア２１は、基台２２によって支持されている。中央エリア２０には、基台２２の内部に形成された第１吸引路２３が連通し、第１吸引路２３は第１吸引源２４に連通している。一方、外周エリア２１には、基台２２の内部に形成された第２吸引路２５が連通し、第２吸引路２５は第２吸引源２６に連通している。
【００１３】
図１に示す剥離手段３は、互いが接近及び離反可能な２つの断面Ｌ字型部材により構成された掴持部３０と、掴持部３０を先端に備えたアーム部３１と、掴持部３０及びアーム部３１を鉛直方向（Ｚ軸方向）に駆動するＺ軸方向駆動部３２と、掴持部３０及びアーム部３１を水平方向（Ｘ軸方向）に駆動するＸ軸方向駆動部３３とを備えている。
【００１４】
Ｚ軸方向駆動部３２は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールスクリュー３２０と、ボールスクリュー３２０を回動させるモータ３２１と、ボールスクリュー３２０と平行に配設されたガイド板３２２と、側部がガイド板３２２に摺接するとともにボールスクリュー３２０に螺合するナットを内部に有する昇降部３２３とを備え、ボールスクリュー３２０の回動によって昇降部３２３がガイド板３２２にガイドされてＺ軸方向に昇降し、掴持部３０及びアーム部３１もＺ軸方向に昇降する構成となっている。
【００１５】
Ｘ軸方向駆動部３３は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールスクリュー３３０と、ボールスクリュー３３０を回動させるモータ３３１と、ボールスクリュー３３０と平行に配設されたガイド板３３２と、側部がガイド板３３２に摺接するとともにボールスクリュー３３０に螺合するナットを内部に備えた移動部３３３とを備え、ボールスクリュー３３０の回動によって移動部３３３がＸ軸方向に移動し、移動部３３３に固定されたＺ軸方向駆動部３２、掴持部３０及びアーム部３１もＸ軸方向に移動する構成となっている。
【００１６】
図１に示した保護テープ剥離装置１を用いて板状ワークＷの表面Ｗ１から保護テープ１０を剥離する場合は、剥離テーブル２によって板状ワークＷの裏面Ｗ２が保持される。このとき、図４に示すように、中央エリア２０の全面が板状ワークＷによって覆われる。また、外周エリア２１の外径Ｒ１と板状ワークＷの直径Ｒ２とが完全に一致し、板状ワークＷの中心と中心エリア２０の中心との中心合わせが正確になされていれば、外周エリア２１も板状ワークＷによって完全に覆われる。
【００１７】
ここで、外周エリア２１の外径Ｒ１が板状ワークＷの直径Ｒ２より大きければ、外周エリア２１が完全に覆われてエアのリークがなくなるが、その場合は、板状ワークＷの外周縁が吸引保持されないため、保護テープ１０を上方に持ち上げて剥離しようとすると、板状ワークＷも持ち上げられてしまい、保護テープ１０を剥離することができない。
【００１８】
そこで、板状ワークＷの外径Ｒ２が外周エリア２１の外径Ｒ１よりも小さくなるようにし、外周エリア２１の周縁壁２１０の直上に板状ワークＷがなく、外周エリア２１の一部が露出している状態とする。そして、外周エリア２１に作用させる吸引力を中央エリア２０に作用させる吸引力より強くすることにより、外周エリア２１の上面がわずかに露出していても、板状ワークＷの外周側をしっかりと吸引保持できるようにする。
【００１９】
なお、例えば、剥離テーブル２において保持しようとする板状ワークＷの直径Ｒ２が２００〜３００ｍｍである場合は、中央エリア２０の直径は１６０〜２６０ｍｍ、外周エリア２１の幅は１０ｍｍ程度である。
【００２０】
保護テープ１０は、基材１０ａと粘着層１０ｂとから構成され、粘着層１０ｂが板状ワークＷの表面Ｗ１に貼着されている。
【００２１】
保護テープ１０の外周部には、剥離テープ１１が貼着される。剥離テープ１１は、基材１１ａと粘着層１１ｂとから構成され、粘着層１１ｂが保護テープ１０の基材１０ａに貼着される。剥離テープ１１の粘着層１１ｂは、保護テープ１０の粘着層１０ｂよりも粘着力が強い。
【００２２】
剥離テープ１１は、その一部が保護テープ１０の外周側からはみ出すように貼り付けられ、はみ出し部１１０が形成されるようにする。
【００２３】
次に、掴持部３０をはみ出し部１１０の上方に移動させた後、掴持部３０によってはみ出し部１１０の端部を挟み、図５に示すように、掴持部３０を上昇させて剥離テープ１１を上方に引っ張ることにより、板状ワークＷから保護テープ１１を剥離していく。剥離テープ１１の粘着層１１ｂは、保護テープ１０の粘着層１０ｂよりも粘着力が強いため、剥離テープ１１が保護テープ１０から剥離することなく、保護テープ１０を板状ワークＷから確実に剥離することができる。
【００２４】
掴持部３０が所定の高さまで上昇すると、次に、図６及び図７に示すように、Ｘ軸方向駆動部３３によって掴持部３０をＸ軸方向に移動させることにより、保護テープ１０をＸ軸方向に剥離していく。そうすると、保護テープ１０が板状ワークＷから完全に剥離される。
【００２５】
外周エリア２１において板状ワークＷの外周部を吸引する第２吸引源２６は、中央エリア２０において板状ワークＷの中央部を吸引する第１吸引源２４よりも強い吸引力を外周エリア２１に作用させるため、外周エリア２１の一部が露出しているためにエアのリークがあっても、板状ワークＷをしっかりと吸引保持することができる。したがって、板状ワークＷが外周エリア２１から離れることなく、保護テープ１０を確実に剥離することができる。
【００２６】
なお、外周エリア２０の吸引力を監視する圧力センサを設け、保護テープ１０の剥離動作時に外周エリア２０の吸引力が低下したときは、剥離動作を一時停止させ、中央エリア２０で板状ワークＷを保持し剥離テーブル２から板状ワークＷが離れない状態を維持したまま、外周エリア２０の吸引力を上昇させてもう一度外周エリア２１に板状ワークを吸引保持するようにすれば、板状ワークが浮き上がることなく、保護テープの剥離動作を再開することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１：保護テープ剥離装置
Ｗ：板状ワーク
Ｗ１：表面  Ｄ：デバイス
Ｗ２：裏面
１０：保護テープ  １０ａ：基材  １０ｂ：粘着層
１１：剥離テープ  １１ａ：基材  １１ｂ：粘着層  １１０：はみ出し部
２：剥離テーブル
２０：中央エリア
２１：外周エリア
２２：基台
２３：第1吸引路  ２４：第1吸引源
２５：第２吸引路  ２６：第２吸引源
３：剥離手段
３０：掴持部  ３１：アーム部
３２：Ｚ軸方向駆動部
３２０：ボールスクリュー  ３２１：モータ  ３２２：ガイド板  ３２３：昇降部
３３：Ｘ軸方向駆動部
３３０：ボールスクリュー  ３３１：モータ  ３３２：ガイド板  ３３３：移動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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