(57)【要約】【課題】セクタサーボ方式で測定検査した磁気ディスクを検査装置から取り外し再装着しても、再度セクタサーボ方式で測定検査可能とする磁気リードライト検査装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】データ書込部１７は、磁気ディスク１の所定トラック範囲にサーボパターン信号４１を書き込み、検査用トラックにセクタサーボ方式による位置決めを行って検査用テストパターン信号４２を書き込むとともに、検査用トラックとは異なる偏心学習用トラックに同心円状に偏心学習用パターン５０を書き込む。偏心量学習部２０は、偏心学習用パターンをサーボ情報を用いずに読み出すことで、読み出し信号の検出位置から磁気ディスクの偏心量を算出する。偏心量補正部１４は、磁気ディスクからテスト信号を読み出す際、算出した偏心量をキャンセルするように磁気ヘッドを加振制御する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボ情報とともにテスト信号を書き込み、該書き込んだテスト信号を前記磁気ヘッドにより読み出す磁気リードライト検査装置において、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気ディスクの所定の検査用トラックに前記サーボ情報と前記テスト信号を書き込むとともに、前記検査用トラックとは異なる偏心学習用トラックに同心円状に偏心学習用パターンを書き込むデータ書込部と、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気ディスクの検査用トラックから前記サーボ情報に従い前記テスト信号を読み出すとともに、前記偏心学習用トラックから前記偏心学習用パターンを読み出すデータ読出部と、
前記偏心学習用パターンを前記サーボ情報を用いずに読み出すことで、読み出し信号の検出位置から前記磁気ディスクの偏心量を算出する偏心量学習部と、
前記磁気ディスクから前記テスト信号を読み出す際、前記算出した偏心量をキャンセルするように前記磁気ヘッドを加振制御する偏心量補正部と、
を備えることを特徴とする磁気リードライト検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気リードライト検査装置において、
前記偏心量学習部は、前記磁気ヘッドを前記偏心学習用トラックの半径位置を基準にディスク半径方向に移動させながら前記偏心学習用パターンを読み出し、前記移動量と読み出し信号の検出位置との関係から前記磁気ディスクの偏心量を算出することを特徴とする磁気リードライト検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の磁気リードライト検査装置において、
前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの半径方向に駆動する手段として、
前記磁気ディスクに前記偏心学習用パターンを書き込み及び読み出しする際に前記磁気ヘッドの位置決めを行うためのピエゾステージと、
前記磁気ディスクの偏心量をキャンセルするために前記磁気ヘッドを加振するピエゾアクチュエータと、
を備えることを特徴とする磁気リードライト検査装置。
【請求項４】
磁気ヘッドにより磁気ディスクにサーボ情報とともにテスト信号を書き込み、該書き込んだテスト信号を前記磁気ヘッドにより読み出す磁気リードライト検査方法において、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気ディスクの所定の検査用トラックに前記サーボ情報と前記テスト信号を書き込むステップと、
前記磁気ヘッドを用いて前記検査用トラックとは異なる偏心学習用トラックに同心円状に偏心学習用パターンを書き込むステップと、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気ディスクの前記偏心学習用トラックから前記サーボ情報を用いずに前記偏心学習用パターンを読み出すステップと、
前記偏心学習用パターンの読み出し信号の検出位置から前記磁気ディスクの偏心量を算出するステップと、
前記算出した偏心量をキャンセルするように前記磁気ヘッドを加振制御しながら、前記磁気ディスクの前記検査用トラックから前記サーボ情報に従い前記テスト信号を読み出すステップと、
を備えることを特徴とする磁気リードライト検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気リードライト検査方法において、
前記偏心量を算出するステップでは、前記磁気ヘッドを前記偏心学習用トラックの半径位置を基準にディスク半径方向に移動させながら前記偏心学習用パターンを読み出し、前記移動量と読み出し信号の検出位置との関係から前記磁気ディスクの偏心量を算出することを特徴とする磁気リードライト検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気リードライト検査装置及びその検査方法に係り、特に磁気ディスク装着時に発生する偏心を好適に補正する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）に搭載される磁気ディスクや磁気ヘッドの性能を検査する磁気リードライト検査装置では、ディスク上に書き込まれたサーボ情報に従って所定のトラックに位置決めし、検査用データを書き込み、書き込んだデータを読み出すことでディスクやヘッドの性能を検査するものである。その際、近年のトラック密度と記録密度の増加に対応しよりトラック追従精度を向上させるために、データトラックの一部領域にセクタ毎にサーボ情報を設けたセクタサーボ方式が採用されている。
【０００３】
上記技術に関連し特許文献１には、磁気ヘッドを実質的にトラックのセンターに高速に精度良くダイナミックに位置決めすることを目的に、サスペンションスプリングからヘッドキャリッジまでの間にピエゾアクチュエータを設けた構成が記載されている。そして、ヘッドを所定のトラックに位置決めしてこのトラックをアクセスするときに、ピエゾアクチュエータにより質量の軽いヘッドカートリッジをサーボ情報に応じてダイナミックに移動し、あるいはヘッドカートリッジ内でヘッドアッセンブリをサーボ情報に応じてダイナミックに移動して、ヘッドをＯＮトラック状態に維持する動作をさせるようにしている。
【０００４】
また、ディスク偏心に対して有効な補償方式として、一般的にフィードフォワード制御方式が使用されている（特許文献２乃至４）。その方法は、記憶格納された偏心補償信号をフィードフォワード信号として制御信号に加算して補正するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２７２３２６号公報
【特許文献２】特表２００２−５４４６３９号公報
【特許文献３】特開平６−８４３０６号公報
【特許文献４】特開２０１１−１４１９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
磁気ディスクの検査項目として例えば熱減磁特性検査がある。これは、定常温度にてテストデータ（テストパターン）を書き込み／読み出した後、そのディスクを恒温槽に長時間高温放置した後でテストパターンを再度読み出すことで、読み出し値の変化からディスク性能の熱劣化（熱減磁特性）を検査するものである。この検査ではディスク毎の特性バラツキを考慮して、多数枚のディスクを評価する必要がある。その場合、検査装置を恒温槽に収納する検査方式では、ディスク１枚の評価に長時間要するため作業効率が悪く、多数枚の評価には適さない。作業効率を上げるためには、定常温度にてテストパターンの書き込み／読み出しを行った多数枚のディスクをストックし、一度に恒温槽に放置させる検査方式が望ましい。その場合には、ディスクを検査装置から一旦取り外し再装着しても、セクタサーボ方式が破綻せずに検査可能であることが要請される。
【０００７】
特許文献１の技術は、磁気ディスクをスピンドルに固定した状態で発生する熱ドリフト等の数Ｈｚ以下の変位（数μｍ程度）に対して有効な補償方式と言える。しかしながら、数Ｈｚ以上、例えばディスク偏心の周波数成分（９０〜２５０Ｈｚ）の数μｍの変位に対しては十分な追従制御を行うことができない。
【０００８】
ディスクを一旦取り外して再装着した場合には、ディスク内径の中心精度誤差やはめ合い公差により、数十μｍの偏心量が発生してしまう。この偏心を軽減するために、事前にスピンドルハブとディスクに再装着時の位置合わせのためにマーキングを行い、更にディスク装着時に特定方向に片寄せして固定しても、数μｍ程度の偏心量は残ってしまう。従って、特許文献１に記載のピエゾアクチュエータによるフィードバック制御駆動だけでは追従困難となることが予想される。すなわち前記したセクタサーボ方式を適用できなくなる。
【０００９】
本発明の目的は、セクタサーボ方式で測定検査した磁気ディスクを検査装置から取り外し再装着しても、再度セクタサーボ方式で測定検査可能とする磁気リードライト検査装置及びその検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気リードライト検査装置は、磁気ヘッドにより磁気ディスクの所定の検査用トラックにサーボ情報とテスト信号を書き込むとともに、検査用トラックとは異なる偏心学習用トラックに同心円状に偏心学習用パターンを書き込むデータ書込部と、磁気ヘッドにより磁気ディスクの検査用トラックからサーボ情報に従いテスト信号を読み出すとともに、偏心学習用トラックから偏心学習用パターンを読み出すデータ読出部と、偏心学習用パターンをサーボ情報を用いずに読み出すことで、読み出し信号の検出位置から磁気ディスクの偏心量を算出する偏心量学習部と、磁気ディスクからテスト信号を読み出す際、算出した偏心量をキャンセルするように磁気ヘッドを加振制御する偏心量補正部と、を備える構成とした。
【００１１】
ここに偏心量学習部は、磁気ヘッドを偏心学習用トラックの半径位置を基準にディスク半径方向に移動させながら偏心学習用パターンを読み出し、移動量と読み出し信号の検出位置との関係から磁気ディスクの偏心量を算出する。
【００１２】
本発明の磁気リードライト検査方法は、磁気ヘッドを用いて磁気ディスクの所定の検査用トラックにサーボ情報とテスト信号を書き込むステップと、磁気ヘッドを用いて検査用トラックとは異なる偏心学習用トラックに同心円状に偏心学習用パターンを書き込むステップと、磁気ヘッドを用いて磁気ディスクの偏心学習用トラックからサーボ情報を用いずに偏心学習用パターンを読み出すステップと、偏心学習用パターンの読み出し信号の検出位置から磁気ディスクの偏心量を算出するステップと、算出した偏心量をキャンセルするように磁気ヘッドを加振制御しながら、磁気ディスクの検査用トラックからサーボ情報に従いテスト信号を読み出すステップと、を備える構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁気ディスクを再装着した際に発生する偏心量を補正できるので、セクタサーボ方式を適用して高精度で高効率に検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】磁気リードライト検査装置の一実施例を示すブロック構成図。
【図２】ＯＮトラックサーボ回路１１とデータ処理・制御回路２０の詳細図。
【図３】ディスクに書き込むテストパターンと偏心学習用パターンを示す図。
【図４】ディスク偏心時の磁気ヘッドの軌跡とその再生信号を示す図。
【図５】読み出し半径位置を移動させた場合のクロス点の変化を示す図。
【図６】図５の測定から求めたディスクの偏心量と位相角の関係を示す図。
【図７】磁気リードライト検査装置による検査方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明による磁気リードライト検査装置の一実施例を示すブロック構成図である。磁気リードライト検査装置（単に、検査装置とも呼ぶ）１０には、検査対象となる磁気ディスク（単に、ディスク）１がスピンドル２に着脱可能に装着される。磁気ヘッド（単に、ヘッド）９はサスペンションスプリング８の先端に搭載され、ディスク１に対してデータの書き込み（記録）と読み出し（再生）を行う。ヘッド９をディスク１に対して半径方向（Ｘ方向）と円周方向（Ｙ方向）に移動可能とするため、以下の機構を有する。
【００１６】
スピンドル２に隣接して、ヘッドキャリッジとしてＸＹステージ３が設けられている。ＸＹステージ３の上には、Ｘステージ３ａとＹステージ３ｂが搭載される。Ｘステージ３ａは粗動移動ステージであって、ヘッド９やピエゾステージ４を含めてＹステージ３ｂをディスク１の半径方向（Ｘ方向）に移動させる。Ｙステージ３ｂはＸステージ３ａに搭載され、ディスク１の円周方向（Ｙ方向）に移動することで、ヘッド９に対するスキュー調整を行う。Ｙステージ３ｂに搭載されたピエゾステージ４は、Ｘ方向に微小移動するステージで、ピエゾステージ４の先端側にはカートリッジ取付ベース５が結合される。カートリッジ取付ベース５には、ピエゾアクチュエータ７を介してヘッドカートリッジ６が搭載されている。ヘッドカートリッジ６にはサスペンションスプリング８が固定され、サスペンションスプリング８の先端側にはヘッド９が搭載されている。ヘッドカートリッジ６は、ヘッド９をヘッドキャリッジに着脱可能に装着するものである。ピエゾステージ４をＸ方向に駆動することでカートリッジ取付ベース５がＸ方向に移動し、カートリッジ６を介してヘッド９の位置をＸ方向に微小移動させる。なお、Ｘ方向は、ディスク１の中心を通る半径Ｒ方向に一致している。
【００１７】
ピエゾステージ４は、ディスク１にデータ（後述する偏心学習用パターン）を書き込み／読み出しするときの微小移動ステージとして駆動される。ピエゾステージ４のストロークは例えば１５μｍ程度であり、そのときの距離分解能は１ｎｍ程度である。ヘッド９は、ディスク１の半径方向に移動してディスク１のトラックをシークして、目標トラックに位置決めされる。そして、目標トラックにデータを書き込み、あるいは目標トラックからデータを読み出す、いわゆるアクセス動作を行う。
【００１８】
一方ピエゾアクチュエータ７は、ヘッドカートリッジ６をＸ方向に高速に進退駆動が可能である。ヘッド９があるトラック（またはトラック内の特定領域）をアクセスする際に、トラック上のサーボ信号を読み出して、読み出したサーボ信号に応じてヘッド位置を微調整してヘッド９をダイナミックに目標トラック上に追従させる。以下この動作を、ＯＮトラックサーボ位置決めと呼ぶことにする。またピエゾアクチュエータ７は、後述するようにディスク偏心量を補正するためにヘッド９を加振する動作も行う。これらの微調整のためにピエゾアクチュエータ７が進退する距離は、１０μｍオーダか、それ以下の範囲の微小なものである。
【００１９】
ピエゾアクチュエータ７は、図ではヘッドカートリッジ６の外側に設けられているが、ヘッドカートリッジ６に内蔵されていてもよい。その場合、ピエゾアクチュエータ７はサスペンションスプリング８の手前に設けられ、スペンションスプリング８を回動可能あるいは進退可能に支持することになる。
【００２０】
次に、信号処理系と制御系について説明する。
データ処理・制御回路２０は、ディスク駆動回路１９を介してディスク１を装着したスピンドル２を回転させる。ヘッドアクセス制御回路１６は、データ処理・制御回路２０からの制御信号を受けてＸ，Ｙステージ３ａ，３ｂとピエゾステージ４を駆動して、ヘッド９をディスク９上の目標トラックに位置決めする。
【００２１】
データ読み出し回路１５は、ヘッド９からの読み出し信号を二値化してデータ処理・制御回路２０に送出する。またデータ読み出し回路１５は、ディスク９から読み出した偏心学習用パターンの検出信号をデータ処理・制御回路２０に送出する。データ処理・制御回路２０は偏心学習用パターンの検出信号の位置からディスク装着時の偏心量を学習して保存する。
【００２２】
テストデータ・バースト信号生成回路１８は、データ処理・制御回路２０により制御されて、所定のテストデータとバースト信号、更には後述する偏心学習用データを生成する。サーボ信号・データ書き込み回路１７は、生成されたテストデータ・バースト信号及び偏心学習用データに従って、書き込み信号（信号パターン）を生成して、ヘッド９から所定のトラックにデータを書き込む。
【００２３】
ＯＮトラックサーボ回路１１は、ヘッド９から読み出し信号を受け、読み出したサーボ信号に応じてピエゾアクチュエータ７対して微小な駆動電圧を加え、ＯＮトラックのサーボ位置決めを行う。ＯＮトラックサーボ位置決めでは、位置決めトラックに所定間隔で設定された多数のサーボ信号を順次読んで、サーボ信号に応じて位置決めトラックにおけるヘッドずれ量（トラックのセンタからのずれ量）を補正するものである。これより、ヘッド９を熱ドリフト等による変位に応答させて目標トラックに追従させることができる。更にＯＮトラックサーボ回路１１では、データ処理・制御回路２０にて学習したディスク偏心量をサーボ位置決め信号にオフセットとして加算することで、ディスク装着時に発生した偏心量をキャンセルしながら目標トラックに追従させるようにした。
【００２４】
図２は、図１におけるＯＮトラックサーボ回路１１とデータ処理・制御回路２０の詳細図を示す。
【００２５】
磁気ヘッド９は、読み出し用ＭＲヘッド９Ａと書き込み用インダクティブヘッド９Ｂを有し、ヘッドカートリッジ６には読出アンプ６ａと書込アンプ６ｂが内蔵されている。読出アンプ６ａは、ＭＲヘッド９Ａからの信号を受けてそれを増幅し、ＯＮトラックサーボ回路１１とデータ読出回路１５に出力する。
【００２６】
ＯＮトラックサーボ回路１１は、ポジション復調回路１２と、位置制御回路１３、及び偏心キャンセル加振制御回路１４を有し、これらはデータ処理・制御回路２０により制御される。
【００２７】
ポジション復調回路１２は、読出アンプ６ａから読出信号（サーボ信号）を受けて、誤差信号（データトラックの中心からの位置ずれ量）を位置制御回路１３に送出する。位置制御回路１３は、誤差信号に応じてヘッド９の位置をデータトラックの中心に戻すための駆動信号を生成し、偏心キャンセル加振制御回路１４に出力する。
【００２８】
偏心キャンセル加振制御回路１４は、位置制御回路１３から送られた駆動信号に、ディスク偏心をキャンセルするためにデータ処理・制御回路２０から送られる加振制御信号を加算する。加算された駆動信号はピエゾアクチュエータ７に印加される。これにより、ディスク装着時に偏心が存在しても、偏心をキャンセルするようにヘッド９の位置を補正しながらヘッドをＯＮトラック状態に保つことができ、セクタサーボ方式を適用した検査が可能となる。
【００２９】
データ処理・制御回路２０は、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）２１、メモリ２２、インタフェース２３、それに図示しないディスプレイ、キーボード等により構成され、これらがバスにより相互に接続されている。
【００３０】
メモリ２２には、検査手順を規定したサーボ信号設定プログラム２２ａ、ヘッドアクセスプログラム２２ｂ、データ読出／書込制御プログラム２２ｃと、ディスク偏心の学習と制御を行うために、偏心学習プログラム２２ｄ、偏心学習データ２２ｅ、加振制御データ２２ｆ等が記憶されており、これらはＭＰＵ２１により実行（書き込み／読み出し）される。
【００３１】
サーボ信号設定プログラム２２ａは、テストデータに付随するサーボ信号の書き込み読み出しを制御する。ヘッドアクセスプログラム２２ｂはヘッド９からトラック横断信号（あるいはトラック位置信号）を受け、これに応じてヘッドアクセス制御回路１６を介してＸＹステージ３ａ，３ｂ、及びピエゾステージ４を制御して、目標トラックにヘッド９を位置決めする。データ読出／書込制御プログラム２２ｃは、テストデータの読み出しあるいは書き込み動作を制御する。
【００３２】
偏心学習プログラム２２ｄは、装着されたディスクの偏心を学習するための一連の制御を行う。偏心学習データ２２ｅは、偏心学習のためにディスクに書き込むデータ（偏心学習用パターン）を格納し、また偏心学習時に取得したディスクの偏心データを保存する。加振制御データ２２ｆは学習した偏心データをもとに算出され、ディスク偏心をキャンセルするためにピエゾアクチュエータ７に印加する信号（駆動電圧）のデータである。
【００３３】
以下、本実施例における偏心学習方法を詳細に説明する。
図３は、ディスクに書き込むテストパターンと偏心学習用パターンを示す図である。図面上側は、ディスク上に形成する記録トラックを、図面下側は記録信号（パターン）を模式的に示す。
【００３４】
ディスク１には、その回転方向の基準位置を示すインデックス信号３０を付与し、ディスクの記録領域を円周方向に複数のセクタ（例えば１０２４セクタ）に分割する。ピエゾステージ４を駆動して、半径Ｒ１の検査用トラック前後の必要最小限トラック範囲（例えば前後１μｍ）に規定のトラックピッチ（例えばヘッドコア幅の１／３ピッチ）にて各セクタ毎に位置決め用サーボパターン４１を繰り返し記録して行く。次に磁気ヘッド９を半径Ｒ１の位置の検査用トラックにサーボパターンを用いてセクタサーボ方式により位置決めし、各セクタ毎に検査用のテストパターン４２を記録する。以下、サーボパターン４１と検査用テストパターン４２をまとめて検査用トラックパターン４０と呼ぶ。
【００３５】
次に、検査用トラック（半径Ｒ１）とは異なる半径Ｒ２に位置決めし、同心円状に偏心学習用パターン５０を記録する（偏心学習用トラック）。ここに半径Ｒ２と半径Ｒ１の間隔は、ディスク偏心量の想定値より十分大きい量だけ離して形成する。なお、偏心学習用トラック（半径Ｒ２）は検査用トラック（半径Ｒ１）の内側に配置されても良い。偏心学習用パターン５０の周波数は任意であるが、再生時の信号レベルが十分検出できる例えば１０ＭＨｚとする。
【００３６】
図４は、ディスク偏心時の磁気ヘッドの軌跡とその再生信号を示す図である。ディスク１に検査用トラックパターン４０（サーボパターン４１と検査用テストパターン４２）、及び偏心学習用パターン５０を記録した時の回転中心を記号Ｏとし、ディスク１を再装着した時に偏心が発生し、回転中心がＯ’にずれた場合を示す。この場合の磁気ヘッド９の軌跡は半径Ｒ１では記号４０’、半径Ｒ２では記号５０’となり、いずれも記録したパターン４０（４１，４２）、５０を全周に渡り読み出すことはできない。図ではピエゾステージ４によりヘッド９を半径Ｒ２に位置決めした状態を示し、偏心学習用パターン５０からの読み出し信号が検出されるのは、ヘッド９の軌跡５０’がパターン５０と交差するＡ点とＢ点（以下、クロス点）のみである。ここで得られる再生波形（エンベロープ）を５０Ａ，５０Ｂで示す。クロス点はトラック上に２か所存在し（Ａ点とＢ点）、クロス点の位置は偏心量に依存して決定される。
【００３７】
次に、クロス点の回転位置（位相角）を求める。インデックス信号３０を基点としてクロス点（信号５０Ａ，５０Ｂ）までの時間差をクロック信号３１（クロック数）から割り出し、インデックス信号３０からの位相角θを求める。この場合の位相角は、Ａ点がθＡ０、Ｂ点がθＢ０である。
【００３８】
図５は、磁気ヘッド９の読み出し半径位置を移動させた場合のクロス点の変化を示す図である。ピエゾステージ４を駆動してヘッド９を微少ピッチで半径方向に移動させながら、偏心学習用パターン５０からの信号検出位置、すなわち偏心学習用パターン５０とのクロス点を求める。図では、読み出し半径をＲ２、Ｒ２＋Δｒ、Ｒ２−Δｒとした時に得られる再生信号とクロス点の変化を示す。半径Ｒ２＋Δｒ位置でのヘッド軌跡は５１’となり、クロス点はＡ１，Ｂ１（再生信号５１Ａ，５１Ｂ）となる。また半径Ｒ２−Δｒ位置でのヘッド軌跡は５２’となり、クロス点はＡ２，Ｂ２（再生信号５２Ａ，５２Ｂ）となる。これらのクロス点の位相角はθＡ１、θＢ１、θＡ２、θＢ２である。
【００３９】
図６は、図５の測定から求めたディスクの偏心量と位相角の関係を示す図である。ヘッドの読み出し半径の移動量Δｒを縦軸に、その時得られたクロス点の位相角を横軸にプロットしたものである。ここではヘッドの移動量Δｒを所定ピッチ（０．５μｍ）で変化させている。プロットしたクロス点のデータは、メモリ２２内の偏心学習データ２２ｅに保存しておく。そして、必要な全データ（予め定めた移動量に対するデータ）が取得されると保存したデータを読み出し、正弦波（ＳＩＮ）カーブでフィッティング近似を行う。フィッティングの際最小二乗法を用いれば、より誤差の少ない近似を行うことができる。このようにして得られたＳＩＮカーブは、ディスクの各回転位相における偏心量を意味する。これより、ディスクの最大偏心量と偏心方向（偏心角）を学習することができる。
【００４０】
なお、ここでは測定された偏心量がＳＩＮカーブで近似できるものとしたが、ディスクの真円度が歪んだような場合には近似誤差が大きくなる。そのような場合には、ＳＩＮ関数の高次成分を含む多項式で近似すれば近似誤差を少なくすることができる。
【００４１】
次に、近似したＳＩＮカーブをもとに偏心補正のための加振制御データ２２ｆを生成する。加振制御データ２２ｆは、制御タイミングの間隔に合わせて回転位相を刻み、各回転位相における加振量（電圧値）を近似カーブから読み取って生成する。その際、駆動素子であるピエゾアクチュエータ７のレスポンス特性を考慮し、振幅・位相を補償し、あるいはオフセットを持たせても良い。これで偏心量の学習を終了する。
【００４２】
偏心学習後、ディスク上の検査用テストパターン４２の読み出し検査を行う。ヘッド９を検査トラックの存在する半径Ｒ１に移動させ、ＯＮトラックサーボ回路１１とピエゾアクチュエータ７を動作させながらサーボパターン４１の読み出しを行う。そのとき、メモリ２２に格納している加振制御データ２２ｆを偏心キャンセル加振制御回路１４に供給し、位置制御回路１３から送られた駆動信号に加算させてピエゾアクチュエータ７を駆動する。その結果、ディスクの偏心とヘッドの加振が一致してディスク偏心をキャンセルすることで、ＯＮトラック位置決め制御を好適に行うことができる。
【００４３】
図７は、本実施例の磁気リードライト検査装置による検査方法を示すフローチャートである。
【００４４】
Ｓ１０１：検査対象のディスクを装着して回転させる。なお、このディスクは未使用（未記録）のものとするが、信号が記録されている場合は記録面を一旦消去してから開始する。
【００４５】
Ｓ１０２：ディスクの所定半径Ｒ１前後の任意トラック範囲に規定のトラックピッチにてサーボパターン４１を記録する。
【００４６】
Ｓ１０３：磁気ヘッド９を半径Ｒ１の位置の検査用トラックにセクタサーボ方式により位置決めし、検査用のテストパターン４２を記録する。なお、ディスクの初期特性の検査を行う場合には、これに続き記録した検査用テストパターン４２を再生すればよい。
【００４７】
Ｓ１０４：セクタサーボ方式による位置決め制御をオフし、ディスクの半径Ｒ２（前記半径Ｒ１と異なる）の位置に移動して、検査用テストパターン４２と同心円状に偏心学習用パターン５０を記録する。
【００４８】
Ｓ１０５：検査装置からディスクを取出して、再度装着して回転させる。この間、例えばディスクの熱減磁特性検査のため、ディスク単体を恒温槽に長時間高温放置する。
【００４９】
Ｓ１０６：偏心学習として、ピエゾステージ４により磁気ヘッド９をディスクの半径Ｒ２、またはＲ２からΔｒだけ移動させた位置に位置付けて、サーボを外して偏心学習用パターン５０を再生する。
【００５０】
Ｓ１０７：再生信号から、偏心学習用パターン５０の信号が検出される位置（偏心学習用トラックとのクロス点）のデータを取得し、ヘッドの半径位置（移動量Δｒ）とともにメモリ（偏心学習データ２２ｅ）に記憶する。クロス点は通常２か所存在し、クロス点の回転位相角を記憶する。
【００５１】
Ｓ１０８：ヘッドの読み出し半径位置（移動量Δｒ）は所定の範囲での測定が終了したかどうか判定する。所定の範囲は予想されるディスク偏心量をもとに予め定めておく。あるいは、その半径位置でクロス点を取得できなかったら終了しても良い。測定終了していない場合はＳ１０９へ進み、終了したらＳ１１０へ進む。
【００５２】
Ｓ１０９：ピエゾステージ４によりヘッドを半径方向に所定ピッチだけ移動させ、Ｓ１０６へ戻る。そして、再度偏心学習用パターン５０を再生しクロス点を取得する。
【００５３】
Ｓ１１０：必要な全データが取得されると、メモリに記憶した信号検出位置（クロス点）のデータを読み出し、正弦波（ＳＩＮ）カーブでフィッティング近似を行いディスク偏心量を算出して保存する。
【００５４】
Ｓ１１１：学習したディスク偏心量から、回転位相に応じたヘッド加振量を示す加振制御データ２２ｆを作成して保存する。この加振制御データ２２ｆはディスク偏心量をキャンセルするために用いる。
【００５５】
Ｓ１１２：ヘッド９を検査トラックの存在する半径Ｒ１に移動させ、検査用テストパターン４２を読み出すことでディスクの検査を行う。その際、ＯＮトラックサーボ回路１１とピエゾアクチュエータ７を動作させ、加振制御データ２２ｆを加算することでディスク偏心量を補正する。
【００５６】
以上述べたように本実施例によれば、磁気ディスクを再装着した際に発生する偏心量を偏心学習により補正できるので、セクタサーボ方式を適用して高精度で高効率に検査を行うことができる。
【符号の説明】
【００５７】
１：磁気ディスク、２：スピンドル、３：ＸＹステージ、４：ピエゾステージ、５：カートリッジ取付ベース、６：ヘッドカートリッジ、７：ピエゾアクチュエータ、８：サスペンションスプリング、９：磁気ヘッド、１０：磁気リードライト検査装置、１１：ＯＮトラックサーボ回路、１２：ポジション復調回路、１３：位置制御回路、１４：偏心キャンセル加振制御回路、１５：データ読出回路、１６：ヘッドアクセス制御回路、１７：サーボ信号・データ書込回路、１８：テストデータ・バースト信号生成回路、１９：ディスク駆動回路、２０：データ処理・制御回路、２１：マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、２２：メモリ、２２ａ：サーボ信号設定プログラム、２２ｂ：ヘッドアクセスプログラム、２２ｃ：データ読出／書込制御プログラム、２２ｄ：偏心学習プログラム、２２ｅ：偏心学習データ、２２ｆ：加振制御データ、２３：インタフェース、３０：インデックス信号、４０：検査用トラックパターン、４１：サーボパターン、４２：検査用テストパターン、５０：偏心学習用パターン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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