(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な構成でディスクの洗浄むらをなくすことのできるディスク洗浄装置を提供する。【解決手段】ディスク洗浄装置１は、複数枚のディスク１００を立設した状態で回転可能に保持するチャックローラ１５，１６と、チャックローラ１６の端部に取り付けられ洗浄液の水流によりチャックローラ１６を回転させる羽根車１７とを備え、ディスクを回転させながら洗浄する構成とした。羽根車回転用洗浄液供給配管２３は、羽根車１７を回転させるための洗浄液を供給する。【選択図】図１
2013168202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクを洗浄槽内の洗浄液に浸漬して洗浄するディスク洗浄装置において、
前記ディスクを立設した状態で回転可能に保持するチャックローラと、
該チャックローラの端部に取り付けられ前記洗浄液の水流により該チャックローラを回転させる羽根車とを備え、
前記ディスクを回転させながら洗浄することを特徴とするディスク洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のディスク洗浄装置において、
前記羽根車の近傍に配設され該羽根車を回転させるための洗浄液を供給する羽根車回転用洗浄液供給配管を備えたことを特徴とするディスク洗浄装置。
【請求項３】
請求項２に記載のディスク洗浄装置において、
前記羽根車回転用洗浄液供給配管から供給する洗浄液の流量を調整する流量調整弁を備えたことを特徴とするディスク洗浄装置。
【請求項４】
請求項３に記載のディスク洗浄装置において、
前記ディスクの回転を検出する回転検出センサーを備え、
該回転検出センサーで検出したディスク回転数に応じて前記流量調整弁の流量を制御することを特徴とするディスク洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク等のディスク状基板を洗浄するディスク洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクの製造工程においてディスク状基板を洗浄する工程として、ディスクを洗浄槽内の洗浄液に浸漬し超音波振動を印加する方法が用いられる。その際、複数のディスクを保持する保持具が用いられるが、ディスクと保持具との係合部が超音波振動の死角となって、洗浄むらを発生させる問題がある。
【０００３】
特許文献１ではディスク全体にむらなく超音波洗浄を行うために、ディスクを支承する支承部材を回転駆動手段に連結させて回転させ、ディスクを回転させる構成が開示されている。ディスクを回転させることで、超音波振動が伝わらない部位をなくすことが述べられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−６０３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示される構成では、ディスクを支承する支承部材を回転駆動する回転駆動手段として、超音波洗浄槽の外部に設けたモータと伝達歯車等の動力伝達機構を有している。このため回転駆動手段は複雑な構成となり、ディスク洗浄装置は大型化してしまう。
【０００６】
本発明の目的は、簡単な構成でディスクの洗浄むらをなくすことのできるディスク洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ディスクを洗浄槽内の洗浄液に浸漬して洗浄するディスク洗浄装置において、ディスクを立設した状態で回転可能に保持するチャックローラと、チャックローラの端部に取り付けられ洗浄液の水流によりチャックローラを回転させる羽根車とを備え、ディスクを回転させながら洗浄する構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、モータ等の複雑な回転駆動手段を不要とし、簡単な構成でディスクの洗浄むらをなくすことのできるディスク洗浄装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明によるディスク洗浄装置の一実施例を示す全体構成図。
【図２】洗浄槽２０内のディスク洗浄状態を示す図。
【図３】図２のＸ−Ｘの断面図で、ディスク１００とチャックローラ１５，１６の接触状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明によるディスク洗浄装置の一実施例を示す全体構成図である。
ディスク洗浄装置１は、ディスク１００を洗浄する洗浄槽２０と、ディスク１００を保持するキャリア１３、及びキャリア１３を洗浄槽２０内に出し入れ駆動するキャリア駆動部１０から構成される。ここで洗浄対象とするディスク１００は、磁性膜等を形成前の基板でも磁性膜等を形成後の基板でも良い。キャリア駆動部１０は、キャリア駆動モータ１１とボールネジ１２を有し、キャリア１３を上下方向に駆動する。洗浄槽２０は洗浄液で満たされ、洗浄液を槽内に供給する洗浄液供給配管２２（以下「液供給配管」）と羽根車回転用洗浄液供給配管２３（以下「羽根車回転用液供給配管」）、及び洗浄時に超音波振動を印加する超音波発振器２１を有する。
【００１１】
キャリア１３のディスク受け台１４（以下「受け台」）には、前工程より搬送された洗浄対象となるディスク１００が収納され、例えば、２５枚×２列＝５０枚のディスク１００を収納する。受け台１４には、ディスク１００を所定間隔で立設した状態で回転可能に保持するチャックローラ１５、１６を有し、一方のチャックローラ１６の端部には羽根車１７が取付けられている。
【００１２】
ディスク洗浄時は、キャリア駆動部１０によりディスク１００を収納した受け台１４を洗浄槽２０内に移動して、ディスク１００を洗浄液に浸漬する。洗浄槽２０では超音波発振器２１により超音波振動を印加しディスクの洗浄を行う。その際、後述するように、羽根車回転用液供給配管２３から供給される洗浄液の水流により羽根車１７が回転し、羽根車１７が取り付けられているチャックローラ１６と、チャックローラ１６で保持されているディスク１００が回転する。ディスク洗浄終了後、キャリア駆動部１０により受け台１４を洗浄槽２０の外に移動させ、ディスク１００は次工程に搬送される。
【００１３】
図２は、洗浄槽２０内のディスク洗浄状態を示し、図１のディスク洗浄装置１を右側面から見た図である。
また図３は、図２のＸ−Ｘの断面図であり、ディスク１００とチャックローラ１５，１６の接触状態を示す。
【００１４】
ディスク受け台１４には２列のディスク１００ａ，１００ｂ（１列当たり２５枚のディスク）を収納するため、１列当たり２本のチャックローラ１５及び１本のチャックローラ１６を設けてディスクを保持する。これら３本のチャックローラ１５，１６は、ディスク１００の下部外周部を支持する位置に設け、ディスク１００を立設した状態で保持するために周囲には所定間隔で溝１９が形成されている。各チャックローラ１５，１６は、ベアリング１８を介し受け台１４に回転自在に取り付けている。このうちチャックローラ１６の端部には、チャックローラ１６を回転させるための羽根車１７を取り付けている。
【００１５】
洗浄槽２０では、下部に設けた液供給配管２２及び羽根車回転用液供給配管２３より洗浄液２００が供給され、常時満杯状態となっている。洗浄液２００は、受け台１４上に収納されたディスク１００の間を通過後、洗浄槽２０のオーバーフロー部２５より槽外に排出される。ディスク洗浄による汚れは、洗浄液２００とともに洗浄槽２０外部に排出されるため、洗浄槽２０内は常に清浄な洗浄液により満たされ、ディスク１００の洗浄効果を高めている。
【００１６】
ここに羽根車回転用液供給配管２３は、液供給配管２２から分割して羽根車１７の近傍に配設したもので、羽根車１７に向う洗浄液２００ａを供給し、羽根車１７及び羽根車１７に連結されたチャックローラ１６を回転させる。このときディスク１００は、図３のようにその外周部がチャックローラ１６の溝１９と接触しているので、この回転力がディスク１００に伝達されて、ディスク１００は矢印のように回転する。チャックローラ１５はベアリング１８で取付けられているので、ディスク１００の回転に追従して回転する。これらの結果、図面左側のディスク１００ａは時計方向に、図面右側のディスク１００ｂは反時計方向に回転する。
【００１７】
このようにディスク１００を回転させることにより、チャックローラ１５，１６と接触するディスク１００上の位置（端面接触部１１０）は固定されず外周部を移動し、洗浄液２００がディスク１００の端面に十分行き渡ることで洗浄効果を向上させることができる。また、洗浄中のディスク１００内に超音波発振器２１からの超音波振動が及ばない部位があっても、その部位は常に移動するため、ディスク１００の洗浄むらをなくすことができる。
【００１８】
さらに本実施例では、羽根車回転用液供給配管２３には流量調整弁２４が取付けられており、羽根車１７に供給する流量を調整することができる。羽根車１７に供給する流量を調整することにより羽根車１７の回転数、すなわちディスク１００の回転数も調整することができる。
【００１９】
また、ディスク１００の回転を検出する図示しない回転検出センサーを設け、検出した回転数に応じて流量調整弁２４の流量を制御する構成とすれば、ディスク１００の回転数を精度良く制御できる。また、装置のトラブルでディスク回転が停止した場合には、警告を発することもできる。なお、回転検出センサーはディスク１００に追従して回転するチャックローラ１５の回転を検出する構成とすれば、センサーの取付けが容易となる。
【００２０】
本実施例の変形として、ディスク回転数の調整が必要ない場合は、羽根車１７を回転させるための専用の羽根車回転用液供給配管２３が不要となる。その場合は、液供給配管２２から供給される洗浄液２００の洗浄槽２０内の水流により、羽根車１７を回転させる構成とすればよい。
【００２１】
以上のように本実施例によれば、洗浄液の水流により回転する羽根車をディスク保持用チャックローラに取り付け、洗浄中のディスクを回転させる構成としたので、ディスク回転のためにモータ等の外部駆動装置が不要となり、ディスク洗浄装置の構成を簡単化できる。本実施例のディスク洗浄装置を用いることで、ディスクの洗浄効果を向上させるとともに、ディスクの洗浄むらをなくすことができる。
【符号の説明】
【００２２】
１…ディスク洗浄装置、
１０…キャリア駆動部、
１１…キャリア駆動モータ、
１２…ボールネジ、
１３…キャリア、
１４…ディスク受け台、
１５…チャックローラ、
１６…チャックローラ（羽根車付）、
１７…羽根車、
１８…ベアリング、
１９…溝、
２０…洗浄槽、
２１…超音波発振器、
２２…洗浄液供給配管、
２３…羽根車回転用洗浄液供給配管、
２４…流量調整弁、
２５…オーバーフロー部、
１００…ディスク、
１１０…端面接触部、
２００…洗浄液。
【図１】
2013168202.tif 000003
【図２】
2013168202.tif 000004
【図３】
2013168202.tif 000005