(57)【要約】【課題】汎用性に優れ、検査データの効率的な解析を支援する検査データ解析支援プログラム、記録媒体及び、検査データ解析支援装置を提供すること。【解決手段】検査データ解析支援プログラムは、コンピューターを、検査データ取得部２１と、解析支援情報生成部２２として機能させる。検査データ取得部２１は、複数の検査データを取得する処理を行う。解析支援情報生成部２２は、検査データ取得部２１が取得した複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する。【選択図】図３
2013161345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピューターを、
複数の検査データを取得する検査データ取得部と、
前記複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する解析支援情報生成部として機能させる、検査データ解析支援プログラム。
【請求項２】
請求項１において、
前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物の種類の情報と、を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第１の選択肢を選択した場合、
前記検査対象物の種類が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の検査数の情報と、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、
前記検査対象物のロット番号の情報と、
前記検査対象物の種類の情報と、
を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第２の選択肢を選択した場合、
前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の検査数の情報と、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、
前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、
を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第３の選択肢を選択した場合、
前記装置番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の検査数の情報と、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、
前記検査対象物のロット番号の情報と、
前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、
を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第４の選択肢を選択した場合、
前記複数の検査データから前記ユーザーが選択した装置番号の情報を含む検査データを抽出し、
抽出した検出データに対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の検査数の情報と、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、
前記検査対象物のロット番号の情報と、
前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、
を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第５の選択肢を選択した場合、
前記複数の検査データに対して前記装置番号が同じ検査データをグループ化し、
当該グループの各々に対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の検査数の情報と、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、
前記検査対象物のロット番号の情報と、
前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、
前記検査対象物の種類の情報と、
を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第６の選択肢を選択した場合、
前記複数の検査データに対して前記検査対象物の種類と前記装置番号がともに同じ検査データをグループ化し、
当該グループの各々に対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記複数の検査データの各々は、
前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報を含み、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが第７の選択肢を選択した場合、
前記複数の検査データに対して、前記検査対象物の各不良項目の不良数の総和と前記検査対象物の不良数の総和との比を計算し、
当該計算して得られた結果を昇順又は降順に並べた情報が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項９】
請求項８において、
前記解析支援情報生成部は、
ユーザーが前記第７の選択肢を選択した場合、
前記昇順又は降順に並べられた、前記検査対象物の各不良項目の不良数の総和と前記検査対象物の不良数の総和との比の計算結果に対して累積構成比を計算し、
当該計算して得られた結果が含まれる前記解析支援情報を生成する、検査データ解析支援プログラム。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検査データ解析支援プログラムが記録されている、記録媒体。
【請求項１１】
複数の検査データを取得する検査データ取得部と、
前記複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する解析支援情報生成部と、
を含む、検査データ解析支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査データ解析支援プログラム、記録媒体及び検査データ解析支援装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学ローパスフィルター（ＯＬＰＦ：Optical Low Pass Filter）は、透過可能な光の空間周波数を制限する光学的なフィルターである。例えば、デジタルカメラでは、モアレ（縞模様）を除去し、綺麗な画像を撮像可能にするためにＯＬＰＦが使用されている。従来はガラスを原料とするＯＬＰＦが使用されていたが、近年は、特性が安定しており、低コストを実現できる等の理由から人工水晶を原料とするＯＬＰＦが主流になっている。
【０００３】
一般に、人工水晶を原料とするＯＬＰＦの製造工程では、人工水晶の切断→ラップ→ポリッシュ→洗浄→ＡＲ（Anti Reflection）コートの各工程が順に行われる。製造されたＯＬＰＦの入射面や出射面の光学領域（光が透過する領域）にキズや割れ等の欠陥があると綺麗な画像が得られない原因となるため、製造工程において厳しい外観検査が行われる。製造工程の無駄を省くため、製造工程の途中で複数回の外見検査が行われ、各外観検査で合格したものだけが次の工程に投入される。例えば、両面コートの製品の場合、Ａ面のコート前、Ａ面のコート後（Ｂ面のコート前）、Ｂ面のコート後にそれぞれ外観検査が行われる。
【０００４】
ＯＬＰＦの製造コストを下げるためには、歩留まりを向上させることが重要になる。特に、一眼レフ型デジタルカメラに使用されるＯＬＰＦはサイズが大きく、かつ外観検査の規格が厳しいため、歩留まりが顕著に低下する傾向にある。歩留まりを向上させるためには、各検査工程で得られる検査データから不良因を迅速に解析し、解析結果を製造工程の品質管理にフィードバックすることが重要であり、例えば、特許文献１〜５において、製造工程の品質管理を効率的に行うための様々な手法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−６１８７７号公報
【特許文献２】特開平６−２８２３０７号公報
【特許文献３】特開２００３−６７０２７号公報
【特許文献４】特開２００４−３３４３５５号公報
【特許文献５】特開２００９−１６９４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜５で提案されている各手法では、いずれも専用の大掛かりなシステムを構築する必要があるため、汎用性に乏しく、低コスト化を実現することが難しい。また、特許文献１〜５には、検査データの具体的な解析方法に関してはほとんど記載されていない。
【０００７】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、汎用性に優れ、検査データの効率的な解析を支援する検査データ解析支援プログラム、記録媒体及び、検査データ解析支援装置を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本適用例に係るプログラムは、コンピューターを、複数の検査データを取得する検査データ取得部と、前記複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する解析支援情報生成部として機能させる。
【００１０】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、所与の検査工程において検査された検査対象物に関する複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報が生成される。従って、ユーザーは、適切な選択肢を選択することで解析したい内容に応じた解析支援情報が得られるので、検査データの解析を効率よく行うことができる。
【００１１】
また、本適用例に係る検査データ解析支援プログラムは、自動検査装置が出力する検証データだけでなく、マニュアルの検査でユーザーが作成した検証データに対しても適用することができるので、汎用性に優れている。
【００１２】
［適用例２］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物の種類の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第１の選択肢を選択した場合、前記検査対象物の種類が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００１３】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、選択した不良項目に関する、検査対象物の種類別の不良率の情報を得ることができる。
【００１４】
［適用例３］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物のロット番号の情報と、前記検査対象物の種類の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第２の選択肢を選択した場合、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００１５】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、選択した不良項目に関する、ロット別の不良率の情報を得ることができる。
【００１６】
［適用例４］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第３の選択肢を選択した場合、前記装置番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００１７】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、選択した不良項目に関する、検査対象物の生産装置別の不良率の情報を得ることができる。
【００１８】
［適用例５］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物のロット番号の情報と、前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第４の選択肢を選択した場合、前記複数の検査データから前記ユーザーが選択した装置番号の情報を含む検査データを抽出し、抽出した検出データに対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００１９】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、選択した生産装置について、選択した不良項目に関する、ロット別の不良率の情報を得ることができる。
【００２０】
［適用例６］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物のロット番号の情報と、前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第５の選択肢を選択した場合、前記複数の検査データに対して前記装置番号が同じ検査データをグループ化し、当該グループの各々に対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００２１】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、各生産装置について、選択した不良項目に関する、ロット別の不良率の情報を得ることができる。
【００２２】
［適用例７］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の検査数の情報と、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報と、前記検査対象物のロット番号の情報と、前記検査対象物の生産に使用された装置の装置番号の情報と、前記検査対象物の種類の情報と、を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第６の選択肢を選択した場合、前記複数の検査データに対して前記検査対象物の種類と前記装置番号がともに同じ検査データをグループ化し、当該グループの各々に対して、前記ロット番号が同じ検査データ毎にユーザーが選択した不良項目に対する前記検査対象物の不良数の総和と前記検査対象物の検査数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果の情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００２３】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、生産装置と検査対象物の種類との各組み合わせについて、選択した不良項目に関する、ロット別の不良率の情報を得ることができる。
【００２４】
［適用例８］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の不良項目毎の不良数の情報を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが第７の選択肢を選択した場合、前記複数の検査データに対して、前記検査対象物の各不良項目の不良数の総和と前記検査対象物の不良数の総和との比を計算し、当該計算して得られた結果を昇順又は降順に並べた情報が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００２５】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、各不良項目に対する不良比率の情報を得ることができる。
【００２６】
［適用例９］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが前記第７の選択肢を選択した場合、前記昇順又は降順に並べられた、前記検査対象物の各不良項目の不良数の総和と前記検査対象物の不良数の総和との比の計算結果に対して累積構成比を計算し、当該計算して得られた結果が含まれる前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００２７】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、各不良項目に対する、不良比率の情報と不良比率の累計の情報を得ることができる。
【００２８】
［適用例１０］
本適用例に係る記録媒体は、上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムが記録されている、記録媒体である。
【００２９】
［適用例１１］
本適用例に係る検査データ解析支援装置は、複数の検査データを取得する検査データ取得部と、前記複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する解析支援情報生成部と、を含む。
【００３０】
［適用例１２］
上記適用例に係る検査データ解析支援プログラムにおいて、前記複数の検査データの各々は、前記検査対象物の種類の情報を含み、前記解析支援情報生成部は、ユーザーが前記第２の選択肢、前記第３の選択肢、前記第４の選択肢又は前記第５の選択肢を選択した場合、前記複数の検査データから、ユーザーが選択した検査対象物の種類の情報を含む検査データを対象として抽出し、抽出した検出データに対して前記解析支援情報を生成するようにしてもよい。
【００３１】
本適用例に係る検査データ解析支援プログラムによれば、ユーザーは、選択した検査対象物の種類について、第２の選択肢、第３の選択肢、第４の選択肢又は第５の選択肢に応じた不良率の情報を得ることができる。
【００３２】
［適用例１３］
本適用例に係る検査データ解析支援方法は、複数の検査データを取得する検査データ取得ステップと、前記複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する解析支援情報生成ステップと、を含む。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】検査ユニットの構成例を示す図。
【図２】検査結果管理ファイルの一例を示す図。
【図３】本実施形態の検査データ解析支援装置の構成例を示す図。
【図４】本実施形態における解析支援情報の生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図５】選択画面の一例を示す図。
【図６】パターン１のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図７】選択画面の一例を示す図。
【図８】パターン１のグラフの一例を示す図。
【図９】パターン２のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図１０】選択画面の一例を示す図。
【図１１】パターン２のグラフの一例を示す図。
【図１２】パターン３のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図１３】パターン３のグラフの一例を示す図。
【図１４】パターン４のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図１５】選択画面の一例を示す図。
【図１６】パターン４のグラフの一例を示す図。
【図１７】パターン５のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図１８】パターン６のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図１９】パターン７のグラフを含む出力ファイルの生成処理のフローチャートの一例を示す図。
【図２０】選択画面の一例を示す図。
【図２１】パターン７のグラフの一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３５】
なお、以下の説明では、ＯＬＰＦの外観検査の検査データの解析支援を例に挙げて説明するが、本発明は、任意の検査データに適用することができる。
【００３６】
１．検査ユニットの構成
図１は、ＯＬＰＦの外観検査ユニットの構成例を示す図である。図１に示すように、カメラ２、蛍光灯３、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）ユニット４、作業台５、パーソナルコンピューター（パソコン）本体６、表示装置７等により、外観検査ユニット１が構成されている。
【００３７】
検査員が、パソコン本体６と表示装置７の電源を投入し、さらに、不図示のメインスイッチを操作することでカメラ２、蛍光灯３、ＨＥＰＡユニット４等に電源が投入され、外観検査ユニット１が起動する。パソコン本体６が立ち上がると、検査員は、不図示のマウスやキーボードを操作して、外観検査の検査対象物の種類（モデル）に応じた限度見本（合格／不合格の判定境界の画像）を選択する。検査員が選択した限度見本は、表示装置７に表示される。
【００３８】
続いて、検査員が、作業台５の所定の位置に検査対象物８（以下、「ワーク」という）を置くと、蛍光灯３の光がワーク８の表面で反射してカメラ２に入射し、ワーク８の画像が生成される。このワーク８の画像は、表示装置３において、限度見本の隣に並べて拡大表示される。検査員は、目視によりワーク８の画像を限度見本と比較し、合格／不合格の判定を行う。検査に合格したワーク８は良品トレーに置かれ、次の製造工程に投入される。一方、不合格のワーク８は、キズ、点状欠陥、汚れ等の不良因に分けて、それぞれの不良品トレーに置かれる。
【００３９】
検査員は、１ロット分のワーク８（例えば、１００枚）をまとめて検査し、１ロット分の検査が終了すると、検査結果管理ファイルに検査データ（検査結果を示すデータ）を入力する。検査結果管理ファイルは、検査工程毎に別々に用意されており、同じ検査工程で得られた検査データは同じ検査結果管理ファイルに入力される。検査結果管理ファイルは、例えば、エクセルファイルであってもよい。
【００４０】
図２は、検査結果管理ファイルの一例を示す図である。図２に示すように、本実施形態の検査結果管理ファイル１００は、複数の検査データ（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，・・・）を含んでいる。各検査データには、日付（１１０）、機種（１２０）、装置番号（１３０）、ロット番号（１４０）、入力数（１５０）、出力数（１６０）、不良数（１７０）、不良項目（１８０）、検査員コード（１９０）の項目が割り当てられており、検査員は、１ロット分の検査が終了すると、各項目にデータを入力し、新たな検査データを追加する。
【００４１】
日付（１１０）には、検査が行われた日付が入力される。
【００４２】
機種（１２０）には、ワークの種類（機種）に応じた機種コードが入力される。
【００４３】
装置番号（１３０）には、ワークの生産に使用された加工装置の装置番号が入力される。
【００４４】
ロット番号（１４０）には、検査を行ったワークのロット番号が入力される。
【００４５】
入力数（１５０）には、検査を行ったワークの数（１ロット分のワークの数）が入力される。
【００４６】
出力数（１６０）には、検査に合格したワーク（良品）の数（良品トレーに置かれているワークの数）が入力される。
【００４７】
不良数（１７０）には、検査に不合格のワーク（不良品）の数が入力される。
【００４８】
不良項目（１８０）は、ＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，・・・（キズ、点状欠陥、汚れ等）の不良項目を含み、各不良項目に該当するワークの数（各不良項目に対応する不良品トレーに置かれているワークの数）が入力される。
【００４９】
検査員コード（１９０）には、検査を行った検査員に割り当てられたコードが入力される。
【００５０】
なお、ＯＬＰＦの検査方法としては、図１に示したような検査対象物で反射した光を用いて撮像する方法の他、検査対象物を透過した光を用いて撮像する方法もあり、各検査工程で一方又は両方の検査方法が用いられる。
【００５１】
２．検査データ解析支援装置の構成
本実施形態の検査データ解析支援装置は、ユーザーにより指定された検査結果管理ファイル２００から各検査データを取得して検査データの解析を支援するための情報（解析支援情報）を生成する。
【００５２】
図３は、本実施形態の検査データ解析支援装置の構成例を示す図である。図３に示すように、本実施形態の検査データ解析支援装置１０は、処理部（ＣＰＵ：Central Processing Unit）２０、操作部３０、表示部４０、記憶部５０、記録媒体６０を含んで構成されている。本実施形態の検査データ解析支援装置１０は、これらの構成要素（各部）の一部を省略又は変更したり、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００５３】
本実施形態では、パーソナルコンピューターが検査データ解析支援プログラムを実行することで検査データ解析支援装置１０として機能する。ただし、検査データ解析支援装置１０は、専用の装置であってもよい。
【００５４】
操作部３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を処理部（ＣＰＵ）１０に出力する。操作部３０は、キーボードやマウス等であってもよいし、表示部４０に接触検出機構を設けることで表示部９０を操作部３０として兼用してもよい。
【００５５】
表示部４０は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等により構成される表示装置であり、処理部（ＣＰＵ）２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
【００５６】
記憶部５０は、処理部（ＣＰＵ）２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。また、記憶部５０は、処理部（ＣＰＵ）２０の作業領域として用いられ、記録媒体６０から読み出されたプログラムやデータ、処理部（ＣＰＵ）２０がプログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶するためにも使用される。
【００５７】
処理部（ＣＰＵ）２０は、記憶部５０や記録媒体６０に記憶されているプログラムに従って、各種の計算処理や制御処理を行う。特に、本実施形態では、処理部（ＣＰＵ）２０は、検査データ取得部２１、解析支援情報生成部２２、表示制御部２３を含む。ただし、本実施形態の処理部（ＣＰＵ）２０は、これらの一部の構成（要素）を省略又は変更したり、他の構成（要素）を追加した構成としてもよい。
【００５８】
検査データ取得部２１は、ユーザーにより指定された検査結果管理ファイル２００を読み込み、当該検査結果管理ファイル２００に含まれる複数の検査データを取得する処理を行う。
【００５９】
解析支援情報生成部２２は、検査データ取得部２１が取得した複数の検査データに基づいて、複数の選択肢からユーザーが選択した選択肢に応じた解析支援情報を生成する処理を行う。解析支援情報は、グラフ形式や表形式の情報であってもよく、例えば、処理部（ＣＰＵ）２０は、グラフ形式や表形式の解析支援情報を含むエクセルファイルを生成するようにしてもよい。
【００６０】
表示制御部２３は、表示部４０の表示を制御する処理を行う。特に、本実施形態では、表示制御部２３は、解析支援情報生成部２２が生成する解析支援情報の種類の選択肢の情報を含む選択画面を表示部４０に表示する処理を行う。
【００６１】
記録媒体６０は、コンピューター読み取り可能な記録媒体であり、特に本実施形態では、コンピューターを上記の各部として機能させるためのプログラム（検査データ解析支援プログラム）が記憶されている。そして、本実施形態の処理部（ＣＰＵ）２０は、記録媒体６０に記憶されている検査データ解析支援プログラムを実行することで、検査データ取得部２１、解析支援情報生成部２２、表示制御部２３として機能する。あるいは、不図示の通信部等を介して有線又は無線の通信ネットワークに接続されたサーバーから当該プログラムを受信し、受信したプログラムを記憶部５０や記録媒体６０に記憶して当該プログラムを実行するようにしてもよい。ただし、検査データ取得部２１、解析支援情報生成部２２、表示制御部２３の少なくとも一部をハードウェア（専用回路）で実現してもよい。
【００６２】
なお、記録媒体６０は、例えば、光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤ）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、メモリー（ＲＯＭ、フラッシュメモリーなど）により実現することができる。
【００６３】
３．検査データ解析支援装置の処理
３−１．全体処理
図４は、検査データ解析支援装置１０の処理部（ＣＰＵ）２０による解析支援情報の生成処理のフローチャートの一例を示す図である。
【００６４】
処理部（ＣＰＵ）２０は、まず、入力ファイル、すなわち、検査結果管理ファイル１００を読み込み、検査データ（Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，・・・）を取得する（Ｓ１０）。
【００６５】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、作成するグラフ（解析支援情報の一例）のパターンの選択画面を表示部４０に表示する（Ｓ１２）。図５は、ステップＳ１２の処理で表示部４０に表示される選択画面の一例を示す図である。図５の選択画面２００には、パターン１〜７（Ｐ１〜Ｐ７）の選択ボタン２０１〜２０７及び終了ボタン２０８が設けられている。ユーザーは、操作部３０（マウス等）を介して、パターン１〜７（Ｐ１〜Ｐ７）の選択ボタン２０１〜２０７のいずれか又は終了ボタン２０８を押下する操作を行う。
【００６６】
ユーザーが選択ボタン２０１を押下し、パターン１（Ｐ１）の選択操作（第１の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ１４のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン１（Ｐ１）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ１６）。パターン１（Ｐ１）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目に関する機種別の不良率の平均を示すグラフである。
【００６７】
ユーザーが選択ボタン２０２を押下し、パターン２（Ｐ２）の選択操作（第２の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ１８のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン２（Ｐ２）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ２０）。パターン２（Ｐ２）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目に関するロット別の不良率の推移を示すグラフである。
【００６８】
ユーザーが選択ボタン２０３を押下し、パターン３（Ｐ３）の選択操作（第３の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ２２のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン３（Ｐ３）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ２４）。パターン３（Ｐ３）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目及び機種に関する加工装置別の不良率の平均を示すグラフである。
【００６９】
ユーザーが選択ボタン２０４を押下し、パターン４（Ｐ４）の選択操作（第４の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ２６のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン４（Ｐ４）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ２８）。パターン４（Ｐ４）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目、機種、加工装置に関するロット別の不良率の平均を示すグラフである。
【００７０】
ユーザーが選択ボタン２０５を押下し、パターン５（Ｐ５）の選択操作（第５の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ３０のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン５（Ｐ５）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ３２）。パターン５（Ｐ５）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目、機種に関する全加工装置のロット別の不良率の平均を示すグラフである。
【００７１】
ユーザーが選択ボタン２０６を押下し、パターン６（Ｐ６）の選択操作（第６の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ３４のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン６（Ｐ６）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ３６）。パターン６（Ｐ６）のグラフは、ユーザーが選択した不良項目に関する全機種、全加工装置のロット別の不良率の平均を示すグラフである。
【００７２】
ユーザーが選択ボタン２０７を押下し、パターン７（Ｐ７）の選択操作（第７の選択肢の選択操作）が行われた場合（Ｓ３８のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、パターン７（Ｐ７）のグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ４０）。パターン７（Ｐ７）のグラフは、ユーザーが選択した機種に関する各不良項目の不良比率及び累計不良比率（累積構成比）を示すグラフ（パレート図）である。
【００７３】
また、ユーザーが選択ボタン２０８を押下し、終了操作が行われた場合（Ｓ４２のＹ）、処理部（ＣＰＵ）２０は、解析支援情報の生成処理を終了する。
【００７４】
３−２．パターン１のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図６は、図４のパターン１のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ１６の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【００７５】
図６に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい不良項目の選択画面を表示部４０に表示する（Ｓ１００）。図７は、ステップＳ１００の処理で表示部４０に表示される選択画面の一例を示す図である。図７の選択画面２１０には、不良項目のリストボックス２１１、ＯＫボタン２１２、ＥＮＤボタン２１３が設けられている。ユーザーは、操作部３０（マウス等）を介して、分析したい不良項目をリストボックス２１１から選択する操作を行う。１つの不良項目のみが選択可能であってもよいし、所定の複数の不良項目（例えば、ＮＧ１とＮＧ２）やすべての不良項目を１つのグループとして選択可能に構成してもよい。
【００７６】
そして、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーがＯＫボタン２１２を押下すると選択された不良項目を確定させ、ユーザーがＥＮＤボタン２１３を押下すると処理を終了する。
【００７７】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる不良項目の選択操作（ユーザーがリストボックス２１１から不良項目を選択し、ＯＫボタン２１２を押下する操作）があるまで待機し（Ｓ１０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ１０２のＹ）、機種（１２０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ１０４）。
【００７８】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、機種（１２０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ１０６）。
【００７９】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、機種（１２０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ１０４の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ１０６の計算結果）との比（不良率）及びイールド（＝１−不良率）を計算する（Ｓ１０８）。
【００８０】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、横軸を機種とし、縦軸を不良率とイールド（ステップＳ１０８の計算結果）とするグラフを作成し、当該グラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ１１０）。図８に、ステップＳ１１０で作成されたグラフの一例を示す。図８の例は、ステップＳ１０２の選択操作により、全ての不良項目を１グループとして選択された場合に作成されるグラフの一例であり、機種別の不良率とイールドがそれぞれ棒グラフと折れ線グラフによって示されている。なお、複数の不良項目を１グループとして選択された場合、処理部（ＣＰＵ）２０は、図８の例のように、各不良項目の不良比率がわかる棒グラフを作成してもよい。
【００８１】
３−３．パターン２のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図９は、図４のパターン２のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ２０の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【００８２】
図９に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい機種と不良項目の選択画面を表示部４０に表示する（Ｓ２００）。図１０は、ステップＳ２００の処理で表示部４０に表示される選択画面の一例を示す図である。図１０の選択画面２２０には、機種のリストボックス２２１、不良項目のリストボックス２２２、ＯＫボタン２２３、ＥＮＤボタン２２４が設けられている。ユーザーは、操作部３０（マウス等）を介して、分析したい機種をリストボックス２２１から選択するとともに、分析したい不良項目をリストボックス２２２から選択する操作を行う。
【００８３】
そして、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーがＯＫボタン２２３を押下すると選択された機種と不良項目を確定させ、ユーザーがＥＮＤボタン２２４を押下すると処理を終了する。
【００８４】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる機種と不良項目の選択操作（ユーザーがリストボックス２２１，２２２からそれぞれ機種と不良項目を選択し、ＯＫボタン２２３を押下する操作）があるまで待機し（Ｓ２０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ２０２のＹ）、選択された機種（１２０）を含む検査データを抽出し（Ｓ２０４）、抽出した検出データに対して以下の処理を行う。
【００８５】
まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ２０６）。
【００８６】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ２０８）。
【００８７】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ２０６の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ２０８の計算結果）との比（不良率）を計算する（Ｓ２１０）。
【００８８】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、横軸をロット番号とし、縦軸を不良率（ステップＳ２１０の計算結果）とするグラフを作成し、当該グラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ２１２）。図１１に、ステップＳ２１２で作成されたグラフの一例を示す。図１１の例は、ステップＳ２０２の選択操作により、１つの機種が選択されるとともに、全ての不良項目を１グループとして選択された場合に作成されるグラフの一例であり、ロット別の不良率が棒グラフによって示されている。なお、複数の不良項目を１グループとして選択された場合、処理部（ＣＰＵ）２０は、図１１の例のように、各不良項目の不良比率がわかる棒グラフを作成してもよい。
【００８９】
３−４．パターン３のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図１２は、図４のパターン３のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ２４の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【００９０】
図１２に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい機種と不良項目の選択画面（図１０の選択画面）を表示部４０に表示する（Ｓ３００）。
【００９１】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる機種と不良項目の選択操作があるまで待機し（Ｓ３０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ３０２のＹ）、選択された機種（１２０）を含む検査データを抽出し（Ｓ３０４）、抽出した検出データに対して以下の処理を行う。
【００９２】
まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、装置番号（１３０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ３０６）。
【００９３】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、装置番号（１３０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ３０８）。
【００９４】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、装置番号（１３０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ３０６の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ３０８の計算結果）との比（不良率）及びイールド（＝１−不良率）を計算する（Ｓ３１０）。
【００９５】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、横軸を装置番号とし、縦軸を不良率とイールド（ステップＳ３１０の計算結果）とするグラフを作成し、当該グラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ３１２）。図１３に、ステップＳ３１２で作成されたグラフの一例を示す。図１３の例は、ステップＳ３０２の選択操作により、１つの機種が選択されるとともに、全ての不良項目を１グループとして選択された場合に作成されるグラフの一例であり、加工装置別の不良率とイールドがそれぞれ棒グラフと折れ線グラフによって示されている。なお、複数の不良項目を１グループとして選択された場合、処理部（ＣＰＵ）２０は、図１３の例のように、各不良項目の不良比率がわかる棒グラフを作成してもよい。
【００９６】
３−５．パターン４のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図１４は、図４のパターン４のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ２８の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【００９７】
図１４に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい機種、加工装置の装置番号、不良項目の選択画面を表示部４０に表示する（Ｓ４００）。図１５は、ステップＳ４００の処理で表示部４０に表示される選択画面の一例を示す図である。図１５の選択画面２３０には、機種のリストボックス２３１、装置番号のリストボックス２３２、不良項目のリストボックス２３３、ＯＫボタン２３４、ＥＮＤボタン２３５が設けられている。ユーザーは、操作部３０（マウス等）を介して、分析したい機種をリストボックス２３１から選択し、分析したい加工装置の装置番号をリストボックス２３２から選択し、分析したい不良項目をリストボックス２３３から選択する操作を行う。
【００９８】
そして、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーがＯＫボタン２３４を押下すると選択された機種、装置番号、不良項目を確定させ、ユーザーがＥＮＤボタン２３５を押下すると処理を終了する。
【００９９】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる機種、装置番号、不良項目の選択操作（ユーザーがリストボックス２３１，２３２，２３３からそれぞれ機種、装置番号、不良項目を選択し、ＯＫボタン２３４を押下する操作）があるまで待機し（Ｓ４０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ４０２のＹ）、選択された機種（１２０）と装置番号（１３０）をともに含む検査データを抽出し（Ｓ４０４）、抽出した検出データに対して以下の処理を行う。
【０１００】
まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ４０６）。
【０１０１】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ４０８）。
【０１０２】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ４０６の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ４０８の計算結果）との比（不良率）を計算する（Ｓ４１０）。
【０１０３】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、横軸をロット番号とし、縦軸を不良率（ステップＳ４１０の計算結果）とするグラフを作成し、当該グラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ４１２）。図１６に、ステップＳ４１２で作成されたグラフの一例を示す。図１６の例は、ステップＳ４０２の選択操作により、１つの機種と１つの装置番号が選択されるとともに、全ての不良項目を１グループとして選択された場合に作成されるグラフの一例であり、ロット別の不良率が棒グラフによって示されている。なお、複数の不良項目を１グループとして選択された場合、処理部（ＣＰＵ）２０は、図１６の例のように、各不良項目の不良比率がわかる棒グラフを作成してもよい。
【０１０４】
３−６．パターン５のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図１７は、図４のパターン５のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ３２の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【０１０５】
図１７に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい機種と不良項目の選択画面（図１０の選択画面）を表示部４０に表示する（Ｓ５００）。
【０１０６】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる機種と不良項目の選択操作があるまで待機し（Ｓ５０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ５０２のＹ）、選択された機種（１２０）を含む検査データを抽出し（Ｓ５０４）、抽出した検出データに対して以下の処理を行う。
【０１０７】
まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、装置番号（１３０）が同じ検査データをグループ化する（Ｓ５０６）。例えば、加工装置（装置番号）の数をＮとすると、Ｎ個の検査データグループに分けられる。
【０１０８】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ステップＳ５０６でグループ化した各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ５０８）。
【０１０９】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ５１０）。
【０１１０】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ５０８の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ５１０の計算結果）との比（不良率）を計算する（Ｓ５１２）。
【０１１１】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、横軸をロット番号とし、縦軸を不良率（ステップＳ５１２の計算結果）とするグラフを作成し、これらのグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ５１４）。このステップＳ５１４の処理により、各加工装置に対して、図１６と同じ形式のグラフが作成される。
【０１１２】
３−７．パターン６のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図１８は、図４のパターン６のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ３６の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【０１１３】
図１８に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい不良項目の選択画面（図７の選択画面）を表示部４０に表示する（Ｓ６００）。
【０１１４】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる不良項目の選択操作があるまで待機し（Ｓ６０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ６０２のＹ）、機種（１２０）と装置番号（１３０）がともに同じ検査データをグループ化する（Ｓ６０４）。例えば、機種の数をＭ、加工装置（装置番号）の数をＮとすると、Ｍ×Ｎ個の検査データグループに分けられる。
【０１１５】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、ステップＳ６０４でグループ化した各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和を計算する（Ｓ６０６）。
【０１１６】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、検査数（入力数（１５０））の総和を計算する（Ｓ６０８）。
【０１１７】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、ロット番号（１４０）が同じ検査データ毎に、選択された不良項目に対する不良数の総和（ステップＳ６０６の計算結果）と検査数(入力数（１５０）)の総和（ステップＳ６０８の計算結果）との比（不良率）を計算する（Ｓ６１０）。
【０１１８】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各検査データグループに対して、横軸をロット番号とし、縦軸を不良率（ステップＳ６１０の計算結果）とするグラフを作成し、これらのグラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ６１２）。このステップＳ６１２の処理により、機種と加工装置の各組み合わせに対して、図１６と同じ形式のグラフが作成される。
【０１１９】
３−８．パターン７のグラフを含む出力ファイルの生成処理
図１９は、図４のパターン７のグラフを含む出力ファイルを生成する処理（Ｓ４０の処理）のフローチャートの一例を示す図である。
【０１２０】
図１９に示すように、まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーが分析したい機種の選択画面を表示部４０に表示する（Ｓ７００）。図２０は、ステップＳ７００の処理で表示部４０に表示される選択画面の一例を示す図である。図２０の選択画面２４０には、機種のリストボックス２４１、ＯＫボタン２４２、ＥＮＤボタン２４３が設けられている。ユーザーは、操作部３０（マウス等）を介して、分析したい機種をリストボックス２４１から選択する操作を行う。
【０１２１】
そして、処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーがＯＫボタン２４２を押下すると選択された機種を確定させ、ユーザーがＥＮＤボタン２４３を押下すると処理を終了する。
【０１２２】
処理部（ＣＰＵ）２０は、ユーザーによる機種の選択操作（ユーザーがリストボックス２４１から機種を選択し、ＯＫボタン２４２を押下する操作）があるまで待機し（Ｓ７０２のＮ）、選択操作が行われた場合（Ｓ７０２のＹ）、選択された機種（１２０）を含む検査データを抽出し（Ｓ７０４）、抽出した検出データに対して以下の処理を行う。
【０１２３】
まず、処理部（ＣＰＵ）２０は、不良数（１７０）の総和（総不良数）を計算する（Ｓ７０６）。
【０１２４】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、不良項目毎に不良数の総和を計算する（Ｓ７０８）。
【０１２５】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、各不良項目の不良数の総和と総不良数（ステップＳ７０６の計算結果）との比（不良比率）を計算する（Ｓ７１０）。
【０１２６】
次に、処理部（ＣＰＵ）２０は、不良比率（ステップＳ７１０の計算結果）が高い順に不良項目を並べ、先頭から順に累計不良比率（累積構成比）を計算する（ステップＳ７１２）。
【０１２７】
最後に、処理部（ＣＰＵ）２０は、横軸を不良項目とし、縦軸を不良比率（ステップＳ７１０の計算結果）と累計不良比率（累積構成比）（ステップＳ７１２の計算結果）とするグラフを作成し、当該グラフを含む出力ファイルを生成する（Ｓ７１４）。図２１に、ステップＳ７１４で作成されたグラフの一例を示す。図２１の例は、いわゆるパレート図であり、不良比率の高い不良項目から順に左から並べられ、不良比率と累計不良比率（累積構成比）がそれぞれ棒グラフと折れ線グラフによって示されている。
【０１２８】
以上に説明した本実施形態の検査データ解析支援装置（プログラム）によれば、複数の検査データを含む検査結果管理ファイル１００から、ユーザーが選択画面２００に対して選択したパターン１〜７のいずれかのグラフを含む出力ファイルが生成される。従って、ユーザーは、適切な選択肢を選択することで解析したい内容に応じたグラフを含むファイルが得られるので、検査データの解析を効率よく行うことができる。
【０１２９】
また、本実施形態の検査データ解析支援装置（プログラム）によれば、複数の検査データを含む検査結果管理ファイル１００があればよいので、自動検査装置が出力する検証データだけでなく、マニュアルの検査でユーザーが作成した検証データに対しても適用することができるので、汎用性に優れている。
【０１３０】
４．変形例
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【０１３１】
例えば、ユーザーが解析対象の期間を選択できるように変形してもよい。例えば、加工装置の加工条件を変更する前の一定期間と変更した後の一定期間でのパターン４のグラフを比較することで、ユーザーは、当該加工装置の加工条件を変更したことによる不良率の改善効果を容易に判定することができる。
【０１３２】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１３３】
１  外観検査ユニット、２  カメラ、３  蛍光灯、４  ＨＥＰＡユニット、５  作業台、６  パーソナルコンピューター本体、７  表示装置、８  検査対象物（ワーク）、１０  検査データ解析支援装置、２０  処理部（ＣＰＵ）、２１  検査データ取得部、２２  解析支援情報生成部、２３  表示制御部、３０  操作部、４０  表示部、５０  記憶部、６０  記録媒体、１００  検査結果管理ファイル、２００  選択画面、２０１  パターン１のグラフの選択ボタン、２０２  パターン２のグラフの選択ボタン、２０３  パターン３のグラフの選択ボタン、２０４  パターン４のグラフの選択ボタン、２０５  パターン５のグラフの選択ボタン、２０６  パターン６のグラフの選択ボタン、２０７  パターン７のグラフの選択ボタン、２０８  終了ボタン、２１０  選択画面、２１１  リストボックス、２１２  ＯＫボタン、２１３  ＥＮＤボタン、２２０  選択画面、２２１，２２２  リストボックス、２２３  ＯＫボタン、２２４  ＥＮＤボタン、２３０  選択画面、２３１，２３２，２３３  リストボックス、２３４  ＯＫボタン、２３５  ＥＮＤボタン、２４０  選択画面、２４１  リストボックス、２４２  ＯＫボタン、２４３  ＥＮＤボタン
【図１】
2013161345.tif 000003
【図２】
2013161345.tif 000004
【図３】
2013161345.tif 000005
【図４】
2013161345.tif 000006
【図６】
2013161345.tif 000007
【図９】
2013161345.tif 000008
【図１２】
2013161345.tif 000009
【図１４】
2013161345.tif 000010
【図１７】
2013161345.tif 000011
【図１８】
2013161345.tif 000012
【図１９】
2013161345.tif 000013
【図５】
2013161345.tif 000014
【図７】
2013161345.tif 000015
【図８】
2013161345.tif 000016
【図１０】
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【図１１】
2013161345.tif 000018
【図１３】
2013161345.tif 000019
【図１５】
2013161345.tif 000020
【図１６】
2013161345.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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