(57)【要約】【課題】  長尺部材に対して膜厚精度の高い薄膜を連続的かつ高速に形成することができ、かつ長尺部材の表面の一部を薄膜非形成部とすることが可能な薄膜形成装置を提供する。【解決手段】  塗布装置１に導入された長尺部材１５は、ダイス部５の内部において、塗膜材１７と接触する。ダイス部５内部を長尺部材１５が通過する際、長尺部材１５の表面に塗膜材１７が付着する。長尺部材１５がダイス部５から導出する際に、長尺部材１５の上面と、ダイス部５の内面とのクリアランスに応じた厚みの塗膜材１７が持ち出される。この際、長尺部材１５の下面側に塗膜材１７が回り込んでも、塗膜材１７は溝部７に流出する。したがって、少なくとも支持部９ｂ以外の部位において、長尺部材１５の下面に塗膜材１７が塗布されることがない。【選択図】図１
2013233511.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、
長尺部材を保持するガイド部と、
前記ガイド部と対向して配置され、塗膜材を前記長尺部材へ塗布するダイス部と、
前記ダイス部に塗膜材を供給する塗膜材供給部と、を具備し、
前記ガイド部には、前記長尺部材の一部と接触し、前記長尺部材を支持する支持部が形成され、
前記支持部の端部には、前記長尺部材と接触しない溝部が形成され、
前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を塗布可能であるとともに、前記ガイド部側の面であって、前記溝部に対応する部位に対する塗膜材の塗布を防止することが可能であることを特徴とする塗膜材塗布装置。
【請求項２】
前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力を検出する圧力検出部と、前記ガイド部の方向に対する前記ダイス部の押圧力を調整可能な圧力調整部と、をさらに具備し、前記圧力検出部により検出された圧力に応じて、前記圧力調整部を制御し、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力変動を抑制することが可能であることを特徴とする請求項１記載の塗膜材塗布装置。
【請求項３】
前記溝部の内部を排気する排気部をさらに具備し、前記溝部の内部を負圧にすることが可能であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗膜材塗布装置。
【請求項４】
前記支持部は、前記長尺部材の両端部近傍と略中央部近傍とに接触して支持可能なように、前記ガイド部の両端部および略中央部に形成されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の塗膜材塗布装置。
【請求項５】
前記溝部の内部に漏れ出した塗膜材を回収する回収機構が設けられることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の塗膜材塗布装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の塗膜材塗布装置を用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、
前記ダイス部へ塗膜材を供給しながら、前記ガイド部と前記ダイス部との間に長尺部材を移動させて、前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を連続的に塗布するとともに、前記長尺部材の前記ガイド部側の面であって、前記溝部に対応する部位に対する塗膜材の塗布を防止することを特徴とする長尺部材への塗膜材の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺部材の表面に塗膜材を塗布する塗膜材塗布装置およびこれを用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば太陽電池パネルのような発電機器においては、受光面に機能性薄膜が形成されて用いられる。このような機能性薄膜は、例えば、真空蒸着やＣＶＤ等の各種の大型・真空プロセスの他、小さなプロセス領域や非真空系を用いたロール・ツー・ロールプロセス等によって形成される。
【０００３】
一方、特に高速でこのような機能性薄膜を形成する方法として、ダイスによる塗布方法がある。ダイスによる塗布方法では、数百ｍ／分以上での塗膜形成が可能である。
【０００４】
ダイスにより、塗膜厚を精密に制御する塗布方法としては、例えば、長尺基材を連続的に移送しながら、その一方の表面に所定の間隔をおいて対向配置されたキャビティを有する塗布ダイスを用いて、塗布ダイスのキャビティ内へ所定の圧力で材料溶液を供給しながら、材料溶液により生じる塗布ダイスへの反発力が所定の値に保たれるように塗布ダイスへの荷重を制御する薄膜形成方法がある(特許文献１)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２７４２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の方法は、材料溶液を充填したダイスに基材を通過させ、この際に、ダイスの内部形状に応じて基材と共に溶剤が持ち出されることを利用し、基材表面に塗膜を形成するものである。
【０００７】
一方、前記機能性薄膜を基材上に形成する際、要求される薄膜の形態は用途によって様々である。例えば、透明基材を太陽電池の受光面とし、その外周に機能性薄膜を形成する場合には、機能性薄膜は受光面を避けて形成されることが望ましい。
【０００８】
図５（ａ）は、従来の塗布装置１００を示す断面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＹ−Ｙ線断面図である。塗布装置１００は、ガイド部１０１、ダイス部１０３等から構成される。ガイド部１０１とダイス部１０３の間に、長尺部材１０５が通される。ダイス部１０３の内部には、キャビティが形成される。キャビティには、塗膜材１０７が図示を省略した圧送装置で送られる（図中矢印Ｘ）。
【０００９】
この際、図５（ｂ）に示すように、長尺部材１０５の下面側は、ガイド部１０１と接触する。したがって、ダイス部１０３の内部に圧送された塗膜材１０７は、長尺部材１０５の上面に所定圧さで連続して塗布される。
【００１０】
しかし、長尺部材１０５とガイド部１０１は、互いに摺動するため、その間にわずかに隙間が形成される。したがって、塗膜材１０７の一部が長尺部材１０５の下面側に浸入するおそれがある（図中矢印Ｚ方向）。このように、塗膜材１０７が長尺部材１０５の下面側に回り込むことで、本来塗膜材１０７が塗布されない部位に対しても、塗膜材１０７が塗布されてしまう。
【００１１】
特に、塗膜材１０７が長尺部材１０５の下面に一度回り込むと、塗膜材１０７の圧力は、長尺部材１０５の下面側にも付与される。したがって、塗膜材１０７の圧力によって、ますます長尺部材１０５とガイド部１０１との隙間が押し広げられる。また、塗膜材１０７の一部が長尺部材１０５の下面側に塗布されることで、長尺部材１０５の上面側の膜厚が設計よりも薄くなる。
【００１２】
これに対し、基材を挟み込むように塗布を行い、片面から材料溶液を、もう一方から揮発性の溶剤などを同時に塗布することで片面のみに薄膜を得る方法がある。しかし、この場合、塗布溶液が多くなる分、膜厚調整のための制御値も増える。またダイス内で材料溶液と溶剤が混ざる可能性がある。したがって、塗布膜厚の精密な制御と薄膜非形成部の形成の両立が可能な方法が望まれている。
【００１３】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、長尺部材に対して膜厚精度の高い薄膜を連続的かつ高速に形成することができ、長尺部材の表面の一部を薄膜非形成部とすることが可能な薄膜形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述した目的を達するために第１の発明は、長尺部材への塗膜材の塗布装置であって、長尺部材を保持するガイド部と、前記ガイド部と対向して配置され、塗膜材を前記長尺部材へ塗布するダイス部と、前記ダイス部に塗膜材を供給する塗膜材供給部と、を具備し、前記ガイド部には、前記長尺部材の一部と接触し、前記長尺部材を支持する支持部が形成され、前記支持部の端部には、前記長尺部材と接触しない溝部が形成され、前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を塗布可能であるとともに、前記ガイド部側の面であって、前記溝部に対応する部位に対する塗膜材の塗布を防止することが可能であることを特徴とする塗膜材塗布装置である。
【００１５】
前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力を検出する圧力検出部と、前記ガイド部の方向に対する前記ダイス部の押圧力を調整可能な圧力調整部と、をさらに具備し、前記圧力検出部により検出された圧力に応じて、前記圧力調整部を制御し、前記ダイス部の内部における前記塗膜材の圧力変動を抑制することが望ましい。
【００１６】
前記溝部の内部を排気する排気部をさらに具備し、前記溝部の内部を負圧にすることが可能であってもよい。
【００１７】
前記支持部は、前記長尺部材の両端部近傍と略中央部近傍とに接触して支持可能なように、前記ガイド部の両端部および略中央部に形成されることが望ましい。
【００１８】
前記溝部の内部に漏れ出した塗膜材を回収する回収機構が設けられてもよい。
【００１９】
第１の発明によれば、長尺部材の一部と接触する支持部と、長尺部材と接触しない溝部が形成されるため、接触部に塗膜材が多少浸入しても、溝部によって、塗膜材が長尺部材に付着することがない。したがって、薄膜非形成部を確実に形成することができる。
【００２０】
また、ダイス部の内部の塗膜材圧力を検出し、ダイス部の押圧力を制御することで、ダイス部の内部における塗膜材の圧力変動を抑制すれば、塗膜材の厚みを精密に制御することができる。
【００２１】
また、溝部内を負圧とすることで、支持部に浸入した塗膜材を溝内に吸引することができる。したがって、塗膜材が薄膜非形成部に付着することを防止することができる。
【００２２】
また、支持部によって長尺部材の両端および中央部近傍を支持させることで、長尺部材の変形を抑制することができる。したがって、塗膜材の膜厚を精密に制御することができる。
【００２３】
また、溝部内に塗膜材の回収機構を設けることで、溝部内に浸入した塗膜材を回収することができる。したがって、長尺部材の表面に塗布されなかった塗膜材を再度使用することができる。
【００２４】
第２の発明は、第１の発明にかかる塗膜材塗布装置を用いた長尺部材への塗膜材の塗布方法であって、前記ダイス部へ塗膜材を供給しながら、前記ガイド部と前記ダイス部との間に長尺部材を移動させて、前記長尺部材の前記ダイス部側の面に前記塗膜材を連続的に塗布するとともに、前記長尺部材の前記ガイド部側の面であって、前記溝部に対応する部位に対する塗膜材の塗布を防止することを特徴とする長尺部材への塗膜材の塗布方法である。
【００２５】
第２の発明によれば、塗布膜厚を精密に制御することが可能であり、また、薄膜非塗布部を確実に形成することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、長尺部材に対して膜厚精度の高い薄膜を連続的かつ高速に形成することができ、かつ長尺部材の表面の一部を薄膜非形成部とすることが可能な薄膜形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】塗布装置１の構造を示す断面図。
【図２】塗布装置１の構造を示す断面図であり、図１のＣ−Ｃ線断面図。
【図３】塗布装置２０の構造を示す断面図であり、図４のＨ−Ｈ線断面図。
【図４】塗布装置２０の構造を示す断面図であり、図３のＧ−Ｇ線断面図。
【図５】（ａ）は従来の塗布装置１００の構造を示す断面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ線断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、塗布装置１を示す側方断面図であり、図２は図１のＣ−Ｃ線断面図である。塗布装置１は、主に、ガイド部３、ダイス部５、荷重検出部１１、駆動部１３等から構成される。なお、以下の説明において、基材である長尺部材１５の上面に対して塗膜材１７を塗布し、下面側へ薄膜非形成部を形成する方法について説明する。
【００２９】
ガイド部３は、長尺部材１５を下方から保持する部材である。すなわち、長尺部材１５は、ガイド部３と接触する。ダイス部５は、ガイド部３の上方に配置される。ダイス部５は、内部にキャビティを有する。キャビティは、ダイス部５の例えば後方において外部と連通する。したがって、外部の図示を省略した加圧容器もしくはディスペンサー等の塗膜材供給部から、ダイス部５内部のキャビティに対して塗膜材１７を連続して送り込むことができる（図中矢印Ａ方向）。このとき、塗膜材１７の圧力もしくは流量が制御される。
【００３０】
ダイス部５の入口形状は長尺部材１５の断面形状と相似形とし、出口形状は塗布後の長尺部材１５の断面形状の相似形となる。なお、ダイス部５の入口形状は長尺部材１５の幅方向に一様な形状が望ましいが、円形であっても良い。また、ダイス部５の内部でのキャビティの断面形状は、出口側（図中右側）に向かって径を大きくしてもよく、不変であっても良いが、図１に示すように、出口側に向かって段階的もしくは連続的に小さくなるようにすることが望ましい。
【００３１】
ここで、長尺部材１５は、長手方向に連続した部材であり、例えば、径が数μｍ〜数ｍｍであり、断面が丸、矩形等の繊維状基材（線状体）であってもよく、幅が数ｍｍ以上で厚さが数μｍ〜数ｍｍの平板状基材であってもよい。また、長尺部材１５の材質は例えば、ガラス、樹脂、金属であるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。なお、以下の説明では、略矩形断面の平板状の長尺部材１５の例を示す。
【００３２】
図２に示すように、ガイド部３とダイス部５との間を長尺部材１５が通過する。この際、長尺部材１５の上面側が、ダイス部５のキャビティに露出する。すなわち、長尺部材１５とダイス部５の内面との間には隙間が形成される。したがって、長尺部材１５の上面側は、キャビティ内の塗膜材１７と接触する。
【００３３】
同様に、長尺部材１５の両側面とダイス部５およびガイド部３の内側面との間にも隙間が形成される。なお、長尺部材１５の側面には、必ずしも塗膜材１７を塗布する必要がない場合もあるが、長尺部材１５と、ダイス部５およびガイド部３の内側面との間に隙間が形成されないと、長尺部材１５を、塗布装置１内をスムーズに通過させることができない。したがって、長尺部材１５を塗布装置１内で高速で通過させることが可能な程度に、隙間を形成する必要がある。
【００３４】
なお、ダイス部５およびガイド部３と長尺部材１５とのクリアランスは数１０μｍ以上で、接触することなく走行可能なレベルとする。上限値に制約はないが、クリアランスが大き過ぎると液だれを引き起こすので１００μｍ程度を上限とするのが望ましい。
【００３５】
長尺部材１５の下面の少なくとも一部は、ガイド部３と接触する。ここで、ガイド部３上を進行する長尺部材１５には、キャビティ内の塗膜材１７の圧力が付与されるとともに、長尺部材１５の供給および巻き取り装置により所定の張力が与えられる。したがって、長尺部材１５はガイド部３の方向へ押さえつけられる。
【００３６】
ガイド部３には、長尺部材１５の幅に応じて、両側部に段差形状である支持部９ｂが形成されるとともに、幅方向の略中央部に支持部９ａが形成される。支持部９ａ、９ｂの上面が、長尺部材１５の下面との接触部となる。なお、支持部９ｂ同士の間隔は、長尺部材１５の幅よりも狭い。また、それぞれの支持部９ｂの幅は、前述した、長尺部材１５の両側部と、ダイス部５およびガイド部３の内側面との間の隙間の和よりも大きい。
【００３７】
支持部９ａ、９ｂ同士の間は、溝部７となる。すなわち、支持部９ａ、９ｂの端部には、長尺部材１５の下面と接触しない溝部７が形成される。なお、支持部９ａは、必ずしも必要ではないが、長尺部材１５を両側部のみで支持することによる、長尺部材１５の変形を抑制するためには、長尺部材１５の両側部および略中央の少なくも３箇所で支持することが望ましい。支持部９ａを形成しない場合には、支持部９ｂ同士の間が溝部７となる。
【００３８】
また、図１に示すように、ダイス部５の上部には、荷重検出部１１および駆動部１３が設けられる。荷重検出部１１は、例えばロードセル等であり、ダイス部５から受ける荷重を検知することができる。前述の通り、ダイス部５の内部のキャビティには、所定の圧力で塗膜材１７が連続して充填される。
【００３９】
一方、ダイス部５を通過する長尺部材１５は、その厚みが必ずしも一定ではない。このため、長尺部材１５の厚み変動に応じて、キャビティ内の塗膜材１７の圧力（特に長尺部材１５の出口側における圧力）が変動する。例えば、長尺部材１５の一部にわずかに厚い部分があると、長尺部材１５とダイス部５のクリアランスが小さくなる。このため、当該部位における圧力が増加する。逆に、長尺部材１５の一部にわずかに薄い部分があると、長尺部材１５とダイス部５のクリアランスが大きくなる。このため、当該部位における圧力が低下する。
【００４０】
なお、このような圧力の変動は、長尺部材１５とのクリアランスが最も小さいダイス部５の出口近傍で顕著になる。したがって、塗膜材１７の圧力を監視することで、長尺部材１５とダイス部５との（特に出口近傍での）クリアランスの変動を検出することができる。すなわち、荷重検出部１１は、ダイス部５内部の塗膜材１７の圧力を検出可能な圧力検出部である。
【００４１】
ダイス部５のキャビティ内の塗膜材１７の圧力が変動すると、ダイス部５の上方への反力が変動する。したがって、荷重検出部１１によって、ダイス部５から受ける荷重を検出することで、キャビティ内部の圧力変動を検出することができる。すなわち、長尺部材１５の厚み変動を検出することができる。
【００４２】
駆動部１３は、移動ステージ等の荷重付与装置およびガイド手段としての固定ステージ等から構成され、荷重検出部１１と接続される。荷重検出部１１で圧力変動が検出されると、駆動部１３を、この圧力変動に応じて上下に移動させる（図中矢印Ｂ方向）。
【００４３】
駆動部１３は、一定の力でダイス部５をガイド部３側に押し付ける。ダイス部５内の圧力変動が生じると、駆動部１３は、ガイド部３の方向（図中下方）に対するダイス部５の押圧力を調整する。すなわち、駆動部１３はダイス部５の内部の圧力調整部として機能する。このように、駆動部１３を動作させることで、ダイス部５の内部を一定の圧力で保持するように調整することができる。なお、駆動部１３は、ダイス部５の重心近傍に設置される。ダイス部５をガイド部３に対して平行に上下動させるためである。
【００４４】
このようにすることで、長尺部材１５とダイス部５の隙間（特に出口部）が所定のクリアランスとなるように調整される。したがって、ダイス部５に付与する荷重やダイス部５内に供給する塗膜材１７の圧力を制御することで、所望の膜厚の薄膜を形成することができる。なお、長尺部材１５の厚み変動が小さい場合や、塗膜材１７の厚み変化の許容幅が大きい場合には、駆動部１３等による制御は、必ずしも必要ではない。
【００４５】
次に、長尺部材１５の表面に塗膜材１７に塗膜を形成する方法について説明する。長尺部材１５は、ホビン等から供給装置（図示省略）により、長尺部材１５前処理装置（図示省略）へ送られる。供給装置から連続して巻き出される長尺部材１５は、前処理装置によっての表面の洗浄・表面改質が行われる。例えば、走行する長尺部材１５に対して所定の成分のガス（プラズマが望ましい）や液体を照射もしくは浸漬して長尺部材１５の表面の洗浄や表面改質が行われる。
【００４６】
前処理装置の後工程には塗布装置１が配置される。なお、前処理装置から塗布装置１にかけては不活性ガスを満たす等により長尺部材１５が外気にさらされない構造にするのが望ましい。塗布装置１に導入された長尺部材１５は、前述の通り、ダイス部５の内部において、塗膜材１７と接触する。ダイス部５内部を長尺部材１５が通過する際、長尺部材１５の表面に塗膜材１７が付着する。長尺部材１５がダイス部５から導出する際に、長尺部材１５の上面と、ダイス部５の内面とのクリアランスに応じた厚みの塗膜材１７が持ち出される。
【００４７】
ここで、図２に示すように、長尺部材１５の両側部には、クリアランスが形成される。したがって、このクリアランスには、塗膜材１７が回り込む。さらに、長尺部材１５の側方に回り込んだ塗膜材１７は、長尺部材１５の下方において、支持部９ｂと長尺部材１５の下面の隙間に浸入する。なお、長尺部材１５の下面は支持部９ｂと接触するが、長尺部材１５は支持部９ｂに対して摺動するため、わずかに隙間が生じる場合がある。したがって、塗膜材１７が長尺部材１５の下面側に入り込む恐れがある。
【００４８】
しかし、本発明では、支持部９ｂの側方（内側）に溝部７が形成されるため、長尺部材１５の下面側に塗膜材１７が回り込んでも、塗膜材１７は溝部７に流出する（図中矢印Ｄ方向）。したがって、少なくとも支持部９ｂ以外の部位において、長尺部材１５の下面に塗膜材１７が塗布されることがない。
【００４９】
なお、溝部７に排気部を接続することで、溝部７内を負圧にすることができる。溝部７内を負圧にしておくことで、長尺部材１５をより確実に支持部９ｂに押し付けることが可能である。また、長尺部材１５と支持部９ｂとの隙間に入り込んだ塗膜材１７を溝部７内に効率良く排出することができる。
【００５０】
このようにして、長尺部材１５に塗膜材１７が塗布された後、図示を省略した乾燥・熱処理装置によって、塗膜材１７を乾燥し、所望の厚みの薄膜が形成される。また、薄膜が形成された長尺部材１５が図示を省略した巻き取り装置によって巻き取られる。このようにして、薄膜非形成部を有する長尺部材を形成することができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、塗膜材１７が長尺部材１５の裏面側に回り込んだとしても、溝部７から塗膜材１７を排出することができるため、長尺部材１５の裏面に薄膜非形成部を形成することができる。この際、薄膜非形成部に対して、揮発性の溶剤などを塗布する必要がない。したがって、製造が容易である。
【００５２】
また、長尺部材１５の下面側に回り込んだ塗膜材１７は、溝部７に排出することが可能である。このため、当該部位の塗膜材１７の圧力によって長尺部材１５が浮き上がり、ますます塗膜材１７が長尺部材１５の下面側に入り込むことがない。また、長尺部材１５がガイド部３側に押しつけられるため、長尺部材１５とダイス部５とのクリアランスが変動しにくい。特に、従来のように長尺部材１５の下面全体がガイド部３と接触しないため、支持部９ｂと長尺部材１５との面圧が高くなり、塗膜材１７の隙間への浸入が抑制される。
【００５３】
さらに、塗膜材１７は、ほとんどが長尺部材１５の上面に塗布される。このため、長尺部材１５の上面への塗膜材１７の塗布量が略一定に保たれる。したがって、長尺部材１５の上面側の塗膜材１７の厚みの精度が高い。
【００５４】
また、排気部を配置し、溝部７内を排気し、溝部７内部を負圧とすることで、より確実に塗膜材１７を溝部７に排出することができる。
【００５５】
また、長尺部材１５の両側端部のみではなく、幅方向の略中央部に支持部９ａを形成することで、塗膜材１７の圧力による長尺部材１５の変形を防止することができる。
【００５６】
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、塗布装置２０を示す側方断面図であり図４のＨ−Ｈ線断面図である。また、図４は、図３のＧ−Ｇ線断面図である。なお、以下の説明において、塗布装置１と同様の構成については、図１、図２と同様の符号を付し、重複する説明を省略する。塗布装置２０は、塗布装置１と同様の構成を具備するが、ガイド部２１がローラ状に形成される点で異なる。
【００５７】
ダイス部５の下面側は、ガイド部２１に対向するように配置される。なお、ダイス部５の下面側の形状を、ガイド部２１の外周形状に沿って円弧状に形成してもよい。
【００５８】
図３に示すように、長尺部材１５は、ガイド部２１とダイス部５の間に導入される。なお、長尺部材１５は、ガイド部２１の中心に対するダイス部５の設置方向に略垂直な方向からガイド部２１とダイス部５の間に導入される。ガイド部２１は、長尺部材１５の入り口側から出口側に向かう方向に回転する（図中矢印Ｅ方向）。すなわち、長尺部材１５は、ガイド部２１の外周面の移動とともにダイス部５の内部を移動する。
【００５９】
また、図４に示すように、ガイド部２１の両側部には、支持部９ｂが形成される。また、ガイド部２１の幅方向の略中央には、支持部９ａが形成される。支持部９ｂと支持部９ａとの間が溝部７となる。
【００６０】
長尺部材１５の上面への塗膜材１７の塗布方法は、塗布装置１と同様である。また、荷重検出部１１および駆動部１３の制御方法は、塗布装置１と同様である。すなわち、ダイス部５に導入された長尺部材１５の上面には、所定量の塗膜材１７が塗布されて、ダイス部５から導出される。ダイス部５から導出した長尺部材１５は、必要に応じてガイド部２１とともに、進行方向を変えながら、次工程に送られる。
【００６１】
ここで、溝部７内に排出された塗膜材１７は、重力およびガイド部２１の回転とともに、下方に移動する。ガイド部２１の溝部７の内部には、スクレパーなどの塗膜材回収機構２３が配置される。塗膜材回収機構２３は、溝部７の底部や内側面に付着している塗膜材１７を除去し、回収することができる（図中矢印Ｆ方向）。
【００６２】
以上、第２の実施の形態にかかる塗布装置２０によれば、塗布装置１と同様の効果を奏する。また、長尺部材１５はガイド部２１の外周面（支持部９ｂ）に密着した状態で、ガイド部２１とともに移動するため、長尺部材１５とガイド部２１とが摺動することがない。したがって、長尺部材１５とガイド部２１との間に隙間が形成されにくい。
【００６３】
また、長尺部材１５と支持部９ｂとの隙間に塗膜材１７が浸入した場合でも、即座に塗膜材１７を溝部７に排出することができる。したがって、長尺部材１５の下面側に塗膜材１７が塗布されない薄膜非形成部を確実に形成することができる。
【００６４】
また、溝部７に排出された塗膜材１７は、塗膜材回収機構２３によって溝部７内から除去して回収することができる。したがって、溝部７内に排出された塗膜材１７が、再度長尺部材１５に付着することを防止することができる。また、回収された塗膜材１７を再利用することもできる。
【００６５】
なお、塗膜材回収機構２３の配置される部位から、ガイド部２１が長尺部材１５と再度接触する部位との間に、さらに、溝部７および支持部９ａ、９ｂ等を洗浄する洗浄部材を配置してもよい。例えば、揮発性の溶剤等によって、溝部７および支持部９ａ、９ｂ等に残存する塗膜材１７を洗浄してもよい。
【００６６】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００６７】
１、２０………塗布装置
３、２１………ガイド部
５………ダイス部
７………溝部
９ａ、９ｂ………支持部
１１………荷重検出部
１３………駆動部
１５………長尺部材
１７………塗膜材
２３………塗膜材回収機構
１００………塗布装置
１０１………ガイド部
１０３………ダイス部
１０５………長尺部材
１０７………塗膜材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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