(57)【要約】【課題】限られた磁気記録再生装置の電源電力により、有効なマイクロ波アシスト記録のためマイクロ波磁界強度を発生させるには、磁気ヘッドスライダに形成されたマイクロ波発生素子に効率よくマイクロ波励振電流を供給する必要がある。【解決手段】マイクロ波発生素子に接続される接地配線を、導電性を有するスライダ基材に接続することで、接地配線を短縮することにより、マイクロ波発生素子を短絡端状態とする。これによりマイクロ波発生素子に効率よくマイクロ波励振電流を供給することができ、有効なマイクロ波アシスト記録ができる。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体に記録信号磁界を印加する記録ヘッド素子と、前記記録信号磁界を印加する際にマイクロ波磁界を前記磁気記録媒体に印加するマイクロ波発生素子と、を有する磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを支持するように構成されるとともにマイクロ波信号を伝送する線路を有するサスペンションと、を有する磁気ヘッドであって、マイクロ波発生素子がほぼ短絡端状態であることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記マイクロ波発生素子が、導電性を有しかつ接地されているヘッドスライダ基材に、接地配線により接続されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドスライダ基材がアルチック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）であることを特徴とする請求項1または２に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記マイクロ波磁界の周波数が、1-50GHzであることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記接地配線長が、前記マイクロ波磁界の周波数において、波長の１／６以下であることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
前記接地配線が、ヘッドスライダの媒体対向面に露出していないことを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の磁気ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかに記載の磁気ヘッドを搭載し、磁気記録媒体に記録ヘッド素子より記録信号磁界を印加する際に、マイクロ波磁界を印加することにより、磁気記録媒体への信号記録をアシストすることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録用の磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置に関し、より詳細には、マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置である磁気ディスク装置の記録密度の向上が求められている。高密度記録において必要な記録信号品質（Ｓ／Ｎ比）を確保するためには、面記録密度の向上に従って磁気記録媒体を構成する磁性粒子を縮小する必要があるが、縮小された磁性粒子は熱揺らぎによる磁化消失を起しやすい。これを防止し安定な磁化状態を維持するために、磁性粒子の磁気異方性エネルギーを高める必要がある。磁気異方性エネルギーの高い材料を用いた場合、磁気記録媒体の保磁力は大きくなり、この磁気記録媒体に信号記録を行うためには強い記録磁界が必要となる。一方、記録ヘッド素子が発生する磁界強度は、記録ヘッド素子の材料及び形状で制限されるため、記録が困難となる。
【０００３】
この技術課題を解決するために、記録の際、磁気記録媒体に補助的にエネルギーを与えて実効的な保磁力を低下させ、媒体への信号記録（磁性粒子の磁化反転）をアシストするエネルギーアシスト記録が提案されている。補助的なエネルギー源としてマイクロ波磁界を用いた記録方式は、マイクロ波アシスト磁気記録（Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ  ：  ＭＡＭＲ）と呼ばれている。（非特許文献１）。
【０００４】
マイクロ波アシスト磁気記録においては、マイクロ波磁界を磁気ヘッドの記録ヘッド素子近傍に配置されたマイクロ波発振子で発生させる方式（自励方式）と、磁気ヘッドとは独立したマイクロ波信号発生回路からマイクロ波励振電流を記録ヘッド素子近傍に形成されたマイクロ波発生素子に供給し、マイクロ波磁界を発生させる方式（他励方式）とが知られている。他励方式では、マイクロ波発生素子にマイクロ波励振電流を供給するためのマイクロ波伝送線路をサスペンション上、およびヘッドスライダのマイクロ波発生素子形成面に設ける必要がある。
【０００５】
特許文献１に、マイクロ波信号の伝送損失を改善するための、サスペンション上に設けるマイクロ波伝送線路が提案されている。これによるとマイクロ波伝送線路の上下に位置するシールドおよびこれらのシールドを接続する導体柱の位置関係により、マイクロ波伝送線路の特性インピーダンスを制御することで、マイクロ波信号を効率的に伝送することを可能としている。
【０００６】
また、特許文献２に記載されているように、フレキシブル・プリント・ケーブル（ＦＰＣ）の信号線を並列接続した複数の導体線により構成することで、信号線のインダクタンスを低減させ、記録再生信号の伝送損失を抑制する方法が提案されているが、マイクロ波の伝送、損失低減については示唆されていない。
【０００７】
どちらも、サスペンション上に形成される伝送線路の特性改善についての提案であり、これまで、ヘッドスライダ側面（素子形成面）に形成するマイクロ波発生素子配線による、マイクロ波信号（励振電流）の伝送特性改善に関しては提案されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−７３２９７号公報
【特許文献２】特開平９−２５１８１３号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】Ｊｉａｎ−Ｇａｎｇ  Ｚｈｕ，  Ｘｉａｏｃｈｕｎ  Ｚｈｕ，  ａｎｄ  Ｙｕｈｕｉ  Ｔａｎｇ，  ‘Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ’  ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，  ＶＯＬ．  ４４，  ＮＯ．  １，  ＪＡＮＵＡＲＹ  ２００８．
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
有効なマイクロ波アシスト記録のためには、所定のマイクロ波磁界強度が必要である。限られた磁気記録再生装置の電源電力により所定のマイクロ波磁界を効率的に発生させるためには、マイクロ波励振電流を効率よくマイクロ波発生素子に供給することが必要であるという課題がある。これは磁気記録再生装置の省電力の観点からも重要である。
【００１１】
マイクロ波信号や記録再生信号を効率よく伝送するための伝送損失改善を目的として、特許文献１、並びに特許文献２には、サスペンション上の伝送線路のみの特性インピーダンス制御が開示されているが、ヘッドスライダ上のマイクロ波発生素子にマイクロ波励振電流を効率良く供給するためには、サスペンション上のマイクロ波伝送線路の特性インピーダンスを制御するだけでは不充分であり、ヘッドスライダに形成されるマイクロ波発生素子に接続される配線の最適設計が必要である。
【００１２】
しかしながら、特許文献１、２にはマイクロ波素子およびヘッドスライダに形成される配線の最適化については何ら開示されていない。
【００１３】
本発明は、前記問題点を鑑みてなされたものであり、マイクロ波励振電流を効率よくマイクロ波発生素子に供給するための、ヘッドスライダに形成されるマイクロ波素子に接続される配線の最適化により、限られた電力で所定のマイクロ波磁界強度を発生させることのできる磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的は以下の手段によって達成される。
【００１５】
即ち、前記目的を達成する本発明は、磁気記録媒体に記録磁場を印加する記録ヘッド素子と、前記記録信号磁界を印加する際にマイクロ波磁界を前記磁気記録媒体に印加するマイクロ波発生素子と、を有するヘッドスライダを支持するように構成されるとともにマイクロ波信号を伝送する線路を有するサスペンションと、を有する磁気ヘッドであって、マイクロ波発生素子がほぼ短絡端状態であることを特徴とする磁気ヘッドである。
【００１６】
前記目的を達成する磁気ヘッドにおいて、前記マイクロ波発生素子が、導電性を有しかつ接地されているヘッドスライダ基材に、接地配線により接続されていることを特徴とする。
【００１７】
前記目的を達成する磁気ヘッドにおいて、前記スライダ基材がアルチック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）であることを特徴とする。
【００１８】
前記目的を達成する磁気ヘッドにおいて、前記マイクロ波磁界の周波数が、1-50GHzであることを特徴とする。
【００１９】
前記目的を達成する磁気ヘッドにおいて、前記接地配線長が、前記マイクロ波磁界の周波数において、波長の１／６以下であることを特徴とする。
【００２０】
前記目的を達成する磁気ヘッドにおいて、前記接地配線が、ヘッドスライダの媒体対向面に露出していないことを特徴とする。
【００２１】
前記目的を達成する本発明は、前記磁気ヘッドを搭載し、磁気記録媒体に記録ヘッド素子より記録信号磁界を印加する際に、マイクロ波磁界を印加することにより、磁気記録媒体への信号記録をアシストすることを特徴とする磁気記録再生装置である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、マイクロ波発生素子において、高周波回路におけるマイクロ波信号が略全反射状態となる、ほぼ短絡端状態とすることにより、効率よくマイクロ波励振電流をマイクロ波素子に供給することができる。これにより限られた磁気記録再生装置の電力においてマイクロ波アシストに有効な所定のマイクロ波磁界強度を発生させることができる。
課題と効果は基本的に同じ内容になりますので、ここに色々な効果を記載するのであれば課題のところにも記載する必要があります。ただ、課題と効果はそれぞれこれらの段落のみで良いように思います。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】磁気記録再生装置（磁気ディスク装置）の模式図
【図２】磁気ヘッドの平面図および側面図
【図３】磁気ヘッド先端部の拡大図
【図４】磁気ヘッドスライダの概略斜視図
【図５】磁気ヘッドスライダの断面図
【図６】マイクロ波アシスト磁気記録方式の原理を説明する模式図
【図７】従来のマイクロ波伝送配線を示す模式図。
【図８】従来のマイクロ波伝送配線の電流特性を示す図。
【図９】本発明の実施形態の接地配線を示す模式図。
【図１０】本発明の実施形態のマイクロ波発生素子の電流特性を示す図。
【図１１】本発明の別の実施形態の接地配線を示す模式図。
【図１２】本発明の別の実施形態のマイクロ波発生素子の電流特性を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図面中の構成要素及び構成要素間の寸法は、図面の見易さのため、実際の構成と異なっている場合がある。
【００２５】
図１に、磁気記録再生装置の模式図を示す。磁気記録再生装置１は、磁気記録媒体（磁気ディスク）１０と、磁気ヘッド１２と、を有している。磁気記録媒体１０、および磁気ヘッド１２の数に制約はなく複数設けられてもよい。磁気ヘッド１２は、ヘッドスライダ１３と、磁気ヘッドスライダ１３を支持するサスペンション９と、から構成されている。磁気記録媒体１０は、スピンドルモータ１１によって、その回転軸を中心に回転する。ヘッドスライダ１３は、磁気記録媒体１０に対してデータ信号の書込み及び読出しを行う。本発明の実施の形態においては、ヘッドスライダ１３は磁気記録媒体１０に対して、少なくともデータ信号の書込みができればよい。磁気ヘッド１２は、ピボットベアリング軸１５を中心に回動可能なアーム１８に固定されている。磁気ヘッド１２と駆動アーム１８を合わせた構造はヘッドアームアセンブリ１７と呼ばれることがある。サスペンション９は、ＶＣＭ（ボイスコイルモータ）１４によって、磁気記録媒体１０上でヘッドスライダ１３の位置決めを行う。記録再生及び共鳴制御回路１９はヘッドスライダ１３の書込み及び読出し動作を制御すると共に、後述する強磁性共鳴用のマイクロ波励振電流を制御する。より具体的には、記録再生及び共鳴制御回路１９は、後述するマイクロ波信号伝送線路２２ｃに接続されたマイクロ波信号発生回路１９ａと、マイクロ波信号発生回路１９ａの制御部１９ｂと、を備えている。
【００２６】
以下の説明は、図１に示す構成に基づいて行う。
【００２７】
図２Ａ，２Ｂに、磁気ヘッド１２の平面図（磁気記録媒体側から見た下面図）及び側面図を示す。サスペンション９は、その一端側に磁気ヘッドスライダ１３が取り付けられたフレクシャ２１と、フレクシャ２１の表面に形成された伝送線路２２と、ヘッドスライダ１３を所定の圧力で磁気記録媒体１０の表面に押し付けるロードビーム２０とを有している。フレクシャ２１は弾性変形可能であり、ヘッドスライダ１３を磁気記録媒体１０の表面の変動に追従させるジンバル機能を有している。フレクシャ２１はロードビーム２０に連結され、ロードビーム２０は磁気記録媒体上でヘッドスライダ１３の位置決めを行う駆動アーム１８に接続されている。
【００２８】
図３は磁気ヘッド１２の先端部拡大図である。同図に伝送線路２２の経路を模式的に示す。
【００２９】
伝送線路２２は、ヘッドスライダ１３の記録ヘッド素子への記録信号を伝送するための記録信号伝送線路２２ａと、再生ヘッド素子から再生出力電圧を取り出すための再生信号伝送線路２２ｂと、マイクロ波発生素子にマイクロ波励振電流を供給するためのマイクロ波信号伝送線路（励振電流用伝送線路）２２ｃと、マイクロ波素子の他端を接地するためのマイクロ波伝送線路２２ｄと、を有している。マイクロ波伝送線路２２ｄは接地端子２３においてフレクシャ２１に接地されている。伝送線路２２は、磁気ヘッドの機能に応じて、浮上量を調整するためのヒーター用伝送線路、浮上量を検出するセンサー用伝送線路（共に図示せず）を含んでいてもよい。各伝送線路２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、２２ｄは、典型的には銅で形成されている。
【００３０】
図４は、本実施形態におけるヘッドスライダ１３の全体を概略的に示す斜視図である。ヘッドスライダ１３は、適切な浮上量を得るように加工されたＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）３０ａを有するヘッドスライダ基板３０と、ＡＢＳ３０ａと垂直な素子形成面３０ｂに設けられた磁気ヘッド素子３１と、磁気ヘッド素子３１を覆うように素子形成面３０ｂ上に設けられた保護部３２と、保護部３２の表面から露出している６つの端子電極３３、３４、３５、３６、３７及び３８を備えている。端子電極３３、３４、３５、３６、３７及び３８は、図５に示された位置に限定されるものではなく、この素子形成面３０ｂのどの位置にどのような配列で設けてもよい。ヒーターやセンサーを備えている場合は、それらに電気的に接続される端子電極が設けられる。
【００３１】
ヘッドスライダ１３は主に、磁気記録媒体からデータ信号を読出すための磁気抵抗効果（ＭＲ）再生ヘッド素子３１ａと、磁気記録媒体にデータ信号を書込むための記録ヘッド素子３１ｂと、から構成されている。端子電極３３，３４はＭＲ再生ヘッド素子３１ａに電気的に接続されており、端子電極３７，３８は記録ヘッド素子３１ｂに電気的に接続されており、端子電極３５、３６は後述するマイクロ波発生素子３９に電気的に接続されている。
【００３２】
各伝送線路２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、２２ｄの磁気ヘッドスライダ１３側の先端は、本実施形態では、ボールボンディングによって記録ヘッド素子３１ｂ、再生ヘッド素子３１ａ及びマイクロ波発生素子３９の端子電極に接続されている。ボールボンディングの代わりにワイヤボンディングによって各伝送線路２２ａ，２２ｂ，２２ｃ、２２ｄと端子電極とを接続してもよい。
【００３３】
ＭＲ再生ヘッド素子３１ａ及び記録ヘッド素子３１ｂにおいては、各素子の端部がＡＢＳ３０ａ（より詳細には、ＡＢＳ３０ａの磁気ヘッドスライダ端面３０ｄ）に位置している。これらＭＲ再生ヘッド素子３１ａ及び記録ヘッド素子３１ｂの一端が磁気記録媒体と対向することによって、信号磁界の感受によるデータ信号の再生と信号磁界の印加によるデータ信号の記録とが行われる。ＡＢＳ３０ａに面する各素子の端部及びその近傍には、保護のために極めて薄いダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等のコーティングが施されている。
【００３４】
図５は、図４のＡ−Ａ線に沿った断面図である。アルチック（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）等からなるヘッドスライダ基板３０の素子形成面３０ｂ上に、ＭＲ再生ヘッド素子３１ａと、記録ヘッド素子３１ｂと、マイクロ波発生素子３９と、これらの素子を保護する保護部３２とが主に形成されている。
【００３５】
ＭＲ再生ヘッド素子３１ａは、ＭＲ積層体３１ａ１と、この積層体を挟む位置に配置されている下部シールド層３１ａ２及び上部シールド層３１ａ３とを含んでいる。ＭＲ積層体３１ａ１は、面内通電型（ＣＩＰ）ＧＭＲ多層膜、垂直通電型（ＣＰＰ）ＧＭＲ多層膜、またはＴＭＲ多層膜からなっており、磁気記録媒体からの信号磁界を感受する。下部シールド層３１ａ２及び上部シールド層３１ａ３は、ＭＲ積層体３１ａ１にとって雑音となる外部磁界の影響を受けることを防止する。
【００３６】
記録ヘッド素子３１ｂは垂直磁気記録用の構成を有している。具体的には、記録ヘッド素子３１ｂは、主磁極層３１ｂ１と、トレーリングギャップ層３１ｂ２と、主磁極層３１ｂ１と補助磁極層３１ｂ５との間を通過するように形成された書込みコイル３１ｂ３と、書込みコイル絶縁層３１ｂ４と、補助磁極層３１ｂ５と、補助シールド層３１ｂ６と、リーディングギャップ層３１ｂ７と、を備えている。主磁極層３１ｂ１は記録ヘッド素子３１ｂの主磁極であり、データ信号の書込み時に主磁極層３１ｂ１のＡＢＳ３０ａ側の端部から書込み磁界を発生する。
【００３７】
主磁極層３１ｂ１は、書込みコイル３１ｂ３に書込み電流が印加されることによって発生した磁束を、書込みがなされる磁気記録媒体の磁気記録層まで収束させながら導くための導磁路であり、主磁極ヨーク層３１ｂ１１及び主磁極主要層３１ｂ１２から構成されている。
【００３８】
補助磁極層３１ｂ５及び補助シールド層３１ｂ６は、それぞれ、主磁極層３１ｂ１のトレーリング側及びリーディング側に配置されている。
【００３９】
補助磁極層３１ｂ５及び補助シールド層３１ｂ６のＡＢＳ３０ａ側の端部は、それぞれ、他の部分よりも層断面が広いトレーリングシールド部３１ｂ５１及びリーディングシールド部３１ｂ６１となっている。トレーリングシールド部３１ｂ５１は、主磁極層３１ｂ１のＡＢＳ３０ａ側の端部とトレーリングギャップ層３１ｂ２を介して対向している。また、リーディングシールド部３１ｂ６１は、主磁極層３１ｂ１の磁気ヘッドスライダ端面３０ｄ側の端部とリーディングギャップ層３１ｂ２を介して対向している。このようなトレーリングシールド部３１ｂ５１及びリーディングシールド部３１ｂ６１を設けることにより、磁束のシャント効果によって、トレーリングシールド部３１ｂ５１と主磁極層３１ｂ１の端部との間、及びリーディングシールド部３１ｂ６１の端部と主磁極層３１ｂ１の端部との間における記録磁界の磁界勾配がより急峻になる。この結果、信号出力のジッタが小さくなって読出し時のエラーレートを小さくすることができる。
【００４０】
補助磁極層３１ｂ５または補助シールド層３１ｂ６を適切に加工して、補助磁極層３１ｂ５または補助シールド層３１ｂ６の一部を、主磁極層３１ｂ１のトラック幅方向の両側近傍に配置して、いわゆる側面シールドを付与することも可能である。
【００４１】
主磁極層３１ｂ１の主磁極主要層３１ｂ１２と、補助磁極層３１ｂ５のトレーリングシールド部３１ｂ５１との間に、マイクロ波発生素子３９が形成されている。
【００４２】
図６は、マイクロ波アシスト磁気記録方法の原理を説明するための断面図である。  端子電極からマイクロ波励振電流を供給することにより、マイクロ波発生素子３９は、マイクロ波磁界を発生し、近接した磁気記録媒体１０にマイクロ波磁界を印加する。磁気記録媒体１０は、垂直磁気記録用であり、ディスク基板１０ａ上に、磁化配向層１０ｂと、磁束ループ回路の一部として働く軟磁性裏打ち層１０ｃと、中間層１０ｄと、磁気記録層１０ｅと、保護層１０ｆとを順次積層した多層構造となっている。
【００４３】
磁化配向層１０ｂは、軟磁性裏打ち層１０ｃにトラック幅方向の磁気異方性を付与することによって、軟磁性裏打ち層１０ｃの磁区構造を安定させて、再生出力波形におけるスパイク状ノイズの抑制を図っている。中間層１０ｄは、磁気記録層１０ｅの磁化の配向及び粒径を制御する下地層の役割を果たしている。
【００４４】
磁気記録層１０ｅの強磁性共鳴周波数ＦＭＲは、磁気記録層１０ｅを構成する磁性粒子の形状、サイズ、構成元素、磁気特性、磁化状態や、記録磁場の強度等により決定される固有の値であるが、概ね１〜５０ＧＨｚ程度となっている。
【００４５】
マイクロ波発生素子３９を構成する導体にマイクロ波励振電流を流すことによって、マイクロ波発生素子３９の周囲にマイクロ波磁界が発生する。マイクロ波発生素子３９は磁気記録媒体に近接しているため、磁気記録媒体内において磁気記録媒体の略面内方向に共鳴用磁界８０が印加される。この共鳴用磁界８０は、磁気記録媒体１０の磁気記録層１０ｅへ記録磁場が印加された状態における磁化の強磁性共鳴周波数ＦＭＲまたはその近傍の周波数を有するマイクロ波帯域の高周波磁界である。
【００４６】
記録ヘッド素子３１ｂの主磁極層３１ｂ１より磁気記録層に印加される垂直記録磁界８１に、共鳴用磁界８０を重畳印加することによって、磁気記録層１０ｅの保磁力を効率良く低減させることができる。その結果、書込みに必要となる垂直方向（磁気記録層１０ｅの表層面に垂直または略垂直な方向）の書込み磁界強度を大幅に低減することができる。保磁力を低減させることによって、磁化反転し易くなるため、小さい記録磁界で効率よく記録を行うことができる。
【００４７】
図７は、マイクロ波発生素子および従来の配線構成を、磁気ヘッドスライダ13の素子形成面３０ｂから見た図である。ヘッドスライダ13のABS面に露出するマイクロ波発生素子39と、端子電極３６，３５が、それぞれ供給配線40，接地配線41により電気的に接続されている。マイクロ波伝送線路２２ｃより、端子電極３６、供給配線40を経由して、マイクロ波励振電流をマイクロ波発生素子39に供給することにより、マイクロ波発生素子39はマイクロ波磁界を発生し、近接した磁気記録媒体10にマイクロ波磁界を印加する。
【００４８】
マイクロ波素子３９は、接地配線４１、端子電極３５、サスペンション上に形成されたマイクロ波伝送線路２２ｄを経由して、接地端子２３においてフレクシャ２１に接地されている。
【００４９】
マイクロ波素子３９から発生するマイクロ波磁界を強めるには、マイクロ波励振電流を効率的に供給することが必要であり、そのためにはマイクロ波発生素子部がほぼ短絡端状態にあることが好ましい。即ち、マイクロ波発生素子を接地するための接地側線路（接地配線４１および伝送線路２２ｄ）は、できる限り短いことが好ましい。
【００５０】
図８に、上記従来構造における、 マイクロ波発生素子から（←Ａ方向から）接地側線路を見込んだ接地側線路の電気長に対するマイクロ波発生素子の規格化マイクロ波電流を示す。
【００５１】
マイクロ波信号周波数３０ＧＨｚを印加した場合、接地配線４１とマイクロ波伝送線路２２ｄを合わせた長さは電気長約60°、即ちマイクロ波信号の波長の１／６に相当し、理想的な短絡端の場合の規格化マイクロ波励振電流値１に対して、０．５ しか流れないことがわかる。これに伴いマイクロ波磁界も小さくなる。
【００５２】
従来行われる、サスペンション上に形成されるマイクロ波伝送線路の特性インピーダンスで終端されている場合に対して、理想的な短絡端ではマイクロ波励振電流が2倍流れる。上記の結果から、接地側線路の電気長がマイクロ波周波数の波長の１／６ 以下であれば、従来に対してマイクロ波励振電流を増加させることができる。
【００５３】
本発明実施の形態の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体、これを回転させるためのスピンドルモータ、磁気ヘッドを磁気記録媒体の半径方向に回動させ所定の半径に位置決めするためのVCM、記録再生動作を制御する記録再生制御回路、マイクロ波励振電流を制御する共鳴制御回路、さらに記録ヘッド素子、再生ヘッド素子及び上記のマイクロ波発生素子を有する磁気ヘッドを搭載することにより、マイクロ波アシスト可能な磁気記録再生装置を構成することができる。
【実施例】
【００５４】
図９に、本発明の実施例として、マイクロ波素子３９を接地配線４１aのみにより、導電性を有しかつ接地されているヘッドスライダ基材３０に、接続された構造を示す。ヘッド基材材料はアルチックである。図９aは素子形成面からみた平面図であり、図９bは図９aにおけるA-A断面図である。説明を容易にするため記録ヘッド素子、再生ヘッド素子は省略しているが、接地配線４１aはこれらの素子に干渉しないようにヘッドスライダ基材３０に接続されている。この場合、伝送線路２２ｄは不要となり、接地配線４１aも短くなるため、マイクロ波素子部は短絡端状態に近づく。
【００５５】
図１０に、本実施例におけるマイクロ波発生素子から（←Ｂ方向から）接地配線４１aを見込んだ、接地配線４１aの電気長に対するマイクロ波発生素子の規格化マイクロ波励振電流を示す。
【００５６】
マイクロ波信号周波数３０ＧＨｚを印加した場合、接地配線４１aの長さは電気長約１０°に相当し、短絡端の場合の規格化マイクロ波励振電流値１に対して、０．９８５となり、大幅に改善していることがわかる。これに伴いマイクロ波磁界は大きくなる。
【００５７】
なお、接地配線４１aは、ABSに露出していないため、接地配線４１aから発生する不要なマイクロ波磁界が媒体に印加されることはない。
【００５８】
図１１に、本発明の別の実施例として、マイクロ波素子を、さらに短くした接地配線４１bのみにより、導電性を有しかつ接地されているヘッドスライダ基材３０に接続された構造を示す。ヘッド基材材料はアルチックである。図１１aは素子形成面からみた平面図であり、図１１bは図１１aにおけるA-A断面図である。説明を容易にするため記録ヘッド素子、再生ヘッド素子は省略しているが、接地配線４１bはこれらの素子に干渉しないようにヘッドスライダ基材３０に接続接地されている。この場合マイクロ波素子部は、ほぼ短絡端状態となる。
【００５９】
図１２に、本実施例における マイクロ波発生素子から接地配線４１bを見込んだ（←Ｃ方向から）、接地配線４１bの電気長に対するマイクロ波発生素子の規格化マイクロ波励振電流を示す。
【００６０】
マイクロ波信号周波数３０ＧＨｚを印加した場合、接地配線４１bの長さは電気長約５°に相当し、短絡端の場合の規格化マイクロ波励振電流値１に対して、０．９９３となり、ほぼ短絡端状態となっていることがわかる。これに伴いマイクロ波磁界は大きくなる。
【００６１】
なお、接地配線４１bは、ABSに露出していないため、接地配線４１bから発生する不要なマイクロ波磁界が媒体に印加されることはない。
【００６２】
上記実施例は、フレクシャとロードビームより構成されるヘッドジンバルアセンブリを前提としているが、フレクシャの厚みや材質、また形状（例えばヘッドアーム取り付け方向に向かい徐々に幅を広げるなど）により、上記実施例ではロードビームが担っていた磁気ヘッドスライダを所定の圧力で磁気記録媒体の表面に押し付ける機能を持たせることが可能である。このようなフレクシャのみで構成されるヘッドジンバルアセンブリにおいても、同様の効果が得られることは明らかである。
【符号の説明】
【００６３】
１      磁気記録再生装置
９      サスペンション
１０    磁気記録媒体
１０ａ  ディスク基板
１０ｂ  磁化配向層
１０ｃ  軟磁性裏打ち層
１０ｄ  中間層
１０ｅ  磁気記録層
１１    スピンドルモータ
１２    磁気ヘッド
１３    ヘッドスライダ
１９  記録再生及び共鳴制御回路
２０    ロードビーム
２１    フレクシャ
２２    伝送線路
２２ａ  記録信号伝送線路
２２ｂ  再生信号伝送線路
２２ｃ  マイクロ波信号伝送線路
２２ｄ  マイクロ波信号伝送線路
２３    接地端子
３０    ヘッドスライダ基板
３０ａ  ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）
３０ｂ  素子形成面
３１    磁気ヘッド素子
３２    保護部
３３、３４、３５、３６、３７、３８    端子電極
３１ａ  再生ヘッド素子
３１ｂ  記録ヘッド素子
３９    マイクロ波発生素子
４０    供給配線
４１    接地配線
４２    接地部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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