(57)【要約】【課題】簡単な機構を用いて反射部材の反射面を種々の形状に容易に変形可能とする。【解決手段】照明光ＩＬを反射するデフォーマブルミラー５０であって、照明光ＩＬを反射する反射面２２ｄを有するミラー要素２２と、ミラー要素２２の周辺部の保持部２２ａを保持するホールドブロック２３Ａと、ミラー要素２２の反射面２２ｄの裏面２２ｅに対して裏面２２ｅに向かう方向の力を与えて、その裏面２２ｅに向かう方向に関する第１位置と第２位置との間で反射面２２ｄを変形させる複数の駆動ユニット５８と、を備え、駆動ユニット５８から裏面２２ｅに対して裏面２２ｅに向かう方向の力が付与されていないときに、反射面２２ｄはその第２位置にある。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を反射する変形可能な反射光学素子であって、
光を反射する反射面を有する反射部材と、
前記反射部材の周辺部を保持する保持部と、
前記反射部材の前記反射面の裏面に対して所定方向の力を与えて、前記所定方向に関する第１位置と第２位置との間で、前記反射面を変形させる少なくとも一つの駆動部と、を備え、
前記駆動部から前記裏面に対して前記所定方向の力が付与されていないとき、前記反射面は前記第２位置にあることを特徴とする変形可能な反射光学素子。
【請求項２】
前記反射部材は、弾性変形可能な材料で形成され、
前記所定方向の力は、前記裏面に向かう方向の力であり、
前記第２位置は、前記反射面の変形可能範囲のうち、前記所定方向に関する前記第１位置よりも前記裏面側にあることを特徴とする請求項１に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項３】
前記駆動部から前記裏面に対して前記所定方向の力が付与されていないときに、前記反射部材の前記反射面は非球面形状を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項４】
前記駆動部から前記裏面に対して前記所定方向の力が付与されていないときに、前記反射部材の前記反射面は、前記裏面側に凹となるように形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項５】
前記駆動部は、前記反射部材の前記裏面に接触可能に配置された凸状部材と、前記凸状部材を前記裏面側に付勢するアクチュエータとを有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項６】
前記駆動部は、前記反射部材の前記裏面側に格子状に複数個配置されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項７】
前記所定方向の力は、前記裏面に向かう方向の力であり、
前記反射部材の周辺部に、前記裏面に向かう方向の力とは反対方向の力を付与する少なくとも一つの予圧部を備えることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項８】
前記予圧部は、前記反射部材の側面に設けられた凸部に前記反対方向の力を付与することを特徴とする請求項７に記載の変形可能な反射光学素子。
【請求項９】
複数の光学素子を含む光学系において、
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の変形可能な反射光学素子を備え、
前記光学系の収差に応じて前記駆動部を介して前記反射光学素子の前記反射部材の前記反射面の変形量が制御されることを特徴とする光学系。
【請求項１０】
露光光でパターンを照明し、前記露光光で前記パターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光装置において、
請求項９に記載の光学系を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
前記光学系は前記投影光学系であることを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、
前記パターンが形成された前記基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変形可能な反射光学素子、この反射光学素子を有する光学系、及びこの光学系を備える露光装置に関する。さらに本発明は、露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体デバイスの製造工程の一つであるリソグラフィ工程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されているパターン、又は空間光変調器等で生成されるパターンを、投影光学系を介してフォトレジストが塗布されたウエハ（又はガラスプレート等）の表面に転写するために、ステッパー等の一括露光型の露光装置、又はスキャニングステッパー等の走査露光型等の露光装置等が使用されている。
【０００３】
これらの露光装置に搭載される投影光学系は、諸収差が所定の許容範囲内に収まるように組立調整が行われる。この際に、例えば歪曲収差や倍率誤差等の回転対称で、かつ低次数の収差成分が残存していても、これらの収差は投影光学系に装着されている通常の結像特性補正機構（例えば所定のレンズ及び／又はミラーの光軸方向の位置や傾斜角を制御する機構）によって補正することができる。これに対して、光軸上での非点収差（以下、センターアスと言う。）のような非回転対称な収差成分が残存している場合には、従来の通常の結像特性補正機構ではその補正は困難である。
【０００４】
そこで、そのような非回転対称な収差成分を補正するために、投影光学系が備えるミラーの側面の凸部をアクチュエータで微小量変形させることによって、そのミラーの反射面の形状を変形させるようにした補正機構が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この補正機構によれば、比較的小さい力でその反射面を変形させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２６６５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の非回転対称な収差成分の補正機構は、ミラー側面の凸部を機械的に変形させていたため、その凸部の変形量とミラーの反射面の変形量との関係が複雑で、その反射面を目標とする形状に高精度に変形させるのが困難であるとともに、その反射面を種々の複雑な形状に変形させるのが困難であった。
また、従来の補正機構は、ミラー側面の凸部に反射面側に向かう正の最大荷重と反射面の裏面側に向かう負の最大荷重との間で、可変の荷重を付与する機構であったため、補正機構が複雑であった。
【０００７】
本発明の態様は、このような事情に鑑み、簡単な機構を用いて反射部材の反射面を種々の形状に容易に変形可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によれば、光を反射する変形可能な反射光学素子が提供される。この反射光学素子は、光を反射する反射面を有する反射部材と、その反射部材の周辺部を保持する保持部と、その反射部材のその反射面の裏面に対して所定方向の力を与えて、前記所定方向に関する第１位置と第２位置との間で、前記反射面を変形させる少なくとも一つの駆動部と、を備え、その駆動部からその裏面に対してその所定方向の力が付与されていないとき、その反射面は、その第２位置にあるものである。
【０００９】
また、第２の態様によれば、複数の光学素子を含む光学系が提供される。この光学系は、第１の態様の変形可能な反射光学素子を備え、その光学系の非回転対称な収差に応じてその駆動部を介してその反射光学素子のその反射部材のその反射面の変形量が制御されるものである。
また、第３の態様によれば、露光光でパターンを照明し、その露光光でそのパターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光装置において、第２の態様の光学系を備える露光装置が提供される。
【００１０】
また、第４の態様によれば、第３の態様の露光装置を用いて基板上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成されたその基板を処理することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の態様によれば、駆動部から反射部材の反射面の裏面に対して与える所定方向の力を変化させることで、その反射面をその第１位置と第２位置との間で変形させることができる。従って、簡単な機構を用いてその反射面を種々の形状に容易に変形可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態の一例の露光装置の本体部を示す断面図である。
【図２】図１中のデフォーマブルミラーを示す断面図である。
【図３】図２のＡＡ線に沿う断面図である。
【図４】（Ａ）は図２のミラーの反射面を理想面に設定した状態を示す断面図、（Ｂ）は反射面を変形可能な最も外側に設定した状態を示す断面図、（Ｂ）は反射面を変形可能な最も内側に設定した状態を示す断面図である。
【図５】ミラー裏面の入力荷重と圧縮コイルばねの変位との関係を示す図である。
【図６】（Ａ）は、圧縮コイルばねの端部の変位とミラー反射面の変形量との関係を示すブロック図、（Ｂ）は図６（Ａ）と等価なブロック図、（Ｃ）は図６（Ｂ）中の入力荷重とミラー反射面の変形量との関係を示すブロック図、（Ｄ）は図６（Ｃ）と等価なブロック図である。
【図７】変形例のデフォーマブルミラーを示す断面図である。
【図８】図７のＡＡ線に沿う断面図である。
【図９】（Ａ）は予圧ばねがあるときのミラー反射面の変形量の分布を示す図、（Ｂ）は予圧ばねがないときのミラー反射面の変形量の分布を示す図である。
【図１０】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態の一例につき図１〜図６を参照して説明する。
図１は、本実施形態の露光装置ＥＸの露光本体部を示す。露光装置ＥＸは、一例としてスキャニングステッパー（スキャナー）よりなる走査露光型の投影露光装置である。図１において、露光装置ＥＸは、露光用の照明光ＩＬ（露光光）を発生する露光光源（不図示）と、照明光ＩＬでレチクルＲ（マスク）を照明する照明光学系ＩＬＳ（図１ではこの一部のみが表れている）と、レチクルＲのパターンの像をウエハＷ（基板）の表面に形成する投影光学系ＰＬとを備えている。さらに、露光装置ＥＸは、レチクルＲを保持して移動するレチクルステージ１５と、ウエハＷを保持して移動するウエハステージ３２と、装置全体の動作を統括的に制御するコンピュータよりなる主制御系５（図２参照）とを備えている。
【００１４】
以下、投影光学系ＰＬのレチクルＲ側の部分光学系（後述の第１結像光学系Ｇ１）の光軸ＡＸ１に平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面（本実施形態ではほぼ水平面）内で図１の紙面に平行にＹ軸を、図１の紙面に垂直にＸ軸を取って説明する。走査露光時のレチクルＲ及びウエハＷの走査方向はＹ軸に平行な方向（Ｙ方向）であり、レチクルＲのパターン面及びウエハＷの表面はＸＹ面にほぼ平行である。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸に平行な軸の回りの回転方向（傾斜方向）をθｘ方向、θｙ方向、及びθｚ方向とも呼ぶ。
【００１５】
まず、投影光学系ＰＬ、レチクルステージ１５、及びウエハステージ３２を含む露光本体部は、フレーム機構によって支持されている。そのフレーム機構は、床面に設置されたフレームキャスタよりなるベース部材１と、ベース部材１の上面に設置された例えば３本（４本等でも可）の第１コラム２と、これらの第１コラム２の上面に例えば能動型の防振装置３Ａ，３Ｂ（実際には３個又は４個配置されている）を介して設置された第２コラム４とを備えている。第２コラム４の底部に設けられた平板状の支持板部４ａの中央のＵ字型の開口部に投影光学系ＰＬが搭載されている。
【００１６】
そのフレーム機構の近傍に設置された露光光源（不図示）は、ＡｒＦエキシマレーザ光源（発振波長１９３ｎｍ）であるが、その他にＫｒＦエキシマレーザ光源（波長２４８ｎｍ）、又は固体レーザ（ＹＡＧレーザ若しくは半導体レーザ等）の高調波発生装置等も使用できる。その露光光源から射出された照明光ＩＬは、照明光学系ＩＬＳに入射する。照明光学系ＩＬＳは、レチクルＲのパターン面（下面）のＸ方向（非走査方向）に細長いスリット状の照明領域を照明光ＩＬによりほぼ均一な照度分布で照明する。
【００１７】
サブチャンバ１４内に配置された照明光学系ＩＬＳは、例えば米国特許出願公開第２００３／０２５８９０号明細書などに開示されるように、空間光変調器又は回折光学素子等を含む光量分布設定機構（不図示）、オプティカルインテグレータ（フライアイレンズ又はロッドインテグレータなど）等を含む照度均一化光学系（不図示）、レチクルブラインド等の可変視野絞り（不図示）、並びにレンズ１１，１３及びミラー１２を含むコンデンサ光学系等を含んでいる。また、通常照明、２極照明、４極照明、又は輪帯照明等の照明条件に応じて、その光量分布設定機構が、照明光学系ＩＬＳ内の瞳面（不図示）における照明光ＩＬの光量分布を、光軸を中心とする円形領域、光軸を挟む２つの領域、光軸を挟む４つの領域、又は輪帯状の領域等でそれぞれ大きい光量となる分布に切り換える。
【００１８】
レチクルＲを通過した照明光ＩＬは、投影光学系ＰＬを介して、フォトレジスト（感光剤）が塗布された円板状の基板であるウエハ（半導体ウエハ）Ｗの表面の一つのショット領域のＸ方向に細長い露光領域に、レチクルＲの照明領域内のパターンを投影倍率β（例えば１／４，１／５等）で縮小した像を形成する。本実施形態の投影光学系ＰＬは反射屈折光学系である。投影光学系ＰＬは、フランジ部４４ａによって架台４ａに載置されている。照明光学系ＩＬＳ及び投影光学系ＰＬの照明光ＩＬの光路はほぼ気密化され、これらの光路には、ほぼ真空紫外域の光に対して高透過率の気体（以下、「パージガス」と呼ぶ）であるドライエアー、窒素、又は希ガス（ヘリウム等）等が、供給用の配管２０Ａ等及び排気用の配管２１Ａ，２１Ｄ等を介して供給されている。
【００１９】
また、レチクルＲは、レチクルホルダ（不図示）を介してレチクルステージ１５の上面に保持され、レチクルステージ１５はレチクルベース１６のＸＹ面に平行な上面に、Ｙ方向に一定速度で移動可能に、かつＸ方向、Ｙ方向、θｚ方向に変位可能な状態で載置されている。レチクルベース１６は、第２コラム４の上端に固定されている。レチクルステージ１５の少なくともＸ方向、Ｙ方向の位置、及びθｚ方向の回転角はレーザ干渉計１７によって計測され、この計測値及び主制御系５からの制御情報に基いて、リニアモータ等を含む駆動装置（不図示）がレチクルステージ１５を駆動する。
【００２０】
一方、ウエハＷは、ウエハホルダ（不図示）を介してウエハテーブル３１の上面に保持され、ウエハテーブル３１はウエハステージ３２の上面に固定されている。ウエハステージ３２は、ウエハベース３３のＸＹ面に平行な上面にＹ方向に一定速度で移動可能に、かつＸ方向、Ｙ方向にステップ移動可能に載置されている。ウエハベース３３は、能動型の防振装置３８Ａ，３８Ｂ等を介してベース部材１上に載置されている。ウエハステージ３２の少なくともＸ方向、Ｙ方向の位置、及びθｚ方向の回転角はレーザ干渉計３４（又はエンコーダ装置等）によって計測され、この計測値及び主制御系５からの制御情報に基いて、リニアモータ等を含む駆動装置（不図示）がウエハステージ３２を駆動する。
【００２１】
また、ウエハステージ３２の内部には、ウエハテーブル３１（ウエハＷ）のＺ方向の位置（フォーカス位置）と、θｘ方向及びθｙ方向の傾斜角とを調整するためのフォーカス・レベリング機構が組み込まれている。投影光学系ＰＬの下部側面に配置された投射光学系３５Ａと受光光学系３５Ｂとから構成される斜入射方式の多点の焦点位置検出系（オートフォーカスセンサ）によって計測されるウエハＷの複数の計測点でのフォーカス位置の情報に基いて、そのフォーカス・レベリング機構は、露光中に継続してウエハＷの表面を投影光学系ＰＬの像面に合焦させる。投射光学系３５Ａ及び受光光学系３５Ｂは、投影光学系ＰＬのフランジ部４４ａの底面に取り付けられたセンサーコラム３６に取り付けられている。
【００２２】
また、ウエハテーブル３１の上部に、例えば米国特許第６，５７３，９９７号明細書等で開示されているシアリング干渉方式又はポイント・ディフラクション・干渉方式（ＰＤＩ方式）の波面収差計測装置３９が設けられている。波面収差計測装置３９によって計測される投影光学系ＰＬの波面収差の情報は図２の結像特性制御系６に供給される。結像特性制御系６では、通常の露光時には、例えば照明光ＩＬの積算エネルギー等に基づいて、投影光学系ＰＬの波面収差の変動量を逐次予測している。
【００２３】
露光時には、不図示のアライメント系を用いてレチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行った後、ウエハステージ３２をＸ方向、Ｙ方向にステップ移動することで、ウエハＷの露光対象のショット領域が露光領域の手前に移動する。その後、レチクルＲの照明領域内のパターンの投影光学系ＰＬによる像でウエハＷの当該ショット領域を露光しつつ、レチクルステージ１５及びウエハステージ３２を介してレチクルＲとウエハＷとをＹ方向に投影光学系ＰＬの投影倍率を速度比として同期移動する走査露光が行われる。そのステップ移動と走査露光とをステップ・アンド・スキャン方式で繰り返すことによって、ウエハＷの全部のショット領域にレチクルＲのパターンの像が露光される。
【００２４】
次に、本実施形態の投影光学系ＰＬの構成等につき詳細に説明する。図１において、反射屈折光学系からなる投影光学系ＰＬは、レチクルＲのパターンの第１中間像を形成する屈折型の第１結像光学系Ｇ１と、凹面鏡よりなるミラー要素２２と２つの負屈折力のレンズＬ８，Ｌ９とから構成されて第１中間像とほぼ等倍の第２中間像を形成する第２結像光学系Ｇ２と、第２中間像からの光を用いてウエハＷ上にレチクルＲのパターンの最終像を形成する屈折型の第３結像光学系Ｇ３と、デフォーマブルミラー５０と、を備えている。デフォーマブルミラー５０は、ミラー要素２２を含み、ミラー要素２２の反射面の形状を制御可能である。さらに、投影光学系ＰＬは、第１結像光学系Ｇ１からの光を第２結像光学系Ｇ２に向かって偏向する反射面Ａと、第２結像光学系Ｇ２からの光を第３結像光学系Ｇ３に向かって偏向する反射面Ｂとが形成された光路折り曲げ鏡ＦＭを備えている。第１中間像及び第２中間像は、それぞれほぼ反射面Ａと第１結像光学系Ｇ１との間、及び反射面Ｂと第３結像光学系Ｇ３との間に形成される。
【００２５】
また、第１結像光学系Ｇ１及び第３結像光学系Ｇ３はＺ軸に平行な光軸ＡＸ１を有し、第２結像光学系Ｇ２の光軸ＡＸ２は、光軸ＡＸ１と直交するように、かつＹ軸に平行に設定されている。更に、光路折り曲げ鏡ＦＭの２つの反射面Ａ，Ｂの交線（厳密にはその仮想延長面の交線）Ｃで光軸ＡＸ１と光軸ＡＸ２とが交差している。
第１結像光学系Ｇ１は、レチクルＲ側から順に、平行平面板Ｌ１、レンズＬ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７を配置して構成されている。第２結像光学系Ｇ２は、光の進行往路に沿ってレチクル側（即ち入射側）から順に、負のレンズＬ８及びＬ９と、ミラー要素２２とを配置して構成されている。第３結像光学系Ｇ３は、光の進行方向に沿ってレチクル側から順に、レンズＬ１０，Ｌ１１と、開口絞りＡＳと、レンズＬ１２，Ｌ１３とを配置して構成されている。開口絞りＡＳの配置面は投影光学系ＰＬの瞳面又はその近傍の面であり、ミラー要素２２の反射面２２ｄは、投影光学系ＰＬの瞳面とほぼ共役である。なお、投影光学系ＰＬの構成は任意である。
【００２６】
本実施形態において、投影光学系ＰＬを構成する全ての屈折光学素子（レンズ成分）の光学材料には合成石英又は蛍石（ＣａＦ2 結晶）を使用している。また、光路折り曲げ鏡ＦＭ及びミラー要素２２は、一例としてコーニング社のＵＬＥ（Ultra Low Expansion:商品名）などの超低膨張率のガラス材料、又はショット社のゼロデュア（Zerodur：商品名）などの低膨張率のガラスセラミックス材料から形成できる。例えばＵＬＥを用いる場合のミラー要素２２のヤング率（ほぼ６７．６ＧＰａ）は鉄鋼の１／３程度であり、ポアソン比（ほぼ０．１７）は鉄鋼の１／２程度であり、ミラー要素２２では同じ荷重（応力）に対して鉄鋼の３倍程度の弾性変形がある。これらの材料の反射面はアルミニウム等の金属膜又は誘電体多層膜を被着することにより形成される。また、ミラー要素２２の材料としてベリリウム（Ｂｅ）等の金属を用いても良い。ベリリウムを用いる場合には、ミラー要素２２全体を炭化ケイ素等でコーティングすることが好ましい。
【００２７】
また、第１結像光学系Ｇ１の平行平面板Ｌ１、レンズＬ２〜Ｌ７は、それぞれ輪帯状のレンズ枠４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ，４２Ｆ，４２Ｇを介して円筒状の分割鏡筒４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆ，４１Ｇ内に保持され、分割鏡筒４１Ａ〜４１Ｇは光軸ＡＸ１に沿って気密性を保持する状態で例えば対向するフランジ部（不図示）をボルト（不図示）で固定して連結されている。レンズ枠４２Ｂ〜４２Ｇ等には上記のパージガスを流通させるための複数の開口が形成されている（以下同様）。
【００２８】
同様に、第３結像光学系Ｇ３のレンズＬ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３は、それぞれ輪帯状のレンズ枠４２Ｈ，４２Ｋ，４２Ｉ，４２Ｊを介して円筒状の分割鏡筒４１Ｈ，４４，４１Ｉ，４１Ｊ内に保持されている。開口絞りＡＳは、分割鏡筒４４，４１Ｉに挟まれた分割鏡筒４１Ｋ内に保持され、分割鏡筒４１Ｈ，４４，４１Ｋ，４１Ｉ，４１Ｊは気密性を保持する状態で連結されている。そして、分割鏡筒４４にフランジ部４４ａが設けられている。分割鏡筒４１Ｇ，４１Ｈ間に＋Ｙ方向に開口が設けられた円筒状の分割鏡筒４３が連結され、分割鏡筒４３内の突部に保持枠４３ａを介して光路折り曲げ鏡ＦＭが固定されている。分割鏡筒４１Ａ〜４１Ｋ，４３，４４より第１の部分鏡筒７が構成されている。
【００２９】
また、図２の結像特性制御系６の制御のもとで、例えばレンズ枠４２Ａ〜４２Ｅを駆動して、平行平面板Ｌ１、レンズＬ２〜Ｌ５をＺ方向、θｘ方向、θｙ方向に微動することによって、投影光学系ＰＬのディストーション及びコマ収差等の回転対称で比較的低次の収差を補正する回転対称な結像特性補正機構（不図示）が設けられている。このような回転対称な結像特性補正機構としては、例えば米国特許出願公開第２００６／２４４９４０号明細書に開示されている機構を使用可能である。
【００３０】
また、第２結像光学系Ｇ２のレンズＬ８，Ｌ９は、それぞれ保持枠４６Ａ，４６Ｂを介して、円筒型の分割鏡筒４５，４１Ｌ内に保持され、ミラー要素２２を含むデフォーマブルミラー５０は、分割鏡筒４１Ｌに連結されて保持されている。デフォーマブルミラー５０は、投影光学系ＰＬの結像特性としてのセンターアス等の非回転対称な収差及び高次の収差を含む波面収差を補正するための補正機構でもある。本実施形態では、その波面収差をツェルニケ(Zernike)多項式の係数（以下、ツェルニケ係数ｚiという）で表すものとする。図２の結像特性制御系６は、通常の露光時には、予測される投影光学系ＰＬの結像特性の変動量のうち、回転対称で比較的低次の収差を除く波面収差（例えば５次〜８１次のツェルニケ係数ｚiで表される収差）の情報を図２の収差制御系９に供給する。収差制御系９では、その波面収差を補正するようにデフォーマブルミラー５０のミラー要素２２の反射面２２ｄを変形させる。収差制御系９には、デフォーマブルミラー５０を駆動するための情報が記憶された記憶装置１０が連結されている。
【００３１】
デフォーマブルミラー５０は、ミラー要素２２がホールドブロック２３を介して収納された円筒状の分割鏡筒４７と、分割鏡筒４７の＋Ｙ方向の開口を覆うように分割鏡筒４７の端面４７ｂに固定されたハウジング５３と、ハウジング５３の内面に設けられてミラー要素２２の反射面２２ｄを変形させる荷重付与系５４と、を備えている。なお、分割鏡筒４７は、分割鏡筒４１Ｌに連結される。
【００３２】
図２に示すように、荷重付与系５４は、ミラー要素２２の裏面２２ｅの複数の作用点Ｐｉ（ｉ＝１〜ｎ；ｎは２以上の整数）に裏面２２ｅから反射面２２ｄの方向（−Ｙ方向）に向かう可変の荷重ｆi（ｆi≧０）を付与する複数の駆動ユニット５８を有する。複数の駆動ユニット５８は、互いに同じ構成である。複数の駆動ユニット５８の＋Ｙ方向の端部はハウジング５３の内面に固定され、ハウジング５３は複数のボルト４０Ａを介して分割鏡筒４７に固定されている。複数の駆動ユニット５８の−Ｙ方向の端部はミラー要素２２の裏面２２ｅに離脱可能な状態で接触している。また、図２のＡＡ線に沿う断面図である図３に示すように、外形がほぼ円柱状のミラー要素２２の側面に、等角度間隔で３箇所の凸形状の保持部２２ａ，２２ｂ，２２ｃが形成されている。保持部２２ａ，２２ｂ，２２ｃのそれぞれは、ホールドブロック２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに保持されており、ホールドブロック２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは、分割鏡筒４７の内面に固定されている。ミラー要素２２は、３つのホールドブロック２３Ａ〜２３Ｃによってキネマティックに安定に支持されている。なお、ホールドブロック２３Ａ〜２３Ｃは、図１では代表的に一つのホールドブロック２３で表されている。
【００３３】
また、一例として、荷重付与系５４の複数の駆動ユニット５８は、ミラー要素２２の裏面２２ｅにほぼ均等に格子状に配置された複数の作用点Ｐｉ（図３では１９個の作用点Ｐ１〜Ｐ１９）に荷重を付与するように配置されている。一例として、中央の作用点Ｐ１０は、光軸ＡＸ２上に位置している。なお、例えば中央の作用点Ｐ１０の代わりに、Ｚ方向に離れて配置された２つの作用点を用いることによって、作用点Ｐｉ（駆動ユニット５８）を偶数（例えば２０個）とすることもできる。なお、作用点Ｐｉ（駆動ユニット５８）の個数及び配置は任意である。
【００３４】
図２において、作用点Ｐｉに荷重を与える駆動ユニット５８は、ハウジング５３の内面に一端が固定されたロードセル等の荷重センサ６０と、荷重センサ６０の他端に固定されてＹ方向に伸縮可能な駆動素子５９と、駆動素子５９の先端部に一端が固定された圧縮ばね６１とを有する。例えば、この圧縮ばね６１は、剛性の高い、例えば鉄鋼又はステンレス等の金属製の圧縮コイルばねで形成してもよい。圧縮ばね６１の他端には、ミラー要素２２の裏面２２ｅの作用点Ｐｉに接触する半球状の金属製の接触部６１ａが設けられている。なお、接触部６１ａとしては、平面部で裏面２２ｅに接触する部材を使用してもよい。また、駆動素子５９としては、ピエゾ素子又は超音波モータ等が使用できる。
【００３５】
荷重センサ６０は、駆動ユニット５８によってハウジング５３からミラー要素２２の裏面２２ｅに向けて−Ｙ方向に付与される荷重の情報を含む検出信号を検出信号処理系５７に供給する。検出信号処理系５７では、荷重センサ６０の検出信号から各作用点Ｐｉの荷重を求め、このようにして求めた荷重の情報を駆動素子制御系５６に供給する。駆動素子制御系５６では、各作用点Ｐｉの荷重が収差制御系９に設定される目標値になるように対応する駆動ユニット５８の駆動素子５９の伸縮量を制御する。
【００３６】
収差制御系９は、結像特性制御系６から供給される補正対象の波面収差（ミラー要素２２の反射面２２ｄのｎ個の位置での目標変形量の情報）及び記憶装置１０に記憶されているミラー要素２２のヤング率及びポアソン比（弾性係数）の情報から、反射面２２ｄに対応する裏面２２ｅの作用点Ｐｉにおける−Ｙ方向への荷重の目標値を計算する。収差制御系９は、計算した荷重の目標値の情報を駆動素子制御系５６に供給する。これによって、反射面２２ｄの形状は例えば理想面ＢＤを含む変形可能範囲内の任意の面Ｂ２の近傍に設定可能である。この場合、全体としてのミラー要素２２の反射面の変形の自由度はｎであり、各自由度で変形可能範囲の任意の変形量を設定できる。
【００３７】
なお、本実施形態の理想面ＢＤとは、図１の第１及び第３結像光学系Ｇ１，Ｇ３及び第２結像光学系Ｇ２（ここではミラー要素２２を除く部分）が実質的に無収差である場合に、投影光学系ＰＬを実質的に無収差とするために必要なミラー要素２２の反射面２２ｄの面形状を表している。また、本実施形態では、反射面２２ｄの変形可能範囲はその理想面ＢＤを中心としているため、理想面ＢＤは中立面でもある。本実施形態においてその変形可能範囲とは、例えば照明光ＩＬの照射エネルギーの積算値によって投影光学系ＰＬの結像特性が変化するときに、経験的又は計算上でその結像特性の変化を補正（相殺）するために必要なミラー要素２２の反射面２２ｄの形状の弾性変形による可変範囲を含むものである。
【００３８】
本実施形態では、図４（Ｃ）に示すように、全部の駆動ユニット５８からミラー要素２２の裏面２２ｅに対して−Ｙ方向への荷重ｆiが付与されていない状態（全部のｆi＝０の状態）では、ミラー要素２２の反射面２２ｄが、変形可能範囲で最も裏面２２ｅに近い方向の位置にある下限面Ｂ１に合致するように、予めミラー要素２２の反射面２２ｄは理想面ＢＤに対応して凹面に形成されている。本実施形態では、下限面Ｂ１の形状は非球面である。すなわち、ミラー要素２２は、反射面２２ｄが理想面ＢＤに対して、凹んだ状態の非球面加工が施されている。
【００３９】
そして、例えば露光を開始した直後で、投影光学系ＰＬの結像特性が目標とする状態からほとんど変化していない状態では、図４（Ａ）に示すように、荷重付与系５４の全部の駆動ユニット５８においてミラー要素２２の裏面２２ｅに対して−Ｙ方向に向かう荷重ｆiをそれぞれ可変範囲内の中央の値Ｓi／２に設定する。これによって、ミラー要素２２の反射面２２ｄはほぼ理想面ＢＤに合致するように弾性変形するため、投影光学系ＰＬの結像特性は目標とする状態に維持される。
【００４０】
その後、露光継続中に、照明光ＩＬの照射エネルギーの積算によって投影光学系ＰＬの結像特性が大きく変化して、例えば波面収差が光軸付近で正の最大値になるように均一に増大した状態では、図４（Ｂ）に示すように、荷重付与系５４の全部の駆動ユニット５８において裏面２２ｅに対して−Ｙ方向に向かう荷重ｆiをそれぞれ可変範囲内の最大値Ｓiに設定する。これに対応して、ミラー要素２２の反射面２２ｄは弾性変形によって変形可能範囲内で最も裏面２２ｅから離れた方向の位置にある上限面Ｂ３の近傍に変形し、ミラー要素２２における波面収差が負になるため、投影光学系ＰＬの結像特性は目標とする状態に維持される。
【００４１】
一方、例えば波面収差が光軸付近で負の最大値になるように均一に減少した状態では、図４（Ｃ）に示すように、荷重付与系５４の全部の駆動ユニット５８において裏面２２ｅに対して−Ｙ方向に向かう荷重ｆiをそれぞれ可変範囲内の最小値（＝０）付近に設定する。これに対応して、ミラー要素２２の反射面２２ｄは、弾性変形の復元力によって変形可能範囲内で最も裏面２２ｅに近い下限面Ｂ１の近傍の形状に戻り、ミラー要素２２における波面収差が正になるため、投影光学系ＰＬの結像特性は目標とする状態に維持される。そして、荷重付与系５４の全部の駆動ユニット５８から裏面２２ｅに付与する−Ｙ方向の荷重を独立に制御することによって、ミラー要素２２の反射面２２ｄの形状を下限面Ｂ１と上限面Ｂ３との間の任意の面Ｂ２の近傍に設定することができ、これによって常に投影光学系ＰＬの結像特性を目標とする状態に維持できる。
【００４２】
ここで、予めミラー要素２２の反射面２２ｄの形状を変形可能範囲内の下限面Ｂ１に形成しておくことにより、複数の駆動ユニット５８から裏面２２ｅに−Ｙ方向に可変の荷重を与えることで、反射面２２ｄを下限面Ｂ１以上の任意の形状に弾性変形できることにつき、図５〜図６（Ｄ）を参照して説明する。まず、図２のミラー要素２２及び複数の駆動ユニット５８を図５に示すように簡略化して示す。図５において、ミラー要素２２のｉ番目（ｉ＝１〜ｎ）の作用点に関して、駆動ユニット５８の圧縮コイルばね６１のばね定数をｋi、圧縮コイルばね６１の入力変位をｘi、圧縮コイルばね６１による裏面２２ｅ（作用点）の変位をｙi、駆動ユニット５８による裏面２２ｅに対する荷重をｆiとする。また、このときに各作用点に対応するミラー要素２２の反射面２２ｄの各点における−Ｙ方向への変形量の分布をツェルニケ係数ｚiを用いて表すものとすると、反射面２２ｄの面変形量は次のｍ個のツェルニケ係数ｚi（ｉ＝１〜ｍ）のベクトル＜ｚ＞で表すことができる。なお、例えばツェルニケ係数ｚ１〜ｚ８１を使用する場合には、ｍ＝８１である。
【００４３】
2013161992.tif 000003
また、入力変位のベクトル＜ｘ＞、作用点の変位のベクトル＜ｙ＞、作用点に対する荷重のベクトル＜ｆ＞、及びばね定数のｎ行×ｎ列の行列Ｋを次のように定義する。
【００４４】
2013161992.tif 000004
このとき、荷重ｆi＝ｋi（ｘi−ｙi）であるため、荷重のベクトル＜ｆ＞は次のように表される。
＜ｆ＞＝Ｋ（＜ｘ＞−＜ｙ＞）  …（１２）
また、裏面２２ｅの荷重のベクトル＜ｆ＞と、作用点の変位のベクトル＜ｙ＞及び反射面２２ｄの変形量の分布を表すツェルニケ係数のベクトル＜ｚ＞との関係を、ｎ行×ｎ列の行列Ｒｆｙ及びｍ行×ｎ列の行列Ｒｆｚを用いて次のように表す。行列Ｒｆｚにおいて行数を表すｍは使用するツェルニケ係数の項数を表しており、例えばｍ＝８１である。
【００４５】
＜ｙ＞＝Ｒｆｙ＜ｆ＞  …（１３Ａ），  ＜ｚ＞＝Ｒｆｚ＜ｆ＞  …（１３Ｂ）
式（１２）、式（１３Ａ）、及び式（１３Ｂ）の関係は、図５に対応する図６（Ａ）のブロック図で表すことができる。図６（Ａ）において、減算部７０からの差分（＜ｘ＞−＜ｙ＞）に乗算部７２Ａで行列Ｋが乗算されて荷重のベクトル＜ｆ＞が求められ、ベクトル＜ｆ＞には乗算部７２Ｂ及び７２Ｃでそれぞれ行列Ｒｆｙ及びＲｆｚが乗算される。
【００４６】
図６（Ａ）から次の関係が得られる。
＜ｆ＞＝Ｋ＜ｘ＞−Ｋ・Ｒｆｙ＜ｆ＞    …（１４Ａ）
この式を変形すると次のようになる。
Ｋ＜ｘ＞＝（Ｅｎ＋Ｋ・Ｒｆｙ）＜ｆ＞  …（１４Ｂ）
なお、式（１４Ｂ）中のｎ行×ｎ列の行列Ｅｎは単位行列である。そして、式（１４Ｂ）を変形すると次式が得られる。
【００４７】
＜ｆ＞＝（Ｅｎ−Ｋ・Ｒｆｙ）-1Ｋ＜ｘ＞＝Ｒｘｆ＜ｘ＞  …（１５Ａ）
ただし、Ｒｘｆ＝（Ｅｎ−Ｋ・Ｒｆｙ）-1  …（１５Ｂ）
式（１５Ａ）を用いると、図６（Ａ）は図６（Ｂ）のように書き直すことができる。図６（Ｂ）において、乗算部７２Ｄはベクトル＜ｘ＞に行列Ｒｘｆを乗算する。
図６（Ｂ）において、必要とされる面変形量のベクトル＜ｚ＞を得るために、荷重のベクトル＜ｆ＞を０以上の成分Δｆi（０又は裏面２２ｄを押す力）のみを持つ押し込み成分のベクトル＜Δｆ＞と、予め反射面の形状を下限面にしておくための負の成分（裏面２２ｄをハウジング５３側に引き込む成分）を持つオフセット成分のベクトル＜ｆoffset＞とに分けると、図６（Ｂ）のベクトル＜ｆ＞からベクトル＜ｚ＞を求める部分は図６（Ｃ）のように書き直すことができる。図６（Ｃ）において、加算部７４では仮想的に次の演算が行われる。
【００４８】
＜ｆ＞＝＜ｆoffset＞＋＜Δｆ＞  …（１６Ａ）
ただし、Δｆi≧０，ｉ＝１〜ｎ  …（１６Ｂ）
さらに、図６（Ｃ）の乗算部７２Ｃを図６（Ｄ）のそれぞれ行列Ｒｆｚを乗算する２つの乗算部７２Ｃ１，７２Ｃ２に分けると、図６（Ｃ）は図６（Ｄ）のように変形できる。図６（Ｄ）において、ベクトル＜ｆoffset＞による反射面２２ｄのオフセットの変形量を示すベクトルは＜ｚoffset＞であり、ベクトル＜Δｆ＞による反射面２２ｄの変形量のベクトルは＜Δｚ＞である。本実施形態では、ミラー要素２２の反射面２２ｄには、予めオフセットの変形量を示すベクトル＜ｚoffset＞に対応する変形が施されている。このため、荷重付与系５４によってミラー要素２２の裏面２２ｅに裏面２２ｅを押す方向の荷重分布を与えるだけで、反射面２２ｄに任意の変形を与えることができる。
【００４９】
本実施形態の効果等は以下の通りである。
本実施形態のデフォーマブルミラー５０は、照明光ＩＬを反射する反射面２２ｄを有する凹面鏡よりなるミラー要素２２と、ミラー要素２２の周辺部である側面の凸の保持部２２ａ〜２２ｃを保持するホールドブロック２３Ａ〜２３Ｃと、ミラー要素２２の反射面２２ｄの裏面２２ｅに、裏面２２ｅに向かう方向（−Ｙ方向）の荷重（力）を与えて、その裏面２２ｅに向かう方向に関する上限面Ｂ３（第１位置）と下限面Ｂ１（第２位置）との間で、反射面２２ｄを変形させる複数の駆動ユニット５８と、を備えている。そし、駆動ユニット５８から裏面２２ｅに裏面２２ｅに向かう方向の力が付与されていないときに、反射面２２ｄは下限面Ｂ１にある。
【００５０】
本実施形態によれば、駆動ユニット５８からミラー要素２２の裏面２２ｅに裏面２２ｅに向かう方向に付与される荷重を変化させることで、反射面２２ｄを下限面Ｂ１と上限面Ｂ３との間（変形可能範囲内）の種々の位置に変形させることができる。従って、簡単な構成の駆動ユニット５８を用いて反射面２２ｄを種々の形状に容易に変形可能である。さらに、駆動ユニット５８の個数を多くすることで、ミラー要素２２の反射面２２ｄをより多くの様々な形状に容易に変形可能である。
【００５１】
また、ミラー要素２２は、弾性変形可能な材料で形成され、駆動ユニット５８は−Ｙ方向の力を付与し、下限面Ｂ１は、変形可能範囲のうち、−Ｙ方向に関して上限面Ｂ３よりも裏面２２ｅ側にある。従って、駆動ユニット５８から−Ｙ方向に向かう荷重（一方向の力）を制御するだけで、反射面２２ｄを変形可能範囲の任意の位置に変形できる。
なお、本実施形態では、反射面２２ｄを変形させるために、駆動ユニット５８から裏面２２ｅに裏面２２ｅに向かう荷重を付与している。これとは逆に、反射面２２ｄを変形させるために、駆動ユニット５８と同様の駆動ユニットから裏面２２ｅに反射面２２ｄから裏面２２ｅに向かう方向（＋Ｙ方向）の可変の荷重を付与してもよい。この場合には、その駆動ユニットからの荷重が裏面２２ｅに加わっていない状態で、反射面２２ｄが変形可能範囲内の最も−Ｙ方向側の上限面Ｂ３に一致するように、反射面２２ｄを加工しておけばよい。この場合にも、一方向の荷重を付与すればよいため、駆動ユニットの構成が簡素化できる。
【００５２】
また、駆動ユニット５８はそれぞれ荷重センサ６０を備え、荷重センサ６０によって荷重を直接計測しているため、この計測結果に基づいてミラー要素２２の裏面２２ｅの作用点に目標とする荷重を正確に加えることができる。本実施形態では、各駆動ユニット５８から裏面２２ｅに向かう荷重（一方向に向かう荷重）だけを計測すればよいため、ロードセルのような荷重センサ６０によって容易に荷重を計測できる。
【００５３】
なお、荷重センサ６０の代わりに、ハウジング５３に対する駆動素子５９の先端部のＹ方向の変位を計測する変位センサ（例えば光学式、静電容量式、又は渦電流方式等のセンサ）を設け、この変位センサの計測値と圧縮ばね６１の既知のばね定数とから荷重を計算してもよい。
さらに、例えば予め駆動ユニット５８の駆動素子５９の伸縮量と荷重との関係を求めておくことによって、荷重センサ６０等を省略することも可能である。また、ミラー要素２２の裏面２２ｅには駆動素子５９の先端を直接接触させることも可能である。
【００５４】
また、ミラー要素２２の裏面２２ｅには例えば２０個程度の駆動ユニット５８が設けられているため、ミラー要素２２の反射面２２ｄの変形の自由度が高い。なお、ミラー要素２２の裏面２２ｅには一つの駆動ユニット５８を設けるだけでもよい。
また、本実施形態の投影光学系ＰＬは、レンズＬ８，Ｌ９及びミラー要素２２（複数の光学素子）を含む反射屈折光学系において、それらの光学素子のうちのミラー要素２２の反射面を変形可能なデフォーマブルミラー５０を備えている。従って、投影光学系ＰＬの結像特性の変動量（例えば非回転対称な収差及び高次の収差等）を補正するように、デフォーマブルミラー５０によってミラー要素２２の反射面を変形させることによって、投影光学系ＰＬの結像特性を常に目標とする状態に維持できる。
【００５５】
また、本実施形態の露光装置ＥＸは、照明光ＩＬ（露光光）でレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷ（基板）を露光する露光装置において、投影光学系ＰＬはデフォーマブルミラー５０を備えている。従って、投影光学系ＰＬの結像特性を常に目標とする状態に高精度に維持できるため、レチクルＲのパターンの像を高精度にウエハＷの各ショット領域に露光できる。
【００５６】
なお、上述の実施形態では、ミラー要素２２の周辺部は３箇所でホールドブロック２３Ａ〜２３Ｃによって保持されている。この他の構成として、図７及び図７のＡＡ線に沿う断面図である図８に示す変形例のデフォーマブルミラー５０Ａのように、ミラーの周辺部で所定の予圧を付与してもよい。なお、図７及び図８において、図２及び図３に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００５７】
図７において、デフォーマブルミラー５０Ａは、反射面２２Ａｄを有し、厚さがほぼ均一な凹面鏡よりなるミラー要素２２Ａと、ミラー要素２２Ａの側面に等角度間隔で３箇所に設けられた凸形状の保持部２２Ａａ，２２Ａｂ，２２Ａｃ（図８参照）を分割鏡筒４７内で保持するホールドブロック２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃと、ミラー要素２２Ａの裏面２２Ａｅに−Ｙ方向の荷重を付与する複数の駆動ユニット５８よりなる荷重付与系５４と、を有する。この変形例のミラー要素２２Ａの裏面２２Ａｅは反射面２２Ａｄに沿って湾曲しているため、複数の駆動ユニット５８の接触部６１ａと接触する裏面２２ＡｅにはほぼＸＺ面に平行な切り欠き部２２Ａｆが形成されている。これによって、接触部６１ａは裏面２２Ａｅに安定に接触できる。
【００５８】
また、図８において、ミラー要素２２Ａの側面の保持部２２Ａａ，２２Ａｂ間に凸部６３Ａが形成され、保持部２２Ａｂ，２２Ａｃ間に２箇所の凸部６３Ｂ，６３Ｃが形成され、保持部２２Ａｃ，２２Ａａ間に２箇所の凸部６３Ｄ，６３Ｅが形成されている。そして、図７に示すように、ミラー要素２２Ａの凸部６３Ａと分割鏡筒４７との間に、凸部６３Ａに対して反射面２２Ａｄから裏面２２Ａｅに向かう（＋Ｙ方向の）一定の荷重を付与するための圧縮コイルばね（以下、予圧ばねという。）６４Ａが配置されている。なお、説明の便宜上、図７における凸部６３Ａと保持部２２Ａａとの位置関係は図８の正しい位置関係とは異なっている。
【００５９】
また、図８に示すように、ミラー要素２２Ａの側面の他の凸部６３Ｂ〜６３Ｅと分割鏡筒４７との間にも、それぞれ凸部６３Ｂ〜６３Ｅに対して反射面２２Ａｄから裏面２２Ａｅに向かう一定の荷重を付与するための圧縮コイルばね（以下、予圧ばねという。）６４Ｂ〜６４Ｅが配置されている。５個の予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅから対応する凸部６３Ａ〜６３Ｅに＋Ｙ方向に付与される荷重をｐｆj（ｊ＝１〜５）とすると、５個の荷重ｐｆjは個別に最適化された値である。一例として、予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅから対応する凸部６３Ａ〜６３Ｅに付与される荷重は、荷重付与系５４の複数の駆動ユニット５８からミラー要素２２Ａの裏面２２Ａｅに付与される荷重と方向が逆である。
【００６０】
このようにこの変形例のデフォーマブルミラー５０Ａはミラー要素２２Ａの側面の凸部６３Ａ〜６３Ｅに＋Ｙ方向への荷重を与える予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅを有する。この他の構成は図２のデフォーマブルミラー５０と同様である。図７の変形例によれば、荷重付与系５４からミラー要素２２Ａの裏面２２Ａｅに−Ｙ方向への荷重ｆiが付与されていない場合の、ミラー要素２２Ａの反射面２２Ａｄの理想面ＢＤに対する変形量を小さくできる。言い換えると、反射面２２Ａｄの理想面ＢＤに対する非球面加工量を低減させることができ、ミラー要素２２Ａの製造が容易になる。
【００６１】
具体的に、図８の駆動ユニット５８の個数が２０個である場合に、ミラー要素２２Ａの５個の凸部６３Ａ〜６３Ｅに予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅによって与える荷重をほぼ４ｋｇｆ、０．６ｋｇｆ、５ｋｇｆ、５ｋｇｆ、０．６ｋｇｆとしたときの、ミラー要素２２Ａの反射面の非球面加工量を図９（Ａ）に示す。図９（Ａ）において、照明光ＩＬの波長λを用いて、等厚線の間隔はほぼ０．００１λの高さの差に相当しており、非球面加工量のRMS(root mean square)はほぼ０．１５λであり、非球面加工量の高低差はほぼ０．７６λである。
【００６２】
これに対して、駆動ユニット５８の個数が２０個である場合の、図２のミラー要素２２の反射面の非球面加工量を図９（Ｂ）に示す。図９（Ｂ）において、等厚線の間隔はほぼ０．００１λの高さの差に相当しており、非球面加工量のRMSはほぼ１．４λであり、非球面加工量の高低差はほぼ７．１７λである。従って、予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅを設けることによって、ミラー要素２２Ａの反射面に対する非球面加工量をミラー要素２２の場合に対して例えば１／１０程度に大幅に低減させることができる。
【００６３】
なお、この変形例では５個の予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅを設けているが、予圧ばねの個数は任意であり、例えば１個の予圧ばね６４Ａを設けるだけでもよい。さらに、予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅは圧縮コイルばねであるが、予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅとしては板ばね等を使用することもできる。
また、予圧ばね６４Ａ〜６４Ｅによって荷重を与える位置は、例えばミラー要素２２Ａの側面に近い（周辺部の）反射面２２Ａｄ又は裏面２２Ａｅであってもよい。
【００６４】
次に、上記の実施形態の露光装置ＥＸを用いて半導体デバイス（電子デバイス）を製造する場合、この半導体デバイスは、図１０に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ２２１、この設計ステップに基づいてマスク（レチクル）を製作するステップ２２２、デバイスの基材である基板（ウエハ）を製造するステップ２２３、露光装置ＥＸによりレチクルのパターンをレジストが塗布された基板（感光基板）に露光する工程、露光した基板を現像してレジストパターンを形成する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ２２４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２２５、並びに検査ステップ２２６等を経て製造される。
【００６５】
言い換えると、このデバイスの製造方法は、上記の実施形態の露光装置を用いて基板（ウエハ）上に感光層のパターンを形成することと、そのパターンが形成された基板を処理すること（ステップ２２４）とを含んでいる。この製造方法によれば、その露光装置では非回転対称な収差を含む諸収差を低減できるため、微細パターンを有するデバイスを高精度に製造できる。
【００６６】
なお、本発明は、例えば米国特許出願公開第２００７／２４２２４７号明細書、又は欧州特許出願公開第１４２０２９８号明細書等に開示されている液浸型露光装置の投影光学系の収差補正を行う場合にも適用することができる。また、本発明は、走査型の露光装置のみならず、一括露光型の露光装置（ステッパー等）等にも適用することができる。
また、本発明は、波長数ｎｍ〜１００ｎｍ程度の極端紫外光（ＥＵＶ光）を露光光として用いる投影露光装置の投影光学系の収差補正を行う場合にも適用できる。露光光としてＥＵＶ光を用いる場合には、投影光学系は特定のフィルタ等を除いて複数のミラー（凹面鏡、凸面鏡、平面鏡等）から構成されるため、上記の実施形態のデフォーマブルミラー５０，５０Ａと同様のデフォーマブルミラーは、その複数のミラーのうちの少なくとも１枚のミラーを保持するために使用可能である。
【００６７】
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置への適用に限定されることなく、例えば、角型のガラスプレートに形成される液晶表示素子、若しくはプラズマディスプレイ等のディスプレイ装置用の露光装置や、撮像素子（ＣＣＤ等）、マイクロマシーン、薄膜磁気ヘッド、及びＤＮＡチップ等の各種デバイスを製造するための露光装置にも広く適用できる。更に、本発明は、各種デバイスのマスクパターンが形成されたマスク（フォトマスク、レチクル等）をフォトリソグフィ工程を用いて製造する際の、露光装置にも適用することができる。
【００６８】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００６９】
ＥＸ…露光装置、Ｒ…レチクル、Ｗ…ウエハ、ＩＬＳ…照明光学系、ＰＬ…投影光学系、６…結像特性制御系、９…収差制御系、２２，２２Ａ…ミラー（凹面鏡）、２３Ａ〜２３Ｃ…ホールドブロック、３９…波面収差計測装置、４７…分割鏡筒、５０，５０Ａ…デフォーマブルミラー、５４…荷重付与系、５８…駆動ユニット、５９…駆動素子、６０…荷重センサ、６１…圧縮ばね、６４Ａ〜６４Ｅ…予圧ばね
【図１】
2013161992.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2013161992.tif 000013
【図１０】
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