(57)【要約】【課題】基板処理ステージ上の支持ピンの数を増やすことで、ガラス基板の撓みを低減し、ガラス基板のキズ・割れ等の損傷を防ぎ、品質の向上や生産性の向上に大きく貢献することができる支持ピン構造体を提供するものである。【解決手段】複数の開口部を有する基板処理ステージ上にガラス基板を保持するための支持ピン構造体であって、各前記開口部の内部を昇降する昇降ユニットが最上部に円形ステージを具備し、前記円形ステージの中央部に１本の円柱状の固定軸が遊貫し、且つ、前記ステージが固定軸の近傍に左右対称の２本の支持ピンを具備し、その下端部が円形ステージに固定され、上部が開閉することを特徴とする支持ピン構造体である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有する基板処理ステージ上にガラス基板を保持するための支持ピン構造体であって、
各前記開口部の内部を昇降する昇降ユニットが最上部に円形ステージを具備し、
前記円形ステージの中央部に１本の円柱状の固定軸が遊貫し、
且つ、前記ステージが固定軸の近傍に左右対称の２本の支持ピンを具備し、
その下端部が円形ステージに固定され、上部が開閉する、
ことを特徴とする支持ピン構造体。
【請求項２】
前記支持ピンが継手を介して前記固定軸と接合され、前記継手の一端が前記固定軸の上部に固定され、他端が前記支持ピンの任意の位置に移動可能な接合構造であることを特徴とする請求項１に記載の支持ピン構造体。
【請求項３】
前記昇降ユニットの上昇時に支持ピンが開き、降下時に支持ピンが閉じることを特徴とする請求項１または２に記載の支持ピン構造体。
【請求項４】
前記昇降ユニットの昇降ポジションを変更することで、支持ピンの開閉角度を任意に調整できることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の支持ピン構造体。
【請求項５】
支持ピンの先端部が球体形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の支持ピン構造体。
【請求項６】
支持ピンの先端部が緩衝材で形成され、且つ、フリーベア構造であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の支持ピン構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカラーフィルタの製造に係る、ガラス基板を保持するための基板処理ステージに具備される支持ピン構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
テレビ、ＰＣ，携帯電話、カーナビゲーション、電子書籍などに用いられるディスプレイ、特に液晶表示体は、益々薄型、軽量化が求められ、それに伴いカラーフィルタも薄型化が進んでいる。一般にカラーフィルタの製造にはガラス基板が用いられ、その製造工程では各種加工処理を施すために、従来、搬送ロボットにより図３に示すような基板処理ステージ上へのガラス基板の受け渡し、及び受け取りを行なっている。
【０００３】
図３は従来の基板処理ステージの概略図を示す。従来の基板処理ステージ１は、ステージの複数の開口部２から突き出た支持ピン３を具備しており、図５に示す搬送ロボット２０によりガラス基板１０を搬送して、基板処理ステージ１上へガラス基板１０の受け渡し、及び受け取りを行なっている。この時、基板処理ステージ１上設置されたガラス基板１０は、未加工面側（下側）から、前記支持ピン３上に載せられた状態で保持される。
【０００４】
しかしながら、生産性向上を目的としたガラス基板の大型化と、軽量化を目的としたガラス基板の薄型化により、ガラス基板の撓みが大きくなり、従来の基板処理ステージ上へのガラス基板の受け渡し、及び受け取りに際して、搬送ロボットとガラス基板との接触によるガラス基板のキズ・割れ等の損傷が生じ易く問題となっている。
【０００５】
上記のようなガラス基板の撓みによって生じ易くなるキズ・割れ等の損傷を防ぐ方法として、例えば、基板処理ステージに具備する支持ピンの配置数を増やすことで、ガラス基板の撓みそのものを減らすことが可能であるが、支持ピンの配置数を増やすことは、基板処理ステージにあらたに開口部を設ける大幅な装置の改造が必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１４６６５号公報
【特許文献２】特開２０１１−２５８７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、基板処理ステージ上の支持ピンの数を増やすことで、ガラス基板の撓みを低減し、ガラス基板のキズ・割れ等の損傷を防ぎ、品質の向上や生産性の向上に大きく貢献することができる支持ピン構造体を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、複数の開口部を有する基板処理ステージ上にガラス基板を保持するための支持ピン構造体であって、
各前記開口部の内部を昇降する昇降ユニットが最上部に円形ステージを具備し、
前記円形ステージの中央部に１本の円柱状の固定軸が遊貫し、
且つ、前記ステージが固定軸の近傍に左右対称の２本の支持ピンを具備し、
その下端部が円形ステージに固定され、上部が開閉する、
ことを特徴とする支持ピン構造体である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、前記支持ピンが継手を介して前記固定軸と接合され、前記継手の一端が前記固定軸の上部に固定され、他端が前記支持ピンの任意の位置に移動可能な接合構造であることを特徴とする請求項１に記載の支持ピン構造体である。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、前記昇降ユニットの上昇時に支持ピンが開き、降下時に支持ピンが閉じることを特徴とする請求項１または２に記載の支持ピン構造体である。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、前記昇降ユニットの昇降ポジションを変更することで、支持ピンの開閉角度を任意に調整できることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の支持ピン構造体である。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、支持ピンの先端部が球体形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の支持ピン構造体である。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、支持ピンの先端部が緩衝材で形成され、且つ、フリーベア構造であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の支持ピン構造体である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の請求項１〜３に係る発明により、基板処理ステージ上に設けられた複数の開口部の内部を昇降する昇降ユニットの円形ステージの中央部に１本の円柱状の固定軸が遊貫し、且つ、前記ステージが固定軸の近傍に左右対称の２本の支持ピンを具備し、その下端が前記ステージに固定され、上部が開閉する支持ピン構造体であるために、前記昇降ユニットの上昇と伴に２本の支持ピンが前記固定軸を中心に左右に開き、１つの開口部に対して２本の支持ピンが作用することができる。従って、従来と同数の開口部に対して、最大２倍の支持ピン数でガラス基板を保持することができ、大型及び薄型化されたガラス基板の撓みによる搬送ロボットとの接触を防ぐことができる。またこれにより品質の向上及び生産性の向上が図れる。
【００１５】
また、本発明の請求項４に係る発明により、ガラス基板の撓み度に応じた支持ピンの高さ方向の調整ができ、ガラス基板の厚みやメーカーごとに位置を調整できる。
【００１６】
また、本発明の請求項５により、支持ピンの先端部が球体形状であるため、支持ピン６とガラス基板との接触面積を最小限にすることができ、ガラス基板へのキズ等の損傷を防ぐことができる。
【００１７】
また、本発明の請求項６により、支持ピンの先端部が緩衝材で形成され、且つ、フリーベア構造であるため、ガラス基板との接触において回転と緩衝材の効果により摩擦抵抗を低減し、ガラス基板へのキズ等の損傷を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の支持ピン構造体の一実施形態を表す概略図である。
【図２】本発明の支持ピンの先端部の一実施形態を表す概略図である。
【図３】従来の基板処理ステージの概略図である。
【図４】従来の基板処理ステージ上に設置されたガラス基板の概略図である。
【図５】従来の基板処理ステージ上に設置されたガラス基板と搬送ロボットとの位置関係を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図をもとに本発明の具体的な説明をする。
【００２０】
図１は、本発明の支持ピン構造体２０の一実施形態を表す概略図である。図１（ａ）は支持ピン構造体２０が閉じた時の概略図を示し、図１（ｂ）は支持ピン構造体２０が開いた時の概略図を示す。
【００２１】
本発明の支持ピン構造体２０の具体的な構造は、基板処理ステージに複数設けられた各開口部２を昇降する昇降ユニット３０の円形ステージ５の中央部に遊貫する１本の円柱状の固定軸４と、前記固定軸４の近傍の前記円形ステージ３０に下端が固定された左右対称の２本の支持ピン６とからなり、前記支持ピン６が継手９を介して一端が前記固定軸４の上部に固定され、他端が前記支持ピン６の任意の位置に移動可能な構造で接続されているため、前記円形ステージ５の昇降に応じて前記支持ピン６の上端が開閉することができることを特徴とするものである。
【００２２】
また本発明の支持ピン構造２０は、昇降時に、固定軸４近傍の左右対称の２本の支持ピン６が開くため、従来のような一つの開口部に対して１本の支持ピン３（図３に記載）が作用する機構に比べて、２倍の支持ピン６が作用するためにガラス基板１０の撓みが減少でき、その結果として、搬送ロボット４０との接触によるガラス基板１０の損傷を防ぐことができる。
【００２３】
また、図２に示すように、前記支持ピン６の先端部７は球体形状でフリーベア構造８となっているため、ガラス基板１０との接触において、先端部７のフリーベア構造８の回転の効果により摩擦抵抗を低減し、ガラス基板へのキズ等の損傷を防ぐことができる。また、支持ピン６の先端部７を緩衝材で形成することにより、ガラス基板との接触において衝撃を和らげる効果が働き、より一層ガラス基板へのキズ等の損傷を防ぐことができる。
【００２４】
本発明の支持ピン構造体２０の開閉機構をさらに詳細に説明する。
図１（ａ）が示すように、昇降ユニット３０上の円形ステージ５が降下する時は、前記支持ピン６が継手９を介して一端が前記固定軸４の上部に固定され、他端が前記支持ピン６の任意の位置に移動可能な構造で接続されているために、前記継手９の移動可能な他端の構造により押し下げられ、左右の支持ピン６が固定軸４に略平行に沿うように伸びたコンパクトな構造になる。
【００２５】
一方、図１（ｂ）が示すように、昇降ユニット３０上の円形ステージ５が上昇する時は、前記支持ピン６が継手９を介して一端が前記固定軸４の上部に固定され、他端が前記支持ピン６の任意の位置に移動可能な構造で接続されているために、前記継手９の移動可能な他端の構造により押し上げられ、左右の支持ピン６が固定軸４に対して左右対称に開くような構造になる。
【００２６】
上記のような昇降ユニット３０上の円形ステージ５に具備された２本の支持ピン６の開閉角度は、円形ステージ５の昇降ポジションを変更することにより、任意に調整することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は液晶表示体に用いられるカラーフィルタのような大型で膜厚の薄いガラス基板を、搬送ロボットを用いて所定の基板処理ステージへ受け渡しや受け取りを行なう工程
において、ガラス基板の撓みを減少し、搬送ロボットとの接触によるガラス基板の損傷を防ぐことができる基板処理ステージに適応することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１・・・・基板処理ステージ
２・・・・開口部
３・・・・支持ピン
４・・・・固定軸
５・・・・円形ステージ
６・・・・支持ピン
７・・・・先端部
８・・・・フリーベア構造
９・・・・支持体
１０・・・ガラス基板
２０・・・支持ピン構造体
３０・・・昇降ユニット
４０・・・搬送ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2013182912.tif 000006
【図５】
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