(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電アクチュエーターの第１の電極の必要な剛性を確保しつつ変位量を向上させることが可能な圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。【解決手段】弾性膜１６および絶縁体膜１７からなる作動面上に形成された下電極２４、下電極２４に積層された圧電体２５、圧電体２５に積層された上電極２６と、を有する圧電素子１８であって、下電極は２４、チタンおよびイリジウムを含み、焼成により作製され、焼成後の下電極２４の圧電体２５との界面側から作動面との界面側へ向かう方向でのチタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布が最大となる位置でのイリジウムに対するチタンの存在比が、１００倍以上である。【選択図】図２
2013161800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動対象上に形成された第１の電極、該第１の電極に積層された圧電体、該圧電体に積層された第２の電極と、を有する圧電アクチュエーターであって、
前記第１の電極は、チタンおよびイリジウムを含み、焼成により作製され、
焼成後の前記第１の電極の前記圧電体との界面側から前記駆動対象との界面側へ向かう方向でのチタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布が最大となる位置でのイリジウムに対するチタンの存在比が、１００倍以上であることを特徴とする圧電体アクチュエーター。
【請求項２】
前記チタンおよびイリジウムの分布は、二次イオン質量分析法に基づくことを特徴とする請求項１に記載の圧電体アクチュエーター。
【請求項３】
前記第１の電極は、前記駆動対象側からチタン層、白金層、およびイリジウム層の順に積層された状態で焼成されて構成され、
焼成前の前記白金層の厚さが５５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電体アクチュエーター。
【請求項４】
液体を噴射するノズル、当該ノズルに連通する圧力室、及び、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の圧電アクチュエーターを備え、
当該圧電アクチュエーターの作動により前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、当該圧力変動によりノズルから液体を噴射させることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに用いられる圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関し、特に、第１の電極、圧電体、および第２の電極の積層によりなる圧電アクチュエーター、これを備えた液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体を液滴としてノズルから噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として噴射させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、この他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターに用いられる色材、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイに用いられる有機材料、電極形成に用いられる電極材等、様々な種類の液体の噴射に液体噴射装置が用いられている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
液体噴射ヘッドにおいて液体を噴射するための駆動源、即ち、ヘッド流路内の液体に圧力変動を生じさせるための圧力発生手段として用いられる圧電素子（圧電アクチュエーター）は、圧電材料からなる圧電体膜を電極で挟んで構成されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この圧電素子は、下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体、および、上電極膜が、成膜技術により積層されて熱処理により焼成され、リソグラフィー及びエッチングによるパターニングによって圧力室毎に切り分けられて構成される。そして、圧力室の一部を構成する弾性膜あるいは振動板等の作動面（駆動対象）を圧電素子によって変位或いは変形させることで、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用して液体噴射ヘッドのノズルから液体を噴射させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１５３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の圧電素子を圧力発生手段として採用する液体噴射ヘッドでは、省電力化の観点から、一定の電圧を付与したときの圧電素子の変位量を向上させることが求められている。特に、圧力室の一部を構成する振動板を圧電素子によって変位させることで圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる構成では、駆動対象である作動面と圧電体の間に位置する下電極（第１の電極）に関して、圧電素子の変形に追従してより円滑に変位させることが望ましい。この点に関し、下電極の厚みを単に薄くするほど剛性が低くなって変形し易くなるので、圧電素子が駆動したときの変位量を大きくすることができる。しかしながら、その分、下電極の剛性が不足して耐久性が低下する問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電アクチュエーターの第１の電極の必要な剛性を確保しつつ変位量を向上させることが可能な圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電アクチュエーターは、上記目的を達成するために提案されたものであり、駆動対象上に形成された第１の電極、該第１の電極に積層された圧電体、該圧電体に積層された第２の電極と、を有する圧電アクチュエーターであって、
前記第１の電極は、チタンおよびイリジウムを含み、焼成により作製され、
焼成後の前記第１の電極の前記圧電体との界面側から前記駆動対象との界面側へ向かう方向でのチタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布が最大となる位置でのイリジウムに対するチタンの存在比が、１００倍以上であることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、焼成後の第１の電極の圧電体との界面側から駆動対象との界面側へ向かう方向でのチタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布が最大となる位置でのイリジウムに対するチタンの存在比が、１００倍以上となるようにすることで、第１の電極の剛性と変位量の相関をみたときに、一定の剛性に対する変位量の割合を従来よりも大きくすることができる。これにより、必要な剛性を確保しつつ第１の電極の厚さを従来よりも薄くすることができ、第１の電極の変位量を向上させることができる。その結果、一定の駆動電圧を印加したときの圧電アクチュエーターの変位量を向上させることができる。
【０００９】
また、上記構成において、前記チタンおよびイリジウムの分布は、二次イオン質量分析法に基づくことが望ましい。
【００１０】
また、上記構成において、前記第１の電極は、前記駆動対象側からチタン層、白金層、およびイリジウム層の順に積層された状態で焼成されて構成され、
焼成前の前記白金層の厚さが５５μｍ以下であることが望ましい。
【００１１】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル、当該ノズルに連通する圧力室、及び、上記各構成の何れかの圧電アクチュエーターを備え、
当該圧電アクチュエーターの作動により前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、当該圧力変動によりノズルから液体を噴射させることを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、上記圧電アクチュエーターを採用することにより、一定の駆動電圧を印加したときの圧電アクチュエーターの変位量を向上させることができるので、省電力化に寄与することが可能となる。
【００１３】
また、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、上記液体噴射ヘッドを採用することにより、一定の駆動電圧を印加したときの圧電アクチュエーターの変位量を向上させることができるので、省電力化に寄与することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する図である。
【図３】シリコンウェハー上に弾性膜、絶縁体膜、および下電極を形成する工程を説明する図である。
【図４】焼成前の下電極の層構造について説明する模式図である。
【図５】圧電素子を形成する工程について説明する図である。
【図６】焼成後の下電極の層構造について模式的に示した拡大断面図である。
【図７】下電極の拡散層におけるチタンおよびイリジウムの拡散分布を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の圧電アクチュエーターとして、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド２に用いられる圧電素子１８を例に挙げて説明する。
【００１６】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、記録ヘッド２が取り付けられると共に、液体供給源の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録動作時の記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７と、主走査方向に直交する副走査方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８と、を備えている。
【００１７】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルスが図示しないプリンターコントローラーに送信される。リニアエンコーダー１０は位置情報出力手段の一種であり、記録ヘッド２の走査位置に応じたエンコーダーパルスを、主走査方向における位置情報として出力する。このため、プリンターコントローラーは、受信したエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ４に搭載された記録ヘッド２の走査位置を認識できる。即ち、例えば、受信したエンコーダーパルスをカウントすることで、キャリッジ４の位置を認識することができる。これにより、プリンターコントローラーはこのリニアエンコーダー１０からのエンコーダーパルスに基づいてキャリッジ４（記録ヘッド２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド２による記録動作を制御することができる。
【００１８】
キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジの走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル形成面（ノズル形成基板１５：図２参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。
【００１９】
図２は、本実施形態の記録ヘッド２の構成を示す図であり、（ａ）は記録ヘッド２の平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ′線断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ′線断面図である。なお、図２（ｃ）では保護基板１９の図示が省略されている。また、図２ではノズル４つ分の構成を例示しているが、残りの他のノズルに対応する構成も同様である。本実施形態における記録ヘッド２は、圧力室基板１４、ノズル形成基板１５、弾性体膜１６、絶縁体膜１７、圧電素子１８、及び、保護基板１９等を積層して構成されている。
【００２０】
圧力室基板１４は、例えば、シリコン単結晶基板から成る板材である。この圧力室基板１４には、複数の圧力室２０が、隔壁を間に挟んでその幅方向（ノズル列方向）に並設されている。圧力室基板１４の圧力室２０の長手方向（ノズル列方向に直交する方向）における外側に外れた領域には連通部２１が形成され、連通部２１と各圧力室２０とが、圧力室２０毎に設けられたインク供給路２２を介して連通されている。なお、連通部２１は、後述する保護基板１９のリザーバー部２９と連通して各圧力室２０の共通のインク室となるリザーバー３０の一部を構成する。インク供給路２２は、圧力室２０よりも狭い幅で形成されており、連通部２１から圧力室２０に流入するインクに対して流路抵抗を付与する。圧力室基板１４におけるこれらの圧力室２０やインク供給路２２等の流路は、異方性エッチングにより形成されている。
【００２１】
圧力室基板１４の下面には、各圧力室２０に対応して複数のノズル２３が列状に開設されたノズル形成基板１５が接合されている。これにより、圧力室２０の下面側の開口がノズル形成基板１５により封止されて圧力室２０の底部が画成される。圧力室基板１４の上面には、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜１６が形成されている。この弾性膜１６上には酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜１７が形成されている。この弾性膜１６および絶縁体膜１７における圧力室２０の開口を封止する部分は、作動面（本発明における駆動対象の一種）として機能する。また、この絶縁体膜１７上には下電極２４（本発明における第１の電極に相当）と、圧電体２５と、上電極２６（本発明における第２の電極に相当）とが形成され、これらが積層状態で圧電素子１８を構成している。
【００２２】
一般的には、圧電素子１８の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極（正極又は個別電極）及び圧電体２５を圧力室２０毎にパターニングして構成する。そして、パターニングされた何れか一方の電極及び圧電体２５から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。なお、本実施形態では、下電極２４が圧電素子１８の共通電極とされ、上電極２６が圧電素子１８の個別電極とされているが、圧電体２５の分極方向や駆動回路や配線の都合等によってこれらを全体的に逆にする構成とすることもできる。何れの場合においても、圧力室２０毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、このような各圧電素子１８の上電極２６には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極２７がそれぞれ接続されている。
【００２３】
圧力室基板１４上の圧電素子１８側の面には、圧電素子１８に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部２８を有する保護基板１９が接合されている。さらに、保護基板１９には、圧力室基板１４の連通部２１に対応する領域にリザーバー部２９が設けられている。このリザーバー部２９は、圧力室２０の並設方向に沿って長尺な矩形の開口形状を有する貫通穴として保護基板１９に形成されており、上述したように圧力室基板１４の連通部２１と連通されてリザーバー３０を画成する。このリザーバー３０は、インクの種類毎（色毎）に設けられ、複数の圧力室２０に共通のインクが貯留される。
【００２４】
また、保護基板１９の圧電素子保持部２８とリザーバー部２９との間の領域には、保護基板１９を厚さ方向に貫通する貫通孔３１が設けられ、この貫通孔３１内に下電極２４の一部及びリード電極２７の先端部が露出されている。保護基板１９上には、封止膜３２及び固定板３３とからなるコンプライアンス基板３４が接合されている。封止膜３２は、可撓性を有する材料（例えば、ポリフェニレンサルファイドフィルム）からなり、この封止膜３２によってリザーバー部２９の一方面が封止されている。また、固定板３３は、金属等の硬質の材料（例えば、ステンレス鋼等）で形成される。この固定板３３のリザーバー３０に対向する領域は、厚さ方向を貫通する開口部３５となっている。このため、リザーバー３０の一方の面は可撓性を有する封止膜３２のみで封止されている。
【００２５】
上記構成の記録ヘッド２では、インクカートリッジ等のインク供給手段からインクを取り込み、リザーバー３０からノズル２３に至るまでインクで満たされる。そして、プリンター本体側からの駆動信号の供給により、圧力室２０に対応するそれぞれの下電極２４と上電極２６との間に両電極の電位差に応じた電界が付与され、圧電素子１８および作動面（弾性膜１６）が撓み変形することにより、圧力室２０内に圧力変動が生じる。この圧力変動を制御することで、ノズル２３からインクを噴射させたり、或いは、インクが噴射されない程度にノズル２３におけるメニスカスを微振動させたりする。
【００２６】
次に、上記の圧電素子１８の製造方法について説明する。
図３は、圧力室基板１４の基材であるシリコンウェハー３７上に弾性膜１６、絶縁体膜１７、および下電極２４を形成する工程を説明する図である。まず、図３（ａ）に示すように、シリコンウェハー３７を熱酸化し、その表面に弾性膜１６を構成する二酸化シリコン膜３８を形成する。続いて、図３に示すように、弾性膜１６上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜１７を形成する。具体的には、まず、弾性膜１６上に、例えば、ＤＣスパッタ法によりジルコニウム層を形成し、このジルコニウム層を熱酸化することにより酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜１７を形成する。次いで、図３（ｃ）に示すように、絶縁体膜１７上に下電極２４を形成する。なお、以下では、シリコンウェハー３７、弾性膜１６、および絶縁体膜１７を、適宜、基板４０として説明する。
【００２７】
図４は、焼成前の下電極２４（下電極前駆体４５）の層構造について説明する模式図である。
下電極２４の形成工程では、例えば、スパッタリング法やＣＶＤ法（化学蒸着法）などにより、チタン層４１、白金層４２、イリジウム層４３からなる下電極前駆体４５が形成される。具体的には、まず、基板４０の絶縁体膜５５上に、厚さが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲のチタン（Ｔｉ）層４１が形成される。このチタン層４１は、基板４０側の絶縁体膜１７と下電極２４との密着力を高める密着層として機能する。次いで、チタン層４１上に厚さが３０ｎｍ以上５５ｎｍ以下の範囲の白金（Ｐｔ）層４２が形成される。さらに、この白金層４２上に厚さが３ｎｍ以上２０ｎｍ以下の範囲のイリジウム（Ｉｒ）層４３を形成する。これにより、チタン層４１、白金層４２、及びイリジウム層４３が積層されてなる下電極前駆体４５が形成される。
【００２８】
図５は、圧電素子１８の形成工程について説明する図である。図５（ａ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体２５（圧電体前駆体）と、例えば、イリジウムからなる上電極２６（上電極前駆体）とが、下電極前駆体４５上に順次形成された後、図５（ｂ）に示すように、各圧力室２０に対向する領域にパターニングされて圧電素子１８が形成される。圧電体２５の形成方法は、本実施形態では、金属有機物を溶媒に溶解・分散したゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物とする、いわゆるゾル−ゲル法を用いて圧電体２５が形成される。なお、圧電体２５の形成方法は、特に限定されず、例えば、ＭＯＤ法やスパッタリング法等を用いることも可能である。圧電素子１８が形成されたならば、図５（ｃ）に示すように、圧電素子１８の全面に亘って保護膜１８が形成される。
【００２９】
図６は、焼成後の下電極２４の層構造について模式的に示した拡大断面図である。
上記下電極前駆体４５は、焼成により圧電体２５を結晶化させる際に同時に加熱処理される。この際、基板４０側（作動面側）の最下層であるチタン層４１のチタンの一部は、白金層４２を形成する柱状結晶粒４８の粒界を通ってイリジウム層４３側に向けて酸化されつつ拡散する。その結果、焼成後の下電極２４において、圧電体２５との界面側には、酸化チタン（ＴｉＯ２）と酸化イリジウム（ＩｒＯ２）とが混在する拡散層４４が形成される。すなわち、下電極前駆体４５が加熱処理されて形成された下電極２４は、圧電体２５との界面側から順に、拡散層４４、白金層４２、およびチタン層４１から構成される層構造となる。また、白金層４２の柱状結晶粒４８の粒界には、チタン層４１から拡散層４４に渡って連続する酸化チタンからなる粒界層４９が含まれる。
【００３０】
ここで、図７は、下電極２４の主に拡散層４４におけるチタンおよびイリジウムの拡散分布を示すグラフである。同図は、二次イオン質量分析法（Secondary Ion Mass Spectrometry：SIMS）による検出値をグラフ化したものであり、横軸は時間（ｓ）、縦軸は検出強度（イオンカウント数（ｃｐｓ））を示す。なお、圧電体２５との界面側から基板４０の作動面との界面側へ向かって順次分析が進められるため、横軸において０に近いほど圧電体２５との界面側となり、０より大きくなるほど基板４０との界面側に近づく。また、同図において、本発明に係る圧電素子１８の下電極２４におけるチタンの検出強度変化をＴｉ（ａ）で示し、イリジウムの検出強度変化をＩｒ（ａ）で示している（何れも実線）。これに対し、従来構成の圧電素子の下電極におけるチタンの検出強度変化をＴｉ（ｂ）で示し、イリジウムの検出強度変化をＩｒ（ｂ）で示している（何れも破線）。
【００３１】
本発明に係る圧電素子１８の下電極２４では、チタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布（検出値）が最大ピークとなる位置（図７においてＸで示す時点）でのイリジウムに対するチタンの存在比が、１００倍以上となっている。これに対し、従来構成の圧電素子の下電極では、チタンおよびイリジウムの拡散分布において、チタンの分布（検出値）が最大ピークとなる位置（同じく図７においてＸで示す時点）でのイリジウムに対するチタンの存在比は、十数倍から数十倍程度となっている。このように、チタンが最大ピークとなる位置でのＴｉ／Ｉｒを１００倍以上とするために、下電極前駆体におけるチタン層、白金層、およびイリジウム層の各層の厚さの比を、例えば、４：６：１に設定することが望ましい。従来構成との比較では、白金層とイリジウム層の厚さに対してチタン層の厚さを相対的に厚くする。なお、チタンが最大ピークとなる位置でのＴｉ／Ｉｒは、３００倍以下であることが望ましい。すなわち、チタンに対するイリジウムの存在比率が低すぎると、酸化イリジウムに求められるＰＺＴ中の鉛の拡散防止機能が低下し、二酸化シリコン膜と酸化ジルコニウム膜の界面剥離の問題を引き起こすためである。
【００３２】
圧電素子１８の下電極２４を上記のように構成することにより、一定の駆動電圧を印加したときの当該圧電素子１８の変位量を向上させることができる。ここで、下電極２４の全体的な厚みを単に薄くするほど剛性が低くなって変形し易くなるので、圧電素子１８が駆動したときの変位量を大きくすることができるが、その分、剛性が不足して耐久性が低下する虞がある。この点に関し、本発明に係る下電極２４のように、当該下電極２４の深さ方向のチタンおよびイリジウムの拡散分布においてチタンが最大ピークとなる位置でのＴｉ／Ｉｒを１００倍以上とすることで、下電極２４の剛性と変位量の相関をみたときに、一定の剛性に対する変位量の割合を従来よりも大きくすることができる。これにより、必要な剛性を確保しつつ下電極２４の厚さを従来よりも薄くすることができ、変位量を向上させることができる。具体的には、圧電素子を構成する他の層（圧電体２５および上電極２６）、弾性膜１６、絶縁体膜１７などの剛性や寸法、或いは、駆動時の駆動電圧などの条件を揃えた状態で、本発明に係る圧電素子１８と従来構成の圧電素子との変位量を比較した場合に、１０％程度向上することが実験の結果で判った。そして、インクを噴射するための駆動源（圧力発生手段、圧電アクチュエーター）として備える記録ヘッド１、及び、この記録ヘッド１を搭載したプリンター１では、圧電素子１８を駆動する駆動信号の電圧を従来よりも低く抑えることが可能となるので、省電力化に寄与することができる。
【００３３】
なお、上記各実施形態では、圧電アクチュエーターとして、インクを噴射する記録ヘッド２の圧力発生手段として用いられる圧電素子１８を例示したが、これには限られない。例えば、Ｒ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射するディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドや、液状の電極材料を噴射する電極形成装置用の電極材噴射ヘッドや、生体有機物の溶液を噴射するチップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッド等に用いられる圧電アクチュエーターにも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１…プリンター，２…記録ヘッド，１６…弾性膜，１７…絶縁体膜，１８…圧電素子，２４…下電極，２５…圧電体，２６…下電極，４０…基板，４１…チタン層，４２…白金層，４３…イリジウム層，４４…拡散層，４５…下電極前駆体，４８…柱状結晶粒，４９…粒界層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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