(57)【要約】【課題】  カセットのサイズに応じて固定部材の位置を容易に変更可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  被加工物に加工を施す加工領域と、該加工領域で加工が施される被加工物を複数収容可能な収容部を有するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台上に載置されたカセットに収容された被加工物を該加工領域へと搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、カセット載置面に形成された前位置決め部材は該載置面上に固設されるとともに、背面位置決め部材は載置されるカセットのサイズに応じて前後方向に移動可能に配設され、右位置決め部材と左位置決め部材とは載置されるカセットのサイズに応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されていることを特徴とする。【選択図】図４
2013135138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に加工を施す加工領域と、該加工領域で加工が施される被加工物を複数収容可能な収容部を有するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台上に載置されたカセットに収容された被加工物を該加工領域へと搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、
該カセットは、該収容部を囲繞する右側壁と、左側壁と、該右側壁と該左側壁とを連結する連結部と、該収容部に収容された被加工物を出し入れする前面開口部とを含み、
該カセット載置台は該カセットが載置される載置面上に、該カセット載置台上に載置された該カセットの該前面開口部の下端部が当接する前位置決め部材と、該右側壁の下端部が当接する右位置決め部材と、該左側壁の下端部が当接する左位置決め部材と、該カセットの背面下端部が当接する背面位置決め部材とからなるカセット固定部を有し、
該前位置決め部材は該載置面上に固設されるとともに、該背面位置決め部材は載置されるカセットのサイズに応じて前後方向に移動可能に配設され、該右位置決め部材と該左位置決め部材とは載置されるカセットのサイズに応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されていることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセット載置台を有する切削装置、研削装置等の加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置に投入する被加工物は例えば特開平９−２７５４３号公報、又は特開２０００−９１４００号公報に開示されるようなカセットに収容され、被加工物を収容したカセットは、特開平７−７８７９４号公報に開示されるように加工装置のカセット載置台上に載置される。
【０００３】
カセット載置台上に載置されたカセット内に収容された被加工物は被加工物搬出入機構により位置決め領域まで搬出され、位置決め領域で位置決めされた後、搬送機構により加工領域に搬送される。加工領域では、被加工物はチャックテーブルに保持されて、チャックテーブルと加工ユニットとを相対的に加工送りすることにより被加工物に加工が施される。
【０００４】
従来のカセット載置台の載置面には、カセットを固定するための左右の固定部材及び前後の固定部材が例えばねじ止め等により固設されている。カセットのサイズに応じて固定部材の取り付け位置を変更する場合には、一旦ねじを緩めてから固定位置を変更して固定部材をカセットのサイズに応じて再度固定するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２７５４３号公報
【特許文献２】特開２０００−９１４００号公報
【特許文献３】特開平７−７８７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のカセット載置台では、固定部材を固定しているねじを緩めてからカセットのサイズに応じて固定部材の位置を変更し、その位置で再度固定部材をねじ止めしていたため、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を変更するのに手間がかかるという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を容易に変更可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると、被加工物に加工を施す加工領域と、該加工領域で加工が施される被加工物を複数収容可能な収容部を有するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台上に載置されたカセットに収容された被加工物を該加工領域へと搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、該カセットは、該収容部を囲繞する右側壁と、左側壁と、該右側壁と該左側壁とを連結する連結部と、該収容部に収容された被加工物を出し入れする前面開口部とを含み、該カセット載置台は該カセットが載置される載置面上に、該カセット載置台上に載置された該カセットの該前面開口部の下端部が当接する前位置決め部材と、該右側壁の下端部が当接する右位置決め部材と、該左側壁の下端部が当接する左位置決め部材と、該カセットの背面下端部が当接する背面位置決め部材とからなるカセット固定部を有し、該前位置決め部材は該載置面上に固設されるとともに、該背面位置決め部材は載置されるカセットのサイズに応じて前後方向に移動可能に配設され、該右位置決め部材と該左位置決め部材とは載置されるカセットのサイズに応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されていることを特徴とする加工装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、背面位置決め部材が前後方向に移動可能に配設され、更に左右の位置決め部材が互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動可能に配設されているため、カセットのサイズに応じて固定部材の位置を容易に変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】加工装置の一例としての切削装置の斜視図である。
【図２】カセット一例を示す斜視図である。
【図３】本発明実施形態に係るカセットエレベータの背面側斜視図である。
【図４】カセット載置台の平面図である。
【図５】図４の５−５線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一例としての切削装置２の斜視図が示されている。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作パネル４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像ユニットによって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示モニタ６が設けられている。
【００１２】
切削装置２の切削対象である半導体ウエーハ１１は、環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴに貼着された後、図１に示したカセット８中に複数枚収容される。カセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。カセット８の後方には、カセット８から切削前のウエーハ１１を搬出するとともに、切削後のウエーハをカセット８に搬入する搬出入ユニット１０が配設されている。
【００１３】
カセット８と搬出入ユニット１０との間には、搬出入対象のウエーハ１１が一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハ１１を一定の位置に位置合わせする位置合わせ機構１４が配設されている。
【００１４】
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハ１１を吸着して搬送する旋回アームを有する搬送ユニット１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されて位置合わせされたウエーハ１１は、搬送ユニット１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引保持される。
【００１５】
チャックテーブル１８は、回転可能且つ図示しない加工送り機構によりＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハ１１の切削すべき領域を検出するアライメントユニット２２が配設されている。２０は環状フレームＦをクランプするクランプである。
【００１６】
アライメントユニット２２は、ウエーハ１１の表面を撮像する撮像ユニット２４を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべき領域を検出することができる。撮像ユニット２４によって取得された画像は、表示モニタ６に表示される。
【００１７】
アライメントユニット２２の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハ１１に対して切削加工を施す切削ユニット２６が配設されている。切削ユニット２６はアライメントユニット２２と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００１８】
切削ユニット２６は、回転可能なスピンドル２８の先端に外周に切刃を有する切削ブレード３０が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード３０は撮像ユニット２４のＸ軸方向の延長線上に位置している。切削ユニット２６のＹ軸方向の移動は図示しない割り出し送り機構により達成される。
【００１９】
３４は切削加工の終了したウエーハ１１を洗浄するスピンナ洗浄ユニットであり、切削加工の終了したウエーハ１１は搬送ユニット３２によりスピンナ洗浄ユニット３４まで搬送され、スピンナ洗浄ユニット３４でスピン洗浄及びスピン乾燥される。
【００２０】
図２を参照すると、カセット８の一例の斜視図が示されている。カセット８は、右側壁３６と、左側壁３８が対向して配設されており、右側壁３６と左側壁３８は天板４０及び底部連結板４２により連結されて四角形状に形成されている。右側壁３６と、左側壁３８と天板４０により収容部８ａが画成されている。
【００２１】
カセット８は被加工物をカセット８に出し入れするための前面開口部８ｂを有している。本実施形態では、カセット８の後面も開口している。右側壁３０の内側には前後方向に伸びる複数段の棚４４が形成されている。同様に、左側壁３８の内側にも前後方向に伸びる複数段の棚４６が形成されている。右側壁３６の棚４４と左側壁３８の棚４６とは、各段毎にそれぞれ対応して対峙するように形成されている。
【００２２】
カセット８の背面開口部には、右側壁３６の棚４４及び左側壁３８の棚４６とを直交する方向に伸長するストッパー４８が配設されており、このストッパー４８によってカセット８内に収容されている板状被加工物５０が背面側から脱落しないようになっている。
【００２３】
被加工物５０は、本実施形態では、図１に示すようにダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持された半導体ウエーハ１１であり、環状フレームＦが右側壁３６の棚４４及び左側壁３８の棚４６に支持されて、カセット８の収容部８ａ内に水平状態で複数枚収容される。天板４０には取っ手５２が取り付けられており、オペレータは取っ手５２を把持してカセット８を運搬できるようになっている。
【００２４】
図３を参照すると、本発明実施形態に係るカセットエレベータ９の背面側斜視図が示されている。カセットエレベータ９のベース５４には、ブラケット５６が垂直に立設されており、このブラケット５６とベース５４に渡りボールねじ５８が垂直に配設されている。ボールねじ５８の一端はベース５４上に配設されたパルスモータ６０に連結されている。
【００２５】
ボールねじ５８はスライドブロック６４に内蔵されたナットに螺合されており、パルスモータ６０を駆動してボールねじ５８が回転されると、スライドブロック６４が垂直方向に伸長する一対のガイドレール６６に沿って垂直方向に移動する。
【００２６】
７０はカセット載置台であり、カセット載置台７０はそれぞれ下端がスライドブロック６４に固定された一対の支持部材６８により水平状態で支持されている。よって、パルスモータ６０の駆動によりボールねじ５８を介してスライドブロック６４が上下方向に移動すると、カセット載置台７０も上下方向に移動する。
【００２７】
カセット載置台７０の載置面７０ａ上には、カセット載置台７０上に載置されたカセット８の前面開口部８ｂの下端部が当接する前位置決め部材７２が固定されている。
【００２８】
載置面７０ａ上には更に、右側壁３６の下端部が当接する右位置決め部材７４及び左側壁３８の下端部が当接する左位置決め部材７６が左右方向に同時に移動可能に配設されており、カセット８の背面下端部が当接する背面位置決め部材７８が前後方向に移動可能に配設されている。
【００２９】
載置台７０の平面図を示す図４を参照して更に説明すると、載置面７０ａ上に配設された右位置決め部材７４及び左位置決め部材７６は矢印Ａで示す互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動するようにカセット載置台７０に取り付けられている。
【００３０】
この移動機構は特に図示しないが、例えば複写機等に採用されているコピー用紙を使用するカセットトレイにおいて、コピー用紙のサイズ（Ａ４、Ｂ４等）に応じて互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に同時に移動するサイド位置決め機構を採用することができる。
【００３１】
背面位置決め部材７８は、矢印Ｂで示す前後方向に移動可能であり、右位置決め部材７４及び左位置決め部材７６を互いに近づく方向に移動し、背面位置決め部材７８を前面側に移動することにより、６インチカセット載置領域８０Ａを画成することができ、右位置決め部材７４及び左位置決め部材７６を互いに遠ざかる方向に移動し、背面位置決め部材７８を後方側に移動することにより、８インチカセット載置領域８０Ｂを画成することができる。
【００３２】
図５（Ａ）を参照すると、図４の５−５線断面図が示されている。この図から明らかなように、右位置決め部材７４でカセット８の右側壁３６の下端部が位置決めされ、左位置決め部材７６でカセット８の左側壁３８の下端部が位置決めされる。
【００３３】
図５（Ｂ）は、図４の５−５線断面図の他の実施形態を示している。本実施形態のように、右位置決め部材７４が内側傾斜面７４ａを有し、左位置決め部材７６が内側傾斜面７６ａを有していることにより、カセット８の載置や取り出しが容易となる。前面位置決め部材７２及び背面位置決め部材７８にも同様な内側傾斜面を形成するようにしてもよい。
【００３４】
上述した実施形態では、右位置決め部材７４及び左位置決め部材７６を互いに近づく方向に同時に移動して所定位置で係止し、更に背面位置決め部材７８を前面側に移動して所定位置で係止することにより、６インチカセット載置領域８０Ａを画成することができ、右位置決め部材７４及び左位置決め部材７６を互いに遠ざかる方向に同時に移動して所定位置で係止し、背面位置決め部材７８を後方側に移動して所定位置で係止することにより、８インチカセット載置領域８０Ｂを画成することができる。
【００３５】
よって、カセットのサイズに応じて位置決め部材７４，７６，７８の位置を容易に変更可能であり、異なるサイズの板状被加工物を収容した異なるサイズのカセットをカセット載置台７０上に載置することができる。
【００３６】
上述した実施形態では、本発明のカセット載置台７０を切削装置に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、バイト切削装置等の他の加工装置のカセット載置台にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００３７】
２    切削装置
８    カセット
８ａ    収容部
８ｂ    前面開口部
９    カセットエレベータ
３６    右側壁
３８    左側壁
４４，４６    棚
４８    ストッパー
５８    ボールねじ
６０    パルスモータ
６４    スライドブロック
７０    カセット載置台
７０ａ    載置面
７２    前位置決め部材
７４    右位置決め部材
７６    左位置決め部材
７８    背面位置決め部材
８０Ａ    ６インチカセット載置領域
８０Ｂ    ８インチカセット載置領域
【図１】
2013135138.tif 000003
【図２】
2013135138.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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