(57)【要約】【課題】円周上の所定位置の適度な荷重での押下を検知できるようにした静電容量検出型入力装置を構成する。【解決手段】静電容量検出型入力装置１０１は、フレキシブル基板１０と、このフレキシブル基板１０に重ねられる導電性ラバー２０と、この導電性ラバー２０に一体化された金属製または樹脂製のリング状の可動板３０と、導電性ラバー２０をフレキシブル基板１０に重ねた状態で固定するフレーム５０および補強板４０を備えている。導電性ラバー２０は絶縁層１１を介して固定電極６１およびＺ軸方向検出電極６２に対向するテーパー形状部２２を有する。固定電極６１は複数の円弧状の固定電極で構成されていて、各円弧状の固定電極は放射方向に外方へ延びる複数の櫛歯状電極部とそれらの櫛歯状電極部を内周寄りの位置で繋ぐ連結部とで構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、この基板に重ねられる導電性ラバーと、この導電性ラバーに一体化された金属製または樹脂製の可動板と、前記導電性ラバーを前記基板に重ねた状態で固定するケースとを備え、
前記基板は、円周が分割された複数の固定電極と、これらの固定電極の表面を被覆する絶縁層と、を有し、
前記導電性ラバーは、前記絶縁層を介して前記固定電極に対向し、前記基板の方向への荷重に応じて変形して、前記固定電極との間に生じる静電容量を変化させるための、外周から中心に向かって間隙が漸次拡大するテーパー形状部を有し、
前記固定電極は、放射方向に外方へ延びる複数の櫛歯状電極部とそれらの櫛歯状電極部を内周寄りの位置で繋ぐ連結部とを有する櫛型電極であり、
前記櫛歯状電極部の幅と間隔は２倍以上異なることがない、
静電容量検出型入力装置。
【請求項２】
前記櫛歯状電極部の放射方向の長さは幅の２倍以上である、請求項１に記載の静電容量検出型入力装置。
【請求項３】
前記櫛歯状電極部の放射方向の長さは前記連結部の放射方向の幅より長い、請求項１または２に記載の静電容量検出型入力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作者の入力操作によって変化する静電容量の変化を検出して入力操作を検知する静電容量検出型入力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に水平方向の入力を感知する複数の電極をそれぞれ円周方向に分割して設けた固定電極と、その固定電極との間にギャップを有して対向する部分に導電性の可動電極を設け、入力操作により可動電極が弾性変形してギャップが変化する弾性体と、この弾性体に突出形成した連結部に連結可能なキートップとを備え、固定電極上に絶縁膜を形成し、可動電極は、固定電極と対向する部分が固定電極の外周部寄りから中心部に向けてギャップの大きさが異なるテーパー状に形成した入力装置が特許文献１に示されている。
【０００３】
また、補強板をインサート成形した導電性ラバーと、このラバーが対向する位置に電極が形成された基板と、導電性ラバーを収容するケースを備えた入力装置が特許文献２に示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−８４９５号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００７／０５７９４３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の入力装置においては、固定電極と可動電極との間隔変化に対する静電容量変化が急峻であるので、低荷重の押下でも検知されてしまい、微妙な押圧力の違いによる入力操作を検知し難い。
【０００６】
また、特許文献２の入力装置においては、ラバーの変形の安定性および復元性が高いが、中心が操作部であるので、例えば円周上の所定位置を押下して水平方向の方向入力操作を行うことはできない。
【０００７】
本発明は上述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、円周上の所定位置の適度な荷重での押下を検知できるようにした静電容量検出型入力装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の静電容量検出型入力装置は、基板と、この基板に重ねられる導電性ラバーと、この導電性ラバーに一体化された金属製または樹脂製の可動板と、前記導電性ラバーを前記基板に重ねた状態で固定するケース（補強板＋フレーム）とを備え、
前記基板は、円周が分割された複数の円弧状の電極と、これらの円弧状の電極の表面を被覆する絶縁層と、を有し、
前記導電性ラバーは、前記絶縁層を介して前記固定電極に対向し、前記基板の方向への荷重に応じて変形して、前記円弧状の電極との間に生じる静電容量を変化させるための、外周から中心に向かって間隙が漸次拡大するテーパー形状部を有し、
前記円弧状の電極は、放射方向に外方へ延びる複数の櫛歯状電極部とそれらの櫛歯状電極部を内周寄りの位置で繋ぐ連結部とを有する櫛型電極であり、
前記櫛歯状電極部の幅と間隔は２倍以上異なることがない、ことを特徴としている。
【０００９】
前記櫛歯状電極部の放射方向の長さは幅の２倍以上であることが好ましい。
【００１０】
前記櫛歯状電極部の放射方向の長さは前記連結部の放射方向の幅より長いことが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、低荷重域の押下量に対する静電容量の変化量が小さくできるので、操作者は低荷重での操作がやりやすくなる。また、櫛形電極の長さや幅を変更することで、感度がコントロールでき、感度設定の自由度が高い、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（Ａ）は本発明の実施形態である静電容量検出型入力装置１０１の断面図、図１（Ｂ）はその部分拡大図である。
【図２】図２は、図１に示した静電容量検出型入力装置に操作面シートを被せた状態での断面図である。
【図３】図３（Ａ）はＸＹ面方向の入力操作時の指の位置を示す図、図３（Ｂ）はＺ軸方向の入力操作時の指の位置を示す図である。
【図４】図４は本発明の実施形態である静電容量検出型入力装置が備えるフレキシブル基板１０の平面図である。
【図５】図５（Ａ）は、静電容量検出型入力装置１０１の平面図、図５（Ｂ）はその側面図、図５（Ｃ）はその断面図である。
【図６】図６は本発明の実施形態である静電容量検出型入力装置が備えるフレキシブル基板１０の平面図であり、特に固定電極の形状および寸法について示す図である。
【図７】図７は導電性ラバー２０と固定電極６１との位置関係、および導電性ラバー２０の変形について示す図である。
【図８】図８はコントロール用ＩＣチップ５の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は静電容量検出型入力装置１０１の操作量と出力値との関係を示す図であり、図９（Ａ）はＸＹ面方向の入力操作時の特性、図９（Ｂ）はＺ軸方向の入力操作時の特性をそれぞれ示している。
【図１０】図１０は、フレキシブル基板１０に対する、導電性ラバー２０のテーパー形状部２２の対向面位置を示す図である。
【図１１】図１１（Ａ）は、固定電極６１の形成精度や組立精度の影響を示す図である。図１１（Ｂ）は荷重に対する出力感度の特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施形態である静電容量検出型入力装置について各図を参照しながら説明する。
図１（Ａ）は本発明の実施形態である静電容量検出型入力装置１０１の断面図、図１（Ｂ）はその部分拡大図である。この静電容量検出型入力装置１０１は、フレキシブル基板１０と、このフレキシブル基板１０に重ねられる導電性ラバー２０と、この導電性ラバー２０に一体化された金属製または樹脂製のリング状の可動板３０と、導電性ラバー２０をフレキシブル基板１０に重ねた状態で固定するフレーム５０および補強板４０を備えている。このフレーム５０および補強板４０によって、導電性ラバー２０をフレキシブル基板１０に重ねた状態で固定するケースを構成している。フレキシブル基板１０は、複数の固定電極６１およびＺ軸方向検出電極６２等と、これらの電極の表面を被覆する絶縁層１１とを有する。
【００１４】
導電性ラバー２０は絶縁層１１を介して固定電極６１およびＺ軸方向検出電極６２に対向するテーパー形状部２２を有する。このテーパー形状部２２は、導電性ラバー２０の外周から中心に向かって間隙の大きさが漸次拡大する形状である。このテーパー形状部２２は、フレキシブル基板１０方向への荷重に応じて変形して、固定電極６１およびＺ軸方向検出電極６２との間に生じる静電容量を変化させる。そのため、外周から中心に向かって間隙の大きさが漸次変化するテーパー形状をなしている。
【００１５】
フレキシブル基板１０にはグランド電極６３が形成されていて、導電性接着剤ＣＢＭを介してＳＵＳ（ステンレススチール）製の補強板４０と電気的に導通している。この導電性接着剤ＣＢＭはフレキシブル基板１０の下面の全面に塗布されていて、フレキシブル基板１０はこの導電性接着剤ＣＢＭで補強板４０に貼付されている。
【００１６】
ＳＵＳ（ステンレススチール）製のフレーム５０は導電性ラバー２０のリム（外縁部）２１をフレキシブル基板１０へ押しつけて、導電性ラバー２０をフレキシブル基板１０に固定するとともに電気的に導通する。また、このフレーム５０の脚部５１は補強板４０に対して溶接固定部ＷＰで抵抗溶接されている。これにより電気的機械的に接続されている。
【００１７】
フレキシブル基板１０には中心押下検出電極６４、中心電極６５が形成されていて、これらの上部にドーム状板７０が配置されている。導電性ラバー２０にはドーム状板７０に接する位置に中央突起部２３が形成されている。さらに導電性ラバー２０の可動板３０の上部にリング状（断面かまぼこ状）突起部２４が形成されている。
導電性ラバー２０と可動板３０はインサートモールド成型によって一体成型されている。
【００１８】
図２は、図１に示した静電容量検出型入力装置１０１に操作面シートを被せた状態での断面図である。操作面シート９０には、静電容量検出型入力装置１０１の導電性ラバー２０のうちリング状突起部２４の対応位置にリング状の突起部９１、および導電性ラバー２０の中央部分の対応位置に突起部９２がそれぞれ形成されている。リング状の突起部２４に対して操作面シート９０の平面部が当接する。この操作面シート９０のリング状の突起部９１を操作することによってジョグ操作（回転操作）や所定方向（ＸＹ面方向）の入力ができる。また、操作面シート９０の中央の突起部９２を押下することによってフレキシブル基板１０に対して垂直方向（Ｚ軸方向）への操作ができる。この中央の突起部９２をさらに強く押下すると、中心押下検出電極６４、中心電極６５およびドーム状板７０によるスイッチ操作（確定操作などの単純なスイッチ操作）ができる。
【００１９】
図３（Ａ）は前記ＸＹ面方向の入力操作時の指の位置を示している。また、図３（Ｂ）は前記Ｚ軸方向の入力操作時の指の位置を示している。
【００２０】
図４は前記フレキシブル基板１０の平面図である。固定電極６１は、この例では円周が４分割された４つの円弧状の固定電極６１ｘ１，６１ｘ２，６１ｙ１，６１ｙ２で構成されている。フレキシブル基板１０にはコントロール用ＩＣチップ５やチップコンデンサ６等の電子部品が搭載されている。コントロール用ＩＣチップ５は、４つの固定電極６１ｘ１，６１ｘ２，６１ｙ１，６１ｙ２のそれぞれとグランドとの間に生じる静電容量を検出することによって、前記ジョグ操作または方向の入力操作時の押下位置を検知する。またコントロール用ＩＣチップ５は、Ｚ軸方向検出電極６２とグランドとの間に生じる静電容量を検出することによって、Ｚ軸方向の押下量を検知する。さらに、コントロール用ＩＣチップ５は、中心押下検出電極６４と中心電極６５との導通検出によって前記ドーム状板７０の押下を検知する。フレキシブル基板１０の端部には端子引出部１２が形成されていて、外部の回路はこの端子引出部１２の信号（データ）を入力することによって操作者の入力操作を読み取る。
【００２１】
図５（Ａ）は、静電容量検出型入力装置１０１の平面図、図５（Ｂ）はその側面図、図５（Ｃ）はその断面図である。フレーム５０は４つの脚部５１で補強板４０に固定されている。補強板４０は導電性ラバー２０の対向位置に設けられていて、電子部品の搭載位置の下面に樹脂板８０が配置されている。
【００２２】
図６は図４と同じくフレキシブル基板１０の平面図であるが、ここでは特に固定電極の形状および寸法について示している。固定電極６１ｘ１，６１ｘ２，６１ｙ１，６１ｙ２は、放射方向に外方へ延びる複数の櫛歯状電極部６１Ｃとそれらの櫛歯状電極部６１Ｃを内周寄りの位置で繋ぐ連結部６１Ｊとを有する櫛型電極である。そして櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃと間隔Ｇは２倍以上異なることがない。すなわち、Ｇ／２＜Ｗｃ＜２Ｇの関係を満たす。図６に表れているように、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃと間隔Ｇはほぼ等しい（Ｇ≒Ｗｃである）ことが好ましい。
【００２３】
また、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃに対する放射方向の長さＬは２倍以上であることが好ましい。すなわち、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃに対する放射方向の長さＬが２倍以上である程度に櫛歯状電極部６１Ｃが細長く形成されていることが好ましい。この理由については後述する。
【００２４】
また、櫛歯状電極部６１Ｃの放射方向の長さＬは連結部６１Ｊの幅Ｗｊより長い。図６に表れているように、櫛歯状電極部６１Ｃの放射方向の長さＬは連結部６１Ｊの幅Ｗｊより２倍以上長い（Ｌ＞２Ｗｊである）ことが好ましい。
【００２５】
図７は導電性ラバー２０と固定電極６１との位置関係、および導電性ラバー２０の変形について示す図である。リング状突起部２４が押下されると、導電性ラバー２０のテーパー形状部２２が変形して、このテーパー形状部２２の面と固定電極６１との間の静電容量が増大方向に変化する。この静電容量はテーパー形状部２２の面と固定電極６１との対向面積に比例するので、固定電極６１に櫛歯状電極部６１Ｃ（図６参照）を設けることにより、この固定電極６１と導電性ラバー２０との対向面積を小さくでき、押下量に対する静電容量の変化比を小さくできる。そして、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃと間隔Ｇがほぼ等しいことにより、低荷重域の静電容量変化を緩やかにすることができるため、カーソルを微調整する時の操作感覚が向上する。
【００２６】
また、連結部６１Ｊの幅Ｗｊより櫛歯状電極部６１Ｃの長さＬを長くすることにより（図６参照）、導電性ラバー２０は固定電極６１のうちの大部分である櫛歯状電極部６１Ｃと対向することになる。その結果、連結部６１Ｊ部分（ベタ電極部分）が導電性ラバー２０で形成されるテーパー形状部２２の電極間距離の大きな部分に配置されることになり、導電性ラバー２０と固定電極６１等との相対位置がずれても、電極間距離は大きいままである。すなわち位置ずれによる静電容量値の変化は小さくなり、組立時に発生する位置ずれに対して静電容量の変化が小さい、ロバストな特性が得られる。
【００２７】
また、テーパー形状部２２の面と固定電極６１との間の静電容量は、テーパー形状部２２の面と固定電極６１との間の距離の二乗に比例するが、リング状突起部２４の押下とともにテーパー形状部２２の面は図７に表れているように湾曲するので、テーパー形状部２２の面と固定電極６１との間の距離変化は次第に緩やかになる。そのため、このテーパー形状部２２の面の変形によっても、押下量に対する静電容量の変化比が緩やかになる。
【００２８】
図８は図６等に示したコントロール用ＩＣチップ５の構成を示すブロック図である。図８において、容量Ｃｘ１，Ｃｘ２は、固定電極６１ｘ１，６１ｘ２とグランドとの間の静電容量である。また、容量Ｃｙ１，Ｃｙ２は、固定電極６１ｙ１，６１ｙ２とグランドとの間の静電容量である。さらに、容量Ｃｚは、Ｚ軸方向検出電極６２とグランドとの間の静電容量である。容量−電圧変換回路１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅは、容量Ｃｘ１，Ｃｘ２，Ｃｙ１，Ｃｙ２，Ｃｚに対応する電圧をそれぞれ発生する。マルチプレクサ２は容量−電圧変換回路１ａ〜１ｅを選択し、ＡＤコンバータ３はマルチプレクサ２で選択された電圧をディジタルデータに変換する。
【００２９】
図９はこの実施形態の静電容量検出型入力装置１０１の操作量と出力値との関係を示す図である。図９（Ａ）はＸＹ面方向の入力操作時の特性、図９（Ｂ）はＺ軸方向の入力操作時の特性である。いずれも横軸は荷重（押下方向への荷重）、縦軸は静電容量に相当する値である。また、「ＸＹ出力」はＸＹ面方向の入力に相当する成分の出力、「Ｚ出力」はＺ軸方向の入力に相当する成分の出力である。
【００３０】
ＸＹ面方向の入力操作時に、Ｘ軸方向の成分は、図６に示したＸ軸方向に対をなす固定電極６１ｘ１，６１ｘ２とグランドとの間の静電容量の差分で求められ、Ｙ軸方向の成分は、図６に示したＹ軸方向に対をなす固定電極６１ｙ１，６１ｙ２とグランドとの間の静電容量の差分で求められる。図９では、前記Ｘ軸方向成分とＹ軸方向成分の二乗平均をとった値で表している。また、Ｚ軸方向の押下量は図６に示したＺ軸方向検出電極６２とグランドとの間の静電容量で求められる。
【００３１】
ＸＹ面方向の入力操作時は、図９（Ａ）に表れているように、Ｚ軸方向検出電極６２と導電性ラバー２０とは局部的に近接するだけであるので、荷重に対する出力変化は小さい。そのため、Ｚ出力よりＸＹ出力が上回る。一方、ＸＹ軸方向の入力操作時は、Ｘ軸方向成分とＹ軸方向成分は共にキャンセルされるので、図９（Ｂ）に表れているように、ＸＹ出力よりＺ出力が上回る。
【００３２】
図１０は、フレキシブル基板１０に対する、導電性ラバー２０のテーパー形状部２２（図１参照）の対向面位置を示す図である。導電性ラバー２０のテーパー形状部２２はフレキシブル基板１０に対して破線のリング状部分に対向する。すなわち、このリング状の対向面の外縁Ｒｏは放射方向に延びる櫛歯状電極部６１Ｃの途中部分で交差し、内縁Ｒｉは連結部６１Ｊより内側の位置をとおる。
【００３３】
このような関係であるので、フレキシブル基板１０に対する固定電極６１（櫛歯状電極部６１Ｃおよび連結部６１Ｊ）の形成位置精度、フレキシブル基板１０に対する導電性ラバー２０の載置位置精度に応じて前記リング状の対向面がずれても、外縁Ｒｏが放射方向に延びる櫛歯状電極部６１Ｃの途中部分で交差し、内縁Ｒｉが連結部６１Ｊより内側の位置をとおる限り、電極面積が大きい連結部６１Ｊがテーパー形状部２２の電極間距離の大きい部分に入っているため、静電容量変化が鈍く、荷重に対する静電容量の変化特性は殆ど一定となる。そのため、固定電極６１の形成精度や組立精度の影響を殆ど受けずに安定した特性が確保できる。
【００３４】
また、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃに対する放射方向の長さＬが２倍以上である程度に櫛歯状電極部６１Ｃが細長く形成されていると、テーパー形状部２２と櫛歯状電極部６１Ｃとの電極間距離の小さな領域（静電容量変化の感度の高い部分）での導電性ラバー２０との対向面積を常に一定に保つことができる。すなわち、導電性ラバー２０を組み立てる際に位置ずれが発生すると、導電性ラバー２０と櫛歯状電極部６１Ｃとの相対位置がずれることになるが、最も感度の高い部分は櫛歯を長くしているので、位置ずれの影響を吸収する役割を果たし、位置ズレが発生しても静電容量変化の感度の高い部分の面積を一定に保つことができる。結果として位置ずれに対して出力の安定したセンサが得られる。
【００３５】
ここで、仮に、櫛歯状電極部６１Ｃの放射方向の長さＬが連結部６１Ｊの幅Ｗｊと同程度か、短いとすると、また、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃに対する放射方向の長さＬが２倍に満たない程度に櫛歯状電極部６１Ｃが太く形成されていると、固定電極６１の形成精度や組立精度の影響を受けやすい。
【００３６】
図１１（Ａ）は、固定電極６１の形成精度や組立精度の影響を示す図である。図１１（Ａ）の横軸は荷重、縦軸は出力対称性の比率（バランスのずれ量）である。特性Ｅｏは本発明の実施形態の静電容量検出型入力装置において、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置ずれが無い場合の特性、特性Ｅｓは本発明の実施形態の静電容量検出型入力装置において、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置を０．１５ｍｍだけずらした場合の特性である。また、特性Ｐｏは比較対照の静電容量検出型入力装置において、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置ずれが無い場合の特性、特性Ｐｓは比較対照の静電容量検出型入力装置において、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置を０．１５ｍｍだけずらした場合の特性である。いずれも５個のサンプルについて求めた平均値である。ここで、比較対照の静電容量検出型入力装置の櫛歯状電極部６１Ｃの間隔Ｇは幅Ｗｃの３倍、櫛歯状電極部６１Ｃの幅Ｗｃに対する放射方向の長さＬは１倍、櫛歯状電極部６１Ｃの放射方向の長さＬは連結部６１Ｊの幅Ｗｊと等しい。
【００３７】
図１１（Ａ）に表れているように、比較対照の静電容量検出型入力装置では、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置が０．１５ｍｍずれただけでも、０．４〜２Ｎという低荷重での出力対称性が悪い。これに対して本発明の静電容量検出型入力装置では、固定電極６１と導電性ラバー２０との位置ずれに対する出力対称性が、０．４〜６Ｎという広い荷重範囲で安定した特性が得られることがわかる。
【００３８】
図１１（Ｂ）は荷重に対する出力感度の特性を示す図である。横軸は荷重、縦軸は出力感度をdigit値で表している。特性Ｅは本発明の静電容量検出型入力装置の特性、特性Ｐは比較対照の静電容量検出型入力装置の特性である。いずれも４０個のサンプルについて求めた平均値である。本発明の静電容量検出型入力装置では、低荷重域（０〜２Ｎ）において、比較対照の静電容量検出型入力装置の特性Ｐと同等の特性が得られることがわかる。
【００３９】
このように出力感度に影響を与えることなく、固定電極６１の形成精度や組立精度に対する出力対称性を高めることができる。
【００４０】
なお、本発明の実施形態によれば、補強板４０、フレーム５０および導電性ラバー２０が回路のグランドと同電位になるので、ノイズの影響を受けにくい。また、基板上に形成されたグランド電極パターンに対して直接グランド接続を行おうとすると、どのような方法で固着してもグランド電極パターンが剥離するため長期信頼性を得難いが、本発明の実施形態のように、フレキシブル基板１０の下面の全面が補強板４０に貼付された構造であると接着面積を多くとることができ、且つ操作時に剥離する方向に力が加わらないため長期信頼性が向上する。さらに、フレーム５０を補強板４０に抵抗溶接したことにより、例えばはんだ付けに比べて、繰り返し操作によるクラックが入ることがなく、長期信頼性が向上する。
【符号の説明】
【００４１】
ＣＢＭ…導電性接着剤
Ｃｘ１，Ｃｘ２，Ｃｙ１，Ｃｙ２，Ｃｚ…容量
Ｇ…間隔
Ｌ…長さ
Ｒｉ…内縁
Ｒｏ…外縁
Ｗｃ…幅
Ｗｊ…幅
ＷＰ…溶接固定部
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ…容量−電圧変換回路
２…マルチプレクサ
３…ＡＤコンバータ
５…コントロール用ＩＣチップ
６…チップコンデンサ
１０…フレキシブル基板
１１…絶縁層
１２…端子引出部
２０…導電性ラバー
２２…テーパー形状部
２３…中央突起部
２４…リング状突起部
３０…可動板
４０…補強板
５０…フレーム
５１…脚部
６１…固定電極
６１Ｃ…櫛歯状電極部
６１Ｊ…連結部
６１ｘ１，６１ｘ２，６１ｙ１，６１ｙ２…固定電極
６２…Ｚ軸方向検出電極
６３…グランド電極
６４…中心押下検出電極
６５…中心電極
７０…ドーム状板
８０…樹脂板
９０…操作面シート
９１…突起部
９２…突起部
１０１…静電容量検出型入力装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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