(57)【要約】【課題】梱包袋の内面の洗浄を、悪影響を発生させることなく、確実に行う手段を提供すること。【解決手段】開口部とする一辺を除いて他の周辺部を閉じて形成した樹脂フィルムからなる梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去する。梱包袋の開口部を通した吸引管により内部空気を吸引し、吸引管外の開口部を通して高清浄空間内の空気を自然流入することにより、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気で洗浄する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部とする一辺を除いて他の周辺部を閉じて形成した樹脂フィルムからなる梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去することを特徴とする梱包袋の洗浄方法。
【請求項２】
梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換する方法が、梱包袋の開口部を通した吸引管により内部空気を吸引し、吸引管外の開口部を通して高清浄空間内の空気を自然流入することからなることを特徴とする請求項１に記載の梱包袋の洗浄方法。
【請求項３】
梱包袋の洗浄と同時に梱包袋内部の清浄度を計測することを特徴とする請求項２に記載の梱包袋の洗浄方法。
【請求項４】
高清浄空間内における梱包袋が、梱包袋の対向する複数の側辺を咥えて可動状態で設置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の梱包袋の洗浄方法。
【請求項５】
可動状態で設置する梱包袋に横方向からの対向する動きを与えることにより、梱包袋の内容積を変化させることを特徴とする請求項４に記載の梱包袋の洗浄方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の梱包袋の洗浄方法を実施するための洗浄装置であって、局所的高清浄空間として梱包袋の大きさに適合させたサイズに高清浄空間を設け、梱包袋に横方向からの対向する動きを与えるためのクランプアームとその可動機構とを有することを特徴とする梱包袋の洗浄装置。
【請求項７】
梱包袋の開口部を通して内部の空気を吸引する吸引機構と吸引した空気の清浄度を計測するためのパーティクルカウンタを連結して具備することを特徴とする請求項６に記載の梱包袋の洗浄装置。
【請求項８】
局所的高清浄空間にイオナイザを設けたことを特徴とする請求項６または７に記載の梱包袋の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塵埃等の付着を防止する電子部品等の包装に用いる梱包袋の洗浄方法、および梱包袋の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（集積回路）等の半導体装置や、液晶表示装置等のディスプレイ装置や、ハードディスク等の記憶装置などの精密電子製品やその構成部品と、フォトリソグラフィー法により上記精密電子製品やその構成部品を作るためのフォトマスク等の工程治具とを含めた各種の電子部品等においては、その表面に塵埃等の微粒子状の異物やイオン性の不純物が付着することを極力防止しなければ、種々の不良原因となる。従って、上記各種の電子部品等の取り扱いに関して、洗浄技術は重要な技術要素として発展してきた。
【０００３】
また、上記各種の電子部品を包装して、外部の汚染環境から保護した状態で、保管または輸送する上で、部品の包装に用いる容器や、容器全体を包む梱包袋が、異物付着のないクリーンな状態であることが望ましい。特に、容器全体を包む梱包袋は、樹脂フィルムまたはシートからなる素材を必要なサイズに切り出して、周辺部をヒートシーラー等で熱圧着させる工程を経て袋形状に加工された後に、フレキシブルな形態で使用されるものであり、梱包袋の内面の洗浄が困難となる場合が多いので、その対策が望まれている。
【０００４】
上記梱包袋の内面の洗浄に対して、特許文献１に示すように、洗浄治具を通してクリーンエアーを吹き付けることにより、洗浄できることが提案された。該提案においては、密閉した包装袋内へのクリーンエアーの供給を脈動して行ったり、包装袋外部へエアーを吸引排出する構造を設けることにより、強力な洗浄効果を期待するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１１７５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１に示す方法により、梱包袋の内面の洗浄が可能となったが、圧力を高めて導入するクリーンエアーをコンプレッサーにより発生させる際に、オイルミストが混入し易く、除去されずに残ることで汚染を生じる場合がある。
【０００７】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、梱包袋の内面の洗浄を、悪影響を発生させることなく、確実に行う手段を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、開口部とする一辺を除いて他の周辺部を閉じて形成した樹脂フィルムからなる梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去することを特徴とする梱包袋の洗浄方法である。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換する方法が、梱包袋の開口部を通した吸引管により内部空気を吸引し、吸引管外の開
口部を通して高清浄空間内の空気を自然流入することからなることを特徴とする請求項１に記載の梱包袋の洗浄方法である。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、梱包袋の洗浄と同時に梱包袋内部の清浄度を計測することを特徴とする請求項２に記載の梱包袋の洗浄方法である。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、高清浄空間内における梱包袋が、梱包袋の対向する複数の側辺を咥えて可動状態で設置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の梱包袋の洗浄方法である。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、可動状態で設置する梱包袋に横方向からの対向する動きを与えることにより、梱包袋の内容積を変化させることを特徴とする請求項４に記載の梱包袋の洗浄方法である。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の梱包袋の洗浄方法を実施するための洗浄装置であって、局所的高清浄空間として梱包袋の大きさに適合させたサイズに高清浄空間を設け、梱包袋に横方向からの対向する動きを与えるためのクランプアームとその可動機構とを有することを特徴とする梱包袋の洗浄装置である。
【００１４】
また、請求項７に記載の発明は、梱包袋の開口部を通して内部の空気を吸引する吸引機構と吸引した空気の清浄度を計測するためのパーティクルカウンタを連結して具備することを特徴とする請求項６に記載の梱包袋の洗浄装置である。
【００１５】
また、請求項８に記載の発明は、局所的高清浄空間にイオナイザを設けたことを特徴とする請求項６または７に記載の梱包袋の洗浄装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去することを特徴とする梱包袋の洗浄方法であるので、梱包袋の内面の洗浄を、梱包袋自体に悪影響を発生させることなく、確実に行う手段を提供することができる。
【００１７】
また、本発明の請求項３または７によれば、梱包袋の洗浄を行いつつ、梱包袋内部の清浄度を同時に計測することができるので、梱包袋の内面の洗浄を、簡単な計測によりさらに確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態を説明するための模式断面図である。
【図２】梱包袋の内容積を変化させる方法を説明するための模式断面図であって、２つの状態（ａ）および（ｂ）を交互にとる方法を示す。
【図３】本発明における梱包袋洗浄の効果をパーティクル測定の同時計測により検証した一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態を説明するための模式断面図である。
梱包袋１は、例えば、複数の樹脂フィルムを重ね、開口部とする一辺を除いて他の周辺部を貼り合わせて形成できる。また、下方以外、図では上方から高清浄の空気２１を送出する高清浄空間２を用意する。高清浄空間２としては、一般的なクリーンベンチや小型のク
リーンブースを使用できるが、梱包袋の洗浄装置として専用化した高清浄空間を用意する場合は、対象とする梱包袋の大きさに適合させたサイズの、ミニエンバイロメント容器２３を用いることが好ましい。ミニエンバイロメント容器２３は、クリーンルーム技術におけるダウンフローのような大きな負荷を負うことなく、省エネルギーかつ低コストで局所的清浄環境を作り出す容器であり、クリーンルーム技術の一方向として、一般化されてきている。なお、高清浄の空気２１を、図とは異なり、ミニエンバイロメント容器２３の側面から供給することも可能である。
【００２０】
上記の高清浄空間２内に、開口部１１を下方に開放して、梱包袋１を設置する。開口部１１を開放状態に保つために、必要に応じて適当な治具を用いて支持することができる。梱包袋１は、横方向の対向する２箇所でクランプアーム３により保持される。また、それぞれのクランプアームに接続する可動機構３１により、後述するように、横方向からの対向する動きを与えることにより、梱包袋の内容積を変化させることができる。
【００２１】
さらに、ミニエンバイロメント容器２３の外部に吸引機構４を設け、吸引機構４に連なる吸引管４１の他端をミニエンバイロメント容器２３内に設置した梱包袋１の内部に開口部１１を通して差し込む形態をとることが可能である。吸引管４１により排出経路を設けられた梱包袋１内部の空気は、必要によりフィルタ４２、吸引速度調整装置４３、タイマー４４と連結した吸引機構４により定量排出できる。
【００２２】
吸引管４１を通って排出される空気と入れ替わりに、梱包袋の開放された開口部を通して梱包袋の外側から高清浄の空気を梱包袋の内部に取り込むことができる。吸引速度調整装置４３により、吸引速度を大き過ぎないように調整すれば、安定な気流により異物の舞い上げを引き起こすことはない。また、梱包袋の内部に取り込む空気は、従来のように圧力を高めて導入しオイルミストが混入し易いクリーンエアーではなく、本発明の高清浄空間から圧力差に応じて自然流入する高清浄の空気である。上述のように、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換することができる。なお、ここで言う梱包袋の内部とは、梱包袋の開放された開口部が作る面より梱包袋の内側の全体を指し、閉じた梱包袋の内側という通常の意味より拡大した概念を意味する。
【００２３】
本発明は、また、梱包袋の開口部を通して内部の空気を吸引することにより、梱包袋の洗浄と同時に梱包袋内部の清浄度を計測することができる。外部の吸引機構４により吸引管４１を通して梱包袋内部から吸引した空気の一部を、吸引管４１の途中からパーティクルカウンタ５に導くことにより、通常の気中パーティクルカウンタによる気中微粒子の測定方法と同様の方法で、梱包袋内部の清浄度をリアルタイムにインライン計測することができ、製品の管理における梱包袋内部の洗浄状態評価の効果が大きい。
【００２４】
従来の洗浄方法では、対象とする包装袋の洗浄による効果を直接計測できない。洗浄効果の評価方法としては、洗浄処理した包装袋の一部を破壊して、液中パーティクルカウンタによりサンプリング計測するしかない。測定対象物の一部を秤量した超純水中に浸漬して、純水中に流出するパーティクルを液中パーティクルカウンタにより測定する従来の方法では、サンプルの採取または処理において微小な気泡を発生させ、一般的な半導体レーザを用いた光散乱方式の測定であるため、異物と気泡との区別ができず、測定誤差を生じやすく、安定した測定は難しい。しかも、直接計測ではない一種の抜き取り検査であるため、梱包袋の洗浄状態をタイムリーに評価できず、製品の管理における梱包袋内部の洗浄状態評価の効果が小さい。
【００２５】
図３は、本発明における梱包袋洗浄の効果をパーティクル測定の同時計測により検証した一例を示すグラフである。本例は、約５リットルの内容積を有する梱包袋に吸引管４１を挿し込み、５分間吸引排出するとともに、高清浄空間から圧力差に応じて高清浄の空気
を梱包袋に自然流入することによって空気の置換を行い、同時にパーティクルカウンタによる計測を行った結果である。縦軸のパーティクル数は、長径０．１μｍを超える大きさの微粒子状異物の単位体積当たりの数を表す。グラフの結果は、１〜２分の吸引で急速に梱包袋内部の洗浄が進み、５分後には微粒子状異物が検出されなくなったことを示す。
【００２６】
本発明は、また、前述のように、梱包袋１が、横方向の対向する２箇所でクランプアーム３により保持され、それぞれのクランプアームに可動機構３１が接続することにより、高清浄空間２内において梱包袋１が、梱包袋の対向する複数の側辺を咥えて可動状態で設置される。上記の機構によって、設置する梱包袋に横方向からの対向する動きを与えることができ、梱包袋の内容積を変化させることができる。
【００２７】
上述の機構により、梱包袋の洗浄を、吸引管４１と吸引管４１以外の開口部１１を通しての梱包袋内部の空気の置換を行う方法とは別に、梱包袋の内容積を変化させることによる梱包袋内部の空気の置換を行うことも可能となる。すなわち、梱包袋の内容積を小さくした状態で梱包袋の内側の空気の多くを梱包袋の外部に排出し、梱包袋の内容積を大きくした状態で高清浄の空気２１が流れる梱包袋の外部の高清浄空間２から梱包袋の内部により清浄な空気を取り込むことができ、上記の動きを繰り返すことによって、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃除去を促進させることが可能となる。
【００２８】
図２は、上述の梱包袋の内容積を変化させる方法を説明するための模式断面図であって、２つの状態（ａ）および（ｂ）を交互にとる方法を示す。（ａ）において、２つのクランプアーム３が直線矢印のとおり近付く方向に動くことにより、梱包袋の内容積を小さくした状態１ａで、梱包袋の内側の空気の多くを下方の開口部１１より、湾曲したブロック矢印のとおり、梱包袋の外部に排出する。また、（ｂ）において、２つのクランプアーム３が直線矢印のとおり離れる方向に動くことにより、梱包袋の内容積を大きくした状態１ｂで、梱包袋の外側から高清浄の空気を下方の開口部１１より、湾曲したブロック矢印のとおり、梱包袋の内部に取り込む。
【００２９】
クランプアーム３に接続する可動機構３１による横方向からの対向する動きは、上述のように梱包袋１の内容積を変化させるだけでなく、梱包袋を構成するフィルムに振動を与えることにより、梱包袋１の内面に付着した異物を脱離させる効果がある。脱離した異物は、一定程度より大きな粒子は重力による落下で梱包袋１の開口部１１を通過してミニエンバイロメント容器２３の下面に到達し、高清浄の空気２１が流れる高清浄空間２内にあっては、下面に到達した異物は再び舞い上がることなく排出できる。また、極微小の脱離した異物で梱包袋内部空間に漂う微粒子は、上述の梱包袋の内容積変化による空気置換に伴う排出で除去できる。
【００３０】
上述のように、本発明では、梱包袋の内部空気、すなわち梱包袋の内面と近傍の空気を清浄化する方法として、高清浄空間の空気を梱包袋内に自然流入したり、梱包袋の内容積変化に応じて自然に入れ替えることにより置換する方式を採る。コンプレッサーから導入したクリーンエアーを筒先から強制的に梱包袋内部に排出することがないので、高清浄の空気を大きく乱すことなく、梱包袋の内面の洗浄を、悪影響を発生させることなく、確実に行うことができる。
【００３１】
本発明は、また、局所的高清浄空間にイオナイザ２２を設けることによって、洗浄される梱包袋の表面が帯電することを防止できる。梱包袋は樹脂フィルムにより形成されることが多く、表面に静電気が帯電し易いため、異物の付着が促進されたり、一旦付着した異物が脱離し難くなる問題があった。アルミニウム等の金属被膜を表面に蒸着して帯電を防止する対策を採ることは一定程度可能であるが、本発明の洗浄方法において、イオナイザ
によって置換される高清浄の空気自体を帯電され難くして用いることが特に有効となる。
【符号の説明】
【００３２】
１、１ａ、１ｂ・・・梱包袋
１１・・・開口部
２・・・高清浄空間
２１・・・高清浄の空気
２２・・・イオナイザ
２３・・・ミニエンバイロメント容器
３・・・クランプアーム
３１・・・可動機構
４・・・吸引機構
４１・・・吸引管
４２・・・フィルタ
４３・・・吸引速度調整装置
４４・・・タイマー
５・・・パーティクルカウンタ
【図１】
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【図２】
2013071066.tif 000004
【図３】
2013071066.tif 000005