(57)【要約】【課題】遮熱コーティングの製造方法及びコールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品が開示される。【解決手段】プロセスは、セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイすることと、遮熱コーティングを形成することとを含む。バインダーはセラミック粒子よりも低い融点を有する。物品は、物品の基板上に設けられたコールドスプレイ遮熱コーティング及び／又はコールドスプレイ遮熱コーティングで形成された再現可能な特徴部部を含み、再現可能な特徴部はマスキングを用いずに複製することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイする段階と、
遮熱コーティングを形成する段階と
を含む遮熱コーティングの製造方法であって、バインダーがセラミック粒子よりも低い融点を有する、方法。
【請求項２】
セラミック粒子が、Ｙ、Ｙｂ、Ｇｄ、Ｎｄ、Ｌａ、Ｓｃ、Ｓｍ及びそれらの組合せからなる群から選択される希土類金属で安定化された希土類安定化ジルコニアを含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
セラミック粒子が、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｅ、Ａｌ及びそれらの組合せからなる群から選択される材料で安定化された非希土類安定化ジルコニアを含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
セラミック粒子がパイロクロアを含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】
セラミック粒子がバインダー中のクラッドである、請求項１記載の方法。
【請求項６】
バインダーが、コールドスプレイ温度でセラミック粒子よりも高い延性を有する、請求項１記載の方法。
【請求項７】
Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｆｅ２Ｏ３及びそれらの組合せからなる群から選択されるコールドスプレイ焼結助剤をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
遮熱コーティングを処理することをさらに含んでおり、処理によって遮熱コーティングをセラミック皮膜へと転化させる、請求項１記載の方法。
【請求項９】
セラミック皮膜が、チタニア、アルミナ、酸化ニッケル、酸化コバルト、酸化鉄、ニッケルコバルト酸化物、ニッケル鉄酸化物、コバルト鉄酸化物、ニッケルイットリア酸化物、コバルトイットリア酸化物、鉄イットリア酸化物、ポリアミド、ガラス繊維強化ナイロン、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンオキシドとポリスチレンのブレンド及びそれらの組合せからなる群から選択される材料を含む、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２及びそれらの組合せからなる群から選択される焼結助剤を用いて遮熱コーティングを焼結させることをさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項１１】
遮熱コーティングが約５％を超える所定のポロシティを有する、請求項１記載の方法。
【請求項１２】
セラミック粒子が約２０μｍの最大寸法を有する、請求項１記載の方法。
【請求項１３】
遮熱コーティングが１０００ｐｓｉを超える引張強さを有する、請求項１記載の方法。
【請求項１４】
セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイする段階が所定の比率で行われ、所定の比率が約１０％〜約１５％のバインダーである、請求項１記載の方法。
【請求項１５】
セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイする段階が、第１のコールドスプレイ装置及び第２のコールドスプレイ装置からの同時スプレイである、請求項１記載の方法。
【請求項１６】
セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイする段階が単一のコールドスプレイ装置で行われる、請求項１記載の方法。
【請求項１７】
遮熱コーティングを形成する段階が、タービンのフィレット部又は高温ガス流路部品で行われる、請求項１記載の方法。
【請求項１８】
遮熱コーティングが金属又は金属材料を実質的に含まない、請求項１記載の方法。
【請求項１９】
コールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品であって、物品の基板上に位置するコールドスプレイ遮熱コーティングを備える物品。
【請求項２０】
コールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品であって、コールドスプレイ遮熱コーティングで形成された再現可能な特徴部部を有していて、再現可能な特徴部がマスキングを用いずに複製することができる、物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遮熱コーティングの製造方法及び遮熱コーティングを有するタービン部品に関する。より具体的には、本発明は、遮熱コーティングを形成するためのコールドスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンにおけるような多くのシステムは、熱的、機械的及び化学的に過酷な環境に付される。例えば、ガスタービンの圧縮機部分では、空気は大気圧の１０〜２５倍に圧縮され、プロセスにおいて約８００°Ｆ〜約１２５０°Ｆまで断熱加熱される。この加熱・圧縮空気は燃焼器へと送られて、燃料と混合される。燃料を点火して、燃焼プロセスでガスは約３０００°Ｆを超える非常に高い温度まで加熱される。これらの高温ガスは、タービンを通過するが、そこで回転タービンディスクに植設された翼形部でエネルギーを抽出してタービンのファン及び圧縮機を駆動し、排気システムを通過する際に、ガスは、発電機ロータを回転させて発電するのに十分なエネルギーを供給する。高温ガスのタイトシール及び正確に方向付けられた流れは作動効率をもたらす。タービンシールでかかるタイトシール及び正確に方向付けられた流れを達成するには、製造が難しく費用がかかることがある。
【０００３】
タービンの作動効率を向上させるため、燃焼温度の高温化が従前なされており、依然として図られている。これらの高温に耐えるため、静止構造体にろう付けされた高合金ハニカムセクションが用いられてきた。高合金ハニカムは材料コストが高価なことがあり、静止構造体へのろう付けに費用がかかることもある。
【０００４】
アブレイダブル摩擦コート（abradable rub coat）として役立つものなど、他の多孔質部品、発泡体部品及び／又はハニカム部品は、同様に高価な場合があるか又は動作上の制限がある。例えば、かかる材料は、酸化するか、或いは材料の適用中及び／又は材料の加工処理中に相が変化する場合がある。かかる材料の溶接又はろう付けは、部品の微細構造及び／又は機械的性質に悪影響を及ぼす場合がある。例えば、溶接又はろう付けは熱影響部を形成して機械的性質が犠牲になる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１１０１２９３７９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の短所の１以上にわずらわされない製造方法及び物品が、当該技術において望ましいであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
例示的な一実施形態では、遮熱コーティングの製造方法は、セラミック粒子及びバインダーをコールドスプレイすることと、遮熱コーティングを形成することとを含む。バインダーはセラミック粒子よりも低い融点を有する。
【０００８】
別の例示的な実施形態では、コールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品は、物品の基板上に設けられたコールドスプレイ遮熱コーティングを含む。
【０００９】
別の例示的な実施形態では、コールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品は、コールドスプレイ遮熱コーティングによって形成される再現可能な特徴部を含む。再現可能な特徴部はマスキングを用いずに複製することができる。
【００１０】
本発明の他の特徴及び利点は、好ましい実施形態の以下のより詳細な説明を、本発明の原理を一例として例証する添付図面と併せ読むことによって明白になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本開示によるシュラウドとブレードの間に設けられた単層を有する例示的なシール構造を示す図である。
【図２】本開示によるシュラウドとブレードの間に設けられた多層を有する例示的なシール構造を示す図である。
【図３】本開示による金属構造を施工する例示的なプロセスを示す流れチャートである。
【図４】本開示の例示的なプロセスにしたがって施工された金属構造を有する例示的な物品を形成する装置の概略図である。
【図５】本開示の例示的なプロセスにしたがって施工された金属構造を有する例示的な物品を形成する装置の概略図である。
【図６】本開示による遮熱コーティングの多層を備えた例示的な物品を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図面を通して、同じ部材はできるだけ同じ符号で表す。
【００１３】
遮熱コーティングの製造方法及びコールドスプレイ遮熱コーティングを有する物品が提供される。本開示の実施形態によって、遮熱コーティングのポロシティの調整が可能になり、遮熱コーティングの熱伝導率の調整が可能になり、マスキングを用いずに遮熱コーティングを施工することができ、酸化表面の形成が低減又は回避され、遮熱コーティングのより厳しい許容差が可能になり、またそれらの組合せが可能になる。
【００１４】
図１及び図２は、遮熱コーティング１０２を有する、タービンブレード１０５に隣接して配置されたタービンシュラウドなどの例示的な物品１００を示す。一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、タービンシール１０３などのタービン部品を形成する。遮熱コーティング１０２は、図１に示されるように物品１００の基板１０１上に直接配置されるか、或いは図２に示されるように基板１０１上の１以上の中間層２０２上に配置される。一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、物品１００の他の部分に比べて熱伝導率が低い部分を形成する。
【００１５】
物品１００は、静止部品又は回転部品など、任意の適切な金属部品である。適切な金属部品としては、圧縮機部品、タービン部品、タービンブレード及びタービンバケットが挙げられるが、それらに限定されない。本明細書で用いる「金属」という用語は、金属、合金、複合金属、金属間化合物材料（intermetallic materials）又はそれらの任意の組合せを包含する。一実施形態では、物品１００はステンレス鋼を含むか又はステンレス鋼である。別の実施形態では、物品１００はニッケル基合金を含むか又はニッケル基合金である。他の適切な合金としては、コバルト基合金、クロム基合金、炭素鋼及びそれらの組合せが挙げられるが、それらに限定されない。適切な金属としては、チタン、アルミニウム及びそれらの組合せが挙げられるが、それらに限定されない。
【００１６】
遮熱コーティング１０２は、物品１００の任意の適切な部分又は表面上に配置される。一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、タービンの高温ガス流路、フィレット（隅肉）部、タービンシール、圧縮機シール、ラビリンスシール、ブラシシール、可撓性シール、制動メカニズム、冷却メカニズム、バケット内部、ピストン、熱交換器又はそれらの組合せなど、物品１００の一部分である。
【００１７】
遮熱コーティング１０２は、セラミック粒子及びバインダーのコールドスプレイによって形成される。一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、細孔１０４の網目構造を含む。一実施形態では、細孔１０４は、限定された視認性を有し及び／又は微細なポロシティを有する。別の実施形態では、細孔１０４は、スチールウールと同様に、複雑であり一貫した幾何学構造を有さず、及び／又は粗いポロシティを有する。細孔１０４は任意の適切なサイズであり、かつ任意の適切な密度内にある。細孔１０４の適切なサイズは、約１〜約１００μｍ、約１０〜約５０μｍ、約３０〜約４０μｍ、約５０〜約１００μｍ、約５０〜約７０μｍ又はそれらの組合せである。細孔１０４の適切な密度は、約５％〜約８５％、約１５％〜約７５％、約１５％〜約２５％、約２５％〜約７５％、約２％〜約１５％、ならびにそれらの組合せ及び二次的組合せ（サブコンビネーション）である。
【００１８】
図２を参照すると、一実施形態では、遮熱コーティング１０２は２つの中間層２０２上に配置され、その中間層の一方は物品１００の基板１０１上に配置されている。追加の実施形態では、金属構造は、３、４、５以上の中間層２０２上に配置される。
【００１９】
図３を参照すると、遮熱コーティング１０２を施工する例示的なプロセス３００では、物品１００は、例えば、物品１００の表面を清浄化することによって準備される（段階３０２）。次に、遮熱コーティング１０２がコールドスプレイによって物品１００に施工される（段階３０４）。コールドスプレイ（段階３０４）は、固体／粉末供給材料４０２（図４及び図５参照）を使用し、処理はほとんどの場合、溶接又はろう付けなどのプロセスよりも少ない熱で固体状態で行われる。一実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は遮熱コーティング１０２を所定の領域に施工する。一実施形態では、遮熱コーティング１０２の所定の領域は、マスクを用いずに別の方法で可能であるよりも厳しい許容差のものであることができる。一実施形態では、遮熱コーティング１０２はマスキングを用いずに施工され、再現可能である。物品１００の一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、マスキングを用いずに複製することができる再現可能な特徴部であるか又はそれを含む。一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、所定の量よりも大きい、例えば１０００ｐｓｉ超、３０００ｐｓｉ超、５０００ｐｓｉ超又は１００００ｐｓｉ超の引張接着強さを有する。
【００２０】
一実施形態では、固体供給材料４０２としては、イットリウム安定化ジルコニウム、イッテルビウムジルコニウム、パイロクロア、他の適切なセラミック粒子又はそれらの組合せなどのセラミック粒子が挙げられる。例えば、一実施形態では、セラミック粒子としては、Ｙ、Ｙｂ、Ｇｄ、Ｎｄ、Ｌａ、Ｓｃ、Ｓｍ及びそれらの組合せからなる群から選択される希土類金属で安定化された希土類安定化ジルコニアが挙げられる。別の実施形態では、セラミック粒子としては、Ｃａ、Ｍｇ、Ｃｅ、Ａｌ及びそれらの組合せからなる群から選択される材料で安定化された非希土類安定化ジルコニアが挙げられる。一実施形態では、固体供給材料４０２としては、バインダー又は接着剤中のセラミック粒子クラッドが挙げられる。一実施形態では、固体供給材料４０２中のセラミック粒子は、所定の最大寸法、例えば約２０μｍ未満、約１０μｍ未満、約５μｍ〜約２０μｍ、約５μｍ〜約１０μｍ、約１０μｍ、約５μｍ、或いはそれらの任意の適切な組合せ又は二次的組合せを有する。一実施形態では、固体供給材料４０２としては、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２などの焼結助剤、他の適切な焼結助剤又はそれらの組合せが挙げられる。
【００２１】
図４を参照すると、一実施形態では、固体供給材料４０２は、収束発散型ノズル４０８の収束部分４０６内で又はその前にバインダー４０４と混合される。バインダー４０４はセラミック粒子よりも低い融点を有する。それに加えて又はその代わりに、バインダー４０４はセラミック粒子よりも大きな延性（コールドスプレイ条件下で）を有する。一実施形態では、固体供給材料４０２はバインダー４０４と予混合されて、例えば任意の適切な体積濃度において、さらなる調整性を提供する。バインダー４０４に適した体積濃度は、約５％〜約９０％、約５％〜約１０％、約５％〜約１５％、約５％〜約２０％、約５％〜約３０％、約５％〜約５０％、約５％〜約６０％、約５％〜約７０％、約５％〜約８０％、約１０％〜約９０％、約２０％〜約９０％、約３０％〜約９０％、約４０％〜約９０％、約５０％〜約９０％、約６０％〜約９０％、約７０％〜約９０％、約８０％〜約９０％、約３０％〜約６０％、約４０％〜約５０％、約１０％〜約１５％、或いはそれらの任意の適切な組合せ又は二次的組合せである。
【００２２】
図６を参照すると、一実施形態では、遮熱コーティング１０２は、バインダー４０４を有する複数の層、例えば外部断熱層６０２、中間断熱層６０４及び内部断熱層６０６を含む。この実施形態では、バインダー４０４の体積密度が調整され、それによって遮熱コーティング１０２全体のポロシティが調整される。例えば、一実施形態では、外部断熱層６０２は第１の密度（例えば約２５％）のバインダーを含み、中間断熱層６０４は第２の密度（例えば、第１の密度よりも高い量及び／又は約２５％〜約４０％）のバインダーを含み、内部断熱層６０６は第３の密度（例えば、第２の密度よりも高い量及び／又は約４０〜約７５％）のバインダーを含む。一実施形態では、遮熱コーティング１０２及び／又は遮熱コーティングの１以上の層は、金属又は金属材料を実質的に含まない。
【００２３】
バインダー４０４は、ポリマー、ポリマーの混合物、非ポリマー材料、金属材料、コールドスプレイでの使用に適した、及び／又は遮熱コーティングとの使用に適した任意の材料又はそれらの組合せである。一実施形態では、バインダー４０４はポリエステルであるか又はそれを含む。他の実施形態では、バインダー４０４は、チタン、アルミニウム、ニッケル、コバルト、鉄、それらの合金、ポリアミド（ナイロン）、ガラス繊維強化ナイロン、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリフェニレンオキシドとポリスチレンのブレンド又はそれらの組合せであるか、或いはそれらを含む。例えば、一実施形態では、ポリマーの組合せは融点に基づく。
【００２４】
コールドスプレイ（段階３０４）は、固体供給材料４０２に対する著しい入熱がない状態で固体供給材料４０２粒子を衝突させることによって遮熱コーティング１０２を形成する。コールドスプレイ（段階３０４）は、固体供給材料４０２の相及び微細構造をほぼ保持する。一実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は、遮熱コーティング１０２が（仕上げが可能になる）所望の厚さ範囲になるまで又は所定の厚さ範囲をわずかに上回るまで、例えば約１ミル〜約２０００ミル、約１ミル〜約１００ミル、約１０ミル〜約２０ミル、約２０ミル〜約３０ミル、約３０ミル〜約４０ミル、約４０ミル〜約５０ミル、約２０ミル〜約４０ミル、或いはそれらの任意の適切な組合せ又は二次的組合せになるまで継続される。
【００２５】
一実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は、例えば、図４に示されるような収束発散型ノズル４０８に関する次式に基づいて、少なくとも所定の速度又は速度範囲まで固体供給材料４０２を加速させることを含む。
【００２６】
【数１】
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式１において、「Ａ」はノズル出口４０５の範囲であり、「Ａ*」はノズルスロート４０７の範囲である。「γ」は使用されるプロセスガス４０９の比Ｃｐ／Ｃv（Ｃｐは定圧比熱容量、Ｃvは定積比熱用量）である。ガス流パラメータはＡ／Ａ*の比に応じて決まる。ノズル４０８が閉塞状態で動作すると、出口ガス速度のマッハ数（Ｍ）は式１によって特定できる。より高い値の「γ」を有するガスにより、より高いマッハ数が得られる。パラメータは、収束部分４０６の前に配置されたセンサ４１０によって測定／モニタされる。固体供給材料４０２は、所定の速度又は速度範囲で物品１００に衝突し、固体供給材料４０２は物品１００に結合して遮熱コーティング１０２を形成する。
【００２７】
ノズル４０８は、物品１００から所定の距離に、例えば約１０ｍｍ〜約１５０ｍｍ、約１０ｍｍ〜約５０ｍｍ、約５０ｍｍ〜約１００ｍｍ、約１０ｍｍ〜約３０ｍｍ、約３０ｍｍ〜約７０ｍｍ、約７０ｍｍ〜約１００ｍｍ、或いはそれらの任意の適切な組合せ又は二次的組合せに配置される。
【００２８】
一実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は、例えばバインダー４０４を含む、第２の供給材料と併せて固体供給材料４０２を衝突させることを含む。図４を参照すると、バインダー４０４は、固体供給材料４０２とともに注入されるか、固体供給材料４０２とは別個に、ただし同じノズル４０８に注入されるか、別個のノズル４０８に注入されるか、或いは同じノズル４０８又は別個のノズル４０８の発散部分４１２に注入される。バインダー４０４が発散部分４１２に注入される実施形態では、バインダー４０４の分解などによる、プロセスガスからの熱の影響は低減又は回避される。一実施形態では、バインダー４０４は、約１５００℃以下のプロセスガスの熱による分解などのダメージに敏感な材料を含む。発散部分４１２への注入はかかる分解を低減又は回避する。別の実施形態では単一の供給材料を使用するが、その場合、材料はセラミック粉末であり、個々の粒子はそれぞれバインダー４０４中のクラッドである。
【００２９】
図５を参照すると、一実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は、例えば式１に基づく少なくとも所定の速度又は速度範囲まで、固体供給材料４０２とバインダー４０４の別個の供給材料５０２とを加速させることを含む。一実施形態では、図５に対応するコールドスプレイ（段階３０４）は、特定の材料（金属もしくは低融点のどちらか）をスプレイするのに適合するように組み合わされたＡ／Ａ*比で設計されたノズル４０８を含む。追加の実施形態では、コールドスプレイ（段階３０４）は、異なるノズル４０８中で異なるガスを使用し、及び／又は他のパラメータの相対的な調整を含む。一実施形態では、別個の供給材料５０２及びバインダー４０４など、金属相を有する供給材料及び低融点相を有する供給材料と関連する不共溶性を扱うのに、複数のノズル４０８が使用される。固体供給材料４０２及び別個の供給材料５０２は、所定の速度又は速度範囲で物品１００に衝突し、固体供給材料４０２が別個の供給材料５０２とともに物品１００に結合し、かつ／或いはバインダー４０４が固体供給材料４０２中に混入され、及び／又は物品１００にも結合する。パラメータは、収束部分４０６の前に配置されたセンサ４１０によって測定／モニタされる。
【００３０】
追加の実施形態では、遮熱コーティング１０２のポロシティは、施工される固体供給材料４０２の量に比べて施工されるバインダー４０４の量を変えることによって制御される。同様に、一実施形態では、遮熱コーティング１０２の熱伝導率が調整される。一実施形態では、バインダー４０４の量は、コールドスプレイ（段階３０４）中に固体供給材料４０２の量に比べて施工されるバインダー４０４の量を変えることによって調整して制御される。この実施形態では、遮熱コーティング１０２のポロシティはこれらの量に基づいて変わる。同様の実施形態では、固体供給材料４０２に比べてバインダー４０４の量を２以上の相対量にして、バインダー４０４（もしくは別の低融点材料）及び固体供給材料４０２を２回以上施工するコールドスプレイ（段階３０４）によって、複数の層が形成される。
【００３１】
例えば、一実施形態では、基板１０１に近接した中間層を形成するのに施工されるバインダー４０４の量が、基板１０１から離して中間層を形成するのに施工されるバインダー４０４の量よりも少ないことにより、基板１０１に近接して又は基板１０１に当接して配置された中間層２０２（図２を参照）は、基板１０１から離れて又は遮熱コーティング１０２の表面に配置された中間層２０２（図２を参照）よりもポロシティが低い。
【００３２】
図３を再び参照すると、一実施形態では、プロセス３００は、コールドスプレイ（段階３０４）の後に、バインダー４０４を除去することに（段階３０６）続く。一実施形態では、バインダー４０４の余分量は、コールドスプレイ（段階３０４）後にバインダー４０４及び固体供給材料４０２を加熱して、バインダー４０４の余分量を蒸発、燃焼、溶解及び／又は昇華させることによって除去される（段階３０６）。バインダー４０４の余分量の除去（段階３０６）によって細孔１０４が形成される。
【００３３】
一実施形態では、プロセス３００は、例えば研削、機械加工、ショットピーニング又は別の加工処理によって、遮熱コーティング１０２及び／又は物品１００を仕上げることを含む（段階３０８）。それに加えて又は別の方法として、一実施形態では、プロセス３００は、遮熱コーティング１０２の焼結、遮熱コーティング１０２の処理（例えば、熱処理）又は他の適切なプロセス段階を含む。一実施形態では、処理によって遮熱コーティング１０２は複合材料コーティングからセラミック皮膜へと転化する。追加の実施形態では、セラミック皮膜としては、チタニア、アルミナ、酸化ニッケル、酸化コバルト、酸化鉄、ニッケルコバルト酸化物、ニッケル鉄酸化物、コバルト鉄酸化物、ニッケルイットリア酸化物、コバルトイットリア酸化物、鉄イットリア酸化物、ポリアミド、ガラス繊維強化ナイロン、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンオキシドとポリスチレンのブレンド又はそれらの組合せが挙げられる。
【００３４】
好ましい実施形態を参照して本発明について記載してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の要素を様々に変更してもよく、また等価物に置き換えてもよいことが当業者には理解されるであろう。それに加えて、本発明の本質的範囲から逸脱することなく、特定の状況又は材料を本発明の教示に適合させるように多数の修正を行ってもよい。したがって、本発明は、本発明を実施するために想到される最良の形態として開示される特定の実施形態に限定されるものではなく、本発明は添付の請求項の範囲内にあるすべての実施形態を含む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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