(57)【要約】【課題】簡易な構成，動作により，被保護材に貼着された保護フィルムを容易に且つ確実に剥離させることができるフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】フィルム剥離装置は，フレーム本体と，当該フレーム本体に対して前後方向移動可能に設けられる平板部材と，平板部材の底面側から先端部で折り返されて上面側に延び，さらに後端部から折り返されて底面側に延びて，平板部材に巻かれるベルト部材とを備え，ベルト部材は，平板部材の底面側の所定位置でフレーム本体に対して固定されて取り付けられ，平板部材の底面側のベルト部材をフィルムに接着させた状態で，平板部材を前後方向移動させると，当該前後方向移動に伴って，フィルムが接着している平板部材の底面側のベルト部材が，フィルムが接着したまま前記平板部材の上面側へ折り返されることにより，フィルムが被保護材から剥離される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被保護材に貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において，
フレーム本体と，
前記フレーム本体に対して前後方向移動可能に設けられる平板部材と，
前記平板部材の底面側から先端部で折り返されて上面側に延び，さらに後端部から折り返されて底面側に延びて，前記平板部材に巻かれるベルト部材とを備え，
前記ベルト部材は，前記平板部材の底面側の所定位置で前記フレーム本体に対して固定されて取り付けられ，
前記平板部材の底面側の前記ベルト部材を前記フィルムに接着させた状態で，前記平板部材を前後方向移動させると，当該前後方向移動に伴って，前記フィルムが接着している前記平板部材の底面側の前記ベルト部材が，前記フィルムが接着したまま前記平板部材の上面側へ折り返されることにより，前記フィルムが前記被保護材から剥離されることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
請求項１において，
前記ベルト部材は，粘着材により前記フィルムと接着することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
請求項１において，
前記ベルト部材は，真空吸着により前記フィルムと接着することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
請求項１において，さらに，
前記平板部材の温度を変化させる温度変化手段を備えることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，平板状の被保護材の表面に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルなどの薄型ディスプレイパネル，半導体ウエハなどの電子デバイスの表面には，製造工程及び組み立て工程において，傷やゴミ・埃の付着などからを防止するために，その表面を保護するための保護フィルムが貼着される。このように，表面に保護フィルムが貼着された板状の電子デバイス（被保護材）の使用段階では，このフィルムを剥離する必要があり，さまざまなフィルム剥離手法が提案されている。
【０００３】
特許文献１及び２は，液晶パネルの偏光板に貼着された保護フィルムの端部に粘着テープなどの粘着材を貼り付けて，その粘着テープを上方に引っ張り上げるようにして剥離する方法について開示している。特許文献３は，ガラス基板とその表面に貼着されたフィルムとの間に刃部を差し込み，フィルムの角部を剥離させる手法について開示している。特許文献４は，回転ゴムローラとフィルムの摩擦力により，保護フィルムを被保護材から剥離させる手法について開示している。特許文献５は，フィルムの被着面の法線に対して傾斜した方向から液体を噴射して，表示パネルに貼付されたフィルムを剥離する手法について開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１４９９６５号公報
【特許文献２】特開２０００−９５４２９号公報
【特許文献３】特開２０１０−２４７９８５号公報
【特許文献４】特開２００３−２５２５２６号公報
【特許文献５】特開２００４−１５７１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，被保護材が非常に薄くて軽く且つ柔軟性及び可撓性を有する部材（例えば厚さ数十〜百ミクロン程度のフィルムディスプレイなど）である場合，例えば粘着テープにより保護フィルムを剥離しようとすると，被保護材を下方側から吸着固定しておいても，保護フィルムと一緒に被保護材もめくれてしまい，保護フィルムを被保護材から剥離させることができない。他のフィルム剥離手法においても，被保護材が薄く可撓性を有する部材に貼着された保護フィルムの剥離に適さない。また，いずれのフィルム剥離手法も，装置が複雑，大がかりであり，手動での簡易な剥離操作にも適さない。
【０００６】
そこで，本発明の目的は，簡易な構成，動作により，被保護材に貼着された保護フィルムを容易に且つ確実に剥離させることができるフィルム剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明のフィルム剥離装置は，被保護材に貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置において，フレーム本体と，前記フレーム本体に対して前後方向移動可能に設けられる平板部材と，前記平板部材の底面側から先端部で折り返されて上面側に延び，さらに後端部から折り返されて底面側に延びて，前記平板部材に巻かれるベルト部材とを備え，前記ベルト部材は，前記平板部材の底面側の所定位置で前記フレーム本体に対して固定されて取り付けられ，前記平板部材の底面側の前記ベルト部材を前記フィルムに接着させた状態で，前記平板部材を前後方向移動させると，当該前後方向移動に伴って，前記フィルムが接着している前記平板部材の底面側の前記ベルト部材が，前記フィルムが接着したまま前記平板部材の上面側へ折り返されることにより，前記フィルムが前記被保護材から剥離されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のフィルム剥離装置によれば，保護フィルムをベルト部材の底面側に接着させ，ベルト部材が巻かれた板状部材を前後方向移動させることで，保護フィルムをベルト部材の上面側に折り返すように剥離する構成・動作とすることにより，被保護材に貼着された保護フィルムを確実且つ容易に剥離することができる。特に，被保護材が薄く可撓性のある材質であっても，被保護材がめくれることなく，保護フィルムのみを確実に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置の構成例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置の構成例を示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置の構成例を示す側断面図（後退位置）である。
【図４】本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置の構成例を示す側断面図（前進位置）である。
【図５】ベルト１５が止め板１４にビス留めされた状態を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態のフィルム剥離装置のフィルム剥離動作を説明する図である。
【図７】ベルト１５の先端部分の角度を示す図である。
【図８】本発明のフィルム装置の別の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下，図面を参照して実施の形態について説明する。しかしながら，かかる実施の形態が，本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１１】
図１乃至図４は，本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置の構成例を示す図であり，図１は斜視図，図２は平面図，図３及び図４は，図２のＡ−Ａ線における断面図である。また，図３には，丸囲み部分の部分拡大図も示される。
【００１２】
フィルム剥離装置は，平板部材１１，ブラケット１２，フレーム本体１３，止め板１４，ベルト１５及びロッド１６を有して構成される。
【００１３】
平板部材１１は，厚さ１〜２ｍｍ程度の四角形状の平板１１ａ（例えば鉄板，ステンレス板）と，その後端部の縁に沿って取り付けられる円柱状の棒ステー１１ｂとを有して構成される。棒ステー１１ｂは例えば直径１０ｍｍ程度の円柱部材であって，平板部材１１の後端部は，棒ステー１１ｂの周面により円弧を形成し，また，平板１１ａの先端部も，図示されるように，平板１１ａの先端部位を折り畳むことで円弧を形成している。
【００１４】
平板部材１１の平板１１ａは，棒ステー１１ｂを介して，ビスなどを用いて，コの字状のブラケット１２に固定される。平板１１ａと棒ステー１１ｂは，このように，別々の部材を連結して平板部材１１を構成するように形成されてもよいが，一体的に形成されてもよい。また，平板部材１１は，先端部が後端部よりもその円弧径が小さくなるような先細形状にて形成されてもよい。
【００１５】
平板部材１１の後端部には，後述するように，棒ステー１１ｂから後方に延びる細長状のロッド１６が取り付けられている。ロッド１６は，平板部材１１を手動で前後方向移動させるために把持可能な長さ，形状を有する。
【００１６】
フレーム本体１３は，四角形状の底板と，開放された一端側を除いて底板の周囲を囲う側板と有し，ブラケット１２に取り付けられた平板部材１１は，その開放された一端側から前後方向移動可能にフレーム本体１３に載せられる。ロッド１６は，フレーム本体１３の側板に設けられる孔部を貫通して後方に延びる。ロッド１６を前進移動及び後退移動させることで，平板部材１１を前進位置及び後退位置に移動させることができる。図３は，平板部材１１が後退位置にある状態を示し，図４は，平板部材１１が前進位置にある状態を示す。また，フレーム本体１３を構成する両側の側板の先端付近には，止め板１４が架設される。止め板１４は，帯状の細長板部材である。
【００１７】
平板部材１１には，薄いシート状のベルト１５が巻かれている。具体的には，ベルト１５は，平板部材１１の底面側から先端部で上面側に折り返されて上面を後端方向に延び，さらに後端部から底面側に折り返されて底面を先端方向に延びて，平板部材１１を取り巻くように配置される。平板部材１１の底面側において，ベルト１５の一端と他端とは重ね合わせられ，止め板１４とともにビス留めされる。
【００１８】
図５は，ベルト１５が止め板１４にビス留めされた状態を示す図である。これにより，止め板１４ともに両端がビス留めされて固定されたベルト１５の当該固定部位は，フレーム本体１３に対して固定される位置となり，平板部材１１の前後方向移動に対しても，当該固定部位は移動しない。
【００１９】
ベルト１５は，その表面に接触する保護フィルムを当該表面に接着させる接着機能を有する。例えば，シート状のベルト１５の表面に粘着材（粘着テープを含む）を付着させることで，ベルト１５の表面に保護フィルムを粘着させる。また，ベルト１５を２枚のシートを貼り合わせて形成し，保護フィルムと接触する表面側のシートに複数の微細孔を設け，貼り合わせた２枚のシートの中空内部を真空吸着装置（図示せず）により減圧することで，ベルト１５の表面に保護フィルムを吸着させてもよい。この場合，真空吸着装置と接続するチューブは，ベルト１５の上記固定部位から貼り合わせたシート内に挿入することで，チューブの挿入位置を固定することができる。図５に，当該チューブを挿入するためにベルト１５に設けられたチューブ接続口１５ａの例を示す。
【００２０】
図６は，本発明の実施の形態のフィルム剥離装置のフィルム剥離動作を説明する図である。図６（ａ）において，まず，平板部材１１を前進位置に配置し，その状態において，上方側から，ベルト１５の底面側を被保護材２０上の保護フィルム３０に接触させ，載せる。このとき，ベルト１５は，保護フィルム３０の先端部３０ａがベルト１５の底面側に接着するように載せられる。なお，被保護材２０は，下面側において，真空吸着などによる吸着盤４０に吸着固定されている。
【００２１】
続いて，図６（ｂ）において，ロッド１６を後方に引くと，平板部材１１の底面側のベルト１５を保護フィルム３０に接着させた状態で，平板部材１１も後方に引かれる。当該後方移動に伴って，保護フィルム３０が接着している平板部材１１の底面側のベルト１５は，保護フィルム３０が接着したまま平板部材１１の上面側へ折り返されていき，保護フィルム３０が被保護材２０から順次剥離されていく（図６（ｃ））。そして，図６（ｄ）に示されるように，平板部材１１が後退位置まで引かれると，保護フィルム３０は，被保護材２０のほぼ全面から剥離される。
【００２２】
図７に示されるベルト１５の先端部分の角度θは，４５度を超えない角度であり，できるだけ小さい角度（例えば１０度未満）が好ましい。ベルト１５の先端部分の角度が小さい程，保護フィルム３０を被保護材２０から剥離する際に，被保護材２０にかかる上向きの引張力（被保護材２０を持ち上げようとする力）を小さくすることができる。さらに，ベルト１５が巻かれる平板部材１１を薄くすること（厚さを小さくすること）で，保護フィルム３０がめくれて折り返される際の上方向（厚さ方向）への移動長さを小さくすることができ，保護フィルム３０を被保護材から剥離する際に，被保護材２０にかかる上向きの引張力を小さくすることができる。
【００２３】
例えば，被保護材２０がガラスなどのある程度の重量があり，硬質で可撓性のない材質である場合は，保護フィルムを剥離する際に，被保護材に上向きの引張力がかかっても，被保護材２０が保護フィルム３０とともにめくれることはない。しかしながら，被保護材２０が例えば厚さ数十〜百ミクロン程度のフィルムディスプレイ（有機ＥＬフィルムディスプレイなど）のような非常に薄くて軽く且つ柔軟性及び可撓性を有する材質である場合，下方側からの吸着により被保護材２０を固定していても，例えば粘着テープにより保護フィルムを剥離しようとすると，被保護材に上向きの引張力がかかることにより，保護フィルムと一緒に被保護材もめくれてしまい，保護フィルムを被保護材から剥離させることができない場合がある。
【００２４】
本実施の形態におけるフィルム剥離装置は，薄い平板部材にベルト部材を巻き，保護フィルムを非常に小さい角度で折り返して剥離させるために，上向きの引張力をほとんど発生させず，極めて薄く可撓性を有するフィルム状の被保護材に貼着された保護フィルムであっても，その被保護材から確実に剥離することができる。また，ベルト１５が巻き付けられた平板部材１１を保護フィルムに面同士で接触させ，水平方向に直線移動させるだけの単純動作により，手動においても，保護フィルムを迅速に剥離することができ，剥離時間の短縮化，効率化も実現される。すなわち，簡易な構成及び動作により，保護フィルムを剥離させにくいフィルム状の被保護材からも保護フィルムを容易に剥離させることができる。もちろん，本発明の実施の形態におけるフィルム剥離装置は，ガラス，液晶パネルなどの硬質で可撓性を有しない被保護材に貼着された保護フィルムの剥離にも適用可能である。
【００２５】
図８は，本発明のフィルム装置の別の構成例を示す図であり，図８（ａ）は平面図，図８（ｂ）は側断面図である。別の構成例では，平板部材１１の温度調整を行い，ベルト１５の粘着性を制御する機能が付加される。図８に示すように，熱電素子４０（例えばペルチェ素子）のような温度変化手段を平板部材１１の平板１１ａに取り付け，熱電素子４０による発熱及び吸熱作用により，平板１１ａの温度を変化させる。熱電素子４０は，図示されない電源及び制御装置と配線接続し，温度変化を自在に制御できる。平板１１ａの温度変化により，ベルト１５は，平板１１ａの先端部分などの接触箇所による熱伝導及び輻射熱により，その温度が変化し，温度変化によりベルト１５の粘着力が変化する。例えば，ベルト１５の温度を高くすることで，ベルト１５の粘着力が上がり，剥離対象の保護フィルムの末端をつかむグリップ力が向上する。例えば，保護フィルムが２枚重ねて被保護材に貼着され，重なった２枚のうちの１枚を剥離させる場合に，保護フィルム同士の貼着力が強いと，剥離のためにより強い粘着力となる。温度変化手段により平板１１ａの温度を変化させることで，ベルト１５を加熱し，その粘着力を高めることで，貼着力の強い保護フィルムも剥離できるようになる。また，ベルト１５の温度を低くすることで，強すぎる粘着力を調整することも可能である。温度変化手段は，熱電素子に限らず，例えば電熱線のような他の形態であってもよい。
【００２６】
本発明のフィルム剥離装置は，上述の実施の形態に限られるものではなく，例えば，平板部材１１の前後方向移動は，手動による操作に限らず，例えば，モータ駆動などにより自動操作されてもよい。また，設計事項の範囲内で適宜各構成要素の寸法，形状などの変更も本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００２７】
１１：平板部材，１２：ブラケット，１３：フレーム本体，１４：止め板，１５：ベルト，１６：ロッド，２０：被保護材，３０：保護フィルム，４０：熱電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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