(57)【要約】      （修正有）【課題】ポケットをウエハーキャリアから着脱可能にするとともに、ポケットを様々な形状にした半導体製造装置を提供する。【解決手段】半導体製造装置は、被蒸着体が搭載される少なくとも一つのポケット３００、及び少なくとも一つのポケットが着脱する挿入空間を有するキャリアボディー４００を備える。また、少なくとも一つのポケットは、複数のポケットを有し、複数のポケットのそれぞれがキャリアボディーに挿入される深さは、複数のポケット別に異なっても同一でもよい。【選択図】図３
2013168650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被蒸着体が搭載される少なくとも一つのポケットと、
前記少なくとも一つのポケットが着脱する挿入空間を有しているキャリアボディーと、
を備える、半導体製造装置。
【請求項２】
前記少なくとも一つのポケットは、複数のポケットを有し、
前記複数のポケットのそれぞれが前記キャリアボディーに挿入される深さは、前記複数のポケット別に異なる、請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項３】
前記挿入空間は、前記キャリアボディーが貫通された孔の形態を有したり、または、前記キャリアボディーの上部面が窪んだ溝の形態を有する、請求項１または２に記載の半導体製造装置。
【請求項４】
前記少なくとも一つのポケットは、
前面で前記被蒸着体を支持する前面支持部と、
背面で前記キャリアボディーと結合する背面結合部と、を備え、
前記キャリアボディー及び前記背面結合部は互いに結合可能な形態を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体製造装置。
【請求項５】
前記前面支持部は、
前記少なくとも一つのポケットが前記キャリアボディーに挿入される第１の方向に延びている第１の内側面と、
前記第１の内側面から前記第１の方向と異なる第２の方向に延びており、前記被蒸着体の周縁部が載せられる第１の内底面と、
前記第１の内底面から前記第１の方向に延びている第２の内側面と、
を備える、請求項４に記載の半導体製造装置。
【請求項６】
前記前面支持部は、
前記第２の内側面から前記第２の方向に延びており、前記少なくとも一つのポケットの底に相当する第２の内底面をさらに備える、請求項５に記載の半導体製造装置。
【請求項７】
前記第１及び第２の内底面の少なくとも一方は、前記被蒸着体に対して膨らんだ形状、または凹んだ形状を有する、請求項５または６に記載の半導体製造装置。
【請求項８】
前記第１及び第２の内底面の少なくとも一方は、少なくとも一つの段差面を有する、請求項５または６に記載の半導体製造装置。
【請求項９】
前記背面結合部は、
前記第１の内側面の反対側で前記第１の方向に延びている第１の外側面と、
前記第１の内底面の反対側で前記第１の外側面から前記第２の方向に延びている第１の外底面と、
前記第２の内側面の反対側で前記第１の外底面から前記第１の方向に延びている第２の外側面と、
を備える、請求項５または６に記載の半導体製造装置。
【請求項１０】
前記背面結合部は、
前記第２の内底面の反対側で前記第２の外側面から前記第２の方向に延びている第２の外底面をさらに備える、請求項９に記載の半導体製造装置。
【請求項１１】
前記キャリアボディーは、
前記第１の外側面に面し、前記第１の方向に延びている第３の内側面と、
前記第１の外底面に面し、前記第３の内側面から前記第２の方向に延びている第３の内底面と、
前記第２の外側面に面し、前記第３の内底面から前記第１の方向に延びている第４の内側面と、
を備える、請求項１０に記載の半導体製造装置。
【請求項１２】
前記キャリアボディーは、
前記第２の外底面に面し、前記第４の内側面から前記第２の方向に延びている第４の内底面をさらに備える、請求項１１に記載の半導体製造装置。
【請求項１３】
前記第４の内底面は、前記被蒸着体に対して膨らんだ形状、または凹んだ形状を有する、請求項１２に記載の半導体製造装置。
【請求項１４】
前記第４の内底面は、少なくとも一つの段差を有する、請求項１２に記載の半導体製造装置。
【請求項１５】
前記キャリアボディーは、
前記第４の内底面の反対側の第３の外底面をさらに備え、
前記第３の外底面は、少なくとも一つの段差を有する、請求項１２に記載の半導体製造装置。
【請求項１６】
前記ポケットは、前記第１の外底面から前記キャリアボディーの前記第３の内底面に向かって突出している支持突起を有し、
前記キャリアボディーは、前記ポケットの前記支持突起が挿入されるように前記第３の内底面に形成された支持溝を有する、請求項１１に記載の半導体製造装置。
【請求項１７】
前記背面結合部は、雄ねじ形態の外側壁を有し、
前記キャリアボディーは、雌ねじの形態で刻まれた内側壁を有し、
前記背面結合部及び前記キャリアボディーは、前記雄ねじと前記雌ねじとが噛み合う形態で結合する、請求項５または６に記載の半導体製造装置。
【請求項１８】
前記少なくとも一つのポケットの周縁上面に目盛りが形成されており、
前記周縁上面に隣接する前記キャリアボディーの周縁上面に少なくとも一つのインジケータが形成されている、請求項１７に記載の半導体製造装置。
【請求項１９】
前記背面結合部は、前記少なくとも一つのポケットが前記キャリアボディーに挿入される第１の方向と異なる第２の方向に突出している結合突起を有し、
前記キャリアボディーは、前記少なくとも一つのポケットを前記第１の方向に加圧する時に前記結合突起が係止されるに適した少なくとも一つの結合溝を有する、請求項４乃至６のいずれかに記載の半導体製造装置。
【請求項２０】
前記少なくとも一つの結合溝は、等間隔で形成された複数の結合溝を有する、請求項１９に記載の半導体製造装置。
【請求項２１】
前記背面結合部の外側壁には、前記少なくとも一つのポケットが前記パッケージボディーに挿入された深さを表す目盛りが形成されている、請求項１９に記載の半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施例は、半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図1は、一般の半導体製造装置を示す断面図である。
【０００３】
図1を参照すると、半導体製造装置１００は、ソース１１０、反応チャンバー１２０、ウエハーキャリア（または、サセプタ（ｓｕｓｃｅｐｔｏｒ））１３０、回転軸１５０、ヒーターなどの加熱手段１６０、シュラウド（ｓｈｒｏｕｄ）１７０を備えている。
【０００４】
ウエハーキャリア１３０は、反応チャンバー１２０内に配置され、上側に少なくとも一つのポケット１４０を有している。ポケット１４０にはウエハー（図示せず）がローディングされ、回転軸１５０は、ウエハーキャリア１３０の下部に結合してウエハーキャリア１３０を回転させる。
【０００５】
加熱手段１６０は、ウエハーキャリア１３０の下部及び反応チャンバー１２０の内部を所定の温度に加熱する。シュラウド１７０は、ソース１１０からのソース物質などを反応チャンバー１２０に供給する役割を果たす。
【０００６】
このような構成により、反応チャンバー１２０内に流入するソース物質の化学反応を用いてウエハー（図示せず）の表面に半導体薄膜や絶縁膜などを成長させることができる。
【０００７】
例えば、半導体製造装置１００は、金属有機化学気相蒸着（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、分子ビームエピタキシー（ＭＢＥ：Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法、化学気相蒸着（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いてウエハーの表面に窒化ガリウム系半導体発光素子、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ：Ｈｉｇｈ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ：Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、レーザーダイオードなどの素子を成長させることができる。
【０００８】
ウエハーキャリア１３０は、カーボン（Ｃａｒｂｏｎ）または窒化アルミニウム（ＡｌＮ：Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ  Ｎｉｔｒｉｄｅ）材質で作製され、ウエハーキャリア１３０の表面及びポケット１４０内でウエハーに接する面は、炭化ケイ素（ＳｉＣ：Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｃａｒｂｉｄｅ）、カーボン（Ｃａｒｂｏｎ）、または窒化アルミニウム膜でコーティングされている。ここで、ウエハーキャリア１３０の表面に炭化ケイ素または窒化アルミニウム膜をコーティングすることによって、フッ酸を用いた化学的洗浄または熱洗浄（ｔｈｅｒｍａｌ  ｃｌｅａｎｉｎｇ）によりカーボン材質のウエハーキャリア１３０が損傷することを防ぎ、特性劣化を防止することができる。
【０００９】
しかしながら、上記の半導体製造装置１００では、ポケット１４０がウエハーキャリア１３０のボディーと一体に形成されており、分離されない。そのため、複数個のポケット１４０のうち一つのポケットのみ損傷しても、ウエハーキャリア１３０全体を入れ替えなければならないという問題点があった。
【００１０】
しかも、ウエハーキャリア１３０上に配置されている複数のポケット１４０は、それぞれの位置によって異なる温度で加熱される。それにも拘わらず、複数のポケット１４０はいずれも同一の形状になっているため、各ポケット１４０でウエハーの表面に物質が不均一に成長することもあった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
実施例は、ポケットをウエハーキャリアから着脱可能にするとともに、ポケットを様々な形状にした半導体製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
実施例の半導体製造装置は、被蒸着体が搭載される少なくとも一つのポケットと、前記少なくとも一つのポケットが着脱する挿入空間を有しているキャリアボディーと、を備える。
【００１３】
また、前記少なくとも一つのポケットは、複数のポケットを有し、前記複数のポケットのそれぞれが前記キャリアボディーに挿入される深さは、前記複数のポケット別に異なっても同一でもよい。
【００１４】
前記挿入空間は、前記キャリアボディーが貫通された孔の形態を有してもよく、前記キャリアボディーの上部面が窪んだ溝の形態を有してもよい。
【００１５】
また、前記少なくとも一つのポケットは、前面で前記被蒸着体を支持する前面支持部と、背面で前記キャリアボディーと結合する背面結合部と、を備え、前記キャリアボディー及び前記背面結合部は互いに結合可能な形態を有してもよい。
【００１６】
また、前記前面支持部は、前記少なくとも一つのポケットが前記キャリアボディーに挿入される第１の方向に延びている第１の内側面と、前記第１の内側面から前記第１の方向と異なる第２の方向に延びており、前記被蒸着体の周縁部が載せられる第１の内底面と、前記第１の内底面から前記第１の方向に延びている第２の内側面と、を備えてもよい。前記前面支持部は、前記第２の内側面から前記第２の方向に延びており、前記少なくとも一つのポケットの底に相当する第２の内底面をさらに備えてもよい。
【００１７】
また、前記第１及び第２の内底面の少なくとも一方は、前記被蒸着体に対して膨らんだ形状または凹んだ形状を有してもよく、または少なくとも一つの段差面を有していてもよい。
【００１８】
前記背面結合部は、前記第１の内側面の反対側で前記第１の方向に延びている第１の外側面と、前記第１の内底面の反対側で前記第１の外側面から前記第２の方向に延びている第１の外底面と、前記第２の内側面の反対側で前記第１の外底面から前記第１の方向に延びている第２の外側面と、を備えてもよい。該背面結合部は、前記第２の内底面の反対側で前記第２の外側面から前記第２の方向に延びている第２の外底面をさらに備えてもよい。
【００１９】
また、前記キャリアボディーは、前記第１の外側面に面し、前記第１の方向に延びている第３の内側面と、前記第１の外底面に面し、前記第３の内側面から前記第２の方向に延びている第３の内底面と、前記第２の外側面に面し、前記第３の内底面から前記第１の方向に延びている第４の内側面と、を備えてもよい。該キャリアボディーは、前記第２の外底面に面し、前記第４の内側面から前記第２の方向に延びている第４の内底面をさらに備えてもよい。前記第４の内底面は、前記被蒸着体に対して膨らんだ形状または凹んだ形状を有してもよく、少なくとも一つの段差を有していてもよい。また、前記キャリアボディーは、前記第４の内底面の反対側の第３の外底面をさらに備え、前記第３の外底面は、少なくとも一つの段差を有していてもよい。
【００２０】
また、前記ポケットは、前記第１の外底面から前記キャリアボディーの前記第３の内底面に向かって突出している支持突起を有し、前記キャリアボディーは、前記ポケットの前記支持突起が挿入されるように前記第３の内底面に形成された支持溝を有していてもよい。
【００２１】
前記背面結合部は、雄ねじ形態の外側壁を有し、前記キャリアボディーは、雌ねじの形態で刻まれた内側壁を有し、前記背面結合部及び前記キャリアボディーは、前記雄ねじと前記雌ねじとが噛み合う形態で結合してもよい。前記少なくとも一つのポケットの周縁上面に目盛りが形成されており、前記周縁上面に隣接する前記キャリアボディーの周縁上面に少なくとも一つのインジケータが形成されていてもよい。
【００２２】
また、前記背面結合部は、前記少なくとも一つのポケットが前記キャリアボディーに挿入される第１の方向と異なる第２の方向に突出している結合突起を有し、前記キャリアボディーは、前記少なくとも一つのポケットを前記第１の方向に加圧する時に前記結合突起が係止されるに適した少なくとも一つの結合溝を有してもよい。また、前記少なくとも一つの結合溝は、等間隔で形成された複数の結合溝を有してもよい。前記背面結合部の外側壁には、前記少なくとも一つのポケットが前記パッケージボディーに挿入された深さを表す目盛りが形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
実施例に係る半導体製造装置は、ポケットをウエハーから着脱するようになっているため、いずれかのポケットが損傷した場合に、損傷したポケットを含むウエハーキャリア全体を入れ替えずに、損傷したポケットのみを容易に入れ替えることができ、よって、工程時間の短縮及び工程コストの節減を図ることができ、且つ、ウエハーキャリア上でポケットの位置別に各ポケットの構造を異にすることによって、ポケットの位置によらず、ウエハーの表面に物質を均一に成長させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
下記の図面を参照して実施例について詳細に説明する。ただし、図面中、同一の構成要素には同一の参照符号を付する。
【図１】一般の半導体製造装置を示す断面図である。
【図２Ａ】実施例に係るウエハーキャリアを示す平面図である。
【図２Ｂ】実施例に係るウエハーキャリアを示す平面図である。
【図３】一実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図４】他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図５】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図６】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図７】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図８】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図９】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【図１０】図９に示すポケットの概略平面図である。
【図１１】さらに他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット及びキャリアボディーをＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を、添付の図面を参照しつつ具体的な実施例を挙げて説明する。ただし、本発明の実施例は種々の形態に変形可能であり、本発明の範囲が、以下に詳述する実施例に限定されることはない。本発明の実施例は当該技術の分野における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものに過ぎない。
【００２６】
実施例では、ポケットに搭載される被蒸着体をウエハーとして説明するが、これに限定されず、実施例のポケットは種々の被蒸着体を搭載してもよい。
【００２７】
図２Ａ及び図２Ｂは、実施例に係るウエハーキャリア（または、サセプタ）２００Ａ，２００Ｂを示す平面図である。
【００２８】
ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂのキャリアボディー４００の表面には、ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂと同心円状に１列のポケット３００（図２Ａ）または２列のポケット３００(図２Ｂ)が形成されている。これに限定されず、ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂ上にポケット３００が配列される形態、各ポケットの形状及びポケットの個数は様々に変更可能である。
【００２９】
すなわち、ポケット３００は、同心円状の１列または２列の配列形態に限定されず、他の配列形態でキャリアボディー４００上に配列されてもよい。また、各ポケット３００に搭載される被蒸着体であるウエハーの大きさまたは反応チャンバーの容量に応じて、１個乃至５０個のポケットまたはそれ以上のポケットがウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂ上に形成されてもよい。また、ポケット３００は、円形に限定されず、円形の一端がカットされたフラット形状にしてもよい。
【００３０】
ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂの下部の中心には軸結合溝（図示せず）が形成されており、該軸結合溝に、例えば図１に示した回転軸１５０を結合することができる。すなわち、図２Ａ及び図２Ｂに示すウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂは、図１に示したウエハーキャリア１３０のようにチャンバー１２０内に配置されてもよいが、本実施例はこれに限定されない。
【００３１】
実施例では、キャリアボディー４００がポケット３００の個数分の挿入空間を有し、挿入空間は、ポケット３００の着脱が可能な構造を有する。
【００３２】
以下、実施例に係るポケット３００及びキャリアボディー４００について添付の図面を参照して説明する。
【００３３】
図３は、実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット３００及びキャリアボディー４００をＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【００３４】
図３を参照すると、実施例に係るポケット３００は、前面支持部３１０及び背面結合部３２０を有している。
【００３５】
前面支持部３１０は、ウエハー５００を支持する役割を担うもので、第１内側面３１２、第１の内底面３１４、第２の内側面３１６、及び第２の内底面３１８を有している。
【００３６】
第１の内側面３１２は、ポケット３００がキャリアボディー４００に挿入される第１の方向に延びている。第１の内底面３１４は、第１の方向と異なる第２の方向に第１の内側面３１２から延びており、ウエハー５００の周縁部５０２が載せられる。ウエハー５００が矢印方向６０２にポケット３００に搭載されるとき、ウエハー５００の周縁部５０２は第１の内底面３１４に載せられ、ウエハー５００の周縁５０４と第１の内側面３１２間の離隔距離ｄ１は「０」以上であればよい。ここで、第１の方向及び第２の方向は互いに直角をなしてもよい。
【００３７】
第２の内側面３１６は第１の内底面３１４から第３の方向に延びている。ここで、第３の方向は第１の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００３８】
第２の内底面３１８は、第２の内側面３１６から第４の方向に延びており、ポケット３００の底面に相当する。ここで、第４の方向は第２の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００３９】
また、図示しないが、ウエハー５００とポケット３００とを固定させる第１の固定部（図示せず）、ポケット３００とキャリアボディー４００とを固定させる第２の固定部（図示せず）、またはウエハー５００、ポケット３００及びキャリアボディー４００を同時に固定させる第３の固定部（図示せず）をさらに備えることができる。
【００４０】
図４乃至図９、及び図１１は、他の実施例に係る図２Ａまたは図２Ｂに示すポケット３００及びキャリアボディー４００をＡ−Ａ’線に沿って切断した部分分解断面図である。
【００４１】
他の実施例によれば、図３に示した第２の内底面３１８が省かれてもよい。すなわち、図４または図８に示すように、ポケット３００は底面のない孔の形態にしてもよい。
【００４２】
また、第１及び第２の内底面３１４，３１８の少なくとも一方は、ウエハー５００に対して膨らんだり凹んだ形状を有してもよい。例えば、第２の内底面３１８は、図５に示すように、ウエハー５００に対して膨らんだ形状を有することもでき、図６に示すように、ウエハー５００に対して凹んだ形状を有することもできる。
【００４３】
また、第１及び第２の内底面３１４，３１８の少なくとも一方は、少なくとも一つの段差面を有してもよい。例えば、図７に示すように、第２の内底面３１８の周縁部に溝３４０を形成すると、第２の内底面３１８の周縁部分の底面３４２は、第２の内底面３１８の中央部分と段差を有することとなる。また、第１及び第２の内底面３１４，３１８の少なくとも一方を傾斜面にしてもよい。
【００４４】
このように第１及び第２の内底面３１４，３１８の少なくとも一方の形態を様々に変形すると、ウエハー５００が成長する間に加熱手段（例えば、図１の１６０）により加熱されるとき、ウエハー５００の周縁部分と中央部分における温度が異なるが、それらの温度を均一にすることができる。
【００４５】
一方、図３を参照すると、ポケット３００の背面結合部３２０によりポケット３００とキャリアボディー４００とが結合する。そのために、背面結合部３２０及びキャリアボディー４００は互いに結合可能な形態を有する。
【００４６】
実施例によれば、背面結合部３２０は、第１の外側面３２２、第１の外底面３２４、第２の外側面３２６及び第２の外底面３２８を有している。
【００４７】
第１の外側面３２２は、第１の内側面３１２の反対側で第５の方向に延びている。ここで、第５の方向は第１の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００４８】
第１の外底面３２４は、第１の内底面３１４の反対側で第１の外側面３２２から第５の方向と異なる第６の方向に延びている。第６の方向は第２の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００４９】
第２の外側面３２６は、第２の内側面３１６の反対側で第１の外底面３２４から第７の方向に延びている。第７の方向は第１の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５０】
第２の外底面３２８は、第２の内底面３１８の反対側で第２の外側面３２６から第８の方向に延びている。第８の方向は第２の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５１】
前面支持部３１０が第２の内底面３１８を省いた場合は、背面結合部３２０も、図４または図８に示すように第２の外底面３２８を省くことができる。
【００５２】
一方、図３を参照すると、キャリアボディー４００は、第３の内側面４１２、第３の内底面４１４、第４の内側面４１６、第４の内底面４２０、及び第３の外底面４４０を備えている。
【００５３】
第３の内側面４１２は第１の外側面３２２に面し、第９方向に延びている。第９方向は第１の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５４】
第３の内底面４１４は、第１の外底面３２４に面し、第３の内側面４１２から第１の０方向に延びている。第１０の方向は第２の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５５】
第４の内側面４１６は、第２の外側面３２６に面し、第３の内底面４１４から第１１の方向に延びている。第１１の方向は第１の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５６】
例えば、ポケット３００をキャリアボディー４００に矢印方向６０４に加圧してキャリアボディー４００の挿入空間４０２にポケット３００をはめ込むとき、第３の内側面４１２と第１の外側面３２２間の離隔距離ｄ２は「０」以上であればよく、第４の内側面４１６と第２の外側面３２６間の離隔距離ｄ３も「０」以上であればよい。
【００５７】
第４の内底面４２０は第２の外底面３２８に面し、第４の内側面４１６から第１２の方向に延びている。第１２の方向は第２の方向と同一でもよいが、これに限定されない。
【００５８】
第３及び第４の内底面４１４，４２０の少なくとも一方は、図３に示すように平面にしてもよいが、凸面または凹面にしてもよく、または少なくとも一つの段差面を有するようにしてもよい。例えば、第４の内底面４２０は、図４に示すように、ウエハー５００に対して膨らんだ形状でもよく、図３及び図４とは違い、第４の内底面４２０はウエハー５００に対して凹んだ形状でもよい。
【００５９】
また、第３の外底面４４０は、第４の内底面４２０の反対側に位置しており、少なくとも一つの段差を有してもよい。例えば、第３の外底面４４０は、図６に示すように段差を有してもよい。
【００６０】
また、ポケット３００が挿入される空間４０２は、キャリアボディー４００の上部面が窪んだ溝の形態を有することができる。この場合、図３、図４または図６に示すように、キャリアボディー４００は第４の内底面４２０及び第３の外底面４４０を有する。
【００６１】
また、挿入空間４０２は、キャリアボディー４００を貫通する孔の形態を有してもよい。この場合、図５、７、８、９または１１に示すように、キャリアボディー４００において第４の内底面４２０及び第３の外底面４４０は省かれる。
【００６２】
このようにキャリアボディー４００の第３の内底面４１４、第４の内底面４２０及び第３の外底面４４０の少なくとも一方の形態を様々に変形すると、ウエハー５００が成長する間に加熱手段（例えば、図１の１６０）により加熱されるとき、ウエハー５００の周縁部分と中央部分における温度が異なるが、それらの温度を均一にすることができる。
【００６３】
また、第２の外側面３２６の第１の高さｈ１は「０」以上であればよい。もし、第１の高さｈ１が「０」であると、ウエハー５００は第１及び第２の内底面３１４，３１８上に載せられる。
【００６４】
また、第２の外側面３２６の第１の高さｈ１は、第４の内側面４１６の第２の高さｈ２と同一でもよく、第４の内側面４１６の第２の高さｈ２よりも小さくてもよい。例えば、第１の高さｈ１が第２の高さｈ２より小さくなるほど、ポケット３００の周縁部における温度に比べてポケット３００の中央部における温度が益々低くなる。これは、ポケット３００の中央部分とキャリアボディー４００が対向する面積が、ポケット３００の周縁部とキャリアボディー４００が対向する面積よりも小さくなり、ポケット３００の中央部分はポケット３００の周縁部に比べてキャリアボディー４００から熱を少なく受けるからである。また、第１の外側面３２２の第３の高さｈ３と第３の内側面４１２の第４の高さｈ４は互いに同一でも異なってもよい。
【００６５】
また、図２Ａまたは図２Ｂに示すように、ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂが複数のポケット３００を有している場合に、キャリアボディー４００にポケット３００が挿入される深さは、複数のポケット３００別に同一でも異なってもよい。すなわち、第１の高さｈ１と第２の高さｈ２との差Δｈ１、及び第３の高さｈ３と第４の高さｈ４との差Δｈ２の少なくとも一方は、複数のポケット３００別に同一でも異なってよい。
【００６６】
このように第１の乃至第４の高さｈ１乃至ｈ４を様々に変更すると、ウエハー５００が成長する間に加熱手段（例えば、図１の１６０）により加熱されるとき、ウエハー５００の周縁部と中央部分における温度が異なるが、それらの温度を均一にすることができる。
【００６７】
また、図３に示すポケット３００の底の厚さt１及びキャリアボディー４００の底の厚さt２を調節して、ウエハー５００の周縁部における温度と中央部分における温度の差を補償することもできる。すなわち、図５、図６または図７に示すように、ポケット３００の底の厚さｔ１が周縁部と中央部分において異なるように形成することによって、ウエハー５００の周縁部の温度と中央部分の温度を均一にすることができる。または、図４または図６に示すように、キャリアボディー４００の底の厚さｔ２が周縁部と中央部分において異なるように形成することによって、ウエハー５００の周縁部の温度と中央部分の温度を均一にすることもできる。
【００６８】
一方、ポケット３００がキャリアボディー４００に結合した状態で、ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂが回転する時に、遠心力によりポケット３００がキャリアボディー４００から離脱することがある。これを防止するために、ポケット３００は支持突起をさらに備え、キャリアボディー４００は支持溝をさらに備えてもよい。
【００６９】
一実施例によれば、図８に示すように、ポケット３００の支持突起３３０は、キャリアボディー４００の第３の内底面４１４に向かって第１の外底面３２４から突出して形成されている。この場合、支持溝４３０は、ポケット３００の支持突起３３０が挿入されるように第３の内底面４１４に形成すればよい。このように、支持突起３３０が支持溝４３０に挿入されることで、ウエハーキャリア２００Ａ，２００Ｂの回転時に遠心力によりポケット３００がキャリアボディー４００から離脱したり移動したりすることなく、安定して固定されることが可能である。
【００７０】
他の実施例によれば、図示しないが、ポケット３００の支持突起（図示せず）がキャリアボディー４００の第３の内側面４１２に向かって第１の外側面３２２から突出して形成されてもよい。この場合、支持溝（図示せず）は、ポケット３００の支持突起が挿入されるように第３の内側面４１２に形成すればよい。
【００７１】
一方、図３乃至図８では、背面結合部３２０及びキャリアボディーの内側壁４１０が屈曲形状を有し、これによりポケット３００がキャリアボディー４００に結合される例を示したが、これに限定されず、ポケット３００は様々な形態でキャリアボディー４００に結合されてもよい。
【００７２】
実施例によれば、円筒形のポケット３００の外側壁には雄ねじを刻み、キャリアボディー４００の内側壁には雌ねじを刻むこともできる。
【００７３】
例えば、図９を参照すると、ポケット３００の背面結合部３５０は、雄ねじの形態で刻まれた外側壁３５２を有し、キャリアボディー４００は、雌ねじの形態で刻まれた内側壁４５０を有する。そのため、背面結合部３５０の外側壁３５２とキャリアボディー４００の内側壁４５０が、雄ねじと雌ねじとが噛み合う方式で結合することができる。
【００７４】
また、背面結合部３５０の外側壁３５２とキャリアボディー４００の内側壁４５０は、雄・雌ねじの形態に限定されず、例えば、右ねじ・左ねじなどを含め、様々な形態にしてもよい。
【００７５】
図１０は、図９に示したポケット３００の概略平面図である。
【００７６】
図１０を参照すると、ポケット３００の周縁上面３１１に少なくとも一つの目盛り３０２が形成され、ポケット３００の周縁上面３１１に隣接するキャリアボディー４００の周縁上面には少なくとも一つのインジケータ４０２が形成されている。したがって、雄ねじ形態のポケット３００を時計回り方向または反時計回り方向に回して雌ねじ形態のキャリアボディー４００にはめ込むとき、インジケータ４０２を基準に目盛り３０２を見ると、ポケット３００が回転した度合、すなわち、ポケット３００がキャリアボディー４００に挿入された深さを計ることができる。そのために、いずれかの目盛り３０２には「０」の数字を表示することができる。
【００７７】
一方、図１１に示すように、ポケット３００の背面結合部は結合突起３６０を有し、キャリアボディー４００は少なくとも一つの結合溝４６０を有してもよい。そのため、少なくとも一つのポケット３００を第１の方向に加圧すると、結合突起３６０が結合溝４６０に係止することでポケット３００がパッケージボディー４００に結合することとなる。
【００７８】
ポケット３００の結合突起３６０は、ポケット３００がキャリアボディー４００に挿入される第１の方向と異なる第２の方向に突出している。少なくとも一つの結合溝４６０は、ポケット３００の結合突起３６０が係止するに適した形態でキャリアボディー４００の内側壁に形成されている。
【００７９】
例えば、結合溝４６０は、等間隔に複数個が形成されてもよい。図１１では、第１乃至第３の結合溝４６２，４６４，４６６が等間隔に形成されている。
【００８０】
ここで、ポケット３００の背面結合部の外側壁には、ポケット３００がパッケージボディー４００に挿入された深さを測定するのに役立つ目盛り３７０が形成されていてもよい。すなわち、結合突起３６０がキャリアボディー４００の内側壁の最上側に配置された第１の結合溝４６２に挿入された時の目盛りの個数、結合突起３６０が第１の結合溝４６２の下部に配置された第２の結合溝４６４に挿入された時の目盛りの個数、及び第３の結合溝４６６に挿入された時の目盛りの個数を読むことで、結合突起３６０が複数個の第１乃至第３の結合溝４６２，４６４，４６６のいずれかに係止しているかを判断することができる。
【００８１】
以上では実施例を中心に説明してきたが、これは単なる例示であり、それらの実施例に限定されず、本発明の属する分野における通常の知識を有する者には、実施例の本質的な特性から逸脱しない範囲で様々な変形及び応用が可能であるということが理解されるであろう。例えば、実施例に具体的に示した各構成要素は変形実施が可能である。そして、それらの変形及び応用に係る差異点は、添付の特許請求の範囲で規定する本発明の範囲に含まれるものと解釈しなければならない。
【図１】
2013168650.tif 000003
【図２Ａ】
2013168650.tif 000004
【図２Ｂ】
2013168650.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2013168650.tif 000008
【図６】
2013168650.tif 000009
【図７】
2013168650.tif 000010
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2013168650.tif 000013
【図１１】
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