(57)【要約】【課題】異なる波長の２つのレーザ光が入射する場合にも、メインビームの強度に対してサブビームの強度を適正に低下させることが可能な、新たな構成による回折格子および当該回折格子を備えた光ピックアップ装置を提供する。【解決手段】回折格子Ｇは、ＣＤ光とＤＶＤ光を透過する基板Ｇａと、基板Ｇａの平坦な光通過面上にＣＤ光とＤＶＤ光のうち一方の光を回折作用によりメインビームと２つのサブビームに分割透過するための周期構造とを備える。周期構造は、山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２とが一定周期で交互に並ぶように光通過面に形成されている。山Ｇｂ１の天面と基板Ｇａの光通過面との間には、透過光の位相調整のための複数の誘電体薄膜（誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２）が形成されている。回折格子Ｇは、誘電体薄膜による干渉作用によって、メインビームの強度に対してサブビームの強度を適正に低下させることができる。【選択図】図５
2013182630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長を有する第１のレーザ光と前記第１の波長とは異なる第２の波長の第２のレーザ光とが透過する基板と、
前記基板の平坦な光通過面上に所定数の誘電体膜を積層することにより形成され、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光のうち前記第１のレーザ光を回折作用によりメインビームと２つのサブビームに分割透過するための周期構造と、を備え、
前記周期構造は、山と谷とが交互に並ぶように前記光透過面に形成され、
少なくとも前記山の天面と前記基板の前記光透過面との間に前記透過光の位相調整のための複数の前記誘電体膜が積層されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項２】
請求項１に記載の回折格子において、
前記サブビームの回折効率に対する前記メインビームの回折効率の比率が中心波長で１４以上になるよう、前記誘電体膜と、前記山の幅とが調整されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の回折格子において、
前記光透過面上に複数の前記誘電体膜が積層され、その上に、前記山を構成する複数の前記誘電体膜が形成されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項４】
請求項３に記載の回折格子において、
前記サブビームの回折効率に対する前記メインビームの回折効率の比率の波長変動による変動幅が抑制されるよう、前記誘電体膜と、前記山の幅とが調整されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項５】
請求項４に記載の回折格子において、
前記第１のレーザ光の中心波長から±２０ｎｍの範囲において、前記変動幅が±２の範囲内となるよう、前記誘電体膜と、前記山の幅とが調整されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載の回折格子において、
前記基板の平坦な他の光通過面上に所定数の誘電体膜を積層することにより形成され、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光のうち前記第２のレーザ光を回折作用によりメインビームと２つのサブビームに分割透過するための他の周期構造をさらに備え、
前記他の周期構造は、山と谷とが交互に並ぶように前記他の光透過面に形成され、
少なくとも前記他の周期構造の前記山の天面と前記基板の前記他の光透過面との間に前記透過光の位相調整のための複数の前記誘電体膜が積層されている、
ことを特徴とする回折格子。
【請求項７】
請求項１ないし６の何れか一項に記載の回折格子と、
前記回折格子に、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光を照射するレーザ光源と、
前記回折格子を通過した前記第１および第２のレーザ光を、それぞれ、対応する光ディスク上に収束させるとともに、対応する前記光ディスクによって反射された前記第１および第２のレーザ光を、それぞれ、光検出器に導く光学系とを備え、
前記レーザ光源は、前記第１のレーザ光を出射する第１の発光部と、前記第２のレーザ光を出射する第２の発光部とを同一パッケージ内に収容するとともに、前記第１および第２の発光部から同一方向に前記第１および第２のレーザ光を出射する、
ことを特徴とする光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに波長が異なる２つのレーザ光が入射する回折格子および当該回折格子を備えた光ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の記録媒体に対応可能な互換型の光ピックアップ装置が開発されている。かかる光ピックアップ装置では、異なる波長のレーザ光を用いて、光ディスクに対する情報の読み書きが行われる。この種の光ピックアップ装置において用いられる半導体レーザとして、異なる波長の２つのレーザ光を出射する２波長レーザが知られている。かかる２波長レーザでは、たとえば、同一パッケージに設置された基板上に、２つの発光部が形成される（たとえば、特許文献１）。
【０００３】
また、光ピックアップ装置では、レーザ光をメインビームと２つのサブビームに分割するために回折格子が用いられる。かかる回折格子が、上述の２波長レーザを備える光ピックアップ装置に搭載される場合、回折格子には、波長の異なる２つのレーザ光が入射することとなる。この場合、回折格子には、波長選択性の２つの回折構造が形成される。一方の回折構造は、一方のレーザ光に回折作用を付与し、他方のレーザ光には回折作用を略付与しないように構成される。また、他方の回折構造は、他方のレーザ光に回折作用を付与し、一方のレーザ光には回折作用を略付与しないように構成される。
【０００４】
かかる回折格子として、たとえば、山と谷とが一定周期で交互に形成されたレリーフ型の回折格子が用いられる。この場合、上記のように何れか一方のレーザ光のみに回折作用を付与するように回折構造（周期構造）を形成すると、メインビームに対してサブビームの強度を十分に低下させることができないとの問題が生じる。サブビームの強度が高いと、サブビームによるオーバーライト等の問題が生じる惧れがある。
【０００５】
この問題を解消するための方法として、たとえば、特許文献２に記載された方法が知られている。この方法では、山と谷の一周期に対する山の区間の割合（デューティ比）を調整することにより、メインビームの強度に対するサブビームの強度の比が調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２２０１７５号公報
【特許文献２】特開２００１−２８１４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献２には、デューティ比を調整することによる解決方法が記載されているのみで、それ以外の新たな解決手法は提案されていない。
【０００８】
そこで、本発明は、異なる波長の２つのレーザ光が入射する場合にも、メインビームの強度に対してサブビームの強度を適正に低下させることが可能な、新たな構成による回折格子および当該回折格子を備えた光ピックアップ装置を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様は、回折格子に関する。第１の態様に係る回折格子は、第１の波長を有する第１のレーザ光と前記第１の波長とは異なる第２の波長の第２のレーザ光とが透
過する基板と、前記基板の平坦な光通過面上に所定数の誘電体膜を積層することにより形成され、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光のうち前記第１のレーザ光を回折作用によりメインビームと２つのサブビームに分割透過するための周期構造と、を備える。前記周期構造は、山と谷とが交互に並ぶように前記光透過面に形成され、少なくとも前記山の天面と前記基板の前記光透過面との間に前記透過光の位相調整のための複数の前記誘電体膜が積層されている。
【００１０】
本発明の第２の態様は、光ピックアップ装置に関する。第２の態様に係る光ピックアップ装置は、第１の態様に係る回折格子と、前記回折格子に、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光を照射するレーザ光源と、前記回折格子を通過した前記第１および第２のレーザ光を、それぞれ、対応する光ディスク上に収束させるとともに、対応する前記光ディスクによって反射された前記第１および第２のレーザ光を、それぞれ、光検出器に導く光学系とを備える。前記レーザ光源は、前記第１のレーザ光を出射する第１の発光部と、前記第２のレーザ光を出射する第２の発光部とを同一パッケージ内に収容するとともに、前記第１および第２の発光部から同一方向に前記第１および第２のレーザ光を出射する。
【００１１】
一般に、回折効率は、山と谷を通る光の位相差によって決まる。本態様に係る回折格子によれば、各誘電体膜の膜厚等を調整して、これら誘電体膜による干渉作用を調整することによって、第２のレーザ光は略回折させず、第１のレーザ光は所望の回折効率で回折させるように、山と谷を通る第１および第２のレーザ光の位相差を調整することができる。よって、第２のレーザ光を略回折させない状態で、第１のレーザ光のメインビームとサブビームの強度差を所望の大きさに調整することができる。
【００１２】
なお、メインビームとサブビームとを用いてトラッキングエラー信号を生成する場合、メインビームとサブビームの強度比が変動すると、トラッキングエラー信号に劣化が生じる惧れがある。他方、温度変化等によりレーザ光の波長が変動すると、これに伴い、メインビームとサブビームの強度比（回折効率比）が変動する惧れがある。したがって、レーザ光に波長変動が生じても、メインビームとサブビームの強度比（回折効率比）の変動幅が小さく抑えられるよう、回折格子が構成されるのが望ましい。本態様によれば、各誘電体膜の膜厚等を調整するとともに、さらに、山の幅を調整することにより、サブビームの回折効率に対するメインビームの回折効率の比率の波長変動による変動幅を小さく抑えることができる。よって、上述の効果とともに、波長変動によるトラッキングエラー信号の劣化を抑制できるとの効果が奏され得る。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、異なる波長の２つのレーザ光が入射する場合にも、メインビームの強度に対してサブビームの強度を適正に低下させることが可能な、新たな構成による回折格子および当該回折格子を備えた光ピックアップ装置を提供することができる。
【００１４】
本発明の特徴は、以下に示す実施の形態により更に明らかとなろう。ただし、以下の実施の形態は、あくまでも本発明の一つの実施形態であって、本発明ないし各構成要件の用語の意義は、以下の実施の形態により何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施の形態に係る光ピックアップ装置の光学系を示す図である。
【図２】実施の形態に係る回折格子の構成を示す図である。
【図３】比較例１に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図４】比較例１に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【図５】実施例１に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図６】実施例１に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【図７】比較例２に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図８】比較例２に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【図９】実施例２に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図１０】実施例２に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【図１１】実施例３に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図１２】実施例３に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【図１３】実施例４に係る周期構造の構成とＣＤ光の回折光量比を示す図である。
【図１４】実施例４に係る周期構造の構成とＤＶＤ光の回折光量比を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本実施の形態は、ＢＤ（Blu-ray Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）およびＣＤ（Compact Disc）にレーザ光を照射する光ピックアップ装置に本発明を適用したものである。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）は、本実施例に係る光ディスク装置に搭載されている光ピックアップ装置１の光学系を示す図である。図１（ａ）は、立ち上げミラー１１０、１１１よりもディスク側の構成を省略した光学系の平面図、図１（ｂ）は、立ち上げミラー１１０、１１１以降の光学系を側面から透視した図である。
【００１８】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、光ピックアップ装置１は、半導体レーザ１０１と、１／２波長板１０２と、２波長レーザ１０３と、回折格子Ｇと、ダイクロイックミラー１０４と、偏光ビームスプリッタ１０５と、フロントモニタ１０６と、コリメートレンズ１０７と、駆動機構１０８と、１／４波長板１０９と、立ち上げミラー１１０、１１１と、２波長対物レンズ１１２と、ＢＤ対物レンズ１１３と、非点収差板１１４と、光検出器１１５を備えている。
【００１９】
半導体レーザ１０１は、波長４０５ｎｍ程度のＢＤ用レーザ光（以下、「ＢＤ光」という）を出射する。１／２波長板１０２は、ＢＤ光の偏光方向が、偏光ビームスプリッタ１０５に対してＳ偏光からややずれた方向となるように、ＢＤ光の偏光方向を調整する。２波長レーザ１０３は、波長７８５ｎｍ程度のＣＤ用レーザ光（以下、「ＣＤ光」という）と、波長６６０ｎｍ程度のＤＶＤ用レーザ光（以下、「ＤＶＤ光」という）をそれぞれ出射する２つのレーザ素子１０３ａ、１０３ｂを同一フレームパッケージ内に収容している。２波長レーザ１０３は、出射するＣＤ光とＤＶＤ光の偏光方向が、偏光ビームスプリッタ１０６に対してＳ偏光からややずれた方向となるよう設置されている。
【００２０】
回折格子Ｇは、波長選択性の回折格子である。回折格子Ｇは、２波長レーザ１０３から出射されたＤＶＤ光およびＣＤ光から、差動プッシュプル方式（ＤＰＰ方式）で用いられる０次回折光（メインビーム）および±１次回折光（サブビーム）を生成する。
【００２１】
図１（ｃ）は、回折格子Ｇと、回折格子Ｇに入射するＣＤ光とＤＶＤ光を概念的に示す図である。回折格子Ｇは、白板ガラスで形成された基板Ｇａを備え、この基板Ｇａの平坦な入射面に格子面Ｇｂが形成され、また、基板Ｇａの平坦な出射面に格子面Ｇｃが形成されている。格子面Ｇｂ、Ｇｃは、基板Ｇａの表面に誘電体薄膜を複数層蒸着させて成膜することにより形成されている。格子面Ｇｂ、Ｇｃには、山と谷が一定周期で交互に並ぶように形成された周期構造が形成されている。格子面Ｇｂの周期構造は、ＣＤ光の波長帯域の光に回折作用を付与し、ＤＶＤ光の波長帯域の光には回折作用を略付与しないように、ピッチ、高さ、幅が調整されている。また、格子面Ｇｃは、ＤＶＤ光の波長帯域の光に回折作用を付与し、ＣＤ光の波長帯域の光には回折作用を略付与しないように、ピッチ、高さ、幅が調整されている。これにより、回折格子Ｇは、格子面Ｇｂにより、ＣＤ光の波長帯域の光を所定の回折角、回折効率で回折させ、格子面Ｇｃにより、ＤＶＤ光の波長帯域
の光を所定の回折角、回折効率で回折させる。
【００２２】
図１（ａ）、（ｂ）に戻り、ダイクロイックミラー１０４は、内部にダイクロイック面１０４ａを有している。ダイクロイック面１０４ａは、ＢＤ光を反射し、ＣＤ光とＤＶＤ光を透過する。半導体レーザ１０１と、２波長レーザ１０３と、ダイクロイックミラー１０４は、ダイクロイック面１０４ａにより反射されたＢＤ光の光軸と、ダイクロイック面１０４ａを透過したＣＤ光の光軸とが互いに整合するように配置される。ダイクロイック面１０４ａを透過したＤＶＤ光の光軸は、ＢＤ光とＣＤ光の光軸から、２波長レーザ１０３のＤＶＤ光の発光点とＣＤ光の発光点の間のギャップだけずれる。
【００２３】
偏光ビームスプリッタ１０５は、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光の光軸に対して４５°傾くように配置されている。偏光ビームスプリッタ１０５は、入射面と出射面が正方形の輪郭を有する薄板状の平行平板となっており、その入射面に、偏光膜が形成されている。偏光ビームスプリッタ１０５は、回折格子Ｇ側から入射されたＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光の一部をフロントモニタ１０６側に透過し、大部分をコリメートレンズ１０７側に反射する。このようにＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光の一部が偏光ビームスプリッタ１０５を透過するよう、１／２波長板１０２と、２波長レーザ１０３が配置される。
【００２４】
フロントモニタ１０６は、受光光量に応じた信号を出力する。フロントモニタ１０６からの信号は、半導体レーザ１０１と２波長レーザ１０３の出射パワー制御に用いられる
コリメートレンズ１０７は、偏光ビームスプリッタ１０５側から入射するＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光を平行光に変換する。駆動機構１０８は、収差補正の際に、制御信号に応じてコリメートレンズ１０７を光軸方向に移動させる。駆動機構１０８は、コリメートレンズ１０７を保持するホルダ１０８ａと、ホルダ１０８ａをコリメートレンズ１０７の光軸方向に送るためのギア１０８ｂとを備え、ギア１０８ｂは、モータ１０８ｃの駆動軸に連結されている。
【００２５】
コリメートレンズ１０７により平行光とされたＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光は、１／４波長板１０９に入射する。１／４波長板１０９は、コリメートレンズ１０７側から入射するＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光を円偏光に変換するとともに、立ち上げミラー１１０側から入射するＢＤ光、ＣＤ光、ＤＶＤ光を、コリメートレンズ１０７側から入射する際の偏光方向に直交する直線偏光に変換する。これにより、ディスクからの反射光は、偏光ビームスプリッタ１０５を透過する。なお、偏光ビームスプリッタ１０５を透過するディスクからの反射光の光軸は、図１（ａ）中のＺ軸に平行である。
【００２６】
立ち上げミラー１１０は、ダイクロイックミラーであり、ＢＤ光を透過するとともに、ＣＤ光とＤＶＤ光を２波長対物レンズ１１２に向かう方向に反射する。立ち上げミラー１１１は、ＢＤ光をＢＤ対物レンズ１１３に向かう方向に反射する。
【００２７】
２波長対物レンズ１１２は、ＣＤ光とＤＶＤ光を、それぞれ、ＣＤとＤＶＤに対して適正に収束させるよう構成されている。また、ＢＤ対物レンズ１１３は、ＢＤ光をＢＤに適正に収束させるよう構成されている。２波長対物レンズ１１２とＢＤ対物レンズ１１３は、ホルダ１２１に保持された状態で、対物レンズアクチュエータ１２２により、フォーカス方向およびトラッキング方向に駆動される。
【００２８】
ディスクからの反射光は、１／４波長板１０９により偏光ビームスプリッタ１０５に対してＰ偏光となる直線偏光に変換される。これにより、ディスクからの反射光は、偏光ビームスプリッタ１０５を透過する。上記のように、偏光ビームスプリッタ１０５は、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光の光軸に対して４５度傾くように配置されている。このため、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光が図１（ａ）のように収束状態で偏光ビームスプリッタ１０５を透
過すると、これらの光に非点収差が導入される。
【００２９】
非点収差板１１４は、平行平板であり、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光の光軸に対して傾くように配置されている。このように非点収差板１１４が傾けられることにより、非点収差板１１４によっても、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光に非点収差が導入される。非点収差板１１４は、偏光ビームスプリッタ１０５で導入される非点収差を考慮して、光検出器１１５上で適正に非点収差が導入されるよう、厚みと傾き角および傾き方向が調整されている。
【００３０】
光検出器１１５の受光面は、ｘｙ平面に平行であり、かかる受光面上には、ＢＤ光、ＤＶＤ光、ＣＤ光が照射される位置に、各光を受光するための複数のセンサが配置されている。各センサからの出力により、従来周知の手法にて、再生ＲＦ信号、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号が生成される。
【００３１】
上記のように、本実施の形態では、トラッキングエラー信号の検出のために、ＤＰＰ方式が用いられる。ＤＰＰ方式では、レーザ光をメインビームと２つのサブビームに分割し、メインビームによって得られた反射光の強度に応じた検出信号（プッシュプル信号）からサブビームによって得られた反射光の強度に応じた検出信号（プッシュプル信号）を減算することによって、オフセット成分だけを効果的に低減させた良好なトラッキングエラー信号を得ることができる。
【００３２】
ここで、サブビームの強度は、メインビームの強度に対して、所定値以上小さいことが要求される。サブビームの強度が高いと、たとえば、ディスクに対する記録動作時に、メインビームによって記録された情報が、サブビームによって、オーバーライトされてしまう惧れがある。記録タイプの光ピックアップ装置では、一般的に、メインビームの強度とサブビームの強度の比は、１４：１〜２３：１程度であることが望ましい。以下、サブビームの強度１に対するメインビームの強度の比を単に分光比とも称する。すなわち、分光比は、以下の式（１）で定義される。
【００３３】
分光比＝メインビームの強度／サブビームの強度
＝メインビームの回折効率／サブビームの回折効率      …（１）
【００３４】
分光比は、回折格子Ｇの格子面Ｇｂ、ＧｃにおけるＤＶＤ光およびＣＤ光の回折効率に依存する。回折格子Ｇは、波長選択性の回折格子であるため、格子面Ｇｂは、ＣＤ光の波長の光を回折させ、且つ、ＤＶＤ光の波長の光を回折させないために、ＤＶＤ光の波長の光に対する回折効率が略１％未満に抑えられる必要がある。他方、格子面Ｇｃは、ＤＶＤ光の波長の光を回折させ、且つ、ＣＤ光の波長の光を回折させないために、ＣＤ光の波長の光に対する回折効率が略１％未満に抑えられる必要がある。
【００３５】
この条件を満たすため、ＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、山の部分を通ったＤＶＤ光の位相と谷の部分を通ったＤＶＤ光の位相が、互いに一致するか、３６０度相違する必要がある。また、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃでは、山の部分を通ったＣＤ光の位相と谷の部分を通ったＣＤ光の位相が、互いに一致するか、３６０度相違する必要がある。
【００３６】
この場合、従来のレリーフ型の回折格子では、単に山の高さを調整することによってＣＤ光とＤＶＤ光の位相が調整されるため、たとえば、ＣＤ光用の格子面Ｇｂにおいて、ＤＶＤ光の回折効率を略１％未満とするために、山の部分を通ったＤＶＤ光の位相と谷の部分を通ったＤＶＤ光の位相が、互いに一致するか、３６０度相違するように山の高さを調整すると、回折させたいＣＤ光において、山の部分を通る場合と谷の部分を通る場合の位相差が大きくなり、結果、上記のような１４：１〜２３：１程度の分光比が得られなくなるとの問題が生じる。この問題は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおいても、同様に生じる。
【００３７】
そこで、本実施の形態では、山の部分を通るレーザ光と谷の部分を通るレーザ光の位相差を適宜調整可能なように、格子面Ｇｂ、Ｇｃが複数層の誘電体薄膜により形成されている。すなわち、本実施の形態では、山の高さのみならず、複数層の誘電体薄膜による干渉作用によって、山の部分を通るレーザ光と谷の部分を通るレーザ光の位相差が調整される。
【００３８】
本願発明者は、上記のように、レーザ光の位相差を調整するための誘電体薄膜を有する回折格子Ｇを設計し、回折格子Ｇの分光比の特性を算出するシミュレーションを行った。
【００３９】
図２（ａ）は、シミュレーションにて想定した光学系を模式的に示す図、図２（ｂ）は、シミュレーションに用いた誘電体薄膜の材料と屈折率を示す表である。
【００４０】
本シミュレーションでは、２波長レーザ１０３と回折格子Ｇの距離Ｌ１を１．３６ｍｍに、回折格子Ｇの厚さＬ２を１．０４ｍｍに設定した。また、回折格子ＧのＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造のピッチｐ１は、８．６４０μｍ、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造のピッチｐ２は、１１．７０μｍに設定した。
【００４１】
本シミュレーションで使用した誘電体薄膜の材料は、ＭｇＦ２、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、およびＴｉＯ２のいずれかの組み合わせであり、ＤＶＤ光の波長６６０ｍおよびＣＤ光の波長７８５ｎｍに対する屈折率は、図２（ｂ）に示す通りである。なお、便宜上、基板Ｇａ（白板ガラス）の材料（基材）の屈折率は、ＤＶＤ光とＣＤ光の波長の差による屈折率変動の影響が軽微であるため、一定の屈折率（１．５２）でシミュレーションを行った。
【００４２】
本シミュレーションでは、図２（ｂ）に示す膜材料の誘電体薄膜のうち、高屈折率の膜材料と低屈折率の膜材料の誘電体薄膜が交互に並ぶように、基板Ｇａの表面に誘電体薄膜を複数層積層して格子面Ｇｂ、Ｇｃが形成される。そして、図２（ａ）に示す光学系にて、２波長レーザ１０３からＣＤ光、ＤＶＤ光を出射させた場合の、格子面Ｇｂ、ＧｃにおけるＤＶＤ光、ＣＤ光の回折光量（回折効率）がシミュレーションにより算出される。計算方法には、ＲＣＷＡ（Rigorous Coupling Wave Analysis）法を用いた。
【００４３】
なお、回折格子Ｇに波長選択性の機能を持たせるため、以下の全ての比較例、実施例において、回折対象でない方のレーザ光の波長帯における回折効率は、当該回折対象でない方のレーザ光の波長の変動範囲において、１％未満となる条件が満たされるように、格子面Ｇｂ、Ｇｃが設計されている。たとえば、ＣＤ光用の格子面Ｇｂは、ＤＶＤ光の波長帯域の６６０ｎｍ±２０ｎｍの範囲で、ＤＶＤ光の回折効率が１％未満となるように設計されている。
【００４４】
＜比較例１＞
図３（ａ）、（ｂ）および図４（ａ）、（ｂ）は、格子面Ｇｂ、Ｇｃが誘電体薄膜により形成されず、基板Ｇａの表面をエッチングすることにより、基板Ｇａと同一の材料で格子面Ｇｂ、Ｇｃの周期構造が形成された場合の比較例１のシミュレーション結果を示す図である。
【００４５】
図３（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００４６】
図３（ａ）を参照して、格子面Ｇｂには、基板Ｇａ上に複数の山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２が同一のピッチｐ１（８．６４０μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成されている。山と谷は、図３の紙面に垂直な方向に延びている（以下の比較例、実施例において同様）。これ
らの基板Ｇａと、山Ｇｂ１と、谷Ｇｂ２の材料は、全て白板ガラスであり、同一の屈折率１．５２である。また、山Ｇｂ１の幅ｗ１は４．３２０μｍであり、山Ｇｂ１の高さｈ１は、１．２６０μｍである。この場合、山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２の一周期に対する山の区間の割合（デューティ比）は、０．５となっている。
【００４７】
図３（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。横軸は、波長が示されており、縦軸は、ＣＤ光のサブビームの強度に対するメインビームの強度の比、すなわち、上記式（１）で定義した分光比である。なお、図３（ｂ）には、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍから＋２５ｎｍから−２０ｎｍの範囲の波長における分光比が示されている。これらは、以下、ＣＤ光の分光比を示すグラフにおいて、同様である。
【００４８】
図３（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける分光比は、略６である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、７６５ｎｍであり、分光比は、略９である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、８１０ｎｍであり、分光比は、略４である。
【００４９】
上述のように、メインビームとサブビームの分光比は、１４〜１８程度になることが望ましい。しかし、比較例１のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比は、ＣＤ光の波長帯域の全帯域において、１０未満となっており、ＣＤ光用の格子面Ｇｂにおいては、ＣＤ光に対して良好な分光比が得ることができていないことがわかる。
【００５０】
図４（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００５１】
図４（ａ）を参照して、格子面Ｇｃには、格子面Ｇｂと同様に、基板Ｇａ上に複数の山Ｇｃ１と谷Ｇｃ２が同一のピッチｐ２（１１．７００μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成されている。これらの基板Ｇａと、山Ｇｃ１と、谷Ｇｃ２の材料は、全て白板ガラスであり、同一の屈折率１．５２である。山Ｇｃ１の幅ｗ２は５．８５０μｍであり、山Ｇｃ１の高さｈ２は、１．５００μｍである。したがって、格子面Ｇｂと同様、デューティ比は、０．５となっている。
【００５２】
図４（ｂ）は、ＤＶＤ光の波長帯域におけるＤＶＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。横軸は波長、縦軸は分光比である。なお、図４（ｂ）には、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍから±２０ｎｍの範囲の波長における分光比が示されている。これらは、以下、ＤＶＤ光の分光比を示すグラフにおいて、同様である。
【００５３】
図４（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍにおける分光比は、略５である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、６８０ｎｍであり、分光比は、略９である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、６４０ｎｍであり、分光比は、略４である。
【００５４】
このように、比較例１のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおいても、ＤＶＤ光の分光比は、ＤＶＤ光の波長帯域の全帯域において、１０未満となっており、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおいて、良好な分光比を得ることができないことがわかる。
【００５５】
以上のように、比較例１においては、ＣＤ光とＤＶＤ光の両方について、良好な分光比を得ることができない。ここで、格子面Ｇｂ、Ｇｃの山Ｇｂ１、Ｇｃ１の部分の高さｈ１、ｈ２は、波長選択性の機能を確保するため、山Ｇｂ１、Ｇｃ１の部分を通る回折対象でないレーザ光と谷Ｇｂ２、Ｇｃ２の部分を通る回折対象でないレーザ光の位相差が３６０度となるように調整されている。したがって、比較例１のように格子面Ｇｂ、Ｇｃが基板
Ｇａと同一の材料によって形成されている場合には、山Ｇｂ１、Ｇｃ２の部分の高さｈ１、ｈ２を変えることによって、回折対象でないレーザ光の回折効率を略１％未満に抑えながら、回折対象のレーザ光の分光比を良好なものとすることは困難であることが分かる。
【００５６】
＜実施例１＞
図５（ａ）、（ｂ）および図６（ａ）、（ｂ）は、誘電体薄膜が複数層積層されることにより形成された実施例１の回折格子Ｇのシミュレーション結果を示す図である。
【００５７】
図５（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００５８】
図５（ａ）を参照して、格子面Ｇｂには、基板Ｇａ上に４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｂ１が設けられており、誘電体層Ｄｂ１の上に、さらに、４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｂ２が設けられている。これらの誘電体薄膜は、互いに隣り合う膜の屈折率が高屈折率と低屈折率の関係となるように積層されている。実施例１では、誘電体薄膜が複数層積層された誘電体層Ｄｂ２により、周期構造の山Ｇｂ１が形成されている。すなわち、山Ｇｂ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光入射側の面）の間に８つの誘電体薄膜が積層されている。谷Ｇｂ２の底は、誘電体層Ｄｂ１の天面となっている。各誘電体薄膜は、面内方向において、膜厚が略均一となっている（以下の実施例においても同様）。周期構造の山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２は、比較例１と同様に、同一のピッチｐ１（８．６４０μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｂ１の部分の幅ｗ１は、４．３２０μｍ（デューティ比は、０．５）である。
【００５９】
実施例１のＣＤ光用の格子面Ｇｂにおける誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の膜材料と膜の厚さを以下の表１に示す。
【００６０】
【表１】
2013182630.tif 000003
【００６１】
なお、表１に示された材料の上下方向の並び順は、図５（ａ）中の誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の誘電体薄膜の上下方向の並び順に対応している。すなわち、表１の左側の表の最下欄の膜材料（ＳｉＯ２）は、誘電体層Ｄｂ１の最下の誘電体薄膜の膜材料であり、表１の右側の表の最下欄の膜材料（ＴｉＯ２）は、誘電体層Ｄｂ２の最下の誘電体薄膜の膜材料である。また、膜の厚さの単位は、μｍである。これらは、以下、誘電体層の膜材料と膜の厚さを示す表において、同様である。
【００６２】
これらの誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の誘電体薄膜の干渉作用によって、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整される。なお、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２は、互いに隣り合う膜の屈折率が高屈折率と低屈折率の関係となるように積層されていれば、膜の種類、厚さ、層数を適宜変更することが可能であり、これにより、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差を適宜調整可能である。すなわち、かかる調整により、回折対象でないＤＶＤ光の回折効率が略１％未満となる条件を保ちつつ、ＣＤ光の回折効率を、所望の値に適宜調整することができる。
【００６３】
図５（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図５（ｂ）には、比較対象として、図３（ｂ）に示した比較例１のグラフが点線で示されている。
【００６４】
図５（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける、分光比は、略１５である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、７６５ｎｍであり、分光比は、略２１である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、８１０ｎｍであり、分光比は、略１１である。
【００６５】
このように、実施例１のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比は、中心波長７８５ｎｍを含む７６５ｎｍ〜７８７ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、中心波長７８７ｎｍから８１０ｎｍの範囲においては、１４には満たないものの、１０以上の分光比が得られており、比較例１よりも良好な分光比が得られていることがわかる。
【００６６】
図６（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００６７】
図６（ａ）を参照して、格子面Ｇｃには、基板Ｇａ上に４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｃ１が設けられており、誘電体層Ｄｃ１の上に、さらに、４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｃ２が設けられている。これらの誘電体薄膜は、互いに隣り合う膜の屈折率が高屈折率と低屈折率の関係となるように積層されている。誘電体薄膜が複数層積層された誘電体層Ｄｃ２により、周期構造の山Ｇｃ１が形成されている。すなわち、山Ｇｃ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光出射側の面）の間に８つの誘電体薄膜が積層されている。谷Ｇｃ２の底は、誘電体層Ｄｃ１の天面となっている。周期構造の山Ｇｃ１と谷Ｇｃ２は、比較例１と同様に、同一のピッチｐ２（１１．７００μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｃ１の部分の幅ｗ２は、５．８５０μｍ（デューティ比は、０．５）である。
【００６８】
実施例１のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおける誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の膜材料と膜の厚さを以下の表２に示す。
【００６９】
【表２】
2013182630.tif 000004
【００７０】
これらの誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の誘電体薄膜によって、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整されることによって、回折対象でないＣＤ光の回折効率が略１％未満となる条件を保ちつつ、ＤＶＤ光の回折効率が調整される。
【００７１】
図６（ｂ）は、ＤＶＤ光の波長帯域におけるＤＶＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図６（ｂ）には、比較対象として、図４（ｂ）に示した比較例１のグラフが点線で示されている。
【００７２】
図６（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍにおける、分光比は、略１４である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、６８０ｎｍであり、分光比は、略２１である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、６４０ｎｍであり、分光比は、略７である。
【００７３】
このように、実施例１のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃでは、ＤＶＤ光の分光比は、中心波長の６６０ｎｍから６８０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、中心波長６６０ｎｍから６４０ｎｍの範囲においては、１４には、満たないものの、７以上の分光比が得られており、比較例１よりも良好な分光比が得られていることがわかる。
【００７４】
以上のように、実施例１では、山Ｇｂ１、Ｇｃ１の部分と谷Ｇｂ２、Ｇｃ２の部分とで誘電体薄膜の積層数を変えながら、基板Ｇａ上に複数層の誘電体薄膜が形成されているため、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｄｃ１、Ｄｃ２の膜の材料、層数、厚さ等を変更することにより、山Ｇｂ１、Ｇｃ１を通るレーザ光と谷Ｇｂ２、Ｇｃ２を通るレーザ光の位相差を適宜調整することができる。これにより、実施例１のシミュレーション結果のように、回折対象でないレーザ光の回折効率を略１％未満に保ったまま、回折対象であるレーザ光のメインビームとサブビームの分光比を所望の大きさに調整することができる。
【００７５】
なお、本願発明者は、上記実施例１のように誘電体薄膜を調整するのみではなく、さらに、山幅を調整して、分光比に関するシミュレーションを行い、分光比改善に対するさらなる探求を行った。以下、このシミュレーションについて説明する。
【００７６】
＜比較例２＞
図７（ａ）、（ｂ）および図８（ａ）、（ｂ）は、比較例１に示した回折格子Ｇについて、山幅を調整した場合の比較例２のシミュレーション結果を示す図である。
【００７７】
図７（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００７８】
図７（ａ）を参照して、格子面Ｇｂには、比較例１と同様、誘電体薄膜は設けられてない。比較例２では、比較例１と比べ、山Ｇｂ１の幅ｗ１が、１．５５５μｍに変更され（デューティ比は、略０．１８）、また、山Ｇｂ１の高さｈ１が１．３３０μｍに変更されている。
【００７９】
図７（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。
【００８０】
図７（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける分光比は、略１９である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、７６５ｎｍであり、分光比は、略２４である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、８１０ｎｍであり、分光比は、略１４である。
【００８１】
このように、比較例２のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比が、中心波長の７６５ｎｍから８１０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。
【００８２】
図８（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【００８３】
図８（ａ）を参照して、格子面Ｇｃには、比較例１と同様、誘電体薄膜は設けられてない。比較例２では、比較例１と比べ、山Ｇｃ１の幅ｗ２が、２．１０６μｍに変更され（
デューティ比は、０．１８）、また、山Ｇｃ１の高さｈ１が１．２６０μｍに変更されている。
【００８４】
図８（ｂ）は、ＤＶＤ光の波長帯域におけるＤＶＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。
【００８５】
図８（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍにおける分光比は、略１６である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、６８０ｎｍであり、分光比は、略２４である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、６４０ｎｍであり、分光比は、略１１である。
【００８６】
このように、比較例２のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおいても、ＤＶＤ光の分光比は、中心波長の６５５ｎｍから６８０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。
【００８７】
以上のように、比較例２においても、実施例１と同様にＣＤ光とＤＶＤ光の両方について、良好な分光比が得ることができる。
【００８８】
しかしながら、上記比較例２では、波長変動に応じた分光比の変動幅が大きくなっている。
【００８９】
たとえば、図７（ｂ）に示すＣＤ光用の格子面Ｇｂの場合、波長７６５ｎｍ〜８１０ｎｍの範囲で、分光比が、中心波長の分光比（略１９）に対して、略−５〜＋５の変動幅で変位している。この場合、比較例２の回折効率の特性として、波長が中心波長よりも長波長側にシフトするにしたがって、ＣＤ光のメインビームに対する回折効率が小さくなり、ＣＤ光のサブビームに対する回折効率が大きくなる傾向があり、その結果、長波長側において、分光比が小さくなっている。
【００９０】
また、図８（ｂ）に示すＤＶＤ光用の格子面Ｇｂの場合、波長６４０ｎｍ〜６８０ｎｍの範囲で、分光比が、中心波長の分光比（略１６）に対して、略−５〜＋８の変動幅で変位している。この場合、比較例２の回折効率の特性として、波長が中心波長よりも長波長側にシフトするにしたがって、ＤＶＤ光のメインビームに対する回折効率が大きくなり、ＤＶＤ光のサブビームに対する回折効率が小さくなる傾向があり、その結果、長波長側において、分光比が小さくなっている。これらの傾向は、上記実施例１にも同様のことが言える。
【００９１】
２波長レーザ１０３から出射されるＤＶＤ光、ＣＤ光の波長は、温度等の環境変化によって、変動し易い。したがって、上記のように、波長変動に応じた分光比の変動幅が大きいと、実動作時に、トラッキングエラー信号に劣化が生じ易くなる。
【００９２】
具体的には、メインビームとサブビームを用いてトラッキングエラー信号が生成される場合、トラッキングエラー信号（ＴＥ）は、オフセットを抑制するために、メインビームに基づくプッシュプル信号（ＭＰＰ）と、サブビームに基づくプッシュプル信号（ＳＰＰ）を用いて、たとえば、以下の演算により取得される。
【００９３】
ＴＥ＝ＭＰＰ−ｋ・ＳＰＰ  …（２）
【００９４】
ここで、乗数ｋは、メインビームのスポットがオントラック状態にあるときに、トラッキングエラー信号ＴＥがゼロになるよう設定される。かかる設定は、光ピックアップ装置の組立時等に、レーザ光を発光させながら、電気回路的に行われる。これにより、両プッ
シュプル信号に生じるオフセットが相殺され、良好なトラッキングエラー信号が得られる。
【００９５】
しかしながら、レーザ光の波長変動によって、メインビームとサブビームの分光比が、乗数ｋの設定時の状態から変動すると、プッシュプル信号（ＭＰＰ）とプッシュプル信号（ＳＰＰ）の信号レベルが変動し、プッシュプル信号（ＭＰＰ）とプッシュプル信号（ＳＰＰ）の信号バランスが、乗数ｋの設定時のバランスから変化してしまう。このため、メインビームのスポットがオントラック状態にあっても、トラッキングエラー信号がゼロにならなくなり、トラッキングエラー信号にオフセットが生じる。かかるオフセットにより、トラッキングサーボが劣化し、記録再生特性が劣化する惧れがある。
【００９６】
よって、分光比は、レーザ光に波長変動が生じても、分光比の変動幅がなるべく小さく抑えられるのが好ましい。たとえば、記録タイプの光ピックアップ装置では、分光比の設定値が１６である場合、所定波長変動範囲（±２０ｎｍ程度）における分光比の変動幅が±２の範囲内にあることが要求される。
【００９７】
比較例２のように、単に山幅を調整するのみでは、図７、図８のように、所定波長変動範囲（±２０ｎｍ程度）における分光比の変動幅を±２の範囲内に収めることができない。
【００９８】
なお、レーザ光の波長変動の要因として、以下が挙げられる。
【００９９】
（１）製造されたレーザ素子発振波長のバラツキ
（２）動作環境温度による波長変動（室温）
（３）動作パワーによる波長変動（レーザチップ内部温度）
【０１００】
これらの要素を考慮すると、実際の記録再生状態におけるＤＶＤ光の波長変動範囲は±２０ｎｍ程度であり、ＣＤ光の波長の変動範囲は＋２５／−２０ｎｍ程度である。よって、分光比の変動幅は、通常、上記のように、所定波長変動範囲（±２０ｎｍ程度）において、±２の範囲内に収まっているのが望ましい。
【０１０１】
そこで、本願発明者は、実施例１のように誘電体薄膜を設けた回折格子Ｇについて、分光比の変動幅がなるべく小さく抑えられるように、膜設計、および、山幅の設計を調整し、回折格子Ｇの分光比の特性を算出するシミュレーションを行った。なお、本シミュレーションの条件は、図２（ａ）、（ｂ）を参照して、説明した条件と同様である。
【０１０２】
＜実施例２＞
図９（ａ）、（ｂ）および図１０（ａ）、（ｂ）は、誘電体薄膜が複数層積層され、さらに山幅が調整された実施例２の回折格子Ｇのシミュレーション結果を示す図である。
【０１０３】
図９（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１０４】
図９（ａ）を参照して、実施例１と同様に、格子面Ｇｂには、基板Ｇａ上に４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｂ１が設けられており、誘電体層Ｄｂ１の上に、さらに、４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｂ２が設けられている。これらの誘電体薄膜は、互いに隣り合う膜の屈折率が高屈折率と低屈折率の関係となるように積層されている。実施例２では、誘電体薄膜が複数層積層された誘電体層Ｄｂ２により、周期構造の山Ｇｂ１が形成されている。すなわち、山Ｇｂ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光入射側の面）の間に８つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２は、比較例２と同様に、同一のピッチｐ１（８．６４０μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成さ
れ、山Ｇｂ１の部分の幅ｗ１は、１．７２８μｍ（デューティ比は、０．１３）である。
【０１０５】
実施例２のＣＤ光用の格子面Ｇｂにおける誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の膜材料と膜の厚さを以下の表３に示す。
【０１０６】
【表３】
2013182630.tif 000005
【０１０７】
これらの誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の誘電体薄膜によって、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整されることによって、回折対象でないＤＶＤ光の回折効率が略１％未満となる条件を保ちつつ、ＣＤ光の回折効率が調整され、さらに、かかる誘電体薄膜の調整と山幅の調整とが相俟って、ＣＤ光の分光比の変動幅が抑制される。
【０１０８】
図９（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図９（ｂ）には、比較対象として、図７（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１０９】
図９（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける、分光比は、略１５である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、略７６５ｎｍであり、分光比は、略１６である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、略７８０ｎｍであり、分光比は、略１５である。
【０１１０】
このように、実施例２のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比は、７６５ｎｍから８１０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＣＤ光の波長変動範囲＋２５／−２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、略１程度に収まっていることがわかる。
【０１１１】
図１０（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１１２】
図１０（ａ）を参照して、格子面Ｇｃには、実施例１と同様に、基板Ｇａ上に４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｃ１が設けられており、誘電体層Ｄｃ１の上に、さらに、４層の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｃ２が設けられている。これらの誘電体薄膜は、互いに隣り合う膜の屈折率が高屈折率と低屈折率の関係となるように積層されている。誘電体薄膜が複数層積層された誘電体層Ｄｃ２により、周期構造の山Ｇｃ１が形成されている。すなわち、山Ｇｃ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光出射側の面）の間に８つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｃ１と谷Ｇｃ２は、比較例２と同様に、同一のピッチｐ２（１１．７００μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｃ１の部分の幅ｗ２は、１．５２１μｍ（デューティ比は、０．１３）である。
【０１１３】
実施例２のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおける誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の膜材料と膜の厚
さを以下の表４に示す。
【０１１４】
【表４】
2013182630.tif 000006
【０１１５】
これらの誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の誘電体薄膜によって、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整されることによって、回折対象でないＣＤ光の回折効率が略１％未満となる条件を保ちつつ、ＤＶＤ光の回折効率が調整され、さらに、かかる誘電体薄膜の調整と山幅の調整とが相俟って、ＤＶＤ光の分光比の変動幅が抑制される。
【０１１６】
図１０（ｂ）は、ＤＶＤ光の波長帯域におけるＤＶＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図１０（ｂ）には、比較対象として、図８（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１１７】
図１０（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍにおける、分光比は、略１５である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、６８０ｎｍであり、分光比は、略１６である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、６４０ｎｍであり、分光比は、略１５である。
【０１１８】
このように、実施例２のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃでは、６４０ｎｍから６８０ｎｍの範囲において、ＤＶＤ光の分光比が目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＤＶＤ光の波長変動範囲±２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、略１程度に収まっていることがわかる。
【０１１９】
以上のように、本実施例２では、山幅とともに誘電体層を調整することにより、図９、図１０のように、所定波長変動範囲（±２５ｎｍ程度）における分光比の変動幅を中心波長の分光比に対して±２の範囲内に収めることができる。したがって、本実施例では、オフセットが抑制された良好なトラッキングエラー信号を得ることができ、良好な記録再生特性を実現することができる。さらに、本実施例２では、分光比の変動幅は、略１程度であり、記録タイプの光ピックアップ装置で要求される値よりもかなり小さい変動幅が得られている。したがって、要求精度よりも、より良好なトラッキングエラー信号を得ることができる。
【０１２０】
本実施例のような分光比の波長依存性が小さくなる光学メカニズムは明確ではないが、膜内導波モードとの共鳴効果が関係しているものと推測される。
【０１２１】
なお、上記実施例１、２では、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｄｃ１、Ｄｃ２が、それぞれ、複数層積層されている回折格子Ｇが示されたが、それ以外の膜構成によっても、上記実施例と同様の効果は生じ得る。
【０１２２】
＜実施例３＞
図１１（ａ）、（ｂ）および図１２（ａ）、（ｂ）は、他の膜構成で設計された実施例３の回折格子Ｇのシミュレーション結果を示す図である。
【０１２３】
図１１（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１２４】
図１１（ａ）を参照して、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の層数は、上記実施例１、２と異なり、それぞれ、１層である。すなわち、山Ｇｂ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光入射側の面）の間に２つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２は、上記実施例１、２と同様に、同一のピッチｐ１（８．６４０μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｂ１の部分の幅ｗ１は、２．１７７μｍ（デューティ比は、０．２５）である。
【０１２５】
実施例３のＣＤ光用の格子面Ｇｂにおける誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２の膜材料と膜の厚さを以下の表５に示す。
【０１２６】
【表５】
2013182630.tif 000007
【０１２７】
実施例３の場合、誘電体層Ｄｂ１と誘電体層Ｄｂ２によって、山Ｇｂ１の部分が２層の膜構造となっているため、これにより、上記実施例１、２と同様、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整される。
【０１２８】
図１１（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図１１（ｂ）には、比較対象として、図７（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１２９】
図１１（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける、分光比は、略１５である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、略７６５ｎｍであり、分光比は、略２２である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、略７８０ｎｍであり、分光比は、略１４である。
【０１３０】
このように、実施例３のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比は、７６５ｎｍから８１０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を超え、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＣＤ光の波長変動範囲＋２５／−２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、中心波長の分光比に対して略−１〜＋７程度であり、±２以上となるものの、比較例２の変動幅と比べると、小さく抑えられていることがわかる。さらに、略７７４ｎｍ〜８１０ｎｍの範囲においては、変動幅が中心波長の分光比に対して±２以下となっており、ＣＤ光の波長変動範囲の大半において、上記の要求精度まで、変動幅が小さく抑えられていることがわかる。
【０１３１】
図１２（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１３２】
図１２（ａ）を参照して、誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の層数は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂと同様に、１層である。すなわち、山Ｇｃ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光出射側の
面）の間に２つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｃ１と谷Ｇｃ２は、上記実施例１、２と同様に、同一のピッチｐ２（１１．７００μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｂ１の部分の幅ｗ２は、９．２４３μｍ（デューティ比は、０．７９）である。
【０１３３】
実施例３のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおける誘電体層Ｄｃ１、Ｄｃ２の膜材料と膜の厚さを以下の表６に示す。
【０１３４】
【表６】
2013182630.tif 000008
【０１３５】
これらの誘電体層Ｄｃ１と誘電体層Ｄｃ２によって、山Ｇｃ１の部分が２層の膜構造となっているため、これにより、上記実施例１、２同様、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整される。
【０１３６】
図１２（ｂ）は、ＤＶＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図１２（ｂ）には、比較対象として、図８（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１３７】
図１２（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長６６０ｎｍにおける、分光比は、略１８である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、略６８０ｎｍであり、分光比は、略２０である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、略６４０ｎｍであり、分光比は、略１２である。
【０１３８】
このように、実施例３のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃでは、ＤＶＤ光の分光比は、６４６ｎｍから６８０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＤＶＤ光の波長変動範囲±２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、中心波長の分光比に対して略−６〜＋２程度であり、±２以上となるものの、比較例２の変動幅と比べると、小さく抑えられていることがわかる。さらに、略６５１ｎｍ〜６８０ｎｍの範囲においては、変動幅が±２以下となっており、ＤＶＤ光の波長変動範囲の大半において、上記の要求精度まで、変動幅が小さく抑えられていることがわかる。
【０１３９】
以上のように、実施例３では、実施例２には劣るものの、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｄｃ１、Ｄｃ２が１層のみで構成された場合であっても、分光比の変動幅を小さく抑えることができる。したがって、ある程度、厳密な分光比の変動幅を要さない光ピックアップ装置（たとえば、再生用の光ピックアップ装置や、温度変化による波長変動がある程度抑制されている光ピックアップ装置等）において、良好な記録再生特性を実現することができる。
【０１４０】
実施例３では、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｃ１、および誘電体層Ｄｂ２、Ｄｃ２は、それぞれに１層の誘電体薄膜が積層される構成が示されたが、たとえば、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｃ１を設けず、誘電体層Ｄｂ２、Ｄｃ２に複数層の誘電体薄膜が積層される構成であっても、分光比の改善効果が奏され得る。
【０１４１】
＜実施例４＞
図１３（ａ）、（ｂ）および図１４（ａ）、（ｂ）は、他の膜構成で設計された実施例４の回折格子Ｇのシミュレーション結果を示す図である。
【０１４２】
図１３（ａ）は、ＣＤ光用の格子面Ｇｂの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１４３】
図１３（ａ）を参照して、実施例４では、誘電体層Ｄｂ１は設けられておらず、誘電体層Ｄｂ２の層数は、２層である。実施例４では、誘電体層Ｄｂ２により、周期構造の山Ｇｂ１が形成され、谷Ｇｂ２の底は基板Ｇａの天面となっている。すなわち、山Ｇｂ１の天面と基板Ｇａ１の平坦な表面（光入射側の面）の間に２つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２は、上記実施例１〜３と同様に、同一のピッチｐ１（８．６４０μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｂ１の部分の幅ｗ１は、２．０７４μｍ（デューティ比は、略０．２４）である。
【０１４４】
実施例４のＣＤ光用の格子面Ｇｂにおける誘電体層Ｄｂ２の膜材料と膜の厚さを以下の表７に示す。
【０１４５】
【表７】
2013182630.tif 000009
【０１４６】
実施例４の場合、２層の誘電体層Ｄｂ２によって、上記実施例１〜３同様、ＣＤ光、ＤＶＤ光の位相差が調整される。
【０１４７】
図１３（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＣＤ光の分光比を示すグラフ（シミュレーション結果）である。なお、図１３（ｂ）には、比較対象として、図７（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１４８】
図１３（ｂ）を参照して、ＣＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける、分光比は、略２２である。また、ＣＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、略７９０ｎｍであり、分光比は、略２３である。ＣＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、略７６５ｎｍであり、分光比は、略１６である。
【０１４９】
このように、実施例４のＣＤ光用の格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の分光比は、７６５ｎｍから８１０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＣＤ光の波長変動範囲＋２５／−２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、−７〜＋１程度であり、±２以上となるものの、比較例２の変動幅と比べると、小さく抑えられていることがわかる。
【０１５０】
図１４（ａ）は、ＤＶＤ光用の格子面Ｇｃの周期構造の一部を模式的に示す図である。
【０１５１】
図１４（ａ）を参照して、ＣＤ光用の格子面Ｇｂと同様、誘電体層Ｄｃ１は設けられておらず、誘電体層Ｄｃ２の層数は、２層である。すなわち、山Ｇｃ１の天面と基板Ｇａ１
の平坦な表面（光出射側の面）の間に２つの誘電体薄膜が積層されている。周期構造の山Ｇｃ１と谷Ｇｃ２は、上記実施例１〜３と同様に、同一のピッチｐ２（１１．７００μｍ）で周期的に交互に並ぶように形成され、山Ｇｃ１の部分の幅ｗ２は、１．８７２μｍ（デューティ比は、０．１６）である。
【０１５２】
実施例４のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃにおける誘電体層Ｄｃ２の膜材料と膜の厚さを以下の表８に示す。
【０１５３】
【表８】
2013182630.tif 000010
【０１５４】
図１４（ｂ）は、ＣＤ光の波長帯域におけるＤＶＤ光の分光比を示すグラフである。なお、図１４（ｂ）には、比較対象として、図８（ｂ）に示した比較例２のグラフが点線で示されている。
【０１５５】
図１４（ｂ）を参照して、ＤＶＤ光の中心波長７８５ｎｍにおける、分光比は、略１５である。また、ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最大となる波長は、略６８０ｎｍであり、分光比は、略２２である。ＤＶＤ光の波長帯域における分光比が最小となる波長は、略６４０ｎｍであり、分光比は、略１２である。
【０１５６】
このように、実施例４のＤＶＤ光用の格子面Ｇｃでは、ＤＶＤ光の分光比は、６５５ｎｍから６８０ｎｍの範囲において、目標範囲１４〜２３を満たし、良好な分光比が得られていることがわかる。また、ＤＶＤ光の波長変動範囲±２０ｎｍの範囲において、分光比の変動幅は、略−３〜＋７程度であり、±２以上となるものの、比較例２の変動幅と比べると、小さく抑えられていることがわかる。
【０１５７】
以上のように、実施例４では、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｃ１が省略されているものの、誘電体層Ｄｂ２、Ｄｃ２が２層で構成されているため、実施例３同様、山Ｇｂ１、Ｇｃ２を通るＤＶＤ光、およびＣＤ光の位相差を調整することができ、分光比の変動幅を小さく抑えることができる。
【０１５８】
実施例３、実施例４のように、山Ｇｂ１、Ｇｃ１の部分に少なくとも２層以上となるように誘電体薄膜が積層されていれば、薄膜間の干渉作用により、ＤＶＤ光、ＣＤ光の位相差を調整することができる。すなわち、回折対象でないレーザ光の回折効率を略１％未満に保ったまま、回折対象のレーザ光のメインビームとサブビームの分光比を所望の大きさに調整し、さらに、分光比の変動幅を小さく抑えることができる。
【０１５９】
なお、実施例２のように、誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２、Ｄｃ１、Ｄｃ２は、それぞれ、複数の誘電体薄膜で構成された方が、山Ｇｂ１、Ｇｃ１を通るレーザ光と、谷Ｇｂ２、Ｇｃ２を通るレーザ光の両方の位相差を細かく調整することができ、より望ましい分光比の特性を得ることができる。また、実施例１、２のように、誘電体層Ｄｂ２、Ｄｃ２が複数の誘電体薄膜で構成される場合には、薄膜間の干渉作用により、ＤＶＤ光またはＣＤ光の表面反射を抑制する反射防止膜としての作用をも同時に発揮させることも可能であると考え
られる。
【０１６０】
＜実施形態の効果＞
本実施の形態によれば、以下の効果が奏され得る。
【０１６１】
上記実施例１〜４の回折格子Ｇの格子面Ｇｂでは、複数の誘電体薄膜が積層された誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２によって、山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２の周期構造が形成されているため、各誘電体層の膜厚等を調整して、これら誘電体による干渉作用を調整することによって、ＤＶＤ光は略回折させず、ＣＤ光は所望の回折効率で回折させるように、山Ｇｂ１、と谷Ｇｂ２を通るＣＤ光およびＤＶＤ光の位相差を調整することができる。
【０１６２】
また、上記実施例１の回折格子Ｇの格子面Ｇｂでは、山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２の両方に複数の誘電体薄膜を有する誘電体層Ｄｂ１、Ｄｂ２が形成されているため、山Ｇｂ１と谷Ｇｂ２を通る光の位相差を細かく調整することができ、ＣＤ光のメインビームとサブビームの強度差（分光比）を所望の値に調整し易くなる。
【０１６３】
また、上記実施例２〜４の回折格子Ｇの格子面Ｇｂでは、波長変動による分光比の変動幅が抑制されるよう、誘電体層と、山幅が調整されているため、温度変化等によってＣＤ光およびＤＶＤ光の波長が変動しても、サブビームの回折効率に対するメインビームの回折効率の比率（分光比）の変動が小さく抑えられる。このため、波長変動が生じても、サブビームを適正な強度に保つことができ、波長変動によるトラッキングエラー信号の劣化を抑制することができる。
【０１６４】
また、上記実施例２の回折格子Ｇの格子面Ｇｂでは、ＣＤ光の波長変動範囲＋２５／−２０ｎｍにおいて、サブビームの回折効率に対するメインビームの回折効率の比率（分光比）の変動幅が±２以内に抑えられるよう、回折格子の特性を調整されている。また、上記実施例２の回折格子Ｇの格子面Ｇｃでは、ＤＶＤ光の波長変動範囲±２０ｎｍにおいて、分光比の変動幅が±２以内に抑えられるよう、回折格子の特性が調整されている。これにより、波長変動によるサブビームの強度変化を顕著に抑制することができる。特に、実施例２では、波長変動による分光比の変動幅が略１程度に抑えられているため、さらに、サブビームの強度変化を抑制することができ、波長変動によるトラッキングエラー信号の劣化を顕著に抑制することができる。
【０１６５】
また、上記実施例１〜４では、基板Ｇａの入射面にＣＤ光のための格子面Ｇｂが形成され、基板Ｇｂの出射面にＤＶＤ光のための格子面Ｇｃが形成されるため、一つの回折格子により、ＤＶＤ光およびＣＤ光の両方に対応可能となる。よって、部品点数の削減とコストの低減を図ることができる。また、上記と同様、誘電体層による干渉作用を利用して位相の調整が行われるため、ＣＤ光を略回折させない状態で、ＤＶＤ光のメインビームとサブビームの強度差（分光比）を所望の値に調整することができる。さらに、格子面ＧｃによりＣＤ光が略回折されないため、格子面ＧｃによりＣＤ光が回折されることによる迷光が生じることが抑制される。同様に、格子面ＧｂによりＤＶＤ光が回折されることによる迷光が生じることが抑制される。よって、ＣＤ光およびＤＶＤ光を、適正に、メインビームと２つのサブビームに分割することができる。
【０１６６】
さらに、上記実施の形態の光ピックアップ装置１では、上記実施例１〜４の回折格子Ｇが搭載されるため、ＣＤ光またはＤＶＤ光を略回折させない状態で、ＣＤ光またはＤＶＤ光のメインビームとサブビームの強度差を所望の値に調整することができ、これにより適正な記録再生動作を実現することができる。
【０１６７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に何ら制限
されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【０１６８】
たとえば、上記実施例１〜４では、回折格子Ｇの入射面と出射面に、それぞれ、誘電体薄膜を積層させたＣＤ光用の格子面ＧｂとＤＶＤ光用の格子面Ｇｃが形成されたが、入射面と出射面の何れか一方のみに、誘電体薄膜を積層させた格子面が形成されても良い。この場合、誘電体薄膜が積層されない方の面には、比較例１、２に示すように、基板Ｇａをエッチングすることにより、周期構造が形成される。または、片面は回折格子が形成されないフラットな面でも良い。
【０１６９】
また、上記実施の形態では、ＤＶＤ光とＣＤ光に対応する回折格子Ｇが示されたが、他の波長帯域の２つのレーザ光の組み合わせであっても良い。たとえば、組合せは、ＢＤ光とＣＤ光、ＢＤ光とＤＶＤ光等であっても良い。
【０１７０】
また、上記実施例１〜４の膜の層数、材料、膜厚、山幅のパラメータは、波長選択性の機能を確保しつつ、分光比が良好となり、また、波長変動による分光比の変動幅が抑えられるよう、適宜変更することが可能である。
【０１７１】
また、上記実施の形態では、２波長レーザ１０３がフレームパッケージ型であったが、ＣＡＮパッケージ型の半導体レーザが用いられても良い。
【０１７２】
また、上記実施の形態では、回折格子Ｇは、ガラス材で形成されたが、樹脂材等によって形成されても良い。
【０１７３】
さらに、上記実施の形態では、ＢＤに対応する光学系が示されたが、ＢＤの光学系は省略されても良い。
【０１７４】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１７５】
１  …  光ピックアップ装置
１０３  …  ２波長レーザ（レーザ光源）
Ｇ  …  回折格子
Ｇｂ１  …  山（周期構造）
Ｇｂ２  …  谷（周期構造）
Ｄｂ１  …  誘電体層
Ｄｂ２  …  誘電体層
Ｇｃ１  …  山（周期構造）
Ｇｃ２  …  谷（周期構造）
Ｄｃ１  …  誘電体層
Ｄｃ２  …  誘電体層
【図１】
2013182630.tif 000011
【図２】
2013182630.tif 000012
【図３】
2013182630.tif 000013
【図４】
2013182630.tif 000014
【図５】
2013182630.tif 000015
【図６】
2013182630.tif 000016
【図７】
2013182630.tif 000017
【図８】
2013182630.tif 000018
【図９】
2013182630.tif 000019
【図１０】
2013182630.tif 000020
【図１１】
2013182630.tif 000021
【図１２】
2013182630.tif 000022
【図１３】
2013182630.tif 000023
【図１４】
2013182630.tif 000024