(57)【要約】【課題】不具合の有無を把握可能な流量制御装置を提供する。【解決手段】流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１と、流量の計測値を出力する出力部３５と、流路１１を流れる流体の流量を制御するための制御弁４１と、制御弁４１によって流路１１が閉塞された場合に、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部３０３と、所定の基準に従って、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部３０６と、を備える流量制御装置。【選択図】図１
2013160715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が設けられた流路保持体と、
前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計測部と、
前記流量の計測値を出力する出力部と、
前記流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記制御弁によって前記流路が閉塞された場合に、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部と、
所定の基準に従って、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部と、
を備える流量制御装置。
【請求項２】
前記禁止部が、前記流量の計測値が所定の値を超えている場合に、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更することを禁止する、請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記禁止部が、前記流量を検出するセンサの異常を検知した場合に、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更することを禁止する、請求項１に記載の流量制御装置。
【請求項４】
前記出力部が、出力する前記流量の計測値をゼロに変更することが禁止されていることを出力する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項５】
前記出力変更部により前記出力部が出力する前記流量の計測値がゼロに変更されている間、一時的に前記出力部に前記流量計測部が計測している計測値を出力させる一時出力指示部を更に備える、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項６】
前記出力変更部により前記出力部が出力する前記流量の計測値がゼロに変更されている間、前記流量計測部が計測している計測値を記録する流量計測値記録装置を更に備える、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項７】
流路が設けられた流路保持体と、
前記流路を流れる流体の流量を計測する流量計測部と、
前記流量の計測値を出力する出力部と、
前記流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、
前記制御弁によって前記流路が閉塞された場合に、前記出力部が出力する前記流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部と、
ゼロに変更された前記出力部が出力する前記流量の計測値を、前記流量計測部が計測している計測値に戻すゼロ出力解除部と、
を備える流量制御装置。
【請求項８】
前記ゼロ出力解除部が、前記流量の計測値が所定の値を超えている場合に、ゼロに変更された前記出力部が出力する前記流量の計測値を、前記流量計測部が計測している計測値に戻す、請求項７に記載の流量制御装置。
【請求項９】
前記ゼロ出力解除部が、前記流量を検出するセンサの異常を検知した場合に、ゼロに変更された前記出力部が出力する前記流量の計測値を、前記流量計測部が計測している計測値に戻す、請求項７に記載の流量制御装置。
【請求項１０】
前記ゼロ出力解除部が、指示信号を受信した場合に、ゼロに変更された前記出力部が出力する前記流量の計測値を、前記流量計測部が計測している計測値に戻す、請求項７に記載の流量制御装置。
【請求項１１】
前記出力部が、出力する前記流量の計測値を、ゼロから前記流量計測部が計測している計測値に戻したことを出力する、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項１２】
前記制御弁によって前記流路が閉塞されたときの前記流量の計測値が所定の値を超えている場合に、警報を発する警報部を更に備える、請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項１３】
前記流量を検出するセンサの異常を検知した場合に、警報を発する警報部を更に備える、請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項１４】
前記出力変更部により前記出力部が出力する前記流量の計測値がゼロに変更されている間、一時的に前記出力部に前記流量計測部が計測している計測値を出力させる一時出力指示部を更に備える、請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項１５】
前記出力変更部により前記出力部が出力する前記流量の計測値がゼロに変更されている間、前記流量計測部が計測している計測値を記録する流量計測値記録装置を更に備える、請求項７乃至１４のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は制御技術に関し、流量制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業炉、ボイラ、及び空調熱源機器等においては、適切な流量で流体が供給されることが求められる。そのため、パイプを流れる流体の流量を正確に計測するための流量計が種々開発されている。パイプは、必要に応じて、パイプを流れる流体の流量をゼロにするために、制御弁によって閉塞される場合がある。この場合、実際にはパイプに流体が流れていないにもかかわらず、流量計のセンサのドリフト等により、流量計が流量のゼロでない計測値を表示することがある。これに対し、制御弁を閉じた場合は、センサが流体の流れを検出又は誤検出しても、流量の計測値の表示を強制的にゼロにする流量計が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−４８５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に開示された流量計は、不具合の有無の把握が困難であるという問題がある。そこで本発明は、不具合の有無を把握可能な流量制御装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の態様は、（ａ）流路が設けられた流路保持体と、（ｂ）流路を流れる流体の流量を計測する流量計測部と、（ｃ）流量の計測値を出力する出力部と、（ｄ）流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（ｅ）制御弁によって流路が閉塞された場合に、出力部が出力する流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部と、（ｆ）所定の基準に従って、出力部が出力する流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部と、を備える流量制御装置であることを要旨とする。
【０００６】
本発明の他の態様は、（ａ）流路が設けられた流路保持体と、（ｂ）流路を流れる流体の流量を計測する流量計測部と、（ｃ）流量の計測値を出力する出力部と、（ｄ）流路を流れる流体の流量を制御するための制御弁と、（ｅ）制御弁によって流路が閉塞された場合に、出力部が出力する流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部と、（ｆ）ゼロに変更された出力部が出力する流量の計測値を、流量計測部が計測している計測値に戻すゼロ出力解除部と、を備える流量制御装置であることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、不具合の有無を把握可能な流量制御装置を提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る流れセンサの図２のＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の出力部の第１の上面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の出力部の第２の上面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の流路を流れる流体の流量の時間変化の例を示す第１のグラフである。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る流量制御装置の流路を流れる流体の流量の時間変化の例を示す第２のグラフである。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る流量制御装置の断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る流量制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る流量制御装置の流路を流れる流体の流量の時間変化の例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１０】
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る流量制御装置は、断面図である図１に示すように、気体又は液体等の流体が流れる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路保持体１０上に配置された制御ユニット３０と、を備える。制御ユニット３０は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００を備える。ＣＰＵ３００は、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１を備える。なお、図１は断面図であるが、制御ユニット３０の内部は模式的に描かれており、実際には、マイクロプロセッサ、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、Ｉ／Ｏ回路等が制御ユニット３０の内部に配置されている。
【００１１】
流量制御装置は、さらに、流量の計測値を出力する出力部３５と、流路１１を流れる流体の流量を制御するための制御弁４１と、制御弁４１によって流路１１が閉塞された場合に、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更させる出力変更部３０３と、所定の基準に従って、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更することを禁止する禁止部３０６と、を備える。
【００１２】
流路保持体１０には、注入口１３及び排出口１４が設けられており、流路１１は、注入口１３から排出口１４に流路保持体１０の内部を貫通している。注入口１３及び排出口１４のそれぞれには、ガスや液体等の流体を通す配管が挿入される。流路１１の内壁には、流れセンサ８が配置されている。
【００１３】
流れセンサ８は、斜視図である図２、及びＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面図である図３に示すように、キャビティ６６が設けられた基板６０、基板６０上にキャビティ６６を覆うように配置された絶縁膜６５、及び絶縁膜６５に設けられたヒータ６１を備える。また、流れセンサ８は、ヒータ６１より図１に示す流路１１の上流側に位置する図２及び図３に示す上流側測温抵抗素子６２、ヒータ６１より下流側に位置する下流側測温抵抗素子６３、及び上流側測温抵抗素子６２より上流側に設けられた周囲温度センサ６４を備える。
【００１４】
絶縁膜６５のキャビティ６６を覆う部分は、断熱性のダイアフラムをなしている。周囲温度センサ６４は、図１に示す流路１１に流入してきた流体の温度を測定する。図２及び図３に示すヒータ６１は、キャビティ６６を覆う絶縁膜６５の中心に配置されており、流路１１に流れる流体を、周囲温度センサ６４が計測した温度よりも一定温度、例えば１０℃高くなるよう、加熱する。上流側測温抵抗素子６２はヒータ６１より上流側の温度を検出するために用いられ、下流側測温抵抗素子６３はヒータ６１より下流側の温度を検出するために用いられる。
【００１５】
ここで、図１に示す流路１１中の流体が静止している場合、図２及び図３に示すヒータ６１で加えられた熱は、上流方向と下流方向へ対称的に拡散する。したがって、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の温度は等しくなり、上流側測温抵抗素子６２及び下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗は等しくなる。これに対し、図１に示す流路１１中の流体が上流から下流に流れている場合、図２及び図３に示すヒータ６１で加えられた熱は、下流方向に運ばれる。したがって、上流側測温抵抗素子６２の温度よりも、下流側測温抵抗素子６３の温度が高くなる。そのため、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗と、下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗に差が生じる。下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差は、図１に示す流路１１中の流体の流速と相関関係がある。そのため、図２及び図３に示す下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗と上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の差から、図１に示す流路１１を流れる流体の流量が求められる。
【００１６】
図２及び図３に示す基板６０の材料としては、シリコン（Ｓｉ）等が使用可能である。絶縁膜６５の材料としては、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等が使用可能である。キャビティ６６は、異方性エッチング等により形成される。またヒータ６１、上流側測温抵抗素子６２、下流側測温抵抗素子６３、及び周囲温度センサ６４のそれぞれの材料には白金（Ｐｔ）等が使用可能であり、リソグラフィ法等により形成可能である。
【００１７】
図１に示す流路１１の一部には、流路１１の内径を狭める絞り１２が設けられている。絞り１２における流路１１の断面積は、流路１１内の流体の流速が、流れセンサ８の流速計測範囲内となるよう、適宜設定される。また、流れセンサ８は、制御ユニット３０のＣＰＵ３００に電気的に接続されている。
【００１８】
ＣＰＵ３００の流量計測部３０１は、流れセンサ８から、図２及び図３に示す下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗の値と、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の値を受信する。さらに、図１に示す流量計測部３０１は、図２及び図３に示す下流側測温抵抗素子６３の電気抵抗の値と、上流側測温抵抗素子６２の電気抵抗の値との差に基づいて、図１に示す流路１１を流れる流体の流速Ｖの値を算出する。また、流量計測部３０１は、例えば下記（１）式に示すように、流速Ｖに絞り１２の断面積Ａを乗じて、流体の瞬時流量の計測値Ｑを算出する。
Ｑ  ＝  Ｖ  ×  Ａ  ・・・（１）
なお、流体の流速Ｖの単位は、例えばｍ／ｍｉｎであり、絞り１２の断面積Ａの単位は、例えばｍ2である。
【００１９】
流量計測部３０１は、算出した流量の計測値を経時的に記録する流量計測値記録装置を有していてもよい。流量計測部３０１は、例えば３０分ごと等、所定の間隔で流量の計測値を流量計測値記録装置に記録してもよい。あるいは、流量計測部３０１は、所定の間隔で流量の計測値の平均値を流量計測値記録装置に記録してもよい。
【００２０】
流量計測部３０１が計測した流量の計測値を出力する出力部３５は、例えば図４に示すように、それぞれ発光部材が配置された複数の表示領域３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅを有する表示装置である。流量計測部３０１は、算出した流量の計測値を、例えば図５に示すように、出力部３５の表示領域３１ａ〜３１ｅに表示させる。しかし、これに限定されることはなく、図１に示す出力部３５は例えばスピーカであってもよく、流量の計測値を音声で発してもよい。あるいは、出力部３５は、電気的に接続された外部の制御装置に、流量の計測値の情報を含む電気信号を送信する装置やインターフェースであってもよい。さらに、出力部３５は、ＣＰＵ３００から隔離された場所に配置されていてもよい。
【００２１】
またさらに、出力部３５は、流量計測部３０１が計測している流量の計測値を常時出力する他、流量計測値記録装置に記録されている、流量の計測値の履歴を、任意の要求に応じて出力してもよい。
【００２２】
制御弁４１は、例えば流路９９を介して、流路保持体１０の排出口１４に接続されている。制御弁４１は、例えばソレノイド弁である。制御弁４１は、例えば、流路４３及び流路４４と、流路４３及び流路４４を連通する弁室４５が設けられた弁座４２、弁室４５に収納され、流路４４を開閉する弁体４６、弁体４６に連結された磁性体のプランジャ４７、及び通電されてプランジャ４７を上下させるソレノイドコイル４８を備える。
【００２３】
第１の実施の形態に係る流量制御装置のＣＰＵ３００は、制御弁４１を駆動し、流路１１を流れる流体の流量を調節するコントローラ３０２をさらに備える。コントローラ３０２は、流量計測部３０１、及び制御弁４１のソレノイドコイル４８に電気的に接続されている。コントローラ３０２は、流量計測部３０１が算出した流量の計測値が、オペレータ等が設定した設定値よりも多い場合は、ソレノイドコイル４８に通電してプランジャ４７を下降させて弁体４６を閉じ、流量を減少させる。また流量の計測値が設定値よりも少ない場合は、ソレノイドコイル４８に通電してプランジャ４７を上昇させて弁体４６を開き、流量を増加させる。
【００２４】
出力変更部３０３は、制御弁４１によって流路１１が閉塞された場合に、出力部３５が出力する流量の計測値を、流量計測部３０１が計測している計測値にかかわらず、ゼロに変更させる。出力変更部３０３は、制御弁４１によって流路１１が閉塞された時点で、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロに変更させてもよいし、制御弁４１によって流路１１が閉塞された時点から所定の期間経過後、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更させてもよい。なお、出力部３５が出力する流量の計測値を出力変更部３０３がゼロに変更した場合も、流量計測部３０１は、バックグラウンドで、流量の計測を続け、計測値を流量計測値記録装置に記録し続けていてもよい。さらに、出力部３５は、バックグラウンドで記録された流量の計測値の履歴を、任意の要求に応じて出力してもよい。
【００２５】
実施の形態に係る流量制御装置は、出力変更部３５により出力部３５が出力する流量の計測値がゼロに変更されている間であっても、一時的に出力部３５に流量計測部３０１が計測している計測値を出力させる一時出力指示部を備えていてもよい。一時出力指示部は、例えば押しボタン、スイッチ、タッチセンサ、キーボード、及びマウス等の様々な入力手段であってもよい。出力変更部３５により出力部３５が出力する流量の計測値がゼロに変更されている間であっても、例えば押しボタンである一時出力指示部が押下されている間のみ、出力部３５は、流量計測部３０１が計測している計測値を出力する。あるいは、押しボタンである一時出力指示部が押下された後、一定時間のみ、出力部３５は、流量計測部３０１が計測している計測値を出力し、その後、ゼロを出力する。これにより、オペレータ等が、一時的に、流量計測部３０１が計測している計測値を確認することが可能となる。
【００２６】
第１の実施の形態に係る流量制御装置のＣＰＵ３００は、制御弁４１の弁体４６が完全に閉じられ、流路１１が閉塞された後の、流量計測部３０１が算出する流量の計測値がゼロであるか否かを判定する流量判定部３０４をさらに備える。流量判定部３０４は、流体の流量の計測値がゼロでないと判定した場合、流体の流量の計測値が許容可能な所定の値未満であるか否かをさらに判定する。なお、許容可能な所定の値は、流量制御装置の使用環境等に応じて、オペレータ等が任意に設定すればよい。
【００２７】
また、ＣＰＵ３００は、異常判定部３０５をさらに備える。異常判定部３０５は、特開２００９−２４３９５８号公報に開示されている方法等を用いて、流体の温度変動、流体の圧力変動、流れセンサ８のドリフト、及び流れセンサ８の故障等の異常を検出する。
【００２８】
第１の実施の形態に係る流量制御装置は、図４に示す警報部３８をさらに備える。警報部３８は、流量判定部３０４が、弁体４６が完全に閉じられた後の流体の流量の計測値がゼロでないと判定した場合、あるいは弁体４６が完全に閉じられた後の流体の流量の計測値が許容可能な所定の値を超えていると判定した場合、警報を発する。また警報部３８は、異常判定部３０５が流れセンサ８等の異常を検出した場合も、警報を発する。
【００２９】
警報部３８は例えば発光体であり、警報は例えば光である。しかし、これに限定されることはなく、警報部３８は例えばスピーカであってもよく、警報は音であってもよい。あるいは、警報部３８は、電気的に接続された外部の制御装置に、警報として電気信号を送信する装置やインターフェースであってもよい。さらに、警報は、流体の温度変動、流体の圧力変動、流れセンサ８のドリフト、及び流れセンサ８の故障等の、流れを検出する具体的な要因を通知するものであってもよい。
【００３０】
図１に示す禁止部３０６は、流量判定部３０４が流量の計測値が所定の値を超えていると判定した場合、出力部３５が出力する流量の計測値が出力変更部３０３によってゼロに変更されることを禁止する。あるいは禁止部３０６は、異常判定部３０５が異常を検出した場合、出力部３５が出力する流量の計測値が出力変更部３０３によってゼロに変更されることを禁止する。この場合、出力部３５は、出力する流量の計測値をゼロに変更することが禁止されていることを出力してもよい。
【００３１】
次に、第１の実施の形態に係る流量制御装置の動作を、図６に示すフローチャートを用いて説明する。
（ａ）ステップＳ１０１で、オペレータ等の指示に基づき、図１に示すコントローラ３０２が制御弁４１に弁体４６を閉じさせる。ステップＳ１０２で、弁体４６が完全に閉じられるまで待機する。この間、図７に示すように、流路１１を流れる流体の流量が、ゼロに向かって減少する。
【００３２】
（ｂ）図１に示す弁体４６を閉じて図７に示す所定の時間ｔ1が経過した後、ステップＳ１０３で、流量判定部３０４は、流体の流量の計測値がゼロであるか否かを判定する。計測値がゼロでない場合は、ステップＳ１０４に進み、流量判定部３０４は、流体の流量の計測値が許容可能な値を超えているか否かを判定する。計測値が許容可能な値を超えていない場合は、ステップＳ１０５に進む。また、計測値が許容可能な値を超えている場合は、ステップＳ１０６に進む。
【００３３】
（ｃ）ステップＳ１０５で、異常判定部３０５は、流れセンサ８等に異常があるか否かを判定する。異常がある場合は、ステップＳ１０６に進む。ステップＳ１０６で、警報部３８は、流体の流量の計測値が許容可能な値を超えていること、あるいは流れセンサ８等に異常が検出されたことを通知する警報を発する。ステップＳ１０７で、禁止部３０６は、出力部３５が出力する流量の計測値が出力変更部３０３によってゼロに変更されることを禁止する。これにより、ステップＳ１０８で、出力部３５は、図７に示すように、流量計測部３０１が算出した流量の計測値を表示し続ける。また、ステップＳ１０９で、出力部３５は、出力する流量の計測値をゼロに変更することが禁止されていることを出力する。
【００３４】
（ｄ）ステップＳ１０４で流量の計測値が許容可能な値を超えていないと判定され、ステップＳ１０５で流れセンサ８等に異常が無いと判定された場合、流量の計測値の出力をゼロに変更することは禁止されない。この場合、ステップＳ１１０で、出力変更部３０３は、出力部３５が出力する流量の計測値を、流量計測部３０１が計測している計測値にかかわらず、図８に示すように、ゼロに変更させる。また、ステップＳ１０３で計測値がゼロである場合も、ステップＳ１１０で、出力部３５は、流体の流量の計測値をゼロと表示する。
【００３５】
図１に示す弁体４６が完全に閉じられ、流路１１が閉塞された場合であっても、閉塞された流路１１内に残っている流体に温度変動あるいは圧力変動が生じると、流れセンサ８が流体の流れを検出し得る。また、流路１１が閉塞された場合であっても、流れセンサ８そのもの、あるいは流れセンサ８に接続している金線等のワイヤボンドにごみ等が付着すると、流れセンサ８が流体の流れを誤検出し得る。しかし、制御弁４１の下流に流体が供給されていないにもかかわらず、流れセンサ８が流体の流れを検出し、出力部３５が流体の流量のゼロでない計測値を表示し続けることは好ましくない場合がある。
【００３６】
そのため、例えば従来の流量制御装置は、弁体が完全に閉じられた後、流量の計測値の出力を、一律にゼロに変更している。しかし、流量の計測値の出力を一律にゼロに変更すると、流れセンサにドリフト等の不具合が発生しているか否かをオペレータ等が判断することができない。例えば、弁体４６を閉じたにもかかわらず流量の計測値が大きい場合や、流れセンサ８に異常がある場合には、流量の計測値の出力を強制的にゼロに変更することを許容することが、原因の解明の妨げとなる場合があり得る。これに対し、第１の実施の形態に係る流量制御装置によれば、弁体４６を閉じたにもかかわらず流量の計測値が大きい場合や、流れセンサ８に異常がある場合には、流量の計測値の出力をゼロに変更することを禁止することが可能となる。
【００３７】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る流量制御装置は、図９に示すように、出力変更部３０３によってゼロに変更された出力部３５が出力する流量の計測値を、流量計測部３０１が計測している計測値に戻すゼロ出力解除部３０７を備え、その他の構成要素は、第１の実施の形態に係る流量制御装置と同様である。出力変更部３０３が、出力部３５が出力する流量の計測値をゼロに変更させた後、流量判定部３０４が流体の流量の計測値が許容可能な所定の値未満でないと判定した場合、あるいは異常判定部３０５が異常を検出した場合、ゼロ出力解除部３０７は、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が計測している計測値に戻させる。この場合、出力部３５は、出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が計測している計測値に戻したことを示す信号を出力してもよい。
【００３８】
以下、第２の実施の形態に係る流量制御装置の動作を、図１０に示すフローチャートを用いて説明する。ステップＳ２０１で、オペレータ等の指示に基づき、図９に示すコントローラ３０２が制御弁４１に弁体４６を閉じさせる。その後、出力変更部３０３が、出力部３５が出力する流量の計測値を、流量計測部３０１が計測している計測値にかかわらず、図１１に示すように、ゼロに変更させる。しかし、ステップＳ２０２で、流量判定部３０４が流体の流量の計測値が許容可能な所定の値以上であると判定した場合、あるいはステップＳ２０３で、異常判定部３０５が異常を検出した場合、ステップＳ２０４で、警報部３８は警報を発し、ゼロ出力解除部３０７は、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が計測している計測値に戻させる。
【００３９】
弁体４６を完全に閉じ、流量の計測値の出力をゼロに変更した後であっても、流量計測部３０１が算出している流量の計測値や流れセンサ８等に異常が生じた場合は、流量計測部３０１が算出している流量の計測値を出力して、オペレータに注意を喚起したほうが好ましい場合がある。これに対し、第２の実施の形態に係る流量制御装置によれば、異常の発生時に、出力部３５が出力する流量の計測値を、自動的に、ゼロから流量計測部３０１が算出している計測値に戻すことが可能となる。
【００４０】
（第３の実施の形態）
第２の実施の形態では、ゼロ出力解除部３０７が、出力部３５が出力する流量の計測値を、異常の発生時に、ゼロから流量計測部３０１が算出している計測値に自動的に戻す例を説明した。これに対し、ゼロ出力解除部３０７は、異常の発生時に、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから計測値に戻すか否かを問い合わせる信号を出力してもよい。そして、ゼロから計測値に戻す指示信号をトリガとして、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が算出している計測値に戻させてもよい。指示信号は、例えば流量制御装置に設けられたボタンを押下することにより発せられてもよい。これにより、オペレータは、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が算出している計測値に戻すか否かを、任意に選択することが可能となる。またあるいは、ゼロ出力解除部３０７は、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから計測値に戻すか否かを問い合わせる信号を出力していなくとも、指示信号を受信した場合は、出力部３５が出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が算出した計測値に戻させてもよい。さらにこの場合、出力部３５は、出力する流量の計測値を、ゼロから流量計測部３０１が計測している計測値に戻したことを示す信号を出力してもよい。
【００４１】
（その他の実施の形態）
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、図１に示す制御弁４１は、流路保持体１０の上流側に配置されていてもよい。また、図６のステップＳ１０４と、ステップＳ１０５と、は、逆の順序に実施されてもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【符号の説明】
【００４２】
８   流れセンサ
１０ 流路保持体
１１，４３，４４，９９    流路
１３ 注入口
１４ 排出口
３０ 制御ユニット
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ  表示領域
３５ 出力部
３８ 警報部
４１ 制御弁
４２ 弁座
４５ 弁室
４６ 弁体
４７ プランジャ
４８ ソレノイドコイル
６０ 基板
６１ ヒータ
６２ 上流側測温抵抗素子
６３ 下流側測温抵抗素子
６４ 周囲温度センサ
６５ 絶縁膜
６６ キャビティ
３０１      流量計測部
３０２      コントローラ
３０３      出力変更部
３０４      流量判定部
３０５      異常判定部
３０６      禁止部
３０７      ゼロ出力解除部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図４】
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【図５】
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