(57)【要約】【課題】  設備投資を抑えてコストアップを防止すると共に、生産ライン全体のタクトタイムを増加することなく、検査装置などへの副搬送経路に基板を搬送できるインライン昇降装置の提供。【解決手段】  インライン昇降装置２は、基板２０を搬送する主搬送経路１０上に設置され、主搬送経路１０と上方に設置された副搬送経路とで基板２０を搬送できるように昇降移動するリフタ３１と、リフタ３１のフレーム３４に軸支され、リフタ３１の下降時に主搬送経路１０に設けられた複数の搬送ローラ１４間に配置される複数の昇降ローラ３７と、を具備する。【選択図】図１
2013254792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する主搬送経路上に設置され、前記主搬送経路と上方に設置された副搬送経路とで前記基板を搬送できるように昇降移動するリフタと、
前記リフタのフレームに軸支され、前記リフタの下降時に前記主搬送経路に設けられた複数の搬送ローラ間に配置される複数の昇降ローラと、
を具備することを特徴とするインライン昇降装置。
【請求項２】
前記リフタは、前記複数の昇降ローラを駆動する駆動手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のインライン昇降装置。
【請求項３】
前記リフタは、前記基板よりも大きな面積を有していることを特徴とする請求項２に記載のインライン昇降装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の前記インライン昇降装置と、
前記インライン昇降装置の下流側の前記主搬送経路上に配置され、前記リフタにより上昇された前記基板が搬送されて、欠陥検査する検査装置を有するインライン検査ステージと、
を具備することを特徴とするインライン基板検査装置。
【請求項５】
さらに、前記インライン検査ステージの下流側にも、前記インライン昇降装置を配置したことを特徴とする請求項４に記載のインライン基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレィ（ＦＰＤ）などの基板の主搬送経路に設置されて、その基板を検査装置などに搬送するインライン昇降装置およびこのインライン昇降装置を備えたインライン基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の線幅測定機に代表される検査装置は、製造ラインとは別に設置される場合が多い。一般的に基板を検査する検査装置は、インラインではなく生産ラインから外れたオフライン機として、生産ラインとは別の場所に設置されていた。これにより、生産ラインの工程の後に、基板の検査を必要とした場合は、オフライン機まで基板を搬送する手間が必要であった。また、オフライン機のための設置場所が別途必要であり、搬送設備など余計な設備投資が必要となる。
【０００３】
これに対して、例えば、特許文献１には、処理基板の搬送経路の一部を二重化した副搬送経路を設けて、処理を行わない基板については、主搬送経路による搬送を停滞させることなく、下流側に搬送することができるインラインのバイパスに関する基板処理装置が開示されている。この特許文献１には、主搬送経路と副搬送経路に基板を振り分けるために搬送ロボットを用いており、基板を上下に昇降させつつ搬送し、回転も可能とする技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２２８９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１に開示されるような搬送ロボットを使用した場合、必ず搬送ロボットにより、主搬送経路を通る全ての基板の受け渡しが必要となる。このような従来構成であると、インライン上の基板は、搬送ロボットによる基板の搬送を待たなければならず、生産ライン全体のタクトタイムが伸びてしまうという問題があった。
【０００６】
また、搬送ロボットを配置するにも、その前後は搬送ロボットへ基板を受け渡す機構が必要であり、それらを含めた搬送ロボット全体を設置する床面積が非常に大きくなるため、工場としてのコストアップにつながるという問題があった。さらに、主搬送経路を通る全ての基板は、必ず搬送ロボットを通る必要があるために、もしもロボットの不具合などが起きれば、流品がストップし生産が出来ないという可能性もある。
【０００７】
そこで、本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、設備投資を抑えてコストアップを防止すると共に、生産ライン全体のタクトタイムを増加することなく、検査装置などへの副搬送経路に基板を搬送できるインライン昇降装置およびこのインライン昇降装置を備えたインライン基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一態様のインライン昇降装置は、基板を搬送する主搬送経路上に設置され、前記主搬送経路と上方に設置された副搬送経路とで前記基板を搬送できるように昇降移動するリフタと、前記リフタのフレームに軸支され、前記リフタの下降時に前記主搬送経路に設けられた複数の搬送ローラ間に配置される複数の昇降ローラと、を具備する。
【０００９】
また、本発明の一態様のインライン基板検査装置は、基板を搬送する主搬送経路上に設置され、前記主搬送経路と上方に設置された副搬送経路とで前記基板を搬送できるように昇降移動するリフタと、前記リフタのフレームに軸支され、前記リフタの下降時に前記主搬送経路に設けられた複数の搬送ローラ間に配置される複数の昇降ローラと、を有するインライン昇降装置と、前記インライン昇降装置の下流側の前記主搬送経路上に配置され、前記リフタにより上昇された前記基板が搬送されて、欠陥検査する検査装置を有するインライン検査ステージと、を具備する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、設備投資を抑えてコストアップを防止すると共に、生産ライン全体のタクトタイムを増加することなく、検査装置などへの副搬送経路に基板を搬送できるインライン昇降装置およびこのインライン昇降装置を備えたインライン基板検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一態様の主搬送経路に設置されたインライン基板検査装置を示す斜視図
【図２】同、主搬送経路に設置されたインライン昇降ユニットを示す上面図
【図３】同、主搬送経路に設置されたインライン昇降ユニットを示す正面図
【図４】同、インライン昇降ユニットのリフタにフラットパネルディスプレイが搬送された状態のインライン基板検査装置を示す斜視図
【図５】同、インライン昇降ユニットのリフタが上方へ移動した状態のインライン基板検査装置を示す斜視図
【図６】同、フラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送された状態のインライン基板検査装置を示す斜視図
【図７】同、リフタに検査対象のフラットパネルディスプレイが搬送された状態を示す模式図
【図８】同、リフタによりフラットパネルディスプレイが上方へ移動された状態を示す模式図
【図９】同、フラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送される状態を示す模式図
【図１０】同、フラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送された状態を示す模式図
【図１１】同、検査装置がフラットパネルディスプレイを欠陥検査する状態を示す模式図
【図１２】同、フラットパネルディスプレイがリフタに搬送された状態を示す模式図
【図１３】同、リフタによりフラットパネルディスプレイが下方へ移動された状態を示す模式図
【図１４】同、第１の変形例に係り、主搬送経路に設置されたインライン基板検査装置を示す模式図である。
【図１５】同、第２の変形例に係り、リフタが下降した状態を示す模式図
【図１６】同、リフタが上昇した状態を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明であるインライン昇降装置について説明する。なお、以下の説明において、各実施の形態に基づく図面は、模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、夫々の部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。
（第１の実施の形態）
【００１３】
先ず、図面に基づいて、本発明のインライン昇降装置の構成について以下に説明する。図１は主搬送経路に設置されたインライン基板検査装置を示す斜視図、図２は主搬送経路に設置されたインライン昇降ユニットを示す上面図、図３は主搬送経路に設置されたインライン昇降ユニットを示す正面図、図４はインライン昇降ユニットのリフタにフラットパネルディスプレイが搬送された状態のインライン基板検査装置を示す斜視図、図５はインライン昇降ユニットのリフタが上方へ移動した状態のインライン基板検査装置を示す斜視図、図６はフラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送された状態のインライン基板検査装置を示す斜視図である。
【００１４】
図１に示すように、インライン基板検査装置１は、インライン昇降装置としてのインライン昇降ユニット２およびインライン検査ユニット３を有して構成され、インライン昇降ユニット２およびインライン検査ユニット３を一体的に覆うフレームとしてのハウジング４が設けられている。なお、このインライン基板検査装置１は、ここでは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）またはプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）といったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）２０などの基板を搬送する生産ラインとしての主搬送経路１０に設置されている。
（主搬送経路）
【００１５】
先ず、本実施の形態の主搬送経路１０の構成について説明する。  
【００１６】
主搬送経路１０は、図１に示すように、両側に設けられる２つのコンベアフレーム１１と、これら２つのコンベアフレーム１１の間に介装され、複数のコロ１２が等間隔に設けられるローラ軸１３を備えた複数の主搬送ローラ１４と、有して構成されたローラコンベアである。これら複数の主搬送ローラ１４は、コンベアフレーム１１内に設けられた図示しない駆動手段によって回動駆動される駆動ローラである。なお、駆動手段は、駆動モジュールの動力によって駆動される所謂マグネットドライブ式、平ベルトドライブ式、チェーンドライブ式などであり、各主搬送ローラ１４の回動が同期運転される。
【００１７】
なお、コンベアフレーム１１は、上部に突起する複数の軸受部１５を有し、この軸受部１５に主搬送ローラ１４のローラ軸１３が軸支されている。これら軸受部１５は、コンベアフレーム１１に等間隔に設けられている。そして、コンベアフレーム１１は、隣接する軸受部１５との間に凹部１６が形成され、上部側が凹凸形状となっている。
（インライン昇降ユニット）
【００１８】
次に、本実施の形態のインライン昇降ユニット２の構成について説明する。  
【００１９】
インライン昇降ユニット２は、図１に示すように、リフタ３１と、このリフタ３１を長手方向となる上下方向に可動支持する４つの支柱部３２と、これらの支柱部３２を連結して強度保持する複数の梁３３と、を有したインライン昇降ステージを構成している。
【００２０】
リフタ３１は、両側に設けられる２つの昇降フレーム３４と、これら昇降フレーム３４の間に介装され、複数のコロ３５が等間隔に設けられたローラ軸３６を備える複数の昇降ローラ３７と、有して構成されている。このリフタ３１は、支柱部３２に設けられる図示しない空圧シリンダまたは電動アクチュエータの昇降駆動手段を少なくとも１つ使用して、支柱部３２のガイドレール３８に沿って上下に移動する。
【００２１】
昇降フレーム３４は、各昇降ローラ３７のローラ軸３６を軸支している。この昇降フレーム３４にも、各昇降ローラ３７の回動を同期運転するための、図示しない駆動モジュールの動力によって駆動される所謂マグネットドライブ式などの駆動手段が設けられている。即ち、昇降ローラ３７は、昇降フレーム３４に設けられた駆動手段によって回動駆動される駆動ローラである。
【００２２】
なお、リフタ３１には、直線運動をガイドするための図示しないリニアモーション（ＬＭ）ガイド、ボールブッシュなどが設けられている。このガイド類は、リフタ３１の下方または上方側面に設けられている。
（インライン検査ユニット）
【００２３】
次に、本実施の形態のインライン検査ユニット３の構成について説明する。  
【００２４】
ここでのインライン検査ユニット３は、例えば、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）２０のガラス基板などの欠陥検査に用いられる検査ステージとしてのインライン基板検査装置である。なお、インライン検査ユニット３は、検査ステージに限定されることなく、リペアステージなどの各種副搬送経路として構成してもよい。
【００２５】
このインライン検査ユニット３は、図１に示すように、両側に設けられる２つのレールフレーム４１と、これら２つのレールフレーム４１の間に介装され、複数のコロ４２が等間隔に設けられるローラ軸４３を備えた複数の搬送ローラ４４と、２つのレールフレーム４１に沿って進退移動する検査装置４５と、有して構成されている。
【００２６】
複数の搬送ローラ４４は、レールフレーム４１内に設けられた図示しない駆動手段によって回動駆動される駆動ローラである。なお、駆動手段は、ここでも駆動手段の動力により駆動される所謂マグネットドライブ式などであり、各搬送ローラ４４の回動が同期運転される。２つのレールフレーム４１の上面部には、レール４６が設けられている。そして、検査装置４５は、レールフレーム４１のレール４６に沿って直進ガイドされる。
【００２７】
ここでの検査装置４５は、ＸＹガントリ型であって、図示しない撮像部を有し、複数の搬送ローラ４４により搬送されたフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）２０を移動しながらスキャン撮影して、その画像を外部のモニタに出力して線幅測定による欠陥検査を行う構成となっている。また、複数の搬送ローラ４４を軸支するレールフレーム４１にも、直線運動をガイドするための図示しないリニアモーション（ＬＭ）ガイド、ボールブッシュなどが設けられているものである。
【００２８】
ここで、本実施の形態のインライン基板検査装置１を主搬送経路１０に設置する状態について説明する。  
【００２９】
先ず、インライン基板検査装置１のインライン昇降ユニット２は、図２および図３に示すように、複数の梁３３により連結された一対の支柱部３２が主搬送経路１０のコンベアフレーム１１の外方両側部に設置される。そして、これら支柱部３２には、平行配置された２つのコンベアフレーム１１の上方側からリフタ３１が設置される。なお、各支柱部３２は、保持するリフタ３１の複数の昇降ローラ３７が２つのコンベアフレーム１１に軸支された主搬送ローラ１４間に配置されるように設置位置が決められている。なお、リフタ３１は、この状態が下降した状態となる。
【００３０】
ここでの昇降ローラ３７は、各コロ３５が主搬送ローラ１４のコロ１２よりも小径のものが用いられており、搬送ローラのコロ１２間に位置するように設置される。即ち、昇降ローラ３７のコロ３５は、主搬送ローラ１４のコロ１２に対して互い違いに配置される。なお、昇降ローラ３７は、各コロ３５の外周面としてのローラ面が搬送ローラのコロ１２の外周面としてのローラ面よりも下方または一致する位置に設定されている。
【００３１】
また、昇降ローラ３７のローラ軸３６は、コンベアフレーム１１の軸受部１５間に形成された凹部１６に位置して、コンベアフレーム１１と干渉しないように設置される。このようにして、インライン昇降ユニット２は、主搬送経路１０を跨ぐように上方側でリフタ３１が支柱部３２に沿って上下に可動できるように設置される（図３参照）。なお、リフタ３１は、その昇降距離が主搬送経路１０で搬送するＦＰＤ２０の厚さ以上が確保され、上昇時において、主搬送経路１０に搬送されたＦＰＤ２０を停止することなく通過できるように設定されている。
【００３２】
そして、インライン基板検査装置１のインライン検査ユニット３は、図１に示したように、主搬送経路１０の上方に重畳するように複数の搬送ローラ４４、これら搬送ローラ４４を軸支する２つのレールフレーム４１および検査装置４５が組み付けられる。このインライン検査ユニット３は、インライン昇降ユニット２に対して主搬送経路１０における下流側に設置される。なお、インライン昇降ユニット２の支柱部３２および梁３３、インライン検査ユニット３のレールフレーム４１などは、門型のハウジング４に固定される。
【００３３】
以上のように構成された本実施の形態のインライン基板検査装置１は、図４および図５に示すように、主搬送経路１０により搬送された検査対象のＦＰＤ２０がインライン昇降ユニット２のリフタ３１に乗りきった瞬間から昇降動作を開始する。リフタ３１は、搬送されたＦＰＤ２０の減速スペースを確保するためＦＰＤ２０よりも大きい面積を有するように作られている。なお、リフタ３１の昇降ローラ３７は、駆動ローラであるため、リフタ３１に搬送されたＦＰＤ２０を下流へ送り出したり、検査対象のＦＰＤ２０を昇降するときに減速させて停止したりするように駆動制御される。
【００３４】
インライン昇降ユニット２は、図５に示したように、検査対象のＦＰＤ２０が搬送されたリフタ３１が上昇したのち、リフタ３１の昇降ローラ３７を駆動して、インライン検査ユニット３へＦＰＤ２０を搬送する。そして、インライン検査ユニット３は、図６に示すように、搬送ローラ４４を駆動してインライン昇降ユニット２のリフタ３１から搬送されたＦＰＤ２０を所定の検査位置に搬送する。
【００３５】
インライン検査ユニット３は、検査装置４５によって、所定の検査位置に搬送されたＦＰＤ２０の欠陥検査を行う。なお、インライン検査ユニット３の搬送ローラ４４も、駆動ローラであるため、ＦＰＤ２０を所定の検査位置まで搬送したり、減速させて停止したり、再度、インライン昇降ユニット２のリフタ３１へＦＰＤ２０を送り出したりするように駆動制御される。
【００３６】
ここで、インライン基板検査装置１により、主搬送経路１０によって搬送された検査対象のＦＰＤ２０がインライン昇降ユニット２によってインライン検査ユニット３へ搬送され、インライン検査ユニット３によって欠陥検査を実施されて、インライン昇降ユニット２により主搬送経路１０に戻される一連の動作について説明する。なお、本実施の形態では、検査装置４５が線幅測定による欠陥検査を行うものであり、この線幅測定による欠陥検査は抜取検査が一般的であるため、ＦＰＤ２０の抜取検査を前提とし構成となっている。
【００３７】
図７は、リフタに検査対象のフラットパネルディスプレイが搬送された状態を示す模式図、図８はリフタによりフラットパネルディスプレイが上方へ移動された状態を示す模式図、図９はフラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送される状態を示す模式図、図１０はフラットパネルディスプレイがインライン検査ユニットに搬送された状態を示す模式図、図１１は検査装置がフラットパネルディスプレイを欠陥検査する状態を示す模式図、図１２はフラットパネルディスプレイがリフタに搬送された状態を示す模式図、図１３はリフタによりフラットパネルディスプレイが下方へ移動された状態を示す模式図である。
【００３８】
ところで、搬送されるＦＰＤ２０の検出は、搬送設備内における主搬送経路１０の各所に配置される基板検知センサ５１により行われる。この基板検知センサ５１は、本実施の形態のインライン基板検査装置１、主搬送経路１０などの製造ラインにおける各種搬送設備を制御する制御部５０に検出結果を出力する構成となっている。この基板検知センサ５１は、リフタ３１にＦＰＤ２０が搬送される前にＦＰＤ２０の有無を検知する。
【００３９】
なお、基板検知センサ５１は、非接触型のセンサが好ましいが、接触型でも構わないし、カメラ画像、ＦＰＤ２０の重さなどにより検出する如何なるセンサであればよい。さらに、基板検知センサ５１に変えて、製造ライン側の制御部５０によって管理されている基板位置情報を利用する構成としてもよい。また、リフタ３１に直接、基板検知センサ５１を設けてもよい。この場合、リフタ３１に取り付ける基板ストッパに圧力センサなどを設けてもよい。
【００４０】
先ず、図７から図８に示すように、主搬送経路１０に搬送された複数のＦＰＤ２０のうち、検査対象のＦＰＤ２０がインライン昇降ユニット２のリフタ３１に搬送されると、図８に示すように、リフタ３１が上昇（リフトアップ）する。このとき、基板検知センサ５１は、リフタ３１に搬送された検査対象のＦＰＤ２０の基板後端、即ち搬送下流側の端部がリフタ３１の後端（下流側の端部）に搬送されたことを検出して制御部５０に検出結果を出力する。これにより、制御部５０からの制御信号に基づいてインライン昇降ユニット２のリフタ３１が上昇する。なお、このときにおいても、検査対象外のＦＰＤ２０は、停止することなく主搬送経路１０の下流側へ搬送される。
【００４１】
次に、図９に示すように、リフタ３１の昇降ローラ３７が駆動され、検査対象のＦＰＤ２０がインライン検査ユニット３へ送り込まれる。このとき、インライン検査ユニット３の搬送ローラ４４も、昇降ローラ３７の駆動に同期して駆動し、図１０に示すように、検査対象のＦＰＤ２０を所定の検査位置に停止させる。
【００４２】
次に、インライン検査ユニット３は、図１１に示すように、検査装置４５が検査対象のＦＰＤ２０上を進退移動して、このＦＰＤ２０のスキャン画像に基づいて欠陥検査が実施される。この欠陥検査が終了すると、図１２に示すように、インライン検査ユニット３の搬送ローラ４４が駆動され、検査後のＦＰＤ２０がインライン昇降ユニット２のリフタ３１に送り込まれる。このとき、リフタ３１の昇降ローラ３７も、搬送ローラ４４の駆動に同期して駆動し、検査後のＦＰＤ２０をリフタ３１の所定の位置に停止させる。
【００４３】
そして、図１３に示すように、インライン昇降ユニット２のリフタ３１が下降（リフトダウン）する。また、リフタ３１が下降して、主搬送経路１０上に検査後のＦＰＤ２０が戻されると、このＦＰＤ２０が主搬送経路１０の主搬送ローラ１４の駆動により下流側へ搬送される
【００４４】
なお、リフタ３１が下降するときに、基板検知センサ５１は、主搬送経路１０上に他のＦＰＤ２０が搬送されていないかを検出しており、リフタ３１および検査後のＦＰＤ２０が他のＦＰＤ２０に接触しないように制御されている。なお、リフタ３１を下降するタイミングは、搬送される検査対象外のＦＰＤ２０間、ＦＰＤ２０の製造ロッドの最後などである。
【００４５】
以上の説明から、本実施の形態のインライン基板検査装置１は、主搬送経路１０からインライン昇降ユニット２が検査対象のＦＰＤ２０を上昇させて、このＦＰＤ２０をインライン検査ユニット３により欠陥検査させている間において、主搬送経路１０により他のＦＰＤ２０を停止することなく搬送できるため、製造ラインのタクトタイムを増加させないようにできる。換言すると、インライン基板検査装置１は、製造ラインのタクトタイムの増加なしで、主搬送経路１０からインライン昇降ユニット２が検査対象のＦＰＤ２０を上昇させて、このＦＰＤ２０をインライン検査ユニット３による欠陥検査が行える構成となっている。
【００４６】
さらに、インライン基板検査装置１は、主搬送経路１０上の工場における天井までの上部スペースを利用してインライン昇降ユニット２およびインライン検査ユニット３を設置できる構成となっており、設備の床面積の増大を極力抑えることができるため、コストダウンにも有効となっている。
【００４７】
さらに、インライン基板検査装置１のインライン昇降ユニット２は、主搬送経路１０の主搬送ローラ１４間にリフタ３１の昇降ローラ３７を配置できる構成であるため、既存設備の主搬送経路１０にも設置できるばかりか、主搬送経路１０のユーザの所望の位置に設置することもできる。
（第１の変形例）
【００４８】
なお、インライン基板検査装置１は、図１４に示すように、インライン検査ユニット３を挟んで搬送における上流側と下流側にインライン昇降ユニット２を２つ設置してもよい。なお、図１４は、第１の変形例の主搬送経路に設置されたインライン基板検査装置を示す模式図である。
【００４９】
ここでのインライン基板検査装置１は、下流側のインライン昇降ユニット２によって、検査対象のＦＰＤ２０を主搬送経路１０から上昇させて、インライン検査ユニット３に搬送し、インライン検査ユニット３によって欠陥検査された検査後のＦＰＤ２０を下流側のインライン昇降ユニット２によって主搬送経路１０に下降させる。なお、その他の各構成要素および動作は、上述と同様であるため、それらの説明を省略する。
（第２の変形例）
【００５０】
また、インライン昇降ユニット２のリフタ３１は、図１５および図１６に示すように、平行リンク機構６０の昇降駆動手段により昇降する構成としてもよい。なお、図１５は、第２の変形例に係り、リフタが下降した状態を示す模式図、図１６はリフタが上昇した状態を示す模式図である。
【００５１】
具体的には、平行リンク機構６０は、２本のリンク部材６１と、リンク部材６１のそれぞれの下端部に回動自在に接続されたベースリンク６２と、一方のリンク部材６１の中途にロッド６３が接続されたシリンダ６４と、を有して構成されている。なお、２本のリンク部材６１は、それぞれの上端部がリフタ３１の昇降フレーム３４に回動自在に接続されて平行配置されている。シリンダ６４の駆動によってロッド６３と接続されたリンク部材６１が押し引きされて、２つのリンク部材６１の回動によりリフタ３１が昇降される。  
【００５２】
このようなリフト３１を昇降するリンク機構６０を設けることで、上述したような支柱部３２およびガイドレール３８などを必要としない簡単な構成とすることができる。
【００５３】
なお、上述の実施の形態に記載した発明は、その実施の形態および変形例に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得るものである。  
【００５４】
例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、述べられている課題が解決でき、述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得るものである。
【符号の説明】
【００５５】
１…インライン基板検査装置
２…インライン昇降ユニット
３…インライン検査ユニット
４…ハウジング
１０…主搬送経路
１１…コンベアフレーム
１２，３５，４２…コロ
１３，３６，４３…ローラ軸
１４…主搬送ローラ
１５…軸受部
１６…凹部
２０…フラットパネルディスプレイ
３１…リフタ
３２…支柱部
３３…梁
３４…昇降フレーム
３６…ローラ軸
３７…昇降ローラ
３８…ガイドレール
４１…レールフレーム
４４…搬送ローラ
４５…検査装置
４６…レール
５０…制御部
５１…基板検知センサ
【図１】
2013254792.tif 000003
【図２】
2013254792.tif 000004
【図３】
2013254792.tif 000005
【図４】
2013254792.tif 000006
【図５】
2013254792.tif 000007
【図６】
2013254792.tif 000008
【図７】
2013254792.tif 000009
【図８】
2013254792.tif 000010
【図９】
2013254792.tif 000011
【図１０】
2013254792.tif 000012
【図１１】
2013254792.tif 000013
【図１２】
2013254792.tif 000014
【図１３】
2013254792.tif 000015
【図１４】
2013254792.tif 000016
【図１５】
2013254792.tif 000017
【図１６】
2013254792.tif 000018