(57)【要約】【課題】スクライブヘッドをスライドベースを介してビームに沿って移動させるスクライブ装置において、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えること。【解決手段】ビーム１２のスライドベース１８が取り付けられる側に、下方に折り曲げられた庇部１７を設け、スライドベース１８の上部をこの庇部１７に当接させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行な面を含むビームを有するブリッジと、
前記ビームに沿って移動自在のスライドベースと、
前記スライドベースを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、
前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備し、
前記ビームの少なくとも一部には、前記スライドベースの上部に外側より対向する庇部を有するスクライブ装置。
【請求項２】
前記スライドベースは、
前記ビームの庇部に対向する面に配置され、前記庇部に向けて空気を噴出する少なくとも１つのエアパッドと、
前記エアパッドに空気を供給する空気供給部と、を有する請求項１記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関し、特にスクライブヘッドの保持に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
図１は、従来のスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。
【０００４】
スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。ブリッジ１１０は横方向にビーム１１２が設けられ、ビーム１１２の長手方向にリニアモータ１１３が設けられる。リニアモータ１１３はスクライブヘッド１１４をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１１４の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１１５が取付けられている。
【０００５】
図２は支柱１１１ａ，１１１ｂに張架されたビーム１１２とビーム１１２に取付けられたスクライブヘッド１１４を示す概略図である。本図に示すように、リニアモータ１１３の可動部にはスライドベース１１６が取付けられ、スライドベース１１６に更にスクライブヘッド１１４が取付けられている。スクライブヘッド１１４はチップホルダ１１５を昇降動可能に保持している。チップホルダ１１５は下部に円板状のホイールチップ（以下、単にチップという）１１７を回転可能に保持するものである。ホイールチップ１１７は脆性材料基板に適切な荷重にて圧接しながら転動してスクライブラインを形成する。スクライブヘッド１１４には、その内部にそうした昇降動作を可能とする昇降部、例えば空気圧制御を用いるエアーシリンダーやリニアモータによる電動昇降部などが設けられている。
【０００６】
又特許文献２にはモータによって送りねじを回転させ、送りねじに沿ってスクライブヘッドを脆性材料基板上で平行に移動させスクライブを行うスクライブ装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００９／１５７４４０号
【特許文献２】特開２００４−１０４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかるに特許文献１及び２のスクライブ装置では、いずれもスクライブヘッドはリニアモータや送りねじの側方に張り出して取付けられている。そのためスクライブヘッドの重みによって図２の時計方向に回転モーメントが生じる。従ってスライドベースが歪みを受けやすく、スクライビング時にスクライブ位置の位置ずれが生じ易くなり、スクライブ位置の精度が低下するという問題点があった。
【０００９】
本発明はこのような従来のスクライブ装置の問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑え、スクライブ位置の精度を向上させるようにすることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行な面を含むビームを有するブリッジと、前記ビームに沿って移動自在のスライドベースと、前記スライドベースを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、前記スライドベースに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備し、前記ビームの少なくとも一部には、前記スライドベースの上部に外側より対向する庇部を有するものである。
【００１１】
ここで前記スライドベースは、前記ビームの庇部に対向する面に配置され、前記庇部に向けて空気を噴出する少なくとも１つのエアパッドと、前記エアパッドに空気を供給する空気供給部と、を有するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
このような特徴を有する本発明によれば、ビームにスライドベースの上部が当接する庇部を設けているため、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えることができる。従ってスクライビングの位置精度を向上させることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は従来のスクライブ装置の概略斜視図である。
【図２】図２は従来のスクライブ装置のビームとスクライブヘッドを示す図である。
【図３】図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の概略斜視図である。
【図４】図４は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるビームとスライドベースを示す斜視図である。
【図５】図５は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるビームとスライドベースとスクライブヘッドを示す図である。
【図６】図６はスライドベースの正面図及び側面図である。
【図７】図７は本発明の実施の形態によるスクライブ装置のブロック図である。
【図８】図８は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の庇部の他の例によるビームとスライドベースを示す斜視図である。
【図９】図９は本発明の実施の形態による複数のビームに複数のスライドベースを取付けた状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置１も、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。
【００１５】
スクライブ装置１には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１０がｘ軸方向に沿って架設されている。ブリッジ１０は左右の一対の支柱１１ａ，１１ｂとその間のビーム１２から成り、ビーム１２はテーブル１０６から所定間隔を隔ててテーブル１０６の面に平行に設けられている。ビーム１２の両側の側面には夫々長手方向に沿って溝１３Ａ，１３Ｂが形成されている。このビーム１２の長手方向にリニアモータ１４が設けられる。リニアモータ１４はスクライブヘッド１５をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１５の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１６が取付けられている。スクライブヘッド１５やチップホルダ１６は従来のものと同様である。
【００１６】
図４はスクライブ装置１のスライドベースが取付けられるビームと支柱の異なった方向からの斜視図、図５はその側面図である。本実施の形態のビーム１２には一方の側面に突出して下方に折り曲げられた庇部１７を有している。庇部１７はスライドベース１８が取付けられる側で且つチップホルダ１６の取付位置とは逆の位置、即ち図４ではビーム１２の上部にビーム１２の全長に渡って設けられる。庇部１７はスライドベース１８の上部に外側から後述するエアパッドを介して対向している。又スライドベース１８は平板状の部材であって、スクライブヘッド１５が取付けられるが、図４では省略して示している。
【００１７】
スライドベース１８の上面の庇部１７に対向する部分にはエアパッドが設けられる。エアパッドは中央に１つでもよいが、図６に示すように左右に一対のエアパッド２１Ａ，２１Ｂを設けておくことが好ましい。エアパッド２１Ａ，２１Ｂはアルミニウム製の平板状部材であり、表面がアルマイト処理されている。また側方には空気取込み孔を有し、ビーム１２の庇部１７と対向する面には空気取り込み孔に連通する多数の小孔が設けられている。エアパッド２１Ａ，２１Ｂは夫々側方にプラグが突出しており、プラグは柔軟なパイプによって後述するエアポンプに連結されている。エアパッド２１Ａ，２１Ｂの中心には外向きに移動可能な軸が設けられ、夫々軸方向にわずかに移動自在となり、図示しないばねによって庇部１７の方向に付勢されている。
【００１８】
次に本実施の形態によるスクライブ装置１の構成について、ブロック図を用いて説明する。図７はスクライブ装置１の制御系を示すブロック図である。本図において２台のＣＣＤカメラ１０８からの出力は画像処理部４１を介して制御部４２に与えられる。制御部４２はスクライブラインを形成するためにＸモータ駆動部４４、Ｙモータ駆動部４５を制御するものである。これらのモータ駆動部４３，４４は夫々リニアモータ１４，モータ１０４を直接駆動するものである。又回転用モータ駆動部４５はモータ１０５を駆動し、テーブル１０６上に配置された脆性材料基板１０７を回転させると共に、角度ずれがあるときにその角度ずれを打ち消すものである。更に制御部４２にはエアポンプ駆動部４６、チップホルダ昇降駆動部４７やモニタ４８が接続される。エアポンプ駆動部４６はリニアモータ１４によってスクライブヘッドを直線的に移動させる際に、エアポンプ４９を同時に駆動するものである。又チップホルダ昇降駆動部４７は、スクライブ時にホイールチップが脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接するように駆動するものである。ここでエアポンプ駆動部４６とエアポンプ４９とは、スクライブヘッドの移動時にエアパッド２１Ａ，２１Ｂに空気を供給する空気供給部を構成している。
【００１９】
次に本実施の形態によるスクライブ装置の動作について説明する。スライドベース１８がビーム１２のいずれかの位置で停止している状態では、エアパッド２１Ａ，２１Ｂには外部より空気が供給されず、図示しないばねにより庇部１７に向けて付勢され、庇部１７の内側の面に接触している。そしてスクライブ時にはリニアモータ１４によりスライドベース１８を移動させる。このときエアポンプ駆動部４６よりエアポンプ４９が起動し、チューブおよびプラグを介してエアパッド２１Ａ，２１Ｂに圧縮空気が供給される。これによってエアパッド２１Ａ，２１Ｂよりビーム１２の庇部１７に向けて空気が噴出する。すると、ばねの付勢力に抗してエアパッド２１Ａ，２１Ｂと庇部１７の側面の間にクリアランスが生じ、スライドベース１８の移動に伴う摺動抵抗が軽減されることとなり、ビーム１２に沿って容易に直線移動させることができる。そしてこの移動中にはスクライブヘッド１５が下降し、脆性材料基板に対してスクライビングホイールを転動させてスクライブが行われる。
【００２０】
又スクライブが終了すると、リニアモータ１４の駆動が停止すると共にエアポンプ４９も停止する。従って空気の供給が停止され、エアパッド２１Ａ，２１Ｂが庇部１７に当接して停止する。
【００２１】
尚この実施の形態ではスライドベース１８にエアパッド２１Ａ，２１Ｂを設けているが、スライドベース１８の上部を庇部１７の内側の面に直接接触させて位置を安定化させるようにしてもよい。この場合には庇部１７の張り出し幅をより少なくすることができる。
【００２２】
又この実施の形態ではビーム１２の全長に渡って庇部１７を設けているが、図８に示すようにスライドベースがビームの端部の退避位置にあるときにのみスライドベースの上部が庇部１７に直接接触するように、庇部１７を端部にのみ設けてもよい。この場合には庇部の張り出し幅を少なくしてスライドベースの上部が直接庇部に当接するようにし、スクライブ時には庇部のない位置でスクライブを実行する。これはスクライブヘッドが退避位置にある時間の方がスクライブしている時間よりも圧倒的に長時間であり、この間はスライドベースの上部が庇部に当接しているため、歪みが顕著になることがなく、十分な効果を得ることができる。
【００２３】
尚この実施の形態ではビーム１２に沿って１つのスクライブヘッドを直線的に移動自在としているが、１つのビームに複数のスライドベースを設け、同一のビームに複数のスライドベースを移動させるようにしてもよい。又２枚の脆性材料基板を貼り合わせた貼り合わせ基板を分断するために、上下よりスクライブを行う場合には、図９に示すように、上下に平行な一対のビーム１２Ａ，１２Ｂを設け、ビーム１２Ａ，１２Ｂに夫々庇部１７Ａ，１７Ｂを設け、各ビームに少なくとも１つのスライドベース、ここではスライドベース１８Ａ〜１８Ｄを移動自在に配置するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明はビームに沿ってスライドベースを介して直線状にスクライブヘッドを移動させる際に、スクライブヘッドの重みによるスライドベースの歪みを抑えることができるので、脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に好適である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  ブリッジ
１１ａ，１１ｂ  支柱
１２，１２Ａ，１２Ｂ  ビーム
１３Ａ，１３Ｂ  溝
１４  リニアモータ
１５  スクライブヘッド
１６  チップホルダ
１７，１７Ａ，１７Ｂ  庇部
１８，１８Ａ〜１８Ｄ  スライドベース
２１Ａ，２１Ｂ  エアパッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013166669.tif 000009
【図８】
2013166669.tif 000010
【図９】
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