(57)【要約】      （修正有）【課題】プリント回路基板の外観検査を短時間で効率よく行える技術を提供する。【解決手段】基準情報の設定時には、基準画像上で、交差する直線を２本検出して（Ｓ２０１）、その交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出し（Ｓ２０２）、検査対象のプリント回路基板の検査時には、検査画像上で、交差する直線を２本検出して、その交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出し（Ｓ２１１）、両者の差を求めることによって（２１２、Ｓ２１３）、アライメントのためのアライメント情報を算出し（Ｓ２１４）、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントし（Ｓ２１５）、前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較し（Ｓ２１６）、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する（Ｓ２１７）。【選択図】図２
2013160677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント回路基板に形成された配線パターンを画像処理によって外観検査する検査方法であって、
基準情報の設定時には、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含み、
検査対象のプリント回路基板の検査時には、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含んでいることを特徴とするプリント回路基板の検査方法。
【請求項２】
プリント回路基板に形成された配線パターンを画像処理によって外観検査する検査装置であって、
基準画像が保存された記憶手段と、
検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段と、
設定モードと検査モードの２つの動作モードを備えた処理手段と、
を備え、
前記処理手段は、
設定モードでは、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出し、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出し、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶して、
検査モードでは、
前記画像入力手段を介して入力された検査対象のプリント回路基板の検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出し、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とし、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出し、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換し、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査するように構成されていることを特徴とするプリント回路基板の検査装置。
【請求項３】
基準画像が保存された記憶手段と、検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段と、を備えたパーソナルコンピュータにて実行可能な処理プログラムであり、
基準情報の設定時において、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含む設定プログラムと、
検査対象のプリント回路基板の検査時において、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含む検査プログラムとから構成されていることを特徴とするプリント回路基板の検査プログラム。
【請求項４】
基準画像が保存された記憶手段と、検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段と、を備えたパーソナルコンピュータにて実行可能なプログラムが保存された記憶媒体であり、
前記記憶媒体には、
基準情報の設定時において、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含む設定プログラムと、
検査対象のプリント回路基板の検査時において、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含む検査プログラムとが保存されていることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント回路基板に形成された配線パターン等の外観検査を画像処理によって行う場合のアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プリント回路基板に形成された配線パターンを画像処理による外観検査においては、予め登録した基準画像（図１３のＸ)と、検査対象のプリント回路基板の検査画像（図１３のＹ)を、パターンマッチング等の手法を用いて比較検査することが行われている。
基準画像と検査画像とを比較検査するためには、両画像の位置と傾きが異なる場合があるため、基準画像の位置と傾きを検査画像に合わせて（この処理を「アライメント」という。）から比較検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2005-164277号公報
【特許文献２】特開平5-118819号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、外観検査に用いる基準データを、ＣＡＤデータを用いて正確且つ容易に作成可能とした技術が提案され、特許文献２には、基板のパターン又はリードの中心位置や回転角度などを視覚認識により高精度且つ高速に認識できる技術が提案されている。
【０００５】
従来の外観検査において、レジスト開口部の近傍の領域の検査を行う場合には、アライメントを行うための基準画像の登録が困難なため、従来は、広い領域の非検査エリアを設けて、虚報対策を行っていた。
非検査エリアを広く設定すると、検査可能なエリアが狭くなるという問題があった。検査可能なエリアが狭くなると、検査エリア（図１３のＺ)を順次移動させながら検査しなければならないので、検査に時間を要するという問題があった。
そこで、本発明においては、上記問題を解決するために、以下のようにして、レジスト開口部に含まれる直線部分を検出してアライメントを行って検査するようにした。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る検査方法は、
プリント回路基板に形成された配線パターンを画像処理によって外観検査する検査方法であって、
基準情報の設定時には、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含み、
検査対象のプリント回路基板の検査時には、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含んでいる。
【０００７】
請求項２の検査装置は、
プリント回路基板に形成された配線パターンを画像処理によって外観検査する検査装置であって、
基準画像が保存された記憶手段と、
検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段と、
設定モードと検査モードの２つの動作モードを備えた処理手段と、
を備え、
前記処理手段は、
設定モードでは、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出し、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出し、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶して、
検査モードでは、
前記画像入力手段を介して入力された検査対象のプリント回路基板の検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出し、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とし、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出し、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換し、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査するように構成されている。
【０００８】
請求項３の処理プログラムは、
基準画像が保存された記憶手段と、検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段と、を備えたパーソナルコンピュータにて実行可能な処理プログラムであり、
基準情報の設定時において、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含む設定プログラムと、
検査対象のプリント回路基板の検査時において、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含む検査プログラムとから構成されていることを特徴とするプリント回路基板の検査プログラム。
【０００９】
請求項４の記憶媒体は、
基準画像が保存された記憶手段と、検査対象のプリント回路基板の外観を撮像して得られた検査画像が入力される画像入力手段とを備えたパーソナルコンピュータにて実行可能なプログラムが保存された記憶媒体であり、
前記記憶媒体には、
基準情報の設定時において、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含む設定プログラムと、
検査対象のプリント回路基板の検査時において、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含む検査プログラムとが保存されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の検査方法によれば、
基準情報の設定時には、
基準画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出する手順と、
前記位置を基準位置情報とし、前記傾斜を基準傾斜情報として記憶する手順とを含み、
検査対象のプリント回路基板の検査時には、
検査対象のプリント回路基板を撮像して検査画像を得る手順と、
前記得られた検査画像上で、レジストの開口部の画像に含まれ、交差する直線を２本検出する手順と、
両直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾斜とを算出して、前記位置を検査位置情報とし、前記傾斜を検査傾斜情報とする手順と、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求めるとともに、前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求めることによって、アライメントのためのアライメント情報を算出する手順と、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域を検査画像上の開口部領域にアライメントして検査時基準画像に変換する手順と、
前記検査時基準画像における開口部の内側領域と前記検査画像における開口部の内側領域とを比較して、予め設定された良品判定基準範囲外の欠陥領域の有無を検査する手順とを含んでいるので、
効率的な外観検査を行うことができる。
本発明の検査装置は、上記方法を実行することにより、効率的な外観検査を行うことができる。
本発明の処理プログラムは、パーソナルコンピュータに上記方法を実行させることにより、効率的な外観検査を行うことができる。
本発明の記憶媒体は、パーソナルコンピュータに読み込ませて実行させることにより、効率的な外観検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る検査装置の構成を説明する説明図である。
【図２】本発明に係る検査方法の基本的な手順を説明するフローチャートである。
【図３】検査対象の基板を撮像して得られた検査画像と、予め設定された基準画像の例を示す画像例の図である。
【図４】図２の検査手順を説明する説明図である。
【図５】図２の検査手順を説明する説明図である。
【図６】実施例１の設定プログラムを説明するフローチャートである。
【図７】実施例１の設定プログラムの実行過程を説明する説明図である。
【図８】実施例１の設定プログラムの実行過程を説明する説明図である。
【図９】実施例１の検査プログラムを説明するフローチャートである。
【図１０】実施例１の検査プログラムの実行過程を説明する説明図である。
【図１１】実施例１の検査プログラムの実行過程を説明する説明図である。
【図１２】実施例１の検査プログラムを説明するフローチャートである。
【図１３】従来例の検査方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明を実施するための形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明に用いる検査装置の構成を示したものであり、
検査装置１は、
基準となるプリント回路基板の基準画像と、検査対象のプリント回路基板の検査画像を撮像するカメラ等の撮像手段２と、
前記撮像手段２と接続されたパーソナルコンピュータ等の処理装置３とを備えている。
前記処理装置３は、
後述する処理プログラムが実行可能な形態で記憶されているとともに、前記基準画像と前記検査画像を記憶するハードディスクや半導体メモリ等の記憶手段３１と、
画像比較のためのパターンマッチング機能や画像認識機能を備え、本発明に係る検査手順を実施する検査プログラムが実行される演算処理手段３２と、
前記演算処理手段３２における処理経過の進行に応じて画像情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示手段３３と、
前記演算処理手段３２を操作するための操作情報を入力するキーボードやマウス等の入力手段３４と、
を備えている。
前記処理プログラムは、記憶媒体Ｍに保存されたものを読み取って前記記憶手段３１に記憶させている。
【００１３】
前記演算処理手段３２における検査プログラムの概要を図２、図３、図４、図５を参照して説明する。
図３においては、実線で示した領域３１は検査対象の基板を撮像して得られた検査画像上のレジスト開口部であり、破線で示した領域３２は、予め設定された基準画像のレジスト開口部である。なお、各図においては、パターンの一部のみを図示して、他のパターンは省略している。
図示したように、実線で示した領域３１と破線で示した領域３２とは若干のズレが発生している場合がある。かかるズレを解消するためには、基準画像の領域３２を、以下に説明する手順でアライメントして実線で示した領域３１に合わせ込む必要がある。
【００１４】
そのために、
図２（Ａ）に示した設定時の手順においては、
ステップＳ２０１では、基準画像上において、開口部の交差する２辺４１、４２を画像処理技術により検出する。２辺は、例えば、撮像手段２の撮像領域内外の１点を原点とした直交座標系上の２元１次式で表現する。
ステップＳ２０２では、それら２辺の交点４３の位置（基準位置情報）と、何れか一方の直線の傾斜（基準傾斜情報）を算出する。（図４（Ａ）参照。）
また、基準画像上において、開口部の形状４４を作成する。（図４（Ｂ）参照。）
【００１５】
次に、図２（Ｂ）に示した検査時の手順においては、
ステップＳ２１１では、読み込んだ検査画像上でも、同様に、開口部の交差する２辺４５、４６を検出し、それらの交点４７の位置（検査位置情報）と、何れか一方の直線の傾斜（検査傾斜情報）を算出する。（図４（Ｃ）参照。）
【００１６】
次に、ステップＳ２１２では、
前記基準位置情報と前記検査位置情報とを比較して両者の差を求め、
ステップＳ２１３では、
前記基準傾斜情報と前記検査傾斜情報とを比較して両者の差を求める。
ステップＳ２１４では、アライメント情報を算出する。
ステップＳ２１５では、
前記アライメント情報に基づいて、前記基準画像上の開口部領域５２を検査画像上の開口部領域５１にアライメントして検査時基準画像に変換する。（図５（Ａ）参照。）
【００１７】
ステップＳ２１６では、
前記検査時基準画像における開口部の近傍の内外領域と、前記検査画像における開口部の近傍の内外領域５３とを比較して、
ステップＳ２１７では、対応する各画素の輝度が予め設定された良品判定基準範囲外であるか否かを判断し、良品判定基準範囲外の画素が無ければ欠陥領域無し、と判定し（ステップＳ２１８）、良品判定基準範囲外の画素５３、５４が１点でも有れば欠陥領域有りと判定する（ステップＳ２１９）。（図５（Ｂ）参照。）
【実施例１】
【００１８】
以下においては、本発明の検査方法の実施例を、その実施例としての検査プログラムのフローチャートと、各手順における画像とを参照して説明する。
まず、設定プログラムで実行される手順を図６、図７、図８を参照して説明する。
ステップＳ６０１において、
基準基板を撮像して得られた基準画像Ａを読み込む。（図７（Ａ）参照。）
前記基準基板は、予め詳細な検査を行い良品であることが確認された基板である。
ステップＳ６０２では、
前記基準画像Ａ上で、画像の各部位ごとに分類を行い、分類した各部位を含んだ領域群Ｂの画像データを、前記記憶手段３１に保存する。（図７（Ｂ）参照。）
なお、前記記憶手段３１は、前記処理手段３に内蔵に固定された記憶手段に限らず、外部に増設した記憶手段や、着脱可能な記憶手段や、ネットワーク経由で接続された記憶手段等の種々の記憶手段を用いることができる。
【００１９】
ステップＳ６０３では、
レジスト開口部の分類を行い、得られた開口部領域Ｃを前記記憶手段３１に保存する。
ステップＳ６０４では、（図７（Ｃ）参照。）
前記開口部の境界で境界に沿った方向の線分の形状をしている箇所を含む領域を矩形で囲み、その矩形の領域を開口部直線部領域Ｄとして前記記憶手段３１に保存する。（図７（Ｄ）参照。）
ステップＳ６０５では、
前記開口部直線部領域Ｄの内部で、パッドに相当する領域を求め、その領域と連続した領域を連結領域Ｅとして前記記憶手段３１に保存する。（図７（Ｅ）参照。）
ステップＳ６０６では、
前記連結領域Ｅのそれぞれにおいて、最も前記開口部の境界側の画素を選択して候補点とし、これらの候補点を含んだ候補点群Ｆとして前記記憶手段３１に保存する。（図７（Ｆ）参照。）
【００２０】
ステップＳ６０７では、
前記候補点群Ｆに含まれる各候補点を通る回帰直線を例えば最小二乗法を用いて求め、２本の直線Ｇを求める。これらの２本の直線Ｇは、交差する直線であり、前記開口部の隣り合う２辺に対応する直線である。
さらに、前記２本の直線Ｇの交点Ｈと、何れか一方の直線の傾きＩを求めて、（図７（Ｇ）参照。）
前記交点Ｈに対応した情報を基準位置情報とし、前記傾きＩに対応した情報を基準傾斜情報として前記記憶手段３１に保存する。
以上の手順により設定を完了する。
【００２１】
次に、検査プログラムで実行される手順を、図９、１０、１１、１２を参照して説明する。
まず、ステップＳ９０１では、前記記憶手段３１に保存しておいた前記領域群Ｂ、前記開口部領域Ｃ、前記開口部直線部領域Ｄ、前記基準位置情報Ｈ、および前記基準傾斜情報Ｉを、前記演算処理手段３２の作業メモリに１回だけ読み込む。（図１０（Ａ）参照。）
ステップＳ９０２では、検査対象のプリント回路基板の画像を検査画像Ｊとして前記演算処理手段３２の作業メモリに読み込む。（図１０（Ｂ）参照。）
ステップＳ９０３では、開口部直線部領域Ｄの中で、パッドに相当する領域を画像認識により求め、その領域に連結された連結領域Ｋを求める。（図１１（Ｃ）参照。）
ステップＳ９０４では、連結領域Ｋから最も開口部の境界側の画素を求め、これらの画素の位置情報から構成される候補点群Ｌを求める。（図１１（Ｄ）参照。）
【００２２】
ステップＳ９０５では、候補点群Ｌから最小二乗法を用いて、回帰直線Ｍを求め、この直線Ｍの交点Ｎと一方の直線の傾きＯを求めて、作業メモリに保存する。（図１１（Ｅ）参照。）
ステップＳ９０６では、基準交点Ｈ、基準傾きＩと、交点Ｎ、傾きＯからアライメント情報を算出し、前記開口部領域Ｃを前記洗い面と情報に基づいて変換した検査対象開口部領域Ｐを求める。（図１２（Ｆ）参照。）
ステップＳ９０７では、領域群Ｂを、従来のパターンマッチングによるアライメント方法により変換して、検査対象領域群Ｑを求める。（図１２（Ｇ）参照。）
ステップＳ９０８では、検査対象領域群Ｑと検査対象開口部領域Ｐとから、検査対象のそれぞれの部位に対する開口部の内外の領域群Ｒを求める。（図１２（Ｈ）参照。）
ステップＳ９０９では、予め設定したパラメータにより、求めた領域群Ｒの中に欠陥があるか否かを検査する。すべての領域群Ｒについて検査を終了した後に、検査を終了する。
【００２３】
本発明に係るプログラムは、前記設定プログラムと検査プログラムとから構成されており、本発明に係る記憶媒体は、前記設定プログラムと検査プログラムとが、パーソナルコンピュータで実行可能な形態で保存されている。
前記記憶媒体としては、フラッシュメモリや、ＣＤやＤＶＤ等の各種ディスクや、インターネット等の通信回線も含むものである。
【００２４】
このようにして、本発明に係るプリント回路基板の外観検査方法では、基準の画像と検査対象の画像の対応する領域において交差する２直線を検出することによって、それらの２直線の交点の位置と、何れか一方の直線の傾きの差を求めて、アライメント情報を算出するので、短時間で効率的なアライメントが行える野である。
【００２５】
なお、開口部の形状がほぼ長方形の場合には、交差する２直線は直交するが、長方形以外の四辺形の場合では直交しない場合もあるので、基準の画像と検査対象の画像の対応する２直線が同じ角度で交差すればよく、直交する２直線に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００２６】
１  検査装置
２  撮像手段
３  処理装置
３１  記憶手段
３２  演算処理手段
３３  表示手段
３４  入力手段
Ｍ  記憶媒体
【図１】
2013160677.tif 000003
【図２】
2013160677.tif 000004
【図３】
2013160677.tif 000005
【図４】
2013160677.tif 000006
【図５】
2013160677.tif 000007
【図６】
2013160677.tif 000008
【図７】
2013160677.tif 000009
【図８】
2013160677.tif 000010
【図９】
2013160677.tif 000011
【図１０】
2013160677.tif 000012
【図１１】
2013160677.tif 000013
【図１２】
2013160677.tif 000014
【図１３】
2013160677.tif 000015