(57)【要約】【課題】基材上に塗工された塗工液の膜厚を均一化させることができる塗工装置を提供する。【解決手段】本発明による塗工装置１０は、基材１を載置する載置台１１と、載置台１１上に載置される基材１に塗工液５を吐出する吐出ヘッド２０であって、その長手方向に沿って延び、基材１に対応する領域である基材領域２１ａと、基材領域２１ａの端部から延長した延長領域２１ｂと、を含む吐出開口２１を有する吐出ヘッド２０と、載置台１１上に載置される基材１に隣接して配置され、液体透過性を有する多孔質部材４０と、を備えている。このうち多孔質部材４０は、吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出される塗工液５を受ける液受け面４１を有している。多孔質部材４０の液受け面４１上の塗工液５は、吸引駆動部６０によって多孔質部材４０の内部を吸引することにより、除去されるようになっている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材に塗工液を塗工する塗工装置において、
前記基材を載置する載置台と、
前記載置台上に載置される前記基材に塗工液を吐出する吐出ヘッドであって、その長手方向に沿って延び、前記基材に対応する領域である基材領域と、前記基材領域の端部から延長した延長領域と、を含む吐出開口を有する前記吐出ヘッドと、
前記載置台上に載置される前記基材に隣接して配置され、液体透過性を有する多孔質部材であって、前記吐出開口の前記延長領域から吐出される前記塗工液を受ける液受け面を有する前記多孔質部材と、
前記多孔質部材の内部を吸引して、当該多孔質部材の前記液受け面上の前記塗工液を除去する吸引駆動部と、を備えたことを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
前記多孔質部材の前記液受け面は、前記載置台上に載置される前記基材の上面と同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の塗工装置。
【請求項３】
前記多孔質部材を覆い、非通気性を有するカバー部材を更に備え、
前記カバー部材は、前記多孔質部材の前記液受け面を露出させる露出開口部を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の塗工装置。
【請求項４】
前記カバー部材は、前記多孔質部材の内部と前記吸引駆動部とを連通する吸引開口部を有していることを特徴とする請求項３に記載の塗工装置。
【請求項５】
前記カバー部材は、フレームを介して前記吐出ヘッドに取り付けられていることを特徴とする請求項３または４に記載の塗工装置。
【請求項６】
前記多孔質部材は、ポーラスアルミにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材に塗工液を塗工する塗工装置に係り、とりわけ、基材上に塗工された塗工液の膜厚を均一化させることができる塗工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタにおいては、ガラス基板上に、例えば、所定の形状にパターニングされたブラックマトリックス（ＢＭ）、赤色画素（Ｒ）、緑色画素（Ｇ）および青色画素（Ｂ）が設けられている。このようなブラックマトリックスおよび各色の画素は、ガラス基板上にダイコータによってレジスト液を塗布して、露光、現像等を行うことにより形成されている。
【０００３】
ダイコータは、ガラス基板（基材）にレジスト液（塗工液）を吐出する開孔を含むダイヘッドを有している。このダイヘッドは、ガラス基板に対して移動しながらレジスト液を吐出してレジスト液をガラス基板に塗布（塗工）し、ガラス基板上にレジスト液の液膜を形成するようになっている。このようなダイヘッドにおいて、開孔から吐出されるレジスト液の幅を調整するために、ダイヘッドの内部に設けられて開孔に連通するスロット部に、シム板が挿入されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。シム板としては、テフロン（登録商標）、ポリエステル等の樹脂シート、又は銅、アルミニウム等の金属シートが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ダイヘッドの開孔およびスロット部は、ダイヘッドの長手方向に延び、ガラス基板の幅（ダイヘッドの移動方向に対して直交する方向の寸法）より大きい幅を有している。このため、ガラス基板の全面にレジスト液を塗布する場合には、特許文献１に記載のようなシム板がスロット部の両端部（ガラス基板の外方に対応する部分）に挿入される。このようにして、ダイヘッドの開孔から吐出されたレジスト液が、ガラス基板の外方に吐出されることを防止している。
【０００６】
しかしながら、シム板をダイヘッドのスロット部の形状に精度良く合わせて作製することは困難である。このことにより、スロット部の内壁とシム板との間に隙間が形成されて、この隙間を通ったレジスト液がシム板から液垂れするという問題がある。この液垂れしたレジスト液は、スロット部のシム板が挿入されていない領域を通ったレジスト液に表面張力によって引き寄せられてガラス基板に吐出される。このため、開孔から吐出されるレジスト液の吐出量が、ダイヘッドの長手方向において不均一になり、ガラス基板上に塗布されたレジスト液の膜厚を均一にすることが困難になる。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基材上に塗工された塗工液の膜厚を均一化させることができる塗工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基材に塗工液を塗工する塗工装置において、前記基材を載置する載置台と、前記載置台上に載置される前記基材に塗工液を吐出する吐出ヘッドであって、その長手方向に沿って延び、前記基材に対応する領域である基材領域と、前記基材領域の端部から延長した延長領域と、を含む吐出開口を有する前記吐出ヘッドと、前記載置台上に載置される前記基材に隣接して配置され、液体透過性を有する多孔質部材であって、前記吐出開口の前記延長領域から吐出される前記塗工液を受ける液受け面を有する前記多孔質部材と、前記多孔質部材の内部を吸引して、当該多孔質部材の前記液受け面上の前記塗工液を除去する吸引駆動部と、を備えたことを特徴とする塗工装置を提供する。
【０００９】
なお、上述した塗工装置においては、前記多孔質部材の前記液受け面は、前記載置台上に載置される前記基材の上面と同一平面上に配置されている、ことが好ましい。
【００１０】
また、上述した塗工装置においては、前記多孔質部材を覆い、非通気性を有するカバー部材を更に備え、前記カバー部材は、前記多孔質部材の前記液受け面を露出させる露出開口部を有している、ことが好ましい。
【００１１】
また、上述した塗工装置においては、前記カバー部材は、前記多孔質部材の内部と前記吸引駆動部とを連通する吸引開口部を有している、ことが好ましい。
【００１２】
また、上述した塗工装置においては、前記カバー部材は、フレームを介して前記吐出ヘッドに取り付けられている、ことが好ましい。
【００１３】
また、上述した塗工装置においては、前記多孔質部材は、ポーラスアルミにより形成されている、ことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基材上に塗工された塗工液の膜厚を均一化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態におけるダイコータの一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のダイコータのダイヘッドの一例を示す断面図である。
【図３】図３は、図１のダイコータを部分的に拡大した部分断面図である。
【図４】図４は、図１のダイコータを部分的に拡大した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１乃至図４を用いて、本発明の実施の形態における塗工装置について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００１７】
本実施の形態によるダイコータ（塗工装置）１０は、基材に塗工液を塗工するためのものであり、例えば、液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタを形成することを目的として、枚葉のガラス基板（基材）１に、ブラックマトリックス、赤色画素、緑色画素または青色画素用のレジスト液（塗工液）５を塗布（塗工）するために使用することができる。
【００１８】
図１に示すように、ダイコータ１０は、ガラス基板１を載置する載置台（ステージ）１１と、載置台１１上に載置されたガラス基板１にレジスト液５を吐出するダイヘッド（吐出ヘッド）２０と、を備えている。このうち載置台１１は、真空吸着によりガラス基板１を水平に保持するようになっている。また、載置台１１の前方（または後方）には、プライミングローラ１３が設けられている。このプライミングローラ１３は、ダイヘッド２０の吐出開口２１におけるレジスト液５の液溜まりを最適化するためのものであって、ダイヘッド２０は、ガラス基板１にレジスト液５を塗布する前にプライミングローラ１３に対してレジスト液５を吐出することにより、レジスト液５の液溜まりを調整するようになっている。このようにして、塗布開始直後のレジスト液５の膜厚を均一化させている。
【００１９】
ダイヘッド２０は、ヘッド駆動機構１２によって載置台１１に対して移動自在に構成されている。すなわち、図１に示すように、ダイコータ１０の左右方向をＸ方向、前後方向をＹ方向とした場合に、ダイヘッド２０はＹ方向に移動自在になっている。また、ヘッド駆動機構１２は、ダイヘッド２０を保持する保持部１２ａと、保持部１２ａをＹ方向に往復駆動する往復駆動部１２ｂと、を有している。このうち保持部１２ａは、載置台１１上に載置されたガラス基板１に対してダイヘッド２０のリップ面２２（後述）が所定の間隔で維持されるようにダイヘッド２０を保持している。往復駆動部１２ｂは、モータやエンコーダなどによって構成されており、保持部１２ａを介してダイヘッド２０を往復駆動させるようになっている。このようにして、ダイヘッド２０は、Ｙ方向に移動しながらガラス基板１上にレジスト液５を吐出するようになっている。
【００２０】
図１乃至図３に示すように、ダイヘッド２０は、Ｘ方向（ダイヘッド２０の移動方向に直交する方向）に沿った長手方向を有するように形成されており、その長手方向にガラス基板１を越えて延びる吐出開口２１を有している。この吐出開口２１からガラス基板１にレジスト液５が吐出されるようになっている。このようなダイヘッド２０は、ダイまたはノズルと呼ばれることもある。
【００２１】
より具体的に説明すると、図２に示すように、吐出開口２１は、ダイヘッド２０のガラス基板１に対向するリップ面２２に形成されている。ダイヘッド２０内には、吐出開口２１へ向けて延びるスリット２３と、スリット２３に連通したマニホールド２４と、が形成されている。マニホールド２４には、塗工液供給路２５を介して塗工液源２６が接続されており、塗工液源２６から塗工液供給路２５を介してマニホールド２４に塗工液が供給されるようになっている。
【００２２】
吐出開口２１およびリップ面２２は、ダイヘッド２０の長手方向に沿った長手方向を有し、線状（本実施の形態では直線状）に延びている。このような吐出開口２１に通じるスリット２３は、図２に示すように、吐出開口２１の長手方向に延びる互いに平行な２つの平面間に画成された細長い隙間として形成されている。また、マニホールド２４は、吐出開口２１の長手方向に延びる空間として形成されている。
【００２３】
ただし、吐出開口２１やスリット２３と比較して、マニホールド２４は十分に大きな流路面積と内部容積を有している。したがって、塗工液供給路２５を介してマニホールド２４内に供給されたレジスト液５は、マニホールド２４から直ちにスリット２３に流れ込むよりも、マニホールド２４内をその長手方向に流れやすくなっている。理想的には、マニホールド２４内がレジスト液５で満たされることによってマニホールド２４内の圧力が上昇した後に、当該上昇した高い圧力によってマニホールド２４からスリット２３へレジスト液５が流れ込む。この場合、マニホールド２４内に供給されたレジスト液５は、吐出開口２１の長手方向の全領域に行き渡る。
【００２４】
図３に示すように、ダイヘッド２０の吐出開口２１は、その長手方向にガラス基板１を両側に越えて延びるように形成されており、載置台１１上に載置されたガラス基板１に対応する領域である基材領域２１ａと、基材領域２１ａの長手方向の両端部から延長した一対の延長領域２１ｂと、を有している。すなわち、吐出開口２１のうち基材領域２１ａから吐出されたレジスト液５はガラス基板１上に塗布され、延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５は、ガラス基板１ではなく、後述する多孔質部材４０の液受け面４１上に塗布されるようになっている。なお、図３および図４においては、図面を明瞭化するために、一対の延長領域２１ｂのうち一方の延長領域２１ｂを示している。
【００２５】
図３に示すように、ガラス基板１の左右方向（Ｘ方向）の両側には、ダイヘッド２０の吐出開口２１のうち延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を回収するための一対の回収機構３０が設けられている。すなわち、回収機構３０は、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５のうち、ガラス基板１上に塗布されない不要なレジスト液５を回収するためのものである。以下に、このような回収機構３０の詳細について説明する。なお、一対の回収機構３０は、左右対称であって各々が同一の機能を有しているため、明瞭化のために、ここでは一対の回収機構３０のうちの一方について説明する。また、図面においても、明瞭化を目的として、図３および図４には一方の回収機構３０を示す。図１においては、回収機構３０は省略している。また、ダイヘッド２０の吐出開口２１が、基材領域２１ａの一方の端部のみから延長した単一の延長領域２１ｂを有している場合（すなわち、延長領域２１ｂが基材領域２１ａの一側方のみに設けられている場合）には、回収機構３０は、この単一の延長領域２１ｂに対応するように、ガラス基板１の左右方向の一側方のみに設けられていてもよい。
【００２６】
図３および図４に示すように、載置台１１上に載置されたガラス基板１の側面に隣接するように、多孔質部材４０が配置されている。この多孔質部材４０は、ダイヘッド２０の吐出開口２１のＹ方向寸法より大きいＹ方向寸法を有しており、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を受けるようになっている。また、多孔質部材４０は、ガラス基板１に対して摺動可能になっている。ここで、隣接という文言は、多孔質部材４０の側面（ガラス基板１側の面）と載置台１１上に載置されたガラス基板１の側面とが、多孔質部材４０がガラス基板１に対して摺動可能に厳密に接していることを意味することに限られることはなく、多孔質部材４０の側面とガラス基板１の側面との間に、ガラス基板１上に塗布されたレジスト液５が流れ込んでガラス基板１上のレジスト液５の膜厚が不均一にならないとみなすことができる程度の隙間が形成されている場合をも含む概念として用いている。
【００２７】
多孔質部材４０は、液体透過性を有している。一般に、多孔質性を有する部材は、通気性を有しているものであるが、多孔質部材４０に用いる材料は、その無数の微小な孔を通って塗工液（本実施の形態においてはレジスト液５）が透過可能になっていればよい。また、多孔質部材４０は、液受け面４１において露出している孔と孔との間の母材の肉厚が薄いことが好ましい。このことにより、液受け面４１上にレジスト液５が残ることを防止し、液受け面４１に塗布されたレジスト液５を確実に多孔質部材４０の内部に吸引することが可能になる。このような多孔質部材４０は、例えば、広陽商工株式会社製のポーラスアルミにより好適に形成することができる。
【００２８】
また、多孔質部材４０は、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を受ける（レジスト液５が塗布される）液受け面４１を有している。この多孔質部材４０の液受け面４１は、ガラス基板１の上面と同一平面上に水平に配置されている。このことにより、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５が、ガラス基板１の上面と多孔質部材４０の液受け面４１との間で行き来することを防止できる。ここで、同一平面という文言は、厳密に同一を意味することに限られることはなく、レジスト液５がガラス基板１の上面と多孔質部材４０の液受け面４１との間で行き来しないと見なすことができるようにガラス基板１と多孔質部材４０とが配置されている場合を含む概念として用いている。
【００２９】
このような多孔質部材４０は、非通気性を有するカバー部材５０によって覆われて、当該カバー部材５０に固定されている。このカバー部材５０は、多孔質部材４０の液受け面４１を露出させる露出開口部５１を有し、露出開口部５１は、ダイヘッド２０の吐出開口２１のＹ方向寸法より大きいＹ方向寸法を有している。このようにして、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５は、露出開口部５１を介して多孔質部材４０の液受け面４１に塗布されるようになっている。また、カバー部材５０は、多孔質部材４０の内部と後述する吸引ポンプ６０とを連通する吸引開口部５２を有している。このようなカバー部材５０に用いられる材料は、非通気性を有していれば特に限定されるものではないが、例えば、ステンレス鋼、アルミ、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック材料を好適に用いることができる。
【００３０】
カバー部材５０についてより具体的に説明すると、カバー部材５０は、ダイヘッド２０側に配置されたヘッド側部分５３と、後述する吸引ポンプ６０側に配置された吸引側部分５４と、を有しており、上述した露出開口部５１はヘッド側部分５３に設けられ、吸引開口部５２は吸引側部分５４に設けられている。多孔質部材４０は、カバー部材５０のヘッド側部分５３と吸引側部分５４とにわたって設けられており、吸引側部分５４においては、図３および図４に示すように、多孔質部材４０はカバー部材５０の吸引側部分５４によってほぼ全面的に覆われている。ヘッド側部分５３においては、多孔質部材４０は、露出開口部５１によって上面（すなわち液受け面４１）が露出され、多孔質部材４０の側面（ガラス基板１側の面）も露出されてガラス基板１の側面に隣接しているが、前面および後面（Ｙ方向側の端面）と、底面は、カバー部材５０のヘッド側部分５３によって覆われている。
【００３１】
また、本実施の形態においては、多孔質部材４０を覆うカバー部材５０の一部（ヘッド側部分５３）は載置台１１上に配置されて、カバー部材５０は、ガラス基板１および載置台１１に対して摺動可能に構成されている。そして、カバー部材５０のヘッド側部分５３におけるカバー部材５０と多孔質部材４０との合計の厚さは、ガラス基板１の厚さと同一の厚さとなっている。このようにして、多孔質部材４０の液受け面４１と、ガラス基板１の上面とを同一平面上に配置して、レジスト液５がガラス基板１の上面と多孔質部材４０の液受け面４１との間で行き来することを防止している。なお、同一の厚さという文言は、厳密に同一を意味することに限られることはなく、レジスト液５がガラス基板１の上面と多孔質部材４０の液受け面４１との間で行き来しないと見なすことができる程度に厚さが同一である場合を含む概念として用いている。
【００３２】
カバー部材５０には、吸引管６１を介して吸引ポンプ（吸引駆動部）６１が連結されている。このうち吸引管６１は、カバー部材５０の吸引開口部５２に連通するようにカバー部材５０に連結されている。このようにして、多孔質部材４０の内部と吸引ポンプ６０とが、吸引開口部５２および吸引管６１を介して連通し、吸引ポンプ６０は、多孔質部材４０の内部を吸引して、多孔質部材４０の液受け面４１上のレジスト液５を除去するようになっている。
【００３３】
図３に示すように、多孔質物質４０を覆うカバー部材５０は、フレーム７０を介してダイヘッド２０に取り付けられている。このことにより、ダイヘッド２０は、多孔質物質４０と共に、Ｙ方向に移動自在に構成されている。
【００３４】
このようにして、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を回収する回収機構３０が構成されている。
【００３５】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち、本実施の形態によるダイコータ１０を用いて、ガラス基板１上にレジスト液５を塗布する方法について説明する。
【００３６】
まず、載置台１１上に枚葉のガラス基板１が載置される。この場合、ガラス基板１は、真空吸着によって載置台１１に保持される。
【００３７】
続いて、ダイヘッド２０がプライミングローラ１３上に配置され、ダイヘッド２０の吐出開口２１におけるレジスト液５の液溜まりが、プライミングローラ１３によって最適化される。この場合、ダイヘッド２０はヘッド駆動機構１２の往復駆動部１２ｂによって移動する。
【００３８】
次に、ダイヘッド２０が、載置台１１上に載置されたガラス基板１の前端（または後端）に配置される。
【００３９】
次いで、吸引ポンプ６０を駆動して、ダイヘッド２０をガラス基板１の前端から後端に向かってＹ方向に移動させながら、ガラス基板１上にレジスト液５が吐出される。
【００４０】
この間、塗工液源２６から塗工液供給路２５を介してマニホールド２４にレジスト液５が供給されて、マニホールド２４からスリット２３を介して吐出開口２１の全領域から吐出される。このうち吐出開口２１の基材領域２１ａから吐出されたレジスト液５は、載置台１１上に載置されたガラス基板１上に塗布され、吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５は、多孔質部材４０の液受け面４１に塗布される。すなわち、多孔質部材４０の液受け面４１が、延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を受ける。
【００４１】
多孔質部材４０の液受け面４１上のレジスト液５は、吸引ポンプ６０の吸引力により、多孔質部材４０の内部に引き込まれる。このことにより、多孔質部材４０の液受け面４１上のレジスト液５が除去される。多孔質部材４０の内部に引き込まれたレジスト液５は、吸引ポンプ６０の吸引力によって、多孔質部材４０の内部を透過して、カバー部材５０の吸引開口に達し、吸引管６１を介して排出される。
【００４２】
ダイヘッド２０がガラス基板１の後端に達すると、レジスト液５の吐出を停止する。このようにして、ガラス基板１の全面にレジスト液５が塗布されて、レジスト液５の液膜が形成される。この際、吸引ポンプ６０の駆動を停止する。
【００４３】
その後、ダイヘッド２０が退避位置に移動し、ガラス基板１が載置台１１から取り外される。
【００４４】
このように本実施の形態によれば、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５が、多孔質部材４０の液受け面４１によって受けられ、吸引ポンプ６０の吸引力によって多孔質部材４０の内部に引き込まれる。多孔質部材４０の内部に引き込まれたレジスト液５は、多孔質部材４０の内部を透過して、カバー部材５０の吸引開口に達し、吸引管６１を介して排出される。このことにより、多孔質部材４０の液受け面４１に塗布されたレジスト液５を連続的に除去することができ、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５のうち、ガラス基板１上に塗布されない不要なレジスト液５を連続的に排除することができる。このため、不要なレジスト液５がガラス基板１上に流れて、ガラス基板１上のレジスト液５の膜厚が不均一になることを防止することができ、ガラス基板１上に塗布されたレジスト液５の膜厚を均一化させることができる。
【００４５】
また、本実施の形態によれば、多孔質部材４０の液受け面４１は、載置台１１上に載置されたガラス基板１の上面と同一平面上に配置されている。このことにより、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５が、ガラス基板１の上面と多孔質部材４０の上面との間で行き来することを防止できる。また、吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５が、多孔質部材４０の液受け面４１で受けられるため、ガラス基板１上の多孔質部材４０の近傍領域に塗布されたレジスト液５が、多孔質部材４０側に流れることを防止することができる。このため、ガラス基板１上のレジスト液５の膜厚が不均一になることを防止することができる。
【００４６】
また、本実施の形態によれば、多孔質部材４０は、露出開口部５１を有すると共に非通気性を有するカバー部材５０によって覆われている。このことにより、多孔質部材４０のうち液受け面４１以外の部分を非通気性のカバー部材５０によって覆うことができ、吸引ポンプ６０による吸引力を液受け面４１に集中させることができる。このため、液受け面４１上のレジスト液５を多孔質部材４０の内部に効率良く引き込むことができる。
【００４７】
また、本実施の形態によれば、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５のうち、ガラス基板１上に塗布されない不要なレジスト液５を多孔質部材４０で受けることができることから、載置台１１をレジスト液５で汚染することを抑制できる。
【００４８】
さらに、本実施の形態によれば、多孔質部材４０を覆うカバー部材５０は、フレーム７０を介してダイヘッド２０に取り付けられている。このことにより、多孔質部材４０を、ダイヘッド２０と共にＹ方向に移動させることができ、ダイヘッド２０の吐出開口２１から吐出されたレジスト液５のうち、ガラス基板１上に塗布されない不要なレジスト液５を、ダイヘッド２０の移動に併せて連続的に回収することができる。このため、ガラス基板１上のレジスト液５の膜厚が不均一になることをより一層防止することができる。
【００４９】
なお、本実施の形態においては、ダイヘッド２０が、多孔質部材４０と共に、Ｙ方向に移動自在になっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ダイヘッド２０が移動せずに、ガラス基板１を載置した載置台１１がＹ方向に移動自在に構成されていてもよい。
【００５０】
また、本実施の形態においては、多孔質部材４０が、フレーム７０を介してダイヘッド２０に取り付けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、多孔質部材４０は、ダイヘッド２０に取り付けられないように構成することもできる。例えば、多孔質部材４０が、移動せずに、載置台１１に沿ってＹ方向に延びるようにダイヘッド２０の移動範囲全体にわたって連続的に形成されて、ダイヘッド２０の吐出開口２１の延長領域２１ｂから吐出されるレジスト液５を受けるようにしてもよい。
【００５１】
また、本実施の形態においては、多孔質部材４０が、カバー部材５０のヘッド側部分５３と吸引側部分５４とにわたって設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、多孔質部材４０はヘッド側部分５３のみに設けられるようにしてもよい。この場合においても、多孔質部材４０は、その液受け面４１によってダイヘッド２０の延長領域２１ｂから吐出されたレジスト液５を受けることができ、液受け面４１上のレジスト液５を、多孔質部材４０の内部を透過させて、カバー部材５０の吸引側部分５４内を通って吸引管６１に排出することができる。
【００５２】
また、本実施の形態においては、多孔質部材４０を覆うカバー部材５０の一部が載置台１１上に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、カバー部材５０は、全体として、載置台１１の側方に配置されていてもよい。この場合においても、多孔質部材４０が、載置台１１に載置されるガラス基板１に隣接するように配置されていれば、ダイヘッド２０の延長領域２１ｂから吐出されるレジスト液５を受けることができ、ガラス基板１上のレジスト液５の膜厚を均一化させることができる。
【００５３】
また、本実施の形態においては、枚葉のガラス基板１にレジスト液５を塗布する例について説明した。しかしながら、基板の材料は、ガラスに限られることはなく、例えば、プラスチックにより形成された基板にも、本発明による塗工装置を適用することができる。さらに、基材は枚葉に限られることはなく、例えば、ウェブ状の基材にレジスト液５を塗布する際にも、本発明による塗工装置を適用することができる。ここで、ウェブ状の基材とは、帯状に連続した基材を意味するものである。
【００５４】
また、本実施の形態においては、ガラス基板１に、カラーフィルタのブラックマトリックスまたは各色の画素を形成するためのレジスト液５を塗布するダイコータ１０の例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、本発明による塗工装置は、例えば、基板に、着色樹脂や、ＩＴＯ（indium tin oxide）膜等の各種薄膜を形成するための塗工液を塗工するために使用することもできる。
【００５５】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明してきたが、本発明による塗工装置は、上記実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１      ガラス基板
５      レジスト液
１０    ダイコータ（塗工装置）
１１    載置台
２０    ダイヘッド
２１    吐出開口
２１ａ  基材領域
２１ｂ  延長領域
４０    多孔質部材
４１    液受け面
５０    カバー部材
５１    露出開口部
５２    吸引開口部
６０    吸引ポンプ
７０    フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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