(57)【要約】【課題】表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示シート、電気泳動表示装置及びその製造方法、並びに当該電気泳動表示装置を備えた電子機器を提供すること。【解決手段】透明電極を有する対向基板２と、対向基板２に対向し画素電極１２を有する素子基板１と、対向基板２と素子基板１との間隙を平面的に複数のセル４０に区画する隔壁４１と、複数のセル４０に充填され、電気泳動粒子３３、３４を含む分散媒３２と、対向基板２と隔壁４１との間に設けられ、比抵抗が小さく、柔軟な金属膜２３とを備えた電気泳動表示装置２００であって、金属膜２３と透明電極とが電気的に接続されていることによって、透明電極が低抵抗化し、透明電極の可撓性が向上する。その結果、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置２００が提供される。【選択図】図２
2013033125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明電極を有する第１の基板と、
前記第１の基板に対向し、画素電極を有する第２の基板と、
前記第１の基板と前記第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、
前記複数のセルに充填され、電気泳動粒子を含む分散媒と、
前記第１の基板と前記隔壁との間に設けられた金属膜と、
を備えていることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記金属膜は、平面的に前記隔壁と重なる部分に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記金属膜は、平面的に前記隔壁から前記セルの内側にはみ出して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記金属膜と前記透明電極とは、電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記第１の基板上に前記透明電極と、前記金属膜と、前記隔壁とが、この順に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記第１の基板と前記金属膜との間に、反射防止膜が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記金属膜は、前記複数のセルを含む表示領域の外側にも設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項９】
透明電極を有する第１の基板と、前記第１の基板に対向し画素電極を有する第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、前記第１の基板と前記隔壁との間に設けられた金属膜と、を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記透明電極および前記金属膜を前記第１の基板上に形成する工程と、
前記透明電極および前記金属膜をレジスト膜で被覆する工程と、
前記第１の基板側から光を照射し、前記金属膜をマスクにしたフォトリソ加工によって、前記第１の基板上に前記隔壁を形成する工程と、
を含むことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
透明電極を有する第１の基板と、前記第１の基板に対向し画素電極を有する第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、前記第１の基板と前記隔壁との間に設けられた金属膜と、を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記第２の基板上に前記隔壁を形成する工程と、
前記隔壁上に前記金属膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１１】
透明電極を有する第１の基板と、前記第１の基板に対向し画素電極を有する第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、前記第１の基板と前記隔壁との間に設けられた金属膜と、を有する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記第１の基板に対向する第２の基板側の面に樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層を加工し、前記隔壁で区画された前記セルを形成する工程と、
前記隔壁を含む前記セルを金属で覆い、前記隔壁の頂上に前記金属膜、および前記セルの底部に前記画素電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１２】
透光性の基板と、
前記基板上に形成された透明電極と、
前記透明電極上の領域を、平面的に複数のセルに区画する隔壁と、
前記複数のセルに充填され、電気泳動粒子を含む分散媒と、
前記複数のセルの開口部を覆い、前記分散媒を前記複数のセルに封じ込める封止膜と、
前記基板と前記隔壁との間に設けられた金属膜と、
を備えることを特徴とする電気泳動表示シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示シート、電気泳動表示装置及びその製造方法、並びに当該電気泳動表示装置を備えた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電荷を帯びた電気泳動粒子が電界によって溶液中を移動する電気泳動現象を応用した電気泳動表示装置は、良好な視認性と低消費電力という特長を有し、携帯型電子機器に好適な表示装置である。特に、電子ペーパーや電子書籍への応用を目的として、可撓性に優れた樹脂フィルムを用いた、屈曲可能な電気泳動表示装置が注目されている。
【０００３】
従来、例えば、特許文献１に記載されているように、透明電極が全面形成された第１の基板と、向かい合って配置された第２の基板との間隙を、隔壁により平面的に複数のセルに区画化して、当該セルに電気泳動粒子を含む分散媒を封入した電気泳動表示装置が知られていた。第１の基板と第２の基板とは、可撓性に優れた樹脂フィルムである。外部から透明電極に対して電圧が印加され、当該セルの電気泳動粒子を所望の位置に泳動、偏在させることで、屈曲した状態であっても所望の表示を得られるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−９８３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の電気泳動表示装置では、透明電極はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などで構成されている。ＩＴＯは総じて比抵抗が高く、表示に必要な導電性を確保するためには厚く形成する必要があるという課題があった。さらに、ＩＴＯは、光に対して完全に透明ではないために、これにより表示品質が低下してしまうという課題があった。また、ＩＴＯは総じて可撓性に劣り、色々な形状に屈曲させた場合にマイクロクラックが発生してしまう等の影響により、抵抗が高くなり、導電性が劣化するために、長期信頼性に乏しいという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る電気泳動表示装置は、透明電極を有する第１の基板と、第１の基板に対向し、画素電極を有する第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、複数のセルに充填され、電気泳動粒子を含む分散媒と、第１の基板と隔壁との間に設けられた金属膜と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、比抵抗が小さく、柔軟な金属膜を透明電極であるＩＴＯに付加し、金属膜を介しても透明電極に信号が供給される。よって、従来のＩＴＯ膜よりも膜厚を薄くすることができるため、透明電極の透過率が向上し、表示品質を向上させることができる。また、色々な形状に屈曲させるなどで機械的ストレスを与えても、柔軟な金属膜によって、マイクロクラック、剥れなどによる透明電極の導電性劣化が進行しにくくなる。さらに、ＩＴＯ膜を薄くすることによっても、透明電極の可撓性を向上することができる。よって、長期信頼性を高めることができる。
従って、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、金属膜が平面的に隔壁と重なる部分に設けられていることが好ましい。
【００１０】
本適用例によれば、平面的に隔壁と重なる部分は、電気泳動粒子が存在しない非表示領域であり、当該領域に金属膜を形成しても表示に悪影響がなく、金属膜の優れた特徴を透明電極に付与することが可能になるという効果を得ることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、金属膜が平面的に隔壁からセルの内側にはみ出して設けられていることが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、隔壁からセルの内側にはみ出した金属膜領域では、第１の基板側の電極が、第２の基板側の電極（画素電極）に近接し、両電極間の電界が強くなるので、当該領域が電気泳動のトリガーとなり、セル内の電気泳動が促進されるという効果を得ることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、金属膜と透明電極とが、電気的に接続されていることが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、比抵抗が小さく、柔軟な金属膜を、透明電極に電気的に接続させることで、透明電極の抵抗を下げ、透明電極の可撓性を向上させるという効果を得ることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、第１の基板の上に透明電極と、金属膜と、隔壁とが、この順に設けられていることが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、透明電極と隔壁との間に密着性が良い金属膜を介在させることで、色々な形状に屈曲させるなどで機械的ストレスを与えても、透明電極及び隔壁が剥れにくくなるという効果を得ることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、第１の基板と金属膜との間に、反射防止膜が設けられていることが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、表示面である第１の基板側から入射する外部光の金属膜による金属反射が、反射防止膜によって抑制されるので、当該反射光による表示のぎらつきを軽減することができるという効果を得ることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の電気泳動表示装置は、金属膜が複数のセルを含む表示領域の外側にも設けられていることが好ましい。
【００２０】
本適用例によれば、表示領域の外側にも比抵抗が小さく、柔軟な金属膜を設け、表示領域の外側を低抵抗化し、可撓性を向上することによって、透明電極に供給される信号の劣化を軽減することができる。さらに、表示領域の外側に設けている、当該信号を供給するための第２の基板と第１の基板との電気的接続箇所を減らすことができるという効果を得ることができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例の電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置を備えていることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、上記適用例に記載の電気泳動表示装置を備えているので、高信頼性で高品位な表示を有する、例えば、腕時計、電子ペーパー、電子ノート、電子書籍、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの各種電子機器を実現することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法は、透明電極を有する第１の基板と、第１の基板に対向し、画素電極を有する第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、第１の基板と隔壁との間に設けられた金属膜とを有する電気泳動表示装置の製造方法であって、透明電極と金属膜とを第１の基板上に形成する工程と、透明電極および金属膜をレジスト膜で被覆する工程と、第１の基板側から光を照射し、金属膜をマスクにしたフォトリソ加工によって、第１の基板上に隔壁を形成する工程とを備えていることを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、金属膜をマスクとした自己整合プロセスで隔壁を形成するので、金属膜上に高精度に位置合わせされた隔壁を、容易に形成することができる。
従って、低コストで、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置を提供することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法は、透明電極を有する第１の基板と、第１の基板に対向し画素電極を有する第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、第１の基板と隔壁との間に設けられた金属膜とを有する電気泳動表示装置の製造方法であって、第２の基板上に隔壁を形成する工程と、隔壁上に金属膜を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００２６】
本適用例によれば、第２の基板に形成されている画素電極の周囲に、比抵抗が小さく、柔軟な金属膜を形成し、第１の基板側の透明電極と電気的に接触させることによって、透明電極の抵抗を下げ、透明電極の可撓性を向上させるという効果を得ることができる。
従って、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置を提供することができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例に係る電気泳動表示装置の製造方法は、透明電極を有する第１の基板と、第１の基板に対向し画素電極を有する第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間隙を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、セルに充填され電気泳動粒子を含む分散媒と、第１の基板と隔壁との間に設けられた金属膜とを有する電気泳動表示装置の製造方法であって、第１の基板に対向する第２の基板側の面に樹脂層を形成する工程と、樹脂層を加工し、隔壁で区画されたセルを形成する工程と、隔壁を含むセルを金属で覆い、隔壁の頂上に金属膜、およびセルの底部に前記画素電極を形成する工程とを含むことを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【００２８】
本適用例によれば、第２の基板側の隔壁頂上に比抵抗が小さく、柔軟な金属膜を形成し、第１の基板側の透明電極と金属膜とを接触させることによって、透明電極の抵抗を下げ、透明電極の可撓性を向上させることができる。さらに、金属膜によって第２の基板側のセルの底部に画素電極を形成し、画素電極と電気泳動粒子を含む分散媒とを直接接触させることによって、画素電極から電圧ロス無く、電気泳動粒子を泳動させる電圧を印加することができる。
従って、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置を提供することができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例に係る電気泳動表示シートは、透光性の基板と、基板上に形成された透明電極と、透明電極上の領域を平面的に複数のセルに区画する隔壁と、複数のセルに充填され、電気泳動粒子を含む分散媒と、複数のセルの開口部を覆い、分散媒を複数のセルに封じ込める封止膜と、基板と隔壁との間に設けられた金属膜と、を備えることを特徴とする。
【００３０】
本適用例の電気泳動表示シートは、比抵抗が小さく、柔軟な金属膜によって、透明電極が低抵抗化され、透明電極の可撓性が向上しているので、当該電気泳動表示シートを使用して電気泳動表示装置を作成することによって、より表示品質と長期信頼性に優れた電気泳動表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施形態１に係る電気泳動表示装置の一態様を示す斜視図。
【図２】図１のｆ−ｆ断面における断面図。
【図３】共通電極層の平面図。
【図４】（ａ）〜（ｄ）電気泳動表示装置の製法における工程態様図。
【図５】（ｅ）〜（ｇ）電気泳動表示装置の製法における工程態様図。
【図６】（ａ）〜（ｅ）実施形態２に係る電気泳動表示装置の製法における工程態様図。
【図７】（ａ）〜（ｄ）実施形態３に係る電気泳動表示装置の製法における工程態様図。
【図８】（ｅ）〜（ｆ）実施形態３に係る電気泳動表示装置の製法を示す工程態様図。
【図９】（ａ）〜（ｅ）実施形態４に係る電気泳動表示装置の製法を示す工程態様図。
【図１０】実施形態５に係る電気泳動表示装置の表示領域における断面図。
【図１１】実施形態６に係る電気泳動表示装置の表示領域における断面図。
【図１２】実施形態７に係る電子機器としての電子書籍の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部位を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部位の尺度を実際とは異ならせしめてある。
【００３３】
（実施形態１）
「表示装置の概要」
図１は、本実施形態に係る電気泳動表示装置２００の一態様を示す斜視図である。まず、本発明の実施形態１に係る電気泳動表示装置２００の概要について説明する。
【００３４】
電気泳動表示装置２００は、表示パネル１００と、当該パネルの一端に接続されたフレキシブル基板１１０などから構成されている。
表示パネル１００は、共通電極層２１が形成された第１の基板としての対向基板２と、複数のアクティブ画素が形成された第２の基板としての素子基板１との間に電気泳動層３１を挟持した構成となっている。素子基板１と対向基板２とは、電気泳動層３１に電界を印加する一対の電極基板である。素子基板１は、複数の走査線３、複数の信号線４、及び走査線３と信号線４との交点に形成された画素１０などを備えている。画素１０は、薄膜トランジスター７０（以下、ＴＦＴと略す）、保持容量８０、画素電極１２などを含み、素子基板１上でマトリックス状に配置され、表示領域Ｖを構成する。対向基板２は、共通電極層２１などを備えている。電気泳動層３１には、帯電した電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２が充填されている。
【００３５】
フレキシブル基板１１０には、表示パネル１００を駆動制御するための走査線駆動回路、信号線駆動回路、及びコントローラーなどの回路素子がIC（Integrated Circuit）１２０として実装されている。走査線駆動回路は、ＴＦＴ７０のオン、オフを制御する走査信号を、素子基板１に供給する回路である。信号線駆動回路は、電気泳動層３１の泳動状態を制御する画像信号を、素子基板１に供給する回路である。コントローラーは、走査線駆動回路と信号線駆動回路とを制御する信号、及び共通電極層２１の電位（以下共通電位Ｖｃｏｍと称す）を供給する回路である。
【００３６】
また、図１に示すように、フレキシブル基板１１０の一端は、表示パネル１００において素子基板１の一辺が対向基板２から張り出した領域に接続されている。対向基板２と素子基板１とは周縁部（額縁部）で電気的に接続しており、共通電位Ｖｃｏｍが、フレキシブル基板１１０から素子基板１を介して対向基板２に供給されている。
なお、フレキシブル基板１１０を備えた構成に限定するものではなく、素子基板１の周縁部に走査線駆動回路、信号線駆動回路などの回路素子が形成された構成であっても良い。
【００３７】
「表示パネルの詳細な構成」
図２は、図１のｆ−ｆ線における断面図であり、表示領域Ｖの断面構造を模式的に示している。以下、本実施形態に係る表示パネル１００の詳細な構成について説明する。
【００３８】
表示パネル１００は、素子基板１、素子層１１、電気泳動層３１、封止膜５１、共通電極層２１、対向基板２などから構成されている。
素子基板１は、ガラス、樹脂、または金属などから構成され、好適例として無アルカリガラス基板を用いている。素子基板１は、透明性が要求されないために、シリコン基板を用いても良い。素子基板１には、素子層１１が形成されている。なお、説明の都合上、素子層１１が形成された状態の素子基板１のことも、素子基板１と表現する場合がある。
素子層１１は、ＴＦＴ７０（図１）、保持容量８０（図１）、画素電極１２などから構成され、画素１０をアクティブ駆動する。
【００３９】
電気泳動層３１は、隔壁４１で平面的に区画されたセル４０、電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２、封止膜５１などから構成されている。分散媒３２は、電気泳動粒子３３、３４を分散させる溶媒であり、正帯電した黒色の電気泳動粒子３３と負帯電した白色の電気泳動粒子３４とが、分散されている。隔壁４１は、分散媒３２に不溶な樹脂からなり、表示領域Ｖにおける素子基板１と対向基板２との間隙を、複数のセル４０に区画する。隔壁４１で区画されたセル４０には、電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２が充填されている。
封止膜５１は、分散媒３２に不溶な樹脂からなり、セル４０の開口部の頂上を覆うように形成され、分散媒３２をセル４０内に密封する。
【００４０】
共通電極層２１は、透明電極２２、金属膜２３などから構成されている。共通電極層２１と画素電極１２との間で、電気泳動粒子３３、３４を泳動させる電界（電位差）を発生させる。透明電極２２は、好適例としてＩＴＯが使用され、対向基板２の略全面に形成されている。金属膜２３は、透明電極２２と隔壁４１との間であって、電気泳動粒子３３、３４が存在しない非表示領域に形成され、平面的に隔壁４１と略同じ形状となっている。金属膜２３は、透明電極２２よりも比抵抗が小さく、柔軟な金属であれば良く、好適例としてＣｕを用いている。
【００４１】
対向基板２は、ガラス、樹脂などの透明な絶縁基板から構成され、電気泳動表示装置２００の表示面となる。対向基板２には、好適例として樹脂基板を用いており、前述の共通電極層２１が形成されている。なお、説明の都合上、共通電極層２１が形成された状態の対向基板２のことも、対向基板２と表現する場合がある。
【００４２】
図３は、共通電極層２１の平面図である。金属膜２３は、表示領域Ｖと表示領域Ｖの外側とに形成されている。表示領域Ｖにおいては、金属膜２３が格子形状に形成されている。表示領域Ｖの外側においては、金属膜２３が略全面に形成されている。
対向基板２の周縁部（額縁部）の一辺には、共通電位Ｖｃｏｍを供給するための素子基板１との電気的接続箇所２５が、２箇所形成されている。なお、金属膜２３が形成されていない従来条件では、対向基板２の周縁部が低抵抗化されていないために、素子基板１との電気的接続箇所２５は、対向基板２の周縁部の４隅に形成されていた。
【００４３】
「表示パネルの駆動方法」
図１に戻って、表示パネル１００の駆動方法を説明する。
表示領域Ｖの画素１０は、ＴＦＴ７０、保持容量８０、画素電極１２、電気泳動層３１、共通電極層２１などで構成されている。ＴＦＴ７０を介して保持容量８０に蓄積された電荷によって、画素電極１２と共通電極層２１との間に電界（電位差）が発生する。当該電界によって電気泳動層３１中の電気泳動粒子が所望の位置に泳動し、偏在することで、画素１０は所望の色に表示される。
【００４４】
最初に、ＩＣ１２０の走査線駆動回路から、ＴＦＴ７０をオンする走査信号が素子基板１に供給される。当該走査信号に同期して、ＩＣ１２０の信号線駆動回路から、電気泳動状態を制御する画像信号がＴＦＴ７０を介して画素電極１２と保持容量８０とに供給され、当該画像信号に基づく電荷が保持容量８０に蓄積される。ＴＦＴ７０がオフした後も、保持容量８０に蓄積された電荷は保持され、画素電極１２と共通電極層２１との間に所望の電圧が印加される。
【００４５】
例えば、保持容量８０に蓄積された電荷によって、画素電極１２に正の電圧と共通電極層２１に負の電圧とが印加されると、両電極間に生じた電位差により、正帯電した黒色の電気泳動粒子３３が共通電極層２１に向かって泳動し、負帯電の白色の電気泳動粒子３４は画素電極１２に向かって泳動する。その結果、共通電極層２１の近傍には黒色の電気泳動粒子３３が偏在し、画素電極１２の近傍には白色の電気泳動粒子３４が偏在する。対向基板２が表示面となるので、当該画素１０は黒色となる。逆極性の電圧が、共通電極層２１と画素電極１２との間に印加されると、共通電極層２１の近傍には白色の電気泳動粒子３４が偏在し、当該画素１０は白色となる。
共通電極層２１に印加される共通電位Ｖｃｏｍは一定でなく、共通電位Ｖｃｏｍを変化させる、いわゆるＶｃｏｍ振り駆動を採用している。共通電位Ｖｃｏｍを変化させることで、駆動電圧を低くすることができるので、消費電力とＴＦＴ７０への電気的ストレスとが低減する。
【００４６】
「表示装置の製造方法」
図４及び図５は、本実施形態に係る電気泳動表示装置２００の表示パネル１００の製造方法に関する、主要な工程の模式断面図である。以下、本実施形態に係る表示パネル１００の製造方法を、図４と図５とを参照しながら詳細に説明する。
【００４７】
図４（a）に示すように、対向基板２として透明な絶縁基板を準備する。対向基板２には、好適例として樹脂基板を用いている。樹脂基板は、軽量で可撓性に優れ、電子ペーパーのような可撓性が要求される表示体材料として有用である。この例としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルベンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリオ共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、プリシクロヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、ポリフェニレンオキシド、変形ポリフェニレンオキシド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル、シリコン樹脂、ポリウレタンなど、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイなどが挙げられ、これらのうち１種、または２種以上を積層した積層体を用いることができる。
なお、対向基板２は樹脂基板に限定するのもではなく、透光性を有していればガラス基板や石英基板であっても良い。
【００４８】
図４（ｂ）に示す工程では、対向基板２に共通電極層２１としての透明電極２２を形成する。透明電極２２としては、ＩＴＯが好適である。このような透明電極２２としては、例えば、金属及び金属酸化物、金属硫化物、導電性炭化物、導電性高分子（導電性ポリマー）、並びにそれらの組み合わせまたは合金などからなる材料が挙げられる。金属及び金属酸化物及び金属硫化物の例としては、リチウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、ホウ素、アルミニウム、ガリウム、インジウム、アンチモン、錫、銀、金、銅、ニッケル、パラジウム、白金、クロム、モリブデン、タングステン、マンガン、コバルト、及びこれらの酸化物、複合酸化物、並びにそれらの組み合わせまたは合金などが挙げられ、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、銀などが透明電極２２として好ましい。導電性炭化物の例としては、シングルウォールカーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）、ダブルウォールカーボンナノチューブ（ＤＷＣＮＴ）、あるいはマルチウォールカーボンナノチューブ（ＭＷＣＮＴ）、カーボンナノシート（グラフェンシート）などが挙げられる。導電性高分子の例としては、ポリ（エチレン−３，４−ジオキシチオフェン：ＰＥＤＯＴ）、ポリアニリン誘導体、ポリピロール誘導体などが挙げられる。これらの透明電極２２の製造方法としては真空蒸着法、スパッタリング法や電解メッキ法、無電解メッキ法、または必要に応じ適切なバインダーに上述した電極材料を溶解あるいは分散させたインキを塗布する方法などの公知の方法が用いられる。対向基板２が表示面となるので、透明電極２２はできるだけ薄いほうが好ましく、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の膜厚であることが好ましい。
【００４９】
図４（ｃ）に示す工程では、透明電極２２上に金属膜２３を、平面的に隔壁４１と重なる部分に形成する（平面形状は、図３参照）。金属膜２３は、透明電極２２と電気的に接続している。共通電極層２１を低抵抗化し、共通電極層２１の可撓性を向上させるために、金属膜２３は、透明電極２２よりも比抵抗が小さく、柔軟な金属材料が適している。金属膜２３としては、Ｃｕが好適である。または、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｚｎ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｉｎ、Ｎｉ、Ｎｄなどの金属、及び、Ｃｕ、Ａｌを含む各種金属を用いた合金などを用いても良い。金属膜２３の他に、ＩｎＯ2、ＳｎＯ2、ＩＴＯなどの導電性の酸化物、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレンなどの導電性高分子及びそれに塩酸、硫酸、スルホン酸等の酸、ＰＦ6、ＡｓＦ5、ＦｅＣｌ3などのルイス酸、ヨウ素等のハロゲン原子、ナトリウムカリウムなどの金属原子などのドーパントを添加したもの、カーボンブラックや金属粒子を分散した導電性の複合材料などの、導電性を有する材料などを用いても良い。更に、上述した導電材料を積層した複合膜であっても良い。複合膜にすることによって、より優れた性能を付与することが可能になる。
【００５０】
この金属膜２３のパターニング方法としては、例えば通常のフォトエッチングを用いることができる。もしくは、所定の形状に穴のあいたメタルスルーマスクを通して基板上に金属膜２３の蒸着処理を行う事により、エッチングを行う事なく、金属膜２３のパターンを形成することも可能である。または、金属微粒子およびグラファイトのような導電性粒子を含むポリマー混合物を電極層材料に用いても良い。このような溶液から電極を形成する場合は、インクジェット法のような溶液パターニングを行う事により、より簡易に低コストで電極形成を行う事が可能である。
【００５１】
なお、本実施形態では対向基板２に透明電極２２を形成した後に金属膜２３を形成しているが、対向基板２に金属膜２３を形成した後に透明電極２２を形成しても良い。金属膜２３は単層膜であっても、複数の金属で構成される多層膜であってもよく、透明電極２２を金属膜２３で挟持する構成としてもよい。
【００５２】
図４（ｄ）に示す工程では、共通電極層２１の上に、分散媒３２に不溶な樹脂からなる隔壁４１を形成する。隔壁４１により、表示領域Ｖの共通電極層２１を複数のセル４０に区画する。この隔壁４１の形成方法としては金型転写法、スクリーン印刷法、フォトリソ法、アディティブ法、マイクロエンボス加工法などを用いることができる。
隔壁４１を構成する樹脂としては特に限定されないが、ポリウレタン、ポリ尿素、ポリ尿素−ポリウレタン、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、ポリアミド、ポリエステル、ポリスルホンアミド、ポリカーボネート、ポリスルフィネート、エポキシ樹脂、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、ポリ酢酸ビニル、ゼラチンなどの樹脂、ポリメタクリル酸メチル、ノボラック樹脂、ポリスチレンなどをベースとした樹脂材料が挙げられる。また、隔壁４１を形成した領域は電気泳動粒子３３、３４が存在しない非表示領域となるので、隔壁４１の幅は強度を維持できる範囲でなるべく小さいことが好ましく、具体的には５μｍ以上、５０μｍ以下であることが好ましい。隔壁４１の高さは２０μｍ以上、２００μｍ以下であることが好ましい。
【００５３】
図５（ｅ）に示す工程では、隔壁４１で区画されたセル４０に、正帯電した黒色の電気泳動粒子３３と負帯電した白色の電気泳動粒子３４とが分散された分散媒３２を充填する。
【００５４】
分散媒３２としては、水や、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなどのアルコール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの各種エステル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、ペンタン、ヘキサン、オクタンなどの脂肪族炭化水素、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなどの脂環式炭化水素、ベンゼン、トルエンや、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘブチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デキシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼンなどの長鎖アルキル基を有するベンゼン類などの芳香族炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１、２−ジクロロエタンなどのハロゲン化水素、カルボン酸塩やその他の油脂を単独で、又は混合して用いることができる。
【００５５】
電気泳動粒子３３、３４は、その帯電極性、帯電量に従って共通電極層２１および画素電極１２間に形成される電界によって移動する性質をもった粒子である。電気泳動粒子３３、３４は有機、または無機、またはこれらの混合した材料より形成される粒子であり、各種の顔料、染料のいずれをも用いることができる。黒色の電気泳動粒子３３としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラックなどの黒色顔料からなる粒子であり、正に帯電されている。白色の電気泳動粒子３４としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛などの白色顔料からなる粒子であり、負に帯電されている。電気泳動粒子の表面電荷量の制御並びに分散性の向上のため、界面活性剤、保護コロイド剤等をさらに添加してもよい。このような界面活性剤としては、分散媒３２に可溶であれば、特に限定されないが、ノニオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、両性界面活性剤が挙げられ、二種以上併用してもよい。
なお、電気泳動粒子３３、３４を黒、白に限定するものではなく、赤、青、黄などの他の色調であっても良い。電気泳動粒子の種類も２種類に限定するものではなく、１種類でも、３種類でも良い。
【００５６】
図５（ｆ）に示す工程では、複数のセル４０の開口部の頂上を覆うように、分散媒３２に不溶な樹脂で封止膜５１を形成する。これによって、電気泳動粒子３３、３４が分散された分散媒３２をセル４０内に密封する。封止膜５１は、スリットコーターなどの塗布装置を用いて、分散媒３２に不溶な樹脂を塗布することにより、形成される。このとき、分散媒３２との表面張力を小さくするため、分散媒３２に不溶な樹脂に界面活性剤を添加してもよい。封止膜５１を形成する樹脂としては、特に限定されないが、ポリウレタン、ポリ尿素、ポリ尿素−ポリウレタン、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、メラミン−ホルムアルデヒド樹脂、ポリアミド、ポリエステル、ポリスルホンアミド、ポリカーボネート、ポリスルフィネート、エポキシ樹脂、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、ポリ酢酸ビニル、ゼラチンなどが挙げられる。
【００５７】
図５（ｇ）に示す工程では、封止膜５１までが形成された対向基板２に、別工程で準備された素子基板１を貼り合せる。素子基板１は、対向基板２の進捗にあわせて別工程で製造され、無アルカリガラスに、既知の技術によってＴＦＴ７０（図１）、保持容量８０（図１）、及び画素電極１２などが形成された素子層１１を備えている。これによって、表示パネル１００が完成する。
【００５８】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置２００によれば、以下の効果を得ることができる。
【００５９】
低抵抗の金属膜２３を、電気泳動粒子３３、３４が存在しない非表示領域の透明電極２２上に形成することで、表示に悪影響することなく、透明電極２２を薄くすることができる。透明電極２２が薄くなると、透明電極２２の透明性がよくなるので、画素１０の表示色がより明瞭となる。さらに、透明電極２２が薄くなると、透明電極２２の可撓性が向上し、屈曲などの機械的ストレスが加わっても導電性が劣化しにくくなる。従って、優れた表示品質と長期信頼性の電気泳動表示装置２００を提供することができる。
【００６０】
柔軟で、展延性の高い金属膜２３を共通電極層２１に形成することで、共通電極層２１の可撓性を向上させることができる。共通電極層２１の可撓性が向上すると、折り曲げなどの機械的ストレスが加わっても、クラック、剥離などが発生しにくくなり、共通電極層２１の導電性の劣化が抑制される。従って、優れた長期信頼性の電気泳動表示装置２００を提供することができる。
【００６１】
透明電極２２よりも金属膜２３のほうが、表面自由エネルギーが大きく、隔壁４１との濡れ性、親和性が良くなり、密着性が向上する。この為に、透明電極２２と隔壁４１との間に金属膜２３を介在させることで、対向基板２と隔壁４１との密着性が向上し、機械的ストレスに対する耐性が向上する。従って、優れた長期信頼性の電気泳動表示装置２００を提供することができる。
【００６２】
表示領域Ｖの外側にも金属膜２３を設け、表示領域Ｖの周縁部を低抵抗化することで、周縁部において共通電位Ｖｃｏｍ信号を劣化させることなく、表示領域Ｖに供給することができる。更に、共通電位Ｖｃｏｍを供給するために周縁部に設けている、素子基板１と対向基板２との電気的接続箇所２５を削減することもできる。従って、周縁部の実装工程を簡素化しながら、表示品質を高めることができる。
【００６３】
Ｖｃｏｍ振り駆動での共通電位Ｖｃｏｍ変化点において、共通電位Ｖｃｏｍの信号波形になまりが生じる。Ｖｃｏｍ信号波形のなまりは、共通電極層２１の抵抗と容量に依存し、例えば、表示領域Ｖが大型化、高精細化するほど大きくなる。Ｖｃｏｍ信号波形のなまりが大きくなると、共通電極層２１と画素電極１２との間で所望の電圧が印加されず、電気泳動粒子３３、３４が所望の位置に泳動されないという不具合が発生する。
金属膜２３によって共通電極層２１を低抵抗化することで、共通電位Ｖｃｏｍの信号波形のなまりが小さくなるので、上述した電気泳動粒子３３、３４が所望の位置に泳動されないという不具合を抑制できる。従って、電気泳動表示装置２００を大型化、高精細化する場合においても、優れた表示品質を提供することができる。
【００６４】
（実施形態２）
図６は、本実施形態に係る電気泳動表示装置の表示パネルの製造方法に関する、主要な工程毎の模式断面図である。本実施形態では、実施形態１における図４（ａ）〜図４（ｃ）までの工程は同じであり、図６ではその部分の工程を省略している。換言すれば、図６には、対向基板２に金属膜２３を形成した以降の工程を示している。
本実施形態の製法は、隔壁４１の形成方法が実施形態１と異なっている。詳しくは、金属膜２３をマスクとして用いることにより、隔壁４１を形成する。以下、本実施形態の詳細について、図６を参照しながら説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００６５】
図６（ａ）に示す工程では、対向基板２に形成した透明電極２２と金属膜２３とを、ポジ型レジスト６１で被覆し、図６（ａ）の矢印側、即ち対向基板２側からポジ型レジスト６１を感光する光を照射する。対向基板２側から照射された光によって、透明電極２２上のポジ型レジスト６１が、選択的に感光される。
【００６６】
ポジ型レジスト６１を被覆する際に、必要に応じてポジ型レジスト６１の密着性を向上させるための前処理を行っても良い。このような処理の例としては、ヘキサメチルジシラザン、シクロヘキセン、オクタデシルトリクロロシラン等の表面改質剤を用いる表面処理、アセトンやイソプロピルアルコールなどを用いる有機洗浄処理、塩酸や硫酸、酢酸などを用いる酸処理、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、アンモニアなどを用いるアルカリ処理、UVオゾン処理、フッ素化処理、酸素やアルゴンなどのプラズマ処理、ラングミュアブロジェット膜の形成処理などが挙げられ、これらのうち１種、または２種以上の処理を用いることができる。
【００６７】
ポジ型レジスト６１としては、一般的な感光性材料を用いることが可能であるが、例えば、ポリアクリレート、ポリビニル化合物、ポリウレタン、ポリエステル、エポキシ化合物、ポリアミド、ポリイミド、ノボラック系樹脂、フルオレン系樹脂などのバインダー樹脂、多官能アクリレート、多官能メタクリレートなどのラジカル重合性化合物、光重合開始剤などからなる樹脂組成物及びこれらの混合物を用いることができる。
【００６８】
図６（ｂ）に示す工程では、ポジ型レジスト６１を現像し、透明電極２２上のポジ型レジスト６１を除去し、金属膜２３上にポジ型レジスト６１を残存させる。次に、ポジ型レジスト６１を、光、熱などで硬化し、金属膜２３上に隔壁４１を形成する。隔壁４１によって、表示領域Ｖは複数のセル４０に区画される。
【００６９】
なお、上記では透明電極２２と金属膜２３とを順次形成した対向基板２を用いたが、金属膜２３と透明電極２２とを順次形成した対向基板２であっても、対向基板２側から入射する光による同様のフォトリソプロセスで隔壁４１を形成することができる。
【００７０】
対向基板２側から照射された光は、回折により金属膜２３の内側に回り込むので、照射時間が長くなると、金属膜２３の端面より内側のポジ型レジスト６１が露光される。即ち、照射時間を長くすることで、隔壁４１からセル４０の内側に金属膜２３がはみ出した領域（以下、領域Ｗと称す）を作成することができる。また、領域Ｗの面積はポジ型レジスト６１に照射される光エネルギーに依存し、光エネルギーが大きくなるほど領域Ｗが広くなる。
【００７１】
図６（ｃ）に示す工程では、隔壁４１で区画された各セル４０に、電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２を充填し、電気泳動層３１を形成する。ここで、透明電極２２上のポジ型レジスト６１は除去されているので、透明電極２２は電気泳動層３１と直接接触している。
【００７２】
図６（ｄ）〜（ｅ）に示す工程では、複数のセル４０の開口部の頂上を封止膜５１で覆い、素子基板１を貼り合せ、表示パネルが完成する。
【００７３】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法によれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【００７４】
通常のフォトリソ法で隔壁４１を形成する場合と比較して、金属膜２３をマスクとして用いるためにフォトマスクが不要となり、フォトプロセスが簡素化される。更に、金属膜２３をマスクとした自己整合プロセスなのでアライメント誤差が発生しない。従って、通常のフォトリソ法と比べて、高精度に位置合わせされた隔膜４１を、低コストで、容易に形成することができる。
【００７５】
透明電極２２と電気泳動層３１とは直接接触しているので、電気的に透明電極２２から、電圧ロス無く、電気泳動層３１を泳動させる電圧を印加することができる。従って、透明電極２２からの実効電圧不足によって、電気泳動粒子３３、３４が所望の位置に泳動されないという不具合が抑制されるので、優れた表示品質の電気泳動表示装置を提供することができる。
【００７６】
対向基板２側から照射する光の照射時間を長くすることによって、金属膜２３が平面的に隔壁４１からセル４０の内側にはみ出した領域を、容易に作成することができる。当該領域においては、金属膜２３によって、共通電極層２１が対向する画素電極１２に近接しているので、他領域よりも共通電極層２１と画素電極１２との間の電界が強くなる。よって、当該領域においては、電気泳動粒子３３、３４を泳動させる電界が強くなり、ここから電気泳動が進行する。当該領域の電気泳動がトリガーとなり、他領域の電気泳動が促進される。よって、金属膜２３を隔壁４１からセル４０内にはみ出させ、セル４０内の電界を部分的に強くすることで、セル４０内に均一に電界が形成されている場合よりもセル４０内の電気泳動がより早く進行する。
従って、より表示速度の早い電気泳動表示装置を提供することができる。
【００７７】
（実施形態３）
図７及び図８は、本実施形態に係る電気泳動表示装置の表示パネルの製造方法に関する、主要な工程の模式断面図である。
本実施形態の製法では、素子基板１側に隔壁４１と金属膜２３とを形成することが、実施形態１と異なる。以下、本実施形態の詳細について、図７と図８とを参照しながら説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００７８】
図７（a）〜（ｂ）に示す工程では、既知の技術により形成した素子層１１を有する素子基板１上に、隔壁４１を形成する。隔壁４１の形成方法としては、微細加工が容易なフォトリソ法が好適である。
【００７９】
図７（ｃ）に示す工程では、隔壁４１の頂上部に金属膜２３を形成する。隔壁４１と金属膜２３とは、平面的に略同形状である。画素電極１２の周囲は金属膜２３によって遮光されている。金属膜２３と透明電極２２とは、後工程で電気的に接続され、共通電極層２１となる。金属膜２３には、好適例としてＣｕを用いている。
【００８０】
金属膜２３の形成方法としては、導電性インクを印刷する手法が挙げられる。導電性インクの例としてはグラファイト、白金、金、銀、アルミニウム、ニッケル、銅に代表される金属の微粒子や、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ）に、ポリ（４−スチレンスルホン酸）（ＰＳＳ）をドープしたＰＥＤＯＴ／ＰＳＳに代表される導電性高分子、またはそれらの混合物を含有するインクが挙げられる。印刷方法としてはスピンコート法、キャスティング法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、インクジェットプリント法、ディスペンス法などが挙げられる。または、電子ビーム（ＥＢ）蒸着法、真空蒸着法、MOCVD法、HVPE法（ハイドライドベーパーフェーズエピタキシー法）、PLD法（パルス レーザー ディポジション法）などの既知の成膜方法を用いても良い。
【００８１】
図７（ｄ）、図８（ｅ）、図８（ｆ）に示す工程では、各セル４０に電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２を充填し、封止膜５１で覆い、別工程で準備した対向基板２を貼り合せ、表示パネル１００が完成する。
ここで、金属膜２３と透明電極２２とを電気的に接続させるために、図８（ｅ）の工程において、金属膜２３上の封止膜５１を研磨、除去する。または、封止膜５１を形成する樹脂が未硬化状態で、素子基板１と対向基板２とを加圧貼り合せすることによって、金属膜２３と透明電極２２とを電気的に接続させても良い。
【００８２】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法によれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【００８３】
金属膜２３が対向基板２に形成されている場合と比較して、金属膜２３が、画素電極１２の周囲により緻密に形成されているので、表示領域Ｖの共通電極層２１をより低抵抗化することができる。
特に、表示領域Ｖをより大型化、高精細化する場合において、表示領域Ｖの共通電極層２１をより低抵抗化することで、より画質に優れた表示を得ることができるという効果を得ることができる。
【００８４】
隔壁４１と金属膜２３とを素子基板１に形成することで、対向基板２として、外販されている透明導電性フィルムを使用することができる。従って、電気泳動表示装置における表示パネルの生産をよりフレキシブルに、より低コストにすることができるという効果を得ることができる。
【００８５】
（実施形態４）
図９は、本実施形態に係る電気泳動表示装置の表示パネルの製造方法に関する、主要な工程の模式断面図である。本実施形態では、実施形態３における図７（ａ）〜図７（ｂ）までの工程は同じであり、図９にはその部分の工程を省略している。換言すれば、図９には、素子基板１に隔壁４１を形成した以降の工程を示している。
本実施形態の製法では、画素電極の形成方法が、実施形態１および実施形態３と異なる。以下、本実施形態の詳細について、図９を参照しながら説明する。なお、実施形態１および実施形態３と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００８６】
図９（ａ）に示す工程では、既知の技術を用いて、画素電極１２上に残存している樹脂薄膜４２（隔壁材）にコンタクトホール４３を形成する。例えば、通常のフォトリソ法で樹脂薄膜４２上にエッチング用レジストマスクを形成し、当該レジストマスクを用いてドライエッチングすることで、コンタクトホール４３を形成する。
隔壁４１の形成方法としては、微細加工が容易なフォトリソ法が好適である。フォトリソ法によって隔壁４１とコンタクトホール４３とを形成することも可能である。
【００８７】
図９（ｂ）に示す工程では、表示領域Ｖの全面に金属膜２３を堆積する。隔壁４１の形状を、頂上部側で広く、底面部側で狭くなっている逆テーパー形状とすることで、隔壁４１頂上部に堆積する金属膜と、隔壁４１の底面部に堆積する金属膜とを、隔壁４１の段差部で段切れさせ、電気的に切り離すことが可能になる。よって、金属膜２３を堆積することで、隔壁４１の頂上部の金属膜２３と、第２画素電極１３とが、同時に形成される。金属膜２３と透明電極２２とは、後工程で電気的に接続され、共通電極層２１となる。第２画素電極１３は、コンタクトホール４３を介して画素電極１２に電気的に接続している。
金属膜２３を形成する手法としては、スパッタ法、電子ビーム（ＥＢ）蒸着法、真空蒸着法などがあげられ、メタルマスクなどで金属膜２３が不必要な領域に堆積しないようにする。または、金属微粒子およびグラファイトのような導電性粒子を含むポリマー混合物を電極層材料に用いて、インクジェット法のような溶液パターニングを行う方法で必要な領域に塗布し、金属膜２３と第２画素電極１３とを同時に形成しても良い。
【００８８】
第２画素電極１３が、電気泳動層３１に電界を印加する本来の画素電極となる。画素電極１２は、ＴＦＴのドレイン電極（図示せず）から第２画素電極１３に画像信号を供給するための中継電極となる。例えば、ＴＦＴのドレイン電極と第２画素電極１３とをコンタクトホール４３を介して電気的に直接接続させることで、画素電極１２を省略することも可能である。
【００８９】
図９（ｃ）〜図９（ｅ）に示す工程では、各セル４０に電気泳動粒子３３、３４を分散させた分散媒３２を充填し、封止膜５１で覆い、別工程で準備した対向基板２を貼り合せ、表示パネル１００が完成する。金属膜２３と透明電極２２とを電気的に接続させるために、図９（ｄ）の工程において、金属膜２３上の封止膜５１を研磨、除去する。
【００９０】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法によれば、実施形態１及び実施形態３での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【００９１】
第２画素電極１３上には樹脂薄膜４２がなく、第２画素電極１３と電気泳動層３１とは直接接触しているので、第２画素電極１３から、電圧ロス無く、電気泳動層３１を泳動させる電圧を印加することができる。従って、第２画素電極１３からの実効電圧不足によって、電気泳動粒子３３、３４が所望の位置に泳動されないという不具合が抑制されるので、優れた表示品質の電気泳動表示装置を提供することができる。
【００９２】
（実施形態５）
図１０は、本実施形態に係る表示パネルの側断面図であり、実施形態１における図２に対応している。本実施形態では、対向基板２と金属膜２３と間に、さらに反射防止膜２４を形成することが、実施形態１と異なる。以下、本実施形態の詳細について、図１０を参照しながら説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００９３】
対向基板２は、透明電極２２と金属膜２３とで構成される共通電極層２１、及び反射防止膜２４などを備えている。反射防止膜２４は、対向基板２と透明電極２２との間に、平面的に金属膜２３と略同じ位置に、略同じ形状で形成されている。反射防止膜２４の形成方法としては、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラックなどの黒色顔料を含有するインクを用いて、インクジェットプリント、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷などの方法で形成する。なお、本実施形態では反射防止膜２４を形成した後に透明電極２２と金属膜２３とを順次形成しているが、反射防止膜２４を形成した後に金属膜２３と透明電極２２とを順次形成してもよい。
【００９４】
また、対向基板２と金属膜２３との間に、金属酸化物、金属窒化物などからなる透明な誘電膜を反射防止膜２４として介在させ、金属膜２３の反射光と当該誘電膜の反射光との干渉により、金属膜２３の反射光を減衰させ、弱めても良い。
また、反射防止膜２４を、例えば、素子基板１の画素電極１２の周囲を隠すブラックマトリックスとして、金属膜２３よりも広く形成してもよい。
【００９５】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置によれば、実施形態１の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【００９６】
表示面である対向基板２側から入射した外部光が、反射防止膜２４によって遮光されるので、金属膜２３による外部光の金属反射を低減することができる。従って、金属膜２３の反射光による表示のぎらつきが抑制され、より優れた表示品質の電気泳動表示装置を提供することができる。
【００９７】
反射防止膜２４を、素子基板１の画素電極１２の周囲を隠すブラックマトリックスとすることで、画素電極１２の表示をより鮮明にすることができる。従って、優れた表示品質の電気泳動表示装置を提供することができる。
【００９８】
（実施形態６）
図１１は、本実施形態に係る表示パネルの側断面図であり、実施形態１における図２に対応している。本実施形態では、金属膜２３が平面的に隔壁４１からセル４０の内側にはみ出していることが、実施形態１と異なる。以下、本実施形態の詳細について、図１１を参照しながら説明する。なお、実施形態１と同一の構成部位については、同一の番号を使用し、重複する説明は省略する。
【００９９】
対向基板２は、透明電極２２と金属膜２３とで構成される共通電極層２１などを備えている。金属膜２３は、透明電極２２と隔壁４１とで挟持され、平面的に隔壁４１からセル４０の内側にはみ出している。平面的に隔壁４１の下に位置する金属膜２３は、電気泳動粒子が存在しない非表示領域となる。平面的に隔壁４１からセル４０の内側にはみ出した金属膜２３は、電気泳動粒子３３、３４が存在する表示領域の一部となり、この部分を領域Ｗと称す。領域Ｗの電気泳動粒子３３、３４は金属膜２３により隠されるので、表示には関係せず、領域Ｗは広すぎないほうが好ましい。この為に、隔壁４１からセル４０の内側にはみ出した金属膜２３のはみ出し量は、２〜１５μｍが好ましい。
【０１００】
以上述べたように、本実施形態に係る電気泳動表示装置によれば、実施形態１での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
【０１０１】
隔壁４１からセル４０の内側にはみ出した金属膜２３の領域では、金属膜２３によって共通電極層２１が対向する画素電極１２に近接し、共通電極層２１と画素電極１２との間の電界が強くなっているので、当該領域から電気泳動が進行する。当該領域の電気泳動がトリガーとなって、セル４０全体の電気泳動が促進され、より早く進行する。従って、より表示速度の早い電気泳動表示装置を提供することができる。
【０１０２】
金属膜２３以外の他の膜によっても、共通電極層２１と画素電極１２との間の電界を、セル４０内で部分的に強くすることができる。例えば、実施形態５の図１０における反射防止膜２４を金属膜２３よりも広くし、平面的に隔壁４１からセル４０の内側にはみ出させ、反射防止膜２４上方の透明電極２２を盛り上げ、画素電極１２に近接させることによっても、セル４０内の電界を部分的に強くすることができる。また、新たな絶縁膜を付加し、透明電極２２に凹凸形成することによっても、セル４０内の電界を部分的に強くすることができる。また、下地の対向基板２に凹凸を形成することによっても、セル４０内の電界を部分的に強くすることができる。要は、対向基板２の共通電極層２１、又は素子基板１の画素電極１２に、部分的な凹凸を形成することによって、セル４０内で共通電極層２１と画素電極１２との間の電界を、部分的に強くすることができる。
共通電極層２１と画素電極１２との間の電界を、セル４０内で部分的に強くすることによって、セル４０内の電気泳動が早く進行するという効果を得ることができる。
【０１０３】
（電子機器）
図１２は、上述した電気泳動表示装置２００を備えた、電子機器としての電子書籍４００の斜視図である。当該電子書籍４００は、電気泳動表示装置２００、電子書籍４００を操作するためのインターフェイスである操作部３００などを備えている。
【０１０４】
本実施形態に係る電子書籍４００によれば、以下の効果を得ることができる。
【０１０５】
本実施形態の電子書籍４００は、上述した電気泳動表示装置２００を備えているので、高信頼性で高品位な表示が可能になり、当該電子書籍４００の他に、例えば、腕時計、電子ペーパー、電子ノート、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの各種電子機器を提供することができる。
【０１０６】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。
【０１０７】
（変形例１）
本変形例を、図４と図５とを参照しながら説明する。実施形態１では、素子層１１を備えている素子基板１があるものとして説明したが、素子基板１を貼り合せる前の工程、又は素子層１１を備えていない素子基板１を貼り合わせることで工程を終了させても良い。
本変形例では、実施形態１に係る製造工程を図５（ｆ）で終了させ、対向基板２、透明電極２２、金属膜２３、隔壁４１、電気泳動層３１、封止膜５１などで構成される電気泳動表示シートを作成する。または、実施形態１の図５（ｇ）の工程において、素子層１１を備えていない素子基板１（絶縁基板）を貼り合せることで、電気泳動表示シートを作成する。更に、対向基板２と素子層１１を備えていない素子基板１とを、樹脂フィルムとすることによって、屈曲可能なフレキシブル電気泳動表示シートを作成することも可能である。
【０１０８】
このようにして作成した電気泳動表示シートでは、金属膜２３によって共通電極層２１が低抵抗化され、共通電極層２１の可撓性が向上しているので、当該電気泳動表示シートを使用した電気泳動表示装置は、より表示品質と長期信頼性に優れた表示を提供することができるという効果を得ることができる。
【０１０９】
（変形例２）
本変形例を、図６を参照しながら説明する。実施形態２では、素子層１１を備えている素子基板１があるものとして説明したが、素子基板１を貼り合せる前の工程、又は素子層１１を備えていない素子基板１を貼り合わせることで工程を終了させても良い。
本変形例は、実施形態２に係る製造工程を図６（ｄ）で終了させ、対向基板２、２２、金属膜２３、隔壁４１、電気泳動層３１、封止膜５１などで構成される電気泳動表示シートを作成する。又は、実施形態２に係る製造工程の図６（ｅ）の工程において、素子層１１を形成していない素子基板１（絶縁基板）を貼り合せることで、電気泳動表示シートを作成する。更に、対向基板２と素子層１１を備えていない素子基板１とを、樹脂フィルムとすることによって、屈曲可能なフレキシブル電気泳動表示シートを作成することも可能である。
【０１１０】
このようにして作成した電気泳動表示シートでは、金属膜２３によって共通電極層２１が低抵抗化され、共通電極層２１の可撓性が向上している。更に、セル４０においては、２２が直接電気泳動層３１と接し、金属膜２３によって部分的に電界強度が強くなっているので、より早く電気泳動が進行する。従って、当該電気泳動表示シートを使用した電気泳動表示装置は、表示品質と長期信頼性に優れ、より表示速度の早い表示を提供することができるという効果を得ることができる。
【符号の説明】
【０１１１】
１…素子基板、２…対向基板、３…走査線、４…信号線、１０…画素、１１…素子層、１２…画素電極、１３…第２画素電極、２１…共通電極層、２２…透明電極、２３…金属膜、２４…反射防止膜、２５…素子基板と対向基板との電気的接続箇所、３１…電気泳動層、３２…分散媒、３３…黒色の電気泳動粒子、３４…白色の電気泳動粒子、４０…セル、４１…隔壁、４２…画素電極上に残存する樹脂薄膜、４３…コンタクトホール、５１…封止膜、６１…ポジ型レジスト、７０…ＴＦＴ、８０…保持容量、１００…表示パネル、１１０…フレキシブル基板、１２０…ＩＣ（Integrated Circuit）、２００…電気泳動表示装置、３００…電子書籍の操作部、４００…電子書籍。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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