(57)【要約】      （修正有）【課題】床側からの振動の伝播を確実に遮断することができるストッパー機構を備えた免震支持構造の提供。【解決手段】床面３と床面上に配設される装置の基台との間に配設される防振部材と、床面３と装置の基台との間に配設され装置の床面と平行な移動を規制するストッパー機構５とからなる免震支持構造であって、ストッパー機構５は、床面３に締結される床締結部５１１と垂直壁５１２とを備えた床ブラケット５１と、装置の基台に締結される基台締結部５２１と、垂直壁５１２と所定の間隔を設けて対向して配設される垂下壁５２２とを備えた基台ブラケット５２と、床ブラケット５１の垂直壁５１２と基台ブラケット５２の垂下壁５２２とを連結する連結ボルト５３とを具備している。床ブラケット５１の垂直壁５１２は連結ボルト５３の首部５３２の挿入を許容するとともに上下方向の移動を許容する長穴５１２ａを備えている。【選択図】図３
2013044421.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面と該床面上に配設される装置の基台との間に配設される防振部材と、該床面と該装置の基台との間に配設され該装置の該床面と平行な移動を規制するストッパー機構と、からなる免震支持構造において、
該ストッパー機構は、床面に締結される床締結部と該床締結部から垂直に立ち上がる垂直壁とを備えた床ブラケットと、該装置の基台に締結される基台締結部と該基台締結部から垂下し該床ブラケットの該垂直壁と所定の間隔を設けて対向して配設される垂下壁とを備えた基台ブラケットと、該床ブラケットの該垂直壁と該基台ブラケットの該垂下壁とを連結する連結ボルトと、を具備し、
該連結ボルトは、工具が係合し回転力が付与される頭部と、該頭部と連続して形成され該頭部より小径で該床ブラケットの該垂直壁の厚みと該所定の間隔との和より長い首部と、該首部と連続して形成され該首部より小径の雄ネジ部とを備え、
該基台ブラケットの該垂下壁は、該連結ボルトの該雄ネジ部が螺合する雌ネジを備え、
該床ブラケットの該垂直壁は、該連結ボルトの該首部の挿入を許容するとともに上下方向の移動を許容する長穴を備えており、
該連結ボルトを該床ブラケットの該垂直壁に形成された該長穴に挿入し、該雄ネジ部を該基台ブラケットの該垂下壁に形成された該雌ネジに螺合せしめた、
ことを特徴とする免震支持構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物に加工を施す精密加工装置、精密検査装置、コンピュータ等を床に支持するための免震支持構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の被加工物に加工を施す精密加工装置、精密検査装置、コンピュータ等は、振動の伝播を遮断するために工場やオフィスの床に防振ゴム等の防振部材を介して支持される。このように精密加工装置、精密検査装置、コンピュータ等の装置を床に防振ゴム等の防振部材を介して支持した場合、地震等により装置に外力が作用すると防振ゴム等の防振部材が大きく変形したり破損して装置が転倒する虞がある。このような装置の転倒および移動による装置の破損を防止するとともにオペレータの安全を確保するために、装置が所定以上変位した場合に装置の移動を規制するストッパー機構が設けられている。（例えば、特許文献１参照。）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１２４１４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、上記特許文献１に記載されたストッパー機構は、床側と装置側との振動伝播が完全に遮断されていないために、他の装置による振動等の環境振動が床およびストッパー機構を介して伝播され、精密加工装置、精密検査装置、コンピュータ等の精度を低下させるという問題がある。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、床側からの振動の伝播を確実に遮断することができるストッパー機構を備えた免震支持構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、床面と該床面上に配設される装置の基台との間に配設される防振部材と、該床面と該装置の基台との間に配設され該装置の該床面と平行な移動を規制するストッパー機構と、からなる免震支持構造において、
該ストッパー機構は、床面に締結される床締結部と該床締結部から垂直に立ち上がる垂直壁とを備えた床ブラケットと、該装置の基台に締結される基台締結部と該基台締結部から垂下し該床ブラケットの該垂直壁と所定の間隔を設けて対向して配設される垂下壁とを備えた基台ブラケットと、該床ブラケットの該垂直壁と該基台ブラケットの該垂下壁とを連結する連結ボルトと、を具備し、
該連結ボルトは、工具が係合し回転力が付与される頭部と、該頭部と連続して形成され該頭部より小径で該床ブラケットの該垂直壁の厚みと該所定の間隔との和より長い首部と、該首部と連続して形成され該首部より小径の雄ネジ部とを備え、
該基台ブラケットの該垂下壁は、該連結ボルトの該雄ネジ部が螺合する雌ネジを備え、
該床ブラケットの該垂直壁は、該連結ボルトの該首部の挿入を許容するとともに上下方向の移動を許容する長穴を備えており、
該連結ボルトを該床ブラケットの該垂直壁に形成された該長穴に挿入し、該雄ネジ部を該基台ブラケットの該垂下壁に形成された該雌ネジに螺合せしめた、
ことを特徴とする免震支持構造が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明による免震支持構造は上記のように構成され、ストッパー機構を構成する連結ボルトの首部が床ブラケットの垂直壁に形成された長穴に挿通して配設されているので、床ブラケットと連結ボルトが接触していないため、連結ボルトを介しての振動の伝播が遮断され環境振動が床面から装置に伝達されることがないとともに、地震等により装置に外力が作用し防振部材が変形して装置が移動した場合には、基台ブラケットを構成する垂下壁が床ブラケットの垂直壁に当接し、または基台ブラケットを構成する垂下壁に連結された連結ボルトの頭部が床ブラケットの垂直壁に当接して装置の移動が規制される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に従って構成された免震支持構造の斜視図。
【図２】図１に示す免震支持構造を構成するストッパー機構の斜視図。
【図３】図１に示す免震支持構造を構成するストッパー機構の断面図。
【図４】図１に示す免震支持構造を構成するストッパー機構の構成部材を分解して示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に従って構成された免震支持構造の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
図１には本発明に従って構成された免震支持構造の斜視図が示されている。
図示の実施形態における免震支持構造は、精密加工装置、精密検査装置、コンピュータ等の装置２を床面３上に支持する防振ゴム等の防振部材４と、装置２の床面３と平行な移動を規制するストッパー機構５とからなっている。防振部材４は、装置２の基台２０の４隅にそれぞれ配設されている。ストッパー機構５は、図示の実施形態においては、装置２の一側部に２個配設されている。このストッパー機構５の詳細について、図２乃至図４を参照して説明する。
【００１１】
図２乃至図４に示すストッパー機構５は、床面に締結される床ブラケット５１と、装置２の基台２０に締結される基台ブラケット５２と、床ブラケット５１と基台ブラケット５２とを連結する連結ボルト５３とを具備している。床ブラケット５１は、床面３に締結される床締結部５１１と、該床締結部５１１から垂直に立ち上がる垂直壁５１２とからなるL字状部材からなっている。このように形成された床ブラケット５１の床締結部５１１には図４に示すように２個のボルト挿通穴５１１a、５１１aが形成されており、このボルト挿通穴５１１a、５１１aをそれぞれ挿通して配設された固定ボルト５４、５４によって床面３上に固定される。また、床ブラケット５１の垂直壁５１２には、後述する連結ボルト５３の首部の直径より広い幅を有し連結ボルト５３の首部の挿入を許容するとともに上下方向の移動を許容する長穴５１２aが形成されている。
【００１２】
上記基台ブラケット５２は、装置２の基台２０に締結される基台締結部５２１と、該基台締結部５２１から垂下して形成された垂下壁５２２とからなるL字状部材からなっている。このように形成された基台ブラケット５２の基台締結部５２１には図４に示すように２個のボルト挿通穴５２１a、５２１aが形成されており、図２に示すようにこのボルト挿通穴５２１a、５２１aをそれぞれ挿通して配設された固定ボルト５５、５５によって装置２の基台２０の下面に固定される。また、基台ブラケット５２の垂下壁５２２には、図４に示すように後述する連結ボルト５３の雄ネジ部が螺合する２個の雌ネジ５２２a、５２２aが形成されている。このように形成された基台ブラケット５２は、図３に示すように垂下壁５２２が上記床ブラケット５１の垂直壁５１２と所定の間隔(L)（例えば２cm）を設けて対向して配設される。
【００１３】
上記連結ボルト５３は、工具が係合し回転力が付与される頭部５３１と、該頭部５３１と連続して形成された首部５３２と、該首部５３２と連続して形成され基台ブラケット５２の垂下壁５２２に形成された雌ネジ５２２aと螺合する雄ネジ部５３３を備えている。このような連結ボルト５３を構成する首部５３２は、頭部５３１より小径で上記床ブラケット５１の垂直壁５１２に形成された長穴５１２aに挿通可能であり、図３に示すように長さが床ブラケット５１の垂直壁５１２の厚み(t)と垂下壁５２２と垂直壁５１２との間隔(L)との和より長い値に設定されている。なお、図示の実施形態における首部５３２の長さは、２L＋tに設定されている。このように構成された連結ボルト５３は、図３に示すように床ブラケット５１の垂直壁５１２に形成された長穴５１２aに挿入し、雄ネジ部５３３を基台ブラケット５２の垂下壁５２２に形成された雌ネジ５２２aに螺合せしめる。このように構成されたストッパー機構５は、連結ボルト５３の首部５３２が床ブラケット５１の垂直壁５１２に形成された長穴５１２aに挿通して配設されているので、床ブラケット５１と連結ボルト５３が接触していないため、連結ボルト５３を介しての振動の伝播が遮断されるともに、基台ブラケット５２を構成する垂下壁５２２の床面３と平行で図３において左右方向への移動が上記所定の間隔(L)の範囲で許容される。従って、環境振動が床面３から装置２に伝達されることがないとともに、地震等により装置２に外力が作用し防振ゴム等の防振部材４が変形して装置２が図３において右方に移動した場合には基台ブラケット５２を構成する垂下壁５２２が床ブラケット５１の垂直壁５１２に当接し、また装置２が図３において左方に移動した場合には基台ブラケット５２を構成する垂下壁５２２に連結された連結ボルト５３の頭部５３１が床ブラケット５１の垂直壁５１２に当接して装置２の移動が規制される。
【符号の説明】
【００１４】
２：装置
３：床面
４：防振部材
５：ストッパー機構
５１：床ブラケット
５１１：床締結部
５１２：垂直壁
５２：基台ブラケット
５２１：基台締結部
５２２：垂下壁
５３：連結ボルト
５３１：頭部
５３２：首部
５３３：雄ネジ部
【図１】
2013044421.tif 000003
【図２】
2013044421.tif 000004
【図３】
2013044421.tif 000005
【図４】
2013044421.tif 000006