(57)【要約】【課題】露光領域において、搬送されているフィルムは徐々に加熱されるので、フィルムの上流側と下流側とで温度差が生じる。これにより、フィルムにシワが形成されて、所望の角度でフィルム表面に露光用の光が照射されない。【解決手段】露光装置は、長尺状のフィルムを搬送する搬送部と、前記搬送部により搬送されている前記フィルムを、マスクを介して露光する露光部と、前記露光部により露光されている前記フィルムを空冷または液冷等によって冷却する冷却部とを備える。【選択図】図４
2013254113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状のフィルムを搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送されている前記フィルムを、マスクを介して露光する露光部と、
前記露光部により露光されている前記フィルムを冷却する冷却部と
を備える露光装置。
【請求項２】
前記冷却部は、前記フィルムと接して冷却する保持部を有する
請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記露光部により露光されている露光領域において前記フィルムと接して冷却する請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記保持部は、前記露光部により露光されている露光領域と異なる領域において前記フィルムと接して冷却する請求項２に記載の露光装置。
【請求項５】
前記保持部は、前記フィルムの搬送と合わせて回動する
請求項２から４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記冷却部は、前記フィルムを空冷するフィルム送風部を有する
請求項１から５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記フィルム送風部は、前記露光部により露光されている露光領域において前記フィルムを空冷する請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記フィルム送風部は、前記露光部により露光されている露光領域と隣接する領域において前記フィルムを空冷する請求項６または７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記冷却部は、前記マスクを冷却するマスク冷却部を有する
請求項１から８のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記マスク冷却部は、前記マスクを空冷する
請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記マスクを保持するマスク保持部を更に備え、
前記冷却部は、前記マスク保持部を冷却する保持冷却部を有する
請求項１から１０のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記保持冷却部は、前記マスク保持部を空冷する
請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記保持冷却部は、前記マスク保持部を液体により冷却する
請求項１１または１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
長尺状のフィルムを搬送する搬送段階と、
前記搬送段階により搬送されている前記フィルムを、マスクを介して露光する露光段階と、
前記露光段階により露光されている前記フィルムを冷却する冷却段階と
を備える露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置及び露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムを搬送しつつ、露光して、配向膜を配向させる技術が知られている。
［特許文献１］  米国特許出願公開第２０１１／０２１７６３８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、露光用の光が照射される露光領域において、搬送されているフィルムは徐々に加熱されるので、フィルムの上流側と下流側とで温度差が生じる。これにより、フィルムにシワが形成されて、所望の角度でフィルム表面に露光用の光が照射されないといった課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様においては、長尺状のフィルムを搬送する搬送部と、前記搬送部により搬送されている前記フィルムを、マスクを介して露光する露光部と、前記露光部により露光されている前記フィルムを冷却する冷却部とを備える露光装置を提供する。
【０００５】
本発明の第２の態様においては、長尺状のフィルムを搬送する搬送段階と、前記搬送段階により搬送されている前記フィルムを、マスクを介して露光する露光段階と、前記露光段階により露光されている前記フィルムを冷却する冷却段階とを備える露光方法を提供する。
【０００６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施形態により製造される光学フィルム１００の全体平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】光学フィルム１００が設けられた立体画像表示装置の分解斜視図である。
【図４】本実施形態による露光装置１０の全体構成図である。
【図５】露光部１８の全体斜視図である。
【図６】マスク３８の底面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったマスク３８の縦断面図である。
【図８】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図９】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１０】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１１】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１２】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１３】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１４】一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。
【図１５】フィルム冷却による配向角の影響を調べた実験結果の表である。
【図１６】フィルム９０のシワと配向角のバラツキを調べた実験結果のグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、本実施形態により製造される光学フィルム１００の全体平面図である。光学フィルム１００は、本実施形態による光学フィルムの製造方法によって製造される。光学フィルム１００は、立体画像表示装置の画像生成部の画像の出力側に設けられ、右目用画像及び左目用画像を出力する。
【００１０】
光学フィルム１００は、一辺が数ｃｍ〜数ｍの長方形状に形成されている。図１に示すように、光学フィルム１００は、樹脂基材１０２と、第１偏光変調部１０４と、第２偏光変調部１０６とを有する。
【００１１】
樹脂基材１０２は、後述する樹脂製の長尺状のフィルムが一定の長さに切断されて形成される。樹脂基材１０２は、光を透過する。樹脂基材１０２の厚みの一例は、５０μｍ〜１００μｍである。樹脂基材１０２は、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６を支持する。樹脂基材１０２は、シクロオレフィン系のフィルムによって構成することができる。シクロオレフィン系フィルムとして、熱膨張率が７０×１０−６／℃のシクロオレフィンポリマー（＝ＣＯＰ）、より好ましくは、シクロオレフィンポリマーの共重合体であるシクロオレフィンコポリマー（＝ＣＯＣ）を使用することができる。ＣＯＰフィルムとして、日本ゼオン社製のゼオノアフィルムＺＦ１４を挙げることができる。また、樹脂基材１０２は、熱膨張率が５４×１０−６／℃のトリアセチルセルロース（＝ＴＡＣ）を含む材料によって構成してもよい。ＴＡＣフィルムは、富士写真フィルム社製のフジタックＴ８０ＳＺ及びＴＤ８０ＵＬ等を挙げることができる。尚、シクロオレフィン系フィルムを使用する場合は、脆弱性の観点から高靭性タイプのフィルムを使用することが好ましい。
【００１２】
第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、平面視において、同じ形状に形成されている。第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、樹脂基材１０２の長辺方向に沿って延びる長方形状である。ここでいう樹脂基材１０２の長辺方向は、立体画像表示に組み込まれた光学フィルム１００においては、水平方向となる。従って、樹脂基材１０２の短辺方向は、立体画像表示に組み込まれた光学フィルム１００においては、鉛直方向となる。第１偏光変調部１０４と第２偏光変調部１０６は、互いに一辺を接触させた状態で、鉛直方向に沿って交互に配置されている。尚、第１偏光変調部１０４と第２偏光変調部１０６は、水平方向に沿って交互に配置してもよい。
【００１３】
第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、透過する偏光の偏光状態を変調させる。第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、例えば、１／４波長板の位相差機能を有する。尚、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、１／２波長板の位相差機能を有してもよい。第１偏光変調部１０４は、例えば、図１の第１偏光変調部１０４の右端に記載の矢印１１０と平行な方向に配向された光学軸を有する。これにより、第１偏光変調部１０４は、例えば、矢印１１０から４５°回転した偏光方向を有する直線偏光が入力すると、その偏光を隣の矢印１１２に示す右回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。第２偏光変調部１０６は、例えば、図１の第２偏光変調部１０６の右端に記載の矢印１１４と平行な方向に配向された光学軸であって、第１偏光変調部１０４の光学軸と直交する光学軸を有する。これにより、第２偏光変調部１０６は、例えば、矢印１１０から４５°回転した偏光方向を有する直線偏光が入力すると、その偏光を隣の矢印１１６に示す左回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。尚、光学軸の一例は、進相軸または遅相軸である。ここで、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６の光学軸の配向角のバラツキは、±０．５°以下、より好ましくは±０．２°以下である。配向角のバラツキについては後述する。
【００１４】
この結果、同じ偏光方向を有する直線偏光が、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６に入力しても、第２偏光変調部１０６が出力する偏光の偏光方向と、第１偏光変調部１０４が出力する偏光の偏光方向とは、異なる。例えば、第２偏光変調部１０６が出力する偏光の偏光方向は、第１偏光変調部１０４が出力する偏光の偏光方向の逆回りの円偏光である。
【００１５】
図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。図２に示すように、各第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、配向膜１２０と、液晶膜１２２とを有する。
【００１６】
配向膜１２０は、樹脂基材１０２の面上に形成されている。配向膜１２０は、公知の光配向性化合物を適用できる。光配向性化合物は、紫外線等の直線偏光が照射されると、その直線偏光の偏光方向に分子が規則的に配向される材料である。更に、光配向性化合物は、自己の上に形成された液晶膜１２２の分子を自己の配向に沿って並ばせる機能を有する。光配向性化合物の例として、光分解型、光二量化型、光異性化型等の化合物をあげることができる。配向膜１２０は、複数の第１配向領域１２４と、複数の第２配向領域１２６とを有する。複数の第１配向領域１２４と複数の第２配向領域１２６は、配列方向に沿って交互に配列されている。ここでいう配列方向は、鉛直方向と平行である。第１配向領域１２４と隣接する全ての第２配向領域１２６は、互いに接している。第１配向領域１２４は、第１偏光変調部１０４の一部を構成する。第１配向領域１２４は、第１偏光変調部１０４の光学軸に対応した方向に配向している。第２配向領域１２６は、第２偏光変調部１０６の一部を構成する。第２配向領域１２６は、第１配向領域１２４の配向方向と直交する方向であって、第２偏光変調部１０６の光学軸に対応した方向に配向している。
【００１７】
液晶膜１２２は、配向膜１２０上に形成される。液晶膜１２２は、紫外線または加熱等によって硬化可能な液晶ポリマーによって構成することができる。液晶膜１２２は、第１液晶領域１２８と、第２液晶領域１３０とを有する。第１液晶領域１２８は、第１偏光変調部１０４の一部を構成する。第１液晶領域１２８は、第１配向領域１２４上に形成される。第１液晶領域１２８の分子は、第１配向領域１２４の配向に沿って、配向される。第２液晶領域１３０は、第２偏光変調部１０６の一部を構成する。第２液晶領域１３０は、第２配向領域１２６上に形成される。第２液晶領域１３０の分子は、第２配向領域１２６の配向に沿って、配向される。
【００１８】
図３は、光学フィルム１００が設けられた立体画像表示装置の分解斜視図である。図３の矢印で示すように、ユーザが位置する方向であって、画像を出力する方向を立体画像表示装置の前方とする。図３に示すように、立体画像表示装置１５０は、光源１５２と、画像出力部１５４と、光学フィルム１００と、光学機能膜１５８とを備えている。
【００１９】
光源１５２は、面内において略均一な強度で、白色の無偏光を照射する。光源１５２は、ユーザから見て、立体画像表示装置１５０の最後方に配置される。光源１５２には、拡散板と冷陰極管（CCFL：Cold Cathode Fluorescent Lamp）とを組み合わせた光源、または、プリズムレンズと発光ダイオード（LED：Light Emitting Diode）とを組み合わせた光源、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）を含む面光源等を適用できる。
【００２０】
画像出力部１５４は、光源１５２の前方に配置されている。画像出力部１５４は、光源１５２からの光によって、画像を出力する。画像出力部１５４は、偏光板１６４と、保持基板１６６と、画像生成部１６８と、保持基板１７０と、偏光板１７４とを備える。
【００２１】
偏光板１６４は、光源１５２と、保持基板１６６との間に配置される。偏光板１６４を構成する材料の一例は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を含む樹脂である。偏光板１６４は、水平方向から４５°傾斜した透過軸と、透過軸と直交する吸収軸とを有する。これにより、光源１５２から出力されて、偏光板１６４に入射した無偏光のうち、振動方向が偏光板１６４の透過軸と平行な成分は透過するとともに、吸収軸と平行な成分は吸収されて遮断される。このため偏光板１６４から出力される光は、偏光板１６４の透過軸を偏光方向とする直線偏光となる。
【００２２】
保持基板１６６は、偏光板１６４と画像生成部１６８との間に配置されている。保持基板１６６は、透明なガラス板を適用できる。尚、保持基板１６６は、ガラス板以外に透明な樹脂とガラスクロスとを含む透明な複合材料を用いた透明複合シートを適用することができる。これにより、立体画像表示装置１５０の軽量化かつ柔軟性を達成することができる。保持基板１６６の後面は、接着剤を介して、偏光板１６４を保持する。
【００２３】
画像生成部１６８は、保持基板１６６と保持基板１７０との間に配置されて保持されている。画像生成部１６８は、画像を生成する複数の画素（＝ピクセル）を有する。複数の画素は、鉛直方向及び水平方向に一定のピッチで二次元に配列されている。画素は画像を扱うときの単位をいい、色調及び階調の色情報を出力する。各画素は、３個の副画素（＝サブピクセル）を有する。各副画素は、液晶部と、液晶部の前後面に形成された透明電極とを有する。透明電極は液晶部に電圧を印加する。電圧が印加された副画素の液晶部は直線偏光の偏光方向を９０°回転させる。各画素に含まれる３個の副画素は、それぞれ赤色のカラーフィルターと、緑色のカラーフィルターと、青色のカラーフィルターとを有する。副画素の透明電極の電圧印加を制御することにより、副画素から出力される赤色、緑色、青色の光を強めまたは弱めて、画像を形成する。
【００２４】
画像生成部１６８は、図３に「Ｒ」及び「Ｌ」で示すように、右目用の画像を生成する右目用画像生成部１７８と、左目用の画像を生成する左目用画像生成部１８０とを有する。右目用画像生成部１７８及び左目用画像生成部１８０は、水平方向に延びる矩形状に形成されている。右目用画像生成部１７８及び左目用画像生成部１８０は、鉛直方向に沿って交互に配置されている。
【００２５】
保持基板１７０は、画像生成部１６８と偏光板１７４との間に配置されている。保持基板１６６及び保持基板１７０は、画像生成部１６８を挟持する。保持基板１７０は、保持基板１６６と同じ材料によって構成されている。保持基板１７０の前面は、接着剤を介して、偏光板１７４を保持する。
【００２６】
偏光板１７４は、保持基板１７０と、光学フィルム１００との間に配置されている。偏光板１７４は、保持基板１７０における画像生成部１６８が保持される側の反対側に接着剤により貼り付けられている。偏光板１７４は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を含む樹脂によって構成されている。偏光板１７４の厚みは、薄い方が好ましい。偏光板１７４の厚みは、例えば、１００μｍ〜２００μｍである。偏光板１７４は、透過軸と、透過軸と直交する吸収軸とを有する。偏光板１７４の透過軸は、偏光板１６４の透過軸と直交する。これにより、画像生成部１６８によって偏光方向が、９０°回転された直線偏光は、偏光板１７４を透過して画像光となり画像を形成する。一方、画像生成部１６８によって偏光方向が回転されなかった直線偏光は、偏光板１７４によって遮蔽される。これにより、画像出力部１５４は、偏光板１７４の透過軸と平行な偏光方向の偏光からなる画像光を出力する。
【００２７】
光学フィルム１００は、接着剤によって画像出力部１５４の偏光板１７４の前方に貼り付けられている。光学フィルム１００の厚みは、光学フィルム１００の寸法変化を抑制するために、薄い方が好ましい。例えば、光学フィルム１００の厚みは、５０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。
【００２８】
光学フィルム１００の第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、樹脂基材１０２の後面上に配されている。第１偏光変調部１０４は、画像生成部１６８の右目用画像生成部１７８と略同形状である。第１偏光変調部１０４は、右目用画像生成部１７８の前方に配置されている。これにより、第１偏光変調部１０４には、右目用画像生成部１７８から出力されて、偏光板１７４を透過した直線偏光からなる右目用の画像光が入射する。第１偏光変調部１０４は、入射した右目用の画像光を右回りの円偏光に変調して出力する。第２偏光変調部１０６は、画像生成部１６８の左目用画像生成部１８０と略同形状である。第２偏光変調部１０６は、左目用画像生成部１８０の前方に配置されている。これにより、第２偏光変調部１０６には、左目用画像生成部１８０から出力されて、偏光板１７４を透過した直線偏光からなる左目用の画像光が入射する。第２偏光変調部１０６は、入射した左目用の画像光を左回りの円偏光に変調して出力する。従って、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、右目用画像及び左目用画像を構成する同じ偏光方向の直線偏光を、偏光方向が互いに異なる円偏光へと変換して出力する。
【００２９】
光学機能膜１５８は、光学フィルム１００の前面に配置されている。光学機能膜１５８の一例は、外部の照明等から出力された光の反射を低減または抑制する反射低減膜または反射防止膜である。これにより、光学機能膜１５８は、外部の光の混入の少ない画像をユーザに提供する。光学機能膜１５８の他の例は、眩しさを抑制する防眩膜、表面の傷を防止するハードコート膜等である。尚、光学機能膜１５８は、省略してもよい。
【００３０】
ユーザが立体画像を見る場合に使用する偏光眼鏡１９０は、右目用変調部１９２と左目用変調部１９４とを有する。右目用変調部１９２は、右回りの円偏光のみを透過する。左目用変調部１９４は、左回りの円偏光のみを透過する。これにより、ユーザの右目は、第１偏光変調部１０４から出力された右目用の画像のみを視認して、ユーザの左目は、第２偏光変調部１０６から出力された左目用の画像のみを視認する。この結果、ユーザは、立体画像を見ることができる。
【００３１】
図４は、本実施形態による露光装置１０の全体構成図である。図５は、露光部１８の全体斜視図である。図４に矢印で示す上下を露光装置１０の上下方向とする。また、上流及び下流は、搬送方向における上流及び下流とする。尚、搬送方向は、長尺状のフィルム９０の長手方向と同方向であって、配列方向及び幅方向と直交する。
【００３２】
図４及び図５に示すように、露光装置１０は、送り出しロール１２と、配向膜塗布部１４と、配向膜乾燥部１６と、露光部１８と、液晶膜塗布部２０と、液晶膜配向部２２と、液晶膜硬化部２４と、セパレートフィルム供給部２６と、巻き取りロール２８と、保持ロール４８とを備える。
【００３３】
送り出しロール１２は、フィルム９０の搬送経路の最も上流側に配置されている。送り出しロール１２の外周には、供給用のフィルム９０が巻かれている。送り出しロール１２は、回転可能に支持されている。これにより、送り出しロール１２は、フィルム９０を送り出し可能に保持できる。送り出しロール１２は、モータ等の駆動機構によって回転可能に構成してもよく、巻き取りロール２８の回転に伴って、従動可能に構成してもよい。あるいは、搬送経路の途中にフィルム９０を駆動させる機構を設けてもよい。
【００３４】
配向膜塗布部１４は、送り出しロール１２の下流側であって、露光部１８の上流側に配置されている。配向膜塗布部１４は、搬送されるフィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。配向膜塗布部１４は、フィルム９０の上面に、露光材料の一例である液状の配向膜１２０を供給して塗布する。
【００３５】
配向膜乾燥部１６は、配向膜塗布部１４の下流側に配置されている。配向膜乾燥部１６は、加熱、光照射、または送風等によって、内部を通過するフィルム９０上に塗布された配向膜１２０を乾燥させる。
【００３６】
露光部１８は、搬送れているフィルム９０を、マスク３８を介して、露光する。露光部１８は、配向膜乾燥部１６の下流側に配置されている。露光部１８は、偏光光源３４と、マスク３８を保持するマスク保持部４０と、一対の上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６とを有する。露光部１８は、偏光光源３４から出力された偏光を、マスク３８を介して、フィルム９０上に塗布された配向膜１２０に照射する。これにより、露光部１８は、配向膜１２０を配向させて、パターンを形成する。偏光光源３４から出力される偏光の一例は、２８０ｎｍから３４０ｎｍの波長の紫外線である。
【００３７】
偏光光源３４は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。偏光光源３４は、第１偏光出力部５０と、第２偏光出力部５２とを有する。第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２は、上流側張力ロール４４と下流側張力ロール４６との間に配置されている。第２偏光出力部５２は、第１偏光出力部５０の下流側に配置されている。第１偏光出力部５０は、第１偏光を下流側且つ下方へと出力する。第１偏光は、第１配向領域１２４の配向に対応した偏光方向を有する。第１偏光は、上下方向から４５°上流側に傾斜して、フィルム９０に入射する。第２偏光出力部５２は、第２偏光を上流側且つ下方へと出力する。第２偏光は、第２配向領域１２６の配向に対応した偏光方向を有する。第２偏光は、上下方向から４５°下流側に傾斜して、フィルム９０に入射する。これにより、第１偏光及び第２偏光は、フィルム９０、周辺設備等によって反射された場合であっても、フィルム９０に塗布された配向膜１２０に戻る確率が低くなる。この結果、反射された第１偏光及び第２偏光が、フィルム９０上の予定しない個所に照射されて、配向が乱れることを抑制できる。第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の照度と、第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の照度は、等しい。ここでいう、照度とは、出力される偏光の単位面積当たりのエネルギーのことをいい、単位は、ｍＷ／ｃｍ２である。出力される偏光が紫外線の場合、照度はＵＶ照度となる。第１偏光及び第２偏光の照度の一例は、７８ｍＷ／ｃｍ２である。尚、露光の方法は適宜変更してよい。例えば、偏光光源３４の第１偏光及び第２偏光を上下方向に沿って照射してもよい。ここでいう上下方向は、図４の矢印で示す上下方向である。尚、この場合、第１偏光及び第２偏光は、フィルム９０に対して斜めに入射する場合もある。また、偏光光源３４の第１偏光及び第２偏光をフィルム９０に対して垂直に照射してもよい。
【００３８】
第２偏光出力部５２が出力する第２偏光の偏光方向は、第１偏光出力部５０が出力する第１偏光の偏光方向と直交する。尚、第２偏光出力部５２が出力する第２偏光の偏光方向と、第１偏光出力部５０が出力する第１偏光の偏光方向は、任意の角度で交差させてもよい。第１偏光出力部５０と第２偏光出力部５２との間には、マスク３８まで鉛直方向に延びる遮光壁を設けることが好ましい。これにより、遮光壁が、互いの偏光を遮光する。この場合、遮光壁は、第１偏光及び第２偏光の反射を抑制するために黒色が好ましい。
【００３９】
マスク保持部４０は、マスク３８を保持する。マスク保持部４０は、フィルム９０に対して、搬送方向と直交する幅方向に相対移動可能に保持されている。これにより、マスク３８は、モータまたはアクチュエータ等によってマスク保持部４０とともに移動されて、幅方向の位置が調整される。
【００４０】
マスク３８は、マスク保持部４０によって保持されて、偏光光源３４とフィルム９０との間に配置される。一例として、マスク３８は、フィルム９０の数百μｍ上方に配置される。
【００４１】
上流側張力ロール４４は、配向膜乾燥部１６の下流側であって、保持ロール４８、偏光光源３４及びマスク３８の上流側に配置されている。上流側張力ロール４４は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。上流側張力ロール４４は、下方を搬送されるフィルム９０に合わせて回転する。上流側張力ロール４４は、搬送中のフィルム９０を下方へと押圧する。
【００４２】
下流側張力ロール４６は、液晶膜塗布部２０の上流側であって、保持ロール４８、偏光光源３４及びマスク３８の下流側に配置されている。下流側張力ロール４６は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。下流側張力ロール４６は、下方を搬送されるフィルム９０に合わせて回転する。また、下流側張力ロール４６は、搬送中のフィルム９０を下方へと押圧する。
【００４３】
上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６は、回転可能に支持されている。上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６は、駆動モータ等によって自転可能に構成してもよく、巻き取りロール２８等の駆動力によって従動可能に構成してもよい。
【００４４】
液晶膜塗布部２０は、露光部１８の下流側に配置されている。液晶膜塗布部２０は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。液晶膜塗布部２０は、フィルム９０に形成された配向膜１２０上に液晶膜１２２を供給して、塗布する。
【００４５】
液晶膜配向部２２は、液晶膜塗布部２０の下流側に配置されている。液晶膜配向部２２は、加熱、光照射、または、送風等によって、内部を通過する配向膜１２０上に形成された液晶膜１２２を、配向膜１２０の配向方向に沿って配向させつつ、乾燥させる。
【００４６】
液晶膜硬化部２４は、液晶膜配向部２２の下流側に配置されている。液晶膜硬化部２４は、紫外線を照射することにより、液晶膜１２２を硬化させる。これにより、配向膜１２０の配向に沿って配向された液晶膜１２２の分子の配向が、固定される。
【００４７】
セパレートフィルム供給部２６は、液晶膜硬化部２４と巻き取りロール２８との間に配置されている。セパレートフィルム供給部２６は、フィルム９０の液晶膜１２２上にセパレートフィルム９２を供給して、貼り合わせる。セパレートフィルム９２は、巻き取られたフィルム９０間の離脱を容易にする。尚、セパレートフィルム供給部２６は、省略してもよい。
【００４８】
巻き取りロール２８は、搬送部の一例である。巻き取りロール２８は、液晶膜硬化部２４の下流側であって、搬送経路の最も下流側に配置されている。巻き取りロール２８は、回転駆動可能に支持されている。巻き取りロール２８は、配向膜１２０及び液晶膜１２２が形成されてパターニングされたフィルム９０を巻き取る。これにより、巻き取りロール２８は、長尺状のフィルム９０を搬送方向に搬送する。
【００４９】
保持ロール４８は、冷却部の保持部の一例である。保持ロール４８は、偏光光源３４と対向する位置に配置されている。保持ロール４８は、フィルム９０の搬送経路を挟み、偏光光源３４と反対側に配置されている。保持ロール４８は、フィルム９０の搬送経路の下方に配置されている。保持ロール４８は、上流側張力ロール４４と下流側張力ロール４６との間の上方に配置されている。これにより、保持ロール４８の上面は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６によって下方へと押圧されている露光領域のフィルム９０を保持するので、フィルム９０に生じるシワが抑制される。ここでいう、フィルム９０のシワは、概ね搬送方向に延び、幅方向に波打つ形状のことである。露光領域とは、偏光光源３４からの偏光が照射され、露光部１８により露光されているフィルム９０上の領域のことである。
【００５０】
保持ロール４８は、中空の円筒形状に形成されている。保持ロール４８の内部には、冷却用の液体が流される流路５４が形成されている。液体の一例は、水である。保持ロール４８は、流路５４に供給される液体によって、マスク３８の輻射熱等により温度上昇する露光領域のフィルム９０に接しつつ冷却する。尚、保持ロール４８は、露光領域でのフィルム９０の温度上昇が２℃以下となるように、フィルム９０を冷却することが好ましい。保持ロール４８の表面は、偏光光源３４からの光の反射を抑制するために、黒色に塗布されていることが好ましい。保持ロール４８は、回動可能に支持されている。これにより、保持ロール４８は、フィルム９０の搬送とともに回動する。
【００５１】
図６は、マスク３８の底面図である。図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったマスク３８の縦断面図である。図６及び図７に示すように、マスク３８は、マスク基材５６と、マスク基材５６の下面に形成された遮光層５８とを有する。
【００５２】
マスク基材５６は、矩形の板状に形成されている。マスク基材５６は、熱膨張係数が５．６×１０−７／℃の石英ガラスからなる。マスク基材５６を、熱膨張係数が８５×１０−７／℃のソーダライムガラスによって構成してもよい。マスク基材５６の搬送方向の長さは、約２００ｍｍである。マスク基材５６の幅方向の長さは、フィルム９０の幅に合わせて適宜設定される。
【００５３】
遮光層５８は、マスク基材５６の下面に形成されている。遮光層５８は、クロム等の光を遮蔽可能な材料からなる。遮光層５８には、第１透過領域６２として機能する複数の開口と、第２透過領域６４として機能する複数の開口とが形成されている。第１透過領域６２は、搬送方向において、第２透過領域６４と異なる位置に形成されている。
【００５４】
また、第１透過領域６２は、搬送方向と直交する幅方向において、第２透過領域６４と異なる位置に形成されている。第１透過領域６２は、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の出力方向に配置されている。第２透過領域６４は、第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の出力方向に配置されている。
【００５５】
これにより、第１透過領域６２は、第１偏光を透過して、第２透過領域６４は、第２偏光を透過する。第１透過領域６２及び第２透過領域６４以外の領域に達した偏光は、遮光層５８によって遮蔽される。これにより、フィルム９０の配向膜１２０が、第１偏光及び第２偏光によって、第１透過領域６２及び第２透過領域６４を重ねたパターンに露光される。
【００５６】
第１透過領域６２及び第２透過領域６４の幅方向の長さの一例は、０．２ｍｍである。隣接する第１透過領域６２どうし、及び、隣接する第２透過領域６４どうしの幅方向の間隔の一例は、０．２ｍｍである。第１透過領域６２及び第２透過領域６４の搬送方向の長さの一例は、約３０ｍｍである。搬送方向における第１透過領域６２と第２透過領域６４との間隔の一例は、約３０ｍｍである。尚、第１透過領域６２及び第２透過領域６４の各数値は、適宜変更してよい。
【００５７】
次に、光学フィルム１００の製造方法について説明する。まず、送り出しロール１２に巻かれた長尺状のフィルム９０を準備する。ここで、フィルム９０の全長の一例は、約１０００ｍである。フィルム９０の幅の一例は、約５００ｍｍである。この後、フィルム９０の一端を巻き取りロール２８に固定する。この状態で、フィルム９０は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６の下面を通されるとともに、保持ロール４８の上面を通された状態で配置されている。また、保持ロール４８の流路５４には、冷却された液体が供給される。
【００５８】
次に、巻き取りロール２８の回転駆動が開始する。この結果、フィルム９０が送り出しロール１２から送り出されて、フィルム９０が、搬送方向に沿って搬送される搬送段階となる。フィルム９０の搬送速度の一例は、２ｍ／分〜１０ｍ／分である。
【００５９】
送り出されたフィルム９０は、配向膜塗布部１４の下方を通過する。これにより、フィルム９０の上面には、配向膜塗布部１４によって、幅方向の略全域にわたって配向膜１２０が塗布される。配向膜１２０の塗布は、フィルム９０の搬送中、連続して実行される。従って、フィルム９０の上面には、両端の一部を除いて、搬送方向における全長にわたって連続して配向膜１２０が塗布される。
【００６０】
配向膜１２０が塗布されたフィルム９０は、搬送されて、配向膜乾燥部１６の内部を通過する。これにより、フィルム９０の上面に塗布された配向膜１２０が、乾燥される。この後、フィルム９０は、上流側張力ロール４４の下面を通過する。
【００６１】
配向膜１２０が塗布された領域のフィルム９０が第１透過領域６２の下方を通過することにより第１配向段階となる。第１配向段階では、フィルム９０の搬送が継続した状態で、第１透過領域６２の下方を通過する領域の配向膜１２０が、第１偏光出力部５０から出力されてマスク３８の第１透過領域６２を透過した第１偏光によって、露光される。ここで、フィルム９０は、巻き取りロール２８によって連続して一定の速度で搬送が継続されつつ、露光される。従って、第１透過領域６２の下方を通過する配向膜１２０は、搬送方向に沿って、連続して、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光によって露光される。これにより、第１透過領域６２の下方を通過した領域の配向膜１２０は、第１透過領域６２と同じ幅であって搬送方向に延びる帯状に露光される。また、当該領域の配向膜１２０は、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光によって露光されるので、当該領域の配向膜１２０は、露光される第１偏光に対応して配向される。これにより、複数の第１配向領域１２４が、配向膜１２０に形成される。
【００６２】
この後、配向膜１２０が塗布された領域のフィルム９０は搬送されて、第２透過領域６４の下方を通過することにより第２配向段階となる。第２配向段階では、搬送段階が継続した状態で、第２偏光が、第２透過領域６４を介して、配向膜１２０に照射されて、複数の第２配向領域１２６が形成される。詳細には、第２偏光出力部５２から出力されてマスク３８の第２透過領域６４を透過した第２偏光が、第２透過領域６４の下方を通過する領域に形成されたフィルム９０の配向膜１２０に照射される。フィルム９０の搬送は継続されているので、当該領域の配向膜１２０も第２透過領域６４と同じ幅の搬送方向に延びる帯状に第２偏光が照射される。
【００６３】
ここで、第２透過領域６４は、幅方向において、第１透過領域６２と異なる位置に形成されている。これにより、第２偏光が、第１透過領域６２によって照射された領域と異なる領域の配向膜１２０に照射される。これにより、第１偏光によって配向された第１配向領域１２４と隣接する第１配向領域１２４との間に、第２偏光が照射されて、幅領域において、配向膜１２０の全ての領域が配向される。
【００６４】
ここで、第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の偏光方向は、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の偏光方向と直交する。これにより、第１偏光によって配向される領域の配向方向と、第２偏光によって配向される領域の配向方向は、互いに直交する。この結果、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６に対応する異なる配向を含む２つの領域が交互に配列されたパターンが配向膜１２０に形成される。
【００６５】
ここで、露光領域のフィルム９０は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６によって、下方へと押圧された状態で、保持ロール４８によって保持されている。これにより、フィルム９０には、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６の間で、搬送方向の張力が保持ロール４８から付与されるので、フィルム９０のシワが低減される。
【００６６】
更に、フィルム９０は、保持ロール４８の流路５４を流れる液体によって冷却される。これにより、フィルム９０が、偏光光源３４からの偏光によって加熱されたマスク３８の輻射熱等により加熱されても、露光領域の上流側と下流側においてフィルム９０の温度差が生じにくい。この結果、温度差による熱膨張差に起因するフィルム９０のシワをより低減できる。従って、シワがほとんど生じていないフィルム９０の配向膜１２０が露光され、所望の角度で偏光が照射されるので、その結果、配向角のバラツキが低減される。
【００６７】
この後、配向膜１２０が露光されたフィルム９０は、下流側張力ロール４６の下方を通過して、液晶膜塗布部２０の下方へと達する。これにより、液晶膜１２２が、配向膜１２０の上面に塗布される。液晶膜１２２は搬送中のフィルム９０の配向膜１２０の上面に連続して塗布されるので、液晶膜１２２はフィルム９０の搬送方向の全長にわたって、塗布されることになる。この後、液晶膜１２２が塗布されたフィルム９０は、搬送されて、液晶膜配向部２２を通過する。これにより、液晶膜１２２が液晶膜配向部２２により加熱されて、液晶膜１２２の分子が、下面に形成された配向膜１２０の配向に沿って配向されつつ、乾燥される。
【００６８】
次に、塗布された液晶膜１２２が配向されたフィルム９０は、液晶膜硬化部２４を通過する。これにより、紫外線が液晶膜１２２に照射されて、液晶膜１２２が配向された状態で硬化する。この結果、第１配向領域１２４、及び、第２配向領域１２６のそれぞれに対応して、液晶膜１２２の分子が配向されて、第１液晶領域１２８及び第２液晶領域１３０が形成される。図１及び図２に示すように、配向膜１２０及び液晶膜１２２によって形成される第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６が、フィルム９０の幅方向に交互に形成される。次に、液晶膜１２２の上面にセパレートフィルム９２が上面に供給されて貼りあわされる。そして、セパレートフィルム９２が上面に貼られたフィルム９０が、巻き取りロール２８によって巻き取られる。
【００６９】
この後、送り出しロール１２に巻かれたフィルム９０の供給が終了するまで、巻き取りロール２８によってフィルム９０が搬送されつつ、フィルム９０の露光が継続される。そして、送り出しロール１２に巻かれたフィルム９０が全て供給されると、光学フィルム１００の製造工程が終了する。尚、終了したフィルム９０の後端に、次の新たなフィルム９０の前端を繋いで、連続してフィルム９０を露光してもよい。最後に、フィルム９０は、規定の長さに切断されて、図１及び図２に示す光学フィルム１００となって完成する。
【００７０】
上述したように、露光装置１０では、搬送されているフィルム９０の露光領域を保持ロール４８により冷却しつつ、露光するので、露光中のフィルム９０に温度差が生じにくい。これにより、露光装置１０は、温度差に起因するフィルム９０のシワを抑制できるので、シワによる配向膜１２０及び液晶膜１２２の配向角のバラツキを抑制できる。
【００７１】
露光装置１０では、保持ロール４８が、露光領域で接して、フィルム９０に張力を付与している。これにより、保持ロール４８は、当該張力によって、フィルム９０のシワの発生をより抑制できる。
【００７２】
次に、上述した露光装置１０の一部を変更した実施形態について説明する。図８から図１４は、一部を変更した露光部１８の近傍の概略拡大図である。図１０から図１４において、保持ロール４８は、冷却機能を持たしているが、単なるローラとして機能させてもよい。
【００７３】
図８に示すように、露光装置１０は、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９を有する。上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９は、冷却部の保持部の一例である。上流側従動ロール２４８は、マスク３８よりも上流側に配置されている。下流側従動ロール２４９は、マスク３８よりも下流側に配置されている。従って、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９は、露光領域と異なる領域でフィルム９０と接して保持する。上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９は、同じ高さに配置されている。これにより、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９は、フィルム９０をマスク３８と平行に保持する。
【００７４】
上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９の内部には、流路２５０、２５１が形成されている。フィルム９０の搬送中において、流路２５０、２５１には、水等の冷却用の液体が供給される。これにより、フィルム９０は、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９を流れる液体により冷却される。
【００７５】
露光装置１０では、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９によって、露光中の露光領域のフィルム９０の直前及び直後が冷却されるので、フィルム９０のシワを抑制して、配向角のバラツキを抑制できる。更に、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９が、露光領域と異なる領域に配置されているので、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９によって、反射された偏光によって、配向膜１２０が露光されることを抑制できる。これによって、露光装置１０は、より配向角のバラツキを抑制できる。
【００７６】
尚、露光装置１０では、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９の両方に冷却機能を持たせたが、いずれか一方に冷却機能を持たせてもよい。また、上流側従動ロール２４８及び下流側従動ロール２４９の両方に冷却機能を持たせて、適宜切り替えて使用してもよい。
【００７７】
図９に示すように、露光装置１０は、保持面部３４８を有する。保持面部３４８は、冷却部の保持部の一例である。保持面部３４８は、偏光光源３４と対向する領域に配置されている。保持面部３４８は、偏光が照射される露光領域のフィルム９０と接して保持する。
【００７８】
保持面部３４８は、一対の従動ロール３５０、３５２と、無端ベルト３５４と、流路３５６とを有する。一対の従動ロール３５０、３５２は、露光領域を挟み、上流側と下流側に配置されている。無端ベルト３５４は、従動ロール３５０と従動ロール３５２とにわたってかけられている。無端ベルト３５４の上面は、マスク３８と平行になるように保持されている。これにより、無端ベルト３５４は、フィルム９０をマスク３８と平行に保持する。このように無端ベルト３５４は、フィルム９０と面接触するので、フィルム９０のシワをより抑制できるとともに、フィルム９０に転写されるパターンの歪みを低減できる。流路３５６には、冷却用の液体が供給される。流路３５６の上面は、フィルム９０の搬送経路と平行な平面状に形成されている。これにより、流路３５６は、無端ベルト３５４を介して、フィルム９０と面接触するので、フィルム９０の冷却効率を向上させることができる。
【００７９】
図１０に示すように、露光装置１０は、先端がホース状の一対のフィルム送風部４４８、４４９を有する。一方のフィルム送風部４４８は、搬送方向において、保持ロール４８の中心を挟み、他方のフィルム送風部４４９の反対側に配置されている。フィルム送風部４４８は、露光領域のうち上流側の部分のフィルム９０へと冷却された気体を送風して、当該領域のフィルム９０を空冷する。フィルム送風部４４９は、露光領域のうち下流側の部分のフィルム９０へと冷却された気体を送風して、当該領域のフィルム９０を空冷する。フィルム送風部４４８、４４９は、露光領域の全体でフィルム９０を直接冷却するので、冷却効率を向上することができる。
【００８０】
図１１に示すように、露光装置１０は、一対のフィルム送風部４４８、４４９を有する。フィルム送風部４４８、４４９は、露光領域と隣接する領域に配置されている。フィルム送風部４４８は、露光領域よりも上流側であって、上流側張力ロール４４よりも露光領域側に配置されている。フィルム送風部４４９は、露光領域よりも下流側であって、下流側張力ロール４６よりも露光領域側に配置されている。フィルム送風部４４８、４４９は、露光領域と隣接する領域のフィルム９０へと冷却された気体を送風して冷却するので、送風によるマスク３８とフィルム９０との間の大気の乱れを抑制できる。隣接する領域の一例は、露光領域の外側であって、露光領域に最も近接するロール、即ち、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６よりも露光領域側の領域である。これにより、フィルム送風部４４８、４４９は、偏光の特性を乱すことなく、フィルム９０を冷却できる。
【００８１】
図１２に示すように、露光装置１０は、一対のマスク冷却部５４８、５４９を有する。一方のマスク冷却部５４８は、搬送方向において、マスク３８を挟み、他方のマスク冷却部５４９の反対側に配置されている。マスク冷却部５４８は、マスク３８の上流部分へと送風する。マスク冷却部５４９は、マスク３８の下流部分へと送風する。これにより、マスク冷却部５４８、５４９は、マスク３８を空冷する。マスク３８が冷却されるので、露光時のマスク３８の熱によるフィルム９０の加熱を抑制できる。これにより、フィルム９０を冷却できるので、フィルム９０のシワを抑制できる。尚、マスク３８は、露光前に比べて、４℃以上、好ましくは１℃以上昇温しないように冷却することが好ましい。また、マスク３８は、想定されている使用環境での使用が好ましく、使用環境の一例は、約２３℃±１℃の温度、５５％から６５％の湿度で使用されることが好ましい。
【００８２】
図１３に示すように、露光装置１０は、保持冷却部の一例である一対の保持空冷部６４８、６４９を有する。保持空冷部６４８は、上流側のマスク保持部４０へと送風する。保持空冷部６４９は、下流側のマスク保持部４０へと送風する。これにより、マスク保持部４０が、保持空冷部６４８、６４９によって空冷される。この結果、マスク３８が冷却されるので、露光時のマスク３８の熱によるフィルム９０の加熱を抑制でき、フィルム９０を冷却して、フィルム９０のシワを抑制できる。
【００８３】
図１４に示すように、露光装置１０は、保持冷却部の一例である一対の保持液冷部７４８、７４９を有する。保持液冷部７４８、７４９は、マスク保持部４０の内部に形成された流路である。保持液冷部７４８、７４９には、水等の液体が供給される。これにより、マスク保持部４０が、保持液冷部７４８、７４９に供給された液体により冷却される。この結果、マスク３８が冷却されるので、露光時のマスク３８の熱によるフィルム９０の加熱を抑制して、フィルム９０を冷却できるので、フィルム９０のシワを抑制できる。
【００８４】
フィルム９０の冷却方法は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、巻き取りロール２８の回転速度を上げて、フィルム９０の搬送速度を上げることによって、フィルム９０を冷却してもよい。尚、フィルム９０の搬送速度の上限は、配向可能な程度に配向膜１２０に偏光を照射できることを考慮して決定される。従って、搬送速度の上限は、配向膜１２０を配向させるために必要なエネルギーの下限値、照射される偏光の照度に基づいて決定できる。例えば、配向膜１２０を配向させるために必要なエネルギーの下限値が１５mJ/cm2の場合であって、搬送方向における第１透過領域６２と第２透過領域６４の長さがそれぞれ３０ｍｍの場合であって、偏光の照度が１００mW/cm2の場合、搬送速度の上限は、１２ｍ／分である。
【００８５】
次に、上述した実施形態の効果を証明するための実験について説明する。図１５は、フィルム冷却による配向角の影響を調べた実験結果の表である。図１５に示す配向角のバラツキは、王子計測機器（株）製のＫＯＢＲＡ−ＣＣＤによって測定した配向角から算出した。尚、配向角のバラツキは、設定値を０°として、そこからのバラツキである。本実験では、上述した実施形態の露光装置１０によって製造された実施例１から実施例４と、実施例１から実施例４と比較する比較例１、比較例２の試料を作成した。搬送されるフィルムの幅は、ＣＯＰ及びＴＡＣともに３５０ｍｍとした。
【００８６】
図１５に示すように、１℃以上昇温しないようにマスク３８を冷却しつつ、露光した実施例１から実施例３の場合、幅方向のシワを抑制して、配向角のバラツキを±０．１°以下にすることができた。この効果は、フィルム９０が、ＣＯＰまたはＴＡＣに依存しないことがわかる。実施例１から実施例３を実装した立体画像表示装置では、色ムラが視認されず、良好な立体画像を得ることができた。一方、マスク３８を冷却しない比較例１、２の場合、配向角のバラツキが、±０．８°以上となり極めて大きいことがわかる。更に、実施例４の結果が示すように、搬送速度を上げて、フィルム９０を冷却することによっても、配向角のバラツキを±０．２°以下にすることができることがわかる。
【００８７】
図１６は、フィルム９０のシワと配向角のバラツキを調べた実験結果のグラフである。尚、この実験では、図１２に示すマスク冷却によってフィルム９０を冷却してフィルム９０のシワを無くした。図１６に示す横軸は、フィルム９０の幅方向の位置を示す。
【００８８】
図１６に示すように、実線で示す露光領域にシワが発生していないフィルム９０では、配向角のバラツキが、±０．２°以下に抑えられていることがわかる。一方、点線で示す露光領域にシワが発生しているフィルム９０では、配向角のバラツキが、±０．９°以上となっている。これにより、冷却によってシワを抑制することにより、配向角のバラツキが、極めて小さくできることがわかる。
【００８９】
上述した実施形態の構成の形状、配置、幅及び長さ等の数値、個数、材料などは適宜変更してよい。また、各実施形態を組み合わせてもよい。
【００９０】
例えば、上述した実施形態では、連続搬送しつつ露光する例を示したが、フィルム９０の途中で搬送を一時停止してもよい。この場合、フィルム９０は、搬送と停止とが交互に繰り返される間欠搬送となる。
【００９１】
上述の実施形態では、マスク３８の遮光層５８をマスク基材５６の下面に形成する例を示したが、遮光層５８をマスク基材５６の上面に形成してもよい。
【００９２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００９３】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００９４】
１０  露光装置、        １２  送り出しロール、        １４  配向膜塗布部、        １６  配向膜乾燥部、        １８  露光部、        ２０  液晶膜塗布部、        ２２  液晶膜配向部、        ２４  液晶膜硬化部、        ２６  セパレートフィルム供給部、        ２８  巻き取りロール、        ３４  偏光光源、        ３８  マスク、        ４０  マスク保持部、        ４４  上流側張力ロール、        ４６  下流側張力ロール、        ４８  保持ロール、        ５０  第１偏光出力部、        ５２  第２偏光出力部、        ５４  流路、        ５６  マスク基材、        ５８  遮光層、        ６２  第１透過領域、        ６４  第２透過領域、        ９０  フィルム、        ９２  セパレートフィルム、        １００  光学フィルム、        １０２  樹脂基材、        １０４  第１偏光変調部、        １０６  第２偏光変調部、        １１０  矢印、        １１２  矢印、        １１４  矢印、        １１６  矢印、        １２０  配向膜、        １２２  液晶膜、        １２４  第１配向領域、        １２６  第２配向領域、        １２８  第１液晶領域、        １３０  第２液晶領域、        １５０  立体画像表示装置、        １５２  光源、        １５４  画像出力部、        １５８  光学機能膜、        １６４  偏光板、        １６６  保持基板、        １６８  画像生成部、        １７０  保持基板、        １７４  偏光板、        １７８  右目用画像生成部、        １８０  左目用画像生成部、        １９０  偏光眼鏡、        １９２  右目用変調部、        １９４  左目用変調部、        ２４８  上流側従動ロール、        ２４９  下流側従動ロール、        ２５０  流路、        ２５１  流路、        ３４８  保持面部、        ３５０  従動ロール、        ３５２  従動ロール、        ３５４  無端ベルト、        ３５６  流路、        ４４８  フィルム送風部、        ４４９  フィルム送風部、        ５４８  マスク冷却部、        ５４９  マスク冷却部、        ６４８  保持空冷部、        ６４９  保持空冷部、        ７４８  保持液冷部、        ７４９  保持液冷部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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