(57)【要約】【課題】  被検物の移動および調節に伴う振動を低減することができ、かつ振動低減の際に装置の質量分布の変化を低減することができる画像取得装置を提供することを目的とする。【解決手段】  被検物の位置および姿勢の少なくとも一方を調節可能な調節機構１０２と、被検物の撮像における撮像条件を取得する予備計測部と、撮像条件に基づいて被検物を撮像する撮像部と、撮像部と予備計測部との間で被検物を移動させる回転テーブル１０１と、を有する画像取得装置であって、回転テーブル１０１の回転中心回りに、回転テーブル１０１とは逆方向に回転可能な回転カウンタ１０３と、調節機構１０２の駆動に応じて回転可能な調節カウンタ１０４と、を備え、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４は、夫々の回転中心に対して回転対称形状であることを特徴とする。【選択図】  図１
2013044935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物の位置および姿勢の少なくとも一方を調節可能な調節機構と、
前記被検物の撮像における撮像条件を取得する予備計測部と、
前記撮像条件に基づいて前記被検物を撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記予備計測部との間で前記被検物を移動させる回転テーブルと、
を有する画像取得装置であって、
前記回転テーブルの回転中心回りに、前記回転テーブルとは逆方向に回転可能な回転カウンタと、
前記調節機構の駆動に応じて回転可能な調節カウンタと、を備え、
前記回転カウンタおよび前記調節カウンタは、夫々の回転中心に対して回転対称形状であることを特徴とする画像取得装置。
【請求項２】
前記回転テーブルを駆動する第１の駆動系と、
前記調節機構の駆動力のうち前記調節カウンタの周方向に対応する方向の成分の和と反対の駆動力で前記調節カウンタを駆動する第２の駆動系と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の画像取得装置。
【請求項３】
前記回転テーブルおよび前記回転カウンタの回転中心において回転軸を備えており、
前記回転テーブルは、該回転軸を介して伝達される前記第１の駆動系からの駆動力で回転し、
前記回転カウンタは、該回転軸を介して伝達される前記回転テーブルの駆動力と反対の駆動力で回転することを特徴とする請求項２に記載の画像取得装置。
【請求項４】
前記回転テーブルおよび前記回転カウンタと前記回転軸との接続の有無を切り替え可能であることを特徴とする請求項３に記載の画像取得装置。
【請求項５】
前記回転テーブルの駆動力と反対の駆動力で前記回転カウンタを駆動する第３の駆動系を備えることを特徴とする請求項２に記載の画像取得装置。
【請求項６】
前記調節機構は１軸方向に駆動可能であり、前記調節機構の駆動方向は前記調節カウンタの周方向であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像取得装置。
【請求項７】
前記調節機構は２軸以上の方向に駆動可能であり、
前記調節機構の複数の駆動方向は、前記調節カウンタの周方向および径方向の少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像取得装置。
【請求項８】
前記調節カウンタは、前記回転テーブルの回転中心回りに回転可能に配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の画像取得装置。
【請求項９】
前記調節機構を２つ有しており、
該２つの調節機構は、前記回転テーブルの回転中心に対して対称的に配置されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像取得装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被験物を移動させる回転テーブルを有する画像取得装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
病理診断において、画像取得装置を用いて検体（細胞や組織）を含む被検物（プレパラート）を撮像し、取得した画像データによって検体の観察が行なわれることがある。特許文献１で提案されている画像取得システムによれば、受光素子と被検物の相対位置を変化させて複数枚の画像を取得し、その画像を合成することで、画角よりも大きな検体を観察することができる。また、特許文献２における画像取得装置では、高解像度の画像データを取得する前に、低解像度で画像取得を行うことで、予め観察に必要な撮像条件を計測している。この際、夫々の撮像を行うための各位置間で被検物を移動させている。
【０００３】
ここで、被検物が移動する際に生じる機械振動や、床振動が原因となって被検物が振動してしまい、画像の取得時に像がぼやけて画質が劣化してしまうことや、正常な撮像条件が得られないという問題がある。また、画像取得の際に被検物の位置や姿勢を調節するための調節機構を備えた場合にも、その調節機構の動作によって生じる被検物の振動を低減する必要がある。
【０００４】
このような振動を低減するものとして、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減する質量体（カウンタマス）駆動機構が設けられた位置決め装置が挙げられる（特許文献３）。この装置では、振動を低減させたい物体（ステージ）の周囲にカウンタマスを設けて、そのカウンタマスを移動させることで反力を生じさせ、振動の原因となる力を反力で相殺している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３０１６号公報
【特許文献２】特開２００７−３１０２３１号公報
【特許文献３】特開２０００−２０６２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献３の構成では、カウンタマスを動かすことで装置に対するカウンタマスの場所が変わるため、装置の質量分布が変化してしまう。質量分布が変化すると、装置内部で構造物の形状が局所的に変形してしまい、装置全体として性能の劣化をもたらすことになる。
【０００７】
そこで、本発明は、被検物の移動および調節に伴う振動を低減することができ、かつ振動低減の際に装置の質量分布の変化を低減することができる画像取得装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための、本発明の一側面としての画像取得装置は、被検物の位置および姿勢の少なくとも一方を調節可能な調節機構と、前記被検物の撮像における撮像条件を取得する予備計測部と、前記撮像条件に基づいて前記被検物を撮像する撮像部と、前記撮像部と前記予備計測部との間で前記被検物を移動させる回転テーブルと、を有しており、前記回転テーブルの回転中心回りに、前記回転テーブルとは逆方向に回転可能な回転カウンタと、前記調節機構の駆動に応じて回転可能な調節カウンタと、を備え、前記回転カウンタおよび前記調節カウンタは、夫々の回転中心に対して回転対称形状であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る画像取得装置によれば、被検物の移動および調節に伴う振動を低減することができ、かつ振動低減の際に装置の質量分布の変化を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る画像取得装置を示した全体図および断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る回転機構を示した拡大図である。
【図３】本発明の実施形態に係る位置調節機構を示した図である。
【図４】本発明の実施形態に係るθｘ・θｙ駆動調節機構を示した図である。
【図５】本発明の実施形態に係るθｚ駆動調節機構を示した図である。
【図６】本発明の実施形態に係る微動反力駆動力算出シーケンスを示した図である。
【図７】本発明の実施形態に係る制御系の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施形態について、図面に基づいて詳細に説明するが、本発明は以下に限られるものではない。
【００１２】
図１は、本実施形態における画像取得装置１００の全体を示したものであり、図１（ａ）は横（ｘ方向）から見た全体図、図１（ｂ）は図１（ａ）の断面Ａを上（ｚ方向）から見た断面図を示している。画像取得装置１００は、撮像部２００と予備計測部３００との間で被検物１０５を移動する回転テーブル１０１と、被検物１０５の位置や姿勢を調節する調節機構１０２とを有している。さらに、回転テーブル１０１および調節機構１０２の駆動によって生じる振動を低減するための、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４を備えている。
【００１３】
この画像取得装置１００における画像取得の具体的な手順を説明する。まず、予備計測部３００における調節機構１０２の上に被検物１０５を設置し、そのフォーカス位置や撮像範囲などの撮像条件を、予備計測機器１０７によって取得する。次に、回転テーブル１０１を回転させて、予備計測部３００にある調節機構１０２と撮像部２００にある調節機構１１５とを入れ替える。そして、撮像光学系１０８によって被検物１０５を拡大投影し、予備計測で取得した撮像情報に基づいて撮像素子１０９で撮像することで、デジタルデータとして被検物１０５の画像を取得できる。なお、本実施形態においては、調節機構１０２と調節機構１１５とが回転テーブル１０１の回転中心に対して対称的に配置されているが、本発明はこれに限ったものではない。
【００１４】
図１（ａ）において、予備計測部３００にある調節機構１０２および撮像部２００にある調節機構１１５は、同一仕様の構成であり、調節機構１１５の上には被検物１０５とは別の被検物を設置することができる。このような回転テーブル１０１を備えることで、予備計測部３００と撮像部２００との間で各調節機構を同時に移動し、かつ予備計測と撮像を同時に行うことができるので、簡単な構成で画像取得のトータルスループットを向上させることができる。ここで、この回転テーブル１０１の回転中心は、回転軸１０６の中心と一致しているとする。回転軸１０６としては、剛性の高い部材を用いることが望ましい。撮像した被検物１０５は、アーム機構台１１１の上に設置された搬入出アーム１１０によって、他の被検物と交換することができる。なお、図１では予備計測機器１０７近傍に搬入出アーム１１０が設置されているが、別の場所に設置してもよい。また、画像取得装置１００は、外部からの風や温度の影響を低減するために、本体フレーム１１２の中に収納されていることが好ましい。もし床１１３からの振動が大きい場合には、床１１３と本体フレーム１１２との間にあるマウント１１６において、除振機能を持ったアクティブ除振装置やパッシブ除振装置を設置してもよい。
【００１５】
図１のような構成において、よりスループットを向上させるためには、回転テーブル１０１を高速に回転させる必要があるが、その回転速度の増加にともなって、回転テーブル１０１の駆動反力も増加してしまう。そのため、回転軸１０６や本体フレーム１１２に大きなトルクが掛かり、装置全体の振動や、構造物の変形などの問題が生じてしまう。そこで、本実施形態における画像取得装置１００では、回転テーブル１０１の駆動反力を相殺するように、回転カウンタ１０３を駆動させる。また、被検物の画像を取得する際に、調節機構１０２および１１５を駆動させることにより、撮像光学系１０８に対する被検物の位置や姿勢を調節する場合、この調節機構の駆動によっても振動が生じてしまう。そこで、本実施形態における画像取得装置１００では、調節機構１０２および１１５の駆動反力を相殺するように、調節カウンタ１０４を駆動させる。なお、回転テーブル１０１と同様に、回転カウンタ１０３の回転中心を回転軸１０６の中心と一致するように設計する。そしてさらに、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４は、回転中心に対して回転対称形状となるように（例えば断面が軸対称形状となるように）設計する。このような構成とすることで、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４の回転による、装置の質量分布の変化を低減し、装置の変形を抑制することができる。なお、本実施形態においては、調節カウンタ１０４の回転中心が回転軸１０６と一致するように設計されているが、本発明はこれに限らず、調節機構の駆動反力を相殺することができれば、調節カウンタ１０４の回転中心の場所を問わない。
【００１６】
次に、図２の回転機構の拡大図を用いて、回転テーブル１０１、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４の回転機構について説明する。なお、図２は図１における領域Ｂを拡大したものを示している。本実施形態の画像取得装置１００における回転機構は、第１の駆動系および第２の駆動系を備えている。第１の駆動系は、回転テーブル１０１および回転カウンタ１０３を回転させる粗動用回転モータ２０４であり、第２の駆動系は、調節カウンタ１０４を回転させる微動用回転モータ２０７である。この粗動用回転モータ２０４および微動用回転モータ２０７は、磁場（磁界）と電流の相互作用を利用した電気モータでも、振動を利用した超音波モータでもよい。また、図２においては、回転軸１０６として、回転テーブル１０１および回転カウンタ１０３に接続する粗動用回転軸２０６と、調節カウンタ１０４に接続する微動用回転軸２０８と、を有している。
【００１７】
まず、回転テーブル１０１を回転させる際は、粗動用回転モータ２０４を駆動することで、粗動用かさ歯車２０５を介して粗動用回転軸２０６を回転させる。そして、回転テーブル１０１および粗動用回転軸２０６に接する回転テーブル用ギアボックス２０１を介して、回転テーブル１０１を回転させる。ここで、粗動用回転モータ２０４の動力を粗動用回転軸２０６に伝える機械要素として、粗動用かさ歯車２０５以外にベルトやプーリなどを用いてもよい。同様に、粗動用回転軸２０６の回転により、回転カウンタ用ギアボックス２０２を介して回転カウンタ１０３を回転させる。また、微動用回転モータ２０７を駆動して微動用回転軸２０８を回転させることで、それに接する調節カウンタ用ギアボックス２０３を介して、調節カウンタ１０４を回転させることができる。
【００１８】
なお、回転テーブル用ギアボックス２０１、回転カウンタ用ギアボックス２０２、および調節カウンタ用ギアボックス２０３は、内部に１つ以上の歯車を持ち、所望の回転比で、各回転軸と同じ方向にも逆方向にも回転することができる構成であることが好ましい。また、上記の各部材を設置する際に軸受け等（不図示）を用いることで、他の部材に対して摩擦などによる反力を与えにくい構成とすることが好ましい。また、図２においては、第１の駆動系として１つの粗動用回転モータ２０４を用いて、回転テーブル１０１および回転カウンタ１０３を回転させているが、例えば第３の駆動系としてもう１つの粗動用回転モータを備えることで、夫々を個別に駆動してもよい。
【００１９】
以上、本発明に係る画像取得装置は、上述したような回転機構を構成することで、回転テーブル１０１と調節機構１０２および１１５との駆動反力を、夫々回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４によって容易に相殺し、被検物の振動を低減することができる。さらに、回転カウンタ１０３と回転テーブル１０１との回転中心を一致させ、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４を、夫々の回転中心に対して回転対称形状とすることによって、振動低減に伴う装置の質量分布の変化を低減することができる。
【００２０】
次に、調節機構の例について、図３〜図５を用いて説明する。
【００２１】
図３は位置調節機構を示している。ここでは、調節機構ベース３０１の上にｘ調節機構３０２、ｙ調節機構３０３、およびｚ調節機構３０４を備えており、ｚ調節機構３０４の上に、被検物１０５が保持具（不図示）によって接続されているとする。例えば、ｘ駆動（（ａ）から（ｂ））、ｙ駆動（（ｂ）から（ｃ））、ｚ駆動（（ｃ）から（ｄ））を行うことで、最終的に図３（ｄ）となるようにステージを駆動することができる。すなわち、このような機構を調節機構１０２および１１５に具備することで、被検物１０５を所望の位置に調節することができる。
【００２２】
また、図４はθｘ・θｙ駆動調節機構の例を示している。図４（ａ）と図４（ｂ）はゴニオステージを示す図であり、回転ベース４０１に対して被回転体４０２を動かすことにより、被検物１０５をθｘおよびθｙ方向に回転（（ａ）から（ｂ））させることができる。また、図４（ｃ）と図４（ｄ）はパラレルリンクステージを示す図である。ベースプレート４０３に接続された３本以上のパラレルリンク機構軸４０４（その内２本のみ図示）の夫々の長さを調節することで、パラレルリンクステージ４０５の姿勢を変化（例えば（ｃ）から（ｄ））させることができる。以上のような機構を調節機構１０２および１１５に具備することで、被検物１０５を所望の姿勢に調節することができる。
【００２３】
ここで、被検物１０５をθｚ方向に回転したい場合は、図５に示すようなθｚ駆動調節機構を用いることができる。すなわち、θｚ回転ベース５０１の上のθｚ被回転体５０２を回転させ、被検物１０５を回転（（ａ）から（ｂ））させることにより、のθｚ方向の調節を行うことができる。なお、調節機構１０２および１１５は、図３〜図５で示したような機構の夫々を組み合わせて、各方向の位置や姿勢を調節できる機構としてもよい。
【００２４】
次に、回転モータの駆動力について説明する。本実施形態では、回転テーブル１０１の回転による反力を打ち消すために、回転カウンタ１０３を回転させて反力を生じさせている。ここで、粗動用回転モータ２０４の駆動によっては、回転テーブル１０１の回転中心回りの反力しか生じないため、回転カウンタ１０３においてもその反力と同じ大きさの反力が生じるように、回転カウンタ用ギアボックス２０２のギア比を調節すればよいことになる。図６は、微動反力駆動力算出シーケンスを示す図である。微動用回転モータの駆動に際しては、まず調節機構の駆動に対する調節機構駆動力６０１の入力値を取得する。そして、調節機構駆動力６０１の径・周方向分解６０２を行い、調節機構が生じさせる駆動力の分解を行う。まず、径方向においては、径方向駆動力積算６０３を行って積算値を取得する。ここで、本実施形態においては、調節機構による径方向の反力に関しては、剛性の高い回転軸で受けさせることで、装置に対する影響を抑えるようにしている。よって、取得した径方向駆動力の複数の積算値から誤差を算出して、回転軸１０６のメンテナンス等に用いることができる。一方、周方向においては、調節機構の反力のうち周方向の成分を打ち消すように、調節カウンタ駆動力算出６０４を行い、その駆動力を微動用回転モータ駆動量６０５として制御系に返している。この微動用回転モータ駆動量６０５に基づいて調節カウンタ１０４を駆動することで、調節機構の周方向の反力を相殺することができる。
【００２５】
次に、調節機構１０２および１１５の駆動方向および配置について説明する。図１（ｂ）に示したように、回転テーブル１０１の上には調節機構１０２および１１５が配置されており、回転軸１０６の中心を回転中心として回転テーブル１０１を回転させることで、夫々の調節機構の位置を入れ替えることができる。ここで、調節機構１０２によって被検物１０５の位置・姿勢を調節する必要がある場合を考える。まず、調節機構１０２を１軸方向にのみ駆動する場合は、調節カウンタ１０４を用いて駆動の反力を相殺できるように、調節機構１０２の駆動軸の方向を、調節カウンタ１０４の周方向（図１（ｂ）のｘ方向）に設置することが望ましい。また、調節機構１０２を２軸以上の方向に駆動する場合は、その駆動の反力が一番大きいと思われる軸を周方向（図１（ｂ）のｘ方向）に設置し、その次に駆動の反力が大きいと思われる軸を径方向（図のｙ方向）に設置することが望ましい。調節機構１０２をこのように配置することで、調節カウンタ１０４の周方向において駆動の反力をできるだけ相殺し、径方向においては剛性の高い部材からなる回転軸１０６で駆動の反力を受けることができる。調節機構１１５に対しても同様の方法で配置を行うことで、調節カウンタ１０４によって、調節機構１０２および１１５の駆動の反力による装置の振動を低減することができる。
【００２６】
図２の回転機構拡大図に戻り、回転テーブル１０１および回転カウンタ１０３の接続機構について説明する。画像取得装置１００において、被検物（不図示）を撮像する際は、回転テーブル１０１を動かないようにする必要がある。そこで、回転テーブル用ギアボックス２０１を介して回転テーブル１０１を支持するだけでなく、例えばキネマチックジョイントなどの位置決め機構（不図示）を用いることにより、回転テーブル１０１の剛性を上げることが好ましい。しかし、回転テーブル１０１を停止させている際にも、他の部材（調節カウンタ１０４など）により、回転テーブル１０１に振動が伝わってしまう場合がある。
【００２７】
そこで、回転テーブル用ギアボックス２０１および回転カウンタ用ギアボックス２０２の内部で、夫々が粗動用回転軸２０６との接続を切ることができる機構を備えてもよい。この機構によれば、被検物の撮像時に、回転テーブル１０１に接続されている部材を減らし、他の部材から伝わる振動を低減することができる。なお、この機構において再び回転テーブル１０１を回転させる際には、回転テーブル用ギアボックス２０１および回転カウンタ用ギアボックス２０２と、粗動用回転軸２０６とを再び接続できるようにする。また、第３の駆動系としてもう１つの粗動用回転モータを備えて、回転テーブル１０１および回転カウンタ１０３の夫々を個別に駆動可能な構成とすることでも、撮像時の回転テーブル１０１に対する振動伝達を抑制することができる。なお、上記のような構成において、回転テーブル用ギアボックス２０１および回転カウンタ用ギアボックス２０２の内部で、夫々のギア同士の接続の有無を切り替えることができるようにしてもよい。
【００２８】
最後に、図７に示す制御系構成図について説明する。図７（ａ）は回転テーブルおよび回転カウンタの駆動系（粗動用回転モータ）が一つの場合の制御系構成図、図７（ｂ）は回転テーブルと回転カウンタとにおいて夫々別に駆動系を備える場合の制御系構成図である。また、図７（ｃ）は調節機構と調節カウンタの制御系構成図を示している。
【００２９】
図７（ａ）について説明する。まず、回転テーブル駆動指令８２１の入力により、回転テーブル駆動力生成器８０１において駆動系（回転モータなど）の駆動力が生成され、回転テーブル駆動機構８０２（ギヤなど）に力が伝えられる。そして、その駆動力により回転テーブル駆動器８０３を介して回転テーブルが回転させられるが、その際に回転テーブル反力８３１が発生する。この回転テーブル反力８３１をキャンセルするために、回転テーブル駆動力生成器８０１で生成した駆動力を、回転カウンタ駆動機構８０５（ギヤなど）に出力する。そして、回転カウンタ駆動器８０６を介して回転カウンタが回転させられ、回転カウンタ反力８３２が発生する。すなわち、この回転カウンタの駆動力は、回転テーブル駆動力生成器８０１で生成した駆動力とは反対の駆動力となる。そして、回転テーブル反力８３１と、それとは反対の力である回転カウンタ反力８３２が足されることで、回転系残差（駆動系一体時）８２２が算出される。この残差が小さくなるほど、装置の振動が低減されて装置全体の性能が向上するため、回転系残差（駆動系一体時）８２２が小さくなるように回転カウンタ駆動機構８０５および回転カウンタ駆動器８０６を調節する。具体的には、回転カウンタ駆動機構８０５においてはそのギア比などを、回転カウンタ駆動器８０６においては入力する制御値を、夫々変えることで調節できる。なお、本実施形態においては、装置自身の振動などの外乱因子がほぼ推定できるため、制御系はフィードフォワード制御を行うものとしているが、床振動などの推定できない外乱が大きい場合は、フィードバック制御を行うようにしてもよい。
【００３０】
ここで、回転テーブルと回転カウンタの駆動を同じ駆動系により行う際には、回転カウンタ駆動機構８０５や回転カウンタ駆動器８０６の調節だけでは回転系残差（駆動系一体時）８２２を十分に小さくできない場合がある。そこで、図７（ｂ）に示すように、回転テーブルと回転カウンタの駆動を夫々別の駆動系で行う場合について説明する。図７（ｂ）は図７（ａ）に対して回転カウンタ駆動力生成器８０４が加わっている。このように、回転テーブル駆動力生成器８０１とは別に駆動系を設けることで、夫々において個別に駆動力を生成できる。そのため、回転カウンタ駆動機構８０５および回転カウンタ駆動器８０６を自由に調節することができるため、回転系残差（駆動系一体時）８２２よりも回転系残差（駆動系別体時）８２３を小さくすることができる。
【００３１】
次に、図７（ｃ）について説明する。まず、調節機構駆動指令８２４の入力により、調節機構駆動力生成器８０７において駆動力を発生させる。この駆動力を、調節機構駆動機構８０８を介して調節機構駆動器８０９に伝達し、調節機構を回転させることで、調節機構反力８３３（周方向）が発生する。そして、調節カウンタ駆動力生成器８１０において、その調節機構反力８３３をキャンセルするための駆動力を算出し、調節カウンタ駆動機構８１１を介して調節カウンタ駆動器８１２にこの駆動力を伝達する。すなわち、この調節カウンタの駆動力は、調節機構駆動力生成器８０７で発生させた駆動力とは反対の駆動力である。このようにして、調節カウンタを回転させることで、調節カウンタ反力８３４が発生し、調節機構反力８３３と、それとは反対の力である調節カウンタ反力８３４が足されることで、調節系残差８２５が算出される。ここでも図７（ｂ）と同様に、調節カウンタ駆動力生成器８１０の駆動力を調節することで、調節系残差８２５を小さくすることができる。
【００３２】
以上のように、回転系残差および調節系残差を小さくして装置の振動を低減させることで、装置全体の性能を向上させることができる。
【符号の説明】
【００３３】
１００  画像取得装置
２００  撮像部
３００  予備計測部
１０１  回転テーブル
１０２、１１５  調節機構
１０３  回転カウンタ
１０４  調節カウンタ
１０５  被検物
１０６  回転軸
【図１】
2013044935.tif 000003
【図２】
2013044935.tif 000004
【図３】
2013044935.tif 000005
【図４】
2013044935.tif 000006
【図５】
2013044935.tif 000007
【図６】
2013044935.tif 000008
【図７】
2013044935.tif 000009