(57)【要約】【課題】製造コストを低減することができる超仕上げ用砥石、転がり軸受の製造方法、転がり軸受、軸受装置及び情報記録再生装置の提供。【解決手段】回転するワーク３０Ａ（３０Ｂ）に押圧され、ワーク３０Ａ（３０Ｂ）の押圧位置の移動方向に対し交差する面内で揺動して超仕上げを行う超仕上げ用砥石５２において、揺動方向の一側に粗目加工部５３を有し揺動方向の他側に細目加工部５４を有し、ワーク３０Ａ（３０Ｂ）を粗目加工部５３で加工した後に細目加工部５４で加工することで砥石交換を不要とする。【選択図】図６
2013166205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するワークに押圧され、該ワークの押圧位置の移動方向に対し交差する面内で揺動して超仕上げを行う超仕上げ用砥石において、
前記揺動方向の一側に粗目加工部を有し前記揺動方向の他側に細目加工部を有することを特徴とする超仕上げ用砥石。
【請求項２】
請求項１に記載の超仕上げ用砥石において、
前記細目加工部は前記粗目加工部よりも砥粒の粒度が細かいことを特徴とする超仕上げ用砥石。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の超仕上げ用砥石において、
前記細目加工部は前記粗目加工部よりも結合材が軟らかいことを特徴とする超仕上げ用砥石。
【請求項４】
内輪と、該内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体とを備え、前記内輪の外周面及び前記外輪の内周面に、前記転動体が転動可能に嵌め込まれる溝形状の転走面が形成されてなる転がり軸受を、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の超仕上げ用砥石を用いて加工する転がり軸受の製造方法であって、
前記転走面を前記粗目加工部で加工した後に前記細目加工部で加工することを特徴とする転がり軸受の製造方法。
【請求項５】
内輪と、該内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体とを備え、前記内輪の外周面及び前記外輪の内周面に、前記転動体が転動可能に嵌め込まれる溝形状の転走面が形成された転がり軸受において、
前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面は、表面粗さが細かい細面領域と、該細面領域の一方に隣り合う該細面領域よりも表面粗さが粗い中間粗さ領域と、前記細面領域の他方に隣り合う前記中間粗さ領域よりも表面粗さが粗い粗面領域と、を有し、前記転動体が前記細面領域に接触することを特徴とする転がり軸受。
【請求項６】
請求項５に記載の転がり軸受において、
前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面には、規定の方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置に前記細面領域が設けられており、
前記内輪及び前記外輪のうちの少なくともいずれか一方に前記規定の方向が判別可能となる表示部が設けられていることを特徴とする転がり軸受。
【請求項７】
請求項５に記載の転がり軸受において、
前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面には、一方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置から逆方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置まで、前記細面領域が設けられていることを特徴とする転がり軸受。
【請求項８】
請求項５に記載の転がり軸受の前記内輪がシャフトに外嵌されてなることを特徴とする軸受装置。
【請求項９】
請求項８に記載の軸受装置において、
前記転がり軸受には、前記内輪と前記外輪との間の環状空間を塞ぐ環状のシールド板がアキシアル方向の一側に設けられ、
前記シャフトに、前記転がり軸受として、アキシアル方向の一方側に位置し該一方側に前記シールド板を備えて配置される第一転がり軸受と、アキシアル方向の他方側に位置し該他方側に前記シールド板を備えて配置される第二転がり軸受とが、アキシアル方向に予圧が付与されることにより、前記第一転がり軸受の前記内輪の前記転走面と前記第二転がり軸受の前記内輪の前記転走面とのアキシアル方向の間隔が前記第一転がり軸受の前記外輪の前記転走面と前記第二転がり軸受の前記外輪の前記転走面とのアキシアル方向の間隔よりも小さくなって装着されることになり、
前記第一転がり軸受及び前記第二転がり軸受は、前記外輪の前記転走面における前記シールド板とは反対側に前記細面領域が形成され、前記内輪の前記転走面における前記シールド板側に前記細面領域が形成されていることを特徴とする軸受装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の軸受装置と、
前記外輪に外嵌されて該外輪と共に前記シャフトの軸線回りを回動自在とされ、ヘッドジンバルアッセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと、
磁気記録媒体を回転させる回転駆動部と、
前記キャリッジを回動させ、前記ヘッドジンバルアッセンブリを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、
を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超仕上げ用砥石、転がり軸受の製造方法、転がり軸受、軸受装置及び情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受においては、内輪の外周面と外輪の内周面とに、転動体が転動可能に嵌め込まれる溝形状の転走面が形成されるものがある。内輪及び外輪は、切削加工後、熱処理が行われ、その後、転走面に粗仕上げ加工が施され、さらに転走面に超仕上げ加工が施されることになる。粗仕上げ加工では、ワークである内輪あるいは外輪を回転させると共に粗仕上げ用の砥石を回転させながら接触させて転走面を研磨する。超仕上げ加工では、回転するワークに対して超仕上げ用の砥石を回転させず、ワークの接触位置の移動方向に対し交差する面内で転走面に沿って揺動させて転走面を研磨する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１３０４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、情報記録再生装置等のスイングアームに用いられる転がり軸受は、その動作精度から動作時のトルク変化が小さい方が良い。このため、転動体を円滑に回転させることができるように、より転走面を滑らかにする必要がある。超仕上げを行う場合、このように要求される表面粗さによっては、粗目仕上げ用の砥石で超仕上げを行う粗目仕上げと、細目仕上げ用の砥石で超仕上げを行う細目仕上げとを行う必要が生じてくる。この場合、超仕上げ加工機に粗目仕上げ用の砥石を取り付け、この粗目仕上げ用の砥石で１ロット分のワークを加工した後、同じ超仕上げ加工機の砥石を細目仕上げ用の砥石に交換して、再度、１ロット分のワークを加工する、といった手順で加工が行われることになり、生産効率が悪い。その結果、製造コストが増大してしまっている。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、製造コストを低減することができる超仕上げ用砥石、転がり軸受の製造方法、転がり軸受、軸受装置及び情報記録再生装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る超仕上げ用砥石は、回転するワークに押圧され、該ワークの押圧位置の移動方向に対し交差する面内で揺動して超仕上げを行う超仕上げ用砥石において、前記揺動方向の一側に粗目加工部を有し前記揺動方向の他側に細目加工部を有することを特徴としている。
【０００７】
これにより、揺動方向の一側に設けられた粗目加工部で粗目仕上げを行った後、揺動方向の他側に設けられた細目加工部で細目仕上げを行うことができる。よって、砥石交換なしで超仕上げの粗目仕上げと細目仕上げとを行うことができる。従って、生産効率が向上することになり、製造コストを低減することができる。
【０００８】
本発明に係る超仕上げ用砥石は、前記細目加工部が前記粗目加工部よりも砥粒の粒度が細かいことが好ましい。
【０００９】
これにより、揺動方向の一側に粗目加工部を揺動方向の他側に細目加工部をそれぞれ容易に形成することができる。
【００１０】
本発明に係る超仕上げ用砥石は、前記細目加工部が前記粗目加工部よりも結合材が軟らかいことが好ましい。
【００１１】
これにより、揺動方向の一側に粗目加工部を揺動方向の他側に細目加工部をそれぞれ容易に形成することができる。
【００１２】
本発明に係る転がり軸受の製造方法は、内輪と、該内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体とを備え、前記内輪の外周面及び前記外輪の内周面に、前記転動体が転動可能に嵌め込まれる溝形状の転走面が形成されてなる転がり軸受を、前記超仕上げ用砥石を用いて加工する転がり軸受の製造方法であって、前記転走面を前記粗目加工部で加工した後に前記細目加工部で加工することを特徴としている。
【００１３】
これにより、揺動方向の一側に粗目加工部を有し揺動方向の他側に細目加工部を有する超仕上げ用砥石の粗目加工部で粗目仕上げを行った後、細目加工部で細目仕上げを行うことになる。よって、砥石交換なしで超仕上げの粗目仕上げと細目仕上げとを行うことができる。従って、生産効率が向上することになり、製造コストを低減することができる。
【００１４】
本発明に係る転がり軸受は、内輪と、該内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体とを備え、前記内輪の外周面及び前記外輪の内周面に、前記転動体が転動可能に嵌め込まれる溝形状の転走面が形成された転がり軸受において、前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面は、表面粗さが細かい細面領域と、該細面領域の一方に隣り合う該細面領域よりも表面粗さが粗い中間粗さ領域と、前記細面領域の他方に隣り合う前記中間粗さ領域よりも表面粗さが粗い粗面領域と、を有し、前記転動体が前記細面領域に接触することを特徴としている。
【００１５】
この転がり軸受によれば、内輪の転走面及び外輪の転走面に、転動体が接触する表面粗さが細かい細面領域に比べて粗さが粗い中間粗さ領域と粗面領域とを設けることになるため、全面を表面粗さが細かい細面領域にする場合と比べて、細面領域を形成するための加工時間が短くなり、また、細面領域を加工するための砥石の使用量を減らすことができる。よって、製造コストを低減することができる。加えて、粗面領域及び中間粗さ領域を設けることによりグリスの保持力が向上し、グリスの外部漏れが抑制され、耐久性が向上する。
【００１６】
また、本発明に係る転がり軸受は、前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面には、規定の方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置に前記細面領域が設けられており、前記内輪及び前記外輪のうちの少なくともいずれか一方に前記規定の方向が判別可能となる表示部が設けられていることが好ましい。
【００１７】
これにより、規定の予圧の方向に応じた範囲に細面領域を設けることができ、表面粗さが細かい細面領域を形成する加工の加工時間をさらに短くでき、また、細面領域を加工するための砥石の使用量をさらに減らすことができる。従って、製造コストをさらに低減することができる。加えて、表示部によって規定の方向を判別可能となるため、方向性があっても、取付時に適正な方向に取り付けることが容易となる。
【００１８】
また、本発明に係る転がり軸受は、前記内輪の前記転走面及び前記外輪の前記転走面に、一方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置から逆方向に予圧が付与された場合に前記転動体が接触する位置まで、前記細面領域が設けられていることが好ましい。
【００１９】
これにより、一方向に予圧が付与されても逆方向に予圧が付与されても、転動体が内輪の転走面の細面領域及び外輪の転走面の細面領域に接触することになる。よって、取付時に方向性を考慮する必要がなくなる。
【００２０】
本発明に係る軸受装置は、前記転がり軸受の前記内輪がシャフトに外嵌されてなることを特徴としている。
【００２１】
この軸受装置によれば、転がり軸受の内輪の転走面及び外輪の転走面に、転動体が接触する表面粗さが細かい細面領域に比べて粗さが粗い中間粗さ領域と粗面領域とを設けることになるため、全面を表面粗さが細かい細面領域にする場合と比べて、細面領域を形成するための加工時間が短くなり、また、細面領域を加工するための砥石の使用量を減らすことができる。従って、転がり軸受、ひいては軸受装置の製造コストを低減することができる。加えて、粗面領域を設けることによりグリスの保持力が向上して転がり軸受の耐久性が向上し、ひいては軸受装置の耐久性が向上する。
【００２２】
また、本発明に係る軸受装置は、前記転がり軸受には、前記内輪と前記外輪との間の環状空間を塞ぐ環状のシールド板がアキシアル方向の一側に設けられ、前記シャフトに、前記転がり軸受として、アキシアル方向の一方側に位置し該一方側に前記シールド板を備えて配置される第一転がり軸受と、アキシアル方向の他方側に位置し該他方側に前記シールド板を備えて配置される第二転がり軸受とが、アキシアル方向に予圧が付与されることにより、前記第一転がり軸受の前記内輪の前記転走面と前記第二転がり軸受の前記内輪の前記転走面とのアキシアル方向の間隔が前記第一転がり軸受の前記外輪の前記転走面と前記第二転がり軸受の前記外輪の前記転走面とのアキシアル方向の間隔よりも小さくなって装着されることになり、前記第一転がり軸受及び前記第二転がり軸受は、前記外輪の前記転走面における前記シールド板とは反対側に前記細面領域が形成され、前記内輪の前記転走面における前記シールド板側に前記細面領域が形成されていることが好ましい。
【００２３】
これにより、転がり軸受に、予圧の方向に応じた範囲に細面領域を設けることができ、表面粗さが細かい細面領域を形成する加工の加工時間をさらに短くでき、また、細面領域を加工するための砥石の使用量をさらに減らすことができる。従って、転がり軸受、ひいては軸受装置の製造コストをさらに低減することができる。
【００２４】
本発明に係る情報記録再生装置は、前記軸受装置と、前記外輪に外嵌されて該外輪と共に前記シャフトの軸線回りを回動自在とされ、ヘッドジンバルアッセンブリを支持するアーム部を有するキャリッジと、磁気記録媒体を回転させる回転駆動部と、前記キャリッジを回動させ、前記ヘッドジンバルアッセンブリを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、を備えていることを特徴としている。
【００２５】
この情報記録再生装置によれば、製造コストが低減された軸受装置を有するため、製造コストを低減することができる。加えて、耐久性が向上した軸受装置を有するため、耐久性が向上する。さらに、転がり軸受に粗面領域を設けることによりグリスの保持力が向上し、グリスの外部漏れが抑制されるため、磁気記録媒体へのグリスの付着等も抑制でき、信頼性を向上できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る超仕上げ用砥石、転がり軸受の製造方法、転がり軸受、軸受装置及び情報記録再生装置によれば、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る軸受装置の第１実施形態であるピボット軸を示す縦断面図である。
【図３】本発明に係る転がり軸受の第１実施形態を示す予圧付与時の縦断面図である。
【図４】図３に示す転がり軸受の内輪と粗仕上げ用の砥石とを示す縦断面図である。
【図５】図３に示す転がり軸受の外輪と粗仕上げ用の砥石とを示す縦断面図である。
【図６】図３に示す転がり軸受の内輪を超仕上げ用砥石が粗目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図７】図３に示す転がり軸受の内輪を超仕上げ用砥石が細目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図８】図３に示す転がり軸受の外輪を超仕上げ用砥石が粗目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図９】図３に示す転がり軸受の外輪を超仕上げ用砥石が細目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図１０】本発明に係る転がり軸受の第２実施形態を示す予圧付与時の縦断面図である
【図１１】図１０に示す転がり軸受の内輪を超仕上げ用砥石が粗目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図１２】図１０に示す転がり軸受の内輪を超仕上げ用砥石が細目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図１３】図１０に示す転がり軸受の外輪を超仕上げ用砥石が粗目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【図１４】図１０に示す転がり軸受の外輪を超仕上げ用砥石が細目加工部で加工を行う状態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態では、軸受装置が情報記録再生装置のピボット軸を構成し、転がり軸受がこのピボット軸に用いられている場合について説明する。
【００２９】
第１実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して垂直記録方式で書き込みを行う装置であって、キャリッジ２と、キャリッジ２の基端側から光導波路３を介して光束を供給するレーザ光源４と、キャリッジ２の先端側に支持されたヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）５と、キャリッジ２を回動させ、ヘッドジンバルアッセンブリ５をディスク面（ディスクＤの表面）Ｄ１に平行な水平面内方向にスキャン移動させるアクチュエータ６と、回転軸線Ｌ１を中心にディスクＤを一定方向に回転させるスピンドルモータ（回転駆動部）７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアッセンブリ５のスライダ５ｂに対して供給する制御部８と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９と、を備えている。
【００３０】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品を収容する凹部が形成される。
なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している。
【００３１】
また、このハウジング９には、ハウジング９の上部開口部を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定されている。
【００３２】
ディスクＤの外側で、底部９ａの一つの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心に水平面内で回転軸線Ｌ２を中心に回動可能なキャリッジ２が取り付けられている。
このキャリッジ２は、基端部から先端部に向けて（ディスクＤ方向に向けて）延設されたアーム部２ａと、アーム部２ａを介して片持ち状に支持する基部２ｂとが、削り出し加工等により一体形成されたものである。基部２ｂは、略直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０回りに回動可能に支持されている。つまり、基部２ｂはピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ２の回転中心となっている。
【００３３】
アーム部２ａは、基部２ｂにおけるアクチュエータ６が取り付けられた側面２ｃと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）２ｄにおいて、基部２ｂの上面の面方向（水平面内方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部２ｂの高さ方向（垂直方向）に沿って３枚延出している。
具体的には、アーム部２ａは、基端部から先端部に向かうに従って先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部２ａ間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部２ａとディスクＤとが、交互に配置可能に構成されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部２ａがディスク面Ｄ１に平行な方向（水平面内方向）に移動可能になっている。
なお、キャリッジ２及びヘッドジンバルアッセンブリ５は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００３４】
ヘッドジンバルアッセンブリ５は、アーム部２ａの先端に連接状態で支持されており、サスペンション５ａと、サスペンション５ａの先端に取り付けられたスライダ５ｂとを備えている。
また、ヘッドジンバルアッセンブリ５は、図示しない近接場光発生素子を有するスライダ５ｂに、レーザ光源４からの光束を導いて近接場光を発生させ、該近接場光を利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。
なお、近接場光発生素子は、例えば、光学的微小開口やナノメートルサイズに形成された突起部等により構成されている。
【００３５】
（軸受装置の第１実施形態）
続いて、本発明に係る軸受装置の第１実施形態であるピボット軸１０の構成について図１〜図３を参照して説明する。
【００３６】
図１に示すように、ピボット軸１０は、キャリッジ２を回転軸線Ｌ２回りに回転可能に軸支する軸受装置であり、その概略構成としては、ハウジング９の底部９ａに立設された図２に示す略円柱状のシャフト２０と、該シャフト２０の径方向外側に周設されて回転軸線Ｌ２を共通軸にしてシャフト２０と同軸上に配設されたスリーブ２１と、シャフト２０とスリーブ２１との間に介装された一対の転がり軸受２２Ａ，２２Ｂ（第一転がり軸受，第二転がり軸受）と、を備えている。上記したキャリッジ２はシャフト２０の軸線回りを回動自在となっている。
なお、第１実施形態では、回転軸線Ｌ２に沿った方向、つまりアキシアル方向を「軸方向」とし、回転軸線Ｌ２に直交する方向、つまりラジアル方向を「径方向」とし、回転軸線Ｌ２を中心に周回する方向を「周方向」とする。また、軸方向一方側（図２における上側）を「上」とし、その反対側、つまり軸方向他方側（図２における下側）を「下」とする。
【００３７】
シャフト２０は、回転軸線Ｌ２を中心にして軸方向に延在する軸部材である。このシャフト２０は、略円柱形状の軸芯部２０ａと、軸芯部２０ａの下端部から径方向外側に突出したフランジ部２０ｂと、軸芯部２０ａの下端面に垂設された雄ねじ部２０ｃと、を備えている。フランジ部２０ｂは、軸芯部２０ａの外周に全周に亘って形成された平面視円環状の鍔部であり、フランジ部２０ｂの上面は、内周部が外周部に比べて高くなるように段差状に形成されている。雄ねじ部２０ｃは、外周面に図示しない雄ねじが形成された螺着部である。この雄ねじ部２０ｃがハウジング９の底部９ａ（図１に示す）に形成された図示しない雌ねじ孔に螺合することで、シャフト２０がハウジング９の底部９ａに立設されている。この際、フランジ部２０ｂの下面がハウジング９の底部９ａに接することで、シャフト２０の高さ方向の位置決めがなされている。
【００３８】
スリーブ２１は、後述する転がり軸受２２Ａ，２２Ｂの外輪３１Ａ，３１Ｂにそれぞれ外嵌される略円筒形状の部材であり、このスリーブ２１の上端部の内側に転がり軸受２２Ａが嵌合されてスリーブ２１の下端部の内側に転がり軸受２２Ｂが嵌合されている。また、スリーブ２１の軸方向中間部（上下２つの転がり軸受２２Ａ，２２Ｂの間の部分）の内周面には、転がり軸受２２Ａと転がり軸受２２Ｂとの軸方向間隔を所定距離に保持させるスペーサ部２１ａが形成されている。このスペーサ部２１ａは、全周に亘って径方向内側に向けて突設された平面視円環状の凸部であり、後述する第一、第二転がり軸受２２Ａ，２２Ｂの外輪３１Ａ，３１Ｂがそれぞれ係止されている。すなわち、スペーサ部２１ａの上端面に、上側の転がり軸受２２Ａの外輪３１Ａの下端部の外縁が係止され、スペーサ部２１ａの下端面に、下側の転がり軸受２２Ｂの外輪３１Ｂの上端部の外縁が係止されている。
また、スリーブ２１は、図１に示すキャリッジ２の基部２ｂに形成された図示しない取付孔の内側に圧入又は接着嵌合されることで、キャリッジ２と一体的に組み合わされている。
【００３９】
転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂは、それぞれシャフト２０に軸支されたシールド板付き軸受であり、シャフト２０にそれぞれ装着されて軸方向に間隔をあけて並設されている。また、軸方向上側に位置する転がり軸受２２Ａと軸方向下側に位置する転がり軸受２２Ｂとは、同一構成とされており、互いに上下に反転させた向きに配設されている。
以下、説明が重複する場合には、転がり軸受２２Ａについてのみ説明し、同様の構成の転がり軸受２２Ｂについては、転がり軸受２２Ａの各符号に対応する符号を括弧書きで記載して説明を略す。
【００４０】
転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の概略構成としては、平面視円環状の内輪３０Ａ（３０Ｂ）と、回転軸線Ｌ２を共通軸にして内輪３０Ａ（３０Ｂ）と同軸上に配設された平面視円環状の外輪３１Ａ（３１Ｂ）と、内輪３０Ａ（３０Ｂ）と外輪３１Ａ（３１Ｂ）との間に転動自在に保持された複数の転動体３２Ａ（３２Ｂ）と、内輪３０Ａ（３０Ｂ）と外輪３１Ａ（３１Ｂ）との間に画成された平面視円環状の環状空間３４Ａ（３４Ｂ）を軸方向一側で塞ぐ環状のシールド板３３Ａ（３３Ｂ）と、を備えている。
【００４１】
内輪３０Ａ（３０Ｂ）は、回転軸線Ｌ２を中心にして軸方向に延在する円筒形状の筒体であり、図２に示すシャフト２０の軸芯部２０ａに外嵌されている。
【００４２】
この内輪３０Ａ（３０Ｂ）の外周部には、軸方向の一端部（内輪３０Ａにおいては図２における上端部、内輪３０Ｂにおいては図２における下端部）のみに、Ｒ溝（Ｖ溝でも可）からなる識別溝（表示部）３８Ａ（３８Ｂ）が形成されている。
【００４３】
この内輪３０Ａ（３０Ｂ）の軸方向中央部の外周面には、複数の転動体３２Ａ（３２Ｂ）が転動可能に嵌め込まれる湾曲溝形状の転走面４０Ａ（４０Ｂ）が形成されている。この転走面４０Ａ（４０Ｂ）は、回転軸線Ｌ２の垂直面に沿って周方向に延在する縦断面視円弧状の溝部であり、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の外周面の全周に亘って延設されている。
【００４４】
なお、転がり軸受２２Ａと同構造で下側に配置される転がり軸受２２Ｂは、その内輪３０Ｂの下端面が、シャフト２０のフランジ部２０ｂの上段面２０ｄ（フランジ部２０ｂの内周部上面）に当接されており、よって、転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂの下端面はフランジ部２０ｂによって係止されている。
【００４５】
転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）は、内輪３０Ａ（３０Ｂ）を囲繞すると共に回転軸線Ｌ２を中心にして軸方向に延在する円筒形状の筒体であり、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の径方向外側に間隔をあけて周設されている。
【００４６】
この外輪３１Ａ（３１Ｂ）の径方向の内端部には、軸方向の一端部（外輪３１Ａにおいては図２における上端部、外輪３１Ｂにおいては図２における下端部）のみに、シールド板３３Ａ（３３Ｂ）が取り付けられるシールド板取付部（表示部）３９Ａ（３９Ｂ）が形成されている。シールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）は、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の内縁部分を断面視略Ｌ字状（段差状）に切り欠いた形状をなしており、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の全周に亘って形成されている。
【００４７】
図３に示すように、このシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）の周壁面３９ａ（立ち上がり面）は、後述するシールド板３３Ａ（３３Ｂ）の爪部３６を係止するアンダーカット部であり、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の端面から軸方向中央側に向かって漸次拡径されたテーパ形状に形成されている。
【００４８】
図２に示すように、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向中央部の内周面には、前記した内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）に対向して、転動体３２Ａ（３２Ｂ）が転動可能に嵌め込まれる湾曲溝形状の転走面４１Ａ（４１Ｂ）が形成されている。この転走面４１Ａ（４１Ｂ）は、回転軸線Ｌ２の垂直面に沿って周方向に延在する縦断面視円弧状の溝部であり、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の内周面の全周に亘って延設されている。また、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）は、縦断面視において上記した内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）を反転させた形状に形成されている。
【００４９】
なお、転がり軸受２２Ａと同構造で下側に配置される転がり軸受２２Ｂは、その外輪３１Ｂの下端面が、シャフト２０のフランジ部２０ｂから離間されており、よって、転がり軸受２２Ｂの外輪３１Ｂの下端面は係止されていない。
【００５０】
転動体３２Ａ（３２Ｂ）は、球体（ボール）であり、前記した内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）と外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）との間に介在されており、これらの転走面４０Ａ，４１Ａ（４０Ｂ，４１Ｂ）によって径方向両側から回転可能に挟持されている。転動体３２Ａ（３２Ｂ）の半径は、上記した転走面４０Ａ，４１Ａ（４０Ｂ，４１Ｂ）の縦断面視形状の曲率半径よりも若干小さくなっている。
また、転動体３２Ａ（３２Ｂ）は、周方向に間隔をあけて複数並設されており、これら転動体３２Ａ（３２Ｂ）は、図示しない保持器（リテーナー）によって転動可能に保持されており、その数は２以上の素数である７個とされている。
【００５１】
シールド板３３Ａ（３３Ｂ）は、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の軸方向の一側のみに設けられている。シールド板３３Ａ（３３Ｂ）は、環状空間３４Ａ（３４Ｂ）を内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）の外端部側（スリーブ２１の開口部側）から塞ぐ平面視円環状の塞ぎ板であり、外周部が上記したシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）に嵌合されることで外輪３１Ａ（３１Ｂ）に装着されている。また、シールド板３３Ａ（３３Ｂ）の内周部は内輪３０Ａ（３０Ｂ）から離間されており、これにより、内輪３０Ａ（３０Ｂ）と外輪３１Ａ（３１Ｂ）との相対的な軸方向変位が許容されている。
【００５２】
詳しく説明すると、図３に示すように、シールド板３３Ａ（３３Ｂ）の概略構成としては、回転軸線Ｌ２に直交する面内に沿って形成された平面視円環状のシールド本体３５と、該シールド本体３５の外周縁部に突設された複数の爪部３６と、を備えている。
【００５３】
シールド本体３５の外周部３５ａは、剛性を高めるために、全周に亘って環状空間３４Ａ（３４Ｂ）側に向かって突出するように段付き形成されており、その底面がシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）の段差面３９ｂに載置されている。
【００５４】
爪部３６は、シールド本体３５の外周縁部から径方向外側に向けて斜めに突出した突起部であり、シールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）のテーパ状の周壁面３９ａに対してアンダーカット嵌合されている。すなわち、この爪部３６は、シールド本体３５の外周縁部との連設部分を基点に径方向外側に向かって弾性的に折曲変形した状態で、先端がシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）の周壁面３９ａに係止されている。このように爪部３６がシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）の周壁面３９ａに係止されると共にシールド本体３５の外周部３５ａの底面がシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）の段差面３９ｂに載置されることで、シールド板３３Ａ（３３Ｂ）が外輪３１Ａ（３１Ｂ）に嵌合される。ここで、シールド板３３Ａ（３３Ｂ）には、シールド本体３５の外周縁部に沿って複数の爪部３６が間欠的に配設されており、複数の爪部３６は、平面視において周方向に間隔をあけて均等に配設されている。
なお、上記した爪部３６の数は例えば５個であり、転動体３２Ａ（３２Ｂ）の数（７個）と爪部３６の数（５個）とは互いに素の関係となっている。
【００５５】
図２に示すように、シャフト２０には、転がり軸受として、シャフト２０の軸方向の一方側に位置しこの一方側にシールド板３３Ａを備えて配置される転がり軸受２２Ａと、軸方向の他方側に位置しこの他方側にシールド板３３Ｂを備えて配置される転がり軸受２２Ｂとが装着されている。
【００５６】
ところで、上記した転がり軸受２２Ａの内輪３０Ａ及び転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂには、シャフト２０の軸方向に予圧が付与されており、その結果、転がり軸受２２Ａの内輪３０Ａの転走面４０Ａと転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂの転走面４０Ｂとの軸方向の間隔Ｔ１が、転がり軸受２２Ａの外輪３１Ａの転走面４１Ａと転がり軸受２２Ｂの外輪３１Ｂの転走面４１Ｂとの軸方向の間隔Ｔ２よりも小さくなっている。
【００５７】
言い換えれば、転がり軸受２２Ａの内輪３０Ａの転走面４０Ａと転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂの転走面４０Ｂとの軸方向の間隔Ｔ１が、転がり軸受２２Ａの外輪３１Ａの転走面４１Ａと転がり軸受２２Ｂの外輪３１Ｂの転走面４１Ｂとの軸方向の間隔Ｔ２よりも小さくなるように、転がり軸受２２Ａと転がり軸受２２Ｂとには、それぞれ規定の方向に予圧が付与されている。詳しくは、図２に矢印で示すように、転がり軸受２２Ａでは、内輪３０Ａの軸方向の識別溝３８Ａが形成された側から転動体３２Ａを介して外輪３１Ａのシールド板取付部３９Ａが形成されていない側への規定の方向に予圧が付与されており、転がり軸受２２Ｂでも、内輪３０Ｂの軸方向の識別溝３８Ｂが形成された側から転動体３２Ｂを介して外輪３１Ｂのシールド板取付部３９Ｂが形成されていない側への規定の方向に予圧が付与されている。
【００５８】
（転がり軸受の第１実施形態）
転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）には、上記したように、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の軸方向の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）が形成された側から外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）が形成されていない側への規定の方向に予圧が付与されることになり、これにより、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）よりも一の軸方向外側のみに形成された識別溝３８Ａ（３８Ｂ）は、この規定の方向を判別可能とする。また、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）よりも一の軸方向外側のみに形成されたシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）も、識別溝３８Ａ（３８Ｂ）と同側に形成されており、上記予圧の規定の方向を判別可能とする。さらに、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向の一側のみに装着されたシールド板３３Ａ（３３Ｂ）も、識別溝３８Ａ（３８Ｂ）と同側に配置されており、上記予圧の規定の方向を判別可能とする。
【００５９】
予圧付与時に、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）と転動体３２Ａ（３２Ｂ）との接触点６０Ａ（６０Ｂ）は、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）の軸方向中央部４０ａ（４０ｂ）よりも識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側に位置している。また、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）と転動体３２Ａ（３２Ｂ）との接触点６１Ａ（６１Ｂ）は、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）の軸方向中央部４１ａ（４１ｂ）よりもシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側に位置している。
【００６０】
転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）には、上記したように、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の軸方向の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）が形成された側から外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）が形成されていない側への規定の方向に予圧が付与されることになる。図３に示すように、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）には、このように規定の方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６０Ａ（６０Ｂ）を含むように接触点６０Ａ（６０Ｂ）を中心とした両側所定範囲に、表面粗さが転走面４０Ａ（４０Ｂ）内で最も細かい細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）が形成されている。この細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）は、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の軸方向の一定位置にて周方向の全域に連続するように転走面４０Ａ（４０Ｂ）に形成されている。
【００６１】
そして、転走面４０Ａ（４０Ｂ）において、細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側に隣り合って、細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）よりも表面粗さが粗い粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）が形成されており、細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）とは反対側に隣り合って、細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）よりも表面粗さが粗く粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）よりも表面粗さが細かい中間粗さ領域４０Ａｃ（４０Ｂｃ）が形成されている。また、中間粗さ領域４０Ａｃ（４０Ｂｃ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）とは反対側に隣り合って、粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）よりもさらに表面粗さが粗い最粗面領域４０Ａｄ（４０Ｂｄ）が形成されている。これら粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）、中間粗さ領域４０Ａｃ（４０Ｂｃ）及び最粗面領域４０Ａｄ（４０Ｂｄ）もそれぞれ、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の軸方向の一定位置にて周方向の全域に連続するように転走面４０Ａ（４０Ｂ）に形成されている。
【００６２】
以上により、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）に規定の方向に予圧が付与された場合に、転動体３２Ａ（３２Ｂ）が転走面４０Ａ（４０Ｂ）の細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）に接触し、粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）、中間粗さ領域４０Ａｃ（４０Ｂｃ）及び最粗面領域４０Ａｄ（４０Ｂｄ）に接触することはない。このように、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）では、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）における識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側、言い換えればシールド板３３Ａ（３３Ｂ）側に細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）が形成されている。
【００６３】
また、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）には、上記のように規定の方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６１Ａ（６１Ｂ）を含むように接触点６１Ａ（６１Ｂ）を中心とした両側所定範囲に、表面粗さが転走面４１Ａ（４１Ｂ）内で最も細かい細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）が形成されている。この細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）は、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向の一定位置にて周方向の全域に連続するように転走面４１Ａ（４１Ｂ）に形成されている。
【００６４】
そして、転走面４１Ａ（４１Ｂ）において、細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側に隣り合って、細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）よりも表面粗さが粗い粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）が形成されており、細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）側に隣り合って、細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）よりも表面粗さが粗く粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）よりも表面粗さが細かい中間粗さ領域４１Ａｃ（４１Ｂｃ）が形成されている。また、中間粗さ領域４１Ａｃ（４１Ｂｃ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）側に隣り合って、粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）よりもさらに表面粗さが粗い最粗面領域４１Ａｄ（４１Ｂｄ）が形成されている。これら粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）、中間粗さ領域４１Ａｃ（４１Ｂｃ）及び最粗面領域４１Ａｄ（４１Ｂｄ）もそれぞれ、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の軸方向の一定位置にて周方向の全域に連続するように転走面４１Ａ（４１Ｂ）に形成されている。
【００６５】
以上により、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）に規定の方向に予圧が付与された場合に、転動体３２Ａ（３２Ｂ）が転走面４１Ａ（４１Ｂ）の細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）に接触し、粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）、中間粗さ領域４１Ａｃ（４１Ｂｃ）及び最粗面領域４１Ａｄ（４１Ｂｄ）に接触することはない。このように、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）では、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）におけるシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側、言い換えればシールド板３３Ａ（３３Ｂ）とは反対側に細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）が形成されている。
【００６６】
具体的に、細面領域４０Ａａ，４１Ａａ，４０Ｂａ，４１Ｂａは中心線平均粗さＲａが０．０３μｍ以下であり、粗面領域４０Ａｂ，４１Ａｂ，４０Ｂｂ，４１Ｂｂは中心線平均粗さＲａが０．０３５μｍより大きく０．０４μｍ以下であり、中間粗さ領域４０Ａｃ，４１Ａｃ，４０Ｂｃ，４１Ｂｃは中心線平均粗さＲａが０．０３μｍより大きく０．０３５μｍ以下であり、最粗面領域４０Ａｄ，４１Ａｄ，４０Ｂｄ，４１Ｂｄは中心線平均粗さＲａが０．０４μｍより大きくなっている。
【００６７】
（超仕上げ砥石の第１実施形態）
本発明に係る第１実施形態の超仕上げ用砥石５２について説明する。
図６に示すように、超仕上げ用砥石５２は、一側に粗目加工部５３を有し他側に精研用の細目加工部５４を有する二層構造になっており、加工を行う研磨部５５が、これらの積層方向に対し直交する一方向の端部にこれら粗目加工部５３及び細目加工部５４の両方に跨るように形成されている。その結果、研磨部５５は、粗目加工部５３からなる研磨面５３Ａと、細目加工部５４からなる研磨面５４Ａとを有している。
【００６８】
研磨部５５は、粗目加工部５３及び細目加工部５４の境界面が最も外側に位置するように湾曲する形状をなしており、研磨面５３Ａ，５４Ａが内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び図８に示す外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）の縦断面と同等の曲率半径を有する断面円弧状をなしている。研磨部５５は、回転する内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び回転する外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）に研磨面５３Ａ，５４Ａにおいて押圧され、これら転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）の押圧位置の移動方向に対し交差する面内で揺動して転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）を超仕上げ加工することになる。その結果、超仕上げ用砥石５２は、その揺動方向の一側に粗目加工部５３を有し揺動方向の他側に細目加工部５４を有している。
【００６９】
ここで、細目加工部５４は、粗目加工部５３よりも、細かい粒度の砥粒と軟らかい結合材とが用いられており、ワークである内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）の表面状態をより滑らかに仕上げることができるようになっている。具体的には、細目加工部５４の砥粒の粒度は♯１００００〜♯１２０００であり、粗目加工部５３の砥粒の粒度は♯６０００〜♯７０００となっている。また、砥粒の種類は立方窒化ほう素（ＣＢＮ）系、あるいは合成ダイヤモンド（ＳＤ）系となっている。結合材としてはビトリファイドボンドが主材として用いられ、その構成材料の配合により硬さが調整されている。なお、細目加工部５４の砥粒の粒度を粗目加工部５３よりも細かくしつつ同じ結合材を用いても良く、細目加工部５４の結合材を粗目加工部５３よりも軟らかくしつつ同じ粒度の砥粒を用いても良い。つまり、細目加工部５４は、粗目加工部５３よりも、ワークである内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）の表面状態をより滑らかに仕上げることができるようになっていれば良い。
【００７０】
（転がり軸受の製造方法の第１実施形態）
次に、上記構造の転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の製造方法について説明する。
内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）をそれぞれ切削加工し、その後、熱処理を行う。切削加工において内輪３０Ａ（３０Ｂ）に転走面４０Ａ（４０Ｂ）の下溝を、外輪３１Ａ（３１Ｂ）に転走面４１Ａ（４１Ｂ）の下溝を形成することになる。なお、場合によっては、下溝を形成せず、後述の粗仕上げ加工で直接転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）を形成しても良い。
【００７１】
熱処理後、転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）をそれぞれ全面に亘って粗仕上げ加工を施す。粗仕上げ加工では、図４に示すように、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）の形状に倣った外形形状の粗仕上げ用の砥石５１を回転させると共に、内輪３０Ａ（３０Ｂ）を回転させ、これらを接触させて転走面４０Ａ（４０Ｂ）の全面を研磨加工することになる。同様に、図５に示すように、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）に倣った外形形状の粗仕上げ用の砥石５１を回転させると共に、外輪３１Ａ（３１Ｂ）を回転させ、これらを接触させて転走面４１Ａ（４１Ｂ）の全面を研磨加工することになる。
【００７２】
上記の粗仕上げ加工後、転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）のそれぞれに、図３に示すように規定の方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６０Ａ（６０Ｂ）及び接触点６１Ａ（６１Ｂ）を含む所定の範囲だけに表面粗さが細かい細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）及び細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）を形成するように超仕上げ加工を施す。
【００７３】
この超仕上げ加工では、図６に示すように、内輪３０Ａ（３０Ｂ）を回転させる一方で、超仕上げ用砥石５２を、回転させずに、その研磨部５５の粗目加工部５３からなる研磨面５３Ａを、転走面４０Ａ（４０Ｂ）の上記した接触点６０Ａ（６０Ｂ）に対し研磨代分ずれた押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）に押圧する。そして、粗目加工部５３を、この押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）の移動方向に対し交差する面内で押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）を中心として両側に往復揺動させる。次に、図７に示すように、細目加工部５４からなる研磨面５４Ａを転走面４０Ａ（４０Ｂ）の上記した接触点６０Ａ（６０Ｂ）に対し研磨代分ずれた押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）に押圧する。そして、細目加工部５４を、この押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）の移動方向に対し交差する面内で押圧基準位置６０ａ（６０ｂ）を中心に両側に往復揺動させて表面粗さが細かい細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）を形成する。このとき、粗目加工部５３及び細目加工部５４のいずれで加工する場合も、研磨面５３Ａ，５４Ａが転走面４０Ａ（４０Ｂ）に沿って移動するように、転走面４０Ａ（４０Ｂ）の曲率の中心Ｏを中心に超仕上げ用砥石５２を両側に揺動させる。
【００７４】
このようにして粗目加工部５３と細目加工部５４とを有する一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらし、最初に粗目加工部５３で粗目の超仕上げ加工を細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の位置に部分的に行った後、細目加工部５４で細目の超仕上げ加工を細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の位置に部分的に行うことで、細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）を形成する。
【００７５】
このように一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらして加工を行うことになるため、粗目加工部５３により細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の位置を加工する際に、細目加工部５４が細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側を加工することになり、細目加工部５４により細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の位置を加工する際に、粗目加工部５３が細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）とは反対側を加工することになる。その結果、粗目加工部５３からなる研磨面５３Ａのみで研磨される部分が細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）とは反対側に形成されることになり、この部分が、中間粗さ領域４０Ａｃ（４０Ｂｃ）となる。また、細目加工部５４からなる研磨面５４Ａのみで研磨される部分が細面領域４０Ａａ（４０Ｂａ）の識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側に形成されることになり、この部分が、粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）となる。さらに、超仕上げ用砥石５２で研磨されていない部分が、粗仕上げ加工で形成された最粗面領域４０Ａｄ（４０Ｂｄ）となる。超仕上げ加工時には、転走面４０Ａ（４０Ｂ）における識別溝３８Ａ（３８Ｂ）側に、超仕上げ用砥石５２が接触するように、超仕上げ用砥石５２が内輪３０Ａ（３０Ｂ）に対し傾斜して超仕上げ加工機にセットされる。
【００７６】
同様に、図８に示すように、外輪３１Ａ（３１Ｂ）を回転させる一方で、超仕上げ用砥石５２を、回転させずに、その研磨部５５の粗目加工部５３からなる研磨面５３Ａを転走面４１Ａ（４１Ｂ）の上記した接触点６１Ａ（６１Ｂ）に対し研磨代分ずれた押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）に押圧する。そして、粗目加工部５３を、この押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）の移動方向に対し交差する面内で押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）を中心に両側に往復揺動させる。次に、図９に示すように、細目加工部５４からなる研磨面５４Ａを転走面４１Ａ（４１Ｂ）の上記した接触点６１Ａ（６１Ｂ）に対し研磨代分ずれた押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）に押圧する。そして、細目加工部５４を、この押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）の移動方向に対し交差する面内で押圧基準位置６１ａ（６１ｂ）を中心として両側に往復揺動させて表面粗さが細かい細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）を形成する。このとき、粗目加工部５３，５４のいずれで加工する場合も、研磨面５３Ａ，５４Ａが、転走面４１Ａ（４１Ｂ）に沿って移動するように、転走面４１Ａ（４１Ｂ）の曲率の中心Ｏを中心に超仕上げ用砥石５２を両側に揺動させる。
【００７７】
このようにして粗目加工部５３と細目加工部５４とを有する一つの超仕上げ用砥石５２の揺動方向の位置をずらし、最初に粗目加工部５３で粗目の超仕上げ加工を細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）の位置に部分的に行った後、細目加工部５４で細目の超仕上げ加工を細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）の位置に部分的に行うことで、細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）を形成する。
【００７８】
このように一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらして加工を行うことになるため、粗目加工部５３により細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）の位置を加工する際に、細目加工部５４が細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側を加工することになり、細目加工部５４により細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）の位置を加工する際に、粗目加工部５３が細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）側を加工することになる。その結果、粗目加工部５３からなる研磨面５３Ａのみで研磨される部分が細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）側に形成されることになり、この部分が、中間粗さ領域４１Ａｃ（４１Ｂｃ）となる。また、細目加工部５４からなる研磨面５４Ａのみで研磨される部分が細面領域４１Ａａ（４１Ｂａ）のシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側に形成されることになり、この部分が、粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）となる。さらに、超仕上げ用砥石５２で研磨されていない部分が、粗仕上げ加工で形成された最粗面領域４１Ａｄ，（４１Ｂｄ）となる。この超仕上げ加工時には、転走面４１Ａ（４１Ｂ）におけるシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）とは反対側に、超仕上げ用砥石５２が接触するように超仕上げ用砥石５２が外輪３１Ａ（３１Ｂ）に対し傾斜して超仕上げ加工機にセットされる。
【００７９】
そして、上記のようにして加工が完了した内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）を、識別溝３８Ａ（３８Ｂ）及びシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）が軸方向同側に向く姿勢として、これらの間に、複数の転動体３２Ａ（３２Ｂ）を配置し、図示しない保持器で複数の転動体３２Ａ（３２Ｂ）を等間隔に配置し、シールド板取付部（表示部）３９Ａ（３９Ｂ）にシールド板３３Ａ（３３Ｂ）を取り付ける。
【００８０】
（ピボット軸の製造方法）
次に、ピボット軸１０の製造方法について、説明する。
まず、図２に示すシャフト２０の軸芯部２０ａの下端部の外周面に図示しない接着剤（例えば嫌気性の接着剤）を塗布する。そして、シャフト２０の軸芯部２０ａに転がり軸受２２Ｂをシールド板３３Ｂを下側にして挿通して、内輪３０Ｂの下端面がフランジ部２０ｂの上段面２０ｄに当接するまで転がり軸受２２Ｂを押し込む。
【００８１】
次いで、スリーブ２１の上端部及び下端部の各内周面にそれぞれ図示しない接着剤を塗布した後、シャフト２０の軸芯部２０ａにスリーブ２１を挿通して、スペーサ部２１ａの下端面が転がり軸受２２Ｂの外輪３１Ｂの上端面に当接するまでスリーブ２１を押し込む。
【００８２】
次いで、転がり軸受２２Ａをシャフト２０の軸芯部２０ａにシールド板３３Ａを上側にして挿通させながら、シャフト２０の軸芯部２０ａとスリーブ２１との間に画成された円環状の空間内に転がり軸受２２Ａを挿入し、外輪３１Ａの下端面がスペーサ部２１ａの上端面に当接するまで転がり軸受２２Ａを押し込む。
【００８３】
次いで、転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂに対して軸方向に予圧を付与する。
即ち、図示しない押圧治具で転がり軸受２２Ａの内輪３０Ａを転がり軸受２２Ｂ側に向けて所定圧力で押圧しながら、転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂをシャフト２０及びスリーブ２１に固定する。
【００８４】
上述したように内輪３０Ａが押圧治具により押圧されると、転がり軸受２２Ａの内輪３０Ａの転走面４０Ａと転動体３２Ａとは転走面４０Ａの軸方向中央部４０ａより転がり軸受２２Ｂとは反対側（上側）で点接触する（細面領域４０Ａａ内の接触点６０Ａ）。また、外輪３１Ａの転走面４１Ａと転動体３２Ａとは、転走面４１Ａの軸方向中央部４１ａよりも転がり軸受２２Ｂ側（下側）で点接触する（細面領域４１Ａａ内の接触点６１Ａ）。従って、予圧方向が、図２に示す矢印方向となる。
【００８５】
一方、転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂがフランジ部２０ｂ側から押圧されることになるため、転がり軸受２２Ｂの内輪３０Ｂの転走面４０Ｂと転動体３２Ｂとは転走面４０Ｂの軸方向中央部４０ｂよりもフランジ部２０ｂ側（下側）で点接触する（細面領域４０Ｂａ内の接触点６０Ｂ）。また、外輪３１Ｂの転走面４１Ｂと転動体３２Ｂとは転走面４１Ｂの軸方向中央部４１ｂよりも転がり軸受２２Ａ側（上側）で点接触する（細面領域４０Ｂａ内の接触点６１Ｂ）。従って、予圧方向が、図２に示す矢印方向となる。
以上により、転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂに予圧が付与され、ピボット軸１０が完成する。
【００８６】
以上に述べた超仕上げ用砥石５２によれば、揺動方向の一側に設けられた粗目加工部５３で粗目仕上げを行った後、揺動方向の他側に設けられた細目加工部５４で細目仕上げを行うことができる。よって、砥石交換なしで超仕上げの粗目仕上げと細目仕上げとを行うことができる。従って、生産効率を向上することができる。
【００８７】
また、超仕上げ用砥石５２は、細目加工部５４が粗目加工部５３よりも砥粒の粒度が細かく、細目加工部５４が粗目加工部５３よりも結合材が軟らかいため、揺動方向の一側に粗目加工部５３を揺動方向の他側に細目加工部５４をそれぞれ容易に形成することができる。
【００８８】
また、上記した転がり軸受２２Ａ，２２Ｂの製造方法によれば、揺動方向の一側に粗目加工部５３を有し揺動方向の他側に細目加工部５４を有する超仕上げ用砥石５２を用いて、その粗目加工部５３で粗目仕上げを行った後、細目加工部５４で細目仕上げを行うことになる。よって、砥石交換なしで超仕上げの粗目仕上げと細目仕上げとを行うことができる。従って、生産効率を向上することができる。
【００８９】
また、上記した転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）によれば、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）に、転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する表面粗さが細かい細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）に比べて粗さが粗い粗面領域４０Ａｂ，４１Ａｂ（４０Ｂｂ，４１Ｂｂ）、中間粗さ領域４０Ａｃ，４１Ａｃ（４０Ｂｃ，４１Ｂｃ）及び最粗面領域４０Ａｄ，４１Ａｄ（４０Ｂｄ，４１Ｂｄ）を設けることになるため、転走面４０Ａ，４１Ａ（４０Ｂ，４１Ｂ）の全面を表面粗さが細かい細面領域にする場合と比べて、細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）を形成するための加工時間が短くなる。従って、生産効率を向上し、製造コストを低減することができる。また、細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）を加工するための超仕上げ用砥石５２の使用量を減らすことができる。加えて、粗面領域４０Ａｂ，４１Ａｂ（４０Ｂｂ，４１Ｂｂ）、中間粗さ領域４０Ａｃ，４１Ａｃ（４０Ｂｃ，４１Ｂｃ）及び最粗面領域４０Ａｄ，４１Ａｄ（４０Ｂｄ，４１Ｂｄ）を設けることによりグリスの保持力が向上し、グリスの外部漏れが抑制され、耐久性が向上する。
【００９０】
また、規定の予圧の方向に応じた範囲のみに細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）を設けるため、表面粗さが細かい細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）を形成する加工の加工時間をさらに短くできる。従って、生産効率をさらに向上することができる。また、細面領域４０Ａａ，４１Ａａ（４０Ｂａ，４１Ｂａ）を加工するための超仕上げ用砥石５２の使用量をさらに減らすことができる。加えて、内輪３０Ａ（３０Ｂ）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）が識別溝３８Ａ（３８Ｂ）及びシールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）によって予圧の規定方向を判別可能となるため、方向性があっても、超仕上げ加工機への取付時に適正な方向に取り付けることが容易となり、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）への組み上げも容易となる。加えて、識別溝３８Ａ（３８Ｂ）、シールド板取付部３９Ａ（３９Ｂ）及びシールド板３３Ａ（３３Ｂ）によって予圧の規定方向を判別可能となるため、シャフト２０への転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）の方向性のある組み付けも容易となる。
【００９１】
また、転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂを備えたピボット軸１０によれば、上記のように、製造コストが低減された転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂを用いるため、ピボット軸１０の製造コストを低減することができる。加えて、グリスの保持力が向上し耐久性が向上した転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂを用いるため、ピボット軸１０の耐久性が向上する。
【００９２】
また、上記したピボット軸１０を備えた情報記録再生装置１によれば、製造コストが低減されたピボット軸１０を有するため、製造コストを低減することができ、耐久性を向上したピボット軸１０を有するため、耐久性が向上する。加えて、転がり軸受２２Ａ及び転がり軸受２２Ｂのグリスの保持力が向上し、グリスの外部漏れが抑制されるため、ディスクＤへのグリスの付着等も抑制でき、信頼性を向上できる。
【００９３】
なお、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）として、以下の第２実施形態を採用することも可能である。
【００９４】
（転がり軸受の第２実施形態）
識別溝を設けない場合や、シールド板取付部がなかったり、シールド板取付部が両側にあったり等、規定の予圧の方向を判別可能にできない場合には、図１０に示すように、転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）が、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）に、一方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６０Ａ（６０Ｂ）と逆方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６０Ａ’（６０Ｂ’）とを含んで、これらを結ぶ全範囲に細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）を設ける。このとき、細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）を、接触点６０Ａ（６０Ｂ）の接触点６０Ａ’（６０Ｂ’）とは反対側及び接触点６０Ａ’（６０Ｂ’）の接触点６０Ａ（６０Ｂ）とは反対側にそれぞれ所定幅延出させる。この場合、細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）の一方側及び他方側に隣り合って均等な面積の粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）及び中間粗さ領域４０Ａｃ’（４０Ｂｃ’）が設けられることになり、最粗面領域は設けられない。
【００９５】
同様に、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）に、一方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６１Ａ（６１Ｂ）と逆方向に予圧が付与された場合に転動体３２Ａ（３２Ｂ）が接触する位置である接触点６１Ａ’（６１Ｂ’）とを含んで、これらを結ぶ全範囲に細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）を設ける。このとき、細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）を、接触点６１Ａ（６１Ｂ）の接触点６１Ａ’（６１Ｂ’）とは反対側及び接触点６１Ａ’（６１Ｂ’）の接触点６１Ａ（６１Ｂ）とは反対側にそれぞれ所定幅延出させる。この場合、細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）の一方側及び他方側に隣り合って均等な面積の粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）及び中間粗さ領域４１Ａｃ’（４１Ｂｃ’）が設けられることになり、最粗面領域は設けられない。
【００９６】
これにより、一方向に予圧が付与されても逆方向に予圧が付与されても、転動体３２Ａ（３２Ｂ）が内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）の細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）及び外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）の細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）に接触することになる。よって、取付時に方向性を考慮する必要がなくなる。
【００９７】
（転がり軸受の製造方法の第２実施形態）
第２実施形態の転がり軸受２２Ａ（２２Ｂ）を製造する場合、転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）の細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）及び細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）の範囲で、超仕上げ用砥石５２の粗目加工部５３を往復揺動させた後、細目加工部５４を揺動させて細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）及び細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）を形成することになる。
【００９８】
この場合、内輪３０Ａ（３０Ｂ）の転走面４０Ａ（４０Ｂ）に、一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらして加工を行うことになるため、図１１に示すように、粗目加工部５３により、細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）の位置である転走面４０Ａ（４０Ｂ）の中央を加工する際に、細目加工部５４が転走面４０Ａ（４０Ｂ）の一端側を加工することになり、この部分が、粗面領域４０Ａｂ（４０Ｂｂ）となる。また、図１２に示すように、細目加工部５４により、細面領域４０Ａａ’（４０Ｂａ’）の位置である転走面４０Ａ（４０Ｂ）の中央を加工する際に、粗目加工部５３が転走面４０Ａ（４０Ｂ）の他端側を加工することになり、この部分が、中間粗さ領域４０Ａｃ’（４０Ｂｃ’）となる。
【００９９】
同様に、外輪３１Ａ（３１Ｂ）の転走面４１Ａ（４１Ｂ）にも、一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらして加工を行うことになるため、図１３に示すように、粗目加工部５３により、細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）の位置である転走面４１Ａ（４１Ｂ）の中央を加工する際に、細目加工部５４が転走面４１Ａ（４１Ｂ）の一端側を加工することになり、この部分が、粗面領域４１Ａｂ（４１Ｂｂ）となる。また、図１４に示すように、細目加工部５４により、細面領域４１Ａａ’（４１Ｂａ’）の位置である転走面４１Ａ（４１Ｂ）の中央を加工する際に、粗目加工部５３が転走面４１Ａ（４１Ｂ）の他端側を加工することになり、この部分が、中間粗さ領域４１Ａｃ’（４１Ｂｃ’）となる。
【０１００】
なお、転走面４０Ａ（４０Ｂ）及び転走面４１Ａ（４１Ｂ）について、それぞれの全面を、一つの超仕上げ用砥石５２の位置をずらして粗目加工部５３による粗目の超仕上げ加工及びこれに続く細目加工部５４による細目の超仕上げ加工を行って、全面を細面領域とすることも可能である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  情報記録再生装置
２  キャリッジ
２ａ  アーム部
５  ヘッドジンバルアッセンブリ
６  アクチュエータ
７  スピンドルモータ（回転駆動部）
１０  ピボット軸（軸受装置）
２０  シャフト
２１  スリーブ
２２Ａ  転がり軸受（第一及び第二転がり軸受の一方）
２２Ｂ  転がり軸受（第一及び第二転がり軸受の他方）
３０Ａ  内輪（ワーク）
３０Ｂ  内輪（ワーク）
３１Ａ  外輪（ワーク）
３１Ｂ  外輪（ワーク）
３２Ａ  転動体
３２Ｂ  転動体
３３Ａ  シールド板
３３Ｂ  シールド板
３４Ａ  環状空間
３４Ｂ  環状空間
３８Ａ  識別溝（表示部）
３８Ｂ  識別溝（表示部）
３９Ａ  シールド板取付部（表示部）
３９Ｂ  シールド板取付部（表示部）
４０Ａ  転走面
４０Ａａ  細面領域
４０Ａａ’  細面領域
４０Ａｂ  粗面領域
４０Ａｃ  粗面領域
４０Ａｃ’  粗面領域
４０Ｂ  転走面
４０Ｂａ  細面領域
４０Ｂａ’  細面領域
４０Ｂｂ  粗面領域
４０Ｂｃ  粗面領域
４０Ｂｃ’  粗面領域
４１Ａ  転走面
４１Ａａ  細面領域
４１Ａａ’  細面領域
４１Ａｂ  粗面領域
４１Ａｃ  粗面領域
４１Ａｃ’  粗面領域
４１Ｂ  転走面
４１Ｂａ  細面領域
４１Ｂａ’  細面領域
４１Ｂｂ  粗面領域
４１Ｂｃ  粗面領域
４１Ｂｃ’  粗面領域
５２  超仕上げ用砥石
５３  粗目加工部
５４  細目加工部
６０Ａ  接触点
６０ａ  押圧基準位置
６０Ａ’  接触点
６０Ｂ  接触点
６０ｂ  押圧基準位置
６０Ｂ’  接触点
６１Ａ  接触点
６１ａ  押圧基準位置
６１Ａ’  接触点
６１Ｂ  接触点
６１ｂ  押圧基準位置
６１Ｂ’  接触点
【図１】
2013166205.tif 000003
【図２】
2013166205.tif 000004
【図３】
2013166205.tif 000005
【図４】
2013166205.tif 000006
【図５】
2013166205.tif 000007
【図６】
2013166205.tif 000008
【図７】
2013166205.tif 000009
【図８】
2013166205.tif 000010
【図９】
2013166205.tif 000011
【図１０】
2013166205.tif 000012
【図１１】
2013166205.tif 000013
【図１２】
2013166205.tif 000014
【図１３】
2013166205.tif 000015
【図１４】
2013166205.tif 000016