(57)【要約】【課題】品質の低下を抑制できる成膜方法を提供する。【解決手段】記録媒体の上に紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する機能液で第１膜が形成されるように、機能液を供給する吐出ヘッドと記録媒体とを所定面内の第１方向に相対移動しつつ、機能液の供給及び供給された機能液に対する紫外光の照射を行い、第１膜の上に機能液で第２膜が形成されるように、吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しつつ、機能液の供給及び供給された機能液に対する紫外光の照射を行い、第１、第２膜が形成された後、吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しつつ、吐出ヘッドからの機能液の供給なしに紫外光の照射を行う成膜方法である。【選択図】図６
2013166098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体の上に紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する機能液で第１膜が形成されるように、前記機能液を供給する吐出ヘッドと前記記録媒体とを所定面内の第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び供給された前記機能液に対する前記紫外光の照射を行い、
前記第１膜の上に前記機能液で第２膜が形成されるように、前記吐出ヘッドと前記記録媒体とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び供給された前記機能液に対する前記紫外光の照射を行い、
前記第１、第２膜が形成された後、前記吐出ヘッドと前記記録媒体とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記吐出ヘッドからの前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行う成膜方法。
【請求項２】
前記記録媒体の上に前記機能液で複数の膜が積層され、
前記第２膜は、前記複数の膜のうち最上層の膜であり、
前記第２膜に対して前記吐出ヘッドからの前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行う請求項１に記載の成膜方法。
【請求項３】
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜が形成され、
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の他側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜の上に前記第２膜が形成される請求項１又は２に記載の成膜方法。
【請求項４】
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜が形成され、
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜の上に前記第２膜が形成される請求項１又は２に記載の成膜方法。
【請求項５】
前記第１、第２膜によってパターンが形成され、
前記パターンの目標形状精度に基づいて、前記第１膜を形成するときの前記吐出ヘッドの前記第１方向に関する移動の向き、及び前記第２膜を形成するときの前記吐出ヘッドの前記第１方向に関する移動の向きが決定される請求項３又は４に記載の成膜方法。
【請求項６】
前記第１方向の一側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記記録媒体の第１領域に前記第１膜の第１部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１方向と交差する前記所定面内の第２方向に関して前記第１領域の一側の第２領域に前記第１膜の第２部分を形成し、
次いで、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第２部分の上に前記第２膜の第３部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１部分の上に前記第２膜の第４部分を形成する請求項１〜５のいずれか一項に記載の成膜方法。
【請求項７】
前記第１方向の一側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記記録媒体の第１領域に前記第１膜の第１部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１方向と交差する前記所定面内の第２方向に関して前記第１領域の一側の第２領域に前記第１膜の第２部分を形成し、
次いで、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１部分の上に前記第２膜の第３部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第２部分の上に前記第２膜の第４部分を形成する請求項１〜５のいずれか一項に記載の成膜方法。
【請求項８】
前記第１、第２膜によってパターンが形成され、
前記パターンの目標形状精度に基づいて、前記第１膜を形成するときの前記記録媒体の前記第２方向に関する移動の向き、及び前記第２膜を形成するときの前記記録媒体の前記第２方向に関する移動の向きが決定される請求項６又は７に記載の成膜方法。
【請求項９】
前記記録媒体の裏面が保持装置に吸着保持された状態で、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射が行われる請求項１〜８のいずれか一項に記載の成膜方法。
【請求項１０】
記録媒体の裏面を保持する第１保持装置と、
前記第１保持装置に保持された前記記録媒体の上に、紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する機能液を供給可能な吐出ヘッドと、
前記所定面内の第１方向に関して前記吐出ヘッドの一側に配置され、前記吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射可能な第１照射装置と、
前記吐出ヘッド及び前記第１照射装置を保持する第２保持装置と、
前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、
前記記録媒体の上に前記機能液で第１膜が形成されるように、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射を行い、
前記第１膜の上に前記機能液で第２膜が形成されるように、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射を行い、
前記第１、第２膜が形成された後、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行う液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、機能液を吐出する吐出ヘッドを有し、その吐出ヘッドから吐出された機能液を記録媒体に供給して、その記録媒体の上に膜を形成する。機能液として、紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する、所謂、紫外光硬化型の機能液が知られている。紫外光硬化型の機能液で記録媒体の上に膜を形成する液滴吐出装置は、機能液に紫外光を照射可能な照射装置を備えている。下記特許文献には、液滴吐出装置の一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０８８６０９号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４９５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
紫外光硬化型の機能液を用いて膜を形成する場合、記録媒体の上に供給された機能液に対する紫外光の照射が十分でないと、膜の品質が低下する可能性がある。
【０００５】
本発明は、品質の低下を抑制できる成膜方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、記録媒体の上に紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する機能液で第１膜が形成されるように、前記機能液を供給する吐出ヘッドと前記記録媒体とを所定面内の第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び供給された前記機能液に対する前記紫外光の照射を行い、前記第１膜の上に前記機能液で第２膜が形成されるように、前記吐出ヘッドと前記記録媒体とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び供給された前記機能液に対する前記紫外光の照射を行い、前記第１、第２膜が形成された後、前記吐出ヘッドと前記記録媒体とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記吐出ヘッドからの前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行う成膜方法が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、機能液の供給及び紫外光の照射によって記録媒体の上に第１、第２膜を形成した後、機能液の供給を行うことなく、紫外光を照射するようにしたので、記録媒体に供給された機能液を十分に硬化させることができる。したがって、製造される膜の品質の低下を抑制できる。
【０００８】
前記記録媒体の上に前記機能液で複数の膜が積層され、前記第２膜は、前記複数の膜のうち最上層の膜であり、前記第２膜に対して前記吐出ヘッドからの前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行ってもよい。これにより、最上層の膜を十分に硬化させることができ、品質の低下を抑制できる。
【０００９】
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜が形成され、前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の他側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜の上に前記第２膜が形成されてもよい。これにより、吐出ヘッドを第１方向に往復移動しつつ、第１膜及び第２膜を短時間で効率良く形成できる。
【００１０】
前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜が形成され、前記記録媒体に対して前記吐出ヘッドを前記第１方向の一側に移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射により前記第１膜の上に前記第２膜が形成されてもよい。これにより、例えば吐出ヘッドを第１方向に往復移動する駆動装置がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、第１膜及び第２膜を良好に形成できる。
【００１１】
前記第１、第２膜によってパターンが形成され、前記パターンの目標形状精度に基づいて、前記第１膜を形成するときの前記吐出ヘッドの前記第１方向に関する移動の向き、及び前記第２膜を形成するときの前記吐出ヘッドの前記第１方向に関する移動の向きが決定されてもよい。これにより、例えば第１、第２膜を短時間で形成したい場合、記録媒体に対して吐出ヘッドを第１方向の一側に移動しつつ第１膜を形成した後、記録媒体に対して吐出ヘッドを第１方向の他側に移動しつつ第２膜を形成すればよい。一方、第１、第２膜を高いパターン形成精度で形成したい場合、記録媒体に対して吐出ヘッドを第１方向の一側に移動しつつ第１膜を形成した後、記録媒体に対して吐出ヘッドを第１方向の一側に移動しつつ第２膜を形成すればよい。
【００１２】
前記第１方向の一側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記記録媒体の第１領域に前記第１膜の第１部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１方向と交差する前記所定面内の第２方向に関して前記第１領域の一側の第２領域に前記第１膜の第２部分を形成し、次いで、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第２部分の上に前記第２膜の第３部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１部分の上に前記第２膜の第４部分を形成してもよい。これにより、記録媒体を第２方向に往復移動しつつ、第１膜及び第２膜を短時間で効率良く形成できる。
【００１３】
前記第１方向の一側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記記録媒体の第１領域に前記第１膜の第１部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１方向と交差する前記所定面内の第２方向に関して前記第１領域の一側の第２領域に前記第１膜の第２部分を形成し、次いで、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第１部分の上に前記第２膜の第３部分を形成した後、前記第１方向の一側又は他側に前記吐出ヘッドを移動しながら前記第２部分の上に前記第２膜の第４部分を形成してもよい。これにより、例えば記録媒体を第２方向に往復移動する駆動装置がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、第１膜及び第２膜を良好に形成できる。
【００１４】
前記第１、第２膜によってパターンが形成され、前記パターンの目標形状精度に基づいて、前記第１膜を形成するときの前記記録媒体の前記第２方向に関する移動の向き、及び前記第２膜を形成するときの前記記録媒体の前記第２方向に関する移動の向きが決定されてもよい。これにより、例えば第１、第２膜を短時間で形成したい場合、吐出ヘッドに対して記録媒体を第２方向の一側に移動しつつ第１膜を形成した後、吐出ヘッドに対して記録媒体を第２方向の他側に移動しつつ第２膜を形成すればよい。一方、第１、第２膜を高いパターン形成精度で形成したい場合、吐出ヘッドに対して記録媒体を第２方向の一側に移動しつつ第１膜を形成した後、吐出ヘッドに対して記録媒体を第２方向の一側に移動しつつ第２膜を形成すればよい。
【００１５】
前記記録媒体の裏面が保持装置に吸着保持された状態で、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射が行われてもよい。これにより、記録媒体と保持装置との相対位置がずれることを抑制し、膜の不良の発生を抑制できる。
【００１６】
本発明の第２の態様に従えば、記録媒体の裏面を保持する第１保持装置と、前記第１保持装置に保持された前記記録媒体の上に、紫外光の照射により少なくとも一部が硬化する機能液を供給可能な吐出ヘッドと、前記所定面内の第１方向に関して前記吐出ヘッドの一側に配置され、前記吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射可能な第１照射装置と、前記吐出ヘッド及び前記第１照射装置を保持する第２保持装置と、前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、前記記録媒体の上に前記機能液で第１膜が形成されるように、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射を行い、前記第１膜の上に前記機能液で第２膜が形成されるように、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給及び前記紫外光の照射を行い、前記第１、第２膜が形成された後、前記第２保持装置と前記記録媒体を保持した前記第１保持装置とを前記第１方向に相対移動しつつ、前記機能液の供給なしに前記紫外光の照射を行う液滴吐出装置が提供される。
【００１７】
本発明の第２の態様によれば、機能液の供給及び紫外光の照射によって記録媒体の上に第１、第２膜を形成した後、機能液を供給しないで、紫外光を照射するようにしたので、記録媒体に供給された機能液を十分に硬化させることができる。したがって、製造される膜の品質の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置の一例を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るヘッドユニット、及び第１、第２照射装置の一例を示す図である。
【図３】第１実施形態に係る吐出ヘッドの一例を示す図である。
【図４】第１実施形態に係るヘッドユニット、及び第１、第２照射装置の一例を示す図である。
【図５】第１実施形態に係る吐出ヘッドの一例を示す図である。
【図６】第１実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図７】第２実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図８】第３実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図９】第４実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１０】第４実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１１】第４実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１２】第５実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１３】第５実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１４】第５実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１５】第６実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図１６】第６実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００２０】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置１の一例を示す斜視図である。図１において、液滴吐出装置１は、記録媒体Ｗの裏面を保持する第１保持装置２５を有するステージ装置３と、第１保持装置２５にされた記録媒体Ｗの上に機能液ＬＱを供給可能な吐出ヘッド３３を有するヘッドユニット１３と、Ｘ軸方向に関して吐出ヘッド３３の一側（−Ｘ側）に配置され、吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射可能な第１照射装置１５ａと、Ｘ軸方向に関して吐出ヘッド３３の他側（＋Ｘ側）に配置され、吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射可能な第２照射装置１５ｂと、吐出ヘッド３３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを保持する第２保持装置７と、第１保持装置２５と第２保持装置７とをＸＹ平面内において相対移動可能な駆動システム２とを備えている。駆動システム２は、第１保持装置２５を移動可能な駆動装置４と、第２保持装置７を移動可能な駆動装置１１とを有する。以下の説明において、第１保持装置２５を適宜、テーブル２５、と称し、第２保持装置７を適宜、キャリッジ７、と称する。
【００２１】
本実施形態において、吐出ヘッド３３から供給される機能液ＬＱは、紫外光ＬＵの照射により少なくとも一部が硬化する。すなわち、本実施形態において、機能液ＬＱは、紫外光硬化型の機能液ＬＱである。
【００２２】
本実施形態において、記録媒体Ｗは、プレート状（シート状）である。以下の説明において、記録媒体Ｗを適宜、基板Ｗ、と称する。
【００２３】
液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３と基板Ｗを保持したテーブル２５とをＸＹ平面内において相対移動しつつ、ヘッドユニット１３の吐出ヘッド３３から機能液ＬＱの滴を吐出して、その吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱで、基板Ｗに膜を形成する。この膜により基板Ｗにパターンが形成（描画）される。
【００２４】
ステージ装置３は、定盤２１と、ガイドレール２３ａ、２３ｂと、テーブル２５とを備えている。ガイドレール２３ａ、２３ｂは、定盤２１の上面２１ａに配置される。ガイドレール２３ａ、２３ｂは、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、Ｘ軸方向に並らべて配置される。
【００２５】
テーブル２５は、吐出ヘッド３３の走査方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。テーブル２５は、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する保持面２５ａを有する。テーブル２５は、基板Ｗの表面とＸＹ平面とが実質的に平行になるように、基板Ｗを保持する。基板Ｗの表面は、吐出ヘッド３３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂと対向可能である。
【００２６】
駆動装置４は、テーブル２５をＹ軸方向に移動可能である。駆動装置４は、例えばリニアモータを含み、ガイドレール２３ａ、２３ｂに配置された固定子と、テーブル２５に配置された可動子とを有する。なお、駆動装置４が、テーブル２５を少なくともＹ軸方向に移動可能なボールねじ及びリニアガイドを有するボールねじ機構を含んでもよい。
【００２７】
なお、駆動装置４が、テーブル２５を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺの６つの方向に移動してもよい。
【００２８】
液滴吐出装置１は、架台１０１と、ガイドレール１０３とを備えている。架台１０１は、Ｘ軸方向に長い。架台１０１は、支柱１０７ａ、１０７ｂによって支持される。ガイドレール１０３は、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール１０３は、架台１０１に接続される。キャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持される。
【００２９】
駆動装置１１は、キャリッジ７をＸ軸方向に移動可能である。駆動装置１１は、例えばリニアモータを含み、ガイドレール１０３に配置された固定子と、キャリッジ７に配置された可動子とを有する。なお、駆動装置１１が、キャリッジ７を少なくともＸ軸方向に移動可能なボールねじ及びリニアガイドを有するボールねじ機構を含んでもよい。
【００３０】
なお、駆動装置１１が、キャリッジ７を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺの６つの方向に移動してもよい。
【００３１】
図２は、キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂの一例を示す図である。図１及び図２に示すように、キャリッジ７は、ヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを保持する。ヘッドユニット１３は、キャリッジ７に接続されるヘッドプレート３１と、ヘッドプレート３１に接続される吐出ヘッド３３とを有する。吐出ヘッド３３は、ヘッドプレート３１を介して、キャリッジ７に保持される。キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂは、テーブル２５の上方において移動可能である。
【００３２】
また、図２に示すように、テーブル２５は、気体を吸引可能な吸引口２５ｂを有する。吸引口２５ｂは、保持面２５ａに配置される。吸引口２５ｂは、複数配置される。吸引口２５ｂは、基板Ｗの裏面と対向するように配置される。吸引口２５ｂのそれぞれは、真空システム（不図示）に接続される。基板Ｗの裏面と保持面２５ａとが接触した状態で、吸引口２５ｂから気体が吸引されることによって、基板Ｗが保持面２５ａに吸着保持される。
【００３３】
図３は、吐出ヘッド３３を下側（−Ｚ側）から見た図である。吐出ヘッド３３は、下面３５を有する。下面３５に、複数の開口３７が配置される。下面３５は、開口３７の周囲に配置される。開口３７から機能液の滴が吐出される。以下の説明において、下面３５を適宜、ノズル面３５、と称し、開口３７を適宜、ノズル３７、と称する。
【００３４】
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ軸方向に配置される。複数のノズル３７は、間隔（ピッチ）ＰをあけてＹ軸方向に配置される。以下の説明において、Ｙ軸方向に配置される複数のノズル３７の群を適宜、ノズル列３９、と称する。
【００３５】
ノズル列３９は、Ｘ軸方向に複数配置される。本実施形態において、ノズル列３９は、Ｘ軸方向に４つ配置される。以下の説明において、４つのノズル列３９のうち、最も−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第１ノズル列３９ａ、と称し、第１ノズル列３９ａに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第２ノズル列３９ｂ、と称し、第２ノズル列３９ｂに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第３ノズル列３９ｃ、と称し、４つのノズル列３９のうち、最も＋Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第４ノズル列３９ｄ、と称する。
【００３６】
本実施形態において、第１ノズル列３９ａと第２ノズル列３９ｂとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。第３ノズル列３９ｃと第４ノズル列３９ｄとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。
【００３７】
図４は、キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３（吐出ヘッド３３）、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを下側（−Ｚ側）から見た図である。
【００３８】
図２及び図４に示すように、第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂのそれぞれは、紫外光を発生する光源４３を有する。光源４３からの紫外光ＬＵは、吐出ヘッド３３から基板Ｗに供給された機能液ＬＱの硬化を促進させる。機能液ＬＱは、紫外光ＬＵの照射により硬化する。
【００３９】
光源４３は、例えばエキシマランプを含む。なお、光源４３が、ＬＥＤ、ＬＥ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、及びキセノンランプの少なくとも一つを含んでもよい。
【００４０】
第１照射装置１５ａは、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置される。第２照射装置１５ｂは、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置される。Ｙ軸方向に関して、第１照射装置１５ａの寸法及び第２照射装置１５ｂの寸法は、ノズル列３９の寸法よりも大きい。なお、ノズル列３９の寸法とは、ノズル列３９のうち、最も＋Ｙ側に配置されるノズル３７と、最も−Ｙ側に配置されるノズル３７との距離をいう。
【００４１】
図５は、吐出ヘッド３３の一例を示す断面図である。図５に示すように、吐出ヘッド３３は、ノズルプレート４６と、キャビティプレート４７と、振動板４８と、圧電素子４９とを有する。
【００４２】
ノズルプレート４６は、ノズル面３５と、ノズル面３５の反対方向を向く上面３６とを輸する。ノズルプレート４６に、ノズル３７が形成される。
【００４３】
キャビティプレート４７は、ノズルプレート４６の上面３６と対向する下面４７ｂと、その下面４７ｂの反対方向を向く上面４７ａとを有する。キャビティプレート４７は、キャビティ５１を有する。キャビティ５１は、複数のノズル３７のそれぞれに対応するように、複数形成される。タンク等を含む機能液供給装置から、キャビティ５１に対して機能液ＬＱが供給される。
【００４４】
振動板４８は、キャビティプレート４７の上面４７ａと対向する下面４８ｂと、その下面４８ｂの反対方向を向く上面４８ａとを有する。振動板４８が振動すると、キャビティ５１の容積が拡大又は縮小する。
【００４５】
圧電素子４９は、振動板４８の上面４８ａと対向するように配置される。圧電素子４９は、複数のキャビティ５１のそれぞれに対応するように、複数配置される。圧電素子４９に駆動信号が入力されると、その駆動信号に応じて、圧電素子４９が伸縮する。これにより、振動板４８が振動し、キャビティ５１の容積が拡大又は縮小する。キャビティ５１の容積が変化し、そのキャビティ５１の圧力が高くなると、そのキャビティ５１内の機能液ＬＱがノズル３７から吐出される。これにより、ノズル３７と対向する基板Ｗに、ノズル３７から機能液ＬＱの滴が供給される。
【００４６】
次に、上述の液滴吐出装置１を用いて、基板Ｗに膜を形成する方法の一例について説明する。図６は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。
【００４７】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗの上に機能液ＬＱで第１膜Ｆ１が形成されるように、吐出ヘッド３３と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。また、液滴吐出装置１は、基板Ｗの裏面がテーブル２５に吸着保持された状態で、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００４８】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７（ヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、第２照射装置１５ｂ）を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１を形成する。図６（Ａ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。第１膜Ｆ１を形成するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して−Ｘ側の第１位置から＋Ｘ側の第２位置まで移動する。
【００４９】
なお、液滴吐出装置１は、第１膜Ｆ１を形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００５０】
基板Ｗの上に第１膜Ｆ１が形成された後、液滴吐出装置１は、第１膜Ｆ１の上に機能液ＬＱで第２膜Ｆ２が形成されるように、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００５１】
本実施形態においては、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射とを行って、第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２を形成する。図６（Ｂ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置されている第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行う。第２膜Ｆ２を形成するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して＋Ｘ側の第２位置から−Ｘ側の第１位置まで移動する。この際、−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。このようにすれば、第１膜Ｆ１の硬化をより促進することができる。
【００５２】
なお、液滴吐出装置１は、第２膜Ｆ２を形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００５３】
以上により、基板Ｗの上に、第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆが形成される。
【００５４】
基板Ｗの上に第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆが形成された後、液滴吐出装置１は、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、膜Ｆに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００５５】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、膜Ｆに対する紫外光ＬＵの照射を行う。図６（Ｃ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射を行う。なお、第２照射装置１５ｂから紫外光ＬＵを照射してもよいし、第１照射装置１５ａ及び第２照射装置１５ｂの両方から紫外光ＬＵを照射してもよい。機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵを照射するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して−Ｘ側の第１位置から＋Ｘ側の第２位置まで移動する。
【００５６】
なお、液滴吐出装置１は、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００５７】
なお、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態によれば、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射によって基板Ｗの上に第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆを形成した後、機能液ＬＱの供給を行うことなく、紫外光ＬＵを照射するようにしたので、基板Ｗに供給された機能液ＬＱを十分に硬化させることができる。したがって、製造される膜Ｆの品質の低下を抑制できる。
【００５９】
また、本実施形態によれば、基板Ｗに対してキャリッジ７をＸ軸方向の一側（例えば＋Ｘ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うにより第１膜Ｆ１が形成され、基板Ｗに対してキャリッジ７をＸ軸方向の他側（例えば−Ｘ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うことにより第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２が形成されるようにしたので、基板Ｗに対してキャリッジ７をＸ軸方向に往復移動しつつ、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を短時間で効率良く形成できる。
【００６０】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００６１】
図７は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。
【００６２】
液滴吐出装置１は、基板Ｗの上に機能液ＬＱで第１膜Ｆ１が形成されるように、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００６３】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１を形成する。図７（Ａ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。第１膜Ｆ１を形成するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して−Ｘ側の第１位置から＋Ｘ側の第２位置まで移動する。その後、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００６４】
なお、液滴吐出装置１は、第１膜Ｆ１を形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００６５】
基板Ｗの上に第１膜Ｆ１が形成された後、液滴吐出装置１は、第１膜Ｆ１の上に機能液ＬＱで第２膜Ｆ２が形成されるように、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００６６】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射とを行って、第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２を形成する。図７（Ｂ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。この際、＋Ｘ側に配置されている第２照射装置１５ｂからも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。このようにすれば、第１膜Ｆ１の硬化をより促進することができる。第１膜Ｆ１の形成後、第２膜Ｆ２の形成を開始するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して＋Ｘ側の第２位置から−Ｘ側の第１位置まで戻る。その後、第２膜Ｆ２を形成するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して−Ｘ側の第１位置から＋Ｘ側の第２位置まで移動する。
【００６７】
なお、液滴吐出装置１は、第２膜Ｆ２を形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００６８】
以上により、基板Ｗの上に、第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆが形成される。
【００６９】
基板Ｗの上に第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆが形成された後、液滴吐出装置１は、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、膜Ｆに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００７０】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、膜Ｆに対する紫外光ＬＵの照射を行う。図７（Ｃ）に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射を行う。なお、第２照射装置１５ｂから紫外光ＬＵを照射してもよいし、第１照射装置１５ａ及び第２照射装置１５ｂの両方から紫外光ＬＵを照射してもよい。機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵを照射するために、キャリッジ７は、基板Ｗに対して−Ｘ側の第１位置から＋Ｘ側の第２位置まで移動する。
【００７１】
なお、液滴吐出装置１は、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００７２】
なお、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００７３】
以上説明したように、本実施形態においても、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射によって基板Ｗの上に第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２を含む膜Ｆを形成した後、機能液ＬＱの供給を行うことなく、紫外光ＬＵを照射するようにしたので、基板Ｗに供給された機能液ＬＱを十分に硬化させることができる。したがって、製造される膜Ｆの品質の低下を抑制できる。
【００７４】
また、本実施形態によれば、基板Ｗに対してキャリッジ７をＸ軸方向の一側（例えば＋Ｘ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うことにより第１膜Ｆ１が形成され、基板Ｗに対してキャリッジ７をＸ軸方向の一側（例えば＋Ｘ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うことにより第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２が形成されるようにしたので、例えばキャリッジ７をＸ軸方向に往復移動する駆動装置１１がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆを短時間で効率良く形成できる。
【００７５】
例えば、第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２によって基板Ｗにパターンを形成する場合、そのパターンの目標形状精度に基づいて、第１膜Ｆ１を形成するときのキャリッジ７のＸ軸方向に関する移動の向き、及び第２膜Ｆ２を形成するときのキャリッジ７のＸ軸方向に関する移動の向きを決定してもよい。
【００７６】
例えば、パターンの目標形状精度がある程度低くても許容される場合、第１実施形態で説明したように、第１位置に配置されているキャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って第１膜Ｆ１を形成し、次いで、第２位置に配置されているキャリッジ７を−Ｘ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って第２膜Ｆ２を形成することによって、膜Ｆを短時間で製造できる。一方、パターンの目標形状精度が高い場合、第２実施形態で説明したように、第１位置に配置されているキャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って第１膜Ｆ１を形成し、そのキャリッジ７を第２位置から第１位置に戻した後、第１位置に配置されているキャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って第２膜Ｆ２を形成することによって、駆動装置１１がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、パターンを精度良く形成できる。
【００７７】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００７８】
上述の第１、第２実施形態においては、基板Ｗの上に形成される膜Ｆが、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含むこととした。本実施形態においては、基板Ｗの上に、機能液ＬＱで３層以上の複数の膜が積層される場合について説明する。換言すれば、本実施形態においては、基板Ｗの上に形成される膜Ｆが、３層以上の複数の膜Ｆ１〜Ｆｎを含む場合について説明する。
【００７９】
図８は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。図８（Ａ）は、複数の膜Ｆ１〜Ｆｎのうち、第ｉ層目の膜Ｆｉを形成している状態の一例を示す。図８（Ａ）に示すように、液滴吐出装置１は、機能液ＬＱで第ｉ膜Ｆｉが形成されるように、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００８０】
図８（Ａ）に示す例では、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行って、第ｉ膜Ｆｉを形成する。
【００８１】
なお、液滴吐出装置１は、第ｉ膜Ｆｉを形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、吐出ヘッド３３及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００８２】
なお、液滴吐出装置１は、第ｉ膜Ｆｉを形成するために、キャリッジ７を−Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置されている第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、吐出ヘッド３３及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。この際、キャリッジ７の移動方向と反対側に配置されている照射装置からも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。このようにすれば、第ｉ−１膜Ｆｉ−１の硬化をより促進することができる。
【００８３】
図８（Ｂ）は、複数の膜Ｆ１〜Ｆｎのうち、最上層の膜Ｆｎを形成している状態の一例を示す。図８（Ｂ）に示すように、液滴吐出装置１は、機能液ＬＱで第ｎ膜Ｆｎが形成されるように、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００８４】
図８（Ｂ）に示す例では、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置されている第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行って、第ｎ膜Ｆｎを形成する。
【００８５】
なお、液滴吐出装置１は、第ｎ膜Ｆｎを形成するために、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００８６】
なお、液滴吐出装置１は、第ｎ膜Ｆｎを形成するために、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置されている第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行ってもよい。
【００８７】
以上により、基板Ｗの上に、第１〜第ｎ膜Ｆ１〜Ｆｎを含む膜Ｆが形成される。
【００８８】
基板Ｗの上に第１〜第ｎ膜Ｆ１〜Ｆｎを含む膜Ｆが形成された後、図８（Ｃ）に示すように、液滴吐出装置１は、キャリッジ７と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、最上層の第ｎ膜Ｆｎする紫外光ＬＵの照射を行う。
【００８９】
本実施形態においては、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに、膜Ｆに対する紫外光ＬＵの照射を行う。図８（Ｃ）に示す例では、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しながら、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射を行う。なお、第２照射装置１５ｂから紫外光ＬＵを照射してもよいし、第１照射装置１５ａ及び第２照射装置１５ｂの両方から紫外光ＬＵを照射してもよい。
【００９０】
なお、液滴吐出装置１は、キャリッジ７に対して基板Ｗを−Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００９１】
なお、液滴吐出装置１は、基板Ｗに対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７に対して基板Ｗを＋Ｘ方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよいし、キャリッジ７及び基板Ｗ（テーブル２５）の両方をＸ軸方向に移動しつつ、機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行ってもよい。
【００９２】
以上説明したように、本実施形態によれば、基板Ｗの上に機能液ＬＱで複数の膜Ｆ１〜Ｆｎを積層して膜Ｆを形成する場合において、それら複数の膜Ｆ１〜Ｆｎのうち最上層の膜Ｆｎを形成した後、その第ｎ膜Ｆｎに対して機能液ＬＱの供給なしに紫外光ＬＵの照射を行うようにしたので、その最上層の第ｎ膜Ｆｎを十分に硬化させることができる。したがって、製造される膜Ｆの品質の低下を抑制できる。
【００９３】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００９４】
図９〜図１１は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。図９は、基板Ｗの上に機能液ＬＱで第１膜Ｆ１を形成する方法の一例を示す。図１０は、第１膜Ｆ１の上に機能液ＬＱで第２膜Ｆ２を形成する方法の一例を示す。図１１は、機能液ＬＱの供給なしに、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆに紫外光ＬＵを照射する方法の一例を示す。
【００９５】
本実施形態において、キャリッジ７（ヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、第２照射装置１５ｂ）が主にＸ軸方向に移動し、テーブル２５（基板Ｗ）が主にＹ軸方向に移動することとする。すなわち、Ｘ軸方向に関しては、基板Ｗに対してキャリッジ７が移動し、Ｙ軸方向に関しては、キャリッジ７に対して基板Ｗが移動することとする。なお、キャリッジ７が主にＹ軸方向に移動し、テーブル２５（基板Ｗ）が主にＸ軸方向に移動することとしてもよい。すなわち、Ｘ軸方向に関しては、キャリッジ７に対して基板Ｗが移動し、Ｙ軸方向に関しては、基板Ｗに対してキャリッジ７が移動することとしてもよい。
【００９６】
液滴吐出装置１は、図９（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、基板Ｗの領域Ｗａに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ａを形成した後、図９（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗａの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｂに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｂを形成する。
【００９７】
次いで、液滴吐出装置１は、図９（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗｂの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｃに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｃを形成した後、図９（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）に基板Ｗを移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗｃの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｄに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｄを形成する。
【００９８】
なお、部分Ｆ１ａが形成された後、部分Ｆ１ｂが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ１ｂが形成された後、部分Ｆ１ｃが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動され、部分Ｆ１ｃが形成された後、部分Ｆ１ｄが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ１ａ〜Ｆ１ｄを順次形成して第１膜Ｆ１を製造する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第３位置から、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第４位置まで移動する。
【００９９】
また、部分Ｆ１ａ、Ｆ１ｃを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。部分Ｆ１ｂ、Ｆ１ｄを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。この時いずれの場合においても、キャリッジ７の移動方向と反対側に配置された照射装置からも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。
【０１００】
以上により、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１が形成される。
【０１０１】
次に、液滴吐出装置１は、図１０（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｄの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｄを形成した後、図１０（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｃの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｃを形成する。
【０１０２】
次いで、液滴吐出装置１は、図１０（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｂの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｂを形成した後、図１０（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）に基板Ｗを移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ａの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ａを形成する。
【０１０３】
なお、部分Ｆ２ｄが形成された後、部分Ｆ２ｃが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が−Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ２ｃが形成された後、部分Ｆ２ｂが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が−Ｙ側に移動され、部分Ｆ２ｂが形成された後、部分Ｆ２ａが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が−Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ２ｄ〜Ｆ２ａを順次形成して第２膜Ｆ２を製造する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第４位置から、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第３位置まで移動する。
【０１０４】
また、部分Ｆ２ｄ、Ｆ２ｂを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。部分Ｆ２ｃ、Ｆ２ａを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。この時いずれの場合においても、キャリッジ７の移動方向と反対側に配置された照射装置からも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。
【０１０５】
以上により、第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２が形成される。
【０１０６】
次に、液滴吐出装置１は、図１１（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ａに紫外光ＬＵを照射した後、図１１（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵを照射する。
【０１０７】
次いで、液滴吐出装置１は、図１１（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵを照射した後、図１１（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｄに紫外光ＬＵを照射する。
【０１０８】
なお、部分Ｆ２ａに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動され、部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｄに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ２ａ〜Ｆ２ｄに対して紫外光ＬＵを順次照射する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂ）とが対向する第３位置から、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂ）とが対向する第４位置まで移動する。
【０１０９】
このとき第１照射装置１５ａのみから紫外光ＬＵを照射するようにしてもよいし、第２照射装置１５ｂのみから紫外光ＬＵを照射するようにしてもよいし、第１照射装置１５ａと第２照射装置１５ｂとの両方から紫外光ＬＵを照射するようにしてもよい。
【０１１０】
また本実施形態において、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１形成した後であって第２膜Ｆ２を形成する前に、図１１（Ａ）から図１１（Ｄ）に示したのと同様の工程を、第１膜Ｆ１に対して行ってもよい。この場合、基板Ｗの移動方向は、第１膜Ｆ１を形成する際の基板Ｗとは逆方向（＋Ｙ側）となり、第２膜Ｆ２を形成する際の基板Ｗの移動方向は、第１膜Ｆ１を形成する際の基板Ｗと同じ方向（−Ｙ側）となり、図１１（Ａ）から図１１（Ｄ）に示す工程における基板Ｗの移動方向は、第１膜Ｆ１を形成する際の基板Ｗとは逆方向（＋Ｙ側）となる。
【０１１１】
以上説明したように、本実施形態においても、基板Ｗ（吐出ヘッド３３）に対して吐出ヘッド３３（基板Ｗ）をＸ軸方向に往復移動しつつ、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆを短時間で効率良く形成できる。
【０１１２】
＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１１３】
図１２〜図１４は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。図１２は、基板Ｗの上に機能液ＬＱで第１膜Ｆ１を形成する方法の一例を示す。図１３は、第１膜Ｆ１の上に機能液ＬＱで第２膜Ｆ２を形成する方法の一例を示す。図１４は、機能液ＬＱの供給なしに、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆに紫外光ＬＵを照射する方法の一例を示す。
【０１１４】
液滴吐出装置１は、図１１（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、基板Ｗの領域Ｗａに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ａを形成した後、図１１（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗａの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｂに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｂを形成する。
【０１１５】
次いで、液滴吐出装置１は、図１１（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗｂの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｃに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｃを形成した後、図１１（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）に基板Ｗを移動しながら、Ｙ軸方向に関して領域Ｗｃの一側（−Ｙ側）の基板Ｗの領域Ｗｄに第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｄを形成する。
【０１１６】
なお、部分Ｆ１ａが形成された後、部分Ｆ１ｂが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ１ｂが形成された後、部分Ｆ１ｃが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動され、部分Ｆ１ｃが形成された後、部分Ｆ１ｄが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ１ａ〜Ｆ１ｄを順次形成して第１膜Ｆ１を製造する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第３位置から、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第４位置まで移動する。
【０１１７】
また、部分Ｆ１ａ、Ｆ１ｃを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。部分Ｆ１ｂ、Ｆ１ｄを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。この時いずれの場合においても、キャリッジ７の移動方向と反対側に配置された照射装置からも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。
【０１１８】
以上により、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１が形成される。
【０１１９】
次に、液滴吐出装置１は、図１３（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ａの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ａを形成した後、図１３（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｂの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｂを形成する。
【０１２０】
次いで、液滴吐出装置１は、図１３（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｃの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｃを形成した後、図１３（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）に基板Ｗを移動しながら、第１膜Ｆ１の部分Ｆ１ｄの上に第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｄを形成する。
【０１２１】
なお、部分Ｆ２ａが形成された後、部分Ｆ２ｂが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ２ｂが形成された後、部分Ｆ２ｃが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動され、部分Ｆ２ｃが形成された後、部分Ｆ２ｄが形成される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ２ａ〜Ｆ２ｄを順次形成して膜Ｆ２を製造する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第３位置から、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（吐出ヘッド３３）とが対向する第４位置まで移動する。
【０１２２】
また、部分Ｆ２ａ、Ｆ２ｃを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。部分Ｆ２ｂ、Ｆ２ｄを形成するときは、吐出ヘッド３３からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われる。この時いずれの場合においても、キャリッジ７の移動方向と反対側に配置された照射装置からも紫外光ＬＵの照射を行うようにしてもよい。
【０１２３】
以上により、第１膜Ｆ１の上に第２膜Ｆ２が形成される。
【０１２４】
次に、液滴吐出装置１は、図１４（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ａに紫外光ＬＵを照射した後、図１４（Ｂ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵを照射する。
【０１２５】
次いで、液滴吐出装置１は、図１４（Ｃ）に示すように、Ｘ軸方向の一側（−Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵを照射した後、図１４（Ｄ）に示すように、Ｘ軸方向の他側（＋Ｘ側）にキャリッジ７を移動しながら、機能液ＬＱの供給なしに、第２膜Ｆ２の部分Ｆ２ｄに紫外光ＬＵを照射する。
【０１２６】
このとき第１照射装置１５ａのみから紫外光ＬＵを照射するようにしてもよいし、第２照射装置１５ｂのみから紫外光ＬＵを照射するようにしてもよいし、第１照射装置１５ａと第２照射装置１５ｂとの両方から紫外光ＬＵを照射するようにしてもよい。
【０１２７】
また本実施形態において、基板Ｗの上に第１膜Ｆ１形成した後であって第２膜Ｆ２を形成する前に、図１４（Ａ）から図１４（Ｄ）に示したのと同様の工程を、第１膜Ｆ１に対して行ってもよい。
【０１２８】
なお、部分Ｆ２ａに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。同様に、部分Ｆ２ｂに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動され、部分Ｆ２ｃに紫外光ＬＵが照射された後、部分Ｆ２ｄに紫外光ＬＵが照射される前に、基板Ｗ（テーブル２５）が＋Ｙ側に移動される。すなわち、本実施形態においては、部分Ｆ２ａ〜Ｆ２ｄに対して紫外光ＬＵを順次照射する場合、基板Ｗ（テーブル２５）は、基板Ｗの＋Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂ）とが対向する第３位置から、基板Ｗの−Ｙ側の周縁部とキャリッジ７（第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂ）とが対向する第４位置まで移動する。
【０１２９】
以上説明したように、本実施形態においても、吐出ヘッド３３に対して基板ＷをＸ軸方向に往復移動しつつ、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆを短時間で効率良く形成できる。
【０１３０】
また、本実施形態によれば、キャリッジ７に対して基板Ｗ（テーブル２５）をＹ軸方向の一側（例えば＋Ｙ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うことにより、部分Ｆ１ａ〜Ｆ１ｄが順次形成されて第１膜Ｆ１が製造され、キャリッジ７に対して基板Ｗ（テーブル２５）をＹ軸方向の一側（例えば＋Ｙ側）に移動しつつ、機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射を行うことにより、第１膜Ｆ１の上に部分Ｆ２ａ〜Ｆ２ｄが順次形成されて第２膜Ｆ２が製造されるので、例えばテーブル２５をＹ軸方向に往復移動する駆動装置４がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、第１膜Ｆ１及び第２膜Ｆ２を含む膜Ｆを短時間で効率良く形成できる。
【０１３１】
例えば、第１、第２膜Ｆ１、Ｆ２によって基板Ｗにパターンを形成する場合、そのパターンの目標形状精度に基づいて、第１膜Ｆ１を形成するときの基板Ｗ（テーブル２５）のＹ軸方向に関する移動の向き、及び第２膜Ｆ２を形成するときの基板Ｗ（テーブル２５）のＹ軸方向に関する移動の向きを決定してもよい。
【０１３２】
例えば、パターンの目標形状精度がある程度低くても許容される場合、第４実施形態で説明したように、第３位置に配置されている基板Ｗを＋Ｙ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って部分Ｆ１ａ〜Ｆ１ｄを順次形成して第１膜Ｆ１を製造し、次いで、第４位置に配置されている基板Ｗを−Ｙ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って部分Ｆ２ｄ〜Ｆ２ａを順次形成して第２膜Ｆ２を製造することによって、膜Ｆを短時間で製造できる。一方、パターンの目標形状精度が高い場合、第５実施形態で説明したように、第３位置に配置されているキャリッジ７を＋Ｙ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って部分Ｆ１ａ〜Ｆ１ｄを順次形成して第１膜Ｆ１を形成し、その基板Ｗ（テーブル２５）を第４位置から第３位置に戻した後、第３位置に配置されている基板Ｗを＋Ｙ方向に移動しながら機能液ＬＱの供給と紫外光ＬＵの照射とを行って部分Ｆ２ａ〜Ｆ２ｄを順次形成して第２膜Ｆ２を製造することによって、駆動装置４がバックラッシュ等の誤差成分を含む場合でも、その誤差成分の影響を抑制しつつ、パターンを精度良く形成できる。
【０１３３】
＜第６実施形態＞
次に、第６実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１３４】
図１５は、上述の実施形態に従って形成された膜Ｆ（パターン）の一例を示す断面図、図１６は、基板Ｗ側から見た平面図である。例えば、基板Ｗ上に形成される第１、第２層目となる膜Ｆ１、Ｆ２で形成されるパターンは、上述の第２実施形態又は第５実施形態に従って形成される。すなわち、膜Ｆ１、Ｆ２で形成されるパターンは、目標形状精度が高い。膜Ｆ１、Ｆ２は、光が透過可能な透過膜Ｆｓと、光を遮る遮光膜Ｆｂとを含む。
【０１３５】
膜Ｆ２の上に形成される第３〜第６層目となる膜Ｆ３〜Ｆ６で形成されるパターンは、上述の第１実施形態又は第４実施形態に従って形成される。すなわち、膜Ｆ３〜Ｆ６で形成されるパターンは、目標形状精度がある程度低くても許容され、生産性（短時間で製造できること）が重視される。
【０１３６】
図１６に示すように、膜Ｆ１、Ｆ２の透過膜Ｆｓは、例えば自動車のスピードメーターの文字や目盛を形成する。文字や目盛は、高いパターン形成精度が要求されるため、上述の第２、第５実施形態に従って形成される。一方、スピードメーターの下地となる部分は、膜Ｆ３〜Ｆ６を含む。下地の製造には、パターン形成精度よりも生産性が重視されるため、下地は、第１、第４実施形態に従って形成される。
【符号の説明】
【０１３７】
１…液滴吐出装置、２…駆動システム、４…駆動装置、７…キャリッジ、１１…駆動装置、１５ａ…第１照射装置、１５ｂ…第２照射装置、２５…テーブル、３３…吐出ヘッド、ＬＱ…機能液、ＬＵ…紫外光、Ｆ…膜、Ｆ１…第１膜、Ｆ２…第２膜、Ｗ…基板。
【図１】
2013166098.tif 000003
【図２】
2013166098.tif 000004
【図３】
2013166098.tif 000005
【図４】
2013166098.tif 000006
【図５】
2013166098.tif 000007
【図６】
2013166098.tif 000008
【図７】
2013166098.tif 000009
【図８】
2013166098.tif 000010
【図９】
2013166098.tif 000011
【図１０】
2013166098.tif 000012
【図１１】
2013166098.tif 000013
【図１２】
2013166098.tif 000014
【図１３】
2013166098.tif 000015
【図１４】
2013166098.tif 000016
【図１５】
2013166098.tif 000017
【図１６】
2013166098.tif 000018