(57)【要約】      （修正有）【課題】指向角を拡張することができる発光素子、および、光出力を増加させることができる発光素子パッケージを提供する。【解決手段】発光素子１００Ａは、基板１、前記基板の上にバッファ層３、および前記バッファ層の上に発光構造物１０を含み、前記バッファ層の屈折率は前記発光構造物から前記基板に行くほど減少させ、活性層７で生成されて前記バッファ層に進行された光がより広く広がって、前記基板に入射され、光指向角が拡張される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の上にバッファ層と、
前記バッファ層の上に発光構造物と、を含み、
前記バッファ層の屈折率は前記発光構造物から前記基板に行くほど減少することを特徴とする、発光素子。
【請求項２】
前記バッファ層は多数のサブ層を含み、
前記各サブ層は互いに相異する屈折率を有することを特徴とする、請求項１に記載の発光素子。
【請求項３】
前記発光構造物から前記基板に行くほど前記各サブ層の屈折率は減少することを特徴とする、請求項２に記載の発光素子。
【請求項４】
前記発光構造物から前記基板に行くほど前記各サブ層のＡｌ含有量は増加することを特徴とする、請求項２に記載の発光素子。
【請求項５】
前記サブ層は前記発光構造物よりは低く、前記基板よりは大きい屈折率を有する化合物半導体材質を含むことを特徴とする、請求項２乃至４のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項６】
前記サブ層は、ＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（但し、０≦ｘ≦１）であることを特徴とする、請求項２乃至５のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項７】
前記サブ層は、ＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（但し、０＜ｘ≦１）であることを特徴とする、請求項２乃至５のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項８】
前記各サブ層は互いに相異するＡｌ含有量を有することを特徴とする、請求項２に記載の発光素子。
【請求項９】
前記各サブ層の屈折率の差は可変されることを特徴とする、請求項２または８に記載の発光素子。
【請求項１０】
前記各サブ層の厚さは可変されることを特徴とする、請求項２、８及び９のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項１１】
前記発光構造物から前記バッファ層の厚さの中間までの前記バッファ層の屈折率が前記バッファ層の中間から前記基板までの前記バッファ層の屈折率より大きく可変されることを特徴とする、請求項１に記載の発光素子。
【請求項１２】
前記発光構造物から前記バッファ層の厚さの中間までの前記バッファ層の屈折率が前記バッファ層の中間から前記基板までの前記バッファ層の屈折率より小さく可変されることを特徴とする、請求項１に記載の発光素子。
【請求項１３】
前記基板の上に配置された多数の突起部をさらに含むことを特徴とする、請求項１乃至１２のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項１４】
前記バッファ層は、前記突起部の間の前記基板の上に配置されることを特徴とする、請求項１乃至１３のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項１５】
前記突起部は、前記基板の上面から上方に延長されることを特徴とする、請求項１乃至１４のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項１６】
基板と、
前記基板の上にバッファ層と、
前記バッファ層の上に導電型半導体層と、を含み、
前記バッファ層は多数のサブ層を含み、
前記発光構造物から前記基板に行くほど前記各サブ層の屈折率は減少することを特徴とする、発光素子。
【請求項１７】
前記サブ層はＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（但し、０≦ｘ≦１）であることを特徴とする、請求項１６に記載の発光素子。
【請求項１８】
前記基板に隣接するサブ層は最大のＡｌ含有量を含むことを特徴とする、請求項１６または１７に記載の発光素子。
【請求項１９】
前記基板の上に配置された多数の突起部をさらに含み、
前記突起部は前記基板の上面から上方に延長されることを特徴とする、請求項１６乃至１８のうち、いずれか１項に記載の発光素子。
【請求項２０】
前記突起部の厚さは前記バッファ層の厚さより大きいことを特徴とする、請求項１９に記載の発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子に関する。
【０００２】
本発明は、発光素子パッケージに関する。
【背景技術】
【０００３】
発光ダイオード（Light-Emitting Diode：ＬＥＤ）は、電流を光に変換させる半導体発光素子（semiconductor light emitting device）である。
【０００４】
発光素子は、高輝度を有する光を得ることができるので、ディスプレイ用光源、自動車用光源、及び照明用光源に幅広く使われている。
【０００５】
発光素子は、多様な蛍光物質と多様な色の発光ダイオードを組み合わせることによって、光効率と色再現性に優れる白色光を得ることができる。このような白色光の発光素子は、照明分野、ディスプレイ分野、そして自動車分野に広く使用できる。
【０００６】
発光素子は、光効率、放熱性能、及び取扱の最適化のためにパッケージ化した発光素子パッケージに広く活用されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、指向角を拡張することができる発光素子を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、光出力を増加させることができる発光素子パッケージを提供することにある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の様々な実施形態によれば、発光素子は、基板、前記基板の上にバッファ層、及び前記バッファ層の上に発光構造物を含み、前記バッファ層の屈折率は前記発光構造物から前記基板に行くほど減少する。
【００１０】
本発明の様々な実施形態によれば、発光素子は、基板、前記基板の上にバッファ層、及び前記バッファ層の上に導電型半導体層を含み、前記バッファ層は多数のサブ層を含み、前記発光構造物から前記基板に行くほど前記各サブ層の屈折率は減少する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に従う発光素子を示す断面図。
【図２】本発明の第２実施形態に従う発光素子を示す断面図。
【図３】本発明の第１及び第２実施形態のバッファ層の屈折率分布を示す第１例示図。
【図４】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第２例示図。
【図５】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第３例示図。
【図６】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第４例示図。
【図７】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第５例示図。
【図８】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第６例示図。
【図９】本発明の第１及び第２実施形態におけるバッファ層の屈折率分布を示す第７例示図。
【図１０Ａ】屈折率に従う光の進行経路を示す図。
【図１０Ｂ】屈折率に従う光の進行経路を示す図。
【図１１】本発明の実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図。
【図１２】本発明の実施形態に従うフリップ型発光素子を示す断面図。
【図１３】本発明の実施形態に従う垂直型発光素子を示す断面図。
【図１４】本発明の実施形態に従う発光素子パッケージを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を説明するに当たって、各層（膜）、領域、パターン、または構造物が、基板、各層（膜）、領域、パッド、またはパターンの“上（on）”に、または“下（under）”に形成されるという記載は、直接（directly）または他の層を介して形成されることを全て含む。また、各層の上または下に対する基準は、図面を基準として説明する。
【００１３】
以下、添付した図面を参照して実施形態を説明すると、次の通りである。図面において、各層の厚さやサイズは説明の便宜及び明確性のために誇張、省略、または概略的に図示された。また、各構成要素のサイズは実際のサイズを全的に反映するものではない。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態に従う発光素子を示す断面図である。
【００１５】
図１を参照すると、第１実施形態に従う発光素子１００Ａは、基板１、バッファ層３、及び発光構造物１０を含むことができる。
【００１６】
前記基板１は、前記発光構造物１０を成長させるための部材として機能することができるが、これに対しては限定するものではない。
【００１７】
前記発光構造物１０を安定的に成長させるために、前記基板１は前記発光構造物１０との格子定数ができる限り小さい差を有する物質で形成できる。
【００１８】
前記基板１は、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）、ＳｉＣ、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＧａＮ、ＺｎＯ、Ｓｉ、ＧａＰ、ＩｎＰ、及びＧｅからなるグループから選択された少なくとも１つで形成できる。
【００１９】
前記基板１と前記発光構造物１０との間にバッファ層３が配置できる。前記バッファ層３は、前記基板１と前記発光構造物１０との間の格子定数差を緩和してくれるために形成できる。例えば、前記バッファ層３の格子定数は前記基板１と前記発光構造物１０との間の値を有することができるが、これに対して限定するものではない。
【００２０】
したがって、前記バッファ層３により前記バッファ層３の上に形成される発光構造物１０の結晶性が優れるになり、応力（strain）の生成が抑制され、格子欠陥のような不良が除去されるので、発光素子１００Ａの電気的特性だけでなく、光学的特性が向上できる。
【００２１】
前記バッファ層３と前記発光構造物１０の各々はII-VI族またはIII-V族化合物半導体材料で形成できる。
【００２２】
前記発光構造物１０は、例えば、第１導電型半導体層５、活性層７、及び第２導電型半導体層９を含むことができるが、これに対して限定するものではない。前記第１導電型半導体層５は前記バッファ層３の上に形成され、前記活性層７は前記第１導電型半導体層５の上に形成され、前記第２導電型半導体層９は前記活性層７の上に形成できる。
【００２３】
前記第１導電型半導体層５は、例えば、ｎ型ドーパントを含むｎ型半導体層でありうる。前記第１導電型半導体層５は、ＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦１，０≦ｘ＋ｙ≦１）の組成式を有する化合物半導体材料で形成できる。例えば、前記第１導電型半導体層５は、ＩｎＡｌＧａＮ、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、及びＡｌＩｎＮからなるグループから選択された少なくとも１つを含むことができるが、これに対して限定するものではない。前記ｎ型ドーパントは、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎなどを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【００２４】
前記第１導電型半導体層５の上には前記活性層７が形成できる。
【００２５】
前記活性層７は、前記第１導電型半導体層５を通じて注入される第１キャリア、例えば電子と前記第２導電型半導体層９を通じて注入される第２キャリア、例えば正孔が互いに結合されて、前記活性層７の形成物質に従うエネルギーバンドギャップ（Energy bandgap）の差に相応する波長を有する光を放出することができる。
【００２６】
前記活性層７は単一量子井戸構造、多重量子井戸構造（ＭＱＷ）、量子点構造、及び量子線構造のうち、いずれか１つを含むことができる。前記活性層７は、井戸層と障壁層とを１周期にするII-VI族またはIII-V族化合物半導体が繰り返して形成できる。
【００２７】
前記活性層７は、 ＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦１，０≦ｘ＋ｙ≦１）の組成式を有する化合物半導体材料で形成できる。例えば、前記活性層７は、ＩｎＧａＮ／ＧａＮの周期、ＩｎＧａＮ／ＡｌＧａＮの周期、ＩｎＧａＮ／ＩｎＧａＮの周期などで形成できる。前記障壁層のバンドギャップは前記井戸層のバンドギャップより大きく形成できる。
【００２８】
前記活性層７の上に前記第２導電型半導体層９が形成できる。前記第２導電型半導体層９は、例えば、ｐ型ドーパントを含むｐ型半導体層でありうる。前記第２導電型半導体層９は、ＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ≦１，０≦ｙ≦１，０≦ｘ＋ｙ≦１）の組成式を有する化合物半導体材料で形成できる。前記第２導電型半導体層９は、例えば、ＩｎＡｌＧａＮ、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、及びＡｌＩｎＮからなるグループから選択された少なくとも１つを含むことができるが、これに対して限定するものではない。前記ｐ型ドーパントは、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどを含むが、これに対して限定するものではない。
【００２９】
前述したように、前記バッファ層３は前記基板１と前記発光構造物１０との間の格子定数を緩和させてくれる役割をすることができる。
【００３０】
併せて、前記バッファ層３は前記活性層７で生成されてバッファ層３に進行された光がより広く広がって出射されるようにする役割をすることもできる。
【００３１】
ここで、光がより広く出射されるということは、指向角が拡張されるということを意味することができる。例えば、１００゜の指向角が１２０゜の指向角になれば、２０゜だけ指向角がより拡張されるということを意味する。
【００３２】
指向角とは、光の広がり程度を表す角度であって、垂直法線を基準として左右に広がる全体角度を指称することができる。
【００３３】
発光素子がディスプレイの光源として使われるためには、指向角が最大（例えば、１８０゜）に近接するほど好ましい。即ち、指向角の狭い場合、光は主に垂直法線の周辺に集中的に出射できる。ディスプレイの光源はディスプレイパネルの下に多数の発光素子が一列に配置できる。もし、発光素子の指向角の狭い場合、各発光素子に対応するディスプレイパネルの第１領域には比較的光輝度の大きい光が照射され、各発光素子の間に対応するディスプレイパネルの第２領域には比較的光輝度の小さな光が照射されるので、ディスプレイパネルに入射される光が位置によって均一な輝度を有することができなくなる。これは、画質不均一のような致命的な欠陥をもたらすことができる。
【００３４】
第１実施形態の発光素子１００Ａは、外部パッケージ段でない、発光素子１００Ａの内部のバッファ層３の光特性、例えば屈折率を調節することによって、前記のような外部光抽出調整、例えば指向角調節が可能である。
【００３５】
第１実施形態のバッファ層３は、活性層７で生成されてバッファ層３に進行された光の指向角を拡張させて、ディスプレイ光源などに採択される場合、ディスプレイパネルの全領域で均一な輝度を得るようにすることができる。
【００３６】
このために、前記バッファ層３は前記発光構造物１０に隣接した第１領域から前記基板１に隣接した第２領域に行くほど屈折率が小さくなるように形成できる。前記第１及び第２領域の各々は多数のサブ層を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【００３７】
図１０ａに示すように、例えば第１層の屈折率がｎ１であり、第２層の屈折率がｎ２であり、ｎ１＜ｎ２の関係式を有する場合、垂直法線に対して入射角がθ１の入射光が第１層と第２層の境界面に到達した場合、前記入射光は前記第１層と前記第２層との境界面で垂直法線に対して出射角θ２の出射光で出射できる。このような場合、前記出射角（θ２）は入射角（θ１）より小さい角度を有することができる。
【００３８】
言い換えると、光が入射される第１層の屈折率（ｎ１）より光が出射される第２層の屈折率（ｎ２）がより大きい場合、入射角（θ１）より小さい出射角（θ２）に光が出射されることが分かる。
【００３９】
図１０ｂに示すように、例えば第１層の屈折率がｎ１であり、第２層の屈折率がｎ２であり、ｎ１＞ｎ２の関係式を有する場合、垂直法線に対して入射角がθ１の入射光が第１層と第２層との境界面に到達した場合、前記入射光は前記第１層と前記第２層との境界面で垂直法線に対して出射角θ２の出射光で出射できる。このような場合、前記出射角（θ２）は入射角（θ１）より大きい角度を有することができる。
【００４０】
言い換えると、光が入射される第１層の屈折率（ｎ１）が光が出射される第２層の屈折率（ｎ２）より大きい場合、入射角（θ１）より大きい出射角（θ２）に光が出射されることが分かる。
【００４１】
したがって、第１実施形態では前記発光構造物１０に隣接した前記バッファ層３の第１領域から前記基板１に隣接した前記バッファ層３の第２領域に行くほど屈折率が小さくなるようにすることによって、前記活性層７で生成されて前記バッファ層３に進行された光がより広く広がって前記基板１に入射されるようにすることができる。このように、バッファ層３によりさらに広く広がった光が出射されることによって、光指向角が拡張されて窮極的には光出力が増加できる。
【００４２】
図３乃至図９には、前記バッファ層３で発光構造物１０に隣接した第１領域から前記基板１に隣接した第２領域に行くほど屈折率が小さくなるようにするための多様な実施形態が図示されている。
【００４３】
図３の第１例示図に示すように、前記バッファ層３は互いに相異する屈折率を有し、互いに同一な厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）を有する多数のサブ層を含むことができる。前記バッファ層３の厚さはＴ１と定義できる。
【００４４】
例えば、図面には５個のサブ層からなるバッファ層３が図示されているが、これに対して限定するものではない。
【００４５】
例えば、前記バッファ層３は２つのサブ層乃至３０個のサブ層を含むことができる。サブ層を複数層で構成するために、２つ以上でなければならない。併せて、サブ層が３０個以上の場合、前記バッファ層３の厚さが厚くなるようになって、窮極的に発光素子の厚さも厚くなることができる。
【００４６】
図面に示すように、前記基板１の屈折率（Ａ）は１．７７であり、前記発光構造物１０の屈折率（Ｃ）は２．４３でありうる。例えば、前記基板１はサファイアであり、前記発光構造物の第１導電型半導体層５はＧａＮでありうる。
【００４７】
したがって、前記バッファ層３の屈折率は前記基板１よりは大きく、前記発光構造物１０よりは小さな屈折率を有することができる。
【００４８】
屈折率（Ａ）１．７７と屈折率（Ｃ）２．４３との間に該当する屈折率を有するＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体材質にはＡｌＮがあるが、これに対して限定するものではない。ＡｌＮの屈折率（Ｂ）は２．１５でありうる。
【００４９】
したがって、前記バッファ層３はＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（但し、０≦ｘ≦１）のＩＩ-ＶＩ族またはＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体材質で形成できる。例えば、ｘ＝０であればＧａＮであり、ｘ＝１であればＡｌＮでありうる。
【００５０】
前記バッファ層３は、前記基板１から前記第１導電型半導体層５の間の厚さ方向に沿ってＡｌＮ、ＡｌＧａＮ、及びＧａＮが形成できる。
【００５１】
例えば、前記基板１に隣接する前記バッファ層３はＡｌＮを含み、その以後からはＡｌＧａＮを含んでから、最後にはＧａＮを含むことができる。
【００５２】
一方、前記バッファ層３は、ＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（但し、０＜ｘ≦１）の２族乃至６族化合物半導体材質で形成できる。このような場合、前記バッファ層３はＡｌＮ及びＡｌＧａＮのみを含み、ＧａＮは含まないようになる。
【００５３】
前記バッファ層３はＡｌ含有量が前記基板１から前記第１導電型半導体層５の間の厚さ方向に沿って可変されるように調節できる。即ち、前記基板１に隣接する前記バッファ層３の第２領域でＡｌ含有量が最大になるようにし、前記第２領域で前記発光構造物１０に隣接する前記バッファ層３の第１領域に行くほどＡｌ含有量が減ることができる。
【００５４】
例えば、前記基板１に隣接してＡｌ含有量が最大（ｘ＝１）のＡｌＮを含む第１サブ層が形成できる。
【００５５】
前記第１サブ層に隣接してＡｌ含有量がｘ１のＡｌ（ｘ１）Ｇａ（１−ｘ１）Ｎを含む第２サブ層が形成できる。ｘ１は１より小さいことがあるが、これに対して限定するものではない。
【００５６】
前記第２サブ層に隣接してＡｌ含有量がｘ２に減ったＡｌ（ｘ２）Ｇａ（１−ｘ２）Ｎを含む第３サブ層が形成できる。ｘ２はｘ１より小さいことがある。
【００５７】
前記第３サブ層に隣接してＡｌ含有量がｘ３に減ったＡｌ（ｘ３）Ｇａ（１−ｘ３）Ｎを含む第４サブ層が形成できる。ｘ３はｘ２より小さいことがある。
【００５８】
前記第４サブ層に隣接してＡｌ含有量がｘ４に減ったＡｌ（ｘ４）Ｇａ（１−ｘ４）Ｎを含む第５サブ層が形成できる。ｘ４はｘ３より小さいことがある。
【００５９】
図３の第１例示図に示すように、第１乃至第５サブ層の間の屈折率の差は一定になるが、これはＡｌ含有量の減少幅を一定にすることにより得られるが、これに対して限定するものではない。
【００６０】
前記Ａｌ含有量が減少幅により隣接するサブ層の間の屈折率の差が決定できる。したがって、第１乃至第５サブ層の間の屈折率の差を一定にするためには、前記Ａｌ含有量の減少幅も一定にすることができる。
【００６１】
前記第１サブ層から前記第５サブ層に行くほど一定の屈折率差を有して屈折率が増加できる。
【００６２】
Ａｌ含有量が小さくなるほど屈折率は大きくなる。
【００６３】
例えば、図面に示すように、ＧａＮの屈折率（Ｃ）が２．４３であり、ＡｌＮの屈折率（Ｂ）は２．１５であるので、ＧａＮの屈折率とＡｌＮの屈折率との差は０．２８である。
【００６４】
例えば、前記前記バッファ層３に５個のサブ層が含まれる場合、各サブ層の間には０．２８／５＝０．０５６の一定の屈折率の差が存在することができる。
【００６５】
即ち、前記第２サブ層はＡｌＮの前記第１サブ層の屈折率より０．０５６高い２．２０６の屈折率を有することができる。前記第３サブ層は前記第２サブ層の屈折率より０．０５６高い２．２６２の屈折率を有することができる。前記第４サブ層は前記第３サブ層の屈折率より０．０５６高い２．３１８の屈折率を有することができる。前記第５サブ層は前記第４サブ層の屈折率より０．０５６高い２．３７４の屈折率を有することができる。ＧａＮの第１導電型半導体層５は、前記第５サブ層の屈折率より０．０５６高い２．４３の屈折率（Ｃ）を有することができる。
【００６６】
ＧａＮの屈折率は前記バッファ層３の第５サブ層の屈折率より大きく、前記第５サブ層の屈折率は前記第４サブ層の屈折率より大きく、前記第４サブ層の屈折率は前記第３サブ層の屈折率より大きく、前記第３サブ層の屈折率は前記第２サブ層の屈折率より大きく、前記第２サブ層の屈折率は前記第１サブ層の屈折率より大きいことがある。
【００６７】
一方、前記第１サブ層から前記第５サブ層に行くほど、前記各サブ層の間の屈折率の差が増加または減少することもあるが、これに対して限定するものではない。前記屈折率の差は線形的にまたは非線形的に増加または減少することができる。
【００６８】
前記活性層７で生成された光は前記第１導電型半導体層５に進行できる。前記第１導電型半導体層５の屈折率が前記バッファ層３の前記第５サブ層の屈折率より大きいので、前記第１導電型半導体層５に進行された光は前記第１導電型半導体層５と前記第５サブ層との間の第１境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第１境界面から出射された出射光は前記第１境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００６９】
前記第５サブ層の屈折率が前記第４サブ層の屈折率より大きいので、前記第５サブ層に進行された光は前記第５サブ層と前記第４サブ層との間の第２境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第２境界面から出射された出射光は前記第２境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００７０】
前記第４サブ層の屈折率が前記第３サブ層の屈折率より大きいので、前記第４サブ層に進行された光は前記第４サブ層と前記第３サブ層との間の第３境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第３境界面から出射された出射光は前記第３境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００７１】
前記第３サブ層の屈折率が前記第２サブ層の屈折率より大きいので、前記第３サブ層に進行された光は前記第３サブ層と前記第２サブ層との間の第４境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第４境界面から出射された出射光は前記第４境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００７２】
前記２サブ層の屈折率は前記第１サブ層の屈折率より大きいので、前記第２サブ層に進行された光は前記第２サブ層と前記第１サブ層との間の第５境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第５境界面から出射された出射光は前記第５境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００７３】
前記第１サブ層の屈折率は前記基板１の屈折率より大きいので、前記第１サブ層に進行された光は前記第１サブ層と前記基板１との間の第６境界面で垂直法線に対して入射角より大きい出射角を有する光が出射できる。即ち、前記第６境界面から出射された出射光は前記第６境界面に入射された入射光の入射角より大きい出射角でより広く広がることができる。
【００７４】
このように、前記バッファ層３の各サブ層の間の境界面でより広く広がった出射光が出射されるので、前記バッファ層３の全厚さ（Ｔ１）に亘って光の広がりはより増加できる。このような光の広がりの増加によって指向角がより拡張されて光出力が増加できる。
【００７５】
図４の第２例示図に示すように、前記バッファ層３は互いに相異する屈折率を有する多数のサブ層を含むことができる。
【００７６】
併せて、図４の第２例示図では図３の第１例示図とは異なり、各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が可変できる。
【００７７】
即ち、前記基板１から前記第１導電型半導体層５に行くほど、前記バッファ層３の各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が徐々に厚くなるように形成できる。
【００７８】
例えば、前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）は前記第１サブ層の厚さ（Ｓ１）より厚く、前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）は前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）より厚く、前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より厚く、前記第５サブ層の厚さ（Ｓ５）は前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）より厚く形成できる。
【００７９】
また、前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が線形的または非線形的に厚くなることができる。前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）の厚さの割合は一定であるか、相異することができる。
【００８０】
例えば、前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が５％ずつ一定に厚くなることができるが、これに対して限定するものではない。
【００８１】
一方、前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が線形的または非線形的に厚くなることができる。例えば、第２サブ層の厚さ（Ｓ２）は第１サブ層の厚さ（Ｓ１）より１％厚くなり、前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）は前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）より２％厚くなり、前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より４％厚くなり、前記第５サブ層の厚さ（Ｓ５）は前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）より８％厚くなることができるが、これに対して限定するものではない。
【００８２】
例えば、第２サブ層の厚さ（Ｓ２）は第１サブ層の厚さ（Ｓ１）より１％厚くなり、前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）は前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）より３％厚くなり、前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より８％厚くなり、前記第５サブ層の厚さ（Ｓ５）は前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）より１８％厚くなることができるが、これに対して限定するものではない。
【００８３】
このように、各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が互いに異なっても、前記各サブ層の屈折率が互いに異なるので、前記活性層７で生成されてバッファ層３に進行された光は、例えば第１乃至第５サブ層の間の境界面により、さらに広く広がって出射されるので、出射光の指向角がより拡張できる。
【００８４】
図５の第３例示図に示すように、前記バッファ層３は互いに相異する屈折率を有する多数のサブ層を含むことができる。
【００８５】
併せて、図５の第３例示図は、図３の第１例示図とは異なり、各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が可変できる。
【００８６】
図５の第３例示図は図４の第２例示図と類似している。
【００８７】
しかしながら、図５の第３例示図は図４の第２例示図とは異なり、前記基板１から前記第１導電型半導体層５に行くほど前記バッファ層３の各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が徐々に薄くなるように形成できる。
【００８８】
例えば、前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）は前記第１サブ層の厚さ（Ｓ１）より薄く、前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）は前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）より薄く、前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より薄く、前記第５サブ層の厚さ（Ｓ５）は前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）より薄く形成できる。
【００８９】
前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）の薄くなる割合は一定であるか、相異することができる。
【００９０】
また、前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が線形的または非線形的に薄くなることができる。
【００９１】
図６の第４例示図に示すように、前記バッファ層３は互いに相異する屈折率を有する多数のサブ層を含むことができる。
【００９２】
併せて、図６の第４例示図は図３の第１例示図とは異なり、各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が可変できる。
【００９３】
図６の第４例示図は図４の第２例示図または図５の第３例示図と類似している。
【００９４】
しかしながら、図６の第４例示図は図４の第２例示図とは異なり、前記バッファ層３の中心層、例えば第３サブ層から前記基板１または前記第１導電型半導体層５に行くほど前記バッファ層３の各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が徐々に厚くなるように形成できる。例えば、前記バッファ層３で含まれた第１乃至第５サブ層のうち、前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）が最も薄く形成できる。
【００９５】
前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より厚く、前記第１サブ層の厚さ（Ｓ１）は前記第２サブ層の厚さ（Ｓ２）より厚くなることができる。同様に、前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）は前記第３サブ層の厚さ（Ｓ３）より厚く、前記第５サブ層の厚さ（Ｓ５）は前記第４サブ層の厚さ（Ｓ４）より厚くなることができる。
【００９６】
前記第３サブ層から前記第１サブ層または前記第５サブ層に行くほど厚くなる前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）の割合は一定であるか、相異することができる。
【００９７】
前記第３サブ層を基準として前記第３サブ層と前記基板１との間、そして前記第３サブ層と前記第１導電型半導体層５との間の各サブ層の厚さ（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５）は互いに対称的であることがあるが、これに対して限定するものではない。
【００９８】
例えば、前記第２サブ層と前記第４サブ層とは同一な厚さ（Ｓ２、Ｓ４）を有することができる。また、前記第１サブ層と前記第５サブ層とは同一な厚さ（Ｓ１、Ｓ５）を有することができる。
【００９９】
また、前記各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が線形的または非線形的に厚くなることができる。
【０１００】
一方、図面に図示してはいないが、図６の第４例示図とは異なり、前記バッファ層３の中心層、例えば第３サブ層から前記基板１または前記第１導電型半導体層５に行くほど、前記バッファ層３の各サブ層の厚さ（Ｓ１乃至Ｓ５）が徐々に薄くなるように形成できる。
【０１０１】
図７の第５例示図に示すように、前記バッファ層３は線形的に増加する屈折率を有することができるが、これに対して限定するものではない。
【０１０２】
即ち、前記バッファ層３は前記基板１から前記第１導電型半導体層５に行くほど線形的に屈折率が増加できる。
【０１０３】
前記基板１と接する前記バッファ層３はＡｌＮを含み、ＡｌＮを含む層を除外した残りのバッファ層３はＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎ（０≦ｘ＜１）を含むことができる。
【０１０４】
ＡｌＮは、ＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎでｘ＝１の時を意味する。したがって、前記バッファ層３の全ての領域はＡｌｘＧａ（１−ｘ）Ｎを含むということができる。
【０１０５】
図８の第６例示図に示すように、前記バッファ層３は非線形の屈折率を有することができる。具体的に、前記バッファ層３の屈折率は前記基板１から前記バッファ層３の厚さ（Ｔ１）の中間（Ｔ１／２）までは増加してから、前記バッファ層３の厚さ（Ｔ１）の中間（Ｔ１／２）から前記第１導電型半導体層５までは急激に増加することができる。前記バッファ層３の屈折率は凹な曲線形状を有することができる。
【０１０６】
図９の第７例示図に示すように、前記バッファ層３は非線形の屈折率を有することができる。具体的に、前記バッファ層３の屈折率は前記基板１から前記バッファ層３の厚さ（Ｔ１）の中間（Ｔ１／２）までは急激に増加してから、前記バッファ層３の厚さ（Ｔ１）の中間（Ｔ１／２）から前記第１導電型半導体層５までは増加することができる。前記バッファ層３の屈折率は凸な曲線形状を有することができる。
【０１０７】
以上、説明したように、図３の第１例示図乃至図９の第７例示図に示すように、前記基板１から前記第１導電型半導体層５に行くほど、前記バッファ層３の屈折率が階段型（図３乃至図６）、線形（図７）、非線形（図８、図９）、凹な曲線（図８）、及び凸な曲線（図９）に増加するように形成できる。このような場合、前記活性層７で生成されて前記バッファ層３に進行された光はより拡張された指向角を有して出射されることで、このようなバッファ層３を有する発光素子１００Ａが発光素子パッケージに採用される場合、光出力を向上させることができる。
【０１０８】
図２は、本発明の第２実施形態に従う発光素子を示す断面図である。
【０１０９】
第２実施形態（図２）に従う発光素子１００Ｂは第１実施形態（図１）とは異なり、基板１の上に多数の突起部２が形成できる。前記突起部２は上方に突出した凸な半球形状を有することができるが、これに対して限定するものではない。側方向から見た時、前記突起部２は上方に突出した四角形状、円形状、楕円形状、三角形状などを有することができる。
【０１１０】
前記多数の突起部２は互いに離隔したドット形状を有することができる。前記多数の突起部２は一方向に沿って長く形成されたラインストライプ形状（line stripe shape）を有することができる。その他にも、前記多数の突起部２は多様な実施形態を有することができるが、これに対して限定するものではない。
【０１１１】
前記突起部２は前記基板１の上面から上方に延長されて形成できる。このような場合、前記突起部２は前記基板１と同一な物質で形成できるが、これに対して限定するものではない。前記突起部２は基板１の上面を部分的にまたは選択的にエッチングして形成することもできるが、これに対して限定するものではない。
【０１１２】
または、前記突起部２は前記基板１とは別に形成できる。即ち、多数の突起部２が予め加工されて前記基板１の上に付着できる。
【０１１３】
前記突起部２は前記活性層７で生成されて基板１に進行される光を乱反射させて光をより多く抽出させることができる。
【０１１４】
前記多数の突起部２は、前記基板１の上で互いに離隔するように配置できる。
【０１１５】
前記隣接する突起部２の間の前記基板１の上にはバッファ層３が形成できる。
【０１１６】
前記バッファ層３の厚さをＴ１とし、前記突起部２の厚さをＴ２とすれば、前記バッファ層３の厚さ（Ｔ１）は前記突起部２の厚さ（Ｔ２）より薄く形成できるが、これに対して限定するものではない。したがって、前記突起部２は前記バッファ層３の上面から上方に突出して露出できる。
【０１１７】
前記突出した突起部２は前記第１導電型半導体層５によりカバーできる。即ち、前記第１導電型半導体層５は前記突起部２及び前記バッファ層の間に形成できる。
【０１１８】
前記バッファ層３の構造は前述したような多様な例示図（図３乃至図９）のように変形できるが、これに対して限定するものではない。
【０１１９】
前記バッファ層３に進行された光は図１の第１実施形態で説明したように、より広がるようになることができる。
【０１２０】
前記活性層７で生成されて基板１に進行する光の一部は、前記基板１の上に形成された多数の突起部２により乱反射されて光抽出効率が向上できる。
【０１２１】
前記活性層７で生成されて基板１に進行する光の他の一部は、前記突起部２の間の前記基板１の上に配置されたバッファ層３により、さらに広がって出射されるので、結局、光指向角が拡張できる。
【０１２２】
図示してはいないが、第１実施形態（図１）及び第２実施形態（図２）の基板１の背面には前記バッファ層３によりさらに広がって進行された光を反射させることができる反射層が形成できるが、これに対して限定するものではない。
【０１２３】
もし、第１実施形態（図１）及び第２実施形態（図２）の発光素子１００Ａ、１００Ｂが反射特性を有する電極層の上に実装される場合、前記基板１の背面に反射層が形成されないこともある。
【０１２４】
図１の第１実施形態及び図２の実施形態は、水平型発光素子２００Ａ、フリップ型発光素子２００Ｂ、及び垂直型発光素子２００Ｃに採用できる。
【０１２５】
図１１は、本発明の実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図である。
【０１２６】
図１１を参照すると、実施形態に従う水平型発光素子２００Ａは、基板１、バッファ層３、発光構造物１０、透明電極層１１、及び第１及び第２電極１３、１５を含むことができる。
【０１２７】
前記基板１、前記バッファ層３、及び前記発光構造物１０は、先の図１の第１実施形態と図２の第２実施形態で詳細に説明されたので、これ以上の説明は省略する。
【０１２８】
前記発光構造物１０は、第１導電型半導体層５、活性層７、及び第２導電型半導体層９を含むことができる。
【０１２９】
前記第１導電型半導体層５は、図１の第１実施形態のように前記基板１の上に形成されるか、図２の第２実施形態のように前記基板１の上に形成された多数の突起部２と、前記多数の突起部２の間に形成されたバッファ層３の上に形成できる。
【０１３０】
前記活性層７は、前記第１導電型半導体層５の上に形成できる。
【０１３１】
前記第２導電型半導体層９は、前記活性層７の上に形成できる。
【０１３２】
前記第１導電型半導体層５で生成された第１キャリア、即ち電子は前記活性層７に供給され、前記第２導電型半導体層９で生成された第２キャリア、即ち正孔は前記活性層７に供給できる。
【０１３３】
前記活性層７は、前記電子と前記正孔との再結合により前記活性層７のバンドギャップに相応する波長を有する光が生成できる。
【０１３４】
前記発光構造物１０の一部はエッチング工程により除去できる。即ち、エッチング工程により前記第２導電型半導体層９と前記活性層７とが除去されて前記第１導電型半導体層５が露出できる。
【０１３５】
前記第１導電型半導体層５の上面の一部はエッチングにより除去できるが、これに対して限定するものではない。
【０１３６】
前記露出された第１導電型半導体層５の上に第１電極１３が形成され、前記第２導電型半導体層９の上に第２電極１５が形成できる。
【０１３７】
前記第１及び第２電極１３、１５は、伝導性に優れる金属物質で形成できる。前記金属物質には、例えばＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｗ、Ｃｕ、及びＭｏからなるグループから選択された１つまたはこれらの積層を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【０１３８】
前記第２電極１５に使われた金属物質は不透明であるので光を遮断させることができる。したがって、前記第２電極１５により光が遮断されるので、光効率が低下することがある。
【０１３９】
したがって、前記第２電極１５はできる限り小さな面積を有することが好ましいが、前記第２電極１５の面積を減らすことには限界がある。
【０１４０】
一方、前記第２電極１５の面積が小さい場合、前記第２電極１５に印加された電流は前記第２電極１５に対応する第２導電型半導体層９を通じて活性層７に印加できる。言い換えると、前記第２電極１５に印加された電極は前記第２電極１５に対応する第２導電型半導体層９を除外した大部分の第２導電型半導体層９には電流が流れないので、正孔の生成が充分でなくなって光効率が低下し、光が均一に生成できない。
【０１４１】
このような短所を解決するために、前記第２導電型半導体層９の上に透明電極層１１が形成できる。
【０１４２】
前記透明電極層１１は前記第２導電型半導体層９とオーミックコンタクトを形成してくれて、前記第２電極１５に印加された電流が円滑に第２導電型半導体層９に流れるようにしてくれることができる。
【０１４３】
併せて、前記透明電極層１１は前記第２電極１５に印加された電流を透明電極層１１の全領域に速かに流れるようになることができる。このように、前記透明電極層１１の全領域に流れた電流は前記透明電極層１１の全領域に接する第２導電型半導体層９にそのまま流れるようになるので、前記第２導電型半導体層９の全領域で電流が均一に活性層７に印加できる。したがって、前記活性層７の全領域で均一な光を得ることができ、光効率が向上できる。
【０１４４】
前記透明電極層１１は、光が透過される透明な導電物質で形成できる。前記透明な導電物質には、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Ｉｎ−ＺｎＯ）、ＧＺＯ（Ｇａ−ＺｎＯ）、ＡＺＯ（Ａｌ−ＺｎＯ）、ＡＧＺＯ（Ａｌ−Ｇａ ＺｎＯ）、ＩＧＺＯ（Ｉｎ−Ｇａ ＺｎＯ）、ＩｒＯｘ、ＲｕＯｘ、ＲｕＯｘ／ＩＴＯ、Ｎｉ／ＩｒＯｘ／Ａｕ、及びＮｉ／ＩｒＯｘ／Ａｕ／ＩＴＯからなるグループから選択された少なくとも１つが含まれることができるが、これに対して限定するものではない。
【０１４５】
図１２は、本発明の実施形態に従うフリップ型発光素子を示す断面図である。
【０１４６】
図１２を参照すると、実施形態に従うフリップ型発光素子２００Ｂは、基板１、バッファ層３、発光構造物１０、反射電極層２１、及び第１及び第２電極２３、２５を含むことができる。
【０１４７】
実施形態に従うフリップ型発光素子２００Ｂは、実施形態に従う水平型発光素子２００Ａとほとんど類似している。即ち、実施形態に従う水平型発光素子２００Ａの第２導電型半導体層９と第２電極２５との間に配置された透明電極層１１が反射電極層２１に取り替えられ、前記水平型発光素子２００Ａが１８０度覆ることによって、実施形態に従うフリップ型発光素子２００Ｂが製造できる。
【０１４８】
前記基板１、前記バッファ層３、前記発光構造物１０、及び前記第１及び第２電極２３、２５は、実施形態に従う水平型発光素子２００Ａで詳細に説明されたので、これ以上の説明は省略する。
【０１４９】
前記反射電極層２１は、前記第２導電型半導体層９の上に形成できる。前記反射電極層２１は、光を反射させるための反射機能と、前記第２導電型半導体層９に電流を円滑に供給するようにするオーミックコンタクト機能と、電流を前記第２導電型半導体層９に供給してくれるための電極機能を有することができるが、これに対して限定するものではない。
【０１５０】
前記反射電極層２１は、反射特性とオーミック特性に優れる導電物質で形成できる。例えば、前記反射電極層２１は、Ａｇ、Ｎｉ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｐｔ、及びＡｕからなるグループから選択された１つまたはこれらの積層を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【０１５１】
図１３は、本発明の実施形態に従う垂直型発光素子を示す断面図である。
【０１５２】
図１３を参照すると、実施形態に従う垂直型発光素子２００Ｃは、バッファ層３、発光構造物１０、電流遮断層３１、電極層３５、第１保護層３３、接合層３７、伝導性支持部材３９、第２保護層４１、及び電極４３を含むことができる。
【０１５３】
実施形態に従う垂直型発光素子２００Ｃは、図１の第１実施形態の発光素子１００Ａや図２の第２実施形態の発光素子１００Ｂに基づいて製造できる。
【０１５４】
したがって、前記バッファ層３及び前記発光構造物１０は、図１の第１実施形態や図２の第２実施形態で既に詳細に説明されたので、詳細な説明は省略する。
【０１５５】
前記電流遮断層３１は、電流の垂直方向への集中を防止するために、前記電極４３と少なくとも一部が重畳されるように形成できる。
【０１５６】
前記電流遮断層３１は、前記発光構造物１０とショットキーコンタクト（Schottky contact）できる。これによって、前記電流遮断層３１とショットキーコンタクトされる前記発光構造物１０に電流は前記電流遮断層３１を通じて完全に流れなかったり、前記電流遮断層３１を通じて相対的に小さく流れることがある。これに反して、電流は前記第２導電型半導体層９と接する前記電極層３５を通じては完全に流れるので、電流が前記発光構造物１０の全領域に均一に流れるようになって発光効率が向上できる。
【０１５７】
前記電流遮断層３１は、前記電極層３５より小さな電気伝導性を有するか、前記電極層３５より大きい電気絶縁性を有するか、前記発光構造物１０とショットキー接触を形成する材質を用いて形成できる。前記電流遮断層３１は、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＩＺＴＯ、ＩＡＺＯ、ＩＧＺＯ、ＩＧＴＯ、ＡＺＯ、ＡＴＯ、ＺｎＯ、ＳｉＯ２、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯｘ、Ｔｉ、Ａｌ、及びＣｒからなるグループから選択された少なくとも１つを含むことができる。ここで、前記ＳｉＯ２、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３は絶縁物質でありうる。
【０１５８】
前記発光構造物１０の第２導電型半導体層９の下に電極層３５が形成できる。
【０１５９】
前記電極層３５は前記発光構造物１０から入射される光を反射させてくれて、光抽出効率を改善させることができる。
【０１６０】
前記電極層３５は、前記発光構造物１０とオーミックコンタクトされて、電流が発光構造物１０に流れるようにすることができる。
【０１６１】
前記電極層３５は、前記接合層３７の上面に接触して形成された反射層と前記反射層の上面と前記発光構造物１０の下面との間に形成されたオーミックコンタクト層を含むことができる。
【０１６２】
前記電極層３５は、前記反射物質とオーミックコンタクト物質とが混合された単一層に形成できる。
【０１６３】
前記反射物質には、例えば、Ａｇ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｐｔ、Ａｕ、及びＨｆからなるグループから選択された少なくとも１つまたは２つ以上の合金が使われるが、これに対して限定するものではない。前記オーミックコンタクト物質には、伝導性物質と金属物質を選択的に使用することができる。即ち、前記オーミックコンタクト物質には、ＩＴＯ（indium tin oxide）、ＩＺＯ（indium zinc oxide）、ＩＺＴＯ（indium zinc tin oxide）、ＩＡＺＯ（indium aluminum zinc oxide）、ＩＧＺＯ（indium gallium zinc oxide）、ＩＧＴＯ（indium gallium tin oxide）、ＡＺＯ（aluminum zinc oxide）、ＡＴＯ（antimony tin oxide）、ＧＺＯ（gallium zinc oxide）、ＩｒＯｘ、ＲｕＯｘ、ＲｕＯｘ／ＩＴＯ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｎｉ／ＩｒＯｘ／Ａｕ、及びＮｉ／ＩｒＯｘ／Ａｕ／ＩＴＯからなるグループから選択された少なくとも１つが使用できる。
【０１６４】
前記電極層３５は、例えば、ＩＺＯ／Ｎｉ、ＡＺＯ／Ａｇ、ＩＺＯ／Ａｇ／Ｎｉ、及びＡＺＯ／Ａｇ／Ｎｉのうち、いずれか１つを含む多層に構成できる。
【０１６５】
前記電極層３５は、少なくとも前記発光構造物１０とオーミックコンタクトできる。したがって、前記電極層３５とオーミックコンタクトされる前記発光構造物１０に円滑に電流が供給されて発光効率が向上できる。
【０１６６】
前記電極層３５の下に接合層３７が形成できる。前記接合層３７はボンディング層であって、前記電極層３５と前記導電性支持部材との間に形成できる。前記接合層３７は、電極層３５と前記導電性支持部材との間の接着力を強化させる媒介体の役割をすることができる。
【０１６７】
前記接合層３７は、バリアー金属またはボンディング金属などを含むことができる。前記接合層３７は、接合性と熱伝導性の高い金属物質で形成できる。前記接合層３７は、例えば、Ｔｉ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｃｕ、Ａｇ、及びＴａからなるグループから選択された少なくとも１つを含むことができる。
【０１６８】
前記伝導性支持部材３９は、金属物質または半導体物質で形成できる。前記伝導性支持部材３９は、電気伝導性と熱伝導性の高い物質で形成できる。前記伝導性支持部材３９は、例えば、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、タングステン（Ｗ）、銅（Ｃｕ）、銅合金（Cu Alloy）、モリブデン（Ｍｏ）、及び銅−タングステン（Ｃｕ−Ｗ）のうち、少なくとも１つを含むことができる。
【０１６９】
前記伝導性支持部材３９は、前記発光構造物１０の下にメッキまたは／及び蒸着されるか、シート（sheet）形態に付着され、これに対して限定するものではない。
【０１７０】
前記電極層３５の上に第１保護層３３が形成できる。例えば、前記電極層３５のエッジ領域の周りに沿って前記第１保護層３３が形成できる。即ち、前記第１保護層３３は、前記発光構造物１０と前記電極層３５との間の周り領域に形成できる。具体的に、前記第１保護層３３は、前記電極層３５及び前記発光構造物１０に少なくとも一部が囲まれるように形成できる。例えば、前記第１保護層３３の上面の一部領域は第１導電型半導体層５と接触され、前記第１保護層３３の内側面及び下面は前記電極層３５と接触できるが、これに対して限定するものではない。
【０１７１】
前記第１保護層３３により外部の異質物による前記電極層３５の側面と前記発光構造物１０の側面との間の電気的なショートを防止することができる。
【０１７２】
前記第１保護層３３が前記発光構造物１０と接触する面積を確保して複数個のチップを個別チップ単位で分離するレーザースクライビング（Laser Scribing）工程と、基板１を除去するレーザーリフトオフ（ＬＬＯ）工程の時、前記発光構造物１０が前記電極層３５から剥離されることを効果的に防止することができる。
【０１７３】
前記第１保護層３３は絶縁物質、例えば、ＳｉＯ２、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３からなるグループから選択された少なくとも１つを含むことができる。また、前記第１保護層３３は金属物質で形成されることができるが、これに対して限定するものではない。
【０１７４】
前記第１保護層３３は前記電流遮断層３１と同一物質で形成されることもでき、異なる物質で形成されることもできる。即ち、第１保護層３３と前記電流遮断層３１とは前記絶縁物質で形成できる。
【０１７５】
前記発光構造物１０の上に第２保護層４１が形成できる。例えば、前記発光構造物１０の少なくとも側面の上には第２保護層４１が形成できる。具体的には、前記第２保護層４１は一端が前記第２導電型半導体層９の上面の周り領域に形成され、前記第２導電型半導体層９の側面、前記活性層７の側面、及び第１導電型半導体層５の側面を経由したり横切って他端が前記第１保護層３３の上面の一部領域に形成できるが、これに対して限定するものではない。
【０１７６】
前記第２保護層４１は、前記発光構造物１０と支持基板１との間の電気的ショートを防止する役割をすることができる。前記第２保護層４１は、透明性と絶縁性に優れる材質で形成できる。前記第１保護層３３は、例えば、ＳｉＯ２、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ、Ｓｉ３Ｎ４、ＴｉＯ２、及びＡｌ２Ｏ３からなるグループから選択された１つを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【０１７７】
前記第２保護層４１は、前記第１保護層３３と前記電流遮断層３１と同一な物質を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【０１７８】
前記発光構造物１０の上には電極４３が形成できる。前記電極４３は、前記発光構造物１０の全体面積をカバーせず、局部的に形成されたパターン形状を有することができる。
【０１７９】
図示してはいないが、前記電極４３はワイヤーがボンディングされる少なくとも１つ以上の電極パッド（図示せず）と、前記電極パッドから少なくとも一側以上に分岐されて前記発光構造物１０の全領域に均等に電流を供給するための多数の電極ライン（図示せず）を含むことができる。
【０１８０】
前記電極パッドは、上面視して、四角形、円形、楕円形、多角形を有することができるが、これに対して限定するものではない。
【０１８１】
前記電極４３はＶ、Ｗ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｒ、Ａｇ、及びＰｔからなるグループから選択された少なくとも１つを含む単層または多層構造で形成できる。
【０１８２】
一方、前記電極ラインは透光性及び電気伝導性を有する材質、例えば、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＩＺＴＯ、ＩＡＺＯ、ＩＧＺＯ、ＩＧＴＯ、ＡＺＯ、ＡＴＯ、ＺｎＯのうち、少なくとも１つで形成されることもできる。
【０１８３】
図１４は、本発明の実施形態に従う発光素子パッケージを示す断面図である。
【０１８４】
図１４を参照すると、実施形態に従う発光素子パッケージ３００は、パッケージ胴体３０１と、前記パッケージ胴体３０１に設置された第１リード電極３０３、及び第２リード電極３０５と、前記パッケージ胴体３０１に設置されて前記第１リード電極３０３及び第２リード電極３０５から電源の供給を受ける水平型発光素子２００Ａと、フリップ型発光素子２００Ｂ及び垂直型発光素子２００Ｃのうちのいずれか１つの発光素子と、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃを囲むモールディング部材３０７とを含む。
【０１８５】
図面では説明の便宜上、水平型発光素子２００Ａのみを図示しているが、実施形態に従う発光素子パッケージ３００にはフリップ型２００Ｂまたは垂直型発光素子２００Ｃも採択できる。
【０１８６】
前記パッケージ胴体３０１は、シリコン材質、合成樹脂材質、または金属材質を含んで形成されることができ、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃの周囲に傾斜面が形成できる。
【０１８７】
前記第１リード電極３０３及び第２リード電極３０５は互いに電気的に分離され、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃに電源を提供する。
【０１８８】
また、前記第１及び第２リード電極３０３、３０５は、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃで生成された光を反射させて光効率を増加させることができ、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃで生成された熱を外部に排出させる役割をすることもできる。
【０１８９】
前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃは、前記第１リード電極３０３、第２リード電極３０５、及び前記パッケージ胴体３０１のうち、いずれか１つの上に設置されることができ、ワイヤー方式、ダイボンディング方式などにより前記第１及び第２リード電極３０３、３０５に電気的に連結できるが、これに対して限定するものではない。
【０１９０】
実施形態では水平型発光素子２００Ａが例示されており、２つのワイヤー３１１、３１５を介して前記第１及び第２リード電極３０３、３０５と電気的に連結されたものが例示されている。
【０１９１】
もし、フリップ型発光素子２００Ｂが採択される場合、前記ワイヤー３１１、３１５は不要であり、前記フリップ型発光素子２００Ｂの第１及び第２電極２３、２５が前記第１及び２リード電極３０３、３０５と直接接触するように形成されることができ、垂直型発光素子２００Ｃが採択される場合、前記垂直型発光素子２００Ｃの導電型支持部材３９は、例えば第２リード電極３０５の上に設置され、前記垂直型発光素子２００Ｃの電極４３はワイヤー３１１を用いて前記第１リード電極３０３と電気的に連結できる。
【０１９２】
前記モールディング部材３０７は、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃを囲んで前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃを保護することができる。
【０１９３】
一方、前記モールディング部材３０７は、前記発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃで生成された光の波長を変化させることができる蛍光体３０９を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
【０１９４】
実施形態に従う発光素子パッケージ３００は、ＣＯＢ（Chip On Board）タイプを含み、前記パッケージ胴体３０１の上面は平らで、前記パッケージ胴体３０１には複数の発光素子、例えば赤色発光素子、緑色発光素子、及び青色発光素子が設置できるが、これに対して限定するものではない。
【０１９５】
実施形態に従う発光素子パッケージ３００は、指向角が拡張された水平型発光素子２００Ａ、フリップ型発光素子２００Ｂ、または垂直型発光素子２００Ｃの採用により光出力が向上できるが、これに対して限定するものではない。
【０１９６】
一方、図１４に示すように、実施形態に従う発光素子パッケージでは光の広がりを増加させることができるバッファ層を含む発光素子２００Ａ、２００Ｂ、２００Ｃが採用されることによって、光の広がりにより光抽出が向上し、これによって、指向角が比較例に比べて格段に拡張できる。
【０１９７】
実施形態は、基板、バッファ層、及び発光構造物を含む発光素子で発光構造物から基板に行くほどバッファ層の屈折率が減少するように形成されることによって、発光素子の光指向角が拡張できる。このように光指向角が拡張された発光素子を発光素子パッケージに採択することによって、発光素子パッケージの光出力が増加できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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