(57)【要約】【課題】本発明はめっき遮蔽器具及びそれを具備しためっき装置に関する。【解決手段】本発明のめっき遮蔽器具は、穴が形成された遮蔽部材と、上記遮蔽部材に回転可能に設置されて上記穴のサイズを調節する開閉手段と、を含むことができる。さらに、本発明のめっき装置は、めっき対象物が収容されるめっき浴槽と、穴が形成された遮蔽部材と、上記遮蔽部材に回転可能に設置されて上記穴のサイズを調節する開閉手段と、を含み、上記めっき浴槽に設置されるめっき遮蔽器具と、めっき対象物のサイズに応じて上記穴のサイズが調節できるように、上記開閉手段を制御する制御手段と、を含むことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
穴が形成された遮蔽部材と、
前記遮蔽部材に回転可能に設置されて前記穴のサイズを調節する開閉手段と
を含む、めっき遮蔽器具。
【請求項２】
前記開閉手段は、前記穴を中心に円形配置される複数の開閉部材を含む、請求項１に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項３】
前記複数の開閉部材は、同時に回転運動する、請求項２に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項４】
前記開閉手段は、前記複数の開閉部材と当該複数の開閉部材を回転させる駆動手段とを含む、請求項２または３に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記複数の開閉部材をそれぞれ結合する第１ギアと、
前記第１ギアを回転させる第２ギアと、
を含む、請求項４に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項６】
前記第１ギアは遊星ギアであり、前記第２ギアは内接ギアである、請求項５に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項７】
前記開閉手段は、第１方向に移動する一対の第１開閉部材と、
前記第１方向と垂直な第２方向に移動する一対の第２開閉部材と、
を含む、請求項１に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項８】
前記一対の第１開閉部材にはカム溝が形成され、
前記一対の第２開閉部材には前記カム溝に嵌合される突起が形成されて、
前記一対の第１開閉部材と前記一対の第２開閉部材との開閉運動が一体で行われる、請求項７に記載のめっき遮蔽器具。
【請求項９】
めっき対象物が収容されるめっき浴槽と、
請求項１から８の何れか１項に記載のめっき遮蔽器具であり、前記めっき浴槽に設置されるめっき遮蔽器具と、
前記めっき対象物のサイズに応じて前記穴のサイズが調節できるように前記開閉手段を制御する制御手段と
を含む、めっき装置。
【請求項１０】
めっき対象物のサイズを感知し、感知された信号を前記制御手段に送出する感知手段をさらに含む、請求項９に記載のめっき装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記穴の開放面積がめっき対象物の表面積に対して６０〜７０％の広さになるように前記開閉手段を制御する、請求項９または１０に記載のめっき装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記穴の開放面積がめっき対象物のめっき面積に対して６０〜７０％の広さになるように前記開閉手段を制御する、請求項９または１０に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき遮蔽器具及びそれを具備しためっき装置に関するもので、より詳細には、めっき対象物のサイズに応じて遮蔽サイズが調節できるめっき遮蔽器具及びそれを具備しためっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブカード（ｐｒｏｂｅ  ｃａｒｄ）とは、半導体の良否を検査するために、半導体チップとテスト装備とを連結させる装置である。プローブカードは、多数のプローブ針を含み、プローブ針を通じてウェハと接触し、不良半導体チップを検査する。
【０００３】
プローブカードは、一般的に低温同時焼成セラミック（ＬＴＣＣ、Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃｓ）で製作され、めっき装置によってめっきされる。
【０００４】
一般的にプローブカードのめっきは、めっき浴槽にプローブカードを入れた状態で陽極部材からプローブカードへ電流を流し、プローブカードの表面にめっき層を形成する方式で行われる。
【０００５】
ここで、プローブカードに形成されるめっき層は、電流密度によって異なって形成されるため、通常のめっき工程ではプローブカードと陽極部材との間に遮蔽部材が設置される。
【０００６】
プローブカードは、ウェハの種類、回路構成、適用範囲等により、それぞれ異なるサイズで製作されるため、めっき工程で用いられる遮蔽板もプローブカードの種類（めっきパターン）及びサイズに応じて異ならなければならず、それぞれのプローブカードに合う遮蔽板を別途に製作しなければならない。
【０００７】
しかしながら、遮蔽板をプローブカードによって個別に製作すると、プローブカードの製作原価が上昇するのみならず、遮蔽部材の交替作業に別途の時間が所要されるため、プローブカードの生産効率が低下する問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解決するためのもので、めっき対象物に一定の厚さのめっき層が形成できるめっき遮蔽器具及びそれを具備しためっき装置を提供するのにその目的がある。
【０００９】
さらに、本発明は、プローブカードのサイズに応じてめっき遮蔽器具の開放比率が調節できるめっき遮蔽器具及びそれを具備しためっき装置を提供するのに他の目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具は、穴が形成された遮蔽部材と、上記遮蔽部材に回転可能に設置されて上記穴のサイズを調節する開閉手段と、を含むことができる。
【００１１】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記開閉手段は、上記穴を中心に円形配置される多数の開閉部材であることができる。
【００１２】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具において多数の上記開閉部材は、同時に回転運動することができる。
【００１３】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記開閉手段は、多数の開閉部材と上記開閉部材とを回転させる駆動手段を含むことができる。
【００１４】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記駆動手段は、上記開閉部材とそれぞれ結合する第１ギアと、上記第１ギアを回転させる第２ギアと、を含むことができる。
【００１５】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記第１ギアは遊星ギアであり、上記第２ギアは内接ギアであることができる。
【００１６】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記開閉手段は、第１方向に移動する一対の第１開閉部材と、上記第１方向と垂直な第２方向に移動する一対の第２開閉部材と、を含むことができる。
【００１７】
本発明の一実施例によるめっき遮蔽器具の上記開閉手段は、上記第１開閉部材にはカム溝が形成され、上記第２開閉部材には上記カム溝に嵌合される突起が形成されて上記第１開閉部材と上記第２開閉部材との開閉運動が一体で行われることができる。
【００１８】
上記目的を達成させるための本発明の一実施例によるめっき装置は、めっき対象物が収容されるめっき浴槽と、穴が形成された遮蔽部材と、上記遮蔽部材に回転可能に設置されて上記穴のサイズが調節できる開閉手段と、を含み、上記めっき浴槽に設置されるめっき遮蔽器具と、めっき対象物のサイズに応じて上記穴のサイズが調節できるように上記開閉手段を制御する制御手段と、を含むことができる。
【００１９】
本発明の一実施例によるめっき装置は、めっき対象物のサイズを感知し、感知された信号を上記制御手段に送出する感知手段をさらに含むことができる。
【００２０】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記制御手段は、上記穴の開放比率がめっき対象物の表面積に対して６０〜６５％になるように上記開閉手段を制御することができる。
【００２１】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記制御手段は、上記穴の開放比率がめっき対象物のめっき面積に対して６０〜６５％になるように上記開閉手段を制御することができる。
【００２２】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記開閉手段は、上記穴を中心に円形配置される多数の開閉部材であることができる。
【００２３】
本発明の一実施例によるめっき装置において多数の上記開閉部材は、同時に回転運動することができる。
【００２４】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記開閉手段は、多数の開閉部材と上記開閉部材とを回転させる駆動手段を含むことができる。
【００２５】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記駆動手段は、上記開閉部材とそれぞれ結合する第１ギアと、上記第１ギアを回転させる第２ギアと、を含むことができる。
【００２６】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記第１ギアは遊星ギアであり、上記第２ギアは内接ギアであることができる。
【００２７】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記開閉手段は、第１方向に移動する一対の第１開閉部材と、上記第１方向と垂直な第２方向に移動する一対の第２開閉部材と、を含むことができる。
【００２８】
本発明の一実施例によるめっき装置の上記開閉手段は、上記第１開閉部材にはカム溝が形成され、上記第２開閉部材には上記カム溝に嵌合される突起が形成されて上記第１開閉部材と上記第２開閉部材との開閉運動が一体で行われることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、遮蔽部材の開放比率がプローブカードによって調節されることができる。
【００３０】
従って、本発明によると、プローブカードの種類によって別途の遮蔽部材を製作する必要がなく、これにより、遮蔽部材の製作費用を節減することができる。
【００３１】
さらに、本発明によると、プローブカードの種類によって遮蔽部材を交替する必要がないため、プローブカードのめっき工程を簡素化することができ、これにより、プローブカードの生産効率を高めることができる。
【００３２】
また、本発明は、プローブカードのめっき偏差を最小化することができる開放比率を提供するため、プローブカードのめっき品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１実施例によるめっき遮蔽器具の正面図である。
【図２】本発明の第２実施例によるめっき遮蔽器具の正面図である。
【図３】図２に図示されためっき遮蔽器具の開閉手段を示した斜視図である。
【図４】図３に図示された開閉手段の正面図である。
【図５】図４に図示された開閉手段の作動原理を示した正面図である。
【図６】図４に図示された開閉手段の作動原理を示した正面図である。
【図７】本発明の第３実施例によるめっき遮蔽器具の正面図である。
【図８】図７に図示されためっき遮蔽器具の開閉手段を示した正面図である。
【図９】図７に図示された開閉手段の作動原理を示した正面図である。
【図１０】本発明の一実施例によるめっき装置を示した側面図である。
【図１１】一般的なプローブ基板の形状を示した正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下では、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施例を説明する。 以下で本発明を説明することにおいて、本発明の構成要素を称する用語はそれぞれの構成要素の機能を考慮し命名されたものであるため、本発明の技術的構成要素を限定する意味で理解されてはならない。
【００３５】
図１は本発明の第１実施例によるめっき遮蔽器具の正面図である。
【００３６】
第１実施例によるめっき遮蔽器具１００は、遮蔽部材１１０と開閉手段１２０とを含むことができる。また、めっき遮蔽器具１００は、開閉手段１２０を作動させる駆動手段と駆動手段を制御する制御手段とをさらに含むことができる。
【００３７】
遮蔽部材１１０は、めっき工程の際、めっき液または電流の流れが遮断できる材質で製作されることができる。また、遮蔽部材１１０は、めっき液または電流の流れがめっき対象物に移動することを効果的に遮断することができるように、めっき対象物（例えば、プローブカード）の断面サイズより広い断面サイズを有することができる。
【００３８】
さらに、遮蔽部材１１０は、内部に他の部材を収容することができるように、箱状であることができる。具体的に説明すると、遮蔽部材１１０は、相対的に幅（図１を基準としてＹ軸方向の長さ）の小さい直方体であることができる。また、遮蔽部材１１０は、複数の部材が組み立てられて形成されることができる。例えば、遮蔽部材１１０は、前面部材と後面部材または上部部材と下部部材が結合して形成されることができる。このように、遮蔽部材１１０が二つ以上の部材からなる場合には、ボルト等のような締結手段により結合及び分離が選択的に行われるように形成されることができる。
【００３９】
遮蔽部材１１０には穴１１２が形成されることができる。穴１１２は、遮蔽部材１１０の中心に形成されることができ、所定のサイズを有することができる。本実施例において、穴１１２は半径Ｒを有する円形であることができる。
【００４０】
開閉手段１２０は、遮蔽部材１１０に回転または直線運動が可能に設置されることができる。このように設置された開閉手段１２０は、回転または直線運動を通じて穴１１２を完全に閉鎖または開放することができ、穴１１２の開放面積（または開放比率）を調節することができる。そのために、開閉手段１２０は、一つ以上の開閉部材１３０を含むことができる。本実施例において開閉手段１２０は、一対の開閉部材１３０を含むことができる。
【００４１】
一対の開閉部材１３０は、穴１１２を中心に対称配置されることができる。また、開閉部材１３０は、薄い板状であることができる。しかしながら、開閉部材１３０の形状は、これに限定されず、三角形、五角形、半円形等から任意に選択されることができる。一対の開閉部材１３０は、穴１１２を完全に閉鎖することができる第１長さＬ１と第２長さＬ２とを有することができる。即ち、開閉部材１３０の第１長さＬ１は、穴１１２の直径（２×Ｒ）より長いことができ、第２長さＬ２は、穴１１２の半径Ｒより長いことができる。しかしながら、穴１１２の完全閉鎖を必要としない場合には、開閉部材１３０の長さＬ１、Ｌ２が上記条件を満たさなくてもよい。
【００４２】
このように構成された開閉部材１３０は、作業者の手作業または別途の駆動手段により、一方向（図１を基準としてＸ軸方向）に移動し、穴１１２の開放比率を調節することができる。例えば、開閉部材１３０は、シリンダーまたはリニアモーターにより、遮蔽部材１１０において一方向に往復移動されることができる。または、遮蔽部材１１０にガイドレールを形成して開閉部材１３０にローラー等を付着し、作業者が開閉部材１３０を容易に動かすようにすることができる。
【００４３】
上記のように形成された本実施例は、穴１１２の開放比率が開閉部材１３０によって調節されるため、遮蔽部材（または遮蔽板）を交替しなくてもサイズの異なるめっき対象物をめっきすることができる。
【００４４】
以下では、本発明の他の実施例によるめっき遮蔽器具を説明する。図２は本発明の第２実施例によるめっき遮蔽器具の正面図であり、図３は図２に図示されためっき遮蔽器具の開閉手段を示した斜視図であり、図４は図３に図示された開閉手段の正面図であり、図５及び図６は図４に図示された開閉手段の作動原理を示した正面図であり、図７は本発明の第３実施例によるめっき遮蔽器具の正面図であり、図８は図７に図示されためっき遮蔽器具の開閉手段を示した正面図であり、図９は図７に図示された開閉手段の作動原理を示した正面図である。
【００４５】
図２から図６を参照して第２実施例によるめっき遮蔽器具を説明する。また、本実施例において第１実施例と同一の構成要素は同一の図面符号を使用し、これらの構成要素に対する詳細な説明は省略する。
【００４６】
本実施例によるめっき遮蔽器具１００は、開閉手段１２０の構造において第１実施例と区別される。第２実施例による開閉手段１２０は、図２に図示されたように一対の第１開閉部材１３２と一対の第２開閉部材１３４とを含むことができる。
【００４７】
第１開閉部材１３２は、遮蔽部材１１０の横方向（図２を基準としてＸ軸方向）に移動可能に設置されることができ、第２開閉部材１３４は、遮蔽部材１１０の縦方向（図２を基準としてＺ軸方向）に移動可能に設置されることができる。ここで、第１開閉部材１３２または第２開閉部材１３４が穴１１２を完全に閉鎖することができる第１長さＬ１、Ｌ３と第２長さＬ２、Ｌ４とを有したり、もしくは第１開閉部材１３２及び第２開閉部材１３４が穴１１２を完全に閉鎖することができる第１長さＬ１、Ｌ３と第２長さＬ２、Ｌ４とを有することができる。即ち、開閉部材１３２、１３４の第１長さＬ１、Ｌ３は穴１１２の直径２×Ｒより長いことができ、第２長さＬ２、Ｌ４は穴１１２の半径Ｒより長いことができる。しかしながら、穴１１２の完全閉鎖を必要としない場合には、開閉部材１３２、１３４の長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４が上記条件を満たさなくてもよい。
【００４８】
第１開閉部材１３２及び第２開閉部材１３４は、図３に図示されたように、部分的に重畳されるように設置されることができ、相互連動して動くことができる。例えば、第１開閉部材１３２は、第２開閉部材１３４の上下方向（図３を基準としてＺ軸方向）の動きにより、水平方向（図３を基準としてＸ軸方向）に動くことができる。または、第２開閉部材１３４は、第１開閉部材１３２の左右方向の動きにより、上下方向に動くことができる。
【００４９】
このような相互連動作動のために、図４に図示されたように、第１開閉部材１３２は溝１３２２を有することができ、第２開閉部材１３４は突起１３４２を有することができる。さらに、第１開閉部材１３２の端部分と第２開閉部材１３４の端部分は、相互接触または相互対向するように配置されることができる。
【００５０】
溝１３２２は、第１開閉部材１３２の両端部分に長く形成されることができ、図４を基準としてＸ軸とＺ軸に対し、斜めに形成されることができる。ここで、第１開閉部材１３２の両端に形成された溝１３２２は、第１開閉部材１３２を二等分する仮想の線Ｋ−Ｋを基準として相互対称の形状であることができる。また、異なる第１開閉部材１３２に形成された溝１３２２は、第２開閉部材１３４を二等分する仮想の線Ｍ−Ｍを基準として相互対称の形状であることができる。
【００５１】
突起１３４２は第２開閉部材１３４の両端部分に形成されることができ、溝１３２２に嵌合されることができる。突起１３４２は溝１３２２の内壁と線接触されるように円形の断面を有することができる。ここで、突起１３４２の直径ｄは、溝１３２２の幅ｗと同一であるか、または溝１３２２の幅ｗより小さいことができる。
【００５２】
このような構造で配置された第１開閉部材１３２及び第２開閉部材１３４は、溝１３２２と突起１３４２によって連結されるため、相互連動して動くことができる。
【００５３】
例えば、図５に図示されたように、一対の第１開閉部材１３２が相互に遠ざかる方向に移動すると、一対の第２開閉部材１３４も相互に遠ざかる方向に移動することができる。
【００５４】
それとは異なり、図６に図示されたように、一対の第１開閉部材１３２が相互に近接する方向に移動すると、一対の第２開閉部材１３４も相互に近接する方向に移動することができる。
【００５５】
ここで、第１開閉部材１３２の移動距離と第２開閉部材１３４の移動距離は比例するため、第１開閉部材１３２及び第２開閉部材１３４が形成する開放面積Ｓは、常に一定比率で縮小または拡大することができる。
【００５６】
このように形成された本実施例は、複数の開閉部材１３２、１３４を通じて穴１１２の開放比率を容易に調節することができる。また、本実施例によると、複数の開閉部材１３２、１３４が相互連動して作動するため、駆動手段または手作業による開閉部材１３２、１３４の制御が容易である。
【００５７】
図７から図９を参照して第３実施例によるめっき遮蔽器具を説明する。また、本実施例において前述した実施例と同一の構成要素は同一の図面符号を使用し、これらの構成要素に対する詳細な説明は省略する。
【００５８】
第３実施例によるめっき遮蔽器具１００は、開閉手段が多数の開閉部材１３０で構成されたことで、前述した実施例と区別されることができる。
【００５９】
本実施例において開閉手段は、穴１１２を中心（Ｏ、半径中心）に円形配置される多数の開閉部材１３０を含むことができる。ここで、開閉部材１３０は、長方形、正方形、三角形または多角形であることができる。
【００６０】
本実施例は、駆動手段１４０をさらに含むことができる。駆動手段１４０は、第１ギア１４２、第２ギア１４４、第３ギア１４６を含むことができる。
【００６１】
第１ギア１４２は、遮蔽部材１１０に回転可能に設置されることができ、それぞれの開閉部材１３０に結合されることができる。より詳細には、第１ギア１４２は、開閉部材１３０の偏心された位置に結合されることができる。ここで、第１ギア１４２及び開閉部材１３０は一体で形成されることができる。従って、第１ギア１４２が回転すると、開閉部材１３０が第１ギア１４２を中心に回転運動することができる。
【００６２】
第２ギア１４４は、多数の第１ギア１４２と噛み合うように配置されることができる。具体的には、第２ギア１４４はリング状であることができ、内周面及び外周面に歯が形成されることができる。ここで、内周面に形成される歯は、第１ギア１４２の歯と噛み合うことができ、外周面に形成される歯は、第３ギア１４６の歯と噛み合うことができる。また、第１ギア１４２と第２ギア１４４との結合関係において、第１ギア１４２は遊星ギアであることができ、第２ギア１４４は内接ギアであることができる。
【００６３】
第３ギア１４６は、遮蔽部材１１０に設置されることができ、第２ギア１４４と噛み合うことができる。さらに、第３ギア１４６は、別途の駆動モーター（図示せず）と連結されることができる。即ち、第３ギア１４６は駆動モーターの駆動力を第２ギア１４４に伝達することができる。従って、第３ギア１４６が回転すると、第２ギア１４４が回転し、第２ギア１４４の回転により、多数の第１ギア１４２及び多数の開閉部材１３０が一括回転することができる。ここで、開閉部材１３０は、第１ギア１４２によって回転すると共に、穴１１２を遮断または開放して穴１１２の開放比率を調節することができる。
【００６４】
このように形成された本実施例は、相対的に多くの数の開閉部材１３０が回転して穴１１２を開放または閉鎖するため、穴１１２の開放比率及びサイズをより精密に調節することができる。
【００６５】
従って、本実施例は、めっき層をより均一かつ精密に形成するのに有用に利用されることができる。
【００６６】
一方、前述した実施例３では、多数の開閉部材１３０を駆動させる駆動手段が複数のギアによって構成されると説明されているが、ベルトまたはシリンダー等で構成されることができる。
【００６７】
以下では、本発明の一実施例によるめっき装置を説明する。図１０は本発明の一実施例によるめっき装置を示した側面図であり、図１１は一般的なプローブ基板の形状を示した正面図である。
【００６８】
本発明の一実施例によるめっき装置２００は、めっき遮蔽器具１００と、めっき浴槽２１０と、陽極部材２２０と、陰極部材２３０と、制御手段２４０と、感知手段２５０と、を含むことができる。
【００６９】
めっき遮蔽器具１００は、めっき浴槽２１０に設置されることができ、めっき浴槽２１０を空間的に両分することができる。ここで、めっき遮蔽器具１００は、図１から図９に示されためっき遮蔽器具１００のうちいずれかの一つであることができる。
【００７０】
めっき浴槽２１０は、めっき対象物（本実施例では、プローブカード３００）及びめっき遮蔽器具１００が収容できるサイズを有することができる。さらに、めっき浴槽２１０は、めっき対象物を電解めっきするのに必要な電解液を収容することができる。
【００７１】
陽極部材２２０は、めっき遮蔽器具１００を基準としてめっき対象物の反対側に形成されることができる。陽極部材２２０は棒状であることができる。しかしながら、必要に応じて、めっき効率及びめっき品質を高めるために、板状であることができる。陽極部材２２０は、めっき工程の際、陽極と連結されることができる。
【００７２】
陰極部材２３０は、めっき対象物を固定させることができる固定手段（例えば、クリップまたはクランプ）を含むことができる。陰極部材２３０は、めっき浴槽２１０においてめっき対象物が一定の高さで維持できるようにめっき対象物を固定させることができ、めっき対象物が陰極性を有するようにすることができる。このために、陰極部材２３０は、めっき工程の際、陰極と連結されることができる。
【００７３】
制御手段２４０は、めっき遮蔽器具１００と電気的に連結されることができ、めっき遮蔽器具１００の開閉部材１３０を制御することができる。さらに、制御手段２４０は、感知手段２５０と電気的に連結され、感知手段２５０により感知された感知信号を元に開閉部材１３０を作動させることができる。より詳細には、制御手段２４０は、めっき対象物３００のサイズに応じて穴１１２のサイズが縮小または拡大するように開閉部材１３０を制御することができる。また、制御手段２４０は、めっきパターン３１０のサイズに応じて穴１１２のサイズが縮小または拡大するように開閉部材１３０を制御することができる。
【００７４】
即ち、めっき対象物３００の断面サイズまたはめっき対象物３００に形成されためっきパターン面積を１００％とすると、６０〜７０％に該当する面積だけ穴１１２を開放することが好ましい。下記の表１において、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉは、図１１に示されたプローブ基板３００の部位を示したものである。
【００７５】
【表１】
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【００７６】
本発明者は、開閉部材１３０を完全に開放した状態（遮蔽板の開放比率１００％；実験例１及び３）及び開閉部材１３０をめっきパターンの面積比率の６５％に開放した状態（実験例２及び４）で、めっき対象物のめっき工程を行った。
【００７７】
その結果、実験例１及び３においては、めっき対象物３００の部位によるめっき偏差が相対的に大きく示された。即ち、実験例１において、めっき厚さが最も厚い部位（ｅ、１０．９ｍｍ）とめっき厚さが最も薄い部位（ｄ、４．４ｍｍ）との偏差は６．５ｍｍであった。これと類似して実験例３においても、めっき厚さが最も厚い部位（ｆ、１１．０ｍｍ）とめっき厚さが最も薄い部位（ｄ、３．２ｍｍ）との偏差は７．８ｍｍであった。
【００７８】
一方、実験例２及び４においては、めっき対象物３００の部位によるめっき偏差が相対的に小さく示された。即ち、実験例２において、めっき厚さが最も厚い部位（ｈ、８．８ｍｍ）とめっき厚さが最も薄い部位（ｆ、７．２ｍｍ）との偏差は１．６ｍｍであった。これと類似して実験例４においても、めっき厚さが最も厚い部位（ｂ、８．４ｍｍ）とめっき厚さが最も薄い部位（ｇ、７．１ｍｍ）との偏差は１．３ｍｍであった。
【００７９】
従って、穴１１２の開放比率は、めっき対象物３００の断面サイズまたはめっき対象物３００に形成されためっきパターン面積の６０〜７０％に維持することが好ましい。
【００８０】
また、穴１１２を５０％以下で開放することができるが、この場合、めっき対象物３００をめっきするのに多くの時間が所要されるのみならず、めっき対象物３００に所望の厚さのめっき層を形成することができない。
【００８１】
本発明は、上述した実施例のみに限定されず、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、以下の特許請求の範囲に記載の技術的思想から外れない範囲内において、多様に変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００８２】
１００  めっき遮蔽器具
１１０  遮蔽部材                
１１２  穴
１２０  開閉手段                
１３０  開閉部材
１３２  第１開閉部材                
１３４  第２開閉部材
１４０  駆動手段                    
１４２  第１ギア（または遊星ギア）
１４４  第２ギア（または内接ギア）  
１４６  第３ギア（または駆動ギア）
２００  めっき装置
２１０  めっき浴槽                  
２２０  陽極部材（または陽極板）
２３０  陰極部材（または陰極板）    
２４０  制御手段
２５０  感知手段                    
３００  プローブ基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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