(57)【要約】【課題】  簡単な構成で個々の装置のセッティング状態を確認可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段を少なくとも含み、外装カバーによって覆われた加工装置であって、該外装カバーは着脱自在に装着されるメッセージボードを具備していることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段を少なくとも含み、外装カバーによって覆われた加工装置であって、
該外装カバーは着脱自在に装着されるメッセージボードを具備していることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物をチャックテーブルに保持して加工する切削装置、研削装置、レーザー加工装置等の加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスにおいては、シリコンや化合物半導体からなるウエーハの表面にストリートと呼ばれる格子状の分割予定ラインが形成される。そして、分割予定ラインによって区画された各領域にＩＣやＬＳＩ等のデバイスが形成される。
【０００３】
これらのウエーハは裏面が研削装置により研削されて所定の厚みへと薄化された後、切削装置又はレーザー加工装置によってストリートに沿って切削され、個々のチップへと分割されることで半導体デバイスが製造される。このようにして製造された半導体デバイスは、携帯電話、パソコン等の各種電気機器に広く利用されている。
【０００４】
切削装置、研削装置又はレーザー加工装置等の加工装置は、ウエーハ等の被加工物をチャックテーブルに保持した状態で被加工物に加工を施すが、加工を施すに際して各種のデータ設定が必要であり、装置内の多くの箇所に定期的なメンテナンスが必要となる部位が存在する。
【０００５】
それらの多くは、加工装置を設置した工場のオペレータによって設定されたりメンテナンスが施されるが、例えば、同じ機種が複数台並んで設置されている場合、それぞれ異なる部品（例えば、切削装置であれば異なる品種の切削ブレード）を搭載し、異なる加工結果を得られるようセッティングされている場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２６６２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
こうした状態において、どこがどのように違うセッティングになっているのか、加工装置の表示モニタの該当画面を見れば確認することができるが、その画面にたどりつかなければ知ることができない。
【０００８】
また、表示モニタに登録する欄がない部品等のセッティング変更に関しては、表示モニタを利用しても、そのセッティングの変更を知ることをできないため、オペレータが表示モニタを介して知ることが難しい情報に関しては、各工場で手作りの看板を用意したりしてセッティング確認ミスを予防するようにしていた。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成で個々の装置のセッティング状態を確認可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段を少なくとも含み、外装カバーによって覆われた加工装置であって、該外装カバーは着脱自在に装着されるメッセージボードを具備していることを特徴とする加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の加工装置によると、表示モニタ以外に着脱自在のメッセージボードを備えたことで、加工装置の表示モニタに頼ることなく装置の重要な情報を知ることが出来るという効果を奏する。
【００１２】
表示するために電源不要のメッセージボードであるので、表示モニタが誤った操作を予防するために表示ロック状態（何も表示されないスクリーンセーバー状態）になっていたり、装置電源が落とされていたりしても、装置の状況を表示することができる。
【００１３】
また、着脱自在であることから、取り外したメッセージボードに必要事項を書き込んだ後、目につき易い比較的高所にメッセージボードを取り付けて、オペレータの注意を促すといったことが容易に可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明実施形態に係る加工装置の斜視図である。
【図２】切削装置に装着されたメッセージボードのメッセージ例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２の機構部は、複数のパネルを組み合わせて形成された外装カバー４内に収容されている。
【００１６】
６はチャックテーブルであり、回転可能且つＸ軸方向に移動可能に構成されている。チャックテーブル６には、よく知られているようにダイシングテープを介してウエーハを支持する環状フレームをクランプする複数のクランプ８が配設されている。
【００１７】
切削装置２は、Ｙ軸方向に整列して配設された第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２を有している。第１切削ユニット１０及び第２切削ユニット１２ともＹ軸方向に伸長するガイドレール１４に案内されてＹ軸方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸方向（高さ方向）にも移動可能に配設されている。
【００１８】
１６は内部に複数枚のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台であり、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成されている。１８は切削装置２の可動状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。
【００１９】
２０はタッチパネル式の表示モニタであり、オペレータが装置の操作指令を入力できるとともに、装置の稼動状況が表示モニタ２０上に表示される。２２，２４は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン２２，２４を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００２０】
表示モニタ２０の上部の外装カバー４には、メッセージボード２６が磁石や面ファスナー等で着脱可能に装着されている。図２に示すように、メッセージボード２６には、消去用部品付きの筆記具２８が着脱可能に配設されている。
【００２１】
メッセージボード２６には、例えば使用している切削ブレードの品種、その在庫枚数及び切削水ノズルの品種等のメッセージ３０が書き込まれており、オペレータがこのメッセージ３０を読むことにより自分が担当している切削装置２の必要とする情報を確認することができる。
【００２２】
本実施形態の切削装置２は、クリーンルーム内に設置されているため、発塵を抑えるため、砂鉄と磁石の性質を応用して書き込みと消去が繰り返しできる、例えばタカラトミー株式会社が発売している知育玩具「せんせい」（登録商標）のようなメッセージボードであってもよい。
【００２３】
表示モニタ２０上にもメッセージボード２６のメッセージ３０と同様な情報を表示することができるが、表示モニタ２０が誤った操作を予防するために表示ロック状態（何も表示されないスクリーンセーバー状態）になっていたり、装置電源が落とされていたとしても、表示するために電源不要のメッセージボード２６であれば、装置の状況を表示することができ、オペレータはメッセージボード２６のメッセージを読むことにより装置の状況を確認することができる。
【００２４】
また、図１に矢印Ａで示すようにメッセージボード２６は着脱自在であることから、取り外したメッセージボード２６に必要事項を書き込んだ後、目につき易い比較的高所の外装カバー４にメッセージボード２６を取り付けてオペレータに注意喚起を促すといったことが容易に可能である。
【００２５】
上述した実施形態では、切削装置２の外装カバー４にメッセージボード２６を着脱可能に装着する例について説明したが、加工装置は切削装置に限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の他の加工装置の外装カバーにメッセージボード２６を着脱可能に装着するようにしても良い。
【符号の説明】
【００２６】
２    切削装置
４    外装カバー
２０    表示モニタ
２６    メッセージボード
２８    筆記具
３０    メッセージ
【図１】
2013129008.tif 000003
【図２】
2013129008.tif 000004