(57)【要約】【課題】製造歩留まりの低下を抑制することが可能なレーザアニール装置を提供する。【解決手段】パルスレーザビームを出射するレーザ装置と処理基板が載置されるステージを備えたアニールチャンバーとの間の光路を囲む筒状の筐体と、パルスレーザビームに対して所定の光学特性を付与するレンズと、前記レンズを保持するとともに前記筐体内に固定されたレンズホルダと、を備え、前記レンズホルダは、重力方向に位置する第１下枠を含む矩形枠状に形成され前記レンズが取り付けられる第１枠体と、前記第１枠体の外側を囲む矩形枠状に形成され前記第１下枠に対して重力方向に位置する第２下枠を含み前記第２下枠に雌ネジが形成された第２枠体と、前記第１枠体と前記第２枠体とを接続する接続部材と、前記第２下枠の前記雌ネジに対して回転可能な雄ネジを有し前記第１下枠に接触して前記第１枠体を反重力方向に押し上げ可能なスピンドル部材と、を備えたレーザアニール装置。【選択図】図２
2013153061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルスレーザビームを出射するレーザ装置と、
アモルファスシリコン薄膜が形成された処理基板が載置されるステージを備えたアニールチャンバーと、
前記レーザ装置と前記アニールチャンバーとの間の光路を囲む筒状の筐体と、前記筐体内に固定され前記レーザ装置から出射されたパルスレーザビームを前記アニールチャンバーに案内する反射鏡と、パルスレーザビームに対して所定の光学特性を付与するレンズと、前記レンズを保持するとともに前記筐体内に固定されたレンズホルダと、を備えた光学モジュールと、を備え、
前記レンズホルダは、重力方向に位置する第１下枠を含む矩形枠状に形成され前記レンズが取り付けられる第１枠体と、前記第１枠体の外側を囲む矩形枠状に形成され前記第１下枠に対して重力方向に位置する第２下枠を含み前記第２下枠に雌ネジが形成された第２枠体と、前記第１枠体と前記第２枠体とを接続する接続部材と、前記第２下枠の前記雌ネジに対して回転可能な雄ネジを有し前記第１下枠に接触して前記第１枠体を反重力方向に押し上げ可能なスピンドル部材と、を備えたことを特徴とするレーザアニール装置。
【請求項２】
前記接続部材は、前記第１下枠と前記第２下枠とを接続する弾性部材を含むことを特徴とする請求項１に記載のレーザアニール装置。
【請求項３】
前記第２下枠には複数の前記雌ネジが形成され、前記雌ネジの各々に対して前記スピンドル部材が設けられたことを特徴とする請求項１または２に記載のレーザアニール装置。
【請求項４】
前記第１枠体及び前記第２枠体は、高さ方向の長さよりも幅方向の長さが長い形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレーザアニール装置。
【請求項５】
前記筐体は、前記レンズホルダの側方に扉を備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のレーザアニール装置。
【請求項６】
レーザ装置と、アニールチャンバーと、前記レーザ装置と前記アニールチャンバーとの間に設置されレンズ及び前記レンズを保持するとともに前記光学モジュールの筐体内に固定されたレンズホルダを備えた光学モジュールと、を備えたアニール装置であって、
前記レンズホルダは、
重力方向に位置する第１下枠、前記第１下枠の上方に位置する第１上枠、及び、前記第１下枠及び前記第１上枠をつなぐ第１縦枠を含む矩形枠状に形成され、前記レンズが取り付けられる第１枠体と、
前記第１下枠に対して重力方向に位置する第２下枠、前記第２下枠の上方に位置し前記第１上枠の外側に位置する第２上枠、及び、前記第２下枠及び前記第２上枠をつなぎ前記第１縦枠の外側に位置する第２縦枠を含む矩形枠状に形成され、前記第２下枠に第１雌ネジ及び第２雌ネジが形成された第２枠体と、
前記第１下枠と前記第２下枠とを接続する第１弾性部材と、
その中途部が第２縦枠に固定されるとともに、その一端部が第１下枠に固定され、その他端部が第１上枠に固定された第２弾性部材と、
前記第２下枠の前記第１雌ネジに対して回転可能な第１雄ネジを有する第１スピンドル部材と、
前記第２下枠の前記第２雌ネジに対して回転可能な第２雄ネジを有する第２スピンドル部材と、を備え、
前記第１スピンドル部材及び前記第２スピンドル部材が前記第１下枠に接触して前記第１枠体に保持された前記レンズの位置を調整可能に構成されたことを特徴とするレーザアニール装置。
【請求項７】
前記第２枠体の前記第２縦枠には第３雌ネジが形成され、
さらに、前記第３雌ネジに対して回転可能な第３雄ネジを有する第３スピンドル部材を備えたことを特徴とする請求項６に記載のレーザアニール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、レーザアニール装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの平面表示装置は、その特徴を生かして各種分野で利用されている。このような平面表示装置においては、各画素のスイッチング素子として、ポリシリコン半導体層を備えた薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が適用され始めている。
【０００３】
このようなポリシリコン半導体層は、絶縁基板上に形成したアモルファスシリコンに向けてエキシマレーザ装置からレーザビームをパルス照射するエキシマレーザアニール（ＥＬＡ）法で形成可能である。このようなエキシマレーザアニール法においては、ポリシリコンを全エリアに亘って安定的に形成することが要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２０８８５０号公報
【特許文献２】特開２００１−３３８８９３号公報
【特許文献３】特開２００３−５９８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本実施形態の目的は、製造歩留まりの低下を抑制することが可能なレーザアニール装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態によれば、
パルスレーザビームを出射するレーザ装置と、アモルファスシリコン薄膜が形成された処理基板が載置されるステージを備えたアニールチャンバーと、前記レーザ装置と前記アニールチャンバーとの間の光路を囲む筒状の筐体と、前記筐体内に固定され前記レーザ装置から出射されたパルスレーザビームを前記アニールチャンバーに案内する反射鏡と、パルスレーザビームに対して所定の光学特性を付与するレンズと、前記レンズを保持するとともに前記筐体内に固定されたレンズホルダと、を備えた光学モジュールと、を備え、前記レンズホルダは、重力方向に位置する第１下枠を含む矩形枠状に形成され前記レンズが取り付けられる第１枠体と、前記第１枠体の外側を囲む矩形枠状に形成され前記第１下枠に対して重力方向に位置する第２下枠を含み前記第２下枠に雌ネジが形成された第２枠体と、前記第１枠体と前記第２枠体とを接続する接続部材と、前記第２下枠の前記雌ネジに対して回転可能な雄ネジを有し前記第１下枠に接触して前記第１枠体を反重力方向に押し上げ可能なスピンドル部材と、を備えたことを特徴とするレーザアニール装置が提供される。
【０００７】
本実施形態によれば、
レーザ装置と、アニールチャンバーと、前記レーザ装置と前記アニールチャンバーとの間に設置されレンズ及び前記レンズを保持するとともに前記光学モジュールの筐体内に固定されたレンズホルダを備えた光学モジュールと、を備えたアニール装置であって、前記レンズホルダは、重力方向に位置する第１下枠、前記第１下枠の上方に位置する第１上枠、及び、前記第１下枠及び前記第１上枠をつなぐ第１縦枠を含む矩形枠状に形成され、前記レンズが取り付けられる第１枠体と、前記第１下枠に対して重力方向に位置する第２下枠、前記第２下枠の上方に位置し前記第１上枠の外側に位置する第２上枠、及び、前記第２下枠及び前記第２上枠をつなぎ前記第１縦枠の外側に位置する第２縦枠を含む矩形枠状に形成され、前記第２下枠に第１雌ネジ及び第２雌ネジが形成された第２枠体と、前記第１下枠と前記第２下枠とを接続する第１弾性部材と、その中途部が第２縦枠に固定されるとともに、その一端部が第１下枠に固定され、その他端部が第１上枠に固定された第２弾性部材と、前記第２下枠の前記第１雌ネジに対して回転可能な第１雄ネジを有する第１スピンドル部材と、前記第２下枠の前記第２雌ネジに対して回転可能な第２雄ネジを有する第２スピンドル部材と、を備え、前記第１スピンドル部材及び前記第２スピンドル部材が前記第１下枠に接触して前記第１枠体に保持された前記レンズの位置を調整可能に構成されたことを特徴とするレーザアニール装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本実施形態のレーザアニール装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１に示したレーザアニール装置に適用可能なレンズホルダの正面図である。
【図３】図３は、比較例のレンズホルダ３０の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１０】
図１は、本実施形態のレーザアニール装置の構成を概略的に示す図である。
【００１１】
すなわち、レーザアニール装置は、レーザ装置１０、光学モジュール２０、アニールチャンバー４０などを備えている。レーザ装置１０は、紫外光波長のパルスレーザビームを出射するエキシマレーザ発振器１１を備えている。アニールチャンバー４０は、アモルファスシリコン薄膜が形成された処理基板ＳＵＢが載置されるステージ４１を備えている。このステージ４１は、処理基板ＳＵＢと平行な平面内で互いに直交する２方向や回転方向に移動可能である。光学モジュール２０は、筐体２１、複数の反射鏡２２、複数のレンズ２３、レンズホルダ３０などを備えている。
【００１２】
筐体２１は、レーザ装置１０とアニールチャンバー４０との間の光路を囲む筒状に形成されている。筐体２１のレーザ装置１０と対向する側には、レーザ装置１０から出射されたパルスレーザビームを取り込む第１窓２１Ａが設けられている。筐体２１のアニールチャンバー４０と対向する側には、レーザビームをアニールチャンバー４０に向けて出射する第２窓２１Ｂが設けられている。また、この筐体２１の側面には、レンズホルダ３０の側方に位置する扉２１Ｃが設けられている。
【００１３】
反射鏡２２は、主にレーザ装置１０から出射されたパルスレーザビームをアニールチャンバー４０に案内するものであり、筐体２１内に固定されている。このような反射鏡２２には、例えば、第１窓２１Ａから取り込まれたパルスレーザビームを上方に向けて反射する反射鏡２２Ａ、反射鏡２２Ａによって反射されたパルスレーザビームの光路を折り曲げる反射鏡２２Ｂ、反射鏡２２Ｂによって反射されたパルスレーザビームを下方の第２窓２１Ｂに向けて反射する反射鏡２２Ｃなどが含まれる。なお、光学モジュール２０は、反射鏡２２として、図示したもの以外に含んでいても良い。
【００１４】
レンズ２３は、第１窓２１Ａから第２窓２１Ｂまでの間の光路中に配置され、パルスレーザビームに対して所定の光学特性を付与するものであって、パルスレーザビームを所望のビームプロファイルに整形するビーム整形光学系を構成している。例えば、各レンズ２３を通過したパルスレーザビームは、発散したり、集束したり、コリメートされたりする。そして、複数のレンズ２３を通過したパルスレーザビームは、所望のビームプロファイル、例えば、ビーム進行方向に直交する平面内において横長の長方形状の外形を有するように整形される。なお、光学モジュール２０は、レンズ２３として、図示したもの以外に含んでいても良い。
【００１５】
レンズホルダ３０は、レンズ２３を保持するとともに筐体２１内に固定されている。反射鏡２２Ｂと反射鏡２２Ｃとの間に位置する複数のレンズ２３をそれぞれ保持するレンズホルダ３０のより詳細な構造について、以下に説明する。
【００１６】
図２は、図１に示したレーザアニール装置に適用可能なレンズホルダ３０の正面図である。なお、ここでは、水平方向を第１方向Ｘとし、鉛直方向あるいは高さ方向を第２方向Ｙとし、ビーム進行方向を第３方向Ｚとしたときのビーム進行方向Ｚに直交するＸ−Ｙ平面での正面図を図示している。重力方向は、第２方向Ｙに沿った下向きの方向に相当する。
【００１７】
すなわち、レンズホルダ３０は、第１枠体３１、第２枠体３２、接続部材３３、スピンドル部材３４などを備えている。なお、図中の破線は、保持されるレンズ２３の外形を示しており、Ｘ−Ｙ平面において、レンズ２３は、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さよりも長い長方形状の外形を有している。
【００１８】
第１枠体３１は、矩形枠状に形成されている。すなわち、第１枠体３１は、重力方向に位置する下枠３１Ａ、下枠３１Ａの上方に位置する上枠３１Ｂ、下枠３１Ａ及び上枠３１Ｂをつなぐ一対の縦枠３１Ｃ及び３１Ｄを有している。下枠３１Ａ及び上枠３１Ｂは、それぞれ第１方向Ｘに沿って延出している。縦枠３１Ｃ及び３１Ｄは、それぞれ第２方向Ｙに沿って延出している。このような第１枠体３１は、下枠３１Ａ及び上枠３１Ｂの第１方向Ｘに沿った長さ（第１枠体３１の幅方向の長さ）が縦枠３１Ｃ及び３１Ｄの第２方向Ｙに沿った長さ（第１枠体３１の高さ方向の長さ）よりも長い横長の形状である。第１枠体３１の内側には、第１方向Ｘに沿った長さが第２方向Ｙに沿った長さよりも長い長方形状の開口ＡＰが形成されている。このような第１枠体３１には、開口ＡＰを塞ぐようにレンズ２３が取り付けられる。このとき、レンズ２３は、板バネ等の固定部材により第１枠体３１に固定される。
【００１９】
第２枠体３２は、第１枠体３１の外側を囲む矩形枠状に形成されている。すなわち、第１枠体３１は、下枠３１Ａに対して重力方向に位置する下枠３２Ａ、下枠３２Ａの上方に位置する上枠３２Ｂ、下枠３２Ａ及び上枠３２Ｂをつなぐ一対の縦枠３２Ｃ及び３２Ｄを有している。下枠３２Ａ及び上枠３２Ｂは、それぞれ第１方向Ｘに沿って延出し、下枠３１Ａ及び上枠３１Ｂよりも長く形成されている。縦枠３２Ｃ及び３２Ｄは、それぞれ第２方向Ｙに沿って延出し、縦枠３１Ｃ及び３１Ｄよりも長く形成されている。
【００２０】
下枠３２Ａは、下枠３１Ａの外側に位置し、下枠３１Ａから離間している。上枠３２Ｂは、上枠３１Ｂの外側に位置し、上枠３１Ｂから離間している。縦枠３２Ｃは、縦枠３１Ｃの外側に位置し、縦枠３１Ｃから離間している。縦枠３２Ｄは、縦枠３１Ｄの外側に位置し、縦枠３１Ｄから離間している。このような第２枠体３２は、下枠３２Ａ及び上枠３２Ｂの第１方向Ｘに沿った長さ（第２枠体３２の幅方向の長さ）が縦枠３２Ｃ及び３２Ｄの第２方向Ｙに沿った長さ（第２枠体３２の高さ方向の長さ）よりも長い横長の形状である。
【００２１】
また、この第２枠体３２の下枠３２Ａには、第１方向Ｘに並んだ複数の雌ネジが形成されている。図示した例では、下枠３２Ａの縦枠３２Ｃ側には雌ネジ３２Ｅが形成され、下枠３２Ａの縦枠３２Ｄ側には雌ネジ３２Ｆが形成されている。これらの雌ネジ３２Ｅ及び雌ネジ３２Ｆは、第２方向Ｙに沿って形成され貫通している。さらに、第２枠体の縦枠３２Ｄにも、雌ネジ３２Ｇが形成されている。この雌ネジ３２Ｇは、第１方向Ｘに沿って形成され貫通している。
【００２２】
接続部材３３は、第１枠体３１と第２枠体３２とを接続する部材である。このような接続部材３３は、弾性を有する弾性部材によって構成されている。接続部材３３の一つであるスプリング３３Ａは、雌ネジ３２Ｅの近傍及び雌ネジ３２Ｆの近傍にそれぞれ設置され、下枠３１Ａと下枠３２Ａとを接続している。これらのスプリング３３Ａには、下枠３１Ａを重力方向に引き下げるようなテンションが付与されている。
【００２３】
また、接続部材３３の一つである板バネ３３Ｂは、その中途部が縦枠３２Ｃに固定されるとともに、一端部が下枠３１Ａに固定され、他端部が上枠３１Ｂに固定されている。また、接続部材３３の一つである板バネ３３Ｃは、その中途部が縦枠３２Ｄに固定されるとともに、一端部が下枠３１Ａに固定され、他端部が上枠３１Ｂに固定されている。このような接続部材３３により、第１枠体３１は、第２枠体３２との間にギャップを持ち且つ弾性を持った状態で第２枠体３２に接続されている。
【００２４】
スピンドル部材３４としては、マイクロメータを適用することが可能である。このようなスピンドル部材３４には、下枠３２Ａの雌ネジ３２Ｅに対して回転可能な雄ネジを有するスピンドル部材３４Ａ、下枠３２Ａの雌ネジ３２Ｆに対して回転可能な雄ネジを有するスピンドル部材３４Ｂ、及び、縦枠３２Ｄの雌ネジ３２Ｇに対して回転可能な雄ネジを有するスピンドル部材３４Ｃが含まれる。
【００２５】
スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂは、第１枠体３１の下枠３１Ａに接触して第１枠体３１を反重力方向に押し上げることが可能である。例えば、スピンドル部材３４Ａは、雌ネジ３２Ｅに対して正回転しながら第２方向Ｙに沿った上方に向かって押し込まれると、第１枠体３１の下枠３１Ａに接触して第１枠体３１を反重力方向に押し上げる。なお、スピンドル部材３４Ａは、雌ネジ３２Ｅに対して逆回転しながら第２方向Ｙに沿った下方に向かって引き戻されると、第１枠体３１を重力方向に引き下げる。スピンドル部材３４Ｂについても同様である。
【００２６】
つまり、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂは、それぞれ第１枠体３１（あるいは、レンズ２３）を第２方向Ｙに沿って移動させることが可能であり、第２方向Ｙの位置調整に利用される。また、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂは、それぞれ第１枠体３１（あるいは、レンズ２３）をＸ−Ｙ平面内での回転移動させることも可能であり、Ｘ−Ｙ平面内での回転方向の位置調整にも利用される。
【００２７】
スピンドル部材３４Ｃは、筐体２１の扉２１Ｃと対向する位置に設けられている。このスピンドル部材３４Ｃは、第１枠体３１の縦枠３１Ｄに接触して第１枠体３１を第１方向Ｘにずらすことが可能である。例えば、スピンドル部材３４Ｃは、雌ネジ３２Ｇに対して正回転しながら第１方向Ｘに沿った図中の左側に向かって押し込まれると、第１枠体３１の縦枠３１Ｄに接触して第１枠体３１を第１方向Ｘに沿って左側にずらす。なお、スピンドル部材３４Ｃは、雌ネジ３２Ｇに対して逆回転しながら第１方向Ｘに沿った図中の右側に向かって引き戻されると、第１枠体３１を第１方向Ｘに沿って右側にずらす。つまり、スピンドル部材３４Ｃは、第１枠体３１（あるいは、レンズ２３）を第１方向Ｘに沿って移動させることが可能であり、第１方向Ｘの位置調整に利用される。
【００２８】
このようなレンズホルダ３０は、第２枠体３２の下枠３２Ａから重力方向に向かって延出した支柱３５により筐体２１に固定されている。
【００２９】
このような構成のレーザアニール装置において、パルスレーザビームの調整は以下のようにして行われる。すなわち、レーザ装置１０は、比較的低出力に設定されたパルスレーザビームを出射する。そして、光学モジュール２０においては、筐体２１の扉２１Ｃを開けた状態で、作業員によりスピンドル部材３４Ａ乃至３４Ｃを用いてレンズ２３の位置が調整される。
【００３０】
このとき、作業員は、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂを操作することにより、レンズ２３の高さ方向（第２方向Ｙ）の位置を調整するとともに、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂによる押し上げのバランスによりレンズ２３のＸ−Ｙ平面内での回転方向の位置を調整する。また、作業員は、スピンドル部材３４Ｃを操作することにより、レンズ２３の水平方向（第１方向Ｘ）の位置を調整する。
【００３１】
このような作業により、レンズ２３の位置が調整され、パルスレーザビームの光軸やビームプロファイルが調整される。
【００３２】
このようなレーザアニール装置によれば、アニールチャンバー４０のステージ４１に、アモルファスシリコン薄膜を形成済みの処理基板ＳＵＢを載置し、ステージ４１を稼動して処理基板ＳＵＢの位置を調整した後、レーザ装置１０から比較的高出力に設定されたパルスレーザビームが出射される。
【００３３】
レーザ装置１０から出射されたパルスレーザビームは、光学モジュール２０を経て、アニールチャンバー４０に導かれ、処理基板ＳＵＢに照射される。これにより、アモルファスシリコンが結晶成長し、ポリシリコンが形成される。このようなポリシリコンが形成された処理基板ＳＵＢは、その後、画素毎に設けられる薄膜トランジスタの形状に応じてパターニングされる。そして、このような処理基板ＳＵＢを用いて液晶表示装置などの平面表示装置用のアレイ基板が製造される。
【００３４】
図３は、比較例のレンズホルダ３０の正面図である。なお、図２に示した構成例と同一構成については同一の参照符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３５】
図３に示した比較例は、図２に示した構成例と比較して、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂがそれぞれ第２枠体３２の上枠３２Ｂに取り付けられ、第１枠体３１の上枠３１Ｂに接触して第１枠体３１を重力方向に押し下げるように構成され、また、スプリング３３Ａが上枠３１Ｂと上枠３２Ｂとを接続した点で相違している。
【００３６】
このような比較例のレンズホルダ３０では、第１枠体３１は、スプリング３３Ａにより、第２枠体３２との間にギャップを持ち且つ弾性を持った状態で第２枠体３２に接続されている。スプリング３３Ａのテンションは、重力に逆らって上方に引き上げる方向にかかっている。
【００３７】
このような比較例では、レンズ２３の位置調整に際しては、スピンドル部材３４Ｃによってレンズ２３の水平方向（第１方向Ｘ）の位置が調整される一方で、スプリング３３Ａにより反重力方向に引き上げられた第１枠体３１をスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂによって重力方向に押し下げることでレンズ２３の高さ方向（第２方向Ｙ）の位置あるいはＸ−Ｙ平面内での回転方向の位置が調整される。
【００３８】
しかしながら、レンズ２３の大型化に伴ってレンズ自体の重量が増加した場合には、周囲の振動によりレンズ２３のモーメントが発生したとき、スプリング３３Ａによってレンズ２３に発生したモーメントを打ち消す力も必要となり、重力方向に振動しやすい。このようなレンズ２３の振動は、処理基板ＳＵＢに照射されるパルスレーザビームのビームプロファイルを不安定化させる要因となる。このため、所望のポリシリコンを形成することが困難となってしまう。レンズ２３の振動が続く場合には、処理基板ＳＵＢへのパルスレーザビームの照射を中断するなどの措置が必要となることもあり得る。
【００３９】
また、レーザアニール装置が大型化した場合には、レンズ２３の位置調整に際して、レンズホルダ３０の上方に位置するスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂを操作するために、作業員が高所で作業する必要があり、危険を伴う。また、レンズホルダ３０の上方に位置するスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂを操作する際に、作業員の腕や手から落下したパーティクルがレンズ２３に付着するおそれもある。
【００４０】
一方、本実施形態によれば、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂがそれぞれ第２枠体３２の下枠３２Ａに取り付けられ、第１枠体３１の下枠３１Ａに接触して第１枠体３１を反重力方向に押し上げるように構成されている。このため、レンズ２３を保持した第１枠体３１は、重力方向でスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂに保持されることになり、第１枠体３１の重力方向への振動を抑制することが可能となる。また、装置の大型化に伴ってレンズ２３や第１枠体３１が大型化して重量が増加した場合であっても、スピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂによって保持されているため、振動を抑制することが可能となる。
【００４１】
また、スプリング３３Ａは下枠３１Ａと下枠３２Ａとを接続しており、スプリング３３Ａのテンションは、第１枠体３１を重力方向に引き下げる方向にかかっている。このため、第１枠体３１やレンズ２３の重力がかかることで、スプリング３３Ａに大きなテンションがかからず、レンズ２３に発生したモーメントを打ち消す力も必要なくなる。したがって、周囲の振動がレンズ２３に伝播しにくくなり、レンズ２３の振動を抑制することが可能となる。これにより、処理基板ＳＵＢに照射されるパルスレーザビームのビームプロファイルが安定化し、製造歩留まりの低下を抑制することが可能となる。
【００４２】
また、本実施形態によれば、レーザアニール装置が大型化した場合であっても、光学モジュール２０の筐体２１の側方に設けられた扉２１Ｃから、レンズホルダ３０の下方に位置するスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂを操作することができ、高所作業を低減し、作業員の安全性を確保することが可能となる。また、レンズ２３の位置調整に際して、レンズホルダ３０の下方に位置するスピンドル部材３４Ａ及びスピンドル部材３４Ｂを操作するため、たとえ作業員の腕や手からパーティクルが落下したとしてもレンズ２３に付着しにくくなり、メンテナンスの負担を軽減することが可能となる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態によれば、製造歩留まりの低下を抑制することが可能なレーザアニール装置を提供することができる。
【００４４】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４５】
１０…レーザ装置
２０…光学モジュール  ２１…筐体  ２２…反射鏡  ２３…レンズ
３０…レンズホルダ  ３１…第１枠体  ３２…第２枠体  ３３…接続部材  ３４…スピンドル部材
４０…アニールチャンバー
【図１】
2013153061.tif 000003
【図２】
2013153061.tif 000004
【図３】
2013153061.tif 000005