(57)【要約】      （修正有）【課題】管体の内部に粉体の微粒子が付着することを抑制する。【解決手段】気体により粉体の微粒子Ｃを所定方向に輸送する管体１５ｂを取り囲んで発磁部材Ｍを設けることにより、管体１５ｂの内周面方向全体に亘って磁場ＭＦが形成される。粉体の微粒子Ｃは、管体１５ｂの内部空間１５ａをガスによって輸送されることに伴い摩擦等によって帯電するので、管体１５ｂの内周面に接近する方向に移動する場合には発磁部材Ｍによってローレンツ力Ｆを受け、移動方向が変更される。このため、粉体の微粒子Ｃは、管体１５ｂの内部空間１５ａを螺旋軌道で輸送され、管体１５ｂの内周面には接触しない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送装置であって、
前記管体を取り囲んで設けられ、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する発磁部材を備えることを特徴とする粉体輸送装置。
【請求項２】
請求項１記載の粉体輸送装置において、
前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含むことを特徴とする粉体輸送装置。
【請求項３】
請求項１記載の粉体輸送装置において、
前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含むことを特徴とする粉体輸送装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の粉体輸送装置において、
前記磁場の強度をＢ、前記粉体の粒子の質量をｍ、前記粉体の帯電量をｑ、前記粉体の速度をｖ、前記管体の内周面の半径をＲとすると、
Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）
を満足することを特徴とする粉体輸送装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の粉体輸送装置において、
前記管体は、透磁性を有する材料で形成されていることを特徴とする粉体輸送装置。
【請求項６】
管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送方法であって、
前記管体を取り囲んで設けた発磁部材により、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。
【請求項７】
請求項６記載の粉体輸送方法において、
前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含み、
前記発磁部材に前記管体を挿通させる工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。
【請求項８】
請求項６記載の粉体輸送方法において、
前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含み、
前記複数の発磁部材を、前記周方向に接合する工程を有することを特徴とする粉体輸送方法。
【請求項９】
請求項６から８のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、
前記磁場の強度をＢ、前記粉体の粒子の質量をｍ、前記粉体の帯電量をｑ、前記粉体の速度をｖ、前記管体の内周面の半径をＲとすると、
Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）
を満足することを特徴とする粉体輸送方法。
【請求項１０】
請求項６から９のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、
前記管体を、透磁性を有する材料で形成することを特徴とする粉体輸送方法。
【請求項１１】
請求項６から１０のいずれか一項に記載の粉体輸送方法において、
前記粉体は、１０ｎｍ以下の半径を有する微粒子を含むことを特徴とする粉体輸送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機物質等の粉体を輸送する粉体輸送装置及び粉体輸送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、太陽電池における光電極を形成する際には、エアロゾルデポジション法が用いられる。エアロゾルデポジション法は、微粒子の粉体、特にナノサイズの粉体をガスで配管内を移送させ基材に吹き付けて付着させることで、衝撃硬化（ｉｍｐａｃｔ ｃｏｎｓｏｌｉｄａｔｉｏｎ）現象により低い温度条件と高い成膜速度で成膜するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記エアロゾルデポジション法による粉体の移送時には、摩擦・衝突により粒子が帯電することで、配管内への粉体粒子の付着が生じやすい。一旦、配管内に付着した粉体粒子同士が凝集した後に、その粉体粒子の凝集物が配管から剥離して基材に付着した場合、粉体粒子の凝集物により成膜特性が変化してしまう。
【０００４】
特許文献２には、管路に設置された観察窓部位に管路移送中に自然帯電された管路内の微粒子に対し、観察窓から離れる方向のローレンツ力を作用させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１００８７９号公報
【特許文献２】特開２０１０−２７６４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
特許文献２に記載された技術では、例えば、管路内で観察窓と逆側に位置する壁面に粒子が付着して凝集が生じる可能性がある。また、粒子の帯電を抑制するために、管路にアース線や加湿装置を設けることも考えられるが、設置したアース線に粒子が付着したり、加湿が粒子の２次凝集を招くといった不具合を起こしかねない。
このように、管路内の壁面に粉体の微粒子が付着することで生じる問題は、上述したエアロゾルデポジション法を用いる場合に限られず、管体を用いて粉体を輸送する際には同様に生じる可能性がある。
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、管体の内部に粉体の微粒子が付着することを抑制できる粉体輸送装置及び粉体輸送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様に従えば、管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送装置であって、前記管体を取り囲んで設けられ、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する発磁部材を備える粉体輸送装置が提供される。
本発明の第２の態様に従えば、第１の態様の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含む粉体輸送装置が提供される。
本発明の第３の態様に従えば、第１の態様の粉体輸送装置において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含む粉体輸送装置が提供される。
本発明の第４の態様に従えば、第１から第３のいずれかの態様の粉体輸送装置において、前記磁場の強度をＢ、前記粉体の粒子の質量をｍ、前記粉体の帯電量をｑ、前記粉体の速度をｖ、前記管体の内周面の半径をＲとすると、Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）を満足する粉体輸送装置が提供される。
本発明の第５の態様に従えば、第１から第４のいずれかの態様の粉体輸送装置において、前記管体は、透磁性を有する材料で形成されている粉体輸送装置が提供される。
【０００９】
また、本発明の第６の態様に従えば、管体の内部空間を介して、気体により粉体を前記管体に沿った所定方向に輸送する粉体輸送方法であって、前記管体を取り囲んで設けた発磁部材により、前記内部空間に周方向の全体に亘って前記所定方向の磁場を形成する工程を有する粉体輸送方法が提供される。
本発明の第７の態様に従えば、第６の態様の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含み、前記発磁部材に前記管体を挿通させる工程を有する粉体輸送方法が提供される。
本発明の第８の態様に従えば、第６の態様の粉体輸送方法において、前記発磁部材は、前記管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含み、前記複数の発磁部材を、前記周方向に接合する工程を有する粉体輸送方法が提供される。
本発明の第９の態様に従えば、第６から第８のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記磁場の強度をＢ、前記粉体の粒子の質量をｍ、前記粉体の帯電量をｑ、前記粉体の速度をｖ、前記管体の内周面の半径をＲとすると、Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）を満足する粉体輸送方法が提供される。
本発明の第１０の態様に従えば、第６から第９のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記管体は、透磁性を有する材料で形成されている粉体輸送方法が提供される。
本発明の第１１の態様に従えば、第６から第１０のいずれかの態様の粉体輸送方法において、前記粉体は、１０ｎｍ以下の半径を有する微粒子を含む粉体輸送方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、管体の内部空間をガスによって輸送される粉体は、摩擦等によって帯電するため、管体に沿った方向と交差する方向に移動する粉体の微粒子、すなわち、管体の内周面に接近する方向の成分をもって移動する粉体の微粒子に対しては、垂直方向のローレンツ力が作用することになるが、管体に沿った方向の磁場が周方向の全体に亘って形成されているため、粉体の粒子は管体に沿った方向の軸線周りの螺旋状の軌道で輸送される。従って、本発明では、粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。
【００１１】
また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、発磁部材が管体を取り囲む円筒形状の永久磁石を含むことによって、少ない部品点数で粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。
【００１２】
また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、発磁部材が、管体を取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状を有する永久磁石を含むことによって、例えば、管体が屈曲部を有する場合であっても、管体の所定位置に容易に発磁部材を設置することが可能になる。
【００１３】
また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、磁場の強度をＢ、粉体の粒子の質量をｍ、粉体の帯電量をｑ、粉体の速度をｖ、管体の内周面の半径をＲとすると、Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）を満足することによって、粉体の微粒子が管体の内周面の半径よりも小さい半径の円運動をもって螺旋状の軌道で輸送されるため、より確実に粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。
【００１４】
また、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法によれば、管体が透磁性を有する材料で形成されていることによって、発磁体が生じる磁場を効率的に管体の内部空間に形成することが可能になる。
【００１５】
また、本発明の粉体輸送方法によれば、粉体が１０ｎｍ以下の半径を有する微粒子を含むことによって、小さな磁場であっても効果的に粉体の微粒子が管体の内周面に付着することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態を示す図であって、製膜装置１０の概略構成図である。
【図２】（ａ）は、発磁部材Ｍが設けられた輸送管１５を長さ方向で断面した部分拡大図であり、（ｂ）は径方向で断面した図である。
【図３】磁場強度と微粒子の半径との関係を示す図である。
【図４】発磁部材の他の形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の粉体輸送装置及び粉体輸送方法の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
ここでは、本発明に係る粉体輸送装置を、例えば、基材の一方の面に原料粒子を高速で吹き付けることにより、基材の一方の面に光電極等の膜を形成するエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）の製膜装置に適用する場合について説明する。
【００１８】
図１は、製膜装置１０の概略構成図である。
製膜装置１０は、基材２１を収容して、その一方の面２１ａに膜を形成するための製膜室１１を備えている。製膜室１１内には、基材２１を配置するための配置面１２ａを有するステージ１２が設けられている。ステージ１２は、基材２１を配置した状態で水平方向に移動可能となっている。製膜室１１には、真空ポンプ１３が接続されている。この真空ポンプ１３により、製膜室１１内が陰圧にされる。
【００１９】
また、製膜室１１内には、長方形の開口部１４ａを持つノズル１４が配設されている。ノズル１４は、その開口部１４ａがステージ１２の配置面１２ａ、すなわち、ステージ１２の面１２ａ上に配置された基材２１の一方の面２１ａと対向するように配設されている。
【００２０】
ノズル１４は、輸送管（管体）１５を介して、ガスボンベ１６と接続されている。
輸送管１５の中途には、ガスボンベ１６側から順に、マスフロー制御器１７、エアロゾル発生器１８、解砕器１９および分級器２０が設けられている。これら、輸送管１５、ガスボンベ１６、マスフロー制御器１７、エアロゾル発生器１８、解砕器１９および分級器２０によって粉体輸送装置が構成される。
【００２１】
製膜装置１０では、例えば、輸送ガスであるヘリウムを、ガスボンベ１６から輸送管１５へ供給し、そのヘリウムの流速をマスフロー制御器１７で調整する。エアロゾル発生器１８に吹き付け用の粉体の原料粒子を装填し、輸送管１５中を流れるヘリウムに原料粒子を分散させて、原料粒子を解砕器１９および分級器２０へ搬送する。そして、ノズル１４から、原料粒子３１が亜音速〜超音速の噴射速度で、基材２１の一方の面２１ａに噴射される。
【００２２】
また、本実施形態における製膜装置１０には、輸送管１５の内部空間に、粉体の輸送方向である輸送管１５の延在方向に磁場を形成するための発磁部材Ｍが設けられている。図２（ａ）は、発磁部材Ｍが設けられた輸送管１５を長さ方向で断面した部分拡大図であり、図２（ｂ）は径方向で断面した図である。
【００２３】
図２に示すように、発磁部材Ｍは、ノズル１４と分級器２０との間における輸送管１５（１５ｂ）の外周を取り囲むように環状に輸送管１５ｂが挿通された状態で配置され、粉体の微粒子Ｃを輸送する方向である輸送管１５ｂに沿った方向の磁場ＭＦを、輸送管１５ｂの内部空間１５ａに周方向の全体に亘って形成する円筒形状の永久磁石で形成されている。輸送管１５のうち、少なくとも永久磁石Ｍが設けられる箇所の輸送管１５ｂは、ＰＰ樹脂、フッ素系樹脂等の透磁性を有する材料で形成されている。
【００２４】
続いて、上記の製膜装置１０を用いて、例えば、太陽電池の光電極を形成する方法について説明する。
なお、発磁部材Ｍは、輸送管１５を組み立てる際に、ノズル１４と分級器２０との間において輸送管１５ｂを挿通させる工程で、図１に示した所定位置に予め配置されているものとする。
【００２５】
まず、製膜室１１内のステージ１２の配置面１２ａに、基材２１を配置する。
基材２１としては、特に制限されず、例えば、太陽電池の光電極に使用される透明基材が挙げられる。透明基材としては、例えば、ガラスやプラスチックからなる基板又はフィルムが挙げられる。また、基材２１の材料であるガラスとしては、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、バイコールガラス、無アルカリガラス、青板ガラス及び白板ガラス等の一般的なガラスが挙げられる。
【００２６】
基材２１の材料であるプラスチックとしては、ポリアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂及びポリアミド樹脂等が挙げられる。これらの中でも、ポリエステル樹脂、特にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）は、透明耐熱フィルムとして大量に生産及び使用されている。薄く、軽く、かつフレキシブルな色素増感太陽電池を製造する観点からは、基材２１としてはＰＥＴフィルムが好ましい。
【００２７】
次いで、真空ポンプ１３を作動させて、製膜室１１内を真空にする。
次いで、輸送管１５を介して、ガスボンベ１６から製膜室１１内にヘリウムを供給し、製膜室１１内をヘリウム雰囲気とする。
【００２８】
次いで、スズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化スズ（ＦＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）、酸化インジウム／酸化亜鉛（ＩＺＯ）、酸化ガリウム／酸化亜鉛（ＧＺＯ）などの原料粒子を用い、ＡＤ法により、基材２１の一方の面２１ａに導電材からなる透明導電層を形成する。
【００２９】
具体的には、透明導電層を形成するには、エアロゾル発生器１８に装填されている上記の原料粒子を、輸送管１５中を流れるヘリウムに分散させて、解砕器１９および分級器２０へ搬送する。そして、ノズル１４の開口部１４ａから、基材２１の一方の面２１ａに、原料粒子を吹き付ける。
【００３０】
基材２１表面に衝突した微粒子は、少なくともその一部が基材２１表面に食い込んで、容易には剥離しない状態となる。また、この衝突により、基材２１表面と微粒子表面に新生面が形成されて、主にこの新生面において、基材と微粒子とが接合する。続いて、さらに吹き付けを継続することにより、基材２１表面に食い込んだ微粒子に対して、別の微粒子が衝突する。微粒子同士の衝突によって、互いの微粒子表面に新生面が形成されて、主にこの新生面において微粒子同士が接合する。この微粒子同士の衝突においては、微粒子が溶融するような温度上昇は発生し難いため、微粒子同士が接合した界面には、ガラス質からなる粒界層は実質的に存在しない。微粒子の吹き付けを継続することによって、次第に、基材２１表面に多数の微粒子が接合してなる薄膜が形成される。形成された薄膜は、色素増感太陽電池（ＤＳＳＣ）の透明導電層として充分な強度を有するので、焼成による焼き締めを必要としない。
【００３１】
次いで、基材２１の一方の面２１ａに形成された透明導電層上に、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）などの金属酸化物からなる光電変換層を形成する。光電変換層を形成するには、エアロゾル発生器１８に、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズなどの金属酸化物からなる原料粒子を装填し、その原料粒子を、輸送管１５中を流れるヘリウムに分散させて、解砕器１９および分級器２０へ搬送する。そして、ノズル１４の開口部１４ａから、基材２１の一方の面２１ａに形成された透明導電層の表面（透明導電層の基材２１と接している面とは反対側の面）に、原料粒子を吹き付ける。
【００３２】
本実施形態では、基材２１の一方の面２１ａに形成された透明導電層の表面に、例えば、アナターゼ型ＴｉＯ２粒子を高速で吹き付けて、透明導電層とアナターゼ型ＴｉＯ２粒子とを接合させると共に、アナターゼ型ＴｉＯ２粒子同士を接合させることによって、透明導電層上にアナターゼ型ＴｉＯ２粒子からなる薄膜を形成する。
【００３３】
一般に、産業上利用されるＴｉＯ２はアナターゼ型とルチル型とに大別され、その他にブルッカイト型や非晶質（アモルファス）のＴｉＯ２が知られる。本実施形態では、主にアナターゼ型ＴｉＯ２を使用する。アナターゼ型ＴｉＯ２を使用することにより、ＤＳＳＣの光電極に適した強度を有する多孔質の薄膜を、透明導電層上に製膜できる。得られた薄膜は、いわゆる圧粉体とは異なり、圧粉体よりも強度が強く、圧粉体よりも透明導電層から剥離し難いものである。
【００３４】
ここで、透明導電層及び光電変換層を製膜する際に、ノズル１４の開口部１４ａから基材２１の一方の面２１ａに向けて吹き付けられる粉体の微粒子は、輸送管１５ｂの内部空間１５ａを輸送される際に、図２（ａ）に示すように、多くが輸送方向（所定方向）と平行に移動する微粒子Ｃ１であるが、輸送方向と平行な方向の成分に加えて、輸送方向と交差する方向の成分を有して移動する微粒子Ｃ２も存在する。粉体の微粒子Ｃ２は、輸送管１５ｂ（１５）を輸送される摩擦（粉体同士の摩擦や、ガスと輸送管との摩擦）により帯電する。
【００３５】
このように帯電した状態で輸送管１５ｂ（１５）の内部空間１５ａを移動する微粒子のうち、輸送方向と平行（すなわち、磁場ＭＦと平行）に移動する微粒子Ｃ１については、ローレンツ力が作用しないが、輸送方向と交差する方向の成分を有して移動する微粒子Ｃ２については、図２（ｂ）に示すように、フレミングの左手の法則に則した方向（動きに対して垂直方向）のローレンツ力Ｆが作用する。そして、磁場ＭＦが周方向の全体に亘って形成されているため、ローレンツ力Ｆが作用することで移動方向が変更された微粒子Ｃ２に対しては連続的に動きに対して垂直方向のローレンツ力Ｆが作用することで、微粒子Ｃ２は周方向に円運動する。従って、微粒子Ｃ２は、輸送方向と平行な方向への移動と、周方向への移動とが合わさって、輸送方向と平行な軸回りの螺旋運動で移動することになる。
【００３６】
ここで、磁場ＭＦの強度をＢ、粉体の微粒子の質量をｍ、粉体の帯電量をｑ、粉体の速度をｖ、輸送管１５ｂの内周面の半径をＲとすると、ローレンツ力Ｆは以下の式（１）で近似される。
Ｆ＝ｑ・ｖ・Ｂ          …（１）
また、微粒子の回転半径をｒとすると、微粒子の等速円運動のつり合いから以下の式（２）が得られる。
Ｆ＝ｍ・ｖ２／ｒ        …（２）
従って、式（１）、（２）から以下の式（３）が得られる。
ｒ＝（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｂ）      …（３）
微粒子の回転半径ｒが輸送管１５ｂの内周面の半径Ｒより小さければ、当該微粒子は、輸送管１５ｂに接触せず付着が抑制されるため、式（３）を用いて以下の関係式（４）が得られる。
Ｂ＞（ｍ・ｖ）／（ｑ・Ｒ）  …（４）
【００３７】
従って、式（４）を満足する大きさの磁場強度（磁束密度）Ｂで磁場ＭＦを形成することにより、微粒子の輸送管１５ｂへの付着を効果的に抑制することができる。
ここで、速度ｖを１［ｍ／ｓｅｃ］、電荷ｑを１．６Ｅ−１８［Ｃ］、輸送管１５ｂの半径Ｒを５．００Ｅ−３［ｍ］とし、アナターゼ（ＴｉＯ２）の場合の微粒子の密度３９００［ｋｇ／ｍ３］から、式（４）を満足するための磁場強度と微粒子の半径との臨界を求めた。図３に、式（４）を満足させるための磁場強度と微粒子の半径との臨界の関係を示す。
【００３８】
図３に示されるように、微粒子の半径が大きくなると質量も大きくなるため、当該質量に対応する磁場強度も大きくする必要がある。一般的な永久磁石では磁場強度が１Ｔ＝（Ｗｂ／ｍ２）を超えるものがほとんど存在しないことから、微粒子の半径が１０ｎｍ以下のものを含む場合に、特に効果的に作用することになる。
【００３９】
以上説明したように、本実施形態では、輸送管１５ｂの内部に輸送方向に沿った磁場が周方向の全体に亘って形成されるため、輸送管１５の内部空間１５ａを介して輸送される粉体の微粒子が輸送管１５ｂの内周面に向かう方向の成分をもって移動する場合でも、当該微粒子に対して連続的に移動方向を変更する向きのローレンツ力Ｆを作用させることが可能となり、輸送管１５ｂの内周面に微粒子が付着することを抑制できる。
【００４０】
また、本実施形態では、発磁部材Ｍとして永久磁石を用いているため、簡単な構成で効果的に管内部への微粒子付着を抑制できる。特に、本実施形態では、容易に入手できる永久磁石を用いた場合に、微粒子の半径が１０ｎｍ以下のものを含む粉体に対して効果的に管内部への微粒子付着を抑制できる。加えて、本実施形態では、透磁性を有する材料で輸送管１５ｂが形成されているため、輸送管１５ｂの内部空間１５ａに効果的に磁場を形成することが可能になる。加えて、本実施形態では、円筒形状の永久磁石を用いているため、部品点数を少なくすることができ、装置の小型化・低価格化に寄与できる。
【００４１】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４２】
例えば、上記実施形態では、発磁部材として円筒形状の永久磁石を用いる構成を例示したが、これに限定されるものではなく、輸送管１５ｂを取り囲む円筒部材が周方向に複数に分割された形状とすることも可能である。具体的には、図４（ａ）に示すように、輸送管１５ｂの中心軸線を含む仮想平面で２分割された発磁部材Ｍａ、Ｍｂとする構成や、４分割された発磁部材Ｍａ〜Ｍｄとする構成であってもよい。
このように、複数に分割した発磁部材を用いた場合には、円筒形状の発磁部材Ｍを用いた場合のように、輸送管１５ｂを挿通させる必要がなく、輸送管１５ｂに屈曲部が存在して挿通させることが困難な場合でも、容易に輸送方向の所望の位置に発磁部材を設置することが可能になる。
【００４３】
さらに、上記実施形態では、ノズル１４と分級器２０との間の輸送管１５ｂの中途に一つの発磁部材Ｍを設ける構成としたが、輸送管１５ｂに対して長さ方向（輸送方向）の全体に亘って発磁部材を設ける構成や、間隔をあけて複数設ける構成であってもよい。また、上記実施形態における発磁部材は、周方向の全体に亘る周長で設けられているが、上述した複数に分割した形状とする場合には、輸送管１５ｂの内部空間１５ａにおいて周方向の全体に亘って磁場が形成されるのであれば、必ずしも周方向の全体に亘る周長で設ける必要はなく、例えば周方向に一定の隙間をあけて発磁部材を設ける構成であってもよい。
【００４４】
また、上記実施形態では、発磁部材として永久磁石を用いる構成を例示したが、これに限定されるものではなく、電磁石を用いる構成であっても本発明を適用可能である。
【００４５】
また、上記実施形態では、本発明をエアロゾルデポジション法を用いる製膜装置１０に適用し、太陽電池の光電極を形成する例を示したが、太陽電池以外のデバイスを製造する場合等、輸送管を介して粉体を輸送する構成・工程を有して製膜する場合に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１５、１５ｂ…輸送管（管体）、  １５ａ…内部空間、  ２１…基材、  Ｍ、Ｍａ〜Ｍｄ…発磁部材
【図１】
2013129525.tif 000003
【図２】
2013129525.tif 000004
【図３】
2013129525.tif 000005
【図４】
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