(57)【要約】【課題】エアベント処理に必要な塗布液の量及び時間を抑えつつ、装置コストを抑えることができる塗布装置を提供する。【解決手段】基板を載置するステージと、塗布液を貯留する内部流路を有しこの内部流路に貯留された塗布液を吐出するスリットノズルを有する口金部と、を備え、口金部と前記ステージとを相対的に移動させることにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、口金部には、内部流路に塗布液を供給する塗布液供給孔と、この塗布液供給孔から塗布液を供給することにより内部流路に存在するエアを排出させる複数のエアベント孔とが設けられ、エアベント孔と廃液タンクとが廃液配管で連結され、複数のエアベント孔のうち少なくとも２つのエアベント孔が共通の廃液タンクに接続されており、かつ、すべての廃液配管は、それぞれの廃液配管で生じる圧力損失が等しくなるように配管径と配管長さとが調節されている構成とする。【選択図】図３
2013166134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載置するステージと、
塗布液を貯留する内部流路を有しこの内部流路に貯留された塗布液を吐出するスリットノズルを有する口金部と、
を備え、前記口金部と前記ステージとを相対的に移動させることにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、
前記口金部には、内部流路に塗布液を供給する塗布液供給孔と、この塗布液供給孔から塗布液を供給することにより前記内部流路に存在するエアを排出させる複数のエアベント孔とが設けられ、
前記エアベント孔と廃液タンクとが廃液配管で連結され、複数のエアベント孔のうち少なくとも２つのエアベント孔が共通の廃液タンクに接続されており、かつ、すべての廃液配管は、それぞれの廃液配管で生じる圧力損失が等しくなるように配管径と配管長さとが調節されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記口金部は、移動方向と直交する方向が長手方向である形状を有しており、前記エアベント孔は、前記口金部の長手方向両端部に１カ所ずつ設けられ、これらエアベント孔に連結される前記廃液配管は、共通の１つの廃液タンクに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
廃液バルブが開かれたすべての廃液配管で生じる圧力損失の合計値が、スリットノズルからエアを吸い込まない範囲で、前記スリットノズルで生じる圧力損失よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関するものであり、特に、口金内に存在するエアを排出するエアベント機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス等からなる基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板という）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液（以下、塗布液と称す）を均一に塗布する塗布装置によって形成されている（下記特許文献１参照）。すなわち、塗布装置は、基板を載置するステージと、塗布液を吐出する口金部を有する塗布ユニットとを有しており、口金部のスリットノズルから塗布液を吐出させながら、基板と塗布ユニットとを相対的に移動させる塗布動作を行うことにより、所定厚さの塗布膜が基板上に形成されるようになっている。
【０００３】
一般に、このような塗布動作の前には、エアベント処理が行われる。すなわち、口金部には、ポンプ等により供給される塗布液を一時的に貯留する内部流路が設けられており、この内部流路に気泡や空気溜まりなどのエアが混在した状態で塗布動作を行うと、塗布液を吐出する圧力に変動が生じやすくなり、塗布ムラの要因になる。そのため、エアベント処理を行って内部流路に存在するエアを排出させることにより、スリットノズルから塗布液を安定して吐出させ、塗布ムラの発生を抑えるようにしている。
【０００４】
具体的には、図６に示すように、口金部１００には、塗布液が供給される塗布液供給孔１０１の他、内部流路１０２のエアを排出させるエアベント孔１０３が複数設けられている。そして、これらエアベント孔１０３それぞれに対して廃液タンク１０４が設けられており、これらエアベント孔１０３と廃液タンク１０４とが廃液配管１０５を通じて１対１で連結されている。エアベント処理では、塗布液が塗布液供給孔１０１から供給されることにより、スリットノズル１０６及びエアベント孔１０３から口金部１００の内部流路１０２に存在するエアが塗布液と共に排出される。そして、塗布液供給孔１０１から塗布液を供給し続けることにより、内部流路１０２のエアがすべて排出され内部流路１０２が塗布液で満たされる。このエアベント処理が完了した後、塗布動作が行われることにより、基板上に安定した塗布膜が形成される。
【０００５】
ここで、エアベント孔１０３と廃液タンク１０４とを連結する廃液配管１０５は、それぞれの廃液配管１０５で生じる圧力損失がほぼ等しくなるように廃液配管１０５は同径のものが使用され、エアベント孔１０３から廃液タンク１０４までの配管長が等しく設定されている。これにより、それぞれの廃液配管１０５の圧力損失がほぼ等しくなり供給される塗布液により、内部流路１０２内のエアはそれぞれのエアベント孔１０３に均等に押し出される。すなわち、スリットノズル１０６と廃液配管１０５の圧力損失が異なることにより、圧力損失が小さい廃液配管１０５のエアベント孔１０３から塗布液が多く排出され、圧力損失の大きい廃液配管１０５のエアベント孔１０３付近に存在するエアが排出されないというようなエアを押し出すために供給される塗布液がムダに消費されるという問題が抑えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２８１０９１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記塗布装置では、装置コストが高くなるという問題があった。すなわち、廃液タンク１０４は、廃液が満量か否かを判断する液面センサー等を取付ける必要があるためコストがかかる。そして、上記塗布装置では、このような廃液タンク１０４がエアベント孔１０３それぞれに対して独立して設けられるため、装置コストを抑えることが困難であるという問題がある。
【０００８】
ここで、それぞれのエアベント孔１０３に接続される廃液配管１０５をそのまま共通の廃液タンク１０４に接続すると、それぞれのエアベント孔１０３の位置が異なることにより、廃液タンク１０４までの距離が変わる結果、廃液配管１０５それぞれの圧力損失が変化してしまい、エアベント処理における内部流路１０２のエアを排出するために余計な塗布液が必要になる上、エアベント処理に必要な時間もかかるという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、エアベント処理に必要な塗布液の量及び時間を抑えつつ、装置コストを抑えることができる塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、基板を載置するステージと、塗布液を貯留する内部流路を有しこの内部流路に貯留された塗布液を吐出するスリットノズルを有する口金部と、を備え、前記口金部と前記ステージとを相対的に移動させることにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、前記口金部には、内部流路に塗布液を供給する塗布液供給孔と、この塗布液供給孔から塗布液を供給することにより前記内部流路に存在するエアを排出させる複数のエアベント孔とが設けられ、前記エアベント孔と廃液タンクとが廃液配管で連結され、複数のエアベント孔のうち少なくとも２つのエアベント孔が共通の廃液タンクに接続されており、かつ、すべての廃液配管は、それぞれの廃液配管で生じる圧力損失が等しくなるように配管径と配管長さとが調節されていることを特徴としている。
【００１１】
上記塗布装置によれば、少なくとも２つのエアベント孔に接続される廃液配管が共通の廃液タンクに接続されるため、従来のようにエアベント孔それぞれに廃液タンクが設けられる場合に比べて設置する廃液タンクの数を減らすことができ、装置のコストを下げることができる。また、共通の廃液タンクに接続される廃液配管の配管径と配管長さが調節されることにより、すべての廃液配管で生じる圧力損失がほぼ等しく設定されるため、いずれのエアベント孔においても、気泡等のエアの排気され易さをほぼ等しくすることができる。すなわち、エアベント処理に必要な塗布液の量は、従来必要であった塗布液の量とほぼ変わることなく、エアベント処理に必要な時間も従来とほぼ変わらない。したがって、エアベント処理に必要な塗布液の量及び時間を抑えつつ、装置コストを抑えることができる。
【００１２】
また、具体的な様態としては、前記口金部は、移動方向と直交する方向が長手方向である形状を有しており、前記エアベント孔は、前記口金部の長手方向両端部に１カ所ずつ設けられ、これらエアベント孔に連結される前記廃液配管は、１つの共通の廃液タンクに接続されている構成にすることができる。
【００１３】
また、廃液バルブが開かれたすべての廃液配管で生じる圧力損失の合計値が、スリットノズルからエアを吸い込まない範囲で、前記スリットノズルで生じる圧力損失よりも小さく設定されている構成にしてもよい。
【００１４】
この構成によれば、口金部の内部流路に存在する塗布液が、廃液配管から積極的に排出されやすくなるため、すべての廃液配管で生じる圧力損失の合計値よりスリットノズルで生じる圧力損失値が大きくなるほどムダに排出される塗布液の量を抑えることができる。すなわち、内部流路のエアは、内部流路の上部に存在することが多いため、下向きに開口するスリットノズルから排出される塗布液中には混入されるエアの量が少ない。したがって、スリットノズルから排出される塗布液を抑えることにより、エアベント処理に使用される塗布液量を抑えることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の塗布装置によれば、エアベント処理に必要な塗布液の量及び時間を抑えつつ、装置コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係る塗布装置を示す斜視図である。
【図２】塗布ユニットの脚部付近を示す概略図である。
【図３】口金部と廃液タンクとを概略的に示す図である。
【図４】口金部の内部流路を示す図である。
【図５】エアベント処理を行った場合のエアの流れを示す図であり、（ａ）は、廃液配管の圧力損失が等しい場合を示す図であり、（ｂ）は、廃液配管の圧力損失が異なる場合を示す図である。
【図６】従来の塗布装置における口金部の廃液周りを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態における塗布装置を概略的に示す斜視図であり、図２は、
塗布ユニットの脚部付近を示す図であり、図３は、口金部と廃液タンクとを概略的に示す図、図４は、口金部の内部流路を示す図である。
【００１９】
図１〜図４に示すように、塗布装置は、基板１０上に薬液やレジスト液等の液状物（以下、塗布液と称す）の塗布膜を形成するものであり、基台２と、基板１０を載置するためのステージ２１と、このステージ２１に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット３０とを備えている。
【００２０】
なお、以下の説明では、塗布ユニット３０が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００２１】
前記基台２には、その中央部分にステージ２１が配置されている。このステージ２１は、搬入された基板１０を載置するものである。このステージ２１には、基板保持手段が設けられており、この基板保持手段により基板１０が保持されるようになっている。具体的には、ステージ２１の表面に形成された複数の吸引孔が形成されており、この吸引孔に吸引力を発生させることにより基板１０をステージ２１の表面に吸着させて保持できるようになっている。
【００２２】
また、ステージ２１には、基板１０を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。具体的には、ステージ２１の表面には複数のピン孔が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピン（不図示）が埋設されている。すなわち、ステージ２１の表面からリフトピンを突出させた状態で基板１０が搬入されるとリフトピンの先端部分が基板１０に当接して基板１０を保持することができる。そして、その状態からリフトピンを下降させてピン孔に収容させることにより、基板１０をステージ２１の表面に載置することができるようになっている。
【００２３】
また、塗布ユニット３０は、基板１０上に塗布液を吐出して塗布膜を形成するものである。この塗布ユニット３０は、図１，図２に示すように、基台２と連結される脚部３１とＹ軸方向に延びる口金部３４とを有しており、基台２上をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。具体的には、基台２のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール２２が設置されており、脚部３１がこのレール２２にスライド自在に取り付けられている。そして、脚部３１にはリニアモータ３３が取り付けられており、このリニアモータ３３を駆動制御することにより、塗布ユニット３０がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。
【００２４】
また、塗布ユニット３０の脚部３１には、図２に示すように、塗布液を塗布する口金部３４が取り付けられている。具体的には、この脚部３１にはＺ軸方向に延びるレール３７と、このレール３７に沿ってスライドするスライダ３５が設けられており、これらのスライダ３５と口金部３４とが連結されている。そして、スライダ３５にはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ３５がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、口金部３４が、ステージ２１に保持された基板１０に対して接離可能に支持されている。
【００２５】
また、口金部３４は、塗布液を吐出して基板１０上に塗布膜を形成するものである。この口金部３４は、一方向に延びる形状を有する柱状部材であり、塗布ユニット３０の走行方向とほぼ直交するように設けられている。この口金部３４には、長手方向に延びるスリットノズル３４ａが形成されており、口金部３４に供給された塗布液がスリットノズル３４ａから長手方向に亘って一様に吐出されるようになっている。したがって、このスリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０をＸ軸方向に走行させることにより、スリットノズル３４ａの長手方向に亘って基板１０上に一定厚さの塗布膜が形成されるようになっている。なお、塗布液を塗布するために、スリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０を移動させる動作を本実施形態では、塗布動作と呼ぶことにする。
【００２６】
また、図３，図４に示すように、口金部３４は、塗布液を貯留する内部流路４１と、この内部流路４１に塗布液を供給する塗布液供給孔４２と、内部流路４１に存在する気泡や空気溜まりなどのエアを排出させるエアベント孔４３とを有している。ここで、エアベント孔４３は、紙面に向かって左側にあるエアベント孔４３を特にエアベント孔４３Ｌと称し、右側にあるエアベント孔４３を特にエアベント孔４３Ｒと称し、それぞれ区別なく指す場合は、単にエアベント孔４３と称す。
【００２７】
内部流路４１は、供給された塗布液を一時的に貯留する部分であり、本実施形態では、口金部３４の内部に長手方向に沿って形成されている。具体的には、口金部３４の長手方向に沿って延びる形状を有しており、長手方向中央部４１ａ分の中央部４１ａで最も高く、長手方向両端部分の側端部４１ｂで低くなるように形成されており、下側部分はスリットノズル３４ａに連通されている。中央部４１ａの頂上部分は、エア抜き穴４４と連通しており、そのエア抜き穴４４の下側部分には塗布液供給孔４２が連通されている。この塗布液供給孔４２は、塗布液を供給するポンプ５１と供給配管５５で連結されており、ポンプ５１を作動させて塗布液を供給すると、塗布液供給孔４２から塗布液が内部流路４１に供給される。そして、内部流路４１内のエアα及び、供給された塗布液中のエアαは、浮力によって中央部４１ａに集まり、エア抜き穴４４を通じて排出されるようになっている。
【００２８】
また、エア抜き穴４４は、エア抜き配管５２に接続されており、このエア抜き配管５２は廃液タンク６０に接続されている。すなわち、内部流路４１のエアα（エアαが混入した塗布液を含む）は、エア抜き穴４４を通じてエア抜き配管５２を通り、この廃液タンク６０に排出される。この配管には、エア抜きバルブ５２ａが設けられている。塗布動作は、このエア抜きバルブ５２ａを閉めた状態で行われることにより、塗布動作中には供給された塗布液がエア抜き穴４４を通じて漏れることがないようになっている。
【００２９】
廃液タンク６０は、内部流路４１のエアα及び、塗布液に気泡として混在するエアαを貯めるものである。この廃液タンク６０は、本実施形態では、塗布装置に１つだけ設けられており、塗布ユニット３０の脚部３１に設けられている（図２参照）。この廃液タンク６０には、口金部３４と接続されるエア抜き配管５２、後述する廃液配管５３が接続されており、内部流路４１から排出されるエアα及びエアαを含む塗布液が廃液タンク６０に溜められるようになっている。また、廃液タンク６０には、液面センサ（不図示）が取付けられており、廃液が満量になったことを検知し、装置外部に設置された廃液ポンプ（不図示）により廃液タンク６０から装置外部へ廃液を排出するようになっている。なお、廃液タンク６０は、脚部３１に取付けられているため、塗布ユニット３０が移動しても口金部３４と廃液タンク６０との距離は変わらない。したがって、廃液タンク６０に接続されるエア抜き配管５２、廃液配管５３は一定の長さに保たれている。
【００３０】
エアベント孔４３は、エアベント処理において内部流路４１内のエアαを排出するためのものであり、口金部３４の長手方向両端部に１つずつ計２つ設けられている。ここで、エアベント処理とは、基板１０上にエアαがスリットノズル３４ａから吐出されることのないように内部流路４１のエアαを除去する処理であり、通常、塗布動作が行われる前に行われる。具体的には、内部流路４１を洗浄した後、又は、口金部３４を新しい口金部３４に交換した後、塗布液供給孔４２から塗布液を供給することによって行われる。すなわち、塗布液供給孔４２から塗布液を供給することにより、内部流路４１のエアαをスリットノズル３４ａ、エア抜き穴４４、エアベント孔４３から押し出すことにより、内部流路４１からエアαを排出する。
【００３１】
このエアベント孔４３は、内部流路４１に連通して形成されており、廃液配管５３に接続されている。これにより、エアベント処理の際に、内部流路４１のエアα及びエアαを含む塗布液がエアベント孔４３から廃液配管５３を通じて廃液タンク６０に排出されるようになっている。これらの廃液配管５３は、共通の廃液タンク６０に接続されており、いずれのエアベント孔４３から排出されたエアα及びエアαを含む塗布液であっても、廃液タンク６０に排出される。この廃液配管５３は、口金部３４に沿って延びる平行部分５３１と、これに直交する垂直部分５３２とを有している。すなわち、エアベント孔４３に接続される側の反対側の平行部分５３１には、９０度方向を変える継ぎ手５４が連結されており、この継ぎ手５４に連結される垂直部分５３２が廃液タンク６０に接続されている。これにより、エアベント孔４３を出たエアα及びエアαを含む塗布液は、平行部分５３１及び垂直部分５３２を経由し、廃液タンク６０に排出される。
【００３２】
また、廃液配管５３は、その廃液配管５３で生じる圧力損失が等しくなるように設定されている。具体的には、廃液配管５３の配管径、配管長さを調節することにより圧力損失が設定されている。すなわち、図３に示すように、廃液配管５３は、その平行部分５３１は同径のものが使用されている（図３では、廃液配管５３を示す線の太さが配管内径を示している）。廃液タンク６０は、エアベント孔４３Ｒの近くに設置されているため、廃液配管５３の平行部分５３１は、エアベント孔４３Ｌに連結されるものに比べてエアベント孔４３Ｒに接続されるものの方が短い。そのため、この平行部分５３１のみを比較した場合は、圧力損失がエアベント孔４３Ｌの方が大きい。一方、垂直部分５３２を比較した場合、エアベント孔４３Ｒに接続される廃液配管５３は、エアベント孔４３Ｌに接続される廃液配管５３よりも小径に形成されている。すなわち、垂直部分５３２の圧力損失は、エアベント孔４３Ｒに連結される廃液配管５３の方が大きくなるように設定されている。すなわち、廃液タンク６０を共通にすることでエアベント孔４３に接続される廃液配管５３の長さが異なるため、廃液配管５３の一部を小径に形成することにより、廃液配管５３全体に生じる圧力損失がいずれの廃液配管５３においても等しくなるように設定されている。本実施形態では、エアベント孔４３に接続される廃液配管５３の平行部分５３１は同径の配管を使用し、垂直部分５３２のみ径の異なる廃液配管５３を使用して圧力損失を調節している。このように、エアベント孔４３に直接接続する廃液配管５３の平行部分５３１を同径にすることで、口金部３４の製作コストを下げることができるとともに、垂直部分５３２の径を変化させる方が圧力損失の調節が行いやすい。なお、圧力損失を等しく設定するとは、完全に一致させる場合のみではなく、いずれのエアベント孔４３からもエアαがスムーズに排出され、排出の度合いが同程度になるように設定されていればよい。
【００３３】
さらに、本実施形態では、これらすべての廃液配管５３で生じる圧力損失の合計値が、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲で、スリットノズル３４ａで生じる圧力損失よりも小さくなるように設定されている。これにより、エアベント処理の際、供給した塗布液をスリットノズル３４ａからムダに排出される量を抑えることができる。すなわち、エアベント処理の際、塗布液供給孔４２から塗布液を供給すると、内部流路４１に存在するエアαはスリットノズル３４ａ、エアα抜き孔及びエアベント孔４３から排出され、内部流路４１に塗布液が貯留されると、エアαが浮力により上昇し、エアα及びエアαを含む塗布液がエアα抜き孔及びエアベント孔４３から排出される。この状態で、すべての廃液配管５３で生じる圧力損失の合計値よりスリットノズル３４ａで生じる圧力損失値が小さくなるほど、エアベント孔４３から排出されるよりも、スリットノズル３４ａから排出されやすくなる。しかし、エアαは浮力で上昇してしまっているため、排出されやすいスリットノズル３４ａからは、エアαの混入しない塗布液が大量に排出されてしまう。したがって、廃液配管５３で生じる圧力損失の合計値が、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲で、スリットノズル３４ａで生じる圧力損失よりも小さく設定することにより、スリットノズル３４ａから排出されにくくなり、エアαが浮力により上昇してもスリットノズル３４ａからの排出が抑えられ、塗布液がムダに捨てられるのを防止することができる。
【００３４】
また、ここでいうスリットノズル３４ａからのエアα吸い込みとは、後述の廃液バルブ５３ａが開かれた全ての廃液配管５３の圧力損失の合計値が、スリットノズル３４ａで生じる圧力損失に比べ、著しく小さい場合に、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込んで、廃液配管５３へ液が流れる現象のことで、通常は塗布液供給孔４２より供給された塗液は圧損の比率により、スリットノズル３４ａと廃液配管５３へ割り振られるが、この場合、塗布液供給孔４２より供給された塗布液よりも多く廃液配管５３へ液が流れる。すなわち、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲とは、塗布液供給孔４２から供給された塗布液が、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない程度に、最大限廃液配管５３にエアα及びエアαを含む塗布液が排出される状態をいう。
【００３５】
なお、この廃液配管５３には、廃液バルブ５３ａが設けられている。塗布動作中は、この廃液バルブ５３ａを閉めた状態で行われることにより、塗布動作中には供給された塗布液がエアベント孔４３を通じて漏れることがないようになっている。
【００３６】
このような構成により、エアベント処理において、内部流路４１のエアαをスムーズに排出させることができる。すなわち、塗布液供給孔４２から塗布液を供給すると、内部流路４１に塗布液が満たされると共に、すでに存在していた空気溜まりがスリットノズル３４ａ、エア抜き穴４４、エアベント孔４３から押し出されることにより排出される。このとき、スリットノズル３４ａ、エア抜き穴４４、エアベント孔４３からは、エアαのみならず、エアαを含む塗布液も同時に排出される。そして、内部流路４１にほぼ塗布液が満たされた状態になると、空気溜まりはほぼなくなるものの、満たされた塗布液中には気泡などのエアαが存在しているため、塗布液供給孔４２から塗布液を供給し続けることにより、残存している気泡を押し出して排出する。すなわち、残存しているエアαは浮力により上昇し、主にエア抜き穴４４から排出されるが、エア抜き穴４４に移動しないエアαについては、塗布液の供給圧でエアベント孔４３から押し出して排出される。本実施形態では、エアベント孔４３に連結されるそれぞれの廃液配管５３の圧力損失が、ほぼ等しく設定されているため、図５（ａ）に示すように、塗布液供給孔４２から供給される塗布液の供給圧がエアベント孔４３から廃液配管５３に抜ける方向に伝わり、エア抜き穴４４から排出されきれないエアαがエアベント孔４３を通じてエアαを含む塗布液が廃液タンク６０に排出される。なお、図５では、実線の矢印が塗布液の流れを示し、破線の矢印がエアαの流れを示している。
【００３７】
ここで仮に、一の廃液配管５３の圧力損失が、他の廃液配管５３に比べて大きい場合、例えば、図５（ｂ）に示すように、エアベント孔４３Ｌに接続される廃液配管５３の圧力損失が大きい場合には、圧力損失の大きい廃液配管５３には塗布液が流れにくくなるため、塗布液の供給圧が伝達されにくく、圧力損失の大きい廃液配管５３が接続されるエアベント孔４３Ｌ付近のエアαは、その位置に滞留し排出されない。
【００３８】
一方、すべての廃液配管５３の圧力損失の合計値は、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲で、スリットノズル３４ａの圧力損失よりも小さく設定されているため、エアベント処理に使用する塗布液の量を抑えることができる。すなわち、エアベント処理を行うことにより内部流路４１が塗布液で満たされると、エアαが浮上しスリットノズル３４ａ付近には残存するエアαが少なくなるため、スリットノズル３４ａから排出される塗布液にはほとんどエアが含まれず、塗布液がそのまま排出されるという捨て打ち状態になる。そこで、すべての廃液配管５３の圧力損失の合計値は、スリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲で、スリットノズル３４ａの圧力損失よりも小さく設定されていることにより、内部流路４１のエアα及びエアαを含む塗布液が廃液配管５３から流れやすくなり、すべての廃液配管５３から排出されるエアαを含む塗布液の量が、スリットノズル３４ａを通じて排出されるエアαを含む塗布液の量よりも多量になるため、エアを含む塗布液が廃液配管５３を通じて積極的に排出される。したがって、スリットノズル３４ａからムダに排出される塗布液の量（エアαを含まない塗布液の量）を抑えられ、エアベント処理に使用する塗布液の量を抑えることができる。
【００３９】
上記実施形態における塗布装置によれば、２つのエアベント孔４３に接続される廃液配管５３が共通の１つの廃液タンク６０に接続されるため、従来のようにエアベント孔４３それぞれに廃液タンク６０が設けられる場合に比べて必要な廃液タンク６０の数を減らすことができ、装置のコストを下げることができる。また、共通の廃液タンク６０に接続される廃液配管５３の配管径と配管長さが調節されることにより、すべての廃液配管５３で生じる圧力損失がほぼ等しく設定されるため、いずれのエアベント孔４３においても、気泡等のエアαの排気され易さをほぼ等しくすることができる。すなわち、エアベント処理に必要な塗布液の量は、従来必要であった塗布液の量とほぼ変わることなく、エアベント処理に必要な時間も従来とほぼ変わらない。したがって、エアベント処理に必要な塗布液の量及び時間を抑えつつ、装置コストを抑えることができる。
【００４０】
また、上記実施形態では、エアベント孔４３が２つである場合の例について説明したが、３つ以上設けるものであってもよい。この場合、廃液タンク６０は、２つであっても、１つであってもよく、それぞれのエアベント孔４３に接続される廃液配管５３の配管径と配管長さが調節されることにより、すべての廃液配管５３で生じる圧力損失がほぼ等しくなるように設定されていればよい。
【００４１】
また、上記実施形態では、すべての廃液配管５３で生じる圧力損失の合計値が、前記スリットノズルで生じる圧力損失よりも小さく設定されている例について説明したが、すべての廃液配管５３とエア抜き穴４４とに生じる圧力損失の合計値がスリットノズル３４ａからエアαを吸い込まない範囲で、前記スリットノズルで生じる圧力損失よりも小さく設定されているものであってもよい。この構成であれば、スリットノズル３４ａにおける塗布液の捨て打ち量をより抑えることができる。
【符号の説明】
【００４２】
１０  基板
２１  ステージ
３０  塗布ユニット
３４  口金部
３４ａ  スリットノズル
４１  内部流路
４２  塗布液供給孔
４３  エアベント孔
４４  エア抜き穴
５３  廃液配管
６０  廃液タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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