(57)【要約】【課題】電力を可視光に変換する効率が高いフィラメントを備えた白熱電球を提供する。【解決手段】透光性気密容器と、透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する白熱電球が提供される。フィラメントは、金属材料により形成された基体と、基体を覆う可視光吸収膜とを有する。可視光吸収膜は、赤外光領域では透明である。これにより、可視光の反射率が低く、赤外光の反射率が高くなるため、赤外光の放射が抑制され、可視光光束効率を高めることができる。【選択図】図８
2013134875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性気密容器と、当該透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、前記フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する白熱電球であって、
前記フィラメントは、金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う可視光吸収膜とを有し、前記可視光吸収膜は、赤外光領域では透明であることを特徴とする白熱電球。
【請求項２】
請求項１に記載の白熱電球において、前記可視光吸収膜は、赤外光領域に透明な材料に金属微粒子を添加した材料によって構成されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項３】
請求項１に記載の白熱電球において、前記可視光吸収膜は、赤外光領域に透明な材料に不純物を添加した材料によって構成されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項４】
請求項２に記載の白熱電球において、前記金属微粒子の粒径は、２ｎｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする白熱電球。
【請求項５】
請求項２または４に記載の白熱電球において、前記金属微粒子は、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｖ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｙ、Ｚｒ、Ｒｅ、ＯｓおよびＩｒのうちのいずれかを含有する金属の微粒子であることを特徴とする白熱電球。
【請求項６】
請求項３に記載の白熱電球において、前記不純物は、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｔｂ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗ、Ｐｂ、Ａｓ、Ｔｍ、Ｈｏ、Ｅｒ、ＤｙおよびＰｒのうちのいずれかであることを特徴とする白熱電球。
【請求項７】
請求項２ないし６のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記可視光吸収膜を構成する前記赤外光領域に透明な材料は、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２のうちのいずれかを含有することを特徴とする白熱電球。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記基体は、赤外光反射膜によりさらに被覆されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項９】
透光性気密容器と、当該透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、前記フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する白熱電球であって、
前記フィラメントは、金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う赤外光反射膜とを有することを特徴とする白熱電球。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の白熱電球において、前記赤外光反射膜は、赤外光を透過する材料でそれぞれ構成され、かつ、積層された第１および第２の層の組を含み、前記第１の層は、屈折率ｎ１、厚さｄ１、前記第２の層は、屈折率ｎ２、厚さｄ２である場合、赤外光の所定の波長λ１に対して
ｎ１・ｄ１＝ｎ２・ｄ２＝λ１／４
の関係を満たし、前記所定の波長λ１の赤外光を反射することを特徴とする白熱電球。
【請求項１１】
請求項１０に記載の白熱電球において、前記赤外光反射膜は、前記第１および第２の層の組を複数組積層した構造であり、各組は、反射する前記赤外光の所定の波長が異なることを特徴とする白熱電球。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の白熱電球において、前記赤外光反射膜の前記第１および第２の層は、それぞれ、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２のうちのいずれかを含有する材料により構成されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項１３】
請求子８に記載の白熱電球において、前記赤外光反射膜は、前記可視光吸収膜と前記基体との間に配置されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記基体は、可視光反射率を低下させる可視光反射防止膜によりさらに被覆されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項１５】
請求項１４に記載の白熱電球において、前記可視光反射防止膜は、可視光に対して透明な材料により構成された層を１以上含み、この層は、所定の可視光波長に対する光学膜厚が、当該可視光波長の１／４であることを特徴とする白熱電球。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の白熱電球において、前記可視光反射防止膜は、前記可視光に対して透明な材料により構成された層を複数積層した多層膜であることを特徴とする白熱電球。
【請求項１７】
請求項１４ないし１６のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記可視光反射防止膜を構成する前記可視光に対して透明な材料の層は、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２のうちのいずれかで形成された層を含むことを特徴とする白熱電球。
【請求項１８】
請求項１４ないし１７のいずれか１項に記載の白熱電球において、可視光反射防止膜は、最表面に配置されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項１９】
請求項１ないし１８のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記フィラメントの前記基体は、表面が鏡面に研磨加工されていることを特徴とする白熱電球。
【請求項２０】
請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の白熱電球において、前記基体は、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＺｒＣ、Ｃ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｖ、Ｃｒ、およびＺｒのうちのいずれかを含有することを特徴とする白熱電球。
【請求項２１】
請求項１９に記載の白熱電球において、前記基体の表面粗さは、中心線平均粗さＲａが１μｍ以下、最大高さＲｍａｘが１０μｍ以下、および、十点平均粗さＲｚが１０μｍ以下、のうちの少なくとも１つを満たすことを特徴とする白熱電球。
【請求項２２】
金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う可視光吸収膜とを有し、前記可視光吸収膜は、赤外光領域では透明であることを特徴とするフィラメント。
【請求項２３】
金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う赤外光反射膜とを有することを特徴とするフィラメント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エネルギー利用効率を改善した光源用フィラメントに関し、特に、フィラメントを用いた白熱電球ならびに熱電子放出源に関する。
【背景技術】
【０００２】
タングステンフィラメント等に電流を流すことにより、フィラメントを加熱し、電球とする白熱電球が広く用いられている。白熱電球は、太陽光に近い演色性に優れた放射スペクトルが得られ、白熱電球の電力から光への変換効率は８０％以上になるが、放射光の波長成分は、図１に示すように赤外放射光成分が９０％以上である（図１の３０００Ｋの場合）。このため、白熱電球の電力から可視光への変換効率は、凡そ１５  ｌｍ／Ｗと低い値になる。一方、蛍光灯は、電力から可視光への変換効率が約９０  ｌｍ／Ｗであり、白熱電球よりも大きい。このため、白熱電球は、演色性に優れているが、環境負荷が大きいという問題がある。
【０００３】
白熱電球を高効率化・高輝度化・長寿命化する試みとして、様々な提案がなされている。例えば、特許文献１および２には、電球内部に不活性ガスやハロゲンガスを封入することにより、蒸発したフィラメント材料をハロゲン化してフィラメントに帰還させ（ハロゲンサイクル）、フィラメント温度をより高くする構成が提案されている。一般的にこれらはハロゲンランプと呼ばれている。これにより、可視光への電力変換効率の上昇およびフィラメント寿命の延長の効果が得られる。この構成では、高効率化並びに長寿命化のために、封入ガスの成分並びに圧力の制御が重要となる。
【０００４】
特許文献３−５には、電球ガラスの表面に赤外線反射コートを施し、フィラメントから放射された赤外光を反射して、フィラメントに戻し、吸収させる構成が開示されている。これにより、赤外光をフィラメントの再加熱に利用し、高効率化を図っている。
【０００５】
特許文献６−９には、フィラメント自体に微細構造体を作製し、その微細構造体の物理的効果により、赤外放射を抑制し、可視光放射の割合を高めるという構成が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６０−２５３１４６号公報
【特許文献２】特開昭６２−１０８５４号公報
【特許文献３】特開昭５９−５８７５２号公報
【特許文献４】特表昭６２−５０１１０９号公報
【特許文献５】特開２０００−１２３７９５号公報
【特許文献６】特表２００１−５１９０７９号公報
【特許文献７】特開平６−５２６３号公報
【特許文献８】特開平６−２１６７号公報
【特許文献９】特開２００６−２０５３３２号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】F.  Kusunoki et  al.,  Jpn.  J.  Appl.  Phys.  43,  8A,  5253(2004).
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１、２のようにハロゲンサイクルを利用する技術は、寿命延伸効果を図ることはできるが、変換効率を大きく改善することは困難であり、現状、２０  ｌｍ／Ｗ程度の効率である。
【０００９】
また、特許文献３−５のように、赤外放射を赤外線反射コートで反射して、フィラメントに再吸収させる技術は、フィラメントによる赤外光の反射率が７０％と高いために再吸収が効率良く起こらない。また、赤外線反射コートで反射された赤外光が、フィラメント以外の他の部分、例えばフィラメント保持部分並びに口金等に吸収され、フィラメントの加熱に利用されない。このため、本技術により、変換効率を大きく改善することは困難である。現状、２０  ｌｍ／Ｗ程度の効率となる。
【００１０】
特許文献６−９のように微細構造により赤外放射光の抑制効果を図る技術は、非特許文献１のように赤外放射スペクトルの極一部分の波長に対して放射増強並びに抑制効果を示す報告は存在するものの、広範囲な赤外光全体に亘って赤外放射光の抑制を図ることは非常に困難である。これは、ある波長が抑制されると、別の波長は増強される性質のためである。このため、本技術を利用して大幅な効率改善を図ることは難しいと考えられている。また、微細構造作製に際して、電子ビームリソグラフィー等の高度な微細加工技術を利用するため、これを使用した光源は非常に高価なものとなる。更に、高温耐熱部材であるＷ基体上に微細構造を作り込んでも１０００℃程度の加熱温度で微細構造部分が溶融並びに破壊してしまうと言う問題も存在する。
【００１１】
本発明の目的は、電力を可視光に変換する効率が高いフィラメントを備えた白熱電球を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様によれば、透光性気密容器と、当該透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する白熱電球であって、フィラメントは、金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う可視光吸収膜とを有し、可視光吸収膜は、赤外光領域では透明であることを特徴とする白熱電球が提供される。
また、第２の態様によれば、透光性気密容器と、当該透光性気密容器内に配置されたフィラメントと、フィラメントに電流を供給するためのリード線とを有する白熱電球であって、フィラメントは、金属材料により形成された基体と、前記基体を覆う赤外光反射膜とを有することを特徴とする白熱電球が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、赤外波長領域の反射率が高く、可視光波長領域の反射率が低いフィラメントにより、赤外光放射を抑制し、可視光放射を高めることができるため、可視光光束効率の高い白熱電球が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】従来のタングステンフィラメントの放射エネルギーの波長依存性を示すグラフ。
【図２】本発明のフィラメントの反射率と放射率と放射スペクトルとの関係を示すグラフ。
【図３】本実施形態のフィラメントの断面図。
【図４】実施形態のＴａ基体の研磨加工前の反射率と得られる放射スペクトル並びに分光光度（放射スペクトル×視感度曲線）の波長依存性を示すグラフ。
【図５】実施形態のＴａ基体の研磨加工後の反射率と得られる放射スペクトル並びに分光光度の波長依存性を示すグラフ。
【図６】実施形態のフィラメントの赤外光反射膜２０の断面図。
【図７】具体的な実施形態１〜９のフィラメントの赤外光反射膜２０の層構成と反射特性、およびフィラメントの可視光光束効率を示す説明図。
【図８】具体的な実施形態１のフィラメントの反射率と得られる放射スペクトルグラフ。
【図９】実施形態の白熱電球の切り欠き断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の光源用フィラメントの原理について図面を用いて説明する。
【００１６】
本発明のフィラメントは、図２に実線で示したように、可視光領域で、０％に近い低反射率を有し、赤外光領域で１００％に近い反射率を有する。具体的には、波長７００ｎｍ以下の可視光領域の反射率が２０％以下の低反射率であり、赤外光領域の反射率が９０％以上の高反射率であることが望ましい。また、その間の波長領域は、図２のように短波長側から長波長側に向かって、反射率が単調増加していることが望ましい。このフィラメントが、電流供給等により加熱されることによって高効率に可視光を発する。その原理を、黒体放射におけるキルヒホッフの法則に基づいて、以下説明する。
【００１７】
自然対流熱伝達の無い条件下（例えば真空中）における材料（ここではフィラメント）の入力エネルギーに対するエネルギー損失は平衡状態では以下の式（１）で与えられる。
（数１）
P(total)=P(conduction)+P(radiation)                  ・・・(1)
【００１８】
ここで、P(total)は、全入力エネルギー、P(conduction)は、フィラメントに電流を供給するリード線を経て損失されるエネルギー、P(radiation)は、フィラメントが、加熱された温度で外部空間に光を放射して損失するエネルギーである。フィラメントは、その温度が２５００Ｋ以上の高温になると、リード線を経て損失されるエネルギーはわずか５％程度になり、残りの９５％以上のエネルギーは、光放射によって外部にエネルギー損失されるため、入力電力の殆ど全てのエネルギーを光に変えることができる。しかしながら、従来の一般的なフィラメントから放射される放射光の内、可視光成分の割合はわずか１０％程度で、大部分が赤外放射光成分であるため、そのままでは効率の良い可視光源とはならない。
【００１９】
上記式（１）におけるP(radiation)の項は一般的に、下記式（２）で記述することができる。
【数２】
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と記述することが出来る。式（２）においては、ε(λ)は、各波長における放射率、αλ-5/(exp(β/λＴ)−１)の項は、プランクの放射則を示す。α＝３．７４７×１０８  Ｗμｍ４／ｍ２、β＝１．４３８７×１０４  μｍＫ、である。また、ε(λ)は、キルヒホッフの法則によって反射率Ｒ(λ)と式（３）の関係にある。
（数３）
ε(λ)＝１−Ｒ(λ)                                     ・・・(3)
【００２０】
式（２）と式（３）を関連付けて議論すると、仮に反射率が全ての波長に亘って１である材料は、式（３）よりε(λ)＝０となり、ひいては、式（２）における積分値が０となるため放射による損失が起こらなくなる。この物理的意味は、P(total)=P(conduction)となるため、少量の入力エネルギーでも光放射による損失が無く、フィラメントが非常に高い温度まで達することを意味している。一方、反射率が全ての波長に亘って０である材料は、完全黒体とよばれ、式（３）よりε(λ)＝１となる。この結果、式（２）における積分値は最大となり、ひいては、放射による損失量が最大となる。通常の材料は、放射率ε(λ)が０＜ ε(λ)＜１の間に存在し、かつ、その波長依存性は、劇的に変化することは無い（波長λ、温度Ｔに対する緩慢な依存性は存在する）。そのため、赤外から可視光領域における光放射は、図２の２点鎖線で示すように略可視から赤外領域に亘って均一に起こる。なお、図２では、議論を簡略化するため全波長領域でε(λ)＝１として黒体放射スペクトルをプロットしている。
【００２１】
一方、図２に一点鎖線で示すように赤外光領域で略０％の放射率を有し、７００ｎｍ以下の可視光領域で、略１００％の放射率を有する材料を、真空中で加熱した熱放射は、以下の式（４）で表現出来る。
【数４】
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【００２２】
式（４）において、θ(λ−λ０） は、長波長から可視光のある波長λ０までは放射率が０であり、ある波長λ０よりも短波長の領域では放射率が１である階段関数的振る舞いを示す関数である。得られる放射スペクトルは階段関数的な放射率と黒体放射スペクトルを畳み込んだ形状となり、計算の結果は、図２の破線で示すスペクトルとなる。即ち、式（４）の物理的意味は、フィラメントへの入力エネルギーの小さい低温領域では輻射損失が抑えられており、式（４）のP(radiation)の項が0となるため、エネルギー損失がP(conduction)のみとなり、非常に効率良くフィラメント温度が上昇する。一方、フィラメント温度が高温になり、黒体放射スペクトルのピーク波長がλ０より短くなるような温度領域になると、フィラメントに入力したエネルギーを図２の破線で示したスペクトルのように可視光放射として損失するようになる。
【００２３】
式（４）におけるθ(λ−λ０）は、上述のように長波長から可視光のある波長λ０までは放射率が０であり、ある波長λ０よりも短波長の領域では放射率が１である材料である。このような材料は、式（３）のキルヒホッフの法則により、図２に実線で示したように、波長λ０以下で反射率が０で、波長λ０よりも長波長領域で反射率が１となる。そこで本発明は、波長λ０以下の可視光域の反射率が０に近く、波長λ０よりも長波長領域で１に近い反射率を有するフィラメントを提供する。具体的には、本発明では、波長λ０以下の可視光域の反射率が２０％以下の低反射率であり、波長λ０よりも長波長の所定の赤外光領域の反射率が９０％以上の高反射率のフィラメントを提供する。波長λ０以下の可視光域とは、波長７５０ｎｍ以下で３８０ｎｍ以上であることが好ましく、波長７００ｎｍ以下で３８０ｎｍ以上であることがより好ましい。反射率が９０％以上の所定の赤外光領域とは、波長４０００ｎｍ以上の赤外光領域であることが好ましく、波長１０００ｎｍ以上の赤外光領域で反射率が９０％以上である場合には更なる光束効率の向上を期待することが出来るため、より好ましい。なお、可視光域の反射率が２０％以下であれば、可視光域よりも短い波長領域での反射率が２０％を超えていても構わない。また、反射率が２０％以下の可視光域と反射率が９０％以上になる赤外光領域との間には、反射率が２０％以下から９０％以上まで変化する領域が存在するため、この領域の反射率が９０％未満であっても構わない。そのため、波長７５０ｎｍ以上波長４０００ｎｍ以下の波長領域は、反射率が２０％より大きく９０％未満であっても構わない。
【００２４】
また、従来の白熱電球等の光源用フィラメントは、２０００Ｋ〜３０００Ｋの高温になることが知られている。本発明の光源用フィラメントにおいても２０００Ｋ以上の高温で上述の反射率の波長依存性を示すものを提供する。
【００２５】
発明者らは、上記のような反射率を有する材料（フィラメント）を得られる可能性のある従来の技術を調査したところ、以下の（ａ）〜（ｄ）のような手法が公知であることがわかった。しかしながら、詳細に調査を行ってみると、これらの材料は、１０００℃以上の温度には耐えられず、２０００Ｋ以上の温度では、上述の反射特性（波長λ０＝７００ｎｍ以下の可視光域で反射率２０％以下、赤外光領域で反射率９０％以上）を達成できないことがわかった。
(a)基体上に電気メッキ等の手法を利用してクロム膜、ニッケル膜等を被覆する手法。（例えば、G.  Zajac、  et  al.  J.  Appl.  Phys.  51、 5544  (1980).参照）
(b)アルミを陽極酸化して、表面上に多孔質ナノ構造を作製して、孔径、孔深さを制御して反射率を制御する手法。（例えば、A.  Anderson、  et  al.  J.  Appl.  Phys.  51、  754  (1980).参照）
(c)誘電体中に金属微粒子を含んだ複合薄膜を形成する方法。複合薄膜の作製方法として、Cu、Cr、Co、Au、等の金属、またはPbS、CdS等の半導体を、酸化物またはフッ化物等の誘電体と同時に、蒸着、スパッター、またはイオン注入する。（例えば、J.  C.  C.  Fan  and  S.  A.  Spura、  Appl.  Phys.  Lett.  30、  511  (1977).）
(d)金属または半導体表面にフォトニック結晶構造を作製し反射率を制御する手法。（例えば、F.  Kusunoki  et  al.、  Jpn.  J.  Appl.  Phys.  43、  8A、  5253  (2004).）
等が考えられる。
【００２６】
発明者らは、赤外波長の反射率が高い高融点材料（融点２０００Ｋ以上）をフィラメントの基体とし、可視光域の反射率を低下させる可視光吸収膜および赤外光の反射率を高める赤外光反射膜の少なくとも一方で被覆する。
【００２７】
以下、一実施形態として、図３に示すように、基材１０を、赤外線反射膜２０、可視光吸収膜３０、可視光反射防止膜４０により順に被覆した構造のフィラメントについて説明する。
【００２８】
（基体１０の設計）
基体を構成する高融点材料としては、融点２０００Ｋ以上の金属材料、例えば、ＨｆＣ（融点４１６０Ｋ）、ＴａＣ（融点４１５０Ｋ）、ＺｒＣ（融点３８１０Ｋ）、Ｃ（融点３８００Ｋ）、Ｗ（融点３６８０Ｋ）、Ｒｅ（融点３４５３Ｋ）、Ｏｓ（融点３３２７Ｋ）、Ｔａ（融点３２６９Ｋ）、Ｍｏ（融点２８９０Ｋ）、Ｎｂ（融点２７４１Ｋ）、Ｉｒ（融点２６８３Ｋ）、Ｒｕ（融点２５８３Ｋ）、Ｒｈ（融点２２３９Ｋ）、Ｖ（融点２１６０Ｋ）、Ｃｒ（融点２１３０Ｋ）、およびＺｒ（融点２１２５Ｋ）、のいずれか、または、これらのうちのいずれかを含有する合金を用いることができる。
【００２９】
基材１０の形状は、高温に加熱できる形状であればどのような形状でもよく、例えばリード線から電流の供給を受けて発熱することができる線状、棒状、薄板状にすることができる。また、電流供給以外の方法により直接加熱される構造であってもよい。
【００３０】
基体の表面は、鏡面研磨されていることが望ましい。具体的には、例えば、基体の表面は、表面粗さ（中心線平均粗さＲａ）が１μｍ以下、最大高さ（Ｒｍａｘ）が１０μｍ以下、および、十点平均粗さ（Ｒｚ）が１０μｍ以下、のうちの少なくも１つを満たすことが好ましい。その理由は、一般的に、金属材料の放射率は表面粗度と関連し、表面粗さが大きくなると鏡面状態の表面と比較して反射率が低下するためである。
【００３１】
図４に、Ｔａ基材１０を鏡面加工する前（砂面）の反射率の波長依存性のグラフを、図５に上述の表面粗さ条件を満たす鏡面研磨加工後の反射率の波長依存性のグラフをそれぞれ示す。図５に示すように、鏡面研磨加工後のＴａ基材の赤外光領域における反射率は、図４の鏡面研磨前の反射率と比較して、１０％以上向上している。反射率が高いほど、長波長赤外光の放出は低減するため、基材１０に鏡面研磨を施すことにより、光束効率を高めることができる。さらに具体的には、図４、図５に示すようにＴａ基材においては、１−１０  μｍの赤外波長領域で、砂面の反射率（８８％）と比較して鏡面の反射率（９８％）は、１０％程度向上している。また、被覆しないＴａ基材１０の放射率の波長依存性を求めると図４、図５に示すように、鏡面研磨したＴａ基材１０の放射率が、赤外波長領域において低減する。よって、可視光光束効率を２５００Ｋの温度領域において求めると、砂面のＴａ基材１０の可視光光束効率２８．２  ｌｍ／Ｗと比較し、鏡面研磨したＴａ基材１０の可視光光束効率は５２．２  ｌｍ／Ｗであり、４６％も向上する。
【００３２】
このように、本発明のフィラメントは、１−１０  μｍの赤外波長領域で反射率を極力高めた高温耐熱材料が望まれるため、基材１０の表面を鏡面加工することが望ましい。なお、砂面によって生じる反射率低下の原因は、砂面構造によって生じる光の多重散乱ならびに吸収である。
【００３３】
（赤外光反射膜２０の設計）
赤外光反射膜２０は、赤外光を反射するために配置されている。図６のように、赤外光反射膜２０は、いずれも赤外光を透過する材料、例えば高耐熱性誘電体層でそれぞれ構成された第１の層２１および第２の層２２の組を少なくともひと組含む。第１の層２１の屈折率をｎ１、厚さをｄ１、第２の層２２の屈折率をｎ２、厚さをｄ２とする、赤外光の所定の波長λに対して、式（５）を満たす。
（数５）
ｎ１・ｄ１＝ｎ２・ｄ２＝λ／４      ・・・（５）
このように屈折率の異なる２種類の層２１、２２を積層することにより、光の干渉を利用して、所定の波長λ１を中心波長とする所定の波長範囲の赤外光の反射率を高めることができる。
【００３４】
また、本実施形態では、広い波長範囲の赤外光を反射するため、図６のように、赤外光反射膜２０は、２種類の層２１、２２の組を複数組積層した構成としている。それぞれの組の反射の中心波長λを異ならせ、積層された各組でそれぞれ少しずつ異なる波長の赤外光を反射させることにより、赤外光反射膜２０全体として広い波長範囲の赤外光を反射することができる。第１の層２１と第２の層２２の屈折率差が大きいほど、反射できる波長幅が大きくなるため、反射したい波長幅に応じて第１の層２１と第２の層２２の材料を選択する。なお、層２１、２２の組を複数組積層した場合、すべての組の中心波長を必ずしも異ならせる必要はなく、複数の組全体で所望の波長帯域の赤外光を反射できればよい。よって、複数の組のうちのいくつかの組の中心波長が同一であってもよく、例えば、２組づつ同一の中心波長を反射するように構成してもよい。
【００３５】
例えば、第１の層２１をＭｇＯ層とし、第２の層２２をＳｉＣ層とする。２５００  Ｋの温度における黒体からの放射は、１２００ｎｍ程度の赤外波長においてピークを有するので、このピーク周辺の波長を選択し、この波長帯における反射を高めることにより、光束効率を向上することができる。第１の層２１および第２の層２２の組の数を２６組（組２０−１〜組２０−２６）、合計５２層積層し、例えば、ＭｇＯ層２１の膜厚を１５６ｎｍから９４ｎｍまで、ＳｉＣ層２２の膜厚を１１６ｎｍから７０ｎｍまで組ごとに徐々に異なる値に設計することにより、中心波長λ１〜λ２６＝７００ｎｍ〜１０μｍの範囲で良好な赤外線反射特性を得ることができる。
【００３６】
上記第１の層２１および第２の層２２は、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２、のうちのいずれかの材料、もしくは、これらの材料を含有する混晶材料で構成することができる。
【００３７】
なお、ここでは、第１の層２１と第２の層２２を構成する材料の組み合わせが、各組２０−１〜２０−２６において同じである場合について説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、組ごとに、第１の層２１と第２の層２２の材料の組み合わせを異ならせることももちろん可能である。
【００３８】
第１の層２１と第２の層２２の屈折率差は、０．１以上の場合、良好な反射率特性を得ることができるため好ましい。屈折率差が大きいほど、１組の第１の層２１と第２の層２２で反射できる波長範囲が広くなり、薄膜積層の総数を少なくできるため、特に屈折率差が０．３以上であることが望ましい。
【００３９】
第１の層２１と第２の層２２の組の積層は、積層の総数が３層から２００層において良好な反射率特性を得ることができる。２００層以上になると、応力などによりクラック、はがれを生じ、良好な反射率特性を維持することが難しくなるため、これらを防止する成膜手法を採用することが望ましい。
【００４０】
（可視光吸収膜３０の設計）
上記赤外光反射膜２０の上には、可視光吸収膜３０が配置されている。可視光吸収膜３０は、赤外光に対しては透明であって、可視光の吸収率が高い膜であり、可視光を吸収することで可視光の反射率を低下させる。
【００４１】
可視光吸収膜３０は、赤外光領域に透明な材料、例えば高耐熱性誘電体に金属微粒子を添加した材料もしくは、赤外光領域に透明な材料に不純物を添加した材料によって構成されている。
【００４２】
前者の金属微粒子を添加した材料の場合、金属微粒子による局在光吸収の作用により、可視光を吸収することができる。金属微粒子による局在光吸収効果を利用した代表的な例としては教会のステンドグラスが挙げられる。ガラス中に分散させる金属の種類並びに粒径に応じて、可視光領域の吸収波長並びに吸収量を制御出来るため、ステンドグラスのように種々の吸収帯を形成することが可能となる。例えば、Ａｕの微粒子の粒径を２ｎｍから５ｎｍに変化させることによって、ステンドグラスの色をピンクから深緑に変化させることが可能となるが、これは、物理的には、金属微粒子表面で起こる光の局在共鳴吸収効果による透過光変化（補色）に起因する。即ち、粒子サイズが小さい場合は短波長の光を吸収し、粒子サイズが大きくなるにつれて長波長の光を吸収する。赤外光領域に透明な材料に金属微粒子添加した吸収も本原理に基づく。
【００４３】
金属微粒子の粒径は、２ｎｍ以上５μｍ以下であることが望ましい。金属微粒子の添加量としては、０．０００１％以上１０％以下が好ましい。金属微粒子は、フィラメントを発光させる際の温度である２０００Ｋ以上の融点を有することが望ましく、一例としては、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｖ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｈｆ、Ｙ、Ｚｒ、Ｒｅ、Ｏｓ、および、Ｉｒ、のいずれかの微粒子、もしくは、これらの金属を含有する合金金属の微粒子であることが望ましい。
【００４４】
後者の赤外光領域に透明な材料に不純物を添加した材料の場合、蛍光体材料と同様な物理的効果で可視光を吸収することができる。これは、即ち、赤外光領域に透明な材料に添加された原子（イオン）が作り出すエネルギー準位を反映した吸収となる。代表的な作用として、遷移金属を利用した光吸収、並びに希土類金属を利用した光吸収、の物理的過程がある。この作用により可視光を吸収させるための条件としては、赤外光領域に透明な材料に添加された元素が、上記の金属微粒子の例とは対照的に原子的（イオン的）に分散していることが必要である。具体的には、不純物は、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｍｎ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｔｂ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｗ、Ｐｂ、Ａｓ、Ｔｍ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｄｙ、Ｐｒ等を用いることができる。不純物の添加濃度としては、０．０００１％以上１０％以下が好ましい。
【００４５】
可視光吸収膜３０を構成する赤外光領域に透明な材料としては、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２、のうちのいずれかの材料、もしくは、これらの材料を含有する材料を用いることができる。
【００４６】
例えば、可視光吸収膜３０としては、金属微粒子もしくは不純物を添加したＳｉＣ膜を使用することができる。この可視光吸収膜３０の厚さは、可視光の反射が０．０５以下となるように設計することが望ましい。可視光吸収膜３０をコーティングしていないＴａ基材１０の５５０ｎｍの波長における反射率は０．４程度なので、可視光吸収膜３０の透過率を０．３５以下とすれば、可視光が可視光吸収膜を往復する間に吸収されることにより、基材１０の反射率を、０．４×０．３５×０．３５＝０．０４９まで低下させることができ、可視光吸収膜３０でコーティグしたＴａ基材１０の反射率を０．０５以下にすることができるからである。
【００４７】
なお、可視光吸収膜３０の消衰係数をｋとすると、可視光吸収膜３０の透過率を０．３５にするために必要な可視光吸収膜３０の厚さｄは、以下の式（６）で表される。
【数６】
2013134875.tif 000005
よって、必要な透過率が得られるように、可視光吸収膜３０の膜厚を設計する。例えば、可視光吸収膜３０の５５０ｎｍの波長における消衰係数ｋが０．１である場合、透過率を０．３５にするために必要な厚さｄは、２００ｎｍとなる。
【００４８】
金属微粒子を添加した可視光吸収膜３０の形成方法としては、膜３０を構成する赤外光に透明な誘電体（ＳｉＣ）を蒸着により成膜する際に共蒸着する方法、あるいは、上記赤外光に透明な誘電体の膜をコーティングした後にイオン注入する方法を用いることができる。具体的には、前者の方法の場合、例えば、蒸着源として、ＳｉＣと、金属微粒子材料Ｔａをそれぞれ用意し、金属微粒子材料をＳｉＣ中に０．０００１％以上１０％以下の割合で混合させ、その混合材料を電子ビームで加熱して、基材上に同時に蒸着する。その後、焼成して透明な誘電体中に金属微粒子の結晶を成長させる方法を用いる。後者の方法の場合、蒸着源として、ＳｉＣを用意し、ＳｉＣ膜を形成した後、金属微粒子材料であるＴａ金属イオンを、イオン注入装置を利用して打ち込み、その後、焼成して透明な誘電体中中に金属微粒子の結晶を成長させる方法を用いる。
【００４９】
（可視光反射防止膜４０の設計）
赤外光吸収膜３０の上には、可視光反射防止膜４０が配置されている。可視光反射防止膜４０は、可視光の反射率を低下させる作用をする膜である。
【００５０】
可視光反射防止膜４０は、可視光に対して透明であり、可視光反射防止膜４０の表面で反射される可視光と、可視光反射防止膜４０を透過して下面（赤外光吸収膜３０との界面）で反射される可視光とを打ち消し合わせることにより、フィラメントの可視光反射率を低下させる。
【００５１】
可視光反射防止膜の膜厚は、その屈折率に応じて計算により、または実験またはシミュレーションにより、適切な値に設計されている。計算により設計する場合には、例えば、可視光に対する光学的光路長（λ／ｎ０、ただし、ｎ０は、可視光反射防止膜の屈折率）が１／４波長程度になるように膜厚を設計する。実験またはシミュレーションにより設計する場合には、例えば、膜厚を種々変えて、フィラメントの反射率の膜厚依存性を求め、可視光全体の波長に対して反射率が最も低くなる膜厚を求める方法を用いる。
【００５２】
可視光反射防止膜４０は、２０００Ｋ以上の融点を有する誘電体膜により形成する。例えば２０００Ｋ以上の融点を有する金属の酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜、および、ホウ化物膜のいずれかを用いる。具体的には、ＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、６Ｈ−ＳｉＣ（六方晶のＳｉＣ）、ＧａＮ、３Ｃ−ＳｉＣ（立方晶のＳｉＣ）、ＨｆＯ２、Ｌｕ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、グラファイト、ダイヤモンド、ＣｒＺｒＢ２、ＭｏＢ、Ｍｏ２ＢＣ、ＭｏＴｉＢ４、Ｍｏ２ＴｉＢ２、Ｍｏ２ＺｒＢ２、ＭｏＺｒ２Ｂ４、ＮｂＢ、Ｎｂ３Ｂ４、ＮｂＴｉＢ４、ＮｄＢ６、ＳｉＢ３、Ｔａ３Ｂ４、ＴｉＷＢ２、Ｗ２Ｂ、ＷＢ、ＷＢ２、ＹＢ４およびＺｒＢ１２、のうちのいずれかの単層膜、もしくは、これらの材料の単層膜を複数種類積層した多層膜を用いることができる。
【００５３】
具体的には、可視光反射防止膜４０として、例えば、ＭｇＯ膜を８０ｎｍ程度コーティングする。これにより、５５０ｎｍの波長においてＭｇＯ薄膜の光学膜厚が、この波長の１／４となるため、光学干渉により、５５０ｎｍ波長の反射率を低下させることができる。さらに、反射率の低い波長範囲を広くするために、ＭｇＯ、ＳｉＣ薄膜の多層膜で構成することも可能である。
【００５４】
上述の赤外反射膜２０および可視光反射防止膜４０の成膜方法としては、電子ビーム蒸着法、スパッター法、ＣＶＤ法、等種々の手法を用いることが可能である。成膜後、基材１０界面との密着性並びに膜質（結晶性、光学的特性等）を高めるために１５００℃〜２５００℃の温度範囲でアニーリング処理を行うことが好ましい。
【００５５】
このように本発明のフィラメントは、基材１０を赤外光反射膜２０、可視光吸収膜３０、可視光反射防止膜４０で順に被覆することによって、可視光域の反射率を低く抑制し、赤外光領域の反射率を高めた反射特性を得ることができる。
【００５６】
＜具体的な実施形態＞
以下の具体的な実施形態１〜９として、いずれも基体をＴａで構成し、赤外光反射膜２０を第１の層２１と第２の層２２の材料を後述する９種類の組み合わせに種々に変更したフィラメントを作製する。
【００５７】
いずれの実施形態においても可視光吸収膜３０は、ＳｉＣにＴａの金属微粒子（粒径  ３ｎｍ）を０．１％の濃度で添加したものを用いる。可視光吸収膜３０の膜厚は、およそ２００ｎｍである。また、可視光反射防止膜４０としては、ＭｇＯ膜を用い、膜厚は８０ｎｍとする。
【００５８】
基体１０は、材料金属の焼結や線引き等の公知の工程により作製される。基体の形状は、線材、棒材、薄板等所望の形状に形成する。
【００５９】
焼結や線引き等の工程により製造された基体を、複数種類のダイヤモンド研磨粒により研磨し、中心線平均粗さＲａを１μｍ以下、最大高さ（Ｒｍａｘ）が１０μｍ以下、十点平均粗さ（Ｒｚ）が１０μｍ以下の鏡面に加工する。
【００６０】
赤外光反射膜２０は、実施形態１では、図７に示すように、第２の層２２／第１の層２１を、ＳｉＣ／ＭｇＯ材料を用いて、交互に、同じ膜構造を２組づつ、総積層組数１３層（組）を積層した構造（単層で合計５２層）とする。合計５２層で波長７００ｎｍ〜１０μｍの赤外光を反射するように各組の中心波長λを設計する。
【００６１】
実施形態２〜９では、第２の層２２／第１の層２１を、ＳｉＣ／ＺｒＯ２、ＳｉＣ／Ｙ２Ｏ３、ＳｉＣ／ＨｆＯ２、ＳｉＣ／Ｌｕ２Ｏ３、ＳｉＣ／Ｙｂ２Ｏ３、ＳｉＣ／ＳｉＯ２、ＨｆＯ２／ＳｉＯ２、Ｌｕ２Ｏ３／ＳｉＯ２にそれぞれ変更する。積層数は、実施形態１と同じである。
【００６２】
図７に各実施形態１〜９の赤外光反射膜２０により、得られる反射特性（５５０ｎｍにおける反射率、１μｍにおける反射率）、ならびに、反射率が５０％となる波長（Ｃｕｔｏｆｆ波長）を示している。
【００６３】
また、図７には、各実施形態１〜９の鏡面研磨Ｔａ基体１０上に赤外光反射膜２０と可視光吸収膜３０と可視光反射防止層４０を備えたフィラメントについて、シミュレーションにより求めた可視光光束効率（２５００Ｋ）を示している。図７のように、各実施形態１〜９のフィラメントの可視光光束効率は、７５．４〜１１３．０  ｌｍ／Ｗと高い値を示し、鏡面研磨Ｔａ１０基体の可視光光束効率５２．２  ｌｍ／Ｗよりも増大している。このように、本実施形態１〜９のフィラメントは、可視光光束効率を向上させることができる。
【００６４】
また、図８には、上記実施形態１のフィラメントの反射率と放射率を示す。図８から明らかなように、本実施形態１のように鏡面研磨Ｔａ基体１０上に赤外光反射膜（ＳｉＣ／ＭｇＯ）２０と可視光吸収膜３０と可視光反射防止層４０を備えることにより、波長６００〜７００ｎｍで反射率がほぼ０．１からほぼ１まで急峻に変化する反射特性を有し、可視光領域の反射率は、０〜０．１と非常に低く、赤外光領域は反射率が広い範囲で１に近いフィラメントが得られていることが確認できる。よって、赤外光領域の放射率（２５００Ｋ）を小さく抑制でき、上述したような高い可視光光束効率１０３．２ｌｍ／Ｗが得られることが分かる。
【００６５】
＜白熱電球の具体的な実施形態＞
上記実施形態フィラメントを用いた白熱電球について説明する。
【００６６】
図９に、本実施形態のフィラメントを用いた白熱電球の切り欠き断面図を示す。白熱電球１は、透光性気密容器２と、透光性気密容器２の内部に配置されたフィラメント３と、フィラメント３の両端に電気的に接続されると共にフィラメント３を支持する一対のリード線４、５とを備えて構成される。透光性気密容器２は、例えばガラスバルブにより構成される。透光性気密容器２の内部は、１０−１〜１０−６Ｐａの高真空状態となっている。なお、透光性気密容器２の内部に１０５〜１０−１ＰａのＯ２、Ｈ２、ハロゲンガス、不活性ガス、並びにこれらの混合ガスを導入することによって、従来のハロゲンランプと同様に、フィラメント上に成膜された可視光反射防止膜の昇華並びに劣化を抑制し、寿命の延伸効果を期待することが可能となる。
【００６７】
透光性気密容器２の封止部には、口金９が接合されている。口金９は、側面電極６と、中心電極７と、側面電極６と中心電極７とを絶縁する絶縁部８とを備える。リード線４の端部は、側面電極６に電気的に接続され、リード線５の端部は、中心電極７に電気的に接続されている。
【００６８】
フィラメント３は、ここでは、線材形状のフィラメントをらせん状に巻き回した構造である。
【００６９】
フィラメント３は、基体上に、赤外反射膜２０、可視光吸収膜３０、可視光反射防止膜４０を備えているため、赤外波長領域の反射率が高く、可視光領域の反射率が低い。この構成により、高い可視光光束効率（光束効率）を実現できる。よって、本発明では、フィラメントの表面に可視光反射防止膜を備えるという簡単な構成で、赤外域の放射を抑制することができ、結果的に入力電力に対する可視光の可視光変換効率を高めることができる。これにより、安価で効率のよい省エネ型照明用電球を提供することができる。
【００７０】
なお、上述の実施形態では、機械研磨加工によりフィラメント表面の反射率を向上させたが、機械研磨加工に限らず、フィラメント表面の反射率を向上させることができれば他の方法を用いることももちろん可能である。例えば、湿式や乾式のエッチングや、線引き時や鍛造や圧延時に滑らかな型に接触させる方法等を採用できる。
【００７１】
上述の実施形態では、本発明のフィラメントを白熱電球のフィラメントとして用いることを説明したが、白熱電球以外に用いることも可能である。例えば、ヒーター用電線、溶接加工用電線、熱電子放出電子源（Ｘ線管や電子顕微鏡等）等として採用することができる。この場合も、赤外光放射の抑制作用により、少量の入力電力で、効率よく高温にフィラメントを加熱することができるため、エネルギー効率を向上させることができる。
【符号の説明】
【００７２】
１…白熱電球、２…透光性気密容器、３…フィラメント、４…リード線、５…リード線、６…側面電極、７…中心電極、８…絶縁部、９…口金
【図１】
2013134875.tif 000006
【図２】
2013134875.tif 000007
【図３】
2013134875.tif 000008
【図６】
2013134875.tif 000009
【図７】
2013134875.tif 000010
【図９】
2013134875.tif 000011
【図４】
2013134875.tif 000012
【図５】
2013134875.tif 000013
【図８】
2013134875.tif 000014