(57)【要約】      （修正有）【課題】検査結果に基づいた識別情報をマーキング対象物にマーキングするマーキングシステム、及び、それを用いたマーキング方法を提供する。【解決手段】インクジェット法によりＩＣウェハーにマーキングを行う液滴吐出装置１００と、ＩＣウェハーの各ＩＣチップの配置座標情報、ＩＣウェハーの全ＩＣチップに共通して施す共通画像情報、及び、検査結果に基づいて特定のＩＣチップに施す特記画像情報、を含む品種情報編集ソフト１３５と、検査装置１５０と、検査結果データを格納する検査結果格納部１３７と、各ＩＣチップに共通画像情報と特記画像情報とを割り付けマーキングデータを生成するデータ展開部１６１と、そのマーキングデータに基づいて液滴吐出装置１００を制御するマーキング制御部１４５と、を備えたマーキングシステム１を用いたマーキング方法。【選択図】図１
2013153039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦横複数の行及び列に規則的に配置された複数のマーキング対象物に、該マーキング対象物の検査結果に基づいた識別情報を含む製品情報をマーキングするマーキングシステムであって、
インクジェットヘッドから前記マーキング対象物に液状体を吐出することによってマーキングを行なうマーキング装置と、
前記マーキング対象物の配置座標情報、所定ロットの前記マーキング対象物に共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、前記検査結果に基づいて特定の前記マーキング対象物に施すマーキング画像としての特記画像情報、を含む品種情報編集ソフトと、
前記マーキング対象物の検査を行なう検査装置と、
前記検査装置による前記マーキング対象物の検査結果データを格納する検査結果格納部と、
前記品種情報編集ソフト及び前記検査結果格納部からデータを取得し、複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けマーキングデータを生成するデータ展開部と、
前記マーキングデータに基づいて前記マーキング装置を制御するマーキング制御部と、
を備えたことを特徴とするマーキングシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のマーキングシステムにおいて、
複数の前記特記画像情報を備えたことを特徴とするマーキングシステム。
【請求項３】
縦横複数の行及び列に規則的に配置された複数のマーキング対象物に、該マーキング対象物の検査結果に基づいた識別情報を含む製品情報をマーキングするマーキング方法であって、
インクジェットヘッドから前記マーキング対象物に液状体を吐出することによってマーキングを行なうマーキング装置と、
前記マーキング対象物の配置座標情報、所定ロットの前記マーキング対象物に共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、前記検査結果に基づいて特定の前記マーキング対象物に施すマーキング画像としての特記画像情報、を含む品種情報編集ソフトと、
前記マーキング対象物の検査を行なう検査装置と、
前記検査装置による前記マーキング対象物の検査結果データを格納する検査結果格納部と、
複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けマーキングデータを生成するデータ展開部と、
前記マーキング装置を制御するマーキング制御部と、
を備えたマーキングシステムを用いたマーキング方法において、
前記品種情報編集ソフトに、当該マーキング作業ロットの前記マーキング対象物の配置座標情報、前記共通画像情報、及び前記特記画像情報を組み込む品種情報準備ステップと、
前記検査装置により前記マーキング対象物の検査を行い、検査結果を前記検査結果格納部に格納する検査ステップと、
前記データ展開部において、前記品種情報編集ソフト及び前記検査結果格納部から各種データを取得して複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けてマーキングデータを生成するマーキングデータ生成ステップと、
前記マーキング制御部において、前記マーキングデータに基づいて前記マーキング装置を制御して前記マーキング対象物にマーキングを行うマーキングステップと、
を含むことを特徴とするマーキング方法。
【請求項４】
請求項３に記載のマーキング方法において、
前記特記画像情報を複数備えたことを特徴とするマーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査結果に基づいた識別情報をマーキング対象物にマーキングするマーキングシステム、及び、それを用いたマーキング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、製品に数字や文字や図形などのマーキングパターンを形成することで、製品の名称や型番などの表示や、製品のロット番号や検査結果に基づく良品・不良品などの表示等、製品を識別する識別情報を製品に表示することが行なわれている。
例えば特許文献１に、半導体ウェハーに半導体素子を形成する工程において、半導体ウェハー検査により不良と判定された半導体素子が形成されたチップ領域に不良識別マークをレーザーマーキングすることにより、その半導体素子が不良であることを識別可能とするマーキング方法が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２７２４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のマーキング方法では、不良と判定した半導体素子にのみ不良マーキングを行なう方法であり、良品と判定された半導体素子には何もマーキングしないなど、単一のマーキングのみに対応可能な方法であり、汎用性に欠けるという課題があった。
また、レーザーマーキング装置を用いて形成されるマーキングは、半導体素子の薄型化に伴い、マーキングにより半導体素子内の半導体装置にダメージを与える虞があり、それを避けるために半導体素子の半導体装置を避けた領域にマーキングを行なう必要があるなどの制約があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係るマーキングシステムは、縦横複数の行及び列に規則的に配置された複数のマーキング対象物に、該マーキング対象物の検査結果に基づいた識別情報を含む製品情報をマーキングするマーキングシステムであって、インクジェットヘッドから前記マーキング対象物に液状体を吐出することによってマーキングを行なうマーキング装置と、前記マーキング対象物の配置座標情報、所定ロットの前記マーキング対象物に共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、前記検査結果に基づいて特定の前記マーキング対象物に施すマーキング画像としての特記画像情報、を含む品種情報編集ソフトと、前記マーキング対象物の検査を行なう検査装置と、前記検査装置による前記マーキング対象物の検査結果データを格納する検査結果格納部と、前記品種情報編集ソフト及び前記検査結果格納部からデータを取得し、複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けマーキングデータを生成するデータ展開部と、前記マーキングデータに基づいて前記マーキング装置を制御するマーキング制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、マトリクス状に配置された複数のマーキング対象物に対して、マーキング対象物の配置座標情報及び検査結果に基づいて、共通画像情報と、検査結果に基づき特定のマーキング対象物に施す特記画像情報とを割り付けて製品情報をマーキングすることができる。したがって、検査で不良判定されたマーキング対象物にのみ不良マーキングを施す従来の方法に比して、多様な製品情報をマーキングすることが可能で汎用性の高いマーキングシステムを提供することができる。
しかも、インクジェット方式によるマーキング装置を用いているので、例えば、半導体素子（ＩＣチップ）にレーザーを用いてマーキングを行う従来のマーキング方法に比して、マーキング対象物へのダメージを軽減しながらマーキングをおこなうことができ、マーキング対象物の薄型化に対しても有利である。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載のマーキングシステムにおいて、複数の前記特記画像情報を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、複数種類の特記画像情報を備えているので、マーキング対象物（製品）に対して、より詳細な製品情報をマーキングすることができる。例えば、マーキング対象物が電子部品である場合、検査装置による電気特性検査で計測された電気特性値のランク付けを行って各ランクに符号を付し、その複数のランク符号を複数の特記画像情報に割り付けることにより、マーキング対象物としての電子部品の型番などの製品共通情報とともに、個々の電子部品の電気特性のランクをマーキングすることができる。
【００１０】
［適用例３］本適用例のマーキング方法は、縦横複数の行及び列に規則的に配置された複数のマーキング対象物に、該マーキング対象物の検査結果に基づいた識別情報を含む製品情報をマーキングするマーキング方法であって、インクジェットヘッドから前記マーキング対象物に液状体を吐出することによってマーキングを行なうマーキング装置と、前記マーキング対象物の配置座標情報、所定ロットの前記マーキング対象物に共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、前記検査結果に基づいて特定の前記マーキング対象物に施すマーキング画像としての特記画像情報、を含む品種情報編集ソフトと、前記マーキング対象物の検査を行なう検査装置と、前記検査装置による前記マーキング対象物の検査結果データを格納する検査結果格納部と、複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けマーキングデータを生成するデータ展開部と、前記マーキング装置を制御するマーキング制御部と、を備えたマーキングシステムを用いたマーキング方法において、前記品種情報編集ソフトに、当該マーキング作業ロットの前記マーキング対象物の配置座標情報、前記共通画像情報、及び前記特記画像情報を組み込む品種情報準備ステップと、前記検査装置により前記マーキング対象物の検査を行い、検査結果を前記検査結果格納部に格納する検査ステップと、前記データ展開部において、前記品種情報編集ソフト及び前記検査結果格納部から各種データを取得して複数の前記マーキング対象物のそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けてマーキングデータを生成するマーキングデータ生成ステップと、前記マーキング制御部において、前記マーキングデータに基づいて前記マーキング装置を制御して前記マーキング対象物にマーキングを行うマーキングステップと、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本適用例によれば、マトリクス状に配置された複数のマーキング対象物に対して、マーキング対象物の配置座標情報及び検査結果に基づいて、共通画像情報と、検査結果に基づき特定のマーキング対象物に施す特記画像情報とを割り付けて製品情報をマーキングすることができるので、従来の方法に比して、多様な製品情報をマーキングすることが可能で汎用性の高いマーキングが実現できる。
また、インクジェット方式によるマーキング装置を用いているので、マーキング対象物へのダメージを抑えてマーキングすることができ、マーキング対象物の薄型化に対しても有利である。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載のマーキング方法において、前記特記画像情報を複数備えたことを特徴とする。
【００１３】
本適用例によれば、例えば、検査装置による電気特性検査で計測された電気特性値のランクに応じたランク符号を複数の特記画像情報に割り付けて、マーキング対象物としての電子部品の型番などの製品共通情報とともに、個別の電子部品の電気特性のランクをマーキングすることができるなど、マーキング対象物により詳細な製品情報をマーキングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態のマーキングシステムの概略構成を示すブロック図。
【図２】マーキング装置としての液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図３】第１実施形態における液滴吐出装置のキャリッジを図２中のＡ視方向に見たときの正面図。
【図４】第１実施形態における液滴吐出装置の吐出ヘッドの底面図。
【図５】図３中のＢ−Ｂ線における断面図。
【図６】第１実施形態のマーキング方法によるマーキング例を示すものであり、（ａ）は、ＩＣウェハーの平面図、（ｂ）は、共通画像情報の一例を示す図、（ｃ）は、特記画像情報の一例を示す図。
【図７】第１実施形態のマーキング方法を示すフローチャート。
【図８】第２実施形態のマーキング方法によるマーキング例を示すものであり、（ａ）は、ＩＣウェハーの平面図、（ｂ）は、共通画像情報の一例を示す図、（ｃ）は、第１特記画像情報の一例を示す図、（ｄ）は、第２特記画像情報の一例を示す図、（ｅ）は、第３特記画像情報の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、マーキングシステム、及び、それを用いたマーキング方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、半導体ウェハーに半導体素子を形成する工程におけるＩＣマーキングシステム、及び、ＩＣマーキング方法について説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材や各部の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１６】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態のマーキングシステムの概略構成を示すブロック図である。
図１において、マーキングシステム１は、マーキング対象物としてのＩＣウェハーに対して、吐出ヘッド（インクジェットヘッド）３３からインクジェット法により液状体を吐出することによってマーキングを行うマーキング装置としての液滴吐出装置１００と、ＩＣウェハーの特性検査を行う検査装置１５０と、液滴吐出装置１００及び検査装置を制御する制御部１１１と、を備えている。
〔液滴吐出装置〕
以下、マーキングシステム１の各部の構成について詳細に説明する。まず、本実施形態のマーキングシステム１におけるマーキング装置としての液滴吐出装置について図面を参照して説明する。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。また図３は、本実施形態におけるキャリッジを図２中のＡ視方向に見たときの正面図である。また図４は本実施形態における吐出ヘッドの底面図である。また図５は図３中のＢ−Ｂ線における断面図である。
【００１７】
図２において、本実施形態で使用する液滴吐出装置１００は、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置１１と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３と、２個の紫外線照射装置１５と、が設けられている。
液滴吐出装置１００では、ヘッドユニット１３とマーキング対象物としてのＩＣウェハーＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ＩＣウェハーＷに液状体で所望のマーキング（描画）を行うことができる。なお、図中のＹ方向はＩＣウェハーＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。
【００１８】
ワーク搬送装置３は、ベース２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
ベース２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されていることが好ましく、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、ベース２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
【００１９】
ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んでベース２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、ベース２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ＩＣウェハーＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、ベース２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、ベース２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
【００２０】
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたＩＣウェハーＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。
【００２１】
ヘッドユニット１３は、キャリッジ７を図２中のＡ視方向に見たときの正面図である図３に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図４に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図４では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する４本のノズル列３９を構成している。４本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。
以下において、４本のノズル列３９のそれぞれが識別される場合に、ノズル列３９ａ、ノズル列３９ｂ、ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３において、ノズル列３９ａとノズル列３９ｂとは、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。ノズル列３９ｃ及びノズル列３９ｄも、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
【００２２】
本実施形態では、紫外線硬化型の液状体によりマーキングを行なう一例について説明する。液滴吐出装置１００は、ＩＣウェハーＷに吐出して着弾させた液状体に紫外線を照射する紫外線照射装置１５を備えている。
２個の紫外線照射装置１５は、図３に示すように、それぞれ、Ｘ方向にヘッドユニット１３を挟んで互いに対峙する位置に設けられている。以下において、２個の紫外線照射装置１５のそれぞれを識別する場合に、紫外線照射装置１５ａ及び紫外線照射装置１５ｂという表記が用いられる。
紫外線照射装置１５ａ及び紫外線照射装置１５ｂは、それぞれ、紫外光４１を発する光源４３を有している。光源４３からの紫外光４１は、吐出ヘッド３３から吐出された液状体としての機能液５３の硬化を促進させる。機能液５３は、紫外光４１の照射を受けると、硬化が促進する。
光源４３としては、例えば、ＬＥＤ、ＬＤ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源４３が採用され得る。
なお、本実施形態では、光源４３のＹ方向における長さは、吐出ヘッド３３のノズル列３９を網羅する長さに設定されている。
なお、紫外線照射装置１５ａの光源４３と、紫外線照射装置１５ｂの光源４３とは、それぞれ、吐出ヘッド３３のノズル面３５がＸ方向に沿って描く軌跡に、平面視で重なっている。
【００２３】
吐出ヘッド３３は、図３中のＢ−Ｂ線における断面図である図５に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３が供給される。
【００２４】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小させる。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。
【００２５】
上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図３に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図３に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ＩＣウェハーＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００２６】
上述したように、本実施形態では、機能液５３として、紫外光４１の照射を受けることによって硬化が促進する機能液５３が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。
【００２７】
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００２８】
キャリッジ搬送装置１１は、図２に示すように、架台１０１と、ガイドレール１０３と、を有している。
架台１０１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３をＸ方向にまたいでいる。架台１０１は、ワークテーブル２５のベース２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３に対向している。架台１０１は、一対の支柱１０７によって支持されている。一対の支柱１０７は、ベース２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱１０７のそれぞれを識別する場合に、支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂという表記が用いられる。支柱１０７ａ及び支柱１０７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台１０１とワークテーブル２５との間には、隙間が保たれている。
【００２９】
ガイドレール１０３は、架台１０１のベース２１側に設けられている。ガイドレール１０３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台１０１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール１０３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール１０３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール１０３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。
【００３０】
キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、図示しないキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール１０３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置１１は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
上記の構成を有する液滴吐出装置１００では、吐出ヘッド３３をＩＣウェハーＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とＩＣウェハーＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ＩＣウェハーＷへのマーキング（描画）が行われる。
【００３１】
〔制御部〕
次に、マーキングシステム１において、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１について説明する。
図１に示すように、制御部１１１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、データ展開部１６１とを有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、マーキングシステム１は、液滴吐出装置１００に備わるキャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１、及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００３２】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。
なお、インクジェットヘッド３３及び紫外線照射装置１５は、それぞれ、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００３３】
また、マーキングシステム１において、検査装置１５０も、入出力インターフェイス１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。検査装置１５０は、例えば、公知のプローブカードを用いた半導体検査装置であって、ＩＣウェハーＷの各ＩＣチップの電気的特性を検査するものである。
【００３４】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。
駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。
メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）や、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などを含んでいる。メモリー部１１７には、マーキングシステム１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフトや品種情報編集ソフト１３５を記憶する領域や、検査装置１５０によるマーキング対象物の検査結果を格納する検査結果格納部１３７を含む。
【００３５】
また、品種情報編集ソフト１３５には、ＩＣウェハーＷに形成された個々のＩＣチップの配置座標情報や、所定ロットのＩＣウェハーに共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、ＩＣウェハーの検査結果に基づいて特定のＩＣチップに施すマーキング画像としての特記画像情報が含まれる。
ここで、共通画像情報は、例えば、ＩＣチップの型番や品名、仕様などである。
また、特記画像情報は、例えば、検査結果で不良となった場合に印字する不良マークや、その他の検査結果を符号化した画像情報を指す。
【００３６】
また、データ展開部１６１は、各種のデータを一時的に展開する領域である。データ展開部１６１に展開されるデータとしては、例えば、前記共通画像情報や前記特記画像情報に基づいて描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。データ展開部は、品種情報編集ソフト１３５、及び、検査結果格納部１３７からデータを取得し、検査装置１５０により検査したＩＣウェハーＷの各ＩＣチップのそれぞれに前記共通画像情報と前記特記画像情報とを割り付けてマーキングデータを生成する。
液滴吐出装置１００は、データ展開部１６１で生成されたマーキングデータに基づいて、マーキング制御部１４５により制御されてＩＣウェハーＷにマーキングを実行する。
【００３７】
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、マーキング制御部１４５と、照射制御部１４７と、検査装置制御部１５１と、を有している。
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動とを、個別に制御する。
マーキング制御部１４５は、データ展開部１６１で生成されたマーキングデータを含むＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、吐出ヘッド３３の駆動を制御する。
照射制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、紫外線照射装置１５の発光状態を制御する。
【００３８】
〔マーキング方法〕
次に、上記マーキングシステム１を用いたＩＣマーキング方法について説明する。図６は、第１実施形態のマーキング方法によるマーキング例を示すものであり、（ａ）は、ＩＣウェハーＷの平面図、（ｂ）は、共通画像情報の一例を示す図、（ｃ）は、特記画像情報の一例を示す図である。また、図７は、本実施形態のマーキング方法を示すフローチャートである。
【００３９】
本実施形態のＩＣマーキング方法では、まず、図７のステップＳ２−１に示すように、制御部１１１のメモリー部１１７に含む品種情報編集ソフト１３５に、ＩＣウェハーＷの各種品種情報を準備する。ここで、各種品種情報には、ＩＣウェハーＷに形成された個々のＩＣチップの配置座標情報や、ＩＣウェハーに共通して施すマーキング画像としての共通画像情報、及び、ＩＣウェハーの検査結果に基づいて特定のＩＣチップに施すマーキング画像としての特記画像情報を含む。本実施形態における共通画像情報、及び、特記画像情報を図６に示す。図６（ｂ）は、本実施形態の共通画像情報「ＡＢＣ１２３」であり、例えばＩＣチップの型番（品名）である。また、図６（ｃ）は、後述する検査ステップにおいて不良と判定されたＩＣチップにマーキングする不良マークの一例である。
【００４０】
次に、ステップＳ３−１に示すように、プローブカードなどを用いた検査装置１５０によりＩＣウェハーの電気特性の検査を行う。ＩＣウェハーＷの各ＩＣチップの各配置座標ごとの検査結果は、メモリー部１１７の検査結果格納部１３７に格納される（ステップＳ３−２）。
【００４１】
これより、ステップＳ３−１のＩＣウェハーＷの検査結果に基づいた識別情報を含む製品情報をマーキングする。
まず、ステップＳ１−１に示すように、データ展開部１６１において、品種情報編集ソフト１３５から共通画像情報と特記画像情報とを取得し、さらに検査結果格納部１３７から取得したＩＣウェハーの検査結果データに基づいて、該当する配置座標のＩＣチップに共通画像情報と特記画像情報とを割り付ける。
そして、ステップＳ１−２に示すように、マーキングステップにてＩＣウェハーにマーキングするときの描画処理等のプログラムデータに展開するマーキングデータ生成を行う。
【００４２】
次に、ステップＳ１−３に示すように、マーキング制御部１４５において、ステップＳ１−２で生成したマーキングデータに基づいて液滴吐出装置１００を制御してＩＣウェハーＷにマーキングを行う。
図６（ａ）は、本実施形態のマーキング方法によりマーキング処理を施したＩＣウェハーＷの一例を示す平面図である。ＩＣウェハーＷの全てのＩＣチップＷ１には、共通画像情報としての「ＡＢＣ１２３」がマーキングされ、図７のステップＳ３−１の検査ステップで不良と判定された３つのＩＣチップＷ１には不良マーク（図６（ｃ））がマーキングされている。
以上述べたステップを踏んで、一連のＩＣマーキング工程を終了する。
【００４３】
上記第１実施形態のマーキングシステム１を用いたマーキング方法によれば、複数のＩＣチップＷ１がマトリクス状に配置されたＩＣウェハーＷに対して、各ＩＣチップＷ１の配置座標情報及び検査結果に基づいて、共通画像情報と、検査結果に基づき特定のＩＣチップＷ１（本実施形態では不良判定されたＩＣチップＷ１）に施す特記画像情報（不良マーク）とを割り付けて製品情報をマーキングすることができる。したがって、検査で不良判定されたマーキング対象物にのみ不良マーキングを施す従来の方法に比して、多様な製品情報をマーキングすることが可能で汎用性の高いマーキングシステム１、及び、それを用いたマーキング方法を提供することができる。
【００４４】
また、上記実施形態のマーキングシステム１では、マーキング装置としてインクジェット方式による液滴吐出装置１００を用いているので、従来のレーザーを用いたＩＣマーキング装置よりもＩＣウェハーへのダメージを軽減しながらマーキングをおこなうことがでる。これにより、近年、ますます進んでいるＩＣチップの薄型化（小型化）に対しても有利なマーキングシステムを実現することができる。
【００４５】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、特記画像情報が不良マークひとつだけのマーキング方法について説明した。これに限らず、特記画像情報を複数設定することによって、よりバリエーションの豊富なマーキングを行うことが可能になる。
図８は、第２実施形態のマーキング方法によるマーキング例を示すものであり、（ａ）は、ＩＣウェハーの平面図、（ｂ）は、共通画像情報の一例を示す図、（ｃ）は、第１特記画像情報の一例を示す図、（ｄ）は、第２特記画像情報の一例を示す図、（ｅ）は、第３特記画像情報の一例を示す図である。
なお、上記第１実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００４６】
第２実施形態のマーキング方法の工程は、図７に示す上記第１実施形態のフローチャートと同一である。第２実施形態のマーキング方法で第１実施形態と異なるのは、図７のステップＳ２−１の品種情報準備ステップにおいて、制御部１１１のメモリー部１１７に含む品種情報編集ソフト１３５に準備するＩＣウェハーＷの各種品種情報として、ＩＣウェハーの検査結果に基づいて特定のＩＣチップに施すマーキング画像としての特記画像情報を複数含む点である。本実施形態では、図８（ｂ）に示す共通画像情報「ＡＢＣ１２３」と、図８（ｃ）に示す第１特記画像情報（第１実施形態で「特記画像情報」）は上記第１実施形態と同一であるが、さらに、特記画像情報として、第２特記画像情報「Ｌ−１」と、第３特記画像情報「Ｌ−２」とを含んでいる。
【００４７】
第２実施形態では、第１実施形態と同様に、図８（ｃ）の第１特記画像情報は、検査ステップにおいて不良と判定されたＩＣチップＷ１に対してマーキングを施す不良マークとして割り付ける。図８（ｄ）及び（ｅ）の第２特記画像情報及び第３特記画像情報は、例えば、検査工程において、計測された電気特性値の代表的な二つの範囲を「Ｌ−１」及び「Ｌ−２」と定義して、品種情報の一つとして用いることができる。
図８（ａ）は、第２実施形態のマーキング方法によりマーキング処理を施したＩＣウェハーＷの一例を示す平面図である。ＩＣウェハーＷの全てのＩＣチップＷ１には、共通画像情報としての「ＡＢＣ１２３」がマーキングされ、図７のステップＳ３−１の検査ステップで不良と判定された３つのＩＣチップＷ１には不良マーク（図８（ｃ））がマーキングされ、さらに、検査ステップで計測された電気特性値の範囲によりランク付けされた「Ｌ−１（図８（ｄ））」と「Ｌ−２（図８−（ｅ））」とに該当するＩＣチップＷ１に、それぞれ「Ｌ−１」または「Ｌ−２」のマーキングが施されている。
【００４８】
上記第２実施形態のマーキング方法によれば、検査装置１５０による電気特性検査で計測された電気特性値のランクに応じたランク符号Ｌ−１及びＬ−２を、ＩＣウェハーＷの製品共通情報「ＡＢＣ１２３」及び第１特記画像情報とともにマーキングすることができるので、マーキング対象物としてのＩＣウェハーＷに対してより詳細な製品情報をマーキングすることができる。
【００４９】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態およびその変形例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００５０】
例えば、上記実施形態では、マーキング対象物としてＩＣウェハーＷを用いた例を説明した。これに限らず、マーキング対象物としては、縦横複数の行及び列に規則的に配置されたものであれば本発明の効果を得ることができる。例えば、サブストレートにマトリクス状に配置された電子部品のマーキング方法としても、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１…マーキングシステム、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、１１…キャリッジ搬送装置、１３…ヘッドユニット、１５，１５ａ，１５ｂ…紫外線照射装置、２１…ベース、２１ａ…上面、２３ａ，２３ｂ…ガイドレール、２５…ワークテーブル、２５ａ…載置面、３１…ヘッドプレート、３３…吐出ヘッド（インクジェットヘッド）、３５…ノズル面、３７…ノズル、３９，３９ａ〜３９ｄ…ノズル列、４１…紫外光、４３…光源、４７…キャビティープレート、４８…振動板、４９…圧電素子、５１…キャビティー、５３…液状体としての機能液、５５…液滴、１００…液滴吐出装置、１０１…架台、１０３…ガイドレール、１０７ａ，１０７ｂ…支柱、１１１…制御部、１１３…ＣＰＵ、１１５…駆動制御部、１１７…メモリー部、１１９…バス、１２１…キャリッジ搬送モーター、１２３…ワーク搬送モーター、１２９…入力装置、１３１…表示装置、１３３…入出力インターフェイス、１３５…品種情報編集ソフト、１３７…検査結果格納部、１４１…モーター制御部、１４５…マーキング制御部、１４７…照射制御部、１５０…検査装置、１５１…検査装置制御部、１６１…データ展開部、Ｗ…マーキング対象物としてのＩＣウェハー、Ｗ１…マーキング対象物としてＩＣチップ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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