(57)【要約】【課題】簡易な構造で効率よく被検査物のリーク検査を行うことができるリーク検査装置及びリーク検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】リーク検査装置は、内部空間を有し該内部空間を加圧するための加圧室１０と、加圧室１０の内部空間に配置され、内部に存在する複数の被検査物のうち予め定められた検査数量分の被検査物を外部に搬出するパーツフィーダー１０８と、加圧室１０の下方に設けられ複数のロータリーポット２２が配置されたロータリーテーブル２１と、加圧室１０に隣接して設けられ自室内の気圧を調整しつつ加圧室１０との連通及び遮断を繰り返すことにより加圧室１０内の気圧を一定に保った状態で、パーツフィーダー１０８内から搬出された検査数量分の被検査物を複数のロータリーポット２２各々に順次供給するための予備室２０と、複数のロータリーポット２２内の被検査物について順次リーク検査を行う測定部３とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧室と、
前記加圧室内と内通している予備室と、
前記加圧室内と予備室内とを仕切るシャッターと、
リーク検査を行う測定部と、
を備え、
前記加圧室は、前記加圧室内から被検査物を予備室に搬出するためのパーツフィーダーを備え、前記加圧室内を加圧する手段が接続されており、
前記予備室は、前記被検査物が予備室外に搬出される搬出口を備え、前記予備室内を加圧する手段が接続されていることを特徴とするリーク検査装置。
【請求項２】
前記予備室の搬出口の下方に配置され、複数の容器を有しているインデックステーブルを備えていることを特徴とする請求項１に記載のリーク検査装置。
【請求項３】
前記測定部には被検査物を収容する測定容器を有し、
前記容器から前記測定容器との間にエアーシューターを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のリーク検査装置。
【請求項４】
前記容器の底面に貫通孔を備えていることを特徴とする請求項３に記載のリーク検査装置。
【請求項５】
前記加圧室は、被検査物を前記パーツフィーダーに供給するための供給口を有し、前記供給口は前記パーツフィーダーのボウル部と対向する位置にあることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のリーク検査装置。
【請求項６】
加圧室内に配置されたパーツフィーダー内に被検査物を供給する工程と、
前記加圧室にガスを供給して前記被検査物を加圧する工程と、
前記加圧室と内通して前記加圧室と略同気圧である予備室に、前記パーツフィーダー内の前記被検査物のうち一部の被検査物を搬出する工程と、
前記予備室と前記加圧室との内通を遮断して、前記予備室内を減圧する工程と、
前記予備室から搬出した前記被検査物について前記ガスの検出を行う工程と、
を含むことを特徴とするリーク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リーク検査装置及びリーク検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高密封性が要求される圧電デバイス等の電子部品、自動車部品（燃料系、油圧系）、カーエアコン部品、空調部品等のワーク（被検査物）を良否判定する手段として、トレーサガスとしてヘリウムガスを用いたリーク検査が存在する。このリーク検査では、被検査物をリークの測定器にセットする前に、予備処理が実施される。具体的には、複数の被検査物を加圧タンクに入れ、当該加圧タンク内を真空吸引した後、容器内にへリウムガスを注入して、被検査物をヘリウムガス雰囲気下で加圧する。被検査物に微細な傷があると、この傷から被検査物にヘリウムガスが入り込む。所定時間加圧した後に、被検査物を加圧タンクから取り出し、所定時間大気開放する。当該被検査物を測定器にセットして、ヘリウムリークの測定を行う。
【０００３】
ヘリウムリークの測定器にはカプセルが設けられており、このカプセルに被検査物を入れて、カプセル内を真空吸引する。これにより、被検査物内のヘリウムガスが被検査物外に排出されて、測定器が当該ヘリウムガスを検出する。これにより、微細な傷がある被検査物を検出することができ、不良品として排除することができる。
【０００４】
上記の予備処理や被検査物の測定器へのセットは、作業員が手作業で行っており、作業効率が悪いという問題があった。このような問題を解決するために、特許文献１に記載されているヘリウムリーク検査装置では、被検査物をヘリウム環境下で加圧するための容器として、インデックステーブル上に配置された複数の各容器を用いている。すなわち、１回の検査単位に複数の被検査物を小分けして各容器に入れ、上下蓋で当該容器内を密閉し、ヘリウムガスで加圧する。容器が小さくなることで、真空引き時間を短縮することができ、また、容器毎に密閉していることで、ヘリウム封入後のヘリウムガスの漏れを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−７４５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載されているヘリウムリーク検査装置では、容器毎に上下蓋の開閉を行うためのシリンダー機構が必要であり、さらにこのシリンダー機構をインデックステーブルと同期して回転させる必要があるため、装置外形寸法が大きくなるとともに、装置コストが大きい。また、容器毎に真空引き、ヘリウムガス注入、大気開放を行う必要があるため、ヘリウムガスの使用量が増加するとともに、作業時間がかかる。
【０００７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、簡易な構造で効率よく被検査物のリーク検査を行うことができるリーク検査装置及びリーク検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
また、装置外形寸法を小さくし、装置コストを小さくすることができるリーク検査装置及びリーク検査方法を提供することを目的とする。
また、リーク検査に使用するガスの使用量を削減することができるリーク検査装置及びリーク検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］加圧室と、前記加圧室内と内通している予備室と、前記加圧室内と予備室内とを仕切るシャッターと、リーク検査を行う測定部と、を備え、前記加圧室は、前記加圧室内から被検査物を予備室に搬出するためのパーツフィーダーを備え、前記加圧室内を加圧する手段が接続されており、前記予備室は、前記被検査物が予備室外に搬出される搬出口を備え、前記予備室内を加圧する手段が接続されていることを特徴とするリーク検査装置。
本発明によれば、前記加圧室は、前記加圧室内から被検査物を予備室に搬出するためのパーツフィーダーを備え、前記加圧室内を加圧する手段が接続されており、前記予備室は、前記被検査物が予備室外に搬出される搬出口を備え、前記予備室内を加圧する手段が接続されているため、加圧室内の気圧を一定に保った状態で、加圧室内のパーツフィーダー内の被検査物を予備室の排出口から予備室外に搬出し、該搬出した被検査物のリーク検査を行うことができる。したがって、複数の加圧容器毎に上下蓋や当該上下蓋の開閉を行うためのシリンダー機構を設けなくても、簡易な構造で効率よくリーク検査を行うことができ、装置外形寸法を小さくし、装置コストを小さくすることができる。
【００１０】
［適用例２］前記予備室の搬出口の下方に配置され、複数の容器を有しているインデックステーブルを備えていることを特徴とする適用例１に記載のリーク検査装置。
本発明によれば、パーツフィーダーから予備室の搬出口を介して搬出された被検査物をインデックステーブルの各容器内に供給して、容器内で被検査物の大気放置をすることで、被検査物表面のガスを除去することができる。
【００１１】
［適用例３］前記測定部には被検査物を収容する測定容器を有し、前記容器から前記測定容器との間にエアーシューターを備えていることを特徴とする適用例１または２に記載のリーク検査装置。
本発明によれば、容器内の被検査物を、エアーシューターを介して測定容器に供給することができる。
【００１２】
［適用例４］前記容器の底面に貫通孔を備えていることを特徴とする適用例３に記載のリーク検査装置。
本発明によれば、容器の下方から空気を吹き付けることで、空気が容器の貫通孔を通って容器内からエアーシューターへと流れるため、容器内の被検査物をエアーシューターを介して測定部まで搬送することができる。
【００１３】
［適用例５］前記加圧室は、被検査物を前記パーツフィーダーに供給するための供給口を有し、前記供給口は前記パーツフィーダーのボウル部と対向する位置にあることを特徴とする適用例１乃至４の何れか１例に記載のリーク検査装置。
本発明によれば、加圧室の供給口からパーツフィーダーのボウル部内に被検査物を容易に供給することができる。
【００１４】
［適用例６］加圧室内に配置されたパーツフィーダー内に被検査物を供給する工程と、前記加圧室にガスを供給して前記被検査物を加圧する工程と、前記加圧室と内通して前記加圧室と略同気圧である予備室に、前記パーツフィーダー内の前記被検査物のうち一部の被検査物を搬出する工程と、前記予備室と前記加圧室との内通を遮断して、前記予備室内を減圧する工程と、前記予備室から搬出した前記被検査物について前記ガスの検出を行う工程と、を含むことを特徴とするリーク検査方法。
本発明によれば、加圧室内の気圧を一定に保った状態で、加圧室内に配置されたパーツフィーダー内の被検査物の一部を予備室を介して該予備室から搬出し、該搬出した前記被検査物についてガスの検出を行うことができるため、複数の加圧容器毎に上下蓋や当該上下蓋の開閉を行うためのシリンダー機構を設けなくても、簡易な構造で効率よくリーク検査を行うことができ、装置外形寸法を小さくし、装置コストを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の本実施形態に係るリーク検査装置の模式的側面図である。
【図２】同実施形態に係るリーク検査装置の模式的平面図である。
【図３】（ａ）は弁機構の弁板が閉じた状態、（ｂ）は弁機構の弁板が開いた状態を示す図である。
【図４】同実施形態に係るリーク検査装置を用いたリーク検査方法の手順について説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の本実施形態に係るリーク検査装置の模式的側面図、図２は本実施形態に係るリーク検査装置の模式的平面図である。
リーク検査装置は、加圧部１と、大気放置部２と、測定部３と、を備えている。
【００１７】
加圧部１は、加圧室１０と予備室２０を備えている。加圧室１０は、ヘリウムガス等のトレースガスを充填するための内部空間を備えている。加圧室１０の側面には、加圧室１０内を加圧する手段として、加圧室１０内にヘリウムを注入するためのヘリウム注入通路１０１と、空気を注入するための空気注入通路１０２と、加圧室１０内を真空引きするための吸引通路１０３と、が接続されている。ヘリウム注入通路１０１には、加圧したヘリウムガスを蓄えたヘリウムボンベ（不図示）が接続されている。空気注入通路１０２には、空気を蓄えた空気ボンベ（不図示）が接続されている。吸引通路１０３には真空ポンプ（不図示）が接続されている。
【００１８】
加圧室１０の底部には、開口部１０７が設けられており、当該開口部１０７の下方に隣接して予備室２０が設けられている。加圧室１０と予備室２０とは内通している。
加圧室１０の内部空間にはパーツフィーダー１０８が配置されている。
【００１９】
このパーツフィーダー１０８は、被検査物を収容するボウル部１０８ａを備えている。このボウル部１０８ａには、中央部より螺旋状に外周縁に向かって移送路（不図示）が形成され、移送路の端部には被検査物の排出部１０８ｂが設けられている。また、ボウル部１０８ａの下方には、ボウル部１０８ａに振動を付与する振動部１０８ｃが設けられている。
【００２０】
ボウル部１０８ａの中心部に被検査物が収容された状態で、振動部１０８ｃによりボウル部１０８ａが振動すると、被検査物は移送路に沿って中心部から外周部へ向かって移動し排出部１０８ｂまで搬送され、パーツフィーダー１０８の外部に排出される。
【００２１】
排出部１０８ｂにはセンサー（不図示）が設けられている。センサーは排出部１０８ｂを通過した被検査物の個数をカウントする。パーツフィーダー１０８は、コントローラ（不図示）から動作開始指令を受信すると、ボウル部１０８ａの振動を開始し、センサーが予め定められた検査数量分だけ被検査物をカウントすると、振動を停止する。
【００２２】
パーツフィーダー１０８と開口部１０７との間には、パーツフィーダー１０８から排出された被検査物を開口部１０７まで落下させるパイプ１０９が設けられている。
加圧室１０内の底面上には、加圧室１０内と予備室２０内とを仕切るシャッター装置（「シャッター」に対応）１１０が設けられている。シャッター装置１１０をコントローラ（不図示）により開閉制御することにより、開口部１０７が開閉され、加圧室１０と予備室２０との内通及び遮断が行われる。
【００２３】
加圧室１０の上面には、被検査物をパーツフィーダー１０８に供給するための供給口１１１と、供給口１１１を開閉するシャッター装置１１２が設けられている。供給口１１１は、パーツフィーダー１０８のボウル部１０８ａと対向する位置にある。シャッター装置１１２は、水平移動するシャッター部１１２ａと、シャッター部１１２ａを上下動させる上下動アクチュエータ１１２ｂと、を備えている。シャッター装置１１２は、コントローラ（不図示）から動作開始指令を受信すると、シャッター部１１２ａを水平方向にスライドさせてシャッター部１１２ａを供給口１１１の上方まで移動させ、上下動アクチュエータ１１２ｂを下方に移動させて供給口１１１を密閉する。
【００２４】
予備室２０は、内部空間を備えている。予備室２０の側面には、予備室２０内を加圧する手段として、加圧室１０内にヘリウムガスを注入するためのヘリウム注入通路２０１と、空気を注入するための空気注入通路２０２と、予備室２０内を真空引きするための吸引通路２０３と、が接続されている。ヘリウム注入通路２０１には、加圧したヘリウムガスを蓄えたヘリウムボンベ（不図示）が接続されている。空気注入通路２０２には、空気を蓄えた空気ボンベ（不図示）が接続されている。吸引通路２０３には真空ポンプ（不図示）が接続されている（以下「気圧調整手段」ともいう）。
【００２５】
予備室２０は、底部に搬出口２０７を有しており、当該搬出口２０７の下方に隣接して、当該搬出口２０７を開閉する弁機構２０８を備えている。
弁機構２０８をコントローラ（不図示）により開閉制御することにより、予備室２０の大気との連通及び遮断が行われる。
【００２６】
弁機構２０８は、図３に示すように、弁板２０８ａと、弁板２０８ａを上下動させる上下動アクチュエータ２０８ｂと、を備えている。図３（ａ）は弁板２０８ａが閉じた状態、図３（ｂ）は弁板２０８ａが開いた状態を示す。
【００２７】
図３（ａ）に示す閉状態では、上下動アクチュエータ２０８ｂが弁板２０８ａを予備室２０の搬出口２０７に下方から押さえつけ、予備室２０からのヘリウムガスのリークを防いでいる。
【００２８】
また、予備室２０からヘリウムガスを排気して大気開放する際には、上下動アクチュエータ２０８ｂが下方に移動させることで、上下動アクチュエータ２０８ｂに連結されている弁板２０８ａも下方に移動し、図３（ｂ）に示す開状態となる。
【００２９】
なお、弁機構２０８は上述したものに限定されることはなく、予備室２０の搬出口２０７を密閉し、搬出口２０７を開放して予備室２０内の被検査物を予備室２０外に搬出することができる機構であれば、どのようなものであってもよい。
【００３０】
上記シャッター装置１１０及び弁機構２０８の開閉を制御しつつ、予備室２０内の気圧を気圧調整手段により調整することにより、加圧室１０内の気圧を一定に保った状態で、パーツフィーダー１０８から搬出された検査数量分の被検査物を大気放置部２の複数のロータリーポット（後述）に順次供給することができる。
【００３１】
加圧部１の下方には、大気放置部２が配置されている。大気放置部２は、ロータリーテーブル（「インデックステーブル」に対応）２１と、当該ロータリーテーブル２１上に配置された複数のロータリーポット（「容器」に対応）２２と、を備えている。
【００３２】
ロータリーテーブル２１は、予備室２０の搬出口２０７の下方に配置されており、モーター２１１と、このモーター２１１から鉛直に延びる回転軸２１２と、この回転軸２１２の周囲に水平に設けられた円盤状の回転台２１３と、を有している。モーター２１１はコントローラ（不図示）からの指令により回転軸２１２を回転させ、当該回転軸２１２に固定された回転台２１３を回転させる。
【００３３】
この回転台２１３の上面周縁部には、複数のロータリーポット２２が等間隔で配置される。ロータリーポット２２が配置される各位置には、鉛直方向に貫通する細い貫通孔２１４が設けられている。
【００３４】
ロータリーポット２２は、軸線を鉛直に向けた筒形状の容器であり、底面には鉛直方向に貫通する貫通孔が設けられている。このロータリーポット２２の貫通孔が回転台２１３の貫通孔２１４と連通するように、ロータリーポット２２の底面が回転台２１３に固定されている。各ロータリーポット２２は、ロータリーテーブル２１の回転により、予備室２０の下方付近に移動するように配置されている。予備室２０下方付近に移動したロータリーポット２２には、漏斗２３等を介して予備室２０から被検査物が投入される。
【００３５】
ロータリーテーブル２１の回転軸２１２を中心として、予備室２０と略対称な位置には、エアーシューター４０の一端が配置されている。当該エアーシューター４０の一端の下方であって、ロータリーテーブル２１の下方には送風機構（不図示）が配置されている。当該送風機構から、この送風機構の上方にあるロータリーポット２２に向けて空気が送出されることにより、ロータリーポット２２内の被検査物がエアーシューター４０を介して測定部３まで搬送される。
【００３６】
測定部３は、検査チャンバー３１と、単軸ロボット３２と、単軸ロボット３２に接続されたロータリーアクチュエータ３３及び測定容器３４と、ＯＫボックス３５と、ＮＧボックス３６と、を備えており、被検査物のリーク検査を行う。
測定容器３４は被検査物を投入するための容器であり、当該測定容器３４にはエアーシューター４０を介してロータリーポット２２から搬送された被検査物が投入される。
【００３７】
単軸ロボット３２は、測定容器３４をその単軸に沿って搬送する。ロータリーアクチュエータ３３は、測定容器３４を回転させ、測定容器３４内の被検査物をＯＫボックス３５又はＮＧボックス３６に収納する。
【００３８】
検査チャンバー３１には、真空ポンプ（不図示）及びヘリウムディテクタ（不図示）が接続されている。検査チャンバー３１は、内部に被検査物を収容し、内部を所定の真空圧にするための容器である。ヘリウムディテクタは、検査チャンバー３１内の被検査物から排出されたヘリウムガスを検出する。
【００３９】
また、本実施形態に係るリーク検査装置は、その他の構成として、電源（不図示）を備えており、電源からの電力はモーター２１１、シャッター装置１１０、１１２、弁機構２０８、単軸ロボット３２、ロータリーアクチュエータ３３、送風機構等に与えられる。また、加圧室１０、予備室２０内の気圧を測定するためのセンサー（不図示）、時間を計測するためのタイマー（不図示）が設けられている。また、加圧室１０内における加圧時間、加圧時の圧力、ロータリーテーブル２１の回転速度、被検査物の検査数量等を設定できる設定ボタン（不図示）を備えている。また、設定ボタンにより設定された値や、予めメモリ（不図示）に記憶されたプログラム（不図示）に従って、リーク検査装置の動作を制御するためのコントローラ（不図示）が設けられている。また、リーク検査装置の動作開始の指示をコントローラに与えるための開始スイッチ（不図示）を備えている。
【００４０】
次に、図４に示すフローチャートを参照して、上記構成のリーク検査装置を用いたリーク検査方法について説明する。
初期状態では、加圧室１０の供給口１１１は開口しており、加圧室１０の開口部１０７はシャッター装置１１０で閉じられており、予備室２０の搬出口２０７は弁機構２０８で閉じられている。
【００４１】
まず、作業者が供給口１１１から複数の被検査物を加圧室１０へ投入する。投入された被検査物は、加圧室１０内に設置されたパーツフィーダー１０８のボウル部１０８ａに収容される（ステップＳ１０１）。
【００４２】
次に、作業者は設定ボタンにより各種設定を行った後、開始スイッチをＯＮする（ステップＳ１０２）。
これにより、コントローラは開始スイッチがＯＮされたことを検知して、以下の制御を行う。まず、シャッター装置１１２のシャーター部１１２ａを横方向にスライドさせて、供給口１１１の上方の位置まで移動させた後、上下動アクチュエータ１１２ｂを下方向に移動させて、供給口１１１を密閉する（ステップＳ１０３）。
【００４３】
次に、加圧室１０内をヘリウムガスにより加圧する。具体的には、吸引通路１０３を介して真空ポンプにより加圧室１０内を真空引きする。その後、ヘリウム注入通路１０１を介して加圧ヘリウム源から加圧室１０内にヘリウムガスを注入する。加圧室１０内の気圧が０．５ＭＰａに到達したら、被検査物を加圧室１０内で予め設定された時間（例えば２時間）だけ放置する（ステップＳ１０４）。この過程で、被検査物に微小な傷があるには、内部にヘリウムガスが入り込む。
【００４４】
設定時間が経過した後に、予備室２０を加圧室１０と同じように加圧する（ステップＳ１０５）。具体的には、吸引通路２０３を介して真空ポンプにより予備室２０内を真空引きした後、ヘリウム注入通路２０１を介して予備室２０内が加圧室１０内と略同気圧になるまで加圧ヘリウム源からヘリウムガスを導入する。
【００４５】
次に、加圧室１０下部のシャッター装置１１０を開き、加圧室１０と予備室２０とを内通させる（ステップＳ１０６）。
次に、パーツフィーダー１０８を動作させて、パーツフィーダー１０８から検査数量分（例えば１００個）の被検査物を予備室２０に供給する（ステップＳ１０７）。具体的には、振動部１０８ｃを振動させて、ボウル部１０８ａを振動させる。これにより、ボウル部１０８ａ内の被検査物は中心部から外周部へ向かって排出部１０８ｂまで移動し、排出部１０８ｂから外部に排出される。排出された被検査物は、パイプ１０９を通って予備室２０に落下する。排出部１０８ｂに設けられたセンサーでカウントされた被検査物が予め設定された検査数量分になった時に、パーツフィーダー１０８の動作を停止させる。
【００４６】
次に、加圧室１０下部のシャッター装置１１０を閉じて、加圧室１０と予備室２０との内通を遮断する（ステップＳ１０８）。
次に、予備室２０内を空気に置換し大気圧にする（ステップＳ１０９）。具体的には、吸引通路２０３を介して真空ポンプにより予備室２０内を真空引きするとともに、空気注入通路２０２を介して予備室２０内に空気を注入する。
【００４７】
予備室２０の下方付近に、被検査物が入っていないロータリーポット２２を配置した状態で、弁機構２０８の上下動アクチュエータ２０８ｂを下方に移動させる。これにより、上下動アクチュエータ２０８ｂと連結されている弁板２０８ａも下方に移動して、予備室２０の搬出口２０７が開く。これにより、予備室２０内の被検査物が落下して、下方にあるロータリーポット２２に漏斗２３を介して被検査物が収納される。
【００４８】
そして、モーター２１１によりロータリーテーブル２１を予め設定した速度で回転させ、回転させている間に、被検査物表面のヘリウムガスを自然除去する（ステップＳ１１１）。
【００４９】
所定時間（例えば３０分）経過後に、ロータリーポット２２がエアーシューター４０の下方まで移動する。この時に、当該ロータリーポット２２の下方から上方に向けて送風機構により空気を吹き付ける。これにより、ロータリーポット２２内の被検査物は、貫通孔２１４を通って吹き付けてきた空気により、エアーシューター４０内を通って測定部３に搬送される（ステップＳ１１２）。
【００５０】
被検査物は、エアーシューター４０の出口に配置されている測定部３の測定容器３４に収納される。単軸ロボット３２は、測定容器３４を検査チャンバー３１内まで運搬し、検査チャンバー３１を密閉する。
【００５１】
次に、真空ポンプを用いて検査チャンバー３１内を真空にし、ヘリウムディテクタを用いて被検査物からリークした検査チャンバー３１内のヘリウムガスの検出を行う（ステップＳ１１３）。
【００５２】
次に、上記ヘリウムディテクタによるリーク検査結果に応じて、単軸ロボット３２は測定容器３４をＯＫボックス３５又はＮＧボックス３６の位置まで移動させる。すなわち、ヘリウムガスが検出されずに良品と判定された場合には、ＯＫボックス３５が設置されている位置まで、ヘリウムガスが検出された場合にはＮＧボックス３６が設置されている位置まで測定容器３４を移動させる。移動後に、ロータリーアクチュエータ３３を動作させて測定容器３４を回転させ、各ボックス３５、３６に被検査物を収納する（ステップＳ１１４）。
【００５３】
上記ステップＳ１０５からステップＳ１１０までのステップをパーツフィーダー１０８に投入した被検査物がなくなるまで行い、ステップＳ１１１からステップＳ１１４までの処理を各ロータリーポット２２内に投入した被検査物のリーク検査が終了するまで行う。
【００５４】
なお、１個のロータリーポット２２を大気放置する時間が３０分程度かかり、加圧室１０内で被検査物を加圧する時間が２時間程度かかる場合には、加圧室１０を４個用意するとよい。これにより、加圧時間を無駄にせずに、ロータリーポット２２内に連続的に被検査物を供給することができ、リーク検査を連続的に行うことができる。
【００５５】
以上説明したように、パーツフィーダー１０８を加圧室１０内に設け、加圧室１０内の気圧を一定に保った状態で、検査数量分の被検査物を加圧室１０内のパーツフィーダー１０８から予備室２０を介してロータリーポット２２に供給し、当該ロータリーポット２２内の被検査物について順次リーク検査を行うため、従来のようにロータリーポット２２毎に加圧を行うために上下蓋やシリンダー機構を設ける必要がなく、簡易な構造で効率よくリーク検査を行うことができる。したがって、リーク検査装置の外形寸法を小さくし、装置コストを小さくすることができる。また、加圧室１０の大きさは、パーツフィーダー１０８を配置可能な大きさとすればよいので、加圧室１０を小型にすることができる。
【００５６】
また、従来のように、ロータリーポット２２毎に、真空引き、ヘリウムガス注入、大気開放を行う必要がないため、ヘリウムガスの使用量を削減することができるとともに、作業時間を短縮することができる。
【００５７】
また、予備室２０の上方にはシャッター装置１１０、下部に弁機構２０８を設けることで、シャッター装置１１０及び弁機構２０８の開閉を調整しながら、予備室２０内を気圧調整機構で調整することができ、加圧室１０内部の気圧を保ったまま、加圧室１０のパーツフィーダー１０８から予備室２０を介して各ロータリーポット２２に被検査物を順次送り出すことができる。このため、加圧室１０内のヘリウムガスを外部に放出することなく、当該ヘリウムガスを再利用することができるため、ヘリウムガスの使用量を削減することができる。
【００５８】
また、被検査物のヘリウムガスによる加圧からリーク検査までを全自動で行うことができ、人の介入の必要な作業は被検査物の加圧室１０への供給とＯＫボックス３５及びＮＧボックス３６からの被検査物の取り出しのみであるため、作業時間や手間を大幅に削減することができる。また、良品、不良品を自動で分類することができるため、人による混入ミスをなくすことができる。
【００５９】
また、加圧部１、大気放置部２、測定部３を隣接させてコンパクトに配置することができるため、設置スペースを小さくすることができる。
なお、供給口１１１も予備室２０と同様に、上部と底部に、シャッター装置１１０（弁機構２０８）と気圧調整手段を設け、加圧室１０内に被検査物を投入する際にも、加圧室１０内の気圧を一定に保つようにしてもよい。
【００６０】
この場合、供給口１１１から加圧室１０内のパーツフィーダー１０８に被検査物を投入する際に、加圧室１０内を大気開放する必要がなく、加圧室１０内の気圧を一定に保った状態で被検査物を投入することができるため、加圧室１０内の大気開放、ヘリウムガスの注入、加圧を繰り返す必要がないので、さらにヘリウムガス使用量の削減、及び作業時間の短縮を行うことが可能となる。
また、上述した実施形態では、トレーサガスとしてヘリウムガスを用いたが、他のガスを用いることもできる。
【符号の説明】
【００６１】
１………加圧部、１０………加圧室、１０１、２０１………ヘリウム注入通路、１０２、２０２………空気注入通路、１０３、２０３………吸引通路、１０７………開口部、１０８………パーツフィーダー、１０８ａ………ボウル部、１０８ｂ………排出部、１０８ｃ………振動部、１０９………パイプ、１１０………シャッター装置、１１１………供給口、１１２………シャッター装置、１１２ａ………シャッター部、１１２ｂ………上下動アクチュエータ、２………大気放置部、２０７………搬出口、２０８………弁機構、２０８ａ………弁板、２０８ｂ………上下動アクチュエータ、２１………ロータリーテーブル、２１１………モーター、２１２………回転軸、２１３………回転台、２１４………貫通孔、２２………ロータリーポット、２３………漏斗、３………測定部、３１………検査チャンバー、３２………単軸ロボット、３３………ロータリーアクチュエータ、３４………測定容器、３５………ＯＫボックス、３６………ＮＧボックス、４０………エアーシューター。
【図４】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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