(57)【要約】【課題】可撓性を有するフィルムを弛みの無い状態で環状のフレーム部材に固着できるようにする。【解決手段】フィルム貼付装置２２は、フィルム１０の、フレーム部材１２に重なる第１フィルム領域１６に設定される複数の着力点１８のそれぞれに、フレーム部材１２の外側に向かう方向への力Ｆを加えるための複数の押圧部材２４と、複数の押圧部材２４のそれぞれに、フィルム１０に向かう方向への荷重Ｌを加えるための荷重部材２６とを備える。押圧部材２４は、荷重部材２６から荷重Ｌを受ける基部２８と、着力点１８に当接して、荷重Ｌにより着力点１８に力Ｆを加える当接部３０とを有する。押圧部材２４は、荷重Ｌの方向に直交する仮想平面への射影において、当接部３０が基部２８よりも外側に位置する姿勢で配置される。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム貼付方法であって、
可撓性を有するフィルムと、剛性を有するフレーム部材と、液状接着剤とを用意するステップと、
前記フィルムと前記フレーム部材との間に前記液状接着剤を介在させて、前記フィルムと前記フレーム部材とを互いに重ね合わせるステップと、
前記フィルムの、前記フレーム部材に重なった第１フィルム領域に設定される複数の当接点に、前記フレーム部材の外側に向かう方向への力を加えて、前記フィルムの、前記フレーム部材の内側に位置する第２フィルム領域の弛みを除去するステップと、
前記第２フィルム領域の前記弛みが除去されている状態で前記液状接着剤を固化させて、前記フィルムの前記第１フィルム領域を前記フレーム部材に固着させるステップと、
を含むフィルム貼付方法。
【請求項２】
前記複数の当接点に均一な前記力を加える、請求項１に記載のフィルム貼付方法。
【請求項３】
前記フレーム部材に重なった前記第１フィルム領域の前記複数の当接点に前記力を加えることにより、第２フィルム領域に張力を生じさせる、請求項１又は２に記載のフィルム貼付方法。
【請求項４】
前記フレーム部材が円形輪郭を有し、前記複数の当接点は、前記第１フィルム領域において、前記フレーム部材の幾何学的中心に相当する中心点に関して互いに等しい中心角をなす複数の位置に設定される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のフィルム貼付方法。
【請求項５】
前記フレーム部材が、非円形輪郭を有するとともに該非円形輪郭を内部に含む最小の仮想円に接する少なくとも１つの張出し縁部を有し、前記複数の当接点の少なくとも１つは、前記第１フィルム領域において、前記フレーム部材の前記張出し縁部に隣接する位置に設定される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のフィルム貼付方法。
【請求項６】
可撓性を有するフィルムを、剛性を有する環状のフレーム部材に、液状接着剤を用いて貼付するためのフィルム貼付装置であって、
前記フィルムの、前記フレーム部材に重なる第１フィルム領域に設定される複数の当接点のそれぞれに、前記フレーム部材の外側に向かう方向への力を加えるための複数の押圧部材と、
前記複数の押圧部材のそれぞれに、前記フィルムに向かう方向への荷重を加えるための荷重部材とを具備し、
前記複数の押圧部材の各々は、前記荷重部材から前記荷重を受ける基部と、前記複数の当接点の１つに当接して、該基部が受けた前記荷重により前記当接点に前記力を加える当接部とを有し、
前記複数の押圧部材は、前記荷重の方向に直交する仮想平面への射影において、それぞれの前記当接部がそれぞれの前記基部よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて環状の形態に配置される、
フィルム貼付装置。
【請求項７】
前記複数の押圧部材は、環状に等間隔に配置される、請求項６に記載のフィルム貼付装置。
【請求項８】
前記複数の押圧部材の各々は、弾性を有する、請求項６又は７に記載のフィルム貼付装置。
【請求項９】
前記複数の押圧部材の各々の前記当接部は、前記フィルムに固定的に係合可能な尖った先端を有する、請求項６〜８のいずれか１項に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１０】
前記複数の押圧部材の各々の前記当接部は、前記フィルムに摩擦力又は粘着力によって固定的に係合可能な素材から形成される、請求項６〜９のいずれか１項に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１１】
前記複数の押圧部材の各々の前記当接部は、前記フィルムに真空を解除可能に適用する吸着構造を有する、請求項６〜８のいずれか１項に記載のフィルム貼付装置。
【請求項１２】
前記荷重部材は、前記複数の押圧部材の前記基部が取り付けられるブロック体である、請求項６〜１１のいずれか１項に記載のフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムをフレーム部材に貼付するためのフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
可撓性を有するフィルムを、フィルムよりも高い剛性を有する環状のフレーム部材に貼付して、フレーム部材によりフィルムを弛みの無い状態に保持する技術は、様々な分野で用いられている。例えば、半導体チップの製造方法において、ウエハの回路形成表面とは反対側の裏面を研削してウエハの厚みを一様に削減した後、薄肉化したウエハを切削（一般にダイシングと称する。）により分断する際に、ダイシングに先立って、フレーム部材を取り付けたフィルムの、フレーム部材内側の領域に、ウエハを固着させて支持することが知られている。
【０００３】
例えば特許文献１には、「支持体上に固定されたシリコンウェハなどの被研削基材を支持体から容易に剥離することを可能にする積層体、このような積層体の製造方法及び製造装置並びに薄肉化された基材の製造方法及び製造装置」が記載されている。また、積層体の研削後の工程として、「まず、最終的なダイシングの工程を考慮して、積層体１のウェハ側に必要な場合にはダイボンディングテープ４１を配置し（図４（ａ））、又は、ダイボンディングテープ４１を配置せず（図４（ａ´））、その後、ダイシングテープ４２及びダイシングフレーム４３を配置する（図４（ｂ））。次に、積層体１の支持体側からレーザー光４４の照射を行う（図４（ｃ））。レーザー光の照射後に、支持体５を引き上げ、ウェハ２から支持体５を分離する（図４（ｄ））。最後に、接合層３をピールにより剥離し、薄肉化されたシリコンウェハ２を得ることができる（図４（ｅ））。」という事項が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−６４０４０号公報（段落０００１、００３５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
可撓性を有するフィルムを環状のフレーム部材に貼付する技術においては、より簡易な手法で、また、より簡易な装置構成により、フィルムを弛みの無い状態でフレーム部材に固着できるようにすることが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、フィルム貼付方法であって、可撓性を有するフィルムと、剛性を有するフレーム部材と、液状接着剤とを用意するステップと、フィルムとフレーム部材との間に液状接着剤を介在させて、フィルムとフレーム部材とを互いに重ね合わせるステップと、フィルムの、フレーム部材に重なった第１フィルム領域に設定される複数の当接点に、フレーム部材の外側に向かう方向への力を加えて、フィルムの、フレーム部材の内側に位置する第２フィルム領域の弛みを除去するステップと、第２フィルム領域の弛みが除去されている状態で液状接着剤を固化させて、フィルムの第１フィルム領域をフレーム部材に固着させるステップと、を含むフィルム貼付方法である。
【０００７】
本発明の他の態様は、可撓性を有するフィルムを、剛性を有する環状のフレーム部材に、液状接着剤を用いて貼付するためのフィルム貼付装置であって、フィルムの、フレーム部材に重なる第１フィルム領域に設定される複数の当接点のそれぞれに、フレーム部材の外側に向かう方向への力を加えるための複数の押圧部材と、複数の押圧部材のそれぞれに、フィルムに向かう方向への荷重を加えるための荷重部材とを具備し、複数の押圧部材の各々は、荷重部材から荷重を受ける基部と、複数の当接点の１つに当接して、基部が受けた荷重により当接点に力を加える当接部とを有し、複数の押圧部材は、荷重の方向に直交する仮想平面への射影において、それぞれの当接部がそれぞれの基部よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて環状の形態に配置される、フィルム貼付装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様に係るフィルム貼付方法によれば、フレーム部材に支持されているフィルムの第１フィルム領域に設定される当接点に、例えば押圧等の簡易な手法により、フレーム部材の外側に向かう力を加えて、フィルムの第２フィルム領域の弛みを除去することができる。また、当接点がフィルムの第１フィルム領域に局所的に設けられるものであるから、当接点に力を加えたままの状態であったとしても、力を加えるための物体の存在による固化作用への影響が低減されて、フィルムとフレーム部材との間に介在する液状接着剤をその組成に応じた方法で固化させることができる。
【０００９】
本発明の他の態様に係るフィルム貼付装置によれば、荷重部材から受ける荷重に応じて押圧部材からフィルムに加わる押圧力により、フレーム部材に支持されているフィルムの第１フィルム領域における当接点に、フレーム部材の外側に向かう力を加えることができる。したがって、例えばフィルムの外周縁又はその周辺を径方向外方へ引っ張る構成と対比した場合、フレーム部材の外側に牽引機構等を設置する必要が無いから、小型化及び簡素化された装置構成により第２フィルム領域の弛みを除去することができる。また、複数の押圧部材が互いに間隔を空けて配置されているから、各押圧部材の当接部を当接点に当接させたままの状態であったとしても、押圧部材の存在による固化作用への影響が低減されて、フィルムとフレーム部材との間に介在する液状接着剤をその組成に応じた方法で固化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】一実施形態によるフィルム貼付方法を説明する図で、フィルム貼付前の構成要素群を概略で示す斜視図である。
【図２】図１の構成要素群をフィルム貼付後の状態で示す斜視図である。
【図３】図１のフィルム貼付方法を説明する断面図で、（ａ）準備ステップ、（ｂ）フィルムとフレーム部材との重ね合わせステップ、（ｃ）フィルムの弛み除去及び固着ステップを示す。
【図４】一実施形態によるフィルム貼付装置を概略で示す図で、（ａ）下面側から示す斜視図、（ｂ）ａ図を反転した下面側からの一部拡大斜視図、である。
【図５】図４のフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する平面図である。
【図６】図４のフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する断面図で、（ａ）フィルムとフレーム部材との重ね合わせステップ、（ｂ）フィルムの弛み除去及び固着ステップを示す。
【図７】変形例によるフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する断面図で、（ａ）フィルムとフレーム部材との重ね合わせステップ、（ｂ）フィルムの弛み除去及び固着ステップを示す。
【図８】（ａ）〜（ｆ）それぞれ図４のフィルム貼付装置が有する押圧部材の変形例を模式的に示す図である。
【図９】他の変形例によるフィルム貼付装置を概略で示す図で、（ａ）断面図、（ｂ）押圧部材の正面図、である。
【図１０】さらに他の変形例によるフィルム貼付装置を概略で示す図で、（ａ）断面図、（ｂ）押圧部材の正面図、である。
【図１１】さらに他の変形例によるフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する図で、（ａ）平面図、（ｂ）断面図、である。
【図１２】さらに他の変形例によるフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する図で、（ａ）平面図、（ｂ）断面図、である。
【図１３】さらに他の変形例によるフィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を説明する図で、（ａ）平面図、（ｂ）断面図、である。
【図１４】（ａ）〜（ｇ）は、一実施形態によるフィルム貼付方法を適用可能な半導体チップ作製方法の主要ステップの一例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。全図面に渡り、対応する構成要素には共通の参照符号を付す。
図１及び図２は、一実施形態によるフィルム貼付方法で扱われる構成要素群を示す図、図３（ａ）〜（ｃ）は、同フィルム貼付方法の主要ステップをそれぞれ模式的に示す図、図４（ａ）及び（ｂ）は、一実施形態によるフィルム貼付装置を示す図、並びに図５及び図６は、同フィルム貼付装置を用いたフィルム貼付方法を示す図である。
【００１２】
一実施形態によるフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置で扱われる図１の構成要素群は、可撓性を有するフィルム１０と、剛性を有するフレーム部材１２とを含んでいる。フレーム部材１２は、フィルム１０よりも高い剛性を有する環状の部材である。図示の構成要素群、フィルム貼付方法及びフィルム貼付装置は、例えば、半導体チップの製造方法において、裏面研削後の薄肉化したウエハ（図示せず）をダイシングする際に、ウエハを支持するフィルム１０（例えばダイシングフィルムと称する。）を弛みの無い状態に維持するべく、フィルム１０にフレーム部材１２（例えばダイシングフレームと称する。）を取り付ける工程（以下、フレーム取付工程と称する。）に、適用できるものである。しかし、本発明の一態様に係るフィルム貼付方法、及び本発明の他の態様に係るフィルム貼付装置の用途は、フレーム取付工程に限定されない。
【００１３】
図示実施形態によるフィルム貼付方法では、まず、可撓性を有するフィルム１０（以下、単にフィルム１０と称する。）と、剛性を有するフレーム部材１２（以下、単にフレーム部材１２と称する。）と、液状接着剤１４とを用意する（図１、図３（ａ））。
【００１４】
フィルム１０は、円形輪郭を有する柔軟な膜状要素である。図３（ａ）に示すように、フィルム１０は、第１面１０ａ（図で下面）及びその反対側の第２面１０ｂ（図で上面）、外周縁１０ｃ並びに中心軸線１０ｄを有する。フィルム１０は例えば、樹脂等から全体に一様な厚みに作製される。液状接着剤１４として、後述する放射線硬化型の接着剤を使用する場合には、フィルム１０は十分な放射線透過性を有することが望ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリビ塩化ビニリデン樹脂、ポリアミド樹脂等からなるポリマーフィルムであることができる。図示のフィルム貼付方法を、半導体チップの製造方法における前述したフレーム取付工程で実施する場合、フィルム１０は、後のダイシング工程の間にウエハの回路形成表面を汚損しないように保護し得る物性を有することが望ましい。この場合、フィルム１０は例えば、ポリエチレンテレフタレート製の円形のものであって、厚みが約５μｍ〜約２００μｍ、直径が約１００ｍｍ〜約６００ｍｍであることができる。
【００１５】
フィルム１０は、予め適当な形状及び寸法に裁断されたシートとして供給されてもよいし、或いはロールから繰り出して供給され、使用直前に裁断されるものであってもよい。またフィルム１０は、フレーム部材１２に貼付される前にフレーム部材１２に相似する形状を有するよう予め余剰部分が切断除去されていてもよいし、フレーム部材１２に貼付された後にフレーム部材１２に相似する形状になるよう余剰部分が切断除去されてもよい。或いはフィルム１０は、フレーム部材１２に相似しない形状を有していてもよい。なお、図示のフィルム１０は円形輪郭を有しているが、本発明に係るフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置において、フィルムの素材、形状、寸法等は特に限定されない。
【００１６】
フレーム部材１２は、円形輪郭を有する環状要素であり、フィルム１０の外周縁１０ｃに沿って部分的に重なって配置可能な形状及び寸法を有する。図３（ａ）に示すように、フレーム部材１２は、第１面１２ａ（図で下面）及びその反対側の第２面１２ｂ（図で上面）、第１面１２ａと第２面１２ｂとの間に延びる内周面１２ｃ及びその反対側の外周面１２ｄ、並びに中心軸線１２ｅを有する。フレーム部材１２の内周面１２ｃにおける直径（すなわち内径）は、フィルム１０の直径よりも小さく、フレーム部材１２の外周面１２ｄにおける直径（すなわち外径）は、フィルム１０の直径よりも大きい。フレーム部材１２は例えば、金属、樹脂等から全体に一様な厚みに作製される。図示のフィルム貼付方法を、半導体チップの製造方法における前述したフレーム取付工程で実施する場合、フレーム部材１２は例えば、ステンレス鋼やプラスチック材からなる円環状のものであって、厚みが約１ｍｍ〜約２ｍｍ、内径が約６０ｍｍ程度、外径が約６５０ｍｍ程度であることができる。
【００１７】
フレーム部材１２は、第１面１２ａ又は第２面１２ｂがフィルム１０の外周縁１０ｃに沿って第１面１０ａ又は第２面１０ｂに固定されることで、内周面１２ｃの内側に位置するフィルム１０の中央領域を、弛みの無い伸展した状態に維持できる剛性を有する。フレーム部材１２の剛性は、素材、寸法、形状等によって設定できるが、例えば、フレーム部材１２に固定したフィルム１０に何らかの張力が加わったときに、フレーム部材１２自体に顕著な撓みや変形が生じない程度の剛性であればよい。フレーム部材１２は、フィルム１０と同一の素材から形成されてもよい。なお、図示のフレーム部材１２は、外径がフィルム１０の直径よりも大きな円形輪郭を有しているが、本発明に係るフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置において、フレーム部材の素材、形状、寸法等は、フィルムよりも高い剛性を有すること、及び少なくとも一部分がフィルムに重なり得ることを要件とする以外は、特に限定されない。本発明で用いるフィルム及びフレーム部材は、例えば、フィルムをフレーム部材に貼付した状態で、フィルムの外周縁に沿った領域の一部又は全体がフレーム部材の外側に食み出るような寸法や形状を有してもよい。
【００１８】
液状接着剤１４は、硬化又は固化前は液状であり、硬化又は固化することでフレーム部材１２にフィルム１０を強固に固定した状態に保持する接着力を発揮できるものである。液状接着剤１４は、例えば、硬化型接着剤、溶剤系接着剤、ホットメルト型接着剤を含む熱可塑性樹脂、水分散型接着剤等であることができる。ここで、硬化型接着剤は、熱や放射線（例えば紫外線）等のエネルギー線によって硬化される液状或いは加熱溶解する熱接合フィルム様の接着剤であり、溶剤系接着剤は、溶剤の蒸発により固化する液状接着剤であり、ホットメルト型接着剤は、加熱により溶融し、冷却により固化される接着剤である。また、水分散型接着剤は水中に接着剤成分が分散したものであって、水の蒸発により、固化する接着剤である。硬化型接着剤としては、エポキシ、ウレタンをベースとする一液熱硬化型接着剤、エポキシ、ウレタン、アクリルをベースとする二液混合反応型接着剤、アクリル、エポキシをベースとする放射線（紫外線や電子線）硬化型接着剤が挙げられる。また、溶剤系接着剤としては、ゴム、エラストマー等を溶剤に溶解したゴム系接着剤が挙げられる。なお本願では、狭義の硬化及び固化を「固化」と総称する。
【００１９】
上記した構成要素群に対し、図示のフィルム貼付方法の次のステップでは、図３（ｂ）に示すように、フィルム１０とフレーム部材１２との間に液状接着剤１４を介在させて、フィルム１０とフレーム部材１２とを互いに重ね合わせる。図１〜図３に示す構成では、フィルム１０の第１面１０ａとフレーム部材１２の第２面１２ｂとを、液状接着剤１４を介して互いに対向させている。なお、このステップでは、フィルム１０は単にフレーム部材１２に重ねられているだけで、意図しない弛みＳ（図３（ｂ））を有している可能性がある。また、このステップでは、固化前の液状接着剤１４が有する流動性や粘度に応じて、重ね合わされたフィルム１０とフレーム部材１２とは、第１面１０ａ及び第２面１２ｂに略平行な方向へ相対移動できる。
【００２０】
フィルム１０とフレーム部材１２とは、例えば、両者の中心軸線１０ｄ、１２ｅが互いに実質的に一致するように、相対的に位置決めされる。これにより、フィルム１０の第１面１０ａの、外周縁１０ｃに沿って略一様な幅（径方向寸法）を有する環状外周領域の全体が、フレーム部材１２の第２面１２ｂの、内周面１２ｃに沿って略一様な幅（径方向寸法）を有する環状内周領域の上に配置される。或いは、フィルム１０の外周縁１０ｃの全体がフレーム部材１２の第２面１２ｂ上に配置されることを条件として、両者の中心軸線１０ｄ、１２ｅが互いにずれていてもよい。図示のフィルム貼付方法を、半導体チップの製造方法における前述したフレーム取付工程で実施する場合、フィルム１０の第１面１０ａとフレーム部材１２の第２面１２ｂとの重なり合う環状領域の幅（径方向寸法）は、約１０ｍｍ程度であることができる。
【００２１】
液状接着剤１４は、フィルム１０の第１面１０ａの外周縁１０ｃに沿った領域、又はフレーム部材１２の第２面１２ｂの内周面１２ｃに沿った領域に、適当なノズルを用いて断続的に滴下したり線状に連続させて塗布したりすることで配置できる。このとき、フィルム１０又はフレーム部材１２を中心軸線１０ｄ又は１２ｅの周りで回転させながら静止ノズルにより液状接着剤を配置したり、静止したフィルム１０又はフレーム部材１２に対しロボット等の自動機械を用いてノズルを円形軌道に沿って移動させながら液状接着剤を配置したりすることができる。フィルム１０及びフレーム部材１２が前述した寸法を有する場合、液状接着剤１４は例えば、約２０ｍｍ／秒の速度で回転するフレーム部材１２の第２面１２ｂに、約６ｍｇ／秒の質量流量で供給することができ、それにより平均厚み約５０μｍの層として第２面１２ｂに配置できる。
【００２２】
フィルム１０の中心軸線１０ｄとフレーム部材１２の中心軸線１２ｅが互いに実質的に一致している場合は、フィルム１０の第１面１０ａとフレーム部材１２の第２面１２ｂとの間に、周方向全体に渡って略均一な量の液状接着剤１４を介在させることができる。この場合、液状接着剤１４の固化後に、フレーム部材１２は、周方向全体に渡って略一様な接着強度でフィルム１０を支持することができる。なお、フィルム１０とフレーム部材１２との間に周方向全体に渡って略均一な量の液状接着剤１４を介在させるためには、フィルム１０の可撓性及びフレーム部材１２の剛性を考慮して、フレーム部材１２を略水平な支持面（図示せず）に載置し、フレーム部材１２の上に液状接着剤１４を配置した後、フィルム１０をフレーム部材１２に重ね合わせることが好ましい。
【００２３】
次のステップでは、図３（ｃ）に示すように、フィルム１０の、フレーム部材１２に重なった第１フィルム領域１６（前述した外周環状領域に相当）に設定される複数の当接点１８に、フレーム部材１２の外側に向かう方向への力Ｆを加えて、フィルム１０の、フレーム部材１２の内側に位置する第２フィルム領域２０（前述した中央領域に相当）の弛みＳ（図３（ｂ））を除去する。なお当接点１８は、第１フィルム領域１６内で、力Ｆを加えるための物体（具体例は後述する）を当接させる局所的領域であり、実施形態の説明では以下、着力点１８と称する。液状接着剤１４が固化する前は、前述したようにフィルム１０がフレーム部材１２に対して移動できるので、複数の着力点１８に力Ｆを加えることにより、個々の着力点１８がフレーム部材１２の外側に向かって移動し、それに伴い弛みＳが除去される。複数の着力点１８の全てに力Ｆが加わった状態では、それらの力Ｆが釣り合うことにより、フィルム１０はフレーム部材１２に対して静止する。この釣り合い状態で、フィルム１０の外周縁１０ｃの全体がフレーム部材１２の第２面１２ｂ上に配置されているように、力Ｆの加え方を適宜調節する。
【００２４】
着力点１８の個数や位置、及び力Ｆの大きさや方向は、フレーム部材１２の外側に向かう個々の力Ｆが釣り合った状態で第２フィルム領域２０の弛みＳを除去できることを要件として、適宜に選択できる。例えば、フィルム１０の第１フィルム領域１６において中心軸線１０ｄ（図３（ｂ））を中心とする仮想円に沿って等間隔に複数の着力点１８を設定し、それら着力点１８に中心軸線１０ｄから見て放射状に均一な力Ｆを加える構成では、フィルム１０の第２フィルム領域２０の全体を実質的均等に径方向外方へ伸展させることができる。この場合の伸展の均等性は、着力点１８の個数が増加するに従い高まる。また、釣り合い状態での力Ｆの大きさは、弛みＳを除去できさえすれば、複数の着力点１８の間でフィルム１０の第２フィルム領域２０に張力を実質的に加えない程度に小さくてよい。或いは、釣り合い状態での力Ｆを、複数の着力点１８の間でフィルム１０の第２フィルム領域２０に張力が加わる大きさとすることもできる。この場合、力Ｆによってフィルム１０の第２フィルム領域２０に加わる張力は、液状接着剤１４が固化した後に、第２フィルム領域２０に残留応力が実質的に生じない程度のものとすることができる。或いは、力Ｆによってフィルム１０の第２フィルム領域２０に加わる張力を、第２フィルム領域２０に意図的に残留応力を生じさせるものとすることもできる。
【００２５】
着力点１８は、フィルム１０の第２面１０ｂにおける点状、線状又は面状の窪みや、フィルム１０の第２面１０ｂから第１面１０ａに至る貫通孔のような、局所的領域である。力Ｆは、フィルム１０の第２面１０ｂに対し鋭角を成して着力点１８に加えられる押圧力の分力であることができる。このような斜めの押圧力は、フィルム１０の第１フィルム領域１６に重なるフレーム部材１２によって受け止められる一方、液状接着剤１４の存在によりフィルム１０とフレーム部材１２との間の摩擦が低減されているので、分力としての力Ｆを効率的に生成することができる。
【００２６】
次のステップでは、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去されている状態で液状接着剤１４を固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に固着させる（図２、図３（ｃ））。このステップでは、フィルム１０の着力点１８に加わる力Ｆを解除することなく、液状接着剤１４をその組成に応じた方法により固化させることができる。或いは、前のステップで除去した弛みＳがフィルム１０の第２フィルム領域２０に再発しないことを前提として、着力点１８に加わる力Ｆを弱めたり実質的に解除したりした状態で液状接着剤１４を固化させることもできる。
【００２７】
例えば液状接着剤１４が放射線硬化型接着剤である場合、フィルム１０の着力点１８に力Ｆを加えたままの状態であったとしても、着力点１８がフィルム１０の第１フィルム領域１６における局所的領域であることから、力Ｆを加えるための物体（図示せず）に遮られる放射線の量が低減されて、必要量の放射線により液状接着剤１４を固化させることができる。なお、フィルム１０の着力点１８に力Ｆを加えたままで、放射線照射により液状接着剤１４を部分的に固化させた後に、力Ｆを解除して、さらなる放射線照射により液状接着剤１４を完全に固化させることで、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に強固に固着させるようにしてもよい。
【００２８】
このように、上記構成を有するフィルム貼付方法では、フレーム部材１２に支持されているフィルム１０の第１フィルム領域１６において、第２面１０ｂ上の局所的領域である着力点１８に、例えば第２面１０ｂに対し斜めに押圧力を加えるといった簡易な手法により、フレーム部材１２の外側に向かう力Ｆを加えて、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳを除去することができる。また、着力点１８がフィルム１０の第１フィルム領域１６における局所的領域であるから、フィルム１０の着力点１８に力Ｆを加えたままの状態であったとしても、力Ｆを加えるための物体（図示せず）の存在による固化作用への影響が低減されて、液状接着剤１４をその組成に応じた方法で固化させることができる。
【００２９】
次に、図４〜図６を参照して、一実施形態によるフィルム貼付装置２２の構成、及びフィルム貼付装置２２を用いて行われるフィルム貼付方法の一例を説明する。フィルム貼付装置２２は、可撓性を有するフィルム１０を、フィルム１０よりも高い剛性を有する環状のフレーム部材１２に、液状接着剤１４を用いて貼付するための、前述したフィルム貼付方法を実施できるものであって、図１〜図３に示す構成要素に対応する構成要素は、共通の参照符号を付して詳細な説明を省略する。図４（ａ）は、フィルム貼付装置２２を下面側から示す図、図４（ｂ）は、フィルム貼付装置２２の一部分を上面側から示す拡大図、図５は、フィルム貼付装置２２を用いたフィルム貼付方法を示す図、図６（ａ）は、フィルム１０とフレーム部材１２との重ね合わせステップを示す図、及び図６（ｂ）は、フィルム１０の弛み除去及び固着ステップを示す図である。
【００３０】
フィルム貼付装置２２は、フィルム１０の、フレーム部材１２に重なる第１フィルム領域１６に設定される複数の着力点１８のそれぞれに、フレーム部材１２の外側に向かう方向への力Ｆ（図６（ｂ））を加えるための複数の押圧部材２４と、複数の押圧部材２４のそれぞれに、フィルム１０に向かう方向への荷重Ｌ（図６（ｂ））を加えるための荷重部材２６とを備える。各押圧部材２４は、荷重部材２６から荷重Ｌを受ける基部２８と、複数の着力点１８の１つに当接して、基部２８が受けた荷重Ｌにより着力点１８に力Ｆを加える当接部３０とを有する。
【００３１】
図４及び図６に示すように、押圧部材２４は、中央の湾曲部分２４ａとその両側の平坦部分２４ｂ、２４ｃとを含むＵ字状に曲がった板状の形状を有する。湾曲部分２４ａは、所定の曲率を有するように一方向へ一様に曲げられた矩形板状の要素である。一対の平坦部分２４ｂ、２４ｃは、湾曲部分２４の両端から、互いに略平行に離間対向して延長される。一方の平坦部分２４ｂは、湾曲部分２４ａと同一の幅Ｗ（図５）を有する矩形平板状の要素であり、その末端に、平坦部分２４ｂに対し外側へ略直角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられる。基部２８は、例えばボルト３２によって、荷重部材２６に固定される。他方の平坦部分２４ｃは、湾曲部分２４ａと同一の幅Ｗ（図５）を有する矩形部分を含む五角形平板状の要素であり、その末端に、五角形の一頂点に相当する尖った先端３０ａを有する当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａが着力点１８でフィルム１０を穿刺して、点状の窪み又は貫通孔としての着力点１８を形成することにより、フィルム１０に固定的に係合でき、以て、力Ｆを加えている間に着力点１８がフィルム１０上で変位することを防止できる。
【００３２】
押圧部材２４は、ばねのように復元可能な弾性を有する。弾性を有する押圧部材２４は、荷重部材２６から受ける荷重Ｌによって、荷重部材２８に取り付けられている基部２８とフィルム１０に当接している当接部３０との間で弾性変形し、その弾性復元力の下で、当接部３０が着力点１８を押圧して着力点１８に力Ｆを加える。Ｕ字状に曲がった板状の押圧部材２４では、荷重Ｌにより、主として、基部２８に隣接する平坦部分２４ｂと中央の湾曲部分２４ａとが弾性変形する（図６（ｂ））。押圧部材２４は例えば、金属、樹脂等から全体に均一な厚みに作製される。弾性を有する押圧部材２４は、例えば、ステンレス鋼製の板金材料から打抜き及び曲げ等のプレス工程により均一な厚みに成形できる。なお、図示の押圧部材２４は、ばねのような弾性を有するとともにＵ字状に曲がった板状の形状及び尖った先端３０ａからなる当接部３０を有しているが、本発明に係るフィルム貼付装置において、押圧部材の素材、形状、寸法等は、荷重部材から荷重を受けてフィルムの着力点に力を加えることができることを要件とする以外は、特に限定されない。
【００３３】
荷重部材２６は、複数の押圧部材２４が取り付けられる円板状のブロック体である。図６に示すように、荷重部材２６は、第１面２６ａ（図で下面）及びその反対側の第２面２６ｂ（図で上面）、第１面２６ａと第２面２６ｂとの間に延びる外周面２６ｃ、並びに中心軸線２６ｄを有する。荷重部材２６は、質量Ｍ（図６）を有し、質量Ｍによって、複数の押圧部材２４の各々に荷重Ｌを加えることができる。或いは、荷重部材２６は、質量Ｍによらず、又は質量Ｍに追加して、荷重部材２６に加わる外力によって、各押圧部材２４に荷重Ｌを加えることもできる。荷重部材２６はまた、複数の押圧部材２４に荷重Ｌを加えている間に荷重部材２６自体に撓みや変形を生じない剛性を有する。
【００３４】
荷重部材２６は例えば、金属、樹脂等から全体に略一様な厚みに作製される。荷重部材２６は、孔や空所を有さない中実体であってもよいし、適当な形状、寸法、個数、配置の孔や空所を有する中空体であってもよい。また、フィルム貼付装置２２によるフィルム貼付方法において必要とされる力Ｆの大きさ、及び力Ｆを各押圧部材２４に生じさせるに要する荷重Ｌの大きさに応じて、質量Ｍを適宜調整するべく、同一又は異なる複数の荷重部材２６を組み合わせて使用することもできる。なお、図示の荷重部材２６は、荷重Ｌに起因した撓みや変形を生じない円板状の中実のブロック体であるが、本発明に係るフィルム貼付装置において、荷重部材の素材、形状、寸法等は、複数の押圧部材に加える荷重により押圧部材にフィルムの着力点への力を生じさせることができることを要件とする以外は、特に限定されない。
【００３５】
複数の押圧部材２４の各々は、基部２８が、荷重部材２６の第１面２６ａにおける外周面２６ｃに隣接する箇所に、例えばボルト３２により固定され、当接部３０が、荷重部材２６の径方向に見て基部２８の外側に配置される。さらに詳述すると、複数の押圧部材２４は、荷重Ｌの方向に直交する仮想平面（図６では第１面２６ａに平行な仮想平面）への射影において、それぞれの当接部３０がそれぞれの基部２８よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて環状の形態すなわち環状の列に配置される（図５）。
【００３６】
押圧部材２４が荷重部材２６からの荷重Ｌを基部２８で受けたときに、当接部３０は、荷重Ｌによって着力点１８に加える押圧力の反力を、フィルム１０の第１フィルム領域１６を支持するフレーム部材１２から受ける。したがって、各押圧部材２４が荷重部材２６に対して、図５及び図６に示す上記した位置及び姿勢で配置されることにより、基部２８が荷重部材２６から受ける荷重Ｌと、当接部３０がフレーム部材１２から受ける押圧力の反力とによって、基部２８を中心としたトルクが押圧部材２４に働く。押圧部材２４は、このトルクの下で弾性変形し、一対の平坦部分２４ｂ、２４ｃが、湾曲部分２４ａを荷重部材２６に接近させる方向へ傾倒する。そして平坦部分２４ｂ、２４ｃの傾倒に伴い、当接部３０は、荷重部材２６から離れる方向へ移動し、当接部３０が押圧力下で当接している着力点１８は、当接部３０と共にフレーム部材１２の外側に向かう方向へ移動する。また、平坦部分２４ｂ、２４ｃの傾倒動作の間、押圧部材２４の基部２８は、荷重部材２６と共にフィルム１０に接近する方向へ移動する。押圧部材２４のこのような挙動により、当接部３０は、荷重Ｌの下でフィルム１０から離れることなく着力点１８を押圧し続けて、フレーム部材１２の外側に向かう力Ｆを着力点１８に加えることができる。
【００３７】
図５及び図６に示すように、荷重部材２６の直径は、フレーム部材１２の内径よりも小さい。この荷重部材２６に上記配置で取り付けられた複数の押圧部材２４は、上記トルクが働かずかつ弾性変形していない状態で、それぞれの当接部３０を、フレーム部材１２に重ねられたフィルム１０の第１フィルム領域１６内に位置決めすることができる。また、上記配置で荷重部材２６に取り付けられた複数の押圧部材２４の各々は、上記トルクが働かずかつ弾性変形していない状態で、基部２８に隣接する平坦部分２４ｂが、荷重部材２６の外周面２６ｃに略平行に配置され、湾曲部分２４ａが、荷重部材２６の第２面２６ｂから突出するように配置され、他方の平坦部分２４ｃの先端の当接部３０が、荷重部材２６の第１面２６ａから所定距離だけ突出した位置に配置される。荷重部材２６の第１面２６ａからの当接部３０の突出距離は、押圧部材２４が当接部３０で着力点１８に力Ｆを加えている間、荷重部材２６をフィルム１０から離隔した位置に保持できる距離として設定される。なお、押圧部材２４の個数、配置等は、フィルム１０の弛みＳ（図６（ａ））を除去できることを要件として、様々に設定できる。
【００３８】
図４〜図６に示す構成では、複数の押圧部材２４は、荷重部材２６の外周面２６ｃに沿って規定される円環状の列状の形態に、中心軸線２６ｄの周りで互いに回転対称な姿勢で、等間隔に配置される。具体的には、計１６個の押圧部材２４が、中心角２２．５度の均等なピッチＰ（図５）で回転対称に、荷重部材２６に取り付けられている。ここで、ピッチＰは、周方向へ隣り合う押圧部材２４の相対応する２点の間の最短距離を、第１面２６ａに平行な仮想平面における中心軸線２６ｄの周りの角度で表したものである。したがって、フィルム貼付装置２２によるフィルム貼付方法では、荷重部材２６の中心軸線２６ｄをフィルム１０の中心軸線１０ｄに一致させることにより、個々の押圧部材２４の当接部３０の位置に対応して、フィルム１０の第１フィルム領域１６において中心軸線１０ｄを中心とする仮想円に沿って、中心角２２．５度の等間隔で計１６個の着力点１８が設定される（図５）。
【００３９】
フレーム部材１２が円形輪郭を有する場合、上記したように、複数の着力点１８を、フィルム１０の第１フィルム領域１６においてフレーム部材１２の幾何学的中心に相当するフィルム中心点（すなわち中心軸線１０ｄ）に関して互いに等しい中心角をなす複数の位置に設定すれば、全ての力Ｆが釣り合った時点で、全ての着力点１８に、中心軸線１０ｄから見て放射状に均一な力Ｆを加えることができる。このような均一な力Ｆにより、フィルム１０の第２フィルム領域２０の全体を実質的均等に径方向外方へ伸展させて、弛みＳを効率的に除去することができる。第２フィルム領域２０の伸展の均等性は、押圧部材２４の個数が増加するに従い高まる。
【００４０】
フィルム貼付装置２２によるフィルム貼付方法を、前述した寸法のフィルム１０及びフレーム部材１２に対して実施する場合、押圧部材２４及び荷重部材２６は、以下の構成を有することができる。押圧部材２４は、例えば、ステンレス鋼から形成でき、厚みが約０．５ｍｍ、幅Ｗ（図５）が約３０ｍｍ、湾曲部分２４ａの曲率半径Ｒ（図６（ａ））が約１５ｍｍ、湾曲部分２４ａの張出し（第１面２６ａに平行な仮想平面への射影における径方向寸法）Ｂ（図６（ａ））が約３０ｍｍ、全高（外周面２６ｃに平行な仮想面への射影における湾曲部分２４ａの膨出頂点から当接部３０までの最短距離）Ｈ１（図６（ａ））が約４５ｍｍ、部分高（外周面２６ｃに平行な仮想面への射影における湾曲部分２４ａの膨出頂点から平坦部分２４ｃの矩形部分の一頂点までの最短距離）Ｈ２（図６（ａ））が約３０ｍｍである。また、荷重部材２６は、例えば、アルミニウム材から形成でき、厚みＴ（図６（ａ））が約２０ｍｍ、直径Ｄ（図６（ａ））が約２００ｍｍ、質量Ｍが約２ｋｇ〜約６ｋｇである。
【００４１】
以下、フィルム貼付装置２２によるフィルム貼付方法の一例を、図５及び図６に示す構成に従って説明する。
【００４２】
まず、図３（ａ）及び（ｂ）を参照して説明した各ステップと同様にして、可撓性を有するフィルム１０と、フィルム１０よりも高い剛性を有する環状のフレーム部材１２と、液状接着剤１４とを用意し、フィルム１０の第１面１０ａとフレーム部材１２の第２面１２ｂとの間に液状接着剤１４を介在させて、フィルム１０とフレーム部材１２とを互いに重ね合わせる（図６（ａ））。このステップでは、フィルム１０は単にフレーム部材１２に重ねられているだけで、フレーム部材１２の内側に位置する第２フィルム領域２０に意図しない弛みＳ（図６（ａ））を有している可能性がある。
【００４３】
ここでは、例として、約７５μｍの厚み及び約２７０ｍｍの直径を有するポリエチレンテレフタレート製のフィルム１０（例えば、住友スリーエム株式会社（東京）から入手可能なＷＳＦ０７５）と、約１ｍｍの厚み、約２５０ｍｍの内径及び約３００ｍｍの外径を有するステンレス鋼製のフレーム部材１２と、紫外線硬化型接着剤からなる液状接着剤１４（例えば、住友スリーエム株式会社（東京）から入手可能なアクリル系紫外線硬化型接着剤ＥＸＰ−６９７）とを用意する。また、第２面１２ｂを上に向けたフレーム部材１２を水平支持面（図示せず）に載置し、２０ｍｍ／秒の速度でフレーム部材１２を回転させて、液状接着剤１４を６ｍｇ／秒の質量流量で第２面１２ｂに供給し、平均厚み約５０μｍの液状接着剤１４の層を形成した後、フィルム１０をフレーム部材１２に、両者の中心軸線１０ｄ、１２ｅが実質的に一致する相対位置で重ね合わせる。
【００４４】
次に、フィルム貼付装置２２の荷重部材２６を、その第１面２６ａをフィルム１０の第２面１０ｂに対向させるとともに、その中心軸線２６ｄをフィルム１０の中心軸線１０ｄに実質的に一致させて配置する（図５、図６（ａ））。この相対位置で、フィルム貼付装置２２の複数の押圧部材２４の当接部３０を、フィルム１０の第１フィルム領域１６内で第２面１０ｂに当接させて、複数の着力点１８を設定する。
【００４５】
次に、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム１０の着力点１８に当接させた状態で、荷重部材２６の質量Ｍにより、又は荷重部材２６に加わる外力（図示せず）を質量Ｍに追加して、各押圧部材２４の基部２８に、フィルム１０に向かう方向への荷重Ｌを加える（図６（ｂ））。ここで、押圧部材２４は、Ｕ字状の湾曲部分２４ａを有しているから、例えば、個々の押圧部材２４に成形寸法の誤差や取付位置の誤差が有り、複数の着力点１８を設定する前述したステップの状態（図６（ａ））で全ての押圧部材２４の当接部３０がフィルム１０の第２面１０ｂに一様には当接しないような場合であっても、先に当接部３０でフィルム１０に当接した押圧部材２４が最初に湾曲部分２４ａを弾性変形させている間に、それ以外の押圧部材２４が当接部３０でフィルム１０に当接でき、以て、全ての力Ｆが釣り合うまでのフィルム１０の移動を最小限に抑制できる。
【００４６】
基部２８で荷重Ｌを受けた押圧部材２４は、弾性変形するとともに前述したトルクにより傾倒動作して、基部２８が荷重部材２６と一体的にフィルム１０に接近する一方で、当接部３０がフィルム１０の着力点１８にフレーム部材１２の外側に向かう方向への力Ｆを加える（図６（ｂ））。この力Ｆにより、フィルム１０の着力点１８は、押圧部材２４の当接部３０と一体的に、フレーム部材１２の外側に向かう方向へ移動する。複数の押圧部材２４の当接部３０から対応の着力点１８に加わる力Ｆが釣り合った時点で、全ての着力点１８に均一な力Ｆが加わって、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去される。なお、この釣り合い状態での力Ｆは、荷重Ｌに応じて押圧部材２４が生ずる弾性復元力（フィルム１０の第２面１０ｂに対し斜めに加わる押圧力）の分力となる。また、釣り合い状態での力Ｆの大きさは、複数の着力点１８の間でフィルム１０の第２フィルム領域２０に張力を加えない程度であってよいし、或いは、それら着力点１８の間で第２フィルム領域２０に張力を加えるものであってもよい。
【００４７】
次に、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去されている状態で、個々の押圧部材２４の当接部３０から着力点１８に加わる力Ｆを解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に固着させる。ここで、紫外線硬化型接着剤からなる液状接着剤１４を固化させるべく、個々の押圧部材２４の外側からフィルム１０の第２面１０ｂに向けて紫外線を照射することができる。複数の押圧部材２４は、荷重部材２６の外周面２６ｃに沿って互いに間隔を空けて環状の列に配置されているから、各押圧部材２４の当接部３０を着力点１８に当接させたままの状態であったとしても、押圧部材２４に遮られる紫外線の量が低減されて、フィルム１０を透過する紫外線により液状接着剤１４を固化させることができる。
【００４８】
液状接着剤１４が紫外線照射により、フレーム部材１２上でフィルム１０が移動したりフィルム１０の第２フィルム領域２０に弛みＳが再発したりしない程度に、部分的に固化した後、必要に応じて、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム１０の第２面１０ｂから離隔させ、力Ｆを解除するとともに紫外線照射の障害物を無くした状態で、さらに紫外線をフィルム１０に照射する。このようにして、必要量の紫外線照射により、液状接着剤１４を完全に固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に強固に固着させることができる。
【００４９】
このように、上記構成を有するフィルム貼付装置２２では、荷重部材２６から受ける荷重Ｌに応じて押圧部材２４からフィルム１０の第２面１０ｂに加わる押圧力により、フレーム部材１２に支持されているフィルム１０の第１フィルム領域１６における着力点１８に、フレーム部材１２の外側に向かう力Ｆを加えることができる。したがって、例えばフィルム１０の外周縁１０ｃ又はその周辺を径方向外方へ引っ張る構成と対比した場合、フレーム部材１２の外側に牽引機構等を設置する必要が無いから、小型化及び簡素化された装置構成により第２フィルム領域２０の弛みＳを除去することができる。また、複数の押圧部材２４が互いに間隔を空けて配置されているから、各押圧部材２４の当接部３０を着力点１８に当接させたままの状態であったとしても、押圧部材２４の存在による固化作用への影響が低減されて、液状接着剤１４をその組成に応じた方法で固化させることができる。
【００５０】
フィルム貼付装置２２の構成は、上記構成に限定されず、様々に変更できる。
例えば、図７に変形例として示すフィルム貼付装置３４は、押圧部材２４に加える荷重Ｌに起因した撓みや変形を生じない荷重部材２６（図６）に代えて、押圧部材２４に荷重Ｌを加えるときにそれ自体が弾性的に撓む荷重部材３６を備えている。荷重部材３６は、例えば板ばねのように復元可能な弾性を有するステンレス鋼製の平板から形成できる。この場合、荷重部材３６に取り付けられる押圧部材２４は、ばねのような弾性を有してもよいし有さなくてもよい。
【００５１】
荷重部材３６を備えたフィルム貼付装置３４によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材１２に重ね合わされたフィルム１０に対し、荷重部材３６が実質的に撓んでいない状態で、複数の押圧部材２４の当接部３０をフィルム１０の第１フィルム領域１６内で第２面１０ｂに当接させて、複数の着力点１８を設定する（図７（ａ））。次に、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム１０の着力点１８に当接させた状態で、荷重部材３６の質量Ｍにより、又は荷重部材３６に加わる外力（図示せず）を質量Ｍに追加して、各押圧部材２４の基部２８に、フィルム１０に向かう方向への荷重Ｌを加える（図７（ｂ））。質量Ｍに追加される外力としては、例えば、図示しない電動機等の駆動源により荷重部材３６に加えられる推力を利用できる。
【００５２】
押圧部材２４が荷重部材３６からの荷重Ｌを基部２８で受けたときに、当接部３０は、荷重Ｌによって着力点１８に加える押圧力の反力を、フィルム１０の第１フィルム領域１６を支持するフレーム部材１２から受ける。荷重部材３６は、個々の押圧部材２４がフレーム部材１２から受ける反力と、荷重部材３６自体の質量Ｍ（及び使用する場合は荷重部材２６に加わる外力）とによって、中心部分がフィルム１０に接近するように弾性的に撓む（図７（ｂ））。荷重部材３６がこのような撓みを生じると、押圧部材２４の一対の平坦部分２４ｂ、２４ｃは、湾曲部分２４ａを荷重部材３６に接近させる方向へ傾倒する。そして平坦部分２４ｂ、２４ｃの傾倒に伴い、当接部３０は、荷重部材３６から離れる方向へ移動し、当接部３０が押圧力下で当接している着力点１８は、当接部３０と共にフレーム部材１２の外側に向かう方向へ移動する。また、平坦部分２４ｂ、２４ｃの傾倒動作の間、押圧部材２４の基部２８は、荷重部材３６と共にフィルム１０に接近する方向へ移動する。押圧部材２４のこのような挙動により、当接部３０は、荷重Ｌの下でフィルム１０から離れることなく着力点１８を押圧し続けて、フレーム部材１２の外側に向かう力Ｆを着力点１８に加えることができる。
【００５３】
力Ｆにより、フィルム１０の着力点１８は、押圧部材２４の当接部３０と一体的に、フレーム部材１２の外側に向かう方向へ移動する。複数の押圧部材２４の当接部３０から対応の着力点１８に加わる力Ｆが釣り合った時点で、全ての着力点１８に均一な力Ｆが加わって、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去される。フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去されている状態で、個々の押圧部材２４の当接部３０から着力点１８に加わる力Ｆを解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に固着させる。このように、ばねのような弾性を有する荷重部材３６を備えたフィルム貼付装置３４は、弾性を有さない荷重部材２６を備えたフィルム貼付装置２２と同様に作用し、フィルム貼付装置２２の前述した効果と同等の効果を奏する。
【００５４】
上記構成に代えて、弾性を有さない荷重部材２６に対し、押圧部材２４の基部２８を、図示しない別体のばね部品を介して取り付ける構成とすることもできる。この構成では、基部２８は例えば、荷重部材２６にヒンジ式に回動可能に取り付けられる。この場合、荷重部材３６に取り付けられる押圧部材２４は、ばねのような弾性を有してもよいし有さなくてもよい。このような構成によっても、押圧部材２４は、荷重部材２６からの荷重Ｌが基部２８に加わることにより、前述した傾倒動作を生じ、当接部３０でフィルム１０の着力点１８に力Ｆを加えることができる。
【００５５】
図８は、押圧部材２４の種々の変形例を示す。
図８（ａ）に示す押圧部材２４１は、湾曲部分を含まない平坦な板状部分２４１ａを有する。板状部分２４１ａの一端に、板状部分２４１ａに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、板状部分２４１ａの他端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００５６】
図８（ｂ）に示す押圧部材２４２は、外側へ膨出する中央の湾曲部分２４２ａとその両側の平坦部分２４２ｂ、２４２ｃとを有する。両平坦部分２４２ｂ、２４２ｃは同一平面上に配置される。一方の平坦部分２４２ｂの一端に、平坦部分２４２ｂに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、他方の平坦部分２４２ｃの末端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００５７】
図８（ｃ）に示す押圧部材２４３は、内側へ膨出する中央の湾曲部分２４３ａとその両側の平坦部分２４３ｂ、２４３ｃとを有する。両平坦部分２４３ｂ、２４３ｃは同一平面上に配置される。一方の平坦部分２４３ｂの一端に、平坦部分２４３ｂに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、他方の平坦部分２４３ｃの末端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００５８】
図８（ｄ）に示す押圧部材２４４は、外側へ膨出する第１の湾曲部分２４４ａとその一端から内方へ徐々に曲げられて延長される第２の湾曲部分２４４ｂとを有する。第１の湾曲部分２４４ａの一端に、湾曲部分２４４ａに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、第２の湾曲部分２４４ｂの末端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００５９】
図８（ｅ）に示す押圧部材２４５は、湾曲部分を含まない第１の平坦部分２４５ａとその一端から内方へ鈍角に曲げられて延長される第２の平坦部分２４５ｂとを有する。第１の平坦部分２４５ａの一端に、平坦部分２４５ａに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、第２の平坦部分２４５ｂの末端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００６０】
図８（ｆ）に示す押圧部材２４６は、外側へ膨出する中央の湾曲部分２４６ａとその両側の平坦部分２４６ｂ、２４６ｃとを有する。両平坦部分２４６ｂ、２４６ｃは、互いに交差する２平面上に配置される。一方の平坦部分２４６ｂの一端に、平坦部分２４６ｂに対して鈍角に折曲された矩形平板状の基部２８が設けられるとともに、他方の平坦部分２４６ｃの末端に、当接部３０が設けられる。当接部３０は、尖った先端３０ａ（図４）を有してもよいし有さなくてもよい。
【００６１】
上記した種々の変形例による押圧部材２４１〜２４６は、いずれも、荷重Ｌの方向に直交する仮想平面（荷重部材２６の第１面２６ａに平行な仮想平面）への射影において、当接部３０が基部２８よりも外側に位置する姿勢で、荷重部材２６に取り付けられる。なお前述したように、押圧部材２４の構成はこれら変形例に限定されない。
【００６２】
図９は、さらに他の変形例によるフィルム貼付装置３８を示す。フィルム貼付装置３８は、尖った先端３０ａを有する当接部３０（図４）を備える押圧部材２４に代えて、フィルム１０に摩擦力又は粘着力によって固定的に係合可能な素材から形成される当接部４０を備える押圧部材４２を具備している。押圧部材４２は、当接部４０以外は、前述した押圧部材２４と同様の構成を有する。当接部４０は、ゴム等の、フィルム１０の素材に対する高い摩擦係数を有する素材や、再剥離可能な接着剤等の粘着性を有する素材を、Ｕ字状に曲がった板状の形状を有する押圧部材４２の端縁に固定することにより形成できる。当接部４０は、図９（ｂ）に示すように、押圧部材４２の直線状の端縁に設けられてもよいし、図示しない曲線状の端縁に設けられてもよい。
【００６３】
押圧部材４２を備えたフィルム貼付装置３８によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材１２に重ね合わされたフィルム１０に対し、荷重部材２６に取り付けた複数の押圧部材４２の当接部４０をフィルム１０の第１フィルム領域１６内で第２面１０ｂに当接させて、複数の着力点１８を設定する（図９（ａ））。このとき当接部４０は、摩擦力又は粘着力により、フィルム１０の第２面１０ｂに形成される直線状の着力点１８においてフィルム１０に固定的に係合する。
【００６４】
その後は、前述したフィルム貼付装置２２と同様のステップを実施できる。つまり、個々の押圧部材４２の当接部４０をフィルム１０の着力点１８に当接させた状態で、荷重部材２６から各押圧部材４２の基部２８に、フィルム１０に向かう方向への荷重を加え、各押圧部材４２を傾倒させて、当接部４０からフィルム１０の着力点１８にフレーム部材１２の外側に向かう方向への力を加える。当接部４０は、摩擦力又は粘着力によりフィルム１０の第２面１０ｂに固定的に係合するので、力を加えている間に着力点１８がフィルム１０上で変位することを防止できる。
【００６５】
複数の押圧部材４２の当接部４０から対応の着力点１８に加わる力が釣り合った時点で、全ての着力点１８に均一な力が加わって、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳ（図９（ａ））が除去される。フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去されている状態で、個々の押圧部材４２の当接部４０から着力点１８に加わる力を解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に固着させる。
【００６６】
図１０は、さらに他の変形例によるフィルム貼付装置４４を示す。フィルム貼付装置４４は、尖った先端３０ａを含む当接部３０（図４）を有する押圧部材２４に代えて、フィルムに真空を解除可能に適用する吸着構造を有する当接部４６を備える押圧部材４８を具備している。押圧部材４８は、当接部４６以外は、前述した押圧部材２４と同様の構成を有する。当接部４６は、フィルム１０に吸着可能な吸着パッド５０を先端に有するノズル状部材であり、Ｕ字状に曲がった板状の形状を有する押圧部材４８の端縁に固定することにより形成できる。当接部４６は、チューブ５２によって図示しない真空源に接続され、真空源から真空が適用されることにより、吸着パッド５０がフィルム１０を吸着する。
【００６７】
押圧部材４８を備えたフィルム貼付装置４４によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材１２に重ね合わされたフィルム１０に対し、荷重部材２６に取り付けた複数の押圧部材４８の当接部４６の吸着パッド５０をフィルム１０の第１フィルム領域１６内で第２面１０ｂに当接させて、複数の着力点１８を設定する（図１０（ａ））。この状態で、当接部４６に真空を適用し、吸着パッド５０を、フィルム１０の第２面１０ｂに形成される面状の着力点１８に吸着させる。
【００６８】
その後は、前述したフィルム貼付装置２２と同様のステップを実施できる。つまり、個々の押圧部材４８の当接部４６をフィルム１０の着力点１８に当接させた状態で、荷重部材２６から各押圧部材４８の基部２８に、フィルム１０に向かう方向への荷重を加え、各押圧部材４８を傾倒させて、当接部４６からフィルム１０の着力点１８にフレーム部材１２の外側に向かう方向への力を加える。当接部４６は、吸着パッド５０がフィルム１０の第２面１０ｂを真空吸着するので、力を加えている間に着力点１８がフィルム１０上で変位することを防止できる。
【００６９】
複数の押圧部材４８の当接部４６から対応の着力点１８に加わる力が釣り合った時点で、全ての着力点１８に均一な力が加わって、フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳ（図１０（ａ））が除去される。フィルム１０の第２フィルム領域２０の弛みＳが除去されている状態で、個々の押圧部材４８の当接部４６から着力点１８に加わる力を解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム１０の第１フィルム領域１６をフレーム部材１２に固着させる。
【００７０】
図１１は、さらに他の変形例によるフィルム貼付装置５４を示す。フィルム貼付装置５４は、円形輪郭を有するフィルム１０ではなく正三角形輪郭を有するフィルム５６を、円形輪郭を有するフレーム部材１２に貼付するためのものである。フィルム５６は、第１面５６ａと、その反対側の第２面５６ｂと、正三角形輪郭の頂点５６ｃと、中心軸線５６ｄとを有する。フィルム５６は、その幾何学的中心（中心軸線５６ｄ）から各頂点５６ｃまでの距離が、フレーム部材１２の内径よりも大きく、頂点５６ｃを含む３つの端部領域に、フレーム部材１２に重なる第１フィルム領域５８が形成されるようになっている。
【００７１】
フィルム貼付装置５４は、前述したフィルム貼付装置２２の押圧部材２４及び荷重部材２６と同一構造の押圧部材２４及び荷重部材２６を備えている。ただしフィルム貼付装置５４では、計３個の押圧部材２４が、中心角１２０度の均等なピッチＰ（図１１（ａ））で回転対称に、荷重部材２６に取り付けられている。３個の押圧部材２４は、フィルム貼付装置２２と同様に、荷重部材２６から加わる荷重の方向に直交する仮想平面（図１１（ｂ）では荷重部材２６の第１面２６ａに平行な仮想平面）への射影において、それぞれの当接部３０がそれぞれの基部２８よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて環状の形態すなわち環状の列に配置される（図１１（ａ））。荷重部材２６にこのような配置で取り付けられた３個の押圧部材２４は、それぞれの当接部３０を、フレーム部材１２に重ねられたフィルム５６の３つの第１フィルム領域５８内に位置決めすることができる。フィルム貼付装置５４のその他の構成は、フィルム貼付装置２２と同様である。
【００７２】
フィルム貼付装置５４によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材１２に３つの第１フィルム領域５８で重ね合わされたフィルム５６に対し、荷重部材２６に取り付けた３個の押圧部材２４の当接部３０をフィルム５６の個々の第１フィルム領域５８内で第２面５６ｂに当接させて、３個の着力点６０を設定する。次に、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム５６の着力点６０に当接させた状態で、荷重部材２６から各押圧部材２４の基部２８に、フィルム５６に向かう方向への荷重を加え、各押圧部材２４を前述したトルクにより傾倒させて、当接部３０からフィルム５６の着力点６０にフレーム部材１２の外側に向かう方向への力を加える。
【００７３】
３個の押圧部材２４の当接部３０から対応の着力点６０に加わる力が釣り合った時点で、全ての着力点６０に中心軸線５６ｄから見て放射状に均一な力が加わって、フィルム５６の第２フィルム領域６２（フレーム部材１２の内側に位置する領域）が個々の頂点５６ｃに向かって実質的均等に伸展され、以て第２フィルム領域６２の弛みＳ（図１１（ｂ））が除去される。フィルム５６の第２フィルム領域６２の弛みＳが除去されている状態で、各押圧部材２４の当接部３０から着力点６０に加わる力を解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム５６の３つの第１フィルム領域５８をフレーム部材１２に固着させる。
【００７４】
図１２は、さらに他の変形例によるフィルム貼付装置６４を示す。フィルム貼付装置６４は、円形輪郭を有するフィルム１０ではなく正方形輪郭を有するフィルム６６を、円形輪郭を有するフレーム部材１２に貼付するためのものである。フィルム６６は、第１面６６ａと、その反対側の第２面６６ｂと、正方形輪郭の頂点６６ｃと、中心軸線６６ｄとを有する。フィルム６６は、その幾何学的中心（中心軸線６６ｄ）から各頂点６６ｃまでの距離が、フレーム部材１２の内径よりも大きく、頂点６６ｃを含む４つの端部領域に、フレーム部材１２に重なる第１フィルム領域６８が形成されるようになっている。
【００７５】
フィルム貼付装置６４は、前述したフィルム貼付装置２２の押圧部材２４及び荷重部材２６と同一構造の押圧部材２４及び荷重部材２６を備えている。ただしフィルム貼付装置６４では、計４個の押圧部材２４が、中心角９０度の均等なピッチＰ（図１２（ａ））で回転対称に、荷重部材２６に取り付けられている。４個の押圧部材２４は、フィルム貼付装置２２と同様に、荷重部材２６から加わる荷重の方向に直交する仮想平面（図１２（ｂ）では荷重部材２６の第１面２６ａに平行な仮想平面）への射影において、それぞれの当接部３０がそれぞれの基部２８よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて環状の形態すなわち環状の列に配置される（図１２（ａ））。荷重部材２６にこのような配置で取り付けられた４個の押圧部材２４は、それぞれの当接部３０を、フレーム部材１２に重ねられたフィルム６６の４つの第１フィルム領域６８内に位置決めすることができる。フィルム貼付装置６４のその他の構成は、フィルム貼付装置２２と同様である。
【００７６】
フィルム貼付装置６４によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材１２に４つの第１フィルム領域６８で重ね合わされたフィルム６６に対し、荷重部材２６に取り付けた４個の押圧部材２４の当接部３０をフィルム６６の個々の第１フィルム領域６８内で第２面６６ｂに当接させて、４個の着力点７０を設定する。次に、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム６６の着力点７０に当接させた状態で、荷重部材２６から各押圧部材２４の基部２８に、フィルム６６に向かう方向への荷重を加え、各押圧部材２４を前述したトルクにより傾倒させて、当接部３０からフィルム６６の着力点７０にフレーム部材１２の外側に向かう方向への力を加える。
【００７７】
４個の押圧部材２４の当接部３０から対応の着力点７０に加わる力が釣り合った時点で、全ての着力点７０に中心軸線６６ｄから見て放射状に均一な力が加わって、フィルム６６の第２フィルム領域７２（フレーム部材１２の内側に位置する領域）が個々の頂点６６ｃに向かって実質的均等に伸展され、以て第２フィルム領域７２の弛みＳ（図１２（ｂ））が除去される。フィルム６６の第２フィルム領域７２の弛みＳが除去されている状態で、各押圧部材２４の当接部３０から着力点７０に加わる力を解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム６６の４つの第１フィルム領域６８をフレーム部材１２に固着させる。
【００７８】
図１３は、さらに他の変形例によるフィルム貼付装置７４を示す。フィルム貼付装置７４は、円形輪郭を有するフィルム１０ではなく長方形輪郭を有するフィルム７６を、円形輪郭を有するフレーム部材１２ではなく長方形輪郭を有するフレーム部材７８に貼付するためのものである。フィルム７６は、第１面７６ａと、その反対側の第２面７６ｂと、長方形輪郭の頂点７６ｃを含む外周縁７６ｄと、中心軸線７６ｅとを有する。フレーム部材７８は、第１面７８ａと、その反対側の第２面７８ｂと、第１面７８ａと第２面７８ｂとの間に延びる内周面７８ｃと、内周面７８ｃの反対側で長方形輪郭の頂点７８ｄを含む外周面７８ｅと、中心軸線７８ｆとを有する。フィルム７６は、外周縁７６ｄにおける短辺及び長辺が、それぞれフレーム部材１２の内周面７８ｃにおける短辺及び長辺よりも大きく、外周面７８ｅに沿った矩形環状の領域に、フレーム部材７８に重なる第１フィルム領域８０が形成されるようになっている。
【００７９】
フィルム貼付装置７４は、前述したフィルム貼付装置２２の押圧部材２４と同一構造の押圧部材２４と、前述したフィルム貼付装置２２の荷重部材２６に類似した構造の荷重部材８２を備えている。荷重部材８２は、長方形輪郭を有する平板状のブロック体であることを除いて、荷重部材２６と同様の構成を有する。荷重部材８２は、第１面８２ａと、その反対側の第２面８２ｂと、第１面８２ａと第２面８２ｂとの間に延び、長方形輪郭の頂点８２ｃを含む外周面８２ｄと、中心軸線８２ｅとを有する。
【００８０】
フィルム貼付装置７４では、４個の押圧部材２４がそれぞれ、荷重部材８２の４つの頂点８２ｃに隣接する位置で第１面８２ａに取り付けられ、２個の押圧部材２４がそれぞれ、荷重部材８２の長方形輪郭の長辺の中心に相当する位置で第１面８２ａに取り付けられている。計６個の押圧部材２４は、フィルム貼付装置２２と同様に、荷重部材８２から加わる荷重の方向に直交する仮想平面（図１３（ｂ）では荷重部材８２の第１面８２ａに平行な仮想平面）への射影において、それぞれの当接部３０がそれぞれの基部２８よりも外側に位置する姿勢で、互いに間隔を空けて矩形環状の形態すなわち矩形環状の列に配置される（図１３（ａ））。荷重部材８２にこのような配置で取り付けられた６個の押圧部材２４は、それぞれの当接部３０を、フレーム部材７８に重ねられたフィルム７６の矩形環状の第１フィルム領域８０内に位置決めすることができる。フィルム貼付装置７４のその他の構成は、フィルム貼付装置２２と同様である。
【００８１】
フィルム貼付装置７４によって前述したフィルム貼付方法の一例を実施する際には、液状接着剤１４を介してフレーム部材７８に第１フィルム領域８０で重ね合わされたフィルム７６に対し、荷重部材８２に取り付けた６個の押圧部材２４の当接部３０をフィルム７６の第１フィルム領域８０内で第２面７６ｂに当接させて、６個の着力点８４を設定する。このとき、荷重部材８２の頂点８２ｃに隣接する位置に設置された押圧部材２４の当接部３０は、フィルム７６の対応の頂点７６ｃに隣接する位置で第２面７６ｂに当接して、着力点８４を設定する。また、荷重部材８２の長辺中央に相当する位置に設置された押圧部材２４の当接部３０は、フィルム７６の対応の長辺中央に隣接する位置で第２面７６ｂに当接して、着力点８４を設定する。次に、個々の押圧部材２４の当接部３０をフィルム７６の着力点８４に当接させた状態で、荷重部材８２から各押圧部材２４の基部２８に、フィルム７６に向かう方向への荷重を加え、各押圧部材２４を前述したトルクにより傾倒させて、当接部３０からフィルム７６の着力点８４にフレーム部材７８の外側に向かう方向への力を加える。
【００８２】
６個の押圧部材２４の当接部３０から対応の着力点８４に加わる力が釣り合った時点で、フィルム７６の頂点７６ｃに隣接する計４つの着力点８４に中心軸線７６ｅから見て放射状に均一な力が加わるとともに、フィルム７６の長辺中央に隣接する計２つの着力点８４に中心軸線７６ｅから見て放射状に均一な力が加わって、フィルム７６の第２フィルム領域８６（フレーム部材７８の内側に位置する領域）が個々の着力点８４に向かって実質的均等に伸展され、以て第２フィルム領域８６の弛みＳ（図１３（ｂ））が除去される。フィルム７６の第２フィルム領域８６の弛みＳが除去されている状態で、各押圧部材２４の当接部３０から着力点８４に加わる力を解除することなく、液状接着剤１４を固化させて、フィルム７６の第１フィルム領域８０をフレーム部材７８に固着させる。
【００８３】
上記変形例によるフィルム貼付装置７４から類推して、本発明の一態様に係るフィルム貼付方法は、非円形輪郭（正方形、長方形、台形、星形等の多角形、頂点が丸まった多辺形、楕円形、等）を有するフレーム部材に、任意形状のフィルムを貼付するための構成を有することができる。この構成は、フレーム部材が、非円形輪郭を有するとともに非円形輪郭を内部に含む最小の仮想円に接する少なくとも１つの張出し縁部（図１３では頂点７８ｄ）を有し、複数の着力点（図１３では着力点８４）の少なくとも１つが、第１フィルム領域（図１３では第１フィルム領域８０）において、フレーム部材の張出し縁部に隣接する位置に設定されるものである。
【００８４】
前述したフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置２２、３４、３８、４４、５４、６４、７４は、半導体チップの製造方法において、裏面研削後の薄肉化したウエハ（図示せず）をダイシングする際に、ウエハを支持するフィルム（例えばダイシングフィルムと称する。）を弛みの無い状態に維持するべく、フィルムにフレーム部材（例えばダイシングフレームと称する。）を取り付けるフレーム取付工程に、適用できるものである。また、前述したフィルム貼付方法及びフィルム貼付装置２２、３４、３８、４４、５４、６４、７４は、本願の出願人による先行特許出願である特願２０１０−２７１８９３の、出願当初の明細書又は図面に記載した半導体チップ作製方法にも適用できる。
【００８５】
図１４は、前述したフィルム貼付方法を、上記先行特許出願の明細書又は図面に一実施形態として記載した半導体チップ作製方法に適用した場合の主要ステップを、模式的に示す。この半導体チップ作製方法では、まず、第１面（回路面）９０ａ及びその反対側の第２面９０ｂを有するウエハ９０と、ウエハ９０の第１面９０ａよりも大きな第１面１０ａを有するフィルム１０と、フィルム１０の外周縁１０ｃに沿って配置可能な形状及び寸法を有するフレーム部材１２と、液状接着剤９２とを用意する。液状接着剤９２は、フィルム１０をフレーム部材１２に固定する液状接着剤１４（図３）と、同じ組成を有するものを使用できる。
【００８６】
次に、ウエハ９０をその第１面９０ａを上に向けてテーブル９４の上に搭載し（図１４（ａ））、ウエハ９０の第１面９０ａの中心軸線９０ｃを含む領域に液状接着剤９２を配置する（図１４（ｂ））。その状態で、ウエハ９０を中心軸線９０ｃの周りで回転させて、第１面９０ａの全体に液状接着剤９２を行き渡らせる（図１４（ｃ））。液状接着剤９２は、ウエハ９０の第１面９０ａに印刷配線等によって形成される凸部９６の間の隙間を充填する。
【００８７】
他方、フィルム１０の外周縁１０ｃに沿って、前述したフィルム貼付方法（図３）により、フレーム部材１２を固定する（図１４では液状接着剤１４の図示を省略している。）。このフレーム取付工程は、前述したフィルム貼付装置２２、３４、３８、４４、５４、６４、７４を用いて実施できる。前述したように、フレーム部材１２を固定したフィルム１０の、フレーム部材１２の内側に位置する第２フィルム領域２０は、弛みの無い状態になっている。
【００８８】
次に、ウエハ９０とフィルム１０とを、第１面９０ａと第１面１０ａとが互いに対向するとともにフィルム１０の外周縁１０ｃに沿った領域及びフレーム部材１２がウエハ９０の外側に張り出す相対位置に配置して、第１面９０ａと第１面１０ａとの双方を液状接着剤９２に接触させる（図１４（ｄ））。このとき、フィルム１０の外周縁１０ｃに沿ってフレーム部材１２が一様に固定されているので、フィルム１０の第２フィルム領域２０をフレーム部材１２によって伸展した状態（つまり弛みの無い状態）に維持しながら、ウエハ９０の第１面９０ａとフィルム１０の第１面１０ａとを互いに略平行な配置で液状接着剤９２に接触させることができる。
【００８９】
次に、液状接着剤９２をその組成に応じた方法で固化させて、ウエハ９０の第１面９０ａにフィルム１０を固着させる（図１４（ｅ））。液状接着剤９２が前述した液状接着剤１４と同様の物性を有することにより、液状接着剤９２は、ウエハ９０の第１面９０ａの凸部９６間の隙間を満遍無く円滑に充填し、気泡の混入が無い接合層９８をウエハ９０とフィルム１０との間に形成することができる。このようにして、ウエハ９０に対するフィルム１０の貼り付けが完了する。なお、ウエハ９０に対するフィルム貼付工程は、少なくとも、ウエハ９０及びフィルム１０を液状接着剤９２に接触させるステップ及びその状態で液状接着剤９２を固化させるステップを、真空環境で行うことが望ましい。また、これらステップを含む全てのステップを、真空環境で行うこともできる。
【００９０】
次に、第１面９０ａにフィルム１０を固着させたウエハ９０を、フレーム部材１２と共にテーブル９４から取り上げて、上下を反転させ、ウエハ９０の第２面９０ｂを上に向けた状態で別の静止台等に載置する。そして、例えば真空吸着等の保持手段を用いて、フレーム部材１２の内側でウエハ９０及びフィルム１０を固定的に支持するとともに、ウエハ９０及びフィルム１０に対してフレーム部材１２を固定した状態に保持する。この状態で、ウエハ９０の第２面９０ｂの全体を研削装置（図示せず）により研削し、平坦な加工面１００を形成する（図１４（ｆ））。これにより、ウエハ９０の裏面研削が完了する。
【００９１】
裏面研削により第１面（回路面）９０ａの反対側に加工面１００を形成したウエハ９０に対し、予め定めた切削線１０２に沿って加工面１００を切削（ダイシング）して、ウエハ９０を複数のチップ１０４に分断する（図１４（ｇ）)。分断した個々のチップ１０４は、例えばフィルム１０の第２面１０ｂから図示しないピン等で突き上げて、接合層９８とチップ１０４の表面との界面に剥離を生じさせることにより、フィルム１０から１つずつ取り上げることができる。なお、切削線１０２は通常、ウエハ９０の第１面９０ａに予め設けられており、加工面１００側から切削線１０２を視認することは一般に困難である。そこで、上記したダイシング工程においては、画像認識機能を有するダイシング装置を用いることにより、第１面９０ａ側の切削線１０２を画像上で認識しながら、加工面１００を正確にダイシングすることができる。
【符号の説明】
【００９２】
１０、５６、６６、７６    フィルム
１２、７８    フレーム部材
１４    液状接着剤
１６、５８、６８、８０    第１フィルム領域
１８、６０、７０、８４    着力点（当接点）
２０、６２、７２、８６    第２フィルム領域
２２、３４、３８、４４、５４、６４、７４    フィルム貼付装置
２４、４２、４８    押圧部材
２６、３６、８２    荷重部材
２８    基部
３０、４０、４６    当接部
Ｆ    力
Ｌ    荷重
Ｓ    弛み
【図１】
2013254819.tif 000003
【図２】
2013254819.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2013254819.tif 000007
【図６】
2013254819.tif 000008
【図７】
2013254819.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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