(57)【要約】【課題】比較的、数の少ない孔の形成によって、ダイシングテープと基板との間から気泡を効率よく抜くことのできる切断方法、電気光学装置の製造方法、およびダイシングテープを提供すること。【解決手段】ダイシングテープ６０をローラー５１により押圧しながらローラー５１を移動させて大型パネル３００とダイシングテープ６０とを貼り合わせる。ここで、ダイシングテープ６０には複数の孔６５が放射状に設けられている。具体的には、ダイシングテープ６０では、複数本の仮想の放射線ｒ上の各々に複数の孔６５が配列されている。このため、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜ける。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングテープの粘着剤層が設けられている一方面側を板状部材に重ねた状態で当該ダイシングテープの他方面を押圧部材により押圧しながら当該押圧部材を移動させて前記板状部材と前記ダイシングテープとを貼り合わせる貼り合わせ工程と、
前記板状部材を前記ダイシングテープとは反対側から切断する切断工程と、を有し、
前記ダイシングテープとして、前記押圧部材の移動方向に交差する方向に沿って複数の孔が配列されているダイシングテープを用いることを特徴とする切断方法。
【請求項２】
前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が放射状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の切断方法。
【請求項３】
前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が複数本の仮想の放射線上の各々に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の切断方法。
【請求項４】
前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の切断方法。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の切断方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記板状部材は、電気光学物質層を保持する電気光学装置用基板であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の切断方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記板状部材は、電気光学物質層を間に保持する一対の電気光学装置用基板を備えたパネルであることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
複数の孔が放射状に設けられていることを特徴とするダイシングテープ。
【請求項８】
複数本の仮想の放射線上の各々に前記複数の孔が配列されていることを特徴とする請求項７に記載のダイシングテープ。
【請求項９】
前記複数の孔は、前記複数の孔の配列方向の寸法が当該配列方向に直交する方向の寸法より大であることを特徴とする請求項８に記載のダイシングテープ。
【請求項１０】
前記複数の孔のうち、前記複数の孔の配列方向において放射中心から離間する側に位置する孔は、前記放射中心側に位置する孔より、前記配列方向に直交する方向の寸法が大であることを特徴とする請求項８または９に記載のダイシングテープ。
【請求項１１】
前記複数の孔において少なくとも当該複数の孔の配列方向の放射中心側に位置する部分は、当該配列方向に直交する方向の寸法が当該配列方向において放射中心から離間するに伴って増大していることを特徴とする請求項８乃至１０の何れか一項に記載のダイシングテープ。
【請求項１２】
前記複数の孔において少なくとも当該複数の孔の配列方向の放射中心側に位置する部分は、当該放射中心に凸状湾曲部または角部を向けていることを特徴とする請求項１１に記載のダイシングテープ。
【請求項１３】
前記複数の孔は、径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されていることを特徴とする請求項７に記載のダイシングテープ。
【請求項１４】
前記複数の孔は、相似形であることを特徴とする請求項７乃至１３の何れか一項に記載のダイシングテープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板のダイシング時に用いられるダイシングテープ、該ダイシングテープを用いた切断方法、および電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置や有機エレクトロルミネッセンス装置等の電気光学装置や、半導体装置の製造工程においては、大型の基板にトランジスター等を形成した後、大型の基板の裏面側にダイシングテープを貼り、この状態で基板を切断する方法が採用されている。なお、液晶装置の場合、トランジスター等が形成された大型の基板に別の基板を貼り合わせて大型のパネルを形成するが、この場合でも、パネルの裏面側にダイシングテープを貼り、この状態でパネルをダイシングブレードによって切断する方法が採用されている。
【０００３】
その際、ダイシングテープに複数の孔を設けておき、基板とダイシングテープとを貼り合わせる際、孔から気泡を抜けるようにした構成が提案されている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−１１２２５８号公報
【特許文献２】特開平６−２１２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２に記載の構成のように、ダイシングテープに単に複数の孔を設けただけの構成では、気泡を確実に抜くには、特許文献２の段落［００１２］に記載されているように、無数の小さな孔を設ける必要があり、ダイシングテープの強度が著しく低下するという問題点がある。このような強度低下が発生すると、ダイシング工程を終えた後、ダイシングテープを引っ張って基板片の間隔を広げた際にダイシングテープが切れる等の問題が発生するため、好ましくない。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、比較的、数の少ない孔の形成によって、ダイシングテープと基板との間から気泡を効率よく抜くことのできる切断方法、電気光学装置の製造方法、およびダイシングテープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る切断方法は、ダイシングテープの粘着剤層が設けられている一方面側を板状部材に重ねた状態で当該ダイシングテープの他方面を押圧部材により押圧しながら当該押圧部材を移動させて前記板状部材と前記ダイシングテープとを貼り合わせる貼り合わせ工程と、前記板状部材を前記ダイシングテープとは反対側から切断する切断工程と、を有し、前記ダイシングテープとして、前記押圧部材の移動方向に交差する方向に沿って複数の孔が配列されているダイシングテープを用いることを特徴とする。
【０００８】
本発明では、貼り合わせ工程においてダイシングテープの他方面を押圧部材により押圧しながら当該押圧部材を移動させて板状部材とダイシングテープとを貼り合わせる。ここで、ダイシングテープには孔が設けられているため、ダイシングテープと板状部材との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープの孔から抜ける。このため、ダイシングテープと板状部材との間に気泡が残らない。また、本発明において、複数の孔は押圧部材の移動方向に交差する方向に沿って設けられているため、ダイシングテープ全域に無数の孔を設けた場合と違って、少ない孔によって気泡を効果的に抜くことができる。それ故、ダイシングテープの強度が著しく低下することがない。
【０００９】
本発明に係る切断方法において、前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が放射状に設けられていることが好ましい。かかる構成によれば、押圧部材がいずれの方向に移動する場合でも、対応することができる。
【００１０】
本発明に係る切断方法において、前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が複数本の仮想の放射線上に配列されている構成を採用することができる。
【００１１】
本発明に係る切断方法において、前記ダイシングテープでは、前記複数の孔が径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されている構成を採用してもよい。
【００１２】
本発明に係る切断方法は、電気光学装置の製造方法に用いることができ、この場合、前記板状部材は、電気光学物質層を保持する電気光学装置用基板である。また、電気光学装置が、電気光学物質層としての液晶層を有する液晶装置等である場合、前記板状部材は、電気光学物質層を間に保持する一対の電気光学装置用基板を備えたパネルである。
【００１３】
また、本発明に係るダイシングテープは、複数の孔が放射状に配列されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るダイシングテープにおいて、複数本の仮想の放射線上に前記複数の孔が配列されている構成を採用することができる。
【００１５】
この場合、前記複数の孔は、前記複数の孔の配列方向の寸法が当該配列方向に直交する方向の寸法より大である構成を採用することができる。かかる構成によれば、押圧部材が移動する際、押圧部材から受ける負荷が小さいので、押圧部材がスムーズに移動するという利点がある。
【００１６】
また、前記複数の孔のうち、前記複数の孔の配列方向において放射中心から離間する側に位置する孔は、前記放射中心側に位置する孔より、前記配列方向に直交する方向の寸法が大であることが好ましい。かかる構成によれば、気泡を効果的に抜くことができる。
【００１７】
また、前記複数の孔において少なくとも当該複数の孔の配列方向の放射中心側に位置する部分は、当該配列方向に直交する方向の寸法が当該配列方向において放射中心から離間するに伴って増大している構成を採用することができる。例えば、前記複数の孔において少なくとも当該複数の孔の配列方向の放射中心側に位置する部分は、当該放射中心に凸状湾曲部または角部を向けている構成を採用することができる。かかる構成によれば、気泡を効果的に抜くことができる。
【００１８】
本発明に係るダイシングテープにおいて、前記複数の孔は、径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されている構成を採用してもよい。かかる構成によれば、気泡を効果的に抜くことができる。
【００１９】
本発明において、前記複数の孔は、相似形である構成を採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用した液晶装置（電気光学装置）に用いた液晶パネルの説明図である。
【図２】本発明を適用した液晶装置の製造工程を示す説明図である。
【図３】本発明を適用した液晶装置の製造工程において用いる大型基板の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る液晶装置の製造工程のうち、切断工程においてダイシングテープを貼り付ける工程を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る液晶装置の製造工程のうち、切断工程において大型パネルを切断する様子を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る液晶装置の製造工程で用いたダイシングテープの孔を拡大して示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る液晶装置の製造工程で用いたダイシングテープの孔を拡大して示す説明図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る液晶装置の製造工程で用いたダイシングテープの孔を拡大して示す説明図である。
【図９】本発明の実施の形態５に係る液晶装置の製造工程のうち、切断工程においてダイシングテープを貼り付ける工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、各種の電気光学装置のうち、液晶装置の製造方法に本発明を適用した場合を中心に説明する。また、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００２２】
［電気光学装置の全体構成］
図１は、本発明を適用した液晶装置（電気光学装置）に用いた液晶パネルの説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は各々、液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＨ−Ｈ′断面図である。
【００２３】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、液晶装置１は、素子基板１０と対向基板２０とが所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされた液晶パネル３を有している。素子基板１０および対向基板２０はいずれも、ガラス基板や石英基板からなる。液晶パネル３において、シール材１０７は対向基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられており、素子基板１０と対向基板２０との間においてシール材１０７により囲まれた領域内に液晶層３０が保持されている。シール材１０７は、光硬化樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。
【００２４】
本形態において、素子基板１０および対向基板２０はいずれも四角形であり、素子基板１０は、Ｘ方向に延在するとともにＹ方向で互いに対向する２つの端部１０ａ、１０ｂと、Ｙ方向に延在するとともにＸ方向で互いに対向する２つの端部１０ｃ、１０ｄとを備えている。また、対向基板２０は、Ｘ方向に延在するとともにＹ方向で互いに対向する２つの端部２０ａ、２０ｂと、Ｙ方向に延在するとともにＸ方向で互いに対向する２つの端部２０ｃ、２０ｄとを備えている。液晶パネル３の略中央には、画素領域１ａ（画像表示領域）が四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形に設けられ、シール材１０７の内周縁と画素領域１ａの外周縁との間には、略四角形の周辺領域１ｂが額縁状に設けられている。素子基板１０の一方側の基板面において、画素領域１ａには、スイッチング素子（図示せず）や画素電極９ａがマトリクス状に形成されており、かかる画素電極９ａの上層側には配向膜１６が形成されている。また、素子基板１０の一方面側において、周辺領域１ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。
【００２５】
素子基板１０は、対向基板２０の端部２０ａから一方側（Ｙ方向）に張り出した張出領域１０５を備えており、かかる張出領域１０５には、素子基板１０の一方側の端部１０ａに沿って複数の端子１０２が形成されている。張出領域１０５は、Ｘ方向に延在する端部が長辺であり、Ｙ方向に延在する端部が短辺である。張出領域１０５では、端子１０２が配列されている領域に対して端部１０ａが位置する側とは反対側にデータ線駆動回路１０１が形成されている。また、素子基板１０には、一方側（Ｙ方向）に対して交差する方向（Ｘ方向）で対向する端部１０ｃ、１０ｄに沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。なお、端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、素子基板１０には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。
【００２６】
対向基板２０において素子基板１０と対向する一方面側には共通電極２１が形成されており、共通電極２１の上層には配向膜２６が形成されている。共通電極２１は、対向基板２０の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素に跨って形成されている。また、対向基板２０において素子基板１０と対向する一方面側には、共通電極２１の下層側に遮光層１０８が形成されている。本形態において、遮光層１０８は、画素領域１ａの外周縁に沿って延在する額縁状に形成されており、見切りとして機能する。遮光層１０８の外周縁は、シール材１０７の内周縁との間に隙間を隔てた位置にあり、遮光層１０８とシール材１０７とは重なっていない。なお、対向基板２０において、遮光層１０８は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた領域と重なる部分等にも形成されることがある。
【００２７】
このように構成した液晶パネル３において、素子基板１０には、シール材１０７より外側において対向基板２０の角部分と重なる位置に、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極１０９が形成されている。基板間導通用電極１０９には、導電粒子を含んだ基板間導通材１０９ａが配置されており、対向基板２０の共通電極２１は、基板間導通材１０９ａおよび基板間導通用電極１０９を介して素子基板１０側に電気的に接続されている。
【００２８】
かかる構成の液晶装置１において、画素電極９ａおよび共通電極２１をＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成すると、透過型の液晶装置を構成することができる。これに対して、共通電極２１をＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成し、画素電極９ａをアルミニウム膜等の反射性電極として構成すると、反射型の液晶装置を構成することができる。液晶装置１は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、対向基板２０には、カラーフィルター（図示せず）や保護膜が形成される。また、液晶装置１では、使用する液晶層３０の種類や、ノーマリホワイトモード／ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が液晶パネル３に対して所定の向きに配置される。さらに、液晶装置１は、投射型表示装置（液晶プロジェクター）において、ＲＧＢ用のライトバルブとして用いることができる。この場合、ＲＧＢ用の各液晶装置１の各々には、ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。
【００２９】
（液晶装置１の製造方法の概要）
図２は、本発明を適用した液晶装置１の製造工程を示す説明図である。図３は、本発明を適用した液晶装置１の製造工程において用いる大型基板の説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）は、大型基板同士を貼り合わせて大型パネル（パネル）を構成した様子を示す説明図、および大型パネルを単品サイズに切断するときの切断予定線を示す説明図である。なお、図３（ｂ）には、大型パネルを矢印Ｔで示すように反転させた様子を示してある。
【００３０】
図１および図２において、本形態の液晶装置１を製造するには、素子基板１０に対してスイッチング素子や画素電極９ａ等の形成工程Ｓ１を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート等により配向膜１６を形成する配向膜形成工程Ｓ２を行う。配向膜１６がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程Ｓ２の後、配向膜１６に対するラビング工程Ｓ３を行う。次に、シール材１０７を塗布するシール印刷工程Ｓ４を行う。かかるシール材１０７の塗布は、ノズルからシール材を吐出しながらノズルと素子基板１０とを相対移動させて、シール材１０７を矩形枠状に描画する。
【００３１】
一方、対向基板２０に対しては、共通電極２１等の形成工程Ｓ１１を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート等により配向膜２６を形成する配向膜形成工程Ｓ１２を行う。配向膜２６がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程Ｓ１２の後、配向膜２６に対するラビング工程Ｓ１３を行う。
【００３２】
次に、シール材１０７によって素子基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる貼り合わせ工程Ｓ２０を行う。貼り合わせ工程Ｓ２０では、まず、重ね合わせ工程Ｓ２１において、シール材１０７を間に挟んで素子基板１０と対向基板２０とを重ね合わせ、その後に、シール硬化工程Ｓ２２においてシール材１０７を硬化させ、パネルを構成する。かかるシール硬化工程Ｓ２２では、例えば、対向基板２０側からＵＶ光等を照射してシール材１０７を硬化させる。
【００３３】
本形態では、上記のシール硬化工程Ｓ２２までを素子基板１０を多数取りできる大型基板（第１大型基板１００／図３参照）、および対向基板２０を多数取りできる大型基板（第２大型基板２００／図３参照）の状態で行う。このため、本形態では、後述するように、シール硬化工程Ｓ２２の後、大型パネル３００（図３参照）の状態で第１大型基板１００および第２大型基板２００を単品サイズに切断する切断工程Ｓ２３を行い、その後、液晶封入工程Ｓ２４を行う。液晶封入工程Ｓ２４では、減圧雰囲気中でシール材１０７の途切れ部分に液晶を供給した後、減圧状態を解除する。その結果、シール材１０７の内側に液晶が注入される。かかる液晶の注入を終えた後は、シール材１０７の途切れ部分を封止材１０７ａで封止する。
【００３４】
なお、対向基板２０として単品サイズの基板を用いるとともに、シール印刷工程Ｓ４において、図１に示すシール材１０７を、途切れ部分を設けずに形成することもある。この場合、シール材１０７で囲まれた領域内に液晶を滴下し、その後、貼り合わせ工程Ｓ２０において、対向基板２０を重ね、シール材１０７で貼り合わせる。かかる方法の場合、貼り合わせ工程Ｓ２０と液晶封入工程Ｓ２４が同時に行われるので、液晶封入工程Ｓ２４の後に、素子基板１０を構成する第１大型基板１００を切断工程Ｓ２３において切断することになる。
【００３５】
（切断工程Ｓ２３の概要）
本形態の液晶装置１の製造方法においては、図３（ａ）に示す大型パネル３００を形成した後、図３（ｂ）に示す切断予定線３０１〜３０３に沿って第２大型基板２００を切断するとともに、切断予定線３０４、３０５に沿って第１大型基板１００を切断して単品サイズのパネル３ａを得る。第１大型基板１００および第２大型基板２００としては各種形状のものを用いることができ、本形態では、第１大型基板１００および第２大型基板２００としては円盤形状の基板が用いられている。このため、大型パネル３００も円盤状であり、かかる大型パネル３００のうち、図３に一点鎖線で示す部分から複数のパネル３ａが切り出される。
【００３６】
第２大型基板２００に対する切断予定線３０１〜３０３のうち、切断予定線３０１は、対向基板２０において素子基板１０の張出領域１０５が位置する一方側の端部２０ａに沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、切断予定線３０３は、対向基板２０においてＸ方向で対向する端部２０ｃ、２０ｄに沿ってＹ方向に延在する切断予定線である。切断予定線３０２は、素子基板１０において張出領域１０５が位置する一方側の端部１０ａに重なる部分に沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線３０２は、素子基板１０の他方側の端部１０ｂに沿ってＸ方向に延在する切断予定線でもある。これらの切断予定線３０１〜３０３に沿って第２大型基板２００を切断すれば、対向基板２０を切り出す領域の周りを切断することができるとともに、第２大型基板２００において、素子基板１０の張出領域１０５と重なる除材部分２０５の周りを切断することができる。
【００３７】
また、第１大型基板１００に対する切断予定線３０４、３０５のうち、切断予定線３０４は、素子基板１０において張出領域１０５が位置する一方側の端部１０ａに沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線３０４は、素子基板１０の他方側の端部１０ｂに沿ってＸ方向に延在する切断予定線でもある。また、切断予定線３０５は、素子基板１０においてＸ方向で対向する端部１０ｃ、１０ｄに沿ってＹ方向に延在する切断予定線である。
【００３８】
本形態において、第２大型基板２００に対する切断予定線３０２と第１大型基板１００に対する切断予定線３０４とは平面視で重なっており、第２大型基板２００に対する切断予定線３０３と第１大型基板１００に対する切断予定線３０５とは平面視で重なっている。
【００３９】
（ダイシング方法／切断方法）
図４は、本発明の実施の形態１に係る液晶装置１の製造工程のうち、切断工程においてダイシングテープを貼り付ける工程を示す説明図であり、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、大型パネル３００の一方面側にダイシングテープを重ねた状態を示す断面図、ダイシングテープに対する１回目の押圧工程を示す平面図、およびダイシングテープに対する２回目の押圧工程を示す平面図である。図５は、本発明の実施の形態１に係る液晶装置１の製造工程のうち、切断工程において大型パネル３００を切断する様子を示す説明図、およびその断面図である。なお、図４（ａ）および図５（ｂ）には、図示等を簡略化することを目的に、ダイシングテープに設けた複数の孔については同一サイズに表してある。
【００４０】
図３に示す大型パネル３００から単品サイズのパネル３ａを切り出すには、切断予定線３０１〜３０３および切断予定線３０４、３０５に沿って第１大型基板１００（電気光学装置用基板）および第２大型基板２００（電気光学装置用基板）を切断する。かかる切断のうち、例えば、大型パネル３００（板状部材）を第２大型基板２００側から切断する場合、図４および図５に示す円形のダイシングテープ６０を大型パネル３００の一方面側（第１大型基板１００側）に貼付し、この状態で、大型パネル３００を他方面側（第２大型基板２００の側）からダイシングブレード７０（図５参照）により切断する。
【００４１】
かかる切断方法のうち、図４に示す貼り合わせ工程では、図４（ａ）に示すように、ダイシングテープ６０の粘着剤層６１が設けられている一方面側（下面側）を大型パネル３００の一方面側（第１大型基板１００の側）に重ねた後、図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、ダイシングテープ６０の他方面を押圧部材５０により押圧しながら押圧部材５０を移動させて第１大型基板１００とダイシングテープ６０とを貼り合わせる。本形態では、押圧部材５０としてローラー５１が用いられており、ローラー５１については、まず、図４（ｂ）に示すように、ダイシングテープ６０の中心からＸ方向の一方側および他方側に移動させる。また、ローラー５１については、必要に応じて、ローラー５１のＹ方向における位置をずらして、ダイシングテープ６０の中心からＸ方向の一方側および他方側に移動させる。また、図４（ｃ）に示すように、ローラー５１をダイシングテープ６０の中心からＹ方向の一方側および他方側に移動させる。また、ローラー５１については、必要に応じて、ローラー５１のＸ方向における位置をずらして、ダイシングテープ６０の中心からＹ方向の一方側および他方側に移動させる。
【００４２】
かかる切断工程において、本形態では、大型パネル３００の周りには、リング状のホルダー４０を配置しておき、ダイシングテープ６０についてはホルダー４０にも接着される。従って、大型パネル３００は、ダイシングテープ６０によってホルダー４０に支持された状態となる。なお、本形態において、ホルダー４０は、八角の枠状である。
【００４３】
次に、図５に示す切断工程では、大型パネル３００の一方面側にダイシングテープ６０が貼られた状態で、第２大型基板２００が位置する他方面側が上向きとなるように大型パネル３００を反転させてステージ（図示せず）上に大型パネル３００を載置し、この状態で、大型パネル３００の他方面側（第２大型基板２００の側）をダイシングブレード７０によって切断する。
【００４４】
なお、図５等ではダイシングブレード７０によって切断するダイシング工程を説明したが、第２大型基板２００の側にスクライブ溝を形成した後、スクライブ溝に応力を加えて、スクライブ溝に沿って第２大型基板２００を切断するスクライブ工程を採用する場合も、上記の切断工程と同様、ダイシングテープ６０を用いることができる。
【００４５】
このようなスクライブ工程やダイシング工程により、大型パネル３００を単品サイズのパネル３ａに切断するが、切断されたパネル３ａは、ダイシングテープ６０に保持された状態にある。そこで、ダイシングテープ６０を外側に引っ張ってパネル３ａの間隔を広げ、チャック装置によって、パネル３ａをダイシングテープ６０から外していく。その際、ダイシングテープ６０に形成されている粘着剤層６１は、紫外線の照射等によって接着能力が低下する。このため、チャック装置によって、パネル３ａをダイシングテープ６０から外していく作業を効率よく行うことができる。
【００４６】
（ダイシングテープ６０の構成）
上記の切断方法を採用するにあたって、本形態のダイシングテープ６０には、ローラー５１の移動方向に交差する方向に沿って複数の孔６５が形成されている。ここで、ダイシングテープ６０は、伸縮性のフィルム６２の一方面に粘着剤層６１が設けられており、孔６５は、フィルム６２および粘着剤層６１を貫通するように設けられている。
【００４７】
このような構成のダイシングテープ６０を大型パネル３００と貼り合わせる際、本形態では、ローラー５１をダイシングテープ６０の中心からＸ方向の一方側および他方側に移動させた後、ダイシングテープ６０の中心からＹ方向の一方側および他方側に移動させる。従って、本形態のダイシングテープ６０では、ローラー５１の移動方向に交差する方向に沿って複数の孔６５が配列されている。
【００４８】
より具体的には、本形態のダイシングテープ６０では、図４および図５に示すように、複数の孔６５が放射状に形成されており、ダイシングテープ６０では、複数本の仮想の放射線ｒ（図４（ｂ）参照）上の各々に複数の孔６５が配列されている。このため、複数の孔６５には、ダイシングテープ６０の中心からＸ方向の一方側に向けて配列された複数の孔６５と、ダイシングテープ６０の中心からＸ方向の他方側に配列された複数の孔６５とが含まれている。また、複数の孔６５には、ダイシングテープ６０の中心からＹ方向の一方側に向けて配列された複数の孔６５と、ダイシングテープ６０の中心からＹ方向の他方側に配列された複数の孔６５とが含まれている。さらに、本形態では、複数の孔６５には、Ｘ方向およびＹ方向に交差する斜め方向に配列された複数の孔６５も含まれている。本形態では、等角度間隔に設定された１６本の仮想の放射線ｒ上の各々に複数の孔６５が配列されている。
【００４９】
このように構成したダイシングテープ６０において、複数の孔６５はいずれも円形であり、複数の孔６５は相似形である。また、複数の孔６５のうち、孔６５の配列方向において放射中心から離間する側に位置する孔６５は、放射中心側に位置する孔６５より直径が大である。このため、複数の孔６５のうち、孔６５の配列方向において放射中心から離間する側に位置する孔６５は、放射中心側に位置する孔６５より、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗが大である。また、孔６５は、円形であるため、孔６５において放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に凸状湾曲部を向けており、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大している。
【００５０】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態に係る切断方法では、貼り合わせ工程においてダイシングテープ６０をローラー５１（押圧部材５０）により押圧しながらローラー５１を移動させて大型パネル３００（板状部材）とダイシングテープ６０とを貼り合わせる。ここで、ダイシングテープ６０には複数の孔６５が設けられているため、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜ける。このため、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に気泡が残らない。このため、図５（ａ）に示すように、ダイシングテープ６０が貼られた側を下向きにして大型パネル３００をステージ（図示せず）上に載置した際、ダイシングテープ６０には気泡によって膨らんだ箇所が発生しないので、大型パネル３００をステージ上に水平に載置することができる。従って、大型パネル３００をダイシングブレード７０によって正確に切断することができる。また、ダイシングテープ６０には気泡によって膨らんだ箇所が発生しないので、大型パネル３００をステージ上に載置した状態でダイシングブレード７０により大型パネル３００を切断する際、気泡によって膨らんだ箇所に大きな力が加わって、大型パネル３００が割れる等の不具合の発生を防止することができる。
【００５１】
また、ダイシングテープ６０では、複数の孔６５が放射状に配置されている等、ダイシングテープ６０の全域に無数の孔を設けた場合と違って、ローラー５１の移動方向に対応する領域に選択的に形成されている。このため、少ない数の孔６５によって気泡を効率よく抜くことができるので、ダイシングテープ６０の強度が著しく低下することがない。それ故、ダイシング工程を終えた後、ダイシングテープ６０を引っ張って伸ばしたときでも、ダイシングテープが切れる等の問題が発生しにくい。
【００５２】
また、複数の孔６５は、放射中心から離間する側に位置する孔６５の直径（周方向の寸法）の寸法Ｗが大であるため、ローラー５１を移動させた際、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。また、孔６５において放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に円弧部分（凸状湾曲部）を向けており、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大している。このため、ローラー５１を移動させた際、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００５３】
［実施の形態１の変形例］
上記実施の形態１では、放射中心から離間する側に位置する孔６５の直径（周方向の寸法）の寸法Ｗが大であったが、全て同一サイズの孔６５をダイシングテープ６０に設けてもよい。
【００５４】
［実施の形態２］
図６は、本発明の実施の形態２に係る液晶装置１の製造工程で用いたダイシングテープ６０の孔６５を拡大して示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
【００５５】
実施の形態１でダイシングテープ６０に形成した孔６５は真円であったが、図６（ａ）に示すように、長穴形状や楕円形状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。また、孔６５は長円または楕円であるため、放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に円弧部分（凸状湾曲部）を向けている。このため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大しているので、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００５６】
図６（ｂ）に示すように、菱形形状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。また、孔６５は菱形であるため、放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に角部を向けている。このため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大しているので、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００５７】
図６（ｃ）に示すように、長方形の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。
【００５８】
図６（ｄ）に示すように、三角形状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。また、孔６５は、放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に角部を向けている。このため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大しているので、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００５９】
図６（ｅ）に示すように、台形形状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。また、孔６５において、放射中心側に位置する部分６５ａは短い方の辺である。このため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大しているので、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００６０】
図６（ｆ）に示すように、四角形の辺のうちの一部が円弧状になっている孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に長手方向を向けており、孔６５の配列方向の寸法Ｌａは、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗより大である。かかる構成によれば、ローラー５１が移動する際、ローラー５１が孔６５から受ける負荷が小さいので、ローラー５１がスムーズに移動するという利点がある。また、孔６５は、放射中心側に位置する部分６５ａは、円弧部分（凸状湾曲部）を放射中心に向けている。このため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大しているので、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００６１】
なお、図６（ａ）〜（ｆ）に示す孔６５を放射状に配列させるにあたっては、全て同一サイズの孔６５をダイシングテープ６０に設けてもよい、また、実施の形態１のように、孔６５については全て相似形状とし、放射中心から離間する側に位置する孔６５については、放射中心側に位置する孔６５より周方向の寸法Ｗを大にしてもよい。
【００６２】
［実施の形態３］
図７は、本発明の実施の形態３に係る液晶装置１の製造工程で用いたダイシングテープ６０の孔６５を拡大して示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
【００６３】
実施の形態１でダイシングテープ６０に形成した孔６５は真円であったが、図７（ａ）に示すように、スリット状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよく、本形態の孔６５は、スリット幅が一定である。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に直交する方向（周方向）に延在しており、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗは、孔６５の配列方向における寸法Ｌａより大である。また、複数の孔６５については全て相似形状とし、複数の孔６５において、放射中心から離間する側に位置する孔６５については、放射中心側に位置する孔６５より周方向の寸法Ｗを大にしてある。また、孔６５において、放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に角部を向けているため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大している。従って、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００６４】
図７（ｂ）に示すように、曲率半径が異なる２本の円弧で規定されたスリット状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に直交する方向（周方向）に延在しており、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗは、孔６５の配列方向における寸法Ｌａより大である。また、複数の孔６５については全て相似形状とし、複数の孔６５において、放射中心から離間する側に位置する孔６５については、放射中心側に位置する孔６５より周方向の寸法Ｗを大にしてある。また、孔６５において、放射中心側に位置する部分６５ａは、放射中心に円弧部分（凸状湾曲部）を放射中心に向けているため、放射中心側に位置する部分６５ａでは、配列方向に直交する方向の寸法Ｗが放射中心から離間するに伴って増大している。従って、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。
【００６５】
［実施の形態４］
図８は、本発明の実施の形態４に係る液晶装置１の製造工程で用いたダイシングテープ６０の孔６５を拡大して示す説明図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
【００６６】
図８（ａ）に示すように、スリット状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよく、本形態の孔６５は、スリット幅が一定である。ここで、孔６５は、図７（ａ）に示す形態と同様、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に直交する方向（周方向）に延在しており、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗは、孔６５の配列方向における寸法Ｌａより大である。また、複数の孔６５については全て相似形状とし、複数の孔６５において、放射中心から離間する側に位置する孔６５については、放射中心側に位置する孔６５より周方向の寸法Ｗを大にしてある。従って、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。なお、本形態では、図７（ｂ）に示す形態とは反対に、孔６５において放射中心から離間する側の部分６５ｂは、外周側に角部を向けている。
【００６７】
図８（ｂ）に示すように、曲率半径が異なる２本の円弧で規定されたスリット状の孔６５をダイシングテープ６０に形成してもよい。ここで、孔６５は、図７（ｂ）に示す形態と同様、複数の孔６５の配列方向（矢印Ｌ）に直交する方向（周方向）に延在しており、配列方向に直交する方向（周方向）の寸法Ｗは、孔６５の配列方向における寸法Ｌａより大である。また、複数の孔６５については全て相似形状とし、複数の孔６５において、放射中心から離間する側に位置する孔６５については、放射中心側に位置する孔６５より周方向の寸法Ｗを大にしてある。従って、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜けやすい。なお、本形態では、図７（ｂ）に示す形態とは反対に、孔６５において放射中心から離間する側の部分６５ｂは、外周側に円弧部分（凸状湾曲部）を向けている。
【００６８】
［実施の形態５］
図９は、本発明の実施の形態５に係る液晶装置１の製造工程のうち、切断工程においてダイシングテープを貼り付ける工程を示す説明図である。
【００６９】
上記実施の形態１〜４では、円形のダイシングテープ６０を大型パネル３００と貼り合わせる際、ローラー５１（押圧部材５０）をダイシングテープ６０の中心からＸ方向の一方側および他方側に移動させた後、ダイシングテープ６０の中心からＹ方向の一方側および他方側に移動させたが、本形態は、図９に矢印ＣＷで示すように、ローラー５１を周方向の時計回りに回転させる。あるいは、図９に矢印ＣＣＷで示すように、ローラー５１を周方向の反時計回りに回転させる。かかるローラー５１の移動方向に交差する方向に沿って、本形態のダイシングテープ６０では、複数の孔６５が周方向に配列されている。
【００７０】
ここで、複数の孔６５は、径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されている。このため、ダイシングテープ６０にローラー５１（押圧部材５０）を押し付けながらローラー５１を移動させて大型パネル３００（板状部材）とダイシングテープ６０とを貼り合わせる際、ダイシングテープ６０と大型パネル３００との間に入り込んだ気泡は、ダイシングテープ６０の孔６５から抜ける。また、ダイシングテープ６０では、複数の孔６５が放射状に配置されている等、ローラー５１の移動方向に対応する領域に選択的に形成されている。このため、ダイシングテープ６０の全域に無数の孔を設けた場合と違って、ダイシングテープ６０の強度が著しく低下することがない。それ故、ダイシング工程を終えた後、ダイシングテープ６０を引っ張って伸ばしたときでも、ダイシングテープが切れる等の問題が発生しにくい。
【００７１】
［実施の形態５の変形例１］
上記実施の形態５では、ローラー５１（押圧部材５０）を周方向に移動させたが、図４を参照して説明したように、ローラー５１（押圧部材５０）をＸ方向およびＹ方向に移動させる場合に、図９に示すダイシングテープ６０を用いてもよい。
【００７２】
上記実施の形態５では、複数の孔６５が、径方向に延在するスリット形状をもって放射状に配列されているダイシングテープ６０を用いた場合にローラー５１（押圧部材５０）を周方向に移動させたが、図４〜図８を参照して説明したダイシングテープ６０を用いた場合にローラー５１（押圧部材５０）を周方向に移動させてもよい。
【００７３】
［他の電気光学装置］
上記実施の形態では、ダイシングテープ６０を用いて切断する板状部材が大型パネル３００であったが、ダイシングテープ６０を用いて切断する板状部材が１枚の液晶装置用基板（電気光学装置用基板）であってもよく、この場合、液晶装置用基板の一方面側にダイシングテープ６０が貼られ、他方面側から切断が行われる。また、上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例示したが、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出を用いた装置（Field Emission Display）、ＤＬＰ（Digital Light Processing）等の電気光学装置の製造方法に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００７４】
１・・液晶装置（電気光学装置）、３・・液晶パネル、３ａ・・単品サイズのパネル、９ａ・・画素電極、１０・・素子基板、２０・・対向基板、２１・・共通電極、３０・・液晶層、４０・・ホルダー、５０・・押圧部材、５１・・ローラー、６０・・ダイシングテープ、６５・・孔、１００・・第１大型基板（電気光学装置用基板）、２００・・第２大型基板（電気光学装置用基板）、３００・・大型パネル（パネル／板状部材）、３０１〜３０５・・切断予定線
【図１】
2013033787.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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