(57)【要約】【課題】カーボンナノチューブを含有する薄膜を用いる、新たな構造の感圧素子を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブを含有する薄膜層と、該薄膜層に接して形成された第１電極及び第２電極を備え、該薄膜層が電気絶縁性物質を含有するカーボンナノチューブ含有感圧素子。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボンナノチューブを含有する薄膜層と、
該薄膜層に接して形成された第１電極及び第２電極を備え、
該薄膜層が電気絶縁性物質を含有することを特徴とする、カーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項２】
前記第１電極及び前記第２電極が絶縁層上に形成され、前記薄膜層が該絶縁層上の該第１電極及び該第２電極の間に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項３】
カーボンナノチューブを含有する薄膜層と、
該薄膜層に接して形成された第１電極及び第２電極と、
該第１電極と該第２電極との間に流れる電流を制御するための第３電極と、
該薄膜層と該第３電極との間に形成された絶縁層と、を備え、
該薄膜層が電気絶縁性物質を含有することを特徴とする、カーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項４】
前記薄膜層が前記絶縁層の上に形成され、該薄膜層の上に前記第１電極及び前記第２電極が形成されていることを特徴とする、請求項３に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項５】
前記第１電極が前記絶縁層の上に形成され、前記薄膜層は該第１電極を覆うように該絶縁層の上に形成され、前記第２電極は該薄膜層の上に形成されていることを特徴とする、請求項３に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項６】
前記薄膜層に含有される前記電気絶縁性物質が、天然ゴム又は合成ゴム材料であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項７】
前記薄膜層に含有される前記電気絶縁性物質が、アクリル系高分子材料であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項８】
前記アクリル系高分子材料は、ポリメタクリル酸メチルであることを特徴とする、請求項７に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子をマトリックス状に配列した、感圧センサシート。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子の製造方法であって、
基板の上に絶縁層を形成する工程と、
該絶縁層の上にカーボンナノチューブを含む薄膜層を形成する工程と、を含み、
該薄膜層を形成する工程は、カーボンナノチューブの分散液を塗布又は印刷して該薄膜層を形成することを特徴とする、カーボンナノチューブ含有感圧素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブを含有する感圧素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
カーボンナノチューブは、グラフェンシートを円筒状に丸めた構造を有しており、一般的には、ストローもしくは麦わら状の構造を有している。カーボンナノチューブは単一のチューブからなるシングルウォールカーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ；Ｓｉｎｇｌｅ−Ｗａｌｌｅｄ  Ｃａｒｂｏｎ  ＮａｎｏＴｕｂｅ）、直径の異なる２本のチューブが積層した構造のダブルウォールカーボンナノチューブ（ＤＷＣＮＴ；Ｄｏｕｂｌｅ−Ｗａｌｌｅｄ  Ｃａｒｂｏｎ  ＮａｎｏＴｕｂｅ）、直径の異なる多数のチューブが積層した構造のマルチウォールカーボンナノチューブ（ＭＷＣＮＴ；Ｍｕｌｔｉ−Ｗａｌｌｅｄ  Ｃａｒｂｏｎ  ＮａｎｏＴｕｂｅ）に分類され、そのそれぞれの構造において特徴を活かした応用研究が進められている。
【０００３】
カーボンナノチューブを多数本分散させて薄膜を形成させるためには、カーボンナノチューブの溶液や分散液を用いると容易に薄膜を形成させることができる（例えば非特許文献１〜４参照）。
【０００４】
一方、ユビキタス社会の発展に伴い、情報の入出力手段の発展が著しい。情報の出力手段が先に発展をし、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）をはじめとするフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）が情報表示デバイスの主流となっている。ＬＣＤとは異なるフラットパネルディスプレイとしては、有機エレクトロルミネッセントディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ  （ＰＤＰ）などの自発光型ディスプレイも実用化され、大きさ、明るさ（輝度）、解像度などの特長によって使い分けられている。
【０００５】
また、低消費電力化を目的とした不揮発型の表示装置の開発も進められ、電子ペーパーとして一部製品化が進められている。ユビキタス情報社会のさらに発展した社会であるクラウド情報社会の発展に向けて、これら情報表示装置に情報入力手段も備えたインタラクティブな表示装置の開発も活発に行われている。インタラクティブな表示装置の実現に向けて、現在一般的に用いられている方法が表示された情報から直感的に情報を入力できるタッチパネル方式である。現在主流のタッチパネルは、抵抗式と静電容量式の２つであり、それぞれ２１インチ程度の大きさまでのタッチパネルであれば、ほぼ１００％前記２種の方式が採用されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Ｎ．Ｓａｒａｎら、「Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍｓ  ｏｆ  ｓｉｎｇｌｅ−ｗａｌｌｅｄ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｂｕｎｄｌｅｓ  ｏｎ  ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｌａｓｔｉｃ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」、Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．、１２６巻、４４６２頁、２００４年
【非特許文献２】Ｚ．Ｗｕら、「Ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ，  ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｆｉｌｍｓ」、ＳＣＩＥＮＣＥ、３０５号、１２７３頁、２００４年
【非特許文献３】Ｍ．Ｚｈａｎｇら、「Ｓｔｒｏｎｇ，  ｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔ，  ｍｕｌｔｉｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ，  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｓｈｅｅｔｓ」、ＳＣＩＥＮＣＥ、３０９号、１２１５頁、２００５年
【非特許文献４】Ｙ．Ｚｈｏｕら、「Ａ  ｍｅｔｈｏｄ  ｏｆ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅ  ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍｓ」、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．、８８巻、１２３１０９頁、２００６年
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
これらの方式は、製造が容易であり、仕様がほぼ固まっているため、採用率が高いのであるが、画面が大きくなると、抵抗値の増大、消費電力の増大などの課題が発生し、２０インチを超えるような大きさへの適用は困難である。この課題を解決するために、別方式の採用も進められているが、解決方法として検討が進められている方法のひとつとして、アクティブマトリックス化が検討されている。特に、フレキシブルディスプレイなどの場合、ＩＲセンサを用いた方式などは適用できず、画素一つ一つの物理量の変化が容易に検出できるアクティブマトリックス方式の開発が期待されている。
【０００８】
現在のタッチパネル方式の中で、抵抗式と静電容量式のふたつが主要な方式であることは先に記載したが、それぞれの方式にはそれぞれの特徴があり、その特徴に応じて応用製品毎に使い分けられているのが実情である。
【０００９】
抵抗式の場合、手、指のほか、ペンなどのツールを用いても使用することが出来、特にペン入力などが必要な応用には、抵抗式が用いられている。その反面、一般的な抵抗式のタッチパネルは、複数の入力（マルチタッチ）に対応することができないため、利用は、単数の入力に限定されてしまっている。
【００１０】
一方、静電容量式はマルチタッチ入力に対応しており、複数の入力に対応できたり、視野を広げたり、狭めたりするのに、２本の指などで入力したり非常に利用者に直感的に入力できるような方式である。その反面、静電容量式のタッチパネルは一般的なペン入力には対応できないため、微細なパターンの入力には適していない。これらのように、現在実用化されているタッチパネルは、マルチタッチとペン入力と言うごく一般的なふたつの入力方法に対応できるものは非常に複雑な構造が必要となってくる。
【００１１】
また、アクティブマトリックス型の入力方式を表示装置に組み込むばあい、表示のための画素と入力のための画素は、垂直に重ねるか、水平（横）に並べるかのどちらかであるが、垂直に重ねる場合、ディスプレイとしての明るさが損なわれたり、全体の厚みが厚くなってしまうという問題が発生する。横に並べる場合は、表示画素面積が小さくなってしまうため、こちらも画面が暗くなってしまうなどの問題が発生する。
【００１２】
本発明の目的は、カーボンナノチューブを含有する薄膜を用いる、新たな構造の感圧素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願発明者は、カーボンナノチューブを含む層の導電性が、カーボンナノチューブの濃度により変化することから、カーボンナノチューブ含有層に何らかの操作をすることにより電流量を変化させることができるのではないかと考えた。そして検討を重ねた結果、カーボンナノチューブを含む層に圧力を加えることによって電流量を変えることができることを発見し、感圧素子として利用できる構成を発明した。
【００１４】
本発明の第１の視点によれば、カーボンナノチューブを含有する薄膜層と、該薄膜層に接して形成された第１電極及び第２電極を備え、該薄膜層が電気絶縁性物質を含有するカーボンナノチューブ含有感圧素子が提供される。
【００１５】
本発明の第２の視点によれば、カーボンナノチューブを含有する薄膜層と、該薄膜層に接して形成された第１電極及び第２電極と、該第１電極と該第２電極との間に流れる電流を制御するための第３電極と、該薄膜層と該第３電極との間に形成された絶縁層と、を備え、該薄膜層が電気絶縁性物質を含有するカーボンナノチューブ含有感圧素子が提供される。
【００１６】
本発明の第３の視点によれば、上記に記載のカーボンナノチューブ含有感圧素子をマトリックス状に配列した、感圧センサシートが提供される。
【００１７】
本発明の第４の視点において、本発明に係るカーボンナノチューブ含有感圧素子の製造方法は、上記に記載のカーボンナノチューブ感圧素子の製造方法であって、基板の上に絶縁層を形成する工程と、該絶縁層の上にカーボンナノチューブを含む薄膜層を形成する工程と、を含み、該薄膜層を形成する工程は、カーボンナノチューブの分散液を塗布又は印刷して該薄膜層を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、カーボンナノチューブを含有する薄膜層を用い、入力した圧力に応じて流れる電流を変化させられる感圧素子を得ることが出来る。
【００１９】
なお、カーボンナノチューブを含む層が感圧効果を有する理由は十分解明されているわけではないが、カーボンナノチューブを含まない層は感圧効果を有さないことから、圧力を加えることにより層の密度が増加し、カーボンナノチューブ同士の接点の数の増加、及びカーボンナノチューブ同士の距離の短縮により、抵抗値が減少するためではないかと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。
【図４】本発明の第４の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。
【図５】本発明の実施例に示す感圧素子における電流変化を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の視点において、前記第１電極及び前記第２電極が絶縁層上に形成され、前記薄膜層が該絶縁層上の該第１電極及び該第２電極の間に形成されていることが好ましい。
【００２２】
第２の視点において、前記薄膜層が前記絶縁層の上に形成され、該薄膜層の上に前記第１電極及び前記第２電極が形成されていることが好ましい。
【００２３】
また、第２の視点において、前記第１電極が前記絶縁層の上に形成され、前記薄膜層は該第１電極を覆うように該絶縁層の上に形成され、前記第２電極は該薄膜層の上に形成されていることが好ましい。
【００２４】
第１又は第２の視点において、前記薄膜層に含有される前記電気絶縁性物質が、天然ゴム又は合成ゴム材料であることが好ましい。
【００２５】
また、前記薄膜層に含有される前記電気絶縁性物質が、一般的な高分子材料、特にアクリル系高分子材料であることもまた好ましい。このアクリル系高分子材料は、例えばポリメタクリル酸メチルを用いることができる。
【００２６】
また、薄膜層のカーボンナノチューブ含有量が、９５重量％以上であることが好ましい。
【００２７】
（実施形態１）
本発明の第１の実施形態に係る感圧素子について説明する。図１に、本発明の第１の実施形態に係る感圧素子の概略断面図を示す。感圧素子１０は、基板１１と、基板１１上に形成された第１電極１５及び第２電極１６と、第１電極１５及び第２電極１６の間で両者に接するように形成された薄膜層１４と、を備える。
【００２８】
薄膜層１４は、カーボンナノチューブを含有する。好ましくは、薄膜層１４の９５質量％以上は、カーボンナノチューブである。カーボンナノチューブとしては、単層カーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）を用いることができる。半導体特性を示せば、二層カーボンナノチューブ（ＤＷＣＮＴ）、多層カーボンナノチューブ（ＭＷＣＮＴ）、カーボンナノホーンをカーボンナノチューブとして用いることもできる。あるいは、複数のカーボンナノチューブの混合物であってもよい。単層カーボンナノチューブを使用する場合、その直径は、０．５ｎｍ〜２．０ｎｍであると好ましく、０．７ｎｍ〜１．２ｎｍであるとより好ましい。また、単層カーボンナノチューブの長さは、０．５μｍ〜１０μｍであると好ましく、０．７μｍ〜２．０μｍであるとより好ましい。
【００２９】
薄膜層１４は、さらに電気絶縁性物質を含む。これは例えば天然ゴム又は合成ゴム材料でもよいし、高分子物質でもよい。高分子物質としては、アクリル系高分子材料、特にポリメタクリル酸メチルなどを好適に用いることができる。
【００３０】
このような構成により、薄膜層１４に圧力をかけると、第１電極１５及び第２電極１６の間に流れる電流量が増加することが判明した。
【００３１】
（実施形態２）
本発明の第２の実施形態に係る感圧素子及びその製造方法について説明する。図２は、本発明の第２の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。図２に示す感圧素子は、一般的に電界効果型トランジスタとして知られている構造と同様である。
【００３２】
図２に示すように、感圧素子２０は、基板２１と、基板２１上に形成された第３電極２２と、第３電極２２を覆うように形成された絶縁層２３と、絶縁層２３上に形成された第１電極２５及び第２電極２６と、第１電極２５及び第２電極２６の間に形成された薄膜層２４と、を備える。
【００３３】
第１電極２５及び第２電極２６は、いわばソース電極及びドレイン電極として機能する。また第３電極２２は、ゲート電極として機能する。すなわち、第１電極２５と第２電極２６の間に流れる電流は、第３電極２２への電圧印加によって制御される。
【００３４】
薄膜層２４は、カーボンナノチューブを含有する。このカーボンナノチューブの性質は実施形態１で説明したものと同様である。また、薄膜層２は電気絶縁性物質を含む。この電気絶縁性物質も実施形態１で説明したものと同様である。
【００３５】
カーボンナノチューブの製造方法は特に限定されない。カーボンナノチューブの製造方法としては、例えば、ＣＶＤ法、レーザーアブレーション法等を使用することができる。
【００３６】
絶縁層２３は、電気絶縁性を有する材料であれば、特に限定されずに使用することができる。例えば、絶縁層２３に使用できる材料は酸化シリコンなどの無機酸化物薄膜、ポリイミド、ポリメタクリル酸メチルのような高分子材料が挙げられるが、例示した材料に限定されるものではなく、また、２種、３種の材料の積層構造、混合物を用いても良い。
【００３７】
基板２１として用いることが可能な材料としては、この構造の感圧素子を支持可能なものであれば特に限定されることはなく、例えば、ガラス、シリコン等の無機材料やアクリル系樹脂等の有機材料を用いることができる。また、他の方法によって電界効果型トランジスタを支持できるのであれば、基板を使用しなくてもよい。
【００３８】
薄膜層２４の形成方法は、薄膜を均一に形成することができる方法であれば、ウェットプロセスとドライプロセスのいずれであってもよい。単層カーボンナノチューブの均一な薄膜を形成する場合には、ウェットプロセスを用いると好ましい。ウェットプロセスで薄膜層２４を形成する場合、例えば、カーボンナノチューブを含有するインクを作製し、これを塗布又は印刷することによって薄膜層２４を形成することができる。カーボンナノチューブのインクにおけるカーボンナノチューブの含有率は、粘稠度の観点から１％〜１０％以下であると好ましい。
【００３９】
第１電極２５、第２電極２６及び第３電極２２に用いることが可能な材料としては、酸化インジウム錫合金（ＩＴＯ）、酸化錫（ＮＥＳＡ）、金、銀、白金、銅、インジウム、アルミニウム、マグネシウム、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、アルミニウム−リチウム合金、アルミニウム−スカンジウム−リチウム合金、マグネシウム−銀合金等の金属系導電体の他、導電性ポリマー等の有機材料系導電体が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００４０】
第１電極２５、第２電極２６及び第３電極２２は、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、エッチング法、リフトオフ等、通常の電極形成プロセスで作製することができる。また、導電性ポリマーのような有機材料で電極を形成する場合には、例えば、スピンコート法、ディップ法等の溶液プロセスも利用することができる。
【００４１】
第２の実施形態に係る感圧素子２０は、例えば、以下の工程で作製することができる。まず、基板２１上に第３電極２２を形成する。次に、天然ゴム、合成ゴム材料その他の絶縁性高分子化合物を水又は有機溶媒に溶かして溶液を作製し、当該溶液を第３電極２２上に塗布又は印刷して、絶縁層２３の薄膜を形成する。次に、絶縁層２３上に、所定の間隔をあけて第１電極２５及び第２電極２６を形成する。次に、水又は有機溶媒にカーボンナノチューブを分散させた分散液を第１電極２５及び第２電極２６の上に塗布して薄膜層２４を形成する。
【００４２】
（実施形態３）
図３は、本発明の第３の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。図３に示す感圧素子３０は、基板３１と、基板３１上に形成された第３電極３２と、第３電極３２の上に形成された絶縁層３３と、絶縁層３３の上に形成された薄膜層３４と、薄膜層３４の上に形成された第１電極３５及び第２電極３６と、を備える。
【００４３】
第３の実施形態における、基板３１、第１電極３５、第２電極３６、第３電極３２、絶縁層３３、薄膜層３４の組成は、第２の実施形態と同様に構成できる。このような構造によっても実施形態１、２と同様な効果を得ることができる。
【００４４】
（実施形態４）
図４は、本発明の第４の実施形態に係る感圧素子の概略断面図である。図４に示す感圧素子４０は、基板４１と、基板４１上に形成された第３電極４２と、第３電極４２の上に形成された絶縁層４３と、絶縁層４３の上に形成された薄膜層４４と、薄膜層４４の上に形成された第２電極４６と、を備える。第１電極４５は、絶縁層４３の上であって、かつ薄膜層４４の内部に形成されている。
【００４５】
第４の実施形態における、基板４１、第１電極４５、第２電極４６、第３電極４２、絶縁層４３、薄膜層４４の組成は、第２の実施形態と同様に構成できる。このような構造によっても実施形態１、２と同様な効果を得ることができる。
【００４６】
（実施形態５）
上記実施形態に示す感圧素子をマトリックス状に配列して、感圧センサシートを形成することができる。実施形態１に係る感圧素子をマトリックス状に配列すれば、パッシブマトリックス感圧シートとなり、実施形態２以下の感圧素子をマトリックス状に配列すれば、アクティブマトリックス感圧シートとなる。このようなシートは、タッチセンサとして利用でき、特にアクティブマトリックス感圧シートは、従来のアクティブタッチセンサと比較すると、本発明の感圧素子がアクティブ素子を兼ねているため、構造が簡素化され、サイズを小さくすることが可能となる。
【００４７】
このように、本発明に係る感圧素子を、表示パネルの駆動トランジスタの一部として用いることにより、表示画素の大きさを損なうことなく、良好な開口率を保持した情報入力デバイス（タッチパネル等）を得ることが出来る。さらに、マルチタッチとペン入力の両方に対応が可能な簡便な構造の入力デバイスを提供することができる。
【実施例】
【００４８】
（実施例１）
（感圧素子の作製）
薄膜層をカーボンナノチューブで形成したカーボンナノチューブ含有感圧素子を作製した。ここで説明するのは、図２に示す第２の実施形態に係る感圧素子（電界効果型トランジスタと同様な構造）である。まず、ポリイミド基板上に、クロミウムを真空蒸着法により１００ｎｍの膜厚で成膜して第３電極（ゲート電極）を形成した。次いで、第３電極上に、上述の方法で合成した高分子化合物をクロロホルムに１．５ｗｔ％溶解させた溶液を用いてスピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）によって３００ｎｍの膜厚に成膜し、絶縁層を形成した。次に、絶縁層上に、金属マスクを通して、マグネシウム−銀合金を１００ｎｍの膜厚でストライプ状に成膜して、第１電極及び第２電極（ソース電極及びドレイン電極に相当）を形成した。次に、カーボンナノチューブ（ＣＮＩ社，ｐｕｒｉｆｉｅｄグレカード）をジクロロエタン中に５ｐｐｍ混合し、超音波装置で１時間処理し、単分散化させ、さらに超遠心分離装置で２０分処理し、金属などの不純物を取り除いた後にさらに、ポリメタクリル酸メチルをカーボンナノチューブの１０倍量を混合しカーボンナノチューブインクを作製した。このカーボンナノチューブインクを絶縁層上に、スピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）により成膜して、カーボンナノチューブ含有感圧素子を作製した。
【００４９】
（圧力応答性の測定）
作製したカーボンナノチューブ感圧素子について圧力応答性を測定した。図５に、圧力応答性を説明するための概略図を示す。圧力応答性は、ゲート電極に−２０Ｖの電圧をかけて、ドレイン電極に０Ｖから−５Ｖまでの電圧（０．１Ｖステップ）を掃引させて電気特性を測定し、カーボンナノチューブ薄膜層に圧力を印加しない場合と、印加した場合のドレイン電流値の値で評価した。
【００５０】
圧力を加えない場合に得られる電流値が、圧力を加えることによって、増加し、加えた圧力を検知できることができた。
【００５１】
（実施例２）
実施形態３に示す構造の感圧素子を以下のようにして製造した。ポリイミド基板上に、クロミウムを真空蒸着法により１００ｎｍの膜厚で成膜して第３電極（ゲート電極）を形成した。次いで、第３電極上に、上述の方法で合成した高分子化合物をクロロホルムに１．５ｗｔ％溶解させた溶液を用いてスピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）によって３００ｎｍの膜厚に成膜し、絶縁層を形成した。絶縁層の上に、カーボンナノチューブ（ＣＮＩ社，ｐｕｒｉｆｉｅｄグレカード）をジクロロエタン中に５ｐｐｍ混合し、超音波装置で１時間処理し、単分散化させ、さらに超遠心分離装置で２０分処理し、金属などの不純物を取り除いた後にさらに、ポリメタクリル酸メチルをカーボンナノチューブの１０倍量を混合して作製したカーボンナノチューブインクを用いて、スピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）によりカーボンナノチューブ薄膜を成膜した。次に、カーボンナノチューブ薄膜上に、金属マスクを通して、マグネシウム−銀合金を１００ｎｍの膜厚でストライプ状に成膜して、第１電極及び第２電極（ソース電極及びドレイン電極）を形成して、カーボンナノチューブ薄膜トランジスタを作製した。
【００５２】
こうして製造した感圧素子においても、実施例１の感圧素子と同様な性質が得られた。
【００５３】
（実施例３）
実施形態４に示す構造の感圧素子を以下のようにして製造した。ポリイミド基板上に、クロミウムを真空蒸着法により１００ｎｍの膜厚で成膜して第３電極（ゲート電極）を形成した。次いで、第３電極上に、上述の方法で合成した高分子化合物をクロロホルムに１．５ｗｔ％溶解させた溶液を用いてスピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）によって３００ｎｍの膜厚に成膜し、絶縁層を形成した。絶縁層上に、金属マスクを通して、マグネシウム−銀合金を１００ｎｍの膜厚でストライプ状に成膜して、第１電極（ソース電極）を形成した。第１電極を含む絶縁層の上に、カーボンナノチューブ（ＣＮＩ社，ｐｕｒｉｆｉｅｄグレカード）をジクロロエタン中に５ｐｐｍ混合し、超音波装置で１時間処理し、単分散化させ、さらに超遠心分離装置で２０分処理し、金属などの不純物を取り除いた後にさらに、ポリメタクリル酸メチルをカーボンナノチューブの１０倍量を混合して作製したカーボンナノチューブインクを用いて、スピンコート法（２０００ｒｐｍ、６０秒）によりカーボンナノチューブ薄膜を成膜した。次に、カーボンナノチューブ薄膜上に、金属マスクを通して、マグネシウム−銀合金を１００ｎｍの膜厚でストライプ状に成膜して、第２電極（ドレイン電極）を形成して、カーボンナノチューブ薄膜トランジスタを作製した。
【００５４】
こうして製造した感圧素子においても、実施例１の感圧素子と同様な性質が得られた。
【００５５】
本発明の感圧素子、またその製造方法は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の全開示（請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【符号の説明】
【００５６】
１０  感圧素子
１１  基板
１４  薄膜層
１５  第１電極
１６  第２電極
２０，３０，４０  感圧素子
２１，３１，４１  基板
２２，３２，４２  第３電極
２３，３３，４３  絶縁層
２４，３４，４４  薄膜層
２５，３５，４５  第１電極
２６，３６，４６  第２電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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