(57)【要約】【課題】一対のフレキシブル基板を貼り合わせた後のパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置あわせすることができるフレキシブル基板積層体を提供することを目的とする。【解決手段】本発明によるフレキシブル基板積層体１０は、一対のフレキシブル基板１１、１２と、一対のフレキシブル基板１１、１２の間に介在され、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合わせた粘着層１３とを備えている。一対のフレキシブル基板１１、１２のうち一方のフレキシブル基板１１に、パターン１４が形成されている。この一方のフレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じた一方の方向のひずみと、その方向に対して垂直な方向のひずみとの差が±０．００５％以内となっている。【選択図】図１
2013072964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のフレキシブル基板と、前記一対のフレキシブル基板の間に介在され、前記一対のフレキシブル基板を貼り合わせた粘着層と、を備え、前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に、パターンが形成されており、前記一方のフレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたある一方の方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向のひずみとの差が±０．００５％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体。
【請求項２】
前記パターンは、前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に複数形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル基板積層体
【請求項３】
前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフレキシブル基板積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル基板積層体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等のフラットディスプレイの急速な普及に伴って、このようなディスプレイを構成するディスプレイ部材の需要が拡大している。現在のフラットパネルディスプレイは、その用途を、テレビやデスクトップモニターのみならず、携帯用ノートパソコン、携帯電話、携帯用ゲーム機、電子リーダー、電子ブックなどの携帯型電子機器にまで広く拡大していることから、さらなる軽量化、小型化、及び薄型化が求められている。
【０００３】
このような状況において、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等を構成するディスプレイ部材としては、これまで主として用いられてきたガラス基板に替わり、可撓性を有するフィルムよりなるフレキシブル基板を用いたディスプレイ部材が提案されている。ディスプレイ部材において、ガラス基板の替わりにフレキシブル基板を用いることにより、ディスプレイをフレキシブルディスプレイとすることも可能となる。現に、このようなフレキシブルディスプレイとしては、例えば、透明タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等が知られている。
【０００４】
しかしながら、上記フレキシブル基板は、従来のガラス基板に比べて機械強度が低いことから、フレキシブル基板を用いてディスプレイ部材を製造する際に、フレキシブル基板がひずんでしまうという問題点があった。この問題を解決するために、例えば特許文献１のようなフレキシブル基板に応力緩和孔を設けることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３６８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
フレキシブル基板を用いてディスプレイ部材を製造する場合、特にパターンが形成された一のフレキシブル基板に、他のフレキシブル基板を粘着層によって貼り合わせる場合に、フレキシブル基板がひずみ、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度が低下するという問題がある。この場合、貼り合せによりひずんだ一対のフレキシブル基板に、他のパターンが形成された対向基板を位置合わせして接合することが困難になる。また、貼り合わせた一対のフレキシブル基板が等方性を持ってひずんでいる場合は、温度や湿度等の環境を変えることによりある程度の補正をすることができるが、貼り合わせた一対のフレキシブル基板が異方性を持ってひずんでいる場合は、このような補正をかけることはできず、対向基板との位置合わせは困難となる。例えば、解像度２００ｄｐｉで１ピクセルに赤色画素、緑色画素、青色画素が一列に並んでいるカラーフィルターにおいて、２００ｍｍの距離を有するパターン間が４０μｍ変化する（２００ｐｐｍの寸法変化に相当）場合には、一色分のずれが生じることになり、重大な欠陥となる。このため、フレキシブル基板を用いて大面積のカラーフィルターを製造することは困難であった。ここで、貼り合わせた一対のフレキシブル基板が「等方性を持ってひずんでいる」とは、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより一方の方向、例えば図２におけるＸ方向またはＹ方向にひずみが生じることをいう。また、貼り合わせた一対のフレキシブル基板が「異方性を持ってひずんでいる」とは、前記ひずみに加えて前記ひずみの方向に対して垂直な方向にもひずみが生じていることをいう。例えば図２におけるＸ方向に対して垂直な方向であるＹ方向にもひずみが生じていることをいう。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決し、一対のフレキシブル基板を貼り合わせた後のパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置あわせすることができるフレキシブル基板積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、一対のフレキシブル基板と、一対のフレキシブル基板の間に介在され、前記一対のフレキシブル基板を貼り合わせた粘着層と、を備え、前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に、パターンが形成されており、前記一方のフレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じた一方の方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向のひずみとの差が±０．００５％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体を提供する。
【０００９】
本発明の解決手段によれば、一方のフレキシブル基板のうちパターンが形成された部分において、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたある一方の方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向のひずみとの差を低減することができる。また、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じた異方性を持ったひずみを低減することにより、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【００１０】
なお、前記パターンは、前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に複数形成されている、ようにしてもよい。
【００１１】
また、前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有する、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、上記の問題を解決し、一対のフレキシブル基板を貼り合わせた後、一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明を実施するための形態におけるフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。
【図２】図２は、本発明を実施するための形態において、第１フレキシブル基板を示す平面図。
【図３】図３は、本発明を実施するための形態における貼合装置の概略を示す断面図。
【図４】図４（ａ）は、本発明を実施するための形態において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す断面図。図４（ｂ）は、一対のフレキシブル基板が貼り合わされた状態を示す断面図。図４（ｃ）は、対向基板が接合された状態を示す断面図。
【図５】図５は、本発明を実施するための形態の変形例において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す断面図。
【図６】図６（ａ）は、本発明を実施するための形態の変形例において、バリア層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。図６（ｂ）は、ＡＧ（アンチグレイ）層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。図６（ｃ）は、ＡＲ層（アンチリフレクション）を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。図６（ｄ）は、ハードコート層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。
【図７】図７（ａ）は、本発明を実施するための形態の変形例において、バリア層とハードコート層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。図７（ｂ）は、バリア層とＡＧ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。図７（ｃ）は、バリア層とＡＲ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
１．フレキシブル基板積層体
以下、図１により、本発明のフレキシブル基板積層体について説明する。図１に示すフレキシブル基板積層体１０は、一対の帯状のフレキシブル基板、すなわち、第1フレキシブル基板１１及び第２フレキシブル基板１２と、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との間に介在され、第1フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２を貼り合わせた粘着層１３とを備えている。
【００１５】
図１および図２に示すように、第１フレキシブル基板１１には、カラーフィルター用のパターン１４が複数形成されている。各パターン１４は、赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、青色画素１５ｃ、及び必要に応じてブラックマトリックス（図示せず）を含むカラーフィルター用の矩形状の画素パターン１５と、画素パターン１５の四隅に対応する位置にそれぞれ形成された十字状のマーク１６とを有している。図１に示すように、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２の間に粘着層１３があり、第１フレキシブル基板１１のパターン１４が形成されている面と粘着層１３とが互いに向かい合うようにして一対のフレキシブル基板を貼り合わせている。
【００１６】
次に、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じるひずみについて説明する。ここで、「ひずみ」とは、一般的に物体に外力を加えたときに生じる形状または体積の変化である。本発明において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたある一方の方向、例えば図２におけるＸ方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向、例えば図２におけるＹ方向のひずみとの差が±０．００５％以内、好ましくは±０．００２５％以内になっている。この場合、一対のフレキシブル基板１１、１２の貼り合せ前後で、一のパターン１４におけるある一方の方向の寸法の変化と、前記方向と垂直方向の寸法の変化との差が、 ±０．００５％以内、好ましくは、±０．０２５％以内になる。すなわち、一対のフレキシブル基板を貼り合わせた後、一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができる。また、一対のフレキシブル基板を貼り合わせた後、一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を向上させることにより、異方性を持ってひずんでいる場合でも、例えば温度、湿度等の環境の変化で当該フレキシブル基板の寸法を補正でき、対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。具体的には、カラーフィルター用の画素パターン１５を有するフレキシブル基板積層体１０とＴＦＴアレイの貼り合せにおいては、寸法のずれ量を±１０μｍ以内とすることにより、液晶素子の駆動に不具合が生じることを防止し、画素の透過率や色を所定の範囲に維持でき、画像の表示を良好にすることができる。
【００１７】
さらに第１フレキシブル基板１１において、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合せたことにより生じたひずみを確認する方法について説明する。このようなひずみは、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合せる前後において、第１フレキシブル基板１１のパターン１４の寸法を測定することにより得られる。また、パターン１４の寸法として、マーク１６間の寸法を用いる場合には、例えば、図２に示すように、第１フレキシブル基板１１のＸ方向のマーク１６間のＡ寸法と、Ｙ方向のマーク１６間のＢ寸法とを測定すれば良い。なお、寸法の測定には、一般に測長機を用いることが好ましい。とりわけ、マイクロメートル単位まで寸法を測定することができる精密な測長機がより好ましい。例えば、ＳＯＫＫＩＡ製の超精密自動２次元座標測定機や、ニコンインストルメンツカンパニー製のＣＮＣ画像測定システムなどを使用することができる。
【００１８】
貼り合せ前の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後の当該Ａ寸法およびＢ寸法とを用いて、各寸法の差、すなわち、ひずみを求め、第１フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分の貼り合せにより生じたひずみを確認することができる。
【００１９】
また、パターン１４の寸法として、マーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法を測定することに限られることはなく、画素パターン１５の寸法を測定しても良い。この場合、矩形状の画素パターン１５のＸ方向の寸法と、Ｙ方向の寸法とを測定すれば良い。あるいは、Ｘ方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法と、Ｙ方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法を測定しても良い。
【００２０】
（１）フレキシブル基板
次に、各フレキシブル基板１１、１２の材料について説明する。ここで、「フレキシブル」とは、柔軟性があることを意味しており、「フレキシブル基板」とは、一般的に可撓性があり、曲げることが可能な基板をいう。本実施の形態におけるフレキシブル基板１１、１２は、張力が負荷された場合であっても可塑性が著しく高いものでなければ特に限定されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。このようなフレキシブル基板としては、例えば、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、セルローストリアセテート（ＣＴＡ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ノボルネン系樹脂、アリルエステル樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。このうち、ＰＥＮ、ＰＥＴを用いることが好ましい。
【００２１】
フレキシブル基板１１、１２の厚さとしては、１０μｍ〜５００μｍの範囲内、好ましくは２０μｍ〜３００μｍの範囲内であることが好ましい。フレキシブル基板１１、１２の厚さが上記範囲よりも厚すぎると、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、ロール状に巻取ることが困難になるからである。一方、上記範囲よりも薄すぎると、こしが無くなり、工程における取り扱いが困難になるからである。
【００２２】
フレキシブル基板１１、１２の幅としては、特に限定されるものではないが、例えば、５０ｍｍ〜２０００ｍｍの範囲内、好ましくは１００ｍｍ〜１５００ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００２３】
なお、フレキシブル基板１１、１２は、単一層よりなる構成であっても良く、あるいは、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
【００２４】
（２）粘着層
次に、粘着層１３の材料について説明する。粘着層１３の材料としては、柔軟性を有する材料であれば特に制限されるものではなく、アクリル系、スチレン系の樹脂材料からなっていることが好ましい。また、粘着層１３の厚さとしては、柔軟性が喪失されない程度の厚さであればよい。
【００２５】
２．貼合装置
次に、図３を用いて、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合わせる貼合装置２０について説明する。図３に示す貼合装置２０は、パターン１４が形成された第１フレキシブル基板１１を繰り出す第１繰出ロール２１と、粘着層１３が設けられた第２フレキシブル基板１２を繰り出す第２繰出ロール２２とを有している。
【００２６】
第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２の下流側に、第１繰出ロール２１から繰り出された第１フレキシブル基板１１と、第２繰出ロール２２から繰り出された第２フレキシブル基板１２をラミネートするラミネート部２３が設けられている。このラミネート部２３において、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が粘着層１３を介して貼り合わされ、フレキシブル基板積層体１０が作製される。また、ラミネート部２３は、一対の押圧ローラ２３ａと２３ｂからなっており、一対の押圧ローラ２３ａと２３ｂのギャップ（以下、「ラミネートギャップ」とも言う）、すなわち、押圧ローラ２３ａと２３ｂとの間隙Ｌを調整することにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２をラミネートする際のラミネート圧力を調整することができるようになっている。また、一対の押圧ローラ２３ａと２３ｂの材質は両方が金属又は両方がゴムでもよく、又は一方が金属で他方がゴムでもよいが、好ましくは第１フレキシブル基板１１側の押圧ローラ２３ａを金属、第2フレキシブル基板１２側の押圧ローラ２３ｂをゴムとするのがよい。
【００２７】
ラミネート部２３の下流側には、フレキシブル基板積層体１０をロール状に巻き取る巻取ロール２４が設けられている。この巻取ロール２４は、フレキシブル基板積層体１０を搬送する駆動部としての機能を有している。
【００２８】
また、図３に示す貼合装置２０においては、第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２に搬送方向とは反対方向のトルクを負荷して、このトルクを調整することにより、搬送されている第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２に負荷される張力をそれぞれ調整可能になっている。
【００２９】
３．フレキシブル基板積層体の製造方法
次に、一対のフレキシブル基板１１、１２の貼り合わせ方法、すなわちフレキシブル基板積層体１０の製造方法について説明する。
【００３０】
まず、図２に示すように、第１フレキシブル基板１１に画素パターン１５とマーク１６とを有する複数のパターン１４が形成される。パターン１４の形成方法は、フォトリソグラフィー法、インクジェット法等を挙げることができる。
【００３１】
その後、パターン１４が半径方向外側を向いて配置されるように第１フレキシブル基板１１はロール状に巻き付けられて、図３に示す第１繰出ロール２１に取り付けられる。
【００３２】
一方、第２フレキシブル基板１２に粘着層１３が設けられ、当該粘着層１３が半径方向外側を向いて配置されるように第２フレキシブル基板１２はロール状に巻き付けられて、図３に示す第２繰出ロール２２に取り付けられる。
【００３３】
次に、巻取ロール２４が駆動され、図４（ａ）に示すように、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が貼り合わされて、図４（ｂ）に示すように、フレキシブル基板積層体１０が作製される。
【００３４】
この場合、まず、第１繰出ロール２１から第１フレキシブル基板１１が繰り出されると共に、第２繰出ロール２２から第２フレキシブル基板１２が繰り出される。続いて、繰り出された第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２が、ラミネート部２３において、粘着層１３を介して、互いに貼り合わされる。ラミネート部２３では、図４（ａ）に示すように、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４と、第２フレキシブル基板１２に設けられた粘着層１３とが、互いに向かい合うように、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが貼り合わされる。
【００３５】
第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２が搬送されている間、第１フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力と、第２フレキシブル基板１２に負荷される単位断面積当たりの張力が、それぞれ小さく、かつ同程度の値となることが好ましい。一般に、各単位断面積当たりの張力は、０．０２６Ｎ／ｍｍ2以上４０００Ｎ／ｍｍ2以下であることが好ましい。単位面積当たりの張力が０．０２６Ｎ／ｍｍ2未満の場合、単位面積当たりの張力が小さすぎるためＲｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌの搬送において、蛇行等の不具合が発生する可能性がある。一方、単位面積当たりの張力が４０００Ｎ／ｍｍ2よりも大きい場合、単位面積当たりの張力が大きすぎるためフレキシブル基板が塑性変形してしまう可能性がある。ここで、第１フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力は、搬送されている第１フレキシブル基板１１に負荷される張力を、第１フレキシブル基板１１の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められる。一方、第２フレキシブル基板１２に負荷される単位断面積当たりの張力は、搬送されている第２フレキシブル基板１２に負荷される張力を、第２フレキシブル基板１２の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められる。さらに、ここで「変形」とは、一対のフレキシブル基板を貼り合せる前のフレキシブル基板の形状の変化である。
【００３６】
また、一対のフレキシブル基板１１、１２に負荷される単位断面積当たりの張力によるひずみは、単位断面積当たりの張力をヤング率で割ったものである。一対のフレキシブル基板１１、１２が同一のヤング率を有する場合、一対のフレキシブル基板１１、１２に負荷される単位断面積当たりの張力によるひずみの差は、±０．０１％内であることが好ましい。このことにより、第１フレキシブル基板１１の変形量と第２フレキシブル基板１２の変形量を同程度にすることができる。なお、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とで材料が異なる場合には、上述した単位断面積当たりの張力から、それぞれの材料のヤング率を用いて単位断面積当たりの張力によるひずみを算出して、第１フレキシブル基板１１の単位断面積当たりの張力によるひずみと第２フレキシブル基板１２の単位断面積当たりの張力によるひずみが同程度、例えば、単位断面積当たりの張力によるひずみの差が±０．０１％以内となるように張力を設定すれば良い。
【００３７】
また、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を貼り合せる際のラミネート圧力は、低くすることが好ましい。例えば、第１フレキシブル基板、パターン１４、第２フレキシブル基板、粘着層、の貼り合せる前の厚さの合計をｄとしたとき、図３に示す一対の押圧ローラ２３ａと２３ｂのギャップ（ラミネートギャップ）Ｌは、（ｄ−４０）μm以上、（ｄ＋４０）μm以下とすることが好ましい。ラミネートギャップＬが（ｄ−４０）μmよりも小さい場合、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を貼り合せる際の第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２にかかる単位面積当たりの張力が大きくなり、ひずみの差が大きくなってしまう。また、ラミネートギャップＬが（ｄ+４０）μmよりも大きい場合、貼り合せるために必要なラミネート圧力が足りず、エア噛み等の不具合が生じてしまう。なおここでラミネートギャップＬはすきまゲージを用いて調節されたものとする。このことにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を確実に貼り合わせると共に、貼り合せによるひずみを抑制することができる。
【００３８】
一般的に、フレキシブル基板１１、１２の搬送方向に働く張力により、フレキシブル基板１１、１２の搬送方向にひずみが発生し、パターン１４の搬送方向の寸法が変化するが、フレキシブル基板１１、１２の搬送方向だけでなく、搬送方向と垂直な方向にもひずみが発生し、搬送方向と垂直な方向の寸法も変化する。
【００３９】
上記のようなフレキシブル基板１１のひずみの異方性を解消するために、ラミネート圧力又はフレキシブル基板１１、１２にかかる単位断面積当たりの張力を調整して異方性を解消することができる。具体的には大きなひずみの生じない範囲内であれば張力は搬送方向のひずみに、圧力は搬送方向と垂直方向のひずみに寄与するため、例えば張力によって０．０５％程度搬送方向にひずみが生じた場合でもラミネートギャップＬを狭めラミネート圧力を大きくすることで搬送方向と垂直方向のひずみを生じさせることができる。その結果、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せることにより生じる搬送方向のひずみと、搬送方向と垂直方向のひずみとの差を±０．００５％以内とすることができる。
【００４０】
以上のようにして、図１に示すような、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが粘着層１３によって貼り合わされたフレキシブル基板積層体１０が得られる。このフレキシブル基板積層体１０において、第１フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２の貼り合せにより生じたある一方の方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向のひずみとの差が±０．００５％以内とすることができる。このため、第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２にそれぞれ負荷される単位断面積当たりの張力と、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を貼り合せる際のラミネート圧力を調整することにより、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００４１】
その後、フレキシブル基板積層体１０は、巻取ロール２４に巻き取られ、ロール状に形成される。
【００４２】
第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合せたことにより生じたひずみを確認する方法については、前述した通りであるが、ここで図１に示すフレキシブル基板積層体１０が作製された後、すなわち、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが貼り合わされた後に、第１フレキシブル基板１１上のパターン１４の貼り合せ前の寸法を求める方法についても説明する。
【００４３】
まず、フレキシブル基板積層体１０をアセトンなどの有機溶剤に十分に浸す。続いて、第１フレキシブル基板１１から第２フレキシブル基板１２と粘着層１３を、第１フレキシブル基板１１に大きな応力が負荷されないように剥離する。このように剥離することにより、第２フレキシブル基板１２の応力によるパターン１４への影響を取り除くと共に、第１フレキシブル基板１１が変形することを防止しながら、第２フレキシブル基板１２を第１フレキシブル基板１１から剥離することができる。
【００４４】
なお、第２フレキシブル基板１２による応力の影響を取り除くための別の方法として、第２フレキシブル基板１２を第１フレキシブル基板１１から剥離することなく、第２フレキシブル基板１２のみを、例えば１０ｍｍ間隔で格子状にハーフカットしても良い。
【００４５】
次に、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を剥離する前にマーク１６間の寸法を測定した際と同じ温湿度の雰囲気に、剥離した第１フレキシブル基板１１を曝し、第１フレキシブル基板１１から溶剤が蒸発して平衡状態となるまで放置する。このような雰囲気に放置することにより、剥離した第１フレキシブル基板１１の温度および吸水率を、剥離前の第１フレキシブル基板１１の温度および吸水率と等しくすることができ、周囲環境の変化による寸法変化の要因を取り除くことができる。
【００４６】
その後、この第１フレキシブル基板１１上の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法を測定する。得られたマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法は、第２フレキシブル基板１２を貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法に相当する。このことにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合わせた後であっても、貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法を得ることができる。このようにして得られた貼り合せ前のパターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後のＡ寸法およびＢ寸法とにより、貼り合せ前後における各寸法の差をそれぞれ求めて、第１フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分のひずみを確認することができる。
【００４７】
本実施の形態によれば、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたある一方の方向のひずみと、前記方向に対して垂直な方向のひずみの差が±０．００５％以内となっている。このような貼り合せにより、第１フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分における一対のフレキシブル基板１１、１２の貼り合せによるひずみを低減することができ、貼り合せ前のパターン１４の寸法と、貼り合せ後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、貼り合せ前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。また、後の工程で接合される他のパターン、例えば、ＴＦＴ、画像表示素子などが形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００４８】
なお、本実施の形態においては、貼り合わせ前に粘着層１３が第２フレキシブル基板１２に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図５に示すように、貼り合せ前に粘着層１３を第２フレキシブル基板１２に設けることなく、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に設けるようにしても良い。この場合の第１フレキシブル基板と第２フレキシブル基板の貼り合せ方法は、前述した方法と同様のため省略する。
【００４９】
また、本実施の形態においては、第２フレキシブル基板１２に粘着層１３のみが設けられている例について説明した。しかしながらこのことに限られることはなく、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に各種機能層、すなわち、図６（ａ）に示すような酸素が透過することを抑制するバリア層４０、図６（ｂ）、（ｃ）に示すような画面のちらつきを抑制する反射防止層としてＡＧ（アンチグレイ）層４１、またはＡＲ（アンチリフレクション）層４２、図６（ｄ）に示すようなディスプレイに傷が付くことを防止するハードコート層４３が設けられるようにしても良い。
【００５０】
また、フレキシブル基板積層体１０は、図７に示すように、２つの機能層を有していても良い。このようなフレキシブル基板積層体１０としては、例えば、図７（ａ）に示すように、第２フレキシブル基板１２に、バリア層４０、第２の粘着層４５、第３フレキシブル基板４６、ハードコート層４３が、順次積層されていても良い。この場合、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との貼り合せ、第２フレキシブル基板１２と第３フレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではなく、バリア層４０およびハードコート層４３は、任意のタイミングで、第２フレキシブル基板１２および第３フレキシブル基板４６にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０とハードコート層４３とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００５１】
また、例えば、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、第２フレキシブル基板１２に、バリア層４０、第２の粘着層４５、第３フレキシブル基板４６、反射防止層（ＡＧ層４１またはＡＲ層４２）が、順次積層されていても良い。この場合、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との貼り合せ、第２フレキシブル基板１２と第３フレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではなく、バリア層４０および反射防止層４１、４２は、任意のタイミングで、第２フレキシブル基板１２および第３フレキシブル基板４６にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０と反射防止層４１、４２とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００５２】
なお、各種機能層が第２フレキシブル基板の粘着層１３と反対側の面に積層されている例について説明したが、このことに限られることはなく、各種機能層を、第１フレキシブル基板１１のパターン１４と反対側の面に積層するようにしても良い。また、上述した各種機能層が設けられる例においては、パターン１４と粘着層１３とが互いに向き合うように構成されている例について述べたが、このことに限られることはなく、第１フレキシブル基板１１の粘着層１３側の面とは反対側の面に、パターン１４が形成された場合においても、同様にして上述のような各種機能層を設けることができる。
【００５３】
以上、本発明による実施の形態について説明してきたが、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に、適宜組み合わせることも可能である。また、これらの本実施の形態においては、本発明の要旨の範囲内で、上述した変形例以外の種々の変形も可能である。
【実施例】
【００５４】
実施例１
本発明のフレキシブル基板積層体１０において、貼り合せ前後のパターン１４の寸法を測定した。
【００５５】
まず、第１フレキシブル基板１１として、３００ｍｍ幅×０．１２５ｍｍ厚さ、１０ｍ長さのＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、コスモシャインＡ４１００）を準備し、また、粘着層１３が設けられた第２フレキシブル基板１２として、２７０ｍｍ幅×０．０７５ｍｍ厚さ、１０ｍの長さの基材付き粘着フィルム（日東電工製株式会社製、ＣＳ９６２１Ｔ）を準備した。なお、基材（第２フレキシブル基板１２）は、ＰＥＴよりなっている。
【００５６】
ＰＥＴフィルムに、複数の画素パターン１５を形成すると共に、寸法測定用のマーク１６を、各画素パターン１５の四隅に対応する位置に形成した（図２参照）。なお、画素パターン１５及びマーク１６の厚さは２μｍとし、マーク１６間の距離は、２１２ｍｍとした。ここで、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合わせる前に、上述した方法により、ＰＥＴフィルム上に形成されたマーク１６間の寸法を測定した。
【００５７】
貼合装置２０には、株式会社ディー・エヌ・ケー（ＤＮＫ）製の貼合装置を用いた。
【００５８】
ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合わせる際、搬送速度は１ｍ／ｍｉｎとし、ラミネートギャップＬを１９０μmに調整し、また、ＰＥＴフィルムにかかる張力を５０Ｎ、粘着フィルムにかかる張力を２８Ｎとした、なおこの場合、単位断面積あたりの張力はＰＥＴフィルムが１．３３Ｎ／ｍｍ2、粘着フィルムが１．３８Ｎ／ｍｍ2である。
【００５９】
次に、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合せ、フレキシブル基板積層体１０を作製し、貼り合せ前に寸法測定した当該マーク１６間の寸法を測定した。
【００６０】
得られた貼り合せ前後のマーク１６間のＭＤの寸法の差は−０．００１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が−１μｍ）、ＴＤの寸法の差は＋０．００１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が＋１μｍ）であり、ＭＤの寸法の変化とＴＤの寸法の変化の差が±０．００５％以下であることを確認した。すなわち、ＰＥＴフィルムのうちパターン１４が形成された部分において、ＭＤのひずみが−０．００１％、ＴＤのひずみが＋０．００１％であり、ＭＤとＴＤのひずみ差が±０．００５％以下であることを確認した。また、ＰＥＴフィルムにはパターン１４が形成された部分が複数ある。ＰＥＴフィルム上において、個々のパターン１４が形成された部分のＭＤとＴＤのひずみ差が±０．００５％以下であることを確認した。なおここで「ＭＤ（「Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ」の略）」とはフィルムの搬送方向であり、「ＴＤ（「Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ」の略）」はフィルムの搬送方向に対して垂直方向を示す。
比較例１
【００６１】
粘着フィルムにかかる張力を１８Ｎとした以外は、実施例１の方法と同様にした。なおこの場合、単位断面積あたりの張力は０．８９Ｎ／ｍｍ2である
【００６２】
得られた貼り合せ前後のマーク１６間のＭＤの寸法の差は＋０．００９％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が＋９μｍ）、ＴＤの寸法の差は＋０．００１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が＋１μｍ）であり、ＭＤの寸法の変化とＴＤの寸法の変化の差が０．００８％であることを確認した。すなわち、ＰＥＴフィルムのうちパターン１４が形成された部分において、ＭＤのひずみが＋０．００９％、ＴＤのひずみが＋０．００１％であり、ＭＤのひずみとＴＤのひずみの差が０．００８％であることを確認した。なおここでＭＤとはフィルムの搬送方向であり、ＴＤはフィルムの搬送方向に対して垂直方向を示す。
比較例2
【００６３】
ラミネートギャップＬを１５０μｍとした以外は、実施例２と同様にした。
【００６４】
得られた貼り合せ前後のマーク１６間のＭＤの寸法の差は＋０．００１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が＋１μｍ）、ＴＤの寸法の差は＋０．０２５％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が＋２５μｍ）であり、ＭＤの寸法の変化とＴＤの寸法の変化の差が０．０２４％であることを確認した。すなわち、ＰＥＴフィルムのうちパターン１４が形成された部分において、ＭＤのひずみが＋０．００１％、ＴＤのひずみが＋０．０２５％であり、ＭＤのひずみとＴＤのひずみの差が０．０２４％であることを確認した。なおここでＭＤとはフィルムの搬送方向であり、ＴＤはフィルムの搬送方向に対して垂直方向を示す。
【００６５】
さらに、実施例1、比較例１、比較例２で得られたフレキシブル基板積層体１０の各パターン１４を、マーク付きの対向基板３０と重ね合わせたところ、実施例1では温度湿度等を調整することでマーク同士を、容易に、かつ精度良く、位置合わせすることができたが、比較例１及び比較例２で得られたフレキシブル基板積層体１０では、異方性を持ったひずみを温度湿度等の環境で補正することができず、精度よく位置合わせすることができなかった。
【符号の説明】
【００６６】
１０            フレキシブル基板積層体
１１            第１フレキシブル基板
１２            第２フレキシブル基板
１３            粘着層
１４            パターン
１５            画素パターン
１５ａ          赤色画素
１５ｂ          緑色画素
１５ｃ          青色画素
１６            マーク
２０            貼合装置
２１            第１繰出ロール
２２            第２繰出ロール
２３            ラミネート部
２３ａ、２３ｂ  押圧ローラ
２４            巻取ロール
３０            対向基板
４０            バリア層
４１            ＡＧ層
４２            ＡＲ層
４３            ハードコート層
４５            第２の粘着層
４６            第３フレキシブル基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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