(57)【要約】【課題】搬送対象を搬送する搬送部によって搬送対象を押圧するハンドラーにおいて、搬送部の大型化や重量化を抑えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置を提供する。【解決手段】部品検査装置は、電子部品Ｔが押圧される検査用ソケット３３を有した基台１１と、基台１１に搭載され電子部品Ｔを検査用ソケット３３に搬送する搬送ユニット３４と、搬送ユニット３４に設けられ検査用ソケット３３で電子部品Ｔを押圧する垂直移動アーム５２とを備えている。基台１１に連結された受圧アーム機構３５，３６を備え、該受圧アーム機構３５，３６は、電子部品Ｔを押圧する押圧シリンダー５３と係合し、基台１１に対する押圧シリンダー５３の変位を係止する。【選択図】図２
2013044684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
搬送対象を搬送する搬送部と、
前記基台に連結された受圧部と、を備え、
前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、
前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている
ことを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
前記押圧部は、
前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第１押圧部と、
前記第１押圧部を前記基台に向けて押圧する第２押圧部とを備え、
前記受圧部の前記係合部は、前記第２押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動する
請求項１に記載のハンドラー。
【請求項３】
前記押圧部は、
前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第１押圧部と、
前記第１押圧部を前記基台に向けて押圧する第２押圧部とを備え、
前記受圧部の前記係合部は、前記第２押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動する
請求項２に記載のハンドラー。
【請求項４】
前記第１押圧部は、押圧シリンダーであり、
前記第２押圧部は、前記押圧シリンダーを上昇及び下降させるモーターを含んでなり、
前記第１押圧部の押圧力は、前記第２押圧部の押圧力よりも大きい
請求項３に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、
前記モーター制御部は、
前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する状態で、
前記モーターをトルク制御により駆動する
請求項４に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、
前記モーター制御部は、
前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する前に、
前記モーターをトルク制御により駆動する
請求項４又は５に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記係合部は、
互いに向い合う一対の可動アームであって、
前記一対の可動アームは、
前記突出部と係合する位置と、
前記突出部から離間する位置とに変位する
請求項２〜６のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記搬送部は、複数の前記搬送対象を吸着する状態を有し、
前記押圧部は、複数の前記搬送対象を押圧する状態を有する
請求項１〜７のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項９】
基台と、
電子部品を搬送する搬送部と、
前記基台に連結された受圧部と、
前記基台に設けられた検査用ソケットと、を備え、
前記搬送部には前記電子部品を前記基台の前記検査用ソケットに向けて押圧する押圧部が設けられ、
前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている
ことを特徴とする部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象を搬送するハンドラーに関し、特に搬送対象を押圧領域に搬送して該押圧領域で押圧するハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１に記載のように、電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置が知られている。この類の部品検査装置には、搬送対象である電子部品を押圧領域となる検査用ソケットにまで搬送し、該検査用ソケットに電子部品を嵌め込むハンドラーが用いられている。
【０００３】
上述したハンドラーには、電子部品を吸着するための吸着部と、該吸着部に吸着された電子部品を検査用ソケットに嵌め込むための押圧用のモーターとが搭載されている。そして、検査前の電子部品が検査用ソケットで検査される際には、電子部品が吸着部に吸着された状態で上記モーターが駆動され、電子部品の端子が検査用ソケットの端子に嵌め込まれる。このとき、電子部品の端子と検査用ソケットの端子とが電気的に接続されるためには、電子部品に対して所定の押圧力が必要であって、こうした押圧力が、上記モーターによって加えられることになる。
【０００４】
一方、近年では、検査用ソケットに嵌め込まれる電子部品の個数が増える傾向にあるため、上記モーターの出力では、複数の電子部品の各々に対し、上記端子間の接続に十分な押圧力が加えられなくなりつつある。そこで、上述したハンドラーには、押圧用の空圧シリンダーが搭載されるとともに、上記モーターよりも大きい押圧力が該空圧シリンダーから電子部品に加えられている。このような空圧シリンダーによる電子部品の押圧によれば、上述した端子間が確実に接続されるため、電子部品の検査が高い精度で行われることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０１７７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したように、電子部品に形成された各端子の接続には所定の押圧力が必要であることから、電子部品の端子数や電子部品の個数が増えると、上記空圧シリンダーに必要とされる押圧力も大きくなる。一方、こうして空圧シリンダーの押圧力が大きくなると、検査用ソケットからの反力も自ずと大きくなる。そして、上記空圧シリンダーを支持する部材や空圧シリンダーを移動させるためのレールには、上記反力によって変形しない程度の剛性が必要になる。しかしながら、こうした部材及びレールの剛性を高めるためには、該部材及びレールを有した搬送部の大型化や重量化が免れ得ない。
【０００７】
なお、こうした問題は、上述したように、モーターと空圧シリンダーとを用いて電子部品を押圧するハンドラーに限らず、搬送部に設けられた１つ以上の押圧部を用いて搬送対象を押圧するハンドラーに共通した問題である。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送対象を搬送する搬送部によって搬送対象を押圧するハンドラーにおいて、搬送部の大型化や重量化を抑えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様の一つは、ハンドラーが、基台と、搬送対象を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、を備え、前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている。
【００１０】
押圧部による押圧力が搬送対象に作用する際には、該押圧力に抗した反力が搬送部に作用することになる。上記の態様によれば、押圧力の反力うち、その一部は搬送部に作用するものの、その残部は、受圧部に設けられた係合部を介して基台に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送部に作用することはなく、該反力の一部は、基台に分散することになる。これにより、所望の押圧力で搬送対象が押圧されるものの、搬送部に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送部の大型化や重量化を抑えることができる。
【００１１】
本発明の態様の一つは、前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第１押圧部と、前記第１押圧部を前記基台に向けて押圧する第２押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第２押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動することが好ましい。
【００１２】
上記の構成によれば、押圧部を構成する第１押圧部と第２押圧部とのうち、受圧部の係合部は、第２押圧部の一部に設けられた突出部と係合するように可動する。そのため、上記係合によって第１押圧部の押圧力によって第２押圧部が押し返されることを抑えることが可能である。しかも、搬送対象に加わる押圧力が、受圧部と第２押圧部との機械的な係合で定まることになるため、該押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。
【００１３】
本発明の態様の一つは、前記押圧部は、前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する第１押圧部と、前記第１押圧部を前記基台に向けて押圧する第２押圧部とを備え、前記受圧部の前記係合部は、前記第２押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動することが好ましい。
【００１４】
上記の構成によれば、押圧部を構成する第１押圧部と第２押圧部とのうち、受圧部の係合部は、第２押圧部の一部に設けられた突出部との係合を解除するように可動する。そのため、上記係合によって第１押圧部の押圧力によって第２押圧部が押し返されることを抑えることが可能であり、また、該係合の解除により、押圧部の移動が突出部によって影響されにくくなる。しかも、搬送対象に加わる押圧力が、受圧部と第２押圧部との機械的な係合で定まることになるため、該押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。
【００１５】
本発明の態様の一つは、前記第１押圧部は、押圧シリンダーであり、前記第２押圧部は、前記押圧シリンダーを上昇及び下降させるモーターを含んでなり、前記第１押圧部の押圧力は、前記第２押圧部の押圧力よりも大きいことが好ましい。
【００１６】
押圧シリンダーから加えられる押圧力は、通常、押圧シリンダーの作動圧を大きくすること、例えば押圧シリンダーに供給される圧縮空気の圧力を高めることによって大きくなる。上述した態様では、相対的に大きい押圧力が必要とされる第１押圧部が、このような押圧シリンダーによって構成される。そのため、相対的に大きい押圧力がモーターの駆動によって加えられる構成と比較して、搬送部の構成を簡単にすること、ひいてはハンドラーの構成を簡単にすることが可能となる。また、第１押圧部がモーターから構成される場合と比較して、搬送対象に加わる押圧力を大きくすることが容易にもなる。
【００１７】
本発明の態様の一つは、前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する状態で、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。
【００１８】
モーターを用いた搬送対象の押圧は、モーターの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことが可能である。なお、位置制御とは、押圧シリンダーの位置が所定の位置となるように、モーターの回転位置を制御するものである。他方、トルク制御とは、搬送対象に所定の押圧力が加わるように、モーターの発生トルクを制御するものである。
【００１９】
ここで、上記押圧シリンダーの押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダーの支持側に対する反力、すなわち上記モーターに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御によりモーターが駆動されていると、モーターの出力が上記反力を上回らない限り、モーターの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、モーターの駆動電流が増大し続けることとなり、モーターの内部に過剰な負荷が加わることとなる。
【００２０】
この点、上記の態様では、押圧シリンダーの押圧力が搬送対象に加わる状態で、モーターがトルク制御により駆動される。そのため、押圧シリンダーの伸長によって該押圧シリンダーの支持側が押し返されたとしても、モーターが所定のトルクを出力する以上は、該モーターに過剰な負荷が加わることはない。
【００２１】
本発明の態様の一つは、前記モーターの駆動を制御するモーター制御部を備え、前記モーター制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象を押圧する前に、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。
【００２２】
上記の態様によれば、押圧シリンダーが搬送対象に押圧力を加えるときには、モーターがトルク制御によって駆動されている。そのため、モーターに過剰な負荷が加わることがないうえ、搬送対象に加えられる押圧力が安定することにもなる。
【００２３】
本発明の態様の一つは、前記係合部が、互いに向い合う一対の可動アームであって、前記一対の可動アームは、前記突出部と係合する位置と、前記突出部から離間する位置とに変位することが好ましい。
【００２４】
上記の態様によれば、互いに向い合う一対の可動アームと押圧部に設けられた突出部とが係合し、押圧部からの押圧力の反力が、互いに向かい合う一対の可動アームの各々に作用することになる。それゆえに、押圧部からの押圧力の反力が、一カ所に作用する態様と比較して、該反力の分散する範囲を広くすることが可能であって、ひいては受圧部や基台に求められる剛性を抑えることが可能となる。
【００２５】
本発明の態様の一つは、前記搬送部は、複数の前記搬送対象を吸着する状態を有し、前記押圧部は、複数の前記搬送対象を押圧する状態を有することが好ましい。
複数の搬送対象を押圧する状態を有する態様では、搬送対象の個数が大きくなるに連れて、複数の搬送対象の全体に加えられる押圧力も自ずと大きくなる状態を有することになる。この際、接続対象の全体に加えられる押圧力に合わせて、該押圧力の反力も自ずと大きくなる状態を有することになる。この点、上記の態様によれば、上述のようにして大きくなる反力の一部が、基台に分散することになる。それゆえに、搬送部の大型化や重量化を抑えることができるという効果が、より顕著なものとなる。
【００２６】
本発明の態様の一つは、部品検査装置が、基台と、電子部品を搬送する搬送部と、前記基台に連結された受圧部と、前記基台に設けられた検査用ソケットと、を備え、前記搬送部には前記電子部品を前記検査用ソケットに向けて押圧する押圧部が設けられ、前記受圧部には前記押圧部の一部と係合する係合部が設けられている。
【００２７】
押圧部による押圧力が電子部品に作用する際には、該押圧力に抗した反力が搬送部に作用することになる。上記の態様によれば、押圧力の反力うち、その一部は搬送部に作用するものの、その残部は、受圧部に設けられた係合部を介して基台に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送部に作用することはなく、該反力の一部は、基台に分散することになる。これにより、所望の押圧力で搬送対象が押圧されるものの、搬送部に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送部の大型化や重量化を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明における部品検査装置の一実施形態の全体構成を示す概略平面図。
【図２】同部品検査装置が備えるハンドラーにおける第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の側面構造を示す側面図。
【図３】同ハンドラーの電気的構成を示すブロック図。
【図４】同ハンドラーが備える各種モーターの駆動態様を示すタイミングチャート。
【図５】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図６】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図７】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図８】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図９】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図１０】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図１１】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【図１２】第１搬送ユニットと受圧アーム機構との作動態様を示す図であり、（ａ）第１搬送ユニット及び受圧アーム機構の平面構造と（ｂ）端面構造とを対応付けて示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した一実施形態について、図１〜図１２を参照して説明する。まず、部品検査装置の構成について図１を参照して説明する。
［部品検査装置の構成］
図１に示されるように、部品検査装置の備えるハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、該搭載面１１ａの大部分が、カバー部材１２によって覆われている。これらカバー部材１２と搭載面１１ａとにより囲まれた空間である搬送空間は、部品検査装置の外部から供給されるドライエアーにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。
【００３０】
基台１１の搭載面１１ａには、一つの方向に延びる４つのコンベアーが、該コンベアーの搬送方向と直交する方向に配列されている。４つのコンベアーのうち、コンベアーの配列方向であるＸ方向の一方側には、２つの供給用コンベアーＣ１，Ｃ２が敷設され、他方、Ｘ方向の他方側には、２つの回収用コンベアーＣ３，Ｃ４が敷設されている。そして、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２では、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａが、カバー部材１２の外側から内側に向かって運ばれる。また、回収用コンベアーＣ３，Ｃ４では、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａが、カバー部材１２の内側から外側に向かって運ばれる。なお、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。
【００３１】
上記基台１１の搭載面１１ａ上には、Ｘ方向において互いに向い合う供給ロボット２０と回収ロボット４０とが搭載されている。供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２のＹ方向に配置され、また、回収ロボット４０は、回収用コンベアーＣ３，Ｃ４のＹ方向に配置されている。
【００３２】
供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に連結された可動軸である供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に連結され、且つ供給側可動ガイド２２に沿って移動する供給用ハンドユニット２３とを有している。
【００３３】
供給側可動ガイド２２は、供給側固定ガイド２１から回収ロボット４０側へ延びる可動軸であって、供給側固定ガイド２１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、供給側可動ガイド２２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２から搭載面１１ａに向けた下降と、搭載面１１ａ側から供給側可動ガイド２２に向けた上昇とを可能に、供給側可動ガイド２２に連結されている。
【００３４】
そして、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２側へ移動するとともに、供給用ハンドユニット２３が、供給側可動ガイド２２に沿って供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａの直上にまで移動する。これにより、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａに載置された電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３に吸着され、その後、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａから持ち上げられる。また、この状態から、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２上から離れることによって、供給用ハンドユニット２３に吸着された電子部品Ｔが、上述した搬送空間内の所定の位置へ供給される。
【００３５】
回収ロボット４０は、供給ロボット２０と同じく、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に連結された可動軸である回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に連結され、且つ回収側可動ガイド４２に沿ってＸ方向に移動する回収用ハンドユニット４３とを有している。
【００３６】
回収側可動ガイド４２は、回収側固定ガイド４１から供給ロボット２０側へ延びる可動軸であって、回収側固定ガイド４１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、回収側可動ガイド４２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２から搭載面１１ａに向けた下降と搭載面１１ａ側から回収側可動ガイド４２に向けた上昇とを可能に、回収側可動ガイド４２に連結されている。
【００３７】
そして、回収側可動ガイド４２が、回収側固定ガイド４１に沿って回収用コンベアーＣ３，Ｃ４側へ移動するとともに、回収用ハンドユニット４３が、回収側可動ガイド４２に沿って、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａの直上にまで移動する。これにより、回収用ハンドユニット４３に吸着された電子部品Ｔが、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａに載置される。
【００３８】
カバー部材１２の内側面には、Ｙ方向に延びる搬送ガイド３１が、該内側面におけるＸ方向の略中央に固定されている。この搬送ガイド３１における両端部の下方には、Ｘ方向に延びる第１シャトル３２と、同じくＸ方向に延びる第２シャトル３７とが配設されている。
【００３９】
第１シャトル３２は、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第１シャトルガイド３２ｃに連結され、Ｘ方向において、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２のいずれか一方と重なるように、Ｘ方向にスライドする。第１シャトル３２における上記供給ロボット２０側には、供給用シャトルトレイ３２ａが固定され、また、第１シャトル３２における上記回収ロボット４０側には、回収用シャトルトレイ３２ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３２ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３２ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。
【００４０】
第２シャトル３７は、これもまた、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第２シャトルガイド３７ｃに連結され、Ｘ方向において、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２のいずれか一方と重なるように、Ｘ方向にスライドする。第２シャトル３７における上記供給ロボット２０側には、供給用シャトルトレイ３７ａが固定され、また、第２シャトル３７における上記回収ロボット４０側には、回収用シャトルトレイ３７ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３７ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３７ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。
【００４１】
搭載面１１ａのうち、搬送空間の略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形開口が設けられるとともに、複数の電子部品Ｔの検査を同時に行う接続対象としての検査用ソケット３３が該矩形開口に埋設されている。検査用ソケット３３は、電子部品Ｔが嵌め込まれるソケットであって、該電子部品Ｔを検査するための図示されない検査ユニットに連結されている。検査ユニットは、基台１１の内部に収容されたハンドラーとは別体の装置であって、ハンドラーとともに部品検査装置を構成している。
【００４２】
検査用ソケット３３の上面には、複数の電子部品Ｔを同時に収容することの可能な検査用ポケット３３ａが凹設され、また、検査用ポケット３３ａの底面には、電子部品Ｔの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されている。そして、電子部品Ｔが有する雄端子が検査用ポケット３３ａの雌端子に嵌め込まれることによって、該電子部品Ｔの電気的特性が検査可能になる。なお、検査用ポケット３３ａが有する端子は、基台１１内に搭載された別体である検査ユニットに接続され、電子部品Ｔが有する端子は、検査用ポケット３３ａが有する端子を介し、検査ユニット内の検査回路に接続される。そして、検査用ソケット３３による検査の結果は、該検査ユニットからハンドラー１０に出力される。
【００４３】
上記搬送ガイド３１には、搬送部を構成する第１搬送ユニット３４と第２搬送ユニット３８とがＹ方向に並んで連結されている。
第１搬送ユニット３４は、第１シャトル３２と検査用ソケット３３との間を、Ｙ方向に沿って往動及び復動する。第１搬送ユニット３４の下端部は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間を、Ｚ方向に沿って下降及び上昇する。そして、第１搬送ユニット３４は、供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔを該第１搬送ユニット３４の下端部で保持したり、保持した電子部品Ｔを検査用ソケット３３にまで搬送したり、該電子部品Ｔを検査用ソケット３３に嵌め込んだりする。また、第１搬送ユニット３４は、検査用ソケット３３に嵌め込まれた電子部品Ｔを該第１搬送ユニット３４の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Ｔを回収用シャトルトレイ３２ｂに載置したりする。
【００４４】
第２搬送ユニット３８は、第２シャトル３７と検査用ソケット３３との間を、Ｙ方向に沿って往動及び復動する。第２搬送ユニット３８の下端部は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間を、Ｚ方向に沿って下降及び上昇する。そして、第２搬送ユニット３８は、供給用シャトルトレイ３７ａに載置された電子部品Ｔを該第２搬送ユニット３８の下端部で保持したり、保持した電子部品Ｔを検査用ソケット３３にまで搬送したり、該電子部品Ｔを検査用ソケット３３に嵌め込んだりする。また、第２搬送ユニット３８は、検査用ソケット３３に嵌め込まれた電子部品Ｔを該第２搬送ユニット３８の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Ｔを回収用シャトルトレイ３７ｂに載置したりする。
【００４５】
また、搭載面１１ａのうち、検査用ソケット３３のＸ方向における両側には、受圧部を構成する一対の受圧アーム機構３５，３６が固設されている。
［部品検査装置の作用］
上記ハンドラー１０では、まず、検査前の電子部品Ｔが、外部装置から供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａに移載される。次いで、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２が駆動されることによって、検査前の電子部品Ｔが搬送空間内にまで運ばれる。そして、検査前の電子部品Ｔが搬送空間内にまで運ばれると、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２上にまで移動する。続いて、供給用ハンドユニット２３が、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａの直上にまで移動して電子部品Ｔを保持すると、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って第１シャトル３２上まで移動する。
【００４６】
次いで、供給側可動ガイド２２が第１シャトル３２上に到達すると、供給用ハンドユニット２３が第１シャトル３２上まで移動するとともに、供給用シャトルトレイ３２ａの直上に供給用ハンドユニット２３が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。そして、供給用ハンドユニット２３の保持した検査前の電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３から供給用シャトルトレイ３２ａに移載される。
【００４７】
検査前の電子部品Ｔが供給用シャトルトレイ３２ａに移載されると、第１搬送ユニット３４が第１シャトル３２上にまで移動するとともに、供給用シャトルトレイ３２ａの直上に第１搬送ユニット３４の下端部が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。次いで、第１搬送ユニット３４の下端部が、供給用シャトルトレイ３２ａに向けて下降し、供給用シャトルトレイ３２ａに移載された検査前の電子部品Ｔが、第１搬送ユニット３４の下端部に保持される。続いて、第１搬送ユニット３４が検査用ソケット３３上にまで移動し、検査前の電子部品Ｔが、検査用ソケット３３の直上にまで搬送される。そして、検査前の電子部品Ｔが、第１搬送ユニット３４の下端部とともに下降することによって、検査用ポケット３３ａ内の雌端子に対し、電子部品Ｔの雄端子が嵌め込まれる。
【００４８】
このようにして検査用ソケット３３に検査前の電子部品Ｔが嵌め込まれると、電子部品Ｔの検査を開始するための検査開始信号が、ハンドラー１０から検査ユニットに出力され、これにより、電子部品Ｔの検査が検査ユニットにて開始される。
【００４９】
その後、電子部品Ｔの検査が終了したことを示す検査終了信号が、検査ユニットからハンドラー１０に出力されると、検査後の電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４に保持された状態で、第１搬送ユニット３４の下端部が上昇し、これにより検査後の電子部品Ｔが検査用ソケット３３から取り出される。続いて、第１搬送ユニット３４が、検査用ソケット３３上から第１シャトル３２上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に第１搬送ユニット３４が位置するように、第１シャトル３２がスライドする。そして、第１搬送ユニット３４の下端部が下降して電子部品Ｔの保持が解除されると、検査後の電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４から回収用シャトルトレイ３２ｂに移載される。
【００５０】
検査後の電子部品Ｔが回収用シャトルトレイ３２ｂに移載されると、回収側可動ガイド４２が回収側固定ガイド４１に沿って第１シャトル３２上にまで移動する。さらに、回収側可動ガイド４２が第１シャトル３２上に移動すると、回収用ハンドユニット４３が第１シャトル３２上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に回収用ハンドユニット４３が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。そして、回収用シャトルトレイ３２ｂに移載された検査後の電子部品Ｔが、回収用ハンドユニット４３に保持される。
【００５１】
検査後の電子部品Ｔが回収用ハンドユニット４３に保持されると、回収側可動ガイド４２が、第１シャトル３２上から回収用コンベアーＣ３，Ｃ４上にまで移動する。次いで、回収用ハンドユニット４３が回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａの直上にまで移動し、検査後の電子部品Ｔが、検査結果毎に分類された状態で、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａに移載される。
【００５２】
なお、供給ロボット２０と第２シャトル３７との間でも、上述した供給ロボット２０と第１シャトル３２との間と同様に、検査前の電子部品Ｔが移載される。また、第２シャトル３７と第２搬送ユニット３８との間でも、上述した第１シャトル３２と第１搬送ユニット３４との間と同様に、検査前の電子部品Ｔ及び検査後の電子部品Ｔが移載される。さらにまた、第２シャトル３７と回収ロボット４０との間でも、上述した第１シャトル３２と回収ロボット４０との間と同様に、検査後の電子部品Ｔが移載される。
［ハンドラーの詳細構成］
次に、ハンドラー１０の備える第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の構成について図２を参照して詳細に説明する。なお、第１搬送ユニット３４と第２搬送ユニット３８とは、搬送ガイド３１との連結位置や移動先となるシャトルが互いに異なるものの、電子部品Ｔを押圧するための構成が同様であるため、以下では、第１搬送ユニット３４について説明し、第２搬送ユニット３８についての説明は割愛する。また、図２は、第１搬送ユニット３４の周辺構造をコンベアー側からみた端面図であり、検査用ソケット３３の直上に第１搬送ユニット３４が配置された状態を示している。
【００５３】
上述した搬送ガイド３１には、検査前の電子部品Ｔを搬送するための第１搬送ユニット３４が連結されている。第１搬送ユニット３４を構成する水平移動アーム５１は、搬送ガイド３１に沿って往動及び復動可能に連結されている。水平移動アーム５１の下端部には、垂直移動アーム５２が、水平移動アーム５１に対し上昇及び下降可能に連結されている。垂直移動アーム５２は、水平移動アーム５１内に搭載された押圧モーター５１Ｍが回転することによって、水平移動アーム５１に対して上昇及び下降する。また、垂直移動アーム５２の下端部には、Ｘ方向に突出する突出部である被受圧片５２ａがＹ方向の全幅にわたり固設され、また、垂直移動アーム５２の下端部には、空圧により作動する押圧シリンダー５３が、搭載面１１ａに向けて連結されている。ここで、押圧シリンダー５３は、第１押圧部を構成し、押圧モーター５１Ｍ、垂直移動アーム５２、及び被受圧片５２ａは第２押圧部を構成している。そして、第１押圧部と第２押圧部とが、押圧部を構成している。
【００５４】
押圧シリンダー５３には、図示しない圧縮空気供給部が接続されている。圧縮空気供給部は、例えば、部品検査装置の設置された施設が備えるガス供給系と、該ガス供給系の圧縮空気の供給を制御するバルブ等を有するものである。ガス供給系は、大気圧を基準圧力としたときの相対圧力が、例えば０．５ＭＰａである圧縮空気を供給する。そして、押圧シリンダー５３は、圧縮空気供給部から圧縮空気が供給されることによりＺ方向に伸長し、該供給された圧縮空気が排気されることによりＺ方向に収縮する。
【００５５】
押圧シリンダー５３の下端部には、例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着することの可能なエンドエフェクターである複数の吸着部５４が連結されている。吸着部５４は、例えば吸着用のノズルと、該ノズルに接続された真空ポンプ等によって構成されている。
【００５６】
上記搭載面１１ａにおける検査用ソケット３３のＸ方向両側には、互いに向い合う受圧アーム機構３５，３６が、検査用ソケット３３を挟むように配設されている。受圧アーム機構３５，３６は、搭載面１１ａに固設された支持体３５ａ，３６ａと、該支持体３５ａ，３６ａの上面にてＸ方向に往動及び復動可能に連結された受圧アーム３５ｂ，３６ｂとを有している。受圧アーム３５ｂ，３６ｂは、押圧部の一部である被受圧片５２ａと係合する係合部である。
【００５７】
受圧アーム３５ｂ，３６ｂには、図示されない圧縮空気供給部に接続されたアームシリンダーが連結されている。圧縮空気供給部は、例えば、上記押圧シリンダー５３に接続された圧縮空気供給部と同様の構成である。そして、検査用ソケット３３の直上に第１搬送ユニット３４が配置され、且つ受圧アーム３５ｂ，３６ｂのアームシリンダーに圧縮空気が供給されると、受圧アーム３５ｂ，３６ｂがＸ方向に互いに近づき、該受圧アーム３５ｂ，３５ｂが被受圧片５２ａに係合可能な係合位置に変位する。また、この状態から、アームシリンダー内の圧縮空気が排気されると、受圧アーム３５ｂ，３６ｂがＸ方向に互いに離れ、該受圧アーム３５ｂ，３６ｂが被受圧片５２ａから離間する離間位置に変位する。このように、受圧アーム３５ｂ，３６ｂが可動する構造によって、受圧アーム３５ｂ，３６ｂと被受圧片５２ａとの係合、又は、該係合の解除ができる。
［ハンドラーの電気的構成］
上記ハンドラー１０の電気的構成について図３を参照して説明する。上記ハンドラー１０に備えられた制御装置６０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置６０は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、ハンドラー１０の動作にかかわる各種制御を行う。
【００５８】
制御装置６０には、コンベアーモーターＭＣを回転駆動させるコンベアー駆動部６１が接続されている。コンベアー駆動部６１には、コンベアーモーターＭＣの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＣが接続されている。コンベアー駆動部６１は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＣから入力されたコンベアーモーターＭＣの回転位置とに基づいて、コンベアーモーターＭＣの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をコンベアーモーターＭＣに出力する。コンベアーモーターＭＣは、上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記コンベアーＣ１〜Ｃ４を駆動する。なお、上記コンベアー駆動部６１及びコンベアーモーターＭＣは、コンベアーＣ１〜Ｃ４毎に設けられ、また、エンコーダーＥＭＣは各コンベアーモーターＭＣに対して設けられている。
【００５９】
制御装置６０には、ガイドモーターＭＸを回転駆動させる可動ガイド駆動部６２が接続されている。可動ガイド駆動部６２には、ガイドモーターＭＸの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＸが接続されている。可動ガイド駆動部６２は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＸから入力された回転位置とに基づいて、ガイドモーターＭＸの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をガイドモーターＭＸに出力する。ガイドモーターＭＸは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記可動ガイド２２，４２を固定ガイド２１，４１に沿って往動及び復動させる。なお、上記可動ガイド駆動部６２及びガイドモーターＭＸは、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＸは、各ガイドモーターＭＸに対して設けられている。
【００６０】
制御装置６０には、シャトルモーターＭＳを回転駆動させるシャトル駆動部６３が接続されている。シャトル駆動部６３には、シャトルモーターＭＳの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＳが接続されている。シャトル駆動部６３は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＳから入力された回転位置とに基づいて、シャトルモーターＭＳの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をシャトルモーターＭＳに出力する。シャトルモーターＭＳは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ガイド３２ｃ，３７ｃに沿ってシャトル３２，３７をスライドさせる。なお、上記シャトル駆動部６３及びシャトルモーターＭＳは、第１シャトル３２及び第２シャトル３７の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＳは、各シャトルモーターＭＳに対して設けられている。
【００６１】
制御装置６０には、ハンドモーター駆動部６４ａと吸引バルブ駆動部６４ｂとを有するハンドユニット駆動部６４が接続されている。このうち、ハンドモーター駆動部６４ａには、ハンドモーターＭＺの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＺが接続されている。ハンドモーター駆動部６４ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＺから入力された回転位置とに基づいて、ハンドモーターＭＺの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をハンドモーターＭＺに出力する。ハンドモーターＭＺは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ハンドユニット２３，４３を上昇及び下降させる。
【００６２】
吸引バルブ駆動部６４ｂには、ハンドユニット２３，４３の先端に設けられた吸引バルブＳＶ１の開放量を検出する吸引センサーＥＳＶ１が接続されている。吸引バルブ駆動部６４ｂは、制御装置６０から入力された開度指令と、吸引センサーＥＳＶ１から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブＳＶ１の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ１に出力する。吸引バルブＳＶ１は、入力された上記駆動信号に応じた開閉を行うことで、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Ｔを吸引する。なお、上記ハンドユニット駆動部６４、ハンドモーターＭＺ、及び吸引バルブＳＶ１は、供給用ハンドユニット２３及び回収用ハンドユニット４３の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＺ、吸引センサーＥＳＶ１は、ハンドモーターＭＺ及び吸引バルブＳＶ１の各々に対して設けられている。
【００６３】
制御装置６０には、搬送モーター駆動部６５ａ、モーター制御部を構成する押圧モーター駆動部６５ｂ、シリンダー制御部を構成する押圧シリンダー駆動部６５ｃ、及び吸引バルブ駆動部６５ｄを有した搬送ユニット駆動部６５が接続されている。
【００６４】
搬送モーター駆動部６５ａには、搬送モーターＭＹの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＹが接続されている。搬送モーター駆動部６５ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＹから入力された回転位置とに基づいて、搬送モーターＭＹの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。搬送モーターＭＹは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記搬送ユニット３４，３８を上記搬送ガイド３１に沿って往動及び復動させる。なお、上記搬送モーター駆動部６５ａは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＹも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられている。
【００６５】
押圧モーター駆動部６５ｂには、押圧モーター５１Ｍの回転位置を検出するエンコーダーＥ５１Ｍが接続されている。押圧モーター駆動部６５ｂは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥ５１Ｍから入力された回転位置とに基づいて、押圧モーター５１Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。押圧モーター５１Ｍは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム５２を上昇及び下降させる。
【００６６】
また、押圧モーター駆動部６５ｂには、押圧モーター５１Ｍにおける駆動電流の実値を計測する電流計測部Ｉ５１Ｍが接続されている。押圧モーター駆動部６５ｂは、制御装置６０から入力されたトルク指令と、電流計測部Ｉ５１Ｍから入力された計測値とに基づいて、押圧モーター５１Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。押圧モーター５１Ｍは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム５２を上昇及び下降させる。
【００６７】
ちなみに、制御装置６０は、押圧モーター５１Ｍの駆動制御の方法として、位置制御モードとトルク制御モードとを選択する。このうち、位置制御モードとは、上記搬送ユニット３４，３８の端部に連結された吸着部５４が所定の位置となるように、上記位置指令に基づいて押圧モーター５１Ｍの駆動を制御する方法である。他方、トルク制御モードとは、押圧モーター５１Ｍの回転によって生じるトルクが所定の大きさに維持されるように、上記トルク指令に基づいて押圧モーター５１Ｍの駆動を制御する方法である。なお、上記押圧モーター駆動部６５ｂは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられ、また、電流計測部Ｉ５１Ｍも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられている。
【００６８】
押圧シリンダー駆動部６５ｃは、制御装置６０から入力された駆動指令に基づいて、押圧シリンダー５３に作動圧を供給するための駆動信号を生成するとともに、該各駆動信号を押圧シリンダー５３に出力する。そして、押圧シリンダー５３は、それが伸長するための駆動信号に応じて伸長することで電子部品Ｔに押圧力を加えるとともに、それが収縮するための駆動信号に応じて収縮することで電子部品Ｔに対する押圧力を解除する。なお、上記押圧シリンダー駆動部６５ｃは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられている。
【００６９】
吸引バルブ駆動部６５ｄには、吸引バルブＳＶ２の開放量を検出する吸引センサーＥＳＶ２が接続されている。吸引バルブ駆動部６５ｄは、制御装置６０から入力された開度指令と、吸引センサーＥＳＶ２から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブＳＶ２の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ２に出力する。そして、吸引バルブＳＶ２は、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Ｔを吸引する。なお、吸引バルブ駆動部６５ｄは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３８の各々に対して設けられている。また、吸引センサーＥＳＶ２は、吸引バルブＳＶ２の各々に対して設けられている。
【００７０】
制御装置６０には、上記受圧アーム３５ｂ，３６ｂを変位させる受圧アーム駆動部６６が接続されている。受圧アーム駆動部６６は、制御装置６０から入力された駆動指令に基づいて、受圧アーム３５ｂ，３６ｂのアームシリンダー３５ｓ，３６ｓに作動圧を供給するための駆動信号を生成するとともに、該駆動信号をアームシリンダー３５ｓ，３６ｓに出力する。そして、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓは、受圧アーム３５ｂ，３６ｂを変位させるための駆動信号に応じて伸長することで受圧アーム３５ｂ，３６ｂを上記係合位置に変位させる。他方、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓは、それが収縮するための駆動信号に応じて収縮することで、受圧アーム３５ｂ，３６ｂを上記離間位置に変位させる。
［ハンドラーの作用］
次に、搬送ユニットによって保持された電子部品Ｔが、検査用ソケット３３に嵌め込まれる際の、各種モーターの駆動の態様と各種シリンダーの駆動の態様とを、上述した構成に基づき、図４〜図１２を参照して説明する。なお、第１搬送ユニット３４による嵌め込み態様と第２搬送ユニット３８による嵌め込み態様とは、電子部品Ｔの供給元や電子部品Ｔの搬送方向が互いに異なるものの、それ以外では互いに同様の態様であるため、以下では、第１搬送ユニット３４における上記態様についてのみ例示する。
【００７１】
なお、図４には、搬送モーターＭＹに対する位置指令が、第１搬送ユニット３４の動作とともに便宜的に示され、また、押圧モーター５１Ｍに対する位置指令やトルク指令が、垂直移動アーム５２の動作及び制御モードとともに便宜的に示されている。また、図５〜図１２には、図４に示される各タイミングＴ０〜Ｔ１０での第１搬送ユニット３４の駆動態様及び受圧アーム機構３５，３６の駆動態様が、これらの平面構造と端面構造とが互いに対応付けられた状態で示されている。
［搬送ユニットセット期間：Ｔ０−Ｔ１］
まず、図４に示されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。この際、制御装置６０が出力する位置指令は、第１搬送ユニット３４の吸着部５４を供給用シャトルトレイ３２ａの直上から、検査用ソケット３３の直上まで移動させるためのものである。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。これにより、搬送モーターＭＹがタイミングＴ０から所定の方向への回転を開始し、第１搬送ユニット３４の吸着部５４が、電子部品Ｔを保持したまま検査用ソケット３３の直上に到達するまで、第１搬送ユニット３４が検査用ソケット３３に向けて往動する（図５（ａ）参照）。
【００７２】
なお、上述した搬送ユニットセット期間では、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置を維持するように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転を抑える。
【００７３】
また、上述した搬送ユニットセット期間では、押圧シリンダー５３に作動圧が供給されないように、制御装置６０は、押圧シリンダー駆動部６５ｃに押圧解除指令を出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部６５ｃは、押圧解除指令に基づく駆動信号を生成し、これにより、押圧シリンダー５３に作動圧を供給しないことで、押圧シリンダー５３の伸長量を最小値に維持する（図５（ｂ）参照）。
【００７４】
そして、上述のように、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置に維持され、且つ押圧シリンダー５３の伸長量が最小値に維持されることにより、吸着部５４がそれの最上位置に配置される。なお、吸着部５４の最上位置とは、水平移動アーム５１が搬送ガイド３１に沿って移動するときに、吸着部５４と他の部材とが衝突しない位置である。
［下降・押圧期間：Ｔ１−Ｔ３］
吸着部５４が検査用ソケット３３の直上に到達すると、吸着部５４に吸着された電子部品Ｔが検査用ソケット３３に収容されるように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ１にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。この際、制御装置６０は、上述した位置制御モードでの位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍが、タイミングＴ１から所定方向への回転を開始し、検査用ソケット３３に電子部品Ｔが収容されるまで、垂直移動アーム５２が下降する。
【００７５】
そして、タイミングＴ２にて、検査用ソケット３３に電子部品Ｔが収容されると、押圧モーター５１Ｍの位置制御が続けられ、吸着部５４の位置が所定の位置になるように、吸着部５４がさらに下降する。これにより、電子部品Ｔには、押圧モーター５１Ｍからの押圧力が加えられることになる（図６（ａ）（ｂ）参照）。
【００７６】
なお、上述した下降・押圧期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力して該搬送モーターＭＹの回転を抑える。
［受圧アーム駆動期間：Ｔ３−Ｔ４］
電子部品Ｔが検査用ソケット３３に位置決めされると、受圧アーム機構３５，３６の受圧アーム３５ｂ，３６ｂが上記係合位置に変位するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ３にて、受圧アーム駆動部６６に対し係合指令を出力する。
【００７７】
そして、受圧アーム駆動部６６は、上記係合指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号をアームシリンダー３５ｓ，３６ｓに出力する。これにより、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓが伸長して受圧アーム３５ｂ，３６ｂが係合位置に変位する（図７（ａ）（ｂ）参照）。
【００７８】
なお、こうした受圧アーム駆動期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力して搬送モーターＭＹの回転を抑える。
【００７９】
また、こうした受圧アーム駆動期間では、電子部品Ｔに対して押圧モーター５１Ｍからの押圧力Ｆｂａｓｅが加えられるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力して吸着部５４の位置を所定の位置まで下降させる。なお、こうした押圧力Ｆｂａｓｅとは、試験等によって予め設定されたものであり、押圧力Ｆｂａｓｅが電子部品Ｔを検査用ポケット３３ａに位置決めすることに足る力であって、且つ、該押圧力Ｆｂａｓｅによって電子部品Ｔや検査用ソケット３３が変形しない程度のものである。
［トルク制御期間：Ｔ４−Ｔ５］
受圧アーム３５ｂ，３５ｂが係合位置に変位すると、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ４にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対しトルク制御モードでのトルク指令を出力する。この際、上述した押圧力Ｆｂａｓｅよりも大きい押圧力Ｆｃｏｎが電子部品Ｔに対し加えられるように、制御装置６０はトルク指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、電流計測部Ｉ５１Ｍの計測値とトルク指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。
【００８０】
これにより、押圧モーター５１Ｍは、タイミングＴ４から所定方向への回転を引き続き行い、押圧モーター５１Ｍは、所定のトルクを出力して電子部品Ｔに対し上述した押圧力Ｆｃｏｎを加え、検査用ソケット３３に対し電子部品Ｔを位置決めする（図８（ａ）参照）。
【００８１】
なお、上述したトルク制御期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長が維持されるように、制御装置６０は、受圧アーム駆動部６６に対し係合指令を出力する。
【００８２】
そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部６６は、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、電子部品Ｔを押圧力Ｆｃｏｎで押圧し続ける（図８（ｂ）参照）。
［シリンダー押圧期間：Ｔ５−Ｔ６］
電子部品Ｔが押圧力Ｆｃｏｎで押圧されると、押圧シリンダー５３に作動圧を供給するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ５にて、押圧シリンダー駆動部６５ｃに対し押圧指令を出力する。そして、押圧シリンダー駆動部６５ｃは、押圧指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を圧縮空気供給系に出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部６５ｃは、押圧シリンダー５３に作動圧を供給するとともに、電子部品Ｔに対し、さらに押圧力Ｆｈｉｇｈを加える。
【００８３】
この押圧力Ｆｈｉｇｈとは、上述した押圧力Ｆｂａｓｅよりも大きい力であって、且つ、該押圧力Ｆｈｉｇｈでの押圧により、電子部品Ｔや検査用ソケット３３が変形しない程度のものである。そして、このような押圧力Ｆｈｉｇｈが電子部品Ｔに加えられることによって、電子部品Ｔの雄端子と検査用ソケット３３の雌端子との電気的な接続が確実に行われることになる。
【００８４】
そして、押圧シリンダー５３に作動圧が供給されると、制御装置６０は、検査を開始するための検査開始信号を検査ユニットに対して出力する。
このとき、押圧力Ｆｈｉｇｈに抗する反力が、第１搬送ユニット３４における支持側である垂直移動アーム５２に対して印加される。これにより、垂直移動アーム５２が搬送ガイド３１側に押し返されることによって、該被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとが係合する（図９（ａ）（ｂ）参照）。
【００８５】
そのため、押圧シリンダー５３による押圧力の反力は、その一部が第１搬送ユニット３４に作用するものの、その残部が、受圧アーム機構３５，３６を介して基台１１に作用することとなる。つまり、垂直移動アーム５２が押圧シリンダー５３の伸長で押し返されるものの、押圧シリンダー５３の伸長が受圧アーム機構３５，３６で抑えられる分、垂直移動アーム５２の押し返される程度は、少なからず抑えられることとなる。それゆえに、垂直移動アーム５２による押圧力Ｆｃｏｎよりも大きい押圧力が電子部品Ｔに加えられるものの、電子部品Ｔの受ける押圧力の反力の全てが、第１搬送ユニット３４に作用することはなく、該反力の一部は、基台１１に分散することになる。これにより、所望の押圧力で電子部品Ｔが押圧されるものの、第１搬送ユニット３４に求められる剛性は、該押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。したがって、第１搬送ユニット３４の大型化や重量化を抑えることができる。
【００８６】
ちなみに、押圧シリンダー５３の伸長量が、受圧アーム機構３５，３６によって強制的に定められない態様では、押圧モーター５１Ｍの駆動の態様に応じて、押圧シリンダー５３の伸長量も変わることになる。そして、押圧モーター５１Ｍの駆動がトルク制御モードであるとはいえ、被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとの機械的な係合で押圧力が定まる態様と比較すれば、電子部品Ｔに対する押圧力も変動することとなる。この点、上述した態様であれば、押圧シリンダー５３の伸長量が、被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとの係合で所定の値に定まるため、電子部品Ｔに対する押圧力も安定することとなる。
【００８７】
なお、上述したシリンダー押圧期間では、先のトルク制御期間と同様、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長が維持されるように、制御装置６０は、受圧アーム駆動部６６に対し係合指令を出力する。さらにまた、上述のように、押圧モーター５１Ｍが押圧シリンダー５３を押圧力Ｆｃｏｎで押圧できるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対してトルク指令を出力する。
【００８８】
そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部６６は、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧シリンダー５３を押圧力Ｆｃｏｎで押圧し続ける。
【００８９】
ちなみに、押圧モーター５１Ｍを用いた電子部品Ｔの押圧は、押圧モーター５１Ｍの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことができる。ここで、押圧シリンダー５３の押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダー５３の支持側に対する反力、すなわち押圧モーター５１Ｍに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御モードにより押圧モーター５１Ｍが駆動されていると、押圧モーター５１Ｍの出力が上記反力を上回らない限り、押圧モーター５１Ｍの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、押圧モーター５１Ｍの駆動電流が増大し続けることとなり、押圧モーター５１Ｍの内部に過剰な負荷が加わることとなる。
【００９０】
この点、上述したシリンダー押圧期間では、押圧シリンダー５３の押圧力が電子部品Ｔに加わる状態で、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードにより駆動される。そのため、押圧シリンダー５３の伸長によって垂直移動アーム５２が押し返されたとしても、押圧モーター５１Ｍが所定のトルクを出力する以上は、該押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることはない。
［シリンダー押圧解除期間：Ｔ６−Ｔ７］
検査ユニットにおいて電子部品Ｔの検査が終了すると、電子部品Ｔの回収を開始するための検査終了信号が検査ユニットから制御装置６０に出力される。次いで、押圧シリンダー５３が収縮するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ６にて、押圧シリンダー駆動部６５ｃに対し押圧解除指令を出力する。これにより、押圧シリンダー駆動部６５ｃは、押圧解除指令に基づく駆動信号の生成することで、押圧シリンダー５３の伸長による押圧力を解除する。これにより、第１搬送ユニット３４に対する反力が小さくなることから、垂直移動アーム５２の被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとの係合も解除される（図１０（ａ）（ｂ）参照）。
【００９１】
なお、上述したシリンダー押圧解除期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長が維持されるように、制御装置６０は、受圧アーム駆動部６６に対し係合指令を出力する。さらにまた、上述のように、押圧モーター５１Ｍが電子部品Ｔを押圧力Ｆｃｏｎで押圧できるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対してトルク指令を出力する。
【００９２】
そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部６６は、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長を維持する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、電子部品Ｔを押圧力Ｆｃｏｎで押圧し続ける。
［位置制御期間：Ｔ７−Ｔ８］
押圧シリンダー５３による押圧が解除されると、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ７にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍは、所定方向への回転を開始することで、電子部品Ｔを押圧力Ｆｂａｓｅで押圧し始める（図１１（ａ）（ｂ）参照）。
【００９３】
なお、上述した位置制御期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長が維持されるように、制御装置６０は、受圧アーム駆動部６６に対し係合指令を出力する。
【００９４】
そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、受圧アーム駆動部６６は、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓの伸長を維持する。
［受圧アーム解除期間：Ｔ８−Ｔ９］
押圧モーター５１Ｍが位置制御により駆動されると、受圧アーム３５ｂ，３６ｂが離間位置にまで戻るように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ８にて、受圧アーム駆動部６６に対する係合解除指令を出力する。そして、受圧アーム駆動部６６が、係合解除指令に基づく駆動信号を生成して出力し、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓが収縮して、受圧アーム３５ｂ，３６ｂが離間位置に戻る（図１２（ａ）（ｂ）参照）。
【００９５】
なお、上述した受圧アーム機構解除期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、電子部品Ｔが押圧力Ｆｂａｓｅで押圧されるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。
【００９６】
そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転を抑える。
［上昇期間：Ｔ９−Ｔ１０］
受圧アーム３５ｂ，３６ｂが離間位置にまで戻されると、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置にまで戻るように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ９にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍは、タイミングＴ９以前までとは逆の方向へ回転して垂直移動アーム５２を最上位置にまで戻す。
【００９７】
次いで、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置に到達すると、第１搬送ユニット３４の吸着部５４が回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に配置するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ１０にて、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。これにより、搬送モーターＭＹがタイミングＴ１０から所定方向への回転を開始し、吸着部５４に吸着された電子部品Ｔが回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に到達するまで、第１搬送ユニット３４が第１シャトルに向けて復動する。
【００９８】
以上説明したように、上記実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）押圧シリンダー５３による押圧力の反力は、その一部が搬送ユニット３４，３８や搬送ガイド３１に作用するものの、その残部が、受圧アーム機構３５，３６を介して基台１１に作用することとなる。つまり、押圧力の反力の全てが、搬送ユニット３４，３８に作用することはなく、該反力の一部は、基台１１に分散することになる。これにより、所望の押圧力で電子部品Ｔが押圧されるものの、搬送ユニット３４，３８に求められる剛性は、押圧力の反力の一部に耐えうるもので足りる。そのため、搬送ユニット３４，３８の大型化や重量化を抑えることができる。
【００９９】
（２）電子部品Ｔを押圧する垂直移動アーム５２と押圧シリンダー５３とのうち、受圧アーム機構３５，３６は、垂直移動アーム５２に設けられた被受圧片５２ａのみと係合する。そのため、押圧シリンダー５３の押圧力によって垂直移動アーム５２が押し返されることを抑えることが可能である。しかも、電子部品Ｔに加わる押圧力が変動することを抑えることが可能にもなる。
【０１００】
（３）搬送ユニット３４，３８が、相対的に大きい押圧力で電子部品Ｔを押圧する押圧シリンダー５３を有するため、相対的に大きい押圧力がモーターの駆動によって加えられる構成と比較して、搬送ユニット３４，３８の構成を簡単にすること、ひいてはハンドラー１０の構成を簡単にすることが可能となる。また、押圧シリンダー５３に代えてモーターを備える構成と比較して、電子部品Ｔに加わる押圧力を大きくすることが容易にもなる。
【０１０１】
（４）押圧シリンダー５３の押圧力が電子部品Ｔに加わる状態で、押圧モーター５１Ｍがトルク制御により駆動される。そのため、押圧シリンダー５３の伸長によって垂直移動アーム５２が押し返されたとしても、押圧モーター５１Ｍが所定のトルクを出力する以上は、該モーターに過剰な負荷が加わることはない。
【０１０２】
（５）押圧シリンダー５３が電子部品Ｔに押圧力を加えるときには、押圧モーター５１Ｍがトルク制御によって駆動されている。そのため、押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることがないうえ、電子部品Ｔに加えられる押圧力が安定することにもなる。
【０１０３】
（６）押圧シリンダー５３からの押圧力の反力が、互いに向かい合う一対の受圧アーム３５ｂ，３６ｂの各々に作用することになる。そのため、押圧シリンダー５３からの押圧力に抗する反力が、搭載面１１ａの一カ所に作用する態様と比較して、該反力の分散する範囲を広くすることが可能であって、ひいては受圧アーム機構３５，３６や基台１１に求められる剛性を抑えることが可能となる。
【０１０４】
（７）複数の電子部品Ｔが同時に押圧される上記態様であれば、検査用ソケット３３の全体に加えられる押圧力が自ずと大きくなるため、これに合わせて、該押圧力の反力も自ずとと大きくなる。そのため、搬送ユニット３４，３８の大型化や重量化を抑えることができるという効果がより顕著なものとなる。
【０１０５】
なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することができる。
・搬送対象は、上述した電子部品Ｔの他、光学部品や精密機器部品等の各種部品であってもよく、要は、搬送並びに押圧されるものであればよい。こうした搬送対象であっても、上記（１）〜（７）に準じた効果を得ることは可能である。
【０１０６】
・保持部が搬送対象を保持する態様は、上述のように搬送対象を吸着する態様に限らず、例えば、搬送対象を把持する態様であってもよく、要は、上記各種トレイに載置された搬送対象を保持するとともに、保持された搬送対象を検査用ソケット３３にて押圧することの可能な態様であればよい。このような保持の態様であっても、上記（１）〜（７）に準じた効果を得ることは可能である。
【０１０７】
・ハンドラー１０は、複数の電子部品Ｔを必ずしも同時に搬送し、且つ、同時に押圧する構成でなくともよい。要は、複数の電子部品Ｔを同時に搬送する状態、及び、複数の電子部品Ｔを同時に押圧する状態を少なくとも有していればよい。こうした構成によれば、検査用ソケット３３の全体に加えられる押圧力が大きくなる状態を有することから、これに合わせて、該押圧力の反力も大きくなる状態を有することになる。そのため、搬送ユニット３４，３８の大型化や重量化を抑えることができるという効果がより顕著なものとなる。
【０１０８】
・一つの搬送ユニットの搬送する搬送対象の個数は、一つであってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（６）に準じた効果を得ることは可能である。
・被受圧片５２ａと一つの受圧アーム機構とが係合する構成であってもよく、このような構成であっても、上記（１）〜（５）、（７）に準じた効果を得ることは可能であり、また、受圧アーム機構の数が少ない分だけ、ハンドラー１０の構成を簡素なものとすることが可能である。
【０１０９】
・第１押圧部である押圧シリンダー５３が電子部品Ｔに対し押圧力を加える際、該押圧力の印加と同時に、第２押圧部を構成する押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードにて駆動される構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（４）、（６）、（７）に準じた効果を得ることは可能であって、しかも押圧シリンダー５３が駆動されるタイミングと、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードで駆動されるタイミングとを、共通する制御信号で同期させることが可能にもなる。それゆえに、押圧シリンダー５３が駆動されるタイミングと押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードで駆動されるタイミングとの整合が容易なものになる。
【０１１０】
・押圧シリンダー５３が電子部品Ｔに押圧力を加えるときに、押圧モーター５１Ｍを位置制御によって駆動する態様であってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（３）、（５）〜（７）に準じた効果を得ることは可能であるとともに、押圧モーター５１Ｍの駆動電流を計測するための電流計測部Ｉ５１Ｍを省略することが可能でもある。
【０１１１】
・押圧シリンダーは、バルブを介して所定圧力の圧縮空気が供給される構成に限らず、電空レギュレーターによって所定圧力に圧縮された空気が供給される構成であってもよい。また、押圧シリンダーは、圧縮空気によって作動圧を与えられるシリンダーに限らず、油圧によって作動圧を与えられるシリンダーであってもよい。
【０１１２】
・搬送ユニット３４，３８が押圧シリンダー５３に代えて押圧モーター５１Ｍとは異なる押圧用のモーターを有する構成であってもよく、このような構成であっても、上記（１）、（２）、（６）、（７）に準じた効果を得ることは可能である。
【０１１３】
・搬送ユニット３４，３８が押圧シリンダー５３のみによって搬送対象を押圧する構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）、（２）、（６）、（７）に準じた効果を得ることは可能である。
【０１１４】
・搬送ユニット３４，３８が押圧シリンダー５３を有しない構成であって、搬送対象の押圧が押圧モーター５１Ｍのみによって行われる構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）、（２）、（６）、（７）に準じた効果を得ることは可能であって、しかも搬送ユニットの構成を簡素にすることが可能にもなる。
【０１１５】
・受圧アーム３５ｂ，３６ｂと係合する被受圧片５２ａは、垂直移動アーム５２の下端に限らず、垂直移動アーム５２の下端よりも水平移動アーム５１側に設けられるようにしてもよい。
【０１１６】
・被受圧片を垂直移動アームと押圧シリンダーとに設けるとともに、受圧アーム機構３５，３６が、これら被受圧片の両方と係合する構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）、（３）〜（７）に準じた効果を得ることは可能であって、被受圧片の数が多い分だけ、押圧モーター５１Ｍと押圧シリンダー５３とによる押圧力の反力が、より確実に受圧アーム機構３５，３６によって受圧されるようになる。
【０１１７】
・押圧シリンダーがシリンダー本体と吸着部に連結されたプランジャーとを備え、被受圧片をシリンダー本体に設ける構成であってもよい。こうした構成であっても、上記（１）、（３）〜（７）に準じた効果を得ることは可能である。
【０１１８】
・受圧アーム３５ｂ，３６ｂは、アームシリンダー３５ｓ，３６ｓ以外の機構、例えばモーターによって駆動される機構等、他の機構によって駆動されるものであってもよい。
・受圧アーム３５ｂ，３６ｂが、その係合位置にて支持体３５ａ，３６ａに固定され、受圧アーム３５ｂ，３６ｂと検査用ソケット３３との間に、被受圧片５２ａがＹ方向に移動することの可能な隙間が設けられる構成であってもよい。このような構成であれば、固定された受圧アーム３５ｂ，３６ｂの下方において、検査用ソケット３３に対する電子部品Ｔの搬入及び搬出が行われるとともに、押圧力の反力によって押し返される被受圧片５２ａが、受圧アーム３５ｂ，３６ｂと係合することとなる。また、受圧アーム３５ｂ，３６ｂの可動に必要な機構を省略することが可能であるため、受圧アーム３５ｂ，３６ｂの構成の簡素化が可能にもある。
【０１１９】
・受圧アーム３５ｂ，３６ｂと被受圧片５２ａとは、以下のように動作する構成であってもよい。すなわち、係合位置にある受圧アーム３５ｂ，３６ｂと検査用ソケット３３との隙間に、被受圧片５２ａがＹ方向から移動する。次いで、被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとが係合した後に、受圧アーム３５ｂ，３６ｂが離間位置に変位する。そして、被受圧片５２ａがＺ方向に移動する。
【０１２０】
こうした動作によれば、第１搬送ユニット３４による電子部品Ｔの押圧が行われるときには、離間位置にある受圧アーム３５ｂ，３６ｂを係合位置に移動させる期間、すなわち、上記タイミングＴ３からタイミングＴ４までの期間を割愛することができる。なお、離間位置に変位した受圧アーム３５ｂ，３６ｂは、任意のタイミングにて、係合位置に変位するようにすればよい。
【０１２１】
・受圧アーム３５ｂ，３６ｂと被受圧片５２ａとは、以下のように動作する構成であってもよい。すなわち、離間位置にある受圧アーム３５ｂ，３６ｂ間に、被受圧片５２ａがＺ方向から移動し、そして、受圧アーム３５ｂ，３６ｂが係合位置に移動する。次いで、被受圧片５２ａと受圧アーム３５ｂ，３６ｂとが係合した後に、被受圧片５２ａが、受圧アーム３５ｂ，３６ｂと検査用ソケット３３との隙間からＹ方向に移動することで、受圧アーム３５ｂ，３６ｂとの係合を解除する。
【０１２２】
こうした動作によれば、第１搬送ユニット３４による電子部品Ｔの押圧が行われるときには、係合位置に変位した受圧アーム３５ｂ，３６ｂを離間位置に移動させる期間、すなわち、上記タイミングＴ８からタイミングＴ９までの期間を割愛することができる。なお、係合位置に変位した受圧アーム３５ｂ，３６ｂは、被受圧片５２ａの解除後における任意のタイミングにて、離間位置に変位するようにすればよい。
【０１２３】
・押圧部の一部が、固定された受圧部の係合部と係合するように可動する構成であってもよく、また、係合部との係合を解除するように可動する構成であってもよい。
・受圧部は、押圧部との接触により生じる摩擦によって、押圧部が押圧方向とは反対側に移動することを抑える構成として具現化することもできる。そして、受圧部と押圧部との接触場所は、押圧部の下端であってもよい。この場合、押圧部に凹部が設けられるとともに、受圧部に凸部が設けられる構成、あるいは、押圧部に凸部が設けられるとともに、受圧部に凹部が設けられる構成であってもよい。これら凹部と凸部との間で生じる摩擦によって、押圧部の移動を少なからず抑えることができる。要は、受圧部とは、押圧部が、搬送対象を押圧したときに生じる反力によって押し返されることを係止できる構成であればよい。
【０１２４】
・押圧モーター５１Ｍの押圧力よりも、押圧シリンダー５３の押圧力の方が大きい構成としたが、押圧モーター５１Ｍの押圧力が、押圧シリンダー５３の押圧力よりも大きい構成、あるいは、押圧モーター５１Ｍの押圧力と押圧シリンダー５３の押圧力とが等しい構成であってもよい。
【０１２５】
・ハンドラー１０は、第１搬送ユニット３４が検査用ソケット３３に電子部品Ｔを嵌め込むときの反力を受ける受圧アーム機構３５，３６を有するようにした。これに限らず、第１搬送ユニット３４が、供給用シャトルトレイ３２ａ、回収用シャトルトレイ３７ｂ、あるいはコンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ等にて電子部品Ｔを押圧する際の反力を受圧する受圧アーム機構をハンドラー１０が有するようにしてもよい。
【０１２６】
・押圧モーター５１Ｍの押圧力が、押圧シリンダー５３の押圧力よりも大きい構成、あるいは、押圧モーター５１Ｍの押圧力と押圧シリンダー５３の押圧力とが等しい構成であってもよい。
【０１２７】
・固定された供給側固定ガイド２１に対して供給側可動ガイド２２が相対移動するとともに、固定された回収側固定ガイド４１に対して回収側可動ガイド４２が相対移動するようにしたが、固定された単一の固定ガイドに対して相対移動可能な可動ガイドが２つ設けられる構成であってもよい。この場合、固定ガイドは、上記カバー部材１２内であって、基台１１の上面におけるＸ方向に延びる一辺と平行に、且つ基台１１のＸ方向の略全幅にわたって形成されることが好ましい。また、２つの可動ガイドは、カバー部材１２内、且つ、上記搬送ガイド３１を挟んで反対側に設けられることが好ましい。
【０１２８】
・ハンドラー１０の有する搬送ユニットの台数は、２台に限らず、１台あるいは３台であってもよい。
・供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４によって検査用ソケット３３にまで搬送され、且つ検査用ソケット３３に収容された電子部品Ｔが第２搬送ユニット３８によって押圧される態様であってもよい。要は、搬送対象を搬送し、且つ該搬送対象を押圧する態様であればよい。
【０１２９】
・ハンドラーは、搬送対象を検査する部品検査装置に限らず、搬送対象の搬送と押圧とを行う装置に用いられるものであればよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材，２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給用ハンドユニット、３１…搬送ガイド、３２…第１シャトル、３２ａ，３７ａ…供給用シャトルトレイ、３２ｂ，３７ｂ…回収用シャトルトレイ、３２ｃ…第１シャトルガイド、３３…検査用ソケット、３３ａ…検査用ポケット、３４…第１搬送ユニット、３５，３６…受圧アーム機構、３５ａ，３６ａ…支持体、３５ｂ，３６ｂ…受圧アーム３５ｓ，３６ｓ…アームシリンダー、３７…第２シャトル、３７ｃ…第１シャトルガイド、３８…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収用ハンドユニット、５１…水平移動アーム、５１Ｍ…押圧モーター、５２…垂直移動アーム、５２ａ…被受圧片、５３…押圧シリンダー、５４…吸着部、６０…制御装置、６１…コンベアー駆動部、６２…ガイド駆動部、６３…シャトル駆動部、６４…ハンドユニット駆動部、６４ａ…ハンドモーター駆動部、６４ｂ…吸引バルブ駆動部、６５…搬送ユニット駆動部、６５ａ…搬送モーター駆動部、６５ｂ…押圧モーター駆動部、６５ｃ…押圧シリンダー駆動部、６５ｄ…吸引バルブ駆動部、６６…受圧アーム駆動部、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…コンベアー、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…コンベアートレイ、Ｅ５１Ｍ，ＥＭＣ，ＥＭＳ，ＥＭＸ，ＥＭＹ，ＥＭＺ…エンコーダー、ＥＳＶ１，ＥＳＶ２…吸引センサー、ＭＣ…コンベアーモーター、ＭＳ…シャトルモーター、ＭＸ…ガイドモーター、ＭＹ…搬送モーター、ＭＺ…ハンドモーター、ＳＶ１，ＳＶ２…吸引バルブ、Ｔ…電子部品。
【図１】
2013044684.tif 000003
【図２】
2013044684.tif 000004
【図３】
2013044684.tif 000005
【図４】
2013044684.tif 000006
【図５】
2013044684.tif 000007
【図６】
2013044684.tif 000008
【図７】
2013044684.tif 000009
【図８】
2013044684.tif 000010
【図９】
2013044684.tif 000011
【図１０】
2013044684.tif 000012
【図１１】
2013044684.tif 000013
【図１２】
2013044684.tif 000014