(57)【要約】【課題】接着剤塗布装置において、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制すると共に、塗布動作速度や吐出位置精度の向上、吐出可能回数の増加、製造コストの削減を図ること。【解決手段】ダイボンダに備えられる接着剤塗布装置１は、接着剤被供給部に液状接着剤２を吐出するための吐出用タンク３と、吐出用タンク３に液状接着剤２を補充するための補充用シリンジ４とを備える。吐出用タンク３と補充用シリンジ４との間に、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給を許容すると共に、吐出用タンク３から補充用シリンジ４への液状接着剤２の戻りを規制する逆止弁７が設けられている。吐出用タンク３を、補充用シリンジ４より容量が小さい小量タンクとした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤被供給部に液状接着剤を吐出するための吐出用タンクと、該吐出用タンクに前記液状接着剤を補充するための補充用タンクとを備えた接着剤塗布装置であって、
前記吐出用タンク内の前記液状接着剤を前記接着剤被供給部に吐出するために加圧する吐出用加圧手段と、前記補充用タンク内の前記液状接着剤を前記吐出用タンクに補充するために加圧する補充用加圧手段とが設けられ、
前記吐出用タンクと補充用タンクとの間に、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへの前記液状接着剤の供給を許容すると共に、前記吐出用タンクから前記補充用タンクへの前記液状接着剤の戻りを規制する許容規制手段が設けられ、
前記吐出用タンクを、前記補充用タンクより容量が小さい小量タンクとしたことを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項２】
前記許容規制手段を逆止弁とした請求項１に記載の接着剤塗布装置。
【請求項３】
前記吐出用加圧手段が、前記吐出用タンクに設けられた電磁弁と、該電磁弁を介して前記吐出用タンク内に加圧用エアを供給するエア供給手段とを有する請求項１又は２に記載の接着剤塗布装置。
【請求項４】
前記補充用加圧手段が、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへ前記液状接着剤を補充する時のみ加圧する請求項１〜３の何れか１項に記載の接着剤塗布装置。
【請求項５】
前記吐出用タンクの容量が２〜５ｃｃである請求項１〜４の何れか１項に記載の接着剤塗布装置。
【請求項６】
前記吐出用タンクからの前記液状接着剤の吐出中には、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへの前記液状接着剤の補充を行わない請求項１〜５の何れか１項に記載の接着剤塗布装置。
【請求項７】
ダイボンダに備えられた請求項１〜６の何れか１項に記載の前記接着剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばダイボンダに備えられる接着剤塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ等の半導体集積回路の製造工程において、ダイボンディングと呼ばれる工程では、ウエハを切断することによって生成したチップ（ダイ）が、リードフレーム等に銀ペーストや樹脂等の液状の接着剤によって接着される（特許文献１参照）。
【０００３】
このダイボンディングでは、ダイボンダと呼ばれる装置内で、ダイが接着されるリードフレーム等に対して、上述の液状接着剤が塗布される（特許文献２参照）。
【０００４】
図２は、この種のダイボンダに備えられる従来の接着剤塗布装置の一構成例の要部簡略図である。この接着剤塗布装置２１は、液状接着剤２２をそのノズルから吐出するシリンジ２３と、このシリンジ２３からの液状接着剤２２の吐出をコントロールするためのディスペンスコントローラ２４を備える。シリンジ２３から液状接着剤２２を吐出させる場合には、ディスペンスコントローラ２４に内蔵された電磁弁が開かれ、これにより、所定の圧力に設定されたエアが配管２５を介してシリンジ２３に供給される。すると、シリンジ２３内の圧力が上昇し、これに伴い、シリンジ２３のノズルから液状接着剤２２が吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２０４２６８号公報
【特許文献２】特許第３４９８０５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この構成の接着剤塗布装置２１では次のような問題が生じる。シリンジ２３からの液状接着剤２２の吐出を繰り返すと、シリンジ２３内の液状接着剤２２の量が減少するのに従って、シリンジ２３内のエアが占める空間体積が増加する。このため、シリンジ２３内の液状接着剤２２の量が多い時に比較して、エア供給時におけるシリンジ２３内の圧力上昇が遅くなり、これにより、シリンジ２３からの液状接着剤２２の１回当りの吐出量が減少する。また、シリンジ２３内の液状接着剤２２の量が多い時は、液状接着剤２２自体の重みによってシリンジ２３からの１回当りの吐出量が多いのに比較して、シリンジ２３内の液状接着剤２２の量が減少するのに従って、液状接着剤２２の重みも減少し、これによっても、シリンジ２３からの液状接着剤２２の１回当りの吐出量が減少する。このようなシリンジ２３からの液状接着剤２２の１回当りの吐出量における減少は、液状接着剤２２の１回当りの吐出量におけるバラツキの大きな要因となっている。
【０００７】
また、従来では、吐出動作のために、リードフレームにおけるランド部等の接着剤被供給部の位置に対応させてシリンジ２３を移動させることになる。しかしながら、シリンジ２３は比較的大型であるため、これを移動させる移動動作機構の大型化やその動作速度低下を招来する。しかも、大型の機構のため、シリンジ２３が振動し易くなり、これにより、吐出位置の精度の低下が発生する可能性があった。その一方で、移動動作機構における動作速度向上や振動抑制等の観点から、シリンジ２３は、その容量を制限されており、吐出可能回数が限られていた。
【０００８】
また、従来では、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制するために、エアの供給時間等を補正する機能を有するディスペンスコントローラ２４が使用されていた。このような補正機能を有するディスペンスコントローラ２４は高価である。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、接着剤塗布装置において、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制すると共に、塗布動作速度や吐出位置精度の向上、吐出可能回数の増加、製造コストの削減を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための本発明の接着剤塗布装置は、接着剤被供給部に液状接着剤を吐出するための吐出用タンクと、該吐出用タンクに前記液状接着剤を補充するための補充用タンクとを備えた接着剤塗布装置であって、前記吐出用タンク内の前記液状接着剤を前記接着剤被供給部に吐出するために加圧する吐出用加圧手段と、前記補充用タンク内の前記液状接着剤を前記吐出用タンクに補充するために加圧する補充用加圧手段とが設けられ、前記吐出用タンクと補充用タンクとの間に、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへの前記液状接着剤の供給を許容すると共に、前記吐出用タンクから前記補充用タンクへの前記液状接着剤の戻りを規制する許容規制手段が設けられ、前記吐出用タンクを、前記補充用タンクより容量が小さい小量タンクとしたことを特徴とする。
【００１１】
この構成では、容量の小さい吐出用タンクに液状接着剤を一旦供給することで、吐出用タンク内の液状接着剤の変動量による液状接着剤の重量変化や吐出用タンク内のエア体積の変化を小さくすることができる。従って、この接着剤塗布装置では、液状接着剤の吐出を繰り返した場合に生じる液状接着剤の１回当りの吐出量における減少を抑制することができ、これにより、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制することが可能である。
【００１２】
また、この構成であれば、吐出用タンクを移動させれば、リードフレームのランド部等の接着剤被供給部に対して液状接着剤を吐出することができる。この際、吐出用タンクは小量タンクであるので、この吐出用タンクを移動させる移動動作機構を小型化及び軽量化をすることができる。従って、移動動作を高速化することができ、これにより、塗布動作全体の速度を向上させることができる。また、移動動作機構の小型化及び軽量化により、移動動作での振動を抑制できる。このため、振動による吐出位置の精度低下を抑制することができ、これによって、吐出位置精度を向上させることができる。この吐出位置精度の向上は、細かい動作が要求される描画吐出に対して、特に有効である。
【００１３】
また、この構成では、吐出動作のために補充用タンクを移動させる必要が無いので、補充用タンクの容量を従来のシリンジより大きな容量とすることが可能である。そして、この構成では、補充用タンク内の液状接着剤を吐出用タンクに補充するので、吐出用タンクに補充される液状接着剤の全量が、従来のシリンジから吐出される液状接着剤の全量より多くなり、吐出用タンクは、液状接着剤の吐出を従来のシリンジより多く繰り返すことができる。従って、この接着剤塗布装置では、従来と比較して、吐出可能回数を増加させることができる。
【００１４】
また、この構成では、上述した吐出量のバラツキを抑制する効果によって、吐出用タンクに対して、補正機能を有する高価なディスペンスコントローラを不要とすることができる。また、補充用タンクから吐出用タンクへの液状接着剤の補充は、接着剤被供給部への吐出ではないので、液状接着剤の１回当りの補充量におけるバラツキは問題にならない。このため、補充用タンクに対しても、補正機能を有する高価なディスペンスコントローラを不要とすることができる。このように、高価なディスペンスコントローラを不要とすることができるので、この接着剤塗布装置では、従来と比較して、製造コストを削減することが可能である。
【００１５】
更に、この構成では、吐出用タンクから補充用タンクへの液状接着剤の戻りを規制する許容規制手段が設けられている。これにより、吐出用加圧手段によって前記吐出用タンク内の前記液状接着剤を接着剤被供給部に吐出するために加圧した際に、この許容規制手段によって吐出用タンクから補充用タンクへの液状接着剤の戻りを規制することが可能である。従って、吐出用タンク内の液状接着剤の接着剤被供給部への吐出が、安定的に、且つ、確実に実施される。
【００１６】
一方で、この許容規制手段は、補充用タンクから吐出用タンクへの液状接着剤の供給を許容する。これにより、補充用加圧手段によって補充用タンク内の液状接着剤を吐出用タンクに補充するために加圧した際に、この許容規制手段は補充用タンクから吐出用タンクへの液状接着剤の供給を許容することが可能である。従って、補充用タンク内の液状接着剤の吐出用タンクへの補充は問題なく実施される。
【００１７】
この許容規制手段は、例えば逆止弁で構成することができる。しかし、許容規制手段は、逆止弁に限定されることはなく、例えば、コスト等が問題にならないのであれば、電磁弁とこの電磁弁を制御する制御手段とで構成してもよい。
【００１８】
上記の何れかの構成において、前記吐出用加圧手段が、前記吐出用タンクに設けられた電磁弁と、該電磁弁を介して前記吐出用タンク内に加圧用エアを供給するエア供給手段とを有してもよい。
【００１９】
この構成であれば、エアによって容易に吐出用タンク内の液状接着剤を加圧することができる。また、吐出用タンクに設けられた電磁弁を介して吐出用タンク内にエアを供給するので、配管を介して吐出用タンク内にエアを供給する場合に比較して、エアが配管内の空間に充填される時間が不要となるので、エアの供給開始から吐出用タンク内の液状接着剤が加圧されるまでの時間を短縮することが可能である。
【００２０】
上記の何れかの構成において、前記補充用加圧手段が、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへ前記液状接着剤を補充する時のみ加圧してもよい。
【００２１】
この構成であれば、常時加圧する場合と比較して、ランニングコストを削減することができる。
【００２２】
上記の何れかの構成において、前記吐出用タンクの容量が２〜５ｃｃであってもよい。
【００２３】
吐出用タンクの容量が２ｃｃ以上だと、補充の頻度を少なくすることができ、補充時間の削減によってダイボンディングの時間を短縮でき、作業効率が向上させることが可能である。一方、吐出用タンクの容量が５ｃｃ以下だと、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを無視できる程度に抑制可能である。
【００２４】
上記の何れかの構成において、前記吐出用タンクからの前記液状接着剤の吐出中には、前記補充用タンクから前記吐出用タンクへの前記液状接着剤の補充を行わないようにしてもよい。
【００２５】
この構成であれば、吐出用タンクから吐出される液状接着剤の吐出量が変動することを抑制できる。
【００２６】
また、ダイボンダに備えられた上記の何れかの構成の接着剤塗布装置であれば、上述の作用や効果をそのダイボンダで享受できる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、接着剤塗布装置において、液状接着剤の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制すると共に、塗布動作速度や吐出位置精度の向上、吐出可能回数の増加、製造コストの削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態に係る接着剤塗布装置の一構成例の要部簡略図である。
【図２】従来の接着剤塗布装置の一構成例の要部簡略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。
【００３０】
図１は、本発明の実施形態に係る接着剤塗布装置の一構成例を概念的に示す部分断面側面図である。この接着剤塗布装置１は、本実施形態では、ダイボンダに備えられるものであり、リードフレームのランド部等の接着剤被供給部に銀ペーストや樹脂等の液状接着剤２を塗布する。
【００３１】
接着剤塗布装置１は、前記接着剤被供給部に液状接着剤２を吐出するための吐出用タンク３と、吐出用タンク３に液状接着剤２を補充するための補充用タンクとしての補充用シリンジ４と、吐出用加圧手段５と、補充用加圧手段６と、逆止弁７とを主要な構成要素として備える。
【００３２】
吐出用タンク３は、その下端に吐出用ノズル３ａを有する。吐出用タンク３は、吐出するための液状接着剤２を内部に貯留可能であり、また、接着剤被供給部に吐出用ノズル３ａを介して液状接着剤２を吐出可能である。
【００３３】
吐出用加圧手段５は、吐出用タンク３内の液状接着剤２を接着剤被供給部に吐出するために加圧する。本実施形態では、この吐出用加圧手段５は、吐出用タンク３に取り付けられた電磁弁８と、電磁弁８を介して吐出用タンク３内に加圧用エアを供給するエア供給手段９とを有する。また、本実施形態では、吐出用ノズル３ａを介した液状接着剤２の吐出を抑止して吐出用タンク３内に液状接着剤２を貯留するために、吐出用タンク３内を、電磁弁８を介して負圧とする負圧発生手段１０が設けられている。
【００３４】
電磁弁８の切り換えによって、吐出用タンク３内がエア供給手段９に接続された状態と、吐出用タンク３内が負圧発生手段１０に接続された状態とに切り換わる。従って、この電磁弁８の切り換えによって、所定圧の加圧用エアが吐出用タンク３内に供給される状態と、吐出用タンク３内が負圧とされる状態とが切り換わる。電磁弁８の切り換えは、不図示の制御手段によって制御されている。
【００３５】
補充用シリンジ４は、その下端に補充用ノズル４ａを有する。補充用シリンジ４は、吐出用タンク３に補充するための液状接着剤２を内部に貯留可能であり、また、吐出用タンク３に補充用ノズル４ａを介して液状接着剤２を補充可能である。
【００３６】
補充用加圧手段６は、補充用シリンジ４内の液状接着剤２を吐出用タンク３に補充するために加圧する。本実施形態では、この補充用加圧手段６は、補充用シリンジ４の上端の開口部に一端が接続されたエア用配管１１と、エア用配管１１の他端に接続された電磁弁１２と、この電磁弁１２を介して、エア用配管１１に加圧用エアを供給するエア供給手段１３とを有する。
【００３７】
電磁弁１２の切り換えによって、補充用シリンジ４内とエア用配管１１内とがエア供給手段１３に接続された状態と、補充用シリンジ４内がエア用配管１１内とがエア供給手段１３に接続されていない状態とに切り換わる。従って、この電磁弁１２の切り換えによって、所定圧の加圧用エアがエア用配管１１を介して補充用シリンジ４内に供給される状態と、補充用シリンジ４とエア用配管１１内が密封される状態とが切り換わる。電磁弁１２の切り換えは、不図示の制御手段によって制御されている。
【００３８】
逆止弁７は、接着剤塗布装置１における吐出用タンク３と補充用シリンジ４との間に設けられている。本実施形態では、逆止弁７は、吐出用タンク３に取り付けられており、この逆止弁７と補充用シリンジ４の補充用ノズル４ａのそれぞれに補充用配管１４の端部が接続されている。逆止弁７は、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給を許容すると共に、吐出用タンク３から補充用シリンジ４への液状接着剤２の戻りを規制する許容規制手段として機能する。
【００３９】
吐出用タンク３は、補充用シリンジ４より容量が小さい小量タンクである。吐出用タンク３の容量は、例えば、２〜５ｃｃである。吐出用タンク３の容量が２ｃｃ未満だと、補充が頻繁となり、補充時間の増大に伴いダイボンディングの時間が長くなり、作業効率が低下する可能性がある。一方、吐出用タンク３の容量が５ｃｃを越えると、液状接着剤２の１回当りの吐出量におけるバラツキが無視できなくなる程度に大きくなる。補充用シリンジ４の容量は、例えば２０ｃｃ以上である。補充用シリンジ４の容量が２０ｃｃ未満だと、吐出用タンク３への液状接着剤２の補充を十分に繰り返せない可能性がある。
【００４０】
以上の構成を備えた本実施形態の接着剤塗布装置１の特徴的な動作について次に説明する。
【００４１】
本実施形態の接着剤塗布装置１の特徴的な動作は、吐出用タンク３に対して補充用シリンジ４内の液状接着剤２を補充する動作と、リードフレーム上のランド部等の接着剤被供給部に対して吐出用タンク３内の液状接着剤２を吐出する動作である。なお、本実施形態では、接着剤被供給部に対して吐出用タンク３内の液状接着剤２を吐出するために、吐出用タンク３だけを不図示の移動動作機構により移動させて、補充用シリンジ４は移動させないように構成されている。
【００４２】
吐出用タンク３に対する液状接着剤２の補充動作について以下に詳細に説明する。
【００４３】
まず、補充動作の開始前（補充動作以外の時）には、補充用シリンジ４内に所定量の液状接着剤２が貯留されている。この時には、電磁弁１２によってエア用配管１１内と補充用シリンジ４内が密封されているので、液状接着剤２は補充用シリンジ４内から移動しない。一方、吐出用タンク３は、液状接着剤２が小量残留している状態或いは空の状態であり、電磁弁８を介して吐出用タンク３内が負圧とされた状態である。
【００４４】
補充動作は、電磁弁１２の切り換えによってエア用配管１１を介して補充用シリンジ４内に所定圧のエアが供給されることによって開始される。このエアの供給によって補充用シリンジ４内の液状接着剤２が加圧される。すると、逆止弁７は、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給を許容するので、補充用シリンジ４内の液状接着剤２は、補充用配管１４と逆止弁７を介して、吐出用タンク３内に供給される。この際、電磁弁８を介して吐出用タンク３内が負圧となっているので、液状接着剤２は、吐出用ノズル３ａから漏洩せずに、吐出用タンク３内に貯留される。
【００４５】
所定時間経過後、電磁弁１２の切り替えによって補充用シリンジ４内とエア用配管１１内が密封される。すると、補充用シリンジ４内から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給が停止する。これで、吐出用タンク３内に所定量の液状接着剤２が貯留され、補充動作は完了である。
【００４６】
リードフレームのランド部等の接着剤被供給部に対する液状接着剤２の吐出動作について、以下に詳細に説明する。
【００４７】
吐出動作前（吐出動作以外の時）には、吐出用タンク３内に液状接着剤２が貯留されている。この時には、電磁弁８によって吐出用タンク３内が負圧とされる状態になっているので、液状接着剤２は吐出用タンク３内から移動しない。
【００４８】
吐出動作は、吐出用タンク３の吐出用ノズル３ａが接着剤被供給部の上方に位置した状態で、所定圧のエアが吐出用タンク３内に供給される状態に電磁弁８が切り換えられることによって開始される。この供給されたエアによって吐出用タンク３内の液状接着剤２が加圧され、吐出用ノズル３ａから吐出される。これにより、接着剤被供給部に、液状接着剤２が供給されて塗布される。この際、逆止弁７により、吐出用タンク３から補充用シリンジ４への液状接着剤２の戻りが規制される。
【００４９】
所定時間経過後、吐出用タンク３内が負圧とされる状態に電磁弁８が切り換えられる。すると、吐出用ノズル３ａからの液状接着剤２の吐出が停止する。これで、吐出動作は完了である。
【００５０】
吐出用タンク３に対する液状接着剤２の補充動作は、吐出動作が複数回実施された後、例えば、リードフレームを送る時や、リードフレームの認識待ちの時などに実施する。また、吐出用タンク３内の液状接着剤２の量を検出する検出手段を設け、吐出用タンク３内の液状接着剤２の量が所定量以下になったことを検出して自動で補充動作を実施するように構成してもよい。また、この場合には、検出手段で吐出用タンク３内の液状接着剤２の量が所定量以上になったことを検出して、自動で補充動作を終了させてもよい。
【００５１】
以上の説明から分かるように、本実施形態では、補充用加圧手段６は、補充用シリンジ４から吐出用タンク３へ液状接着剤２を補充する時のみ補充用シリンジ４内の液状接着剤２を加圧する。また、吐出用タンク３からの液状接着剤２の吐出中には、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の補充を行わない。
【００５２】
上記の本実施形態の接着剤塗布装置１では、以下の効果を享受できる。
【００５３】
容量の小さい吐出用タンク３に液状接着剤２を一旦供給することで、吐出用タンク３内の液状接着剤２の変動量による液状接着剤２の重量変化や吐出用タンク３内のエア体積の変化を小さくすることができる。従って、この接着剤塗布装置１では、液状接着剤２の吐出を繰り返した場合に生じる液状接着剤２の１回当りの吐出量における減少を抑制することができ、これにより、液状接着剤２の１回当りの吐出量におけるバラツキを抑制することが可能である。
【００５４】
また、吐出用タンク３を移動動作機構により移動させて、リードフレームのランド部等の接着剤被供給部に対して液状接着剤を吐出するようになっており、吐出用タンク３は小量タンクなので、この吐出用タンク３を移動させる移動動作機構を小型化及び軽量化をすることができる。従って、移動動作を高速化することができ、これにより、塗布動作全体の速度を向上させることができる。また、移動動作機構の小型化及び軽量化により、移動動作での振動を抑制できる。このため、振動による吐出位置の精度低下を抑制することができ、これによって、吐出位置精度を向上させることができる。この吐出位置精度の向上は、細かい動作が要求される描画吐出に対して、特に有効である。
【００５５】
また、吐出動作のために補充用シリンジ４を移動させないので、補充用シリンジ４の容量を従来のシリンジより大きな容量とすることが可能である。そして、この構成では、補充用シリンジ４内の液状接着剤２を吐出用タンク３に補充するので、吐出用タンク３に補充される液状接着剤２の全量が、従来のシリンジから吐出される液状接着剤２の全量より多くなり、吐出用タンク３は、液状接着剤２の吐出を従来のシリンジより多く繰り返すことができる。従って、この接着剤塗布装置１では、従来と比較して、吐出可能回数を増加させることができる。
【００５６】
また、上述した吐出量のバラツキを抑制する効果によって、吐出用タンク３に対して、補正機能を有する高価なディスペンスコントローラを不要とすることができる。また、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の補充は、接着剤被供給部への吐出ではないので、液状接着剤２の１回当りの補充量におけるバラツキは問題にならない。このため、補充用シリンジ４に対しても、補正機能を有する高価なディスペンスコントローラを不要とすることができる。このように、高価なディスペンスコントローラを不要とすることができるので、この接着剤塗布装置１では、従来と比較して、製造コストを削減することが可能である。
【００５７】
更に、本実施形態では、吐出用タンク３から補充用シリンジ４への液状接着剤２の戻りを規制する逆止弁７が設けられている。これにより、吐出用加圧手段５によって吐出用タンク３内の液状接着剤２を接着剤被供給部に吐出するために加圧した際に、この逆止弁７によって吐出用タンク３から補充用シリンジ４への液状接着剤２の戻りを規制することが可能である。従って、吐出用タンク３内の液状接着剤２の接着剤被供給部への吐出が、安定的に、且つ、確実に実施される。
【００５８】
一方で、この逆止弁７は、補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給を許容する。これにより、補充用加圧手段６によって補充用シリンジ４内の液状接着剤２を吐出用タンク３に補充するために加圧した際に、この逆止弁７は補充用シリンジ４から吐出用タンク３への液状接着剤２の供給を許容することが可能である。従って、補充用シリンジ４内の液状接着剤２の吐出用タンク３への補充は問題なく実施される。
【００５９】
上記実施形態では、補充動作以外の時には、補充用シリンジ４は密封されていたが、補充動作以外の時に、補充用シリンジ４が負圧発生手段に接続されて負圧とされてもよい。このようにすれば、補充動作以外の時に、補充用シリンジ４から吐出用タンク３に液状接着剤２が供給されることが確実に抑止できる。
【００６０】
上記実施形態では、本発明は、ダイボンダに備えられる接着剤塗布装置に適用されていたが、これに限定されるものではなく、接着剤被供給部に液状接着剤を吐出して塗布する接着剤塗布装置であれば、その他の接着剤塗布装置にも広く適用可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１      接着剤塗布装置
２      液状接着剤
３      吐出用タンク
４      補充用シリンジ
５      吐出用加圧手段
６      補充用加圧手段
７      逆止弁
８      電磁弁
９      エア供給手段
１０    負圧発生手段
１１    エア用配管
１２    電磁弁
１３    エア供給手段
１４    補充用配管
【図１】
2013254897.tif 000003
【図２】
2013254897.tif 000004