(57)【要約】【課題】感圧センサの形状が変化しても、同じ検査装置により効率良く検査できる抵抗検査装置を提供する。【解決手段】抵抗検査装置１において、第１のブラダ１４ｃにより感圧センサ２０１を押圧することで、感圧センサ２０１の配置が変化した場合でも、多数の感圧センサ２０１を同じ圧力で押圧でき、同じ検査装置で感圧センサ２０１の検査を効率良く行うことができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する装置であって、
複数の前記感圧センサを同時に押圧する第１のブラダと、
前記第１のブラダの空気圧を調節する第１の圧力レギュレータと、
前記第１のブラダの空気圧を検知する第１の圧力センサと、
各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、
各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、
前記第１の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、
各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、
前記制御手段は、
前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより第１の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定すると共に、
前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定し、
前記判定手段は、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする抵抗検査装置。
【請求項２】
前記接続手段は、各々の前記感圧センサの電極端子に弾性的に接触する接触部を有し、
前記抵抗検査装置は、
前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第２のブラダと、
前記第２のブラダの空気圧を調節する第２の圧力レギュレータと、
前記第２のブラダの空気圧を検知する第２の圧力センサとをさらに備えており、
前記制御手段は、
前記抵抗測定手段が、前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値を測定する場合に、前記第２のブラダが、前記第２の圧力レギュレータおよび前記第２の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することを特徴とする請求項１に記載の抵抗検査装置。
【請求項３】
感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する方法であって、
各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定する第１工程と、
各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定する第２工程と、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを含むことを特徴とする抵抗検査方法。
【請求項４】
前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより所定の圧力で押圧することを特徴とする請求項３に記載の抵抗検査方法。
【請求項５】
感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、前記感圧センサが接続される抵抗測定手段に接続されたコンピュータを用いて、各々の前記感圧センサを検査するためのプログラムであって、
各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧するように第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第１工程と、
各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧するように前記第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第２工程と、
各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラム。
【請求項６】
前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより同時に所定の圧力で押圧するように第２の圧力レギュレータを制御する請求項５に記載の抵抗検査プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力により抵抗値が変化する感圧センサを、感圧センサの電気抵抗値の測定により検査する抵抗検査装置、抵抗検査方法、及び抵抗検査プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の感圧センサが配置されたセンサアレイにおいて、個々の感圧センサを検査する手法として、センサアレイに配置された感圧センサの形状に合わせた専用の抵抗検査装置を用意し、所定の圧力で個々の感圧センサを押圧した場合の感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、感圧センサの良否を判断する技術が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示されているような感圧センサアレイの検査には、専用の抵抗検査装置を用意し、感圧センサに所定の圧力が加わった場合の電気抵抗値を測定することで、感圧センサの良否を判断している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２７４５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような検査装置では、感圧センサの形状が異なる場合、それに対応した抵抗検査装置を個々に作成する必要があり、その作業は煩雑となる。
【０００６】
本発明の目的は、感圧センサの形状が変化しても同じ検査装置によりセンサアレイの検査を行うことができるような抵抗検査装置、抵抗検査方法および抵抗検査プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る抵抗検査装置は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する装置であって、複数の前記感圧センサを同時に押圧する第１のブラダと、前記第１のブラダの空気圧を調節する第１の圧力レギュレータと、前記第１のブラダの空気圧を検知する第１の圧力センサと、各々の前記感圧センサの電極端子に接続する接続手段と、各々の前記感圧センサの電気抵抗値を測定する抵抗測定手段と、前記第１の圧力レギュレータと前記抵抗測定手段を制御する制御手段と、各々の前記感圧センサの良否を判定する判定手段とを備えており、前記制御手段は、前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより第１の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定すると共に、前記第１のブラダが、前記第１の圧力レギュレータおよび前記第１の圧力センサにより前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で前記感圧センサを押圧するように制御し、前記抵抗測定手段により各々の前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定し、前記判定手段は、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から、当該感圧センサの良否を判定することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、第１のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧できる。これにより感圧センサの配置が変化した検査対象に対しても同じ抵抗検査装置で検査を行うことができる。さらに２種類の圧力における感圧センサの電気抵抗値を測定することにより、確実に感圧センサの良否を判定できる。
【０００９】
また、第１のブラダにより各々の感圧センサを同時に押圧でき、同時に多数の感圧センサの検査が可能となる。
【００１０】
さらに、本発明に係る抵抗検査装置は、前記接続手段は、各々の前記感圧センサの電極端子に弾性的に接触する接触部を有し、前記抵抗検査装置は、前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して同時に空気圧により押圧する第２のブラダと、前記第２のブラダの空気圧を調節する第２の圧力レギュレータと、前記第２のブラダの空気圧を検知する第２の圧力センサとをさらに備えており、前記制御手段は、前記抵抗測定手段が、前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値を測定する場合に、前記第２のブラダが、前記第２の圧力レギュレータおよび前記第２の圧力センサにより所定の圧力で前記接触部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して押圧するように制御することが好ましい。
【００１１】
これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子との接続をすべての感圧センサに対して確実にできる。
【００１２】
また、別の観点では、本発明に係る抵抗検査方法は、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、各々の前記感圧センサを検査する方法であって、各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を測定する第１工程と、各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を測定する第２工程と、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】
これによれば、第１のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて電気抵抗を測定することができ、多数の感圧センサの検査を効率良く行うことができる。
【００１４】
また、異なる形状のセンサアレイであっても、第１のブラダにより押圧することで検査することができる。
【００１５】
また、本発明に係る抵抗検査方法は、前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより所定の圧力で押圧することが好ましい。
【００１６】
これによれば、第２のブラダにより抵抗検査装置の接続部と個々の感圧センサの電極端子との接続を確実にできる。
【００１７】
さらに、別の観点では、本発明に係る抵抗検査プログラムは、感圧センサが複数配置されたセンサアレイにおいて、前記感圧センサが接続される抵抗測定手段に接続されたコンピュータを用いて、各々の前記感圧センサを検査するためのプログラムであって、各々の前記感圧センサを第１のブラダにより同時に第１の圧力で押圧するように第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第１の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第１工程と、各々の前記感圧センサを前記第１のブラダにより同時に前記第１の圧力とは異なる第２の圧力で押圧するように前記第１の圧力レギュレータを制御しつつ、前記感圧センサの第２の電気抵抗値を前記抵抗測定手段により測定する第２工程と、各々の前記感圧センサの前記第１の電気抵抗値および前記第２の電気抵抗値から当該感圧センサの良否を判断する第３工程とを前記コンピュータに実行させるための抵抗検査プログラムである。
【００１８】
これによれば、第１のブラダにより個々の感圧センサに同じ圧力を加えて感圧センサの電気抵抗を測定することができる。
【００１９】
また、感圧センサの配置が異なるセンサアレイについても、第１のブラダにより圧力を加えることで他のセンサアレイと同様に検査することができる。
【００２０】
また、本発明に係る抵抗検査プログラムは、前記第１工程、および前記第２工程において、抵抗検査装置の接続部を各々の前記感圧センサの電極端子に対して、第２のブラダにより同時に所定の圧力で押圧するように第２の圧力レギュレータを制御することが好ましい。
【００２１】
これによれば、抵抗検査装置の接続手段と感圧センサの電極端子の接触を確実にすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の抵抗検査装置によれば、複数の感圧センサを有するセンサアレイに第１のブラダにより均一な圧力を加えることで、これらのセンサの検査を効率良く行うことができる。また、センサアレイの形状が異なっても第１のブラダにより圧力を加えることで感圧センサの良否の判定ができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の機能ブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の筐体の構成を説明する図である。
【図３】本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の筐体の上部に設けられたブラダの動作を説明するための図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査体の構成を説明する図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査体の組立図である。
【図６】本発明の実施形態に係る抵抗検査装置の断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る抵抗検査方法のフローチャートを示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る抵抗検査プログラムの操作画面を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態に係る抵抗検査装置について説明する。図１は、本発明に係る抵抗検査装置の機能ブロック図である。抵抗検査装置１は、検査体１２とのデータを送受信するための制御基板１１、検査対象となるセンサアレイが挿入される検査体１２、抵抗筐体１４の温度を測定するための温度センサ１３、検査体１２を収納する筐体１４、筐体１４に設けられた第１のブラダ１４ｃの圧力を測定する第１圧力センサ１５および第１のブラダ１４ｃに空気を送る第１圧力レギュレータ１７、同じく筐体１４に設けられた第２のブラダ１４ｄの圧力を測定する第２圧力センサ１６および第２のブラダ１４ｄに空気を送る第２圧力レギュレータ１８を備えている。そして、制御基板１１、温度センサ１３、第１圧力センサ１５、第２圧力センサ１６、第１圧力レギュレータ１７、及び第２圧力レギュレータ１８は、それぞれ電気的にＰＣ２に接続されている。
【００２５】
ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）２は、演算処理装置であるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）と、ＣＰＵが実行する制御プログラム及び制御プログラムに使用されるデータが記憶されているＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）と、プログラム実行時にデータを一次記憶するためのＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）とを有している。
【００２６】
検査対象となる感圧センサのアレイは、後述するように検査体１２に挿入されて検査が行われる。そして、検査体１２は、抵抗検査装置１の筐体１４に収納される。
【００２７】
温度センサ１３は、筐体１４の温度を測定する。温度センサ１３が設置される筐体１４上の位置は、検査対象となる感圧センサのアレイに最も近い場所とする。
【００２８】
図２および図３を参照しながら、筐体の構成について説明する。まず、図２に示すように筐体１４は、上部筐体１４ａと、下部筐体１４ｂとからなる。図３（ａ）に示すように上部筐体１４ａは、感圧センサが位置する中央部付近が高くなっており、その部分に第１のブラダ１４ｃが配置されている。また、中央部分の両側には、感圧センサの電極端子と、後述する接続基板の接続部とを押圧して接触させるための第２のブラダ１４ｄが配置されている。図３（ｂ）に示すように、これらのブラダは、圧力レギュレータから送られる空気圧によって膨張し、後述する検査体１２と筐体１４との隙間を埋めるように構成されている。
【００２９】
次に、図４および図５を参照しながら検査体１２について説明する。図４は、検査体１２の構成を示す図である。検査体１２は、下敷き１２ａと、接続基板１２ｃとからなる。そして、検査対象となるセンサアレイ２０がその間に挿入される。下敷き１２ａには、これらの部材の位置決めのための４本のビス１２ａ１が配置されている。センサアレイ２０には、感圧センサ２０１および感圧センサ２０１の電極端子２０２が２４個ずつ２列に配置されている。接続基板１２ｃのセンサアレイ２０と対向する面には、電極端子２０２と接触する接触部１２ｃ１が配置されている。図５は、これらの部材を組み立てる様子を示している。下敷き１２ａの上に、センサアレイ２０および接続基板１２ｃをビス１２ａ１に沿って結合し図５（ｂ）に示す検査体１２にセンサアレイ２０が挿入されたものが形成される。
【００３０】
この検査体１２を筐体１４に収納して抵抗検査装置１が完成する。この抵抗検査装置１の断面図を示したものが図６である。
【００３１】
図６に示すように、検査体１２は、上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂとに上下から挟まれている。そして、第１のブラダ１４ｃおよび第２のブラダ１４ｄにそれぞれ第１圧力レギュレータ１７および第２圧力レギュレータ１８によりエアーが送られることにより空気圧で筐体１４と検査体１２との隙間を埋める。そして、第１圧力センサ１５は、感圧センサ２０１が第１のブラダ１４ｃにより押圧される圧力を検出し、第２圧力センサ１６は、接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１と感圧センサ２０１の電極端子２０２が第２のブラダ１４ｄにより押圧される圧力を検出する。
【００３２】
次に、図７を参照しながらこの抵抗検査装置１を用いた、感圧センサ２０１の抵抗検査方法について説明する。まず、検査が開始されると、第２のブラダ１４ｄを膨張させ（Ｓ１）、感圧センサ２０１の電極端子２０２と、接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１が所定の圧力で接触しているか否かを判定する（Ｓ２）。この実施形態においては、所定の圧力は３５ｋＰａとする。そして、電極端子２０２と接触部１２ｃ１が所定の圧力で接触している場合、第１のブラダ１４ｃを膨張させ（Ｓ３）、第１圧力センサ１５により、感圧センサ２０１に第１の圧力が加わっているか否かを判定する（Ｓ４）。この実施形態においては、第１の圧力は３３ｋＰａとする。ステップＳ２およびＳ４においてそれぞれ所定の圧力、第１の圧力が加わっている場合、その状態での感圧センサの電気抵抗値を第１の電気抵抗値として測定する（Ｓ５）。この実施形態では、電気抵抗値の測定は、感圧センサに所定の電圧、例えば５Ｖの直流電圧、を印加してその場合に感圧センサに流れる電流を測定し、電圧値を電流値で割ることによって電気抵抗値を算出する。しかし、変形例として、電気抵抗値を算出せず、電流値のみを測定することで代用することも可能である。
【００３３】
その後第１のブラダ１４ｃを再び膨張させて（Ｓ６）、第１圧力センサ１５により、感圧センサ２０１に第２の圧力が加わっているか否かを判定する（Ｓ７）。この実施形態では、第２の圧力は０ｋＰａとする。感圧センサ２０１に第２の圧力が加わっている場合、感圧センサ２０１の電気抵抗値を第２の電気抵抗値として測定する（Ｓ８）。そして、第１の電気抵抗値および第２の電気抵抗値から感圧センサの良否を判定する（Ｓ９）。具体的には、例えば、第１の圧力である３３ｋＰａでは電気抵抗値が５０kΩ以下であり、第２の圧力である０ｋＰａでは５MΩ以上である場合にその感圧センサが正常であると判定する。
【００３４】
図８には、この抵抗検査方法を実現するためのプログラムを操作するためのソフトウェア画面を示す。作業者は、Ｌｏｔ＃の欄に検査対象のロット番号を入力し、Ｏｐｅｒａｔｏｒの欄に氏名を入力する。検査体１２を筐体１４に収納して、ソフトウェア画面にあるＳｅｔをクリックすると、プログラムが起動し、まず、感圧センサ２０１の電極端子２０２と接続基板１２ｃの接触部１２ｃ１とを第２のブラダ１４ｄにより所定の圧力で押圧する。この実施例ではこの圧力は２０ｋＰａであり、図８ではＴｅｒｍｉｎａｌ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅとして表示されている。そして、それと同時に第１のブラダ１４ｃにより感圧センサ２０１を第１の圧力で押圧する。この圧力は、図８ではＳｅｎｓｏｒ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅとして表示される。そして、その状態での各々の感圧センサの電気抵抗値を第１の電気抵抗値として測定する。次に、第１のブラダ１４ｃにより感圧センサ２０１を第２の圧力で押圧する。そして各々の感圧センサの電気抵抗値を第２の電気抵抗値として測定する。その後、プログラムは、第１の電気抵抗値および第２の電気抵抗値に基づき前述したように各々の感圧センサの良否を判定する。そして、感圧センサが不良であると判定された場合、対応するソフトウェア上の画面中の感圧センサを示すセルが変色し、その感圧センサが異常であることを示す。
【符号の説明】
【００３５】
１        抵抗検査装置
２        ＰＣ
１１      制御基板
１２      検査体
１２ａ    下敷き
１２ａ１  ビス
１２ｃ    接続基板
１２ｃ１  接触部
１３      温度センサ
１４      筐体
１４ａ    筐体上部
１４ｂ    筐体下部
１４ｃ    第１のブラダ
１４ｄ    第２のブラダ
１５      第１圧力センサ
１６      第２圧力センサ
１７      第１圧力レギュレータ
１８      第２圧力レギュレータ
２０      センサアレイ
２０１    感圧センサ
２０２    電極端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013044550.tif 000009
【図８】
2013044550.tif 000010