(57)【要約】【課題】  真空アニール処理において液晶セルの一対の基板の各基板の中央部が膨らむことを抑制することができる液晶セルの脱ガス方法を提供する。【解決手段】  液晶セル２の脱ガス方法であって、第１の基板１ａおよび第１の基板１ａに対向して配置された第２の基板１ｂからなる一対の基板１と、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとを貼り合わせて一対の基板１間に液晶注入空間３を形成するシール材４と、シール材４を貫通して設けられた、液晶注入空間３に液晶を注入するための液晶注入口５とを備えた液晶セル２を用い、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面を両側から挟むようにエアバッグ６をそれぞれ配置して、液晶セル２を加熱するとともに液晶セル２およびエアバッグ６を含む空間を減圧し、かつ第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で加圧する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板および該第１の基板に対向して配置された第２の基板からなる一対の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせて前記一対の基板間に液晶注入空間を形成するシール材と、該シール材を貫通して設けられた、前記液晶注入空間に液晶を注入するための液晶注入口とを備えた液晶セルを用い、前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を両側から挟むようにエアバッグをそれぞれ配置して、前記液晶セルを加熱するとともに前記液晶セルおよび前記エアバッグを含む空間を減圧し、かつ前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を前記エアバッグで加圧することを特徴とする液晶セルの脱ガス方法。
【請求項２】
前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面と前記エアバッグとの間に第１のプレートをそれぞれ配置して、前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を前記エアバッグで加圧することを特徴とする請求項１に記載の液晶セルの脱ガス方法。
【請求項３】
前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面と前記第１のプレートとの間に、前記第１のプレートよりも硬度が小さい第２のプレートをそれぞれ配置して、前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を前記エアバッグで加圧することを特徴とする請求項２に記載の液晶セルの脱ガス方法。
【請求項４】
前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面と前記エアバッグとの間に、前記一対の基板の外側主面側に配置される第１の板状体と、前記第１の板状体よりも硬度が大きい、前記エアバッグ側に配置される第２の板状体とを接合してなる第３のプレートをそれぞれ配置して、前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を前記エアバッグで加圧することを特徴とする請求項１に記載の液晶セルの脱ガス方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話、デジタルカメラあるいは携帯型情報端末などの様々な用途に用いられる液晶表示装置の液晶セルの脱ガス方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一対の基板からなる液晶セルは、液晶を注入する前に、液晶セルの内部に付着している水分等の不純物を除去するために、脱ガス・脱気処理が行なわれる。このような処理方法としては、液晶セルを真空チャンバー内に入れて真空引きするとともに、液晶セルを加熱処理する方法が用いられており、この処理方法は一般的に真空アニール処理と呼ばれている。このような液晶セルの脱ガス方法としては、例えば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２３３６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示された液晶セルの真空アニール処理では、真空チャンバーを真空引きしても、液晶セルの内部の空気は迅速に液晶セルの外部に排出されにくく、液晶セルの内部よりも液晶セルの外部が早く真空状態に近づくため、液晶セルの内部と外部とで大きな圧力差が生じ、液晶セルは一対の基板の各基板の中央部が膨らむ。この真空アニール処理において、液晶セルの一対の基板の各基板の中央部が膨らむことによって、液晶セルの一対の基板の周縁部は接近する方向に変形する。これによって、一対の基板の周縁部に位置するシール材は、基板の変形によって剥がれが発生しやすくなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、真空アニール処理において、液晶セルの一対の基板の各基板の中央部が膨らむことを抑制することができる液晶セルの脱ガス方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液晶セルの脱ガス方法は、第１の基板および該第１の基板に対向して配置された第２の基板からなる一対の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせて前記一対の基板間に液晶注入空間を形成するシール材と、該シール材を貫通して設けられた、前記液晶注入空間に液晶を注入するための液晶注入口とを備えた液晶セルを用い、前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を両側から挟むようにエアバッグをそれぞれ配置して、前記液晶セルを加熱するとともに前記液晶セルおよび前記エアバッグを含む空間を減圧し、かつ前記第１の基板および前記第２の基板の外側主面を前記エアバッグで加圧することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の液晶セルの脱ガス方法によれば、液晶セルおよびエアバッグを含む空間を減圧するとともに液晶セルを加熱し、かつ液晶セルの一対の基板の各基板の外側主面をエアバッグで加圧することによって、脱ガス・脱気処理中に液晶セルの一対の基板の各基板の中央部が膨らむことを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の形態に係る液晶セルとエアバッグとの配置関係の例を側面から見た図である。
【図２】図１に示す液晶セルの平面図である。
【図３】図１に示す液晶セルとエアバッグとを重ね合わせた状態の平面図である。
【図４】図１に示す液晶セルとエアバッグとを重ね合わせた状態の他の例の平面図である。
【図５】図１に示す液晶セルとエアバッグとを真空アニール用カセットに配置した状態を側面から見た図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る変形例１の液晶セルとエアバッグとを真空アニール用のカセットに配置した状態を側面から見た図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る変形例２の液晶セルとエアバッグとを真空アニール用のカセットに配置した状態を側面から見た図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る変形例３の液晶セルとエアバッグとを真空アニール用のカセットに配置した状態を側面から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜実施の形態＞
以下、本発明の実施の形態に係る液晶セルの脱ガス方法について、図１乃至図４を参照しながら説明する。なお、図１は、本発明の実施の形態に係る液晶セルとエアバッグとの配置関係の例を側面から見た図であり、液晶セルは断面を示し、エアバッグは側面を示している。
【００１０】
実施の形態の液晶セル２の脱ガス方法は、第１の基板１ａおよび第１の基板１ａに対向して配置された第２の基板１ｂからなる一対の基板１と、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとを貼り合わせて一対の基板１間に液晶注入空間３を形成するシール材４と、シール材４を貫通して設けられた、液晶注入空間３に液晶を注入するための液晶注入口５とを備えた液晶セル２を用い、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面を両側から挟むようにエアバッグ６をそれぞれ配置して、液晶セル２を加熱するとともに液晶セル２およびエアバッグ６を含む空間を減圧し、かつ第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で加圧する。
【００１１】
まず、液晶セル２について、以下に説明する。
【００１２】
液晶セル２は、図１および図２に示すように、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂが対向して配置された一対の基板１からなる。そして、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとは、一対の基板１の周縁部に沿って枠状に設けられたシール材４を介して周縁部で貼り合わされている。一対の基板１間には、液晶が注入される液晶注入空間３が形成されている。すなわち、液晶セル２の内部は、液晶を注入できるように中空構造となっている。
【００１３】
そして、液晶セル２は、液晶注入空間３に液晶を注入するための液晶注入口５が形成されている。液晶注入口５は、シール材４の一部分にシール材４の一部を貫通して設けられている。なお、液晶セル２は、液晶注入空間３に液晶が注入されていない状態にある。
【００１４】
また、液晶セル２は、図２に示すように、第１の基板１ａの外周部に第２の基板１ｂの外周から外側に張り出した張出領域を有している。この張出領域には、液晶駆動用の半導体素子等が搭載される。液晶セル２では、張出領域２が第１の基板１ａの１辺のみに設けられているが、これに限らない。例えば、張出領域が第１の基板１ａの２辺にわたって設けられていてもよい。
【００１５】
一対の基板１を構成している第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂは、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板等の透光性を有する材料からなる。第１の基板１ａは、例えば、薄膜トランジスタが形成されたアレイ基板であり、第２の基板１ｂは、例えば、カラーフィルタ基板である。なお、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの構成は、これに限らず、カラー表示または白黒表示の表示方式やパッシブタイプまたはアクティブタイプの駆動方式等によって適宜選択される。
【００１６】
また、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂのそれぞれの対向面には、表示領域に配向処理された配向膜が設けられている。
【００１７】
第１の基板１ａと第２の基板１ｂとのギャップの大きさは、例えば、２（μｍ）〜５（μｍ）である。なお、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとの間には、ギャップの大きさを保つために、例えば、球状のスペーサーまたは柱状のスペーサーが配置されている。なお、柱状スペーサーは、樹脂材料からなり、例えば、フォトリソグラフィ法によって形成される。また、液晶セル２は、シール材４を貫通して設けられた液晶注入口５から毛細管現象によって液晶注入空間３に液晶が注入されることになる。そして、液晶セル２は、液晶セル２の液晶注入口５を封止材で封止することによって、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとの間に液晶が密封されることになる。
【００１８】
エアバッグ６は、図１に示すように、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面に対して垂直な方向に液晶セル２を加圧するものである。そして、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面を両側から挟むように配置されている。すなわち、エアバッグ６は、空気や不活性ガス等を用いて加圧することによってエアバッグ６を膨張させて、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面を垂直方向から押さえるものである。
【００１９】
また、エアバッグ６は、内部に空気や不活性ガス等を出し入れするためのガス出入パイプ６ａが設けられている。一対の基板１の外側主面を加圧する際には、ガス出入パイプ６ａを介して空気や不活性ガスがエアバッグ６内部に入れられて加圧される。また、液晶セル２を装着または脱着する際には、ガス出入パイプ６ａを介して空気や不活性ガスがエアバッグ６内部から出されて減圧される。
【００２０】
また、液晶セル２とエアバッグ６とは、図１に示すように、交互にサンドイッチ状に配列されている。エアバッグ６は、液晶セル２の外形形状と同様な外形形状を有しており、例えば、矩形状であり、また、エアバッグ６の材料は、例えば、シリコンゴム等である。
【００２１】
エアバッグ６は、図３に示すように、液晶セル２とエアバッグ６とを平面透視して、シール材４がエアバッグ６の内側に位置するような、すなわち、エアバッグ６の外周がシール材４の外周よりも外側に位置するような大きさにすることが好ましい。これによって、エアバッグ６は、液晶セル２の周縁部のシール材４を含めて加圧することになり、シール材４の変形を効果的に抑制することができる。また、エアバッグ６で加圧する際に、液晶セル２とエアバッグ６との位置ずれが起こったとしても、液晶セル２の周縁部のシール材４を含めて加圧することができる。また、エアバッグ６は、外周がシール材４の外周と一致するような大きさにしても、シール材４を含めて加圧することができる。
【００２２】
また、液晶セル２は、真空チャンバーが真空引きされると、液晶注入空間３に圧力分布が生じることによって液晶注入口５が潰れやすくなるため、エアバッグ６で液晶注入口５が加圧されないように、エアバッグ６は、図４に示す例のように、シール材４は加圧され、液晶注入口５は加圧されない位置に配置してもよい。
【００２３】
次に、本発明の実施の形態に係る液晶セルの脱ガス方法について、図１および図５を参
照して説明する。
【００２４】
まず、エアバッグ６は、図１に示すように、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面を両側から挟むようにそれぞれ配置される。そして、エアバッグ６と液晶セル２とは、図５に示すように、交互に配列された状態で真空アニール用カセット７の内部に配置される。なお、図５は、液晶セル２とエアバッグ６とを真空アニール用カセット７の内部に配置した状態を側面から見た図であり、液晶セル２および真空アニール用カセット７は断面を示し、エアバッグは側面を示している。
【００２５】
次に、エアバッグ６と液晶セル２とが配置された真空アニール用カセット７が真空チャンバー内に置かれる。この状態では、液晶セル２およびエアバッグ６を含む空間である真空チャンバー内、液晶セル２の内部の液晶注入空間３および液晶セル２の外部のいずれもが大気圧であり、液晶セル２には膨張または収縮の発生はない。
【００２６】
そして、真空チャンバー内を真空引きすることによって、液晶セル２およびエアバッグ６を含む空間は減圧される。なお、真空チャンバー内の圧力は、例えば、１５（Ｐａ）〜１（Ｐａ）まで減圧される。
【００２７】
また、真空チャンバーは、内部に設けられたヒーター等によって液晶セル２を減圧下または大気圧下で加熱処理することができる。これによって、液晶セル２は、減圧下で、または、大気圧下で加熱処理される。液晶セル２は、加熱処理することによって、液晶セル２の液晶注入空間３に付着している水分等の不純物を蒸発または蒸散させることができる。
【００２８】
また、真空チャンバーで真空引きしながら液晶セル２を加熱すると、液晶セル２の液晶注入空間３から水分や有機溶媒等の蒸発物または蒸散物を効果的に排出することができる。なお、真空チャンバーの温度は、例えば、１２０(℃)〜１５０（℃）に設定されて、液晶セル２を加熱処理することができる。
【００２９】
そして、液晶セル２は、液晶セル２が加熱処理されている状態で、真空チャンバー内が真空引きされ、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で両側から加圧される。また、液晶セル２は、真空チャンバー内で、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で両側から加圧されている状態で、真空チャンバー内の真空引きが開始されて、加熱処理されてもよい。
【００３０】
液晶セル２は、真空チャンバー内の大気圧下で、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で両側から加圧されている状態で、加熱処理を行ないながら、真空チャンバー内を真空引きしてもよい。また、液晶セル２は、真空チャンバー内が大気圧下で、一対の基板１の第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で両側から加圧されている状態で、加熱処理を行ないながら、加熱処理の開始から一定時間経過後に、例えば、１（ｈ）〜２（ｈ）後に、真空チャンバー内を真空引きしてもよい。このように液晶セル２を真空引きの前に大気圧下で加熱することによって、液晶セル２に対して熱を効果的に伝導することができる。したがって、液晶セル２の全体にわたって温度分布が均一になりやすく、液晶セル２を効果的に加熱することができる。
【００３１】
ここで、液晶セル２の脱ガスについて説明する。
【００３２】
液晶セル２およびエアバッグ６を含む真空チャンバー内が真空引きされるが、このように、真空チャンバー内を減圧することによって、液晶セル２は、液晶注入口５を介して液
晶注入空間３の空気が排気されることになる。しかしながら、液晶注入口５は、シール材４を貫通して設けられており、一対の基板１間の間隔が小さく、液晶注入口５の開口幅も狭いため、すなわち、液晶注入口５の通気抵抗が高いため、液晶セル２の液晶注入空間３の空気が迅速に液晶セル２の外部に排出されにくい。
【００３３】
この真空チャンバー内での真空引きによって、液晶セル２の液晶注入空間３の気圧が液晶セル２の外部よりも大きくなり、液晶注入空間３が膨張して、一対の基板１の各基板は、中央部が互いに離れる方向すなわち外側主面に対して垂直な方向に膨らんで変形する。そして、シール材４によって貼り合わされている一対の基板１の周縁部は、互いが接近する方向、すなわち、収縮する方向に変形する。結果として、液晶セル２は、一対の基板１の各基板の中央部が互いに外側に膨らむように変形するとともに、各基板の周縁部が互いに内側に接近するように変形する。したがって、液晶セル２がこのような変形をするため、一対の基板１の周縁部のシール材４は変形によって剥がれが発生しやすくなる。
【００３４】
しかしながら、液晶セル２は、一対の基板１のそれぞれの外側主面を両側から挟むようにエアバッグ６をそれぞれ配置して、それぞれの外側主面が両側からエアバッグ６で加圧されているため、一対の基板１の中央部が膨らむことを抑制することができる。すなわち、エアバッグ６の内圧が液晶セル２の液晶注入空間３の内圧よりも大きいので、液晶セル２は一対の基板１の中央部の膨らみが抑制される。これによって、液晶セル２は一対の基板１の中央部が膨らみにくくなり、一対の基板１の周縁部の変形が抑制されるため、シール材４の剥がれの発生が抑制される。なお、エアバッグ６の内圧は、第１の基板１ａと第２の基板１ｂとの間に配置されているスペーサーが潰れないように制御される。
【００３５】
エアバッグ６の内圧は、液晶セル２の大きさ等によって適宜選択されるが、真空チャンバー内の圧力に対して、例えば、２０（ｋＰａ）〜５０（ｋＰａ）高くなるように設定されている。なお、エアバッグ６は、ガスが封入されていれば、エアバッグ６の内外の圧力差によって膨張収縮するため、エアバッグ６の内部の圧力は適当に調整することができる。
【００３６】
また、真空チャンバー内の減圧速度が低いと、液晶セル２の脱ガスに時間が掛かる。しかしながら、減圧速度を高めると、液晶セル２の液晶注入空間３と液晶セル２の外部との圧力差が大きくなり、一対の基板１の中央部の膨らみによる変形が大きくシール材４が剥がれやすくなる。
【００３７】
液晶セル２では、真空チャンバー内の液晶セル２の減圧速度を高めても、エアバッグ６で一対の基板１のそれぞれの外側主面が加圧されているため、一対の基板１の中央部の膨らみによる変形が抑制されて、シール材４は剥がれが発生しにくくなる。したがって、液晶セル２の減圧速度を高くしても、液晶セル２の脱ガスを良好に行なうことができる。これによって、液晶セル２は、脱ガスの時間が短縮される。
【００３８】
また、液晶セル２の加熱処理温度が低いと、液晶セル２の液晶注入空間３に付着している水分等の不純物を効果的に蒸発させることができない。しかしながら、加熱処理温度を高くすると、シール材４の接着強度が低下して、一対の基板１の中央部の膨らみによる変形でシール材４が剥がれやすくなる。
【００３９】
液晶セル２では、真空チャンバー内の液晶セル２の加熱処理温度を高めても、エアバッグ６で一対の基板１のそれぞれの外側主面が加圧されているため、一対の基板１の中央部の膨らみによる変形が抑制されて、シール材４は剥がれが発生しにくくなる。したがって、液晶セル２の加熱処理温度を高くしても、液晶セル２の脱ガスを行なうことができる。これによって、液晶セル２は、液晶注入空間３から不純物が効果的に排出される。
【００４０】
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。以下、実施の形態の変形例について説明する。なお、実施の形態と同様な部分については、同一の符号を付して適宜説明を省略する。
【００４１】
＜実施の形態の変形例１＞
以下、実施の形態に係る変形例１について、図６を参照しながら説明する。なお、図６は、液晶セル２、エアバッグ６および第１のプレート８を真空アニール用カセット７の内部に配置した状態を側面から見た図であり、液晶セル２、真空アニール用カセット７および第１のプレート８は断面を示し、エアバッグ６は側面を示している。
【００４２】
変形例１における液晶セル２の脱ガス方法は、図６に示すような構成であり、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面とエアバッグ６との間に第１のプレート８をそれぞれ配置して、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で加圧している。
【００４３】
液晶セル２は、一対の基板１のそれぞれの外側主面とエアバッグ６との間に第１のプレート８を配置して両側から加圧されているため、第１のプレート８を介して液晶セル２の外側主面にエアバッグ６の圧力が均一に掛かり、液晶セル２の全体を加圧することができる。
【００４４】
第１のプレート８は、液晶セル２と第１のプレート８とを平面透視して、第１のプレート８の外周がシール材４の外周よりも外側に位置するような大きさである。なお、第１のプレート８の外周とシール材４の外周とが一致するような大きさであってもよい。
【００４５】
また、第１のプレート８を一対の基板１の外周と一致するような大きさにすると、第１のプレート８の外周のエッジ部によって液晶セル２が破損したり、傷付いたりすることを抑制することができる。
【００４６】
また、第１のプレート８は、アルミニウム等の金属材料からなる。
【００４７】
第１のプレート８は、金属材料からなるため熱伝導性が高く、熱が液晶セル２に伝わりやすく、液晶セル２を効果的に加熱することができる。また、第１のプレート８は、一対の基板１のそれぞれの外側主面に接しているため液晶セル２の全体にわたって温度分布が均一になりやすく、液晶セル２を効果的に加熱することができる。
【００４８】
＜実施の形態の変形例２＞
以下、実施形態に係る変形例２について、図７を参照しながら説明する。なお、図７は、液晶セル２、エアバッグ６、第１のプレート８および第２のプレート９を真空アニール用カセット７の内部に配置した状態を側面から見た図であり、液晶セル２、真空アニール用カセット７、第１のプレート８および第２のプレート９は断面を示し、エアバッグ６は側面を示している。
【００４９】
変形例２における液晶セル２の脱ガス方法は、図７に示すような構成であり、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面と第１のプレート８との間に、第１のプレート８よりも硬度が小さい第２のプレート９をそれぞれ配置して、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で両側から加圧している。
【００５０】
第２のプレート９は、外周が第１のプレート８の外周よりも内側に配置されるような大きさである。また、第２のプレート９は、外周が第１のプレート８の外周と一致するよう
な大きさであってもよい。
【００５１】
一対の基板１のそれぞれの外側主面と第１のプレート８との間に、第１のプレート８よりも硬度の小さい第２のプレート９が配置されているため、液晶セル２の外側主面と第２のプレート９との間に、仮に、ごみ等の異物が付着していても、第２のプレート９が異物を包みこむため、液晶セル２の外側主面に傷等が発生するのを抑制することができる。
【００５２】
また、第２のプレート９が配置されているため、液晶セル２に局所的な圧力が掛かることが抑制され、液晶セル２内に配置されているスペーサーの潰れが発生しにくくなる。
【００５３】
第２のプレート９は、フッ素系樹脂等の樹脂材料からなる。これによって、金属材料からなる第１のプレート８よりも第２のプレート９は硬度が小さく設定されることとなる。
【００５４】
第１のプレート８は、液晶セル２と第１のプレート８とを平面透視して、第１のプレート８の外周がシール材４の外周よりも外側に位置するような大きさである。なお、第１のプレート８の外周とシール材４の外周とが一致するような大きさであってもよい。
【００５５】
また、第１のプレート８を一対の基板１の外周と一致するような大きさにすると、第１のプレート８の外周のエッジ部によって液晶セル２が破損したり、傷付いたりすることを抑制することができる。
【００５６】
＜実施の形態の変形例３＞
以下、実施形態に係る変形例３について、図８を参照しながら説明する。なお、図８は、液晶セル２、エアバッグ６および第３のプレート１０を真空アニール用カセット７の内部に配置した状態を側面から見た図であり、液晶セル２、真空アニール用カセット７および第３のプレート１０は断面を示し、エアバッグ６は側面を示している。
【００５７】
変形例３における液晶セル２の脱ガス方法は、図８に示すような構成であり、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面とエアバッグ６との間に、一対の基板１の外側主面側に配置される第１の板状体１０ａと、第１の板状体１０ａよりも硬度が大きい、エアバッグ６側に配置される第２の板状体１０ｂとを接合してなる第３のプレート１０をそれぞれ配置して、第１の基板１ａおよび第２の基板１ｂの外側主面をエアバッグ６で加圧する。
【００５８】
エアバッグ６側に配置される第２の板状体１０ｂは、第１の板状体１０ａよりも硬度が大きいので、第２の板状体１０ｂを介してエアバック６の圧力が均一に掛かり、液晶セル２の全体を加圧することができる。なお、第１の板状体１０ａは、例えば、フッ素系樹脂等の樹脂材料からなり、第２の板状体１０ｂは、例えば、アルミニウム等の金属材料からなる。これによって、第２の板状体１０ｂの硬度は、第１の板状体１０ａよりも大きく設定されることとなる。
【００５９】
液晶セル２の外側主面側に配置される第１の板状体１０ａは、第２の板状体１０ｂよりも硬度が小さいので、液晶セル２の外側主面と第１の板状体１０ａとの間に、仮に、ごみ等の異物が付着していても、第１の板状体１０ａが異物を包みこむため、液晶セル２の外側主面に傷等が発生するのを抑制することができる。
【００６０】
また、第３のプレート１０は、一対の基板１のそれぞれの外側主面側に第１の板状体１０ａが配置されているため、液晶セル２に局所的な圧力が掛かることが抑制され、液晶セル２内に配置されているスペーサーの潰れが発生しにくくなる。
【００６１】
第３のプレート１０は、液晶セル２と第３のプレート１０とを平面透視して、第３のプレート１０の外周がシール材４の外周よりも外側に位置するような大きさである。なお、第３のプレート１０の外周とシール材４の外周とが一致するような大きさであってもよい。
【００６２】
また、第３のプレート１０を一対の基板１の外周と一致するような大きさにすると、第３のプレート１０の外周のエッジ部によって液晶セル２が破損したり、傷付いたりすることを抑制することができる。
【００６３】
本発明は、上述した実施の形態および変形例に特に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更および改良が可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１、一対の基板
１ａ  第１の基板
１ｂ  第２の基板
２  液晶セル
３  液晶注入空間
４  シール材
５  液晶注入口
６  エアバッグ
６ａ  ガス出入パイプ
７  真空アニール用カセット
８  第１のプレート
９  第２のプレート
１０  第３のプレート
１０ａ  第１の板状体
１０ｂ  第２の板状体
【図１】
2013134289.tif 000003
【図２】
2013134289.tif 000004
【図３】
2013134289.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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