(57)【要約】【課題】透過法以外の検出方法でＸＡＦＳと同等な迅速測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。【解決手段】Ｘ線分析装置は、白色Ｘ線を発生させるＸ線発生源１０と、この白色Ｘ線をエネルギー分散させて分散Ｘ線を取り出すエネルギー分散器２０と、この分散Ｘ線から特定エネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段４０と、特定エネルギーのＸ線と試料との相互作用を測定する相互作用測定手段９０を備える。  Ｘ線分析方法は、Ｘ線発生源から発生した平行な白色Ｘ線をエネルギー分散させるエネルギー分散工程と、このエネルギー分散により取り出された分散Ｘ線を可動単色手段により単色化する単色化工程とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
白色Ｘ線を発生させるＸ線発生源と、この白色Ｘ線をエネルギー分散させて分散Ｘ線を取り出すエネルギー分散器と、この分散Ｘ線から特定エネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段と、上記特定エネルギーのＸ線と試料との相互作用を測定する相互作用測定手段を備えることを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項２】
上記可動単色化手段は、試料に対し、上記分散Ｘ線の入射側に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線分析装置。
【請求項３】
試料が上記エネルギー分散器の集光位置に設置されており、上記可動単色化手段は、上記Ｘ線発生源と上記エネルギー分散器との間に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線分析装置。
【請求項４】
試料に対して上記分散Ｘ線の入射角が大きくなる試料支持部が設置されていることを特徴とする請求項３に記載のＸ線分析装置。
【請求項５】
試料が上記エネルギー分散器の集光位置に設置されており、上記可動単色化手段は、試料に対し、上記分散Ｘ線の入射側に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線分析装置。
【請求項６】
さらに、試料の環境を制御する試料環境制御部を備えることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１つの項に記載のＸ線分析装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つの項に記載のＸ線分析装置に用いられる分析アセンブリであって、
白色Ｘ線をエネルギー分散させて分散Ｘ線を取り出すエネルギー分散器と、この分散Ｘ線から特定エネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段と、上記特定エネルギーのＸ線と試料との相互作用を測定する相互作用測定手段を備えることを特徴とする分析アセンブリ。
【請求項８】
Ｘ線発生源から発生した平行な白色Ｘ線をエネルギー分散させるエネルギー分散工程と、このエネルギー分散により取り出された分散Ｘ線を可動単色手段により単色化する単色化工程とを含むことを特徴とするＸ線分析方法。
【請求項９】
上記単色化工程は、上記可動単色化手段を一次元的に移動させることにより行われることを特徴とする請求項８に記載のＸ線分析方法。
【請求項１０】
上記単色化工程は、上記可動単色化手段を回転させることにより行われることを特徴とする請求項８に記載のＸ線分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線分析装置及びＸ線分析方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、物質の微細構造を分析する手法として、ＸＡＦＳ（Ｘ−ｒａｙ  Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｆｉｎｅ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）が種々の材料の分析に用いられている。
図６は、ＸＡＦＳスペクトルの一例を示したグラフ図である。ＸＡＦＳスペクトルは、ＸＡＮＥＳ（Ｘ−ｒａｙ  Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｎｅａｒ−Ｅｄｇｅ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）領域とＥＸＡＦＳ（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ  Ｘ−ｒａｙ  Ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｆｉｎｅ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）とからなる。ＸＡＮＥＳ領域を解析することで、その物質の酸化数などの化学状態を知ることができる。一方、ＥＸＡＦＳ領域を解析することで、着目した原子の周囲に存在する原子の種類、その原子までの距離、その原子の配位数に関する情報が得られる。
【０００３】
近年、燃料電池、リチウムイオン２次電池及び触媒材料など敏感な反応を伴う材料では、反応過程の解析が極めて重要となっている。微細構造の反応解析を行うには、できるだけ短い時間間隔で、時々刻々と測定を行う必要がある。このような測定手法の一種にＥｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  ＸＡＦＳ  （ＤＸＡＦＳ）がある（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００４】
図５はＤＸＡＦＳの一例を示す模式図である（例えば、特許文献１参照。）。
図５に示すように、典型的なＤＸＡＦＳはＸ線を発生させるＸ線発生源１と、エネルギー分散器２と、一次元検出器３を有する。試料（図示せず）は試料保持部材５を介して集光位置Ｆに配置される。
【０００５】
Ｘ線発生源１から発生したＸ線は、エネルギー分散器２によって短波長（高エネルギー）から長波長（低エネルギー）のＸ線に連続的に分散される。連続的に分散されたＸ線は集光位置Ｆで一点に交わる。この位置に試料を配置することにより、試料の特定位置にＸ線が照射され、さらに試料を透過する。
透過する際に一部吸収されたＸ線は、再び発散方向に広がる。この広がったＸ線を１次元検出器３で検出することにより、短波長（高エネルギー）から長波長（低エネルギー）のＸ線吸収を同時測定することが可能となる。
このように分散光を利用することにより測定に要する時間を激減させることができるので、ＤＸＡＦＳは微細構造の反応解析に好適な分析手法として広く使われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３３５３７号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Ｍｉｚｕｋｉ  ＴＡＤＡ．  Ｃａｔａｌｙｓｉｓ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  Ｉｎｎｏｖａｔｅｄ  ｂｙ  Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ．  ＴＲＥＮＤＳ  ＩＮ  ＴＨＥ  ＳＣＩＥＮＣＥＳ．  ２０１０，Ｖｏｌ．１５，Ｎｏ．８，ｐ．８＿１２−８＿１７．
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の測定方法（ＤＸＡＦＳ）では、試料を集光位置に配置させた上で、Ｘ線を試料に対して透過させる必要がある。ところが、バルク試料は必ずしも厚さや構造、組成などが均一ではない。このため、Ｘ線の経路にＸ線吸収量が依存してしまい、結果的にバラツキが少ないＸ線吸収スペクトルを得るのが困難である。
また通常、反応は材料表面から始まる。バルク試料の厚さは通常１ｍｍ程度なので、透過法で得られるのは、実質的に試料内部の情報のみである。
これに対し、深さ数十μｍの表面情報を得たければ蛍光法、深さ１００ｎｍ程度であれば全電子収量法、深さ数十ｎｍであれば転換電子収量法を用いるのが好適である。しかしながら、このような検出法をＤＸＡＦＳに適用するのは困難であった。
【０００９】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、透過法以外の検出方法でもＤＸＡＦＳと同等な迅速測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、所定の単色化手段を設けることにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
即ち、本発明のＸ線分析装置は、白色Ｘ線を発生させるＸ線発生源と、この白色Ｘ線をエネルギー分散させて分散Ｘ線を取り出すエネルギー分散器と、この分散Ｘ線から特定エネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段と、上記特定エネルギーのＸ線と試料との相互作用を測定する相互作用測定手段を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のＸ線分析装置の好適形態は、上記可動単色化手段は、試料に対し、上記分散Ｘ線の入射側に取り付けられていることを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明のＸ線分析装置の他の好適形態は、試料が上記エネルギー分散器の集光位置に設置されており、上記可動単色化手段は、上記Ｘ線発生源と上記エネルギー分散器との間に設置されていることを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、本発明のＸ線分析装置のさらに他の好適形態は、試料に対して上記分散Ｘ線の入射角が大きくなる試料支持部が設置されていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明のＸ線分析装置の他の好適形態は、試料が上記エネルギー分散器の集光位置に設置されており、上記可動単色化手段は、試料に対し、上記分散Ｘ線の入射側に設置されていることを特徴とする。
【００１６】
さらにまた、本発明のＸ線分析装置のさらに他の好適形態は、さらに、試料の環境を制御する試料環境制御部を備えることを特徴とする。
【００１７】
一方、本発明の分析アセンブリは、上述の如きＸ線分析装置に用いられる分析アセンブリであって、
白色Ｘ線をエネルギー分散させて分散Ｘ線を取り出すエネルギー分散器と、この分散Ｘ線から特定エネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段と、上記特定エネルギーのＸ線と試料との相互作用を測定する相互作用測定手段を備えることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のＸ線分析方法は、Ｘ線発生源から発生した平行な白色Ｘ線をエネルギー分散させるエネルギー分散工程と、このエネルギー分散により取り出された分散Ｘ線を可動単色手段により単色化する単色化工程とを含むことを特徴とする。
【００１９】
本発明のＸ線分析方法の好適形態は、上記単色化工程は、上記可動単色化手段を一次元的に移動させることにより行われることを特徴とする。
【００２０】
さらに、本発明のＸ線分析方法の他の好適形態は、上記単色化工程は、上記可動単色化手段を回転させることにより行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、所定の単色化手段を設けることとしたため、透過法以外の検出方法でもＤＸＡＦＳと同等な迅速測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図である。
【図３】白色Ｘ線源とエネルギー分散器との間に検出器を配置した模式図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図である。
【図５】ＤＸＡＦＳの一例を示す模式図である。
【図６】ＸＡＦＳスペクトルの一例を示したグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明のＸ線分析装置及びＸ線分析方法、並びにＸ線分析装置用の分析アセンブリについて、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態について、図面を参照して説明する。
図１に示すように、本発明の第１実施形態のＸ線分析装置１００は、白色Ｘ線源１０と、エネルギー分散器２０と、可動単色化手段４０と、相互作用測定手段９０を備え、Ｘ線を経時的に検出できる検出器３０も有している。
また、本実施形態において、エネルギー分散器２０と、可動単色化手段４０と、相互作用測定手段９０と、検出器３０は、Ｘ線分析装置用の分析アセンブリＡを構成している。
【００２５】
白色Ｘ線源１０は、白色Ｘ線を放射する。白色Ｘ線源１０は、十分なＸ線強度を確保するために、放射光を用いることが一般的である。ただし、通常の実験室のＸ線源を用いることも可能である。
この白色Ｘ線のエネルギー帯域は、軽元素から重元素まで幅広く測定を行うために、０．１ｋｅＶ〜４０ｋｅＶとすることが好ましい。白色Ｘ線の強度が不十分な場合には、帯域が数十ｅＶと狭くなるが、白色Ｘ線源１０としてアンジュレーター擬白色光源が用いられる。数百ｅＶのエネルギー帯域を確保したい場合には、白色Ｘ線源１０にテーパ型アンジュレーター擬白色光源を用いる。
【００２６】
エネルギー分散器２０は、白色Ｘ線源１０から特定の波長（エネルギー）のＸ線を特定の方向に取り出すものである。
白色Ｘ光源１０が放射光光源の場合には、通常、エネルギー分散器２０として湾曲結晶を用いる。放射光光源が発生した平行Ｘ線ビームを、その湾曲結晶で分散して分散光（分散Ｘ線）を得る。ただし、エネルギー分散器２０は湾曲結晶に限定されるものではない。例えば、白色Ｘ光源１０が発散光を発生するものである場合には、エネルギー分散器２０として平板結晶を用いる。Ｘ線波長によっては、エネルギー分散器２０として結晶ではなく、多層膜やグレーティングを用いることもできる。
【００２７】
検出器３０は試料に吸収される前のＸ線を経時的に検出する。通常は、取扱いが容易であるため、検出器３０としてイオンチャンバーが用いられる。ただし、検出感度を高めたければ、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）など他の検出を検出器３０として用いることも可能である。
また、試料に吸収される前のＸ線を検出できれば良いので、白色Ｘ線源１０とエネルギー分散器２０との間に検出器３０を置くことも可能である。そうすることにより、可動単色化手段４０の周囲の構造を単純化することができ、後述の可動単色化手段４０の可動性や利便性を向上させることができる。
【００２８】
検出器３０の分散光入射側には、可動単色化手段４０が取り付けられている。
通常、可動単色化手段４０としては、簡便かつ安価である移動可能なスリットが用いられる。可動単色化手段４０は、エネルギー分散器２０から至った分散光のうち、特定のエネルギーのＸ線を検出器３０に取り込む、言い換えれば、他の方向から到来した不要なＸ線が検出器３０に侵入することを防止する手段であればよい。
なお、特定方向から到来する単色光のみを通過させる機構であれば、可動単色化手段４０はスリット以外のものとすることも可能である。
【００２９】
また、図１の拡大図に示すように、可動単色化手段４０がスリットである場合、試料台６０に支持された試料７０の両端部の位置が、スリット幅と対応している位置となるようにすることが好ましい。
これにより、広い波長領域（エネルギー領域）のＸＡＦＳスペクトルを得ることが可能となる。
【００３０】
可動単色化手段４０を通過した単色Ｘ線は、試料環境制御部８０に収容された試料保持部材５０中の試料台６０に支持された試料７０（図１の拡大図参照）を励起して、各種相互作用を引き起こす。
表面から深さ数十μｍの部位の吸収スペクトルを得たければ、各種相互作用のうち、蛍光Ｘ線を検出する。また、深さ１００ｎｍの情報を得たければ、Ｘ線励起で発生した各種電子を全電子収量法で検出する。更に、深さ数十ｎｍの情報を得たければ、オージェ電子などの転換電子を検出すればよい。
【００３１】
次に、本実施形態に係るＸ線分光装置１００を用いて、測定動作について説明する。
図１に示すように、白色Ｘ線源１０から発生した白色Ｘ線は、エネルギー分散器２０によって分散され、いわば分散Ｘ線束を形成する。その結果、このＸ線束において、特定のエネルギーを有するそれぞれのＸ線はエネルギー強度に応じて各々所定の方向に向かうことになる。
そして、各々所定の方向に向かったそれぞれのＸ線は、ある時刻（例えば、ｔ０、ｔ１、…、ｔｎ）においては、その一部のみが、図示矢印方向に時々刻々変位する（例えば、時刻ｔ０、ｔ１、…、ｔｎに対して位置ｘ０、ｘ１、…、ｘｎと変位する）可動単色化手段４０を通過できることになる。
【００３２】
このように、可動単色化手段４０を通過することによって、ある時刻においては、特定のエネルギーのＸ線のみが検出器３０を通過する。これにより、透過前の特定のエネルギーのＸ線の強度が計測される。
さらに、検出器３０を通過したＸ線が試料７０を励起し、この励起によって蛍光Ｘ線や種々の２次電子が発生する。その蛍光Ｘ線や２次電子を、相互作用測定手段９０で検出することにより、例えばＸ線吸収量を測定する。
なお、本実施形態において、このようなＸ線吸収量の測定は、可動単色化手段４０が変位する間に亘って行われ、相互作用測定手段９０は、Ｘ線吸収量の経時変化を測定する。
全電子収量法でＸ線吸収量を検出する場合には、相互作用測定手段９０として、微弱電流を検出可能な電流量計測装置を用いる。また、オージェ電子を検出する場合には、相互作用測定手段９０として、電子分光器を用いればよい。
【００３３】
図１に示したように、本実施態様では、可動単色化手段４０が検出器３０と試料５０と一体に構成されている。ここでは、可動単色化手段４０を移動させるのを目的として、可動単色化手段４０、検出器３０、試料５０を一体的に移動させる。
移動手法は、特定のエネルギーのＸ線を取り込めるような様式であれば、どのような様式であってもよい。一般的には、一次元的な移動である。通常、この移動は、機構を簡便とするために、一方向に直線的に行われる。この一方向移動は片道でも良いし、往復であっても良い。更にこの移動の動作形式は揺動であっても良い。
【００３４】
例えば、必要なエネルギー帯域の吸収スペクトルを得るのに必要な移動量が５０ｍｍだとし、片道移動で測定を１秒で終えるとすると、可動単色化手段４０、検出器３０、試料５０を一体的に５０ｍｍ／秒で移動させる。そうすると、１秒という時間で表面微細構造の反応状態測定が終了する。さらに往復及び搖動といった動作を付加すれば、時々刻々と反応が進む様子を捉えることが可能となる。
以上、理解し易い例とする意図で移動時間を１秒として説明したが、反応を的確に捉えるためには、ミリ秒のオーダーなど、より短時間で移動することが重要である。従って、本実施態様はこの移動時間に制限されるものではない。
【００３５】
次に、第１の実施形態の作用効果について説明する。
以上に説明したように、第１の実施形態のＸ線分析装置によれば、エネルギー分散されたＸ線から特定のエネルギーのＸ線を取り出す可動単色化手段を有するため、透過法以外の検出方法で、ＸＡＦＳ測定が可能となる。
この場合に、上記可動単色化手段を検出器の分散Ｘ線入射側に取り付けることにより、迅速なＸＡＦＳ測定が可能となる。
【００３６】
また、上述の第１実施形態の記載は、Ｘ線分析方法の観点からみれば、Ｘ線発生源から発生した白色（平行）をエネルギー分散させるエネルギー分散工程と、そのエネルギー分散されたＸ線を可動単色手段による単色化工程とを含むことにより、透過法以外の検出方法でも迅速なＸＡＦＳ測定が可能となることを開示している。
この際、上記単色化工程につき、可動単色化手段を移動させる工程とすることにより、短時間であっても十分なＸ線強度を得つつ、ＸＡＦＳ測定が可能となる。
【００３７】
本実施形態の変形例として、図２に示すように、白色Ｘ線源１０とエネルギー分散器２０との間に検出器３０を置くことにすれば、可動単色化手段４０の可搬性が向上するので、より一層、短時間測定が可能となる。
以上詳細に説明したように、本実施形態によれば、材料表面のＸＡＦＳ測定を短時間で行うことできる。これにより、材料表面の微細構造および反応解析が可能となる。
【００３８】
（第２の実施形態）
次に、本発明のＸ線分析装置の第２の実施形態について説明する。
図３は、本発明の第２の実施形態に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図である。上述の第１の実施形態においては、可動単色化手段４０は検出器３０及び試料保持部材５０と一体化されていた。可動単色化手段４０の設置場所を、目的に応じて、他の場所とすることが可能である。
この第２の実施形態は、可動単色化手段４０を、上記Ｘ線発生源１０と上記エネルギー分散器２０との間に設置した第１の実施形態の変形例である。この場合には、試料７０を集光位置Ｆに設置し、試料７０上の特定の一点にＸ線が集光されるようにする。
【００３９】
このように設置された可動単色化手段４０を可動させることで、短時間で表面微細構造の反応状態測定が可能となる。
本実施形態では、試料７０上の特定の一点にＸ線が集光されるので、試料の注目した部位を測定できる上に、試料７０は不動であるため、壊れやすい試料の測定を行うのに好適である。
【００４０】
なお、拡大図に示したように、Ｘ線入射角の変動を抑制する形状の試料台６０を使用するとより好ましい。この試料台６０の使用により、より一層高分解能なＸ線吸収スペクトルを得ることが可能となる。
即ち、試料に対してＸ線入射角が大きくなる試料支持部を設置することにより、高分解能な測定が可能となる。試料支持部の形状は、図中のθがなるべく大きくなるようなものとするのが望ましい。そうすることで、Ｘ線の広がりを抑制して高分解能な測定が可能となる。
【００４１】
以上に説明したように、本実施形態では、試料が上記エネルギー分散器の集光位置に設置されており、上記可動単色化手段を、上記Ｘ線発生源と上記エネルギー分散器との間に設置されているので、繊細な試料の特定部位であっても迅速なＸＡＦＳ測定が可能となる。
即ち、試料を上記エネルギー分散器の集光位置に設置し、上記可動単色化手段を試料のエネルギー分散光入射側に設置することにより、Ｘ線入射角の変動による分解能低下を抑制しつつ、迅速なＸＡＦＳ測定を行うことが可能となる。
【００４２】
（第３の実施形態）
次に、本発明のＸ線分析装置の第３の実施形態について説明する。
図４は、本発明の第３の実施形態に係るＸ線分析装置の構成を示す模式図である。上述の第２の実施形態においては、高分解能Ｘ線吸収スペクトルを得るために、試料台６０の設置が望ましかった。
【００４３】
第３の実施形態は、試料台を必要としない第１の実施形態の変形例である。本実施形態では、第２の実施形態と同様に試料保持部材５０は集光位置Ｆに設置される。この集光位置を中心軸として、紙面に沿って回転できる位置に可動単色化手段４０を設置する。
この可動単色化手段を、周方向に一方向又は両方向に移動させる、更には回転搖動させることにより、短時間で表面微細構造の反応状態測定が可能となる。
本実施形態では、Ｘ線入射角の変動が生じないため、Ｘ線入射角の変動による分解能低下を防止して、測定することが可能となる。
また、このことは、Ｘ線分析方法の観点から見れば、上述の単色化工程を、可動単色化手段を回転させる工程とすることにより、Ｘ線入射角の変動による分解能低下が抑制された測定とすることが可能となるといえる。
【００４４】
いずれの実施形態においても、図１〜４に示すように、試料を覆うような試料環境制御部８０を設置することにより、所望の環境を達成した上で測定を行うことが可能となる。特に第２及び第３の実施形態では、試料を不動な状態で測定することが可能である。このため、試料が移動してしまうと達成困難な測定環境を実現した上で、測定を行うことが可能となる。
例えば、燃料電池又はリチウムイオン２次電池を充放電しながら測定したい場合には、試料環境制御部８０を、ｉｎ−ｓｉｔｕセルで構成すればよい。また、触媒材料を、使用環境下の状況を再現しつつ測定したい場合には、雰囲気や温度を制御できる試料環境制御部８０を設置することとする。
このような環境制御部８０を設置することにより、使用環境下等、測定したい状況を再現した上で、その材料の微細構造解析、更に表面の反応解析が可能となる。なお、上述の燃料電池、リチウムイオン２次電池、及び触媒材料は試料の一例であり、本実施形態は、種々の材料から成る試料に適用可能である。
【００４５】
以上、本発明を若干の実施形態及び実施例によって説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
例えば、検出器３０は、必須の部材ではなく省略が可能である。検出器３０は各種相互作用を経時測定する場合に、入射Ｘ線量を吸収Ｘ線量と同時に計測するための検出器であり、通常は設置した方が正確性に優れたＸ線分析を行うことができる。ただし、例えば、入射Ｘ線が経時に依らず安定であれば、分析の前又は後に当該分析条件に従って検出器３０のみによる測定を行い、この測定値を考慮して分析値を演算処理すれば、正確性に優れたＸ線分析を行うことも可能である。
【００４６】
なお、分析アセンブリは、持ち運び可能に構成することが容易である。高強度、又は高エネルギー（短波長）のＸＡＦＳ測定に適用する場合には、分析アセンブリを大規模放射光施設に持ち込むのが望ましい。また、軽元素のＫ端や遷移金属のＬ端のＸＡＦＳ測定を行いたい場合には、中小規模の放射光施設に持ち込めばよい。かかる分析アセンブリを当該研究施設に設置すれば、本発明のＸ線分析装置及びＸ線分析方法を簡易に実施できることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明のＸ線分析装置及びＸ線分析方法は、各種材料の微細構造の測定に好適である。特に燃料電池、リチウムイオン２次電池及び触媒など、表面での反応が性能や特性に影響を及ぼす材料の分析に幅広く実施されることが予想される。
【符号の説明】
【００４８】
１  白色Ｘ線源
２  エネルギー分散器
３  検出器
４  可動単色化手段
５  試料保持部材
６  試料台
７  試料
８  試料環境制御部
１０  白色Ｘ線源
２０  エネルギー分散器
３０  検出器
４０  可動単色化手段
５０  試料保持部材
６０  試料台
７０  試料
８０  試料環境制御部
９０  相互作用測定手段
１００  Ｘ線分析装置
Ａ  分析アセンブリ
Ｆ  集光位置
θ  入射角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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