(57)【要約】【課題】  洗浄効果の高い簡易的な洗浄ガンを提供することである。【解決手段】  加工装置に付設されて加工装置や被加工物を洗浄する洗浄ガンであって、作業者が把持する把持部と、液体供給源に接続された液体供給路と、気体供給源に接続された気体供給路と、該液体供給路と該気体供給路とが合流する合流点から流体を噴出する噴出口に連なる噴出路と、該液体供給路を開閉する第１開閉スイッチ手段と、該気体供給路を開閉する第２開閉スイッチ手段とを備え、該第１開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路を開いたときには該噴出口から液体が噴出され、該第２開閉スイッチ手段を作動させて該気体供給路を開いたときには該噴出口から気体が噴出され、該第１開閉スイッチ手段及び該第２開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路と該気体供給路とを開いたときには該噴出口から液体と気体とからなる混合流体が噴出されることを特徴とする。【選択図】図２
2013166124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置に付設されて加工装置や被加工物を洗浄する洗浄ガンであって、
作業者が把持する把持部と、
液体供給源に接続された液体供給路と、
気体供給源に接続された気体供給路と、
該液体供給路と該気体供給路とが合流する合流点から流体を噴出する噴出口に連なる噴出路と、
該液体供給路を開閉する第１開閉スイッチ手段と、
該気体供給路を開閉する第２開閉スイッチ手段とを備え、
該第１開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路を開いたときには該噴出口から液体が噴出され、
該第２開閉スイッチ手段を作動させて該気体供給路を開いたときには該噴出口から気体が噴出され、
該第１開閉スイッチ手段及び該第２開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路と該気体供給路とを開いたときには該噴出口から液体と気体とからなる混合流体が噴出されることを特徴とする洗浄ガン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に付設されて加工装置や被加工物を洗浄する洗浄ガンに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイスの製造プロセスでは、表面にＩＣやＬＳＩ等の回路素子が複数形成された半導体ウエーハは、研削装置や研磨装置で裏面が研削、研磨されて所定の厚みへと薄化される。その後、薄化された半導体ウエーハが切削装置で切削されて個片化されることで各種の半導体デバイスが製造されている。
【０００３】
近年、半導体デバイスの軽薄短小化を実現するための技術として、デバイス表面にバンプと呼ばれる金属突起物を複数形成し、これらのバンプを配線基板に形成された電極に対向させて直接接合するフリップチップボンディングと呼ばれる実装方法が実用化されている。特開２０１０−３６３００号公報には、バンプを有する半導体ウエーハ表面を切削してバンプの高さを揃えるためのバイト切削装置が開示されている。
【０００４】
これらの研削装置、研磨装置、バイト切削装置等の各種の加工装置は、搬送機構や洗浄機構を備えた所謂フルオートタイプと、搬送機構や洗浄機構を備えず、加工機構のみを備える所謂マニュアルタイプとに大別できる。
【０００５】
通常マニュアルタイプの加工装置では、作業者が被加工物を加工機構へと搬入し、加工機構で所定の加工を施してから加工機構から搬出する。マニュアルタイプの加工装置では一般的に洗浄機構を備えていないため、加工が施された被加工物は作業者によって独立した洗浄装置へと搬送されて、加工によって被加工物に付着した加工屑が洗浄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平６−２３２４１号公報
【特許文献２】特開２０１０−２８７７６４号公報
【特許文献３】特開２０１０−３６３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このようにマニュアルタイプの加工装置では洗浄機構を備えていないため、作業者が加工終了後の被加工物を加工装置から搬出して、別に設けた洗浄装置へと搬送するのに相当時間が経過し、被加工物が乾燥してしまうことがある。
【０００８】
加工によって被加工物に付着した加工屑は、一度乾燥してしまうとその後洗浄しても落とすことが難しいという問題がある。そこで、マニュアルタイプの加工装置に付設できる簡易的な洗浄ガン（洗浄ユニット）が要望されている。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、洗浄効果の高い簡易的な洗浄ガンを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、加工装置に付設されて加工装置や被加工物を洗浄する洗浄ガンであって、作業者が把持する把持部と、液体供給源に接続された液体供給路と、気体供給源に接続された気体供給路と、該液体供給路と該気体供給路とが合流する合流点から流体を噴出する噴出口に連なる噴出路と、該液体供給路を開閉する第１開閉スイッチ手段と、該気体供給路を開閉する第２開閉スイッチ手段とを備え、該第１開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路を開いたときには該噴出口から液体が噴出され、該第２開閉スイッチ手段を作動させて該気体供給路を開いたときには該噴出口から気体が噴出され、該第１開閉スイッチ手段及び該第２開閉スイッチ手段を作動させて該液体供給路と該気体供給路とを開いたときには該噴出口から液体と気体とからなる混合流体が噴出されることを特徴とする洗浄ガンが提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の洗浄ガンによると、液体、気体、又は液体と気体との混合流体の三種流体を適宜噴出できるため、被加工物や洗浄箇所に応じた洗浄が可能となり、従来に比べてより高い洗浄効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の洗浄ガンが付設された加工装置の外観斜視図である。
【図２】本発明実施形態に係る洗浄ガンの模式的説明図である。
【図３】洗浄ガン使用時の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の洗浄ガン２６が付設された加工装置２の外観斜視図が示されている。加工装置２は切削装置、研削装置、研磨装置、バイト切削装置、レーザー加工装置等の加工装置を含むものであり、マニュアルタイプの加工装置、フルオートタイプの加工装置を問わないものである。
【００１４】
符号４，６，８は加工装置２の図示しない骨組みに取り外し可能に装着される外装カバーであり、これらの外装カバー４，６，８及び骨組みに固定された多数のパネル１０によりハウジング１２が構成される。
【００１５】
オペレータ（作業者）が加工装置２を操作する操作側には、オペレーション表示モニタ１４が配設されている。このオペレーション表示モニタ１４はタッチパネル式であり、オペレータはモニタ１４に表示された情報にタッチすることにより、加工装置２にコマンドを入力することができるとともに、加工装置２の稼働状況がモニタ１４上に表示される。
【００１６】
１６は加工装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、加工装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１８は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタンを押すと加工装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００１７】
加工装置２の操作側には扉２０，２２が設けられている。例えば、加工装置２が切削装置の場合には、加工装置２のチャックテーブルにウエーハを装着したり、またはスピンドルに装着された切削ブレードを交換したい等の場合には、これらの扉２０，２２を開閉して作業を実施する。
【００１８】
外装カバー４には、外装カバー４と面一の収納位置と図１に示した収納位置から９０度回転した位置で保持されるテーブル２４が配設されている。テーブル２４には本発明実施形態に係る洗浄ガン２６が装着されている。
【００１９】
オペレータが洗浄ガン２６を使用したいときには、図１に示すようにテーブル２４を収納位置から回動して保持し、洗浄ガン２６を取り外して被加工物や加工装置２の必要箇所を洗浄する。洗浄終了後には、テーブル２４を外装カバー４と面一となる収納位置に戻し、洗浄ガン２６を加工装置２のハウジング１２内に収容する。
【００２０】
次に、図２の模式図を参照して、本発明実施形態に係る洗浄ガン２６の詳細構造について説明する。洗浄ガン２６は作業者が把持する把持部となる筐体２８を有している。筐体２８内には、加圧水源等の液体供給源３２に接続された液体供給路３０と、圧縮エア源等の気体供給源３６に接続された気体供給路３４と、液体供給路３０と気体供給路３４とが合流する合流点４６から流体を噴出する噴出口４８に繋がる噴出路５０とが収容されている。液体供給路３０及び気体供給路３４の延長部は、図３に示すフレキシブルチューブ３５内に収容されている。
【００２１】
液体供給路３０には連通と遮断とを切り替える切替弁３８が介装されており、気体供給路３４には連通と遮断とを切り替える切替弁４０が介装されている。切替弁３８は筐体２８から突出した押しボタン４２により連通と遮断との間で切り替えられる。切替弁３８と押しボタン４２で第１開閉スイッチ手段４３を構成する。
【００２２】
同様に、切替弁４０は筐体２８から突出した押しボタン４４により連通と遮断との間で切り替えられる。切替弁４０と押しボタン４４とで第２開閉スイッチ手段４５を構成する。
【００２３】
洗浄ガン使用時には、図３に示すように、オペレータが洗浄ガン２６の把持部２８を手で把持し、押しボタン４２又は４４の何れか或いは押しボタン４２，４４を同時に押すことにより洗浄作業を実施する。
【００２４】
押しボタン４２を押すと、切替弁３８が連通位置に切り替えられ、液体供給源３２からの加圧水が液体供給路３０及び噴出路５０を介して噴出口４８から噴出される。一方、オペレータが押しボタン４４を押して切替弁４０を連通位置に切り替えると、気体供給源３６からの加圧エアが気体供給路３４及び噴出路５０を介して噴出口４８から噴出される。
【００２５】
また、オペレータが押しボタン４２及び４４を同時に押して切替弁３８と４０とを連通位置に切り替えると、液体供給路３０からの加圧水と気体供給路３４からの加圧エアが合流点４６で合流して水とエアからなる加圧洗浄液を形成し、噴出路５０を介して加圧された洗浄液が噴出口４８から噴出され、加工装置及び／又は被加工物を加圧洗浄液で洗浄する。
【００２６】
本実施形態の洗浄ガン２６では、押しボタン４２，４４を選択して押すことにより、加圧水のみからなる液体洗浄と、加圧水と加圧エアとが混合した二流体洗浄を選択できるため、洗浄箇所に応じて最適な洗浄効果を得ることができる。
【００２７】
洗浄終了後は、押しボタン４２を離し押しボタン４４を押すことにより、切替弁３８が遮断位置に切り替えられ、切替弁４０が連通位置に切り替えられる。その結果、気体供給源３６からの加圧エアが噴出口４８から噴出され、被洗浄物を乾燥させることができる。
【００２８】
本実施形態の洗浄ガン２６は、主にマニュアルタイプの加工装置及び被加工物の洗浄に使用するのに適しているが、フルオートタイプの加工装置に付設して、例えば装置内部の清掃用に洗浄ガン２６を使用するようにしてもよい。
【００２９】
本実施形態の洗浄ガン２６によると、加圧水、加圧エア、又は加圧水と加圧エアの混合流体を適宜選択して噴出できるため、被加工物及び／又は加工装置の必要箇所に応じた洗浄が可能となり、従来の洗浄ガンに比べてより高い洗浄効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００３０】
２    加工装置
２６    洗浄ガン
２８    把持部（筐体）
３０    液体供給路
３２    液体供給源
３４    気体供給路
３６    気体供給源
３８，４０    切替弁
４２，４４    押しボタン
４３    第１開閉スイッチ手段
４５    第２開閉スイッチ手段
４８    噴出口
５０    噴出路
【図１】
2013166124.tif 000003
【図２】
2013166124.tif 000004
【図３】
2013166124.tif 000005