(57)【要約】【課題】インクを吸収する吸収体の吸収性能を長期間にわたって維持することが可能で吸収体の交換頻度を低くすることのできるインクジェット塗布装置のクリーニングヘッドを提供する。【解決手段】クリーニングヘッド６０は、インクジェット塗布装置のノズル面に付着した余剰のインクを拭き取るためのものであって、インクを吸収する吸収体６１と、吸収体６１を保持する芯材６２とを備える。芯材６２の吸収体６１に面する位置には、負圧が生じることで吸収体６１によって吸収されたインクを吸引する吸引孔６２ａが設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット塗布装置のノズル面に付着したインクを拭き取るためのクリーニングヘッドであって、
インクを吸収する吸収体と、
前記吸収体を保持する保持部材とを備え、
前記保持部材の前記吸収体に面する位置に、負圧が生じることで前記吸収体によって吸収されたインクを吸引する吸引孔が設けられている、クリーニングヘッド。
【請求項２】
前記保持部材は、前記吸引孔が外周面に設けられた芯材を含み、
前記吸収体は、前記芯材の前記外周面を覆うように前記芯材に取付けられている、請求項１に記載のクリーニングヘッド。
【請求項３】
前記吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が前記芯材に巻き回されることで前記芯材に固定されている、請求項２に記載のクリーニングヘッド。
【請求項４】
前記保持部材は、前記吸収体を受け入れ保持する凹部が設けられたブラケットを含み、
前記吸引孔は、前記ブラケットの前記凹部の表面に設けられている、請求項１に記載のクリーニングヘッド。
【請求項５】
前記吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材からなり、
前記保持部材は、回転することで前記帯状部材からなる前記吸収体を巻き取りおよび送り出し可能な一対の回転体を含み、
前記吸引孔は、前記一対の回転体の少なくとも一方の外周面に設けられている、請求項１に記載のクリーニングヘッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のクリーニングヘッドと、
前記吸引孔に連通することで前記吸引孔に負圧を生じさせ、これにより前記吸収体にて吸収されたインクを前記吸引孔を介して吸引する吸引手段とを備えた、クリーニング装置。
【請求項７】
インクを塗布するための複数のノズル孔が設けられたノズル面を含むインクジェットヘッドと、
請求項６に記載のクリーニング装置と、
前記吸収体と前記ノズル面とを対向させた状態で前記クリーニングヘッドおよび前記インクジェットヘッドを相対移動させる移動機構とを備えた、インクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット塗布装置のノズル面に付着したインクを拭き取るためのクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルや半導体装置等の製造工程の一つに、配向膜やレジスト膜等の機能性膜を塗布膜製造技術を利用して基板に形成する工程がある。塗布膜製造技術は、塗布膜材料を含む溶液を基板に塗布し、塗布した溶液を乾燥および硬化させることで基板に塗布膜を成膜する技術である。
【０００３】
一般に、機能性膜の原液は高い粘性を有しているため、通常は、揮発性の高い溶剤等を添加することで原液を希釈化し、希釈化後の溶液がインクとして基板に塗布される。基板へのインクの塗布には、主としてインクジェット塗布装置が利用される。
【０００４】
ここで、インクジェット塗布装置においては、ノズル面に付着したインクが液膜化することでノズルからの安定したインクの吐出が妨げられる場合があるため、ノズル面に付着した余剰のインクを定期的に拭き取ることが必要になる。当該インクの拭き取りには、インクを吸収することが可能な吸収体を含むクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置が利用され、当該クリーニング装置は、上記吸収体をインクジェット塗布装置のノズル面に接触させることで余剰のインクを吸収体にて吸収することでノズル面を清掃する。
【０００５】
たとえば、特開２００５−３０５８４５号公報（特許文献１）には、回転可能に構成されたクリーニングローラの外周面に繊維質の吸収体が取付けられてなるクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置が開示されている。ここで、当該特許文献１に開示のインクジェット塗布装置にあっては、クリーニングローラを回転させつつ繊維質の吸収体をインクジェットヘッドのノズル面に接触させることにより、インクジェットヘッドのノズル面に付着した余剰のインクを繊維質の吸収体によって拭き取ることを可能にしている。
【０００６】
また、特開２００６−７５７７号公報（特許文献２）や特開２００６−２４８１０２号公報（特許文献３）には、吸水性を有するワイピングクロスまたは不織布からなるクリーニングペーパ等の帯状の吸収体を送り出し可能な第１回転体と、当該第１回転体から繰り出された帯状の吸収体を巻き取り可能な第２回転体と、繰り出された部分の帯状の吸収体を所定方向に押圧する押圧機構とを具備したクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置が開示されている。当該特許文献２または３に開示のインクジェット塗布装置にあっては、繰り出された部分の帯状の吸収体を上記押圧機構を用いてインクジェットヘッドのノズル面に押圧することにより、インクジェットヘッドのノズル面に付着した余剰のインクを帯状の吸収体によって拭き取ることを可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３０５８４５号公報
【特許文献２】特開２００６−７５７７号公報
【特許文献３】特開２００６−２４８１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献１に開示のクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置にあっては、初期時においてはインクジェットヘッドのノズル面に付着したインクを効果的に拭き取ることができるものの、拭き取ったインクは、徐々に吸収体の内部に蓄積されてしまうことになる。そのため、当該クリーニング装置をある程度使用した後においては、吸収体の吸収性能が低下してノズル面に付着したインクが十分には吸収できなくなってしまう問題や、吸収したインクのノズル面への再付着が生じてしまう問題が生じる。したがって、上記特許文献１に開示の如くのクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置とした場合には、比較的短期間のうちに吸収体を交換する必要が生じてしまうことになる。
【０００９】
一方、上述した特許文献２または３に開示のクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置にあっては、常に帯状の吸収体の未使用部分を用いてインクジェットヘッドのノズル面に付着したインクを拭き取ることができるため、クリーニング性能が低下しないメリットが得られる。しかしながら、上記特許文献２または３に開示の如くのクリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置とした場合は、帯状の吸収体が基本的に一度しか使用できないため、環境面や経済面において必ずしも好ましいものとは言えず、また比較的短期間のうちに帯状の吸収体を使い切ってしまうことにもなるため、これを交換する頻度が高くなってしまう。
【００１０】
したがって、本発明は、上述した問題を解決すべくなされたものであり、吸収体の吸収性能を長期間にわたって維持することが可能で吸収体の交換頻度を低くすることのできるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に基づくクリーニングヘッドは、インクジェット塗布装置のノズル面に付着したインクを拭き取るためのものであって、インクを吸収する吸収体と、上記吸収体を保持する保持部材とを備え、上記保持部材の上記吸収体に面する位置に、負圧が生じることで上記吸収体によって吸収されたインクを吸引する吸引孔が設けられてなるものである。
【００１２】
上記本発明に基づくクリーニングヘッドにあっては、上記保持部材が、上記吸引孔が外周面に設けられた芯材を含んでいてもよく、その場合には、上記吸収体が、上記芯材の上記外周面を覆うように上記芯材に取付けられていることが好ましい。さらに、その場合には、上記吸収体が、インクを吸収可能な帯状部材が上記芯材に巻き回されることで上記芯材に固定されていることが好ましい。
【００１３】
上記本発明に基づくクリーニングヘッドにあっては、上記保持部材が、上記吸収体を受け入れ保持する凹部が設けられたブラケットを含んでいてもよく、その場合には、上記吸引孔が、上記ブラケットの上記凹部の表面に設けられていることが好ましい。
【００１４】
上記本発明に基づくクリーニングヘッドにあっては、インクを吸収可能な帯状部材にて上記吸収体が構成されていてもよく、その場合には、上記保持部材が、回転することで上記帯状部材からなる上記吸収体を巻き取りおよび送り出し可能な一対の回転体を含むとともに、上記吸引孔が、上記一対の回転体の少なくとも一方の外周面に設けられていることが好ましい。
【００１５】
本発明に基づくクリーニング装置は、上述したいずれかのクリーニングヘッドと、上記吸引孔に連通することで上記吸引孔に負圧を生じさせ、これにより上記吸収体にて吸収されたインクを上記吸引孔を介して吸引する吸引手段とを備えている。
【００１６】
本発明に基づくインクジェット塗布装置は、インクを塗布するための複数のノズル孔が設けられたノズル面を含むインクジェットヘッドと、上述したクリーニング装置と、上記吸収体と上記ノズル面とを対向させた状態で上記吸収体および上記インクジェットヘッドを相対移動させる移動機構とを備えている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、吸収体の吸収性能を長期間にわたって維持することが可能で吸収体の交換頻度を低くすることのできるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置の概略側面図である。
【図２】図１に示す矢印ＩＩ方向から見たインク塗布部の模式底面図である。
【図３】図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの模式断面図である。
【図４】図３に示すＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッドの模式断面図である。
【図５】図１に示すクリーニングヘッドの概略斜視図である。
【図６】図５に示すＶＩ−ＶＩ線に沿ったクリーニングヘッドの模式断面図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理を示す模式底面図である。
【図８】本発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理前のノズル面の状態を示す模式断面図である。
【図９】本発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理中におけるノズル面およびクリーニングヘッドの状態を示す模式断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態１におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理後のノズル面の状態を示す模式断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態１に基づいた第１変形例に係るクリーニングヘッドの模式断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態１に基づいた第２変形例に係るクリーニングヘッドの概略斜視図である。
【図１３】図１２に示すＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿ったクリーニングヘッドの模式断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態２におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。以下に示す実施の形態においては、液晶パネルの製造工程に含まれる配向膜の製造工程において使用されるインクジェット塗布装置およびこれに具備されたクリーニングヘッドおよびクリーニング装置に本発明を適用した場合を例示して説明を行なう。なお、以下に示す実施の形態おいては、同一または共通の部分について図中同一の符号を付し、その説明は個々には繰り返さない。
【００２０】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置の概略側面図である。まず、図１を参照して、本実施の形態におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置の構成について説明する。
【００２１】
図１に示すように、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ａは、載置台１１と、搬送アーム１２と、インク塗布部２０と、クリーニング装置５０Ａとを主として備えている。
【００２２】
載置台１１には、配向膜材料であるインクとしてのポリイミド溶液が吐出される対象物であるガラス基板１００が載置される。ガラス基板１００は、インクが塗布される塗布面である主表面１０１を有しており、当該主表面１０１が水平方向に延在するようにガラス基板１００が載置台１１上に載置される。ここで、載置台１１に載置されるガラス基板１００の一例としては、たとえば平面視２１６０ｍｍ×２４６０ｍｍまたは２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍのサイズを有する矩形状の大型のマザー基板である。
【００２３】
インク塗布部２０は、上述したインクを吐出して滴下する機能を有しており、複数のインクジェットヘッド２１を有している（図２参照）。複数のインクジェットヘッド２１の各々の下面には、インクが吐出されるノズル面２１ａが位置しており、当該ノズル面２１ａは、水平方向に延在している。インク塗布部２０は、載置台１１の上方に配置されており、インク塗布部２０の下方に載置台１１が配置された状態においてインクを吐出して滴下することで載置台１１上に載置されたガラス基板１００にインクを塗布する。なお、インク塗布部２０のより詳細な構造については、後述することとする。
【００２４】
搬送アーム１２は、載置台１１に載置されたガラス基板１００とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための移動機構に相当する。より詳細には、搬送アーム１２は、載置台１１に接続されており、載置台１１を図中に示す矢印Ａ方向に搬送する。載置台１１は、搬送アーム１２が駆動されることによってインクジェットヘッド２１の下方を通過し、その際にノズル面２１ａからインクが吐出されることでガラス基板１００にインクが塗布される。
【００２５】
本実施の形態におけるクリーニング装置５０Ａは、インクジェットヘッド２１のノズル面２１ａに付着したインクを拭き取る機能を有しており、支持部５１と、搬送アーム５２と、クリーニングヘッド６０とを有している。本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０は、吸収体６１と、芯材６２と、ブラケット６３とを含んでいる。クリーニング装置５０Ａは、インク塗布部２０の下方に配置されており、クリーニング装置５０Ａの上方にインク塗布部２０が配置された状態においてクリーニングヘッドのノズル面２１ａに吸収体６１が接触することでノズル面２１ａに付着した余剰のインクが拭き取られる。なお、クリーニングヘッド６０の詳細な構造については、後述することとする。
【００２６】
搬送アーム５２は、支持部５１上に設けられたクリーニングヘッド６０とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための移動機構に相当する。より詳細には、搬送アーム５２は、支持部５１に接続されており、支持部５１を図中に示す矢印Ａ方向に搬送する。支持部５１は、搬送アーム５２が駆動されることによってインクジェットヘッド２１の下方を通過し、その際にクリーニングヘッド６０の吸収体６１がノズル面２１ａに接触させられることでノズル面２１ａに付着した余剰のインクが拭き取られる。
【００２７】
なお、クリーニング装置５０Ａは、インクジェットヘッド２１の数に応じて複数設けられていてもよいし、単一のクリーニング装置５０Ａによって複数のインクジェットヘッド２１のすべてがクリーニングされるように構成してもよい。
【００２８】
図２は、図１に示す矢印ＩＩ方向から見たインク塗布部の模式底面図である。図３は、図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの模式断面図である。また、図４は、図３に示すＩＶ−ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッドの模式断面図である。次に、これら図２ないし図４を参照して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置のインク塗布部の詳細な構造について説明する。
【００２９】
図２および図３に示すように、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ａにあっては、複数のインクジェットヘッド２１が組み合わされてインク塗布部２０が構成されている。複数のインクジェットヘッド２１は、ガラス基板１００の搬送方向（図２中に示す矢印Ａ方向）に直交する方向（図２中に示す矢印Ｂ方向）に並んで設けられており、これにより、各々のインクジェットヘッド２１に設けられたノズル面２１ａが、同一平面上に延在するように構成されている。なお、複数のインクジェットヘッド２１は、互いに同一構造を有している。
【００３０】
ここで、ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向におけるインクジェットヘッド２１の全長は、同方向におけるガラス基板１００の幅と同等かそれよりも大きくなるように構成される。したがって、組み合わされるインクジェットヘッド２１の数は、ガラス基板１００の大きさを考慮して適宜決定される。また、インクジェットヘッド２１の組み合わせ方は、上記形態に限られず、たとえば千鳥状に組み合わされていてもよい。
【００３１】
図３に示すように、インクジェットヘッド２１は、ヘッド本体２２と、ノズル板２３と、可撓板３２と、ピエゾ（圧電）素子３１と、駆動部３０とを主として有している。
【００３２】
ヘッド本体２２は、ブロック状の形状を有する部材にて構成されており、その上面から下面に貫通するように開口部２９を有している。開口部２９の内側には、上述した駆動部３０および複数のピエゾ素子３１が配置されている。ヘッド本体２２の下面には、開口部２９を塞ぐように上述した可撓板３２が配置されている。
【００３３】
ノズル板２３は、板状の形状を有する部材にて構成されており、可撓板３２を覆うようにヘッド本体２２の下面に取付けられている。ノズル板２３の下面は、上述したノズル面２１ａに相当し、ガラス基板１００の搬送方向にその短辺を有し、ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向にその長辺を有する矩形状の形状を有している。
【００３４】
インクジェットヘッド２１には、複数のノズル孔２４が設けられている。ノズル孔２４は、ガラス基板１００に向けてインクを吐出するための部位であり、ノズル板２３のノズル面２１ａに開口するように形成されている。なお、図２に示すように、複数のノズル孔２４は、ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向に互いに間隔を隔てて千鳥状に二列に並んで配置されている。ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向に配列されるノズル孔２４の数は、ガラス基板１００の搬送方向に配列されるノズル孔２４の数よりも多い。
【００３５】
図３に示すように、インクジェットヘッド２１には、複数のインク室２５がさらに設けられている。インク室２５は、インクを貯留するための部位であり、ノズル板２３のノズル面２１ａと対向する主面に開口するように形成されている。複数のインク室２５の各々は、複数のノズル孔２４にそれぞれ対応して設けられており、対応するノズル孔２４にそれぞれ連通している。ヘッド本体２２側に位置するインク室２５の開口端は、ノズル板２３がヘッド本体２２に取付けられた状態において上述した可撓板３２によって閉塞されている。
【００３６】
可撓板３２には、複数のピエゾ素子３１が固着されている。複数のピエゾ素子３１の各々は、可撓板３２を隔てて複数のインク室２５と向かい合う位置にそれぞれ設けられている。複数のピエゾ素子３１は、開口部２９の内部において駆動部３０に電気的に接続されている。
【００３７】
図３および図４に示すように、インクジェットヘッド２１には、インクを供給するためのインク供給管２８およびインク供給室２７と、枝管２６とがさらに設けられている。
【００３８】
インク供給室２７は、ノズル板２３に形成されており、図３および図４に示す断面において、複数のノズル孔２４の両側の位置にそれぞれ配置されている。枝管２６は、ノズル板２３に形成されており、インク供給室２７と複数のインク室２５とをそれぞれ連通するように設けられている。より詳細には、枝管２６は、ガラス基板１００の搬送方向に直交する方向に沿って直線状に延びており、これにより２つのインク供給室２７を連通している。さらに、枝管２６は、その直線状に延びる部分から枝分かれすることにより、ガラス基板１００の搬送方向に沿って延びて各インク室２５に連通している。
【００３９】
インク供給管２８は、ヘッド本体２２に形成されており、インク供給室２７に連通している。インク供給管２８は、ノズル面２１ａを正面から見た場合にインク供給室２７に重なる位置に形成されている。なお、インク供給室２７に連通する側とは反対側のインク供給管２８の端部は、外部からインクジェットヘッド２１にインクを供給するための配管（不図示）に接続される。
【００４０】
以上において説明した本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ａのインク塗布部２０においては、外部からインク供給管２８を介してインクが供給され、供給されたインクは、インク供給室２７および枝管２６を介してインク室２５に補給される。一方、駆動部３０からピエゾ素子３１に駆動電力が供給されることにより、可撓板３２は、インク室２５側に向けて撓むように変形し、これによりインク室２５内の容積が減少することになってインク室２５に貯留されたインクがノズル孔２４を通じてインクジェットヘッド２１から吐出される。ここで、ノズル孔２４を通じてインクが吐出されることに伴い、インク室２５には負圧が発生することになり、当該負圧に基づいてインク室２５には随時インク供給室２７より枝管２６を介してインクが補給されることになる。したがって、上記構造を採用することにより、連続的なインクの吐出が可能になる。
【００４１】
図５は、図１に示すクリーニングヘッドの概略斜視図である。また、図６は、図５に示すＶＩ−ＶＩ線に沿ったクリーニングヘッドの模式断面図である。次に、これら図５および図６を参照して、本実施の形態におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置の詳細な構造について説明する。
【００４２】
図５および図６に示すように、本実施の形態におけるクリーニング装置５０Ａにあっては、クリーニングヘッド６０が、吸収体６１と、芯材６２と、ブラケット６３と、負圧ポンプ６８とを主として有している。
【００４３】
芯材６２は、中空筒状の形状を有しており、好ましくは適度な弾性を呈する軟質の樹脂材料からなる部材にて形成されている。芯材６２は、複数の吸引孔６２ａと、これら複数の吸引孔６２ａのそれぞれに連通する吸引路６２ｂとを有している。吸引路６２ｂは、芯材６２の軸方向に延びる中空部にて構成されており、複数の吸引孔６２ａは、芯材６２の外周面に設けられている。
【００４４】
吸収体６１は、複数の吸引孔６２ａが設けられた芯材６２の外周面を覆うように芯材６２に取付けられており、取付け後において中空筒状の外形を有している。吸収体６１としては、たとえばポリエステル製の帯状の編み物が芯材６２の径方向に沿って多層に巻き回されてなる積層体にて構成され、当該帯状の編み物が巻き付けられることで芯材６２に固定されている。なお、編み物に代えて、織布や不織布あるいは連続発泡構造を有するスポンジ等の多孔質部材にて吸収体６１を構成してもよい。特に、スポンジ等にて吸収体６１を構成する場合には、上述した巻き付けによる固定ではなく、中空筒状の外形を有するスポンジ等を直接芯材６２に圧入して固定することとしてもよい。
【００４５】
ブラケット６３は、ブロック状の形状を有しており、その上面に吸収体６１を受け入れ保持する凹部６４を有している。ブラケット６３は、凹部６４に吸収体６１の下部が挿入されることで吸収体６１を保持している。なお、凹部６４は、吸収体６１の下面の形状に対応した形状の表面を有しており、吸収体６１を受け入れた保持した状態において吸収体６１の下面と凹部６４の表面とは接触することになる。
【００４６】
ここで、上述した芯材６２およびブラケット６３は、いずれも吸収体６１を保持するための保持部材に該当し、図６に示すように、本実施の形態におけるクリーニング装置５０Ａにおいては、このうちの芯材６２のみに負圧ポンプ６８が接続されている。
【００４７】
負圧ポンプ６８は、吸収体６１によって吸収されたインクを吸引するための吸引手段であり、吸引管６７を介して芯材６２に接続されている。より詳細には、芯材６２の軸方向の一端側に位置する開口端には、当該開口端を閉塞するためのキャップ６６が取付けられ、芯材６２の軸方向の他端側に位置する開口端には、吸引管６７が接続され、当該吸引管６７を介して負圧ポンプ６８と芯材６２とが接続されている。これにより、負圧ポンプ６８は、吸引管６７、吸引路６２ｂおよび複数の吸引孔６２ａを介して吸収体６１に連通することになる。
【００４８】
ここで、負圧ポンプ６８を駆動した場合には、吸収体６１に面する部分の複数の吸引孔６２ａにおいて負圧が発生することになる。したがって、吸収体６１に吸収されたインクは、当該複数の吸引孔６２ａを介して吸引されて吸引路６２ｂに流入し、当該吸引路６２ｂを流動した後にクリーニングヘッド６０から排出されることになる。なお、図６中においては、当該インクの代表的な流れを矢印にて模式的に表わしている。以上により、本実施の形態におけるクリーニング装置５０Ａにおいては、吸収体６１に蓄積したインクを負圧ポンプ６８を駆動することで吸収体６１から取り除くことを可能にしている。
【００４９】
図７は、本実施の形態におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理を示す模式底面図である。次に、この図７を参照して、本実施の形態におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理について説明する。
【００５０】
図７に示すように、搬送アーム５２（図１参照）によってクリーニングヘッド６０が図中矢印方向に搬送されると、吸収体６１の外周面がノズル面２１ａに接触しながら当該ノズル面２１ａと平行に移動する。このとき、クリーニングヘッド６０は、吸収体６１がノズル面２１ａの全面にわたって接触して当該ノズル面２１ａを通過するように、搬送アーム５２によって移動される。これにより、吸収体６１によってノズル面２１ａに付着した余剰のインクが拭き取られ、ノズル面２１ａの清掃が行なわれる。なお、吸収体６１および芯材６２は、いずれも自在に変形が可能な柔軟な部材にて構成されているため、ノズル面２１ａに接触することで適度にこれら吸収体６１および芯材６２が変形することになり、そのためノズル面２１ａが傷付けられることもない。
【００５１】
ここで、拭き取り時における吸収体６１の移動方向は、上述したノズル面２１ａに平行な方向に限られず、たとえば吸収体６１の軸方向から見た場合に吸収体６１が円弧状の軌道を通過するように移動させてもよい。また、静止するクリーニングヘッド６０に対してインクジェットヘッド２１を移動させることにより、ノズル面２１ａを吸収体６１の外周面に接触させてインクの拭き取りを行なってもよい。
【００５２】
図８は、本実施の形態におけるクリーニング装置を利用した拭き取り処理前のノズル面の状態を示す模式断面図であり、図９は、拭き取り処理中におけるノズル面およびクリーニングヘッドの状態を示す模式断面図であり、図１０は、拭き取り処理後のノズル面の状態を示す模式断面図である。次に、これら図８ないし図１０を参照して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置のノズル面およびクリーニングヘッドの、拭き取り処理の前後および拭き取り処理中における状態について説明する。
【００５３】
図８に示すように、拭き取り処理前においては、インクの吐出工程においてノズル孔２４からインクが吐出されたことに伴ってノズル面２１ａにインク２００が付着している。ノズル面２１ａ付着したインク２００は、特にノズル孔２４に近い領域においてその付着量が多くなり、全体として液膜化した状態となる。ノズル面２１ａに液膜化した余剰のインクが付着した状態のまま、さらにインクの吐出工程が再開されると、可撓板３２（図３参照）の変形に伴う駆動力がノズル面２１ａの表層のインクにまで十分に伝わらず、インク２００が適切に吐出されない問題が生じてしまう。そのため、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ａにおいては、クリーニング装置５０Ａを用いてノズル面２１ａに付着した余剰のインクの拭き取り処理が行なわれる。
【００５４】
図９に示すように、拭き取り処理中においては、吸収体６１の外周面がノズル面２１ａに接触することでインク２００が吸収体６１によって吸収され、吸収されたインク２００は、図中に示す矢印方向に徐々に浸透する。これにより、ノズル面２１ａに付着した余剰のインクの拭き取りが行なわれ、拭き取られたインクは、吸収体６１の内部に蓄積されることになる。
【００５５】
図１０に示すように、拭き取り処理後においては、ノズル面２１ａに付着した余剰のインクが拭き取られ、ノズル孔２４に近い領域においても適度な量のインク２００が残留するのみとなる。これにより、その後、吐出工程が再開された場合にも、可撓板３２（図３参照）の変形に伴う駆動力がノズル面２１ａの表層のインクにまで十分に伝わることになり、インク２００が適切に吐出されるようになる。したがって、上記拭き取り処理を行なうことにより、インク２００の安定的な吐出が可能になる。
【００５６】
以上において説明した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａならびに当該クリーニング装置５０Ａを備えたインクジェット塗布装置１０Ａにあっては、上述したように、吸収体６１を保持する保持部材である芯材６２に吸引孔６２ａおよび吸引路６２ｂが設けられ、これらに連通するように吸引手段である負圧ポンプ６８が設けられている。そのため、負圧ポンプ６８を適宜のタイミングで駆動することにより、吸収体６１に蓄積されたインクを吸収体６１から取り除くことが可能になる。したがって、本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａならびに当該クリーニング装置５０Ａを備えたインクジェット塗布装置１０Ａとすることにより、吸収体６１の吸収性能を長期間にわたって維持することができるようになり、結果として吸収体６１の交換頻度を低くすることが可能になる効果が得られる。
【００５７】
なお、負圧ポンプ６８を駆動するタイミングとしては、インク吐出工程と同時のタイミングのみとされてもよいし、拭き取り処理と同時のタイミングのみとされてもよい。さらには、これら工程とは無関係に、負圧ポンプ６８を常時駆動することとしてもよいし、所定のインターバルで定期的に駆動することとしてもよい。
【００５８】
図１１は、本実施の形態に基づいた第１変形例に係るクリーニングヘッドの模式断面図である。また、図１２は、本実施の形態に基づいた第２変形例に係るクリーニングヘッドの概略斜視図であり、図１３は、図１２に示すＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿ったクリーニングヘッドの模式断面図である。次に、これら図１１ないし図１３を参照して、本実施の形態に基づいた第１変形例および第２変形例に係るクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置について説明する。
【００５９】
図１１に示すように、第１変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｂは、上述した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａとクリーニングヘッド６０に設けられた芯材の構成において相違している。より具体的には、本第１変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｂにおいては、クリーニングヘッド６０に設けられた芯材として、適度な弾性を呈する軟質の樹脂材料からなる中空筒状の芯材６２に加え、比較的剛性を有する硬質の樹脂材料または金属材料からなる中空筒状の芯材６５をさらに有している。
【００６０】
芯材６５は、複数の吸引孔６５ａと、これら複数の吸引孔６５ａのそれぞれに連通する吸引路６５ｂとを有している。吸引路６５ｂは、芯材６５の軸方向に延びる中空部にて構成されており、複数の吸引孔６５ａは、芯材６５の外周面に設けられている。ここで、芯材６５は、上述した芯材６２の内側に位置しており、吸引孔６５ａは、芯材６２の外周面に設けられた吸引孔６２ａに合致する位置に設けられている。
【００６１】
なお、芯材６５の軸方向の一端側に位置する開口端には、当該開口端を閉塞するためのキャップ６６が取付けられ、芯材６５の軸方向の他端側に位置する開口端には、吸引管６７が接続され、当該吸引管６７を介して負圧ポンプ６８と芯材６５とが接続されている。これにより、負圧ポンプ６８は、吸引管６７、吸引路６５ｂ、複数の吸引孔６５ａおよび複数の吸引孔６２ａを介して吸収体６１に連通することになる。
【００６２】
以上において説明した第１変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｂとした場合にも、上述した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａとした場合と同様の効果を得ることができる。ここで、芯材６５は、自在に変形が可能な芯材６２を補強するための部材であり、負圧によって芯材６２が変形して吸引路が閉塞されてしまうことを防止するためのものである。このように構成すれば、芯材６２の厚みを適宜調節することにより、クリーニングヘッド６０のインクジェットヘッドとのノズル面との接触の際の自在変形性を維持しつつ、上述した吸引路の閉塞が防止できることになり、より確実に吸収体６１に吸収されたインクの除去が可能になる。
【００６３】
図１２および図１３に示すように、第２変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｃは、上述した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａと吸引孔が設けられる位置において相違している。より具体的には、本第２変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｃにあっては、吸収体６１を保持する保持部材としての芯材６２およびブラケット６３のうち、芯材６２には吸引孔が設けられておらず、ブラケット６３に吸引孔６４ａが設けられている。
【００６４】
ブラケット６３は、吸収体６１を受け入れ保持する凹部６４の表面に設けられた複数の吸引孔６４ａと、これら複数の吸引孔６４ａのそれぞれに連通する吸引路６４ｂ（図１３参照）とを有している。吸引路６４ｂは、ブラケット６３の内部に設けられており、当該吸引路６４ｂの端部には、負圧ポンプ６８が接続されている。これにより、負圧ポンプ６８は、吸引路６４ｂおよび複数の吸引孔６４ａを介して吸収体６１に連通することになる。
【００６５】
ここで、負圧ポンプ６８を駆動した場合には、吸収体６１に面する部分の複数の吸引孔６４ａにおいて負圧が発生することになる。したがって、吸収体６１に吸収されたインクは、当該複数の吸引孔６４ａを介して吸引されて吸引路６４ｂに流入し、当該吸引路６４ｂを流動した後にクリーニングヘッド６０から排出されることになる。なお、図１３中においては、当該インクの代表的な流れを矢印にて模式的に表わしている。
【００６６】
以上において説明した本第２変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｃとした場合にも、吸収体６１に蓄積したインクを負圧ポンプ６８を駆動することで吸収体６１から取り除くことが可能になる。したがって、本第２変形例に係るクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｃとすることにより、上述した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａとした場合と同様の効果を得ることができる。
【００６７】
なお、以上において説明した本発明の実施の形態１およびその変形例においては、クリーニングヘッドに具備される吸収体がいずれも芯材とブラケットとによって保持された場合を例示して説明を行なったが、いずれか一方の保持部材みによって吸収体が保持される構成とされていてもよい。ただし、その場合には、当該いずれか一方の保持部材に吸引孔が設けられ、当該保持部材に吸引手段としての負圧ポンプが接続されることが必要である。また、ブラケットのみによって吸収体を保持する構成とした場合には、吸収体の形状は上述した如くの中空筒状である必要はなく、ブロック状や厚板状、湾曲板状等、種々の形状とすることができる。
【００６８】
（実施の形態２）
図１４は、本発明の実施の形態２におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置の概略側面図である。以下においては、図１４を参照して、本実の形態におけるクリーニングヘッドおよびこれを備えたクリーニング装置ならびに当該クリーニング装置を備えたインクジェット塗布装置について説明する。
【００６９】
図１４に示すように、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ｂは、上述した本発明の実施の形態１におけるインクジェット塗布装置１０Ａとクリーニングヘッド６０およびクリーニング装置５０Ｄの構成においてのみ相違している。本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０Ｂに具備されたクリーニング装置５０Ｄのクリーニングヘッド６０は、帯状の吸収体６１と、一対の回転体としてのリール６９Ａ，６９Ｂと、押付けローラ７０とを有している。
【００７０】
リール６９Ａ，６９Ｂは、帯状の吸収体６１を保持するための保持部材に相当し、支持部５１に回転可能に取付けられている。リール６９Ａ，６９Ｂは、図示しない駆動手段によってその回転方向が順逆２方向に制御されるものであり、帯状の吸収体６１を相互に巻き取りおよび送り出しするものである。
【００７１】
帯状の吸収体６１は、たとえばポリエステル製の編み物にて構成されており、一対のリール６９Ａ，６９Ｂのそれぞれにその長手方向の端部が固定されている。これにより、帯状の吸収体６１は、一対のリール６９Ａ，６９Ｂが回転することでその巻き取りおよび送り出しが行なわれ、その一部が常に繰り出された状態となる。なお、編み物に代えて、織布や不織布あるいは連続発泡構造を有するスポンジ等の多孔質部材にて帯状の吸収体６１を構成してもよい。
【００７２】
押付けローラ７０は、帯状の吸収体６１の繰り出された部分をインクジェットヘッド２１のノズル面２１ａに向けて押付けるための部材であり、支持部５１に回転可能に取付けられている。より詳細には、押付けローラ７０は、拭き取り処理時において帯状の吸収体６１の繰り出された部分をノズル面２１ａとの間に挟みこみ、これにより帯状の吸収体６１をノズル面２１ａに接触させることでノズル面２１ａに付着した余剰のインクの拭き取りを行なう。
【００７３】
なお、本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｄにあっては、上述したようにリール６９Ａ，６９Ｂが図示しない駆動手段によってその回転方向が順逆２方向に制御されるため、その回転方向が適宜調節されることにより、帯状の吸収体６１は、図中矢印Ｃ方向に行き来することになる。すなわち、帯状の吸収体６１が繰り返し拭き取り処理に使用されることになる。
【００７４】
ここで、本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｄにあっては、その具体的な図示は省略するが、上述した一対のリール６９Ａ，６９Ｂのシャフト部分の少なくとも一方が、上述した本発明の実施の形態１における芯材６２の構成（すなわち、図５および図６に示す構成）と同様の構成とされており、当該シャフト部分に負圧ポンプが接続されている。すなわち、上述した一対のリール６９Ａ，６９Ｂのシャフト部分の少なくとも一方の外周面に吸引孔が設けられ、当該吸引孔を覆うように帯状の吸収体６１が巻き付けられるようにし、当該吸引孔を介してインクを帯状の吸収体６１から吸引して取り除くことが可能となるように構成されている。
【００７５】
以上において説明した本実施の形態におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ｄならびに当該クリーニング装置５０Ｄを備えたインクジェット塗布装置１０Ｂとした場合にも、上述した本発明の実施の形態１におけるクリーニングヘッド６０およびこれを備えたクリーニング装置５０Ａならびに当該クリーニング装置５０Ａを備えたインクジェット塗布装置１０Ａとした場合と同様の効果を得ることができる。
【００７６】
なお、以上において説明した本発明の実施の形態およびその変形例において示した特徴的な構成は、装置構成上、許容される範囲で当然に相互に組み合わせることが可能である。
【００７７】
また、以上において説明した実施の形態およびその変形例においては、液晶パネルの製造工程に含まれる配向膜の製造工程において使用されるインクジェット塗布装置およびこれに具備されるクリーニングヘッドおよびクリーニング装置に本発明を適用した場合を例示して説明を行なったが、レジスト膜等、他の機能性膜の製造工程において使用されるインクジェット塗布装置およびこれに具備されるクリーニングヘッドおよびクリーニング装置にも本発明の適用が当然に可能である。
【００７８】
このように、今回開示した上記各実施の形態およびその変形例はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００７９】
１０Ａ，１０Ｂ  インクジェット塗布装置、１１  載置台、１２  搬送アーム、２０  インク塗布部、２１  インクジェットヘッド、２１ａ  ノズル面、２２  ヘッド本体、２３  ノズル板、２４  ノズル孔、２５  インク室、２６  枝管、２７  インク供給室、２８  インク供給管、２９  開口部、３０  駆動部、３１  ピエゾ素子、３２  可撓板、５０Ａ〜５０Ｄ  クリーニング装置、５１  支持部、５２  搬送アーム、６０  クリーニングヘッド、６１  吸収体、６２  芯材、６２ａ  吸引孔、６２ｂ  吸引路、６３  ブラケット、６４  凹部、６４ａ  吸引孔、６４ｂ  吸引路、６５  芯材、６５ａ  吸引孔、６５ｂ  吸引路、６６  キャップ、６７  吸引管、６８  負圧ポンプ、６９Ａ，６９Ｂ  リール、７０  押付けローラ、１００  ガラス基板、１０１  主表面、２００  インク。
【図１】
2013166085.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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