(57)【要約】【課題】製造コストの低減を図りつつ、搬送対象に保持部を所望の押圧力で確実に押し付ける。【解決手段】シリンダー２１およびピストン２２を有して構成された流体移動部、絞り量可変型の絞り機構２３、および搬送対象を保持する保持部を備え、シリンダー２１に連結された移動機構によって流体移動部が矢印Ａ１の向きとは逆向きに移動させられてピストン２２に連結された保持部が搬送対象に当接させられた状態からシリンダー２１が矢印Ａ１の向きとは逆向きにさらに移動させられてシリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ１の向きに相対的に摺動させられたときに上側気室Ｓ１からエアホース５１ａ内に空気を移動させる第１移動処理およびエアホース５１ｂから下側気室Ｓ２内に空気を移動させる第２移動処理の両処理によって移動させられる空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗によって保持部を搬送対象に押し付ける押圧力を生じさせる。【選択図】図２
2013254808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダーおよびピストンを有すると共に、当該シリンダーに対して当該ピストンが第１の向きに相対的に摺動させられることによって当該シリンダーの内部から当該シリンダーの外部に流体を移動させる第１移動処理および当該シリンダーの外部から当該シリンダーの内部に流体を移動させる第２移動処理の少なくとも一方を実行し、かつ前記ピストンが前記第１の向きとは逆向きの第２の向きに相対的に摺動させられることによって前記第１移動処理および前記第２移動処理の少なくとも他方を実行する流体移動部と、
前記流体移動部によって移動させられる前記流体が通過可能な絞り量可変型の絞り機構と、
搬送対象を保持する保持部とを備え、
前記シリンダーおよび前記ピストンのいずれか一方に連結された移動機構によって前記流体移動部が前記第１の向きとは逆向きに移動させられて前記シリンダーおよび前記ピストンの他方に連結された前記保持部が前記搬送対象に当接させられた状態から前記いずれか一方が前記逆向きにさらに移動させられて前記ピストンが前記第１の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも一方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の通過抵抗によって当該保持部を当該搬送対象に押し付ける押圧力を生じさせるように構成されている保持装置。
【請求項２】
前記絞り機構は、前記ピストンが前記第１の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも一方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の第１の通過抵抗よりも、前記ピストンが前記第２の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも他方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の第２の通過抵抗の方が小さくなるように構成されている請求項１記載の保持装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記ピストンに連結されている請求項１または２記載の保持装置。
【請求項４】
前記保持部は、前記搬送対象を吸着して保持する吸着保持部を備えている請求項１から３のいずれかに記載の保持装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の保持装置と当該保持装置が連結された前記移動機構とを備え、前記搬送対象を保持した状態の前記保持装置を前記移動機構によって移動させることによって当該搬送対象を搬送可能に構成されている搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象を吸着して保持する保持装置、およびそのような保持装置を備えて搬送対象を搬送可能に構成された搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品や回路基板等などを吸着保持部によって保持して搬送するタイプの搬送装置のなかには、吸着保持部と移動機構との間に弦巻バネ等の弾性体を介在させることで、搬送対象に対して吸着保持部を十分な力で押し付け可能としつつ、過剰に強い押圧力が加わって搬送対象が破損する事態を回避するように構成された装置が存在する。しかしながら、そのような構成の搬送装置では、どのような搬送対象に対しても、付勢部材の付勢力に応じた一定の力で吸着保持部が押し付けられることとなる。したがって、破損を招き易い物品を搬送対象とする際には、付勢力が小さい付勢部材を配設することで押圧力を低下させ、例えば、吸着面が梨地加工されている物品（吸着し難い物品）の搬送に際して吸着保持部を十分に強い力で押し付ける必要があるときには、付勢力が大きい付勢部材を配設することで押圧力を増加させる必要が生じている。このため、このような構成の搬送装置（保持装置）では、搬送対象に応じて付勢部材を交換する作業が非常に煩雑になっているという現状がある。
【０００３】
一方、特開平１０−２７９９６号公報に開示されている電子部品装着装置（以下、単に「装着装置」ともいう）では、弦巻バネ等で構成された弾性体に代えて流体（空気）を使用すると共に、この流体の圧力を任意に変化させることで所望の押圧力を生じさせる構成が採用されている。具体的には、この装着装置において採用されている吸着ノズルユニットは、電子部品を吸着して保持する吸着ノズル、流体を用いて吸着ノズルを下方向（電子部品）に向けて押圧する押圧部、押圧部の押圧力（付勢力）を切り替える流体圧力切り替え部、圧力切替え部による押圧力の切り替えタイミングを制御するタイミング切り替え部、および流体圧力切り替え部等を制御する圧力制御部を備えて構成されている。
【０００４】
この装着装置では、移動機構によって吸着ノズルユニットが移動させられることで吸着ノズルが電子部品に押し付けられた際に押圧部内に生じる圧力を、流体圧力切り替え部がタイミング切り替え部および圧力制御部の制御に従って任意に変化させることにより、電子部品に対して吸着ノズルを押し付ける押圧力を所望の力に調整する構成が採用されている。これにより、この装着装置では、付勢部材を交換する作業を行うことなく、搬送対象の電子部品の品種に応じて吸着ノズルを押し付ける押圧力を変化させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２７９９６号公報（第２−４頁、第１−９図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記の装着装置およびその吸着ノズルユニットには、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の吸着ノズルユニットでは、電子部品に対して吸着ノズルを押し付けた際に押圧部内に生じる圧力を任意に変化させることで、電子部品に対して吸着ノズルを押し付ける押圧力を調整する構成が採用されている。このため、従来の吸着ノズルユニットでは、圧力を変化させるための電空レギュレータ（フラッパ、オリフィス、ダイヤフラム、排気弁およびバルブ等を備えて構成された圧力調整機構）、変化させた圧力を検出するための圧力センサ、および圧力センサによる検出圧力に応じて電空レギュレータを制御するコントローラなどの複雑な構成要素が必要となっている。この結果、従来の装着装置では、吸着ノズルユニットの構成が複雑であることに起因して、その製造コストの低減が困難であるだけでなく、構成部品が多い電空レギュレータ等が動作不良を招き易いことに起因して、所望の押圧力で吸着ノズルを対象物に押し付けることができなくなるおそれがあるという問題点が存在する。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、製造コストの低減を図りつつ、搬送対象に対して保持部を所望の押圧力で確実に押し付け可能な保持装置および搬送装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の保持装置は、シリンダーおよびピストンを有すると共に、当該シリンダーに対して当該ピストンが第１の向きに相対的に摺動させられることによって当該シリンダーの内部から当該シリンダーの外部に流体を移動させる第１移動処理および当該シリンダーの外部から当該シリンダーの内部に流体を移動させる第２移動処理の少なくとも一方を実行し、かつ前記ピストンが前記第１の向きとは逆向きの第２の向きに相対的に摺動させられることによって前記第１移動処理および前記第２移動処理の少なくとも他方を実行する流体移動部と、前記流体移動部によって移動させられる前記流体が通過可能な絞り量可変型の絞り機構と、搬送対象を保持する保持部とを備え、前記シリンダーおよび前記ピストンのいずれか一方に連結された移動機構によって前記流体移動部が前記第１の向きとは逆向きに移動させられて前記シリンダーおよび前記ピストンの他方に連結された前記保持部が前記搬送対象に当接させられた状態から前記いずれか一方が前記逆向きにさらに移動させられて前記ピストンが前記第１の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも一方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の通過抵抗によって当該保持部を当該搬送対象に押し付ける押圧力を生じさせるように構成されている。
【０００９】
また、請求項２記載の保持装置は、請求項１記載の保持装置において、前記絞り機構は、前記ピストンが前記第１の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも一方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の第１の通過抵抗よりも、前記ピストンが前記第２の向きに相対的に摺動させられたときに前記少なくとも他方の移動処理によって移動させられる前記流体が前記絞り機構を通過する際の第２の通過抵抗の方が小さくなるように構成されている。
【００１０】
さらに、請求項３記載の保持装置は、請求項１または２記載の保持装置において、前記保持部は、前記ピストンに連結されている。
【００１１】
また、請求項４記載の保持装置は、請求項１から３のいずれかに記載の保持装置において、前記保持部は、前記搬送対象を吸着して保持する吸着保持部を備えている。
【００１２】
また、請求項５記載の搬送装置は、請求項１から４のいずれかに記載の保持装置と当該保持装置が連結された前記移動機構とを備え、前記搬送対象を保持した状態の前記保持装置を前記移動機構によって移動させることによって当該搬送対象を搬送可能に構成されている。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の保持装置では、移動機構によって流体移動部が第１の向きとは逆向きに移動させられて保持部が搬送対象に当接させられた状態からシリンダーおよびピストンのうちの移動機構に連結されている一方が第１の向きとは逆向きに移動させられてシリンダーに対してピストンが第１の向きに相対的に摺動させられたときに、シリンダーの内部からシリンダーの外部に流体を移動させる第１移動処理、およびシリンダーの外部からシリンダーの内部に流体を移動させる第２移動処理の少なくとも一方によって移動させられる流体が絞り機構を通過する際の通過抵抗によって保持部を搬送対象に押し付ける押圧力を生じさせる。また、請求項５記載の搬送装置では、上記の保持装置と移動機構とを備えて、搬送対象を保持した状態の保持装置を移動機構によって移動させることによって搬送対象を搬送可能に構成されている。
【００１４】
したがって、請求項１記載の保持装置、および請求項５記載の搬送装置によれば、電空レギュレータ、圧力センサおよびコントローラなどの複雑な構成要素を必要とする従来の装着装置における吸着ノズルユニットとは異なり、絞り機構の絞り量を調整するだけで、搬送対象の種類に応じた任意（所望）の押圧力を生じさせることができる。また、非常に簡易な構成で任意の押圧力を生じさせることができるため、動作不良の発生を好適に回避することができる。このため、請求項１記載の保持装置、および請求項５記載の搬送装置によれば、製造コストを十分に低減することができるだけでなく、過剰に強い押圧力で保持部が押し付けられることに起因する搬送対象の破損や、吸着時における押圧力の不足に起因する搬送対象の保持不良を招くことなく、搬送対象を確実に搬送することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の保持装置によれば、ピストンが第１の向きに相対的に摺動させられたときに少なくとも一方の移動処理によって移動させられる流体が絞り機構を通過する際の第１の通過抵抗よりも、ピストンが第２の向きに相対的に摺動させられたときに少なくとも他方の移動処理によって移動させられる流体が絞り機構を通過する際の第２の通過抵抗の方が小さくなるように絞り機構を構成したことにより、押圧力を生じさせるためにシリンダーに対して相対的に摺動させられたピストンを、押圧力を生じさせる以前の位置（再び押圧力を生じさせることができる位置）に速やかに移動させることができるため、いずれかの搬送対象を吸着保持して搬送した後に他の搬送対象を直ちに吸着保持することができる。
【００１６】
さらに、請求項３記載の保持装置によれば、保持部をピストンに連結したことにより、シリンダーよりも軽量なピストンと共に保持部が移動するため、搬送対象に対して保持部が当接する際の衝撃を十分に軽減することができる。
【００１７】
また、請求項４記載の保持装置によれば、搬送対象を吸着して保持する吸着保持部を備えて保持部を構成したことにより、搬送対象を傷付けることなく保持して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】搬送装置１の構成図である。
【図２】吸着保持具１０における押圧力発生部１１の断面図である。
【図３】非押圧状態における押圧力発生部１１の断面図である。
【図４】押圧状態における押圧力発生部１１の断面図である。
【図５】吸着保持具１０Ａにおける押圧力発生部１１ａの断面図である。
【図６】吸着保持具１０Ｂにおける押圧力発生部１１ｂの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る保持装置および搬送装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示す搬送装置１は、「搬送装置」の一例であって、回路基板や電子部品などの搬送対象Ｘを吸着保持して任意の位置から他の任意の位置に搬送することができるように構成されている。具体的には、搬送装置１は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２、吸引ポンプ３、制御部４および吸着保持具１０を備えて構成されている。Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２は、「移動機構」の一例であって、制御部４の制御に従って吸着保持具１０を任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる。吸引ポンプ３は、エアホース１３を介して吸着保持具１０（後述する吸着保持部１２）に接続されており、制御部４の制御に従って吸着保持部１２と搬送対象Ｘとの間の空気を吸引することで搬送対象Ｘを吸着保持部１２に吸着させる。制御部４は、吸着保持具１０を総括的に制御する。具体的には、制御部４は、吸引ポンプ３を制御して吸着保持部１２に搬送対象Ｘを吸着させると共に、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御して、搬送対象Ｘを保持した状態の吸着保持具１０を任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させることで搬送対象Ｘを搬送させる。
【００２１】
一方、吸着保持具１０は、「保持装置」の一例であって、押圧力発生部１１および吸着保持部１２を備えて構成されている。押圧力発生部１１は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２と吸着保持部１２との間に配設されて、搬送対象Ｘに対して吸着保持部１２を押し付ける際の押圧力を調整する機構であって、図２に示すように、シリンダー２１、ピストン２２および絞り機構２３を備えている。シリンダー２１は、円筒状の筒状部３１、円板状の天板３２、および円板状の底板３３を備えてピストン２２を収容可能に構成されている。ピストン２２は、その外径がシリンダー２１における筒状部３１の内径と同程度の円柱状に形成されてシリンダー２１の長手方向（矢印Ａ１，Ａ２の向き）に沿って摺動可能にシリンダー２１内に収容されている。この場合、本例の吸着保持具１０では、上記のシリンダー２１およびピストン２２によって「流体移動部」が構成されている。
【００２２】
また、この吸着保持具１０では、ピストン２２の外周面とシリンダー２１の内周面との間に生じる隙間を閉塞するためのシーリングがピストン２２の外周面に配設されている。さらに、本例の吸着保持具１０では、シリンダー２１内にピストン２２が収容された状態において、筒状部３１における天板３２側の部位、天板３２およびピストン２２の上面によってシリンダー２１内に上側気室Ｓ１が形成されると共に、筒状部３１における底板３３側の部位、底板３３およびピストン２２の下面によってシリンダー２１内に下側気室Ｓ２が形成されている。この場合、本例の吸着保持具１０では、シリンダー２１内のピストン２２に吸着保持部１２を連結するための一対のロッド４１，４１および取付け用ステージ４２がピストン２２の下端面に配設されている。したがって、この吸着保持具１０では、両ロッド４１を挿通可能な一対の小孔が底板３３に形成されている。
【００２３】
また、本例の吸着保持具１０では、上側気室Ｓ１に連通させるようにしてエアホース５１ａが配設されると共に下側気室Ｓ２に連通させるようにしてエアホース５１ｂが配設され、このエアホース５１ａ，５１ｂを介して絞り機構２３がシリンダー２１（上側気室Ｓ１および下側気室Ｓ２）に接続されている。この場合、本例の吸着保持具１０では、一例として、エアホース５１ａを接続するための吸排気孔３１ａが筒状部３１における天板３２側の部位に形成されると共に、エアホース５１ｂを接続するための吸排気孔３１ｂが筒状部３１における底板３３側の部位に形成されているが、吸排気孔３１ａを天板３２に設けたり、吸排気孔３１ｂを底板３３に設けたりすることもできる。
【００２４】
絞り機構２３は、「絞り量可変型の絞り機構」の一例であって、一例として、インラインタイプの一方向性流量可変型スピードコントローラで構成されている。この場合、本例の吸着保持具１０では、後述するように、シリンダー２１に対するピストン２２の矢印Ａ１の向き（「第１の向き」の一例）への相対的な摺動によって「流体」の一例である空気が移動させられるときに、この空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きに通過する際の通過抵抗によって吸着保持部１２を搬送対象Ｘに押し付ける押圧力を生じさせる構成が採用されている。また、本例の吸着保持具１０では、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な摺動に伴って移動する空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きに通過する際の通過抵抗を調整用ノブ５２の操作によって変更することができるように絞り機構２３が取り付けられている。
【００２５】
さらに、この吸着保持具１０では、上記したように、絞り機構２３が一方向性のスピードコントローラで構成されているため、シリンダー２１に対するピストン２２の矢印Ａ２の向き（「第２の向き」の一例）への相対的な摺動に伴って移動する空気が絞り機構２３を矢印Ｂ２の向きに通過する際の通過抵抗が極く小さな抵抗となっている。したがって、この吸着保持具１０では、移動させられた空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きに通過する際の通過抵抗を調整用ノブ５２の操作によって適宜調整することにより、空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きに通過させられる際の通過抵抗（「第１の通過抵抗」の一例）よりも、空気が絞り機構２３を矢印Ｂ２の向きに通過させられる際の通過抵抗（「第２の通過抵抗」の一例）の方が小さくなっている。
【００２６】
吸着保持部１２は、「保持部」に相当し、一例として、エアホース１３を介して吸引ポンプ３に連結された一対の吸着パッド（図示せず）を備えて、搬送対象Ｘを吸着して保持することができるように構成されている。この場合、本例の吸着保持具１０では、シリンダー２１における天板３２にＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２が連結されている（「シリンダーおよびピストンのいずれか一方」が「シリンダー」の構成の一例）。また、本例の吸着保持具１０では、上記の取付け用ステージ４２に吸着保持部１２が取り付けられることにより、取付け用ステージ４２および一対のロッド４１を介してピストン２２に吸着保持部１２が連結される構成が採用されている（「シリンダーおよびピストンの他方」が「ピストン」の構成の一例）。
【００２７】
この搬送装置１によって搬送対象Ｘを搬送する際には、まず、後述するように吸着保持具１０の押圧力発生部１１において所望の押圧力を生じさせることができるように、搬送対象Ｘに応じて絞り機構２３の調整用ノブ５２を操作して矢印Ｂ１の向きへの空気の通過抵抗を調整する。なお、通過抵抗の調整作業に関しては、後に詳細に説明する。次いで、図示しない操作部のスタートスイッチが操作されたときに、制御部４が、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御して吸着保持具１０を搬送対象Ｘの上方に移動させる。この際には、図３に示すように、ピストン２２、ロッド４１，４１、取付け用ステージ４２および吸着保持部１２の自重によって、ピストン２２がシリンダー２１内の最下端部に位置した状態（ピストン２２が底板３３に接した状態）となる。
【００２８】
次いで、制御部４は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御して吸着保持具１０を搬送対象Ｘに向けて下降させる（矢印Ａ２の向きで移動させる：「第１の向きとは逆向き」への移動の一例）。この際には、吸着保持具１０の下降に伴い、ロッド４１，４１および取付け用ステージ４２を介してピストン２２に連結されている吸着保持部１２が搬送対象Ｘの上面に当接させられる。また、制御部４は、一例として、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によって吸着保持具１０を矢印Ａ２の向きで移動させるのとほぼ同時に、吸引ポンプ３を制御して吸引を開始させる。また、この状態においてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２によってシリンダー２１が矢印Ａ２の向きにさらに移動させられたときには、図４に示すように、搬送対象Ｘに当接させた吸着保持部１２に連結されているピストン２２がシリンダー２１に対して矢印Ａ１の向き（第１の向き）に相対的に摺動させられる。
【００２９】
この場合、この吸着保持具１０では、矢印Ａ１の向きへのピストン２２の相対的な摺動に伴い、上側気室Ｓ１内の空気がシリンダー２１の内部から吸排気孔３１ａを通過してエアホース５１ａ内（「シリンダーの外部」の一例）に移動させられ、この空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きで通過させられてエアホース５１ｂ内に流入する（シリンダー２１の内部からシリンダー２１の外部への空気の排出：「第１移動処理」の一例）。また、この吸着保持具１０では、上側気室Ｓ１からエアホース５１ａ内への空気の移動と並行して、エアホース５１ａ内の空気が絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きで通過させられてエアホース５１ｂ内に流入し、このエアホース５１ｂ内（「シリンダーの外部」の一例）の空気が吸排気孔３１ｂを通過してシリンダー２１の内部の下側気室Ｓ２に移動させられる（シリンダー２１の外部からシリンダー２１内部への空気の流入：「第２移動処理」の一例）。
【００３０】
この際に、この吸着保持具１０では、搬送対象Ｘの搬送処理の開始に先立ち、矢印Ｂ１の向きで空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗が調整用ノブ５２の操作によって調整されている。具体的には、例えば、過剰に強い力で吸着保持部１２が押し付けられたときに破損を招くおそれがある搬送対象Ｘの搬送に際しては、矢印Ｂ１の向きでの通過抵抗が小さくなるように絞り機構２３の絞り量を調整しておく。このように調整された状態においては、矢印Ｂ１の向きで絞り機構２３を空気が通過し易くなる（エアホース５１ａからエアホース５１ｂに空気が移動し易くなる）ため、上側気室Ｓ１からエアホース５１ａ内に空気が移動し易くなり、かつ、エアホース５１ｂから下側気室Ｓ２に空気が移動し易くなる。これにより、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ１の向きに相対的に摺動し易くなるため、押圧力発生部１１において生じる押圧力が十分に弱くなる。したがって、取付け用ステージ４２に取り付けられている吸着保持部１２が搬送対象Ｘに対して過剰に強い力で押し付けられる事態を招くことなく、空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗に応じた必要十分な押圧力で吸着保持部１２が搬送対象Ｘに押し付けられる。
【００３１】
また、吸着保持部１２をある程度強い力で押し付けたとしても破損を招くおそれがないものの、例えば、吸着保持部１２が当接させられる面が梨地加工されるなどして吸着保持部１２による吸着保持に際して十に強い押圧力で吸着保持部１２を押し付ける必要がある搬送対象Ｘの搬送に際しては、矢印Ｂ１の向きでの通過抵抗が大きくなるように絞り機構２３の絞り量を調整しておく。このように調整された状態においては、矢印Ｂ１の向きで絞り機構２３を空気が通過し難くなる（エアホース５１ａからエアホース５１ｂに空気が移動し難くなる）ため、上側気室Ｓ１からエアホース５１ａ内に空気が移動し難くなり、かつ、エアホース５１ｂから下側気室Ｓ２に空気が移動し難くなる。これにより、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ１の向きに相対的に摺動し難くなるため、押圧力発生部１１において生じる押圧力が十分に強くなる。したがって、空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗に応じた十分強い押圧力で吸着保持部１２が搬送対象Ｘに押し付けられる。
【００３２】
この場合、この吸着保持具１０では、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な摺動速度、すなわち、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によってシリンダー２１を移動させる移動速度を一定に保つことで、絞り機構２３を通過する空気の通過速度を一定にすることができ、これにより、空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗が一定となって、通過抵抗に応じて生じる押圧力を一定に保つことが可能となっている。また、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な移動に伴って移動させられる空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗によって吸着保持部１２を搬送対象Ｘに押し付ける押圧力を生じさせるこの吸着保持具１０では、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な摺動が停止するまで、すなわち、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によってシリンダー２１が搬送対象Ｘに向けて移動させられている間だけ、通過抵抗に応じた押圧力が生じることとなる。したがって、吸着保持部１２による搬送対象Ｘの吸着保持が完了した時点においてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２によるシリンダー２１の移動を停止させるだけで、搬送対象Ｘに対する矢印Ａ２の向きでの吸着保持部１２の押し付けを停止させることが可能となっている。
【００３３】
なお、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な摺動によってピストン２２の上端面がシリンダー２１における天板３２の内面に当接したときには、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２がシリンダー２１を矢印Ａ２の向きに移動させようとする力がピストン２２、ロッド４１，４１、取付け用ステージ４２および吸着保持部１２を介して搬送対象Ｘに直接的に伝達されることとなる。したがって、図４に示すように、ピストン２２と天板３２との間に隙間が生じている状態（ピストン２２の上端面が天板３２に当接する以前の状態）においてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２によるシリンダー２１の移動を停止させるのが好ましい。また、この吸着保持具１０では、前述したように、シリンダー２１に対するピストン２２の相対的な摺動が停止したとき、すなわち、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によるシリンダー２１の移動が停止したときに、吸着保持部１２を搬送対象Ｘに向けて押し付ける押圧力が消失するため、吸着保持部１２が搬送対象Ｘに当接してから、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によるシリンダー２１の移動を停止するまでの間に吸着保持部１２による搬送対象Ｘの吸着保持を完了させる必要がある。
【００３４】
一方、搬送対象Ｘに対して必要十分な押圧力で吸着保持部１２が押し付けられた状態では、吸着保持部１２と搬送対象Ｘとの間の空気がエアホース１３を介して吸引ポンプ３によって吸引されているため、吸着保持部１２（吸着パッド）によって搬送対象Ｘが吸着されて保持される。また、吸着保持部１２による搬送対象Ｘの吸着保持が完了したときに、制御部４は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御してシリンダー２１を矢印Ａ１の向きに移動させる。この際には、矢印Ａ１の向きへのシリンダー２１の移動に伴い、ピストン２２、ロッド４１，４１、取付け用ステージ４２、吸着保持部１２および搬送対象Ｘの自重によってピストン２２がシリンダー２１に対して矢印Ａ２の向きに相対的に摺動させられて、図３に示すように、ピストン２２の下端面が底板３３に接した状態となる。
【００３５】
この場合、この吸着保持具１０では、ピストン２２の矢印Ａ２の向きへの相対的な摺動に伴い、下側気室Ｓ２内の空気がシリンダー２１の内部から吸排気孔３１ｂを通過してエアホース５１ｂ内（「シリンダーの外部」の一例）に移動させられ（「第１移動処理」の他の一例）、この空気が絞り機構２３を矢印Ｂ２の向きで通過させられてエアホース５１ａ内に流入すると共に、エアホース５１ｂ内の空気が絞り機構２３を矢印Ｂ２の向きで通過させられてエアホース５１ａ内に流入し、このエアホース５１ａ内（「シリンダーの外部」の一例）の空気が吸排気孔３１ａを通過してシリンダー２１の内部の上側気室Ｓ１に移動させられる（「第２移動処理」の他の一例）。
【００３６】
この際に、この吸着保持具１０では、前述したように、絞り機構２３が一方向性のスピードコントローラで構成されて、絞り機構２３を矢印Ｂ２の向きで空気が通過する際の通過抵抗が極く小さな抵抗となっている。したがって、この吸着保持具１０では、矢印Ｂ２の向きで絞り機構２３を空気が通過し易くなっている（エアホース５１ｂからエアホース５１ａに空気が移動し易くなっている）ため、下側気室Ｓ２からエアホース５１ｂに空気がスムーズに移動し、かつ、エアホース５１ａから上側気室Ｓ１内に空気がスムーズに移動する。これにより、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ２の向きにスムーズに摺動して、ピストン２２の下端面が底板３３に当接した状態となる。
【００３７】
次いで、制御部４は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御して搬送対象Ｘを保持している吸着保持具１０を予め規定された搬送位置の上方に移動させた後に、吸着保持具１０（シリンダー２１）を矢印Ａ２の向きで移動（下降）させる。この際に、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２による吸着保持具１０の移動速度（下降速度）を十分に低下させることにより、吸着保持部１２によって吸着保持されている搬送対象Ｘが搬送位置に接した時点以降において、搬送対象Ｘに対して吸着保持部１２が過剰に強い押圧力で押し付けられたり、搬送対象Ｘが搬送位置の載置面に過剰に強い押圧力で押し付けられたりする事態が回避される。この後、制御部４は、吸引ポンプ３を制御して吸引を停止させることにより、吸着保持部１２による搬送対象Ｘの吸着保持を解除し、その後に、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２を制御して吸着保持具１０を矢印Ａ１の向きに移動（上動）させる。これにより、搬送対象Ｘの搬送が完了する。
【００３８】
このように、この吸着保持具１０では、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構２によって「流体移動部（シリンダー２１およびピストン２２）」が「第１の向き（図３における矢印Ａ１の向き）とは逆向き」に移動させられて吸着保持部１２が搬送対象Ｘに当接させられた状態からシリンダー２１が「第１の向きとは逆向き」に移動させられてシリンダー２１に対してピストン２２が「第１の向き」に相対的に摺動させられたときに、シリンダー２１の内部（上側気室Ｓ１）からシリンダー２１の外部（エアホース５１ａ内）に空気を移動させる「第１移動処理」、およびシリンダー２１の外部（エアホース５１ｂ内）からシリンダー２１の内部（下側気室Ｓ２）に空気を移動させる「第２移動処理」の少なくとも一方（本例では双方）によって移動させられる空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗によって吸着保持部１２を搬送対象Ｘに押し付ける押圧力を生じさせる。また、この搬送装置１では、上記の吸着保持具１０とＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２とを備えて、搬送対象Ｘを保持した状態の吸着保持具１０をＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２によって移動させることによって搬送対象Ｘを搬送可能に構成されている。
【００３９】
したがって、この吸着保持具１０、および搬送装置１によれば、電空レギュレータ、圧力センサおよびコントローラなどの複雑な構成要素を必要とする従来の装着装置における吸着ノズルユニットとは異なり、絞り機構２３の調整用ノブ５２を操作するだけで、搬送対象Ｘの種類に応じた任意（所望）の押圧力を生じさせることができる。また、非常に簡易な構成で任意の押圧力を生じさせることができるため、動作不良の発生を好適に回避することができる。このため、この吸着保持具１０、および搬送装置１によれば、製造コストを十分に低減することができるだけでなく、過剰に強い押圧力で吸着保持部１２が押し付けられることに起因する搬送対象Ｘの破損や、吸着時における押圧力の不足に起因する搬送対象Ｘの保持不良を招くことなく、搬送対象Ｘを確実に搬送することができる。
【００４０】
また、この吸着保持具１０によれば、ピストン２２が「第１の向き（図３における矢印Ａ１の向き）」に相対的に摺動させられたときに上記の「第１移動処理」および「第２移動処理」の少なくとも一方（本例では、双方）によって移動させられる空気が絞り機構２３を通過する際の「第１の通過抵抗」よりも、ピストン２２が「第２の向き（図４における矢印Ａ２の向き）」に相対的に摺動させられたときに上記の「第１移動処理」および「第２移動処理」の少なくとも他方（本例では、双方）によって移動させられる空気が絞り機構２３を通過する際の「第２の通過抵抗」の方が小さくなるように絞り機構２３を構成したことにより、押圧力を生じさせるためにシリンダー２１に対して相対的に摺動させられたピストン２２を、押圧力を生じさせる以前の位置（再び押圧力を生じさせることができる位置：シリンダー２１の底板３３に接する位置）に速やかに移動させることができるため、いずれかの搬送対象Ｘを吸着保持して搬送した後に他の搬送対象Ｘを直ちに吸着保持することができる。
【００４１】
さらに、この吸着保持具１０によれば、吸着保持部１２をピストン２２に連結したことにより、シリンダー２１よりも軽量なピストン２２と共に吸着保持部１２が移動するため、搬送対象Ｘに対して吸着保持部１２が当接する際の衝撃を十分に軽減することができる。
【００４２】
また、この吸着保持具１０によれば、搬送対象Ｘを吸着して保持する吸着保持部１２を備えて「保持部」を構成したことにより、搬送対象Ｘを傷付けることなく保持して搬送することができる。
【００４３】
なお、「保持装置」および「搬送装置」の構成は、上記した吸着保持具１０および吸着保持具１０を備えた搬送装置１の構成に限定されない。例えば、シリンダー２１に対するピストン２２の一方向への摺動（矢印Ａ１の向き、または矢印Ａ２の向きへの摺動）によって「第１移動処理」および「第２移動処理」の双方を同時に実行可能に上側気室Ｓ１および下側気室Ｓ２の２つをシリンダー２１内に設けた構成の吸着保持具１０を例に挙げて説明したが、吸着保持具１０における押圧力発生部１１に代えて、図５に示す吸着保持具１０Ａにおける押圧力発生部１１ａのように、上側気室Ｓ１だけをシリンダー２１内に設けてたり、図６に示す吸着保持具１０Ｂにおける押圧力発生部１１ｂのように、下側気室Ｓ２だけをシリンダー２１内に設けたりすることができる。なお、この吸着保持具１０Ａ，１０Ｂにおいて前述した吸着保持具１０と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４４】
吸着保持具１０Ａは、「保持装置」の他の一例であって、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ１の向き（「第１の向き」の一例）に相対的に摺動させられることによって「第１移動処理」が実行され、この移動処理によって移動させた空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗によって押圧力を生じさせる構成が採用されている。この場合、この吸着保持具１０Ａでは、「第１の移動処理」に際して、絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きで通過した空気がエアホース５１ｃから大気解放される。また、この吸着保持具１０Ａに採用されている絞り機構２３も一方向性のスピードコントローラで構成されているため、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ２の向き（「第２の向き」の一例）に相対的に摺動させられることによって「第２移動処理」が実行された際に矢印Ｂ２の向きで空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗が十分に小さくなっている。したがって、この吸着保持具１０Ａにおいても、前述した吸着保持具１０と同様の効果を奏することができる。
【００４５】
一方、吸着保持具１０Ｂは、「保持装置」のさらに他の一例であって、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ１の向き（「第１の向き」の一例）に相対的に摺動させられることによって「第２移動処理」が実行され、この移動処理によって移動させた空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗によって押圧力を生じさせる構成が採用されている。この場合、この吸着保持具１０Ｂでは、「第２の移動処理」に際して、エアホース５１ｃを介して吸引されて絞り機構２３を矢印Ｂ１の向きで通過した空気がエアホース５１ｂを介して下側気室Ｓ２に吸引される。また、この吸着保持具１０Ａに採用されている絞り機構２３も一方向性のスピードコントローラで構成されているため、シリンダー２１に対してピストン２２が矢印Ａ２の向き（「第２の向き」の一例）に相対的に摺動させられることによって「第２移動処理」が実行された際に矢印Ｂ２の向きで空気が絞り機構２３を通過する際の通過抵抗が十分に小さくなっている。したがって、この吸着保持具１０Ｂにおいても、吸着保持具１０，１０Ａと同様の効果を奏することができる。
【００４６】
また、ロッド４１，４１および取付け用ステージ４２を介してピストン２２に吸着保持部１２を連結した吸着保持具１０，１０Ａ，１０Ｂを例に挙げて説明したが、この吸着保持具１０，１０Ａ，１０Ｂを上下逆さまに配置して、取付け用ステージ４２にＸ−Ｙ−Ｚ移動機構２を連結すると共に、天板３２に吸着保持部１２を取り付けて使用することもできる（「シリンダーおよびピストンのいずれか一方」が「ピストン」で、「シリンダーおよびピストンの他方」が「シリンダー」の構成の例）。なお、上下逆さまに配置して使用する際には、図２〜６における矢印Ａ２の向きが「第１の向き」に相当し、かつ矢印Ａ１の向きが「第２の向き」に相当することとなる。このような構成（使用方法）を採用した場合においても、上記の搬送装置１と同様の効果を奏することができる。
【００４７】
さらに、一方向性のスピードコントローラで構成した絞り機構２３（矢印Ｂ１の向きへの空気の通過抵抗を調整可能な「絞り機構」の例）を採用した例について説明したが、「第１の通過抵抗よりも第２の通過抵抗の方が小さい」との条件を満たしている限り、双方向性のスピードコントローラで構成した絞り機構（一方向への空気の通過抵抗と、その逆方向への空気の通過抵抗とを別個に調整可能なタイプのスピードコントローラで構成した絞り機構：図示せず）を採用することができる。また、「保持部」として搬送対象Ｘを吸着して保持する吸着保持部１２を採用した例について説明したが、このような構成に代えて、把持型の保持部（図示せず）を採用することもできる。加えて、「流体」として空気を利用する構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、工業用窒素等の空気以外の各種気体や、オイルおよび水等の各種液体を「流体」として利用する構成を採用することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  搬送装置
２  Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構
３  吸引ポンプ
４  制御部
１０，１０Ａ，１０Ｂ  保持装置
１１，１１ａ，１１ｂ  押圧力発生部
１２  吸着保持部
１３  エアホース
２１  シリンダー
２２  ピストン
２３  絞り機構
３１  筒状部
３１ａ，３１ｂ  吸排気孔
３２  天板
３３  底板
４１  ロッド
４２  取付け用ステージ
５１ａ〜５１ｃ  エアホース
５２  調整用ノブ
Ｓ１  上側気室
Ｓ２  下側気室
Ｘ  搬送対象
【図１】
2013254808.tif 000003
【図２】
2013254808.tif 000004
【図３】
2013254808.tif 000005
【図４】
2013254808.tif 000006
【図５】
2013254808.tif 000007
【図６】
2013254808.tif 000008