(57)【要約】【課題】チップに切り屑が付着している場合でもチップを確実に吸着することができるコレット、ピックアップ装置、チップのピックアップ方法、および電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】ピックアップ装置５００において、コレット５０の吸着部５５では、外周縁から内側に離間した位置で圧縮気体噴出口５１が開口しており、かかる圧縮気体噴出口５１は、真空吸着の際に吸気口として利用される。吸着部５５は、吸着部５５の外周縁に沿って延在する突条部５６を備えている。このため、圧縮気体噴出口５１から気体を噴出した際、突条部５６と液晶パネル３との間を圧縮気体が通過する際の流速が高いので、液晶パネル３において突条部５６が接する部分から切り屑Ｋを確実に除去した後、コレット５０によって液晶パネル３を吸着することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップを真空吸着する吸着部と、
該吸着部の外周縁から内側に離間した位置に開口して設けられ、気体を噴出させる気体噴出口と、
を有し、
前記気体噴出口から噴出された気体が、前記チップと前記吸着部との間を通って、前記吸着部の外側に向けて流れることを特徴とするコレット。
【請求項２】
前記吸着部では、前記気体を噴出させないときは前記気体噴出口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することを特徴とする請求項１に記載のコレット。
【請求項３】
前記吸着部では、前記気体噴出口とは別に吸気口が開口して設けられ、前記吸気口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することを特徴とする請求項１に記載のコレット。
【請求項４】
前記吸気口は、前記気体噴出口の周りを囲むように開口していることを特徴とする請求項３に記載のコレット。
【請求項５】
前記吸気口は、前記気体噴出口の周りに複数設けられていることを特徴とする請求項４に記載のコレット。
【請求項６】
前記吸着部は、該吸着部の外周縁に沿って延在する突条部を備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のコレット。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一項に記載のコレットを備えたピックアップ装置であって、
前記吸着部に吸気経路を介して吸気装置と、
前記気体噴出口に気体供給経路を介して連通する気体供給装置と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。
【請求項８】
前記吸気経路と前記気体供給経路とは、一部が共通経路になっていることを特徴とする請求項７に記載のピックアップ装置。
【請求項９】
請求項７または８に記載のピックアップ装置を用いたチップのピックアップ方法であって、
大型の基板を切断して前記チップを形成した後、前記チップを前記コレットによって吸着する際、
前記気体噴出口から気体を噴出する第１ステップと、当該チップを前記吸着部で吸着する第２ステップとを行うことを特徴とするチップのピックアップ方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記チップは、電気光学物質層を保持する電気光学装置用ガラス基板であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載のピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記チップは、電気光学物質層を保持する一対の電気光学装置用ガラス基板を備えたパネルであることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップを真空吸着するコレット、該コレットを備えたピックアップ装置、該ピックアップ装置によるチップのピックアップ方法、および該ピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置や有機エレクトロルミネッセンス装置等の電気光学装置や、半導体装置の製造工程においては、大型基板にトランジスター等を形成した後、大型基板を切断してチップ（基板）を得る。なお、液晶装置の場合、トランジスター等が形成された大型ガラス基板に別のガラス基板を貼り合わせて大型パネルを形成した後、かかる大型パネルを切断してチップ（パネル）を得ることもある。いずれの場合でも、切断されたチップは、ピックアップ装置によってピックアップされて次の工程に移送される。
【０００３】
一方、ピックアップ装置としては、コレットの吸着部の中央に吸気孔を設けるとともに、吸着部の外周縁や外側に排気孔や吹き付け部等の噴出口を設けた構成が提案されている（特許文献１、２）。かかる特許文献１、２のうち、特許文献１に記載のピックアップ装置では、プリフォームが設けられたダイボンディング位置にチップを配置する際、排気孔からプリフォームに向けて不活性ガスを噴出し、プリフォーム材の盛り上がり部分を平坦化する。また、特許文献２に記載のピックアップ装置では、吹き付け部からチップとウエーハシートとの間に圧縮気体を噴出してチップをウエーハシートから剥離させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３１４７０８号公報
【特許文献２】特開２００８−５３２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
大型基板や大型パネルを切断して得たチップには切り屑が付着していることがあり、このようなチップをコレットで吸着する際にチップと吸着部との間に切り屑が挟まると、チップと吸着部との間に隙間が発生する。その結果、チップと吸着部との間に十分な負圧を発生させることができず、チップを吸着することができないという問題が発生する。かかる問題は、例えば、特許文献１、２に記載のピックアップ装置において圧縮気体を噴出しても、圧縮空気が供給されるのは、チップに対してコレットとは反対側であるので、解消することは困難である。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、チップに切り屑が付着している場合でもチップを確実に吸着することができるコレット、該コレットを備えたピックアップ装置、該ピックアップ装置によるチップのピックアップ方法、および該ピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るコレットは、チップを真空吸着する吸着部と、該吸着部の外周縁から内側に離間した位置に開口して設けられ、気体を噴出させる気体噴出口と、を有し、前記気体噴出口から噴出された気体が、前記チップと前記吸着部との間を通って、前記吸着部の外側に向けて流れることを特徴とする。
【０００８】
本発明を適用したコレットでは、チップを真空吸着する吸着部の外周縁から内側に離間した位置で気体噴出口が開口しているため、気体噴出口から気体を噴出した後、チップを吸着部で吸着することができる。このため、チップに切り屑が付着している場合でも、気体の噴出によって切り屑をチップから除去した後、チップを吸着部で吸着することができる。また、気体噴出口は、吸着部の外周縁から内側に離間した位置で開口しているため、気体噴出口から噴出された圧縮気体は、吸着部の内側から外側に向かって流れる。このため、切り屑は外側に向けて排除されるので、切り屑がチップに再付着することがない。従って、チップに切り屑が付着していた場合でもチップを確実に吸着することができる。また、切り屑は外側に向けて排除されるので、切り屑によってチップが傷つくことを防止することもできる。
【０００９】
本発明において、前記吸着部では、前記気体を噴出させないときは前記気体噴出口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着することが好ましい。かかる構成によれば、気体噴出口と吸気口とが共通であるので、コレットの構成が簡素である。また、コレットに接続する吸気経路や圧縮気体供給経路についても一部を共通経路とすることができる等、ピックアップ装置の構成を簡素化することもできる。
【００１０】
本発明において、前記吸着部では、前記気体噴出口とは別に吸気口が開口して設けられ、前記吸気口を介して真空吸引が行われ、前記チップを前記吸着部において真空吸着する構成を採用してもよい。
【００１１】
この場合、前記吸気口は、前記気体噴出口の周りを囲むように開口していることが好ましい。例えば、前記吸気口は、前記気体噴出口の周りに複数設けられていることが好ましい。かかる構成によれば、気体噴出口が吸着部の中央や中央付近に位置する場合でも、吸気口は、吸着部の全体にわたって負圧を適正に発生させることができる。
【００１２】
本発明において、前記吸着部は、該吸着部の外周縁に沿って延在する突条部を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、吸着部とチップとの隙間が狭いので、噴出した気体の流速が高い。それ故、チップにおいて突条部が接する部分から切り屑を確実に除去することができる。また、吸着部がチップに接するのが突条部に限定されるので、チップに切り屑が残っていても、吸着部とチップとの間に切り屑が挟まって隙間が発生するという事態が発生しにくい。
【００１３】
本発明に係るコレットを備えたピックアップ装置は、前記吸着部に吸気経路を介して吸気装置と、前記気体噴出口に気体供給経路を介して連通する気体供給装置と、を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明において、前記吸気経路と前記気体供給経路とは、一部が共通経路になっていることが好ましい。かかる構成によれば、ピックアップ装置の構成を簡素化することができる。
【００１５】
本発明に係るピックアップ装置を用いたチップのピックアップ方法では、大型の基板を切断して前記チップを形成した後、前記チップを前記コレットによって吸着する際、前記気体噴出口から気体を噴出する第１ステップと、当該チップを前記吸着部で吸着する第２ステップとを行うことを特徴とする。
【００１６】
かかるピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法では、前記チップは、電気光学物質層を保持する電気光学装置用ガラス基板である構成を採用することができる。
【００１７】
また、本発明に係るピックアップ方法を用いた電気光学装置の製造方法では、前記チップは、電気光学物質層を保持する一対の電気光学装置用ガラス基板を備えたパネルである構成を採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明を適用した液晶装置（電気光学装置）に用いた液晶パネルの説明図である。
【図２】本発明を適用した液晶装置の製造工程を示す説明図である。
【図３】本発明を適用した液晶装置の製造工程において用いる大型基板の説明図である。
【図４】本発明を適用した液晶装置の製造工程において大型パネルを切断した様子を示す説明図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係るピックアップ装置の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係るピックアップ装置での液晶パネル（チップ）のピックアップ方法を示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係るピックアップ装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、各種の電気光学装置のうち、液晶装置の製造方法に本発明を適用した場合を中心に説明する。また、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００２０】
［電気光学装置の全体構成］
図１は、本発明を適用した液晶装置（電気光学装置）に用いた液晶パネルの説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は各々、液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのＨ−Ｈ′断面図である。
【００２１】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、液晶装置１は、素子基板１０と対向基板２０とが所定の隙間を介してシール材１０７によって貼り合わされた液晶パネル３を有している。素子基板１０および対向基板２０はいずれも、ガラス基板や、石英基板（石英ガラス基板）からなる。液晶パネル３において、シール材１０７は対向基板２０の外縁に沿うように枠状に設けられており、素子基板１０と対向基板２０との間においてシール材１０７により囲まれた領域内に液晶層３０が保持されている。シール材１０７は、光硬化樹脂や熱硬化性樹脂等からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバーあるいはガラスビーズ等のギャップ材が配合されている。
【００２２】
本形態において、素子基板１０および対向基板２０はいずれも四角形であり、素子基板１０は、Ｘ方向に延在するとともにＹ方向で互いに対向する２つの端部１０ａ、１０ｂと、Ｙ方向に延在するとともにＸ方向で互いに対向する２つの端部１０ｃ、１０ｄとを備えている。また、対向基板２０は、Ｘ方向に延在するとともにＹ方向で互いに対向する２つの端部２０ａ、２０ｂと、Ｙ方向に延在するとともにＸ方向で互いに対向する２つの端部２０ｃ、２０ｄとを備えている。液晶パネル３の略中央には、画素領域１ａ（画像表示領域）が四角形の領域として設けられている。かかる形状に対応して、シール材１０７も略四角形に設けられ、シール材１０７の内周縁と画素領域１ａの外周縁との間には、略四角形の周辺領域１ｂが額縁状に設けられている。素子基板１０の一方側の基板面において、画素領域１ａには、スイッチング素子（図示せず）や画素電極９ａがマトリクス状に形成されており、かかる画素電極９ａの上層側には配向膜１６が形成されている。また、素子基板１０の一方面側において、周辺領域１ｂには、画素電極９ａと同時形成されたダミー画素電極９ｂが形成されている。
【００２３】
素子基板１０は、対向基板２０の端部２０ａから一方側（Ｙ方向）に張り出した張出領域１０５を備えており、かかる張出領域１０５には、素子基板１０の一方側の端部１０ａに沿って複数の端子１０２が形成されている。ここで、張出領域１０５は、Ｘ方向に延在する端部が長辺であり、Ｙ方向に延在する端部が短辺である。張出領域１０５では、端子１０２が配列されている領域に対して端部１０ａが位置する側とは反対側にデータ線駆動回路１０１が形成されている。また、素子基板１０には、一方側（Ｙ方向）に対して交差する方向（Ｘ方向）で対向する端部１０ｃ、１０ｄに沿って走査線駆動回路１０４が形成されている。なお、端子１０２には、フレキシブル配線基板（図示せず）が接続されており、素子基板１０には、フレキシブル配線基板を介して各種電位や各種信号が入力される。
【００２４】
対向基板２０において素子基板１０と対向する一方面側には共通電極２１が形成されており、共通電極２１の上層には配向膜２６が形成されている。共通電極２１は、対向基板２０の略全面あるいは複数の帯状電極として複数の画素に跨って形成されている。本形態において、共通電極２１は、対向基板２０の略全面に形成されている。また、対向基板２０において素子基板１０と対向する一方面側には、共通電極２１の下層側に遮光層１０８が形成されている。本形態において、遮光層１０８は、画素領域１ａの外周縁に沿って延在する額縁状に形成されており、見切りとして機能する。ここで、遮光層１０８の外周縁は、シール材１０７の内周縁との間に隙間を隔てた位置にあり、遮光層１０８とシール材１０７とは重なっていない。なお、対向基板２０において、遮光層１０８は、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた領域と重なる部分等にも形成されることがある。
【００２５】
このように構成した液晶パネル３において、素子基板１０には、シール材１０７より外側において対向基板２０の角部分と重なる位置に、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的導通をとるための基板間導通用電極１０９が形成されている。かかる基板間導通用電極１０９には、導電粒子を含んだ基板間導通材１０９ａが配置されており、対向基板２０の共通電極２１は、基板間導通材１０９ａおよび基板間導通用電極１０９を介して、素子基板１０側に電気的に接続されている。
【００２６】
かかる構成の液晶装置１において、画素電極９ａおよび共通電極２１をＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成すると、透過型の液晶装置を構成することができる。これに対して、共通電極２１をＩＴＯ膜等の透光性導電膜により形成し、画素電極９ａをアルミニウム膜等の反射性電極として構成すると、反射型の液晶装置を構成することができる。液晶装置１は、モバイルコンピューター、携帯電話機等といった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、対向基板２０には、カラーフィルター（図示せず）や保護膜が形成される。また、液晶装置１では、使用する液晶層３０の種類や、ノーマリホワイトモード／ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板等が液晶パネル３に対して所定の向きに配置される。さらに、液晶装置１は、投射型表示装置（液晶プロジェクター）において、ＲＧＢ用のライトバルブとして用いることができる。この場合、ＲＧＢ用の各液晶装置１の各々には、ＲＧＢ色分解用のダイクロイックミラーを介して分解された各色の光が投射光として各々入射されることになるので、カラーフィルターは形成されない。
【００２７】
（液晶装置１の製造方法の概要）
図２は、本発明を適用した液晶装置１の製造工程を示す説明図である。図１および図２において、本形態の液晶装置１を製造するには、素子基板１０に対してスイッチング素子や画素電極９ａ等の形成工程Ｓ１を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート法等により配向膜１６を形成する配向膜形成工程Ｓ２を行う。配向膜１６がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程Ｓ２の後、配向膜１６に対するラビング工程Ｓ３を行う。次に、シール材１０７を塗布するシール印刷工程Ｓ４を行う。かかるシール材１０７の塗布は、ノズルからシール材を突出しながら、ノズルと素子基板１０とを相対移動させて、シール材１０７を矩形枠状に描画する。次に、プリベーク工程ＳＴ５において、シール材１０７にプリベークを行った後、液晶滴下工程ＳＴ６では、シール材１０７で囲まれた領域内に液晶材料を滴下する。
【００２８】
一方、対向基板２０に対しては、共通電極２１等の形成工程Ｓ１１を行った後、斜方蒸着法、印刷法、スピンコート法等により配向膜２６を形成する配向膜形成工程Ｓ１２を行う。配向膜２６がポリイミド膜からなる場合には、配向膜形成工程Ｓ１２の後、配向膜２６に対するラビング工程Ｓ１３を行う。次に、基板間導通材塗布工程ＳＴ１４において基板間導通材１０９ａを塗布する。
【００２９】
次に、シール材１０７によって素子基板１０と対向基板２０とを真空雰囲気中で貼り合わせる貼り合わせ工程Ｓ２０を行う。貼り合わせ工程Ｓ２０では、まず、重ね合わせ工程Ｓ２１において、シール材１０７を間に挟んで素子基板１０と対向基板２０とを重ね合わせ、その後に、シール硬化工程Ｓ２２においてシール材１０７を硬化させ、パネルを構成する。かかるシール硬化工程Ｓ２２では、例えば、対向基板２０側からＵＶ光等を照射した後、加熱し、シール材１０７を硬化させる。その結果、基板間導通材１０９ａも硬化する。
【００３０】
（切断工程Ｓ２３の概要）
図３は、本発明を適用した液晶装置１の製造工程において用いる大型基板の説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）は、大型基板同士を貼り合わせて大型パネル（パネル）を構成した様子を示す説明図、および大型パネルを単品サイズに切断するときの切断予定線を示す説明図である。図４は、本発明を適用した液晶装置１の製造工程において大型パネルを切断した様子を示す説明図であり、図４（ａ）、（ｂ）は、ダイシングテープを引き伸ばす前の様子を示す説明図、およびダイシングテープを引き伸ばした後の様子を示す説明図である。なお、図３（ｂ）には、大型パネルを矢印Ｔで示すように反転させた様子を示してある。
【００３１】
本形態では、上記のシール硬化工程Ｓ２２までを素子基板１０を多数取りできる大型基板（第１大型基板１００／図３参照）、および対向基板２０を多数取りできる大型基板（第２大型基板２００／図３参照）の状態で行う。このため、本形態では、シール硬化工程Ｓ２２の後、大型パネル３００（図３参照）の状態で第１大型基板１００および第２大型基板２００を単品サイズに切断する切断工程Ｓ２３を行う。
【００３２】
本形態の液晶装置１の製造方法においては、図３（ａ）に示す大型パネル３００を形成した後、図３（ｂ）に示す切断予定線３０１〜３０３に沿って第２大型基板２００を切断するとともに、切断予定線３０４、３０５に沿って第１大型基板１００を切断して単品サイズの液晶パネル３を得る。第１大型基板１００および第２大型基板２００としては各種形状のものを用いることができるが、図３には、第１大型基板１００および第２大型基板２００として四角形の大型基板を用いた形態が表されている。
【００３３】
第２大型基板２００に対する切断予定線３０１〜３０３のうち、切断予定線３０１は、対向基板２０において素子基板１０の張出領域１０５が位置する一方側の端部２０ａに沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、切断予定線３０３は、対向基板２０においてＸ方向で対向する端部２０ｃ、２０ｄに沿ってＹ方向に延在する切断予定線である。切断予定線３０２は、素子基板１０において張出領域１０５が位置する一方側の端部１０ａに重なる部分に沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線３０２は、素子基板１０の他方側の端部１０ｂに沿ってＸ方向に延在する切断予定線でもある。これらの切断予定線３０１〜３０３に沿って第２大型基板２００を切断すれば、対向基板２０を切り出す領域の周りを切断することができるとともに、第２大型基板２００において、素子基板１０の張出領域１０５と重なる除材部分２０５の周りを切断することができる。
【００３４】
また、第１大型基板１００に対する切断予定線３０４、３０５のうち、切断予定線３０４は、素子基板１０において張出領域１０５が位置する一方側の端部１０ａに沿ってＸ方向に延在する切断予定線であり、かかる切断予定線３０４は、素子基板１０の他方側の端部１０ｂに沿ってＸ方向に延在する切断予定線でもある。また、切断予定線３０５は、素子基板１０においてＸ方向で対向する端部１０ｃ、１０ｄに沿ってＹ方向に延在する切断予定線である。
【００３５】
本形態において、第２大型基板２００に対する切断予定線３０２と第１大型基板１００に対する切断予定線３０４とは平面視で重なっており、第２大型基板２００に対する切断予定線３０３と第１大型基板１００に対する切断予定線３０５とは平面視で重なっている。
【００３６】
図４（ａ）に示すように、切断工程を行う際、大型パネル３００の一方面にはダイシングテープ８０が貼られており、大型パネル３００を単品サイズの液晶パネル３に切断した後も複数の液晶パネル３はいずれもダイシングテープ８０に保持されている。ダイシングテープ８０ではフィルムの一方面に粘着剤層が設けられており、フィルムは伸縮性を有している。このため、大型パネル３００を単品サイズの液晶パネル３に切断した後、図４（ｂ）に示すように、ダイシングテープ８０を外側に向けて引っ張って複数の液晶パネル３の各間に隙間を発生させる。また、粘着剤層については、紫外線照射等によって接着性を低下させる。従って、複数の液晶パネル３の各々については、図５等を参照して以下に説明するピックアップ装置によって、１個ずつ、ダイシングテープ８０から引き剥がされた後、次に工程に移送される。
【００３７】
（ピックアップ装置の説明図）
図５は、本発明の実施の形態１に係るピックアップ装置５００の説明図であり、図５（ａ）、（ｂ）は、ピックアップ装置５００の全体構成を示す説明図、およびコレット５０の底面図である。
【００３８】
図５に示すピックアップ装置５００は、切断後の液晶パネル３が保持されたダイシングテープ８０を載置するテーブル７０と、テーブル７０をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に駆動するテーブル駆動装置（図示せず）と、テーブル７０に対向するヘッド５１０と、ヘッド５１０をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に駆動するヘッド駆動装置（図示せず）とを有している。ヘッド５１０は、液晶パネル３（チップ）を真空吸着するコレット５０と、コレット５０の背面側に連結されたジョイント５７と、ジョイント５７を介してコレット５０に接続された配管５８とを備えている。また、配管５８には、矢印Ａで示すように、吸気経路６６が接続されており、吸気経路６６には真空ポンプ等の吸気装置６１が接続されている。このため、吸気装置６１は、吸気経路６６、配管５８およびジョイント５７を介してコレット５０に接続されている。コレット５０は、液晶パネル３との間の空間を負圧にして液晶パネル３を真空吸着する吸着部５５を有している。
【００３９】
このように構成したコレット５０において、吸着部５５の外周縁から内側に離間した位置に圧縮気体噴出口５１（気体噴出口）が開口しており、本形態において、圧縮気体噴出口５１は、吸着部５５の中央で開口している。圧縮気体噴出口５１は、コレット５０に設けられた通路５２および配管５８の内部に連通している。また、配管５８には、矢印Ｂで示すように、圧縮気体供給経路６７（気体供給経路）が接続されており、圧縮気体供給経路６７には、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置６２（気体供給装置）が接続されている。このため、圧縮気体供給装置６２は、圧縮気体供給経路６７、配管５８、ジョイント５７、および通路５２を介してコレット５０の圧縮気体噴出口５１に連通している。
【００４０】
ここで、圧縮気体供給経路６７および吸気経路６６の下流側（コレット５０の側）は共通経路６８になっており、圧縮気体噴出口５１は吸気口としても利用される。なお、共通経路６８から圧縮気体供給装置６２および吸気装置６１に分岐する部分には３方コック等のバルブ６９が設けられている。
【００４１】
また、コレット５０の吸着部５５には、吸着部５５の外周縁に沿って突条部５６が設けられている。本形態において、コレット５０は、吸着部５５の底面が四角形である４サイイドコレットであり、突条部５６は、コレット５０の４つの辺に沿って形成されている。また、本形態において、突条部５６は一定の厚さｔをもってテーブル７０に向けて突出している。
【００４２】
（ピックアップ動作）
図６は、本発明の実施の形態１に係るピックアップ装置５００での液晶パネル（チップ）のピックアップ方法を示す説明図である。
【００４３】
図５を参照して説明したピックアップ装置５００において、図６（ａ）に示す待機位置において、ヘッド５１０は停止している。この状態で、バルブ６９は閉状態にあるとともに、吸気装置６１および圧縮気体供給装置６２は停止状態にある。
【００４４】
この状態から、液晶パネル３を１個ずつピックアップするには、図６（ｂ）に示す第１ステップにおいて、ヘッド５１０は、テーブル７０に向けて下降し、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との隙間Ｇが０．１ｍｍ〜１．０ｍｍになった位置で停止する。そして、バルブ６９は、圧縮気体供給経路６７を開状態にするとともに、圧縮気体供給装置６２は、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体の供給を開始する。その結果、図６（ｂ）に矢印Ｃで示すように、コレット５０の圧縮気体噴出口５１から圧縮気体が噴出される。ここで、圧縮気体噴出口５１は、吸着部５５の下面において、外周縁から内側に離間した中央で開口している。また、コレット５０の下面（吸着部５５）と液晶パネル３との間は、突条部５６で囲まれており、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との間のみが開口している。このため、圧縮気体噴出口５１から噴出された圧縮気体は、コレット５０の下面（吸着部５５）と液晶パネル３との間で外周側に向かって進行する。その際、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との間は、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ程度の狭い隙間Ｇになっており、圧縮気体の流速は、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との間で増大する。従って、液晶パネル３に切断工程で発生した切り屑Ｋが付着していても、切り屑Ｋは圧縮気体によって液晶パネル３から除去される。
【００４５】
このような第１ステップが終了すると、バルブ６９は閉状態になるとともに、圧縮気体供給装置６２は、乾燥空気や窒素ガス等の圧縮気体の供給を停止する。
【００４６】
次に、図６（ｃ）に示す第２ステップにおいて、ヘッド５１０は、テーブル７０に向けてさらに下降し、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との隙間Ｇが略０ｍｍになった位置（当接された位置）で停止する。そして、バルブ６９は、吸気経路６６を開状態にするとともに、吸気装置６１は、吸気を開始する。その結果、コレット５０の下面（吸着部５５）と液晶パネル３との間の空間は、圧縮気体噴出口５１からの吸気によって、コレット５０の下面（吸着部５５）と液晶パネル３との間が負圧状態となる。このため、突条部５６の下端部５６１が液晶パネル３に密着した状態で、液晶パネル３は、コレット５０の吸着部５５で吸着される。その際、切断工程で発生した切り屑Ｋが液晶パネル３に付着していても、第１ステップで切り屑Ｋが液晶パネル３から除去されているため、コレット５０の下面（吸着部５５）と液晶パネル３との間で切り屑Ｋが挟まれ、突条部５６の下端部５６１と液晶パネル３との間に隙間が発生するという事態が発生しない。それ故、コレット５０は液晶パネル３を確実に吸着する。
【００４７】
次に、ヘッド５１０は、図６（ａ）に示す位置まで上昇する際、液晶パネル３はダイシングテープ８０から引き離され、ピックアップされる。しかる後に、ヘッド５１０は所定の位置で液晶パネル３を解放した後、再び、上記の動作を繰り返す。
【００４８】
なお、上記実施の形態では、第１ステップをコレット５０が停止した状態で行ったが、コレット５０を移動させながら第１ステップを行い、その後、連続して第２ステップを行ってもよい。また、上記実施の形態では、コレット５０と液晶パネル３とを接近させる際、コレット５０の側（ヘッド５１０）を下降させたが、テーブル７０を上昇させて、コレット５０と液晶パネル３とを接近させてもよい。
【００４９】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のコレット５０およびピックアップ装置５００では、コレット５０の吸着部５５では、外周縁から内側に離間した位置で圧縮気体噴出口５１が開口している。このため、圧縮気体噴出口５１から圧縮気体を噴出した後、液晶パネル３（チップ）を吸着部５５で吸着することができる。このため、液晶パネル３に切り屑Ｋが付着している場合でも、圧縮気体の噴出によって切り屑Ｋを液晶パネル３から除去した後、液晶パネル３を吸着部５５で吸着することができる。また、圧縮気体噴出口５１は、吸着部５５の外周縁から内側に離間した位置で開口しているため、圧縮気体噴出口５１から噴出された圧縮空気は、吸着部５５の内側から外側に向かって流れる。従って、切り屑Ｋは外側に向けて排除されるので、切り屑Ｋが液晶パネル３に再付着することがない。従って、液晶パネルに切り屑Ｋが付着していた場合でも液晶パネル３を確実に吸着することができる。また、切り屑Ｋは外側に向けて排除されるので、切り屑Ｋによって液晶パネル３が傷つくことを防止することもできる。
【００５０】
また、本形態において、吸着部５５では、圧縮気体噴出口５１を介して真空吸引が行われる。すなわち、本形態では、圧縮気体噴出口５１と吸気口とが共通である。従って、コレット５０の構成が簡素である。また、コレット５０に接続する吸気経路６６や圧縮気体供給経路６７については一部を共通経路６８とすることができる等、ピックアップ装置５００の構成を簡素化することもできる。
【００５１】
また、本形態のコレット５０において、吸着部５５は、吸着部５５の外周縁に沿って延在する突条部５６を備えている。このため、突条部５６が設けられている分、吸着部５５と液晶パネル３との隙間が狭い。従って、圧縮気体噴出口５１から気体を噴出した際、突条部５６と液晶パネル３との間を圧縮気体が通過する際の流速が高い。それ故、液晶パネル３において突条部５６が接する部分から切り屑Ｋを確実に除去することができるので、コレット５０によって液晶パネル３を確実に吸着することができる。また、突条部５６は、一定の厚さｔをもって突出しているので、吸着部５５と液晶パネル３との間隔は、吸着部５５の外周側で急激に狭まっている。従って、突条部５６と液晶パネル３との間を圧縮気体が通過する際の流速が高いので、液晶パネル３において突条部５６が接する部分から切り屑Ｋを確実に除去することができる。さらに、また、突条部５６が設けられている分、吸着部５５が液晶パネル３に接するのが突条部５６に限定されている。従って、液晶パネル３に切り屑Ｋが残っていても、吸着部５５と液晶パネル３との間に切り屑が挟まって隙間が発生するという事態が発生しにくい。
【００５２】
［実施の形態２］
図７は、本発明の実施の形態２に係るピックアップ装置５００の説明図であり、図７（ａ）、（ｂ）は、ピックアップ装置５００の全体構成を示す説明図、およびコレット５０の底面図である。なお、本形態の基本的な構成は実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
【００５３】
図７に示すピックアップ装置５００は、実施の形態１と同様、切断後の液晶パネル３が保持されたダイシングテープ８０を載置するテーブル７０と、テーブル７０をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に駆動するテーブル駆動装置（図示せず）と、テーブル７０に対向するヘッド５１０と、ヘッド５１０をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に駆動するヘッド駆動装置（図示せず）とを有している。ヘッド５１０は、液晶パネル３（チップ）を真空吸着するコレット５０を有しており、コレット５０の吸着部５５では、吸着部５５の外周縁から内側に離間した位置に圧縮気体噴出口５１が開口している。
【００５４】
本形態において、コレット５０の吸着部５５では、圧縮気体噴出口５１とは別に吸気口５３が開口している。また、吸気口５３は、圧縮気体噴出口５１の周りを囲むように開口している。より具体的には、コレット５０の吸着部５５において、吸気口５３は、圧縮気体噴出口５１の周りに複数設けられている。このため、コレット５０には、圧縮気体噴出口５１に連通する通路５２に加えて、吸気口５３に連通する複数の通路５４が形成されている。また、コレット５０には、ジョイント５７を介して配管５８が接続されているともに、ジョイント５７を介して、通路５４に連通する通路が形成された流路構成ブロック５９が連結されている。
【００５５】
また、本形態のピックアップ装置５００では、配管５８に対して圧縮気体供給経路６７を介して圧縮気体供給装置６２が接続され、圧縮気体供給経路６７にはバルブ６７０が設けられている。また、本形態のピックアップ装置５００では、流路構成ブロック５９に対して吸気経路６６を介して吸気装置６１が接続されており、吸気経路６６にはバルブ６６０が設けられている。
【００５６】
このように構成したピックアップ装置５００においても、圧縮気体噴出口５１から圧縮気体を噴出した後、液晶パネル３（チップ）を吸着部５５で吸着することができる。このため、液晶パネル３に切り屑Ｋが付着している場合でも、圧縮気体の噴出によって切り屑Ｋを液晶パネル３から除去した後、液晶パネル３を吸着部５５で吸着することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。また、本形態のコレット５０の吸着部５５では、圧縮気体噴出口５１とは別に吸気口５３が開口しているが、吸気口５３は、圧縮気体噴出口５１の周りを囲むように開口している。このため、圧縮気体噴出口５１が吸着部５５の中央や中央付近に位置する場合でも、吸気口５３は、吸着部５５の全体にわたって負圧を適正に発生させることができる。
【００５７】
［実施の形態２の変形例］
実施の形態２では、圧縮気体噴出口５１の周りを囲むように吸気口５３を設けるにあたって、圧縮気体噴出口５１の周りに複数の吸気口５３を設けたが、吸気口５３が圧縮気体噴出口５１の周りで円周状に開口している構成を採用してもよい。
【００５８】
［他の電気光学装置］
上記実施の形態では、コレット５０によって吸着されるチップが液晶パネル３の例であったが、大型基板から切断した液晶装置用基板（電気光学装置用基板）をチップとしてコレット５０によって吸着する場合に本発明を適用してもよい。また、上記実施の形態では、電気光学装置として液晶装置を例示したが、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出を用いた装置（Field Emission Display）、ＤＬＰ（Digital Light Processing）等の電気光学装置を製造する際、切断後のパネルや、切断後の電気光学装置用基板をチップとしてコレット５０によって吸着する場合に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１・・液晶装置（電気光学装置）、３・・液晶パネル（チップ）、１０・・素子基板、２０・・対向基板、３０・・液晶層、５０・・コレット、５１・・圧縮気体噴出口（気体噴出口）、５３・・吸気口、５５・・吸着部、５６・・突条部、６１・・吸気装置、６２・・圧縮気体供給装置（気体供給装置）、６６・・吸気経路、６７・・圧縮気体供給経路（気体供給経路）、６８・・共通経路、１００・・第１大型基板（電気光学装置用基板）、２００・・第２大型基板（電気光学装置用基板）、３００・・大型パネル、５００・・ピックアップ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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