(57)【要約】【課題】振動の減衰を抑制しつつ配線の自由度を高めることができる駆動装置を提供する。【解決手段】配線部２１〜２４を介して供給される駆動信号により励振される圧電素子６、７と、圧電素子に接合され、圧電素子の励振により駆動される弾性体３ａ、３ｂと、弾性体の駆動により駆動される被駆動体と、を備える。配線部は、絶縁材によって配線部の配線経路に沿って形成され、一方の面が圧電素子と弾性体との少なくとも一方に接合される絶縁部２５、２７と、ペースト状の導電材によって絶縁部の他方の面上に形成され、圧電素子と弾性体との一方に接続される配線本体部２６、２８と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線部を介して供給される駆動信号により励振される圧電素子と、
前記圧電素子に接合され、該圧電素子の励振により駆動される弾性体と、
前記弾性体の駆動により駆動される被駆動体と、
を備え、
前記配線部は、絶縁材によって該配線部の配線経路に沿って形成され、一方の面が前記圧電素子と前記弾性体との少なくとも一方に接合される絶縁部と、
ペースト状の導電材によって前記絶縁部の他方の面上に形成され、前記圧電素子と前記弾性体との一方に接続される配線本体部と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記絶縁部は、前記配線本体部の幅方向両側に突設されて前記配線本体部を保持する保持部を備えることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記絶縁部は、ペースト状の前記絶縁材によって形成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記圧電素子は、第１の方向に厚みすべり振動をする第１圧電素子と、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子とを備え、
前記弾性体は、前記第１圧電素子により駆動され、第２圧電素子を支持して前記第１の方向に沿って振動する第１部材と、前記第２圧電素子により駆動され、前記第２の方向に沿って振動する第２部材とを備え、
前記配線部は、前記第１部材と前記第２部材とのそれぞれに設けられることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記圧電素子は、前記被駆動体の駆動方向に複数配列された電極を有し、
前記配線部は、前記複数の電極のうち、前記配線本体部が奇数番目の電極に一括的に接続される第１配線部と、前記複数の電極のうち、前記配線本体部が偶数番目の電極に一括的に接続される第２配線部とを備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって駆動されるカム筒と、
前記カム筒に移動可能に保持されて焦点調整を行うレンズと、
を備えたレンズ鏡筒。
【請求項７】
請求項６に記載のレンズ鏡筒と、
前記レンズ鏡筒に設けられた前記レンズによって撮像面に被写体像が結像される撮像素子と、
を備えたカメラ。
【請求項８】
配線部を介して供給される駆動信号により励振される圧電素子と、前記圧電素子に接合され、該圧電素子の励振により駆動される弾性体と、前記弾性体の駆動により駆動される被駆動体とを備えた駆動装置の製造方法であって、
前記配線部の形成は、
一方の面が前記圧電素子と前記弾性体との少なくとも一方に接合する絶縁部を前記配線部の配線経路に沿って絶縁材により形成することと、
前記圧電素子と前記弾性体との一方に接続する配線本体部を、前記絶縁部の他方の面上にペースト状の導電材によって形成することと、
を含むことを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項９】
前記絶縁部に、前記配線本体部を保持する保持部を、前記配線本体部の幅方向両側に突設することを含むことを特徴とする請求項８に記載の駆動装置の製造方法。
【請求項１０】
前記絶縁部を、ペースト状の絶縁材によって形成することを特徴とする請求項８または請求項９に記載の駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気機械変換素子（圧電素子）と弾性体とが接合された振動子を有し、電気機械変換素子の伸縮を利用して弾性体に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって、振動子（弾性体）に加圧接触した相対移動部材を摩擦駆動する駆動装置が知られている。
【０００３】
この種の駆動装置においては、圧電素子に対してフレキシブルプリント基板（例えば、特許文献１参照）や、導電板及びリード線（例えば、特許文献２参照）を介して駆動信号を供給している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２８４２８２号公報
【特許文献２】特開平７−２６４８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
上記駆動装置は、１μｍ前後の微小振幅で回転運動を発生させているため、駆動信号を供給するための配線には振動の減衰を抑制することが要求される。ところが、フレキシブルプリント基板やリード線を用いた場合には、振動の減衰を抑制するために撓ませて余長をもって接合することになり、外側に膨らむことから装置の大型化を招くとともに、周辺の機器に引っ掛かり損傷する虞もある。
【０００６】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、振動の減衰及び大型化を抑制できる駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に従えば、配線部を介して供給される駆動信号により励振される圧電素子と、圧電素子に接合され、圧電素子の励振により駆動される弾性体と、弾性体の駆動により駆動される被駆動体と、を備え、配線部は、絶縁材によって配線部の配線経路に沿って形成され、一方の面が圧電素子と弾性体との少なくとも一方に接合される絶縁部と、ペースト状の導電材によって絶縁部の他方の面上に形成され、圧電素子と弾性体との一方に接続される配線本体部と、を備えることを特徴とする駆動装置が提供される。
【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、第１の態様の駆動装置と、駆動装置によって駆動されるカム筒と、カム筒に移動可能に保持されて焦点調整を行うレンズと、を備えたレンズ鏡筒が提供される。
【０００９】
本発明の第３の態様に従えば、本発明の第２の態様のレンズ鏡筒と、レンズ鏡筒に設けられたレンズによって撮像面に被写体像が結像される撮像素子と、を備えたカメラが提供される。
【００１０】
本発明の第４の態様に従えば、配線部を介して供給される駆動信号により励振される圧電素子と、圧電素子に接合され、圧電素子の励振により駆動される弾性体と、弾性体の駆動により駆動される被駆動体とを備えた駆動装置の製造方法であって、配線部の形成は、一方の面が圧電素子と弾性体との少なくとも一方に接合する絶縁部を配線部の配線経路に沿って絶縁材により形成することと、圧電素子と弾性体との一方に接続する配線本体部を、絶縁部の他方の面上にペースト状の導電材によって形成することと、を含むことを特徴とする駆動装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、駆動に伴う振動が配線部により減衰することを抑制できるとともに、装置の大型化を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る一実施形態の駆動装置１の正面図である。
【図２】駆動装置１の回路図である。
【図３】駆動駒に接続される配線部の要部詳細図である。
【図４】第２実施形態に係る駆動装置１Ａの外観斜視図である。
【図５】圧電素子の（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図６】駆動装置１Ａの操作を示す図である。
【図７】駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。
【図８】駆動装置１を備えたレンズ鏡筒１０Ｂの構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の駆動装置とその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラの実施の形態を、図１ないし図８を参照して説明する。
かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００１４】
（第１実施形態）
本実施形態の駆動装置は、ベース部に対してロータを相対的に変位させる相対駆動を行い、ロータによってカメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動する。
【００１５】
図１は、本発明に係る一実施形態の駆動装置１の正面図である。図２は、駆動装置１の平面図である。図３は、駆動装置１の斜視図である。なお、図２及び図３においては便宜上ロータ４の図示を省略している。
【００１６】
図１に示すように、駆動装置１は、ベース部２と、駆動駒３と、ロータ（被駆動体）４と、支持軸５と、を備えている。
【００１７】
ベース部２は、導電性を有する弾性体であり、例えばステンレス鋼を含む材料によって形成されている。ベース部２は、中央部に軸方向の貫通穴を有する中空円筒形状に形成されている。ベース部２の表面には、例えば絶縁膜（図示略）が形成されることにより絶縁処理が施されている。ベース部２の貫通穴には、支持軸５が挿通されている。
【００１８】
ベース部２の一方の端部（上端部）には、複数の保持部２ａがベース部２の周方向に間隔をあけて設けられている。保持部２ａは、凹形状に形成されている。保持部２ａは、駆動駒３をベース部２の周方向の両側から挟み込むように保持する。
【００１９】
ベース部２の他方の端部（下端部）は、例えばボルト等の締結部材（図示略）により、取付部１０１ａに固定されている。ベース部２の高さ方向の中央部よりも取付部１０１ａに近い部分には、周方向に連続する溝部２ｄが設けられている。
【００２０】
駆動装置１は、所定の位相差で駆動する３つの駆動駒３の組を２組有している。本実施形態では、ベース部２の周方向に等間隔に配置された６つの駆動駒３のうち、３つの駆動駒３１が第１組に属し、３つの駆動駒３２が第２組に属している。各組の駆動駒３１と駆動駒３２とは、ベース部２の周方向、すなわちロータ４の回転方向Ｒに交互に配置されている。
【００２１】
各々の駆動駒３は、基部３ｂと、先端部３ａと、第１の方向（ここでは、ほぼ鉛直方向）に沿って厚みすべり振動をする第１圧電素子６と、第１の方向とは異なる第２の方向（ここでは水平方向）に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子７と、それぞれ組をなして備えている。
【００２２】
各々の駆動駒３は、第１の方向（ここでは、ほぼ鉛直方向）に沿って厚みすべり振動をする第１圧電素子６と、基部（第１部材）３ｂと先端部（第２部材）３ａと第１の方向とは異なる第２の方向（ここでは水平方向）に沿って厚みすべり振動をする第２圧電素子７とが組をなす構造体３Ｇと、を備えている。
【００２３】
基部３ｂは、導電性を有しており、例えば軽金属合金により形成されている。基部３ｂは、ベース部２の周方向に位置する一対の側面３ｆ１、３ｆ３が下方に向かうに従って互いに接近するようにやや傾斜した略直方体形状に形成されている。基部３ｂは、保持部２ａによって支持軸５と平行な方向に駆動可能に支持されている。基部３ｂは、第１圧電素子６によって駆動され、支持軸５と平行な方向に振動する。
【００２４】
基部３ｂには複数（４つ）の第１圧電素子６が設けられている。基部３ｂは、２つの第１圧電素子６を第１の面３ｆ１で支持するとともに残りの２つの第１圧電素子６を第１の面３ｆ１と対向する第３の面（側面）３ｆ３で支持している。
【００２５】
先端部３ａは、導電性を有しており、例えばステンレス鋼により形成されている。先端部３ａは、断面視において山形の六角形形状に形成されている。先端部３ａは、基部３ｂとロータ４との間に配置されている。先端部３ａは、保持部２ａから突出してロータ４を接触支持している。先端部３ａは、第２圧電素子７によって駆動され、第２の方向に沿って振動する。
【００２６】
ロータ４は、ベアリング（図示略）を介して支持軸５に取り付けられている。ロータ４は、支持軸５を中心として、回転方向Ｒの前方又は後方に回転可能に設けられている。ロータ４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車４ａが形成されている。ロータ４のベース部２に対向する面は、複数の駆動駒３によって支持されている。
【００２７】
支持軸５は、中心軸線がロータ４の回転軸と一致するように配置された丸棒状の部材である。支持軸５は、一方の端部（下端部）が取付部１０１ａに固定されている。支持軸５は、ベース部２とロータ４を貫通している。支持軸５は、ロータ４の回転方向Ｒに沿って配置された複数の駆動駒３の中心に配置されている。
【００２８】
第１圧電素子６は、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）を含む材料により形成されている。第１圧電素子６は、ベース部２の保持部２ａの内側の面と、駆動駒３の基部３ｂの側面との間に配置されている。第１圧電素子６は、駆動駒３の基部３ｂをロータ４の回転方向Ｒの前方及び後方（周方向の両側）から挟みこむように配置されている。
第１圧電素子６は、支持軸５のほぼ軸方向に長手を有して形成されている。複数（４つ）の第１圧電素子６は、それぞれ基部３ｂの側面３ｆ１，３ｆ３に沿って第１の方向に厚みすべり振動をする。各第１圧電素子６は、支持軸５のほぼ軸方向に沿う長手方向に厚みすべり振動をするように設けられている。各第１圧電素子６は、導電性を有する接着剤により、ベース部２の保持部２ａの内側の面と、駆動駒３の基部３ｂの側面３ｆ１，３ｆ３との双方に接着されている。
【００２９】
第２圧電素子７は、例えばジルコン酸チタン酸塩（ＰＺＴ）を含む材料により形成されている。第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向に長手を有して形成されている。第２圧電素子７は、基部３ｂの上面３ｆ２沿って第２の方向に厚みすべり振動をする。第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向に厚みすべり振動をするように設けられている。すなわち、第２圧電素子７は、各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向に沿って厚みすべり振動をするように設けられている。第２圧電素子７は、導電性を有する接着剤により、駆動駒３の先端部３ａの底面と基部３ｂの上面３ｆ２との双方に接着されている。
【００３０】
図２は、図１に示す駆動装置１の回路図である。図２（ａ）は第１圧電素子６と電源部１０との接続状態を示す図であり、図２（ｂ）は第２圧電素子７と電源部１０との接続状態を示す図である。なお、便宜上、図２（ａ）においては第２圧電素子７の図示を省略し、図２（ｂ）においては第１圧電素子６の図示を省略している。
【００３１】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、駆動装置１は、第１圧電素子６及び第２圧電素子７の各々に電圧を供給する電源部１０を備えている。電源部１０は、第１端子Ｔ１、第２端子Ｔ２、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４を備えている。端子Ｔ１〜Ｔ４は、それぞれ所定の周波数の正弦波状の電圧を各圧電素子に供給する。電源部１０は、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２の各端子間、並びに、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４の各端子間で、所定の位相差を有する同一波形の正弦波状の電圧を各圧電素子に供給する。
【００３２】
図１及び図２（ａ）に示すように、複数の第１圧電素子６のうち、第１組に属する３つの駆動駒３１とベース部２との間に配置された１２の第１圧電素子６１は、配線部２１及び配線１１を介して第１端子Ｔ１に電気的に接続されている。なお、図２（ａ）では、第１圧電素子６１は配線部２１に接続されているが、実際には図１に示されるように、配線部２１は駆動駒３１の基部３ｂ（３１ｂ）に接続され、第１組に属する第１圧電素子６１は基部３ｂ（３１ｂ）、配線部２１及び配線１１を介して第１端子Ｔ１に電気的に接続されている。
【００３３】
複数の第１圧電素子６のうち、第２組に属する３つの駆動駒３２とベース部２との間に配置された１２の第１圧電素子６２は、配線部２２及び配線１２を介して第２端子Ｔ２に電気的に接続されている。また、配線部２１と同様に、配線部２２は駆動駒３２の基部３ｂ（３２ｂ）に接続され、第２組に属する第１圧電素子６２は基部３ｂ（３２ｂ）、配線部２２及び配線１２を介して第２端子Ｔ２に電気的に接続されている。
【００３４】
また、図１及び図２（ｂ）に示すように、複数の第２圧電素子７のうち、第１組に属する３つの駆動駒３１に係る先端部３ａ（３１ａ）と基部３ｂ（３１ｂ）との間に配置された第２圧電素子７１は、配線部２３及び配線１３を介して第３端子Ｔ３に電気的に接続されている。なお、図２（ｂ）では、第２圧電素子７１は配線部２３に接続されているが、実際には図１に示されるように、配線部２３は駆動駒３１の先端部３ａ（３１ａ）に接続され、第１組に属する第２圧電素子７１は先端部３ａ（３１ａ）、配線部２３及び配線１３を介して第３端子Ｔ３に電気的に接続されている。
【００３５】
複数の第２圧電素子７のうち、第２組に属する３つの駆動駒３２に係る先端部３ａ（３２ａ）と基部３ｂ（３２ｂ）との間に配置された第２圧電素子７２は、配線部２４及び配線１４を介して第４端子Ｔ４に電気的に接続されている。また、配線部２３と同様に、配線部２４は駆動駒３２の先端部３ａ（３２ａ）に接続され、第２組に属する第２圧電素子７２は先端部３ａ（３２ａ）、配線部２４及び配線１４を介して第４端子Ｔ４に電気的に接続されている。
【００３６】
配線部２１、２２はそれぞれほぼ同様の構成を有し、また、配線部２３、２４はそれぞれほぼ同様の構成を有しているため、以下では代表的に配線部２１、２３について説明する。
【００３７】
図３（ａ）に示すように、配線部２１は、基部３１ｂ、第１圧電素子６１、ベース部２に跨る配線経路に沿って形成された絶縁部２５と、絶縁部２５の表面（他方の面）上に形成された配線本体部２６とを備えている。絶縁部２５は、ペースト状のエポキシ樹脂等の低ヤング率（３０００Ｎ／ｍｍ２）の軟弾性材の絶縁材料によって、例えば厚さが数十〜数百μｍ程度に形成され、裏面（一方の面）において基部３１ｂ、第１圧電素子６１、ベース部２に固定されている。絶縁部２５は、箔部の表面に配線本体部２６が設けられ、配線本体部２６の幅方向両側に配線本体部２６を保持する保持部２５ａが突設されている。
【００３８】
配線本体部２６は、ペースト状の導電材、例えば銀ペースト（銀＋ガラス＋樹脂材；鉛筆硬度Ｂ）によって形成されており、一端において配線１１（配線部２２の場合は配線１２）に接続され、他端において絶縁部２５から延出して基部３１ｂに接続されている。
【００３９】
配線部２３は、先端部３１ａ、第２圧電素子７１、基部３１ｂ、第１圧電素子６１、ベース部２に跨る配線経路に沿って形成された絶縁部２７と、絶縁部２７の表面（他方の面）上に形成された配線本体部２８とを備えている。絶縁部２７は、絶縁部２５と同様の材料、厚さに形成され、裏面（一方の面）において先端部３１ａ、第２圧電素子７１、基部３１ｂ、第１圧電素子６１、ベース部２に固定されている。絶縁部２７は、図３（ｂ）に示すように、箔部の表面に配線本体部２８が設けられ、配線本体部２８の幅方向両側に配線本体部２８を保持する保持部２７ａが突設されている。
【００４０】
配線本体部２８は、配線本体部２６と同様の材料、厚さに形成され、一端において配線１３（配線部２４の場合は配線１４）に接続され、図３（ｃ）に示すように、他端において絶縁部２７から延出して先端部３１ａに接続されている。
【００４１】
配線部２１の製造方法としては、まず、上述した絶縁部形成材料を含むペースト材を、ディスペンサーによる塗布、３軸ロボットに搭載したインクジェット装置による塗布等により配線経路に沿って箔部を形成した後に、保持部２５ａを形成することにより絶縁部２５を形成する。次に、上述した配線本体部形成材料を含むペースト材を、ディスペンサーによる塗布、３軸ロボットに搭載したインクジェット装置による塗布等により、保持部２５ａの間に形成するとともに、絶縁部２５から延出させて配線１１、基部３１ｂに接続させることにより配線本体部２６が形成される。これにより、配線部２１が形成される。
なお、上記ペースト状の絶縁部２５及び配線本体部２６については、溶剤が揮発することで硬化は生じるものの、軟弾性は維持される。
他の配線部２２〜２４についても、同様の手順にて製造可能である。
【００４２】
上記構成の駆動装置１においては、駆動駒３によりロータ４を回転させる際には、第１組の３つの駆動駒３１を同期して駆動させる。そして、第１組の駆動駒３１と所定の位相差を有して、第２組の３つの駆動駒３２を、第１組の３つの駆動駒３１と同様に同期して駆動させる。これにより、第１組の３つの駆動駒３１と第２組の３つの駆動駒３２とが、ロータ４を交互に支持して回転させる。
【００４３】
具体的には、電源部１０の第１端子Ｔ１は、配線部２１を介して第１圧電素子６１に正弦波状の電圧を供給する。すると、第１圧電素子６１は、支持軸５の軸方向に沿う第１の方向に厚みすべり振動を開始する。駆動駒３１は、第１圧電素子６１の変形によって駆動され、ベース部２から離間する方向へ移動する。
【００４４】
このとき、電源部１０の第３端子Ｔ３は、配線部２３を介して第２圧電素子７１に正弦波状の電圧を供給している。すると、第２圧電素子７１は、各駆動駒３の中心を通る中心円の接線方向、すなわち各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向（第２の方向）において、ロータ４の回転方向Ｒの前方向へ厚みすべり振動を開始する。駆動駒３１の先端部３１ａは、第２圧電素子７１の変形によって第２の方向に駆動される。このとき、駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４との間に作用する摩擦力によってロータ４を回転方向Ｒの前方へ回転させる。
【００４５】
その後、第１圧電素子６１は、電源部１０の第１端子Ｔ１によって供給された正弦波状の電圧により、ロータ４から離れる逆方向の変形を開始する。第１組の駆動駒３１は、第１圧電素子６１の逆方向の変形により、ロータ４から離間する方向に移動する。
【００４６】
このとき、第２圧電素子７１は、配線部２３を介して電源部１０の第３端子Ｔ３によって供給された正弦波状の電圧により、ロータ４の回転方向Ｒの後方側への逆方向の変形を開始する。第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４から離れた状態で、第２圧電素子７１の逆方向の変形により、ロータ４の回転方向Ｒの後方側へ向けて移動する。
【００４７】
その後、第１組の駆動駒３１は、ロータ４への先端部３１ａの接触、ロータ４の回転方向Ｒの前方側への先端部３１ａの移動、ロータ４からの先端部３１ａの離間、ロータ４の回転方向Ｒの後方側への先端部３１ａの駆動、を繰り返す。すなわち、駆動駒３１の基部３１ｂ、第２圧電素子７１、及び先端部３１ａは、第１圧電素子６１により駆動され、支持軸５の軸方向に沿って振動する。また、駆動駒３１の先端部３１ａは、第２圧電素子７１により駆動され、基部３１ｂ及びベース部２に対して、各駆動駒３の中心におけるロータ４の回転円の接線方向（第２の方向）に沿って振動する。これにより、第１組の駆動駒３１は、先端部３１ａが円軌道または楕円軌道を描くように駆動する。
【００４８】
第２の駆動駒３２は、第１組の駆動駒３１と所定の位相差を有しており、第１組の駆動駒３１と同様に駆動する。すなわち、電源部１０の第２端子Ｔ２は、第１端子Ｔ１が供給する電圧と同様の波形を有し、第１端子Ｔ１が供給する電圧と所定の位相差を有する正弦波状の電圧を、配線部２２を介して第１圧電素子６２に供給する。また、電源部１０の第４端子Ｔ４は、第３端子Ｔ３が供給する電圧と同様の波形を有し、第３端子Ｔ３が供給する電圧と所定の位相差を有する正弦波状の電圧を、配線部２４を介して第２圧電素子７２に供給する。
【００４９】
第２組の３つの駆動駒３２の先端部３２ａは、第１組の３つの駆動駒３１の先端部３１ａがロータ４から離間する前にロータ４に接触し、第１組の３つの駆動駒３１の先端部３１ａがロータ４に接触した後にロータ４から離間する。したがって、ロータ４は、第１組の３つの駆動駒３１と第２組の３つの駆動駒３２とにより交互に支持されて駆動され、支持軸５の軸方向における位置をほぼ一定に保った状態で所定の回転速度で回転方向Ｒの前方又は後方へ回転する。
【００５０】
上記基部３１ｂ、３２ｂの上下方向（第１方向）の移動、及び先端部３１ａ、３２ａの左右方向（第２方向）の移動に際しては、絶縁部２５、２７、配線本体部２６、２８のいずれもがペースト状であり、駆動駒３１、３２の移動に伴って伸縮するため、駆動駒３１、３２に及ぶ引張応力等の影響が抑制される。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態では、ペースト状の配線本体部２６、２８を備える配線部２１〜２４を用いて圧電素子６、７を駆動するため、駆動駒３１、３２の振動時にも振動の減衰を抑制することが可能になる。また、本実施形態では、配線本体部２６、２８が伸縮するため、フレキシブル基板を用いた場合のように弛みをもって配置する必要がなく、装置の大型化についても抑制することができる。特に、本実施形態では、絶縁部２５、２７についてもペースト状に形成しているため、より効果的に駆動駒３１、３２に及ぶ引張応力等の影響を抑制することができる。
【００５２】
さらに、本実施形態では、絶縁部２５、２７に保持部２５ａ、２７ａを設けているため、ペースト状の配線本体部２６、２８が流動してしまうことを阻止することができ、短絡等の不測の事態が生じることを回避できる。
加えて、本実施形態では、上述のように、配線本体部２６、２８が伸縮することから、熱膨張係数が異なる部材間に配線部を形成する場合でも、配線本体部２６、２８が熱膨張差に応じて伸縮することで駆動駒３１、３２等に熱膨張差に起因する引張応力等の影響を抑制することができる。
【００５３】
（第２実施形態）
次に、駆動装置の第２実施形態について、図４乃至図６を参照して説明する。
上記第１実施形態では、複数の圧電素子及び弾性体を周方向に沿って配置し、被駆動体を回転駆動する構成としたが、本実施形態では、複数の圧電素子を直線上に配置し、被駆動体を直動する構成について説明する。
この図において、図１乃至図３に示す第１実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
【００５４】
図４は、駆動装置１Ａの概略構成を示す外観斜視図である。図示するように、駆動装置１Ａは、圧電素子１７１、及び圧電素子１７１と接触する金属製の弾性体１７２とからなる振動子１７０と、弾性体１７２における圧電素子１７１との接触面と反対側の面に設けられた出力取り出し用の突起部１７３ａ、１７３ｂと、移動子（被駆動体）１７４とから構成される。振動子１７０は、後述するように、縦１次モード振動の定在波と、曲げ２次モード振動の定在波とが発生するように構成されている。
【００５５】
なお、以下の説明では、図４に矢印で示す移動子１７４の移動方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する振動子１７０及び移動子１７４の幅方向をＸ方向とし、これらＸ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向として適宜説明する。
【００５６】
圧電素子１７１の＋Ｚ側には、Ｙ方向に沿って、Ｘ方向をそれぞれが分極方向とする４つの電極ＤＡ１、ＤＢ１、ＤＡ２、ＤＢ２が＋Ｙ側から順次設けられている。圧電素子１７１の−Ｚ側には、各電極に一括して接続されるＧＮＤ電極（図示せず）が設けられている。奇数番目に配置された電極ＤＡ１、ＤＡ２は、配線部１２０Ａにより一括的に接続される。偶数番目に配置された電極ＤＢ１、ＤＢ２は、配線部１２０Ｂにより一括的に接続される。
【００５７】
図５（ａ）は、圧電素子１７１の平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＡ−Ａ線視断面図である。なお、図５（ｂ）では、ＧＮＤ電極の図示を省略している。
図５（ａ）に示すように、配線部１２０Ａは、電極ＤＡ１、ＤＢ１、ＤＡ２に跨るＹ方向に延びる部分と、Ｘ方向に延びて電源部（図示せず）に接続される部分とを有するＬ字状の配線経路を有している。また、配線部１２０Ａは、第１実施形態で説明した配線部２１〜２４と同様に、裏面において電極ＤＡ１、ＤＢ１、ＤＡ２に固定された絶縁部１２１Ａと、絶縁部１２１Ａの表面に形成された配線本体部１２２Ａとを備えている。絶縁部１２１Ａには、配線本体部１２２Ａの幅方向両側で配線本体部１２２Ａを保持する保持部１２３Ａが突設されている。
【００５８】
絶縁部１２１Ａにおいて電極ＤＡ１、ＤＡ２と対向する位置には、電極ＤＡ１と配線本体部１２２Ａとを接続する導電ポストＰＡ１と、電極ＤＡ２と配線本体部１２２Ａとを接続する導電ポストＰＡ２とが設けられている。
【００５９】
配線部１２０Ｂは、電極ＤＢ１、ＤＡ２、ＤＢ２に跨るＹ方向に延びる部分と、Ｘ方向に延びて電源部（図示せず）に接続される部分とを有するＬ字状の配線経路を有している。また、配線部１２０Ｂは、第１実施形態で説明した配線部２１〜２４と同様に、裏面において電極ＤＢ１、ＤＡ２、ＤＢ２に固定された絶縁部１２１Ｂと、絶縁部１２１Ｂの表面に形成された配線本体部１２２Ｂとを備えている。絶縁部１２１Ｂには、配線本体部１２２Ｂの幅方向両側で配線本体部１２２Ｂを保持する保持部１２３Ｂが突設されている。
【００６０】
図５（ｂ）に示すように、絶縁部１２１Ｂにおいて電極ＤＢ１、ＤＢ２と対向する位置には、電極ＤＢ１と配線本体部１２２Ｂとを接続する導電ポストＰＢ１と、電極ＤＢ２と配線本体部１２２Ｂとを接続する導電ポストＰＢ２とが設けられている。
【００６１】
これら配線本体部１２２Ａ、１２２Ｂ、導電ポストＰＡ１、ＰＡ２、ＰＢ１、ＰＢ２は、上述した配線部２１〜２４における配線本体部２６、２８と同様の、ペースト状の導電材で形成されている。また、絶縁部１２１Ａ、１２１Ｂについても、上述した配線部２１〜２４における絶縁部２５、２７と同様の材料で形成されている。
【００６２】
電源部は、配線部１２０Ａ及び導電ポストＰＡ１、ＰＡ２を介して電極ＤＡ１、ＤＡ２にＡ相の電圧を印加するとともに、配線部１２０Ｂ及び導電ポストＰＢ１、ＰＢ２を介して電極ＤＢ１、ＤＢ２に、Ａ相と９０°の位相差を有するＢ相の電圧を印加する。
【００６３】
弾性体１７２は、Ｙ方向に延在する略直方体の、例えば金属材で形成されている。弾性体１７２の振動の節となるＹ方向中央に位置するＸ方向の端縁には、平面視略半円形状の切欠部１７５がそれぞれ設けられている。切欠部１７５には、固定部材（図示せず）に支持されＺ方向に延在する支持ピン１８２が遊嵌することで、弾性体１７２は、Ｙ方向に関しては位置決めされつつ、曲げ振動自在に支持される。なお、固定部材は＋Ｚ側から−Ｚ側に向けて加圧された状態で圧電素子１７１に当接するため、振動子１７０は、−Ｚ側への加圧力が付与されて移動子１７４に当接する。
【００６４】
移動子１７４は、例えば、アルミニウムといった軽金属からなり、突起部１７３ａ、１７３ｂに加圧接触されている。
【００６５】
突起部１７３ａ、１７３ｂは、耐摩耗性に優れたエンジアリングプラスチック材料等で形成され、振動子１７０の縦１次モード振動の定在波の振幅が最大になり、且つ曲げ２次モード振動の定在波の振幅が最大となる位置に設けられている。
【００６６】
次に、上記構成の駆動装置１Ａにおいて、振動子１７０による振動の発生について、図６を参照して時系列的に説明する。
【００６７】
まず、時間ｔ１では、電源部からＡ相としてマイナスの電圧が印加され、Ｂ相としてプラスの電圧が印加されると、電極ＤＢ１、ＤＢ２がＸ方向で縮み、電極ＤＡ１、ＤＡ２がＸ方向で伸びるため、弾性体１７２には、縦方向の変位は発生せず、破線で示す曲げ変位が発生する。
【００６８】
次に、時間ｔ２では、電源部からＡ相としてプラスの電圧が印加され、Ｂ相としてプラスの電圧が印加されると、電極ＤＢ１、ＤＢ２がＸ方向で伸び、電極ＤＡ１、ＤＡ２がＸ方向で伸びるため、弾性体１７２には曲げ変位は発生せず、長さ方向の変位が発生する。
【００６９】
続いて、時間ｔ３では、電源部からＡ相としてプラスの電圧が印加され、Ｂ相としてマイナスの電圧が印加されると、電極ＤＢ１、ＤＢ２がＸ方向で伸び、電極ＤＡ１、ＤＡ２がＸ方向で縮むため、弾性体１７２には、縦方向の変位は発生せず、実線で示す曲げ変位が発生する。
【００７０】
続いて、時間ｔ４では、電源部からＡ相としてマイナスの電圧が印加され、Ｂ相としてマイナスの電圧が印加されると、電極ＤＢ１、ＤＢ２がＸ方向で縮み、電極ＤＡ１、ＤＡ２がＸ方向で縮むため、弾性体１７２には曲げ変位は発生せず、長さ方向の変位が発生する。
【００７１】
そして、時間ｔ５以降では、上記時間ｔ１〜ｔ４と同様に電圧を印加することにより、突起部１７３ａ、１７３ｂには、励起された縦振動と、曲げ振動との合成により、楕円運動が生じる。そして、突起部１７３ａ、１７３ｂは、移動子１７４に加圧接触されているので、移動子１７４には摩擦によりＹ方向の駆動力が生じる。
【００７２】
以上のように、本実施形態でも、ペースト状の移動子１７４を直動させる場合でも、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
次に、上記第１実施形態の駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。
【００７４】
図７は、図１に示す駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。図７に示すように、カメラ１０１は、撮像素子１０８が内蔵されたカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。
【００７５】
レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、駆動装置１等を備えている。駆動装置１は、カメラ１０１のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置１のロータ４から得られた駆動力は、直接、カム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、駆動装置１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【００７６】
カメラ１０１の使用時には、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００７７】
以上説明したように、カメラ１０１及びレンズ鏡筒１０３は、上述の駆動装置１を備えているため、配線による精度低下が生じず高精度なフォーカス動作を実行できるとともに、小型化を実現できる。
【００７８】
なお、本実施形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
【００７９】
次に、上記第２実施形態の駆動装置１Ａを備えたレンズ鏡筒の一例について、図８を参照して説明する。
図８は、レンズ鏡筒１０Ｂの構成を示す概略図である。レンズ鏡筒１０Ｂは、レンズ鏡筒１０Ｂの外周部を覆う外側固定筒１０１Ｂと、外側固定筒１０１Ｂよりも内側における被写体側に位置する第１内側固定筒１０２Ｂと、外側固定筒１０１Ｂよりも内側における像側に位置する第２内側固定筒１０３Ａとを備えている。
【００８０】
また、レンズ鏡筒１０Ｂは、外側固定筒１０１Ｂと第２内側固定筒１０３Ｂとの間に配置されると共に、固定部材１８１により第１内側固定筒１０２Ｂに固定された振動波モータ１２Ｂと、外側固定筒１０１Ｂの内周側から内側に張り出した保持部１０１ａに配置された振動波モータ駆動装置１４Ａとを備えている。振動波モータ制御装置１４Ａは、振動波モータ１２Ｂに電気的に接続され、振動波モータ１２Ｂを駆動させる。そして、振動波モータ１２Ｂとして、上記第２実施形態の駆動装置１Ａが用いられる。
【００８１】
また、第１内側固定筒１０２Ｂには、被写体側から第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２が固定され、第２内側固定筒１０３Ｂには、第４レンズ群Ｌ４が固定されている。第２レンズ群Ｌ２と第４レンズ群Ｌ４との間には、ＡＦ環１８７に保持された合焦用のＡＦレンズである第３レンズ群Ｌ３が配置されている。即ち、第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２、第３レンズ群Ｌ３、及び、第４レンズ群Ｌ４が、光軸方向において、被写体側から撮像素子側に向かって順に配置されている。
【００８２】
振動子１７０は、固定部材１８１に設けられた支持ピン１８２が、振動子１７０の切欠部１７５と勘合し支持されている。加圧部材１８３は、固定部材１８１と、振動子１７０との間に設けられ、振動子１７０を移動子１７４に加圧接触させている。
移動子１７４は、リニアレール１８５に対して光軸方向に対して移動自在なリニアガイド１８４に固定されている。リニアレール１８５は、第１内側固定筒１０２Ｂの外周側に光軸方向に沿って固定されている。これにより、移動子１７４は、光軸方向に対して直線移動が可能となっている。
【００８３】
移動子１７４には、フォーク１８６が取り付けられており、移動子１７４の直線運動がフォーク１８６を介してＡＦ環１８７に伝達される。ＡＦ環１８７には、ガイド部１８８が設けられている。ガイド部１８８は、第１内側固定筒１０２Ｂの内周側に光軸方向に沿って設けられた直線レール１８９に沿って移動自在になっている。
これにより、移動子１７４の光軸方向の直線運動がＡＦ環１８７に伝達され、ＡＦ環１８７を光軸方向に移動させることができる。
【００８４】
本実施形態では、レンズ鏡筒１０Ｂは、リニア型の振動波モータ１２Ｂを備えた構成となっているが、駆動信号Ｓａ、Ｓｂの周波数、振幅、及び位相差により、振動波モータ１２Ｂの移動速度及び移動方向を制御することができる。
【００８５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００８６】
例えば、上記実施形態では、配線部本体の幅方向両側に保持部を突設する構成としたが、配線部本体の下側のみに設ける構成や、配線部本体の流動性によっては保持部を設けない構成としてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１、１Ａ…駆動装置、  ３ａ…先端部（第２部材）、  ３ｂ…基部（第１部材）、  ４…ロータ（被駆動体）、  ６…第１圧電素子、  ６ａ…第１圧電素子構成体、  ７…第２圧電素子、  １０…電源部（印加装置）、  １０Ｂ…レンズ鏡筒、  ２１〜２４、１２０Ａ、１２０Ｂ…配線部、  ２５、２７…絶縁部、  ２５ａ、２７ａ…保持部、  ２６、２８…配線本体部、  １０１…カメラ、  １０３…レンズ鏡筒、  １０６…カム筒、  １０７…レンズ、  １０８…撮像素子、  １２１Ａ、１２１Ｂ…絶縁部、  １２２Ａ、１２２Ｂ…配線本体部、  １２３Ａ、１２３Ｂ…保持部、  １７１…圧電素子、  １７２…弾性体、  １７４…移動子（被駆動体）、  ＤＡ１、ＤＢ１、ＤＡ２、ＤＢ２…電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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