(57)【要約】      （修正有）【課題】比較的簡単な構成で、パレットを所定の姿勢に保持することができるカメラモジュール測定装置を提供する。【解決手段】２以上のカメラモジュール１００を個別に保持し、レンズに対して開口されるレンズ側開口部２０２が形成される保持部２０１を有する保持手段２００と、カメラモジュール１００のピントのずれ方向およびずれ量を測定する測定手段３００，３０１，３０２と、カメラモジュール１００が１つずつ測定位置に配置されるように保持手段２００を移動する移動手段４００と、レンズ側開口部２０２とは反対側の部分に当接し、保持手段２００を測定手段に向けて押圧して、被測定側光軸を中心として被測定側光軸の周囲に設けられる保持手段側当接部２０３を、測定手段の光軸に直交する面内に配置され、測定側光軸を中心として測定側光軸の周囲に設けられる測定手段側当接部３０１に当接させる押圧手段５００，５１０とを備える。【選択図】図１
2013101231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズとこのレンズを透過した光を受光する撮像素子とが１つのモジュール内に収容された２以上のカメラモジュールを個別に保持し、前記レンズに対して開口されるレンズ側開口部が形成される保持部を有する保持手段と、
前記カメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量を測定する測定手段と、
前記カメラモジュールが１つずつ前記測定を行う測定位置に配置されるように前記保持手段を移動する移動手段と、
互いに当接する当接部であって、前記保持手段に設けられ、前記測定位置に配置される前記カメラモジュールの光軸（被測定側光軸）に直交する面内に配置され、前記被測定側光軸を中心として前記被測定側光軸の周囲に設けられる保持手段側当接部、および、前記測定手段に設けられ、前記測定手段の光軸（測定側光軸）に直交する面内に配置され、前記測定側光軸を中心として前記測定側光軸の周囲に設けられる測定手段側当接部と、
前記保持手段の前記測定位置に配置される前記カメラモジュールを保持している前記保持部の前記レンズ側開口部とは反対側の部分に当接し、前記保持手段を前記測定手段に向けて押圧して、前記保持手段側当接部を前記測定手段側当接部に当接させる押圧手段と、
を備えることを特徴とするカメラモジュール測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカメラモジュール測定装置において、
前記２以上のカメラモジュールはそれぞれ、前記レンズおよび前記撮像素子に加え、前記レンズを保持しているレンズ鏡筒と、前記レンズ鏡筒を保持する筐体と、をさらに有し、
前記レンズ鏡筒と前記筐体との間に形成されるネジ部に沿って前記レンズ鏡筒が光軸中心に回転されることにより前記レンズと前記撮像素子の撮影面との距離が調整可能であり、
前記測定手段により測定された前記カメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量に基づいて前記レンズ鏡筒を回転させ前記カメラモジュールのピント調整を行う回転手段を有し、
前記測定手段側当接部は、ベアリングにより構成され、前記回転手段に備えられている、
ことを特徴とするカメラモジュール測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のカメラモジュール測定装置において、
前記保持手段は、
前記保持部に保持された前記カメラモジュールに当接することにより、カメラモジュールの前記測定手段側への移動を規制する位置決め当接部と、
前記押圧手段が配置される側に開口する押圧手段側開口部と、
を有し、
前記押圧手段には、前記保持手段に当接している状態で、前記押圧手段側開口部を通して前記カメラモジュールを前記位置決め当接部に押圧する位置決め用押圧手段が備えられている、
ことを特徴とするカメラモジュール測定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のカメラモジュール測定装置において、
前記保持手段は、前記保持部が規則的に配列された平板状の部材として形成され、
前記保持部は、前記カメラモジュールをその光軸を前記平板状の部材の面に直交させて保持する構造であり、
前記レンズ側開口部の周辺の平坦な面が、前記保持手段側当接部となる
ことを特徴とするカメラモジュール測定装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のカメラモジュール測定装置において、
前記押圧手段とは別に、前記保持手段を、前記保持手段側当接部と前記測定手段側当接部とが当接しない程度に前記測定手段に向けて付勢する付勢手段を備える、
ことを特徴とするカメラモジュール測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラモジュール測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズと撮像素子とが筐体等に組み込まれた一体的な構成であり、携帯電話やウェブカメラ等の電子機器に組み込まれて使用されるカメラモジュールが知られている。このようなカメラモジュールの製造にあたっては、画像評価用のチャートを撮影し、その撮像状態に基づいて、カメラモジュールのピント調整が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３０１１６８号公報
【特許文献２】特開２００６−２０８９３２号公報
【特許文献３】特開２００９−３１５２号公報
【特許文献４】特開２００９−３０２８３７号公報
【特許文献５】特開２００６−３０２５６号公報
【特許文献６】特開２００７−５７８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明者は、カメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量の測定に当たって、その効率化を図るため、複数のカメラモジュールを１つのパレットに保持し、このパレットを測定機構に対して移動し、順次にカメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量を測定することができる測定装置を発明し、先に特願２０１１−０９３０９５として出願した。
【０００５】
一方、近年、撮像素子の高画素化等に伴い、より精度の高いピント調整が望まれている。精度の高いピント調整を行うためには、カメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量を正確に測定する必要がある。このような測定を正確に行うためには、カメラモジュールの光学系の光軸（以下、被測定側光軸と記載する）と、測定装置の光学系の光軸（以下、測定側光軸と記載する）とが平行となるように、好ましくは一致するようにカメラモジュールを配置する必要がある。つまり、被測定側光軸が測定側光軸に平行になるように、パレットを測定側光軸に対して所定の姿勢（傾き）に保持すると共に、被測定側光軸が測定側光軸にできるだけ一致させるように、パレットを測定側光軸と直交する方向に移動させる必要がある。
【０００６】
しかしながら、パレットは、カメラモジュールがパレット内で移動してしまわないようにしっかりと保持する必要があることから、それなりの強度が必要であり、重量も大きくならざるを得ない。そのため、パレットを所定の姿勢に保持するための機構が勢い大型化し、複雑化する虞がある。
【０００７】
そこで、本発明は、比較的簡単な構成で、パレットを該所定の姿勢に保持することができるカメラモジュール測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のカメラモジュール測定装置は、レンズとこのレンズを透過した光を受光する撮像素子とが１つのモジュール内に収容された２以上のカメラモジュールを個別に保持し、レンズに対して開口されるレンズ側開口部が形成される保持部を有する保持手段と、カメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量を測定する測定手段と、カメラモジュールが１つずつ測定位置に配置されるように保持手段を移動する移動手段と、互いに当接する当接部であって、保持手段に設けられ、測定位置に配置される前記カメラモジュールの光軸（被測定側光軸）に直交する面内に配置され、被測定側光軸を中心として被測定側光軸の周囲に設けられる保持手段側当接部、および、測定手段に設けられ、測定手段の光軸（測定側光軸）に直交する面内に配置され、測定側光軸を中心として測定側光軸の周囲に設けられる測定手段側当接部と、保持手段の測定位置に配置されるカメラモジュールを保持している保持部のレンズ側開口部とは反対側の部分に当接し、保持手段を測定手段に向けて押圧して、保持手段側当接部を測定手段側当接部に当接させる押圧手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
２以上のカメラモジュールはそれぞれ、レンズおよび撮像素子に加え、レンズを保持しているレンズ鏡筒と、レンズ鏡筒を保持する筐体と、をさらに有し、レンズ鏡筒と筐体との間に形成されるネジ部に沿ってレンズ鏡筒が光軸中心に回転されることによりレンズと撮像素子の撮影面との距離が調整可能であり、測定手段により測定されたカメラモジュールのピントのずれ方向およびずれ量に基づいてレンズ鏡筒を回転させカメラモジュールのピント調整を行う回転手段を有し、測定手段側当接部は、ベアリングにより構成され、回転手段に備えられることが望ましい。
【００１０】
保持手段は、保持部に保持されたカメラモジュールに当接することにより、カメラモジュールの測定手段側への移動を規制する位置決め当接部と、押圧手段が配置される側に開口する押圧手段側開口部と、を有し、押圧手段には、保持手段に当接している状態で、押圧手段側開口部を通してカメラモジュールを位置決め当接部に押圧する位置決め用押圧手段が備えられていることが望ましい。
【００１１】
保持手段は、保持部が規則的に配列された平板状の部材として形成され、保持部は、カメラモジュールをその光軸を平板状の部材の面に直交させて保持する構造であり、レンズ側開口部の周辺の平坦な面が、保持手段側当接部となることが望ましい。
【００１２】
押圧手段とは別に、保持手段を、保持手段側当接部と測定手段側当接部とが当接しない程度に測定手段に向けて付勢する付勢手段を備えることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、比較的簡単な構成で、パレットを所定の姿勢に保持することができるカメラモジュール測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係るカメラモジュール測定装置の主要部の構成を示す図であり、測定実施中の状態を示す図である。
【図２】図１に示すカメラモジュール測定装置において、測定手段が測定対象モジュールから離れた状態を示す図である。
【図３】カメラモジュールの構成例を示す図である。
【図４】パレットの構成例を示す図である。
【図５】本発明のカメラモジュール測定装置の全体的な構成例を示す図である。
【図６】図５に示すカメラモジュール測定装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図７】回転調整機構の構成を示す図であり、上段（Ａ）は、回転調整機構の概略の構成を側面から見たときの図であり、下段（Ｂ）は、回転調整機構の吸着機構の概略の構成を斜め後方から見た拡大図である。
【図８】ピント調整のために用いられるチャートの構成を示す図であり、上段（Ａ）は、チャートの全体を示した図であり、中段（Ｂ）は、チャートの一部分の拡大図であり、下段（Ｃ）は、チャートの構成を説明するための参考図でありチャートから色彩を省略した図である。
【図９】チャートの構成を説明するための参考図である。
【図１０】カメラモジュール測定装置のピント調整動作を説明するフローチャートである。
【図１１】ＣＭＯＳの画素の露光タイミングと、垂直駆動信号の出力タイミングと、照明装置の点灯・消灯タイミングと、チャートの移動タイミングとを示すタイミングチャートである。
【図１２】カメラモジュール測定装置の変形例の構成を示す図である。
【図１３】回転調整機構の変形例の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係るカメラモジュール測定装置について、図面を参照して説明する。
【００１６】
図１および図２は、本発明の実施の形態に係るカメラモジュール測定装置１（図５参照）の主要部の構成を示す図である。図１は、回転調整機構３００がカメラモジュール１００に接して測定を行っている状態、図２は、回転調整機構３００が測定対象のカメラモジュール１００から離れた状態を示す。以下の説明において、回転調整機構３００とカメラモジュール１００とが配置される方向、すなわち光軸３１１に沿う方向を上下方向とし、カメラモジュール１００に対して回転調整機構３００が配置される方向を上方（上側）、その反対方向を下方（下側）として説明を行う。
【００１７】
（カメラモジュール測定装置１の主要部の構成）
このカメラモジュール測定装置１は、図１に示すように、レンズとこのレンズを透過した光を受光する撮像素子とが１つのモジュール内に収容された２以上のカメラモジュール１００を個別に保持し、カメラモジュール１００に備えられる撮影レンズ１０１（図３参照）レンズに対して開口されるレンズ側開口部２０２が形成される保持部２０１を有する保持手段として、パレット２００を備える。また、このカメラモジュール測定装置１は、カメラモジュール１００のピントのずれ方向およびずれ量を測定する測定手段として、回転調整機構３００、コンバータレンズ３１０、および画像評価用のチャート３２０（以下、単に「チャート」という）を備える。さらに、このカメラモジュール測定装置１は、カメラモジュール１００が１つずつ測定位置に配置されるようにパレット２００を移動する移動手段として、パレット駆動部４００を備える。パレット駆動部４００は、コンバータレンズ３１０の光軸３１１に直交すると共に互いに直交する２方向であるｘ方向およびｙ方向にパレット２００を移動させることができる。また、このカメラモジュール測定装置は、互いに当接する当接部であって、パレット２００に設けられ、測定位置に配置されるカメラモジュール１００（以下、「測定対象モジュール１００ａ」という）の光軸（被測定側光軸）に直交する面内に配置され、被測定側光軸を中心として被測定側光軸の周囲に設けられる保持手段側当接部としてのパレット側当接部２０３と、測定手段の回転調整機構３００に設けられ、回転調整機構３００の光軸である測定側光軸としての光軸３１１（測定側光軸）に直交する面内に配置され、光軸３１１を中心として光軸３１１の周囲に設けられる測定手段側当接部３０１とを備える。さらに、このカメラモジュール測定装置１は、パレット２００の測定位置に配置される測定対象モジュール１００ａを保持している保持部のレンズ側開口部２０２とは反対側の部分に当接し、パレット２００を回転調整機構３００に向けて押圧して、パレット側当接部２０３を測定手段側当接部３０１に当接させる押圧手段として、押圧駆動部５００および押圧部５１０を備える。
【００１８】
また、このカメラモジュール測定装置１は、回転調整機構３００を駆動するためのモーター３０２および回転駆動機構３０３を備える。さらに、カメラモジュール測定装置１は、押圧駆動部５００および押圧部５１０からなる押圧手段とは別に、パレット２００を、パレット側当接部２０３と測定手段側当接部３００とが当接しない程度に回転調整機構３００に向けて付勢する付勢手段として、付勢部６００を備える。押圧部５１０の上面には、測定対象モジュールに電気的に接続される電極５１１が配置されている。押圧部５１０は、パレット２００に押圧されたときに変形しないように、ステンレス製の筐体から構成されている。筐体内部には、撮像素子１０４を駆動するための図外の中継基板が収納されている。このように、パレット２００に当接する押圧部５１０内に該中継基板を収納することで、装置の大型化を抑えた構成で押圧部５１０を備えることができる。
【００１９】
押圧部５１０のパレット２００と当接する部分は平面に形成されている。押圧部５１０のパレット２００と当接する部分は平面に形成されることで、押圧部５１０がパレット２００に当接した際に押圧力が分散され、押圧力によるパレット２００の変形を防止できる。
【００２０】
また、押圧部５１０のパレット２００と当接する部分は、測定手段側当接部３０１と上下方向において重なる部分を有する。つまり、押圧部５１０がパレット２００に押圧されたときに、パレット２００は、光軸３１１に平行な上下方向を測定手段側当接部３０１と押圧部５１０との間に挟まれる。そのため、押圧部５１０をパレット２００に押圧したときに、押圧部５１０からパレット２００に対してパレット２００を変形させてしまう力が作用し難くなる。これに対し、押圧部５１０のパレット２００に当接する部分が、測定手段側当接部３０１よりも光軸３１１側、あるいは光軸３１１から離れる側にずれている場合（押圧部５１０のパレット２００に当接する部分と、測定手段側当接部３０１とが上下方向において重なる部分を有さない場合）には、押圧部５１０が押圧されるパレット２００に、パレット２００を湾曲させる力が作用し易くなる。そのため、測定対象モジュール１００ａの被測定側光軸と光軸３１１（測定側光軸）とを平行に配置し難くなる虞がある。
【００２１】
図２に示すように、測定手段側当接部３０１および押圧部５１０がパレット２００から離れている状態で、パレット駆動部４００により、パレット２００を水平方向（ｘ−ｙ方向）の面内に移動させることができる。この移動により、パレット２００に保持されている個々のカメラモジュール１００を、回転調整機構３００に対して移動させることができる。そして、測定対象モジュール１００ａが回転調整機構３００および押圧部５１０の間である測定位置に位置している状態で、押圧駆動部５００により押圧部５１０を光軸３１１に沿う方向、本実施の形態では鉛直方向（この方向をｚ方向とする）に持ち上げる（移動させる）。これにより、図１に示すように、測定対象モジュール１００ａに電力供給および電気的測定のための電極５１１が接続されるとともにパレット側当接部２０３が測定手段側当接部３０１に当接される。
【００２２】
（カメラモジュール１００の測定）
図１に示す状態、すなわち測定対象モジュール１００ａに電極５１１が接続され、パレット側当接部２０３が測定手段側当接部３０１に当接されている状態で、測定対象モジュール１００ａのピントのずれ方向およびずれ量の測定が行われる。つまり、測定対象モジュール１００ａにより、コンバータレンズ３１０を介して、コンバータレンズ３１０の光軸３１１の先に配置されたチャート３２０に示される画像を撮像する。この撮像結果の信号は、電極５１１および押圧部５１０内に収納される中継基板を介して取り出される。取り出された信号が信号処理され、測定対象モジュール１００ａのピントのずれ方向およびずれ量が測定および評価される。この評価方法については、後で詳しく説明する。なお、カメラモジュール測定装置１は、該測定が終わった後、測定結果に基づいて、モーター３０２により回転駆動機構３０３を介して回転調整機構３００を駆動し、この回転調整機構３００が当接している測定対象モジュール１００ａの焦点位置を調節することができる。
【００２３】
（測定のための位置合わせ）
この測定において、測定対象モジュール１００ａの光軸、すなわち被測定側光軸Ｘ１（図３参照）と、コンバータレンズ３１０の光軸３１１、すなわち測定側光軸とを、平行に配置し、できる限り一致させることが重要である。このためには、パレット２００の位置とコンバータレンズ３１０の位置との関係を、正しく保つことが必要である。パレット駆動部４００や押圧駆動部５００等のパレット２００の支持および駆動する機構に大掛かりな機構を用いれば、パレット２００を水平に保つことが可能である。しかし、それではコストがかかってしまう。できれば、押圧部５１０の部分を押圧駆動部５００により持ち上げるだけで、パレット２００とコンバータレンズ３１０との位置関係を正しく配置し、測定対象モジュール１００ａの被測定側光軸Ｘ１とコンバータレンズ３１０の光軸３１１とを一致する状態に近づけたい。
【００２４】
そこで、本実施の形態では、パレット２００にパレット側当接部２０３を設け、回転調整機構３００に測定手段側当接部３０１を設けている。これにより、パレット２００が水平から傾いた状態で持ち上げられても、測定手段側当接部３０１にパレット側当接部２０３が当接したときに、パレット２００は水平となる。つまり、パレット側当接部２０３はコンバーターレンズ３１０の光軸３１１に直交する配置となる。また、測定手段側当接部３０１がパレット２００に当接することで、回転調整機構３００と測定対象モジュール１００ａの間隔も所定の値に保つことができる。本実施の形態では、パレット側当接部２０３としては、レンズ側開口部２０２の周辺の平坦な部分が、そのまま用いられる。測定手段側当接部３０１としては、ベアリングが用いられる。
【００２５】
図１および図２に示す実施の形態では、測定手段側当接部３０１が回転調整機構３００に備えられている。このため、回転調整機構３００の回転力がパレット２００に伝わらないように、ベアリングを用いている。これに対して、測定対象モジュール１００ａの調整を行わない場合には、ベアリングは不要であり、単に、パレット２００と測定手段とにそれぞれ、互いに当接する当接部が設けられる。測定手段側の当接部は、測定側光軸３１１に直交する面内に配置され、測定側光軸３１１を中心として測定側光軸３１１の周囲に、測定側光軸３１１に対称な配置で３個以上が設けられる。測定手段側の当接部は、測定側光軸３１１に対称な配置で３個以上が設けられることで、パレット２００を水平に支持し易い。パレット２００側の当接部としては、上述のようにレンズ側開口部２０２の周辺の平坦な部分を用いるパレット側当接部２０３でもよく、測定手段側の当接部と相補形状の特別の構造（たとえば凹凸形状が嵌合し合う構造）が、被測定側光軸Ｘ１に直交する面内に配置されてもよい。被測定側光軸Ｘ１を中心として被測定側光軸Ｘ１の周囲に、被測定側光軸Ｘ１に対称な配置で設けることで、パレット２００を水平に支持し易くなる。
【００２６】
なお、パレット２００は、その４隅が付勢部６００により上方向に付勢されており、それほど大きな力がなくても、押圧部５１０の部分で押し上げるだけで、測定対象モジュール１００ａを回転調整機構３００に当接させることができる。付勢部６００としては、たとえば、コイルバネが用いられる。付勢部６００として、板バネや、空気バネなどを用いることもできる。
【００２７】
（カメラモジュールの構造）
ここで、カメラモジュール１００の構造について説明する。図３は、カメラモジュール１００の概略の構成を示す図であり、カメラモジュール１００の光軸Ｘ１に沿う断面を示している。図３に示すように、カメラモジュール１００は、撮影レンズ１０１と、撮影レンズ１０１を保持するレンズ鏡筒１０２と、レンズ鏡筒１０２を保持する筐体１０３と、撮像素子としてのＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ
Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）１０４等を有している。そして、カメラモジュール１００は、撮影レンズ１０１と、撮影レンズ１０１を保持するレンズ鏡筒１０２と、レンズ鏡筒１０２を保持する筐体１０３と、撮像素子としてのＣＭＯＳ１０４等が一つのユニットとして構成されている。したがって、カメラモジュール１００は、この単位で携帯電話やウェブカメラ等の電子機器に組み込まれた状態で、カメラとしての機能を有する。
【００２８】
撮影レンズ１０１により捕らえられた被写体光は、ＣＭＯＳ１０４の撮像面に受光させられる。レンズ鏡筒１０２と筐体１０３とは、ネジ部１０５によりネジ結合されている。したがって、レンズ鏡筒１０２をネジ部１０５に沿って筐体１０３に対して回転することで、ネジ部１０５のリードに従って撮影レンズ１０１を光軸Ｘ１に沿って移動することができる。つまり、レンズ鏡筒１０２をネジ部１０５に沿って筐体１０３に対して回転することで、撮影レンズ１０１の焦点位置を移動させることができる。カメラモジュール１００は、撮影レンズ１０１の焦点位置が所定位置に調整された状態で、たとえば、レンズ鏡筒１０２と筐体１０３とに亘って塗付される接着剤により、レンズ鏡筒１０２が筐体１０３に対して回転しないように固定されることで、焦点調整が行われたカメラモジュール１００として完成される。
【００２９】
図１に戻って説明すると、図３に示すようなカメラモジュール１００が、パレット２００に保持されている。回転調整機構３００は、測定された測定対象モジュール１００ａのピントのずれ方向およびずれ量に基づいてレンズ鏡筒１０２を回転させ測定対象モジュール１００ａのピント調整を行う回転手段として動作する。
【００３０】
（パレット２００の構成）
図４はパレット２００の構成例を示す図である。図１と図４を参照して、パレット２００の構成について説明する。
【００３１】
図１に示すように、パレット２００は、保持部２０１に保持されたカメラモジュール１００の当接部１０３Ａ（図３参照）に当接することにより、カメラモジュール１００の回転調整機構３００への移動を規制する位置決め当接部２０４を有し、また、押圧駆動部５００および押圧部５１０が配置される側に開口する押圧手段側開口部としての押圧部側開口部２０５を有する。押圧部側開口部２０５は、測定対象モジュール１００ａに押圧部５１０の電極５１１を接続するための開口である。当接部１０３Ａは、カメラモジュール１００の筐体１０３の上面部であり、光軸Ｘ１に直交する面となっている。当接部１０３Ａが位置決め当接部２０４に当接されたとき、光軸Ｘ１とパレット側当接部２０３とは直交する。
【００３２】
保持部２０１には、それぞれカメラモジュール１００が、上下に若干移動できるように保持される。電極５１１は、カメラモジュール１００に当接する方向に若干の弾性を有しており、押圧部５１０が押圧駆動部５００により押圧されると、電極５１１が、保持部２０１内の測定対象モジュール１００ａの当接部１０３Ａをパレットの上側の内面、すなわち位置決め当接部２０４に押し付けることなる。すなわち、電極５１１は、押圧部５１０がパレット２００に当接している状態で、押圧部側開口部２０５を通して測定対象モジュール１００ａを位置決め当接部２０４に押圧する位置決め用押圧手段として機能する。このように、測定対象モジュール１００ａの当接部１０３Ａが位置決め当接部２０４に押し付けられることで、測定対象モジュール１００ａが位置決めされる。パレット２００と測定対象モジュール１００ａは、測定対象モジュール１００ａの当接部１０３Ａが当接部２０４位置決めされた状態で、測定モジュール１００ａの光軸Ｘ１とパレット側当接部２０３の面とが直交するように、あらかじめ構成される。
【００３３】
パレット２００は、たとえば、図４に示すように、保持部２０１が規則的に配列された平板状の部材として形成される。保持部２０１は、カメラモジュール１００をその光軸Ｘ１を平板状の部材の面（パレット側当接部２０３）に直交させて保持する構造として形成される。レンズ側開口部２０２の周辺の面が、パレット側当接部２０３となる。
【００３４】
パレット２００を構成する平板状の部材は、たとえば、カメラモジュール１００のレンズ鏡筒１０２を通すことができ、当接部１０３Ａが位置決め当接部２０４に当接する大きさのレンズ側開口部２０２が設けられた第１部材２１１と、カメラモジュール１００を第１部材２１１の裏側から固定する第２部材２１２とにより形成される。位置決め当接部２０４は、第１部材２１１に形成される。第２部材２１２は、カメラモジュール１００を収容する貫通孔が設けられた部材と、押圧部側開口部２０５が設けられカメラモジュール１００を裏から押さえる部材との２つの部材により形成されてもよい。第１部材２１１の表面は、レンズ側開口部２０２の周辺の面がパレット側当接部２０３となることから、耐久性を考えると、金属製であることが望ましい。第２部材２１２は、たとえばプラスチックにより形成される。
【００３５】
以上の構成では、パレット２００、回転調整機構３００、コンバータレンズ３１０およびチャート３２０が、鉛直方向に配置されるものとした。光軸Ｘ１を光軸３１１に平行に配置し出来る限り一致させるためには、各部（パレット２００、測定手段側当接部３０１、コンバータレンズ３１０およびチャート３２０等）に光軸Ｘ１に交差する方向への荷重が懸からないことが望ましい。しかし、光軸Ｘ１を光軸３１１に平行に配置し出来る限り一致させることができれば、これらが鉛直に配置される必要はなく、水平、あるいは他の方向に配置されてもよい。
【００３６】
以下、上述したカメラモジュール測定装置１を利用する具体的なカメラモジュール１００の測定について説明する。
【００３７】
（カメラモジュール測定装置１の全体構成）
図５は、上述のカメラモジュール測定装置１の全体の構成例を示す図である。図６は、カメラモジュール測定装置１の電気的構成を示すブロック図である。
【００３８】
カメラモジュール測定装置１には、ステージ２上に上述したパレット駆動部４００、押圧駆動部５００、付勢部６００が備えられている。また、カメラモジュール測定装置１は、カメラモジュール１００のレンズ鏡筒１０２を回転しレンズ鏡筒１０２の上下方向の位置調整を行う回転調整機構３００と、コンバータレンズ３１０と、画像評価用のチャート３２０と、制御部７等を有している。そして、これらの部材あるいは機構等は、筐体８内に収容されている。なお、カメラモジュール１００からチャート３２０に向かう方向は上方（上側）であり、その反対方向は下方（下側）である。
【００３９】
筐体８には、カメラモジュール１００を収容しているパレット２００を筐体８に取り込んだり、筐体８内から取り出すことができる図示を省略する扉部が設けられている。筐体８は、扉部が閉じられた状態で筐体８内部を暗室状態とすることができるように構成されている。カメラモジュール測定装置１を操作するための操作スイッチや表示パネル等の図示を省略する操作部９（図６参照）は、筐体８の外部に備えられている。
【００４０】
図５において、制御部７は、筐体８内に配置されている。しかしながら、制御部７は、筐体８の外部に備えられてもよく、たとえば、カメラモジュール測定装置１を制御するためのプログラムがインストールされたパーソナルコンピュータを制御部７として用いてもよい。この場合、パーソナルコンピュータのキーボードを操作部９として用いる構成としてもよい。
【００４１】
パレット駆動部４００は、カメラモジュール測定装置１の光軸Ｘ２（コンバータレンズ３１０の光軸３１１）と測定対象モジュール１００ａの光軸Ｘ１とを一致させた状態に配置する。
【００４２】
筐体８内には、上下方向に亘って配置されるベース体１１が設けられ、回転調整機構３００、コンバータレンズ３１０およびチャート３２０はベース体１１に支持されている。
【００４３】
回転調整機構３００は、回転調整機構保持体１２と移動機構１３とを介して、ベース体１１に支持されている。移動機構１３は、回転調整機構保持体１２と共に回転調整機構３００を前後方向に移動することができる。移動機構１３は、たとえば、軸方向を上下に配置されたリードスクリュー（図示省略）と、このリードスクリューにネジ結合し回転調整機構保持体１２に対して取り付けられるボールネジ（図示省略）と、リードスクリューを回転させるモーター１４（図６参照）等により構成することができる。つまり、移動機構１３は、モーター１４によりリードスクリューを回転することで、ボールネジを移動し、回転調整機構保持体１２および回転調整機構３００を上下方向に移動することができる。
【００４４】
コンバータレンズ３１０は、レンズ保持体１５を介して、ベース体１１に対して固定された位置に取り付けられている。なお、コンバータレンズ３１０は、チャート３２０から出射される光をコリメートさせるコリメーターレンズとして構成されている。
【００４５】
チャート３２０は、チャート保持体１６と移動機構１７とを介して、ベース体１１に支持されている。移動機構１７は、チャート保持体１６と共にチャート３２０を上下方向に移動することができる。移動機構１７は、移動機構１３と同様に、たとえば、軸方向を上下に配置されたリードスクリュー（図示省略）と、このリードスクリューにネジ結合しチャート保持体１６に対して取り付けられるボールネジ（図示省略）と、リードスクリューを回転させるモーター１８（図６参照）等により構成することができる。つまり、移動機構１７は、モーター１８によりリードスクリューを回転することで、ボールネジを移動し、チャート保持体１６およびチャート３２０を上下方向に移動することができる。
【００４６】
移動機構１７には、コンバータレンズ３１０の焦点位置Ｆ１に対するチャート３２０のチャート偏倚方向・量を検出する、チャート偏倚方向・量検出手段としてのチャート偏倚方向・量検出機構１９（図６参照）が設けられている。チャート偏倚方向・量とは、焦点位置Ｆ１に対するチャート３２０のずれ方向（上方か下方か）と焦点位置Ｆ１とチャート３２０との間の距離（ずれ量）である。チャート偏倚方向・量検出機構１９は、たとえば、ベース体１１側に対して固定された位置に設けられるエンコーダー（図示省略）と、チャート保持体１６側に設けられるエンコーダー読み取り機構（図示省略）とにより構成することができる。エンコーダー読み取り機構は、エンコーダーを挟んで配置される光センサと投光部とにより構成することができる。焦点位置Ｆ１は、測定対象モジュール１００ａの撮影レンズ１０１の焦点位置Ｆ２（図３参照）と共役な位置である。
【００４７】
制御部７は、たとえば、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータであり、合焦評価値演算部７Ａと、チャート合焦偏倚方向・量演算部７Ｂと、ピントずれ方向・量演算部７Ｃと、回転演算部７Ｄとを有する。制御部７は、ＲＯＭに記憶されている制御プログラムにより、ＣＭＯＳ１０４やチャート偏倚方向・量検出機構１９等からの情報に基づいて上述の各演算部において所定の演算処理を行い、また、チャート３２０を照明する照明装置２０（図６参照）やモーター１４等、すなわちカメラモジュール測定装置１の駆動制御を行う。
【００４８】
（カメラモジュール測定装置１の動作の概要）
上述の構成を有するカメラモジュール測定装置１の動作の概要を説明する。カメラモジュール１００がセットされたパレット２００がパレット駆動部４００に取り付けられた後、制御部７は、測定対象モジュール１００ａを測定位置に移動させ、チャート３２０の撮影を行う。そして、制御部７は、ＣＭＯＳ１０４から得られる撮像信号に基づき、合焦状態に関する合焦評価値を合焦評価値演算部７Ａにて演算する。
【００４９】
合焦評価値の演算は、チャート３２０の光軸Ｘ２方向の３箇所以上（たとえば、２０〜３０箇所）の異なる位置における撮像信号について行われる。すなわち、制御部７は、移動機構１７を駆動し、チャート３２０を上下に移動させ、３箇所以上の異なる位置で、カメラモジュール１００にチャート３２０の撮影を行わせ、各位置における合焦評価値を合焦評価値演算部７Ａにて演算する。すなわち、各位置に対応するチャート偏倚方向・量についての合焦評価値を演算する。
【００５０】
次に、制御部７は、チャート合焦偏倚方向・量演算部７Ｂにて、演算された複数の合焦評価値に基づいて、合焦状態と判断される合焦評価値を得ることができるチャート偏倚方向・量であるチャート合焦偏倚方向・量を演算する。そして、制御部７は、このチャート合焦偏倚方向・量に基づいて、ピントずれ方向・量演算部７Ｃにて、撮影レンズ１０１の焦点位置Ｆ２とＣＭＯＳ１０４の撮像面とのずれ量とずれ方向であるピントずれ方向・量を演算する。
【００５１】
続いて、制御部７は、ピントずれ方向・量分だけレンズ鏡筒１０２を移動させるために必要なレンズ鏡筒１０２の回転量および回転方向を回転演算部７Ｄにて演算する。なお、レンズ鏡筒１０２の回転量および回転方向と、撮影レンズ２の移動量と移動方向とは予め既知の値としておく。そして、制御部７は、回転演算部７Ｄにて演算された回転量および回転方向に基づき、回転調整機構に３００備えられるモーター３０２（図１，６参照）を駆動し、レンズ鏡筒１０２を回転させ撮影レンズ１０１の焦点位置Ｆ２とＣＭＯＳ１０４の撮像面とを一致させる。
【００５２】
（回転調整機構３００の構成）
以下に、図７を参照しながら、回転調整機構３００の構成について詳しく説明する。図７の上段（Ａ）は、回転調整機構３００の概略の構成を側面（光軸Ｘ２に直交する方向）から見たときの図であり、図７の下段（Ｂ）は、回転調整機構３００の吸着機構２２の概略の構成を斜め後方から見た拡大図である。
【００５３】
回転調整機構３００は、回転機構２３と吸着機構２２を有する。回転機構２３は、回転調整機構保持体１２に対して回転可能に支持される回転盤２４と回転盤２４を回転させるモーター３０２（図１，６参照）とを有する。回転盤２４は、回転調整機構保持体１２の後面に設けられるスリーブ２５に嵌合され、スリーブ２５と回転盤２４との間に配置されるボールベアリング２６とにより、回転調整機構保持体１２に対して回転可能とされている。また、回転盤２４は、モーター３２０（図１，６参照）の出力軸とプーリーおよびベルトで連結され、モーター３０２の駆動が回転駆動機構３０３により伝達可能とされている。
【００５４】
吸着機構２２は、チャンバー体２７と、図示外の真空ポンプと、この真空ポンプとチャンバー体２７とを連通する管部２８とを有している。チャンバー体２７は、回転盤２４の下面に取り付けられ、回転盤２４の回転と一体に回転することができる。チャンバー体２７は、中央に上下に貫通する貫通孔２７Ａが形成されるリング状を呈している。チャンバー体２７の内部には空気室２７Ｂが形成されている。回転盤２４の中央にも上下方向に貫通する貫通孔２４Ａが形成され、また、回転調整機構保持体１２にも前後方向に貫通する貫通孔１２Ａが形成されている。したがって、回転調整機構保持体１２および回転調整機構３００は、貫通孔２７Ａ，２４Ａ，１２Ａにより上下方向に光を通過させることができる。
【００５５】
チャンバー体２７の下面２７Ｃには、光軸Ｘ２の周囲に等間隔に配置される複数（図７（Ｂ）では８個）の孔部２７Ｄが形成されている。したがって、真空ポンプにより空気室２７Ｂ内を減圧すると、孔部２７Ｄには吸引力が発生する。孔部２７Ｄは、下面２７Ｃをカメラモジュール１００のレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａ（図７参照）に当接させたときに、上端面１０２Ａに対向する位置に配置されている。
【００５６】
したがって、チャンバー体２７の下面２７Ｃをレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａに当接し、真空ポンプにより空気室２７Ｂ内を減圧し孔部２７Ｄに吸引力を発生させると、チャンバー体２７の下面２７Ｃにレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａを吸着することができる。つまり、チャンバー体２７の下面２７Ｃにレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａを吸着した状態で、回転盤２４を回転させ、回転盤２４と共にチャンバー体２７を回転させることで、レンズ鏡筒１０２を回転させることができる。回転盤２４を回転させるモーター３０２は、たとえば、ステッッピングモーターにより構成することができ、所定の基準位置からのステップ数に基づき、回転盤２４の回転方向と回転量（回転角）を制御することができる。
【００５７】
チャンバー体２７には、マイクロスイッチ（精密スナップアクションスイッチまたはセンシティブスイッチ）２７Ｅが設けられている。マイクロスイッチ２７Ｅは、チャンバー体２７が、上方からレンズ鏡筒１０２に接近し、チャンバー体２７の下面２７Ｃがレンズ鏡筒１０２の前端面１０２Ａに接触したときに、スイッチがオン（またはオフ）される。したがって、マイクロスイッチ２７Ｅのオン・オフ状態を検出することで、チャンバー体２７の下面２７Ｃがレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａに接触しているか否かを検出することができる。
【００５８】
（コンバータレンズ３１０の構成）
コンバータレンズ３１０はコリメーターレンズであり上方の焦点位置は焦点位置Ｆ１である。測定対象モジュール１００ａが所定の位置にセットされたときの撮影レンズ１０１の下方の焦点位置Ｆ２と焦点位置Ｆ１とは、光学的に共役な関係となっている。したがって、焦点位置Ｆ２にＣＭＯＳ１０４の撮像面を配置することで、測定対象モジュール１００ａは、無限遠に焦点合わせされた撮影系として構成される。
【００５９】
（チャート３２０の構成）
次に、図８を参照しながら、チャート３２０の構成について詳しく説明する。図８の上段（Ａ）は、チャート３２０の全体を示した図である。図８の中段（Ｂ）は、チャート３２０の一部分の拡大図である。図８の下段（Ｃ）は、チャート３２０の構成を説明するための参考図である。
【００６０】
図８（Ｃ）に示すように、チャート３２０は、格子点６Ａが直角２等辺三角形の頂点を成す格子線６Ｂにて形成される領域６Ｃを有している。すなわち、各領域６Ｃは、直角２等辺三角形を呈している。そして、格子線６Ｂを挟んで隣接する領域６Ｃ、たとえば、領域６Ｃ１と領域６Ｃ１のコントラストは互いに異なっている。チャート３２０においては、図８（Ｂ）に示すように、白色と黒色にてコントラストが形成されている。
【００６１】
上述のように形成されるチャート３２０は、縦横のエッジ６Ｄ，６Ｅと、縦横のエッジ６Ｄ，６Ｅに対して４５度の角度で傾斜するエッジ６Ｆ，６Ｇを有している。つまり、チャート３２０は、縦方向および横方向の２方向と、縦方向と横方向に対して斜め４５度の傾斜であって互いに傾斜方向が異なる２方向（すなわち、縦横方向を４５度回転した方向）との４方向の指向性を有している。そして、チャート３２０は、図８（Ｂ）に示す単位チャート６１Ｅが、格子線６Ｂを挟んで同一のコントラストとならないように複数配列されたものでる。そのため、チャート３２０は、全体として、チャートの指向性が少ないものとなっている。
【００６２】
しかも、チャート３２０は、一定のパターンで広い範囲（たとえば、撮影レンズ１０１の撮影範囲）に亘って形成されている。そのため、どこの場所に注目しても（たとえば、像高の高さに因らず）特性（指向性、解像度）に差が生じ難いものとなっている。
【００６３】
チャート３２０は、図９に示すように、チャート６１Ａとチャート６１Ｂを重ねたときの排他的論理和により形成されるチャートと、チャート６１Ｃとチャート６１Ｄを重ねたときの排他的論理和により形成されるチャートとを重ねたときの排他的論理和により形成される構成となっている。すなわち、（チャート６１Ａｘｏｒチャート６１Ｂ）ｘｏｒ（チャート６１Ａｘｏｒチャート６１Ｂ）＝チャート６１Ｅであり、チャート３２０は、チャート６１Ｅを複数有するチャートである。なお、排他的論理和においては、２つのチャートを重ねたときに、同色が重なった部分は白、異色が重なった部分は黒で表現することとしている。
【００６４】
チャート６１Ａは、コントラストのエッジの方向が、図中上下方向（Ｘ方向）に設定されるチャートであり、チャート６１Ｂは、コントラストのエッジの方向が、図中左右方向（Ｙ方向）に設定されるチャートである。そして、チャート６１Ｃは、コントラストのエッジの方向が、図中右上がり４５度の傾斜に設定されるチャートであり、チャート６１Ｄは、コントラストのエッジの方向が、図中左上がり４５度の傾斜に設定されるチャートである。つまり、チャート３２０は、一枚のチャートで４つのチャート６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄが有するエッジを有していることになる。したがって、チャート３２０は、チャート６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄが有するエッジの方向を有している。
【００６５】
チャート保持体１６は、チャート３２０の前方に配置される照明装置２０を有している。また、チャート３２０は、領域６Ｃの黒色の部分は、光の透過量が少なく構成され、領域６Ｃの白い部分は光の透過量が多く構成されている。したがって、照明装置２０が点灯されると、チャート３２０の白色の部分は明部として表示され、黒色の部分が暗部として表示され、図８（Ａ）（Ｂ）に示す白黒のチャート３２０として表示される。
【００６６】
（カメラモジュール測定装置１の動作）
以下に、図８および図９を参照しながら、カメラモジュール測定装置１を用いて、測定対象モジュール１００ａのピントのずれ方向およびずれ量の測定動作について説明する。図１０は、カメラモジュール測定装置１のピント調整動作を説明するフローチャートである。図１１は、ＣＭＯＳ１０４の画素の電荷蓄積タイミング・データの読み出しタイミングと、垂直駆動信号の出力タイミングと、照明装置２０の点灯・消灯タイミングと、チャート３２０の移動タイミングとを示すタイミングチャートである。なお、本実施の形態にカメラモジュール測定装置１では、ＣＭＯＳ１０４をローリングシャッター方式にて駆動して読み出した撮像信号に基づき、合焦評価値の演算を行う構成となっている。
【００６７】
測定動作に先立ち、先ず、制御部７は、パレット駆動部４００を駆動して、測定対象モジュール１００ａを所定の位置に配置する。つまり、測定対象モジュール１００ａの撮影レンズ１０１の中心にコンバータレンズ３１０の光軸Ｘ２が通るように、測定対象モジュール１００ａを配置する。そして、制御部７は、押圧駆動部５００を駆動し、パレット側当接部２０３を測定手段側当接部３０１に当接させる。これにより、パレット２００は水平となり、パレット側当接部２０３はコンバータレンズ３１０の光軸３１１に直交する配置となる。つまり、撮影レンズ１０１の光軸Ｘ１がコンバータレンズ３１０の光軸Ｘ２に一致する（または平行な状態で近接する）位置に配置され、後述する測定動作の精度の向上を図ることができる。なお、チャンバー体２７は、回転盤２４に対して、光軸３１１に沿って上下に弾性的に移動可能に取り付けられている。つまり、チャンバー体２７を下方から上方に向かって押圧すると上方に向かって移動することができる。したがって、パレット側当接部２０３と測定手段側当接部３０１とが当接されている状態で、撮影レンズ１０１の上端面１０２Ａがチャンバー体２７の下面２７Ｃに当接するとチャンバー体２７が上方に移動することができる。また、カメラモジュール測定装置１の初期状態において、チャート３２０は、所定の初期位置に配置されている。
【００６８】
チャート３２０の初期位置は、本実施の形態においては、レンズ鏡筒１０２が調整範囲の最上方に配置されているときに、ＣＭＯＳ１０４の撮像面に形成されるチャート３２０の像（以下、チャート像と記載する。）を合焦状態とすることができる位置よりも若干上方の位置としている。なお、チャート３２０の初期位置は、たとえば、レンズ鏡筒１０２が調整範囲の最下方に配置されているときに、チャート像を合焦状態とすることができる位置よりも若干下方の位置とすることもできる。カメラモジュール測定装置１の初期状態においては、照明装置２０は、消灯状態とされている。したがって、筐体８内は暗状態であり、ＣＭＯＳ１０４の各画素には電荷の蓄積はない。
【００６９】
測定動作においては、先ず、制御部７は、図１１に示すように、垂直駆動信号がオフ（ＶＤ幅）のタイミングと時間長に合わせて、照明装置２０を点灯させる（ステップＳ１０）。照明装置２０が点灯すると、ＣＭＯＳ１０４の撮像面にチャート像が形成される。制御部７は、ＣＭＯＳ１０４で撮像されたチャート像（ＣＭＯＳ１０４から送られて来る画像データ）を取得する（ステップＳ２０）。そして、画像データに基づき、チャート像の合焦状態に関する合焦評価値を演算する（ステップＳ２０）。そして、演算された合焦評価値が得られたときのチャート偏倚方向・量（焦点位置Ｆ１からのチャート３２０のずれ方向とずれ量）を取得し（ステップＳ２０）、ＲＡＭ等の所定の記憶手段に記憶する。チャート偏倚方向・量は、チャート偏倚方向・量検出機構１９（図６参照）により検出される。
【００７０】
照明装置２０の点灯時間の長さは、図１１に示す例では、ＶＤ幅に対応する時間としており、点灯時間が経過した後、照明装置２０は消灯される。つまり、筐体８内は暗状態となる。したがって、ＣＭＯＳ１０４の各画素の電荷の蓄積は、ＶＤ幅に対応する時間で照明装置２０の点灯が行われた間のみのものであり、この電荷が画像データとして掃き出された後は、再び、照明装置２０が点灯するまでＣＭＯＳ１０４には電荷の蓄積はない。なお、照明装置２０の点灯時間の長さは、必ずしもＶＤ幅に対応している必要はなく、点灯時間を調整できるようにすることもできる。その場合でも、調整量がごくずかな量であれば、ＣＭＯＳ１０４のローリングシャッターによる画像の歪を受けることはない。
【００７１】
合焦評価値の演算は、たとえば、二乗平均平方根を用いる。つまり、チャート像が撮像された撮像素子の各画素のコントラストの階調（たとえば、０から２５５の２５６階調）の値について、二乗平均平方根（ＲＭＳ）を求める。この場合、ＲＭＳが大きいほど、合焦状態が好適であることを示す。なお、画像データの場合には、一般的に負の値を取らないため、白と黒の中間のグレーを０とし、チャート３２０の黒部分の階調を１に、白部分の階調を−１に正規化し、撮像面のチャート像のＲＭＳを求めるようにしてもよい。上記のように正規化した場合、チャート３２０のＲＭＳは、１になる。したがって、撮像面のチャート像も１に近いほど、合焦状態が好適であることを示す。
【００７２】
そして、制御部７は、チャート３２０が初期位置から所定の位置まで移動したか否かを判断する（ステップＳ３０）。この所定の位置は、本実施の形態では、レンズ鏡筒１０２が調整範囲の最後方に配置されているときに、チャート３２０の結像が合焦状態でＣＭＯＳ１０４の撮像面に結像する位置よりも若干後方の位置としている。チャート３２０が所定の位置まで移動していない場合（ステップＳ３０においてＮｏ）には、制御部７は、移動機構１７を駆動して、チャート３２０を所定距離移動させて停止させる（ステップＳ４０）。そして、制御部７は、図１１に示すように、チャート３２０が停止している間に、垂直駆動信号がオフ（ＶＤ幅）のタイミングと時間に合わせて、照明装置２０を点灯させる（ステップＳ１０）。続いて、制御部７は、ＣＭＯＳ１０４で撮像されたチャート像（ＣＭＯＳ１０４から送られて来る画像データ）の取得と、合焦評価値の演算と、演算された合焦評価値に対応するチャート偏倚方向・量の取得を行い（ステップＳ２０）、ＲＡＭ等の所定の記憶手段に記憶する。
【００７３】
チャート３２０が所定の位置まで移動するまで（ステップＳ３０においてＹｅｓ）、ステップＳ１０〜Ｓ４０）の処理を繰り返す。図１１に示すように、カメラモジュール測定装置１は、垂直駆動信号のオフに併せてチャート３２０の移動が停止されると共に照明装置２０が点灯され、照明装置２０の消灯に併せてチャート３２０が移動され、照明装置２０の次回の点灯前にチャート３２０の移動が停止され、チャート３２０が停止している間に垂直駆動信号のオフに併せて照明装置２０が点灯され、という動作を繰り返す。したがって、チャート３２０の異なる複数のチャート偏倚方向・量についての合焦評価値を取得することができる。なお、ステップＳ２０においては、画像データおよびチャート偏倚方向・量の取得のみを行い、チャート３２０が所定の位置まで移動した後（ステップＳ３０においてＹｅｓ）、後述するステップＳ５０が実行される前に、チャート３２０の移動位置毎に合焦評価値を演算するようにしてもよい。
【００７４】
なお、照明装置２０を点灯する前よりも早い時期にチャート３２０の移動を停止することで、チャート３２０の移動や制動に伴って発生する機械的振動が収束した状態で、チャート像を撮像することができる。つまり、合焦評価値とチャート偏倚方向・量の精度を高くすることができる。
【００７５】
制御部７は、チャート３２０が所定の位置まで移動した場合（ステップＳ３０においてＹｅｓ）には、上述のステップＳ１０〜Ｓ４０にて得られた複数の合焦評価値とチャート偏倚方向・量に基づいて、チャート合焦偏倚方向・量を演算する（ステップＳ５０）。制御部７は、最も値の大きな合焦評価値に対応するチャート偏倚方向・量をチャート合焦偏倚方向・量として演算（決定）する。
【００７６】
ところで、図１１のＡ部分に示すように、ＣＭＯＳ１０４の電荷の読み出しタイミング（順番）が遅いライン（撮像面の右下の最終ラインに近いライン）については、照明装置２０の点灯時間が電荷の蓄積時間から外れ、露光が不完全な画素（露光不完全画素）となることがある。かかる露光不完全画素は、正確なコントラスト情報を取得していないので、合焦評価値の演算用の情報としては好ましくない。そこで、各ラインの積算時間をできるだけ長くすることで、露光不完全画素の数を少なくすることができる。本実施の形態においては、各ラインの積算時間を、使用するＣＭＯＳ１０４において設定できる範囲の最長とすることで、露光不完全画素の数を少なくしている。
【００７７】
そして、制御部７は、ピントずれ方向・量演算部７Ｃにて、チャート合焦偏倚方向・量に基づいて、ピントのずれ方向およびずれ量（ピントずれ方向・量）を演算する（ステップＳ６０）。ピントずれ方向・量は、下記の式（１）により算出することができる。
ｄｆｘ＝｛（ａ×ｆｘ）／（ａ−ｆｘ）｝−ｆｘ      ・・・  （１）
但し  ａ＝Ｌ−｛ｆｓ（ｆｓ＋ｄｆｓ）｝／ｄｆｓ
ｄｆｘ：ピントずれ方向・量
ｄｆｓ：チャート合焦偏倚方向・量
ｆｓ：コンバータレンズ３１０の焦点距離
ｆｘ：撮影レンズ１０１の焦点距離
Ｌ：コンバータレンズ３１０と撮影レンズ１０１の主点間距離
【００７８】
カメラモジュール測定装置１は、上述のようにして測定されたピントずれ方向・量に基づいて、次のようにしてカメラモジュール１００のピント調整を行うことができる。筐体１０３に対してネジ部１０５にてネジ結合するレンズ鏡筒１０２は、ネジ部１０５に沿って筐体１０３に対して回転させられることで、ネジ部１０５のリードに従って撮影レンズ１０１を光軸Ｘ１に沿って移動することができる。つまり、レンズ鏡筒１０２をネジ部１０５に沿って筐体１０３に対して回転することで、撮影レンズ１０１の焦点位置を調整することができる。制御部７は、ピントずれ方向・量に基づいて、撮影レンズ１０１の焦点位置を撮像面に一致させるために必要なレンズ鏡筒１０２の回転方向と回転量を演算する（ステップＳ６０）。レンズ鏡筒１０２の回転方向と上下方向について移動方向との対応、およびレンズ鏡筒１０２の回転量に対する上下方向への移動量との対応（所定の単位回転量に対する移動量との対応）は予め既知の値としておく。そのため、ピントずれ方向・量に基づいて撮影レンズ１０１の焦点位置を撮像面に一致させるために必要なレンズ鏡筒１０２の回転方向と回転量を演算することができる。
【００７９】
次いで、制御部７は、下面２７Ｃを上端面１０２Ａに当接させた状態で図示外の真空ポンプを駆動し、孔部２７Ｄに吸引力を発生させ、レンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａをチャンバー体２７の下面２７Ｃに吸引する（ステップＳ７０）。
【００８０】
そして、制御部７は、ステップＳ６０にて演算したレンズ鏡筒１０２の回転方向と回転量に基づいてモーター３０２（図１，６参照）を駆動し、レンズ鏡筒１０２を所定方向に所定量回転させる（ステップＳ８０）。これにより、撮影レンズ１０１の焦点位置が撮像面に一致させられる。
【００８１】
なお、レンズ鏡筒１０２が回転によりカメラモジュール１００の本体から繰り出され、あるいは繰り込まれるが、チャンバー体２７が、回転盤２４に対して、上下に弾性的に移動可能に取り付けられている。つまり、チャンバー体２７が上下に移動することで、レンズ鏡筒１０２の上下の移動が許容される。
【００８２】
レンズ鏡筒１０２を回転する機構としては、たとえば、レンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａに凹部を形成し、回転機構２３の側に凹部に嵌合するツメを設け、凹部にツメを嵌合させて、レンズ鏡筒１０２を回転する機構を採用することもできる。しかしながら、かかる機構による場合は、ツメを凹部に嵌合させるために、凹部の位置を検出する時間を要し、また、検出するための機構を要する。これに対し、レンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａを吸着する構成とすることで、凹部の位置を検出する時間と検出するための機構が不要となり、作業時間の効率化が図られ、また、装置の構成を簡略することも可能となる。
【００８３】
(他の構成例）
カメラモジュール測定装置１は、図１２に示すように、コンバータレンズ３１０とカメラモジュール１００との間に４つの反射ミラー２９（図１２では２つのみ図示）を配置してもよい。
【００８４】
各反射ミラー２９は、その反射面の法線が光軸Ｘ２と垂直に交わる姿勢で、取り付けられている。すなわち、各反射ミラー２９の反射面は、光軸Ｘ２に平行となっている。また、反射ミラー２９は、光軸Ｘ２を交点の中心とし、互いに交わる２方向の各方向に、光軸Ｘ２を挟んで１対ずつ配置されている。すなわち、互いに対向する一対の反射ミラー２９は光軸Ｘ２を挟んで対称に配置され、また他の一対の互いに対向する反射ミラー２９も光軸Ｘ２を挟んで対称に配置される。そして、一対の反射ミラー２９が配置される方向と、他の一対の反射ミラー２９が配置される方向は、撮像素子のアスペクト比（画面の縦横比）に応じて設定される。
【００８５】
このように反射ミラー２９を配置することで、チャート３２０の光軸Ｘ２から離れた位置のチャート部分を撮像することができる。つまり、反射ミラー２９を所望の像高に合わせた軸外の方向に設定するだけで、チャート３２０の広い範囲に亘って合焦状態を検出することができる。
【００８６】
なお、各反射ミラー２９は、ＣＭＯＳ１０４の撮像面の対角方向に一対ずつ互いに対向するように配置してもよい。また、反射ミラー２９は４枚に限らず、１枚以上配置することで、ミラーが配置された方向について、軸外の広い範囲に亘って合焦状態を検出することができる。
【００８７】
(他の構成例）
カメラモジュールの中には、図３に示すカメラモジュール１１０のように、レンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａに、治具連結用の凹部１０６が形成されているものもある。このようなカメラモジュール１１０に対しては、上述の実施の形態に説明した回転調整機構３００に換えて、図１３に示す回転調整機構４０としてもよい。回転調整機構３００、チャンバー体２７に換えて、凹部１０６に嵌合可能なツメ４１を有するチャック体４２を回転盤２４に備えている。かかる構成の回転調整機構４０においては、凹部１０６にツメ４１を嵌合させた状態で、回転盤２４を回転することで、レンズ鏡筒１０２を回転することができる。なお、図１３においては、図７に示す回転調整機構３００と同様な構成部分については同一の符号を付し、その説明を省略または簡略する。また、図３に示すカメラモジュール１００と同様な構成部分についても同一の符号を付し、その説明を省略または簡略する。
【００８８】
回転調整機構４０により、レンズ鏡筒１０２を回転させる動作を行うに当たり、凹部１０６にツメ４１を嵌合させる必要がある。そこで、パレット側当接部２０３を測定手段側当接部３０１に当接させた後、ツメ４１を光軸Ｘ２の周方向に回転させて、凹部１０６に嵌合させる。
【００８９】
凹部１０６にツメ４１が嵌合しているか否かは、たとえば、回転盤２４の回転トルクを検出することにより判断することができる。ツメ４１が凹部１０６に嵌合しているときの回転トルクは、嵌合していないときの回転トルクに比べて大きい。これは、ツメ４１が凹部１０６に嵌合していないときは、ツメ４１の下端面がレンズ鏡筒１０２の上端面１０２Ａに対して摺動するため、レンズ鏡筒１０２を回転させるトルクが不要であるのに対し、ツメ４１が凹部１０６に嵌合しているときは、レンズ鏡筒１０２を回転させるためのトルクが必要だからである。回転盤２４の回転トルクの変動を検出することで、ツメ４１が凹部１０６に嵌合していることを検出してから、パレット側当接部２０３を測定手段側当接部３０１に当接させる。そして、上述の測定動作を行った後、測定結果に基づいてレンズ鏡筒１０２を所定方向に所定量回転させることで、撮影レンズ１０１の焦点位置を撮像面に一致させる。
【００９０】
以上説明したカメラモジュール測定装置１によるピント調整作業において、レンズ鏡筒１０２が回転によりカメラモジュール１００の本体から繰り出され、あるいは繰り込まれるが、ツメ４１がチャック体４２の下端面４２Ａから出入りする構成となっている。すなわち、回転調整機構４００のチャック体４２は、ツメ４１を、図１３に示すように、チャック体４２の下端面４２Ａから下方に突出している状態と、上方に向けて移動する（下端面４２Ａからの突出長が短くなる）ことができるように構成される。つまり、ツメ４１が上下に移動することで、レンズ鏡筒１０２の上下の移動が許容される。なお、ツメ４１は、たとえば、図示を省略するスプリング等により、ツメ４１の自重を支持できる程度の軽い付勢力で下方に向けて付勢されている構成となっている。したがって、ツメ４１を上方に移動しても、ツメ４１は、該付勢力により下方に押されて元の位置に復帰する。
【符号の説明】
【００９１】
１，５０  …  カメラモジュール測定装置
３  …  保持部
４，４０  …  回転調整機構）
６  …  画像評価用のチャート
６Ａ  …  格子点
６Ｂ  …  格子線
６Ｃ（６Ｃ１，６Ｃ２）  …  領域
７Ａ  …  合焦評価値演算部
７Ｂ  …  チャート合焦偏倚方向・量演算部
７Ｃ  …  ピントずれ方向・量演算部
７Ｄ  …  回転演算部
１７  …  移動機構
１９  …  チャート偏倚方向・量検出装置
２２  …  吸着機構
２３  …  回転機構
２９  …  反射ミラー
５１  …  カメラモジュール搭載用のパレット
７０  …  カメラモジュール用接着剤塗付装置
１００，１１０  …  カメラモジュール
１００ａ  …  測定対象モジュール
１０１  撮影レンズ
１０４  …  撮像素子(ＣＭＯＳ）
２００  …  パレット（保持手段）
２０１  …  保持部
２０２  …  レンズ側開口部
２０３  …  パレット側当接部
２０４  …  位置決め当接部
２０５  …  押圧部側開口部（押圧手段側開口部）
２１１  …  第１部材
２１２  …  第２部材
３００  …  回転調整機構（測定手段の一部）
３０１  …  回転調整機構側当接部（測定手段側当接部）
３０２  …  モーター
３０３  …  回転駆動機構
３１０  …  コンバータレンズ（測定手段の一部）
３２０  …  画像評価用のチャート（測定手段の一部）
４００  …  パレット駆動部（移動手段）
５００  …  押圧駆動部（押圧手段の一部）
５１０  …  押圧部（押圧手段の一部）
５１１  …  電極
６００  …  付勢部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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