(57)【要約】【課題】検出精度の高い磁歪式トルクセンサを提供することを課題とする。【解決手段】磁歪式トルクセンサ６０は、軸部２４に設けられた磁歪材６１，６２と、この磁歪材６１，６２を囲うように配置されるコイルボビン６３と、このコイルボビン６３に巻かれ磁歪材６１，６２の磁気特性の変化を検出する複数のコイル６５，６６と、これらのコイル６５，６６、コイルボビン６３及び磁歪材６１，６２を収納するハウジング７１と、このハウジング７１の軸方向端部に形成されハウジング７１を他の部材５１に取付けるためのフランジ部７３とを有する。ハウジング７１は、モールド成形によって、コイルボビン６３と一体的に形成された樹脂製品である。フランジ部７３は、金属製品であって、コイルボビン６３と一体化されている、ハウジング７１の軸方向一端部に樹脂のモールド成形によって固定されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部に設けられた磁歪材と、この磁歪材を囲うように配置されるコイルボビンと、このコイルボビンに巻かれ前記磁歪材の磁気特性の変化を検出する複数のコイルと、これらのコイル、ボビン及び磁歪材を収納するハウジングと、このハウジングの軸方向端部に形成され前記ハウジングを他の部材に取付けるためのフランジ部とを有する磁歪式トルクセンサにおいて、
前記ハウジングは、モールド成形によって、前記コイルボビンと一体的に成形された樹脂製品であり、
前記フランジ部は、金属製品であって、
前記コイルボビンと一体化されている前記ハウジングの軸方向一端部に、樹脂のモールド成形によって固定されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。
【請求項２】
前記軸部は、前記フランジ部よりも前記軸部の先端部側で軸受にて支持され、
前記フランジ部及び前記ハウジング部は、お互いがそれぞれ軸方向に、弾性部材によって付勢され、
この弾性部材は、前記ハウジングに対して前記フランジ部が前記軸部の軸方向で重なり合う部位で、且つ前記フランジ部よりも前記軸部の基端部側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の磁歪式トルクセンサ。
【請求項３】
磁歪式トルクセンサの製造方法において、
コイルが巻かれたコイルボビンと、金属製のフランジ部とを準備する工程と、
前記コイルボビンを収納するためのハウジングを形成する第１の型に、前記コイルボビンをセットする工程と、
前記第１の型に樹脂を供給し、前記コイルボビンに前記ハウジングを一体成形した成形品を得る工程と、
前記成形品及び前記フランジ部を第２の型にセットする工程と、
前記第２の型に樹脂を供給し、この供給した樹脂により前記成形品に前記フランジ部を固定する工程とからなることを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁歪式トルクセンサ及び同製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁歪式トルクセンサは、例えば、車両の電動パワーステアリング装置に採用されている（例えば、特許文献１（図２）参照。）。
【０００３】
特許文献１に示されるような、磁歪式トルクセンサは、軸部に設けられた磁歪材と、この磁歪材を囲うように配置されているコイルと、これらの磁歪材及びコイルを収納するハウジングと、このハウジングの下端から径方向に広がり他のケースに連結されるフランジ部とを備えている。コイルはハウジングに一体的に形成されることで支持されている。また、ハウジングとフランジ部とは樹脂により一体的に形成されている。
【０００４】
このような磁歪式トルクセンサを製造するには、まず、円柱状の芯出し棒にコイルを嵌合させる。次に、コイルの周縁を型で囲って、キャビティを形成する。キャビティ内に樹脂を供給することで、コイル、ハウジング及びフランジ部が一体的に形成される。芯出し棒にコイルを嵌合させた状態でモールド成形を行うため、コイル、ハウジング及びフランジ部の中心軸を容易に一致させることができる。
【０００５】
ところで、溶融した樹脂は、固まる際に所定の量だけ収縮する。収縮量は、樹脂の量が多い部位ほど大きくなる。ここで、他のケースに連結されるフランジ部は、高い強度が求められるため、他の部位に比べて厚めに形成する必要がある。即ち、フランジ部には多くの樹脂を供給する必要があり、フランジ部の収縮量は大きい。フランジ部の収縮量が大きいことで、コイルのうち、フランジ部近傍の部位には大きな収縮力が加わる。コイルは、磁歪材の磁界の変化を検出する部材であり、コイルの検出精度の観点から、改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９２７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、コイルの検出精度を高めることができる磁歪式トルクセンサの技術の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、軸部に設けられた磁歪材と、この磁歪材を囲うように配置されるコイルボビンと、このコイルボビンに巻かれ磁歪材の磁気特性の変化を検出する複数のコイルと、これらのコイル、ボビン及び磁歪材を収納するハウジングと、このハウジングの軸方向端部に形成されハウジングを他の部材に取付けるためのフランジ部とを有する磁歪式トルクセンサにおいて、ハウジングは、モールド成形によって、コイルボビンと一体的に成形された樹脂製品であり、フランジ部は、金属製品であって、コイルボビンと一体化されているハウジングの軸方向一端部に、樹脂のモールド成形によって固定されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明では、軸部は、前記フランジ部よりも先端部側で軸受にて支持され、フランジ部及びハウジング部は、お互いがそれぞれ軸方向に、弾性部材によって付勢され、この弾性部材は、ハウジングに対してフランジ部が軸部の軸方向で重なり合う部位で、且つフランジ部よりも前記軸部の基端部側に配置されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、磁歪式トルクセンサの製造方法において、コイルが巻かれたコイルボビンと、金属製のフランジ部とを準備する工程と、コイルボビンを収納するためのハウジングを形成する第１の型に、コイルボビンをセットする工程と、第１の型に樹脂を供給し、コイルボビンにハウジングを一体成形した成形品を得る工程と、成形品及びフランジ部を第２の型にセットする工程と、第２の型に樹脂を供給し、この供給した樹脂により成形品にフランジ部を固定する工程とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明では、ハウジングは、モールド成形によってコイルボビンと一体的に成形された樹脂製品である。フランジ部がハウジングの軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、ハウジングはフランジとねじ止めする必要がなくなる。よって、ハウジングは複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定であるハウジングを樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイルや、コイルボビン、ヨーク等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。
よって、複数のコイル間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイルと軸部とのエアギャップや、収縮力によるヨークの透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。
また、コイルボビンとハウジングとを一体成形することにより、これらの中心軸を一致させることができる。
【００１２】
加えて、フランジ部は、ハウジングの一端部に樹脂のモールド成形によって固定されている金属製品である。高い強度が求められるフランジ部は、ハウジングの一端部に固定される。固定されるのがハウジングの一端部であるため、固定に用いる樹脂の熱収縮の影響をコイルボビンに及ぼさない。樹脂の熱収縮の影響を和らげることにより、コイルの検出精度を高めることができる。
【００１３】
請求項２に係る発明では、軸部は、フランジ部よりも軸方向先端部側で軸受にて支持され、フランジ部とハウジングとは、フランジ部よりも軸方向基端部側に配置された弾性部材によって、軸方向に付勢されている。磁歪材が設けられた軸部は、フランジ部よりも軸方向先端部側で軸受によって支持されているので、軸部が熱により膨張する場合は、軸受を起点として、軸方向基端部側に軸部が伸びる。しかし、ハウジングとフランジ部とで異なる素材を用いた本発明では、ハウジングとフランジ部とで熱膨張率が異なる。よって、ハウジングと、フランジ部とが熱により膨張した場合、ハウジングの方がより膨張するため、ハウジングとフランジ部とに軸方向で隙間が生じる。そうなると、ハウジング軸方向で、先端部、基端部のどちらにも膨張できてしまうので、軸部が上側に膨張して伸びていくのに対し、コイル等を備えるハウジングが場合によっては先端部側に伸びてしまい、磁歪材とコイルとの軸方向のずれが大きく発生し、トルクの検出精度が低下してしまう。しかしながら、本発明では、熱膨張率がことなるハウジングとフランジ部との間にフランジ部よりも軸方向基端部側に弾性部材を介在させることで、ハウジングを常に軸方向基端部側に付勢するので、ハウジングの熱膨張を、全て軸方向基端部側への移動とすることができる。よって、軸部、ハウジング、フランジ部とが熱の影響を受けたとしても、軸部に設けた磁歪材の移動方向と、ハウジングの移動方向を同じ方向にでき、磁歪材と検出コイルとの軸方向のずれを低減できるので、高いトルクの検出精度を確保することができる。
【００１４】
請求項３に係る発明では、ハウジングは、モールド成形によってコイルボビンと一体的に形成される。フランジ部がハウジングの軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、ハウジングはフランジとねじ止めする必要がなくなる。よって、ハウジングは複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定であるハウジングを樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイルや、コイルボビン、ヨーク等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。
よって、複数のコイル間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイルと軸部とのエアギャップや、収縮力によるヨークの透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。
また、コイルボビンとハウジングとを一体成形することにより、これらの中心軸を一致させることができる。
【００１５】
一方、フランジ部は、ハウジングの一端部に樹脂のモールド成形によって固定されている。高い強度が求められるフランジ部は、ハウジングの一端部に固定される。固定されるのがハウジングの一端部であるため、固定に用いる樹脂の熱収縮の影響をコイルボビンに及ぼさない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係る磁歪式トルクセンサを搭載した電動パワーステアリング装置の模式図である。
【図２】図１に示された電動パワーステアリング装置の全体構成図である。
【図３】図２の３−３線断面図である。
【図４】図３に示すフランジ部の斜視図である。
【図５】図３に示すコイルボビンを第１の型にセットする工程からキャビティを形成する工程までを説明する図である。
【図６】図５に示す第１の型に樹脂を供給する工程から成形品を得る工程までを説明する図である。
【図７】図５に示す成形品及び図３に示すフランジ部を第２の型にセットする工程からキャビティを形成する工程までを説明する図である。
【図８】図７に示す第２の型に樹脂を供給する工程を説明する図である。
【図９】本発明の実施例２に係る磁歪式トルクセンサの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。
【実施例１】
【００１８】
実施例１に係る磁歪式トルクセンサが電動パワーステアリング装置に搭載された例に基づいて、以下説明する。
【００１９】
図１に示すように、電動パワーステアリング装置１０は、車両のステアリングハンドル２１から車両の操舵車輪２９，２９（例えば前輪）に至るステアリング系２０と、このステアリング系２０に補助トルクを加える補助トルク機構４０とからなる。
【００２０】
ステアリング系２０は、ステアリングハンドル２１にステアリングシャフト２２及び自在軸継手２３，２３を介してピニオン軸２４（軸部２４）を連結し、ピニオン軸２４にラックアンドピニオン機構２５を介してラック軸２６を連結し、ラック軸２６の両端に左右のタイロッド２７，２７及びナックル２８，２８を介して左右の操舵車輪２９，２９を連結したものである。
【００２１】
ラックアンドピニオン機構２５は、ピニオン軸２４に形成されたピニオン３１と、ラック軸２６に形成されたラック３２とからなる。
【００２２】
ステアリング系２０によれば、運転者がステアリングハンドル２１を操舵することで、この操舵トルクによりラックアンドピニオン機構２５及び左右のタイロッド２７，２７を介して、左右の操舵車輪２９，２９を操舵することができる。
【００２３】
補助トルク機構４０は、ステアリングハンドル２１に加えたステアリング系２０の操舵トルクを磁歪式トルクセンサ６０で検出し、この磁歪式トルクセンサ６０のトルク検出信号に基づき制御部４２で制御信号を発生し、この制御信号に基づき操舵トルクに応じた補助トルクを電動モータ４３で発生し、この補助トルクをウォームギヤ機構４４を介してピニオン軸２４に伝達し、さらに、補助トルクをピニオン軸２４からステアリング系２０のラックアンドピニオン機構２５に伝達するようにした機構である。
【００２４】
電動パワーステアリング装置１０によれば、運転者の操舵トルクに電動モータ４３の補助トルクを加えた複合トルクにより、ラック軸２６で操舵車輪２９，２９を操舵することができる。
【００２５】
図２に示されるように、下部ハウジング５１は車幅方向（図左右方向）に延びており、ラック軸２６を軸方向にスライド可能に収容している。ラック軸２６は、下部ハウジング５１から突出した長手方向両端にボールジョイント５２，５２を介してタイロッド２７，２７を連結している。
【００２６】
図３に示されるように、磁歪式トルクセンサ６０は、ピニオン軸２４の外周面に形成されトルクに応じて磁歪特性が変化する一対の磁歪材６１，６２と、これらの磁歪材６１，６２を囲うように配置されているコイルボビン６３と、このコイルボビン６３に巻かれ磁歪材６１，６２に生じた磁歪効果を検出するコイル６５，６６と、コイルボビン６３の軸方向両端にそれぞれ配置されているヨーク６７，６８と、これらのヨーク６７，６８、コイル６５，６６が巻かれたコイルボビン６３とを一体的に固定する樹脂製の上部ハウジング７１（ハウジング７１）と、この上部ハウジング７１の端部に樹脂７２を介して固定されている金属製のフランジ部７３と、上部ハウジング７１に一体的に形成されている端子７４とからなる。
【００２７】
磁歪材６１，６２は、ピニオン軸２４の軸長手方向に互いに逆方向の残留歪みが付与された磁歪膜からなる。磁歪膜は、歪みの変化に対して磁束密度の変化の大きい材料からなる膜である。
磁歪材６１，６２は、それぞれ異なる異方性を持てばよく、一枚の磁歪膜に２箇所の磁歪部を形成してもよい。
【００２８】
上部ハウジング７１の端面部には、環状の凹部７６が形成されている。この凹部７６にシール部材７７が嵌合されている。上部ハウジング７１の端面部にフランジ部７３が重ね合わされることにより、シール部材７７は、圧縮されて弾性変形をする。このため、シール部材７７は、上部ハウジング７１の端面とフランジ部との間をシールすると共に、フランジ部７３を離間させる方向に向かって付勢する。上部ハウジング７１に対してフランジ部７３がピニオン軸２４の軸方向で重なり合う部位に凹部７６が配置されている。
【００２９】
ピニオン軸２４は、フランジ部７３よりも軸方向先端部２４ａ側で軸受５４，５５にて支持され、フランジ部７３と上部ハウジング７１とは、フランジ部７３よりも軸方向基端部２４ｂ側に配置されたシール部材７７によって、軸方向に付勢されている。磁歪材６１，６２が設けられたピニオン軸２４は、フランジ部７３よりも軸方向先端部２４ａ側で軸受によって支持されているので、ピニオン軸２４が熱により膨張する場合は、軸受５４，５５を起点として、軸方向基端部２４ｂ側にピニオン軸２４が伸びる。しかし、上部ハウジング７１とフランジ部７３とで異なる素材を用いた本発明では、上部ハウジング７１とフランジ部７３とで熱膨張率が異なる。よって、上部ハウジング７１と、フランジ部７３とが熱により膨張した場合、上部ハウジング７１の方がより膨張するため、上部ハウジング７１とフランジ部７３とに軸方向で隙間が生じる。そうなると、上部ハウジング７１軸方向で、先端部、基端部のどちらにも膨張できてしまうので、ピニオン軸２４が上側に膨張して伸びていくのに対し、コイル６５，６６等を備える上部ハウジング７１が場合によっては先端部側に伸びてしまい、磁歪材６１，６２とコイル６５，６６との軸方向のずれが大きく発生し、トルクの検出精度が低下してしまう。しかしながら、本発明では、熱膨張率がことなる上部ハウジング７１とフランジ部７３との間にフランジ部７３よりも軸方向基端部２４ｂ側にシール部材７７を介在させることで、上部ハウジング７１を常に軸方向基端部２４ｂ側に付勢するので、上部ハウジング７１の熱膨張を、全て軸方向基端部２４ｂ側への移動とすることができる。よって、ピニオン軸２４、上部ハウジング７１、フランジ部７３とが熱の影響を受けたとしても、ピニオン軸２４に設けた磁歪材６１，６２の移動方向と、上部ハウジング７１の移動方向を同じ方向にでき、磁歪材６１，６２と検出コイル６５，６６との軸方向のずれを低減できるので、高いトルクの検出精度を確保することができる。
【００３０】
加えて、凹部７６であればモールド成形により一度の作業で形成することができる。他の工程を経て弾性部材（シール部材７７）の収納部を設ける場合に比べて、形成が容易である。
【００３１】
下部ハウジング５１（他の部材）の端面部には、環状の凹部７９が形成されている。この凹部７９にシール部材７８が嵌合されている。下部ハウジング５１の端面部にフランジ部７３が重ね合わされることにより、シール部材７８は、圧縮されて弾性変形をする。このため、シール部材７７は、下部ハウジング５１の端面とフランジ部との間をシールすると共に、フランジ部７３を離間させる方向に向かって付勢する。即ち、シール部材７８は、フランジ部７３を上部ハウジング７１に向かって押しつけるように、フランジ部７３を付勢している。
【００３２】
端子７４は、上部ハウジング７１から周方向に向かって突出して形成されている。端子７４は、通電部７４ａと、この通電部７４ａを囲う周壁部７４ｂとからなる。
【００３３】
図４も参照して、フランジ部７３は、周方向に向かって延びている略円盤状の基部８１と、この基部８１の中央で立ち上げられる立上げ部８２とからなる。立上げ部８２には、樹脂７２を通過させるための複数の穴部８３が形成されている。これらの穴部８３に樹脂７２を流し込む構成とすることで、樹脂７２がフランジ部７３の軸方向における抜け止めとなる。立上げ部８２基部８１の端部にはボルト８４を通すためのボルト穴８５，８５が形成されている。
【００３４】
上部ハウジング７１は、モールド成形によってコイルボビン６３と一体的に形成された樹脂製品である。フランジ部７３が上部ハウジング７１の軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、上部ハウジング７１はフランジ部７３とねじ止めする必要がなくなる。よって、上部ハウジング７１は複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定である上部ハウジング７１を樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイル６５，６６や、コイルボビン６３、ヨーク６８等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。
よって、複数のコイル６５，６６間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイル６５，６６と軸部２４とのエアギャップや、収縮力によるヨーク６８の透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。
一方、フランジ部７３は、上部ハウジング７１の一端部に樹脂７２のモールド成形によって固定されている金属製品である。高い強度が求められるフランジ部７３は、上部ハウジング７１の一端部に固定される。固定されるのが上部ハウジング７１の一端部であるため、固定に用いる樹脂７２の影響はコイルボビン６３に及ばない。樹脂の熱収縮の影響を和らげることにより、コイル６５，６６の検出精度を高めることができる。
このような磁歪式トルクセンサ６０の製造方法について詳細を次図以降で説明する。
【００３５】
図５（ａ）に示すように、第１の型９０の下型９１に形成された芯出し部９１ａにコイル６５，６６が巻かれたコイルボビン６３をセットする。
【００３６】
次に、図５（ｂ）に示すように、下型９１に向かって側部金型９２，９３及び上型９４を移動させる。下型９１、側部金型９２，９３及び上型９４を所定の位置に配置することで、キャビティ９５が形成される。
【００３７】
次に、図６（ａ）に示すように、キャビティ９５内に溶融された樹脂を流し込む。流し込んだ樹脂を冷却し、樹脂が固化させる。
【００３８】
固化させたら図６（ｂ）に示すように、成形品９８を取り出す。上部ハウジング７１とコイルボビン６３とを一体成形することで、これらの中心軸を一致させることができる。
【００３９】
図７（ａ）に示すように、第２の型１００の下型１０１に、成形品９８をセットする。セットした成形品９８の凹部７６にシール部材７７をセットし、フランジ部７３をセットする。フランジ部７３の下方に配置されているのは、スライド型１０２である。
【００４０】
図７（ｂ）に示すように、第２の型１００の上型１０３を下型１０１に向かって移動させ、キャビティ１０５を形成する。
【００４１】
図８に示すように、キャビティ１０５に溶融した樹脂を流し込む。溶融した樹脂を冷却させ、固化させることでコイルボビン６３、上部ハウジング７１、端子７４、シール部材７７、フランジ部７３は一体的に形成される。
【００４２】
上部ハウジング７１は、モールド成形によってコイルボビン６３と一体的に形成される。フランジ部７３が上部ハウジング７１の軸方向一端に樹脂モールド成形にて固定されるため、上部ハウジング７１はフランジ部７３とねじ止めする必要がなくなる。よって、上部ハウジング７１は複数箇所のねじ止め部を設けるために一部の厚さを他の部分よりも厚くする必要がなくなるので、比較的厚さが一定である上部ハウジング７１を樹脂で成形することが可能となる。よって、複数のコイル６５，６６や、コイルボビン６３、ヨーク６８等に加わる樹脂のモールド成形時の熱の低下によって発生する収縮力のばらつきを低減させることができる。
よって、複数のコイル６５，６６間の収縮力によるコイル内径の寸法変化によるコイル６５，６６と軸部２４とのエアギャップや、収縮力によるヨーク６８の透磁率変化等のばらつきを抑制できるので、トルクセンサとしての精度を保つことができる。
一方、フランジ部７３は、上部ハウジング７１の一端部に樹脂７２のモールド成形によって固定されている。高い強度が求められるフランジ部７３は、上部ハウジング７１の一端部に固定される。固定されるのが上部ハウジング７１の一端部（特にフランジ部７３よりも端部側である一端部のみ）であるため、固定に用いる樹脂７２の影響はコイルボビン６３に及ばない。
【実施例２】
【００４３】
次に、本発明の実施例２を図面に基づいて説明する。
図９は実施例２の磁歪式トルクセンサ１１０の断面構成を示し、上記図３に対応させて表している。
図９に示されるように、磁歪式トルクセンサ１１０は、コイルボビン６３の両端にヨーク（図３、符号６７，６８参照。）が配置されていない。このような磁歪式トルクセンサ１１０であっても、本発明の効果を得ることができる。
【００４４】
尚、本発明に係る磁歪式トルクセンサは、電動パワーステアリング装置に用いる場合を例に説明したが、適宜他の装置にも適用可能であり、これらの形式のものに限られるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の磁歪式トルクセンサは、電動パワーステアリング装置に採用するのに好適である。
【符号の説明】
【００４６】
２４…ピニオン軸（軸部）、２４ａ…先端部、２４ｂ…基端部、５１…下部ハウジング（他の部材）、６０，１１０…磁歪式トルクセンサ、６１，６２…磁歪材、６３…コイルボビン、６５，６６…コイル、７１…上部ハウジング（ハウジング）、７２…樹脂、７３…フランジ部、７７…シール部材（弾性部材）、９０…第１の型、９８…成形品、１００…第２の型。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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