(57)【要約】【課題】オペレータの熟練度によらず安定した基板の生産効率を確保することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】トレイ２に載置された複数の基板３それぞれに設けられた基板側マークｍ１，ｍ２の撮像を行った後（ＳＴ２）、得られた画像に基づいて、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量を算出する（ＳＴ３）。そして、算出した各基板３の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定し（ＳＴ６）、設定した重みを用いた各基板３の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均を求めることによって、マスク１３に対するトレイ２の正規の位置決め位置からの位置補正量を算出する（ＳＴ７）。位置補正量を算出したら、その算出した位置補正量でマスク１３に対するトレイ２の正規の位置決め位置を補正して補正後の位置合わせ位置を求める（ＳＴ８）。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、
トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクと、
トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像手段と、
撮像手段による撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、
位置ずれ量算出手段により算出された各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定手段と、
重み設定手段により設定された重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出手段と、
補正後位置合わせ位置算出手段により算出された補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動手段と、
トレイ移動手段によってトレイが接触されたマスク上で摺動して各基板にペーストを転写させるスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
重み設定手段は、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクとを備えたスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷方法であって、
トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像工程と、
撮像工程における撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、
位置ずれ量算出工程で算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定工程と、
重み設定工程で設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出工程と、
補正後位置合わせ位置算出工程において算出した補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動工程と、
トレイ移動工程でトレイが接触されたマスク上でスキージを摺動させて各基板にペーストを転写させる転写工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４】
重み設定工程において、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定することを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させて基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作を行って基板上の電極にペーストを転写させるスクリーン印刷機の中には、平板状のトレイに複数の基板を載置させておくことにより、１回のスキージング動作で複数枚の基板のスクリーン印刷を行うことができるようにしたものが知られている。このように１回のスキージング動作で複数枚の基板のスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機の場合、各基板に設けられた電極と各基板の電極に対応して設けられたマスク側のパターン孔とが上下に一致するようにマスクに対するトレイの位置合わせを行ったうえで、マスクの下面にトレイが接触される。
【０００３】
ここで、トレイ上の各基板は通常、トレイ上の正確な位置に位置決めして固定されるが、フレキシブル基板など、基板の種類によってはトレイ上の正確な位置に位置決めして固定させることができず、オペレータが手作業でトレイ上に位置決めしてテープ等で貼り付ける場合がある。このような場合にはマスクにトレイを位置合わせする際に、トレイ上の複数の基板の電極の全てがマスク側のパターン孔と上下に一致するようにすることは極めて困難であることから、トレイ上の複数の基板の電極が全体としてマスク側のパターン孔と一致するように、各基板の基準の位置からの位置ずれ量を求めたうえでその平均値を求め、その平均値をマスクに対するトレイの位置合わせの際の位置補正量としている。
【０００４】
また、このようにしてトレイの位置補正量を求める場合、基準の位置からの位置ずれ量が極端に大きい基板がトレイ上にひとつでも存在すると、他の基板については位置合わせ後のマスクからの位置ずれ量が却って大きくなってしてしまうことがあるため、結果として印刷不良となる基板の数が増大する可能性がある。このため従来、トレイ上の複数の基板のうち、マスクに対する位置ずれ量が予め定めた閾値を超えている基板についてはこれを除外して平均を求めることで、閾値を超えた位置ずれ量を有する基板については印刷不良が生じることを許容しつつ、それ以外の基板については確実に良好な印刷状態が得られるようにした技術が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１４３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記閾値は、マスクに対するトレイの位置補正量の算出から除外する基板の切り分け基準となるものであり、過度に小さく設定された場合には除外される基板が多くなって１回のスキージング動作で得られる基板の枚数が少なくなってしまい、過度に大きく設定された場合には前述のように位置ずれ量が小さかった基板に却って印刷不良を生じさせるおそれのある重要なファクターであり、基板の生産効率に大きな影響を与えるものである。しかしながら、この閾値の設定の仕方はオペレータによって巧拙があり、熟練度の低いオペレータ等が適切でない閾値を設定した場合には基板の生産効率が大きく低下してしまうおそれがあるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、オペレータの熟練度によらず安定した基板の生産効率を確保することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクと、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像手段と、撮像手段による撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、位置ずれ量算出手段により算出された各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定手段と、重み設定手段により設定された重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出手段と、補正後位置合わせ位置算出手段により算出された補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動手段と、トレイ移動手段によってトレイが接触されたマスク上で摺動して各基板にペーストを転写させるスキージとを備えた。
【０００９】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、重み設定手段は、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。
【００１０】
請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、複数の基板が載置された平板状のトレイを保持するトレイ保持部と、トレイ上の複数の基板それぞれの電極に対応するパターン孔が形成されたマスクとを備えたスクリーン印刷機におけるスクリーン印刷方法であって、トレイ上の複数の基板それぞれに設けられた基板側マークの撮像を行う撮像工程と、撮像工程における撮像によって得られたトレイ上の各基板それぞれの基板側マークの画像に基づいて、トレイ上の各基板の基準の位置からの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、位置ずれ量算出工程で算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定する重み設定工程と、重み設定工程で設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正して補正後の位置合わせ位置を算出する補正後位置合わせ位置算出工程と、補正後位置合わせ位置算出工程において算出した補正後の位置合わせ位置にトレイが位置合わせされるようにトレイ保持部を移動させたうえでトレイ保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面にトレイを接触させるトレイ移動工程と、トレイ移動工程でトレイが接触されたマスク上でスキージを摺動させて各基板にペーストを転写させる転写工程とを含む。
【００１１】
請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、請求項３に記載のスクリーン印刷方法であって、重み設定工程において、基板の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重みを設定し、その設定した重みを用いた各基板の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量でマスクに対するトレイの正規の位置合わせ位置を補正するようにしており、マスクに対するトレイの位置補正量を算出する際に除外の対象となる基板を定める閾値を設定することなく、トレイ上の全ての基板の電極が全体としてマスク側の対応するパターン孔と一致するようにしているので、オペレータの熟練度によらず、安定した基板の生産効率を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の一部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の流れを示すフローチャート
【図４】本発明の一実施の形態におけるトレイ上の基板の基準の位置に対する位置ずれ量を説明する図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が用いる（ａ）位置ずれ量Δｘ及びΔｙに対する重みの算出のためのテーブルの一例を示す図（ｂ）位置ずれ量Δθに対する重みの算出のためのテーブルの一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、平板状のトレイ２に載置された複数の基板３それぞれの上面に設けられた電極３ａに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する装置であり、複数の基板３が載置されたトレイ２を保持するトレイ保持部１１、トレイ保持部１１を移動させるトレイ移動機構１２、トレイ移動機構１２の上方領域に水平姿勢に設けられたマスク１３、マスク１３の下方に設けられた撮像手段としてのカメラユニット１４、マスク１３の上方に移動自在に設けられたスキージユニット１５及びスクリーン印刷機１全体の作動制御を行う制御装置１６を備えて成る。
【００１５】
トレイ保持部１１は基板３の両端をＹ軸方向から挟み込んで保持する一対のクランプ部材から成り、その作動制御は制御装置１６によってなされる。トレイ移動機構１２はＸＹＺロボットから成り、制御装置１６によって制御されてトレイ保持部１１を水平面内で移動（回転も含む）させるとともに上下方向に移動（昇降）させる。
【００１６】
図２において、マスク１３は周囲がマスク枠１３ｗによって保持された金属板から成り、その中央部にはトレイ保持部１１に保持されたトレイ２上の複数の基板３それぞれの電極３ａに対応するパターン孔１３ｈが形成されている。
【００１７】
カメラユニット１４は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１４ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１４ｂを備えており、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構１４Ｍの作動によってマスク１３の下方を水平面内で移動するようになっている。下方撮像カメラ１４ａの撮像動作及び上方撮像カメラ１４ｂの撮像動作は制御装置１６によって制御され、下方撮像カメラ１４ａの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ１４ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置１６に送られて制御装置１６の画像認識部１６ａ（図１）において画像認識がなされる。
【００１８】
スキージユニット１５は図示しないアクチュエータ等から成るスキージユニット移動機構１５Ｍの作動によってマスク１３の上方を水平面内方向（図１の紙面の左右方向）に移動自在なベース部１５ａと、ベース部１５ａの移動方向に対向して設けられた２つのスキージ１５ｂを備えている。各スキージ１５ｂは、ベース部１５ａに取り付けられた空圧シリンダ１５ｃによってそれぞれ独立してベース部１５ａの下方を昇降される。スキージユニット移動機構１５Ｍの作動制御及び各空圧シリンダ１５ｃの作動によるスキージ１５ｂの昇降制御は制御装置１６によってなされる。
【００１９】
このような構成のスクリーン印刷機１がトレイ２に載置された複数の基板３それぞれにペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置１６は先ず、スクリーン印刷機１の外部から供給されたトレイ２を図示しないトレイ搬入装置によって搬入し、トレイ保持部１１によってトレイ２を保持する（図３に示すステップＳＴ１。トレイ搬入保持工程）。
【００２０】
制御装置１６はトレイ２を保持したら、カメラユニット移動機構１４Ｍの作動制御を行ってカメラユニット１４をトレイ２の上方領域に移動させ、下方撮像カメラ１４ａによって、トレイ２の対角位置に設けられた一対のトレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２（図２）と、トレイ２上の複数の基板３それぞれの対角位置に設けられた基板側マークｍ１，ｍ２（図２）の撮像を行う（図３に示すステップＳＴ２。撮像工程）。
【００２１】
制御装置１６は、トレイ２に設けられた一対のトレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２と、トレイ２上の各基板３の対角位置に設けられた一対の基板側マークｍ１，ｍ２の撮像を行ったら、トレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２の撮像によって得られた画像（画像認識結果）に基づいて、スクリーン印刷機１に固定された座標系を基準としたトレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２の位置座標を算出する。そして、図２に示すように、一方のトレイ側マークＴＭ１を原点としたうえで、トレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２を結ぶ線分の偏角がφとなるようにＸ軸をとり、更に、そのＸ軸からの偏角が９０°となるようにＹ軸をとってトレイ２を基準とした座標系ＸＹの設定を行う。
【００２２】
制御装置１６は、トレイ２を基準とした座標系ＸＹの設定を行ったら、各基板３の基板側マークｍ１，ｍ２の撮像によって得られた画像（画像認識結果）に基づいて、トレイ２を基準とした座標系ＸＹを基準とした各基板３の基板側マークｍ１，ｍ２の位置座標を算出する。そして、図４に示すように、各基板３の一対の基板側マークｍ１，ｍ２同士を結ぶ線分の中点の位置のトレイ２を基準とした座標系ＸＹから見た位置座標（ｘ，ｙ）及びその線分の座標系ＸＹのＸ軸からの傾きθを各基板３の実際の位置として算出するとともに、その算出した各基板３の基板側マークｍ１，ｍ２の位置座標（ｘ，ｙ）及び傾きθに基づいて、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）を算出する（図３に示すステップＳＴ３。位置ずれ量算出工程）。
【００２３】
ここで、上記トレイ２上の各基板３の基準の位置とは、図４に示すように、各基板３がトレイ２上の正しい位置に載置されていた場合に一対の基板側マークｍ１，ｍ２同士を結ぶ線分の中点が位置する位置座標（ｘ０，ｙ０）及びその線分がとる座標系ＸＹのＸ軸からの傾きθ０であり、これらの値（ｘ０，ｙ０，θ０）は予め記憶部１６ｂ（図１）に記憶されている。制御装置１６は、式Δｘ＝ｘ−ｘ０、Δｙ＝ｙ−ｙ０、Δθ＝θ−θ０に基づいて、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）を算出する。
【００２４】
制御装置１６は、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）を算出したら、カメラユニット移動機構１４Ｍの作動制御を行ってカメラユニット１４をマスク１３の下方領域に移動させ、上方撮像カメラ１４ｂによって、マスク１３に設けられた一対のマスク側マークＭＭ１，ＭＭ２（図２）を撮像する（図３に示すステップＳＴ４。マスク側マーク撮像工程）。そして、その撮像によって得られたマスク側マークＭＭ１，ＭＭ２の画像（画像認識結果）に基づいて、スクリーン印刷機１に固定された座標系を基準とした各マスク側マークＭＭ１，ＭＭ２の位置座標を算出する（図３に示すステップＳＴ５。マスク側マーク位置座標算出工程）。
【００２５】
ここで、一対のマスク側マークＭＭ１，ＭＭ２と一対のトレイ側マークＴＭ１，ＴＭ２とが上下に合致する「マスク１３に対するトレイ２の正規の位置合わせ位置」にトレイ２を位置決めしてからトレイ２を上昇させてマスク１３に接触させた場合、基準の位置に位置した（すなわち、位置ずれ量Δｘ，Δｙ，Δθのいずれもが０である）基板３の電極３ａは対応するマスク１３のパターン孔１３ｈと一致するが、基準の位置からずれた位置に位置した基板３の電極３ａはマスク１３のパターン孔１３ｈと一致しないことから、以下のようにして、トレイ２上の全ての基板３の電極３ａが全体としてマスク１３側の対応するパターン孔１３ｈと一致するようにマスク１３に対するトレイ２の位置合わせを行ってからトレイ２をマスク１３に接触させる。
【００２６】
制御装置１６は、マスク側マークＭＭ１，ＭＭ２の位置座標を算出したら（或いはマスク側マークＭＭ１，ＭＭ２の位置座標の算出と並行して）、算出した各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）それぞれについて重み（ｗｘ，ｗｙ，ｗθ）を設定する（図３に示すステップＳＴ６。重み設定工程）。この重み設定工程では、制御装置１６の記憶部１６ｂに記憶されたテーブル（図５（ａ），（ｂ））を用いて、基板３の基準の位置からの位置ずれ量が小さいときほどその位置ずれ量についての重みを大きく設定する。
【００２７】
制御装置１６は、重み設定工程で各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）それぞれについて重み（ｗｘ，ｗｙ，ｗθ）を設定したら、その設定した重みを用いた各基板３のマスク１３に対する位置ずれ量の加重平均を求めることによって「マスク１３に対するトレイ２の正規の位置合わせ位置」に対するトレイ２の位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）を算出する（図３に示すステップＳＴ７。位置補正量算出工程）。例えば、位置ずれ量算出工程で算出したＮ枚の基板３に対する位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）がそれぞれΔｘｎ，Δｙｎ，Δθｎ（ｎ＝１，２，・・・，Ｎ）であり、Δｘｎに対応する重みがｗｘｎ、Δｙｎに対する重みがｗｙｎ、Δθｎに対応する重みがｗθｎであった場合には、マスク１３に対するトレイ２の位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）は、
ΔｘＴ＝（ｗｘ１×Δｘ１＋ｗｘ２×Δｘ２＋・・・＋ｗｘＮ×ΔｘＮ）／Ｎ
ΔｙＴ＝（ｗｙ１×Δｙ１＋ｗｙ２×Δｙ２＋・・・＋ｗｙＮ×ΔｙＮ）／Ｎ
ΔθＴ＝（ｗθ１×Δθ１＋ｗθ２×Δθ２＋・・・＋ｗθＮ×ΔθＮ）／Ｎ
となる。
【００２８】
制御装置１６は、上記のようにして「マスク１３に対するトレイ２の正規の位置合わせ位置」に対するトレイ２の位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）を算出したら、その算出した位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）で「マスク１３に対するトレイ２の正規の位置決め位置」を補正して「補正後の位置合わせ位置」を算出する（図３に示すステップＳＴ８。補正後位置合わせ位置算出工程）。そして、制御装置１６は、「補正後の位置合わせ位置」を算出したら、トレイ移動機構１２の作動制御を行って、ステップＳＴ８で算出した「補正後の位置合わせ位置」にトレイ２が位置合わせされるようにトレイ保持部１１を水平面内で移動させたうえで、トレイ保持部１１をマスク１３に対して上昇させて、マスク１３の下面にトレイ２を接触させる（図３に示すステップＳＴ９。トレイ移動工程）。これによりトレイ２上の各基板３の電極３ａが全体としてマスク１３側のパターン孔１３ｈと一致した状態となる。
【００２９】
このように本実施の形態において、トレイ移動機構１２は、制御装置１６により算出された「補正後の位置合わせ位置」にトレイ２が位置合わせされるようにトレイ保持部１１を移動させたうえでトレイ保持部１１をマスク１３に対して上昇させてマスク１３の下面にトレイ２を接触させるトレイ移動手段として機能する。
【００３０】
また、制御装置１６は、撮像手段であるカメラユニット１４による撮像によって得られたトレイ２上の各基板３それぞれの基板側マークｍ１，ｍ２の画像に基づいて、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）を算出する手段（位置ずれ量算出手段）、算出した各基板の基準の位置からの位置ずれ量それぞれについて重み（ｗｘ，ｗｙ，ｗθ）を設定する手段（重み設定手段）、設定した重みを用いた各基板３の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）でマスク１３に対するトレイ２の正規の位置合わせ位置を補正して「補正後の位置合わせ位置」を算出する手段（補正後位置合わせ位置算出手段）として機能する。
【００３１】
制御装置１６は、トレイ２をマスク１３の下面に接触させたら、スキージ１５ｂによるスキージングを行って予めマスク１３上に供給されたペーストＰｔをトレイ２上の各基板３に転写させる（図３に示すステップＳＴ１０。スキージング工程）。
【００３２】
このスキージングは、具体的には、スキージユニット１５が備える２つのスキージ１５ｂのうちの一方を下降させ、マスク１３の上面に当接させた状態を維持したままベース部１５ａを水平方向（図１の紙面左右方向）に移動させることによって行う。これによりマスク１３上でスキージ１５ｂが摺動し、マスク１３上のペーストＰｔはスキージ１５ｂによって掻き寄せられてマスク１３のパターン孔１３ｈ内に押し込まれ、各基板３の電極３ａ上に転写される。なお、制御装置１６は、スキージユニット１５を図１の紙面の右方から左方に移動させてスキージングを行うときには右方のスキージ１５ｂをマスク１３上に当接させ、スキージユニット１５を図１の紙面の左方から右方に移動させてスキージングを行うときには左方のスキージ１５ｂをマスク１３上に当接させる。
【００３３】
制御装置１６は、スキージングを行ってトレイ２上の各基板３にペーストＰｔを転写させたら、トレイ移動機構１２を作動させてトレイ保持部１１を下降させ、マスク１３からトレイ２を（すなわちトレイ２上の基板３を）離間させて版離れを行う（図３に示すステップＳＴ１１。版離れ工程）。これにより各基板３の電極３ａ上にペーストＰｔが残留し、基板３にペーストＰｔが印刷される。
【００３４】
制御装置１６は版離れを行ったら、トレイ保持部１１による基板３の保持を解除したうえで、図示しないトレイ搬出装置によってトレイ２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図３に示すステップＳＴ１２。トレイ搬出工程）。
【００３５】
制御装置１６はトレイ２を搬出したらトレイ２の待ち状態に入り（図３に示すステップＳＴ１３。トレイ待ち工程）、一定時間内にトレイ２が送られてきた場合にはステップＳＴ１に戻って新たにトレイ２の搬入を行い、一定時間内にトレイ２送られてこなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００３６】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びこのスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法では、算出した各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）それぞれについて重みを設定し、その設定した重みを用いた各基板３の基準の位置からの位置ずれ量の加重平均から得られる位置補正量（ΔｘＴ，ΔｙＴ，ΔθＴ）でマスク１３に対するトレイ２の正規の位置合わせ位置を補正するようにしており、マスク１３に対するトレイ２の位置補正量を算出する際に除外の対象となる基板を定める閾値を設定することなく、トレイ２上の全ての基板３の電極３ａが全体としてマスク１３側の対応するパターン孔１３ｈと一致するようにしているので、オペレータの熟練度によらず、安定した基板３の生産効率を確保することができる。
【００３７】
なお、上述の実施の形態では、トレイ２上の各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）として、トレイ２を基準とした座標系ＸＹから見た位置ずれ量を算出するようにしていたが、トレイ２上に載置された複数の基板３の列の両端に位置する２つの基板３の基板側マーク（例えば、一方の基板３の基板側マークｍ１と他方の基板３の基板側マークｍ２）から基板マークを基準とした座標系ＸＹを設定し、その設定した座標系ＸＹから見た位置ずれ量として算出するようにしても構わない。
【００３８】
また、上述の実施の形態では、各基板３の基準の位置からの位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）それぞれについて設定される重み（ｗｘ，ｗｙ，ｗθ）が位置ずれ量（Δｘ，Δｙ，Δθ）の大きさに応じてそれぞれ５段階に設定されていたが（図５（ａ），（ｂ））、これは一例であり、２段階以上であれば何段階であっても構わない。また、各重みの値は一例に過ぎず、他の値であっても構わない。但し、位置ずれ量について重みを設定して加重平均を求める趣旨から、ここでは重みの値は「０」を除くものとする。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
オペレータの熟練度によらず安定した基板の生産効率を確保することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００４０】
１  スクリーン印刷機
２  トレイ
３  基板
３ａ  電極
１１  トレイ保持部
１２  トレイ移動機構（トレイ移動手段）
１３  マスク
１３ｈ  パターン孔
１４  カメラユニット（撮像手段）
１５ｂ  スキージ
１６  制御装置（位置ずれ量算出手段、重み設定手段、補正後位置合わせ位置算出手段）
Ｐｔ  ペースト
ｍ１，ｍ２  基板側マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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