(57)【要約】【課題】モータへの負荷を低減し、製造コストを低減した基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板搬送装置は、チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、基板支持体上に直線状に並べられた複数のラック磁石を有する磁気ラックと、磁気ラックの複数のラック磁石と磁気結合可能な複数のピニオン磁石を有し、回転軸に対して回転可能な磁気ピニオンと、を備え、複数のラック磁石は、磁気ラックの端部において、少なくとも１個以上の特定ラック磁石を含み、該特定ラック磁石とピニオン磁石との間で発生する磁気結合力は、他のラック磁石とピニオン磁石との間で発生する磁気結合力より弱められている。【選択図】図１
2013129479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、
前記基板支持体上に直線状に並べられた複数のラック磁石を有する磁気ラックと、
前記磁気ラックの複数のラック磁石と磁気結合可能な複数のピニオン磁石を有し、回転軸に対して回転可能な磁気ピニオンと、
を備え、
前記複数のラック磁石は、前記磁気ラックの端部において、少なくとも１個以上の特定ラック磁石を含み、
該特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力は、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力より弱められていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との距離が、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間の距離より離れていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記特定ラック磁石と前記ピニオン磁石と対向する表面積が、他のラック磁石と前記ピニオン磁石と対向する表面積より小さくなっていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記ラック磁石と前記ピニオン磁石は、該ピニオン磁石の径方向で磁気結合することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記ラック磁石と前記ピニオン磁石は、該ピニオン磁石の回転軸方向で磁気結合することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記特定ラック磁石は、２個以上を有し、前記磁気ラックの端部に向かって、段階的に磁気結合力が弱められていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内の経路に沿って基板を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板移送シャトル上に複数のラック磁石を直線状に並べられたラックと、磁気結合されたピニオン磁石を回転することで、基板移送シャトルを移動するための磁気駆動システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００２−５１６２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この磁気駆動システムでは、ラックを有する基板移送シャトルがピニオン磁石上に出入りする際、モータ側にかかる負荷が増大するという問題がある。即ち、ラック磁石の中央下方部に、回転するピニオンがある場合、ピニオン磁石と最接近するラック磁石との磁力線に対して、該ピニオン磁石の両側のピニオン磁石と、該ラック磁石の両側のラック磁石は、ほぼ対称に磁気結合している（特許文献１の図６Ｂ参照）。しかし、例えば、基板移送シャトルの磁気ラックの先端がピニオン磁石に入る際は、磁気ラックの先端の前方には、ラック磁石が存在しないので、複数のピニオン磁石と複数のラック磁石は、ピニオン磁石と最接近するラック磁石との磁力線に対して、片側のみで非対称に磁気結合することになる。つまり、基板移送シャトルの磁気ラックの先端がピニオン磁石に入る際は、ピニオン磁石には、回転方向と逆向きのトルクが働くため、ピニオン磁石を回転駆動するモータには、その分の負荷がかかってしまう。そのため、この余分な負荷に耐えうる大型のモータを用意しなければならず、製造コストが増大するという問題を抱えていた。
【０００５】
そこで、本発明は、従来の問題に鑑みてなされたものであり、モータへの負荷を低減し、製造コストを低減した基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板搬送装置は、チャンバと、前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、前記基板支持体上に直線状に並べられた複数のラック磁石を有する磁気ラックと、前記磁気ラックの複数のラック磁石と磁気結合可能な複数のピニオン磁石を有し、回転軸に対して回転可能な磁気ピニオンと、を備え、前記複数のラック磁石は、前記磁気ラックの端部において、少なくとも１個以上の特定ラック磁石を含み、該特定ラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力は、他のラック磁石と前記ピニオン磁石との間で発生する磁気結合力より弱められていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、モータへの負荷を低減し、製造コストを低減した基板搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係る基板処理装置の概略図である。
【図２】図１の基板搬送装置の概略断面図である。
【図３】図１の上部マグネットを説明する拡大図である。
【図４】図１の磁気ラックおよび磁気ピニオンの拡大図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線における磁気ピニオンの側面図である。
【図６】図４に示す磁気ラックの底面図である。
【図７】第２実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンの拡大図である。
【図８】図７に示す磁気ラックの底面図である。
【図９】第３実施形態に係る基板搬送装置の概略断面図である。
【図１０】第３実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。
【図１１】第３実施形態に係る磁気ラック６および磁気ピニオン５の拡大正面図である。
【図１２】第３実施形態に係る磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。
【図１３】第４実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。
【図１４】第４実施形態に係る磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。
【図１５】第５実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略側面図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の側断面図である。
【００１０】
図１に示すように、基板処理装置は、チャンバ１Ａと、該チャンバ１Ａとゲートバルブ１１を介して接続されたチャンバ１Ｂを備えている。ゲートバルブは、基板支持体４が移送可能なように、開放でき、また隣接するチャンバと隔離するよう閉鎖することができる。チャンバ１Ａとしては、ロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。チャンバ１Ｂとしては、アンロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。各チャンバは、不図示の排気手段と接続されており、減圧雰囲気に排気可能な筐体である。なお、本例では、基板搬送装置は、２つのチャンバを備えているが、３つ以上のチャンバを含んでもよい。
【００１１】
図２は、基板搬送装置の概略断面図である。図２に示すように、縦向きに配置された基板支持体４は、進行方向と垂直な断面において、ハの字状に傾斜して向かい合った矩形の側面を有し、その側面にそれぞれ矩形の基板２を支持可能に構成されている。即ち、基板支持体４は、ハの字状に向かい合った傾斜側壁４ａ、４ｂと、該傾斜側壁４ａ、４ｂの各上端部を連結した平坦な上壁４ｃを有している。
本例においては、基板２は、縦１７００ｍｍ以上横１３００ｍｍ以上の大型の矩形基板を用いたが、これに限定されず、円盤状の基板であってもよい。また、基板支持体４は、縦２０００ｍｍ以上、横１７００ｍｍ以上である。
基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの内側には、水平方向にわたって、係合部材（以下、ガイドレール）１４が設けられている。なお、ガイドレール１４は、曲面状の溝を有していてもよいし、摺動可能な平面を有するだけでもよい。
【００１２】
一方、図１に示すように、チャンバ１Ａ、１Ｂ内には、基板支持体４の移動経路に沿って、回転可能な複数の軸受（以下、ガイドローラ）３が離間して設けられている。ガイドローラ３は、該基板支持体４のガイドレール１４の溝にはめ込まれ、基板支持体４を水平方向に移動可能に支持する支持部材として機能している。
【００１３】
図２に示すように、基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの下端部には、それぞれ基板の搬送方向（水平方向）に渡って、複数のラック磁石を有する第１磁気ラック６が設けられている。各第１磁気ラック６の下方には、第１磁気ラック６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂが設けられている。図１に示すように、基板支持体４が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に、複数の磁気ピニオン５（本例では３つ）が所定の間隔を隔てて配置されている。図２に示すように、基板支持体４の一方の傾斜側壁４ａの下端部に設けられた、第１磁気ラック６と磁気結合する磁気ピニオン５の回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体４の他方の傾斜側壁４ｂの下端部に設けられた、第１磁気ラック６と磁気結合する磁気ピニオン５の回転軸も、モータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン５をチャンバの内部、即ちプロセス環境の内側に設けたが、これに限定されず、隔壁を介してチャンバの外側に、磁気ピニオン５を設けるようにしてもよい。また、本例では、磁気ピニオン５ａ、５ｂと磁気ラック６とが鉛直方向で磁気結合させたが、水平方向で磁気結合するように構成してもよい。
【００１４】
磁気ピニオン５を回転することにより、基板支持体４は、図１の矢印の方向へ直線状に移動する。この磁気ピニオン５と第１磁気ラック６とにより、非接触状態で磁気ピニオン５の回転を第１磁気ラック６の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。なお、図１に示すように、離間して設けられた複数の磁気ピニオンを回転するために、個別にモータを設けて、各モータを同期する制御手段を設けてもよい。また、複数の磁気ピニオン５同士を、ギアで連結し、単一のモータで、各磁気ピニオンの回転を同期させるようにしてもよい。なお、本例では、磁気ピニオン５は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを有するが、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。
【００１５】
図１及び図２に示すように、基板支持体４の上壁４ｃ上には、上部マグネット９が設けられている。一方、チャンバ１Ａの天井には、該マグネット９と磁気結合するマグネット８が配置されている。
【００１６】
図３は、図１の上部マグネット８，９を説明する拡大図である。図３（ａ）は上部マグネット８，９の断面図であり、図３（ｂ）は上部マグネット８，９の側面図である。
図３（ａ）に示すように、チャンバ側には、異なる磁極の棒状マグネット８ａ、８ｂが２列に並べられている。基板支持体側には、異なる磁極の棒状マグネット９ａ、９ｂが２列に並べられている。
図３（ｂ）に示すように、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ａ（本例ではＮ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ａ（Ｓ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。同様に、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ｂ（本例ではＳ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ｂ（Ｎ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。
【００１７】
図４は、図１の磁気ラック６および磁気ピニオン５の拡大図である。
図４に示すように、磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石６ｂと、該ラック磁石６ｂより地面からの距離が遠ざかる位置に設けられた特定ラック磁石６ａ、６ｃを含む。
図４に示すように、磁気ラック６の複数のラック磁石と近接する、反対極性の磁気ピニオン磁石が互いに磁気結合している。従って、磁気ピニオン５が回転することで、基板支持体４は、右方向へ移動する。なお、磁気ピニオン５を反対に回転する場合は、基板支持体４は、左方向に移動する。
磁気ラック６の中央部に配置される複数のラック磁石は、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石も、互いに略対称にピニオン磁石と磁気結合している。
さらに本例では、それぞれ３個（Ｎ極、Ｓ極、Ｎ極）の特定ラック磁石６ａ、６ｂを備え、基板支持体４の両端部に向かって徐々に地面からの距離が遠ざかるように構成されている。
このように、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ラックの端部に向かって徐々にピニオン磁石５との距離が遠ざかる位置に配置されることで、磁力は、磁石間の距離が離れるごとに弱くなる。つまり、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ラックの両端部に向かって、磁気ピニオンとの間で発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック６の端部に、磁気ピニオン５は位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック６が磁気ピニオン５に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。
なお、本例では、３個の特定ラック磁石を設けたが、本発明の趣旨は、これに限定されず、他のラック磁石６ｂと比べて、ピニオン磁石との間での磁力が弱まった１個以上の特定ラック磁石があればよい。さらに、２個以上のラック磁石を備えた場合は、磁気ラックの端部に向かって、段階的に、ピニオン磁石との磁気結合力が弱くなるように構成したほうがよい。
また、円筒形の回転可能な磁気ピニオン５は、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。磁気ピニオン５の各ピニオン磁石は、磁気ピニオンの径方向に着磁されている。一方、磁気ラック６の各ラック磁石は、鉛直方向に着磁されている。なお、本例では、ラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も扇形の同一形状で、同一間隔（隙間無し）で配置されている。各ピニオン磁石は、棒状（角形）の磁石であってもよく、所定の同一間隔を空けて設けてもよい。
【００１８】
図５は、図４のＡ−Ａ線における磁気ピニオンの側面図である。
図５に示すように、磁気ラック６の真下には、シャフト５１を介して回転可能に磁気ピニオン５が設けられている。
図６は、図４に示す磁気ラックの底面図である。図６に示すように、特定ラック磁石６ａ、６ｃも、他のラック磁石６ｂも、磁気ピニオンに対向する表面積は、同じ大きさになっている。また、ラック磁石間の間隔も、同一になっている。
【００１９】
（第２実施形態）
図７及び図８を参照して、本発明の第２実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンを説明する。図７は、第２実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンの拡大図である。図８は、図７に示す磁気ラックの底面図である。
本実施形態の基板搬送装置は、第１実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
図７に示すように、本実施形態の磁気ラック６の複数のラック磁石は、異極の磁石が互いに交互に配置され、特定ラック磁石６ａ、６ｃも含め、全て直線状に並べられている。
一方、図８に示すように、特定ラック磁石６ａ、６ｃの磁気ピニオンに対向する表面積は、他のラック磁石６ｂより小さくなっている。さらに本例では、３個の特定ラック磁石６ａ、６ｃを有し、それらの表面積は、磁気ラックの端部に向かって、徐々に小さくなっている。つまり、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、端部に向かって、磁気ピニオンとの間に発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック６の端部に、磁気ピニオン５が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック６が磁気ピニオン５に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。
【００２０】
（第３実施形態）
図９〜１１を参照して、第３実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第１実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
図９は、第３実施形態に係る基板搬送装置の概略断面図である。図１０は、第３実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。
図９に示すように、基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの下端部には、それぞれ水平方向に渡って、複数のラック磁石を有する磁気ラック６が設けられている。各磁気ラック６の下方には、磁気ラック６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂが設けられている。図１０に示すように、基板支持体４が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に複数の磁気ピニオン５が所定の間隔を隔てて配置されている。図９に示すように、基板支持体４の一方の傾斜側壁４ａの下端部に設けられた、磁気ラック６ａと磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体４の他方の傾斜側壁４ｂの下端部に設けられた、第１磁気ラック６と磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸も、モータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン５は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを有するが、これに限定されず、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。
【００２１】
図１０に示すように、磁気ラック６の複数のラック磁石と近接する、反対極性の磁気ピニオン磁石が互いに磁気結合している。磁気ピニオン５を回転することにより、基板支持体４は、図１０の矢印の方向へ直線状に移動可能である。この磁気ピニオン５と磁気ラック６とにより、非接触状態で磁気ピニオン５の回転を第１磁気ラック６の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。
【００２２】
図１１は、図９の磁気ラック６および磁気ピニオン５の拡大正面図である。図１２は、図１０の磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。
図１０及び図１２に示すように、磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石６ｂと、該ラック磁石６ｂよりピニオン磁石５ａ、５ｂとの距離が遠ざかるように構成された特定ラック磁石６ａ、６ｃを含む。本例では、それぞれ３個の特定ラック磁石６ａ、６ｃを有し、それらは基板支持体４の両端部に向かって徐々にピニオン磁石との距離が遠ざかるように構成されている。図１２に示すように、特定ラック磁石６ａ、６ｃの回転軸方向の幅は、他のラック磁石６ｂに比べ、短くなっている。つまり、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、他のラック磁石６ｂよりピニオン磁石との間に発生する磁気結合力が小さい。さらに本例では、それぞれ３個の特定ラック磁石６ａ、６ｃを有し、それらは磁気ラック６の端部に向かって、磁気ピニオン５ａ、５ｂとの間に発生する磁気結合力が弱くなるように、構成されている。
また、円筒形の回転可能な磁気ピニオン５ａは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。なお、特定ラック磁石６ａ、６ｃ以外のラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
つまり、磁気ラック６の両端部に、磁気ピニオン５が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック６が磁気ピニオン５に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。
【００２３】
図１１に示すように、磁気ラック６を挟んで、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂが、水平方向に伸びたシャフト５１を介して接続されて設けられている。水平方向に伸びたシャフト５１は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸を示している。本例では、第１磁気ラック６と第１磁気ピニオン５ａとの間に生じる磁界は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第１磁気ピニオン５ａの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第１磁気ラック６と第２磁気ピニオン５ｂとの間に生じる磁界も、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第２磁気ピニオン５ｂの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
このように、第１磁気ラック６を挟んだ両側に、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを配置することにより、第１磁気ピニオン５ａと第１磁気ラック６との磁力と、第２磁気ピニオン５ｂと第１磁気ラック６との磁力が相殺され、基板支持体は、水平方向での変動が少なく、安定した姿勢を維持することができる。
【００２４】
（第４実施形態）
図１３及び図１４を参照して、第４実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第３実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図１３は、第４実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。図１４は、第４実施形態に係る磁気ラックと磁気ピニオンの関係を説明するための拡大上面図である。
図１３に示すように、磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石６ｂと、ラック磁石６ｂより地面との距離が遠ざかるように構成された特定ラック磁石６ａ、６ｃを含む。本例では、それぞれ３個の特定ラック磁石６ａ、６ｃを有し、それらは、基板支持体４の端部に向かって徐々に地面との距離が遠ざかるように構成されている。
図１４に示すように、上面から見た特定ラック磁石６ａ、６ｃの幅は、他のラック磁石６ｂと同じになるように設定されている。つまり、本実施形態の磁気ラックは、図４で示した第１実施形態の磁気ラックと同一の構成である。
【００２５】
一方、円筒形の回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。つまり、本実施形態の磁気ピニオンは、第３実施形態の磁気ピニオンと同一の構成である。
このように構成することで、水平方向において、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ピニオン５ａ、５ｂと対向する表面積が、他の磁気ラック６ｂよりも小さくなっている。磁石の磁力は、表面積が大きくなるにつれ、強くなる。つまり、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ラックの端部に向かって、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック６の端部に、磁気ピニオン５が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック６が磁気ピニオン５に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。
なお、特定ラック磁石６ａ、６ｃおよび他のラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
【００２６】
（第５実施形態）
図１５を参照して、第５実施形態に係る基板搬送装置を説明する。本実施形態の基板搬送装置は、第４実施形態で示した基板搬送装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。図１５は、第５実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの側面図である。なお、本実施形態に係る磁気ラック及び磁気ピニオンの上面図は、図１４と同じであるので、省略する。
図１５に示すように、磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線状に配置された複数のラック磁石６ｂと、該ラック磁石６ｂより地面との距離が遠ざかるように体積が小さく構成された特定ラック磁石６ａ、６ｃを含む。本例では、それぞれ３個の特定ラック磁石６ａ、６ｃを有し、それらは、基板支持体４の端部に向かって徐々に地面との距離が遠ざかるように体積が小さくなっている。
【００２７】
一方、円筒形の回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂは、水平方向に伸びた回転軸の周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。つまり、本実施形態の磁気ピニオンは、第３実施形態の磁気ピニオンと同一の構成である。
このように構成することで、水平方向において、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ピニオン５ａ、５ｂと対向する表面積が、他の磁気ラック６ｂよりも小さくなっている。磁石の磁力は、表面積が小さくなるにつれ、弱くなる。つまり、特定ラック磁石６ａ、６ｃは、磁気ラックの端部に向かって、他のラック磁石６ｂより、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成されている。つまり、磁気ラック６の端部に、磁気ピニオン５が位置するときは、最も近接するラック磁石とピニオン磁石を軸に、その左右の磁石は、互いに非対称に磁気結合している。本実施形態では、このような構成により、磁気ラック６が磁気ピニオン５に出入りする際のモータの負荷を軽減することができる。
【００２８】
以上のように、特定ラック磁石６ａ、６ｃを、磁気ラックの端部に向かって、他のラック磁石６ｂより、磁気ピニオンとの磁気結合力が弱くなるように、構成することで、磁気ラックがピニオン磁石上に出入りする際に生じるトルクを軽減することができる。結果的に、モータへの最大負荷を軽減でき、製造コストを低減することができる。
【符号の説明】
【００２９】
１Ａ，１Ｂ  チャンバ
２  基板
３  支持部材（ガイドローラ）
４  基板支持体
５  下部磁気ピニオン
５ａ  第１磁気ピニオン
５ｂ  第２磁気ピニオン
６  下部磁気ラック（第１磁気ラック）
７  モータ
１０  磁気駆動部
１４  ガイドレール
５１  シャフト（回転軸）
【図１】
2013129479.tif 000003
【図２】
2013129479.tif 000004
【図３】
2013129479.tif 000005
【図４】
2013129479.tif 000006
【図５】
2013129479.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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