(57)【要約】【課題】被駆動体の位置の誤検出を低減する。【解決手段】エンコーダは、被駆動体の位置情報を示すパターンを有する符号板と、符号板のパターンを検出する複数の検出素子と、複数の検出素子それぞれが検出した検出信号を二値化信号に変換する変換部と、検出素子ごとに定められた調整情報に基づいて、変換部に検出信号を検出素子ごとに調整させる調整制御部と、二値化信号に基づいて、被駆動体の位置を検出する位置検出部とを備える。【選択図】図１
2013124909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動体の位置情報を示すパターンを有する符号板と、
前記符号板の前記パターンを検出する複数の検出素子と、
前記複数の検出素子それぞれが検出した検出信号を二値化信号に変換する変換部と、
前記検出素子ごとに定められた調整情報に基づいて、前記変換部に前記検出信号を前記検出素子ごとに調整させる調整制御部と、
前記二値化信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部と
を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
前記複数の検出素子のうち、いずれの検出素子が前記検出信号を出力するかを切り替える切替部を備え、
前記調整制御部は、
前記切替部により切り替えられた検出素子に対応する前記調整情報に基づいて、前記切り替えられた検出素子から出力された前記検出信号を前記変換部に調整させる
ことを特徴とする請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて、前記複数の検出素子それぞれが検出した複数の前記検出信号の出力特性を一致させるように、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記出力特性には、前記検出信号の最大信号レベル又は前記検出信号の最小信号レベルが含まれ、
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて、前記複数の検出信号における前記最大信号レベル又は前記最小信号レベルを一致させるように、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項３に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記出力特性には、前記検出信号の最大信号レベルと前記検出信号の最小信号レベルとの平均値が含まれ、
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて、前記複数の検出信号における前記平均値を一致させるように、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記変換部は、
前記検出信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部によって増幅された前記検出信号を前記二値化信号に変換する二値化部と
を備え、
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて前記増幅部の利得を変更することにより、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項１から請求項５に記載のエンコーダ。
【請求項７】
前記変換部は、
前記検出信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部によって増幅された前記検出信号を前記二値化信号に変換する二値化部と
を備え、
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて前記増幅部の直流オフセット電圧を変更することにより、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項８】
前記変換部は、
前記検出信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部によって増幅された前記検出信号を所定の閾値電圧に基づいて前記二値化信号に変換する二値化部と
を備え、
前記調整制御部は、
前記調整情報に基づいて前記二値化部の前記所定の閾値電圧を変更することにより、前記変換部に前記検出信号を調整させる
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項９】
前記検出素子ごとに定められた前記調整情報を記憶する記憶部を備え、
前記調整制御部は、
前記記憶部に記憶されている前記調整情報に基づいて、前記検出信号を前記検出素子ごとに調整させる
ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１０】
前記複数の検出素子のうちの一部に対応する前記調整情報である部分調整情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶されている前記部分調整情報に基づいて、前記検出素子ごとに定められた前記調整情報を生成する調整情報生成部と
を備え、
前記調整制御部は、
前記調整情報生成部によって生成された前記検出素子ごとに定められた前記調整情報に基づいて、前記検出信号を前記検出素子ごとに調整させる
ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１１】
前記検出信号を計測して、当該計測結果に基づいて前記調整情報を定める設定部を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のエンコーダと、
前記被駆動体を駆動する駆動部と
を備えることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ、及び駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、位置情報を示すパターンを検出部によって検出した検出信号に基づいて、例えば、パターンを備えた回転子などの被駆動体の位置を検出するエンコーダが知られている（例えば、特許文献１を参照）。このようなエンコーダは、検出部が複数の検出素子を備え、複数の検出素子が検出した検出信号を波形整形した検出信号に基づいて、被駆動体の位置を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２０３４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば、上述のようなエンコーダでは、検出部が光源を備えて、検出素子に受光素子を用いた場合に、光源からパターンを経て複数の受光素子に至る光路の距離が各受光素子によって異なることがある。このような場合、複数の受光素子が検出した検出信号の出力値にも、各受光素子によってバラツキが生じることがある。そのため、上述のようなエンコーダは、例えば、ノイズなどの外乱が発生した場合に、被駆動体の位置を誤検出することがある。
このように、上述のようなエンコーダは、被駆動体の位置を誤検出することがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、被駆動体の位置の誤検出を低減することができるエンコーダ、及び駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために、本発明の一実施形態は、被駆動体の位置情報を示すパターンを有する符号板と、前記符号板の前記パターンを検出する複数の検出素子と、前記複数の検出素子それぞれが検出した検出信号を二値化信号に変換する変換部と、前記検出素子ごとに定められた調整情報に基づいて、前記変換部に前記検出信号を前記検出素子ごとに調整させる調整制御部と、前記二値化信号に基づいて、前記被駆動体の位置を検出する位置検出部とを備えることを特徴とするエンコーダである。
【０００７】
また、本発明の一実施形態は、上記に記載のエンコーダと、前記被駆動体を駆動する駆動部とを備えることを特徴とする駆動装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態によるエンコーダを示すブロック図である。
【図２】本実施形態における受光素子の検出信号の切り替え動作を示す図である。
【図３】第１の実施形態におけるエンコーダの検出信号の調整動作を示す図である。
【図４】第２の実施形態によるエンコーダを示すブロック図である。
【図５】第２の実施形態によるエンコーダの検出信号の調整動作を示す図である。
【図６】第３の実施形態によるエンコーダを示すブロック図である。
【図７】第３の実施形態におけるエンコーダの検出信号の調整動作を示す図である。
【図８】第４の実施形態によるエンコーダを示すブロック図である。
【図９】第５の実施形態によるエンコーダを示すブロック図である。
【図１０】本実施形態における駆動装置の概略図である。
【図１１】本実施形態における減速機を備える駆動装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態によるエンコーダについて、図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
図１は、本実施形態によるエンコーダ１００を示すブロック図である。
図１において、エンコーダ１００は、符号板２、受光部３、切替部４、信号変換部５、信号処理部６、光源１０、ドライバ部１１、アンプ（１２，１３）、及び不揮発性記憶部１４を備えている。なお、実施形態では、一例として、エンコーダ１００が、透過式の光学方式のアブソリュートエンコーダである場合の例について説明する。
【００１１】
符号板２は、例えば、回転子（被駆動体）などに装着されている回転符号板であり、回転子の位置情報を示すパターンを有している。例えば、符号板２は、円板状の形状に、外周側から順番に、内挿処理に用いるインクリメンタルパターン２２と、絶対位置として位置情報を示すアブソリュートパターン２１とを備えている。なお、本実施形態では、一例として、符号板２が回転するロータリータイプのエンコーダについて説明する。
ここで、位置情報とは、移動角度（例、回転角度）や移動位置（例、回転位置）等を示す情報である。また、絶対位置とは、例えば、回転子の絶対角度位置又は絶対移動位置（例、絶対回転位置）のことである。
【００１２】
アブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２は、例えば、光を透過する透過パターン領域と、光を透過しない非透過パターン領域とにより位置情報を示すパターンを形成している。アブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２は、光源１０から透過パターン領域を透過して照射された光を受光部３が受光できるように、光源１０と受光部３との間に配置されている。アブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２は、光源１０から照射された光を透過パターン領域に応じて透過させ、透過させた光を受光部３に受光させる。
【００１３】
受光部３（検出部）は、符号板２に対向して配置され、アブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２を介して光源１０から照射された光を受光することにより、アブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２を検出する。
また、受光部３は、アブソリュート受光部３０と、インクリメンタル受光部３７とを備えている。
【００１４】
インクリメンタル受光部３７は、符号板２に設けられたインクリメンタルパターン２２に対向して配置される。インクリメンタル受光部３７は、光源１０からインクリメンタルパターン２２を介して照射された光を受光して、受光した光量に基づいてインクリメンタルパターン２２を検出する。インクリメンタル受光部３７は、検出したインクリメンタルパターン２２に対応する２つの検出信号であって、互いに位相が９０度ずれたＡ相検出信号とＢ相検出信号とを出力する。インクリメンタル受光部３７は、Ａ相検出信号をアンプ１２に、Ｂ相検出信号をアンプ１３に、それぞれ出力する。
【００１５】
アブソリュート受光部３０は、符号板２に設けられたアブソリュートパターン２１に対向して配置され、光源１０からアブソリュートパターン２１を介して照射された光を受光して、受光した光量に基づいてアブソリュートパターン２１を検出する。アブソリュート受光部３０は、例えば、アブソリュートパターン２１に対応した最小読み取りピッチを持つ複数（例えば、６つ）の受光素子３１〜３６を備えている。アブソリュート受光部３０は、複数（例えば、６つ）の受光素子３１〜３６によって検出した各検出信号を切替部４に出力する。
受光素子３１〜３６（検出素子）のそれぞれは、例えば、フォトダイオード、フォトトランジスタなどであり、アブソリュートパターン２１に対応する配置に並んで互いに隣接する形でアブソリュート受光部３０を形成している。
【００１６】
なお、光源１０からアブソリュートパターン２１を経て受光素子３１〜３６に至る光路の距離は、受光素子３１〜３６の配置によって異なる。そのため、受光素子３１〜３６が出力する検出信号は、信号レベルに不均一が生じる場合がある。すなわち、アブソリュート受光部３０の両端に位置する受光素子（３１，３６）の光路の距離は、中央に配置されている受光素子（３３，３４）の光路の距離より長いため、受光素子（３１，３６）の出力信号の信号レベルは、受光素子（３３，３４）の出力信号の信号レベルより低くなる。
この複数の受光素子（３１〜３６）における信号レベルの不均一を低減するために、本実施形態におけるエンコーダ１００は、検出信号の調整する制御を行っている。検出信号の調整する制御については、詳細に後述する。
【００１７】
切替部４は、アブソリュート受光部３０と信号変換部５との間に配置され、信号処理部６から供給される切り替え信号に基づいて、６つの受光素子３１〜３６のうち、いずれの受光素子が検出信号（ＡＢＳ（エービーエス）相検出信号）を出力するかを切り替える。すなわち、切替部４は、信号処理部６から供給される切り替え信号に応じて、６つの受光素子３１〜３６のうちの１つを順番に切り替えて、ＡＢＳ相検出信号を出力する。また、切替部４は、複数（例えば、６つ）のスイッチを備えるスイッチ部４１とスイッチ制御部４２とを備えている。
【００１８】
スイッチ部４１は、例えば、受光素子３１〜３６のそれぞれに対応する６つのスイッチを備えている。この６つのスイッチは、スイッチ制御部４２から供給される制御信号に基づいて、受光素子３１に対応する検出信号から受光素子３６に対応する検出信号である６つの検出信号うちの１つを、ＡＢＳ相検出信号として選択的に出力する。
【００１９】
スイッチ制御部４２は、信号処理部６から供給される切り替え信号に応じて、上述の６つの検出信号のうちの１つを切り替えて、ＡＢＳ相検出信号として出力させる制御信号をスイッチ部４１に供給する。スイッチ制御部４２は、例えば、アブソリュート受光部３０の出力を順番に１信号ずつ切り替えてスイッチ部４１から出力させる。
【００２０】
信号変換部５は、切替部４が出力したＡＢＳ相検出信号を増幅して、二値化信号に変換する。すなわち、信号変換部５は、上述の６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した検出信号を二値化信号に変換する。ここで、二値化とは、所定の閾値電圧（閾値レベル）に基づいて、アナログ信号である検出信号を、第１の信号レベル（例えば、Ｌ（ロウ）レベル）と第２の信号レベル（例えば、Ｈ（ハイ）レベル）との２つの信号レベルの信号（デジタル信号）に変換することである。なお、第１の信号レベルと、第２の信号レベルとは、デジタル信号における論理状態に対応する。ここでは、例えば、Ｌレベルが論理状態“０”に対応し、Ｈレベルが論理状態“１”に対応するものとして説明する。
信号変換部５は、ＡＢＳ相検出信号を変換した二値化信号を信号処理部６に供給する。また、信号変換部５は、アンプ５１と、二値化部５２とを備えている。
【００２１】
アンプ５１（増幅部）は、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、増幅した信号（ＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２に出力する。なお、アンプ５１は、例えば、ゲイン（利得）調整型の増幅回路であり、信号処理部６から供給されるゲイン調整信号に基づいて、信号増幅のゲイン（利得）を変更する。
二値化部５２は、例えば、コンパレータ（比較器）であり、アンプ５１によって増幅されたＡＢＳ相検出信号を所定の閾値電圧に基づいて二値化信号に変換する。二値化部５２は、例えば、増幅されたＡＢＳ相検出信号の信号レベルが所定の閾値電圧以上である場合に、二値化信号としてＨレベルを出力する。二値化部５２は、例えば、増幅されたＡＢＳ相検出信号の信号レベルが所定の閾値電圧未満である場合に、二値化信号としてＬレベルを出力する。二値化部５２は、変換した二値化信号を信号処理部６に供給する。
【００２２】
アンプ１２は、例えば、増幅回路であり、インクリメンタル受光部３７から出力されたＡ相検出信号を増幅し、増幅したＡ相検出信号を信号処理部６に供給する。
アンプ１３は、例えば、増幅回路であり、インクリメンタル受光部３７から出力されたＢ相検出信号を増幅し、増幅したＢ相検出信号を信号処理部６に供給する。
【００２３】
ドライバ部１１は、信号処理部６から供給された制御信号に基づいて、光源１０を駆動する駆動信号を生成し、生成した駆動信号を光源１０に供給する。
光源１０は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）などの発光素子であり、ドライバ部１１から供給される駆動信号に基づいて、符号板２のアブソリュートパターン２１及びインクリメンタルパターン２２に光を照射する。
【００２４】
不揮発性記憶部１４（記憶部）は、例えば、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory）やフラッシュメモリなどの記憶部であり、後述する調整情報を記憶する。不揮発性記憶部１４は、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報を記憶する。なお、本実施形態では、不揮発性記憶部１４は、後述する設定装置２００（調整情報設定部２１０）から供給された調整情報を記憶する。
【００２５】
信号処理部６は、エンコーダ１００における各部の制御、及び信号処理を行う。信号処理部６は、例えば、光源１０に駆動信号を出力させる制御信号を生成し、生成した制御信号をドライバ部１１に供給する。また、信号処理部６は、例えば、Ａ相検出信号及びＢ相検出信号と、二値化信号とに基づいて、位置情報（例えば、回転体の位置）を算出（検出）する信号処理を行い、算出した回転位置をエンコーダ１００の外部に出力する。ここで、Ａ相検出信号及びＢ相検出信号は、インクリメンタル受光部３７からアンプ（１２，１３）を介して供給され、二値化信号は、アブソリュート受光部３０から切替部４及び信号変換部５を介して供給されたＡＢＳ相検出信号に対応する。
【００２６】
また、信号処理部６は、例えば、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、信号変換部５に検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる調整制御を行う。この調整制御の詳細については、後述する。
また、信号処理部６は、調整制御部６０、Ｄ／Ａ（デジタル／アナログ）部６１、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）部（６２，６３）、及び位置検出部７を備えている。
【００２７】
Ａ／Ｄ部６２は、例えば、アナログ／デジタル変換器であり、アンプ１２から供給されたアナログ信号であるＡ相検出信号をデジタル信号に変換し、変換したデジタル信号（Ａ相検出信号）を位置検出部７に供給する。
Ａ／Ｄ部６３は、例えば、アナログ／デジタル変換器であり、アンプ１３から供給されたアナログ信号であるＢ相検出信号をデジタル信号に変換し、変換したデジタル信号（Ｂ相検出信号）を位置検出部７に供給する。
【００２８】
位置検出部７は、Ａ／Ｄ部（６２，６３）から供給されたＡ相検出信号及びＢ相検出信号と、信号変換部５から供給された二値化信号とに基づいて、位置情報（例えば、回転体の位置）を検出する。位置検出部７は、検出した位置情報をエンコーダ１００の外部に出力する。また、位置検出部７は、絶対番地処理部７１と、内挿処理部７２と、合成処理部７３とを備えている。
【００２９】
絶対番地処理部７１は、信号変換部５から供給された二値化信号に基づいて、アブソリュートパターン２１を検出した絶対位置情報を生成する。また、絶対番地処理部７１は、切替部４のスイッチ制御部４２に、切り替え信号を出力する。例えば、絶対番地処理部７１は、切り替え信号をスイッチ制御部４２に供給して、受光素子３１〜３６の検出信号をＡＢＳ相検出信号として順番に出力させ、ＡＢＳ相検出信号を信号変換部５によって二値化した二値化信号を取得する。なお、この二値化信号は、アブソリュートパターン２１に形成されたパターンに対応した検出信号を二値化した信号に対応するので、絶対番地処理部７１は、二値化信号を順番に取得することにより、受光素子３１〜３６によって検出された６ビットのパターンデータを取得する。絶対番地処理部７１は、取得した６ビットのパターンデータを符号板２の絶対番地に対応する絶対位置情報に変換する。絶対番地処理部７１は、変換した（生成した）絶対位置情報を合成処理部７３に供給する。
また、絶対番地処理部７１は、上述の切り替え信号を調整制御部６０に供給する。
【００３０】
内挿処理部７２は、Ａ／Ｄ部（６２，６３）から供給されたＡ相検出信号及びＢ相検出信号に基づいて内挿処理を実行し、相対位置情報を生成する。内挿処理部７２は、生成した相対位置情報を合成処理部７３に供給する。
合成処理部７３は、絶対番地処理部７１から供給された絶対位置情報と、内挿処理部７２から供給された相対位置情報とを合成処理して、合成処理した位置情報（例えば、回転体の位置）を出力する。
【００３１】
調整制御部６０は、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、信号変換部５に受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに選択的に調整させる。調整制御部６０は、例えば、切替部４により切り替えられた受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報に基づいて、切り替えられた受光素子（３１〜３６）から出力された検出信号を信号変換部５に調整させる。また、例えば、調整制御部６０は、切替部４による切替に応じて１つずつ出力される複数の調整情報に基づいて、切り替えられた受光素子（３１〜３６）から出力された検出信号を信号変換部５に調整させる。例えば、複数の調整情報は、互いに異なる信号情報であってもよい。また、例えば、複数の調整情報は、各受光素子（３１〜３６）から得られる検出信号に対称性などの所定の出力特性がある場合には、一部だけ（例、少なくとも２つ）異なる信号情報であってもよい。
【００３２】
例えば、調整制御部６０は、不揮発性記憶部１４に記憶されている調整情報を読み出す。調整制御部６０は、読み出した調整情報に基づいて、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の出力特性を一致させるように、信号変換部５に検出信号を調整させる。例えば、出力特性には、検出信号の最大信号レベル又は検出信号の最小信号レベルが含まれる。この場合、調整制御部６０は、読み出した調整情報に基づいて、６つの検出信号における最大信号レベル又は最小信号レベルを一致させるように、信号変換部５に検出信号を調整させる。
【００３３】
例えば、調整制御部６０は、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧をゲイン調整信号として出力させる。すなわち、調整制御部６０は、Ｄ／Ａ部６１を介してゲイン調整信号を出力させて、アンプ５１のゲイン（利得）を変更することにより、信号変換部５に検出信号を調整させる。
【００３４】
Ｄ／Ａ部６１は、例えば、デジタル／アナログ変換器であり、調整制御部６０から供給されたデジタル信号をデジタル信号により指定された電圧のアナログ信号に変換する。なお、調整制御部６０から供給されるデジタル信号は、６つの受光素子３１〜３６の各検出信号に対応する調整情報に基づいて定められたアンプ５１のゲイン（利得）を変更する電圧を示す信号である。Ｄ／Ａ部６１は、変換したアナログ信号をゲイン調整信号として、アンプ５１に供給する。
ここで、エンコーダ１００は、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整する信号調整部８を備えている。図１において、信号調整部８は、Ｄ／Ａ部６１と、アンプ５１とが対応する。
【００３５】
なお、エンコーダ１００は、上述した調整情報を設定する際に、図１に示すように設定装置２００と接続される。
設定装置２００は、例えば、製造工程において不揮発性記憶部１４に調整情報を記憶させる設定治具や、調整情報の再設定を行う校正装置（キャリブレーション装置）である。設定装置２００は、調整情報設定部２１０を備えている。
【００３６】
調整情報設定部２１０は、例えば、６つの受光素子３１〜３６の検出信号に基づいて二値化された二値化信号がそれぞれＨレベル（論理状態“１”）になるように、符号板２の位置を変更させる。調整情報設定部２１０は、ＡＢＳ相検出信号の信号線であるノードＮ１と、アンプ５１の出力信号線であるノードＮ２の電圧レベルとを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、計測結果に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとの調整情報を定める。すなわち、調整情報設定部２１０は、ノードＮ１の電圧とノードＮ２の電圧とを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、計測結果に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとの調整情報を生成する。調整情報設定部２１０は、受光素子（３１〜３６）ごとに生成した調整情報を不揮発性記憶部１４に記憶させる。さらに、調整情報設定部２１０は、ノードＮ１の電圧とノードＮ２の電圧とを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、設定した調整情報が正しく設定されているかを確認にしてもよい。
【００３７】
次に、本実施形態におけるエンコーダ１００の動作について説明する。
エンコーダ１００は、位置情報を検出する場合、ます、信号処理部６がドライバ部１１に光源１０に光を照射させる制御信号を供給する。光源１０は、ドライバ部１１から供給された駆動信号に基づいて、光を符号板２に照射する。そして、受光部３は、光源１０から符号板２のアブソリュートパターン２１とインクリメンタルパターン２２を経て受光部３に照射された光を受光する。受光部３のインクリメンタル受光部３７は、インクリメンタルパターン２２を検出した検出信号（Ａ相検出信号及びＢ相検出信号）を、アンプ（１２，１３）を介して信号処理部６に供給する。
【００３８】
一方、受光部３のアブソリュート受光部３０は、受光素子３１〜３６の検出信号を切替部４に出力する。
図２は、本実施形態における受光素子３１〜３６の検出信号の切り替え動作を示す図である。
この図において、期間Ｔ１は、切替部４が切り替え信号に応じて、受光素子３１の検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力している状態を示している。この場合、スイッチ制御部４２は、受光素子３１に対応するスイッチを導通状態にし、受光素子３２〜３６のそれぞれに対応するスイッチを非導通状態にする制御信号を、スイッチ部４１に供給する。スイッチ部４１は、スイッチ制御部４２から供給された制御信号に基づいて、受光素子３１の検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力するように、各スイッチの状態を変更する。
【００３９】
また、期間Ｔ６は、切替部４が切り替え信号に応じて受光素子３６の検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力している状態を示している。この場合、スイッチ制御部４２は、受光素子３６に対応するスイッチを導通状態にし、受光素子３１〜３５のそれぞれに対応するスイッチを非導通状態にする制御信号を、スイッチ部４１に供給する。スイッチ部４１は、スイッチ制御部４２から供給された制御信号に基づいて、受光素子３６の検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力するように、各スイッチの状態を変更する。
なお、図２において、図示を省略しているが、切替部４は、切り替え信号に応じて、期間Ｔ１と期間Ｔ６との間に、期間Ｔ２から期間Ｔ５の状態を順番に切り替える。期間Ｔ２から期間Ｔ５は、それぞれ切替部４が切り替え信号に応じて受光素子３２〜３５の各検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力している状態を示している。
【００４０】
このように、切替部４は、期間Ｔ１から期間Ｔ６の順に、スイッチ部４１の状態を遷移させて、受光素子３１〜３６の検出信号を順番に、ＡＢＳ相検出信号として出力する。
【００４１】
次に、本実施形態における調整制御部６０による調整制御の動作について説明する。
図３は、本実施形態におけるエンコーダ１００の検出信号の調整動作を示す図である。
図３において、上から順に、（ａ）ＡＢＳパターン、（ｂ）ＡＢＳ相検出信号、（ｃ）ゲイン調整信号、（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号、及び（ｅ）二値化信号を示している。（ａ）ＡＢＳパターンは、アブソリュートパターン２１におけるパターンのうちの切替部４によって選択された検出信号に対応するパターンを示している。また、（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号は、アンプ５１の出力信号を示している。
この図において、（ａ）ＡＢＳパターンの縦軸は、パターンの論理状態を示し、（ｂ）から（ｅ）の縦軸は、それぞれ電圧を示している。また、横軸は、時間を示している。
【００４２】
また、図３の期間Ｔ１から期間Ｔ６は、図２を参照して上述した期間Ｔ１から期間Ｔ６と同様である。ここでは、波形Ｗ１から波形Ｗ４は、（ｂ）から（ｅ）の各信号において、期間Ｔ１から期間Ｔ６の状態に順番に切り替えた場合の波形を示している。
【００４３】
図３において、アブソリュートパターン２１は、例えば、“１”，“１”，“０”，“１”，“０”，“０”を示すパターンを有し、アブソリュート受光部３０は、この６ビットのパターンを検出する位置にある場合の一例について説明する。
この場合、受光素子（３１，３２，３４）は、“１”に対応する検出信号をそれぞれ出力し、受光素子（３３，３５，３６）は“０”に対応する検出信号を出力する。
【００４４】
次に、切替部４は、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に応じて、期間Ｔ１から期間Ｔ６の順に、スイッチ部４１の状態を遷移させて、図３の（ｂ）ＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ１）を出力する。切替部４は、波形Ｗ１に示すように、受光素子３１〜３６に応じて出力特性（例えば、最大信号レベル）の異なる検出信号を順番にＡＢＳ相検出信号として出力する。ここで、受光素子３１〜３６に応じて出力特性が異なる理由は、上述したように、光源１０からアブソリュートパターン２１を経て受光素子３１〜３６に至る光路の距離が、受光素子３１〜３６の配置によって異なるために、受光素子３１〜３６が出力する検出信号の信号レベルに不均一が生じるためである。
【００４５】
ここでは、受光素子３１における検出信号の振幅を振幅Ｌ１、受光素子３２における検出信号の振幅を振幅Ｌ２、受光素子３３における検出信号の振幅を振幅Ｌ３とし、各振幅は、（振幅Ｌ１＜振幅Ｌ２＜振幅Ｌ３）の関係となる。また、受光素子３４における検出信号の振幅を振幅Ｌ４、受光素子３５における検出信号の振幅を振幅Ｌ５、受光素子３６における検出信号の振幅を振幅Ｌ６とし、各振幅は、（振幅Ｌ４＞振幅Ｌ５＞振幅Ｌ６）の関係となる。
【００４６】
次に、調整制御部６０は、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、切り替え信号により選択される受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報を不揮発性記憶部１４から読み出す。調整制御部６０は、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧をゲイン調整信号として出力させる。すなわち、Ｄ／Ａ部６１は、図３の（ｃ）ゲイン調整信号（波形Ｗ２）を出力し、アンプ５１のゲイン（利得）を変更する。これにより、調整制御部６０は、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の出力特性を一致させるように、信号変換部５に検出信号を調整させる。
ここで、波形Ｗ２に示すように、（ｃ）ゲイン調整信号は、期間Ｔ３及び期間Ｔ４が最も信号レベルが低く、期間Ｔ１及び期間Ｔ６が最も信号レベルが高い。また、（ｃ）ゲイン調整信号は、期間Ｔ２及び期間Ｔ５の信号レベルが、期間Ｔ３及び期間Ｔ４の信号レベルと期間Ｔ１及び期間Ｔ６の信号レベルとの間の信号レベルとなっている。
【００４７】
次に、アンプ５１は、Ａ／Ｄ部６１から供給されたゲイン調整信号に基づいて、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、波形Ｗ３に示すような増幅した信号（図３の（ｄ）調整されたＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２に出力する。ここで、Ｄ／Ａ部６１から供給されたゲイン調整信号によってゲイン（利得）が調整されているので、波形Ｗ３は、最大信号レベルＶＨと最小信号レベルＶＬとの差分となる信号振幅Ｌ１０は、期間Ｔ１から期間Ｔ６において一定の値となる。
なお、図３の（ｄ）において、電圧Ｖｔｈは、二値化部５２の閾値電圧を示している。
【００４８】
次に、二値化部５２は、閾値電圧Ｖｔｈに基づいて、アンプ５１から供給された調整されたＡＢＳ相検出信号を二値化し、図３の（ｅ）二値化信号（波形Ｗ４）であるデジタル信号を信号処理部６の絶対番地処理部７１に供給する。なお、図３の（ｅ）において、“Ｈ”は、Ｈレベル（論理状態“１”）を示し、“Ｌ”は、Ｌレベル（論理状態“０”）を示している。
【００４９】
このように、本実施形態におけるエンコーダ１００は、信号調整部８によりＡＢＳ相検出信号（受光素子３１〜３６の検出信号）を調整した後、二値化部５２が二値化を行い、二値化信号を信号処理部６の絶対番地処理部７１に供給する。
【００５０】
位置検出部７の絶対番地処理部７１は、二値化部５２から供給された二値化信号を期間Ｔ１の状態から期間Ｔ６の状態を順に取り込んで、アブソリュートパターン２１に対応する６ビットのデータ“１１０１００”を取得する。絶対番地処理部７１は、取得した６ビットのデータ“１１０１００”をコード変換して絶対位置情報を生成し、生成した絶対位置情報を合成処理部７３に供給する。また、内挿処理部７２は、Ａ／Ｄ部（６２，６３）から供給されたＡ相検出信号及びＡ相検出信号に基づいて相対位置情報を生成し、生成した相対位置情報を合成処理部７３に供給する。そして、合成処理部７３は、絶対番地処理部７１から供給された絶対位置情報と、内挿処理部７２から供給された相対位置情報とを合成処理して、合成処理した位置情報（例えば、回転体の位置）を出力する。
【００５１】
以上、説明したように、本実施形態におけるエンコーダ１００は、符号板２が、被駆動体（例えば、回転子）の位置情報を示すパターン（例えば、アブソリュートパターン２１）を有し、複数の受光素子（３１〜３６）が、符号板２のアブソリュートパターン２１を検出する。信号変換部５は、複数の受光素子（３１〜３６）それぞれが検出した検出信号を二値化信号に変換する。調整制御部６０は、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、信号変換部５に検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。
これにより、受光素子３１〜３６間の検出信号の不均一（バラツキ）が低減されるので、本実施形態におけるエンコーダ１００は、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、例えば、ノイズなどの外乱が発生した場合に、本実施形態におけるエンコーダ１００は、二値化部５２による誤変換を低減することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ１００は、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。したがって、本実施形態におけるエンコーダ１００は、位置情報を検出する信頼性を高めることができる。
【００５２】
また、本実施形態におけるエンコーダ１００は、複数の受光素子（３１〜３６）のうち、いずれの受光素子が検出信号を出力するかを切り替える切替部４を備えている。調整制御部６０は、切替部４により切り替えられた受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報に基づいて、切り替えられた受光素子（３１〜３６）から出力された検出信号（ＡＢＳ相検出信号）を信号変換部５（又は信号調整部８）に調整させる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ１００は、切替部４が、複数の受光素子（３１〜３６）のうちの１つの検出信号をＡＢＳ相検出信号として出力させるので、信号変換部５を１つに低減することができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００は、信号変換部５を１つに低減しつつ、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００５３】
また、本実施形態では、調整制御部６０は、調整情報に基づいて、複数の受光素子（３１〜３６）それぞれが検出した複数の検出信号の出力特性を一致させるように、信号変換部５に検出信号を調整させる。
これにより、複数の検出信号の出力特性の不均一（バラツキ）が低減されるので、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００は、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、複数の検出信号の出力特性には、検出信号の最大信号レベル（ＶＨ）又は検出信号の最小信号レベル（ＶＬ）が含まれる。調整制御部６０は、調整情報に基づいて、複数の検出信号における最大信号レベル（ＶＨ）又は最小信号レベル（ＶＬ）を一致させるように、信号変換部５に検出信号を調整させる。
これにより、複数の検出信号の最大信号レベル（ＶＨ）又は最小信号レベル（ＶＬ）の不均一（バラツキ）が低減されるので、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００は、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００５５】
また、本実施形態では、信号変換部５は、検出信号を増幅するアンプ５１と、アンプ５１によって増幅された検出信号（ＡＢＳ相検出信号）を二値化信号に変換する二値化部５２とを備えている。調整制御部６０は、調整情報に基づいてアンプ５１のゲイン（利得）を変更することにより、信号変換部５に検出信号を調整させる。
例えば、従来のエンコーダでは、図３（ｄ）の波形Ｗ５に示すような増幅後のＡＢＳ相検出信号が二値化される検出信号として使用される。そのため、図３の期間Ｔ１において、ノイズＮＺ１のようなノイズ信号がＡＢＳ相検出信号に混入した場合、増幅後のＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ５）は一時的に、閾値電圧Ｖｔｈをまたいで変化する。これにより、従来のエンコーダでは、二値化において誤変換が発生する。すなわち、従来のエンコーダでは、被駆動体の位置の誤検出をする可能性がある。
【００５６】
これに対して、本実施形態におけるエンコーダ１００では、二値化部５２は、図３の（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ３）を二値化する検出信号として使用する。そのため、図３の期間Ｔ１において、例えば、ノイズＮＺ１のようなノイズ信号がＡＢＳ相検出信号に混入した場合であっても、増幅後のＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ３）は閾値電圧Ｖｔｈをまたいで変化しない。すなわち、調整情報に基づいてアンプ５１のゲイン（利得）を変更することにより、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００は、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００５７】
また、本実施形態におけるエンコーダ１００は、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報を記憶する不揮発性記憶部１４を備えている。調整制御部６０は、不揮発性記憶部１４に記憶されている調整情報に基づいて、検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。
これにより、調整制御部６０は、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させるので、簡易な構成により、検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させることができる。
また、不揮発性記憶部１４は、書き換え可能な不揮発性メモリであるので、調整情報を容易に変更することができる。ここで、調整情報は、光源１０の照射特性などに基づいて設計によって定められた情報でもよいし、設定装置２００の調整情報設定部２１０によって、計測に基づいて定められた情報でもよい。この場合、調整情報を容易に変更することができるので、本実施形態におけるエンコーダ１００は、製造工程における光源１０又は受光素子３１〜３６の出力特性のバラツキや光源１０又は受光素子（３１〜３６）の経年劣化（経年変化）によるバラツキなどにも対応することができる。
【００５８】
［第２の実施形態］
次に、第２の実施形態におけるエンコーダ１００ａについて説明する。
図４は、本実施形態によるエンコーダ１００ａを示すブロック図である。
この図において、図１と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第２の実施形態におけるエンコーダ１００ａは、受光素子３１〜３６の検出信号を調整する制御が、第１の実施形態とは異なる。第２の実施形態におけるエンコーダ１００ａは、オフセット調整型のアンプ５１ａのＤＣオフセット（直流オフセット）を変更することにより、受光素子３１〜３６の検出信号を調整する。
以下、第２の実施形態におけるエンコーダ１００ａの第１の実施形態とは異なる点について説明する。
【００５９】
図４において、エンコーダ１００ａは、符号板２、受光部３、切替部４、信号変換部５ａ、信号処理部６ａ、光源１０、ドライバ部１１、アンプ（１２，１３）、及び不揮発性記憶部１４を備えている。
また、信号変換部５ａは、アンプ５１ａと、二値化部５２とを備えている。
【００６０】
アンプ５１ａ（増幅部）は、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、増幅した信号（ＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２に出力する。なお、アンプ５１ａは、例えば、オフセット調整型の増幅回路であり、信号処理部６から供給されるオフセット調整信号に基づいて、ＤＣオフセット（直流オフセット）を変更する。ここで、ＤＣオフセットとは、検出信号の最大信号レベルと検出信号の最小信号レベルとの平均値（中心電圧）を示す信号レベルである。
【００６１】
また、信号処理部６ａは、調整制御部６０ａ、Ｄ／Ａ（デジタル／アナログ）部６１、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）部（６２，６３）、及び位置検出部７を備えている。
調整制御部６０ａは、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、信号変換部５ａに受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。調整制御部６０ａは、例えば、切替部４により切り替えられた受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報に基づいて、切り替えられた受光素子（３１〜３６）から出力された検出信号を信号変換部５ａに調整させる。
【００６２】
例えば、調整制御部６０ａは、不揮発性記憶部１４に記憶されている調整情報を読み出す。調整制御部６０ａは、読み出した調整情報に基づいて、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の出力特性を一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。例えば、出力特性には、検出信号の最大信号レベルと検出信号の最小信号レベルとの平均値（ＤＣオフセット）が含まれる。この場合、調整制御部６０ａは、読み出した調整情報に基づいて、６つの検出信号における最大信号レベルと検出信号の最小信号レベルとの平均値を一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
【００６３】
例えば、調整制御部６０ａは、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧をオフセット調整信号として出力させる。すなわち、調整制御部６０ａは、Ｄ／Ａ部６１を介してオフセット調整信号を出力させて、アンプ５１ａの直流オフセット電圧（ＤＣオフセット電圧）を変更することにより、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
【００６４】
ここで、エンコーダ１００ａは、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整する信号調整部８ａを備えている。図４において、信号調整部８ａは、Ｄ／Ａ部６１と、アンプ５１ａとが対応する。
【００６５】
次に、本実施形態におけるエンコーダ１００ａの動作について説明する。
本実施形態におけるエンコーダ１００ａの動作は、基本的には、第１の実施形態における動作と同様である。ここでは、本実施形態における調整制御部６０ａによる調整制御の動作について説明する。
図５は、本実施形態におけるエンコーダ１００ａの検出信号の調整動作を示す図である。
図５において、上から順に、（ａ）ＡＢＳパターン、（ｂ）ＡＢＳ相検出信号、（ｃ）オフセット調整信号、（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号、及び（ｅ）二値化信号を示している。（ａ）ＡＢＳパターン及び（ｂ）ＡＢＳ相検出信号は、図３と同様である。
この図において、（ａ）ＡＢＳパターンの縦軸は、図３と同様に、パターンの論理状態を示し、（ｂ）から（ｅ）の縦軸は、それぞれ電圧を示している。また、横軸は、時間を示している。
【００６６】
また、図５の期間Ｔ１から期間Ｔ６は、上述の図２を参照して説明した期間Ｔ１から期間Ｔ６と同様である。ここでは、波形Ｗ１、及び波形Ｗ６から波形Ｗ８は、（ｂ）から（ｅ）の各信号において、期間Ｔ１から期間Ｔ６の状態に順番に切り替えた場合の波形を示している。
【００６７】
図５において、調整制御部６０ａは、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、切り替え信号により選択される受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報を不揮発性記憶部１４から読み出す。調整制御部６０ａは、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧を、オフセット調整信号として出力させる。すなわち、Ｄ／Ａ部６１は、図５の（ｃ）オフセット調整信号（波形Ｗ６）を出力し、アンプ５１ａのＤＣオフセットを変更する。これにより、調整制御部６０ａは、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の出力特性（ここでは、最大信号レベルと最小信号レベルの平均値）を一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
【００６８】
ここで、波形Ｗ６に示すように、（ｃ）オフセット調整信号は、期間Ｔ３及び期間Ｔ４が最も信号レベルが低く、期間Ｔ１及び期間Ｔ６が最も信号レベルが高い。また、（ｃ）オフセット調整信号は、期間Ｔ２及び期間Ｔ５の信号レベルが、期間Ｔ３及び期間Ｔ４の信号レベルと期間Ｔ１及び期間Ｔ６の信号レベルとの間の信号レベルとなっている。
また、図５の（ｃ）において、電圧Ｖ０は、オフセット調整信号の参考信号レベルとして、第１の実施形態におけるアンプ５１のオフセットの信号レベルを示している。なお、第１の実施形態におけるアンプ５１は、オフセットの信号レベルは、電圧Ｖ０で固定の値となる。なお、この電圧Ｖ０は、オフセット調整信号の信号レベルである。また、例えば、オフセット調整信号は、波形Ｗ１の期間Ｔ３及び期間Ｔ４における最大信号レベルと最小信号レベルとの平均値（ＤＣオフセット値）が、アンプ５１ａによる増幅後に閾値電圧Ｖｔｈと一致するようにアンプ５１ａのオフセット電圧を設定する信号である。
【００６９】
次に、アンプ５１ａは、Ａ／Ｄ部６１から供給されたオフセット調整信号に基づいて、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、波形Ｗ７に示すような増幅した信号（図５の（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２に出力する。ここで、Ｄ／Ａ部６１から供給されたオフセット調整信号によってＤＣオフセット値が調整されているので、波形Ｗ７は、最大信号レベルと最小信号レベルとの平均値が期間Ｔ１から期間Ｔ６において一定の値となる。
【００７０】
なお、図５の（ｄ）において、電圧Ｖｔｈは、図３（ｄ）と同様に、二値化部５２の閾値電圧を示している。ここでは、波形Ｗ７における最大信号レベルと最小信号レベルとの平均値は、期間Ｔ１から期間Ｔ６において一定の値となるとともに、二値化部５２の閾値電圧Ｖｔｈと一致している。このように、調整制御部６０ａは、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の最大信号レベルと最小信号レベルの平均値を一致させ、且つ、この平均値が閾値電圧Ｖｔｈと一致するように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
【００７１】
また、増幅後のＡＢＳ相検出信号において、受光素子３１に対応する振幅を振幅Ｌ１１、受光素子３２に対応する振幅を振幅Ｌ１２、受光素子３３に対応する振幅を振幅Ｌ１３とする。各振幅は、所定のゲイン（利得）により増幅されているので、図５（ｂ）における関係を反映した（振幅Ｌ１１＜振幅Ｌ１２＜振幅Ｌ１３）の関係となる。また、同様に、受光素子３４に対応する振幅を振幅Ｌ１４、受光素子３５に対応する振幅を振幅Ｌ１５、受光素子３６に対応する振幅を振幅Ｌ１６とすると、各振幅は、（振幅Ｌ１４＞振幅Ｌ１５＞振幅Ｌ１６）の関係となる。
【００７２】
次に、二値化部５２は、閾値電圧Ｖｔｈに基づいて、アンプ５１ａから供給された調整されたＡＢＳ相検出信号を二値化し、図５の（ｅ）二値化信号（波形Ｗ８）であるデジタル信号を信号処理部６ａの絶対番地処理部７１に供給する。なお、図５（ｅ）において、“Ｈ”は、Ｈレベル（論理状態“１”）を示し、“Ｌ”は、Ｌレベル（論理状態“０”）を示している。
【００７３】
このように、本実施形態におけるエンコーダ１００ａは、信号調整部８ａによりＡＢＳ相検出信号（受光素子３１〜３６の検出信号）を調整した後、二値化部５２が二値化を行い、二値化信号を信号処理部６ａの位置検出部７（絶対番地処理部７１）に供給する。位置検出部７による位置情報を生成する動作は、第１の実施形態におけるエンコーダ１００と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００７４】
以上、説明したように、本実施形態におけるエンコーダ１００ａは、調整制御部６０ａが、調整情報に基づいて、複数の受光素子（３１〜３６）それぞれが検出した複数の検出信号の出力特性を一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。出力特性には、各検出信号の最大信号レベルと検出信号の最小信号レベルとの平均値が含まれる。調整制御部６０ａは、不揮発性記憶部１４に記憶されている調整情報に基づいて、複数の検出信号における平均値を一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
これにより、複数の検出信号における平均値の不均一（バラツキ）が低減されるので、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００ａは、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００７５】
また、本実施形態では、信号変換部５ａは、検出信号を増幅するアンプ５１ａと、アンプ５１ａによって増幅された検出信号（ＡＢＳ相検出信号）を二値化信号に変換する二値化部５２とを備えている。調整制御部６０ａは、調整情報に基づいてアンプ５１ａのＤＣオフセット電圧（直流オフセット電圧）を変更することにより、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
例えば、本実施形態におけるエンコーダ１００ａでは、二値化部５２は、図５の（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ７）を二値化する検出信号として使用する。そのため、図５の期間Ｔ１において、例えば、ノイズＮＺ１のようなノイズ信号がＡＢＳ相検出信号に混入した場合であっても、ＡＢＳ相検出信号は閾値電圧Ｖｔｈをまたいで変化しない。すなわち、調整情報に基づいてアンプ５１ａのＤＣオフセット電圧（直流オフセット電圧）を変更することにより、二値化部５２による二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００ａは、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００７６】
［第３の実施形態］
次に、第３の実施形態におけるエンコーダ１００ｂについて説明する。
図６は、本実施形態によるエンコーダ１００ｂを示すブロック図である。
この図において、図１及び図４と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第３の実施形態におけるエンコーダ１００ｂは、受光素子（３１〜３６）の検出信号を調整する制御が、第１の実施形態及び第２の実施形態とは異なる。第３の実施形態におけるエンコーダ１００ｂは、二値化部５２ａの閾値電圧を変更することにより、受光素子（３１〜３６）の検出信号を調整する。
以下、第３の実施形態におけるエンコーダ１００ａの第１の実施形態とは異なる点について説明する。
【００７７】
図６において、エンコーダ１００ｂは、符号板２、受光部３、切替部４、信号変換部５ｂ、信号処理部６ｂ、光源１０、ドライバ部１１、アンプ（１２，１３）、及び不揮発性記憶部１４を備えている。
また、信号変換部５ｂは、アンプ５１ｂと、二値化部５２ａとを備えている。
【００７８】
アンプ５１ｂ（増幅部）は、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、増幅した信号（ＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２ａに出力する。なお、アンプ５１ｂは、所定のゲイン（利得）によって、ＡＢＳ相検出信号を増幅する。
二値化部５２ａは、例えば、コンパレータ（比較器）であり、アンプ５１ｂによって増幅されたＡＢＳ相検出信号を所定の閾値電圧に基づいて二値化信号に変換する。二値化部５２ａは、信号処理部６ｂから供給される閾値調整信号に基づいて、所定の閾値電圧を変更する。二値化部５２ａは、例えば、増幅されたＡＢＳ相検出信号の信号レベルが、閾値調整信号に基づいて変更される所定の閾値電圧以上である場合に、二値化信号としてＨレベルを出力する。二値化部５２ａは、例えば、増幅されたＡＢＳ相検出信号の信号レベルが所定の閾値電圧未満である場合に、二値化信号としてＬレベルを出力する。二値化部５２ａは、変換した二値化信号を信号処理部６ｂに供給する。
【００７９】
また、信号処理部６ｂは、調整制御部６０ｂ、Ｄ／Ａ（デジタル／アナログ）部６１、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）部（６２，６３）、及び位置検出部７を備えている。
調整制御部６０ｂは、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、信号変換部５ｂに受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。調整制御部６０ｂは、例えば、切替部４により切り替えられた受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報に基づいて、切り替えられた受光素子（３１〜３６）から出力された検出信号を信号変換部５ｂに調整させる。
【００８０】
例えば、調整制御部６０ｂは、不揮発性記憶部１４に記憶されている調整情報を読み出す。調整制御部６０ｂは、読み出した調整情報に基づいて、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の最大信号レベルと最小信号レベルの平均値と、二値化部５２ａの閾値とを一致させるように、信号変換部５ａに検出信号を調整させる。
例えば、調整制御部６０ｂは、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧を閾値調整信号として出力させる。すなわち、調整制御部６０ｂは、Ｄ／Ａ部６１を介して閾値調整信号を出力させて、二値化部５２ａの閾値電圧を変更することにより、信号変換部５ｂに検出信号を調整させる。
【００８１】
ここで、エンコーダ１００ｂは、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、受光素子３１〜３６の検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整する信号調整部８ｂを備えている。図６において、信号調整部８ｂは、Ｄ／Ａ部６１と、二値化部５２ａとが対応する。
【００８２】
次に、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂの動作について説明する。
本実施形態におけるエンコーダ１００ｂの動作は、基本的には、第１の実施形態における動作と同様である。ここでは、本実施形態における調整制御部６０ｂによる調整制御の動作について説明する。
図７において、上から順に、（ａ）ＡＢＳパターン、（ｂ）ＡＢＳ相検出信号、（ｃ）閾値調整信号、（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号、及び（ｅ）二値化信号を示している。（ａ）ＡＢＳパターン及び（ｂ）ＡＢＳ相検出信号は、図３と同様である。
図７は、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂの検出信号の調整動作を示す図である。
この図において、（ａ）ＡＢＳパターンの縦軸は、図３と同様に、パターンの論理状態を示し、（ｂ）から（ｅ）の縦軸は、それぞれ電圧を示している。また、横軸は、時間を示している。
【００８３】
また、図７の期間Ｔ１から期間Ｔ６は、上述の図２を参照して説明した期間Ｔ１から期間Ｔ６と同様である。ここでは、波形Ｗ１、波形Ｗ９、波形Ｗ１０、及び波形Ｗ１２は、（ｂ）から（ｅ）の各信号において、期間Ｔ１から期間Ｔ６の状態に順番に切り替えた場合の波形を示している。また、波形Ｗ１１は、期間Ｔ１から期間Ｔ６の状態に順番に切り替えた場合の二値化部５２ａにおける二値化の閾値を示す波形を示している。
【００８４】
図７において、調整制御部６０ｂは、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、切り替え信号により選択される受光素子（３１〜３６）に対応する調整情報を不揮発性記憶部１４から読み出す。調整制御部６０ｂは、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、不揮発性記憶部１４から読み出した調整情報に基づいて、Ｄ／Ａ部６１に、調整情報に対応する電圧を閾値調整信号として出力させる。すなわち、Ｄ／Ａ部６１は、図７の（ｃ）の閾値調整信号（波形Ｗ９）を出力し、二値化部５２ａの閾値を変更する。これにより、調整制御部６０ｂは、６つの受光素子３１〜３６それぞれが検出した６つの検出信号の最大信号レベルと最小信号レベルの平均値と、二値化部５２ａの閾値とを一致させるように、信号変換部５ｂに検出信号を調整させる。
【００８５】
ここで、波形Ｗ９に示すように、閾値調整信号は、期間Ｔ３及び期間Ｔ４が最も信号レベルが高く、期間Ｔ１及び期間Ｔ６が最も信号レベルが低い。また、閾値調整信号は、期間Ｔ２及び期間Ｔ５の信号レベルが、期間Ｔ３及び期間Ｔ４の信号レベルと期間Ｔ１及び期間Ｔ６の信号レベルとの間の信号レベルとなっている。
また、図７の（ｃ）において、電圧Ｖ１は、参考信号レベルとして、第１の実施形態における閾値Ｖｔｈに対応する閾値調整信号の電圧レベルを示している。
【００８６】
次に、アンプ５１ｂは、所定のゲイン（利得）に基づいて、ＡＢＳ相検出信号を増幅し、波形Ｗ１０に示すような増幅した信号（図７の（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号）を二値化部５２ａに出力する。ここで、波形Ｗ１０は、波形Ｗ１を所定のゲイン（利得）で増幅するので、波形Ｗ１と同様な形状の波形となる。
【００８７】
なお、図７の（ｄ）において、波形Ｗ１１は、二値化部５２ａの調整された閾値を示している。また、電圧Ｖｔｈは、図３（ｄ）と同様に、第１の実施形態における二値化部５２の閾値電圧を示している。また、振幅Ｌ１１から振幅Ｌ１６は、図５（ｄ）と同様に、増幅後のＡＢＳ相検出信号における、受光素子３１〜３６それぞれに対応する振幅を示している。調整制御部６０ｂは、波形Ｗ１１に示すように、二値化部５２ａの閾値が、振幅Ｌ１１から振幅Ｌ１６の中心電圧になるように、閾値調整信号を変更（調整）する。
【００８８】
次に、二値化部５２ａは、波形Ｗ１１に示される閾値に基づいて、アンプ５１ｂから供給された調整されたＡＢＳ相検出信号を二値化し、図７の（ｅ）二値化信号（波形Ｗ１２）であるデジタル信号を信号処理部６ｂの絶対番地処理部７１に供給する。なお、図７（ｅ）において、“Ｈ”は、Ｈレベル（論理状態“１”）を示し、“Ｌ”は、Ｌレベル（論理状態“０”）を示している。
【００８９】
このように、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂは、信号調整部８ｂにより二値化部５２ａの閾値を調整して二値化を行い、二値化信号を信号処理部６ｂの位置検出部７（絶対番地処理部７１）に供給する。位置検出部７による位置情報を生成する動作は、第１の実施形態におけるエンコーダ１００と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００９０】
以上、説明したように、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂは、信号変換部５ｂは、検出信号を増幅するアンプ５１ｂと、アンプ５１ｂによって増幅された検出信号（ＡＢＳ相検出信号）を所定の閾値電圧に基づいて二値化信号に変換する二値化部５２ａとを備えている。調整制御部６０ｂは、調整情報に基づいて二値化部５２ａの所定の閾値電圧を変更することにより（波形Ｗ１１参照）、信号変換部５ｂに検出信号を調整させる。
例えば、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂでは、二値化部５２ａは、図７の（ｄ）増幅後のＡＢＳ相検出信号（波形Ｗ１０）を二値化する閾値として、波形Ｗ１１に示されるような振幅Ｌ１１から振幅Ｌ１６の中心電圧になるように調整された閾値を使用する。そのため、図７の期間Ｔ１において、例えば、ノイズＮＺ１のようなノイズ信号がＡＢＳ相検出信号に混入した場合であっても、ＡＢＳ相検出信号は波形Ｗ１１に示される閾値をまたいで変化しない。すなわち、調整情報に基づいて二値化部５２ａの閾値電圧を変更することにより、二値化部５２ａによる二値化の変換マージンを増やすことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００ｂは、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。
【００９１】
［第４の実施形態］
次に、第４の実施形態におけるエンコーダ１００ｃについて説明する。
図８は、本実施形態によるエンコーダ１００ｃを示すブロック図である。
この図において、図１と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第４の実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、受光素子３１〜３６のうちの一部に対応する調整情報から、受光素子３１〜３６に対応する調整情報を補間して生成する点が第１の実施形態と異なる。
以下、第４の実施形態におけるエンコーダ１００ｃの第１の実施形態とは異なる点について説明する。
【００９２】
図８において、エンコーダ１００ｃは、符号板２、受光部３、切替部４、信号変換部５、信号処理部６ｃ、光源１０、ドライバ部１１、アンプ（１２，１３）、及び不揮発性記憶部１４を備えている。
なお、本実施形態における不揮発性記憶部１４は、受光素子３１〜３６のうちの一部に対応する調整情報である部分調整情報を記憶する。
また、信号処理部６ｃは、調整制御部６０、Ｄ／Ａ（デジタル／アナログ）部６１、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）部（６２，６３）、調整情報生成部６４、及び位置検出部７を備えている。
【００９３】
調整情報生成部６４は、不揮発性記憶部１４に記憶されている部分調整情報に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報を生成する。調整情報生成部６４は、不揮発性記憶部１４から部分調整情報を読み出して、読み出した部分調整情報同士の間の位置する各受光素子に対応する調整情報を補間して生成する。調整情報生成部６４は、例えば、部分調整情報の２つの値から直線補間により各受光素子に対応する調整情報を生成してもよいし、二次関数などの所定の関数に基づいて、各受光素子に対応する調整情報を生成してもよい。調整情報生成部６４は、生成した調整情報を調整制御部６０に供給する。
【００９４】
なお、本実施形態における調整制御部６０は、調整情報生成部６４によって生成された受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。調整制御部６０は、例えば、予め調整情報生成部６４から調整情報を取得し、絶対番地処理部７１から供給された切り替え信号に同期して、Ｄ／Ａ部６１に調整情報に対応する電圧をゲイン調整信号として出力させる。
信号調整部８による検出信号の調整動作、及び位置検出部７による位置情報を生成する動作を含むその他の動作は、第１の実施形態におけるエンコーダ１００と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００９５】
このように、本実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、不揮発性記憶部１４と、調整情報生成部６４とを備えている。不揮発性記憶部１４は、複数の受光素子（３１〜３６）のうちの一部に対応する調整情報である部分調整情報を記憶する。調整情報生成部６４は、不揮発性記憶部１４に記憶されている部分調整情報に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報を生成する。そして、調整制御部６０は、調整情報生成部６４によって生成された受光素子（３１〜３６）ごとに定められた調整情報に基づいて、検出信号を受光素子（３１〜３６）ごとに調整させる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、第１の実施形態と同様に、被駆動体の位置の誤検出を低減することができる。したがって、本実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、位置情報を検出する信頼性を高めることができる。さらに、本実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、全ての受光素子に対応する調整情報を不揮発性記憶部１４に記憶させておく必要がないので、不揮発性記憶部１４の記憶容量を低減することができる。
【００９６】
［第５の実施形態］
次に、第５の実施形態におけるエンコーダ１００ｄについて説明する。
図９は、本実施形態によるエンコーダ１００ｄを示すブロック図である。
この図において、図１と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第５の実施形態におけるエンコーダ１００ｄは、不揮発性記憶部１４に調整情報を記憶させる調整情報設定部１５を備える点が第１の実施形態と異なる。
以下、第５の実施形態におけるエンコーダ１００ｄの第１の実施形態とは異なる点について説明する。
【００９７】
図９において、エンコーダ１００ｄは、符号板２、受光部３、切替部４、信号変換部５、信号処理部６、光源１０、ドライバ部１１、アンプ（１２，１３）、不揮発性記憶部１４、及び調整情報設定部１５を備えている。
【００９８】
調整情報設定部１５（設定部）は、第１の実施形態における設定装置２００の調整情報設定部２１０と同様の機能を有している。調整情報設定部１５は、例えば、６つの受光素子３１〜３６の検出信号に基づいて二値化された二値化信号がそれぞれＨレベル（論理状態“１”）になるように、符号板２の位置を変更させる。なお、例えば、調整情報設定部１５は、メンテナンスモード等における低速回転中の場合に、駆動装置ＤＲなどからの指令値に基づいて、６つの受光素子３１〜３６の検出信号に基づいて二値化された二値化信号がそれぞれＨレベル（論理状態“１”）になるように、符号板２の位置を変更させる。調整情報設定部１５は、ＡＢＳ相検出信号の信号線であるノードＮ１と、アンプ５１の出力信号線であるノードＮ２の電圧レベルとを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、計測結果に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとの調整情報を定める。すなわち、調整情報設定部１５は、ノードＮ１の電圧とノードＮ２の電圧とを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、計測結果に基づいて、受光素子（３１〜３６）ごとの調整情報を生成する。調整情報設定部１５は、受光素子（３１〜３６）ごとに生成した調整情報を不揮発性記憶部１４に記憶させる。さらに、調整情報設定部１５は、ノードＮ１の電圧とノードＮ２の電圧とを受光素子（３１〜３６）ごとに計測し、設定した調整情報が正しく設定されているかを確認にしてもよい。
【００９９】
このように、本実施形態におけるエンコーダ１００ｄは、検出信号（ＡＢＳ測定信号、及び増幅後のＡＢＳ測定信号）を計測して、当該計測結果に基づいて調整情報を定める調整情報設定部１５を備えている。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ１００ｄは、自装置で定期的に校正処理（キャリブレーション処理）を行うことができる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ１００ｄは、光源１０又は受光素子３１〜３６の経年劣化（経年変化）によるバラツキなどによって、被駆動体の位置の誤検出が発生し易くなることを低減することができる。したがって、本実施形態におけるエンコーダ１００ｃは、位置情報を検出する信頼性を高めることができる。
【０１００】
［第６の実施形態］
次に、上述の実施形態におけるエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）を備える駆動装置（モータ装置、アクチュエータ）について説明する。
図１０は、本実施形態における駆動装置ＤＲの概略図である。本実施形態における駆動装置ＤＲは、入力軸ＩＡＸを回転させるモータＭＴＲと、入力軸ＩＡＸ（回転子９）に設けられたエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）と、を備える。すなわち、駆動装置ＤＲは、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）と、入力軸ＩＡＸ（被駆動体）を駆動するモータＭＴＲ（駆動部）と、を備えている。
【０１０１】
エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、入力軸ＩＡＸ（被駆動体）の回転位置（角度位置）を検出し、駆動装置ＤＲを制御する上位のコントローラに対して回転位置を含む情報をエンコーダ信号として出力する。上位のコントローラは、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）から受信したエンコーダ信号をもとに、駆動装置ＤＲを制御する。本実施形態におけるエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は入力軸ＩＡＸの回転位置の誤検出を低減することができるため、本実施形態における駆動装置ＤＲはモータＭＴＲの入力軸ＩＡＸを高精度に位置制御することができる。また、本実施形態における駆動装置ＤＲは、位置制御における信頼性を高めることができる。
【０１０２】
なお、本実施形態における駆動装置ＤＲは、図１１に示すように、モータＭＴＲの入力軸ＩＡＸに減速機ＲＧ（例、遊星歯車式機構）を設ける構成としてもよい。この場合、本実施形態におけるエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、その減速機ＲＧの出力軸ＯＡＸに配置するようにしてもよいし、モータＭＴＲの入力軸ＩＡＸと減速機ＲＧの出力軸ＯＡＸとの両方に配置するようにしてもよい。
【０１０３】
なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、上記の各実施形態において、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、符号板２が透過型のパターンを備え形態について説明したが、反射型のパターンを備える形態でもよい。また、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、検出素子が光学式である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、磁気式の検出素子を用いる形態でもよい。また、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、ロータリータイプのエンコーダである場合について説明したが、リニアタイプのエンコーダに適用する形態でもよい。この場合、符号板２は、スケールに対応し、回転子はステージなどの被駆動体に対応する。
【０１０４】
また、上記の各実施形態において、受光素子３１〜３６の検出信号の不均一（バラツキ）を信号変換部５（５ａ，５ｂ）により調整する形態を説明したが、検出信号が受光素子３１〜３６から信号処理部６に至る経路のうちのいずれかにおいて、検出信号の不均一（バラツキ）を低減するように調整する形態であれば、他の形態でもよい。例えば、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、信号変換部５（５ａ，５ｂ）とは別に、検出信号の不均一を低減するように調整する調整部を備える形態でもよい。また、上記の各実施形態において、調整信号の波形や増幅した信号の波形は、一部又は全部に反転増幅回路を用いて信号の極性が上記の各実施形態とは異なる波形にしてもよい。
【０１０５】
また、上記の第１から第３の実施形態において、検出信号の調整方法を、それぞれが単独に用いる形態を説明したが、第１から第３の実施形態のうちの２つ以上を組み合わせて用いる形態でもよい。例えば、第１の実施形態と第２の実施形態とを組み合わせて用いる形態（ゲインとＤＣオフセットとを組み合わせて変更する形態）でもよい。また、例えば、第２の実施形態と第３の実施形態とを組み合わせて用いる形態（オフセットと二値化の閾値とを組み合わせて変更する形態）でも良いし、他の組み合わせを用いる形態でもよい。
【０１０６】
また、上記の第４及び第５の実施形態は、第１の実施形態に適用する形態を説明したが、第２の実施形態又は第３の実施形態に適用する形態でもよい。また、第４の実施形態と、第５の実施形態とを組み合わせて適用する形態でもよい。
【０１０７】
また、上記の各実施形態において、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は、切替部４を備える形態を説明したが、切替部４を備えずに、検出素子（受光素子）の数に等しいアンプ５１（５１ａ、５１ｂ）及び二値化部５２（５２ａ）を備える形態でもよい。
【０１０８】
また、上記の各実施形態では、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）に適用する形態を説明したが、レゾルバ装置などの位置検出装置に適用する形態でもよい。
また、本実施形態における駆動装置ＤＲは、例えば、アームなどを有する多関節ロボットや自動車（例、電気自動車）などのロボット装置に設けられてもよい。
【０１０９】
また、上記の各実施形態において、エンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）の各部は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリ及びＣＰＵ（中央処理装置）を備えて、プログラムによって実現されてもよい。
【０１１０】
上述のエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述したエンコーダ１００（１００ａ〜１００ｄ）の処理過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１１１】
２…符号板、４…切替部、５…信号変換部、７…位置検出部、９…回転子、１５…調整情報設定部、２１…アブソリュートパターン、３１，３２，３３，３４，３５，３６…受光素子、５１，５１ａ，５１ｂ…アンプ、５２，５２ａ…二値化部、６０…調整制御部、６４…調整情報生成部、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ…エンコーダ、ＤＲ…駆動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2013124909.tif 000010
【図９】
2013124909.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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