(57)【要約】【課題】ノズルから噴射される液体の噴射特性を各ノズル間において容易に揃えることができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。【解決手段】複数のノズル２４が列設されたノズル列と、前記ノズルにそれぞれ連通する圧力室２３と、前記ノズル列方向に沿って列設され、前記圧力室の容積を変化させる作動面に接続される複数の圧電素子３４と、前記複数の圧電素子が固定される固定部材３５と、前記固定部材に接合されるケース部材１６と、を備え、前記ケース部材は、前記固定部材が着座される着座部３３が設けられると共に、接合層を介して固定部材が接合され、前記接合層の接合強度は、ノズル列方向における両端部分３８よりも中央部分３９の方が強いこと。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが列設されたノズル列と、前記ノズルにそれぞれ連通する圧力室と、
前記ノズル列方向に沿って列設され、前記圧力室の容積を変化させる作動面に接続される複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子が固定される固定部材と、
前記固定部材に接合されるケース部材と、を備え、
前記ケース部材は、前記固定部材が着座される着座部が設けられると共に、接合層を介して固定部材が接合され、
前記接合層の接合強度は、ノズル列方向における両端部分よりも中央部分の方が強いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記接合層に接着剤を用いたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項1又は請求項２に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
例えば、上記記録ヘッドには、複数のノズルを列設して成るノズル列（ノズル群）を有し、圧電素子（圧力発生手段の一種）を駆動することにより圧力室内の液体に圧力変化を与え、この圧力変化を利用して圧力室に連通したノズルから液体を噴射させるように構成されたものがある。このような従来の記録ヘッドでは、ノズル列において隣接する複数のノズルからインクを同時に噴射する際、上記圧力変動や圧電素子の駆動による振動などが隣り合う圧力室間で相互に影響し合うことにより、１つのノズルから単独でインクを噴射する場合と、隣接する複数のノズルから同時にインクを噴射する場合とで、噴射されるインクの飛翔速度や量（重量・体積）等の噴射特性が変動する所謂クロストークが発生する問題があった。特に、近年では、記録画像の画質向上の要請に対応すべく、ノズルがより高密度で形成される傾向にある。ノズルを高密度に配置した場合、隣接するノズルから同時にインクを噴射した場合にクロストークが生じやすい。
【０００４】
このように隣接する複数のノズルから同時にインクを噴射した場合、その際に発生する振動などが隣り合う圧力室間で相互に影響し合うことにより、ノズル列の中央部に位置するノズルほどインクの飛翔速度が低下し、ノズル列の端部に位置するノズルほどインクの飛翔速度が高くなる傾向となる。このため、これらのノズル列の各ノズルから噴射されたインクを観察すると、略アーチ型を呈した状態で各インクが飛翔する。ここで、飛翔速度が高いインクほど短い時間で記録媒体に着弾し、飛翔速度が遅くなるほど記録媒体に着弾するまでの時間が長くなる。そして、記録ヘッドと記録媒体（着弾対象）とを相対移動させながら印刷を行う構成では、インクの飛翔速度に応じて記録媒体上における各インクの着弾位置が異なる。このため、記録媒体に各インクが着弾して形成されるドット群も平面で観た場合にアーチ状に曲がって並んでしまう。その結果、記録画像等の画質の低下を招く問題があった。
【０００５】
このような問題を防止するため、圧電素子を固定する固定板の当該圧電素子が接着される側の面の一部を削り、固定板と圧電素子との接着面積をノズル列の中央部と端部とで異なるように構成したものがある（例えば、特許文献１）。具体的には、圧電素子と固定板の接着面積について、中央部側は、端部側よりも相対的に小さくされている。このようにすることで、ノズル列の中央部に位置するノズルから噴射されるインクの飛翔速度を高めて、各ノズルから噴射されるインクの飛翔速度を均一にしようと試みている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１９８９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のような構成では、固定板を加工する手間がかかり、製造工程が複雑になっていた。また、例えば、固定板の圧電素子を接着する面を狭くした場合において、固定板と圧電素子との接着位置がずれると、圧電素子の駆動による振動が圧力室側に垂直に伝わらない虞があった。すなわち、固定板と圧電素子との相対位置のずれにより固定板と圧電素子との接着面積がさらに小さくなり、圧電素子が固定板に安定して支持されない虞があった。このため、固定板と圧電素子との相対位置のずれを抑制するために高い接着精度が必要となり、製造がより困難になっていた。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズルから噴射される液体の噴射特性を各ノズル間において容易に揃えることができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数のノズルが列設されたノズル列と、前記ノズルにそれぞれ連通する圧力室と、
前記ノズル列方向に沿って列設され、前記圧力室の容積を変化させる作動面に接続される複数の圧電素子と、
前記複数の圧電素子が固定される固定部材と、
前記固定部材に接合されるケース部材と、を備え、
前記ケース部材は、前記固定部材が着座される着座部が設けられると共に、接合層を介して固定部材が接合され、
前記接合層の接合強度は、ノズル列方向における両端部分よりも中央部分の方が強いことを特徴とする。
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドによれば、接合層のノズル列方向における中央部分は、接合強度が強いため、圧電素子の振動に対する反力が大きくなるのに対し、接合層のノズル列方向における両端部分は、接合強度が弱いため、圧電素子の振動に対する反力が小さくなる。このため、圧電素子群のうちノズル列方向における両端部分に位置する圧電素子と比較して、中央部分に位置する圧電素子の駆動力を、圧力室側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。これにより、ノズル列の両端部分に位置するノズルから噴射される液体の飛翔速度に対する、中央部分に位置するノズルから噴射される液体の飛翔速度の不足分が補われる。その結果、ノズル列を構成する各ノズルから噴射される液体の飛翔速度を揃えることができる。また、接合層による接合強度を、ノズル列方向に沿って変えるだけでよいため、容易に製造することができる。
【００１１】
上記構成において、前記接合層に接着剤を用いた構成を採用することが望ましい。
【００１２】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】記録ヘッドの要部断面図である。
【図３】記録ヘッドの接合層を平面からみた模式図である。
【図４】第２実施形態における記録ヘッドの接合層を平面からみた模式図である。
【図５】（ａ）は第３実施形態における記録ヘッドの接合層を平面からみた模式図、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図である。
【図６】第４実施形態における記録ヘッドの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００１５】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、記録ヘッド）が取り付けられると共に、内部に液体状のインクを貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
【００１６】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００１７】
また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１９：図２参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
【００１８】
記録ヘッド２は、図２に示すように、流路ユニット１４、圧電素子ユニット１５、および、ヘッドケース１６（本発明におけるケース部材に相当）から構成されている。
【００１９】
流路ユニット１４は、流路形成基板１８の一方の面にノズルプレート１９を、流路形成基板１８の他方の面に振動板２０をそれぞれ接合して構成されている。この流路ユニット１４には、リザーバー２１（共通液室）、インク供給口２２、および圧力室２３からなる一連の流路が設けられている。リザーバー２１は、ノズル列方向に沿って長尺な空部であり、その上部に後述するケース流路３１が連通されている。インク供給口２２は、各圧力室２３とリザーバー２１とを連通させる流路幅の狭い狭窄部として形成されている。圧力室２３は、ノズル列に直交する方向に沿って長尺な空部であり、ノズル列方向に複数列設されている。そして、この圧力室２３には、ノズル２４が連通（開口）されている。
【００２０】
上記したノズルプレート１９は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル２４が列状に穿設されたステンレスやシリコン結晶等の薄いプレートである。本実施形態のノズル列は、例えば１８０個のノズル２４によって構成されている。
【００２１】
上記した振動板２０は、支持板２６の表面に弾性体膜２７を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板２６とし、この支持板２６の表面に樹脂フィルムを弾性体膜２７としてラミネートした複合板材を用いて振動板２０が作製されている。この振動板２０には、圧力室２３の容積を変化させるダイヤフラム部２８が設けられている。なお、ダイヤフラム部２８における弾性体膜２７が本発明における圧力室２３の作動面に相当する。
【００２２】
ダイヤフラム部２８は、エッチング加工等によって圧力室２３に対向する領域の支持板２６を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部２８は、圧電素子の自由端部（固定板に固定される側とは反対側の端部）の先端面が接合される島部３０と、この島部３０を囲む薄肉弾性部とからなる。つまり、島部３０を介して圧電素子の先端部が圧力室２３の作動面に接続されている。
【００２３】
また、振動板２０には、リザーバー２１の一部を封止するコンプライアンス部２９が設けられている。このコンプライアンス部２９は、リザーバー２１の開口面に対向する領域の支持板２６を、ダイヤフラム部２８と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製される。これにより、コンプライアンス部２９が、リザーバー２１に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。
【００２４】
ヘッドケース１６は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、流路ユニット１４のノズル面とは反対側に接合されている。また、ヘッドケース１６の内部には、ケース流路３１、および、圧電素子ユニット１５を収容する収容空部３２が、その高さ方向に貫通して形成されている。ケース流路３１は、インクカートリッジ３からのインクをリザーバー２１に供給するための流路である。
【００２５】
ヘッドケース１６が流路ユニット１４に接合された状態において、圧力室２３に対応して列設された島部３０が、収容空部３２の下端側（流路ユニット１４側）の開口内に位置する。本実施形態では、収容空部３２は、平面視においてノズル列方向に長尺な長方形状に形成されている。また、収容空部３２の内部のノズル列方向に沿った壁面のうち一側（本実施形態では、ケース流路３１側）には、後述する固定部材３５が接合される段差がヘッドケース１６の高さ方向の途中に設けられている。すなわち、図２に示すように、収容空部３２の一側面の下側（流路ユニット１４側）が、上側（流路ユニット１４とは反対側）よりも他側面に向けて突出して、収容空部３２内の一側面の壁部の途中にノズル面に平行な部分（段差）が設けられている。この段差の上面が、固定部材３５が着座される着座部３３となる。
【００２６】
圧電素子ユニット１５は、圧力室２３内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子をノズル列方向に沿って複数列設した圧電素子群と、該圧電素子群の先端部とは反対側の基端部が固定される固定部材３５と、圧電素子３４に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル３７（配線部材）と、から構成されている。本実施形態における圧電素子群は、基材である圧電素子板の先端部を数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けることで、櫛歯状に形成されている。この櫛歯状に切り分けられた各部分が縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電素子３４として構成され、これらの先端面が島部３０を介して作動面に接合されている。そして、圧電素子３４は、フレキシブルケーブル３７からの駆動信号により伸縮して圧力室２３の容積を膨張又は収縮することで、圧力室２３内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル２４からインクを噴射させることができる。
【００２７】
固定部材３５は、剛性のあるＳＵＳ等からなる板材であり、一側（着座部３３とは反対側）の側面に、圧電素子群の先端部を下面より突出させた状態で当該圧電素子群の基端部が接続されている。すなわち、圧電素子群は、所謂片持ち梁状態で固定部材３５に接合されている。また、固定部材３５は、ノズル列方向における長さが圧電素子板（圧電素子群）と揃えられるとともに、その厚さが着座部３３の幅よりも厚く形成されている。そして、この固定部材３５の下面（圧電素子群先端部側の端面）の圧電素子群とは反対側が接合層３６を介して着座部３３に接合されている。
【００２８】
本実施形態の接合層３６として、接着剤（例えば、エポキシ系接着剤やシリコーン系接着剤等）が用いられており、その厚さ及び幅がノズル列方向に均一に形成されている。そして、この接合層３６による着座部３３と固定部材３５との接合強度は、図３に示すように、ノズル列方向における両端部分３８よりも中央部分３９の方が強くなるように構成されている。例えば、接着力の異なる２種類の接着剤を用意し、ノズル列方向における中央部分３９に、両端部分３８に使用される接着剤よりも強い接着力を有する接着剤を用いることで、中央部分３９の接合強度を両端部分３８よりも強くすることが出来る。
【００２９】
なお、ノズル列方向における両端部分３８から中央部分３９に向けて次第に接合強度が強くなるようにしてもよい。例えば、接着力の弱い接着剤の中に接着力の強い接着剤を混合し、接着力の強い接着剤の濃度を両端部分３８から中央部分３９に向けて次第に高くなるようにすることで、両端部分３８から中央部分３９に向けて次第に接合強度が強くなるようにすることができる。
【００３０】
このように構成すれば、接合層３６のノズル列方向における中央部分３９は、接合強度が強いため、圧電素子３４の振動に対する反力が大きくなるのに対し、接合層３６のノズル列方向における両端部分３８は、接合強度が弱いため、圧電素子３４の振動に対する反力が小さくなる。このため、圧電素子群のうちノズル列方向における両端部分に位置する圧電素子３４と比較して、中央部分に位置する圧電素子３４の駆動力を圧力室２３側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。その結果、ノズル列の両端部分に位置するノズル２４から噴射されるインクの飛翔速度に対する、ノズル列の中央部分に位置するノズル２４から噴射されるインクの飛翔速度の不足分が補われる。その結果、ノズル列を構成する各ノズル２４から噴射されるインクの飛翔速度を揃えることができる。すなわち、従来の構成では、隣接する複数のノズル２４から同時にインクを噴射した場合、その際に発生する振動などが隣り合う圧力室２３間で相互に影響し合うことにより、ノズル列の中央部に位置するノズル２４ほどインクの飛翔速度が低下する問題があった。しかしながら、本発明では両端部分に位置するノズル２４から噴射されるインクの飛翔速度を、接合層３６の端部の強度を中央部よりも弱めることで、意図的に低下させるため、ノズル列を構成する各ノズル２４から噴射されるインクの飛翔速度を揃えることができる。また、接合層３６による接合強度を、ノズル列方向に沿って変えるだけでよいため、容易に製造することができる。
【００３１】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、接合層３６に接着力の異なる２種類の接着剤を用いたが、これには限られず、１種類の接着剤だけを用いても良い。例えば、ヘッドケース１６に固定部材３５を接合する工程において、接合層３６のノズル列方向における両端部分３８と中央部分３９とで接着力に差を設けることで、接合強度を異ならせることができる。
【００３２】
例えば、乾燥により硬化する接着剤を用いた場合、着座部３３の両端部分に予め接着剤を塗布しておく。ある程度接着剤が硬化するように一定時間経過させた後で、着座部３３の中央部分にも接着剤を塗布する。その後、すぐに固定部材３５を着座部３３に当接し、所定時間経過させて、固定部材３５と着座部３３とを接着させる。ここで、着座部３３の両端部分の接着剤を予めある程度硬化させているため、この部分の接合強度が落ちる。これにより、接合層３６のノズル列方向における中央部分３９の接合強度を両端部分３８よりも強くすることが出来る。
【００３３】
また、接合層３６に紫外線照射により硬化する接着剤を用いることもできる。この場合、着座部３３の全体に接着剤を塗布した後、着座部３３の両端部分に一定時間紫外線を照射する。これにより、着座部３３の両端部分の接着剤が、ある程度硬化される。その後、固定部材３５を着座部３３に当接し、接着剤全体に紫外線を照射することで、接着剤全体を硬化させて固定部材３５と着座部３３とを接着させる。このように、着座部３３の両端部分の接着剤を予めある程度硬化させることで、この部分の接合強度を落とすことができる。その結果、接合層３６のノズル列方向における中央部分３９の接合強度を両端部分３８よりも強くすることが出来る。
【００３４】
さらに、接着剤の塗布量を変えることで、接合強度を異ならせることもできる。例えば、図４に示す第２の実施形態では、接合層３６の単位長さ当りの接合面積（接着面積）をノズル列方向において異なるように形成されている。具体的には、着座部３３のノズル列方向における両端部分よりも中央部分に接着剤を多く塗布することで、接合層３６の幅を両端部分３８から中央部分３９に向けて次第に広くなるように構成している。これにより、接合層３６のノズル列方向における中央部分３９の接合強度を両端部分３８よりも強くすることが出来る。
【００３５】
また、接合層３６は接着剤のほかに弾性部材４０を用いることもできる。例えば、図５に示す第３の実施形態では、着座部３３の両端部分に弾性部材４０を介して接着剤を塗布することで接合層３６を形成している。具体的には、着座部３３のノズル列方向における両端部分にシート状の弾性部材４０を配置し、この弾性部材４０の上面側および下面側に接着剤を塗布するとともに、弾性部材４０の無い着座部３３の中央部分に接着剤のみを塗布する。この接着剤と弾性部材４０とからなる層によって接合層３６が形成され、この接合層３６により固定部材３５と着座部３３とが接着させている。これにより、弾性部材４０を配置した接合層３６の両端部分３８の接合強度を弱め、相対的に中央部分３９の接合強度を強くすることが出来る。なお、接合層３６の全体の厚さが均一になるように、弾性部材４０が配置される部分における接着剤の量はそれ以外の部分に比べて少なくなっている。
【００３６】
ところで、上記した各実施形態では、ヘッドケース１６を着座部３３に設けたが、これには限られない。例えば、図６に示す第４の実施形態の記録ヘッド２′では、ヘッドケース１６′と流路ユニット１４との間に固定プレート４２を挟さみ、この固定プレート４２上に着座部３３′が形成されている。なお、本実施形態では、ヘッドケース１６′と固定プレート４２が本発明におけるケース部材に相当する。
【００３７】
本実施形態のヘッドケース１６′は、固定プレート４２の流路ユニット１４とは反対側の面に接合されている。このヘッドケース１６′の内部には、ケース流路３１′、および、圧電素子ユニット１５を収容する上方収容空部４３が、その高さ方向に貫通して形成されている。なお、上方収容空部４３は、下端が固定板の下方収容空部４４と連通して本発明における収容空部３２′を構成する。
【００３８】
固定プレート４２は、例えば、剛性のあるＳＵＳ等により作製された基板であり、流路ユニット１４のノズル面とは反対側に接合されている。この固定プレート４２の内部には、連通流路４５、および、圧電素子３４の下端部を収容する下方収容空部４４が、その高さ方向に貫通して形成されている。連通流路４５は、上端がヘッドケース１６′のケース流路３１′と連通され、下端がリザーバー２１と連通されている。
【００３９】
下方収容空部４４は、ヘッドケース１６′の上方収容空部４３と連通して収容空部３２′を構成している。この下方収容空部４４のノズル列に直交する方向の幅は、ヘッドケース１６'の上方収容空部４３の同方向の幅よりも狭く形成され、他側（圧電素子ユニット１５の固定部材３５とは反対側）の壁面が、上方収容空部４３における同側の壁面と揃えられている。すなわち、下方収容空部４４における一側（圧電素子ユニット１５の固定部材３５側）の壁面は、上方収容空部４３における同側の壁面よりも内側に位置し、固定プレート４２の上面の一部が上方収容空部４３内に露出されている。そして、この露出された部分が着座部３３′を形成している。この着座部３３′には、接合層３６を介して固定部材３５の下面の圧電振動子群とは反対側が固定される。なお、接合層３６に関しては、上記した各実施形態のいずれかを採用することができる。また、その他の構成等については、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００４０】
このように、ヘッドケース１６′の下方に固定プレート４２を接続して、この固定プレート４２上に着座部３３′を設けたので、ヘッドケース１６′に樹脂等の剛性が低い部材を用いたとしても、固定プレート４２に剛性の高い部材を用いることで着座部３３′の剛性を高くすることができる。これにより、着座部３３′の圧電素子の振動に対する反力を大きくすることができ、圧電素子による振動を圧力室側に効率よく伝えることができる。また、接合層３６に設けた接合強度の差によるインクの飛翔速度の差を、より際立たせることができる。さらに、ヘッドケース１６′を製造が容易な樹脂等で作成することができるため、コストを下げることができる。
【００４１】
そして、本発明は、圧電素子３４を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４２】
１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，１４…流路ユニット，１５…圧電素子ユニット，１６…ヘッドケース，１８…流路形成基板，１９…ノズルプレート，２０…振動板，２１…リザーバー，２３…圧力室，２４…ノズル，２８…ダイヤフラム部，２９…コンプライアンス部，３０…島部，３１…ケース流路，３２…収容空部，３３…着座部，３４…圧電素子，３５…固定部材，３６…接合層，３８…両端部分，３９…中央部分，４０…弾性部材，４２…固定プレート，４３…上方収容空部，４４…下方収容空部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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