(57)【要約】【課題】個々のプローブ要素の不安定な動作を防止すると共に、電極が被検査体の縁部に沿って複数列に配置される電極配置の高密度化にも好適に対応し得るプローブ装置を提供する。【解決手段】支持板を介してプローブシートをブローブブロックで支持し、支持板をプローブブロックの前縁から前記プローブシートと共に突出させ、少なくとも支持板及びプローブシートが突出する領域で支持板とプローブシートとの間に弾性部材を介在させる。これにより、プローブシートの前記突出する領域を該プローブシート、弾性部材及び支持板の積層構造とする。また、プローブシートのプローブ要素の侵入角度を１０度よりも小さな角度に設定する。これらの構成によって、隣合うプローブ要素の接触電極をプローブシートの長手方向にずれを以て配置しても、各プローブ要素の針圧を約１ｇのばらつき内に抑制することが可能となる。【選択図】図４
2013200256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面で支持台に支持されまた表面に電極が設けられた被検査体の電気検査のためのプローブ装置であって、
前端面及び該前端面と交差する平面を有し、該両面で構成される前縁を前記支持台の上方に位置させるように前記平面を前記支持台に向けて支持されるプローブブロックと、
前記プローブブロックの前記平面に配置され、また一方の面で前記プローブブロックに固定され、前記プローブブロックの前記前縁から突出する支持板と、
該支持板の少なくとも前記プローブブロックの前縁から突出する部分に設けられ前記支持板の他方の面に固着された板状の弾性部材と、
帯状の電気絶縁性フィルム及び該フィルムの一方の面上で該フィルムの幅方向に相互に間隔をおいて形成された複数の配線及び各配線から立ち上がる接触電極を有する配線シートであって前記フィルムの他方の面が前記弾性部材及び前記支持板を介して前記プローブブロックの前記平面に支持され、前記弾性部材及び前記支持板と共に前記プローブブロックの前記前縁から突出する延在部を有する配線シートとを含み、
前記接触電極は前記配線シートの前記延在部に在り、隣合う前記配線に設けられた前記接触電極は、前記被検査体の前記電極に対応すべく、互いに前記フィルムの長手方向にずれを以て配置されており、
また、前記配線シートの前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす角度は、１０度よりも小さい角度に設定されている、プローブ装置。
【請求項２】
前記配線シートの前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす前記角度は、１度以上でありかつ５度以下である、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記プローブブロックは、前記前縁へ向けて板厚を漸増することにより、前記平面に傾斜が与えられ、これにより前記配線シートの前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす角度が設定されている、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記支持板、弾性部材及び配線シートが前記プローブブロックの前記前縁から突出する部分の長さは、１ｍｍ以上でありかつ２ｍｍ以下である、請求項２に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記配線シートの前記延在部は、前記接触電極が対応する前記被検査体の前記電極で押圧されたとき、前記弾性部材及び前記支持板の変形を伴い、ほぼ水平状態になるように、変形可能である、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記接触電極は、前記配線シートの延在部において前記フィルムの長手方向に相互に間隔をおいて該フィルムの幅方向に伸びる一対の仮想平行直線のうちの一方の仮想直線上に整列する第１の接触電極群と、前記一対の仮想平行直線のうちの他方の仮想直線上に整列する第２の接触電極群とを含む、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項７】
さらに前記接触電極は、前記一対の仮想平行直線に平行な第３の仮想直線上に整列する第３の接触電極群とを含む、請求項６に記載のプローブ装置。
記載のプローブ装置。
【請求項８】
前記支持板、弾性部材及び前記配線シートは透明である、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項９】
前記支持板は接着材により前記プローブブロックの前記面に接着されており、該面には、前記接着材の過剰分を収容するための凹溝が形成されている、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項１０】
前記配線シートには、前記配線間の間隔が熱変動によって変化することを抑制するために前記フィルムの熱膨張変形を抑制する熱膨張抑制手段が設けられている、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項１１】
前記熱膨張抑制手段は、接着材により前記フィルムに固着され、該フィルムよりも低い熱膨張係数及び高い剛性を有する板状部材である、請求項１０に記載のプローブ装置。
【請求項１２】
前記板状部材は、前記プローブブロックの前記前縁から突出する前記弾性部材の突出端と反対側の後端に続いて、前記支持板と前記配線シートとの間に介在する、請求項１１に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状の被検査体の電気的試験に用いるプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶が封入された液晶表示パネルのような被検査体は、一般に、プローブユニットのようなプローブ装置が組み込まれた試験装置により検査すなわち試験を受ける。この試験装置に設けられたテスタからの電気信号がプローブ装置を介して被検査体に供給される。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載されたプローブ装置は、帯状の電気絶縁性フィルム及び該フィルムの表面上で該フィルムの幅方向に互いに間隔をおいてその長手方向に伸長する複数の配線を有する可撓性の配線シートと、該配線シートを支持する傾斜底面が設けられたプローブブロックとを含む。
【０００４】
前記プローブブロックは、該プローブブロックの前縁から配線シートの先端部を突出させた状態で、プローブブロックの傾斜底面によって決まる約２０度から３０度の侵入角度で、配線シートの先端部を被検査体の上方に案内する。プローブブロックの前縁から突出する配線シートの前記先端部は、プローブブロックに関して弾性支持されたアームにより、配線シートの裏面すなわち前記フィルムの裏面で弾性的に支持されている。また、前記配線シートの先端部には、各配線路から被検査体の対応する電極へ向けて突出する接触電極が形成されている。
【０００５】
従来の前記プローブ装置では、プローブ装置及び被検査体が相近づくように相対運動すると、配線シートの前記先端部で各配線に設けられた接触電極は、被検査体の縁部に沿って一列に配列された対応する電極に当接する。
【０００６】
このとき、前記プローブブロックの前縁から突出して前記アームによって弾性支持された配線シートの先端部は、撓み変形を生じる。この撓み変形に応じて、各接触電極は、被検査体の対応する電極を摺動することにより、電極上の酸化膜を除去する。これにより、接触電極が設けられた配線から成る各プローブ要素は、対応する電極に確実に電気的に接続される。また各プローブ要素は、配線シートの先端部で、基材である前記フィルムにより隣合うプローブ要素と一体に形成されていることから、個々のプローブ要素の不安定な動きが抑制される。
【０００７】
この被検査体の検査に用いられる前記プローブ装置では、各プローブ要素の接触電極は、前記電極の配列に対応して、プローブブロックの前縁から突出する前記配線シートの先端部で該配線シートの幅方向に一列に配列される。そのため、対応するプローブ要素毎の実質的なプローブ長がほぼ一定に保持される。したがって、接触電極が被検査体の対応する電極に押圧されたとき、各プローブ要素の撓み量もほぼ一定に保持されるので、各プローブ要素の接触電極での針圧に大きなばらつきが生じることはない。その結果、前記したように、被検査体がその縁部に沿って一列に配列された電極を有する場合の検査に限れば、各プローブ要素にほぼ均等な針圧を作用させることができるので、適正な試験が可能となる。
【０００８】
しかしながら、被検査体の微細化に伴い、その電極が、被検査体の縁部と直角な方向へ交互にジグザグにずれるように、該被検査体の縁部に沿って例えば二列に配列されることがある。この場合、そのような被検査体の検査のために、前記プローブ装置では、プローブブロックの前縁から突出する前記配線シートの先端部に、各プローブ要素の接触電極が、プローブシートの長手方向に間隔をおいて二列に整列しかつ各接触電極が隣合うプローブ要素毎で交互に前記プローブの長手方向へずれるように、各接触電極を被検査体の電極配列に対応したジグザグ配置に配列する必要が生じる。
【０００９】
ところが、従来の前記プローブ装置では、プローブブロックの前縁から突出する前記配線シートの先端部を前記アームで弾性支持しているために、前記配線シートの先端部の突出量を５ｍｍから１０ｍｍの比較的大きな値に設定する必要がある。配線シートの先端部の突出量がこのような大きな値になると、プローブ要素の侵入角が約２０度から３０度と大きく設定されていることと相まって、前記配線シートの前記先端部における撓み量は、前記プローブブロックの前縁からの距離に応じて大きく変化する。そのため、ジグザグに配置された接触電極のうち、一列目に配列された接触電極を有する第１のプローブ要素群と二列目に配列された接触電極を有する第２のプローブ要素群との間の僅かのプローブ長の差に拘わらず、一列目の接触電極の変位量と、二列目の接触電極の変位量との差が、前記プローブブロックに関する前記配線シートの配置誤差によっても増幅されることがある。
【００１０】
このような理由から、ジグザグに配置された接触電極のうち、一列目に位置する接触電極を有する第１のプローブ要素群と、二列目に位置する接触電極を有する第２のプローブ要素群との針圧差を正確に制御することが困難となる。
【００１１】
その結果、このようなプローブ装置では、プローブシートの長手方向へ相互に一様な間隔をおく第１及び第２のプローブ群間のプローブ要素の針圧にほぼ２ｇを超える大きなばらつきが生じることがある。このことから、従来の前記プローブ装置は、電極が多数列に配列された高密度配置の被検査体の検査には不向きであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−４６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明の目的は、個々のプローブ要素の不安定な動作を防止すると共に、電極が被検査体の縁部に沿って複数列に配置される電極配置の高密度化にも好適に対応し得るプローブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、以下の基本構想に立脚する。第１には、プローブシートをプローブブロックで直接的に支持することに代えて、前記プローブシートを支持板を介して前記ブローブブロックで支持すること、前記支持板を前記プローブブロックの前縁から前記プローブシートと共に突出させること、少なくとも前記支持板及び前記プローブシートが突出する領域で前記支持板とプローブシートとの間に弾性部材を介在させることにより、前記プローブシートの前記プローブブロックの前縁から突出する領域を該プローブシート、前記弾性部材及び前記支持板の積層構造とする。第２に、前記プローブシートのプローブ要素の侵入角度を１０度よりも小さな角度に設定する。これらの構成によって、前記プローブシートの配線に設けられる接触電極を高密度配置された被検査体の電極配列に対応すべく隣合う配線に設けられる接触電極を前記プローブシートの長手方向にずれを以て配置しても、各プローブ要素の針圧を約１ｇのばらつき内に抑制することが可能となる。
【００１５】
すなわち、本発明に係るプローブ装置は、裏面で支持台に支持されまた表面に電極が設けられた被検査体の電気検査のために用いられ、前端面及び該前端面と交差する平面を有し、該両面で構成される前縁を前記支持台の上方に位置させるように前記平面を前記前記支持台に向けて支持されるプローブブロックと、前記プローブブロックの前記平面に配置され、また一方の面で前記プローブブロックに固定され、前記プローブブロックの前記前縁から突出する支持板と、該支持板の少なくとも前記プローブブロックの前縁から突出する部分に設けられ前記支持板の他方の面に固着された板状の弾性部材と、帯状の電気絶縁性フィルム及び該フィルムの一方の面上で該フィルムの幅方向に相互に間隔をおいて形成された複数の配線及び各配線から立ち上がる接触電極を有する配線シートであって前記フィルムの他方の面が前記弾性部材及び前記支持板を介して前記プローブブロックの前記平面に支持され、前記弾性部材及び前記支持板と共に前記プローブブロックの前記前縁から突出する延在部を有する配線シートとを含む。前記接触電極は前記配線シートの前記延在部に在り、隣合う前記配線に設けられた前記接触電極は、前記被検査体の前記電極に対応すべく、互いに前記フィルムの長手方向にずれを以て配置されており、また、前記配線シートの前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす角度は、１０度よりも小さい角度に設定されている。
【００１６】
本発明に係る前記プローブ装置では、前記プローブブロックの前縁から突出する前記プローブシートの延在部は、前記支持板及び弾性部材と共に積層構造を構成し、前記支持板及び弾性部材によって前記プローブブロックに弾性支持される。そのため、従来のような弾性支持されたアームを用いることなく、したがって従来のような長い延在部を形成することなく、前記延在部を適正に弾性支持することができる。
【００１７】
前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす角度は、前記プローブシートの各接触電極が設けられた前記配線で構成される各プローブ要素の侵入角と称される。本発明に係る前記プローブ装置では、さらに、この侵入角を１０度未満に設定することにより、前記プローブ要素の各接触電極が前記被検査体の電極に適正な針圧で押圧されたときに前記延在部の撓みによって生じる変形量を従来よりも小さくすることができる。
【００１８】
これらにより、前記配線シートの前記延在部における撓み量を抑制すると共に、前記フィルムの長手方向すなわち前記配線シートの長手方向にずれを以て配置された隣接するプローブ要素（前記接触電極が設けられた配線）のプローブ長の差による変位量を小さくすることができるので、隣接するプローブ要素間の針圧差を１ｇ以内に設定することが可能となる。また、隣接する前記プローブ要素は前記フィルムで結合されているので個々のプローブ要素の不安定な動作を防止することができる。
【００１９】
前記配線シートの前記延在部と前記被検査体の前記表面に平行な面とがなす前記角度すなわち侵入角は、隣合う前記プローブ要素間の針圧差のばらつきをより一層抑制する上で、１度以上でありかつ５度以下とすることが望ましい。
【００２０】
前記侵入角は、前記プローブブロックの板厚を前記前縁へ向けて漸増することにより、設定することができる。
【００２１】
また、隣合う前記プローブ要素間の針圧差のばらつきをより一層抑制する上で、前記支持板、弾性部材及び配線シートが前記プローブブロックの前記前縁から突出する部分の長さは、１ｍｍ以上でありかつ２ｍｍ以下とすることが望ましい。
【００２２】
前記配線シートの前記延在部は、前記接触電極が対応する前記被検査体の前記電極で押圧されたとき、前記弾性部材及び前記支持板の変形を伴い、ほぼ水平状態になるように、弾性的に変形させることができる。この延在部の弾性変形によって、該延在部に設けられた各接触電極が前記被検査体の対応する電極の酸化膜を好適に除去する。
【００２３】
前記接触電極は、前記配線シートの延在部において前記フィルムの長手方向に相互に間隔をおいて該フィルムの幅方向に伸びる一対の仮想平行直線のうちの一方の仮想直線上に整列する第１の接触電極群と、前記一対の仮想平行直線のうちの他方の仮想直線上に整列する第２の接触電極群とを含む。この接触電極の配列により、被検査体の電極のいわゆるジグザグ配置に適応することができ、電極の配置が高密度化された被検査体の電気的検査に適正に対応することができる。
【００２４】
前記接触電極が、前記一対の仮想平行直線に平行な第３の仮想直線上に整列する第３の接触電極群とを含むことにより、さらに電極の配置が高密度化された被検査体の電気的検査に適正に対応することができる。
【００２５】
前記支持板、弾性部材及び前記配線シートを透明又は半透明とすることにより、前記延在部の上方から、各プローブ要素の接触電極に対応する前記被検査体の電極を視認することができるので、各プローブ要素の接触電極と対応する前記電極との位置合わせが容易に行える。
【００２６】
前記支持板は接着材により前記プローブブロックの前記面に接着することができる。この場合、前記プローブブロック及び前記支持板の接着面のいずれか一方、望ましくは十分な厚さ寸法を有する前記プローブブロックの前記面に、前記接着材の過剰分を収容するための凹溝を形成することが望ましい。
【００２７】
前記配線シートには、前記配線間の間隔が熱変動によって変化することを抑制するために前記フィルムの熱膨張変形を抑制する熱膨張抑制手段を設けることができる。
【００２８】
前記熱膨張抑制手段には、接着材により前記フィルムに固着され、該フィルムよりも低い熱膨張係数及び高い剛性を有する、例えばガラスのような板状部材を用いることができる。
【００２９】
熱膨張抑制手段として機能する前記板状部材は、前記プローブブロックの前記前縁から突出する前記弾性部材の突出端と反対側の後端に続いて、前記支持板と前記配線シートとの間に介在させることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、前記したように、隣接する隣接するプローブ要素が前記フィルムで結合されていることから、個々のプローブ要素の不安定な動作を防止することができ、また隣接するプローブ要素間の針圧差を１ｇ以内に設定することが可能となるので、被検査体の電極配置の高密度化にも好適に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るプローブ装置を用いた試験装置の一部を示す斜視図である。
【図２】図１に示した被検査体の一部を拡大して示す図面であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図３】図１に示したプローブ装置の縦断面図である。
【図４】図２に示したプローブ装置の一部を分解して示す斜視図である。
【図５】図１に示したプローブ装置の接触電極と被検査体の電極との接続方法を示し、（ａ）は接続開始当初の状態を示す側面図であり、（ｂ）はその後の接続状態を示す側面図である。
【図６】本発明の他の具体例を示すプローブシートの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明に係る試験装置１０は、図１に示されているように、液晶表示パネルのような平板状の被検査体１２の点灯検査に用いられる。試験装置１０は、被検査体１２を試験するための信号を送信するテスタ（図示しない）を備える。被検査体１２には、検査のために必要な、例えば、液晶表示パネルを黒表示させるための試験信号又は駆動信号が前記テスタから試験装置１０を介して被検査体１２に供給される。
【００３３】
被検査体１２は矩形の形状を有しており、その表面には、矩形の少なくとも１つの辺に対応する縁部に、複数の例えば正方形の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）が配列されている。図示の例では、被検査体１２の表面には、その隣り合う２つの辺のそれぞれに沿って、複数の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）が設けられている。
【００３４】
被検査体１２の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示されているように、矩形の本体１２ａの対応する直線縁部１２ａ−１から直角に被検査体１２の縁部１２ｂに向けて伸長する各電路１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）の終端に設けられている。
【００３５】
図２に示す例では、電路１６は、直線縁部１２ａ−１と平行で互いに等間隔な三本の仮想線ｌ８ａ、１８ｂ、１８ｃのそれぞれの近傍で終端する長さを有する第１、第２及び第３の相互に平行な電路１６ａ、１６ｂ、１６ｃを有する。
【００３６】
第１の電路１６ａは、第１〜第３の電路で最も短く設定されており、直線縁部１２ａ−１に最も近接する仮想線１８ａの近傍で終端する。第３の電路１６ｃは、第１〜第３の電路で最も長く設定されており、直線縁部１２ａ−１から最も離れた仮想線１８ｃの近傍で終端する。第２の電路は、仮想線１８ａと仮想線１８ａｃとの中央にある第２の仮想線１８ｂの近傍で終端する。第１、第２及び第３の電路１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、互いに等間隔で平行に形成され、しかも直線縁部１２ａ−１に沿って一方向へ順次繰り返すように配列されている。
【００３７】
したがって、第１、第２及び第３の各電路１６ａ、１６ｂ、１６ｃの終端に設けられる電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）は、第１の仮想線ｌ８ａ上に整列する第１の電極群（１４ａ）、第２の仮想線１８ｂ上に整列する第２の電極群（１４ｂ）及び第３の仮想線１８ｃ上に整列する第３の電極群（１４ｃ）をそれぞれ構成する。その結果、第１、第２及び第３の電極群の各電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）は、被検査体１２の直線縁部１２ａ−１に沿って前記した一方向へ順次繰り返すように、三列のジグザグ配置となるように、配列されている。
【００３８】
このようなジグザグの電極配置は、隣合う電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）間の相互干渉を招くことなく隣合う電路１６（１６ａ、１６ｂ、１６ｃ）の間隔を小さく設定することができるので、電極配置の高密度化を図る上で、有利である。
【００３９】
再び図１を参照するに、本発明に係る試験装置１０は、前記したような電極配置の被検査体１２の試験に用いられ、被検査体１２の裏面を受ける支持台として機能するチャックトップ２０と、チャックトップ２０の上方に配置された複数のプローブユニット２２とを含む。
【００４０】
プローブユニット２２は、従来と同様に、チャックトップ２０に保持された被検査体１２の縁部１２ｂの上方に保持されている。被検査体１２は、大気圧よりも低いチャックトップ２０の吸引圧力によってチャックトップ２０上に保持される。
【００４１】
チャックトップ２０は、従来よく知られているように、ＸＹＺθ台上に設けられている。これにより、プローブユニット２２とチャックトップ２０とは、相寄り又は相離れるように垂直（Ｚ軸）方向に相対的に移動可能である。また、チャックトップ２０上の被検査体１２は、チャックトップ２０と一体に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ−Ｙ面に直角なＺ軸方向へ移動可能であり、またＺ軸の周り（すなわち、θ方向）に回転可能である。したがって、チャックトップ２０の上の被検査体１２は、前記ＸＹＺθ台の調整により、試験装置１０に対する姿勢が調整可能である。
【００４２】
各プローブユニット２２は、チャックトップ２０と平行な面上にチャックトップ２０から間隔をおいて、例えば図示しないフレーム部材によって支持されたプローブベース２４と、プローブベース２４に支持された複数のプローブ装置２６とを備える。プローブベース２４は、チャックトップ２０に受けられた被検査体１２の対応する縁部に沿って延びる。プローブ装置２６は、プローブベース２４の長手方向に間隔をおいてプローブベース２４上に配置されている。
【００４３】
各プローブ装置２６は、図３に示されているように、対応するプローブベース２４にねじ部材２８を介して固定され、プローブベース２４からチャックトップ２０の上方へ向けて伸長する連結ブロック３０と、連結ブロック３０の先端部の下面で該連結ブロックにねじ部材３２を介して結合されたプローブブロック３４と、該プローブブロックに取り付けられた支持板３６と、該支持板に保持された配線シート３８と、該配線シート及び支持板３６間に挿入された板状の弾性部材４０とを備える。
【００４４】
連結ブロック３０とプローブベース２４との間及び連結ブロック３０とプローブブロック３４との間には、両部材３０、２４又は３０、３４の正確な位置決めのための位置決めピン４２、４４が適用されている。
【００４５】
プローブブロック３４は、連結ブロック３０の伸長方向に沿った長さ寸法及びこれと直角な幅寸法を有する全体に矩形平面形状を有する。プローブブロック３４の長さ寸法は、図３に示す例では、該プローブブロックが取り付けられる連結ブロック３０の前記下面の長さに等しい。連結ブロック３０は、被検査体１２の縁部１２ｂの近傍で該縁部の上方に位置する前端面３０ａを有し、プローブブロック３４は、プローブブロック３４の前端面３４ａが、連結ブロック３０の前端面３０ａに一致するように、プローブブロック３４の上面を連結ブロック３０の前記下面に当接して固定されている。
【００４６】
これにより、プローブブロック３４は、前端面３４ａと底面３４ｂとの交線で構成される前縁３４ｄを支持台であるチャックトップ２０の上方に位置させるように、底面３４ｂをチャックトップ２０に向けて、連結ブロック３０に支持されている。
【００４７】
プローブブロック３４は、前端面３４ａに向けて長手方向に沿って板厚を漸増する。これにより、プローブブロック３４の平坦な下面すなわち底面３４ｂは、前端面３４ａと反対側の後端面３４ｃから前端面３４ａへ見て、角度θ（図１参照）の俯角が与えられている。この俯角θは、１０度未満に設定されており、好ましくは１度以上であり５度以下の値に設定される。この俯角θの設定により、チャックトップ２０上の被検査体１２の前記表面と、底面３４ｂとの間には前記俯角θが設定される。
【００４８】
支持板３６は、図４に示されているように、プローブブロック３４の底面３４ｂとほぼ同一の幅寸法を有し、また底面３４ｂの長さ寸法よりも長い長さ寸法を有する全体に矩形平面形状を有する。支持板３６は、一様な厚さ寸法を有する例えば透明なアクリル樹脂板、液晶ポリマー（ＬＣＰ）あるいはポリエステルのような合成樹脂板から成り、撓み変形が可能である。この支持板３６は、図３及び４に示されているように、プローブブロック３４の前縁３４ｄから支持板３６の前端３６ａが連結ブロック３０の伸長方向へ向けて、すなわち被検査体１２へ向けて例えば１ｍｍ〜２ｍｍの範囲で突出するように、配置される。
【００４９】
支持板３６は、その上面で、プローブブロック３４の底面３４ｂに接着材を用いて固定することが望ましい。この場合、底面３４ｂに過剰な接着材を収容するための凹溝４６を形成することが望ましい。図示の例では、一対の互いに平行な凹溝４６が採用されているが、矩形の底面３４ｂの外縁に沿って凹溝を環状に形成することができる。凹溝４６を底面３４ｂに形成することに代えて、支持板３６の接合面となる上面に凹溝４６を形成することができる。しかしながら、過剰な接着材を収容するに十分な深さの凹溝４６を形成する上で、図示のとおり、凹溝４６をプローブブロック３４に設けることが望ましい。
【００５０】
支持板３６の下面には、前記した板状の弾性部材４０が配置されている。弾性部材４０は、一様な板厚を有する例えばウレタンゴムのような透明な弾性部材からなり、図示の例では、支持板３６の幅寸法に等しい幅寸法を有し、支持板３６のほぼ三分の一の長さ寸法を有する。弾性部材４０は、その前端４０ａを支持板３６の前端３６ａに一致させるように、接着材を用いて上面で支持板３６の上面３６ａに固着されている。
【００５１】
図示の例では、弾性部材４０の後端４０ｂに連続して、後述する熱膨張抑制手段４８が支持板３６の前記下面に配置されている。
【００５２】
配線シート３８は、従来よく知られているように、帯状の例えばポリイミドフィルムのような透明なフィルムから成る電気絶縁性フィルム５０と、電気絶縁性フィルムの一方の面上を該フィルムの幅方向に相互に間隔をおいてその長手方向に沿って伸長する複数の配線５２とを備える。隣接する配線５２間の配列ピッチは、被検査体１２の隣接する電路１６間の配列ピッチに等し設定されている。配線シート３８は、従来よく知られているように、例えば可撓性印刷配線板（ＦＰＣ）で形成することができる。
【００５３】
配線シート３８は、その長手方向すなわち電気絶縁性フィルム５０の長手方向が支持板３６の長手方向であるプローブブロック３４の伸長方向に一致するように、電気絶縁性フィルム５０の他方の面が弾性部材４０の下面に接着材を介して固着されている。この固着により、配線シート３８の前端３８ａは弾性部材４０の前端４０ａ及び支持板３６の前端３６ａに一致する。したがって、配線シート３８は、支持板３６及び弾性部材４０を介してプローブブロック３４の底面３４ｂに支持されており、プローブブロック３４の前縁３４ｄから突出する延在部３８ａを有する。これにより、延在部３８ａは、支持板３６及び弾性部材４０と共に積層構造を構成し、また延在部３８ａは、プローブブロック３４の傾斜する底面３４ｂに固着されまたプローブブロック３４の前縁３４ｄから前端３６ａを突出させて配置された支持板３６によって、所定の俯角θで被検査体１２へ向けて案内される。この延在部３８ａの突出長さは、支持板３６の前記した突出長に等しい。
【００５４】
配線シート３８の延在部３８ａには、図４に明確に示されているように、配線５２から突出する接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）が形成されている。各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）は、図２（ａ）に示した被検査体１２の電極電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）が整列する仮想線ｌ８ａ、１８ｂ、１８ｃ１４ａと等間隔で配線シート３８の延在部３８ａの幅方向に伸びる三本の仮想線５６（５６ａ、５６ｂ、５６ｃ）上に整列する。
【００５５】
すなわち、各接触電極５４ａは、図２（ａ）に示した被検査体１２の電極１４ａに対応すべく、延在部３８ａの前端に最も近接して電気絶縁性フィルム５０の幅方向に伸長する第１の仮想線５６ａ上に整列する。また、各接触電極５４ｂは、中央の第２の仮想線５６ｂ上に整列し、各接触電極５４ｃは延在部３８ａの前端から最も離れた第３の仮想線５６ｃ上に整列する。
【００５６】
したがって、第１の仮想線５６ａ上に整列する第１の接触電極群５４ａ、第２の仮想線５６ｂ上に整列する第２の接触電極群５４ｂ及び第３の仮想線５６ｃ上に整列する第３の接触電極群５４ｃの各電極は、被検査体１２の第１ないし第３の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）に対応するように、配線シート３８の幅方向に沿って第１ないし第３の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）の配列方向へ順次繰り返すように、三列のジグザグ配置で配列されている。
【００５７】
配線シート３８の延在部３８ａ及びその近傍は、前記したように弾性部材４０を介して支持板３６に支持されている。この配線シート３８は、さらにプローブブロック３４の底面３４ｂを越えて後方に伸長するが、弾性部材４０の後端４０ｂを越える領域では、熱膨張抑制手段４８を介して支持板３６の前記下面に固着されている。
【００５８】
熱膨張抑制手段４８は、図示の例では、配線シート３８の幅寸法に一致する幅寸法を有する矩形の板状部材であり、配線シート４４に比べ小さい熱膨張係数と高い剛性とを有する。このような板部材４８として、ガラス板を用いることができる。ガラス板４８は、弾性部材４０の後端４０ｂを越える領域で、支持板３６と、配線シート３８の電気絶縁性フィルム５０との間に介在し、接着材によって配線シート４４及び電気絶縁性フィルム５０に接着されている。
【００５９】
配線シート３８の電気絶縁性フィルム５０は、測定環境温度の変化によって伸縮しようとする。この電気絶縁性フィルム５０の長手方向の熱伸縮は、該電気絶縁性フィルムに長手方向に伸長して設けられた多数の配線５２によって抑制される。他方、電気絶縁性フィルム５０の幅方向への熱伸縮は、延在部３８ａの近傍で電気絶縁性フィルム５０を横切って配置されかつ該電気絶縁性フィルムに固着され、電気絶縁性フィルム５０よりも小さい熱膨張係数と高い剛性とを有する例えばガラス板から成る熱膨張抑制手段４８により抑制される。
【００６０】
これにより、電気絶縁性フィルム５０上の配線５２間隔が環境温度変化によって増減することを抑制され、配線シート３８の幅方向に沿った各配線５２の接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）間の間隔の増減が抑制される。したがって、電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）に対応する各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）の環境温度変化による配線シート３８の幅方向へのずれが抑制される。
【００６１】
配線シート３８の後端部すなわち延在部３８ａと反対側の端部は、図示の例では、連結ブロック３０の中央部の下面に保持されたＩＣチップ５８及び例えばＦＰＣで構成された接続回路６０を経て、前記テスタに接続されている。ＩＣチップ５８は、前記テスタからの試験信号を受けると、被検査体１２を駆動するために、各配線５２の接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）及び該接触電極に対応する被検査体１２の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）を経て被検査体１２に供給される駆動信号を生成する。
【００６２】
本発明に係る試験装置１０では、チャックトップ２０上の被検査体１２の電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）がプローブ装置２６の各配線５２の対応する接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）の直下に位置するように、前記ＸＹＺθ台が調整される。このとき、前記した配線シート３８に加えて支持板３６及び弾性部材４０を透明な材料で構成することにより、プローブ装置２６の上方から支持板３６、弾性部材４０及び配線シート３８を通して下方の接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）を視認することができるので、位置合わせの調整が容易に行える。位置決め作業の完了後、前記ＸＹＺθ台の作動により、プローブ装置２６と被検査体１２とが相近づくように該被検査体が垂直方向に移動される。
【００６３】
本発明に係る試験装置１０では、配線シート３８の延在部３８ａは支持板３６及び弾性部材４０と共に積層構造をなし、この延在部３８ａに設けられた各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）は、プローブブロック３４の底面３４ｂによって規定される角度θで被検査体１２の対応する電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）上方に案内されている。この角度θは。従来よく知られているように、各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）と配線５２とで構成されるプローブ要素の侵入角となる。
【００６４】
したがって、プローブ装置２６と被検査体１２とが相近づくと、図５（ａ）に示されているように、先ず、第１の接触電極群５４ａが被検査体１２の対応する電極群１４ａに当接する。このとき、延在部３８ａに少なくとも弾性部材４０の弾性変形を伴うに撓み変形が導入されるまでは、延在部３８ａの侵入角が当初のθに保持されることから、第２及び第３の接触電極群５４ｂ、５４ｃは、対応する第２及び第３の電極群１４ｂ、１４ｃに接触することなく、接触電極群５４ｂ、５４ｃ及び電極群１４ｂ、１４ｃの相互間に間隙が保持される。
【００６５】
引き続くプローブ装置２６と被検査体１２との相対移動によって、図５（ｂ）に示されているように、延在部３８ａの撓み変形量が増大すると、この変形量の増大に伴い弾性部材４０が延在部３８ａと支持板３６との間で圧縮変形を受ける。また、弾性部材４０の圧縮変形量が増大すると、その増大に伴い、第１の接触電極群５４ａに加えて第２及び第３の接触電極群５４ｂ、５４ｃが順次対応する第２及び第３の電極群１４ｂ、１４ｃに接触し、さらに、延在部３８ａがほぼ水平となるように撓み変形を受ける。また、プローブブロック３４の前縁３４ｄから突出する支持板３６の突出部分にも、僅かな撓み変形が導入される。この間、各第１ないし第３の接触電極群は対応する第１ないし第３の電極群との当接点から各電極上を僅かに滑ることにより、各電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）上の酸化膜を削る。したがって、各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）は被検査体１２の対応する電極１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）に確実に電気的に接続される。
【００６６】
本発明に係る試験装置１０では、配線シート３８の各プローブ要素（５２、５４）の前記した撓み変形が導入される実質的なプローブ長を決める延在部３８ａの突出長さが従来より短く設定され、しかも前記プローブ要素（５２、５４）の侵入角θも従来に比較して小さく設定されている。
【００６７】
これらの理由で、前記した電気的接続状態では、配線シート３８の各接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）が設けられた延在部３８ａの撓み変形量が従来よりも低減される。そのため、第１、第２及び第３の接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）が配線シート３８の長手方向にずれていても、その差による各プローブ要素の針圧差を従来に比較して小さな±１ｇ内に抑制することが可能となる。
【００６８】
したがって、各プローブ要素（５２、５４）の針厚差に起因する測定誤差を防止することができる。
【００６９】
前記した実施例では、各プローブ要素（５２、５４）は、配線シート３８の延在部３８ａで、基材である電気絶縁性フィルム５０により隣合うプローブ要素（５２、５４）と一体に形成されている。この構成は、個々のプローブ要素の不安定な動作を抑制する上で有利であり、また各プローブ要素の針圧差を抑制する上でも、有利に作用していると考えられる。
【００７０】
熱膨張抑制手段４８を不要とし、熱膨張抑制手段４８が配置されていた支持板３６と配線シート３８との間を弾性部材で満たすべく弾性部材４０の長さ寸法を支持板３６の長さ寸法に一致させることができる。しかしながら、環境温度による測定誤差を防止する上で、図示のような熱膨張抑制手段４８を設けることが望ましい。
【００７１】
図６には、図２に示した被検査体１２に適用可能な配線シートの他の例を示す。図６に示す配線シート６０は、配線シート３８におけると同様な電気絶縁性フィルム５０及び配線５２を備える。配線シート３８では、各配線５２に第１、第２又は第３の接触電極群（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）のいずれか１つの接触電極群の接触電極が設けられている。これに対し、図６に示す配線シート６０では、各配線５２に第１、第２及び第３の仮想線５６（５６ａ、５６ｂ、５６ｃ）上のそれぞれに第１〜第３の接触電極５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）が設けられている。
【００７２】
図６に示す配線シート６０が、図２に示す被検査体１２に適用された場合、各配線５２上に設けられた第１〜第３の接触電極５４ａ、５４ｂ、５４ｃのうち、対応する電路１６ａ、１６ｂ、１６ｃに設けられた電極１４ａ、１４ｂ又は１４ｃに対応する一つの接触電極５４ａ、５４ｂ又は５４ｃが電極として機能するに過ぎず、他の二つの接触電極は機能することなく、また他の接触電極の妨げとなることはない。
【００７３】
また、被検査体１２に、正方形の電極１４に代えて細長い電極（図示せず）が用いられている場合、配線シート６０は、各配線５２の第１、第２及び第３の接触電極５４ａ、５４ｂ、５４ｃが前記被検査体の前記細長い電極を共通電極として単一の細長い電極に接触するように適用される。
【００７４】
前記したところでは、前記プローブ要素の各接触電極が三列のジグザグ配置となる配列に沿って本発明を説明した。しかしながら、被検査体の電極が二列のジグザグ配置の場合、本発明の接触電極の配列に、図示しないが、例えば第１及び第２の接触電極群による二列のジグザグ配置が採用される。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。前記した配線シートとして、前記可撓性印刷配線板（ＦＰＣ）に代えて、例えばＣＯＦ（Chip On Film）テープあるいはＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ等の配線付きフィルムを適宜利用することができる。
【符号の説明】
【００７６】
１０  試験装置
１２  被検査体
１４（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ）  電極
２６  プローブ装置
３４  プローブブロック
３６  支持板
３８、６０  配線シート
４０  弾性部材
４６  凹溝
４８  熱膨張抑制手段
５０  電気絶縁性フィルム
５２  配線
５４（５４ａ、５４ｂ、５４ｃ）  接触電極
５６ａ、５６ｂ、５６ｃ  仮想線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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