(57)【要約】【課題】シンプルな配置構成にて実装ヘッドの移動制御を高精度にて実現できる部品実装装置および方法を提供する。【解決手段】実装ヘッドを支持するＸ軸ビームの両端を、Ｘ軸ビームの下方側に配置されたＸ軸ビーム支持体により支持させて、Ｘ軸ビーム支持体とは別体にて形成されるとともにＸ軸ビームの上方側に配置されたＹ軸駆動部支持体により支持されたＹ軸駆動部により、Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与するような構成が採用されている。これにより、実装ヘッドやＸ軸ビームの移動により発生する加振力のＹ軸駆動部支持体への伝達量を低減して、実装ヘッドの移動制御の精度を向上させる。【選択図】図２
2013219240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板ステージに載置された基板の表面沿いかつ互いに直交する方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向に実装ヘッドを移動させて、実装ヘッドにより基板上へ部品の実装を行う部品実装装置において、
Ｘ軸方向に実装ヘッドを移動可能に支持するＸ軸ビームと、
Ｘ軸ビームの下方側に配置され、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を支持するＸ軸ビーム支持体と、
Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与して、Ｙ軸方向にＸ軸ビームを移動させるＹ軸駆動部と、
Ｘ軸ビームの上方側にてＹ軸駆動部を支持するとともにＸ軸ビーム支持体とは別体にて形成され、Ｘ軸方向よりもＹ軸方向に高い剛性を有するＹ軸駆動部支持体と、
基板ステージを支持するとともに、Ｘ軸ビーム支持体およびＹ軸駆動部支持体を支持する基台とを備える、部品実装装置。
【請求項２】
Ｘ軸ビーム支持体は、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を下方側または側方側より支持する、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
Ｙ軸駆動部支持体は、Ｘ軸方向に対向する一対の側壁と天井壁とが一体的に形成されたモノコック構造のフレームで構成され、
天井壁にＹ軸駆動部が固定され、一対の側壁のそれぞれの下部が基台に固定される、請求項１または２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
モノコック構造のフレームはＹ軸方向に開口され、実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部が基台のＹ軸方向の一端または両端に配置される、請求項３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
Ｙ軸駆動部は、リニアモータを用いてＸ軸ビームの中央上部に対して非接触でＹ軸方向の駆動力を付与する、請求項１から４のいずれか１つに記載の部品実装装置。
【請求項６】
Ｙ軸駆動部は、Ｙ軸方向に延在するボールネジと、ボールネジに螺合されたボールナットと、ボールネジを回転駆動する駆動モータと、ボールナットをＸ軸方向にスライド移動可能に、Ｘ軸ビームの中央上部にボールナットを係合させるスライド機構とを備え、Ｘ軸ビームからＹ軸駆動部支持体へのＸ軸方向の振動伝達をスライド機構にて抑制する、請求項１から５のいずれか１つに記載の部品実装装置。
【請求項７】
Ｘ軸ビーム支持体は、Ｙ軸方向に延在する直動ガイド機構を介して、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を下方側または側方側より支持する、請求項１から６のいずれか１つに記載の部品実装装置。
【請求項８】
基板ステージに載置された基板の表面沿いかつ互いに直交する方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向に実装ヘッドを移動させて、実装ヘッドにより基板上へ部品の実装を行う部品実装方法であって、
Ｘ軸方向に実装ヘッドを移動可能に支持するＸ軸ビームの両端を、Ｘ軸ビームの下方側に配置されたＸ軸ビーム支持体により支持しながら、Ｘ軸ビームの上方側にてＸ軸ビーム支持体とは別体にて形成されたＹ軸駆動部支持体に支持されたＹ軸駆動部より、Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与してＹ軸方向にＸ軸ビームを移動させて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への実装ヘッドの移動を行い、Ｘ軸ビーム支持体およびＹ軸駆動部支持体を支持する基台に支持された基板ステージ上に載置された基板に対して実装ヘッドにより部品の実装を行う、部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ軸ビームに支持された実装ヘッドを用いて、基板上の部品を実装する部品実装装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の部品実装装置としては様々な構成の装置が知られている。例えば、特許文献１の部品実装装置では、実装ヘッドおよびＸ軸ビームを天井フレームにより支持するような構成が採用されている。具体的には、天井フレームは、Ｘ軸方向に移動可能に実装ヘッドを支持するＸ軸ビームの両端上部を、Ｙ軸方向に延在する直動ガイド機構を介してＹ軸方向に移動可能に支持している。この天井フレームには、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部が設けられている。Ｙ軸駆動部によりＸ軸ビームをＹ軸方向に移動させ、Ｘ軸ビームにより実装ヘッドをＸ軸方向に移動させることにより、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への実装ヘッドの移動が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５４６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の部品実装装置では、実装ヘッドを支持するＸ軸ビームが、Ｘ軸ビームの上方に位置する天井フレームにより支持される構成が採用されている。そのため、実装ヘッドの移動およびＸ軸ビームの移動に伴う加振力が天井フレームに伝達される。また、天井フレームは、部品実装装置の基台（ベース）から離れて位置されているため、加振力による振動量が大きくなり易い。したがって、実装ヘッドの移動制御を高精度にて行うことが難しく、実装ヘッドの移動速度を高速化することも難しくなる。
【０００５】
天井フレームの振動を抑制するために、天井フレームの剛性を高めるような場合にあっては、天井フレームやそれを支持する部材などが大型化し、部品実装装置の大型化や各構成部の配置の複雑化を招く場合がある。
【０００６】
従って、本発明の目的は、上記課題を解決することにあって、シンプルな配置構成にて実装ヘッドの移動制御を高精度にて実現できる部品実装装置および方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００８】
本発明の第１態様によれば、基板ステージに載置された基板の表面沿いかつ互いに直交する方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向に実装ヘッドを移動させて、実装ヘッドにより基板上へ部品の実装を行う部品実装装置において、Ｘ軸方向に実装ヘッドを移動可能に支持するＸ軸ビームと、Ｘ軸ビームの下方側に配置され、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を支持するＸ軸ビーム支持体と、Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与して、Ｙ軸方向にＸ軸ビームを移動させるＹ軸駆動部と、Ｘ軸ビームの上方側にてＹ軸駆動部を支持するとともにＸ軸ビーム支持体とは別体にて形成され、Ｘ軸方向よりもＹ軸方向に高い剛性を有するＹ軸駆動部支持体と、基板ステージを支持するとともに、Ｘ軸ビーム支持体およびＹ軸駆動部支持体を支持する基台とを備える、部品実装装置を提供する。
【０００９】
本発明の第２態様によれば、Ｘ軸ビーム支持体は、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を下方側または側方側より支持する、第１態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１０】
本発明の第３態様によれば、Ｙ軸駆動部支持体は、Ｘ軸方向に対向する一対の側壁と天井壁とが一体的に形成されたモノコック構造のフレームで構成され、天井壁にＹ軸駆動部が固定され、一対の側壁のそれぞれの下部が基台に固定される、第１態様または第２態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１１】
本発明の第４態様によれば、モノコック構造のフレームはＹ軸方向に開口され、実装ヘッドに対して部品を供給する部品供給部が基台のＹ軸方向の一端または両端に配置される、第３態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１２】
本発明の第５態様によれば、Ｙ軸駆動部は、リニアモータを用いてＸ軸ビームの中央上部に対して非接触でＹ軸方向の駆動力を付与する、第１態様から第４態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。
【００１３】
本発明の第６態様によれば、Ｙ軸駆動部は、Ｙ軸方向に延在するボールネジと、ボールネジに螺合されたボールナットと、ボールネジを回転駆動する駆動モータと、ボールナットをＸ軸方向にスライド移動可能に、Ｘ軸ビームの中央上部にボールナットを係合させるスライド機構とを備え、Ｘ軸ビームからＹ軸駆動部支持体へのＸ軸方向の振動伝達をスライド機構にて抑制する、第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。
【００１４】
本発明の第７態様によれば、Ｘ軸ビーム支持体は、Ｙ軸方向に延在する直動ガイド機構を介して、Ｘ軸ビームをＹ軸方向に移動可能にＸ軸ビームの両端を下方側または側方側より支持する、第１態様から第６態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。
【００１５】
本発明の第８態様によれば、基板ステージに載置された基板の表面沿いかつ互いに直交する方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向に実装ヘッドを移動させて、実装ヘッドにより基板上へ部品の実装を行う部品実装方法であって、Ｘ軸方向に実装ヘッドを移動可能に支持するＸ軸ビームの両端を、Ｘ軸ビームの下方側に配置されたＸ軸ビーム支持体により支持しながら、Ｘ軸ビームの上方側にてＸ軸ビーム支持体とは別体にて形成されたＹ軸駆動部支持体に支持されたＹ軸駆動部より、Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与してＹ軸方向にＸ軸ビームを移動させて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への実装ヘッドの移動を行い、Ｘ軸ビーム支持体およびＹ軸駆動部支持体を支持する基台に支持された基板ステージ上に載置された基板に対して実装ヘッドにより部品の実装を行う、部品実装方法を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、実装ヘッドを支持するＸ軸ビームの両端を、Ｘ軸ビームの下方側に配置されたＸ軸ビーム支持体により支持させて、Ｘ軸ビーム支持体とは別体にて形成されるとともにＸ軸ビームの上方側に配置されたＹ軸駆動部支持体により支持されたＹ軸駆動部により、Ｘ軸ビームの中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与するような構成が採用されている。これにより、実装ヘッドやＸ軸ビームの移動により発生する加振力のＹ軸駆動部支持体への伝達量を低減できる。そのため、Ｙ軸駆動部支持体は、Ｙ軸駆動部を介してＸ軸ビームより伝達されるＹ軸方向の力に対する剛性が確保できれば良い。したがって、部品実装装置において、シンプルな配置構成にて実装ヘッドの移動制御を高精度にて実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一の実施の形態にかかる部品実装装置の外観斜視図
【図２】図１の部品実装装置におけるＡ−Ａ線矢視断面図
【図３】図１の部品実装装置の天井構造体の斜視図
【図４】本発明の変形例にかかる天井構造体の斜視図
【図５】本発明の変形例にかかるＹ軸駆動部支持体の斜視図
【図６】本発明の変形例にかかるＹ軸駆動部の斜視図
【図７】本発明の変形例にかかる部品実装装置の断面図
【図８】本発明の変形例にかかるＸ軸ビームの支持構造の断面図
【図９】本発明の変形例にかかるＸ軸ビームの支持構造の断面図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
本発明の一の実施の形態にかかる部品実装装置１の外観斜視図を図１に示す。また、図１の部品実装装置１におけるＡ−Ａ線矢視断面図を図２に示す。以下、図１および図２を参照しながら、本実施の形態の部品実装装置１の構成について説明する。なお、以下の説明において、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は、基板の表面沿いの方向（水平方向）でありかつ互いに直交する方向であり、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交する方向（鉛直方向）である。
【００２０】
部品実装装置１は、実装ヘッド２と、部品が実装される基板（回路形成体）３が載置される基板ステージ４と、実装ヘッド２をＸ軸方向に移動可能に支持するＸ軸ビーム５と、Ｘ軸ビーム５をＹ軸方向に移動させるＹ軸駆動部６とを備えている。さらに、部品実装装置１は、Ｘ軸ビーム５をＹ軸方向に移動可能に支持するＸ軸ビーム支持体８と、Ｙ軸駆動部６を支持する天井構造体（Ｙ軸駆動部支持体）９と、基板ステージ４を支持するとともに、Ｘ軸ビーム支持体８および天井構造体９を支持する基台１０とを備えている。なお、図１では、部品実装装置１の上部を覆う天井構造体９を透過させた状態にて各構成部の配置構成を図示している。
【００２１】
実装ヘッド２は、部品を吸着保持する複数の吸着ノズル７を例えばＸ軸方向に配列させて備えており、それぞれの吸着ノズル７により吸着保持された部品を、基板ステージ４上に載置された基板３における所定の実装位置へ実装する。
【００２２】
Ｘ軸ビーム５はＸ軸方向に延在する剛体部材として形成されており、実装ヘッド２を支持するとともに実装ヘッド２をＸ軸方向に移動させる機能を有している。Ｘ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａ（両端部）は下方側よりそれぞれのＸ軸ビーム支持体８により支持されている。Ｘ軸ビーム支持体８は、基台１０のＸ軸方向における両端縁付近にて基台１０上面より上方に突出し、Ｙ軸方向に沿って延在するように形成されている。なお、それぞれのＸ軸ビーム支持体８は、基台１０と一体的に形成されている場合であっても良く、また基台１０とは別体にて形成され、基台１０に対して固定されているような場合であっても良い。
【００２３】
それぞれのＸ軸ビーム支持体８の上面にはＹ軸方向に延在する直動レール１１が配置されており、Ｘ軸ビーム５の両端５ａの下部には、この直動レール１１と係合する直動ブロック１２が固定されている。直動ブロック１２が直動レール１１に沿ってスライド移動可能とされていることにより、Ｘ軸ビーム５がそれぞれのＸ軸ビーム支持体８に支持されながらＹ軸方向に移動可能となっている。なお、これらの直動レールおよび直動ブロック１２により直動ガイド機構が構成されている。
【００２４】
本実施の形態では、Ｙ軸駆動部６としてリニアモータが採用されている。Ｘ軸ビーム支持体８により両端側を支持されたその間の領域であるＸ軸ビーム５のＸ軸方向の中央上部（中央領域の上部）には、Ｙ軸駆動部６のリニアモータにおける可動子６ａが固定されている。リニアモータの固定子６ｂはＹ軸方向に延在して配置されており、Ｘ軸ビーム５の上方に配置された天井構造体９に支持されている。リニアモータの固定子６ｂは大略凹状断面を有しており凹状断面の内側に可動子６ａが配置され、凹状断面の内側表面と可動子６ａの表面との間には両表面が接触しない程度の隙間が確保されている。Ｙ軸駆動部６は、互いに非接触で配置された可動子６ａと固定子６ｂとの間に発生する磁力を、Ｙ軸方向にＸ軸ビーム５を駆動させる力としてＸ軸ビーム５に付与する。
【００２５】
天井構造体９は、ＸＹ平面に沿いに形成された天井壁９ａと、ＹＺ平面沿いに形成された互いに対向する一対の側壁９ｂとが一体的に形成されたモノコック構造のフレームとして、Ｘ軸ビーム支持体８とは別体にて形成されている。このようなモノコック構造を有する天井構造体９は、例えば１枚の金属製プレートをプレス加工することにより形成される。天井構造体９はＹ軸方向が開口された大略コ字状断面形状を有している。
【００２６】
天井構造体９の天井壁９ａの中央下面には、Ｙ軸駆動部６の固定子６ｂが固定されて支持されている。天井構造体９の一対の側壁９ｂの下部９ｃは基台１０の側面に固定されており、これにより天井構造体９が基台１０により支持された状態とされている。天井構造体９は、その構造的および形状的な特徴によりＸ軸方向よりもＹ軸方向に高い剛性を有しながら、例えば４〜６ｍｍ程度の厚さにて形成される。
【００２７】
Ｘ軸ビーム支持体８と天井構造体９とは互いに支持を行う対象物が異なることに加えて、対象物の支持する部位の方向が異なっており、一方にて発生する加振力が他方へと伝達され難いように、それぞれ個別に基台１０に支持されている。ただし、基台１０による天井構造体９の支持を補うために、天井構造体９の側壁９ｂがＸ軸ビーム支持体８により補助的に支持されているような場合であっても良い。なお、本実施の形態では、Ｘ軸ビーム５をＹ軸方向に移動可能に支持するＸ軸ビーム支持体８が、概ねＸ軸ビーム５の下方側に配置されており、Ｙ軸駆動部６を支持する天井構造体（すなわち、Ｙ軸駆動部支持体）９が、概ねＸ軸ビーム５の上方側に配置されており、Ｘ軸ビーム支持体８と天井構造体９とが基台１０に別々に支持されている。
【００２８】
基台１０において、天井構造体９が開口されているＹ軸方向の両端それぞれには、実装ヘッド２に対して部品の供給を行う部品供給部１３が配置されている。なお、基台１０のＹ軸方向の一端のみに部品供給部１３が配置されているような場合であっても良い。
【００２９】
天井構造体９の一対の側壁９ｂには、基板ステージ４への基板３の搬入・基板ステージ４からの基板３の搬出を行うための搬入出口９ｄが形成されている。例えば、本実施の形態の部品実装装置１をＸ軸方向に複数台連接するような場合に、天井構造体９の側壁９ｂの搬入出口９ｄを通して、隣接する別の部品実装装置へ基板３を搬入出することができる。なお、このような搬入出口９ｄは、部品が実装された状態の基板３が通過できる程度の大きさに形成されるため、天井構造体９の剛性を確保することができる。
【００３０】
Ｘ軸ビーム支持体８には、Ｘ軸ビーム５のＹ軸方向の移動位置を検出する位置検出センサ１４が設けられている。この位置検出センサ１４は、例えば、Ｘ軸ビーム支持体８に固定されたリニアスケール１４ａと、リニアスケール１４ａと対向するように直動ブロック１２に固定されたスケールヘッド１４ｂとにより構成される。なお、高精度な位置検出を行うように、位置検出センサ１４をそれぞれのＸ軸ビーム支持体８に設けても良いが、少なくとも一方のＸ軸ビーム支持体８に位置検出センサ１４が設けられていれば良い。また、位置検出センサ１４としてリニアスケール以外のセンサを採用しても良い。
【００３１】
このような部品実装装置１にて、基板３に対する部品実装動作を行う方法について説明する。
【００３２】
まず、部品実装装置１において、天井構造体９の一方の搬入出口９ｄを通して基板３が搬入され、基板ステージ４上に基板３が載置される。
【００３３】
次に、実装ヘッド２が一方の部品供給部１３の上方に移動される。具体的には、Ｙ軸駆動部６により発生された磁力がＹ軸方向の駆動力としてＸ軸ビーム５の中央上部に付与され、両端５ａが支持された状態のＸ軸ビーム５が直動ガイド機構１１、１２によりＹ軸方向に案内されながら、Ｘ軸ビーム５が部品供給部１３に近づくようにＹ軸方向に移動される。それとともにＸ軸ビーム５により実装ヘッド２がＸ軸方向に移動されて、それぞれの吸着ノズル７が部品供給部１３の部品取り出し位置に位置合わせされ、吸着ノズル７により部品が保持される。
【００３４】
その後、実装ヘッド２のＸ軸方向およびＹ軸方向の移動が同様に行われて、基板ステージ４に載置された基板３の上方に実装ヘッド２が移動され、基板３の所定の実装位置に、吸着ノズル７により保持された部品が実装される。
【００３５】
基板ステージ４の上方と部品供給部１３の上方との間の実装ヘッド２の移動が繰り返されて、複数の部品が基板３上に実装される。
【００３６】
その後、基板ステージ４上の基板３が、他方の搬入出口９ｄを通して部品実装装置１より搬出される。
【００３７】
本実施の形態の部品実装装置１では、実装ヘッド２を支持するＸ軸ビーム５の両端５ａを下方側よりＸ軸ビーム支持体８により支持させて、Ｘ軸ビーム支持体８とは別体にて形成されるとともにＸ軸ビーム５の上方に配置された天井構造体９により支持されたＹ軸駆動部６により、Ｘ軸ビーム５の中央上部に対してＹ軸方向の駆動力を付与するような構成が採用されている。すなわち、実装ヘッド２およびＸ軸ビーム５を支持するＸ軸ビーム支持体８と、Ｘ軸ビーム５に対してＹ軸方向の駆動力を付与するＹ軸駆動部６を支持する天井構造体９とを互いに別体にて構成し、それぞれを個別に基台１０に支持させている。これにより、実装ヘッド２やＸ軸ビーム５の移動により発生する加振力が、天井構造体９を介してＹ軸駆動部６に伝達される量を低減することができる。また、Ｘ軸ビーム５が両端５ａの下方側より支持されていることにより、加振点を低い位置に位置させることができ、振動抑制の観点からも効果的である。よって、部品実装装置１において、実装ヘッド２の移動速度の高速化を図りながら移動制御の精度を高めることができる。
【００３８】
また、天井構造体９はＸ軸ビーム支持体８とは分離されており、さらにＹ軸駆動部６としてリニアモータが採用されて、可動子６ａと固定子６ｂとが非接触状態とされている。そのため、実装ヘッド２のＸ軸方向およびＹ軸方向の移動が行われた際に生じるＸ軸方向の力が天井構造体９には伝達され難く、Ｘ軸ビーム５のＹ軸方向の移動に伴って生じるＹ軸方向の力のみがＹ軸駆動部６を通じて天井構造体９に伝達されることになる。したがって、天井構造体９はＸ軸方向よりもＹ軸方向に高い剛性を有するような仕様とすることができ、天井構造体９の構成をシンプルなものにできる。
【００３９】
特に、天井構造体９を天井壁９ａとＹＺ平面を有する一対の側壁９ｂとが一体的に形成されたモノコック構造のフレームとすることにより、Ｙ軸方向に高い剛性を有しながら軽量かつシンプルなフレーム構成を実現できる。また、このようなモノコック構造のフレームにおいて、側壁９ｂの下部９ｃにて基台１０に支持されるような構成を採用することで、基台１０の上面に有効に活用できる空間を確保することができ、各構成部の適切な配置構成を実現できるとともに、部品実装装置の小型化を図ることができる。
【００４０】
モノコック構造を採用した天井構造体９においてＹ軸方向に形成された開口を利用して、基台１０のＹ軸方向の両端に部品供給部１３を配置した構成では、基板ステージ４の上方と部品供給部１３の上方との間に実装ヘッド２の移動、すなわちＹ軸方向の移動に伴って生じるモーメントがＸ軸方向に移動によるものよりも大きくなる。上述したように、天井構造体９ではＸ軸方向よりもＹ軸方向の剛性が高められているため、このようなモーメントに抗して高い位置精度にてＹ軸駆動部６による移動制御を実現できる。
【００４１】
また、両端側を下方側よりＸ軸ビーム支持体８によって支持されたＸ軸ビーム５の中央上部に対して、Ｙ軸駆動部６は駆動力を付与するため、１つの駆動源にてバランス良くＸ軸ビーム５の移動を行うことができ、移動制御の精度向上に寄与できる。
【００４２】
また、Ｘ軸ビーム５を支持している剛体であるＸ軸ビーム支持体８に、Ｘ軸ビーム５のＹ軸方向の移動位置を検出する位置検出センサ１４が配置されていることにより、Ｘ軸ビーム５の移動位置を高精度に検出することができる。
【００４３】
したがって、部品実装装置１において、シンプルな配置構成にて実装ヘッド２の移動制御を高精度にて実現できる。
【００４４】
次に、本実施の形態の変形例について、以下に説明する。
【００４５】
上述の説明では、図３に示すように、天井構造体９をモノコック構造のフレームとして形成して、Ｙ軸駆動部６を支持させるような場合を例として説明したが、天井構造体はその他様々な構成を採用しても良い。
【００４６】
例えば、図４に示すように、複数本のフレーム部材１９ａを骨材として用い、モノコック構造ではない天井構造体１９を構成しても良い。上述したように、Ｙ軸方向に駆動力を発生するＹ軸駆動部６が支持される天井構造体１９は、少なくともＹ軸方向に剛性を有していれば良く、比較的シンプルかつ軽量な骨材構成にて複数本のフレーム部材１９ａを組み合わせて天井構造体１９を構成できる。
【００４７】
また、図５に示すように、Ｙ軸駆動部６をＹ軸方向の一端にて片持ち構造とするフレーム構成をＹ軸駆動部支持体２９として採用しても良い。このようなＹ軸方向の片持ち構成であっても、Ｙ軸方向においては剛性を確保することができるとともに、シンプルなフレーム構成を実現できる。
【００４８】
図１および図２の部品実装装置１では、Ｙ軸駆動部６として、非接触にてＸ軸ビーム５に対して駆動力を付与するリニアモータを採用した例について説明したが、Ｙ軸駆動部はその他様々な構成を採用することができる。
【００４９】
例えば、図６に示すＹ軸駆動部２６では、ボールネジ機構が採用されている。具体的には、Ｙ軸駆動部２６は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ２１と、ボールネジ２１に螺合されかつＸ軸ビーム５の中央上部に配置されたボールナット２２と、ボールネジ２１を回転駆動する駆動モータ２３とを備えている。ボールネジ２１と駆動モータ２３は天井構造体９に支持されている。
【００５０】
さらに、Ｙ軸駆動部２６は、ボールナット２２をＸ軸方向にスライド移動可能に、Ｘ軸ビーム５の中央上部にボールナット２２を係合させるスライド機構２４を備えている。このようなボールネジ機構は、リニアモータとは違って非接触な駆動力伝達機構（例えば、「振動伝達抑制手段」ということもできる。）ではないが、このようなスライド機構２４を設けていることにより、Ｘ軸ビーム５からＹ軸駆動部２６および天井構造体９へのＸ軸方向の振動伝達をスライド機構２４等の振動伝達抑制手段にて抑制することができる。
【００５１】
上述の説明では、図２に示すように、Ｘ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａが下方側よりＸ軸ビーム支持体８により支持される構成を例として説明しているが、Ｘ軸ビーム支持体８によりＸ軸ビーム５を支持する構成は下方側より支持されるような構成のみに限定されない。
【００５２】
例えば、本実施の形態の変形例にかかる部品実装装置１０１の断面図を図７に示す。図７に示すように、変形例の部品実装装置１０１では、Ｘ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａが下方側ではなく側方側よりＸ軸ビーム支持体１０８により支持される構成が採用されている。
【００５３】
具体的には、それぞれのＸ軸ビーム支持体１０８の上部側面にはＹ軸方向に延在する直動レール１１が配置されており、Ｘ軸ビーム５の両端５ａの側部には、この直動レール１１と係合する直動ブロック１２が固定されている。直動ブロック１２が直動レール１１に沿ってスライド移動可能とされていることにより、Ｘ軸ビーム５がそれぞれのＸ軸ビーム支持体１０８に支持されながらＹ軸方向に移動可能となっている。なお、これらの直動レールおよび直動ブロック１２により直動ガイド機構が構成されている。
【００５４】
このようにＸ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａが側方側よりＸ軸ビーム支持体１０８により支持される構成であっても、Ｘ軸ビーム支持体１０８と天井構造体９とを互いに別体にて構成して、それぞれを個別に基台１０に支持させることにより、実装ヘッド２やＸ軸ビーム５の移動により発生する加振力が、天井構造体９を介してＹ軸駆動部６に伝達される量を低減することができる。よって、部品実装装置１０１において、実装ヘッド２の移動速度の高速化を図りながら移動制御の精度を高めることができる。
【００５５】
また、図８に示すように、Ｘ軸ビーム２０５の両端２０５ａを斜め下方側（あるいは斜め側方側）よりＸ軸ビーム支持体２０８により支持するような構成を採用しても良い。このように斜め下方側からの支持構成では、Ｘ軸ビーム２０５の端面およびＸ軸ビーム支持体２０８の上面を傾斜面として、より広い領域を用いて直動レール１１や直動ブロック１２、さらにリニアスケール１４ａなどを配置することが可能となる。
【００５６】
また、図９に示すように、Ｘ軸ビーム支持体３０８の上部をＸ軸ビーム５の上方側へ回り込むように形成して、Ｘ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａが上方側よりＸ軸ビーム支持体３０８により支持される構成を採用しても良い。
【００５７】
Ｘ軸ビームのＸ軸方向の両端をＸ軸ビーム支持体により支持する構成としては、上述のように様々な構成を適用することができる。特に、図２に示すように、Ｘ軸ビーム５のＸ軸方向の両端５ａを下方側よりＸ軸ビーム支持体８により支持する構成では、Ｘ軸ビーム５の両端５ａ付近の構成をコンパクトにすることができる。また、Ｘ軸ビーム５が両端５ａの下方側より支持されているため、加振点を低い位置に位置させることができ、振動抑制の観点からも効果的である。
【００５８】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１  部品実装装置
２  実装ヘッド
３  基板
４  基板ステージ
５  Ｘ軸ビーム
６  Ｙ軸駆動部
６ａ  可動子
６ｂ  固定子
７  吸着ノズル
８  Ｘ軸ビーム支持体
９  天井構造体（Ｙ軸駆動部支持体）
１０  基台
１１  直動レール
１２  直動ブロック
１３  部品供給部
１４  位置検出センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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