(57)【要約】      （修正有）【課題】寄生発振を抑制することができる高出力パルスレーザを提供する。【解決手段】レーザシステム１０は、目標面およびレーザシステム１０の一次のレーザ発振器１０１の１以上の反射面の外側囲まれた二次航路に位置する可変減衰器を含む。可変減衰器は、レーザパルス間の時間中で目標から反射した光からレーザシステム１０の出力光増幅器１０７を分離する。また、可変減衰器は、一次のレーザ発振器１０１で同期制御される。いくつかの他の実施形態において、可変減衰器は、生成されたレーザパルスを成形する一次のレーザ発振器１０１から独立して制御される。【選択図】図１
2013219346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光キャビティ、第１の可変減衰器、および出力カプラーを有する一次のレーザ発振器であって、前記出力カプラーから放射されたパルスレーザ光の量を生成するよう動作する、一次のレーザ発振器と、
前記一次のレーザ発振器によって生成された前記パルスレーザ光の量を受信し、レーザシステムの出射窓から放射された増幅したパルスレーザ光の量を生成するよう動作する、出力光増幅器と、
前記出力カプラーと前記出射窓との間の前記レーザシステムの光路に位置する第２の可変減衰器であって、前記第２の可変減衰器は、前記増幅したパルスレーザ光のレーザパルス間の時間中に目標から反射した光の量から前記レーザシステムを分離するよう動作する、第２の可変減衰器と、
を含む、レーザシステム。
【請求項２】
前記第１の可変減衰器および前記第２の可変減衰器に結合するドライバであって、前記ドライバは、前記第１および前記第２の可変減衰器が、増幅したレーザ光のパルスが前記出射窓を出射するように状態を変化させるように、前記第１および第２の可変減衰器の両方に伝達した同期制御信号を生成する、ドライバをさらに含む、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項３】
前記ドライバに伝達したコマンド信号を生成するように構成されたコントローラであって、前記ドライバは、前記コマンド信号の少なくとも一部に基づいて前記同期信号を生成する、コントローラをさらに含む、請求項２に記載のレーザシステム。
【請求項４】
前記第１の可変減衰器と伝達する第１の制御信号を生成する、第１のドライバと、
前記第１の可変減衰器が、増幅したレーザ光が前記出射窓を出射するように前記第２の可変減衰器と異なる時間で状態を変化させるように前記第２の可変減衰器へ伝達する第２の制御信号を生成する第２のドライバと、
をさらに含む、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項５】
第１のコマンド信号および第２のコマンド信号を生成するように構成されたコントローラであって、前記第１のコマンド信号は、前記第１のドライバに伝達し、前記第１のドライバは、前記第１のコマンド信号の少なくとも一部に基づいて前記第１の制御信号を生成し、前記第２のコマンド信号は、前記第２のドライバに伝達し、前記第２のドライバは、前記第２のコマンド信号の少なくとも一部に基づいて前記第２の制御信号を生成する、コントローラをさらに含む、請求項４に記載のレーザシステム。
【請求項６】
前記第１および前記第２の可変減衰器は、音響光学変調器である、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項７】
前記パルスレーザ光の反復率は、少なくとも1キロヘルツである、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項８】
前記パルスレーザ光の継続時間は、１ナノ秒よりも大きい、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項９】
前記レーザシステムの出力は、１００ワットよりも大きい、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項１０】
パルスレーザシステムにおける寄生光フィードバックを抑制する方法であって、
前記パルスレーザシステムのパルスの間の時間中の前記パルスレーザシステムへの目標からの反射した光の量を減衰することであって、前記目標は、前記パルスレーザシステムの外側に配置され、前記光の量を減衰することは、前記レーザシステムおよび前記目標の出力光増幅器を含む光路に配置された第１の可変減衰器の状態を変化させることを含む、光の量を減衰すること
を含む、方法。
【請求項１１】
前記第１の可変減衰器の状態を変化させることは、第１の制御信号を前記パルスレーザシステムの一次のレーザ発振器の光キャビティに配置された第２の可変減衰器に伝達した第２の制御信号で同期される前記第１の可変減衰器へ伝達させることを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の可変減衰器の状態を変化させることは、第１の制御信号を前記第１の可変減衰器を第１の時間で状態を変化させる前記第１の可変減衰器へ伝達させることを含み、第２の制御信号は、第２の可変減衰器に前記第１の時間と異なる第２の時間で状態を変化させる前記パルスレーザシステムの一次のレーザ発振器の光キャビティに配置された第２の可変減衰器に伝達する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の可変減衰器は、音響光学変調器である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
第１の光キャビティ、第１の可変減衰器、および出力カプラーを有する一次のレーザ発振器であって、前記出力カプラーから放射されたパルスレーザ光の量を生成するよう動作する、一次のレーザ発振器と、
前記一次のレーザ発振器によって生成された前記パルスレーザ光の量を受信し、レーザシステムの出射窓から放射された増幅したパルスレーザ光の量を生成するよう動作する、出力光増幅器と、
前記出力カプラーと前記出射窓との間の前記レーザシステムの光路に位置する第２の可変減衰器と、
第１のコマンド信号を第１のドライバに伝達するように構成されたコンピュータであって、第１の無線周波数増幅器は、少なくとも部分的に第一コマンド信号に基づいている前記第１の信号を生成し、前記第２の可変減衰器は、増幅された、パルスレーザ光のレーザパルス間の時間中に目標から反射された光の量から前記レーザシステムを分離する第１の制御信号に応じて状態を変化させる、コンピュータと、
を含む、レーザシステム。
【請求項１５】
前記第１のドライバは、前記第１の可変減衰器にさらに連結され、前記第１の制御信号は、前記第１および前記第２の可変減衰器が同期して動作するように前記第１の可変減衰器に伝達される、請求項１４に記載のレーザシステム。
【請求項１６】
前記第１の可変減衰器が前記第２の可変減衰器と異なる時間で状態を変化させるように前記コンピュータによって生成された第２のコマンド信号に応じて前記第１の可変減衰器に伝達される第２の制御信号を生成する、第２のドライバ
をさらに含む、請求項１４に記載のレーザシステム。
【請求項１７】
前記第１および第２の可変減衰器は、音響光学変調器である、請求項１４に記載のレーザシステム。
【請求項１８】
前記パルスレーザ光の反復率は、少なくとも1キロヘルツである、請求項１４に記載のレーザシステム。
【請求項１９】
前記パルスレーザ光の継続時間は、１ナノ秒よりも大きい、請求項１４に記載のレーザシステム。
【請求項２０】
前記レーザシステムの出力は、１００ワットよりも大きい、請求項１４に記載のレーザシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
特許のための本出願は、米国特許法３５第１１９条の下で２０１２年３月１６日に出願された題目が「高反復率ナノ秒パルスレーザにおける寄生光フィードバックの抑制のための装置および方法」である、米国仮特許出願第６１／６１１，７０１号に基づく優先権を主張し、その主題は、参照により本明細書中に組み込まれる。
【０００２】
記載された実施形態は、顕微鏡用の光計測学および検査システムに関し、より具体的には、高反復率パルスレーザ源を含む光計測学および検査システムに関する。
【背景技術】
【０００３】
論理および記録デバイスなどの半導体デバイスは、一般に、試料に適用される処理工程の順序によって製造される。様々な特徴および複数の構造レベルを持つ半導体デバイスは、これらの処理工程によって形成される。例えば、特に、リソグラフィは、半導体ウエハ上にパターンを生成することを含む半導体製造工程である。半導体製造工程の追加の例として、化学機械研磨、エッチング、蒸着、イオン注入が含まれるが、これらに限定されない。複数の半導体デバイスは、単一の半導体ウエハ上で製造され、その後、個々の半導体デバイスに分離される。
【０００４】
高反復率ダイオード励起個体（ＤＰＳＳ）レーザは、特に、表面洗浄、表面研磨、切削、穴あけなどの様々な材料処理タスクを実行するために広く利用される。これらのアプリケーションは、材料表面でレーザによって生成された高強度のパルスレーザ光の相互作用を含む。表面反射率は、レーザシステムに戻って反射するために材料表面に伝達された光の一部の機構を提供する。目標（例えば、材料表面）とレーザパルス中のレーザとの間の光フィードバックは、よく研究されている。レーザパルス中の光フィードバックを抑制する様々な方法は、現在のレーザシステムで実施されている。
【０００５】
一実施例において、ファラデー遮断器は、反射光を選択的に遮断するために採用される。しかしながら、ファラデー遮断器は、偏向したレーザ光にのみ適用される。反射光の偏向特性は、入射光と大いに異なる。また、偏向したレーザビームであっても、目標から反射したレーザ光を減衰させるためにファラデー遮断器を採用する有効性は、限定される。ファラデー遮断器は、比較的低い伝達効率（例えば、９０％未満）および低損傷閾値であるため、高出力レーザにおいて好ましくない。
【０００６】
別の実施例において、目標の面法線は、再入するレーザシステムからの反射光を防止するために入射レーザビームに対して一角度で配向され得る。しかしながら、これは、処理表面上にレーザビームの法線垂直入射を必要とするアプリケーションに対するオプションではない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
高出力のように、パルスレーザシステムは、発達し、寄生光フィードバックは、システム動作において制限する要因となる。従って、目標表面からレーザシステムに反射した光を減衰するための改良した方法およびシステムが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
パルスレーザシステムは、目標面およびレーザシステムの一次のレーザ発振器の１以上の反射面の外側によって囲まれた二次光路に位置する可変減衰器を含む。可変減衰器は、レーザパルス間の時間中で目標から反射した光からレーザシステムの出力光増幅器を分離する。
【０００９】
一実施形態において、可変減衰器は、出力光増幅器とレーザシステムの出射窓との間に位置する。別の実施形態において、可変減衰器は、出力光増幅器と一次のレーザ発振器の出力カプラーとの間に位置する。好ましい実施形態において、可変減衰器は、音響光学変調器（ＡＯＭ）である。他の実施形態において、１以上のポッケルセルは、可変減衰器として採用される。
【００１０】
レーザパルスの生成中、可変減衰器は、最小限の損失で光を通過させる低減衰状態（すなわち、高伝達効率）に切り換えられる。しかしながら、レーザパルス間の時間中の寄生光フィードバックを防ぐため、出力増幅器を通る光伝達は、目標面によって反射した光の増幅を防ぐために効果的に減衰されなければならない。可変減衰器は、レーザパルス間の時間中の高減衰状態（すなわち、低伝達効率）へ切り換えることによって目標から反射した光から効果的に出力増幅器を分離する。
【００１１】
いくつかの実施形態において、可変減衰器は、一次のレーザ発振器で同期制御される。いくつかの他の実施形態において、可変減衰器は、生成したレーザパルスを成形する一次のレーザ発振器から独立して制御される。
【００１２】
上記は、概要であり、詳細の必要性、簡素化、一般化および省略を含み、結果として、当業者は、概要が例示のみであり、いかなる方法でも限定されないことが理解されるだろう。本明細書に記載された他の態様、発明の特徴、および装置および／または工程の利点は、本明細書中で非限定的に詳細の説明において明らかになるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】高出力、パルスレーザシステム１０を採用する一般的にアプリケーションスキームを示す。
【図２】出力光増幅器１０７とレーザ出射窓１０９との間に位置する可変減衰器１０８を含むレーザシステム１００の一実施形態を示す。
【図３】本発明の別の実施形態におけるレーザシステム２００を示す。
【図４】本発明のさらなる別の実施形態におけるレーザシステム３００を示す。
【図５】レーザパルスの間の時間中に目標からパルスレーザシステムへ反射した光の量を減衰する一例示的方法４００を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
参照がバックグラウンドの例および本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明し、それらの例が添付の図面で説明されるだろう。
【００１５】
図１は、高出力、パルスレーザシステム１０を採用する一般的にアプリケーションスキームを示す。パルスレーザシステム１０は、出力光増幅器１０７を供給する一次のレーザ発振器１０１を含む。出力光増幅器１０７は、一次のレーザ発振器１０１の外にあり、増幅したパルスレーザ光が出射窓１０９を通ってレーザシステム１０を出社する前にパルスレーザ光の最終増幅を提供する。図１に示すように、例として、パルスレーザビーム１１０は、拡張器１１１によって拡張され、そして、対物１１２によって目標１１３に集光される。一非限定例において、レーザシステム１０は、イギリス、クローリーのパワーレーズフォトニクス社製、型番ＡＯ１６Ｅレーザシステムである。パルスレーザビーム１１０は、５倍に拡張され、０．１３の開口数を有する対物で集光され、結果として約１００マイクロメートルの焦点サイズになる。
【００１６】
発明者らは、上記アプリケーションスキームで連続波長漏洩効果を観察してきた。効果は、入射焦点ビームの６度以内で垂直に配向された表面に対して顕著である。また、この効果は、１パーセント未満の表面反射率を有する目標に対しても顕著である。
【００１７】
高平均出力（例えば、１００ワット以上）に対して、適度な高反復率（１ｋＨｚ以上）の目標表面で動作するパルスレーザは、パルス（すなわち、連続波長漏洩効果）間のレーザ光出力を効果的に（例えば、０．５％以上）生成させる。発明者らは、主パルス強度の最大で数％の強度値を達するパルス間の光出力を観察してきた。主なアプリケーションに対して、この漏洩は、１００ワット以上の出力レベルで動作する場合に特に動作に対する臨界障害である。
【００１８】
発明者らは、連続波長漏洩効果がレーザシステム１０における目標表面１１３と反射要素（例えば、出力光カプラー１０５）との間の意図した、二次的、外部キャビティ１１４の形式によって引き起こされることを観察してきた。外部キャビティ１１４は、二次的、外部キャビティ１１４のゲイン媒体として作動する出力光増幅器１０７を含む。二次的、外部キャビティ１１４は、光スイッチを欠き、したがって、取得した連続波長漏洩効果を開始する。
【００１９】
いくつかのアプリケーションにおいて、長漏強度は、表面損傷閾値に達し、目標表面の反射性は、著しく低下する。これは、光フィードバックメカニズムを抑制し、連続波長漏洩効果を低減する。しかしながら、表面損傷閾値に達しないアプリケーション（たとえば、非破壊アプリケーション、移動目標アプリケーションなど）においては、連続波長漏洩効果は表面損傷によって抑制され得ない。結果として、目標は、パルス期間だけでなく、パルス間の期間中も高強度光にさらされる。例えば、移動目標アプリケーションに対して、目標は、所望の領域上のパルス期間中に高強度光にさらされるだけでなく、目標がパルス間の漏洩により望ましくない領域上でも高強度光にさらされる。いくつかの実施例において、これは、結果としてパルス間の目標移行中の連続表面損傷になり得る。
【００２０】
一態様において、可変減衰器は、目標から高出力パルスレーザシステムの出力光増幅器に向かって反射した光を含む光路に位置する。可変減衰器は、レーザパルス間の時間中に目標から反射した光から出力光増幅器を分離する。いくつかの実施形態において、可変減衰器は、一次のレーザ発振器で同期制御される。いくつかの他の実施形態において、可変減衰器は、生成したレーザパルスを成形する一次のレーザ発振器から独立して制御される。
【００２１】
図２は、出力光増幅器１０７とレーザ出射窓１０９との間に位置する可変減衰器１０８を含むレーザシステム１００の位置実施形態を示す。図２に示すように、レーザシステム１００の一次のレーザ発振器１０１は、Ｑスイッチ、高反射ミラー１０３によって囲まれた共振光キャビティおよび光カプラー１０５を含む。ゲイン媒体１０４の原子は、外界のエネルギーによって（例えばダイオードレーザ）励起状態へ励起される。ゲイン媒体１０４は、ポンプエネルギーを吸収することによって高エネルギー（「励起」）量子状態にいくつかの電子を発生させる。励起した電子による光誘導放射は、光子を放出し、共振光キャビティ内で共振する光の量を与える光を生成する。励起状態における電子の数が低エネルギー状態における電子の数を超える場合、反転分布は、達成される。この時点で、誘導放射は、吸収の量よりも大きい。従って、一次のレーザ発振器１０１の光キャビティ内で共振する光の量は、増幅される。Ｑスイッチレーザにおいて、励起した電子の集団は、可変減衰器を使用してゲイン媒体１０４のゲインを超える共振光キャビティの内側の損失を導入することにより構築することが許される。これは、線質係数またはキャビティの「Ｑ」を減少させるとして知られる。格納されたポンプエネルギーが所望のレベルに達する場合、損失機構は、速やかに除去され（すなわち、線質係数またはキャビティの「Ｑ」が速やかに切り換えられる）、ゲイン媒体１０４に格納されたエネルギーは、一次のレーザ発振器１０１から放射された光の短パルスへ速やかに転送される。エネルギーの迅速な移転は、結果として、高ピーク出力レベルを有する光の短期パルスとなる。示した実施形態において、音響光学変調器（ＡＯＭ）１０６は、レーザパルスのタイミングを決定する「Ｑスイッチ」として採用される可変減衰器である。ＡＯＭ１０６は、非限定的な例として提示される。可変減衰器の他のタイプは、考慮されてよい。例えば、１以上のポッケルセルは、一次のレーザ発振器１０１の「Ｑスイッチ」として採用されてよい。
【００２２】
一次のレーザ発振器１０１から放射されたレーザ光パルスは、それらがさらに増幅される出力光増幅器１０７を通過する。一次のレーザ発振器１０１と同様に、出力光増幅器１０７は、外界のエネルギー源（例えば、ダイオードレーザ）によって励起されるゲイン媒体を含む。ゲイン媒体は、ポンプエネルギーを吸収し、光誘導放出の工程によって格納されたエネルギーは、増幅器１０７を通過する光のビームに光子として放出される。このように、出力光増幅器１０７を通過する一次のレーザ発振器１０１からの光の量は、増幅した、パルスレーザ光を生成するために増幅される。図２に示すように、増幅したパルスレーザ光は、可変減衰器１０８を通過し、出射窓１０９を通ってレーザシステム１００を出射する。
【００２３】
好ましい実施形態において、可変減衰器１０８は、音響光学変調器（ＡＯＭ）である。ＡＯＭは、その高速スイッチング性能およびレーザ光の偏光特性に対する非感受性のため適切な可変減衰器である。パルスの生成中、ＡＯＭ１０８は、最小限の損失で光を通過させる低減衰状態（すなわち、高伝達効率）に切り換えられる。しかしながら、外部キャビティ１１４（図１に示される）を通る光伝達は、目標表面によって反射した光の増幅を防ぐためにパルス間の時間のかなりの部分のために効果的に減衰されなければならない。ＡＯＭ１０８は、レーザパルス間の時間の期間に対して高減衰状態（すなわち、低伝達効率）に切り換えられることによるレーザパルス間の時間中に目標から反射した光から出力光増幅器を効果的に分離する。ＡＯＭは例として提供されるが、レーザパルス間の寄生光を減衰することに適した任意の他の可変減衰器が考慮されてもよい。例えば、１以上のポッケルセルは、レーザパルス間の寄生光を減衰することに適した可変減衰器１０８として採用されてもよい。一実施例において、非偏光パルスレーザ光は、２つの直交寸法において偏光したパルスレーザ光を生成するために偏光されてもよい。２つのポッケルセルは、それぞれ、偏光された、パルスレーザ光のそれぞれ直交に偏光された部分を減衰する光路に配置されてよい。その結果としてできた直交に偏光されたパルスレーザ光はレーザシステム１００を出射する前に再結合されてもよい。このような実施形態は、パルスレーザ光の偏光に関する損失が許容されるアプリケーションにおいて適切であってよい。
【００２４】
図２に示す実施形態において、一次のレーザ発振器１０１のＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６の両方は、ドライバ１２０によって同期制御される。ドライバ１２０は、ＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６へ伝達される制御信号１３０を生成する。一実施形態において、ドライバ１２０は、ＡＯＭ１０６およびＡＯＭ１０８などのＡＯＭの状態遷移を制御するのに適切な無線周波数ドライバである。制御信号１３０は、ＡＯＭ１０８とＡＯＭ１０６の状態間の遷移のタイミングを決定する。例えば、第１の段階において、制御信号１３０は、第１の状態である。応答において、ＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６は、高減衰（すなわち、低伝達効率または低品質）状態である。第１の段階の継続時間の間、一次のレーザ発振器１０１および増幅器出力増幅器１０７のゲイン媒体における集団の蓄積が発生する。この段階において、ＡＯＭ１０８は、自然発生的に放射された光を目標に達しないように防ぎ、目標から反射した光を一次のレーザ発振器１０１の出力カプラー１０５に達しないように防ぐ。この段階中のＡＯＭ１０８の低伝達効率は、任意の増幅自然放出（ＡＳＥ）効果的に放出し、連続波長漏洩を効果的に除去する。集団が最適値に達する場合、制御信号１３０は、第１の状態から第２の状態に変化する。応答において、ＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６は、低減衰（すなわち、高伝達効率または高品質）状態に切り換える。この第２の段階において、高出力レーザパルスは、レーザシステム１００から生成および放射される。レーザパルスの放射後、制御信号１３０は、第１の状態に戻るように変化する。応答において、ＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６は、高減衰（すなわち、低伝達効率または低品質）状態に戻るよう変化する。このシーケンスは、所定の反復率で繰り返す。
【００２５】
図２に示すレーザシステム１００の実施形態は、また、ドライバ１２０に伝達されるコマンド信号２４０を生成するように採用された１以上のコンピュータシステム２１０を含む。コマンド信号２４０に応じて、ドライバ１２０は、制御信号１３０を生成する。このように、レーザシステム１００によるパルス生成のタイミングは、コンピュータシステム２１０によって決定される。
【００２６】
本開示を通して記載された様々な工程が単一のコンピュータシステム２１０、あるいは、複数のコンピュータシステム２１０によって実行されてよいことは、認識されるべきである。また、レーザパルス間の時間中に目標から反射した光から出力光増幅器を分離する可変減衰器を採用するレーザシステムの異なるサブシステムは、本明細書に記載された工程の少なくとも一部で実行されるのに適したコンピュータシステムを含んでよい。従って、本明細書に提示された説明は、本発明を限定するものでなく一例として解釈されるべきである。さらに、１以上のコンピュータシステム２１０は、本明細書に記載された任意の方法例の他の工程を実行するように構成されてよい。
【００２７】
コンピュータシステム２１０は、有線および／または無線部分を含んでよい伝達媒体によって別のシステムからデータまたは情報を受信および／または取得するように構成されてよい。このように、伝達媒体は、コンピュータシステム２１０と他のサブシステムとの間のデータリンクとして機能してよい。さらに、コンピュータシステム２１０は、記憶媒体（すなわち、メモリ）を介してパラメータまたは命令を受信するように構成されてよい。また、コンピュータシステム２１０は、伝達媒体を介して外部のシステムにデータを送信してもよい。伝達媒体は、有線および／または無線部分を含んでよい。このように、伝達媒体は、コンピュータシステム２１０とサブシステムまたは外部のシステムとの間のデータリンクとして機能してよい。例えば、コンピュータシステム２１０は、コンピュータシステム２１０によって生成されたコマンド信号を外部のシステムまたは他のサブシステムに伝達媒体を介して送信してよい。
【００２８】
コンピュータシステム２１０は、パーソナルコンピュータシステム、メインフレームコンピュータシステム、ワークステーション、画像コンピュータ、並列プロセッサ、または当技術分野で公知の任意の他の装置を含むが、これに限定されない。一般に、「コンピュータシステム」という用語は、記憶媒体からの命令を実行する、１以上のプロセッサを有する任意の装置を包含するように広く定義され得る。
【００２９】
本明細書に記載の方法などを実行するプログラム命令２３０は、キャリア媒体２２０に転送され得るまたは格納され得る。キャリア媒体は、ワイヤー、ケーブル、または無線伝達リンクなどの伝達媒体であってよい。キャリア媒体は、また、読み取り専用メモリ、ランダムアクセスメモリ、磁気または光学ディスク、または磁気テープなどのコンピュータ読み取り可能な媒体を含んでよい。
【００３０】
図３は、本発明の別の実施形態におけるレーザシステム２００を示す。図３に示すように、レーザシステム２００は、図２を参照して記載された同様の番号の要素を含む。しかしながら、レーザシステム２００は、ＡＯＭ１０６を制御するドライバ１２１およびＡＯＭ１０８を制御する分離ドライバ１２２を含む。この方法において、ＡＯＭ１０８およびＡＯＭ１０６の状態遷移のタイミングは、光伝搬時間遅延により修正を適用するように個別に調整されてよい。
【００３１】
図３に示すように、ドライバ１２１は、ＡＯＭ１０６に伝達される制御信号１３１を生成する。制御信号１３１は、ＡＯＭ１０６の状態遷移のタイミングを決定する。また、ドライバ１２２は、ＡＯＭ１０８に伝達される制御信号１３２を生成する。同様に、制御信号１３２は、ＡＯＭ１０８の状態遷移のタイミングを決定する。示した実施形態において、レーザシステム２００は、また、ドライバ１２１に伝達されるコマンド信号２４１を生成するために採用された１以上のコンピュータシステム２１０を含む。コマンド信号２４１に応じて、ドライバ１２１は、制御信号１３１を生成する。同様に、１以上のコンピュータシステム２１０は、ドライバ１２２に伝達されるコマンド信号２４２を生成する。コマンド信号２４２に応じて、ドライバ１２２は、制御信号１３２を生成する。このように、一次のレーザ発振器１０１によるパルス生成のタイミングは、コンピュータシステム２１０によって出力光増幅器１０７によるパルス増幅のタイミングから独立して決定され得る。
【００３２】
図２および３の前述の説明において、１以上の無線周波数ドライバは、ＡＯＭ１０６およびＡＯＭ１０８を制御するために採用される。しかしながら、一般に、各可変減衰器を制御するのに適切なドライバの任意のタイプが考えられる。例えば、いくつかの実施形態において、１以上のポッケルセルは、任意の可変減衰器１０６および１０８のとして採用されてよい。これらの実施形態において、ドライバ１２０、あるいは、任意のドライバ１２１および１２２は、１以上のポッケルセルの状態遷移を制御するのに適切な高電圧ドライバであってよい。
【００３３】
図４は、本発明の別の実施形態におけるレーザシステム３００を示す。図４に示すように、レーザシステム３００は、図２を参照して記載された同様の番号の要素を含む。しかしながら、レーザシステム２００の可変減衰器１０８は、出力光増幅器１０７と一次のレーザ発振器１０１の出力カプラー１０５との間に位置する。
【００３４】
図２〜４に示す実施形態における可変減衰器１０８の位置は、非限定的な例で提供される。一般に、１以上の可変減衰器は、二次共振キャビティの光路の任意の場所に位置してよい。レーザパルス間の光生成するための主要な機構は、一次のレーザ発振器の外の二次共振キャビティの形成である。二次共振キャビティは、目標の表面およびレーザシステムのより反射する表面によって囲まれ、出力光増幅器を含む。従って、１以上の可変減衰器は、二次共振キャビティの共振光路の任意の場所に位置してよい。
【００３５】
図５は、本発明の任意のレーザシステムによる実行に適切な方法４００を示す。一態様において、方法４００のデータ処理ブロックがプログラム命令２３０の一部として格納された予めプログラム化されたアルゴリズムを介して実行され、コンピュータシステム２１０の１以上のプロセッサによって実行されてよいことは、認識される。以下の説明が図２〜４に示すレーザシステムの文脈に提示されているが、レーザシステム１００、２００および３００の特有な構造的特徴が限定していないことは、本明細書で認識され、例示目的のみで解釈されるべきである。
【００３６】
ブロック４０１において、可変減衰器１０８は、目標からパルスレーザシステムのパルス間の時間中にパルスレーザシステムに反射した光の量を減衰する。光の量の減衰は、第１の可変減衰器１０８の状態を変化させることを含む。可変減衰器１０８は、パルスレーザシステムの出力光増幅器１０７および目標の表面１１３を含む光路に配置される。
【００３７】
１以上の例示的実施形態において、記載された機能は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、またはその任意の組み合わせで実施され得る。ソフトウェアにおける実施の場合、機能は、コンピュータ読み取り可能な媒体で１以上の命令またはコードとして格納または伝達されてよい。コンピュータ読み取り可能な媒体は、ある場所から別の場所へのコンピュータプログラムの転送を容易にする任意の媒体を含む、コンピュータ記憶媒体および通信媒体の両方を含む。記憶媒体は、一般用途または特殊用途のコンピュータによってアクセス可能な任意の入手可能な媒体である。例えば、コンピュータ読み取り可能な媒体は、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭまたは他の光学ディスク記憶装置、磁気ディスク記憶装置または他の磁気記憶装置、または命令またはデータ構造の形式で所望のプログラムコード手段を実行または格納するために使用され、一般用途または特殊用途のコンピュータ、または一般用途または特殊用途のプロセッサによってアクセスされ得る任意の他の媒体を含むが、これに限定されない。また、任意の接続は、コンピュータ読み取り可能な媒体が適切に呼ばれる。例えば、ソフトウェアがウェブサイト、サーバ、または他の遠隔ソースから同軸ケーブル、光ファイバーケーブル、より線、デジタル加入者線（ＤＳＬ）または赤外、無線、およびマイクロ波などの無線技術を使用して伝達される場合、同軸ケーブル、光ファイバーケーブル、より線、デジタル加入者線（ＤＳＬ）または赤外、無線、およびマイクロ波などの無線技術は、媒体の定義に含まれる。本明細書中に使用されるディスク（ｄｉｓｋ）およびディスク（ｄｉｓｃ）は、コンパクトディスク（ＣＤ）、レーザディスク、光学ディスク、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、フロッピー（登録商標）ディスクおよびブルーレイディスクを含み、ディスクは、通常、磁気的にデータを再生し、さらに、ディスクは、レーザで光学的に再生する。また、上記の組み合わせもコンピュータ読み取り可能な媒体の範囲に含まれるべきである。
【００３８】
特定の実施形態が教示目的のために上記に記載されるが、この特許文書の教示は、一般的適用性を有しており、上記記載の特定の実施形態に限定されない。従って、記載された実施形態の様々な修正、適応、および組み合わせは、特許請求の範囲に記載の本発明の範囲から逸脱することなく実施され得る。
【図５】
2013219346.tif 000003
【図１】
2013219346.tif 000004
【図２】
2013219346.tif 000005
【図３】
2013219346.tif 000006
【図４】
2013219346.tif 000007
【外国語明細書】
2013219346.tif 000008
2013219346.tif 000009
2013219346.tif 000010
2013219346.tif 000011
2013219346.tif 000012
2013219346.tif 000013
2013219346.tif 000014
2013219346.tif 000015
2013219346.tif 000016
2013219346.tif 000017
2013219346.tif 000018
2013219346.tif 000019
2013219346.tif 000020
2013219346.tif 000021
2013219346.tif 000022
2013219346.tif 000023
2013219346.tif 000024
2013219346.tif 000025
2013219346.tif 000026
2013219346.tif 000027
2013219346.tif 000028
2013219346.tif 000029
2013219346.tif 000030
2013219346.tif 000031
2013219346.tif 000032
2013219346.tif 000033
2013219346.tif 000034