(57)【要約】【課題】本発明が解決しようとする課題は、光源装置を冷却する冷却システムからの冷却液の液漏れを検出し、冷却液の付着に伴う光源や電源の破損を防止することができる光源装置を提供することにある。【解決手段】実施形態の光源装置は、内部に冷却液を流通可能な導電性の冷却部１と、冷却液によって冷却可能なように冷却部１の外部に接続された照射部２１ａ、２１ｂと、冷却部１に対して電気的に絶縁される位置、かつ、冷却部１からの冷却液の液漏れ時に、冷却液が冷却部１との間で架橋可能な位置に設けられた検出電極４１と、検出電極４１と冷却部１との間の電気特性を検出し、その電気特性の変化から液漏れを検出する検出部５１と、を具備する。【選択図】図４
2013200944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に冷却液を流通可能な導電性の冷却部と、
前記冷却液によって冷却可能なように前記冷却部の外部に接続された照射部と、
前記冷却部に対して電気的に絶縁される位置、かつ、前記冷却部からの前記冷却液の液漏れ時に、前記冷却液が前記冷却部との間で架橋可能な位置に設けられた検出電極と、
前記検出電極と前記冷却部との間の電気特性を検出し、その電気特性の変化から前記液漏れを検出する検出部と、
を具備する光源装置。
【請求項２】
前記冷却部は長尺な形状であって、その長手方向が重力方向に対して沿うように配置され、前記照射部は前記冷却部の外部に接続された基板と前記基板上に実装された発光ダイオードとで構成され、前記検出電極は前記基板上の上端部に設けられている請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記照射部に電力を供給する電源部と、前記電源部の駆動を制御する制御回路と、を更に備え、前記制御部は前記検出部が前記液漏れを検出したときに前記電源部の駆動を停止させる請求項１または請求項２に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶や半導体等の製造プロセス、流体の殺菌や光反応処理、照明、
光化学反応等に用いる光源装置は、大光量化が要求されている。大光量を得るには、大電力を投入し光源を点灯する必要があるが、光源や電源から発生する熱の影響により、光源装置の変換効率が低下したり、寿命が短くなる課題がある。
【０００３】
この種の光源装置では、冷却液を使用した液冷式の冷却システムを使用して、光源や電源からの発熱を低減し、高効率化及び長寿命化を図っている。しかし、光源装置の製造不具合や部品の劣化により、冷却システムから冷却液が液漏れすると、例えば、光源または電源に冷却液が付着して電気的短絡を起こし、光源や電源を破損させる恐れがあり、安全性確保のため、液漏れを的確に検出する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、光源装置を冷却する冷却システムからの冷却液の液漏れを検出し、冷却液の付着に伴う光源や電源の破損を防止することができる光源装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態の光源装置は、内部に冷却液を流通可能な導電性の冷却部と、前記冷却液によって冷却可能なように前記冷却部の外部に接続された照射部と、前記冷却部に対して電気的に絶縁される位置、かつ、前記冷却部からの前記冷却液の液漏れ時に、前記冷却液が前記冷却部との間で架橋可能な位置に設けられた検出電極と、前記検出電極と前記冷却部との間の電気特性を検出し、その電気特性の変化から前記液漏れを検出する検出部と、を具備する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態における光源装置を説明するための分解斜視図である。
【図２】図１に示す光源装置の組み立て状態を説明するための外観斜視図である。
【図３】図２に示す光源装置の断面構造を説明するための断面図である。
【図４】光源装置の冷却系及びシステム構成を説明するための概略図である。
【図５】照射部への検出電極の設置例を説明するための外観図である。
【図６】照射部に設けた検出電極を用いて、冷却部からの冷却液の液漏れを検出する方法の概略図である。
【図７】検出部の回路構成及び検出方法を説明するための概略図である。
【図８】第２の実施形態の光源装置を説明するための断面図である。
【図９】図８の構成において、電源部に検出電極を設けて、冷却液の液漏れを検出する方法を説明するための概略図である。
【図１０】第３の実施形態の光源装置を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、発明を実施するための実施形態について説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
第１の実施形態の光源装置を、図面を参照して説明する。図１は、光源装置の分解斜視図で、図２は図１に示す光源装置の組み立て状態を説明するための外観斜視図、図３は図２に示す光源装置の断面構造を説明するための断面図である。図４は、光源装置の冷却系及びシステム構成を説明するための概略図である。尚、図４では、説明を簡略化するため光源装置を平面的に模式化している。
【００１０】
第１の実施形態の光源装置１００は、液晶や半導体等の製造プロセス、流体の殺菌や光反応処理、照明等に用いる光源装置であり、主要部として冷却部１を備えている。
【００１１】
冷却部１は、その外周面に複数の照射部２１ａ、２１ｂを載置するとともに、照射部２１ａ、２１ｂから発生する熱を液冷式で冷却する構成である。
【００１２】
冷却部１は、例えば、図１に示すように、互いに同一形状を成す４つの冷却基体１１１を環状に配置した集合体の開口した両端を、液漏れを防止する接合部材１３１、１３２を介して、それぞれ、蓋部１４１、１５１で固定した構造で、外周形状が略八角星形状で、内周形状が８角形をなす柱状体である。
【００１３】
冷却基体１１１の外装面１１２と内装面１１３との間の内部には、長手方向に貫通した冷却水路１２１〜１２８が、例えば、押し出し成形または、掘削により形成されている。冷却水路１２１〜１２８は、後述する冷却液が循環する経路で、例えば、２つの外装面１１２毎に設けられている。
【００１４】
冷却基体１１１の長手方向の一端側を塞ぐ蓋部１４１には、図４に示すように、冷却水路１２１と１２２、１２３と１２４、１２５と１２６、及び、１２７と１２８を、それぞれ、連結する連結路１４２、１４３、１４４、及び１４５が設けられている。また、冷却基体１１１の長手方向の他端側を塞ぐ蓋部１５１には、冷却水路１２２と１２３、１２４と１２５、及び、１２６と１２７、をそれぞれ連結する連結路１５２、１５３及び１５４と、冷却水路１２１に接続される取水口１５５と、冷却水路１２８に接続される排水口１５６が設けられている。連結路１４２〜１４５、１５２〜１５４は、断面形状が例えば、Ｕ字状である。
【００１５】
これにより、冷却部１内の、取水口１５５と排水口１５６との間に、冷却液を流す一連の流路が形成されている。
【００１６】
冷却基体１１１、及び、蓋部１４１、１５１は、ステンレス、アルミ合金、銅等の導電性の金属で作成される。
【００１７】
接合部材１３１、１３２は、接合面において気密性、水密性を持たせるために用いる固定用シール材である。接合部材１３１、１３２は、ガスケットで、ゴム、樹脂等の絶縁体、金属体、または、絶縁体と金属体の複合体等を、接合形状に合わせてシート状に加工した構成である。
【００１８】
冷却基体１１１の集合体の外周部には、例えば、１６面の矩形形状の外装面１１２が備えられており、連続した山折部と谷折部を備えたつづら折り状に形成されている。外装面１１２には、照射部２１ａと２１ｂとが載置されている。
ここで、谷折部分の外装面１１２間の角度αは、例えば、１３５度で設定され、谷部の一方の外装面１１２に載置される照射部２１ａ、２１ｂからの出射光が、他方の外装面１１２に載置される照射部２１ａ、２１ｂに入射して光損失となることを低減するように調整される。このように、複数の外装面１１２を形成することにより、冷却部１の大型化を招くことなく、複数の照射部２１ａ、２１ｂを効率的に配置することができ、光源装置の大光量化が実現できる。
【００１９】
照射部２１ａ、２１ｂは、例えば、矩形形状の基板２１１の片面に所定数量の発光ダイオード（ＬＥＤ）２１２をマトリクス状に配列した構成である。
【００２０】
基板２１１は、窒化アルミやアルミナ等のセラミックス基板等が使用される。
【００２１】
発光ダイオード２１２は、紫外線、可視光、または赤外線を放射する発光ダイオードで、光源装置１００の用途で必要とされる光放射の波長を有する種類が選定される。発光ダイオード２１２は、例えば、３ｍｍ〜４ｍｍ角の略矩形形状をなす平面実装型の発光ダイオードで、出射面に設けられたレンズ部材により配光特性が調整される。発光ダイオード２１２は、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍの間隔で、基板２１１上に実装される。発光ダイオード２１２は、基板２１１に設けられた配線パターン（図示無）により、電気的に接続され、図４に示すように、電源部２２から電力を供給することで発光する。
【００２２】
照射部２１ａ、２１ｂの点灯に際し発生する熱は、図４に示すように、冷却部１内の、冷却水路１２１〜１２８、連結路１４２〜１４５、１５２〜１５４に冷却液を充填し、循環させることで液冷することが出来る。冷却液は、水、油等が使用される。
【００２３】
例えば、照射部２１ａ、２１ｂからの発熱を受熱した冷却液は、排水口１５６から排出された後、送液管３１を介して、冷液部３２に送り込まれ、冷却される。冷液部３２は、冷却タンクや熱交換器等から構成される。
【００２４】
冷却された冷却液は、例えば、送液管３３、冷却液を循環させるポンプ３４、送液管３５、冷却液の供給量を電子的に制御する電磁バルブ３６、及び、送液管３７を介して、冷却部１の取水口１５５に供給される。
【００２５】
冷却液は、再び、冷却部１の冷却水路１２１〜１２８、連結路１４２〜１４５、１５２〜１５４を循環し、照射部２１ａ、２１ｂからの排熱に利用され、この繰り返しによって、照射部２１ａ、２１ｂを冷却する。照射部２１ａ、２１ｂを冷却することにより、発光ダイオード２１２の温度を低減し、熱による発光効率の低下や部材の熱劣化を抑制することが出来る。
【００２６】
ところで、冷却基体１１１と蓋部１４１、１５１は、接合部材１３１、１３２を介して気密に接合されるが、製造の不具合や、接合部材１３１、１３２等の熱的または経時的な劣化により、気密性が失われ、これらの接合部分から冷却液Ｗの漏れが発生する可能性がある。
【００２７】
これらの接合面からの液漏れを検出するため、冷却部１の冷却基体１１１の外装面１１２に対して電気的に絶縁されている位置（第１の位置条件）と、冷却部１からの液漏れ時に外装面１１２との間に冷却液Ｗが架橋可能な位置（第２の位置条件）の両方を満足する位置に、検出電極４１を配置する。
【００２８】
例えば、冷却部１の長手方向を重力方向に沿うように配置する場合は、液漏れした冷却液は、重力により、下側に移動する性質を有する。この場合、例えば、図５に示すように、最上部に配置される照射部２１ａの基板２１１の発光ダイオード２１２を実装する面側（第１の位置条件）で、基板２１１の上側（第２の位置条件）の位置に直線状の検出電極４１を配置することで、上部の蓋部１５１及び冷却基体１１１と、接合部材１３２との接合面からの液漏れを検出することができる。検出電極４１は導電性で、銀ペーストや、半田、金メッキパターン等を基板２１１上に印刷や、蒸着等により形成したものである。
【００２９】
検出電極４１を用いて、冷却部１からの冷却液Ｗの液漏れを検出する方法の概略図を図６に示す。液漏れがない場合は、図６（ａ）に示すように、検出電極４１と、冷却基体１１１の外装面１１２との間は、絶縁層である空気層及び基板２１１が介在した状態であり、両者間は電気的に絶縁状態である。ここで、冷却基体１１１は、例えば、電源部２２や外部に設けられた接地端子にハーネスを介して接続され、接地処理Ｇが施こされている。
【００３０】
一方、冷却液Ｗの液漏れが発生した際は、例えば、図６（ｂ）に示すように、冷却液Ｗは、重力または表面張力により、冷却基体１１１の外装面１１２に沿って下側に移動し、照射部２１ａの基板２１１上に達する。基板２１１上の検出電極４１と、冷却基体１１１との間に、冷却液Ｗが架橋する、すなわち、連続的につながるようになると、冷却液Ｗは導電性で電気を通電するため、検出電極４１と冷却基体１１１との間の電気的特性、例えば、抵抗、静電容量等が変化する。検出電極４１と冷却基体１１１との間の電気的特性の変化を、検出部５１で検出することにより、冷却液Ｗの液漏れの有無を判定できる。検出部５１は、例えば、図６に示すように、出力端子Ｖｏが設けられており、液漏れが無い場合は低電圧（ｌｏｗ）を出力し、液漏れを検出した場合は高電圧（ｈｉｇｈ）で出力する。
【００３１】
図７に、検出部５１の回路構成の一例を示す。検出部５１は、比較器（コンパレータ）５１１を用いて判定を行う。比較器５１１は、入力電圧Ｖｉと基準電圧Ｖｒを入力し、入力電圧Ｖｉと基準電圧Ｖｒの大小により、異なる出力電圧Ｖoを出力する構成である。例えば、比較器５１１は、入力電圧Ｖｉが基準電圧Ｖｒに対して大きい場合に、出力電圧Ｖoとして低電圧（ｌｏｗ）信号を出力し、逆に、入力電圧Ｖｉが基準電圧Ｖｒに対して小さい場合には、出力電圧Ｖoとして高電圧（ｈｉｇｈ）信号を出力する。
【００３２】
電源Ｖｃと、抵抗Ｒ１と、抵抗Ｒ２とは直列に接続されており、電源Ｖｃと抵抗Ｒ２は、接地処理Ｇされている。ここで、抵抗Ｒ２間の電位が、比較器５１１に基準電圧Ｖｒとして入力される。電源Ｖｃの電位をＥ、抵抗Ｒ１の抵抗値をｒ１、抵抗Ｒ２の抵抗値をｒ２と置くと、基準電圧ＶｒはＶｒ＝ｒ２×Ｅ／（ｒ１＋ｒ２）で与えられる。
【００３３】
一方、検出電極４１からの出力は、抵抗Ｒ３を介して、電源Ｖｃと直列に接続されている。ここで、電源Ｖｃと冷却基体１１１は接地処理Ｇされており、冷却基体１１１の外装面１１２に対する検出電極４１の電位が、比較器５１１に入力電圧Ｖiとして入力される。
【００３４】
図６（ａ）に示すように、検出電極４１と冷却基体１１１との間に冷却液Ｗが存在しない場合は、両者間は絶縁体となるため、入力電圧Ｖｉは、電源Ｖｃの電位Ｅと等しくなり、上述した基準電圧Ｖｒより大きくなり、比較器５１１の出力Ｖｏは、低電圧（ｌｏｗ）信号を出力する。
【００３５】
図６（ｂ）に示すように、検出電極４１と冷却基体１１１との間に冷却液Ｗが介在すると、冷却液Ｗが導電性を有するため、両者間で電流が流れる。すなわち、冷却液Ｗは、等価回路的に抵抗Ｒｗとなる。ここで、冷却液の抵抗Ｒｗの抵抗値をｒｗ、抵抗Ｒ３の抵抗値をｒ３と置くと、入力電圧Ｖｉは、Ｖｉ＝ｒｗ×Ｅ／（ｒ３＋ｒｗ）で与えられる。ここで、抵抗ｒ３は、入力電圧Ｖｉが、基準電圧Ｖｒより小さくなるように調整されており、これにより、比較器５１１は、高電圧（ｈｉｇｈ）信号を出力する。比較器５１１は、冷却液Ｗの液漏れの有無に応じて、異なる信号を出力することができる。
【００３６】
検出部５１からの出力信号Ｖoは、例えば、図４に示すように制御部６１に導かれる。液漏れ異常を検出した制御部６１は、例えば、電源部２２を自動停止させて、照射部２１ａ、２１ｂへの電力供給を遮断する。その結果、照射部２１ａ、２１ｂの冷却液Ｗによる電気的短絡を防止し、照射部２１ａ、２１ｂの破損を事前に防止できる。また、通電された冷却液Ｗによる漏電も防止でき、作業者の安全性も確保できる。
【００３７】
その他、制御部６１に接続された電磁バルブ３６を制御して、冷却部１への冷却液の供給を自動停止させ、冷却液の液漏れの拡大を抑制することや、警報装置６３を動作させて、作業者に警報音や光の点滅で異常を知らせることも可能である。異常を察知した作業者は、操作パネル６２等で、光源装置の停止や、異常からの復旧操作を行うことが可能であり、異常発生時の光源装置の安全性を向上させることが出来る。
（第２の実施形態）
図８及び図９は、光源装置に関する第２の実施形態について説明するためのもので、光源装置の断面図である。この第２の実施形態の各部について、第１の実施形態の光源装置の各部と同一部分は同一符号で示す。
【００３８】
第２の実施形態では、電源部２２は、冷却部１の冷却基体１１１の内装面１１３上に設置されている。これにより電源部２２も、照射部２１ｂと同様に、冷却液によって効率的に冷却できる。
【００３９】
照射部２１ｂを設置する外装面１１２の面積は、電源部２２を設置する内装面１１３の面積より広い構成とすることにより、冷却部１の大型化を招くことなく、複数の照射部２１ｂを効率的に配置することができ、光源装置の大光量化が実現できる。
【００４０】
電源部２２は、例えば、基板２２１に回路部品２２２を実装した構成であるが、回路部品の抵抗やトランジスタ等の発熱部品から発熱する。照射部２１ｂからの発熱量に対して、電源部２２からの発熱量は小さいものの、電源部２２の回路部品２２２が温度上昇すると、回路の誤動作や、回路損失の低下、回路寿命の低下を生じる。電源部２２を、第１の実施形態と同様な原理で、冷却することで、回路部品２２２に対する熱の影響を抑制し、安定した回路動作が確保できると共に、回路効率及び回路寿命の向上を図ることができる。
【００４１】
電源部２２は、例えば、冷却液の向きが異なる２つの冷却水路１２１と１２２、１２３と１２４、１２５と１２６、及び、１２７と１２８を跨るようにして、内装面１１３に配置される。電源部２２を、２つの冷却水路を介して、液冷させることで、冷却効率を向上させることができる。
【００４２】
第２の実施形態では、図９に示すように、冷却部１の長手方向が重力方向に沿うように配置した状態であり、電源部２２の基板２２１の回路部品２２２が実装される面側（第１の位置条件）で、かつ、重力の上側となる蓋部１５１側（第２の位置条件）の位置に、冷却液Ｗの液漏れを検出する検出電極４１を形成している。検出電極４１と冷却部１の冷却基体１１１との間の電気的変化を、第１の実施形態と同様に検出部５１で検出することで、冷却液Ｗの液漏れの有無を検出することができる。
（第３の実施形態）
図１０は、光源装置に関する第３の実施形態について説明するためのもので、光源装置の断面図である。この第３の実施形態の各部について、第１の実施形態の光源装置の各部と同一部分は同一符号で示す。
【００４３】
第３の実施形態では、冷却部１の冷却基体１１１と、蓋部１５１との間に介在する接合部材１３２内に、冷却部１からの液漏れを検出する検出電極４１を配置した構成である。
【００４４】
検出電極４１は、冷却基体１１１及び蓋部１５１との間に、絶縁性の接合部材１３２を介在させることで、検出電極４１と、冷却基体１１１及び蓋部１５１との間の絶縁性を確保している。検出電極４１の、冷却通路１２１〜１２８と対向する側は、空気層に対して露出している。検出電極４１と、冷却基体１１１及び蓋部１５１との間は、接合部材１３２及び空気層を介して離間しており、絶縁状態にある（第１の位置条件）。一方、検出電極４１の、冷却通路１２１〜１２８側は、接合部材１３２で被覆し、冷却通路１２１〜１２８を循環する冷却液を介して、検出電極４１と、冷却基体１１１及びは蓋部１５１とが、通電しないようにしている。
【００４５】
冷却液Ｗの液漏れが発生する際は、検出電極４１と冷却基体１１１、または、検出電極４１と蓋部１５１との間に冷却液が架橋する（第２の位置条件）ように、接合部材１３２の厚みを調整している。
【００４６】
検出電極４１は、検出部５１に接続される。ここで、検出電極４１と出力線との接続を容易にするため、例えば、検出電極４１を部分的に大きくして、冷却部１から突出させ、この突出部分（図示無）で端子を接続する構成を採る。
【００４７】
検出電極４１を用いて、冷却部１からの冷却液Ｗの液漏れを検出する方法を、図１０にて説明する。液漏れがない場合は、図１０（ａ）に示すように、検出電極４１と、冷却基体１１１及び蓋部１５１との間は、絶縁性の接合部材１３２及び空気層が介在した状態であり、両者間は電気を導通しない状態である。ここで、冷却基体１１１または蓋部１５１は、例えば、接地処理Ｇが施こされている。
【００４８】
一方、冷却液Ｗの液漏れが発生した際は、例えば、図１０（ｂ）に示すように、冷却液Ｗは、冷却基体１１１、検出電極４１、接合部材１３２、蓋部１５１の一部表面を覆う。検出電極４１と冷却基体１１１、または、検出電極４１と蓋部１５１との間に、冷却液Ｗが架橋するようになると、冷却液Ｗは導電性で電気を通電するため、検出電極４１と冷却基体１１１、または、検出電極４１と蓋部１５１との間の電気的特性、例えば、抵抗、静電容量等が変化する。検出電極４１と冷却基体１１１、または、検出電極４１と蓋部１５１との間の電気的特性の変化を、第１の実施形態と同様に、検出部５１で検出することで、冷却液Ｗの液漏れの有無を検出することができる。
【００４９】
第１の実施形態および第２の実施形態では、冷却部１の重力の上から下方向に移動する冷却液Ｗの液漏れを検出できるのに対し、第３の実施形態では、検出電極４１を、液漏れが発生する冷却基体１１１の蓋部１４１側の接合面に配置することで、重力による冷却液の漏れ方向を考慮しなくても、冷却液Ｗの液漏れを検出することが可能である。その結果、冷却部１の長手方向を重力方向に沿わせる以外の構成での検出や、冷却基体１１１の蓋部１４１側に加えて、蓋部１５１側での検出も可能となり、液漏れの検出精度を向上できる。
【００５０】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【００５１】
例えば、照射部２１ａ、２１ｂの光源は、用途に応じた光源であればよいので、発光ダイオード以外に、メタルハライドランプ、低圧水銀ランプ、ＨＩＤランプ、または、レーザーダイオード等に置き換えが可能である。電源部２２は、夫々の光源に適した構成とすることができる。
【００５２】
光源装置の使用形態は、長尺状の冷却部１の長手方向を重力方向に沿う方向で配置した構成を示したが、重力方向に対して傾斜させた構成や、水平方向に配置する構成でも良い。この場合、冷却液は重力の下側に移動すると共に、冷却液の表面張力により、冷却部１の一部表面に沿って広がる性質があるため、液漏れの際に冷却液が広がる範囲を実験的・経験的に求め、その部分に検出電極４１を配置する構成でも良い。
【００５３】
冷却部１及び照射部２１ａ、２１ｂは、その周囲を、例えば、石英ガラスを覆い、処理液の内部に浸透させる構成で、使用しても良い。また、この場合、石英ガラスの割れに伴う処理液の漏れを、検出電極４１で検出する構成としても良い。
【００５４】
また、冷却部１による冷却に伴い、空気中の水分が結露し、照射部２１ａ、２１ｂや、電源部２２に付着するため、結露の水分を検出電極４１で検出する構成としても良い。
【００５５】
検出電極４１は、照射部２１ａ、２１ｂの一部または電源部２２の一部に設けた構成を示したが、例えば、図２に示す重力下側の蓋部１４１に、検出電極４１を設けた独立基板を配置し、冷却基体１１１の蓋部１４１側の接合面から下方向に漏れる冷却液を検出する構成でも良い。
【００５６】
検出部５１は、比較器を用いた回路構成を示したが、例えばマイコンを用いてもよい。
【００５７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５８】
１００  光源装置
１  冷却部        
２１ａ、２１ｂ  照射部
２１１  基板
２１２  発光ダイオード（ＬＥＤ）
２２  電源部
４１  検出電極
５１  検出部
６１  制御部
Ｗ  冷却液
【図１】
2013200944.tif 000003
【図２】
2013200944.tif 000004
【図３】
2013200944.tif 000005
【図４】
2013200944.tif 000006
【図５】
2013200944.tif 000007
【図６】
2013200944.tif 000008
【図７】
2013200944.tif 000009
【図８】
2013200944.tif 000010
【図９】
2013200944.tif 000011
【図１０】
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