(57)【要約】      （修正有）【課題】より高精度でハニカム構造体の検査を行なうことができるハニカム構造体の検査方法、製造方法及び検査装置を提供する。【解決手段】上面及び下面に複数の貫通孔が略平行に配置されたハニカム構造体７０の検査方法において、ハニカム構造体７０の表面に対して光を走査しながら照射する照射工程と、照射工程でハニカム構造体７０に照射した光の反射光を受光する受光工程と、照射工程でハニカム構造体７０に照射した照射光Ｒｉの照射角と受光工程で受光した反射光Ｒｏの受光角との関係からハニカム構造体７０の形状に関する形状データを算出する算出工程と、を含む。【選択図】図１
2013238569.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱体の端面に複数の貫通孔であるセルが開口したハニカム構造体の検査方法において、
前記ハニカム構造体の表面に対して光を走査しながら照射する照射工程と、
前記照射工程で前記ハニカム構造体に照射した光の反射光を受光する受光工程と、
前記照射工程で前記ハニカム構造体に照射した光の照射角と前記受光工程で受光した前記反射光の受光角との関係から前記ハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する算出工程と、を含むハニカム構造体の検査方法。
【請求項２】
前記ハニカム構造体は表面に前記ハニカム構造体の基準位置を特定するラベルを有し、
前記照射工程の前に、前記ラベルを用いて前記ハニカム構造体の前記基準位置の特定を行う位置特定工程を更に備える請求項１に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項３】
前記照射工程又は前記受光工程は、前記ハニカム構造体に対する照射位置を変えて複数回行われる請求項１又は２に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項４】
前記算出工程では、前記形状データとして、前記円柱体の前記端面の直径、前記円柱体の直径方向の断面の平均直径、前記円柱体の直径方向の任意の断面の直径、前記円柱体の側面形状の歪みを示す円筒度、前記円柱体の直径方向における断面形状の真円度、前記円柱体の軸方向の断面と前記円柱体の端面に平行な断面との直角度、前記円柱体の側面を基準とした円柱軸と前記円柱体の端面との直角度、前記円柱体の側面を基準とした円柱軸と前記円柱体の端面と平行な断面との直角度、前記円柱体の一方の端面を基準とした円柱軸と前記円柱体の他方の端面との直角度、前記円柱体の一方の端面を基準とした円柱軸と前記円柱体の他方の端面と平行な断面との直角度、側面視における前記円柱体の側面を区画する直線の歪みを示す真直度、前記端面の平面度、前記円柱体の前記端面同士の平行度を示す端面平行度、及び、前記円柱体の軸方向の長さのいずれか一つ以上を算出する請求項１〜３のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項５】
前記算出工程において、前記ハニカム構造体の形状に関する基準データを取得し、前記基準データに対する前記形状データの誤差を算出する請求項１〜４のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項６】
前記算出工程において、前記ハニカム構造体の表面の凹凸、前記ハニカム構造体の表面の割れ、前記ハニカム構造体の表面の欠け又は前記セルの欠陥を検出する請求項１〜５のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項７】
前記形状データを記録して解析する解析工程を更に備える請求項１〜６のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項８】
前記ハニカム構造体として、セラミックス組成物が押出成形されたグリーンハニカム成形体を用いる請求項１〜７のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項９】
前記ハニカム構造体として、グリーンハニカム成形体を乾燥させた成形体、又は、前記成形体を焼成させた焼成成形体を用いる請求項１〜７のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法。
【請求項１０】
セラミックス組成物を押出成形してグリーンハニカム成形体を製造する押出成形工程と、
前記グリーンハニカム成形体を乾燥して乾燥体を製造する乾燥工程と、
焼成による収縮により設計長さとなるように前記乾燥体を切断する切断工程と、
前記切断後の乾燥体を封口させて封口体を製造する封口工程と、
前記封口体を焼成させる焼成工程と、を備え、
前記押出成形工程、前記乾燥工程、前記切断工程、前記封口工程、及び、前記焼成工程のいずれかの後に、請求項１〜９のいずれか１項に記載のハニカム構造体の検査方法によって前記ハニカム構造体についての検査を行う検査工程を備えるハニカム構造体の製造方法。
【請求項１１】
円柱体の端面に複数の貫通孔であるセルが開口したハニカム構造体の検査に用いられる検査装置であって、
前記ハニカム構造体の表面に対して光を走査しながら照射する照射部と、
前記照射部が前記ハニカム構造体に照射した光の反射光を受光する受光部と、
前記照射部が前記ハニカム構造体に照射した光の照射角と前記受光部が受光した前記反射光の受光角との関係から前記ハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する算出部と、
を備えるハニカム構造体の検査装置。
【請求項１２】
前記ハニカム構造体の基準位置を特定する基準位置特定手段を更に備える請求項１１に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１３】
前記基準位置特定手段として、前記ハニカム構造体が載置される台座に、前記ハニカム構造体の前記基準位置を特定するためのラベルを有する請求項１２に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１４】
前記ハニカム構造体を載置した状態で回転可能な台座を更に備える請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のハニカム構造体の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム構造体の検査方法、ハニカム構造体の製造方法及びハニカム構造体の検査装置に関し、特にハニカム構造体の外形を検査するハニカム構造体の検査方法、ハニカム構造体の製造方法及びハニカム構造体の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ：Diesel  particulate  filter）として用いられるハニカムフィルタの欠陥検査方法が知られている。例えば、特許文献１には、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム焼成体からなるハニカム構造体の検査方法が開示されている。特許文献１の方法では、基準面と、当該基準面に垂直に設けられたレールと、当該レールに沿って移動する探針からなる測定子とを備えた接触式計測機を準備する。特許文献１の方法では、基準面にハニカム構造体の一方の端面を接触させ、測定子を基準面に近づける方向に移動せしめてハニカム構造体の他方の端面に探針を接触させることにより、ハニカム構造体の長手方向の形状を計測する。
【０００３】
また、特許文献２には、レーザ光を面状に照射するレーザ光照射部と、当該レーザ光照射部から照射されたレーザ光のすべてを受光するようになっていると共に、受光したレーザ光の強度に応じたレベルの電気信号を検出する受光部とを備えた寸法測定装置を用いてハニカム構造体の外観を検査するハニカム構造体の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２５６２６３号公報
【特許文献２】特開２００８−１３９０４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の方法では、検査項目によっては、測定子をハニカム構造体に接触させる必要があるため、検査工程においてハニカム構造体に欠陥を生じさせるおそれがある。特許文献２の方法では、ハニカム構造体に非接触の状態で検査が可能であるものの、一度にレーザ光が照射される狭い範囲の寸法データしか得られない。また、ハニカム構造体の側面と端面の測定を同時にすることができない。このため、ハニカム構造体全体の寸法を測定するためには、測定に時間がかかる。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、非接触で効率良くハニカム構造体の検査を行なうことができるハニカム構造体の検査方法及びハニカム構造体の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、円柱体の端面に複数の貫通孔であるセルが開口したハニカム構造体の検査方法において、ハニカム構造体の表面に対して光を走査しながら照射する照射工程と、照射工程でハニカム構造体に照射した光の反射光を受光する受光工程と、照射工程でハニカム構造体に照射した光の照射角と受光工程で受光した反射光の受光角との関係からハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する算出工程と、を含む。
【０００８】
この検査方法では、照射工程でハニカム構造体に照射した光の照射角と受光工程で受光した反射光の受光角との関係からの形状に関するデータを算出するため、非接触でハニカム構造体の検査が可能である。よって、押出成形後、乾燥前の軟らかい状態のハニカム構造体を検査することができる。また、ハニカム構造体の表面に対して光を走査しながら照射するため、特許文献２の方法に比べて効率良くハニカム構造体の検査が可能である。よって、上記構成によれば、非接触で効率良くハニカム構造体の検査を行なうことができる。
【０００９】
この場合、ハニカム構造体は表面にハニカム構造体の基準位置を特定するラベルを有し、照射工程の前に、ラベルを用いてハニカム構造体の基準位置の特定を行う位置特定工程を更に備えることが好適である。
【００１０】
この構成では、対称な円柱体のハニカム構造体を検査する場合であっても、ハニカム構造体のどの部分の形状データであるかを正確に把握することができる。
【００１１】
また、照射工程又は受光工程は、ハニカム構造体に対する照射位置を変えて複数回行われることが好適である。この構成では、広い範囲のハニカム構造体の形状データを算出することができる。
【００１２】
また、算出工程では、形状データとして、円柱体の端面直径、円柱体の直径方向の断面の平均直径、円柱体の直径方向の任意の断面の直径、円柱体の側面形状の歪みを示す円筒度、円柱体の直径方向における断面形状の真円度、円柱体の軸方向の断面と円柱体の端面に平行な断面との直角度、円柱体の側面を基準とした円柱軸と円柱体の端面との直角度、円柱体の側面を基準とした円柱軸と円柱体の端面と平行な断面との直角度、円柱体の一方の端面を基準とした円柱軸と円柱体の他方の端面との直角度、円柱体の一方の端面を基準とした円柱軸と円柱体の他方の端面と平行な断面との直角度、側面視における円柱体の側面を区画する真直度、端面の平面度、円柱体の端面同士の平行度を示す端面平行度、及び、円柱体の軸方向の長さのいずれか一つ以上を算出することが好適である。
【００１３】
この構成では、ハニカム構造体の形状について様々な指標により詳細に検査することができる。
【００１４】
また、算出工程において、ハニカム構造体の形状に関する基準データを取得し、基準データに対する形状データの誤差を算出することが好適である。
【００１５】
この構成では、例えば、製造したハニカム構造体の形状が製品として許容範囲にあるか否かを検査することができる。
【００１６】
また、算出工程において、ハニカム構造体の表面の凹凸、ハニカム構造体の表面の割れ、ハニカム構造体表面の欠け又はセルの欠陥を検出することが好適である。
【００１７】
この構成では、製造したハニカム構造体に明らかな欠陥があるか検査することができる。
【００１８】
また、本発明において、形状データを記録して解析する解析工程を更に備えることが好適である。
【００１９】
この構成では、製造したハニカム構造体の形状についてより詳細に検査することができる。
【００２０】
ハニカム構造体として、セラミックス組成物が押出成形されたグリーンハニカム成形体を用いることが好適である。
【００２１】
この構成では、押出成形後、乾燥前の軟らかい状態におけるハニカム構造体を検査することができる。
【００２２】
ハニカム構造体として、グリーンハニカム成形体を乾燥させた成形体、又は、成形体を焼成させた焼成成形体を用いることが好適である。
【００２３】
この構成では、乾燥後の硬化した状態におけるハニカム構造体の形状を検査することができる。
【００２４】
本発明に係るハニカム構造体の製造方法は、セラミックス組成物を押出成形してグリーンハニカム成形体を製造する押出成形工程と、グリーンハニカム成形体を乾燥して乾燥体を製造する乾燥工程と、焼成による収縮により設計長さとなるように乾燥体を切断する切断工程と、切断後の乾燥体を封口させて封口体を製造する封口工程と、封口体を焼成させる焼成工程と、を備え、押出成形工程、乾燥工程、切断工程、封口工程、及び、焼成工程のうち、いずれかの工程の後に、上述したハニカム構造体の検査方法によってハニカム構造体についての検査を行う検査工程を備えることが好適である。
【００２５】
この構成では、各工程の後にハニカム構造体を検査することで、既に欠陥がある中間体を後続の工程に進めることや、最終的に不良品が製造されることを回避できる。
【００２６】
また、本発明に係るハニカム構造体の検査装置は、端面に複数の貫通孔であるセルが開口した円柱体のハニカム構造体の検査に用いられる検査装置であって、ハニカム構造体の表面に対して光を走査しながら照射する照射部と、照射部がハニカム構造体に照射した光の反射光を受光する受光部と、照射部がハニカム構造体に照射した光の照射角と受光部が受光した反射光の受光角との関係からハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する算出部と、を備える。
【００２７】
この本発明に係るハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の基準位置を特定する基準位置特定手段を更に備えることが好適である。
【００２８】
この場合、基準位置特定手段として、ハニカム構造体が載置される台座に、ハニカム構造体の基準位置を特定するためのラベルを有することが好適である。
【００２９】
これらの構成では、ハニカム構造体に印字されているラベルと台座に印字されているラベルとを合わせることで簡単にハニカム構造体の位置合わせができる。
【００３０】
また、本発明に係るハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体を載置した状態で回転可能な台座を更に備えることが好適である。
【００３１】
この構成では、台座を回転させて、ハニカム構造体の検査を複数回又は繰り返すことで、広い範囲におけるハニカム構造体を検査することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のハニカム構造体の検査方法、ハニカム構造体の製造方法及びハニカム構造体の検査装置によれば、非接触で効率良くハニカム構造体の検査を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係るハニカム構造体の検査装置の概略を示した斜視図である。
【図２】（ａ）は封口前のハニカム構造体の斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図である。
【図３】他の断面形状を有する貫通孔を備えたハニカム構造体であり、（ａ）は封口前のハニカム構造体の斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の部分拡大図である。
【図４】本発明の実施形態に係るハニカム構造体の製造方法のフローチャートである。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は図１の装置によって得られた、ハニカム構造体の形状データを製造工程後ごとにカラーマッピング化した図である。
【図６】図１の装置によって得られた、ハニカム構造体の形状データをカラーマッピング化した図であり、（ａ）は押出成形後乾燥前のグリーンハニカム成形体の形状データを示し、（ｂ）はグリーンハニカム成形体を乾燥した成形体の形状データで示した図である。
【図７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ図６（ａ）（ｂ）のカラーマッピング化した図を反対側の側面から示した図である。
【図８】本実施形態に係るカラーマッピングの手順を示すフローチャートである。
【図９】本実施形態に係る寸法測定の手順を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態に係るハニカム構造体の検査方法を説明するための斜視図である。
【図１１】図１０に続く工程を説明するための斜視図である。
【図１２】図１１に続く工程を説明するための斜視図である。
【図１３】カラーマッピング化するための操作画面の模式図である。
【図１４】図１３に続く操作画面の模式図である。
【図１５】図１４に続く操作画面の模式図である。
【図１６】図１５に続く操作画面の模式図である。
【図１７】ハニカム構造体の寸法測定を行うための操作画面の模式図である。
【図１８】図１７に続く操作画面の模式図である。
【図１９】円柱体の軸方向の断面と円柱体の直径方向の断面との直角度を測定するための操作画面の模式図である。
【図２０】図１９に続く操作画面の模式図である。
【図２１】図２０に続く操作画面の模式図である。
【図２２】円柱体の側面を基準とした円柱軸と円柱体の端面と平行な断面との直角度を測定するための操作画面の模式図である。
【図２３】真円度を測定するための操作画面の模式図である。
【図２４】図２３に続く操作画面の模式図である。
【図２５】円筒度を測定するための操作画面の模式図である。
【図２６】図２５に続く操作画面の模式図である。
【図２７】円柱体の軸方向の長さを測定するための操作画面の模式図である。
【図２８】平行度を測定するための操作画面の模式図である。
【図２９】上面平面度を測定するための操作画面の模式図である。
【図３０】下面平面度を測定するための操作画面の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
（ハニカム構造体の検査装置）
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態のハニカム構造体の検査装置は、ＤＰＦ等に用いられるハニカム構造体の外形や表面の欠陥の有無を検査するためのものである。このハニカム構造体の検査装置は、検査対象のハニカム構造体をスキャンして、ハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する。また、検査装置は、ハニカム構造体の基準形状と、検査対象のハニカム構造の形状との誤差を測定することにより、ハニカム構造体の表面の割れや欠けなどを検出する。また、検査装置は、このハニカム構造体の検査装置によって得られるデータに基づき、ハニカム構造体の基準形状からの誤差の度合いを色の濃淡で表示してカラーマッピング化したり、実際に検査対象のハニカム構造体の寸法測定をすることができる。ハニカム構造体の基準形状に関する情報は、ＣＡＤ（computer aided design）データとして予め検査装置に記憶されている。
【００３５】
図１に示すように、本実施形態のハニカム構造体の検査装置１０は、寸法測定装置２０を備える。寸法測定装置２０は、円柱状のハニカム構造体７０の表面に対してレーザ光である光Ｒｉを走査しながら照射する照射部２２と、照射部２２がハニカム構造体に照射した光の反射光Ｒｏを受光する受光部２４と、照射部２２がハニカム構造体７０に照射した光Ｒｉの照射角と受光部２４が受光した反射光Ｒｏの受光角との関係からハニカム構造体７０の形状に関する形状データを算出する算出部２６とを有する。
【００３６】
ハニカム構造体の検査装置１０は、ハニカム構造体７０を載置した状態で回転可能な台座３０を備えており、台座３０には、回転部３２が取り付けられている。
【００３７】
台座３０には、ハニカム構造体７０を載置する領域を囲むように複数のマーク３４が貼り付けられており、マーク３４とハニカム構造体７０との位置関係からマーク３４に対するハニカム構造体７０の相対位置を特定することができる。マーク３４としては、裏面に粘着性の接着剤が塗布された紙片やプラスチックフィルムを用いることができる。また、台座３０に台座用ラベル３６が貼られ、ハニカム構造体７０に構造体用ラベル３８が貼られており、台座用ラベル３６と構造体用ラベル３８との位置を合わせてハニカム構造体７０を載置することで、ハニカム構造体７０の基準位置を特定することができる。寸法測定装置２０には不図示のパーソナルコンピュータが接続されている。寸法測定装置２０により得られた形状データは、パーソナルコンピュータにより処理される。
【００３８】
ここで検査対象となるハニカム構造体７０について説明する。図２（ａ）に示すように、本実施形態に係るハニカム構造体７０は、例えば、上面７１ａ、下面７１ｂ及び側面７１ｃを有し、上面７１ａ及び下面７１ｂに複数の貫通孔（セル）７０ａが略平行に配置された円柱体である。各貫通孔７０ａは隔壁７０ｂによって隔てられており、隔壁７０ｂの厚みは、例えば、０．１５〜０．７６ｍｍとすることができる。なお、グリーンハニカム成形体７０の外形形状は円柱体に限定されず、楕円柱、角柱（例えば三角柱、四角柱、六角柱、八角柱等の正多角柱や、正多角柱以外の三角柱、四角柱、六角柱、八角柱等）等であってもよいが、本実施形態においては、ハニカム構造体７０が円柱体である場合について説明する。ここで、ハニカム構造体７０の軸方向とは、貫通孔７０ａが配置されている方向と平行な方向であり、径方向とは、軸方向と直交する方向であるとする。
【００３９】
ハニカム構造体７０の貫通孔７０ａの断面形状は、特に限定されず、図２（ｂ）に示すように正方形の他、例えば、円形、楕円形、長方形、三角形、六角形等の多角形等が挙げられる。また、貫通孔７０ａには、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。図２（ｂ）に示すように、貫通孔７０ａの断面形状が正方形の場合、複数の貫通孔７０ａは、ハニカム構造体７０において、端面から見て、正方形配置、すなわち、貫通孔７０ａの中心軸が、正方形の頂点にそれぞれ位置するように配置されている。そして、貫通孔７０ａの断面の正方形のサイズは、例えば、一辺０．８〜２．５ｍｍとすることができる。
【００４０】
なお、他の断面形状を有する貫通孔を備えたハニカム構造体７０としては、例えば、図３に示すような断面形状が異なる複数の貫通孔７２ａ，７２ｂを備えたハニカム構造体７０が挙げられる。複数の貫通孔７２ａ，７２ｂは、グリーンハニカム成形体７０の中心軸に略平行に延びる隔壁７２により仕切られている。貫通孔７２ａは断面形状が正六角形であり、貫通孔７２ｂは断面形状が扁平六角形であり貫通孔７２ａを囲むように形成されている。隔壁７２の厚み（セル壁厚）は、０．８ｍｍ以下が好ましく、０．５ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上が好ましく、０．２ｍｍ以上がより好ましい。
【００４１】
また、ハニカム構造体７０の貫通孔７０ａが延びる方向の長さは特に限定されないが、例えば、４０〜３５０ｍｍとすることができる。また、ハニカム構造体７０の外径も特に限定されないが、例えば、１０〜３２０ｍｍとすることできる。
【００４２】
ハニカム構造体７０は、後で焼成することにより上述のような多孔質のセラミクスとなるグリーンハニカム成形体（未焼成成形体）又はグリーンハニカム成形体を焼成した多孔質のセラミクス（焼成体）である。
【００４３】
（ハニカム構造体の製造方法）
次に、本実施形態に係るハニカム構造体の製造方法について説明する。本実施形態に係る製造方法は、ハニカム構造体の検査装置１０を用いてハニカム構造体７０についての検査を行う検査工程を備える。図４は、本発明の実施形態に係るハニカム構造体の製造方法のフローチャートである。
【００４４】
図４に示すように、本実施形態に係る製造方法は、セラミックス組成物を押出成形してグリーン成型体を製造する押出成形工程（Ｓ１）と、グリーンハニカム成形体を乾燥して乾燥体を製造する乾燥工程（Ｓ３）と、精密切断工程（Ｓ５）と、乾燥体の貫通孔７０ａを封口して封口体を製造する封口工程（Ｓ７）と、封口体を焼成させる焼成工程（Ｓ８）と、を備える。本実施形態に係る製造方法は、押出成形工程（Ｓ１）と乾燥工程（Ｓ３）との間に上記検査装置１０を用いた第一検査工程（Ｓ２）を備え、乾燥工程（Ｓ３）と精密切断工程（Ｓ５）との間に上記検査装置１０を用いた第二検査工程（Ｓ４）を備える。また、本実施形態に係る製造方法は、精密切断工程（Ｓ５）と封口工程（Ｓ７）との間に上記検査装置１０を用いた第三検査工程（Ｓ６）を備え、焼成工程（Ｓ８）の後に上記検査装置１０を用いた第四検査工程（Ｓ９）を備える。以下、本実施形態に係る製造方法について説明する。
【００４５】
まず、セラミックス組成物を調製するために、セラミクス原料である無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。無機化合物源粉末は、アルミニウム源粉末、および、チタニウム源粉末を含む。無機化合物源粉末は、さらに、マグネシウム源粉末および／またはケイ素源粉末を含むことができる。
【００４６】
有機バインダとしては、メチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、ヒドロキシアルキルメチルセルロース、ナトリウムカルボキシルメチルセルロースなどのセルロース類；ポリビニルアルコールなどのアルコール類；リグニンスルホン酸塩を例示できる。添加物としては、例えば、造孔剤、潤滑剤および可塑剤、分散剤、溶媒が挙げられる。
【００４７】
用意した原料を混練機等により混合して原料混合物を得、得られた原料混合物を隔壁の断面形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出す（押出成形工程：Ｓ１）。次いで、押出成形したハニカム構造体７０について上記検査装置１０により第一検査工程を行う（Ｓ２）。その後、成形体を乾燥させる（乾燥工程：Ｓ３）。
【００４８】
乾燥後、ハニカム構造体７０に対して上記検査装置１０を用いて第二検査工程を行う（第二検査工程：Ｓ４）。次いで、焼成による収縮により設計の長さとなるよう乾燥体を切断する（精密切断工程：Ｓ５）。この切断体について上記検査装置１０により第三検査工程を行う（Ｓ６）。その後、ハニカム構造体７０の貫通孔７０ａを封口する（封口工程：Ｓ７）。なお、封口工程では、図２の（ｂ）の正方配置された複数の貫通孔７０ａのうち、互いに上下左右に隣接しない関係にある複数の貫通孔７０ａのみが封口材により封口する。ハニカム構造体７０のもう一方の端面では、一方の端面が封口されていない貫通孔７０ａのみが同様に封口材により封口される。次いで、貫通孔７０ａを封口したハニカム構造体７０を焼成して焼成体を得（焼成工程：Ｓ８）、この焼成体について上記検査装置１０により第四検査工程を行う（Ｓ９）。
【００４９】
図５は、ハニカム構造体の検査装置１０によって得られるハニカム構造体７０の形状データを後述するように、カラーマッピング化したものである。図５の上下に並んでいる図は、互いに反対側の側面から示した関係となっている。図５（ａ）は、原料混合物を押出機から押出成形された乾燥前のグリーンハニカム成形体であり、（ｂ）は、押出成形されたグリーンハニカム成形体を乾燥した成形体であり、（ｃ）は、成形体を所望の長さに切断した切断後のグリーンハニカム成形体であり、（ｄ）は、切断後のグリーンハニカム成形体を焼成した焼成体である。
【００５０】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、各製造過程におけるハニカム構造体７０の形状は、乾燥後に水分の蒸発によってグリーンハニカム成形体が収縮して小さくなる。また、図５（ｃ）及び（ｄ）に示すように、焼成後においてもグリーンハニカム成形体が収縮して小さくなる。
【００５１】
また、図５に示すように、カラーマッピングでは、ハニカム構造体７０の基準形状との誤差をカラーバー９０が基準を示す色の濃淡によって表示される。図５において、例えば、（ａ）及び（ｃ）における側面７１ｃなどの色が薄い、基準点９１から近い箇所は、ハニカム構造体の基準形状と誤差がない平坦な箇所であり、（ａ）及び（ｂ）における上面７１ａなどの色が濃いところはハニカム構造体の基準形状よりも凹となっている箇所である。また、（ｂ）における側面７１ｃの正面の一部色が変化している箇所や（ｄ）における上面７１ａの中央部の色が濃いところは、ハニカム構造体の基準形状よりも凸となっている箇所である。
【００５２】
図６及び７は、ハニカム構造体７０として、押出成形された乾燥前のグリーンハニカム成形体（図６及び７の（ａ））及びグリーンハニカム成形体を乾燥した成形体（図６及び７の（ｂ））の形状データを、カラーマッピング化したものである。なお、図６と図７とは、同一のハニカム構造体７０のサンプルをそれぞれ反対側の側面から見た場合における形状データである。
【００５３】
図６及び７に示すように、成形体は、乾燥前のグリーンハニカム成形体よりも上面７１ａが凹んでいることがわかる。また、図７の側面７１ｃには、周りの部分よりも色が濃くなっており、基準形状よりも凹んでいる凹部Ａが存在する。本実施形態におけるハニカム構造体の製造方法では、押出成形時においてハニカム構造体７０を粗切断する際に、ハニカム構造体７０の側面７１ｃを下にして受け台上に設置される。このため、図７の押出成形された乾燥前におけるハニカム構造体７０には、ハニカム構造体７０を支えていた受け台の跡が凹部Ａとして残っている。
【００５４】
このように、ハニカム構造体７０の各製造工程において、寸法及び形状に基準形状との誤差がみられるが、以下に示す本実施形態の検査方法により、それらを効率よく検出することができる。
【００５５】
（ハニカム構造体の検査方法）
次に、本実施形態に係る検査方法の手順について説明する。本実施形態に係る検査方法では、図４に示すように、第一検査工程、第二検査工程、第三検査工程及び第四検査工程を備える。第一検査工程では、原料混合物を押出機から押出成形された乾燥前のグリーンハニカム成形体を検査し、第二検査工程では、乾燥工程後の乾燥体を検査する。第三検査工程では、精密切断工程後の乾燥体を検査し、第四検査工程では、焼成後の焼成体を検査する。また、第一検査工程、第二検査工程及び第三検査工程では、カラーマッピング化によりハニカム構造体７０の外形等を検査し、第四検査工程では、寸法測定を行うことによりハニカム構造体７０外形等を検査する。図８は、カラーマッピング化の手順を示すフローチャートである。ハニカム構造体７０の形状データをカラーマッピング化することにより、基準データからの誤差の度合いを色の濃淡で表すことができ、基準データからの誤差が大きい箇所は濃い色で表示され、誤差が小さくなるに従って薄い色で表示される。すなわち、カラーマッピング化した場合、濃い色で表示されている箇所があると、そのハニカム構造体７０に欠陥があると判断する材料となる。
【００５６】
図９は、寸法測定の手順を示すフローチャートである。第四検査工程では、検査装置１０によって得られたハニカム構造体７０の形状データに基づいて、検査対象のハニカム構造体７０の寸法測定を行う。以下、図１０〜１６を用いてカラーマッピング化の手順について詳細に説明し、図１７〜２９を用いて寸法測定の手順について詳細に説明する。
【００５７】
（カラーマッピング）
カラーマッピング化にあたっては、先ず、図１０に示すように、寸法測定装置２０と台座３０を準備する。また、台座３０上に、複数のマーク３４を貼り付ける。次いで、図１１に示すように、台座３０の上にハニカム構造体７０を位置合わせしながら載置する（Ｓ１１）。ハニカム構造体７０を載置する際、台座３０の台座用ラベル３６とハニカム構造体７０の構造体用ラベル３８の位置を合わせる。この位置合わせによって基準位置が決定される。
【００５８】
次いで、検査対象となるハニカム構造体７０のスキャニングを行う（Ｓ１２）。ハニカム構造体７０のスキャニングは、照射工程と受光工程と算出工程とを経て行われる。まず、図１２に示すように、照射部２２がハニカム構造体７０の表面に対して光を走査しながら照射し（照射工程）、ハニカム構造体に照射した照射光Ｒｉの反射光Ｒｏを受光部２４が受光する（受光工程）。その後、寸法測定装置２０の算出部２６が、照射部２２が照射した照射光Ｒｉの照射角と受光部２４が受光した反射光Ｒｏの受光角との関係からハニカム構造体７０の形状に関する形状データを算出する（算出工程）。
【００５９】
ハニカム構造体７０の形状に関する形状データの算出は、以下の手順によって行われる。まず、照射部２２と受光部２４との間の距離Ｌ、照射部２２と受光部２４とを結んだ直線と照射光Ｒｉのなす角度である照射角θｉおよび反射光Ｒｏの受光部２４への受光角θｏの値を取得する。次に、これらの値を用いて三角形の合同条件から、ハニカム構造体７０の表面上の光の反射位置の絶対座標を算出する。次いで、スキャニングした範囲における複数の光の反射位置をそれぞれ算出し、算出した複数の絶対座標の点群が滑らかに通る円柱形状を最小二乗法により求め、画面上に線図として描画する。このような手順によって画面上に描画された線図を、ハニカム構造体の検査装置１０によって得られたハニカム構造体７０の形状データ（スキャンデータ）とする。
【００６０】
ハニカム構造体７０のスキャニングは、ハニカム構造体７０に対する照射位置を９０度ずつ変えて４回行われ、４回のスキャニングでハニカム構造体７０の全体の形状データを取得する。照射位置は、回転部３２により台座３０を回転させて変えることができる。
【００６１】
次いで、ハニカム構造体の検査装置１０によって得られた形状データをカラーマッピング化する。カラーマッピング化にするにあたっては、専用のソフトウエアを用いてパーソナルコンピュータを操作することにより行うことができる。図１３〜１６は、カラーマッピング化するにあたってパーソナルコンピュータのモニター上に映し出される操作画面である。
【００６２】
カラーマッピング化にあたっては、まず、専用のソフトウエアを立ち上げる。次いで、立ち上げたソフトウエアの自動処理により基準データ７０Ｓが読み込まれる（Ｓ１３）。基準データ７０Ｓが読み込まれると、図１３に示すように、予めパーソナルコンピュータに記憶されている基準データ７０ＳのＣＡＤデータに基づいて、パーソナルコンピュータのモニター上に基準データ７０Ｓの外形が描画される。
【００６３】
基準データ７０Ｓが読み込まれた後、ハニカム構造体の検査装置１０によって得られたハニカム構造体７０の形状データ（スキャンデータ）がソフトウエアの自動処理により読み込まれ、図１４に示すように、線図で示された基準データ７０Ｓとカラーマッピング化されたスキャンデータとが重ね合わせて表示される。この状態において、パーソナルコンピュータへの入力操作により操作画面中に表示されている基準データ７０Ｓとスキャンデータとが選択されると、基準データ７０Ｓとスキャンデータとの座標が合わせられる（Ｓ１４）。この座標合わせの処理は、位置合わせの工程（Ｓ１１）において、得られた基準位置に基づいて行われる。
【００６４】
基準データ７０Ｓとスキャンデータとの座標が合わせられると、ソフトウエアの自動処理によりカラーマッピング化した画像が表示される（Ｓ１５）。カラーマッピング化した画像は、図１５に示すように、基準形状との誤差が濃淡によって表示される。４回の各スキャニングで得られた他のハニカム構造体７０のカラーマッピング化した画像は、図１６に示されるように、ボックスＢの中に小さく表示される。そして、パーソナルコンピュータによる操作によって閲覧したい画像を選択することで選択したハニカム構造体７０のカラーマッピング化した画像を大きく表示させることができる。
【００６５】
このように得られたカラーマッピング化した画像に基づき、次工程に進ませる合格品とするかリサイクル又は廃棄処分とするかの判定をする（Ｓ１６）。すなわち、カラーマッピング化した画像において、基準形状との誤差がある基準値よりも小さかったら次工程に進ませる（Ｓ１７）。一方、基準形状との誤差がある基準値よりも大きかったらリサイクル又は廃棄処分とする（Ｓ１８）。カラーマッピング化した画像において、基準形状との誤差の大きさは、誤差が大きい場合に濃い色で表示され、小さい場合に薄い色で表示される。
【００６６】
（寸法測定）
続いて、ハニカム構造体の検査装置１０によって得られたハニカム構造体の形状データに基づき、ハニカム構造体を寸法測定する際の手順をついて説明する。カラーマッピング化と同様にハニカム構造体７０の位置合わせ（Ｓ２１）、及びスキャニング（Ｓ２２）を行う。次いで、図１７に示すように、基準データ７０Ｓがソフトウエアの自動処理により読み込まれ（Ｓ２３）、基準データ７０Ｓとスキャンデータとの座標合わせが行われる（Ｓ２４）。座標合わせは、図１８に示すように、ハニカム構造体７０の側面７１ｃを側面視した際における基準データ７０Ｓとスキャンデータとの対応する箇所をパーソナルコンピュータへの入力操作により選択することによって行われる。図１８に示す例では、上辺と下辺の中央部と下辺の右部との３点が対応づけられて座標合わせがなされている。
【００６７】
座標合わせが終わった後、ハニカム構造体７０の円柱形状の寸法測定を行う（Ｓ２５）。寸法項目として、円柱体の直径、円筒度、真円度、直角度、真直度、端面平行度、平面度及び、円柱体の軸方向の長さ等を測定することができる。
【００６８】
上記測定項目のうち、円柱体の直径と円柱体の軸方向の長さは、ハニカム構造体７０の複数の箇所について測定した後、その平均値を最終的な測定値とする。円筒度、真円度、直角度、真直度、端面平行度、及び平面度は、ハニカム構造体７０の複数の箇所について測定した後、その最大値を最終的な測定値とする。これらの測定値は、予めパーソナルコンピュータにより入力した公差と比べられる。なお、公差とは、各測定項目の測定値の誤差の許容範囲であり、測定値と公差との比較により製造したハニカム構造体の形状が製品として許容範囲にあるか否かを判定することができる。
【００６９】
本実施形態では、直角度、真円度、円柱体の直径、円筒度、円柱体の軸方向の長さ、端面平行度及び平面度をパーソナルコンピュータの操作画面上で求める手順を説明する。なお、各寸法測定は、線図又は点図により描画した円柱体上に表示することもできるが、カラーマッピング化された画像上に表示することもできる。
【００７０】
（直角度）
図１９〜２１を用いて直角度を測定する手順を説明する。本実施形態で測定するのは、ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面との直角度、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面と平行な断面との直角度、ハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面との直角度、及びハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面と平行な断面との直角度である。この測定は、以下の手順によりパーソナルコンピュータの操作画面上で自動的に行われる。まず、図１９〜２１を用いて、ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度の測定方法の手順について説明した後、図２２を用いて、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面との直角度、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面と平行な断面との直角度、ハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面との直角度、及びハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面と平行な断面との直角度の測定方法の手順を説明する。
【００７１】
ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度を測定するため、図１９に示されるように、パーソナルコンピュータの操作画面上に互いに直交する軸方向の第一断面７０ｓ１及び第二断面７０ｓ２が用意され、第一断面７０ｓ１と第二断面７０ｓ２との直交部に基づいて仮の円柱軸７０ｐ０が作成される。
【００７２】
次いで、図２０に示すように、仮の円柱軸７０ｐ０を通り、円柱体を等間隔に１２分割した断面がハニカム構造体７０の軸方向の断面として用意され、基準面である上面７１ａに対するハニカム構造体７０の軸方向の各断面についての直角度がそれぞれ算出される。基準データ７０Ｓでは、上面７１ａに対する軸方向の各断面の角度が９０度であり、直角度の測定は、基準データ７０Ｓとの上面７１ａに対する軸方向の各断面の角度の誤差を測定することにより行われる。具体的には、スキャンデータと基準データ７０Ｓとの円柱体の上面７１ａを合わせた場合における、基準データ７０Ｓと比較した各断面において互いに対向する高さ方向の二辺（第一辺７０ｃ，第二辺７０ｄ）の長さの誤差（単位ｍｍ）をハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度として算出する。このような方法により、１２分割した断面における全ての高さ方向の辺（２４辺）について直角度を求め、それらの最大値を最終的なハニカム構造体７０の直角度の測定値とする。
【００７３】
本実施形態では、ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度の算出の一例として、図２１に示すカラーマッピング化された画像上に、第一辺７０ｃ及び第二辺７０ｄについての直角度を算出する場合を説明する。図２１に示されるように、パーソナルコンピュータの操作画面では、基準面である上面７１ａと同じ高さで延在する上基準面７１Ａと、下面７１ｂを含んで延在する底基準面７１Ｂとが表示される。その後、パーソナルコンピュータによる操作により直角度の公差が入力され、第一辺７０ｃ及び第二辺７０ｄがそれぞれパーソナルコンピュータへの入力操作により選択される。このような手順により、操作画面上に、第一辺７０ｃ及び第二辺７０ｄの直角度が表示される。
【００７４】
図２１に示される例では、第一辺７０ｃが対応する基準データ７０Ｓの辺と比較して径方向に「０．５５ｍｍ」ずれており、第二辺７０ｄが対応する基準データ７０Ｓの辺と比較して径方向に「０．２８６ｍｍ」ずれていることがわかる。ここで、パーソナルコンピュータによる操作により入力した公差が「０．３０ｍｍ」であった場合、図２１に示される例では、直角度の最大値が入力した公差よりも大きく、直角度については公差よりも大きい。
【００７５】
次に、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面と平行な断面との直角度、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面との直角度、ハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面との直角度、及びハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面と平行な断面との直角度の測定手順について説明する。
【００７６】
ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面と平行な断面との直角度、及びハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面との直角度の測定においては、図２２（ａ）に示すように、パーソナルコンピュータの操作画面では、基準面である上面７１ａと同じ高さで延在する上基準面７１Ａと、下面７１ｂを含んで延在する底基準面７１Ｂとが用意される。また、ハニカム構造体７０の側面上において上基準面７１Ａから等距離（同じ高さ）にある点の集合である円形状の中心が求められる。この中心は、上基準面７１Ａからの距離それぞれについて複数個求められる。上基準面７１Ａからの距離それぞれについて求められた中心それぞれから最も近い距離を通過する直線を最小二乗法により求めることにより、ハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸７０ｐ１が求められる。
【００７７】
その後、上面７１ａの中心を通り、上面７１ａに対して垂直に伸びる垂線７０ｖと、上基準面７１Ａと平行になるような任意の面７１Ｒで切った断面７１ｒとが作成される。このとき、垂線７０ｖが任意の面７１Ｒで交わる点７１ｖと、側面を基準とする円柱軸７０ｐ１が任意の面７１Ｒで交わる点７１ｐ１との距離ｔ１（単位ｍｍ）をハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面と平行な断面との直角度として算出する。基準データ７０Ｓでは、点７１ｖと点７１ｐ１は一致することから、距離ｔ１が基準データ７０Ｓと比較した誤差となる。
【００７８】
また、図２２（ａ）において、垂線７０ｖが底基準面７１Ｂと交わる点７２ｖと、円柱軸７０ｐ１が底基準面７１Ｂで交わる点７２ｐ１との距離ｔ２（単位ｍｍ）をハニカム構造体７０の側面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の端面との直角度として算出する。基準データ７０Ｓでは、点７２ｖと点７２ｐ１は一致することから、距離ｔ２が基準データ７０Ｓと比較した誤差となる。このように得られた直角度の測定結果は、ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度の測定時と同様に、カラーマッピング化された画像上に表示される。なお、図２２（ａ）では、直角度を説明する都合上、ハニカム構造体７０の円柱軸７０ｐ１が上面７１ａ及び下面７１ｂに対して垂直となっていない。
【００７９】
ハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面との直角度、及びハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面と平行な断面との直角度の測定においては、図２２（ｂ）に示すように、パーソナルコンピュータの操作画面では、基準面である上面７１ａと同じ高さで延在する上基準面７１Ａと、下面７１ｂを含んで延在する底基準面７１Ｂとが用意される。その後、上面７１ａの中心を通り、上面７１ａに対して垂直に伸びる垂線７０ｖと、上基準面７１Ａと平行になるような任意の面７１Ｒで切った断面７１ｒとが作成される。このとき、垂線７０ｖが任意の面７１Ｒで交わる点７１ｖと、下面７１ｂに垂直な円柱軸７０ｐ２が任意の面７１Ｒで交わる点７１ｐ２との距離ｔ１（単位ｍｍ）をハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面と平行な断面との直角度として算出する。基準データ７０Ｓでは、点７１ｖと点７１ｐ２は一致することから、距離ｔ１が基準データ７０Ｓと比較した誤差となる。
【００８０】
また、図２２（ｂ）において、垂線７０ｖが底基準面７１Ｂと交わる点７２ｖと、円柱軸７０ｐ２が底基準面７１Ｂで交わる点７２ｐ２との距離ｔ２（単位ｍｍ）をハニカム構造体７０の一方の端面を基準とした円柱軸とハニカム構造体７０の他方の端面との直角度として算出する。基準データ７０Ｓでは、点７２ｖと点７２ｐ２は一致することから、距離ｔ２が基準データ７０Ｓと比較した誤差となる。このように得られた直角度の測定結果は、ハニカム構造体７０の軸方向の断面とハニカム構造体７０の直径方向の断面との直角度の測定時と同様に、カラーマッピング化された画像上に表示される。なお、図２２（ｂ）では、直角度を説明する都合上、ハニカム構造体７０の上面７１ａが水平となっていない。
【００８１】
（真円度、直径）
次に、図２３及び２４を用いて真円度を測定する手順を説明する。真円度を測定することにより、ハニカム構造体７０の円柱体の直径方向における断面形状の歪みを把握することができる。基準データ７０Ｓでは、円柱体の直径方向における断面形状が真円であり、真円度の測定は、スキャンデータと基準データ７０Ｓとの各断面における半径の誤差を求める測定のほか、各面において最小二乗法にて求めた真円との誤差を測定することにより行われる。この測定は、以下の手順によりパーソナルコンピュータの操作画面上で自動的に行われる。
【００８２】
まず、図２３に示すように、円柱体を軸方向に等間隔に１０箇所輪切りにした円柱体の断面７０ｅが用意される。なお、円柱体の直径方向における断面数は１０箇所以上、又は１０箇所以下であってもよい。円柱体の断面７０ｅのそれぞれは、設置面である円柱体の底基準面７１Ｂに対して平行となるような１０個の基準面７１Ｅを等間隔に用意し、各基準面７１Ｅに沿うように円柱体を輪切りすることによって得られる。そして、基準データ７０Ｓに対するスキャンデータの断面７０ｅそれぞれにおける半径の誤差（単位ｍｍ）を求め、それらの最大値を取得することにより求められる。
【００８３】
本実施形態では、図２４を用いて、基準面７１Ｅと基準面７１Ｆに基づいて得られた断面７０ｅ及び断面７０ｆの真円度を算出する場合を説明する。パーソナルコンピュータへの入力操作により真円度の公差が入力された後、基準面７１Ｅと基準面７１Ｆが選択される。このような手順により、図２４に示されるように、操作画面上に、断面７０ｅ及び断面７０ｆの真円度が表示される。図２４に示される例では、断面７０ｅの真円度が「０．１４５ｍｍ」であり、断面７０ｆの真円度が「０．０６３ｍｍ」となる。例えば、パーソナルコンピュータによる操作により入力した公差が「０．３０ｍｍ」であった場合、断面７０ｅ及び断面７０ｆの真円度は許容範囲内である。よって、図２４に示される例では、真円度の最大値が公差よりも小さく、真円度については公差よりも小さい。
【００８４】
円柱体の端面の直径は、真円度を算出する際に用意した１０個の円柱体の断面７０ｅを用いて測定される。直径は、１０個の円柱体の断面のそれぞれの直径を求めた後、その平均値を最終的な円柱体の直径（平均直径）の測定値とする。
【００８５】
（円筒度）
図２５及び２６を用いて円筒度を測定する手順を説明する。円筒度を測定することにより、ハニカム構造体７０の円柱体の側面形状の歪みを把握することができる。基準データ７０Ｓでは、円柱体の側面形状の歪みが全くないそのため、円筒度の測定は、基準データ７０Ｓとのスキャンデータとの誤差を測定することにより行われる。この測定は、以下の手順によりパーソナルコンピュータの操作画面上で自動的に行われる。
【００８６】
まず、図２５に示すように、上述のように求めた円柱軸７０ｐ１を通り半径７０ｔを含むような半円柱７０ｇが用意される。この状態で、パーソナルコンピュータへの操作により円筒度の公差を入力すると、図２６に示すように、操作画面上に、基準データ７０Ｓとスキャンデータとの円柱軸７０ｐ１を合わせた際における、基準データ７０Ｓに対する半径７０ｔの誤差が円筒度として表示される。円筒度は、円柱軸７０ｐ１を通り半径７０ｔとは異なる半径を含むような別の半円柱を複数用いて、複数の円筒度を得、その最大値を最終的な円柱体の円筒度の測定値とする。
【００８７】
（軸方向の長さ）
図２７を用いて軸方向の長さを測定する手順を説明する。図２７に示すように、まず、円柱体の上面７１ａ及び上面７１ａが延在した上基準面７１Ａと、下面７１ｂ及び下面７１ｂを含んで延在した底基準面７１Ｂとが操作画面上に示される。次いで、上基準面７１Ａと底基準面７１Ｂとの間の長さが求められる。図２７に示される例では、軸方向の長さが「１５２．４３９４ｍｍ」となる。この操作を何度か繰り返して複数の軸方向の長さを得て、その平均値を最終的な円柱体の軸方向の長さの測定値とする。
【００８８】
（端面平行度）
図２８を用いて端面平行度を測定する手順を説明する。基準データ７０Ｓでは、円柱体の端面同士が平行であり、端面平行度の測定は、基準データ７０Ｓとのスキャンデータの誤差を測定する。その手順は、図２８に示すように、まず、円柱体の上面７１ａ及び上面７１ａを延在させた上基準面７１Ａと、下面７１ｂ及び下面７１ｂが延在した底基準面７１Ｂとを操作画面上に表示させる。底基準面７１Ｂを基準ターデム面とし、基準データを参照して公差を比較しつつ、底基準面７１Ｂに対して上基準面７１Ａの軸方向における基準データ７０Ｓとの誤差（単位ｍｍ）の最大値をハニカム構造体７０の平行度として算出する。図２８に示される例では、平行度が「０．０４３２ｍｍ」となる。
【００８９】
（上面平面度）
図２９を用いて上面平面度を測定する手順を説明する。ここでいう上面とは、ハニカム構造体７０の製造工程において上を向いている面である。図２９に示すように、まず、円柱体の上面７０ｉｎ及び上面７０ｉｎを延在させた上基準面７１ｉｎと、下面７０ｏｕｔ及び下面７０ｏｕｔを延在させた下基準面７１ｏｕｔと、を操作画面上に表示させる。次いで、スキャンデータの上面７０ｉｎ上における最大の凸部と最大の凹部の差を上面平面度として算出する。図２９に示される例では、上面平面度が「０．１１２３ｍｍ」となる。円筒度は、上述した方法で得られ、図２９に示す例では、上面平面度と合わせてカラーマッピング化した画像上に表示されている。
【００９０】
（下面平面度）
図３０を用いて下面平面度を測定する手順を説明する。下面平面度を測定することにより、ハニカム構造体７０の下面における凹凸度を把握することができる。ここでいう下面とは、ハニカム構造体７０の製造過程において下を向いている面、すなわち製造装置上に設置される面である。図３０には、図２９の例と上下が反転したカラーマッピング画像が表示されている。下面平面度は、下面７０ｏｕｔ上における最大の凸部と最大の凹部の差として算出される。図３０に示される例では、上面平面度が「１．１６４４ｍｍ」となる。
【００９１】
このようにハニカム構造体７０の寸法測定を行った後、測定した測定値と公差との大小に基づいて次工程に進ませる合格品とするかリサイクル又は廃棄処分とするか判定する（Ｓ２６）。すなわち、測定値が公差よりも小さい場合は次工程に進ませる（Ｓ２７）。一方、測定値が公差よりも大きい場合はリサイクル又は廃棄処分とする（Ｓ２８）。
【００９２】
また、ハニカム構造体７０の寸法測定を行った後、次工程に進ませる合格品とするかリサイクル又は廃棄処分とするか判定するため、ハニカム構造体７０の形状データを記録して解析する解析工程をさらに備えることができる。解析工程は、寸法測定装置２０とは別の図示しないパーソナルコンピュータを用いて行うことができる。この構成によれば、製造したハニカム構造体７０の形状についてより詳細に検査したうえで、合格品とするかリサイクル又は廃棄処分とするか判定することができる。
【００９３】
本実施形態に係る検査方法では、上面７１ａ及び下面７１ｂに複数の貫通孔（セル）７０ａが略平行に配置された円柱体のハニカム構造体７０の検査方法であって、ハニカム構造体７０の表面に対して光を走査しながら照射する照射工程と、照射工程でハニカム構造体７０に照射した照射光Ｒｉの反射光Ｒｏを受光する受光工程と、照射工程でハニカム構造体７０に照射した照射光Ｒｉの照射角と受光工程で受光した反射光Ｒｏの受光角との関係からハニカム構造体の形状に関する形状データを算出する算出工程と、を含む。
【００９４】
この検査方法では、照射工程でハニカム構造体７０に照射した照射光Ｒｉの照射角と受光工程で受光した反射光Ｒｏの受光角との関係からのハニカム構造体７０の形状に関するデータを算出するため、非接触でハニカム構造体７０の検査が可能である。よって、押出成形後、乾燥前の軟らかい状態のグリーン成形体を検査することができる。また、ハニカム構造体７０の表面に対して光を走査しながら照射するため、特許文献２の方法に比べて効率良くハニカム構造体７０の検査が可能である。よって、上記構成によれば、非接触で効率良くハニカム構造体７０の検査を行なうことができる。
【００９５】
また、本実施形態に係る検査方法では、ハニカム構造体は７０表面にハニカム構造体７０の基準位置を特定するマーク３４を有し、照射工程の前に、マーク３４を用いてハニカム構造体７０の基準位置の特定を行う位置特定工程を更に備えている。この構成によれば、対称な円柱体のハニカム構造体７０を検査する場合であっても、ハニカム構造体７０のどの部分の形状データであるかを正確に把握することができる。
【００９６】
また、本実施形態に係る検査方法において、ハニカム構造体７０のスキャニング（照射工程、受光工程及び算出工程）は、ハニカム構造体に対する照射位置を９０度ずつ変えて計４回行われる。この構成によれば、４回のスキャニングによりハニカム構造体の全部の形状データを取得することができる。
【００９７】
また、算出工程において、ハニカム構造体の形状に関する基準データ７０Ｓを取得し、基準データ７０Ｓに対する形状データの誤差を算出している。この構成によれば、例えば、製造したハニカム構造体７０の形状が製品として許容範囲にあるか否かを検査することができる。
【００９８】
本実施形態では、ハニカム構造体として、セラミックス組成物が押出成形されたグリーンハニカム成形体を用いている。この構成によれば、押出成形後、乾燥前の軟らかい状態におけるハニカム構造体を検査することができる。
【００９９】
また、ハニカム構造体として、グリーンハニカム成形体を乾燥させた成形体、又は、成形体を焼成させた焼成成形体を用いている。この構成によれば、乾燥後の硬化した状態におけるハニカム構造体の形状を検査することができる。
【０１００】
本実施形態に係るハニカム構造体の製造方法は、押出成形工程（Ｓ１）と乾燥工程（Ｓ３）との間に第一検査工程を備え、乾燥工程（Ｓ３）と精密切断工程（Ｓ５）との間に第二検査工程（Ｓ４）を備える。また、本実施形態に係るハニカム構造体の製造方法は、精密切断工程（Ｓ５）と封口工程（Ｓ７）との間に第三検査工程（Ｓ６）を備えている。このため、ハニカム構造体７０の製造の途中で既に欠陥がある中間体を後続の工程に進めることや、不良品が製造されることを回避できる。
【０１０１】
本実施形態に係るハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の基準位置を特定する基準位置特定手段としてマーク３４と、台座用ラベル３６及び構造体用ラベル３８を備えている。この構成によれば、台座用ラベル３６と構造体用ラベル３８とを合わせることで簡単にハニカム構造体の位置合わせができる。
【０１０２】
また、本実施形態に係るハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体を載置した状態で回転可能な台座３０を備えている。このような構成によれば、台座３０を回転させて、ハニカム構造体７０の検査を複数回又は繰り返すことで、広い範囲におけるハニカム構造体７０を検査することができる。
【０１０３】
本発明は上記実施形態に限定されずさまざまな変形形態が可能である。例えば、本実施形態に係る検査装置では、マーク３４と、台座用ラベル３６及び構造体用ラベル３８の両方でハニカム構造体７０の相対位置を特定していたが、マーク３４又は台座用ラベル３６及び構造体用ラベル３８のどちらかを用いてハニカム構造体７０の相対位置を特定してもよい。また、本実施形態に係る検査装置１０では、ハニカム構造体７０を載置した状態で回転可能な台座３０を備えていたが、台座３０を備えていなくてもよい。この場合、寸法測定装置２０の位置を変えることでハニカム構造体７０への光の照射位置を変えることができる。また、ハニカム構造体７０の検査中に、ハニカム構造体７０の端面を傷つけないよう台座３０の上に更に別の追加台座を載せてもよく、追加台座の形状は、載せるハニカム構造体７０の形状に合わせて円筒状等を選択することができる。
【０１０４】
本実施形態に係る製造方法では、押出成形工程（Ｓ１）と乾燥工程（Ｓ３）との間に第一検査工程を備え、乾燥工程（Ｓ３）と精密切断工程（Ｓ５）との間に第二検査工程（Ｓ４）を備えている。また、本実施形態に係る製造方法は、精密切断工程（Ｓ５）と封口工程（Ｓ７）との間に第三検査工程（Ｓ６）を備え、焼成工程（Ｓ８）の後に第四検査工程（Ｓ９）を備えていたが、これらの各検査工程のタイミングは上記タイミングに限られない。また、検査精度を向上させるため、各検査工程を複数回行っても構わず、さらに多くの検査工程をほかの工程間に追加してもよい。また、生産効率を高めるために、第四検査工程以外の検査は省略しても構わない。
【符号の説明】
【０１０５】
１０…検査装置、２０…寸法測定装置、２２…照射部、２４…受光部、２６…算出部、３０…台座、３４…マーク、３６…台座用ラベル、３８…構造体用ラベル、７０…ハニカム構造体、７０ａ…貫通孔、７０ｂ…隔壁、７１ａ…上面、７１ｂ…下面、７１ｃ…側面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２１】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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