(57)【要約】【課題】測定精度が低下してしまうのを抑制することのできる静電容量式センサを得る。【解決手段】静電容量式センサ１は、可動電極７と、可動電極７との共働で第１の静電容量発生部１３を形成する第１の固定電極８Ａと、可動電極７との共働で第２の静電容量発生部１４を形成する第２の固定電極８Ｂと、可動電極７を保持するばね部９と、を備えている。そして、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とが、可動電極７の重心Ｇを挟んで、可動電極７の移動方向の前後に配置されている。【選択図】図１
2013092376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動電極と、
前記可動電極との共働で第１の静電容量発生部を形成する第１の固定電極と、
前記可動電極との共働で第２の静電容量発生部を形成する第２の固定電極と、
前記可動電極を保持するばね部と、を備える静電容量式センサであって、
前記第１の静電容量発生部と前記第２の静電容量発生部とが、前記可動電極の重心を挟んで、前記可動電極の移動方向の前後に配置されていることを特徴とする静電容量式センサ。
【請求項２】
前記第１の静電容量発生部および前記第２の静電容量発生部は、前記可動電極の重心を通り前記移動方向に延在する仮想線が前記第１の静電容量発生部および前記第２の静電容量発生部の左右方向中央部を通るように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の静電容量式センサ。
【請求項３】
前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、
前記可動電極幹部は、前記移動方向の片側端部領域が前記可動電極の左右方向一側部に配置され、前記移動方向の他側端部領域が前記可動電極の左右方向他側部に配置されており、
前記第１の固定電極の第１固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第２の固定電極の第２固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、
前記可動電極幹部の片側端部領域と前記第１固定電極幹部との間に前記第１の静電容量発生部が形成され、前記可動電極幹部の他側端部領域と前記第２固定電極幹部との間に前記第２の静電容量発生部が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の静電容量式センサ。
【請求項４】
前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、
前記可動電極幹部は、前記可動電極の左右方向片側で前記基部どうしを連結する連結幹部を有しており、
前記第１の固定電極の第１固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第２の固定電極の第２固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、
前記連結幹部の片側端部領域と前記第１固定電極幹部との間に前記第１の静電容量発生部が形成され、前記連結幹部の他側端部領域と前記第２固定電極幹部との間に前記第２の静電容量発生部が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の静電容量式センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量式センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、静電容量式センサとして、左右両端から一対の可動側櫛歯状部が突設され、前後方向に移動可能な可動電極と、それぞれの可動側櫛歯状部と対向するように配置される固定側櫛歯状部が突設された固定電極と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１では、２つの固定電極が設けられており、一方の固定電極は、固定側櫛歯状部が可動電極の左右一方の可動側櫛歯状部と対向するように配置され、他方の固定電極は、固定側櫛歯状部が可動電極の他方の可動側櫛歯状部と対向するように配置されている。
【０００４】
そして、左右一方に配置された可動側櫛歯状部と固定側櫛歯状部とで第１の静電容量発生部が形成されており、他方に配置された可動側櫛歯状部と固定側櫛歯状部とで第２の静電容量発生部が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２６３７４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の静電容量式センサでは、第１の静電容量発生部と第２の静電容量発生部とが、可動電極の重心を挟んで左右に配置されている。
【０００７】
ところで、通常の使用状態では、第１の静電容量発生部では、移動方向一側に静電吸引力が働いており、第２の静電容量発生部では、移動方向他側に静電吸引力が働いている。
【０００８】
このように、それぞれの静電容量発生部に働く静電吸引力は、可動電極の重心を挟んだ左右両側で互いに逆方向に作用することになるため、可動電極に重心廻りの回転トルクが発生してしまう。
【０００９】
このように、可動電極に重心廻りの回転トルクが発生すると、可動電極が回転トルクの作用方向に微少量変位してしまうおそれがある。そして、可動電極が回転トルクの作用方向に微少量変位してしまうと、オフセット電圧に微少なドリフトが生じてしまい、静電容量式センサの測定精度が低下してしまうおそれがある。
【００１０】
そこで、本発明は、測定精度が低下してしまうのを抑制することのできる静電容量式センサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の特徴は、可動電極と、前記可動電極との共働で第１の静電容量発生部を形成する第１の固定電極と、前記可動電極との共働で第２の静電容量発生部を形成する第２の固定電極と、前記可動電極を保持するばね部と、を備える静電容量式センサであって、前記第１の静電容量発生部と前記第２の静電容量発生部とが、前記可動電極の重心を挟んで、前記可動電極の移動方向の前後に配置されていることを要旨とする。
【００１２】
本発明の第２の特徴は、前記第１の静電容量発生部および前記第２の静電容量発生部は、前記可動電極の重心を通り前記移動方向に延在する仮想線が前記第１の静電容量発生部および前記第２の静電容量発生部の左右方向中央部を通るように形成されていることを要旨とする。
【００１３】
本発明の第３の特徴は、前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記移動方向の片側端部領域が前記可動電極の左右方向一側部に配置され、前記移動方向の他側端部領域が前記可動電極の左右方向他側部に配置されており、前記第１の固定電極の第１固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第２の固定電極の第２固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記可動電極幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記可動電極幹部の片側端部領域と前記第１固定電極幹部との間に前記第１の静電容量発生部が形成され、前記可動電極幹部の他側端部領域と前記第２固定電極幹部との間に前記第２の静電容量発生部が形成されていることを要旨とする。
【００１４】
本発明の第４の特徴は、前記可動電極は、前記移動方向両端部に設けられる基部と、当該基部どうしを連結する可動電極幹部とを有しており、前記可動電極幹部は、前記可動電極の左右方向片側で前記基部どうしを連結する連結幹部を有しており、前記第１の固定電極の第１固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の片側端部領域と対向するように配置され、前記第２の固定電極の第２固定電極幹部が、前記移動方向と交差する方向で前記連結幹部の他側端部領域と対向するように配置されており、前記連結幹部の片側端部領域と前記第１固定電極幹部との間に前記第１の静電容量発生部が形成され、前記連結幹部の他側端部領域と前記第２固定電極幹部との間に前記第２の静電容量発生部が形成されていることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第１の静電容量発生部と第２の静電容量発生部とを、可動電極の重心を挟んで、可動電極の移動方向の前後に配置している。そのため、第１の静電容量発生部に発生する静電吸引力の作用方向と、第２の静電容量発生部に発生する静電吸引力の作用方向とを、可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線に近接させることができる。その結果、可動電極の重心廻りに働く回転トルクをより小さくすることが可能となり、静電容量式センサの測定精度が低下してしまうのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる静電容量式センサを示す図であって、（ａ）は、平面図、（ｂ）は、図１（ａ）のI−I線断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態にかかる半導体物理量センサを示す図であって、（ａ）は、内部の平面図、（ｂ）は、図２（ａ）のII−II線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。以下では、静電容量式センサとして、加速度センサを例示する。なお、以下の複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。
【００１８】
（第１実施形態）
本実施形態の加速度センサ１は、図１（ｂ）に示すように、上下に配置される２枚のガラス基板２、３と、これら２枚のガラス基板２、３に挟まれるシリコン基板４とを備えている。ガラス基板２、３は絶縁層となり、シリコン基板４は半導体層となる。
【００１９】
これらガラス基板２、３とシリコン基板４とは、最終的に陽極接合などによって一体に接合される。このとき、これらの接合面に形成された凹部３１によってシリコン基板４各部の絶縁性や可動電極体の動作性が確保される。
【００２０】
シリコン基板４は、図１（ａ）に示すように、公知の半導体プロセスにより間隙５を形成することで、周縁部に形成される略矩形状の枠部６、可動電極７、固定電極８、ばね部９および第１〜第３アンカー部１０、１１、１２が形成される。
【００２１】
可動電極７は錘としても機能し、物理量としての加速度の印加により可動電極７の移動が許容される。このとき、可動電極７は、ばね部９によって第１アンカー部１０に支持されており、この可動電極７には、ばね部９の弾発力によって中立位置が保持されるように付勢力が働いている。
【００２２】
間隙５は、反応性イオンエッチングなどにより垂直エッチング加工することにより、間隙５の側壁面がシリコン基板４の表面に対して垂直に形成される。従って、垂直エッチング加工により形成された隙間５の側壁面どうしは互いに略平行に対向される。反応性イオンエッチングとしては、例えば、誘導結合型プラズマを備えたエッチング装置によるＩＣＰ加工を利用することができる。
【００２３】
可動電極７は、移動方向の両端部に一対の基部７１が左右方向に延在するように形成されており、これら基部７１と第１アンカー部１０との間にばね部９が設けられている。
【００２４】
なお、可動電極７の移動方向は、便宜上、前後方向（図１（ａ）中左右方向）というものとし、図１（ａ）中左方を前方（Ｆｒ）、図１（ａ）中右方を後方（Ｒｒ）として説明する。また、図１（ａ）中上方を右方（Ｒｓ）、下方を左方（Ｌｓ）として説明する。ただし、これらの方向に限定されるものではない。
【００２５】
両端部の基部７１は所定幅の可動電極幹部７２によって連結されており、この可動電極幹部７２の前後方向に延在する部分には、第１櫛歯状部（可動側櫛歯状部）７３が、前後方向に対して略直角に、すなわち、左右方向に延在するように接合面に沿って突設されている。この第１櫛歯状部７３は、複数の櫛歯を可動電極幹部７２から突設させることで形成されている。
【００２６】
固定電極８は、前後方向に配置される第１固定電極幹部８１を有する第１の固定電極８Ａと、前後方向に配置される第２固定電極幹部８２を有する第２の固定電極８Ｂとを備えている。これら第１および第２の固定電極８Ａ、８Ｂは、ガラス基板２に陽極接合などにより固定される。
【００２７】
第１固定電極幹部８１には、第１櫛歯状部７３の移動方向一側（後側）に所定のギャップをもって対向配置される第２櫛歯状部（固定側櫛歯状部）８３が設けられている。また、第２固定電極幹部８２には、第１櫛歯状部７３の移動方向他側（前側）に所定のギャップをもって対向配置される第３櫛歯状部（固定側櫛歯状部）８４が設けられている。
【００２８】
第２櫛歯状部８３は、第１櫛歯状部７３と同様に、複数の櫛歯が第１櫛歯状部７３と平行に第１固定電極幹部８１から突設されている。また、第３櫛歯状部８４は、第１櫛歯状部７３と同様に、複数の櫛歯が第２固定電極幹部８２から第１櫛歯状部７３と平行に第２固定電極幹部８２から突設形成されている。
【００２９】
そして、第１櫛歯状部７３と第２櫛歯状部８３との間のギャップには静電気が蓄積されるようになっており、これら第１櫛歯状部７３と第２櫛歯状部８３とによって第１の静電容量発生部１３が形成されている。また、第１櫛歯状部７３と第３櫛歯状部８４との間のギャップにも静電気が蓄積されるようになっており、これら第１櫛歯状部７３と第３櫛歯状部８４とによって第２の静電容量発生部１４が形成されている。
【００３０】
第１アンカー部１０は、図１（ａ）に示すように、可動電極７の前方両側に２箇所と後方中央部に１箇所設けられており、それぞれがガラス基板２に陽極接合などにより固定されている。
【００３１】
ばね部９は、可動電極７の前後一対の基部７１と、これら基部７１が対向する第１アンカー部１０との間に、左右対称にそれぞれ一対配置されており、このばね部９の弾発力により可動電極７が中立位置で保持されるようにしている。
【００３２】
また、それぞれのばね部９は、連続する一本の細長い線状部を複数段のつづら折り状に折曲して、前後方向の弾発力を有するように形成されている。このように構成されたばね部９は、錘を兼ねた可動電極７を、主に移動方向中心軸（可動電極７の重心Ｇを通り移動方向に延在する仮想線）Ｃに沿った方向の変位を許容するように支持している。また、ばね部９を左右対称に配置することで、ばね部９が伸縮する際に可動電極７が左右片側に偏心してしまうのを抑制できるようにしている。
【００３３】
なお、可動電極７の移動は、この可動電極７と、第１の固定電極８Ａおよび第２の固定電極８Ｂとの間に設けたストッパーＳによって規制されている。本実施形態では、第１固定電極幹部８１および第２固定電極幹部８２の前後方向両端に設けた凸部をストッパーＳとし、このストッパーＳに基部７１が当接することで可動電極７の最終的な移動が阻止されるようにしている。これにより、第１櫛歯状部７３と第２櫛歯状部８３および第３櫛歯状部８４とが接触して付着する謂わゆるスティッキングが防止できるようになっている。
【００３４】
そして、図１（ａ）に示すように、後方中央部に配置した第１アンカー部１０の左右両側には、第１の固定電極８Ａの第２アンカー部１１と、第２の固定電極８Ｂの第３アンカー部１２とが配置されている。第１アンカー部１０には可動電極７に電気的に接続される第１端子１０ａが設けられている。また、第２アンカー部１１には第１の固定電極８Ａに電気的に接続される第２端子１１ａが、第３アンカー部１２には第２の固定電極８Ｂに電気的に接続される第３端子１２ａがそれぞれ設けられている。
【００３５】
なお、図１（ｂ）に示すように、上側のガラス基板２の第１〜第３端子１０ａ、１１ａ、１２ａに対応する箇所には、それぞれ開口２Ｈがエッチングにより穿設されている。そして、それら開口２Ｈを通して各端子１０ａ、１１ａ、１２ａの静電容量信号を取り出せるようにしている。
【００３６】
ここで、本実施形態では、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とを、可動電極７の移動方向前後に振り分けて配置するようにしている。
【００３７】
すなわち、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とを、可動電極７の重心Ｇを挟んで、可動電極７の移動方向の前後に配置している。
【００３８】
具体的には、可動電極幹部７２の片側（本実施形態では後方）端部領域７２Ｒを、可動電極７の左右方向一側部（本実施形態では右側部）に配置し、かつ、他側（本実施形態では前方）端部領域７２Ｆを、可動電極７の左右方向他側部（本実施形態では左側部）に配置する。このとき、片側端部領域７２Ｒと他側端部領域７２Ｆとを繋ぐ中間部７２Ｍは、移動方向直角となる左右方向に配置されている。これにより、本実施形態の可動電極幹部７２は、全体的にクランク状に形成され、本実施形態では、中間部７２Ｍが、第１櫛歯状部７３の１つとして機能するようになっている。
【００３９】
また、可動電極幹部７２の片側端部領域７２Ｒに、移動方向中心軸Ｃを挟んで第１の固定電極８Ａの第１固定電極幹部８１を対向配置する。また、可動電極幹部７の他側端部領域７２Ｆに、移動方向中心軸Ｃを挟んで第２の固定電極８Ｂの第２固定電極幹部８２を対向配置する。このとき、第１固定電極幹部８１は、枠部６の内側内の左側端に近接して配置され、第２固定電極幹部８２は枠部６の内側内の右側端に近接して配置されることとなる。
【００４０】
そして、可動電極幹部７２の片側端部領域７２Ｒと第１固定電極幹部８１との間に第１の静電容量発生部１３を配置し、かつ、可動電極幹部７２の他側端部領域７２Ｆと第２固定電極幹部８２との間に第２の静電容量発生部１４を配置している。
【００４１】
つまり、可動電極幹部７２の片側端部領域７２Ｒから第１固定電極幹部８１に向かって第１櫛歯状部７３を突設し、かつ、第１固定電極幹部８１から片側端部領域７２Ｒに向かって第２櫛歯状部８３を突設し、これら両櫛歯状部７３、８３の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。
【００４２】
一方、可動電極幹部７２の他側端部領域７２Ｆから第２固定電極幹部８１に向かって第１櫛歯状部７３を突設し、かつ、第２固定電極幹部８１から他側端部領域７２Ｆに向かって第３櫛歯状部８４を突設し、これら両櫛歯状部７３、８４の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。
【００４３】
このように構成された加速度センサ１を用いると、当該加速度センサ１に印加される加速度を可動電極７の前後方向への移動によって検出することができる。すなわち、可動電極７が移動方向中心軸Ｃに沿って前後方向に変位すると、その変位方向によって第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４に発生する静電容量は、一方が増加方向、他方が減少方向に変化する。
【００４４】
そして、静電容量の変化は、図１（ａ）に示すように、第１端子１０ａ、第２端子１１ａおよび第３端子１２ａから集積回路１５に導入され、この集積回路１５から出力端子１６を介して取り出される。すなわち、この集積回路１５は、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とで発生する静電容量の差を電圧に変換する機能を有しており、この電圧値から加速度の大きさおよび方向を検出する。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態によれば、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とを、可動電極７の重心Ｇを挟んで、可動電極７の移動方向の前後に配置している。
【００４６】
具体的には、可動電極７が、移動方向両端部に設けられる基部７１と、当該基部７１どうしを連結する可動電極幹部７２とを有している。
【００４７】
そして、可動電極幹部７２は、移動方向の片側端部領域７２Ｒが可動電極７の左右方向一側部（右側部）に配置され、移動方向の他側端部領域７２Ｆが可動電極７の左右方向他側部（左側部）に配置されている。
【００４８】
そして、第１の固定電極８Ａの第１固定電極幹部８１が、左右方向（移動方向と交差する方向）で可動電極幹部７２の片側端部領域７２Ｒと対向するように配置される。一方、第２の固定電極８Ｂの第２固定電極幹部８２が、左右方向（移動方向と交差する方向）で可動電極幹部７２の他側端部領域７２Ｆと対向するように配置されている。
【００４９】
そして、可動電極幹部７２の片側端部領域７２Ｒと第１固定電極幹部８１との間に第１の静電容量発生部１３を形成し、可動電極幹部７２の他側端部領域７２Ｆと第２固定電極幹部８２との間に第２の静電容量発生部１４を形成している。
【００５０】
こうして、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とが、可動電極７の移動方向前後に振り分けて配置されるようにしている。
【００５１】
これにより、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力Ｆ１の作用方向と、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力Ｆ２の作用方向とを、可動電極７の移動方向中心軸（可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線）Ｃに近接させることができる。つまり、従来のように第１の静電容量発生部と第２の静電容量発生部とを左右方向に振り分けて配置する場合と較べて、それぞれの静電吸引力Ｆ１、Ｆ２間のスパンをより短くすることができる。なお、図１（ａ）では、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力Ｆ１が前方に向かって作用し、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力Ｆ２が後方に向かって作用する場合を例示している。
【００５２】
このように、それぞれの静電吸引力Ｆ１、Ｆ２間のスパンをより短くすることで、作用方向が互いに逆方向となるそれぞれの静電吸引力Ｆ１、Ｆ２により、可動電極７の重心Ｇ廻りに働く回転トルクＴを従来に較べて小さくすることができる。
【００５３】
その結果、加速度センサ１への通電を長期的に連続させた場合であっても、可動電極７の重心Ｇ廻りに働く回転トルクＴが小さいため、可動電極７の回転方向の変位を抑制することができる。したがって、オフセット電圧に生ずるドリフトを極力小さくすることができ、加速度センサ（静電容量式センサ）１の測定精度が低下してしまうのを抑制することができる。
【００５４】
このとき、可動電極７の移動方向中心軸（可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線）Ｃが第１の静電容量発生部１３および第２の静電容量発生部１４の左右方向中央部を通るように、第１の静電容量発生部１３および第２の静電容量発生部１４を形成するのが好適である。
【００５５】
こうすれば、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力全体の作用方向および、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力全体の作用方向を、より確実に可動電極７の移動方向中心軸Ｃに近接させることができる。
【００５６】
（第２実施形態）
本実施形態の加速度センサ（静電容量式センサ）１Ａは、基本的に上記第１実施形態の加速度センサ１と同様の構成を備えている。
【００５７】
すなわち、加速度センサ１Ａにあっても、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４とを、可動電極７の重心Ｇを挟んで、可動電極７の移動方向の前後に配置している。
【００５８】
ここで、加速度センサ１Ａが上記第１実施形態と主に異なる点は、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力Ｆ１と、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力Ｆ２との作用方向を一致させるようにしたことにある。
【００５９】
具体的には、本実施形態では、可動電極幹部７２が前後方向に延在する直線状の連結幹部７２Ｃを有しており、連結幹部７２Ｃ全体を可動電極７の幅方向片側（本実施形態では右側）に寄せて配置している。そして、連結幹部７２Ｃの片側（本実施形態では後方）端部領域７２Ｒに第１固定電極幹部８１を対向配置し、連結幹部７２Ｃの他側（本実施形態では前方）端部領域７２Ｆに、第２固定電極幹部８２を対向配置している。このように、本実施形態では、第１固定電極幹部８１と第２固定電極幹部８２とが左右方向で同一側（本実施形態では左側）に配置されることとなる。
【００６０】
そして、連結幹部７２Ｃの片側端部領域７２Ｒと第１固定電極幹部８１との間に第１の静電容量発生部１３を配置し、連結幹部７２Ｃの他側端部領域７２Ｆと第２固定電極幹部８２との間に第２の静電容量発生部１４を配置している。
【００６１】
つまり、連結幹部７２Ｃの片側端部領域７２Ｒから第１固定電極幹部８１に向かって第１櫛歯状部７３を突設し、第１固定電極幹部８１から片側端部領域７２Ｒに向かって第２櫛歯状部８３を突設することで、これら両櫛歯状部７３、８３の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。
【００６２】
また、連結幹部７２Ｃの他側端部領域７２Ｆから第２固定電極幹部８１に向かって第１櫛歯状部７３を突設し、第２固定電極幹部８１から他側端部領域７２Ｆに向かって第３櫛歯状部８４を突設することで、これら両櫛歯状部７３、８４の櫛歯が前後方向で交互に対向するようにしている。
【００６３】
このとき、連結幹部７２Ｃには、前後方向中央部から可動電極７の幅方向他側（本実施形態では左側）に向かって境界部７２Ｂが突設されており、可動電極幹部７２は全体的にＴ字状に形成されている。そして、境界部７２Ｂを、第１の静電容量発生部１３と第２の静電容量発生部１４との間に配置することで、本実施形態では、境界部７２Ｂが、第１櫛歯状部７３の１つとして機能するようにしている。
【００６４】
さらに、可動電極７の移動方向中心軸（可動電極の重心を通り移動方向に延在する仮想線）Ｃが第１の静電容量発生部１３および第２の静電容量発生部１４の左右方向中心を通るように、第１の静電容量発生部１３および第２の静電容量発生部１４を形成している。
【００６５】
具体的には、可動電極７の移動方向中心軸Ｃが、両櫛歯状部７３、８３の幅方向中心および両櫛歯状部７３、８４の幅方向中心を通るように可動電極７および固定電極８を形成している。
【００６６】
こうして、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力Ｆ１と、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力Ｆ２との作用方向を一致させている。
【００６７】
以上説明したように、本実施形態では、可動電極７の左右方向片側で基部７１どうしを連結する直線状の連結幹部７２Ｃ全体を、可動電極７の幅方向片側に寄せて配置している。そして、連結幹部７２Ｃの片側端部領域７２Ｒに第１の固定電極８Ａの第１固定電極幹部８１を対向配置し、連結幹部７２Ｃの他側端部領域７２Ｆに、第２の固定電極８Ｂの第２固定電極幹部８２を対向配置している。
【００６８】
このような構成とした本実施形態によっても、上記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００６９】
また、本実施形態では、第１の静電容量発生部１３に発生する静電吸引力Ｆ１の作用方向と、第２の静電容量発生部１４に発生する静電吸引力Ｆ２の作用方向とを可動電極７の移動方向中心軸Ｃ上で一致させている。
【００７０】
その結果、両静電吸引力Ｆ１、Ｆ２間のスパンがゼロとなって、可動電極７の重心Ｇ廻りに働く回転トルクをなくすことができる。これにより、加速度センサ１Ａへの通電を長期的に連続させた場合であっても、回転トルクが発生しないので、可動電極７の回転方向変位をより確実に抑制することができる。したがって、オフセット電圧に生ずるドリフトをより確実に防止することができ、より高精度の加速度センサ１Ａを得ることができるようになる。
【００７１】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定さ
れず、種々の変形が可能である。
【００７２】
例えば、上記実施形態では、静電容量式センサとして加速度センサを例示したが、これに限ることなく、その他の静電容量式センサ、例えば角速度センサや振動センサ等にあっても本発明を適用することができる。
【００７３】
また、可動電極、その他細部のスペック（形状、大きさ、レイアウト等）も適宜に変更可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１、１Ａ  加速度センサ（静電容量式センサ）
７  可動電極
７１  基部
７２  可動電極幹部
７２Ｒ  片側端部領域
７２Ｆ  他側端部領域
７２Ｃ  連結幹部
８Ａ  第１の固定電極
８Ｂ  第２の固定電極
８１  第１固定電極幹部
８２  第２固定電極幹部
９  ばね部
１３  第１の静電容量発生部
１４  第２の静電容量発生部
【図１】
2013092376.tif 000003
【図２】
2013092376.tif 000004