(57)【要約】【課題】簡単な金型構造により、金型ユニット内に残留する成型品を検出する。【解決手段】転写装置は、固定金型６ａの内面７ａと可動金型６ｂの内面７ｂとを撮像する視覚センサ２と、視覚センサ２により撮像された固定金型６ａ及び可動金型６ｂを表す画像データに基づいて、金型ユニット５内に残留する成型品を検出する検出部３とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、
前記固定金型の内面と前記可動金型の内面とを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記固定金型及び可動金型の内面を表す画像データに基づいて、前記金型ユニット内に残留する前記成型品を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項２】
前記撮像手段は、前記固定金型の内面を撮像する固定金型視覚センサと、前記可動金型の内面を撮像する可動金型視覚センサとを含む請求項１に記載の転写装置。
【請求項３】
前記撮像手段の向きを、前記固定金型の内面に向かう方向と前記可動金型の内面に向かう方向との間で反転させる反転機構をさらに備える請求項１に記載の転写装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記金型ユニット内に残留する前記成型品を、予め登録された面積の違いにより検出する請求項１に記載の転写装置。
【請求項５】
固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、
液体樹脂が塗布された前記固定金型の内面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記固定金型の内面を表す画像データに基づいて、前記固定金型の内面に塗布された液体樹脂の塗布サイズを計測する計測手段とを備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項６】
固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、
前記成型品が成型された前記固定金型の内面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された前記固定金型の内面を表す画像データに基づいて、前記固定金型の内面上の前記成型品の外形サイズを計測する計測手段とを備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項７】
前記撮像手段は、斜め方向から前記固定金型の内面を撮像する請求項５または６に記載の転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、金型ユニット内に残留する成型品を検出する転写装置、固定金型の内面に塗布された液体樹脂の塗布サイズを計測する転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置において、金型ユニット内に成形品が残留しているか否かを確認するためには、金型ユニットを開いて、固定金型及び可動金型の内面を目視にて確認するのが一般的である。
【０００３】
金型ユニット内に成形品が残留しているか否かを検出する手段を示す先行技術として、射出成形装置において、金型ユニットの内部に、検出手段として突き出しピン及び近接センサを配置する方法が開示されている（特許文献１及び２）。
【０００４】
特許文献１に開示された射出成型用金型では、可動金型の入子に突き出しピンとコイルバネとを設け、金型ユニットが閉じられていない場合は、突き出しピンがコイルバネによって可動金型から突き出るように構成し、金型ユニットを閉じた際に金型ユニットの内部に成型品が存在する場合は、突き出しピンがコイルバネの抗力に打ち勝って後退することにより、成型品があることを検出し得るようにした近接センサを突き出しピンの下部に設ける構成が開示されている。
【０００５】
そして、金型ユニットの残留成型品に当接可能な検出ピンを可動プレートの表面に設け、検査ヘッドの金型ユニットへの接近動作により検出ピンが残留成型品に当接し、可動プレートが固定プレートに接近した際に検出センサが動作し残留成型品の存在を検出する構成が教示されている（特許文献２）。
【０００６】
また、ディスペンサから金型に吐出される液滴をカメラにより撮像し、この撮像された液滴の画像に基づいて、ディスペンサから単位時間当たりに吐出されるＵＶ硬化性樹脂の量を求め、この情報を操作者に通知する構成が開示されている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２４９６８９号公報（２００４年９月９日公開）
【特許文献２】特開２００４−２２３８２５号公報（２００４年８月１２日公開）
【特許文献３】特開２０１１−１３６５４０号公報（２０１１年７月１４日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１及び２に開示される構成では、金型構造が複雑になるという問題がある。また、特許文献１及び２の構成では、成形品が金型内に残留しているか否かの判定しかできない。即ち、いわゆるオール・オア・ナッシングの判定しかすることができないという問題がある。
【０００９】
また、特許文献１及び２の構成では、突き出しピンを成形品に接触させるので、成形品に残留応力が発生し、成形品に反りや変形といった現象が生じるおそれがあるという問題もある。このため、安定した成形が行なえる技術が望まれている。
【００１０】
転写装置では、微細な転写パターンの金型（固定金型及び可動金型）を上下に配置した場合に、成形品の側面はフリーでプレスされる。このため金型の表面積差が少ない場合は、金型の固定側、可動側の動作を考慮して、一般的には固定側に成形品を残そうとするが、成形品の側面はフリーでプレスされるので成型された成形品の水平方向の位置がばらついて、成形品の取り出し位置が一定とならない問題がある。このため、ロボットによる取り出しでは、成形品の取り出し位置が安定しないことにより、生産性が悪くなってしまうため、ロボットによる取り出しが困難であるといった欠点があった。
【００１１】
また、ディスペンサ装置により金型に吐出された液体樹脂は、ディスペンサ装置により毎回のショット毎に計量した量が金型に吐出されるが、金型表面の濡れ性によっては、吐出された液体樹脂の濡れ範囲が異なり、成形品の品質がばらつくといった課題がある。
【００１２】
特許文献３は、ディスペンサから金型に吐出される途中の液滴をカメラにより撮像する構成を開示しており、上記課題の解決を示唆するものではない。
【００１３】
本発明の目的は、簡単な金型構造により、金型ユニット内に残留する成型品を検出することができ、安定した成形が行なえる転写装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、金型の内面に塗布する液体樹脂の塗布サイズを一定にして、金型表面の濡れ性を一定にし、成型品の品質を安定にすることができる転写装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するために、本発明に係る転写装置は、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、前記固定金型の内面と前記可動金型の内面とを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記固定金型及び可動金型の内面を表す画像データに基づいて、前記金型ユニット内に残留する前記成型品を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
この特徴により、撮像手段により撮像された固定金型及び可動金型の内面を表す画像データに基づいて、金型ユニット内に残留する成型品を検出する。このため、成型品の残留応力、反り、及び変形が生じる突出しピンを使用することなく簡単な金型構造により、金型ユニット内に残留する成型品を検出することができる。また、固定金型及び可動金型の内面を表す画像データに基づいて成型品を検出するので、成形品が残留しているか否かの有無の判定しかできない従来の突出しピンの構成と異なり、成形品が残留している態様も画像データにより判定可能である。
【００１７】
本発明に係る転写装置では、前記撮像手段は、前記固定金型の内面を撮像する固定金型視覚センサと、前記可動金型の内面を撮像する可動金型視覚センサとを含むことが好ましい。
【００１８】
上記構成により、固定金型の内面と可動金型の内面とを同時に撮像することができ、金型ユニット内に残留する成型品を検出することができる。
【００１９】
本発明に係る転写装置では、撮像手段の向きを、固定金型の内面に向かう方向と可動金型の内面に向かう方向との間で反転させる反転機構をさらに備えることが好ましい。
【００２０】
上記構成により、１個の視覚センサにより、固定金型の内面、可動金型の内面に残留する成型品を検出することができる。
【００２１】
本発明に係る転写装置では、前記検出手段は、前記金型ユニット内に残留する前記成型品を、予め登録された面積の違いにより検出することが好ましい。
【００２２】
上記構成により、金型ユニット内に残留する成型品を確実に検出することができる。
【００２３】
本発明に係る他の転写装置は、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、液体樹脂が塗布された前記固定金型の内面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記固定金型の内面を表す画像データに基づいて、前記固定金型の内面に塗布された液体樹脂の塗布サイズを計測する計測手段とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
この特徴により、固定金型の内面に塗布する液体樹脂の塗布サイズを調整するためのデータを取得することができ、内面に塗布する液体樹脂の塗布サイズを一定にして、金型表面の濡れ性を一定にし、成型品の品質を安定にすることができる。
【００２５】
本発明に係るさらに他の転写装置は、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、前記成型品が成型された前記固定金型の内面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記固定金型の内面を表す画像データに基づいて、前記固定金型の内面上の前記成型品の外形サイズを計測する計測手段とを備えたことを特徴とする。
【００２６】
この特徴により、固定金型の内面上の成型品の外形サイズを調整するためのデータを取得することができ、固定金型の内面上の成型品の外形サイズを一定にして、成型品の厚みを一定にし、成型品の品質を安定にすることができる。
【００２７】
本発明に係る他の転写装置では、前記撮像手段は、斜め方向から前記固定金型の内面を撮像することが好ましい。
【００２８】
上記構成により、簡単な構成で、固定金型の内面を撮像することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明に係る転写装置は、撮像手段により撮像された固定金型及び可動金型の内面を表す画像データに基づいて、金型ユニット内に残留する成型品を検出する。このため、簡単な金型構造により、金型ユニット内に残留する成型品を検出することができ、安定した成形が行なえる転写装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】実施の形態１に係る転写装置の構成を示す模式図である。
【図２】上記転写装置による残留成型品の検出方法を説明するための図である。
【図３】上記転写装置による成型品の外形判定方法を説明するための図である。
【図４】実施の形態２に係る転写装置の構成を示す模式図である。
【図５】実施の形態３に係る転写装置の構成を示す模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、正常な濡れ性の金型による液体樹脂の成型のプロセスを示す図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、異常な濡れ性の金型による液体樹脂の成型のプロセスを示す図である。
【図８】上記転写装置による液体樹脂の塗布サイズと成型品の厚みとの間の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
（概要）
以下、本発明の実施の形態に係る転写装置について、詳細に説明する。本実施の形態は、金型の内面を撮像する視覚センサを備えた転写装置を提供する。この視覚センサにより撮像された金型の内面を表す画像により、金型内に残留している成形品を検知することができる。また、金型内の成形品の取り出し位置を検出することができる。そして、金型内に残留している成形品の外形サイズから成形不良を検出することができる。さらに、ディスペンサによって金型に吐出された液体樹脂の濡れ性を容易に確認することができる。
【００３２】
本実施の形態に係る転写装置は、金型に形成されている微細な転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、上下の金型表面を見通せる斜め方向に２つの視覚センサを設け、該センサにより金型内に残留する成形品を予め登録された面積の違いにより検出する。また、金型内に残留する成型品が認識された画像から成型品の外形サイズによる成形不良、および、ディスペンサによって金型に吐出された液体樹脂の濡れ性を確認することができる。
【００３３】
（実施の形態１）
（転写装置１の構成）
図１は、実施の形態１に係る転写装置１の構成を示す模式図である。転写装置１は、転写装置１の全体を支持して固定する下部固定台１１と、下部固定台１１上に設けられた保持台１２と、保持台１２に固定される固定金型６ａとを備えている。
【００３４】
転写装置１は、さらに、下部固定台１１に支持される複数の支柱１６と、各支柱の上に固定される上部固定台１５と、下部固定台１１と上部固定台１５との間に設けられ、各支柱１６に沿って上下方向に移動する移動台１３と、移動体１３の下面に固定される保持体１４と、この保持体１４の下面に固定される可動金型６ｂとを備えている。固定金型６ａと可動金型６ｂとは、金型ユニット５を構成する。
【００３５】
可動金型６ｂは、ナノオーダーの微細な転写パターンが形成されている。固定金型６ａは、矩形の平板形状、あるいは円形の平板形状をなす基板表面に液体樹脂が塗布されて構成されている。
【００３６】
固定金型６ａは保持体１２に保持され、可動金型６ｂは保持体１４に保持されるので、保持体１４に連結された移動体１３を支柱１６に沿って下降させ、可動金型６ｂを固定金型６ａに押し当てた状態で液体樹脂を硬化させ、微細パターンを転写することができる。
【００３７】
転写装置１は、一対の視覚センサ２を備えている。視覚センサ２の一方は、支柱１６の一方に可動金型６ｂの内面７ｂに向けて設けられ、可動金型６ｂの内面７ｂを撮像する。視覚センサ２の他方は、支柱１６の他方に固定金型６ａの内面７ａに向けて設けられ、固定金型６ａの内面７ａを撮像する。
【００３８】
転写装置１には、検出部３が設けられている。検出部３は、視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａ及び可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データに基づいて、金型ユニット５内に残留する成型品を検出する。
【００３９】
このように、視覚センサ２により固定金型６ａの内面７ａ及び可動金型６ｂの内面７ｂを撮像し、固定金型６ａ及び可動金型６ｂのいずれかに残った成型品を撮像した撮像データにより、金型ユニット５内における成型品の残留状況、及び残留位置を検出することができる。
【００４０】
ロボット８は、金型ユニット５により成型された成型品を取り出す。
【００４１】
（残留成型品の検出方法）
図２は、転写装置１による残留成型品の検出方法を説明するための図である。検出部３には、所定の面積を有して金型画像１９からなる円形の登録パターン１８が登録されている。視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａまたは可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データ２１の登録パターン１８に対応する領域を検出部３は登録パターン１８と比較する。画像データ２１の登録パターン１８に対応する領域における金型画像１９の面積が、登録パターン１８における金型画像１９の面積と等しければ、金型ユニット５内に成型品が残留していないと判断する。画像データ２１の登録パターン１８に対応する領域における金型画像１９の面積が、登録パターン１８における金型画像１９の面積よりも小さく、成型品画像２０が存在していれば、金型ユニット５内に成型品が残留していると検出部３は判断する。そして、検出部３は、成型品画像２０の面積、位置に基づいて、金型ユニット５内に残留する成型品の大きさ、形状、位置を推定する。このように、検出部３は、金型ユニット５内に残留する成型品を、予め登録された面積の違いにより検出する。
【００４２】
また、成型品の一部が破損や付着によって金型ユニット５内に残留した場合は、色相と彩度によって色を判別するが、材料によっては触媒や添加物を蛍光させることで検出することも可能である。
【００４３】
（成型品の外形判定方法）
図３は、転写装置１による成型品の外形判定方法を説明するための図である。検出部３には、所定の面積を有して成型品画像２０ａからなる円形の登録パターン１８ａが登録されている。視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａまたは可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データ２１ａの登録パターン１８ａに対応する領域を検出部３は登録パターン１８ａと比較する。画像データ２１ａの登録パターン１８ａに対応する領域における成型品画像２０ｂの面積が、登録パターン１８ａにおける成型品画像２０ａの面積と等しければ、成型品の外形は合格であると判断する。画像データ２１ａの登録パターン１８ａに対応する領域における成型品画像２０ｂの面積が、登録パターン１８ａにおける成型品画像２０ａの面積と異なっていれば、成型品の外形は不合格であると検出部３は判断する。また、検出部３は、成型品画像２０ｂのエッジを抽出することで、多少変形していても登録パターンに対応する領域内であれば、円周上を計測した点列データから円として認識し、金型ユニット５内の成型品の外形を推定する。
【００４４】
以上のように実施の形態１によれば、視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａ及び可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データに基づいて、金型ユニット５内に残留する成型品を検出する。このため、成型品の残留応力、反り、及び変形が生じる突出しピンを使用することなく簡単な金型構造により、金型ユニット５内に残留する成型品を検出することができる。また、固定金型６ａの内面７ａ及び可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データに基づいて成型品を検出するので、成形品が残留しているか否かの有無の判定しかできない従来の突出しピンの構成と異なり、成形品が残留している態様も画像データにより判定可能である。
【００４５】
（実施の形態２）
（転写装置１ａの構成）
図４は、実施の形態２に係る転写装置１ａの構成を示す模式図である。前述した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
【００４６】
一対の支柱１６の一方に、固定金型６ａの内面７ａと可動金型６ｂの内面７ｂとを撮像するために配置された視覚センサ２が設けられている。視覚センサ２には、反転機構４が接続されている。反転機構４は、視覚センサ２の向きを、固定金型６ａの内面７ａに向かう方向と可動金型６ｂの内面７ｂに向かう方向との間で反転させる。
【００４７】
（転写装置１ａの動作）
まず、図４に示すように固定金型６ａの内面７ａに向かう視覚センサ２は、固定金型６ａの内面７ａを撮像する。そして、反転機構４は、視覚センサ２の向きを、固定金型６ａの内面７ａに向かう方向から可動金型６ｂの内面７ｂに向かう方向に反転させる。次に、視覚センサ２は、可動金型６ｂの内面７ｂを撮像する。その後、検出部３は、視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａを表す画像データ、及び可動金型６ｂの内面７ｂを表す画像データに基づいて、金型ユニット５内に残留する成型品を検出する。
【００４８】
上記構成により、１個の視覚センサ２により、固定金型６ａの内面７ａ、可動金型６ｂの内面７ｂに残留する成型品を検出することができる。
【００４９】
（実施の形態３）
（転写装置１ｂの構成）
図５は、実施の形態３に係る転写装置１ｂの構成を示す模式図である。前述した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付している。これらの構成要素の詳細な説明は繰り返さない。
【００５０】
転写装置１ｂには、計側部９が設けられている。計側部９は、視覚センサ２により撮像された固定金型６ａの内面７ａを表す画像データに基づいて、固定金型６ａの内面７ａに塗布された液体樹脂の塗布サイズを計測する。
【００５１】
計側部９は、固定金型６ａの内面７ａを表す画像データに基づいて、固定金型６ａの内面７ａ上の成型品の外形サイズを計測してもよい。
【００５２】
（液体樹脂の塗布サイズの計測）
固定金型６ａの内面７ａを表す画像データから、成形品の外形サイズを求めることができる。またディスペンサにより液体樹脂を金型に吐出させた状態での液体樹脂の塗布サイズを成形品の外形サイズと同様に求めることができる。これらは、液体樹脂を同心円上に濡れ拡がらせながら成形する転写装置特有のプロセスで有効となる。
【００５３】
図６（ａ）〜（ｃ）は、正常な濡れ性の金型による液体樹脂１７の成型のプロセスを示す図である。図７（ａ）〜（ｃ）は、異常な濡れ性の金型による液体樹脂１７の成型のプロセスを示す図である。
【００５４】
図６（ａ）〜（ｃ）を参照すると、まず、液体樹脂１７をディスペンサにより正常な濡れ性の固定金型６ａの内面７ａに吐出する。液体樹脂１７は、塗布サイズＤ１で固定金型６ａの内面７ａ上に広がる。そして、図６（ｂ）に示すように、可動金型６ｂの内面７ｂが、固定金型６ａの内面７ａ上の液体樹脂１７に圧力をかけると、液体樹脂１７は、図６（ｂ）の矢印に示す水平方向に広がる。次に、可動金型６ｂの内面７ｂが液体樹脂１７にさらに圧力をかけると、図６（ｃ）に示すように、可動金型６ｂの内面７ｂに形成された微細な転写パターンが、液体樹脂１７に転写されて厚みＨ１の成型品が成型される。
【００５５】
次に、異常な濡れ性の金型による液体樹脂１７の成型のプロセスを説明する。図７（ａ）〜（ｃ）を参照して、液体樹脂１７をディスペンサにより異常な濡れ性の固定金型６ａの内面７ａに吐出すると、液体樹脂１７は、塗布サイズＤ１よりも広い塗布サイズＤ２で固定金型６ａの内面７ａ上に広がる。そして、図７（ｂ）に示すように、可動金型６ｂの内面７ｂが、固定金型６ａの内面７ａ上の液体樹脂１７に圧力をかけると、液体樹脂１７は、図７（ｂ）の矢印に示す水平方向に広がる。次に、可動金型６ｂの内面７ｂが液体樹脂１７にさらに圧力をかけると、図７（ｃ）に示すように、液体樹脂１７は固定金型６ａから零れ落ちて落ちてしまい、意図する成形品を成型することができない。
【００５６】
図８は、転写装置による液体樹脂１７の塗布サイズと成型品の厚みとの間の関係を示すグラフである。横軸はディスペンサにより固定金型６ａの内面７ａに吐出された液体樹脂１７の塗布サイズを示しており、固定金型６ａの濡れ性を表している。縦軸は、固定金型６ａ及び可動金型６ｂにより成型された成型品の厚みを示している。直線Ｌ１に示すように、液体樹脂１７の塗布サイズが大きくなると、成型品の厚みは減少する傾向が現れる。
【００５７】
固定金型６ａ、可動金型６ｂの熱膨張、及び、固定金型６ａ、可動金型６ｂの間隔を機械的に徐々に狭めていくことにより液体樹脂１７に圧力を作用させると、固定金型６ａの内面７ａに吐出された液体樹脂１７に基づく成型品の外形サイズが整えられ、その厚みが一定になる。
【００５８】
この時、固定金型６ａの内面７ａの濡れ性に変化が生じると、液体樹脂１７の吐出量に変化がなくても、固定金型６ａの内面７ａに吐出された液体樹脂１７は、変化が生じる前よりも濡れ広がって、成型品の外形サイズ、厚みを含む成型品質に悪影響を及ぼし得る。
【００５９】
実施の形態３によれば、計側部９により計測された固定金型６ａの内面７ａに塗布された液体樹脂１７の塗布サイズに基づいて、変化が生じた固定金型６ａの内面７ａの濡れ性を計測することができる。このため、固定金型６ａの内面７ａの濡れ性に変化に基づく成型品の外形サイズ、厚みを含む成型品質への悪影響を早期に発見することができる。
【００６０】
また、金型の濡れ性の変化は離型性に大きく影響することから、金型の離型処理の性能低下を早期に発見することができる。具体的には、ウェハレンズの成型では、大面積での成型になるため、成型品の品質管理を金型上で行なえることにメリットがある。
【００６１】
以上のように実施の形態３によれば、ディスペンサにより吐出された液体樹脂の金型に対しての濡れ性を検出することにより、成型品の品質を安定させることができる。
【００６２】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、固定金型及び可動金型を有する金型ユニットにより転写パターンを成型品に転写する転写装置であって、金型ユニット内に残留する成型品を検出する転写装置、固定金型の内面に塗布された液体樹脂の塗布サイズを計測する転写装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１  転写装置
２  視覚センサ（撮像手段、固定金型視覚センサ、可動金型視覚センサ）
３  検出部（検出手段）
４  反転機構
５  金型ユニット
６ａ  固定金型
６ｂ  可動金型
７ａ  内面
７ｂ  内面
８  ロボット
９  計側部
１１  下部固定台
１２  保持体
１３  移動体
１４  保持体
１５  上部固定台
１６  支柱
１７  液体樹脂
Ｄ１  塗布サイズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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