(57)【要約】【課題】一方のフレキシブルな基板および他方のフレキシブルな基板の材料としてそれぞれ用いる熱収縮性のシートのいずれか一つにリブを形成し、このリブを形成したシートに加熱処理を施した後、他方のシートと貼合せる場合に、貼り合せた後のパネル体の反りや歪みの発生を回避する。【解決手段】フレキシブルな基板の材料として二枚の熱収縮性のシートを用いる電子デバイスの製造方法において、双方を同じシート材とするとともに、いずれか一方のシートにリブを形成し、次いで該シートに加熱処理を施すに際し、リブを形成していないシートについても、リブを形成したシートと同じ条件で加熱処理を施すことにより、これら二枚のシートの熱収縮を揃える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のフレキシブルな基板間にリブを備えたフレキシブルな電子デバイスの製造方法において、２枚のフレキシブルな基板として熱収縮性を有する同じ材料のシートを用いるものとし、
該２枚のシートのいずれか一方のシートにリブを形成し、次いで該シートに加熱処理を施すに際し、
リブを形成していないもう一方のシートについても、リブを形成したシートと同じ条件で加熱処理を施すことにより、前記２枚のフレキシブル基板の熱収縮を揃えた後、前記２枚のフレキシブル基板を貼り合せることを特徴とするフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記リブを形成していないシートに加熱処理を施すに際し、少なくともシート上に形成された電極面に保護フィルムを設けたことを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記保護フィルムとして、前記加熱処理後に前記シートから剥離可能な耐熱性を有する剥離用フィルムを用いることを特徴とする請求項２に記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記フレキシブルな電子デバイスが、少なくとも一方が透明な２枚のフレキシブルな基板間にリブを備え、該リブで囲まれたセル内に表示媒体を配置し、該表示媒体に電界を付与することにより、該表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２枚のフレキシブルな基板として熱収縮性材料のシートを用いるフレキシブルな電子デバイスの製造方法に関し、特に、上記シートに形成したリブを加熱処理（焼成）することに起因する、２枚のフレキシブルな基板を貼り合せた後のパネルの反りや歪みの発生を防止しようとするものである。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルな電子デバイスの一例として、例えば、パッシブ駆動方式のドットマトリックス表示型情報表示用パネルや、リライタブルペーパー型情報表示用パネルが知られている。
例えば、パッシブ駆動方式のドットマトリックス表示型情報表示用パネルは、図１〜２に示すように、パネル部１として、リブ２で囲まれた基板３、４間のセル空間内に、正帯電性黒色粒子５Ｂａを含んだ黒色粒子群５Ｂおよび負帯電性白色粒子５Ｗａを含んだ白色粒子群５Ｗを封入し、ドライバーＩＣ６、７によってストライプ電極８、９に電圧を付与して黒色粒子群５Ｂおよび白色粒子群５Ｗを駆動するものである。
また、リライタブルペーパー型情報表示用パネルは、図３に示すように、パネル部１０には電極を備えず、電極を備えた外部の表示書換手段（例えば、対向電極を備え、この電極間に電界を形成可能な電界形成手段）を用いることで表示媒体である黒色粒子群５Ｂおよび白色粒子群５Ｗを駆動して表示書き換えを行なうものである。
【０００３】
上述したようなフレキシブルな電子デバイスを製造する方法として、特許文献１に示されるような、基板の材料であるフレキシブルな樹脂製シート（熱収縮性のシート）を、ローラに巻かれた連続したウェブシートとして製造ラインで取り扱う、ロール・トゥ・ロール手法が知られている。
特許文献１に示される手法では、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）を電極形状に形成するＩＴＯパターニング工程（必要な場合のみ）、リブ形成工程、接続用電極などの電極形成工程（必要な場合のみ）、リブの上部への接着剤配置工程および接着剤一次硬化工程を実施して、リブ上部の接着剤層をタックフリー化する前工程を実施した後、図４に示す工程を経て情報表示用パネルを製造している。ここに、図中、１１はリブを形成した方の基板、１２はリブを形成しない方の基板、１３はウェブシートロール、１４は樹脂製シート、１５は表示媒体除去用吸着ロール、１６はカッター、１７、１８は枚葉基板、１９は減圧チャンバー、２０はオートクレーブを示す。
【０００４】
特許文献１では、一方の基板の材料とする樹脂製シートと、他方の基板の材料とする樹脂製シートとの長手方向および幅方向（それぞれ、ＭＤ方向およびＴＤ方向とも称す。図５参照）を互いに一致させて各工程を行なうようにすることで、一方の基板と他方の基板との変形条件を一致させて、貼り合わせ後のパネルの反りや歪みの発生を防止しようとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２１２８５６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述したロール・トゥ・ロール手法を用いてフレキシブルな情報表示用パネルを製造するに当たり、リブをフォトリソグラフィー法（フォトリソ法）で形成する場合、レジスト材を露光および現像してリブを形成するが、この露光および現像後に未反応成分や揮発性成分が残っていることがある。情報表示用パネルとして使用しているうちにこのリブ中の残存成分が表示媒体に移行するためか、情報表示用パネルの表示書き換え耐久性に影響が出る場合があった。
そこで、リブ（隔壁）で囲まれたセル内に配置する表示媒体への影響を鑑みて、フォトリソ法で形成したリブを焼成する加熱処理工程を追加したところ、貼り合せた後のフレキシブルなパネルが反ったり歪んだりする問題が生じることが判明した。
【０００７】
本発明は、上記の現状に鑑み開発されたもので、一方のフレキシブルな基板および他方のフレキシブルな基板の材料として用いる熱収縮性を有するシートのいずれか一方のシートにリブを形成し、次いでこのシートに形成されたリブに加熱処理を施す場合に、貼り合せた後のフレキシブルなパネル体の反りや歪みが発生することを回避できるフレキシブルな電子デバイスの製造方法を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明の要旨構成は以下のとおりである。
１．２枚のフレキシブルな基板間にリブを備えたフレキシブルな電子デバイスの製造方法において、２枚のフレキシブルな基板として熱収縮性を有する同じ材料のシートを用いるものとし、
該２枚のシートのいずれか一方のシートにリブを形成し、次いで該シートに加熱処理を施すに際し、
リブを形成していないもう一方のシートについても、リブを形成したシートと同じ条件で加熱処理を施すことにより、前記２枚のフレキシブル基板の熱収縮を揃えた後、前記２枚のフレキシブル基板を貼り合せることを特徴とするフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【０００９】
２．前記リブを形成していないシートに加熱処理を施すに際し、少なくともシート上に形成された電極面に保護フィルムを設けたことを特徴とする上記１に記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【００１０】
３．前記保護フィルムとして、前記加熱処理後に前記シートから剥離可能な耐熱性を有する剥離用フィルムを用いることを特徴とする上記２に記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【００１１】
４．前記フレキシブルな電子デバイスが、少なくとも一方が透明な２枚のフレキシブルな基板間にリブを備え、該リブで囲まれたセル内に表示媒体を配置し、該表示媒体に電界を付与することにより、該表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルであることを特徴とする上記１〜３のいずれかに記載のフレキシブルな電子デバイスの製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、リブを形成したシートとリブを形成していないシートの双方を同じ材料とするとともに、双方に同じ条件で加熱処理を施すことにより、これらのシートの熱収縮を揃えることができるため、シート双方の変形量や変形方向を確実に一致させることができ、その結果、貼り合せた後のフレキシブルなパネル体の反りや歪みの発生を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】パッシブ駆動方式のドットマトリックス表示型情報表示用パネルの構造について説明するための図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】パッシブ駆動方式のドットマトリックス表示型情報表示用パネルの動作について説明するための斜視図である。
【図３】リライタブルペーパー型情報表示用パネルについて説明するための斜視図である。
【図４】ロール・トゥ・ロール手法による情報表示用パネルの製造要領を示す工程図である。
【図５】ロール・トゥ・ロール手法による情報表示用パネルの製造要領におけるシートの長手方向と幅方向を説明するための斜視図である。
【図６】本発明に係るフレキシブルな電子デバイスの製造方法の第１実施態様について説明するための工程図である。
【図７】本発明に係るフレキシブルな電子デバイスの製造方法の第２実施態様について説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る情報表示用パネルの製造方法について詳細に説明する。
（第１実施態様）
まず、基板に電極を備えないリライタブルペーパー型情報表示用パネルの製造方法を例にして本発明に係る電子デバイスの製造方法の第１実施態様について説明する。
リライタブルペーパー型情報表示用パネルでは、少なくとも一方が透明な２枚の基板間に帯電性粒子を含んだ粒子群で構成した表示媒体を封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像等の情報を表示する。このような情報表示用パネルをフレキシブルな電子デバイスとして製造する際、２枚の基板の双方をフレキシブルにするため、樹脂製のシートを基板材料として用いる。このような樹脂製シートは熱収縮性を有しているので双方とも同じ材料のシートを用いる。
【００１５】
このような樹脂製シートは、ウェブシートとして準備しておけばロール・トゥ・ロール手法で取り扱える。そして、このようなウェブシートのロール（巻反）は、二軸延伸装置などで延伸されて所定の厚さにされた樹脂製シートが芯に巻かれた巻反として準備される。したがって、このように準備された樹脂製シートは熱収縮性を有するシートとなる。
フレキシブルな情報表示用パネルのようなフレキシブルな電子デバイスを製造する場合は、少なくとも一方を透明な領域を有する樹脂製シートのウェブとすることが好ましく、透明な領域は、可視光の透過率が高いことが好ましい。また、ロール状に巻いて取り扱える可撓性を有する材料が好適である。材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、アクリル樹脂などが挙げられる。シートの厚さは、２μｍ〜５００μｍが好ましく、さらに５μｍ〜２００μｍが好適である。２μｍよりも薄いと、強度的に弱く、取り扱いにくくなり、５００μｍより厚いと、ロール状にして取り扱いにくくなる。
【００１６】
そして、本発明は、２枚の基板の双方を同じ材料の樹脂製シート、すなわち、熱収縮性を有するシートとし、２枚のシートのいずれか一方のシートにリブを形成し、次いでこのリブが形成された方のシートに加熱処理を施すに際し、リブを形成していない方のシートについても、リブを形成したシートと同じ条件で加熱処理を施すことにより、これら２枚のシートの熱収縮を揃えるところに特徴がある。
【００１７】
以下、この加熱処理について、その前後の工程も含め、図６を用いて説明する。
図中、２１はリブを形成するウェブシート、２２はリブを形成しないウェブシート、２４はリブ用ドライレジスト材である。なお、前掲図１〜５において示したものと同じ構成については、同じ符号を付して示す。
まず、工程ａにおいてウェブシート２１、２２のロール巻反、具体的には樹脂製ウェブシートのロール巻反を二つ準備する。
次に、工程ｂにおいて、リブを形成する方のウェブシート２１にリブ用ドライレジスト材（ドライレジストフィルム）２４を積層し、工程ｃでリブ（隔壁）２を形成する。リブ２の形成はフォトリソ法で行なう。
【００１８】
そして、本実施態様では、工程ｄにおいて、リブを形成したウェブシート２１に対してリブ２を焼成する加熱処理を施すが、その際、リブを形成していないウェブシート２２にもウェブシート２１と同じ条件で加熱処理を施すのである。このようにすることで、リブを形成したウェブシート２１とリブを形成していないウェブシート２２との熱収縮を揃えることができる。すなわち、リブを形成したウェブシート２１と同等の収縮率でリブを形成していないウェブシート２２も収縮させることができ、その結果、これらのシートから枚葉基板１７、１８を裁断し（工程ｅ）、貼り合せる際のアライメントずれや、貼り合せ後のパネルの反りや歪みの発生を効果的に防止することができる。図６（ｄ）にある三角マーク（△）は、加熱処理を示している。
ここに、同じ条件で加熱処理を施すとは、全く同一のタイミングおよび温度で施すことが好ましいが、必ずしもこれだけを意味するものではない。リブ２の焼成がそもそも必要ない、リブを形成していないウェブシート２２にも、リブを形成したウェブシート２１と同様の加熱処理を行なうところに本発明の特徴があるのであり、貼り合せ後のパネルにおける反りや歪みの発生が十分に防止できる範囲で、加熱処理のタイミングおよび温度のずれを許容することができる。
なお、リブを焼成するために行う加熱処理の温度条件はリブ材料と基板のベース基材の種類に依るが、基板のベース基材としてＰＥＴ基材を使う場合の加熱処理の温度条件は、６０℃〜１８０℃程度とすることが好ましい。その際、二つのウェブシート２１、２２に対して行う加熱処理温度のずれとしては、２０℃程度が許容範囲である。
【００１９】
また、リブの形成前にリブ用のドライレジスト材を積層する際に、ドライレジスト材とウェブシート２１との密着を高めるために加熱工程を行なう場合には、この加熱工程においても、リブを形成しない方のウェブシート２２について同じ条件で加熱工程を行うことが好ましい。
なお、この加熱工程の温度条件はドライレジスト材およびウェブシート２１のベース基材の種類に依るが、シートの基材としてＰＥＴを用いる場合の温度条件は、６０℃〜１２０℃程度とすることが好ましい。その際、二つのウェブシート２１、２２に対して行う加熱工程の温度のずれとしては、２０℃程度が許容範囲である。
【００２０】
（第２実施態様）
次に、基板に電極を備えるパッシブ駆動方式のドットマトリックス表示型情報表示用パネルの製造方法を例にして本発明に係る電子デバイスの製造方法の第２実施態様について説明する。
本実施態様では、リブを形成していない方のウェブシートに加熱処理を施すに際し、少なくとも電極面に保護フィルムを設けること以外は、前述した第１実施態様と同様である。
具体的には、図７に示すように、工程ａにおいてＩＴＯ膜付のウェブシート２１、２２のロール巻反、具体的には樹脂製ウェブシートのロール巻反を二つ準備する。その際、ＩＴＯ膜２３は電極としてパターニングが施されているものとする。そして、リブを形成していない方のウェブシートに対して工程ａに次いで行なう工程ｆにおいて、リブを形成していないウェブシート２２の電極面に保護フィルム２５を貼着し、この状態で熱処理工程ｄを行なうことができる。このようにすることで、熱処理工程ｄにおいて、電極が破損したり、傷ついたりすることを確実に防止することができる。図７（ｄ）にある三角マーク（△）は、加熱処理を示している。
なお、保護フィルム２５は、例えば、リブを形成していないシート２２から枚葉基板１８を裁断する工程ｅで剥がせばよい。
【００２１】
また、保護フィルムとしては、熱処理工程ｄで行う加熱処理後にシートから容易に剥がすことができる耐熱性を有する剥離用のフィルムを用いることが好ましい。
例えば、ＰＥＴ基材を使う場合にはリブ焼成の温度は、６０℃〜１８０℃程度で行うので、少なくとも１８０℃に達するまではリブを形成していないシートと同様の熱収縮率を備えるフィルムであり、１８０℃程度の加熱を受けた後でも貼着した基材から容易に剥離できることを意味する。
保護フィルムとして上述したような耐熱性を有するフィルムを用いることにより、熱処理工程において保護フィルムが極端に変形してリブを形成していないシートに皺や撚れが発生することを防止することができる。また、加熱により粘着力が増加してしまわないような粘着剤を備えた剥離用フィルムを用いることで、保護フィルムを剥がす工程で電極が破損するような不具合につながることも防止することができる。
【００２２】
なお、耐熱性の保護フィルムとしては、低熱収縮性のＰＥＴフィルムに微粘着性の粘着剤が付与されているものが好ましい。ＰＥＴフィルムの厚みは１０μｍ〜１００μｍとすることが好ましく、より好ましくは、２０μｍ〜７０μｍである。薄すぎるとハンドリングが困難であるとともに基材上の電極を十分に保護できないことがあり、厚すぎるとこの保護フィルムが貼着されたウェブシートを巻き取る際の変形の影響が大きくなるためである。
粘着剤はアクリル系を用いることが好ましい。また、粘着剤の厚みは、好ましくは１μｍ〜３０μｍとし、より好ましくは３μｍ〜２０μｍとする。厚すぎると一般的に粘着力が増加するため、熱処理工程を実施した後に保護フィルムを剥がす工程で支障が出る可能性があり、薄すぎると加工性やコスト面に不利があるためである。
【００２３】
具体的には、ベース基材（低熱収縮性のＰＥＴフィルムなど)の上に微粘着性の粘着剤（アクリル系など）と剥離用の耐熱性フィルムが積層された保護フィルムを用いることができ、より具体的には、日東電工社製 Ｅ−ＭＡＳＫ ＩＰ３００など(低熱収ＰＥＴ ３８μｍ /アクリル系粘着剤 ５μｍ)を用いることができる。
なお、上記したような保護フィルムは、電極面側の片面のみではなく、両面に貼着してもよい。また、保護フィルムはリブを形成していない方のシートに貼着するものとして説明したが、同様の保護フィルムを、リブを形成した方のシートにも貼着してよいことは言うまでもない。
【００２４】
なお、前述したリブ形成前の加熱工程およびリブ形成後の加熱処理工程以降の工程としては、情報表示用パネルに係る従来技術として説明した特許文献１に記載された工程を使用して本発明の係る電子デバイスを製造することができるが、主な工程について説明すると以下のとおりである。
（貼り合せ工程（シール剤硬化工程））
前掲図４に示したように、リブを形成したウェブシートをウェブシートのままロール・トゥ・ロールで表示媒体充填工程を実施した後、裁断して作製した枚葉基板（マザー基板）１７と、リブを形成していないウェブシートを裁断して作製した枚葉基板（マザー基板）１８とを、減圧チャンバー１９内において所定の減圧下で貼り合わせることが好ましい。この貼り合わせ工程は、例えば紫外線（ＵＶ光）を照射させながら減圧下でプレスして、シール材を光硬化させて、二枚のマザー基板１７、１８を仮に貼り合せるシール材硬化工程を含むものであり、表示媒体を配置したマザー基板１７に、もう一方のリブを形成していない方のマザー基板１８を、個々の情報表示用パネルの周囲に対応する領域に配置したシール材面が下になるようにして重ね合わせ、両者をアライメントした後にシール材を硬化させることができる。
【００２５】
（接着剤硬化工程）
次に、前掲図４に示したように、貼り合わせおよびシール材硬化が完了して２枚のマザー基板１７、１８が貼り合わされたマザーパネル前駆体２７を減圧チャンバー１９の外部に設置したオートクレーブ２０内に移動して、所定圧力の下で加熱してリブ上に配置済であり、仮硬化によってタックフリーになっている接着剤をさらに硬化（本硬化）させて、２枚のマザー基板間を接着する接着剤硬化工程を行なうことが好ましい。この工程は、オートクレーブ２０を用いて、マザーパネル前駆体に対して加熱および加圧しながら行なうことが好ましい。
なお、シール材硬化工程および接着剤硬化工程に用いるシール材および接着剤は、互いに異なる硬化速度を有する硬化系に属するものを用いることが好ましく、例えばシール材硬化工程では硬化速度が速いシール材（例えばＵＶ硬化系シール剤）を使用し、接着剤硬化工程では硬化速度が遅い接着剤（例えば熱硬化系接着剤）を使用する。
【００２６】
（情報表示用パネルを得る工程）
その後、打ち抜き工程によって、２枚のマザー基板が貼り合わされて得られたマザーパネルを分断して個片化することにより、１枚ずつの情報表示用パネルを得る。
なお、上記各工程を実施する順番は、上記に限定されるものではなく、必要に応じて実施する順番を変更することができる。
【００２７】
以下、本発明の対象となる情報表示用パネルなどの電子デバイスを構成する他の部材および材料について説明する。
（ストライプ状電極）
フレキシブルな基板に対してストライプ状に設ける電極の電極形成材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン（例えば、ＰＥＤＯＴＯ：ＰＳＳ）などの導電性高分子類が例示され、適宜選択して用いられる。電極の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状にした後、パターニング形成する方法や、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布した後パターニング形成する方法が用いられる。情報表示用パネルのような電子デバイスではその視認側（表示面側）に配置される電極は透明である必要があるが、背面側に配置する電極は透明である必要がない。いずれの場合もパターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、電極の厚さは、導電性が確保でき、視認側においては光透過性に支障がなければ良く、３ｎｍ〜１０μｍ、特には５ｎｍ〜５μｍが好適である。
【００２８】
（リブ）
電子デバイスの２枚の基板間ギャップを確保するためのスペーサーとなるリブや、表示などの媒体とする粒子群を収納するセルを形成するために設けるリブは、レジスト材を用いたフォトリソ法で形成することが好ましい。レジスト材としてはドライレジスト材をフィルム上に形成したドライレジストフィルムがハンドリングの点で好ましく、例えば、アルフォＮＩＴ２（ニチゴーモートン社製）やＰＤＦ３００（新日鐵化学社製）をリブ用の基材として使用する。
上記リブにおいて、基板間ギャップ確保用のスペーサーとなるリブの幅は、２０μｍ〜１００μｍの範囲とし、セル形成用のリブの幅は、５μｍ〜３０μｍの範囲とすることが好ましい。また、リブの高さは、５μｍ〜１００μｍの範囲とし、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする方式の電子デバイスである情報表示用パネルでは、リブの高さを、１０μｍ〜１００μｍの範囲とすることが好ましい。
これらのリブにより形成されるセルは、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状が例示され、配置としては格子状やハニカム状や網目状が例示される。情報表示用パネルにおいて、視認側から見えるリブ断面部分に相当する部分（セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、表示状態の鮮明さが増す。
基板間ギャップ確保用のスペーサーとしては上記リブのほかに、柱状スペーサー、球状スペーサーのようなドット状スペーサーを用いることもできる。
【００２９】
（リブの形成）
電極を備える情報表示パネルのような電子デバイスを製造する場合においては、基板に設けるリブの形成位置は、次の二通りに大別される。リブが未形成のシートに対し、まずリブを形成し、次に電極を形成する製造方法（製造方法１）と、リブが未形成のシートに、まず電極を形成し、次にリブを形成する製造方法（製造方法２）とである。
［製造方法１］製造方法１では、まず、樹脂製のウェブシートの一方の面に蒸着、スパッタリング、塗布、印刷のいずれかの方法で形成した導電性膜を、フォトリソ法やエッチング法によってパターニングすることでストライプ電極を製造することができる。次に、ストライプ電極の上にリブ用のレジスト材を積層形成した後、フォトリソ法を用いてリブを形成することができる。
［製造方法２］製造方法２では、まず、樹脂製のウェブシートの一方の面に、リブ用のレジスト材を積層形成した後、フォトリソ法を用いてリブを形成し、次に、リブが形成された面とは反対側の面に、蒸着、スパッタリング、塗布、印刷のいずれかの方法で形成した導電性膜を、フォトリソ法やエッチング法によってパターニングすることでストライプ電極を形成することができる。
【００３０】
（フレキシブルな電子デバイスの基板について）
フレキシブルな電子デバイスとするためにフレキシブルな二枚の基板を用いる。したがって、二枚の基板には熱収縮性を有するシートを用いることになる。このような熱収縮性を有するシートでは、二枚のシートの変形条件を一致させるために、それぞれのシートの長手方向（ＭＤ方向）および幅方向（ＴＤ方向）を一致させて貼り合せることが好ましい。例えば樹脂製シートとして二軸延伸させたシートであるＰＥＴシートを用いる場合には、長手方向（ＭＤ方向）／幅方向（ＴＤ方向）の熱収縮率が異なるため、樹脂製シートの長手方向（ＭＤ方向）および幅方向（ＴＤ方向）を異ならせて貼り合せた場合には、貼り合せ後のパネルの反りや歪みが生じる原因となるので、樹脂製シートの長手方向（ＭＤ方向）／幅方向（ＴＤ方向）を一致させて貼り合せることが好ましい。
また、一つの樹脂製ウェブシートを幅方向の左右に二分して第１の樹脂製ウェブシートと第２の樹脂製ウェブシートとする場合、このウェブシートに形成するストライプ電極は、この樹脂製ウェブシートの同じ位置の左右にそれぞれ、ストライプ電極が直角を成すように形成することが好ましい。このようにすることで、同じ樹脂材料製シートを用いるとともに、同じ延伸履歴を有する樹脂製ウェブシートにおいて樹脂製シートの長手方向（ＭＤ方向）と幅方向（ＴＤ方向）とを一致させた貼り合せができるようになる。
また、電子デバイスの製造工程内で熱収縮性を有する樹脂製シートが受ける熱履歴を揃えることにより、二枚のシートを貼り合わせた後のパネル体の反りや歪みをさらに小さくすることができる。
さらに、それぞれの樹脂製シートとして、同一材料のものを用いるとともに、ＨＣ層（ハードコート層）やバリア層等の複数層の積層構造の基板シートを用いる場合には、同一積層構造のものを用いることが好ましい。同一材料かつ同一積層構造の基板シートを用いる場合には、２枚の基板シートの熱変形量が一致するため、貼り合わせ後の２枚の基板シートの熱変形量の差に起因するパネルの反りや歪みの発生を防止することができる。
【００３１】
（表示機能を発現する媒体である表示媒体について）
本発明を適用する電子デバイスの一例である情報表示用パネルにおいて表示媒体として帯電性粒子を含んだ粒子群を用いる場合、表示媒体用粒子には、その主成分となる樹脂に、必要に応じて、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等を含ませることができる。帯電性粒子を含んだ粒子群以外にも、例えば、導電性粒子、コレステリック液晶などを用いてもよい。半分ずつ２色かつ異なる帯電極性を施された粒子を電界で回転させて表示する方式、コレステリック液晶に電圧を付与して相状態を変化させて表示する方式を採用することもできる。上記した表示媒体及び表示方式を採用することで、一度表示させた状態を、次に書き換えるまで保持する表示メモリー性を得ることができる。
したがって、これら表示媒体及び表示方式は、電子ペーパーとしての情報表示用パネルに適している。このうち、帯電性粒子を含んだ粒子群を、気体中（真空を含む）で移動する方式は、粒子群を配置した情報表示用パネル内面において粒子群が移動した基板に付着するメカニズムが働くので高い表示メモリー性が得られるため、特に好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明のフレキシブルな電子デバイスの製造方法によって作製した情報表示用パネルは、反りや歪みのない薄型でフレキシブルな電子ペーパーに適したパネル体であり、電子書籍や電子新聞等の電子ペーパーのほか、ノートパソコン、ＰＤＡ、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、看板、ポスター、黒板等の掲示板、電卓、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、電子ＰＯＰ、電子棚札、電子値札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部などに好適に用いられる。
【符号の説明】
【００３３】
１、１０  パネル部
２  リブ（隔壁）
３、４  基板
５Ｂａ  正帯電性黒色粒子
５Ｂ  黒色粒子群
５Ｗａ  負帯電性白色粒子
５Ｗ  白色粒子群
６、７  ドライバーＩＣ
８、９  ストライプ電極
１１  リブを形成した方の基板
１２  リブを形成していない方の基板
１３  ウェブシート巻反
１４  巻反から引き出された樹脂製シート（熱収縮性のシート）
１５  表示媒体除去用吸着ロール
１６  カッター
１７、１８  枚葉基板
１９  減圧チャンバー
２０  オートクレーブ
２１  リブを形成するウェブシート
２２  リブを形成しないウェブシート
２３  電極用にパターニングされた導電性膜（ＩＴＯ膜）
２４  リブ用ドライレジスト材
２５  保護フィルム
２６  シール材
２７  マザーパネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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