(57)【要約】【課題】打ち抜き穴を有する薄いテープ状フレキシブル基板などからなる基板へのスクリーン印刷工程において、強力かつ平坦に基板を固定することができる安価なスクリーン印刷装置及びその吸着ステージを提供する。【解決手段】基板１０をスクリーン印刷位置に搬送し、その位置で基板１０を固定して基板上にスクリーン印刷するためのスクリーン印刷装置において、表面に粘着層１４ａが形成された裏打ちシート１４がループ状に形成され、そのループに沿って裏打ちシート１４を繰り返し循環する粘着ベルト１３と、粘着ベルト１３の前部に搬送された基板１０を、粘着ベルト１３の裏打ちシート１４に押し付けて貼り合わせる貼付部２２と、印刷位置に搬送され、裏打ちシート１４に粘着保持された基板１０を、裏打ちシート１４毎吸着して基板１０を吸着固定する吸着板２０とを備えたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をスクリーン印刷位置に搬送し、その位置で基板を固定して基板上にスクリーン印刷するためのスクリーン印刷装置において、
表面に粘着層が形成された裏打ちシートがループ状に形成され、そのループに沿って裏打ちシートを繰り返し循環する粘着ベルトと、
前記粘着ベルトの前部に搬送された前記基板を、前記粘着ベルトの前記裏打ちシートに押し付けて貼り合わせる貼付部と、
印刷位置に搬送され、裏打ちシートに粘着保持された前記基板を、前記裏打ちシート毎吸着して前記基板を吸着固定する吸着板とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記粘着ベルトは、表面に粘着層が形成されたループ状の裏打ちシートの内側に配置されると共にその裏打ちシートを繰り返し循環する搬送ローラ群を備えた請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
搬送ローラ群は、スクリーン印刷位置の前後に位置した搬送ローラを備え、前記貼付部は、前部の搬送ローラの上方に設けられ、前部の搬送ローラとの間で、裏打ちシートに基板を圧着させる圧着ローラからなる請求項２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記粘着ベルトの搬送側の後端には、裏打ちシートに粘着された基板を剥離する剥離部が設けられる請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記裏打ちシートは、アクリル系の再剥離・再粘着テープである請求項１〜４いずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
表面に粘着層が形成された裏打ちシートがループ状に形成され、そのループに沿って裏打ちシートを繰り返し循環する粘着ベルトと、
裏打ちシートに粘着保持された前記基板を、前記裏打ちシート毎吸着して前記基板を吸着固定する吸着板と
を備えたことを特徴とする吸着ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡВテープなどのテープ状フレキシブル基板の製造工程における、ソルダーレジストの印刷工程に使用されるスクリーン印刷装置及びその吸着ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置では、真空吸着により、ＴＡВ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープからなるテープ状フレキシブル基板などの基板を固定した後、その基板にスクリーン印刷している。スクリーン印刷装置に搬送されるテープ状フレキシブル基板は、スプロケットホールやデバイスホールなど種々の打ち抜き穴が形成されており、真空吸着の際に、基板の打ち抜き穴よりエアーが漏れると、基板の保持力低下による印刷ズレやインクの吸引による吸着孔の目詰まりなどの不具合が生じる。
【０００３】
そのため吸着板は、基板の打ち抜き穴に対応する部分に吸着孔が存在しないような構造にする必要があるが、基板のレイアウト毎に吸着板が必要となるため、コストがかかってしまう。
【０００４】
特許文献１では、吸着板を各々吸着孔を塞ぐことができる構造とすることにより、吸着板を交換することなく吸引態様を任意に変更できることが提案されている。
【０００５】
また、材料となる基板は非常に薄いため、吸引による基板の変形がしばしば問題となる。
【０００６】
特許文献２では、打ち抜き穴のない粘着材を基板の反印刷面に貼り合わせ、接着材を介して基板を吸着することにより強力に基板を固定することが提案されている。この粘着材の補強により、基板の変形が抑制され、基板が平坦な状態で固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平０７−１３７２２６号公報
【特許文献２】特開平１１−１２３８０９号公報
【特許文献３】実開平０５−７４８３５号公報
【特許文献４】特開平０４−１５５８８９号公報
【特許文献５】特開昭５９−１５８２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、高精細なパターンを印刷するためには、基板を強めに保持することにより印刷ズレを抑制することが求められるが、従来の方法では吸着部の面積が限定されるため、必ずしも十分に基板を保持することができないという問題がある。
【０００９】
また、薄い基板の場合には、吸引口付近に吸引力により凹凸ができてしまい、レジストの厚みのムラの原因となる。
【００１０】
さらに、特許文献２では、粘着材の再利用ができないためコストがかかってしまう問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、打ち抜き穴を有する薄いテープ状フレキシブル基板などからなる基板へのスクリーン印刷工程において、強力かつ平坦に基板を固定することができる安価なスクリーン印刷装置及びその吸着ステージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、基板をスクリーン印刷位置に搬送し、その位置で基板を固定して基板上にスクリーン印刷するためのスクリーン印刷装置において、表面に粘着層が形成された裏打ちシートがループ状に形成され、そのループに沿って裏打ちシートを繰り返し循環する粘着ベルトと、前記粘着ベルトの前部に搬送された前記基板を、前記粘着ベルトの前記裏打ちシートに押し付けて貼り合わせる貼付部と、印刷位置に搬送され、裏打ちシートに粘着保持された前記基板を、前記裏打ちシート毎吸着して前記基板を吸着固定する吸着板とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置である。
【００１３】
請求項２の発明は、前記粘着ベルトは、表面に粘着層が形成されたループ状の裏打ちシートの内側に配置されると共にその裏打ちシートを繰り返し循環する搬送ローラ群を備えた請求項１記載のスクリーン印刷装置である。
【００１４】
請求項３の発明は、搬送ローラ群は、スクリーン印刷位置の前後に位置した搬送ローラを備え、前記貼付部は、前部の搬送ローラの上方に設けられ、前部の搬送ローラとの間で、裏打ちシートに基板を圧着させる圧着ローラからなる請求項２記載のスクリーン印刷装置である。
【００１５】
請求項４の発明は、前記粘着ベルトの搬送側の後端には、裏打ちシートに粘着された基板を剥離する剥離部が設けられる請求項１記載のスクリーン印刷装置である。
【００１６】
請求項５の発明は、前記裏打ちシートは、アクリル系の再剥離・再粘着テープである請求項１〜４いずれかに記載のスクリーン印刷装置である。
【００１７】
請求項６の発明は、表面に粘着層が形成された裏打ちシートがループ状に形成され、そのループに沿って裏打ちシートを繰り返し循環する粘着ベルトと、裏打ちシートに粘着保持された前記基板を、前記裏打ちシート毎吸着して前記基板を吸着固定する吸着板とを備えたことを特徴とする吸着ステージである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、打ち抜き穴を有する薄いテープ状フレキシブル基板などの基板をスクリーン印刷位置に搬送して固定する際に、基板の打ち抜き穴のレイアウトによらず強力かつ平坦に基板を固定することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２１】
図１において、１０は、ＴＡВテープなどテープ状の基板で、図には示していないが、基板巻出部と基板巻取部で構成される基板搬送装置で、図示の矢印方向に間欠的に移動されて順次スクリーン印刷位置となる吸着ステージ１１に搬送される。
【００２２】
吸着ステージ１１上には、基板１０にスクリーン印刷するためのスクリーンマスク１２が昇降自在に設けられる。基板１０は、基板搬送装置で、吸着ステージ１１上に間欠的に搬送され、吸着ステージ１１に吸着固定され、その状態で、スクリーンマスク１２で、ソルダーレジストがスクリーン印刷で塗布され、その後、吸着ステージ１１から搬出され、図示しない乾燥部でソルダーレジストが乾燥され、以後順次間欠的に搬送される間に、基板１０にスクリーン印刷と乾燥が行われて基板搬送装置の基板巻取部に巻き取られるようになっている。
【００２３】
吸着ステージ１１は、基板１０の幅より大きな幅で、かつ基板１０の厚さより厚く、また抜き穴などのない帯状のベルトでループ状に形成され、繰り返し粘着・剥離が可能な粘着層１４ａが表面に形成された裏打ちシート１４と、その裏打ちシート１４をループ状に移送させて繰り返し循環させるための搬送ロール群１５、１６、１７、１８からなる粘着ベルト１３と、搬送ロール群１５、１６、１７、１８のうちスクリーンマスク１２の前後に配置された搬送ロール１５、１６間の裏打ちシート１４の下部に設けられ、裏打ちシート１４に粘着された基板１０を裏打ちシート１４毎吸着して固定する吸着板２０とから構成される。
【００２４】
裏打ちシート１４は、基板１０の厚さより厚いアクリル系の再剥離・再粘着テープなど形成され、粘着層１４ａを定期的にアルコール洗浄を行うことにより繰り返し使用しても粘着力を保持できるようになっている。
【００２５】
吸着板２０は、その表面２０ａがスクリーンマスク１２による印刷面積より大きく形成されると共にその表面２０ａに多数の吸着孔２１が形成され、また図には示していないが真空ポンプに接続され、真空ポンプで吸着孔２１を負圧にして基板１０を粘着した裏打ちシート１４を吸引固定できるようになっている。
【００２６】
搬送ロール群１５、１６、１７、１８は、例えば、粘着ベルト１３の搬送側前部の搬送ロール１５が駆動モータに連結されて駆動ロールとされ、他の搬送ロール１６、１７、１８は、従動ロールとされる。
【００２７】
この前部の搬送ロール１５の位置の上方には、基板１０を、裏打ちシート１４を介して搬送ロール１５に押し付けてその粘着層１４ａに貼り付けるための貼付部２２が設けられる。この貼付部２２は、圧着ロール２３と、その圧着ロール２３を搬送ロール１５に押し付けるためのエアシリンダ２４から構成される。
【００２８】
粘着ベルト１３の搬送側後端には、裏打ちシート１４に粘着された基板１０を剥離するためのスクレッパーなどからなる剥離部２５が設けられる。この剥離部２５は、図では粘着ベルト１３の後端内側に設ける例を示したが、粘着ベルト１３の外側に設けるようにしてもよく、要は粘着ベルト１３の後端の裏打ちシート１４から基板１０を剥離できるものであればよい。
【００２９】
次に、本実施の形態の作用を説明する。
【００３０】
先ず、粘着ベルト１３の駆動ローラとしての搬送ロール１５を間欠的に駆動する。この間欠駆動は、スクリーンマスク１２の前後長さ分、基板１０を搬送できる時間駆動する。
【００３１】
これにより、基板１０は、スクリーンマスク１２下に間欠的に搬送される。この搬送の際に、貼付部２２は、基板１０と粘着ベルト１３の裏打ちシート１４とを搬送ロール１５で挟み、これにより基板１０は裏打ちシート１４の粘着層１４ａに貼り付けられる。
【００３２】
裏打ちシート１４に貼り合わされた基板１０が、吸着板２０の表面２０ａまで搬送されたとき、吸着板２０に接続された真空ポンプが駆動されて吸着孔２１に負圧が作用し、裏打ちシート１４をその吸引力で吸着固定する。この状態で、スクリーンマスク１２が降下され、スクリーンマスク１２によりソルダーレジストが塗布される。
【００３３】
この際、基板１０は、裏打ちシート１４に粘着され、その裏打ちシート１４がスクリーンマスク１２より大きな面積で、また裏打ちシート１４の幅と同じ幅に形成された吸着板２０に吸着保持されるため、広い面積を吸着することが可能となり、強力に基板１０を固定することができる。また、裏打ちシート１４の厚さは吸着時の変形に耐える厚さに形成されるため、基板１０が薄くても吸引力で基板１０が変形することがなく、基板１０を平坦な状態で固定される。
【００３４】
このスクリーンマスク１２よる印刷を終えた後は、スクリーンマスク１２が上昇され、同時に吸着板２０の吸着も停止され、搬送ロール１５が駆動されて基板１０が後方に搬送される。この際、粘着ベルト１３の後方には剥離部２５が設けられているため、基板１０は、裏打ちシート１４から容易に剥離される。
【００３５】
このように搬送ロール１５を間欠的に駆動し、また基板１０の搬送停止後に吸着板２０による吸着保持を行って印刷を行い、以後これを繰り返すことで基板１０へのソルダーレジストの印刷と乾燥が連続して行える。
【符号の説明】
【００３６】
１０  基板
１３  粘着ベルト
１４  裏打ちシート
１４ａ  粘着層
２０  吸着板
２２  貼付部
【図１】
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