(57)【要約】【課題】光モジュールの筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合するにあたり、筐体内部の気密性を確保し、光ファイバ保持部材等の光接続部品と筐体を強固に固定することができる光モジュールを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の光モジュールは、光学部品を収納可能な筐体と、前記筐体の一面に形成された円形状の透過窓と、前記透過窓の内壁に固定され、前記筐体の内部に光学的に連通される円筒形状の窓枠と、前記窓枠の内部に端面が前記筐体内部側に向けて固定され、光ファイバが端面と中心軸が一致するように挿入された円筒形状の光ファイバ保持部材と、前記窓枠の内部に固定され、かつ前記筐体外部側の端面が前記光ファイバ保持部材の端面と固定される、前記光ファイバ保持部材と同じ外径で中心軸が一致する円柱形状の屈折率分布型レンズと、を備える。【選択図】図１
2013231895.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品を収納可能な筐体と、
前記筐体の一面に形成された円形状の透過窓と、
前記透過窓の内壁に固定され、前記筐体の内部に光学的に連通される円筒形状の窓枠と、
前記窓枠の内部に端面が前記筐体内部側に向けて固定され、光ファイバが端面と中心軸が一致するように挿入された円筒形状の光ファイバ保持部材と、
前記窓枠の内部に固定され、かつ前記筐体外部側の端面が前記光ファイバ保持部材の端面と固定される、前記光ファイバ保持部材と同じ外径で中心軸が一致する円柱形状の屈折率分布型レンズと、
を備えることを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記窓枠を塞ぐように前記窓枠の内部に固定されたガラス板をさらに備え、
前記ガラス板の前記筐体外部側の面に前記屈折率分布型レンズの前記筐体内部側の端面が固定されていることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光モジュールに関する。さらに詳しくは、光通信分野等で平面光波回路モジュール、半導体レーザモジュール等といった各種光通信モジュールとして用いられる光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信に使われる平面光波回路（Ｐｌａｎａｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ：ＰＬＣ）モジュール、半導体レーザ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ：ＬＤ）モジュールやフォトダイオード（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ：ＰＤ）モジュール等の光モジュールにおいては、筐体の内部に収納されている平面光波回路等の光学部品（光素子）が結露等により劣化する場合がある。光モジュールの性能を最大に発揮させるためには、このような劣化を防止し、光モジュールの筐体の内部の気密性を高くした状態で、筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合する必要がある。
【０００３】
筐体の内部の気密性を高い状態にして、筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合する方法としては、例えば、樹脂被覆を除去して露出させた光ファイバ素線の外表面に、ニッケルメッキ層に金メッキ層を施した光ファイバ（メタライズファイバ）を光ファイバ保持部材に挿入し、金属膜が施された光ファイバと光ファイバ保持部材とを半田等で固定する方法等が採用されている。この方法により、光ファイバと光ファイバ保持部材との間の気密性を確保するとともに、光ファイバ保持部材を筐体の壁面に設けられた光透過部に嵌入させ、筐体の内部の気密性を確保しながら半田や溶接等で固定することが可能となる。
【０００４】
そして、光ファイバ保持部材等の光接続部品を用いて、光モジュールの筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合する手段としては、例えば、筐体の側面に設けた透過窓と屈折率分布型レンズなどのレンズとの間、屈折率分布型レンズとキャピラリ等の光ファイバ保持部材との間、さらに、気密性はないが屈折率分布型レンズの側面と筐体との間をそれぞれ紫外線硬化型接着剤等により固定する手段が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２等を参照。）。気密性を確保したい場合には、紫外線硬化接着剤などの有機系接着剤ではなく、半田で固定する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１０９２３６号公報
【特許文献２】特開２０１１−６９９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記した特許文献１に開示されている技術では、筐体に形成された透過窓と屈折率分布型レンズの間は、光透過性の樹脂接着剤により固定していた。
【０００７】
しかし、透過窓と屈折率分布型レンズの間を接着固定しただけでは接着力が弱いため、引っ張りや横方向への力が加わることによって、光ファイバ保持部材と屈折率分布型レンズの接着箇所が剥離する場合があった。
【０００８】
本発明は、前記の課題に鑑みてなされたものであり、光モジュールの筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合するにあたり、筐体内部の気密性を確保し、光ファイバ保持部材等の光接続部品と筐体を強固に固定することができる光モジュールを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の光モジュールは、光学部品を収納可能な筐体と、前記筐体の一面に形成された円形状の透過窓と、前記透過窓の内壁に固定され、前記筐体の内部に光学的に連通される円筒形状の窓枠と、前記窓枠の内部に端面が前記筐体内部側に向けて固定され、光ファイバが端面と中心軸が一致するように挿入された円筒形状の光ファイバ保持部材と、前記窓枠の内部に固定され、かつ前記筐体外部側の端面が前記光ファイバ保持部材の端面と固定される、前記光ファイバ保持部材と同じ外径で中心軸が一致する円柱形状の屈折率分布型レンズと、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の光モジュールは、前記した本発明において、前記窓枠を塞ぐように前記窓枠の内部に固定されたガラス板をさらに備え、前記ガラス板の前記筐体外部側の面に前記屈折率分布型レンズの前記筐体内部側の端面が固定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光モジュールは、光モジュールの筐体の外部の光ファイバと筐体の内部の光学部品を光結合するにあたり、筐体内部の気密性を確保し、光ファイバ保持部材等の光接続部品と筐体を強固に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る光モジュールの一態様を示した切断面状態図（光ファイバ保持部材の周辺）である。
【図２】本発明に係る光モジュールの一態様を示した切断面状態図（筐体の内部）である。
【図３】本発明に係る光モジュールの他の態様を示した切断面状態図（光ファイバ保持部材の周辺）である。
【図４】本発明に係る光モジュールの他の態様を示した切断面状態図（筐体の内部）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
【００１４】
（１）第１実施形態：
図１は、本発明に係る光モジュール１の一態様を示した切断面状態図（光ファイバ保持部材４の周辺）をそれぞれ示す。
【００１５】
（Ａ）光モジュール１の構成：
本発明に係る光モジュール１を構成する筐体２は、例えば、平面型、ＣＡＮ型、ＴＯＳＡ／ＲＯＳＡ型等の形状を採用することができる。本実施形態にあっては、筐体として、図１及び後記する図２に示すように、底板２１、側壁２２及び蓋体２３を有する略直方体形状の平面型の筐体２を例に挙げて説明している。筐体２は、底板２１、側壁２２及び蓋体２３により囲まれた内部に平面光波回路（Ｐｌａｎａｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ：ＰＬＣ）、半導体レーザ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ：ＬＤ）、フォトダイオード（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ：ＰＤ）等の光学部品（後記する図２を参照）を収納し、パッケージ化することができる。また、筐体２は、例えば、鉄−ニッケル系材料あるいは鉄−ニッケル−コバルト系材料の合金等を構成材料とすることができる。
【００１６】
筐体２の一面である側壁２２には、円形状の透過窓３１が形成されている。透過窓３１から、光モジュール１の筐体２の外部の光ファイバ６と筐体２の内部に収納された平面光波回路７（後記）等の光学部品を光結合することが可能となる。本発明にあって、透過窓３１は円形状であるが、そのサイズは、筐体２や後記する光ファイバ保持部材４や屈折率分布型レンズ５等のサイズ等により適宜決定することができる。筐体２の側壁２２への透過窓３１は、数値制御工作機械等の精密加工装置によって簡便に形成することができる。
【００１７】
透過窓３１の内壁には、筐体２の内部と外部とが光学的に連接される円筒形状の窓枠３２が固定されている。本実施形態にあっては、窓枠３２を塞ぐように、ガラス板３３が窓枠３２の内部に固定されている態様を示している。板状のガラス板３３は、例えば、サファイヤガラス、ホウ珪酸ガラス等の公知のガラス材料を構成材料とすることができる。窓枠３２へのガラス板３３の気密封止固定は、例えば、金−スズ合金等による半田封止あるいはロウ付け等により行うことができる。
【００１８】
本実施形態に係る光モジュール１の窓枠３２の内部には、図１に示すように、光接続部品となる光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５が固定される。
【００１９】
円筒形状の部材である光ファイバ保持部材４の中心軸に貫通孔４３が設けられ、貫通孔４３に光ファイバ６が挿入されている。光ファイバ保持部材４の端面４１と光ファイバ６の端面６１とを同一面となるよう一致させる。光ファイバ保持部材４は、例えば、ガラス、金属、セラミック等を構成材料とすることができる。光ファイバ保持部材４は、前記した窓枠３２の内部に、端面４１が筐体２内部側に向けて固定されるとともに、もう一方の端面４２は、本実施形態にあっては窓枠３２から外部に露出された態様を示している。
【００２０】
光ファイバ保持部材４の貫通孔４３に挿入される光ファイバ６は、例えば、石英ガラス等のシングルモードファイバを使用することができる。また、光ファイバ６の外径を、例えば、約１２５μｍとした場合、光ファイバ保持部材４の内径（貫通孔４３の外径）は、概ね１２６μｍで公差は＋１／−０μｍとすればよい。光ファイバ６と光保持部材４との間は、紫外線硬化型接着剤等により固定することができる。
【００２１】
屈折率分布型レンズ５は、例えば、半径方向に屈折率分布を有する屈折率分布型レンズ５を使用することができる。本実施形態にあっては、屈折率分布型レンズ５は、前記した光ファイバ保持部材４と同じ外径であり、中心軸も光ファイバ保持部材４及び挿入される光ファイバ６と一致するようにして配設される円柱形状の部材である。光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５を同じ外径とすることにより、これらを一緒に筐体２の窓枠３２に固定することが可能となり、筐体２に対して光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５の固定を十分な固定強度で行うことができる。
【００２２】
屈折率分布型レンズ５は、端面５１、５２のうち、筐体２外部側の端面５１が光ファイバ保持部材４の端面４１と固定され、筐体２内部側の端面５２が、窓枠３２の内部に固定されるガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａに固定されている。屈折率分布型レンズ５は、例えば、イオン交換型等で作製され、光軸と直交方向に屈折率を変化させた屈折率分布型レンズや、ＧＩ（Ｇｒａｄｅｄ  Ｉｎｄｅｘ）型光ファイバのプリフォーム等を適切な長さに切断して構成材料とすることができる。
【００２３】
筐体２の窓枠３２と、光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５との間は、少なくとも、隙間が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度空いており、この隙間を用いて光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５をガラス板３３の平面方向に沿って移動させることにより、筐体２の内部の光学部品との間で最適な光結合をさせることができる。その状態を保持したままで、紫外線硬化型接着剤あるいは熱硬化型接着剤等の接着剤８で固定することができる。また、ガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａと屈折率分布型レンズ５の端面５２との間は、紫外線硬化型接着剤等の接着剤等により固定することができる。屈折率分布型レンズ５と光ファイバ６は、紫外線硬化型接着剤等の接着剤により固定される。
【００２４】
図２は、本実施形態に係る光モジュール１の切断面状態図（筐体２の内部）である。なお、図２には、光ファイバ保持部材４の端面４１、４２、屈折率分布型レンズ５の端面５１、５２、光ファイバ６の端面６１、ガラス板３３の筐体外部側の面３３ａは載せていない。
【００２５】
図２に示すように、本実施形態の光モジュール１は、筐体２の内部に配設されるマウント２４の上に光学部品である平面光波回路７を収納している。平面光波回路７は、金属等の半田材料によってマウント２４に固定され、光導波路が形成された面（光導波路面）上にやとい７１が接着固定されており、また、平面光波回路７及びやとい７１にはコリメートレンズ等のレンズ７２が搭載されている。レンズ７２は、紫外線硬化型接着剤等により平面光波回路７等に固定されている。さらに、マウント２４は、筐体２の底板２１に金−錫等の半田材料あるいはＹＡＧレーザ溶接によって固定されている。
【００２６】
レンズ７２は、平面光波回路７の出射光が平行になる位置に調芯された状態で平面光波回路７等に固定されており、レンズ７２を介して平面光波回路７からの出射光をコリメート光として光モジュール１の筐体２の外部に取出したり、光モジュール１の筐体２の外部からのコリメート光を平面光波回路７に入射することになる。筐体２の内部に収納されるこれらの部品は湿気等により劣化しないように、筐体２の内部に不活性ガスを充填した状態で気密封止されている。
【００２７】
（Ｂ）調芯作業（光接続作業）の一例：
次に、図１及び図２に示した構成の本実施形態に係る光モジュール１において、調芯作業（光接続作業）の一例を説明する。
【００２８】
樹脂被覆６２を剥がして露出させ、必要により外表面にニッケルメッキ層に金メッキ層を施した光ファイバ６を、円筒状の光ファイバ保持部材４の貫通孔４３に挿入し、光ファイバ保持部材４の端面４１と光ファイバ６の端面６１とが同一面となるように固定する。また、光ファイバ保持部材４と光ファイバ６が、それらの中心軸が一致した状態で紫外線硬化型接着剤等を使用して固定される。
【００２９】
光ファイバ保持部材４の端面４１と光ファイバ６の端面６１が一致した状態で、光ファイバ保持部材４の端面４１及び光ファイバの端面６１と、屈折率分布型レンズ５の端面５１（筐体２外部側となる端面）を固定する。固定にあたっては、光ファイバ６及び光ファイバ保持部材４の中心軸と屈折率分布型レンズ５の中心軸を一致させる。一方、本実施形態に係る光モジュール１は、光ファイバ保持部材４の外径と屈折率分布型レンズ５の外径が一致している。このため、光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５を揃えるように一体化して固定すれば、両者の中心軸は一致することになり、光ファイバ６と屈折率分布型レンズ５との間の調芯作業は容易である。なお、光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５とは、紫外線硬化型接着剤で接続固定することにより、調芯後の固定が容易となる。
【００３０】
そして、側壁２２に円形状の透過窓３１を形成し、透過窓３１の内部に円筒状の窓枠３２を固定するとともに、窓枠３２を塞ぐようにガラス板３３を窓枠３２の内部に金−スズ半田あるいは銀ロウで固定する。レンズ付き平面光波回路から出射あるいは平面光波回路に入射されるコリメート光の中心が、ガラス板３３の中心から半径０．１ｍｍから０．５ｍｍの範囲に入るように、あらかじめ、筐体２のマウント２４に平面光波回路７を収納する。筐体２の窓枠３２に、一体化された光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５を嵌入させ、ガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａと屈折率分布型レンズ５の端面５２を接触させる。筐体２の内部に収納される平面光波回路７等の光学部品との光結合が最大の効率となるように、ガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａの面上で、一体化された光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５を最大１ｍｍまで移動させて調芯した後に、ガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａと屈折率分布型レンズ５の端面５２とを紫外線硬化型接着剤で固定する。また、これと同時に、窓枠３２の内部と光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５の外周面を、紫外線硬化型接着剤や熱硬化型接着剤等の接着剤８で固定するようにする。このようにして、光モジュール１の筐体２の外部の光ファイバ６と筐体２の内部の平面光波回路７等の光学部品を光結合することができる。
【００３１】
光ファイバやレンズがガラス板から離れて配置されている光モジュールでは、筐体の温度変動で光ファイバやレンズの光軸に垂直な方向に非対称な熱応力が発生すると、温度変化に伴って光結合状態が変化し、光損失増加が発生する場合がある。しかし、本発明のようにガラス板３３に屈折率分布型レンズ５を密着させ、しかも、光ファイバ６と屈折率分布型レンズ５が一体化されている場合には、光ファイバ６及び屈折率分布型レンズ５が温度変動で熱変位するところがほとんど無く、その結果、温度変動による損失増加が発生しにくくなる。
【００３２】
（２）本実施形態の効果：
以上説明した本実施形態に係る光モジュール１は、光モジュール１の筐体２の外部の光ファイバ６と筐体２の内部の平面光波回路７等の光学部品を光結合するにあたり、筐体２の側壁２２に窓枠３２を形成し、窓枠３２に光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５を外径を同じにして一体化固定するようにしたので、光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５と筐体２が強固に固定される。また、その結果、筐体の温度変動があっても、光ファイバ及び屈折率分布型レンズが温度変動で熱変位することがほとんどなく、温度変動による損失増が発生しにくくなる。
【００３３】
また、光ファイバ保持部材４の外径と屈折率分布型レンズ５の外径は一致しているため、光ファイバ保持部材４と屈折率分布型レンズ５を揃えるように一体化して固定すれば、光ファイバ保持部材４に挿入された光ファイバ６の中心軸と屈折率分布型レンズ５の中心軸は一致するため、屈折率分布型レンズ５と光ファイバ６の調芯作業を容易に行うことができる。
【００３４】
（３）第２実施形態：
（Ａ）光モジュール１の構成：
前記した第１実施形態では、筐体２の一面である側壁２２に円形状の透過窓３１を形成し、透過窓３１の内壁に固定された窓枠３２を塞ぐようにガラス板３３を窓枠３２の内部に配設固定し、ガラス板３３の筐体２外部側の面３３ａに屈折率分布型レンズ５の筐体２内部側の端面５２を固定した構成を例に示して説明した。一方、本発明の光モジュール１はこれらの構成には限定されず、窓枠３２の内部にガラス板３３を配設せず、屈折率分布型レンズ５を窓枠３２の内部に配設固定して窓枠３２を塞ぐようにしてもよい。
【００３５】
なお、以下の説明においては、前記した第１実施形態と同様の構造及び同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。
【００３６】
図３及び図４は、本発明に係る光モジュール１の他の態様を示した切断面状態図である。図３は光ファイバ保持部材４の周辺、図４は筐体２の内部である。図３及び図４に示した光モジュール１は、前記した第１実施形態と比較して、窓枠３２の内部にガラス板３３を配設しない点で相違し、それ以外の構成を共通とする。窓枠３２の内部にガラス板３３が配設されないため、屈折率分布型レンズ５が窓枠を塞ぐように窓枠３２の内部に固定されることになる。図４には、光ファイバ保持部材４の端面４１、４２、屈折率分布型レンズ５の端面５１、５２、光ファイバ６の端面６１は載せていない。
【００３７】
（Ｂ）調芯作業（光接続作業）の一例：
屈折率分布型レンズ５の外周面にニッケルや金のメッキ層を形成してから窓枠３２の内側に嵌入させ、この状態で窓枠３２を筐体２の透過窓３１に装着する。このまま、屈折率分布型レンズ５と窓枠３２との間、及び窓枠３２と側壁２２との間を金−スズ半田で一括して固定する。これにより、筐体２は気密封止される。樹脂被覆６２を剥がして露出させ、必要により外表面にニッケルや金等の金属膜を施した光ファイバ６を、円筒状の光ファイバ保持部材４の貫通孔４３に挿入して、紫外線硬化型接着剤で光ファイバ保持部材４に固定する。このとき、光ファイバ保持部材４の端面４１と光ファイバ６の端面６１が同一面となるようにする。
【００３８】
次に、光ファイバ保持部材４を窓枠３２に挿入して、光ファイバ６の端面６１と屈折率分布型レンズ５の端面５１（筐体２外部側となる端面）とを付け合せる。光ファイバ保持部材４の外径は屈折率分布型レンズ５の外径よりも０．１ｍｍから０．５ｍｍほど小さく設定する。光ファイバ保持部材４の外径を屈折率分布型レンズ５の外径よりも小さく設定することにより、光ファイバ６を上下左右に移動させることで調芯が可能になる。つまり、筐体２の内部の光学部品との間で最適な光結合をさせることができる。その状態を保持したままで、紫外線硬化型接着剤あるいは熱硬化型接着剤等の接着剤８で光ファイバ保持部材４を窓枠３２固定する。また、屈折率分布型レンズ５と光ファイバ６は、紫外線硬化型接着剤等の接着剤により固定する。
【００３９】
なお、本実施形態では、筐体２の形状として、底板２１、側壁２２及び蓋体２３を有する略直方体形状の平面型の筐体２を例に挙げ、側壁２２に円形状の透過窓３１を形成した態様を説明したが、筐体２の形状としてはこれには限定されず、例えば、平面型、ＣＡＮ型、ＴＯＳＡ／ＲＯＳＡ型等の形状を採用することができ、これらの形状の筐体２の一面に円形状の透過窓３１を形成するようにしてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、筐体２の内部に光学部品として平面光波回路７を収納した例を挙げて説明したが、光学部品としてはこれには限定されず、例えば、半導体レーザ、フォトダイオード等の従来公知の光学部品を収納、パッケージ化することができる。
【００４１】
（４）本実施形態の効果：
以上説明した本実施形態に係る光モジュール１は、光モジュール１の筐体２の外部の光ファイバ６と筐体２の内部の平面光波回路７等の光学部品を光結合するにあたり、筐体２の側壁２２に窓枠３２を形成し、窓枠３２に光ファイバ保持部材４及び屈折率分布型レンズ５を固定するようにしたので、筐体２に対する光ファイバ保持部材４、及び屈折率分布型レンズ５並びに光ファイバ６の固定を十分な固定強度で行うことができる。また、光ファイバ６と屈折率分布型レンズ５が一体化されている場合は、筐体の温度変動があっても、光ファイバ及び屈折率分布型レンズが温度変動で熱変位することがほとんどなく、温度変動による損失像が発生しにくくなる。
【００４２】
本発明の実施の際の具体的な構造及び形状等は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等としてもよい。
【００４３】
なお、以上に説明した実施形態は本発明の実施の一例であり、本発明はこれらの実施形態に制限されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、電気通信産業分野やエレクトロニクス産業分野で利用される光モジュールとして、産業上の利用可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１      光モジュール
２      筐体
２１    底板
２２    側壁
２３    蓋体
２４    マウント
３１    透過窓
３２    窓枠
３３    ガラス板
３３ａ  筐体外部側の面
４      光ファイバ保持部材
４１    端面
４２    端面
４３    貫通孔
５      屈折率分布型レンズ
５１    端面
５２    端面
６      光ファイバ
６１    端面
６２    樹脂被覆
７      平面光波回路
７１    やとい
７２    レンズ
８      接着剤
【図１】
2013231895.tif 000003
【図２】
2013231895.tif 000004
【図３】
2013231895.tif 000005
【図４】
2013231895.tif 000006