(57)【要約】      （修正有）【課題】チャンバー内に二つの基板をローディングして有機物蒸着を行う工程において、タックタイムを最小化できる基板移送システムを提供する。【解決手段】工程チャンバー２０、及びトランスファーチャンバー１０を含んで構成される蒸着システムにおいて、前記工程チャンバー内の一側及び他側上部には、前記基板２１を支持する基板支持台、前記基板支持台の下側に配置されてマスク２３を支持するマスク支持台、及び前記マスクと基板をアラインするために前記基板支持台の上側に配置される基板アラインブロックが備えられ、前記工程チャンバー内の底面には、前記基板上に有機物を蒸着させるために前記一側と他側との間で水平に往復運動する有機物蒸着源２５が備えられ、前記トランスファーチャンバーには、前記一側及び他側の基板支持台にそれぞれ前記基板を斜線方向に供給するために回転可能に設置されるロボットアーム１１が備えられることを特徴とする。【選択図】図３
2013204152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に有機物を蒸着する工程を行う工程チャンバー、及び前記工程チャンバー内に基板を移送させるトランスファーチャンバーを含んで構成される有機物蒸着システムにおいて、
前記工程チャンバー内の一側及び他側上部のそれぞれには前記基板を支持する基板支持台、前記基板支持台の下側に配置されてマスクを支持するマスク支持台、及び前記マスクと基板をアラインするために前記基板支持台の上側に配置される基板アラインブロックが備えられ、前記工程チャンバー内の底面には、前記基板上に有機物を蒸着させるために前記一側と他側との間で水平に往復運動する有機物蒸着源が備えられ、前記トランスファーチャンバーには、前記一側及び他側の基板支持台にそれぞれ前記基板を斜線方向に供給するために回転可能に設置されるロボットアームが備えられることを特徴とする有機物蒸着システム。
【請求項２】
前記基板アラインブロックは、前記基板支持台に前記ロボットアームによって斜線方向に供給される基板を載せるために、前記基板支持台を第１の回転位置に回転させた後、前記基板に対して蒸着工程を行うために前記基板支持台を蒸着遂行位置に再び回転させることを特徴とする、請求項１に記載の有機物蒸着システム。
【請求項３】
前記基板アラインブロックは、前記蒸着遂行位置で蒸着工程が完了した前記基板が斜線方向に搬出されるように、前記基板支持台を前記第１の回転位置に回転させることを特徴とする、 請求項２に記載の有機物蒸着システム。
【請求項４】
前記マスク支持台は、前記基板アラインブロックによって前記基板支持台と共に回転することを特徴とする、請求項２又は３に記載の有機物蒸着システム。
【請求項５】
前記基板アラインブロックは、前記蒸着工程を行う前に、前記蒸着遂行位置に回転した前記基板支持台に載せられた基板と、前記マスク支持台に支持されたマスクとを整列させることを特徴とする、請求項２に記載の有機物蒸着システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物蒸着システムに関し、特に、工程チャンバー内に二つの基板をローディングして有機物蒸着工程を行うにおいて、前記工程チャンバー内に基板を移送させるためのトランスチャンバー内のロボットアーム駆動構造を単純化させ、その結果、基板に対する有機物蒸着工程のタックタイム（ｔａｃｋ  ｔｉｍｅ）を最小化できる有機物蒸着システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光表示装置は、自発光型表示装置であって、視野角が広く、コントラストに優れるだけでなく、応答速度が速いという長所を有しており、次世代の表示装置として注目を浴びている。
【０００３】
有機電界発光表示装置に備えられる有機電界発光素子は、一般的に知られているように、互いに対向した第１及び第２の電極（アノード電極及びカソード電極）、及び前記各電極の間に形成された中間層で構成され、前記中間層には、多様な層、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層などを備えることができる。
【０００４】
前記のような構成を有する有機電界発光素子を製造するにおいて、基板上に形成される前記ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層などの各有機薄膜又は各電極は、蒸着装置を用いた蒸着方法によって形成することができる。
【０００５】
前記有機物蒸着方法は、一般に真空チャンバー内に基板を装着した後、蒸着される物質を入れた加熱容器を加熱し、その内部の蒸発される物質を蒸発又は昇華させることによって具現される。すなわち、基板上に形成しようとする有機物パターンの形状と同一の開口部を有するシャドーマスクを基板の前に整列させ、前記基板に有機物質を蒸発又は昇華させることによって前記基板上に有機薄膜などを蒸着するようになる。
【０００６】
このように、基板に対して有機物蒸着工程を行うためには、基板に対して有機物蒸着工程を行う工程チャンバー、前記工程チャンバーに基板を移送及び搬出するためのトランスファーチャンバー、及び前記トランスファーチャンバーに基板をローディング又はアンローディングするローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバーで構成された有機物蒸着システムが必要である。
【０００７】
一方、最近は、前記工程チャンバー内に二つの基板をローディングし、前記二つの基板に対して同時に又は順次有機物蒸着工程を行うことによって、基板に対する有機物の蒸着収率を増大させようとする努力がなされている。
【０００８】
図１は、従来の一般的な有機物蒸着システムの平面図で、図２は、二つの基板に対する有機物蒸着工程を行う工程チャンバーの正面図である。
【０００９】
図１及び図２に示したように、従来の一般的な有機物蒸着システム１００は、二つの基板に対して有機物蒸着工程が行われる工程チャンバー２０、前記工程チャンバー２０に基板を移送したり、工程チャンバーから基板を搬出するトランスファーチャンバー１０、及び前記トランスファーチャンバー１０との関係で基板をローディング又はアンローディングするローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバー１，２で構成される。
【００１０】
一方、前記ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバー１，２とトランスファーチャンバー１０との間には開閉部１ａ、２ａが備えられ、トランスファーチャンバー１０と工程チャンバー２０との間にも開閉部３ａが備えられることによって、真空が維持された状態で基板が移送又は搬送される。
【００１１】
前記工程チャンバー２０内には、一側及び他側上部にそれぞれ基板２１ａ、２１ｂを支持する基板支持台２２ａ、２２ｂが備えられ、前記基板支持台２２ａ、２２ｂの直ぐ下側には、マスク２３ａ、２３ｂを支持するマスク支持台２４ａ、２４ｂが配置される。そして、前記基板支持台２２ａ、２２ｂの上側には、前記基板２１ａ、２１ｂと前記マスク２３ａ、２３ｂを整列させるために前記基板支持台２２ａ、２２ｂ又はマスク支持台２４ａ、２４ｂを移動させる基板アラインブロック２８ａ，２８ｂが備えられる。
【００１２】
前記のように構成される前記工程チャンバー２０内に移送された二つの基板２１ａ、２１ｂ上には、前記工程チャンバー２０の底側に配置される有機物蒸着源２５で蒸発された有機物が蒸着される。前記有機物蒸着源２５は蒸着源収納部２７に収納され、前記蒸着源収納部２７は、移動手段２９によって前記工程チャンバー２０内で水平に往復運動する。
【００１３】
したがって、前記工程チャンバー２０内の一側及び他側上部に配置された基板支持台２２ａ、２２ｂに支持されている二つの基板２１ａ、２１ｂ上に有機薄膜を同時に又は順次蒸着することができる。
【００１４】
一方、前記工程チャンバー２０内に移送される二つの基板は、前記トランスファーチャンバー１０の内部に配置されるロボットアーム１１によって移送される。前記ロボットアーム１１は、それ自体で回転可能に構成され、空間活用を増大させるために関節を有している。一方、前記ロボットアーム１１は、前記トランスファーチャンバー１０の底面に形成された移動ブロック１１ａによって水平に往復運動できるように配置される。
【００１５】
したがって、前記ロボットアーム１１は、ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバー１，２から移送された基板を受けた後、前記工程チャンバー２０内の二つの基板支持台２２ａ，２２ｂに基板を移送させるためには前記移動ブロック１１ａに沿って左右方向に移動する動作を行わなければならない。
【００１６】
すなわち、前記ロボットアーム１１が前記工程チャンバー２０内の一側（左側）に基板を移送させるためには、前記移動ブロック１１ａに沿って左側に移動した後（図１の（ａ）地点に移動した後）、前記基板２１ａを前記有機物蒸着源２５が水平に移動する方向と直交する方向に真っ直ぐ移送させ、前記一側に配置される基板支持台２２ａに載せる。
【００１７】
その後、前記ロボットアーム１１は、前記工程チャンバー２０内の他側（右側）に基板を移送させるために、前記ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバー１，２から移送された基板を受け取る。そして、前記移動ブロック１１ａに沿って再び右側に移動した後（図１の（ｂ）地点に移動した後）、前記基板２１ｂを前記有機物蒸着源２５が水平に移動する方向と直交する方向に真っ直ぐ移送させ、前記他側に配置される基板支持台２２ｂに載せる。
【００１８】
以上説明したように、前記工程チャンバー２０内に二つの基板を移送させるためには、前記ロボットアーム１１が繰り返し左右水平移動を行わなければならないので、全体工程のタックタイムを増加させるという問題をもたらすとともに、前記ロボットアーム１１の水平往復運動のための空間を確保するために、前記トランスファーチャンバーを必要以上に大きく形成しなければならないという問題をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、前記のような従来技術の問題を解決するためになされたもので、工程チャンバー内に二つの基板をローディングして有機物蒸着工程を行うにおいて、前記工程チャンバー内に基板を移送させるためのトランスチャンバー内のロボットアーム駆動構造を単純化させることによって、基板に対する有機物蒸着工程のタックタイムを減少させることができ、チャンバーの大きさを減少させることができる有機物蒸着システムを提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前記のような課題を解決するために提案された本発明に係る有機物蒸着システムをなす構成手段は、基板上に有機物を蒸着する工程を行う工程チャンバー、及び前記工程チャンバー内に基板を移送させるトランスファーチャンバーを含んで構成される有機物蒸着システムにおいて、前記工程チャンバー内の一側及び他側上部のそれぞれには前記基板を支持する基板支持台、前記基板支持台の下側に配置されてマスクを支持するマスク支持台、及び前記マスクと基板をアラインするために前記基板支持台の上側に配置される基板アラインブロックが備えられ、前記工程チャンバー内の底面には、前記基板上に有機物を蒸着させるために前記一側と他側との間で水平に往復運動する有機物蒸着源が備えられ、前記トランスファーチャンバーには、前記一側及び他側の基板支持台にそれぞれ前記基板を斜線方向に供給するために回転可能に設置されるロボットアームが備えられることを特徴とする。
【００２１】
ここで、前記基板アラインブロックは、前記基板支持台に前記ロボットアームによって斜線方向に供給される基板を載せるために前記基板支持台を第１の回転位置に回転させた後、前記基板に対して蒸着工程を行うために前記基板支持台を蒸着遂行位置に再び回転させることを特徴とする。
【００２２】
ここで、前記基板アラインブロックは、前記蒸着遂行位置で蒸着工程が完了した前記基板が斜線方向に搬出されるように、前記基板支持台を前記第１の回転位置に回転させることを特徴とする。
【００２３】
ここで、前記マスク支持台は、前記基板アラインブロックによって前記基板支持台と共に回転するように構成することもできる。
【００２４】
ここで、前記基板アラインブロックは、前記蒸着工程を行う前に、前記蒸着遂行位置に回転した前記基板支持台に載せられた基板と前記マスク支持台に支持されたマスクを整列させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
前記のような課題及び解決手段を有する本発明に係る有機物蒸着システムによると、工程チャンバー内に二つの基板をローディングして有機物蒸着工程を行うにおいて、前記工程チャンバー内に基板を移送させるためのトランスチャンバー内のロボットアーム駆動構造を単純化させることによって、基板に対する有機物蒸着工程のタックタイムを減少させて生産収率を向上させることができ、チャンバーの大きさを減少させて空間活用度を増大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】一般的な従来の有機物蒸着システムの平面図である。
【図２】一般的な従来の有機物蒸着システムを構成する工程チャンバーの正面図である。
【図３】本発明の実施例に係る有機物蒸着システムの平面図である。
【図４】本発明の実施例によって基板を移送又は搬出するときの基板支持台及びマスク支持台の状態を説明するための平面図である。
【図５】本発明の実施例によって基板を移送又は搬出するときの基板支持台及びマスク支持台の状態を説明するための平面図である。
【図６】本発明の実施例によって基板を移送又は搬出するときの基板支持台及びマスク支持台の状態を説明するための平面図である。
【図７】本発明に係る有機物蒸着システムを通した有機物蒸着工程を説明するための工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して前記のような課題、解決手段及び効果を有する本発明に係る有機物蒸着システムに関する望ましい実施例を詳細に説明する。
【００２８】
図３は、本発明の実施例に係る有機物蒸着システムの平面図である。図３に示したように、本発明に係る有機物蒸着システムは、基板上に有機物を蒸着する工程を行う工程チャンバー２０と、前記工程チャンバー２０内に基板を移送させるトランスファーチャンバー１０とを含んで構成される。もちろん、前記トランスファーチャンバー１０には、一般的な有機物蒸着システムで説明したように、ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバーを連結することができる。
【００２９】
前記工程チャンバー２０は、従来の一般的な有機物蒸着システムで説明したように、基板支持台２２ａ，２２ｂ、マスク支持台２４ａ，２４ｂ及び基板アラインブロック２８ａ，２８ｂを備えている。
【００３０】
具体的に、前記工程チャンバー２０内の一側及び他側上部のそれぞれには有機薄膜を蒸着する基板２１ａ，２１ｂを支持する基板支持台２２ａ，２２ｂと、前記基板支持台２２ａ，２２ｂの下側に配置されてマスク２３ａ，２３ｂを支持するマスク支持台２４ａ，２４ｂと、前記マスク２３ａ，２３ｂと基板２１ａ，２１ｂをアラインするために前記基板支持台２２ａ，２２ｂの上側に配置される基板アラインブロック２８ａ，２８ｂとを備えている。
【００３１】
前記基板支持台２２ａ，２２ｂは、従来の基板支持台とは異なり、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって所定角度だけ回転するように備えられる。すなわち、前記基板支持台２２ａ，２２ｂは、前記ロボットアーム１１から斜線方向に移送される基板２１ａ，２１ｂを受け取るために、蒸着工程が行われる状態の位置で所定角度だけ回転できるように構成される。
【００３２】
前記基板支持台２２ａ，２２ｂの回転は、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂの駆動によって行われる。すなわち、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記基板２１ａ，２１ｂを前記マスク２３ａ，２３ｂに整列させる動作を行うだけでなく、前記ロボットアーム１１によって斜線方向（有機物蒸着源の水平往復運動方向に対して直交方向ではない、斜め方向）に流れてくる基板２１ａ，２１ｂを前記基板支持台２２ａ，２２ｂに載せるために、前記基板支持台２２ａ，２２ｂを回転できるように構成される。
【００３３】
例えば、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、二つの回転ユニットである第１の回転ユニット（図示せず）及び第２の回転ユニット（図示せず）を備える。前記第１の回転ユニットは前記基板支持台２２ａ，２２ｂを回転させる動作を行い、前記第２の回転ユニットは前記基板２１ａ，２１ｂを前記マスク２３ａ，２３ｂに整列させる動作を行う。前記第１の回転ユニット及び第２の回転ユニットは、一般的な回転ユニットを採択して構成することができる。
【００３４】
一方、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂに備えられる第１の回転ユニットは、前記基板支持台２２ａ，２２ｂのみならず、前記マスク支持台２４ａ，２４ｂを共に回転できるように構成されることが望ましい。すなわち、前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂは、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって同時に回転するように構成されることが望ましい。
【００３５】
前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂが前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂを回転させるための結合構造は、多様な方法によって構成することができる。例えば、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂ、前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂを回転シャフトで連結し、前記アラインブロックが前記回転シャフトを回転駆動することによって、前記基板支持台及びマスク支持台を所定角度だけ回転させることができる。本発明では、このような多様な回転結合構造のうちいずれか一つを採択することによって、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂが前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂを所定角度だけ回転できるように構成することができる。
【００３６】
一方、前記基板支持台２２ａ，２２ｂの下側には、一般的な有機物蒸着システムで説明したように、前記マスク２３ａ，２３ｂを支持するマスク支持台２４ａ，２４ｂが配置される。前記マスク支持台２４ａ，２４ｂは、上述したように、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって前記基板支持台２２ａ，２２ｂが所定角度だけ回転する過程で、前記基板支持台と共に所定角度だけ回転できるように構成される。もちろん、場合に応じて、前記基板アラインブロックによって前記基板支持台が回転するとき、前記マスク支持台は、基板に対して蒸着工程が行われる状態で固定できるように構成することもできる。
【００３７】
以上説明したように、前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂは、斜線方向に移送される基板を受け取るために所定角度だけ回転できるという点で従来の基板支持台及びマスク支持台と異なっている。また、本発明に係る基板アラインブロック２８ａ、２８ｂも、基板とマスクを整列する動作を行うだけでなく、前記基板支持台及びマスク支持台を回転駆動する動作を行えるという点で従来の基板アラインブロックと異なっている。
【００３８】
前記工程チャンバー２０内の底面には、従来の有機物蒸着システムで説明したように、前記基板２１ａ，２１ｂ上に有機物を蒸着させるために前記工程チャンバー２０内の一側と他側との間で水平に往復運動する有機物蒸着源２５が備えられる。
【００３９】
一方、前記工程チャンバー２０に基板を移送したり、工程チャンバー２０から基板を引き出すために、ロボットアーム１１を備える前記トランスファーチャンバー１０が工程チャンバー２０と隣接して配置される。すなわち、前記トランスファーチャンバー１０には、前記工程チャンバー２０内の一側及び他側に配置される基板支持台２２ａ，２２ｂにそれぞれ前記基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に供給するために回転可能に設置されるロボットアーム１１が備えられる。
【００４０】
前記ロボットアーム１１は、従来のロボットアームとは異なり、移動ブロックなどによって水平に往復運動できるように設置されず、前記トランスファーチャンバー１０の中央に固定設置され、関節を通して回転可能に設置される。
【００４１】
したがって、本発明に係る前記ロボットアーム１１は、ロードラックチャンバー又はローディング／アンローディングチャンバーから移送してきた基板を前記工程チャンバー２０の一側及び他側に配置された基板支持台２２ａ，２２ｂに斜線方向にそれぞれ移送する。すなわち、前記ロボットアームは、従来のように前記基板を前記有機物蒸着源の水平往復運動方向と直交する方向に真っ直ぐ移送せず、前記有機物蒸着源の水平往復運動方向に対して斜め方向に移送させる。
【００４２】
このように、前記ロボットアーム１１によって前記基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に前記基板支持台２２ａ，２２ｂに移送させるので、前記基板２１ａ，２１ｂを受け取って支持する基板支持台２２ａ，２２ｂは、基板に対して蒸着工程を進めるときの位置、すなわち、「蒸着遂行位置」で所定角度だけ回転し、前記斜線方向に移送される基板を受け取るようにしなければならない。前記斜線方向に移送される基板を受け取るために回転した前記基板支持台２２ａ，２２ｂの位置を「第１の回転位置」と定義する。
【００４３】
前記基板支持台２２ａ，２２ｂを蒸着遂行位置で第１の回転位置に回転させる動作は、上述したように、基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって行われる。上述したように、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂが前記基板支持台２２ａ，２２ｂを回転できる結合構造としては、一般に適用可能な多様な構造を採択することができる。
【００４４】
前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、図４に示したように、前記基板支持台２２ａ，２２ｂに前記ロボットアーム１１によって斜線方向に供給される基板２１ａ，２１ｂを載せるために、前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂを共に前記第１の回転位置に回転させる動作を行う。
【００４５】
すなわち、図４に示したように、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、蒸着遂行位置にある前記基板支持台２２ａ，２２ｂ及びマスク支持台２４ａ，２４ｂを所定角度θだけ回転させ、第１の回転位置に移動させる。
【００４６】
具体的に、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記基板支持台２２ａ，２２ｂと前記マスク支持台２４ａ，２４ｂを同時に回転できるように構成される。したがって、前記マスク支持台２４ａ，２４ｂは、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって前記基板支持台２２ａ，２２ｂと共に回転できるように前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂに結合される。前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂが前記基板支持台２２ａ，２２ｂと前記マスク支持台２４ａ，２４ｂを同時に回転できる結合構造としては、上述したように、一般に適用可能な結合構造を採択することができる。
【００４７】
一方、図４に示したように、前記マスク支持台２４ａ，２４ｂは、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって前記基板支持台２２ａ，２２ｂと共に回転できるように前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂに結合されることが望ましいが、場合に応じて、前記基板支持台のみを前記基板アラインブロックによって回転できるように構成することもできる。
【００４８】
図５は、前記工程チャンバー２０の一側（左側）に配置される基板支持台２２ａが反時計回りに回転して第１の回転位置に移動した状態を示し、図６は、前記工程チャンバーの他側（右側）に配置される基板支持台２２ｂが時計回りに回転して第１の回転位置に移動した状態を示す。
【００４９】
このように、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって前記基板支持台２２ａ，２２ｂが第１の回転位置に回転すると、前記ロボットアーム１１によって斜線方向に移送される基板２１ａ，２１ｂは、前記基板支持台２２ａ，２２ｂに載せられて支持され得る。
【００５０】
このように、前記第１の回転位置にある前記基板支持台２２ａ，２２ｂに前記基板２１ａ，２１ｂが載せられて支持されると、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記基板２１ａ，２１ｂに対して有機物蒸着工程を行うために前記基板支持台２２ａ，２２ｂを蒸着遂行位置に再び回転させる動作を行う。
【００５１】
すなわち、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記第１の回転位置にある基板支持台２２ａ，２２ｂを所定角度θだけ回転させることによって、前記基板支持台２２ａ，２２ｂが蒸着遂行位置に移動できるようにする。このとき、回転方向は、図４〜図６に示した回転方向と反対方向であり、回転角度θは、図４〜図６に示した回転角度θと同一である。
【００５２】
このように、前記基板支持台２２ａ，２２ｂが蒸着遂行位置に移動すると、前記基板支持台２２ａ，２２ｂに載せられて支持された基板２１ａ，２１ｂ上に有機物を蒸着させる動作を行う。すなわち、前記工程チャンバー２０の底面に水平に往復運動できるように形成された有機物蒸着源２５を前記工程チャンバー２０の一側から他側に移動させながら、前記基板２１ａ，２１ｂ上に有機薄膜を蒸着させることができる。
【００５３】
一方、基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって前記基板支持台２２ａ，２２ｂが前記蒸着遂行位置に回転した状態で、前記基板２１ａ，２１ｂと前記マスク２３ａ，２３ｂは整列された状態又は整列されていない状態であり得る。前記蒸着遂行位置で前記基板とマスクが整列されていない状態である場合は、必ず整列過程を経た後で蒸着工程を行わなければならない。
【００５４】
したがって、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記蒸着工程を行う前に、前記蒸着遂行位置に回転した前記基板支持台２２ａ，２２ｂに載せられた基板２１ａ，２１ｂと前記マスク支持台２４ａ，２４ｂに支持されたマスク２３ａ，２３ｂを整列させる動作を行う。
【００５５】
前記有機物蒸着源２５を収納する蒸着源収納部２７を駆動手段２９によって水平に往復運動させることによって、前記基板支持台２２ａ，２２ｂに載せられた支持された基板２１ａ，２１ｂ上に有機薄膜を蒸着させることができる。
【００５６】
このように、有機薄膜の蒸着が完了した前記基板２１ａ，２１ｂは、前記ロボットアーム１１によって搬出される。このとき、前記ロボットアーム１１は、前記基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に搬出していく。したがって、前記有機薄膜の蒸着が完了した基板２１ａ，２１ｂを支持している前記基板支持台２２ａ，２２ｂは、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂによって再び第１の回転位置に回転する。
【００５７】
具体的に、前記基板アラインブロック２８ａ，２８ｂは、前記蒸着遂行位置で蒸着工程が完了した前記基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に搬出できるように前記基板支持台２２ａ，２２ｂを前記第１の回転位置に回転させる。
【００５８】
そうすると、前記ロボットアーム１１は、前記基板支持台２２ａ、２２ｂに載せられて支持された前記蒸着が完了した基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に搬出していく。このように、前記ロボットアーム１１によって搬出された前記基板２１ａ，２１ｂは、アンローディングチャンバーを通して外部に搬出することもでき、他の有機薄膜を追加的に蒸着させるためにロードラックチャンバーを通して更に他のトランスファーチャンバーに移送した後、他の有機薄膜を蒸着させる更に他の工程チャンバーに移送することもできる。
【００５９】
前記他の有機薄膜を蒸着させるための更に他の工程チャンバーとトランスファーチャンバーとの間での基板移送方法及び手順は、上述した方法及び手順と同一に適用することができる。
【００６０】
以上説明した有機物蒸着システムを通した基板に対する有機物蒸着工程について添付の図７を参照して簡略に説明する。
【００６１】
図７の（ａ）に示したように、工程チャンバーの一側（左側）に配置される基板支持台２２ａ及びマスク支持台２４ａを共に前記基板アラインブロック２８ａによって第１の回転位置に回転させる。次に、前記ロボットアーム１１によって前記基板支持台２２ａに基板２１ａを斜線方向に移送して載せる。
【００６２】
前記工程チャンバーの一側（左側）に配置された基板支持台２２ａに前記基板２１ａが載せられると、前記基板アラインブロック２８ａは、前記基板支持台２２ａ及びマスク支持台２４ａを共に蒸着遂行位置に回転させる。そして、前記基板２１ａと前記マスク２３ａを整列させる。
【００６３】
この過程が進められる間、前記工程チャンバーの他側（右側）に配置された基板支持台２２ｂ及びマスク支持台２４ｂは、基板アラインブロック２８ｂによって第１の回転位置に回転する。もちろん、前記工程チャンバーの一側（左側）に配置された基板支持台２２ａ及びマスク支持台２４ａと共に予め第１の回転位置に回転した状態であってもよい。そして、前記ロボットアーム１１は、ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバーから次の基板２１ｂを引き出す動作を行う。そして、図７の（ｂ）に示したように、既に第１の回転位置に回転した状態で待機中の前記基板支持台２２ｂに斜線方向に前記基板２１ｂを移送させる。
【００６４】
次に、工程チャンバーの他側（右側）に配置された基板支持台２２ｂに前記基板２１ｂが載せられると、図７の（ｃ）に示したように、前記基板アラインブロック２８ｂは、前記基板支持台２２ｂ及びマスク支持台２４ｂを蒸着遂行位置に回転させる。そして、前記基板２１ｂと前記マスク２３ｂを整列させる。
【００６５】
このように、前記工程チャンバーの一側及び他側に配置された基板支持台２２ａ，２２ｂに前記基板２１ａ，２１ｂを載せて整列過程を全て行った後、前記有機物蒸着源２５を収納している蒸着源収納部２７を駆動手段２９で駆動することによって、前記有機物蒸着源２５が前記工程チャンバーの一側と他側との間を水平に往復運動できるようにする。そうすると、前記基板支持台２２ａ，２２ｂに支持された前記基板２１ａ，２１ｂ上に有機薄膜が蒸着される。
【００６６】
一方、図７では、前記工程チャンバー２０の一側及び他側に配置された前記基板支持台２２ａ，２２ｂに全て前記基板２２ａ，２２ｂを載せて支持し、整列した後、前記有機物蒸着源２５を用いて二つの基板に同時に有機薄膜をそれぞれ蒸着する工程を説明しているが、まず、基板支持台２２ａに載せられて整列された基板２１ａに対して有機薄膜蒸着工程を行うと同時に、次の基板２１ｂを工程チャンバーの他側に配置された基板支持台２２ｂに載せて整列する過程を行うこともできる。もちろん、この場合は、真空状態を持続的に維持できるように運用しなければならない。
【００６７】
前記のような過程によって蒸着工程が完了した二つの基板２１ａ，２１ｂは、前記ロボットアーム１１によって斜線方向に順次搬出される。したがって、前記基板２１ａ，２１ｂを支持する基板支持台２２ａ，２２ｂは、前記ロボットアーム１１によって前記基板２１ａ，２１ｂが斜線方向に搬出されるように、上述したように第１の回転位置に回転する。
【００６８】
このように、前記基板支持台２２ａ，２２ｂが第１の回転位置に回転すると、前記ロボットアーム１１は、前記基板２１ａ，２１ｂを斜線方向に搬出していく。このように前記ロボットアーム１１によって搬出された基板２１ａ，２１ｂは、蒸着工程が全て完了した場合はローディング／アンローディングチャンバーを通して外部に搬出され、次の蒸着工程を行う必要がある場合は、更に他のロードラックチャンバー、トランスファーチャンバー及び工程チャンバーを通して次の有機物蒸着工程を行う。このとき、前記更に他のロードラックチャンバー、トランスファーチャンバー及び工程チャンバーの間での基板移送方法及び手順は、上述した手順及び方法と同一に適用される。
【符号の説明】
【００６９】
１，２：ローディング／アンローディングチャンバー又はロードラックチャンバー、１ａ，２ａ，３ａ：開閉部、１０：トランスファーチャンバー、１１：ロボットアーム、１１ａ：移動ブロック、２０：工程チャンバー、２１ａ，２１ｂ：基板、２２ａ，２２ｂ：基板支持台、２３ａ，２３ｂ：マスク、２４ａ，２４ｂ：マスク支持台、２５：有機物蒸着源、２７：蒸着源収納部、２８ａ，２８ｂ：基板アラインブロック、２９：移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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