(57)【要約】【課題】気体の塗布液への溶け込みを抑えることにより塗布品質を安定させた塗布装置の塗布液供給装置を提供する。【解決手段】塗布液供給装置の塗布液供給部と塗布液供給ポンプの間に中間液貯蔵部を設け、前記中間液貯蔵部に摺動自在かつ塗布液と気体の接触を遮断する蓋部材を設ける。前記蓋部材を加圧手段で加圧することにより塗布液を前記中間液貯蔵部から前記塗布液供給ポンプに送液すると共に、前記蓋部材により気体と塗布液の接触を遮断することによって塗布液への気体の溶け込みを防止する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液供給部と、塗布液供給ポンプと、前記液供給部と前記塗布液供給ポンプ間の送液経路に設けられた中間液貯蔵部と、前記塗布液供給ポンプから塗布液を供給されその先端部から被処理体に前記塗布液を吐出する吐出部、とを少なくとも有する塗布装置の塗布液供給装置であって、前記中間液貯蔵部は前記塗布液を収納する円筒状収納容器と、前記円筒状収納容器に設けられた塗布液受け入れ口と、前記円筒状収納容器において前記塗布液受け入れ口より下部に設けられた塗布液吐出口と、その外周部が前記円筒状収納体内面に摺動可能に設けられ前記円筒状収納体に収納された塗布液を前記円筒状収納体の前記塗布液収納部分以外の部分から遮蔽する蓋部材と、前記蓋部材の上方より前記蓋部材を加圧する加圧手段とを少なくとも有することを特徴とする塗布装置の塗布液供給装置。
【請求項２】
前記蓋部材の前記外周部には弾性体より成る断面が円形のリング状封止部材が設けられており、当該封止部材を設置した状態で前記蓋部材は前記円筒状収納体内面に摺動可能であることを特徴とする請求項１に記載の塗布液供給装置。
【請求項３】
前記中間液貯蔵部の内面に前記塗布液受け入れ口より上方に前記蓋部材の摺動範囲の限界を定める突起形状を設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項２のいずれかに記載の塗布液供給装置。
【請求項４】
前記加圧手段は気体による加圧によるものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の塗布液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液を被処理部材に供給するための塗布液供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬ、またはプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ、あるいは太陽電池（ＰＶ）または有機ＥＬ照明などに用いられるパネルには、ガラス基板又はフィルム基板上にそれぞれのパネルに応じた機能を有する塗布液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。これら塗布基板は前記塗布液を均一に塗布する塗布装置によって製作されている。一例として、この塗布装置は一方向に延びるスリットノズルを有する口金を塗布機構として備えており、このスリットノズルから前記塗布液を吐出させながら、口金と基板を塗布膜形成方向に相対的に移動させることにより、均一な厚さの塗布液膜が形成された塗布基板が製作されるようになっている。
【０００３】
このような塗布装置には、口金に一定量の塗布液を供給するために、例えば下記特許文献１に記載されているように、送液ポンプが備えられている。この送液ポンプは、例えば特許文献１の構成では内蔵するピストンヘッドとピストン軸部とを備えており、前記ピストン軸部を駆動することにより前記ピストンヘッドの位置を変位させ、その結果ポンプ内液体収容部から塗布液を吐出して口金に塗布液を供給するようになっている。もちろん、前記構成以外の送液ポンプも実用化されていているものは全て同等の送液ポンプと見なすことが出来る。なお、図中の矢印は塗布液の流れの向きを表している。
【０００４】
また、前記送液ポンプに適切な量の塗布液を安定して供給するために、塗布装置には同じく特許文献１に記載されているように塗布液を装置内に貯蔵する塗布液貯蔵部と前記送液ポンプ間の液供給経路に中間液貯蔵部を設けることがある。塗布液貯蔵部は長時間の塗布に対応するため容量が大きく、そのため塗布液貯蔵部からの送液は送液量は大きいが細かい制御は適していない。また前記送液ポンプから離れて設置されているため、配管での圧力損失も大きい。一方、中間液貯蔵部は前記送液ポンプが塗布毎に消費した塗布液を迅速に補充することにより塗布液の補充が塗布サイクルのボトルネックにならない様にし、塗布サイクルの高速化に制約が発生することを防止する。前記送液ポンプと前記中間貯蔵部間には制御弁が設けられており、前記制御弁を開閉することにより前記送液ポンプに適切なタイミングで適切な量の塗布液を送液することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２２９６３５号公報：塗布液供給装置
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されているような従来の中間液貯蔵部の構成では、送液の為に直接気体により加圧することが行われているが、そのため送液の為に使用される加圧気体が塗布液中に溶け込み、その後送液圧力が低下した時点例えば送液ポンプへの送液完了直後などで溶け込んだ気体が析出し塗布液に混ざった状態で塗布されるという問題があった。
【０００７】
詳述すると、送液ポンプに影響を及ぼさない様に中間液貯蔵部からの送液は一定圧力下で行うことが要求されている為気体による加圧が加圧力安定の目的に適している。加圧気体には例えば清浄空気やＮ２などを加圧した気体が用いられている。一般に気体は正圧による加圧状態では液体に溶け込むため前記加圧気体の一部が塗布液に溶け込むことがある。この気体が溶け込んだ塗布液を例えば圧力が解放された状態に置くと溶け込んだ気体が気泡として析出する。次いでこの析出した気泡が混ざった状態で塗布動作を実行すると気泡により塗布ムラや膜切れなどの塗布不良となる。そのため、通常はスリットノズルなどの吐出部に入る前にさらにフィルター等を通して析出した気泡を排除している。ところが、析出した気泡のサイズはかなりのばらつきを持つためフィルターで完全に除去することは困難である。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、中間液貯蔵部での加圧気体の塗布液への溶け込みを抑えることができる塗布液供給装置により、塗布品質が安定した塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の塗布液供給装置は、塗布液供給部と、塗布液供給ポンプと、前記液供給部と前記塗布液供給ポンプ間の送液経路に設けられた中間液貯蔵部と、前記塗布液供給ポンプから塗布液を供給されその先端部から被処理体に前記塗布液を吐出する吐出部、とを少なくとも有する塗布装置の塗布液供給装置であって、前記中間液貯蔵部は前記塗布液を収納する円筒状収納容器と、前記円筒状収納容器に設けられた塗布液受け入れ口と、前記円筒状収納容器において前記塗布液受け入れ口より下部に設けられた塗布液吐出口と、その外周部が前記円筒状収納体内面に摺動可能に設けられ前記円筒状収納体に収納された塗布液を前記円筒状収納体の前記塗布液収納部分以外の部分から遮蔽する蓋部材と、前記蓋部材の上方より前記蓋部材を加圧する加圧手段とを少なくとも有することを特徴としている。上記塗布液供給装置によれば、蓋部材によって円筒状収納体の塗布液収納部分とそれ以外の部分が遮蔽されているので、従来の中間液貯蔵部からの送液で問題となった送液用加圧気体による当該気体の塗布液への溶け込みが無い塗布液供給を実現できる。
【００１０】
また、本発明の塗布液供給装置はさらに、前記蓋部材の前記外周部には弾性体より成る断面が円形のリング状封止部材が設けられており、当該封止部材を設置した状態で前記蓋部材は前記円筒状収納体内面に摺動可能であることを特徴としている。この構成によれば、前記蓋部材と前記外周部をより隙間無く遮蔽できるので、塗布液への気体の溶け込みをさらに効果的に防止することができる。
【００１１】
また、本発明の塗布液供給装置はさらに、前記中間液貯蔵部の内面に前記塗布液受け入れ口より上方に前記蓋部材の摺動範囲の限界を定める突起形状を設けたことを特徴としている。この構成によれば、前記蓋部材が過剰に下がり過ぎ前記中間液貯蔵部への塗布液の供給を阻害することを防止できる。
【００１２】
さらに本発明の塗布液供給装置は、前記加圧手段は気体による加圧によるものであることを特徴としている。この構成によれば、前記蓋部材の加圧を気体による加圧という簡単な構成で実施できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の塗布液供給装置を備える塗布装置によれば、中間液貯蔵部の液収納容器で液収納部とそれ以外の部分を効果的に遮蔽できるため、液収納容器から塗布液をポンプへ供給するに際し塗布液への気体の溶け込みを抑えることが可能となり、塗布液からの溶融気体による気泡発生の無い安定した塗布を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の塗布液供給装置を用いた塗布装置の外観を示す概略斜視図である。
【図２】中間液貯蔵部を含む本発明の概略構成図である。
【図３】本発明の中間液貯蔵部における円筒状収納容器の拡大概略図である。
【図４】円筒状収納容器の加圧機構の別実施例を示す拡大概略図である。
【図５】本発明の塗布装置の一連の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態における塗布装置１を示す斜視図であり、図２は、塗布装置１の塗布液経路を模式的に示した図である。図１、図２に示すように、塗布装置１は、供給される薄板状の基板２に薬液やレジスト液等の塗布液を塗布するものである。この塗布装置は、基台３と、基板２を載置するためのテーブル４と、このテーブル４に対し一定方向に移動可能に構成され口金部６を含む塗布ユニット５と、この塗布ユニット５に塗布液を供給するピストンポンプ８、中間液貯蔵部３０、および塗布液貯蔵部５０を含む塗布液供給装置９とを備えている。
【００１７】
なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００１８】
前記基台３は、各構成部材、例えばテーブル４及び塗布ユニット５を支持するものであり、石材等で形成されている。前記テーブル４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、テーブル４には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプ（不図示）とが連通して接続されている。そして、テーブル４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がテーブル４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。また、テーブル４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。すなわち、テーブル４の表面には複数のピン孔（不図示）が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、テーブル４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分が基板２に当接した状態で、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。
【００１９】
前記塗布ユニット５は、テーブル４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、塗布液を塗布する口金部６と、この口金部６の両端部分に設けられたユニット支持部７とを有している。前記ユニット支持部７は、口金部６を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部６をＸ軸方向に移動させるためのものであり、走行装置１０とこの走行装置１０に支持される昇降装置２０とを有している。昇降装置２０は、口金部６を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるレール２１と口金部６に連結されるスライダ２２とを有している。このレール２１には、スライダ２２がレール２１に沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ２２にはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ２２がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部６は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、テーブル４に対して接離可能に動作するようになっている。
【００２０】
走行装置１０は、口金部６をＸ軸方向に走行させるためのものであり、走行装置本体１１とＸ軸方向に延びるレール１３とを有している。この走行装置本体１１は、基台３との間に設けられる保持部材によって基台３上に支持されている。そして、走行装置本体１１は、その一部がレール１３にＸ軸方向に対し摺動自在に取り付けられており、走行装置本体１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、走行装置本体１１がＸ軸方向に移動するようになっている。これにより、口金部６は、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。
【００２１】
このように構成されるユニット支持部７により、口金部６は、テーブル４の表面に対してＺ軸方向に昇降動作できるとともに、テーブル４の表面から所定高さを維持した状態でテーブル４の表面上をＸ軸方向に沿って走行できるようになっている。前記口金部６は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、テーブル４の表面と対向する対向面には塗布液を吐出するノズル６１（図２参照）が形成されている。このノズル６１は、テーブル４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状のスリットが形成されている。すなわち、口金部６に供給された塗布液がこのスリットを通じて基板２の表面に吐出されるようになっている。
【００２２】
口金部６には、塗布液供給装置９のピストンポンプ８より塗布液が供給される。塗布液供給装置９は前記ピストンポンプ８、中間液貯蔵部３０、および塗布液貯蔵部５０を含む構成となっている。ピストンポンプ８は、中間液貯蔵部３０に貯留された塗布液を口金部６に供給するものであり、図２に示すように、ハウジング８１に固定される膜状シール部８２と、この膜状シール部８２に連結されたピストン軸部８３と、ピストン軸部８３を駆動させるボールネジ駆動部８４とを有している。ハウジング８１は、一軸方向に延びる略円筒形状を有しており、その内部に膜状シール部８２が収容されている。具体的には、ハウジング８１は、ピストン軸方向に分割できるように形成されており、膜状シール部８２が挟持された状態で一体的に連結されている。このハウジング８１と膜状シール部８２とによって液体収容部８５が形成されており、この液体収容部８５に中間液貯蔵部３０から供給された塗布液を一時的に貯留できるようになっている。
【００２３】
また、ハウジング８１の液体収容部８５と反対側には、圧力制御室８７が形成されている。この圧力制御室８７は、真空ポンプ（不図示）と連通して接続されており、この真空ポンプ（不図示）を作動させることにより圧力制御室８７を大気圧よりも低圧に調節でき、液体収容部８５に塗布液を流入させる際、ピストン軸部８３を液体収容部８５と反対側に駆動させる前に、前記真空ポンプを作動させて圧力制御室８７の減圧させることにより、膜状シール部８２の形状を維持した状態でピストン軸部８３を駆動させることができる。
【００２４】
膜状シール部８２はその断面がカップ状でありその外周部がハウジング８１に固定されることにより、ハウジング８１内に液体収容部８５を形成するものである。具体的には、膜状シール部８２は、その外周部がハウジング８１のフランジ部８１ａに挟持された状態でハウジング８１に固定されている。また、膜状シール部８２の中央部はピストン軸部８３のヘッド８３ａに固定されている。これにより、ハウジング８１内の軸方向一方側に塗布液を収容可能な液体収容部８５が形成される。また、ハウジング８１には、中間液貯蔵部３０と配管を介して連結される流入口８１ｂ、および口金部６と配管を介して連結される流出口８１ｃが形成されており、ピストン軸部８３がボールネジ駆動部８４側に変位することにより、中間液貯蔵部３０から流入口８１ｂを通じて塗布液が液体収容部８５に供給され、ピストン軸部８３が流出口８１ｃ側に変位することにより、液体収容部８５から流出口８１ｃを通じて口金部６に塗布液が供給されるようになっている。
【００２５】
塗布液貯蔵部５０は、塗布装置１で使用する塗布液を貯蔵し、塗布液を後述する中間液貯蔵部３０へ供給する。塗布装置１が連続運転可能な様に塗布液貯蔵部５０の塗布液貯蔵容器５１の容量は中間液貯蔵部３０よりかなり大きく設定されている。
【００２６】
図２に示す様に中間液貯蔵部３０は塗布液貯蔵部５０とピストンポンプ８の間に設置され、ピストンポンプ８の塗布液吐出後直ちに塗布液供給を可能とし、塗布終了後塗布ユニット５が次の塗布動作を開始するまでの時間に合わせて塗布液をピストンポンプ８へ供給するものである。そのため中間液貯蔵部３０からの送液がピストンポンプ８の動作に応じて可能な様に、中間液貯蔵部３０は送液損失を最小にすべくピストンポンプ８との経路の中間地点よりピストンポンプ８側に設置されていることが望ましく、設計によってはピストンポンプ８と共にその一部または全部を塗布ユニット５に設置しても構わない。ただし、要求される送液応答性が確保されていれば中間液貯蔵部３０の位置は任意に設定することが出来る。本実施例の中間液貯蔵部３０は、円筒状収納容器３１、塗布液受け入れ口３２、受け入れ側バルブ３３、塗布液吐出口３４、吐出側バルブ３５、蓋部材３６、検知装置３８、および加圧気体供給口３７から構成されている。通常中間液貯蔵部３０からの塗布液供給は加圧送液または液重量による自重送液が用いられ、その際液の滞留による塗布液中の固形成分の凝集など塗布品質に悪影響を及ぼす反応が起こることを防ぐ必要が有る。そのため塗布液吐出口３４は円筒状収納容器３１の鉛直方向最底部に配置されていて、塗布液受け入れ口３２は塗布液吐出口３４より鉛直方向上方に配置されている。さらに、塗布液中の固形成分の凝集を防止するために円筒状収納容器３１の底部をすり鉢状としその最低部に塗布液吐出口３４を設けても良い。この構成によれば塗布液中の固形成分の凝集をより確実に防止することが出来る。
【００２７】
図３は蓋部材３６を含む円筒状収納容器３１の詳細図である。塗布液は受け入れ側バルブ３３を経て塗布液受け入れ口３２より円筒状収納容器３１内に供給される。円筒状収納容器３１内に貯蔵される塗布液の量は、１回の塗布で消費される塗布液より多くする必用が有り、通常は数回分以上の量が貯蔵される。ここで、検知装置３８により検知装置３８の位置での塗布液の有無を検知することにより塗布液の貯蔵量が十分であるか否かを検知することが出来る。検知装置３８の位置は塗布液受け入れ口３２より上方であって塗布動作１回分以上の塗布液を確保できる位置に設定することが好ましい。検知装置３８の位置をこのように設定することによりピストンポンプ８へ塗布液を送液中に塗布液が不足することを防止できる。そのため送液途中で検知装置３８が液の不足を検知しても、送液を停止することなく継続することが出来る。塗布液貯蔵部５０から中間液貯蔵部３０への塗布液の補給は中間液貯蔵部３０からピストンポンプ８への送液終了後開始され、次の塗布液の補給が始まるまでに終了すればよい。中間液貯蔵部３０における塗布液の不足を検知する検知方法は蓋部材３６の位置そのものまたは検知装置３８の検知位置に於ける蓋部材３６の有無を検知する方法、光センサーや静電容量センサーにより検知装置３８の検知位置に於ける塗布液の有無を直接検知する方式、検知装置３８の検知位置で円筒状収納容器３１内の塗布液の有無を検知する方法、または補給回数によりピストンポンプ８への延べ補給量を算出し最大貯蔵量との差により塗布液の不足を検知する方法など何れの方法も利用可能である。円筒状収納容器３１への塗布液補給は予め規定量を補給しても良いが、図３に示す様に上限センサ３８ｂにより制御しても良い。補給量が規定量に達すれば受け入れ側バルブ３３が閉じられ円筒状収納容器３１への塗布液の供給が終了する。基板２への塗布が終了すると吐出側バルブ３５が開きピストンポンプ８へ塗布液供給が可能になる。ピストン軸部８３が流入口８１ｂ側へ移動するとピストンポンプ８へ塗布液が供給される。
【００２８】
加圧気体供給口３７は円筒状収納容器３１の最上部に設けられ円筒状収納容器３１内に加圧気体を供給する。加圧気体には一般的に清浄空気またはＮ２ガス等の不活性ガスが利用される。円筒状収納容器３１への塗布液の供給時には、加圧気体は図２に示す３方弁である加圧気体バルブ３９の供給側３９ａを閉じ、排気側３９ｂを開くことにより加圧気体を排気し塗布液への加圧状態を解除し円筒状収納容器３１への塗布液の供給を可能にしている。ここで、図２における実施例では３方弁により加圧気体の供給と排気を制御しているが、供給系と排気系を別配管としそれぞれに弁を設けて加圧気体の供給と排気を制御しても構わない。また、加圧気体供給口３７は円筒状収納容器３１の取り外し部３１ａと共に円筒状収納容器３１本体から接離可能に構成されている。これにより取り外し部３１ａを含む円筒状収納容器３１内側の清掃を含む保守作業を可能としている。さらに、上記取り外し部３１ａと円筒状収納容器３１との接触面には図３に示す様なパッキング部材３１ｂが設けられていて、これにより加圧気体を含む円筒状収納容器３１内の気体成分が円筒状収納容器３１外に漏洩することを防止している。パッキング部材３１ｂは弾性体であれば特に材料を限定する必要は無く、例えばＯリングの様な市販部材を利用しても構わない。
【００２９】
蓋部材３６はその１面が塗布液と接し、他方の面が加圧気体と接触することにより加圧気体の圧力により塗布液を加圧し円筒状収納容器３１からピストンポンプ８へ塗布液を供給するものである。蓋部材３６は円筒状収納容器３１に対し摺動自在であり、従って円筒状収納容器３１への塗布液供給時の様に加圧気体により蓋部材３６が押し下げられていない場合であってもその自重により常に塗布液との接触を維持することが出来る。一方、円筒状収納容器３１および蓋部材３６双方共に外周部の形状を完全な円形に加工することは困難であり、双方を組み合わせた場合微小な隙間が生じることは避けられない。従って、このような構造の蓋部材３６は加圧気体により塗布液を押し下げると、蓋部材３６の端面と円筒状収納容器３１の内面との微少隙間から塗布液が蓋部材３６の加圧側に漏出する可能性がある。このため、何らかの封止部材が必要とされる。本発明に含まれる蓋部材３６はこの課題に対し以下の対応を施している。
【００３０】
蓋部材３６は蓋部材本体３６ａと外周部に設けられた封止部材３６ｂから構成されている。蓋部材本体３６ａは平面部が円盤状の板部材であり金属または樹脂をその材料としていて、その端部は封止部材３６ｂを保持出来る構造となっている。封止部材３６ｂは断面が円形のリング形状であって弾性を有する樹脂により構成され、その弾性力により蓋部材本体３６ａに保持されるようにその内径が設定されている。また、封止部材３６ｂを蓋部材本体３６ａに設置した時の蓋部材３６の外径は円筒状収納容器３１の内径と同じかやや小さくなるよう設定されている。この状態で塗布液に接触させると封止部材３６ｂが塗布液により若干膨潤し、蓋部材３６の外周プロファイルと円筒状収納容器３１の内周プロファイルの微妙なずれにより生じる隙間を塞ぐことが出来る。また、毛細管現象により塗布液が蓋部材３６の外周と円筒状収納容器３１の内周接触面に進入しようとすることにより接触面の潤滑効果を発揮し加圧気体により蓋部材３６を移動させることが可能になる。塗布液の粘度が高い場合は上記毛細管現象は期待できないが、この場合は加圧気体の圧力設定を高くして蓋部材３６を加圧しても液が高粘度のため微少な隙間から漏出することはない。
【００３１】
既に述べたように蓋部材３６は円筒状収納容器３１の内面に対し摺動自在である。そのため塗布液を抜いた状態では蓋部材は円筒状収納容器３１の底部にまで落ち込む可能性がある。これを防ぐために、円筒状収納容器３１の内面に蓋部材受け部３１ｃが設けられている。蓋部材受け部３１ｃは安定して蓋を受けられる形状または構成であれば円筒状収納容器３１の内面にどのように設置しても良い。例えば、内面全周に渡り設ける、扇状に複数設ける、または小型の突起を３カ所以上設けるなど蓋部材３６を安定的に受け止められる構造であればどのようなものも設置可能である。また、蓋部材受け部３１ｃは円筒状収納容器３１の軸方向において塗布液受け入れ口３２より上方に設ける必要が有る。この蓋部材受け部３１ｃにより蓋部材３６が受け止められているため、蓋部材が塗布液受け入れ口３２を塞いだりまたは塗布液受け入れ口３２の下に位置することが防止される。このことにより、塗布液を円筒状収納容器３１に供給することが可能になる。加えて、蓋部材受け部３１ｃで受け止められた蓋部材３６を容易に持ち上げる為に蓋部材３６の上部に持ち上げ用のつまみ部３６ｃが設けられている。前記つまみ部については同様の機能を有する部材若しくは形状を設けても良い。これにより蓋部材３６を容易に取り外すことが出来る。
【００３２】
次に、本発明の塗布液供給装置９を含む塗布装置１における塗布動作および塗布液供給動作について、図５に示すフローチャートに基づいて説明する。これら一連の動作は制御装置９０によって制御される。
【００３３】
まず、先行基板への塗布終了後速やかにピストンポンプ８への塗布液の送液動作が行われる（ステップＳ１）。すなわち、テーブル４上にセットされた基板２に必要となる塗布液（基板１枚塗布分）がピストンポンプ８に吸い込まれる。具体的には中間液貯蔵部３０の吐出側バルブ３５を開き、これと独立してピストンポンプ用真空ポンプ（不図示）を作動させて圧力制御室８７の圧力を大気圧以下の所定の圧力に制御した後、ボールネジ駆動部８４を駆動させることにより、ピストン軸部８３をボールネジ駆動部８４側に移動させる。これにより、中間液貯蔵部３０に貯留された塗布液が流入口８１ｂを通じて液体収容部８５に流入し、液体収容部８５に貯留される。送液動作終了後吐出側バルブ３５は閉じられる。なお、ステップＳ１では受け入れ側バルブ３３は閉じられている。
【００３４】
先行基板排出後、基板２が塗布装置１に搬入される（ステップＳ２）。具体的には、テーブル４の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、これらのリフトピンの先端部分に基板２が載置される。そして、リフトピンを下降させて基板２をテーブル４の表面に載置し、この状態でテーブル用真空ポンプ（不図示）を作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより、基板２をテーブル４の表面上に吸着させて保持される。
【００３５】
次に、塗布液の塗布動作が行われる（ステップＳ３）。すなわち、ピストンポンプ８に供給された塗布液を口金部６に供給するとともに、口金部６から基板２上に塗布液を吐出する。具体的には、ボールネジ駆動部８４を駆動させることにより、ピストン軸部８３を流出口８１ｃ側に移動させる。これにより、液体収容部８５に貯留された塗布液が流出口８１ｃを通じて口金部６に供給され、口金部６のスリットから塗布液が吐出される。また、同時に塗布開始位置に移動済みの走行装置１０を駆動させて基板２上に塗布膜を形成する。具体的には、昇降装置２０を駆動制御することにより口金部６が基板２から所定の高さ位置になるように設定し、この状態から走行装置１０を駆動制御することにより、口金部６をＸ軸方向に走行させる。すなわち、口金部６のスリットから塗布液を吐出させながら口金部６を走行させることにより、基板２上に塗布液が均一厚さで塗布される。
【００３６】
次に、基板２の排出が行われる（ステップＳ４）。すなわち、Ｓ３における塗布動作により基板２表面に塗布膜が形成された後走行装置１０が初期位置に復帰し、直後または同時に真空ポンプを停止させて、吸引孔における圧力を大気圧に戻す。そして、リフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分で基板２を保持させ、図示しないロボットハンドに基板２の受け渡しが行われ、テーブル４の表面から基板２が排出される。
【００３７】
一方、予め規定された塗布液の補給量に相当する補給回数に達した場合又は検知装置３８が中間液貯蔵部３０の液貯蔵量不足を検知すると受け入れ側バルブ３３が開き、中間液貯蔵部３０に塗布液貯蔵部５０から塗布液が受け入れ口３２経由で補給される。補給終了後受け入れ側バルブ３３は閉じる（ステップＳ５）。ステップＳ５は吐出側バルブ３５が閉じられている間に実行される。
【００３８】
上記実施形態では、蓋部材３６への加圧方法として加圧気体を使用する例について説明したが、本発明はそれ以外の加圧方法に対しても適用出来る。たとえば、図４に示す様に蓋部材３６の加圧を駆動機構４０を利用して実施しても構わない。この実施例において、駆動機構４０は駆動装置４１、駆動装置４１の出力軸４１ａ、駆動伝達部４２、連結部材４３から構成されている。駆動装置４１は蓋部材３６の移動量を制御出来る駆動源例えばサーボモータ、またはステッピングモータが利用出来る。出力軸４１ａは駆動伝達部４２との組み合わせで構成されるボールねじ機構のねじ部であり、駆動伝達部４２は軸受け部である。駆動伝達部４２は、駆動装置４１の出力軸４１ａの回転を直線運動に変えるべく雌ねじ部とそれを保持する軸受け部から構成されている。連結部材４３は駆動伝達部４２と蓋部材３６を連結し駆動装置４１の駆動力を蓋部材３６へ伝達する。さらに、蓋部材３６には図示しない回り止めが設けられており、駆動装置４１の出力軸４１ａの回転により蓋部材３６が連れ回ることを防止している。また、図４の実施例においては、塗布液への適切な加圧量を維持するために１回の塗布に於ける吐出量に対応した蓋部材３６の変位が計算されており、ピストンポンプ８へ液を供給する毎に、制御装置９０により予め計算された変位量だけ蓋部材３６が移動するように駆動装置４１が制御されている。なお、駆動機構を用いて蓋部材３６を移動した場合、中間液貯蔵部３０は必ずしも鉛直方向に沿って配置する必要は無く、設計上の要求に応じて任意の角度で取り付けることが出来る。また、中間液貯蔵部３０への液の補給タイミング制御については図４に示す様な図３の実施例と同様の方法を採用しても良い。また、液補充時にはまず受け入れ側バルブ３３が開き、ついで駆動装置４１が逆回転し予め定められた位置まで蓋部材３６を上昇させ塗布液が補給される。これにより円筒状収納容器３１内の液収納側が負圧になることを防止し、塗布液に予め何らかの気体が溶け込んでいた場合に気泡が発生するなる事態を防止している。尚、この実施例においては蓋部材３６は駆動装置４１と機械的に連結しているため、図３の実施例における蓋部材受け部３１ｃは不要である。
【００３９】
以上、中間液貯蔵部を有する本発明の塗布液供給装置により塗布液供給装置内における気体の塗布液への溶け込みを押さえることが可能になり、以て塗布品質を安定させることが出来る。
【００４０】
なお、本発明の塗布液供給装置が適用できる塗布液供給ポンプ（図２における８に相当）はピストンポンプに限定されることは無く、その他の方式のポンプについても適用可能である。
【符号の説明】
【００４１】
２  基板
６  口金部
８  ピストンポンプ
９  塗布液供給装置
３０  中間液貯蔵部
３１  円筒状収納容器
３１ａ  取り外し部
３１ｂ  パッキング部材
３１ｃ  蓋部材受け部
３２  塗布液受け入れ口
３３  受け入れ側バルブ
３４  塗布液吐出口
３５  吐出側バルブ
３６  蓋部材
３６ａ  蓋部材本体
３６ｂ  封止部材
３６ｃ  蓋部材つまみ
３７  加圧気体供給口
３８  検知装置
３９  加圧気体バルブ
４０  駆動機構
５０  塗布液貯蔵部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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