(57)【要約】【課題】  放射線の照射の開始を高い即時性で且つ高い精度で検知可能な放射線撮像装置を提供する。【解決手段】  各々が変換素子Ｓとスイッチ素子Ｔとを含み行列状に複数配置された複数の画素１１０と、列方向に複数配置された複数の駆動配線Ｇと、複数の駆動配線Ｇに導通電圧を順に供給し、複数の駆動配線Ｇｎｏうち導通電圧が供給されている駆動配線Ｇを除く駆動配線Ｇに非導通電圧を供給する駆動回路１０２と、画素１１０への放射線の照射を検知する検知部と、を含み、検知部は、複数の駆動配線Ｇのうち非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇに流れる電流に基づいて画素１１０への放射線の照射を検知する検知回路１０８ａを含む放射線撮像装置。【選択図】  図１
2013219405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が、放射線を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を転送するスイッチ素子と、を含む複数の画素と、
各々が互いに異なる前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、
前記複数の駆動配線に前記スイッチ素子を導通状態とする導通電圧を順に供給し、前記複数の駆動配線のうちの前記導通電圧が供給されている駆動配線を除く駆動配線に前記スイッチ素子を非導通状態とする非導通電圧を供給する駆動回路と、
前記画素への放射線の照射を検知する検知部と、
を含む放射線撮像装置であって、
前記検知部は、前記複数の駆動配線のうち前記非導通電圧が供給されている駆動配線に流れる電流に基づいて前記画素への放射線の照射を検知する検知回路を含むことを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項２】
前記駆動回路を制御する制御部を更に有し、
前記検知部は、前記複数の駆動配線のうち前記非導通電圧が供給されている駆動配線に流れる電流を検出する電流検出回路を更に含み、
前記検知回路は、前記電流に基づいて比較結果を出力する比較回路を有し、
前記制御部は、前記比較結果に基づいて前記駆動回路を制御することを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項３】
前記駆動回路に前記導通電圧を供給する導通電源と、前記駆動回路に前記非導通電圧を供給する非導通電源と、を含む電源部を更に有し、
前記非導通電源は、前記電流検出回路を介して前記駆動配線に前記非導通電圧を供給することを特徴とする請求項２に記載の放射線撮像装置。
【請求項４】
前記駆動回路は、複数の単位回路を有しており、
前記複数の単位回路は、前記複数の駆動配線に１対１で対応して設けられており、
前記非導通電源は、前記電流検出回路を介して前記単位回路に前記非導通電圧を供給することを特徴とする請求項３に記載の放射線撮像装置。
【請求項５】
前記電源部は、前記電流検出回路を介さずに前記単位回路に前記非導通電圧を供給する別の非導通電源を更に有することを特徴とする請求項４に記載の放射線撮像装置。
【請求項６】
前記複数の画素が複数の画素群に分割されており、
前記駆動回路は、前記複数の画素群に１対１で対応するように複数設けられており、
前記電流検出回路は、複数の電流検出機構を含み、
前記複数の電流検出機構は、複数の前記駆動回路に１対１で対応するように設けられていることを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項７】
前記電流検出回路は、複数の電流検出機構を含み、
前記複数の電流検出機構は、前記複数の駆動配線に１対１で対応するように設けられていることを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項８】
前記電流検出回路は、前記複数の電流検出機構からの信号を選択する選択部を更に有し、
前記制御部は、前記選択部を制御することを特徴とする請求項６又は７に記載の放射線撮像装置。
【請求項９】
前記比較回路は、複数の閾値を有し、
前記複数の閾値は、前記複数の電流検出機構に１対１で対応しており、
前記比較回路は、前記複数の電流検出機構のうちの選択された電流検出機構に対応した閾値を前記複数の閾値から選択することを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項１０】
前記複数の電流検出機構からの信号に基づいて前記複数の画素の放射線が照射された領域を検出する検出部を更に有し、
前記制御部は、前記検出部の出力に基づいて前記駆動回路の動作を制御することを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか１項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線を出射する放射線発生装置と、
を含む放射線撮像システム。
【請求項１２】
各々が、放射線を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を転送するスイッチ素子と、を含む複数の画素と、各々が互いに異なる前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、前記複数の駆動配線に前記スイッチ素子を導通状態とする導通電圧を順に供給し、前記複数の駆動配線のうちの前記導通電圧が供給されている駆動配線を除く駆動配線に前記スイッチ素子を非導通状態とする非導通電圧を供給する駆動回路と、を含む放射線撮像装置の制御方法であって、
前記複数の駆動配線のうち前記非導通電圧が供給されている駆動配線に流れる電流に基づいて前記画素への放射線の照射を検知し、
検知された放射線の照射に応じて前記駆動回路の動作を制御することを特徴とする放射線撮像装置の制御方法。
【請求項１３】
前記検出された電流と予め設定された閾値とを比較することにより前記画素への放射線の照射を検知することを特徴とする請求項１２に記載の放射線撮像装置の制御方法。
【請求項１４】
前記検出された電流と予め設定された複数の閾値から選択された閾値とを比較することにより前記画素への放射線の照射を検知することを特徴とする請求項１３に記載の放射線撮像装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療用の診断や工業用の非破壊検査に用いて好適な放射線撮像装置及びシステムに関する。特に、放射線発生装置からの放射線の照射の開始や終了といった放射線の照射の有無を検知することが可能な放射線撮像装置及び放射線撮像システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
平面型の検出器（以下ＦＰＤと略す）を用いた放射線撮像装置は、放射線発生装置による放射線の照射と同期して撮像動作を行う。この同期の手法として、特許文献１にあるように、以下の手法が用いられ得る。スイッチ素子の導通と非導通とを切り替えながら、変換素子にバイアスを供給するバイアス配線に流れる電流を検出して、放射線発生装置からの放射線の照射を検知する。そして、その検知の結果に応じて、放射線撮像装置の動作が制御される。
このような同期の手法では、特許文献２にあるように、バイアスを供給する配線に流れる電流に、スイッチ素子の導通と非導通とを切り替える際に発生するノイズが影響を及ぼし、検知の精度の低下を招くという問題が起こり得る。特許文献２では、このノイズの影響を低減するために、以下の提案がなされている。第１の提案は、電流を検知する手段とバイアス配線との間にフィルタ回路を設けるものである。第２の提案は、電流を検知する手段の出力端子にサンプルホールド回路を設け、スイッチ素子の導通と非導通とを切り替えるタイミングでサンプルホールドを中断する処理を行うものである。第３の提案は、予め取得して記憶手段に記憶されたノイズの波形を、ノイズの影響を受けた電流から差分する処理を行うものである。第４の提案は、スイッチ素子を非導通状態にするための非導通電圧をある行のスイッチ素子に供給するタイミングと、スイッチ素子を導通状態にするための導通電圧を別の行のスイッチ素子に供給するタイミングと、を揃えて、ノイズを相殺しようとするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００２−５４３６８４号公報
【特許文献２】特開２０１０−２６８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、より高い即時性で且つ高い精度で放射線の照射の有無の検知をするためには、特許文献２の提案では、不十分であった。第１の提案では、スイッチ素子のタイミングにあわせてフィルタ回路の帯域制限を設定するため、遅延が大きくなり、検知の即時性に問題がある。第２の提案では、サンプルホールドの中断中に放射線の照射の開始がされた場合に、サンプルホールドの再開まで検知できず、検知の即時性に問題がある。第３及び第４の提案では、画素アレイ内で配線の抵抗や容量、スイッチ素子の特性や能力にばらつきがあるため、画素アレイ内でノイズの波形にばらつきが生じ、ノイズの影響を十分に低減することが困難となり、検知の精度に問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の放射線撮像装置は、各々が、放射線を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を転送するスイッチ素子と、を含む複数の画素と、各々が互いに異なる前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、前記複数の駆動配線に前記スイッチ素子を導通状態とする導通電圧を順に供給し、前記複数の駆動配線のうちの前記導通電圧が供給されている駆動配線を除く駆動配線に前記スイッチ素子を非導通状態とする非導通電圧を供給する駆動回路と、前記画素への放射線の照射を検知する検知部と、を含む放射線撮像装置であって、前記検知部は、前記複数の駆動配線のうち前記非導通電圧が供給されている駆動配線に流れる電流に基づいて前記画素への放射線の照射を検知する検知回路を含むことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の放射線撮像装置の制御方法は、各々が、放射線を電荷に変換する変換素子と、前記電荷に基づく電気信号を転送するスイッチ素子と、を含む複数の画素と、各々が互いに異なる前記スイッチ素子に接続された複数の駆動配線と、前記複数の駆動配線に前記スイッチ素子を導通状態とする導通電圧を順に供給し、前記複数の駆動配線のうちの前記導通電圧が供給されている駆動配線を除く駆動配線に前記スイッチ素子を非導通状態とする非導通電圧を供給する駆動回路と、を含む放射線撮像装置の制御方法であって、前記複数の駆動配線のうち前記非導通電圧が供給されている駆動配線に流れる電流に基づいて前記画素への放射線の照射を検知し、検知された放射線の照射に応じて前記駆動回路の動作を制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、放射線の照射の有無を高い即時性で且つ高い精度で検知可能な放射線撮像装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態に係る放射線撮像装置及びシステムの模式図、及び、放射線撮像装置の１画素あたりの模式的等価回路図である。
【図２】第１の実施形態に係る放射線撮像装置の模式的等価回路図である。
【図３】第１の実施形態に係る検出回路及び検知回路の模式的等価回路図である。
【図４】第１の実施形態に係る放射線撮像装置のタイミングチャートである。
【図５】他の例の１画素あたりの模式的等価回路図である。
【図６】第２の実施形態に係る放射線撮像装置及びシステムの模式図、及び、放射線撮像装置の模式的等価回路図である。
【図７】第２の実施形態に係る検出回路及び検知回路の模式的等価回路図である。
【図８】第３の実施形態に係る放射線撮像装置及びシステムの模式図、及び、放射線撮像装置の模式的等価回路図である。
【図９】第２の実施形態に係る検出回路及び検知回路の模式的等価回路図、及び、駆動回路の単位回路の動作を説明するための模式的等価回路図である。
【図１０】他の例の検出回路及び検知回路の模式的等価回路図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、本発明において放射線は、放射線崩壊によって放出される粒子（光子を含む）の作るビームであるα線、β線、γ線などの他に、同程度以上のエネルギーを有するビーム、例えばＸ線や粒子線、宇宙線なども、含まれるものとする。
【００１０】
（第１の実施形態）
まず、図１（ｂ）を用いて本発明の概念を説明する。図１（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る、画素を行列状に複数備えた画素アレイ内の１画素の模式的等価回路である。ここで、画素アレイは、複数の画素が行列状に配列された基板の、複数の画素が配置された領域と、複数の画素の間の領域と、を含む領域である。図１（ｂ）に示す１つの画素１１０は、２つの電極の間に半導体層を有して放射線を電荷に変換する変換素子Ｓと、その電荷に応じた電気信号を転送するスイッチ素子Ｔと、を含む。変換素子Ｓとしては、光電変換素子と、放射線を光電変換素子が感知可能な波長帯域の光に変換する波長変換体と、を備えた間接型の変換素子や、放射線を直接電荷に変換する直接型の変換素子が好適に用いられる。なお、本実施形態では、光電変換素子の一種であるフォトダイオードとして、ガラス基板等の絶縁性基板上に配置されアモルファスシリコンを主材料とするＰＩＮ型フォトダイオードを用いる。ここで、変換素子は容量を有しており、変換素子の容量をＣｓと示す。スイッチ素子Ｔとしては、制御端子と２つの主端子を有するトランジスタが好適に用いられ、本実施形態では薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が用いられる。変換素子Ｓの１方の電極（第１電極）はスイッチ素子Ｔの２つの主端子の１方に電気的に接続され、他方の電極（第２電極）はバイアス配線Ｖｓを介してバイアス電圧を供給するバイアス電源ＶＶｓと電気的に接続される。変換素子Ｓの第１電極の電位に応じた電気信号を転送するスイッチ素子Ｔは、その制御端子が駆動配線Ｇに接続され、スイッチ素子Ｔを導通状態にする導通電圧と非導通状態にする非導通電圧とを含む駆動信号が駆動配線Ｇを介して駆動回路１０２から供給される。本実施形態では、スイッチ素子Ｔの一方の主端子は、変換素子Ｓの第１電極に接続されており、他方の主端子は信号配線Ｓｉｇに接続されている。制御端子に導通電圧が供給されてスイッチ素子Ｔが導通状態になっている間に、スイッチ素子Ｔは、変換素子Ｓで発生した電荷に応じて変動する第１電極の電位に応じた電気信号を信号配線Ｓｉｇに転送する。ここで、スイッチ素子Ｔは、制御端子と一方の主端子の間に容量を有しており、その容量をＣｇｄと示す。また、スイッチ素子Ｔは、制御端子と他方の主端子の間に容量を有しており、その容量をＣｇｓと示す。更にスイッチ素子Ｔは、２つの主端子の間にも容量を有しており、その容量をＣｄｓと示す。信号配線Ｓｉｇは後述する読出回路１０３に供給される基準電圧を供給する基準電圧配線Ｖｒｅｆ１を介して基準電源ＶＶｒｅｆ１と接続される。駆動配線Ｇは、駆動回路１０２に設けられたスイッチＳＷを介して、導通電圧を供給する導通電圧配線Ｖｏｎを介して導通電源ＶＶｏｎと、非導通電圧を供給する非導通電圧配線Ｖｏｆｆを介して非導通電源ＶＶｏｆｆと、に選択的に接続される。画素アレイは、行列状に配置された複数の画素１１０と、各々が互いに異なるスイッチ素子Ｔに接続された複数の駆動配線Ｇと、を含む。そして、駆動回路１０２は、複数の駆動配線Ｇに導通電圧を順に供給し、複数の駆動配線Ｇのうちの導通電圧が供給されている駆動配線Ｇを除く駆動配線Ｇに非導通電圧を供給する。
【００１１】
次に、変換素子Ｓに放射線が照射した際に流れる電流について説明する。まず、スイッチ素子Ｔが非導通状態で変換素子Ｓに放射線が照射した場合について説明する。発生した電子−正孔対と、変換素子Ｓの容量Ｃｓとスイッチ素子Ｓの各容量（Ｃｇｓ、Ｃｇｄ、Ｃｄｓ）と、に応じて各配線に電流が流れる。発生した電子に応じて変換素子Ｓの第１電極の電位は下がる。それにより、駆動配線Ｇには、第１電極の電位の低下分と、変換素子Ｓから駆動配線Ｇまでの容量分割比とに応じて、非導通電源ＶＶｏｆｆから画素１１０に向かって駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇとして非導通電源電流Ｉ＿Ｖｏｆｆが流れる。次に、スイッチ素子Ｔが導通状態で変換素子Ｓに放射線が照射した場合について説明する。バイアス配線Ｖｓには、発生した正孔に応じて、画素１１０からバイアス電源ＶＶｓに向かって、バイアス配線電流Ｉ＿Ｖｓが流れる。また、信号配線Ｓｉｇには、バイアス配線電流Ｉ＿Ｖｓを変換素子Ｓの容量Ｃｓとスイッチ素子Ｓのオン抵抗値Ｒｏｎとの積で除算した値の信号配線電流Ｉ＿Ｖｒｅｆ１が、基準電源ＶＶｒｅｆ１から画素１１０に向かって流れる。この時、信号配線Ｓｉｇの電位Ｖｒｅｆ１と変換素子Ｓの第１電極と電位との間には、信号配線電流Ｉ＿Ｖｓとスイッチ素子Ｓのオン抵抗Ｒｏｎの積の分だけ電位差が生じている。そこで駆動配線Ｇには、その電位差を相殺するように、導通電源ＶＶｏｎから画素１１０に向かって駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇとして導通電源電流Ｉ＿Ｖｏｎが流れる。ただし、スイッチ素子Ｔのオン抵抗Ｒｏｎが十分低く、スイッチ素子Ｔｎｏオフ抵抗Ｒｏｆｆが十分高く、容量Ｃｄｓは十分小さい。そのため、スイッチ素子Ｓが導通状態の際の駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇは、スイッチ素子Ｓが非導通状態の際の駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇに比べて、極めて小さな値である。
【００１２】
次に、スイッチ素子Ｔの導通と非導通とを切り替える際に流れる電流について説明する。まず、スイッチ素子Ｔを非導通状態から導通状態に切り替える際に流れる電流について説明する。駆動配線Ｇには、非導通電圧と導通電圧との電位変動分を埋めるように、導通電源ＶＶｏｎから画素１１０に向かって駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇとして導通電源電流Ｉ＿Ｖｏｎが流れる。次に、スイッチ素子Ｔを導通状態から非導通状態に切り替える際に流れる電流について説明する。導通電圧と非導通電圧との電位変動分を解消するように、画素１１０から非導通電源ＶＶｏｆｆに向かって駆動配線電流Ｉ＿Ｖｇとして導通電源電流Ｉ＿Ｖｏｆｆが流れる。
【００１３】
このように、本願発明者は、誠意検討の結果、変換素子Ｓに放射線が照射した場合に、スイッチ素子Ｓが非導通状態の際に駆動配線に流れる電流は、スイッチ素子Ｓが導通状態の際に駆動配線に流れる電流に比べてはるかに大きいことを、見出した。また、スイッチ素子Ｔの導通状態と非導通とを切り替える際に、駆動配線Ｇには、導通電圧と非導通電圧の電位差に伴う大きな電流が流れ、この電流がノイズとして影響を及ぼし、検知の精度の低下を招くことを見出した。
【００１４】
そこで、本発明では、画素アレイ１０１に配列された複数の駆動配線Ｇのうち、駆動回路１０２によって非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇに流れる電流を検出する。ここで、非導通電圧が供給されている駆動配線は、複数の駆動配線のうち、非導通電圧から導通電圧に切り替えられている途中の駆動配線、導通電圧が供給されている駆動配線、及び、導通電圧から非導通電圧に切り替えられている途中の駆動配線を除く駆動配線である。検出された電流は、スイッチ素子Ｔが導通状態の場合に駆動配線Ｇに流れる電流よりもはるかに大きいため、スイッチ素子Ｔが導通状態の場合に駆動配線Ｇに流れる電流に基づく検知に比べて検知精度を向上することができる。また、非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇに流れる電流を検出するため、検出された電流に、スイッチ素子Ｔを導通状態から非導通状態に切り替える際に流れる、ノイズ成分となる電流が混入することが抑制される。また、駆動回路１０２は複数の駆動配線に導通電圧を順に供給し、複数の駆動配線のうち導通電圧が供給されている駆動配線を除く駆動配線には非導通電圧が供給する。そのため、複数の駆動配線において非導通電圧が供給されている駆動配線は常に存在する。そして、検出された電流に基づいて画素への放射線の照射の開始や終了といった放射線の照射の有無を検知する。そのため、放射線の照射の有無を中断することなく常に検知することができ、検知の即時性を確保できる。これにより、ノイズ成分による検知精度の低下を抑制し、放射線の照射の開始や終了といった放射線の照射の有無を高い即時性で且つ高い精度で検知可能となる。
【００１５】
次に、図１（ａ）を用いて本発明の放射線撮像システム及び放射線撮像装置について説明する。放射線撮像装置１００は、画素１１０を行列状に複数配置した画素アレイ１０１と、画素アレイ１０１を駆動する駆動回路１０２と、駆動された画素アレイ１０１からの電気信号に基づく画像信号を読み出す読出回路１０３を含む信号処理部１０６と、を有する。信号処理部１０６は、読出回路１０３と、Ａ／Ｄ変換器１０４と、デジタル信号処理部１０５とを有する。本実施形態では、説明の簡便化のために、画素アレイ１０１は８行×８列の画素１１０を有する形態としている。画素アレイ１０１は、駆動回路１０２からの駆動信号１１１に応じて駆動され、画素アレイ１０１から電気信号１１２が並列に出力される。画素アレイ１０１から出力された電気信号１１２は、読出回路１０３によって読み出される。読出回路１０３からの電気信号１１３は、Ａ／Ｄ変換器１０４によってアナログ信号からデジタル信号１１４に変換される。Ａ／Ｄ変換器１０４からのデジタル信号は、デジタル信号処理部１０５によって、デジタルマルチプレックス処理やオフセット補正等の簡易なデジタル信号処理が行われ、デジタル画像信号が出力される。そして、撮像装置１００は、電源部１０７と、各構成要素に夫々制御信号を供給して動作を制御する制御部１０８と、を含む。電源部１０７は、読出回路１０３に対して基準電圧配線Ｖｒｅｆ１を介して基準電圧を与える第１基準電源ＶＶｒｅｆ１と基準電圧配線Ｖｒｅｆ２を介して基準電圧を与える第２基準電源ＶＶｒｅｆ２とを含む。また、電源部１０７は、Ａ／Ｄ変換器１０４に対して基準電圧配線Ｖｒｅｆ３を介して基準電圧を供給する第３基準電源ＶＶｒｅｆ３を含む。また、電源部１０７は、駆動回路１０２に対して、導通電圧配線Ｖｏｎを介して導通電圧を供給するための導通電源ＶＶｏｎと、非導通電圧配線Ｖｏｆｆを介して非導通電圧を供給するための非導通電源ＶＶｏｆｆを含む。電源部１０７は、バイアス電圧を供給するバイアス電源ＶＶｓを更に含む。制御部１０８は、駆動回路１０２、読出回路１０３、及び、電源部１０７を制御する。ここで、放射線撮像装置１００には、駆動配線Ｇを流れる電流を検出する電流検出回路１２０が備えられている。また、制御部１０８は、電流検出回路１２０で検出された電流の値に基づいて画素アレイ１０１への放射線の照射の開始を検知する検知回路１０８ａと、検知回路１０８ａの検知結果に基づいて駆動回路１０２の制御を行う制御回路１０８ｂと、を含む。本発明の検知部は、電流検出回路１２０と制御回路１０８ｂを含み、少なくとも画素アレイ１０１への放射線の照射の開始を検知するものである。検知部に関しては後で詳細に説明する。
【００１６】
放射線制御装置１３１は、曝射ボタン１３２からの制御信号を受けて、放射線発生装置１３０が放射線１３３を出射する動作の制御を行う。制御卓１５０は、制御コンピュータ１４０に被検体の情報や撮像条件の入力を行い制御コンピュータ１４０に伝送する。表示装置１６３は、撮像装置１００から画像データを受信した制御コンピュータ１４０で画像処理された画像データを表示する。
【００１７】
次に、図２（ａ）及び図２（ｂ）を用いて、本実施形態に係る放射線撮像装置を説明する。図２（ａ）は、本実施形態に係る放射線撮像装置の模式的等価回路図であり、図２（ｂ）は、読出回路１０３の模式的等価回路図である。なお、図１（ａ）及び図１（ｂ）を用いて説明した構成と同じものは同じ番号を付与してあり、詳細な説明は割愛する。
【００１８】
行方向の複数の画素のスイッチ素子、例えばＴ１１〜Ｔ１８は、それらの制御端子が１行目の駆動配線Ｇ１に共通に電気的に接続されており、駆動回路１０２から駆動信号が、駆動配線を介して行単位で与えられる。列方向の複数の画素のスイッチ素子、例えばＴ１１〜Ｔ８１は、それらの他方の主端子が１列目の信号配線Ｓｉｇ１に電気的に接続されており、導通状態になっている間に、変換素子の電荷に応じた電気信号を、信号配線を介して読出回路１０３に転送する。列方向に複数配列された信号配線Ｓｉｇ１〜Ｓｉｇ８は、画素アレイ１０１の複数の画素から出力された電気信号を並列に読出回路部１０３に伝送する。
【００１９】
駆動回路１０２は、複数の単位回路１０２を含み、複数の単位回路１０２は、駆動配線Ｇと１対１で対応して設けられており、駆動配線毎に導通電圧又は非導通電圧を供給する。この単位回路１０２ａは、駆動配線Ｇと導通電源ＶＶｏｎとの接続と、駆動配線Ｇと非導通電源ＶＶｏｆｆとの接続と、を選択するスイッチＳＷを含むものである。
【００２０】
読出回路１０３は、画素アレイ１０１から並列に出力された電気信号を増幅する増幅回路部２０２と、増幅回路部２０２からの電気信号をサンプルしホールドするためのサンプルホールド回路部２０３と、を有する。増幅回路部２０２は、読み出された電気信号を増幅して出力する演算増幅器Ａと、積分容量群Ｃｆと、積分容量をリセットするリセットスイッチＲＣと、を有する増幅回路を、各信号配線に対応して有する。演算増幅器Ａの反転入力端子には出力された電気信号が入力され、出力端子から増幅された電気信号が出力される。ここで、演算増幅器Ａの正転入力端子には基準電源配線Ｖｒｅｆ１が接続される。増幅回路部２０２には、放射線の照射の開始を検知するまで信号配線Ｓｉｇに基準電源配線Ｖｒｅｆ１を接続するための信号配線リセットスイッチＳＲｅｓを備える。放射線の照射の開始を検知するまでは、演算増幅器２０２を動作させると消費電力が大きくなるため、演算増幅器２０２はその動作が停止される。そして、信号配線Ｓｉｇの電圧を基準電圧に固定するとともに、信号配線Ｓｉｇに流れる電流を検出（モニタ）するために、信号配線リセットスイッチＳＲｅｓは基準電源配線Ｖｒｅｆ１と信号配線Ｓｉｇを接続する。サンプルホールド回路部２０３は、サンプリングスイッチＳＨとサンプリング容量Ｃｈとによって構成されるサンプルホールド回路を、各増幅回路に対応して４系統有している。これは２行分の電気信号に対応して、増幅回路で発生するオフセットを抑制する相関二重サンプリング（ＣＤＳ）処理を行うためである。読出回路１０３は、サンプルホールド回路部２０３から並列に読み出された電気信号を、それぞれ順次出力して直列信号の画像信号として出力するマルチプレクサ２０４を有する。更に、読出回路１０３は、画像信号をインピーダンス変換して出力する出力バッファ回路ＳＦと、出力バッファ回路ＳＦの入力をリセットする入力リセットスイッチＳＲと、可変増幅器２０５と、を有する。ここで、マルチプレクサ２０４には、各信号配線に対応してスイッチＭＳ１〜ＭＳ８とＭＮ１〜ＭＮ８スイッチを夫々備えており、各スイッチを順次選択することにより、並列信号を直列信号に変換する動作が行われる。可変増幅器２０５には、ＣＤＳ処理のための差動増幅器として全差動増幅器が好適に用いられる。直列信号に変換された信号は、Ａ／Ｄ変換器１０４に入力され、Ａ／Ｄ変換器１０４でデジタルデータに変換され、デジタルデータがデジタル信号処理部１０５に送られる。
【００２１】
電流検出回路１２０は、複数の電流検出機構１２１を含んでおり、複数の電流検出機構１２１は、単位回路１０２ａ及び駆動配線Ｇと１対１で対応して設けられている。電流検出機構１２１に関しては、後で詳細に説明する。
【００２２】
制御回路１０８ｂは、検知回路１０８ａの検知結果に基づいて、駆動回路１０２の各単位回路１０２ａに制御信号１１８を供給し、各電流検出機構１２１に制御信号１１８’を供給する。それにより、制御回路１０８ｂは、非導通電源ＶＶｏｆｆと接続が選択されている単位回路１２１及び非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇと対応する電流検出機構１２１のみを選択できる。つまり、本実施形態の電流検出回路１２０は、非導通電圧から切り替えられて導通電圧が供給されて非導通電圧に切り替えられる駆動配線を除いた駆動配線の電流を検出できる。なお、電流検出機構１２１及び駆動配線Ｇのインピーダンスが、非導通電源ＶＶｏｆｆ、バイアス電源ＶＶｓ、基準電源ＶＶｒｅｆのインピーダンスよりも高くすることが望ましい。そのような構成であれば、導通電圧と非導通電圧の電位差に伴う大きな電流は非導通電源ＶＶｏｆｆに流れ、非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇに対応した電流検出機構１２１には流れない。そして、選択された電流検出機構１２１で検出された電流の値に基づいて、検知回路１０８ａが画素アレイ１０１への放射線の照射の開始や終了といった放射線の照射の有無を検知する。また、制御回路１０８ｂは、増幅回路部２０２のリセットスイッチＲＣに御信号１１６ａを供給し、信号配線リセットスイッチＳＲｅｓに制御信号１１６ｂを供給する。また、制御回路１０８ｂは、サンプルホールド回路部２０３に、偶奇選択信号１１６ｏｅ、信号サンプル制御信号１１６ｓ、オフセットサンプル制御信号１１６ｎを供給する。更に、制御回路１０８ｂは、マルチプレクサ２０４に制御信号１１６ｃを供給し、入力リセットスイッチＳＲに制御信号１１６ｄを供給する。
【００２３】
次に、図３を用いて、本実施形態に係る電流検出回路１２０と検知回路１０８ａの例を説明する。本実施形態の電流検出回路１２０は、複数の電流検出機構１２１を有しており、複数の電流検出機構１２１は、単位回路１０２ａ及び駆動配線Ｇと１対１で対応して設けられている。各電流検出機構１２１は、電流電圧変換回路１２２を含む。本実施形態では、電流電圧変換回路１２２は、トランスインピーダンスアンプＴＡとフィードバック抵抗Ｒｆとを有する。トランスインピーダンスアンプＴＡの非反転入力端子にはバイアス電源ＶＶｓが接続され、反転入力端子には各バイアス配線のいずれかが接続され、出力端子と反転入力端子の間にフィードバック抵抗ＲｆがトランスインピーダンスアンプＴＡと並列に接続される。また、短絡用スイッチＲＳが抵抗Ｒｆと並列に接続される。また、本実施形態の各電流検出機構１２１は、電流電圧変換回路１２２の出力電圧を増幅する電圧増幅回路１２３を含む。本実施形態では、電圧増幅回路１２３は、計装アンプＩＡとゲイン設定抵抗Ｒｇとを有する。更に、本実施形態の各電流検出機構１２１は、ノイズの低減のための帯域制限回路１２４と、アナログデジタル変換を行いデジタルの各電流信号を出力するためのＡＤ変換器１２５とを含む。このような構成により、電流検出機構１２１は、駆動配線に流れる電流を、電圧に変換して増幅して帯域制限してアナログデジタル変換した電流信号を出力することにより、駆動配線に流れる電流を検出する。更に本実施形態の各電流検出機構１２１は、制御回路１０８ｂからの制御信号１１８’に応じて、非導通電圧が供給されている駆動配線Ｇと対応する電流検出機構１２１からの信号を選択するための選択スイッチＳＳを含む。この選択スイッチＳＳの機能は、本発明の選択部の機能に相当する。この構成により、電流検出回路１２０は、非導通電圧から導通電圧に切り替えられている途中の駆動配線と導通電圧が供給されている駆動配線と導通電圧から非導通電圧に切り替えられている途中の駆動配線とを除く、非導通電圧が供給されている駆動配線の電流を検出できる。
【００２４】
本実施形態の検知回路１０８ａは、電流検出回路１２０からの信号を演算する演算回路１２６と、演算回路１２６の出力（演算結果）と閾値Ｖｔｈとを比較して比較結果を出力する比較回路１２７と、を含む。図３に示す演算回路１２６は、各バイアス配線電流信号を所望の増幅率（係数）で増幅する可変増幅器ＶＧＡを含む。それにより、演算回路１２６は、演算結果として増幅された電流信号を出力する。また、図３に示す比較回路１２７は、演算回路１２６の演算結果と予め設定された閾値Ｖｔｈと比較する比較器ＣＭＰを含む。本実施形態では、閾値Ｖｔｈとして予め設定された一つの固定の電圧値を用いている。ただし、複数の異なる閾値を準備し、その複数の閾値が複数の電流検出機構１２１に１対１で対応していることが好ましい。比較回路１２７を、選択された電流検出機構１２１に対応した閾値を複数の閾値の中から選択する構成とすることは、検知精度の観点でより好ましい。複数の電流検出機構１２１毎の特性バラつきや、複数の単位回路毎の特性バラつきなどがある場合には、好適な閾値を適用することができるためである。検知回路１０８ａの検知結果である比較結果が制御回路１０８ｂに供給され、制御回路１０８ｂは、比較結果に基づいて駆動回路１０２の制御を行う。なお、上述した電流検出回路１２０と検知回路１０８ａでは、いずれも検出した電流を電圧に変換した信号を用いたものを説明したが、本発明はそれに限定されるものではない。本発明の電流検出回路１２０と検知回路１０８ａは、検出した電流をそのまま用いた形態のものであってもよく、比較回路１２７は検出した電流に基づいて比較結果を出力できるものであればよい。つまり、電流検出回路１２０は駆動配線に流れる電流を何らかの信号で出力することによって検出できればよい。また、電流検出回路１２０は、非導通電圧が供給された駆動配線に対応した電流検出機構の中から一つを選択して出力する形態を用いて説明したが、本発明はそれに限定されるものではない。例えば、非導通電圧が供給されている駆動配線に対応した複数の電流検出機構の出力を加算平均処理する回路を設けて、加算平均処理された信号を演算回路１２６に出力するものであってもよい。加算平均することにより、検出された電流に含まれるランダムなノイズ成分を低減することが可能となる。また、その回路を演算回路１２６に含めてもよい。
【００２５】
次に、図２（ａ）、図３、及び、図４を用いて、本実施形態における放射線の曝射の検知とそれに基づく制御を説明する。なお、図４は、放射線撮像装置全体のタイミングチャートである。
【００２６】
まず、放射線画像撮影動作において、制御部１０８は、電源部１０７及び電流検出回路１２０に制御信号１１７を与える。それにより、電源部１０７及び電流検出回路１２０は、画素アレイ１０１にバイアス電圧を、駆動回路１０２に導通電圧及び非導通電圧を、読出回路１０３に対して各基準電圧を、それぞれ供給する。また、制御部１０８は、駆動回路１０２に制御信号１１８を供給し、駆動回路１０２は、各駆動配線Ｇ１〜Ｇ８に順次に導通電圧を供給するように、駆動信号を出力する。それにより、スイッチ素子Ｔが行単位で順次に全て導通状態となる初期化動作Ｋ１が行われ、初期化動作Ｋ１は放射線の曝射の開始が検知されるまで複数回行われる。その際、制御部１０８は、読出回路１０３の信号配線リセットスイッチＳＲｅｓに制御信号１１６ｂを供給して、信号配線リセットスイッチを導通状態とする。それにより、電源部１０７の第１基準電源ＶＶｒｅｆ１と信号配線Ｓｉｇとが導通状態となる。電流検出回路１２０は、初期化動作Ｋ１を含む準備動作の間に、第１バイアス配線電流Ｉ＿Ｖｓ１、第２バイアス配線電流Ｉ＿Ｖｓ２、及び、第３バイアス配線電流Ｉ＿Ｖｓ３を検出する。そして電流検出回路１２０は、非導通電圧が供給されている駆動配線に対応する電流検出機構１２１から検知回路１０８ａに電流信号１１９を出力する。演算回路１２６が、電流信号１１９に対して電流信号を増幅する。そして、比較回路１２７が、演算回路１２６の出力と閾値Ｖｔｈとを比較して、比較結果を制御回路１０８ｂに出力する。演算回路１２６の出力が閾値Ｖｔｈを超えると、電流検出回路１２０及び検知回路１０８ａによって放射線の照射が開始された旨の比較結果が出力される。それにより、制御回路１０８ｂは駆動回路１０２に制御信号１１８を供給し、駆動回路１０２による駆動配線Ｇへの導通電圧の供給を停止する。図４では、初期化動作Ｋ２において駆動回路１０２から駆動配線Ｇ４に導通電圧が供給されている際に放射線の照射の開始が検知され、駆動回路１０２による駆動配線Ｇ５〜Ｇ８への導通電圧の供給が行われず、全てのスイッチ素子Ｔが非導通状態で維持される。これにより、初期化動作Ｋ２が途中の行で終了するように、画素アレイ１０１の動作が検知された放射線の照射の開始に応じて制御され、放射線撮像装置１００の動作は、準備動作から蓄積動作Ｗに遷移する。
【００２７】
次に、検出回路１２０及び検知回路１０８ａによって放射線の照射の終了が検知されると、制御回路１０８ｂは駆動回路１０２に制御信号１１８を供給する。それにより、駆動回路１０２は、各駆動配線Ｇ１〜Ｇ８に順次に導通電圧を供給するように、駆動信号を出力し、スイッチ素子Ｔが行単位で順次に全て導通状態となる。それにより、放射線撮像装置１００は、照射された放射線に応じた電気信号を画素アレイ１０１から読出回路１０３に出力する画像出力動作Ｘを行う。以上により、放射線撮像装置１００は、準備動作と、蓄積動作Ｗと、画像出力動作Ｘと、を含む放射線画像撮像動作を行う。ここで、初期化動作Ｋ１の動作期間は、画像出力動作Ｘの動作期間より短いことが好ましい。
【００２８】
次に、放射線撮像装置１００は、暗画像撮像動作を行う。暗画像撮像動作は、放射線画像撮像動作と同様に、１回以上の初期化動作Ｋ１と初期化動作Ｋ２とを含む準備動作と、蓄積動作Ｗと、暗画像出力動作Ｆと、を含む。ここで、暗画像撮像動作における蓄積動作Ｗでは放射線は照射されない。また、暗画像出力動作Ｆは変換素子Ｓで発生するダーク電流に起因する暗時出力に基づく電気信号を画素アレイ１０１から読出回路１０３に出力するもので、放射線撮像装置１００の動作自体は画像出力動作Ｘと同じである。
【００２９】
なお、図１（ｂ）及び図２（ａ）では、１画素の構成として、変換素子Ｓとスイッチ素子Ｔとを有するものを用いて説明したが、本発明はそれに限定されるものではない。例えば、図５（ａ）に示すように、図１（ｂ）に示す１画素の構成に加えて、画素１１０が、増幅素子ＳＴとリセット素子ＲＴとを更に含むものであってもよい。図５（ａ）では、増幅素子ＳＴとして、制御端子（ゲート電極）と２つの主端子とを有するトランジスタを用いている。そのトランジスタの制御端子が変換素子Ｓの一方の電極に接続され、一方の主端子がスイッチ素子Ｔに接続され、他方の主端子が動作電源配線Ｖｓｓを介して動作電圧を供給する動作電源ＶＶｓｓに接続される。また、信号配線Ｓｉｇにはスイッチ６０２を介して定電流源６０１が接続されており、増幅素子ＳＴとソースフォロア回路を構成する。また、リセット素子ＲＴとして、制御端子（ゲート電極）と２つの主端子とを有するトランジスタを用いており、一方の主端子がリセット配線Ｖｒを介してリセット電源ＶＶｒに接続され、他方の主端子が増幅素子ＳＴの制御電極に接続されている。このリセット素子ＲＴが本発明の第２スイッチ素子に相当し、リセット電源ＶＶｒの電圧が本発明の第２電圧に相当する。リセット素子ＲＴの制御電極は、リセット用駆動配線Ｇｒを介して、駆動配線Ｇと同様に駆動回路１０２に接続される。リセット用駆動配線Ｇｒは、駆動回路１０２に設けられたスイッチＳＷｒを介して、導通電圧配線Ｖｏｎを介して導通電源ＶＶｏｎと、非導通電圧配線Ｖｏｆｆを介して非導通電源ＶＶｏｆｆと、に選択的に接続される。また、演算増幅器Ａの反転入力端子と信号配線リセットスイッチＳＲｅｓの間に、クランプ容量が設けられている。また、例えば、図５（ｂ）に示すように、図１（ｂ）に示す１画素の構成に加えて、画素１１０が、リセット素子ＲＴを更に含むものであってもよい。リセット素子ＲＴとして、制御端子（ゲート電極）と２つの主端子とを有するトランジスタを用いており、一方の主端子がリセット配線Ｖｒを介してリセット電源ＶＶｒに接続され、他方の主端子が増幅素子ＳＴの制御電極に接続されている。このリセット素子ＲＴが本発明の第２スイッチ素子に相当し、リセット電源ＶＶｒの電圧が本発明の第２電圧に相当する。リセット素子ＲＴの制御電極は、リセット用駆動配線Ｇｒを介して、リセット用駆動回路１０２Ｒに接続される。リセット用駆動配線Ｇｒは、リセット用駆動回路１０２Ｒに設けられたスイッチＳＷｒを介して、導通電圧配線Ｖｏｎを介して導通電源ＶＶｏｎと、非導通電圧配線Ｖｏｆｆを介して非導通電源ＶＶｏｆｆと、に選択的に接続される。また、図５（ｂ）では、変換素子Ｓは、ＭＩＳ型光電変換素子を含む。図５（ａ）及び図５（ｂ）の構成にあっては、駆動配線Ｇを流れる電流と同様に、リセット用駆動配線Ｇｒを流れる電流を用いて、放射線の照射の開始を検出することも可能である。
【００３０】
（第２の実施形態）
次に、図６（ａ）、図６（ｂ）、及び、図７を用いて、本発明の第２の実施形態に係る放射線撮像装置について説明する。なお、第１の実施形態で説明した構成と同じものは同じ番号を付与してあり、詳細な説明は割愛する。図６（ａ）は本実施形態に係る放射線撮像装置及びシステムの模式図であり、図６（ｂ）は本実施形態に係る放射線撮像装置の模式的等価回路図である。図７は、本実施形態に係る検出回路及び検知回路の模式的等価回路図である。
【００３１】
本実施形態では、画素アレイ１０１内の複数の画素１１０は複数の画素群に分割されており、複数の画素群に対応して駆動回路１０２が複数設けられている。図６（ｂ）に示す例では、画素アレイ１０１内の複数の画素１１０は２つの画素群に分割されており、１つの画素群に１対１で対応して２つの駆動回路１０２が設けられている。電流検出回路１２０は、各駆動回路１０２に１対１で対応して設けられた２つの電流検出機構１２１を備えている。導通電源ＶＶｏｎは各単位回路１０２ａに共通に直接接続されており、非導通電源ＶＶｏｆｆは駆動回路１０２毎に電流検出機構１２１を介して各駆動回路１０２の各単位回路１０２ａに共通に接続されている。このような構成とすることにより、第１の実施形態に比べて電流検出機構１２１の数を少なくすることができ、放射線撮像装置１００の回路規模の低減に伴うコストダウンが可能となる。
【００３２】
（第３の実施形態）
次に、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）〜（ｅ）を用いて、本発明の第３の実施形態に係る放射線撮像装置について説明する。なお、先の実施形態で説明した構成と同じものは同じ番号を付与してあり、詳細な説明は割愛する。図８（ａ）は本実施形態に係る放射線撮像装置及びシステムの模式図であり、図８（ｂ）は本実施形態に係る放射線撮像装置の模式的等価回路図である。図９（ａ）は本実施形態に係る検出回路及び検知回路の模式的等価回路図であり、図９（ｂ）〜（ｅ）は本実施形態に係る駆動回路の単位回路の動作を説明する模式的等価回路図である。
【００３３】
第１及び第２の実施形態では、電源部１０７は非導通電源ＶＶｏｆｆを１系統のみ有しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、電源部１０７が非導通電源ＶＶｏｆｆを複数有する形態が好ましい。本実施形態では、電源部１０７が、電流検出回路１２０を介さずに各単位回路１０２ａに共通に非導通電圧を供給する第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１と、電流検出回路１２０を介して各単位回路１０２ａに非導通電圧を供給する第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２と、を有する。ここで、第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１と第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２は、同じ電圧値の非導通電圧を供給することが好ましく、第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１が本発明の別の非導通電源に相当する。なお、図９（ａ）では、電流検出機構１２１を一つだけ有する形態を示しているため、第１及び第２の実施形態の電流検出機構１２１に比べて、選択スイッチＳＳを除いたものとなっている。ただし、本実施形態ではそれに限定されるものではない。第１の実施形態のように、各単位回路１０２ａに１対１で対応するように複数の電流検出機構１２１を有してもよい。また、第２の実施形態のように複数の駆動回路１０２を有するような形態であれば、各々の駆動回路１０２に１対１で対応するように複数の電流検出機構１２１を有することが好ましい。そのような形態では、第１及び第２の実施形態と同様に、電流検出機構１２１は選択スイッチＳＳを有することが好ましい。
【００３４】
また、本実施形態の単位回路１０２ａは、導通電源ＶＶｏｎと駆動配線Ｇとの接続、第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１と駆動配線Ｇとの接続、及び、電流検出機構１２１を介した第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２と駆動配線Ｇとの接続、を選択可能な構成となっている。各単位回路１０２ａの動作の例を、１行目の駆動配線Ｇ１から順次に走査する形態である図９（ｂ）〜（ｅ）を用いて説明する。まず、１行目の駆動配線Ｇ１に対応する単位回路１０２ａが導通電源ＶＶｏｎとの接続を選択し、残りの単位回路１０２ａは第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２との接続を選択している。これにより、１行目の駆動配線Ｇ１に導通電圧が供給され、残りの駆動配線には非導通電圧が供給される。次に、２行目の駆動配線Ｇ２に対応する単位回路１０２ａが導通電源ＶＶｏｎとの接続を選択する。その際、１行目の駆動配線Ｇ１に対応する単位回路１０２ａは第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１との接続を選択し、残りの単位回路１０２ａは第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２との接続を選択している。これにより、１行目の駆動配線Ｇ１に供給される電圧が導通電圧から非導通電圧に切り替わった際に流れる電流は、第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１に向かって流れる。一方、その電流が第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２に向かって流れる経路は存在しないため、電流検出機構１２１にその電流が流れることがない。次に、３行目の駆動配線Ｇ３に対応する単位回路１０２ａが導通電源ＶＶｏｎとの接続を選択する。その際、２行目の駆動配線Ｇ２に対応する単位回路１０２ａは第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１との接続を選択し、１行目を含む残りの単位回路１０２ａは第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２との接続を選択している。つまり、１つの単位回路１０２ａに注目すると、導通電源ＶＶｏｎとの接続を選択した後には、第１非導通電源ＶＶｏｆｆ１との接続を選択し、その後第２非導通電源ＶＶｏｆｆ２との接続を選択する。このような動作をすることにより、導通電圧から非導通電圧に切り替わった際に流れる電流が電流検出機構１２１に流れる経路がなくなり、電流検出機構１２１にノイズ成分となる電流が混入することが抑制される。
【００３５】
なお、本発明において、複数の電流検出機構１２１を用いた形態にあっては、複数の電流検出機構１２１が出力する信号に基づいて、画素アレイ１０１の放射線が照射された領域を検出することが可能である。放射線が照射された領域の駆動配線に流れる電流と、放射線が照射されなかった領域の駆動配線に流れる電流と、に相違があるためである。そのため、複数の電流検出機構１２１毎の出力を予め定められた閾値と比較し、その比較結果により放射線が照射された画素アレイ１０１の領域を検出することが可能となる。例えば図１０に示すように、その閾値と比較する比較器１１０１を複数の電流検出機構１２１毎に１対１で対応するように複数備える。そして、複数の比較器１１０１の出力に基づいて放射線が照射された画素アレイ１０１の領域を検出する検出部１１０２を備える。そのような構成により、放射線が照射された画素アレイ１０１の領域を検出することができる。更に、検出部１１０２の出力に基づいて制御回路１０８ｂが、画素アレイ１０１の放射線が照射された領域の画素からの電気信号を選択的に出力するように、駆動回路１０２の動作を制御可能な構成とする。
【００３６】
なお、本発明の各実施形態は、例えば制御部１０８に含まれるコンピュータや制御コンピュータ１４０がプログラムを実行することによって実現することもできる。また、プログラムをコンピュータに供給するための手段、例えばかかるプログラムを記録したＣＤ−ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体又はかかるプログラムを伝送するインターネット等の伝送媒体も本発明の実施形態として適用することができる。また、上記のプログラムも本発明の実施形態として適用することができる。上記のプログラム、記録媒体、伝送媒体及びプログラムプロダクトは、本発明の範疇に含まれる。また、第１〜第３の実施形態から容易に想像可能な組み合わせによる発明も本発明の範疇に含まれる。
【符号の説明】
【００３７】
１００  放射線撮像装置
１０１  画素アレイ
１０２  駆動回路
１０３  読出回路
１０４  Ａ／Ｄ変換器
１０５  デジタル信号処理部
１０６  信号処理部
１０７  電源部
１０８  制御部
１０８ａ  検知回路
１０８ｂ  制御回路
１１０  画素
１２０  電流検出回路
Ｓ  変換素子
Ｔ  スイッチ素子
Ｇ  制御配線
Ｓｉｇ  信号配線
Ｖｓ  バイアス配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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