(57)【要約】【課題】力センサの傾き方向の分力が該センサの出力に現れたとしても、物品の質量を精度よく求めることができる質量測定装置を提供する。【解決手段】質量測定装置１００は、物品Ｑを移動させ、その際に物品Ｑに作用する力および加速度から物品Ｑの質量ｍを算出するため、物品Ｑを保持する吸着部２と、吸着部２を移動させるロボットアーム３と、移動時の物品Ｑに作用する力を測定する力センサ１と、移動時の物品Ｑに作用する加速度を把握する加速度センサ４と、吸着部２およびロボットアーム３を運転制御し、力センサ１の力測定データ及び加速度センサ４の加速度データに基づいて物品Ｑの質量を算出する制御部４０と、曲線関数を記憶する記憶部３５とを備える。制御部４０は、力測定データを曲線関数に代入してフィットさせて該関数に含まれる変数Ｂを算出し、更に変数Ｂに基づいて物品Ｑの質量ｍを算出する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を移動させ、その際に前記物品に作用する力および加速度から前記物品の質量を算出する質量測定装置であって、
前記物品を保持する保持機構と、
前記保持機構を移動させる移動機構と、
前記保持機構と前記移動機構との間に設けられて、移動時の前記物品に作用する力を測定する力測定部と、
移動時の前記物品に作用する加速度を把握する加速度把握部と、
前記保持機構および前記移動機構を運転制御し、前記力測定部の測定結果を示す力測定データおよび前記加速度把握部の把握した加速度データに基づいて前記物品の質量を算出する制御部と、
前記物品の移動に伴い変化する前記力測定データの軌跡に対応した曲線関数、を記憶する記憶部と、
を備え、
前記制御部は、
前記力測定データを前記曲線関数に代入してフィットさせることで、該関数に含まれる変数を算出し、
更に前記変数に基づいて前記物品の質量を算出する、
質量測定装置。
【請求項２】
前記曲線関数は、波形曲線であって、
前記変数には、前記波形曲線の振幅が含まれる、
請求項１に記載の質量測定装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記保持機構および前記移動機構を介して前記物品を水平方向及び／または鉛直方向へと移動させる、
請求項１または２に記載の質量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、質量測定装置、特に、物品を移動させ、その際に物品に作用する力および加速度から前記物品の質量を算出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ばね秤や電子秤では、重力加速度以外の加速度の影響を排除するために、静止状態で使用することを前提としている。しかし、近年、揺れる物体上に据え付けられ、揺動による計量誤差を除去した質量を測定する質量測定装置が普及している。例えば、特許文献１（特開平８−１１０２６１号公報）に開示されている質量測定装置では、通常の力センサとしての計量用ロードセルとは別に、分銅を載荷したダミー用ロードセルで床の上下動成分を検出し、検出した上下動成分を、計量用ロードセルの出力信号から減算することによって、床の上下動成分を含まない測定信号を出力するようにしている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の質量測定装置も、物品に作用する重力によってロードセルが垂直方向へ変位することを利用しているので、ロードセルが重力によっては、変位しない状態になる場合、物品の質量を検出することができなくなる。
【０００４】
それゆえ、例えば、マニピュレータやロボットハンドのように、物品を持ち上げて移動させる先端部にロードセルを取り付けて、持ち上げた物品を移動している最中に、その物品の質量を測定しようとしても、従来技術では困難である。
【０００５】
そこで、出願人は、物品を移動させ、その際に物品に作用する力および加速度から物品の質量を算出する質量測定装置を開発した。開発段階では、水平に移動する物品に作用する加速度を測定することによって、物品に作用する重力加速度の影響を排除しようとしたが、力センサが傾いて取り付けられた場合、物品に作用する重力のうちの力センサの傾き方向の分力が、力センサの出力に現れることが判明した。
【０００６】
本発明の課題は、力センサの傾き方向の分力が該センサの出力に現れたとしても、物品の質量を精度よく求めることができる質量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
質量測定装置は、物品を移動させ、その際に物品に作用する力および加速度から物品の質量を算出する。この質量測定装置は、保持機構と、移動機構と、力測定部と、加速度把握部と、制御部と、記憶部とを備える。保持機構は、物品を保持する。移動機構は、保持機構を移動させる。力測定部は、保持機構と移動機構との間に設けられて、移動時の物品に作用する力を測定する。加速度把握部は、移動時の物品に作用する加速度を把握する。制御部は、保持機構および移動機構を運転制御し、力測定部の測定結果を示す力測定データおよび加速度把握部の把握した加速度データに基づいて物品の質量を算出する。記憶部は、曲線関数を記憶する。曲線関数は、物品の移動に伴い変化する力測定データの軌跡に対応した関数である。そして、制御部は、力測定データを曲線関数に代入してフィットさせることで、該関数に含まれる変数を算出し、更に変数に基づいて物品の質量を算出する。
【０００８】
ここでは、予め記憶している曲線関数に力測定データを合致させて曲線関数の変数を求めることで、物品の移動に伴う力測定データの軌跡を表す曲線が得られる。この曲線を表す関数の変数を用いて物品の質量が算出されるため、計量の精度が向上する。
【０００９】
上記曲線関数は、波形曲線であって、変数には、波形曲線の振幅が含まれることが好ましい。
【００１０】
また、制御部は、保持機構および移動機構を介して物品を水平方向及び／または鉛直方向へと移動させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る質量測定装置によると、予め記憶している曲線関数に力測定データを合致させて曲線関数の変数を求めることで、物品の移動に伴う力測定データの軌跡を表す曲線が得られる。この曲線を表す関数の変数を用いて物品の質量が算出されるため、計量の精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る質量測定装置の概略構成図であって、特に、質量測定装置の駆動系を表す図。
【図２】図１の質量測定装置をばね−質量系で表わしたときの当該質量測定装置の２自由度モデル。
【図３】零点調整のために、吸着部に何も保持させない状態で力センサおよび加速度センサから得られた各測定データを示すグラフ。
【図４】スパン調整用の既知の分銅を吸着部に保持させた状態で力センサおよび加速度センサから得られた各測定データを示すグラフ。
【図５】質量ｍの被測定物を吸着部に保持させた状態で力センサおよび加速度センサから得られた各測定データを示すグラフ。
【図６】力センサが水平に対して角度θだけ傾いた状態で取り付けられたときの重力の分力方向を表す説明図。
【図７】水平に対して角度θだけ傾いた状態で取り付けられた力センサから得られた力測定データを示すグラフ。
【図８】力センサおよび加速度センサによって検出された信号（即ち、力測定データ及び加速度データ）を処理する信号処理回路図であって、特に、質量測定装置の制御系を表す図。
【図９】力センサの力測定データを曲線関数にカーブフィットさせることで、物品Ｑに作用する重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）に関係なく物品Ｑの質量ｍを算出する手段を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の具体例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１４】
（１）質量測定装置１００の構成
図１は、本発明の一実施形態に係る質量測定装置１００の概略構成図であって、特に質量測定装置１００の駆動系を表している。図１において、質量測定装置１００は、駆動系の構成要素として、力センサ１（力測定部に相当）と、吸着部２（保持機構に相当）と、ロボットアーム３（移動機構に相当）と、加速度センサ４（加速度把握部に相当）とを備えている。
【００１５】
力センサ１は移動中の物品Ｑに作用する力を検出する。また、力センサ１には、例えば、歪みゲージ式ロードセルが採用される。歪みゲージ式ロードセルは、移動によって自由端側が固定端側に対して相対的に変位し、それによって自由端側に作用する力を検出することができる。
【００１６】
吸着部２は、物品Ｑを保持する。また、吸着部２には、エアー吸着機構、或いは、エアーチャック機構が採用される。なお、吸着部２は、エアー吸着機構やエアーチャック機構などに限定されるものではなく、モータ駆動のフィンガー機構であってもよい。
【００１７】
ロボットアーム３は、吸着部２を三次元的に移動させる。また、ロボットアーム３は、所定の回転軸ＣＡを中心にしてＣＷ方向およびＣＣＷ方向に回転することもできる。なお、ロボットアーム３としては、例えば、水平多関節ロボットや垂直多関節ロボット、あるいは、パラレルリンクロボット等が適切である。
【００１８】
加速度センサ４は、物品Ｑに作用する加速度を検出する。また、加速度センサ４としては、例えば、歪みゲージ式ロードセル、ＭＥＭＳ型の小型加速度センサ、及び一般的な市販の加速度センサのいずれかが適宜採用される。
【００１９】
なお、力センサ１は吸着部２とロボットアーム３との間に設けられ、加速度センサ４は吸着部２に隣接するように設けられる。以下で説明する実施形態では、力センサ１及び加速度センサ４ともに歪みゲージ式ロードセルが採用され、力センサ１及び加速度センサ４は水平方向に移動する物品Ｑに作用する力と加速度を検出する。
【００２０】
（２）質量測定の原理
図２は、図１の質量測定装置１００をばね−質量系で表わしたときの当該質量測定装置の２自由度モデルである。
【００２１】
図２において、ｍは物品Ｑの質量、Ｍ1は力センサ１の自由端側の質量と吸着部２の質量および加速度センサ４の固定端側の質量との和、Ｍ2は加速度センサ４の自由端の質量である。また、ｋ1は力センサ１のばね定数、ｋ2は加速度センサ４のばね定数である。ｘ1は力センサ１の変位量、ｘ2は加速度センサ４の変位量とする。
【００２２】
物品Ｑに加速度が作用したときの運動方程式は、
（ｍ＋Ｍ1）ｄ2ｘ1／ｄｔ2＝−ｋ1（ｘ1−ｙ）＋ｋ2（ｘ1−ｘ2）          （１）
Ｍ2ｄ2ｘ2／ｄｔ2＝−ｋ2（ｘ2−ｘ1）                                  （２）
として表される。また（１）式を変形すると、
ｍ＝[−ｋ1（ｘ1−ｙ）＋ｋ2（ｘ1−ｘ2）]／（ｄ2ｘ1／ｄｔ2）−Ｍ1      （３）
となる。さらに、加速度センサ４の剛性が大きいことを考慮すると、
ｄ2ｘ1／ｄｔ2≒ｄ2ｘ2／ｄｔ2                                          （４）
として近似できる。それゆえ、（３）及び（４）式より、
ｍ＝[−ｋ1（ｘ1−ｙ）＋ｋ2（ｘ1−ｘ2）]／（ｄ2ｘ2／ｄｔ2）−Ｍ1      （５）
が導き出される。また、（２）式を変形すると、
ｄ2ｘ2／ｄｔ2＝−ｋ2（ｘ2−ｘ1）／Ｍ2                                （６）
となるので、（５）、（６）式より、
ｍ＝[−ｋ1（ｘ1−ｙ）／−ｋ2（ｘ2−ｘ1）]Ｍ2＋Ｍ2−Ｍ1                （７）
が導き出される。
【００２３】
ここで、−ｋ1（ｘ1−ｙ）は力センサ１の出力、−ｋ2（ｘ2−ｘ1）は加速度センサ４の出力である。
【００２４】
なお、以下では、説明の便宜上、力センサ１の出力である検出信号を「力測定データ」といい、加速度センサ４の出力である検出信号を「加速度データ」と言う。
【００２５】
図３は、零点調整用のために、吸着部２に何も保持させない状態で力センサ１及び加速度センサ４から得られた各測定データを示すグラフである。図３において、力センサ１の力測定データのピーク値をＦｍｚ、加速度センサ４の加速度データのピーク値をＦａｚとしたとき、（７）式より、
０＝Ｍ2・Ｃ・（Ｆｍｚ／Ｆａｚ）＋Ｍ2−Ｍ1                              （８）
となる。但し、加速度データは０でない場合を想定している。なお、Ｃは換算係数である。
【００２６】
図４は、スパン調整用の既知の分銅を吸着部２に保持させた状態で力センサ１及び加速度センサ４から得られた各測定データを示すグラフである。図４において、力センサ１の力測定データのピーク値をＦｍｓ、加速度センサ４の加速度データのピーク値をＦａｓとしたとき、（５）式より、
ｍｓ＝Ｍ2・Ｃ・（Ｆｍｓ／Ｆａｓ）Ｍ2−Ｍ1                              （９）
となる。そして、（８）−（９）式より、
Ｃ＝ｍｓ／Ｍ2｛（Ｆｍｓ／Ｆａｓ）−（Ｆｍｚ／Ｆａｚ）｝              （１０）
が導き出される。（１０）式より、Ｍ2は固定係数として、スパン係数をＳとすると、
Ｓ＝Ｃ・Ｍ2＝ｍｓ／｛（Ｆｍｓ／Ｆａｓ）−（Ｆｍｚ／Ｆａｚ）｝        （１１）
である。
【００２７】
図５は、質量ｍの被測定物（即ち、物品Ｑ）を吸着部２に保持させた状態で力センサ１及び加速度センサ４から得られた各測定データを示すグラフである。図５において、力センサ１の力測定データのピーク値をＦｍ、加速度センサ４の加速度データのピーク値をＦａとしたとき、（１１）式より、
ｍ＝Ｓ｛（Ｆｍ／Ｆａ）−（Ｆｍｚ／Ｆａｚ）｝                          （１２）
となる。
【００２８】
（３）物品Ｑに作用する重力の影響
上記の質量測定の原理で説明した力センサ１は感度方向が水平に取り付けられているので、水平移動時の出力、つまりは力センサ１の力測定データに重力の影響は現れない。しかしながら、力センサ１の感度方向を厳密に水平に取り付けることは容易ではなく、ある程度傾いた状態で取り付けられる。
【００２９】
図６は、力センサ１が水平に対して角度θだけ傾いた状態で取り付けられたときの重力の分力方向を表す説明図である。また、図７は、水平に対して角度θだけ傾いた状態で取り付けられた力センサ１から得られた力測定データを示すグラフである。
【００３０】
図６及び図７において、力センサ１は水平に対して角度θだけ傾いているので、吸着部２が質量ｍの物品Ｑを保持した際、力センサ１の力測定データには物品Ｑに作用する重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）が現れる。その結果、図７に示すように、吸着部２が物品Ｑを保持せず水平移動したときの力センサ１の力測定データに対して、物品Ｑを保持して水平移動したときの力センサ１の力測定データは、基準点がｍｇ・ｓｉｎθだけマイナス方向に変化する。
【００３１】
例えば、物品Ｑの質量ｍが力センサ１の力測定データのピーク値を加速度センサ４の加速度データのピーク値で除算して算出される場合には、基準点から視た力センサ１の力測定データのピーク値は重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）を含んでいるので、物品Ｑの質量ｍが正確に測定されない。
【００３２】
（４）物品Ｑに作用する重力の分力に関係なく物品Ｑの質量ｍを算出する手段
図８は、力センサ１及び加速度センサ４によって検出された信号（即ち、力測定データ及び加速度データ）を処理する信号処理回路図であって、特に、質量測定装置１００の制御系を表している。図８において、質量測定装置１００は、更に制御系の構成要素として、増幅器３１ａ，３１ｂ、ローパスフィルタ３２ａ，３２ｂ、Ａ／Ｄ変換器３３ａ，３３ｂ、記憶部３５、及び制御部４０を備えている。
【００３３】
図８において、力センサ１及び加速度センサ４には、それぞれ増幅器３１ａ，３１ｂが接続されており、これらの増幅器３１ａ，３１ｂは、力センサ１及び加速度センサ４から入力された検出信号である力測定データ及び加速度データそれぞれを増幅する。また、各増幅器３１ａ，３１ｂには、それぞれローパスフィルタ３２ａ，３２ｂが接続されている。このローパスフィルタ３２ａ，３２ｂは、入力された検出信号である力測定データ及び加速度データから一定周波数以上のノイズ成分を除去する。また、各ローパスフィルタ３２ａ，３２ｂには、それぞれＡ／Ｄ変換器３３ａ，３３ｂが接続されており、そのＡ／Ｄ変換器３３ａ，３３ｂは、入力されたアナログ信号（具体的には、各測定データ）をディジタル信号に変換する。また、各Ａ／Ｄ変換器３３ａ，３３ｂは、制御部４０に接続されている。なお、制御部４０としては、ＤＳＰ（ディジタル・シグナル・プロセッサ）やマイクロコンピュータ等を使用することができる。
【００３４】
記憶部３５は、例えば不揮発性メモリで構成されており、力センサ１及び加速度センサ４の各測定データ（具体的には、力測定データ及び加速度データ）を記憶することができる。特に、本実施形態に係る記憶部３５は、予め曲線関数を記憶している。
【００３５】
曲線関数とは、物品Ｑの移動に伴い変化する力計測データの軌跡に対応した関数である。即ち、図７の「力センサ：１００ｇ測定時」のグラフに表されるように、物品Ｑが水平方向に移動するのに伴って力センサ１の力測定データの値が刻々と変化するが、曲線関数は、この力測定データの値がどのように変化するのかを数式にて表したものである。ここで、図７の縦軸では、物品Ｑに作用する力の値を表し、横軸では、時間を表している。なお、曲線関数は、力測定データの軌跡を表すことのできる関数であればどのような関数であってもよいが、物品Ｑの移動パターンに応じて適宜選択される。本実施形態では、曲線関数が、以下の数式で示される波形曲線（より具体的には、サインカーブ）である場合を例に採る。
Ｙ＝Ｂｓｉｎ（２×π×ｆ×ｔ＋Φ）＋Ａ                                （１３）
【００３６】
なお、上記（１３）式において、Ｙは、図７のグラフの縦軸の値（即ち、力センサ１によって計測された物品Ｑに作用する力の値）、Ｂは、図７のグラフの振幅、ｆは、力測定データによって描かれる軌跡の周波数、Φは、該軌跡の位相、Ａは基準点の変化を表す。
【００３７】
制御部４０は、入力された検出信号、つまりは力測定データ及び加速度データに基づいて、各種の処理を実行する。先ず、制御部４０は、力センサ１及び加速度センサ４の各測定データに含まれるノイズ周波数成分をローパスフィルタ３２ａ，３２ｂにより除去する処理を行う。そして、制御部４０は、除算器４１として機能することで、そのノイズ周波数成分が除去された力センサ１の力測定データを加速度センサ４の加速度データで除算する処理を行う。その後、制御部４０は、減算器４２として機能することで、該除算結果を用いて式（１２）の演算を行い、質量ｍを算出する処理を行う。即ち、制御部４０は、力センサ１及び加速度センサ４の各測定データに基づいて、物品Ｑの質量ｍを算出する。また、制御部４０は、吸着部２による物品Ｑの吸着動作の制御や、ロボットアーム３の運転制御等も行う。
【００３８】
特に、本実施形態に係る制御部４０は、変数算出部４３としても機能する。変数算出部４３は、図９に示すように、力センサ１の力測定データを、記憶部３５内の曲線関数に代入してフィットさせることで、該関数に含まれる変数を算出する。具体的には、変数算出部４３は、Ａ／Ｄ変換された後の力測定データを、最小二乗法を用いて曲線関数の形にした上で、該関数の変数Ｂ，ｆ，Φを求める。
【００３９】
ここで、求めた変数Ｂは、上記（１３）式に示すように、サイン波形の振幅に相当する。そのため、図９に示すように、変数Ｂは、本来あるべき基準点（即ち、物品Ｑに作用する重力の分力がないとした場合の基準点）から物品Ｑに作用する重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）だけマイナス方向に変化した点を新たに基準とした場合の、力測定データのピーク値に相当することとなる。従って、求めた変数Ｂは、該分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）を含んでいない純粋な力測定データのピーク値を表していると言える。そこで、変数算出部４３により求められた変数Ｂは、上記の質量測定の原理における（１２）式の“Ｆｍ”として代入される。これにより、除算器４１によって力測定データ”Ｆｍ”と加速度データ“Ｆａ”との除算処理等が行われ、結果的に、減算器４２により、重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）の影響を受けていない物品Ｑの質量ｍそのものが算出されるようになる。
【００４０】
ここで、曲線関数に代入してフィットされる力測定データのデータ量は、図９に示すように、サイン波形の半周期分に相当するデータ量であってもよい。なぜならば、力測定データがサイン波形の半周期分に相当するデータ量さえあれば、図９のサイン波形の振幅Ｂを求めることができるからである。しかしながら、サイン波形の一周期分に相当するデータ量の力測定データによって変数Ｂが求められる方が、より精度の良い変数Ｂが求められるため、好ましい。
【００４１】
（５）特徴
本実施形態に係る質量測定装置１００は、力センサ１による力測定データを、予め記憶部３５に記憶されている曲線関数に代入してフィットさせることで、物品Ｑの水平方向への移動に伴う力測定データの軌跡を表す曲線を得ると、該曲線を表す関数に含まれる変数Ｂを算出し、更に変数Ｂに基づいて物品Ｑの質量ｍを算出する。
【００４２】
特に、曲線関数は波形曲線であって、変数Ｂは、波形曲線の振幅を表している。
【００４３】
そのため、たとえ物品Ｑに作用する重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）が力測定データに影響を及ぼしてしまっているとしても、求められた変数Ｂは、波形曲線の振幅であるため、重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）を基準点とした場合の力測定データのピーク値となっている。従って、質量測定装置１００は、純粋な力測定データのピーク値に基づいて、重力の分力（ｍｇ・ｓｉｎθ）の影響を受けていない物品Ｑの質量ｍを算出することができるため、計量の精度を向上させることができる。
【００４４】
（６）変形例
（６−１）変形例Ａ
上記実施形態では、記憶部３５の記憶している曲線関数が、上記（１３）式に示すように、サイン波形である場合を例に採り説明した。しかし、本発明に係る曲線関数は、サイン波形に限定されない。その他の曲線関数としては、例えば多項式からなる曲線関数が挙げられる。以下に、多項式からなる曲線関数の一例を示す。
Ｙ＝ａnｘn-1＋ａn-1ｘn-2＋・・・＋ａ3ｘ2＋ａ2ｘ＋ａ1                  （１４）
【００４５】
なお、上記（１４）式において、Ｙは、図７，９のグラフの縦軸の値（即ち、力センサ１によって計測された物品Ｑに作用する力の値）、ａn，ａn-1，・・・は、図７のグラフの振幅等を表す変数である。
【００４６】
この場合、質量測定装置１００の制御部４０は、多項式の変数ａn，ａn-1，・・・を求め、該変数ａn，ａn-1，・・・を更に用いて物品Ｑの質量ｍを算出すると良い。
【００４７】
（６−２）変形例Ｂ
上記実施形態では、物品Ｑを水平方向へ移動させた場合の、力測定データの軌跡を表す曲線関数の変数Ｂが求められる場合について説明した。
【００４８】
しかし、本発明に係る質量測定装置１００は、物品Ｑを鉛直方向に移動させた場合の、力測定データの軌跡を表す曲線関数の変数Ｂを求め、該変数Ｂを用いて物品Ｑの質量ｍを求めてもよい。
【００４９】
また、本発明に係る質量測定装置１００は、物品Ｑを水平方向または鉛直方向の一方向へと移動させるのみならず、物品Ｑを水平方向及び鉛直方向へと移動させてもよい。この場合、質量測定装置１００は、物品Ｑを水平方向及び鉛直方向へと移動させた一連の動作における力測定データの軌跡を表す曲線関数から、該関数の変数Ｂを求め、これを用いて物品Ｑの質量ｍを求める。
【００５０】
（６−３）変形例Ｃ
上記実施形態では、移動する物品Ｑの加速度を把握するための機器として、加速度センサ４が質量測定装置１００に備えられている場合について説明した。しかし、移動する物品Ｑの加速度は、実際に加速度センサ４によって測定されるのではなく、例えばロボットアーム３に出力される駆動指令から把握されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上にように、本願発明によれば、物品を移動させながらその物品の質量を測定することができるので、アセンブリ製品の内部部品の欠品検査にも有用である。
【符号の説明】
【００５２】
１    力センサ（力測定部）
２    吸着部（保持機構）
３    ロボットアーム（移動機構）
４    加速度センサ（加速度把握部）
３５    記憶部
４０    制御部
４３    変数算出部
Ｑ    物品（被計量物）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５３】
【特許文献１】特開平８−１１０２６１号公報
【図１】
2013185848.tif 000003
【図２】
2013185848.tif 000004
【図３】
2013185848.tif 000005
【図４】
2013185848.tif 000006
【図５】
2013185848.tif 000007
【図６】
2013185848.tif 000008
【図７】
2013185848.tif 000009
【図８】
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【図９】
2013185848.tif 000011