(57)【要約】【課題】本発明は、従来よりも製品の生産性に優れる環状モールド式のパターン転写装置及びパターン転写方法を提供する。【解決手段】本発明は、微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写装置１Ａであって、前記パターンを有するモールド２Ａを搬送するモールド搬送機構４ａ，４ｄと、前記被転写面に対する前記モールド２Ａの相対位置を調整するためのモールド位置補正機構１３と、を備え、前記モールド２Ａは、複数の転写ユニット３を環状に連結した環状モールドであることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写装置であって、
前記パターンを有するモールドを搬送するモールド搬送機構と、
前記被転写面を有する被転写材料を搬送する被転写材料搬送機構と、
前記パターンの形成面と前記被転写面を対向させた状態で、前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する押圧機構と、
前記モールド搬送機構によって前記モールドを前記押圧機構まで搬送する経路上において、前記被転写材料に対する前記モールドの相対位置を調整するためのモールド位置補正機構と、を備え、
前記モールドは、複数の転写ユニットを環状に連結した環状モールドであることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド位置補正機構は、前記転写ユニットの、前記モールド幅方向の変位を規制するガイド部材であることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項３】
請求項２に記載のパターン転写装置において、
前記ガイド部材は、前記転写ユニットを、前記モールドを搬送する経路上に沿うように案内することを特徴とするパターン転写装置。
【請求項４】
請求項２に記載のパターン転写装置において、
前記ガイド部材は、前記転写ユニットの前記パターンが形成される面と反対の面に設けられた突起に当接して、前記転写ユニットを、前記モールドを搬送する経路上に沿うように案内することを特徴とするパターン転写装置。
【請求項５】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結部は、前記モールド幅方向に変位可能となっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項６】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、互いにそれらの端部で重ね合わせると共に、当該重ね合わせ部分を貫通する軸部材で連結されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項７】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、リンク部材で連結されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のパターン転写装置において、
前記モールドは、可撓性材料で形成されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニットは、前記パターンを有する金型部材と、この金型部材を支持するベース部材からなることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記ベース部材は、可撓性材料で形成されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１１】
請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材は、ニッケルを含む金属材料で構成されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１２】
請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材は、ポリイミド及び光硬化性樹脂の少なくとも１つで構成されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１３】
請求項９に記載のパターン転写装置において、
前記金型部材と前記ベース部材とは、接着されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１４】
請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記金型部材と前記ベース部材とは、溶接されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１５】
請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記金型部材と前記ベース部材とは、機械的に締結されて一体となっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１６】
請求項９に記載のパターン転写装置であって、
前記ベース部材は、前記被転写材料の前記被転写面に追加加工を施すための機能を更に有していることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１７】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記押圧機構は、前記転写ユニット同士の連結部を避けて前記モールドを押圧することを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１８】
請求項６に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結は、上流側に位置する前記転写ユニットの端部が、下流側に位置する前記転写ユニットの端部よりも、上又は下の何れかになるように前記モールドの全体に亘って統一されて、各転写ユニット同士は瓦状に重なりあっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士の連結は、上流側に位置する前記転写ユニットの端部が、下流側に位置する前記転写ユニットの端部よりも、下になるように前記モールドの全体に亘って統一されて、各転写ユニット同士は瓦状に重なりあっていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２０】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記モールドの長手方向における前記転写ユニットの長さは、
前記モールド位置補正機構から直近の上流側及び直近の下流側にそれぞれ位置する前記ロールの間隔と比べて短いことを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２１】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記ロール間の間隔を調節して前記モールドの張力を調節する間隔調整機構を備えることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２２】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記押圧機構は、少なくとも一対の円筒状のロールであることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２３】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記モールド搬送機構は、環状の前記モールドを内側で支持する複数のロールを備え、
前記モールドの長手方向における前記転写ユニットの長さは、
前記モールド位置補正機構から直近の上流側及び直近の下流側にそれぞれ位置する前記ロールの間隔と比べて長いことを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２４】
請求項２３に記載のパターン転写装置において、
前記モールド位置補正機構は、前記モールドと交差するように配置される棒状部材と、
前記モールドとこの棒状部材との交差角度を所定の角度に維持しながら、この棒状部材を前記モールドに当接させるアクチュエータと、
を備えることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載のパターン転写装置において、
前記棒状部材は、前記モールドを表裏から挟む位置に少なくとも一対配置されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２６】
請求項２４に記載のパターン転写装置において、
前記ロール間の間隔を調節して前記モールドの張力を調節する間隔調整機構を備えることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２７】
請求項１に記載のパターン転写装置において、
前記転写ユニット同士は、弾性部材を介して連結されていることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２８】
請求項３に記載のパターン転写装置において、
前記モールドの位置を検出する検出機構と、
この検出機構の検出信号に基づいて前記ガイド部材を駆動するアクチュエータと、
を備えることを特徴とするパターン転写装置。
【請求項２９】
微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写方法であって、
前記パターンを有するモールド及び前記被転写面を有する被転写材料を、所定の搬送経路に沿って搬送する工程と、
前記パターンの形成面と前記被転写面を相互に対向させた状態で前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する工程と、
前記モールドを前記押圧機構まで搬送する搬送経路上において、前記被転写面に対して前記モールドの前記パターンとの相対位置を補正する工程と、
を含むことを特徴とするパターン転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モールド（金型原器）に形成した微細な凹凸形状のパターンを、ナノインプリント法を用いて被転写材料の被転写面に転写するパターン転写技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイの反射防止フィルム、導光板等の光学部品、細胞培養シート等のバイオデバイス、太陽電池、或いは発光装置等の電子デバイスの分野においては、製品の性能の向上を図り、また、所望の機能を発現させることを目的に、被転写材料の被転写面に微細な凹凸形状のパターンを形成することが行われている。
【０００３】
被転写材料の被転写面にこのようなパターンを形成する技術としては、ナノインプリント技術が知られている。ナノインプリント技術とは、ナノメートルオーダー（ナノサイズ）の凹凸形状のパターンを形成したモールドを、被転写材料の被転写面に設けた樹脂に型押しして転写する技術である。
【０００４】
ナノインプリント技術では、いったんモールドを作製すると、ナノサイズのパターンを繰り返し成型できるので、前記のデバイスの製造コストを低減できる。また、有害な廃棄物・排出物が少ないので環境適合性にも優れる。このため、ナノインプリント技術は、さまざまな分野への応用が期待されている。
このナノインプリント技術には、微細な凹凸形状のパターンを形成した平板状のモールドを、樹脂材料からなる被転写面へスタンプ式に押し付けるもののほか、
ローラータイプのモールドを用いた転写技術がある。このローラータイプのモールドを用いた場合、連続回転するモールドに対して被転写材料を連続して供給することができる。このため、平板状のモールドを使用したスタンプ式の転写技術と比較して、転写工程を高速化することができる。
【０００５】
さらに、本発明者らは、無端帯状の環状モールドを用いた転写技術を提案している（例えば、特許文献１参照）。この転写技術によれば、平板状のモールドを使用したスタンプ式の転写技術と比較して、転写工程の処理速度を高速化することができると共に、パターン転写精度が向上する。
【０００６】
ところで、無端帯状の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、環状モールドと帯状の被転写材料とを回転するロール状の押圧機構で押圧しながら、被転写材料の搬送を停止することなく連続的にパターン転写することができる。
しかしながら、本発明者らが当該環状モールドを使用した転写技術における課題検証を進める過程において、前記デバイス等の製品の生産性をさらに向上させる要請がある。
【０００７】
次に参照する図１３（ａ）は、従来の環状モールドを装着したパターン転写装置を上方から見た様子を示す模式図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示すパターン転写装置において、帯幅方向の一端側が他端側よりも周長の長い環状モールドが装着されている様子を示す模式図である。なお、図１３（ｂ）における周長の違いは誇張して表している。
【０００８】
図１３（ａ）のように、周長が全体に均一な無端帯状の環状モールド３１を、モールド搬送機構５０を構成するロール４０ａ、４０ｂに掛け渡して装着した場合、環状モールド３１は、初期の装着位置からずれることなく搬送され続ける。
これに対して、図１３（ｂ）のように、帯幅方向の両端で周長が互いに異なる環状モールド３１を、モールド搬送機構５０を構成するロール４０ａ、４０ｂに掛け渡して装着した場合には、環状モールド３１は、周長の短い図１３（ｂ）の紙面右側でより強くロール４０ａ、４０ｂと接触するために、図１３（ｂ）の紙面左側に向かって移動する。そのため、被転写材料のパターン転写領域が正規の位置からずれて製品の歩留まりを低下させることとなる。
【０００９】
このような環状モールド３１の搬送時に生じたずれを補正する技術としては、例えば、画像印刷機等の環状ベルト部材のずれを防止するために、支持するロール群の一部に、環状ベルト部材に加わる張力を変化させる機能を付与する技術の応用が考えられる。
しかしながら、前記の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、パターン転写時に数メガパスカルの大きな押圧力で環状モールドが挟み込まれるために、環状モールドの張力を変化させて環状モールドのずれを補正することは事実上困難となる。
【００１０】
また、対になったロール同士を捩じるようにずらし、或いはロールの両端に加わる推力を調節することによってロールによる挟み幅（ニップ幅）を変えてずれを補正する技術が開示されている（例えば、特許文献２及び特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−１５５４１３号公報
【特許文献２】特開２００８−１６９０４７号公報
【特許文献３】特開２００２−０９９１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、前記の特許文献２及び特許文献３に開示される技術では、ロール状の押圧機構で押圧される領域において、押圧力及び押圧時間の分布が生じることになる。特に、前記の環状モールドを用いたパターン転写技術（例えば、特許文献１参照）では、被転写材料に対する環状モールドの押圧力や押圧時間に分布が生じると、パターン転写面内での被転写材料の流動状態にも分布が生じ、転写形状がばらつくことで製品の生産性が低下することとなる。
【００１３】
そこで、本発明の課題は、従来よりも製品の生産性に優れる環状モールド式のパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決する本発明のパターン転写装置は、微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写装置であって、前記パターンを有するモールドを搬送するモールド搬送機構と、前記被転写面を有する被転写材料を搬送する被転写材料搬送機構と、前記パターンの形成面と前記被転写面を対向させた状態で、前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する押圧機構と、前記モールド搬送機構によって前記モールドを前記押圧機構まで搬送する経路上において、前記被転写材料に対する前記モールドの相対位置を調整するためのモールド位置補正機構と、を備え、前記モールドが、複数の転写ユニットを環状に連結した環状モールドであることを特徴とする。
【００１５】
また、前記課題を解決する本発明のパターン転写方法は、微細な凹凸形状のパターンを被転写面に転写するためのパターン転写方法であって、前記パターンを有するモールド及び前記被転写面を有する被転写材料を、所定の搬送経路に沿って搬送する工程と、前記パターンの形成面と前記被転写面を相互に対向させた状態で前記モールド及び前記被転写材料同士を相互に押圧する工程と、前記モールドを前記押圧機構まで搬送する搬送経路上において、前記被転写面に対して前記モールドの前記パターンとの相対位置を補正する工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来よりも製品の生産性に優れる環状モールド式のパターン転写装置及びパターン転写方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
【図２】（ａ）は、第１実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図、（ｂ）及び（ｃ）は、（ａ）の環状モールドの変形例を示す図である。
【図３】図３（ａ）から（ｃ）は、図２（ｃ）のモールド位置補正機構の変形例を示す構成説明図であり、図２（ｃ）に対応する部分平面図である。
【図４】（ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する部分模式図ある。
【図５】（ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する部分模式図である。
【図６】（ａ）から（ｃ）は、パターン転写装置の押圧部材の変形例を示す側面模式図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図である。
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の動作説明図である。
【図１１】図９のモールド位置補正機構の変形例の構成説明図である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
【図１３】（ａ）は、従来の環状モールドを装着したパターン転写装置を上方から見た様子を示す模式図である。（ｂ）は、（ａ）に示すパターン転写装置において、帯幅方向の一端側が他端側よりも周長の長い環状モールドが装着されている様子を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の実施形態について適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
図１に示すように、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａは、環状モールド２Ａを予め定めたモールド搬送経路６に沿って搬送するモールド搬送機構５と、被転写材料９を予め定めた被転写材料搬送経路１１に沿って搬送する被転写材料搬送機構１２と、環状モールド２Ａと被転写材料９とを互いに押圧するための押圧機構７Ａとを備えている。本実施形態での環状モールド２Ａは、複数の転写ユニット３をモールド搬送経路６に沿って環状に連結配置した構成となっており、環状モールド２Ａはモールド搬送経路６上にあるモールド位置補正機構１３を経由してエンドレスに搬送されるようになっている。
ちなみに、本実施形態でのモールド位置補正機構１３は、図１に示すように、被転写材料９とその一部で接してモールド搬送経路６を周回する環状モールド２Ａの、当該被転写材料９と接する側の反対側に設けられている。このモールド位置補正機構１３は、モールド搬送経路６上で少なくとも１箇所設けられていればよい。
【００１９】
環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３は、被転写材料９と接する面の側に、被転写材料９に転写する微細な凹凸形状のパターン（図示省略）を有している。図１に示す例では、被転写材料９に転写する凹凸形状のパターンは、転写ユニット３の表面のうち、モールド搬送経路６の外方側に位置している。ただし、転写する凹凸形状のパターンは、被転写材料の配置によっては、モールド搬送経路６の内方側にのみ、又は外方側及び内方側の両方に位置していてもよい。
【００２０】
この凹凸形状のパターンは、凹部と凸部とが繰り返して連続するパターンであり、凹部の深さ（又は凸部の高さ）、凹部の幅（又は凸部の幅）、及び凹部同士の間隔（又は凸部同士の間隔）のそれぞれは、数百マイクロメートル乃至数十ナノメートルサイズで形成されている。
ちなみに、その凹凸形状は、このパターン転写装置１Ａで得られる微細構造体の用途に応じて適宜に設定することができ、例えば、柱状、穴状、ラメラ状（襞状）等が挙げられる。また、凹凸形状のパターンは、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３の全面に形成されていてもよいし、一部に形成されていてもよい。
【００２１】
本実施形態での環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３の材質としては、可撓性を有すると共に、要求される強度と加工精度を実現できるものであれば特に制限は無い。例えば、各種金属、各種樹脂等が挙げられる。
【００２２】
金属としては、ニッケルが望ましく、樹脂としては、ポリイミド樹脂及び光硬化性樹脂が望ましい。また、転写ユニット３は、前記した凹凸形状のパターンが形成されるニッケル等の金属やポリイミド樹脂等の樹脂からなる可撓性を有する金型部材（図示省略）と、これを支持する、例えば、ステンレス、芳香族ポリアミド樹脂（例えばケブラー（登録商標）樹脂）等の可撓性を有するベース部材が一体となった複合積層体とすることができる。
これらの金型部材とベース部材とは、その接触界面の少なくとも一部に接着層を介して接着された構成とすることができる。また、金型部材とベース部材とは、溶接や機械的部品で締め付け固定されたものであってもよい。
なお、ベース部材には、被転写材料９に対して、前記の金型部材以外に、パターン転写後の目印等となるマークを被転写材料に付与するなどの追加機能を更に有することができる。
この環状モールド２Ａについては、モールド位置補正機構１３と共に、後にさらに詳しく説明する。
【００２３】
本実施形態でのモールド搬送機構５は、環状モールド２Ａが掛け渡される複数のロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと、これらのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを予め定められた回転角度ごとに断続的に回転駆動するステッピングモータ等の駆動機構（図示省略）とで構成されている。本実施形態でのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、環状モールド２Ａの内側と接するように配置されている。
【００２４】
前記した駆動機構は、各ロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを反時計回りに同期駆動し、所定の回転角度による回転駆動及び回転停止を交互に繰り返すことにより、環状モールド２Ａを間欠的（断続的）に搬送（左回転）させるように動作する。これにより、モールド搬送機構５は、後記する押圧機構７Ａへ環状モールド２Ａを、所定の長さごとに間欠的（断続的）に、かつ、エンドレスに送り込むようになっている。ロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの駆動機構（図示省略）の回転角度は、例えば、押圧機構７Ａへ送り込まれる環状モールド２Ａの長さが予め定められた長さとなるように設定されている。なお、図１中、符号Ｘを付した矢印は環状モールド２Ａの搬送方向を示している。
【００２５】
前記した所定の回転角度は、例えば、押圧機構７Ａへ送り込まれる環状モールド２Ａの搬送方向に沿う長さが、予め定められた長さ（具体的には、後記する上側押圧部材８ａ、及び下側押圧部材８ｂの搬送方向に沿う長さ）と一致するように設定されている。
【００２６】
４つのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄのうち、図１の下側に位置する２つのロール４ｂ，４ｃは、後記する被転写材料搬送経路１１によって搬送される被転写材料９に対して、環状モールド２Ａを部分的に押し当てるように配置されている。
これにより、上流側のロール４ｂは搬送されてきた環状モールド２Ａを被転写材料９の被転写面に当接させるように送り込む一方、下流側のロール４ｃで環状モールド２Ａを被転写材料９から引き離すように機能している。なお、これらのロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、この４つに限定されるものではなく、前記したロール４ｂ，４ｃの機能を有するものを少なくとも有していれば、３つ又は５以上であってもよい。
【００２７】
被転写材料搬送機構１２は、図１に示すように、長尺帯状の転写前の被転写材料９の一側を巻回してこれを送り出す送り出しリール１０ａと、パターン転写後の被転写材料９の他側を巻き取る巻取りリール１０ｂのほか、必要に応じて送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの回転をそれぞれ制御するための、図示しない回転駆動制御機構を含んで構成されている。図１中、符号Ｙを付した矢印は、被転写材料９の搬送方向を示している。
【００２８】
被転写材料搬送機構１２は、被転写材料９を押圧機構７Ａへと送り込む機能と、転写後の被転写材料９を巻き取る機能とを有している。具体的には、被転写材料搬送機構１２は、モールド搬送機構５と同期して動作する。
これにより、被転写材料９を押圧機構７Ａへ送り込むタイミングと、環状モールド２Ａを押圧機構７Ａへ送り込むタイミングとを同期させると共に、押圧機構７Ａへ送り込む被転写材料９の長さと、押圧機構７Ａへ送り込む環状モールド２Ａの長さとを一致させている。要するに、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、図１に示すように、環状モールド２Ａと被転写材料９とを重ね合わせた状態を維持して、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を押圧機構７Ａへと送り込むようになっている。
【００２９】
次に、被転写材料９について説明する。被転写材料９は、例えば、長尺帯状の熱可塑性樹脂フィルムにより構成されている。被転写材料９の幅は、例えば、環状モールド２Ａの幅と略同じ（異なっていてもよい）である。熱可塑性樹脂としては、製品の用途に応じて、適宜の素材を選択することができる。熱可塑性樹脂が有する特性としては、ガラス転移温度Ｔｇが１００〜１６０°Ｃ程度のものが好ましい。具体的には、例えば、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート等の熱可塑性樹脂を、被転写材料９として好適に用いることができる。
【００３０】
押圧機構７Ａは、ロール４ｂからロール４ｃに至る区間を搬送される環状モールド２Ａと、この区間の環状モールド２Ａに重ね合わせられて搬送される被転写材料９とを、共に挟み込んで押圧する機能を有する。この押圧は、図１に示すように、環状モールド２Ａに形成された凹凸形状パターンと被転写材料９の被転写面を相互に対向させた状態を維持して行われる。詳しく述べると、押圧機構７Ａは、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂと、これらを押圧するための推力を付加する、図示しない推力機構とを備えて構成されている。上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとの間は、相互に離間するように付勢されている。推力機構による押圧動作がない状態では、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとは相互に離間するように位置している。
【００３１】
上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂを組み合わせてなる押圧機構７Ａは、ロール４ｂからロール４ｃに至る区間に、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込むように対向して設けられている。推力機構は、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込ませた上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂに推力を付与して環状モールド２Ａ及び被転写材料９を押圧する構成となっている。なお、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、推力機構による押圧動作は、環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送が停止している間に行われる。
【００３２】
上側押圧部材８ａには、図示していない加熱用ヒータが内蔵されている。この加熱用ヒータは、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９を加熱することで、熱可塑性樹脂からなる被転写材料９を、そのガラス転移温度Ｔｇ以上に昇温する。
なお、第１実施形態では、上側押圧部材８ａの側にのみ加熱用ヒータを設ける例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、例えば、下側押圧部材８ｂの側にのみ加熱用ヒータを設けてもよいし、上側及び下側押圧部材８ｂ，８ｂの双方に加熱用ヒータを設けてもよい。
【００３３】
次に、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａの動作（パターン転写方法）について説明する。
まず、押圧転写工程について説明する。押圧転写工程では、環状モールド２Ａに形成された凹凸形状パターンと被転写材料９の被転写面を相互に対向させた状態で、環状モールド２Ａ、及び、被転写材料９を、押圧機構７Ａを用いて相互に押圧させることにより、凹凸形状パターンを被転写材料の被転写面に転写する。
【００３４】
具体的には、押圧機構７Ａにおいて、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとが、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込んで押圧する。この際、上側押圧部材８ａに内蔵された加熱用ヒータによって、被転写材料９がガラス転移温度Ｔｇ以上となるように加熱されて可塑化（又は半流動化）する。その結果、環状モールド２Ａの凹凸形状パターンが被転写材料９に転写される。その後、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが、環状モールド２Ａ及び被転写材料９から離れると、被転写材料９は、その温度がガラス転移温度Ｔｇよりも低下して硬化する。
【００３５】
一方、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが離れた状態で、モールド搬送機構５及び被転写材料搬送機構１２が、押圧機構７Ａの上流側に位置する環状モールド２Ａ及び被転写材料９を、押圧機構７Ａの直下へと送り込む。そして、前記した手順と同様に、上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂが環状モールド２Ａ及び被転写材料９を挟み込んだ状態で押圧して、凹凸形状パターンを被転写材料９の被転写面に転写する。
【００３６】
第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、モールド搬送機構５及び被転写材料搬送機構１２による環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送工程と、押圧機構７Ａによる被転写材料９への凹凸形状パターンの押圧転写工程とが、間欠的（断続的）に繰り返される。
【００３７】
凹凸形状パターンが転写されてロール４ｃにまで到達した被転写材料９は、図１に示すように、巻取りリール１０ｂに向かって搬送される。この搬送動作と同期して、環状モールド２Ａは、ロール４ｃからロール４ｄに向かって搬送される。その後、環状モールド２Ａは、ロール４ｃによる屈曲位置において、被転写材料９から剥離される。つまり、第１実施形態に係るロール４ｃは、剥離ロールとしての機能を有する。
【００３８】
また、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａでは、押圧機構７Ａとロール４ｃとは、所定の冷却区間を置いて設けられている。このため、凹凸形状パターンの転写時において、上側押圧部材８ａに内蔵された加熱用ヒータ（図示省略）から、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９に伝わった熱を、前記の冷却区間において冷ますことができる。すると、冷却区間において十分に冷却されて確実に硬化した被転写材料９から、環状モールド２Ａを円滑かつ適確に剥離することができる。
【００３９】
なお、前記の冷却区間に、不図示のエアブローや冷却ロール等の冷却機構を設ける構成としてもよい。このような構成によれば、生産性の向上を狙って、環状モールド２Ａ及び被転写材料９の搬送速度を増加させる場合であっても、前記の冷却区間において、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を十分に冷却でき、剥離動作を円滑かつ的確に行うことができる。
【００４０】
前記のロール４ｃにおいて環状モールド２Ａを被転写材料９から剥離させる工程の後、被転写材料９は、巻取りリール１０ｂに巻き取られる一方、環状モールド２Ａは、モールド搬送機構５によって再び押圧機構１７Ａへと送り込まれる。
【００４１】
＜環状モールド及びモールド位置補正機構＞
次に、環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３について、さらに具体的に説明する。
図２（ａ）は、本実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図であり、図２（ｂ）及び（ｃ）は、図２（ａ）の環状モールドの変形例を示す図である。図２（ａ）及び（ｃ）は、図１の紙面上方から環状モールド周辺を見下ろした様子を示す部分平面図、図２（ｂ）は、環状モールドの内周側から転写ユニットの裏面を見た様子を表す部分裏面図である。
【００４２】
図２（ａ）に示すように、環状モールド２Ａは、外形が概ね六角形状の複数の転写ユニット３を、モールド搬送経路６（図１参照）に沿って相互に連結配置したものである。そして、隣接する転写ユニット３同士は、六角形状の角部（端部）が相互に重ね合わせられて回転ピン２１（軸部材）で軸支されている。つまり、転写ユニット３同士は、回転ピン２１を中心に回動可能となっている。図２（ａ）中、符号４ａ及び符号４ｄは、図１に示すロール４ａ及びロール４ｄに対応する。符号Ｘを付した白抜き矢印は、環状モールド２Ａの搬送方向を示している。
ちなみに、転写ユニット３同士の連結は、上流側に位置する転写ユニット３の端部は、下流側に位置する転写ユニット３の端部よりも、上又は下の何れかに、好ましくは下となるように環状モールド２Ａの全体に亘って統一されており、各転写ユニット３同士は瓦状に重なりあっている。
【００４３】
モールド位置補正機構１３は、図２（ａ）に示すように、転写ユニット３の両側（図２（ａ）の紙面左右の両側）にそれぞれ配置される一対のガイド部材４１を備えて構成されている。
ガイド部材４１同士は、その間に転写ユニット３が連なって形成される環状モールド２Ａを摺動可能に支持するようになっている。そして、ガイド部材４１は、Ｘ方向に環状モールド２Ａが搬送される際に、正規の位置からずれた転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する転写ユニット３）を、元の正規の位置の転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ａ側に位置する転写ユニット３）となるように、転写ユニット３を案内するように構成されている。
なお、このようなガイド部材４１の環状モールド２Ａの長手方向の長さは、ガイド部材４１から上流側のロール４ｄ、及び下流側のロール４ａの間隔と比べて短い。
【００４４】
本実施形態でのモールド位置補正機構１３は、転写ユニット３の正規の位置からのずれ幅を検出する転写ユニット３の位置センサ（図示省略）と、この位置センサからの信号に基づいてガイド部材４１における転写ユニット３の案内角度を調節するアクチュエータ（図示省略）と、を更に備えている。つまり、転写ユニット３は、角度可変のガイド部材４１により環状モールド２Ａの幅方向に移動可能となっている。
【００４５】
このような環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３の構成によれば、図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する、正規の位置からずれた転写ユニット３が搬送される際に、ロール４ａから、図１に示すロール４ｂ及びロール４ｃを経由して、再びロール４ｄまで転写ユニット３が戻される。そのことで、モールド位置補正機構１３は、ガイド部材４１によって、転写ユニット３同士を、回転ピン２１を支点として回動させて、転写ユニット３を正規の位置へと導いていく。これにより、モールド位置補正機構１３は、転写ユニット３のずれを補正することができる。
【００４６】
＜モールド位置補正機構の変形例＞
次に、モールド位置補正機構１３の変形例について説明する。
図２（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、転写ユニット３の裏面（転写パターンを有しない面）に任意の形状の突起４２を有している。そして、モールド位置補正機構１３を構成するガイド部材４１は、環状モールド２Ａが搬送される際に、正規の位置からずれた転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ｄ側に位置する転写ユニット３）を、元の正規の位置の転写ユニット３（図２（ａ）のロール４ａ側に位置する転写ユニット３）となるように、突起４２を案内するように構成されている。また、モールド位置補正機構１３は、図示しないが、例えば、回転ピン２１を転写ユニット３の裏面側に突出させ、これをガイド部材４１で案内する構成とすることもできる。
【００４７】
なお、図２（ｂ）中、符号２１は、回転ピンである。また、符号４２ａは、ロール４ａ，４ｄの周面に設けられ、環状モールド２Ａが搬送される際に、突起４２とロール４ａ，４ｄとの干渉を回避するための溝部（縮径部）である。ちなみに、この変形例では、図１に示すロール４ｂ，４ｃにも同様の溝部（図示省略）が設けられている。また、図１に示す上側押圧部材８ａにおいても、上側押圧部材８ａが転写ユニット３の裏面を押圧する際に、突起４２を回避する凹み（図示省略）を有している。
【００４８】
また、環状モールド２Ａの転写ユニット３同士の連結は、回転ピン２１に限定されるものではなく、転写ユニット３の形状は、六角形に限定されるものでもない。つまり、転写ユニット３同士の連結は、転写ユニット３同士が当該連結部周りに相対的に回動可能であれば特に制限はない。また、転写ユニット３の形状は、平面視で円形、楕円形、多角形のいずれであってもよい。
【００４９】
図２（ｃ）に示すモールド位置補正機構１３のガイド部材４１は、互いに間隔を空けて配置された矩形の転写ユニット３同士がリンクピン４３（リンク部材）を介して連結された環状モールド２Ａを案内するように構成されている。つまり、ガイド部材４１で案内される環状モールド２Ａは、回転ピン２１で転写ユニット３同士が連結されるものと異なって、当該連結部で転写ユニット３同士が重なり合わないので、当該連結部が厚くならない。よって、ガイド部材４１は、環状モールド２Ａがモールド搬送経路６（図１参照）に沿って搬送される際に、より安定させてこれを案内することができる。
【００５０】
＜モールド位置補正機構の他の変形例＞
図３（ａ）から（ｃ）は、図２（ｃ）のモールド位置補正機構の変形例を示す構成説明図であり、図２（ｃ）に対応する部分平面図である。
図２（ｃ）に示すモールド位置補正機構１３においては、前記のように、転写ユニット３の位置ずれを検出する位置センサ（図示省略）からの信号に基づいて角度可変のガイド部材４１が転写ユニット３の案内角度を自在に調節する構成となっているが、図３（ａ）に示すように、変形例に係るモールド位置補正機構１３のガイド部材４１，４１は、正規の環状モールド２Ａのモールド搬送経路６（図１参照）上で、転写ユニット３の幅で間隔を空けて角度不変で平行に開いて配置されている。つまり、図３（ａ）のガイド部材４１，４１は、図２（ｃ）に示す角度可変のガイド部材４１，４１と異なって、正規のモールド搬送経路６と平行となるように予め角度が固定されている。
【００５１】
このような図３（ａ）に示すモールド位置補正機構１３によれば、一対のガイド部材４１，４１の間を転写ユニット３が通過することで、環状モールド２Ａは、位置ずれが補正されることとなる。
【００５２】
また、図３（ａ）に示す前記のモールド位置補正機構１３は、転写ユニット３同士を連結するリンクピン４３が１つであるものについて説明したが、リンクピン４３は、２つ以上とすることもできる。
【００５３】
図３（ｂ）に示すように、このモールド位置補正機構１３においては、転写ユニット３同士は、同じ長さの２本の平行なリンクピン４３，４３で連結されている。このような転写ユニット３同士は、モールド搬送経路６（図１参照）上で互いに平行を維持しながら、環状モールド２Ａの幅方向に位置ずれが補正されることとなる。これにより、転写ユニット３は、より確実にガイド部材４１，４１の間に受け入れられ、より円滑に位置ずれが補正されることとなる。
【００５４】
図３（ｂ）に示す前記のモールド位置補正機構１３においては、転写ユニット３同士は、同じ長さの２本の平行なリンクピン４３，４３で連結されているが、図３（ｃ）に示すように、転写ユニット３同士は、スライド手段７０によって互いに連結された構成とすることができる。
【００５５】
このスライド手段７０は、互いに連結される一方の転写ユニット３の搬送方向の一端側に設けられるバー部材７１と、他方の転写ユニット３の搬送方法の他端側に設けられて、前記バー部材７１に対して摺動自在に係止される係止部材７２とで構成することができる。このようなスライド手段７０によれば、一方の転写ユニット３に対して連結される他方の転写ユニット３は、環状モールド２Ａの幅方向に移動可能となる。
【００５６】
このような転写ユニット３同士は、図３（ｂ）に示す前記の転写ユニット３と同様に、モールド搬送経路６（図１参照）上で互いに平行を維持しながら、環状モールド２Ａの幅方向に位置ずれが補正されることとなる。これにより、転写ユニット３は、より確実にガイド部材４１，４１の間に受け入れられ、より円滑に位置ずれが補正されることとなる。
【００５７】
また、図３（ｂ）及び（ｃ）に示す転写ユニット３は、位置ずれが生じたとしても、モールド搬送経路６における周長の変化が殆ど無い。そのため、環状モールド２Ａの周長方向の張力の増加が防止されることとなり、パターン転写装置１Ａ（図１参照）の耐用年数が増加する。
【００５８】
＜環状モールドの変形例＞
次に、環状モールド２Ａの変形例について説明する。
前記の図２（ｃ）、及び図３（ａ）から（ｃ）に示す環状モールド２Ａにおいては、相互に間隔を空けて配置された転写ユニット３同士がリンクピン４３で連結されるものについて説明したが、環状モールド２Ａは、相互に近接して配置された転写ユニット３同士が所定の接続部材で連結される構成とすることもできる。
【００５９】
次に参照する図４（ａ）から（ｄ）、及び図５（ａ）から（ｄ）は、環状モールドの変形例を説明する模式図であり、図１に示す環状モールド２Ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。なお、図４（ａ）から（ｄ）、及び図５（ａ）から（ｄ）に示す環状モールド２Ａにおいては、図示しないが、各図の紙面下側に微細な凹凸形状のパターンを有している。
【００６０】
図４（ａ）に示すように、この環状モールド２Ａは、転写ユニット３同士が接続部材４５を介して接続されている。また、環状モールド２Ａは、転写ユニット３の両端の一部が接続部材４５を覆うように張り出した張り出し部４６を有する構成となっている。
ちなみに、本実施形態での接続部材４５としては、転写ユニット３同士を連結できる構成であれば特に制限はなく、前記のリンクピン４３等のように剛性を有するものを含むほか、許容される範囲で弾性を有するバネ等の弾性部材であってもよい。
このような環状モールド２Ａによれば、そのパターン転写面（図４（ａ）の紙面下側の面）に被転写材料９（図１参照）が接する際に、接続部材４５が張り出し部４６で覆われているので、転写ユニット３同士の間の段差を低減することができる。また、転写ユニット３同士を互いに近接して配置することができるので、被転写材料９（図１参照）に対する凹凸形状のパターンの転写時に、被転写材料９が転写ユニット３同士の間に入り難くすることができる。
【００６１】
また、図４（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、図４（ｂ）の紙面上下の両側から接続部材４５を覆うように、上下２段で張り出し部４６を有する構成とすることもできる。
このような環状モールド２Ａによれば、上側押圧部材８ａ（図１参照）で押圧される側での段差をも低減することができる。
【００６２】
また、図４（ｃ）に示すように、環状モールド２Ａは、連結し合う一方の転写ユニット３に張り出し部４６が形成されていると共に、他方の転写ユニット３には、張り出し部４６を受け入れる窪み部７３が形成されている。
このような環状モールド２Ａによれば、張り出し部４６が窪み部７３に受け入れられることで、環状モールド２Ａがモールド搬送経路６（図１参照）に沿って搬送される際に、転写ユニット３同士の連結部における変動が低減されて搬送動作が安定する。
【００６３】
また、図４（ｄ）に示すように、環状モールド２Ａは、図４（ｂ）の紙面上下の両側に、張り出し部４６と窪み部７３が形成されている。
このような環状モールド２Ａによれば、前記図４（ｃ）に示すものと比較して、転写ユニット３同士の連結部における変動がさらに低減されて搬送動作がより安定する。
【００６４】
また、図５（ａ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図４（ａ）の張り出し部４６において、張り出し部４６同士が段差をもって噛み合う構成とすることもできる。そして、図５（ｂ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図４（ｂ）の張り出し部４６において、張り出し部４６同士が段差をもって噛み合う構成とすることもできる。
これらの環状モールド２Ａにおいても、転写ユニット３同士の連結部における変動をさらに低減して搬送動作をより安定させることができる。
【００６５】
また、図５（ｃ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図５（ａ）の張り出し部４６同士の噛み合う構成を、テーパ面で摺り合せる構成とすることもできる。そして、図５（ｄ）に示すように、環状モールド２Ａは、前記の図５（ｂ）の張り出し部４６同士の噛み合う構成を、テーパ面で摺り合せる構成とすることもできる。
これらの環状モールド２Ａにおいては、張り出し部４６同士がテーパ面で摺り合せる構成となっているので、転写ユニット３同士の連結部における、環状モールド２Ａの幅方向への変位の自由度が向上する。
【００６６】
また、図示しないが、環状モールド２Ａは、例えば、図の紙面上下の一方で、図４（ａ）に示すように、転写ユニット３同士の両方から張り出し部４６を設け、他方では図４（ｃ）に示すように、張り出し部４６と窪み部７３を設ける構成とすることもできる。また、張り出し部４６同士の重なり合いは、図５（ａ）に示す段差で形成されるものと、図５（ｃ）に示すテーパ面で形成されるものとを適宜に組み合わせて構成することもできる。
【００６７】
＜押圧部材の変形例＞
図１に示すパターン転写装置１Ａの上側押圧部材８ａとしては、環状モールド２Ａの押圧面が平坦に形成されているものを想定しているが、使用する環状モールド２Ａの構造に応じて上側押圧部材８ａを変形することができる。
【００６８】
次に参照する図６（ａ）から（ｃ）は、パターン転写装置の押圧部材の変形例を示す模式図であり、図１に示す上側押圧部材８ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。
【００６９】
図６（ａ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３同士の接続部との当接を避ける凹部５１が形成されている。
このような上側押圧部材８ａによれば、この凹部５１によって、上側押圧部材８ａと転写ユニット３同士の接続部との当接が避けられるので、当該接続部に押圧力が加わらないようにすることができる。その結果、環状モールド２Ａにおける転写ユニット３同士の接続部で段差が発生するのを防止することができる。
【００７０】
図６（ｂ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３同士の間に嵌入する突出部５２を有している。ちなみに、突出部５２は、例えば、図３（ａ）に示す環状モールド２Ａでは、リンクピン４３を挟んだ両側に形成される空間に、また、図３（ｂ）に示す環状モールド２Ａでは、一対のリンクピン４３の間の空間に嵌入することとなる。また、突出部５２の先端面は、上側押圧部材８ａが環状モールド２Ａを押圧した際に、転写ユニット３のパターン転写面（図６（ｂ）の紙面下側の面）と面一となるように形成されている。
このような上側押圧部材８ａによれば、環状モールド２Ａを押圧した際に、この突出部５２によって、転写ユニット３同士の間の空間を塞ぐと共に、突出部５２の先端面が、下側押圧部材８ｂ（図１参照）上に配置される被転写材料９（図１参照）に当接する。その結果、環状モールド２Ａにおける転写ユニット３同士の接続部で段差が発生するのを防止することができる。
【００７１】
図６（ｃ）に示すように、この上側押圧部材８ａは、前記の図４（ａ）に示す環状モールド２Ａに適用される。そして、この上側押圧部材８ａは、環状モールド２Ａの背面（図６（ｃ）の紙面上側の面）を押圧する際に、転写ユニット３同士の間に張り出している張り出し部４６にも当接する突出部５２を有している。
このような上側押圧部材８ａによれば、環状モールド２Ａを押圧した際に、この突出部５２によって、張り出し部４６も押圧されるので、この張り出し部４６の表面（図６（ｃ）の紙面下側の面）にも微細な凹凸形状パターンを設けることで、より広い面積のパターン転写領域を得ることができる。
【００７２】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂについて、図７を参照して説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
なお、第１実施形態に係る前記のパターン転写装置１Ａ（図１参照）と、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂとでは、押圧機構の構造を除き、その他の構成は共通する。以下の説明において、パターン転写装置１Ａと同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００７３】
図１に示す第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａの押圧機構７Ａは、一対の平板状の上側押圧部材８ａ及び下側押圧部材８ｂと、これらに推力を付与する、図示しない推力機構とを備えた構成となっている。また、推力機構による押圧動作がない状態では、上側押圧部材８ａと下側押圧部材８ｂとは相互に離間するように位置している。
【００７４】
これに対し、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂの押圧機構７Ｂは、図７に示すように、一対の円筒状の上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂと、これらを相互に押圧又は離間させるように動作する推力機構（図示省略）と、を備える構成となっている。
【００７５】
上側ロール１５ａには、図示しない加熱ヒータが内蔵されている。この加熱用ヒータは、環状モールド２Ａを熱媒体として被転写材料９を加熱することによって、熱可塑性樹脂からなる被転写材料９を、そのガラス転移温度Ｔｇ以上に昇温する。なお、第２実施形態では、上側ロール１５ａにのみ加熱ヒータを設ける例を挙げて説明したが、本発明はこの例に限定されない。すなわち、例えば、下側ロール１５ｂにのみ加熱ヒータを設けてもよいし、上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂの双方に加熱用ヒータを設けてもよい。
【００７６】
第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂによれば、第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａが奏する基本的な作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。すなわち、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂでは、上側及び下側ロール１５ｂ，１５ｂを用いて押圧機構７Ｂを構成したので、環状モールド２Ａ及び被転写材料９を連続して押圧機構７Ｂへと送り込んでパターン転写を行うことができる。
したがって、第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂによれば、スタンプ式の押圧機構７Ａを備える第１実施形態に係るパターン転写装置１Ａと比べて、パターン転写速度を高めて生産性を格段に向上することができる利点がある。
【００７７】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃについて、図８を参照して説明する。図８は、本発明の第３実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。
なお、前記の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂ（図７参照）と、第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃとでは、環状モールド２Ａ及びモールド位置補正機構１３の構成を除き、その他の構成は共通する。以下の説明において、パターン転写装置１Ｂと同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００７８】
図７に示す前記の第２実施形態に係るパターン転写装置１Ｂでは、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３が、モールド搬送経路６に沿って配置されたロール４ａとロール４ｄの間隔よりも短い構成であった。これに対し、第３実施形態に係るパターン転写装置１Ｃでは、図９に示すように、環状モールド２Ａを構成する転写ユニット３が、モールド搬送経路６に沿って配置されたロール４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのいずれの間隔よりも長い構成となっている。ちなみに、本実施形態での、転写ユニット３は、一方向に長い矩形のものを想定している。
【００７９】
次に参照する図９は、第３実施形態での環状モールド及びモールド位置補正機構の構成説明図であり、図９（ａ）は、図８の紙面上方から環状モールド周辺を見下ろした様子を示す部分平面図、図９（ｂ）は、図８に示す環状モールド２Ａと同方向から見た様子を部分的に拡大して表す側面模式図である。
【００８０】
図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、第３実施形態でのモールド位置補正機構１３は、環状モールド２Ａの表裏に対してそれぞれ配置されたガイド部材６１ａ、６１ｂで構成されている。具体的には、ガイド部材６１ａ、６１ｂは、断面が三角形状の棒状部材であり、環状モールド２Ａの長手方向（搬送方向）と交差するように延在している。そして、ガイド部材６１ａ、６１ｂのそれぞれは、断面の三角形状の頂点に対応する稜線が、環状モールド２Ａの表裏のそれぞれに向き合っている。
【００８１】
ちなみに、ガイド部材６１ａ、６１ｂのそれぞれは、独立して環状モールド２Ａとの交差角度、及び上下位置（図９の紙面の上下方向の位置）が図示しないアクチュエータにより調節可能となっている。なお、図９（ａ）及び（ｂ）中、符号４ａ及び４ｄはそれぞれロールである。
【００８２】
次に、この第３実施形態でのモールド位置補正機構１３の動作を説明する。
図１０（ａ）に示すように、ロール４ａ，４ｄにより搬送される環状モールド２Ａが、正規の位置（図９（ａ）参照）からずれようとする際に、前記のアクチュエータ（図示省略）は、ガイド部材６１ａ、６１ｂを八の字となるように角度を変えると共に、ガイド部材６１ｂと環状モールド２Ａとの接触位置が、ガイド部材６１ｂと環状モールド２Ａとの接触位置よりも高い位置になるように調整する。その結果、環状モールド２Ａは、図１０（ｂ）に示すように、仮想線（２点鎖線）で示される、ずれた位置から本来の位置（実線）に戻ることができる。
【００８３】
また、図１０（ｂ）のガイド部材６１ａ、６１ｂとは逆に、逆八の字となるようにガイド部材６１ａ、６１ｂを変位させることで、環状モールド２Ａを図１０（ｂ）とは逆の方向に移動させることもできる。つまり、このモールド位置補正機構１３によれば、ガイド部材６１ａ、６１ｂの少なくともいずれか１つが、環状モールド２Ａに対して斜めに交差しつつ、ロール４ａ，４ｄで設定されるに環状モールド２Ａの搬送平面内から離れるように環状モールド２Ａを逸脱させることで、環状モールド２Ａの搬送経路を変更することができる。
【００８４】
次に、第３実施形態でのモールド位置補正機構１３の変形例について説明する。
図１１は、図９に示すモールド位置補正機構の変形例の構成説明図である。
図１１に示すように、このモールド位置補正機構１３は、図９に示すモールド位置補正機構１３と異なって、ガイド部材６１ａが２分割されて、環状モールド２Ａの幅方向の両縁のそれぞれで環状モールド２Ａと接触する構成となっている。図１１中、符号４ａ及び４ｄはロールであり、符号６１ｂは、ガイド部材である。
このようなモールド位置補正機構１３によれば、環状モールド２Ａのパターン転写面を避けてガイド部材６１ａを配置することができる。
【００８５】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置１Ｄについて、図１２を参照して説明する。図１２は、本発明の第４実施形態に係るパターン転写装置の構成を模式的に表す説明図である。以下の説明において、パターン転写装置１Ｂ（図７参照）と同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
前記の図８に示すパターン転写装置１Ｃでは、環状モールド２Ａやモールド搬送機構５が被転写材料９の上方にのみ配置されているが、第４実施形態に係るパターン転写装置１Ｄは、図１２に示すように、環状モールド２Ａやモールド搬送機構５が被転写材料９に対して上下の両方にそれぞれ配置されている。
このようなパターン転写装置１Ｄによれば、被転写材料９の両面に凹凸形状のパターンを同時に転写することができる。
【００８６】
以上、第１実施形態から第４実施形態に基づいて本発明を具体的に説明したが、本発明はこれに限定されずに様々な形態で実施することができる。
例えば、前記実施形態では、環状モールド２Ａを搬送するための円筒状のロール４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（これらと同等の機能を有するものを含む）の数は、４つに限定されない。押圧機構７Ａ、７Ｂによる、被転写材料９への環状モールド２Ａの押し当て機能を発揮することができれば、３つ又は５以上、任意の数を設けることができる。
【００８７】
また、前記実施形態において、モールド搬送機構５は、環状モールド２Ａの張力を調整する張力調整機構を別途備えていてもよい。
【００８８】
また、前記実施形態において、被転写材料搬送機構１２は、送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの間に架け渡された長尺帯状の被転写材料９に弛みが生じないように張力を調整する張力調整機構を別途備えていてもよい。
【００８９】
また、前記実施形態において、送り出しリール１０ａ及び巻取りリール１０ｂの双方に回転駆動制御機構を設ける例をあげて説明したが、被転写材料９の搬送に支障をきたすことが無ければ、送り出しリール１０ａと巻取りリール１０ｂのいずれかにのみ回転駆動制御機構を設けてもよい。
【００９０】
また、前記実施形態において、被転写材料９は、熱可塑性樹脂で形成された単一層からなるフィルム材を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されない。被転写材料９は、少なくとも一方の最外層が熱可塑性樹脂で形成された多層構造体であってもよい。
【００９１】
また、前記実施形態において、環状モールド２Ａの実施態様として、環状モールド２Ａを用いる例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されない。環状モールド２Ａの実施態様として、長尺帯状の環状モールド２Ａを採用してもよい。このようなパターン転写装置のモールド搬送機構としては、例えば、長尺帯状の環状モールド２Ａの一端側を巻き回してこれを送り出す送り出しリールと、その他端側を巻き取る巻取りリールとを含んで構成することができる。
【００９２】
また、前記実施形態において、回転ピン２１、リンクピン４３、接続部材４５等は、例えば、ゴム状、繊維状の変形、伸縮、屈曲可能な材料で構成されてもよい。この場合、モールド搬送機構５を構成するロール４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが全て固定された状態で、転写ユニット３の位置ずれが生じた場合であったとしても、回転ピン２１やリンクピン４３の変形によって、環状モールド２Ａの周長の変化量を吸収し、張力の増加を抑制することができる。また、高い剛性を有する材料の場合と比べて比較的容易に転写ユニット３の位置を補正し易くなる。
【符号の説明】
【００９３】
１Ａ    パターン転写装置
１Ｂ    パターン転写装置
１Ｃ    パターン転写装置
１Ｄ    パターン転写装置
２Ａ    環状モールド
３      転写ユニット
５      モールド搬送機構
６      モールド搬送経路
７Ａ    押圧機構
７Ｂ    押圧機構
９      被転写材料
１２    被転写材料搬送機構
１３    モールド位置補正機構
２１    回転ピン（軸部材）
４１    ガイド部材
４２    突起
４３    リンクピン（リンク部材）
５１    凹部
５２    突出部
６１ａ  ガイド部材
６１ｂ  ガイド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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