(57)【要約】      （修正有）【課題】発熱効率及び熱応答性が良い付着物検出用センサヘッドを低コストで実現する。【解決手段】センサヘッドは、測温抵抗体５５と、測温抵抗体５５の表面に内側が密着した状態で測温抵抗体５５を覆い、外側が付着物の検出面となる金属ケース５１１と、を備える。また本発明に係るセンサヘッドは、測温抵抗体５５から引き出されているリード線５５１に沿って金属ケース５１１内に設けられた第１〜第３補強部材５１２〜５１４を備えるのが好ましい。さらに本発明に係るセンサヘッドは、測温抵抗体５５から引き出されているリード線５５１と第１〜第３補強部材５１２〜５１４との間に充填された充填材を備えるのが好ましい。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測温抵抗体と、
前記測温抵抗体の表面に内側が密着した状態で前記測温抵抗体を覆い、外側が付着物の検出面となる金属ケースと、を備える付着物検出用センサヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記金属ケースの周縁に沿って設けられた補強枠体をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記測温抵抗体から引き出されている電線に沿って前記金属ケース内に設けられた補強部材をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記測温抵抗体から引き出されている電線と前記補強部材との間に充填された充填材をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記金属ケースは、前記測温抵抗体を挟んだ状態の２枚の金属箔の周縁を接着することによって形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかに記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記金属ケースは、前記測温抵抗体を挿入した金属管をその内側が前記測温抵抗体の表面に密着するように変形させることによって形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の付着物検出用センサヘッドにおいて、前記金属ケースは、付着物検出の対象と同じ材料で形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の付着物検出用センサヘッドと、
前記付着物検出用センサヘッドで測定する液体が流れる液体流路と、
前記付着物検出用センサヘッドの検出面の温度が所定の温度になるように前記測温抵抗体の電流を制御し、その電流の大きさから前記付着物検出用センサヘッドの検出面に付着した付着物を検出するセンサ装置と、を備える付着物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却水系等の工業用水系においてスケールやスライム等の付着物を検出する付着物検出装置、その付着物検出装置に用いられる付着物検出用センサヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば循環式冷却水系においては、冷却水の循環利用により冷却水の濃度が上昇すると、水に含まれている炭酸カルシウムやシリカなどのスケールが熱交換器等に付着することがある。また循環式冷却水系の熱交換器等には、冷却水系内の有機成分と微生物との作用により発生するスライムが付着することがある。そして循環式冷却水系の熱交換器等にスケールやスライムが付着すると、熱交換率の低下等の障害を引き起こすことが知られている。このようなことから循環式冷却水系等の冷却水系においては、スケールやスライム等の付着物（以下、単に「付着物」という。）を早い段階で検出し、その付着物に起因する障害を未然に防止する必要がある。
【０００３】
冷却水系等の工業用水系において付着物を検出する従来技術としては、例えば被検水に接するように設けられた測温抵抗体と、その測温抵抗体に通電可能な通電手段と、その通電量を制御する制御手段とを備える付着物検出装置が公知である（例えば特許文献１を参照）。また付着物検出装置に用いられる付着物検出用センサヘッドの一例としては、金属管内に発熱体及び測温体が挿入され、その発熱体及び測温体と金属管の内面との間に充填材が充填されたプローブが公知である（例えば特許文献２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１５３５５７号公報
【特許文献２】特開２０１０−１０１８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
測温抵抗体を用いた付着物検出用センサヘッドで付着物を検出する場合には、付着物検出用センサヘッドを被検水中に設けた状態で、その付着物検出用センサヘッドの検出面の温度を所定温度に維持する必要がある。特にスケールの付着を検出する際には、付着物検出用センサヘッドの検出面にスケールが付着し易くなるようにするために、付着物検出用センサヘッドの検出面の温度を９０〜１００度程度まで上昇させる必要がある。そして付着物検出用センサヘッドの検出面の温度分布を均一にする上では、前述した特許文献２に開示されているプローブのように、金属管の軸芯部に発熱体を配置するのが好ましい。
【０００６】
しかし前述した特許文献２に開示されている従来の付着物検出用センサヘッドは、金属管と発熱体との間に充填材が充填されているため、その発熱体から検出面（金属管の外周面）にかけての温度勾配が大きい。したがって例えば発熱体の電流や電圧から付着物検出用センサヘッドの検出面の温度を推定しようとしても正確に推定できない虞がある。そのため従来の付着物検出用センサヘッドは、例えば前述した特許文献２に開示されているように、金属管の内周面に接する部分に測温体を別個に設けられている場合が多い。
【０００７】
しかしながら測温抵抗体は、そもそも発熱体としても測温体としても機能させることが可能である。したがって付着物検出用センサヘッドは、本来的には、前述した特許文献２に開示されているプローブのように発熱体と測温体とを別個に設ける必要はなく、１つの測温抵抗体で構成することが可能である。つまり前述した特許文献２に開示されているプローブは、部品点数が多く、コスト面で課題があるといえる。また特許文献２に開示されているプローブは、前述したように、金属管と発熱体との間に充填された充填材によって発熱体から検出面にかけての温度勾配が大きくなるため、発熱効率及び熱応答性が良くないという課題もある。
【０００８】
このような状況に鑑み本発明はなされたものであり、その目的は、発熱効率及び熱応答性が良い付着物検出用センサヘッドを低コストで実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
＜本発明の第１の態様＞
本発明の第１の態様は、測温抵抗体と、前記測温抵抗体の表面に内側が密着した状態で前記測温抵抗体を覆い、外側が検出面となる金属ケースと、を備える付着物検出用センサヘッドである。
測温抵抗体は、表面に金属ケースの内側が密着している。つまり測温抵抗体の表面と金属ケースの内側は、その間に介在するものが存在せず、直に接している。そしてその金属ケースの外側は、付着物の検出面となる。したがって付着物検出用センサヘッドの検出面と測温抵抗体との間に温度勾配がほとんど生じない。それによって測温抵抗体が発熱体として機能する場合、測温体として機能する場合、いずれにおいても付着物検出用センサヘッドの検出面の発熱効率及び熱応答性を従来よりも大幅に向上させることができる。そして本発明の第１の態様の付着物検出用センサヘッドは、測温抵抗体を発熱体としても測温体としても良好に機能させることできるので、従来よりも低コストで製造することができる。
【００１０】
これにより本発明の第１の態様によれば、発熱効率及び熱応答性が良い付着物検出用センサヘッドを低コストで実現することができるという作用効果が得られる。
＜本発明の第２の態様＞
本発明の第２の態様は、前述した本発明の第１の態様において、前記金属ケースの周縁に沿って設けられた補強枠体をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
【００１１】
本発明に係る付着物検出用センサヘッドは、測温抵抗体の表面と金属ケースの内側との間に介在するものが存在せず、測温抵抗体の表面に金属ケースの内側が直に接して密着している構成であるため、測温抵抗体の形状等によっては従来よりも強度が低下する可能性がある。そのため本発明に係る付着物検出用センサヘッドは、被検水の流圧や何らかの異物の接触等によって外力が作用したときに、金属ケースが変形し、測温抵抗体から引き出されている電線が金属ケースの内部で断線や短絡等してしまう虞が生ずる。
【００１２】
本発明の第２の態様によれば、金属ケースの周縁に沿って設けられた補強枠体によって、被検水の流圧や何らかの外力が作用したときに金属ケースが変形してしまう虞を低減することができる。それによって測温抵抗体から引き出されている電線が金属ケースの内部で断線や短絡等してしまう虞を低減することができる。
＜本発明の第３の態様＞
本発明の第３の態様は、前述した本発明の第１の態様又は第２の態様において、前記測温抵抗体から引き出されている電線に沿って前記金属ケース内に設けられた補強部材をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
【００１３】
本発明の第３の態様によれば、測温抵抗体から引き出されている電線に沿って金属ケース内に設けられた補強部材によって、被検水の流圧や何らかの外力が作用したときに金属ケースが変形してしまう虞を低減することができる。それによって測温抵抗体から引き出されている電線が金属ケースの内部で断線や短絡等してしまう虞を低減することができる。
【００１４】
＜本発明の第４の態様＞
本発明の第４の態様は、前述した本発明の第３の態様において、前記測温抵抗体から引き出されている電線と前記補強部材との間に充填された充填材をさらに備える、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
このような特徴によれば、測温抵抗体から引き出されている電線と補強部材との間の隙間から被検水が内部に侵入する虞を低減することができる。また金属ケースの内部の気密性がより高くなるので、発熱効率をさらに向上させることができる。
【００１５】
＜本発明の第５の態様＞
本発明の第５の態様は、前述した本発明の第１〜第４の態様のいずれかにおいて、前記金属ケースは、前記測温抵抗体を挟んだ状態の２枚の金属箔の周縁を接着することによって形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
このような特徴によれば、薄い金属板である金属箔で金属ケースが形成されているので、発熱効率及び熱応答性をさらに向上させることができる。
【００１６】
＜本発明の第６の態様＞
本発明の第６の態様は、前述した本発明の第１〜第４の態様のいずれかにおいて、前記金属ケースは、前記測温抵抗体を挿入した金属管をその内側が前記測温抵抗体の表面に密着するように変形させることによって形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
【００１７】
本発明の第６の態様によれば、測温抵抗体の外形形状に応じて金属管を変形させることによって、内側が測温抵抗体の表面に密着する金属ケースを容易に形成することができるので、本発明に係る付着物検出用センサヘッドをより低コストで実現することができる。また本発明の第６の態様によれば、様々な外形形状の測温抵抗体に柔軟に対応することができるので、本発明に係る付着物検出用センサヘッドの設計自由度を向上させることができる。
【００１８】
＜本発明の第７の態様＞
本発明の第７の態様は、前述した本発明の第１〜第６の態様のいずれかにおいて、前記金属ケースは、付着物検出の対象と同じ材料で形成されている、ことを特徴とする付着物検出用センサヘッドである。
このような特徴によれば、付着物検出の対象をより正確に模擬することができるので、付着物の検出精度をより向上させることができる。
【００１９】
＜本発明の第８の態様＞
本発明の第８の態様は、前述した本発明の第１〜第７の態様のいずれかの付着物検出用センサヘッドと、前記付着物検出用センサヘッドで測定する液体が流れる液体流路と、前記付着物検出用センサヘッドの検出面の温度が所定の温度になるように前記測温抵抗体の電流を制御し、その電流の大きさから前記付着物検出用センサヘッドの検出面に付着した付着物を検出するセンサ装置と、を備える付着物検出装置である。
【００２０】
本発明の第８の態様によれば、付着物検出装置において、前述した本発明の第１〜第７の態様のいずれかによる作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、発熱効率及び熱応答性が良い付着物検出用センサヘッドを低コストで実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】循環式冷却水系の構成を図示した系統図。
【図２】付着物検出装置の計測部の構成を図示したブロック図。
【図３】第１実施例のセンサヘッドの平面図。
【図４】第１実施例のセンサヘッドの断面図であり、図３のＩ−Ｉ断面を図示した断面図。
【図５】第１実施例のセンサヘッドの検出部側から観た側面図。
【図６】第１実施例の検出部の平面図。
【図７】第１実施例の検出部の断面図であり、図６のII−II断面を図示した断面図。
【図８】第１実施例の検出部の断面図であり、図６のIII−III断面を図示した断面図。
【図９】第１実施例の検出部の内部構造を図示した平面図。
【図１０】第２実施例の検出部の断面図であり、図６のII−II断面を図示した断面図。
【図１１】第２実施例の検出部の断面図であり、図６のIII−III断面を図示した断面図。
【図１２】第３実施例の検出部の平面図。
【図１３】第３実施例の検出部の断面図であり、図１２のIV−IV断面を図示した断面図。
【図１４】第３実施例の検出部の断面図であり、図１２のV−V断面を図示した断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
尚、本発明は、以下説明する実施例に特に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変形が可能であることは言うまでもない。
＜冷却水系の構成＞
循環式冷却水系の構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、循環式冷却水系の構成を図示した系統図である。図２は、付着物検出装置３０の計測部３１の構成を図示したブロック図である。
循環式冷却水系は、冷却塔１０、濃縮管理装置２０、付着物検出装置３０及び通信装置４０を備える。
冷却塔１０は、周囲空気と冷却水とを直接接触させることにより、空気と冷却水のエンタルピー差を利用して冷却水の一部を蒸発させ、冷却水から奪われる蒸発潜熱で冷却水を冷却する装置である。冷却塔１０は、循環ポンプ１１、熱交換機１２、散水板１３、送風機１４、電気伝導率計１５、補給バルブ１６、ブローバルブ１７及び水中ポンプ１８を含む。
【００２５】
循環ポンプ１１は、循環流路１１１を通じて冷却塔１０の冷却水を散水板１３へ送出するポンプである。熱交換機１２は、循環流路１１１に設けられており、循環流路１１１の冷却水を冷却媒体とする熱交換装置である。散水板１３は、熱交換機１２で温度が上昇した冷却水を冷却塔１０の中へ散布する装置である。送風機１４は、冷却塔１０の上部の排気口１１２に設けられており、ルーバ１１３から空気を導入して排気口１１２へ排出する装置である。熱交換機１２で温度が上昇した冷却水は、散水板１３から散布され、そのときにルーバ１１３から導入された空気に接して冷却される。
【００２６】
電気伝導率計１５は、冷却塔１０の冷却水の電気伝導率を測定する測定器である。電気伝導率計１５が測定した冷却水の電気伝導率は、濃縮管理装置２０へ出力される。補給バルブ１６は、冷却塔１０へ補給水を供給する流路となる補給流路１１４に設けられた開閉バルブであり、濃縮管理装置２０によって制御される。ブローバルブ１７は、冷却塔１０から冷却水をブローする流路となるブロー流路１１５に設けられた開閉バルブであり、濃縮管理装置２０によって制御される。濃縮管理装置２０は、冷却塔１０の冷却水の電気伝導率が一定範囲になるように補給バルブ１６及びブローバルブ１７を制御する。水中ポンプ１８は、冷却塔１０の冷却水の中に設けられており、送出流路１１６を通じて付着物検出装置３０の計測部３１へ冷却水を送出するポンプである。計測部３１へ送出された冷却水は、戻り流路１１７を通じて冷却塔１０へ戻される。
【００２７】
「センサ装置」としての付着物検出装置３０は、計測部３１、判定部３２及び表示部３３を含む。
計測部３１は、フローセル３１１、電流発生装置３１２、電圧検出装置３１３、温度制御装置３１４及びセンサヘッド５０を含む。「液体流路」としてのフローセル３１１は、送出流路１１６を通じて冷却塔１０から冷却水が送出される。フローセル３１１へ送出された冷却水は、戻り流路１１７を通じて冷却塔１０へ戻される。「付着物検出用センサヘッド」としてのセンサヘッド５０は、フローセル３１１に流れる冷却水に検出面が接して付着物を検出可能な位置に設けられている。電流発生装置３１２は、センサヘッド５０へ供給する電流を発生する装置であり、例えば公知の定電流電源（図示せず）と電流制御回路（図示せず）で構成されている。電圧検出装置３１３は、センサヘッド５０の電圧を検出する装置である。温度制御装置３１４は、公知のマイコン制御装置であり、電圧検出装置３１３の出力信号に基づいて電流発生装置３１２をフィードバック制御する装置である。より具体的には温度制御装置３１４は、センサヘッド５０の電圧からセンサヘッド５０の検出面の温度を演算して求め、そのセンサヘッド５０の検出面の温度が所定温度になるようにセンサヘッド５０の電流を制御する。また温度制御装置３１４は、その電流制御値を判定部３２へ出力する。
【００２８】
判定部３２は、公知のマイコン制御装置であり、計測部３１の温度制御装置３１４が出力する電流制御値の大きさからセンサヘッド５０の検出面に付着した付着物を検出する装置である。より具体的には判定部３２は、計測部３１の温度制御装置３１４が出力する電流制御値が予め設定した閾値を超えているか否かを判定し、その電流制御値が閾値を超えている場合には、警報信号を表示部３３及び通信装置４０へ出力する。表示部３３は、液晶ディスプレイ等の表示装置を含み、判定部３２が出力する警報信号を表示する装置である。通信装置４０は、判定部３２が出力する警報信号をサーバ又は管理者の端末装置等へ有線又は無線の通信回線を通じて送信する装置である。
【００２９】
＜センサヘッドの第１実施例＞
第１実施例のセンサヘッド５０の構成について、図３〜図９を参照しながら説明する。
図３は、第１実施例のセンサヘッド５０の平面図である。図４は、第１実施例のセンサヘッド５０の断面図であり、図３のＩ−Ｉ断面を図示したものである。図５は、第１実施例のセンサヘッド５０の側面図であり、センサヘッド５０の検出部５１側から観た側面図である。
【００３０】
第１実施例のセンサヘッド５０は、検出部５１及びケーブル接続部５２を含む。検出部５１からは２本のリード線５５１（電線）が引き出されている。検出部５１の構成については後述する。ケーブル接続部５２は円筒形状の金属管である。ケーブル接続部５２の内側には、検出部５１の一部とケーブル５４の一部が挿入されている。検出部５１から引き出されている２本のリード線５５１は、ケーブル接続部５２の内側でケーブル５４の２本の電線５４１にそれぞれ接続されている。またケーブル接続部５２の内側には、樹脂材５３が充填されている。
【００３１】
図６は、第１実施例の検出部５１の平面図である。図７は、第１実施例の検出部５１の断面図であり、図６のII−II断面を図示したものである。図８は、第１実施例の検出部５１の断面図であり、図６のIII−III断面を図示したものである。図９は、第１実施例の検出部５１の内部構造を図示した平面図である。
第１実施例のセンサヘッド５０の検出部５１は、測温抵抗体５５、充填材５６、金属ケース５１１、第１補強部材５１２、第２補強部材５１３及び第３補強部材５１４を含む。
【００３２】
測温抵抗体５５は例えば白金測温抵抗体である。２本のリード線５５１は、測温抵抗体５５から引き出されており、測温抵抗体５５の内部の白金に接続されている。
金属ケース５１１は、測温抵抗体５５の表面に内側が密着した状態で測温抵抗体５５を覆い、外側が検出面となる部材である。より具体的には金属ケース５１１は、測温抵抗体５５を挟んだ状態の２枚の金属箔５１ａ、５１ｂの周縁を接着することによって形成されている。この金属ケース５１１（２枚の金属箔５１ａ、５１ｂ）の材料としては、例えば、銅、鉄、ＳＵＳ（Steel Use Stainless）等の熱導電性の良い金属が好ましい。さらには金属ケース５１１の材料としては、熱交換機１２の材料と同じ材料で形成するのがより好ましい。それによって金属ケース５１１の付着物の発生条件が熱交換機１２とほぼ同じになるため、熱交換機１２をより正確に模擬することができるので、より高精度な付着物の検出が可能になる。また２枚の金属箔５１ａ、５１ｂの周縁の接着は、例えば圧着、融着、樹脂系接着剤による接着が可能である。
【００３３】
「補強部材」としての第１補強部材５１２、第２補強部材５１３及び第３補強部材５１４は、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１に沿って設けられている。より具体的には第１補強部材５１２は、一方のリード線５５１の外側に設けられている。第２補強部材５１３は、他方のリード線５５１の外側に設けられている。第３補強部材５１４は、２本のリード線５５１の間に設けられている。
【００３４】
充填材５６は、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１と第１〜第３補強部材５１２〜５１４との間にそれぞれ充填されている。また充填材５６は、測温抵抗体５５と第１〜第３補強部材５１２〜５１４との間の隙間等にも充填されている。他方、２枚の金属箔５１ａ、５１ｂと測温抵抗体５５の表面との間には、充填材５６は充填されていない。この充填材５６は、例えば樹脂等であり、センサヘッド５０の発熱効率をより向上させる観点からは、熱伝導率の低い材料を用いるのが好ましい。
【００３５】
このような構成のセンサヘッド５０は、測温抵抗体５５の表面に金属ケース５１１の内側が密着している。つまり測温抵抗体５５の表面と金属ケース５１１の内側は、その間に介在するものが存在せず、直に接している。そしてその金属ケース５１１の外側は、付着物の検出面となる。したがってセンサヘッド５０の検出面と測温抵抗体５５との間に温度勾配がほとんど生じない。それによって測温抵抗体５５が発熱体として機能する場合、測温体として機能する場合、いずれにおいてもセンサヘッド５０の検出面の発熱効率及び熱応答性を従来よりも大幅に向上させることができる。そして本発明に係るセンサヘッド５０は、測温抵抗体５５を発熱体としても測温体としても良好に機能させることできるので、従来よりも低コストで製造することができる。
【００３６】
このようにして本発明によれば、発熱効率及び熱応答性が良いセンサヘッド５０を低コストで実現することができる。
また本発明に係るセンサヘッド５０は、上記説明した第１実施例のように、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１に沿って金属ケース５１１内に第１〜第３補強部材５１２〜５１４を設けるのが好ましい。これは本発明に必須の構成要素ではないが、このような構成とすることによって、フローセル３１１に流れる冷却水の流圧や何らかの外力が検出部５１に作用したときに金属ケース５１１が変形してしまう虞を低減することができる。それによって測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１が金属ケース５１１の内部で断線や短絡等してしまう虞を低減することができる。
【００３７】
さらに本発明に係るセンサヘッド５０は、上記説明した第１実施例のように、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１と第１〜第３補強部材５１２〜５１４との間に充填材５６を充填するのが好ましい。これは本発明に必須の構成要素ではないが、このような構成とすることによって、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１と第１〜第３補強部材５１２〜５１４との間の隙間から冷却水が内部に侵入する虞を低減することができる。また金属ケース５１１の内部の気密性がより高くなるので、検出部５１の発熱効率をさらに向上させることができる。
【００３８】
さらに本発明に係るセンサヘッド５０は、上記説明した第１実施例のように、測温抵抗体５５を挟んだ状態の２枚の金属箔５１ａ、５１ｂの周縁を接着することによって金属ケース５１１を形成するのが好ましい。これは本発明に必須の構成要素ではないが、薄い金属板である金属箔で金属ケース５１１が形成されていることによって、検出部５１の発熱効率及び熱応答性をさらに向上させることができる。
【００３９】
＜センサヘッドの第２実施例＞
第２実施例のセンサヘッド５０の構成について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。
図１０は、第２実施例の検出部５１の断面図であり、図６のII−II断面を図示したものである。図１１は、第２実施例の検出部５１の断面図であり、図６のIII−III断面を図示したものである。
【００４０】
第２実施例のセンサヘッド５０は、検出部５１の金属ケース５１１の構成が第１実施例と異なる。それ以外の構成要素については、第１実施例と同様であるため、同一の符合を付して詳細な説明を省略する。
第２実施例の検出部５１の金属ケース５１１は、測温抵抗体５５を挿入した金属管をその内側が測温抵抗体５５の表面に密着するように変形させることによって形成されている。測温抵抗体５５の外形形状に応じて金属管を変形させることによって、内側が測温抵抗体５５の表面に密着する金属ケース５１１を容易に形成することができるので、本発明に係るセンサヘッド５０をより低コストで実現することができる。また様々な外形形状の測温抵抗体５５に柔軟に対応することができるので、本発明に係るセンサヘッド５０の設計自由度を向上させることができる。
【００４１】
＜センサヘッドの第３実施例＞
第３実施例のセンサヘッド５０の構成について、図１２〜図１４を参照しながら説明する。  
図１２は、第３実施例の検出部５１の平面図である。図１３は、第３実施例の検出部５１の断面図であり、図１２のIV−IV断面を図示したものである。図１４は、第３実施例の検出部５１の断面図であり、図１２のV−V断面を図示したものである。
【００４２】
第３実施例のセンサヘッド５０は、検出部５１に補強枠体５１５がさらに設けられている点で第１実施例と異なる。それ以外の構成要素については、第１実施例と同様であるため、同一の符合を付して詳細な説明を省略する。
第３実施例の検出部５１は、金属ケース５１１の周縁に沿って補強枠体５１５が設けられている。より具体的には補強枠体５１５は、図示の如くほぼＵ字形状の部材である。また第３実施例の検出部５１は、２枚の金属箔５１ａ、５１ｂの周縁が補強枠体５１５にそれぞれ接着されることによって金属ケース５１１が形成されている。補強枠体５１５と測温抵抗体５５との間、補強枠体５１５と第１補強部材５１２との間、補強枠体５１５と第２補強部材５１３との間の隙間には、それぞれ充填材５６が充填されている。
【００４３】
このように金属ケース５１１の周縁に沿って補強枠体５１５を設けることによって、金属ケース５１１の強度を増すことができる。したがってフローセル３１１に流れる冷却水の流圧や何らかの外力が検出部５１に作用したときに金属ケース５１１が変形してしまう虞を低減することができる。それによって第３実施例のセンサヘッド５０は、測温抵抗体５５から引き出されている２本のリード線５５１が金属ケース５１１の内部で断線や短絡等してしまう虞を低減することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０  冷却塔
３０  付着物検出装置
５０  センサヘッド
５１  検出部
５１ａ、５１ｂ  金属箔
５５  測温抵抗体
５６  充填材
５１１  金属ケース
５１２  第１補強部材
５１３  第２補強部材
５１４  第３補強部材
５１５  補強枠体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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