(57)【要約】【課題】研削中の可動テーブルの傾斜を低減或いは防止できる平面研削盤を提供すること。【解決手段】ワークＷを支持するＸ軸テーブル２を備える平面研削盤１００は、Ｘ軸テーブル２を移動させるテーブル移動機構２０と、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体の重心ＧＣの位置を調整する重心位置調整機構２１と、を備える。移動体は、ワークＷ、Ｘ軸テーブル２、及び重心位置調整機構２１を含む。【選択図】図３
2013184237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研削物を支持する可動テーブルを備える平面研削盤であって、
前記可動テーブルを移動させるテーブル移動機構と、
前記テーブル移動機構によって移動させられる移動体の重心位置を調整する重心位置調整機構と、を備え、
前記移動体は、前記被研削物、前記可動テーブル、及び前記重心位置調整機構を含む、
ことを特徴とする平面研削盤。
【請求項２】
前記重心位置調整機構は、前記移動体の重心位置を、前記テーブル移動機構による駆動力の作用線に近づけ、或いは、一致させる、
ことを特徴とする請求項１に記載の平面研削盤。
【請求項３】
前記重心位置調整機構は、前記移動体の重心位置を、前記テーブル移動機構による駆動力の作用点に近づけ、或いは、一致させる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の平面研削盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面研削盤に関し、より詳細には、被研削物を載せる可動テーブルを備えた平面研削盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、静圧軸受機構によりベッド上に往復移動自在に支持される往復テーブルを備えた門型平削り盤が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この静圧軸受機構は、往復テーブルの下面の、ベッド上面にある摺動レールと向き合う位置にある複数のポケットのそれぞれに、定量吐出ポンプが吐出する圧油を供給し、摺動レールと往復テーブルとの間の隙間量を均一にする。
【０００４】
また、この静圧軸受機構は、複数のポケットのそれぞれに対応する位置にギャップセンサを備え、特定のポケットの位置における、往復テーブルと摺動レールとの間の実際の隙間量を検出する。そして、実際の隙間量が設定隙間量を下回ると、その特定のポケットに対応する定量吐出ポンプの吐出量を増大させることにより、実際の隙間量が設定隙間量となるように調整する。
【０００５】
このようにして、特許文献１の静圧軸受機構は、被研削物としてのワークを載せた往復テーブルが傾いたまま移動するのを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１３２７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、この静圧軸受機構は、隙間量の減少を検出した後で定量吐出ポンプの吐出量を増大させてその隙間量の減少を打ち消すようにする構成であるため、往復テーブルの瞬間的な傾斜の発生を防止することができない。その結果、特許文献１に記載の静圧軸受機構は、加工精度の低下を防止することができない。
【０００８】
上述の点に鑑み、本発明は、研削中の可動テーブルの傾斜の発生を低減或いは防止できる平面研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために、本発明の実施例に係る平面研削盤は、被研削物を支持する可動テーブルを備える平面研削盤であって、前記可動テーブルを移動させるテーブル移動機構と、前記テーブル移動機構によって移動させられる移動体の重心位置を調整する重心位置調整機構と、を備え、前記移動体は、前記被研削物、前記可動テーブル、及び前記重心位置調整機構を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
上述の手段により、本発明は、研削中の可動テーブルの傾斜の発生を低減或いは防止できる平面研削盤を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例に係る平面研削盤の正面図である。
【図２】図１の平面研削盤の上面図である。
【図３】図１の平面研削盤におけるテーブル移動機構及び重心位置調整機構の斜視図である。
【図４】図３のテーブル移動機構及び重心位置調整機構の立断面図である。
【図５】図３のテーブル移動機構及び重心位置調整機構の側断面図である。
【図６】重心位置調整機構による移動体の重心位置の調整を説明する図である。
【図７】重心位置調整機構における調整用ブロックの位置の決定方法の1例を説明する図である。
【図８】Ｘ軸テーブルをＸ軸方向に往復させたときの移動体の速度及び加速度とピッチング角度との関係を示す図である。
【図９】Ｘ軸テーブルをＸ軸方向に往復させたときの移動体のピッチング角度の時間的推移を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
【００１３】
図１は、本発明の実施例に係る平面研削盤１００の正面図であり、図２は、その上面図である。平面研削盤１００は、主に、本体ベッド１、Ｘ軸テーブル２、横軸砥石用コラム３、横軸砥石ヘッド４、砥石ヘッド回転用モータ５、砥石ヘッド上下送り用モータ６、砥石ヘッド左右送り用モータ７、テーブル駆動用モータ８、及び制御装置９を含む。
【００１４】
本体ベッド１は、Ｘ軸テーブル２をＸ軸方向に往復移動可能に支持する台座である。具体的には、本体ベッド１は、Ｘ軸テーブル２の下面から突出するガイドレールを受け入れるレール溝１ＡＬ、１ＡＲをその上面に有する。
【００１５】
Ｘ軸テーブル２は、本体ベッド１上をＸ軸方向に摺動可能なテーブルであり、その上面で被研削物（ワーク）Ｗを支持する。
【００１６】
横軸砥石用コラム３は、横軸砥石ヘッド４を上下方向（Ｚ軸方向）及び左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能に支持する装置である。
【００１７】
横軸砥石ヘッド４は、水平方向（Ｘ軸方向）に平行に延びる砥石軸４０を有する砥石ヘッドである。本実施例では、砥石軸４０の先端には、砥石車４１が取り付けられる。
【００１８】
砥石ヘッド回転用モータ５は、横軸砥石ヘッド４の砥石軸４０を回転させるモータであり、例えば、ＡＣサーボモータが用いられる。
【００１９】
砥石ヘッド上下送り用モータ６は、横軸砥石ヘッド４を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させるための砥石ヘッド上下移動機構を駆動するモータである。本実施例では、砥石ヘッド上下送り用モータ６は、横軸砥石ヘッド４をＺ軸方向に移動させるボールねじ機構におけるボールねじ軸又はボールねじナットを回転させるためのＡＣサーボモータである。
【００２０】
砥石ヘッド左右送り用モータ７は、横軸砥石ヘッド４を左右方向（Ｙ軸方向）に移動させるための砥石ヘッド左右移動機構を駆動するモータである。本実施例では、砥石ヘッド左右送り用モータ７は、横軸砥石ヘッド４をＹ軸方向に移動させるボールねじ機構におけるボールねじ軸又はボールねじナットを回転させるためのＡＣサーボモータである。
【００２１】
なお、上下移動機構及び左右移動機構は、ラックアンドピニオン機構等の他の機構であってもよい。
【００２２】
テーブル駆動用モータ８は、Ｘ軸テーブル２をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸テーブル移動機構を駆動するモータである。
【００２３】
制御装置９は、平面研削盤１００の動きを制御する装置であり、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えたコンピュータである。
【００２４】
具体的には、制御装置９は、テーブル駆動用モータ８を制御してＸ軸テーブル２上のワークＷを所定位置に移動させる。また、制御装置９は、砥石ヘッド上下送り用モータ６及び砥石ヘッド左右送り用モータ７を制御して横軸砥石ヘッド４を所定位置に移動させる。
【００２５】
その後、制御装置９は、砥石ヘッド回転用モータ５を制御して横軸砥石ヘッド４の回転を開始させ、且つ、テーブル駆動用モータ８を制御してＸ軸テーブル２を＋Ｘ方向に移動させ、砥石車４１をワークＷに接触させて1回目の研削加工を開始する。
【００２６】
テーブル駆動用モータ８によりＸ軸テーブル２を＋Ｘ方向の所定位置まで移動させると、すなわち砥石車４１によるワークＷに対する１回目の研削加工が終了すると、制御装置９は、Ｘ軸テーブル２を−Ｘ方向に移動させて元の位置に戻す。その際、制御装置９は、砥石ヘッド上下送り用モータ６により横軸砥石ヘッド４を上昇させてもよい。Ｘ軸テーブル２を元に戻すときに横軸砥石ヘッド４がワークＷと接触しないようにするためである。このとき、制御装置９は、砥石ヘッド回転用モータ５を一旦停止させてもよい。
【００２７】
その後、制御装置９は、砥石ヘッド回転用モータ５により横軸砥石ヘッド４を回転させ、砥石ヘッド上下送り用モータ６により横軸砥石ヘッド４を下降させる。そして、制御装置９は、テーブル駆動用モータ８を制御してＸ軸テーブル２を＋Ｘ方向に移動させ、砥石車４１をワークＷに接触させて２回目の研削加工を開始する。
【００２８】
上述の動きを繰り返すことによって、制御装置９は、ワークＷの研削を実行する。
【００２９】
次に、図３〜図５を参照しながら、テーブル移動機構２０及び重心位置調整機構２１について説明する。なお、図３は、テーブル移動機構２０及び重心位置調整機構２１の斜視図である。また、図４は、図３の一点鎖線を含む鉛直面を矢印ＩＶで示す方向から見た立断面図であり、図５は、図４の一点鎖線を含む鉛直面を矢印Ｖで示す方向から見た側断面図である。また、図４は、図の一点鎖線を含む鉛直面を矢印ＩＶで示す方向から見た立断面図でもある。なお、図３では、明瞭化のため、本体テーブル１の図示を省略している。
【００３０】
テーブル移動機構２０は、Ｘ軸テーブル２をＸ軸方向に往復移動させる機構であり、主に、シリンダ２０Ａ、第一軸２０ＢＦ、第二軸２０ＢＢ、及びピストン２０Ｃを含む。
【００３１】
シリンダ２０Ａは、Ｘ軸テーブル２の下面に固定され、Ｘ軸テーブル２と共に本体ベッド１上をＸ軸方向に移動する。また、シリンダ２０Ａは、内部に円筒空間２０Ａｓ（図５参照。）を備え、ピストン２０Ｃが円筒空間２０Ａｓの内壁に対して相対的にスライドできるようにピストン２０Ｃを円筒空間２０Ａｓ内に受け入れる。なお、円筒空間２０Ａｓは、図５に示すように、ピストン２０Ｃによって、第一円筒空間２０Ａｓ１と第二円筒空間２０Ａｓ２に分離される。
【００３２】
第一軸２０ＢＦは、一端がピストン２０Ｃの＋Ｘ側の面に固定され、他端が外部の静止物（図示せず。）に固定される円筒部材である。同様に、第二軸２０ＢＢは、一端がピストン２０Ｃの−Ｘ側の面に固定され、他端が外部の静止物に固定される円筒部材である。なお、外部の静止物は、Ｘ軸テーブル２を移動させる場合にシリンダ２０Ａ、第一軸２０ＢＦ、及び第二軸２０ＢＢを静止したまま保持できる物体であればよく、例えば、本体テーブル１であってもよい。
【００３３】
ピストン２０Ｃは、シリンダ２０Ａの円筒空間２０Ａｓ内で、円筒空間２０Ａｓの内壁に対して相対移動できるように円筒空間２０Ａｓ内に収容される円板部材である。また、ピストン２０Ｃは、＋Ｘ側の面が第一軸２０ＢＦに接続され、−Ｘ側の面が第一軸２０ＢＦに接続される。
【００３４】
このような構成により、シリンダ２０Ａは、Ｘ軸テーブル２と共に、本体ベッド１に対して往復移動可能であるのに対し、第一軸２０ＢＦ、第二軸２０ＢＢ、及びピストン２０Ｃは、本体ベッド１に対して静止するように配置される。
【００３５】
Ｘ軸テーブル２は、より詳細には、天板部２Ａと、天板部２Ａの下面から−Ｚ方向に突出する２つのＶ字型のガイドレール２ＢＬ、２ＢＲと、天板部２ＡのＹ軸方向の両端部から−Ｚ方向に延びる側板部２ＣＬ、２ＣＲとを備える。また、Ｘ軸テーブル２は、静圧軸受機構を用い、本体テーブル１上をＸ軸方向に往復移動できるように、本体テーブル１によって支持される。具体的には、静圧軸受機構は、本体テーブル１の上面にあるレール溝１ＡＬ、１ＡＲと、ガイドレール２ＢＬ、２ＢＲとの間に油膜を形成することによって、Ｘ軸テーブル２が本体ベッド１上に浮遊した状態で支持されるようにする。
【００３６】
また、Ｘ軸テーブル２のＸ軸方向の往復移動は、テーブル駆動用モータ８によって駆動される油圧ポンプ（図示せず。）と、油圧ポンプが吐出する作動油の流れを制御する電磁切換弁（図示せず。）とによって制御される。具体的には、Ｘ軸テーブル２を＋Ｘ方向に移動させる場合、図５の点線で示すように、油圧ポンプが吐出する作動油は、第一軸２０ＢＦを通ってシリンダ２０Ａの第一円筒空間２０Ａｓ１に流入する。一方で、シリンダ２０Ａの第二円筒空間２０Ａｓ２内の作動油は、第二軸２０ＢＢを通って作動油タンク（図示せず。）に排出される。その結果、第一円筒空間２０Ａｓ１の体積が増大し、第二円筒空間２０Ａｓ２の体積が減少して、Ｘ軸テーブル２は、図５の矢印ＡＲで示すように、＋Ｘ方向に移動させられる。
【００３７】
同様に、Ｘ軸テーブル２を−Ｘ方向に移動させる場合、油圧ポンプが吐出する作動油は、第二軸２０ＢＢを通ってシリンダ２０Ａの第二円筒空間２０Ａｓ２に流入する。一方で、シリンダ２０Ａの第一円筒空間２０Ａｓ１内の作動油は、第一軸２０ＢＦを通って作動油タンク（図示せず。）に排出される。その結果、第一円筒空間２０Ａｓ１の体積が減少し、第二円筒空間２０Ａｓ２の体積が増大して、Ｘ軸テーブル２は、−Ｘ方向に移動させられる。
【００３８】
なお、上述のように、第一軸２０ＢＦ、第二軸２０ＢＢ、及びピストン２０Ｃは、Ｘ軸テーブル２が移動する際も、本体ベッド１に対して静止したままである。
【００３９】
重心位置調整機構２１は、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体の重心ＧＣの位置を調整する機構であり、主に、送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲ、及び、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲで構成される。なお、本実施例では、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体は、Ｘ軸テーブル２、シリンダ２０Ａ、ワークＷ、及び、重心位置調整機構２１を含む。
【００４０】
送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲは、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲをＺ軸方向に移動させる機構である。送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲは、例えば、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲに形成された螺旋状のねじ溝と係合する送りねじを回転させることによって、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲをＺ軸方向に移動させる。なお、送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲは、手動で操作されてもよく、油圧アクチュエータ等の図示しない駆動機構によって自動で操作されてもよい。
【００４１】
調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲは、移動体の重心ＧＣの位置を調整するためのおもりである。本実施例では、調整用ブロック２１ＢＬの重量及び形状は、調整用ブロック２１ＢＲの重量及び形状と同じである。送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲは、シリンダ２０Ａの長手軸を含む鉛直面に対して、調整用ブロック２１ＢＬの位置と調整用ブロック２１ＢＲの位置とが対称となるように、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを同時に移動させる。但し、本発明は、これに限定されることはない。テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体の重心ＧＣの位置を適切に調整できるのであれば、調整用ブロック２１ＢＬの重量及び形状の少なくとも一方は、調整用ブロック２１ＢＲの重量及び形状と異なるものであってもよい。また、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体の重心ＧＣの位置を適切に調整できるのであれば、送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲは、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの位置を個別に変化させてもよい。
【００４２】
本実施例では、重心位置調整機構２１は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを−Ｚ方向に移動させることによって移動体の重心ＧＣの位置を鉛直下方に移動させる。反対に、重心位置調整機構２１は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを＋Ｚ方向に移動させることによって移動体の重心ＧＣの位置を鉛直上方に移動させる。但し、本発明は、これに限定されることはない。重心位置調整機構２１は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの位置を適切に移動させることによって、移動体の重心ＧＣの位置をＺ軸方向に移動させるばかりでなく、Ｘ軸方向やＹ軸方向に移動させてもよい。
【００４３】
このようにして、重心位置調整機構２１は、移動体の重心ＧＣの位置を、テーブル移動機構２０による駆動力の作用線ＬＡ（図５参照。）に近づけ、或いは、一致させるようにする。或いは、重心位置調整機構２１は、移動体の重心ＧＣの位置を、テーブル移動機構２０による駆動力の作用点ＰＡ（図５参照。）に近づけ、或いは、一致させるようにする。
【００４４】
その結果、重心位置調整機構２１は、Ｘ軸テーブル２を移動させる際の回転モーメント（ピッチングモーメント及びヨーイングモーメントを含む。）の発生を抑制し或いは防止することができる。特に、重心位置調整機構２１は、Ｘ軸テーブル２を加速或いは減速させる際のピッチングモーメントの発生を抑制し或いは防止することができる。移動体の重心ＧＣの位置と作用線ＬＡとの間の距離が短い程、回転モーメントが小さくなり、また、移動体の重心ＧＣの位置が作用線ＬＡ上にあれば、回転モーメントが発生しないためである。
【００４５】
ここで、図６を参照しながら、重心位置調整機構２１による移動体の重心位置の調整をより詳細に説明する。図６（Ａ１）、図６（Ｂ１）、及び図６（Ｃ１）のそれぞれは、本体ベッド１及びＸ軸テーブル２の立断面図であり、図４に対応する。また、図６（Ａ２）、図６（Ｂ２）、及び図６（Ｃ２）のそれぞれは、本体ベッド１及びＸ軸テーブル２の側断面図であり、図５に対応する。また、図６（Ａ１）は図６（Ａ２）に対応し、図６（Ｂ１）は図６（Ｂ２）に対応し、図６（Ｃ１）は図６（Ｃ２）に対応する。
【００４６】
図６（Ａ１）及び図６（Ａ２）は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを調整可能範囲の上端付近に移動させたときの状態を示し、移動体の重心ＧＣの位置が、ワークＷの内部にある状態を示す。
【００４７】
また、図６（Ｂ１）及び図６（Ｂ２）は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを調整可能範囲の中央付近に移動させたときの状態を示し、移動体の重心ＧＣの位置が、Ｘ軸テーブル２の内部にある状態を示す。
【００４８】
さらに、図６（Ｃ１）及び図６（Ｃ２）は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを調整可能範囲の下端付近に移動させたときの状態を示し、移動体の重心ＧＣの位置が、シリンダ２０Ａの長手軸上、すなわち、テーブル移動機構２０による駆動力の作用線ＬＡ上にある状態を示す。
【００４９】
このように、重心位置調整機構２１は、送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲにより、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの位置を適切に調整することによって、移動体の重心ＧＣの位置を、テーブル移動機構２０による駆動力の作用線ＬＡ又は作用点ＰＡに近づけ、或いは一致させることができる。
【００５０】
次に、図７を参照しながら、重心位置調整機構２１における調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの位置の決定方法の1例について説明する。なお、ワークＷは、高さａ及び重量Ｍ１を有する直方体である。また、Ｘ軸テーブル２（天板部２Ａ、ガイドレール２ＢＬ、２ＢＲ（図７では図示せず。）、及び側板部２ＣＬ、２ＣＲを含む。）は、重量Ｍ２を有し、天板部２Ａは、高さｂを有する。また、シリンダ２０Ａは、Ｘ軸に平行な方向に延びる長手軸に関して対称な直方体であり、高さｃを有する。すなわち、シリンダ２０Ａの長手軸は、Ｘ軸テーブル２の下面からｃ／２の距離に位置する。また、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲのそれぞれは、Ｘ軸に平行な方向に延びる長手軸に関して対称な直方体であり、シリンダ２０Ａの長手軸を含む鉛直面に関して対称となるように配置される。また、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲは、合計重量Ｍ３を有する。すなわち、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲは、それぞれ、重量Ｍ３／２を有する。また、ワークＷの重心、Ｘ軸テーブル２の重心、及び、調整用ブロック２１ＢＬと調整用ブロック２１ＢＲの合成重心はいずれも、シリンダ２０Ａの重心を通る鉛直線上に存在する。
【００５１】
以上の条件の下で、移動体の重心ＧＣの位置とシリンダ２０Ａの重心の位置とが一致する場合における、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲのそれぞれの重心ＧＣＬ、ＧＣＲとＸ軸テーブル２の下面との間の距離ｈは、物体の重心位置を求めるための既知の公式に基づく以下の計算式（１）によって導き出される。
【００５２】
【数１】
2013184237.tif 000003
入力装置（図示せず。）を通じてワークＷの重量Ｍ１及び高さａが入力されると、平面研削盤１００の制御装置９は、既知の値である、Ｘ軸テーブル２の重量Ｍ２及び高さｂと、シリンダ２０Ａの高さｃと、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの合計重量Ｍ３とに基づいて、距離ｈを算出する。
【００５３】
その後、制御装置９は、算出した距離ｈの値を表示装置（図示せず。）に表示し、操作者が、送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲを用いて手動により調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの位置を調整できるようにする。
【００５４】
或いは、制御装置９は、算出した距離ｈの値に基づいて送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲを自動的に操作し、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲのそれぞれの重心ＧＣＬ、ＧＣＲとＸ軸テーブル２の下面との間の距離が距離ｈとなるようにする。
【００５５】
このようにして、平面研削盤１００は、移動体の重心ＧＣの位置とシリンダ２０Ａの重心の位置とを一致させることができる。
【００５６】
なお、制御装置９は、ワークＷの形状毎に上述のような計算式を個別に用意しておき、ワークＷの形状に応じて、すなわち操作者の入力に応じて適切な計算式を選択した上で距離ｈを導き出すようにしてもよい。また、制御装置９は、ワークＷの長さや幅を考慮した計算式を用いて距離ｈを導き出すようにしてもよい。
【００５７】
次に、図８を参照しながら、移動体の速度及び加速度とピッチング角度との関係を実測データに基づいて説明する。図８は、ワークＷを支持していない状態のＸ軸テーブル２をＸ軸方向に往復させたときの移動体の速度及び加速度とピッチング角度との関係を示す図である。また、図８では、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体は、Ｘ軸テーブル２、シリンダ２０Ａ、及び重心位置調整機構２１を含む。また、移動体の重心は、テーブル移動機構２０による駆動力の作用線よりも上方に離れて存在し、移動体は、ピッチングモーメントを発生させやすい状態にある。
【００５８】
図８は、横軸に時間軸を配置し、左側の縦軸に速度及び加速度に関する軸を配置し、左側の縦軸にピッチング角度に関する軸を配置する。また、図８において、点線で示す推移が速度の推移を表し、実線で示す推移が加速度の推移を表し、破線で示す推移がピッチング角度の推移を表す。また、速度は、図５に示すようにＸ軸テーブル２を＋Ｘ方向に移動させる場合を正値とし、−Ｘ方向に移動させる場合を負値とする。また、ピッチング角度は、図５において、テーブルの初期状態における角度を０度とし、移動体の重心ＧＣに時計回りに増大する角度を正値とし、反時計回りに増大する角度を負値とする。
【００５９】
図８に示すように、移動体は、＋Ｘ方向に加速する際に、加速度（正値）の大きさに応じたピッチング角度（負値）を生じさせる。そして、移動体は、約５８０［ｍｍ／秒］（約３５［ｍ／分］）で定速移動した後、減速する際に、さらには、−Ｘ方向に加速する際に、加速度（負値）の大きさに応じたピッチング角度（正値）を生じさせる。
【００６０】
このように、移動体の重心が、駆動力の作用線上にない場合、移動体のピッチング角度は、移動体の加速度の大きさが増大するにつれて増大する傾向を有し、その増大方向は、加速度の方向と逆になる。
【００６１】
また、ワークＷを支持した状態のＸ軸テーブル２を往復させる場合の移動体の速度及び加速度とピッチング角度との関係は、上述と同様の傾向を示し、ワークＷを支持していない状態のときと比べ、ピッチング角度がより大きなものとなる。
【００６２】
次に、図９を参照しながら、移動体の重心の位置と駆動力の作用線との間の距離（以下、「重心距離」とする。）と、移動体のピッチング角度との関係をシミュレーション結果に基づいて説明する。なお、図９は、図８の場合と同じようにＸ軸テーブル２をＸ軸方向に往復させたときの移動体のピッチング角度の時間的推移を示す図である。また、図９では、テーブル移動機構２０によって移動させられる移動体は、図８の場合と同様、Ｘ軸テーブル２、シリンダ２０Ａ、及び重心位置調整機構２１を含む。
【００６３】
図９は、横軸に時間軸を配置し、縦軸にピッチング角度に関する軸を配置する。また、図９において、点線で示す推移は、重心距離が２００［ｍｍ］の場合（例えば、図６（Ａ１）及び図６（Ａ２）に示す状態に対応する。）の推移を表し、破線で示す推移は、重心距離が１２０［ｍｍ］の場合（例えば、図６（Ｂ１）及び図６（Ｂ２）に示す状態に対応する。）の推移を表し、実線で示す推移は、重心距離が０［ｍｍ］の場合（例えば、図６（Ｃ１）及び図６（Ｃ２）に示す状態に対応する。）の推移を表す。
【００６４】
図９で示すように、ピッチング角度の変化の最大値は、重心距離が２００［ｍｍ］の場合にはＤ１［μｒａｄ］であるのに対し、重心距離が１２０［ｍｍ］の場合にはＤ２［μｒａｄ］に減少する。さらに、重心距離が０［ｍｍ］の場合、すなわち、移動体の重心ＧＣの位置が駆動力の作用線上に存在する場合には、０［μｒａｄ］に減少する。
【００６５】
したがって、重心位置調整機構２１は、重心距離を減少させることによって、すなわち、移動体の重心ＧＣの位置を駆動力の作用線に近づけ或いは一致させることによって、ピッチングモーメントの発生を抑制或いは防止することができる。
【００６６】
以上の構成により、重心位置調整機構２１を備える平面研削盤１００は、Ｘ軸テーブル２をＸ軸方向に往復移動させるときのＸ軸テーブル２の傾きを抑制或いは防止することによって、ワークＷの研削精度を高めることができる。
【００６７】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなしに上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００６８】
例えば、上述の実施例では、テーブル移動機構２０は、シリンダ２０Ａを含む油圧アクチュエータで構成されるが、ボールねじ機構、リニアモータ等の他の移動機構で構成されてもよい。
【００６９】
また、上述の実施例では、重心位置調整機構２１は、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲを上下させるための移動機構として送りねじ機構を採用するが、他の機構を採用してもよい。
【００７０】
また、上述の実施例では、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの形状として直方体が採用されるが、任意の形状が採用されてもよい。また、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲは、移動機構としての送りねじ機構２１ＡＬ、２１ＡＲに脱着不能に取り付けられるが、その一部又は全部が移動機構に脱着可能に取り付けられてもよい。
【００７１】
また、上述の実施例では、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲとして重量不変の部材が採用されるが、例えば、流体を貯蔵する容器等の重量可変の部材が採用されてもよい。この場合、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲの重量は、貯蔵する流体の量を変化させることによって調節することができる。
【００７２】
また、上述の実施例では、調整用ブロック２１ＢＬ、２１ＢＲは、Ｘ軸テーブル２の両側部に１つずつ配置されるが、Ｘ軸テーブル２の下部で、シリンダ２０Ａの両脇に１つずつ配置されてもよく、シリンダ２０Ａの鉛直下方に１つだけ配置されてもよい。また、調整用ブロックの数は、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。
【符号の説明】
【００７３】
１・・・本体ベッド  １ＡＬ、１ＡＲ・・・レール溝  ２・・・Ｘ軸テーブル  ２Ａ・・・天板部  ２ＢＬ、２ＢＲ・・・ガイドレール  ２ＣＬ、２ＣＲ・・・側板部  ３・・・横軸砥石用コラム  ４・・・横軸砥石ヘッド  ５・・・砥石ヘッド回転用モータ  ６・・・砥石ヘッド上下送り用モータ  ７・・・砥石ヘッド左右送り用モータ  ８・・・テーブル駆動用モータ  ９・・・制御装置  ２０・・・テーブル移動機構  ２０Ａ・・・シリンダ  ２０Ａｓ・・・円筒空間  ２０Ａｓ１・・・第一円筒空間  ２０Ａｓ２・・・第二円筒空間  ２０ＢＦ・・・第一軸  ２０ＢＢ・・・第二軸  ２０Ｃ・・・ピストン  ２１・・・重心位置調整機構  ２１ＡＬ、２１ＡＲ・・・送りねじ機構  ２１ＢＬ、２１ＢＲ・・・調整用ブロック  ４０・・・砥石軸  ４１・・・砥石車  １００・・・平面研削盤  ＧＣ・・・重心  ＰＡ・・・作用点  ＬＡ・・・作用線  Ｗ・・・ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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