(57)【要約】【課題】  チップサイズの小型化を図ると共に、減衰特性の劣化を防ぎ、良好な周波数特性が得られる弾性表面波フィルタを提供する。【解決手段】  圧電基板上に、複数のＩＤＴ電極を備えた入力側フィルタ１０と出力側フィルタ２０とが、接続領域を挟んで形成された縦結合二重モード弾性表面波フィルタであって、ＩＤＴ電極は、複数の電極指片が第１の電極ピッチで配置され、ＩＤＴ電極の内、中央のＩＤＴ電極１２の両端に、複数の電極から成るグレーティング電極１８，１９がそれぞれ接続され、グレーティング電極１８，１９は、中央のＩＤＴ電極１２に接続領域で接続すると共に、接続領域とは反対側に形成された接地端子１７ｂ、１７ｃに接続し、更に、第１の電極ピッチとは異なる第２の電極ピッチで電極が配置されている弾性表面波フィルタとしている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、複数の櫛型電極を備えた入力側フィルタと出力側フィルタとが、接続領域を挟んで形成された縦結合二重モード弾性表面波フィルタであって、
前記櫛型電極は、複数の電極指片が第１の電極ピッチで配置され、
前記櫛型電極の内、中央の櫛型電極の両端に、複数の電極から成るグレーティング電極がそれぞれ接続され、
前記グレーティング電極は、前記中央の櫛型電極に前記接続領域で接続すると共に、前記接続領域とは反対側に形成された接地端子に接続し、更に、前記第１の電極ピッチとは異なる第２の電極ピッチで前記電極が配置されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
グレーティング電極は、複数の異なる電極ピッチで電極が配置されていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
入力側フィルタ及び出力側フィルタにおいて、グレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して対称となると共に、接続領域に対して対称となるよう電極が配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
入力側フィルタ又は出力側フィルタにおいて、グレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して非対称となるよう電極が配置されていることを特徴とする請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
入力側フィルタと出力側フィルタにおいて、グレーティング電極は、接続領域に対して非対称となるよう電極が配置されていることを特徴とする請求項２又は４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
いずれかの櫛型電極は、電極指片が複数の異なるピッチで配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項７】
グレーティング電極の電極本数を３本又は４本としたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波フィルタに係り、特にチップサイズの小型化を図ると共に、減衰特性の劣化を防ぐことができ、良好な周波数特性が得られる弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
［先行技術の説明］
従来のＳＡＷ（Surface Acoustic Wave;表面弾性波、弾性表面波）フィルタとして、ボンディングワイヤを用いて電極端子とパッケージ側のパッドとを接続したものがあった。
【０００３】
［ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの構成：図６］
ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの構成について図６を用いて説明する。図６は、ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの平面説明図である。
図６に示す従来の弾性表面波フィルタは、ダブルモード共振結合型のＳＡＷフィルタであり、主として、圧電基板上に形成された入力側フィルタ７０と、出力側フィルタ８０と、複数の端子及び配線から構成されている。
【０００４】
入力側フィルタ７０は、表面波の伝搬方向に沿って近接配置されたＩＤＴ（Interdigital transducer）電極（櫛型電極又は櫛歯電極）７１，７２，７３と、ＩＤＴ電極７１の左側に設けられた反射器７４と、ＩＤＴ電極７３の右側に設けられた反射器７５とを備えている。
同様に、出力側フィルタ８０は、ＩＤＴ電極８１，８２,８３と、ＩＤＴ電極電極８１の左側に設けられた反射器８４と、ＩＤＴ電極８３の右側に設けられた反射器８５とを備えている。
各ＩＤＴ電極は、複数の電極指片と、電極指片の一端が接続されたバスバー部とを備えた一対の電極が、互いに対向して配置された構成となっている。
【０００５】
更に、ＩＤＴ電極７１とＩＤＴ電極８１とが、入力側フィルタ７０と出力側フィルタ８０との間の領域（接続領域）に形成された縦続接続配線９１ａで接続され、ＩＤＴ電極７３とＩＤＴ電極８３とが縦続接続配線９１ｂによって接続されている。
【０００６】
そして、従来の弾性表面波フィルタでは、入力側フィルタ７０のＩＤＴ電極７２は、入力端子７６に接続されている。
また、ＩＤＴ電極７２のＧＮＤ端子（接地パッド）７７ａは接続領域に形成されており、ボンディングワイヤ９２ａによってＧＮＤ端子端子７７ａとパッケージの接地パッドとが接続されている。
ＩＤＴ電極７１,７３はそれぞれＧＮＤ端子７７ｂ，７７ｃに接続されている。各端子は、それぞれボンディングワイヤによってパッケージのパッドと接続されている。
【０００７】
出力側フィルタ８０も同様に、ＩＤＴ電極８２は、出力端子８６に接続されると共に、接続領域に形成されたＧＮＤ端子８７ａに接続されている。ＩＤＴ電極８１，８３はそれぞれＧＮＤ端子８７ｂ，８７ｃに接続されている。各端子は、それぞれボンディングワイヤ９２によってパッケージのパッドと接続されている。
【０００８】
つまり、従来のボンディングワイヤを用いた弾性表面波フィルタでは、入力電極及び出力電極の接地パッドとパッケージ側の接地パッドとを接続するボンディングワイヤは、入力側フィルタ７０又は出力側フィルタ８０を飛び越えて接続するようになっている。
【０００９】
［ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性：図８］
ここで、ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性について図８を用いて説明する。
図８は、ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
図８に示すように、ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタは、中心周波数が９１５MHzとなるよう調整されており、損失が少なく良好な周波数特性となっている。
【００１０】
［小型化の要求］
近年、弾性表面波フィルタの小型化の要求に伴い、上述したような、キャビティ構造のセラミックパッケージにＳＡＷチップを格納してボンディングワイヤにより結線する構成から、単板構造のセラミックパッケージに、バンプと呼ばれる金属端子を形成したＳＡＷチップをフェイスダウン実装して結線と保持を行う構成が多く用いられるようになっている。
【００１１】
フェイスダウン実装とした場合には、ボンディングワイヤを用いた場合のように入力側フィルタや出力側フィルタの電極群を飛び越えて結線することはできない。
そこで、中央のＩＤＴ電極の両端に位置する電極指片を引き回し配線として用いて、中央のＩＤＴ電極のＧＮＤ端子をチップ端側（各フィルタの外側、図６の上側又は下側）に引き出す構成がある。
【００１２】
［フェイスダウン実装型の従来の弾性表面波フィルタの構成：図７］
従来の弾性表面波フィルタの構成について図７を用いて説明する。図７は、従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの構成を示す平面説明図である。
図７に示すように、従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタは、主として、圧電基板上に形成された入力側フィルタ５０と、出力側フィルタ６０と、複数の端子及び配線から構成されている。
【００１３】
入力側フィルタ５０は、近接配置されたＩＤＴ電極５１，５２，５３と、反射器５１と、反射器５５とを備えている。
同様に、出力側フィルタ６０は、ＩＤＴ電極６１，６２,６３と、反射器６４と反射器６５とを備えている。
【００１４】
入力側フィルタ５０のＩＤＴ電極５２は、入力端子ボンディングパッド５６に接続されている。
ＩＤＴ電極５１は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド５７ａに接続されると共に、縦続接続配線７１ａを介して出力側フィルタ６０のＩＤＴ電極６１に接続されている。
また、ＩＤＴ電極５３は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド５７ｄに接続されると共に、縦続接続配線７１ｂを介して出力側フィルタ６０のＩＤＴ電極６３に接続されている。
【００１５】
入力側フィルタ５０と出力側フィルタ６０とは、上下に対称な構成となっており、出力側フィルタ６０の構成は入力側フィルタ５０とほぼ同様であるため、詳細な説明は省略するが、ＩＤＴ電極６２が出力端子ボンディングパッド６６に接続され、ＩＤＴ電極６１は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド６７ａに接続され、ＩＤＴ電極６３は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド６７ｄに接続されている。
【００１６】
そして、図７に示した従来の弾性表面波フィルタでは、入力側フィルタ５０のＩＤＴ電極５２のＧＮＤ端子ボンディングパッド５７ｂ，５７ｃは、他のＧＮＤ端子ボンディングパッドと同様に、接続領域ではなくチップ端側に形成されている。
そのため、ＩＤＴ電極５２の両端に位置する電極指片５８，５９が、引き回し電極として用いられ、電極指片５８がＧＮＤ端子ボンディングパッド５７ｂに接続され、電極指片５９がＧＮＤ端子ボンディングパッド５７ｃに接続されている。
同様に、出力側フィルタ６０では、ＩＤＴ電極６２の両端の電極指片６８，６９が、チップ端側に形成されたＧＮＤ端子ボンディングパッド６７ｂ，６７ｃにそれぞれ接続されている。
【００１７】
しかし、要求される周波数が高くなるにつれ、線幅が細く、電極膜厚が薄くなるため、電極の抵抗が増大して、特性が劣化してしまう。
【００１８】
［従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの特性：図９］
従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの周波数特性について図９を用いて説明する。図９は、従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
図９に示すように、従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタでは、パターン幅が細くなることにより、図８のボンディングワイヤを用いた構成に比べて挿入損失が大幅に劣化している。
【００１９】
［関連技術］
尚、弾性表面波フィルタに関する技術としては、特開平１１−２３９０３５号公報「ＳＡＷデバイス」（東洋通信機株式会社、特許文献１）、特開２００３−３４７８８１号公報「弾性表面波フィルタ」（東洋通信機株式会社、特許文献２）、特開平０８−２５０９６９号公報「縦結合二重モードＳＡＷフィルタ」（東洋通信機株式会社、特許文献３）、特開平１１−１７４９４号公報「多重モードＳＡＷフィルタ」（東洋通信機株式会社、特許文献４）、特開２００４−２３５６７５号公報「１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタ」（東洋通信機株式会社、特許文献５）、特開２００８−２８９０３１号公報「縦結合二重モードＳＡＷフィルタ」（エプソントヨコム株式会社、特許文献６）がある。
【００２０】
特許文献１には、多段接続型縦結合多重モードＳＡＷフィルタにおいて、ＳＡＷフィルタ間にはリード電極のみを形成し、ボンディングパッドはＳＡＷフィルタの外側に形成することで、チップの外形寸法を削減することが記載されている。
【００２１】
特許文献２には、各縦結合多重モード弾性表面波フィルタの最外側ＩＤＴ電極のセクション間スペースとは反対側に配置された櫛型電極同士をセクション間スペースに形成された引き廻し電極を介して接続し、且つ引き廻し電極で接続された櫛型電極の一方のバスバーにＧＮＤ用電極パッドを接続した弾性表面波フィルタが記載されている。
【００２２】
特許文献３には、各ＩＤＴが互いに対面する最内側電極指の中心間間隔を、（２ｎ＋１）λ／４（λはＩＤＴの電極指周期）として空間を設け、当該空間にｎ本のグレーティングを等間隔に配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタが記載されている。
【００２３】
特許文献４には、３つのＩＤＴの電極対数をＮ、中央のＩＤＴの電極対数をＮ１とした場合に、０．３０≦Ｎ１／Ｎ≦０．５４とする多重モードＳＡＷフィルタが記載されている。
【００２４】
特許文献５には、３つのＩＤＴ電極の間に配線として用いられていないグレーティングを配置し、ＩＤＴ電極の電極周期λ１とグレーティングの周期λ２（電極指ピッチの２倍）とを異ならせた１次−３次結合二重モードＳＡＷフィルタが記載されている。
【００２５】
特許文献６には、３つのＩＤＴ電極の間に、ＳＡＷの特性を反転する反射反転型の電極構造を有する反射反転ミドルグレーティングを配置した縦結合二重モードＳＡＷフィルタが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２６】
【特許文献１】特開平１１−２３９０３５号公報
【特許文献２】特開２００３−３４７８８１号公報
【特許文献３】特開平０８−２５０９６９号公報
【特許文献４】特開平１１−１７４９４号公報
【特許文献５】特開２００４−２３５６７５号公報
【特許文献６】特開２００８−２８９０３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
しかしながら、従来の弾性表面波フィルタでは、フェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタでは、高周波になると、パターンの線幅が狭くなり、電気抵抗が大きくなって損失が増大し、減衰特性が劣化するという問題点があった。
【００２８】
尚、特許文献１〜６には、入出力電極となるＩＤＴ電極の両端にグレーティング構造のグレーティング電極を接続して、引き回し電極とし、更にグレーティング電極の電極ピッチをＩＤＴ電極と異ならせた構成は記載されていない。
【００２９】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたもので、チップサイズの小型化を図ると共に、減衰特性の劣化を防ぎ、良好な周波数特性が得られる弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、圧電基板上に、複数の櫛型電極を備えた入力側フィルタと出力側フィルタとが、接続領域を挟んで形成された縦結合二重モード弾性表面波フィルタであって、櫛型電極は、複数の電極指片が第１の電極ピッチで配置され、櫛型電極の内、中央の櫛型電極の両端に、複数の電極から成るグレーティング電極がそれぞれ接続され、グレーティング電極は、中央の櫛型電極に接続領域で接続すると共に、接続領域とは反対側に形成された接地端子に接続し、更に、第１の電極ピッチとは異なる第２の電極ピッチで電極が配置されていることを特徴としている。
【００３１】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、グレーティング電極は、複数の異なる電極ピッチで電極が配置されていることを特徴としている。
【００３２】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、入力側フィルタ及び出力側フィルタのグレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して対称となると共に、接続領域に対して対称となるよう電極が配置されていることを特徴としている。
【００３３】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、入力側フィルタ又は出力側フィルタのグレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して非対称となるよう電極が配置されていることを特徴としている。
【００３４】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、入力側フィルタと出力側フィルタのグレーティング電極は、接続領域に対して非対称となるよう電極が配置されていることを特徴としている。
【００３５】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、いずれかの櫛型電極は、電極指片が複数の異なるピッチで配置されていることを特徴としている。
【００３６】
また、本発明は、上記弾性表面波フィルタにおいて、グレーティング電極の電極本数を３本又は４本としたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、圧電基板上に、複数の櫛型電極を備えた入力側フィルタと出力側フィルタとが、接続領域を挟んで形成された縦結合二重モード弾性表面波フィルタであって、櫛型電極は、複数の電極指片が第１の電極ピッチで配置され、櫛型電極の内、中央の櫛型電極の両端に、複数の電極から成るグレーティング電極がそれぞれ接続され、グレーティング電極は、中央の櫛型電極に接続領域で接続すると共に、接続領域とは反対側に形成された接地端子に接続し、更に、第１の電極ピッチとは異なる第２の電極ピッチで電極が配置されている弾性表面波フィルタとしているので、抵抗を低減して損失を抑え、良好な特性を得ることができ、また、櫛形電極の電極ピッチを変更せずに、周波数特性の調整を行うことができ、所望の特性を備えたフィルタを容易に実現することができる効果がある。
【００３８】
また、本発明によれば、グレーティング電極は、複数の異なる電極ピッチで電極が配置されている上記弾性表面波フィルタとしているので、縦モードの結合の強さを更に調整して、所望の周波数特性とすることができる効果がある。
【００３９】
また、本発明によれば、入力側フィルタ及び出力側フィルタのグレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して対称となると共に、接続領域に対して対称となるよう電極が配置されている上記弾性表面波フィルタとしているので、中心周波数における損失を小さくして良好な特性を得ることができる効果がある。
【００４０】
また、本発明によれば、入力側フィルタ又は出力側フィルタのグレーティング電極は、中央の櫛型電極に対して非対称となるよう電極が配置されている上記弾性表面波フィルタとしているので、スプリアスのピークをずらして不要波成分を低減することができる効果がある。
【００４１】
また、本発明によれば、入力側フィルタと出力側フィルタのグレーティング電極は、接続領域に対して非対称となるよう電極が配置されている上記弾性表面波フィルタとしているので、スプリアスのピークをずらして不要波成分を低減することができる効果がある。
【００４２】
また、本発明によれば、いずれかの櫛型電極は、電極指片が複数の異なるピッチで配置されている上記弾性表面波フィルタとしているので、グレーティング電極による周波数特性の調整に加えて、更に微調整を加えることができ、所望の周波数特性を得ることができる効果がある。
【００４３】
また、本発明によれば、グレーティング電極の電極本数を３本又は４本とした上記弾性表面波フィルタとしているので、抵抗低減の効果が十分に得られると共に縦モード結合を保持し、良好な特性を得ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの平面説明図である。
【図２】第１の弾性表面波フィルタの電極ピッチを示す模式説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの電極ピッチを示す模式説明図である。
【図４】第１の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
【図５】第１の弾性表面波フィルタにおけるグレーティング電極の電極本数と帯域内最大損失との相関を示す説明図であり、（ａ）は相関図、（ｂ）は損失の測定値である。
【図６】ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの平面説明図である。
【図７】従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの構成を示す平面説明図である。
【図８】ボンディングワイヤを用いた従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
【図９】従来のフェイスダウン実装型の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタは、３つのＩＤＴ電極とその両側に形成された反射器とを備えた入力側フィルタ及び出力側フィルタとから成る縦結合二重モードフィルタでフェイスダウン実装されるものであって、中央のＩＤＴ電極の最外側の電極指をグレーティング構造のグレーティング電極として、フィルタの外側に配置されたＧＮＤ端子に接続する構成とし、ＩＤＴ電極のピッチとグレーティング電極のピッチを異ならせて所望の特性が得られるよう調整したものであり、１本の電極指を引き回し電極として用いる場合に比べて、電気抵抗を低減させ、損失を少なくして特性を向上させることができるものである。
【００４６】
また、本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタは、グレーティング電極内において、所望の特性が得られるよう電極のピッチを異ならせたものであり、特性を向上させることができると共に、大幅な設計変更を行うことなく特性の調整を可能とするものである。
【００４７】
また、本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタは、グレーティング電極内でピッチを異ならせたグレーティング電極を、中央のＩＤＴ電極に対して非対称となるよう配置し、又は入力フィルタと出力フィルタとの間で非対称となるよう配置したものであり、スプリアスを低減して特性を向上させることができるものである。
【００４８】
［第１の実施の形態：図１］
本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波フィルタについて図１を用いて説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの平面説明図である。
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波フィルタ（第１の弾性表面波フィルタ）は、縦続接続二重モードフィルタであって、基本的な構成は図７に示した従来の弾性表面波フィルタと同様であり、圧電基板上に形成された入力側フィルタ１０と、出力側フィルタ２０と、複数の端子ボンディングパッド及び電極配線から構成されている。第１の弾性表面波フィルタは、フェイスダウン実装型のフィルタであり、小型化を図るものである。
【００４９】
第１の弾性表面波フィルタの構成について具体的に説明する。
第１の弾性表面波フィルタの入力側フィルタ１０は、従来と同様の部分として、表面波の伝搬方向に沿って配置されたＩＤＴ電極１１，１２，１３と、その左端に設けられた反射器１４と、右端に設けられた反射器１５とを備え、第１の弾性表面波フィルタの特徴部分として、ＩＤＴ電極１２の左端にグレーティング構造の引き回し電極（グレーティング電極）１８を接続し、右端にグレーティング電極１９を接続した構成となっている。
つまり、第１の弾性表面波フィルタの入力フィルタ１０では、ＩＤＴ電極１２の最も外側の２本の電極指片を、グレーティング構造のグレーティング電極１８，１９に置き換えた構成である。
【００５０】
尚、図１では、わかり易くするためにＩＤＴ電極１１,１２,１３と、反射器１４，１５と、グレーティング電極１８，１９とを黒色の塗りつぶしで示し、端子や電極部分をドット柄で示しているが、これらはいずれも同一の工程でパターン形成されるものである。出力側フィルタ２０や他の図面においても同様である。
【００５１】
そして、入力フィルタ１０においては、ＩＤＴ電極１２は、フィルタの外側（図１の上側）のチップ外周部に形成された入力端子ボンディングパッド１６に接続すると共に、接続領域に形成された電極１７ｅに接続されている。
ＩＤＴ電極１２の左側に形成されたグレーティング電極１８は、接続領域の電極１７ｅと、ＧＮＤ端子ボンディングパッド１７ｂに接続し、右側に形成されたグレーティング電極１９は、電極１７ｅと１７ｃとに接続している。
【００５２】
ＩＤＴ電極１１は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド１７ａに接続されると共に、縦続接続電極３１ａを介してＩＤＴ電極２１に接続されている。
同様に、ＩＤＴ電極１３は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド１７ｄに接続されると共に、縦続接続電極３１ｂを介してＩＤＴ電極２３に接続されている。
【００５３】
また、出力側フィルタ２０は、入力側フィルタ１０と上下に対称な構成であるため、簡単に説明するが、ＩＤＴ電極２１，２２，２３と反射器２４，２５とを備え、中央のＩＤＴ電極２２の左端にグレーティング電極２８が形成され、右端にグレーティング電極２９が形成されている。
【００５４】
そして、ＩＤＴ電極２２は、出力端子ボンディングパッド２６と、接続領域の電極２７ｅに接続し、グレーティング電極２８は、電極２７ｅとＧＮＤ端子ボンディングパッド２７ｂとに接続している。
グレーティング電極２９は、電極２７ｅとＧＮＤ端子ボンディングパッド２７ｃとに接続している。
ＩＤＴ電極２１は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド２７ａと縦続接続電極３１ａに接続し、ＩＤＴ電極２３は、ＧＮＤ端子ボンディングパッド２７ｃと縦続接続電極３１ｂに接続している。
【００５５】
このように、従来、ＧＮＤ端子への引き回し配線として、中央のＩＤＴ電極の両端の電極指片を用いたのに比べて、第１の弾性表面波フィルタでは、電極本数の多いグレーティング電極１８，１９，２８，２９を用いているので、抵抗を低減して損失を抑え、特性を向上させることができるものである。
【００５６】
第１の弾性表面波フィルタでは、圧電基板としてタンタル酸リチウム３６°Ｙカット板を用い、中心周波数が９１５MHzとなるよう電極周期を決定している。
また、ＩＤＴ電極の電極対の本数は、端から１２対、１５対、１２対としており、反射器本数は６０本、グレーティング電極１８,１９,２８,２９の本数は４本としている。
【００５７】
［第１の弾性表面波フィルタのグレーティング電極のピッチ：図２］
第１の弾性表面波フィルタでは、グレーティング電極１８，１９，２８，２９の構成が特徴となっている。
第１の弾性表面波フィルタのグレーティング電極の構成について図２を用いて具体的に説明する。図２は、第１の弾性表面波フィルタの電極ピッチを示す模式説明図である。図２では、入力側フィルタ１０のＩＤＴ電極１１の一部と、グレーティング電極１８と、ＩＤＴ電極１２の一部とを示しているが、他のグレーティング電極１９，２８，１９も同様の構成となっている。
【００５８】
図２に示すように、第１の弾性表面波フィルタのグレーティング電極１８は、４本の電極を備えており、電極ピッチがＩＤＴ電極１１，１２とは異なるものである。
具体的には、ＩＤＴ電極１１及びＩＤＴ電極１２の電極ピッチは、所望の中心周波数に応じて決定され、Ｐ１としている。尚、ＩＤＴ電極１１，１２の電極周期をλとすると、λ＝２×Ｐ１で表される。Ｐ１は、請求項に記載した第１の電極ピッチに相当する。
【００５９】
そして、図２の例では、グレーティング電極１８の電極ピッチは、それより小さいＰ２としている。Ｐ２は、請求項に記載した第２の電極ピッチに相当する。グレーティング電極の電極ピッチをＩＤＴ電極と異ならせることにより、周波数特性の微調整を可能とし、また、不要波を除去するものである。
【００６０】
図２では、Ｐ１＞Ｐ２の場合を示しているが、逆に、グレーティング電極のピッチを大きくして、Ｐ１＜Ｐ２としてもよい。
グレーティング電極のピッチとしては、０．８≦Ｐ２／Ｐ１≦１．２となるようＰ２を設定することが望ましい。
【００６１】
すなわち、第１の弾性表面波フィルタでは、グレーティング電極１８，１９，２８，２９を引き回し電極として用いて抵抗を低減して損失を抑えると共に、電極ピッチをＩＤＴ電極とは異なるピッチとして、ＩＤＴ電極のピッチを変えなくても、中心周波数の調整や不要波除去等を行うことができ、所望の特性を得ることができるものである。
【００６２】
グレーティング電極のピッチ変更は、ＩＤＴ電極のピッチ変更に比べて調整量は小さいものの簡易に行うことができ、大幅な設計変更を行うことなく、異なる特性のフィルタを実現することができるものである。
【００６３】
［第１の弾性表面波フィルタの特性：図４］
次に、第１の弾性表面波フィルタの周波数特性について図４を用いて説明する。図４は、第１の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す特性図であり、（ａ）は（ｂ）の一部を拡大したものである。
図４に示すように、第１の弾性表面波フィルタでは、グレーティング電極１８,１９，２８，２９によって抵抗が低減されることで、図９に示した従来のフェイスダウン実装型のフィルタに比べて損失が大幅に改善している。
具体的には、図９に比べて、第１の弾性表面波フィルタでは損失が約０．８ｄＢ改善しており、図８に示した従来のボンディングワイヤを用いたフィルタとほぼ同等の良好な特性が得られることがわかる。
【００６４】
［グレーティング電極の本数と損失の関係：図５］
次に、第１の弾性表面波フィルタにおけるグレーティング電極の電極本数と損失との関係について図５を用いて説明する。図５は、第１の弾性表面波フィルタにおけるグレーティング電極の電極本数と帯域内最大損失との相関を示す説明図であり、（ａ）は相関図、（ｂ）は損失の測定値である。
一般に、グレーティング電極の電極本数が多いほど抵抗を小さくすることができるものの、縦モードの結合が弱くなり、また、グレーティングによる反射が強くなって特性の劣化が生じるため、グレーティング電極１８,１９,２８,２９の電極本数は、２本から６本程度とすることが考えられる。
【００６５】
そして、図５（ａ）（ｂ）に示すように、損失特性は、グレーティング電極本数が１，２本の場合には抵抗が高いためにロスが大きく、逆に、５,６本の場合には結合が弱くなって帯域幅が狭まるため、損失は劣化する。
グレーティング電極の電極本数を、３，４本とした場合には、抵抗の低減の効果が大きく、良好な損失特性が得られるため、電極本数は３，４本とすることが望ましい。
【００６６】
［第１の実施の形態の効果］
本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波フィルタによれば、入力電極であるＩＤＴ電極１２の左右両側に、グレーティング構造のグレーティング電極１８及び１９を接続し、出力電極であるＩＤＴ電極２２の左右両側に、グレーティング電極２８及び２９を接続して、各グレーティング電極１８，１９，２８，２９を引き回し配線として用いてＧＮＤ端子ボンディングパッドに接続するようにしているので、フェイスダウン実装型として小型化を図りつつ、従来の１本の電極指片を引き回し配線として用いた構成に比べて、抵抗を低減して損失を抑え、良好な特性を得ることができる効果がある。
【００６７】
更に、第１の弾性表面波フィルタによれば、グレーティング電極１８，１９，２８，２９の電極ピッチＰ２をＩＤＴ電極の電極ピッチＰ１とは異なるピッチとしているので、ＩＤＴ電極の電極ピッチを変えなくても、中心周波数の調整やスプリアスの低減等の特性を調整することができ、簡易な設計変更で所望の周波数特性を備えたフィルタを容易に実現することができる効果がある。
【００６８】
また、第１の弾性表面波フィルタによれば、グレーティング電極１８，１９，２８，２９の電極本数を３本又は４本としているので、抵抗低減の効果が十分に得られると共に縦モード結合を保持し、良好な特性を得ることができる効果がある。
【００６９】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態に係る弾性表面波フィルタ（第２の弾性表面波フィルタ）について説明する。
第２の弾性表面波フィルタの構成は、基本的には第１の弾性表面波フィルタと同様であるが、グレーティング電極１８，１９，２８，２９の電極ピッチが第１の弾性表面波フィルタとは異なっている。
【００７０】
［第２の弾性表面波フィルタのグレーティング電極のピッチ：図３］
第２の弾性表面波フィルタのグレーティング電極の電極ピッチについて図３を用いて具体的に説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの電極ピッチを示す模式説明図である。
図２と同様に、図３も入力側フィルタ１０のＩＤＴ電極１１の一部と、グレーティング電極１８と、ＩＤＴ電極１２の一部とを示しているが、他のグレーティング電極１９，２８，２９も同様の構成となっている。
【００７１】
図２に示した第１の弾性表面波フィルタのグレーティング電極の電極ピッチは、グレーティング電極内部では一定のピッチであったが、図３に示すように、第２の弾性表面波フィルタのグレーティング電極１８は、グレーティング電極１８の内部で電極ピッチを少しずつ変えた構成としている。尚、電極本数は４本としている。
【００７２】
具体的には、グレーティング電極１８は３種類の電極ピッチとなるよう４本の電極が配置されており、第１の区間では電極ピッチＰ２、第２の区間では電極ピッチＰ３、第３の区間では電極ピッチ４としている（Ｐ２＜Ｐ３＜Ｐ４）。
また、ＩＤＴ電極１１，１２の電極ピッチはＰ１（電極周期λ＝２×Ｐ１）である。尚、Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４のいずれかがＰ１と一致しても構わない。
【００７３】
このように、グレーティング電極１８内の電極ピッチを様々に変えて電極を配置することにより、縦モードの結合強度を更に微調整することができ、周波数特性の細かい調整を可能とするものである。
【００７４】
［電極ピッチの変え方］
図３の例では、表面波の進行方向に向かって、電極ピッチがＰ２，Ｐ３，Ｐ４の順で次第に大きくなるよう電極を配置しているが、これに限るものではなく、電極ピッチ大→電極ピッチ小となるよう順次変化させてもよいし、小→大→小、又は大→小→大としてもよく、所望の周波数特性が得られるようにグレーティング電極の電極ピッチを調整すればよい。
【００７５】
［電極ピッチの対称性］
更に、グレーティング電極１８，１９，２８，２９内の電極ピッチを変えた場合、電極ピッチが、左右に配置されたグレーティング電極１８と１９、２８と２９で左右対称であり、また、上下に配置されたグレーティング電極では上下対称となっている場合には、より良好な特性が得られるものである。
例えば、グレーティング電極１８が左からＰ２，Ｐ３，Ｐ４の順でピッチが変わる場合、グレーティング電極１９では、左からＰ４，Ｐ３，Ｐ２となるよう電極を形成し、グレーティング電極２８では、Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４となるように形成する。
【００７６】
［スプリアスの低減］
一般的には、上述したように、グレーティング電極における電極ピッチは左右対称、上下対称であるほうが良好な特性が得易いものであるが、特に、スプリアスの低減を図るために、意図的に左右非対称、上下非対称の電極ピッチとすることも可能である。
このように、グレーティング電極１８，１９，２８，２９の電極ピッチを、左右非対称又は上下非対称とすることにより、周波数特性におけるスプリアス成分のピーク位置をずらして、不要波のレベルを抑圧することができるものである。
【００７７】
［第２の実施の形態の効果］
本発明の第２の実施の形態に係る弾性表面波フィルタによれば、グレーティング電極１８,１９,２８，２９の内部において、電極ピッチを変化させた構成としているので、縦モードの結合の強さを更に調整して、所望の周波数特性とすることができる効果がある。
【００７８】
また、第２の弾性表面波フィルタによれば、グレーティング電極の電極ピッチの配置を、左右対称、及び上下対称とすることにより、中心周波数における損失を小さくして良好な特性を得ることができる効果がある。
【００７９】
また、第２の弾性表面波フィルタによれば、グレーティング電極の電極ピッチの配置を、左右非対称、又は上下非対称とすることにより、スプリアスのピークをずらして不要波成分を低減することができる効果がある。
【００８０】
［ＩＤＴ電極のピッチ変更］
更に、第１、第２の弾性表面波フィルタにおいて、所望の周波数特性を得るために、ＩＤＴ電極についても全て同一の電極ピッチとするのではなく、電極ピッチを一部変えて形成することも可能である。
これにより、上述したようなグレーティング電極による調整に加えて、更なる調整を行うことが可能となり、良好な特性を得ることができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、特にチップサイズの小型化を図ると共に、減衰特性の劣化を防ぐことができ、良好な周波数特性が得られる弾性表面波フィルタに適している。
【符号の説明】
【００８２】
１１，１２，１３，２１，２２，２３，５１，５２，５３，６１，６２，６３，７１，７２，７３，８１，８２，８３...ＩＤＴ電極、  １４，１５，２４，２５，５４，５５，６４，６５，７４，７５，８４，８５...反射器、  １６，５６，７６...入力端子ボンディングパッド、  １７，５７，７７...ＧＮＤ端子ボンディングパッド、  １８，１９，２８，２９...グレーティング電極、  ３１，７１，９１...縦続接続電極、  ２２，６２，８２...出力端子ボンディングパッド、  １０，５０，７０...入力側フィルタ、  ２０，６０，８０...出力側フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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