(57)【要約】【課題】芯出し時間が短く、構造が簡単で、防塵設計が容易なテーブル上ワークの自動調芯部を有する回転テーブル装置および自動調芯方法を提供する。【解決手段】ベース２１ａに回転自在にテーブル２が配設され、前記テーブル２上に載置されるワーク中心を、前記テーブル２の回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置２１であって、自動調芯する回転テーブル装置２１は、前記ベース２１ａに遠い側からＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃの順に積層され、Ｂテーブル２ｂ上に配設され、Ａテーブル２ａをＹ軸方向へ移動自在の第１移動機構１５と、Ｃテーブル２ｃ上に配設され、Ｂテーブル２ｂをＸ軸方向へ移動自在の第２移動機構１６と、Ａテーブル２ａを一方向へ移動する第１駆動手段と、Ｂテーブル２ｂを他方向へ移動する第２駆動手段と、Ｃテーブル２ｃを回転駆動する回転駆動手段と、を備えた。【選択図】図４
2013111700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、
前記テーブルは、前記ベースに遠い側からＡテーブル、Ｂテーブル、Ｃテーブルの順に積層され、
前記Ｂテーブル上に配設されて前記Ａテーブルが載置され、前記Ｂテーブルが前記Ａテーブルを当該テーブル面に沿ってＹ軸方向へ移動自在に案内する第１移動機構と、
前記Ｃテーブル上に配設されて前記Ｂテーブルが載置され、前記Ｃテーブルが前記Ｂテーブルを前記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第２移動機構と、
前記Ａテーブルを前記Ｙ軸方向へ移動する第１駆動手段と、
前記Ｂテーブルを前記Ｘ軸方向へ移動する第２駆動手段と、
前記Ｃテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、
を備えたことを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項２】
前記第１駆動手段が前記Ａテーブルの凹部に係合された第１偏心カムと、前記第１偏心カムと一体に形成された第１主軸と、前記第１主軸を回転する第１モータと、を備え、
前記第２駆動手段が前記Ｂテーブルの凹部に係合された第２偏心カムと、前記第２偏心カムと一体に形成された第２主軸と、前記第２主軸を回転する第２モータと、を備え、
前記回転駆動手段が前記Ｃテーブルに一体に固定された第３主軸と、前記第３主軸を回転する第３モータと、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の回転テーブル装置。
【請求項３】
ワークの振れを計測する計測装置と、前記振れからワーク中心の芯ずれ量を演算する演算部と、前記演算部の芯ずれ量に基づいて前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯動作を制御する制御部と、を備え、
前記計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて前記演算部が演算し、前記テーブルの回転中心と前記ワーク中心のＸ軸方向の芯ずれ量、Ｙ軸方向の芯ずれ量を求める第１工程と、
前記第１駆動手段により、前記ＡテーブルをＹ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第２工程と、
前記第２駆動手段により、前記ＢテーブルをＸ軸方向のずれ量を移動して補正する第３工程と、
を含めて実行することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回転テーブル装置。
【請求項４】
前記Ａテーブル、前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第１クランパと、
前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第２クランパと、
前記Ｃテーブルと前記ベースを一体に固定する第３クランパと、を備え、
前記第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、
前記第２工程は、第１クランパを開放、第３クランパおよび第３クランパを固定し、
前記第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定することを特徴とする請求項３に記載の回転テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブルの上面に取付けられたワークの中心を、テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の自動芯出し装置は、特開２００４−３４５０２９号公報の図１７に開示されているように、ワーク（輪状工作物）を突き動かすプッシャが、ワークを挟んで対向して配置されている。芯出し作業開始ボタンが押されると、各プッシャが前進し、各プッシャの先端部に内設された測定子が突出して中心ＣＬまでの距離を計測し、各プッシャは同位置であることを確認し、左右の自動芯出し装置の各プッシャは原点位置まで退避する。つぎに、ワークが載置され、各測定子でワークまでの距離を測定する。このとき、ワークと中心ＣＬとが一致しておれば、計測データは同じとなり、その差は「０」となるが、ワークの芯がずれている場合は、両者の差が計算され、この差分だけ一方のプッシャが前進する。
【０００３】
このような手順によりワークを移動させて芯出しを行い、ワークが中心に移動したかどうかを測定して確認するために、一旦各自動芯出し装置を原点位置まで退避させ、再度計測位置まで前進させてマグネスケール（登録商標）により各測定子の押し込み量を測定する。そして、クランプによる歪を考慮して、押し込み量の差分の絶対値がクランプ芯出し精度０．０５ｍｍ以下となるまで、前記した手順を繰り返す。その後、パレットテーブルを９０度ごとに回転させて位置を変え、前記した手順に従ってワークの位置調整を行ない、このワークの位置計測及び調整を複数回行なう。最後の３６０度における位置計測、調整時に芯出し精度内に入っていれば、ワークの芯出しが完了となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４５０２９号公報（図１〜図１８、［００４６］〜［００５１］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の自動芯出し装置は、ワークの振れの計測がないため、効率が悪く、プッシャによる押し込みとその測定の繰り返しが多いため、芯出し時間が長すぎるという問題があった。また、自動芯出し装置は、パレットテーブルの近傍の位置にあり、サーボモータやマグネスケール、ボールねじやリニアガイド等の高性能機器が突出しており、防塵設計が容易でないという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題を解決するために創案されたものであり、芯出し（調芯）時間が短く、また、構造がシンプルで、防塵設計が容易な自動調芯する回転テーブル装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記した課題の解決を達成するため、請求項１に係る回転テーブル装置の発明は、ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、前記テーブルは、前記ベースに遠い側からＡテーブル、Ｂテーブル、Ｃテーブルの順に積層され、前記Ｂテーブル上に配設されて前記Ａテーブルが載置され、前記Ｂテーブルが前記Ａテーブルを当該テーブル面に沿ってＹ軸方向へ移動自在に案内する第１移動機構と、前記Ｃテーブル上に配設されて前記Ｂテーブルが載置され、前記Ｃテーブルが前記Ｂテーブルを前記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第２移動機構と、
前記Ａテーブルを前記Ｙ軸方向へ移動する第１駆動手段と、前記Ｂテーブルを前記Ｘ軸方向へ移動する第２駆動手段と、前記Ｃテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る請求項１に記載の自動調芯する回転テーブル装置の発明は、前記第１駆動手段が前記Ａテーブルの凹部に係合された第１偏心カムと、前記第１偏心カムと一体に形成された第１主軸と、前記第１主軸を回転する第１モータと、を備え、前記第２駆動手段が前記Ｂテーブルの凹部に係合された第２偏心カムと、前記第２偏心カムと一体に形成された第２主軸と、前記第２主軸を回転する第２モータと、を備え、前記回転駆動手段が前記Ｃテーブルに一体に固定された第３主軸と、前記第３主軸を回転する第３モータと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る請求項１または請求項２に記載の回転テーブル装置の発明は、ワークの振れを計測する計測装置と、前記振れからワーク中心の芯ずれ量を演算する演算部と、前記演算部の芯ずれ量に基づいて前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯動作を制御する制御部と、を備え、前記計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて前記演算部が演算し、前記テーブルの回転中心と前記ワーク中心のＸ軸方向の芯ずれ量、Ｙ軸方向の芯ずれ量を求める第１工程と、前記第１駆動手段により、前記ＡテーブルをＹ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第２工程と、前記第２駆動手段により、前記ＢテーブルをＸ軸方向のずれ量を移動して補正する第３工程と、を含めて実行することを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る請求項３に記載の回転テーブル装置の発明は、前記Ａテーブル、前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第１クランパと、前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第２クランパと、前記Ｃテーブルと前記ベースを一体に固定する第３クランパと、を備え、前記第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、前記第２工程は、第１クランパを開放、第３クランパおよび第３クランパを固定し、前記第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、テーブルは、ベースに遠い側からＡテーブル、Ｂテーブル、Ｃテーブルの順に積層され、ＡテーブルをＹ軸方向へ移動自在に案内する第１移動機構と、第１駆動手段とがＡテーブルとＢテーブルの間に設けられ、ＢテーブルをＸ軸方向へ移動自在に案内する第２移動機構と、第２駆動手段とがＢテーブルとＣテーブルとの間に設けられたため、構造がシンプルで、信頼性の高い、自動調芯する回転テーブル装置を提供することができる。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、第１駆動手段はＡテーブルの凹部に係合された第１偏心カムと、第１偏心カムと一体に形成された第１主軸と、第１主軸を回転する第１モータとから構成され、前記第２駆動手段はＢテーブルの凹部に係合された第２偏心カムと、第２偏心カムと一体に形成された第２主軸と、第２主軸を回転する第２モータとから構成され、回転駆動手段は、Ｃテーブルに一体に固定された第３主軸と、第３主軸を回転する第３モータと、を備えたことから、容易にワークの中心の自動調芯ができ、調芯時間の短縮ができる。
また、第１偏心カムは第１主軸と一体にして形成し、第２偏心カムも第２主軸と一体に形成し、テーブルの中に収容して構成したので、防塵設計が容易にできる。また、自動調芯する回転テーブル装置の中に収容することができるので、防塵設計が容易にできる。
【００１３】
請求項３に係る発明によれば、計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて演算部が演算し、テーブルの回転中心と前記ワーク中心のＸ軸方向の芯ずれ量、Ｙ軸方向の芯ずれ量を求める第１工程と、第１駆動手段により、ＡテーブルをＹ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第２工程と、第２駆動手段により、ＢテーブルをＸ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第３工程と、を含めて実行することにより、繰り返しの動作がないワークの自動調芯ができるため、短時間で容易に芯出し作業ができる。また、この自動調芯する自動調芯部によりワークの芯出し精度の向上ができるため、加工品もワンランクアップの加工精度の達成ができる。
【００１４】
請求項４に係る発明によれば、第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、第２工程は、第１クランパを開放、第３クランパおよび第３クランパを固定し、第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定することにより、より高精度で、動作の速い、効率のよい自動調芯ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】立形研削盤の平面図である。
【図２】立形研削盤の正面図である。
【図３】立形研削盤の左側面図である。
【図４】回転テーブル装置の縦断面図である。
【図５】図４に示すＡ−Ａ線の拡大断面図であり、判り易くした摸式図である。
【図６】図４に示すＢ−Ｂ線の拡大断面図であり、判り易くした摸式図である。
【図７】図４に示すＣ−Ｃ線の断面図である。
【図８】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、テーブルの上面に固定されたワークＷの中心を、テーブルの回転中心に合わせる自動調芯部の動作原理を示す摸式図および工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、立形研削盤の全体図から説明する。
図１に示すように、立形研削盤１０の中央には、自動調芯部２０を有する回転テーブル装置２１が配置されている。
図２に示すように、回転テーブル装置２１のテーブル２は、上からＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃの順に３層積層されている。また、正面の右上部のクロススライド７には砥石軸ヘッド３が装着され、砥石軸ヘッド３の回転軸には、先端に砥石３ｂが固定された砥石軸３ａが装着されている。また、この砥石軸ヘッド３の左側には、ワークＷの芯ずれの量を把握するために、ワークＷの振れを測定する計測装置８が配設されている。計測装置８は先端部にプローブ８ａを装着した本体と、上下に移動自在のガイド８ｂおよび搬送装置８ｃから構成されている。
【００１７】
図３に示すように、立形研削盤１０の砥石軸ヘッド３は、砥石軸３ａを回転させながら上下（Ｚ1軸）方向と、左右（Ｘ1軸：図２参照）方向へ移動させるため、サーボモータとボールねじ、ナット等による図示しないＺ1軸駆動装置、Ｘ1軸駆動装置が配置されている。さらに、ワーク保持部材である回転テーブル装置２１には、本発明の自動調芯部２０が組み込まれており、回転テーブル装置２１の回転を制御する回転駆動手段である第３サーボモータＣ３（図４参照）が配置されている。さらに、後記する自動調芯部２０用の第１、第２駆動手段である第１サーボモータＣ１と第２サーボモータＣ２が配置されている。この立形研削盤１０は、本体の砥石軸ヘッド３の２（Ｘ1，Ｚ1）軸の制御軸に、このＣ１，Ｃ２，Ｃ３の３軸を合せると、５軸制御のＮＣ研削盤となる。
【００１８】
図３に示すように、立形研削盤１０は、基台であるベッド１と、ベッド１に載置されたガイドベース１ａと、このガイドベース１ａに載置され、前記Ｘ1軸駆動装置により左右方向に移動するサドル５と、サドル５に載置され、前記Ｚ1軸駆動装置により上下方向に移動するクロススライド７と、クロススライド７の正面に固定された砥石軸ヘッド３と、砥石軸ヘッド３に装着された砥石軸３ａの砥石３ｂから構成され、砥石３ｂの下方には、本発明の自動調芯部２０を内蔵した回転テーブル装置２１が配置されている。
【００１９】
また、図３に示すように、立形研削盤１０の背面には、強電パネル９が配置され、強電パネル９内に格納された制御部９ａにおいて、５軸（Ｘ1，Ｚ1，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３）のＮＣ制御を行う他、計測装置８が行うワーク計測と、自動調芯部２０が行う自動調芯の制御を行う。また、計測装置８のワーク計測は、ワークＷの振れの計測の他、その測定値から偏心量を演算する演算部（図示せず）と、数値やプログラム等を記憶する記憶部（図示せず）と、操作盤９ｂの操作入力部等を備えている。
前記制御部９ａは、一連の研削加工、計測の他に、自動調芯部２０等を制御し、ワークＷの微量の偏心量を第１主軸１１の第１偏心カム１１ｓと、第２主軸１２の第２偏心カム１２ｓの回転制御により回動し、Ｘ軸方向とＹ軸方向へワークＷを移動させて芯ずれを解消するように制御する。
演算部（図示せず）は、計測装置８の振れの計測値から芯ずれ量を瞬時に演算する。
記憶部（図示せず）は、ワークＷのワーク情報、研削情報や操作盤９ｂからの入力情報を記憶する。
操作入力部は、操作盤９ｂのテンキーから作業者によって入力する入力部であり、ＮＣプログラムの数値の変更が行われ、演算された数値に基づいて制御される。
【００２０】
＜回転テーブル装置２１の構成＞
図４〜図７を参照して、本発明の自動調芯部２０を有する回転テーブル装置２１の構成を各部位ごとに詳細に説明する。図４は、回転テーブル装置２１の縦断面図である。
図４に示すように、上からＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃの順に３層積層されたテーブル２と、その内部に組み込まれた自動調芯部２０とから構成されている。この自動調芯部２０は、テーブル２上の中心近傍に取付けられたワーク中心ｃ０を、テーブル２の回転中心ｃ１に自動調芯して芯ずれなしの状態に補正する。
【００２１】
＜テーブル２の構成＞
図４に示すように、テーブル２の構成は上から順に、円盤状で上段のＡテーブル２ａ、中段のＢテーブル２ｂ、下段のＣテーブル２ｃで、３層に積層されている。アダプタ２ｄも含めれば、４層に積層されている。
Ａテーブル２ａは、一方向の、例えばＹ軸（前後）方向へ摺動自在であり、Ｂテーブル２ｂは、他方向の、例えばＸ軸（左右）方向へ摺動自在または一体に固定されて積層され、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂとの間には、分割された略リング状のＢライナ２ｍが挟持され、Ｂライナ２ｍの厚み分の凹部ａのスペースが確保されている。
Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂのスペースには後記する第１移動機構１５が設けられ、Ａテーブル２ａは、例えばＹ軸方向へ摺動自在となっている。
また、Ｂテーブル２ｂとＣテーブル２ｃとの間にも分割された略リング状のＣライナ２ｎが挟持され、Ｃライナ２ｎの厚み分の凹部ｃのスペースが確保されている。
Ｂテーブル２ｂとＣテーブル２ｃの間のスペースには後記する第２移動機構１６が設けられ、Ｂテーブル２ｂは、例えばＸ軸方向へ摺動自在となっている。
【００２２】
＜第１主軸１１の構成＞
図４に示すように、第１主軸１１は、中実材から形成され、Ａテーブル２ａの中央に配置されている。第１主軸１１の上端部１１ａに一体に形成された第１偏心カム１１ｓがベアリングである第３軸受１１ｂに係合している。第１主軸１１は、他に第４軸受１１ｃ、第５軸受１１ｄの計３箇所によって回転自在に支持されている。
また、第１主軸１１の下部には、中央ハウジング１２ｇの下面１２ｐに固定された下部ハウジング１１ｇを介して、第１主軸１１の外周面と下部ハウジング１１ｇの上部内周面１１ｋとの間に装着された第１モータＣ１が配置されている。第１モータＣ１は、第１ステータＣ１ａと第１ロータＣ１ｂと、から構成され、第１ステータＣ１ａは、下部ハウジング１１ｇの上部内周面１２ｋに装着されている。
また、第１モータＣ１の下部には、回転角を検出するための第１エンコーダＣ１ｃが配置されている。
【００２３】
＜第２主軸１２の構成＞
図４に示すように、第２主軸１２は、円筒状に形成され、Ｂテーブル２ｂの中央に係合されている。第２主軸１２の上端部１２ａに一体に形成された第２偏心カム１２ｓがベアリングである第６軸受１２ｂに係合している。第２主軸１２は、前記第１主軸１１が挿通され、外周に隙間を設けた状態で、第３主軸１３に挿通されている。第２主軸１２の下部には、ベアリングである第７軸受１２ｃが配置され、回転自在に上下端で両端支持されている。
また、第２主軸１２の下部には、上部ハウジング１４の下面１４ｐに固定された中央ハウジング１２ｇを介して、第２主軸１２の外周面と中央ハウジング１２ｇの上部内周面１２ｋとの間に装着された第２モータＣ２が配置されている。第２モータＣ２は、第２ステータＣ２ａと第２ロータＣ２ｂとから構成され、第２ステータＣ２ａは、中央ハウジング１２ｇの上部内周面１２ｋに装着されている。また、第２モータＣ２の下部には、回転角を検出するための２エンコーダＣ２ｃが配置されている。
【００２４】
＜第３主軸１３の構成＞
図４に示すように、第３主軸１３は、中心に貫通孔が設けられ、前記第１主軸１１と前記第２主軸１２とが挿通され、外周に隙間を設けた状態で、前記アダプタ２ｄを介してＣテーブル２ｃに一体に固定されている。第３主軸１３は、アダプタ２ｄの外周に設けられた大型のベアリングである第１軸受１３ｂと、第３主軸１３の縮径部１３ｄに設けられた中型のベアリングである第２軸受１３ｃにより、回転自在に両端支持されている。
また、第３主軸１３は、第３主軸１３の外周面１３ｅとハウジング１３ｇの上部内周面１３ｋとの間に装着された回転駆動手段の第３モータＣ３によってテーブル２の回転が回転自在に駆動される。
第３モータＣ３は、第３ステータＣ３ａと第３ロータＣ３ｂとから構成され、前記ハウジング１３ｇの上部内周面１３ｋに装着されている。
第３モータＣ３は、高精度の位置制御によってワークＷの回転を駆動する。また、第３主軸１３の下部には、回転角を検出するための第３エンコーダＣ３ｃが配置されている。
【００２５】
なお、第１主軸１１、第２主軸１２、第３主軸１３の芯は、回転中心ｃ１である。
また、第１モータＣ１、第２モータＣ２、第３モータＣ３は、サーボモータであり、同期ビルトインモータ（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｄｒｉｖｅ  Ｍｏｔｏｒ）が好適である。
また、ここでは第３モータＣ３の回転駆動により第３主軸１３を回転して研削加工を行うが、第１モータＣ１と第２モータＣ２の少なくとも一方が第３モータＣ３と同期回転により、一つのスピンドルモータとして協働で研削加工を行うように制御しても構わない。これにより、パワーの増強が可能になる。さらに、第３モータＣ３の小型化、省エネができるため、ＣＯ2の削減ができる。
【００２６】
＜第１移動機構の構成＞
図５は、図４に示すＡ−Ａ線の拡大断面図であり、カムの偏心量を大きく誇張して判り易くした摸式図である。図５に示すように、第１移動機構１５は、２本のガイドレール１５ａと、それぞれのガイドレール１５ａに摺動自在に装着された３個のガイドナット（Ｙ軸摺動部材）１５ａｂとにより構成されている。また、第１移動機構１５は、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂとの間に、分割された略リング状のＢライナ２ｍにより形成された凹部ａのスペースに配置されている。
【００２７】
＜第１駆動手段１５Ｅの構成＞
図５に示すように、第１駆動手段１５Ｅは、第１モータＣ１（図示せず）を除く構成品は、Ａテーブル２ａの下面に形成された凹部ｂに設けられている。
第１駆動手段１５Ｅは、Ａテーブル２ａの凹部ｂに係合された第１偏心カム１１ｓと、第１偏心カム１１ｓと一体に形成された第１主軸１１と、第１主軸１１を回転する第１モータ１Ｃ（図４参照）とを備え、第１偏心カム１１ｓの偏心量をＭＡＸとしてＡテーブル２ａをＹ軸方向へ移動する。
第１駆動手段１５Ｅは、第１偏心カム１１ｓは、第１主軸１１に一体に形成され、第１偏心カム１１ｓの回動（回転運動）を、Ｙ軸方向の直線運動へ変換する変換機構である。そのために、第１主軸１１に一体に形成された第１偏心カム１１ｓの外周には第３軸受１１ｂが装着され、この第３軸受１１ｂの外周にはＸ軸スライダ１５ｄが装着されている。また、Ｘ軸スライダ１５ｄは矩形に形成されており、その前後（Ｙ軸）方向の端面には、保持器付の針状ころ１５ｇを介してＸ軸ガイド１５ｅ、１５ｅが配置されている。このＸ軸ガイド１５ｅ、１５ｅは、Ａテーブル２ａの下面に固定されており、クサビ１５ｆによって隙間（ガタ）なし状態となっている。これにより、左右（Ｘ軸）方向の移動が吸収され、Ｙ軸方向の移動のみがＡテーブル２ａに伝達されて微量摺動する。
【００２８】
図５に示すように、Ｘ軸ガイド１５ｅとクサビ１５ｆ、針状ころ１５ｇ、Ｘ軸スライダ１５ｄがＸ軸方向規制手段１５ｃの役目をする。Ｘ軸方向規制手段１５ｃは、第１偏心カム１１ｓのＹ軸方向の偏心量ｔをＡテーブル２ａに伝え、Ｘ軸方向の偏心量ｔは左右方向に逃すように規制する。  なお、偏心量tは、例えば０．５０ｍｍが好適である。移動量は±０．５０ｍｍとなるから、ＭＡＸは１．００ｍｍである。
【００２９】
＜第２移動機構の構成＞
図６は、図４に示すＢ−Ｂ線の拡大断面図であり、カムの偏心量を大きく誇張して判り易くした摸式図である。図６に示すように、第２移動機構１６は、２本のガイドレール１６ａと、それぞれのガイドレール１６ａに摺動自在に装着された３個のガイドナット（Ｘ軸摺動部材）１６ａｂとにより構成されている。また、第２移動機構１６は、Ｂテーブル２ｂとＣテーブル２ｃとの間に、分割された略リング状のＣライナ２ｎにより形成された凹部ｃのスペースに配置されている。
【００３０】
＜第２駆動手段１６Ｅの構成＞
図６に示すように、第２駆動手段１６Ｅは、第２モータＣ２（図示せず）を除く構成品は、Ｂテーブル２ｂの下面に形成された凹部ｄに設けられている。
第２駆動手段１６Ｅは、Ｂテーブルの凹部に係合された第２偏心カム１２ｓと、第２偏心カム１２ｓと一体に形成された第２主軸１２と、第２主軸１２を回転する第２モータ２Ｃと、を備え、第２偏心カム１２ｓの偏心量をＭＡＸとしてＢテーブル２ｂをＸ軸方向へ移動する。
第２駆動手段１６Ｅは、第２主軸１２に一体に形成された第２偏心カム１２ｓの回動（回転運動）を、Ｘ軸方向の直線運動へ変換する変換機構である。そのために、第２主軸１２に一体に形成された第２偏心カム１２ｓの外周には第６軸受１２ｂが装着され、この第６軸受１２ｂの外周にはＹ軸スライダ１６ｄが装着されている。また、Ｙ軸スライダ１６ｄは矩形に形成され、その左右（Ｘ軸）方向の端面には、保持器付の針状ころ１６ｇを介してＹ軸ガイド１６ｅ、１６ｅが配置されている。このＸ軸ガイド１６ｅ、１６ｅは、Ｂテーブル２ｂの下面に固定されており、クサビ１６ｆによって隙間（ガタ）なし状態となっている。これにより、前後（Ｙ軸）方向への移動は吸収され、Ｘ軸方向の移動のみがＢテーブル２ｂに伝達され、Ｂテーブル２ｂのみが摺動する。
【００３１】
図６に示すように、Ｙ軸ガイド１６ｅ、クサビ１６ｆ、針状ころ１６ｇとＹ軸スライダ１６ｄがＹ軸方向規制手段１６ｃの役目をする。Ｙ軸方向規制手段１６ｃは、第２偏心カム１２ｓのＸ軸方向の偏心量ｔをＢテーブル２ｂに伝え、Ｙ軸方向の偏心量ｔは前後方向に逃して規制する。なお、偏心量tは、前記同様に、例えば０．５０ｍｍが好適である。第１主軸１１、第２主軸１２の９０度の回動で、移動量は±０．５０ｍｍとなり、１８０度の回動では、ＭＡＸ１．００ｍｍとなる。
【００３２】
＜第１クランパの構成＞
図４に示すように、第１クランパＢ１は、Ｃテーブル２ｃに格納され、アダプタ２ｄに固定されている。また、シリンダロッドＢ１ａはＢテーブル２ｂを貫通し、Ａテーブル２ａにシリンダロッドＢ１ａの拡径した頭部が係合している。一旦、第１クランパＢ１がＯＮすると、３層のＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃはアダプタ２ｄに固定され、一体にクランプ（固定）される。第１クランパＢ１がＯＦＦすると、３層のＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃは、アダプタ２ｄからアンクランプする。
図７に示すように、平面視で第１クランパＢ１（☆印）の配置は、計４個によって均等に配置されている。
第１クランパＢ１の構造は、内部に複数枚の皿ばね（図示せず）が内蔵されたシリンダ室が形成されており、皿ばねの付勢力によってシリンダロッドＢ１ａを引張込むようになっている。第１クランパＢ１は、皿ばねの付勢力を利用したクランパ装置である。
したがって、この皿ばねの付勢力によってＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃがアダプタ２ｄに挟持されて一体にクランプされたテーブル２になる（図４参照）。一旦、第１クランパＢ１のシリンダ室（図示せず）に油圧が供給されると、今度は皿ばねの付勢力に抗して皿ばねを撓ませて各テーブルはアンクランプされる。
【００３３】
＜第２クランパの構成＞
図４に示すように、第２クランパＢ２は、前記同様Ｃテーブル２ｃに格納され、アダプタ２ｄに固定されている。また、シリンダロッドＢ２ａの拡径した頭部がＢテーブル２ｂに係合しており、Ｂテーブル２ｂとＣテーブル２ｃがアダプタ２ｄに挟持されて一体にクランプされる。一旦、第２クランパＢ２のシリンダ室に油圧が供給されると、皿ばねの付勢力に抗して皿ばねを撓ませて、今度は第２クランパＢ２とＣテーブル２ｃはアンクランプされる。
図７に示すように、第２クランパＢ２（★印）は、前記第１クランパＢ１（☆印）の４個と交互に計４個配置されている。なお、第２クランパＢ２の構造は、第１クランパＢ１と同一であるため、重複する構造の説明は省略する。
【００３４】
＜第３クランパの構成＞
図４に示すように、第３クランパＢ３は、ブレーキである。この第３クランパＢ３は、ベース２１ａの上面に載置されたハウジング１３ｇのフランジ部１３ｈの上面に配置されている。第３クランパＢ３は、詳しくはディスクブレーキであり、アダプタ２ｄの外周に設けられたフランジ部２ｅにリング状のディスク２ｆの両面をブレーキパッドにより挟持してクランプまたは開放してアンクランプする。また、クランプ、アンクランプは、油圧のＯＮ，ＯＦＦで制御される。
図７に示すように、第３クランパＢ３は左右（＊印）に１個ずつ、計２個配置されている。
【００３５】
＜ラフロケータの構成＞
図４に示すように、ラフロケータ２ｈは、Ａテーブル２ａの上面に固定された治具板２ｇの上面に、ワークＷを固定する際の固定位置を案内するブロックである。この上面にはワークＷを載置するに際して使用するサイズに応じて位置ロケータやクランパが設けてあり、このラフロケータ２ｈに慎重な作業と高精度なワークＷを当接すれば、第３主軸１３の回転中心ｃ１に近い位置、例えば、テーブル２の中心に近い位置（０．０２〜０．０５ｍｍ）にワークＷを位置決めして固定することができる。
【００３６】
≪自動調芯部の動作原理≫
図４に示すように、テーブル２の上面に取付けられたワーク中心ｃ０を、前記テーブル２の回転中心ｃ１に合わせる自動調芯部２０の動作原理を工程順に説明する。
作業者がリフト、クレーン等を操作しながら、ワークＷを治具板２ｇの上面のラフロケータ２ｈに載置し、ラフロケータ２ｈに押し当てながらワークＷを固定する。
しかしながら、あまり時間を掛けずに行う一連のワーク交換作業においては、ラフロケータ２ｈに当接しても、ワーク中心ｃ０が第３主軸１３の回転中心ｃ１に一致することはなく、微量（０．０２〜０．０５ｍｍ）の芯ずれが生じる。したがって、本発明の自動調芯部２０によって自動芯出しを行い、微量の芯ずれを解消する。
自動調芯の手順は、ワーク計測の第１工程と、自動調芯１の第２工程と、自動調芯２の第３工程を含む工程で行われる。
【００３７】
表１は、Ａテーブル２ａと、Ｂテーブル２ｂと、Ｃテーブル２ｃをベース２１ａ上に配置し、各工程での第１クランパＢ１、第２クランパＢ２、第３クランパＢ３の動作を一覧表に整理したものである。表１に示すように、第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、第２工程は、第１クランパを開放、第３クランパおよび第３クランパを固定し、第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定する。
なお、主軸の回転が一回転以上の場合は回転、一回転未満の場合は回動と記載する。
［表１］
2013111700.tif 000003
【００３８】
＜第１工程＞
図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は、自動調芯部の動作原理を示す摸式図および工程図である。図８の（ａ）に示すように、第１工程は、テーブル２の上面に固定されたワークＷの振れを測定する。詳しくは、制御部９ａが計測装置８（図２参照）に装着されたプローブ８ａを降下させ、第３モータＣ３の回転駆動によって第３主軸１３を回動し、ワークＷを回動させながらワークＷの内周面または外周面の振れを計測する。
この場合、表１の第１工程の「ワーク計測」に示すように、第１クランパＢ１、第２クランパＢ２はクランプし、第３クランパＢ３はアンクランプとなる。ワークＷの振れの計測値は制御部９ａ（図３参照）内の演算部（図示なし）に転送され、瞬時に演算し、ワーク中心ｃ０の座標値（ｘ、ｙ）を求める。
ワーク中心ｃ０は、例えば第２象限の、座標値（−ｘ、ｙ）の数値は、例えば（−０．０５，０．０３）と仮定して、以下の工程２、３を説明する。
【００３９】
＜第２工程＞
表１の第２工程の「自動調芯１、Ｙ軸」に示すように、第１クランパＢ１をアンクランプ（開放）してＡテーブル２ａをフリーにし、第２クランパＢ２をクランプしてＢテーブル２ｂとＣテーブル２ｃを固定する。第３クランパＢ３はクランプとなる。
第１移動機構１５に移動指令が入ると、直ちに第１モータＣ１に回転指令が入り、第１主軸１１を、例えば−０．０３ｍｍに相当する−１９．９度回動する。
図５に示すように、回動した第１主軸１１の上端部１１ａに一体に形成された第１偏心カム１１ｓによる第１駆動手段１５Ｅと、第１移動機構１５との協働によって、Ａテーブル２ａをＹ軸方向へ、ｙ量の値（−０．０３ｍｍ）だけ移動する。
図８（ｂ）に示すように、ｙ量（−０．０３ｍｍ）が移動したことによって、Ｙ軸方向の芯ずれは解消する。なお、リニアスケールにより確認するクローズドループにしても構わない。
【００４０】
＜第３工程＞
表１の第３工程の「自動調芯２、Ｘ軸」に示すように、さらに、第２クランパＢ２をアンクランプ（開放）してＢテーブル２ｂをフリーにする。
第２移動機構１６に移動指令が入ると、直ちに第２モータＣ２に回転指令が入り、第２主軸１２を、例えば、０．０５ｍｍに相当する２５．８度回動する。
図６に示すように、回動した第２主軸１２の上端部１２ａに一体に形成された第２偏心カム１２ｓによる第２駆動手段１６Ｅと、第２移動機構１６との協働によって、Ｂテーブル２ｂを、Ｘ軸方向へ、ｘ量の値（＋０．０５ｍｍ）だけ移動する。
図８（ｃ）に示すように、ｘ量（＋０．０５ｍｍ）が移動したことによって、Ｘ軸方向の芯ずれも解消する。つまり、ワークＷの中心は、（０，０）になるので、自動調芯の動作を終了する。なお、自動調芯の目標値は、±０．００２ｍｍとしている。
【００４１】
＜第４工程＞
第１クランパＢ１と第２クランパＢ２をクランプ（固定）にしてテーブル２を一体にし、さらに、第３クランパＢ３を開放してアンクランプにし、第３モータＣ３の駆動によって第３主軸１３を回転し、前記第３主軸１３にアダプタ２ｄを介して一体に固定されたテーブル２、そしてテーブル２の上面に固定されたワークＷを回転し、ワークＷの外面研削、内面研削、または、端面研削を行う。
【００４２】
＜第５工程＞
研削加工が終了した後、作業者がワークＷの固定具を緩め、ワークＷをフロアに下ろすワークＷの交換作業の間に、第２モータＣ２の逆転駆動によって第２主軸１２を回動し、Ｂテーブル２ｂを目視しても判らない微小の芯ずれのｘ量（−ｘ）だけ移動させ、Ｂテーブル２ｂの位置を元に戻す。
また、第１モータＣ１の逆転駆動によって第１主軸１１を回動し、Ａテーブル２ａを目視しても判らない微小の芯ずれのｙ量（＋ｙ）だけ移動させ、Ａテーブル２ａの位置を元に戻す。
これにより、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂの微小の芯ずれが解消され、芯ずれのない元の状態に戻る。
このように、その都度、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂの位置を元の位置に戻すことにより、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂの芯ずれの蓄積はない。
なお、この第５工程を、この第５工程と第６工程の２工程に分割してもよい。
以上の通り、本発明の自動調芯部２０の動作原理は極めてユニークであり、それぞれの動作の繰り返しがなくスムーズでかつシンプルである。
【００４３】
本発明の自動調芯部２０を有する回転テーブル装置２１の作用効果を述べる。
１）本発明は、計測装置でワークＷの芯ずれを計測し、演算部により瞬時に演算してワークＷの芯ずれ位置（ｘ，ｙ）を特定する第１工程と、一番上のＡテーブル２ａをＹ方向へｙ値だけ移動する第２工程と、２枚目のＢテーブル２ｂをＸ方向へｘ値だけ移動させる第３工程を実行することにより、ワークＷの芯ずれが解消できるので、それぞれの動作の繰り繰り返しがない分、芯出し（調芯）時間が短いという顕著な効果を奏する。
また、本発明の自動調芯部２０による自動調芯の所要時間が、計測を含めて約１２０秒以内である。本発明の自動調芯部２０は、繰り返し動作がないため、延長になることがない。したがって、生産計画が容易であり、日程計画の進捗に支障を来たす恐れはない。
２）テーブル２の上面位置に、自動調芯のためのサーボモータやセンサ、およびころがりガイド等の高性能機器がどこにも露出された状態で配置されておらず、サーボモータやリニアガイド等の高性能機器はすべて円筒形状の回転テーブル装置２１内に装着されている。そのため、塵の侵入を防止する防塵設計は、製作の容易な円筒形状のカバー１点の設計でよく、構造がシンプルで、防塵設計が容易になっている。また、防塵設計が容易な自動調芯部を有する回転テーブル装置を提供することができる。
【００４４】
なお、本発明はその技術思想の範囲内で種々の改造、変更が可能である。
例えば、本発明の特徴として、２枚のＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂをＹ方向（第２工程）と、Ｘ方向（第３工程）に移動させるが、この工程の順番を入れ換えてもよい。また、第１移動機構１５と第２移動機構１６を、入れ換えても構わない。
また、Ｂライナ２ｍはＡテーブル２ａ、Ｃライナ２ｎはＢテーブル２ｂに一体に設けても構わない。
また、前記した構成に限ることなく、例えば、第１クランパＢ１は、Ａテーブル２ａおよびＢテーブル２ｂを一体に固定し、第２クランパＢ２は、Ｂテーブル２ｂおよびＣテーブル２ｃを一体に固定する、としてもよいし、第１クランパＢ１は、Ａテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂおよびＣテーブル２ｃを一体に固定し、第２クランパＢ２は、Ａテーブル２ａおよびＢテーブル２ｂを一体に固定する、とする構成にしても構わない。さらに、第３クランプＢ３のブレーキは、その他の方式のブレーキ装置であっても構わない。
【００４５】
図８（ａ），（ｂ），（ｃ）は、理解し易くするために、偏心量を誇張して作図したものである。実際、Ａテーブル２ａとＢテーブル２ｂの偏心量は０．１０ｍｍ以下の微小量であるが、図８は数百倍に拡大して誇張している。
例えば、ＮＣ旋盤による加工の場合、旋盤の切刃となるバイトは固定のため、ワークＷを高速回転する必要があるが、ＮＣ研削盤では、その反対に切刃となる砥石が高速回転するため、テーブル２上のワークＷは低速回転でよい。そのため、このような微小量の偏心があったとしても加工精度に及ぼす影響は皆無である。
【符号の説明】
【００４６】
２    テーブル
２ａ  Ａテーブル（上段）
２ｂ  Ｂテーブル（中段）
２ｃ  Ｃテーブル（下段）
２ｄ  アダプタ
２ｅ  フランジ部
２ｆ  ディスク
１０  立形研削盤
１１  第１主軸
１１ａ  上端部
１２  第２主軸
１２ａ  上端部
１３  第３主軸
１５  第１移動機構
１５ａ  ガイドレール
１５ａｂ  ガイドナット（Ｙ軸摺動部材）
１５ｂ  第１偏心カム
１５ｃ  Ｘ軸方向規制手段
１５ｄ  Ｘ軸スライダ
１５Ｅ  第１駆動手段
１５ｆ  クサビ
１５ｇ  針状ころ
１６  第２移動機構
１６ａ  ガイドレール
１６ａｂ  ガイドナット（Ｘ軸摺動部材）
１６ｂ  第２偏心カム
１６ｃ  Ｙ軸方向規制手段
１６ｄ  Ｙ軸スライダ
１６Ｅ  第２駆動手段
１６ｆ  クサビ
１６ｇ  針状ころ
１７  リテーナ
１８  エンドカバー
２０  自動調芯部
２１  回転テーブル装置（ワーク保持部材）
２１ａ  ベース（回転テーブル装置用）
Ｂ１  第１クランパ
Ｂ２  第２クランパ
Ｂ３  第３クランパ（ブレーキ）
Ｃ１  第１モータ（第１駆動手段）
Ｃ２  第２モータ（第２駆動手段）
Ｃ３  第３モータ（回転駆動手段）
ｃ０  ワークの中心
ｃ１  回転中心
ｔ  偏心量
Ｗ    ワーク
【図１】
2013111700.tif 000004
【図２】
2013111700.tif 000005
【図３】
2013111700.tif 000006
【図４】
2013111700.tif 000007
【図５】
2013111700.tif 000008
【図６】
2013111700.tif 000009
【図７】
2013111700.tif 000010
【図８】
2013111700.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成24年7月6日(2012.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、
前記テーブルは、前記ベースに遠い側からＡテーブル、Ｂテーブル、Ｃテーブルの順に積層され、
前記Ｂテーブル上に配設されて前記Ａテーブルが載置され、前記Ｂテーブルが前記Ａテーブルを当該テーブル面に沿ってＹ軸方向へ移動自在に案内する第１移動機構と、
前記Ｃテーブル上に配設されて前記Ｂテーブルが載置され、前記Ｃテーブルが前記Ｂテーブルを前記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第２移動機構と、
前記Ａテーブルを前記Ｙ軸方向へ移動する第１駆動手段と、
前記Ｂテーブルを前記Ｘ軸方向へ移動する第２駆動手段と、
前記Ｃテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、を備え、
前記第１駆動手段は、前記Ａテーブルの下面中央に配置された第１主軸を備え、
前記第２駆動手段は、前記第１主軸が挿通された円筒形状の第２主軸を備え、
前記回転駆動手段は、前記第２主軸が挿通された貫通孔が形成された第３主軸
を備えていることを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項２】
前記第１駆動手段は、前記Ａテーブルの凹部に係合された第１偏心カムと、前記第１偏心カムと一体に形成された前記第１主軸を回転する第１モータと、を備え、
前記第２駆動手段は、前記Ｂテーブルの凹部に係合された第２偏心カムと、前記第２偏心カムと一体に形成された前記第２主軸を回転する第２モータと、を備え、
前記回転駆動手段は、前記Ｃテーブルに一体に固定された前記第３主軸を回転する第３モータ
を備えていることを特徴とする請求項１に記載の回転テーブル装置。
【請求項３】
ワークの振れを計測する計測装置と、前記振れからワーク中心の芯ずれ量を演算する演算部と、前記演算部の芯ずれ量に基づいて前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯動作を制御する制御部と、を備え、
前記計測装置によりワークの振れを計測し、その計測値に基づいて前記演算部が演算し、前記テーブルの回転中心と前記ワーク中心のＸ軸方向の芯ずれ量、Ｙ軸方向の芯ずれ量を求める第１工程と、
前記第１駆動手段により、前記ＡテーブルをＹ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第２工程と、
前記第２駆動手段により、前記ＢテーブルをＸ軸方向の芯ずれ量を移動して補正する第３工程と、
を含めて実行することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回転テーブル装置。
【請求項４】
前記Ａテーブル、前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第１クランパと、
前記Ｂテーブルおよび前記Ｃテーブルを一体に固定する第２クランパと、
前記Ｃテーブルと前記ベースを一体に固定する第３クランパと、を備え、
前記第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、
前記第２工程は、第１クランパを開放、第３クランパおよび第３クランパを固定し、
前記第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定することを特徴とする請求項３に記載の回転テーブル装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記した課題の解決を達成するため、請求項１に係る回転テーブル装置の発明は、ベースに回転自在にテーブルが配設され、前記テーブル上に載置されるワーク中心を、前記テーブルの回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置であって、前記テーブルは、前記ベースに遠い側からＡテーブル、Ｂテーブル、Ｃテーブルの順に積層され、前記Ｂテーブル上に配設されて前記Ａテーブルが載置され、前記Ｂテーブルが前記Ａテーブルを当該テーブル面に沿ってＹ軸方向へ移動自在に案内する第１移動機構と、前記Ｃテーブル上に配設されて前記Ｂテーブルが載置され、前記Ｃテーブルが前記Ｂテーブルを前記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向へ当該テーブル面に沿って移動自在に案内する第２移動機構と、
前記Ａテーブルを前記Ｙ軸方向へ移動する第１駆動手段と、前記Ｂテーブルを前記Ｘ軸方向へ移動する第２駆動手段と、前記Ｃテーブルを回転駆動する回転駆動手段と、を備え、前記第１駆動手段は、前記Ａテーブルの下面中央に配置された第１主軸を備え、前記第２駆動手段は、前記第１主軸が挿通された円筒形状の第２主軸を備え、前記回転駆動手段は、前記第２主軸が挿通された貫通孔が形成された第３主軸を備えていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の回転テーブル装置であって、前記第１駆動手段は、前記Ａテーブルの凹部に係合された第１偏心カムと、前記第１偏心カムと一体に形成された前記第１主軸を回転する第１モータと、を備え、前記第２駆動手段は、前記Ｂテーブルの凹部に係合された第２偏心カムと、前記第２偏心カムと一体に形成された前記第２主軸を回転する第２モータと、を備え、前記回転駆動手段は、前記Ｃテーブルに一体に固定された前記第３主軸を回転する第３モータを備えていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
＜第１駆動手段１５Ｅの構成＞
図５に示すように、第１駆動手段１５Ｅは、第１モータＣ１（図示せず）を除く構成品は、Ａテーブル２ａの下面に形成された凹部ｂに設けられている。
第１駆動手段１５Ｅは、Ａテーブル２ａの凹部ｂに係合された第１偏心カム１１ｓと、第１偏心カム１１ｓと一体に形成された第１主軸１１と、第１主軸１１を回転する第１モータ１Ｃ（図４参照）とを備え、第１偏心カム１１ｓの偏心量をＭＡＸとしてＡテーブル２ａをＹ軸方向へ移動する。
第１駆動手段１５Ｅの第１偏心カム１１ｓは、第１主軸１１に一体に形成され、第１偏心カム１１ｓの回動（回転運動）を、Ｙ軸方向の直線運動へ変換する変換機構である。そのために、第１主軸１１に一体に形成された第１偏心カム１１ｓの外周には第３軸受１１ｂが装着され、この第３軸受１１ｂの外周にはＸ軸スライダ１５ｄが装着されている。また、Ｘ軸スライダ１５ｄは矩形に形成されており、その前後（Ｙ軸）方向の端面には、保持器付の針状ころ１５ｇを介してＸ軸ガイド１５ｅ、１５ｅが配置されている。このＸ軸ガイド１５ｅ、１５ｅは、Ａテーブル２ａの下面に固定されており、クサビ１５ｆによって隙間（ガタ）なし状態となっている。これにより、左右（Ｘ軸）方向の移動が吸収され、Ｙ軸方向の移動のみがＡテーブル２ａに伝達されて微量摺動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
表１は、Ａテーブル２ａと、Ｂテーブル２ｂと、Ｃテーブル２ｃをベース２１ａ上に配置し、各工程での第１クランパＢ１、第２クランパＢ２、第３クランパＢ３の動作を一覧表に整理したものである。表１に示すように、第１工程は、第１クランパおよび第２クランパを固定、第３クランパを開放し、第２工程は、第１クランパを開放、第２クランパおよび第３クランパを固定し、第３工程は、第１クランパおよび第２クランパを開放、第３クランパを固定する。
なお、主軸の回転が一回転以上の場合は回転、一回転未満の場合は回動と記載する。