(57)【要約】【課題】迅速かつ簡単な処理で合成樹脂フィルム中の充填材の充填率、充填材の大きさ、充填材分布の不均一性を測定する。【解決手段】合成樹脂基材中に微細な充填材を混ぜ込んだフィルム材を被測定物１００とし、該被測定物１００にＸ線を照射し、該Ｘ線の透過量から充填材の状態を測定する。被測定物の測定領域を微小領域ａ、ｂ、ｃ、…に分割し、微小領域ａ、ｂ、ｃ、…を透過したＸ線の検出値を取得し、各微小量領域における検出値の度数分布を作成し、取得した度数分布を演算処理して充填材の充填率、充填材の大きさ等を算出する。【選択図】図２
2013200283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成樹脂基材中に微細な充填材を混ぜ込んだフィルム材を被測定物とし、該被測定物に電磁波を照射し、該電磁波の透過量から充填材の状態を測定する合成樹脂フィルム材の充填材測定方法において、
被測定物の測定領域を微小領域に分割し、
該微小領域を透過した電磁波の検出値を取得し、
各微小量領域における検出値の度数分布を作成し、
取得した度数分布を演算処理して充填材の状態を演算する、
ことを特徴とする合成樹脂フィルム材の充填材測定方法
【請求項２】
前記統計処理は、度数分布状態の平均値を求めるものであり、この求めた平均値から被測定物における充填材の平均充填率を求めることを特徴とする請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項３】
前記分割する微小領域を面積の異なる複数種設定し、
電磁波の透過量を異なる面積の微小領域ごとに検出し、
微量領域の面積ごとに前記検出値の度数分布を作成し、
検出値の度数分布に基づいて、微小領域の面積と、度数分布の広がりとの関係曲線を求め、この関係曲線の変動に基づいて充填材の大きさを測定することを特徴とする請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項４】
被測定物のライン上に微小領域を設定し、
該微小領域における検出値から、前記ラインにおける充填材の平均充填率と、分散値とを求めることを特徴とする請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項５】
前記検出値の度数分布から測定領域における充填材の均一性を判定することを特徴とする請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項６】
前記電磁波はＸ線であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項７】
基材に微細な充填材を混ぜ込んだシートを被測定物とし、該被測定物に電磁波を照射し、該電磁波の透過量から充填材の状態を測定する充填材の測定装置において、
被測定物に電磁波を照射する電磁波源と、
被測定物の各領域における電磁波の透過量を検出する検出手段と、
各微小量領域における検出値の度数分布を作成し、取得した度数分布を演算処理して充填材の状態を演算する演算処理手段と、
を備えることを特徴とする合成樹脂フィルムの充填材測定装置。
【請求項８】
前記電磁波源は前記被測定物のあらかじめ定めた測定領域に電磁波を照射し、前記検出手段は、電磁波が照射された測定領域の各点における電磁波の透過量を検出することを特徴とする請求項７に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置。
【請求項９】
前記演算処理手段は、検出手段が取得した測定領域の各点における透過量から、照射領域をあらかじめ定めた面積で分割した微小領域における透過量を取得することを特徴とする請求項８に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置。
【請求項１０】
複数の被測定物を前記電磁波源と前記検出手段との間に順次搬送する搬送手段を備えることを特徴とする請求項７から請求項９のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置。
【請求項１１】
前記電磁波源は被測定物にＸ線を照射し、前記検出手段は被測定物を透過したＸ線を検出することを特徴とする請求項７から請求項１０のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【請求項１２】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の充填材の測定方法に基づいて充填材の状態を演算することを特徴とする請求項７から請求項１１のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、合成樹脂フィルムの充填材測定方法、および合成樹脂フィルムの充填材測定装置に係り、特に合成樹脂製基材に微細な充填材を混ぜ込んだ合成樹脂シートの電磁波透過量から充填材の状態を測定する合成樹脂フィルムの充填材測定方法、および合成樹脂フィルムの充填材測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
合成樹脂フィルムとして、導電性のある導電フィルムや、絶縁性のある絶縁フィルムがある。導電フィルムは、合成樹脂基材中に充填材として導電体である金属粒子等を混入して製造し、絶縁フィルムは、合成樹脂基材中に絶縁体であるセラミック微粒子等を混入して製造する。図１５は被測定物である合成樹脂フィルムの構成を示す模式図である。いずれの合成樹脂フィルム１０も、例えば図１５（ａ）に示すように、厚さ寸法１００〜２００μｍであり、同図（ｂ）に示すように、合成樹脂製の基材１１に充填材１２として例えば数μｍ〜数十μｍの微粒子を混入している。なお、図１５（ｂ）中の微粒子の形状は模式化しているため、実際の形状とは異なる。
【０００３】
このような合成樹脂フィルムを検査するに際して、充填材の充填率や、平均粒径、分布状態を非破壊、非接触で測定したいという要望がある。合成樹脂フィルムの製造時や受け入れ時に、流れ作業中に、できるだけ短時間で行うのである。
【０００４】
合成樹脂フィルムの充填材の充填率を非破壊で測定する方法として、次のものがある。図１６は従来の合成樹脂フィルムの充填材測定方法の一例を示す模式図である。これは、合成樹脂フィルム１０を被測定物として可視光を照射し、その透過状態を観察するものである。透過した光で投影像２１（図１６（ｃ））得られる。
【０００５】
しかし、光学投影像２１を観察するものにあっては、充填材１２が投影方向に重なっていると、重なり状態を把握できず、充填率を正確に測定することができない。また、光の入射面における反射を制御することが難しく、測定精度が悪い。さらに、被測定物内部において、充填材による不要な反射により測定誤差が生じるといった問題がある。
【０００６】
また、Ｘ線を用いた測定する方法として、特許文献１は、図１７に示すように、あらかじめアルキメデス法で測定した密度と、Ｘ線透過量との関係（同図（ｂ））を測定しておき、被測定物のＸ線透過像（同図（ａ））から、測定箇所の比重、すなわち充填率を計算する方法を開示する。
【０００７】
また、特許文献２は、被測定物を複数領域に分割し、領域ごとの質量をＸ線透過量から求め、全領域にわたって積分することで全領域の質量を求める方法を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２０１４６５公報
【特許文献２】特開２００２−２９６０２２公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の方法は、均一な被測定物の密度を測定することはできるが、不均一な被測定物を測定することができないし、充填材の大きさや面分布などを測定することができないという問題がある。
【００１０】
また、特許文献２に記載の方法は、被測定物の平均質量を測定することができるが、充填材の大きさや面分布を測定することができず、またあらかじめ得ていた検量線との比較や全領域にわたっての積分を行う必要があるため、演算に時間や手間がかかってしまうという問題がある。
【００１１】
本発明は上述した課題にかんがみてなされたものであり、迅速かつ簡単な処理で合成樹脂フィルム中の充填材の充填率、充填材の大きさ、充填材分布の不均一性を測定することができる合成樹脂フィルムの充填材測定方法、および合成樹脂フィルムの充填材測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決する請求項１に記載の発明は、合成樹脂基材中に微細な充填材を混ぜ込んだフィルム材を被測定物とし、該被測定物に電磁波を照射し、該電磁波の透過量から充填材の状態を測定する合成樹脂フィルム材の充填材測定方法において、被測定物の測定領域を微小領域に分割し、該微小領域を透過した電磁波の検出値を取得し、各微小量領域における検出値の度数分布を作成し、取得した度数分布を演算処理して充填材の状態を演算する、ことを特徴とする。
本発明によれば、微小領域における検出値の度数分布を演算処理して充填材の状態を得るので、処理を簡単かつ迅速に行うことができ、合成樹脂フィルム中の充填材の状態を測定することができる。
【００１３】
同じく請求項２の発明は、請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、前記統計処理は、度数分布状態の平均値を求めるものであり、この求めた平均値から被測定物における充填材の平均充填率を求めることを特徴とする。
本発明によれば、微小領域における検出値の平均値を求めることから充填材の平均充填率を簡単、高精度かつ迅速に求めることできる。
【００１４】
同じく請求項３の発明は、請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、前記分割する微小領域を面積の異なる複数種設定し、電磁波の透過量を異なる面積の微小領域ごとに検出し、微量領域の面積ごとに前記検出値の度数分布を作成し、検出値の度数分布に基づいて、微小領域の面積と、分散値との関係曲線を求め、この関係曲線の変動に基づいて充填材の大きさを測定することを特徴とする。
本発明によれば、微小領域の面積と、分散値との関係曲線の変化から充填材の大きさを簡単かつ迅速に求めることできる。
【００１５】
同じく請求項４の発明は、請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、被測定物のライン上に微小領域を設定し、該微小領域における検出値から、前記ラインにおける充填材の平均充填率と、分散値とを求めることを特徴とする。
本発明によれば、被測定物のライン上の平均充填率と、分散値とを簡単かつ迅速に求めることができ、搬送中の被測定物の測定を行うのに好適である。
【００１６】
同じく請求項５の発明は、請求項１に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、前記検出値の度数分布から測定領域における充填材の均一性を判定することを特徴とする。
本発明によれば、簡単かつ迅速に合成樹脂フィルにおける充填材の分散均一性を判定することができる。
【００１７】
同じく請求項６の発明は、請求項１から請求項５のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、前記電磁波はＸ線であることを特徴とする。
本発明によれば、被測定物の物性にあわせて所定の強度、波長のＸ線を使用することができる。
【００１８】
請求項７の発明は、合成樹脂フィルムの充填材測定装置において、基材に微細な充填材を混ぜ込んだシートを被測定物とし、該被測定物に電磁波を照射し、該電磁波の透過量から充填材の状態を測定する充填材の測定装置において、被測定物に電磁波を照射する電磁波源と、被測定物の各領域における電磁波の透過量を検出する検出手段と、各微小量領域における検出値の度数分布を作成し、取得した度数分布を演算処理して充填材の状態を演算する演算処理手段と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、微小領域における検出値の度数分布を演算処理して充填材の状態を得るので、処理を簡単かつ迅速に行うことができ、合成樹脂フィルム中の充填材の状態を測定することができる。
【００１９】
同じく請求項８の発明は、請求項７に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置において、前記電磁波源は前記被測定物のあらかじめ定めた測定領域に電磁波を照射し、前記検出手段は、電磁波が照射された測定領域の各点における電磁波の透過量を検出することを特徴とする。
本発明によれば、短時間の電磁波の照射で測定領域における充填材の状態を簡単かつ迅速に測定することができる。
【００２０】
同じく請求項９の発明は、請求項８に記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置において、前記演算処理手段は、検出手段が取得した測定領域の各点における透過量から、照射領域をあらかじめ定めた面積で分割した微小領域における透過量を取得することを特徴とする。
本発明によれば、任意の面積の微小領域の透過量に基づく度数分布を短時間の測定で簡単かつ迅速に取得することができる。
【００２１】
同じく請求項１０の発明は、請求項７から請求項９のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定装置において、複数の被測定物を前記電磁波源と前記検出手段との間に順次搬送する搬送手段を備えることを特徴とする。
本発明によれば、被測定物を搬送しつつ充填材の簡単かつ迅速に測定を行うことができる。
【００２２】
同じく請求項１１の発明は、請求項７から請求項１０のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、前記電磁波源は被測定物にＸ線を照射し、前記検出手段は被測定物を透過したＸ線を検出することを特徴とする。
本発明によれば、被測定物の物性にあわせて所定の強度、波長のＸ線を使用することができる。
【００２３】
同じく請求項１２の発明は、請求項７から請求項１１のいずれかに記載の合成樹脂フィルムの充填材測定方法において、請求項１から請求項７のいずれかに記載の充填材の測定方法に基づいて充填材の状態を演算することを特徴とする。
本発明によれば、充填率、充填材の大きさ、充填の不均一状態を簡単かつ迅速に測定することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法、および合成樹脂フィルムの充填材測定装置によれば、迅速かつ簡単な処理で合成樹脂フィルム中の充填材の充填率、充填材の大きさ、充填材分布の不均一性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】被測定物を示すものであり、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は被測定物のＸ線写真、（ｄ）は被測定物の構造を示す模式図である。
【図２】実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。
【図３】実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法によるＸ線の透過度数分布例を示すグラフである。
【図４】同合成樹脂フィルムの充填材測定方法に使用する検量線を示すグラフである。
【図５】同合成樹脂フィルムの充填材測定方法において度数分布のピークが２つある場合を示すグラフである。
【図６】実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。
【図７】被測定物のＸ線透過度数分布を示すグラフである。
【図８】図７に示したグラフに基づいて得た半値幅と微小領域の面積との関係を示すグラフである。
【図９】他の被測定物のＸ線透過度数分布を示すグラフである。
【図１０】図９に示したグラフに基づいて得た半値幅と微小領域の面積との関係を示すグラフである。
【図１１】実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。
【図１２】実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の測定例を示すものであり、（ａ）は測定のラインを示すＸ線写真、（ｂ）はライン上におけるＸ線カウントを示すグラフである。
【図１３】実施形態４に係る合成樹脂フィルムの充填材測定装置の外観を示す斜視図である。
【図１４】図１３に示した合成樹脂フィルムの充填材測定装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】被測定物である合成樹脂フィルムの構成を示す模式図である。
【図１６】従来の合成樹脂フィルムの充填材測定方法の一例を示す模式図である。
【図１７】従来の合成樹脂フィルムの充填材測定方法の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための形態に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法、および合成樹脂フィルムの充填材測定装置について説明する。
【００２７】
まず、以下に説明する合成樹脂フィルムの充填材測定方法で充填物の測定を行う被測定物について説明する。図１は被測定物を示すものであり、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は被測定物のＸ線写真、（ｄ）は被測定物の構造を示す模式図である。
【００２８】
被測定物である合成樹脂フィルムは絶縁フィルムであり、セラミック微粒子の充填率、および膜厚寸法の違いにより３種類（Ａ、Ｂ、Ｃ）準備した。絶縁シートの厚さ寸法は、Ａ：１３０μｍ、Ｂ：１００μｍ、Ｃ：９０μｍであった。また、各絶縁フィルムは、図１（ｄ）に示すように、２枚の保護材（厚さ１００μｍ）の間に絶縁シートをはさんだ構造である。なお、この保護材はＸ線に対して透明であり、測定に影響を与えない。
【００２９】
なお、図１に示したＸ線写真の撮影領域は、横３３６μｍ、縦２５６μｍであり、撮像ドット（１×１）の大きさは０．２５μｍ×０．２５μｍである。またＸ線源とＸ線検出器として浜松ホトニクス（株）製の製品型名Ｌ１１０９１とＣ７８７６を使用した。なお、以下の実施形態では、撮像に使用するためＸ線を使用した。Ｘ線の波長、強度は被測定物の素材、厚さなどで最適なものを予め実験により選択する。また、使用する電磁波は、必ずしもＸ線に限らず、被測定物の透過像を撮像できるものであれば、他の波長領域のものを使用することができる。
【００３０】
＜実施形態１＞
まず、実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法について説明する。まず基本的な処理の流れについて説明する。図２は実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。
【００３１】
実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法では、まず、被測定物の測定領域を微小領域に分割し（図１（ａ）、（ｂ））、この微小領域を透過したＸ線の検出値を取得する。すなわち、被測定物１００の測定領域１１０を図１（ｂ）に示すように分割し、微小領域１、２、３、４、…、を設定する（同（ａ））。
【００３２】
微小領域の大きさは、被測定物の充填材の大きさと同等か、それより小さいものとし、測定領域としてあらかじめ定めた所定の領域を分割する。例えば図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）で示したＸ線写真を撮影した装置を用いて、測定領域として、横３３６μｍ、縦２５６μｍの領域を設定し、微小領域として０．２５μｍ×０．２５μｍを画素（１×１）として設定する。
【００３３】
そして、実施形態１では、微小領域１、２、３、４、…が測定領域１１０を規則的に覆うように設定する。これにより、絶縁フィルムの充填材の充填率をより正確に測定することができる。なお、微小領域は、必ずしも測定領域全面に隙間なく配置する必要はなく、微小領域と微小領域の間に隙間が生じてもよい。また微小領域を規則的に連続させる必要はなく、測定領域の任意の位置に任意の配置パターンで設定してもよい。なお、図１（ａ）では、充填材の大きさを強調してあるので、その大きさ、形状は実際のものとは異なる。
【００３４】
次にこの被測定物１００にＸ線を照射して、各微小領域におけるＸ線の透過量を測定する。具体的には撮像したＸ線透過画像の各微小領域の濃度に基づいてＸ線のカウント数を取得する。そして、図２（ｃ）に示すように、各微小量領域におけるカウント数の度数分布表を作成する。ついで、合成樹脂フィルム材の充填材測定方法度数分布状態の平均値を求め、この求めた平均値から被測定物における充填材の平均充填率を求める。
【００３５】
この度数分布の平均値（Ｘ線平均カウント値）は被測定物の（平均充填率×厚さ）を表すものであり、所定の計算で数値化する。
【００３６】
実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の測定例について説明する。図３は実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法によるＸ線の透過度数分布例を示すグラフ、図４は同合成樹脂フィルムの充填材測定方法に使用する検量線を示すグラフである。図４に示した検量線のグラフは、〔厚さ（ｍｍ）×充填率（ｖｏｌ％）〕とＸ線カウント数の関係からあらかじめ作成しておく
【００３７】
この例では、前述したＡ、Ｂ、Ｃの絶縁フィルムを被測定物とした。図３に得られた度数分布表から、Ｘ線カウントの平均値をそれぞれ求めた（なお、図３中それぞれの値をＡ、Ｂ、Ｃの上にバーを記載して示す）。そして、図４に示した検量線にこの平均値を当てはめ、既知の厚さ寸法から、Ａ：充填率４９ｖｏｌ％、Ｂ：充填率４９ｖｏｌ％、Ｃ：６２ｖｏｌ％を得た。
【００３８】
この値は、破壊法で得た各被測定物の充填率（Ａ：５０ｖｏｌ％、Ｂ：５０ｖｏｌ％、Ｃ：６０ｖｏｌ％）と高い精度で一致する。
【００３９】
なお、度数分布の形状が正規分布と外れる場合、以下の判断を行う。図５は同合成樹脂フィルムの充填材測定方法において度数分布のピークが２つある場合を示すグラフである。このような場合、度数分布から充填材充填率の分散均一性を判定できる。
【００４０】
具体的は、度数分布のピークが１つであれば、分散は均一であると見なす。また、度数分布が、図５に示すように、ピークが２つある場合、大きな２つの面分布があると判断できる。さらに、ピークが３つであれば、３つの面分布があると判断でき、度数分布の形状がいびつになる場合は複数の面分布が重なりあっていると判断できる。
【００４１】
＜実施形態２＞
次に実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法について説明する。図６は実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法では、まず、被測定物１００の測定領域１１０に微小領域を設定するに際して、分割する微小領域を面積の異なる複数種設定する。
【００４２】
この例では、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、最小の微小領域ａ（ａ１、ａ２、ａ３）、…をまず設定する。次に微小領域ｂ、微小領域ｃを設定する。ここで、微少領域微小領域ａは、Ｘ線撮像の最小画素（１×１）の大きさとし、微小領域ｂは、微小領域ａの４倍（２×２）の大きさ、微小領域ｃは、微小領域ａの９倍（３×３）の大きさとする。このようにして大きさの異なる微小領域を順次必要な数だけ設定する。この例では、微小領域の大きさを、最小の微小領域ａの２のＮ乗倍（Ｎは２以上の自然数）の大きさとし、大きさをＮで表示するものとする。
【００４３】
ついで、Ｘ線の透過量（カウント数）を、各微小領域ａ、ｂ、ｃ、…、で計数して、図６（ｃ）に示すように、微量領域ごとに前記検出値の度数分布を作成し、各微小領域における度数分布の幅、例えば分散や半値幅を求める。同（ｃ）には、微小領域ａ、ｂ、ｃについての度数分布を記載している。次に、図６（ｃ）に示すように、微小領域ａ、ｂ、ｃ、…の面積と、分散値または半値幅との関係曲線を求め、この関係曲線の変化に基づいて充填材の大きさを測定する。この変化が起こる点として特定される変化点としては、例えば、変曲点や傾斜が異なる領域の各曲線による漸近線の交点を採用することができる。
【００４４】
このように、グラフ変化点で充填材の平均粒径が判断することができるのは、以下の理由による。まず、微小領域が平均粒径以下の面積のとき、各微少領域におけるＸ線カウント数についてみる。この場合、各微小領域においてＸ線は完全に遮断されるか完全に透過するかのいずれかのものが大半となり、度数分布の分散値は最大となる。そして、微小領域が最小のものから大きくなるにつれて、微少領域のＸ線カウント数の分散が小さくなっていく。そして、微小領域を最大限大きくして、測定領域の全域を設定すると、Ｘ線カウントの分布はカウント数Ｎの直線となり分散値は０となる。このように微小領域の面積を大きくしつつ、分散値の値に注目すると、微少領域が平均粒径を越えると、変化が生じることになる。このような理由により、分散値の大きさの傾向が変わる分散値のグラフ変化点を求めることにより、平均粒径を計測することができるのである。
【００４５】
実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の測定例について説明する。まず測定例１について説明する。図７は被測定物のＸ線透過度数分布を示すグラフである。図６に示した例では、Ｎとして、１、２、３、４、５、６、７の例を示している。
【００４６】
測定例１では、微小領域ａ〔Ｎ＝１（１×１画素）〕として、実施形態１の測定と同じ０．２５μｍ×０．２５μｍ（１×１）とする。ついで微小領域ｂ〔Ｎ＝２（２×２画素）〕、微小領域ｃ（Ｎ＝３（４×４）、…）、微少領域ｇ（Ｎ＝７（６４×６４画素））としたが、Ｎとしてより大きな数を測定する（例えばＮ＝１００）。
【００４７】
ついで、測定領域を各微小領域ａ〜ｇでスキャンして、各スキャン位置でＸ線透過量（Ｘ線カウント数）を計測し、これに基づいて度数分布曲線を描いた（図７（ａ））。この度数分布は測定値に基づいているため、測定時の雑音、その他の影響で凹凸が生じている。このため、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、曲線をなめらかに補正する。補正は、最小自乗法などで行う。そして、この６本の曲線を正規化し（図７（ｄ））、それぞれの分布曲線の半値幅を求める。
【００４８】
次に、この半値幅と、微小領域の面積と関係をグラフにし、関係曲線を描く。図８は図７に示したグラフに基づいて得た半値幅と微小領域の面積との関係を示すグラフである。図８では、微小領域の大きさを前述したＮを用いて表し、半値幅をＮ＝１を１としたときの相対値で表している。そして、関係曲線の変化点、例えば異なる傾斜部の漸近線の交点を求める。図８に示す例では、２本の漸近線の交点はＮ＝２０となる、これにより、充填材の平均粒径が０．２５μｍ×２０＝５μｍ程度であることが分かる。
【００４９】
他の測定例２として異なる被測定物の測定を測定例１と同様に行った。図９は他の被測定物のＸ線透過度数分布を示すグラフ、図１０は図９に示したグラフに基づいて得た半値幅と微小領域の面積との関係を示すグラフである。
【００５０】
測定例２では、測定例１と同様の処理を行い、被測定物には充填材の平均粒径は、Ｎ＝１２、すなわち０．２５μｍ×１２＝３．０μｍ程度であることが分かる。
【００５１】
なお、測定例１、２では、充填材としてその直径がほぼ等しい１種類のものを使用した場合について説明した。充填材として２またはそれ以上の種類の直径のものを使用した場合には、関係曲線には２またはそれ以上の箇所に変化点があらわれる。このため、この場合も同様に各充填材の平均粒径を求めることができる。
【００５２】
＜実施形態３＞
次に実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法について説明する。図１１は実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の基本的な処理を示す模式図である。実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法では、まず図１１（ａ）に示すように、被測定物１００に１本のライン１１１を設定する。このライン１１１の位置は必要に応じて定めることができる。そして、このライン１１１上に整列する微小領域を設定する。そして、図１１（ｂ）に示すように、該微小領域における検出値の度数分布を求め、この度数分布からラインにおける充填材の平均充填率と分散値とを求める。
【００５３】
また、図１１（ｃ）に示すように、１ラインの強度分布を平均値ラインの上に描く。これにより、１ラインでの平均充填率、分散値とライン上の分布を計測することができる。この方法は、特に量産工程での進行方向（図１１（ａ）中の矢印）に対し直角となるライン上の分布を計測できる。
【００５４】
実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の測定例について説明する。図１２は実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法の測定例を示すものであり、（ａ）は測定のラインを示すＸ線写真、（ｂ）はライン上におけるＸ線カウントを示すグラフである。図１１（ｂ）に示すように、ライン上の充填材の充填状態を表示することができる。
【００５５】
この例では、前述した絶縁シートＡ（図１参照）について測定を行ったところ、測定ラインでの平均充填率として５０ｖｏｌ％を得た。
【００５６】
＜実施形態４＞
次に実施形態４に係る合成樹脂フィルムの充填材測定装置について説明する。図１３は実施形態４に係る合成樹脂フィルムの充填材測定装置の外観を示す斜視図、図１４は図１３に示した合成樹脂フィルムの充填材測定装置の構成を示すブロック図である。
【００５７】
実施形態４に係る合成樹脂フィルムの充填材測定装置２００は、実施形態１から実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法を実施するものである。充填材測定装置２００は、電磁波源でありＸ線を出力するＸ線管ユニット２０１と、検出手段であるＸ線カメラ２０２と、Ｘ線カメラ２０２の駆動制御行うＸ線カメラコントローラ２０３と、Ｘ線管ユニットの制御を行うＸ線コントールユニット２０４と、被測定物である合成樹脂フィルムを、搬送する搬送手段である搬入ベルト２０５および搬出ベルト２０６とを備える。
【００５８】
また、充填材測定装置２００は、図１４に示すように、Ｘ線カメラ２０２の撮影像から測定領域１１０の微小領域におけるＸ線透過度数を計測する度数計数手段２１０と、計数された度数から、度数分布を作成し平均値、分散、半値幅などを演算する演算処理手段２２０と、各種情報を表示する表示手段２３０、必要な支持、条件等を入力する入力手段２４０と、充填材測定装置２００の全体制御を行う制御装置２５０と、搬入ベルト２０５、搬出ベルト２０６の制御を行う搬送コントロールユニット２６０とを備える。
【００５９】
この充填材測定装置２００は、合成樹脂フィルムの製造ラインの搬出箇所や、搬入箇所に配置する。そして、製造された絶縁フィルムや導電フィルム等の被測定物１００を搬入ベルト２０５でＸ線カメラ２０２の撮像位置に搬送し、Ｘ線管ユニット２０１からのＸ線の透過像を撮影する。
【００６０】
Ｘ線カメラ２０２は、例えば横３３６μｍ、縦２５６μｍの領域を撮像し、撮像ドット（１×１）の大きさは０．２５μｍ×０．２５μｍとする。撮像が終了した被測定物１００は、搬出ベルト２０６で搬出される。
【００６１】
Ｘ線カメラ２０２で取得されたＸ線撮影像は、度数計数手段２１０で、必要な領域の、必要な微小領域サイズにおける透過量計数（Ｘ線カウント）がされ、必要な度数分布が取得される。そして、演算処理手段２２０であらかじめ定めた、平均値、分散値、半値幅等の統計値が取得され、この統計値に基づいて充填材の充填率、粒径、分布状態等が取得できる。
【００６２】
ここで、演算処理手段２２０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を備えたコンピュータとし、ＣＰＵで所定のプログラムを実行することで、各処理を実行する。これにより、入力手段２４０から指定した実施形態１、２、３の合成樹脂フィルムの充填材測定方法を実行できる。
【００６３】
すなわち、実施形態１に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法を実行するには以下の手順による。まず、入力手段２４０から被測定物１００の厚さ寸法を入力する。そして、被測定物１００を搬入ベルト２０５で搬入して、Ｘ線管ユニット２０１およびＸ線カメラ２０２を動作して、被測定物１００のＸ線像を撮影する。そしてＸ線カメラ２０２の出力から度数計数手段２１０が各画素におけるカウント値を取得する。次に、演算処理手段２２０が度数分布（図２（ｃ）、図３参照）を作成し、この度数分布から被測定物１００における充填材の充填率を求め、さらに、充填材の分布の状態を調べる（図５参照）。
【００６４】
また、実施形態２に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法を実行するには、同様に得られたＸ線カメラ２０２の撮影像から、度数計数手段２１０で異なる大きさの微小領域でのＸ線の透過量（カウント数）を計数する。そして、演算処理手段２２０で、図５（ｃ）に示すように、微量領域ごとに前記検出値の度数分布を作成し、各微小領域における度数分布の幅、例えば分散や半値幅を求める。次に、演算処理手段２２０で、図５（ｃ）に示すように、各大きさの微小領域の面積と、分散値または半値幅との関係曲線を求め、この関係曲線の変化に基づいて充填材の大きさを取得する。
【００６５】
また、実施形態３に係る合成樹脂フィルムの充填材測定方法を実行するには、同様に得られたＸ線カメラ２０２の撮影像から、必要な１ラインにおける微小領域における検出値の度数分布（図１１（ｂ））を求め、この度数分布からラインにおける充填材の平均充填率と分散値とを求める（図１１（ｃ））。
【符号の説明】
【００６６】
１０：合成樹脂フィルム
１１：基材
１２：充填材
２１：光学投影像
２２：Ｘ線投影像
１００：被測定物
１１０：測定領域
２００：充填材測定装置
２０１：Ｘ線管ユニット
２０２：Ｘ線カメラ
２０３：Ｘ線カメラコントローラ
２０４：Ｘ線コントールユニット
２０５：搬入ベルト
２０６：搬出ベルト
２１０：度数計数手段
２２０：演算処理手段
２３０：表示手段
２４０：入力手段
２５０：制御装置
２６０：搬送コントロールユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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