(57)【要約】【課題】固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱を防止することができ、信頼性の高い光学部品、光学部品の製造方法および画像形成装置を提供すること。【解決手段】光学部品１は、レンズ３と、前記レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズ３の外周部に接触し、前記レンズ３を支持する支持部２１を有する固定具２とを備え、前記レンズ３と前記支持部２１との少なくとも一方の前記レンズ３と前記支持部２１とが接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜４が設けられている。前記円滑膜４の下地膜として、プラズマ重合膜５が設けられている。前記支持部２１は、前記レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向に対して傾斜する傾斜面を有している。【選択図】図１
2013238747.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備え、
前記レンズと前記支持部との少なくとも一方の前記レンズと前記支持部とが接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜が設けられていることを特徴とする光学部品。
【請求項２】
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記支持部は、前記レンズの入射側と出射側とにそれぞれ接触している請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズと前記支持部とが接触する部位は、前記レンズの１周に亘って連続して設けられている請求項１または２に記載の光学部品。
【請求項４】
前記支持部は、前記レンズの周方向に沿って、複数の箇所に設けられている請求項１または２に記載の光学部品。
【請求項５】
前記支持部は、前記レンズの光軸に対して垂直な方向に対して傾斜する傾斜面を有している請求項１ないし４のいずれかに記載の光学部品。
【請求項６】
前記レンズの前記支持部と接触する部位の付近において、前記レンズの厚さが該レンズの中心に向かって漸増しており、
前記支持部は、前記レンズの外周部が前記支持部を押圧する力に対抗する反力を該レンズの中心に向かって発生している請求項１ないし５のいずれかに記載の光学部品。
【請求項７】
前記レンズの前記支持部と接触する部位の付近において、前記レンズの厚さが該レンズの中心に向かって漸減しており、
前記支持部は、前記レンズの外周部を該レンズの外周方向に引っ張っている請求項１ないし５のいずれかに記載の光学部品。
【請求項８】
前記低摩擦材料は、フッ素含有シラン化合物である請求項１ないし７のいずれかに記載の光学部品。
【請求項９】
前記円滑膜の下地膜として、プラズマ重合膜が設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載の光学部品。
【請求項１０】
前記プラズマ重合膜は、主としてポリオルガノシロキサンで構成されるポリオルガノシロキサン膜である請求項９に記載の光学部品。
【請求項１１】
レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備える光学部品の製造方法であって、
前記レンズと前記支持部との少なくとも一方の前記レンズと前記支持部とが接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜を形成する円滑膜形成工程と、
前記レンズと、前記固定具とを組み立てる組立工程とを有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項１２】
前記円滑膜形成工程に先立って、前記円滑膜を形成する領域に、選択的にプラズマ重合膜を形成するプラズマ重合膜形成工程を有する請求項１１に記載の光学部品の製造方法。
【請求項１３】
前記円滑膜形成工程において、前記円滑膜は、前記プラズマ重合膜上に、前記低摩擦材料を供給し、反応させることにより形成される請求項１２に記載の光学部品の製造方法。
【請求項１４】
レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備える光学部品の製造方法であって、
前記レンズの前記支持部と接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜を形成する円滑膜形成工程と、
前記レンズと、前記固定具とを組み立てる組立工程とを有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項１５】
前記円滑膜形成工程に先立って、前記レンズの前記円滑膜を形成する領域に、プラズマ重合膜を形成するプラズマ重合膜形成工程を有する請求項１４に記載の光学部品の製造方法。
【請求項１６】
前記プラズマ重合膜形成工程に先立って、前記レンズの光学的有効領域にマスクを形成するマスク形成工程を有する請求項１５に記載の光学部品の製造方法。
【請求項１７】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の光学部品を有することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品、光学部品の製造方法および画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズと、レンズを支持する固定具とを備える光学部品は、例えば、光源を有するプロジェクター等の種々の装置に使用されている。この光学部品では、レンズと固定具とが接着剤で接着されている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、このような従来の光学部品では、レンズと固定具とが接着剤により接着されているので、例えば、プロジェクターの光源から発せられる熱により、その接着剤が軟化したり、また、接着剤の体積が変化し、固定具に対するレンズの位置がずれてしまうおそれがある。
【０００３】
また、光学部品が落下してまった場合には、固定具からレンズが離脱してしまうおそれがある。
また、光学部品を製造する際は、固定具に対してレンズを正確に位置決めする必要があり、その製造に手間がかかるという問題がある。また、接着剤により、レンズが汚れてしまうおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１８１８１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱を防止することができ、信頼性の高い光学部品、光学部品の製造方法および画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の光学部品は、レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備え、
前記レンズと前記支持部との少なくとも一方の前記レンズと前記支持部とが接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
これにより、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱を防止することができ、優れた信頼性を得ることができる。
すなわち、まず、固定具の支持部が円滑膜を介してレンズの外周部に接触することにより、レンズが固定具に対して滑り易くなる。そして、当初は、固定具に対してレンズが理想的な位置および姿勢をとったときの状態である基準状態となるように設計をする。これにより、レンズが、固定具に対し、基準状態から変位したとしても、変位後に基準状態に戻ることができ、これによって、固定具に対するレンズの位置ずれを防止することができる。
【０００８】
また、例えば、光学部品が落下した場合等、光学部品に外力が加わった場合は、レンズが基準状態から一旦変位し、その変位後に再び基準状態に戻り、これにより、固定具に対するレンズの位置ずれおよび固定具からのレンズの離脱を防止することができる。
また、光学部品を製造する際は、レンズが自動的に基準状態に戻るので、固定具に対してレンズを正確に位置決めする必要がなく、その製造を容易行うことができる。
また、接着剤を用いずに、固定具によりレンズが支持されるので、接着剤によりレンズを汚してしまうこともない。
【０００９】
本発明の光学部品では、前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記支持部は、前記レンズの入射側と出射側とにそれぞれ接触していることが好ましい。
これにより、レンズをより確実に支持することができ、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
本発明の光学部品では、前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズと前記支持部とが接触する部位は、前記レンズの１周に亘って連続して設けられていることが好ましい。
これにより、レンズをより確実に支持することができ、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の光学部品では、前記支持部は、前記レンズの周方向に沿って、複数の箇所に設けられていることが好ましい。
これにより、レンズをより確実に支持することができ、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
本発明の光学部品では、前記支持部は、前記レンズの光軸に対して垂直な方向に対して傾斜する傾斜面を有していることが好ましい。
これにより、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
【００１１】
本発明の光学部品では、前記レンズの前記支持部と接触する部位の付近において、前記レンズの厚さが該レンズの中心に向かって漸増しており、
前記支持部は、前記レンズの外周部が前記支持部を押圧する力に対抗する反力を該レンズの中心に向かって発生していることが好ましい。
これにより、レンズをより確実に支持することができ、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
【００１２】
本発明の光学部品では、前記レンズの前記支持部と接触する部位の付近において、前記レンズの厚さが該レンズの中心に向かって漸減しており、
前記支持部は、前記レンズの外周部を該レンズの外周方向に引っ張っていることが好ましい。
これにより、レンズをより確実に支持することができ、固定具に対するレンズの位置ずれおよび離脱をより確実に防止することができる。
【００１３】
本発明の光学部品では、前記低摩擦材料は、フッ素含有シラン化合物であることが好ましい。
これにより、レンズが固定具に対してより滑り易くなる。
本発明の光学部品では、前記円滑膜の下地膜として、プラズマ重合膜が設けられていることが好ましい。
これにより、円滑膜の接合強度を高くすることができる。
本発明の光学部品では、前記プラズマ重合膜は、主としてポリオルガノシロキサンで構成されるポリオルガノシロキサン膜であることが好ましい。
これにより、円滑膜の接合強度をより高くすることができる。
【００１４】
本発明の光学部品の製造方法は、レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備える光学部品の製造方法であって、
前記レンズと前記支持部との少なくとも一方の前記レンズと前記支持部とが接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜を形成する円滑膜形成工程と、
前記レンズと、前記固定具とを組み立てる組立工程とを有することを特徴とする。
【００１５】
これにより、本発明の光学部品を提供することができる。
特に、光学部品を製造する際は、固定具に対してレンズを正確に位置決めする必要がなく、本発明の光学部品を容易に製造することができる。
また、接着剤を用いずに、固定具よりレンズを支持されるので、接着剤によりレンズを汚してしまうこともない。
【００１６】
本発明の光学部品の製造方法では、前記円滑膜形成工程に先立って、前記円滑膜を形成する領域に、選択的にプラズマ重合膜を形成するプラズマ重合膜形成工程を有することが好ましい。
これにより、光学部品を製造する際は、固定具に対してレンズを正確に位置決めする必要がなく、本発明の光学部品を容易に製造することができる。
本発明の光学部品の製造方法では、前記円滑膜形成工程において、前記円滑膜は、前記プラズマ重合膜上に、前記低摩擦材料を供給し、反応させることにより形成されることが好ましい。
これにより、円滑膜の接合強度を高くすることができる。
【００１７】
本発明の光学部品の製造方法は、レンズと、
前記レンズの光軸に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズの外周部に接触し、前記レンズを支持する支持部を有する固定具と、を備える光学部品の製造方法であって、
前記レンズの前記支持部と接触する部位に、低摩擦材料で構成された円滑膜を形成する円滑膜形成工程と、
前記レンズと、前記固定具とを組み立てる組立工程とを有することを特徴とする。
【００１８】
これにより、本発明の光学部品を提供することができる。
特に、光学部品を製造する際は、固定具に対してレンズを正確に位置決めする必要がなく、本発明の光学部品を容易に製造することができる。
また、接着剤を用いずに、固定具よりレンズを支持されるので、接着剤によりレンズを汚してしまうこともない。
【００１９】
本発明の光学部品の製造方法では、前記円滑膜形成工程に先立って、前記レンズの前記円滑膜を形成する領域に、プラズマ重合膜を形成するプラズマ重合膜形成工程を有することが好ましい。
これにより、円滑膜の接合強度を高めることができる。
本発明の光学部品の製造方法では、前記プラズマ重合膜形成工程に先立って、前記レンズの光学的有効領域にマスクを形成するマスク形成工程を有することが好ましい。
これにより、レンズの光学的有効領域にプラズマ重合膜および円滑膜を形成することなく、レンズの所定領域のみにプラズマ重合膜および円滑膜を形成することができる。
本発明の画像形成装置は、本発明の光学部品を有することを特徴とする。
これにより、前記本発明の効果を有する画像形成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の光学部品の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示す光学部品の正面図である。
【図３】本発明の光学部品の第２実施形態を示す正面図である。
【図４】本発明の光学部品の第３実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明の光学部品の第４実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明の光学部品の第５実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明の光学部品の第６実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明の光学部品の第７実施形態を示す断面図である。
【図９】本発明の画像形成装置をプロジェクターに適用した場合の実施形態を摸式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の光学部品、光学部品の製造方法および画像形成装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の光学部品の第１実施形態を示す断面図、図２は、図１に示す光学部品の正面図である。なお、図１は、図２中のＡ−Ａ線での断面図である。
なお、以下では、図１および図２中の左側を「左」、右側を「右」、上側を「上」、下側を「下」として説明を行う（図３〜図８も同様）。
【００２２】
図１および図２に示すように、光学部品１は、レンズ３と、レンズ３を支持する支持部２１を有する固定具２と、レンズ３の支持部２１と接触する部位に設けられたプラズマ重合膜５および円滑膜４とを備えている。
レンズ３としては、本実施形態では、両凸レンズが用いられている。このレンズ３では、そのレンズ３の支持部２１と後述する円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して接触する部位の付近において、レンズ３の厚さがその中心に向かって漸増している。
【００２３】
また、レンズ３の外形形状は、本実施形態では、その正面視、すなわち、その光軸３１の方向から見たとき、円形をなしている。なお、レンズ３の光軸３１の方向から見たときの外形形状は、円形に限らず、この他、例えば、楕円形、四角形等の多角形等が挙げられる。
また、レンズ３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種の樹脂材料、各種のガラス材料等が挙げられる。
【００２４】
固定具２は、本実施形態では、環状をなしており、その外形形状は、四角形をなしている。なお、固定具２の形状は、環状に限定されず、また、その外形形状は、四角形に限らず、この他、例えば、円形、楕円形、五角形等の他の多角形等が挙げられる。
また、固定具２の内周部は、レンズ３を支持する支持部２１を構成している。すなわち、支持部２１は、レンズ３の外周部３２に沿って、そのレンズ３の１周に亘って配置されている。
【００２５】
この支持部２１は、レンズ３の外周部３２に沿って、そのレンズ３の１周に亘って設けられた溝２２を有している。この支持部２１の溝２２の内部空間にレンズ３が収納され、そのレンズ３は、支持部２１により支持される。したがって、溝２２の内部空間は、レンズ３を収納する収納空間を構成している。また、溝２２の断面形状は、本実施形態では、Ｖ字状をなしている。すなわち、溝２２の内面は、レンズ３の光軸３１に対して垂直な線分（方向）に対して所定角度傾斜した傾斜面を構成している。なお、溝２２の形状は、これに限定されないことは、言うまでもない。
【００２６】
また、レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき（光軸３１と平行な断面視で）、支持部２１の溝２２の内面は、後述する円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介してレンズ３の外周部３２に接触している。すなわち、支持部２１は、レンズ３の外周部３２の入射側と出射側とにそれぞれ接触している。なお、以下では、支持部２１とレンズ３とが円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して接触することを、単に、「支持部２１とレンズ３とが接触」とも言う。
また、光軸３１に対して垂直な方向から見たとき、前記レンズ３と支持部２１とが接触する部位は、レンズ３の１周に亘って連続して設けられている。
これにより、光軸３１と平行な断面視では、支持部２１は、レンズ３の外周部３２に、２箇所でそれぞれ２点で接触し、合計して４点で接触する。
【００２７】
また、支持部２１は、レンズ３の外周部３２が支持部２１を押圧する力に対抗する反力をレンズ３の中心に向かって発生している。但し、この押圧力は、微小なものである。なお、これは、例えば、レンズ３と固定具２とを組み立てる前の状態で、固定具２側のレンズ３を収納する部分の寸法をレンズ３よりも若干小さく設定することで実現することができる。
また、固定具２に対してレンズ３が理想的な位置および姿勢をとったときの状態を基準状態としたとき、前記支持部２１の溝２２は、光学部品１に外力が加わらない状態で、レンズ３が基準状態となった状態で、そのレンズ３を支持するように形成されている。
【００２８】
レンズ３の支持部２１と接触する部位、すなわち、外周部３２には、円滑膜４の下地膜としてプラズマ重合膜５と、円滑膜４とが、この順序で設けられている。プラズマ重合膜５を設けることにより、円滑膜４の接合強度を高くすることができる。
円滑膜４は、低摩擦材料で構成されている。これにより、支持部２１に対するレンズ３、すなわち、円滑膜４の滑り具合を向上させることができる。
そして、円滑膜４は、円滑膜４と支持部２１との間の静止摩擦係数が、レンズ３と支持部２１との間の静止摩擦係数よりも小さくなるように形成される。これは、例えば、円滑膜４を低摩擦材料で構成することで実現することができる。
【００２９】
また、円滑膜４と支持部２１との間の静止摩擦係数は、レンズ３と支持部２１との間の静止摩擦係数よりも小さければ特に限定されないが、０．３以下であることが好ましく、０．０１以上０．３以下であることがより好ましく、０．０１以上０．２以下であることがさらに好ましい。
この低摩擦材料としては、特に限定されないが、フッ素含有シラン化合物を用いることが好ましい。
【００３０】
前記フッ素含有シラン化合物としては、特に限定されないが、例えば、フッ素含有基としては、フッ素を含む長鎖高分子基であることが好ましい。また、フッ素含有シラン化合物は、さらに、メトキシ基とアミノ基との少なくとも一方を有していることが好ましく、そのメトキシ基、アミノ基は、それぞれ、１つでもよく、また、複数でもよい。
前記フッ素含有シラン化合物の具体例としては、例えば、下記（１）〜（３）の化学式で示すもの等が挙げられる。
【００３１】
【化１】
2013238747.tif 000003
【００３２】
但し、上記（１）式および（２）式において、それぞれ、ｍは、０以上の整数、ｎは、０以上の整数である。
また、プラズマ重合膜５としては、特に限定されないが、主としてポリオルガノシロキサンで構成されるポリオルガノシロキサン膜であることが好ましい。
ここで、ポリオルガノシロキサンとしては、Ｓｉ−ＯＨ（Ｓｉ−Ｏ）結合よりも耐アルカリ性が高いＳｉとの結合を形成する有機基を有するものが好ましい。具体的には、このようなポリオルガノシロキサンとしては、例えば、ジメチルシリコーン、ジエチルシリコーンのようなジアルキルシリコーン、シクロアルキルシリコーン等が挙げられ、これらの１種または２種以上を用いることができる。
【００３３】
これらの中でも、ポリオルガノシロキサンとしては、ジアルキルシリコーン（特に、ジメチルシリコーン）を主成分とするものが好適である。ジアルキルシリコーンを主成分とするポリオルガノシロキサン膜は、プラズマ重合法による形成が容易である。また、ポリオルガノシロキサン膜をジアルキルシリコーンを主成分として構成することにより、プラズマ重合膜５の表面を活性化させる処理において、より容易かつ確実に活性化させることができる。
【００３４】
なお、ジメチルシリコーンを主成分とするポリオルガノシロキサン膜を、プラズマ重合法を用いて形成する場合、その原料（前駆体）としては、例えば、メチルポリシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、メチルフェニルポリシロキサン等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
また、プラズマ重合膜５の厚さは、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、０．０５μｍ以上、５０μｍ以下であることが好ましく、０．１μｍ以上、１０μｍ以下であることがより好ましい。
【００３５】
次に、光学部品１の作用を説明する。
前述したように、まず、光学部品１に外力が加わらない状態では、レンズ３は基準状態で、支持部２１により支持されている。この基準状態では、レンズ３は、支持部２１により、図１に示す断面視で４点で支持され、支持部２１からレンズ３の各接触点にかかる圧力が均等になっている。
【００３６】
次に、光学部品１に外力が加わると、固定具２に対してレンズ３が傾き、これにより、支持部２１からレンズ３の４つの接触点にかかる圧力が不均一になる。すると、前記各接触点にかかる圧力が均一になるように、レンズ３が支持部２１に対して滑り、変位する。これにより、支持部２１からレンズ３の各接触点にかかる圧力が均等になり、レンズ３は、基準状態に戻る。
このように、支持部２１は、基準状態から変位可能で、変位後に基順状態に戻るように、レンズ３を支持している。これにより、レンズ３は、基準状態から変位したとしても、変位後に基準状態に戻ることができ、これによって、固定具２に対するレンズの位置ずれを防止することができる。
【００３７】
また、例えば、光学部品１が落下した場合等、光学部品１に外力が加わった場合は、レンズ３が基準状態から一旦変位し、その変位後に再び基準状態に戻り、これにより、固定具２に対するレンズ３の位置ずれおよび固定具２からのレンズ３の離脱を防止することができる。
また、光学部品１を製造する際は、レンズ３が自動的に基準状態に戻るので、固定具２に対してレンズ３を正確に位置決めする必要がなく、その製造を容易行うことができる。
また、接着剤を用いずに、固定具２によりレンズ３が支持されるので、接着剤によりレンズ３を汚してしまうこともない。
【００３８】
次に、光学部品１の製造方法の一例について説明する。
光学部品１の製造方法は、プラズマ重合膜形成工程に先立って、レンズ３の光学的有効領域にマスクを形成するマスク形成工程と、円滑膜形成工程に先立って、円滑膜４を形成する領域に、選択的にプラズマ重合膜５を形成するプラズマ重合膜形成工程と、プラズマ重合膜５上に円滑膜４を形成する円滑膜形成工程と、レンズ３と固定具２とを組み立てる組立工程とを有している。以下、各工程について説明する。
【００３９】
［１］前処理工程
プラズマ重合成膜装置のチャンバー内にレンズ３を設置し、レンズ３に対してプラズマ処理を行う。
［２］マスク形成工程
レンズ３の光学的有効領域にマスクを形成する。このマスク形成工程は、プラズマ重合膜形成工程に先立って行われる。
なお、マスク形成工程は、前記前処理工程の前に行ってもよい。
【００４０】
［３］プラズマ重合膜形成工程
まず、プラズマ重合法により、前記マスクを用いて、レンズ３の円滑膜４を形成する領域に、選択的にプラズマ重合膜５を形成する。
このプラズマ重合法は、レンズ３に、プラズマ重合膜５の構成材料の前駆体、例えば、オルガノシロキサン（ポリオルガノシロキサンの前駆体）をガス状でキャリアガスとともに供給し、プラズマ重合によりポリオルガノシロキサン膜を形成する方法である。
キャリアガス（添加ガス）としては、例えば、アルゴン、ヘリウム、窒素等が挙げられる。
【００４１】
また、プラズマ重合法によりポリオルガノシロキサン膜を形成する場合、その形成条件（成膜条件）は、例えば、次のようにすることができる。
高周波の出力は、１００〜１０００Ｗ程度であるのが好ましい。
成膜時のチャンバ内の圧力は、１×１０−４〜１Ｔｏｒｒ程度であるのが好ましい。
原料ガス流量は、1〜１００ｓｃｃｍ程度であるのが好ましい。一方、キャリアガス流量は、１０〜５００ｓｃｃｍ程度であるのが好ましい。
処理時間は、１〜１０分程度であるのが好ましく、４〜７分程度であるのがより好ましい。
このような条件を適宜設定することにより、所望の平均厚さのポリオルガノシロキサン膜、すなわち、プラズマ重合膜５を形成することができる。
【００４２】
次に、プラズマ重合膜５の表面を活性化させる活性化処理を行う。
この活性化処理では、例えば、下記の方法により、プラズマ重合膜５の表面において終端するメチル基とシリコン原子との結合を切断させることで、プラズマ重合膜５の表面を活性化させる。
この活性化処理としては、例えば、紫外線照射、プラズマ照射（プラズマ処理）、電子ビーム照射、加熱等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。そして、これらの中でも、酸素含有雰囲気中で、紫外線照射およびプラズマ照射の少なくとも一方を用いるのが好ましい。
【００４３】
Ａ：活性化処理として紫外線照射を用いる場合
紫外線は、例えば、エキシマレーザー、重水素ランプ等により照射することができる。
紫外線の波長は、４００ｎｍ以下であればよく、特に限定されないが、１００〜３５０ｎｍ程度であるのが好ましい。
紫外線の強度は、１０００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２程度であるのが好ましく、１４００〜２６００ｍＪ／ｃｍ２程度であるのがより好ましい。
また、紫外線照射を行う雰囲気は、大気中または減圧状態のいずれであってもよいが、大気中とするのが好ましい。
また、紫外線の照射時間は、１〜１０分程度であるのが好ましく、３〜７分程度であるのがより好ましい。
【００４４】
Ｂ：活性化処理としてプラズマ照射、すなわち、プラズマ処理を用いる場合
プラズマを発生させるガス種としては、例えば、酸素ガス、窒素ガス、不活性ガス（アルゴンガス、ヘリウムガス等）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
高周波の出力は、１００〜７００Ｗ程度であるのが好ましく、３００〜５００Ｗ程度であるのがより好ましい。
ガスの流量は、１０〜５００ｓｃｃｍ程度であるのが好ましく、１００〜３００ｓｃｃｍ程度であるのがより好ましい。
また、プラズマ照射を行う雰囲気は、大気中または減圧状態のいずれであってもよいが、大気中とするのが好ましい。
なお、この活性化処理では、プラズマ重合膜５が大気に曝されることにより、そのプラズマ重合膜５に、水酸基等の官能基が導入させる。
【００４５】
［４］円滑膜形成工
プラズマ重合膜５上に、円滑膜４の構成材料である低摩擦材料、例えば、フッ素含有シラン化合物を供給し、反応させ、円滑膜４を形成する。このフッ素含有シラン化合物の静摩擦係数は０以上０．４以下が好ましい。
この円滑膜４の形成方法としては、例えば、塗布法、気相化学成長法等が挙げられ、このうちでは、気相化学成長法等が好ましい。気相化学成長法を用いることにより、例えば、高密度にフッ素含有シラン化合物を供給することができる。そのため、これにより形成される円滑膜４の密度も高密度なものとなる。したがって、この円滑膜４とプラズマ重合膜５との接合強度が強固なものとなる。
【００４６】
気相化学成長法としては、例えば、熱ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法、レーザーＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、大気圧ＣＶＤ法等が挙げられるが、なかでも、熱ＣＶＤ法であるのが好ましい。熱ＣＶＤ法であれば、フッ素含有シラン化合物を、プラズマ重合膜５上に確実に供給して、円滑膜４を形成することができる。また、プラズマ重合膜５上への供給の際に、フッ素含有シラン化合物が変質・劣化するのを的確に抑制または防止することができる。
なお、最後に、焼成または加熱処理等を行う。
【００４７】
以上のようにして、プラズマ重合膜５の官能基がフッ素含有シラン化合物のアルコキシドと縮合反応し、また、プラズマ重合膜５上で、フッ素含有シラン化合物同士が反応して、フッ素含有シラン化合物で構成される単分子膜、すなわち、円滑膜４が形成される。
なお、この円滑膜形成工の後、マスクを除去する。
【００４８】
［５］組立工程
レンズ３と固定具２とを組み立てる。この組み立てにおいては、例えば、焼き嵌め、圧入等により、支持部２１の溝２２の内部空間に、レンズ３を収納し、支持部２１によりレンズ３を支持させる。この際、レンズ３が滑り、そのレンズ３は自動的に基準状態に位置決めされる。以上により、光学部品１が得られる。
【００４９】
なお、レンズ３と固定具２とを組み立てにおいては、固定具２を、例えば、２分割してなる２部材で構成し、その一方の部材にレンズ３を組み付けた後、他方の部材を前記一方の部材に接合してもよい。前記固定具２の分割は、例えば、レンズ３の光軸３１と平行な面が分割面となるように分割してもよく、また、レンズ３の光軸３１に対して垂直な面が分割面となるように分割してもよい。
【００５０】
以上説明したように、この光学部品１によれば、固定具２に対するレンズ３の位置ずれおよび離脱を防止することができ、優れた信頼性を得ることができる。
なお、プラズマ重合膜５は、省略されていてもよい。
また、レンズ３としては、両凸レンズに限らず、例えば、平凸レンズ、凸メニスカスレンズ等の他の凸レンズ、両凹レンズ、平凹レンズ、凹メニスカスレンズ等の凹レンズ、回折レンズ等の各種のレンズを用いることができる。
【００５１】
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の光学部品の第２実施形態を示す正面図である。
以下、第２実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図３に示すように、第２実施形態の光学部品１では、固定具２の支持部２１は、レンズ３の周方向に沿って、複数の箇所、図示の構成では、４箇所に設けられている。また、各支持部２１は、等角度間隔、図示の構成では、９０°間隔で配置されている。
【００５２】
これにより、固定具２の支持部２１により、レンズ３は、その周方向に沿って、部分的に支持されることとなり、光学部品１に外力が加わったとき、レンズ３がより変位し易くなる。なお、第１実施形態で述べた通り、レンズ３は、その変位後、基準状態に戻る。
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
この第２実施形態は、第２〜第７実施形態にも適用することができる。
なお、支持部２１は、複数の箇所であれば４箇所には限定されず、２箇所、３箇所、５箇所以上に設けられていてもよい。
【００５３】
＜第３実施形態＞
図４は、本発明の光学部品の第３実施形態を示す断面図である。なお、図４は、前述した第１実施形態の図２中のＡ−Ａ線での断面図に対応する図である。
以下、第３実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５４】
図４に示すように、第３実施形態の光学部品１では、円滑膜４およびプラズマ重合膜５は、固定具２の支持部２１、すなわち、支持部２１のレンズ３と接触する部位に設けられている。図示の構成では、円滑膜４およびプラズマ重合膜５は、支持部２１の溝２２の内面に形成されている。
円滑膜４は、円滑膜４とレンズ３との間の静止摩擦係数が、レンズ３と支持部２１との間の静止摩擦係数よりも小さくなるように形成される。また、円滑膜４とレンズ３との間の静止摩擦係数の好適な範囲については、前記第１実施形態における円滑膜４と支持部２１との間の静止摩擦係数の好適な範囲と同様である。
【００５５】
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この光学部品１では、円滑膜４およびプラズマ重合膜５が固定具２の支持部２１に設けられている。固定具２は、レンズ３よりもその構成材料の選択の幅が広く、例えば、固定具２の構成材料として耐熱性のある金属材料等を用いることができる。これにより、固定具２は、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を形成する際の熱に容易かつ確実に耐えることができる。
【００５６】
また、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を形成する際、マスクが不要であり、これにより、その円滑膜４およびプラズマ重合膜５の形成を容易かつ迅速に行うことができる。
この第３実施形態は、第２、第４〜第７実施形態にも適用することができる。
なお、円滑膜４およびプラズマ重合膜５は、レンズ３と固定具２の支持部２１とのそれぞれのレンズ３と支持部２１とが接触する部位に設けられていてもよい。
【００５７】
＜第４実施形態＞
図５は、本発明の光学部品の第４実施形態を示す断面図である。なお、図５は、前述した第１実施形態の図２中のＡ−Ａ線での断面図に対応する図である。
以下、第４実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５８】
図５に示すように、第４実施形態の光学部品１では、固定具２の支持部２１の溝２２の断面形状は、矩形状をなしている。すなわち、溝２２の内面は、底面２２１および側面２２２、２２３で構成されており、底面２２１は、レンズ３の光軸３１と平行であり、また、側面２２２、２２３は、それぞれ、光軸３１に対して垂直である。
また、レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき（光軸３１と平行な断面視で）、支持部２１の溝２２により形成される４つの角部２３は、それぞれ、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介してレンズ３の外周部３２に点接触し、これにより、レンズ３が支持されている。なお、溝２２の底面２２１は、レンズ３、すなわち、円滑膜４には接触していない。
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００５９】
＜第５実施形態＞
図６は、本発明の光学部品の第５実施形態を示す断面図である。なお、図６は、前述した第１実施形態の図２中のＡ−Ａ線での断面図に対応する図である。
以下、第５実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６０】
図６に示すように、第５実施形態の光学部品１では、レンズ３は、その外周部に、その１周に亘ってコバ部３３が形成されている。そして、円滑膜４およびプラズマ重合膜５は、コバ部３３に設けられている。
そして、レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき（光軸３１と平行な断面視で）、レンズ３のコバ部の４つの角部３４は、それぞれ、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して支持部２１の溝の内面に点接触し、これにより、レンズ３が支持されている。
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００６１】
＜第６実施形態＞
図７は、本発明の光学部品の第６実施形態を示す断面図である。なお、図７は、前述した第１実施形態の図２中のＡ−Ａ線での断面図に対応する図である。
以下、第６実施形態について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６２】
図７に示すように、第６実施形態の光学部品１では、レンズ３として、両凹レンズが用いられている。このレンズ３では、そのレンズ３の支持部２１と円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して接触する部位の付近において、レンズ３の厚さがその中心に向かって漸減している。
また、固定具２の支持部２１の溝２２の断面形状は、台形状をなしている。これにより、レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき（光軸３１と平行な断面視で）、支持部２１には、４つの突起２４が形成され、各突起２４は、それぞれ、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介してレンズ３の外周部３２に点接触し、これにより、レンズ３が支持されている。なお、溝２２の底面２２１は、レンズ３、すなわち、円滑膜４には接触していない。
【００６３】
また、支持部２１、すなわち、各突起２４は、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介してレンズ３の外周部３２に引っ掛かり、そのレンズ３をレンズ３の外周方向に引っ張っている。但し、この引っ張り力は、微小なものである。
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
なお、この光学部品１では、固定具２が複数の部材に分割されていて、その各部材を、レンズ３の中心側から外周側に引っ張るように構成してもよい。
【００６４】
＜第７実施形態＞
図８は、本発明の光学部品の第７実施形態を示す断面図である。なお、図８は、前述した第１実施形態の図２中のＡ−Ａ線での断面図に対応する図である。
以下、第７施形態について、前述した第６実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６５】
図８に示すように、第７施形態の光学部品１では、レンズ３の光軸３１に対して垂直な方向から見たとき（光軸３１と平行な断面視で）、レンズ３の４つの角部３５は、それぞれ、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して支持部２１の溝２２の側面２２２、２２３に点接触し、これにより、レンズ３が支持されている。
また、レンズ３の各角部３５は、円滑膜４およびプラズマ重合膜５を介して支持部２１の溝２２の側面２２２、２２３に引っ掛かり、そのレンズ３は支持部２１によりレンズ３の外周方向に引っ張られている。
この光学部品１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
以上説明したような光学部品１の用途は、特に限定されず、例えば、レンズを有する各種の装置に適用することができ、例えば、画像形成装置等に好適に適用することができる。
【００６６】
＜プロジェクターの実施形態＞
次に、本発明の画像形成装置をプロジェクター（投射型表示装置）に適用した場合の実施形態について説明する。
図９は、本発明の画像形成装置をプロジェクターに適用した場合の実施形態を摸式的に示す図である。
【００６７】
図９に示すプロジェクター３００は、光源装置７と、インテグレータレンズ３０２および３０３を有する照明光学系と、色分離光学系（導光光学系）と、赤色に対応した（赤色用の）液晶ライトバルブ８４と、緑色に対応した（緑色用の）液晶ライトバルブ８５と、青色に対応した（青色用の）液晶ライトバルブ８６と、赤色光のみを反射するダイクロイックミラー面８１１および青色光のみを反射するダイクロイックミラー面８１２が形成されたダイクロイックプリズム（色合成光学系）８１と、投射レンズ（投射光学系）８２とを備えている。
【００６８】
色分離光学系は、ミラー３０４、３０６、３０９、青色光および緑色光を反射する（赤色光のみを透過する）ダイクロイックミラー３０５、緑色光のみを反射するダイクロイックミラー３０７、青色光のみを反射するダイクロイックミラー３０８、集光レンズ３１０、３１１、３１２、３１３および３１４を有している。集光レンズ３１０〜３１４としては、それぞれ、前述した光学部品１が用いられている。なお、図９では、固定具の図示は、省略されている。
【００６９】
液晶ライトバルブ８５は、液晶パネル１６と、液晶パネル１６の入射面側に接合された第１の偏光板（図示せず）と、液晶パネル１６の出射面側に接合された第２の偏光板（図示せず）とを有している。液晶ライトバルブ８４および８６も、液晶ライトバルブ８５と同様の構成をなしている。これら液晶ライトバルブ８４、８５および８６の各液晶パネル１６は、それぞれ、図示しない駆動回路にそれぞれ接続されている。
なお、このプロジェクター３００では、液晶ライトバルブ８４、８５、８６および駆動回路により、光源装置７から出射した光を画像情報に基づいて変調する変調装置の主要部が構成され、投射レンズ８２により、その変調装置により変調された光を投射する投射装置の主要部が構成される。
【００７０】
次に、プロジェクター３００の作用を説明する。
まず、光源装置７から出射した白色光（白色光束）は、インテグレータレンズ３０２および３０３を透過する。この白色光の光強度（輝度分布）は、インテグレータレンズ３０２および３０３により均一化される。
インテグレータレンズ３０２および３０３を透過した白色光は、ミラー３０４で図９中左側に反射し、その反射光のうちの青色光（Ｂ）および緑色光（Ｇ）は、それぞれダイクロイックミラー３０５で図９中下側に反射し、赤色光（Ｒ）は、ダイクロイックミラー３０５を透過する。
【００７１】
ダイクロイックミラー３０５を透過した赤色光は、ミラー３０６で図９中下側に反射し、その反射光は、集光レンズ３１０により整形され、赤色用の液晶ライトバルブ８４に入射する。
ダイクロイックミラー３０５で反射した青色光および緑色光のうちの緑色光は、ダイクロイックミラー３０７で図９中左側に反射し、青色光は、ダイクロイックミラー３０７を透過する。
【００７２】
ダイクロイックミラー３０７で反射した緑色光は、集光レンズ３１１により整形され、緑色用の液晶ライトバルブ８５に入射する。
また、ダイクロイックミラー３０７を透過した青色光は、ダイクロイックミラー３０８で図９中左側に反射し、その反射光は、ミラー３０９で図９中上側に反射する。前記青色光は、集光レンズ３１２、３１３および３１４により整形され、青色用の液晶ライトバルブ８６に入射する。
【００７３】
このように、光源装置７から出射した白色光は、色分離光学系により、赤色、緑色および青色の三原色に色分離され、それぞれ、対応する液晶ライトバルブ８４、８５および８６に導かれ、入射する。
この際、液晶ライトバルブ８４の液晶パネル１６の各画素は、赤色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路により、スイッチング制御（オン／オフ）され、また、液晶ライトバルブ８５の液晶パネル１６の各画素は、緑色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路により、スイッチング制御され、また、液晶ライトバルブ８６の液晶パネル１６の各画素は、青色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路により、スイッチング制御される。
これにより、赤色光、緑色光および青色光は、それぞれ、液晶ライトバルブ８４、８５および８６で変調され、赤色用の画像、緑色用の画像および青色用の画像がそれぞれ形成される。
【００７４】
前記液晶ライトバルブ８４により形成された赤色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ８４からの赤色光は、入射面８１３からダイクロイックプリズム８１に入射し、ダイクロイックミラー面８１１で図９中左側に反射し、ダイクロイックミラー面８１２を透過して、出射面８１６から出射する。
また、前記液晶ライトバルブ８５により形成された緑色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ８５からの緑色光は、入射面８１４からダイクロイックプリズム８１に入射し、ダイクロイックミラー面８１１および８１２をそれぞれ透過して、出射面８１６から出射する。
【００７５】
また、前記液晶ライトバルブ８６により形成された青色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ８６からの青色光は、入射面８１５からダイクロイックプリズム８１に入射し、ダイクロイックミラー面８１２で図９中左側に反射し、ダイクロイックミラー面８１１を透過して、出射面８１６から出射する。
このように、前記液晶ライトバルブ８４、８５および８６からの各色の光、すなわち液晶ライトバルブ８４、８５および８６により形成された各画像は、ダイクロイックプリズム８１により合成され、これによりカラー画像が形成される。この画像は、投射レンズ８２により、所定の位置に設置されているスクリーン３２０上に投影（拡大投射）される。
以上説明したプロジェクター３００によれば、前述した光学部品１を有しているので、優れた信頼性を有するとともに、高品位な画像を表示することができる。
【００７６】
以上、本発明の光学部品、光学部品の製造方法および画像形成装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１…光学部品  ２…固定具  ２１…支持部  ２２…溝  ２２１…底面  ２２２、２２３…側面  ２３…角部  ２４…突起  ３…レンズ  ３１…光軸  ３２…外周部  ３３…コバ部  ３４、３５…角部  ４…円滑膜  ５…プラズマ重合膜  １６…液晶パネル  ７…光源装置  ８１…ダイクロイックプリズム  ８１１、８１２…ダイクロイックミラー面  ８１３〜８１５…入射面  ８１６…出射面  ８２…投射レンズ  ８４〜８６…液晶ライトバルブ  ３００…プロジェクター  ３０２、３０３…インテグレータレンズ  ３０４、３０６、３０９…ミラー  ３０５、３０７、３０８…ダイクロイックミラー  ３１０〜３１４…集光レンズ  ３２０…スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013238747.tif 000010
【図８】
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【図９】
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