(57)【要約】【課題】ノズルプレートの耐久性の向上した液体噴射ヘッドおよびブレードの劣化を抑えた液体噴射装置を提供すること。【解決手段】ノズルプレート２２の外周に段差部２２０が設けられ、段差部２２０にも撥水膜１００が形成されているので、段差部２２０を形成しないで噴射面２２２に撥水膜１００を形成した場合と比較して、ノズルプレート２２外周の露出した側面２２１の面積を狭くできる。したがって、インクが側面２２１に触れる確率も小さくでき、ノズルプレート２２がエッチングされにくく、ノズルプレート２２の耐久性の向上した記録ヘッドを得ることができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートの外周には、前記液体が噴射される噴射面から前記噴射面と対向する面に向かって前記ノズルプレートの厚さが薄くなる段差部が設けられ、
前記噴射面から前記段差部にわたって撥水膜が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズルは、前記噴射面側の第１の内径を有する第１のノズル部と前記対向する面側の第２の内径を有する第２のノズル部とを有し、
前記第１の内径は前記第２の内径よりも小さい
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
少なくとも前記ノズルプレートの側面が接着剤で覆われている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記ノズルプレートの前記噴射面をふき取る部材とを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとして、例えば、ノズルプレートに形成されたノズル開口と連通する圧力室内のインクを加圧して、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドが知られている。
液体噴射ヘッドを複数使用し、ユニット固定板を用いて、液体噴射ヘッド間の位置を決め、固定する構造が知られている。液体噴射ヘッドのノズルプレートの大きさは、ユニット固定板の開口部より大きく形成され、ノズルプレートは、開口部を取り囲むユニット固定板で支えられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、ノズルプレートとして、例えば、複数のノズルプレートが形成されたシリコン基材から切り出すシリコンノズルプレートの製造方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。ノズル開口からのインク滴離れをよくしたり、インク滴の吐出面の汚れを防止したりするために、吐出面には撥水膜が形成されている。
ここで、コスト削減のため、１つのシリコン基材から多くのノズルプレートを取り出すために、ノズルプレートの小型化が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１６７９５６号公報
【特許文献２】特開２０１１−８９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ノズルプレートの小型化に伴って、ユニット固定板の開口部より小さなノズルプレートを使用し、例えば、圧力室の一部が形成される流路基板にノズルプレートを接着し、流路基板をユニット固定板で支えて、液体噴射ヘッド間の位置を決め、固定する構造では、ノズルプレートの側面が露出した構造となる。
ノズルプレートの側面が露出していると、液体によってノズルプレートがエッチングされる。また、ノズルプレートを、液体噴射装置に設けられたブレードでワイピングすると、ノズルプレートの角でブレードが傷つきブレードが劣化する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドであって、前記ノズルプレートの外周には、前記液体が噴射される噴射面から前記噴射面と対向する面に向かって前記ノズルプレートの厚さが薄くなる段差部が設けられ、前記噴射面から前記段差部にわたって撥水膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【０００８】
この適用例によれば、ノズルプレートの外周に段差部が設けられ、段差部にも撥水膜が形成されているので、段差部を形成しないで噴射面に撥水膜を形成した場合と比較して、ノズルプレート外周の露出した側面の面積が狭くなる。したがって、液体が側面に触れる確率も小さくなり、ノズルプレートがエッチングされにくく、ノズルプレートの耐久性の向上した液体噴射ヘッドが得られる。
【０００９】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドであって、前記ノズルは、前記噴射面側の第１の内径を有する第１のノズル部と前記対向する面側の第２の内径を有する第２のノズル部とを有し、前記第１の内径は前記第２の内径よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、噴射面側の第１のノズル部の第１の内径が、噴射面と対向する面側の第２のノズル部の第２の内径より小さいので、ノズル内の液体の液面が噴射面と対向する面に向かって後退しようとすると、液体の表面張力によって液面が縮もうとするので、内径の小さい第１のノズル部に引き戻される。また、噴射面には撥水膜が形成されているので液体の液面は、噴射面に近い位置でメニスカスを形成する。したがって、安定した液体の噴射が可能な液体噴射ヘッドが得られる。
また、段差部の段差と第１のノズル部の深さとは同じ工程でハーフエッチングされるので、第１のノズル部の加工とともに同じ加工方法で段差部の加工が行える。
ここで、段差部の段差と第１のノズル部の深さとが同じとは、製造上のばらつきによるずれが生じても、同じという文言に含むものである。
【００１０】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドであって、少なくとも前記ノズルプレートの側面が接着剤で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、露出したノズルプレートの側面が接着剤で覆われているので、液体によってエッチングされる側面の露出が少なくなり、ノズルプレートの耐久性のより向上した液体噴射ヘッドが得られる。
【００１１】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドと、前記ノズルプレートの前記噴射面をふき取る部材とを備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【００１２】
この適用例によれば、前述の効果を達成できる液体噴射装置が得られる。また、ノズルプレートの側面が、噴射面より離れた位置にあるので、製造過程で側面に発生した欠けによるブレードの劣化を抑えた液体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】プリンターの構成を示す概略構成図。
【図２】記録ヘッドの構成を示す分解概略斜視図。
【図３】ヘッドユニットの構成を示す分解概略斜視図。
【図４】ヘッドユニットの概略断面図。
【図５】ヘッドユニットとユニット固定板とが接合される部分の拡大概略断面図。
【図６】（ａ）は、ノズルプレートを噴射面から見た平面図、（ｂ）はノズルプレートの側面図。
【図７】ノズルプレートが切り出されるシリコンウェーハーの平面図。
【図８】（ａ）は、ノズルプレートが切り出される前の溝付近の概略拡大図、（ｂ）は、ノズルプレートが切り出された後の段差部付近の概略拡大図。
【図９】溝を形成しないで、シリコンウェーハーから各ノズルプレートを切り離した従来例を示す拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式プリンター（液体噴射装置の一種で、以下単にプリンター１という）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッド３という）を例に挙げて行う。
【００１５】
まず、プリンター１の概略構成について、図１を参照して説明する。図１は、プリンター１の構成を示す概略構成図である。
図１において、プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面へ液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。
プリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。ここで、インクは、インクカートリッジ７に貯留されている。インクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。
なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。
【００１６】
キャリッジ移動機構５は、タイミングベルト８を備えている。このタイミングベルト８は、ＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。パルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。
また、プリンター１は、記録媒体２の表面へインクを噴射して画像等の記録を行う領域外に、記録ヘッド３の後述するノズルプレートのインクの噴射面２２２をワイピングして清掃する、噴射面をふき取る部材としてのブレード１０００を備えている。
【００１７】
図２は、記録ヘッド３の構成を示す分解概略斜視図である。実施形態における記録ヘッド３は、ケース１５と、複数のヘッドユニット１６と、ユニット固定板１７と、ヘッドカバー１８とにより概略構成されている。
ケース１５は、内部にヘッドユニット１６や図示しない集束流路を収容する箱体状部材であり、上面側に針ホルダー１９が形成されている。この針ホルダー１９は、インク導入針２０を取り付けるための板状部材であり、実施形態においてはインクカートリッジ７のインクの色に対応させて８本のインク導入針２０がこの針ホルダー１９に横並びに配設されている。
インク導入針２０は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、先端部に開設された図示しない導入孔から図１に示したインクカートリッジ７内に貯留されたインクをケース１５内の集束流路を通じてヘッドユニット１６側に導入する。
【００１８】
また、ケース１５の底面側には、４つのヘッドユニット１６が、主走査方向に横並びに位置決めされた状態で各ヘッドユニット１６に対応した４つの開口部１７０を有する金属製のユニット固定板１７に接合されると共に、同じく各ヘッドユニット１６に対応する４つの開口部１８０が開設された金属製のヘッドカバー１８によってケース１５に固定される。
【００１９】
ヘッドユニット１６は、ノズルプレート２２、フレキシブルケーブル３９等を備えている。
ノズルプレート２２は、ユニット固定板１７の開口部１７０より小さい大きさで、ヘッドユニット１６は、ノズルプレート２２以外の後述する部材とユニット固定板１７に接合されている。
フレキシブルケーブル３９は、ヘッドユニット１６を駆動する駆動電圧を、図１に示したプリンター１から供給するものである。
例えば、フレキシブルケーブル３９としてＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）基板を用いることができる。
【００２０】
図３は、ヘッドユニット１６の構成を示す分解概略斜視図であり、図４は、ヘッドユニット１６の概略断面図である。また、図５は、ヘッドユニット１６とユニット固定板１７とが接合される部分の拡大概略断面図である。
なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００２１】
図３において、実施形態におけるヘッドユニット１６は、ノズルプレート２２、流路基板２３、共通液室基板２４、コンプライアンス基板２５等から概略構成され、これらの部材を積層した状態でユニットケース２６に取り付けられている。
ここで、ノズルプレート２２は、他の基板より積層面が小さく形成されている。
【００２２】
ノズルプレート２２は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２７を列状に開設した板状の部材である。実施形態では、３００ｄｐｉに対応するピッチで３００個のノズル２７を列設することでノズル列が構成されている。実施形態においては、当該ノズルプレート２２に２つのノズル列が形成されている。ここで、２つのノズル列は、ノズル２７の並んだ方向にノズル２７間のピッチの半分だけずれて形成されている。
ノズルプレート２２は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板またはステンレス鋼等から形成できる。
【００２３】
流路基板２３は、その上面（共通液室基板２４側の面）に二酸化シリコンからなる極薄い弾性膜３０が熱酸化によって形成されている。
図４において、流路基板２３には、異方性エッチング処理によって複数の隔壁で区画された圧力室３１が各ノズル２７に対応して複数形成されている。したがって、圧力室３１も列状に形成され、ノズル２７の並んだ方向にノズル２７間のピッチの半分だけずれている。
流路基板２３における圧力室３１の列の外側には、共通液室３２の一部を区画する連通空部３３が形成されている。この連通空部３３は、インク供給路３４を介して各圧力室３１と連通している。
【００２４】
図４および図５において、流路基板２３のノズルプレート２２が接合される側には、外周に凸部２３０が形成されている。
ノズルプレート２２は、凸部２３０の内側に、ノズルプレート２２の側面２２１によって位置決めされてはめ込まれている。
また、ヘッドユニット１６は、ユニット固定板１７の開口部１７０に、凸部２３０で位置決めされてはめ込まれている。
【００２５】
図６（ａ）に、ノズルプレート２２を噴射面２２２から見た平面図を、図６（ｂ）にノズルプレート２２の側面図を示した。
図４、図５および図６において、ノズルプレート２２の外周には、インクが噴射される噴射面２２２から噴射面２２２と対向する面２２３に向かってノズルプレート２２の厚さが薄くなる段差部２２０が設けられている。
また、図４および図５において、噴射面２２２から段差部２２０にわたって撥水膜１００が形成されている。
【００２６】
図５において、ノズル２７は、噴射面２２２側の第１の内径ｒを有する第１のノズル部２７１と噴射面２２２と対向する面２２３側の第２の内径Ｒを有する第２のノズル部２７０とを有している。
第１の内径ｒは第２の内径Ｒよりも小さく、段差部２２０の段差Ｄと第１のノズル部２７１の深さｄとは、同じ工程でハーフエッチングされた深さとなる。
また、段差部２２０およびノズルプレート２２の側面２２１が接着剤３００で覆われている。ここで、接着剤３００は、少なくとも側面２２１を覆っていればよい。
【００２７】
外周に段差部２２０が形成されたノズルプレート２２は、例えば、以下に述べる製造方法で製造することができる。
図７に、ノズルプレート２２が切り出されるシリコンウェーハー４００の平面図を示した。また、図８（ａ）には、ノズルプレート２２が切り出される前の溝４１０付近の概略拡大図を、図８（ｂ）には、ノズルプレート２２が切り出された後の段差部２２０付近の概略拡大図を示した。
図７において、例えば、ノズルプレート２２の製造方法として、複数の直方体で板状のノズルプレート２２を、一枚のシリコンウェーハー４００から切り出す方法がある。ここで、一枚のシリコンウェーハー４００からたくさんのノズルプレート２２を切り出せるように、切り出されるノズルプレート２２は隙間なく配置される。
例えば、直方体で板状のノズルプレート２２の場合、平面視において隣り合う長方形の辺２２４を共有するように配置する。
【００２８】
先ず、図４〜図６に示したノズルプレート２２のノズル２７を、エッチングによって形成する。エッチングは、噴射面２２２側からのエッチングで第１のノズル部２７１を形成し、噴射面２２２と対向する面２２３側からのエッチングで第２のノズル部２７０を形成する。
エッチングは、例えば、ドライエッチングを用いることができる。
【００２９】
図８（ａ）において、第１のノズル部２７１を形成する際に、噴射面２２２側から、切り出されるノズルプレート２２の共有される各辺２２４に沿って溝４１０が形成されるようにエッチングを行う。エッチングの結果、辺２２４に沿って第１のノズル部２７１の深さｄと同じ深さＤの溝４１０が形成される。ここで、第１のノズル部２７１を形成するとともに、溝４１０を形成してもエッチングの位置等で製造上のばらつきとして第１のノズル部２７１の深さｄと溝４１０の深さＤが異なる場合があるが、文言上同じと表現する。
次に、噴射面２２２から溝４１０にわたって撥水膜１００を形成する。撥水膜１００は、例えば、フッ素含有有機化合物から形成することができる。撥水膜１００の撥水性は、純水の撥水膜１００に対する接触角が４０°以上が好ましい。
その後、図８（ｂ）において、溝４１０を分割するように各ノズルプレート２２を、図８（ａ）に示す分割部４２０で切り離すことによって、ノズルプレート２２の噴射面２２２側の外周に段差部２２０が形成される。分割部４２０は、切り離されたそれぞれのノズルプレート２２の側面２２１になる。
【００３０】
図９に、溝４１０を形成しないで、シリコンウェーハー４００から従来例の各ノズルプレート５００を切り離した従来例を示した。図９（ａ）は、ノズルプレート５００が切り出される前の概略拡大図を、図９（ｂ）は、ノズルプレート５００が切り出された後の概略拡大図である。同じ構成要素、部材等には同符号を付している。
分割の際に欠け２２５や撥水膜１００のはがれ部２２６が発生する場合があるが、従来例で発生する欠け２２５やはがれ部２２６と比較して、図８（ｂ）において、実施形態で発生する欠け２２５やはがれ部２２６は、段差部２２０の噴射面２２２から遠い位置に発生する。
【００３１】
図４において、流路基板２３の上面の弾性膜３０上には、図示しない共通素子電極と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる図示しない圧電体層と、金属からなる図示しない個別素子電極とを順次積層することで形成された圧電素子３５が圧力室３１毎に形成されている。
共通素子電極は、例えば、白金（Ｐｔ）などの金属やルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ）などの金属酸化物からなる。また、個別素子電極は、例えば、Ａｕ、Ｉｒなどの金属からなる。
【００３２】
圧電素子３５は、所謂撓みモードの圧電素子であり、圧力室３１の上部を覆うように形成されている。実施形態において、２列のノズル列に対応して２列の圧電素子列が、ノズル列方向で見て圧電素子３５が互い違いとなる状態でノズル列方向に並設されている。
なお、弾性膜３０上に形成される電極が個別素子電極で、圧電体層上に形成される電極が共通素子電極である構成を採用することもできる。
【００３３】
実施形態においては、圧力室３１の一部を区画する弾性膜３０上に各圧電素子３５に共通な共通素子電極が、ノズル列方向に沿って同方向に長尺な平面視矩形状に連続的に形成され、その上に圧電体層、個別素子電極が順次積層されて圧電素子３５毎にパターニングされている。個別素子電極の長手方向の寸法は、共通素子電極の短尺方向の幅よりも少し長くなっている。
また、個別素子電極の幅方向（短尺方向）の寸法は、圧電素子３５の幅と同程度に揃えられている。隣り合うノズル列の間には、各個別素子電極に対応して当該電極に導通する平面視短冊状の個別素子電極端子４８（４８ａ、４８ｂ）が形成されている。この個別素子電極端子４８の長尺方向の寸法は、隣の共通素子電極に接触しない程度の長さに設定されている。また、個別素子電極端子４８の幅方向（短尺方向）の寸法は、個別素子電極の幅の寸法に揃えられている。そして、一方（図において左側）のノズル列に対応する個別素子電極端子４８ａと、他方（図において右側）のノズル列に対応する個別素子電極端子４８ｂとは、ノズル列方向において互い違いに並ぶように一定の間隔で列状に配置されている。これらの個別素子電極端子４８は、フレキシブルケーブル３９と電気的に接続される部分である。
各圧電素子３５は、フレキシブルケーブル３９を通じて個別素子電極および共通素子電極間に駆動電圧が印加されることにより変形するように構成されている。
【００３４】
図３および図４において、圧電素子３５が形成された流路基板２３上には、厚さ方向に貫通した貫通空部３６を有する共通液室基板２４が配置される。
共通液室基板２４の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路基板２３の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましい。例えば、流路基板２３がシリコン単結晶基板の場合と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成することができる。
【００３５】
また、この共通液室基板２４における貫通空部３６は、流路基板２３の連通空部３３と連通して共通液室３２の一部を区画する。また、共通液室基板２４には、圧電素子３５に対向する領域に当該圧電素子３５の駆動を阻害しない程度の大きさの圧電素子収容空部３７が形成されている。
さらに、共通液室基板２４において、隣り合う圧電素子列の間には、基板厚さ方向を貫通した配線空部３８が形成されている。この配線空部３８内には、平面視において、圧電素子３５の個別素子電極端子４８等が配置される。
【００３６】
また、共通液室基板２４の上面側には、コンプライアンス基板２５が配置される。このコンプライアンス基板２５における共通液室基板２４の貫通空部３６に対向する領域には、インク導入針２０側からのインクを共通液室３２に供給するためのインク導入口４０が厚さ方向に貫通して形成されている。
また、このコンプライアンス基板２５の貫通空部３６に対向する領域のインク導入口４０および後述する貫通口２５ａ以外の領域は、極薄く形成された可撓部４１となっており、この可撓部４１によって貫通空部３６の上部開口が封止されることで共通液室３２が区画形成される。そして、この可撓部４１は、共通液室３２内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。さらに、コンプライアンス基板２５の中央部には、貫通口２５ａが形成されている。この貫通口２５ａは、ユニットケース２６の空部４４と連通する。
【００３７】
ユニットケース２６は、インク導入口４０に連通してインク導入針２０側から導入されたインクを共通液室３２側に供給するためのインク導入路４２が形成されると共に、可撓部４１に対向する領域にこの可撓部４１の膨張を許容する凹部４３が形成された部材である。このユニットケース２６の中心部には、厚さ方向に貫通した空部４４が開設されており、この空部４４内にフレキシブルケーブル３９の一端側が挿通されている。ユニットケース２６の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属材料が挙げられる。
【００３８】
フレキシブルケーブル３９は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルムの一方の面に圧電素子３５への駆動電圧の印加を制御するための制御ＩＣ５２が実装されると共に、この制御ＩＣ５２に接続される個別電極配線のパターンが形成されている。
また、フレキシブルケーブル３９の一端部には、図示しない一端側個別電極配線端子が、圧電素子３５の各個別素子電極端子４８に対応して複数列設され、他端部には、プリンター１本体側からの信号を中継する基板の基板端子部に接続される他端側個別電極配線端子が複数列設されている。そして、フレキシブルケーブル３９は、両端部の配線端子以外の配線パターンや制御ＩＣ５２の表面がレジストで覆われている。
【００３９】
ノズルプレート２２、流路基板２３、共通液室基板２４、コンプライアンス基板２５、及び、ユニットケース２６は、接着剤や熱溶着フィルム等を間に配置して積層した状態で加熱することで相互に接合される。
【００４０】
以上のように構成されたヘッドユニット１６を備える記録ヘッド３は、各ノズルプレート２２がプラテンローラー６に対向した状態でノズル列方向が副走査方向と一致するようにキャリッジ４に取り付けられる。そして、各ヘッドユニット１６は、インクカートリッジ７からのインクを、インク導入路４２を通じてインク導入口４０から共通液室３２側に取り込み、共通液室３２からノズル２７に至るインク流路（液体流路の一種）をインクで満たす。そして、フレキシブルケーブル３９からの駆動電圧を圧電素子３５に供給してこの圧電素子３５を撓み変形させることによって、対応する圧力室３１内のインクに圧力変動を生じさせ、このインクの圧力変動を利用してノズル２７からインクを噴射させる。
【００４１】
このような実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）ノズルプレート２２の外周に段差部２２０が設けられ、段差部２２０にも撥水膜１００が形成されているので、段差部２２０を形成しないで噴射面２２２に撥水膜１００を形成した場合と比較して、ノズルプレート２２外周の露出した側面２２１の面積を狭くできる。したがって、インクが側面２２１に触れる確率も小さくでき、ノズルプレート２２がエッチングされにくく、ノズルプレート２２の耐久性の向上した記録ヘッド３を得ることができる。
【００４２】
（２）噴射面２２２側の第１のノズル部２７１の第１の内径ｒが、噴射面２２２と対向する面２２３側の第２のノズル部２７０の第２の内径Ｒより小さいので、ノズル２７内のインクの液面が噴射面２２２と対向する面２２３に向かって後退しようとすると、インクの表面張力によって液面が縮もうとするので、内径の小さい第１のノズル部２７１に引き戻される。また、噴射面２２２には撥水膜１００が形成されているのでインクの液面は、噴射面２２２に近い位置でメニスカスを形成する。したがって、安定したインクの吐出が可能な記録ヘッド３を得ることができる。
また、段差部２２０の段差Ｄと第１のノズル部２７１の深さｄとが同じであるので、第１のノズル部２７１の加工とともに同じ加工方法で段差部２２０の加工を行うことができる。
【００４３】
（３）露出したノズルプレート２２の側面２２１が接着剤３００で覆われているので、インクによってエッチングされる側面２２１の露出が少なくなり、ノズルプレート２２の耐久性のより向上した記録ヘッド３を得ることができる。
【００４４】
（４）前述の効果を達成できるプリンター１を得ることができる。また、ノズルプレート２２の側面２２１が、噴射面２２２より離れた位置にあるので、製造過程で側面２２１に発生した欠けによるブレード１０００の劣化を抑えたプリンター１を得ることができる。
【００４５】
以上、実施形態を説明したが、上述したものに限定されるものではない。
例えば、実施形態では、段差部２２０の段差Ｄと第１のノズル部２７１の深さｄとが同じものを例として挙げたが、形成方法が異なっていて、段差Ｄと第１のノズル部２７１の深さが異なっていてもよい。
また、実施形態では、ノズルが内径の異なる第１のノズル部２７１と第２のノズル部２７０とで構成されていたが、一つの内径を有するノズルから構成されていてもよい。
さらに、実施形態では、噴射面２２２をふき取る部材としてのブレード１０００を示したが、回転しながら噴射面をふき取るロール状の部材であってもよい。
【００４６】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてプリンターを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１…プリンター、２…記録媒体、３…記録ヘッド、４…キャリッジ、５…キャリッジ移動機構、６…プラテンローラー、７…インクカートリッジ、８…タイミングベルト、９…パルスモーター、１０…ガイドロッド、１５…ケース、１６…ヘッドユニット、１７…ユニット固定板、１８…ヘッドカバー、１９…針ホルダー、２０…インク導入針、２２…ノズルプレート、２３…流路基板、２４…共通液室基板、２５…コンプライアンス基板、２５ａ…貫通口、２６…ユニットケース、２７…ノズル、３０…弾性膜、３１…圧力室、３２…共通液室、３３…連通空部、３４…インク供給路、３５…圧電素子、３６…貫通空部、３７…圧電素子収容空部、３８…配線空部、３９…フレキシブルケーブル、４０…インク導入口、４１…可撓部、４２…インク導入路、４３…凹部、４４…空部、４８…個別素子電極端子、４８ａ…個別素子電極端子、４８ｂ…個別素子電極端子、５２…制御ＩＣ、１００…撥水膜、１７０，１８０…開口部、２２０…段差部、２２１…側面、２２２…噴射面、２２３…対向する面、２２４…辺、２２６…はがれ部、２３０…凸部、２７０…第２のノズル部、２７１…第１のノズル部、３００…接着剤、４００…シリコンウェーハー、４１０…溝、４２０…分割部、５００…ノズルプレート、１０００…ブレード。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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