(57)【要約】      （修正有）【課題】ポンプを、要求ある小型、簡単駆動、長寿命化するにあたり、磨耗するような部分をポンプの構成部品に使用しないで、効率良く液を送るポンプにするという課題がある。【解決手段】マイクロポンプを作成するのに、シャトル内に永久磁石を埋め込み、該シャトルのシリンダーの外側に磁気コイル２を配し、磁気コイルで永久磁石４を外部から動作させることでポンプとすること、また１ストロークでの液吐出量を多くするためにコイルを２つ以上配して、リニアモータとして動作させて流量を多くすることができる。脈動をなくす目的で２つ以上のポンプを備えて、脈動を抑えることができる。永久磁石と磁気コイルを使って、液を送ることと、シリンダー１とシャトル３とは、シール（オーリングなど）を使わないで渦を発生させることで液を供給側にシリンダーとシャトルの隙間から出ていかないようにする。【選択図】図１
2013204529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプにおいて、シリンダーとシャトルとシャトルにつけた弁と永久磁石を搭載し、該シリンダーには、、固定部に弁を配置し、コイルを該シリンダーの外部に配置して該コイルに電気を流して磁化し、シャトル内に内臓した永久磁石を動かすことでシャトルを動かし、ポンプとして動作させることを特徴とする磁気コイルポンプ
【請求項２】
請求項１の磁気コイルポンプにおいて、シャトルがシリンダーの内壁に沿って動作するときに隙間を設けることで負荷を少なく動かす。そのとき液を液室に入れるときには、シャトルの弁を開いて液を入れる。該隙間からも液が入る。次に液室内の液をシャトルに付けた弁を閉じて吐出させるとき、つまり吐出方向にシャトルが進むときにこの隙間から液が漏れ出すことが無いようにする目的で、、この隙間に液が入り込まないようにする為にシャトルにＵの字のカットを入れて渦を発生させ、該隙間から液の漏れ量を少なくしたことを特徴とする磁気コイルポンプ
【請求項３】
請求項１の磁気コイルポンプの流量を確保する目的でコイルを２個以上にして１回の動作で吐出する液量を増加させる目的で、該コイルに磁界を次々に発生させてリニアモータのように動作させることを特徴とする磁気コイルポンプ
【請求項４】
該磁気コイルポンプの脈動を少なくするために２個以上のポンプを並列に配置して液吐出と液吸引を交互に行うポンプの特性を生かして、吐出する液の量を一定にすることを特徴とする磁気コイルポンプ
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気コイルポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気コイルポンプは、パソコンなどの小型化、薄型化によりＩＣの冷却などには、従来の空冷式のものでは、大きすぎるのとＩＣの集積度が上がって発熱量も多いので冷却に水冷式のものが要求されている。また小型で信頼性の高い磨耗など劣化するところの無いポンプが必要になってきている。
【０００３】
信頼性が高く、磨耗などで部品が劣化するなどの消耗部品の無いポンプが必要になってきている。
そこで渦をパッキンの代わりになるように発生させて、効率良く液を送り出すことでパッキンシールをしないで液を送り出すポンプを作成する。
【０００４】
従来ポンプは、チューブ式ポンプやギヤーポンプ、超音波振動ポンプなどがあり小型ポンプといってもその駆動方式やモータなど要求されるものより大型のものになっており、磨耗する部分があったり、駆動回路の複雑かつ高価なもので、部品点数も多い、寿命が短いなどの欠点を有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許４８９２７５７燃料電池用小型ポンプ及びゴム部材
【特許文献２】特許４２７９６６２小型ポンプ
【発明の概要】
【０００６】
ポンプを部品点数を少なく、かつ長寿命ポンプ化、かつ安価製造するという要求がある。
この要求に答えるポンプの発明は、ポンプを従来の駆動方法と違う方法で行うことにする。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上のような背景に鑑み、、要求ある小型、簡単駆動、長寿命化するにあたり、磨耗するような部分をポンプの構成部品に使用しないで、効率良く液を送るポンプにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
課題を解決するための手段として、磁気コイルと永久磁石を使用してシリンダー内に配置した永久磁石を組み込んだシャトルを磁気コイルとの反発と吸着の動作をさせることでポンプを作成する。
【０００９】
本発明のポンプは、部品点数も少なく、駆動回路が簡単でかつ磨耗するところも無く、長寿命ポンプになる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のポンプ断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図
【図２】本発明のポンプ断面図で液室に液を満たそうとする吸引の動きに入る状態図
【図３】本発明のポンプ断面図で液室に液を満たした状態図
【図４】本発明のポンプ断面図で液室に液を満たした後で液を吐出開始状態図
【図５】本発明のポンプ断面図で液室に液を満たした後で液を吐出中の状態図
【図６】シャトルの構造説明図
【図７】本発明の磁気コイルポンプの断面図で液室に液が満たされている状態図
【図８】本発明の磁気コイルポンプの断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図
【図９】本発明の磁気コイルポンプの断面図で吐出終了の状態図
【図１０】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たそうとする吸引の動きに入る状態図
【図１１】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たした状態図
【図１２】磁気コイルのシャトルの構造説明図
【図１３】磁気コイルのシャトルと弁の組み合わせ説明図
【図１４】２個のポンプを磁気ポンプを並列に組み合わせた図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面にもとづいて説明する。
【実施例】
【００１２】
図１は、ポンプ断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図であり、１は、シリンダー  ２は、磁気コイル、３はシャトル  ４は、シャトル内部に固定された永久磁石、３ａは弁６の取り付け用ピンで弁６はこの軸にスライドするように装着されていて隙間の分だけ動いて液を液室に入れたり、吐出させたりする。
【００１３】
そうすることで５は、固定枠である。５ａは、弁７の取り付けピンであり、弁７は、５ａのピンを軸にして、その隙間分だけスライドして液を入れるように５の固定枠との隙間を開き液を通し、液を吐出しないように閉じて液を止めることでポンプの弁としての働きをさせる。
【００１４】
図２は、本マイクロポンプの液室に液を入れる動作に入ったところの断面図である。シャトル３が右方向に磁気コイルの磁化による作用によって引き込まれる。そのとき弁６が３ａのピンの隙間の反対側に移動して液を３ｂの液通路を通って液室に吸い込む。
【００１５】
図３は、液室に液を入れてシリンダーの停止位置まで移動したところの画である。３ｂの液通路は、開いている。次に図４で磁気コイル２に逆磁界を発生させてシャトルを左に向けて押し出すように動くときの最初の状態を描いている。弁６は、シャトル３の３ｂの液通路を塞ぐように配する。
【００１６】
図５は、シャトル３に液を吐出している状態で弁６は３ｂの液通路を塞ぐ、５の固定枠の弁７は、５ｂの液通路から液が出るように開いているので、ポンプの液を送ることができる。
【００１７】
図６は、３のシャトルの３１Ｃの凹部を設ける。この部分は、シリンダー１とシャトル３との隙間を液が自由に往来することができる状態では、ポンプの液吐出能力を下げてしまう。そこで液室に液が入る方向にシャトル３が動くときには、３１Ｃの凹部で液に隙間に液が入る前に渦を起こすことで隙間に液が自由に入れないようにすることで液室から吐出する方向と逆側に逆送する液を少なくすることができ、効率良いポンプになる。シールパッキンを使用しないのでポンプの摩擦駆動ロスもなくなり、ポンプに磨耗などの発生場所を設けないことが可能になるので、寿命が長いポンプに仕上げることができる。
【００１８】
図７は、ポンプの吐出液量を多くすることを目的にしたもので磁気コイルを２個配置したことでストロークを大きくすることができる。１１がシリンダーで２１ａの磁気コイルに通電してシリンダー３１を左方向に動かす。
【００１９】
図８は液室に溜まった液を吐出開始した断面図で３１のシャトルは、４１の永久磁石を有していて、弁６１は３１ａの軸で支持されていてスライドして動くような隙間をもって配置されている。５１の固定枠には、５１ａのピンに７１の弁が同じく隙間をスライドするように配置されておりシャトル３１が左に動いて液室の液を送り出すと弁７１は、左にスライドして液を通して吐出させる。
【００２０】
図９は、２１ｂの磁気コイルに通電してシャトル３１の中に内臓された４１の永久磁石を引き込んで左に動かして５１の固定枠のところで停止したところで液吐出が終了した。
【００２１】
図１０は、２１ｂの磁気コイルに先に流した方向と反対の磁界を起こすように２１ｂの磁気コイルに磁界を発生させてシャトル３１を右方向に動かすところの画である。このとき弁６１は、左に動き、開く。７１の弁は、右に動き５１ｂの液通路を閉じるのでポンプの逆流を阻止する。
【００２２】
その後磁気コイル２１ａに最初にシャトル３１を左方向に飛び出させたのときの電気と反対方向に磁界を発生させてシャトル３１をさらに右に動かして停止位置まで動かす。
【００２３】
つぎに液室内に液が３１ｂの液通路を通って流入し、図１１の位置まで戻って液室に液が充満する。この動作を繰り返すことでポンプとして動かす。ストロークは、磁気コイルを２個使っているの大きくなり、１回で吐出する液量が増加する。
【００２４】
また磁気コイルを２個以上設けて順番に動作させるとシャトル３１のストロークを増加させることができる。動きは、リニアモータと同じドライブ方式になる。
【００２５】
図１２、図１３は、シャトルの形状で３１には３１ａのピン部と３１ｂの液通路と永久磁石４１を配置する。３１ａのピン部には６１の弁が液通路の開閉をおこない液室の液を吐出と液室に液を吸引する作用をさせる働きをする。
【００２６】
図１４は、このタイプのポンプの欠点は、液を吐出した後、液室に液を入れるときに液の吐出が止まってしまうので、脈動が起こってしまう。そこで２個このポンプ８０を並列に配置して、８１と８２の２又のつなぎチューブを使い、片方のポンプが吐出しているときにもう一方のポンプが液室に液を入れているというように、交互に吐出と吸引の動作をコントロールすることで液吐出の脈動を取ることができる。かつ液の流れに途切れなくできるのと液の流量を２倍にすることができる。
【００２７】
上記の説明で小型のマイクロポンプとしての説明をしているが、永久磁石を大型にして磁気コイルを大型化すると大型ポンプにすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
このポンプを使うとパソコンの小型化ＩＣの集積度が増えて発熱が多い場合のＩＣ冷却に使用するポンプとして水冷ポンプとして使用することができる。その他の小型ポンプで寿命が長いのと、反発磁界を利用するので少ないエネルギーで動作するということで、産業用ポンプとして使える要素を持っている。
【００２９】
またシリンダーを樹脂で作成し、シャトルも樹脂にし、弁などの接液部をすべて樹脂にすると金属コンタミがないので純水の送液ポンプとしても使うことができる。
【００３０】
ステンレスで作成することで燃料などの液を送るときに使用するポンプに仕上げるなどいろいろな液を送るポンプとしての活用が可能。しかも磨耗するところがなくかつ小型になる。
【符号の説明】
【００３１】
１：シリンダー
２： 磁気コイル
３：シャトル
４：永久磁石
５： 固定枠
６：弁
７：弁
１１：シリンダー
２１： 磁気コイル
３１：シャトル
４１：永久磁石
５１： 固定枠
６１：弁
７１：弁
８０：マイクロポンプ
８１：２又流路
８２：２又流路
【図１】
2013204529.tif 000003
【図２】
2013204529.tif 000004
【図３】
2013204529.tif 000005
【図４】
2013204529.tif 000006
【図５】
2013204529.tif 000007
【図６】
2013204529.tif 000008
【図７】
2013204529.tif 000009
【図８】
2013204529.tif 000010
【図９】
2013204529.tif 000011
【図１０】
2013204529.tif 000012
【図１１】
2013204529.tif 000013
【図１２】
2013204529.tif 000014
【図１３】
2013204529.tif 000015
【図１４】
2013204529.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月29日(2013.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダーとシャトルとシャトルにつけた弁と永久磁石を搭載し、該シリンダーの固定部に弁を配置し、コイルを該シリンダーの外部に配置して該コイルに電気を流して磁化し、シャトル内に内蔵した永久磁石を動かすことでシャトルを動かし、ポンプとして動作させる磁気コイルポンプにおいて、
前記シリンダー内の液室から液を吐出させるときに前記シャトルと前記シリンダーの内壁との隙間に液が入り込まないようにする為に、渦を発生させる凹部を一端面に有するシャトルを備えることを特徴とする磁気コイルポンプ。
【請求項２】
請求項１の磁気コイルポンプにおいて、１回の往復の動作で吐出する液量を倍増させるために、前記コイルを２個以上有するシリンダーを備えることを特徴とする磁気コイルポンプ。
【請求項３】
請求項１又は２の磁気コイルポンプの脈動を少なくするために２個以上の前記磁気コイルポンプを並列に配置することを特徴とする磁気コイルポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【特許文献１】特許４８９２７５７号公報
【特許文献２】特許４２７９６６２号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
以上のような背景に鑑み、要求ある小型、簡単駆動、長寿命化するにあたり、磨耗するような部品をポンプの構成部品に使用しないで、効率良く液を送るポンプにするという課題がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
課題を解決するための手段として、磁気コイルと永久磁石を使用してシリンダー内に配置した永久磁石を組み込んだシャトルを磁気コイルとの反発と吸着の動作をさせることでポンプを作成する。
[発明の効果]
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【図１】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図
【図２】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たそうとする吸引の動きに入る状態図
【図３】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たした状態図
【図４】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たした後で液を吐出開始状態図
【図５】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たした後で液を吐出中の状態図
【図６】シャトルの構造説明図
【図７】本発明の磁気コイルポンプの断面図で液室に液が満たされている状態図
【図８】本発明の磁気コイルポンプの断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図
【図９】本発明の磁気コイルポンプの断面図で吐出終了の状態図
【図１０】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たそうとする吸引の動きに入る状態図
【図１１】本発明の磁気コイルポンプ断面図で液室に液を満たした状態図
【図１２】磁気コイルポンプのシャトルの構造説明図
【図１３】磁気コイルポンプのシャトルと弁の組み合わせ説明図
【図１４】２個の磁気コイルポンプを並列に組み合わせた図
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図１は、ポンプ断面図で液室に液が満たされていて吐出開始の状態図であり、１は、シリンダー、２は、磁気コイル、３はシャトル、４は、シャトル内部に固定された永久磁石、３ｂは液通路、３ａは弁６の取り付け用ピンで弁６はこの軸にスライドするように装着されていて隙間の分だけ動いて液通路３ｂを通して液を液室に入れたり、吐出させたりする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
５は、固定枠である。この固定枠５は、弁７と、弁７を取り付ける取り付けピン５ａと、液通路５ｂを有する。弁７は、５ａのピンを軸にして、その隙間分だけスライドして液を入れるように５の固定枠との隙間を開き、液を通し、液を吐出しないように閉じて液を止めることでポンプとしての働きをさせる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図２は、本マイクロポンプの液室に液を入れる動作に入ったところの断面図である。シャトル３が右方向に磁気コイル２の磁化による作用によって引き込まれる。そのとき弁６が３ａのピンの隙間の反対側に移動して液を３ｂの液通路を通って液室に吸い込む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図３は、液室に液を入れて液を満たし、シリンダーが停止位置まで移動したところの図である。３ｂの液通路は、開いている。次に図４で磁気コイル２に逆磁界を発生させてシャトルを左に向けて押し出すように動くときの最初の状態（吐出開始状態図）を描いている。弁６は、シャトル３の３ｂの液通路を塞ぐように配する。このとき、５の固定枠の弁７はまだ塞いだままである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図５は、シャトル３に液を吐出している状態を示す図である。弁６は３ｂの液通路を塞ぐ、５の固定枠の弁７は、５ｂの液通路から液が出るように開いているので、ポンプの液を送ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図６は、シャトル３の構造を説明した図である。 図６（Ａ）はシャトル３の斜視図、図６（Ｃ）はシャトル３の正面の断面図であり、図６（Ｂ）はシャトル３の左側面図、図６（Ｄ）はシャトル３の右側面図、図６（Ｅ）は図６（Ｃ）で示したＢの領域の詳細図である。
シリンダー１とシャトル３との隙間を液が自由に往来することができることでは、ポンプの液吐出能力を下げてしまう。そこで、本発明では図６（Ｅ）と（Ｂ）に示すように、シャトル３に凹部３ｃを設ける。液室に液が入る方向にシャトル３が動くときには、シャトルの３ｃの凹部で液に渦を起こすことで隙間に液が自由に入れないようにして、液室から吐出する方向と逆側に逆送する液を少なくすることができ、効率良いポンプになる。シールパッキンを使用しないのでポンプの摩擦駆動ロスもなくなり、ポンプに磨耗などの発生場所を設けないことが可能になるので、寿命が長いポンプに仕上げることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図７に示すポンプは、ポンプの吐出液量を多くすることを目的にしたポンプで、シリンダー１１に磁気コイルを２個（２１a、２１ｂ）配置した。こうすることでシャトル３１のストロークを大きくすることができる。また、２１ａの磁気コイルに通電してシャトル３１を左方向に動かすことができる。ここでは、ポンプの液室に液が満たされている状態図を示す。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図８は液室に溜まった液を吐出開始したポンプの断面図である。３１のシャトルは、４１の永久磁石を有していて、弁６１は３１ａの軸で支持されていてスライドして動くような隙間をもって配置されている。５１の固定枠には、５１ａのピンに７１の弁が同じく隙間をスライドするように配置されておりシャトル３１が左に動いて液室の液を送り出すと弁７１は、左にスライドして液を通して吐出させる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図９は、吐出終了の状態を示すポンプの断面図である。２１ｂの磁気コイルに通電してシャトル３１の中に内蔵された４１の永久磁石を引き込んで左に動かして５１の固定枠のところで停止して液吐出が終了した。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図１０は、ポンプの断面図で液室に液を満たそうとする吸引の動きに入る状態図である。２１ｂの磁気コイルに先に流した方向と反対の磁界を起こすように２１ｂの磁気コイルに磁界を発生させてシャトル３１を右方向に動かすところの図である。このとき弁６１は、左に動き、開く。７１の弁は、右に動き５１ｂの液通路を閉じるのでポンプの逆流を阻止する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
つぎに液室内に液がシャトル３１の液通路３１ｂ（図１２参照）を通って流入し、図１１の位置まで戻って液室に液が充満する。図１１は、ポンプ断面図で液室に液を満たした状態図である。この動作を繰り返すことでポンプとして動かす。ストロークは、磁気コイルを２個使っているので、大きくなり、１回で吐出する液量が増加する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図１２は、シャトル３１の構造説明図であり、図１３は、シャトル３１と弁の組み合わせを説明した図である。図１２に示すように、シャトル３１には３１ａのピン部と３１ｂの液通路と永久磁石４１を配置する。また、図１３に示すように、３１ａのピン部には６１の弁が液通路の開閉をして、液室の液を吐出する作用と液室に液を吸引する作用をさせる働きをする。図６と同様に、図１３に示すシャトル３１の一端面には、凹部３１ｃが形成されている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１４は、２個の磁気コイルポンプを並列に組み合わせた図である。図１から図１３で説明したポンプの欠点は、液を吐出した後、液室に液を入れるときに液の吐出が止まってしまうので、脈動が起こってしまうことである。そこで２個のポンプ８０を並列に配置して、８１と８２の２又のつなぎチューブを使い、片方のポンプが吐出しているときにもう一方のポンプが液室に液を入れているというように、交互に吐出と吸引の動作をコントロールすることで液吐出の脈動を取ることができる。かつ液の流れが途切れなくできるのと液の流量を２倍にすることができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明のポンプは水冷ポンプとして、パソコンの小型化ＩＣの集積度が増えて発熱が多い場合のＩＣ冷却に使用することができる。その他の小型ポンプで寿命が長いのと、反発磁界を利用するので少ないエネルギーで動作するということで、産業用ポンプとして使える要素を持っている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
ステンレスで作成することで燃料などの液を送るときに使用するポンプに仕上げるなどいろいろな液を送るポンプとしての活用が可能である。しかも磨耗するところがなくかつ小型のポンプになる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
１：シリンダー
２： 磁気コイル
３：シャトル
３ａ：ピン
３ｂ：液通路
３ｃ：凹部
４：永久磁石
５： 固定枠
５ａ：ピン
５ｂ：液通路
６：弁
７：弁
１１：シリンダー
２１： 磁気コイル
３１：シャトル
３１ａ：ピン
３１ｂ：液通路
３１ｃ：凹部
４１：永久磁石
５１： 固定枠
５１ａ：ピン
５１ｂ：液通路
６１：弁
７１：弁
８０：マイクロポンプ
８１：２又流路
８２：２又流路
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2013204529.tif 000017
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2013204529.tif 000018
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2013204529.tif 000019
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2013204529.tif 000020
【手続補正２６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2013204529.tif 000021
【手続補正２７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2013204529.tif 000022