(57)【要約】【課題】マーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システム、及びマーキング方法を提供する。【解決手段】欠陥検査システム１は、回転軸にカム（２２）が設けられたモータ（２１）と、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段（２３ａ）が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンク（２３）と、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部（２４）と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部（２５）と、を有する。【選択図】図１
2013092395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする欠陥検査システムであって、
回転軸にカムが設けられたモータと、
一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、
駆動範囲を定める設定値を入力する入力部と、
前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部と、
を有することを特徴とする欠陥検査システム。
【請求項２】
前記入力部は、前記マーキング手段が往復動する範囲を指定する設定値を入力し、
前記制御部は、前記往復動する範囲に応じた回転角の範囲に従って、前記モータを正転及び逆転させる、
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査システム。
【請求項３】
前記入力部は、前記マーキング手段が設けられた作業室以外に設置されている、
ことを特徴とする請求項１または請求項２いずれか一項に記載の欠陥検査システム。
【請求項４】
回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、を備える欠陥検査システムにおいて、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする方法であって、
駆動範囲を定める設定値を入力部に入力する入力ステップと、
前記マーキング手段を往復動させる制御部が、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせるモータ切り替えステップと、
を有することを特徴とするマーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マーキング装置を備えた欠陥検査システム、及びマーキング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
合成樹脂などからなる連続シート状物を検査対象とし、欠陥部分を検出する欠陥検査装置と、検出された欠陥部分にマーキングを施すマーキング装置と、を備えた欠陥検査システムが知られている。例えば、このような欠陥検査システムが、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１１４１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
欠陥検査システムでは、マーキング装置におけるマーキング手段、例えばフェルトペンのペン先が早期に磨耗してマーキングを施すことが出来なくなり、或いは、ペン先が押し潰されて余分にインクが流出して連続シート状物を汚すといった不具合が生じ得る。このような不具合が生じた場合の対応において、以下に述べる問題があった。
図４は、欠陥検査システムにおいて用いるマーキング装置９０の構成を示す図である。
マーキング装置９０は、ＡＣサーボモータ９１と、駆動カムディスク９２と、駆動リンク９３と、を備える。
ＡＣサーボモータ９１は、不図示の欠陥検査装置から欠陥部へのマーキングを指示する駆動開始信号が入力されると、自身の回転軸９１ａの回転動作を開始する。駆動カムディスク９２は、ＡＣサーボモータ９１の回転軸９１ａに固定され、回転軸９１ａを中心に回転動作を行う。また、駆動リンク９３は、駆動カムディスク９２の回転運動を検査対象物３（連続シート状物）に対して垂直方向の上下運動に変換する。
【０００５】
駆動リンク９３は、その一端において連結部材９３ｃにより、マーキング手段９３ａを保持する保持部材９３ｂに固定され、他端において連結部材９２ａにより駆動カムディスク９２の外周部に固定される。駆動リンク９３は、連結部材９３ｃの垂直方向における中心点が下死点ＢＤＣ（Bottom Dead Centre）の位置に来たとき、マーキング手段９３ａの先端部を検査対象物３に当接させる。そして、マーキング装置９０は、検査対象物３上の欠陥の位置に垂直にマーキング手段９３ａを当接させることで、欠陥を示すマーキングを施す。なお、下死点ＢＤＣは、図４に示すように、回転軸９１ａの中心から連結部材９２ａの中心への距離を半径Ｒ９２とする円Ｃ９２と、回転軸９１ａから検査対象物３に垂直に引いた直線Ｌ９０との交点で示される。
【０００６】
このように、マーキング装置９０では、駆動カムディスク９２の回転運動の下死点において、マーキング手段９３ａにより検査対象物３にマークを施す構成である。そのため、上述したペン先の磨耗といった不具合が生じた場合、ペン先が検査対象物３に当接する面積が減少、あるいは当接しなくなるため、マーキングが視認できなくなる。
そうすると、連結部材９３ｃと保持部材９３ｂとの接続を緩めるなどしてマーキング手段９３ａの検査対象物３に対する距離を調整し、その後連結部材９３ｃと保持部材９３ｂとの接続を固定するといった人手による位置調整作業が必要となる。この位置調整作業では、マイクロメータ等によりマーキング手段９３ａの検査対象物３に対する距離を微調整しつつ、目視によりマーキングの形状等を確認し、最適なマーキングとなるときのマーキング手段９３ａの位置を決めていた。このように、従来の欠陥検査システムでは、マーキング手段の位置調整には人手による煩雑な作業が必要であるという問題があった。
【０００７】
また、この位置調整作業は、検査工程において少なくない頻度、例えば、連続稼働中であれば一日に２、３回程度発生する場合もある。検査工程は一般的にクリーンルームで行われるため、調整のためにクリーンルームに入室し、検査ラインを停止させて上述した位置調整作業を行なう必要がある。
そのため、マーキング手段の位置を調整する作業時間の検査時間に占める割合が増大するにつれて、継続して最適なマーキングを検査対象物に施すことに支障が出るという問題があった。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、人手による煩雑な位置調整作業を不要とし、かつ、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査システムは、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする欠陥検査システムであって、回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記欠陥検査システムにおいて、前記入力部は、前記マーキング手段が往復動する範囲を指定する設定値を入力し、前記制御部は、前記往復動する範囲に応じた回転角の範囲に従って、前記モータを正転及び逆転させる、ことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記欠陥検査システムにおいて、前記入力部は、前記マーキング手段が設けられた作業室以外に設置されている、ことを特徴とする。
【００１２】
また、上記の課題を解決するために、本発明のマーキング方法は、回転軸にカムが設けられたモータと、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンクと、を備える欠陥検査システムにおいて、移動する検査対象物に存在する欠陥部分を検出してマーキングする方法であって、駆動範囲を定める設定値を入力部に入力する入力ステップと、前記マーキング手段を往復動させる制御部が、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせるモータ切り替えステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、入力部から入力される設定値に従ってマーキング手段を往復動させるようにした。これにより、入力部から設定される設定値に応じて、マーキング手段が往復する範囲を変更することができる。よって、マーキング状態を容易に調整することができる。
【００１４】
つまり、人手によるマーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供できる。また、駆動範囲を定める設定値の入力を入力部から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る欠陥検査システム１の概略構成図である。
【図２】欠陥検査システム１におけるマーキング装置２０を説明するための図である。
【図３】欠陥検査システム１における入力装置２４の概略構成図である。
【図４】欠陥検査システムにおけるマーキング装置９０を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る欠陥検査システム１の概略構成図である。
欠陥検査システム１は、一部が制御室２ａに設けられ、残りの一部がクリーンルーム２ｂに設けられる。
欠陥検査システム１は、制御室２ａ内に、画像処理装置１３、入力装置２４、及び制御部２５を備える。また、欠陥検査システム１は、クリーンルーム２ｂ内に、照明装置１１、ラインセンサ１２、及び欠陥マーキング装置２０を備える。
また、連続シート状の検査対象物３の表面に存在する欠陥を検査するための検査ラインは、クリーンルーム２ｂ内において、検査対象物３が巻き回された供給ロール４と、搬送ロール５ａ、及び搬送ロール５ｂを介して検査対象物３を巻き取る巻き取りロール６とを備える。
【００１７】
検査対象物３は、連続シート状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等であり、検査ライン上を供給ロール４から引き出され、搬送ロール５ａ及び搬送ロール５ｂにより搬送されることで移動する。
【００１８】
欠陥検査装置１０は、搬送ロール５ａ、及び搬送ロール５ｂの間において移動する検査対象物３の表面に光を照射する照明装置１１と、検査対象物３からの反射光を受光して、その画像信号を得るラインセンサ１２と、この画像信号を処理する画像処理装置１３と、を備える。
【００１９】
照明装置１１は、検査対象物３上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物３の移動方向に直交するように配置されたライン状の照明装置であり、例えば、蛍光灯、ロッド
照明、光ファイバ照明等が挙げられる。
【００２０】
ラインセンサ１２は、撮像範囲の長手方向が検査対象物３の移動方向に直交するように配置されたライン状の光センサであり、検査対象物３からの反射光を受光し、検査対象物３の表面の光強度分布に応じた画像信号を出力する。ラインセンサ１２としては、例えば、ＣＣＤ（Chrage Coupled Device）カメラが挙げられる。
なお、図示する例では、ラインセンサ１２を、照明装置１１と同じく検査対象物３の表面側に配置する構成としている。照明装置１１を、ラインセンサ１２とは反対の検査対象物３の背面側に配置し、検査対象物３の背面から光を照射し、透過光をラインセンサ１２が受光する構成としてもよい。
【００２１】
画像処理装置１３は、ラインセンサ１２が出力した画像信号を、所定のプログラムにしたがって処理し、検査対象物３上に存在する欠陥を検出した場合、欠陥を検出したこと、及び検査対象物３の幅方向の位置と移動方向の位置とを表す欠陥位置情報とを示すマーキング開始信号Ｓｔａｒｔをマーキング装置２０に出力する。
【００２２】
マーキング装置２０は、ＡＣサーボモータ２１と、駆動カムディスク２２と、駆動リンク２３と、を含んで構成される。ＡＣサーボモータ２１は、画像処理装置１３から検査対象物３の欠陥部へのマーキングを指示するマーキング開始信号Ｓｔａｒｔが入力されると、制御部２５から入力される回転角度設定信号ＡＳに応じて自身の回転軸９１ａの回転動作を開始する。なお、図１において、半時計回りの回転を正転、時計回りの回転を反転とする。
駆動カムディスク２２は、円状のディスクであり、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａにディスクの中心が固定され、ＡＣサーボモータ２１の回転に応じて、回転軸２１ａを中心に回転動作を行う。
【００２３】
駆動リンク２３は、駆動カムディスク２２の回転運動を検査対象物３に対して垂直方向の上下運動に変換する。
駆動リンク２３は、その一端において、連結部材２２ａ(例えばピンと止め輪）により駆動カムディスク２２の円周部に連結される。
また、駆動リンク２３は、その他端において、連結部材２３ｃ(例えばピンと止め輪)によりマーキング手段２３ａを保持する保持部材２３ｂが連結される。
連結部材２３ｃ（例えばピンと止め輪）により連結されたマーキング手段２３ａの保持部材２３ｂ及びマーキング手段２３ａは、直線ガイド２８（図１において不図示）により検査対象物３に対して常に垂直方向の直線運動となる（詳細後述）。
【００２４】
マーキング手段２３ａとしては、例えば、先端部がペン先となって、このペン先がインクを貯めるペン軸と一体をなすマーキングペンを挙げることができる。先端部を構成するペン先としては、検査対象物３を破損するおそれがない点で、比較的柔らかい材質のもの、例えばフェルト束からなるものが用いられる。
【００２５】
入力装置２４は、制御室２ａにいる作業者がマーキング手段２３ａと検査対象物３との間の距離を手入力することにより、この距離に対応する信号（以下、距離Ｄαとする）を制御部２５に対して出力する。
制御部２５は、この距離Ｄαに基づいてＡＣサーボモータ２１の回転軸の回転を正転から反転へと切り替える角度（連結部材２２ａの終点でもある）を指定する回転角度設定信号ＡＳを、ＡＣサーボモータ２１に対して出力する。
【００２６】
このように、欠陥検査システム１は、マーキング装置２０において、回転軸（回転軸２１ａ）にカム（駆動カムディスク２２）が設けられたモータ（ＡＣサーボモータ２１）と、
一端がカムに連結され、他端にマーキング手段（マーキング手段２３ａ）が設けられ、カムの回転に応じて往復動することでマーキング手段によりマーキングする駆動リンク（駆動リンク２３）と、を有している。
また、欠陥検査システム１は、駆動範囲を定める設定値（距離Ｄα）を入力する入力部（入力装置２４）と、入力部から入力された設定値に応じて、モータを正転と逆転とをさせることでマーキング手段を往復動させる制御部（制御部２５）と、を有している。
【００２７】
作業者は、制御室２ａにおいて入力装置２４にマーキング手段２３ａが往復動する範囲を指定する設定値（距離Ｄα）を入力する。制御部２５は、この設定値に応じた回転角の範囲に従って、回転角度設定信号ＡＳをＡＣサーボモータ２１に出力する。ＡＣサーボモータ２１は、回転角度設定信号ＡＳに従って、回転軸２１ａを正転及び反転させ、駆動カムディスク２２を介して接続された駆動リンク２３、及びマーキング手段２３ａを往復動させる。なお、往復動とは、ＡＣサーボモータ２１の駆動によって、駆動リンク２３またはマーキング手段２３ａが、その長手方向である直線方向へ往復する動作を表す。
そして、このＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａが正転から反転へと転ずるときに、マーキング手段２３ａが検査対象物３の欠陥部に当接する。
【００２８】
このように、本発明によれば、入力部（入力装置２４）から入力される設定値（距離Ｄα）に従ってマーキング手段（マーキング手段２３ａ）を往復動させるようにした。これにより、入力部から設定される設定値に応じて、マーキング手段が往復する範囲を変更することができる。よって、マーキング状態を容易に調整することができる。
つまり、人手によるマーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システムを提供できる。また、駆動範囲を定める設定値の入力を入力部から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。
【００２９】
具体的な一例として、ＡＣサーボモータ２１は、制御部２５が出力する回転角度設定信号ＡＳに応じて、連結部材２２ａの中心が下死点の位置に来る前の終点において回転運動を正転から反転へと切り替える。このＡＣサーボモータ２１が回転を正転から反転へと切り替えるとき、同時に、駆動リンク２３も、下降から上昇へと動作の向きを変える。これにより、連結部材２２ａの中心が下死点の位置に来る前の終点に位置することとなり、連結部材２２ａの中心と検査対象物３との間の距離が最小となり、マーキング手段２３ａの先端部が検査対象物３に当接するこのようにして、マーキング装置２０は、図１に示すようにマーキング手段２３ａの先端を検査対象物３に垂直に当接し、検査対象物３に欠陥を示すマーキングを施す（詳細後述）。
【００３０】
以下、マーキング装置２０の具体的な構成、及び動作について詳述する。
図２は、マーキング装置２０を説明するための図である。
図２において、図１と同じ部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
図２（ａ）〜図２（ｃ）各々において示すように、保持部材２３ｂの後方には、検査対象物３に垂直に設けられる支持板（不図示）に、その長手方向が検査対象物３に垂直となるように直線ガイドレール２８ａが固定される。摺動ブロック２８ｂは、直線ガイドレール２８ａ上を、上下方向に、すなわち検査対象物３に垂直となるように直線運動を行なう滑動部材である。この摺動ブロック２８ｂと直線ガイドレール２８ａとにより、直線ガイド２８を構成する。直線ガイド２８のうち摺動ブロック２８ｂは、保持部材２３ｂとの間にマーキング手段２３ａを挟むように保持部材２３ｂに固定され、保持部材２３ｂとともにマーキング手段２３ａを保持する。これにより、直線ガイド２８は、駆動リンク２３とともに、駆動カムディスク２２の回転運動に応じて、マーキング手段２３ａを検査対象物３に対して垂直方向の直線Ｌ０上で往復運動させる。
【００３１】
図２（ａ）は、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態を示している。図２（ａ）において、直線Ｌ０は、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａの中心を通り、検査対象物３に対して垂直方向である直線を示す。直線Ｌ１は、直線Ｌ０に垂直であって回転軸２１ａの中心を通り、駆動カムディスク２２の直径方向であり、かつ検査対象物３に対して平行方向である直線を示す。また、半径Ｒ２２は、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａの中心と連結部材２２ａの中心との距離を示す。円Ｃ２２は、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａの中心を、円の中心とする半径Ｒ２２の円周を示す。
【００３２】
マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態では、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａの中心と連結部材２２ａの中心とを通る直線（直線Ｌ２とする）は、直線Ｌ１と円Ｃ２２の反時計回りの方向へ角度α（０≦α≦９０°）をなし、連結部材２２ａの中心は終点ＭＥに位置する。この終点ＭＥは、直線Ｌ１と円Ｃ２２との交点である下死点ＢＤＣとは異なる点である。
つまり、ＡＣサーボモータ２１が、回転角度設定信号ＡＳに応じて、直線Ｌ１と直線Ｌ２とのなす角度が角度αになるとき回転運動を正転から反転へと切り替えれば、駆動リンク２３も下降から上昇へと動作の向きを変え、連結部材２２ａの中心を終点ＭＥに位置することができる。これにより、連結部材２２ａの中心（終点ＭＥ）は検査対象物３から最小距離となり、マーキング手段２３ａの先端部は検査対象物３に当接する。
【００３３】
図２（ｂ）は、マーキング手段２３ａの先端を検査対象物３から距離Ｄαだけ離した状態を示している。つまり、連結部材２２ａの中心は、直線Ｌ１上に位置している。
ここで、距離Ｄαと、図２（ａ）に示す角度α（°）との関係は、近似的に次式（１）で表される。
距離Ｄα＝半径Ｒ２２×ｓｉｎ（２π×角度α／３６０）・・・（１）
例えば、半径Ｒ２２＝１６ｍｍ、距離Ｄα＝６．７８ｍｍであれば、角度α＝２５．０７°である。
【００３４】
そこで、制御室２ａにいる作業者が距離Ｄαを図１に示す入力装置２４に入力すると、制御部２５が、式（１）に基づいて、直線Ｌ１と直線Ｌ２とのなす角度αを算出し、ＡＣサーボモータ２１がこの角度αになるとき回転軸２１ａの回転を正転から反転へと切り替える。これにより、連結部材２２ａの中心（終点ＭＥ）は検査対象物３から最小距離となり、マーキング手段２３ａの先端を検査対象物３に当接した状態とすることができる。
【００３５】
また、図２（ａ）に示す様に、連結部材２２ａの終点ＭＥを、直線Ｌ１と円Ｃ２２との交点である下死点ＢＤＣとは異なる位置とした。そのため、マーキング手段２３ａの先端が磨耗などして、距離Ｄαが大きくなった場合でも、制御室２ａにいる作業者が入力装置２４から距離Ｄαを再設定し、制御部２５がその距離Ｄαに応じて角度αを再設定することにより、図２（ａ）に示すようにマーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態とすることができる。
【００３６】
例えば、距離Ｄα＝６．７９ｍｍとなった場合、式（１）より、角度α＝２５．１１°であり、距離Ｄα＝６．８０ｍｍとなった場合、式（１）より、角度α＝２５．１５°である。このように、本実施形態では、入力装置２４により距離Ｄαを１０μｍ変化させると、角度αを０．０４°変化させることができるので、いずれかの角度αにおいてマーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態とすることができることになる。
【００３７】
このように、距離Ｄαが変化しても、変化後の距離Ｄαを図１に示す入力装置２４に入力し、ＡＣサーボモータ２１が調整後の角度αになる位置で回転軸２１ａの回転を正転から反転へと切り替えることにより、連結部材２２ａの中心（終点ＭＥ）は検査対象物３から最小距離となり、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態とすることができる。
【００３８】
つまり、図４を用いて説明したマーキング装置９０では、連結部材９２ａの下死点ＢＤＣにおいてマーキング手段９３ａの先端が検査対象物３に当接する設定としている。そのため、マーキング手段９３ａの先端が磨耗するなどして、マーキング手段９３ａの先端が検査対象物３に当接しなくなった場合、連結部材９３ｃと保持部材９３ｂとの接続を緩め、或いは締める作業により、マーキング手段９３ａを保持部材９３ｂに対して下方向にずらすなどして、連結部材９２ａの下死点ＢＤＣにおいて、マーキング手段９３ａの先端が検査対象物３に当接するように調整する必要があった。
【００３９】
これに対して、本実施形態におけるマーキング装置２０では、連結部材２２ａの終点ＭＥにおいて、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接しなくなった場合であっても、制御室２ａにいる作業者が入力装置２４に距離Ｄαを再設定し、この距離Ｄαに応じて制御部２５が角度αを再設定することで、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接するように調整することができる。
【００４０】
なお、上述した例では、直線Ｌ１上に駆動カムディスク２２の連結部材２２ａがある場合を基準にして、つまり、ＡＣサーボモータ２１の回転運動を角度αの範囲で行なう場合について距離Ｄαと角度αとの対応関係を説明したが、この例に限られない。
図２（ｃ）は、ＡＣサーボモータ２１の回転軸２１ａの初期点を示す図である。図２（ｃ）において、直線Ｌ２ａは、回転軸２１ａの中心を通り、駆動カムディスク２２の直径方向であり、かつ直線Ｌ１に対して時計回りに角度β（０°＜β≦２７０°−α）をなす直線を示す。
この図２（ｃ）に示すように、駆動カムディスク２２の連結部材２２ａの中心（始点）が、直線Ｌ２ａ上に位置するところから、ＡＣサーボモータ２１の回転運動を開始してもよい。この場合、距離Ｄβと角度（α＋β）の関係は、近似的に次式（２）で表される。
距離Ｄβ＝半径Ｒ２２×ｓｉｎ（２π×角度α／３６０）
＋半径Ｒ２２×ｓｉｎ（２π×角度β／３６０）・・・（２）
【００４１】
例えば、角度α＝角度βとすれば、距離Ｄβは上述した距離Ｄαの２倍の距離となる。制御室２ａにいる作業者がこの距離Ｄβを図１に示す入力装置２４に入力すると、制御部２５が、式（２）に基づいて角度α及び角度βを算出し、この角度α及び角度βに従ってＡＣサーボモータ２１を駆動させる。これにより、ＡＣサーボモータ２１は、直線Ｌ２ａと直線Ｌ１とのなす角度が角度αになる位置で回転軸２１ａの回転運動を正転から反転へと切り替えることで、連結部材２２ａの終点ＭＥは検査対象物３から最小距離となり、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３に当接した状態とすることもできる。
【００４２】
図３は、上述した距離Ｄα、或いは距離Ｄβを入力する入力装置２４の概略構成図である。なお、以下では、距離Ｄαを入力する場合について、つまり図２（ｂ）で示す位置の距離Ｄαを制御室２ａにいる作業者が入力装置２４に入力し、制御部２５が角度αに従ってＡＣサーボモータ２１を駆動させる場合について説明する。
入力装置２４は、制御室２ａにいる作業者が押下することにより入力する距離Ｄαを＋側へ増大する操作ボタン２５ａ、距離Ｄαを−側に減少する操作ボタン２５ｂ、距離Ｄαを直接的な値として入力する入力欄２６、及び実際に入力されたＤαを表示する目盛付きの表示部２７を含んで構成される。
【００４３】
操作ボタン２５ａ、及び操作ボタン２５ｂは、それぞれインクリメントボタン、デクリメントボタンであり、作業者がボタンを一度押下する度に、距離Ｄαを所定の長さ（例えば１０μｍ単位）で増加あるいは減少させることができる。
入力欄２６は、例えば距離Ｄαをｍ単位で小数第２位まで入力可能な入力部である。例えば、入力欄２６は、所定の長さ（例えば１０μｍ単位）で距離Ｄαを入力可能な入力部である。
表示部２７は、最小値ＭＩＮと最大値ＭＡＸの間で設定された距離Ｄαを表示する。例えば、上記図２（ａ）に示す半径Ｒ２２が１６ｍｍの場合、目盛の最大値ＭＡＸは１６ｍｍ、目盛の最小値ＭＩＮは０ｍｍを表示する。
【００４４】
（終点ＭＥの調整方法）
次に、上述した欠陥検査システム１において、検査対象物３上のマーキングが、マーキング手段２３ａの先端の磨耗等により、最適なマーキングを施すことが出来なくなった場合の連結部材２２ａの中心（終点ＭＥ）の調整方法について説明する。
まず、図２を用いて説明した例と同じく、図２（ｂ）に示すように距離Ｄαは検査ラインの稼動時においてＤα＝６．７８ｍｍの状態で、図２（ａ）に示すように直線Ｌ１と直線Ｌ２とが作る角度αを角度α＝２５°に初期設定する場合について説明する。
【００４５】
制御室２ａにおいて、作業者は、入力装置２４の入力欄２６に、距離Ｄαとして、例えば６．８０をタッチパネルやキーボート等を用いて直接入力する。このとき、入力装置２４の表示部２７は、距離Ｄαを６．８ｍｍの位置に応じた目盛で表示する。
制御部２５は、入力された距離Ｄα（＝６．８０ｍｍ）に応じた回転角度設定信号ＡＳをＡＣサーボモータ２１に出力する。ＡＣサーボモータ２１は、画像処理装置１３からマーキング開始信号Ｓｔａｒｔが入力されると、回転角度設定信号ＡＳに応じて、連結部材２２ａの中心を通る直線Ｌ２と直線Ｌ１が重なる位置（図２（ｂ）参照）から反時計回りに回転運動を開始する。ＡＣサーボモータ２１は、直線Ｌ２と直線Ｌ１との間の角度が角度α（＝２５．１５°）になると、直線Ｌ２と直線Ｌ１が重なる位置まで時計回りに回転運動をし、次の回転角度設定信号ＡＳとマーキング開始信号Ｓｔａｒｔとの入力を待つ。
【００４６】
直線Ｌ２と直線Ｌ１との間の角度が角度αになったとき、マーキング手段２３ａの先端は直線Ｌ０上において最下点に位置し、検査対象物３にマーキングが施される。
作業者は、制御室２ａからクリーンルーム２ｂの検査ラインを流れる検査対象物３に施されたマーキングを目視する。作業者は、マーキングが予定のサイズよりも大きく、また、インクが滲みすぎていると判断した場合、距離Ｄα＝６．８０ｍｍのままでは、マーキング手段２３ａの先端が検査対象物３におしつぶされるおそれがあるので、入力装置２４の操作ボタン２５ｂを押下し、距離Ｄαを１０μｍ単位で、６．８０ｍｍより少ない値となるように調整する。制御部２５は、式（１）により入力された距離Ｄαから角度αを算出し、算出した角度αに応じた回転角度設定信号ＡＳをＡＣサーボモータ２１に出力する。ＡＣサーボモータ２１は、回転角度設定信号ＡＳに応じて、距離Ｄαの設定値が１０μｍ変化するたびに、角度αを約０．０４°少ない角度へ変更する。
【００４７】
例えば、作業者が入力装置２４に距離Ｄα＝６．７７ｍｍを入力した場合、制御部２５は、式（１）より角度αを２５．０３°と算出し、角度α＝２５．０３°に応じた回転角度設定信号ＡＳをＡＣサーボモータ２１に出力する。ＡＣサーボモータ２１は、直線Ｌ２と直線Ｌ１との間の角度が角度α（＝２５．０３°）になると、直線Ｌ２と直線Ｌ１が重なる位置まで時計回りに回転運動をし、次の回転角度設定信号ＡＳとマーキング開始信号Ｓｔａｒｔとの入力を待つ。
【００４８】
作業者は、制御室２ａからクリーンルーム２ｂの検査ラインを流れる検査対象物３に施されたマーキングを目視する。作業者は、目視したマーキングが、今度は形状が予定のサイズよりも小さく、また、目視で確認するには濃さが薄いと判断した場合、検査ラインをこのまま継続して稼動するには、このマーキングでは最適なマーキングではないので、入力装置２４の操作ボタン２５ａを押下し、距離Ｄαを１０μｍ単位で、６．７７ｍｍより大きい値となるように調整する。
【００４９】
例えば、作業者が、入力装置２４に距離Ｄα＝６．７８ｍｍを入力する。
これにより、マーキング装置２０は、画像処理装置１３からマーキング開始信号Ｓｔａｒｔが入力されるたびに、距離Ｄα＝６．７８ｍｍに従って、マーキングを検査対象物３の欠陥部に施す。作業者は、このマーキング状態を、制御室２ａから目視し、マーキング状態に問題ないと判断すると、作業者は距離Ｄαの設定値をそのままにしておく。
【００５０】
ところが、検査対象物３の欠陥検査を進めるうちに、マーキング手段２３ａの先端が磨耗するなどして、マーキング装置２０の施すマーキングが初期に設定した最適なマーキングではなく、マーキングのサイズも小さく、また、目視で確認するには濃さが薄いマーキングとなってしまう場合がある。
作業者は、マーキングが最適でなくなると、制御室２ａにおいて入力装置２４を操作することで、クリーンルーム２ｂに入室することなく、マーキング装置２０の施すマーキングを最適なマーキングとすることができる。
【００５１】
このように、本発明の欠陥検査システム（欠陥検査システム１）は、移動する検査対象部（検査対象物３）上に存在する欠陥部分を検出してマーキング開始信号（マーキング開始信号Ｓｔａｒｔ）を出力する欠陥検出装置（欠陥検査装置１０）と、マーキング開始信号Ｓｔａｒｔが入力されると、検出された欠陥部分にマーキングを施すマーキング装置（マーキング装置２０）と、を備えた欠陥検査システムである。
ここで、マーキング装置２０は、マーキング開始信号Ｓｔａｒｔが入力されると回転軸の回転を開始するＡＣサーボモータ（ＡＣサーボモータ２１）と、ＡＣサーボモータ２１の回転軸（回転軸２１ａ）に接続され、回転軸２１ａを中心に回転運動を行なう駆動カムディスク（駆動カムディスク２２）と、一端にマーキングを施すマーキング手段（マーキング手段２３ａ）を有し、他端が駆動カムディスク２２の外周部に連結部材２２ａを介して接続され、駆動カムディスク２２の回転運動を検査対象物３に対して垂直方向の上下運動に変換し、マーキング手段２３ａを検査対象物３に当接する駆動リンク（駆動リンク２３）と、を含んで構成される。
また、回転軸２１ａから連結部材２２ａに対する距離を半径（半径Ｒ２２）とする円（円Ｃ２２）と回転軸２１ａから検査対象物３に垂直に降ろした直線（直線Ｌ０）との交点である下死点（下死点ＢＤＣ）以外の点が、連結部材２２ａの回転動作の終点（終点ＭＥ）となるように回転動作を制御する、ことを特徴とする。
【００５２】
本発明によれば、駆動カムディスク２２をＡＣサーボモータ２１に固定する連結部材２２ａの中心の終点ＭＥを、下死点ＢＤＣ以外の点となるように、駆動カムディスク２２の回転動作を制御する。連結部材２２ａが終点ＭＥに位置することは、駆動リンク２３が有するマーキング手段２３ａの先端が検査対象物３と当接することに対応する。これにより、連結部材２２ａの中心の終点ＭＥを制御室２ａに設けられた入力装置２４から予め設定し、施されたマーキングの調整作業の必要が発生した場合であっても、この終点ＭＥを再設定することで、駆動リンク２３が有するマーキング手段２３ａの先端が検査対象物３と当接するようにできる。
【００５３】
つまり、人手によるマーキング手段２３ａの保持部材２３ｂにおける位置の調整作業を不要とし、保持部材２３ｂによるマーキング手段２３ａの保持位置を変更せずに、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システム１を提供できる。また、連結部材２２ａの中心の終点ＭＥの設定を制御室２ａに設けられた入力装置２４から行なうことで、検査工程をストップさせることなく調整作業を行うことができる。
【００５４】
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。例えば、幅方向に複数の欠陥が検出される場合に、マーキング装置２０を検査対象物３の幅方向に複数配置し、互いに並行する複数のマークを検査対象物３にマーキングする構成としてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態では、マーキング手段２３ａが往復動する駆動範囲を、入力装置２４から、距離Ｄαとして、あるいは距離Ｄαを増加あるいは減少させる値として入力し、制御部２５は入力される距離Ｄαと式（１）により角度αを算出し、算出した角度αにおうじて回転角度設定信号ＡＳを出力する構成を示した。しかしながら、これは一例であって、例えば、制御部２５が、入力装置２４から入力される識別信号により参照可能な、距離Ｄαを記憶するテーブルを有する構成としてもよい。この構成をとる場合、作業者が入力装置２４から専用に設けられた操作ボタンを押下するなどして、入力装置２４は、所定の識別信号を制御部２５へ出力する。制御部２５は、入力された識別信号に対応する距離Ｄαをテーブルから読み出し、式（１）に従い角度αを算出し、角度αに応じた回転角度設定信号ＡＳを出力し、ＡＣサーボモータ２１の回転運動の正転及び反転制御を行なってもよい。また、距離Ｄαを記憶するこのテーブルに、各識別信号に角度αをそれぞれ対応付けて記憶しておき、入力装置２４から識別信号が入力されると、制御部２５が、この識別信号に対応する角度αを読み出し、角度αに応じた回転角度設定信号ＡＳを出力してもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１…欠陥検査システム、２ａ…制御室、２ｂ…クリーンルーム、３…検査対象物、４…供給ロール、５ａ，５ｂ…搬送ロール、６…巻き取りロール、１０…欠陥検査装置、１１…照明装置、１２…ラインセンサ、１３…画像処理装置、２０，９０…マーキング装置、２１，９１…ＡＣサーボモータ、２１ａ，９１ａ…回転軸、２２，９２…駆動カムディスク、２２ａ，２３ｃ，９２ａ，９３ｃ…連結部材、２３，９３…駆動リンク、２３ａ，９３ａ…マーキング手段、２３ｂ，９３ｂ…保持部材、２４…入力装置、２５ａ，２５ｂ…操作ボタン、２６…入力欄、２７…表示部、Ｓｔａｒｔ…マーキング開始信号、ＡＳ…回転角度設定信号、Ｄ…距離、ＭＥ…終点、ＢＤＣ…下死点、２８…直線ガイド、２８ａ…直線ガイドレール、２８ｂ…摺動ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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