(57)【要約】【課題】簡易な構成であり、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて高品位な画像を表示することができる電気光学表示装置および電子機器を提供すること。【解決手段】電気光学表示装置１００は、基板５０の一方の主面に設けられた複数のスイッチング素子１を備えるアクティブマトリクス装置１０と、各スイッチング素子１に対応して設けられた窓部３１ａを有する基体３１と、各窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位可能に設けられた可動板３３ａとを備えたシャッター装置３０と、窓部３１ａに対応する部位に第１の反射膜側窓部を有する第１の反射膜１５と、第１の反射膜１５から所定距離離間するように設けられ、入射する光の反射を防止する反射防止膜を兼ねる第２の反射膜１６とを備え、光の出射側と反対側から光を入射し、第１の反射膜１５と第２の反射膜１６との間で光を複数回反射し、光を窓部３１ａから出射する。【選択図】図１
2013238756.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方の主面に設けられた複数のスイッチング素子を備えるアクティブマトリクス
装置と、
前記各スイッチング素子に対応して設けられた窓部を有する基体と、
前記各窓部を開閉するように前記基体に対し変位可能に設けられた可動板と、
前記可動板を変位させて開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段と、を備えたシャ
ッター装置と、
前記アクティブマトリクス装置の光の入射側に設けられ、前記窓部に対応する部位に第
１の反射膜側窓部を有する第１の反射膜と、
前記第１の反射膜の光の入射側に、前記第１の反射膜から所定距離離間し、前記第１の
反射膜と対向するように設けられた第２の反射膜と、
前記第２の反射膜の光の入射側に設けられ、入射する光の反射を防止する反射防止膜と
を備え、
光の出射側と反対側から光を入射し、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間で前
記光を複数回反射し、該光を前記窓部から出射するよう構成されていることを特徴とする
電気光学表示装置。
【請求項２】
前記第１の反射膜および前記第２の反射膜は、それぞれ、高屈折率層と低屈折率層とが
交互に複数積層された積層体であり、前記第２の反射膜が前記反射防止膜を兼ねる請求項
１に記載の電気光学表示装置。
【請求項３】
前記光の入射角度をθ、前記光の波長をλ、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との
間の屈折率をｎmidとしたとき、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間の離間距離
ｄは、下記（１）式の関係を満たすように設定される請求項１または２に記載の電気光学
表示装置。
ｄ＝ｃｏｓθ・（ｎ・ｎmid・λ／２）  ・・・（１）
（但し、ｎは、１以上の整数）
【請求項４】
前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間に設けられ、前記第１の反射膜と前記第２
の反射膜とを離間させる支持基板を有する請求項１ないし３のいずれかに記載の電気光学
表示装置。
【請求項５】
前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間に空隙を形成するスペーサーと、
前記第２の反射膜の光の入射側に設けられた支持基板と、
前記支持基板の光の入射側に設けられ、入射する光の反射を防止する反射防止膜とを備
える請求項１ないし３のいずれかに記載の電気光学表示装置。
【請求項６】
前記反射防止膜は、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層された積層体である請
求項５に記載の電気光学表示装置。
【請求項７】
前記基体は、前記窓部に隣接して遮光部が設けられており、前記可動板は、前記基板の
板面に沿った方向に変位可能に設けられ、前記閉状態では前記窓部上に位置し、前記開状
態では前記遮光部上に位置するように構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載
の電気光学表示装置。
【請求項８】
前記駆動手段は、１対の電極を有し、該１対の電極のうちの一方の電極が前記可動板側
に設けられ、他方の電極が前記基体側に設けられ、前記１対の電極間に電圧を印加するこ
とにより、前記１対の電極間に静電引力を生じさせ、前記可動板を変位させるように構成
されている請求項１ないし７のいずれかに記載の電気光学表示装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の電気光学表示装置を備えることを特徴とする電子
機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学表示装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気光学表示装置としては、例えば、アクティブマトリクス駆動方式を採用するＬＣＤ
（Liquid Crystal Display）パネルが知られている。
ＬＣＤパネルでは、例えば、印加される電界によって液晶の光学特性が変化することを
利用して光シャッターが構成されている。例えば、このような光シャッターを画素ごとに
設けることで、文字や画像を表示することができる。
【０００３】
しかしながら、液晶は、光により劣化するという問題がある。この問題は、用いる光の
強度が大きいほど顕著である。そのため、長期に亘って高品位な画像を表示することが難
しい。
また、このような電気光学表示装置では、用いる光の利用効率を高めることが望ましい
。
【０００４】
特許文献１には、前記問題を解決することができる電気光学表示装置が開示されている
。特許文献１に記載の電気光学表示装置は、基板の一方の面側に設けられた複数のスイッ
チング素子を備えるアクティブマトリクス装置と、前記各スイッチング素子に対応して設
けられた窓部を有する基体と、該各窓部を開閉するように前記基体に対し変位可能に設け
られた可動板と、前記可動板を変位させて開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段と
を備えたシャッター装置と、前記各窓部に対応して設けられたマイクロレンズを備えたマ
イクロレンズアレイとを有している。
前記特許文献１に記載の電気光学表示装置では、マイクロレンズにより光を窓部に集光
するように構成されているものの、光の利用効率が不十分である。また、画素サイズが小
さくなると、マイクロレンズの製造が困難になるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１３９４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、簡易な構成であり、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効
率で用いて高品位な画像を表示することができる電気光学表示装置および電子機器を提供
することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電気光学表示装置は、基板の一方の主面に設けられた複数のスイッチング素子
を備えるアクティブマトリクス装置と、
前記各スイッチング素子に対応して設けられた窓部を有する基体と、
前記各窓部を開閉するように前記基体に対し変位可能に設けられた可動板と、
前記可動板を変位させて開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段と、を備えたシャ
ッター装置と、
前記アクティブマトリクス装置の光の入射側に設けられ、前記窓部に対応する部位に第
１の反射膜側窓部を有する第１の反射膜と、
前記第１の反射膜の光の入射側に、前記第１の反射膜から所定距離離間し、前記第１の
反射膜と対向するように設けられた第２の反射膜と、
前記第２の反射膜の光の入射側に設けられ、入射する光の反射を防止する反射防止膜と
を備え、
光の出射側と反対側から光を入射し、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間で前
記光を複数回反射し、該光を前記窓部から出射するよう構成されていることを特徴とする
。
【０００８】
これにより、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて高品位な画像
を表示することができる。特に、入射した光が第１の反射膜と第２の反射膜との間で複数
回反射して窓部から出射するように構成されているので、マイクロレンズにより光を窓部
に集光する場合に比べて、光の利用効率を高くすることができる。
また、光を出射側と反対側から入射するようになっているので、光の出射方向に対して
横方向から光を入射する場合に比べて、入射した光の方向を横方向から縦方向に変更する
ためのプリズムや拡散板等の複雑な構造を設ける必要がなく、構成を簡素化することがで
きる。
【０００９】
本発明の電気光学表示装置では、前記第１の反射膜および前記第２の反射膜は、それぞ
れ、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層された積層体であり、前記第２の反射膜
が前記反射防止膜を兼ねることが好ましい。
これにより、第１の反射膜と第２の反射膜との間での反射時における光の損失を抑制す
ることができる。また、第２の反射膜における反射膜に対向する反射防止膜では、反射膜
の反対側から入射する光の反射を確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の電気光学表示装置では、前記光の入射角度をθ、前記光の波長をλ、前記第１
の反射膜と前記第２の反射膜との間の屈折率をｎmidとしたとき、前記第１の反射膜と前
記第２の反射膜との間の離間距離ｄは、下記（１）式の関係を満たすように設定されるこ
とが好ましい。
ｄ＝ｃｏｓθ・（ｎ・ｎmid・λ／２）  ・・・（１）
（但し、ｎは、１以上の整数）
これにより、第１の反射膜と第２の反射膜との間での反射時における光の損失を抑制す
ることができる。
【００１１】
本発明の電気光学表示装置では、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間に設けら
れ、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜とを離間させる支持基板を有することが好まし
い。
これにより、構成を簡素化することができる。
本発明の電気光学表示装置では、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間に空隙を
形成するスペーサーと、
前記第２の反射膜の光の入射側に設けられた支持基板と、
前記支持基板の光の入射側に設けられ、入射する光の反射を防止する反射防止膜とを備
えることが好ましい。
これにより、第１の反射膜と第２の反射膜との間に空隙が形成されるので、第１の反射
膜と第２の反射膜との間での反射時における光の損失を抑制することができる。
【００１２】
本発明の電気光学表示装置では、前記反射防止膜は、高屈折率層と低屈折率層とが交互
に複数積層された積層体であることが好ましい。
これにより、光の損失を抑制することができる。
本発明の電気光学表示装置では、前記基体は、前記窓部に隣接して遮光部が設けられて
おり、前記可動板は、前記基板の板面に沿った方向に変位可能に設けられ、前記閉状態で
は前記窓部上に位置し、前記開状態では前記遮光部上に位置するように構成されているこ
とが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、可動板が窓部を開閉することができる。
【００１３】
本発明の電気光学表示装置では、前記駆動手段は、１対の電極を有し、該１対の電極の
うちの一方の電極が前記可動板側に設けられ、他方の電極が前記基体側に設けられ、前記
１対の電極間に電圧を印加することにより、前記１対の電極間に静電引力を生じさせ、前
記可動板を変位させるように構成されていることが好ましい。
これにより、駆動手段の構成を簡単なものとすることができる。そのため、駆動手段の
構成要素が少なく、故障も少ない。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学表示装置を備えることを特徴とする。
これにより、前記本発明の効果を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す電気光学表示装置に備えられたアクティブマトリクス装置を示す平面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図３に示すスイッチング素子を説明するための斜視図である。
【図５】図３に示すスイッチング素子の作動を説明するための図である。
【図６】図１に示す電気光学表示装置に備えられたシャッター装置の平面図である。
【図７】図６に示すシャッター装置の部分拡大平面図である。
【図８】図７中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】図７に示すシャッター装置の動作を説明するための図である。
【図１０】図１に示す電気光学表示装置に備えられた第１の反射膜、第２の反射膜および支持基板を示す縦断面図である。
【図１１】図１に示す電気光学表示装置の作用を説明するための第１の反射膜、第２の反射膜および支持基板を示す縦断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態にかかるシャッター装置の構成を示す部分拡大平面図である。
【図１４】本発明の電子機器の第１の例であるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１５】本発明の電子機器の第２の例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１６】本発明の電子機器の第３の例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１７】本発明の電子機器の第４の例である投射型表示装置の光学系を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の電気光学表示装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基
づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図、図２
は、図１に示す電気光学表示装置に備えられたアクティブマトリクス装置を示す平面図、
図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図４は、図３に示すスイッチング素子を説明するため
の斜視図、図５は、図３に示すスイッチング素子の作動を説明するための図、図６は、図
１に示す電気光学表示装置に備えられたシャッター装置の平面図、図７は、図６に示すシ
ャッター装置の部分拡大平面図、図８は、図７中のＢ−Ｂ線断面図、図９は、図７に示す
シャッター装置の動作を説明するための図、図１０は、図１に示す電気光学表示装置に備
えられた第１の反射膜、第２の反射膜および支持基板を示す縦断面図、図１１は、図１に
示す電気光学表示装置の作用を説明するための第１の反射膜、第２の反射膜および支持基
板を示す縦断面図である。
【００１６】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１、図３、図５、図１０および図１１中の上
側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２、図６、図７およ
び図９中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う
。また、図１では、第１の反射膜および第２の反射膜を簡略化して示す。また、理解を容
易にするため、各図において、各部の厚さ等の寸法は、実際のものとは異なる場合もある
。また、図１１では、見難くなるのを避けるため、支持基板の斜線の図示を省略する。
【００１７】
（電気光学表示装置）
図１に示すように、電気光学表示装置１００は、アクティブマトリクス装置１０と、こ
のアクティブマトリクス装置１０からの通電により駆動するシャッター装置３０と、第１
の反射膜１５と、反射防止膜を兼ねる第２の反射膜１６と、支持基板１４とを有している
。なお、本実施形態では、第２の反射膜１６は、反射膜と反射防止膜の機能を有し、反射
防止膜を兼ねるが、これに限らず、第２の反射膜１６を反射膜とし、その他に、第２の反
射膜１６の光の入射側に反射防止膜を設けてもよい。
【００１８】
このような電気光学表示装置１００では、アクティブマトリクス装置１０、シャッター
装置３０、第１の反射膜１５、支持基板１４および第２の反射膜１６が、図１中上側から
下側に向って、すなわち、光の出射側から入射側に向って、この順に積層されている。
このような電気光学表示装置１００にあっては、図１中下方から入射した光は、第１の
反射膜１５と第２の反射膜１６との間で複数回反射し（一度も反射しない場合もある）、
アクティブマトリクス装置１０およびシャッター装置３０を透過する（図１１参照）。こ
のとき、シャッター装置３０のシャッター機構の開閉がアクティブマトリクス装置１０の
スイッチングにより制御されており、当該シャッター機構の開閉度に応じて、出射する光
の輝度が制御される。
このような電気光学表示装置１００では、図１１に示すように、光が第１の反射膜１５
と第２の反射膜１６との間で複数回反射しているうちに、後述する窓部３１ａから出射す
るので、光の利用効率を高めることができる。
【００１９】
以下、電気光学表示装置１００を構成する各部を順次詳細に説明する。
（アクティブマトリクス装置）
図２に示すアクティブマトリクス装置１０は、複数の第１の配線１１と、この複数の第
１の配線１１に交差するように設けられた複数の第２の配線１２と、各第１の配線１１と
各第２の配線１２との交点付近に設けられた複数のスイッチング素子１とを有し、これら
が基板５０上に設けられている。
【００２０】
基板５０は、アクティブマトリクス装置１０を構成する各部（各層）を支持するもの（
支持体）である。
基板５０には、例えば、ガラス基板、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、
ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、芳香族ポリエステル（液
晶ポリマー）等で構成されるプラスチック基板（樹脂基板）、石英基板、シリコン基板、
ガリウム砒素基板等を用いることができる。
【００２１】
また、基板５０の平均厚さは、その構成材料等によって若干異なり、特に限定されない
が、１０〜２０００μｍ程度であるのが好ましく、３０〜３００μｍ程度であるのがより
好ましい。基板５０の厚さが薄すぎると、基板５０の強度が低下し、支持体としての機能
が損なわれるおそれがあり、一方、基板５０の厚さが厚過ぎると、軽量化の観点から好ま
しくない。
【００２２】
複数の第１の配線１１は、基板５０に沿って互いに平行に設けられ、複数の第２の配線
１２は、各第１の配線１１に交差するとともに、基板５０に沿って互いに平行に設けられ
ている。
本実施形態では、複数の第１の配線１１と複数の第２の配線１２は、互いに直交するよ
うに配列されている。そして、複数の第１の配線１１は、行選択のためのものであり、複
数の第２の配線１２は、列選択のためのものである。すなわち、第１の配線１１および第
２の配線１２のうち、一方がデータ線であり、他方が走査線である。このような複数の第
１の配線１１と複数の第２の配線１２を用いて行選択および列選択を行うことにより、選
択的に所望のスイッチング素子１を作動（可動電極５と駆動電極２との間に電圧を印加）
させることができる。
【００２３】
このように配列された各第１の配線１１と各第２の配線１２との交点付近に各スイッチ
ング素子１を設けることで、マトリクス状に複数のスイッチング素子１を配列するととも
に、各スイッチング素子１に通電することができる。スイッチング素子１については、後
で詳述するが、このスイッチング素子１を用いることにより、高輝度の光にも対応するこ
とができる。なお、スイッチング素子１に限らず、例えば、ＴＦＴ等を用いた他の構成と
してもよい。
【００２４】
このような各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料は、それぞれ、導電性
を有するものであれば、特に限定されず、例えば、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ、
Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｃｕまたはこれらを含む合金等の導電性材料、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＡＴ
Ｏ、ＳｎＯ２等の導電性酸化物、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン
等の炭素系材料、ポリアセチレン、ポリピロール、ＰＥＤＯＴ（ｐｏｌｙ−ｅｔｈｙｌｅ
ｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ）のようなポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ（ｐ
−フェニレン）、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランまたはこれらの誘導体
等の導電性高分子材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて
用いることができる。なお、前述した導電性高分子材料は、通常、酸化鉄、ヨウ素、無機
酸、有機酸、ポリスチレンサルフォニック酸などの高分子でドープされ導電性を付与され
た状態で用いられる。これらの中でも、各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成
材料としては、それぞれ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｔまたはこれらを含む合金
を主とするものが好適に用いられる。これらの金属材料を用いると、電解あるいは無電解
メッキ法を用いて、容易かつ安価に各第１の配線１１および各第２の配線１２を形成する
ことができる。また、アクティブマトリクス装置１０の特性を向上することができる。
【００２５】
本実施形態では、基板５０の一方の面（上面）上には、複数の第１の配線１１が設けら
れていとともに、前述した複数の第１の配線１１を覆うように第１の絶縁層４が設けられ
ている。そして、第１の絶縁層４の基板５０とは反対側の面（上面）上には、前述した複
数の第２の配線１２および導電層６が設けられているとともに、複数の第２の配線１２お
よび導電層６を覆うように第２の絶縁層７が設けられている。
【００２６】
この第１の絶縁層４および第２の絶縁層７は、それぞれ、一部が除去されていて、後述
するスイッチング素子１の駆動部分を収納する収納部（除去部）１３が形成されている。
また、第１の絶縁層４には、後述する導電層６との接続のための貫通孔（コンタクトホ
ール）４１が形成されている。また、第２の絶縁層７には、後述する画素電極８との接続
のための貫通孔（コンタクトホール）７１が形成されている。
このような第１の絶縁層４および第２の絶縁層７の構成材料としては、それぞれ、絶縁
性を有するものであれば、特に限定されず、各種有機材料（特に有機高分子材料）や、各
種無機材料を用いることができる。
【００２７】
絶縁性を有する有機材料としては、例えば、ポリスチレン、ポリイミド、ポリアミドイ
ミド、ポリビニルフェニレン、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（
ＰＭＭＡ）のようなアクリル系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のような
フッ素系樹脂、ポリビニルフェノールあるいはノボラック樹脂のようなフェノール系樹脂
、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテンなどのオレフィン系樹
脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる
。
一方、絶縁性を有する無機材料としては、例えば、シリカ（ＳｉＯ２）、窒化珪素、酸
化アルミ、酸化タンタル等の金属酸化物、チタン酸バリウムストロンチウム、ジルコニウ
ムチタン酸鉛等の金属複合酸化物が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み
合わせて用いることができる。
【００２８】
導電層６は、固定電極３と画素電極８とを電気的に接続するためのものである。
このような導電層６は、前述した第１の絶縁層４の貫通孔４１に挿通される貫通電極部
６１を有している。これにより、導電層６と後述する固定電極３とが電気的に接続されて
いる。
この導電層６の構成材料としては、導電性を有していれば、特に限定されず、例えば、
前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用いること
ができる。
【００２９】
各画素電極８は、前述した基板５０の一方の面側に設けられ、電気光学表示装置１００
の各画素を駆動させるための電圧を印加する一方の電極を構成するものである。
このような各画素電極８は、図示しない配線を介して、後述するシャッター装置３０の
対応する固定電極３に電気的に接続されている。
画素電極８の構成材料としては、例えば、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ
、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｃｓ、Ｒｂ等の
金属、これらを含むＭｇＡｇ、ＡｌＬｉ、ＣｕＬｉ等の合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔ
ｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ2、Ｓｂ含有ＳｎＯ2、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物等が挙げら
れ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。特に、アク
ティブマトリクス装置１０を後述するような透過型の電気光学表示装置１００に組み込む
場合には、画素電極８の構成材料としては、前述したものの中でも、透明材料が選択され
る。
また、各画素電極８は、前述した第２の絶縁層７の貫通孔７１に挿通される貫通電極部
８１を有している。これにより、画素電極８と導電層６とが電気的に接続されている。
【００３０】
また、各画素電極８の下面（基板５０側の面）の一部は、前述した収納部１３の壁面の
一部を構成しており、各画素電極８には、後述する製造工程において収納部１３を形成す
るに際しエッチング液を供給するための貫通孔８２が形成されている。この貫通孔８２は
、封止層９によって封止されている。
なお、この封止層９の上面上には、後述する基体３１が設けられているが、この封止層
９を省略し、基体３１で貫通孔８２を封止してもよい。すなわち、基体３１が、後述する
ようなブラックマトリクスとしての機能の他に、貫通孔８２を封止する機能を併せもって
いてもよい。
封止層９の構成材料は、貫通孔８２を封止する機能を有するものであれば、特に限定さ
れず、各種有機材料、各種無機材料を用いることができるが、ポリイミド樹脂、ポリアミ
ドイミド樹脂、ポリビニルアルコール、ポリテトラフルオロエチレン等の高分子材料が好
適に用いられる。
【００３１】
このような各画素電極８には、各画素電極８に対応して設けられたスイッチング素子１
が前述した導電層６を介して接続されている。このスイッチング素子１の作動を制御する
ことにより、電気光学表示装置１００において各画素の駆動が制御される。
各スイッチング素子１は、図３および図４に示すように、対応する第２の配線１２に電
気的に接続された駆動電極２と、対応する画素電極８に電気的に接続された固定電極３と
、対応する第１の配線１１に電気的に接続された可動電極（スイッチ片）５とを有してい
る。
【００３２】
以下、スイッチング素子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
駆動電極２は、前述した各第２の配線１２からその側方に突出するように形成されてお
り、前述した基板５０の一方の面（上面）上に設けられている。そして、駆動電極２は、
可動電極５に静電ギャップを介して対向して設けられている。
この駆動電極２は、可動電極５との間に電圧を印加する（電位差を生じさせる）ことに
より、可動電極５との間（静電ギャップ）に静電引力を生じさせるものである。
【００３３】
このような駆動電極２は、前述した第２の配線１２に電気的に接続されている。本実施
形態では、第２の配線１２も基板５０の上面上（すなわち駆動電極２と同一面上）に形成
されており、駆動電極２と第２の配線１２とが一体的に形成されている。
このような駆動電極２の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、
例えば、前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用
いることができる。
また、駆動電極２の厚さは、それぞれ、特に限定されないが、１０〜１０００ｎｍ程度
とするのが好ましく、５０〜５００ｎｍ程度とするのがより好ましい。
【００３４】
固定電極３は、前述した駆動電極２に間隔を隔てて、前述した基板５０の一方の面（上
面）上に設けられている。
この固定電極３は、可動電極５と接触することにより、第１の配線１１と電気的に接続
されるものである。
このような固定電極３は、前述した導電層６を介して画素電極８に電気的に接続されて
いる。
【００３５】
このような固定電極３の構成材料は、導電性を有するものであれば、特に限定されず、
例えば、前述した各第１の配線１１および各第２の配線１２の構成材料と同様のものを用
いることができる。
また、固定電極３の厚さは、特に限定されないが、１０〜１０００ｎｍ程度とするのが
好ましく、５０〜５００ｎｍ程度とするのがより好ましい。
【００３６】
可動電極５は、前述した各第１の配線１１からその側方に突出するように形成され、前
述した駆動電極２および固定電極３に対向するように設けられている。
この可動電極５は、帯状をなし、その長手方向での第１の絶縁層４側の端（図３にて左
側の端）５１が固定され、片持ち支持されている。これにより、可動電極５は、その自由
端５２側が駆動電極２および固定電極３側（下側）へ変位可能となっている。
このようにして、可動電極５は、固定電極３に対して接触／離反するように変位可能に
設けられている。
【００３７】
このような可動電極５の構成材料は、導電性を有するとともに、弾性変形可能なもので
あれば、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファス
シリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレス鋼、チタン、アルミニ
ウムのような金属材料、またはこれらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複合
材料等が挙げられる。
本実施形態では、前述したような駆動電極２、固定電極３、および可動電極５は、画素
電極８と基板５０との間に形成された収納部１３内に収納されている。
収納部１３内は、減圧状態としてもよいし、非酸化性のガスを充填してもよし、絶縁性
の液体を充填してもよい。
【００３８】
このような各スイッチング素子１では、可動電極５と駆動電極２との間に電圧が印加さ
れていないときには、図３および図４に示すように、可動電極５と固定電極３とが離間し
ていて第１の配線１１から画素電極８への通電が遮断状態となっている。
そして、可動電極５と駆動電極２との間に電圧が印加されることにより、可動電極５と
駆動電極２との間に静電引力を生じさせ、図５に示すように、可動電極５と固定電極３と
を接触させて第１の配線１１から画素電極８への通電を導通状態とする。
このようなメカニカルなスイッチング素子１は、ＴＦＴに比し優れた耐光性を有する。
その結果、後述するシャッター装置３０による効果との相乗効果により、電気光学表示装
置１００全体の耐光性を向上させることができる。
【００３９】
また、かかるスイッチング素子１は、ＴＦＴのような光リークを生じない。そのため、
スイッチング素子１を遮光するためのブラックマトリクスのような遮光層を設ける必要が
なく、アクティブマトリクス装置１０における開口率を大きくすることができる。また、
かかるスイッチング素子１は、温度による特性変動がないため、アクティブマトリクス装
置１０の冷却機構を簡易化することができる。さらに、かかるスイッチング素子１は、Ｔ
ＦＴに比し高速にスイッチング動作させることができる。
【００４０】
ここで、前述したように、可動電極５は、片持ち支持され、その自由端５２側が変位す
るように構成され、固定電極３は、可動電極５の自由端５２側の端部に対向するように設
置され、駆動電極２は、固定電極３よりも可動電極５の固定端５１側の部分に対向するよ
うに設置されている。そして、固定電極３と駆動電極２と可動電極５とは、図５に示すよ
うに、可動電極５と駆動電極２とが離間した状態のまま、可動電極５が固定電極３に接触
するようになっている。これにより、可動電極５と駆動電極２との固着を防止することが
できる。すなわち、固定電極３と駆動電極２と可動電極５とは、駆動電極２と可動電極５
とが固着するのを防止する固着防止手段を構成している。
【００４１】
このようにメカニカルな各スイッチング素子１が可動電極５と駆動電極２との固着を防
止する固着防止手段を備えているため、アクティブマトリクス装置１０は、優れた信頼性
を有するとともに、開口率を向上させることができる。
特に、前述したように可動電極５を片持ち支持した構造とすることにより、スイッチン
グ素子１の構造を簡単なものとすることができる。また、駆動電極２が可動電極５の固定
端側に対向するため、可動電極５が駆動電極２側に変位（曲げ変形）したときに、可動電
極５が元の状態に復帰しようとする反力が大きい。そのため、駆動電極２と可動電極５と
の固着を確実に防止することができる。
以上説明したようなアクティブマトリクス装置１０の封止層９の上面（基板５０と反対
側の面）には、シャッター装置３０が接合されている。
【００４２】
（シャッター装置）
シャッター装置３０は、図１に示すように、基体（ブラックマトリクス）３１と、第１
の中間層３２と、電極層３３と、第２の中間層３４と、保護層３５とがこの順で積層され
ている。
そして、平面視したときに、図６に示すように、基体３１には、複数の窓部３１ａが形
成されているとともに、この各窓部３１ａに対応して、電極層３３には、可動板（シャッ
ター部材）３３ａが設けられており、各可動板３３ａがこれに対応する窓部３１ａを開閉
する。
【００４３】
以下、シャッター装置３０を構成する各部を順次詳細に説明する。
基体３１は、図６に示すように、第１の配線１１に沿って延在する複数の窓部３１ａが
設けられている。本実施形態では、各窓部３１ａは、平面視にて、帯状をなしている。
また、本実施形態では、基体３１には、平面視したときに、互いに隣接する２つの第１
の配線１１と、互いに隣接する２つの第２の配線１２との囲まれた領域（以下、「画素領
域」とも言う）に、４つの窓部３１ａが設けられている。すなわち、各スイッチング素子
１に対応して、４つの窓部３１ａが設けられている。
【００４４】
各窓部３１ａは、基体３１の一部を除去することにより構成された開口部であり、光が
透過可能に構成されている。なお、各窓部３１ａは、光を透過可能なものであれば、これ
に限定されず、例えば、樹脂材料やガラス材料などの透明材料で構成されていてもよい（
言い換えると、各窓部３１ａを構成する開口部に当該透明材料が充填されていてもよい）
。
また、基体３１の窓部３１ａ以外の部分は、遮光性を有し、遮光部を構成する。すなわ
ち、基体３１は、窓部３１ａに隣接して遮光部が設けられている。このような基体３１は
、ブラックマトリクスとして機能するものである。
【００４５】
このような基体３１（窓部３１ａ部分を除く）の構成材料としては、用いる光の波長域
において遮光性を有するものであれば特に限定されず、例えば、単結晶シリコン、多結晶
シリコン、アモルファスシリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレ
ス鋼、チタン、アルミニウムのような金属材料、石英ガラス、ケイ酸ガラス（石英ガラス
）、ケイ酸アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、鉛（アルカリ）ガラス
、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料、アルミナ、ジルコニア、フェ
ライト、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化チタン、炭化ケイ素、炭化ホ
ウ素、炭化チタン、炭化タングステンのようなセラミックス材料、グラファイトのような
炭素材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−
酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン、変性ポリオレ
フィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド
、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノ
マー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブ
タジエン−スチレン共重合体、ポリオキシメチレン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、
エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥ
Ｔ）、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリシクロ
ヘキサンテレフタレート（ＰＣＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケト
ン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリア
セタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、変性ポリフェニレンオキシド、変性ポリ
フェニレンエーテル樹脂（ＰＢＯ）、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフ
ェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー
）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、スチレ
ン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリア
ミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチ
レン系等の各種熱可塑性エラストマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メ
ラミン樹脂、アラミド系樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、
またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等の樹脂材料、またはこ
れらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複合材料等が挙げられ、また、透明材
料を用いる場合には、遮光性を有する顔料や染料等の材料と組み合わせて（混合、塗布な
どして）用いることができる。
この中でも、基体３１の構成材料としては、用いる光の波長域にもよるが、カーボンブ
ラック、黒色の染料や顔料等の黒色のものが好適に用いられる。
【００４６】
このような基体３１の上面（封止層９とは反対側の面）には、第１の中間層３２を介し
て、電極層３３が接合されている（図１および図８参照）。
第１の中間層３２は、後述する可動板３３ａと基体３１とを厚さ方向（上下方向）で離
間させるスペーサとして機能するものである。また、第２の中間層３４は、後述する可動
板３３ａと保護層３５とを厚さ方向（上下方向）で離間させるスペーサとして機能するも
のである。
【００４７】
このような第１の中間層３２および第２の中間層３４は、それぞれ、図８に示すように
、画素領域において平面視したときに、後述する各支持部３３ｃ１、３３ｃ２に対応する
部分と、後述する固定電極３３ｂの本体（櫛歯状電極３３ｂ１以外の部分）に対応する部
分とを除くように形成されている。
これにより、可動板３３ａおよび固定電極３３ｂは、それぞれ、第１の中間層３２の厚
さ分基体３１から離間するとともに、基体３１との間に空隙が形成される。また、可動板
３３ａおよび固定電極３３ｂは、それぞれ、第２の中間層３４の厚さ分保護層３５から離
間するとともに、保護層３５との間に空隙が形成される。これらにより、可動板３３ａの
円滑な変位を可能とする。
【００４８】
また、保護層３５は、電極層３３を保護する機能を有する。なお、この保護層３５は、
省略してもよい。
この保護層３５の構成材料としては、特に限定されず、例えば、前述した封止層９と同
様の材料を用いることができる。
電極層３３は、前述した窓部３１ａを開閉するための可動板３３ａと、前述した基体３
１に対し固定的に設けられた固定電極３３ｂおよび支持部３３ｃ１、３３ｃ２と、可動板
３３ａと支持部３３ｃ１とを連結する１対の弾性部材３３ｄ１と、可動板３３ａと支持部
３３ｃ２とを連結する１対の弾性部材３３ｄ２とを有する。
【００４９】
ここで、図７に示すように、電極層３３は、２つの窓部３１ａに対し１つの繰り返し単
位構造を有し、この繰り返し単位構造は、左右対称である。より具体的には、平面視した
ときに、１対の可動板３３ａが固定電極３３ｂを介して対向している。
各可動板３３ａは、非駆動時に、対応する窓部３１ａを覆うように設けられている。ま
た、各可動板３３ａは、対応する窓部３１ａの長手方向に沿って延在する長手形状をなし
ている。すなわち、平面視したときに、可動板３３ａ（本体部）は、窓部３１ａと略同一
形状（相似形状）をなしている。これにより、可動板３３ａおよび窓部３１ａをそれぞれ
効率的に配置することができる。ここで、平面視したときに、可動板３３ａは、対応する
窓部３１ａよりも若干大きい面積となるように形成されている。
そして、各可動板３３ａには、その幅方向での一方側（固定電極３３ｂ側）に、櫛歯状
をなす櫛歯状電極３３ａ１（可動板３３ａ側に設けられた電極）が設けられている。
【００５０】
このような可動板３３ａは、１対の弾性部材３３ｄ１を介して支持部３３ｃ１に支持さ
れているとともに、１対の弾性部材３３ｄ２を介して支持部３３ｃ２に支持されている。
これにより、可動板３３ａは、対応する窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位
可能に設けられている。
より具体的には、可動板３３ａは、その幅方向に変位可能であり、窓部３１ａ上に位置
して閉状態とし、窓部３１ａに隣接する遮光部上に位置して開状態とする。このように基
板５０の板面に沿った方向に可動板３３ａを変位可能に設けることで、比較的簡単な構成
で、可動板３３ａが窓部３１ａを開閉することができる。
【００５１】
各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、前述した第１の中間層３２を介して基体３１に接合さ
れている。これにより、各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、基体３１に対し離間するととも
に固定的に設けられている。
また、各支持部３３ｃ１、３３ｃ２は、図示しないが、貫通電極部を介して接地されて
いる（共通電極に電気的に接続されている）。これにより、可動板３３ａ（櫛歯状電極３
３ａ１）が接地される。
各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、弾性変形可能に構成されている。特に、本実施形態
では、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、略Ｚ字状をなすように屈曲した部分を有してい
る。これにより、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２の弾性変形量を大きくすることができる
。
【００５２】
固定電極３３ｂは、前述した１対の可動板３３ａの各櫛歯状電極３３ａ１に対し間隔を
隔てて噛み合うように設けられた１対の櫛歯状電極３３ｂ１（基体３１側に設けられた電
極）が設けられている。
この固定電極３３ｂは、図示しないが、対応するスイッチング素子１の画素電極８に電
気的に接続されている。これにより、固定電極３３ｂと可動板３３ａとの間に電圧を印加
して、可動板３３ａを変位させて窓部３１ａを開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手
段する。すなわち、シャッター装置３０は、静電駆動方式により可動板３３ａを窓部３１
ａに対し開状態と閉状態とに切り換える。
【００５３】
このような電極層３３の構成材料は、前述したような可動板３３ａによる窓部３１ａの
開閉が可能であれば特に限定されないが、導電性を有するとともに、弾性変形可能なもの
であれば、特に限定されないが、例えば、単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファ
スシリコン、シリコンカーバイトのようなシリコン材料、ステンレス鋼、チタン、アルミ
ニウムのような金属材料、またはこれらの各材料の１種または２種以上を組み合わせた複
合材料等が挙げられる。中でも、シリコン材料を用いるのが好ましい。電極層３３の構成
材料としてシリコン材料を用いる場合、例えば、Ａｌ−Ｓｉ（２％）材料をスパッタリン
グし、α−Ｓｉ（アモルファスシリコン）材料をスパッタリングした後に３００℃程度で
アニールすることにより、前記Ａｌ−Ｓｉを通じてその下層にシリコン単結晶膜の結晶化
をすすめ、その後上層に移動したＡｌ−Ｓｉをエッチング除去することでシリコン単結晶
膜を形成し、このシリコン単結晶膜をエッチングすることにより電極層３３を形成するこ
とができる。
【００５４】
ここで、シャッター装置３０の動作を説明する。
スイッチング素子１がオフ状態のときには、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１
との間（１対の電極間）に電圧が印加されず、図７に示すように、可動板３３ａは窓部３
１ａ上を覆うように位置する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを閉状態とする。
一方、スイッチング素子１がオン状態となると、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３
ｂ１との間に電圧が印加され（電位差が生じ）、これらの電極間に静電引力が生じる。す
ると、可動板３３ａは、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２の付勢力（弾性力）に抗して固定
電極３３ｂ側へ変位し、図９に示すように、窓部３１ａ上から退避する。すなわち、可動
板３３ａが窓部３１ａを開状態とする。
【００５５】
再度、スイッチング素子１がオフ状態となると、可動板３３ａは、各弾性部材３３ｄ１
、３３ｄ２の付勢力（弾性力）により元の状態（閉状態）に復帰する。
このような駆動に際しては、１対の電極間に印加する電圧を調整することにより、可動
板３３ａによる窓部３１ａの開閉度を調整することができる。これにより、多階調または
アナログ駆動を実現することができる。
【００５６】
このようなシャッター装置３０は、可動板３３ａを開状態または閉状態に保持するよう
に付勢する付勢部材として各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２を備えているため、可動板３３
ａが開状態または閉状態のいずれかの状態のときに、駆動手段が可動板３３ａに対し駆動
力を与えなくて済むため、省電力化を図ることができる。
このような付勢部材としては、可動板３３ａと別体として形成されていてもよいが、前
述したように可動板３３ａを支持する弾性変形可能な各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２を用
いることで、各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２が可動板３３ａを支持する機能と可動板３３
ａを付勢する機能とを併せもつことができる。このような可動板３３ａおよび各弾性部材
３３ｄ１、３３ｄ２は、一体的に形成することができ、機械的強度に優れている。そのた
め、電気光学表示装置１００の信頼性を向上させることができる。また、このような可動
板３３ａおよび各弾性部材３３ｄ１、３３ｄ２は、同一基板または同一層から一括して形
成することができる。
【００５７】
また、前述したように静電駆動方式により可動板３３ａを開状態と閉状態とに切り換え
るように構成されているため、駆動手段の構成を簡単なものとすることができる。そのた
め、駆動手段の構成要素が少なく、故障も少ない。特に、櫛歯状電極を用いた構成とする
ことで、１対の電極間（櫛歯状電極３３ａ１、３３ｂ１間）の対向面の面積を大きくして
、１対の電極間に生じる静電引力を大きくすることができる。
【００５８】
また、窓部３１ａとこれに対応する可動板３３ａは、各スイッチング素子１に対し複数
（本実施形態では４つ）設けられているため、各スイッチング素子１に対応する４つの可
動板３３ａのうち１つが仮に故障等により動作しなくなっても、残りの可動板３３ａの動
作により、画像の抜け等の発生を防止することができる。すなわち、電気光学表示装置１
００のリダンダンシー（冗長性）を向上させることができる。また、可動板３３ａの大き
さ（質量）を小さくして、可動板３３ａの開状態と閉状態との切り換え速度（応答性）を
向上させることができる。
以上説明したようなシャッター装置３０にあっては、メカニカルに光を透過したり遮断
したりするため、液晶を用いたシャッターに比し、格段に耐光性に優れたものとすること
ができる。すなわち、シャッター装置３０は、光として高強度なものを用いても、優れた
シャッター特性を長期に亘り発揮することができる。
【００５９】
（第１の反射膜、第２の反射膜、支持基板）
図１に示すように、第１の反射膜１５は、アクティブマトリクス装置１０の基板５０の
光の入射側、すなわち下面に設けられている。また、支持基板１４は、光透過性を有して
おり、第１の反射膜１５の光の入射側、すなわち下面に設けられている。また、第２の反
射膜１６は、支持基板１４の光の入射側、すなわち下面に設けられている。
【００６０】
このように、支持基板１４は、第１の反射膜１５と第２の反射膜１６との間に介在し、
これにより、第１の反射膜１５と第２の反射膜１６とが、支持基板１４の厚さ分だけ、離
間している。すなわち、支持基板１４は、第１の反射膜１５および第２の反射膜１６を支
持するだけでなく、第１の反射膜１５と第２の反射膜１６とを所定距離離間させるスペー
サーの機能を有している。
【００６１】
支持基板１４は、光透過性を有していれば特に限定されず、例えば、ガラス基板、ポリ
イミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）
、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルス
ルホン（ＰＥＳ）、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）等で構成されるプラスチック基
板（樹脂基板）、石英基板、シリコン基板、ガリウム砒素基板等を用いることができる。
【００６２】
第１の反射膜１５の各窓部３１ａに対応する部位、すなわち、平面視で第１の反射膜１
５の各窓部３１ａに重なる部位には、それぞれ、第１の反射膜側窓部として、開口１５３
が形成されている。これにより、各開口１５３を光が通過（透過）することができ、その
光は、対応する各窓部３１ａから出射することができる。なお、第１の反射膜側窓部は、
光を透過可能なものであれば、開口１５３に限定されず、例えば、樹脂材料やガラス材料
などの透明材料で構成されていてもよい（言い換えると、開口１５３に当該透明材料が充
填されていてもよい）。
【００６３】
第２の反射膜１６は、支持基板１４を介して、第１の反射膜１５の光の入射側に設けら
れている。この第２の反射膜１６は、第１の反射膜１５から所定距離離間し、第１の反射
膜１５と対向するように設けられている。また、第２の反射膜１６は、反射防止膜を兼ね
るものであり、入射する光の反射を防止する反射防止膜の機能と反射膜の機能とを有して
いる。
【００６４】
したがって、光は、出射側と反対側である第２の反射膜１６の下面（裏面）から入射す
ることができる。そして、その入射した光は、図１１に示すように、第１の反射膜１５と
第２の反射膜１６との間で複数回反射し（一度も反射しない場合もある）、各開口１５３
から出射し、アクティブマトリクス装置１０およびシャッター装置３０を透過し、各窓部
３１ａのうち、開状態の窓部３１ａから出射する。このように、このような電気光学表示
装置１００では、光が第１の反射膜１５と第２の反射膜１６との間で複数回反射している
うちに、窓部３１ａから出射するので、光の利用効率を高めることができる。
【００６５】
第１の反射膜１５および第２の反射膜１６は、それぞれ、必要な光学特性を得られるも
のであれば特に限定されないが、誘電体多層膜で構成されているものが好ましい。すなわ
ち、第１の反射膜１５および第２の反射膜１６は、それぞれ、高屈折率層と低屈折率層と
が交互に複数積層されてなるものであるのが好ましい。これにより、第１の反射膜１５と
、第２の反射膜１６との間での反射時における光の損失を抑制することができる。
【００６６】
図１０に示すように、本実施形態では、第１の反射膜１５は、高屈折率層１５１と低屈
折率層１５２とが交互に複数積層された積層体で構成されている。この第１の反射膜１５
では、図１０中下側から上側に向って、すなわち、光の入射側から出射側に向って、高屈
折率層１５１、低屈折率層１５２、高屈折率層１５１、低屈折率層１５２、・・・の順序
で積層されている。
【００６７】
高屈折率層１５１を構成する材料としては、第１の反射膜１５に必要な光学特性を得る
ことができるものであれば、特に限定されないが、可視光領域や赤外光領域で用いる場合
には、例えば、Ｔｉ２Ｏ、Ｔａ２Ｏ５、酸化ニオブなどが挙げられ、また、紫外光領域で
用いる場合には、例えば、Ａｌ２Ｏ３、ＨｆＯ２、ＺｒＯ２、ＴｈＯ２などが挙げられる
。
低屈折率層１５２を構成する材料としては、第１の反射膜１５に必要な光学特性を得る
ことができるものであれば、特に限定されないが、例えば、ＭｇＦ２、ＳｉＯ２などが挙
げられる。
高屈折率層１５１および低屈折率層１５２の層数、厚さは、それぞれ、必要とする光学
特性に応じて設定される。一般に、多層膜により反射膜を構成する場合、その光学特性を
得るために必要な層数は１２層以上であり、多層膜により反射防止膜を構成する場合、そ
の光学特性に必要な層数は４層程度である。
【００６８】
本実施形態では、光の入射角度をθ、光の波長をλ、高屈折率層１５１の屈折率をｎhi
ghとしたとき、高屈折率層１５１の厚さＤ１は、下記（３）式の関係を満たすように設定
される。
Ｄ１＝ｎhigh・ｃｏｓθ・（ｍ・λ／２−λ／４）  ・・・（３）
（但し、ｍは、１以上の整数）
また、低屈折率層１５２の屈折率をｎlowとしたとき、低屈折率層１５２の厚さＤ２は
、下記（４）式の関係を満たすように設定される。
Ｄ２＝ｎlow・ｃｏｓθ・（ｍ・λ／２−λ／４）  ・・・（４）
（但し、ｍは、１以上の整数）
【００６９】
同様に、本実施形態では、第２の反射膜１６は、高屈折率層１６１と低屈折率層１６２
とが交互に複数積層された積層体で構成されている。この第２の反射膜１６では、図１０
中下側から上側に向って、すなわち、光の入射側から出射側に向って、低屈折率層１６２
、高屈折率層１６１、低屈折率層１６２、高屈折率層１６１、・・・の順序で積層されて
いる。これにより、第２の反射膜１６は、その第２の反射膜１６に対して、光が図１３中
下方から当たる場合は、入射する光の反射を防止する反射防止膜として機能し、光が図１
３中上方から当たる場合は、光を反射する反射膜として機能する。
【００７０】
屈折率がｎhighの高屈折率層１６１および屈折率がｎlowの低屈折率層１６２を構成す
る材料としては、それぞれ、前記第１の反射膜１５において述べたものと同様のものを用
いることができる。
また、高屈折率層１６１および低屈折率層１６２の層数、厚さは、それぞれ、前記第１
の反射膜１５と同様に、必要とする光学特性に応じて設定され、本実施形態では、高屈折
率層１５１の厚さＤ１および低屈折率層１５２の厚さＤ２は、それぞれ、前記（３）式、
（４）式の関係を満たすように設定される。
【００７１】
また、光の入射角度をθ、光の波長をλとしたとき、第１の反射膜１５と第２の反射膜
１６との間の離間距離ｄは、支持基板１４の屈折率がｎmidの場合は、下記（１）式の関
係を満たすように設定される。
ｄ＝ｃｏｓθ・（ｎ・ｎmid・λ／２）  ・・・（１）
（但し、ｎは、１以上の整数）
【００７２】
また、平面視で第１の反射膜１５と第２の反射膜１６とが重なっている部分の面積に対
する各窓部３１ａの総面積の比率をａ、窓部３１ａのピッチの半分の距離をｂ、光の波長
をλとしたとき、光の入射角度θは、下記（２）式の関係を満たすように設定される。
θ＝ｓｉｎ−１［ａ・ｂ／（ｎ・ｎmid・λ）］  ・・・（２）
（但し、ｎは、１以上の整数）
なお、光が第１の反射膜１５と第２の反射膜１６との間で反射する際、その片道当たり
の光の図１３中左右方向への移動距離Ｌは、「ａ・ｂ／２」である。
また、光の入射角度θは、前記（２）式を満たしたうえで、小さいほど好ましいが、０
よりも大きい値に設定される。
【００７３】
以上説明したように、電気光学表示装置１００によれば、前述したような優れた耐光性
を有するシャッター装置３０と、第１の反射膜１５および第２の反射膜１６とを組み合わ
せることで、優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて表示を行うこと
ができる。
また、光を出射側と反対側、すなわち、第２の反射膜１６の第１の反射膜１５と反対側
の面から入射するようになっているので、光の出射方向に対して横方向から光を入射する
場合に比べて、入射した光の方向を横方向から縦方向に変更するためのプリズムや拡散板
等の複雑な構造を設ける必要がなく、構成を簡素化することができる。
【００７４】
ここで、前記電気光学表示装置１００は、１色の光を入射して用いる場合と、複数色の
光を入射して用いる場合とに、それぞれ、適用することができる。
１色の光を入射して用いる場合の具体例としては、例えば、赤色光（Ｒ）を入射光とす
る電気光学表示装置１００と、緑色光（Ｇ）を入射光とする電気光学表示装置１００と、
青色光（Ｂ）を入射光とする電気光学表示装置１００とを用意し、その３つの電気光学表
示装置１００を用いて１つの画像を表示する。これにより、フルカラーの画像を表示する
ことができる。
【００７５】
また、複数色の光を入射して用いる場合の具体例としては、例えば、赤色光、緑色光お
よび青色光をそれぞれ入射光とし、単一の電気光学表示装置１００により１つの画像を表
示する。この場合は、赤色光を発する光源と、緑色光を発する光源と、青色光を発する光
源とを、単位時間当たり、１／３ずつ駆動（光源の光のバランスに応じて時間の調整はあ
るが）する時分割駆動を行って、各色の光をそれぞれ電気光学表示装置１００に入射する
。これにより、フルカラーの画像を表示することができる。
【００７６】
次に、電気光学表示装置１００に１色の光を入射して用いる場合と、複数色の光を入射
して用いる場合とのそれぞれについて、第１の反射膜１５と第２の反射膜１６との離間距
離ｄおよび光の入射角度θの設定方法の一例について、具体的な数値を示して、説明する
。なお、下記の離間距離ｄ、入射角度θの設定方法は、一例であり、それに限定されるも
のではない。
【００７７】
まずは、赤色光用の電気光学表示装置１００と、緑色光用の電気光学表示装置１００と
、青色用の電気光学表示装置１００とに、それぞれに、離間距離ｄ、入射角度θを設定す
る場合について説明する。なお、この場合は、各色の光用の電気光学表示装置１００につ
いて、独立して、離間距離ｄ、入射角度θを設定することができる。
まず、前提として、窓部３１ａの開口率、すなわち、平面視で第１の反射膜１５と第２
の反射膜１６とが重なっている部分の面積に対する各窓部３１ａの総面積の比率ａが１０
％、窓部３１ａのピッチが３μｍ、すなわち、窓部３１ａのピッチの半分の距離ｂが１．
５μｍとする。また、青色光の波長λが、４３５．８ｎｍ、緑色光の波長λが、５４６．
１ｎｍ、赤色光の波長λが、７００．０ｎｍとする。
【００７８】
この場合は、例えば、前記（１）式および（２）式において、ｎを「１」とし、（２）
式から各色の光についての入射角θを求めると、青色光の場合は、入射角θは、２０．１
３°、緑色光の場合は、入射角θは、１５．９４°、赤色光の場合は、入射角θは、１２
．３７°となる。
そして、その入射角θを用いて、（１）式から各色の光についての離間距離ｄを求める
と、青色光の場合は、離間距離ｄは、２０４．６ｎｍ、緑色光の場合は、離間距離ｄは、
２６２．５ｎｍ、赤色光の場合は、離間距離ｄは、３４１．９ｎｍとなる。
【００７９】
次に、赤色光、緑色光および青色光のそれぞれを入射光とする電気光学表示装置１００
において、各色の光について、共通の離間距離ｄと、入射角度θとを設定する場合につい
て説明する。なお、入射角度θについては、各色の光について、独立して設定することが
できる。
まず、前提として、窓部３１ａの開口率、すなわち、平面視で第１の反射膜１５と第２
の反射膜１６とが重なっている部分の面積に対する各窓部３１ａの総面積の比率ａが１０
％、窓部３１ａのピッチが３μｍ、すなわち、窓部３１ａのピッチの半分の距離ｂが１．
５μｍとする。また、青色光の波長λが、４３５．８ｎｍ、緑色光の波長λが、５４６．
１ｎｍ、赤色光の波長λが、７００．０ｎｍとする。
【００８０】
この場合は、まず、最も波長が長い赤色光について、例えば、前記（１）式および（２
）式において、ｎを「１」とし、（２）式から入射角θを求める。その赤色光についての
入射角θは、１２．３７°となる。
そして、その入射角θを用いて、赤色光について、（１）式から離間距離ｄを求める。
その赤色光についての離間距離ｄは、３４１．９ｎｍとなる。この離間距離ｄは、各色の
光について共通の値である。
【００８１】
次に、青色光、緑色光について、前記（２）式において、ｎを「２」とし、（２）式か
ら入射角θを求める。青色光の場合は、入射角θは、３８．３３°、緑色光の場合は、入
射角θは、５１．２４°となる。
ここで、前述したように、射角度θは、０以上であって、小さいほど好ましいので、次
に、入射角度θをより小さい値に設定する具体例について説明する。
前提は、前記と同様であり、まず、最も波長が長い赤色光について、前記（１）式およ
び（２）式において、ｎを「３」とし、（２）式から入射角θを求める。その赤色光につ
いての入射角θは、４．１０°となる。
そして、その入射角θを用いて、赤色光について、（１）式から離間距離ｄを求める。
その赤色光についての離間距離ｄは、１０４７．３ｎｍとなる。この離間距離ｄは、各色
の光について共通の値である。
【００８２】
次に、青色光について、前記（２）式において、ｎを「５」とし、（２）式から入射角
θを求める。青色光についての入射角θは、１６．００°となる。
次に、緑色光について、前記（２）式において、ｎを「４」とし、（２）式から入射角
θを求める。緑色光についての入射角θは、１６．４８°となる。
【００８３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の電気光学表示装置の第２実施形態を説明する。
図１２は、本発明の第２実施形態にかかる電気光学表示装置の構成を示す縦断面図であ
る。なお、以下では、説明の便宜上、図１２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「
右」、左側を「左」と言う。
【００８４】
以下、第２実施形態の電気光学表示装置について、前述した第１実施形態の電気光学表
示装置との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１２に示すように、第２実施形態の電気光学表示装置１００では、アクティブマトリ
クス装置１０と、このアクティブマトリクス装置１０からの通電により駆動するシャッタ
ー装置３０と、第１の反射膜１５と、第２の反射膜１８と、入射する光の反射を防止する
反射防止膜１９と、スペーサー１７と、支持基板２１とを有している。
【００８５】
このような電気光学表示装置１００では、アクティブマトリクス装置１０、シャッター
装置３０、第１の反射膜１５、スペーサー１７、第２の反射膜１８、支持基板２１および
反射防止膜１９が、図１中上側から下側に向って、すなわち、光の出射側から入射側に向
って、この順に積層されている。
すなわち、まず、第１の反射膜１５は、アクティブマトリクス装置１０の基板５０の光
の入射側、すなわち下面に設けられている。
【００８６】
スペーサー１７は、枠状をなし、第１の反射膜１５と第２の反射膜１８との間に介在し
、その第１の反射膜１５と第２の反射膜１８との間に空隙を形成している。
また、支持基板２１は、光透過性を有しており、第２の反射膜１８の光の入射側、すな
わち下面に設けられている。また、反射防止膜１９は、支持基板２１の光の入射側、すな
わち下面に設けられている。
なお、第２の反射膜１８および支持基板２１の構成は、それぞれ、前記第１実施形態の
第２の反射膜１６および支持基板１４と同様であるので、その説明は、省略する。
【００８７】
また、反射防止膜１９は、必要な光学特性を得られるものであれば特に限定されないが
、誘電体多層膜で構成されているものが好ましい。すなわち、反射防止膜１９は、高屈折
率層と低屈折率層とが交互に複数積層されてなるものであるのが好ましい。
本実施形態では、反射防止膜１９は、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層され
た積層体で構成されている。この反射防止膜１９では、図１２中下側から上側に向って、
すなわち、光の入射側から出射側に向って、高屈折率層、低屈折率層、高屈折率層、低屈
折率層、・・・の順序で積層されている。
【００８８】
高屈折率層および低屈折率層を構成する材料としては、それぞれ、前記第１実施形態の
第１の反射膜１５において述べたものと同様のものを用いることができる。
また、高屈折率層および低屈折率層の層数、厚さは、それぞれ、前記第１実施形態の第
１の反射膜１５と同様に、必要とする光学特性に応じて設定され、本実施形態では、高屈
折率層１５１の厚さＤ１および低屈折率層１５２の厚さＤ２は、それぞれ、前記（３）式
、（４）式の関係を満たすように設定される。
【００８９】
以上説明したような第２実施形態の電気光学表示装置１００によっても、前述した第１
実施形態の電気光学表示装置１００と同様の効果を発揮することができる。
なお、本実施形態では、第１の反射膜１５と第２の反射膜１８との間に、スペーサー１
７が設けられ、空隙が形成されているが、これに限らず、第１の反射膜１５と第２の反射
膜１８との間に、空隙（スペーサー１７）に替えて、中間層を設けてもよい。
【００９０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の電気光学表示装置の第３実施形態を説明する。
図１３は、本発明の第３実施形態にかかる電気光学表示装置に備えられたシャッター装
置を説明するための平面図である。なお、図１３において、（ａ）は、シャッター装置の
可動板が閉状態にあるときを示す図、（ｂ）は、シャッター装置の可動板が開状態にある
ときを示す図である。また、以下では、説明の便宜上、図１３中の紙面手前側を「上」、
紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第２実施形態の電気光学表示装置について、前述した第１実施形態の電気光学表
示装置との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態の電気光学表示装置は、主としてシャッター装置の構成が異なる以外は、前
述した第１実施形態の電気光学表示装置と同様である。
【００９１】
図１３に示すように、第３実施形態の電気光学表示装置１００のシャッター装置３０Ａ
では、各窓部３１ａの平面視形状が略三角形（鋭角２等辺３角形）をなしている。また、
本実施形態では、互いに隣接する２つの窓部３１ａ同士は、互いに頂角が反対側となるよ
うに配置されている。ここで、互いに隣接する２つの窓部３１ａは、例えば、前述した第
１実施形態での互いに隣接する２つの窓部３１ａに対応するものである。
そして、シャッター装置３０は、前述した窓部３１ａを開閉するための可動板３３ａと
、前述した基体３１に対し固定的に設けられた固定電極３３ｂおよび支持部３３ｃと、可
動板３３ａと支持部３３ｃとを連結する弾性部材３３ｄとを有する。
【００９２】
各可動板３３ａは、非駆動時に、対応する窓部３１ａから退避した位置となるように設
けられている。また、各可動板３３ａの平面視形状は、対応する窓部３１ａに対応して鋭
角２等辺３角形をなしている。すなわち、平面視したときに、可動板３３ａ（本体部）は
、窓部３１ａと略同一形状をなしている。これにより、可動板３３ａおよび窓部３１ａを
それぞれ効率的に配置することができる。
そして、各可動板３３ａには、その底辺部（固定電極３３ｂ側）に、櫛歯状をなす櫛歯
状電極３３ａ１（可動板３３ａ側に設けられた電極）が設けられている。
【００９３】
このような可動板３３ａは、弾性部材３３ｄを介して支持部３３ｃに支持されている。
これにより、可動板３３ａは、対応する窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位
可能に設けられている。
より具体的には、平面視したときに、可動板３３ａは、その頂角部付近を回動中心軸と
し、回動可能であり、窓部３１ａ上に位置して閉状態とし、窓部３１ａに隣接する遮光部
上に位置して開状態とする。このように可動板３３ａを回動させることによっても、可動
板３３ａを基板５０の板面に沿った方向に変位させることができる。これにより、比較的
簡単な構成で、可動板３３ａが窓部３１ａを開閉することができる。
【００９４】
各支持部３３ｃは、前述した第１の中間層３２を介して基体３１に接合されている。こ
れにより、各支持部３３ｃは、基体３１に対し離間するとともに固定的に設けられている
。
また、各支持部３３ｃは、図示しないが、貫通電極部を介して接地されている（共通電
極に電気的に接続されている）。これにより、可動板３３ａ（櫛歯状電極３３ａ１）が接
地される。
各弾性部材３３ｄは、弾性変形可能に構成されている。特に、本実施形態では、各弾性
部材３３ｄは、棒状をなしている。これにより、各弾性部材３３ｄを曲げ変形させて、可
動板３３ａを回動させることができる。
【００９５】
固定電極３３ｂは、前述した窓部３１ａの底辺付近に、前述した１対の可動板３３ａの
櫛歯状電極３３ａ１に対し間隔を隔てて噛み合うように設けられた櫛歯状電極３３ｂ１（
基体３１側に設けられた電極）が設けられている。
この固定電極３３ｂは、図示しないが、対応するスイッチング素子１の画素電極８に電
気的に接続されている。これにより、固定電極３３ｂと可動板３３ａとの間に電圧を印加
して、可動板３３ａを変位させて窓部３１ａを開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手
段を構成する。すなわち、シャッター装置３０は、静電駆動方式により可動板３３ａを窓
部３１ａに対し開状態と閉状態とに切り換える。
【００９６】
ここで、シャッター装置３０Ａの動作を説明する。
スイッチング素子１がオフ状態のときには、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３ｂ１
との間（１対の電極間）に電圧が印加されず、図１３（ａ）に示すように、可動板３３ａ
は窓部３１ａに隣接する遮光部上に位置する。すなわち、可動板３３ａが窓部３１ａを開
状態とする。
【００９７】
一方、スイッチング素子１がオン状態となると、櫛歯状電極３３ａ１と櫛歯状電極３３
ｂ１との間に電圧が印加され（電位差が生じ）、これらの電極間に静電引力が生じる。す
ると、可動板３３ａは、弾性部材３３ｄの付勢力（弾性力）に抗して固定電極３３ｂ側へ
変位し、図１３（ｂ）に示すように、窓部３１ａ上を覆うように位置する。すなわち、可
動板３３ａが窓部３１ａを閉状態とする。
再度、スイッチング素子１がオフ状態となると、可動板３３ａは、弾性部材３３ｄの付
勢力（弾性力）により元の状態（開状態）に復帰する。
以上説明したような第３実施形態の電気光学表示装置１００によっても、前述した第１
実施形態の電気光学表示装置１００と同様の効果を発揮することができる。
【００９８】
（電子機器）
次に、本発明の電子機器の実施形態として、前述した電気光学表示装置１００を備える
電子機器を図１４ないし図１７に示す第１〜４の例に基づき説明する。
（第１の例）
図１４は、本発明の電子機器の第１の例であるモバイル型（またはノート型）のパーソ
ナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本
体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本
体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が、前述の電
気光学表示装置１００と、図示しないバックライトとを備えている。バックライトからの
光を電気光学表示装置１００に透過させることにより画像（情報）を表示し得るものであ
る。
【００９９】
（第２の例）
図１５は、本発明の電子機器の第２の例である携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示
す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４
および送話口１２０６とともに、前述の電気光学表示装置１００と、図示しないバックラ
イトとを備えている。
【０１００】
（第３の例）
図１６は、本発明の電子機器の第３の例であるディジタルスチルカメラの構成を示す斜
視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、
ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）
などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０１】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、前
述の電気光学表示装置１００と、図示しないバックライトとが設けられ、ＣＣＤによる撮
像信号に基づいて表示を行う構成になっており、電気光学表示装置１００は、被写体を電
子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮
像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【０１０２】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学
系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が電気光学表示装置１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１
３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリ
に転送・格納される。
【０１０３】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビ
デオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。
そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デー
タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に
応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された
撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構
成になっている。
【０１０４】
（第４の例）
図１７は、本発明の電子機器の第４の例である投射型表示装置（プロジェクター）の光
学系を模式的に示す図である。
同図に示すように、投射型表示装置３００は、光源３０１と、複数のインテグレータレ
ンズを備えた照明光学系と、複数のダイクロイックミラー等を備えた色分離光学系（導光
光学系）と、赤色に対応した（赤色用の）ライトバルブ（光シャッターレイ）２４０と、
緑色に対応した（緑色用の）ライトバルブ（光シャッターレイ）２５０と、青色に対応し
た（青色用の）ライトバルブ（光シャッターレイ）２６０と、赤色光のみを反射するダイ
クロイックミラー面２１１および青色光のみを反射するダイクロイックミラー面２１２が
形成されたダイクロイックプリズム（色合成光学系）２１０と、投射レンズ（投射光学系
）２２０とを有している。
【０１０５】
また、照明光学系は、インテグレータレンズ３０２および３０３を有している。色分離
光学系は、ミラー３０４、３０６、３０９、青色光および緑色光を反射する（赤色光のみ
を透過する）ダイクロイックミラー３０５、緑色光のみを反射するダイクロイックミラー
３０７、青色光のみを反射するダイクロイックミラー（または青色光を反射するミラー）
３０８、集光レンズ３１０、３１１、３１２、３１３および３１４とを有している。
【０１０６】
ライトバルブ２５０は、前述した電気光学表示装置１００を備えている。ライトバルブ
２４０および２６０も、ライトバルブ２５０と同様の構成となっている。これらライトバ
ルブ２４０、２５０および２６０が備えている電気光学表示装置１００は、図示しない駆
動回路にそれぞれ接続されている。
なお、投射型表示装置３００では、ダイクロイックプリズム２１０と投射レンズ２２０
とで、光学ブロック２００が構成されている。また、この光学ブロック２００と、ダイク
ロイックプリズム２１０に対して固定的に設置されたライトバルブ２４０、２５０および
２６０とで、表示ユニット２３０が構成されている。
【０１０７】
以下、投射型表示装置３００の作用を説明する。
光源３０１から出射された白色光（白色光束）は、インテグレータレンズ３０２および
３０３を透過する。この白色光の光強度（輝度分布）は、インテグレータレンズ３０２お
よび３０３により均一にされる。光源３０１から出射される白色光は、その光強度が比較
的大きいものであるのが好ましい。これにより、スクリーン３２０上に形成される画像を
より鮮明なものとすることができる。また、投射型表示装置３００では、耐光性に優れた
電気光学表示装置１００を用いているため、光源３０１から出射される光の強度が大きい
場合であっても、優れた長期安定性が得られる。
【０１０８】
インテグレータレンズ３０２および３０３を透過した白色光は、ミラー３０４で図１７
中左側に反射し、その反射光のうちの青色光（Ｂ）および緑色光（Ｇ）は、それぞれダイ
クロイックミラー３０５で図１７中下側に反射し、赤色光（Ｒ）は、ダイクロイックミラ
ー３０５を透過する。
ダイクロイックミラー３０５を透過した赤色光は、ミラー３０６で図１７中下側に反射
し、その反射光は、集光レンズ３１０により整形され、赤色用のライトバルブ２４０に入
射する。
【０１０９】
ダイクロイックミラー３０５で反射した青色光および緑色光のうちの緑色光は、ダイク
ロイックミラー３０７で図１７中左側に反射し、青色光は、ダイクロイックミラー３０７
を透過する。
ダイクロイックミラー３０７で反射した緑色光は、集光レンズ３１１により整形され、
緑色用のライトバルブ２５０に入射する。
また、ダイクロイックミラー３０７を透過した青色光は、ダイクロイックミラー（また
はミラー）３０８で図１７中左側に反射し、その反射光は、ミラー３０９で図１７中上側
に反射する。前記青色光は、集光レンズ３１２、３１３および３１４により整形され、青
色用のライトバルブ２６０に入射する。
【０１１０】
このように、光源３０１から出射された白色光は、色分離光学系により、赤色、緑色お
よび青色の三原色に色分離され、それぞれ、対応するライトバルブに導かれ、入射する。
赤色光は、ライトバルブ２４０に入射し、その電気光学表示装置１００で変調され、こ
れにより赤色用の画像が形成される。この際、ライトバルブ２４０が有する電気光学表示
装置１００の各画素（スイッチング素子１とこれに接続された画素電極８）は、赤色用の
画像信号に基づいて作動する駆動回路（駆動手段）により、スイッチング制御（オン／オ
フ）、すなわち変調される。
【０１１１】
同様に、緑色光および青色光は、それぞれ、ライトバルブ２５０および２６０に入射し
、それぞれの電気光学表示装置１００で変調され、これにより緑色用の画像および青色用
の画像が形成される。この際、ライトバルブ２５０が有する電気光学表示装置１００の各
画素は、緑色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路によりスイッチング制御され、ラ
イトバルブ２６０が有する電気光学表示装置１００の各画素は、青色用の画像信号に基づ
いて作動する駆動回路によりスイッチング制御される。
これにより赤色光、緑色光および青色光は、それぞれ、ライトバルブ２４０、２５０お
よび２６０で変調され、赤色用の画像、緑色用の画像および青色用の画像がそれぞれ形成
される。
【０１１２】
前記ライトバルブ２４０により形成された赤色用の画像、すなわちライトバルブ２４０
からの赤色光は、面２１３からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロイック
ミラー面２１１で図１７中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１２を透過して、出
射面２１６から出射する。
また、前記ライトバルブ２５０により形成された緑色用の画像、すなわちライトバルブ
２５０からの緑色光は、面２１４からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロ
イックミラー面２１１および２１２をそれぞれ透過して、出射面２１６から出射する。
また、前記ライトバルブ２６０により形成された青色用の画像、すなわちライトバルブ
２６０からの青色光は、面２１５からダイクロイックプリズム２１０に入射し、ダイクロ
イックミラー面２１２で図１７中左側に反射し、ダイクロイックミラー面２１１を透過し
て、出射面２１６から出射する。
【０１１３】
このように、前記ライトバルブ２４０、２５０および２６０からの各色の光、すなわち
ライトバルブ２４０、２５０および２６０により形成された各画像は、ダイクロイックプ
リズム２１０により合成され、これによりカラーの画像が形成される。この画像は、投射
レンズ２２０により、所定の位置に設置されているスクリーン３２０上に投影（拡大投射
）される。
以上説明したような電気光学表示装置１００を備える電子機器によれば、優れた信頼性
を有するとともに、高品位な画像を表示することができる。
【０１１４】
なお、本発明の電子機器は、図１４のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナル
コンピュータ）、図１５の携帯電話機、図１６のディジタルスチルカメラ、図１７の投射
型表示装置の他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直
視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能
付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション
、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機
器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子
体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探
知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミ
レータなどが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部、モニタ部として、前
述した本発明の電気光学表示装置が適用可能なことは言うまでもない。
以上のように電気光学表示装置１００を備えた電子デバイスや電子機器は、優れた信頼
性を有する。
【０１１５】
以上、本発明の電気光学表示装置および電子機器について、図示の実施形態に基づいて
説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の電気光学表示装
置および電子機器では、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換する
ことができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせ
たものであってもよい。
【０１１６】
また、前述した実施形態では、櫛歯状をなす１対の電極を用いた静電駆動方式により可
動板３３ａを変位させたが、各電極の形状はこれに限定されず、例えば、１対の電極が平
行平板をなしていてもよい。
また、前述した実施形態では、可動板３３ａの変位のための駆動方式として、静電駆動
方式を用いたが、これに限定されず、例えば、圧電駆動方式、電磁駆動方式など他の駆動
方式を用いてもよい。
【０１１７】
また、窓部および可動板の数、形状、配置、大きさ等の形態は、前述した実施形態のも
のに限定されないのは言うまでもない。例えば、各スイッチング素子に対応する窓部およ
び可動板の数は、１〜３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。
また、弾性部材の数、形状、配置、大きさ等の形態に関しても、前述した実施形態のも
のに限定させないのは言うまでもない。
【０１１８】
また、前述した実施形態では、投射型表示装置（電子機器）は、３個の電気光学表示装
置を有するものであり、これらの全てに本発明の電気光学表示装置を適用したものについ
て説明したが、少なくともこれらのうち１個が、本発明にかかる電気光学表示装置であれ
ばよい。この場合、少なくとも、青色用のライトバルブに用いられる電気光学表示装置に
本発明を適用するのが好ましい。
【符号の説明】
【０１１９】
１‥‥スイッチング素子  ２‥‥駆動電極  ３‥‥固定電極  ３０、３０Ａ……シャッ
ター装置  ３１……基体  ３１ａ……窓部  ３２……第１の中間層  ３３……電極層  ３
３ａ……可動板  ３３ｂ……固定電極  ３３ａ１、３３ｂ１……櫛歯状電極  ３３ｃ、３
３ｃ１、３３ｃ２……支持部  ３３ｄ、３３ｄ１、３３ｄ２……弾性部材  ３４……第２
の中間層  ３５……保護層  ４‥‥第１の絶縁層  ４１‥‥貫通孔  ５‥‥可動電極  ５
０……基板  ５１‥‥固定端  ５２‥‥自由端  ６‥‥導電層  ６１‥‥貫通電極部  ７
‥‥第２の絶縁層  ７１‥‥貫通孔  ８‥‥画素電極  ８１‥‥貫通電極部  ８２‥‥貫
通孔  ９‥‥封止層  １０‥‥アクティブマトリクス装置  １１‥‥第１の配線  １２‥
‥第２の配線  １３‥‥収納部  １４‥‥支持基板  １５‥‥第１の反射膜  １５１‥‥
高屈折率層  １５２‥‥低屈折率層  １５３‥‥開口  １６‥‥第２の反射膜  １６１‥
‥高屈折率層  １６２‥‥低屈折率層  １７‥‥スペーサー  １８‥‥第２の反射膜  １
９‥‥反射防止膜  ２１‥‥支持基板  １００……電気光学表示装置  １１００‥‥パー
ソナルコンピュータ  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示
ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １
２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース（ボディ
ー）  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッターボタン  １３０８‥‥回路基
板  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥データ通信用の入出力端子  １４３
０‥‥テレビモニタ  １４４０‥‥パーソナルコンピュータ  ３００……投射型表示装置
３０１……光源  ３０２、３０３……インテグレータレンズ  ３０４、３０６、３０９
……ミラー  ３０５、３０７、３０８……ダイクロイックミラー  ３１０〜３１４……集
光レンズ  ３２０……スクリーン  ２００……光学ブロック  ２１０……ダイクロイック
プリズム  ２１１、２１２……ダイクロイックミラー面  ２１３〜２１５……面  ２１６
……出射面  ２２０……投射レンズ  ２３０……表示ユニット  ２４０〜２６０……ライ
トバルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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