(57)【要約】【課題】少ない振動マスで多軸回りの角速度を検出することを可能にするとともに、加速度による誤差を低減することが可能なジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】ジャイロセンサー１は、可動検出電極部を備えた振動マス１０と、平面視で駆動マス１０と重なる位置に配置された検出電極８０と、振動マス１０から第１方向に延出する第１駆動部２０ａと、振動マス１０から第１方向と交差する第２方向に延出する第２駆動部２０ｂと、第１駆動部２０ａに対し第２駆動部２０ｂの位相差が９０度異なるように第１駆動部２０ａおよび第２駆動部２０ｂに交流電圧を印加する交流電源部５０と、を備え、振動マス１０は、第１駆動部２０ａ及び第２駆動部２０ｂによって駆動されて、中心部が回動運動をする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動検出電極部を備えた振動マスと、
平面視で該可動検出電極部と重なる位置に配置された固定検出電極部と、
前記振動マスから第１方向に延出する第１駆動部と、
前記振動マスから前記第１方向と交差する第２方向に延出する第２駆動部と、
前記第１駆動部に対し前記第２駆動部の位相差が９０度異なるように前記第１駆動部及び前記第２駆動部に交流電圧を印加する交流電源部と、を備え、
前記振動マスは、前記第１駆動部及び前記第２駆動部によって駆動されて、中心部が回動運動をすることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項２】
前記第１駆動部は、前記振動マスから前記第１方向に延出する第１可動電極部と、該第１可動電極部に対向して配置された第１固定電極部と、を含み、
前記第２駆動部は、前記振動マスから前記第２方向に延出する第２可動電極部と、該第２可動電極部に対向して配置された第２固定電極部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサー。
【請求項３】
前記第１可動電極部にそれぞれ対向して配置された、前記第１固定電極部が備える各固定電極に印加される電圧は、互いに逆位相であり、
前記第２可動電極部にそれぞれ対向して配置された、前記第２固定電極部が備える各固定電極に印加される電圧は、互いに逆位相であり、
前記第１固定電極部に印加される電圧と、前記第２固定電極部に印加される電圧とは、互いに位相が９０度異なっていることを特徴とする請求項２に記載のジャイロセンサー。
【請求項４】
前記振動マスの外側に配置され、前記振動マスを支持する複数の支持部を備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
【請求項５】
前記振動マスは開口部を備え、該開口部の内部に前記振動マスを支持する支持部を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
【請求項６】
前記第１可動電極部及び前記第２可動電極部の先端には、前記振動マスを支持する支持部が備えられたことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか１項に記載のジャイロセンサーが２つ設けられ、
前記２つのジャイロセンサーの前記振動マスの回動方向は、互いに逆方向であり、
一方のジャイロセンサーの出力信号と、他方のジャイロセンサーの出力信号の差動をとることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか１項に記載のジャイロセンサーが搭載された電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カーナビゲーションシステム、携帯電話機、航空機の姿勢検知やビデオカメラの手ぶれ補正等に、角速度を検出するジャイロセンサーが用いられている。ジャイロセンサーは、一定の振動数で振動する振動マスに角速度が加わった時に、当該振動マスに生じるコリオリ力を検出することによって、角速度を検出するものである。近年では、シリコンなどの半導体基板を、フォトリソグラフィー技術を用いて加工することにより、小型のジャイロセンサーを作製するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術が提案されている。
【０００３】
一般的に１軸回りの角速度を検出するＭＥＭＳジャイロセンサーは、２つの振動マスを互いに逆位相で駆動振動させる構成になっている（例えば特許文献１参照）。このように構成する主な目的は、直線加速度を受けたときに検出される信号を相殺し、角速度だけを検出させるためである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表平９−５１２１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、１軸回りの角速度を検出するために振動マスが２つ必要になるため、多軸回りの角速度を検出する場合には、必要となる振動マスの数が検出軸の数に比例して増加することとなる。例えば３軸回りの角速度を検出するためには、振動マスが６個必要となる。したがって、多軸回りの角速度を検出する場合には、ジャイロセンサーの小型化が非常に困難となる。
【０００６】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであって、少ない振動マスで多軸回りの角速度を検出することを可能とするジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、少ない振動マスで多軸回りの角速度を検出することを可能にするとともに、加速度による角速度の検出誤差を低減することが可能なジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］可動検出電極部を備えた振動マスと、平面視で該可動検出電極部と重なる位置に配置された固定検出電極部と、前記振動マスから第１方向に延出する第１駆動部と、前記振動マスから前記第１方向と交差する第２方向に延出する第２駆動部と、前記第１駆動部に対し前記第２駆動部の位相差が９０度異なるように前記第１駆動部及び前記第２駆動部に交流電圧を印加する交流電源部と、を備え、前記振動マスは、前記第１駆動部及び前記第２駆動部によって駆動されて、中心部が回動運動をすることを特徴とするジャイロセンサー。
本発明によれば、第１駆動部に対し第２駆動部の位相差が９０度異なるように前記第１駆動部及び前記第２駆動部に交流電圧を印加し、振動マスは前記第１駆動部及び前記第２駆動部によって駆動されて、その中心部が回動運動をするため、１つの振動マスで多軸回りの角速度を検出することができる。
【０００９】
［適用例２］前記第１駆動部は、前記振動マスから前記第１方向に延出する第１可動電極部と、該第１可動電極部に対向して配置された第１固定電極部と、を含み、前記第２駆動部は、前記振動マスから前記第２方向に延出する第２可動電極部と、該第２可動電極部に対向して配置された第２固定電極部と、を含むことを特徴とする適用例１に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、第１可動電極部、第２可動電極部、第１固定電極部及び第２固定電極部によって、振動マスを回動させる第１駆動部と第２駆動部を形成することができる。
［適用例３］前記第１可動電極部にそれぞれ対向して配置された、前記第１固定電極部が備える各固定電極に印加される電圧は、互いに逆位相であり、前記第２可動電極部にそれぞれ対向して配置された、前記第２固定電極部が備える各固定電極に印加される電圧は、互いに逆位相であり、前記第１固定電極部に印加される電圧と、前記第２固定電極部に印加される電圧とは、互いに位相が９０度異なっていることを特徴とする適用例２に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、印加する電圧の位相によって駆動マスを回動運動させることができる。
［適用例４］前記振動マスの外側に配置され、前記振動マスを支持する複数の支持部を備えたことを特徴とする適用例１乃至３の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、振動マスを安定して支持し、加速度による角速度の検出誤差を低減することができる。
【００１０】
［適用例５］前記振動マスは開口部を備え、該開口部の内部に前記振動マスを支持する支持部を備えたことを特徴とする適用例１乃至４の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、振動マスを安定して支持することができる。
【００１１】
［適用例６］前記第１可動電極部及び前記第２可動電極部の先端には、前記振動マスを支持する支持部が備えられたことを特徴とする適用例１乃至５の何れか１例に記載のジャイロセンサー。
本発明によれば、振動マスから遠い場所で振動マスを支持することができるため、振動マスの振動を妨げずに、振動マスを支持することができる。
【００１２】
［適用例７］適用例１乃至６の何れか１例に記載のジャイロセンサーが２つ設けられ、前記２つのジャイロセンサーの前記振動マスの回動方向は、互いに逆方向であり、一方のジャイロセンサーの出力信号と、他方のジャイロセンサーの出力信号の差動をとることを特徴とするジャイロセンサー。
本発明によれば、２つのジャイロセンサーの出力信号の差動をとることで加速度を相殺することができるため、少ない振動マスで多軸回りの角速度を検出することができるとともに、加速度による角速度の検出誤差を低減することが可能となる。
［適用例８］適用例１乃至７の何れか１例に記載のジャイロセンサーが搭載された電子機器。
本発明によれば、小型で高感度な電子機器とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るジャイロセンサーの模式的平面図である。
【図２】図１に示すジャイロセンサーのＡ−Ａ’断面図である。
【図３】速度Ｖと角速度Ωとコリオリ力Ｆｃの関係を示す図である。
【図４】駆動電力、変位、速度、コリオリ力間の位相の関係を示すグラフである。
【図５】変形例に係る支持部を説明するための駆動マスの模式的平面図である。
【図６】他の変形例に係る支持部を説明するためのジャイロセンサーの模式的平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る差動検出型ジャイロセンサーの模式的平面図である。
【図８】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図９】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明に係る実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るジャイロセンサー１の模式的平面図であり、図２は、図１に示すジャイロセンサー１のＡ−Ａ’線断面図である。このジャイロセンサー１は、Ｘ−Ｙ−Ｚの直交座標系でＸＹ軸回りの回転角速度を検出する面内２軸センサーである。
【００１５】
ジャイロセンサー１は、ＸＹ平面内に配置された基板７０上に、振動マス１０と２つの第１駆動部２０ａと２つの第２駆動部２０ｂとが、基板７０との間に隙間を設けた状態で配置されている。
基板７０は例えばガラスで形成されている。基板７０の主面のうち振動マス１０と対向する面であって、平面視で駆動マス１０と重なる位置には、検出電極（「固定検出電極部」に対応）８０が設けられている。
【００１６】
ジャイロセンサー１には、振動マス１０と検出電極８０との間の静電容量の変化を検出する静電容量検出回路（不図示）が接続されており、当該静電容量検出回路には、当該静電容量を示す出力信号から角速度を算出する角速度検出回路（不図示）が接続されている。
【００１７】
振動マス１０は、例えばシリコンで形成され、本実施形態では、振動マス１０自体が検出電極（「可動検出電極部」に対応）となっている。また、本実施形態では、振動マス１０は円板形状を有しているが、振動マス１０の形状は円板形状に限定されるものではなく、質量のある物体であればよく、例えば円環状、四角形状、多角形状、またはコの字形状であってもよい。
【００１８】
振動マス１０は、その重心についての点対称位置で基板７０上にバネ支持されている。本実施形態の場合は、振動マス１０の周縁部に等間隔に設定された４点（直交２軸と振動マス１０の周縁部との交点）それぞれには、バネ部３０の一端が連結されている。バネ部３０の他端はアンカー部４０で基板７０上に固定されている。バネ部３０とアンカー部４０で、振動マス１０を支持する支持部が構成される。振動マス１０を４つの支持部でバネ支持することで、振動マス１０を安定して支持しつつ平面振動可能とすることができる。なお、支持部は４つに限定されることはなく、２つや３つであってもよく、或いは５つ以上であってもよい。
【００１９】
また、振動マス１０の周縁部には、Ｙ軸方向（「第１方向」に対応）に沿って配置される２つの第１駆動部２０ａと、Ｘ軸方向（「第２方向」に対応）に沿って配置される２つの第２駆動部２０ｂと、が連結され、これらの駆動部２０ａ、２０ｂは振動マス１０から十字状に延びている。第１駆動部２０ａ、２０ａ、第２駆動部２０ｂ、２０ｂそれぞれは、駆動マス１０の周縁部のうちバネ部３０が連結されている４点の各中間地点に連結されている。第１駆動部２０ａと第２駆動部２０ｂとは隣接して配置されており、駆動マス１０から第１駆動部２０ａが延出する方向と、当該第１駆動部２０ａに隣接する第２駆動部２０ｂが駆動マス１０から延出する方向と、の角度は９０°となっている。
【００２０】
第１駆動部２０ａは、駆動マス１０からＹ軸方向に延出する可動電極（「第１可動電極部」に対応）２１ａと、当該可動電極２１ａにそれぞれ対向して配置された固定電極２２ａ１、２２ａ２（「第１固定電極部」に対応）と、を備えている。第２駆動部２０ｂは、駆動マス１０からＸ軸方向に延出する可動電極（「第２可動電極部」に対応）２１ｂと、当該可動電極２１ｂにそれぞれ対向して配置された固定電極２２ｂ１、２２ｂ２（「第２固定電極部」に対応）と、を備えている。可動電極２１ａ、２１ｂは、一端が振動マス１０に連結されている。一方、固定電極２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２は、アンカー部４１によって基板７０と連結されている。可動電極２１ａ、２１ｂ及び固定電極２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２は櫛歯状の電極指を有しており、可動電極２１ａと固定電極２２ａ１、２２ａ２の電極指、及び可動電極２１ｂと固定電極２２ｂ１、２２ｂ２の電極指は、交互に一定の間隔をおいて配置されている。
【００２１】
各固定電極２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２には、当該固定電極２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２に交流電圧を印加する交流電源部５０が接続されている。交流電源部５０は図示しないコントローラにより制御され、コントローラは第１駆動部２０ａに対し第２駆動部２０ｂの位相差が９０度異なるように、第１駆動部２０ａ及び第２駆動部２０ｂに交流電圧を印加する。
【００２２】
本実施形態では、交流電源部５０から、固定電極２２ａ１に交流電圧Ｖ１、固定電極２２ａ２に交流電圧Ｖ２、固定電極２２ｂ１に交流電圧Ｖ３、固定電極２２ｂ２に交流電圧Ｖ４が印加されるものとする。そして、交流電圧Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４は、振幅が同一の正弦波であり、交流電圧Ｖ１と交流電圧Ｖ２は逆位相、交流電圧Ｖ３は交流電圧Ｖ１に対し位相が９０°遅れ（又は、９０°進み）、交流電圧Ｖ３と交流電圧Ｖ４は逆位相となるように印加されている。このような設定は前記コントローラにより行えばよい。
【００２３】
第１駆動部２０ａ及び第２駆動部２０ｂに交流電圧が印加されると、固定電極２２ａ１、２２ａ２と可動電極２１ａとの間、及び固定電極２２ｂ１、２２ｂ２と可動電極２１ｂとの間に静電力が働き、第１駆動部２０ａの可動電極２１ａがＸ軸方向に振動し、第２駆動部２０ｂの可動電極２１ｂがＹ軸方向に振動する。本実施形態では、第２駆動部２０ｂの可動電極２１ｂ、固定電極２２ｂ１、２２ｂ２それぞれに印加される電圧の位相は、第１駆動部２０ａの可動電極２１ａ、固定電極２２ａ１、２２ａ２それぞれに対し印加される交流電圧の位相よりも９０°遅れているため、４つの可動電極２１ａ、２１ｂに連結された振動マス１０は、振動マス１０の中心部が矢印Ｄ１の方向に略円の軌跡を描くように回動運動を行う。
【００２４】
すなわち、振動マス１０の回動運動は、Ｘ軸方向の往復振動とＹ軸方向の往復振動の合成である。振動マス１０がＸ軸方向に振動しているときにＹ軸回りの角速度が検出されると、コリオリ力ＦｃがＺ軸方向に作用するので、振動マス１０と検出電極８０との距離が変化する。同様に、振動マス１０がＹ軸方向に振動しているときにＸ軸回りの角速度が検出されると、同様にコリオリ力ＦｃがＺ軸方向に作用し、振動マス１０と検出電極８０との距離が変化する。
【００２５】
これは、図３に示すように、速度Ｖで移動する物体ｍに対して、その速度方向に直交する軸回りの角速度Ωが加わった場合に、残りの軸方向にコリオリ力Ｆｃが発生することによる。
この結果、振動マス１０と検出電極８０との間の静電容量が変化する。この静電容量の変化量ΔＣは角速度Ωの大きさに比例するため、静電容量検出部により検出された静電容量の変化量ΔＣを示す出力信号から、Ｘ軸回り、Ｙ軸回りの角速度Ωを算出することができる。静電容量の変化量ΔＣの検出は、検出電極８０と振動マス１０とに電気的接続状態にある部材、例えばバネ部３０のアンカー部４０を利用すればよい。あるいは検出電極８０と駆動部２０ａ、２０ｂの可動電極２１ａ、２１ｂを利用することも考えられる。
【００２６】
この場合、Ｘ軸、Ｙ軸回りの角速度それぞれに対応する静電容量の変化量を示す出力信号が連続して検出されるが、振動マス１０のＸ軸方向及びＹ軸方向の駆動振動は９０°の位相差があるため、この位相差の情報に基づいて、出力信号をＸ軸回りの角速度により生じた成分と、Ｙ軸回りの角速度により生じた成分とに時間方向で分離することができる。この結果、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの角速度それぞれを算出することができる。
【００２７】
図４（ａ）は、固定電極２２ａ１に印加される駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｘの位相（交流電圧Ｖ１の位相）と、当該駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｘによる振動マス１０のＸ軸方向への変位Ｘと、振動マス１０のＸ軸方向への速度Ｖｘと、Ｙ軸回りに角速度Ωが印加された場合に質量ｍの振動マス１０にかかるコリオリ力Ｆｃｏｒｉ＿ｘと、の位相の関係を示すグラフである。グラフの横軸は時間経過を示し、縦軸は、電力、速度、距離等の大きさを示す。交流電源部５０により駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｘが固定電極２２ａ１に印加されると、可動電極２１ａとの間に静電力が発生して、可動電極２１ａが共振振動し、可動電極２１ａに連結された振動マス１０も振動する。共振により振動するため、振動マス１０の変位Ｘの位相は駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｘの位相に９０°遅れる。
【００２８】
振動マス１０のＸ軸方向への速度Ｖｘは、変位Ｘを時間で微分したものであり、速度Ｖｘの位相は変位Ｘの位相よりも９０°進む。コリオリ力Ｆｃｏｒｉ＿ｘは、速度Ｖｘと同位相であり、２ｍＶｘΩで算出される。したがって、コリオリ力ｃｏｒｉ＿ｘは、駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｘと同位相で検出される。
なお、固定電極２２ａ２に印加される交流電圧Ｖ２については、交流電圧Ｖ１と逆位相の関係となり、変位Ｘ、速度Ｖｘ、コリオリ力Ｆｃｏｒｉ＿ｘの波形は図４（ａ）と同様となる。
【００２９】
図４（ｂ）は、駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｙの位相（交流電圧Ｖ３の位相）と、当該駆動電力Ｆｄｒｉｖｅ＿ｙによる振動マス１０のＹ軸方向への変位Ｙと、振動マス１０のＹ軸方向への速度Ｖｙと、Ｘ軸回りに角速度Ωが印加された場合のコリオリ力Ｆｃｏｒｉ＿ｙと、の位相の関係を示すグラフである。これらのグラフは、図４（ａ）のグラフにおける波形の位相を９０°遅延させたものになっている。
【００３０】
なお、固定電極２２ｂ１に印加される交流電圧Ｖ４については、交流電圧Ｖ３と逆位相の関係となり、変位Ｙ、速度Ｖｙ、コリオリ力Ｆｃｏｒｉ＿ｙの波形の位相は図４（ｂ）と同様となる。
これらの位相の情報に基づいて、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの角速度それぞれを算出することができる。
【００３１】
なお、上述した実施形態で示したバネ部３０の屈曲形状は一例に過ぎず、バネ部３０の折り返し部分の数や向きは任意であってよいし、或いはバネ部３０に屈曲がなく直線形状であってもよい。
【００３２】
また、上述した実施形態では、支持部として、４つのバネ部３０とアンカー部４０が振動マス１０を支持するとして説明したが、振動マス１０を支持する方式はこれに限定されることはない。例えば、図５に示すように、振動マス１０の中央部に開口部１０ａを設けて駆動マス１０を円環状とし、基板７０上に設けた１点のアンカー部４０と、振動マス１０の内周とをバネ部３０で接合することで、開口部１０ａの内部に支持部を設けるようにしてもよい。この場合、バネ部３０を、アンカー部４０から略十字の方向に延びるように配置することで、振動マス１０を安定して支持することができる。
【００３３】
或いは、図６に示すように、可動電極２１ａ、２１ｂの振動マス１０と連結されている側とは反対側の先端部をバネ部３０の一端と接続し、当該バネ部３０の他端をアンカー部４０で固定することで、振動マス１０を支持するようにしてもよい。この場合には、振動マス１０は遠い位置から支持されることとなるため、振動マス１０の振動を妨げることがない。
【００３４】
或いは、バネ部３０及びアンカー部４０を設けずに、基板７０上に絶縁体の突起を設け、当該突起で振動マス１０を支持するようにしてもよい。この場合には、ジャイロセンサー１に駆動電力が印加されていない時は振動マス１０は突起上に載置される。駆動電力として、固定電極に直流電圧と交流電圧を印加することで、直流成分で可動電極に対する静電引力とし、交流成分を振動成分とすることができる。これにより、駆動電力が印加されている時は、振動マス１０が静電力で突起から浮くようになるため、振動マス１０の振動を妨げることがない。また、このような突起を設けることで、基板７０と振動マス１０との貼り付きを防止することができる。
【００３５】
以上説明したように、振動マス１０を複数設けなくても、第１駆動部２０ａに対し第２駆動部２０ｂの位相差が９０°度異なるように、第１駆動部２０ａ及び第２駆動部２０ｂに交流電圧を印加することで、振動マス１０は第１駆動部２０ａ及び第２駆動部２０ｂに駆動されて、その中心部が略円の軌跡を描く回動運動をする。そして、１つの振動マス１０のＸＹ平面内の回動運動はＸ軸方向及びＹ軸方向についての振動運動に分離することができるため、位相情報に基づいて、測定信号をＸ軸回りの角速度により生じた成分と、Ｙ軸回りの角速度により生じた成分とに分離することで、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの角速度それぞれを算出することができる。したがって、多軸検出用のジャイロセンサー１であっても小型化が可能となる。また、振動マス１０を支持部で支持することで、Ｘ軸方向又はＹ軸方向の直線加速度による角速度の誤検出を低減することができる。
【００３６】
なお、上述した実施形態では、第１駆動部２０ａと第２駆動部２０ｂとを２つずつ設け、合計４つの駆動部を設けるとして説明したが、駆動部の数はこれに限定されることはなく、第１駆動部２０ａと第２駆動部２０ｂとが少なくとも１つずつあればよい。
【００３７】
また、上述した実施形態では、第１の駆動部２０ａと第２の駆動部２０ｂとは、延出方向が互いに直交するように配置されているとして説明したが、第１の駆動部２０ａと第２の駆動部２０ｂとの延出方向の角度は９０°に限らず、互いに交差するように配置されていればよい。
【００３８】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係るジャイロセンサー１Ａの模式的平面図である。
本実施形態に係るジャイロセンサー１Ａは、第１実施形態に係る２つのジャイロセンサー１を同一の基板にＸ軸方向に並列に配置したものである。ただし、２つのジャイロセンサー１の振動マス１０の回動方向Ｄ１、Ｄ２が互いに逆方向になるように設定される。これは、第１駆動部２０ａと第２駆動部２０ｂとの間の位相差が図７に示す左右のジャイロセンサー１（１Ｌ、１Ｒ）で互いに正負逆（＋９０度と−９０度）となるようにすることで実現できる。
【００３９】
本実施形態においては、２つのジャイロセンサー１の振動マス１０の中心部は、それぞれ矢印Ｄ１、Ｄ２の向きに互いに逆方向に回動運動するため、Ｘ軸回り又はＹ軸回りに角速度を受けたときの２つのジャイロセンサー１Ｌ、１Ｒの駆動振動は互いに逆相であり、コリオリ力の向きも互いに逆向きになる。
【００４０】
一方、２つのジャイロセンサー１Ｌ、１Ｒが直線加速度を受けたときは、２つの振動マス１０は同じ方向に変位する。
したがって、各ジャイロセンサー１Ｌ、１Ｒの出力信号の作動をとる、つまり、ジャイロセンサー１Ａの静電容量の変化量ΔＣを示す出力信号を、各ジャイロセンサー１Ｌ、１Ｒの静電容量の変化量ΔＣ１、ΔＣ２を示す出力信号の差分として算出することで、加速度に関する信号を相殺し、角速度に関する信号のみを残すことができる。したがって、加速度による誤差の影響を受けない、Ｘ軸、Ｙ軸方向の高精度な角速度検出が可能となる。
次に、本発明の電子機器を説明する。
図８は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
図９は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
図１０は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサー１が内蔵されている。
このような電子機器は、小型で高感度なジャイロセンサー１を備えるので、優れた信頼性を有する。
なお、本発明の電子機器は、図８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図９の携帯電話機、図１０のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
以上、本発明のジャイロセンサー及び電子機器について図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでなはなく、特許請求の範囲に記載された本発明の技術思想の範囲で種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１（１Ｒ、１Ｌ）、１Ａ………ジャイロセンサー、１０………振動マス、２０ａ………第１駆動部、２０ｂ………第２駆動部、２１ａ、２１ｂ………可動電極、２２ａ１、２２ａ２、２２ｂ１、２２ｂ２………固定電極、３０………バネ部、４０、４１………アンカー部、５０………交流電源部、７０………基板、８０………検出電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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