(57)【要約】【課題】差出力に対して定められる測定精度の仕様を満足するセンサペアの総数を増やすとともに、ペアがみつからずに無駄となるセンサ単体の数を減らす。【解決手段】例えば、物理量センサを圧力センサとした場合、各圧力センサの出力特性の精度指標の最大値と最小値から、組み合わせ可能な全ての圧力センサとその数を求める。組み合わせ可能なセンサ数が最も少ない圧力センサから順に第１の圧力センサとして選出する。次に、選出した第１の圧力センサと組み合わせが可能な圧力センサの中から、組み合わせ可能なセンサ数が最も少ない圧力センサを第２のセンサとして選出する。残った圧力センサで、同様にして、第１の圧力センサと第２の圧力センサの選出を繰り返す。【選択図】  図２
2013185917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２の物理量センサを含むデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法であって、
複数の物理量センサについて当該物理量センサの出力特性の精度指標の最大値と最小値を求める第１ステップと、
前記複数の物理量センサの中から前記出力特性の精度指標の最大値と最小値との差が予め定められた出力特性の精度指標の許容範囲内にあるものを選出対象の物理量センサとして選択する第２ステップと、
前記選出対象の物理量センサの各々について、自己が前記第１の物理量センサとして選出された時のペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とを、自己の出力特性の精度指標の最大値及び最小値と前記センサペアの差出力の精度指標の許容範囲とに基づいて求める第３ステップと、
前記選出対象の物理量センサの各々について、前記求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とに基づいて、前記第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を決定する第４ステップと、
前記選出対象の物理量センサの中からその物理量センサに対して決定されている前記第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを前記第１の物理量センサとして選出し、この第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている前記第２の物理量センサの候補の中の１つを前記第２の物理量センサとして選出する第５ステップと
を備えることを特徴とするデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法。
【請求項２】
請求項１に記載されたデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法において、
前記第５ステップは、
前記第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている前記第２の物理量センサの候補の中から、その候補に対して決定されている前記第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを前記第２の物理量センサとして選出する
ことを特徴とするデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載されたデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法において、
前記第５ステップによって前記第１の物理量センサと前記第２の物理量センサとが選出された場合、前記選出対象の物理量センサから前記第１の物理量センサとして選出された物理量センサ及び前記第２の物理量センサとして選出された物理量センサを除外し、この選出された第１及び第２の物理量センサが除外された選出対象の物理量センサの各々について、前記第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を再度決定し、前記第５ステップの処理を繰り返させる第６ステップ
を備えることを特徴とするデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載されたデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法において、
前記第３ステップは、
前記選出対象の物理量センサの各々について、自己の出力特性の精度指標の最大値に前記センサペアの差出力の精度指標の許容範囲の２分の１を減算したものを前記ペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の下限値とし、自己の出力特性の精度指標の最小値に前記センサペアの差出力の精度指標の許容範囲の２分の１を加算したものを前記ペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値とする
ことを特徴とするデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法。
【請求項５】
請求項１又は２に記載されたデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法において、
前記第４ステップは、
前記求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値及び下限値の間に、その出力特性の精度指標の最大値及び最小値が存在する物理量センサを、前記第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とする
ことを特徴とするデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、デュアル物理量センサを製造する際に複数の物理量センサから組み合わせ可能なセンサペアを選択するセンサペアの選出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧力センサ、温度センサ、速度センサ等の物理量センサはペアとされ、デュアル物理量センサとして用いられることがある。例えば、２つの圧力センサを用いてなるデュアル圧力センサは、流量制御弁に取り付けられて弁体の上流側の流体圧力Ｐ１と弁体の下流側の流体圧力Ｐ２とを検出する差圧センサとして使用される。この差圧センサによって検出される流体圧力Ｐ１とＰ２との圧力差に基づいて流量制御弁内を流れる流体の流量が計算される。例えば、特許文献１には出力補正回路を備えたデュアル圧力センサの例が記載されている。また、特許文献２にはデュアル圧力センサを用いた流量制御弁の例が記載されている。
【０００３】
このようなデュアル圧力センサは、最終的に流体の差圧ΔＰ（ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２）を測定することになるが、この差圧ΔＰに対して測定精度の仕様が定められている。以下、この差圧ΔＰに対して定められた測定精度の仕様を差圧精度仕様と呼ぶ。そこで、デュアル圧力センサのセンサペアを選出するにあたっては、圧力センサ単体として定められた測定精度の仕様を満足する圧力センサの中から２つの圧力センサを選出して１つのパッケージに組み込んでデュアル圧力センサを構成している。
【０００４】
すなわち、デュアル圧力センサに搭載されるペアとなる２つの圧力センサの特性が同じであれば理想的であるが、実際には全く同じ特性を有する圧力センサを製造することは極めて困難であるので、特性の異なる２つの圧力センサをペアにしてデュアル圧力センサを構成せざるを得ない。このため、組み合わせ可能なセンサペアの選出を行って、所要の差圧精度仕様を満たすデュアル圧力センサを構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−３１００３号公報
【特許文献２】特開平２００９−１１５３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、圧力センサ単体として定められた測定精度仕様を満足する２個の圧力センサをペアにしたとしても、圧力センサの出力特性（後述）に相違があることによって、圧力センサの個々の組合せのケースによっては定められた差圧精度仕様を満たさない場合も生じ得る。したがって、圧力センサの全ての組合せにおいて、差圧センサに対して定められた差圧精度仕様を満たすことを保証することは難しい。
【０００７】
また、圧力センサの個々の組み合わせの全てのケースにおいて差圧精度仕様を満たすことを保証しようとすると、圧力センサ単体として定められた測定精度仕様を厳しくせざるを得ず、そうすると測定精度仕様を満たす圧力センサの個数が減少し、デュアル圧力センサの生産性が悪化し、コストが上昇する不具合が考えられる。
【０００８】
また、例えば、複数の圧力センサの中から、第１の圧力センサをランダムに選出し、この選出した第１の圧力センサとペアとなり得る第２の圧力センサをランダムに選出することが考えられる。このような選出方法を採用した場合、偏った出力特性を持つ圧力センサなどは組み合わせ可能な圧力センサが限られているにも拘わらず、その組み合わせ可能な圧力センサが他の圧力センサと先にペアになってしまうことがある。その場合、組み合わせ可能な圧力センサがなくなった圧力センサは、第１の圧力センサとして選ばれても第２の圧力センサが見つからず、デュアル圧力センサとして使用することができない。このため、多くの無駄が生じる。また、デュアル圧力センサの製造台数が減ってしまう。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、差出力に対して定められる測定精度の仕様を満足するセンサペアの総数を増やすとともに、ペアがみつからずに無駄となるセンサ単体の数を減らすことが可能なデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的を達成するために本発明は、第１及び第２の物理量センサを含むデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法であって、複数の物理量センサについて当該物理量センサの出力特性の精度指標の最大値と最小値を求める第１ステップと、複数の物理量センサの中から出力特性の精度指標の最大値と最小値との差が予め定められた出力特性の精度指標の許容範囲内にあるものを選出対象の物理量センサとして選択する第２ステップと、選出対象の物理量センサの各々について、自己が第１の物理量センサとして選出された時のペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とを、自己の出力特性の精度指標の最大値及び最小値とセンサペアの差出力の精度指標の許容範囲とに基づいて求める第３ステップと、選出対象の物理量センサの各々について、求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とに基づいて、第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を決定する第４ステップと、選出対象の物理量センサの中からその物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを第１の物理量センサとして選出し、この第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の中の１つを第２の物理量センサとして選出する第５ステップとを備えることを特徴とする。
【００１１】
この発明では、先ず、複数の物理量センサについてその出力特性の精度指標の最大値と最小値を求める。そして、複数の物理量センサの中から出力特性の精度指標の最大値と最小値との差が予め定められた出力特性の精度指標の許容範囲内にあるものを選出対象の物理量センサとして選択する。
【００１２】
次に、選出対象の物理量センサの各々について、自己が第１の物理量センサとして選出された時のペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とを、自己の出力特性の精度指標の最大値及び最小値とセンサペアの差出力の精度指標の許容範囲とに基づいて求める。例えば、自己の出力特性の精度指標の最大値にセンサペアの差出力の精度指標の許容範囲の２分の１を減算したものをペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の下限値とし、自己の出力特性の精度指標の最小値にセンサペアの差出力の精度指標の許容範囲の２分の１を加算したものをペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値とする。
【００１３】
そして、選出対象の物理量センサの各々について、求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とに基づいて、第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を決定する。例えば、求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値及び下限値の間に、その出力特性の精度指標の最大値及び最小値が存在する物理量センサを第２の物理量センサの候補とし、その候補の総数を決定する。
【００１４】
そして、選出対象の物理量センサの中からその物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを第１の物理量センサとして選出し、この第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の中の１つを第２の物理量センサとして選出する。例えば、第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の中から、その候補に対して決定されている第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを第２の物理量センサとして選出する。
【００１５】
本発明において、第１の物理量センサと第２の物理量センサとが選出された場合、選出対象の物理量センサから第１の物理量センサとして選出された物理量センサ及び第２の物理量センサとして選出された物理量センサを除外し、この選出された第１及び第２の物理量センサが除外された選出対象の物理量センサの各々について、第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を再度決定し、第１の物理量センサと第２の物理量センサとを選出する処理を繰り返させるようにすると、センサペアが選出される毎にその選出されたセンサペアが選出対象の物理量センサから除外され、第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数が再度決定され、残された選出対象の物理量センサの中から第２の物理量センサの候補の総数の少ないものを優先して、センサペアの選出が繰り返されるようになる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、選出対象の物理量センサの各々について、自己が第１の物理量センサとして選出された時のペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とを、自己の出力特性の精度指標の最大値及び最小値とセンサペアの差出力の精度指標の許容範囲とに基づいて求めることにより、必ず差出力に対して定められる測定精度の仕様を満足するようにセンサペアの選出を行うことが可能となる。
また、選出対象の物理量センサの各々について、求められたペアとなり得る第２の物理量センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とに基づいて、第２の物理量センサとして選出可能な物理量センサの候補とその総数を決定し、選出対象の物理量センサの中からその物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の総数が最も少ないものを第１の物理量センサとして選出し、この第１の物理量センサとして選出した物理量センサに対して決定されている第２の物理量センサの候補の中の１つを第２の物理量センサとして選出することにより、ペアになる可能性が低いものを優先してセンサペアを選出するようにして、差出力に対して定められる測定精度の仕様を満足するセンサペアの総数を増やすとともに、ペアがみつからずに無駄となるセンサ単体の数を減らすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法を実施するセンサペア選出支援装置（コンピュータシステム）を含むシステムの構成例を示す図である。
【図２】このシステムに含まれるセンサペア選出支援装置における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順の概略（実施の形態の概略）を説明する図である。
【図３】実施の形態における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順を説明するフローチャートである。
【図４】実施の形態における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順を説明するフローチャートである。
【図５】実施の形態における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順を説明するフローチャートである。
【図６】選出対象の圧力センサの数をＭ＝６とした場合のセンサペアが決定されて行く様子を示す図である。
【図７】選出対象の圧力センサの数をＭ＝１０とした場合のセンサペアが決定されて行く様子を示す図である。
【図８】選出対象の圧力センサの数をＭ＝１０とした場合のセンサペアが決定されて行く様子を示す図（図７に続く図）である。
【図９】差圧センサにおける２つの圧力センサの出力特性の例（精度指標：精度〔％ＦＳ〕）を示す図である。
【図１０】差圧センサにおける２つの圧力センサの出力特性の例（精度指標：圧力〔ｋＰａ〕）を示す図である。
【図１１】差圧センサにおける２つの圧力センサの出力特性の例（精度指標：リニアリティ〔％〕）を示す図である。
【図１２】差圧センサにおける２つの圧力センサの出力特性の例（精度指標：電圧〔Ｖ〕）を示す図である。
【図１３】差圧精度を求めるための比較パターン例を説明する図である。
【図１４】最悪の差圧精度となる例を説明する図である。
【図１５】最悪の差圧精度となる例を説明する図である。
【図１６】圧力センサの出力特性の最大値及び最小値を示す図である。
【図１７】圧力センサ単体の精度条件（精度幅）を説明する図である。
【図１８】圧力センサ単体の精度条件（精度幅）を説明する図である。
【図１９】第１の圧力センサの出力特性の例（精度指標：精度〔％ＦＳ〕）を示す図である。
【図２０】第１の圧力センサの出力特性の表現を変えた例を示す図である。
【図２１】圧力センサの差圧の測定精度（差圧精度）が差圧精度仕様内に入る条件を説明する図である。
【図２２】圧力センサのペアの組合せ例を示す図である。
【図２３】圧力センサのペアの選出を容易にするラベル表示の例（精度表示）を示す図である。
【図２４】第１の圧力センサに適合する第２の圧力センサを選出する例（ラベル表示：精度表示）を示す図である。
【図２５】第１の圧力センサに適合する第２の圧力センサを選出する例（ラベル表示：簡易化表示）を示す図である。
【図２６】第１の圧力センサに対応する第２の圧力センサを選出する例（ラベル表示：バーコード表示）を示す図である。
【図２７】参考例における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順を説明するフローチャートである。
【図２８】参考例における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順を説明するフローチャートである。
【図２９】参考例の選択手順での問題を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
図９に差圧センサにおける２つの圧力センサの出力特性の例を示す。この出力特性は、精度指標を出力精度（測定精度）〔％ＦＳ〕とした例であり、横軸は圧力［ｋＰａ］、縦軸は精度［％ＦＳ］を示している。以下、この精度指標を測定精度とした出力特性を精度特性と呼ぶ。
【００２０】
ここで、％ＦＳはフルスケール誤差を表している。フルスケールは調節計や記録計などの測定レンジを持っている機器の入力レンジ幅であり、フルスケール誤差は測定レンジを持っている機器で制御精度や表示精度を表すときに使用するパラメータである。機器設定の固有レンジ幅にフルスケール誤差の比率をかけた数値が誤差範囲となる。
【００２１】
例えば、２つの圧力センサＳ１とＳ２とからなる差圧センサの差圧精度仕様を±０．２［％ＦＳ］とした場合、差圧が０［ｋＰａ］ならば、すなわち圧力センサＳ１と圧力センサＳ２への印加圧力が一緒ならば、どの圧力値で差圧を計算しても差圧の測定精度（差圧精度）は±０．２［％ＦＳ］以内となる差圧センサでも、例えば、差圧が１０００［ｋＰａ］の場合について考えると、圧力センサＳ１の出力Ｐ２が２０００［ｋＰａ］、圧力センサＳ２の出力が１０００［ｋＰａ］のときに、差圧精度は０．２［％ＦＳ］を越える場合がある（図９参照）。
【００２２】
このように、圧力センサ単体では、その圧力センサに対して定められている測定精度仕様を満足するが、センサペアとすることによって差圧センサとして必要な差圧精度仕様を満たさなくなる場合が生じ得る。
【００２３】
図１０〜図１２は、圧力センサＳ１，Ｓ２の出力特性の他の例を示している。図１０は圧力値［ｋＰａ］を精度指標とした例であり、図１１はリニアリティ［％］を精度指標とした例であり、図１２は電圧出力［Ｖ］を精度指標とした例である。
【００２４】
図１は、本発明のデュアル物理量センサのセンサペアの選出方法を実施するセンサペア選出支援装置（コンピュータシステム）を含むシステムの構成例を示す図である。この構成例では、物理量センサを圧力センサとし、デュアル物理量センサとして差圧センサ（デュアル圧力センサ）のセンサペアを選出する。
【００２５】
同図に示すように、高圧ガスボンベやコンプレッサなどの高圧ガス供給源１１から検査用の流体（例えば、圧縮空気）が供給される。流体は減圧弁１２によって減圧されて圧力発生装置１３に供給される。圧力発生装置１３は流体を後述の周辺機器制御部３１からの指令に応じた圧力値に調整して（圧力値可変）、検査対象の複数の圧力センサ２１に供給する。
【００２６】
各圧力センサ２１には切替弁４４を介して流体が供給され、この切替弁４４は周辺機器制御部３１によって制御される。また、各圧力センサ２１には、圧力センサ２１を動作させる電源が電源装置１４から供給される。電源装置１４は周辺機器制御部３１によって制御され、各圧力センサ２１への電源供給の有無、供給電圧値などが設定可能である。
【００２７】
コンピュータシステム３０によって検査対象の圧力センサ２１に所要の電源を供給し、切替弁４４を制御して検査対象の圧力センサ２１に流体を供給する。圧力発生装置１３からの流体の圧力を変化させて検査対象の圧力センサ２１の出力を測定する。検査対象の圧力センサ２１の出力は圧力センサ通信ユニット３４に供給される。なお、切替弁４４の代わりに、マニホールドなどを用いて複数の検査対象の圧力センサ２１に同時に流体を供給するようにしてもよい。
【００２８】
センサペア選出支援装置の主要な構成部分であるコンピュータシステム３０は、周辺機器制御部３１、記憶媒体３２、入出力インタフェース３３、圧力センサ通信ユニット３４、演算処理部３５等を含んでいる。
【００２９】
周辺機器制御部３１は、電源装置１４、圧力発生装置１３、切替弁４４などを制御する制御信号を演算処理部３５の指令に基づいて出力する。記憶媒体３２は、制御プログラムやデータベースを不揮発に保存するＲＯＭ、ハードディスク、ＳＳＤ（Solid State Drive）などの大容量記憶装置等からなる。
【００３０】
入出力インタフェース３３は、入力装置、出力装置、外部接続装置などと演算処理部３５などとの情報伝送を媒介する。圧力センサ通信ユニット３４は圧力センサ２１から所定の形式で出力される信号を信号変換して記憶媒体３２や演算処理部３５などに伝送する。また、圧力センサ２１が内蔵する制御部（ＭＰＵ：マイクロプロセッサ）などと必要により通信を行う。
【００３１】
演算処理部３５はＭＰＵ、メモリなどを含み、センサペア選出支援などの制御プログラムを実行する。また、演算処理部３５はプログラムに基づいて各部の制御を行う。演算処理部３５には、プログラムによって出力特性演算部、第１の圧力センサ選択部、第２の圧力センサ選択部などの各機能が構成される。
【００３２】
コンピュータシステム３０には、キーボード、マウス、タッチパネルなどの入力装置４１、制御情報や装置状態、プログラムなどの表示を行うモニタ装置４２（上記出力装置に相当する）、圧力センサの選択を容易にする情報をシール紙などに印刷するラベルプリンタ４３（上記外部接続装置に相当する。）などが接続される。
【００３３】
〔参考例〕
次に、上述したセンサペア選出支援装置における動作を説明する。ここでは、まず、参考例として、本発明の前段として考えられるセンサペアの選出方法について、その理論を含めて説明する。
【００３４】
図１３は差圧精度を求めるための説明図である。差圧センサは、２つの圧力センサＳ１及びＳ２、圧力センサＳ１の出力を補正する補正回路１（図示せず）、圧力センサＳ２の出力を補正する補正回路２（図示せず）を含んでいる。差圧センサは、２つの圧力センサＳ１，Ｓ２のそれぞれに加えられる圧力を検出し、補正回路１，２からの出力の差を差圧として計算する。差圧精度は、真の差圧値と補正回路１，２からの出力の差から求められた差圧との差で計算することができるが、その計算式は単位などによって異なるため一概には言えない。
【００３５】
このとき、差圧精度を求めるための２つの出力の比較パターンは、図１３に示すように圧力センサＳ１の精度特性と圧力センサＳ２の精度特性の組合せから多数のパターンが考えられる。これ等の多数の組合せパターンのうちで図１４に示す矢印の組合せパターンが最も差圧精度が悪いパターンである。
【００３６】
また、図１５に示すような、圧力センサＳ１の凹状の精度特性と圧力センサＳ２の凸状の精度特性との相互間における組合せパターンの場合には、同図中に矢印で示される組合せパターンが最も差圧精度が悪いパターンである。
【００３７】
上記の最も差圧精度が悪くるなるパターンの例により、差圧精度が所定の仕様範囲内に入るかどうかを下記（ａ），（ｂ）部分の２つの比較パターンについて計測すれば、差圧精度が所要の差圧精度仕様を満たし得るかどうかを判別することができる。
【００３８】
（ａ）「圧力センサＳ１の測定精度の最大値」と「圧力センサＳ２の測定精度の最小値」より、差圧精度仕様の絶対値≧（圧力センサＳ１の測定精度の最大値−圧力センサＳ２の測定精度の最小値）の絶対値
（ｂ）「圧力センサＳ１の測定精度の最小値」と「圧力センサＳ２の測定精度の最大値」より、差圧精度仕様の絶対値≧（圧力センサＳ２の測定精度の最大値−圧力センサＳ１の測定精度の最小値）の絶対値
【００３９】
そこで、まず、図１６に示すように、各圧力センサについて出力を測定し、この出力から得られる精度特性から測定精度の最小値と最大値を求め、圧力センサ単体の精度条件を満たすか否かを判断する。満たす場合には、圧力センサペアの第１の圧力センサの選出対象となる。
【００４０】
図１７及び図１８は、圧力センサ単体の精度条件を説明する図である。差圧センサの差圧精度仕様を満足するためには、図１７に示すように、圧力センサ単体の精度幅（最小値と最大値の差）は差圧精度仕様の絶対値の２倍以内でなければならない。図示の例では、差圧センサの差圧精度仕様が±２．０［％ＦＳ］の場合であり、圧力センサの精度幅は４．０［％ＦＳ］以内であることが要求される。
【００４１】
ここで、圧力センサ単体の精度幅が差圧センサの差圧精度仕様の絶対値の２倍以内である理由は、図１８に示すように、仮に、圧力センサＳ１の精度幅が差圧精度仕様の絶対値の２倍であったとしても、精度幅が０［％ＦＳ］で且つ圧力センサＳ１の精度幅の中間点を通っている精度特性を持つ圧力センサＳ２と組み合わせれば差圧精度仕様±２．０［％ＦＳ］を満足することができるからである（後述の図２１参照）。
【００４２】
次に、第２の圧力センサの選出について説明する。既述のように差圧精度は２つの圧力センサの精度特性の相互間の最小値と最大値の比較となる。そこで、図１９に示すような、精度特性の最小値ＰＡminが−０．８［％ＦＳ］、最大値ＰＡmaxが０．５［％ＦＳ］である圧力センサＳ１に適合する圧力センサＳ２を選出する場合について考える。
【００４３】
図２０は、図１９の表現を変えたもので、横軸を精度［％ＦＳ］として圧力センサの精度特性を示している。２つの圧力センサを組み合わせて差圧精度が差圧精度仕様内に収まるようにするために、２つの圧力センサの精度特性の最小値と最大値を比較する。
【００４４】
圧力センサＳ１と圧力センサＳ２の精度特性の各最小値をＰＡmin１、ＰＡmin２とし、圧力センサＳ１と圧力センサＳ２の精度特性の各最大値をＰＡmax１、ＰＡmax２とすると、圧力センサＳ１に組み合わせることのできる圧力センサＳ２の精度特性の条件は次のようになる。
【００４５】
条件：「圧力センサＳ１のＰＡmin１±差圧精度仕様の絶対値の範囲内」且つ「圧力センサＳ１のＰＡmax１±差圧精度仕様の絶対値の範囲内」に圧力センサＳ２のＰＡmin２とＰＡmax２が存在する。
【００４６】
図２１は、図２０に上記条件を図示したものである。圧力センサＳ２の精度特性の許容範囲は、「圧力センサＳ１のＰＡmin１±差圧精度仕様の絶対値の範囲」と「圧力センサＳ１のＰＡmax１±差圧精度仕様の絶対値の範囲」が重複する部分であり、この範囲内に圧力センサＳ２のＰＡmin２とＰＡmax２が存在することが条件となる。この条件から次の関係式を得る。
【００４７】
ＰＡmin２≧ＰＡmax１−差圧精度仕様の絶対値  ・・・・(1)式
ＰＡmax２≧ＰＡmin１＋差圧精度仕様の絶対値  ・・・・(2)式
ここで、差圧精度仕様の絶対値は差圧精度仕様（差出力の精度指標の許容範囲）の１／２に相当する。
【００４８】
したがって、図１９に示すような、精度特性の最小値ＰＡminが−０．８［％ＦＳ］、最大値ＰＡmaxが０．５［％ＦＳ］である圧力センサＳ１に適合する圧力センサＳ２は、(1)式より、ＰＡmin２≧〔ＰＡmax１（０．５）−差圧精度仕様の絶対値（２．０）＝−１．５ [％ＦＳ]〕、(２)式より、ＰＡmax２≧〔ＰＡmin１（−０．８）＋差圧精度仕様の絶対値（２．０）＝１．２ [％ＦＳ]〕の範囲となる圧力センサが該当する。
【００４９】
図２２は、圧力センサＳ１の精度特性の例とこの圧力センサＳ１と組合せ可能な圧力センサ２の精度特性の例を示している。
【００５０】
上述した手順によって各圧力センサには、精度特性から求められた自己の測定精度の最小値及び最大値が記録される。また、この圧力センサＳ１に適合する圧力センサＳ２の測定精度の下限値及び上限値が記録される。例えば、記録は圧力センサの製造番号などで検索可能にセンサペア選出支援装置内にデータベース化される。記録は各圧力センサ内の電気回路（ＭＰＵ）に記憶しても良い。また、記録を図２３に示すような表現形式でラベル（表示体）に印刷して可視的に表示し、圧力センサに貼り付けても良い。
【００５１】
図２４は、圧力センサＳ１に適合する圧力センサＳ２を選出する例を示している。この図に示すように、例えば、「センサ１」を圧力センサＳ１とし、この「センサ１」の測定精度の最小値が０．８、最大値が０．５で、ペアとなるべき圧力センサＳ２の測定精度の下限値が−１．５、上限値が１．２と表示されている場合、自己の測定精度の最小値が−０．２、最大値が０．６と表示されている「センサ３」、自己の精度の最小値が−１．０、最大値が０．７と表示されている「センサ４」などを圧力センサＳ２として選出することが可能である。
【００５２】
図２５は、各圧力センサの測定精度の最小値及び最大値、この圧力センサと適合する圧力センサの測定精度の下限値及び上限値の他の表示形式を示した例である。この例では、図２４に示した最小値や最大値などの特性値に１０を足し、更に１０倍し、ラベル表示を見やすくしている。このような表示形式とすると、図２４に示した表示形式では「０」となる数値が「１００」として表示され、小数点とマイナス表示がなくなるので見やすくなる。
【００５３】
図２６は、バーコードラベルに表示されるバーコードに製品型番や製造番号などと共に特性値を含める例を示している。この表示例では、図２４の表示値を１０倍して３桁で表示し、プラス値にＰを付し、マイナス値にＭを付している。圧力センサＳ１の「−０．８」は「Ｍ００８」、「０．５」は「Ｐ００５」と表示されている。なお、表示の数値は１６進数や２進数表示などでも良い。また、全ての数値が正の値となるように所定値（定数）を足して表記しても良い。
【００５４】
次に、図２７及び図２８に示すフローチャートを参照して、この参考例における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順について説明する。
【００５５】
上述したように、図１に示したセンサペア選出支援装置において、コンピュータシステム３０の演算処理部（ＭＰＵ）３５は、プログラムによって出力特性演算部、第１の圧力センサ選択部、第２の圧力センサ選択部などの機能を実現している。
【００５６】
〔センサペアの選出対象の仕分け〕
図１に示すように、複数の圧力センサ２１に圧力発生装置１３の配管、電源装置１４のコードが接続されて圧力センサ２１の検査の準備が整う。例えば、入力装置４１からオペレータによって圧力センサ２１の検査がコンピュータシステム３０に指令されると、演算処理部３５は、準備された複数の圧力センサ２１について、センサペアとして使用可能か否かを判別する仕分けを行う。すなわち、センサペアの選出対象を仕分けする。図２７にこの場合の処理手順を示す。
【００５７】
この処理手順において、演算処理部３５は、先ず、複数の圧力センサ２１のいずれかを検査対象の圧力センサとして選択する（ステップＳ１０１）。この選択は予め圧力センサ２１に順番を付けて順次に選んでもよい。また、任意に選択しても良い。
【００５８】
演算処理部３５は、選択した検査対象の圧力センサに流体の供給ルートを設定し、圧力発生装置１３の出力を所定範囲で変化させ、検査対象の圧力センサの一連の出力を圧力センサ通信ユニット３４を介して入手する。演算処理部３５は、検査対象の圧力センサの検出レンジ内で出力特性の精度指標を読み取り、その精度指標の最大値と最小値を求める（ステップＳ１０２）。例えば、図１６に示すような出力特性（精度特性）から、その測定精度の最大値と最小値を求める。
【００５９】
次に、演算処理部３５は、精度指標の最大値と最小値との差の絶対値ΔＤ（最大値と最小値との幅）を計算する（ステップＳ１０３）。そして、この差ΔＤが予め定められた出力特性の精度指標の許容範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ１０４）。例えば、既述図１７及び図１８に示した例では、許容範囲は差圧精度仕様の絶対値の２倍に設定されている。
【００６０】
演算処理部３５は、差ΔＤが許容範囲外である場合には（ステップＳ１０４のＮＯ）、検査対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが不適当であると判断し、センサペアの選出対象から除外する（ステップＳ１０５）。この際、演算処理部３５は、選出対象外に仕分けした検出対象の圧力センサを、記憶媒体３２に識別番号、出力特性等と共に記録する。
【００６１】
演算処理部３５は、差ΔＤが許容範囲内である場合には（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、検出対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが可能であると判断し、センサペアの選出対象となることを記憶媒体３２に識別番号、出力特性等と共に記録する（ステップＳ１０６）。
【００６２】
次に、演算処理部３５は、全ての圧力センサの仕分けが終了したかどうかを判別する（ステップＳ１０７）。仕分けが終了していない圧力センサが存在するときには（ステップＳ１０７のＮＯ）、ステップＳ１０１〜Ｓ１０７を繰り返して、圧力センサの仕分けを行う。全ての圧力センサの仕分けが終了すれば（ステップＳ１０７のＹＥＳ）、この処理手順を終了する。
【００６３】
〔センサペアの選出〕
次に、演算処理部３５は、仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの中から、デュアル圧力センサのセンサペアを選出する。すなわち、第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２との組み合わせを選出する。図２８にこの場合の処理手順を示す。
【００６４】
この処理手順において、演算処理部３５は、先ず、仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの中から、いずれかの圧力センサを第１の圧力センサＳ１として選出する（ステップＳ２０１）。この場合、順番付けられた圧力センサを順次選出しても良い。
【００６５】
演算処理部３５は、既述した図２１及び図２２に示すように、選出した第１の圧力センサＳ１と組合せ可能な第２の圧力センサの出力特性の精度指標の上限値と下限値とを(1)式及び(2)式から求める（ステップＳ２０２）。
【００６６】
次に、演算処理部３５は、仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの残りの圧力センサの中に、ステップＳ２０２で求めた精度指標の上限値と下限値との間に自己の精度指標の最小値と最大値が存在する圧力センサが有るか否かを判別する（ステップＳ２０３）。すなわち、選出した第１の圧力センサＳ１に適合する圧力センサが有るか否かを判別する。
【００６７】
選出した第１の圧力センサＳ１に適合する圧力センサが存在しない場合には（ステップＳ２０３のＮＯ）、第１の圧力センサＳ１を他の圧力センサに変えてステップＳ２０１〜Ｓ２０３を繰り返し、選出した新たな第１の圧力センサＳ１に適合する圧力センサが存在するか否かを判別する。もし、新たに選出する第１の圧力センサＳ１が存在しない場合には終了する。
【００６８】
選出した第１の圧力センサＳ１に適合する圧力センサが存在する場合には（ステップＳ２０３のＹＥＳ）、演算処理部３５は、その圧力センサを第２の圧力センサＳ２として選出する（ステップＳ２０４）。
【００６９】
そして、演算処理部３５は、選出した第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２とを画面に表示する（ステップＳ２０５）。例えば、第１の圧力センサＳ１の製造番号、精度指標の最小値及び最大値、第２の圧力センサＳ２の製造番号、精度指標の最小値及び最大値等を表示する。
【００７０】
また、演算処理部３５は、これ等の圧力センサについて求めた特性情報を既述した図２３〜図２６に示すようにラベルプリンタ４３によってラベルに印刷することができる（ステップＳ２０６）。このラベルを該当する圧力センサやそのパッケージに貼り付けることによって作業者が各圧力センサの特性を可視的に判断することができる。作業者は各圧力センサに自己の特性とこれに適合する相手の特性の範囲が示されることによってセンサペアを選出して組合せることができる。また、図示しない圧力センサ内部の電気回路（ＡＳＩＣ）のメモリに自己（第１の圧力センサ）の製造番号、精度指標の最小値及び最大値、ペアの相手（第２の圧力センサ）の製造番号、精度指標の最小値及び最大値等を記録し、適宜に読み出し可能に構成しても良い。
【００７１】
演算処理部３５は、選出対象の圧力センサのグループの中からセンサペアとして選出した第１の圧力センサＳ１及び第２の圧力センサＳ２を除去し、この第１の圧力センサＳ１及び第２の圧力センサＳ２を除去した残りの選出対象の圧力センサのグループの中から、上述したステップＳ２０１〜Ｓ２０６を繰り返すことによって新たな第１の圧力センサＳ１及び第２の圧力センサＳ２を選出する。演算処理部３５は、このような処理を繰り返すことによって、必要数のセンサペアを得る。
【００７２】
このようにして、演算処理部３５は、図２７に示した処理手順によって仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの中から、図２８に示された処理手順によって第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２とを選出し、選出した第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２とをセンサペアとして次々に確定して行く。センサペアが確定されると、例えば、図示しない後工程において、ロボット装置あるいはオペレータによって第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２とがセンサペアとして扱われ、デュアル圧力センサ（差圧センサ）が組み立てられるものとなる。
【００７３】
〔参考例の問題〕
上述した参考例では、選出対象の圧力センサの各々について、自己が第１の圧力センサとして選出された時のペアとなり得る第２の圧力センサが備えるべき出力特性の精度指標の上限値と下限値とを、自己の出力特性の精度指標の最大値及び最小値とセンサペアの差圧の精度指標の許容範囲とに基づいて求めることにより、必ず差圧精度仕様を満足するようにセンサペアの選出を行うことが可能となる、という効果が得られる。
【００７４】
しかしながら、例えば、図２９（ａ）に示すように、４つの圧力センサＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄがあったとし、Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれペアになることが可能であるが、ＤはＢだけとしかペアになることができないという組み合わせがあったとする。この組み合わせ例において、例えば、図２９（ｂ）に示すように、Ａを第１の圧力センサとして選出し、Ｂを第２の圧力センサとして選出すると、図２９（ｃ）に示すように、ＣとＤとはペアにすることができない。この場合、圧力センサＣとＤが残ってしまい無駄になる。また、デュアル圧力センサの製造台数が減ってしまう。
【００７５】
そこで、これから説明する実施の形態では、その概略を図２に示すように、図２（ａ）に示すような組み合わせがあったとした場合、先ず、図２（ｂ）に示すように、各圧力センサの出力特性の精度指標の最大値と最小値から、組み合わせ可能な全ての圧力センサとそのセンサ数を求める。そして、組み合わせ可能なセンサ数が最も少ない圧力センサから順に第１の圧力センサとして選出する。組み合わせ可能なセンサ数が０個のものは選出候補から除外する。この例では、圧力センサＤを第１の圧力センサとして選出する。
【００７６】
次に、選出した第１の圧力センサと組み合わせが可能な圧力センサの中から、組み合わせ可能なセンサ数が最も少ない圧力センサを第２のセンサとして選出する。この例では、図２（ｃ）に示すように、第１の圧力センサとして圧力センサＤが選出されるので、この圧力センサＤと組み合わせ可能なセンサ数が最も少ない圧力センサとして圧力センサＢを第２のセンサとして選出する。
【００７７】
そして、残った圧力センサで、上述と同様にして、第１の圧力センサと第２の圧力センサの選出を繰り返す。この例では、圧力センサＡとＣが残され、圧力センサＡの組み合わせ可能なセンサ数が１個、圧力センサＣの組み合わせ可能なセンサ数が１個となるので、図２（ｄ）に示すように、例えば圧力センサＡが第１の圧力センサとして選出され、圧力センサＣが第２のセンサとして選出される。この例では、圧力センサが４個しかないが、実際には多くの圧力センサがあり、同様の手順で、センサペアが選出されて行く。
【００７８】
このような手順とすることにより、ペアになる可能性が低いものを優先してセンサペアが選出されるようになり、差圧精度仕様を満足するセンサペアの総数を増やすとともに、ペアがみつからずに無駄となるセンサ単体の数を減らすことが可能となる。また、予め組み合わせ可能なセンサ数を求めているので、第１の圧力センサを選出する前に組み合わせ可能なセンサ数が０個のものを除外することができ、センサペアを再選出する手間もなくなり、効率よくセンサを組み合わせることが可能となる。
【００７９】
〔実施の形態〕
次に、図３〜図５に示すフローチャートを参照して、この実施の形態における第１の圧力センサ及び第２の圧力センサの選出手順について説明する。
【００８０】
〔センサペアの選出対象の仕分け〕
図１において、演算処理部３５は、準備された複数の圧力センサ２１について、センサペアの選出対象を仕分けする。図３にこの場合の処理手順を示す。
【００８１】
この図３に示された処理手順において、演算処理部３５は、先ず、Ｌ＝１として（ステップＳ３０１）、Ｌ＝１番目の圧力センサを検査対象の圧力センサとして選択する（ステップＳ３０２）。
【００８２】
演算処理部３５は、選択した検査対象の圧力センサに流体の供給ルートを設定し、圧力発生装置１３の出力を所定範囲で変化させ、検査対象の圧力センサの一連の出力を圧力センサ通信ユニット３４を介して入手する。演算処理部３５は、検査対象の圧力センサの検出レンジ内で出力特性の精度指標を読み取り、その精度指標の最大値と最小値を求める（ステップＳ３０３）。例えば、図１６に示すような出力特性（精度特性）から、その測定精度の最大値と最小値を求める。
【００８３】
次に、演算処理部３５は、精度指標の最大値と最小値との差の絶対値ΔＤ（最大値と最小値との幅）を計算する（ステップＳ３０４）。そして、この差ΔＤが予め定められた出力特性の精度指標の許容範囲内にあるか否かを判断する（ステップＳ３０５）。例えば、既述図１７及び図１８に示した例では、許容範囲は差圧精度仕様の絶対値の２倍に設定されている。
【００８４】
演算処理部３５は、差ΔＤが許容範囲外である場合には（ステップＳ３０５のＮＯ）、検査対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが不適当であると判断し、センサペアの選出対象から除外する（ステップＳ３０６）。この際、演算処理部３５は、選出対象外に仕分けした検出対象の圧力センサを、記憶媒体３２に製造番号、出力特性等と共に記録する。
【００８５】
演算処理部３５は、差ΔＤが許容範囲内である場合には（ステップＳ３０５のＹＥＳ）、検出対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが可能であると判断し、センサペアの選出対象となることを記憶媒体３２に製造番号、出力特性等と共にＤＡＴＡ１として記録する（ステップＳ３０７）。
【００８６】
次に、演算処理部３５は、全ての圧力センサについて処理が終了したかどうかを判別する（ステップＳ３０８）。この例では、圧力センサの全数をＮとし、Ｌ＝Ｎとなったか否かを確認する。
【００８７】
Ｌ＝Ｎでない場合には（ステップＳ３０８のＮＯ）、Ｌ＝Ｌ＋１として（ステップＳ３０９）、ステップＳ３０２へ戻り、同様の処理動作を繰り返す。Ｌ＝Ｎとなれば（ステップＳ３０８のＹＥＳ）、すなわち全ての圧力センサの仕分けが終了すれば、この処理手順を終了する。
【００８８】
〔選出対象の圧力センサ毎の第２の圧力センサの候補とその総数の決定〕
次に、演算処理部３５は、仕分けされた選出対象の圧力センサの各々について、自己が第１の圧力センサとして選出された時のペアとなり得る第２の圧力センサの候補とその総数を決定する。図４にこの場合の処理手順を示す。
【００８９】
この処理手順において、演算処理部３５は、先ず、Ｌ＝１として（ステップＳ４０１）、記憶媒体３２に記憶されているＤＡＴＡ１から、Ｌ＝１番目の選出対象の圧力センサを第１の圧力センサとした時の第２の圧力センサとして組み合わせ可能な全ての圧力センサとそのセンサ数（総数）を求める（ステップＳ４０２）。
【００９０】
この場合、演算処理部３５は、Ｌ＝１番目の選出対象の圧力センサを第１の圧力センサとし、このＬ＝１番目の選出対象の圧力センサと組合せ可能な第２の圧力センサの出力特性の精度指標の上限値と下限値とを前述した(1)式及び(2)式から求め、この求めた精度指標の上限値と下限値とに基づいて、第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補とそのセンサ数を決定する。
【００９１】
演算処理部３５は、組み合わせ可能な圧力センサが存在しない場合（ステップＳ４０３のＮＯ）、Ｌ＝１番目の選出対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが不適当であると判断し、センサペアの選出対象から除外し、選出対象外に仕分けした圧力センサを、記憶媒体３２に製造番号、出力特性等と共に記録する（ステップＳ４０４）。
【００９２】
演算処理部３５は、組み合わせ可能な圧力センサが存在する場合には（ステップＳ４０３のＹＥＳ）、Ｌ＝１番目の選出対象の圧力センサはデュアル圧力センサとして使用することが可能であると判断し、第２の圧力センサとして組み合わせ可能な圧力センサのセンサ情報（製造番号等）とセンサ数をＤＡＴＡ２として記憶媒体３２に記憶する（ステップＳ４０５）。
【００９３】
次に、演算処理部３５は、全ての選択対象の圧力センサについて処理が終了したかどうかを判別する（ステップＳ４０６）。この例では、選択対象の圧力センサの全数をＭとし、Ｌ＝Ｍとなったか否かを確認する。
【００９４】
Ｌ＝Ｍでない場合には（ステップＳ４０６のＮＯ）、Ｌ＝Ｌ＋１として（ステップＳ４０７）、ステップＳ４０２へ戻り、同様の処理動作を繰り返す。Ｌ＝Ｍとなれば（ステップＳ４０６のＹＥＳ）、すなわち選出対象の全ての圧力センサについて、第２の圧力センサの候補とその総数が決定されれば、この処理手順を終了する。
【００９５】
〔センサペアの選出〕
次に、演算処理部３５は、仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの中から、デュアル圧力センサのセンサペアを選出する。すなわち、第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２との組み合わせを選出する。図５にこの場合の処理手順を示す。
【００９６】
この処理手順において、演算処理部３５は、先ず、記憶媒体３２に記憶されているＤＡＴＡ２より、組み合わせ可能な第２の圧力センサのセンサ数が最も少ない圧力センサを、すなわち第２の圧力センサの候補の総数が最も少ない圧力センサを、第１の圧力センサとして選出する（ステップＳ５０１）。なお、最も少ない第２の圧力センサの候補の総数が同じものがあったら、製造番号の小さいものを選出する。
【００９７】
そして、演算処理部３５は、この第２の圧力センサとして組み合わせ可能な圧力センサの中から、第２の圧力センサとして組み合わせ可能なセンサ数の最も少ない圧力センサを、すなわち第１の圧力センサとして選出した圧力センサに対して決定されている第２の圧力センサの候補の中から、その候補に対して決定されている第２の圧力センサの候補の総数が最も少ない圧力センサを、第２の圧力センサとして選出する（ステップＳ５０２）。この場合も、最も少ない第２の圧力センサの候補の総数が同じものがあったら、製造番号の小さいものを選出する。
【００９８】
そして、演算処理部３５は、選出した第１の圧力センサＳ１と第２の圧力センサＳ２とをセンサペアとして記憶媒体３２に記憶し、センサペアとして選出した第１の圧力センサＳ１及び第２の圧力センサＳ２をＤＡＴＡ２より除外する（ステップＳ５０４）。
【００９９】
そして、演算処理部３５は、残された選出対象の圧力センサの各々について、第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補とその総数を再度決定し、ＤＡＴＡ２に反映させる（ステップＳ５０５）。
【０１００】
そして、残された選出対象の圧力センサの第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補の総数が全て０個でないことを確認のうえ（ステップＳ５０６のＮＯ）、すなわち残された選出対象の圧力センサの中に１つでも第２の圧力センサとして組み合わせ可能な圧力センサがあることを確認のうえ、ステップＳ５０１へ戻り、同様の処理動作を繰り返す。
【０１０１】
なお、ステップＳ５０１へ戻るにあたり、第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補の総数が０個になった圧力センサは、選出対象の圧力センサから除くものとする（ステップＳ５０７）。
【０１０２】
このようにして、演算処理部３５は、図３に示した処理手順によって仕分けされた選出対象の圧力センサのグループの中から、図４に示された処理手順によって選出対象の圧力センサの各々について第２の圧力センサの候補とその総数を決定し、図５に示された処理手順によってペアになる可能性が低いものを優先して第１の圧力センサと第２の圧力センサとを選出し、選出した第１の圧力センサと第２の圧力センサとをセンサペアとして次々に確定して行く。これにより、必ず差圧精度仕様を満足するようにセンサペアの選出を行うだけではなく、差圧精度仕様を満足するセンサペアの総数を増やすとともに、ペアがみつからずに無駄となるセンサ単体の数を減らすことができるようになる。
【０１０３】
図６に選出対象の圧力センサの数をＭ＝６とした場合のセンサペアが決定されて行く様子を示す。この例では、図６（ａ）にセンサペアを決定する前のＤＡＴＡ２の状態を示すように、製造番号１０１の圧力センサに対して、製造番号１０３，１０４，１０６の圧力センサが第２の圧力センサの候補として決定され、第２の圧力センサの候補の総数は３とされている。同様にして、製造番号１０２〜１０６の圧力センサについても、第２の圧力センサの候補とその総数が決定されている。
【０１０４】
このような組み合わせの場合、本実施の形態では、第２の圧力センサの候補の総数が最も少ない製造番号１０５の圧力センサが第１の圧力センサＳ１として選出され（ステップＳ５０１）、この第１の圧力センサＳ１として選出された製造番号１０５の圧力センサに対して決定されている第２の圧力センサの候補の中から、最も第２の圧力センサの候補の少ないものとして製造番号１０２の圧力センサが第２の圧力センサＳ２として選出される（ステップＳ５０２）。
【０１０５】
そして、図６（ｂ）に示すように、第１の圧力センサＳ１として選出された製造番号１０５の圧力センサと第２の圧力センサＳ２として選出された製造番号１０２の圧力センサがセンサペアとして記憶され（ステップＳ５０３）、このセンサペアとして記憶された製造番号１０５の圧力センサと製造番号１０２の圧力センサのデータがＤＡＴＡ２より除外される（ステップＳ５０４）。そして、残された選出対象の圧力センサの各々について、第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補とその総数が再度決定され、ＤＡＴＡ２に反映される（ステップＳ５０５）。
【０１０６】
これにより、次は、第２の圧力センサの候補の総数が最も少ない製造番号１０４の圧力センサが第１の圧力センサＳ１として選出され（ステップＳ５０１）、この第１の圧力センサＳ１として選出された製造番号１０４の圧力センサに対して決定されている第２の圧力センサの候補の中から、最も第２の圧力センサの候補の少ないものとして製造番号１０１の圧力センサが第２の圧力センサＳ２として選出される（ステップＳ５０２）。
【０１０７】
そして、図６（ｃ）に示すように、第１の圧力センサＳ１として選出された製造番号１０４の圧力センサと第２の圧力センサＳ２として選出された製造番号１０１の圧力センサがセンサペアとして記憶され（ステップＳ５０３）、このセンサペアとして記憶された製造番号１０４の圧力センサと製造番号１０１の圧力センサのデータがＤＡＴＡ２より除外される（ステップＳ５０４）。そして、残された選出対象の圧力センサの各々について、第２の圧力センサとして選出可能な圧力センサの候補とその総数が再度決定され、ＤＡＴＡ２に反映される（ステップＳ５０５）。
【０１０８】
この場合、残された選出対象は製造番号１０３の圧力センサと製造番号１０６の圧力センサの２つとなり、どちらも第２の圧力センサの候補の総数は１個となる。この場合、製造番号が小さい製造番号１０３の圧力センサが第１の圧力センサＳ１として選出され（ステップＳ５０１）、製造番号が大きい製造番号１０６の圧力センサが第２の圧力センサＳ２として選出される（ステップＳ５０２）。
【０１０９】
そして、図６（ｄ）に示すように、第１の圧力センサＳ１として選出された製造番号１０３の圧力センサと第２の圧力センサＳ２として選出された製造番号１０６の圧力センサがセンサペアとして記憶され（ステップＳ５０３）、このセンサペアとして記憶された製造番号１０３の圧力センサと製造番号１０６の圧力センサのデータがＤＡＴＡ２より除外される（ステップＳ５０４）。
【０１１０】
選出対象の圧力センサの数をＭ＝１０とした場合のセンサペアが決定されて行く様子を図７及び図８に分割して示す。この場合も、図６を用いて説明したと同様にして、図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に続き、図８（ａ），（ｂ），（ｃ）の順でセンサペアが決定されて行く。
【０１１１】
なお、上述した実施の形態では、物理量センサとして圧力センサを例に説明したが、これに限定されるものではない。上述したように温度センサ、加速度センサ、液面センサ、計量センサ、電流センサ、電圧センサなどの２つのセンサで差を計測するものであればよい。
【０１１２】
また、センサの出力特性の精度指標としては、実施の形態の精度［％ＦＳ］に限られるものではない。出力電圧［Ｖ］、リニアリティ［％］など必要により適宜に選択される。
【０１１３】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１１…圧力発生装置、１２…高圧ガス供給部、１２…減圧弁、１４…電源装置、２１…圧力センサ、３０…コンピュータシステム、３１…周辺機器制御部、３２…記憶媒体、３３…入出力インタフェース、３４…圧力センサ通信ユニット、３５…演算処理部、４１…入力装置、４２…モニタ装置、４３…ラベルプリンタ、４４…切替弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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