(57)【要約】【課題】  ノイズの原因となるコモンモード成分を抑制して、コモンモードノイズの除去効果の高い積層型コモンモードチョークコイルを提供する。【解決手段】  積層型コモンモードチョークコイル１１は、第１および第２コイル３１，４１が同一の巻き数で螺旋状に巻回されて、上層および下層に積層配置されている。第１コイル３１の端部は、第１コイル端部引出部３２ａ，３２ｂを介して第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに接続されている。第２コイル４１の端部は、第２コイル端部引出部４２ａ，４２ｂを介して第２外部電極接続導体４３ａ，４３ｂに接続されている。第１コイル３１は、第１コイル３１の最外周の巻回部３１ｃに並列に接続された並列部３４を備える。この並列部３４は、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂとの間に形成される浮遊容量Ｃを増大させる調整巻回部を構成する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の巻き数で螺旋状に巻回されて積層配置される一対の第１および第２コイルと、前記第１コイルの端部を外部電極に接続する第１外部電極接続導体と、前記第２コイルの端部を外部電極に接続する第２外部電極接続導体と、前記第１外部電極接続導体に隣接する前記第１コイルの巻回部と逆の向きに電流が流れる、前記第１コイルの端部を前記第１外部電極接続導体に接続する第１コイル端部引出部と、前記第２外部電極接続導体に隣接する前記第２コイルの巻回部と同じ向きに電流が流れる、前記第２コイルの端部を前記第２外部電極接続導体に接続する第２コイル端部引出部とを備えて構成される積層型コモンモードチョークコイルにおいて、
前記第１コイルは、前記第１外部電極接続導体との間に形成される浮遊容量を増大させて、挿入損失を特定の周波数で前記第２コイルの挿入損失と一致させる調整巻回部を備えることを特徴とする積層型コモンモードチョークコイル。
【請求項２】
前記調整巻回部は、前記第１コイルの最外周の巻回部に並列に接続され、一部が前記第１外部電極接続導体に近接して、増大させる前記浮遊容量を形成する１本または複数本の導体から構成されることを特徴とする請求項１に記載の積層型コモンモードチョークコイル。
【請求項３】
１本の前記導体は前記最外周の巻回部と、複数本の前記導体は前記最外周の巻回部と相互間が、インダクタンスの減少が抑えられる距離に近接して形成されることを特徴とする請求項２に記載の積層型コモンモードチョークコイル。
【請求項４】
前記調整巻回部は、前記第１コイルの最外周の巻回部の、前記第１外部電極接続導体に近接する部分が、増大させる前記浮遊容量を形成する距離長く形成されて構成されることを特徴とする請求項１に記載の積層型コモンモードチョークコイル。
【請求項５】
前記調整巻回部は、増大させる前記浮遊容量を形成する長さの、前記第１外部電極接続導体に対向する導体が、前記第１コイルの最外周の巻回部に付加されて構成されることを特徴とする請求項１に記載の積層型コモンモードチョークコイル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同一の巻き数で螺旋状に巻回されて積層配置される一対のコイルから構成される積層型コモンモードチョークコイルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の積層型コモンモードチョークコイルとしては、例えば特許文献１に開示されたものがある。この積層型コモンモードチョークコイルは、非磁性絶縁材料層の内部上下方向に分離して第１及び第２内部導体が同方向にスパイラル状に巻かれて、構成されている。非磁性絶縁材料層の上下両面には第１及び第２磁性材料層が設けられて積層体を構成し、この積層体には、第１及び第２内部導体に接続された外部電極が設けられる。非磁性絶縁材料層は、第１渦巻状導体を配置した第２非磁性絶縁材料と、第２渦巻状導体を配置した第４非磁性絶縁材料と、第１及び第２外部電極接続導体が形成された第３非磁性材料とが積層されて、構成されている。第１内部導体は、第１渦巻状導体に第１外部電極接続導体が接続されてスパイラル巻きにされ、第２内部導体は、第２渦巻状導体に第２外部電極接続導体が接続されてスパイラル巻きにされている。
【０００３】
図１（ａ）は上記の第１内部導体１の巻き構成を簡易的に示す平面図、同図（ｂ）は上記の第２内部導体２の巻き構成を簡易的に示す平面図である。
【０００４】
同図（ａ）に示すようにスパイラル巻きにされた第１内部導体１は、非磁性絶縁材料３上に形成され、その端部には第１コイル端部引出部４ａ，４ｂを介して第１外部電極接続導体５ａ，５ｂが接続されている。第１外部電極接続導体５ａ，５ｂは積層体の外周に設けられる外部電極に接続され、それぞれポート１，ポート２となる。
【０００５】
同図（ｂ）に示すように第２内部導体２は、非磁性絶縁材料６上に形成され、第１内部導体１と同一巻数で同様なパターンでスパイラル巻きにされている。第２内部導体２の端部には第２コイル端部引出部７ａ，７ｂを介して第２外部電極接続導体８ａ，８ｂが接続されている。第２外部電極接続導体８ａ，８ｂは積層体の外周に設けられる外部電極に接続され、それぞれポート３，ポート４となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１４２３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の積層型コモンモードチョークコイルでは、第１内部導体１がスパイラル巻きされて構成される第１コイルにおいて、ポート１から電気エネルギーを供給した場合、第１外部電極接続導体５ａ，５ｂに隣接する直近のコイル巻回部１ａ，１ｂと、第１コイル端部引出部４ａ，４ｂとの間で、矢示するように逆の向きに電流が流れる。また、第２内部導体２がスパイラル巻きされて構成される第２コイルにおいては、ポート３から電気エネルギーを供給した場合、第２外部電極接続導体８ａ，８ｂに隣接する直近のコイル巻回部２ａ，２ｂと、第２コイル端部引出部７ａ，７ｂとの間で、矢示するように同じ向きに電流が流れる。
【０００８】
このため、第１内部導体１がスパイラル巻きされて構成される第１コイルにおいては、逆の向きに電流が流れる上記箇所で磁束の打ち消しが発生する。一方、第２内部導体２がスパイラル巻きされて構成される第２コイルにおいては、同じ向きに電流が流れる上記箇所で磁束が強め合う。従って、第１コイルで取得されるインダクタンスと第２コイルで取得されるインダクタンスとに差異が生じる。
【０００９】
図２は、ポート１からポート２に電気エネルギーを供給した時の挿入損失特性Ｓ２１と、ポート３からポート４に電気エネルギーを供給した時の挿入損失特性Ｓ４３を示すグラフである。同グラフの横軸は周波数[ＭＨｚ]、縦軸は挿入損失[dＢ]を表す。また、点線は挿入損失特性Ｓ２１を表す挿入損失特性曲線Ａ、実線は挿入損失特性Ｓ４３を表す挿入損失特性曲線Ｂを示す。
【００１０】
同グラフに示されるように、挿入損失特性曲線Ａおよび挿入損失特性曲線Ｂで表される両者の挿入損失は、２００[ＭＨｚ]以降の高周波数帯で異なっている。これは、上述した、第１および第２の各コイルで取得されるインダクタンスの差異によるものである。このように挿入損失が異なるコモンモードチョークコイルを差動線路にノイズフィルタとして挿入すると、フィルタ自体がノイズの原因となるコモンモード成分を発生させてしまう。従って、上記従来の積層型コモンモードチョークコイルでは、コモンモードノイズを効果的に除去することはできない。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、
同一の巻き数で螺旋状に巻回されて積層配置される一対の第１および第２コイルと、第１コイルの端部を外部電極に接続する第１外部電極接続導体と、第２コイルの端部を外部電極に接続する第２外部電極接続導体と、第１外部電極接続導体に隣接する第１コイルの巻回部と逆の向きに電流が流れる、第１コイルの端部を第１外部電極接続導体に接続する第１コイル端部引出部と、第２外部電極接続導体に隣接する第２コイルの巻回部と同じ向きに電流が流れる、第２コイルの端部を第２外部電極接続導体に接続する第２コイル端部引出部とを備えて構成される積層型コモンモードチョークコイルにおいて、
第１コイルが、第１外部電極接続導体との間に形成される浮遊容量を増大させることで、挿入損失を特定の周波数で第２コイルの挿入損失と一致させる調整巻回部を備えることを特徴とする。
【００１２】
本構成によれば、第１コイルが調整巻回部を備えることで、第１外部電極接続導体と第１コイルとの間に形成される浮遊容量が増大し、第１コイルの挿入損失は、特定の周波数で、第２コイルの挿入損失と一致する。このため、特定の周波数で信号伝送する差動伝送方式のラインに適用されることで、ノイズの原因となるコモンモード成分が抑制され、コモンモードノイズの除去効果の高い積層型コモンモードチョークコイルが提供される。
【００１３】
また、本発明は、調整巻回部が、第１コイルの最外周の巻回部に並列に接続され、一部が第１外部電極接続導体に近接して、増大させる浮遊容量を形成する１本または複数本の導体から構成されることを特徴とする。
【００１４】
本構成によれば、第１コイルの最外周の巻回部に並列に接続される１本または複数本の導体から調整巻回部が構成される。この調整巻回部の一部が第１外部電極接続導体に近接していることで、第１外部電極接続導体と第１コイルとの間に形成される浮遊容量が増大し、第１コイルの挿入損失は、特定の周波数で、第２コイルの挿入損失と一致する。
【００１５】
また、本発明は、１本の導体は最外周の巻回部と、複数本の導体は最外周の巻回部と相互間が、インダクタンスの減少が抑えられる距離に近接して形成されることを特徴とする。
【００１６】
本構成によれば、１本の導体については最外周の巻回部との間、複数本の導体については最外周の巻回部との間および導体相互間が、所定の距離に近接して形成されることで、インダクタンスの減少が抑えられる。このため、１本または複数本の導体を第１コイルの最外周の巻回部に並列に接続して調整巻回部を構成しても、第１コイルのインダクタンスの減少を抑制しつつ、第１外部電極接続導体と第１コイルとの間に形成される浮遊容量を増大させることができる。
【００１７】
また、本発明は、調整巻回部が、第１コイルの最外周の巻回部の、第１外部電極接続導体に近接する部分が、増大させる浮遊容量を形成する距離を長くして形成されて構成されることを特徴とする。
【００１８】
本構成によれば、第１コイルの最外周の巻回部の、第１外部電極接続導体に近接する部分によって調整巻回部が構成される。この近接する部分の長さが、増大させる浮遊容量を形成する距離を長くして形成されることで、第１外部電極接続導体と第１コイルとの間に形成される浮遊容量が増大し、第１コイルの挿入損失は、特定の周波数で、第２コイルの挿入損失と一致する。
【００１９】
また、本発明は、調整巻回部が、増大させる浮遊容量を形成する長さの、第１外部電極接続導体に対向する導体が、第１コイルの最外周の巻回部に付加されて構成されることを特徴とする。
【００２０】
本構成によれば、第１外部電極接続導体に対向する導体が、第１コイルの最外周の巻回部に付加されて、調整巻回部が構成される。この導体の長さが、増大させる浮遊容量を形成する長さにされることで、第１外部電極接続導体と第１コイルとの間に形成される浮遊容量が増大し、第１コイルの挿入損失は、特定の周波数で、第２コイルの挿入損失と一致する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、上記のように、ノイズの原因となるコモンモード成分を抑制して、コモンモードノイズの除去効果の高い積層型コモンモードチョークコイルが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）は従来の積層型コモンモードチョークコイルにおける第１内部導体の巻き構成を簡易的に示す平面図、（ｂ）は第２内部導体の巻き構成を簡易的に示す平面図である。
【図２】図１に示す従来の積層型コモンモードチョークコイルにおける各内部導体の挿入損失特性を示すグラフである。
【図３】本発明の一実施の形態による積層型コモンモードチョークコイルの外観斜視図である。
【図４】図３に示す一実施の形態による積層型コモンモードチョークコイルの分解斜視図である。
【図５】（ａ）は図３に示す一実施の形態による積層型コモンモードチョークコイルにおける第１コイルの巻き構成を示す平面図、（ｂ）は第２コイルの巻き構成を示す平面図である。
【図６】図３に示す一実施の形態による積層型コモンモードチョークコイルの各コイルを構成する導体ラインの挿入損失特性を示すグラフである。
【図７】（ａ）は図５（ａ）に示す第１コイルに設けられた調整巻回部を構成する並列部の第１の変形例を示す平面図、（ｂ）は同並列部の第２の変形例を示す平面図である。
【図８】（ａ）は図５（ａ）に示す第１コイルの最外周の巻回部によって設けられる調整巻回部を示す平面図、（ｂ）はその変形例を示す平面図である。
【図９】図５（ａ）に示す第１コイルの最外周の巻回部に導体が付加して設けられる調整巻回部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、本発明による積層型コモンモードチョークコイルの一実施の形態について説明する。
【００２４】
図３は、本実施の形態による積層型コモンモードチョークコイル１１の外観斜視図である。
【００２５】
積層型コモンモードチョークコイル１１は、磁性体基板１２ａ，１２ｂの間に積層体１３が挟まれて略直方体状に形成されている。積層型コモンモードチョークコイル１１の対向する側面周囲には、第１外部電極１４ａ，１４ｂおよび第２外部電極１５ａ，１５ｂがそれぞれ対になって設けられている。
【００２６】
図４は、積層型コモンモードチョークコイル１１の分解斜視図である。なお、同図において図３と同一部分には同一符号を付して説明する。
【００２７】
積層体１３は、絶縁層１６〜２０および電極層２１〜２４が交互に積層されて構成されている。
【００２８】
積層体１３の最下層の第１絶縁層１６は磁性体基板１２ａ上に形成され、第１絶縁層１６上には第１電極層２１が形成されている。第１電極層２１は導体が螺旋状に巻回されて形成されている。螺旋状に巻回されたこの導体は第１コイル３１を構成し、その外周側端部は第１コイル端部引出部３２ａを介して第１外部電極接続部３３ａに接続されている。この第１外部電極接続部３３ａは外部電極１４ａ（図３参照）に接続されている。また、第１コイル３１の最外周の巻回部に並列に、２本の導体３４ａ，３４ｂから成る並列部３４が接続されている。
【００２９】
第１電極層２１上には第２絶縁層１７を介して第２電極層２２が形成されている。第２電極層２２は、第１コイル端部引出部３２ｂを構成する導体に第１外部電極接続部３３ｂが接続されて形成されている。第１コイル端部引出部３２ｂの端部は、第２絶縁層１７に形成されたビアホール３５を介して第１コイル３１の内周側端部に接続されている。また、第１外部電極接続部３３ｂは外部電極１４ｂ（図３参照）に接続されている。
【００３０】
第２電極層２２上には絶縁層１８ａ，１８ｂから成る第３絶縁層１８を介して第３電極層２３が形成されている。第３電極層２３は、第２コイル４１を構成する導体が螺旋状に巻回されて形成されている。第２コイル４１の外周側端部は、第２コイル端部引出部４２ａを介して第２外部電極接続部４３ａに接続されている。この第２外部電極接続部４３ａは外部電極１５ａ（図３参照）に接続されている。
【００３１】
第３電極層２３上には第４絶縁層１９を介して第４電極層２４が形成されている。第４電極層２４は、第２コイル端部引出部４２ｂを構成する導体に第２外部電極接続部４３ｂが接続されて形成されている。第２コイル端部引出部４２ｂの端部は、第４絶縁層１９に形成されたビアホール４５を介して第２コイル４１の内周側端部に接続されている。また、第２外部電極接続部４３ｂは外部電極１５ｂ（図３参照）に接続されている。
【００３２】
第４電極層２４上には積層体１３の最上層の第５絶縁層２０が形成され、第５絶縁層２０上には第１接着層２５ａおよび第２接着層２５ｂから成る接着層２５が積層されている。この接着層２５は、磁性体基板１２ａ上に形成された上記の積層体１３を磁性体基板１２ｂに接着して、図３に示すように、積層型コモンモードチョークコイル１１を磁性体基板１２ａ，１２ｂの間に積層体１３が挟まれた構造にしている。
【００３３】
図５（ａ）は、上記の第１コイル３１の巻き構成を第２絶縁層１７の図示を省いて示す平面図、同図（ｂ）は上記の第２コイル４１の巻き構成を第４絶縁層１９の図示を省いて示す平面図である。
【００３４】
第１および第２の一対のコイル３１，４１は、同一の巻き数、同一のパターンで螺旋状に巻回されて、上記のように、上層および下層に積層配置されている。そして、発生する磁束が同一の閉磁路に鎖交する。
【００３５】
同図（ａ）に示すように、第１コイル３１の端部は第１コイル端部引出部３２ａ，３２ｂを介して第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに接続されている。第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂは、それぞれポート１，ポート２を構成し、第１コイル３１の端部を第１コイル端部引出部３２ａ，３２ｂを経由して外部電極１４ａ，１４ｂに接続している。ポート１からポート２へ向けて電気エネルギーを供給した場合、この第１コイル端部引出部３２ａ，３２ｂには、矢示するように、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに隣接する直近の第１コイル３１の巻回部３１ａ，３１ｂと逆の向きに電流が流れる。
【００３６】
また、同図（ｂ）に示すように、第２コイル４１の端部は第２コイル端部引出部４２ａ，４２ｂを介して第２外部電極接続導体４３ａ，４３ｂに接続されている。第２外部電極接続導体４３ａ，４３ｂは、第２コイル４１の端部を第２コイル端部引出部４２ａ，４２ｂを経由して外部電極１５ａ，１５ｂに接続している。ポート３からポート４へ向けて電気エネルギーを供給した場合、この第２コイル端部引出部４２ａ，４２ｂには、矢示するように、第２外部電極接続導体４３ａ，４３ｂに隣接する直近の第２コイル４１の巻回部４１ａ，４１ｂと同じ向きに電流が流れる。
【００３７】
また、同図（ａ）に示す第１コイル３１は、第１コイル３１の最外周の巻回部３１ｃに並列に接続された並列部３４を備える。この並列部３４は、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂとの間に形成される浮遊容量Ｃを増大させて、挿入損失を特定の周波数で第２コイル４１の挿入損失と一致させる調整巻回部を構成する。本実施の形態では、この調整巻回部を構成する並列部３４は、２本の導体３４ａ，３４ｂの長手方向両端の各一部が第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂにそれぞれ近接して、増大させる浮遊容量Ｃを形成する。
【００３８】
また、本実施の形態では、並列部３４を構成する２本の導体３４ａ，３４ｂは、最外周の巻回部３１ｃとの間、および導体相互間が、インダクタンスの減少を抑えられる１０〜２０[μｍ]程度の距離に非常に近接して形成されている。
【００３９】
このような積層型コモンモードチョークコイル１１は、磁性体基板１２ａ上に絶縁層１６〜２０および電極層２１〜２４が交互に複数回積層され、フォトリソグラフィ技術を用いて所望の回路パターンが形成されて内部回路層が構成されることで、次のようにして製作される。
【００４０】
まず、スピン法やディップ法、スプレー法等の薄膜形成法によって磁性体基板１２ａ上に第１絶縁層１６が形成される。基板１２ａ，１２ｂの材料にはフェライト等の磁性体が用いられるが、積層型コモンモードチョークコイル１１の用途によっては誘電体や絶縁体が用いられる。また、絶縁層１６〜２０には、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂等の種々の樹脂材料、あるいはＳｉＯ２等のガラス、ガラスセラミクス、誘電体等の絶縁材料が用いられる。フォトリソグラフィ工法が用いられる場合には、各材料として感光性機能が付加された材料が用いられる。絶縁層１６〜２０の構成材料としては、その目的に応じて複数材料を組み合わせたものを使用してもよい。本実施の形態では、絶縁層１６〜２０の材料として感光性ポリイミド樹脂を使用した。
【００４１】
次に、スパッタリングや蒸着等の薄膜形成法、あるいはスクリーン印刷法等の厚膜形成法といった成膜技術により、第１絶縁層１６の上面に第１電極層２１の導電材料膜が形成される。その後、レジスト塗布、露光、現像、エッチング等の一連のフォトリソグラフィ技術が用いられて、第１コイル３１、第１コイル端部引出部３２ａ、第１外部電極接続部３３ａおよび並列部３４の導体パターンが第１電極層２１に形成される。ここで、第１外部電極接続部３３ａは部品の側面に引き出される導体パターンにされる。
【００４２】
絶縁層１６〜２０および電極層２１〜２４は、フォトリソグラフィ工法によるその形成に支障が生じないように、表面粗さＲａが０．５[μｍ]以下になるように研磨されたものを用いることが望ましい。また、電極層２１〜２４の電極材料としては、導電性に優れたＡｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｌ等の金属、あるいはこれらの合金を用いることが望ましい。本実施の形態では、電極層２１〜２４の電極材料としてＡｇを使用したが、電極層２１〜２４の電極材料および絶縁層１６〜２０の絶縁材料の組み合わせが、加工性・密着性等の観点から支障の無い組み合わせとなるように、考慮して選択することが望ましい。
【００４３】
次に、第１電極層２１上に第２絶縁層１７が第１絶縁層１６と同様にして形成される。この第２絶縁層１７にはビアホール３５の形成位置にフォトリソグラフィ技術によって穴が開けられる。この穴には、第１コイル３１の内周側端部が露出する。次に、第２絶縁層１７の上面に第２電極層２２の導電材料膜が第１電極層２１と同様にして形成される。その後、フォトリソグラフィ技術が用いられて、第１コイル端部引出部３２ｂおよび第１外部電極接続部３３ｂの導体パターンが第２電極層２２に形成される。ここで、第１外部電極接続部３３ｂも部品の側面に引き出される導体パターンにされる。この第２電極層２２の形成時、第２絶縁層１７に開けられた穴に導電材料が充填されて、第１コイル３１の内周側端部を第１コイル端部引出部３２ｂの端部につなげるビアホール３５が形成される。
【００４４】
次に、第２電極層２２上に第３絶縁層１８の絶縁層１８ａ，１８ｂが第１絶縁層１６と同様にして順次形成される。そして、第３絶縁層１８の上面に第３電極層２３の導電材料膜が第１電極層２１と同様にして形成される。その後、フォトリソグラフィ技術が用いられて、第２コイル４１、第２コイル端部引出部４２ａおよび第２外部電極接続部４３ａの導体パターンが第３電極層２３に形成される。ここで、第２外部電極接続部４３ａも部品の側面に引き出される導体パターンにされる。
【００４５】
次に、第３電極層２３上に第４絶縁層１９が第１絶縁層１６と同様にして形成される。この第４絶縁層１９にはビアホール４５の形成位置にフォトリソグラフィ技術によって穴が開けられる。この穴には、第２コイル４１の内周側端部が露出する。次に、第４絶縁層１９の上面に第４電極層２４の導電材料膜が第１電極層２１と同様にして形成される。その後、フォトリソグラフィ技術が用いられて、第２コイル端部引出部４２ｂおよび第２外部電極接続部４３ｂの導体パターンが第４電極層２４に形成される。ここで、第２外部電極接続部４３ｂも部品の側面に引き出される導体パターンにされる。この第４電極層２４の形成時、第４絶縁層１９に開けられた穴に導電材料が充填されて、第２コイル４１の内周側端部を第２コイル端部引出部４２ｂの端部につなげるビアホール４５が形成される。
【００４６】
次に、第４電極層２４上に第５絶縁層２０が第１絶縁層１６と同様にして形成され、磁性体基板１２ａ上に積層体１３が構成される。その後、積層体１３の最上層の第５絶縁層２０上に接着層２５を構成する第１接着層２５ａが塗布され、磁性体基板１２ｂの積層体１３に対向する面に接着層２５を構成する第２接着層２５ｂが塗布される。次に、積層体１３の上面に磁性体基板１２ｂが載置され、積層体１３が磁性体基板１２ａ，１２ｂで挟み込まれる状態で真空ホットプレス機にセットされて、磁性体基板１２ｂが接着層２５によって積層体１３に熱圧着で貼り合わせられる。
【００４７】
磁性体基板１２ｂのこの接合は、真空中または不活性ガス中にて加熱・加圧し、冷却後、圧力を解除する工程によって行われる。小型・低背の電子部品を回路基板に実装する一般的な方法としてリフロー実装が挙げられるが、リフロー実装する際に電子部品が達する最高到達温度は２６０℃前後であることがほとんどである。このため、本実施の形態の接着層２５には熱硬化性のポリイミド樹脂を材料に用いたが、接着層２５の材料として熱可塑性の樹脂を用いる場合には、ガラス転移温度が２７０℃以上のものが用いられる。
【００４８】
また、磁性体基板１２ｂの接合時には３５０℃〜３９０℃の高温が加えられて熱圧着される。この高温時に部品材料からガスが流出すると接着層２５内に空孔が形成されてしまう。この空孔は、接合部における密着力の低下を招き、また、空孔内に湿気が溜まると電極層２１〜２４を形成する導体パターンの短絡等につながる。このため、本実施の形態では、接着層２５の材料に耐熱温度が４００℃以上のものを用いた。
【００４９】
積層型コモンモードチョークコイル１１は、マザー基板上に多数個の素子が同時に形成される。素子形成後、ダイシング等の切断加工によってマザー基板からのチップの切り出し・分割が行われる。各チップに分割後、積層型コモンモードチョークコイル１１は、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂおよび第２外部電極接続導体４３ａ，４３ｂに導通する外部電極１４ａ，１４ｂおよび１５ａ，１５ｂが、図３に示すように外周側面に形成される。外部電極１４ａ，１４ｂおよび１５ａ，１５ｂは、例えばＡｇ，Ａｂ−Ｐｄ，Ｃｕ，ＮｉＣｒまたはＮｉＣｕ等の材料を含む導電性ペーストが塗布されたり、その材料がスパッタリングや蒸着等で成膜されることで、形成される。その後、外部電極１４ａ，１４ｂおよび１５ａ，１５ｂ上に、例えば湿式電解メッキによってＮｉ，Ｓｎ，Ｓｎ−Ｐｂ等の金属膜が形成される。
【００５０】
図６は、第１コイル３１のポート１からポート２に電気エネルギーを供給した時の挿入損失特性Ｓ２１と、第２コイル４１のポート３からポート４に電気エネルギーを供給した時の挿入損失特性Ｓ４３を、シミュレーションして示すグラフである。同グラフの横軸は周波数[ＭＨｚ]、縦軸は挿入損失[dＢ]を表す。また、点線は挿入損失特性Ｓ２１を表す挿入損失特性曲線Ｃ、実線は挿入損失特性Ｓ４３を表す挿入損失特性曲線Ｄを示す。
【００５１】
同グラフに示されるように、このシミュレーションでは、挿入損失特性曲線Ｃおよび挿入損失特性曲線Ｄで表される両者の挿入損失は、グラフ中に太い矢印で示すように６[ＧＨｚ]で一致している。つまり、第１コイル３１の挿入損失が、特定の周波数である６[ＧＨｚ]で、第２コイル４１の挿入損失と一致している。
【００５２】
このような本実施の形態の積層型コモンモードチョークコイル１１によれば、第１コイル３１が調整巻回部を構成する並列部３４を図５（ａ）に示すように備え、並列部３４の一部が第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接していることで、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃが増大する。そして、第１コイル３１の挿入損失は、図６に示すように、例えば６[ＧＨｚ]の特定の周波数で、第２コイル４１の挿入損失と一致する。この特定の周波数は、増大させる浮遊容量Ｃの大きさを調整することで、所望の値に設定することができる。このため、特定の周波数で信号伝送する差動伝送方式のラインに適用されることで、ノイズの原因となるコモンモード成分が抑制され、コモンモードノイズの除去効果の高い積層型コモンモードチョークコイル１１が提供される。
【００５３】
また、並列部３４を構成する２本の導体３４ａ，３４ｂは、巻回部３１ｃに並列に接続されることで、通常インダクタンスは減少する。しかし、本実施の形態では、２本の導体３４ａ，３４ｂは、最外周の巻回部３１ｃとの間および導体相互間が、１０〜２０[μｍ]程度の所定の距離に非常に近接して形成されることで、インダクタンスの減少が抑えられ、ほぼ元に近いインダクタンス値となっている。このため、２本の導体３４ａ，３４ｂを第１コイル３１の最外周の巻回部３１ｃに並列に接続して調整巻回部を構成しても、第１コイル３１のインダクタンスの減少を抑制しつつ、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃを増大させることができる。
【００５４】
なお、上記の実施の形態では、調整巻回部を構成する並列部３４を図５（ａ）に示すように２本の導体３４ａ，３４ｂで形成した場合について説明したが、増大させる浮遊容量Ｃの大きさに応じて３本以上の導体で形成しても、また、１本の導体で形成しても、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏され、ノイズの原因となるコモンモード成分が抑制されて、コモンモードノイズの除去効果の高い積層型コモンモードチョークコイル１１が提供される。この際、１本の導体については最外周の巻回部３１ｃとの間、複数本の導体については最外周の巻回部３１との間および導体相互間が、１０〜２０[μｍ]程度の所定の距離に近接して形成されることで、インダクタンスの減少が抑えられる。このため、上記の実施の形態の場合と同様、第１コイル３１のインダクタンスの減少を抑制しつつ、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃを増大させることができる。
【００５５】
また、上記の実施の形態において、図７（ａ）に示すように、一方の導体３４ａを省いて１本の導体３４ｂで並列部３４Ａを形成するようにしてもよい。なお、図７において図５（ａ）と同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。この構成では、導体３４ｂと巻回部３１ｃとの間の距離が大きくなって、上記の実施の形態の場合と比べてインダクタンスが小さくなる。しかし、並列部３４Ａの一部が第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接する距離が長くなって浮遊容量Ｃは増大するので、そのインダクタンスと浮遊容量Ｃとで定まる第１コイル３１の自己共振周波数は、低域側に移動する。従って、第１コイル３１の挿入損失は、特定の周波数で、第２コイル４１の挿入損失と一致する。このため、この特定の周波数を信号周波数とすることで、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏される。
【００５６】
また、同図（ｂ）に示すように線幅を太くした導体３４ｂ１によって並列部３４Ｂを構成しても、並列部３４Ｂの一部が第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接する距離が長くなるので、浮遊容量Ｃは増大する。また、導体３４ｂ１の線幅を太くすることによってインダクタンスは小さくなるが、導体３４ｂ１と最外周の巻回部３１ｃとの間を１０〜２０[μｍ]程度の所定の距離に近接して形成することで、インダクタンスの減少が低く抑えられる。このため、この構成においても、第１コイル３１の自己共振周波数は、形成されるインダクタンスと増大する浮遊容量Ｃとで定まる低域側に移動し、特定の周波数で、第１コイル３１および第２コイル４１の挿入損失が一致し、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏される。
【００５７】
また、上記の実施の形態および各変形例では、第１コイル３１の巻回部３１ｃに並列接続された並列部３４，３４Ａ，３４Ｂにより、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂとの間に形成される浮遊容量Ｃを増大させる調整巻回部を構成した。しかし、図８（ａ）に示すように、第１コイル３１の最外周の巻回部３１ｃの、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接する部分を、増大させる浮遊容量Ｃを形成する距離長く迂回させて形成して、調整巻回部を構成するようにしてもよい。なお、図８において図５（ａ）と同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。
【００５８】
本構成によれば、巻回部３１ｃの第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接する部分の長さが長く形成されることで、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃは増大する。また、第１コイル端部引出部３２ａ，３２ｂとこれに隣接する巻回部３１ａ，３１ｂとに逆向きに電流が流れることでインダクタンスが減少する分、巻回部３１ｃが長く迂回して形成されることで、第１コイル３１のインダクタンスはその減少分増加する。従って、第１コイル３１の挿入損失は、特定の周波数で、第２コイル４１の挿入損失と一致する。このため、本構成によっても、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏される。
【００５９】
また、同図（ｂ）に示すように、線幅を太くした最外周の巻回部３１ｃ１によって第１コイル３１を構成しても、巻回部３１ｃ１の第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに近接する部分の長さが、増大させる浮遊容量Ｃを形成する距離長く形成されることで、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃは増大する。しかし、巻回部３１ｃ１の線幅を太くすることによるインダクタンスの減少は避けられないが、この構成においても、第１コイル３１の自己共振周波数は、形成されるインダクタンスと増大する浮遊容量Ｃとで定まる低域側に移動し、特定の周波数で、第１コイル３１および第２コイル４１の挿入損失が一致し、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏される。
【００６０】
また、図９に示すように、増大させる浮遊容量Ｃを形成する長さの、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに対向する導体５１ａ，５１ｂを、第１コイル３１の最外周の巻回部３１ｃに付加して、調整巻回部を構成するようにしてもよい。なお、同図において図５（ａ）と同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。本構成によれば、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂに対向する導体５１ａ，５１ｂの長さが、増大させる浮遊容量Ｃを形成する長さにされることで、第１外部電極接続導体３３ａ，３３ｂと第１コイル３１との間に形成される浮遊容量Ｃが増大し、第１コイル３１の挿入損失は、特定の周波数で、第２コイル４１の挿入損失と一致する。このため、本構成によっても、上記の実施の形態と同様な作用効果が奏される。
【符号の説明】
【００６１】
１１…積層型コモンモードチョークコイル
１２ａ，１２ｂ…磁性体基板
１３…積層体
１４ａ，１４ｂ、１５ａ，１５ｂ…外部電極
１６〜２０…絶縁層
２１〜２４…電極層
３１…第１コイル
４１…第２コイル
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｃ１…第１コイルの巻回部
３２ａ，３２ｂ…第１コイル端部引出部
４２ａ，４２ｂ…第２コイル端部引出部
３３ａ，３３ｂ…第１外部電極接続導体
４３ａ，４３ｂ…第２外部電極接続導体
３４ａ，３４ｂ，３４ｂ１，５１ａ，５１ｂ…導体
３４，３４Ａ，３４Ｂ…並列部
３５，４５…ビアホール
Ｃ…浮遊容量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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