(57)【要約】【課題】気体の塗布液への溶け込みを抑えることにより塗布品質を安定させた塗布装置の塗布液供給装置を提供する。【解決手段】塗布液供給装置の塗布液供給部と塗布液供給ポンプの間に中間液貯蔵部を設け、前記中間液貯蔵部に弾性のある膜状蓋部材を設け、前記蓋部材を加圧気体で加圧することにより塗布液を前記中間液貯蔵部から前記塗布液供給ポンプに送液すると共に、前記蓋部材により前記加圧気体と塗布液の接触を遮断することによって塗布液への前記加圧気体の溶け込みを防止する。【選択図】図２
2013184146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液供給部と、塗布液供給ポンプと、前記液供給部と前記塗布液供給ポンプ間の送液経路に設けられた中間液貯蔵部と、前記塗布液供給ポンプから塗布液を供給されその先端部から被処理体に前記塗布液を吐出する吐出部、とを少なくとも有する塗布装置の塗布液供給装置であって、前記中間液貯蔵部は分離部と円筒状収納容器本体に分離可能な円筒状収納容器と、前記円筒状容器本体に設けられた塗布液受け入れ口と、前記円筒状容器本体において前記塗布液受け入れ口の下部に設けられた塗布液送液口と、弾性および伸縮性を有する板状部材であって前記円筒状収納体に収納された塗布液を前記円筒状収納容器の前記円筒状収納容器本体以外の部分から遮蔽する蓋部材と、前記分離部に設けられ加圧気体を供給する加圧気体供給口とを有し、前記蓋部材の端部を前記円筒状容器本体と前記分離部の間で挟持し固定することを特徴とする塗布装置の塗布液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液を被処理部材に供給するための塗布液供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬ、またはプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ、あるいは太陽電池（ＰＶ）または有機ＥＬ照明などに用いられるパネルには、ガラス基板又はフィルム基板上にそれぞれのパネルに応じた機能を有する塗布液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。これら塗布基板は前記塗布液を均一に塗布する塗布装置によって製作されている。一例として、この塗布装置は一方向に延びるスリットノズルを有する口金を塗布機構として備えており、このスリットノズルから前記塗布液を吐出させながら、口金と基板を塗布膜形成方向に相対的に移動させることにより、均一な厚さの塗布液膜が形成された塗布基板が製作されるようになっている。
【０００３】
このような塗布装置には、口金に一定量の塗布液を供給するために、例えば下記特許文献１に記載されているように、送液ポンプが備えられている。この送液ポンプは、例えば特許文献１の構成では内蔵するピストンヘッドとピストン軸部とを備えており、前記ピストン軸部を駆動することにより前記ピストンヘッドの位置を変位させ、その結果ポンプ内液体収容部から塗布液を吐出して口金に塗布液を供給するようになっている。もちろん、前記構成以外の送液ポンプも実用化されていているものは全て同等の送液ポンプと見なすことが出来る。なお、図中の矢印は塗布液の流れの向きを表している。
【０００４】
また、前記送液ポンプに適切な量の塗布液を安定して供給するために、塗布装置には同じく特許文献１に記載されているように塗布液を装置内に貯蔵する塗布液貯蔵部と前記送液ポンプ間の液供給経路に中間液貯蔵部を設けることがある。塗布液貯蔵部は長時間の塗布に対応するため容量が大きく、そのため塗布液貯蔵部からの送液は送液量は大きいが細かい制御は適していない。また前記送液ポンプから離れて設置されているため、配管での圧力損失も大きい。一方、中間液貯蔵部は前記送液ポンプが塗布毎に消費した塗布液を迅速に補充することにより塗布液の補充が塗布サイクルのボトルネックにならない様にし、塗布サイクルの高速化に制約が発生することを防止する。前記送液ポンプと前記中間貯蔵部間には制御弁が設けられており、前記制御弁を開閉することにより前記送液ポンプに適切なタイミングで適切な量の塗布液を送液することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２２９６３５号公報：塗布液供給装置
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されているような従来の中間液貯蔵部の構成では、送液の為に使用される加圧気体が塗布液中に溶け込み、その後送液圧力が低下した時点例えば送液ポンプへの送液完了直後などで溶け込んだ気体が析出し塗布液に混ざった状態で塗布されるという問題があった。
【０００７】
詳述すると、送液ポンプに影響を及ぼさない様に中間液貯蔵部からの送液は一定圧力下で行うことが要求されている為気体による加圧が加圧力安定に適している。加圧気体には例えば清浄空気やＮ２などを加圧した気体が用いられている。一般に気体は正圧による加圧状態では液体に溶け込むため前記加圧気体の一部が塗布液に溶け込むことがある。この気体が溶け込んだ塗布液を例えば圧力が解放された状態に置くと溶け込んだ気体が気泡として析出する。次いでこの析出した気泡が混ざった状態で塗布動作を実行すると気泡により塗布ムラや膜切れなどの塗布不良となる。そのため、通常はスリットノズルなどの吐出部に入る前にさらにフィルター等を通して析出した気泡を排除している。ところが、析出した気泡のサイズはかなりのばらつきを持つためフィルターで完全に除去することは困難である。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、中間液貯蔵部での加圧気体の塗布液への溶け込みを抑えることができる塗布液供給装置により、塗布品質が安定した塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の塗布液供給装置は、塗布液供給部と、塗布液供給ポンプと、前記液供給部と前記塗布液供給ポンプ間の送液経路に設けられた中間液貯蔵部と、前記塗布液供給ポンプから塗布液を供給されその先端部から被処理体に前記塗布液を吐出する吐出部、とを少なくとも有する塗布装置の塗布液供給装置であって、前記中間液貯蔵部は分離部と円筒状収納容器本体に分離可能な円筒状収納容器と、前記円筒状容器本体に設けられた塗布液受け入れ口と、前記円筒状容器本体において前記塗布液受け入れ口の下部に設けられた塗布液送液口と、弾性および伸縮性を有する板状部材であって前記円筒状収納体に収納された塗布液を前記円筒状収納容器の前記円筒状収納容器本体以外の部分から遮蔽する蓋部材と、前記分離部に設けられ加圧気体を供給する加圧気体供給口とを有し、前記蓋部材の端部を前記円筒状容器本体と前記分離部の間で挟持し固定することを特徴としている。上記塗布液供給装置によれば、加圧気体により塗布液の送液を実施した場合前記蓋部材の弾性と伸縮性により前記蓋部材は常に塗布液に接触を保ちながら送液を行うことが出来る一方、蓋部材を挟んで塗布液の反対側にある加圧気体と塗布液が接触しない為に加圧気体が塗布液に溶け込まず、気泡の発生しない安定した塗布液供給装置を実現できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の塗布液供給装置を備える塗布装置によれば、中間液貯蔵部での塗布液への加圧気体の溶け込みを抑えることにより、塗布液からの気泡発生の無い安定した塗布を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の塗布装置の外観を示す概略斜視図である。
【図２】中間液貯蔵部を含む塗布装置の概略構成図である。
【図３】本発明の、中間液貯蔵部の拡大図である。
【図４】蓋部材の別実施例を示す概略図である。
【図５】本発明の塗布装置の一連の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る実施形態を図面を用いて説明する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態における塗布装置を示す斜視図であり、図２は、塗布装置１の塗布液経路を概略的に示した図である。図１、図２に示すように、塗布装置１は、供給される薄板状の基板２に薬液やレジスト液等の塗布液を塗布するものである。この塗布装置は、基台３と、基板２を載置するためのテーブル４と、このテーブル４に対し一定方向に移動可能に構成され口金部６を含む塗布ユニット５と、この塗布ユニット５に塗布液を供給するピストンポンプ８、中間液貯蔵部３０、および塗布液貯蔵部５０を含む塗布液供給装置９とを備えている。
【００１４】
なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００１５】
前記基台３は、各構成部材、例えばテーブル４及び塗布ユニット５を支持するものであり、石材等で形成されている。前記テーブル４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、テーブル４には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔とテーブル用真空ポンプ（不図示）とが連通して接続されている。そして、テーブル４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がテーブル４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。また、テーブル４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。すなわち、テーブル４の表面には複数のピン孔（不図示）が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、テーブル４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分が基板２に当接した状態で、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。
【００１６】
前記塗布ユニット５は、テーブル４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、塗布液を塗布する口金部６と、この口金部６の両端部分に設けられたユニット支持部７とを有している。前記ユニット支持部７は、口金部６を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部６をＸ軸方向に移動させるためのものであり、走行装置１０とこの走行装置１０に支持される昇降装置２０とを有している。昇降装置２０は、口金部６を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるレール２１と口金部６に連結されるスライダ２２とを有している。このレール２１には、スライダ２２がレール２１に沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ２２にはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ２２がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部６は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、テーブル４に対して接離可能に動作するようになっている。
【００１７】
走行装置１０は、口金部６をＸ軸方向に走行させるためのものであり、走行装置本体１１とＸ軸方向に延びるレール１３とを有している。この走行装置本体１１は、基台３との間に設けられる保持部材によって基台３上に支持されている。そして、走行装置本体１１は、その一部がレール１３にＸ軸方向に対し摺動自在に取り付けられており、走行装置本体１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、走行装置本体１１がＸ軸方向に移動するようになっている。これにより、口金部６は、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。
【００１８】
このように構成されるユニット支持部７により、口金部６は、テーブル４の表面に対してＺ軸方向に昇降動作できるとともに、テーブル４の表面から所定高さを維持した状態でテーブル４の表面上をＸ軸方向に沿って走行できるようになっている。前記口金部６は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、テーブル４の表面と対向する対向面には塗布液を吐出するノズル６１（図２参照）が形成されている。このノズル６１は、テーブル４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状のスリットが形成されている。すなわち、口金部６に供給された塗布液がこのスリットを通じて基板２の表面に吐出されるようになっている。
【００１９】
口金部６には、塗布液供給装置９のピストンポンプ８より塗布液が供給される。塗布液供給装置９は前記ピストンポンプ８、中間液貯蔵部３０、および塗布液貯蔵部５０を含む構成となっている。ピストンポンプ８は、中間液貯蔵部３０に貯留された塗布液を口金部６に供給するものであり、図２に示すように、ハウジング８１に固定される膜状シール部８２と、この膜状シール部８２に連結されたピストン軸部８３と、ピストン軸部８３を駆動させるボールネジ駆動部８４とを有している。ハウジング８１は、一軸方向に延びる略円筒形状を有しており、その内部に膜状シール部８２が収容されている。具体的には、ハウジング８１は、ピストン軸方向に分割できるように形成されており、膜状シール部８２が挟持された状態で一体的に連結されている。このハウジング８１と膜状シール部８２とによって液体収容部８５が形成されており、この液体収容部８５に中間液貯蔵部３０から供給された塗布液を一時的に貯留できるようになっている。
【００２０】
また、ハウジング８１の液体収容部８５と反対側には、圧力制御室８７が形成されている。この圧力制御室８７は、真空ポンプ（不図示）と連通して接続されており、この真空ポンプ（不図示）を作動させることにより圧力制御室８７を大気圧よりも低圧に調節でき、液体収容部８５に塗布液を流入させる際、ピストン軸部８３を液体収容部８５と反対側に駆動させる前に、前記真空ポンプを作動させて圧力制御室８７の減圧させることにより、膜状シール部８２の形状を維持した状態でピストン軸部８３を駆動させることができる。
【００２１】
膜状シール部８２は、ハウジング８１に固定されることにより、ハウジング８１内に液体収容部８５を形成するものである。具体的には、膜状シール部８２は、その外周部分がフランジ部８１ａに挟持された状態でフランジ部８１ａがボルト８１ｂで締結されることによりハウジング８１内に固定されている。また、膜状シール部８２の中央部はピストン軸部８３のヘッド８３ａに固定されている。これにより、ハウジング８１内の軸方向一方側に塗布液を収容可能な液体収容部８５が形成される。また、ハウジング８１には、中間液貯蔵部３０と配管を介して連結される流入口８１ｃと口金部６と配管を介して連結される流出口８１ｄとが形成されており、ピストン軸部８３がボールネジ駆動部８４側に変位することにより、中間液貯蔵部３０から流入口８１ｃを通じて塗布液が液体収容部８５に供給され、ピストン軸部８３が流出口８１ｄ側に変位することにより、液体収容部８５から流出口８１ｄを通じて口金部６に塗布液が供給されるようになっている。
【００２２】
塗布液貯蔵部５０は、塗布装置で使用する塗布液を大量に貯蔵し、必要に応じて塗布液を後述する中間液貯蔵部３０へ供給する。塗布装置１が連続運転可能な様に塗布液貯蔵部５０の塗布液貯蔵容器５１の容量は中間液貯蔵部３０よりかなり大きく設定されている。
【００２３】
図２に示す様に中間液貯蔵部３０は塗布液貯蔵部５０とピストンポンプ８の間に設置され、ピストンポンプ８の塗布液吐出後直ちに塗布液供給を可能とし、塗布終了後塗布ユニット５が次の塗布動作を開始するまでの時間合わせて塗布液をピストンポンプ８へ供給するものである。そのため中間液貯蔵部３０からの送液がピストンポンプ８の動作に応じて可能な様に、中間液貯蔵部３０は送液損失を最小にすべくピストンポンプ８との経路の中間地点よりピストンポンプ８側に設置されていることが望ましく、設計によってはピストンポンプ８と共にその一部または全部を塗布ユニット５に設置しても構わない。ただし、要求される送液応答性が確保されていれば中間液貯蔵部３０の位置は任意に設定することが出来る。本実施例の中間液貯蔵部３０は、円筒状収納容器３１、塗布液受け入れ口３２、受け入れ側バルブ３３、塗布液吐出口３４、吐出側バルブ３５、蓋部材３６、検知装置３８、および加圧気体供給口３７から構成されている。通常中間液貯蔵部３０からの塗布液供給は加圧送液または液重量による自重送液が用いられ、その際液の滞留による塗布液中の固形成分の凝集など塗布品質に悪影響を及ぼす反応が起こることを防ぐ必要が有る。そのため塗布液吐出口３４は円筒状収納容器３１の鉛直方向最底部に配置されていて、塗布液受け入れ口３２は塗布液吐出口３４より鉛直方向上方に配置されている。さらに、塗布液中の固形成分の凝集を防止するために円筒状収納容器３１の底部をすり鉢状としその最低部に塗布液吐出口３４を設けても良い。この構成によれば塗布液中の固形成分の凝集をより確実に防止することが出来る。
【００２４】
図３は蓋部材３６を含む円筒状収納容器３１の詳細図である。円筒状収納容器３１は上半部分である分離部３１ａと下半部分である円筒状収納容器本体３１ｂから構成されている。塗布液は受け入れ側バルブ３３を経て円筒状収納容器本体３１ｂに設けられた塗布液受け入れ口３２より円筒状収納容器３１内に供給され同じく円筒状収納容器本体３１ｂに設けられた塗布液吐出口３４からピストンポンプ８へ供給される。円筒状収納容器３１内に貯蔵される塗布液の量は、１回の塗布で消費される塗布液より多くする必用が有り、通常は数回分以上の量が貯蔵される。ここで、検知装置３８により検知装置３８の位置での塗布液の有無を検知することにより塗布液の貯蔵量が十分であるか否かを検知することが出来る。検知装置３８の位置は塗布液受け入れ口３２より上方であって塗布動作１回分以上の塗布液を確保できる位置に設定することが好ましい。検知装置３８の位置をこのように設定することによりピストンポンプ８へ塗布液を送液中に塗布液が不足することを防止できる。そのため送液途中で検知装置３８が液の不足を検知しても、送液を停止することなく継続することが出来る。塗布液貯蔵部５０から中間液貯蔵部３０への塗布液の補給は中間液貯蔵部３０からピストンポンプ８への送液終了後開始され、次の塗布液の補給が始まるまでに終了すればよい。塗布液の有無を検知する検知方法は蓋部材３６の位置そのものまたは検知装置３８の検知位置に於ける蓋部材３６の有無を検知する方法や、光センサーや静電容量センサーにより検知装置３８の検知位置に於ける塗布液の有無を直接検知する方式など検知装置３８の検知位置で円筒状収納容器３１内の塗布液の有無を検知できる方法であれば何れの方法も利用可能である。円筒状収納容器３１への塗布液補給は予め規定量を補給しても良いが、図３に示す様に上限センサ３８ｂにより制御しても良い。補給量が規定量に達すれば受け入れ側バルブ３３が閉じられ円筒状収納容器３１への塗布液の供給が終了する。基板２への塗布が終了すると吐出側バルブ３５が開きピストンポンプ８へ塗布液供給が可能になる。ピストン軸部８３が流入口８１ｂ側へ移動するとピストンポンプ８へ塗布液が供給される。
【００２５】
加圧気体供給口３７は円筒状収納容器３１の最上部に設けられ円筒状収納容器３１内に加圧気体を供給する。加圧気体には一般的に清浄空気またはＮ２ガスが利用される。円筒状収納容器３１への塗布液の供給時には、加圧気体は３方弁である加圧気体バルブ３９の供給側３９ａを閉じ、排気側３９ｂを開くことにより加圧気体を排気し塗布液への加圧状態を解除し円筒状収納容器３１への塗布液の供給を可能にしている。ここで、図２における実施例では３方弁により加圧気体の供給と排気を制御しているが、供給系と排気系を別配管としそれぞれに弁を設けて加圧気体の供給と排気を制御しても構わない。また、加圧気体供給口３７は円筒状収納容器３１の上半部分である分離部３１ａに設けられ円筒状収納容器本体３１ｂから接離可能に構成されている。これにより後述する蓋部材３６の端部を加圧気体供給口３７を含む分離部３１ａのフランジ部と円筒状収納容器本体３１ｂのフランジ部との間で挟持し蓋部材３６を固定すると共に、分離部３１ａを分離することにより分離部３１ａを含む円筒状収納容器３１内側の清掃を含む保守作業を可能としている。さらに、蓋部材３６は分離部３１ａと円筒状収納容器３１との接触面におけるパッキング部材としての機能を有している。これにより加圧気体を含む円筒状収納容器３１の気体成分が円筒状収納容器３１外に漏洩することを防止している。
【００２６】
蓋部材３６はその１面が塗布液と接し、他方の面が加圧気体と接触することにより加圧気体の圧力により塗布液を加圧し円筒状収納容器３１から塗布液をピストンポンプ８へ供給するものである。蓋部材３６は伸縮性弾性体により構成されている為、液供給時以外の場合でも適切な加圧を行い背圧を維持すれば常に塗布液との接触を維持することが出来る。
【００２７】
図３は前述の様に蓋部材３６を含む円筒状収納容器３１の詳細を示した図である。ここで、蓋部材３６は円盤状の板状部材であり直径は円筒状収納容器３１の内径より大きく設定されていて、その端部は図３に示す様に円筒状収納容器３１に設けられたフランジ部と分離部３１ａに設けられたフランジ部により挟持され固定される。蓋部材３６は樹脂等の伸縮性材料より製作され、弾性を有すると共に変形自在である。このため、加圧気体により蓋部材３６を加圧すると弾性変形により液面と常に接触を保つことが出来る。また、蓋部材３６はその端部が円筒状収納容器本体３１ｂに設けられたフランジ部と分離部３１ａに設けられたフランジ部により密着状態に狭持され固定されているため、塗布液と加圧気体を完全に分離し塗布液に加圧気体が溶け込むことを防止している。蓋部材３６は伸縮性を有する樹脂であれば基本的に利用可能であるが、使用する塗布液により溶解等の化学的変性または膨潤等の物理的特性変化が生じないよう塗布液との組み合わせに注意する必要が有る。そのため、伸縮性基材の表面に化学的に安定な材料例えばフッ素樹脂などを保護膜として形成する構成としても良い。一方、塗布液の浸透による分離部３１ａの汚染を生じる可能性がある浸透性材料や多孔質膜は好ましくない。中間液貯蔵部３０からピストンポンプ８に送液が行われ円筒状収納容器３１内の液が減少すると、検知装置３８により塗布液の減少が検知され塗布液が補給される。ここで、送液途中で検知装置３８が液の不足を検知しても、検知時点での円筒状収納容器３１の容量には塗布１回分以上の余裕が持たせてあり送液を継続することが出来る。塗布液の補給は送液終了後開始され、次の送液が始まるまでに終了すればよい。
【００２８】
蓋部材３６をこのように構成することにより加圧気体の塗布液への溶け込みを防止すると同時に中間液貯蔵部３０から安定して塗布液をピストンポンプ８に供給することが出来る。
【００２９】
次に、本発明の塗布液供給装置を含む塗布装置における塗布動作および塗布液補給動作について、図５に示すフローチャートに基づいて説明する。これら一連の動作は制御装置９０によって制御される。
【００３０】
まず、先行基板への塗布終了後速やかにピストンポンプ８への塗布液の送液動作が行われる（ステップＳ１）。すなわち、テーブル４上にセットされた基板２に必要となる塗布液（基板１枚塗布分）がピストンポンプ８に吸い込まれる。具体的には中間液貯蔵部３０の吐出側バルブ３５を開き、これと独立してピストンポンプ用真空ポンプ９を作動させて圧力制御室８７の圧力を大気圧以下の所定の圧力に制御した後、ボールネジ駆動部８４を駆動させることにより、ピストン軸部８３をボールネジ駆動部８４側に移動させる。これにより、中間液貯蔵部３０に貯留された塗布液が流入口８１ｂを通じて液体収容部８５に流入し、この液体収容部８５に貯留される。送液完了後吐出側バルブ３５は閉じられる。ステップＳ１は受け入れ側バルブ３３が閉じられた状態で実施される。
【００３１】
先行基板排出後、基板２が塗布装置１に搬入される（ステップＳ２）。具体的には、テーブル４の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、これらのリフトピンの先端部分に基板２が載置される。そして、リフトピンを下降させて基板２をテーブル４の表面に載置し、この状態で真空ポンプ（不図示）を作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより、基板２をテーブル４の表面上に吸着させて保持される。
【００３２】
次に、塗布液の塗布動作が行われる（ステップＳ３）。すなわち、ピストンポンプ８に供給された塗布液を口金部６に供給するとともに、口金部６から基板２上に塗布液を吐出する。具体的には、ボールネジ駆動部８４を駆動させることにより、ピストン軸部８３を流出口８１ｃ側に移動させる。これにより、液体収容部８５に貯留された塗布液が流出口８１ｃを通じて口金部６に供給され、口金部６のスリットから塗布液が吐出される。また、同時に塗布開始位置に移動済みの走行装置１０を駆動させて基板２上に塗布膜を形成する。具体的には、昇降装置２０を駆動制御することにより口金部６が基板２から所定の高さ位置になるように設定し、この状態から走行装置１０を駆動制御することにより、口金部６をＸ軸方向に走行させる。すなわち、口金部６のスリットから塗布液を吐出させながら口金部６を走行させることにより、基板２上に塗布液が均一厚さで塗布される。
【００３３】
次に、基板２の排出が行われる（ステップＳ４）。すなわち、Ｓ３における塗布動作により基板２表面に塗布膜が形成された後走行装置１０が初期位置に復帰し、直後または同時に真空ポンプを停止させて、吸引孔における圧力を大気圧に戻す。そして、リフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分で基板２を保持させ、図示しないロボットハンドに基板２の受け渡しが行われ、テーブル４の表面から基板２が排出される。
【００３４】
一方、予め規定された塗布液の補給量に相当する補給回数に達した場合又は検知装置３８が中間液貯蔵部３０の液貯蔵量不足を検知すると受け入れ側バルブ３３が開き、中間液貯蔵部３０に塗布液貯蔵部５０から塗布液が受け入れ口３２経由で補給される。補給終了後受け入れ側バルブ３３は閉じる（ステップＳ５）。ステップＳ５は吐出側バルブ３５が閉じられている間に実施される。
【００３５】
図４は、蓋部材の別の実施例を示したものであり、図４（ａ）は斜視図、図４（ｂ）は断面図である。
【００３６】
上記実施形態では蓋部材３６を弾性および伸縮性を有する樹脂材料より構成されるものとしたが、図４（ａ）および図４（ｂ）に示す様に断面の一部を山形としても同様の効果を得ることが出来る。この図４の蓋部材３６ｂの場合、山形部が伸縮することにより本実施例の蓋部材３６と同様塗布液に接触を保ちつつ塗布液を加圧する事が可能である。尚、蓋部材３６ｂの断面形状は図４に示す様な折り曲げ部断面が鈍角の山形の場合以外にも、折り曲げ部を曲面（不図示）にしたものや断面が鋭角の山形の場合（不図示）など蓋部材３６ｂと同様の伸縮効果を発揮できる形状ならどのような形状であろうと適用可能である。
【００３７】
以上、中間液貯蔵部を有する本発明の塗布液供給装置により塗布液供給装置内における気体の塗布液への溶け込みを押さえることが可能になり、以て塗布品質を安定させることが出来る。
【００３８】
なお、本発明の塗布液供給装置が適用できる塗布液供給ポンプ（図２における８に相当）はピストンポンプに限定されることは無く、その他の方式のポンプについても適用可能である。
【符号の説明】
【００３９】
２  基板
６  口金部
８  ピストンポンプ
９  塗布液供給装置
３０  中間液貯蔵部
３１  円筒状収納容器
３１ａ円筒状収納容器本体
３１ｂ分離部
３２  塗布液受け入れ口
３３  受け入れ側バルブ
３４  塗布液吐出口
３５  吐出側バルブ
３６  蓋部材
３７  加圧気体供給口
３８  検知装置
３９  加圧気体バルブ
５０  塗布液貯蔵部
【図１】
2013184146.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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