(57)【要約】【課題】本発明に係るガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置は、熔融ガラスの攪拌に使用される攪拌器の変形および破損を抑制して、熔融ガラスを均質に攪拌することができる。【解決手段】熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれながら、攪拌槽１０１の内部に配置される攪拌器１０２によって攪拌される。攪拌器１０２は、鉛直方向に沿って配置される回転軸１０５と、回転軸１０５に嵌合されることで回転軸１０５の外周面に固定され、回転軸１０５に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとを有する。攪拌器１０２は、少なくとも攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが回転軸１０５に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。【選択図】図３
2013249247.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融工程と、前記熔融工程で得られた前記熔融ガラスを攪拌する攪拌工程と、を備えるガラス基板の製造方法であって、
前記攪拌工程において、前記熔融ガラスは、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれながら、前記攪拌槽の内部に配置される攪拌器によって攪拌され、
前記攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、前記回転軸に嵌合されることで前記回転軸の外周面に固定され、前記回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有し、かつ、少なくとも前記攪拌翼が前記回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている、
ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記回転軸は、その外周面に形成され、前記攪拌翼の一部が嵌合する嵌合穴を有し、
前記攪拌翼は、前記回転軸の前記嵌合穴に嵌合される嵌合突起を有し、かつ、前記嵌合突起が前記回転軸の前記嵌合穴に挿入されることによって、前記回転軸の外周面に固定される、
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記攪拌工程において、前記攪拌器によって攪拌される前記熔融ガラスは、１０2.5ｄＰａ・ｓの粘度における温度が１４５０℃以上のガラスである、
請求項１または２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス基板は、アルカリ金属酸化物の含有量が０質量％〜２質量％である、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記ガラス基板は、液晶ディスプレイ用ガラス基板及び有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板のいずれかである、
請求項１から４のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記攪拌翼は、前記回転軸の中心線に直交する支持板と、前記支持板の上方の主面上および下方の主面上に配置される補助板とを有し、
前記攪拌工程において、前記回転軸の中心線の周りを前記攪拌器が回転することにより、前記補助板は、前記回転軸の半径方向への流れを前記熔融ガラスに生じさせ、かつ、隣接する２つの段に配置される前記攪拌翼の前記支持板の間に位置する前記補助板は、同じ方向の流れを前記熔融ガラスに生じさせる、
請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
前記攪拌工程において、前記回転軸の中心線の周りを前記攪拌器が回転することにより、それぞれの前記攪拌翼において、前記支持板の上方の主面上に配置される前記補助板および前記支持板の下方の主面上に配置される前記補助板のうち、一方の前記補助板は、前記攪拌槽の内壁から前記回転軸に向かう流れを前記熔融ガラスに生じさせ、他方の前記補助板は、前記回転軸から前記攪拌槽の内壁に向かう流れを前記熔融ガラスに生じさせる、
請求項６に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記攪拌工程は、第１攪拌槽の内部において、前記熔融ガラスを下方から上方へと導きながら攪拌する第１攪拌工程と、第２攪拌槽の内部において、前記第１攪拌工程で攪拌された前記熔融ガラスを上方から下方へと導きながら攪拌する第２攪拌工程とからなり、
前記第１攪拌槽は、第１チャンバーと、前記第１チャンバー内の前記熔融ガラスを攪拌する第１攪拌器と、前記第１チャンバーの底部から前記熔融ガラスを排出可能な第１排出管とを備え、
前記第２攪拌槽は、第２チャンバーと、前記第２チャンバー内の前記熔融ガラスを攪拌する第２攪拌器と、前記第２チャンバー内の前記熔融ガラスの液面から前記熔融ガラスを排出可能な第２排出管とを備え、
前記第１攪拌槽の上方側部は、前記第２攪拌槽の上方側部と接続管によって接続され、
前記熔融ガラスは、前記接続管を介して前記第１攪拌槽から前記第２攪拌槽に移送される、
請求項１から７のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項９】
ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融部と、前記熔融部で得られた前記熔融ガラスを攪拌する攪拌部と、を備えるガラス基板の製造装置であって、
前記攪拌部は、攪拌槽と、前記攪拌槽の内部に配置される攪拌器とを有し、
前記攪拌器は、前記攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれる前記熔融ガラスを攪拌し、
前記攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、前記回転軸に嵌合されることで前記回転軸の外周面に固定され、前記回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有し、かつ、少なくとも前記攪拌翼が前記回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている、
ガラス基板の製造装置。
【請求項１０】
熔融ガラスを攪拌するための攪拌装置であって、
攪拌槽と、
前記攪拌槽の内部に配置される攪拌器と
を備え、
前記攪拌器は、前記攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれる前記熔融ガラスを攪拌し、
前記攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、前記回転軸に嵌合されることで前記回転軸の外周面に固定され、前記回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有し、かつ、少なくとも前記攪拌翼が前記回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている、
攪拌装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等のガラス製品の量産工程においては、ガラス原料を加熱して熔融ガラスを生成し、生成した熔融ガラスを成形してガラス製品が製造される。不均質な熔融ガラスは、ガラス製品に生じる脈理の原因となる。脈理は、屈折率および比重が周辺の領域と異なる筋状の領域であり、レンズ等の光学部品、および、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用基板等の用途においては、ガラス製品から厳しく排除されることが求められる。特に、ＬＣＤ用基板に代表される、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板においては、セルギャップのムラを防ぐために、基板表面全体において脈理を極めて低レベルに抑える必要がある。脈理の発生を抑えるためには、ガラス製品の製造工程において、熔融ガラスを均質に攪拌することが重要である。
【０００３】
一般的に、熔融ガラスを攪拌するための攪拌装置は、攪拌槽と、攪拌槽の内部に配置される攪拌器とを備えている。攪拌器は、回転軸と、回転軸の外周面に溶接によって取り付けられる攪拌翼とを有している。熔融ガラスが攪拌槽に供給され、攪拌器が軸回転することにより、熔融ガラスが攪拌されて均質化される。高温の熔融ガラスが接触する攪拌槽の内壁および攪拌器は、耐熱性および耐酸化性の観点から、白金、白金合金または強化白金で形成されている。白金合金は、例えば、白金ロジウム合金であり、白金と比べて融点および強度が高い。強化白金は、白金または白金合金に、ジルコニア等の酸化物を分散させた白金材料である。強化白金は、層状の白金粒界構造を有し、白金または白金合金と比べて、高温下におけるクリープ強度および引張強度が高い。そのため、特許文献１（特表２００５−５１１４６２号公報）に開示されるように、攪拌槽の内壁および攪拌器は、強化白金で形成されることが好ましい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、強化白金は、融点以上に加熱されて熔解すると、層状の白金粒界構造が崩れて、通常の白金または白金合金と同程度まで強度が低下する。従って、熔融ガラスの攪拌装置に使用される攪拌器を強化白金部材の溶接により形成する場合、溶接箇所のクリープ強度および引張強度は、他の箇所と比べて低くなる。また、攪拌装置が熔融ガラスを攪拌している間、攪拌器の回転軸は、攪拌翼にかかる応力を支えているため、高粘度の熔融ガラスから特に大きい負荷を受けやすい。さらに、攪拌器の回転軸は、攪拌翼そのものの自重による負荷を受けやすい。これらの負荷は、回転軸周辺の攪拌器の構成部品にも発生する。そのため、回転軸に攪拌翼を溶接によって取り付ける場合、または、攪拌翼を溶接によって形成する場合、溶接箇所の強度の低下による攪拌器の変形および破損が発生しやすく、熔融ガラスを均質に攪拌することが困難である。
【０００５】
本発明の目的は、熔融ガラスの攪拌に使用される攪拌器の変形および破損を抑制して、熔融ガラスを均質に攪拌することができるガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るガラス基板の製造方法は、ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融工程と、熔融工程で得られた熔融ガラスを攪拌する攪拌工程と、を備える。攪拌工程において、熔融ガラスは、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれながら、攪拌槽の内部に配置される攪拌器によって攪拌される。攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、回転軸に嵌合されることで回転軸の外周面に固定され、回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有する。攪拌器は、少なくとも攪拌翼が回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。
【０００７】
このガラス基板の製造方法では、攪拌工程で使用される攪拌器は、強化白金で形成され、かつ、攪拌翼が回転軸に嵌合されることによって組み立てられる。強化白金は、融点以上に加熱されて熔解すると、通常の白金または白金合金と同程度まで強度が低下する性質を有する。そのため、嵌合により攪拌翼を回転軸に取り付けることで、溶接により攪拌翼を回転軸に取り付ける場合に比べて、回転軸と攪拌翼との接続部の強度の低下が抑制される。従って、このガラス基板の製造方法では、熔融ガラスの攪拌に使用される攪拌器の変形および破損が抑制されるので、熔融ガラスを均質に攪拌することができる。
【０００８】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、回転軸は、その外周面に形成され、攪拌翼の一部が嵌合する嵌合穴を有することが好ましい。また、攪拌翼は、回転軸の嵌合穴に嵌合される嵌合突起を有し、かつ、嵌合突起が回転軸の嵌合穴に挿入されることによって、回転軸の外周面に固定されることが好ましい。
【０００９】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、攪拌工程において、攪拌器によって攪拌される熔融ガラスは、１０2.5ｄＰａ・ｓの粘度における温度が１４５０℃以上のガラスである場合に、本発明に好適となる。
【００１０】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、ガラス基板は、アルカリ金属酸化物の含有量が０質量％〜２質量％であることが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、ガラス基板は、液晶ディスプレイ用ガラス基板及び有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板のいずれかであることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、ガラス基板は、低温多結晶Ｓｉ・ＴＦＴ搭載ディスプレイ用ガラス基板、及び、酸化物半導体搭載ディスプレイ用ガラス基板のいずれかであることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、攪拌工程における熔融ガラスの粘度は、４５０ｄＰ・ｓ〜２５００ｄＰ・ｓであることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、攪拌翼は、回転軸の中心線に直交する支持板と、支持板の上方の主面上および下方の主面上に配置される補助板とを有することが好ましい。また、攪拌工程において、回転軸の中心線の周りを攪拌器が回転することにより、補助板は、回転軸の半径方向への流れを熔融ガラスに生じさせ、かつ、隣接する２つの段に配置される攪拌翼の支持板の間に位置する補助板は、同じ方向の流れを熔融ガラスに生じさせることが好ましい。
【００１５】
このガラス基板の製造方法では、攪拌器の軸回転によって、攪拌槽の熔融ガラスは、回転軸側に掻き込まれ、または、攪拌槽の内壁側に押し出される。すなわち、熔融ガラスは、攪拌槽内を上方から下方へと、または、下方から上方へと導かれながら、回転軸の半径方向に移動させられて攪拌される。このガラス基板の製造方法では、複雑な構成を有する攪拌器を用いることなく、熔融ガラスを均質に攪拌することができる。
【００１６】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、攪拌工程において、回転軸の中心線の周りを攪拌器が回転することにより、それぞれの攪拌翼において、支持板の上方の主面上に配置される補助板および支持板の下方の主面上に配置される補助板のうち、一方の補助板は、攪拌槽の内壁から回転軸に向かう流れを熔融ガラスに生じさせ、他方の補助板は、回転軸から攪拌槽の内壁に向かう流れを熔融ガラスに生じさせることが好ましい。
【００１７】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法では、攪拌工程は、第１攪拌槽の内部において熔融ガラスを下方から上方へと導きながら攪拌する第１攪拌工程と、第２攪拌槽の内部において第１攪拌工程で攪拌された熔融ガラスを上方から下方へと導きながら攪拌する第２攪拌工程とからなることが好ましい。第１攪拌槽は、第１チャンバーと、第１チャンバー内の熔融ガラスを攪拌する第１攪拌器と、第１チャンバーの底部から熔融ガラスを排出可能な第１排出管とを備える。第２攪拌槽は、第２チャンバーと、第２チャンバー内の熔融ガラスを攪拌する第２攪拌器と、第２チャンバー内の熔融ガラスの液面から熔融ガラスを排出可能な第２排出管とを備える。第１攪拌槽の上方側部は、第２攪拌槽の上方側部と接続管によって接続される。熔融ガラスは、接続管を介して第１攪拌槽から第２攪拌槽に移送される。
【００１８】
また、本発明に係るガラス基板の製造装置は、ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融部と、熔融部で得られた熔融ガラスを攪拌する攪拌部と、を備える。攪拌部は、攪拌槽と、攪拌槽の内部に配置される攪拌器とを有する。攪拌器は、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれる熔融ガラスを攪拌する。攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、回転軸に嵌合されることで回転軸の外周面に固定され、回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有する。攪拌器は、少なくとも攪拌翼が回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。
【００１９】
また、本発明に係る攪拌装置は、熔融ガラスを攪拌するための攪拌装置であって、攪拌槽と、攪拌槽の内部に配置される攪拌器とを備える。攪拌器は、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれる熔融ガラスを攪拌する。攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、回転軸に嵌合されることで回転軸の外周面に固定され、回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有する。攪拌器は、少なくとも攪拌翼が回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。
【００２０】
また、本発明に係るガラス基板の製造方法は、ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融工程と、熔融工程で得られた熔融ガラスを攪拌する攪拌工程と、攪拌工程で攪拌された熔融ガラスからガラス基板を成形する成形工程と、を備える。攪拌工程において、熔融ガラスは、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれながら、攪拌槽の内部に配置される攪拌器によって攪拌される。攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、回転軸に嵌合されることで回転軸の外周面に固定され、回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有する。攪拌器は、少なくとも攪拌翼が回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。
【００２１】
また、本発明に係るガラス基板の製造装置は、ガラス原料を熔融して熔融ガラスを得る熔融部と、熔融部で得られた熔融ガラスを攪拌する攪拌部と、攪拌部で攪拌された熔融ガラスからガラス基板を成形する成形部と、を備える。攪拌部は、攪拌槽と、攪拌槽の内部に配置される攪拌器とを有する。攪拌器は、攪拌槽の内部を上方から下方へ、または、下方から上方へ導かれる熔融ガラスを攪拌する。攪拌器は、鉛直方向に沿って配置される回転軸と、回転軸に嵌合されることで回転軸の外周面に固定され、回転軸に沿って最上段から最下段まで複数段配置される攪拌翼とを有する。攪拌器は、少なくとも攪拌翼が回転軸に嵌合される部分およびその近傍が、強化白金で形成されている。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置は、熔融ガラスの攪拌に使用される攪拌器の変形および破損を抑制して、熔融ガラスを均質に攪拌することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係るガラス製造装置の構成の一例を示す模式図である。
【図２】第１実施形態に係る攪拌装置の側面図である。
【図３】第１実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の斜視図である。
【図４】第１実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の平面図である。
【図５】第１実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の斜視図である。
【図６】第１実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の平面図である。
【図７】第１実施形態に係る攪拌器の２枚の攪拌翼の配置を表す図である。
【図８】第１実施形態に係る攪拌翼の軸受の配置を表す図である。
【図９】第１実施形態に係る攪拌翼の軸受の側面図である。
【図１０】第１実施形態に係る攪拌翼の軸受の上面図である。
【図１１】第１実施形態に係る攪拌翼の楔が回転軸に嵌合される前の状態を表す上面図である。
【図１２】第１実施形態に係る攪拌翼の楔が回転軸に嵌合された後の状態を表す上面図である。
【図１３】第１実施形態に係る攪拌装置における熔融ガラスの流れを表す図である。
【図１４】第１実施形態の変形例Ｂに係る攪拌器の斜視図である。
【図１５】第１実施形態の変形例Ｃに係る攪拌器の攪拌翼の上面図である。
【図１６】第２実施形態に係るガラス製造装置の構成の一例を示す模式図である。
【図１７】第３実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の上側補助板の上面図である。
【図１８】第３実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の上側補助板の縦断面図である。
【図１９】第３実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の上側補助板の側面図である。
【図２０】第３実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の上側補助板の外側端部の側面図である。
【図２１】第３実施形態に係る攪拌器の攪拌翼の上側補助板の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
＜第１実施形態＞
（１）ガラス製造装置の全体構成
本発明に係るガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置の第１実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態のガラス製造装置２００の模式図である。ガラス製造装置２００は、熔解槽４０と、清澄槽４１と、攪拌装置１００と、成形装置４２とを備える。熔解槽４０と清澄槽４１とは、導管４３ａによって接続されている。清澄槽４１と攪拌装置１００とは、導管４３ｂによって接続されている。攪拌装置１００と成形装置４２とは、導管４３ｃによって接続されている。熔解槽４０で生成された熔融ガラスＧは、導管４３ａを通過して清澄槽４１に流入する。清澄槽４１で清澄された熔融ガラスＧは、導管４３ｂを通過して攪拌装置１００に流入する。攪拌装置１００で攪拌された熔融ガラスＧは、導管４３ｃを通過して成形装置４２に流入する。成形装置４２では、ダウンドロー法により熔融ガラスＧからガラスリボン４４が成形される。
【００２５】
熔解槽４０は、図示されていないが、バーナー等の加熱手段を備えている。熔解槽４０では、加熱手段によりガラス原料が熔解され、熔融ガラスＧが生成される。ガラス原料は、所望の組成のガラスを実質的に得ることができるように調製される。ガラスの組成の一例として、無アルカリガラスおよび微アルカリガラスは、ＳｉＯ2：５７質量％〜６５質量％、Ａｌ2Ｏ3：１５質量％〜１９質量％、Ｂ2Ｏ3：８質量％〜１３質量％、ＭｇＯ：１質量％〜３質量％、ＣａＯ：４質量％〜７質量％、ＳｒＯ：１質量％〜４質量％、ＢａＯ：０質量％〜２質量％、Ｎａ2Ｏ：０質量％〜１質量％、Ｋ2Ｏ：０質量％〜１質量％、Ａｓ2Ｏ3：０質量％〜１質量％、Ｓｂ2Ｏ3：０質量％〜１質量％、ＳｎＯ2：０質量％〜１質量％、Ｆｅ2Ｏ3：０質量％〜１質量％、ＺｒＯ2：０質量％〜１質量％からなる。ここで、「実質的に」とは、０．１質量％未満の範囲で、その他の微量成分の存在が許容されることを意味する。また、上記の組成を有するガラスに関して、Ｆｅ2Ｏ3、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3およびＳｎＯ2の各含有率は、複数の価数を有するＦｅ、Ａｓ、ＳｂまたはＳｎの成分を、それぞれＦｅ2Ｏ3、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3またはＳｎＯ2として換算した値である。
【００２６】
上記のように調製されたガラス原料は、熔解槽４０に投入される。熔解槽４０では、ガラス原料は、その組成等に応じた温度で熔解される。これにより、熔解槽４０では、例えば、１５００℃〜１６００℃の高温の熔融ガラスＧが得られる。
【００２７】
熔解槽４０で得られた熔融ガラスＧは、熔解槽４０から導管４３ａを通過して清澄槽４１に流入する。清澄槽４１は、図示されていないが、熔解槽４０と同様に、加熱手段を備えている。清澄槽４１では、熔融ガラスＧをさらに昇温させることで、熔融ガラスＧの清澄が行われる。清澄槽４１において、熔融ガラスＧの温度は、好ましくは１６００℃〜１８００℃、より好ましくは１６３０℃〜１７５０℃、さらに好ましくは１６５０℃〜１７５０℃に上昇させられる。
【００２８】
清澄槽４１で清澄された熔融ガラスＧは、清澄槽４１から導管４３ｂを通過して攪拌装置１００に流入する。熔融ガラスＧは導管４３ｂを通過する際に冷却されるので、攪拌装置１００では、清澄槽４１の熔融ガラスＧよりも低い温度の熔融ガラスＧが攪拌される。上記の組成を有するガラスに関して、攪拌装置１００では、熔融ガラスＧの温度を１４００℃〜１５５０℃の範囲内に設定し、かつ、熔融ガラスＧの粘度を２５００ｄＰａ・ｓ〜４５０ｄＰａ・ｓの範囲内に調整して、熔融ガラスＧの攪拌が行われることが好ましい。熔融ガラスＧは、攪拌装置１００において攪拌されることで均質化される。
【００２９】
攪拌装置１００で攪拌されて均質化された熔融ガラスＧは、攪拌装置１００から導管４３ｃを通過して成形装置４２に流入する。熔融ガラスＧは導管４３ｃを通過する際に、成形装置４２での成形に適した温度、例えば、１２００℃まで冷却される。成形装置４２では、ダウンドロー法により、熔融ガラスＧからガラスリボン４４が成形される。具体的には、成形装置４２の上部から溢れた熔融ガラスＧが、成形装置４２の側壁に沿って下方へと流れることで、成形装置４２の下端からガラスリボン４４が連続的に成形される。ガラスリボン４４は下方へ向かうに従って徐冷され、最終的に、所望の大きさのガラス基板に切断される。
【００３０】
（２）攪拌装置の構成
（２−１）攪拌装置の全体構成
図２は、攪拌装置１００の側面図である。攪拌装置１００は、円筒形状の攪拌槽１０１と、攪拌槽１０１の内部に配置される攪拌器１０２とを備えている。攪拌槽１０１は、上部側面に取り付けられる上流側導管１０３、および、下部側面に取り付けられる下流側導管１０４を有している。上流側導管１０３は、導管４３ｂであり、下流側導管１０４は、導管４３ｃである。熔融ガラスＧは、上流側導管１０３から水平方向に攪拌槽１０１内に流入し、攪拌槽１０１内において上方から下方に導かれながら攪拌器１０２によって攪拌され、攪拌槽１０１内から水平方向に下流側導管１０４へ流出する。
【００３１】
攪拌器１０２は、強化白金で形成されている。強化白金は、白金または白金合金にジルコニア等の酸化物を分散させて、圧延した素材である。強化白金は、層状の白金粒界構造を有し、白金または白金合金と比べて、高温下におけるクリープ強度および引張強度が高い。そのため、強化白金は、高温の熔融ガラスＧが接触する攪拌器１０２にとって、好適な材料である。
【００３２】
攪拌器１０２は、鉛直方向に沿って配置される円柱形状の回転軸１０５と、回転軸１０５の外周面に連結される５枚の攪拌翼１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄ，１０６ｅとを有している。攪拌翼１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄ，１０６ｅは、回転軸１０５に沿って、上方から下方に向かって、この順序で等間隔に配置されている。回転軸１０５は、その円柱形状の上面の中心と下面の中心とを連結する中心線Ｌの周りを軸回転する。すなわち、回転軸１０５は、その中心線Ｌに沿って、５段の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが配置される構成を有している。回転軸１０５は、内部が空洞である管状の部材である。
【００３３】
（２−２）攪拌翼の構成
次に、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの構成について説明する。本実施形態では、攪拌翼１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｅは互いに同一の形状を有し、攪拌翼１０６ｂ，１０６ｄは互いに同一の形状を有している。図３および図４は、攪拌翼１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｅの斜視図および平面図である。図５および図６は、攪拌翼１０６ｂ，１０６ｄの斜視図および平面図である。図３および図５には、回転軸１０５の外周面に取り付けられた攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが示されている。
【００３４】
各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、回転軸１０５から攪拌槽１０１の内壁に向かって延びるように配置されている。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、回転軸１０５の中心線Ｌに直交する３枚の支持板１０８と、各支持板１０８の上側の主面上に配置されている１枚の上側補助板１１９ａと、各支持板１０８の下側の主面上に配置されている１枚の下側補助板１１９ｂとを有している。以下、上側補助板１１９ａおよび下側補助板１１９ｂを、まとめて、補助板１０９と呼ぶ。攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの補助板１０９は、折り曲げ加工によって形成されている。具体的には、一枚の強化白金板を折り曲げることによって、支持板１０８と補助板１０９とが一体となった攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが形成される。
【００３５】
攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合において、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの３枚の支持板１０８は、回転軸１０５の中心線Ｌの位置に対して３回対称となる位置に配置されている。各支持板１０８の主面の法線は、回転軸１０５の中心線Ｌに平行である。すなわち、支持板１０８は、水平に配置されている。また、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの３枚の支持板１０８は、回転軸１０５の周囲において、連結部１１０によって互いに連結されている。すなわち、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの３枚の支持板１０８は、実質的に、１つの部品を構成している。
【００３６】
各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、隣接する２つの段に配置される攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８を攪拌槽１０１の底面に投影した場合に、支持板１０８と支持板１０８との間隔が最小になるように、または、支持板１０８と支持板１０８とが重なる部分の面積が最小になるように、配置されている。本実施形態では、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接している２つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８は、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合に、互いに重ならないように配置されている。例として、図７に、攪拌器１０２を回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合における、２つの攪拌翼１０６ａ，１０６ｂの位置関係を表す。図７に示されるように、攪拌翼１０６ａの各支持板１０８は、攪拌翼１０６ｂの２つの支持板１０８の間に位置している。すなわち、２つの攪拌翼１０６ａ，１０６ｂの６枚の支持板１０８は、回転軸１０５の中心線Ｌの位置に対して６回対称となる位置に配置されているように見える。
【００３７】
補助板１０９は、その主面が支持板１０８の主面に対して垂直となるように、支持板１０８の主面上に配置されている。補助板１０９は、支持板１０８の上側の主面上および下側の主面上に配置されている。上述したように、支持板１０８の上側の主面上には上側補助板１１９ａが配置され、支持板１０８の下側の主面上には下側補助板１１９ｂが配置されている。図４および図６において、下側補助板１１９ｂは破線で示されている。攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合において、上側補助板１１９ａと下側補助板１１９ｂとは、交差している。
【００３８】
補助板１０９は、回転軸１０５の近傍から支持板１０８の外縁に向かって延びるように配置されている。補助板１０９は、回転軸１０５に最も近い側の内側端部１０９ａと、内側端部１０９ａの反対側の端部であって支持板１０８の外縁に最も近い側の外側端部１０９ｂとを有している。補助板１０９は、攪拌器１０２を上面視した場合において、内側端部１０９ａから外側端部１０９ｂに向かうに従って、回転軸１０５の中心線Ｌと内側端部１０９ａとを結ぶ直線１１１から、徐々に離れるように配置されている。攪拌翼１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｅの場合では、図４に示されるように、内側端部１０９ａから外側端部１０９ｂに向かうに従って、上側補助板１１９ａは、反時計回りに直線１１１から離れるように配置され、下側補助板１１９ｂは、時計回りに直線１１１から離れるように配置されている。一方、攪拌翼１０６ｂ，１０６ｄの場合では、図６に示されるように、内側端部１０９ａから外側端部１０９ｂに向かうに従って、上側補助板１１９ａは、時計回りに直線１１１から離れるように配置され、下側補助板１１９ｂは、反時計回りに直線１１１から離れるように配置されている。すなわち、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅにおいて、上側補助板１１９ａおよび下側補助板１１９ｂは、互いに逆回りに延びるように配置されている。また、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接している２つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの間において、互いに対向している一対の補助板１０９は、同じ方向に向かって延びるように配置されている。例えば、攪拌翼１０６ａの下側補助板１１９ｂと、攪拌翼１０６ａの一段下にある攪拌翼１０６ｂの上側補助板１１９ａとは、共に、時計回りに直線１１１から離れるように配置されている。
【００３９】
（２−３）回転軸と攪拌翼との接続部の構成
次に、回転軸１０５と攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとの接続部について説明する。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、回転軸１０５の外周面に、嵌合によって取り付けられている。回転軸１０５の外周面には、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの一部が嵌合する貫通孔である嵌合穴１０５ａが形成されている。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、３枚の支持板１０８が連結部１１０によって互いに連結されている本体と、３つの軸受１１６と、６つの楔１２６とから構成されている。軸受１１６は、後述するように、補助板１０９と接合されている。楔１２６は、支持板１０８または軸受１１６と接合されていないが、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを構成する部材の一つと見なす。なお、楔１２６は、支持板１０８または軸受１１６と接合されていてもよい。
【００４０】
各軸受１１６は、楔１２６を貫通させるための２つの楔貫通孔１１６ｄを有している。楔１２６は、軸受１１６の楔貫通孔１１６ｄを貫通し、かつ、回転軸１０５の嵌合穴１０５ａに嵌合される突起を有する部材である。各軸受１１６は、２つの楔１２６によって、回転軸１０５の外周面に接合されることなく、回転軸１０５の外周面に固定される。なお、攪拌器１０２は、楔貫通孔１１６ｄが形成されていない軸受１１６と、楔貫通孔１１６ｄを貫通せずに嵌合穴１０５ａに嵌合される楔１２６とを有する構成であってもよい。以下、軸受１１６および楔１２６の形状、および、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５の外周面に嵌合によって取り付ける方法について説明する。
【００４１】
図８は、回転軸１０５、支持板１０８および軸受１１６の配置を示す図である。図９は、支持板１０８の高さ位置において、回転軸１０５の径方向に沿って軸受１１６を見た側面図である。図９において、支持板１０８は点線で示されている。図１０は、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って、鉛直方向上方から軸受１１６を見た上面図である。図１０には、回転軸１０５の断面、および、回転軸１０５の嵌合穴１０５ａが示されている。図１１は、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの楔１２６が回転軸１０５に嵌合される前の状態を表す上面図である。図１２は、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの楔１２６が回転軸１０５に嵌合された後の状態を表す上面図である。図１１において、楔１２６の近傍に示される矢印は、軸受１１６の楔貫通孔１１６ｄおよび回転軸１０５の嵌合穴１０５ａに、楔１２６が挿入される方向を表している。
【００４２】
軸受１１６は、図９に示されるように、上方端部１１６ａと、下方端部１１６ｂと、上方端部１１６ａと下方端部１１６ｂとの間の軸接触部１１６ｃとからなる。上方端部１１６ａおよび下方端部１１６ｂは、図１０に示されるように、上面視した場合に円弧形状を有する軸接触部１１６ｃの水平方向の両端部と、略Ｌ字状に連結されている。図１０に示されるように、軸接触部１１６ｃの主面であって、上方端部１１６ａおよび下方端部１１６ｂが連結されている側の反対側の主面は、回転軸１０５の外周面と接触している。図１１および図１２に示されるように、上方端部１１６ａの側面は、上側補助板１１９ａの内側端部１０９ａの側面と接合され、下方端部１１６ｂの側面は、下側補助板１１９ｂの内側端部１０９ａの側面と接合されている。軸接触部１１６ｃと補助板１０９との接合は、例えば、上方端部１１６ａと上側補助板１１９ａの内側端部１０９ａとの間に微小な隙間を形成し、その隙間を熔融した白金または白金合金等で埋めることによって行われる。なお、軸接触部１１６ｃと補助板１０９とは、溶接により接合されてもよい。そして、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの３つの支持板１０８のそれぞれには、１つの軸受１１６が、一対の補助板１０９に連結されている。
【００４３】
軸受１１６の軸接触部１１６ｃは、図９に示されるように、支持板１０８より上方の軸受上部１１６ｃ１と、支持板１０８より下方の軸受下部１１６ｃ２とからなる。軸受上部１１６ｃ１および軸受下部１１６ｃ２には、それぞれ、１つの楔貫通孔１１６ｄが形成されている。楔貫通孔１１６ｄは、略円形の断面形状を有している。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅにおいて、３つの軸受１１６の軸受上部１１６ｃ１の楔貫通孔１１６ｄは、互いに異なる高さ位置に形成され、３つの軸受１１６の軸受下部１１６ｃ２の楔貫通孔１１６ｄは、互いに異なる高さ位置に形成されている。回転軸１０５の外周面には、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの軸受１１６の各楔貫通孔１１６ｄと連通する位置に、嵌合穴１０５ａが形成されている。嵌合穴１０５ａは、楔貫通孔１１６ｄと同じ略円形の断面形状を有している。
【００４４】
図１１の矢印に示されるように、２つの楔１２６を、各軸受１１６の２つの楔貫通孔１１６ｄにそれぞれ貫通させ、さらに回転軸１０５の２つの嵌合穴１０５ａにそれぞれ挿入することにより、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの各軸受１１６は、回転軸１０５の外周面に固定される。すなわち、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、６つの楔１２６を３つの軸受１１６を介して回転軸１０５の６つの嵌合穴１０５ａに嵌合させることにより、回転軸１０５に取り付けられる。
【００４５】
なお、本実施形態において、楔１２６は、略円形の断面形状を有し、かつ、回転軸１０５の嵌合穴１０５ａおよび軸受１１６の楔貫通孔１１６ｄに嵌合することができる棒状の突起を有する部材である。しかし、楔１２６は、このような突起を有する任意の形状を有することができる。
【００４６】
（３）攪拌装置の動作
本実施形態に係る攪拌装置１００の動作について説明する。図１３は、攪拌装置１００によって攪拌される熔融ガラスＧの流れを表す図である。図１３に示される矢印は、熔融ガラスＧの流れの向きを表す。攪拌槽１０１の内部には、上流側導管１０３から熔融ガラスＧが水平方向に流入される。攪拌器１０２の回転軸１０５の上端部は、図示されないモータと連結されている。攪拌装置１００を上面視した場合において、攪拌器１０２は、回転軸１０５の中心線Ｌの周りを反時計まわりに回転する。攪拌槽１０１の内部において、熔融ガラスＧは、上方から下方に向かって徐々に導かれながら、攪拌器１０２によって攪拌される。攪拌された熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内部から下流側導管１０４へ水平方向に流出される。なお、攪拌装置１００によって攪拌される熔融ガラスＧの温度は、１０2.5ｄＰａ・ｓの粘度を有する場合において、１４５０℃〜１７５０℃である場合に好適であり、１５００℃〜１７５０℃である場合により好適であり、１５３０℃〜１７５０℃である場合にさらに好適である。
【００４７】
攪拌槽１０１では、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが軸回転することで、熔融ガラスＧが攪拌される。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの補助板１０９は、熔融ガラスＧを、攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込み、または、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へ押し出す。本実施形態では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅにおいて、上側補助板１１９ａおよび下側補助板１１９ｂのいずれか一方が、熔融ガラスＧを攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込み、他方が、熔融ガラスＧを回転軸５１０側から攪拌槽１０１の内壁側へ押し出す。すなわち、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８の上方および支持板１０８の下方において、回転軸１０５の半径方向の熔融ガラスＧの流れの向きは、互いに逆方向である。また、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接している２つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅに関して、上段の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの下側補助板１１９ｂの主面、および、下段の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの上側補助板１１９ａの主面は、同じ方向に向かって直線１１１から離れている。そのため、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って互いに対向する一対の補助板１０９は、回転軸１０５の半径方向に沿って、同じ方向の熔融ガラスＧの流れを生じさせる。
【００４８】
本実施形態では、図１３に示されるように、攪拌器１０２の軸回転によって、最上段の攪拌翼１０６ａの上側補助板１１９ａは、熔融ガラスＧを攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込む流れを生じさせる。そのため、攪拌翼１０６ａの下側補助板１１９ｂと、攪拌翼１０６ａの一段下の攪拌翼１０６ｂの上側補助板１１９ａとは、熔融ガラスＧを回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へ押し出す流れを生じさせる。同様に、攪拌翼１０６ｂの下側補助板１１９ｂと、攪拌翼１０６ｃの上側補助板１１９ａとは、熔融ガラスＧを攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込む流れを生じさせる。そして、攪拌器１０２の最下段の攪拌翼１０６ｅの下側補助板１１９ｂは、熔融ガラスＧを回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へ押し出す流れを生じさせる。すなわち、最下段の攪拌翼１０６ｅと攪拌槽１０１の底面との間の下部空間１２２において、熔融ガラスＧは、図１３で示される矢印１２４の方向に流れる。
【００４９】
本実施形態では、図１３に示されるように、最上段の攪拌翼１０６ａの上側補助板１１９ａは、攪拌翼１０６ａの支持板１０８の上方において、攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側に向かって熔融ガラスＧを移動させる流れを生じさせる。最上段の攪拌翼１０６ａの上側補助板１１９ａによって回転軸１０５の近傍に移動した熔融ガラスＧは、回転軸１０５に沿って、熔融ガラスＧの液面まで上昇する。液面まで上昇した熔融ガラスＧは、液面に沿って、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へ向かって流れる。攪拌槽１０１の内壁の近傍に移動した熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内壁に沿って、最上段の攪拌翼１０６ａまで下降する。すなわち、最上段の攪拌翼１０６ａと熔融ガラスＧの液面との間の上部空間１２１において、図１３で示される熔融ガラスＧの循環流１２３が形成される。熔融ガラスＧは、この循環流１２３によって、上部空間１２１で攪拌される。
【００５０】
なお、本実施形態では、回転軸１０５の中心線Ｌに直交する断面における攪拌槽１０１の内面の半径Ｒ、および、最上段の攪拌翼１０６ａの上側の主面と熔融ガラスＧの液面との間隔Ｈに関して、比Ｒ／Ｈが０．５〜２．６であることが好ましい。
【００５１】
（４）特徴
（４−１）
本実施形態に係る攪拌装置１００では、攪拌器１０２は強化白金で形成され、かつ、回転軸１０５と各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとは嵌合によって互いに連結されている。攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、軸受１１６の楔貫通孔１１６ｄを貫通し回転軸１０５の嵌合穴１０５ａに挿入される楔１２６によって、回転軸１０５の外周面に固定されている。すなわち、本質的には、攪拌器１０２は、回転軸１０５と攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとを溶接により接合することなく、組み立てられる。
【００５２】
攪拌装置１００が熔融ガラスＧを攪拌している間、すなわち、攪拌器１０２が回転軸１０５の中心線Ｌの周りを回転している間、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、高温かつ高粘度の熔融ガラスＧを攪拌することによる応力および攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの自重による応力を受けている。回転軸１０５の外周面には、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが連結されているため、回転している回転軸１０５は、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが受けている応力のすべてを支えている。ここで、攪拌器１０２の素材である強化白金は、融点以上に加熱されて熔解すると、層状の白金粒界構造が崩れて、通常の白金または白金合金と同程度まで、クリープ強度および引張強度が低下する性質を有している。そのため、回転軸１０５と攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとが溶接によって接合されている場合、溶接時における接合部の強化白金の熔解により、攪拌器の接合部の強度は、他の部分の強度に比べて大幅に低下する。従って、回転軸１０５と攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅとを溶接して組み立てられた攪拌器は、回転中に変形および破損しやすく、熔融ガラスＧを均質に攪拌できないおそれがある。
【００５３】
本実施形態では、強化白金で形成された攪拌器１０２は、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５の外周面に嵌合により取り付けることで、組み立てられる。これにより、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５の外周面に溶接により取り付ける場合に比べて、攪拌器１０２の強度の低下が抑制される。そのため、回転中の攪拌器１０２の変形および破損が抑制されるので、熔融ガラスＧ中で攪拌器１０２を高速に回転させることが可能となる。従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。
【００５４】
なお、アルカリ金属酸化物の含有量が０質量％〜２質量％である無アルカリガラスおよび微アルカリガラスは、アルカリ金属酸化物の含有量が２質量％を超えるアルカリガラスに比べて、熔解槽４０で得られる熔融ガラスの粘度が高い。そのため、ＦＰＤ用のガラス基板として好適な、アルカリ金属酸化物の含有量が少ない無アルカリガラス又は微アルカリガラスからなるガラス基板は、アルカリ含有量が多いアルカリガラスからなるガラス基板に比べて、脈理が残存しやすい。すなわち、アルカリ含有量が少ないガラス基板の製造工程では、脈理の発生を抑えるために、攪拌装置１００において熔融ガラスを均質に攪拌することが重要である。本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧの粘度が高い場合であっても、攪拌器１０２を高速に回転させることが可能であるので、無アルカリガラスおよび微アルカリガラスの基板の製造に好適である。特に、攪拌装置１００は、アルカリ金属酸化物の含有量が０質量％〜０．５質量％であるガラスからなるガラス基板の製造に好適である。なお、アルカリ金属酸化物の含有量は、Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ及びＫ2Ｏの含有量の合計量を示す。以下、アルカリ金属酸化物を実質的に含有しないガラスを無アルカリガラスと呼び、アルカリ金属酸化物の含有量が０％を超えて２％以下であるガラスを微アルカリガラスと呼ぶ。
【００５５】
また、攪拌装置１００は、攪拌工程における熔融ガラスの粘度が高く、かつ、脈理を厳しく排除することが求められる液晶ディスプレイ用ガラス基板および有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板の製造に好適である。
【００５６】
また、低温多結晶Ｓｉ（ｐ−Ｓｉ）ＴＦＴおよび酸化物半導体が形成されるガラス基板は、高温の熱処理工程が必要であるため、熱収縮率が小さいことが好ましい。熱収縮率が小さいガラス基板を得るためには、ガラスの歪点を高くすることが好ましいが、歪点が高いガラスは熔融時の粘度が高くなる傾向にあるので、脈理が残存しやすい。そのため、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、低温多結晶Ｓｉ（ｐ−Ｓｉ）ＴＦＴおよび酸化物半導体を搭載したＦＰＤ用のガラス基板の製造に好適である。なお、このガラス基板の歪点は、好ましくは６７５℃以上であり、さらに好ましくは６８０℃以上であり、特に好ましくは６９０℃以上である。また、１０2.5ｄＰａ・ｓの粘度を有するガラス基板の温度が、１４００℃〜１７５０℃である場合、攪拌器１０２の変形及び破損を防止する効果、および、熔融ガラスを均質化する効果が顕著に表れ、ガラス基板の温度が１５００℃〜１７５０℃である場合、これらの効果がより顕著に表れ、ガラス基板の温度が１５５０℃〜１７５０℃である場合、これらの効果がさらに顕著に表れる。
【００５７】
また、攪拌工程において、攪拌槽１０１内の熔融ガラスの粘度は、４５０ｄＰ・ｓ〜２５００ｄＰ・ｓに調整されることが好ましい。特に、攪拌工程において、攪拌槽１０１内の熔融ガラスの粘度が７００ｄＰ・ｓ〜１６００ｄＰ・ｓである場合、攪拌器１０２の変形及び破損を防止する効果、および、熔融ガラスを均質化する効果がより顕著に表れる。
【００５８】
（４−２）
本実施形態に係る攪拌装置１００では、上流側導管１０３から攪拌槽１０１に流入した熔融ガラスＧは、攪拌器１０２の軸回転によって、攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込まれ、または、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へと押し出されて攪拌される。回転軸５の半径方向の熔融ガラスＧの流れの向きは、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って上方から下方に向かうに従って、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの段ごとに逆になる。すなわち、熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内部を上方から下方に導かれながら、回転軸５の半径方向に交互に移動させられて攪拌される。
【００５９】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、複雑な構成を有することなく、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００６０】
（４−３）
本実施形態に係る攪拌装置１００では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８の上方の主面上および下方の主面上には、補助板１０９が配置されている。攪拌器１０２が軸回転すると、補助板１０９によって、熔融ガラスＧは、回転軸１０５の半径方向に流れる。具体的には、支持板１０８の主面の近傍の熔融ガラスＧは、補助板１０９によって掻き込まれ、または、押し出されることで、支持板１０８の主面に沿って半径方向に移動する。これにより、熔融ガラスＧは、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの補助板１０９によって、十分に攪拌される。
【００６１】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、複雑な構成を有することなく、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００６２】
（４−４）
本実施形態では、攪拌器１０２の最上段の攪拌翼１０６ａの上側補助板１１９ａは、熔融ガラスＧを攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側へ掻き込む。これにより、最上段の攪拌翼１０６ａと熔融ガラスＧの液面との間の上部空間１２１において、回転軸１０５の近傍の熔融ガラスＧは、回転軸１０５に沿って上昇する。熔融ガラスＧの液面の近傍まで上昇した熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内壁に向かって流れ、攪拌槽１０１の内壁に沿って下降する。このように、上部空間１２１では、図１３に示されるように、熔融ガラスＧの循環流１２３が形成される。
【００６３】
ここで、本実施形態とは異なり、最上段の攪拌翼１０６ａの上方の熔融ガラスＧが、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へ押し出される場合について考える。この場合、攪拌槽１０１の内壁の近傍まで押し出された熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内壁に沿って鉛直方向に移動する際に、上方に向かって流れやすい。そのため、熔融ガラスＧは、攪拌槽１０１の内壁に沿って、熔融ガラスＧの液面の近傍まで上昇する。そして、熔融ガラスＧは、液面に沿って攪拌槽１０１の内壁側から回転軸１０５側に流れ、回転軸１０５に沿って下降する。すなわち、図１３に示される循環流１２３とは逆向きの熔融ガラスＧの循環流が形成される。
【００６４】
そして、このように、熔融ガラスＧの逆向きの循環流が上部空間１２１で形成されると、回転軸１０５の周囲に形成される熔融ガラスＧの下降流は、熔融ガラスＧの液面に存在する泡および揮発しやすい成分が揮発した結果、相対的にシリカ成分を多く含むシリカリッチ層を巻き込む。これにより、シリカリッチ層を含む熔融ガラスＧは、液面の近傍の高さ位置から下方へ引き込まれる。その結果、ガラス製品の泡品質の悪化、および、脈理品質の悪化が起こるおそれがある。
【００６５】
本実施形態では、回転軸１０５の周囲において熔融ガラスＧの上昇流を形成することで、上部空間１２１の熔融ガラスＧが回転軸１０５の外周面に沿って急下降して、十分に攪拌されていない状態で下流側導管１０４から流出してしまうことが抑制される。
【００６６】
また、本実施形態では、上部空間１２１において熔融ガラスＧの循環流１２３が形成されるので、熔融ガラスＧが液面の近傍で滞留することが抑制される。
【００６７】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００６８】
（４−５）
本実施形態では、最下段の攪拌翼１０６ｅと攪拌槽１０１の底面との間の下部空間１２２において、熔融ガラスＧは、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側へと押し出される。すなわち、最下段の攪拌翼１０６ｅの下側補助板１１９ｂは、図１３の矢印１２４に示されるように、下流側導管１０４への熔融ガラスＧの流出を促進する流れを熔融ガラスＧに生じさせる。一方、最下段の攪拌翼１０６ｅの上側補助板１１９ａ、および、攪拌翼１０６ｅの一段上の攪拌翼１０６ｄの下側補助板１１９ｂは、下流側導管１０４への熔融ガラスＧの流出を抑制する流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【００６９】
これにより、攪拌器１０２によって攪拌された熔融ガラスＧは、下部空間１２２から下流側導管１０４へ流出しやすいので、熔融ガラスＧが攪拌槽１０１の底部に滞留することが抑制される。仮に、攪拌槽１０１の底部に熔融ガラスＧが滞留すると、熔融ガラスＧの平均的な組成に対して組成のバランスが崩れた異質なガラス生地、例えば、不均質な組成のジルコニアリッチ層等が、滞留した熔融ガラスＧに含まれてしまう。このような熔融ガラスＧが下流側導管１０４から流出すると、成形装置４２で成形されたガラスリボン４４に脈理が発生し、品質上の問題が生じるおそれがある。また、ジルコニアリッチ層を含む熔融ガラスＧが成形装置４２に供給されると、成形装置４２における失透発生の原因にもなり、品質上の問題が生じるだけでなく、ガラス製造装置２００の安定的な操業が困難になり、最悪の場合は操業を停止してメンテナンスを行う必要が生じる。
【００７０】
また、本実施形態では、熔融ガラスＧが下部空間１２２より上方の空間から下流側導管１０４に流出することが抑制される。これにより、下部空間１２２の熔融ガラスＧは下部空間１２２の上方の熔融ガラスＧと常に入れ換えられるので、熔融ガラスＧが、攪拌槽１０１の底部に滞留することが抑制される。すなわち、攪拌槽１０１内の熔融ガラスＧは、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接する攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの間の各空間をショートカットすることなく、各空間において確実に攪拌される。これにより、十分に攪拌されていない熔融ガラスＧが攪拌装置１００から流出してしまうことが抑制される。
【００７１】
また、本実施形態では、図１３に示されるように、最上段の攪拌翼１０６ａの高さ位置の近傍に上流側導管１０３が配置されている。また、最上段の攪拌翼１０６ａの高さ位置は、熔融ガラスＧの液面から所定の距離だけ離間するように設定されている。仮に、攪拌翼１０６ａの高さ位置が液面に近い場合、攪拌器１０２の軸回転によって熔融ガラスＧの液面が振動して、液面に浮かぶ泡等が下方に引き込まれやすくなる。一方、攪拌翼１０６ａの高さ位置が液面から遠い場合、熔融ガラスＧの循環流１２３が液面の近傍に到達することができず、液面の近傍の熔融ガラスＧが停滞して、不均質な熔融ガラスＧが液面の近傍に滞留する。そこで、攪拌器１０２の回転数、および、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅのサイズによって、熔融ガラスＧの液面に対する攪拌翼１０６ａの高さ位置は、適宜に決定される。
【００７２】
また、本実施形態では、熔融ガラスＧの液面が、上流側導管１０３の上端の近傍に位置するように、熔融ガラスＧの流量が調整される。また、上流側導管１０３の径の中央より下方に、攪拌翼１０６ａの支持板１０８が配置されている。具体的には、上流側導管１０３の下端と同程度の高さ位置に、攪拌翼１０６ａの支持板１０８が配置されている。これにより、図１３に示されるように、最上段の攪拌翼１０６ａの上側補助板１１９ａは、上流側導管１０３からの熔融ガラスＧの流入を促進する流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【００７３】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００７４】
（４−６）
本実施形態では、図７に示されるように、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接している２つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８は、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合に、互いに重ならないように配置されている。これにより、攪拌槽１０１の内部における熔融ガラスＧの鉛直方向の流れは、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８によって一旦、堰き止められる。そのため、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接する攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの間の各空間において、熔融ガラスＧは、一時的に滞留して、十分に攪拌される。
【００７５】
また、本実施形態では、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの上述の配置によって、上部空間１２１の熔融ガラスＧが回転軸１０５の外周面に沿って急下降して、十分に攪拌されていない状態で下流側導管１０４から流出してしまうことが抑制される。
【００７６】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００７７】
（４−７）
本実施形態に係る攪拌装置１００では、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って攪拌器１０２を見た場合に、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの補助板１０９は、外側端部１０９ｂを除いて、支持板１０８の外縁から離れた位置に配置されている。これにより、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの上側補助板１０９ａの主面に沿って下方に流れる熔融ガラスＧは、支持板１０８の上側の主面に衝突しやすく、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの下側補助板１０９ｂの主面に沿って上方に流れる熔融ガラスＧは、支持板１０８の下側の主面に衝突しやすい。これにより、攪拌槽１０１の内部における熔融ガラスＧの鉛直方向の流れは、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８によって一旦、堰き止められる。そのため、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接する攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの間の各空間において、熔融ガラスＧは、一時的に滞留して、十分に攪拌される。
【００７８】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００７９】
（４−８）
本実施形態では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの３枚の支持板１０８は、回転軸１０５の周囲において連結部１１０によって互いに接続されている。これにより、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの強度が向上する。また、回転軸１０５の周囲における熔融ガラスＧの攪拌効果は小さく、熔融ガラスＧは、回転軸１０５の近傍において、十分に攪拌されずに下降しやすい。各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの連結部１１０は、回転軸１０５の近傍における熔融ガラスＧの下降流を抑制することができる。
【００８０】
従って、本実施形態に係るガラス製造装置２００の攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【００８１】
（５）変形例
（５−１）変形例Ａ
本実施形態では、攪拌器１０２の回転軸１０５には、中心線Ｌに沿って、５つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが等間隔に配置されている。しかし、回転軸１０５に取り付けられる攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの数は、攪拌槽１０１のサイズおよび回転軸１０５の長さ等を考慮して適宜に設定されてもよい。また、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接する２枚の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの間の距離も、攪拌槽１０１のサイズおよび回転軸１０５の長さ等を考慮して適宜に設定されてもよい。
【００８２】
（５−２）変形例Ｂ
本実施形態では、攪拌器１０２の各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、３つの支持板１０８を有しているが、２つまたは４つ以上の支持板１０８を有してもよい。
【００８３】
例として、図１４に、２つの支持板を有する攪拌翼を備える攪拌器２を示す。この攪拌器２は、本実施形態の攪拌器１０２と同様に、回転軸５に固定される５つの攪拌翼６ａ〜６ｅを備えている。各攪拌翼６ａ〜６ｅの支持板の、上方の主面上および下方の主面上には、それぞれ２つの補助板が配置されている。
【００８４】
また、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが４つの支持板１０８を有している場合、本実施形態と同様に、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って攪拌器１０２を見た場合に、中心線Ｌに沿って隣接する２つの各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８の位置が互いに異なっていてもよい。
【００８５】
（５−３）変形例Ｃ
本実施形態における各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８は、その主面に形成される貫通孔１１２を有してもよい。図１５は、貫通孔１１２を有する攪拌翼１０６ａ，１０６ｃ，１０６ｅの平面図である。本変形例では、攪拌器１０２が軸回転すると、熔融ガラスＧの一部が貫通孔１１２を通過して、鉛直方向の熔融ガラスＧの流れが生じる。これにより、熔融ガラスＧには、補助板１０９による回転軸１０５の半径方向の流れに加えて、貫通孔１１２による回転軸１０５の軸方向の流れが生じる。そのため、熔融ガラスＧには、より複雑な流れが生じるので、より高い攪拌効果が得られる。また、貫通孔１１２によって、軸回転する攪拌器１０２が熔融ガラスＧから受ける抵抗が小さくなることが期待され、攪拌装置１００は、より少ないエネルギーで熔融ガラスＧを攪拌することができる。
【００８６】
また、本変形例では、熔融ガラスＧに含まれる泡は、貫通孔１１２を通過して、熔融ガラスＧの液面まで上昇することができる。これにより、熔融ガラスＧに含まれる泡が、効率的に除去される。例えば、攪拌器１０２を検査および修理する際や、新しい攪拌器１０２の使用を開始する際に、攪拌槽１０１の熔融ガラスＧ中に、本変形例の攪拌器１０２を投入する場合を考える。この場合、攪拌器１０２の投入の際に巻き込まれた空気の泡は、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの貫通孔１１２を通過して、迅速に浮上する。そのため、攪拌装置１００の安定的な操業までの時間を短縮することができる。
【００８７】
また、本変形例では、図１５に示されるように、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８同士を連結する連結部１１０にも、貫通孔１１２が形成されてもよい。
【００８８】
（５−４）変形例Ｄ
本実施形態に係る攪拌装置１００は、熔融ガラスＧを攪拌槽１０１から排出する機構を備えてもよい。例えば、攪拌槽１０１の底面に、ジルコニアリッチ層を含む熔融ガラスＧを排出するための排出口が設けられてもよい。また、攪拌槽１０１の側面に、泡やシリカリッチ層を含む熔融ガラスＧを排出するための排出口が設けられてもよい。
【００８９】
熔融ガラスＧ中には、熔融ガラスＧの平均的な組成に対して組成のバランスが崩れた異質なガラス生地が含まれる場合がある。これは、熔解槽４０で発生した熔融ガラスＧの組成ムラによるものか、または、熔融ガラスＧから揮発しやすい成分が揮発したことによるものと考えられる。特に、攪拌槽１０１の熔融ガラスＧの液面には、熔融ガラスＧから揮発しやすい成分が揮発したことによる異質なガラス生地が滞留しやすい。
【００９０】
本実施形態において、図１３に示されるように、上部空間１２１において循環流１２３が形成されている場合、熔融ガラスＧの液面に泡や異質なガラス生地が存在していても、液面の近傍の熔融ガラスＧは、液面に沿って回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側に向かって流れる。そのため、この熔融ガラスＧの流れの延長線上に排出口を設けることにより、熔融ガラスＧに含まれる泡や異質なガラス生地を排出することができる。攪拌槽１０１は、最上段の攪拌翼１０６ａよりも上方の高さ位置、好ましくは、熔融ガラスＧの液面または液面の直下の高さ位置において、排出口が設けられてもよい。この排出口は、攪拌槽１０１の側面に形成され、排出管が接続されている。液面の近傍の熔融ガラスＧの一部は、攪拌槽１０１の排出口から排出される。
【００９１】
一般的に、熔融ガラスＧに含まれる異物を除去する際には、攪拌装置１００の運転を停止させる必要がある。しかし、上部空間１２１に循環流１２３が形成され、熔融ガラスＧの液面の近傍において、回転軸１０５側から攪拌槽１０１の内壁側への流れが形成されている場合、攪拌槽１０１に上述の排出口を設けることにより、攪拌装置１００の運転を停止させることなく、泡や異質なガラス生地を含む熔融ガラスＧを攪拌槽１０１から排出することができる。例えば、多量の泡を含む熔融ガラスＧが清澄槽４１から攪拌槽１０１に流入しても、攪拌装置１００の運転を止めることなく、泡を含む少量の熔融ガラスＧを攪拌槽１０１から排出することができる。
【００９２】
（５−５）変形例Ｅ
本実施形態では、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って隣接している２つの攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８は、回転軸１０５の中心線Ｌに沿って見た場合に、互いに重ならないように配置されている。しかし、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、支持板１０８の主面の面積に応じて、隣接する２つの段に配置される攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８を攪拌槽１０１の底面に投影した場合に、支持板１０８と支持板１０８との間隔が最小になるように、または、支持板１０８と支持板１０８とが重なる部分の面積が最小になるように、配置されてもよい。
【００９３】
（５−６）変形例Ｆ
本実施形態に係る攪拌装置１００によって攪拌される熔融ガラスＧは、上述の組成に限定されるものではなく、また、上述の温度および粘度の値に限定されるものではない。上述の熔融ガラスＧの組成は、ＦＰＤ用のガラス基板に用いられる無アルカリガラスまたは微アルカリガラスのガラス組成である。
【００９４】
しかし、攪拌装置１００は、より多くのアルカリ成分を含む、強化ガラス向けのガラス組成を有する熔融ガラスＧの攪拌に使用されてもよい。この場合、熔融ガラスＧの温度を、本実施形態よりも低い１３００℃〜１４００℃の範囲内に設定して攪拌することが好ましい。
【００９５】
（５−７）変形例Ｇ
本実施形態に係る攪拌器１０２では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、楔１２６によって回転軸１０５に固定されている。しかし、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、さらに他の手段を用いて、回転軸１０５に固定されてもよい。例えば、上方端部１１６ａと上側補助板１１９ａの内側端部１０９ａとの間の接合と同様に、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの軸受１１６と、回転軸１０５の外周面との間に微小な隙間を形成し、その隙間を熔融した白金または白金合金等で埋めることによって、攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５により強固に固定してもよい。また、攪拌器１０２および回転軸１０５の強化白金の強度が大きく低下しない程度に、溶接によって攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅを回転軸１０５により強固に固定してもよい。
【００９６】
（５−８）変形例Ｈ
本実施形態に係る攪拌器１０２では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅは、楔１２６によって、回転軸１０５に固定されている。しかし、楔１２６を用いずに、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの支持板１０８が、回転軸１０５の外周面に形成された溝に直接嵌め込まれることによって、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが回転軸１０５に固定されてもよい。
【００９７】
本変形例では、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの一部が、回転軸１０５の外周面に形成される凹部および孔等に嵌合されることで、各攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅが回転軸１０５に固定されている。
【００９８】
（５−９）変形例Ｉ
本実施形態に係るガラス製造装置２００で製造されるガラス基板として、上述の組成を有する無アルカリガラスおよび微アルカリガラスを例に挙げて説明したが、ＦＰＤ用のガラス基板は、ＳｉＯ2：５０質量％〜７０質量％、Ａｌ2Ｏ3：５質量％〜２５質量％、Ｂ2Ｏ3：０質量％〜１５質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％を含有するガラス基板であってもよい。なお、このガラス基板は、その他の酸化物を５質量％〜２０質量％含有してもよい。
【００９９】
また、本実施形態に係るガラス製造装置２００で製造されるガラス基板は、ＳｉＯ2：５２質量％〜７８質量％、Ａｌ2Ｏ3：３質量％〜２５質量％、Ｂ2Ｏ3：３質量％〜１５質量％、ＲＯ（ただし、ＲＯは、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量)３質量％〜２０質量％、Ｒ2Ｏ(ただし、Ｒ2Ｏは、Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ及びＫ2Ｏの合量)０．０１質量％〜０．８質量％、Ｓｂ2Ｏ3：０質量％〜０．３質量％を含有し、Ａｓ2Ｏ3を実質的に含有せず、質量比ＣａＯ／ＲＯが０．６５以上であり、質量比（ＳｉＯ2＋Ａｌ2Ｏ3）／Ｂ2Ｏ3は７〜３０であり、質量比（ＳｉＯ2＋Ａｌ2Ｏ3）／ＲＯは５以上であり、かつ、歪点が６８８℃以上であるガラスからなるＦＰＤ用ガラス基板であってもよい。
【０１００】
また、ＦＰＤ用のガラス基板は、ＴＦＴの破壊を抑制するために、無アルカリガラスの基板が好ましい。しかし、清澄槽４１における熔融ガラスＧの清澄性を向上させるために、ガラス基板は、合わせて０．０５質量％〜２質量％、好ましくは０．１質量％〜２質量％のＬｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏを含有してもよい。また、環境に対する負荷を軽減するために、ガラス基板は、清澄剤としてＡｓ2Ｏ3、ＰｂＯを含まないことが好ましい。また、ガラス基板は、清澄剤として少なくとも酸化スズを含むことが好ましく、０．０１質量％〜０．２質量％の酸化鉄を含むことが好ましい。また、軽量化のために、ガラス基板は、ＳｒＯおよびＢａＯを合わせて０質量％〜１０質量％含むことが好ましく、この場合、環境に対する負荷を軽減するために、ＢａＯの含有量は、０質量％〜２質量％であることがより好ましい。
【０１０１】
（５−１０）変形例Ｊ
本実施形態に係るガラス製造装置２００では、攪拌装置１００は、清澄槽４１と成形装置４２との間に設置され、清澄槽４１で清澄された熔融ガラスＧを攪拌する。しかし、攪拌装置１００は、熔解槽４０と清澄槽４１との間に設置されてもよい。この場合、攪拌装置１００は、熔解槽４０で生成された熔融ガラスＧを攪拌して、均質化された熔融ガラスＧを清澄槽４１に供給する。なお、２つの攪拌装置１００が、熔解槽４０と清澄槽４１との間、および、清澄槽４１と成形装置４２との間に設置されてもよい。
【０１０２】
また、ＦＰＤ用ガラス基板を製造するためのガラス製造装置２００では、熔解槽４０と清澄槽４１との間に設置される攪拌装置１００で攪拌される熔融ガラスＧは、１５００℃〜１６００℃の温度範囲にあることが好ましい。
【０１０３】
＜第２実施形態＞
本発明に係るガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態のガラス製造装置の基本的な構成、動作および特徴は、第１実施形態のガラス製造装置と同じである。なお、第１実施形態と同一の構造および機能を有する要素には、同一の参照符号が用いられている。
【０１０４】
（１）構成
本実施形態のガラス製造装置は、図１に示される第１実施形態のガラス製造装置２００の攪拌装置１００を、それと異なる構成を有する攪拌装置１１００で置き換えた構成を有している。図１６は、攪拌装置１１００の側面図である。攪拌装置１１００は、第１攪拌槽１１０１ａおよび第２攪拌槽１１０１ｂを備えている。第１攪拌槽１１０１ａおよび第２攪拌槽１１０１ｂは、第１実施形態の攪拌槽１０１と同じ円筒形状を有している。第１攪拌槽１１０１ａは、下部側面に取り付けられる上流側導管１１０３を有している。第２攪拌槽１１０１ｂは、下部側面に取り付けられる下流側導管１１０４を有している。図１６に示される矢印は、攪拌装置１１００で攪拌される熔融ガラスＧの流れの向きを表す。
【０１０５】
攪拌装置１１００において熔融ガラスＧを攪拌する攪拌工程は、第１攪拌槽１１０１ａの内部において、熔融ガラスＧを下方から上方へと導きながら攪拌する第１攪拌工程と、第２攪拌槽１１０１ｂの内部において、第１攪拌工程で攪拌された熔融ガラスＧを上方から下方へと導きながら攪拌する第２攪拌工程とからなる。第１攪拌槽１１０１ａは、内部の熔融ガラスＧを攪拌する第１攪拌器１１０２ａと、底部から熔融ガラスＧを排出可能な第１排出管１１１０ａとを備えている。第２攪拌槽１１０１ｂは、内部の熔融ガラスＧを攪拌する第２攪拌器１１０２ｂと、内部の熔融ガラスＧの液面ＬＬから熔融ガラスＧを排出可能な第２排出管１１１０ｂとを備えている。第１攪拌槽１１０１ａの上方側面は、第２攪拌槽１１０１ｂの上方側面と、接続管１１０７によって接続されている。熔融ガラスＧは、接続管１１０７を介して、第１攪拌槽１１０１ａから第２攪拌槽１１０１ｂに送られる。第１攪拌器１１０２ａおよび第２攪拌器１１０２ｂは、第１実施形態の攪拌器１０２と同様に、強化白金で形成されている。
【０１０６】
第１攪拌器１１０２ａは、鉛直方向に沿って配置される第１回転軸１１０５ａと、第１回転軸１１０５ａの外周面に固定され、かつ、第１回転軸１１０５ａに沿って最上段から最下段まで複数段配置される４つの第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４とを有している。第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４は、第１回転軸１１０５ａに直交する第１支持板と、第１支持板の上方の主面上および下方の主面上に配置される第１補助板とを有している。第２攪拌器１１０２ｂは、鉛直方向に沿って配置される第２回転軸１１０５ｂと、第２回転軸１１０５ｂの外周面に固定され、かつ、第２回転軸１１０５ｂに沿って最上段から最下段まで複数段配置される５つの第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５とを有している。第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５は、第２回転軸１１０５ｂに直交する第２支持板と、第２支持板の上方の主面上および下方の主面上に配置される第２補助板とを有している。
【０１０７】
第１攪拌工程では、第１回転軸１１０５ａの周りを第１攪拌器１１０２ａが回転することによって、第１補助板は、第１回転軸１１０５ａの半径方向への流れを熔融ガラスＧに生じさせる。第２攪拌工程では、第２回転軸１１０５ｂの周りを第２攪拌器１１０２ｂが回転することによって、第２補助板は、第２回転軸１１０５ｂの半径方向への流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【０１０８】
なお、第１攪拌器１１０２ａの第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４、および、第２攪拌器１１０２ｂの第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５は、第１実施形態の攪拌器１０２の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅと同じ構成を有している。第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４の第１支持板および第１補助板は、それぞれ、第１実施形態の支持板１０８および補助板１０９に相当する。第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５の第２支持板および第２補助板は、それぞれ、第１実施形態の支持板１０８および補助板１０９に相当する。また、第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４および第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５は、第１実施形態の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅの軸受１１６および楔１２６に相当する構成を有している。第１攪拌器１１０２ａおよび第２攪拌器１１０２ｂによって形成される熔融ガラスＧの流れの向きについては後述する。
【０１０９】
また、第１攪拌工程では、隣接する２つの段に配置される第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４の第１支持板の間に位置する第１補助板は、同じ方向の流れを熔融ガラスＧに生じさせる。第２攪拌工程では、隣接する２つの段に配置される第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５の第２支持板の間に位置する第２補助板は、同じ方向の流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【０１１０】
また、第１攪拌工程では、最上段の第１攪拌翼１１０６ａ１の第１支持板の上方の主面上に配置されている第１補助板は、最上段の第１攪拌翼１１０６ａ１の第１支持板の上方において、第１攪拌槽１１０１ａの内壁から第１回転軸１１０５ａに向かって熔融ガラスを移動させる第１の流れを生じさせることにより、第１の流れによって移動した熔融ガラスＧを第１回転軸１１０５ａに沿って上昇させる第２の流れを生じさせる。これにより、第１実施形態と同様に、第１攪拌工程では、最上段の第１攪拌翼１１０６ａ１と熔融ガラスＧの液面ＬＬとの間の空間１１２１ａにおいて、図１６の矢印１１２３ａに示される熔融ガラスＧの循環流が形成される。
【０１１１】
また、第２攪拌工程では、最上段の第２攪拌翼１１０６ｂ１の第２支持板の上方の主面上に配置されている第２補助板は、最上段の第２攪拌翼１１０６ｂ１の第２支持板の上方において、第２攪拌槽１１０１ｂの内壁から第２回転軸１１０５ｂに向かって熔融ガラスＧを移動させる第３の流れを生じさせることにより、第３の流れによって移動した熔融ガラスＧを第２回転軸１１０５ｂに沿って上昇させる第４の流れを生じさせる。これにより、第１実施形態と同様に、第２攪拌工程では、最上段の第２攪拌翼１１０６ｂ１と熔融ガラスＧの液面ＬＬとの間の空間１１２１ｂにおいて、図１６の矢印１１２３ｂに示される熔融ガラスＧの循環流が形成される。
【０１１２】
また、第１攪拌槽１１０１ａは、最下段の第１攪拌翼１１０６ａ４の高さ位置の近傍において、熔融ガラスＧを第１攪拌槽１１０１ａに水平方向に流入させる流入口を有している。第２攪拌槽１１０１ｂは、最下段の第２攪拌翼１１０６ｂ５の高さ位置の近傍において、熔融ガラスＧを第２攪拌槽１１０１ｂから水平方向に流出させる流出口を有している。
【０１１３】
また、第１攪拌工程では、第１回転軸１１０５ａの周りを第１攪拌器１１０２ａが軸回転することによって、それぞれの第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４において、第１支持板の上方の主面上に配置される第１補助板および第１支持板の下方の主面上に配置される第１補助板のうち、一方の第１補助板は、第１攪拌槽１１０１ａの内壁から第１回転軸１１０５ａに向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせ、他方の第１補助板は、第１回転軸１１０５ａから第１攪拌槽１１０１ａの内壁に向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。第２攪拌工程では、第２回転軸１１０５ｂの周りを第２攪拌器１１０２ｂが軸回転することによって、それぞれの第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５において、第２支持板の上方の主面上に配置される第２補助板および第２支持板の下方の主面上に配置される第２補助板のうち、一方の第２補助板は、第２攪拌槽１１０１ｂの内壁から第２回転軸１１０５ｂに向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせ、他方の第２補助板は、第２回転軸１１０５ｂから第２攪拌槽１１０１ｂの内壁に向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【０１１４】
また、第１攪拌工程では、最下段の第１攪拌翼１１０６ａ４と第１攪拌槽１１０１ａの底面との間の空間１１２２ａにおいて、第１攪拌翼１１０６ａ４の第１補助板は、図１６の矢印１１２４ａに示されるように、第１攪拌槽１１０１ａの内壁から第１回転軸１１０５ａに向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。また、最下段の第１攪拌翼１１０６ａ４と最下段の一段上の段に位置する第１攪拌翼１１０６ａ３との間において、第１攪拌翼１１０６ａ３，１１０６ａ４の第１補助板は、第１回転軸１１０５ａから第１攪拌槽１１０１ａの内壁に向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。第２攪拌工程では、最下段の第２攪拌翼１１０６ｂ５と第２攪拌槽１１０１ｂの底面との間の空間１１２２ｂにおいて、第２攪拌翼１１０６ｂ５の第２補助板は、図１６の矢印１１２４ｂに示されるように、第２回転軸１１０５ｂから第２攪拌槽１１０１ｂの内壁に向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。また、最下段の第２攪拌翼１１０６ｂ５と最下段の一段上の段に位置する第２攪拌翼１１０６ｂ４との間において、第２攪拌翼１１０６ｂ４，１１０６ｂ５の第２補助板は、第２攪拌槽１１０１ｂの内壁から第２回転軸１１０５ｂに向かう流れを熔融ガラスＧに生じさせる。
【０１１５】
（２）特徴
本実施形態では、清澄槽４１から導管４３ｂを通過して攪拌装置１１００に送られた熔融ガラスＧは、第１攪拌槽１１０１ａで攪拌された後、さらに、第２攪拌槽１１０１ｂで攪拌される。第１攪拌槽１１０１ａでは、上流側導管１１０３から水平方向に流入した熔融ガラスＧは、下方から上方へと導かれながら攪拌される。第１攪拌槽１１０１ａで攪拌された熔融ガラスＧは、接続管１１０７を介して第２攪拌槽１１０１ｂへ送られる。第２攪拌槽１１０１ｂでは、熔融ガラスＧは上方から下方へと導かれながら攪拌され、下流側導管１１０４から水平方向に流出する。
【０１１６】
攪拌装置１１００では、熔融ガラスＧに含まれる比重が大きい成分、例えば、ジルコニアリッチ層を含む熔融ガラスＧが、第１攪拌槽１１０１ａの底部に貯留される。熔融ガラスＧは、第１攪拌槽１１０１ａの内部を上昇して第２攪拌槽１１０１ｂへ送られるため、第１攪拌槽１１０１ａの底部に貯留された比重が大きい成分は、第２攪拌槽１１０１ｂに流入しにくい。そして、第１攪拌槽１１０１ａの底面には第１排出管１１１０ａが取り付けられている。これにより、第１攪拌槽１１０１ａの底部に貯留される比重が大きい成分は、第１排出管１１１０ａを介して第１攪拌槽１１０１ａから排出することができる。
【０１１７】
また、第１攪拌槽１１０１ａでは、熔融ガラスＧに含まれる比重が小さい成分、例えば、泡やシリカリッチ層を含む熔融ガラスＧが、熔融ガラスＧの液面ＬＬの近傍に貯留される。第１攪拌槽１１０１ａの内部に存在する比重が小さい成分は、第１攪拌槽１１０１ａと第２攪拌槽１１０１ｂとを連結する接続管１１０７を介して、熔融ガラスＧと共に、第２攪拌槽１１０１ｂに送られる。すなわち、熔融ガラスＧに含まれる比重が小さい成分は、最終的に、第２攪拌槽１１０１ｂの熔融ガラスＧの液面ＬＬの近傍に貯留される。そして、第２攪拌槽１１０１ｂの熔融ガラスＧの液面ＬＬの近傍の高さ位置には、第２排出管１１１０ｂが取り付けられている。これにより、熔融ガラスＧの液面ＬＬの近傍に貯留される比重が小さい成分は、第２排出管１１１０ｂを介して第２攪拌槽１１０１ｂから排出することができる。
【０１１８】
また、本実施形態では、第１実施形態と同様に、強化白金で形成された第１攪拌器１１０２ａは、嵌合により第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４を第１回転軸１１０５ａの外周面に取り付けることで、組み立てられる。これにより、溶接により第１攪拌翼１１０６ａ１〜１１０６ａ４を第１回転軸１１０５ａの外周面に取り付ける場合に比べて、第１攪拌器１１０２ａの強度の低下が抑制される。第２攪拌器１１０２ｂの第２攪拌翼１１０６ｂ１〜１１０６ｂ５に関しても、同様に、嵌合により組み立てられるので、強度の低下が抑制される。そのため、第１攪拌器１１０２ａおよび第２攪拌器１１０２ｂの回転中における変形および破損が抑制されるので、高温かつ高粘度の熔融ガラスＧ中で第１攪拌器１１０２ａおよび第２攪拌器１１０２ｂを高速に回転させることが可能となる。従って、本実施形態に係るガラス製造装置の攪拌装置１１００は、熔融ガラスＧを均質に攪拌することができる。
【０１１９】
なお、本実施形態の攪拌装置１１００は、第１実施形態の攪拌装置１００の上述の特徴を有し、かつ、第１実施形態の攪拌装置１００の上述の変形例を適宜に採用することができる。
【０１２０】
＜第３実施形態＞
本発明に係るガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置および攪拌装置の第３実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態のガラス製造装置の基本的な構成、動作および特徴は、第１実施形態のガラス製造装置と同一である。なお、第１実施形態と同一の構造および機能を有する要素には、同一の参照符号が用いられている。
【０１２１】
（１）構成
本実施形態と第１実施形態との相違点は、攪拌器の攪拌翼の補助板の形状である。図１７に、本実施形態の攪拌器の各攪拌翼２０６ａ〜２０６ｅの３つの支持板２０８の内の１つの上面図を示す。図１７は、支持板２０８の上方の主面２０８ａ上に配置されている上側補助板２１９ａの平面図である。図１８は、図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ線における上側補助板２１９ａの縦断面図である。図１９は、図１７の矢印ＸＩＸの向きに沿って、無限遠から見た上側補助板２１９ａの側面図である。図２０は、図１７の矢印ＸＸの向きに沿って見た上側補助板２１９ａの外側端部２０９ｂの側面図である。図２１は、図１８および図１９のＸＸＩ−ＸＸＩ線における上側補助板２１９ａの横断面図である。
【０１２２】
各攪拌翼２０６ａ〜２０６ｅは、第１実施形態の攪拌翼１０６ａ〜１０６ｅと同様に、回転軸２０５の周囲に配置される３つの支持板２０８を有している。各支持板２０８は、上方の主面上に配置される上側補助板２１９ａと、下方の主面上に配置される下側補助板とからなる２つの補助板を有している。上側補助板２１９ａは、回転軸２０５に最も近い側の内側端部２０９ａと、内側端部２０９ａの反対側の端部であって支持板２０８の外縁に最も近い側の外側端部２０９ｂとを有している。また、補助板の鉛直方向の端部であって、補助板と連結している支持板２０８の主面から離れている端部は、回転軸２０５に向かって鉛直方向に沿って湾曲している。また、補助板の水平方向の端部であって、回転軸２０５から径方向に最も離れている端部である外側端部２０９ｂは、回転軸２０５に向かって水平方向に沿って湾曲している。次に、上側補助板２１９ａおよび下側補助板の具体的な形状について説明する。
【０１２３】
上側補助板２１９ａは、図１８に示されるように、支持板２０８の上方の主面２０８ａから鉛直方向上方に向かって延びている。上側補助板２１９ａは、板下部２１９ａ１と、板上部２１９ａ２とから構成される。板下部２１９ａ１は、主面２０８ａに対して垂直に延びている。板上部２１９ａ２は、回転軸２０５に沿って見た上側補助板２１９ａの湾曲面の内側、すなわち、回転軸２０５側に向かって湾曲している。
【０１２４】
図１９および図２０に示されるように、上側補助板２１９ａの外側端部２０９ｂの板上部２１９ａ２は、半球のドーム形状を有している。図２１に示されるように、上側補助板２１９ａの外側端部２０９ｂは、回転軸２０５に向かって半円状に湾曲している。
【０１２５】
また、下側補助板は、上側補助板２１９ａと同一の形状を有している。具体的には、支持板２０８の上方の主面から上側補助板２１９ａを取り外し、上下逆さまにして、支持板２０８の下方の主面に取り付けると、下側補助板と同一の形状および配置を有する。
【０１２６】
（２）特徴
本実施形態の攪拌器を備える攪拌装置は、攪拌翼２０６ａ〜２０６ｅの上側補助板２１９ａおよび下側補助板の端部が湾曲している。これにより、攪拌器の軸回転によって熔融ガラスＧが攪拌されると、熔融ガラスＧは、上側補助板２１９ａおよび下側補助板の湾曲部に沿って滑らかに流れることができる。そのため、攪拌器が熔融ガラスＧを攪拌している間、上側補助板２１９ａおよび下側補助板の端部の近傍において、周囲の空間の圧力よりも低い圧力を有する空間である負圧領域の発生が抑制される。負圧領域では、熔融ガラスＧの圧力が周囲より低く、熔融ガラスＧに溶存している気体の溶存可能量が低下するので、泡が発生しやすい。なお、補助板によって攪拌槽の半径方向に熔融ガラスＧを押し出す流れが発生しない場合は、上側補助板２１９ａが上記の湾曲部を有する構成であれば、下側補助板は上記の湾曲部を有する構成でなくてもよい。
【０１２７】
本実施形態では、攪拌翼２０６ａ〜２０６ｅの補助板の端部を湾曲形状にすることで、熔融ガラスＧの攪拌中における負圧領域の発生が抑制される。そのため、このような攪拌器を有する攪拌装置は、負圧領域の発生に起因する泡の発生を懸念することなく、攪拌器の回転速度をより増加させることができるので、熔融ガラスＧをより均質に攪拌することができる。これにより、ガラスリボン４４の脈理の発生が抑制され、高品質のガラス製品を得ることができる。
【０１２８】
なお、本実施形態の攪拌装置は、第１実施形態の攪拌装置１００の上述の特徴を有し、かつ、第１実施形態の攪拌装置１００の上述の変形例を適宜に採用することができる。
【０１２９】
＜実施例＞
本発明に係るガラス製造装置を用いて、ガラス基板を製造した。ガラス基板のガラス組成は、ＳｉＯ2：６０質量％、Ｂ2Ｏ3：１０質量％、Ａｌ2Ｏ3：１９．５質量％、ＣａＯ：５．３質量％、ＳｒＯ：５質量％、ＳｎＯ2：０．２質量％であった。最初に、熔解槽において、上記の組成を有するようにガラス原料を熔融して熔融ガラスを得た。次に、熔解槽で得られた熔融ガラスを清澄槽において１６５０℃に昇温させて清澄を行った。
【０１３０】
次に、清澄後の熔融ガラスを、分散型強化白金で形成された攪拌器を備えた攪拌装置を用いて攪拌した。攪拌器は、回転軸と、回転軸に嵌合されて回転軸の外周面に固定される攪拌翼とを有していた。攪拌器の回転数は、１２．５ｒｐｍであった。次に、攪拌装置で攪拌された熔融ガラスを成形装置へ供給し、オーバーフローダウンロード法によってガラスリボンを形成した。
【０１３１】
次に、ガラスリボンを切断して、厚さが０．７ｍｍ、大きさが２２００ｍｍ×２５００ｍｍのＦＰＤ用ガラス基板を製造した。その結果、本発明に係るガラス製造装置を用いてガラス基板の製造を２年間続けても、ＦＰＤ用ガラス基板の製造を良好に行うことができ、かつ、攪拌装置の変形および破損による製造異常が認められなかった。
【０１３２】
なお、本発明に係るガラス製造装置を用いて、ＳｉＯ2：６１．５質量％、Ｂ2Ｏ3：９質量％、Ａｌ2Ｏ3：１９質量％、ＣａＯ：１０質量％、アルカリ金属酸化物：０．３質量％、Ｆｅ2Ｏ3：０．０５質量％、ＳｎＯ2：０．１５質量％の組成を有するガラス基板を製造した。この場合においても、ＦＰＤ用ガラス基板の製造を良好に行うことができ、かつ、攪拌装置の変形および破損による製造異常が認められなかった。
【符号の説明】
【０１３３】
４０                熔解槽（熔融部）
４２                成形装置（成形部）
１００                攪拌装置（攪拌部）
１０１                攪拌槽
１０２                攪拌器
１０５                回転軸
１０５ａ              嵌合穴
１０６ａ〜１０６ｅ    攪拌翼
１０８                支持板
１０９                補助板
１２６                楔（嵌合突起）
２００                ガラス製造装置（ガラス基板の製造装置）
Ｇ                熔融ガラス
Ｌ                回転軸の中心線
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１３４】
【特許文献１】特表２００５−５１１４６２号公報
【図１】
2013249247.tif 000003
【図２】
2013249247.tif 000004
【図３】
2013249247.tif 000005
【図４】
2013249247.tif 000006
【図５】
2013249247.tif 000007
【図６】
2013249247.tif 000008
【図７】
2013249247.tif 000009
【図８】
2013249247.tif 000010
【図９】
2013249247.tif 000011
【図１０】
2013249247.tif 000012
【図１１】
2013249247.tif 000013
【図１２】
2013249247.tif 000014
【図１３】
2013249247.tif 000015
【図１４】
2013249247.tif 000016
【図１５】
2013249247.tif 000017
【図１６】
2013249247.tif 000018
【図１７】
2013249247.tif 000019
【図１８】
2013249247.tif 000020
【図１９】
2013249247.tif 000021
【図２０】
2013249247.tif 000022
【図２１】
2013249247.tif 000023