(57)【要約】【課題】大きな設置スペースを必要としないコンパクトな排ガス加熱装置を提供すること。【解決手段】処理装置の処理容器から排出された未反応の処理ガスを含む排ガスを加熱する排ガス加熱装置１４は、排ガスを加熱する加熱容器２０と、加熱容器２０内を、中央の第１の排ガス通流空間３１、および加熱容器２０の外周壁に面しかつ第１の排ガス通流空間３１を取り囲む第２の排ガス通流空間３２に区画する内部壁２２と、第１のガス通流空間３１に排ガスを導入するガス導入部２３と、第２のガス通流空間３２から排ガスを排出するガス排出部２５と、第１のガス通流空間３１と第２のガス通流空間３２とが連通する連通部３３と、第１のガス通流空間３１に設置され、そこを流れる排ガスを加熱するヒーター２６とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理ガスにより所定の処理を行うガス処理装置の処理容器から排出された未反応の処理ガスを含む排ガスを加熱する排ガス加熱装置であって、
排ガスを加熱する加熱容器と、
前記加熱容器内を、中央の第１の排ガス通流空間、および前記加熱容器の外周壁に面しかつ前記第１の排ガス通流空間を取り囲む第２の排ガス通流空間に区画する内部壁と、
前記第１のガス通流空間に排ガスを導入するガス導入部と、
前記第２のガス通流空間から排ガスを排出するガス排出部と、
前記第１のガス通流空間と前記第２のガス通流空間とが連通する連通部と、
前記第１のガス通流空間に設置され、そこを流れる排ガスを加熱する加熱手段と
を備えることを特徴とする排ガス加熱装置。
【請求項２】
前記第２のガス通流空間は、前記内部壁により前記第１のガス通流空間と断熱されており、前記第２のガス通流空間を流れるガスは、前記加熱容器の外周壁を介して放熱されることを特徴とする請求項１に記載の排ガス加熱装置。
【請求項３】
前記加熱容器の外周壁は筒状をなし、前記外周壁と前記内部壁とは同心状に形成されており、前記外周壁の両端部は第１および第２の蓋部材で塞がれていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の排ガス加熱装置。
【請求項４】
前記第１の蓋部材には前記ガス導入部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の排ガス加熱装置。
【請求項５】
前記第１のガス通流空間は柱状に形成され、前記第２のガス通流空間はその周囲に筒状に形成されており、前記加熱手段は、前記第１のガス通流空間の長手方向に対応するように形成されたヒーターを有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の排ガス加熱装置。
【請求項６】
前記ヒーターは、前記第２の蓋部材に断熱部材を介して取り付けられ、前記第２の蓋部材を装着する際に前記第１のガス通流空間に挿入されることを特徴とする請求項５に記載の排ガス加熱装置。
【請求項７】
前記連通部は、前記内部壁において、前記ガス導入部とは反対側で、かつ前記ガス排出部と対向しない位置に設けられることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の排ガス加熱装置。
【請求項８】
前記連通部は、前記ガス導入部とは反対側で、かつ前記内部壁の全周に亘って設けられることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の排ガス加熱装置。
【請求項９】
前記第１のガス通流空間に配置された、ガス流を屈曲させてガス流路長を長くするための複数のバッフル板をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の排ガス加熱装置。
【請求項１０】
前記バッフル板は、前記内部壁の内面に固定されていることを特徴とする請求項９に記載の排ガス加熱装置。
【請求項１１】
前記バッフル板がフレームに取り付けられて着脱式のバッフルユニットを構成し、前記バッフルユニットが前記第１のガス通流空間に挿入されることを特徴とする請求項９に記載の排ガス加熱装置。
【請求項１２】
処理ガスにより所定の処理を行うガス処理装置の処理容器から排出された未反応の処理ガスを含む排ガスを加熱する排ガス加熱装置であって、
筒状の外周壁、ならびに両端部を塞ぐ第１および第２の蓋部材を有し、その中で排ガスを加熱する加熱容器と、
前記加熱容器内を、中央の第１の排ガス通流空間、および前記加熱容器の外周壁に面しかつ前記第１の排ガス通流空間を取り囲む第２の排ガス通流空間に区画する内部壁と、
前記第１の蓋部材に設けられ、前記第１のガス通流空間に排ガスを導入するガス導入部と、
前記外周壁に設けられ、前記第２のガス通流空間から排ガスを排出するガス排出部と、
前記第１のガス通流空間と前記第２のガス通流空間とが連通する連通部と、
前記第２の蓋部材に断熱部材を介して取り付けられ、前記第２の蓋部材を装着する際に前記第１のガス通流空間に挿入され、そこを流れる排ガスを加熱するヒーターと
を備え、
前記ガス導入部を有する前記第１の蓋部材を架台にセットした状態で、前記ガス排出部を有する前記外周壁を前記第１の蓋部材上に装着し、前記外周壁の上方からその中に前記内部壁を挿入して装着し、前記ヒーターが取り付けられた前記第２の蓋部材を、前記外周壁の上方から前記ヒーターが前記内部壁の内側に挿入されるようにして降下させて前記外周壁に装着することにより組み立てられることを特徴とする排ガス加熱装置。
【請求項１３】
前記第１の蓋部材は、前記内部壁を嵌め込む溝を有し、前記内部壁が前記溝に嵌め込まれた状態で装着されることを特徴とする請求項１２に記載の排ガス加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置から排出される排ガスを加熱して無害化する排ガス加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法やＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いた成膜処理やクリーニング処理等のガスを用いて所定の処理を行うガス処理装置においては、有機金属（ＭＯ）ガス、オゾンガス、シラン系ガス等の有害なガスを用いることが多く、これらは未反応のまま環境中に排出することができないため、排ガス配管に排ガスを加熱する排ガス加熱装置を用いて排ガスを熱分解して無害化することが行われている。
【０００３】
このような排ガス加熱装置としては、排ガス配管の外側にヒーターを配置したジャケット型のものが知られている。また、排ガス流路にヒーターを配置したもの（例えば特許文献１、２）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３５５８２３号公報
【特許文献２】特開２００４−１６２９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
排ガスに含まれている未反応ガスの分解温度は、通常、３００℃以上と高温であるため、排ガス加熱装置本体は十分に断熱して火傷等の事故を起こさないような対策を講じる必要がある。また、このように高温の排ガスを真空ポンプに流すと、真空ポンプが破損するおそれがあるため、排ガス加熱装置から真空ポンプまでの配管を長くする等、排ガスを冷却する機構が必要となる。このように断熱および冷却が必要であることから、この種の排ガス加熱装置は大きな設置スペースを必要とする。
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、大きな設置スペースを必要としないコンパクトな排ガス加熱装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、処理ガスにより所定の処理を行うガス処理装置の処理容器から排出された未反応の処理ガスを含む排ガスを加熱する排ガス加熱装置であって、排ガスを加熱する加熱容器と、前記加熱容器内を、中央の第１の排ガス通流空間、および前記加熱容器の外周壁に面しかつ前記第１の排ガス通流空間を取り囲む第２の排ガス通流空間に区画する内部壁と、前記第１のガス通流空間に排ガスを導入するガス導入部と、前記第２のガス通流空間から排ガスを排出するガス排出部と、前記第１のガス通流空間と前記第２のガス通流空間とが連通する連通部と、前記第１のガス通流空間に設置され、そこを流れる排ガスを加熱する加熱手段とを備えることを特徴とする排ガス加熱装置を提供する。
【０００８】
上記第１の観点において、前記第２のガス通流空間は、前記内部壁により前記第１のガス通流空間と断熱されており、前記第２のガス通流空間を流れるガスは、前記加熱容器の外周壁を介して放熱されるようにすることができる。
【０００９】
また、前記加熱容器の外周壁は筒状をなし、前記外周壁と前記内部壁とは同心状に形成されており、前記外周壁の両端部は第１および第２の蓋部材で塞がれている構成とすることができる。この場合に、前記第１の蓋部材に前記ガス導入部が設けられている構成とすることができる。また、前記第１のガス通流空間は柱状に形成され、前記第２のガス通流空間はその周囲に筒状に形成されており、前記加熱手段は、前記第１のガス通流空間の長手方向に対応するように形成されたヒーターを有する構成とすることができる。前記ヒーターは、前記第２の蓋部材に断熱部材を介して取り付けられ、前記第２の蓋部材を装着する際に前記第１のガス通流空間に挿入される構成とすることができる。
【００１０】
さらに、前記連通部は、前記内部壁において、前記ガス導入部とは反対側で、かつ前記ガス排出部と対向しない位置に設けられる構成とすることができる。また、前記連通部は、前記ガス導入部とは反対側で、かつ前記内部壁の全周に亘って設けられる構成とすることができる。
【００１１】
さらにまた、前記第１のガス通流空間に配置された、ガス流を屈曲させてガス流路長を長くするための複数のバッフル板をさらに備える構成とすることができる。この場合に、前記バッフル板は、前記内部壁の内面に固定されているものであってもよいし、前記バッフル板がフレームに取り付けられて着脱式のバッフルユニットを構成し、前記バッフルユニットが前記第１のガス通流空間に挿入される構成であってもよい。さらに、前記バッフル板はヒーターの加熱部に固定されているものであってもよい。
【００１２】
本発明の第２の観点では、処理ガスにより所定の処理を行うガス処理装置の処理容器から排出された未反応の処理ガスを含む排ガスを加熱する排ガス加熱装置であって、筒状の外周壁、ならびに両端部を塞ぐ第１および第２の蓋部材を有し、その中で排ガスを加熱する加熱容器と、前記加熱容器内を、中央の第１の排ガス通流空間、および前記加熱容器の外周壁に面しかつ前記第１の排ガス通流空間を取り囲む第２の排ガス通流空間に区画する内部壁と、前記第１の蓋部材に設けられ、前記第１のガス通流空間に排ガスを導入するガス導入部と、前記外周壁に設けられ、前記第２のガス通流空間から排ガスを排出するガス排出部と、前記第１のガス通流空間と前記第２のガス通流空間とが連通する連通部と、前記第２の蓋部材に断熱部材を介して取り付けられ、前記第２の蓋部材を装着する際に前記第１のガス通流空間に挿入され、そこを流れる排ガスを加熱するヒーターとを備え、前記ガス導入部を有する前記第１の蓋部材を架台にセットした状態で、前記ガス排出部を有する前記外周壁を前記第１の蓋部材上に装着し、前記外周壁の上方からその中に前記内部壁を挿入して装着し、前記ヒーターが取り付けられた前記第２の蓋部材を、前記外周壁の上方から前記ヒーターが前記内部壁の内側に挿入されるようにして降下させて前記外周壁に装着することにより組み立てられることを特徴とする排ガス加熱装置を提供する。
【００１３】
上記第２の観点において、前記第１の蓋部材は、前記内部壁を嵌め込む溝を有し、前記内部壁が前記溝に嵌め込まれた状態で装着されるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、第１のガス通流空間において加熱手段により排ガスを加熱して未反応成分を熱分解した後に、排ガスは連通部を介して内部壁により断熱された第２のガス通流空間に流れるので、そこで加熱手段の加熱の影響を受けずに外周壁を介して排ガスの熱を放熱することができる。このように、加熱空間である第１のガス通流空間の外側に冷却空間である第２のガス通流空間が形成された構造とすることができ、断熱や冷却のための大がかりな設備を設けることなく、排出される排ガスの温度および加熱容器の表面温度を低く保つことができる。このため、大きな設置スペースを必要としないコンパクトな排ガス加熱装置を実現することができる。
【００１５】
また、ガス導入部を有する第１の蓋部材を架台にセットした状態で、ガス排出部を有する外周壁を第１の蓋部材上に装着し、外周壁の上方からその中に内部壁を挿入して装着し、ヒーターが取り付けられた第２の蓋部材を、外周壁の上方からヒーターが内部壁の内側に挿入されるようにして降下させて外周壁に装着することにより排ガス加熱装置が組み立てられるので、極めて組み立てが容易でコンパクトである。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の排ガス加熱装置が適用されるガス処理装置を示す模式図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る排ガス加熱装置を示す縦断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る排ガス加熱装置を示す図２のＡ−Ａ線による横断面図である。
【図４】図２の排ガス加熱装置の第１のガス通流空間にバッフル板を設けた例を示す縦断面図である。
【図５】図２の排ガス加熱装置の第１のガス通流空間にバッフル板を有する着脱式のバッフルユニットを設けた例を示す縦断面図である。
【図６】排ガス加熱装置のより詳細な具体例を示す斜視図である。
【図７】図５に示す着脱式のバッフルユニットのより詳細な具体例を示す図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る組み立て性を考慮した排ガス加熱装置の組み立て手順を説明するための斜視図（その１）である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る組み立て性を考慮した排ガス加熱装置の組み立て手順を説明するための斜視図（その２）である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る組み立て性を考慮した排ガス加熱装置の組み立て手順を説明するための斜視図（その３）である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る組み立て性を考慮した排ガス加熱装置の組み立て手順を説明するための斜視図（その４）である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明の排ガス加熱装置が適用されるガス処理装置を示す模式図である。
【００１８】
図１に示すように、ガス処理装置１００は、所定の処理ガスが供給されてガス処理が行われる処理容器１１を有する処理部１０と、処理容器１１から排ガスを排出する排ガス配管１２と、排ガス配管１２を介して処理容器１１内を排気するための真空ポンプ１３と、排ガス配管１２の真空ポンプ１３の上流側に設けられた排ガス加熱装置１４とを有している。
【００１９】
処理部１０においては、処理ガス供給系（図示せず）から所定の真空度の処理容器１１内に所定の処理ガスが供給され、処理容器１１内でＣＶＤ法やＡＬＤ法による成膜処理やクリーニング処理等のガス処理が行われる。
【００２０】
ガス処理に用いられる処理ガスとしては、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）のような金属アルコキシド、Ｎｉ（ＣＯ）４のような金属カルボニル、テトラメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）やテトラメチルガリウム（ＴＭＧａ）のようなトリメチル化合物等の有機金属化合物ガスや、オゾンガス、シラン系ガスを挙げることができる。これらは、危険性または有害性を有するガスであり、そのまま環境に排出することができないものである。
【００２１】
排ガス加熱装置１４は、このような危険性または有害性を有する処理ガスを未反応状態で含んだ排ガスを加熱することにより分解して無害化するものである。
【００２２】
このように構成されるガス処理装置においては、処理部１０の処理容器１１内に所定の処理ガスが供給されて、成膜処理やクリーニング処理等のガス処理が行われた後、未反応の処理ガスを含む排ガスが、真空ポンプ１３により排ガス配管１２を介して排出される。このとき、未反応の処理ガスは危険性または有害性を有するため、排ガス加熱装置１４により排ガスを加熱し、未反応の処理ガスを熱分解して無害化する。
【００２３】
次に、排ガス加熱装置１４の実施形態について説明する。
図２は本発明の一実施形態に係る排ガス加熱装置１４を示す縦断面図、図３はそのＡ−Ａ線による横断面図である。
【００２４】
排ガス加熱装置１４は、加熱容器２０を有する。加熱容器２０は、円筒状をなし、両端にそれぞれフランジ２１ａおよび２１ｂを有する外周壁２１と、外周壁２１の一方側の端部を塞ぐ第１の蓋部材２４と、他方側の端部を塞ぐ第２の蓋部材２７とで構成されている。第１の蓋部材２４は、外周壁２１のフランジ２１ａにねじ止めされ、第２の蓋部材２７はフランジ２１ｂにねじ止めされる。
【００２５】
加熱容器２０の内部には、加熱容器２０の内部空間を中央の第１のガス通流空間３１と外側の第２のガス通流空間３２とに区画する筒状の内部壁２２が設けられている。外周壁２１と内部壁２２とは同心状に配置されており、第１のガス通流空間３１は長尺の円柱状に形成され、第２のガス通流空間３２は第１のガス通流空間３１の周囲に円筒状に形成されている。
【００２６】
第１の蓋部材２４の第１のガス通流空間３１に対応する位置には、排ガスを導入するガス導入部２３が取り付けられている。加熱容器２０の外周壁２１には、第２のガス通流空間３２に臨むようにガス排出部２５が設けられている。ガス導入部２３およびガス排出部２５は、気密性を維持することができるフランジで構成され、加熱容器２０の内部は、処理容器１１、排気配管１２からガスが流入してくる程度の圧力とされる。
【００２７】
外周壁２１、内部壁２２、第１および第２の蓋部材２４、２７は、耐腐食性および耐熱性を有する材料、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）や、インコネル、インコロイに代表されるニッケル合金で構成される。セラミックス材料で構成されてもよい。
【００２８】
第２の蓋部材２７にはヒーター２６が取り付けられている。ヒーター２６は第１のガス通流空間３１に対応して柱状をなしており、第２の蓋部材２７を装着する際に、ヒーター２６が第１のガス通流空間３１内に挿入されるようになっている。なお、ヒーター２６は特に限定されず、適宜のものを使用することができる。
【００２９】
ヒーター２６と第２の蓋部材２７とは断熱部２８により断熱されており、第２の蓋部材２７の外側には、ヒーター２６に給電する給電端子２９が突出して設けられている。断熱部２８を設けることにより第２の蓋部材２７への伝熱が抑えられ、蓋部材２７が高温になることにより作業者が火傷を負う危険性を低減できるとともに第２のガス通流空間３２のヒーター２６による加熱が抑制される。
【００３０】
内部壁２２のガス導入部２３と反対側の端部、すなわち第２の蓋部材２７側の端部には、ガス排出部２５に対向しない位置、好ましくはガス排出部２５に対向する位置と反対側の位置に、第１のガス通流空間３１から第２のガス通流空間３２にガスを流すための連通部３３が形成されている。連通部３３は例えばスリット状に形成されている。図では連通部３３は１箇所設けられているが、複数箇所設けてもよく、連続した列状に形成してもよい。また、連通部３３はスリット状の代わりに穴状であってもよい。
【００３１】
このように連通部３３を設けることにより、ガス導入部２３から導入された排ガスが第１のガス通流空間３１でヒーター２６により加熱された後、連通部３３から第２のガス通流空間３２を経てガス排出部２５から排出される。
【００３２】
このように構成される排ガス加熱装置１４においては、加熱容器２０内の第１のガス通流空間３１内に挿入されたヒーター２６をオンにした状態で、処理部１０の処理容器１１から排気配管１２に排出された未反応の処理ガスを含有した排ガスをガス導入部２３から加熱容器２０内の第１のガス通流空間３１に導入する。
【００３３】
排ガスは第１のガス通流空間３１を流れ、その間にヒーター２６により処理ガスの分解温度以上の温度、例えば３００℃以上に加熱され、未反応ガスが熱分解される。
【００３４】
未反応ガスが熱分解された後の排ガスは、ガス導入部２３の反対側に形成された連通部３３を通って、第２のガス通流空間３２に流出する。そして、第２のガス通流空間３２では外周壁２１の内壁に沿うようなガス流が形成されて、ガス排出部２５に向かって流れ、ガス排出部２５から排出される。
【００３５】
このとき第２のガス通流空間３２は内部壁２２により第１のガス通流空間３１とは断熱されているため、第２のガス通流空間３２を流れる排ガスはほとんどヒーター２６で加熱されない。そして、第２のガス通流空間３２は外気に接している外周壁２１に面しているため、第２のガス通流空間３２を流れる排ガスの熱は外周壁２１を介して外部環境へ放熱される。このとき、第２のガス通流空間３２は加熱容器２０の外周壁２１の全面に面しているので極めて高い放熱効果を得ることができる。
【００３６】
また、連通部３３は、内部壁２２のガス排出部２５に対向しない位置に形成されることにより、連通部３３を通って第２のガス通流空間３２に達した排ガスは、すぐにガス排出部２５から排出されず、第２のガス通流空間３２を流れている間に効率良く放熱させることができる。特に、連通部３３をガス排出部２５に対向する位置と反対側の位置に設けることにより最も効率良く排ガスを放熱させることができる。ガス排出部２５に対向する位置と、その反対側の位置との間に連通部３３が形成されている場合には、その位置に応じた効果を得ることができる。
【００３７】
また、連通部３３は、内部壁２２の第２の蓋部材２７側の端部に全周にわたって形成されていてもよい。これにより第１のガス通流空間３１から第２のガス通流空間に均一に排ガスを流すことができる。
【００３８】
また、上述したように、内部壁２２によりヒーター２６の熱を第２のガス通流空間３２に伝え難くする断熱効果を得ることができるが、その効果は、ステンレス鋼やニッケル合金よりもセラミックス材料のほうが大きい。また、内部壁２２を、例えば二重壁のように壁自体を中空状にすることによっても断熱効果を高めることができる。
【００３９】
このように、第１のガス通流空間３１で加熱され、熱分解したガスを含む排ガスは、第２のガス通流空間３２において、ヒーター２６の影響をほとんど受けず、外周壁２１を介して放熱するため十分に冷却されるため、ガス排出部２５から排出される排ガスの温度は、ヒーター２６の設定温度よりも大幅に低くすることができる。
【００４０】
なお、第１のガス通流空間３１および第２のガス通流空間３２の面積比率や形状等は、ガス流量や加熱条件等に応じて適宜調整することができる。
【００４１】
以上のように、本実施形態に係る排ガス加熱装置１４によれば、第１のガス通流空間３１においてヒーター２６により排ガス中の未反応成分を熱分解した後に、排ガスは連通部３３を介して内部壁２２により断熱された第２のガス通流空間３２に流れるので、そこでヒーター２６の加熱の影響を受けずに外周壁２１を介して排ガスの熱を放熱することができる。このように、加熱空間である第１のガス通流空間３１の外側に冷却空間である第２のガス通流空間３２が形成された構造とすることができ、断熱や冷却のための大がかりな設備を設けることなく、排出される排ガスの温度および加熱容器２０の表面温度を低く保つことができる。このため、大きな設置スペースを必要としないコンパクトな排ガス加熱装置を実現することができる。
【００４２】
上記本実施形態の排ガス加熱装置１４においては、第１のガス通流空間３１内で排ガスを効率良く加熱する観点から、図４および図５のように第１のガス通流空間３１にバッフル板を設けてもよい。図４では、バッフル板３５を内部壁２２の内側面に取り付けた例を示しており、図５では、フレーム３６にバッフル板３５を取り付けた着脱式のバッフルユニット３７を第１のガス通流空間３１に挿入した例を示している。いずれの場合にも、バッフル板３５によって第１のガス通流空間３１での排ガスの流れを屈曲させて排ガスの流路長を長くし、第１のガス通流空間３１での排ガスの滞留時間を長くすることにより、排ガスの加熱効率を上げることができる。また、このようなバッフル板の代わりに第１のガス通流空間３１に螺旋状の連続した仕切りを設けてもよい。これにより、排ガスの流れを螺旋状にして排ガスの流路長を長くすることができ、同様に排ガスの加熱効率を上げることができる。
【００４３】
また、第１のガス通流空間３１で加熱された排ガスを第２のガス通流空間３２で効率良く冷却する観点から、外周壁２１の内面を凹凸状や波状にして放熱効果を高めてもよい。また、外周壁２１に冷却水のような冷却媒体を流す等の冷却機構を補助的に設けることにより、排ガスを冷却する効果をさらに高めることができる。また、外周壁２１の内面にバッフル板３５ｂを設置してもよい。
【００４４】
次に、図６を参照して、排ガス加熱装置１４のより詳細な具体例を示す。図６の例では、ヒーター２６として、金属製の棒状ヒーターを折り曲げて束ねたものを使用している。
【００４５】
また、内部壁２２としては一方の端部にフランジ２２ａが形成されたものが用いられ、外周壁２１内に上方から挿入される。そして、ガス導入部２３を有する第１の蓋部材２４（図示せず）と、外周壁２１のフランジ２１ａと、内部壁２２のフランジ２２ａとがねじ止めされる。
【００４６】
ヒーター２６は第２の蓋部材２７に取り付けられており、下方から内部壁２２の内側にヒーター２６を挿入し、第２の蓋部材２７と外周壁２１のフランジ２１ｂとをねじ止めするようになっている。内部壁２２は外周壁２１よりも短く、第２の蓋部材２７と内部壁２２との間の全周が連通部となる。
【００４７】
なお、ヒーター２６としては、このような金属製の棒状ヒーターを束ねたものに限らず、棒状のセラミックスヒーターやカーボンヒーター等、他のヒーターを使用することもできる。
【００４８】
図７は、図５に示す着脱式のバッフルユニットのより詳細な具体例を示す図である。このバッフルユニット３７は、４本の長尺状のフレーム３６に複数のリング状のバッフル板３５を取り付けた構造を有している。フレーム３６は上下の支持部材３６ａ、３６ｂにより支持されている。このバッフルユニット３７を第１のガス通流空間３１内に装着する際には、図７（ａ）に示すように、バッフル板３５の内側にヒーター２６を挿入した状態となり、下側の支持部材３６ｂが第２の蓋部材２７にねじにより取り付けられる。このようなバッフルユニット３７を装着することにより、図７（ｂ）に示すような屈曲したガスの流れが形成される。
【００４９】
なお、図４に示す固定式のバッフル板３５の具体的構造については、図示はしないが、図７に示すようなリング状のバッフル板３５を内部壁２２の内面に固定し、図４に示す屈曲した流れが形成されるように、切り欠きを形成したものを挙げることができる。
【００５０】
次に、組み立て性を考慮した排ガス加熱装置の実施形態について説明する。
図８〜１１は本実施形態に係る排ガス加熱装置の組み立て手順について説明する図である。これら図において、従前の実施形態と同じものまたは対応するものには同じ符号を付す。
【００５１】
図８に示すように、排気側の固定された配管部４１の近傍に加熱容器２０を縦置きするための架台４５を配置し、架台４５にガス導入部２３としてのガス導入側エルボを有する第１の蓋部材２４を取り付ける。第１の蓋部材２４には、内部壁２２を挿入するための円形をなす溝２４ａが形成されている。図６においては内部壁２２を固定するために内部壁２２がフランジ２２ａを有していたが、本実施形態においては組み立て性を考慮したため、フランジ２２ａを用いず溝２４ａにより内部壁２２の位置決めを行うようにしている。
【００５２】
次いで、図９に示すように、フランジ２１ａ、２１ｂを有する加熱容器２０の外周壁２１を、架台４５に取り付けられた第１の蓋部材２４の上に装着し、フランジ２１ａと第１の蓋部材２４とをねじ止めする。そして、外周壁２１となるフランジ付配管に設けられたガス排出部２５と配管部４１との間に排気側エルボ４２を装着する。
【００５３】
次いで、図１０に示すように、筒状の内部壁２２を上方から外周壁２１内に挿入し、第１の蓋部材２４の溝２４ａに嵌め込み、内部壁２２を装着する。内部壁２２は、外周壁２１よりも短く構成されており、第２の蓋部材２７が装着された際に全周に連通部が形成されるようになっている。なお、図では内部壁２２としてバッフル板３５を有するものを用いているが、バッフル板３５はなくてもよく、また、着脱式のバッフルユニット３７を装着してもよい。
【００５４】
次いで、図１１に示すように、ヒーター２６が取り付けられた第２の蓋部材２７を、外周壁２１の上方からヒーター２６が内部壁２２内に挿入されるようにして降下させ、第２の蓋部材２７を外周壁２１のフランジ２１ｂに装着し、ねじ止めする。これにより、排ガス加熱装置１４が完成する。
【００５５】
このようにすることにより、極めて簡単な手順で排ガス加熱装置１４の組み立てを行うことができる。このとき、加熱容器２０を縦置きするため、排ガス加熱装置１４のフットプリントが非常に小さく、極めてコンパクトである。
【００５６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、円筒状の加熱容器を用いたが、これに限るものではなく、例えば四角筒等の多角筒状のものを用いることもできる。また、内部壁として円筒状のものを用いたが、加熱容器内に中央の第１のガス通流空間およびその外側の第２のガス通流空間を区画することができれば、円筒に限るものではない。さらに、内部壁は必ずしも加熱容器の外周壁と同心状に設ける必要はない。
【符号の説明】
【００５７】
１０；処理部
１１；処理容器
１２；排気配管
１３；真空ポンプ
１４；排ガス加熱装置
２０；加熱容器
２１；外周壁
２２；内部壁
２３；ガス導入部
２４；第１の蓋部材
２５；ガス排出部
２６；ヒーター
２７；第２の蓋部材
３１：第１のガス通流空間
３２；第２のガス通流空間
３３；連通部
３５；バッフル板
３７；バッフルユニット
４１；配管部
４５；架台
１００；ガス処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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