(57)【要約】【課題】液晶パネル製造工程の貼り合わせ処理を行う場合に、ＣＦ基板及びアレイ基板の良品セルを最大限に活用し、ディスプレイ生産効率を向上させる基板の搬送方法と搬送装置を提供する。【解決手段】ＣＦ基板が複数のセル（ＣＦセル）に分割されており、他方、アレイ基板も複数のセル（アレイセル）に分割されており、これらＣＦセルとアレイセルとは互いに対応する位置関係に配置されていて、ＣＦ基板とアレイ基板とを貼り合わせたとき、互いに対応するＣＦセルとアレイセルとで前記表示装置を構成するものであり、不良セルのある不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送して保管し、不良ＣＦセルが不良アレイ基板の不良アレイセルと対応する場合には、これら不良ＣＦ基板と不良アレイ基板とを貼り合わせ装置に搬送し、対応しない場合には、この不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送して保管する、ことを特徴とする搬送方法。【選択図】図１４
2013200353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送方法であって、
前記ＣＦ基板が複数のセル（ＣＦセル）に分割されており、他方、前記アレイ基板も複数のセル（アレイセル）に分割されており、これらＣＦセルとアレイセルとは互いに対応する位置関係に配置されていて、ＣＦ基板とアレイ基板とを貼り合わせたとき、互いに対応するＣＦセルとアレイセルとで前記表示装置を構成するものであり、
不良セルのある不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送して保管し、
不良セルのある不良ＣＦ基板を、アレイ基板バッファ中の全ての不良アレイ基板と対比し、
その不良ＣＦセルが前記不良アレイ基板の不良アレイセルと対応する場合には、これら不良ＣＦ基板と不良アレイ基板とを貼り合わせ装置に搬送し、
その不良アレイセルが前記不良ＣＦセルと対応しない場合には、この不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送して保管する、
ことを特徴とする搬送方法。
【請求項２】
カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送方法であって、
前記ＣＦ基板が複数のセル（ＣＦセル）に分割されており、他方、前記アレイ基板も複数のセル（アレイセル）に分割されており、これらＣＦセルとアレイセルとは互いに対応する位置関係に配置されていて、ＣＦ基板とアレイ基板とを貼り合わせたとき、互いに対応するＣＦセルとアレイセルとで前記表示装置を構成するものであり、
不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送して保管し、
不良アレイセルのある不良アレイ基板を、ＣＦ基板バッファ中の全ての不良ＣＦ基板と対比し、
その不良アレイセルが前記不良ＣＦ基板の不良ＣＦセルと対応する場合には、これら不良アレイ基板と不良ＣＦ基板とを貼り合わせ装置に搬送し、
その不良ＣＦセルが前記不良アレイセルと対応しない場合には、この不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送して保管する、
ことを特徴とする搬送方法。
【請求項３】
カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送装置であって、
ＣＦ基板カセット搬送装置、ＣＦ基板投入装置、ＣＦ基板バッファ、アレイ基板バッファ、第一の搬送手段、第一の制御手段を備えて構成され、
ＣＦ基板カセット搬送装置は、ＣＦ基板を収納したＣＦ基板カセットをＣＦ基板カセットを格納するストッカ設備からＣＦ基板投入装置に搬送する機能を有するものであり、
ＣＦ基板投入装置は、ＣＦ基板カセットを保管する機能を有するものであり、
ＣＦ基板バッファは、不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板を保管する機能を有するものであり、
アレイ基板バッファは、不良アレイセルのある不良アレイ基板を保管する機能を有するものであり、
第一の制御手段は、不良ＣＦ基板の前記不良ＣＦセルがアレイ基板バッファ中の不良アレイ基板の不良アレイセルと対応する場合には、これら不良ＣＦ基板と不良アレイ基板とを貼り合わせ装置に搬送するように搬送手段を制御する機能を有し、その不良ＣＦセルが前記不良アレイセルと対応しない場合には、この不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送するように第一の搬送手段を制御する機能を有する、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送装置であって、
アレイ基板カセット搬送装置、アレイ基板投入装置、アレイ基板バッファ、ＣＦ基板バッファ、第二の搬送手段、第二の制御手段を備えて構成され、
アレイ基板カセット搬送装置は、アレイ基板を収納したアレイ基板カセットをアレイ基板カセットを格納するストッカ設備からアレイ基板投入装置に搬送する機能を有するものであり、
アレイ基板投入装置は、アレイ基板又はアレイ基板を収納したアレイ基板カセットを保管する機能を有するものであり、
アレイ基板バッファは、不良アレイセルのある不良アレイ基板を保管する機能を有するものであり、
ＣＦ基板バッファは、不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板を保管する機能を有するものであり、
第二の制御手段は、不良アレイ基板の前記不良アレイセルがＣＦ基板バッファ中の不良ＣＦ基板の不良ＣＦセルと対応する場合には、これら不良アレイ基板と不良ＣＦ基板とを貼り合わせ装置に搬送するように搬送手段を制御する機能を有し、その不良アレイセルが前記不良ＣＦセルと対応しない場合には、この不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送するように第二の搬送手段を制御する機能を有する、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
前記第一の搬送手段を制御する機能は、不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに収納できない場合は、不良ＣＦ基板の貼り合わせ装置への搬送、不搬送を予め設定された条件に基づいて搬送制御することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第二の搬送手段を制御する機能は、不良アレイ基板をアレイ基板バッファに収納できない場合は、不良アレイ基板の貼り合わせ装置への搬送、不搬送を予め設定された条件に基づいて搬送制御することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル製造工程における仕掛かりカセットに収納されている基板の搬送方法及び搬送装置に関するもので、更に詳細には液晶パネルを構成するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板を貼り合わせる場合に、各々の仕掛かりカセットに収納されている基板の搬送方法と搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１は液晶パネル製造フローの概略を示す図である。液晶パネルはアレイ基板とＣＦ基板とがそれぞれ別の製造工程で製造された後、次のパネル製造工程において貼り合わせ処理が行われる。パネル製造工程では、ＣＦ基板とアレイ基板は配向処理された後、液晶滴下及び貼り合わせが行われる。貼り合わせ後にパネルサイズに切断され、偏向板の取り付け等の後続処理が施され、液晶パネルが製造される。
【０００３】
図２はＣＦ基板及びアレイ基板を説明するための図で、ＣＦ基板及びアレイ基板は、マザーガラス１と呼ばれるガラス基板を素材とする。マザーガラス１はガラス材の裏表や、搬送装置、プロセス装置における搬送方向を識別するために、オリフラ２と呼ばれる面取り処理が施されている。マザーガラス１は最終的なディスプレイとなるセル３に分割されており、セル毎にカラーフィルタ、ＴＦＴのパターンが繰返し形成されている。図２ではセルが９個の場合を示している。又、ＣＦ基板及びアレイ基板には、合わせマーク４と呼ばれるマークがそれぞれ付けられており、これを用いてＣＦ基板とアレイ基板を位置精度良く貼り合わすことが出来る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２９５７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、ＣＦ基板やアレイ基板はマザーガラス１上にセル３のが分割されパターンが繰返し形成されているが、各基板の製造工程において、汚れ、ムラ、キズ等が発生して、製品規格外として管理されるセル（以下、不良セル）が存在する。
【０００６】
例えば図３に示すように、基板内に９つある繰り返しパターンのセルのうち、製品規格外として管理される不良セル３ａが存在する基板がある。パネル製造工程で貼り合わせを行うＣＦ基板とアレイ基板のいずれかに不良セル３ａが存在した場合、貼り合わされたセルは断裁処理後に不良パネルとなってしまう。
【０００７】
効率的に液晶ディスプレイを生産するためには、貼り合わせ処理を行うＣＦ基板とアレイ基板の双方に不良セルが存在する場合、それらが重なり合うようにＣＦ基板とアレイ基板を選択して処理されることが望ましい。それによって、ＣＦ基板及びアレイ基板における良品セルを無駄にすることなく活用することが出来る。
【０００８】
本発明は上記問題に鑑みて、液晶パネル製造工程の貼り合わせ処理を行う場合に、ＣＦ基板及びアレイ基板の良品セルを最大限に活用し、ディスプレイ生産効率を向上させる基板の搬送方法と搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送方法であって、
前記ＣＦ基板が複数のセル（ＣＦセル）に分割されており、他方、前記アレイ基板も複数のセル（アレイセル）に分割されており、これらＣＦセルとアレイセルとは互いに対応する位置関係に配置されていて、ＣＦ基板とアレイ基板とを貼り合わせたとき、互いに対応するＣＦセルとアレイセルとで前記表示装置を構成するものであり、
不良セルのある不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送して保管し、
不良セルのある不良ＣＦ基板を、アレイ基板バッファ中の全ての不良アレイ基板と対比し、
その不良ＣＦセルが前記不良アレイ基板の不良アレイセルと対応する場合には、これら不良ＣＦ基板と不良アレイ基板とを貼り合わせ装置に搬送し、
その不良アレイセルが前記不良ＣＦセルと対応しない場合には、この不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送して保管する、
ことを特徴とする搬送方法である。
【００１０】
請求項２に係る発明は、カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送方法であって、
前記ＣＦ基板が複数のセル（ＣＦセル）に分割されており、他方、前記アレイ基板も複数のセル（アレイセル）に分割されており、これらＣＦセルとアレイセルとは互いに対応する位置関係に配置されていて、ＣＦ基板とアレイ基板とを貼り合わせたとき、互いに対応するＣＦセルとアレイセルとで前記表示装置を構成するものであり、
不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送して保管し、
不良アレイセルのある不良アレイ基板を、ＣＦ基板バッファ中の全ての不良ＣＦ基板と対比し、
その不良アレイセルが前記不良ＣＦ基板の不良ＣＦセルと対応する場合には、これら不良アレイ基板と不良ＣＦ基板とを貼り合わせ装置に搬送し、
その不良ＣＦセルが前記不良アレイセルと対応しない場合には、この不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送して保管する、
ことを特徴とする搬送方法である。
【００１１】
請求項３に係る発明は、カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送装置であって、
ＣＦ基板カセット搬送装置、ＣＦ基板投入装置、ＣＦ基板バッファ、アレイ基板バッファ、第一の搬送手段、第一の制御手段を備えて構成され、
ＣＦ基板カセット搬送装置は、ＣＦ基板を収納したＣＦ基板カセットをＣＦ基板カセットを格納するストッカ設備からＣＦ基板投入装置に搬送する機能を有するものであり、
ＣＦ基板投入装置は、ＣＦ基板カセットを保管する機能を有するものであり、
ＣＦ基板バッファは、不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板を保管する機能を有するものであり、
アレイ基板バッファは、不良アレイセルのある不良アレイ基板を保管する機能を有するものであり、
第一の制御手段は、不良ＣＦ基板の前記不良ＣＦセルがアレイ基板バッファ中の不良アレイ基板の不良アレイセルと対応する場合には、これら不良ＣＦ基板と不良アレイ基板とを貼り合わせ装置に搬送するように搬送手段を制御する機能を有し、その不良ＣＦセルが前記不良アレイセルと対応しない場合には、この不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに搬送するように第一の搬送手段を制御する機能を有する、
ことを特徴とする搬送装置である。
【００１２】
請求項４に係る発明は、カラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とアレイ基板とを貼り合わせて表示装置を製造する貼り合わせ装置に対して前記ＣＦ基板とアレイ基板とを搬送する搬送装置であって、
アレイ基板カセット搬送装置、アレイ基板投入装置、アレイ基板バッファ、ＣＦ基板バッファ、第二の搬送手段、第二の制御手段を備えて構成され、
アレイ基板カセット搬送装置は、アレイ基板を収納したアレイ基板カセットをアレイ基板カセットを格納するストッカ設備からアレイ基板投入装置に搬送する機能を有するものであり、
アレイ基板投入装置は、アレイ基板又はアレイ基板を収納したアレイ基板カセットを保管する機能を有するものであり、
アレイ基板バッファは、不良アレイセルのある不良アレイ基板を保管する機能を有するものであり、
ＣＦ基板バッファは、不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板を保管する機能を有するものであり、
第二の制御手段は、不良アレイ基板の前記不良アレイセルがＣＦ基板バッファ中の不良ＣＦ基板の不良ＣＦセルと対応する場合には、これら不良アレイ基板と不良ＣＦ基板とを貼り合わせ装置に搬送するように搬送手段を制御する機能を有し、その不良アレイセルが前記不良ＣＦセルと対応しない場合には、この不良アレイ基板をアレイ基板バッファに搬送するように第二の搬送手段を制御する機能を有する、
ことを特徴とする搬送装置である。
【００１３】
請求項５に係る発明は、前記第一の搬送手段を制御する機能は、不良ＣＦ基板をＣＦ基板バッファに収納できない場合は、不良ＣＦ基板の貼り合わせ装置への搬送、不搬送を予め設定された条件に基づいて搬送制御することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置である。
【００１４】
請求項６に係る発明は、前記第二の搬送手段を制御する機能は、不良アレイ基板をアレイ基板バッファに収納できない場合は、不良アレイ基板の貼り合わせ装置への搬送、不搬送を予め設定された条件に基づいて搬送制御することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置である。
【発明の効果】
【００１５】
液晶パネル製造工程で、ＣＦ基板とアレイ基板を貼り合わせる場合に、各々の基板の不良セルがなるべく対応するように（不良セルが重なり合うように）貼り合わせることで、液晶パネルを効率よく生産することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】液晶パネル製造フローの概略を示す図。
【図２】ＣＦ基板及びアレイ基板を説明するための図。
【図３】基板内に９つある繰り返しパターンのセルのうち、不良セルが存在する基板を示す図。
【図４】本発明の仕掛かりカセットと基板の搬送システムが適用されるＣＦ基板とアレイ基板の貼り合わせラインの概要を示す図。
【図５】本発明の実施環境例を示す図。
【図６】本発明に係るストッカ設備管理システム、工程管理システム、各装置のデータの送受信を説明するための図。
【図７】本発明に係る搬送方法が適用される搬送システムに用いられる基板の一例を示す図。（ａ）はＣＦ基板を示す。（ｂ）はアレイ基板を示す。
【図８】本発明の搬送方法が適用される搬送システムの概略構成を示す図。
【図９】ＣＦ基板（又はアレイ基板）の一例を示す図。
【図１０】基板の貼り合わせパターン例を示す図。（ａ）は不良セルと良品セルとが貼り合わされてしまう（パターン１）場合を示す。（ｂ）は不良セル同士が貼り合わされる（パターン２）の場合を示す。
【図１１】図１０（ａ）に示す基板の貼り合わせ解析手段を説明するための図。（ａ）は図１０（ａ）のＣＦ基板の「不良セル情報」を示す。（ｂ）は図１０（ａ）のアレイ基板の「不良セル情報」を反転させた「反転不良セル情報」を示す。（ｃ）は上記ＣＦ基板の「不良セル情報」と上記「反転不良セル情報」を和算した結果を示す。
【図１２】図１０（ｂ）に示す基板の貼り合わせ解析手段を説明するための図。（ａ）は図１０（ｂ）のＣＦ基板の「不良セル情報」を示す。（ｂ）は図１０（ｂ）のアレイ基板の「不良セル情報」を反転させた「反転不良セル情報」を示す。（ｃ）は上記ＣＦ基板の「不良セル情報」と上記「反転不良セル情報」を和算した結果を示す。
【図１３】本発明に係る貼り合わせ解析フローを示す図。
【図１４】本発明による搬送方法よってカセットと基板の搬送行うフローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の搬送方法及び搬送装置を実施するための形態を説明する。
【００１８】
図４は本発明の搬送方法が適用されるＣＦ基板とアレイ基板の貼り合わせラインの概要を示す図である。貼り合わせラインでは、搬送システム１１によって基板が次に示すように搬送される。ＣＦ基板を収納するカセット（ＣＦ基板カセット）を格納するストッカ設備１００からＣＦ基板カセットは、ＣＦ基板カセット搬送装置１０ａによってＣＦ基板投入装置５ａへ搬送される。ＣＦ基板投入装置５ａはＣＦ基板カセットを保管する。ＣＦ基板カセットのＣＦ基板は第一の搬送手段であるロボット７ａを制御する第一の制御手段によって、矢印１１０ａ、１１１ａで示すように、貼り合わせ装置８や不良セルを含むＣＦ基板を一時的に取り置きするＣＦ基板バッファ９ａに搬送制御される。
【００１９】
同様に、貼り合わせラインでは、アレイ基板を収納するカセット（アレイ基板カセット）を格納するストッカ設備１００からアレイ基板カセットは、アレイ基板カセット搬送装置１０ｂによってアレイ基板投入装置５ｂへ搬送される。アレイ基板投入装置５ｂはアレイ基板カセットを保管する。アレイ基板カセットのアレイ基板は第二の搬送手段であるロボット７ｂを制御する第二の制御手段によって、矢印１１０ｂ、１１１ｂで示すように、貼り合わせ装置８や不良セルを含むアレイ基板を一時的に取り置きするアレイ基板バッファ９ｂに搬送制御される。ロボット７は第一の搬送手段であるロボット７ａと第二の搬送手段であるロボット７ｂで構成されても良い。又、ＣＦ基板カセット搬送装置１０ａとアレイ基板カセット搬送装置１０ｂは一つのカセット搬送装置であっても良い。更に、ロボット７は、コンピュータに備えられた、第一の制御手段である制御手段と第二の制御手段である制御プログラムによって制御される。
【００２０】
図５は本発明の搬送方法が適用される実施環境例の一例を示す図である。貼り合わせ装置や各装置（ＣＦ製造ライン及びアレイ製造ライン、パネル製造ライン等に配置されている装置）は、ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）を備え、これにより自らの動作制御を行うとともに、ストッカ設備管理システムや工程管
理システムと、ＴＣＰ／ＩＰやＵＤＰ／ＩＰといった通信規格によりデータ送受信を行う。
【００２１】
図６は上記ストッカ設備管理システム、工程管理システム、各装置のデータの送受信を説明するための図である。
【００２２】
ストッカ設備管理システムは、以下の機能を有している。
（１）ストッカ設備（ＣＦ基板やアレイ基板を収納するカセットを格納する設備）を制御をする。
（２）ストッカに存在する各カセットの搬送や、後で述べる工程管理システムからカセットの搬送指示を受信し、その搬送指示に基づいて行き先を決定し搬送する。
（３）ストッカに存在する各カセットの在庫情報、及び搬送状況の管理を行う。
【００２３】
工程管理システムは、以下の機能を有している。
（１）生産基板（ＣＦ基板及びアレイ基板）における製造品種、生産ロット情報の管理を行う。
（２）生産基板における工程進捗情報の管理を行う。
（３）生産基板におけるセル情報（良品セル又は不良セル）の管理を行う。
（４）生産基板が格納されているカセットの所在、搬送状況の管理を行う。
以上は、各装置からの処理実績の報告に基づいて管理するものである。
（５）ストッカ設備管理システムへのカセットへの搬送指示を行う。
【００２４】
上記ストッカ設備管理システム及び工程管理システムは、互いに管理する情報をネットワークを介して信号の受信、送信を行うことにより、各装置に動作指示を与える。更に自らその履歴をデータとしてデータベース（以下、ＤＢ）に保持する機能を備えている。
【００２５】
又、全ての基板には、マザーガラス毎に識別するためのユニークなＩＤ（以下、基板ＩＤ）が印字されており、工程管理システムは基板ＩＤ毎に、製造品種、生産ロット、工程進捗情報、セル情報等を紐付けて管理している。
【００２６】
各装置は、生産基板のトラッキング管理を行う。トラッキング管理とは、装置が各ポジションに存在する基板を、基板ＩＤをもとに管理することであって、これらの情報は、ラインに基板が投入された段階で、基板投入装置が工程管理システムから受信し、装置間、あるいは装置内のポジション変化に従い、ＰＬＣによりトラッキング管理される。又、トラッキングされる情報には、基板ＩＤの他に、工程管理システムが基板ＩＤに紐付けて管理する情報のなかでも、装置が処理を行う上で参考にする情報を付与する場合がある（以下、これらの情報を「参考情報」と呼ぶ）。
【００２７】
図７は本発明の搬送方法が適用されるＣＦ基板（図７（ａ））とアレイ基板（図７（ｂ））の一例を示す図である。図７に示すＣＦ基板とアレイ基板の場合は、９個（１〜９番）の複数の面付けに配置されたセルで構成され、その表面が配向処理された後に、ＣＦ基板の３番のセルとアレイ基板の１番のセル（以下同様にＣＦ基板の２番のセルとアレイ基板の２番のセル、・・・）とが重なるように貼り合わされる。
【００２８】
図８は本発明の搬送方法が適用される搬送システムの概略構成を示す図である。図８の搬送システムを示す図と図４の貼り合わせラインの概要図を用いて搬送方法を説明する。搬送システム１１は、ストッカ設備１００に格納されているＣＦ基板カセットの中から貼り合わせ装置８に投入待ちとなっているカセットを探索し、更にＣＦ基板カセット内に不良セル（製品規格外のセルを指す。以下、同じ）を含む基板の存在を判定する不良ＣＦセル基板存在判定手段１２ａと、ストッカ設備１００に格納されているアレイ基板カセット
の中から貼り合わせ装置８に投入待ちとなっているカセットを探索し、更にアレイ基板カセット内に不良セルを含む基板の存在を判定する不良アレイセル基板存在判定手段１２ｂと、によって、先ず、前記不良ＣＦセル基板存在判定手段１２ａによってカセット内に不良ＣＦ基板が存在しないと判断された場合には、ＣＦ基板カセット搬送指示出力手段１３ａによって、カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するように指示を出力する。ＣＦ基板カセットはＣＦ基板カセット搬送装置１０ａによってＣＦ基板投入装置５ａへ搬送される。同様に前記不良アレイセル基板存在判定手段１２ｂによって不良アレイ基板が存在しないと判断された場合には、アレイ基板カセット搬送指示出力手段１３ｂによって、カセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するように指示を出力する。アレイ基板カセットはアレイ基板カセット搬送装置１０ｂによってＣＦ基板投入装置５ｂへ搬送される。
【００２９】
一方、不良ＣＦセル基板存在判定手段１２ａによってカセット内に不良ＣＦ基板が存在すると判断された場合には、これと貼り合わせ対象になる不良アレイ基板を一時的に取り置きするバッファ（アレイ基板バッファ）９ｂ内に不良基板の存在を判定するバッファ内のアレイ不良基板の存在を判定しする手段（不良アレイ基板存在判定手段）２０ｂと、
アレイ不良セル基板存在判定手段１２ｂによってカセット内に不良アレイ基板が存在すると判断された場合に、これと貼り合わせ対象になる不良ＣＦ基板を一時的に取り置きするバッファ（ＣＦ基板バッファ）９ａ内に不良ＣＦ基板の存在を判定するバッファ内のＣＦ不良セル基板の存在を判定する手段（不良ＣＦ基板存在判定手段）２０ａと、によって、
先ず、前記不良ＣＦセル基板存在判定手段１２ａによってカセット内に不良ＣＦセルのある不良ＣＦ基板が存在すると判断され、更に不良アレイ基板存在判定手段２０ｂによってアレイ基板バッファ９ｂに不良アレイ基板が存在すると判定された場合に、前記第一の貼り合わせ解析手段１４ａによって前記ＣＦ不良セル基板とアレイ基板バッファ９ｂに一時取り置きされている全ての不良アレイ基板との貼り合わせ結果を解析する。同様に、前記不良アレイセル基板存在判定手段１２ｂによってカセット内に不良アレイセルのある不良アレイ基板が存在すると判断され、更に不良ＣＦ基板存在判定手段２０ａによってＣＦ基板バッファ９ａに不良ＣＦ基板が存在すると判定された場合に、第二の貼り合わせ解析手段１４ｂによって、不良アレイセルのある不良アレイ基板とＣＦ基板バッファ９ａに一時取り置きされている全ての不良ＣＦ基板との貼り合わせ結果を解析する。
【００３０】
前記第一の貼り合わせ解析手段１４ａによって、ＣＦ不良セル基板と不良アレイ基板の不良セルの重なる位置が一致したと解析された場合には、ＣＦ基板収納カセット搬送指示出力手段１３ａは、前記不良セルを含むＣＦ不良基板を収納しているＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するよう指示する。同様に前記第二の貼り合わせ解析手段１４ｂによって、不良アレイセル基板と不良ＣＦ基板の不良セルの重なる位置が一致したと解析された場合には、アレイ基板収納カセット搬送指示出力手段１３ｂは、前記不良セルを含むアレイ基板を収納しているアレイ基板カセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するように指示する。
【００３１】
前記第一の貼り合わせ解析手段によって、不良ＣＦセル基板と不良アレイ基板の不良セルの重なる位置が一致しないと解析された場合には、ＣＦ基板カセット搬送判断手段１６ａは、前記不良セルを含むＣＦ基板を収納しているＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入部５ａへ搬送するか否かを判断する。同様に前記第二の貼り合わせ解析手段によって、アレイ不良セル基板と不良ＣＦ基板の不良セルの重なる位置が一致しないと解析された場合には、アレイ基板カセット搬送判断手段１６ｂは、前記不良セルを含むアレイ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するか否かを判断する。
【００３２】
前記ＣＦ基板カセット搬送判断手段１６ａによって、不良セルを含む不良ＣＦ基板を収
納しているカセットをＣＦ基板投入装置５ａへ搬送すると判断された場合には、ＣＦ基板カセット搬送指示手段１３ａは、ＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するように指示する。同様に前記アレイ基板カセット搬送判断手段１６ｂによって、不良セルを含むアレイ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送すると判断された場合には、アレイ基板カセット搬送指示手段１３ｂは、アレイ基板カセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するように指示する。
【００３３】
前記ＣＦ基板カセット搬送判断手段１６ａによってストッカ設備１００からカセットの搬送をしないと判断した場合であっても、ＣＦ基板を貼り合わせ装置へ投入するか否かを予め設定するＣＦ基板投入設定手段１８ａと、前記アレイ基板カセット搬送判断手段１６ｂによってストッカ設備１００からカセットの搬送をしないと判断した場合であっても、アレイ基板を貼り合わせ装置へ投入するか否かを予め設定するアレイ基板投入設定手段１８ｂと、によって、先ず、前記ＣＦ基板投入設定手段１８ａによってＣＦ基板を貼り合わせ装置へ投入すると設定されていた場合には、ＣＦ基板カセット搬送指示手段１３ａは、ＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するよう指示する。同様に、前記アレイ基板投入設定手段１８ｂによってアレイ基板を貼り合わせ装置へ投入すると設定されていた場合には、アレイ基板カセット搬送指示手段１３ｂは、アレイ基板カセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するように指示する。
【００３４】
上記各手段はコンピュータに備えられたプログラム（以下、手段をプログラムと記す）によって達成される。
【００３５】
不良ＣＦセル基板存在判定プログラム１２ａ及び不良アレイセル基板存在判定プログラム１２ｂは、ストッカ設備１００に格納されているカセットの中から貼り合わせ装置８に投入待ちとなっているカセットを探索し、カセット内に不良セルを含む基板の存在を判定するもので、各装置から得られた不良情報（特に検査機から得られた欠陥情報）に基づいて不良ＣＦセル及び不良アレイセルを含む基板の存在を判定する。
【００３６】
不良ＣＦセル基板存在判定プログラム１２ａによってカセット内に不良セルを含む基板が存在しないと判断された場合には、そのカセットに収納されている基板は全て貼り合せを行うことが出来る基板であるので、ＣＦ基板を収納しているカセットはＣＦ基板カセット搬送装置１０ａによってＣＦ基板投入装置５ａへ搬送される。
【００３７】
同様に不良アレイセル基板存在判定プログラム１２ｂによってカセット内に不良セルを含む基板が存在しないと判断された場合には、そのカセットに収納されている基板は全て貼り合せを行うことが出来る基板であるので、アレイ基板を収納しているカセットはアレイ基板カセット搬送装置１０ｂによってアレイ基板投入装置５ｂへ搬送される。
【００３８】
前記ＣＦ基板カセット搬送装置１０ａとアレイ基板カセット搬送装置１０ｂは同一の搬送装置であっても良い。
【００３９】
上記ＣＦ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ａによってＣＦ基板カセットをＣＦ基板投入装置５ａへ搬送する指示と、アレイ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ｂによってアレイ基板カセットをアレイ基板投入装置５ｂへ搬送する指示はストッカ設備１００に出力される。
【００４０】
上記第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａ及び第二の貼り合わせ解析プログラム１４ｂによって貼り合わせ結果を解析する方法を図９を用いて説明する。図９はＣＦ基板（又
はアレイ基板）の一例であって例えばオリフラ２１を基準にマザーガラスの長辺側をＸ軸、短辺側をＹ軸とし、セル番地を発番する（図９の例では、‘１’、‘２’、‘３’などがセル番地にあたる）。更に各セル番地（図９の場合は‘１’〜‘９’まである）の順に、不良セルの場合を「０」、良品セルの場合を「１」と定義する。それらを列挙した文字列でその基板の不良の存在する番地を示すことが出来る。これを「不良セル情報」と呼び、「不良セル情報」に基づいて上記不良セルの重なりを解析することが出来る。図９の場合はセル番地‘６’のセルが不良セルであることを示しており、この基板「不良セル情報」を管理するデータベースの一例を表１に示す。
【００４１】
【表１】
2013200353.tif 000003
【００４２】
表１に示す「不良セル情報」を管理するデータベースでは、基板の固有なＩＤを情報である基板ＩＤ情報と、ＣＦ基板かアレイ基板かの区分を示す基板区分情報と、セル数を示すセル数情報と、上記「不良セル情報」を含んでいる。表１の「不良セル情報」は、１１１／１１０／１１１であるのでセル番地‘６’のセルが不良セル（「０」）であることを示している。
【００４３】
ＣＦ基板とアレイ基板は、パネル製造工程において、互いの配向処理面を向かい合わせて貼り合わせ処理される。図１０に基板の貼り合わせパターン例を記す。図１０（ａ）の場合は、基板２２（例えばＣＦ基板）の「セル番地６」、又基板２３（例えばアレイ基板）の「セル番地６」が不良セルの場合、それらの基板を貼り合わせした際は、不良セルと良品セルとが貼り合わされてしまい（パターン１）、この場合には計２つのセルが、切断処理後に不良品となる。
【００４４】
これに対して図１０（ｂ）に示す場合は、基板の２４の「セル番地４」と基板２５の「セル番地６」が不良セルの場合、不良セル同士が貼り合わされ（パターン２）、切断処理後に不良品となるのは１つのセルに限られ、良品セルの無駄を少なくすることが出来る。
【００４５】
このようにＣＦ基板と、アレイ基板の貼り合わせ結果を解析する第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａ及び第二の貼り合わせ解析プログラム１４ｂを説明する。
【００４６】
本発明に係る工程管理システムは、自システムで管理する表１に示す「不良セル情報」に基づいて、不良セルの貼り合わせ結果を解析する。例えば上記図１０（ａ）のＣＦ基板２２の「不良セル情報」を図１１（ａ）に示す。ＣＦ基板の２２の「不良セル情報」は「１１１／１１０／１１１」（マザーガラスに９セル存在し、その内セル番地６が不良セル）の場合を示し、図１０（ａ）のアレイ基板２３の「不良セル情報」が「１１１／１１０／１１１」（マザーガラスに９セル存在し、その内セル番地６が不良セル）の場合を示し、図１１（ｂ）に基板貼り合せ結果を示す。
【００４７】
図１１（ａ）に示すＣＦ基板２２のセル番地「１」とアレイ基板のセル番地「３」が貼り合わせされるため、例えば図１１（ｂ）に示すアレイ基板２３の「不良セル情報」をデータを区切り文字 “／”単位で（Ｘ軸方向の行単位で）反転させた後、和算する。即ち、図１１（ｂ）に示すアレイ基板の「不良セル情報」が「１１１／１１０／１１１」の場合、Ｘ軸方向の行単位で反転処理して「１１１／０１１／１１１」とし（これを「反転不良セル情報」と呼ぶ）、次に図１１（ａ）に示すＣＦ基板の「不良セル情報」と図１１（ｂ）に示す反転させたアレイ基板の「反転不良セル情報」を和算して図１１（ｃ）に示す「和算不良セル情報」「２２２／１２１／２２２」（これを「和算不良セル情報」と呼ぶ）を得る。この場合の「和算不良セル情報」「２２２／１２１／２２２」では「２」は良品セルの貼り合わせ、「１」は良品と不良セルの貼り合わせ結果を示している。
【００４８】
一方、図１２は図１０（ｂ）に示すＣＦ基板２４とアレイ基板２５を貼り合わせた場合の「和算不良セル情報」を求めた場合を示している。図１２（ａ）はＣＦ基板２４の「不良セル情報」である「１１１／０１１／１１１」を示し、図１２（ｂ）はアレイ基板２５の「不良セル情報」である「１１１／１１０／１１１」をＸ軸方向の行単位で反転処理して「１１１／０１１／１１１」を「反転不良セル情報」とし、次に図１２（ａ）に示すＣＦ基板の「不良セル情報」と図１２（ｂ）に示す反転させたアレイ基板の「反転不良セル情報」を和算して図１２（ｃ）に示す「和算不良セル情報」「２２２／０２２／２２２」を得る。この場合の、「２」は良品セルの貼り合わせ、「０」は不良セルの貼り合わせ結果を示しおり、良品と不良セルの貼り合わせを示す「１」は生ずることはなく、良品セルの無駄は発生しない。
【００４９】
上記説明では、アレイ基板の「不良セル情報」を反転処理したが、ＣＦ基板の「不良セル情報」を反転処理し、アレイ基板の「不良セル情報」と和算しても良い。
【００５０】
上記のように和算した結果、各セルにおける算出結果が「２」の場合は、良品セル同士の貼り合わせとなる。「１」の場合は、良品セルと不良セルの貼り合わせとなる。又、「０」の場合は、不良セル同士の貼り合わせとなる。
【００５１】
上記説明では、不良セルが１個の場合を例示したが、例えば一方の基板に不良セルが２個、他の一方の基板に不良セルが１個の場合には、良品セルと不良セルの貼り合わせと不良セルと不良セルの貼り合わせの組み合わせが生じてしまう。このような場合は、不良セルが１個の場合の基板と貼り合わせるのではなく、２個の不良セルと２個の不良セルの貼り合わせになるように、バッファ内の基板すべての不良セル基板と貼り合わせ解析をすることが望ましい。しかしその結果、良品セルと不良セルの貼り合わせになってしまう場合には、（不良セルと不良セルの組み合わせ数）−（良品セルと不良セルの組み合わせ数）が最大となる基板同士の組み合わせとなるようにすることが望ましい。
【００５２】
図１３に上記貼り合わせ解析フローを示す。図１３はアレイ基板の「不良セル情報」を反転処理する場合の第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａのフローである。先ず貼り合せ装置へ投入予定のＣＦ基板の「不良セル情報」を取得し（Ｆ１）、次にアレイ基板の「不良セル情報」を反転処理し（Ｆ２）、上記ＣＦ基板の「不良セル情報」と反転処理したアレイ基板の「反転不良セル情報」を和算する（Ｆ３）。
【００５３】
上記第一の貼り合わせ解析手段１４ａによって、「和算不良セル情報」が不良セル同士の貼り合わせとなる「０」を含む場合には、不良セルを含むＣＦ基板をアレイ不良セル基板のバッファ９ｂに一時取り置きしているアレイ基板と貼り合わせすることが出来るため、不良セルを含むＣＦ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するようにＣＦ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ａによって指示を出す。
【００５４】
同様に上記前記第二の貼り合わせ解析手段１４ｂによって、「和算不良セル情報」が不良セル同士の貼り合わせとなる「０」を含む場合には、不良セルを含むアレイ基板をカラーフィルた不良セル基板のバッファ９ａに一時取り置きしているＣＦ基板と貼り合わせすることが出来るため、不良セルを含むアレイ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入装置５ｂへ搬送するようにアレイ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ｂによって指示を出す。
【００５５】
上記第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａによって、不良セルの位置が一致しない場合、即ち「和算不良セル情報」が不良セル同士の貼り合わせとなる「０」を含まない場合には、ＣＦ基板とアレイ基板を貼り合わせることによって良品セルが無駄になってしまう
。しかしながら不良セルの貼り合わせ位置が一致しない場合にＣＦ基板を貼り合わせ装置に投入しないままであった場合には、不良セルの位置が一致するＣＦの基板が存在するまで貼り合わせは停止してしまう。このような場合には、不良セルを含むＣＦ基板を一時的に取り置きするＣＦ不良セル基板のバッファ９ａに取り置きすることを前提とする。その際、ＣＦ不良セル基板のバッファ９ａの空段数（基板が収納可能な段数）を考慮して全ての基板が収納可能か否かを判断するＣＦ基板カセット搬送判断プログラム１６ａによって、不良セルを含むＣＦ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入部５ａへ搬送するか否かを判断する。このＣＦ基板カセット搬送判断プログラム１６ａによって収納可能であると判断した場合には、不良セルを含むＣＦ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入部５ａへ搬送するように、ＣＦ基板カセット搬送指示プログラム１３ａによって搬送の指示が行われる。
【００５６】
同様に、上記第二の貼り合わせ解析プログラム１４ｂによって、不良セルの位置が一致しない場合、不良セルを含むアレイ基板を一時的に取り置きするアレイ不良セル基板のバッファ９ｂに収納可能か否かを判断するアレイ基板カセット搬送判断プログラム１６ｂによって、不良セルを含むアレイ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入部５ｂへ搬送するか否かを判断する。このアレイ基板カセット搬送判断プログラム１６ｂによって収納可能であると判断した場合には、不良セルを含むアレイ基板を収納しているカセットをストッカ設備１００からアレイ基板投入部５ａへ搬送するように、アレイ基板カセット搬送指示プログラム１３ｂによって搬送の指示が行われる。
【００５７】
一方、上記第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａによって、不良セルの位置が一致しない場合でしかも、ＣＦ基板カセット搬送判断プログラム１６ａによってＣＦ不良セル基板のバッファ９ａに収納不可能で前記ＣＦ基板カセット搬送判断手段１６ａによってストッカ設備１００からカセットの搬送をしないと判断した場合には、その後の貼り合わせ装置への基板の投入は停止してしまうので、ＣＦ基板を貼り合わせ装置に投入を行うか否かを予め設定するＣＦ基板投入設定プログラム１８ａが用意されている。ＣＦ基板投入設定プログラム１８ａは、例えば、ＣＦ基板の投入継続を行う（ＯＮ）か、行わない（ＯＦＦ）かが予め設定されている。
【００５８】
同様に上記第二の貼り合わせ解析プログラム１４ｂによって、不良セルの位置が一致しない場合で、しかもアレイ基板カセット搬送判断プログラム１６ｂによってアレイ不良セル基板のバッファ９ｂに収納不可能で前記アレイ基板カセット搬送判断手段１６ｂによってストッカ設備１００からカセットの搬送をしないと判断した場合には、その後の貼り合わせ装置への基板の投入は停止してしまうので、アレイ基板を貼り合わせ装置に投入を行うか否かを予め設定するアレイ基板投入設定プログラム１８ｂが用意されている。アレイ基板投入設定プログラム１８ｂは、例えば、アレイ基板の投入継続を行う（ＯＮ）か、行わない（ＯＦＦ）かが予め設定されている。
【００５９】
ＣＦ基板投入設定プログラム１８ａによってＣＦ基板を貼り合わせ装置に投入すると設定されていた場合には、第四のＣＦ基板カセット搬送指示プログラム１９ａによって、ＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板カセット部５ａに搬送するように搬送指示される。ＣＦ基板カセット部５ａにカセットが搬送された後、ＣＦ基板は貼り合わせ装置８に投入、搬送される。
【００６０】
同様に、アレイ基板投入設定プログラム１８ｂによってアレイ基板を貼り合わせ装置に投入すると設定されていた場合には、第四のアレイ基板カセット搬送指示プログラム１９ｂによって、ストッカ設備１００からアレイ基板カセット部５ｂに搬送するように搬送指示される。アレイ基板カセット部５ｂにカセットが搬送された後、アレイ基板は貼り合わせ装置８に投入、搬送される。ＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からアレイ基板カ
セットを搬送指示する。
【００６１】
図１４は本発明による搬送方法よってカセットと基板の搬送行うフローを示す図である。図１４と図８のシステムの概略構成図を用いてＣＦ基板の仕掛りカセットとＣＦ基板の搬送を行う場合を例としてフローを説明する。
【００６２】
工程管理システムは、自システムで管理する貼り合せ装置に投入待ちとなっているカセットを検索し（Ｓ１）、貼り合せ装置８への投入待ちカセットの中で、不良セルを含む基板を格納しているカセットを不良ＣＦセル基板存在判定プログラム１２ａによって判別する。不良セルを含む基板がカセットに存在しない場合（Ｓ２のＮＯ）、ＣＦ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ａによって、前記カセットを貼り合せ装置基板投入部５ａへ搬送するよう指示する（Ｓ３）。基板投入部５ａに到着したカセットは、貼り合せ装置８に順次投入、搬送され（Ｓ４）、貼り合わせ処理が行われる。
【００６３】
工程管理システムは、不良セルを含む基板が仕掛りカセットに存在する場合（Ｓ２のＹＥＳ）、アレイ不良セル基板が一時取り置きされているアレイ基板バッファ９ｂに不良セルを含む「貼り合わせ対象基板」が存在するかを不良アレイ基板存在判定プログラム２０ｂによって判定する（アレイ基板収納カセットの場合は、不良ＣＦ基板がＣＦバッファ９ａに存在するかを不良ＣＦ基板存在判定プログラム２０ａによって判定する）（Ｓ５）。
【００６４】
アレイ基板バッファ９ｂに不良セルを含む貼り合わせ対象基板が存在する場合（Ｓ５のＹＥＳ）、工程管理システムは第一の貼り合わせ解析プログラム１４ａによって、ＣＦ基板とアレイ基板バッファ９ｂに取り置かれた基板との貼り合わせ解析処理を行い、貼り合わせ結果を解析する（Ｓ６）。この場合のステップ（Ｓ６）における解析処理において和算結果に「０」が存在する場合（即ち、不良セルが互いに対応する（重なり位置が一致した））場合、貼り合わせを行うことが出来るので、ＣＦ基板収納カセット搬送指示出力プログラム１３ａによって不良セルを含むＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するように指示を出し（Ｓ８）、搬送されたカセットの基板はその後ロボットによって貼り合わせ装置８に搬送される（Ｓ９）。
【００６５】
この場合、アレイ基板バッファ９ｂに収納されている基板と不良セルが一致する基板については、基板投入時点で「バッファ取り置き基板の回収指示」を参考情報として付与する。「バッファ取り置き基板回収指示」付き基板が貼り合わせ装置８に到着した場合、その基板と不良セルが一致する基板をアレイ基板バッファ９ｂに収納されている基板から特定するため、貼り合わせ装置８は貼り合わせ装置に到着した基板ＩＤをもとに、工程管理システムへ問合せを行う。工程管理システムは問合せされた基板ＩＤにマッチングする基板ＩＤとその基板が存在するアレイ基板バッファ９ｂの収納段数を貼り合わせ装置８に返答する（これらの情報を工程管理システムはカセット搬送を決定する時点で、ＤＢ管理しておく）。返答された基板は貼り合わせ装置８へ搬送され、貼り合わせ処理が行われる。
【００６６】
和算結果に「０」が存在しない場合（即ち、不良セルと不良セルの貼り合わせにならない場合）、工程管理システムは該当する不良セルを含む基板をバッファ内に取り置きすることを前提にする。その際、バッファの空段数を考慮し、全ての基板をバッファ収納可能か否か、を判断する（Ｓ７）。
【００６７】
バッファ内に取置きされている基板とマッチングしない（不良セルと不良セルの貼り合わせにならない）と判断された場合（Ｓ７のＮＯ）、不良セルを有する基板が全てバッファ収納可能か否かをＣＦ基板カセット搬送判断プログラム１６ａによって判断し、不良セルを有する基板が全てバッファ収納可能な場合（Ｓ１０のＹＥＳ）、工程管理システムはＣＦ基板カセットをストッカ設備１００からＣＦ基板投入装置５ａへ搬送するように第三のＣＦ基板搬送指示プログラム１７ａによって搬送指示を出し（Ｓ１１）、搬送されたカセットから不良セルを含まない基板は貼り合わせ装置８に搬送され、不良セルを含む基板はＣＦ基板が一時取り置きされるＣＦ基板バッファ９ａに搬送される（Ｓ１２）。バッファ収納基板とマッチングしない不良セルが存在する基板を投入する時には、基板投入時点で、工程管理システムが「バッファ取り置き指示」を上記不良セルが存在する基板に参考情報として付与し、「バッファ取り置き指示」が付属された基板をバッファ内に一時取り置きする。又、この場合、ＣＦ基板バッファ９ａの収納上限枚数を任意の数Ｎ（実際に収納出来る上限枚数よりも少ない数を指す）に決定し、取り置きした場合の基板の総数Ｘが０≦Ｎ≦Ｘとなる場合には、後で述べるステップ１３に移行する。これはＣＦ基板バッファ９ａの収納空き段数に余裕がある場合でもバッファに一時取り置きをしないことを意味する。
【００６８】
一方、不良セルを有する基板を全てバッファに収納できない場合（Ｓ１０のＮＯ）、次にＣＦ基板投入設定プログラム１８ａによって設定された、投入継続を行う（ＯＮ）か行わない（ＯＦＦ）かの設定によって、投入継続（ＯＮ）の場合には（Ｓ１３のＹＥＳ）、工程管理システムはＣＦ基板搬送指示プログラム１３ａによって搬送指示を出し（Ｓ１４）、搬送されたカセットのＣＦ基板はその後、不良セルを含まない基板と不良セルを含む基板の両方が貼り合わせ装置８に搬送される（Ｓ１５）。又、投入継続（ＯＦＦ）の場合には（Ｓ１３のＮＯ）、ステップ（Ｓ１）に移行し、対象カセットの検索を行う。
【００６９】
これらの事前設定は、例えば、検索対象のカセットにおいて、マッチングしない基板の総数が一定数を超えた場合など、運用状況に合わせたパラメーターを処理フローの一部に導入して構わない。
【００７０】
上記搬送フローは、仕掛り中のＣＦ基板カセットと基板の場合を例示したが、仕掛り中のアレイ基板カセットと基板の場合は、ＣＦとアレイを読み替えれば良い。
【００７１】
このようにして、本発明による搬送方法と搬送装置によれば、液晶ディスプレイ製造工程においてＣＦ基板とアレイ基板を貼り合わせる場合に、各基板の不良セルが重なるように基板を選択することが出来、その結果良品セルの無駄を抑制することが可能となり、又、製造効率を向上することが出来る。
【符号の説明】
【００７２】
１・・・マザーガラス
２・・・オリフラ
３・・・セル
４・・・合わせマーク
３ａ・・・不良セル
８・・・貼り合わせ装置
５ａ・・・ＣＦ基板投入装置
５ｂ・・・アレイ基板投入装置
６・・・基板搬出部
７・・・ロボット
７ａ、７ｂ・・・ロボット
９ａ・・・ＣＦ基板バッファ
９ｂ・・・アレイ基板バッファ
１０ａ・・・ＣＦ基板カセット搬送装置
１０ｂ・・・アレイ基板カセット搬送装置
１１・・・搬送システム
１２ａ・・・不良ＣＦ基板存在判定手段
１２ｂ・・・不良アレイ基板存在判定手段
１３ａ・・・ＣＦ基板収納カセット搬送指示出力手段
１３ｂ・・・アレイ基板収納カセット搬送指示出力手段
１４ａ・・・第一の貼り合わせ解析手段
１４ｂ・・・第二の貼り合わせ解析手段
１６ａ・・・ＣＦ基板カセット搬送判断手段
１６ｂ・・・アレイ基板カセット搬送判断手段
１８ｂ・・・アレイ基板投入設定手段
１８ａ・・・ＣＦ基板投入設定手段
２０ｂ・・・バッファ内のアレイ不良セル基板存在判定手段
２０ａ・・・バッファ内のＣＦ不良セル基板存在判定手段
２２・・・基板（例えばＣＦ基板）
２３・・・基板（例えばアレイ基板）
２４・・・基板
２５・・・基板
１００・・・ストッカ設備
１１０ａ、１１０ｂ、１１１ａ、１１１ｂ・・・基板の搬送方向を示す矢印
【図６】
2013200353.tif 000004
【図７】
2013200353.tif 000005
【図８】
2013200353.tif 000006
【図９】
2013200353.tif 000007
【図１０】
2013200353.tif 000008
【図１３】
2013200353.tif 000009
【図１４】
2013200353.tif 000010
【図１】
2013200353.tif 000011
【図２】
2013200353.tif 000012
【図３】
2013200353.tif 000013
【図４】
2013200353.tif 000014
【図５】
2013200353.tif 000015
【図１１】
2013200353.tif 000016
【図１２】
2013200353.tif 000017