(57)【要約】【課題】  簡易的にサンプルの再検査を行うことが可能なサンプル検査装置及びサンプル検査方法を提供する。【解決手段】  サンプル検査装置１は、載置されたサンプルＳを循環的に搬送する搬送部２と、搬送部２によって搬送されるサンプルＳを検査する検査部３１〜３３と、サンプルＳを搬送部２に搬入して載置するとともに検査部３１〜３３によって検査されたサンプルＳを搬送部２から搬出する搬入出部４と、検査部３１〜３３から得られる検査結果に基づいて搬入出部４を制御する制御部８と、を備える。制御部８は、搬入出部４を制御して、検査部３１〜３３から得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たすサンプルＳを搬送部２に留めることで、検査部３１〜３３に当該サンプルＳをさらに検査させる。【選択図】  図１
2013238526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部と、
前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査部と、
前記サンプルを前記搬送部に搬入して載置するとともに、前記検査部によって検査された前記サンプルを前記搬送部から搬出する搬入出部と、
前記検査部から得られる検査結果に基づいて前記搬入出部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記検査部から得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルを前記搬送部に留めることで、前記検査部に当該サンプルをさらに検査させることを特徴とするサンプル検査装置。
【請求項２】
前記再検査条件が、前記検査部による前記サンプルの検査回数が所定回数よりも少ないこと、であることを特徴とする請求項１に記載のサンプル検査装置。
【請求項３】
前記検査部は、前記サンプルに対して複数の項目の検査を行うものであり、
前記再検査条件が、前記検査部から得られる検査結果において所定の項目が不良であること、であることを特徴とする請求項１または２に記載のサンプル検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記搬送部に留める前記サンプルを載置し直すことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のサンプル検査装置。
【請求項５】
前記搬送部は、回転するステージを備え、
前記搬入出部は、前記ステージ上に前記サンプルを載置することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のサンプル検査装置。
【請求項６】
載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部に対して、前記サンプルを搬入して載置する搬入工程と、
前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査工程と、
前記検査工程で検査されたサンプルを前記搬送部から搬出する搬出工程と、を備え、
前記搬出工程で、前記検査工程で得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルについては、前記搬送部に留め、さらに前記検査工程を行うことを特徴とするサンプル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体集積装置（例えば、パッケージ化した半導体集積回路や、半導体集積回路をモジュールとして組み立てたものなど）に代表されるサンプル（検査対象の製品）を検査するサンプル検査装置及びサンプル検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積装置などの製品は、電子機器への組込前や出荷前などのタイミングで、検査が行われる。この検査を効率良く行うために、サンプルの搬入、サンプルの検査、及び、サンプルの搬出のそれぞれを自動的に行うサンプル検査装置が利用されることがある。また、このようなサンプル検査装置において、検査結果の良否に応じてサンプルの搬出先を区別することにより、良好なサンプルと不良なサンプルとを自動的に分類することが行われている。
【０００３】
しかしながら、このようなサンプル検査装置では、例えばサンプル検査装置とサンプルとの接触不良などによって、良好なサンプルであっても検査結果が不良になることがある。この場合、良好なサンプルを廃棄等することになり、歩留まりが無用に低下するため、問題となる。
【０００４】
そこで、特許文献１では、検査結果が不良となったサンプルに対して再検査を行うサンプル検査装置が提案されている。このサンプル検査装置では、検査結果の良否に応じて異なるトレイにサンプルを搬出して収納するとともに、検査結果が不良であるサンプルが収納されているトレイを、未検査のサンプルが収納されているトレイと同じ場所に移動させることによって、サンプルの再検査を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２６２１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１で提案されているサンプル検査装置では、検査結果が不良であるサンプルが収納されているトレイを移動させる必要があり、サンプル検査装置の構造や動作が複雑化するため、問題となる。
【０００７】
そこで、本発明は、簡易的にサンプルの再検査を行うことが可能なサンプル検査装置及びサンプル検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明は、載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部と、前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査部と、前記サンプルを前記搬送部に搬入して載置するとともに、前記検査部によって検査された前記サンプルを前記搬送部から搬出する搬入出部と、前記検査部から得られる検査結果に基づいて前記搬入出部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記検査部から得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルを前記搬送部に留めることで、前記検査部に当該サンプルをさらに検査させることを特徴とするサンプル検査装置を提供する。
【０００９】
このサンプル検査装置によれば、検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たすサンプルが、循環的な搬送を行う搬送部から搬出されずに留められる。そのため、当該サンプルは、搬送部によって再搬送され、検査部によって再検査される。したがって、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、サンプルの再検査を行うことが可能になる。
【００１０】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記検査部による前記サンプルの検査回数が所定回数よりも少ないこと、であると、好ましい。
【００１１】
このサンプル検査装置によれば、所定回数の検査を行っても検査結果が不良となる場合、即ち、サンプルが真に不良である可能性が高い場合、それ以上の再検査は行われずサンプルが搬送部から搬出される。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。
【００１２】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記検査部は、前記サンプルに対して複数の項目の検査を行うものであり、前記再検査条件が、前記検査部から得られる検査結果において所定の項目が不良であること、であると、好ましい。
【００１３】
このサンプル検査装置によれば、検査結果における複数の項目の中でサンプルの良否にかかわらず（例えば、接触不良などに起因して）不良を示す可能性がある項目が不良である場合、即ち、検査結果は不良であってもサンプルが良好である可能性がある場合に、サンプルの再検査が行われる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。
【００１４】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記搬送部に留める前記サンプルを載置し直すと、好ましい。
【００１５】
このサンプル検査装置によれば、サンプルの載置に起因する問題（例えば、接触不良など）の解消を試みた上で、再検査を行うことが可能になる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。
【００１６】
さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記搬送部は、回転するステージを備え、前記搬入出部は、前記ステージ上に前記サンプルを載置すると、好ましい。
【００１７】
このサンプル検査装置によれば、簡易な方法で、サンプルを循環的に搬送することが可能になる。
【００１８】
また、本発明は、載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部に対して、前記サンプルを搬入して載置する搬入工程と、前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査工程と、前記検査工程で検査されたサンプルを前記搬送部から搬出する搬出工程と、を備え、前記搬出工程で、前記検査工程で得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルについては、前記搬送部に留め、さらに前記検査工程を行うことを特徴とするサンプル検査方法を提供することを目的とする。
【００１９】
このサンプル検査方法によれば、搬出工程において、検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たすサンプルが、循環的な搬送を行う搬送部から搬出されずに留められる。そのため、次の検査工程において、当該サンプルが搬送部によって再搬送され、再検査される。したがって、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、再検査を行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００２０】
上記特徴のサンプル検査装置及びサンプル検査方法では、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、再検査を行うことが可能になる。したがって、簡易的にサンプルの再検査を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について示すブロック図。
【図２】本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置について、図面を参照して説明する。最初に、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について、図１を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について示すブロック図である。
【００２３】
図１に示すように、サンプル検査装置１は、載置されたサンプルＳを循環的に搬送する搬送部２と、搬送部２によって搬送されるサンプルＳを検査する検査部３１〜３３と、サンプルＳを搬送部２に搬入して載置するとともに検査部３１〜３３によって検査されたサンプルＳを搬送部から搬出する搬入出部４と、搬入出部４によって搬送部２に載置される前のサンプルＳが収納されている未検査サンプル収納部５と、搬入出部４によって搬送部２から搬出されるサンプルＳのうち検査部３１〜３３から得られる検査結果が良好であったサンプルが収納される良好サンプル収納部６と、搬入出部４によって搬送部２から搬出されるサンプルＳのうち検査部３１〜３３から得られる検査結果が不良であったサンプルＳが収納される不良サンプル収納部７と、サンプル検査装置１の動作を制御する制御部８と、を備える。
【００２４】
搬送部２は、円形状のステージ２１と、ステージ２１の回転軸２２と、サンプルＳを載置するための載置部２３と、を備える。ステージ２１は、制御部８の制御により、回転軸２２を中心として回転する。載置部２３は、電極などのサンプルの一部が挿入されるソケットやサンプルの一部が接触する接触子などを備え、ステージ２１の円周に沿って設けられている。特に、載置部２３は、回転軸２２から等距離の位置（好ましくは、回転対称の位置）に設けられている。そのため、載置部２３に載置されたサンプルＳは、ステージ２１が回転することによって、ステージ２１の円周方向に沿って搬送されることになる。なお、図１では、ステージ２１に対して載置部２３を４つ設けた場合（４回対称の位置に設けた場合）について例示しているが、載置部２３は何個設けてもよい。
【００２５】
検査部３１〜３３は、例えばテスタなどから成り、載置部２３に載置されたサンプルＳに対して複数の項目の検査を行う。具体的に例えば、検査部３１〜３３は、サンプルＳと接触している電極や接触子などと電気的に接続して、サンプルＳの電気特性の検査を行う。なお、図１では、ステージ２１に対して検査部３１〜３３を３つ設けた場合について例示しているが、検査部３１〜３３は何個設けてもよい。また、検査部３１〜３３のそれぞれが１項目ずつ検査を行ってもよいし、検査部３１〜３３の少なくとも１つが２項目以上の検査を行ってもよい。
【００２６】
搬入出部４は、例えばマニピュレータなどから成り、未検査サンプル収納部５に収納されているサンプルＳを取得して搬送部２の載置部２３に載置したり、搬送部２の載置部２３に載置されているサンプルを取得して良好サンプル収納部６または不良サンプル７に収納したりする。なお、搬入出部４において、搬送部２へサンプルＳを搬入するための装置と、搬送部２からサンプルＳを搬出するための装置と、は異なっていてもよいし、同一であってもよい。また、未検査サンプル収納部５、良好サンプル収納部６、及び、不良サンプル７は、例えばトレイやマガジンなどから成る。
【００２７】
制御部８は、搬送部２が備えるステージ２１の回転を制御するなど、サンプル検査装置１の動作を制御する。特に、制御部８は、後述のように、検査部３１〜３３から得られるサンプルＳの検査結果に基づいて、搬入出部４の動作を制御する。
【００２８】
次に、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について、図２を参照して説明する。図２は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について示すフローチャートである。なお、図２は、着目したある１つのサンプルＳの検査を行う際における、サンプル検査装置１の動作例について示したものである。
【００２９】
図２に示すように、まず、制御部８が、搬入出部４を制御して、未検査サンプル収納部５に収納されているサンプルＳを搬送部２に搬入させ（ステップ＃１）、載置部２３に載置させる（ステップ＃２）。
【００３０】
次に、制御部８は、搬送部２を制御してサンプルＳを搬送させ、検査部３１〜３３に検査させる（ステップ＃３）。この検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果は、制御部８に入力される。
【００３１】
制御部８は、検査部３１〜３３から得られるサンプルＳの検査結果が良好である場合（ステップ＃４、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを良好サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃５）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。なお、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が良好である場合とは、例えば、検査部３１〜３３から得られる検査結果における全ての項目が、サンプルＳが良好である場合の特性を示している場合である。
【００３２】
一方、制御部８は、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が不良である場合（ステップ＃４、ＹＥＳ）、検査部３１〜３３から得られる検査結果における所定の項目（以下、再検査対象項目とする）が不良であるか否かを確認する（ステップ＃６）。なお、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が不良である場合とは、例えば、検査部３１〜３３から得られる検査結果における少なくとも１つの項目が、サンプルＳが不良である場合の特性を示している場合である。
【００３３】
制御部８は、検査部３１〜３３から得られる検査結果において、再検査対象項目に該当しない項目が不良であることを確認すると（ステップ＃６、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを不良サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃７）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。
【００３４】
一方、制御部８は、検査部３１〜３３から得られる検査結果において、再検査対象項目に該当する項目が不良であることを確認すると（ステップ＃６、ＹＥＳ）、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査回数がＮ回（Ｎは２以上の整数）よりも少ないか否かを確認する（ステップ＃８）。なお、再検査を一度も行っていない場合、この時点におけるサンプルＳの検査回数は１回である。
【００３５】
制御部８は、サンプルＳの検査回数がＮ回よりも少ないことを確認すると（ステップ＃８、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを載置部２３に載置し直す（ステップ＃９）。このとき、搬入出部４は、例えばサンプルＳを、載置部２３に対して挿し直したり、置き直したりする。そして、制御部８は、搬送部２を制御してサンプルＳを再搬送させ、検査部３１〜３３にサンプルＳを再検査させる（ステップ＃３）。
【００３６】
一方、制御部８は、上記の再検査を行った結果、サンプルＳの検査回数がＮ回に達したことを確認すると（ステップ＃８、ＹＥＳ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを不良サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃７）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。
【００３７】
以上のように、サンプル検査装置１では、検査結果が不良でありかつ所定の条件を満たすサンプルＳが、循環的な搬送を行う搬送部２から搬出されずに留められる。そのため、サンプルＳは、搬送部２によって再搬送され、検査部３１〜３３によって再検査される。したがって、サンプルＳの搬出及び搬入を要せずに、サンプルＳの再検査を行うことが可能になる。即ち、簡易的にサンプルＳの再検査を行うことが可能になる。
【００３８】
また、サンプル検査装置１では、Ｎ回の検査を行っても検査結果が不良となる場合、即ち、サンプルＳが真に不良である可能性が高い場合、それ以上の再検査を行わずに当該サンプルＳを搬送部２から排出する（ステップ＃８参照）。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。
【００３９】
また、サンプル検査装置１では、検査結果における複数の項目の中でサンプルＳの良否にかかわらず（例えば、接触不良などに起因して）不良を示す可能性がある再検査対象項目が不良である場合、即ち、検査結果は不良であってもサンプルＳが良好である可能性がある場合に、サンプルＳの再検査を行う（ステップ＃６参照）。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。
【００４０】
また、サンプル検査装置１では、サンプルＳの再検査を行う前に、サンプルＳを載置し直す（ステップ＃９参照）。即ち、サンプルＳの載置に起因する問題（例えば、接触不良など）の解消を試みた上で、再検査を行うことが可能になる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。
【００４１】
なお、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置１として、ステージ２１の回転によってサンプルＳを循環的に搬送する搬送部２を備えるものについて例示したが、本発明のサンプル検査装置１は、他の方式でサンプルＳを搬送する搬送部を備えるものであってもよい。具体的に例えば、水平面内において直線的にサンプルＳを搬送する搬送部（水平搬送式ハンドラ）を備えるものであってもよいし、サンプルＳの鉛直方向の搬送（例えば、シュート内の滑落）を伴う搬送部（落下式ハンドラ）を備えるものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明に係るサンプル検査装置及びサンプル検査方法は、例えば半導体集積装置の検査を行うサンプル検査装置やサンプル検査方法に、好適に利用され得る。
【符号の説明】
【００４３】
１          ：  固体撮像素子
２          ：  搬送部
２１        ：  ステージ
２２        ：  回転軸
２３        ：  載置部
３１〜３３  ：  検査部
４          ：  搬入出部
５          ：  未検査サンプル収納部
６          ：  良好サンプル収納部
７          ：  不良サンプル収納部
８          ：  制御部
Ｓ          ：  サンプル
【図１】
2013238526.tif 000003
【図２】
2013238526.tif 000004