(57)【要約】【課題】  光ファイバの位置ずれを防止し、安定して光ファイバを固定可能な半導体レーザモジュールの製造方法等を提供する。【解決手段】  ベース３に配置された台座上に、半導体レーザ７が固定される。ファイバ固定部５上には、半導体レーザ７に対向するように、レンズドファイバ９が配置される。ファイバ固定部５には、幅方向に溝１３が形成される。溝１３内には、把持部材１１が配置される。レンズドファイバ９の調心が終わった後、保持部材１１の上端がレンズドファイバ９の下部に接触するまで、保持部材１１を上方に移動させる。レンズドファイバ９の下部に保持部材１１が接触した状態で、保持部材１１をベース３（ファイバ固定部５）に固定する。保持部材１１が固定されると、ファイバ固定部５上において、レンズドファイバ９を固定部材１７によって固定する。【選択図】図１
2013238665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザモジュールの製造方法であって、
ベース上に半導体レーザを固定するとともに、前記ベースに形成されたファイバ固定部に、レンズドファイバを配置し、前記レンズドファイバと前記半導体レーザとを調心する工程と、
前記ファイバ固定部に設けられた保持部材を移動させて、前記レンズドファイバの下部に接触させる工程と、
前記保持部材を前記ファイバ固定部に固定するとともに、前記レンズドファイバを前記ファイバ固定部に固定部材によって固定する工程と、
を具備し、
前記保持部材と前記レンズドファイバとの接触部が、前記レンズドファイバの軸方向に対する前記固定部材の中心から、前記ファイバ固定部の前記半導体レーザ側の端部までの間に少なくとも一箇所形成され、かつ、少なくとも一つの前記保持部材と前記レンズドファイバとの接触部が前記固定部材から露出せず、前記レンズドファイバの長手方向に対する前記保持部材の両側において、前記ファイバ固定部の上面が前記固定部材で被覆されていることを特徴とする半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項２】
前記保持部材は、前記ファイバ固定部の幅方向に形成された溝内を上下に移動可能であり、前記保持部材を前記溝に沿って移動させて、前記レンズドファイバの下部に前記保持部材の上端部を接触させることを特徴とする請求項１記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項３】
前記保持部材は、前記ファイバ固定部の幅方向に形成された溝内を幅方向に移動可能であり、前記保持部材の上端部には、幅方向にテーパまたは段差が形成されて、幅方向に沿って高さが変化し、
前記保持部材を前記溝に沿って移動させて、前記レンズドファイバの下部に前記保持部材の上端部を接触させることを特徴とする請求項１記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項４】
前記保持部材の上端部の厚みが、０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項５】
前記保持部材の上端部は、前記保持部材の端部に行くにつれて厚みが薄くなることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項６】
前記保持部材が、前記レンズドファイバの軸方向に複数箇所に形成されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体レーザモジュールの製造方法。
【請求項７】
半導体レーザモジュールであって、
ベースと、前記ベース上に固定された半導体レーザと、前記ベースに形成されたファイバ固定部と、前記ファイバ固定部に固定部材によって固定されたレンズドファイバと、を具備し、
前記ファイバ固定部には、保持部材が設けられ、前記保持部材の上端部が前記レンズドファイバの下部に接触し、
前記保持部材と前記レンズドファイバとの接触部が、前記レンズドファイバの軸方向に対する前記固定部材の中心から、前記ファイバ固定部の前記半導体レーザ側の端部までの間に少なくとも一箇所形成されることを特徴とする半導体レーザモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバの位置ずれを防止可能であり、安定して光ファイバを固定可能な半導体レーザモジュールの製造方法および半導体レーザモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来用いられている半導体レーザモジュールにおいて、レーザダイオード（ＬＤ）チップと光ファイバとは光学的に接続されている。この際、光ファイバは、ＬＤチップとの光軸を合わせた後、台座上に半田や接着剤等によって固定される。
【０００３】
図９（ａ）は、従来の半導体レーザモジュール１００を示す概略図である。半導体レーザモジュール１００は、ベース１０３上に、ファイバ固定部１０５が形成される。ファイバ固定部１０５の前方に形成された台座上には、半導体レーザ１０７が固定される。また、ファイバ固定部１０５にはレンズドファイバ１０９が配置される。
【０００４】
レンズドファイバ１０９はアーム１１１によって把持される。アーム１１１を動作することで、レンズドファイバ１０９の光軸と半導体レーザ１０７の光軸との調心を行うことができる。レンズドファイバ１０９と半導体レーザ１０７とが調心された状態で、レンズドファイバ１０９は接着剤などの固定部材１１５によってファイバ固定部１０５に固定される。
【０００５】
一方、固定部材１１５は硬化時に収縮する。したがって、図９（ｂ）に示すように、固定部材１１５内部において、収縮に伴う変形が生じる（図中矢印Ｊ）。このため、レンズドファイバ１０９が、調心時に対して、位置ずれを起こす恐れがある（図中矢印Ｋ方向）。特に、レンズドファイバ１０９は、後方においてアーム１１１で把持されているため、アーム１１１の位置では、レンズドファイバ１０９の位置は変化しない。したがって、レンズドファイバ１０９は、アーム１１１の位置を基点に、その先端部が下方に向かって方向ずれを生じる。
【０００６】
このような光ファイバの位置ずれは、特にシングルモードのレンズドファイバの場合に大きな問題となる。すなわち、シングルモードのレンズドファイバのように、結合トレランスの特に狭い光学結合系を用いた半導体レーザモジュールにおいては、このような位置ずれが生じることで、半導体レーザ１０７とレンズドファイバ１０９との光結合状態にずれが生じ、ファイバ端出力が劣化するという問題があった。
【０００７】
特に、波長帯が９８０ｎｍ前後の半導体レーザとの光結合に用いられる光ファイバのように、先端形状が楔状の楔レンズドファイバを用いる場合には、その光結合の特性上、半導体レーザの出射光のフィールドパターンの短軸方向の光結合トレランスが極端に狭い。したがって、前述のようなレンズドファイバ１０９の上下方向（短軸方向）の位置ずれは、ファイバ端出力を著しく劣化させる。
【０００８】
これに対し、光ファイバまたは光ファイバ等を台座や保持部材に押し付けた状態で調心を行う方法がある（例えば、特許文献１〜特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−１６７３１１号公報
【特許文献１】特開昭６３−１７９３０５号公報
【特許文献１】特開平７−３３３４７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１〜特許文献２は、保持部材に接触させた状態で光ファイバとＬＤチップとの光軸を調整するため、保持部材を支点として光ファイバの先端を動かす必要がある。このため、光ファイバの先端の向きがＬＤチップの光軸からずれる恐れがあり、精密な調心が困難である。
【００１１】
また、特許文献３記載の方法は、保持部材の上端を斜めにスライドさせながら調心を行うものであり、光ファイバのＸ軸およびＹ軸の微調整が困難である。また、部材を移動させながら調心を行うため、部品とベースとの摩擦や振動によって、精密な調心が困難である。
【００１２】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、光ファイバの位置ずれを防止し、安定して光ファイバを固定可能な半導体レーザモジュールの製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述した目的を達成するために第１の発明は、半導体レーザモジュールの製造方法であって、ベース上に半導体レーザを固定するとともに、前記ベースに形成されたファイバ固定部に、レンズドファイバを配置し、前記レンズドファイバと前記半導体レーザとを調心する工程と、前記ファイバ固定部に設けられた保持部材を移動させて、前記レンズドファイバの下部に接触させる工程と、前記保持部材を前記ファイバ固定部に固定するとともに、前記レンズドファイバを前記ファイバ固定部に固定部材によって固定する工程と、を具備し、前記保持部材と前記レンズドファイバとの接触部が、前記レンズドファイバの軸方向に対する前記固定部材の中心から、前記ファイバ固定部の前記半導体レーザ側の端部までの間に少なくとも一箇所形成され、かつ、少なくとも一つの前記保持部材が前記固定部材から露出せず、前記レンズドファイバの長手方向に対する前記保持部材の両側において、前記ファイバ固定部の上面が前記固定部材で被覆されていることを特徴とする半導体レーザモジュールの製造方法である。
【００１４】
前記保持部材は、前記ファイバ固定部の幅方向に形成された溝内を上下に移動可能であり、前記保持部材を前記溝に沿って移動させて、前記レンズドファイバの下部に前記保持部材の上端部を接触させてもよい。
【００１５】
前記保持部材は、前記ファイバ固定部の幅方向に形成された溝内を幅方向に移動可能であり、前記保持部材の上端部には、幅方向にテーパまたは段差が形成されて、幅方向に沿って高さが変化し、前記保持部材を前記溝に沿って移動させて、前記レンズドファイバの下部に前記保持部材の上端部を接触させてもよい。
【００１６】
前記保持部材の上端部の厚みが、０．２ｍｍ以下であることが望ましい。前記保持部材の上端部は、前記保持部材の端部に行くにつれて厚みが薄くなってもよい。前記保持部材が、前記レンズドファイバの軸方向に複数箇所に形成されてもよい。
【００１７】
第１の発明によれば、ファイバ固定部に保持部材が設けられ、レンズドファイバの調心後、保持部材をレンズドファイバの下部に接触させるため、レンズドファイバが固定部材の硬化時に、下方にずれることが抑制される。この際、保持部材が、固定部材の中心から半導体レーザ側のファイバ固定部の端部までの間に配置されることで、レンズドファイバの先端部における位置ずれをより確実に抑制することができる。
【００１８】
また、保持部材が上下に移動可能であれば、構造が簡易であり、レンズドファイバの下部を確実に保持することができる。また、保持部材をテーパ形状または段差形状として、幅方向に移動可能とすることで、保持部材の移動と固定が容易である。
【００１９】
また、保持部材の上端部厚みを０．２ｍｍ以下とすることで、レンズドファイバに対し、保持部材が斜めに接触することなどによる影響を小さくすることができる。この場合、保持部材は端部に行くにつれて厚みを薄くすることで、保持部材の剛性を保ちつつ、レンズドファイバとの接触部近傍の厚みを薄くすることができる。
【００２０】
また、保持部材を軸方向の複数箇所に設置することで、より確実にレンズドファイバの位置ずれを抑制することができる。
【００２１】
また、保持部材の移動方向と、半導体レーザの出射光のレンズドファイバとの結合位置でのフィールドパターンの短軸方向とがほぼ一致させることで、位置ずれによる結合損失を低減させることができる。
【００２２】
第２の発明は、半導体レーザモジュールであって、ベースと、前記ベース上に固定された半導体レーザと、前記ベースに形成されたファイバ固定部と、前記ファイバ固定部に固定部材によって固定されたレンズドファイバと、を具備し、
前記ファイバ固定部には、保持部材が設けられ、前記保持部材の上端部が前記レンズドファイバの下部に接触し、前記保持部材と前記レンズドファイバとの接触部が、前記レンズドファイバの軸方向に対する前記固定部材の中心から、前記ファイバ固定部の前記半導体レーザ側の端部までの間に少なくとも一箇所形成されることを特徴とする半導体レーザモジュールである。
【００２３】
第２の発明によれば、レンズドファイバと半導体レーザとの光結合状態のずれが小さく、ファイバ端出力の劣化の少ない半導体レーザモジュールを得ることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、光ファイバの位置ずれを防止し、安定して光ファイバを固定可能な半導体レーザモジュールの製造方法等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】半導体レーザモジュール１の製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図。
【図２】保持部材１１を動作させる工程を示す図。
【図３】保持部材１１の形状を示す図。
【図４】レンズドファイバ９を固定する状態を示す図。
【図５】半導体レーザモジュール２０の製造工程を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図。
【図６】（ａ）は保持部材２１ａ、２１ｂの動作を示す図、（ｂ）はレンズドファイバ９を固定する状態を示す図。
【図７】保持部材２３の動作を示す図
【図８】半導体レーザモジュール３０を示す図。
【図９】従来の半導体レーザモジュール１００を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１〜図４は、半導体レーザモジュール１の製造工程を示す図であり、図１（ａ）は半導体レーザモジュール１の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。半導体レーザモジュール１は、ベース３、半導体レーザ７、レンズドファイバ９、保持部材１１等から構成される。
【００２７】
ベース３に配置された台座上に、半導体レーザ７が固定される。ベース３には、半導体レーザ７との高さを合わせるようにして、ファイバ固定部５が形成される。ファイバ固定部５上には、半導体レーザ７に対向するように、レンズドファイバ９が配置される。なお、レンズドファイバ９は、アーム１５によって把持される。
【００２８】
ファイバ固定部５の上部には、幅方向に溝１３が形成される。溝１３内には、保持部材１１が配置される。すなわち、レンズドファイバ９は、溝１３および保持部材１１をまたぐように、溝１３の形成方向とは垂直な方向に配置される。
【００２９】
この状態で、アーム１５をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（例えば、それぞれファイバ固定部５の幅方向、高さ方向、レンズドファイバ９の軸方向）に移動させながら、半導体レーザ７からレンズドファイバ９に光結合する。レンズドファイバ９での光強度が最も大きくなる位置が、レンズドファイバ９の固定位置となる。このようにして、レンズドファイバ９と半導体レーザ７との調心を行う。
【００３０】
次に、保持部材１１を移動させる。図２は、図１（ｂ）のＢ部拡大図であり、保持部材１１近傍の拡大図である。図２（ａ）に示すように、レンズドファイバ９の調心時には、保持部材１１は、溝１３内に収容されている。したがって、レンズドファイバ９の調心作業において、レンズドファイバ９が他の部材と接触することがない。
【００３１】
レンズドファイバ９の調心が終わった後、図２（ｂ）に示すように、保持部材１１の上端がレンズドファイバ９の下部に接触するまで、保持部材１１を上方に移動させる（図中矢印Ｃ）。この際、半導体レーザ７（図１）からの光をレンズドファイバ９に結合して監視しながら保持部材１１を移動させる。保持部材１１がレンズドファイバ９に接触すると、レンズドファイバ９の光強度がわずかに変動する。したがって、保持部材１１がレンズドファイバ９と接触する位置を把握することができる。
【００３２】
なお、保持部材１１を移動させるためには、例えばベース３の幅方向の両端面から突出する保持部材１１（図１）の両端部を、図示を省略した移動手段により把持する。移動手段を上下に動作させることで、保持部材１１を溝１３内で上下方向に微動させることができる。
【００３３】
ここで、保持部材１１の上端部の厚みは、薄い方が望ましい。図３（ａ）は、保持部材１１の断面形状を示す図である。レンズドファイバ９と接触する部位である保持部材１１の上端部の厚み（レンズドファイバ９の軸方向における接触長さであって、図中Ｔ）が厚いと、保持部材１１の上端面が斜めにレンズドファイバ９と接触した場合に、レンズドファイバ９に対する接触位置が一定にならないためである。保持部材１１の先端部の厚みとしては、０．２ｍｍ以下であることが望ましい。
【００３４】
なお、保持部材１１の断面形状としては、図３（ａ）に示すような略矩形断面に限られない。例えば、図３（ｂ）に示すように、上端の厚みをＴとして、下方に向かうにつれて、一方の側にテーパ状に増厚するようにしても良い。または、図３（ｃ）に示すように、上端の厚みをＴとして、下方に向かうにつれて、両側にテーパ状に増厚するようにしても良い。このようにすることで、先端厚みを薄くしても、保持部材１１の厚みを厚くすることができるため、保持部材１１の剛性を確保することができる。
【００３５】
なお、Ｔは、限りなく０に近くして、レンズドファイバ９と点接触するようにしても良い。また、保持部材１１の上端を円弧状にして、レンズドファイバ９と点接触するようにしても良い。
【００３６】
レンズドファイバ９の下部に保持部材１１が接触した状態で、保持部材１１をベース３（ファイバ固定部５）に固定する。例えば、ベース３の幅方向の両端面から突出する保持部材１１（図１）の両端部を、ベース３に対してレーザ溶接等により固定すればよい。
【００３７】
保持部材１１が固定されると、次に、図４（ａ）に示すように、ファイバ固定部５上において、レンズドファイバ９を固定部材１７によって固定する。固定部材１７は、例えば、樹脂接着剤や半田を使用することができる。例えば、固定部材１７として接着剤を用いた場合には、固定部材１７が硬化すると、レンズドファイバ９の固定が終了する。
【００３８】
ここで、図４（ｂ）に示すように、固定部材１７の硬化時には、固定部材１７が収縮する（図中矢印Ｆ）。したがって、レンズドファイバ９には、下方に向かう力が付与される。しかし、レンズドファイバ９は、下部から保持部材１１で保持される。このため、レンズドファイバ９の下方への変形を抑制することができる。
【００３９】
なお、このような効果をより効率よく得るためには、保持部材１１の位置を、できるだけレンズドファイバ９の先端側（以下この方向を「前方」とし、逆の方向を「後方」とする）に配置することが望ましい。例えば、レンズドファイバ９の軸方向に対して、固定部材１７の中心からファイバ固定部５の端面までの間（図中Ｅ）に保持部材１１を配置することが望ましい。
【００４０】
なお、保持部材１１を、ファイバ固定部５よりもさらに前方に配置すると、保持部材１１は固定部材１７から露出する。このようにすると、保持部材１１の後方にのみ固定部材１７が配置されることになる。したがって、保持部材１１よりも後方において、レンズドファイバ９には固定部材１７の収縮によって下方に力が付与される。一方、保持部材１１の前方側には、固定部材１７が存在しない。このため、レンズドファイバ９の先端位置が、保持部材１１を支点に、逆に上方に向かうようにずれる恐れがある。
【００４１】
これに対し、保持部材１１の少なくとも固定部材１７より突き出た上部分が完全に固定部材１７内部に配置されると、ファイバの長手方向に関する保持部材１１の前後において、一様に下方に力が付与される。このため、保持部材１１との接触部を支点に、レンズドファイバ９が回転するような変形を抑制することができる。また、保持部材１１の前後の面での熱的環境が等しくなることから保持部材１１の反りなども防がれる。したがって、保持部材１１は、固定部材１７の形成範囲内に配置され、固定部材１７（ファイバ固定部５）端部から露出しないように配置されることが望ましい。すなわち、少なくとも一つの保持部材１１のレンズドファイバ９との接触部が固定部材１７から露出せず、レンズドファイバ９の長手方向に対する保持部材１１の両側において、ファイバ固定部５の上面が固定部材１７で被覆されていることが望ましい。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態によれば、保持部材１１をレンズドファイバ９に接触させることで、固定部材１７の収縮の際における、レンズドファイバ９と半導体レーザ７との光軸ずれを抑制することができる。この際、レンズドファイバ９と半導体レーザ７との調心時には、保持部材１１は、レンズドファイバ９と接触しない。したがって、保持部材１１によって、レンズドファイバ９の調心作業が影響を受けることがない。
【００４３】
また、保持部材１１の接触状態は、レンズドファイバ９の光強度を監視することで、容易に把握することができる。また、保持部材１１を、固定部材１７の中心から前方の端面までの間に配置することで、より効率よく、レンズドファイバ９のずれを防止することができる。
【００４４】
次に、第２の実施の形態について説明する。図５〜図６は、半導体レーザモジュール２０の製造工程を示す図であり、図５（ａ）は半導体レーザモジュール２０の平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＧ−Ｇ線断面図である。なお、以下の説明において、半導体レーザモジュール１の製造方法及び構成と同様の構成については、図１〜図４と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４５】
半導体レーザモジュール２０は、半導体レーザモジュール１と略同様の構成であるが、保持部材２１ａ、２１ｂを用いる点で異なる。半導体レーザモジュール２０は、溝１３ａ、１３ｂが２列形成される。溝１３ａ、１３ｂには、それぞれ保持部材２１ａ、２１ｂが配置される。保持部材２１ａ、２１ｂは、溝１３ａ、１３ｂ内を幅方向に移動可能である。
【００４６】
図５（ｂ）に示すように、保持部材２１ａ、２１ｂは、上面が斜めに形成される。すなわち、保持部材２１ａ、２１ｂの上端は、幅方向に対し、低部から高部まで、高さが連続して変化する。なお、保持部材２１ａ、２１ｂは、その傾斜が互いに逆向きになるようにして、それぞれ溝１３ａ、１３ｂに配置される。
【００４７】
レンズドファイバ９と半導体レーザ７の調心時には、保持部材２１ａ、２１ｂは、それぞれ幅方向の高部側に退避される。したがって、レンズドファイバ９の下部には、保持部材２１ａ、２１ｂとの間に隙間が形成される。すなわち、レンズドファイバ９は、保持部材２１ａ、２１ｂとは接触しない。この状態で、前述に示した方法と同様の方法によって調心を行う。
【００４８】
レンズドファイバ９の調心が終了すると、次に、図６（ａ）に示すように、保持部材２１ａ、２１ｂをそれぞれ幅方向の低部側に移動する（図中矢印Ｈ方向）。保持部材２１ａ、２１ｂをそれぞれ徐々に移動させると、レンズドファイバ９の下部に、保持部材２１ａ、２１ｂの上端が接触する。なお、保持部材２１ａ、２１ｂは同時に移動させても良いが、一方ずつ移動させても良い。また、保持部材２１ａ、２１ｂとレンズドファイバ９との接触は、レンズドファイバ９の光強度を監視することで把握することができる。
【００４９】
なお、保持部材２１ａ、２１ｂを移動させるためには、例えばベース３の幅方向の両端面から突出する保持部材２１ａ、２１ｂのそれぞれの端部を、図示を省略した移動手段により把持する。移動手段を動作させることで、保持部材２１ａ、２１ｂを溝１３ａ、１３ｂに沿ってベース３の幅方向に微動させることができる。
【００５０】
次に、レンズドファイバ９の下部に保持部材２１ａ、２１ｂが接触した状態で、保持部材２１ａ、２１ｂをベース３（ファイバ固定部５）に固定する。例えば、ベース３の幅方向の両端面から突出する保持部材２１ａ、２１ｂの両端部を、ベース３に対してレーザ溶接や接着剤により固定すればよい。
【００５１】
保持部材２１ａ、２１ｂが固定されると、次に、図６（ｂ）に示すように、ファイバ固定部５上において、レンズドファイバ９を固定部材１７によって固定する。例えば、固定部材１７として接着剤を用いた場合には、固定部材１７が硬化すると、レンズドファイバ９の固定が終了する。なお、保持部材２１ａ、２１ｂを、固定部材１７によって、レンズドファイバ９とともにファイバ固定部５に固定しても良い。
【００５２】
第２の実施の形態にかかる半導体レーザモジュール２０によっても、半導体レーザモジュール１と同様の効果を得ることができる。また、保持部材２１ａ、２１ｂは、溝１３ａ、１３ｂ内を幅方向に移動させればよいため、保持部材２１ａ、２１ｂの固定時等において、溝１３ａ、１３ｂ内で保持部材２１ａ、２１ｂが上下にずれることがない。
【００５３】
また、保持部材２１ａ、２１ｂの上端部高さ変化に対し、幅方向の移動代を大きくすることができる。したがって、保持部材２１ａ、２１ｂをレンズドファイバ９に接触させるための制御が容易である。また、一対のテーパ形状によって、レンズドファイバ９を保持するため、レンズドファイバ９の幅方向へのずれを防止することができる。
【００５４】
次に、第３の実施の形態について説明する。図７は、保持部材２３を用いてレンズドファイバ９を保持する方法を示す図である。保持部材２３は、保持部材２１ａ等と略同様の構成であるが、上部が連続的なテーパではなく、段差形状である点が異なる。保持部材２３は、ファイバ固定部５に形成された溝に配置される。なお、保持部材２３は、少なくとも１枚配置すればよい。
【００５５】
図７（ａ）に示すように、保持部材２３を高部側に退避させた状態で、レンズドファイバ９の調心を行う。この際、レンズドファイバ９と保持部材２３とは接触しない。レンズドファイバ９の調心が終了後、保持部材２３の上端が、レンズドファイバ９の下部に接触するまで、保持部材２３を低部側に移動させる（図中矢印Ｉ方向）。
【００５６】
保持部材２３の上端部がレンズドファイバ９に接触した状態で、保持部材２３をベース３（ファイバ固定部５）に固定する。なお、保持部材２３の固定は、保持部材２１ａ、２１ｂと同様の方法で行えばよい。この状態で、固定部材１７により、レンズドファイバ９をファイバ固定部５に固定する。例えば、固定部材１７として接着剤を用いた場合には、固定部材１７が硬化すると、レンズドファイバ９の固定が終了する。
【００５７】
第３の実施の形態によっても、第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、保持部材２３の上端がテーパ形状ではないので、レンズドファイバ９の下部に保持部材２３を接触させる際に、レンズドファイバ９が幅方向にずれることを防止することができる。
【００５８】
次に、第４の実施の形態について説明する。図８は、半導体レーザモジュール３０を示す図である。半導体レーザモジュール３０は、半導体レーザモジュール１と略同様の構成であるが、保持部材１１が複数箇所に配置される点で異なる。半導体レーザモジュール３０は、保持部材１１がレンズドファイバ９の軸方向に複数配置される。例えば、溝１３が複数形成されて、それぞれの溝１３に保持部材１１が配置される。また、ファイバ固定部５の端面に保持部材１１を配置しても良い。なお、保持部材１１の配置数や位置は、図示した例に限られない。
【００５９】
半導体レーザモジュール３０では、レンズドファイバ９の調心が終了後、すべての保持部材１１の上端をレンズドファイバ９の下部に接触させる。その状態で、それぞれの保持部材１１をベース３（ファイバ固定部５）に固定する。その後、固定部材１７によって、レンズドファイバ９をファイバ固定部５に固定すればよい。
【００６０】
なお、前述の通り、保持部材１１は、レンズドファイバ９の軸方向に対し、固定部材１７の中心からファイバ固定部５の端部までの間において、固定部材１７に埋設されることが望ましい。すなわち、少なくとも一つの保持部材１１のレンズドファイバ９との接触部が固定部材１７から露出せず、レンズドファイバ９の長手方向に対する保持部材１１の両側において、ファイバ固定部５の上面が固定部材１７で被覆されていることが望ましい。しかし、半導体レーザモジュール３０では、複数の保持部材１１のうち、少なくとも一つが上述の範囲に配置されれば、他の保持部材１１は（例えば図８の一番左の保持部材のように）、上述の範囲外に配置されても良い。
【００６１】
第４の実施の形態にかかる半導体レーザモジュール３０によっても、半導体レーザモジュール１と同様の効果を得ることができる。また、保持部材１１が、複数配置されるため、より確実にレンズドファイバ９のずれを防止することができる。なお、保持部材２１ａ、２１ｂ、保持部材２３を複数配置しても良い。
【００６２】
上述の第１の実施の形態〜第４の実施に形態において、保持部材の移動方向と、半導体レーザの出射光のレンズドファイバとの結合位置でのフィールドパターンの短軸方向とがほぼ一致させることで、さらに、位置ずれによる結合損失を低減させることができる。
【００６３】
また、保持部材の光ファイバ搭載面の、少なくとも光ファイバ搭載部近傍の端部の面取りをすると保持部材と光ファイバとの熱膨張係数の違いによる光ファイバの破損を防ぐことができる。
【００６４】
さらに、ハンダ等により保持部材上に光ファイバが固定される場合、保持部材の光ファイバを搭載した面の、光ファイバの長手方向の両側面についても半田等で覆われていると、光ファイバの搭載部の両側で熱的環境が均一になって都合が良い。
【００６５】
以上、添付図を参照しながら、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００６６】
１、２０、３０………半導体レーザモジュール
３………ベース
５………ファイバ固定部
７………半導体レーザ
９………レンズドファイバ
１１、２１ａ、２１ｂ、２３………保持部材
１３、１３ａ、１３ｂ………溝
１５………アーム
１７………固定部材
１００………半導体レーザモジュール
１０３………ベース
１０５………ファイバ固定部
１０７………半導体レーザ
１０９………レンズドファイバ
１１１………アーム
１１５………固定部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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