(57)【要約】【課題】アーム型搬送装置とは別の場所に設置したアライナー等に逐一搬送対象物を搬送することなく、搬送対象物の中心位置を検出可能なアーム型搬送装置を提供する。【解決手段】正円形搬送対象物Ｗを保持する第一のリンク２１を回転軸Ｃ１を介して水平面内で回動可能となるようにベース部材たる第二のリンク２２に取り付けたアーム機構２と、前記第二のリンク２２に前記回転軸Ｃ１とともに取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置Ｓｅに正円形搬送対象物Ｗのエッジが位置したことを検出するエッジ検出部３と、前記第二のリンク２２に対する前記第一のリンク２１の回転角度θを検出する回転角度検出部２７と、正円形搬送対象物Ｗのエッジがエッジ検出部３を通過した際に回転角度検出部２７で検出された対応する回転角度θに基づいて前記リンク２１に対する正円形搬送対象物Ｗの中心位置を算出する中心位置算出部４１とを具備して構成した。【選択図】図２
2013093396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正円形搬送対象物を保持するリンクを回転軸を介して水平面内で回動可能となるようにベース部材に取り付けたアーム機構と、
前記ベース部材に前記回転軸とともに取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置に正円形搬送対象物のエッジが位置したことを検出するエッジ検出部と、
前記ベース部材に対する前記リンクの回転角度を検出する回転角度検出部と
正円形搬送対象物のエッジが前記エッジ検出部を通過した際に回転角度検出部で検出された対応する回転角度に基づいて前記リンクに対する正円形搬送対象物の中心位置を算出する中心位置算出部とを具備することを特徴とするアーム型搬送装置。
【請求項２】
前記中心位置算出部で算出される中心位置に基づいて正円形搬送対象物の位置ずれを検出する中心位置ずれ判定部を具備するものであって、この中心位置ずれ判定部は、あらかじめ与えられた基準中心位置と、リンクに載置された測定すべき正円形搬送対象物に対して前記中心位置算出部に算出させたときの実中心位置とに基づいて、前記基準中心位置から前記実中心位置までの中心位置ずれを判定することを特徴とする請求項１に記載のアーム型搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転可能なリンクを有するアーム型搬送装置に係り、特にウェーハのような正円形搬送対象物の中心位置を検出し、位置ずれを補正する機能を適正化したアーム型搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の薄い正円形搬送対象物を製造工程に従って搬送する搬送装置が知られている。その中でも、関節部を介して複数のリンクを回転可能に直列接続して構成され、各関節部を回転駆動することで、所定ピッチで搬送対象物を収納した収納ケースから搬送対象物を一枚ずつ取り出して搬送するアーム型搬送装置がある。
【０００３】
正円形搬送対象物を処理装置に搬送する際、一般的な搬送システムでは、正円形搬送対象物の位置のずれを補正し、適正に搬送対象物を搬送するために、アライナーと呼ばれる装置を用いて、位置合わせが行われている。位置合わせをする方向はＸ及びＹ方向とアライナーの回転軸方向のθ方向の3方向である。
【０００４】
特許文献１には、正円形搬送対象物の位置合わせをする手段として、Ｘ及びＹ方向、θ方向のずれを検出し、位置合わせをする方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２２２６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されている方法だと、搬送中、アーム型搬送機とは別の場所に設置したアライナー上でしか、正円形搬送対象物の中心の位置を検出することができず、正円形搬送対象物搬送の際には、一旦アライナーのところへ正円形搬送対象物を搬送し、位置合わせをしてから、また、取り出して目的とする場所に運ぶことになり、アライナーへの搬送時間と位置合わせをする分、時間が掛かってしまうという問題点があった。
【０００７】
また、特許文献１を含む一般的なアライナーは各方向の位置ずれ量を検出後、Ｘ及びＹ方向、回転方向にそれぞれに設けられた起動軸で検出したずれを補正するので、アライナー一つに対して、3つの駆動軸を設けなければならず、コストが掛かるという問題もあった。
【０００８】
本発明は、このような問題を解消し、短時間に正円形搬送対象物の中心位置を検出することを可能にするとともに、検出した正円形搬送対象物の中心位置に基づいて、正円形搬送対象物の位置ずれを判定するアーム型搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１０】
すなわち、本発明のアーム型搬送装置は、正円形搬送対象物を保持するリンクを回転軸を介して水平面内で回動可能となるようにベース部材に取り付けたアーム機構と、前記ベース部材に前記回転軸とともに取り付けられ取り付け位置に応じて定まる検出位置に正円形搬送対象物のエッジが位置したことを検出するエッジ検出部と、前記ベース部材に対する前記リンクの回転角度を検出する回転角度検出部と、正円形搬送対象物のエッジが前記エッジ検出部を通過した際に回転角度検出部で検出された対応する回転角度に基づいて前記リンクに対する正円形搬送対象物の中心位置を算出する中心位置算出部とを具備することを特徴とする。
【００１１】
このように構成すると、正円形搬送対象物を保持したリンクをベース部材のエッジ検出部に通過させるだけで、アーム型搬送装置とは別に設置されたアライナー等に逐一搬送して搬送対象物の位置合わせをする必要がなく、回転角度検出部と中心位置算出部とから正円形搬送対象物の中心位置座標を算出することができるので、搬送及び位置合わせの時間を大幅に短縮し、コストも大幅に削減することが可能となる。
【００１２】
さらに、正円形搬送対象物が本来あるべき中心位置座標からの位置ずれを判定するためには、前記中心位置算出部で算出される中心位置に基づいて正円形搬送対象物の位置ずれを検出する中心位置ずれ判定部を具備し、この中心位置ずれ判定部が、あらかじめ与えられた基準中心位置と、リンクに載置された測定すべき正円形搬送対象物に対して前記中心位置算出部に算出させたときの実中心位置とに基づいて、前記基準中心位置から前記実中心位置までの中心位置ずれを判定するように構成しておくと好適である。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明した本発明によれば、正円形搬送対象物をリンク基端部側に設けられたエッジ検出部に通過させるだけで、アライナー等に逐一搬送して、正円形搬送対象物の位置合わせをしなくても、正円形搬送対象物の中心位置座標を算出することができるため、搬送及び位置合わせの時間を大幅に短縮し、コストも大幅に削減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るアームを示す斜視図。
【図２】同アーム型搬送装置の動作を示す斜視図。
【図３】同アームのエッジ検出部を示す拡大斜視図。
【図４】同アームの動作を模式的に示す平面図。
【図５】エッジを通過し終えた時の正円形搬送対象物のエッジと中心位置の関係を示すｘ−ｙ座標図。
【図６】リンク回動時の正円形搬送対象物の動きを示す模式図。
【図７】正円形搬送対象物の中心位置ずれを判定する機能を説明するための説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１６】
本実施形態のアーム型搬送装置はロボットアームタイプのもので、図１及び図４に示すように、円盤状をなす半導体ウェーハ等の正円形搬送対象物Ｗを保持するエンドエフェクタとも呼ばれる第一のリンク２１を含む複数のリンク２１・２２・２３を関節部２４・２５・２６を介して水平
面内で回動可能に接続して構成されたアーム機構２と、第一のリンク２１に保持される正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出するためのエッジ検出部３と、アーム機構２における各々の関節部２４・２５・２６の回動駆動を制御することで、第一のリンク２１で保持した正円形搬送対象物Ｗを所望の位置に搬送する制御部４とを有している。
【００１７】
アーム機構２は、図１及び図４に示すように、先端側で正円形搬送対象物Ｗを保持する第一のリンク２１と、第一のリンク２１の基端部２１ｂを先端部２２ａに水平面内で回動可能に接続した第二のリンク２２と、第二のリンク２２の基端部２２ｂを先端部２３ａに水平面内で回動可能に接続した第三のリンク２３と、第三のリンク２３の基端部２３ｂを水平面内で回動可能に支持する基台２０とを有する。第一のリンク２１は、平面視略Ｙ字状且つ板状をなし、正円形搬送対象物Ｗの周縁に対応する形状の段差部２１ｃが上面に形成されている。段差部２１ｃは、搬送対象物が置かれる載置面であり、外周側よりも内周側を低く形成されることで、搬送対象物を保持する機能を発揮している。第一のリンク２１の基端部２１ｂ及び第二のリンク２２の先端部２２ａは、互いに鉛直方向に沿った回転軸Ｃ１回りに水平面内で回動可能に接続されて第一の関節部２４を構成している。これと同様に、第二のリンク２２の基端部２２ｂ及び第三のリンク２３の先端部２３ａ、第三のリンク２３の基端部２３ｂ及び基台２０も互いに鉛直方向に沿った回転軸Ｃ２・Ｃ３回りに水平面内で回動可能に接続されてそれぞれ第二の関節部２５、第三の関節部２６を構成している。これら各々の関節部２４・２５・２６は、モータ等を用いた動力部Ｍにより、他の関節部と独立して回動駆動して各リンク２１・２３・２４の角度θを変更可能に構成されている（図４参照）。
【００１８】
前記制御部４は、ＣＰＵ、メモリ及びインターフェイスを具備する通常のマイクロコンピュータユニットにより構成されて、制御信号を各モータに出力するためのプログラムが格納されており、ＣＰＵは適宜このプログラムを読み出して実行し、第一のリンク２１に保持された正円形搬送対象物Ｗを目的位置に搬送する。
【００１９】
このような制御において、正円形搬送対象物Ｗの中心位置がエンドエフェクタである第一のリンク２１上の正規の位置からずれていると、第一のリンク２１の先端を所要の軌道に沿って目的の位置に移動させても、正円形搬送対象物Ｗが目的の位置に搬送されないという事態が生じる。
【００２０】
そこで、本実施形態はさらに、正円形搬送対象物Ｗの中心位置を検出すべく、第一のリンク２１に保持される正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出するためのエッジ検出部３と、第一のリンク２１の回転角度を検出するためのエンコーダ等の回転角度検出部２７と、これらの検出部３、２７における検出値に基づいて正円形搬送対象物Ｗの中心位置を算出する中心位置算出部４１と、前記中心位置算出部４１により得られた中心位置座標を基にあるべき中心位置からのずれを判定する中心位置ずれ判定部４２とを設けている。
【００２１】
図３に示すように正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出するための前記エッジ検出部３は、発光素子３０及び受光素子３１からなる光電センサ等のように、取り付け位置に応じた検出位置Ｓｅで正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出するもので、発光素子３０及び受光素子３１を結ぶ光の通路である検出位置Ｓｅを正円形搬送対象物Ｗが通過して、発光素子３０から受光素子３１に向かう光が遮光されるか否かに応じて正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出する。このエッジ検出部３は、図１〜図４に示すように、前記アーム機構２を構成する複数のリンク２１・２２・２３のうち第一のリンク２１よりも基端側にあるベース部材たる第二のリンク２２の基端部２２ｂに取り付けてあり、図２及び図４に示すように、前記エッジ検出部３を取り付けた第二のリンク２２に対し第一のリンク２１が近づく方向に第一の関節部２４を回動駆動した場合に、第一のリンク２１に正円形搬送対象物Ｗのエッジが検出位置Ｓｅを通過して検出できるようにエッジ検出部３の取り付け位置が設定されていて、そのデータを信号Ｓ１として制御部３に出力する。さらに、前記エッジ検出部３は、関節部２４・２５・２６を回動駆動した際に、複数のリンク２１・２２・２３に干渉しないように、その取り付け位置が設定されている。すなわち、エッジ検出部３は、各々のリンク２１・２２・２３の回転軌道を避けた位置に取り付けられているとも言える。
【００２２】
また、前記回転角度検出部２７は、図２において、正円形搬送対象物Ｗを保持する第一のリンク２１を回転駆動するために基端側にある第二のリンク２２の先端部２２ａに設けた軸モータ２８に付設されていて、第二のリンク２２に対する第一のリンク２１の回転角度を検出し、図１左上のブロック図に示されるように、そのデータを信号Ｅ１として制御部４に出力する。
【００２３】
そして、前記中心位置算出部４１は、第一のリンク２１を第２のリンク２２に対して回転させながら正円形搬送対象物Ｗをエッジ検出部３に通過させ、これによって正円形搬送対象物Ｗの中心位置を検出する。
【００２４】
この中心位置算出部４１は、制御部４のメモリに書き込まれた以下のような演算プログラムによって構成され、この演算プログラムが制御部４で実行されることによって中心位置算出部４１としての機能を発揮する。
【００２５】
その演算は、エッジを２回検出することによって得られる当該エッジ座標とそれらに対応する第一のリンクの回転角度を制御部４より読み込むエッジ位置記憶ステップと、それらの情報を基に正円形搬送対象物Ｗの中心位置座標を算出し、得られた中心位置座標を前記制御部４に記憶させる中心位置算出ステップとを備える。
【００２６】
まず、エッジ位置記憶ステップから説明する。
【００２７】
図６において、正円形搬送対象物Ｗを保持した第一のリンク２１は回転軸Ｃ１中心に時計回りに（正円形搬送対象物Ｗはエッジ検出部３の向かって左側から右側に通過）回動するとし、エッジ検出部３の検出位置Ｓｅはｙ軸上にあるとする。
【００２８】
図６（ａ）はエッジ検出部３がオン（以下、センサオンと称する）になった時（エッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し始めた時）で、後で補足説明するが、この時の第一のリンク２１の第二のリンク２２に対する回転角度をθ２とする。
【００２９】
図６（ｂ）はエッジ検出部３がセンサオフになった時（センサが正円形搬送対象物Ｗを検出し終わった時）で、（ｘ２，ｙ２）はエッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し始めた時のエッジの移動先の座標で、（ｘ１，ｙ１）はエッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し終わった時のエッジの座標である。この時の第一のリンク２１の第二のリンク２２に対する回転角度をθ１とする。
【００３０】
前述の補足説明であるが、第一のリンク２１の第二のリンク２２に対する前記回転角度とは、図４（ｂ）に示されるように、第一のリンク２１と第二のリンク２２が、両リンクの関節部２４を介して一直線に配置された時をθ＝０度とした時の、第一のリンク２１が前記関節部２４を時計回りに回転した時の回転角度を指す。
【００３１】
ただし、この角度は一つの設定例であるので、これに限らず、θ＝０度とする位置は任意に選べ、反時計回りを回転角度の正の方向とすることもできる。
【００３２】
ここで、図６におけるθ１、θ２は、第二のリンク２２の先端部２２ａに設けられた軸モータ２８に付設された回転角度検出部２７から制御部４へ信号Ｅ１（図１参照）として出力される。
【００３３】
これらの情報は、前記制御部４にて記憶され、前記中心位置算出部４１は、エッジを２回検出することによって得られた当該２つのエッジ座標（ｘ１，ｙ１）、（ｘ２，ｙ２）と対応する第一のリンクの第二のリンク２２に対する回転角度θ１、θ２を収集して、予め記憶されている中心位置算出のための以下アルゴリズムを具現したプログラムを制御部４に実行させる。
【００３４】
図５は正円形搬送対象物Ｗのエッジを２回目に検出し終えた時の正円形搬送対象物Ｗの位置をｘ−ｙ座標で表したものであるが、（ｘ１，ｙ１）はエッジ検出終了時の座標で前記エッジ検出部３の検出位置Ｓｅと一致する。（ｘ２，ｙ２）はその時のエッジを検出し始めた点の移動先の座標で、（ａ，ｂ）は正円形搬送対象物Ｗの中心位置座標である。
【００３５】
ここにおいて、原点Ｏは図１及び図２で示される第一のリンク２１の回転軸Ｃ１であり、第一のリンク２１の原点Ｏからセンサの検出位置Ｓｅまでの距離をＲとし、正円形搬送対象物Ｗの半径をｒとする。
【００３６】
センサ作動中の第一のリンク２１の第二のリンク２２に対する回転角度量は
θ＝θ１−θ２
【００３７】
θ１：センサオフ時（エッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し終わった時）
【００３８】
θ２：センサオン時（エッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し始めた時）
であり、図５及び図６（ｂ）で示すように、エッジ検出部３が正円形搬送対象物Ｗを検出し終えた時（センサオフ時）の正円形搬送対象物Ｗの検出位置座標は
（ｘ１，ｙ１）＝（０，Ｒ）としたとき、
（ｘ２，ｙ２）＝（Ｒｓｉｎθ，Ｒｃｏｓθ）
で表される。
【００３９】
正円形搬送対象物Ｗを表す円の式は
（ｘ−ａ）２＋（ｙ−ｂ）２＝ｒ２であるので、
2013093396.tif 000003
となる。
【００４０】
ここで、
（ｘ１，ｙ１）＝（０，Ｒ）
（ｘ２，ｙ２）＝（Ｒｓｉｎθ，Ｒｃｏｓθ）を代入して
2013093396.tif 000004
とすると、
2013093396.tif 000005
2013093396.tif 000006
となり、θ、Ｒ、ｒは既知の値であるから、センサが正円形搬送対象物Ｗを検出し終えた時（センサオフ時）の正円形搬送対象物Ｗの中心座標（ａ，ｂ）が中心位置算出部４１により算出される。
【００４１】
この中心座標は第一のリンク２１の回転軸を原点Ｏ、エッジを検出し終わった時の座標（ｘ１，ｙ１）を（０，Ｒ）としたときの座標であるので、中心位置算出部４１はエッジを２回検知することによって得られた情報のうち、実際には正円形搬送対象物Ｗのエッジを検出し終わった時の座標（ｘ１，ｙ１）を基準にして、その時の実際の正円形搬送対象物Ｗの中心位置座標を算出する。
【００４２】
以上に述べたアルゴリズムを具現したプログラムを中心位置算出部４１が実行したら、得られた中心位置座標を前記制御部４のメモリに記憶させ、中心位置算出ステップを終了するように構成されている。
【００４３】
そして、前記中心位置ずれ判定部４２では、上記中心位置算出部４１を利用して、正円形搬送対象物Ｗが本来あるべき中心位置からの位置ずれを以下のアルゴリズムを具現したプログラムを実行することによって判定するようにしている。
【００４４】
位置ずれを検出するために、まず、基準点を求める。本実施例ではその基準点を正円形搬送対象物Ｗが正規にずれなく第一のリンク２１に保持されているときの正円形搬送対象物Ｗの中心位置が、第一のリンク２１の回転軸Ｏ（Ｃ１）からこのリンクの先端部に向かって左右対称になるように伸びたリンク２１の中心線上に位置し（例えば図１、図４、図６等の状態を参照）、正円形搬送対象物Ｗの搬送先である例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）などへの搬送に支障がない位置とした。
【００４５】
基準点となる基準中心位置は、元々のロボットの設置条件とロボットの各部の寸法から計算で求められ、ティーチング等でその基準中心位置座標を設定しておく。
【００４６】
また、この方法に限らず、前記中心位置ずれ判定部４２が、ずれがなく正規に第一のリンク２１に載置された正円形搬送対象物Ｗに対し上記中心位置算出ステップを中心位置算出部４１に実行させることにより基準中心位置座標を算出させることも可能である。
【００４７】
このようにして算出させた基準中心位置座標をあらかじめ制御部４のメモリに記憶させておき、位置ずれを知りたい正円形搬送対象物Ｗの実中心位置を中心位置算出部４１に実行させる。
【００４８】
そして、図７に示すように、第一のリンク２１にずれて載置された正円形搬送対象物Ｗの実中心位置座標を（ａ１，ｂ１）、基準中心位置座標を（ａ０，ｂ０）とすると、前記中心位置ずれ判定部４２は、互いの座標の差分である（Δｘ，Δｙ）＝（ａ１−ａ０，ｂ１−ｂ０）を中心位置ずれとして判定するようにしている。
【００４９】
なお、前記基準中心位置座標を制御部４のメモリに正円形搬送対象物Ｗの識別データとともに記憶させておくと、識別データを入力或いは選択するだけで、実基準位置のみを算出すれば足りることとなる。
【００５０】
以上のように本実施形態に係るアーム型搬送装置は、正円形搬送対象物Ｗを保持する第一のリンク２１を回転軸Ｃ１を介して水平面内で回動可能となるようにベース部材たる第二のリンク２２に取り付けたアーム機構２と、前記第二のリンク２２に前記回転軸Ｃ１とともに取り付けられ、取り付け位置に応じて定まる検出位置Ｓｅに正円形搬送対象物Ｗのエッジが位置したことを検出するエッジ検出部３と、前記第二のリンク２２に対する前記第一のリンク２１の回転角度θを検出する回転角度検出部２７と、正円形搬送対象物Ｗのエッジがエッジ検出部３を通過した際に回転角度検出部２７で検出された対応する回転角度θに基づいて前記リンク２１に対する正円形搬送対象物Ｗの中心位置を算出する中心位置算出部４１とを具備するように構成したので、正円形搬送対象物Ｗを保持した第一のリンク２１をベース部材である第二のリンク２２のエッジ検出部３に通過させるだけで、アーム型搬送装置とは別に設置されたアライナー等に逐一搬送して正円形搬送対象物Ｗの位置合わせをする必要がなく、回転角度検出部２７と中心位置算出部４１とから正円形搬送対象物Ｗの中心位置座標を算出できるので、搬送及び位置合わせの時間を大幅に短縮し、コストも大幅に削減することが可能となる。
【００５１】
また、前記中心位置算出部４１で算出される中心位置に基づいて正円形搬送対象物Ｗの位置ずれを検出する中心位置ずれ判定部４２を具備し、この中心位置ずれ判定部４２が、あらかじめ与えられた基準中心位置｛座標（ａ０，ｂ０）｝と、第一のリンク２１に載置された測定すべき正円形搬送対象物Ｗに対して前記中心位置算出部４１に算出させたときの実中心位置｛座標（ａ１，ｂ１）｝とに基づいて、前記基準中心位置から前記実中心位置までの中心位置ずれを判定するようにしているので、リンク２１に載置したままで正円形搬送対象物Ｗの中心位置の位置ずれを判定することができ、アライナーで回転軸方向の補正をする必要がないものについては、正円形搬送対象物Ｗのリンク２１に対する位置ずれを制御部４からの指令に従いリンク２１で補正しながらＦＯＵＰ等の搬送対象物搬送先に正円形搬送対象物Ｗを搬送することができるため、搬送及び位置合わせの時間を大幅に短縮し、コストも大幅に削減することが可能となる。
【００５２】
また、アライナーで回転軸方向の補正が必要なものについては、当該一方向のずれのみを検出するためにアライナーへ搬送して位置あわせをすればよいので、Ｘ軸、Ｙ軸、回転軸方向全てについてアライナーで位置あわせをする場合に比較して動作時間の短縮をすることが可能となる。
【００５３】
さらに、その後、一旦採用された基準中心位置座標を制御部４のメモリに識別データとともに記憶させることで、その後違う種類の搬送物を搬送して、再び前記と同一の正円形搬送対象物Ｗを搬送させる場合には、再度エッジを検出し中心位置座標を算出させなくても、前記メモリで記憶された基準中心位置座標を制御部４に読み込ませればよいので、さらに簡便で高い搬送処理効率を付与することが可能となる。
【００５４】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００５５】
例えば、本実施形態では、エッジ検出部３は、第二のリンク２２に取り付けられているが、第一のリンク２１よりも基端側のリンクであれば、これに限定されず、例えば第三のリンク２３に取り付けてもよい。本実施形態においてアーム機構は、三つのリンク２１〜２３を水平面内で回動可能に接続して構成しているが、二つ又は四つ以上のリンクを接続して構成したものでもよい。
【００５６】
さらに、本実施形態では、センサとして透過式の光電センサを用いているが、反射式の光電センサを用いてもよい。反射式光電センサならば、アーム端でなく、アーム内部に埋め込み設置可能である。
【００５７】
さらにまた、上記に述べた軌道補正は、複数のリンクを回転可能に直列接続して構成されるアーム機構を備えた搬送装置に適用しているが、これ以外のアーム機構を用いた搬送装置にも適用可能である。例えば、複数のリンクを並列接続したパラレルマニピュレータ等の搬送装置が挙げられる。
【００５８】
その他、本実施形態では、ウェーハ等の正円形搬送対象物を第一のリンク（エンドエフェクタ）に載置することで正円形搬送対象物を保持するように構成しているが、真空吸着やメカチャック等で保持するように構成してもよい。
【００５９】
上記以外にも、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００６０】
２…アーム機構
３…エッジ検出部
２１…第一のリンク
２２…第二のリンク（ベース部材）
２７…回転角度検出部（エンコーダ）
４１…中心位置算出部
４２…中心位置ずれ判定部
Ｃ１…回転軸
Ｓｅ…検出位置
Ｗ…正円形搬送対象物（ウェーハ）
【図１】
2013093396.tif 000007
【図２】
2013093396.tif 000008
【図３】
2013093396.tif 000009
【図４】
2013093396.tif 000010
【図５】
2013093396.tif 000011
【図６】
2013093396.tif 000012
【図７】
2013093396.tif 000013