(57)【要約】      （修正有）【課題】太陽電池モジュールの製造効率を向上し、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制できる裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】基板１の裏面に、電極６，７と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマーク４１を設け、アライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である裏面電極型太陽電池セル８、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法である。【選択図】図１
2013187381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一方の面である裏面に設けられた電極と、を備え、
前記基板の前記裏面には、前記電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークが設けられており、
前記アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが、３以上４以下であって、
前記短径ｔが１００μｍ以上である、裏面電極型太陽電池セル。
【請求項２】
前記電極は、前記アライメントマークの長径Ｔの方向に伸長している、請求項１に記載の裏面電極型太陽電池セル。
【請求項３】
請求項１または２に記載の裏面電極型太陽電池セルと、
配線シートと、を備え、
前記配線シートは、絶縁性基材と、前記絶縁性基材の一方の面に設けられた配線とを備え、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記電極と、前記配線シートの前記配線とが電気的に接続されてなる、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル。
【請求項４】
透光性基板と、
保護基材と、
前記透光性基板と前記保護基材との間に位置する封止材と、
前記封止材中に封止された請求項３に記載の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルとを備えた、太陽電池モジュール。
【請求項５】
基板の一方の面である裏面に電極を形成する工程と、
前記基板の前記裏面に前記電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークを形成する工程とを含み、
前記アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが、３以上４以下であって、
前記短径ｔが１００μｍ以上である、裏面電極型太陽電池セルの製造方法。
【請求項６】
前記電極および前記アライメントマークは、それぞれ、前記基板の前記裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、前記導電性ペーストを焼成することによって同時に形成される、請求項５に記載の裏面電極型太陽電池セルの製造方法。
【請求項７】
基板の一方の面である裏面に電極と前記電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークとを備えた裏面電極型太陽電池セルを準備する工程と、
絶縁性基材の一方の面に配線を備えた配線シートを準備する工程と、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記アライメントマークが前記配線シートの所定の表面領域と対向するように前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを重ね合わせる工程とを含み、
前記裏面電極型太陽電池セルを準備する工程は、前記基板の前記裏面に前記電極と前記アライメントマークとを形成する工程を有し、
前記アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが、３以上４以下であって、
前記短径ｔが１００μｍ以上である、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法。
【請求項８】
前記電極および前記アライメントマークは、それぞれ、前記基板の前記裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、前記導電性ペーストを焼成することによって同時に形成される、請求項７に記載の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法。
【請求項９】
基板の一方の面である裏面に電極と前記電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークとを備えた裏面電極型太陽電池セルを準備する工程と、
絶縁性基材の一方の面に配線を備えた配線シートを準備する工程と、
前記裏面電極型太陽電池セルの前記アライメントマークが前記配線シートの所定の表面領域と対向するように前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを重ね合わせる工程と、
前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを封止材中に封止する工程とを含み、
前記裏面電極型太陽電池セルを準備する工程は、前記基板の前記裏面に前記電極と前記アライメントマークとを形成する工程を有し、
前記アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが、３以上４以下であって、
前記短径ｔが１００μｍ以上である、太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１０】
前記電極および前記アライメントマークは、それぞれ、前記基板の前記裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、前記導電性ペーストを焼成することによって同時に形成される、請求項９に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。
【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成の両面電極型太陽電池セルであるが、より発電効率の高い裏面電極型太陽電池セルの開発も進められている。
【０００４】
たとえば特許文献１（特開２００５−３４０３６２号公報）には、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルが開示されている。
【０００５】
また、特許文献１には、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線とを電気的に接続した太陽電池モジュールが開示されている。
【０００６】
特許文献２（ＷＯ２００９／０６０７５３号公報）には、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとをアライメントマークを用いて位置合わせし、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線とを直接接触することによってこれらを電気的に接続した太陽電池モジュールが開示されている。
【０００７】
また、特許文献３（特開２０１０−２０８３１７号公報）には、スクリーン印刷法を用いて太陽電池セルの受光面に電極パターンとアライメントマークとを形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−３４０３６２号公報
【特許文献２】ＷＯ２００９／０６０７５３号公報
【特許文献３】特開２０１０−２０８３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
太陽電池モジュールの製造効率を向上させるためには、電極およびアライメントマークの形成時において、スクリーン印刷速度（スキージの移動速度）を上げることが望まれる。しかしながら、スクリーン印刷速度を上げすぎると、印刷にカスレが生じて、良好なアライメントマークを形成することができないという問題があった。
【００１０】
印刷のカスレにより良好なアライメントマークを形成できなかった場合には、太陽電池モジュールの製造工程においてアライメントマークの読み損じが生じて不良品が発生してしまい、太陽電池モジュールの製造歩留まりが低下する。
【００１１】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池モジュールの製造効率を向上することができるとともに、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板と、基板の一方の面である裏面に設けられた電極と、を備え、基板の裏面には、電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークが設けられており、アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である裏面電極型太陽電池セルである。
【００１３】
ここで、本発明の裏面電極型太陽電池セルにおいて、電極は、アライメントマークの長径Ｔの方向に伸長していることが好ましい。
【００１４】
また、本発明は、上記の裏面電極型太陽電池セルと、配線シートと、を備え、配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材の一方の面に設けられた配線とを備え、裏面電極型太陽電池セルの電極と、配線シートの配線とが電気的に接続されてなる、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルである。
【００１５】
また、本発明は、透光性基板と、保護基材と、透光性基板と保護基材との間に位置する封止材と、封止材中に封止された上記の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルとを備えた、太陽電池モジュールである。
【００１６】
また、本発明は、基板の一方の面である裏面に電極を形成する工程と、基板の裏面に電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークを形成する工程とを含み、アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である裏面電極型太陽電池セルの製造方法である。
【００１７】
ここで、本発明の裏面電極型太陽電池セルの製造方法において、電極およびアライメントマークは、それぞれ、基板の裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、導電性ペーストを焼成することによって同時に形成されることが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、基板の一方の面である裏面に電極と電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークとを備えた裏面電極型太陽電池セルを準備する工程と、絶縁性基材の一方の面に配線を備えた配線シートを準備する工程と、裏面電極型太陽電池セルのアライメントマークが配線シートの所定の表面領域と対向するように裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせる工程とを含み、裏面電極型太陽電池セルを準備する工程は、基板の裏面に電極とアライメントマークとを形成する工程を有し、アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法である。
【００１９】
ここで、本発明の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法において、電極およびアライメントマークは、それぞれ、基板の裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、導電性ペーストを焼成することによって同時に形成されることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明は、基板の一方の面である裏面に電極と電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマークとを備えた裏面電極型太陽電池セルを準備する工程と、絶縁性基材の一方の面に配線を備えた配線シートを準備する工程と、裏面電極型太陽電池セルのアライメントマークが配線シートの所定の表面領域と対向するように裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせる工程と、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを封止材中に封止する工程とを含み、裏面電極型太陽電池セルを準備する工程は、基板の裏面に電極とアライメントマークとを形成する工程を有し、アライメントマークの長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である太陽電池モジュールの製造方法である。
【００２１】
ここで、本発明の太陽電池モジュールの製造方法において、電極およびアライメントマークは、それぞれ、基板の裏面に導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷した後に、導電性ペーストを焼成することによって同時に形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、太陽電池モジュールの製造効率を向上することができるとともに、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制することができる裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施の形態の裏面電極型太陽電池セルの裏面の模式的な平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な断面図である。
【図３】図１に示すアライメントマークの模式的な拡大平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｈ）は、本実施の形態の裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図５】本実施の形態の裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例において、導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図６】本実施の形態の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの一例の模式的な断面図である。
【図７】本実施の形態で用いられる配線シートの配線設置側の表面の模式的な拡大平面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、本実施の形態で用いられる配線シートの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、図７に示す配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図１０】本実施の形態の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図１１】（ａ）および（ｂ）は、本実施の形態の太陽電池モジュールの製造方法の他の一例を図解する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２５】
＜裏面電極型太陽電池セル＞
図１に、本発明の裏面電極型太陽電池セルの一例である本実施の形態の裏面電極型太陽電池セルの裏面の模式的な平面図を示す。裏面電極型太陽電池セル８は、基板１と、基板１の裏面に設けられた電極と、を備えている。電極は、帯状のｎ型用電極６と、帯状のｐ型用電極７とから構成されている。
【００２６】
帯状のｎ型用電極６と帯状のｐ型用電極７とは、基板１の裏面に１本ずつ間隔を空けて交互に配列されており、裏面電極型太陽電池セル８の裏面のほぼ全面に亘って形成されている。
【００２７】
また、基板１の裏面は八角形状となっている。基板１の裏面は、比較的長い長さを有する周縁部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄと、比較的短い長さを有する周縁部３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄと、を有している。
【００２８】
基板１の八角形状の裏面の４隅の周縁部３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの近傍には、それぞれ、ｎ型用電極６またはｐ型用電極７と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマーク４１が設けられている。
【００２９】
楕円形状のアライメントマーク４１の長径は、それぞれ、基板１の裏面の周縁部３０ｂ，３０ｄの伸長方向に伸長している。また、楕円形状のアライメントマーク４１の短径は、それぞれ、基板１の裏面の周縁部３０ａ，３０ｃの伸長方向に伸長している。
【００３０】
帯状のｎ型用電極６および帯状のｐ型用電極７は、それぞれ、基板１の裏面の周縁部３０ｂ，３０ｄの伸長方向、すなわち、アライメントマーク４１の長径の方向に伸長している。
【００３１】
なお、基板１の裏面の周縁部３１ａと３１ｃとは、基板１の裏面の中心を挟んで対角に位置している。また、周縁部３１ｂと３１ｄも、基板１の裏面の中心を挟んで対角に位置している。
【００３２】
ここで、基板１の裏面の中心は、互いに向かい合う周縁部３０ａと３０ｃのそれぞれの中点を結ぶ仮想線と、互いに向かい合う周縁部３０ｂと３０ｄのそれぞれの中点を結ぶ仮想線との交点とされる。
【００３３】
図２に、図１のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な断面を示す。基板１の裏面にはｎ型不純物拡散領域２とｐ型不純物拡散領域３とが形成されており、基板１の裏面の一部にはパッシベーション膜４が形成されている。そして、パッシベーション膜４が形成されていない領域のｎ型不純物拡散領域２上にｎ型用電極６が形成されるとともに、パッシベーション膜４が形成されていないｐ型不純物拡散領域３上にｐ型用電極７が形成されている。
【００３４】
また、基板１の受光面にはテクスチャ構造が形成されているとともに、テクスチャ構造上に反射防止膜５が形成されている。
【００３５】
裏面電極型太陽電池セル８のｐｎ接合部に入射した光によって発生した電子や正孔を効率良く取り出すために、基板１の裏面においてｎ型不純物拡散領域２とｐ型不純物拡散領域３とが隣り合って配置されることが好ましく、ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３がそれぞれｎ型用電極６およびｐ型用電極７と接していることがより好ましい。
【００３６】
そして、裏面電極型太陽電池セル８は、受光面とは反対側の裏面に電極（ｎ型用電極６およびｐ型用電極７）を有するため、受光面の電極による光入射損失（シャドーロス）が発生しない。そのため、裏面電極型太陽電池セル８においては、裏面電極型太陽電池セル８の発電電力を効率的に取り出すために、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の全面に亘ってｎ型用電極６およびｐ型用電極７を配置することが好ましい。全面とは、裏面電極型太陽電池セル８のｐｎ接合部、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７を基板１上に形成する際の公差や精度を考慮して、裏面電極型太陽電池セル８のｐｎ接合部、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７が基板１からはみ出さないようにすればよく、たとえば、基板１の１辺が１５０ｍｍ程度である場合には、基板１の周縁部から２ｍｍ程度空けた内側の領域にｎ型用電極６およびｐ型用電極７が形成されていることが好ましく、さらには、基板１の周縁部から１ｍｍ程度空けた内側の領域にｎ型用電極６およびｐ型用電極７が形成されていることが好ましい。このように、裏面電極型太陽電池セル８の裏面の周縁部近傍にまでｎ型用電極６およびｐ型用電極７が形成された場合には、裏面電極型太陽電池セル８の発電電力を効率的に取り出すことができる傾向にある。
【００３７】
図３に、図１に示すアライメントマーク４１の模式的な拡大平面図を示す。図３に示すように、アライメントマーク４１は、長径Ｔと短径ｔとを有しており、アライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上となっている。
【００３８】
これは、本発明者が鋭意検討した結果、電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔを３以上４以下とし、かつ短径ｔを１００μｍ以上とした場合には、スクリーン印刷法を用いてアライメントマーク４１を形成する際のスクリーン印刷速度を上げることができるとともに、印刷のカスレによるアライメントマークの形成不良を低減できることを見い出したことによるものである。
【００３９】
これにより、本実施の形態の裏面電極型太陽電池セルを用いて太陽電池モジュールを製造した場合には、太陽電池モジュールの製造効率を向上することができるとともに、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制することができる。
【００４０】
＜裏面電極型太陽電池セルの製造方法＞
以下、図４（ａ）〜図４（ｈ）の模式的断面図を参照して、本実施の形態の裏面電極型太陽電池セル８の製造方法の一例について説明する。
【００４１】
まず、図４（ａ）に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、表面にスライスダメージ１ａが形成された基板１を用意する。基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００４２】
次に、図４（ｂ）に示すように、基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００４３】
スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができる。
【００４４】
次に、図４（ｃ）に示すように、基板１の裏面に、ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ｎ型不純物拡散領域２は、たとえば、ｎ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、ｐ型不純物拡散領域３は、たとえば、ｐ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００４５】
ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３はそれぞれ図４の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、ｎ型不純物拡散領域２とｐ型不純物拡散領域３とは基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【００４６】
ｎ型不純物拡散領域２はｎ型不純物を含み、ｎ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、ｎ型不純物としては、たとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができる。
【００４７】
ｐ型不純物拡散領域３はｐ型不純物を含み、ｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、ｐ型不純物としては、たとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【００４８】
ｎ型不純物を含むガスとしては、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、ｐ型不純物を含むガスとしては、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【００４９】
次に、図４（ｄ）に示すように、基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【００５０】
パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【００５１】
パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００５２】
次に、図４（ｅ）に示すように、基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【００５３】
テクスチャ構造は、たとえば、基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【００５４】
反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００５５】
次に、図４（ｆ）に示すように、基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、ｎ型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、ｐ型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【００５６】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【００５７】
次に、図４（ｇ）に示すように、基板１の裏面に導電性ペースト９をスクリーン印刷法により印刷する工程を行なう。
【００５８】
導電性ペースト９のスクリーン印刷法による印刷は、たとえば、ｎ型用電極６、ｐ型用電極７、およびアライメントマーク４１のパターンに開口部が形成されたスクリーン（図示せず）上に導電性ペースト９を設置し、図５の模式的平面図に示すように、導電性ペースト９が設置されたスクリーン上を矢印４４の方向に、スキージ（図示せず）を移動させることにより行なうことができる。
【００５９】
ここで、アライメントマーク４１を構成する導電性ペースト９のスクリーン印刷法による印刷は、上述したように、電極と隣り合って位置する楕円形状のアライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上となるようにして行なわれる。
【００６０】
また、導電性ペースト９としては、たとえば従来から公知の銀ペーストなどを好適に用いることができる。
【００６１】
次に、上記のようにスクリーン印刷法により印刷された導電性ペースト９を焼成することによって、図４（ｈ）に示すように、コンタクトホール４ａを通してｎ型不純物拡散領域２に接するｎ型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通してｐ型不純物拡散領域３に接するｐ型用電極７とが形成されるとともに、アライメントマーク４１が形成される。これにより、図１に示す裏面電極型太陽電池セル８を作製することができる。
【００６２】
上述のように、ｎ型用電極６、ｐ型用電極７およびアライメントマーク４１は、それぞれ、基板１の裏面に導電性ペースト９をスクリーン印刷法により印刷した後に、導電性ペースト９を焼成することによって同時に形成されることが好ましい。この場合には、裏面電極型太陽電池セル８を効率的に製造することができるため、太陽電池モジュールの製造効率をさらに向上することができる傾向にある。
【００６３】
なお、導電性ペースト９は、５５０℃以下の温度で焼成されることが好ましく、４５０℃以下の温度で焼成されることがより好ましい。導電性ペースト９を５５０℃以下、特に４５０℃以下の温度で焼成することによって、基板１におけるキャリアライフタイムの低下を抑えることができるため、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの変換効率をより高くすることができる傾向にある。
【００６４】
＜配線シート付き裏面電極型太陽電池セル＞
図６に、本発明の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの一例である本実施の形態の配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの模式的な断面図を示す。配線シート付き裏面電極型太陽電池セルは、上述した裏面電極型太陽電池セル８と、配線シート１０と、を備えている。ここで、配線シート１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１上に設けられたｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３と、を備えている。
【００６５】
そして、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６と配線シート１０のｎ型用配線１２とは導電性接着材５３によって電気的に接続されている。また、裏面電極型太陽電池セル８のｐ型用電極７と配線シート１０のｐ型用配線１３とは導電性接着材５３によって電気的に接続されている。
【００６６】
また、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の周縁部近傍の領域（周縁領域）と、当該基板１の周縁領域に対向する配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域との間には絶縁性接着材６１が位置しており、絶縁性接着材６１は、裏面電極型太陽電池セル８の基板１と配線シート１０の絶縁性基材１１とを機械的に接続している。
【００６７】
さらに、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域以外の領域と、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面の周縁領域以外の領域との間には、絶縁性接着材５２が位置している。絶縁性接着材５２は、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを機械的に接続している。このように、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の周縁領域以外の領域にも、絶縁性接着材６１とは異なる絶縁性接着材５２を配置することによって、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との機械的な接続をより強固にすることができるため、好ましい。
【００６８】
図６に示す配線シート付き裏面電極型太陽電池セルにおいては、導電性接着材５３と、絶縁性接着材６１とは、互いに間隔を空けて位置している。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との機械的な接続の安定性を向上させることができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続の安定性も向上させることができる。
【００６９】
＜配線シート＞
図７に、本実施の形態で用いられる配線シート１０の配線設置側の表面の模式的な拡大平面図を示す。配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上において、ｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３はそれぞれ帯状に所定の間隔を空けて交互に形成されている。配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上には接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によってｎ型用配線１２とｐ型用配線１３とが電気的に接続されている。
【００７０】
接続用配線１４の両端には、接続用配線１４から絶縁性基材１１の表面が露出した領域である窪み６２が形成されている。
【００７１】
以上の構成を有する配線シート１０においては、ｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３のそれぞれの長手方向において隣り合っているｎ型用配線１２とｐ型用配線１３とは接続用配線１４によって電気的に接続されている。そのため、配線シート１０上で上記の長手方向において隣り合って設置されている裏面電極型太陽電池セル８同士は互いに電気的に接続される。
【００７２】
＜配線シートの製造方法＞
配線シート１０は、たとえば以下のようにして製造することができる。以下、図８（ａ）〜図８（ｄ）の模式的断面図を参照して、本実施の形態で用いられる配線シート１０の製造方法の一例について説明する。
【００７３】
まず、図８（ａ）に示すように、絶縁性基材１１の表面上に導電性部材からなる導電層７１を形成する。絶縁性基材１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７４】
絶縁性基材１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。
【００７５】
導電層７１としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。
【００７６】
次に、図８（ｂ）に示すように、絶縁性基材１１の表面の導電層７１上にレジストパターン７２を形成する。ここで、レジストパターン７２は、ｎ型用配線１２、ｐ型用配線１３および接続用配線１４の形成箇所以外の箇所に開口を有する形状に形成する。レジストパターン７２を構成するレジストとしてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布される。なお、窪み６２の形成箇所に相当する箇所には、レジストの開口が設置されることは言うまでもない。
【００７７】
次に、図８（ｃ）に示すように、レジストパターン７２から露出している箇所の導電層７１を矢印７３の方向に除去することによって導電層７１のパターンニングを行ない、導電層７１の残部からｎ型用配線１２、ｐ型用配線１３および接続用配線１４を形成し、接続用配線１４の一部を構成する導電層７１が除去された部分が窪み６２とされる。
【００７８】
導電層７１の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができる。
【００７９】
次に、図８（ｄ）に示すように、ｎ型用配線１２、ｐ型用配線１３および接続用配線１４の表面からレジストパターン７２をすべて除去することによって、配線シート１０が作製される。
【００８０】
＜配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法＞
以下、図９（ａ）〜図９（ｅ）の模式的断面図を参照して、図６に示す配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【００８１】
まず、図９（ａ）に示すように、上記のようにして作製された裏面電極型太陽電池セル８を準備し、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７のそれぞれの表面に半田樹脂５１を設置する。半田樹脂５１は、絶縁性接着材５２と、導電性接着材５３と、を含んでおり、絶縁性接着材５２中に導電性接着材５３が分散した構成を有している。半田樹脂５１としては、たとえば、タムラ化研（株）製のＴＣＡＰ−５４０１−２７などを用いることができる。
【００８２】
絶縁性接着材５２としては、たとえばエポキシ樹脂、アクリル樹脂およびウレタン樹脂からなる群から選択された少なくとも１種を樹脂成分として含む熱硬化型および／または光硬化型の絶縁性樹脂などを用いることができる。
【００８３】
導電性接着材５３としては、たとえば、錫およびビスマスの少なくとも一方を含む半田粒子などを用いることができ、より好ましくは錫とビスマスやインジウム、銀などとの合金であることが好ましい。これによって、半田の融点を低下させることができ、後述する導電性接着材５３を溶融した後に硬化する工程における加熱温度を下げることができるため、裏面電極型太陽電池セル８の反りなどを抑制することができる。
【００８４】
半田樹脂５１の設置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることができるが、なかでも、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷を用いた場合には、簡易に、低コストで、かつ短時間で半田樹脂５１を設置することができる。
【００８５】
なお、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極上に半田樹脂５１を設置する場合について説明するが、配線シート１０の配線上に半田樹脂５１を設置してもよく、裏面電極型太陽電池セル８の電極上および配線シート１０の配線上の双方に半田樹脂５１を設置してもよい。
【００８６】
また、本実施の形態においては、導電性接着材を含む絶縁性接着材として半田樹脂を用いる場合について説明するが、半田樹脂以外に半田ペースト（フラックス中に半田粒子を分散した構成のもの）などを用いることもできる。この場合も上記のように低融点の半田を使用することが好ましい。
【００８７】
また、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１には導電性接着材５３が設置されていないことが好ましい。この場合には、アライメントマーク４１から導電性接着材５３がはみ出るなどでアライメントマーク４１の認識精度が低下するといった問題が起こりにくく、後述する後述する裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせる工程において、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との位置合わせをより正確に行なうことができる傾向にある。また、後述する裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせる工程において、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂがアライメントマーク４１に接しても、導電性接着材５３が絶縁性接着材６１ｂ中に流出することがないため、アライメントマーク４１と基板１の周縁部との間の距離をさらに短くすることができる。これにより、発電電力を取り出すことができる領域（電極の形成領域）をさらに広くすることができるため、発電効率をさらに向上することができる傾向にある。
【００８８】
次に、図９（ｂ）に示すように、上記のようにして作製された配線シート１０を準備し、配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域に未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂを設置する。ここで、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂは、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の周縁領域および配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域の少なくとも一方に設置される。
【００８９】
なお、本実施の形態においては、配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域に絶縁性接着材６１ｂを設置する場合について説明するが、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の周縁領域の少なくとも一部に絶縁性接着材６１ｂを設置してもよく、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の周縁領域の少なくとも一部および配線シート１０の絶縁性接着材６１ｂの周縁領域の少なくとも一部の双方に絶縁性接着材６１ｂを設置してもよい。
【００９０】
また、配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域は、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせて配線シート付き裏面電極型太陽電池セルまたは太陽電池モジュールとしたときに、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域と対向する配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域である。図７に示すように、配線シート１０に窪み６２が形成されている場合には、絶縁性基材１１の周縁領域は窪み６２の少なくとも一部に重なっていることが好ましい。これにより、絶縁性基材１１の周縁領域に設置された絶縁性接着材６１ｂが裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域などよりも内側に入り込んでしまうことを効果的に防止できる。
【００９１】
絶縁性接着材６１ｂとしては、たとえばエポキシ樹脂、アクリル樹脂およびウレタン樹脂からなる群から選択された少なくとも１種を樹脂成分として含む熱硬化型および／または光硬化型の絶縁性樹脂などを用いることができる。
【００９２】
絶縁性接着材６１ｂとしては、なかでも、紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いることが好ましい。この場合には、絶縁性接着材６１ｂへの紫外線（波長１ｎｍ以上４００ｎｍ以下の光）の照射により、紫外線が照射された部分の絶縁性接着材６１ｂを選択的に硬化することができる。これにより、後述する裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との絶縁性接着材６１による固定時において、絶縁性接着材６１ｂのみを硬化することができるため、半田樹脂５１が加熱されることによる導電性接着材５３の溶融を防止することができ、ひいては裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続の安定性を向上することができる。
【００９３】
絶縁性接着材６１ｂの設置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることができるが、なかでも、ディスペンサ塗布を用いることが好ましい。ディスペンサ塗布を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域と、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面の周縁領域との間の適正な位置に適量の絶縁性接着材６１ｂを設置することができる。
【００９４】
また、半田樹脂５１を設置する工程と、絶縁性接着材６１ｂを設置する工程を行なう順序は特に限定されず、半田樹脂５１を設置する工程を絶縁性接着材６１ｂを設置する工程よりも先に行なってもよく、絶縁性接着材６１ｂを設置する工程を半田樹脂５１を設置する工程よりも先に行なってもよい。また、これらの工程を同時に行なってもよい。
【００９５】
次に、図９（ｃ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１が配線シート１０の所定の表面領域と対向するように、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせる。
【００９６】
裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との重ね合わせは、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１が配線シート１０の所定の表面領域と対向するように位置合わせして行なわれる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７が、それぞれ、配線シート１０の絶縁性基材１１上に設けられたｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３上に配置される。この段階では、絶縁性接着材６１ｂは未硬化状態であるため、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との位置合わせを容易に行なうことができ、ひいては裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的接続の安定性、および裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との機械的接続の安定性を向上することができる。
【００９７】
このとき、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域が、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面の周縁領域と対向し、基板１の裏面の周縁領域と絶縁性基材１１の表面の周縁領域との間に絶縁性接着材６１ｂが位置する。したがって、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂは裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域のみに接触し、電極形成部には接触しない。これにより、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７のそれぞれの表面に設置された導電性接着材５３と絶縁性接着材６１ｂとを間隔を空けて位置させることができるため、導電性接着材５３が絶縁性接着材６１ｂを介して裏面電極型太陽電池セル８の電極間および／または配線シート１０の配線間に流出して電極間および／または配線間を短絡してしまうという問題を防止できる。
【００９８】
なお、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１に対向する配線シート１０の所定の表面領域は、上記の電気的接続の安定性および／または機械的接続の安定性等を考慮して適宜設定することができる。このような配線シート１０の所定の表面領域としては、たとえば、窪み６２の形成領域などを挙げることができる。
【００９９】
次に、図９（ｄ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせた後に、絶縁性接着材６１ｂを硬化する。これにより、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂは、硬化状態の絶縁性接着材６１となる。
【０１００】
ここで、絶縁性接着材６１ｂの硬化方法としては、たとえば、絶縁性接着材６１ｂを加熱する方法および／または紫外線などの光を照射する方法などを挙げることができる。これにより、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂが硬化して、硬化状態の絶縁性接着材６１となる。なお、この段階での絶縁性接着材６１ｂの硬化は完全に硬化した状態でなくてもよく、少なくとも次の導電性接着材５３を溶融した後に硬化する工程において、溶融した導電性接着材５３と混合しない程度に硬化されていればよい。
【０１０１】
次に、導電性接着材５３を溶融した後に硬化させる。ここで、導電性接着材５３を溶融した後に硬化させる工程は、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを加圧しながら半田樹脂５１を加熱して半田樹脂５１中の導電性接着材５３を溶融し、その後、導電性接着材５３を冷却することにより行なうことができる。
【０１０２】
ここで、溶融した導電性接着材５３は、図９（ｅ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６の表面の少なくとも一部と配線シート１０のｎ型用配線１２の表面の少なくとも一部との間に凝集するとともに、裏面電極型太陽電池セル８のｐ型用電極７の表面の少なくとも一部と配線シート１０のｐ型用配線１３の表面の少なくとも一部との間にも凝集する。その後、溶融した導電性接着材５３は冷却されることによって、凝集した状態で固化する。
【０１０３】
また、半田樹脂５１の加熱により絶縁性接着材５２の粘度が低下して裏面電極型太陽電池セル８の電極間の領域および配線シート１０の配線間の領域に移動する。その後、絶縁性接着材５２はさらに加熱されることにより、その移動後の位置で硬化する。
【０１０４】
さらに、絶縁性接着材６１が完全に硬化していない場合には、半田樹脂５１の加熱とともに、絶縁性接着材６１も加熱されて完全に硬化する。
【０１０５】
以上により、図６に示す配線シート付き裏面電極型太陽電池セルを作製することができる。
【０１０６】
＜太陽電池モジュール＞
上記のようにして作製された配線シート付き裏面電極型太陽電池セルは、たとえば図１０の模式的断面図に示すように、透光性基板１７と保護基材１９との間に位置する封止材１８中に封止されることにより本実施の形態の太陽電池モジュールとされる。
【０１０７】
本実施の形態の太陽電池モジュールは、たとえば、ガラスなどの透光性基板１７に備えられたエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などの封止材１８と、ポリエステルフィルムなどの保護基材１９に備えられたＥＶＡなどの封止材１８との間に配線シート付き裏面電極型太陽電池セルを挟み込み、透光性基板１７と保護基材１９との間を加圧しながら加熱して、これらの封止材１８を溶融した後に硬化させて一体化することにより作製することができる。
【０１０８】
図１０に示す本実施の形態の太陽電池モジュールは、たとえば以下の製造方法によっても製造することができる。
【０１０９】
まず、図９（ａ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７のそれぞれの表面に半田樹脂５１を設置した後に、図９（ｂ）に示すように、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面の周縁領域に未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂを設置する。
【０１１０】
次に、図９（ｃ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを重ね合わせ、図９（ｄ）に示すように、絶縁性接着材６１ｂを硬化して硬化状態の絶縁性接着材６１とする。ここまでは上記と同様である。
【０１１１】
次に、図１１（ａ）の模式的断面図に示すように、透光性基板１７と保護基材１９との間に、封止材１８によって挟まれた裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを設置する。ここで、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とは、裏面電極型太陽電池セル８の基板１の裏面の周縁領域と、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面の周縁領域との間の硬化状態の絶縁性接着材６１で固定された状態で重ね合わされている。
【０１１２】
次に、図１１（ｂ）の模式的断面図に示すように、透光性基板１７と保護基材１９とを加圧しながら封止材１８を加熱して軟化させた後に、封止材１８を冷却して硬化させることによって、透光性基板１７と保護基材１９との間の封止材１８中に裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを封止する。これにより、図１０に示す本実施の形態の太陽電池モジュールが作製される。
【０１１３】
なお、封止材１８の加熱の際には、半田樹脂５１の加熱も行なわれる。これにより、図１０（ｂ）に示すように、導電性接着材５３が溶融して、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６の表面の少なくとも一部と配線シート１０のｎ型用配線１２の表面の少なくとも一部との間に凝集するとともに、裏面電極型太陽電池セル８のｐ型用電極７の表面の少なくとも一部と配線シート１０のｐ型用配線１３の表面の少なくとも一部との間にも凝集する。その後、溶融した導電性接着材５３は冷却されることによって、凝集した状態で固化する。
【０１１４】
この形態においても、導電性接着材５３には低温で溶融する材質のものを使用することが好ましく、たとえば、封止材１８にエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などを用いた場合には、導電性接着材５３の融点は１５０℃以下であることが好ましい。これにより、導電性接着材５３の加熱によって封止材１８が分解し発泡したり脆くなったりすることを防止できる。導電性接着材５３に半田を用いた場合には、上述のように錫とビスマスやインジウム、銀などとの合金を使用することで融点を１５０℃以下とすることが可能であるが、低融点の半田は脆いことが知られており、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との機械的な接続をより強固にすることができる本実施の形態は有用である。
【０１１５】
また、絶縁性接着材５２は加熱されることにより粘度が低下して裏面電極型太陽電池セル８の電極間の領域および配線シート１０の配線間の領域に移動し、その後さらに加熱されることにより、絶縁性接着材５２はその移動後の位置で硬化する。
【０１１６】
この形態においても、未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂを設置してから未硬化状態の絶縁性接着材６１ｂを硬化して硬化状態の絶縁性接着材６１とするまでの間、絶縁性接着材６１ｂと、半田樹脂５１中の導電性接着材５３と、を、間隔をあけて位置させている。これにより、絶縁性接着材６１ｂが流動することによる絶縁性接着材６１ｂと導電性接着材５３との混ざり合いを抑制することができるため、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０との機械的な接続の安定性を向上することができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線シート１０の配線との電気的な接続の安定性も向上することができる。その他の説明は上記と同様である。
【０１１７】
＜作用効果＞
本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下となり、かつ短径ｔが１００μｍ以上となるように、アライメントマーク４１をスクリーン印刷法を用いて形成している。これにより、本実施の形態においては、スクリーン印刷法を用いてアライメントマーク４１を形成する際のスクリーン印刷速度を上げることができるとともに、印刷のカスレによるアライメントマークの形成不良を低減できる。
【０１１８】
したがって、本実施の形態においては、太陽電池モジュールの製造効率を向上することができるとともに、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制することができる。
【実施例】
【０１１９】
＜実施例１＞
まず、図４（ａ）に示すように、ｎ型単結晶シリコンインゴットからスライスすることによって、表面にスライスダメージ１ａが形成されたｎ型単結晶シリコンからなる基板１を用意した。次に、基板１を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬させることによって、図４（ｂ）に示すように、スライスダメージ１ａを除去した。
【０１２０】
次に、ＰＯＣｌ3およびＢＢｒ3を用いて、基板１の裏面にリンおよびボロンを拡散させることによって、図４（ｃ）に示すように、基板１の裏面に、帯状のｎ型不純物拡散領域２と帯状のｐ型不純物拡散領域３とを１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置するように形成した。
【０１２１】
次に、図４（ｄ）に示すように、基板１の裏面に、プラズマＣＶＤ法により、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体からなるパッシベーション膜４を形成した。
【０１２２】
次に、図４（ｅ）に示すように、基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、プラズマＣＶＤ法により、凹凸構造上に窒化シリコン膜からなる反射防止膜５を形成した。
【０１２３】
次に、図４（ｆ）に示すように、基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによって、コンタクトホール４ａ，４ｂを形成した。
【０１２４】
次に、図４（ｇ）および図５に示すように、基板１の裏面に、ｎ型用電極６、ｐ型用電極７、およびアライメントマーク４１のパターンに開口部が形成されたスクリーン上に銀ペーストからなる導電性ペースト９を設置し、導電性ペースト９が設置されたスクリーン上を矢印４４の方向に、基板１枚当たり１．８秒の速度（１．８秒／枚）でスキージを移動させることにより、導電性ペースト９をスクリーン印刷法により印刷した。
【０１２５】
ここで、楕円形状のアライメントマーク４１は、長径Ｔが４５０μｍ、短径ｔが１５０μｍとなるようにして形成され、アライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３であって、短径ｔが１５０μｍとなるようにして行なった。
【０１２６】
次に、上記のようにスクリーン印刷法により印刷された導電性ペースト９を空気中で５５０℃に加熱して焼成することによって、図４（ｈ）に示すように、コンタクトホール４ａを通してｎ型不純物拡散領域２に接するｎ型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通してｐ型不純物拡散領域３に接するｐ型用電極７とを形成するとともに、アライメントマーク４１を形成した。これにより、図１に示す裏面電極型太陽電池セル８を作製した。
【０１２７】
次に、図９（ａ）に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７のそれぞれの表面に半田樹脂５１（タムラ化研（株）製のＴＣＡＰ−５４０１−２７）をスクリーン印刷法により印刷した。
【０１２８】
次に、図７に示す配線シート１０を準備し、図９（ｂ）に示すように、配線シート１０の絶縁性基材１１の周縁領域に未硬化状態のエポキシ樹脂からなる絶縁性接着材６１ｂをスクリーン印刷法により印刷した。
【０１２９】
次に、図９（ｃ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８のアライメントマーク４１が配線シート１０の所定の表面領域である窪み６２と対向するように、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせた。これにより、裏面電極型太陽電池セル８のｎ型用電極６およびｐ型用電極７を、それぞれ、配線シート１０の絶縁性基材１１上に設けられたｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３上に配置した。
【０１３０】
次に、図９（ｄ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを重ね合わせた後に、絶縁性接着材６１ｂを加熱することにより硬化して、硬化状態の絶縁性接着材６１とした。
【０１３１】
次に、裏面電極型太陽電池セル８と配線シート１０とを加圧しながら半田樹脂５１を加熱して半田樹脂５１中の導電性接着材５３を溶融し、その後、導電性接着材５３を冷却することにより硬化させ、図９（ｅ）に示す配線シート付き裏面電極型太陽電池セルを作製した。
【０１３２】
その後、図１０に示すように、ガラスからなる透光性基板１７に備えられたＥＶＡからなる封止材１８と、ポリエステルフィルムからなる保護基材１９に備えられたＥＶＡからなる封止材１８との間に、上記のようにして作製した配線シート付き裏面電極型太陽電池セルを挟み込み、透光性基板１７と保護基材１９との間を加圧しながら加熱して、これらの封止材１８を溶融した後に硬化させて一体化することにより、実施例１の太陽電池モジュールを作製した。
【０１３３】
上記のようにして実施例１の太陽電池モジュールを複数作製し、アライメントマーク４１の読み損じに起因するエラー発生率を算出した。その結果を表１に示す。なお、エラー発生率は、以下の式（Ｉ）により算出した。
【０１３４】
エラー発生率（％）＝１００×（アライメントマーク４１の読み損じの回数（回））／（アライメントマーク４１の読み取りの総回数（回））  …（Ｉ）
なお、太陽電池モジュールが作製されるまで、アライメントマーク４１は、１枚の裏面電極型太陽電池セル８につき４回読み取られる。
【０１３５】
＜実施例２＞
楕円形状のアライメントマーク４１の長径Ｔを６００μｍとし、アライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが４となるようにしたこと以外は実施例１と同様にして実施例２の太陽電池モジュールを複数作製した。そして、アライメントマーク４１の読み損じに起因するエラー発生率を実施例１と同様にして算出した。その結果を表１に示す。
【０１３６】
＜比較例＞
楕円形状のアライメントマーク４１の長径Ｔを６００μｍ、短径ｔを３００μｍとしてアライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔを２にするとともに、スキージの移動速度を２．０秒／枚としたこと以外は実施例１と同様にして、比較例の太陽電池モジュールを複数作製した。そして、アライメントマーク４１の読み損じに起因するエラー発生率を実施例１と同様にして算出した。その結果を表１に示す。
【０１３７】
＜評価＞
表１に示すように、アライメントマーク４１の長径Ｔと短径ｔとの比Ｔ／ｔが３以上４以下であって、短径ｔが１００μｍ以上である実施例１および実施例２においては、エラー発生率が０．０１％以下になるとともに、スキージの移動速度を１．８秒／枚とすることができ、比較例と比べて、スキージの移動速度を上げた場合でも、低いエラー発生率を達成することができた。
【０１３８】
以上の結果により、実施例１および実施例２においては、比較例と比較して、太陽電池モジュールの製造効率を向上することができるとともに、太陽電池モジュールの製造歩留まりの低下を抑制することができることが確認された。
【０１３９】
【表１】
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【０１４０】
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および各実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【０１４１】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１４２】
本発明は、裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に利用することができる。
【符号の説明】
【０１４３】
１  基板、１ａ  スライスダメージ、２  ｎ型不純物拡散領域、３  ｐ型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  ｎ型用電極、７  ｐ型用電極、８  裏面電極型太陽電池セル、１０  配線基板、１１  絶縁性基材、１２  ｎ型用配線、１３  ｐ型用配線、１７  透光性基板、１８  封止材、１９  保護基材、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ  周縁部、４１  アライメントマーク、４４  矢印、５１  半田樹脂、５２，６１，６１ｂ  絶縁性接着材、５３  導電性接着材、６２  窪み、７１  導電層、７２  レジストパターン、７３  矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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