(57)【要約】【課題】固体電解質層の形成方法を改良し静電容量の向上および低ＥＳＲ化を可能とする固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】多孔質化された板状または箔状の弁作用金属に誘電体酸化皮膜４を形成した陽極電極体３上に、導電性微粒子を溶媒で分散させた分散溶液５を前記陽極電極体３の表面に供給し、弾性体２による押圧によって分散溶液５を多孔質層の深部にまで行き渡らせて、多孔質層の深部に渡って固体電解質層を形成する。【選択図】図２
2013251408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、前記多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体上に、固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記固体電解質層形成工程は、
溶媒に導電性微粒子を分散させた分散溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
前記供給した分散溶液を押圧手段により前記陽極電極体に押圧し、前記多孔質層に浸入させる押圧工程と、
を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記押圧工程において、
前記分散溶液を弾性体で前記陽極電極体に押圧したことを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項３】
表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、前記多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体上に、固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記固体電解質層形成工程は、
重合性モノマー溶液と酸化剤溶液との混合溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
前記供給した重合性モノマー溶液と酸化剤溶液との混合溶液を前記陽極電極体に押圧し、前記多孔質層に浸入させる押圧工程と、
を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記押圧工程において、
前記混合溶液を弾性体で前記陽極電極体に押圧したことを特徴とする請求項３に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項５】
表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、前記多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体上に、固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記固体電解質層形成工程は、
重合性モノマー溶液を前記陽極電極体上に供給する重合性モノマー溶液供給工程と、
酸化剤溶液を前記陽極電極体上に供給する酸化剤溶液供給工程と、
前記陽極電極体上に供給された重合性モノマー溶液又は酸化剤溶液を押圧する押圧工程と、
を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項６】
前記押圧工程において、
前記重合性モノマー溶液と前記酸化剤溶液を弾性体で前記陽極電極体に押圧したことを特徴とする請求項５に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に係り、特に静電容量及び等価直列抵抗（以下、単にＥＳＲ）の特性向上を図るべく固体電解質層の形成方法を改良した固体電解コンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体電解コンデンサは、電解質として導電性を有する固体の金属酸化物や導電性ポリマーを用いたコンデンサである。この固体電解コンデンサは、電解液を用いた電解コンデンサに比べ、固体電解質の電導度が高いことにより、低ＥＳＲ化を図ることができ、さらに液体である電解液を封じる必要がないことから、耐熱性の要求される用途や表面実装形の電解コンデンサとして適している。
【０００３】
固体電解質としては、従来は二酸化マンガンや二酸化鉛などの導電性を有する金属酸化物が主流であったが、近年はより高い電導度が得られ、固体電解コンデンサのＥＳＲを低くすることができる導電性微粒子を含む固体電解質層が着目されている。
【０００４】
固体電解質層に使用される導電性微粒子としては、ポリアセチレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアクリロニトリルやこれらの誘導体などπ共役系導電性ポリマーが知られている。
【０００５】
このような固体電解コンデンサの陽極としては、多孔質化処理などで表面積が拡大化されたアルミニウム、タンタルなどの弁作用金属上に、誘電体となる絶縁性酸化皮膜層が形成されたものが使用される。
【０００６】
導電性微粒子からなる固体電解質層は、この陽極上に形成される。固体電解質層の形成は原材料をポリマー化するための重合工程が必要であり、陽極表面において重合性モノマー溶液と酸化剤溶液を化学重合、気相重合、電解重合などの手段で行うのが一般的である。また、予め重合した導電性微粒子を溶媒に分散させた分散溶液を得て、被処理物をこの分散溶液に浸漬、あるいは分散溶液を被処理物に塗布した後に、溶媒を蒸発させて形成させる手段もある。
【０００７】
ところで、近年、デジタル機器は小型化・高性能化が進み、動作周波数は高速化している。それに伴い、ノイズ除去や電源電圧の平滑化が必要とされ、電子回路における電解コンデンサの役割も重要になってきている。このような背景の中、固体電解コンデンサについても更なる小型化、静電容量のさらなる増大、および低ＥＳＲ化が要求されている。
【０００８】
固体電解コンデンサにおいて、静電容量の増大を図るには、第一に、陽極電極体において誘電体酸化皮膜の面積を増大すれば良い。また、表面積を増大させた誘電体酸化皮膜に対して、固体電解質層と接触する面積を増大させることが必要である。たとえ、誘電体酸化皮膜の面積を増大させたとしても、真の陰極となる固体電解質層との接触面積が少なければ、静電容量は増加しない。従って、誘電体酸化皮膜の表面積に対する固体電解質層の接触面積、いわゆる容量出現率を向上させることが必要である。また、誘電体酸化皮膜の表面積に対する固体電解質層の接触面積が増えること、および多孔質層内部での固体電解質層が緻密に形成されることで、固体電解コンデンサ内部での電流経路が増大し、固体電解コンデンサの低ＥＳＲ化を図ることともなる。
【０００９】
そこで、ＥＳＲ特性改善のため、固体電解質層の陽極上への形成方法について、以下のような提案が成されている。特許文献１では、陽極に形成された多孔質層の空気を減圧により除去した後、加圧により重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合液をコンデンサ素子の内部に送り込むことによって、多孔質層の奥深くまで導電性微粒子を充填する技術が提案されている。
【００１０】
特許文献２は、予め生成した導電性微粒子を溶媒に分散させた分散溶液を陽極電極体上に含浸又は塗布する方法であるが、高分子溶液の導電性微粒子の粒子径を制御することで、陽極の多孔質細孔内部に固体電解質層を形成する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００１−１１０６８１号公報
【特許文献２】特開２００９−１１１１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１のように空気により加圧する場合、弁作用金属箔表面の混合液が飛散し、十分な混合液を送り込むことができない問題があった。また、加圧前に減圧を行う必要があり、工程が煩雑になると共に作業時間も長くなるという問題もあった。一方、特許文献２の方法では、多孔質最表面の開口部は塞がれるが、細孔内部に十分に高分子溶液を浸入させるには至らず、十分なＥＳＲ特性改善が得られないという問題があった。
【００１３】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、固体電解質層の形成方法を改良し静電容量の増大および低ＥＳＲ化を可能とする固体電解コンデンサの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するため、本発明は、表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、該多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体上に、導電性微粒子からなる固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
（１）前記固体電解質層形成工程は、溶媒に導電性微粒子を分散させた分散溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
（２）前記供給した導電性微粒子を溶媒に分散させた分散溶液を前記陽極電極体に押圧し、前記分散溶液を前記多孔質層に浸入させる押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１５】
また、固体電解質層形成工程では、供給工程、押圧工程、乾燥工程をそれぞれ１乃至複数回行っても良いし、その際に初回のみ押圧工程を行うようにしても良い。初回の供給工程で供給する分散溶液の導電性微粒子の粒径を、次回以降の供給工程で供給する分散溶液の導電性微粒子の粒径よりも小さくしても良い。導電性微粒子を溶媒に分散させた分散溶液としては、五員複素環式化合物、ポリアニリン、ポリアニリン誘導体から少なくとも１つ選択しても良い。
【００１６】
以上のような本発明では、陽極電極体に供給された導電性微粒子を溶媒に分散させた分散溶液が物理的に押圧されることで、押圧と同時に陽極電極体の多孔質層に侵入する。その後、乾燥により溶媒を蒸発させることで、多孔質層の深部に渡って固体電解質層を形成する。
【００１７】
弾性体は押圧する際、陽極電極上に形成されている誘電体酸化皮膜の破壊、陽極電極体の変形を抑制するために選定した材料であり、これらを抑制できるものであれば何でもよいが、好ましくは弾性体で物理的に行う方法がよい。
【００１８】
上記の目的を達成するため、本発明は、表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、該多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体上に、導電性微粒子からなる固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記固体電解質層形成工程は、
（１）重合性モノマー溶液と酸化剤溶液との混合溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
（２） 前記供給した重合性モノマー溶液と酸化剤溶液との混合溶液を前記陽極電極体に押圧する押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
【００１９】
弾性体は押圧する際、陽極電極上に形成されている誘電体酸化皮膜の破壊、陽極電極体の変形を抑制するために選定した材料であり、これらを抑制できるものであれば何でもよいが、好ましくは弾性体で物理的に行う方法がよい。
【００２０】
上記の目的を達成するため、本発明は表面に多孔質層を有する板状または箔状の弁作用金属であって、該多孔質層の表面に誘電体酸化皮膜が形成された陽極電極体に、導電性微粒子からなる固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、
前記固体電解質層形成工程は、
（１）重合性モノマー溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
（２）前記重合性モノマー溶液を前記陽極電極体上に押圧する工程と、
（３）酸化剤溶液を前記陽極電極体上に供給する供給工程と、
（４）前記酸化剤溶液を前記陽極体に押圧する押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
【００２１】
弾性体は押圧する際、陽極電極上に形成されている誘電体酸化皮膜の破壊、陽極電極体の変形を抑制するために選定した材料であり、これらを抑制できるものであれば何でもよいが、好ましくは弾性体で物理的に行う方法がよい。また、重合性モノマー溶液、酸化剤溶液の粘度に応じて各押圧工程の有無を決めてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、弾性体による押圧により、固体電解質層を形成する導電性微粒子の分散溶液、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液との混合溶液、重合性モノマー溶液および酸化剤溶液を、多孔質層の深部にまで行き渡らせることができる。従って、多孔質層の深部に渡って固体電解質層を形成することができる。このため、固体電解コンデンサの静電容量の増大及びＥＳＲの低減を図ることができる。また、その方法は弾性体を用いて物理的に行うものであるため、簡易な装置で短時間に行うことが可能である。
【００２３】
また、粒径の小さい導電性微粒子を多孔質層内に入れた場合、導電性微粒子同士の接点が多くなるためＥＳＲが高くなってしまうが、弾性体で押圧することで粒径が大きいものも多孔質層の奥深くに押し込むことができる。粒径の大きい導電性微粒子が多孔質層内に入れた場合、粒径が小さい場合のように導電性微粒子同士の接点が多くなることはなく、接点で生じるＥＳＲを低く抑えることができるため、固体電解質全体のＥＳＲを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態に係る固体電解コンデンサの製造工程を示すフローチャートである。
【図２】本発明の実施形態に係る分散溶液供給工程及び分散溶液押圧工程の概略を示す斜視図である。
【図３】実施例１、２及び比較例１、２の特性を示すグラフであり、（ａ）は静電容量を、（ｂ）は誘電損失ｔａｎδを、（ｃ）はＥＳＲを示す。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法について図面を参照しつつ説明する。
図１のフローチャートに示すように、本発明に係る固体電解コンデンサは以下の工程を経て製造される。尚、ステップ２からステップ４が、本発明における陽極電極体に導電性微粒子からなる固体電解質層を形成する工程である。
ステップ１：陽極電極体形成工程
ステップ２：分散溶液供給工程
ステップ３：分散溶液押圧工程
ステップ４：乾燥工程
ステップ５：電極引出し工程
【００２６】
（ステップ１：陽極電極体形成工程）
所定の大きさを有する板上または箔状の弁作用金属の表面にエッチング処理やアルミニウム等の微粉末を堆積させて多孔質層を形成する。この多孔質層の深さや表面の粗さは、固体電解コンデンサに求められる耐電圧や静電容量などの用途に応じて選択可能である。
【００２７】
次に、この多孔質層の表面に誘電体となる酸化皮膜を形成する。例えば、アジピン酸アンモニウム水溶液中で４Ｖ、３０分間の電圧印加（化成処理）することにより、誘電体酸化皮膜を形成して陽極電極体を得る。酸化皮膜の厚みは、化成処理における印加電圧によって適宜調整できる。この陽極電極体としては、例えばタンタル、アルミニウム等の弁作用金属から選択する。
【００２８】
（ステップ２：分散溶液供給工程）
分散溶液は、溶媒に導電性微粒子を分散させて生成する。この分散溶液で使用する導電性微粒子としては、ポリピロール、ポリ−（３，４−エチレンジオキシチオフェン）、ポリ−（３，４−エチレンジオキシチオフェン）等の五員複素環式化合物、ポリアニリン等を予め重合させたものが使用できる。特に、ポリ−（３，４−エチレンジオキシチオフェン、またはポリ−（３，４−エチレンジオキシチオフェン）等のチオフェン誘導体、ポリアニリン、またはポリアニリン誘導体の少なくとも１つを含むことが好ましい。溶媒としては、特に限定するものでは無く、水や有機溶媒が選択できるが、使用する導電性微粒子に対し優れた分散性を持つものを選択することが好ましい。
【００２９】
図２は、分散溶液供給工程及び分散溶液押圧工程の概略を示す斜視図である。生成した分散溶液５は、誘電体酸化皮膜４を含む陽極電極体３の多孔質層の上に供給する。この分散溶液５を供給する方法としては、例えばノズルからの滴下や、スプレーや、ローラー、ブラシなどを用いた塗布により行うことができる。ただし、これらの方法に限定されるものでは無く、分散溶液５を陽極電極体３上に所定量供給できればどのような方法であっても良い。また、この分散溶液供給工程は複数回実施しても良い。
【００３０】
（ステップ３：分散溶液押圧工程）
図２に示すように、下側の弾性体２上に陽極電極体３を置き、陽極電極体３上に分散溶液５を供給して上側の弾性体２で押さえ、その上から凹型と凸型のプレス冶具１を用意し、凸型の上から油圧プレス機で押圧する。このプレス冶具１は、弾性体を所定量の押圧ができれば良く、その形状や大きさは限定されない。例えば、陽極電極体３が１０×１０ｍｍの場合には、プレス冶具１の凹部としては、直径１５ｍｍ程度、深さ１０ｍｍ程度のものが使用可能である。
【００３１】
弾性体２としては、押圧時に陽極電極体３に損傷を与えないように弁作用金属よりも柔らかいものが好ましく、例えば、エラストマーゴム、ニトリルゴム、イソプロピレンゴム、スチン・ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、ポリイソブチレン等が考えられ、実施例ではエラストマーゴムを使用している。この弾性体２による押圧によって、分散溶液５は瞬間的に陽極電極体３の多孔質層の深部にまで入り込むため、押圧時間は１〜２秒程度で良い。
【００３２】
（ステップ４：乾燥工程）
分散溶液５の付加及び弾性体による押圧が完了した陽極電極体３は、溶媒を除去して固体電解質層を得るために乾燥処理を施す。乾燥処理では、分散溶液５の溶媒が蒸発すれば良く、陽極電極体および導電性微粒子の劣化防止の観点から、２００℃未満であることが好ましい。また、この乾燥工程は複数回実施しても良い。
【００３３】
なお、上記のステップ２：分散溶液供給工程からステップ４：乾燥工程までを複数回繰り返すことが好ましい。
一回の固体電解質の形成では、乾燥工程後には溶媒が存在していた部分が空隙部となる。この空隙部にさらに緻密に固体電解質層を形成するには、分散溶液供給工程からステップ４：乾燥工程までを複数回繰り返して、空隙部が少なくなるように固体電解質層を形成していけばよい。
【００３４】
（ステップ５：電極引出し工程）
上記工程で形成した固体電解質層上に、カーボン層、銀ペースト層を形成し、陽極外部端子、陰極外部端子を取り付けて電極の引き出しを行って、固体電解コンデンサを得る。
【００３５】
この固体電解コンデンサの製造工程においては、供給工程と押圧工程と乾燥工程をそれぞれ１乃至複数回繰り返し行っても良い。その場合、初回のみ前記押圧工程を行うようにしても良い。
【００３６】
また、この固体電解コンデンサの製造工程において、供給工程を複数回行う場合には、初回に供給する分散溶液５の導電性微粒子の粒径が、次回以降に供給する導電性微粒子を分散させた分散溶液５の導電性微粒子の粒径よりも小さくすることが好ましい。
【００３７】
（第二の実施形態）
次に第二の実施形態について説明する。
第二の実施形態では、図1に示したフローチャートにおける各ステップを次のように変更して行った。
ステップ１：陽極電極体形成工程
ステップ２：重合性モノマー溶液、酸化剤溶液の混合溶液供給工程
ステップ３：重合性モノマー溶液、酸化剤溶液の混合溶液押圧工程
ステップ４：重合性モノマー溶液、酸化剤溶液重合工程
ステップ５：電極引出し工程
【００３８】
上記のステップ１〜５のうち、ステップ１、ステップ５は前述した実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００３９】
ステップ２は、重合性モノマー溶液、酸化剤溶液の混合溶液供給工程である。
重合性モノマーとしては、ピロール、３，４−エチレンジオキシチオフェン等の五員複素環式化合物等があるが、特に３，４−エチレンジオキシチオフェン等のチオフェン誘導体を使用することが好ましい。重合性モノマー溶液の溶媒としては、メタノール、エタノール、ブタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類を用いることが好ましい。
【００４０】
酸化剤溶液としては、重合性モノマーの重合を促進するものであれば良く、ｐ−トルエンスルホン酸第二鉄、アルキルベンゼンスルホン酸第二鉄、ナフタレンスルホン酸第二鉄、アルキルナフタレンスルホン酸第二鉄、アントラキノンスルホン酸第二鉄等が用いられ、溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール等が用いられる。
重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液は例えばノズルからの滴下や、スプレー、ローラー、ブラシなどを用いた塗布により供給を行う。ただし、これらの方法に限定されるものでは無く、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液を陽極電極体３上に所定量供給できればどのような方法であっても良い。
そして、多孔質層内に浸透した重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液によって、重合性モノマー溶液の重合が進行し、導電性微粒子となる。
【００４１】
ステップ３は重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液の押圧工程である。
このステップ３では、押圧工程での押圧する対象物が前述した重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液に変更になったのみである。
【００４２】
（第三の実施形態）
次に第二の実施形態について説明する。
第二の実施形態では、図1に示したフローチャートにおける各ステップを次のように変更して行った。
ステップ１：陽極電極体形成工程
ステップ２：重合性モノマー溶液供給工程
ステップ３：重合性モノマー溶液押圧工程
ステップ４：重合性モノマー溶液乾燥工程
ステップ５：酸化剤溶液供給工程
ステップ６：酸化剤溶液押圧工程
ステップ７：重合性モノマー溶液、酸化剤溶液重合工程
ステップ８：電極引出し工程
【００４３】
上記のステップ１〜８のうち、ステップ１、ステップ８は前述した第一の実施形態のステップ１、ステップ５と同様であるため、その説明を省略する。図１の固体電解質層形成工程において、重合性モノマー溶液を供給（ステップ２）、押圧（ステップ３）、乾燥（ステップ４）する工程がＳ０２、Ｓ０３、Ｓ０４に対応し、酸化剤溶液供給（ステップ５）、押圧（ステップ６）、重合性モノマー溶液、酸化剤溶液重合工程（ステップ７）がＳ０２、Ｓ０３、Ｓ０４となり、Ｓ０２からＳ０４までが２回繰り返されることになる。
【００４４】
ステップ２は、重合性モノマー溶液供給工程である。
重合性モノマーとしては、ピロール、３，４−エチレンジオキシチオフェン等の五員複素環式化合物等があるが、特に３，４−エチレンジオキシチオフェン等のチオフェン誘導体を使用することが好ましい。重合性モノマー溶液の溶媒としては、メタノール、エタノール、ブタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類を用いることが好ましい。
供給する手段として例えばノズルからの滴下や、スプレー、ローラー、ブラシなどを用いた塗布により供給を行う。ただし、これらの方法に限定されるものでは無く、重合性モノマー溶液を陽極電極体３上に所定量供給できればどのような方法であっても良い。
【００４５】
ステップ３では重合性モノマー溶液である分散溶液５を弾性体により押圧し、陽極電極体３の多孔質層内に供給している。
【００４６】
ステップ４では溶媒を除去して固体電解質層を得るために乾燥処理を施す。乾燥処理では、分散溶液５の溶媒が蒸発すれば良く、陽極電極体の重合性モノマー溶液の揮発防止の観点から、６０℃未満であることが好ましい。また、この乾燥工程は複数回実施しても良い。
【００４７】
ステップ５の酸化剤溶液としては、重合性モノマーの重合を促進するものであれば良く、ｐ−トルエンスルホン酸第二鉄、アルキルベンゼンスルホン酸第二鉄、ナフタレンスルホン酸第二鉄、アルキルナフタレンスルホン酸第二鉄、アントラキノンスルホン酸第二鉄等が用いられ、溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール等が用いられる。
供給する手段として例えばノズルからの滴下や、スプレー、ローラー、ブラシなどを用いた塗布により供給を行う。ただし、これらの方法に限定されるものでは無く、酸化剤溶液を陽極電極体３上に所定量供給できればどのような方法であっても良い。
【００４８】
ステップ６では酸化剤溶液である分散溶液５を弾性体により押圧し、陽極電極体３の多孔質層内に供給している。
【００４９】
ステップ７では多孔質層内に浸透した重合性モノマー溶液と酸化剤溶液に加熱処理を施すことで重合性モノマーの重合が進行し、導電性微粒子となる。
【００５０】
なお、ステップ２から７までは１回の実施でも良いし、複数回繰り返し実施してもよい。
【実施例】
【００５１】
本発明の実施例と比較例を説明する。
（実施例１）
大きさが１０×１０ｍｍ、厚さ６０μｍのアルミニウム板の一方の面の中央に６ｍｍ×６ｍｍの大きさで、エッチング法によって多孔質層を形成した。そして、アジピン酸アンモニウム水溶液中で４Ｖ、３０分間の化成処理をすることにより、多孔質層の表面にアルミニウム誘電体酸化皮膜を形成して陽極電極体を形成した。
【００５２】
（固体電解質層形成）
分散溶液は、ポリ−（３，４−エチレンジオキシチオフェン）を水に分散させて生成した。この分散溶液１．５μｌを陽極電極体上に供給した。本実施例では、滴下後、陽極電極体上の分散溶液を塗り広げている。
【００５３】
次に、箔の表裏面をエラストマーゴムで挟んで、その上から油圧プレス機を用いて１０ＭPａ及び３０ＭPａの圧力で押圧を行った。押圧処理の後は、溶媒除去のため１３０℃で１０分間乾燥させた。
【００５４】
上記、固体電解質層形成後に、グラファイト及び銀ペーストを印刷して、カーボン層及び銀ペースト層を形成し、さらに、銀ペースト層の上に陰極電極を、また、陽極電極体のエッチング処理が施されていない周辺部位より陽極電極を引き出して、実施例１の固体電解コンデンサを得た。
【００５５】
（実施例２）
固体電解質層形成工程において、固体電解質層の形成工程を２回行った。その他は、実施例１と同様に固体電解コンデンサを作製した。尚、固体電解質層の形成工程における分散溶液及び押圧条件も実施例１と同様である。
【００５６】
（比較例１）
固体電解質層形成工程において、分散溶液滴下後、塗り広げを行ったが、エラストマーゴムによる押圧工程は実施しなかった。その他は、実施例１と同様に固体電解コンデンサを作製した。
【００５７】
（実施例と比較例の比較）
【００５８】
表１は、実施例１の固体電解質層形成において、弾性体による押圧の大きさを変化させた場合の静電容量値である。静電容量値は平均値を示している。押圧無しの容量に対し、１０、３０ＭＰａ押圧した時の方が静電容量は大きくなっている。１０ＭＰａと３０ＭＰａでは、３０ＭＰａの方が静電容量は小さくなっているが、これは静電容量のばらつきの範囲内であると考えられる。３０ＭＰａの静電容量の平均値が、１０ＭＰａで測定した静電容量のばらつき範囲内に入っているためである。
【００５９】
この結果より、導電性微粒子を分散させた分散溶液と陽極電極体を弾性体により押圧する圧力は、１０ＭＰａ〜３０ＭＰａの範囲であれば静電容量の特性向上の効果が得られると考えられる。３０MPaより大きな圧力を加えると、箔に形成したエッチング層が潰れて分散溶液が多孔質層内部に浸透しにくくなるので３０ＭＰａ以下が好ましい。
【表１】
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【００６０】
実施例１、２、比較例１で作成した固体電解コンデンサの静電容量と誘電損失（ｔａｎδ）及びＥＳＲの測定結果を図３に示す。周波数条件としては、静電容量は１２０Ｈｚ、誘電損失（ｔａｎδ）及びＥＳＲは１００ｋＨｚでそれぞれ測定した。
【００６１】
図３（ａ）に示す静電容量の測定結果の通り、エラストマーゴムによる押圧を行った実施例１、２の方が、押圧を行っていない比較例１、よりも静電容量が大きくなった。また、実施例１と実施例２とでは、エラストマーゴムによる押圧を２回行った実施例２の方がより静電容量が大きくなっている。
【００６２】
図３（ｂ）に示す誘電損失（ｔａｎδ）の測定結果の通り、エラストマーゴムによる押圧を行った実施例１、２の方が、押圧を行っていない比較例１、２よりも誘電損失（ｔａｎδ）が小さくなった。また、実施例１と実施例２とでは、エラストマーゴムによる押圧を２回行った実施例２の方より誘電損失（ｔａｎδ）が小さくなっている。
【００６３】
図３（ｃ）に示すＥＳＲの測定結果の通り、エラストマーゴムによる押圧を行った実施例１、２の方が、押圧を行っていない比較例１、２よりもＥＳＲの値が小さくなった。また、実施例１と実施例２とでは、エラストマーゴムによる押圧を２回行った実施例２の方よりＥＳＲの値が小さくなっている。
【００６４】
（実施例の効果）
以上の結果より、導電性微粒子を分散させた分散溶液を陽極電極体に塗布した後、エラストマーゴムで物理的に押圧することで、陽極電極体上の多孔質層の深部まで導電性微粒子を浸入させることができ、多孔質層の深部に渡って固体電解質層を形成することができる。静電容量の増大及び誘電損失ｔａｎδの低下、及びＥＳＲの低減といった固体電解コンデンサの特性改善をすることができる。
【００６５】
また、弾性体による分散溶液の押圧の大きさは、１０ＭＰａ〜３０ＭＰａでよく、小型なプレス治具を使って簡単に行うことができる。更に、押圧の時間は数秒程度で良いため、製造工程時間に大きな影響を与えること無く、固体電解コンデンサの静電容量、誘電損失（ｔａｎδ）、ＥＳＲの特性改善が可能である。
【００６６】
（他の実施形態）
以上のように、本発明の実施形態を説明したが、発明の範囲を限定することを意図しておらず、発明の要旨を逸脱しない範囲で、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態、それらの組み合わせ、更にはそれらの変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００６７】
例えば、本実施例では弁作用金属の片面のみに固体電解質層を形成しているが、弁作用金属の表裏両面に同様の方法で固体電解質層を形成しても良い。すなわち、表裏面に多孔質層及び誘電体酸化皮膜を形成し、表裏面に分散溶液を供給し弾性体で押圧しても良い。
【００６８】
また、本実施例では導電性微粒子を分散させた分散溶液を用いたが、分散溶液の代わりに重合性モノマー溶液と酸化剤溶液を交互に陽極電極体に供給し、弾性体で陽極電極体に押圧することで陽極電極体の多孔質層表面に固体電解質層を形成しても良い。この場合、重合性モノマー溶液を陽極電極体に供給すると重合性モノマーは多孔質層への浸透性が良いことから、弾性体を使った押圧工程を行っても行わなくてもどちらでもよい。また、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液の混合溶液を陽極電極体に供給し、弾性体で押圧して陽極電極体の多孔質層に表面に固体電解質層を形成しても良い。
【符号の説明】
【００６９】
１…プレス冶具
２…弾性体
３…陽極電極体
４…誘電体酸化皮膜
５…分散溶液
【図１】
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【図３】
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【図２】
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