(57)【要約】【課題】より効果的に放熱できる放熱装置を提供する。【解決手段】放熱装置１は、圧電ファン１０およびヒートシンク２０を備える。圧電ファン１０は、振動板１１の平板面に圧電素子１２０，１３０を配置したものであり、振動板１１の固定端側を平板状の支持体１４１，１４２で固定している。ヒートシンク２０は、平板状のベース部材２１の一方の平板面に複数のフィン２２が所定間隔をおいて配列して立設されている。複数のフィン２２は、配列方向に直交する方向の略中央で分離されており、第１フィン群２２０Ａと第２フィン群２２０Ｂとを構成している。第１フィン群２２０Ａと第２フィン群２２０Ｂとの間には、フィン２２の配列方向に平行な方向に長い開口部２００が形成されている。圧電ファン１０は、開口部２００に挿入するように配置される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のベース部材、および該ベース部材の平板面に直交する方向に延伸した形状からなる複数のフィンを備えるヒートシンクと、
一方端が自由端であり他方端が固定端であって平板状からなる圧電ファンと、を備える放熱装置であって、
前記圧電ファンは、
該圧電ファンの平板面が前記ベース部材の平板面と略直交し、
少なくとも一部が前記フィンの前記ベース部材と接続する側と反対側の端部よりも前記ベース部材の平板面側となり、
前記圧電ファンの平板面が少なくとも一つの前記フィンの平板面と略直交するように、
配置されている、放熱装置。
【請求項２】
前記複数のフィンは、前記ベース部材の平板面上において分割された第１フィン群と第２フィン群とに分割されて形成されており、
前記第１フィン群と前記第２フィン群とを分割する、前記フィンの平板面に平行な方向に見て長尺状からなる開口部に、前記圧電ファンが挿入して配置されている、請求項１に記載の放熱装置。
【請求項３】
前記長尺状の開口部の短手方向の長さである開口部幅は、前記圧電ファンの前記自由端の最大振幅程度である、請求項２に記載の放熱装置。
【請求項４】
前記圧電素子の前記自由端は、前記固定端よりも前記ベース部材の平板面側に配置されている、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の放熱装置。
【請求項５】
前記圧電素子の前記固定端は、前記自由端よりも前記ベース部材の平板面側に配置されている、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の放熱装置。
【請求項６】
前記圧電ファンは、
一方端が前記自由端となる平板状の振動板と、
該振動板の前記固定端側に配置された平板状の圧電素子と、
前記固定端を支持する平板状の支持体と、を備え、
前記振動板は、該振動板の平板面に平行で、前記自由端と前記固定端とを結ぶ方向に対して直交する方向に複数の個別振動板に分割されており、
前記圧電素子は、前記複数の個別振動板のそれぞれに配置されており、
前記複数の個別振動板における隣り合う個別振動板は、逆相に振動する、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の放熱装置。
【請求項７】
前記振動板は、所定の幅のスリットを介するように複数の個別振動板に分割されており、
前記圧電ファンは、該圧電ファンの平板面に直交する方向から見て、前記スリットの中心線に対向する位置に前記フィンが配置されていない、請求項６に記載の放熱装置。
【請求項８】
前記ヒートシンクは、前記スリットと一致する溝を形成する両端のフィンを接続する接続平板部を備え、
前記圧電ファンの前記支持体は前記接続平板部に固定されている、請求項７に記載の放熱装置。
【請求項９】
前記複数の個別振動板に配置された各圧電素子のそれぞれの少なくとも一部は、前記振動板と前記支持体との間に挟持されている、請求項６乃至請求項８のいずれかに記載の放熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱体に装着されることで、当該放熱体から発する熱を放熱する放熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放熱体に装着するヒートシンク等の放熱装置が各種考案されている。その中で、特許文献１には、ヒートシンクと圧電ファンとを組み合わせた放熱装置が記載されている。
【０００３】
特許文献１の放熱装置のヒートシンクは、放熱体に装着される平板のベース部材と、該ベース部材の平板面に対して直交する方向に延伸する複数のフィンとからなる。ベース部材におけるフィンの形成される側の面（表面）の一部には、所定面積に亘り、フィンを形成しない領域が設けられている。このフィン非形成領域には、圧電ファンが設置されている。
【０００４】
圧電ファンは、一方が自由端であり他方が固定端となる平板状からなる。圧電ファンは、圧電ファンの平板面がベース部材の平板面と平行なるように設置されている。
【０００５】
このような構成において、圧電ファンを駆動することで、圧電ファンから生じた気流がフィンの間を通り抜け、外部へ放出される。この気流により、フィンおよびベース部材が放熱し、放熱体の放熱効果が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−２９０１５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の放熱装置では、ベース部材の表面に、圧電ファンの平板面の面積以上からなるフィン非形成領域を設けなければならない。このため、ベース部材の表面に形成するフィンの数が少なくなり、ベース部材の表面の全面にフィンを形成した場合よりも放熱効果が得られない場合がある。
【０００８】
本発明の目的は、圧電ファンの設置によるフィンの形成領域の減少を少なくし、より効果的に放熱できる放熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、平板状のベース部材および該ベース部材の平板面に直交する方向に延伸した形状からなる複数のフィンを備えるヒートシンクと、一方端が自由端であり他方端が固定端であって平板状からなる圧電ファンと、を備える放熱装置に関するものであり、次のように圧電ファンが配置されていることを特徴としている。圧電ファンの平板面は、ベース部材の平板面に略直交している。圧電ファンは、その少なくとも一部がフィンのベース部材と接続する側と反対側の端部よりもベース部材の平板面側となっている。圧電ファンの平板面は少なくとも一つのフィンの平板面と略直交している。
【００１０】
この構成では、平板状の圧電ファンの厚み分だけ、ベース部材の平板面に、フィンの非形成領域を設ければよい。したがって、フィンの形成領域の面積を大きく取ることができる。この構成では、圧電ファンで生じた気流がフィン間の溝に沿って流れやすい。
【００１１】
また、この発明の放熱装置は、次の構成であることが好ましい。複数のフィンは、ベース部材の平板面上において分割された第１フィン群と第２フィン群とに分割されて形成されている。圧電ファンは、第１フィン群と第２フィン群とを分割するフィンの平板面に平行な方向に見て長尺状からなる開口部に挿入して配置されている。
【００１２】
この構成では、圧電ファンで生じた気流が、平板状の圧電ファンを基準として圧電ファンの平板面に直交する両方向に流れる。これにより、フィンおよびベース部材がより効果的に冷却される。
【００１３】
また、この発明の放熱装置では、長尺状の開口部の短手方向の長さである開口部幅が圧電ファンの自由端の最大振幅程度であることが好ましい。
【００１４】
この構成では、圧電ファンが振動した時にフィンに接触しない最小の面積のみが、フィンの非形成領域となる。したがって、より効果的に放熱することができる。
【００１５】
また、この発明の放熱装置の圧電素子は、自由端を固定端よりもベース部材の平板面側に配置することができる。
【００１６】
この構成では、圧電ファンの自由端がベース部材の表面に近く、圧電ファンで生じる気流による放熱効果を向上させることができる。
【００１７】
また、この発明の放熱装置の圧電素子は、固定端を自由端よりもベース部材の平板面側に配置することができる。
【００１８】
この構成では、フィンがベース部材よりも上方に延伸するような場合に、自然の放熱気流を、圧電ファンの気流で促進し、放熱効果を向上させることができる。
【００１９】
また、この発明の放熱装置は、次の構成であることが好ましい。圧電ファンは、一方端が前記自由端となる平板状の振動板と、該振動板の固定端側に配置された平板状の圧電素子と、固定端を支持する平板状の支持体と、を備える。振動板は、該振動板の平板面に平行で、自由端と固定端とを結ぶ方向に対して直交する方向に複数の個別振動板に分割されている。圧電素子は、複数の個別振動板のそれぞれに配置されている。複数の個別振動板における隣り合う個別振動板は逆相に振動する。
【００２０】
この構成では、隣り合う個別振動板がすれ違う際に、渦の気流（チップボルテックス）を生じさせることができる。これにより、放熱効果がさらに向上する。
【００２１】
また、この発明の放熱装置は、次の構成であることが好ましい。振動板は、所定の幅のスリットを介するように複数の個別振動板に分割されている。フィンは、圧電ファンの平板面に直交する方向から見て、スリットの中心線に対向する位置に配置されていない。
【００２２】
この構成では、上述のように生じた渦の気流が溝を流れ消えにくくなるため、放熱効果がさらに向上する。
【００２３】
また、この発明の放熱装置は、次の構成であってもよい。ヒートシンクは、スリットと一致する溝を形成する両端のフィンを接続する接続平板部を備える。圧電ファンの支持体は接続平板部に固定されている。
【００２４】
この構成では、圧電ファンの具体的な固定構造の例を示している。このような固定構造を用いることで、ヒートシンクのみからなる放熱装置を同じ外形形状を維持することができる。
【００２５】
また、この発明の放熱装置は、複数の個別振動板に配置された各圧電素子のそれぞれの少なくとも一部が振動板と支持体との間に挟持されていることが好ましい。
【００２６】
この構成では、各個別振動板における圧電素子の配置位置による共振周波数のばらつきを抑制することができる。これにより、例えば、上述のように、複数の個別振動板を、位相が反転した２種類の振動で駆動することで、固定端における複数の個別振動板の振動を正確に相殺することが可能になる。これにより、振動の少ない放熱装置を実現することができる。
【発明の効果】
【００２７】
この発明によれば、放熱体を効果的に放熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る放熱装置１の外観斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る放熱装置１の三面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の外観斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の三面図である
【図５】本発明の第１の実施形態に係るヒートシンク２０の外観斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係るヒートシンク２０の三面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る放熱装置１Ａの二面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る圧電ファン１０Ａの外観斜視図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る圧電ファン１０Ａの二面図ある。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る放熱装置のヒートシンク２０Ａの三面図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態に係る放熱装置１Ｂの三面図である。
【図１２】本発明の第５の実施形態に係る放熱装置１Ｃの三面図である。
【図１３】本発明の第６の実施形態に係る放熱装置１Ｄの三面図である。
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る放熱装置１Ｅの平面図である。
【図１５】本発明の第８の実施形態に係る放熱装置１Ｆの平面図である。
【図１６】本発明の第９の実施形態に係る放熱装置１Ｇの三面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る放熱装置１の外観斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る放熱装置１の三面図である。図２（Ａ）は放熱装置１の平面図である。図２（Ｂ）は放熱装置１の正面図である。図２（Ｃ）は放熱装置１の側面図である。なお、図２では、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２の平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【００３０】
放熱装置１は、圧電ファン１０とヒートシンク２０とを備える。
【００３１】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の外観斜視図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の三面図である。図４（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の正面図（第１平板面に直交する方向から第１平板面側を見た図）である。図４（Ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の平面図（振動板１１の自由端側から見た図）である。図４（Ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電ファン１０の側面図（振動板１１の自由端と固定端とを結ぶ方向に直交し、平板面に平行な方向から見た図）である。
【００３２】
圧電ファン１０は、振動板１１、圧電素子１２０，１３０、支持体１４１，１４２を備える。
【００３３】
振動板１１は、所定の剛性を有する平板からなる。例えば、振動板１１は、厚み０．１ｍｍからなるステンレススチールの平板によって形成されている。振動板１１は、平板面の一方辺が長く他方辺が短い矩形状からなる。
【００３４】
振動板１１の第１平板面には、圧電素子１２０が取り付けられている。圧電素子１２０は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１２０は、自身の平板面が振動板１１の第１平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１２０は、振動板１１の長手方向の一方端側の領域に配置されている。圧電素子１２０における振動板１１の第１平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００３５】
振動板１１の第２平板面（第１平板面に対向する面）には、圧電素子１３０が取り付けられている。圧電素子１３０は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１３０は、自身の平板面が振動板１１の第２平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１３０は、振動板１１の長手方向の一方端側の領域に配置されている。圧電素子１３０における振動板１１の第２平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００３６】
圧電素子１２０と圧電素子１３０は、振動板１１を挟んで対向するように配置されている。
【００３７】
圧電素子１２０，１３０は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている圧電体を備える。なお、振動板１１を導電体とすることで、上述のように、圧電素子１２０，１３０の電極は振動板１１と反対側の平板面だけでよく、振動板１１側の電極は省略することができる。
【００３８】
支持体１４１，１４２は、長尺形状の平板からなる。支持体１４１，１４２は、例えば、ガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料によって形成されている。
【００３９】
支持体１４１は、振動板１１の圧電素子１２０が配置された面に取り付けられている。この際、支持体１４１は、振動板１１と支持体１４１との間に圧電素子１２０の一部が挟持されるように、振動板１１の圧電素子１２０が配置された側の端部に取り付けられている。
【００４０】
支持体１４２は、振動板１１の圧電素子１３０が配置された面に取り付けられている。この際、支持体１４２は、振動板１１と支持体１４２との間に圧電素子１３０の一部が挟持されるように、振動板１１の圧電素子１３０が配置された側の端部に取り付けられている。
【００４１】
このような構造からなる圧電ファン１０の各圧電素子１２０，１３０に次に示すような条件で駆動電圧を印加することで、振動板１１は、平板面に直交する方向に振動する。
【００４２】
具体的には、駆動手段として、振動板１１を正面視した状態での圧電素子１２０の分極方向と圧電素子１３０の分極方向とを同じにする。その上で、圧電素子１２０，１３０に印加する交流電圧を全て同位相にする。この第１の駆動手段を用いることで、振動板１１に配置される全ての圧電素子に同じ駆動信号を印加できるので、駆動信号の印加回路や接続構成を簡易化することができる。
【００４３】
このような構成により、平面面積（平板面の面積）と比較して厚みが薄い平板状で、所謂バイモルフの圧電ファン１０を実現している。
【００４４】
図５は、本発明の第１の実施形態に係るヒートシンク２０の外観斜視図である。図６は、本発明の第１の実施形態に係るヒートシンク２０の三面図である。図６（Ａ）はヒートシンク２０の平面図である。図６（Ｂ）はヒートシンク２０の正面図である。図６（Ｃ）はヒートシンク２０の側面図である。なお、図６では、放熱装置１を示す図２と同様に、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２の平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【００４５】
ヒートシンク２０は、ベース部材２１と複数のフィン２２とから形成されている。ヒートシンク２０は、銅（Ｃｕ）やアルミニウム（Ａｌ）等の熱伝導率の高い材質によって形成されている。ベース部材２１とフィン２２は、個別に成形して接続する構成であってもよいが、一体成形する方が好ましい。
【００４６】
ベース部材２１は、平板状からなり、平板面に直交する方向から見て円形の円板である。ベース部材２１の直径は、圧電ファン１０の振動板１１の短手方向、すなわち振動板１１の平板面に平行で振動板１１の自由端と固定端とを結ぶ方向に対して直交する方向の長さ以上に設定されている。より好ましくは、振動板１１の短手方向とベース部材２１の直径とが同じであるとよい。
【００４７】
ベース部材２１の一方の平板面には、複数のフィン２２が立設されている。以下、当該平板面を「フィン立設面」と称する。複数のフィン２２は、略同じ高さで立設されている。ベース部材２１の他方の平板面は、放熱体に装着される面である。
【００４８】
複数のフィン２２は、ベース部材２１の平板面に直交する方向に延伸する平板からなる。複数のフィン２２は、これらフィンの平板面に直交する方向に沿って、所定の間隔をおいて配列設置されている。このように、複数のフィン２２を、間隔をおいて配置することで、隣り合うフィン２２の間に、溝２３が形成される。
【００４９】
ベース部材２１の平板面上における複数のフィン２２の配列方向に直交する方向の略中央部には、開口部２００が設けられている。開口部２００は、複数のフィン２２が立設されていない領域である。このような開口部２００を設けることで、複数のフィン２２は、第１フィン群２２０Ａと第２フィン群２２０Ｂとから構成される。そして、これら第１フィン群２２０Ａの立設領域と第２フィン群２２０Ｂの立設領域との間に、開口部２００が配置される構造となる。
【００５０】
開口部２００は、複数のフィン２２の配列方向に平行な方向（開口部２００の長さ方向）に長く、配列方向に直交する方向（開口部２００の幅方向）に短い、長尺形状からなる。より具体的には、本実施形態の場合、開口部２００は、長さ方向においては、円板状のベース部材２１の中心を通る直径の全域に亘りフィン２２が立設されていない。一方、開口部２００は、幅方向においては、圧電ファン１０の最大振幅程度の範囲のみで、フィン２２が立設されていない。なお、この際、開口部２００の幅は、圧電ファン１０の駆動による振幅誤差を考慮して、設計上の最大振幅よりも所定長さだけ広く設定されている。
【００５１】
このような構造からなるヒートシンク２０に対して、圧電ファン１０を配置する。具体的には、図１、図２に示すように、圧電ファン１０は、ヒートシンク２０の開口部２００に挿入するように配置される。
【００５２】
この際、圧電ファン１０は、次の各条件を満たすように配置される。
【００５３】
圧電ファン１０は、振動板１１の短手方向、すなわち振動板１１の平板面に平行で、振動板１１の自由端と固定端とを結ぶ方向に対して直交する方向と、開口部２００の長さ方向とが一致するように、配置される。
【００５４】
圧電ファン１０の厚み方向の中心は、開口部２００の幅方向の中心と一致する。
【００５５】
圧電ファン１０の自由端は、圧電ファン１０の固定端よりもベース部材２１に近い。
【００５６】
圧電ファン１０の自由端は、フィン２２のベース部材２１に接続する側と反対側の端部よりも、ベース部材２１に近い。
【００５７】
より好ましくは、圧電ファン１０の自由端は、ベース部材２１のフィン立設面に近接する。
【００５８】
このような構造からなる放熱装置１の圧電ファン１０に駆動信号を印加すると、圧電ファン１０の自由端は、振動板１１の平板面に直交する方向に沿って振動する。この振動により、圧電ファン１０の固定端側すなわちヒートシンク２０の天面側の外部からベース部材２１へ向かう気流が発生する。気流は、ベース部材２１のフィン立設面の開口部２００に当たり、ベース部材２１を冷却する。また、気流は、フィン２２間の溝２３を通って、ヒートシンク２０の外部へ流出する。この溝２３を流れる気流によって、フィン２２およびベース部材２１が冷却される。これにより、放熱体からヒートシンク２０に伝導した熱が、外部へ放熱される。
【００５９】
そして、本実施形態の構成を用いることで、ヒートシンク２０におけるフィン２２の非形成領域は、圧電ファン１０の長さと最大振幅に応じた幅からなる長尺状の領域となるので、圧電ファン１０を配置することによるフィン２２の非形成領域の範囲を小さくすることができる。言い換えれば、ヒートシンク２０におけるフィン２２の形成領域の面積を広くすることができる。これにより、圧電ファン１０の配置によってフィンの非形成領域ができることによる放熱効果の低下を抑制することができ、効果的な放熱を実現することができる。
【００６０】
さらに、圧電ファン１０の自由端を固定端よりもベース部材２１に近づけることで、圧電ファン１０で生じる気流を効果的にベース部材２１に当てることができ、さらに効果的な放熱を実現することができる。また、さらに、圧電ファン１０の自由端をベース部材に近接させることで、圧電ファン１０で生じる気流を、より効果的にベース部材２１に当てることができ、放熱効果が向上する。
【００６１】
また、図１、図２に示すように、圧電ファン１０がヒートシンク２０の外形形状内に収まるようにすれば、圧電ファンを配置したことによる放熱装置１の外形形状の大型化を防止できる。これにより、効果的な放熱を行える小型の放熱装置１を実現することができる。
【００６２】
本実施形態の構成と、圧電ファンを配置しないヒートシンクのみの従来の構成とでの熱抵抗の測定結果を示す。この測定では、従来の構成として、外形形状がφ８０ｍｍ、高さ６０ｍｍ、ベース部材２１の厚みが２．０ｍｍ、フィン２２の高さが５８ｍｍ、フィン２２の肉厚が２．０ｍｍ、溝２３の幅が６．２ｍｍであるヒートシンクを用いた。また、本実施形態として、従来の構成と同一の寸法で、開口部２００に圧電ファン１０を配置し、該開口部２００の幅を１０ｍｍとしているヒートシンクを用いた。本実施形態の構成の場合、圧電ファン１０に７０Ｈｚ，１６Ｖｒｍｓの交流電圧を印加して、振幅１４ｍｍで振動させている。
【００６３】
従来の構成であるヒートシンクのみの放熱装置の熱抵抗は、２．９３Ｋ／Ｗであるのに対して、本実施形態の放熱装置１の熱抵抗は、２．６２Ｋ／Ｗである。この測定結果からも分かるように、本実施形態の構成を用いることで、熱抵抗を低減させることができ、放熱効果が向上する。
【００６４】
（第２実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。図７は、本発明の第２の実施形態に係る放熱装置１Ａの二面図である。図７（Ａ）は放熱装置１Ａの平面図である。図７（Ｂ）は放熱装置１Ａの正面図である。なお、図７では、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図としている。
【００６５】
本実施形態の放熱装置１Ａは、圧電ファン１０Ａが、第１の実施形態の圧電ファン１０と異なるものであり、ヒートシンク２０は同じである。
【００６６】
図８は、本発明の第２の実施形態に係る圧電ファン１０Ａの外観斜視図である。図９（Ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る圧電ファン１０Ａの正面図（第１平板面側から見た図）である。図９（Ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る圧電ファン１０Ａの平面図（振動板１１の自由端側から見た図）である。
【００６７】
圧電ファン１０Ａは、振動板１１Ａ、圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３、支持体１４１，１４２を備える。
【００６８】
振動板１１Ａは、振動板１１と同様に、所定の剛性を有する平板からなる。
【００６９】
振動板１１Ａは、３枚の羽板１１１，１１２，１１３および振動板ベース部１１０が一体形成されてなる。羽板１１１，１１２，１１３および振動板ベース部１１０は、それぞれ長尺状からなる。羽板１１１，１１２，１１３は、振動板ベース部１１０の長手方向に沿って所定の間隔で、振動板ベース部１１０に接続されている。この際、振動板ベース部１１０の長手方向に沿って、羽板１１２、羽板１１１、羽板１１３の順で並ぶように接続されている。この構造により、羽板１１１と羽板１１２との間にスリット１５１が形成され、羽板１１１と羽板１１３との間にスリット１５２が形成される。
【００７０】
羽板１１１，１１２，１１３は、それぞれの長手方向が振動板ベース部１１０の長手方向すなわち羽板１１１，１１２，１１３の配列方向に対して直交するように、振動板ベース部１１０に接続している。これにより、羽板１１１，１１２，１１３の振動板ベース部１１０に接続する側が各羽板１１１，１１２，１１３の固定端となる。一方、羽板１１１，１１２，１１３の長手方向に沿った当該固定端と反対側の端部が自由端となる。
【００７１】
両端の羽板１１２，１１３の形状は同じである。配列方向に沿った中央の羽板１１１の幅は、配列方向に沿った両端の羽板１１２，１１３の幅の略２倍である。
【００７２】
羽板１１１の第１平板面には、圧電素子１２１が取り付けられている。圧電素子１２１は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１２１は、自身の平板面が羽板１１１の第１平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１２１は、羽板１１１の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２１は、羽板１１１の長手方向と同じ方向に長く（以下、この方向を圧電素子１２１の長さ方向とする）、羽板１１１の幅方向に短い（以下、この方向を圧電素子１２１の幅方向とする。）形状からなる。圧電素子１２１における羽板１１１の第１平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７３】
羽板１１１の第２平板面（第１平板面に対向する面）には、圧電素子１３１が取り付けられている。圧電素子１３１は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１３１は、自身の平板面が中央の羽板１１１の第２平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１３１は、中央の羽板１１１の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２１と圧電素子１３１は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子１３１における羽板１１１の第２平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７４】
羽板１１２の第１平板面には、圧電素子１２２が取り付けられている。圧電素子１２２は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１２２は、自身の平板面が羽板１１２の第１平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１２２は、羽板１１２の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２２の長さ（羽板１１２の長手方向と同じ方向の長さ）は、圧電素子１２１の長さと同じである。圧電素子１２２の幅は、圧電素子１２１の幅の半分である。圧電素子１２２における羽板１１２の第１平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７５】
羽板１１２の第２平板面（第１平板面に対向する面）には、圧電素子１３２が取り付けられている。圧電素子１３２は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１３２は、自身の平板面が中央の羽板１１２の第２平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１３２は、中央の羽板１１２の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２２と圧電素子１３２は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子１３２における羽板１１２の第２平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７６】
羽板１１３の第１平板面には、圧電素子１２３が取り付けられている。圧電素子１２３は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１２３は、自身の平板面が羽板１１３の第１平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１２３は、羽板１１３の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２３は圧電素子１２２と同じ形状で形成されている。圧電素子１２３における羽板１１３の第１平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７７】
羽板１１３の第２平板面（第１平板面に対向する面）には、圧電素子１３３が取り付けられている。圧電素子１３３は平板状であり、対向する平板面に直交する方向に分極された圧電素子である。圧電素子１３３は、自身の平板面が中央の羽板１１３の第２平板面と平行になるように取り付けられている。圧電素子１３３は、中央の羽板１１３の固定端側の領域と振動板ベース部１１０とを亘る所定面積の範囲を覆うように取り付けられている。圧電素子１２３と圧電素子１３３は、互いの平板面が対向するように同じ形状で形成されている。圧電素子１３３における羽板１１３の第２平板面と当接する面と反対側の平板面には、駆動信号印加用の電極が形成されている（図示せず）。
【００７８】
圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている圧電体を備える。なお、振動板１１Ａを導電体とすることで、上述のように、圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３の電極は振動板１１Ａと反対側の平板面だけでよく、振動板１１Ａ側の電極は省略することができる。
【００７９】
支持体１４１，１４２は、振動板１１Ａの振動板ベース部１１０と略同じ長尺形状の平板からなる。支持体１４１，１４２は、例えば、ガラスエポキシ樹脂等の絶縁性材料によって形成されている。
【００８０】
支持体１４１は、振動板１１Ａの振動板ベース部１１０における圧電素子１２１，１２２，１２３が取り付けられた面に取り付けられている。この際、支持体１４１は、振動板ベース部１１０と支持体１４１との間に圧電素子１２１，１２２，１２３が挟持され、羽板１１１，１１２，１１３の配列方向と支持体１４１の長手方向が略一致するように、複数枚の羽板に跨って取り付けられる。
【００８１】
支持体１４２は、振動板１１Ａの振動板ベース部１１０における圧電素子１３１，１３２，１３３が取り付けられた面に取り付けられている。この際、支持体１４２は、振動板ベース部１１０と支持体１４２との間に圧電素子１３１，１３２，１３３が挟持されるように取り付けられる。
【００８２】
このような構造からなる圧電ファン１０Ａの各圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３に次に示すような条件で駆動電圧を印加することで、各羽板１１１，１１２，１１３が平板面に直交する方向に振動する。
【００８３】
具体的には、第１の駆動手段として、振動板１１Ａを正面視した状態での圧電素子１２１の分極方向と、圧電素子１２２，１２３の分極方向とを逆にする。同じように、振動板１１Ａを正面視した状態での圧電素子１３１の分極方向と、圧電素子１３２，１３３の分極方向とを逆にする。さらに、振動板１１Ａを正面視した状態での圧電素子１２１の分極方向と圧電素子１３１の分極方向とを同じにする。その上で、圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３に印加する交流電圧を全て同位相にする。この第１の駆動手段を用いることで、振動板１１Ａに取り付ける全ての圧電素子に同じ駆動信号を印加できるので、駆動信号の印加回路や接続構成を簡易化することができる。
【００８４】
また、第２の駆動手段として、振動板１１Ａを正面視した状態での全ての圧電素子１２１，１２２，１２３，１３１，１３２，１３３の分極方向を同じにする。その上で、振動板１１Ａを基準電圧として、圧電素子１２１，１３１に印加する交流電圧と、圧電素子１２２，１２３，１３２，１３３に印加する交流電圧を逆位相にする。
【００８５】
このような駆動手段を設けることで、羽板１１１の振動と羽板１１２，１１３の振動とが逆位相になる。ここで、羽板１１１の幅が羽板１１２，１１３の幅の２倍であるので、羽板１１１で生じる振動と、羽板１１２，１１３で生じる振動の加算振動とは、大きさが同じで逆位相の振動となる。したがって、羽板１１１で生じる振動と、羽板１１２，１１３で生じる振動の加算振動とは、振動板ベース部１１０および支持体１４１，１４２の位置において相殺される。これにより、固定端において振動が殆ど無い圧電ファン１０Ａを実現することができる。
【００８６】
特に、本実施形態のように、振動板１１Ａと支持体１４１との間に圧電素子１２１，１２２，１２３を挟持し、振動板１１Ａと支持体１４２との間に圧電素子１３１，１３２，１３３を挟持する構造を用いることで、各羽板１１１，１１２，１１３の共振周波数のばらつきを抑制することができる。これにより、固定端における振動の相殺をより正確に実現することができ、より振動の少ない圧電ファン１０Ａを実現することができる。
【００８７】
また、本実施形態に示すように、隣り合う羽板間で逆相の振動（位相が１８０°異なる振動）を生じさせることで、隣り合う羽板がすれ違う際に渦気流（チップボルテックス）を発生させることができる。このような渦気流を発生させることで、ヒートシンク２０におけるベース部材２１の表面やフィン２２の表面での熱境界層を破壊することができる。これにより、熱抵抗をさらに低減することができ、放熱効果を向上させることができる。
【００８８】
具体的に、上述の熱抵抗測定を行った結果、熱抵抗は２．５４Ｋ／Ｗとなり、熱抵抗の低減効果が得られることが分かる。
【００８９】
さらに、本実施形態の圧電ファン１０Ａは、羽板１１１，１１２，１１３の幅（短手方向の長さ）が、ヒートシンク２０の溝２３の幅よりも長くなるように形成されている。具体的には、羽板１１１よりも幅の短い羽板１１２，１１３の幅をＷｆとし、溝２３の幅をＷｓとすると、Ｗｆ＞Ｗｓとする。これにより、複数の溝２３に流入する気流を効率良く生成でき、放熱効果を向上させることができる。
【００９０】
このような構成からなる圧電ファン１０Ａは、ヒートシンク２０の開口部２００内に挿入するように配置される。この際、圧電ファン１０Ａは、図７（Ｂ）に示すように、放熱装置１Ａを正面視して（ベース部材２１の平板面に直交しフィン２２の平板面に平行な方向から見て）、所定の溝２３内にスリット１５１が収まり、また別の所定の溝２３内にスリット１５２が収まるように配置される。
【００９１】
このような構成とすることで、スリット１５１，１５２で生じる渦気流が消滅することなく、溝２３に流れ込む。これにより、溝２３を流れる気流による熱伝達係数が改善し、放熱装置１Ａの熱抵抗をさらに低減することができる。具体的に、上述の熱抵抗測定を行った結果、熱抵抗は２．５１Ｋ／Ｗとなり、さらなる熱抵抗の低減効果が得られることが分かる。
【００９２】
（第３実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置は、ヒートシンク２０Ａの形状が、第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。圧電ファンは、第１、第２の実施形態のいずれの構成であってもよい。
【００９３】
図１０は、本発明の第３の実施形態に係る放熱装置のヒートシンク２０Ａの三面図である。図１０（Ａ）はヒートシンク２０Ａの平面図である。図１０（Ｂ）はヒートシンク２０Ａの正面図である。図１０（Ｃ）はヒートシンク２０Ａの側面図である。なお、図１０では、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２の平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【００９４】
ヒートシンク２０Ａのフィン２２は、第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と同じである。また、ヒートシンク２０Ａは、開口部２００Ａ内に、複数の短フィン２４が形成されている点で、ヒートシンク２０と異なる。
【００９５】
各短フィン２４は、フィン２２の平板面に平行な方向に隣り合う第１フィン群２２０Ａのフィン２２と第２フィン群２２０Ｂのフィン２２とを接続するように立設されている。各短フィン２４は、圧電ファン１０（１０Ａ）の自由端に接触しない程度の高さで立設されている。
【００９６】
このような構成とすることで、開口部２００Ａにおいても、フィンが形成されるので、放熱面積を増加させることができる。これにより、熱抵抗をさらに低下させ、さらなる放熱効果の向上を実現できる。
【００９７】
（第４実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置は、ヒートシンク２０Ｂの形状が、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。
【００９８】
図１１は、本発明の第４の実施形態に係る放熱装置１Ｂの三面図である。図１１（Ａ）は放熱装置１Ｂの平面図である。図１１（Ｂ）は放熱装置１Ｂの正面図である。図１１（Ｃ）は放熱装置１ＢのＡ−Ａ’断面図である。図１１（Ｄ）は、圧電ファン１０Ｂとヒートシンク２０Ｂの固定部を拡大した平面図である。なお、図１１では、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２の平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【００９９】
放熱装置１Ｂは、圧電ファン１０Ｂとヒートシンク２０Ｂとを備える。
【０１００】
圧電ファン１０Ｂは、圧電ファン１０Ａに対して、固定用の貫通孔１６１，１６２が形成されたものである。
【０１０１】
貫通孔１６１は、振動板ベース部１１０の羽板１１１に接続する部分と羽板１１２に接続する部分との間に形成されている。貫通孔１６２は、振動板ベース部１１０の羽板１１１に接続する部分と羽板１１３に接続する部分との間に形成されている。
【０１０２】
ヒートシンク２０Ｂの第１フィン群２２０Ａの各フィン２２の形状および開口部２００は、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と同じである。
【０１０３】
ヒートシンク２０Ｂの第２フィン群２２０Ｂを構成する複数のフィン２２のうち、圧電ファン１０Ｂのスリット１５１と含む溝２３を構成する一対のフィン２２には、これら一対のフィン２２を接続する接続平板部２５Ａが形成されている。接続平板部２５Ａは、フィン２２の平板面に直交する平板面を有する。接続平板部２５Ａは、フィン２２のベース部材２１に接続する側と反対側の端部に形成されている。接続部２５Ａには、厚み方向（平板面に直交する方向）へ貫通するタップ２５１が形成されている。
【０１０４】
ヒートシンク２０Ｂの第２フィン群２２０Ｂを構成する複数のフィン２２のうち、圧電ファン１０Ｂのスリット１５２と含む溝２３を構成する一対のフィン２２には、これら一対のフィン２２を接続する接続平板部２５Ｂが形成されている。接続平板部２５Ｂは、フィン２２の平板面に直交する平板面を有する。接続平板部２５Ｂは、フィン２２のベース部材２１に接続する側と反対側の端部に形成されている。接続部２５Ｂには、厚み方向（平板面に直交する方向）へ貫通するタップ２５２が形成されている。
【０１０５】
圧電ファン１０Ｂの貫通孔１６１とヒートシンク２０Ｂのタップ２５１とは、放熱装置１Ｂを正面視して重なるように配置されており、貫通孔１６１のタップ２５１と反対側からネジ３０が螺合されている。
【０１０６】
圧電ファン１０Ｂの貫通孔１６２とヒートシンク２０Ｂのタップ２５２とは、放熱装置１Ｂを正面視して重なるように配置されており、貫通孔１６２のタップ２５２と反対側からネジ３０が螺合されている。
【０１０７】
このような構成より、圧電ファン１０Ｂはヒートシンク２０Ｂに固定される。そして、このような構成を用いることで、圧電ファン１０Ｂは、ヒートシンク２０Ｂの外形形状内に収まるので、圧電ファンを固定するための機構をヒートシンクの外部に設ける必要が無く、放熱装置１Ｂを小型に形成することができる。
【０１０８】
また、羽板１１１，１１２との間、羽板１１１，１１３との間に貫通孔１６１，１６２を設けることで、貫通孔１６１，１６２の形成に当たって、圧電素子の形状を小さくしたりする必要がない。そして、これら羽板１１１，１１２との間、羽板１１１，１１３との間は、ヒートシンク２０Ｂの溝２３の位置に対応するので、ヒートシンク２０Ｂの平板面に、圧電ファン１０Ｂの平板面が直交するように、圧電ファン１０Ｂを固定する場合に、圧電ファン１０Ｂに平行な接続用平板部２５Ａ，２５Ｂを容易に形成しやすい。
【０１０９】
したがって、比較的容易な構造によって、圧電ファン１０Ｂをヒートシンク２０Ｂに固定することができる。
【０１１０】
なお、本実施形態では、圧電ファン１０Ｂおよびヒートシンク２０Ｂに貫通孔を設けてネジ止めする例を示した。しかしながら、貫通孔を設けることなく、圧電ファン１０Ｂの支持体１４１とヒートシンク２０Ｂの接続用平板部２５Ａ，２５Ｂとを接着剤等によって固定してもよい。
【０１１１】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置１Ｃは、ヒートシンク２０Ｃの形状が第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。圧電ファンは、第１、第２の実施形態のいずれの構成であってもよい。
【０１１２】
図１２は、本発明の第５の実施形態に係る放熱装置１Ｃの三面図である。図１２（Ａ）は放熱装置１Ｃの平面図である。図１２（Ｂ）は放熱装置１Ｃの正面図である。図１２（Ｃ）は放熱装置１Ｃの側面図である。なお、図１２では、複数のフィン２２Ｃの平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２Ｃの平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【０１１３】
ヒートシンク２０Ｃは、平面視して方形状からなるベース部材２１Ｃを備える。ベース部材２１Ｃの一方の平板面には、複数のフィン２２Ｃが配列して立設されている。この際、複数のフィン２２Ｃは、放熱装置１Ｃを平面視して、フィン２２Ｃの平板面とベース部材２１Ｃの対向する二辺とが平行になるように、配列されている。
【０１１４】
第１フィン群２２０ＡＣと第２フィン群２２０ＢＣとの間には、圧電ファンの厚み程度の開口部２２０Ｃが形成されている。開口部２００Ｃの幅は、上述の各実施形態の開口部２００と同じ概念によって決定されている。この開口部２００Ｃに、上述の各実施形態と同様に圧電ファンが挿入するように配置される。
【０１１５】
このような構造であっても、上述の各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１１６】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置１Ｄは、ヒートシンク２０Ｄの形状が第５の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。
【０１１７】
図１３は、本発明の第６の実施形態に係る放熱装置１Ｄの三面図である。図１３（Ａ）は放熱装置１Ｄの平面図である。図１３（Ｂ）は放熱装置１Ｄの正面図である。図１３（Ｃ）は放熱装置１Ｄの側面図である。なお、図１３では、複数のフィン２２Ｄの平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２Ｄの平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【０１１８】
ヒートシンク２０Ｄは、平面視して方形状からなるベース部材２１Ｄを備える。ベース部材２１Ｄの一方の平板面には、複数のフィン２２Ｄが配列して立設されている。ベース部材２１Ｄにおけるフィン２２Ｄの平板面に直交する一端辺付近には、圧電ファンの厚み程度の開口部２００Ｄが形成されている。開口部２００Ｄの幅は、上述の各実施形態の開口部２００と同じ概念によって決定されている。この開口部２００Ｄに、上述の各実施形態と同様に圧電ファンが挿入するように配置される。
【０１１９】
このような構造であっても、上述の各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１２０】
（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置１Ｅは、ヒートシンク２０Ｅの形状が第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。
【０１２１】
図１４は本発明の第７の実施形態に係る放熱装置１Ｅの平面図である。ヒートシンク２０Ｅのベース部材２１Ｅは、第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と同じである。
【０１２２】
ベース部材２１Ｅの一方の平板面には、複数のフィン２２Ｅが立設されている。複数のフィン２２Ｅは、ベース部材２１Ｅを平面視した円の中心を基準にして放射状に延びる形状で立設されている。各フィン２２Ｅは、前記中心を基準点として、所定の角度間隔で立設されている。
【０１２３】
複数のフィン２２Ｅにおける平板面に平行な方向に隣接する特定の一組のフィン２２Ｅ１，２２Ｅ２の平板面に直交する箇所には、フィンが立設されておらず、所定幅で開口している。この開口は、フィン２２Ｅ１，２２Ｅ２の平板面に直交する方向に延長される形状からなる。これにより、開口部２００Ｅが形成される。
【０１２４】
圧電ファン１０は、開口部２００Ｅ内に挿入されるように配置される。この際、圧電ファン１０は、圧電ファン１０（振動板１１）の平板面がフィン２２Ｅ１，２２Ｅ２の平板面に直交するように配置される。
【０１２５】
このような構造であっても、上述の各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１２６】
（第８の実施形態）
本発明の第８の実施形態に係る放熱装置について、図を参照して説明する。本実施形態の放熱装置１Ｆは、ヒートシンク２０Ｆの形状が第１、第２の実施形態に示したヒートシンク２０と異なるものである。
【０１２７】
図１５は本発明の第８の実施形態に係る放熱装置１Ｆの平面図である。ヒートシンク２０Ｆは、平面視して半円形からなるベース部材２１Ｆを備える。
【０１２８】
ベース部材２１Ｆの一方の平板面には、複数のフィン２２Ｆが立設されている。複数のフィン２２Ｆは、ベース部材２１Ｆを平面視した半円の中心を基準にして放射状に延びる形状で立設されている。各フィン２２Ｆは、前記中心を基準点として、所定の角度間隔で立設されている。
【０１２９】
ベース部材２１Ｆにおける半円を形成する直線（直径）の辺に近接する領域には、フィンが立設されておらず、所定幅で開口している。この開口は、直径方向に沿って全長に亘り延長されている。これにより、開口部２００Ｆが形成される。
【０１３０】
圧電ファン１０は、開口部２００Ｆ内に挿入されるように配置される。この際、圧電ファン１０は、圧電ファン１０（振動板１１）の平板面が直径方向と平行になるように、言い換えれば、直径方向に直交する平板面を有するフィン２２Ｆ１の平板面に直交するように配置される。
【０１３１】
このような構造であっても、上述の各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１３２】
なお、上述の各実施形態は、本願発明の特徴を有する各例を示すものであり、各実施形態の構成を組み合わせて得られる構成であっても、上述の各実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１３３】
また、上述の各実施形態では、ベース部材の直径もしくは一辺の長さと圧電ファンの幅（自由端と固定端とを結ぶ方向に直交する方向の長さ）とが略同じ場合を示した。しかしながら、圧電ファンの幅が、ベース部材の直径もしくは一辺の長さよりも短い場合には、少なくともベース部材を平面視した中央の所定範囲を含むように圧電ファンを配置するとよい。そして、この場合、圧電ファンの対向しないベース部材の領域には、開口部であってもフィンを設けてもよい。
【０１３４】
また、上述の各実施形態では、圧電ファン１０の自由端が固定端よりもヒートシンク２０のベース部材２１側になるように配置する例を示した。しかしながら、次の第９の実施形態に示すような構造であってもよい。
【０１３５】
図１６は、本発明の第９の実施形態に係る放熱装置１Ｇの三面図である。図１６（Ａ）は放熱装置１Ｇの平面図である。図１６（Ｂ）は放熱装置１Ｇの正面図である。図１６（Ｃ）は放熱装置１Ｇの側面図である。なお、図１６では、複数のフィン２２の平板面に平行な方向に見た場合を正面図とし、複数のフィン２２の平板面に直交する方向に見た場合を側面図としている。
【０１３６】
本実施形態の放熱装置１Ｇは、第１の実施形態に示した放熱装置１に対して、圧電ファン１０の自由端と固定端との位置が逆になったものである。すなわち、放熱装置１Ｇでは、圧電ファン１０の固定端が、自由端よりもヒートシンク２０のベース部材２１側になるように配置されている。
【０１３７】
このような構成を用いることで、次のような作用効果を得ることができる。
【０１３８】
一般に、ヒートシンクのベース部材２１は、フィン２２よりも下側に配置される。この場合、圧電ファンが駆動されていなくても、ベース部材２１からフィン２２の先端（ベース部材２１に接続する側と反対側の端部）に向かって、自然対流が生じる。このような状況において、圧電ファン１０を駆動すると、当該自然対流と同じ方向に、圧電ファン１０による気流が発生する。
【０１３９】
したがって、圧電ファン１０による気流が自然対流の気流を促進し、放熱効果を向上させることができる。具体的に、上述の熱抵抗測定を行った結果、熱抵抗は２．３２Ｋ／Ｗとなり、熱抵抗の低減効果が得られることが分かる。
【符号の説明】
【０１４０】
１、１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ，１Ｇ：放熱装置、
１０，１０Ａ，１０Ｂ：圧電ファン、
１１，１１Ａ：振動板、
１１０：振動板ベース部、１１１，１１２，１１３：羽板、
１２０，１２１，１２２，１２３，１３０，１３１，１３２，１３３：圧電素子、
１４１，１４２：支持体、１５１，１５２：スリット、１６１，１６２：貫通孔、
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅ，２０Ｆ：ヒートシンク、
２１：ベース部材、２２，２２Ｅ，２２Ｅ１，２２Ｅ２，２２Ｆ，２２Ｆ１：フィン、２３：溝、２５Ａ，２５Ｂ：接続平板部、
２００，２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ，２００Ｄ，２００Ｅ，２００Ｆ：開口部、
２２０Ａ，２２０ＡＣ：第１フィン群、２２０Ｂ，２２０ＢＣ：第２フィン群、２５１，２５２：タップ
【図１】
2013187430.tif 000003
【図２】
2013187430.tif 000004
【図３】
2013187430.tif 000005
【図４】
2013187430.tif 000006
【図５】
2013187430.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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