(57)【要約】      （修正有）【課題】大容量のキャパシタと見なすことができるウェハ載置台の寄生容量の影響をなくし、不正確な測定結果となることを回避できるアバランシェ試験装置を提供する。【解決手段】アバランシェ試験装置２０は、ウェハ２１を載置するように配設されているウェハ載置台４１を備えており、ウェハ２１は複数のトランジスタ２３を備えており、ウェハ載置台４１は絶縁本体４３と、複数の導体４７とを備えており、複数の導体４７が絶縁本体４３の内部に嵌設されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを載置するように配設されているウェハ載置台を備えたアバランシェ試験装置であって、前記ウェハは複数のトランジスタを備えており、前記ウェハ載置台は絶縁本体と、複数の導体とを備えており、前記複数の導体が前記絶縁本体の内部に嵌設されていることを特徴とするアバランシェ試験装置。
【請求項２】
ウェハを載置するように配設されている載置台を備えたアバランシェ試験装置であって、前記ウェハは複数のトランジスタを備えており、前記載置台は、
横側および縦側を有する複数の導体と、
前記横側に配設されている複数の横絶縁線と、
前記縦側に配設されるとともに前記横絶縁線と交差している複数の縦絶縁線と、
を備えたことを特徴とするアバランシェ試験装置。
【請求項３】
前記複数の導体がアレイ方式で配列されていることを特徴とする請求項１または２に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項４】
前記横絶縁線と前記縦絶縁線とで網の目状構造を形成していることを特徴とする請求項２に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項５】
前記ウェハは、該ウェハの上面に配設されている複数のノードを備えており、かつ前記複数の導体の位置が前記複数のノードの位置に対応していることを特徴とする請求項１または２に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項６】
前記トランジスタの各々が、
前記ウェハの上面に配設されている第１のノードと、
前記上面に配設されている第２のノードと、
前記ウェハの下面に配設されている第３のノードと、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項７】
前記第１のノードに接続されている第１の電源をさらに備えたことを特徴とする請求項６に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項８】
前記第２のノードに接続されている第２の電源をさらに備えたことを特徴とする請求項６に記載のアバランシェ試験装置。
【請求項９】
前記第３のノードに接続されている第３の電源をさらに備えたことを特徴とする請求項６に記載のアバランシェ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アバランシェ試験装置に関し、特にウェハレベルにてトランジスタのアバランシェ特性の試験を行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ウェハ上の集積回路素子はまずその電気的特性を試験することで、集積回路素子の良否を判定しなければならない。良品である集積回路は選び出されて後続の封止工程を実施するが、不良品は余分な封止コストの増加をなくすために廃棄される。封止が完了した集積回路素子には再度電気的特性試験を行って封止の不良品を弾き出して、最終的な製品歩留まりを高めることになる。言い換えるならば、集積回路素子は製造過程において、電気的特性の試験を数回実施しなければならないと言うことになる。
【０００３】
ところで、トランジスタのアバランシェ試験はウェハレベルで実施可能であるものの、封止工程完了後に実施することはできないことから、封止工程の前にアバランシェ特性規格に符合しないトランジスタを弾き出しては廃棄することで、ひいては封止コストの増加を回避することができる。図１は従来のウェハレベルにおけるトランジスタのアバランシェ試験の構造である。ウェハ載置台１１上には、複数のトランジスタ２３を備えたウェハ２１が載置されている。複数のトランジスタ２３はドレイン２５と、ゲート２７と、ソース２９とを備えている。ドレイン２５およびゲート２７はそれぞれ電源３５および３７（例えば電圧源または電流源）に電気的に接続されており、そしてソース２９はウェハ載置台１１のコンタクト１３を介して電源３９（例えば電圧源または電流源）に電気的に接続されている。また特許文献１には、アバランシェ試験信号を封止が完了した被試験集積回路素子に付与するためのアバランシェ試験が開示されている。
【特許文献１】米国特許第７，３６８，９３４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、図１に示す従来のアバランシェ試験構造にてウェハレベルにおけるトランジスタのアバランシェ試験を行うときには、主に次のような欠点がある。ウェハ２１のトランジスタ２３は共通のソース２９を有するとともに、ウェハ２１はウェハ載置台１１に載置されており、そしてウェハ載置台１１は大容量のキャパシタと見なすことができることから、被試験素子を通る電流は試験装置の測定装置に流れることができなくなり、測定結果の不正確を招いてしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ウェハレベルにてトランジスタのアバランシェ特性の試験を行う装置を提供する。
【０００６】
本発明で提供するアバランシェ試験装置は、ウェハを載置するように配設されているウェハ載置台を備えており、前記ウェハは複数のトランジスタを備えており、このうち前記ウェハ載置台は絶縁本体と、複数の導体とを備えており、前記複数の導体が前記絶縁本体の内部に嵌設されている。
【０００７】
本発明で提供するアバランシェ試験装置は、ウェハを載置するように配設されている載置台を備えており、前記ウェハは複数のトランジスタを備えており、前記載置台は横側および縦側を有する複数の導体と、前記横側に配設されている複数の横絶縁線と、前記縦側に配設されるとともに前記横絶縁線と交差している複数の縦絶縁線と、を備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のアバランシェ試験装置はウェハレベルのトランジスタでのアバランシェ試験作業中において、前記共通ソースの電流ピークを精確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来のウェハレベルにおけるトランジスタのアバランシェ試験の構造を示す図。
【図２】本発明の一実施例におけるアバランシェ試験装置を示す図。
【図３】本発明の一実施例におけるアバランシェ試験装置を示す図。
【図４】本発明の他の実施例の素子載置台を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
上記では本発明の技術的特徴および長所を広く概略的に説明したが、下記における本発明の詳細な説明により更に明確な理解が得られるであろう。本発明の特許請求の標的を構成するその他技術的特徴および長所は下記に記載する。本発明が属する技術的分野における当業者であれば、下記に開示する概念および特定の実施例を用いて、その他構造または製造工程を改変または設計して、本発明と同じ目的を容易に達成することができることが理解できるはずである。本発明が属する技術分野における当業者であればまた、このような同等効果の構造は別紙の特許請求の範囲で規定する本発明の技術的思想および範囲から乖離しないということも理解できるはずである。
【００１１】
図２および図３には本発明の一実施例におけるアバランシェ試験装置２０を示している。本発明の一実施例において、前記アバランシェ試験装置２０はウェハ２１を載置するように配設されている素子載置台（例えばウェハ載置台）４１を備えており、前記ウェハ２１は複数のトランジスタ２３を備えており、各トランジスタ２３はドレイン２５と、ゲート２７と、ソース２９とを備えている。前記ドレイン２５および前記ゲート２７はそれぞれ電源３５および３７（例えば電圧源または電流源）に電気的に接続されており、そして前記ソース２９は前記素子載置台４１のコンタクト４９を介して電源３９（例えば電圧源または電流源）に電気的に接続されている。
【００１２】
本発明の一実施例において、前記素子載置台４１は絶縁本体４３と複数の導体４７とを備えており、前記複数の導体４７は前記絶縁本体４３の内部に嵌設されている。本発明の一実施例において、前記絶縁本体４３は複数のホール４５を備えており、しかも前記複数の導体４７は前記複数のホール４５の内部に嵌設されている。本発明の一実施例において、前記複数の導体４７はアレイ方式で配列される。本発明の一実施例において、前記ウェハ２１は前記ウェハ２１の上面に配設されている複数のドレイン２５を備えており、しかも前記複数の導体４７の位置は前記複数のドレイン２５の位置に対応している。
【００１３】
従来のアバランシェ試験構造においては、前記ウェハ載置台１１は大容量のキャパシタとされて、被試験トランジスタ２３における共通ソース２９を通過する電流は前記ウェハ載置台１１に分散してしまい、試験装置の測定装置に流れることができなくなり、測定結果の不正確を招く。これに対して、本発明の実施例では前記素子載置台（ウェハ載置台）４１を複数の導体４７に分割することにより、前記ウェハ載置台４１が大容量のキャパシタとなってしまうことはなく、被試験トランジスタ２３の共通ソース２９を通過する電流は前記ウェハ載置台４１に分散することなく前記電源３９（電流測定器）に流れる。したがって、本発明のアバランシェ試験装置２０はウェハレベルのトランジスタでのアバランシェ試験作業中において、前記共通ソース２９の電流ピークを精確に測定することができる。
【００１４】
図４には本発明の他の実施例の素子載置台５１を示している。本発明の一実施例において、前記素子載置台５１は、横側５７Ａおよび縦側５７Ｂを有する複数の導体５７と、前記横側５７Ａに配設されている複数の横絶縁線５３Ａと、前記縦側５７Ｂに配設されるとともに前記横絶縁線５３Ａと交差している複数の縦絶縁線５３Ｂとを備えている。本発明の一実施例において、前記複数の横絶縁線５３Ａと前記複数の縦絶縁線５３Ｂとで複数のホール５５を形成するとともに、前記複数の導体５７は前記ホール５５の内部に配設されている。
【００１５】
本発明の一実施例において、前記複数の導体５７はアレイ方式で配列されるとともに、前記横絶縁線５３Ａと前記縦絶縁線５３Ｂとで網の目状構造５３を形成している。本発明の一実施例において、前記ウェハ２１は前記ウェハ２１の上面に配設されている複数のドレイン２５を備えており、しかも前記複数の導体４７の位置は前記複数のドレイン２５の位置に対応している。本発明の一実施例において、前記電源３９（電流測定器）は前記素子載置台５１の導体５７を介して前記トランジスタ２３のソース２９に接続されている。
【００１６】
従来のアバランシェ試験構造においては、前記ウェハ載置台１１は大容量のキャパシタとされて、被試験トランジスタ２３における共通ソース２９を通過する電流は前記ウェハ載置台１１に分散してしまい、試験装置の測定装置に流れることができなくなり、測定結果の不正確を招く。これに対して、本発明の実施例では前記素子載置台（ウェハ載置台）５１を複数の導体５７に分割することにより、ウェハ載置台５１大容量のキャパシタとなってしまうことはなく、被試験トランジスタ２３の共通ソース２９を通過する電流は前記素子載置台５１に分散することなく前記電源３９（電流測定器）に流れる。したがって、本発明のアバランシェ試験装置２０はウェハレベルのトランジスタでのアバランシェ試験作業中において、前記共通ソース２９の電流ピークを精確に測定することができる。
【００１７】
本発明の技術内容および技術的特長は上記したとおりであるが、本発明の属する技術分野の当業者であれば、別紙の特許請求の範囲にて規定する本発明の技術的思想に違わぬ範囲内で、本発明の教示および開示で各種の置換および付加を行うことができることが理解できるはずである。例えば、上記にて開示した数多くの製造工程は、別の方法で実施したり、またはその他製造工程で置換したり、または上記した二種類の方式を組合わせて用いることもできる。
【００１８】
またこれ以外にも、本願の権利範囲は上記にて開示した特定の実施例の製造工程、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに限定されるものではない。本発明の属する技術分野の当業者であれば、本発明が教示および開示する製造工程、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに基づいて、現在または未来の開発者のいずれを問わず、本願の実施例に開示するものと実質的に同じ方式で実質的に同じ効果を実行して、実質的に同じ結果に到達するものも本発明に使用できることが理解できるはずである。したがって、別紙の特許請求の範囲は、この種の製造工程、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに用いるものを包括するのに用いることもできる。
【符号の説明】
【００１９】
１１  ウェハ載置台
１３、４９  コンタクト
２０  アバランシェ試験装置
２１  ウェハ
２３  トランジスタ
２５  ドレイン
２７  ゲート
２９  ソース
３５、３７、３９  電源
４１、５１  素子載置台
４３  絶縁本体
４５、５５  ホール
４７、５７  導体
５３  網の目状構造
５３Ａ  横絶縁線
５３Ｂ  縦絶縁線
５７Ａ  横側
５７Ｂ  縦側
【図１】
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【図２】
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【図３】
2013187533.tif 000005
【図４】
2013187533.tif 000006