(57)【要約】【課題】カセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作でウエーハカセット内のウエーハが飛び出さないようにすることを目的とする。【解決手段】ウエーハカセット１は、対向する側板２にウエーハ１０を収容する収容溝３が複数形成され、収容溝３は、ウエーハ１０が収容される収容領域３０と、ウエーハ１０を収容領域３０に収容する為のガイドの役割となる案内領域３１と、から構成され、収容領域３０より案内領域３１を厚くして段差ｈ３を形成している。そのため、ウエーハカセット１が載置された状態のカセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作により、ウエーハ１０がウエーハカセット１内から飛び出そうになっても、ウエーハ１０の外周１０ｂが案内領域３１に形成された段差ｈ３に接触するため、ウエーハ１０がウエーハカセット１から飛び出すことを防止できる。【選択図】図２
2013089845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状加工物を収容するウエーハカセットであって、
該ウエーハカセットは、対向する側板にウエーハを収容する収容溝が複数形成され、該収容溝が板状加工物外周を支持し、板状加工物を積層状に収容することが可能であり、
該収容溝は、板状加工物が収容される収容領域と、
板状加工物を該収容領域に収容する為のガイドの役割となる案内領域と、
から構成され、
該収容領域より該案内領域を厚くして段差を形成したことを特徴とするウエーハカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のウエーハを収納できるウエーハカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のウエーハを収納するウエーハカセットには、対向する側板に複数の収納溝が形成されており、この収納溝にウエーハを載置できるようになっている。
【０００３】
しかし、ウエーハカセットを搬送する場合などにおいては、例えばウエーハカセットが転倒したり、傾いたりした際にウエーハカセット内部に収容されたウエーハが外部へ飛び出すことがある。そこで、ウエーハがウエーハカセットから飛び出すことを防止するために、種々の発明が提案されている。
【０００４】
例えば、ウエーハを支持する支持プレートの支持面に滑り止めを敷設しているウエーハカセットがある（例えば、特許文献１を参照）。また、ウエーハカセットに形成された収納溝を閉鎖するウエーハ飛び出し防止用のストッパを備えるウエーハカセットがある（例えば、下記の特許文献２を参照）。さらには、ウエーハカセットの収納溝にウエーハを収納してストッパ棒によりウエーハを保持固定するものがある（例えば、下記の特許文献３を参照）。
【０００５】
上記したようなウエーハカセットは、加工処理に移行するために加工装置に備えるカセット載置テーブルに載置される。カセット載置テーブルとしては、例えば、ガイド台にカセット載置テーブルを載せて前後方向にスライド移動させることができる引き出し式のカセット載置テーブルがある（例えば下記の特許文献４を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−７１６１７号公報
【特許文献２】特開平８−５３１８７号公報
【特許文献３】特開平７−１８３３６７号公報
【特許文献４】特開平７−７８７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、引き出し式のカセット載置テーブルに上記したようなウエーハカセットを載置した場合において、当該カセット載置テーブルを引き出し及び収納する動作でウエーハカセット内に収容されたウエーハが外部へ飛び出すことがある。
【０００８】
本発明は、ウエーハカセットを引き出し式のカセット載置テーブルに載置させた後、当該カセット載置テーブルを引き出したり収納したりする際に、ウエーハカセットの内部に収容されたウエーハが外部へ飛び出さないようにすることに課題を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るウエーハカセットは、板状加工物を収容するウエーハカセットであって、
該ウエーハカセットは、対向する側板にウエーハを収容する収容溝が複数形成され、該収容溝が板状加工物外周を支持し、板状加工物を積層状に収容することが可能であり、該収容溝は、板状加工物が収容される収容領域と、板状加工物を該収容領域に収容する為のガイドの役割となる案内領域と、から構成され、該収容領域より該案内領域を厚くして段差を形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、対向する側板にウエーハを収容する収容溝が複数形成され、該収容溝は、板状加工物が適正な位置に収容される収容領域と、板状加工物を該収容領域に収容する為のガイドの役割となる案内領域とから構成され、収容領域より該案内領域を厚くして段差を形成している。そのため、カセット載置テーブルにウエーハカセットを載置して、カセット載置テーブルを引き出し及び収納する際にウエーハが前後方向に動こうとしても、収容溝に収容されたウエーハが案内領域の段差に接触するため、ウエーハカセット内に収容されたウエーハが外部へ飛び出すことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ウエーハを収容した状態のウエーハカセットの正面図及びウエーハが収納溝に載置された状態の部分拡大正面図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】ウエーハカセットにウエーハを搬送する工程の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示すウエーハカセット１は、被加工物であるウエーハ１０を複数収納できるウエーハカセットを示した一例である。まず、ウエーハカセット１の装置構成及び作用について説明する。
【００１３】
図１に示すウエーハカセット１は、対向して配設され垂直方向に延びる一対の側板２と、一対の側板２の内壁側に複数形成されウエーハ１０を支持するための収容溝３と、側板２の下端部に連結される底板５と、側板２の上端部に連結される天板６とを備えている。
【００１４】
図１に示すように、一対の側板２には、垂直方向に延びるナット構造のボルト孔２０及び２０ａがそれぞれ形成されている。
【００１５】
図１に示すように、一対の側板２の下端部には、ナット構造のボルト孔２０及び２０ａに複数のボルト７を螺合させて底板５と側板２とを固定させている。また、一対の側板２の上端部には、ナット構造のボルト孔２０及び２０ａに複数のボルト８を螺合させて天板６と側板２とを固定させている。
【００１６】
図２に示すように、側板２は、手前側が側板前部２１で、奥側が側板後部２２となっており、側板後部２２を円形のウエーハ１０の外周１０ｂに合わせてウエーハ側に向けて湾曲させている。
【００１７】
図１に示すように、複数の収容溝３は、それぞれ上下方向に所定の空間を設けて形成されており、当該空間がウエーハ１０を搬出入できる収容口４となっている。そして、上下方向に収容溝３が複数形成されていることにより、側板２の側壁は階層構造となっている。このような構造としていることにより、ウエーハカセット１に複数のウエーハ１０を積層状に収容できる。そして、ウエーハカセット１にウエーハ１０を収容する際には、図２に示すように、ウエーハ１０を保持した搬送手段１１が収容口４から矢印Ａ方向に水平移動してウエーハ１０を進入させる。
【００１８】
図１及び図２に示すように、収容溝３は、ウエーハ１０を適正な位置で収容する収容領域３０と、ウエーハ１０を収容領域３０に収容するためのガイドの役割となる案内領域３１とから構成されている。
【００１９】
収容領域３０は、下方からウエーハ１０を支持する支持面３０ａを有し、ウエーハ１０の下面１０ａの端部を載置できるようなっている。これにより、ウエーハ１０を適正な位置で収容領域３０に収容することが可能となっている。
【００２０】
案内領域３１は、収容領域３０の前部に設けられており、収容領域３０の上面よりも上面位置を高くすることにより段差を設けて収容領域３０よりも厚く形成されている。案内領域３１の具体的な構成について以下に説明する。
【００２１】
図１の部分拡大図に示すように、案内領域３１は収容領域３０に隣接しており、収容領域３０よりもその形状を厚くして、収容領域３０の厚みと案内領域３１の厚みとの差を段差ｈ３としている。当該段差ｈ３は、案内領域３１の厚さｈ１から収容領域３０の厚さｈ２を差し引いて求められる。
【００２２】
段差ｈ３は、図２に示す側板２の側板前部２１側に形成されている。これにより、段差ｈ３がウエーハ１０の前方への飛び出しを抑制するストッパ部材としての機能を有する。すなわち、ウエーハカセット１０に収容されたウエーハ１０が収容口４から外部へ飛び出そうになっても、ウエーハ１０の外周１０ｂが段差ｈ３に接触するため、ウエーハ１０がウエーハカセット１から飛び出すことがない。
【００２３】
段差ｈ３が形成される案内領域３１の側壁を案内面３１ａとしている。案内面３１ａは、ウエーハ１０の外形に沿った円弧状に形成され収容口４から搬入されたウエーハ１０を収容領域３０へガイドする役割を有しており、ウエーハ１０を適正な位置に導くことができる。したがって、ウエーハ１０の外周１０ｂが案内面３１ａに接触することにより、ウエーハ１０が収容領域３０の支持面３０ａに安定して載置される。
【００２４】
このように構成されるウエーハカセット１に対してウエーハ１０を搬入出する手段としては、搬送手段がある。図３に示す搬送手段１１は、ウエーハの上面１０ｃを吸引保持する搬送パッドを備えている。
【００２５】
以下においては、このように構成されるウエーハカセット１にウエーハ１０を搬入出する一連の動作について説明する。
【００２６】
ウエーハ１０をウエーハカセット１に搬入する際には、図３（ａ）に示すように、搬送手段１１によってウエーハ１０の上面１０ｃを吸引保持し、収容口４からウエーハカセット１の内部における収容溝３の上方に進入させる。
【００２７】
収容溝３の上方に搬送手段１１が進入した後、図３（ｂ）に示すように、搬送手段１１を下降させて収容領域３０の支持面３０ａに接近させ、ウエーハ１０の下面１０ａが収容領域３０の支持面３０ａに当接したら、搬送手段１１は吸引を停止してウエーハ１０を切り離す。その結果、ウエーハ１０は、図２に示した案内領域３１の奥側において収容領域３０に収容される。
【００２８】
収容領域３０に収容されたウエーハ１０を搬出する場合には、上記の搬入動作の逆の動作を行えばよい。
【００２９】
複数のウエーハ１０がウエーハカセット１に収容された後は、ウエーハ１０を加工処理工程に移すために、例えばウエーハカセット１を図示しない引き出し式カセット載置テーブルを備えた加工装置に搬送する。その後、ウエーハ１０はウエーハカセット１が載置された引き出し式カセット載置テーブルを引き出し及び収納する際に生じる振動によって、ウエーハカセット１の内部から外部へ向けて飛び出そうになっても、ウエーハ１０の外周１０ｂが案内領域３１に形成された段差ｈ３に接触するため、ウエーハ１０がウエーハカセット１の内部から飛び出すのを防止することができる。
【００３０】
なお、実施形態にかかるウエーハカセット１は、引き出し式カセット載置テーブルに載置されるものに限定されるものではない。したがって、ウエーハカセット１は種々の加工装置及びカセットテーブルに適用することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１：ウエーハカセット
２：側板  ２０，２０ａ：ボルト孔  ２１：側板前部  ２２：側板後部
３：収容溝
３０：収容領域  ３０ａ：支持面
３１：案内領域  ３１ａ：案内面
４：収容口
５：底板
６：天板
７：ボルト
８：ボルト
１０：ウエーハ  １０ａ：下面  １０ｂ：外周  １０ｃ：上面
１１：搬送手段
【図１】
2013089845.tif 000003
【図２】
2013089845.tif 000004
【図３】
2013089845.tif 000005