(57)【要約】【課題】噴射異常を判定するための基準値を適切に求めること。【解決手段】駆動素子を駆動させてキャビティ内の液体を噴射させる複数の噴射部と、前記駆動素子を駆動させて得られる検出信号と基準値とを比較した結果に基づいて前記複数の噴射部の検査を行う検査部と、を備え、前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査装置。【選択図】図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動素子を駆動させてキャビティ内の液体を噴射させる複数の噴射部と、
前記駆動素子を駆動させて得られる検出信号と基準値とを比較した結果に基づいて前記複数の噴射部の検査を行う検査部と、
を備え、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査装置。
【請求項２】
前記キャビティの検査値に関連する値は前記キャビティ内の液体に関連する温度に応じて補正される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記キャビティの検査値に関連する値は前記キャビティ内の液体の種類に応じて補正される、請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記基準値を求めることは複数回行われ、２回目以降に前記基準値を求めるときは、前回求められた基準値に基づいて求められる、請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記駆動素子の駆動は、前記複数の噴射部を検査するときと、前記基準値を求めるときとでそれぞれ行われる、請求項１〜４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記駆動素子の駆動は、前記複数の噴射部と検査するときと、前記基準値を求めるときとのいずれか一方において行われる、請求項１〜４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
複数の噴射部の駆動素子をそれぞれ駆動させて検出信号を取得する工程と、
前記検出信号と基準値とを比較して前記複数の噴射部の検査を行う工程と、
を含み、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査方法。
【請求項８】
複数の噴射部の駆動素子をそれぞれ駆動させて検出信号を取得する工程と、
前記検出信号と基準値とを比較して前記複数の噴射部の検査を行う工程と、
を検査装置に行わせるプログラムであって、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、及び、プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルなどの噴射部からインクのような液体が噴射される液体噴射装置が開発されている。このような液体噴射装置では、適切に液体が噴射部から噴射されるか否かの検査が行われる。  
特許文献１には、ノズル駆動用アクチュエーターをセンサとしても用い、波形の位相、周期、振幅から増粘及び気泡などのノズル状態を検出することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４１１４６３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のような噴射部の検査は、噴射部の振動周期等が所定の範囲にあるか否かに基づいて行われる。このような検査を行うためには、予め、基準となる範囲を適切に求めておく必要がある。すなわち、噴射異常を判定するための基準値を適切に求めることが望まれる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、噴射異常を判定するための基準値を適切に求めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための主たる発明は、
駆動素子を駆動させてキャビティ内の液体を噴射させる複数の噴射部と、
前記駆動素子を駆動させて得られる検出信号と基準値とを比較した結果に基づいて前記複数の噴射部の検査を行う検査部と、
を備え、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査装置である。
【０００７】
本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態のプリンター１の全体構成のブロック図である。
【図２】図２Ａは、プリンター１の斜視図であり、図２Ｂは、プリンター１の横断面図である。
【図３】ヘッド４１の下面（ノズル面）のノズル配置の一例を示す図である。
【図４】ヘッド４１のノズル周辺の断面図である。
【図５】圧電式アクチュエーター４２２の他の例を示す図である。
【図６】振動板４２１の残留振動を想定した単振動の計算モデルを示す図である。
【図７】残留振動検出回路５５の構成の一例を示す回路図である。
【図８】残留振動検出回路５５の比較器５７の入力と出力の関係の一例を示す図である。
【図９】ノズルに関する振動周期の説明図である。
【図１０】位置ＮｔＦ及び周期ＮｔＣによるノズル状態を示す表である。
【図１１】ヘッドユニット４０のヘッド制御部ＨＣの構成の一例の説明図である。
【図１２】各信号のタイミングの説明図である。
【図１３】振動周期ＮｔＣの基準範囲の説明図である。
【図１４】基準範囲の決定を困難にする例である。
【図１５】検査用の基準範囲決定処理のフローチャートである。
【図１６】検査用の基準範囲を決定する手法の説明図である。
【図１７】環境温度による補正値の一例を示す図である。
【図１８】インクの種類による補正値の一例を示す図である。
【図１９】同時に駆動するノズル数による補正値の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項が明らかとなる。すなわち、
駆動素子を駆動させてキャビティ内の液体を噴射させる複数の噴射部と、
前記駆動素子を駆動させて得られる検出信号と基準値とを比較した結果に基づいて前記複数の噴射部の検査を行う検査部と、
を備え、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査装置である。  
液体が充填された状態のキャビティの振動周期は、上記検査値と相関関係がある。よって、液体が充填された状態のキャビティの検査値に関連する値に基づいて、適切な噴射部を抽出し、これら抽出された複数の噴射部を駆動して得られる検出信号に基づいて検査用の基準値を求めることで、噴射異常を判定するための基準値を適切に求めることができる。
【００１０】
かかる検査装置であって、前記キャビティの検査値に関連する値は前記キャビティ内の液体に関連する温度に応じて補正されることが望ましい。  
このようにすることで、温度に応じて変化すると考えられるキャビティの検査値に関連する値を適切に補正することができるので、より適切に基準値を求めることができる。
【００１１】
また、前記キャビティの検査値に関連する値は前記キャビティ内の液体の種類に応じて補正されることが望ましい。  
液体が充填された状態のキャビティの検査値は、充填される液体によって変化するので、液体の種類に応じてキャビティの検査値に関連する値を補正することで、適切な基準値を得ることができる。
【００１２】
また、前記基準値を求めることは複数回行われ、２回目以降に前記基準値を求めるときは、前回求められた基準値に基づいて求められることが望ましい。  
このようにすることで、２回目以降の基準値が前回求められた基準値に基づいて求められることになるので、より精度の高い基準値を得ることができる。
【００１３】
また、前記駆動素子の駆動は、前記複数の噴射部を検査するときと、前記基準値を求めるときとでそれぞれ行われることが望ましい。  
このようにすることで、検査工程と基準値算出工程のそれぞれで駆動したときに得られる検出信号に基づいてそれぞれの工程を実行することができので、検出信号を記憶しておく必要がない。よって、メモリー使用量を減らすことができる。
【００１４】
また、前記駆動素子の駆動は、前記複数の噴射部と検査するときと、前記基準値を求めるときとのいずれか一方において行われることとしてもよい。  
このようにすることで、検査工程と基準値算出工程のいずれかで駆動したときに得られる検出信号を共通に用いてそれぞれの工程を実行することができる。これにより、駆動素子を一度駆動するだけで、検査工程及び基準値算出工程のいずれも実行できる。
【００１５】
また、本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項も明らかとなる。すなわち、
複数の噴射部の駆動素子をそれぞれ駆動させて検出信号を取得する工程と、
前記検出信号と基準値とを比較して前記複数の噴射部の検査を行う工程と、
を含み、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、検査方法である。  
液体が充填された状態のキャビティの振動周期は、上記検査値と相関関係がある。よって、液体が充填された状態のキャビティの検査値に関連する値に基づいて、適切な噴射部を抽出し、これら抽出された複数の噴射部を駆動して得られる検出信号に基づいて検査用の基準値を求めることで、噴射異常を判定するための基準値を適切に求めることができる。
【００１６】
また、本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも、以下の事項も明らかとなる。すなわち、
複数の噴射部の駆動素子をそれぞれ駆動させて検出信号を取得する工程と、
前記検出信号と基準値とを比較して前記複数の噴射部の検査を行う工程と、
を検査装置に行わせるプログラムであって、
前記基準値は、前記液体が充填された状態の前記キャビティの検査値に関連する値に基づいて前記複数の噴射部から特定の噴射部が抽出され、当該抽出された特定の噴射部の駆動素子を駆動して得られる検出信号に基づいて求められる、プログラムである。  
液体が充填された状態のキャビティの振動周期は、上記検査値と相関関係がある。よって、液体が充填された状態のキャビティの検査値に関連する値に基づいて、適切な噴射部を抽出し、これら抽出された複数の噴射部を駆動して得られる検出信号に基づいて検査用の基準値を求めることで、噴射異常を判定するための基準値を適切に求めることができる。
【００１７】
＝＝＝実施形態＝＝＝
図１は、本実施形態のプリンター１の全体構成のブロック図である。また、図２Ａは、プリンター１の斜視図であり、図２Ｂは、プリンター１の横断面図である。以下、本実施形態のプリンター１の基本的な構成について説明する。
【００１８】
本実施形態のプリンター１は、搬送ユニット２０、キャリッジユニット３０、ヘッドユニット４０、検出器群５０、及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）６０（検出器群の残留振動検出回路５５とＡＳＩＣ６０は、検査部に相当する）を有する。外部装置であるコンピューター１１０から印刷データを受信したプリンター１は、ＡＳＩＣ６０によって各ユニット（搬送ユニット２０、キャリッジユニット３０、ヘッドユニット４０）を制御する。ＡＳＩＣ６０は、コンピューター１１０から受信した印刷データに基づいて、各ユニットを制御し、紙に画像を印刷する。プリンター１内の状況は検出器群５０によって監視されており、検出器群５０は、検出結果をＡＳＩＣ６０に出力する。ＡＳＩＣ６０は、検出器群５０から出力された検出結果に基づいて、各ユニットを制御する。
【００１９】
搬送ユニット２０は、媒体（例えば、紙Ｓなど）を第１の方向（以下、搬送方向という）に搬送させるためのものである。この搬送ユニット２０は、給紙ローラー２１と、搬送モーター２２（ＰＦモーターとも言う）と、搬送ローラー２３と、プラテン２４と、排紙ローラー２５とを有する。給紙ローラー２１は、紙挿入口に挿入された紙をプリンター内に給紙するためのローラーである。搬送ローラー２３は、給紙ローラー２１によって給紙された紙Ｓを印刷可能な領域まで搬送するローラーであり、搬送モーター２２によって駆動される。プラテン２４は、印刷中の紙Ｓを支持する。排紙ローラー２５は、紙Ｓをプリンターの外部に排出するローラーであり、印刷可能な領域に対して搬送方向下流側に設けられている。
【００２０】
キャリッジユニット３０は、ヘッドを第２の方向（以下、移動方向という）に移動（「走査」とも呼ばれる）させるためのものである。キャリッジユニット３０は、キャリッジ３１と、キャリッジモーター３２（ＣＲモーターとも言う）とを有する。キャリッジ３１は、移動方向に往復移動可能であり、キャリッジモーター３２によって駆動される。また、キャリッジ３１は、インクを収容するインクカートリッジを着脱可能に保持している。
【００２１】
ヘッドユニット４０は、紙Ｓにインクを噴射するためのものである。ヘッドユニット４０は、複数のノズルを有するヘッド４１とヘッド制御部ＨＣを備えている。ヘッド４１はキャリッジ３１に設けられているため、キャリッジ３１が移動方向に移動すると、ヘッド４１も移動方向に移動する。そして、ヘッド４１が移動方向に移動中にインクを断続的に噴射することによって、移動方向に沿ったドットライン（ラスタライン）が紙Ｓに形成される。
【００２２】
ヘッド制御部ＨＣは、ヘッド４１の駆動等を制御するためのものである。ヘッド制御部ＨＣは、ＡＳＩＣ６０からのヘッド制御信号に応じて、ヘッド４１の各ノズルと対応する圧電式アクチュエーターを選択的に駆動させる。これによりヘッド４１のノズルからインクが噴射される。  
なお、ヘッドユニット４０の詳細については後述する。
【００２３】
検出器群５０は、ノズルの噴射検査（以下、ノズル検査ともいう。噴射部の検査に相当する）を行うための残留振動検出回路５５を備えている。なお、残留振動検出回路５５の詳細については後述するが、噴射部の検査においてインク粘度の変動検出による検査も噴射部の検査に含まれるものとする。
【００２４】
ＡＳＩＣ６０は、プリンターの制御を行うための制御ユニットである。ＡＳＩＣ６０は、特定の機能を発揮するための回路の他、不図示のインターフェイスと、ＣＰＵと、メモリーと、駆動信号生成回路を有する。インターフェイス部は、外部装置であるコンピューター１１０とプリンター１との間でデータの送受信を行う。ＣＰＵは、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置であり、プログラムの実行も行う。メモリーは、ＣＰＵのプログラムを格納する領域や作業領域等を確保するためのものであり、ＲＡＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の記憶素子を有する。駆動信号生成回路は、ヘッド４１を駆動させる駆動信号ＣＯＭを生成する。
【００２５】
また、本実施形態のＡＳＩＣ６０は、残留振動検出回路５５の検出結果に基づいて、各ノズルの正常、異常を判定する処理も行う。
【００２６】
図３はヘッド４１の下面（ノズル面）のノズル配置の一例を示す図である。ヘッド４１には、図３に示すように複数のノズルが配列されている。この図３の例では、４色のインク（Ｙ：イエロー、Ｍ：マゼンダ、Ｃ：シアン、Ｋ：ブラック）を用いる場合のノズルの配列パターンを示しており、これらの色の組合せによりフルカラー印刷が可能となる。
【００２７】
各色についてｎ個（例えば１８０個）のノズルが設けられている。図ではＹ（イエロー）のノズル列の各ノズルに番号（Ｙ（１）〜Ｙ（ｎ））を付している。
【００２８】
なお、本実施形態のヘッド４１では圧電式アクチュエーター（いわゆるピエゾ方式）を用いており、各ノズルに対応して圧電式アクチュエーターが備えられている。
【００２９】
図４は、ヘッド４１のノズルの周辺の断面図である。ヘッド４１は、図４に示すように、振動板４２１と、この振動板４２１を変位させる圧電式アクチュエーター４２２と、内部に液体であるインクが充填され且つ振動板４２１の変位により内部の圧力が増減されるキャビティ（圧力室）４２３と、このキャビティ４２３に連通し且つ当該キャビティ４２３内の圧力の増減によりインクを液滴として噴射するノズル４２４と、を少なくとも備えている。なお、圧電式アクチュエーター４２２、キャビティ４２３及びノズル４２４は噴射部に相当する。また、噴射部には、振動板４２１を含めることができる。また、後述のように、噴射部は、圧電素子４２７によりインク滴を噴射するものに限られず、発熱素子によりインク滴を噴射してもよく、圧電式アクチュエーター４２２を含んでいなくても、駆動素子を含んでいればよい。
【００３０】
更に詳述すると、ヘッド４１は、ノズル４２４が形成されたノズル基板４２５と、キャビティ基板４２６と、振動板４２１と、複数の圧電素子４２７を積層した積層型の圧電式アクチュエーター４２２とを備えている。キャビティ基板４２６は、図示のように所定形状に形成され、これにより、キャビティ４２３と、これに連通するリザーバ４２８とが形成されている。また、リザーバ４２８は、インク供給チューブ４２９を介してインクカートリッジＣＴに接続されている。圧電式アクチュエーター４２２は、対向して配置される櫛歯状の第１電極４３１、第２電極４３２と、その電極（第１電極４３１、第２電極４３２）の各櫛歯と交互に配置される圧電素子４２７とを有している。また、圧電式アクチュエーター４２２は、その一端側が図４に示すように、中間層４３０を介して振動板４２１と接合されている。
【００３１】
このような構成からなる圧電式アクチュエーター４２２では、第１電極４３１と第２電極４３２との間に駆動信号ＣＯＭが印加されることによって、図４の矢印で示すように上下方向に伸び縮みするモードを利用している。従って、この圧電式アクチュエーター４２２では、駆動信号ＣＯＭが印加されると、振動板４２１に圧電式アクチュエーター４２２の伸縮による変位が生じてキャビティ４２３内の圧力が変化し、ノズル４２４からインク滴が噴射されるようになっている。具体的には、後述するように、キャビティ４２３の容積を拡大してインクを引き込み、次いでキャビティ４２３の容積を縮小してインク滴を噴射する。
【００３２】
図５は、圧電式アクチュエーター４２２の他の例を示す図である。なお、図中の符号は、図４のものを流用している。この図５の圧電式アクチュエーターは、一般にユニモルフ型アクチュエーターと呼ばれ、圧電素子４２７を二つの電極（第１電極４３１、第２電極４３２）で挟んだ簡単な構造である。この図５の構成の場合では、駆動信号が印加されることによって圧電素子４２７が図の上下方向に撓む。これにより、図４の積層型アクチュエーターと同様に、振動板４２１に変位が生じて、インク滴を噴射する。この場合もキャビティ４２３の容積を拡大してインクを引き込み、次いでキャビティ４２３の容積を縮小してノズル４２４からインク滴を噴射する。
【００３３】
このようなヘッド４１を備えたプリンター１では、インク切れ、インクの増粘、気泡の発生などの原因によって、ノズル４２４からインク滴が噴射すべきときに噴射しない（不噴射）というインク滴の噴射異常（所謂ドット抜け現象）を生じることがある。このような異常を検出するため、ノズル検査を行なうことが必要になる。
【００３４】
＜ノズル検査について＞
各ノズル４２４に対応する圧電式アクチュエーター４２２に駆動信号ＣＯＭを印加すると、その際の圧力変動後、キャビティ４２３内に残留振動（正確には、図４の振動板４２１の自由振動）が発生する。この残留振動の状態から各ノズル４２４の状態（キャビティ４２３内の状態を含む）を検出することが可能である。
【００３５】
図６は、振動板４２１の残留振動を想定した単振動の計算モデルを示す図である。駆動信号生成回路６５から圧電式アクチュエーター４２２に駆動信号ＣＯＭ（駆動パルス）が印加されると、圧電式アクチュエーター４２２は駆動信号ＣＯＭの電圧に応じて伸縮する。振動板４２１は圧電式アクチュエーター４２２の伸縮に応じて撓み、これによりキャビティ４２３の容積は拡大した後収縮する。このとき、インク室内に発生する圧力により、キャビティ４２３を満たすインクの一部が、ノズル４２４からインク滴として噴射される。この一連の振動板４２１の動作の際に、インク供給口の形状やインク粘度等による流路抵抗ｒと、流路内のインク重量によるイナータンスｍと振動板４２１のコンプライアンスｃによって決定される固有振動周波数で振動板４２１が自由振動を起こす（残留振動）。
【００３６】
この振動板４２１の残留振動の計算モデルは、圧力Ｐと、上述のイナータンスｍ、コンプライアンスＣおよび流路抵抗ｒとで表せる。図６の回路に圧力Ｐを与えた時のステップ応答を体積速度ｕについて計算すると、次式が得られる。  
2013248799.tif 000003
【００３７】
＜残留振動検出回路について＞
図７は、残留振動検出回路５５の構成の一例を示す回路図である。なお、本実施形態の残留振動検出回路５５は、ヘッド４１の各ノズルに対して共通に設けられている。
【００３８】
本実施形態の残留振動検出回路５５は、キャビティ４２３内の圧力変化が圧電式アクチュエーター４２２に伝達されることを利用して検出するものであり、具体的には圧電式アクチュエーター４２２の機械的変位によって発生する起電力（起電圧）の変化を検出するものである。この残留振動検出回路５５は、圧電式アクチュエーター４２２のグランド端（ＨＧＮＤ印加側）を接地又は開放するスイッチ（トランジスタＱ）と、圧電式アクチュエーター４２２に駆動信号ＣＯＭのパルスを印加した後にグランド端を開放することで発生する残留振動の交流成分を増幅する交流増幅器５６と、増幅された残留振動ＶａＯＵＴと基準電圧Ｖｒｅｆとを比較する比較器（コンパレータ）５７とを有して構成されている。このうち、交流増幅器５６は、直流成分を除去するコンデンサＣと、基準電圧Ｖｒｅｆの電位を基準として抵抗Ｒ１、Ｒ２で決まる増幅率で反転増幅する演算器ＡＭＰとで構成されている。また、抵抗Ｒ３は、トランジスタＱのオンオフの切り替わり時における急激な電圧変化を抑制するために設けられている。
【００３９】
以上の構成により、残留振動検出回路５５中のトランジスタＱのゲート電圧（ゲート信号ＤＳＥＬ）がハイレベル（以下、Ｈレベルともいう）になるとトランジスタＱがオンし、圧電式アクチュエーター４２２のグランド端が接地された状態になり、駆動信号ＣＯＭが圧電式アクチュエーター４２２に供給される。逆に、各残留振動検出回路５５中のトランジスタＱのゲート電圧（ゲート信号ＤＳＥＬ）がローレベル（以下、Ｌレベルともいう）になるとトランジスタＱがオフし、圧電式アクチュエーター４２２の起電力が残留振動検出回路５５で取出される。そして、残留振動検出回路５５によって残留振動の検出が行われ、その検出結果がパルスＰＯＵＴとして出力される。なお、図中の符号ＨＧＮＤは、圧電式アクチュエーター４２２のグランド端への信号線（接地ライン）である。
【００４０】
残留振動の検出は、基本的に個々の圧電式アクチュエーター４２２毎に行われる。ただし、後述する図１９の例では、複数の圧電式アクチュエーター４２２が駆動され、複数の圧電式アクチュエーター４２２の残留振動が取得される。
【００４１】
なお、ここでは圧電式アクチュエーター４２２を介してキャビティ内の圧力変化を検出することとしたが、別途、振動を検出する素子をヘッド４１のノズルごとに設けることとしてもよい。この場合、振動を検出する素子とＡＳＩＣ６０が検査部に相当することになる。
【００４２】
図８は、残留振動検出回路５５の比較器５７の入力と出力の関係の一例を示す図である。比較器５７の非反転入力端子（＋端子）には基準電圧Ｖｒｅｆが印加され、反転入力端子（−端子）には残留振動ＶａＯＵＴが印加される。比較器５７は、＋端子の電圧（Ｖｒｅｆ）が−端子の電圧（ＶａＯＵＴ）よりも大きければＨレベルを出力し、＋端子の電圧（Ｖｒｅｆ）が−端子の電圧（ＶａＯＵＴ）よりも小さければＬレベルを出力する。よって、図に示すように残留振動ＶａＯＵＴの振動に応じたパルス（ＣＯＭＰ出力）が出力される。本実施形態では、このパルス出力（ＣＯＭＰ出力）のパルス周期に基づいて、位置ＮｔＦ及び振動周期ＮｔＣを求め、ノズル４２４の検査を行う。
【００４３】
図９は、ノズルに関する振動周期の説明図である。図１０は、位置ＮｔＦ及び周期ＮｔＣによるノズル状態を表す表である。以下、図９及び図１０を参照しつつ、ノズルに関する振動周期とノズル状態について説明を行う。
【００４４】
図９には、圧電式アクチュエーター４２２を駆動した後のその振動周期が示されている。横軸は時間であり、縦軸は振幅である。また、図９の時間軸には、位置ＮｔＦ及び振動周期ＮｔＣが示されている。位置ＮｔＦは、時間ゼロから開始して最初にその電圧がゼロに戻るまでの時間的な位置を示すものである。また、振動周期ＮｔＣは、１周期分の振動周期を示すものである。ＮｔＦを「位置」と示したのは、「振動周期」と区別するためである。
【００４５】
図９には、正常なノズルにおける圧電式アクチュエーター４２２の振動周期が実線で示されている。これに対し、キャビティ４２３に気泡が入り込んだときの振動周期が一点鎖線で示されている。キャビティ４２３に気泡が入り込んだときの振動周期は、正常なものに比較して短い。キャビティ４２３内のインクに気泡が発生すると、キャビティ４２３内のインクが少なくなるため、主にイナータンスｍが減少する。イナータンスｍが減少すると、前述の数式に示すように、角速度ωが大きくなる。そのため、図９に示すように、電圧ゼロとなる位置ＮｔＦが早く訪れ、振動周期ＮｔＣが短くなる。
【００４６】
また、図９には、インクが増粘したときの振動周期が破線で示されている。キャビティ４２３内のインクが増粘すると流路抵抗ｒが増加する。流路抵抗ｒが増加すると、前述の数式に示すように、角速度ωが小さくなる。そのため、図９に示すように、電圧ゼロとなる位置ＮｔＦが遅く訪れ、振動周期ＮｔＣが長くなる。
【００４７】
図１０には、これらの関係が表として示されている。位置ＮｔＦ及び振動周期ＮｔＣについてそれぞれ所定の基準範囲内であるノズルについては正常なノズルと考えることができる（基準範囲は基準値に相当する）。一方、位置ＮｔＦが位置についての基準範囲以下（早い）であって、かつ、振動周期ＮｔＣが振動周期についての基準範囲以下（短い）であるノズルについては、気泡が入り正常に噴射しないノズルと考えることができる。また、位置ＮｔＦが位置についての基準範囲以上（遅い）であって、かつ、振動周期ＮｔＣが振動周期についての基準範囲以上（長い）であるノズルについては、増粘により正常に噴射しないノズルと考えることができる。
【００４８】
＜ヘッド制御部の構成について＞
図１１は、ヘッドユニット４０のヘッド制御部ＨＣの構成の一例の説明図であり、図１２は、各信号のタイミングの説明図である。
【００４９】
図１１に示すヘッド制御部ＨＣは、第１シフトレジスタ８１Ａと、第２シフトレジスタ８１Ｂと、第１ラッチ回路８２Ａと、第２ラッチ回路８２Ｂと、デコーダー８３と、制御ロジック８４と、スイッチ８６（第１スイッチに相当する）を備えている。なお、制御ロジック８４を除いた各部（すなわち、第１シフトレジスタ８１Ａ、第２シフトレジスタ８１Ｂ、第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ、デコーダー８３、スイッチ８６）は、それぞれ圧電式アクチュエーター４２２毎（ノズル４２４毎）に設けられている。
【００５０】
なお、本実施形態の残留振動検出回路５５は各ノズル４２４に対して共通に設けられており、残留振動検出回路５５には、各圧電式アクチュエーター４２２のグランド端側への信号線（接地ラインＨＧＮＤ）が入力されている。
【００５１】
本実施形態の場合、フレキシブルケーブル７１中の伝送線には、駆動信号ＣＯＭ、ラッチ信号ＬＡＴ、チャンネル信号ＣＨ、画素データＳＩ、転送用クロックＳＣＫ、及び接地ラインＨＧＮＤの各伝送線がある。そして、ヘッド制御部ＨＣには、ＡＳＩＣ６０からフレキシブルケーブル７１の各伝送線を介して、駆動信号ＣＯＭ、ラッチ信号ＬＡＴ、チャンネル信号ＣＨ、画素データＳＩ、転送用クロックＳＣＫが送信される。以下、これらの信号について説明する。
【００５２】
ラッチ信号ＬＡＴは、繰り返し周期Ｔ（１画素の区間をヘッド４１が移動する期間）を示す信号である。ラッチ信号ＬＡＴは、リニア式エンコーダー５１の信号に基づいて、ＡＳＩＣ６０によって生成され、制御ロジック８４とラッチ回路（第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ）に入力される。
【００５３】
チャンネル信号ＣＨは、駆動信号ＣＯＭに含まれる駆動パルスを圧電式アクチュエーター４２２に印加する区間を示す信号である。チャンネル信号ＣＨは、リニア式エンコーダー５１の信号に基づいてＡＳＩＣ６０によって生成され、制御ロジック８４に入力される。
【００５４】
画素データＳＩは、各画素にドットを形成するか否か（すなわちノズル４２４からインクを噴射するか否か）を示す信号である。また、本実施形態では画素データＳＩはノズル４２４の検査期間も示す。この画素データは、１個のノズル４２４に対して２ビットずつで構成されている。例えば、ノズル数が６４個の場合、２ビット×６４の画素データＳＩが繰り返し周期Ｔ毎にＡＳＩＣ６０から送られてくることになる。なお、画素データＳＩは、転送用クロックＳＣＫに同期して、第１シフトレジスタ８１Ａ及び第２シフトレジスタ８１Ｂに入力される。
【００５５】
転送用クロックＳＣＫは、ＡＳＩＣ６０から送られる画素データＳＩやチャンネル信号ＣＨを、制御ロジック８４や各シフトレジスタ（第１シフトレジスタ８１Ａ、第２シフトレジスタ８１Ｂ）にセットする際に用いられる信号である。
【００５６】
本実施形態の駆動信号ＣＯＭは、図１２に示すように、繰り返し周期Ｔの間に駆動期間１、検査期間１、駆動期間２、及び検査期間２の４つの期間が設けられている。このうち、駆動期間１には、インク滴は噴射しないがヘッド４１の圧力室４２３内のインクに微振動を与える波形１（以下、微振動用波形ともいう）が含まれる。また、駆動期間２には、ドットの形成時（インク噴射時）に圧電式アクチュエーター４２２に印加される波形２（以下、噴射用波形ともいう）が含まれる。また、検査期間１及び検査期間２は、ノズル検査を行う期間を示すものであり、それぞれ、駆動期間１、駆動期間２の直後に設けられている。なお、各検査期間では駆動信号ＣＯＭは一定である。
【００５７】
駆動信号ＣＯＭは、圧電式アクチュエーター４２２毎に設けられたスイッチ８６にそれぞれ入力されている。スイッチ８６は、画素データＳＩに基づいて、駆動信号ＣＯＭを圧電式アクチュエーター４２２に印加するか否かのオン／オフ制御を行う。このオン／オフ制御により、駆動信号ＣＯＭの一部分を、選択的に圧電式アクチュエーター４２２へ印加させることができる。
【００５８】
次に、ヘッド制御部ＨＣで生成される信号について説明する。ヘッド制御部ＨＣでは、選択信号ｑ０〜ｑ３、スイッチ制御信号ＳＷ、印加信号が生成される。選択信号ｑ０〜ｑ３は、ラッチ信号ＬＡＴとチャンネル信号ＣＨに基づいて、制御ロジック６４で生成される。そして生成された選択信号ｑ０〜ｑ３は、圧電式アクチュエーター４２２毎に設けられたデコーダー８３にそれぞれ入力される。
【００５９】
スイッチ制御信号ＳＷは、各ラッチ回路（第１ラッチ回路８２Ａ、第２ラッチ回路８２Ｂ）にラッチされた画素データ（２ビット）に基づいて、選択信号ｑ０〜ｑ３の何れかがデコーダー８３によって選択されたものである。各デコーダー８３で生成されたスイッチ制御信号ＳＷは、対応するスイッチ８６にそれぞれ入力される。印加信号は、駆動信号ＣＯＭとスイッチ制御信号ＳＷに基づいてスイッチ８６から出力される。この印加信号は、各スイッチ８６と対応する圧電式アクチュエーター４２２にそれぞれ印加される。
【００６０】
＜ヘッド制御部ＨＣの動作について＞
ヘッド制御部ＨＣは、ＡＳＩＣ６０からの画素データＳＩに基づき、インクを噴射させるための制御を行う。すなわち、ヘッド制御部ＨＣは、印刷データに基づいてスイッチ８６のオン／オフを制御し、駆動信号ＣＯＭの必要な部分（期間）を選択的に圧電式アクチュエーター４２２へ印加させている。言い換えると、ヘッド制御部ＨＣは、各圧電式アクチュエーター４２２の駆動を制御している。本実施形態では、画素データＳＩが２ビットで構成されている。そして、転送用クロックＳＣＫに同期して、この画素データＳＩがヘッド４１へ送られてくる。さらに、画素データＳＩの上位ビット群が各第１シフトレジスタ８１Ａにセットされ、下位ビット群が各第２シフトレジスタ８１Ｂにセットされる。第１シフトレジスタ８１Ａには第１ラッチ回路８２Ａが電気的に接続され、第２シフトレジスタ８１Ｂには第２ラッチ回路８２Ｂが電気的に接続されている。
【００６１】
そして、ＡＳＩＣ６０からのラッチ信号ＬＡＴがＨレベルになると、各第１ラッチ回路８２Ａは対応する画素データＳＩの上位ビット（ＳＩＨ）をラッチし、各第２ラッチ回路８２Ｂは画素データＳＩの下位ビット（ＳＩＬ）をラッチする。第１ラッチ回路８２Ａ及び第２ラッチ回路８２Ｂでラッチされた画素データＳＩ（上位ビットと下位ビットの組）はそれぞれ、デコーダー８３に入力される。デコーダー８３は、第１ラッチ回路８２Ａ及び第２ラッチ回路８２Ｂにラッチされた画素データＳＩに応じて、制御ロジック８４から出力される選択信号ｑ０〜ｑ３のうちの一つの選択信号（例えば選択信号ｑ１）を選択し、選択された選択信号をスイッチ制御信号ＳＷとして出力する。各スイッチ８６は、スイッチ制御信号ＳＷに応じてオン／オフされて、駆動信号ＣＯＭの必要な部分（期間）を選択的に圧電式アクチュエーター４２２へ印加する。
【００６２】
＜基準範囲の求め方＞
前述の図９及び図１０を用いて説明したとおり、位置ＮｔＦ及び振動周期ＮｔＣに基づいてノズルの噴射異常を検出することが可能である。たとえば、図１０に示されるように、位置ＮｔＦは、位置についての基準範囲内の領域に入るか、位置についての基準範囲以下の領域に入るか、又は、位置についての基準範囲以上の領域に入るかにより分類されている。また、周期ＮｔＣは、振動周期についての基準範囲内の領域に入るか、振動周期についての基準範囲以下の領域に入るか、又は、振動周期についての基準範囲以上の領域に入るかにより分類されている。
【００６３】
図１３は、振動周期ＮｔＣの基準範囲の説明図である。図１３は、横軸が振動周期であり、縦軸がその出現頻度を表している。図には、振動周期ＮｔＣが正常であるとされる基準範囲Ｌｔｓ〜Ｈｔｓが示されている。また、これらの中央値であるＣｔｓが示されている。
【００６４】
前述のような手法によって振動周期ＮｔＣが取得されると、これら基準範囲Ｌｔｓ〜Ｈｔｓに基づいて、取得された振動周期ＮｔＣが基準範囲内の領域に入るか、基準範囲以下の領域に入るか、又は、基準範囲以上の領域に入るかに分類することができる。これにより、取得された振動周期ＮｔＣが「正常」か「短い」か「長い」のいずれかに分類することができる。
【００６５】
なお、ここでは、振動周期ＮｔＣを例にして基準範囲を説明したが、同様に位置ＮｔＦについての基準範囲に基づいて「正常」か「遅い」か「早い」のいずれかに分類することができる。
【００６６】
振動周期ＮｔＣについての基準範囲は、たとえば次のようにして求めることができる。まず、あるノズル列のすべてのノズルについての振動周期ＮｔＣが求められる。そうすると、振動周期ＮｔＣについて図１０に示されるような出現頻度のグラフを得ることができる。基本的に、正常にインクを噴射することのできるノズルの出現頻度が高いことから、山形状の中央Ｃｔｓを求め、この中央Ｃｔｓから所定幅２Ｗｔを規定することで、仮の基準範囲を定めることができる。ここでは、振動周期ＮｔＣについての基準範囲について説明を行ったが、位置ＮｔＦについても同様にして基準範囲を定めることができる。
【００６７】
基準範囲を適切に決定しておくことで、前述の手法によりノズルが正常にインクを噴射するか否かについて判定することができる。その一方で、これら基準範囲を適切に求めておかないと、ノズルの正常又は異常について適切に判定できないことになる。
【００６８】
一般的には前述の手法により基準範囲を適切に求めることができるのであるが、次のようなケースでは、基準範囲を適切に求めることが困難な場合がある。
【００６９】
図１４は、基準範囲の決定を困難にする例である。前述のように、あるノズル列の全てのノズルについての振動周期ＮｔＣが求められた結果、図１４に示されるような出現頻度のグラフが得られる場合があり得る。このような場合、いずれの山形状の中央値を採用するべきかの判断は困難である。よって、基準範囲をある程度推定しておくことが必要となる。
【００７０】
本実施形態では、インクが充填された状態におけるキャビティの振動周期ＴＣに基づいて、基準範囲を推定し、その後、基準範囲を求めている。以下に、その求め方を説明する。
【００７１】
図１５は、検査用の基準範囲決定処理のフローチャートである。図１６は、検査用の基準範囲を決定する手法の説明図である。検査用の基準範囲は、位置ＮｔＦと振動周期ＮｔＣの両方について求めることが必要であるが、両者の求め方はほぼ同様であるので、ここでは、振動周期ＮｔＣを例に説明を行う。
【００７２】
まず、ヘッドのキャビティの振動周期ＴＣに基づいて、仮の基準範囲が設定される（Ｓ１０２）。仮の基準範囲を設定するために、まず、仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍが求められる。仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍは、ヘッドのキャビティ４２３の振動周期ＴＣに基づいて求められる。より詳細には、キャビティ４２３内にインクなどの液体が充填された状態での振動周期ＴＣに基づいて求められる。
【００７３】
この振動周期ＴＣは、基準範囲の中央値に近い値、もしくは、基準範囲の中央値Ｃｔｓと関連性のある値である。基準範囲の中央値Ｃｔｓは基準範囲の仮の中央値Ｃｔｍと関連性のある値である。すなわち、仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍは、キャビティの振動周期ＴＣの関数Ｆ（ＴＣ）として表すことができる。なお、キャビティ４２３の振動周期ＴＣは、インクを充填した状態におけるキャビティの振動モデルに基づいて求めることができる。
【００７４】
次に、求められた仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍを中心にして下限値Ｌｔｍ及び上限値Ｈｔｍを設定する。これらの値は、中央値Ｃｔｍから任意の所定幅を設けることにより設定される。このようにすることによって、ヘッドのキャビティ４２３の振動周期ＴＣに基づいて仮の基準範囲Ｌｔｍ〜Ｈｔｍを設定することができる（Ｓ１０２）。
【００７５】
次に、各ノズルについて残留振動を検出する。そして、検出した残留振動から振動周期ＮｔＣが求められる（Ｓ１０４）。残留振動の求め方、及び、振動周期ＮｔＣの求め方は既に説明済みであるので、説明を省略する。
【００７６】
次に、取得した振動周期ＮｔＣと、仮の基準範囲に基づいて、検査用の基準範囲が設定される（Ｓ１０６）。具体的には、仮の基準範囲Ｌｔｍ〜Ｈｔｍ内の振動周期ＮｔＣを抽出する。そして、仮の基準範囲Ｌｔｍ〜Ｈｔｍ内の振動周期ＮｔＣの平均値を求める。そして、求められた平均値を検査用の基準範囲の中央値Ｃｔｓとする。また、基準範囲の中央値Ｃｔｓを基準として、Ｃｔｓ−Ｗｔを検査用の基準範囲の下限値Ｌｔｓとする。また、Ｃｔｓ＋Ｗｔを検査用の基準範囲の上限値Ｈｔｓとする。
【００７７】
このようにすることで、検査用の基準範囲Ｌｔｓ〜Ｈｔｓを求めることができる。なお、上述の実施形態では、仮の基準範囲に入っている振動周期ＮｔＣの平均値を検査用の基準範囲の中央値Ｃｔｓとしたが、実施形態はこれに限られない。たとえば平均値ではなく、中央値や最頻値を検査用の基準範囲の中央値Ｃｔｓとすることもできる。
【００７８】
また、上述の実施形態ではステップＳ１０２からステップＳ１０６の手順を一度だけ行うこととしたが、複数回行うこととしてもよい。複数回行う場合には、２回目以降のステップＳ１０２において前回求めた検査用の基準範囲の中央値Ｃｔｓを仮の基準範囲とすることができる。
【００７９】
また、ステップＳ１０４においてノズルごとの振動周期を取得しているが、この振動周期の取得はステップＳ１０４において取得したものをメモリー等に記憶しておき、実際のノズルの検査のときにおいて、再利用することとしてもよい。すなわち、圧電式アクチュエーター４２２の駆動は、実際の検査時及び上記基準値を求める時とで合計１回のみ行われることとすることができる。このようにすることにより、再度、振動データを取得しなくてもよいので、検査時において時間を短縮することができる。
【００８０】
一方、ステップＳ１０４においてノズルごとの振動周期を取得し、さらに、実際の検査時においても圧電式アクチュエーター４２２を駆動して、ノズルごとの振動周期を個々に取得することとしてもよい。このようにすることで、メモリーを振動周期のデータで占有しないようにすることができる。
【００８１】
また、ここでは、振動周期ＮｔＣを例に説明を行ったが、同様の手法で位置ＮｔＦについての基準範囲も適切に求めることができる。この場合、上記説明の「振動周期」を「位置」として読み替えればよい。
【００８２】
図１７は、環境温度による補正値の一例を示す図である。ノズルが正常であるときの基準値は、環境温度の変化によっても変動する。よって、仮の基準範囲を求めるのに際して、環境温度も考慮する。ここで、環境温度は、たとえばキャビティに充填されるインクの温度である。
【００８３】
図１７には、環境温度に対応して、位置ＮｔＦの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。また、環境温度に対応して、振動周期ＮｔＣの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。
【００８４】
これらの補正値は、前述の図１５におけるステップＳ１０２で仮の中央値に加算（又は減算）される。これにより、環境温度に応じた仮の基準範囲を求めることができるので、これに基づいて、より適切な検査用の基準範囲を求めることができる。
【００８５】
図１８は、インクの種類による補正値の一例を示す図である。ノズルが正常であるときの基準値は、キャビティに充填される液体の種類によっても変動する。これは、充填される液体の比重や粘度が異なるためである。よって、仮の基準範囲を求めるに際して、キャビティに充填される液体の種類も考慮する。ここで、液体の種類は、ヘッドのキャビティ４２３に充填されるインクの種類である。
【００８６】
図１８には、インクの種類に対応して位置ＮｔＦの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。また、インクの種類に対応して、振動周期ＮｔＣの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。
【００８７】
これらの補正値も、前述の図１５におけるステップＳ１０２で仮の中央値に加算（又は減算）される。これにより、充填されるインクの種類に応じた仮の基準範囲を求めることができるので、これに基づいて、より適切な検査用の基準範囲を求めることができる。
【００８８】
図１９は、同時に駆動するノズル数による補正値の一例を示す図である。前述の説明では、各ノズルの圧電式アクチュエーター４２２は、ノズル単位で駆動され、個々にその振動周期等が取得されていた。しかしながら、ここでは、複数のノズルの圧電式アクチュエーター４２２を駆動し、これら複数の圧電式アクチュエーター４２２の振動周期ＮｔＣを取得する。
【００８９】
このようにして取得された場合、振動周期ＮｔＣ（位置ＮｔＦ）は、複数の圧電式アクチュエーター４２２の振動が重ね合わされた振動周期が得られる。このようにして得られた振動周期も、やはり、仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍと相関関係がある。よって、このようにして得られた振動周期に基づいて仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍを求めることができる。
【００９０】
このようにすることで、仮の基準範囲の中央値Ｃｔｍを求めるに際し、同時に複数の圧電式アクチュエーター４２２を駆動するので、振動周期ＮｔＣの取得に要する時間を短縮することができる。また、複数の圧電式アクチュエーター４２２を同時に駆動することにより、残留振動の合成波形の振幅が大きくなるので、少数の異常ノズルが混在していても、振動周期ＮｔＣ（位置ＮｔＦ）へ与える影響が少ないという利点もある。
【００９１】
ただし、複数の圧電式アクチュエーター４２２を駆動した場合、同時に駆動する圧電式アクチュエーター４２２の数によって、若干の補正が必要になる場合がある。このような補正のために、図１９のような補正値が採用される。
【００９２】
図１９には、同時に駆動される圧電式アクチュエーター４２２に対応して、位置ＮｔＦの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。また、同時に駆動される圧電式アクチュエーター４２２に対応して、振動周期ＮｔＣの仮の中央値Ｃｔｍに加算（又は減算）される補正値が示されている。
【００９３】
これらの補正値も、前述の図１５におけるステップＳ１０２で仮の中央値に加算（又は減算）される。これにより、同時に駆動される圧電式アクチュエーター４２２の数に応じた仮の基準範囲を求めることができるようになるので、より適切な検査用の基準範囲を求めることができる。
【００９４】
なお、上記実施形態では、ヘッドが用紙Ｓの搬送方向と交差する方向に移動しながらインクを吐出する所謂シリアル型のプリンターを例に説明したが、用紙Ｓの紙幅方向に長いヘッドがプリンターに固定され、搬送される用紙Ｓにインクを噴射して画像を形成する所謂ラインヘッド型のプリンターであっても上記手法を行うことができるは言うまでもない。
【００９５】
＝＝＝その他の実施の形態＝＝＝
上述の実施形態では、液体吐出装置としてプリンター１が説明されていたが、これに限られるものではなくインク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が分散されている液状体、ジェルのような流状体）を噴射したり吐出したりする液体吐出装置に具現化することもできる。例えば、カラーフィルタ製造装置、染色装置、微細加工装置、半導体製造装置、表面加工装置、三次元造形機、気体気化装置、有機ＥＬ製造装置（特に高分子ＥＬ製造装置）、ディスプレイ製造装置、成膜装置、ＤＮＡチップ製造装置などのインクジェット技術を応用した各種の装置に、上述の実施形態と同様の技術を適用してもよい。また、これらの方法や製造方法も応用範囲の範疇である。
【００９６】
上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。
【００９７】
＜ヘッドについて＞
前述の実施形態では、圧電素子を用いてインクを吐出していた。しかし、液体を吐出する方式は、これに限られるものではない。例えば、熱によりノズル内に泡を発生させる方式など、他の方式を用いてもよい。
【００９８】
この場合、発熱素子を発熱させて発生した気泡によりインクを吐出するプリンターにおいて、上述のように圧力変動を検出してもよいし、あるいは、ノズル内のインクが吐出されず、温度と共に発熱素子の抵抗値が上昇することを利用して、駆動電圧が変化するか否かにより、検査を行ってもよい。
【符号の説明】
【００９９】
１  プリンター、
２０  搬送ユニット、２１  給紙ローラー、２２  搬送モーター、
２３  搬送ローラー、２４  プラテン、２５  排紙ローラー、
３０  キャリッジユニット、３１  キャリッジ、
４０  ヘッドユニット、
５０  検出器群、５５  残留振動検出回路、
６０  ＡＳＩＣ、
８１Ａ  第１シフトレジスタ、８１Ｂ  第２シフトレジスタ、
８２Ａ  第１ラッチ回路、８２Ｂ  第２ラッチ回路、
８３  デコーダー、８４  制御ロジック、８６  スイッチ、
４２１  振動板、４２２  圧電式アクチュエーター、４２３  キャビティ、
４２４  ノズル、４２５  ノズル基板、４２６  キャビティ基板、
４２７  圧電素子、４２８  リザーバ、４２９  インク供給チューブ、
４３０  中間層、４３１  第１電極、４３２  第２電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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