(57)【要約】【課題】検査用ヘッド交換時の位置誤差測定に対し、誤差測定の高精度化と測定時間の短縮を可能とする磁気ディスク検査装置を提供すること。【解決手段】読出ヘッド２０については、基準信号が書き込まれている基準ディスク３１を使用して、基準信号が読み出される位置から読出ヘッドの取付位置の誤差を求めて補正する。書込ヘッド１０については該ヘッドにより未記録ディスク３０に基準信号を書き込み、これを補正済みの読出ヘッドにより基準信号が読み出される位置から書込ヘッドの取付位置の誤差を求めて補正する。基準信号の測定では、ディスク半径方向に粗いピッチで読出し基準信号の存在する第１の区間を算出し、次に第１の区間を含む近傍区間でディスク半径方向に細かいピッチで読出し基準信号の存在する第２の区間を算出し、第２の区間の中間位置を基準信号の読み出される位置とする。【選択図】図５Ｃ
2013196723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
書込専用ヘッドと読出専用ヘッドとを取り付けて、前記書込み専用ヘッドでテストデータを磁気ディスクに書き込み、前記読出専用ヘッドで前記テストデータを読み出して前記磁気ディスクの検査を行う磁気ディスク検査装置において、
基準半径位置に基準信号が書き込まれている基準ディスクを使用して前記読出専用ヘッドにて読み出し、前記基準信号が読み出される位置から前記読出専用ヘッドの取付位置と前記基準半径位置との取付誤差を求めて補正する機能と、
未記録の磁気ディスクを使用して前記書込専用ヘッドにて基準信号を書き込み、該基準信号が書き込まれた前記磁気ディスクを前記取付誤差の補正された読出専用ヘッドにて読み出し、前記基準信号が読み出される位置から前記書込専用ヘッドの取付位置と前記基準半径位置との取付誤差を求めて補正する機能と、
を有することを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項２】
書込専用ヘッドと読出専用ヘッドとを取り付けて、前記書込み専用ヘッドでテストデータを磁気ディスクに書き込み、前記読出専用ヘッドで前記テストデータを読み出して前記磁気ディスクの検査を行う磁気ディスク検査装置において、
基準信号の書き込まれた基準ディスク、または前記書込専用ヘッドにより基準信号を書き込んだ磁気ディスク（以下、両者のディスクを補正用ディスクと呼ぶ）を前記読出専用ヘッドにて読出し、前記基準信号が読み出される位置から前記書込専用ヘッドまたは前記読出専用ヘッドの取付位置の誤差を求めて補正する機能を有し、
第１段階として、前記補正用ディスクをディスク半径方向に一定のピッチで読出し、測定された信号から第１の閾値を決定して、該第１の閾値から前記基準信号の存在する第１の区間を算出し、
第２段階として、前記補正用ディスクを前記第１の区間を含む近傍区間でディスク半径方向に前記一定のピッチより細かいピッチで読出し、測定された信号のＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルから第２の閾値を決定して、該第２の閾値から前記基準信号の存在する第２の区間を算出し、該第２の区間の中間位置を前記基準信号の読み出される位置として決定する、
ことを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気ディスク検査装置であって、
前記第１段階における前記第１の閾値は、測定された信号区間における平均レベルと全測定区間における最大値との差から所定の閾値を決定し、
前記第２段階における前記第２の閾値は、測定された信号のＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルの差を所定の割合に分割するレベルから決定する、
ことを特徴とする磁気ディスク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク検査装置に関し、詳しくは検査用ヘッド交換時の取付位置誤差の補正技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータの外部記憶装置の１つであるハードディスク装置には、アルミニウムやガラスなどの円板に磁性膜を塗布した磁気ディスクが搭載され、該磁気ディスクの記録再生性能を高精度に測定するために磁気ディスク検査装置が使用される。一般的な磁気ディスク検査装置は、回転する磁気ディスク上に書込み専用ヘッドと読み出し専用ヘッドとを対向させて設置し、書込み専用ヘッドで書き込んだテストデータを読み出し専用ヘッドで即読み出すことで、磁気ディスクの性能を高速に検査している。
【０００３】
特許文献１には、小型の磁気ディスクを効率良く検査するための磁気ディスク検査装置が開示され、書込専用ヘッドと読出専用ヘッドとが磁気ディスクの回転方向において１８０度より小さい第１の所定の角度で配置されて設けられ、書込専用ヘッドにより実質的に第１の所定の角度分トラックにテストデータを書込み、第１の所定の角度分テストデータの書込を停止する書込処理を交互に繰り返し、読出専用ヘッドにより書込専用ヘッドが書込を停止している期間にテストデータの読出を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−５９５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されるような磁気ディスク検査装置では、書込専用ヘッドと読出専用ヘッドとを磁気ディスクの同一半径位置に位置決めを行う必要がある。また、書込専用ヘッドと読出専用ヘッドは検査によって汚染され消耗するために、所定の頻度（例えば１回／日程度）で交換を行う。検査用ヘッド交換時の取付け位置の機械的再現性は、検査時に必要とされる位置決めの許容値よりも悪いため、検査用ヘッド交換のたびにヘッド取付位置の誤差を測定し、測定結果に基づきヘッド位置の補正を行う必要がある。近年の磁気ディスク高密度化によるヘッド位置の高精度化、読出専用ヘッドの小サイズ化などにより、ヘッド交換時の位置誤差測定に対し、誤差測定の高精度化が求められるだけでなく、測定時間の短縮と測定作業の省力化が課題となっている。
【０００６】
本発明の目的は、検査用ヘッド交換時の位置誤差測定に対し、誤差測定の高精度化と測定時間の短縮を可能とする磁気ディスク検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、書込専用ヘッドと読出専用ヘッドとを取り付けて、書込み専用ヘッドでテストデータを磁気ディスクに書き込み、読出専用ヘッドでテストデータを読み出して磁気ディスクの検査を行う磁気ディスク検査装置において、基準半径位置に基準信号が書き込まれている基準ディスクを使用して読出専用ヘッドにて読み出し、基準信号が読み出される位置から読出専用ヘッドの取付位置と基準半径位置との取付誤差を求めて補正する機能と、未記録の磁気ディスクを使用して書込専用ヘッドにて基準信号を書き込み、基準信号が書き込まれた磁気ディスクを取付誤差の補正された読出専用ヘッドにて読み出し、基準信号が読み出される位置から書込専用ヘッドの取付位置と基準半径位置との取付誤差を求めて補正する機能とを有する。
【０００８】
また本発明の磁気ディスク検査装置は、基準信号の書き込まれた基準ディスク、または書込専用ヘッドにより基準信号を書き込んだ磁気ディスク（以下、両者のディスクを補正用ディスクと呼ぶ）を読出専用ヘッドにて読出し、基準信号が読み出される位置から書込専用ヘッドまたは読出専用ヘッドの取付位置の誤差を求めて補正する機能を有し、第１段階として、補正用ディスクをディスク半径方向に一定のピッチで読出し、測定された信号のノイズレベルから第１の閾値を決定して、該第１の閾値から前記基準信号の存在する第１の区間を算出し、第２段階として、前記補正用ディスクを前記第１の区間を含む近傍区間でディスク半径方向に前記一定のピッチより細かいピッチで読出し、測定された信号のＬｏｗレベルとＨｉｇｈレベルから第２の閾値を決定して、第２の閾値から基準信号の存在する第２の区間を算出し、第２の区間の中間位置を基準信号の読み出される位置として決定する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、検査用ヘッド交換時の取付位置誤差を高精度にかつ短時間に測定することができ、磁気ディスク検査装置の高性能化と検査準備工程の時間短縮に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明による磁気ディスク検査装置の一実施例を示すシステム図である。
【図２】検査部１の機構部の構成を示す図である。
【図３】検査部１の信号処理部の構成を示す図である。
【図４】検査用ヘッドの位置補正に使用する基準ディスクを示す図である。
【図５Ａ】読出専用ヘッドを交換する場合のヘッド位置補正の処理手順を示す図である。
【図５Ｂ】書込専用ヘッドを交換する場合のヘッド位置補正の処理手順を示す図である。
【図５Ｃ】図５Ａと図５Ｂにおけるヘッドオフセット測定の工程（Ｓ３００）を詳細に示す図である。
【図６Ａ】基準ディスクから読み出される磁気信号レベルを模式的に示す図である（粗ピッチ測定の場合）。
【図６Ｂ】基準ディスクから読み出される磁気信号レベルを模式的に示す図である（細ピッチ測定の場合）。
【図７】図５Ｃにおけるヘッドオフセット測定の工程の一部を変更した例を示す図である。
【図８】図６Ａにおける基準ディスクから読み出される磁気信号レベルの測定法の一部を変更した例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明による磁気ディスク検査装置の一実施例を示すシステム図である。検査部１は、検査用ヘッドを用いて検査対象となる磁気ディスクにテストデータの書込／読出を行う。データ処理部２は、検査部１の出力する検査結果の編集、保存、およびディスプレイ３への表示を行う。キーボード４とマウス５は、操作者による検査部１への動作指令、検査条件の入力部となる。
【００１２】
図２は、検査部１の機構部の構成を示す図である。検査対象の磁気ディスク３０（あるいは後述する検査ヘッド位置決め用の基準ディスク３１）はスピンドル４０に着脱可能に装着され、スピンドル４０は所定の回転速度で磁気ディスク３０を回転させる。スピンドル４０の両側には、書込ヘッドキャリッジ１１と読出ヘッドキャリッジ２１が対向して備えている。書込ヘッドキャリッジ１１には、書込用カートリッジ１２を介して書込専用ヘッド１０（以下、単に「書込ヘッド」とも呼ぶ）を搭載し、読出ヘッドキャリッジ２１には、読出用カートリッジ２２を介して読出専用ヘッド２０（以下、単に「読出ヘッド」とも呼ぶ）を搭載する。書込ヘッドキャリッジ１１は矢印１９の方向に移動し、搭載した書込ヘッド１０を磁気ディスク３０の半径方向の所定の位置（トラック）に位置付ける。同様に、読出ヘッドキャリッジ２１は矢印２９の方向に移動し、搭載した読出ヘッド２０を磁気ディスク３０の半径方向の所定の位置（トラック）に位置付ける。両ヘッドの位置決めが完了したら、磁気ディスク３０の検査を実行する。
【００１３】
図３は、検査部１の信号処理部の構成を示す図である。検査制御部５０は指定された条件のテストデータを生成し、書込用アンプ５１を介して書込ヘッド１０から磁気ディスク３０にテスト信号を書込む。読出ヘッド２０は磁気ディスク３０に書き込まれたテスト信号を読み出し、読出信号は読出用アンプ５２により増幅およびデータ変換され、検査制御部５０においてデジタルデータとして測定される。検査制御部５０は、書込ヘッド１０から書込んだデータと、読出ヘッド２０で読出したデータの対応を比較し、それらの一致／不一致から磁気ディスク３０の欠陥の有無を判定する。
【００１４】
また検査制御部５０は、以下に述べる検査ヘッド取り付け時の位置補正のための処理を実行させる。そして、ヘッド取付位置の誤差を書込ヘッドキャリッジ１１と読出ヘッドキャリッジ２１を駆動する際のオフセット量として与える。
【００１５】
図４は、検査用ヘッドの位置補正に使用する基準ディスクを示す図である。基準ディスク３１には、特定の基準半径Ｒｏ位置に特定の基準信号３２（磁気信号）が書込まれている。基準信号３２の幅は書込ヘッドの幅に依存するが、例えば５０マイクロメートル程度とする。基準ディスク３１の基準半径Ｒｏ以外の領域は無信号とする。本実施例では、読出ヘッドにより基準ディスク３１から基準信号３２が読み出される位置を探索することで、読出ヘッドの取付位置の誤差、すなわち基準半径Ｒｏからのずれ量を測定するようにした。そして、測定したずれ量をヘッド位置決め時のオフセット量として与え、位置補正を行うものである。
【００１６】
図５Ａ〜図５Ｃは、ヘッド交換時のヘッド位置補正の処理手順を示した図であり、図５Ａは読出専用ヘッドを交換する場合（Ｓ１００）、図５Ｂは書込専用ヘッドを交換する場合（Ｓ２００）、図５Ｃは両者の処理の中でヘッドオフセット測定の工程（Ｓ３００）を詳細に示したものである。読出専用ヘッドと書込専用ヘッドを同時に交換する場合は、まず読出専用ヘッドの位置補正を実行し、次に書込専用ヘッドの位置補正を実行する。
【００１７】
図５Ａは、読出専用ヘッド２０を交換する場合のヘッド位置補正の処理手順（Ｓ１００）を示す。
【００１８】
Ｓ１０１では、交換用の読出ヘッド２０を読出用カートリッジ２２に取り付け、図４の基準ディスク３１をスピンドル４０に装着する。基準ディスク３１の装着は、人手またはディスク搬送装置により行われる。
Ｓ１０２では、操作者がキーボード４やマウス５により処理開始を指示すると、検査制御部５０はスピンドル４０および装着された基準ディスク３１を指定された回転数で回転させる。
Ｓ１０３では、読出ヘッドキャリッジ２１を駆動して読出ヘッド２０を基準ディスク３１上の所定位置までロードする（移動させる）。
【００１９】
次に、Ｓ３００のヘッドオフセット測定（サブルーチン）を実行する。ヘッドオフセット測定は図５Ｃで詳しく説明するが、読出ヘッド２０のロード位置と基準ディスク３１の基準信号３２の位置とのずれ量（オフセット量）を測定するものである。
【００２０】
Ｓ１０４では、Ｓ３００で測定した読出ヘッド２０のずれ量を、読出ヘッド２０を移動させるときの目標位置（座標）にオフセット量として加算する。これにより読出ヘッド２０交換時の取付位置の誤差を解消し、読出ヘッド２０を正しく位置決めすることができる。
Ｓ１０５では、読出ヘッドキャリッジ２１を駆動して読出ヘッド２０をアンロードし、ホームポジションまで移動させる。
Ｓ１０６では、スピンドル４０と装着された基準ディスク３１の回転を停止し、読出ヘッド２０のヘッド位置補正を終了する。
【００２１】
図５Ｂは、書込専用ヘッド１０を交換する場合のヘッド位置補正の処理手順（Ｓ２００）を示す。
【００２２】
Ｓ２０１では、交換用の書込ヘッド１０を書込用カートリッジ１２に取り付け、未記録（または消去済み）の磁気ディスク３０をスピンドル４０に装着する。磁気ディスク３０の装着は、人手またはディスク搬送装置により行われる。なお、読出ヘッド２０は既に読出用カートリッジ２２に取り付けてあり、その位置補正は前記処理（Ｓ１００）により完了しているものとする。
Ｓ２０２では、操作者がキーボード４やマウス５により処理開始を指示すると、検査制御部５０はスピンドル４０および装着された磁気ディスク３０を指定された回転数で回転させる。
Ｓ２０３では、書込ヘッドキャリッジ１１を駆動して書込ヘッド１０を磁気ディスク３０上の基準位置（基準半径Ｒｏ）までロードする。また、読出ヘッドキャリッジ２１を駆動して読出ヘッド２０を磁気ディスク３０上の基準位置（基準半径Ｒｏ）までロードする。
【００２３】
Ｓ２０４では、磁気ディスク３０上の基準半径Ｒｏにおいて、書込ヘッド１０により基準信号３２を書き込む。なお、磁気ディスク３０は未記録であっても磁気信号が残留している場合があるので、基準半径Ｒｏ近傍の領域を消去した後に基準信号３２を書き込むのが望ましい。
【００２４】
次に、Ｓ３００のヘッドオフセット測定（サブルーチン）を実行する。ヘッドオフセット測定は図５Ｃで詳しく説明する。ここでは、基準信号３２の書き込まれた磁気ディスク３０を基準ディスク３１’とみなして、読出ヘッド２０のロード位置と基準ディスク３１’の基準信号３２の位置とのずれ量（オフセット量）を測定する。その際、読出ヘッド２０のずれ量は既に補正されているので、ここで測定されるずれ量は書込ヘッド１０のずれ量である。またこの場合にはヘッド位置と基準信号の位置との関係が入れ替わるので、書込ヘッド１０のオフセット量は測定されたオフセット量の符号を反転させればよい。
【００２５】
Ｓ２０５では、Ｓ３００で測定した書込ヘッド１０のずれ量を、書込ヘッド１０を移動させるときの目標位置（座標）にオフセット量として加算する。これにより書込ヘッド１０交換時の取付位置の誤差を解消し、書込ヘッド１０を正しく位置決めすることができる。
Ｓ２０６では、書込ヘッドキャリッジ１１を駆動して書込ヘッド１０をアンロードし、ホームポジションまで移動させる。また、読出ヘッドキャリッジ２１を駆動して読出ヘッド２０をアンロードし、ホームポジションまで移動させる。
Ｓ２０７では、スピンドル４０と装着された磁気ディスク３０の回転を停止し、書込ヘッド１０のヘッド位置補正を終了する。
【００２６】
図５Ｃは、図５Ａと図５Ｂにおけるヘッドオフセット測定の工程（Ｓ３００）を詳細に示したものである。この工程では、基準ディスク３１（または基準信号が書き込まれた磁気ディスク３１’）から得られる基準信号を用いて読出ヘッドと基準位置とのずれ量（オフセット量）を測定する。
【００２７】
図６Ａと図６Ｂは、ヘッドオフセット測定において基準ディスクから読み出される磁気信号レベルを模式的に示す図であり、図６Ａはディスク半径方向に粗い間隔で磁気信号を測定した場合（粗ピッチ測定）、図６Ｂはディスク半径方向に細かい間隔で磁気信号を測定した場合（細ピッチ測定）である。いずれも横軸は読出ヘッド２０のディスク半径方向位置であり、縦軸は読出ヘッド２０により基準ディスク３１から読み出される信号（磁気信号）のレベルである。読出信号レベルは基準ディスク３１上の基準信号３２の位置で略矩形状に得られるが、矩形波の中央位置Ｒｃは読出ヘッド２０の幅方向中心と基準信号３２の幅方向中心とが一致する位置である。よって、読出し信号の中央位置Ｒｃの基準ディスク３１上の基準半径Ｒｏからのずれ量が、読出ヘッド２０の取付誤差すなわちオフセット量となる。以下、図６Ａ、図６Ｂを参照しながら図５Ｃの処理手順を説明する。
【００２８】
ヘッドオフセット測定サブルーチン（Ｓ３００）では、測定効率を向上させるため、粗ピッチ測定の第１段階（Ｓ３０１〜）と細ピッチ測定の第２段階（Ｓ３０６〜）を組み合わせて２段階で測定する。このシーケンスは検査制御部５０により自動的に実行され、また測定時の各種パラメータは予め操作者により設定されている。
【００２９】
Ｓ３０１では、磁気信号の粗ピッチ測定を実行する。まず指定された測定開始点Ｘ１１から測定終了点Ｘ１９まで粗測定ピッチΔＸ１で読出キャリッジ２１を移動させながら、基準ディスク３１の基準信号３２付近の磁気信号を読出ヘッド２０により測定し、粗ピッチ測定信号６０を得る。
Ｓ３０２では、粗ピッチ測定信号６０を、内周側から指定されたノイズレベル算出区間Ｘ１３のみ着目し、磁気信号レベルの平均値を磁気信号ＬｏｗレベルＹ１１として算出する。
Ｓ３０３では、粗ピッチ測定信号６０を、内周側から指定されたノイズレベル算出区間Ｘ１３のみ着目し、磁気信号レベルが最大のものをノイズレベルＹ１２として算出する。
【００３０】
Ｓ３０４では、磁気信号ＬｏｗレベルＹ１１とノイズレベルＹ１２の差を所定値だけ整数倍して基準信号判定閾値Ｙ１３を決定する。
Ｓ３０５では、粗ピッチ測定信号６０が基準信号閾値Ｙ１３と交差する位置を求め、最内周で交差する点を内周エッジ位置Ｘ１５、最外周で交差する点を外周エッジ位置Ｘ１６とし、基準信号３２が存在する区間を特定する。
【００３１】
次にＳ３０６では、磁気信号の細ピッチ測定を実行する。測定開始点Ｘ２１から測定終了点Ｘ２９まで細測定ピッチΔＸ２で読出キャリッジ２１を移動させながら、基準ディスク３１の基準信号３２付近の磁気信号を読出ヘッド２０により測定し、細ピッチ測定信号７０を得る。なお、測定開始点Ｘ２１はＳ３０５で得られた粗測定時の内周エッジ位置Ｘ１５から余裕距離Ｘ２２だけ内周側にずらした点、測定終了点Ｘ２９はＳ３０５で得られた粗測定時の外周エッジ位置Ｘ１６から余裕距離Ｘ２２だけ外周側にずらした点とする。
Ｓ３０７では、細ピッチ測定信号７０の内周側からＬｏｗレベル算出区間Ｘ２３のデータを平均して磁気信号ＬｏｗレベルＹ２１を算出する。
Ｓ３０８では、細ピッチ測定信号７０の最大信号付近のデータを、Ｈｉｇｈレベル算出区間Ｘ２４の幅で抜き出して平均し磁気信号ＨｉｇｈレベルＹ２２を算出する。
【００３２】
Ｓ３０９では、磁気信号ＬｏｗレベルＹ２１と磁気信号ＨｉｇｈレベルＹ２２の差を１００％としたとき、所定の割合（％）で分割するレベルを基準信号判定閾値Ｙ２３として決定する。
Ｓ３１０では、細ピッチ測定信号７０が基準信号閾値Ｙ２３と交差する位置を求め、最内周で交差する点を内周エッジ位置Ｘ２５、最外周で交差する点を外周エッジ位置Ｘ２６とし、基準信号３２が存在する区間を特定する。
Ｓ３１１では、内周エッジ位置Ｘ２５と外周エッジ位置Ｘ２６の中間点を基準信号中心位置Ｒｃとする。そして、基準信号中心位置Ｒｃと基準半径Ｒｏの差ΔＲ（＝Ｒｃ−Ｒｏ）をヘッドオフセット量として算出する。このオフセット量ΔＲは、次に読出ヘッドを位置決めする際の座標に加算される。これで、ヘッドオフセット測定を終了する。
【００３３】
上記説明した実施例は次の変形が可能である。図７は、前記図５Ｃにおけるヘッドオフセット測定の工程の一部を変更した例である。また図８は、前記図６Ａにおける基準ディスクから読み出される磁気信号レベルの測定法の一部を変更した例である。図７と図８において、前記図５Ｃ，図６Ａと同じ部分は同じ記号を付けてその説明は省略する。
【００３４】
前記Ｓ３０３では、粗ピッチ測定信号６０のノイズレベル算出区間Ｘ１３における磁気信号レベルが最大のものをノイズレベルＹ１２として算出していた。これに対しＳ４０３では、全測定区間における磁気信号レベルが最大のものを全区間最大値Ｙ１４として算出する。
【００３５】
次に前記Ｓ３０４では、磁気信号ＬｏｗレベルＹ１１とノイズレベルＹ１２の差を所定値だけ整数倍して基準信号判定閾値Ｙ１３を決定していた。これに対しＳ４０４では、磁気信号ＬｏｗレベルＹ１１と全区間最大値Ｙ１４の差を算出し、その差を所定の割合（例えば６０％〜８０％）に分割するレベルを基準信号判定閾値Ｙ１５として決定する。その後、前記Ｓ３０５以下の工程を実行する。
【００３６】
本実施例によれば次の効果がある。基準信号が書き込まれている基準ディスクを使用すること、読出専用ヘッドの取付位置の誤差をより正確に測定することができる。また、書込専用ヘッドにより未記録ディスクに基準信号を書き込み、これを補正された読出専用ヘッドで読み出すことで、書込専用ヘッドの取付位置の誤差を同様に正確に測定することができる。また、基準信号の読み出しにおいては、ディスク半径方向に粗いピッチで読み出す第１段階と、ディスク半径方向に細かいピッチで読み出す第２段階を組み合わせることで、ヘッド取付位置の誤差を精度を落とさず効率良く測定することができる。これより、検査用ヘッド交換時の取付位置誤差を高精度にかつ短時間に測定することができ、磁気ディスク検査装置の高性能化と検査準備工程の時間短縮に寄与する。
【符号の説明】
【００３７】
１…検査部、
２…データ処理部、
３…ディスプレイ、
４…キーボード、
５…マウス、
１０…書込専用ヘッド（書込ヘッド）、
１１…書込ヘッドキャリッジ、
１２…書込用カートリッジ、
２０…読出専用ヘッド（読出ヘッド）、
２１…読出ヘッドキャリッジ、
２２…読出用カートリッジ、
３０…磁気ディスク、
３１…基準ディスク、
３２…基準信号、
４０…スピンドル、
５０…検査制御部、
５１…書込信号アンプ、
５２…読出信号アンプ、
６０…粗ピッチでの測定信号、
７０…細ピッチでの測定信号、
Ｒｏ…基準半径、
Ｒｃ…基準信号中心位置、
ΔＲ…ヘッドオフセット。
【図１】
2013196723.tif 000003
【図２】
2013196723.tif 000004
【図３】
2013196723.tif 000005
【図４】
2013196723.tif 000006
【図５Ａ】
2013196723.tif 000007
【図５Ｂ】
2013196723.tif 000008
【図５Ｃ】
2013196723.tif 000009
【図６Ａ】
2013196723.tif 000010
【図６Ｂ】
2013196723.tif 000011
【図７】
2013196723.tif 000012
【図８】
2013196723.tif 000013