(57)【要約】【課題】レーザ装置の設置作業時間を低減する。【解決手段】レーザ装置は、第１フレーム８１および第２フレーム８２と、第２フレーム８２に設けられたスリーブ貫通孔８８と、第１フレーム８１に設けられたスリーブ挿入孔８９と、ボルト８６と、ボルト８６が内部に挿通可能な略筒状に形成され、スリーブ貫通孔８８を貫通するとともにスリーブ挿入孔８９に挿入されることにより第１フレーム８１および第２フレーム８２を位置決めする位置決め用スリーブ８７と、第１フレーム８１に設けられ、ボルト８６が螺合するナット９１と、第２フレーム８２に設けられ、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７の落下を防止する落下防止部９２とを含んでもよい。【選択図】図７
2013229562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のフレームと、
一方のフレームに設けられたスリーブ貫通孔と、
他方のフレームに設けられたスリーブ挿入部と、
ボルトと、
前記ボルトが内部に挿通可能な略筒状に形成され、前記スリーブ貫通孔を貫通するとともに前記スリーブ挿入部に挿入されることにより前記一対のフレームを位置決めする位置決め用スリーブと、
前記他方のフレームに設けられ、前記ボルトが螺合する雌ねじ部と、
前記一方のフレームに設けられ、前記ボルトおよび前記位置決め用スリーブの落下を防止する落下防止部とを含むレーザ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ装置において、
レーザシステムを構成する複数のレーザシステムモジュールを含み、
前記一方のフレームは、一部のレーザシステムモジュールを搭載し、
前記他方のフレームは、他の一部のレーザシステムモジュールを搭載するレーザ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ装置において、
前記落下防止部は、前記位置決め用スリーブが前記スリーブ貫通孔から外れることを防止するスリーブ外れ防止部を含むレーザ装置。
【請求項４】
請求項３に記載のレーザ装置において、
前記位置決め用スリーブは、
前記スリーブ貫通孔を貫通する筒状部と、
前記筒状部の外周面における貫通方向の後端から突出し、前記スリーブ貫通孔の周縁に当接可能な周縁当接部とを含むレーザ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザ装置において、
前記筒状部の外周面における前記貫通方向の先端側には、前記貫通方向の後端側から先端側に向かうに従って細くなるように傾斜する傾斜面部が設けられているレーザ装置。
【請求項６】
請求項２に記載のレーザ装置において、
前記落下防止部は、前記ボルトが前記スリーブ貫通孔から外れることを防止するボルト外れ防止部を含むレーザ装置。
【請求項７】
請求項２に記載のレーザ装置において、
前記落下防止部は、
前記位置決め用スリーブが前記一方のフレームから突出しない状態で、当該位置決め用スリーブが前記スリーブ貫通孔から外れることを防止するスリーブ外れ防止部と、
前記ボルトが前記一方のフレームから突出しない状態で、当該ボルトが前記スリーブ貫通孔から外れることを防止するボルト外れ防止部とを含むレーザ装置。
【請求項８】
請求項２に記載のレーザ装置において、
前記位置決め用スリーブが貫通可能な第１プレート孔を有し、前記一方のフレームに固定される第１補強プレートと、
前記位置決め用スリーブが貫通可能な第２プレート孔を有し、前記他方のフレームに固定される第２補強プレートとを含むレーザ装置。
【請求項９】
請求項８に記載のレーザ装置において、
前記スリーブ挿入部は、前記位置決め用スリーブが貫通する孔状に形成され、
前記雌ねじ部は、前記ボルトが螺合するナットによって構成され、
前記第１補強プレートは、
前記スリーブ貫通孔を貫通可能かつ前記一方のフレームから前記他方のフレーム側に突出する略筒状の第１筒状突出部と、
前記第１筒状突出部の先端に設けられた第１当たり面とを備え、
前記第２補強プレートは、
前記スリーブ挿入部を貫通可能かつ前記他方のフレームから前記一方のフレーム側に突出する略筒状の第２筒状突出部と、
前記第２筒状突出部の先端に設けられ、前記第１当たり面に当たる第２当たり面とを備えるレーザ装置。
【請求項１０】
一対のフレームを連結するステップと、
レーザシステムを構成する複数のレーザシステムモジュールのうち一部のレーザシステムモジュールを一方のフレームに搭載するとともに、他の一部のレーザシステムモジュールを他方のフレームに搭載するステップと、
前記一対のフレームに搭載されたレーザシステムモジュール間の位置合わせを行うステップと、
前記一対のフレームを分離するステップと、
前記分離した一対のフレームを輸送するステップと、
前記輸送した一対のフレームを再連結するステップとを含むレーザ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レーザ装置、および、レーザ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度のＥＵＶ光を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）方式の装置との３種類の装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７４０５４１６号明細書
【概要】
【０００５】
本開示の一態様によるレーザ装置は、一対のフレームと、一方のフレームに設けられたスリーブ貫通孔と、他方のフレームに設けられたスリーブ挿入部と、ボルトと、前記ボルトが内部に挿通可能な略筒状に形成され、前記スリーブ貫通孔を貫通するとともに前記スリーブ挿入部に挿入されることにより前記一対のフレームを位置決めする位置決め用スリーブと、前記他方のフレームに設けられ、前記ボルトが螺合する雌ねじ部と、前記一方のフレームに設けられ、前記ボルトおよび前記位置決め用スリーブの落下を防止する落下防止部とを含んでもよい。
【０００６】
本開示の一態様によるレーザ装置の製造方法は、一対のフレームを連結するステップと、レーザシステムを構成する複数のレーザシステムモジュールのうち一部のレーザシステムモジュールを一方のフレームに搭載するとともに、他の一部のレーザシステムモジュールを他方のフレームに搭載するステップと、前記一対のフレームに搭載されたレーザシステムモジュール間の位置合わせを行うステップと、前記一対のフレームを分離するステップと、前記分離した一対のフレームを輸送するステップと、前記輸送した一対のフレームを再連結するステップとを含んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。
【図２】図２は、レーザ装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係るフレームを示す斜視図である。
【図４】図４は、フレームを＋Ｚ方向側から見た平面図である。
【図５】図５は、フレームを−Ｙ方向側から見た側面図である。
【図６】図６は、連結部を拡大した平面図である。
【図７】図７は、図６のVII−VII線に沿った断面図である。
【図８】図８は、図７のVIII−VIII線に沿った断面図である。
【図９】図９は、図７のIX−IX線に沿った断面図である。
【図１０】図１０は、第２実施形態に係る連結部の断面図である。
【図１１】図１１は、第３実施形態に係る連結部の断面図である。
【図１２】図１２は、第４実施形態に係る連結部の断面図である。
【図１３】図１３は、第５実施形態に係る連結部の断面図である。
【図１４】図１４は、図１３のXIV−XIV線に沿った断面図である。
【図１５】図１５は、第１変形例に係る連結部の断面図である。
【図１６】図１６は、第２変形例に係る連結部の断面図である。
【図１７】図１７は、第３変形例に係る連結部の断面図である。
【図１８】図１８は、第４変形例に係る連結部の断面図である。
【実施形態】
【０００８】
内容
１．概要
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
２．２  動作
３．レーザ装置を備えたＥＵＶ光生成装置
３．１  用語の説明
３．２  第１実施形態
３．２．１  概略
３．２．２  構成
３．２．２．１  レーザ装置の構成
３．２．２．２  モジュールの配置
３．２．２．３  連結部の構造
３．２．３  動作
３．２．３．１  レーザ装置収容体の組み立て
３．２．３．２  レーザ装置収容体への第１〜第４レーザシステムモジュールの搭載およびレーザ装置の調整
３．２．３．３  レーザ装置収容体の分離
３．２．３．４  レーザ装置の輸送
３．２．３．５  レーザ装置収容体の再結合
３．３  第２実施形態
３．３．１  概略
３．３．２  構成
３．３．３  動作
３．３．３．１  レーザ装置収容体の分離
３．３．３．２  レーザ装置の輸送
３．３．３．３  レーザ装置収容体の再結合
３．４  第３実施形態
３．４．１  概略
３．４．２  構成
３．４．３  動作
３．４．３．１  レーザ装置収容体の分離
３．４．３．２  レーザ装置の輸送
３．４．３．３  レーザ装置収容体の再結合
３．５  第４実施形態
３．５．１  概略
３．５．２  構成
３．５．３  動作
３．５．３．１  レーザ装置収容体の組み立て
３．５．３．２  レーザ装置収容体の再結合
３．６  第５実施形態
３．６．１  概略
３．６．２  構成
３．６．３  動作
３．６．３．１  レーザ装置収容体の分離
３．６．３．２  レーザ装置の輸送
３．６．３．３  レーザ装置収容体の再結合
３．７  変形例
３．７．１  第１変形例
３．７．２  第２変形例
３．７．３  第３変形例
３．７．４  第４変形例
【０００９】
１．概要
本開示の実施形態においては、レーザ装置は、一対のフレームと、一方のフレームに設けられたスリーブ貫通孔と、他方のフレームに設けられたスリーブ挿入部と、ボルトと、前記ボルトが内部に挿通可能な略筒状に形成され、前記スリーブ貫通孔を貫通するとともに前記スリーブ挿入部に挿入されることにより前記一対のフレームを位置決めする位置決め用スリーブと、前記他方のフレームに設けられ、前記ボルトが螺合する雌ねじ部と、前記一方のフレームに設けられ、前記ボルトおよび前記位置決め用スリーブの落下を防止する落下防止部とを含んでもよい。
【００１０】
ここで、レーザ装置を製造する場合、作業者は、例えば、以下のようなステップで作業し得る。
まず、作業者は、例えば工場において、一対のフレームを位置決めしながら連結した後、この一対のフレーム内にそれぞれレーザシステムモジュールを搭載してもよい。次に、作業者は、レーザシステムモジュール間の位置合わせを行い、この位置合わせ後のレーザシステムモジュールをそれぞれ搭載した一対のフレームを分離してもよい。この後、作業者は、分離した一対のフレームをレーザ装置の設置場所（例えば、クリーンルーム）に輸送し、設置場所において一対のフレームを再連結して、レーザ装置の製造を完了してもよい。
このような作業において、設置場所で一対のフレームを連結するときに、各フレームにはレーザシステムモジュールが搭載されているため、作業者は、フレームの中に入って連結作業を行うことが困難となり得る。このため、作業者は、フレームの外側であって、連結箇所から離れた位置での連結作業が強いられ得る。一対のフレームを連結するときに、一対のフレームに貫通させたボルトで一対のフレーム間の位置決めを行うとともに、当該ボルトを雌ねじ部に締結することが考えられる。しかし、連結箇所から離れた位置の作業者が、例えば工具などの搬送用部材を用いて連結箇所までボルトを搬送して、一対のフレームに貫通させる作業や、雌ねじ部に締結する作業は困難となり得る。
【００１１】
本開示の実施形態によれば、位置決め用スリーブがスリーブ貫通孔に貫通し、かつ、スリーブ挿入部に挿入されることにより、一対のフレームを位置決めしてもよい。
このように、一対のフレームの位置決めに位置決め用スリーブを用い、ボルトを締結に用いることで、ボルトを位置決めと締結の両方に用いる場合のように、一対のフレームの位置決め時にボルトの雄ねじ部がつぶれしまうという不具合を抑制し得る。
また、位置決め用スリーブとボルトの落下を防止する落下防止部を、一方のフレームに設けてもよい。
このような構成により、フレームの輸送中に位置決め用スリーブとボルトが落下することが防止され、位置決め用スリーブとボルトがフレームの連結箇所に近い位置において保持され得る。したがって、作業者は、フレームの外側であって連結箇所から離れた位置において連結作業をする必要がある場合でも、ボルトおよび位置決め用スリーブを連結箇所まで搬送する作業が不要となり得る。よって、作業者は、例えば連結箇所まで届く長い工具を使って、一対のフレームを位置決め用スリーブで容易に位置決めできるとともに、ボルトを雌ねじ部に締結し得る。
【００１２】
本開示の実施形態においては、レーザ装置の製造方法は、一対のフレームを連結するステップと、レーザシステムを構成する複数のレーザシステムモジュールのうち一部のレーザシステムモジュールを一方のフレームに搭載するとともに、他の一部のレーザシステムモジュールを他方のフレームに搭載するステップと、前記一対のフレームに搭載されたレーザシステムモジュール間の位置合わせを行うステップと、前記一対のフレームを分離するステップと、前記分離した一対のフレームを輸送するステップと、前記輸送した一対のフレームを再連結するステップとを含んでもよい。
【００１３】
本開示の実施形態によれば、レーザ装置全体のサイズが大きく、設置場所の通路を通すことができない場合でも、フレーム単位で輸送することで、通路を通して設置場所に搬入することが可能となり得る。また、輸送前にレーザシステムモジュール間の位置合わせを行うため、設置場所ではフレームを再連結するだけでよく、レーザシステムモジュール間の位置合わせが不要となりうる。したがって、設置場所での作業数と作業時間が低減し得る。
【００１４】
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置１の構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。ＥＵＶ光生成装置１およびレーザ装置３を含むシステムを、以下、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１を参照に、以下に詳細に説明されるように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２を含んでもよい。チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲット供給装置７をさらに含んでもよい。ターゲット供給装置７は、例えばチャンバ２に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置７から供給されるターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、またはそれらのうちのいずれか２つ以上の組合せ等を含んでもよいが、これらに限定されない。
【００１５】
チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔をレーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が通過してもよい。あるいは、チャンバ２には、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が透過する少なくとも１つのウインドウ２１が設けられてもよい。チャンバ２の内部には例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１焦点および第２焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１焦点がプラズマ生成位置またはその近傍（プラズマ生成領域２５）に位置し、その第２焦点が露光装置の仕様によって規定される所望の集光位置（中間焦点（ＩＦ）中間焦点２９２）に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には、パルスレーザ光３３が通過するための貫通孔２４が設けられてもよい。
【００１６】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御システム５を含んでいてもよい。また、ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲットセンサ４を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、ターゲットの存在、軌道、位置等を検出してもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよい。
【００１７】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２内部と露光装置６内部とを連通させるための接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャが形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャがＥＵＶ集光ミラー２３の第２焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００１８】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光光学系２２、ドロップレット２７を回収するためのターゲット回収装置２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置や姿勢等を調節するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００１９】
２．２  動作
図１を参照に、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過して、チャンバ２に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内に進み、レーザ光集光光学系２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのドロップレット２７に照射されてもよい。
【００２０】
ターゲット供給装置７からは、ドロップレット２７がチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力されてもよい。ドロップレット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスレーザ光が照射され得る。パルスレーザ光３３が照射されたドロップレット２７はプラズマ化し、そのプラズマからＥＵＶを含む光ＥＵＶ光２５１（以下、「ＥＵＶ光を含む光」を「ＥＵＶ光」と表現する場合がある）が放射され得る。ＥＵＶ光２５１は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって集光されるとともに反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３で反射されたＥＵＶ光２５２は、中間焦点２９２を通って露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのドロップレット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスレーザ光が照射されてもよい。
【００２１】
ＥＵＶ光生成制御システム５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたドロップレット２７のイメージデータ等を処理してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、ドロップレット２７を出力するタイミングやドロップレット２７の出力速度等を制御してもよい。また、ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、レーザ装置３のレーザ発振タイミングやパルスレーザ光３２の進行方向やパルスレーザ光３３の集光位置等を制御してもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御を追加してもよい。
【００２２】
３．レーザ装置を備えたＥＵＶ光生成装置
３．１  用語の説明
以下、図３における紙面上方向および下方向をそれぞれ＋Ｚ方向および−Ｚ方向と表現し、左斜め上方向および右斜め下方向をそれぞれ＋Ｘ方向および−Ｘ方向と表現し、右斜め上方向および左斜め下方向を＋Ｙ方向および−Ｙ方向と表現する場合がある。また、＋Ｚ方向および−Ｚ方向を合わせてＺ方向と表現し、＋Ｘ方向および−Ｘ方向を合わせてＸ方向と表現し、＋Ｙ方向および−Ｙ方向を合わせてＹ方向と表現する場合がある。図４〜図１８においても、図３に準じた座標系で方向を表現する場合がある。
なお、これらの表現は、−Ｚ方向である重力方向１０Ｂとの関係を表すものではない。
【００２３】
３．２  第１実施形態
３．２．１  概略
本開示の第１実施形態によれば、レーザ装置の位置決め用スリーブは、スリーブ貫通孔を有する筒状部と、筒状部の外周面における貫通方向の後端から突出し、スリーブ貫通孔の周縁に当接可能な周縁当接部とを含んでもよい。
本実施形態のレーザ装置によれば、周縁当接部がスリーブ貫通孔の周縁に当接することで、位置決め用スリーブが他方のフレーム側に押し込まれすぎることを防止し得る。このため、位置決め用スリーブの押し込み量の微調整が不要となり得る。
【００２４】
第１実施形態によれば、レーザ装置の落下防止部は、ボルトがスリーブ貫通孔から外れることを防止するボルト外れ防止部を含んでもよい。
本実施形態によれば、ボルト外れ防止部によって、ボルトがスリーブ貫通孔から外れることを防止し得る。このため、設置場所で一対のフレームを再連結するときに、ボルトをスリーブ貫通孔に貫通させる作業が不要となり得る。
【００２５】
３．２．２  構成
３．２．２．１  レーザ装置の構成
図２は、レーザ装置の構成を概略的に示すブロック図である。
図１に示すようなＥＵＶ光生成システム１１に含まれるレーザ装置３は、図２に示すように、マスターオシレータ３００と、第１マスターオシレータアンプ３０１と、第２マスターオシレータアンプ３０２と、第１プリアンプ３０３と、第２プリアンプ３０４と、第１メインアンプ３０５と、第２メインアンプ３０６と、プリパルスレーザ３０７と、ビーム伝達システム３０８とを備えてもよい。
【００２６】
マスターオシレータ３００（発振器）は、例えば半導体レーザ装置やＣＯ２レーザ装置によって構成されてもよい。マスターオシレータ３００は、メインパルスレーザ光の種光を生成するよう構成されてもよい。メインパルスレーザ光は、図示していないターゲットに照射されることによってターゲットをプラズマ化し得る。
【００２７】
マスターオシレータ３００の下流側には、第１マスターオシレータアンプ３０１、第２マスターオシレータアンプ３０２、第１プリアンプ３０３、第２プリアンプ３０４、第１メインアンプ３０５および第２メインアンプ３０６が、この順で配置されてもよい。第１，第２マスターオシレータアンプ３０１，３０２、第１，第２プリアンプ３０３，３０４、第１，第２メインアンプ３０５，３０６は、マスターオシレータ３００によって生成されたメインパルスレーザ光の種光を順次増幅して、ビーム伝達システム３０８に出力するよう構成されてもよい。
第１，第２マスターオシレータアンプ３０１，３０２、および、第１，第２プリアンプ３０３，３０４は、それぞれ例えばスラブ型増幅器で構成されてもよい。第１，第２メインアンプ３０５，３０６は、それぞれ例えば高速軸流型増幅器で構成されてもよい。
【００２８】
第１プリアンプ３０３の上流側および下流側には、それぞれ、第１ビーム整形モジュール３１１および第２ビーム整形モジュール３１２が配置されてもよい。第２プリアンプ３０４の上流側であって第２ビーム整形モジュール３１２の下流側には、第３ビーム整形モジュール３１３が配置されてもよい。第２プリアンプ３０４の下流側には、第４ビーム整形モジュール３１４が配置されてもよい。
第１〜第４ビーム整形モジュール３１１〜３１４は、前段からの出射光を整形して後段へ出力してもよい。
【００２９】
第１メインアンプ３０５の上流側であって第４ビーム整形モジュール３１４の下流側には、第１ビーム伝送モジュール３２１が配置されてもよい。第１メインアンプ３０５の下流側には、第２ビーム伝送モジュール３２２が配置されてもよい。第２メインアンプ３０６の上流側であって第２ビーム伝送モジュール３２２の下流側には、第３ビーム伝送モジュール３２３が配置されてもよい。第２メインアンプ３０６の下流側には、第４ビーム伝送モジュール３２４が配置されてもよい。
第１〜第３ビーム伝送モジュール３２１〜３２３は、前段からの出射光を後段への入射位置へ伝送してもよい。第４ビーム伝送モジュール３２４は、第２メインアンプ３０６からの出射光（メインパルスレーザ光）をビーム伝達システム３０８への入射位置へ伝送してもよい。
【００３０】
プリパルスレーザ３０７は、プリパルスレーザ光を出力し得る。プリパルスレーザ光は、ドロップレット２７（図１参照）に照射されることにより、ドロップレット２７を拡散させる。ターゲットが拡散することによりターゲットに対するメインパルスレーザ光の吸収率が向上され得る。
プリパルスレーザ３０７から出力されたプリパルスレーザ光は、ビーム伝達システム３０８に入射してもよい。ビーム伝達システム３０８に入射したメインパルスレーザ光およびプリパルスレーザ光は、チャンバ２に入射してもよい。
【００３１】
３．２．２．２  モジュールの配置
図３は、フレームを示す斜視図である。図４は、フレームを＋Ｚ方向側から見た平面図である。図５は、フレームを−Ｙ方向側から見た側面図である。
図２に示すレーザ装置３は、図３に示すようなレーザ装置収容体８に収容されてもよい。レーザ装置収容体８は、第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とを連結することで構成されてもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４の大きさは、一般的な半導体工場等の機器搬送用通路を支障なく通行できる大きさに設定してもよい。また、航空機のコンテナ室に収納して航空輸送可能な大きさに設定してもよい。
【００３２】
第１フレーム８１、第２フレーム８２、第３フレーム８３および第４フレーム８４には、図３に二点鎖線で示す領域に、それぞれ、第１レーザシステムモジュール３３１、第２レーザシステムモジュール３３２、第３レーザシステムモジュール３３３および第４レーザシステムモジュール３３４の少なくとも一部が収容されてもよい。
一例として図２に示すように、第１レーザシステムモジュール３３１は、マスターオシレータ３００と、第１マスターオシレータアンプ３０１と、第３ビーム整形モジュール３１３と、第２プリアンプ３０４と、第４ビーム整形モジュール３１４とを含んでもよい。第２レーザシステムモジュール３３２は、第２マスターオシレータアンプ３０２と、第１ビーム整形モジュール３１１と、第１プリアンプ３０３と、第２ビーム整形モジュール３１２とを含んでもよい。第３レーザシステムモジュール３３３は、第１ビーム伝送モジュール３２１と、第１メインアンプ３０５と、第２ビーム伝送モジュール３２２と、プリパルスレーザ３０７とを含んでもよい。第４レーザシステムモジュール３３４は、第３ビーム伝送モジュール３２３と、第２メインアンプ３０６と、第４ビーム伝送モジュール３２４とを含んでもよい。
【００３３】
第１フレーム８１は、角パイプ等の金属製の略四角筒状部材を溶接などにより接合することで、略直方体状に形成されてもよい。第１フレーム８１は、略長方形状の上枠８１１と、上枠８１１と同形状の下枠８１２と、上枠８１１および下枠８１２の角部同士をそれぞれ連結する４本の柱８１３とを備えてもよい。上枠８１１および下枠８１２には、それぞれ互い対向する一対の略四角筒状部材同士を連結する補強材８１４および補強材８１５が接合されてもよい。
第３フレーム８３は、角パイプ等の金属製の略四角筒状の部材を溶接などにより接合することで、略直方体状に形成されてもよい。第３フレーム８３は、略正方形状の上枠８３１と、上枠８３１と同形状の下枠８３２と、上枠８３１および下枠８３２の角部同士をそれぞれ連結する４本の柱８３３とを備えてもよい。上枠８３１および下枠８３２には、それぞれ互い対向する一対の略四角筒状部材同士を連結する補強材８３４および補強材８３５が接合されてもよい。
第２，第４フレーム８２，８４は、それぞれ第１，第３フレーム８１，８３と同一の構成を有し、上枠８２１，８４１と、下枠８２２，８４２と、柱８２３，８４３と、補強材８２４，８４４と、補強材８２５，８４５とを備えてもよい。
【００３４】
第１フレーム８１と第２フレーム８２とは、図４に示すように、平面視で長辺部分に対応する側面同士が密接するように連結されてもよい。第３フレーム８３と第４フレーム８４とは、側面同士が密着するように連結されてもよい。第１フレーム８１と第３フレーム８３および第２フレーム８２と第４フレーム８４は、それぞれ平面視で第１フレーム８１および第２フレーム８２の短辺に対応する側面と第３フレーム８３および第４フレーム８４の側面とが密着するように連結されてもよい。
第１フレーム８１と第２フレーム８２、第３フレーム８３と第４フレーム８４、第１フレーム８１と第３フレーム８３、第２フレーム８２と第４フレーム８４は、それぞれ連結部８５によって連結されてもよい。
【００３５】
第１フレーム８１と第２フレーム８２とを連結するための連結部８５は、図４および図５に示すように、互いに対向する側面の４個の角部に設けられてもよい。なお、連結部８５は、第１フレーム８１と第２フレーム８２とを連結可能な位置であれば、他の位置に設けられてもよい。
これらの４個の連結部８５の連結作業は、図４に示すように、−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向けて、工具用孔８０を介して上枠８２１および下枠８２２内にそれぞれ挿入される工具１００を使用して行われてもよい。その他の連結部８５の連結作業も、図４に二点鎖線で示すように、＋Ｙ方向側から−Ｙ方向側に向けて、工具用孔８０を介して上枠８１１および下枠８１２内にそれぞれ挿入される工具１００を使用して行われてもよい。工具１００は、六角レンチであってもよい。また、工具１００は、トルクの管理ができるように、トルクレンチであることが好ましい。
【００３６】
第３フレーム８３と第４フレーム８４とを連結するための連結部８５は、互いに対向する側面の４個の角部に設けられてもよい。
これらの４個の連結部８５の連結作業は、図４に二点鎖線で示すように、−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向けて、工具用孔８０を介して上枠８４１および下枠８４２内にそれぞれ挿入される工具１００を使用して行われてもよい。その他の連結部８５の連結作業も、図４に二点鎖線で示すように、＋Ｙ方向側から−Ｙ方向側に向けて、工具用孔８０を介して上枠８３１および下枠８４２内にそれぞれ挿入される工具１００を使用して行われてもよい。
【００３７】
第１フレーム８１と第３フレーム８３とを連結するための連結部８５、および、第２フレーム８２と第４フレーム８４とを連結するための連結部８５は、それぞれ互いに対向する側面の上下２箇所に設けられてもよい。この４個の連結部８５の連結作業は、図４に二点鎖線で示すように、−Ｘ方向側から＋Ｘ方向側に向けて、工具用孔８０を介して補強材８３４，８３５，８４４，８４５内にそれぞれ挿入される工具１００を使用して行われてもよい。
【００３８】
３．２．２．３  連結部の構造
図６は、連結部を拡大した平面図である。図７は、図６のVII−VII線に沿った断面図である。図８は、図７のVIII−VIII線に沿った断面図である。図９は、図７のIX−IX線に沿った断面図である。
なお、図６〜図９は、図４の符号１０１で囲まれた部分であって、第１フレーム８１と第２フレーム８２とを連結するための連結部８５を表すものであってもよい。また、符号１０１で囲まれていない部分であって、第１フレーム８１と第２フレーム８２、第３フレーム８３と第４フレーム８４、第１フレーム８１と第３フレーム８３、第２フレーム８２と第４フレーム８４を連結するための連結部８５は、図６〜図９に示すものと同様の構成を有してもよい。
【００３９】
第１フレーム８１の上枠８１１における上面には、上枠８１１の内部と外部とを貫通する切欠き部８５１が設けられてもよい。第２フレーム８２の上枠８２１における上面には、切欠き部８５１が設けられてもよい。切欠き部８５１の開口の大きさは、この中に作業者が手を入れて作業を行える大きさであってもよい。
【００４０】
連結部８５は、ボルト８６と、位置決め用スリーブ８７と、スリーブ貫通孔８８と、スリーブ挿入部としてのスリーブ挿入孔８９と、ワッシャ９０と、雌ねじ部としてのナット９１と、落下防止部９２と、保持部９３とを備えてもよい。
ボルト８６は、ボルト頭８６１と、雄ねじ部８６２とを備えてもよい。ボルト頭８６１には、工具１００が嵌め込まれる工具用溝８６３が設けられてもよい。
【００４１】
位置決め用スリーブ８７は、金属により形成されてもよい。位置決め用スリーブ８７は、筒状部８７１と、周縁当接部８７２とを備えてもよい。
筒状部８７１は、円筒状に形成されてもよい。筒状部８７１の外径寸法は、スリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９の内径寸法とほぼ等しい大きさであってもよい。すなわち、筒状部８７１は、スリーブ貫通孔８８を貫通するとともに、スリーブ挿入孔８９に挿入されることで、第１フレーム８１と第２フレーム８２とを位置決めできるように構成されてもよい。筒状部８７１の内径寸法は、ボルト８６の雄ねじ部８６２の外径寸法よりも大きくてもよい。これにより、筒状部８７１内にボルト８６の雄ねじ部８６２が挿通され得る。
周縁当接部８７２は、筒状部８７１の外周面における筒状部８７１の貫通方向の後端（筒状部８７１の軸方向の一端）から、筒状部８７１の径方向外側に突出するように設けられてもよい。周縁当接部８７２は、筒状部８７１の外周方向に沿って一連に設けられてもよい。また、周縁当接部８７２は、筒状部８７１の外周方向に沿って断続的に設けられてもよい。周縁当接部８７２は、筒状部８７１をスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入したときに、当該周縁当接部８７２がスリーブ貫通孔８８の周縁に当接して、位置決めスリーブ８７全体が第２フレーム内に押し込まれないように構成されてもよい。また、周縁当接部８７２は、スリーブ貫通孔８８の周縁に当接したときに、筒状部８７１の先端がスリーブ挿入孔８９から上枠８２１内部に突出しないように設けられてもよい。
【００４２】
スリーブ貫通孔８８は、上枠８２１に設けられてもよい。スリーブ挿入孔８９は、上枠８１１におけるスリーブ貫通孔８８と対向する位置に設けられてもよい。スリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９は、同じ大きさの円形状に形成されてもよい。
ワッシャ９０は、内部に雄ねじ部８６２が挿通可能なリング板状に形成されてもよい。
ナット９１は、ボルト８６が締結可能に構成されてもよい。
【００４３】
落下防止部９２は、落下防止部本体９２１を備えてもよい。落下防止部本体９２１は、−Ｙ方向側から見たときの形状が略Ｕ字のブロック状に形成されてもよい。落下防止部本体９２１は、当該落下防止部本体９２１をＹ方向に貫通するボルト９２９によって、略Ｕ字の円弧が下方に位置するように、上枠８２１に取り付けられてもよい。
落下防止部本体９２１における＋Ｙ方向側の端部からＹ方向の略中央にかけての部分には、下方に凹む第１溝部９２２が形成されてもよい。第１溝部９２２の−Ｙ方向側には、第１溝部９２２と同じ方向に凹む第２溝部９２３が形成されてもよい。第２溝部９２３の−Ｙ方向側であって落下防止部本体９２１の−Ｙ方向側の端部には、第２溝部９２３と同じ方向に凹む第３溝部９２４が形成されてもよい。第１溝部９２２、第２溝部９２３および第３溝部９２４の底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【００４４】
第１溝部９２２のＸ方向の寸法は、位置決め用スリーブ８７のＸ方向の寸法より大きくてもよい。第１溝部９２２のＹ方向の寸法Ｙ１１は、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１より大きくてもよい。このような構成により、作業者が位置決め用スリーブ８７を−Ｙ方向を移動させて、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れたときに、位置決め用スリーブ８７が第１溝部９２２の底部で保持され得る。また、寸法Ｙ１１は、ナット９１に締結されたボルト８６の−Ｙ方向側の端面が、第１溝部９２２の−Ｙ方向側の端縁より＋Ｙ方向側に位置するような大きさであってもよい。
【００４５】
第２溝部９２３のＸ，Ｙ，Ｚ方向のそれぞれの寸法は、第１溝部９２２のＸ，Ｙ，Ｚ方向の寸法よりそれぞれ小さくてもよい。このような構成により、第１溝部９２２の−Ｙ方向側の端縁から第２溝部９２３の＋Ｙ方向側の端縁にかけての部分には、ＸＺ平面と平行なスリーブ移動規制部９２５が形成され得る。
第２溝部９２３のＸ方向の寸法は、周縁当接部８７２のＸ方向の寸法より小さくてもよい。このような構成により、位置決め用スリーブ８７が第１溝部９２２から第２溝部９２３に移動することが防止され、位置決め用スリーブ８７が第１溝部９２２内に収容された状態が維持され得る。
第２溝部９２３のＸ方向の寸法は、ボルト頭８６１のＸ方向の寸法より大きくてもよい。第２溝部９２３のＺ方向の寸法は、作業者がボルト８６を−Ｙ方向に移動させたときに、ボルト頭８６１がスリーブ移動規制部９２５に接触しない大きさであってもよい。このような構成により、ボルト頭８６１が第２溝部９２３内に位置するまで作業者がボルト８６を移動させることが可能となり得る。
【００４６】
第３溝部９２４のＸ，Ｙ，Ｚ方向のそれぞれの寸法は、第２溝部９２３のＸ，Ｙ，Ｚ方向の寸法よりそれぞれ小さくてもよい。このような構成により、第２溝部９２３の−Ｙ方向側の端縁から第３溝部９２４の＋Ｙ方向側の端縁にかけての部分には、ＸＺ平面と平行なボルト外れ防止部９２６が形成され得る。
第３溝部９２４のＸ方向の寸法は、工具１００のＸ方向の寸法より大きく、かつ、ボルト頭８６１のＸ方向の寸法より小さくてもよい。第３溝部９２４のＺ方向の寸法は、作業者がボルト８６を−Ｙ方向に移動させたときに、ボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６に接触する大きさであってもよい。このような構成により、ボルト頭８６１とボルト外れ防止部９２６との接触でボルト８６の−Ｙ方向への移動が規制され、ボルト８６の落下を防止し得る。
ボルト外れ防止部９２６から上枠８２１の外面８５２までの寸法Ｙ１２は、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２より小さくてもよい。このような構成により、ボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６に接触するまで作業者がボルト８６を移動させた場合、雄ねじ部８６２の先端側がスリーブ貫通孔８８を介して上枠８２１の外側に突出し得る。
【００４７】
保持部９３は、保持部本体９３１を備えてもよい。保持部本体９３１は、＋Ｙ方向側から見たときの形状が落下防止部本体９２１と略等しい略Ｕ字のブロック状に形成されてもよい。保持部本体９３１は、当該保持部本体９３１をＹ方向に貫通するボルト９３９によって、略Ｕ字の円弧が下方に位置するように、上枠８１１に取り付けられてもよい。
保持部本体９３１における−Ｙ方向側の端部には、下方に凹むワッシャ収容用溝部９３２が形成されてもよい。ワッシャ収容用溝部９３２の＋Ｙ方向側には、ワッシャ収容用溝部９３２と同じ方向に凹むボルト固定用溝部９３３が形成されてもよい。ボルト固定用溝部９３３の＋Ｙ方向側であって保持部本体９３１の＋Ｙ方向側の端部には、ボルト固定用溝部９３３と同じ方向に凹むボルト突出用溝部９３４が形成されてもよい。ワッシャ収容用溝部９３２およびボルト突出用溝部９３４の底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【００４８】
ワッシャ収容用溝部９３２のＸ方向の寸法は、ワッシャ９０の直径寸法とほぼ等しくてもよい。ワッシャ収容用溝部９３２のＹ方向の寸法は、ワッシャ９０の厚さ寸法とほぼ等しくてもよい。このような構成により、ワッシャ収容用溝部９３２がワッシャ９０を収容し得る。
ボルト固定用溝部９３３のＹ方向の寸法は、ナット９１の厚さ寸法とほぼ等しくてもよい。図９に示すようにボルト固定用溝部９３３の底部は、ナット９１が係合可能な断面略Ｖ字状に形成されてもよい。ボルト固定用溝部９３３のＸ方向の寸法は、ボルト固定用溝部９３３内部にナット９１を上方から挿入可能な大きさであってもよい。ボルト突出用溝部９３４のＸ，Ｙ，Ｚ方向のそれぞれの寸法は、ボルト固定用溝部９３３のＸ，Ｙ，Ｚ方向の寸法よりそれぞれ小さくてもよい。このような構成により、ボルト固定用溝部９３３がナット９１の回転を防止しつつナット９１を収納し得る。
【００４９】
３．２．３  動作
次に、レーザ装置の製造と分解再組み立て方法について説明する。
レーザ装置３を製造して搬入するために、作業者は、以下のステップ１〜ステップ５に基づく作業を行ってもよい。
（ステップ１）レーザ装置収容体８の組み立て
（ステップ２）レーザ装置収容体８への第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４の搭載およびレーザ装置３の調整
（ステップ３）レーザ装置収容体８の分離
（ステップ４）レーザ装置３の輸送
（ステップ５）レーザ装置収容体８の再結合
以下、各ステップについて詳細に説明する。
【００５０】
３．２．３．１  レーザ装置収容体の組み立て
作業者は、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４が収容されていない第１〜第４フレーム８１〜８４を準備してもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４には、工具用孔８０と、スリーブ貫通孔８８またはスリーブ挿入孔８９と、切欠き部８５１とが形成されてもよい。
作業者は、図４に示すように、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向するように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。その後、作業者は、図７に示すように、周縁当接部８７２が上枠８２１内面に当接するまで、位置決め用スリーブ８７の筒状部８７１をスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入してもよい。この位置決め用スリーブ８７の挿入によって、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ方向およびＺ方向の位置決めがされ得る。次いで、作業者は、位置決め用スリーブ８７内にボルト８６を挿通して雄ねじ部８６２を上枠８１１内に突出させてもよい。この後、作業者は、手作業によってワッシャ９０に雄ねじ部８６２を通して、ボルト８６とナット９１とを締結してもよい。この締結は、仮止めでよく規定のトルクで行わなくてもよい。
また、作業者は、第１〜第４フレーム８１〜８４の連結部８５を設ける部分について上述の作業を行ってもよい。
【００５１】
作業者は、落下防止部９２を−Ｙ方向側から上枠８２１に密着させて、ボルト９２９によって落下防止部９２を上枠８２１内面に固定してもよい。落下防止部９２を上枠８２１に固定することによって、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７の下方および側方に落下防止部９２が位置することとなり得る。これにより、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７の落下が防止され得る。
また、作業者は、保持部９３を＋Ｙ方向側から上枠８１１の内面に密着させて、ボルト９３９によって保持部９３を上枠８１１に固定してもよい。この保持部９３の固定のときに、作業者は、ナット９１をボルト固定用溝部９３３に係合させてナット９１の回転を防止してもよい。そして、作業者は、ボルト８６とナット９１とを規定のトルクで完全に締結してもよい。この締結によって、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＹ方向の位置決めがされ得る。
また、作業者は、第１〜第４フレーム８１〜８４の連結部８５を設ける部分について上述の作業を行ってもよい。
以上により、レーザ装置収容体８の組み立てが完了し得る。
【００５２】
３．２．３．２  レーザ装置収容体への第１〜第４レーザシステムモジュールの搭載およびレーザ装置の調整
作業者は、レーザ装置収容体８に図示しない、床面から各フレームを支持するダンパ、レーザシステムモジュールへの配線および配管を取り付けてもよい。その後、作業者は、レーザ装置収容体８の第１〜第４フレーム８１〜８４に、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４を搭載して、図示しないアウターパネルを設置してもよい。
次に、作業者は、レーザ装置３の調整を行ってもよい。この調整は、第１レーザシステムモジュール３３１、第２レーザシステムモジュール３３２、第３レーザシステムモジュール３３３、第４レーザシステムモジュール３３４をそれぞれ構成する各装置の位置や設置角度を調整することで、メインパルスレーザ光およびプリパルスレーザ光の出射位置、強度、ビーム径などが適切な状態となるように行われてもよい。すなわち、作業者は、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４間の位置合わせを行ってもよい。そして、作業者は、調整が完了した状態で、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４を第１〜第４フレーム８１〜８４にそれぞれ固定してもよい。
以上により、レーザ装置３の製造が完了し得る。
【００５３】
３．２．３．３  レーザ装置収容体の分離
作業者は、製造が完了したレーザ装置３のレーザ装置収容体８と床との間に図示しないジャッキを挿入して、アウターパネル、配線、配管、ダンパを一部取り外してもよい。その後、作業者は、必要に応じて第１レーザシステムモジュール３３１からマスターオシレータ３００を取り外してもよい。そして、作業者は、レーザ装置収容体８を第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とに分離してもよい。
このとき、作業者は、第２フレーム８２の工具用孔８０から工具１００を挿入して、ボルト８６とナット９１との締結を解除してもよい。このボルト８６とナット９１との締結の解除により、図７に示す第１フレーム８１と第２フレーム８２との位置決めが解除され得る。
また、作業者は、全ての連結部８５について上述の作業を行い、互いに対向するフレーム同士の位置決めを解除してもよい。
【００５４】
次に、作業者は、第１フレーム８１を＋Ｙ方向に移動させることで、スリーブ挿入孔８９からボルト８６および位置決め用スリーブ８７を外してもよい。
そして、作業者は、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７を−Ｙ方向に移動させてもよい。このとき、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１が第１溝部９２２の寸法Ｙ１１より小さいため、位置決め用スリーブ８７の全体がスリーブ貫通孔８８から外れ得る。
一方、ボルト８６のボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６に当接することで、ボルト８６の移動が規制される。ボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６に当接したとき、雄ねじ部８６２の先端側は、スリーブ貫通孔８８を介して上枠８２１の外側に突出し得る。このボルト８６の移動規制によって、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７の落下を防止し得る。また、雄ねじ部８６２は、スリーブ貫通孔８８から外れた位置決め用スリーブ８７を支持し得る。
この後、作業者は、全ての連結部８５について上述の作業を行ってもよい。
そして、第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とを分離することにより、レーザ装置収容体８の分離が完了し得る。
【００５５】
３．２．３．４  レーザ装置の輸送
作業者は、分解したレーザ装置３の各構成物品を輸送してもよい。このとき、作業者は、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４を、第１〜第４フレーム８１〜８４にそれぞれ固定したまま輸送してもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２によってボルト８６および位置決め用スリーブ８７が落下することが防止され、保持部９３によってワッシャ９０およびナット９１が落下することが防止された状態で輸送されてもよい。
【００５６】
３．２．３．５  レーザ装置収容体の再結合
作業者は、レーザ装置３の輸送先において、レーザ装置収容体８を再結合してもよい。このとき、上述のレーザ装置収容体の組み立て方法と同様の方法を用いてもよい。
すなわち、作業者は、第１〜第４フレーム８１〜８４と床との間に図示しないジャッキを挿入して、第１〜第４フレーム８１〜８４に床面から各フレームを支持するダンパを取り付けてもよい。次に、作業者は、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向し、かつ、スリーブ貫通孔８８を介して突出している雄ねじ部８６２をスリーブ挿入孔８９に挿入するように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。この後、作業者は、第２フレーム８２の工具用孔８０から工具１００を挿入して（＋Ｙ方向に移動させて）、当該工具１００をボルト８６の工具用溝８６３に係合させてもよい。このとき、雄ねじ部８６２がスリーブ貫通孔８８内に位置し、工具用溝８６３の深さ方向が工具１００の挿入方向とほぼ一致しているため、工具１００が工具用溝８６３に容易に係合し得る。
【００５７】
次に、作業者は、工具用溝８６３に係合された工具１００をさらに挿入してもよい。この挿入によって、雄ねじ部８６２で支持された位置決め用スリーブ８７がボルト８６のボルト頭８６１で＋Ｙ方向に押され、スリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入され得る。そして、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入されることで、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＸ方向およびＺ方向の位置決めがされ得る。
また、作業者は、工具１００を挿入して雄ねじ部８６２の先端がナット９１に当接したら、工具１００を回転させてボルト８６をナット９１に締結してもよい。このとき、保持部９３によってナット９１の回転が防止されているため、作業者は、工具１００を回転させるだけでボルト８６を締結することができる。そして、ボルト８６が締結されることで、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＹ方向の位置決めがされ得る。
【００５８】
そして、作業者は、第２フレーム８２の上下２箇所について、−Ｙ方向側から挿入した工具１００による、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めをした後、上述と同様の作業により、
第１フレーム８１の＋Ｙ方向側からの工具１００の操作による第１フレーム８１と第２フレーム８２のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決め、
第４フレーム８４の−Ｙ方向側からの工具１００の操作による第３フレーム８３と第４フレーム８４とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決め、
第３フレーム８３の＋Ｙ方向側からの工具１００の操作による第３フレーム８３と第４フレーム８４とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決め、
第３フレーム８３の−Ｘ方向側からの工具１００の操作による第１フレーム８１と第３フレーム８３とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決め、
第４フレーム８４の−Ｘ方向側からの工具１００の操作による第２フレーム８２と第４フレーム８４とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決め、
を上述の順序で行ってもよい。
【００５９】
以上の作業により、第１〜第４フレーム８１〜８４のＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めが、分離前と同じようにされ得る。このように第１〜第４フレーム８１〜８４が分離前と同じように位置決めされることで、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４が調整完了時と同じように位置決めされ得る。このため、レーザ装置３の輸送先でのレーザ装置３の詳細な調整が不要となり得る。
この後、マスターオシレータ３００を取り外した場合は、取り付けてもよい。そして、作業者は、図示しない配線、配管、アウターパネルをレーザ装置収容体８に取り付けることで、レーザ装置収容体８の再結合が完了し得る。
【００６０】
上述のように、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入されて、ボルト８６とナット９１とを締結することにより、第１フレーム８１および第２フレーム８２を位置決めしてもよい。
このように、第１フレーム８１および第２フレーム８２の位置決めに位置決め用スリーブ８７を用い、ボルト８６を締結に用いることで、ボルト８６を位置決めと締結の両方に用いる場合のように、第１フレーム８１および第２フレーム８２の位置決め時にボルト８６の雄ねじ部８６２がつぶれしまうという不具合を抑制し得る。
また、落下防止部９２によって、第１〜第４フレーム８１〜８４の輸送中にボルト８６と位置決め用スリーブ８７が落下することが防止され、ボルト８６と位置決め用スリーブ８７が第１〜第４フレーム８１〜８４の連結箇所に近い位置において保持され得る。したがって、作業者は、第１〜第４フレーム８１〜８４の外側であって、連結箇所から離れた位置において連結作業をする必要がある場合でも、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７を連結箇所まで搬送する作業が不要となり得る。よって、作業者は、第１〜第４フレーム８１〜８４の外側から、例えば連結箇所まで届く長い工具１００を使って、第１フレーム８１および第２フレーム８２を位置決め用スリーブ８７で容易に位置決めできるとともに、ボルト８６をナット９１に締結し得る。
【００６１】
レーザ装置３全体のサイズが大きく、そのままでは設置場所の通路を通すことができない場合でも、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ分離してフレーム単位で輸送することで、通路を通して設置場所に搬入することが可能となり得る。さらに、フレーム単位で輸送することで、レーザ装置３を航空機で輸送することが可能となり得る。また、輸送前に第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４間の位置合わせを行うため、設置場所では第１〜第４フレーム８１〜８４を再連結するだけでよく、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４間の位置合わせが不要となりうる。したがって、設置場所での作業数と作業時間が低減し得る。
【００６２】
連結部８５は、位置決め用スリーブ８７の周縁当接部８７２がスリーブ貫通孔８８の周縁に当接することで、位置決め用スリーブ８７が例えば第１フレーム８１側に押し込まれすぎることを防止し得る。このため位置決め用スリーブ８７の押し込み量の微調整が不要となり得る。
【００６３】
落下防止部９２は、ボルト外れ防止部９２６によって、ボルト８６がスリーブ貫通孔８８から外れることを防止し得る。このため、設置場所で第１〜第４フレーム８１〜８４を再連結するときに、ボルト８６をスリーブ貫通孔８８に貫通させる作業が不要となり得る。
【００６４】
なお、保持部９３がナット９１を収納する構成について開示したが、保持部９３を設けずにナット９１を第１フレーム８１に溶接などにより固定してもよい。
スリーブ挿入部として第１フレーム８１を貫通するスリーブ挿入孔８９について開示したが、第１フレーム８１内部において＋Ｙ方向に延びる筒状の部材をスリーブ挿入部として設けてもよい。この場合、ナット９１の代わりに、筒状のスリーブ挿入部の内周面の一部に雌ねじ部を設けてもよい。
【００６５】
３．３  第２実施形態
３．３．１  概略
本開示の第２実施形態によれば、レーザ装置の落下防止部は、スリーブ外れ防止部を含んでもよい。
本実施形態のレーザ装置によれば、スリーブ外れ防止部によって、位置決め用スリーブがスリーブ貫通孔から外れることを防止し得る。このため、設置場所で一対のフレームを再連結するときに、位置決め用スリーブをスリーブ貫通孔に貫通させる作業が不要となり得る。
【００６６】
３．３．２  構成
図１０は、第２実施形態に係る連結部の断面図である。
なお、以下の各実施形態においては、レーザ装置の構成のうち、連結部の構成のみが第１実施形態と異なるため、連結部の構成について詳細に説明する。
【００６７】
第２実施形態の連結部８５Ａと第１実施形態の連結部８５との相違点は、図１０に示すように、落下防止部９２Ａのみであってもよい。
連結部８５Ａの落下防止部９２Ａは、落下防止部本体９２１に類似した形状の落下防止部本体９２１Ａを備えてもよい。
落下防止部本体９２１Ａには、第１溝部９２２Ａと、第２溝部９２３Ａと、第３溝部９２４と、スリーブ外れ防止部９２５Ａと、ボルト外れ防止部９２６とが形成されてもよい。第２溝部９２３Ａの＋Ｙ方向側には、第１溝部９２２Ａが形成されてもよい。第２溝部９２３Ａの−Ｙ方向側には、第３溝部９２４が形成されてもよい。第１溝部９２２Ａおよび第２溝部９２３Ａの底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【００６８】
第１溝部９２２ＡのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第１実施形態の第１溝部９２２の寸法と略等しくてもよい。第１溝部９２２ＡのＹ方向の寸法Ｙ２１は、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１より小さくてもよい。また、スリーブ外れ防止部９２５Ａから上枠８２１の外面８５２までの寸法Ｙ２３は、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１より大きくてもよい。
【００６９】
第２溝部９２３ＡのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第１実施形態の第２溝部９２３の寸法と略等しくてもよい。ボルト外れ防止部９２６から外面８５２までの寸法Ｙ２２は、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２より小さくてもよい。
【００７０】
３．３．３  動作
次に、レーザ装置の動作について説明する。
なお、第１実施形態で説明したレーザ装置の動作のステップ１〜ステップ５のうち、ステップ１，２については、第１実施形態とほぼ同様のため、ステップ３〜ステップ５について説明する。また、ステップ３〜ステップ５については、第１実施形態と異なる事項を詳細に説明し、第１実施形態と同じ事項の説明を省略する。
【００７１】
３．３．３．１  レーザ装置収容体の分離
作業者は、レーザ装置収容体８を第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とに分離した後、ボルト８６とナット９１との締結を解除して、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＹ方向の位置決めを解除してもよい。
次に、作業者は、第１フレーム８１を＋Ｙ方向に移動させ、スリーブ挿入孔８９からボルト８６および位置決め用スリーブ８７を外すことで、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ方向およびＺ方向の位置決めを解除してもよい。
そして、作業者は、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７を−Ｙ方向に移動させてもよい。このとき、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１が第１溝部９２２Ａの寸法Ｙ２１より大きいため、筒状部８７１の全体がスリーブ貫通孔８８から外れる前に、周縁当接部８７２がスリーブ外れ防止部９２５Ａに接触して位置決め用スリーブ８７の移動が規制され得る。この位置決め用スリーブ８７の移動の規制によって、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることを防止し得る。また、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１が寸法Ｙ２３より小さいため、筒状部８７１が外面８５２から突出することを抑制し得る。
一方、ボルト８６のボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６に当接することで、ボルト８６の移動が規制される。このとき、寸法Ｙ２２がボルト８６の長さ寸法Ｙ２より小さいため、雄ねじ部８６２がスリーブ貫通孔８８を介して上枠８２１の外側に突出し得る。
そして、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ａに対して行い、第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とを分離することにより、レーザ装置収容体８の分離が完了し得る。
【００７２】
３．３．３．２  レーザ装置の輸送
作業者は、分解したレーザ装置３の各構成物品を輸送してもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ａによって、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることと、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７が落下することとが防止された状態で輸送され得る。また、第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ａによって、筒状部８７１が外面８５２から突出することが抑制された状態で輸送され得る。
【００７３】
３．３．３．３  レーザ装置収容体の再結合
作業者は、レーザ装置３の輸送先において、レーザ装置収容体８を再結合してもよい。
作業者は、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向し、かつ、スリーブ貫通孔８８を介して突出している雄ねじ部８６２をスリーブ挿入孔８９に挿入するように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。この後、作業者は、工具１００をボルト８６の工具用溝８６３に係合させて、＋Ｙ方向に挿入してもよい。この挿入によって、位置決め用スリーブ８７がボルト８６のボルト頭８６１で押され、スリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入され得る。そして、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入されることで、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＸ方向およびＺ方向の位置決めがされ得る。このとき、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることを落下防止部９２Ａが防止しているため、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れている場合と比べて、位置決め用スリーブ８７をスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に容易に挿入し得る。
また、作業者は、ボルト８６をナット９１に締結して、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＹ方向の位置決めを行ってもよい。その後、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ａに対して行い、図示しない配管などをレーザ装置収容体８に取り付けることで、レーザ装置収容体８の再結合が完了し得る。
【００７４】
上述のように、落下防止部９２Ａは、スリーブ外れ防止部９２５Ａによって、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることを防止し得る。このため、設置場所で８１〜第４フレーム８４を再連結するときに、位置決め用スリーブ８７をスリーブ貫通孔８８に貫通させる作業が不要となり得る。
【００７５】
３．４  第３実施形態
３．４．１  概略
本開示の第３実施形態によれば、落下防止部は、スリーブ外れ防止部と、ボルト外れ防止部とを含んでもよい。スリーブ外れ防止部は、位置決め用スリーブがフレームから突出しない状態で、スリーブ貫通孔から外れることを防止してもよい。ボルト外れ防止部は、ボルトがフレームから突出しない状態で、スリーブ貫通孔から外れることを防止してもよい。
本実施形態のレーザ装置によれば、スリーブ外れ防止部およびボルト外れ防止部によって、位置決め用スリーブおよびボルトがスリーブ貫通孔から外れることを防止し得る。このため、クリーンルームなどの設置場所で一対のフレームを再連結するときに、位置決め用スリーブおよびボルトをスリーブ貫通孔に挿入する作業が不要となり得る。
さらに、作業者は、位置決め用スリーブおよびボルトがフレームから突出しない状態を維持したまま、フレームを輸送し得る。このため、フレームと通路の壁とのスペースを確保できない状況においても、フレームから突出した位置決め用スリーブやボルトが壁を破損するという不具合を抑制し得る。
【００７６】
３．４．２  構成
図１１は、第３実施形態に係る連結部の断面図である。
第３実施形態の連結部８５Ｂと第２実施形態の連結部８５Ａとの相違点は、図１１に示すように、落下防止部９２Ｂのみであってもよい。
連結部８５Ｂの落下防止部９２Ｂは、落下防止部本体９２１Ａに類似した形状の落下防止部本体９２１Ｂを備えてもよい。
落下防止部本体９２１Ｂには、第１溝部９２２Ａと、第２溝部９２３Ｂと、第３溝部９２４と、スリーブ外れ防止部９２５Ａと、ボルト外れ防止部９２６Ｂとが形成されてもよい。第２溝部９２３Ｂは、第１溝部９２２Ａと第３溝部９２４との間に形成されてもよい。第２溝部９２３Ｂの底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【００７７】
第２溝部９２３ＢのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第１実施形態の第２溝部９２３の寸法と略等しくてもよい。ボルト外れ防止部９２６Ｂから外面８５２までの寸法Ｙ３２は、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２より大きくてもよい。
【００７８】
３．４．３  動作
次に、レーザ装置の動作について説明する。
なお、第１実施形態で説明したレーザ装置の動作のステップ１〜ステップ５のうち、ステップ１，２については、第１実施形態とほぼ同様のため、ステップ３〜ステップ５について詳細に説明する。また、ステップ３〜ステップ５について説明する際には、第１，第２実施形態と異なる事項を詳細に説明し、第１，第２実施形態と同じ事項の説明を省略する。
【００７９】
３．４．３．１  レーザ装置収容体の分離
作業者は、ボルト８６とナット９１との締結を解除するとともに、スリーブ挿入孔８９からボルト８６および位置決め用スリーブ８７を外すことで、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めを解除してもよい。
そして、作業者は、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７を−Ｙ方向に移動させてもよい。このとき、落下防止部９２Ｂは、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることを防止し得るとともに、筒状部８７１が外面８５２から突出することを抑制し得る。
また、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２が寸法Ｙ３２より小さいため、落下防止部９２Ｂは、雄ねじ部８６２が外面８５２から突出することを抑制し得る。
そして、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｂに対して行い、第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とを分離することにより、レーザ装置収容体８の分離が完了し得る。
【００８０】
３．４．３．２  レーザ装置の輸送
作業者は、分解したレーザ装置３の各構成物品を輸送してもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ｂによって、位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることと、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７が落下することとが防止された状態で輸送され得る。また、第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ｂよって、筒状部８７１および雄ねじ部８６２が外面８５２から突出することが抑制された状態で輸送され得る。
【００８１】
３．４．３．３  レーザ装置収容体の再結合
作業者は、レーザ装置３の輸送先において、レーザ装置収容体８を再結合してもよい。
作業者は、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向するように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。この後、作業者は、工具１００によってボルト８６を＋Ｙ方向に移動させることで、位置決め用スリーブ８７をスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入してもよい。さらに、作業者は、ボルト８６をナット９１に締結してもよい。以上の作業により、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めがされ得る。その後、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｂに対して行い、図示しない配管などをレーザ装置収容体８に取り付けることで、レーザ装置収容体８の再結合が完了し得る。
【００８２】
上述のように、落下防止部９２Ｂは、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７がスリーブ貫通孔８８から外れることを防止し得る。このため、設置場所で第１〜第４フレーム８１〜８４を再連結するときに、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７をスリーブ貫通孔８８に挿入する作業が不要となり得る。さらに、作業者は、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７が第１〜第４フレーム８１〜８４から突出しない状態を維持したまま、第１〜第４フレーム８１〜８４を輸送し得る。このため、第１〜第４フレーム８１〜８４と通路の壁とのスペースを確保できない状況においても、第１〜第４フレーム８１〜８４から突出したボルト８６や位置決め用スリーブ８７が壁を破損するという不具合を抑制し得る。
【００８３】
３．５  第４実施形態
３．５．１  概略
本開示の第４実施形態によれば、位置決め用スリーブの筒状部には、傾斜面部が設けられてもよい。傾斜面部は、筒状部の外周面における貫通方向の先端側において、貫通方向の後端側から先端側に向かうに従って細くなるように傾斜してもよい。
本実施形態のレーザ装置によれば、筒状部に傾斜面部を設けることで、筒状部をスリーブ貫通孔に貫通させやすくなり得る。また、スリーブ貫通孔とスリーブ挿入部とが多少ずれていても、筒状部をスリーブ挿入部に挿入しやすくなり、一対のフレームの位置決めが容易になり得る。
【００８４】
３．５．２  構成
図１２は、第４実施形態に係る連結部の断面図である。
第４実施形態の連結部８５Ｃと第２実施形態の連結部８５Ａとの相違点は、図１２に示すように、位置決め用スリーブ８７Ｃのみであってもよい。
位置決め用スリーブ８７Ｃは、筒状部８７１と、周縁当接部８７２とを備えてもよい。筒状部８７１の先端側には、周縁当接部８７２から離れるに従って細くなるように傾斜する略円錐面状の傾斜面部８７３Ｃが設けられてもよい。このような構成により、傾斜面部８７３Ｃの外径寸法は、スリーブ貫通孔８８の内径寸法およびスリーブ挿入孔８９の内径寸法より小さくなり得る。
また、位置決め用スリーブ８７Ｃの長さ寸法Ｙ１は、寸法Ｙ２１より大きくかつ寸法Ｙ２３より小さくてもよい。このような構成により、位置決め用スリーブ８７Ｃがスリーブ外れ防止部９２５Ａに当接するまで移動したときに、筒状部８７１の先端が外面８５２から外側に突出することを抑制し得る。
【００８５】
３．５．３  動作
次に、レーザ装置の動作について説明する。
なお、第１実施形態で説明したレーザ装置の動作のステップ１〜ステップ５のうち、ステップ２については、第１実施形態とほぼ同様であり、ステップ３，４については、第２実施形態とほぼ同じであるため、ステップ１，５について詳細に説明する。また、ステップ１，５について説明する際には、第１実施形態と異なる事項を詳細に説明し、第１実施形態と同じ事項の説明を省略する。
【００８６】
３．５．３．１  レーザ装置収容体の組み立て
作業者は、第１〜第４レーザシステムモジュール３３１〜３３４が収容されていない第１〜第４フレーム８１〜８４を準備してもよい。次に、作業者は、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向するように、第１フレーム８１および第２フレーム８２を密着させてもよい。その後、作業者は、図１２に示すように、周縁当接部８７２が上枠８２１に当接するまで、位置決め用スリーブ８７Ｃの筒状部８７１をスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入してもよい。このとき、傾斜面部８７３Ｃの外径寸法がスリーブ貫通孔８８の内径寸法より小さいため、位置決め用スリーブ８７Ｃの中心がスリーブ貫通孔８８の中心からＸ方向あるいはＺ方向に多少ずれていたとしても、傾斜面部８７３Ｃをスリーブ貫通孔８８の内縁に摺動させることで、筒状部８７１をスリーブ貫通孔８８内に挿入することが可能となり得る。同様に、位置決め用スリーブ８７Ｃの中心がスリーブ挿入孔８９の中心から多少ずれていたとしても、傾斜面部８７３Ｃをスリーブ挿入孔８９の内縁に摺動させることで、筒状部８７１をスリーブ挿入孔８９内に挿入することが可能となり得る。
この位置決め用スリーブ８７Ｃの挿入によって、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＸ方向およびＺ方向の位置決めがされ得る。次いで、作業者は、落下防止部９２Ａおよび保持部９３の取り付け、ボルト８６とナット９１との締結を行うことで、第１フレーム８１と第２フレーム８２との、主にＹ方向の位置決めを行ってもよい。
その後、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｃに対して行うことで、レーザ装置収容体８の組み立てが完了し得る。
【００８７】
３．５．３．２  レーザ装置収容体の再結合
作業者は、レーザ装置３の輸送先において、レーザ装置収容体８を再結合してもよい。
作業者は、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが対向するように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。この後、作業者は、工具１００によってボルト８６を＋Ｙ方向に移動させることで、位置決め用スリーブ８７Ｃをスリーブ貫通孔８８およびスリーブ挿入孔８９に挿入してもよい。このとき、スリーブ貫通孔８８を貫通する位置決め用スリーブ８７Ｃの中心がスリーブ挿入孔８９の中心から多少ずれていたとしても、傾斜面部８７３Ｃをスリーブ挿入孔８９の内縁に摺動させることで、筒状部８７１をスリーブ挿入孔８９内に挿入することが可能となり得る。さらに、作業者は、ボルト８６をナット９１に締結してもよい。以上の作業により、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めがされ得る。その後、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｃに対して行い、図示しない配管などをレーザ装置収容体８に取り付けることで、レーザ装置収容体８の再結合が完了し得る。
【００８８】
上述のように、位置決め用スリーブ８７Ｃの筒状部８７１の先端には、傾斜面部８７３Ｃが設けられてもよい。これにより、筒状部８７１の先端がスリーブ貫通孔８８よりも小さくなるため、筒状部８７１をスリーブ貫通孔８８に貫通させやすくなり得る。また、スリーブ貫通孔８８とスリーブ挿入孔８９とが多少ずれていても、筒状部８７１をスリーブ挿入孔８９に挿入しやすくなり、第１〜第４フレーム８１〜８４の位置決めが容易になり得る。
【００８９】
３．６  第５実施形態
３．６．１  概略
本開示の第５実施形態によれば、レーザ装置は、一方のフレームに固定される第１補強プレートと、他方のフレームに固定される第２補強プレートとを含んでもよい。第１，第２補強プレートは、それぞれ位置決め用スリーブが貫通可能な第１，第２プレート孔を有してもよい。
【００９０】
ここで、フレームの肉厚によっては、ボルトと雌ねじ部との締結後に荷重がかかった場合、この荷重に対するフレームの強度が不十分であることがあり得る。このような場合、スリーブ貫通孔やスリーブ挿入部あるいはこれらの周縁が変形して、一対のフレーム間の位置決め精度が損なわれ得る。
本実施形態のレーザ装置によれば、一対のフレームのそれぞれに、位置決め用スリーブが貫通可能な補強プレートを固定してもよい。これにより、ボルトと雌ねじ部との締結後に荷重がかかった場合でも、この荷重を補強プレートで分散させることが可能となり得る。その結果、スリーブ貫通孔やスリーブ挿入部あるいはこれらの周縁が変形することを抑制して、一対のフレーム間の位置決め精度を維持し得る。
【００９１】
レーザ装置のスリーブ挿入部は、位置決め用スリーブが貫通する孔状に形成されてもよい。雌ねじ部は、ボルトが螺合するナットによって構成されてもよい。第１，第２補強プレートは、スリーブ貫通孔を貫通可能かつフレームから突出する略筒状の第１，第２筒状突出部をそれぞれ含んでもよい。第１，第２筒状突出部のそれぞれの先端には、第１，第２筒状突出部の先端が互いに接する第１，第２当たり面がそれぞれ設けられてもよい。
【００９２】
ここで、一般的に、比較的大きな寸法のフレームの外面の面精度や形状公差は、管理し難くなり得る。このため、一対のフレーム同士を密着させることで両者を位置決めする場合、相対位置の再現性が低くなり得る。
本実施形態のレーザ装置によれば、比較的小さな寸法の第１，第２補強プレートに第１，第２当たり面を設けることで、当該第１，第２当たり面の面精度や形状公差を管理しやすくなり得る。したがって、一対のフレーム間の相対位置の再現性が高くなり得る。
【００９３】
３．６．２  構成
図１３は、第５実施形態に係る連結部の断面図である。図１４は、図１３のXIV−XIV線に沿った断面図である。
第５実施形態の連結部８５Ｄと第１実施形態の連結部８５との相違点は、図１３および図１４に示すように、スリーブ貫通孔８８Ｄと、スリーブ挿入孔８９Ｄと、落下防止部９２Ｄと、第１補強プレート９４Ｄと、第２補強プレート９５Ｄとであってもよい。
スリーブ貫通孔８８Ｄの内径寸法およびスリーブ挿入孔８９Ｄの内径寸法は、第１補強プレート９４Ｄの後述する第１筒状突出部９４２Ｄの外径寸法および第２補強プレート９５Ｄの第２筒状突出部９５２Ｄの外径寸法より大きくてもよい。
【００９４】
落下防止部９２Ｄは、落下防止部本体９２１よりＹ方向の寸法が大きい落下防止部本体９２１Ｄを備えてもよい。
落下防止部本体９２１Ｄには、第１溝部９２２Ｄと、第２溝部９２３Ｄと、第３溝部９２４と、スリーブ外れ防止部９２５Ｄと、ボルト外れ防止部９２６Ｄとが形成されてもよい。第２溝部９２３Ｄは、第１溝部９２２Ｄと第３溝部９２４との間に形成されてもよい。第１溝部９２２Ｄおよび第２溝部９２３Ｄの底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【００９５】
第１溝部９２２ＤのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第１実施形態の第１溝部９２２の寸法と略等しくてもよい。スリーブ外れ防止部９２５Ｄから第１補強プレート９４Ｄの−Ｙ方向側の端面までの寸法Ｙ４１は、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１より小さくてもよい。また、スリーブ外れ防止部９２５Ｄから第１補強プレート９４Ｄの後述する第１当たり面９４３Ｄまでの寸法Ｙ４４は、長さ寸法Ｙ１より大きくてもよい。
第２溝部９２３ＤのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第１実施形態の第２溝部９２３の寸法と略等しくてもよい。ボルト外れ防止部９２６Ｄから第１当たり面９４３Ｄまでの寸法Ｙ４２は、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２より大きくてもよい。
【００９６】
第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄは、例えば金属により略長方形板状に形成されてもよい。第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄの厚さ寸法は、上枠８１１，８２１の肉厚Ｙ４９よりも大きくてもよい。
第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄの中央には、当該第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄの厚さ方向に貫通する第１，第２プレート孔９４１Ｄ，９５１Ｄがそれぞれ設けられてもよい。第１，第２プレート孔９４１Ｄ，９５１Ｄの内径寸法は、筒状部８７１の外径寸法よりも所定範囲内で大きくてもよい。所定範囲とは、例えばＪＩＳ（Ｊａｐａｎ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ｓｔａｎｄａｒｄ）規格における、はめあい公差であってもよく、用途によって定まる適用区分と、第１，第２プレート孔９４１Ｄ，９５１Ｄの内径寸法と、筒状部８７１の外径寸法とに依存して決定されてもよい。
第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄの中央には、一面から円筒状に突出する第１，第２筒状突出部９４２Ｄ，９５２Ｄがそれぞれ設けられてもよい。第１，第２筒状突出部９４２Ｄ，９５２Ｄのそれぞれの先端面は、互いに密着可能なように平面状に形成された第１，第２当たり面９４３Ｄ，９５３Ｄであってもよい。第１，第２当たり面９４３Ｄ，９５３Ｄは、面精度や形状公差が管理されてもよい。
【００９７】
第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄは、上枠８２１，８１１の内部から第１，第２筒状突出部９４２Ｄ，９５２Ｄがスリーブ貫通孔８８Ｄおよびスリーブ挿入孔８９Ｄにそれぞれ挿通された状態で、上枠８２１，８１１に固定されてもよい。第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄは、上枠８２１，８１１を貫通するボルト９４９Ｄ，９５９Ｄによって、第１，第２筒状突出部９４２Ｄ，９５２Ｄが上枠８２１，８１１の外面８５２からそれぞれ外側に突出するように固定されてもよい。
【００９８】
３．６．３  動作
次に、レーザ装置の動作について説明する。
なお、第１実施形態で説明したレーザ装置の動作のステップ１〜ステップ５のうち、ステップ１，２については、第１実施形態とほぼ同様のため、ステップ３〜ステップ５について説明する。また、ステップ３〜ステップ５については、第１実施形態と異なる事項を詳細に説明し、第１実施形態と同じ事項の説明を省略する。
【００９９】
３．６．３．１  レーザ装置収容体の分離
作業者は、ボルト８６とナット９１との締結を解除してもよい。
次に、作業者は、第１フレーム８１を＋Ｙ方向に移動させ、第２プレート孔９５１Ｄからボルト８６および位置決め用スリーブ８７を外すことで、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ方向およびＺ方向の位置決めを解除してもよい。
そして、作業者は、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７を−Ｙ方向に移動させてもよい。このとき、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１が第１溝部９２２Ｄの寸法Ｙ４１より大きいため、筒状部８７１の全体が第１プレート孔９４１Ｄから外れる前に、周縁当接部８７２がスリーブ外れ防止部９２５Ｄに接触して位置決め用スリーブ８７の移動が規制され得る。この位置決め用スリーブ８７の移動の規制によって、位置決め用スリーブ８７が第１プレート孔９４１Ｄから外れることを防止し得る。また、位置決め用スリーブ８７の長さ寸法Ｙ１が寸法Ｙ４４より小さいため、筒状部８７１が第１当たり面９４３Ｄから突出することを抑制し得る。
【０１００】
一方、ボルト頭８６１がボルト外れ防止部９２６Ｄに当接することで、ボルト８６の移動が規制される。このとき、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２が寸法Ｙ４２より小さいため、雄ねじ部８６２が第１当たり面９４３Ｄから突出することを抑制し得る。
そして、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｄに対して行い、第１フレーム８１と、第２フレーム８２と、第３フレーム８３と、第４フレーム８４とを分離することにより、レーザ装置収容体８の分離が完了し得る。
【０１０１】
３．６．３．２  レーザ装置の輸送
作業者は、分解したレーザ装置３の各構成物品を輸送してもよい。第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ｄによって、位置決め用スリーブ８７が第１プレート孔９４１Ｄから外れることと、ボルト８６および位置決め用スリーブ８７が落下することとが防止された状態で輸送され得る。また、第１〜第４フレーム８１〜８４は、落下防止部９２Ｄによって、雄ねじ部８６２および筒状部８７１が第１当たり面９４３Ｄから突出することが抑制された状態で輸送され得る。
【０１０２】
３．６．３．３  レーザ装置収容体の再結合
作業者は、レーザ装置３の輸送先において、レーザ装置収容体８を再結合してもよい。
作業者は、第１当たり面９４３Ｄと第２当たり面９５３Ｄとが当たるように、第１〜第４フレーム８１〜８４をそれぞれ密着させてもよい。この後、作業者は、工具１００によってボルト８６を＋Ｙ方向に移動させることで、位置決め用スリーブ８７を第１プレート孔９４１Ｄおよび第２プレート孔９５１Ｄに挿入してもよい。さらに、作業者は、ボルト８６をナット９１に締結してもよい。以上の作業により、第１フレーム８１と第２フレーム８２とのＸ，Ｙ，Ｚ方向の位置決めがされ得る。その後、作業者が上述の作業を全ての連結部８５Ｄに対して行い、図示しない配管などをレーザ装置収容体８に取り付けることで、レーザ装置収容体８の再結合が完了し得る。
【０１０３】
上述のように、レーザ装置３は、例えば第２フレーム８２に固定される第１補強プレート９４Ｄと、第１フレーム８１に固定される第２補強プレート９５Ｄとを含んでもよい。
これにより、ボルト８６とナット９１の締結後にかかった荷重を、第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄで分散させることが可能となり得る。その結果、スリーブ貫通孔８８やスリーブ挿入孔８９あるいはこれらの周縁が変形することを抑制して、第１〜第４フレーム８１〜８４間の位置決め精度を維持し得る。
【０１０４】
第１，第２補強プレート９４Ｄ，９５Ｄに、第１，第２当たり面９４３Ｄ，９５３Ｄを設けてもよい。
これにより、第１，第２当たり面９４３Ｄ，９５３Ｄの面精度や形状公差を管理しやすくなり、第１〜第４フレーム８１〜８４間の相対位置の再現性が高くなり得る。
【０１０５】
３．７  変形例
なお、連結部としては、以下のような構成としてもよい。
３．７．１  第１変形例
図１５は、第１変形例に係る連結部の断面図である。
第１変形例の連結部８５Ｅと第２実施形態の連結部８５Ａとの相違点は、図１５に示すように、位置決め用スリーブ８７Ｅと、スリーブ貫通孔８８Ｅと、落下防止部９２Ｅとであってもよい。
位置決め用スリーブ８７Ｅは、筒状部８７１Ｅと、周縁当接部８７２とを備えてもよい。筒状部８７１Ｅは、第２実施形態の筒状部８７１と同じ直径寸法の小径部８７４Ｅと、この小径部８７４Ｅの直径寸法よりも大きい直径寸法を有する大径部８７５Ｅとを備えてもよい。周縁当接部８７２は、大径部８７５Ｅと接続されてもよい。また、大径部８７５Ｅの肉厚（Ｚ方向の寸法）は、小径部８７４Ｅの肉厚よりも厚く、かつ、周縁当接部８７２の肉厚よりも薄くてもよい。
スリーブ貫通孔８８Ｅの内径寸法は、大径部８７５Ｅの外径寸法より大きくてもよい。
【０１０６】
落下防止部９２Ｅは、落下防止部本体９２１Ｅと、第１溝部９２２Ｅと、第２溝部９２３Ｅと、第３溝部９２４と、スリーブ外れ防止部９２５Ｅと、ボルト外れ防止部９２６Ｅとを備えてもよい。第２溝部９２３Ｅは、第１溝部９２２Ｅと第３溝部９２４との間に形成されてもよい。第１溝部９２２Ｅおよび第２溝部９２３Ｅの底部は、半円弧面状に形成されてもよい。
【０１０７】
第１溝部９２２Ｅおよび第２溝部９２３ＥのＸ方向およびＺ方向の寸法は、第２実施形態の第１溝部９２２Ａおよび第２溝部９２３Ａの寸法と略等しくてもよい。スリーブ外れ防止部９２５Ｅから外面８５２までの寸法Ｙ６３は、位置決め用スリーブ８７Ｅの長さ寸法Ｙ１より大きくてもよい。ボルト外れ防止部９２６Ｅから外面８５２までの寸法Ｙ６２は、ボルト８６の長さ寸法Ｙ２より小さくてもよい。
【０１０８】
３．７．２  第２変形例
図１６は、第２変形例に係る連結部の断面図である。
第２変形例の連結部８５Ｆと、第１変形例の連結部８５Ｅとの相違点は、図１６に示すように、位置決め用スリーブ８７Ｆであってもよい。
位置決め用スリーブ８７Ｆは、第１変形例の小径部８７４Ｅの先端側に、傾斜面部８７３Ｆを設けたものであってもよい。傾斜面部８７３Ｆは、周縁当接部８７２から離れるに従って細くなるように傾斜する、略円錐面状に形成されてもよい。このような構成により、傾斜面部８７３Ｆの外径寸法がスリーブ挿入孔８９の内径寸法より小さくなり、位置決め用スリーブ８７Ｆをスリーブ挿入孔８９に挿入しやすくなり得る。
【０１０９】
３．７．３  第３変形例
図１７は、第３変形例に係る連結部の断面図である。
第３変形例の連結部８５Ｇと、第１変形例の連結部８５Ｅとの相違点は、図１７に示すように、位置決め用スリーブ８７Ｇであってもよい。
位置決め用スリーブ８７Ｇは、第１変形例の大径部８７５Ｅの先端側に、傾斜面部８７６Ｇを設けたものであってもよい。傾斜面部８７６Ｇは、周縁当接部８７２から離れるに従って細くなるように傾斜する、略円錐面状に形成されてもよい。このような構成により、傾斜面部８７６Ｇの外径寸法がスリーブ貫通孔８８Ｅの内径寸法より小さくなり、位置決め用スリーブ８７Ｇをスリーブ貫通孔８８Ｅに挿入しやすくなり得る。
【０１１０】
３．７．４  第４変形例
図１８は、第４変形例に係る連結部の断面図である。
第４変形例の連結部８５Ｈと、第３変形例の連結部８５Ｇとの相違点は、図１８に示すように、位置決め用スリーブ８７Ｈであってもよい。
位置決め用スリーブ８７Ｈは、第１変形例の筒状部８７１Ｅに、第２変形例の傾斜面部８７３Ｆと、第３変形例の傾斜面部８７６Ｇとを設けたものであってもよい。このような構成により、第２変形例および第３変形例と同様の効果を奏し得る。
【０１１１】
上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
【０１１２】
本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書及び添付の特許請求の範囲に記載される修飾句「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
【符号の説明】
【０１１３】
８１〜８４…第１〜第４フレーム、８６…ボルト、８７，８７Ｃ，８７Ｅ，８７Ｆ，８７Ｆ，８７Ｈ…位置決め用スリーブ、８８…スリーブ貫通孔、８９…スリーブ挿入部としてのスリーブ挿入孔、９１…雌ねじ部としてのナット、９２，９２Ａ，９２Ｂ，９２Ｄ，９２Ｅ…落下防止部、９４Ｄ，９５Ｄ…第１，第２補強プレート、３３１〜３３４…第１〜第４レーザシステムモジュール、８７１…筒状部、８７２…周縁当接部、８７３Ｃ，８７３Ｆ…傾斜面部、９２５Ａ，９２５Ｄ…スリーブ外れ防止部、９２６，９２６Ｂ，９２６Ｄ…ボルト外れ防止部、９４１Ｄ，９５１Ｄ…第１，第２プレート孔、９４２Ｄ，９５２Ｄ…第１，第２筒状突出部、９４３Ｄ，９５３Ｄ…第１，第２当たり面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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