(57)【要約】【課題】基板２からエッチングにより切断分離された後の基板片３を効率良く取出すことができ、且つ、基板２を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具１を提供する。【解決手段】基板用治具１は、切断分離された後の基板片３を受容する基板片受容棚１２を有する基板片受容側部材１０と、切断分離された後の基板片３を基板片受容側部材１０の側へ押出すための貫通孔２４を有する基板片押出側部材２０と、基板片受容側部材１０の接触面１１と基板片押出側部材２０の接触面２１との間に基板３を挟持させた状態を維持するクランプ機構５０と、を備えている。基板片押出側部材２０の接触面２１に隣接して、基板片３の輪郭に対応するようにエッチング液が供給される通路２３が形成されている。【選択図】図１
2013232522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する際に当該基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を挟持すると共に、切断分離された後の基板片を受容するために用いられる基板用治具であって、
基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の基板片を受容する基板片受容棚を有する基板片受容側部材と、
基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の基板片を基板片受容側部材の側へ押出すための貫通孔が設けられた基板片押出側部材と、
基板片受容側部材の接触面と基板片押出側部材の接触面との間に基板を挟持させた状態を維持するクランプ機構と、
を備え、
基板片押出側部材には、基板片の輪郭に対応するように、エッチング液が供給される通路が形成されている
ことを特徴とする基板用治具。
【請求項２】
基板片受容側部材は、所定の間隔を空けて基板に対向する対向板を有しており、
基板片受容棚は、対向板から基板まで延在する底板と、当該底板の基板側の端部から上方に立ち上がるストッパー部と、を有しており、
基板片受容棚の底板は、基板側から対向板側に向けて上方に傾斜している
ことを特徴とする請求項１に記載の基板用治具。
【請求項３】
基板片受容棚の底板には、エッチング液が流通する貫通孔が設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の基板用治具。
【請求項４】
一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を挟持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を受容するために用いられるようになっており、
基板片受容側部材は、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片をそれぞれ受容する複数の基板片受容棚を有しており、
基板片押出側部材は、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片をそれぞれ基板片受容側部材の側へ押出すための複数の貫通孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項５】
水平方向に隣り合う複数の基板片受容棚が、一体に形成されている
ことを特徴とする請求項４に記載の基板用治具。
【請求項６】
水平方向に隣り合う複数の基板片受容棚の上方領域の間に、仕切板が設けられている
ことを特徴とする請求項５に記載の基板用治具。
【請求項７】
仕切板には、エッチング液が流通する貫通孔が設けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の基板用治具。
【請求項８】
基板片受容棚は、水平方向及び上下方向に複数ずつ切断分離される矩形の基板片の各々に対応している
ことを特徴とする請求項４乃至７のいずれかに記載の基板用治具。
【請求項９】
基板片受容側部材及び基板片押出側部材は、耐エッチング性のある材料からなる
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の基板用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する際に当該基板を保持するために用いられる基板用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイやタッチパネルにガラス基板の基板片が用いられている。このようなガラス基板片の製造方法として、大型の一枚のガラス基板から複数のガラス基板片をエッチングによって切断分離する方法がある。この方法では、通常、エッチング液としてフッ酸系の溶液が用いられている。
【０００３】
ところで、切断分離されたガラス基板片がエッチング液内に落下してしまうと、取出すことが容易ではない。従って、一枚のガラス基板を各片面から順次半分の厚みずつエッチングするいわゆるハーフエッチングが利用されている。
【０００４】
以下、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について、図６乃至図８を参照して説明する。図６乃至図８は、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【０００５】
先ず、図６に示すように、大型の一枚の矩形のガラス基板５０１の両面に、縦横２つずつ合計４つの矩形のガラス基板片の輪郭５０５が露出するように、保護膜５０３が設けられる。保護膜５０３としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等を用いることができ、当該保護膜５０３が接着剤または粘着剤を介してガラス基板５０１に貼付けられる。あるいは、例えば、ガラス基板５０１の両面に感光性レジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、マスクを介して４つのガラス基板片の輪郭を除いて他の部分に紫外線を照射し、次に現像液を用いて前記輪郭のレジスト膜を除去することにより、保護膜５０３を設けることもできる。
【０００６】
次に、ガラス基板５０１が鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の一方の面側からエッチング（ハーフエッチング）される。
【０００７】
続いて、ガラス基板５０１が洗浄される。そして、図７に示すように、切断分離されるガラス基板片５０２が落下することを防止するべく、ハーフエッチングされたガラス基板５０１の一方の面側に、ガラス基板５０１と切断分離されるガラス基板片５０２とを懸架するように粘着テープ５０４が貼付けられる。
【０００８】
続いて、再びガラス基板５０１が、鉛直方向に保持された状態で、ガラス基板５０１の他方の面側からエッチング（残りのハーフエッチング）される。
【０００９】
そして、ガラス基板５０１が洗浄された後に、ガラス基板５０１から粘着テープ５０４が剥がされると、図８に示すような４個のガラス基板片５０２が得られる。
【００１０】
なお、基板を水平方向に保持した状態で複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に用いられる基板用治具は既に知られている（特許文献１乃至３参照）。
【００１１】
また、ガラス基板片の他の製造方法として、レーザ加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法や、エンドミル等による切削加工によりガラス基板から複数のガラス基板片を切断分離する方法も知られている。しかしながら、これらの加工方法では、ガラス基板片の端面、即ち切断面、の表面粗さが粗くなってしまい、前述したようなエッチングを利用して切断分離されたガラス基板片と比較して、ガラス基板片にキズやヒビが入りやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０１０−１０３３９４号公報
【特許文献２】特開平０９−２４６３６５号公報
【特許文献３】特開２００７−１３４３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
前述したように、ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する場合、２回のガラス基板のエッチング（ハーフエッチング）と２回のガラス基板の洗浄作業と粘着テープの貼付け／剥がし作業とを行う必要があり、効率が悪かった。
【００１４】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離することができると共に、切断分離された後の基板片を効率良く取出すことができるような基板用治具であって、基板を鉛直方向に保持した状態でも利用可能な基板用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
一枚の基板から基板片をエッチングによって切断分離する際に当該基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を挟持すると共に、切断分離された後の基板片を受容するために用いられる基板用治具であって、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の基板片を受容する基板片受容棚を有する基板片受容側部材と、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の基板片を基板片受容側部材の側へ押出すための貫通孔が設けられた基板片押出側部材と、基板片受容側部材の接触面と基板片押出側部材の接触面との間に基板を挟持させた状態を維持するクランプ機構と、を備え、基板片押出側部材には、基板片の輪郭に対応するように、エッチング液が供給される通路が形成されていることを特徴とする基板用治具である。
【００１６】
本発明によれば、クランプ機構により基板片受容側部材の接触面と基板片押出側部材の接触面との間に基板を挟持して、例えば当該基板が鉛直方向となるように基板用治具をセットした状態で、基板片の輪郭に対応する基板片押出側部材の通路にエッチング液が供給されることにより、基板片がエッチングにより切断分離される。切断分離された基板片は、大抵は基板片受容棚上に自然落下するため、切断分離された後の基板片を効率良く取出すことができる。切断分離された基板片が落下まではしない場合には、押出棒によって基板片押出側部材の貫通孔を介して切断分離された基板片を基板片受容側部材側へ押出すことにより、当該切断分離された基板片を基板片受容側部材の基板片受容棚に受容させることができる。これにより、やはり切断分離された後の基板片を効率良く取出すことができる。
【００１７】
好ましくは、基板片受容側部材は、所定の間隔を空けて基板に対向する対向板を有しており、基板片受容棚は、対向板から基板まで延在する底板と、当該底板の基板側の端部から上方に立ち上がるストッパー部と、を有しており、基板片受容棚の底板は、基板側から対向板側に向けて上方に傾斜している。これにより、切断分離された基板片の下部が底板によりストッパー部に案内されて、基板片の上部が対向板に寄り掛り易くなる。このため、切断分離された基板片が基板と接触して損傷するおそれを低減することができる。
【００１８】
好ましくは、本基板用治具は、一枚の基板から複数の基板片をエッチングによって切断分離する際に当該複数の基板片の輪郭が露出するように保護膜が両面に設けられた基板を挟持すると共に、切断分離された後の複数の基板片を受容するために用いられるようになっており、基板片受容側部材は、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片をそれぞれ受容する複数の基板片受容棚を有しており、基板片押出側部材は、基板と接触する接触面を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片をそれぞれ基板片受容側部材の側へ押出すための複数の貫通孔が設けられている。
【００１９】
本発明の基板用治具では、基板片受容側部材内にもエッチング液が供給されてよい。この場合、基板片受容棚の底板に、エッチング液が流通する貫通孔が設けられていることが好ましい。これにより、エッチング液が基板の基板片受容側部材側の面に流通し易くなる。
【００２０】
また、好ましくは、水平方向に隣り合う複数の基板片受容棚が、一体に形成されている。この場合、基板片受容棚を効率よく製造することができる。
【００２１】
更に、好ましくは、水平方向に隣り合う複数の基板片受容棚の上方領域の間に、仕切板が設けられている。このような形態により、切断分離された基板片同士が互いに接触して損傷することを防止することができる。この場合、更に、仕切板には、エッチング液が流通する貫通孔が設けられていることが好ましい。これにより、エッチング液が更に流通し易くなる。
【００２２】
また、好ましくは、基板片受容棚は、水平方向及び上下方向に複数ずつ切断分離される矩形の基板片の各々に対応している。
【００２３】
また、通常は、基板片受容側部材及び基板片押出側部材は、耐エッチング性のある材料からなる。例えばエッチング液としてフッ酸系の溶液を用いる場合には、基板片受容側部材及び基板片押出側部材が、エッチング液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなるのが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、クランプ機構により基板片受容側部材の接触面と基板片押出側部材の接触面との間に基板を挟持して、例えば当該基板が鉛直方向となるように基板用治具をセットした状態で、基板片の輪郭に対応する基板片押出側部材の通路にエッチング液が供給されることにより、基板片がエッチングにより切断分離される。切断分離された基板片は、大抵は基板片受容棚上に自然落下するため、切断分離された後の基板片を効率良く取出すことができる。切断分離された基板片が落下まではしない場合には、押出棒によって基板片押出側部材の貫通孔を介して切断分離された基板片を基板片受容側部材側へ押出すことにより、当該切断分離された基板片を基板片受容側部材の基板片受容棚に受容させることができる。これにより、やはり切断分離された後の基板片を効率良く取出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施の形態における基板用治具の概略分解斜視図である。理解を容易にするべく、基板片受容側部材の対向板が破線で示されている。
【図２】図１の基板用治具の基板片受容側部材を示す概略図であり、（ａ）は、正面図であり、（ｂ）は、側面図である。
【図３】図１の基板用治具の基板片押出側部材を示す概略図であり、（ａ）は、正面図であり、（ｂ）は、底面図である。
【図４】図１の基板用治具のクランプ機構を示す概略斜視図である。
【図５】図１の基板用治具において、基板片がエッチングにより切断分離されたときの状態を示す概略斜視図である。理解を容易にするべく、基板片受容側部材の対向板が破線で示されている。
【図６】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【図７】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【図８】ハーフエッチングを利用してガラス基板片を切断分離する方法について説明するための図である。
【図９】図１の基板用治具のストッパー部の他の形態を示す概略部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明の一実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態における基板用治具の概略分解斜視図である。理解を容易にするべく、基板片受容側部材１０の対向板１３（図２参照）が破線で示されている。図２は、図１の基板用治具１の基板片受容側部材１０を示す概略図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。図３は、図１の基板用治具１の基板片押出側部材２０を示す概略図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は底面図である。図４は、図１の基板用治具のクランプ機構を示す概略斜視図である。
【００２７】
本実施の形態の基板用治具１は、一枚の基板２から複数の基板片３をエッチングによって切断分離する際に当該基板片３の輪郭が露出するように保護膜４が両面に設けられた基板２を挟持すると共に、切断分離された後の複数の基板片３を受容するために用いられるものである。本実施の形態では、基板２としてガラス基板を用いており、エッチング液としてフッ酸系の溶液を用いている。
【００２８】
図１に示すように、本実施の形態の基板用治具１は、基板２と接触する接触面１１を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片３をそれぞれ受容する複数の基板片受容棚１２を有する基板片受容側部材１０と、基板２と接触する接触面２１を有すると共に、切断分離された後の複数の基板片３をそれぞれ基板片受容側部材１０の側へ押出すための複数の貫通孔２４が設けられた基板片押出側部材２０と、を備えている。
【００２９】
先ず、基板片受容側部材１０について、図１及び図２を参照して説明する。図１及び図２に示すように、基板片受容側部材１０は、概ね直方体の形状を採用している。基板片受容側部材１０は、耐エッチング性のある材料からなる。本実施の形態では、基板片受容側部材１０は、フッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなる。もっとも、基板片受容側部材１０は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。基板片受容側部材１０は、所定の間隔を空けて基板２に対向する対向板１３を有している。
【００３０】
図１及び図２に示すように、本実施の形態の基板片受容側部材１０の基板片受容棚１２は、水平方向及び上下方向に２つずつ切断分離される合計４つの矩形の基板片３の各々に対応している。また、水平方向に隣り合う基板片受容棚１２は、一体に形成されている。
【００３１】
本実施の形態の各基板片受容棚１２は、具体的には、対向板１３から基板２まで延在する底板１４と、当該底板１４の基板２側の端部から上方に立ち上がるストッパー部１８と、を有している。特に、各基板片受容棚１２の底板１４は、基板２側から対向板１３側に向けて上方に傾斜している。この傾斜角度は、２０度〜４０度であることが好ましい。また、基板片受容棚１２の底板１４には、エッチング液が流通する貫通孔１５が設けられている。この貫通孔１５により、エッチング液が基板２の基板片受容側部材１０側の面に流通し易くなっている。
【００３２】
特に図２（ｂ）に示すように、本実施の形態のストッパー部１８の上方に立ち上がった部分の端部１８ａが、水平方向に平行な水平面になっている。もっとも、図９に示すように、ストッパー部１８の上方に立ち上がった部分の端部１８ｂは、基板２側から対向板１３側に向かって下方に傾斜する傾斜面になっていてもよい。この場合、基板片３が基板２から切断分離されて落下される際に、当該基板片３が端部１８ｂにより底板１４に案内され易くなる。すなわち、切断分離される基板片３が端部１８ｂ上に留まってしまい、その結果、当該基板片３が基板２と接触して損傷されるおそれが低減される。
【００３３】
また、図１及び図２に示すように、水平方向に隣り合う２つの基板片受容棚１２の上方領域の間に、仕切板１６が設けられている。このような形態により、切断分離された基板片３同士が水平方向で互いに接触して損傷することを防止することができる。また、各仕切板１６には、エッチング液が流通する貫通孔１７が４つ設けられている。これにより、エッチング液が基板２の基板片受容側部材１０側の面に流通し易くなっている。
【００３４】
同様に、水平方向に隣り合う２つの基板片受容棚１２の両端の上方領域に、側面仕切板１６ａが設けられている。このような形態により、切断分離された基板片３が、水平方向に隣り合う基板片受容棚１２の両端から落下してしまうことを防止することができる。また、各側面仕切板１６ａにも、エッチング液が流通する貫通孔１７ａが４つ設けられている。これにより、エッチング液が基板２の基板片受容側部材１０側の面に流通し易くなっている。
【００３５】
また、図２に示すように、本実施の形態の接触面１１は、仕切板１６の基板２側の端面、側面仕切板１６ａの基板２側の端面、及び、基板片受容側部材１０の上板１０ｕの基板２側の端面により構成されている。また、本実施の形態の上板１０ｕと仕切板１６との間、及び、上板１０ｕと側面仕切板１６ａとの間に、隙間が設けられている。これにより、エッチング液が基板２の基板片受容側部材１０側の面に流通し易くなっている。もっとも、前記隙間は必ずしも設けられている必要性はなく、上板１０ｕが、一枚の平板により構成されて、側面仕切板１６ａと仕切板１６とに連接されていてもよい。
【００３６】
次に、基板片押出側部材２０について、図１及び図３を参照して説明する。図１及び図３に示すように、基板片押出側部材２０は、概ね直方体の形状を採用している。基板片押出側部材２０は、耐エッチング性のある材料からなる。本実施の形態では、基板片押出側部材２０は、フッ酸系の溶液に対して優れた耐性を有する塩化ビニルからなる。もっとも、基板片押出側部材２０は、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンからなっていてもよい。
【００３７】
基板片押出側部材２０の接触面２１は、図１及び図３に示すように、基板片押出側部材２０の上下左右の周縁部に形成された縁部接触面２５と、各基板片３に接触する４つの基板片接触面２２と、で構成されている。上下の縁部接触面２５には、エッチング液が流通する３つの切欠２６がそれぞれ設けられており、当該切欠２６は、後述する通路２３に連通している。また、基板片接触面２２は、各基板片３の全面と接触している必要はなく、各基板片３の一部とだけ接触していてもよい。そして、各基板片接触面２２の中央に、貫通孔２４が設けられている。
【００３８】
図１及び図３に示すように、基板片押出側部材２０には、基板片押出側部材２０の接触面２１に隣接して、各基板片３の輪郭に対応するように、エッチング液が供給される通路２３が形成されている。より詳細には、通路２３は、水平方向及び上下方向に２つずつ切断分離される合計で４つの矩形の基板片３の各々の輪郭に対応しており、４つの基板片接触面２２の各々の周りを取り囲んでいる。本実施の形態の通路２３は、幅が５ｍｍ〜１０ｍｍ程度、深さが５ｍｍ〜１０ｍｍ程度に形成された凹部である。
【００３９】
また、基板用治具１は、基板片受容側部材１０の接触面１１と基板片押出側部材２０の接触面２１との間に基板２を挟持させた状態を維持するクランプ機構５０を備えている。具体的には、図４に示すように、本実施の形態のクランプ機構５０は、基板片受容側部材１０と基板片押出側部材２０とを互いに押しつけるコの字状の２つの弾性クリップ５１から構成されている。また、基板片受容側部材１０（の対向板１３）の上部及び下部の外縁に、図２に示すように、弾性クリップ５１の形状に対応する弾性クリップ用溝１９がそれぞれ設けられている。同様に、基板片押出側部材２０の上部及び下部の外縁にも、図１及び図３に示すように、弾性クリップ５１の形状に対応する弾性クリップ用溝２９がそれぞれ設けられている。そして、弾性クリップ５１の各々を弾性クリップ用溝１９及び弾性クリップ用溝２９に係合させることで、弾性クリップ５１の弾性力により基板片受容側部材１０と基板片押出側部材２０とが互いに押しつけられて、接触面１１と接触面２１との間に基板２を挟持した状態を維持することができるようになっている。
【００４０】
次に、以上のような構成からなる本実施の形態の作用について、図１及び図５を参照しながら説明する。図５は、図１の基板用治具１において、基板片３がエッチングにより切断分離されたときの状態を示す概略斜視図である。理解を容易にするべく、基板片受容側部材1０の対向板１３が破線で示されている。
【００４１】
先ず、水平方向及び上下方向に２つずつ合計で４つの矩形の基板片３の輪郭５のみが露出するように、保護膜４が一枚の基板２の両面に貼付けられる。
【００４２】
次に、基板２が、クランプ機構５０により、基板片受容側部材１０の接触面１１と基板片押出側部材２０の接触面２１との間に挟持される。そして、基板用治具１に挟持された基板２が、例えば鉛直方向にエッチング液槽内に浸される。このとき、各基板片３の輪郭に対応する基板片押出側部材２０の通路２３にエッチング液が供給される。また、基板２の基板片受容側部材１０側の面にも、基板片受容棚１２の底板１４の貫通孔１５、仕切板１６の貫通孔１７、側面仕切板１６ａの貫通孔１７ａ、上板１０ｕと側面仕切板１６ａとの間の隙間、及び、上板１０ｕと仕切板１６との間の隙間を介して、エッチング液が供給される。
【００４３】
このようなエッチング液の供給によって、基板２から複数の基板片３がエッチングにより切断分離される。切断分離された基板片３は、大抵は基板片受容棚１２上に自然落下するが、落下まではしない場合もある。いずれにせよ、基板用治具１がエッチング液槽から取出される。洗浄後、押出棒（不図示）を基板片押出側部材２０の貫通孔２４に挿入することにより、落下していなかった基板片３が基板片受容側部材１０側へ押出される。これにより、全ての各基板片３が基板片受容側部材１０の基板片受容棚１２に受容される。このとき、図５に示すように、切断分離された各基板片３の下部が底板１４によりストッパー部１８に案内され、各基板片３の上部が対向板１３に寄り掛かる。このため、切断分離された各基板片３が基板２と接触して損傷するおそれが低減される。
【００４４】
本発明によれば、クランプ機構５０により基板片受容側部材１０の接触面１１と基板片押出側部材２０の接触面２１との間に基板２を挟持して、例えば当該基板２が鉛直方向となるように基板用治具１をセットした状態で、各基板片３の輪郭に対応する基板片押出側部材２０の通路２３にエッチング液が供給されることにより、複数の基板片３がエッチングにより切断分離される。切断分離された基板片３は、大抵は基板片受容棚１２上に自然落下するため、切断分離された後の複数の基板片３を効率良く取出すことができる。切断分離された基板片３が落下まではしない場合には、押出棒（不図示）によって基板片押出側部材２０の貫通孔２４を介して切断分離された基板片３を基板片受容側部材側１０へ押出すことにより、当該切断分離された基板片３をそれぞれ基板片受容側部材１０の基板片受容棚１２に受容させることができる。これにより、やはり切断分離された後の複数の基板片３を効率良く取出すことができる。
【００４５】
また、各基板片受容棚１２の底板１４の傾斜角度は、２０度〜４０度であるため、切断分離された各基板片３の下部が底板１４によりストッパー部１８に案内されて、各基板片３の上部が対向板１３に極めて寄り掛り易くなる。このため、切断分離された各基板片３が基板２と接触して損傷するおそれを極めて低減することができる。
【００４６】
また、水平方向に隣り合う複数の基板片受容棚１２の上方領域の間に仕切板１６が設けられているため、切断分離された基板片３同士が互いに接触して損傷することを防止することができる。
【００４７】
なお、以上の実施の形態では、基板を鉛直方向に保持するように基板用治具を用いる例を示したが、基板を水平方向に保持するように本実施の形態の基板用治具を用いることも可能である。
【００４８】
また、以上の実施の形態では、基板を保持した基板用治具をエッチング液槽に浸すことにより基板片を切断分離する例を示したが、本発明はこのような例に限定されない。例えば、基板を保持した基板用治具内にエッチング液を循環等させることにより基板片を切断分離することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
１      基板用治具
２      基板
３      基板片
４      保護膜
５      輪郭
１０    基板片受容側部材
１０ｕ  上板
１１    接触面
１２    基板片受容棚
１３    対向板
１４    底板
１５    貫通孔
１６    仕切板
１６ａ  側面仕切板
１７    貫通孔
１７ａ  貫通孔
１８    ストッパー部
１９    弾性クリップ用溝
２０    基板片押出側部材
２１    接触面
２２    基板片接触面
２３    通路
２４    貫通孔
２５    縁部接触面
２６    切欠
２９    弾性クリップ用溝
５０    クランプ機構
５１    弾性クリップ
５０１  ガラス基板
５０２  ガラス基板片
５０３  保護膜
５０４  両面テープ
５０５  輪郭
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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