(57)【要約】【課題】従来のスクリーン印刷用マスクにおいては、抜きパターンを含む場合に形成される島状部と他の部分との結合力を高めるには基布の目をある程度小さくする必要があるが、その目を小さくし過ぎるとインクや導電性ペーストの転移性能が低下してしまい印刷品質の低下をまねき、ひいては断線の原因となり微細化しにくいといった課題がある。【解決手段】以上の課題を解決するために、本発明は、短繊維をマスク部材（樹脂シート）中で分散させることで、基布を用いずに、あるいは比較的目の粗い基布を用いても樹脂シートに抜きパターンによる島状部を形成するような孔をあけることができるよう構成したスクリーン印刷用マスクを提供する。またこの短繊維を相互に連結するように分散されているカーボンナノチューブとしたスクリーン印刷用マスクも提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分散された短繊維を含む樹脂シートの一部を、前記短繊維を残して樹脂部分のみを除去した状態とすることでパターンを構成したスクリーン印刷用マスク。
【請求項２】
前記短繊維はカーボンナノチューブであって、そのカーボンナノチューブは相互に連結するように分散されている請求項１に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブは、シングルウォールカーボンナノチューブである請求項２に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブは、長さが２ミリメートル〜１０ミリメートルである請求項２または３に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項５】
前記分散は、パターンの厚み方向に均等である請求項１から４のいずれか一に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項６】
前記分散は、パターンの面内方向に均等である請求項１から５のいずれか一に記載のスクリーン印刷用マスク。
【請求項７】
光反応性樹脂に短繊維を均等に分散させて均等分散樹脂を生成する均等分散樹脂生成ステップを有するスクリーン印刷用マスクの製造方法。
【請求項８】
微量の水分を添加したカーボンナノチューブ合成雰囲気を利用した気相合成法（スーパーグロース法）でマスクに分散させるためのカーボンナノチューブを生成するカーボンナノチューブ生成ステップをさらに有し、
前記短繊維は、カーボンナノチューブ生成ステップで生成されたカーボンナノチューブであることを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法。
【請求項９】
均等分散樹脂生成ステップにて生成された均等分散樹脂によって均等分散樹脂膜を生成する均等分散樹脂膜生成ステップをさらに有する請求項８に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法。
【請求項１０】
均等分散樹脂膜を露光することで硬化しない樹脂の一部を溶解し、硬化する樹脂の他の一部を溶解しないでパターンを構成するパターン構成ステップをさらに有する請求項９に記載のスクリーン印刷用マスクの製造方法。
【請求項１１】
請求項１から６のいずれか一に記載のスクリーン印刷用マスクを利用して電子部品回路を構成する電子部品回路構成ステップを有する電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷に用いられるマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、絵画や写真、文字などの印刷技術、あるいはプリント基板に回路を形成する技術のひとつとして、スクリーン印刷が実用化されている。このスクリーン印刷技術では、例えば回路形成であれば、図１の（ａ）の断面図に示すように、プリント基板上に所望の回路パターン形状で孔をあけたマスク部材（０１０１）と、粗く編まれ開口部（目）を備える基布（０１０２）と、からなるマスクを基板から少し浮かせて配置する。そしてそのマスク上に投入した導電性ペーストを上から刷り付けることで、図１（ｂ）に示すようにマスク部材の孔及び基布の目を通して基板上に直接回路パターンを形成する技術であって、別の技術であるフォトリソグラフィ（感光剤を利用した回路形成技術）と比較すると、微細化に劣るものの、露光・現像・リンスといった行程が必要なく、少ない行程でプリント基板配線を実施することができる、というメリットがある。
【０００３】
また、絵画などでも導電性ペーストの替わりにインクを用いて同様の方法で印刷を行うことで、例えば球形物をはじめとする様々な形状のものに印刷をすることができる、というメリットがある。
【０００４】
図２は、マスク部材と基布とからなり上記スクリーン印刷で利用されるマスクの構造について説明するための図である。この図２（ａ）にあるように、縦糸と横糸の編み目が開いた基布（０２０２）の上に、図２（ｂ）に示すように熱硬化性樹脂などで前記基布の目のうちパターン部分以外の目を覆うマスク部材（０２０１）を形成する。すると、図１のマスクの断面図にて示すように、マスクの上に塗布されたインクや導電性ペーストがマスク部材で覆われていない箇所にある基布の目からプリント基板などの被印刷物に転移し、パターン（回路パターンや文字パターンのほか、絵画や写真であればオブジェクトパターン）に沿った印刷がなされる、という具合である。
【０００５】
また特許文献１には、スクリーン印刷用メッシュ織物（基布）の縦糸、横糸を芯鞘構造のポリエステルモノフィラメントとすることで、当該基布に高い強度と寸法安定性を与える技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１１２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで上記従来のスクリーン印刷技術においては、マスク部材はパターンに応じて孔があけられているため、抜きパターンを含む場合には他の部材と単独ではつながっていない島状部が形成される。そしてマスク部材の島状部と他の部分との結合は、マスク部材の底面に配置された基布によってなされるので、マスク部材の島状部と他の部分との結合力を高めるには基布の目をある程度小さくする必要がある。しかし、その目を小さくし過ぎるとインクや導電性ペーストの転移性能が低下して粗のある印刷となり、絵画などであれば印刷品質が低下する、また回路形成であれば断線の原因となり微細化しにくい、という課題がある。
【０００８】
また、マスクの縦方向の強度はマスク部材の厚さに依存するため、回路の形成においては微細化にともないアスペクト比（線幅に対する膜厚の比）を向上させるためにマスクの厚みを薄くすると縦方向の強度が低下してしまう、という課題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するために、本発明は、カーボンナノチューブなどの短繊維をマスク部材（樹脂シート）中に分散させることで、基布を用いずに、あるいは比較的目の粗い基布を用いた場合でも十分な強度を保持したまま樹脂シートに島状部を形成するようなパターン孔をあけることができるよう構成したスクリーン印刷用マスクを提供する。具体的には、分散された短繊維を含む樹脂シートの一部を、前記短繊維を残して樹脂部分のみを除去した状態とすることでパターンを構成したスクリーン印刷用マスクを提供する。また前記短繊維がカーボンナノチューブであって、そのカーボンナノチューブは相互に連結するように分散されているスクリーン印刷用マスクも提供する。
【００１０】
また、さらに前記カーボンナノチューブが、シングルウォールカーボンナノチューブであるスクリーン印刷用マスクも提供する。また前記カーボンナノチューブが、長さが２ミリメートル〜１０ミリメートルであるスクリーン印刷用マスクも提供する。
【００１１】
また、上記構成を備えるスクリーン印刷用マスクであって、さらにその分散が、パターンの厚み方向に均等であるスクリーン印刷用マスクも提供する。また、それに加えて、あるいはそれに替えて前記分散が、パターンの面内方向に均等であるスクリーン印刷用マスクも提供する。
【００１２】
また本発明は、上記のような構成を備えるスクリーン印刷用マスクの製造方法も提供する。具体的には、光反応性樹脂に短繊維を均等に分散させて均等分散樹脂を生成する均等分散樹脂生成ステップを有するスクリーン印刷用マスクの製造方法を提供する。
【００１３】
また、微量の水分を添加したカーボンナノチューブ合成雰囲気を利用した気相合成法（スーパーグロース法）でマスクに分散させるためのカーボンナノチューブを生成するカーボンナノチューブ生成ステップをさらに有し、前記均等分散樹脂生成ステップで利用される短繊維が、カーボンナノチューブ生成ステップで生成されたカーボンナノチューブであることを特徴とするスクリーン印刷用マスクの製造方法も提供する。
【００１４】
また、上記の均等分散樹脂生成ステップにて生成された均等分散樹脂によって均等分散樹脂膜を生成する均等分散樹脂膜生成ステップをさらに有するスクリーン印刷用マスクの製造方法も提供する。
【００１５】
また、上記ステップに加えて、均等分散樹脂膜を露光することで硬化しない樹脂の一部を溶解し、硬化する樹脂の他の一部を溶解しないでパターンを構成するパターン構成ステップをさらに有するスクリーン印刷用マスクの製造方法も提供する。
【００１６】
また、上記のスクリーン印刷用マスクを利用して電子部品回路を構成する電子部品回路構成ステップを有する電子部品の製造方法も提供する。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように本発明のスクリーン印刷用マスクは、その樹脂シート中に短繊維が含まれ、印刷用のパターンとして抜かれている孔部分にもその短繊維が配置される構成をとる。したがって樹脂シートに島状部ができるような形状でパターン孔をあけても、当該短繊維によってそれぞれの部材が十分な強度で結合される。つまり基布を使わずに、あるいは比較的目の粗い基布を用いた場合でも十分な強度を保持してスクリーン印刷用マスクを構成することができる。
【００１８】
また、その短繊維を相互に連結するように分散されているカーボンナノチューブとすることで、インクや導電性ペーストの転移性向上にともなう印刷品質の向上や微細化の向上効果が期待できる。なぜならばカーボンナノチューブ同士の結合力は比較的強いので密集して樹脂シート中に含ませなくても所定の強度を有し、したがってカーボンナノチューブの分散配置で形成される目を比較的大きな目とすることができるからである。
【００１９】
また孔以外の樹脂シート中にも短繊維が分散して含まれているので樹脂シート自体の強度も向上させることができる。つまり、スクリーン印刷用マスクの厚みを薄くしても強度を保つことができ、したがって回路の形成においては微細化をすすめてもアスペクト比を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来のスクリーン印刷によるプリント基板上の回路パターン形成の一例を説明するための図
【図２】従来のスクリーン印刷で利用されるマスクの一例を表す図
【図３】実施例１のスクリーン印刷用マスクの一例を表す上面図及び断面図
【図４】実施例１のスクリーン印刷用マスクの樹脂シート中に分散配置される短繊維やカーボンナノチューブの一例を表す図
【図５】実施例１のスクリーン印刷用マスクのパターン内に残された短繊維や相互に連結したカーボンナノチューブの一例を表す図
【図６】実施例２のスクリーン印刷用マスクの製造方法における各工程の流れの一例を表すフローチャート
【図７】実施例３のスクリーン印刷用マスクを利用した電子部品の製造方法における工程の流れの一例を表すフローチャート
【図８】実施例３の電子部品の製造方法の電子部品回路構成ステップにおける回路を構成するための工程の一例を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、図を用いて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の実施例では本発明のスクリーン印刷用マスクを利用したプリント基板上の回路形成（回路印刷）を例に挙げて説明するが、もちろんそれ以外に、絵画や写真、文字などの印刷に利用されて良い。本発明はこれら実施の形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施しうる。
【００２２】
なお、実施例１は、主に請求項１から６について説明する。また、実施例２は、主に請求項７から１０について説明する。また、実施例３は、主に請求項１１について説明する。
【００２３】
≪実施例１≫
【００２４】
<概要>
【００２５】
本実施例のスクリーン印刷用マスクは、その樹脂シート中にカーボンナノチューブなどの短繊維が分散して含まれ、その短繊維を残して樹脂シートの一部を回路など印刷オブジェクトのパターン形状となるよう除去していることを特徴とする。
【００２６】
<構成>
【００２７】
図３は、本実施例のスクリーン印刷用マスクの一例を表す上面図及び断面図である。この図にあるように本実施例の「スクリーン印刷用マスク」は、「樹脂シート」（０３０１）と、樹脂シートに含有されている「短繊維」（０３０２）と、回路などの印刷オブジェクト形状を示す「パターン」（０３０３）からなることを特徴とする。
【００２８】
「樹脂シート」（０３０１）は、スクリーン印刷用マスクの本体部分を形成する部材であって、その形状や素材は特に限定しない。ただし図に示すように、樹脂シートの一部は回路パターン形状の孔を形成するために除去加工される。したがって樹脂の一部を容易に除去加工できる素材であることが望ましい。例えば、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリウレタンなどの熱硬化性樹脂を素材とすれば、樹脂シートのパターン以外の部分のみを加熱し硬化させ、それによってパターン部分を容易に除去することができる。
【００２９】
あるいは例えば光変性型（特に溶解度が変性する）感光性樹脂であるジアゾ系樹脂やＳＢＱ（スチルバゾリウム）系樹脂を素材とすれば、遮光剤などを利用して樹脂シートのパターン以外の部分のみを感光し硬化させ、それによってパターン部分を容易に除去することができる。
【００３０】
そして、本実施例のスクリーン印刷用マスクは、この樹脂シート中に「短繊維」を分散させて含有させていることを特徴とする。
【００３１】
「短繊維」（０３０２）とは、一般的にはその長さが数十センチメートル以下のものをいい、本実施例では、回路パターンに残されて樹脂シートを繋ぐという目的上、回路パターンの線幅である５０マイクロメートル以下のものであることが望ましい。また、その目的からある程度の強度を有する短繊維であることも望ましい。例えばカーボン繊維や金属製繊維、強化プラスチック繊維、強化ガラス繊維、より具体的にはパラ系アラミド繊維、ポリアリレート繊維などが挙げられる。また、後述するように短繊維は樹脂シートの一部を除去した際に形成されるパターン孔に残され樹脂シート間をつなぐ、つまり短繊維の両端部が樹脂シート中に含まれて一部が露出する形になるので、その両端部が樹脂シートから抜けないよう、短繊維の素材としては樹脂シート素材との親和性の高い素材であることが望ましい。
【００３２】
図４は、この樹脂シート中に含まれる短繊維の一例を表す概念図であり、図５は、樹脂シートに形成されたパターン孔中に含まれる短繊維の一例を表す概念図である。この図にあるように短繊維は、樹脂シートやパターン孔中に分散していることを特徴とする。また、図４（ｂ）や図５（ｂ）に示すように、短繊維がパターンの幅よりも短いものである場合、短繊維の例えば分子間力などによって結合するよう構成すると良い。
【００３３】
また短繊維として、より好適にはカーボンナノチューブを用いると良い。
【００３４】
その「カーボンナノチューブ」は、樹脂シート中に相互に連結するように分散されていると良い。なお、このカーボンナノチューブの形状や長さなどは特に限定しないが、例えばその長さが２ミリメートル〜１０ミリメートルであるカーボンナノチューブが利用されても良い。このように比較的長いものとすることで、後述するカーボンナノチューブが連結されることで形成される「目」（導電性ペーストの透過領域）を大きくすることができる。
【００３５】
また、このカーボンナノチューブは、シングルウォールカーボンナノチューブとしても良い。このようにシングルウォールのカーボンナノチューブとすることで、カーボンナノチューブを含む樹脂シートの重量を軽く構成することができる。
【００３６】
また「カーボンナノチューブの相互に連結」とは、例えば複数のカーボンナノチューブが近接することで係り合い、またその係り合いが分子間力で結び付けられている状態が挙げられる。あるいは、樹脂シートに含まれる接着素材などによって複数のカーボンナノチューブが接着されている状態などが挙げられる。なお、もちろん樹脂シート中に含まれるカーボンナノチューブの連結は、その全てが連結されていなくても良く、その一部が連結されている状態であれば良い。
【００３７】
そしてこのように複数の相互に連結されたカーボンナノチューブなどが目の粗い不織布状となり樹脂シートに含まれることになる。
【００３８】
また、樹脂シート中でのカーボンナノチューブなどの短繊維の分散の分布状態や分散度合いは特に限定しない（ただし短繊維がカーボンナノチューブであれば相互に連結される程度の分散度合いの必要がある）が、例えば分散度合いが高く密集しすぎていると、実際の配線形成時に導電性ペーストがきちんとプリント基板上に転移されず断線などを起こす可能性があるので、配線が断線しない程度以下の密集度合いであることが好ましい。また分散度合いが低くカーボンナノチューブ同士が離れすぎていると、相互の連結力が弱くなる、あるいは連結自体がほとんど生じず、抜きパターンによる島状部が脱落などしてしまう可能性があるので、少なくともスクリーン印刷処理において外力などが加わってもカーボンナノチューブ相互の連結が保たれる程度以上の分散度合いであることが望ましい。
【００３９】
また、このカーボンナノチューブなどの短繊維の分散は、パターンの厚み方向や、パターンの面内方向に均等であっても良い。このようにパターンの厚み方向や面内方向に均等に分散させることで、樹脂シートの強度を均一とし脆弱部分を作らない高品質なスクリーン印刷用マスクとすることができる。
【００４０】
そして、図４に示すように、樹脂シート（０４０１）中に短繊維（０４０２ａ）やカーボンナノチューブ（０４０２ｂ）が分散して含まれることで樹脂シート自体の強度を向上させることができる。
【００４１】
そして樹脂シートにはプリント基板などの被印刷物上に配線（あるいは文字、又は絵画や写真などであればそこに含まれる印刷オブジェクト）を印刷するための「パターン」（０３０３）が形成されるが、このパターンは、樹脂シート中の連結された短繊維を残して樹脂部分のみを除去した状態とすることで形成されることを特徴とする。具体的に、前述の通り、例えば樹脂シートを熱硬化性樹脂や感光性樹脂として、熱処理や光処理によって樹脂シートのパターン以外の部分のみを硬化させ、硬化していないパターン部分の樹脂を除去することでパターンを形成する、という具合である。
【００４２】
また、この硬化していないパターン部分の除去方法としては、硬化部分には作用しない溶剤によって洗い流す方法や、硬化部分には作用しない程度の温度で焼入れ処理をすることで焼却し除去する方法などが挙げられる。
【００４３】
そして図５に示すように、このように形成されたパターン孔（０５０３）には、連結された短繊維（０５０２ａ）やカーボンナノチューブ（０５０２ｂ）が残されている。なお、図５（ａ）に示すように、カーボンナノチューブ以外の短繊維であれば、一の短繊維のそれぞれが回路パターン孔の両端で渡るように残ることになる。またカーボンナノチューブであれば、図５（ｂ）に示すように分子間力で結合した複数のカーボンナノチューブが回路パターン孔の両端で渡るように残ることになる。
【００４４】
またそのカーボンナノチューブなどの短繊維は孔の縦方向にも残るので、抜きパターンによる島状部と樹脂シートの他の部分との結合力も強いものとすることができる。またその結合力の強さから分散度合いを高くして形成される目を大きくすることで、配線形成用の導電性ペーストも好適にプリント基板上に転移させることができる。
【００４５】
またそのカーボンナノチューブなどの短繊維は孔以外の樹脂シート中にも分散しているので樹脂シートの島状部とそれ以外の部分を所定以上の強度で保持することができる。
【００４６】
また、図示しない従来よりも比較的目の粗い基布を組み合わせることで、さらに強度を高くなるように構成しても良い。この場合でも、従来のスクリーン印刷用マスクと比較して、孔に残された短繊維の分だけ基布の目を粗くしても十分な強度とすることができ、したがってインクや導電性ペーストの転移性を向上させることができる。
【００４７】
また、前述のようにカーボンナノチューブなどの短繊維の分散をパターンの厚み方向や、パターンの面内方向に均等となるようにすることで、このパターン部分に残されたカーボンナノチューブの連結で形成される「目」部分の大きさも均一となり、したがってムラなく導電性ペーストをプリント基板に転移させ高品質な配線形成を行うことができるスクリーン印刷用マスクとすることができる。
【００４８】
<効果の簡単な説明>
【００４９】
以上のように、本実施例のスクリーン印刷用マスクは、その樹脂シート中にカーボンナノチューブなどの短繊維が分散して含まれ、かつ回路などの印刷オブジェクトのパターンとして除去された部分に相互に連結されたカーボンナノチューブなどの短繊維が残されているので、基布を使わずに、あるいは比較的目の粗い基布を用いた場合でも十分な強度を保持してスクリーン印刷用マスクを構成することができる。
【００５０】
また短繊維をカーボンナノチューブとすれば、カーボンナノチューブ同士の結合力は比較的強いので密集して樹脂シート中に含ませる必要がなく、したがってカーボンナノチューブ間に形成される目を比較的大きな目とする効果が期待でき、印刷品質の向上、ひいては微細化の向上効果が期待できる。また孔があけられていない樹脂シート中にもカーボンナノチューブが分散して含まれているので樹脂シート自体の強度も向上させることができる。
【００５１】
≪実施例２≫
【００５２】
<概要>
【００５３】
本実施例は、上記の相互に連結するように分散されたカーボンナノチューブなどの短繊維を含む樹脂シートの一部を、前記連結されたカーボンナノチューブなどの短繊維を残して樹脂部分のみを除去した状態とすることでパターンを構成したスクリーン印刷用マスクの製造方法の一例である。
【００５４】
<製造工程>
【００５５】
図６は、本実施例のスクリーン印刷用マスクの製造方法における各工程の流れの一例を表すフローチャートである。この図にあるように、本実施例のスクリーン印刷用マスクの製造方法は、「カーボンナノチューブ生成ステップ」（ステップＳ０６０１）と、「均等分散樹脂生成ステップ」（ステップＳ０６０２）と、「均等分散樹脂膜生成ステップ」（ステップＳ０６０３）と、「パターン構成ステップ」（ステップＳ０６０４）と、を有する。なお本実施例の製造方法では、短繊維としてカーボンナノチューブを用いる例を挙げて説明するが、カーボンナノチューブ以外の短繊維を用いてスクリーン印刷用マスクを生成しても良い。その場合、上記ステップＳ０６０１のカーボンナノチューブ生成ステップは省略することができる。以下、上記各ステップの詳細を説明する。
【００５６】
「カーボンナノチューブ生成ステップ」（ステップＳ０６０１）は、微量の水分を添加したカーボンナノチューブ合成雰囲気を利用した気相合成法（スーパーグロース法）でマスクに分散させるためのカーボンナノチューブを生成する。
【００５７】
ここで「微量の水分」の分量は特に限定しないが、産業技術総合研究所の研究発表によるとカーボンナノチューブ合成雰囲気に対する濃度で数ｐｐｍ程度の水分量が好適であるとされている。そして、このように生成したカーボンナノチューブは、その長さが２ｍｍ以上の質の高いシングルウォールカーボンナノチューブとなり、上記実施例のスクリーン印刷用マスクに用いるのに好適なものとなる。
【００５８】
「均等分散樹脂生成ステップ」（ステップＳ０６０２）は、光反応性樹脂にカーボンナノチューブ生成ステップにて生成されたカーボンナノチューブを均等に分散させて均等分散樹脂を生成する。具体的に、例えば、液体状の樹脂にカーボンナノチューブを注入し分散させる方法などが挙げられる。もちろん、前述のように光反応性樹脂にカーボンナノチューブ以外の短繊維を均等に分散させて均等分散樹脂を生成しても良い。
【００５９】
「均等分散樹脂膜生成ステップ」（ステップＳ０６０３）は、均等分散樹脂生成ステップにて生成された均等分散樹脂によって均等分散樹脂膜を生成する。具体的に上記液体状の樹脂を冷却し固形化することで樹脂膜を生成する方法などが挙げられる。
【００６０】
「パターン構成ステップ」（ステップＳ０６０４）は、均等分散樹脂膜を露光することで硬化しない樹脂の一部を溶解し、硬化する樹脂の他の一部を溶解しないでパターンを構成するパターン構成ステップをさらに有するスクリーン印刷用マスクの製造方法も提供する。
【００６１】
具体的には、例えば均等分散樹脂膜上に、回路などの印刷オブジェクトのパターンとなる領域を覆う形状であるポジフィルムを貼り付けて露光する。すると、露光されたポジフィルム以外の領域が光反応によって硬化し、それを溶剤などで現像したり熱処理で焼却したりすることで硬化されていない部分が除去されてパターンが構成される、という具合である。
【００６２】
<効果の簡単な説明>
【００６３】
以上のようにして、本実施例のスクリーン印刷用マスクの製造方法によって、その樹脂シート中にカーボンナノチューブなどの短繊維が連結分散して含まれ、かつその連結されたカーボンナノチューブなどの短繊維を残して構成されたパターンを有するスクリーン印刷用マスクを製造することができる。
【００６４】
≪実施例３≫
【００６５】
<概要>
【００６６】
本実施例は、上記実施例１のスクリーン印刷用マスクを利用してプリント基板上に配線を行い、電子部品を製造する電子部品の製造方法の一例である。
【００６７】
<製造工程>
【００６８】
図７は、本実施例のスクリーン印刷用マスクを利用した電子部品の製造方法における工程の流れの一例を表すフローチャートである。この図にあるように、本実施例のスクリーン印刷用マスクを利用した電子部品の製造方法は、「電子部品回路構成ステップ」（ステップＳ０７０１）を有する。
【００６９】
「電子部品回路構成ステップ」（ステップＳ０７０１）は、上記実施例１に記載のスクリーン印刷用マスクを利用して電子部品回路を構成する。具体的に、図８（ａ）に示すようにプリント基板上に、上記実施例１のスクリーン印刷用マスク（０８００）を配置する。
【００７０】
そして、図８（ｂ）に示すように回路材料となる導電性ペーストをスクリーン印刷用マスク上に投入するのに合わせて、へら（スキージ）でスクリーン印刷用マスクを上から押さえ付けながら、へらを摺動させ水平方向に動かし、導電性ペーストを、スクリーン印刷用マスクに構成されたカーボンナノチューブなどの短繊維が残されたパターン孔からプリント基板に転移させる。
【００７１】
すると、プリント基板上に図８（ｃ）に示すような回路が、導電性ペーストによって形成される、という具合である。
【００７２】
<効果の簡単な説明>
【００７３】
以上の方法において、実施例１のスクリーン印刷用マスクは、前述のように、パターン孔に残されているカーボンナノチューブなどの短繊維の相互連結で形成される目は比較的大きな目とすることができるので、本実施例の製造方法で製造された電子部品の回路は、微細化された回路であっても断線の少ない良好なものとして形成することができる。
【符号の説明】
【００７４】
０３０１  樹脂シート
０３０２  短繊維
０３０３  パターン
【図１】
2013248828.tif 000003
【図２】
2013248828.tif 000004
【図３】
2013248828.tif 000005
【図４】
2013248828.tif 000006
【図５】
2013248828.tif 000007
【図６】
2013248828.tif 000008
【図７】
2013248828.tif 000009
【図８】
2013248828.tif 000010