(57)【要約】【課題】外装カバーの交換時にＸ線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能なＸ線検査装置を提供する。【解決手段】このＸ線検査装置１００は、基板ＰにＸ線を照射するＸ線源３と、Ｘ線源３を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５と、遮蔽壁５に覆われた領域を通り、基板Ｐを搬送する基板搬送部２と、遮蔽壁５の外側に設けられ、基板搬送部２を覆うとともに遮蔽壁５を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバー６とを備える。【選択図】図２
2013122404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁と、
前記遮蔽壁に覆われた領域を通り、前記検査対象物を搬送する搬送路と、
前記遮蔽壁の外側に設けられ、前記搬送路を覆うとともに前記遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを備える、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記遮蔽壁と前記外装カバーとの間に配置され、前記外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材をさらに備える、請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記外装カバーは、天面カバー部材と、側面カバー部材とを含み、
前記カバー取付部材は、前記天面カバー部材を取り付けるための天面カバー取付部と、前記側面カバー部材を取り付けるための側面カバー取付部とを含み、
前記天面カバー部材および前記側面カバー部材は、それぞれ、前記天面カバー取付部および前記側面カバー取付部に対して個別に着脱可能に構成されている、請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記カバー取付部材は、
前記天面カバー取付部を有する第１部材と、
前記側面カバー取付部を有し、前記第１部材に取り付けられた第２部材とを含む、請求項３に記載のＸ線検査装置
【請求項５】
前記外装カバーは、前記遮蔽壁に対して離間した状態で、前記カバー取付部材に取り付けられている、請求項２〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記遮蔽壁を支持する支持フレームをさらに備える、請求項２〜５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記カバー取付部材は、前記遮蔽壁を介して前記支持フレームに取り付けられている、請求項６に記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記遮蔽壁は、複数の板状の壁部材を含み、
前記壁部材は、板部材と、前記板部材に貼付されたＸ線遮蔽材とを有し、
前記Ｘ線遮蔽材は、前記板部材に対して前記外装カバー側に配置されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記複数の壁部材は、隣接する前記壁部材との境界で互いに重なるように配置されている、請求項８に記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
前記遮蔽壁は、箱状形状を有し、
前記外装カバーは、前記箱状の遮蔽壁を内部に収容可能な箱状形状を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項１１】
前記検査対象物は、回路基板である、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に、外装カバーを備えたＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、外装カバーを備えたＸ線検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、Ｘ線遮蔽部材が一体的に設けられた外装カバー（パネル）を備えたＸ線検査装置が開示されている。このＸ線検査装置の外装カバーは、矩形状の平坦面と、平坦面の外周に沿って設けられた立壁状部とを有し、凹状形状に形成されている。外装カバーの凹部に鉛製のＸ線遮蔽部材が嵌め込まれ、金属板によって凹部が塞がれることにより、外装カバー（パネル）にＸ線遮蔽部材が一体的に固定されている。この外装カバーが組み合わされて箱状のＸ線防護箱が構成されている。また、Ｘ線遮蔽部材が一体的に設けられた前面側の外装カバー（前面パネル）は、前面側の外装カバーに形成された開口を通過するように設けられた搬送路を覆うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１３５１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１では、外装カバー（パネル）にＸ線遮蔽部材が一体的に設けられているため、たとえば、外部に露出している前面の外装カバー（前面パネル）に傷がついた場合には、Ｘ線遮蔽部材および金属板ごと外装カバー全体（前面パネル全体）を交換しなければならない。この場合、交換する外装カバー（前面パネル）と一体的に設けられたＸ線遮蔽部材が無駄になるという問題点がある。また、近年では、装置の外観のデザイン性が重要視される傾向にある一方、上記特許文献１のＸ線検査装置では、外装カバーにＸ線遮蔽部材を一体的に嵌め込みＸ線の漏洩を防止する必要があるため、外装カバーのデザインが平坦形状など単純な形状に制限されてしまう。このため、上記特許文献１に記載の技術には、外観デザインの自由度が低いという問題点もある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、外装カバーの交換時にＸ線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能なＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面におけるＸ線検査装置は、検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁と、遮蔽壁に覆われた領域を通り、検査対象物を搬送する搬送路と、遮蔽壁の外側に設けられ、搬送路を覆うとともに遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを備える。
【０００８】
この発明の一の局面によるＸ線検査装置では、上記のように、Ｘ線源を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁と、遮蔽壁の外側に設けられ、搬送路を覆うとともに遮蔽壁を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバーとを設けることによって、外装カバーは、遮蔽壁に対して取り外し可能なように遮蔽壁とは一体化されずに別個に設けられるので、搬送路を覆う外装カバーの形状が制限されることがない。これにより、外観デザインの自由度を向上させることができる。また、外装カバーの交換時にも、遮蔽壁を取り付けたままで新たな外装カバーだけを交換することができるので、外装カバーの交換時にＸ線遮蔽部材が無駄になるのを防止することができる。また、外装カバーを取り付ける前の遮蔽壁のみの状態でＸ線源などの機能テストを行うことができる。
【０００９】
上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁と外装カバーとの間に配置され、外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材をさらに備える。このように構成すれば、カバー取付部材によって外装カバーを容易に取り付けることができるとともに、遮蔽壁を取り付けた状態で取付部材から外装カバーを容易に取り外して交換することができる。
【００１０】
この場合、好ましくは、外装カバーは、天面カバー部材と、側面カバー部材とを含み、カバー取付部材は、天面カバー部材を取り付けるための天面カバー取付部と、側面カバー部材を取り付けるための側面カバー取付部とを含み、天面カバー部材および側面カバー部材は、それぞれ、天面カバー取付部および側面カバー取付部に対して個別に着脱可能に構成されている。このように構成すれば、天面カバー部材と、側面カバー部材とを個別に取り付けることができるので、外装カバーの組付作業を容易にすることができる。また、外装カバーに傷などがついて交換する必要が生じた場合にも、その傷ついた部材（たとえば、側面カバー部材）のみを交換することができる。
【００１１】
上記外装カバーが天面カバー部材と側面カバー部材とを含む構成において、好ましくは、カバー取付部材は、天面カバー取付部を有する第１部材と、側面カバー取付部を有し、第１部材に取り付けられた第２部材とを含む。このように構成すれば、特に装置が大型の場合などに、第１部材と第２部材とを個別に設けることができるので、天面カバー部材および側面カバー部材を取り付け可能なカバー取付部材を容易に形成することができる。
【００１２】
上記カバー取付部材を備える構成において、好ましくは、外装カバーは、遮蔽壁に対して離間した状態で、カバー取付部材に取り付けられている。ここで、Ｘ線遮蔽材には、遮蔽性能の高さから鉛材料が一般的に用いられている一方、鉛の人体への蓄積性の観点から、作業者の鉛材料への接触をなるべく低減することが望まれている。本発明によれば、外装カバーが遮蔽壁から離間するため、遮蔽壁を鉛材料により形成した場合にも、外装カバーに鉛が付着しないとともに、外装カバーの交換作業時に作業者が鉛に接触するのを抑制することができる。
【００１３】
上記カバー取付部材を備える構成において、好ましくは、遮蔽壁を支持する支持フレームをさらに備える。このように構成すれば、支持フレームによって遮蔽壁を容易に取り付けることができる。
【００１４】
この場合、好ましくは、カバー取付部材は、遮蔽壁を介して支持フレームに取り付けられている。このように構成すれば、カバー取付部材を固定するための構造を別途設ける必要がないので、装置の構造を簡素化することができる。また、遮蔽壁が支持フレームに取り付けられていない場合には、カバー取付部材の取り付け位置がずれることになるため、作業者は遮蔽壁が組み付けられていないことに気付きやすく、その結果、支持フレームへの遮蔽壁の組付忘れを防止することができる。
【００１５】
上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁は、複数の板状の壁部材を含み、壁部材は、板部材と、板部材に貼付されたＸ線遮蔽材とを有し、Ｘ線遮蔽材は、板部材に対して外装カバー側に配置されている。このように構成すれば、外装カバーを取り外した状態でＸ線遮蔽材が露出するので、板部材へのＸ線遮蔽材の未貼付を防止することができる。また、装置内部（遮蔽壁の内部）のメンテナンスを行う場合などに、Ｘ線遮蔽材が外側（外装カバー側）に配置されるため、Ｘ線遮蔽材を鉛材料により形成した場合に作業者が内側から鉛に接触するのを抑制することができる。
【００１６】
この場合、好ましくは、複数の壁部材は、隣接する壁部材との境界で互いに重なるように配置されている。このように構成すれば、遮蔽壁を複数の壁部材で構成した場合にも、壁部材の境界（継ぎ目）で壁部材（Ｘ線遮蔽材）が重複するため、Ｘ線の漏洩をより確実に抑制することができる。
【００１７】
上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、遮蔽壁は、箱状形状を有し、外装カバーは、箱状の遮蔽壁を内部に収容可能な箱状形状を有する。このように構成すれば、箱状の遮蔽壁を外部に露出させることなく箱状の外装カバーの内部に収容することができる。これにより、内側の箱状の遮蔽壁と外側の箱状の外装カバーとの二重構造にすることができるので、内側の遮蔽壁では外観デザインを考慮せずに済み、確実なＸ線の遮蔽を図ることができるとともに、外側の外装カバーでは外観のデザイン性に特化した設計を行うことができる。
【００１８】
上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、検査対象物は、回路基板である。このように構成すれば、外装カバーの交換時にＸ線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能な基板検査装置を得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上記のように、外装カバーの交換時にＸ線遮蔽部材が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能なＸ線検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の外観を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の内部を前面側から見た断面図である。
【図３】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の外装カバーおよび遮蔽壁を取り外した状態を模式的に示した斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の外装カバーを取り外した状態を模式的に示した斜視図である。
【図５】図２の領域５００を模式的に示した拡大断面図である。
【図６】図２の領域６００を模式的に示した拡大断面図である。
【図７】壁部材の境界部を模式的に示した拡大断面図である。
【図８】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の遮蔽壁の通気口を模式的に示した断面図である。
【図９】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置を後面側から見た外観図である。
【図１０】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のシャッター部を説明するための斜視図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置を用いた回路基板製造ラインを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態によるＸ線検査装置１００の構造について説明する。
【００２３】
本発明の一実施形態によるＸ線検査装置１００は、電子部品が実装された回路基板（基板Ｐ）（図３参照）を検査対象物とし、基板Ｐ上の電子部品の半田接合状態検査などの各種検査を行う基板検査装置である。なお、基板Ｐは、本発明の「検査対象物」の一例である。以下、本発明の一実施形態によるＸ線検査装置１００の構造について詳細に説明する。
【００２４】
図１および図２に示すように、Ｘ線検査装置１００は、基台１と、基板搬送部２（図２参照）と、Ｘ線源３（図２参照）と、撮像部４（図２参照）と、Ｘ線源３を覆う遮蔽壁５（図２参照）と、遮蔽壁５の外側に設けられた外装カバー６とを主として備えている。なお、基板搬送部２は、本発明の「搬送路」の一例である。
【００２５】
図２に示すように、基台１上には、基板搬送部２と、Ｘ線源３と、撮像部４と、遮蔽壁５とが設置されている。また、基台１の内部には、Ｘ線源３、撮像部４および基板搬送部２を含むＸ線検査装置１００全体の制御を行う制御部１２および電源供給を行う電源部１３などが配置されている。基台１上には、Ｘ方向の両端に配置され、基台１のＹ方向の略全長に渡って延びる一対の支持台１１が配置されている。この一対の支持台１１上には、後述するように、Ｘ線源３を支持する支持梁３１と、遮蔽壁５を取り付けるための支持フレーム５２とが設置されている。
【００２６】
図２および図３に示すように、基板搬送部２は、Ｘ方向に沿って延びる一対のコンベア２１を含んでいる。一対のコンベア２１は、Ｙ方向の両側から基板Ｐを支持してＸ方向に搬送することが可能であるとともに、基板検査時には、図示しないクランプ機構によって、基板Ｐを基台１の上方（Ｚ１方向）の所定位置で保持（固定）することが可能なように構成されている。一対のコンベア２１は、Ｘ方向に延びる一対のガイドレール２２と、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール２３とを介して基台１上に設置されている。一対のコンベア２１は、図示しないＸ軸モータおよびＸ軸ボールねじによってガイドレール２２に沿ってＸ方向に移動可能であり、図示しないＹ軸モータおよびＹ軸ボールねじによってガイドレール２３に沿ってＹ方向に移動可能である。これにより、基板搬送部２（一対のコンベア２１）は、基台１上を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動可能に構成されている。
【００２７】
基板搬送部２は、基板Ｐの搬入時には、コンベア２１のＸ１方向側の端部２１ａを搬入口Ａまで移動させて、外部に設けられた上流側の搬送ライン１０１（図１１参照）から基板Ｐを受け継ぎ、搬出時には、コンベア２１のＸ２方向側の端部２１ｂを搬出口Ｂまで移動させて、下流側の搬送ライン１０１（図１１参照）へ基板Ｐを受け渡すことが可能なように構成されている。このように、基板搬送部２は、遮蔽壁５によって覆われた内部領域を通り、検査対象物である基板Ｐを搬送するように構成されている。また、一対のコンベア２１は、図示しないモータおよびボールねじと、ガイドレールとによって、基板Ｐの大きさに合わせてＹ方向の間隔が可変となっている。
【００２８】
図２に示すように、Ｘ線源３は、基板搬送部２の上方の位置に配置され、下方（Ｚ２方向）に配置された基板Ｐに対してＸ線を照射するように構成されている。Ｘ線源３は、支持梁３１によって支持されており、支持梁３１は、Ｘ方向に延びるとともに両端が一対の支持台１１上に固定されている。
【００２９】
撮像部４は、Ｘ線源３および基板搬送部２の下方の位置に配置され、基板Ｐを透過したＸ線を検出してＸ線像を撮像する機能を有する。撮像部４は、移動機構４１によって、基板搬送部２の下側を水平方向（図３のＸ方向およびＹ方向）に移動可能に構成されている。これにより、基板搬送部２および撮像部４を水平移動させてＸ線源３と基板Ｐと撮像部４との相対位置関係を調節することにより、基板Ｐを真上以外にも斜め方向から撮像することが可能である。
【００３０】
ここで、図４に示すように、本実施形態では、遮蔽壁５は、Ｘ線源３を含む基台１上の領域（図２参照）を覆う略矩形状の箱状形状を有する。遮蔽壁５は、Ｘ線源３から照射されたＸ線の外部への漏洩を防止するため、後述する遮蔽材５０ｂでＸ線源３の周囲を覆ってＸ線を遮蔽するように構成されている。なお、基台１の上面上にも図示しない遮蔽材が設けられており、基台１と遮蔽壁５とによって囲まれた内部空間が遮蔽されている。
【００３１】
遮蔽壁５は、一対の支持台１１上に設置された支持フレーム５２（図３参照）に取り付けられた複数の板状の壁部材５１（壁部材５１ａ〜５１ｃ）によって構成されている。図５に示すように、壁部材５１は、金属板５０ａと、両面接着テープなどで金属板５０ａに貼付された鉛製のシート状の遮蔽材５０ｂとにより構成されている。本実施形態では、遮蔽材５０ｂは、金属板５０ａに対して外側（外装カバー６側）に配置されている。なお、金属板５０ａおよび遮蔽材５０ｂは、それぞれ、本発明の「板部材」および「Ｘ線遮蔽材」の一例である。
【００３２】
図３に示すように、支持フレーム５２は、角型の中空パイプを組み合わせて構成されており、一対の支持台１１上に上方（Ｚ１方向）に延びるように設けられた一対の側部支持フレーム５３と、一対の側部支持フレーム５３上を掛け渡すように設置された上部支持フレーム５４とを含んでいる。
【００３３】
一対の側部支持フレーム５３は、それぞれ、支持台１１の両端から上方に延びる２本の柱部５３ａと、上側梁部５３ｂおよび下側梁部５３ｃとを有している。合計４本の柱部５３ａは、平面的に見て、基台１の四隅の位置に配置されている。側部支持フレーム５３の上側梁部５３ｂは、Ｙ方向に延びるとともに、２本の柱部５３ａの上端を橋渡すように設けられている。また、下側梁部５３ｃは、上側梁部５３ｂと略平行にＹ方向に延びるとともに、２本の柱部５３ａの中央部同士を接続している。これにより、一対の側部支持フレーム５３は、それぞれ、Ｚ方向およびＹ方向に延びる壁状に形成されている。
【００３４】
また、支持フレーム５２の上部支持フレーム５４は、側部支持フレーム５３（上側梁部５３ｂ）の上面上に設けられたＸ方向に延びる複数の横部材５４ａと、各横部材５４ａ同士を接続するＹ方向に延びる縦部材５４ｂとによって、水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に拡がる屋根状に構成されている。支持フレーム５２は、一対の側部支持フレーム５３および上部支持フレーム５４によって、Ｘ線源３や撮像部４を跨いで覆うように形成されている。
【００３５】
図４および図５に示すように、遮蔽壁５の横側面部５ａを構成する壁部材５１ａは、上端が取付金具５５ａを介して支持フレーム５２（上側梁部５３ｂ）に取り付けられ、下端が取付金具５５ｂ（図６参照）を介して支持台１１に取り付けられている。なお、この取付金具５５ａおよび５５ｂによって壁部材５１の取付位置の微調整を行うことが可能である。たとえば、取付金具５５ａは、Ｌ字状で各面にねじ止め用の長穴５５１が形成されている。このため、取付金具５５ａ（すなわち、壁部材５１ａ）の上下方向（Ｚ方向）の取付位置と、壁部材５１の横方向の取付位置とを微調整することができる。なお、壁部材５１の取付位置の微調整のための構造は、他の取付金具５５ｂなどについても同様である。
【００３６】
なお、図３および図４に示すように、遮蔽壁５の前後側面部５ｂを構成する壁部材５１ｂは、上端および下端が、それぞれ、図示しない取付金具を介して支持フレーム５２（横部材５４ａ）および基台１にねじで取り付けられている。また、図４および図５に示すように、遮蔽壁５の上面部５ｃを構成する壁部材５１ｃは、支持フレーム５２の上部支持フレーム５４（横部材５４ａおよび縦部材５４ｂ）にねじで取り付けられている。なお、上記の壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）の取り付けには、たとえばヘックスローブねじ（ねじ頭が６角星形のねじ）などの異形ねじを用いることにより他の部材の固定用ねじと区別され、誤って壁部材５１のねじが弛められることがないように構成されている。
【００３７】
また、本実施形態では、これらの壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）は、隣接する壁部材５１との境界（継ぎ目）で互いに重なるように構成されている。たとえば横側面部５ａの壁部材５１ａと、上面部５ｃの壁部材５１ｃとの境界（図５参照）では、壁部材５１ｃの端部Ｅ１が下方（Ｚ２方向）に向けて折り曲げられており、壁部材５１ａの端部Ｅ２とオーバーラップするように構成されている。また、横側面部５ａの壁部材５１ａ同士や、上面部５ｃの壁部材５１ｃ同士の境界などでは、図７に示すように、一方の端部Ｅ３が折れ曲がって内側に入り込み、他方の端部Ｅ４がその外側に配置されてオーバーラップするように構成されている。
【００３８】
また、図４および図８に示すように、遮蔽壁５の上面部５ｃには、通気口５ｄ（図４参照）が形成され、通気口５ｄを覆うように換気用のファン５６（図８参照）が内部側に取り付けられている。ファン５６は、開口５７ａの形成された外側ケース５７と、周壁５８ａを有する内側ケース５８との内部に収納されている。外側ケース５７の内面には、鉛製の遮蔽部材５７ｂが貼付されている。また、内側ケース５８の周壁５８ａの外面には、鉛製の遮蔽部材５８ｂが貼付されており、外側ケース５７の遮蔽部材５７ｂと内側ケース５８の遮蔽部材５８ｂとがオーバーラップするように配置されている。このため、通気口５ｄに向けて入射するＸ線は、外側ケース５７の遮蔽部材５７ｂにより遮蔽され、外側ケース５７の開口５７ａから入射したＸ線は、内側ケース５８の遮蔽部材５８ｂによって遮蔽される。一方、外側ケース５７の開口５７ａから流入した空気は、外側ケース５７と内側ケース５８との間を通ってファン５６に到達し、通気口５ｄから外部に排気されるように構成されている。
【００３９】
図１および図２に示すように、外装カバー６は、箱状の遮蔽壁５を内部に収容可能なように遮蔽壁５よりも一回り大きい箱状形状を有する。なお、外装カバー６には、Ｘ線を遮蔽するための遮蔽材５０ｂ（および金属板５０ａ）は設けられていない。また、外装カバー６は、遮蔽壁５とは別体で設けられ、図４に示すように、遮蔽壁５が取り付けられた状態で取り外し可能に構成されている。
【００４０】
外装カバー６は、カバー取付部材６２および６３に取り付けられた複数の板状のカバー部材（側面カバー部材６１ａ、６１ｂおよび天面カバー部材６１ｃ）（図１参照）により構成されている。カバー取付部材６２および６３は、遮蔽壁５と外装カバー６との間に配置されており、複数のカバー部材（側面カバー部材６１ａ、６１ｂおよび天面カバー部材６１ｃ）は、それぞれカバー取付部材（６２または６３）に対して個別に着脱可能に取り付けられている。また、図２に示すように、外装カバー６は、遮蔽壁５（遮蔽材５０ｂ）に対して離間した状態で、カバー取付部材６２および６３に取り付けられている。なお、カバー取付部材６２および６３は、それぞれ、本発明の「第１部材」および「第２部材」の一例である。
【００４１】
詳細には、カバー取付部材６２は、Ｘ方向に延びるように形成され、遮蔽壁５の上面部５ｃ上にねじで固定されている。図４および図５に示すように、カバー取付部材６２は、平坦な第１取付部６２ａおよび第２取付部６２ｂと、第１取付部６２ａと第２取付部６２ｂとを接続する接続部６２ｃとを含んでいる。カバー取付部材６２の第１取付部６２ａは、遮蔽壁５（上面部５ｃの壁部材５１ｃ）を介して支持フレーム５２（上部支持フレーム５４）にねじ止めされている。つまり、壁部材５１ｃとカバー取付部材６２とがボルト６５によって支持フレーム５２に共締めされることにより、それぞれ支持フレーム５２に支持されている。また、第２取付部６２ｂには、外装カバー６の天面６ｃを構成する天面カバー部材６１ｃがねじにより着脱可能に取り付けられている。これにより、外装カバー６の天面６ｃ（天面カバー部材６１ｃ）が、カバー取付部材６２を介して支持フレーム５２に固定されている。なお、第２取付部６２ｂは、本発明の「天面カバー取付部」の一例である。
【００４２】
カバー取付部材６３は、Ｙ方向（図４参照）に延びる断面Ｌ字形の部材（Ｌアングル）であり、カバー取付部材６２のＸ方向の両端に取り付けられている。具体的には、カバー取付部材６２の端部Ｅ５が遮蔽壁５（上面部５ｃ）よりもＸ方向の両側に突出するように形成されており、この突出部分で、カバー取付部材６３の第１部分６３ａが第１取付部６２ａに下面側から取り付けられている。そして、第１部分６３ａから下方に延びる第２部分６３ｂに、外装カバー６の横側面（Ｘ方向の両側面）６ａを構成する側面カバー部材６１ａがボルト６６で着脱可能にねじ止めされている。これにより、外装カバー６の横側面６ａ（側面カバー部材６１ａ）が、カバー取付部材６３およびカバー取付部材６２を介して支持フレーム５２に固定されている。また、側面カバー部材６１ａの下端部は、基台１に取り付けられた取付金具６４（図６参照）に着脱可能にねじ止めされている。なお、第２部分６３ｂは、本発明の「側面カバー取付部」の一例である。
【００４３】
また、図１および図９に示すように、Ｘ線検査装置１００の前面１００ａおよび後面１００ｂには、スライド式の開閉扉７および８がそれぞれ設けられており、装置内部を開放および閉鎖することが可能である。これらの開閉扉７および８は、それぞれ、外表面の外装部材７ａ（８ａ）と、内面側に配置されたＸ線を遮蔽する遮蔽部材（図示せず）とを含み、外装部材７ａ（８ａ）が開閉扉７（８）にねじ固定されている。このため、これらの開閉扉７および８は、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５の一部として機能するとともに、外装カバー６の一部として機能するように構成されている。また、開閉扉７および８は、それぞれ、開放される際に外装カバー６と遮蔽壁５との間（隣接する側面カバー部材６１ｂと壁部材５１ｂとの間）の隙間に入り込むように構成されている。また、開閉扉７には、２つの開閉検知スイッチ７１および７２（図４参照）が設けられ、開閉扉８には、２つの開閉検知スイッチ８１および８２（図９参照）が設けられている。これらの開閉検知スイッチ（７１、７２、８２および８３）には、たとえば磁気検出方式の非接触スイッチなどが用いられる。
【００４４】
開閉検知スイッチ７１および８１は、開閉扉７（８）の開放を検知した場合にＸ線源３からのＸ線の照射を停止（禁止）するためのスイッチであり、開閉検知スイッチ７２および８２は、開閉扉７（８）の開放を検知した場合に基板搬送部２などの可動機構の作動を停止（禁止）するためのスイッチである。これにより、メンテナンス時に開閉扉７（８）が開かれると、Ｘ線源３からのＸ線の照射および基板搬送部２などの作動が禁止されるように構成されている。
【００４５】
また、図２に示すように、Ｘ線検査装置１００の左右側面１００ｃには、それぞれ、搬入口Ａおよび搬出口Ｂを開閉するためのシャッター部９が設けられている。図４および図６に示すように、シャッター部９は、遮蔽壁５（横側面部５ａ）の下側部分を構成するコンベア遮蔽部５９の開口５９ａ（図６参照）を覆うようにして、コンベア遮蔽部５９に取り付けられている。具体的には、コンベア遮蔽部５９は、基台１上で横側面部５ａと連続するように設置された遮蔽側板５９１と、遮蔽側板５９１に取り付けられた遮蔽側板５９２と、遮蔽側板５９２に取り付けられたコンベア遮蔽板５９３とを含んでいる。コンベア遮蔽部５９は、遮蔽側板５９１と、遮蔽側板５９２と、コンベア遮蔽板５９３とによって、支持台１１の側面に設けられた開口１１ａ（図６参照）を取り囲んで覆うように設けられている。これらの遮蔽側板５９１（５９２）およびコンベア遮蔽板５９３は、外表面の外装部材５９ｂと、外装部材５９ｂの内側に貼付された鉛製の遮蔽部材５９ｃとを有している。また、図１０に示すように、開口５９ａは、一対のコンベア２１に対応する大きさの矩形状に形成されており、コンベア遮蔽板５９３に設けられている。この開口５９ａを介して基板搬送部２（一対のコンベア２１）による基板Ｐの搬入出が可能となっている。
【００４６】
シャッター部９は、コンベア遮蔽板５９３に内側からねじ固定された枠状のベース部９１と、ベース部９１のＹ方向両端部に設けられた上下方向（Ｚ方向）に延びる一対のガイド部９２（９３）と、開口５９ａを閉鎖するためのシャッター９４と、エアシリンダからなる開閉機構９５とを含んでいる。図６に示すように、シャッター９４は、外表面の外装部材９４ａと、外装部材９４ａの内側に貼付された鉛製の遮蔽部材９４ｂとを有している。また、図１０に示すように、開閉機構９５は取付部材９５ａを介してベース部９１に固定されており、シャッター９４を上下方向に昇降可能に構成されている。これにより、開閉機構９５を駆動させてシャッター９４を一対のガイド部９２（９３）に沿って上下に昇降させることによって、開口５９ａを開閉することが可能となっている。このため、外装カバー６にも開口６ｄが形成されており、シャッター９４が開口６ｄを介して外部に露出している。また、シャッター部９には、シャッター９４の開放を検出する開閉検知スイッチ９６が設けられており、シャッター９４の開放が検知されるとＸ線の照射が停止されるように構成されている。
【００４７】
本実施形態によるＸ線検査装置１００は、搬送ラインによって基板を搬送しながら電子部品の実装回路基板の製造を行う回路基板製造ラインを構成する装置群の一部として使用することが可能である。
【００４８】
例えば、図１１に示す回路基板製造ライン２００では、電子部品実装前の基板Ｐを保持するローダー１０２から搬送ライン１０１に基板Ｐが送り出され、印刷機１０３による基板Ｐ上へのペースト半田印刷工程、表面実装機１０４による基板Ｐ上への部品実装工程、および、リフロー炉１０５により半田を溶融させて部品を基板Ｐ上の電極部に接合するリフロー工程が順次行われた後、Ｘ線検査装置１００に実装済みの基板Ｐが搬送される。実装済みの基板Ｐが搬入口Ａを介して搬送ライン１０１から基板搬送部２に受け渡されると、Ｘ線検査装置１００では、Ｘ線を用いて実装済みの基板Ｐが撮像され、各部品の半田接合状態などが検査される。その後、搬出口Ｂを介して基板搬送部２から搬送ライン１０１に基板Ｐが受け渡され、光学検査装置１０６に搬入される。光学検査装置１０６では、可視光を用いた部品実装状態の外観検査が行われ、これらの検査工程の終了後、基板Ｐが搬送ライン１０１からアンローダー１０７に受け渡されて回路基板の製造が完了する。
【００４９】
本実施形態では、上記のように、Ｘ線源３を覆うように設けられ、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５と、遮蔽壁５の外側に設けられ、基板搬送部２を覆うとともに遮蔽壁５を取り付けた状態で取り外し可能な外装カバー６とを設けることによって、外装カバー６は、遮蔽壁５に対して取り外し可能なように遮蔽壁５とは一体化されずに別個に設けられるので、基板搬送部２を覆う外装カバー６の形状が制限されることがない。これにより、外観デザインの自由度を向上させることができる。また、外装カバー６の交換時にも、遮蔽壁５を取り付けたままで新たな外装カバー６だけを交換することができるので、外装カバー６の交換時に遮蔽材５０ｂ（Ｘ線遮蔽部材）が無駄になるのを防止することができる。また、外装カバー６を取り付ける前の遮蔽壁５のみの状態でＸ線源などの機能テストを行うことができる。
【００５０】
また、本実施形態では、外装カバー６を取り付けるためのカバー取付部材６２（６３）を遮蔽壁５と外装カバー６との間に設けることによって、カバー取付部材６２（６３）によって外装カバー６を容易に取り付けることができるとともに、遮蔽壁５を取り付けた状態でカバー取付部材６２（６３）から外装カバー６を容易に取り外して交換することができる。
【００５１】
また、本実施形態では、カバー取付部材６２に天面カバー部材６１ｃを取り付けるための第２取付部６２ｂを設けるとともに、カバー取付部材６３に側面カバー部材６１ａを取り付けるための第２部分６３ｂを設け、天面カバー部材６１ｃおよび側面カバー部材６１ａを、それぞれ、第２取付部６２ｂおよび第２部分６３ｂに対して個別に着脱可能に構成することによって、天面カバー部材６１ｃと、側面カバー部材６１ａとを個別に取り付けることができるので、外装カバー６の組付作業を容易にすることができる。また、外装カバー６に傷などがついて交換する必要が生じた場合にも、その傷ついた部材（たとえば、側面カバー部材６１ａ）のみを交換することができる。
【００５２】
また、本実施形態では、第２取付部６２ｂを有するカバー取付部材６２と、第２部分６３ｂを有し、カバー取付部材６２に取り付けられたカバー取付部材６３とを設けることによって、特にＸ線検査装置１００が大型の場合などに、カバー取付部材６２とカバー取付部材６３とを個別に設けることができるので、天面カバー部材６１ｃおよび側面カバー部材６１ａを取り付け可能なカバー取付部材を容易に形成することができる。
【００５３】
また、本実施形態では、外装カバー６を、遮蔽壁５に対して離間した状態でカバー取付部材６２（６３）に取り付けることによって、外装カバー６が遮蔽壁５から離間するため、遮蔽壁５の遮蔽材５０ｂの鉛が外装カバー６に付着しないとともに、外装カバー６の交換作業時に作業者が鉛に接触するのを抑制することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、遮蔽壁５を支持する支持フレーム５２を設けることによって、支持フレーム５２により遮蔽壁５を容易に取り付けることができる。
【００５５】
また、本実施形態では、カバー取付部材６２を、遮蔽壁５（上面部５ｃ）を介して支持フレーム５２に取り付けることによって、カバー取付部材６２を固定するための構造を別途設ける必要がないので、Ｘ線検査装置１００の構造を簡素化することができる。また、図５に示すように、遮蔽壁５（上面部５ｃ）が支持フレーム５２に取り付けられていない場合には、カバー取付部材６２の取り付け位置が上面部５ｃの厚み分だけ下方にずれることになる。したがって、遮蔽壁５（上面部５ｃ）を取り付けておかないと、カバー取付部材６２に固定されたカバー取付部材６３のボルト６６の取付孔の位置も上面部５ｃの厚み分だけ下方にずれることになり、側面カバー部材６１ａを適正位置に取り付けることができなくなる。このため、作業者は遮蔽壁５（上面部５ｃ）が組み付けられていないことに気付きやすく、その結果、支持フレーム５２への遮蔽壁５（上面部５ｃ）の組付忘れを防止することができる。
【００５６】
また、本実施形態では、遮蔽壁５の壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）を、金属板５０ａと、金属板５０ａに貼付された遮蔽材５０ｂとにより構成し、遮蔽材５０ｂを、金属板５０ａに対して外装カバー６側に配置することによって、外装カバー６を取り外した状態で遮蔽材５０ｂが露出するので、金属板５０ａへの遮蔽材５０ｂの未貼付などのエラーを防止することができる。また、Ｘ線検査装置１００の内部（遮蔽壁５の内部）のメンテナンスを行う場合などに、作業者が内側から遮蔽材５０ｂの鉛に接触するのを抑制することができる。
【００５７】
また、本実施形態では、複数の壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）を、隣接する壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）との境界で互いに重なるように配置することによって、壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）の境界（継ぎ目）で壁部材５１（５１ａ〜５１ｃ）（遮蔽材５０ｂ）が重複するため、Ｘ線の漏洩をより確実に抑制することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、遮蔽壁５を箱状形状に形成するとともに、外装カバー６を、箱状の遮蔽壁５を内部に収容可能な箱状形状に形成することによって、箱状の遮蔽壁５を外部に露出させることなく箱状の外装カバー６の内部に収容することができる。これにより、内側の箱状の遮蔽壁５と外側の箱状の外装カバ６ーとの二重構造にすることができるので、内側の遮蔽壁５では外観デザインを考慮せずに済み、確実なＸ線の遮蔽を図ることができるとともに、外側の外装カバー６では外観のデザイン性に特化した設計を行うことができる。
【００５９】
また、本実施形態では、検査対象物を回路基板（基板Ｐ）であるＸ線検査装置１００に本発明を適用することによって、外装カバー６の交換時に遮蔽材５０ｂ（Ｘ線遮蔽部材）が無駄になるのを防止し、かつ、外観デザインの自由度を向上させることが可能な基板検査装置を得ることができる。
【００６０】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００６１】
たとえば、上記実施形態では、回路基板を検査するためのＸ線検査装置（基板検査装置）１００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板以外の物品を検査対象物とするＸ線検査装置に本発明を適用してもよい。
【００６２】
また、上記実施形態では、回路基板製造ライン２００を構成するＸ線検査装置１００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板製造ラインの外部に設けられ、単独で使用されるＸ線検査装置（基板検査装置）に本発明を適用してもよい。
【００６３】
また、上記実施形態では、Ｘ線源のみを備えたＸ線検査装置を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可視光源および撮像部をさらに設け、Ｘ線検査と可視光による外観検査との両方を実行可能に構成してもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、外装カバーを複数の板状のカバー部材（側面カバー部材６１ａ、６１ｂおよび天面カバー部材６１ｃ）により構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、外装カバーを単一の部材によって構成してもよい。この他、外装カバーを半分に分割した前面カバーおよび背面カバーなどにより外装カバーを構成してもよい。
【００６５】
また、上記実施形態では、遮蔽壁を複数の壁部材によって構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽壁を単一の部材によって構成してもよい。
【００６６】
また、上記実施形態では、壁部材５１を構成する遮蔽材５０ｂを、金属板５０ａに対して外側（外装カバー６側）に配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽材を金属板に対して内側に配置してもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、遮蔽壁の壁部材を、隣接する壁部材同士の境界（継ぎ目）で互いに重なるように配置した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、隣接する壁部材同士の境界（継ぎ目）を別途遮蔽材で覆う構成、または、隣接する壁部材同士で別途設けた遮蔽材を挟み込む構成としてもよい。また、隣接する壁部材同士が隙間なく密着するように構成してもよい。
【００６８】
また、上記実施形態では、遮蔽壁を支持する支持フレームを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば箱状に形成した遮蔽壁を、支持フレームを用いることなく基台上に設置してもよい。
【００６９】
また、上記実施形態では、遮蔽壁と外装カバーとの間に、外装カバーを取り付けるためのカバー取付部材を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、箱状の外装カバーを、カバー取付部材を用いることなく基台上に設置してもよい。
【００７０】
また、上記実施形態では、カバー取付部材６２と、カバー取付部材６２に取り付けられるカバー取付部材６３とを設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、カバー取付部材６２と６３とを一体的に形成してもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、カバー取付部材６２が遮蔽壁５（上面部５ｃ）を介して支持フレーム５２に取り付けられるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、カバー取付部材６２と遮蔽壁５（上面部５ｃ）とを個別に支持フレーム５２に取り付けてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、外装カバーを遮蔽壁に対して離間するように設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、外装カバーと遮蔽壁とが接触していてもよい。
【符号の説明】
【００７３】
２  基板搬送部（搬送路）
３  Ｘ線源
５  遮蔽壁
６  外装カバー
５０ａ  金属板（板部材）
５０ｂ  遮蔽材（Ｘ線遮蔽材）
５１  壁部材
５２  支持フレーム
６１ａ  側面カバー部材
６１ｃ  天面カバー部材
６２  カバー取付部材（第１部材）
６２ｂ  第２取付部（天面カバー取付部）
６３  カバー取付部材（第２部材）
６３ｂ  第２部分（側面カバー取付部）
１００  Ｘ線検査装置
Ｐ  基板（検査対象物、回路基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013122404.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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