(57)【要約】      （修正有）【課題】余分な表示領域を割り当てること無く、夏時間・標準時間を容易に識別可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理のための各種情報を表示する操作画面を備えた表示部と、基板処理に関するデータに添付される時刻データが夏時間であるか標準時間であるかを識別表示するよう制御する表示制御部とを備えた操作部を少なくとも含む基板処理装置であって、前記表示制御部は、基板処理に関するデータに添付される時刻データが、前記夏時間であれば反転属性で前記操作画面に表示させ、前記標準時間であれば通常属性で表示させる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理のための各種情報を表示する操作画面を備えた表示部と、基板処理に関するデータに添付される時刻データが夏時間であるか標準時間であるかを識別表示するよう制御する表示制御部とを備えた操作部を少なくとも含む基板処理装置であって、前記表示制御部は、基板処理に関するデータに添付される時刻データが、前記夏時間であれば反転属性で前記操作画面に表示させ、前記標準時間であれば通常属性で表示させることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作部端末における画面操作性の向上を図るための方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置のコントローラの構成を挙げると、被処理体である基板等に所定の処理を施すためのプロセス制御を行うコントローラと、キャリア、ウェーハ（基板）やボートを搬送制御するコントローラと、これらを統括制御するコントローラがある。その中でも操作部は統括制御コントローラに含まれる。また、操作部は、バルブ、ポンプ、ガス、ヒータのそれぞれの状態や、キャリア、シリンダや軸といった可動部の状態や、これらの動作を検出するセンサーの状態をモニタ表示することや、プロセス制御や搬送制御を行うために必要なパラメータを編集するといったヒューマンインターフェースを司る役割を担っている。
【０００３】
操作部の画面には非常に多くの画面が存在しており、表示する時刻を季節に応じて自動的に切り替えて表示するものが存在する。夏時間の適用期間は、地域毎に定められており、表示中の日時からも判別は可能であるが、半導体製造装置は、生産の為の各種情報（上記モニタ情報やログ情報）と共に経過時間や処理時刻を表示する必要がある。その場合、図４に示すように、複数の日時を一目で識別することは容易ではない。そのため、夏時間・標準時間の識別表示として、従来から種々の手段が存在する。
【０００４】
図５は、時刻の末尾に夏時間と標準時刻を示す略字(ＤＳＴ/ＳＴＤ)を付記した場合、夏時間表示の為、表示エリアを割り当てるとその他の表示情報が減ってしまう状況の画面表示例を図示したものである。このように、従来の表示方式により、夏時間と標準時間を２つ併記し、時刻の末尾に夏時間と標準時刻を示す略字(ＤＳＴ/ＳＴＤ)を付記し、その他、時刻の表示領域とは別に、夏時間、標準時間を示すアイコンを表示すると、他の情報の表示が制限されてしまう。
【０００５】
このように、従来において、夏時間の為に余分に表示領域を割り当てる必要があり、画面上の表示領域が限られている半導体製造装置においては、他の情報の表示が制限されるという欠点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、余分な表示領域を割り当てること無く、夏時間・標準時間を容易に識別可能な基板処理装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板処理のための各種情報を表示する操作画面を備えた表示部と、基板処理に関するデータに添付される時刻データが夏時間であるか標準時間であるかを識別表示するよう制御する表示制御部とを備えた操作部を少なくとも含む基板処理装置であって、前記表示制御部は、基板処理に関するデータに添付される時刻データが、前記夏時間であれば反転属性で前記操作画面に表示させ、前記標準時間であれば通常属性で表示させることにある。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、余分な表示領域を割り当てること無く、夏時間・標準時間を容易に識別することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の基板処理装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の基板処理装置を示す側断面図である。
【図３】本発明の基板処理装置に於ける制御系を示すブロック図である。
【図４】夏時間・標準時間の識別表示を行わない場合、夏時間と標準時間の識別が困難な状況の画面表示例を図示したものである。
【図５】従来方式による夏時間・標準時間の時刻の表示例である。
【図６】本発明による夏時間・標準時間の時刻の表示例である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
図１には、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図２には、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ２００を処理する。
【００１１】
図１及び図２に示されているように、基板処理装置１０では、ウエハ２００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下ポッドという）１１０が使用されている。また、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１１を備えている。
【００１２】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。尚、図示しないが、上側の正面メンテナンス扉１０４近傍に副操作部としての副操作装置５０が設置される。主操作部としての主操作装置１６は、背面側のメンテナンス扉近傍に配置される。
【００１３】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が基板処理装置本体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００１４】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１５】
基板処理装置本体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００１６】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１７】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウ
エハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００１８】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００１９】
図１に模式的に示されているように、耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２０】
また、図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
【００２１】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、基板処理装置本体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００２２】
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図１及び図２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって基板処理装置本体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００２３】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００２４】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハをボート２１７に装填する。
【００２５】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００２６】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００２７】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。
【００２８】
次に、図３を参照して、基板処理装置１０における主コントローラ１４を中心としたハードウエア構成について説明する。
図３に示されるように、基板処理装置１０の基板処理装置本体１１１内に、主コントローラ１４、スイッチングハブ１５とあわせて、搬送制御部２３０と、プロセス制御部２３２とが設けられている。搬送制御部２３０とプロセス制御部２３２とは、基板処理装置本体１１１内に設けることに替えて、基板処理装置本体１１１外に設けてもよい。
【００２９】
主制御部としての主コントローラ１４は、主操作部としての主操作装置１６と、例えば、ビデオケーブル２０を用いて接続されている。なお、主コントローラ１４と主操作装置１６とをビデオケーブル２０を用いて接続することに替えて、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４と主操作装置１６とを接続してもよい。
また、主コントローラ１４は、図示しない外部操作装置と、例えば、通信ネットワーク４０を介して接続される。このため、外部操作装置は、基板処理装置１０から離間した位置に配置することが可能である。例えば、基板処理装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合であっても、外部操作装置はクリーンルーム外の事務所等に配置することが可能である。また、主コントローラ１４には、外部記憶装置としての記録媒体であるＵＳＢフラッシュメモリ等の装着及び取外しを行う着脱部としてのポート１３が設けられている。
【００３０】
主操作装置１６は、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されている。主操作装置１６は、この実施形態のように基板処理装置本体１１１に装着するようにして、基板処理装置１０と一体として固定する。ここで、主操作装置１６が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に主操作装置１６が配置されていることをいう。例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。
主操作装置１６は主表示装置１８を有する。主表示装置１８は、例えば、液晶表示パネルであり、主表示装置１８には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。操作画面を介して、基板処理装置１０内で生成される情報を表示させ、表示された情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
【００３１】
副操作装置５０は副表示装置５２を有する。主表示装置１８と同様、副表示装置５２は、例えば、液晶表示パネルであり、副表示装置５２には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。副表示装置５２で表示される操作画面は、主表示装置１８で表示される操作画面と同様の機能を有する。したがって、基板処理装置１０内で生成される各種情報が表示され、この情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
【００３２】
搬送制御部２３０は、例えばＣＰＵ等からなる搬送系コントローラ２３４を有し、プロセス制御部２３２は、例えばＣＰＵ等からなるプロセス系コントローラ２３６を有する。搬送系コントローラ２３４とプロセス系コントローラ２３６とは、スイッチングハブ１５を介して、主コントローラ１４にそれぞれ接続されている。
【００３３】
また、図３に示されるように、主操作装置１６内には、主表示装置１８の表示を制御するため等に用いられる主表示制御部２４０が設けられている。主表示制御部２４０は、例えば、ビデオケーブル２０を用いて、主コントローラ１４に接続されている。
【００３４】
また、図３に示されるように、副操作装置５０内には、副表示装置５２の表示を制御するため等に用いられる副表示制御部２４２が設けられている。なお、副表示制御部２４２は、図示された形態に限らず、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４に接続されてもよい。  
【００３５】
次に、図６を用いて、本発明の実施例を説明する。図６は、本発明による画面の時刻表示例を図示したものである。図６では、時刻の夏時間・標準時間を容易に識別できるよう、画面の時刻の文字色、背景色または表示属性(反転)を切り替えて表示している。このように、夏時間を反転属性、標準時間を通常属性で表示することによって、余分な表示領域を割り当てること無く、夏時間・標準時間を容易に識別可能となる。
【００３６】
以上のように、本実施の形態において、生産情報ファイル一覧画面により説明したが、本画面に寄らず、種々の画面でも同様に適用される。例えば、基板処理に関するデータのトレンドチャート表示や、障害情報ファイル一覧画面、ロギングデータファイル一覧画面、キーログ一覧画面を行う画面についても適用できる。要するに、操作画面上に日時を表示する際には、常に本発明による方式が適用できる。
【００３７】
又、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置の様なガラス基板を処理する装置にも適用でき、縦型基板処理装置だけではなく、枚葉式の基板処理装置や横型の処理炉を有する基板処理装置にも適用できる。更に、露光装置やリソグラフィ装置、塗布装置等の他の基板処理装置に対しても同様に適用できるのは言う迄もない。
【符号の説明】
【００３８】
１０            基板処理装置
１６            主操作装置(操作部)
１８            主表示装置(表示部)
２００          ウエハ
２４０          主表示制御部(表示制御部)
【図１】
2013187228.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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