(57)【要約】【課題】後加工が不要なエアフィルタを提供する。【解決手段】エアフィルタ１０は、フィルタパック１１と、フィルタパック１１を保持するフィルタ枠１２を有しており、このフィルタ枠１２には、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔからフィルタパック１１の下流側にエアを導く通気用の配管２０が予め取り付けられ、通気用の配管２０は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに位置された始端部２１と、フィルタパック１１の下流に達する終端部２３と、始端部２１と終端部２３を結ぶ中間部２２を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグザグ状に折り畳んだろ材の折畳空間を間隔保持してパック状にしたフィルタパックと、前記フィルタパックを保持するフィルタ枠を有するエアフィルタであって、
前記フィルタ枠には、前記フィルタパックの上流側のエア取入面から前記フィルタパックの下流側に向かってエアを導く通気用の配管が設けられていることを特徴とするエアフィルタ。
【請求項２】
前記通気用の配管は、前記フィルタパックの前記上流側のエア取入面に位置された始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有することを特徴とする請求項１に記載のエアフィルタ。
【請求項３】
前記通気用の配管の前記中間部を、前記フィルタ枠の側面部に沿って固定する留め具を有することを特徴とする請求項２に記載のエアフィルタ。
【請求項４】
前記フィルタ枠の側面部には、貫通穴が形成されており、前記通気用の配管は、前記中間部を前記貫通穴に通すことで前記側面部に固定されていることを特徴とする請求項２に記載のエアフィルタ。
【請求項５】
前記通気用の配管の前記終端部は、前記フィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出していることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載のエアフィルタ。
【請求項６】
前記フィルタ枠には、前記エアフィルタの捕集効率を測定するための試験用のパーティクルを、前記フィルタパックの前記上流側の前記エア取入面に供給するためのパーティクル供給用の配管が設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のエアフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バリデーションに用いられるエアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば医薬品製造分野で使用されるクリーンルームには、エアフィルタが使用されている。このような製造分野のクリーンルームでは、バリデーションに対応するために、エアフィルタを使用している状態で、エアフィルタがパーティクルを捕集していることを確認するため、捕集効率、漏れが無きことを測定する必要がある。このバリデーションとは、医薬品製造分野の製造設備及びプロセスに関して、予め定めた仕様書と品質特性に基づいて製品を生産することを保証して、その記録を残すことである。これにより、エアフィルタの製造不良やエアフィルタの取り付け不良等が発生していないことをチェックして、医薬品製造におけるクリーンルーム内の環境基準を保つようにしている。
【０００３】
この種のエアフィルタは、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されているエアフィルタは、エアを通す方向とは交差する側方向に突出したフィルタ受枠を内部にもつフィルタ装置を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８８３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上述したエアフィルタを取り付ける際に、フィルタ装置内のフィルタ取付枠に穴を形成し、スモーク発生用配管と吸引用配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという現場での後加工作業が必要であり、その後加工作業が手間であり、エアフィルタの効率測定のためには作業コストがかかっていた。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、後加工が不要で簡単に取り付けることができるエアフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のエアフィルタは、ジグザグ状に折り畳んだろ材の折畳空間を間隔保持してパック（一固まり）にしたフィルタパックと、前記フィルタパックを保持するフィルタ枠を有するエアフィルタであって、前記フィルタ枠には、前記フィルタパックの上流側のエア取入面から前記フィルタパックの下流側に向かってエアを導く通気用の配管が設けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管がフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場において配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
【０００７】
好ましくは、前記通気用の配管は、前記フィルタパックの前記上流側のエア取入面に位置された始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の始端部は、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを取り込んで、中間部と終端部を通じて、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを、フィルタパックの下流側に確実に送り込むことができる。
【０００８】
好ましくは、前記通気用の配管の前記中間部を、前記フィルタ枠の側面部に沿って固定する留め具を有することを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部に対して留め具を用いて取り付けるだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。
【０００９】
好ましくは、前記フィルタ枠の側面部には、貫通穴が形成されており、前記通気用の配管は、前記中間部を前記貫通穴に通すことで前記側面部に固定されていることを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部の貫通穴に通すだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。
【００１０】
好ましくは、前記通気用の配管の前記終端部は、前記フィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出していることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の終端部がフィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出しているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置及びフィルタを例えばクリーンルームに取り付けた場合に、通気用の配管の終端部をクリーンルームの作業室内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタのパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパックの上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管を通じて作業室内の測定器側に対して確実に導くことができる。
好ましくは、前記フィルタ枠には、前記エアフィルタの捕集効率を測定するための試験用のパーティクルを、前記フィルタパックの前記上流側の前記エア取入面に供給するためのパーティクル供給用の配管が設けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管を通じてエアフィルタの上流側のエア取入面に確実に供給でき、パーティクル供給用の配管が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、後加工が不要で簡単に効率測定することができるエアフィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のエアフィルタの好ましい実施形態を備えるクリーンルームの例を示す図である。
【図２】図２（Ａ）は、エアフィルタを斜め上方向から見た斜視図であり、図２（Ｂ）は、エアフィルタを斜め下方向から見た斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は、エアフィルタの側面図であり、図３（Ｂ）は、エアフィルタ１０の平面図であり、図３（Ｃ）は、エアフィルタの別の側面図である。
【図４】本発明の別の実施形態を示し、図４（Ａ）は、別の実施形態のエアフィルタの側面図であり、図４（Ｂ）は、別の実施形態のエアフィルタの平面図であり、図４（Ｃ）は、別の実施形態のエアフィルタの別の側面図である。
【図５】本発明とは異なる比較例を示す図である。
【図６】本発明のさらに別の実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図１は、本発明のエアフィルタの第１の実施形態を備えるクリーンルームの例を示している。図１に示すクリーンルーム１は、本体部２と、外気取入機３と、送風ファン４と、エアフィルタ１０からなるファンフィルタユニット１Ｃを有している。
【００１４】
本体部２は、作業室５と、ファンフィルタユニット１Ｃと、リターンエアＲＡ通路６と、上流側気流通路７を有している。送風ファン４とエアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に配置されている。送風ファン４は上流側気流通路７の下流側に配置され、エアフィルタ１０は送風ファン４の下流側において着脱可能に取り付けられている。
図１に示すリターンエア通路６は、作業室５の横側部分において上下方向に配置されており、上流側気流通路７は、作業室５の上側部分において水平方向に配置されている。リターンエア通路６の上流側は、作業室５の下部側の循環口９に接続されている。リターンエア通路６の下流側と上流側気流通路７の上流側は、給気口８の付近で接続されている。上流側気流通路７の下流側は、ファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４に接続されている。作業室５の下部は、排出エアＥＡを排出するための排出口９Ｂを有する。
【００１５】
図１に示すエアフィルタ１０は、作業室５の上部のファンフィルタユニット１Ｃにおいて交換可能に設けられている。図示しない制御部が外気取入機３とファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４を駆動することで、外気取入機３は、外気を処理した後にサプライエアＳＡとして給気口８に供給する。これにより、サプライエアＳＡは、リターンエアＲＡと混合されて上流側気流となりファンフィルタユニット１Ｃのエアフィルタ１０によりろ過した後に、作業室５内に下流側気流として供給することができるようになっている。
パーティクル発生器１００は、例えば、給気口８ＤからサプライエアＳＡとリターンエアＲＡと混合された上流側気流に対して、ファンフィルタユニット１Ｃのエアフィルタ１０の捕集効率を測定するための試験用の所定濃度のパーティクルを供給する。これにより、上流側気流通路７を通る上流側気流には、所定濃度のパーティクルを混ぜるようになっている。このパーティクルとしては、例えば直径が０．３μｍの粒子あるいは０．１５μｍの粒子を用いている。
具体的には、発生粒子の種類としては、ＰＳＬ(ポリスチレン)粒子、ＤＯＰ(粒子、ＤＯＳ粒子などである。
発生方法としては、加圧噴霧法、蒸気凝縮法などが挙げられる。
【００１６】
図１の例では、作業室５内に、上流側のパーティクル測定器１１０と、下流側のパーティクル測定器１２０が、エアフィルタ１０のパーティクルの捕集効率を測定するために配置されている。
上流側のパーティクル測定器１１０は、エアフィルタ１０の上流側における所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０の下流側の作業室５内において、下流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。すなわち、上流側のパーティクル測定器１１０は、作業室５内に入る前の上流側気流中のパーティクルの個数を測定する。下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０を通過して作業室５内に入った下流側気流中のパーティクルの個数を測定する。
【００１７】
次に、図２と図３を参照して、図１に示すエアフィルタ１０の構造例を説明する。
図２は、図１に示すエアフィルタの構造例を示しており、図２（Ａ）は、エアフィルタを斜め上方向から見た斜視図であり、図２（Ｂ）は、エアフィルタを斜め下方向から見た斜視図である。図３（Ａ）は、エアフィルタ１０の側面図であり、図３（Ｂ）は、エアフィルタ１０の平面図であり、図３（Ｃ）は、エアフィルタ１０の別の側面図である。
図２と図３に示すエアフィルタ１０は、フィルタパック１１と、フィルタ枠１２と、通気用の配管２０を有している。このフィルタ枠１２は、例えばアルミニウム製であり、４つの側面部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを有している例えば正方形状の枠体である。フィルタ枠１２の側面部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、フィルタパック１１の４つの側面を、それぞれ図示しないが側面部１２Ａ，１２Ｂはフィルタパック１１との間をウレタン樹脂シール剤で気密にシールしている。また、側面部１２Ｃ，１２Ｄは、フィルタパック１１のろ材端部を接着剤で気密にシールしている。
図２に示すように、側面部１２Ａと側面部１２Ｃは、それぞれ２つの突出面部１３，１４と、これらの間に形成された凹んだ中間面部１５を有している。突出面部１３，１４と、凹んだ中間面部１５は長方形状の部分である。
【００１８】
図２と図３に示すフィルタパック１１は、例えばＨＥＰＡフィルタと呼ばれる高性能フィルタであり、例えばエンボスタイプのフィルタ、ノンセパレータタイプのフィルタ、あるいはセパレータタイプのフィルタを採用することができる。
エンボスタイプのフィルタは、セパレータを用いるのに代えてシート状のろ材に対してエンボスを形成することで、折り曲げたろ材の間を開けている。ノンセパレータタイプのフィルタは、ろ材を折り曲げた状態でリボン状のホットメルト接着材を用いて固定している。セパレータタイプのフィルタは、折り曲げたろ材の間に波形セパレータを配置している。ろ材としては、例えば合成繊維材や、ガラス繊維材、あるいはＰＴＦＥ(ポリテトラフルオロエチレン)等のフィルムを不織布で挟んだものを使用することができる。セパレータとしては、アルミ箔や紙などを使用することができる。図２と図３に示すフィルタパック１１としては、一例としてセパレータタイプのフィルタを採用している。
【００１９】
図２と図３に示すように、通気用の配管２０は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａ側に設けられている。すなわち、通気用の配管２０とフィルタ枠１２は一体化されている。この通気用の配管２０は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側からフィルタパック１１の下流側の作業室５内へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くためのエアの別経路である。通気用の配管２０は、ほぼＬ字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図２（Ａ）と図３（Ａ）に示すように、通気用の配管２０の始端部２１は、上流側のエア取入面１１Ｔに対して平行に設けられ、通気用の配管２０の始端部２１の途中部分は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの突出面部１３に形成された貫通穴１３Ｈを通っている。
【００２０】
図２に示すように、通気用の配管２０の中間部２２は、通気用の配管２０の始端部２１に対して直角に曲げられており、側面部１２Ａの突出面部１３，１４に沿って下方向に伸びている。この中間部２２は、突出面部１３，１４に対して、それぞれ金属製の留め具２４により固定されている。
この留め具２４の形状例は、図２（Ａ）に拡大して示している。図２（Ａ）に示すゴム製の介在具２５は中間部２２を通している。留め具２４はこの介在具２５を保持しており、留め具２４はねじ２６を用いて、側面部１２Ａの突出面部１３，１４にそれぞれ固定されている。これにより、通気用の配管２０の中間部２２は、留め具２４を用いて側面部１２Ａの突出面部１３，１４に沿って下方向に伸びるようにして固定されている。介在具２５があることで、金属の中間部２２と金属の留め具２４が互いに直接当たるのを防ぐことで、振動や騒音の発生を防止している。
【００２１】
通気用の配管２０の終端部２３は、図３（Ａ）と図３（Ｃ）に示すように、側面部１２Ａの突出面部１４からさらに所定の突出長さＬＰだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管２０の始端部２１から取り込まれて、中間部２２を通り、そして終端部２３からフィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって、しかも図１に示す作業室５内において、確実に供給することができる。これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、エアフィルタ１０のフィルタパック１１を通さずに、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって、しかも図１に示す作業室５内に直接供給することができる。
ここで、パーティクルの捕集測定精度を考慮すると、通気用の配管２０始端部２１の開口径もしくは開口面積と、終端部２３の各開口径もしくは開口面積は同径もしくは同面積とすることが好ましい。
【００２２】
次に、上述した本発明の実施形態のエアフィルタ１０について行うパーティクルの捕集効率の測定例について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、エアフィルタ１０は、送風ファン４の下部であって、作業室５の天井のファンフィルタユニット１Ｃ内に取付けられている。この際、１人の測定作業者Ｍは、作業室５内において、エアフィルタ１０の通気用の配管２０の終端部２３を、上流側のパーティクル測定器１１０の導入管１１１に対して着脱可能に接続する。下流側のパーティクル測定器１２０の導入管１２１は、作業室５内の下流側気流を直接サンプリングするためにエアフィルタ１０に向けて上向きに設けられている。
【００２３】
図示しない制御部が、図１の外気取入機３とファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４を駆動し、しかも送風ファン４が駆動することで、外気取入機３は、外気をフィルタ処理した後にサプライエアＳＡとして給気口８に供給する。図示しない制御部が、パーティクル発生器１００を駆動すると、パーティクル発生器１００は、給気口８の付近の供給口８Ｄを通じて試験用の所定濃度のパーティクルを、上流側気流通路７内の上流側気流に供給して、所定濃度のパーティクルを上流側気流に混ぜる。
送風ファン４の送風により、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、上流側気流通路７から、図２に示すエアフィルタ１０のフィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔを通り、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓから、下流側気流として作業室５内へ吹き出される。吹き出された下流側気流は、作業室５の下部側の排気口９からリターンエア通路６を経て上流側気流通路７に戻される。下流側気流の一部は、排出口９Ｂから排出エアＥＡとして作業室５の外に排出される。
【００２４】
上述したように所定濃度のパーティクルを含む上流側気流がエアフィルタ１０に供給された状態で、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、図２（Ａ）に示す通気用の配管２０の始端部２１、中間部２２、終端部２３、そして上流側のパーティクル測定器１１０の導入管１１１を通じて、図１に示す上流側のパーティクル測定器１１０においてサンプリングされる。
一方、エアフィルタ１０から図１の作業室５内に吹き出された下流側気流は、下流側のパーティクル測定器１２０の導入管１２１を通じて、下流側のパーティクル測定器１２０においてサンプリングされる。
【００２５】
図１に示すように、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０は、作業室５内において並べて配置できるので、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作は、１人の測定作業者が同時に行うことができる。このように、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する測定作業者は１人で済むので、複数人の測定作業者を必要とする場合に比べて、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する作業コストの低減が図れる。
なお、捕集効率の式は以下のように示される。
(捕集効率)（％）＝{１−（下流側パーティクル数）/(上流側パーティクル数)}×１００ここで、パーティクル数は整数なので分母の上流側の値が小さいと、測定不可（測定精度が悪い）である。
上流側のパーティクル測定器１１０は、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクル数をカウントするとともに、下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０から吹き出された作業室５内の下流側気流中のパーティクル数をカウントする。そして、上流側のパーティクル測定器１１０がカウントした上流側気流中のパーティクル数と、下流側のパーティクル測定器１２０がカウントした下流側気流中のパーティクル数と、を比較する。これにより、エアフィルタ１０が捕集できるパーティクルの捕集効率を測定することができる。この捕集効率を測定した結果、エアフィルタ１０のフィルタパック１１によるパーティクルの捕集効率(除去効率)が、例えば９９．９７％以上であれば、エアフィルタ１０の製造不良やエアフィルタ１０の取り付け不良が生じていないと判断することができる。
【００２６】
上述したエアフィルタ１０の製造段階で、通気用の配管２０がフィルタ枠１２の側面部１２Ａに予め取り付けられており、通気用の配管２０がフィルタ枠１２は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要となる。したがって、エアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに対して後加工作業を行う必要が無い。
また、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０を作業室５内に並べて配置すればよいので、１人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０による測定操作を行うことができる。
【００２７】
図４は、本発明のエアフィルタの別の実施形態を示している。図４（Ａ）は、エアフィルタ１０Ａの側面図であり、図４（Ｂ）は、エアフィルタ１０Ａの平面図であり、図４（Ｃ）は、エアフィルタ１０Ａの別の側面図である。このエアフィルタ１０Ａは、図１から図３に示すエアフィルタ１０と同様にして、図１に示すクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に配置することができる。図４に示すエアフィルタ１０Ａの構造は、図２と図３に示すエアフィルタ１０の構造とほぼ同じであるので、同様の箇所には同じ符号を付して、重複する説明を省略し、以下、相違点を中心に述べる。
【００２８】
図４に示す通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａ側に配置されて、一体化されている。この通気用の配管２０Ａは、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側からフィルタパック１１の下流側へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くための経路である。通気用の配管２０は、ほぼＬ字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図４に示すように、通気用の配管２０Ａの始端部２１は、上流側のエア取入面１１Ｔに対して平行に設けられている。
【００２９】
通気用の配管２０Ａの中間部２２は、通気用の配管２０Ａの始端部２１に対して直角に曲がっている。この中間部２２は、側面部１２Ａの突出面部１３，１４の各貫通穴１３Ｈ１、１４Ｈを通ることで下方向に伸び、フィルタ枠１２に対して予め一体的に固定されている。
通気用の配管２０Ａの終端部２３は、図４（Ａ）と図４（Ｃ）に示すように、側面部１２Ａの突出面部１４からさらに所定の突出長さＬＰだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管２０Ａの始端部２１から取り込まれて、中間部２２を通り、そして終端部２３からフィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって作業室５内に確実に排出できる。
【００３０】
上述したエアフィルタ１０Ａの製造段階で、通気用の配管２０Ａがフィルタ枠１２の側面部１２Ａの貫通穴１３Ｈ、１４Ｈに通すことで予め取り付けられており、通気用の配管２０がフィルタ枠１２は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内で、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要である。したがって、エアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに対して後加工作業を行う必要が無い。
【００３１】
図４に示すエアフィルタ１０Ａは、図２と図３に示すエアフィルタ１０に比べると、通気用の配管２０の留め具２４と介在具２５の使用が不要であるので、エアフィルタを構成するための部品点数を減らすことができる。しかも、通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの貫通穴１３Ｈ、１４Ｈに通すことで予め取り付けられているので、通気用の配管２０Ａがフィルタ枠１２の側面部１２Ａの外側には飛び出していない。このため、図４に示すエアフィルタ１０Ａの外寸法は、図２と図３に示すエアフィルタ１０の外寸法Ｂに比べてより小さくすることができ、エアフィルタ１０の小型化が図れる。
【００３２】
図５は、本発明の範囲外である比較例を示している。
図５に示す比較例では、通常のエアフィルタ２００のフィルタパック２１１によるパーティクルの捕集効率を測定する様子を示している。
すでに説明したように、図１に示す本発明の実施形態では、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０は作業室５内に並べて配置すればよいので、１人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作を行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。
【００３３】
これに対して、図５の比較例では、上流側のパーティクル測定器３１０は、クリーンルーム３０１のファンフィルタユニット３０１Ｃ付近に配置され、下流側のパーティクル測定器３２０は、作業室３０５内に配置されている。上流側のパーティクル測定器３１０は、作業室３０５の上方に位置されている。このため、上流側のパーティクル測定器３１０と下流側のパーティクル測定器３２０とは離れていることから、１人の測定作業者だけでは上流側のパーティクル測定器３１０と下流側のパーティクル測定器３２０を同時に測定操作することができない。このことから、上流側のパーティクル測定器３１０には１人の測定作業者Ｍ１が必要であり、下流側のパーティクル測定器３２０には別の１人の測定作業者Ｍ２が必要となってしまう。したがって、測定作業時のコストが上昇してしまう。
【００３４】
従来のエアフィルタでは、作業者がクリーンルームの上部分に入って、フィルタ装置のフィルタ受枠に穴開けをして配管をこのフィルタ装置のフィルタ受枠の穴に後付け作業で通す。エアフィルタは側方に突出したフィルタ装置のフィルタ受枠を有しているので、エアフィルタをクリーンルームに装着する際には、必要となる占有スペースが大きいまた、クリーンルームの上部の壁部分にも、施工現場において配管を通すための穴を開けるための後加工作業の必要があり、その後加工作業にはコストがかかる。
これに対して、本発明の実施形態では、エアフィルタを製造する際に、予めフィルタ枠に対して通気用の配管を一体化して設けるので、エアフィルタをクリーンルームのファンフィルタユニットにおいて単に取り付けるだけで済むので、現場対応で別途配管を追加して取り付ける後加工作業が不要である。
【００３５】
本発明の実施形態のエアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）は、フィルタパック１１と、フィルタパック１１を保持するフィルタ枠１２を有する。そして、フィルタ枠１２には、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔからフィルタパック１１の下流側にエアを導く通気用の配管２０が予め取り付けられている。このため、フィルタ受枠に対する後加工が不要で簡単に取り付けることができる。すなわち、通気用の配管２０がフィルタ枠１２に予め取り付けられているので、エアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）を取り付ける施工現場において工事をして配管を別途取り付ける後加工作業が不要となり、エアフィルタは例えばクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に簡単に取り付けることができる。
【００３６】
通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに位置された始端部２１と、フィルタパック１１の下流に達する終端部２３と、始端部２１と終端部２３を結ぶ中間部２２を有する。このため、通気用の配管２０の始端部２１は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側のエアを取り込んで、中間部２２と終端部２３を通じて、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側のエアを、フィルタパック１１の下流側に確実に送り込むことができる。
【００３７】
図２と図３に示すように、通気用の配管２０の中間部２２を、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに沿って固定する留め具２４を有する。このため、通気用の配管２０は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに対して簡単に固定することができ、通気用の配管２０を備えたエアフィルタ１０の製造が簡単である。
図４に示すように、フィルタ枠１２の側面部１２Ａには、貫通穴１３Ｈ，１４Ｈが形成されており、通気用の配管２０Ａは、中間部２２を貫通穴１３Ｈ１，１４Ｈに通すことで側面部に固定されている。このため、通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに対して簡単に固定することができ、通気用の配管２０Ａを備えたエアフィルタ１０Ａの製造が簡単である。
【００３８】
図３と図４に示すように、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）の終端部２３は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの下端よりさらに突出している。このため、エアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）を、図１に示す例えばクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに取り付けた場合に、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）の終端部２３をクリーンルーム１の作業室５内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）のパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパック１１の上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）を通じて作業室５内の測定器１１０側に対して確実に直接導くことができる。
【００３９】
次に、本発明のエアフィルタの第２の実施形態を、図６に示すクリーンルーム１Ａを参照して説明する。図６に示すエアフィルタ５１０を備えるクリーンルーム１Ａの箇所が、図１に示すエアフィルタ１０を備えるクリーンルーム１の対応する箇所と同様な場合には、同じ符号を記して、重複する説明を省略する。
第２の実施形態は、次の場合に有効である。
すなわち、エアフィルタのパーティクル捕集性能を測定する際に、上流側パーティクル数が不足していることがある。
このため、十分な上流側パーティクル数を確保するには、粒子を上流側において意図的に発生させる必要がある。しかし、通常、エアフィルタにおいては、パーティクル捕集性能の測定を想定していないため、パーティクル発生器を設けても、ここで発生させる粒子をダクトに供給できる穴が予め設けられているものではない。
そこで第１の実施形態のパーティクル測定器における上流側のパーティクル測定するためのパイプと同様に、エアフィルタの上流側でパーティクル発生器により生成した粒子を供給するパイプをさらに追加して設置できれば、ダクト加工の手間が省け、また、発生も測定と一括でコントロールできるという利点がある。
図６に示すクリーンルーム１Ａに適用されているエアフィルタ５１０の構造は、図１に示すクリーンルーム１Ａに適用されているエアフィルタ１０の構造とは、ほぼ同じ構造ではあるが、パーティクル供給用の配管５２０がフィルタ枠１２の側面部１２Ｃに対して固定されている点で異なる。エアフィルタ５１０は、作業室５の上部のファンフィルタユニット１Ｃにおいて交換可能に設けられている。パーティクル発生器１００は、作業室５内に配置されている。
【００４０】
このエアフィルタ５１０は、通気用の配管２０とは別のパーティクル供給用の配管５２０を有している。このパーティクル供給用の配管５２０は、パーティクル発生器１００から試験用の所定濃度のパーティクルを、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに供給するために設けられている。
パーティクル供給用の配管５２０は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに位置された始端部５２１と、フィルタパック１１の下流に達する終端部５２３と、始端部５２１と終端部５２３を結ぶ中間部５２２を有する。パーティクル供給用の配管５２０の始端部５２１は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側で開放されている。終端部５２３は、パーティクル発生器１００の導入管５１１に対して着脱可能に接続されている。
【００４１】
パーティクル発生器１００から供給される試験用の所定濃度のパーティクルは、導入管５１１と終端部５２３と中間部５２２を通じて、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに供給して、フィルタパック１１を通じて、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓから作業室５内に送り込むことができる。
図６に示すように、パーティクル供給用の配管５２０の中間部５２２は、フィルタ枠１２の側面部１２Ｃに沿って固定する留め具２４を有する。このため、パーティクル供給用の配管５２０は、留め具２４を用いてフィルタ枠１２の側面部１２Ｃに対して簡単に固定することができ、パーティクル供給用の配管５２０を備えたエアフィルタ１０の製造が簡単である。
【００４２】
以上説明したように、図６に示すエアフィルタ５１０は、通気用の配管２０に加えて、パーティクル供給用の配管５２０を予め備えている。これにより、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管５２０を通じてエアフィルタ５１０の上流側のエア取入面１１Ｔに確実に供給できる。パーティクル供給用の配管５２０が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタ５１０を組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管５２０を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
また、パーティクル発生器１００は、作業室５内に配置することができる。これにより、上流側のパーティクル測定器１１０と、下流側のパーティクル測定器１２０と、そしてパーティクル発生器１００は、作業室５内に並べて配置すれば良い。このため、１人の測定作業者だけで、パーティクル発生器１００の操作と、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作とを行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。
【００４３】
（変形例）
図６の第２の実施形態において、配管５２０の始端部５２１は、図示の場合、水平に曲げられている。
しかし、始端部５２１をさらに図６において縦方向にして、上流側気流と対向させるように９０度曲げてもよい（図示せず）。これによりパーティクル供給用の配管５２０から供給される粒子は、上流側気流と対向して噴射されることにより、エアフィルタ上流側でより広い範囲に適切に拡散する。これにより、供給されたパーティクルはろ材全体に拡散するので、エアフィルタのパーティクル捕集テストをより正確に行うことができる。
【００４４】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば、通気用の配管としては、断面が円形のチューブもしくはパイプを用いているが、これに限らず通気用の配管の断面形状は、他の断面形状、例えば楕円形、正方形、長方形等であっても良い。
通気用の配管の内寸法は、始端部、中間部、終端部にかけて同じである。しかしこれに限らず、通気用の配管の始端部、中間部、終端部は、異なる内寸法であっても良い。
通気用の配管は、エアフィルタのフィルタ枠に対して接着剤により固定しても良い。フィルタ枠の形状や、フィルタパックの形状は、図示例に限定されず、施工現場に応じて任意の形状を選択することができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略してもよく、あるいは異なる実施形態の一部の構成同士を組み合わせることもできる。
【符号の説明】
【００４５】
１・・・クリーンルーム、１Ｃ・・・ファンフィルタユニット、２・・・本体部、３・・・外気取入機、４・・・送風ファン、５・・・作業室、６・・・リターンエア通路、７・・・上流側気流通路、１０，１０Ａ・・・エアフィルタ、１１・・・フィルタパック、１１Ｔ・・・フィルタパックの上流側のエア取入面、１１Ｓ・・・フィルタパックの下流側のエア排出面、１２・・・フィルタ枠、１２Ａ・・・フィルタ枠の側面部、１３Ｈ，１４Ｈ・・・貫通穴、２０，２０Ａ・・・通気用の配管、２１・・・通気用の配管の始端部、２２・・・通気用の配管の中間部、２３・・・通気用の配管の終端部、２４・・・留め具、１１０・・・上流側のパーティクル測定器、１２０・・・下流側のパーティクル測定器、５１０・・・エアフィルタ、５２０・・・パーティクル供給用の配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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