(57)【要約】【課題】従来の画像評価方法では、特定の観察条件下でのぼけ量や特定の試料を観察したときのぼけ量しか求めることができず、観察条件や試料に依存するぼけ量を所望の観察条件または試料において正確に求めることはできなかった。本発明の目的は、任意の観察条件において任意の試料を観察する場合であっても画像のぼけ量を正確に評価することにある。【解決手段】本発明の走査型電子顕微鏡は、その演算装置によって、第一の倍率および前記第一の倍率より高い第二の倍率においてそれぞれ撮影された画像の周波数特性を比較して前記第二の倍率における前記画像のぼけ量を求めることを特徴とする。【選択図】  図３
2013251212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を試料上で集束する光学系と、前記荷電粒子線を前記試料上で走査するように偏向する偏向器と、走査位置から発生する二次粒子を検出する検出器と、前記検出器の信号から画像を生成する画像入力装置と、画像の周波数特性を計算する演算装置を備えた走査型電子顕微鏡であって、
前記演算装置は、前記偏向器を制御することで第一の倍率および前記第一の倍率より高い第二の倍率においてそれぞれ撮影された画像の周波数特性を比較して前記第二の倍率における前記画像のぼけ量を求めることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記第二の倍率で焦点調整を行い、前記第二の倍率における画像を取得し、その後に、前記焦点調整で決められた焦点条件と同じ焦点条件で前記第一の倍率における画像を取得することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記ぼけ量に応じた量だけ予め設定された基準図形をぼかす画像処理を行う画像処理部と、
前記画像処理が行われた基準図形を表示する表示部とを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項４】
請求項３に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記基準図形または前記基準図形の輪郭線と、前記画像処理が行われた基準図形とを合わせて表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項５】
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記ぼけ量を用いて前記第二の倍率における画像から前記ぼけ量を取り除く画像処理をする画像処理部を有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項６】
請求項１に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記第一の倍率における画像から求められた周波数特性を保存する記憶部を有し、
前記演算装置は、前記記憶部から読み出された周波数特性と、前記第二の倍率における画像から求められた周波数特性とを比較することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
【請求項７】
電子線を試料上で集束して走査することで得られた画像を評価する画像評価方法であって、
第一の倍率および前記第一の倍率より高い第二の倍率においてそれぞれ撮影された画像の周波数特性を比較して前記第二の倍率における前記画像のぼけ量を求めることを特徴とする画像評価方法。
【請求項８】
請求項７に記載の画像評価方法において、
前記第一の倍率における画像は、前記第二の倍率における画像の後に取得されたものであって、かつ、前記第二の倍率の取得のときの焦点調整で決められた焦点条件と同じ焦点条件で取得されたものであることを特徴とする画像評価方法。
【請求項９】
請求項７に記載の画像評価方法において、
前記ぼけ量に応じた量だけ予め設定された基準図形をぼかす画像処理を行った基準図形を表示することを特徴とする画像評価方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の画像評価方法において、
前記基準図形または前記基準図形の輪郭線と、前記画像処理が行われた基準図形とを合わせて表示することを特徴とする画像評価方法。
【請求項１１】
請求項７に記載の画像評価方法において、
前記ぼけ量を用いて前記第二の倍率における画像から前記ぼけ量を取り除く画像処理を行うことを特徴とする画像評価方法。
【請求項１２】
請求項７に記載の画像評価方法において、
前記第一の倍率における画像から求められた周波数特性を保存し、
前記保存された周波数特性と、前記第二の倍率における画像から求められた周波数特性とを比較することを特徴とする画像評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡における観察技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
汎用走査型電子顕微鏡は、様々な条件下で任意の試料を観察及び分析する装置である。汎用走査型電子顕微鏡に限らず、走査型電子顕微鏡によって撮影された画像は、試料上で走査を行うビーム径の大きさに起因したぼけが生じる。この画像のぼけを定量的に評価する方法として、画像の周波数特性からぼけ量を計算する方法が知られている。
【０００３】
本技術分野の背景技術として、特開２０１０−４０３８１号公報（特許文献１）がある。この公報には、「〜ビーム傾斜時の走査スポットのボケを抽出し、目的とする試料の傾斜画像を、抽出した傾斜時のスポットでデコンボリューションすることにより、試料の高分解能傾斜画像を得る。〜」と記載されている。また特開平１１−２２４６４０号公報（特許文献２）がある。この公報には、「〜電子顕微鏡の分解能、解像度を、金蒸着試料を用いて、電子顕微鏡による撮像結果を周波数解析等の手段で定量的に評価することにより、異なる電子顕微鏡間の性能差や経時変化を正確に把握することが可能となる。〜」と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−４０３８１号公報（ＵＳ２０１０／００３３５６０）
【特許文献２】特開平１１−２２４６４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
走査型電子顕微鏡（以下ＳＥＭと呼ぶ）で撮影した画像に対する従来のぼけ量計算方法においては、以下のような課題がある。
【０００６】
特許文献１では、試料の真上からの画像を理想画像として、この理想画像に対する特定の傾斜角におけるボケ量を求めており、同一の観察条件での理想画像が必要であった。このため、観察条件をある条件から変えたときには実際のぼけ量が変わってしまうという課題がある。
【０００７】
また、特許文献２では、周波数特性によるぼけ量算出は金蒸着粒子等の同一種類の試料のみ計算可能である。このため、任意試料の観察が可能である汎用走査型電子顕微鏡を使用した観察において、種類や構造の異なる試料を観察する場合、試料によって周波数特性が異なり、ぼけ量の算出結果が変動しまう。
【０００８】
以上のように、従来の画像評価方法では、特定の観察条件下でのぼけ量や特定の試料を観察したときのぼけ量しか求めることができず、観察条件や試料に依存するぼけ量を所望の観察条件または試料において正確に求めることはできなかった。
【０００９】
本発明の目的は、上記課題を解決するべく、任意の観察条件において任意の試料を観察する場合であっても画像のぼけ量を正確に評価することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
走査型電子顕微鏡の演算装置は、第一の倍率および前記第一の倍率より高い第二の倍率においてそれぞれ撮影された画像の周波数特性を比較して前記第二の倍率における前記画像のぼけ量を求めることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、任意の観察条件において任意の試料を観察する場合であっても画像のぼけ量を正確に評価することが可能となる。
【００１２】
上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】走査型電子顕微鏡の概略図の一例である。
【図２−１】画像から周波数特性を求めるシーケンスの一実施例である。
【図２−２】画像から周波数特性を求める方法の説明図である。
【図３】実施例１におけるぼけ量の算出を行うシーケンスである。
【図４】実施例２におけるぼけ量の算出を行うシーケンスである。
【図５−１】実施例３におけるぼけ量をＧＵＩに提示するシーケンスの一例である。
【図５−２】実施例３におけるぼけ量をＧＵＩに提示するシーケンスの一例である。
【図５−３】実施例３におけるぼけ量を提示するＧＵＩの一例である。
【図６】実施例４におけるぼけ量を用いて画像処理を行うシーケンスである。
【図７−１】実施例５における基準となるぼけ量を取得し保存するシーケンスである。
【図７−２】実施例５における基準となるぼけ量と比較することで画像の定量評価を行うシーケンスである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係る実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１５】
本発明は、電子顕微鏡の分解能、解像度を、倍率の異なる撮影結果から周波数解析等の手段で定量的に評価することにより、試料構造の影響を受けずに、装置の状態や経時変化を正確に把握するものである。これは特に多種の試料を多様な条件で観察を行う汎用走査型電子顕微鏡において、試料による影響を受けることなく、観察の正確性を評価することができる。
【００１６】
なお、以下では走査型電子顕微鏡の例について説明するが、本発明はこれに限定されることなく、電子線等の荷電粒子線を用いて試料の画像を取得する荷電粒子線装置一般に適用可能である。例えば透過電子顕微鏡や走査透過電子顕微鏡、走査イオン顕微鏡に適用可能である。また、走査型電子顕微鏡を応用した検査装置または計測装置にも適用可能である。
【００１７】
図１は本発明の一実施形態であるＳＥＭの基本構成の一例である。
【００１８】
ＳＥＭには、例えば、倍率制御部及び焦点調整部を有する制御装置１１０、周波数解析部、閾値判定部、周波数−ぼけ量変換部、画像処理部を有する演算装置１１２、およびその結果を表示する表示モニタ等の表示部１１３が接続されており、これらを含んでＳＥＭと称することもある。これらは回路基板によりハードウェアとして構成されてもよいし、プログラムの一部としてソフトウェアとして構成されてもよい。また、ソフトウェアとして構成される場合にはこれらは別々のコンピュータで実行されてもよい。なお、図１には簡単のため、代表的な制御線のみを示しているが、それぞれの部材および、処理プログラム、装置は相互に接続されているものとする。
【００１９】
電子銃１０１から一次電子ビーム１０２が発生し、この一次電子ビーム１０２を第一コンデンサレンズ１０３および第二コンデンサレンズ１０４に通し、偏向ユニット１０５によって偏向し、更に対物レンズ１０６に通すことにより、試料１０８の表面に集束する。電子ビームの焦点制御は制御装置１１０の焦点調整部によって対物レンズ１０６を制御することで行う。偏向ユニット１０５によって集束された電子ビームを偏向し、試料１０８の表面を走査する。電子銃１０１、第一コンデンサレンズ１０３、第二コンデンサレンズ１０４、偏向ユニット１０５、対物レンズ１０６等を総称して、電子線を試料に集束して照射するための光学系を電子光学系と呼ぶ。
【００２０】
電子ビームの走査位置から発生する二次電子または反射電子等の二次粒子を検出器１０７により検出し、画像入力装置１１１によって、画像として構成される。画像入力装置１１１では電子線の照射位置と検出器１０７で得られた信号量を対応付けて、画像を生成する。制御装置１１０の倍率制御部よって偏向ユニット１０５を制御し、電子ビームの走査範囲を変更することで、倍率の制御が可能である。移動ステージ１０９を動かすことにより、任意の試料位置で画像の撮影が可能である。
【００２１】
検出器１０７は例えば二次電子を多く検出する二次電子検出器と、反射電子を多く検出する反射電子検出器のように、複数の検出器があっても良い。また、電子光学系は上記の例に限られず、図示しないレンズや電極等が含まれていてもよい。
【００２２】
取得した画像の周波数演算や、閾値判定および周波数−ぼけ量変換は演算装置１１２によって行う。ぼけ量の計算結果は表示部１１３によって表示される。これらの処理は各実施例において詳しく後述する。
【００２３】
本明細書において「観察条件」とは、倍率の他、ステージの傾斜角や、一次電子ビームの加速電圧、二次電子／反射電子等の検出信号、等を含むものとする。
【００２４】
図２−１に、画像の周波数特性を用いてぼけ量を定量的に求める方法の一実施例を示す。
【００２５】
まず、２０１のステップで画像を取得する。これは、例えば、前述したＳＥＭによって行う。
【００２６】
次に、２０２のステップで、得られた画像を用いてフーリエ変換を実施することで、周波数特性を求める。この処理は演算装置１１２に含まれる周波数解析部が行う。この周波数特性を求めるための画像としては、撮影された画像を加工せずに使用しても良いし、ぼけ部分のみに注目し、試料構造の影響を更に低減するために、撮影された画像に対し微分フィルタ等のエッジ検出フィルタをかけた画像を使用しても良い。
【００２７】
次に、２０３のステップで、予め定められた閾値を用いて周波数特性を数値化する。この処理は演算装置１１２に含まれる閾値判定部が行う。この処理について、図２−２を用いて具体的に説明する。図２−２の（ａ−１）は低倍率での撮影画像２０６であり、（ａ−２）はこの低倍率画像における空間周波数をグラフに表したものである。また、図２−２の（ｂ−１）は高倍率での撮影画像２０７であり、（ｂ−２）はこの高倍率画像における空間周波数をグラフに表したものである。（ａ−２）（ｂ−２）はステップ２０２によって求められる。予め所定の閾値を設定しておき、この閾値に対応する周波数ｆ１，ｆ２を求める。ぼけ量が大きいほど低周波数成分が多いため、ｆ１よりｆ２のほうが小さくなる。
【００２８】
次に、２０４のステップで数値化された周波数を画像上の長さに変換する。この処理は演算装置１１２に含まれる周波数−ぼけ量変換部が行う。具体的には、図２−２で、周波数ｆ１，ｆ２から実空間に対応する長さｒ１，ｒ２を求める。ｆ１＞ｆ２なので、ｒ１＜ｒ２となる。
【００２９】
最後に、２０５のステップで計算した結果を出力する。
【実施例１】
【００３０】
図３は高倍率のＳＥＭ画像の周波数特性と低倍率のＳＥＭ画像の周波数特性を比較して定量的にぼけ量を求める方法の一実施例である。より具体的には、低倍率及び高倍率で撮影した少なくとも２枚の画像についてフーリエ変換等の手法で周波数解析し、周波数特性を比較することで、低倍率画像を基準とした高倍率画像のぼけ量を求める。
【００３１】
まず、３０１のステップで高倍率画像を撮影する。撮影は前述したようにＳＥＭを用いて行われる。次に３０２のステップで周波数特性を計算する。周波数特性の計算は図２−１のステップ２０２〜２０５で説明したように行われる。
【００３２】
同様に、低倍率においても３０３のステップで低倍率画像が撮像され、３０４のステップでその周波数特性が計算される。
【００３３】
なお、本実施例では高倍率画像を先に取得するか、低倍率画像を先に取得するかは問わない。すなわち、ステップ３０１，３０２とステップ３０３，３０４はどの順番で行われてもよいし、並列に行われてもよい。ただし、観察条件によってぼけ量が変動するので、高倍率画像取得時と低倍率画像取得時で、倍率以外の観察条件は変えないのが望ましい。
【００３４】
次に３０５のステップで、高倍率画像の周波数特性と、低倍率画像の周波数特性を比較して、両者に差があるか否かを判断する。ここで、比較は図２−２で示したようにある閾値に対応する周波数のｆ１，ｆ２を直接比較しても良いし、それらを実空間での長さに変換したｒ１，ｒ２を比較しても良い。一般的にぼけ量は低倍率画像のほうが小さいので、低倍率画像から得られた周波数特性を基準にして高倍率画像の周波数特性を評価することになる。
【００３５】
最後に、ステップ３０５で差があると判断された場合には、３０６のステップでその差分をぼけ量として出力する。一方、ステップ３０５で差がないと判断された場合には、３０７のステップでぼけ量は０であると出力する。なお、ここでは差の有無で判断を分岐させたが、例えば差が一定値以下の場合にはぼけ量なしと判断し、差が一定値以上の場合にはその差分から求めたぼけ量を出力するようにしてもよい。
【００３６】
本実施例において、上述した高倍率に相当する倍率を観察に必要な倍率に設定することで、倍率以外の観察条件を変えることなく、観察対象試料に対してぼけ量を求めることができるので、従来に比べてより正確なぼけ量を求めることができる。
【実施例２】
【００３７】
本実施例は、高倍率のＳＥＭ画像の周波数特性と低倍率のＳＥＭ画像の周波数特性を比較して定量的にぼけ量を求める方法の一実施例であり、更に精度良くぼけ量を求める方法を述べる。本実施例は、より具体的には、高倍率で焦点調整をして撮像した後に同じ焦点条件で低倍率画像を取得し、２つの画像の周波数特性を比較してぼけ量を求める例である。なお、以下で、実施例１と共通する部分については説明を省略する。
【００３８】
図４の４０１のステップにて先に高倍率のＳＥＭ画像を表示する。ステップ４０２にて高倍率の状態で、精度良く焦点調整を実施する。ステップ４０３、４０４は実施例１のステップ３０１、３０２と同様である。次に４０５のステップにおいて、４０２のステップにて調整した状態のまま、低倍率画像の撮影を行う。これにより、４０５のステップで撮影する画像は高倍率で焦点調整されているため、ぼけの少ない、鮮鋭な画像の取得が可能となる。また、低倍率の画像と高倍率の画像の焦点距離の条件が一致しているため、差分をとった場合に焦点距離の影響を受けず、更にぼけ量を精度よく求めることができる。次に、実施例１のステップ３０４と同様、ステップ４０６で低倍率画像の周波数特性を計算する。以下、ステップ４０７〜４０９は実施例１のステップ３０５〜３０７と同様である。
【実施例３】
【００３９】
本実施例では、求められたぼけ量をユーザに解り易く表示する例を説明する。本実施例は、より具体的には、予め定めた基準図形を、求められたぼけ量分だけ画像処理によってぼかして表示する例である。なお、以下で、実施例１〜２と共通する部分については説明を省略する。
【００４０】
図５−１は汎用ＳＥＭにおいて、求められたぼけ量を視覚的にＧＵＩ画面に表示するシーケンスの一実施例である。まず、５０１のステップでユーザが基準となる図形を選択する。基準となる図形は例えば単純な円や四角であっても良いし、パターンの設計図の様に、複雑な構造をしていても良い。または、外部で撮影されたぼけの無い画像であっても良い。これにより、ユーザがぼける前の画像を視覚的に認識することができる。基準となる図形は例えば図５−３のＧＵＩ５３１のような画面表示からユーザが所望の図形を選択できるようにしてもよい。
【００４１】
５０２〜５０７のステップは図４で説明したステップ４０１〜４０６と同じである。
【００４２】
５０８のステップで高倍率画像と低倍率画像の周波数特性に差がある場合は、５０９のステップにて、その差分を、基準画像をぼかすフィルタの強さとして、設定する。または、差分を強調するために係数をかけた値を設定しても良い。また、この画像をぼかすフィルタはガウスフィルタであっても良いし、ガウスフィルタ以外のぼかしフィルタを使用しても良い。５１０のステップにてステップ５０１で選択した基準図形にガウスフィルタ等を用いて画像処理によりぼかし処理をする。この処理は演算装置１１２の画像処理部によって行われる。ぼかし処理が行われた画像を表示部１１３上に表示する。表示する画面としては例えば図５−３の５３３に示すような画面が考えられる。また５３２に示すような基準図形の表示をぼかし処理が行われた画像の表示と合わせて行ってもよい。これにより、５０１のステップで選択した画像が、現在のぼけ量でどのように見えるかを表示することで、画像の善し悪しを感覚的に理解することが可能となる。
【００４３】
一方、５０８のステップで高倍率画像と低倍率画像の周波数特性に差がない場合は、ステップ５０１で選択された基準図形をそのまま表示する。
【００４４】
また、別の表示形態として、この画像に対し、比較するための図形を重ね合わせて表示しても良い。この例について、図５−２を用いて説明する。なお、図５−１と同様の部分は同じ符号で表している。この例ではステップ５２１で基準図形の輪郭を抽出して、ステップ５１０でぼかし処理を行った画像に対して、ステップ５２２で抽出した輪郭線を重ね合わせて表示している。また、輪郭線抽出の代わりに、ぼける前の画像との比較を行いやすいようにステップ５０１で選択した図形を重ね合わせて表示しても良い。
【００４５】
また、別の表示形態として、上記の方法とは異なるぼけ量の提示方法について説明する。基準となるぼけ量を事前に定めておく。基準となるぼけ量は電子光学系から求めた許容値でも良いし、前回装置を使用した時の値を記憶しておいても良い。基準となるぼけ量に対して、現在のぼけ量との比較を例えば百分率によって行う。これにより基準となるぼけ量との一致度合いを定量的に表示することが可能となり、装置状態の異常やフォーカスのずれといった問題を容易に発見することが可能となる。
【００４６】
また、上記の方法を用いて、ベテランユーザや保守作業員等の専門家によって調整された後のぼけ量を基準となるぼけ量に設定しておけば、初心者の調整結果を点数によって評価することもできる。これによって、初心者がどのくらい精度良くぼけ量を調整できているかを簡単に把握することができる。
【実施例４】
【００４７】
本実施例では、求められたぼけ量を用いて高倍率画像からぼけ量を取り除く画像処理を行う例を説明する。なお、以下で、実施例１〜３と共通する部分については説明を省略する。
【００４８】
図６は汎用ＳＥＭにおいて、計算したぼけ量で撮影画像を逆畳み込み演算（デコンボリューション）するシーケンスの一実施例である。ステップ４０１〜４０８は図４で説明したステップと同じであるため同符号で示している。
【００４９】
４０８のステップで出力したぼけ量に基づいて定められたパラメータを用いて６０２のステップでデコンボリューションする。ここでデコンボリューションとは所定のぼけ量を画像から取り除くための画像処理である。この処理は演算装置１１２の画像処理部によって行われる。したがって、この処理によって擬似的にぼけ量のない高倍率画像を生成することができる。次に、６０３のステップにて、ぼけを取り除いた画像を出力する。なお、４０７のステップで高倍率の画像と低倍率の画像の周波数特性に差が無い場合は、ステップ６０１にて、撮影画像をそのまま表示する。
【実施例５】
【００５０】
本実施例では、低倍率画像の取得及びその周波数特性の計算を事前に行っておき、この結果と高倍率画像の周波数特性を比較してぼけ量を求める例を説明する。なお、以下で、実施例１〜４と共通する部分については説明を省略する。
【００５１】
図７−１に、試料固有の空間周波数特性の値を保存するシーケンスの一実施例を示す。ステップ４０１〜４０６は図４で説明したステップと同じであるため同じ符号を付している。最後に、ステップ７０１で、低倍率画像の周波数特性の値を演算装置１１２のメモリやハードディスク等の記憶部に保存する。なお、このシーケンスでは、実施例２と同様、低倍率画像の撮像前に、一旦高倍率で焦点調整、画像取得を行うこととしているが、ステップ４０１〜４０４までの処理は必ずしも必要ではなく、低倍率において焦点調整をして低倍率画像を取得しても良い。
【００５２】
次に、図７−２に、高倍率撮影時のステップを示す。ステップ４０１〜４０４は図４で説明したステップと同じであるため、同符号を付している。７０２のステップにて、図７−１で説明したように記憶しておいた低倍率時の空間周波数特性の値を呼び出す。その後ステップ４０７で高倍率時の空間周波数との比較を行う。ステップ４０７〜４０９は図４で説明したステップと同じであるため、同符号を付している。これにより、撮影毎に低倍率時の画像を撮影する必要が無く、スループットを向上することが可能となる。
【００５３】
また、上記の方法を用いて、ベテランユーザや保守作業員等の専門家が図７−１のシーケンスを行い低倍率画像の周波数特性を保存しておくことで、初心者が高倍率観察する場合でも常にぼけ量の少ない理想的な低倍率画像を基準として高倍率画像のぼけ量を判断できるので、さらに精度良くぼけ量を求めることができる。
【００５４】
なお、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１０１  電子銃
１０２  一次電子ビーム
１０３  第一コンデンサレンズ
１０４  第二コンデンサレンズ
１０５  偏向ユニット
１０６  対物レンズ
１０７  検出器
１０８  試料
１０９  移動ステージ
１１０  制御装置
１１１  画像入力装置
１１２  演算装置
１１３  表示部
【図１】
2013251212.tif 000003
【図２−１】
2013251212.tif 000004
【図２−２】
2013251212.tif 000005
【図３】
2013251212.tif 000006
【図４】
2013251212.tif 000007
【図５−１】
2013251212.tif 000008
【図５−２】
2013251212.tif 000009
【図５−３】
2013251212.tif 000010
【図６】
2013251212.tif 000011
【図７−１】
2013251212.tif 000012
【図７−２】
2013251212.tif 000013