(57)【要約】【課題】テーブル、アンテナ、位相器の回転機構などを用いない簡易的な構造で被加熱物を効率良く、均一に加熱すること。【解決手段】導波管１０６に環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部１０６ｃを設け、環状部１０６ｃに伝送されるマイクロ波を加熱室１０３内に供給する複数の開口を配置したマイクロ波放射部１０８を備えた。マイクロ波放射部１０８に伝送されるマイクロ波を、定在波の少ない進行波３０１とした状態で、放射量が変化するマイクロ波を複数箇所に分散させた開口から加熱室１０３内に放射することで、回転機構を用いることなく被加熱物１０２を均一に加熱することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱物を収納する加熱室と、
前記被加熱物を載置する載置部と、
前記加熱室に供給するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、
前記マイクロ波発生手段で発生するマイクロ波を前記加熱室へ伝送するための導波管と、前記導波管は、前記マイクロ波発生手段を接続する始端部と、環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部と、前記環状部において前記始端部と接合する分岐部からなり、前記環状部には伝送されるマイクロ波を前記加熱室に供給する複数の開口を配置したマイクロ波放射部を備えたマイクロ波加熱装置。
【請求項２】
前記マイクロ波放射部は、前記導波管から前記加熱室内へと連通し円偏波を放射する開口形状からなる請求項１に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項３】
前記導波管の前記分岐部は、伝送するマイクロ波の分岐方向を規制するためのサーキュレータ（非可逆分岐手段）を構成した請求項１または２に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項４】
前記導波管における前記環状部のマイクロ波伝送路の実効長さは、伝送するマイクロ波の前記導波管内での波長の略整数倍とした請求項１〜３のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項５】
前記導波管には前記環状部に設けた前記マイクロ波放射部の前後両側を挟むように、複数のインピーダンス調整用の整合部を設けた請求項１〜４のいずれか１項に記載のマイクロ波加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子レンジ等のマイクロ波加熱装置に関し、特にマイクロ波放射部の構造に特徴を有するマイクロ波加熱装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ波により被加熱物を加熱処理するマイクロ波加熱装置の代表的な装置としては、電子レンジがある。電子レンジにおいては、マイクロ波供給手段において発生したマイクロ波が金属製の加熱室の内部に放射され、加熱室内部の被加熱物が放射されたマイクロ波により加熱処理される。
【０００３】
従来の電子レンジにおけるマイクロ波供給手段としては、マグネトロンが用いられている。マグネトロンにより生成されたマイクロ波は、導波管を介して加熱室内部に放射される。加熱室内部におけるマイクロ波の電磁界分布が不均一であると、被加熱物を均一にマイクロ波加熱することができない。
【０００４】
被加熱物を均一に加熱する手段として、被加熱物を載置するテーブルを回転させて被加熱物を回転させる構造、被加熱物を固定してマイクロ波を放射するアンテナを回転させる構造、または位相器によってマイクロ波供給手段から発生するマイクロ波の位相を変化させる構造を有するマイクロ波加熱装置が一般的であった。
【０００５】
例えば、従来のマイクロ波加熱装置では、導波管内部に回転アンテナ、アンテナシャフトなどが配置されており、アンテナモータによって回転アンテナを回転させながらマグネトロンを駆動することで、加熱室内のマイクロ波分布の不均一さを低減している。
【０００６】
また、特許文献１に記載されているように、マグネトロンの上部に回転可能なアンテナを設け、該回転アンテナの羽根に送風ファンからの冷却風をあてることにより、該送風ファンの風力でアンテナを回転させ、加熱室内のマイクロ波分布を変化させているマイクロ波加熱装置が提案されている。
【０００７】
一方、マイクロ波加熱による被加熱物の不均一加熱の低減と共にコストダウンおよび給電部の省スペース化を図った特許文献２に記載されているように、円偏波を加熱室内部に放射する単一のマイクロ波放射部を有したマイクロ波加熱装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６２−６４０９３号公報
【特許文献２】米国特許第４３０１３４７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記従来の構成の電子レンジのようなマイクロ波加熱装置では、なるべく簡易的な構造で、被加熱物を効率良く、ムラ無く加熱することが求められているが、これまで提案されていた構造では種々の問題があった。
【００１０】
また、マイクロ波加熱装置、特に電子レンジは、高出力化の技術開発が進み、国内では定格高周波出力１０００Ｗが商品化されている。電子レンジは、熱伝導によって食品を加熱するのではなく、誘電加熱を用いて直接食品を加熱できる利便性が商品の大きな特徴で
あるが、不均一加熱が未解決の中での高出力化は不均一加熱の問題をより顕在化させることになる。
【００１１】
従来のマイクロ波加熱装置が抱える構造上の問題としては、下記の２点のことが挙げられる。１点目は、不均一加熱を低減するためにテーブルまたはアンテナを回転させる機構を必要としており、このため回転スペースおよびテーブルまたはアンテナを回転させるモータなどの設置スペースを確保しなければならず、電子レンジの小型化を阻害していたことである。２点目は、テーブルまたはアンテナを安定的に回転させるために、該回転アンテナを加熱室の上部又は下部に設ける必要があり、構造が制限されていたことである。
【００１２】
マイクロ波加熱装置におけるマイクロ波照射室内にテーブルまたは位相器の回転機構などを設置することは信頼性を下げる。よって、これら機構を不要とするマイクロ波加熱装置が要求されている。
【００１３】
また、マイクロ波加熱による被加熱物の不均一加熱の低減と共に、コストダウンおよび給電部の省スペース化を図った特許文献２に記載されているような、円偏波を加熱室内部に放射する単一のマイクロ波放射部を有したマイクロ波加熱装置については、回転機構を有していないという利点はあるが、マイクロ波加熱による十分な均一加熱が実現されていないことが課題である。
【００１４】
本発明は前記課題を解決するものであり、回転機構を用いないで、被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることができるマイクロ波加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記従来の課題を解決するために、本発明のマイクロ波加熱装置は、被加熱物を収納する加熱室と、被加熱物を載置する載置部と、加熱室に供給するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、マイクロ波発生手段で発生するマイクロ波を加熱室へ伝送するための導波管と、導波管は、マイクロ波発生手段を接続する始端部と、環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部と、環状部において始端部と接合する分岐部からなり、環状部には伝送されるマイクロ波を加熱室に供給する複数の開口を配置したマイクロ波放射部を備えたものである。つまりマイクロ波発生手段で発生するマイクロ波を加熱室へ伝送するための導波管は、マイクロ波伝送路を環状に構成することにより、従来の導波管では終端部で生じた反射波を防止することで、マイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した進行波となり、マイクロ波放射部から加熱室内に供給されて被加熱物を効果的に加熱することができる。
【００１６】
さらに放射量が変化するマイクロ波を被加熱物に面した複数箇所に分散させた開口から放射することができるため、被加熱物の全体に偏りなくマイクロ波を放射させることができる。回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、マイクロ波発生手段で発生するマイクロ波を加熱室へ伝送するための導波管は、マイクロ波伝送路を環状に構成することにより、従来導波管では終端部で生じた反射波を防止することができ、マイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した進行波で伝送され、マイクロ波放射部から加熱室内に供給されて被加熱物を効果的に加熱することができる。つまり従来の一般的な導波管では終端部を設けているために、マイクロ波発生手段から供給される進行波は終端部からの反射波と干渉して定在してしまいマイクロ波放射部での放射量の変化が期待できないものであり、このためマイクロ波の攪拌手段（回転機構など）を別に設けるものであったが、これに対し本発明の構成に
よれば、マイクロ波放射部を通過するマイクロ波は、位相と振幅が変化する進行波となるため、放射量が変化するマイクロ波を複数箇所に分散させた開口から放射することとなり、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１におけるマイクロ波加熱装置の要部模式図
【図２】本発明の実施の形態１におけるマイクロ波加熱装置の導波管の構成を示す平面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるマイクロ波加熱装置のマイクロ波放射部を示す要部側面図と要部平面図
【図４】本発明の実施の形態２におけるマイクロ波放射部が円偏波を放射する構成としたマイクロ波加熱装置の要部模式図およびその一部断面図
【図５】本発明の実施の形態３における導波管の分岐部にサーキュレータを構成したマイクロ波加熱装置の要部模式図およびその一部断面図
【図６】本発明の実施の形態４におけるマイクロ波加熱装置の導波管の伝送路の長さの説明図
【図７】本発明の実施の形態５における導波管に整合部を設けたマイクロ波加熱装置の要部模式図およびその一部断面図
【図８】本発明の実施の形態１から５における他の実施例であり屈曲部を有し立体的に構成した導波管の斜視図
【図９】本発明の実施の形態１から５における他の実施例であり屈曲部を有し立体的に構成した導波管を接続したマイクロ波加熱装置の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
第１の発明は、被加熱物を収納する加熱室と、前記被加熱物を載置する載置部と、前記加熱室に供給するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、前記マイクロ波発生手段で発生するマイクロ波を前記加熱室へ伝送するための導波管と、前記導波管は、前記マイクロ波発生手段を接続する始端部と、環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部と、前記環状部において前記始端部と接合する分岐部からなり、前記環状部には伝送されるマイクロ波を前記加熱室に供給する複数の開口を配置したマイクロ波放射部を備えているマイクロ波加熱装置である。本発明は導波管での反射波の発生を防止することで、マイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した進行波で伝送され、被加熱物を効果的に加熱することができる。さらに前記マイクロ波放射部が複数個配置されているマイクロ波加熱装置とすることにより、加熱室内にある被加熱物の広い範囲にマイクロ波を分散して放射することができるので、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００２０】
第２の発明は、特に、第１の発明の前記マイクロ波放射部は、前記導波管から前記加熱室内へと連通し円偏波を放射する開口形状をからなることにより、マイクロ波発生手段から伝送される進行波によりマイクロ波放射部から加熱室に供給されるマイクロ波は、時間とともに電界方向が変化する円偏波を形成して放射されるので、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００２１】
第３の発明は、特に、第１または第２の発明の前記導波管の前記分岐部は、伝送するマイクロ波の分岐方向を規制するためのサーキュレータ（非可逆分岐手段）を構成することにより、マイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した状態で伝送され、マイクロ波放射部から加熱室内に供給されて被加熱物を効果的に加熱することができるので、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能な
マイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００２２】
第４の発明は、特に、第１〜３のいずれか１つの発明の導波管における前記環状部のマイクロ波伝送路の実効長さは、伝送するマイクロ波の前記導波管内での波長の略整数倍とすることにより、分岐部における位相を合わせることによりマイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した状態で伝送され、マイクロ波放射部から加熱室内に供給されて被加熱物を効果的に加熱することができるので、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００２３】
第５の発明は、特に、第１〜４のいずれか１つの発明の前記導波管には前記環状部に設けた前記マイクロ波放射部の両側を挟むように複数のインピーダンス調整用の整合部を設けることにより、マイクロ波発生手段から、導波管、マイクロ波放射部、被加熱物を収納する加熱室までをあわせた整合を好適に調整することができるので、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００２４】
以下、本発明に係るマイクロ波加熱装置の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施の形態のマイクロ波加熱装置においては電子レンジについて説明するが、電子レンジは例示であり、本発明のマイクロ波加熱装置は電子レンジに限定されるものではなく、誘電加熱を利用した加熱装置、生ゴミ処理機、あるいは半導体製造装置などのマイクロ波加熱装置を含むものである。また、本発明は、以下の実施の形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本発明に含まれる。
【００２５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるマイクロ波加熱装置の要部模式図である。図１において１０２は被加熱物、１０３は加熱室、１０４は載置部、１０５はマイクロ波発生手段、１０６は導波管、１０８はマイクロ波放射部である。なお、載置部１０４にはガラス板、マイクロ波発生手段１０５にはマグネトロン、導波管１０６には方形導波管、マイクロ波放射部１０８には導波管１０６に設けた開口を用いることでこの構成を容易に実現できる。
【００２６】
図２は実施の形態１におけるマイクロ波加熱装置の加熱室１０３を取り除いて導波管１０６の構成を示すもので、図１における矢印Ａ（すなわちマイクロ波放射部１０８を設けた面）の方向から見た図である。図２において１０６ａは導波管１０６におけるマイクロ波発生手段１０５を接続する始端部であり、１０６ｂは導波管１０６における環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部であり、１０６ｃは導波管１０６における前記環状部において前記始端部と接合する分岐部である。
【００２７】
図３（ａ）は導波管１０６の要部側面図であり、図３（ｂ）は導波管上面のマイクロ波放射部の要部平面図である。ここでは、マイクロ波放射部１０８を導波管１０６上部に設けた開口とし、導波管１０６内に存在するマイクロ波を加熱室１０３へ放射する構成として説明を行う。
【００２８】
以下、マイクロ波加熱装置の動作について説明を行う。使用者により加熱室１０３内の載置部１０４上に被加熱物１０２が置かれ、加熱開始指示が行われると、マイクロ波加熱装置は、マイクロ波発生手段１０５であるマグネトロンから導波管１０６内にマイクロ波を供給する。ここで導波管１０６には環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部１０６ｂを設けてあるので、導波管の終端部で生じる反射波の発生を防止できる。
【００２９】
この構成によりマイクロ波放射部１０８で加熱室１０３と接続した状態で、導波管１０６内にマイクロ波を伝送することにより、図３に示すように導波管１０６内を通るマイクロ波を、マイクロ波伝送方向３０２に進む進行波３０１とすることができる。進行波３０１が導波管１０６内を伝送する時、図３（ａ）において点線で示しているようにマイクロ波放射部１０８における振幅を変化させながら進むこととなる。
【００３０】
したがって、マイクロ波放射部１０８から加熱室１０３へ放射され、被加熱物１０２を加熱するマイクロ波は、放射元となる進行波３０１の振幅（位相）変化に従い放射量を変化させつつ加熱室に放射されることとなる。
【００３１】
以上のように、本実施の形態においては、導波管１０６には環状のマイクロ波伝送路を構成した環状部１０６ｂを設けることで、従来一般の導波管では終端の存在により生じた反射波を防止することで、マイクロ波発生手段１０５で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した進行波となり、マイクロ波放射部１０８から加熱室１０３内に供給されて被加熱物１０２を効果的に加熱することができる。さらに前記マイクロ波放射部１０８を複数の開口を配置した構成とすることにより、加熱室１０３内にある被加熱物１０２の広い範囲にマイクロ波を分散して放射することができる。この構成によれば振幅が変化する進行波３０１が、マイクロ波放射部１０８を通過することとなるため、放射量が変化するマイクロ波を複数箇所に分散させた開口から放射することで、回転機構を用いることなく被加熱物を均一にマイクロ波加熱させることが可能なマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００３２】
なお、本実施の形態において複数のマイクロ波放射部１０８は各開口の放射量にあわせて開口面積を設定している。具体的にはマイクロ波伝送方向３０２に合わせてマイクロ波発生手段１０５に近い側の開口面積を小さくし、遠い側は大きくすることで各開口からのマイクロ波放射量が略同じになるように設定している。また開口の配置は導波管１０６を伝送されるマイクロ波の管内波長と一致しない間隔の配置を含めることで各開口からのマイクロ波放射量が交互に入れ替わるようにすることができ加熱室１０３におけるマイクロ波の電磁界強度分布が刻々変化するので、より確実に被加熱物１０２の加熱の均一化を図ることができる。なお本実施の形態ではマイクロ波放射部１０８の開口部形状を図３の形状で説明を行ったがこの開口形状に限定されるものではない。
【００３３】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２における円偏波を放射する形状をもったマイクロ波放射部１０８の配置説明図である。図４（ａ）はマイクロ波加熱装置の要部断面図である図４（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面図である。以下、その動作、作用を説明する。なお、図面において、（実施の形態１）と同一動作を示す部分は同一番号を付与している。また、（実施の形態２）における基本的な動作は（実施の形態１）と同様である。
【００３４】
本実施の形態においては、マイクロ波放射部１０８を図４に示すような円偏波を放射する形状としている。円偏波とは、移動通信および衛星通信の分野で広く用いられている技術であり、身近な使用例としては、ＥＴＣ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｔｏｌｌ  Ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）「ノンストップ自動料金収受システム」などが挙げられる。円偏波は、電界の偏波面が電波の進行方向に対して時間に応じて回転するマイクロ波であり、円偏波を形成すると電界の方向が時間に応じて変化し続けるので、加熱室１０３内に放射されるマイクロ波の放射角度も変化し続けるという特徴を有している。これにより、従来のマイクロ波加熱装置に用いられている直線偏波によるマイクロ波加熱と比較して、広範囲にわたってマイクロ波が分散放射されて、被加熱物を均一にマイクロ波加熱することができるようになる。特に、円偏波の周方向に対して均一加熱の傾向が強い。なお、
円偏波は回転方向から右旋偏波（ＣＷ：ｃｌｏｃｋｗｉｓｅ）と左旋偏波（ＣＣＷ：ｃｏｕｎｔｅｒ  ｃｌｏｃｋｗｉｓｅ）の２種類に分類されるが、加熱性能に違いはない。
【００３５】
前記の特長を利用し、マイクロ波放射部１０８を通して円偏波のマイクロ波を放射することで、加熱室１０３内の加熱分布をより均一化することができる。なお、導波管１０６に設けたマイクロ波放射部１０８から円偏波を出力するための開口形状としては、図４（ａ）に示すように、各直線偏波の合成が電磁界理論により円偏波となるように幅を持った２つのスロット（開口）を中央で交差させ、マイクロ波伝送方向に対し４５度傾けた形状とし、さらに導波管１０６のマイクロ波伝送方向の管軸４０１を通らない位置に配置している。
【００３６】
以上のように、本実施の形態においては、マイクロ波放射部１０８を、円偏波を放射する形状とすることで、マイクロ波放射部１０８から拡がりをもったマイクロ波が加熱室１０３内に放射され、被加熱物１０２へのマイクロ波の放射をより広い範囲で均一化することができる。なおマイクロ波放射部１０８は、導波管１０６の環状部１０６ｂの図４（ａ）における紙面上側の伝送路に５個、それと対向する紙面下側の伝送路に５個の合計１０個の開口からなり加熱室１０３の中心に略対称となるように配置している。より効果的には、近接する開口からの円偏波の旋回方向が左右逆回転になるように導波管におけるマイクロ波の波長に基づいた開口ピッチで配置することにより加熱室に効果的にマイクロ波を分散して放射することができる。本実施の形態において、円偏波を放射するマイクロ波放射部１０８の形状は図４で示した形状で説明したが、形状は図４に限定されるものではなく円偏波を放射する形状であれば何でもよい。また開口の配置についても本実施例において本発明を限定するものではない。
【００３７】
（実施の形態３）
図５は、本発明の実施の形態３におけるマイクロ波加熱装置の要部模式図である。実施の形態２の図４と異なるのは導波管１０６の分岐部１０６ｃは、伝送するマイクロ波の分岐方向を規制するためのサーキュレータ（非可逆分岐手段）８００を構成した点にあり、その動作、作用を説明する。なお、図面において、（実施の形態１〜２）と同一動作を示す部分は同一番号を付与している。また、（実施の形態３）における基本的な動作は（実施の形態２）と同様である。
【００３８】
本実施の形態においては、８００ａは導波管１０６の分岐部１０６ｃの中央内壁に固定された円筒形のフェライトであり８００ｂは導波管１０６の分岐部１０６ｃの中央両側外壁に接することなく配置された一対の永久磁石であり片側Ｓ型磁石ともう一方がＮ型磁石でありフェライト８００ａを挟むように対向して設けてある。これにより導波管１０６の分岐部１０６ｃは環状部１０６ｂと始端部１０６ａとが接合する３分岐型の導波管サーキュレータの伝送路を構成するので、永久磁石８００ｂによって磁化されるフェライト８００ａの作用により導波管１０６を伝送するマイクロ波は電磁誘導（ファラデー回転）作用により分岐部１０６ｃでの伝送方向が規定されるものである。本実施の形態においてはサーキュレータ８００をマイクロ波は図５（ａ）において右方向に分岐するように構成している。つまりマイクロ波発生手段１０５から伝送されるマイクロ波は図５（ａ）の分岐部１０６ｃを直進して図中紙面左側に向かいマイクロ波放射部１０８を通過しながら順次、加熱室１０３に放射される。導波管１０６の環状部１０６ｂを周回して一部の加熱室１０３で消費されないマイクロ波は分岐部１０６ｃで右方向に伝送されてマイクロ波発生手段１０５に伝送される。
【００３９】
以上のように、本実施の形態においては、従来では導波管の終端部で生じる反射波を防止することに加えてサーキュレータ８００によりマイクロ波の伝送方向を確実に規定するので、マイクロ波発生手段１０５で発生したマイクロ波はさらに効果的に干渉の少ない安
定した進行波となり、マイクロ波放射部１０８から加熱室１０３内に供給されて被加熱物１０２を効果的に加熱することができる。
【００４０】
（実施の形態４）
図６は、本発明の実施の形態４におけるマイクロ波加熱装置の図２と同様に加熱室１０３を取り除いて導波管１０６の構成を示すものである。
【００４１】
図６において環状部１０６ｂのマイクロ波伝送路の実効長さが伝送するマイクロ波の前記導波管内での波長λｇの略整数倍としたものである。具体的には本実施の形態においては環状部１０６ｂにおけるマイクロ波伝送路の実効長さに相当する管軸４０１の周長は波長λｇの略４倍の６１５ｍｍとしたものである。
【００４２】
これによりマイクロ波の分岐部における位相を合わせて合流することでマイクロ波発生手段で発生したマイクロ波は干渉の少ない安定した状態で伝送され、マイクロ波放射部から加熱室内に供給されて被加熱物を効果的に加熱することができる。
【００４３】
（実施の形態５）
図７は、本発明の実施の形態５におけるマイクロ波放射部１０８の配置説明図である。図７（ａ）はマイクロ波加熱装置の要部断面図である図７（ｂ）におけるＢ−Ｂ断面図である。なお、図面において、（実施の形態１〜４）と同一動作を示す部分は同一番号を付与している。また、（実施の形態５）における基本的な動作は（実施の形態２）と同様である。（実施の形態５）が他の実施形態と異なる点は前記導波管には前記環状部に設けた前記マイクロ波放射部の前後両側を挟むように２つのインピーダンス調整用の整合部を設けた点である。
【００４４】
以上の構成によりマイクロ波発生手段１０５から、導波管１０６、被加熱物１０２を収納する加熱室１０３までをあわせてインピーダンスの整合を調整することができるものである。つまり環状に構成する伝送路のインピーダンスマッチングの精度を好適にできマイクロ波発生手段１０５への反射を抑制しつつ効率よく被加熱物を加熱することができるものである。
【００４５】
なお、これまでに述べた（実施の形態１〜５）において導波管１０６の形態は、単純（模式的）に平面に構成したものであるが、導波管１０６の形状は加熱室１０３の形状に沿わせて立体的に構成することによりコンパクトなマイクロ波加熱装置を提供することができる。
【００４６】
図８において１０６は立体的に構成した導波管の一例を示す斜視図であり、加熱室の底面に面したマイクロ波放射部の両側を加熱室の側壁に沿うように屈曲させた構成としている。
【００４７】
また図９は図８に示す導波管１０６を加熱室１０３に接続した状態を示す斜視図であり、１０３ｄは被加熱物を出し入れするための加熱室ドアである。導波管１０６はサーキュレータの永久磁石８００ｂを構成している。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上のように、本発明のマイクロ波加熱装置は、被加熱物への均一照射ができ、さらにはマイクロ波を供給するための特別な可動部を設ける必要がないので信頼性、耐久性の面においても優れたものである。食品の加熱加工や殺菌などを行うマイクロ波加熱装置などに有効に利用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１０２  被加熱物
１０３  加熱室
１０４  載置部
１０５  マイクロ波発生手段
１０６  導波管
１０８  マイクロ波放射部
３０１  進行波
３０２  マイクロ波伝送方向
４０１  管軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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