(57)【要約】【課題】異種のリードフレームに対応するために搬送レールやフレーム搬入機構などを交換したような場合でも、搬送レールの位置を微調整する必要がないフレーム搬送装置を提供する。【解決手段】フレーム搬入機構１３０が搬送方向に移動してリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０まで搬送するとき、搬入補正部材１３２がフレーム保持凹部１２１と係合して移動することで、搬送レール１２０を適正位置に配置することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形のリードフレームを前記リードフレームの一辺と略平行な方向である搬送方向に搬出可能に支持するフレームマガジンと、
前記フレームマガジンから搬出された前記リードフレームを保持する搬送レールと、
前記搬送方向に移動して前記リードフレームを前記フレームマガジンから前記搬送レールまで搬送するフレーム搬入機構と、
前記搬送レールを略水平方向に回動可能かつ前記搬送方向と略直交する直交方向に変位可能に支持している可動支持機構と、
前記搬送レールの搬送方向に直線状に形成されている凸部または凹部からなる位置補正部と、
前記位置補正部と係合する凹部または凸部からなり前記フレーム搬入機構に形成されている搬入補正部材と、
を有するフレーム搬送装置。
【請求項２】
前記搬送レールは、前記リードフレームを保持するフレーム保持凹部が形成されており、
前記位置補正部は、前記フレーム保持凹部の相対する一対の側面からなり、
前記搬入補正部材は、一対の前記位置補正部に内側から係合する請求項１に記載のフレーム搬送装置。
【請求項３】
前記搬入補正部材は、前記搬送方向に細長形状に形成されている請求項１または２に記載のフレーム搬送装置。
【請求項４】
前記搬送レールに保持されている前記リードフレームを上方に搬出するフレーム搬出機構と、
前記搬送レールに形成されている凸部または凹部からなる搬出ガイド部と、
前記搬出ガイド部と係合する凹部または凸部からなり前記フレーム搬出機構に形成されている搬出補正部材と、
を有する請求項１ないし３の何れか一項に記載のフレーム搬送装置。
【請求項５】
搬入されるリードフレームを保持する搬送レールと、
前記搬送レールに保持されている前記リードフレームを上方に搬出するフレーム搬出機構と、
前記搬送レールを水平方向に回動可能かつ前記リードフレームの搬送方向と直交する直交方向に変位可能に支持している可動支持機構と、
前記搬送レールに形成されている凸部または凹部からなる搬出ガイド部と、
前記搬出ガイド部と係合する凹部または凸部からなり前記フレーム搬出機構に形成されている搬出補正部材と、
を有するフレーム搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームをフレームマガジンから金型に搬出するフレーム搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、樹脂封止前のリードフレームをフレームマガジンから一枚ずつ搬送レールであるフレーム整列部に搬入し、この搬入されたリードフレームを金型に搬出するフレーム搬送装置がある。
【０００３】
このようなフレーム搬送装置は、例えば、長方形のリードフレームを搬送方向に搬出可能に支持するフレームマガジンと、フレームマガジンから搬送方向に搬入されるリードフレームを保持する搬送レールと、搬送方向に移動してリードフレームをフレームマガジンから搬送レールまで搬送するフレーム搬入機構と、搬送レールに保持されているリードフレームを上方に搬出するフレーム搬出機構と、を有する。
【０００４】
現在、上述のようなフレーム搬送装置として各種の提案がある。例えば、特許文献１のフレーム搬送装置１０では、図２１に示すように、マガジン１１内のリードフレーム１２をプッシャ１３で押し出す。このタイプのフレーム搬送装置１０では、リードフレーム１２をガイドレール１４，１５に供給する際、ガイドレールの短辺長さ方向の間隔を変動させて搬送ユニット１６上のリードフレームの短辺長さ方向の位置決めを行う。
【０００５】
また、特許文献２のフレーム搬送装置２０では、図２２に示すように、チャックハンド２１をチャック位置Ｅ及び整列位置Ｆにおいてそれぞれ下動する際に、チャック位置Ｅと整列位置Ｆは可動させずに、チャックハンド２１側を動かしてＸ，Ｙ方向の位置決めをする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１６８１７０号公報
【特許文献２】特開平１０−２９６７７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述のようなフレーム搬送装置１０，２０において、複数種類のリードフレームに対応するため、各部を交換自在としている製品もある。ただし、このようなフレーム搬送装置では、例えば、リードフレームを保持する搬送レールなどを交換したとき、経年劣化による摩耗や製造誤差に対応するため、交換した搬送レールなどの位置を微調整する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第一のフレーム搬送装置は、略矩形のリードフレームをリードフレームの一辺と略平行な方向である搬送方向に搬出可能に支持するフレームマガジンと、フレームマガジンから搬出されたリードフレームを保持する搬送レールと、搬送方向に移動してリードフレームをフレームマガジンから搬送レールまで搬送するフレーム搬入機構と、搬送レールを略水平方向に回動可能かつ搬送方向と略直交する直交方向に変位可能に支持している可動支持機構と、搬送レールの搬送方向に直線状に形成されている凸部または凹部からなる位置補正部と、位置補正部と係合する凹部または凸部からなりフレーム搬入機構に形成されている搬入補正部材と、を有する。
【０００９】
従って、本発明のフレーム搬送装置では、略矩形のリードフレームをフレームマガジンが略搬送方向に搬出可能に支持する。フレームマガジンから搬出されたリードフレームを搬送レールが保持する。フレーム搬入機構が搬送方向に移動してリードフレームをフレームマガジンから搬送レールまで搬送する。ただし、搬送レールを可動支持機構が水平方向に回動可能かつ前記搬送方向と直交する直交方向に変位可能に支持している。搬送レールの搬送方向に直線状に位置補正部が形成されている。フレーム搬入機構に形成されている搬入補正部材が位置補正部と係合して移動することで搬送レールを適正位置に配置する。このため、フレーム搬入機構が搬送方向に移動してリードフレームをフレームマガジンから搬送レールまで搬送するとき、搬入補正部材が位置補正部と係合して移動することで、搬送レールが適正位置に配置される。
【００１０】
本発明の第二のフレーム搬送装置は、リードフレームを保持する搬送レールと、搬送レールに保持されているリードフレームを上方に搬出するフレーム搬出機構と、搬送レールを水平方向に回動可能かつ搬送方向と直交する直交方向に変位可能に支持している可動支持機構と、搬送レールに形成されている凸部または凹部からなる搬出ガイド部と、搬出ガイド部と係合する凹部または凸部からなりフレーム搬出機構に形成されている搬出補正部材と、を有する。
【００１１】
従って、本発明のフレーム搬送装置では、リードフレームを搬送レールが保持する。搬送レールに保持されているリードフレームをフレーム搬出機構が上方に搬出する。搬送レールを水平方向に回動可能かつ前記搬送方向と直交する直交方向に変位可能に可動支持機構が支持している。ただし、搬送レールに搬出ガイド部が形成されている。フレーム搬出機構の搬出補正部材が搬送フレームの搬出ガイド部と係合することで搬送レールを適正位置に配置する。このため、搬送レールに保持されているリードフレームをフレーム搬出機構が上方に搬出するとき、フレーム搬出機構の搬出補正部材が搬送フレームの搬出ガイド部と係合することで、リードフレームがフレーム搬出機構で適正に搬出される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のフレーム搬送装置によれば、例えば、異種のリードフレームに対応するために搬送レールやフレーム搬入機構などを交換したような場合でも、搬送レールの位置を微調整する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態のフレーム搬送装置の構造を示す模式的な平面図である。
【図２】フレーム搬送装置の構造を示す模式的な縦断背面図である。
【図３】フレーム搬送装置のフレーム搬出機構の位置を示す模式的な平面図である。
【図４】フレーム搬出機構などの構造を示す模式的な縦断正面図である。
【図５】フレーム搬出機構などの構造を示す模式的な側面図である。
【図６】フレーム搬送装置の動作を示す模式的な平面図である。
【図７】フレーム搬送装置の動作を示す模式的な平面図である。
【図８】フレーム搬送装置の動作を示す模式的な平面図である。
【図９】可動支持機構の構造と搬送レールの傾斜との関係を示す模式的な平面図である。
【図１０】一の変形例の可動支持機構の構造と搬送レールの傾斜との関係を示す模式的な平面図である。
【図１１】他の変形例の可動支持機構の構造と搬送レールの傾斜との関係を示す模式的な平面図である。
【図１２】さらに他の変形例の可動支持機構の構造を示す模式的な平面図である。
【図１３】さらに他の変形例の可動支持機構の構造を示す模式的な平面図である。
【図１４】さらに他の変形例のフレーム搬送装置の構造を示す模式的な縦断背面図である。
【図１５】さらに他の変形例のフレーム搬送装置の構造を示す模式的な縦断背面図である。
【図１６】さらに他の変形例の搬送レールの構造を示す模式的な平面図である。
【図１７】さらに他の変形例の搬送レールの構造を示す模式的な平面図である。
【図１８】さらに他の変形例の搬入補正部材の構造を示す模式的な平面図である。
【図１９】さらに他の変形例のフレーム搬出機構などの構造を示す模式的な縦断正面図である。
【図２０】さらに他の変形例のフレーム搬出機構などの構造を示す模式的な縦断正面図である。
【図２１】第一の従来例のフレーム搬送装置の構造を示す模式的な平面図である。
【図２２】第二の従来例のフレーム搬送装置の構造を示す模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の一形態に関して図１ないし図１１を参照して以下に説明する。本実施の形態のフレーム搬送装置１００は、図１および図２に示すように、フレームマガジン１１０と、搬送レール１２０と、フレーム搬入機構であるグリップフィード１３０と、可動支持機構１４０と、位置補正部であるフレーム保持凹部１２１と、搬入補正部材である搬入補正ピン１３２と、を有する。
【００１５】
フレームマガジン１１０は、略矩形のリードフレーム２００をリードフレーム２００の一辺と略平行な長手方向である搬送方向に搬出可能に支持する。搬送レール１２０は、フレームマガジン１１０から搬出されたリードフレーム２００を保持する。グリップフィード１３０は、リードフレーム２００の長手方向に移動してリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０まで搬送する。可動支持機構１４０は、搬送レールを略水平方向に回動可能かつ搬送方向と略直交する直交方向に変位可能に支持している。フレーム保持凹部１２１は、搬送レール１２０の搬送方向に直線状に形成されている凹部からなる。搬入補正ピン１３２は、位置補正部と係合する凸部からなりグリップフィード１３０に形成されている。
【００１６】
より具体的には、リードフレーム２００は、図１に示すように、長方形の回路基板２１０に複数の半導体チップ２２０が封止された状態でマトリクス状に保持されている。フレームマガジン１１０は、エレベータ１１１の上面に着脱可能に装填されており、エレベータ１１１により上下方向に搬送される。エレベータ１１１は、ベースプレート１０１の一端上面に搭載されている。フレームマガジン１１０には、複数のリードフレーム２００が上下方向に所定間隔で挿入される。
【００１７】
また、図２に示すように、ベースプレート１０１の他端上面にはレール受け台１０２が固定されており、このレール受け台１０２の上面に搬送レール１２０が載置されている。この搬送レール１２０には、両端近傍に上端１４１が下部より大径の貫通孔１４２が上下方向に形成されている。これらの貫通孔１４２に上端１４３が下部より大径の支持ピン１４４が貫通されてレール受け台１０２に固定されている。
【００１８】
ただし、貫通孔１４２と支持ピン１４４とには水平方向に所定のクリアランスが形成されているので、上述の貫通孔１４２と支持ピン１４４からなる可動支持機構１４０により、搬送レール１２０はレール受け台１０２の上面を水平方向に変位可能に支持されている。搬送レール１２０の上面には、搬入されるリードフレーム２００を支持するフレーム保持凹部１２１がリードフレーム２００の長手方向に形成されている。
【００１９】
また、ベースプレート１０１の側部にはガイドレール１０５がリードフレーム２００の長手方向に形成されており、このフレーム保持凹部１２１でグリップフィード１３０が前後移動ガイド１３１でリードフレーム２００の長手方向に直線状に移動可能に支持されている。このグリップフィード１３０が、リードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０まで搬送する。
【００２０】
ただし、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、グリップフィード１３０の下面にリードフレーム２００の長手方向と直交する方向に離間して二対の搬入補正ピン１３２が形成されている。これらの搬入補正ピン１３２は、図２に示すように、搬送レール１２０のリードフレーム２００を支持するフレーム保持凹部１２１の上部に係合する。なお、このように二対の搬入補正ピン１３２はリードフレーム２００の長手方向に離間して配置されているため、リードフレーム２００の長手方向に細長形状の搬入補正部材として機能する。
【００２１】
このため、グリップフィード１３０が搬送レール１２０の上方をリードフレーム２００の長手方向に移動することで、水平方向に変位可能かつ回動可能な搬送レール１２０がフレームマガジン１１０と直線状に連続する適正な位置に配置される。なお、搬送レール１２０の前端には、グリップフィード１３０の搬入補正ピン１３２のフレーム保持凹部１２１への進入を容易とするため、ホームポジションのグリップフィード１３０に対して拡開した一対の三角形のガイドプレート１２４が装着されている。
【００２２】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００は、図４および図５に示すように、搬送レール１２０に保持されているリードフレーム２００を把持して上方に搬出するフレーム搬出機構である搬送ハンド１６０と、搬送レール１２０に形成されている凸部または凹部からなる搬出ガイド部１２５と、搬送ハンド１６０に形成されていて搬出ガイド部１２５と係合することで搬送レール１２０を適正位置に配置する搬出補正部材１６１と、を有する。
【００２３】
より具体的には、搬出ガイド部１２５は、搬送レール１２０の前端中央と側部中央とに上部が拡開した凹部として形成されている。搬出補正部材１６１は、搬出ガイド部１２５に係合するシャフトからなる。
【００２４】
なお、搬送ハンド１６０には、その機能を満足するため、リードフレーム２００の上面に当接する押さえパッド１６２、リードフレーム２００を把持するチャック爪１６３、等が搭載されている。
【００２５】
上述のような構成において、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、略矩形のリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から略搬送方向に搬出可能に支持する。フレームマガジン１１０から搬出されたリードフレーム２００を搬送レール１２０が保持する。グリップフィード１３０がリードフレーム２００の長手方向に移動してリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０まで搬送する。
【００２６】
ただし、搬送レール１２０を可動支持機構１４０が水平方向に変位可能に支持しているので、図６に示すように、搬送レール１２０がフレームマガジン１１０に対して直線状に位置しない不適切な状態となることがある。
【００２７】
しかし、このような状態からリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０に搬入するために、グリップフィード１３０が搬送レール１２０の上方を長手方向に移動すると、図２に示すように、その搬入補正ピン１３２がフレーム保持凹部１２１の上部に係合ながらガイドレール１５０に沿って直線状に移動することで、図７に示すように、搬送レール１２０はフレームマガジン１１０と直線状に連続した適正な位置に配置される。このとき、搬送レール１２０の前端には前方に拡開したガイドプレート１２４が装着されているので、搬入補正ピン１３２はフレーム保持凹部１２１に円滑に挿入される。
【００２８】
搬送レール１２０の後端まで移動したグリップフィード１３０は、図８に示すように、フレームマガジン１１０に支持されているリードフレーム２００を保持して搬送レール１２０に搬入する。このとき、上述のように搬送レール１２０は適正な位置に配置されているので、リードフレーム２００は搬送レール１２０に適正に支持される。
【００２９】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、図３ないし図４に示すように、上述のように搬送レール１２０に保持されているリードフレーム２００を搬送ハンド１６０が上方に搬出する。このとき、搬送ハンド１６０の搬出補正部材１６１が搬送レール１２０の搬出ガイド部１２５と係合することで、搬送レール１２０が適正位置に配置される。
【００３０】
このため、搬送レール１２０に保持されているリードフレーム２００を搬送ハンド１６０が上方に搬出するときも、搬送ハンド１６０の搬出補正部材１６１が搬送レール１２０の搬出ガイド部１２５と係合することで、リードフレーム２００が搬送ハンド１６０で適正に把持されて搬出される。
【００３１】
なお、上述の受け渡し動作は搬送ハンド１６０側が上下する場合と、搬送レール１２０側が上下する場合の両方あるが、グリップフィード１３０が毎回待機位置に戻ることで搬送レール１２０は独立するので、搬送レール１２０が上下する場合にも適用可能である。リードフレーム２００が搬送レール１２０から搬送ハンド１６０へ受け渡し完了後は次工程へ搬送される。
【００３２】
本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、上述のようにグリップフィード１３０が長手方向に移動してリードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０まで搬送するとき、搬入補正ピン１３２がフレーム保持凹部１２１と係合して移動することで、搬送レール１２０を適正位置に配置することができる。このため、例えば、異種のリードフレーム２００に対応するために搬送レールやフレーム搬入機構などを交換したような場合でも、搬送レール１２０の位置を微調整する必要がない。
【００３３】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、搬送レール１２０に保持されているリードフレーム２００をフレーム搬出機構が上方に搬出するとき、フレーム搬出機構の搬出補正部材が搬送フレームの搬出ガイド部と係合することで、搬送レール１２０を適正位置に配置することができる。このため、例えば、異種のリードフレーム２００に対応するために搬送レール１２０やグリップフィード１３０などを交換したような場合でも、搬送レール１２０の位置を微調整する必要がない。
【００３４】
しかも、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、リードフレーム２００をフレームマガジン１１０から搬送レール１２０に移動させるグリップフィード１３０を利用して搬送レール１２０の位置を補正する。このため、搬送レール１２０の位置を補正するためだけの専用の機構などを増設する必要がなく、簡単な構造で搬送レール１２０を適正な位置に配置することができる。
【００３５】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、リードフレーム２００が挿入されるリードフレーム２００の短手方向に一対のフレーム保持凹部１２１にグリップフィード１３０の両端近傍の一対の搬入補正ピン１３２が係合することで、搬送レール１２０が適正な位置に配置される。このため、搬送レール１２０を改造することなく、簡単な構造で搬送レール１２０を適正な位置に配置することができる。
【００３６】
また、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、搬送レール１２０の一端に一対の三角形のガイドプレート１２４が装着されている。このため、グリップフィード１３０の搬入補正ピン１３２が変位可能な搬送レール１２０のフレーム保持凹部１２１に容易かつ円滑に進入することができる。
【００３７】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、グリップフィード１３０の両端近傍の各々に、二本の搬入補正ピン１３２がリードフレーム２００の長手方向に配列されている。このため、搬入補正ピン１３２がリードフレーム２００の長手方向に長い形状として機能することができ、より正確に搬送レール１２０を適正な位置に配置することができる。
【００３８】
さらに、本実施の形態のフレーム搬送装置１００では、搬送レール１２０に保持されているリードフレーム２００を搬送ハンド１６０が上方に搬出するとき、搬送ハンド１６０の搬出補正部材１６１が搬送レール１２０の搬出ガイド部１２５と係合する。このため、やはり搬送レール１２０の位置を補正するためだけの専用の機構などを増設する必要がなく、簡単な構造でリードフレーム２００を適正に把持することができる。
【００３９】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、搬送レール１２０の水平方向の可動範囲は、可動支持機構１４０の貫通孔１４２と支持ピン１４４との関係で調整することができる。図９に示すように、所定直径の支持ピン１４４と所定直径の貫通孔１４２とで搬送レール１２０が角度θ１まで傾斜するとき、例えば、図１０に示すように、貫通孔１４２を大径とすると搬送レール１２０の傾斜の角度θ２を拡大することができる。
【００４０】
また、図１１に示すように、リードフレーム２００の長手方向に配列されている一対の貫通孔１４２と支持ピン１４４との距離を短縮することでも、搬送レール１２０の傾斜の角度θ３を拡大することができる。さらに、図１２に示すように、貫通孔１４２をリードフレーム２００の短手方向に細長い楕円形に形成することでも、搬送レール１２０の傾斜の角度を拡大することができる。また、図１３に示すように、貫通孔１４２を円弧状に形成することでも、搬送レール１２０の傾斜の角度を拡大することができる。
【００４１】
さらに、上記形態では搬送レール１２０のフレーム保持凹部１２１に、グリップフィード１３０の両端近傍の一対の搬入補正ピン１３２が係合することで、搬送レール１２０が適正な位置に配置されることを例示した。
【００４２】
しかし、図１４に示すように、グリップフィード１３０の一対の搬入補正部材１３３が外側から搬送レール１２０の側面に係合することでも、搬送レール１２０を適正な位置に配置することができる。また、図１５に示すように、グリップフィード１３０の下面開口の凹部である搬入補正部材１３４が搬送レール１２０の側部を凸部として係合することでも、搬送レール１２０を適正な位置に配置することができる。
【００４３】
さらに、上記形態ではグリップフィード１３０の搬入補正ピン１３２を搬送レール１２０のフレーム保持凹部１２１に円滑に挿入させるため、短手方向に一対の拡開した三角形のガイドプレート１２４が搬送レール１２０に装着されていることを例示した。
【００４４】
しかし、搬送レール１２０の可動範囲が制限されているならば、図１６に示すように、フレーム保持凹部１２１の一端を直線状の傾斜面で拡開した形状に形成してもよく、図１７に示すように、円弧状の湾曲面で拡開した形状に形成してもよい。
【００４５】
さらに、上記形態では搬入補正ピン１３２は、グリップフィード１３０の両端近傍の各々に二本の搬入補正ピン１３２がリードフレーム２００の長手方向に配列されていることで、搬入補正ピン１３２がリードフレーム２００の長手方向に長い形状として機能できることを例示した。しかし、図１８に示すように、グリップフィード１３０の両端近傍の各々にリードフレーム２００の長手方向に細長形状の搬入補正部材１３５が一個ずつ形成されていてもよい。
【００４６】
また、上記形態では搬送ハンド１６０に形成されていて搬出ガイド部１２５と係合することで搬送レール１２０を適正位置に配置する搬出補正部材１６１を有し、搬出ガイド部１２５は、搬送レール１２０の前端中央と側部中央とに上部が拡開した凹部として形成されており、搬出補正部材１６１は、搬出ガイド部１２５に係合するシャフトからなることを例示した。
【００４７】
しかし、図１９および図２０に示すように、搬出補正部材１６４の下端が下方に拡開した形状に形成されており、搬出ガイド部１２６が上方に突出した凸部として形成されていてもよい。
【００４８】
なお、当然ながら、上述した実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態および変形例では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１０ フレーム搬送装置
１１ マガジン
１２ リードフレーム
１３ プッシャ
１４，１５ 位置補正部
１６ 搬送ユニット
１７ 供給ユニット
１００ フレーム搬送装置
１０１ ベースプレート
１０２ レール受け台
１０５ ガイドレール
１１０ フレームマガジン
１１１ エレベータ
１２０ 搬送レール
１２１ フレーム保持凹部
１２４ ガイドプレート
１２５ 搬出ガイド部
１２６ 搬出ガイド部
１３０ グリップフィード
１３１ 前後移動ガイド
１３２ 搬入補正ピン
１３３ 搬入補正部材
１３４ 搬入補正部材
１３５ 搬入補正部材
１４０ 可動支持機構
１４１ 上端
１４２ 貫通孔
１４３ 上端
１４４ 支持ピン
１６０ 搬送ハンド
１６１ 搬出補正部材
１６２ パッド
１６３ チャック爪
１６４ 搬出補正部材
２００ リードフレーム
２１０ 回路基板
２２０ 集積回路
θ１ 角度
θ２ 角度
θ３ 角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2013089743.tif 000018
【図１７】
2013089743.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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