(57)【要約】【課題】液体選定の自由度を向上し、コゲーションの問題もなく、駆動体積が大きく、駆動エネルギが大きく、信頼性が高い小型、集積化の容易なサーマルアクチュエータ型のインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】実施の形態の一つのインクジェット式記録ヘッドは、インクを吐出するノズル開口部が設けられるノズルプレートと、側壁部と、側壁部を挟んでノズルプレートと対向する可動プレートとを有する圧力発生室を備え、可動プレートが、側壁部に周辺部を固定された固定端を有する第１の弾性膜と、第１の弾性膜の固定端から中央部に向かって延在して第１の弾性膜に積層され、第１の弾性膜の中央部には積層されず、第１の弾性膜と熱膨張係数の異なる第２の弾性膜とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズル開口部が設けられるノズルプレートと、側壁部と、前記側壁部を挟んで前記ノズルプレートと対向する可動プレートとを有する圧力発生室を備え、
前記可動プレートが、前記側壁部に周辺部を固定された固定端を有する第１の弾性膜と、前記第１の弾性膜の前記固定端から中央部に向かって延在して前記第１の弾性膜に積層され、前記第１の弾性膜の中央部には積層されず、前記第１の弾性膜と熱膨張係数の異なる第２の弾性膜とを備えることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜の熱膨張係数が５×１０−６／℃以上異なり、前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜の剛性の比が０．３以上１．８以下であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
前記第１の弾性膜を挟んで前記第２の弾性膜の反対側の前記第１の弾性膜の中央部に積層され、熱膨張係数が前記第２の弾性膜と等しいか、または、前記第１と第２の弾性膜の熱膨張係数の間にある第３の弾性膜を、さらに備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載のインクジェッ式記録トヘッド。
【請求項４】
前記第２の弾性膜に接続され、前記第２の弾性膜を抵抗発熱させるための通電用電極を、さらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれか一項記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
前記第１の弾性膜に接続され、前記第１の弾性膜を抵抗発熱させるための通電用電極を、さらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれか一項記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
前記第１の弾性膜または前記第２の弾性膜に接して形成される抵抗発熱膜と、前記抵抗発熱膜を抵抗発熱させるための通電用電極を、さらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれか一項記載のインクジェット式記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施の形態は、インクジェット式記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いるインクジェット式記録装置では、マイクロアクチュエータを含む液滴吐出ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドが使用される。インクジェット式記録ヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室（加圧室、圧力室、加圧液室、インク流路、吐出室等とも称される）と、この液室内のインクを加圧する圧力発生手段（アクチュエータ手段）とを備える。そして、アクチュエータ手段を駆動することで液室内インクを加圧してノズルからインク滴を吐出させる。
【０００３】
従来のインクジェット式記録ヘッドは、アクチュエータ手段の種類という点から、圧電素子を用いて液室の壁面を形成する振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、液室内に配設した発熱抵抗体を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型のもの、熱膨張に伴う機械的変形によるアクチュエータ効果を発生するサーマルアクチュエータ型のもの、液室の壁面を形成する振動板（又はこれと一体の電極）と対向電極を用いて静電力で振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させる静電型のものに大別される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−０３０５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したようなインクジェット式記録ヘッドの内、ピエゾ型にあっては、圧電素子がインクに直接接触せず、圧電素子の発熱も無視できるため、使用するインク種類の制約がないという利点がある。反面、圧電素子の高熱処理（ＰＺＴ焼成）、積層型圧電素子を用いる場合には分割化、個々の圧電素子の位置合わせ等の機械的、熱的な技術課題が大きく、煩雑な工程と装置によってコストが高くなる。
【０００６】
また、バブル型にあっては、半導体技術の応用によってヒータを非常に小さくできることから、ヘッドの高集積化、小型化が容易であるという利点を有する反面、バブルを発生させるためにヒータ表面温度が４００〜４５０℃と高くなる。このため、インクに極端な高熱を与えることからインク組成が変化し、ヒータのインク接触部分でのコゲーションが発生する。そのため、インク染料の選択が重要になり、顔料インクを使用することが難しく、カラー画像の高画質化に限界が生じ、またコゲーションによるヒータの劣化でバブル発生が不良になったり、高熱のためにヒータ保護膜が劣化してクラックによるヒータ断線が生じたりするなどの不良が発生し易い。
【０００７】
また、サーマルアクチュエータ型にあっては、片持ち梁のバイメタルを使用したものと、両持ち梁の座屈変形を使用したものに分けられるが、片持ち梁のバイメタルを使用したものは駆動エネルギ（駆動圧力）が小さく、自由端のところで液漏れがあるという問題点があり、両持ち梁の座屈変形を使用したものは駆動体積が小さい。
【０００８】
さらに、静電型にあっては、ピエゾ型と同様に微細加工のプロセスが困難であり、材料選択性が少なく、プロセス工程が長く、コスト高になる。
【０００９】
インクジェット式記録ヘッドにおいては、インク滴を吐出する能力を増大させためには、駆動体積および駆動時にインクに印加される駆動エネルギを大きくすることが重要である。駆動エネルギは、一般に駆動体積とインクに印加される圧力の積に比例する。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、液体選定の自由度が向上し、コゲーションの問題もなく、駆動体積が大きく、駆動エネルギが大きく、信頼性が高い小型、集積化の容易なサーマルアクチュエータ型のインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
実施の形態の一つのインクジェット式記録ヘッドは、インクを吐出するノズル開口部が設けられるノズルプレートと、側壁部と、前記側壁部を挟んで前記ノズルプレートと対向する可動プレートとを有する圧力発生室を備え、前記可動プレートが、前記側壁部に周辺部を固定された固定端を有する第１の弾性膜と、前記第１の弾性膜の前記固定端から中央部に向かって延在して前記第１の弾性膜に積層され、前記第１の弾性膜の中央部には積層されず、前記第１の弾性膜と熱膨張係数の異なる第２の弾性膜とを備える。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。
【図２】図１のＡＡ断面図である。
【図３】第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。
【図４】第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す図である。
【図５】第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。
【図６】図５のＡＡ断面図である。
【図７】第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。
【図８】第１ないし第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの変形例の動作を示す図である。
【図９】第１ないし第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの変形例の動作を示す図である。
【図１０】第３の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。
【図１１】図１０のＡＡ断面図である。
【図１２】第４の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。
【図１３】実施例１の圧電膜および弾性膜の変形挙動を示す模式図である。
【図１４】実施例１の弾性膜の剛性比と駆動体積および駆動エネルギの関係を示す図である。
【図１５】実施例１の弾性膜の端部長の割合と駆動体積および駆動エネルギの関係を示す図である。
【図１６】実施例２の弾性膜の剛性比と駆動体積および駆動エネルギの関係を示す図である。
【図１７】実施例２の弾性膜の端部長の割合と駆動体積および駆動エネルギの関係を示す図である。
【図１８】比較例１のインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図１９】比較例２のインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図２０】実施例および比較例のシミュレーション結果の比較図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクを吐出するノズル開口部が設けられるノズルプレートと、側壁部と、側壁部を挟んでノズルプレートと対向する可動プレートとを有する圧力発生室を備える。そして、可動プレートが、側壁部に周辺部を固定された固定端を有する第１の弾性膜と、第１の弾性膜の固定端から中央部に向かって延在して第１の弾性膜に積層され、第１の弾性膜の中央部には積層されず、第１の弾性膜と熱膨張係数の異なる第２の弾性膜とを備える。
【００１５】
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、上記構成を備えることにより、第１の弾性膜と第２の弾性膜が積層されてなる可動プレートの端部は、加熱時に大きな屈曲変形を生じる。さらに、第１の弾性膜のみからなる可動プレートの中央部は端部と逆反りの大きな座屈変形を生じる。屈曲変形と座屈変形とが複合される結果、可動プレート全体として大きな変形を生じ、大きな駆動体積および大きな駆動エネルギを有するインクジェット式記録ヘッドを提供することが可能になる。
【００１６】
図１は、第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００は、サーマルアクチュエータ型のインクジェット式記録ヘッドである。
【００１７】
図２は、図１のＡＡ断面図である。インクジェット式記録ヘッド１００は、複数の圧力発生室１１を備える。圧力発生室１１内は、インクを充填するために空洞となっている。図２は、インクジェット式記録ヘッド１００が備える複数の圧力発生室１１のうちの１つの圧力発生室の横手方向における断面構造を示す。
【００１８】
インクジェット式記録ヘッド１００のインクの流路および圧力発生室１１は流路形成基板１０を用いて形成される。流路形成基板１０としては、例えば、１００〜３００μｍ程度の厚さのシリコン基板が用いられる。シリコン基板の厚さは、望ましくは１５０〜２５０μｍ程度、より望ましくは２００μｍ程度である。これは、隣接する圧力発生室１１間の隔壁の剛性を保ちつつ、圧力発生室１１の配列密度を高くできるからである。
【００１９】
流路形成基板１０の一方の面には、シリコン基板からなるノズルプレート２０が接続される。ノズルプレート２０には、例えばエッチングにより、インクを吐出するノズル開口部２１が形成されている。
【００２０】
流路形成基板１０の他方の面には、可動プレート３０が設けられている。ノズルプレート２０、側壁部１０ａ、および側壁部１０ａを挟んでノズルプレート２０と対向する可動プレート３０で圧力発生室１１が構成されている。
【００２１】
可動プレート３０は、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂで構成されている。第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂは異なる熱膨張係数を備えている。
【００２２】
第１の弾性膜３０ａは、流路形成基板１０の側壁部１０ａ、１０ｂ側が固定端となっている。そして、第２の弾性膜３０ｂは、第１の弾性膜３０ａの端部３１に積層され、第１の弾性膜３０ａの中央部３２には積層されない。すなわち、第１の弾性膜３０ａの固定端から中央部に向かって第２の弾性膜３０ｂは延在して積層されるが、中央部３２には積層されない。
【００２３】
図２の断面で見た場合に、可動プレートの自由部分、すなわち、側壁部１０ａと側壁部１０ｂ間の距離（圧力発生室１１の内部の幅と等しい）を１とした場合に、端部３１の割合、すなわち、第１の弾性膜３０ａに積層される第２の弾性膜３０ｂの割合が、片側で０．３以上０．４以下、すなわち両側で０．６以上０．８以下の範囲にあることが望ましい。この範囲にあることで、インクジェット式記録ヘッド１００の駆動体積および駆動エネルギが最大値をとり得るからである。
【００２４】
そして、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数が５×１０−６／℃以上異なることが望ましい。この値未満では、インクを吐出する上で十分な駆動体積と駆動エネルギが得られないおそれがあるからである。
【００２５】
また、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｃの剛性の比が０．３以上１．８以下であることが望ましい。この範囲を超えると、インクを吐出する上で十分な駆動体積と駆動エネルギが得られないおそれがあるからである。
【００２６】
第１の弾性膜３０ａは、例えば、予め熱酸化により形成した、厚さ１〜２μｍのシリコン酸化膜（二酸化シリコン）で形成される。第１の弾性膜３０ａは、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１１の一部を構成する。
【００２７】
シリコン酸化膜は非晶質であることが、均等な変形が実現できるという観点から望ましい。また、安定した組成および特性を備える膜の製造が容易という観点からも望ましい。さらに、従来の半導体プロセスとの整合性がよいという点からも望ましい。同様の観点から、非晶質のシリコン窒化膜を適用することも望ましい。なお、第１の弾性膜３０ａには、弾性を備える膜であれば、上記シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜以外の膜を適用することも可能である。
【００２８】
第２の弾性膜３０ｂは、厚さが例えば、約２μｍの銅からなる。第１の弾性膜３０ａの中央部３２には第２の弾性膜３０ｂは形成されていない。
【００２９】
流路形成基板１０の側壁部１０ａ、１０ｂには、例えば、シリコン基板からなるノズルプレート２０が接続される。ノズルプレート２０は、圧力発生室１１の一部を構成する。ノズルプレート２０には、例えばエッチングによりノズル開口部２１が形成されている。
【００３０】
ここで、インク滴吐出圧力をインクに与える圧力発生室１１の大きさと、インク滴を吐出するノズル開口２１の大きさとは、吐出するインク滴の量、吐出スピード、吐出周波数に応じて最適化される。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合、ノズル開口１１は数十μｍの溝幅で精度よく形成する必要がある。
【００３１】
また、各圧力発生室１１と共通インク室６０とは、ノズルプレート２０の各圧力発生室１１の一端部に対応する位置にそれぞれ形成されたインク供給路６１を介して連通されている。インクはこのインク供給路６１を介して共通インク室６０から供給され、各圧力発生室１１に分配される。
【００３２】
図１、図２に示すインクジェット式記録ヘッド１００は、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口６２からインクを取り込み、共通インク室６０から各圧力発生室１１のノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たす。
【００３３】
そして、インクジェット式記録ヘッド１００は、第２の弾性膜３０ｂに接続され、第２の弾性膜３０ｂを抵抗発熱させるための通電用電極を備えている。通電用電極は、各圧力発生室１１に設けられる個別電極７２と共通電極７４である。
【００３４】
図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室１１の個別電極７２に接続したリード７１および共通電極７４に接続したリード７３を介して第２の弾性膜３０ｂに電圧を印加して、第２の弾性膜３０ｂを発熱させる。これにより、第２の弾性膜３０ｂが加熱される。
【００３５】
第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数の差により第１の弾性膜３０ａの端部３１を凸状に屈曲変形させ、さらに第１の弾性膜３０ｂの中央部３２は圧縮応力により凹状に座屈変形させる。このようにして可動プレート３０が大きく変形することにより、圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３６】
なお、本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００では、第２の弾性膜３０ｂの抵抗を高くすることで発熱量を大きくするために、第２の弾性膜３０ｂの形状をジグザグ形状にしており、比抵抗値の小さい銅などの抵抗発熱体を使用することができる。
【００３７】
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００は、可動プレート３０において、第１の弾性膜３０ａの端部３１のみに第２の弾性膜３０ｂが積層されている。このため、可動プレート３０は、第１の弾性膜３０ａの中央部３２では第１の弾性膜３０ａのみで変形しやすいため、端部３１はバイメタル効果により大きな変形を生じることが可能である。さらに、可動プレート３０は、中央部３２では圧縮応力により大きな座屈変形を生じる。よって、可動プレート３０の変位量を向上させることが可能になり、大きな駆動体積および大きな駆動エネルギを有し、駆動効率の高いインクジェット式記録ヘッドが実現される。
【００３８】
また、本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００は、圧電型インクジェット式記録ヘッドに使用される鉛などの有害物質を含まず、環境にもやさしいインクジェット式記録ヘッドが実現可能である。また、第１の弾性膜３０ａや第２の弾性膜３０ｂは安定した組成を製造することが容易であり、半導体プロセスとの整合性も良い。したがって、特性の安定したインクジェット式記録ヘッドを低コストで製造することが可能になる。
【００３９】
図３は、第１の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。図３は、第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数が第１の弾性膜３０ｂの熱膨張係数より大きい場合を示している。第２の弾性膜３０ｂに電圧が印加されることにより、第２の弾性膜３０ｂが発熱し、可動プレート３０が全体として下に凸に変形する。
【００４０】
図４（ａ）〜（ｄ）は、本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す図である。以下、シリコン単結晶基板からなる流路形成基板１０上に、第１の弾性膜３０ａ及び第２の弾性膜３０ｂ等を形成するプロセスを、図４（ａ）〜（ｄ）を参照しながら説明する。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、まず、流路形成基板１０となるシリコン単結晶基板のウェハを、約１１００℃の拡散炉で熱酸化して二酸化シリコンからなる第１の弾性膜３０ａを形成する。そして、フォトリソグラフィーおよび反応性イオンエッチングによりパターニングする。
【００４２】
次に、図４（ｂ）に示すように、第１の弾性膜３０ａ上に、スパッタリングにより銅からなる第２の弾性膜３０ｂを成膜する。そして、フォトリソグラフィーおよび反応性イオンエッチングによりパターニングする。
【００４３】
次に、図４（ｃ）に示すように、流路形成基板１０の第１の弾性膜３０ａと対向する裏面側から、裏面フォトリソグラフィーおよび反応性イオンエッチングにより、圧力発生室１１のパターンをパターニングにより形成する。このパターニングにより側壁部１０ａ、１０ｂが形成される。
【００４４】
次に、図４（ｄ）に示すように、流路形成基板１０と、あらかじめフォトリソグラフィーおよび反応性イオンエッチングによりノズル開口２１を形成したシリコン単結晶基板からなるノズルプレート２０を接着する。接着法としては、例えば、真空雰囲気中で双方の基板表面を清浄処理後密着して加圧により接着する、シリコンダイレクトボンディング法を用いても良いし、有機接着剤を用いても良い。
【００４５】
なお、以上説明した一連の膜形成及びエッチングは、一枚のウェハ上に多数のチップを同時に形成し、プロセス終了後、図１に示すような一つのチップに分割する。
【００４６】
以上の製造方法により、本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００を製造することが可能である。
【００４７】
以上、本実施の形態によれば、液体選定の自由度が向上し、コゲーションの問題もなく、駆動体積が大きく、駆動エネルギが大きく、信頼性が高い小型、集積化の容易なサーマルアクチュエータ型のインクジェット式記録ヘッドを提供することが可能となる。
【００４８】
（第２の実施の形態）
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、第１の弾性膜または第２の弾性膜に接して形成される抵抗発熱膜と、抵抗発熱膜を抵抗発熱させるための通電用電極を、さらに備えること、第２の弾性膜がジグザグ形状でなく矩形形状であること以外は第１の実施の形態と同様である。したがって、第１の実施の形態と重複する内容については、記述を省略する。
【００４９】
図５は、第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、サーマルアクチュエータ型のインクジェット記録ヘッドである。
【００５０】
図６は、図１のＡＡ断面図である。インクジェット式記録ヘッド２００が備える複数の圧力発生室１１のうちの１つの圧力発生室１１の横手方向における断面構造を示す。
【００５１】
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、第１の弾性膜３０ａまたは第２の弾性膜３０ｂに接して形成される抵抗発熱膜３０ｃと、抵抗発熱膜３０ｃを抵抗発熱させるための通電用電極を備えている。抵抗発熱膜３０ｃとしては、比較的比抵抗値の大きなチタン／アルミニウム合金や、鉄／クロム合金などを使用することができる。
【００５２】
そして、抵抗発熱膜３０ｃに接続され、抵抗発熱膜３０ｃを抵抗発熱させるための通電用電極を備えている。通電用電極は、各圧力発生室１１に設けられる個別電極７２と共通電極７４である。
【００５３】
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、抵抗発熱膜３０ｃを備える。これにより、第２の弾性膜３０ｂは、第１の実施の形態と異なり、発熱体としての抵抗を考慮する必要がなくなる。したがって、第２の弾性膜３０ｂの形状や厚さ等については、可動プレート３０の変形にとって最適となるよう任意の形状や厚さ等を選択することが可能となる。ここでは、第２の弾性膜３０ｂが、矩形形状を呈する場合を例示している。
【００５４】
図７は、第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。図７は、第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数が第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数より大きい場合を示している。抵抗発熱膜３０ｃに電圧が印加されることにより、抵抗発熱膜３０ｃが発熱し、可動プレート３０が全体として下に凸に変形する。
【００５５】
なお、抵抗発熱膜３０ｃが可動プレート３０の変形をできるだけ妨げないように、抵抗発熱膜３０ｃは第１の弾性膜３０ａおよび第２の弾性膜３０ｂよりも膜厚が薄いことが望ましい。また、抵抗発熱膜３０ｃが可動プレート３０の変形をできるだけ妨げないように、抵抗発熱膜３０ｃの弾性膨張係数が、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数のいずれか一方と等しいか、その間の範囲にあることが望ましい。
【００５６】
例えば、第１の実施の形態においては、第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数を第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数より大きいとし、第１の弾性膜３０ａを絶縁体とし、第２の弾性膜３０ｂを導電体とし、第２の弾性膜３０ｂに通電加熱する例を説明したが、その他にも多くの変形例が可能である。
【００５７】
図８（ａ）〜（ｅ）は、第１ないし第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの変形例の動作を示す図である。図８（ａ）〜（ｅ）は、いずれも第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数が第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数より小さい場合の変形例を示す。
【００５８】
図８（ａ）は、第１の実施の形態と同様に、第２の弾性膜３０ｂを導電体として通電加熱した例である。例えば、第１の弾性膜３０ａとして、酸化シリコンや窒化シリコンなどの無機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとして、金属の抵抗膜を使用することができる。
【００５９】
図８（ｂ）は、第１の弾性膜３０ａを導電体として通電加熱した例である。例えば、第１の弾性膜３０ａとして、金属の抵抗膜を、第２の弾性膜３０ｂとして、熱膨張係数の大きなポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を使用することができる。
【００６０】
図８（ｃ）から（ｅ）は、第１の弾性膜３０ａおよび第２の弾性膜３０ｂに加えて、薄い抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃを薄くすることによりアクチュエータの変形に対する力学的な寄与が小さくなり、材料の選択範囲が広がる。
【００６１】
図８（ｃ）は、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの間に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。第２の実施の形態と同様である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能であるが、望ましくはその熱膨張係数が第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数のいずれか一方と等しいか、その間の範囲にあることが望ましい。例えば、第１の弾性膜３０ａとして酸化シリコンなどの無機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００６２】
図８（ｄ）は、第１の弾性膜３０ａの下側に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能であるが、望ましくはその熱膨張係数が第１の弾性膜３０ａと同程度が望ましい。例えば、第１の弾性膜３０ａとして窒化シリコンなどの無機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００６３】
図８（ｅ）は、第２の弾性膜３０ｂの上側に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能である。例えば、第１の弾性膜３０ａとして酸化シリコンや窒化シリコンなどの無機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００６４】
図９（ａ）〜（ｅ）は、第１ないし第２の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの変形例の動作を示す図である。図９（ａ）〜（ｅ）は、いずれも第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数が第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数より大きい場合の変形例を示す。
【００６５】
図９（ａ）は、第２の弾性膜３０ｂを導電体として通電加熱した例である。例えば、第１の弾性膜３０ａとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとして、金属の抵抗膜を使用することができる。
【００６６】
図９（ｂ）は、第１の弾性膜３０ａを導電体として通電加熱した例である。例えば、第１の弾性膜３０ａとして金属の抵抗膜を、第２の弾性膜３０ｂとして酸化シリコンや窒化シリコンなどの無機絶縁膜を使用することができる。
【００６７】
図９（ｃ）から（ｅ）は、第１の弾性膜３０ａおよび第２の弾性膜３０ｂに加えて、薄い抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃを薄くすることによりアクチュエータの変形に対する力学的な寄与が小さくなり、材料の選択範囲が広がる。
【００６８】
図９（ｃ）は、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの間に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能である。例えば、第１の弾性膜３０ａとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとして、酸化シリコンなどの無機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００６９】
図９（ｄ）は、第１の弾性膜３０ａの下側に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能である。例えば、第１の弾性膜３０ａとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとして窒化シリコンなどの無機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００７０】
図９（ｅ）は、第２の弾性膜３０ｂの上側に抵抗発熱膜３０ｃを設けた例である。抵抗発熱膜３０ｃは広い範囲の材料が使用可能である。例えば、第１の弾性膜３０ａとしてポリイミド膜やエポキシ膜などの有機絶縁膜を、第２の弾性膜３０ｂとして酸化シリコンや窒化シリコンなどの無機絶縁膜を、抵抗発熱膜３０ｃとしてドープしたポリシリコンなどの半導体抵抗膜を使用することができる。
【００７１】
図９（ａ）〜（ｅ）のように、電圧を印加した場合に第２の弾性膜３０ｂ側が上に凸になる場合、例えば、第２の絶縁膜３０ｂ側を、圧力発生室１１の内側とすることで、電圧印加時にインクを吐出することが可能となる。あるいは、第１の弾性膜３０ａ側を、圧力発生室１１の内側とし、電圧の印加を中断することでインクを吐出する構成とすることも可能である。
【００７２】
（第３の実施の形態）
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、第１の弾性膜の中央下部に第３の弾性膜が形成される点で第１の実施の形態と異なっている。この点以外は基本的に第１の実施の形態と同様であるので、第１の実施の形態と重複する内容については、記述を省略する。
【００７３】
図１０は、第３の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド３００は、サーマルアクチュエータ型のインクジェット記録ヘッドである。
【００７４】
図１１は、図１のＡＡ断面図である。インクジェット式記録ヘッド３００が備える複数の圧力発生室１１のうちの１つの圧力発生室１１の横手方向における断面構造を示す。
【００７５】
本実施の形態において、可動プレート３０には、第３の弾性膜３０ｄが形成されている。すなわち、第１の弾性膜３０ａの上面端部３１に形成された第２の弾性膜３０ｂに加えて、第１の弾性膜３０ａの中央部３２の下面に第３の弾性膜３０ｄが積層されている。
【００７６】
可動プレート３０の曲げ剛性を向上させる観点から、第１の弾性膜３０ａの全面に渡って、第２の弾性膜３０ｂまたは第３の弾性膜３０ｄが積層されていることが望ましい。いいかえれば、第１の弾性膜３０ａを挟む第２の弾性膜３０ｂの端部と、第３の弾性膜３０ｄの端部の位置が、一致するかまたは重なっていることが望ましい。
【００７７】
また、可動プレート３０の駆動体積・駆動エネルギを大きくする観点からは、第２の弾性膜３０ｂの端部と第３の弾性膜３０ｄ端部の位置が、ほぼ一致していることが望ましい。ほぼ一致とは、図１１の断面で見た場合に、可動プレートの自由部分、すなわち、側壁部１０ａと側壁部１０ｂ間の距離を１として規格化した場合に、第２の弾性膜３０ｂの端部と第３の弾性膜３０ｄ端部の距離が、０．０５以下であることが望ましい。
【００７８】
そして、第２の弾性膜３０ａに接続され、第２の弾性膜３０ｂを抵抗発熱させるための通電用電極を備えている。通電用電極は、各圧力発生室１１に設けられる個別電極７２と共通電極７４である。また、第２の弾性膜３０ａを介して第３の弾性膜３０ｃにも通電し、発熱させるため、第２の弾性膜３０ａと第３の絶縁膜３０ｃとはスルーホール８０、８２により接続されている。
【００７９】
ここで、第３の弾性膜３０ｄの熱膨張係数は、第３の弾性膜３０ｄを設けることで可動プレート３０の変形量を大きくするために、第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数より大きい。特に、第３の弾性膜３０ｄと第２の弾性膜３０ｂとを同一の材料にすることにより、熱膨張係数を同一にすることが望ましい。可動プレート３０の変形量を大きくするとともに、同一の材料を用いることで製造も容易になるからである。
【００８０】
以下、第１の弾性膜３０ａの熱膨張係数よりも第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数が大きく、第２の弾性膜３０ｂと第３の弾性膜３０ｄが同一の材料で熱膨張係数が等しい場合を例に説明する。例えば、第１の弾性膜３０ａはシリコン酸化膜であり、第２および第３の弾性膜３０ｂ、３０ｄが銅（Ｃｕ）である。
【００８１】
なお、本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド１００では、第２の弾性膜３０ｂの抵抗を高くし発熱量を大きくするために、第２の弾性膜３０ｂの形状をジグザグ形状にしている。
【００８２】
第２および第３の弾性膜３０ｂ、３０ｄへの通電により、第１の弾性膜３０ａ、第２の弾性膜３０ｂ、第３の弾性膜３０ｄが加熱される。そして、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの熱膨張係数の差により第１の弾性膜３０ａの端部３１を凸状（上に凸）に屈曲変形させ、さらに第１の弾性膜３０ａと第３の弾性膜３０ｄの熱膨張係数の差により第１の弾性膜３０ａの中央部３２を圧力発生室１１内部に向かって凹状（下に凸）に屈曲変形させる。これにより、圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００８３】
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッド３００は、第１の弾性膜３０ａの端部３１に第２の弾性膜３０ｂが積層されており、第１の弾性膜３０ａの中央部３２の反対の面には第３の弾性膜３０ｄが積層されている。したがって、バイメタル効果により端部３１と中央部３２には逆向きの変形が生じることによる大きな変形を生じさせることが可能である。よって、第１の弾性膜３０ｄ（または可動プレート３０）の変位による吐出液量を向上させることが可能になり、駆動効率の高いインクジェット式記録ヘッドが実現される。
【００８４】
また、第１の弾性膜３０ａの全面に渡って第２の弾性膜３０ｂまたは第３の弾性膜３０ｄが形成されているため、第１の弾性膜３０ａの曲げ剛性が大きくなり、吐出圧力が増大し、吐出体積と吐出圧力の積に比例する駆動エネルギも増大するという特徴がある。
【００８５】
（第４の実施の形態）
本実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、第２の弾性膜の形状がジグザグ形状ではなく矩形形状であること以外は、第３の実施の形態と同様である。したがって、第３の実施の形態と重複する内容については記述を省略する。
【００８６】
図１２は、第４の実施の形態のインクジェット式記録ヘッドの上面図である。図１２に示すように第２の弾性膜１０ｂが矩形形状を呈している。すなわち、端部がジグザグではなく直線となっている。
【００８７】
なお、抵抗発熱膜として使用される第２の弾性膜３０ｂとして、例えば、比較的、比抵抗値の大きなチタン／アルミニウム合金や、鉄／クロム合金などの金属膜を使用することにより、第３の実施の形態にあるようなジグザグの形状を取らず、本実施の形態のように矩形形状の形態をとることが可能となる。
【００８８】
本実施の形態によれば、第２の弾性膜３０ｂの形状に関し、発熱からの制約が緩和される。したがって、可動プレート３０の変位をより考慮した形状を選択することができる。よって、より駆動体積、駆動エネルギの大きいインクジェット式記録ヘッドを実現することが可能となる。
【００８９】
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。上記、実施の形態はあくまで、例として挙げられているだけであり、本発明を限定するものではない。また、実施の形態の説明においては、インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法等で、本発明の説明に直接必要としない部分等については記載を省略したが、必要とされるインクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法等に関わる要素を適宜選択して用いることができる。
【００９０】
例えば、流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板以外に、その他の半導体単結晶基板等を適用してもかまわない。
【００９１】
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全てのインクジェット式記録ヘッドが、本発明の範囲に包含される。本発明の範囲は、特許請求の範囲およびその均等物の範囲によって定義されるものである。
【実施例】
【００９２】
以下、実施例と比較例について説明する。
【００９３】
（実施例１）
図１、２に示す第１の実施の形態と同様の構造を備えるインクジェット式記録ヘッドについて、シミュレーションを行った。第２の弾性膜３０ｂに通電加熱を行ったときの、第１の弾性膜３０ａに生じる撓みについて、シミュレーション結果に基づきさらに詳細に説明する。
【００９４】
シミュレーションに使用した本実施例の主要部寸法を表１に示す。第１の弾性膜３０ａとしては、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）を、第２の弾性膜３０ｂとしては銅を使用した。
【００９５】
【表１】
2013248762.tif 000003
【００９６】
なお、本実施例における第１と第２の弾性膜の剛性比は約０．７３であり、第１の弾性膜の端部の幅の圧力発生室幅に対する割合は０．３３である。剛性比は式（１）により算出した。ここで、Ｅ１とＶ１は第１の弾性膜のヤング率と断面積、Ｅ２とＶ２は第２の弾性膜のヤング率と断面積である。
【００９７】
剛性比＝Ｅ２・Ｖ２／（Ｅ１・Ｖ１）      式（１）
【００９８】
図１３は、第２の弾性膜３０ｂに０．３０Ａの電流を５μｓ流し、第２の弾性膜３０ｂの最高温度が２００℃になったときの、本実施例の記録ヘッドのシミュレータで計算された可動プレート３０の変形を示す図である。ただし、変形の撓みは２倍に拡大して表示している。
【００９９】
第２の弾性膜３０ｂと積層された第１の弾性膜３０ａの端部３１においては、熱膨張差により凸状に変形し、また中央部３２においては凹状に変形していることが分かる。中央部３２の中心の垂直方向の変位は０．４４μｍであり、５００μｍの長さの第１の弾性膜３０ａ全体での駆動体積は６ｐｌ（ピコリットル）である。第１の弾性膜３０ａの中心を０．４４μｍ変形させるための駆動圧力は１．０６ＭＰａであり、本実施例のインクジェット式駆動ヘッドのトータルの駆動エネルギは３．２ｎＪと算出された。
【０１００】
例えば、体積５ｐｌ（ピコリットル）の有機溶媒や水溶液からなるインク滴を１０ｍ／ｓの速度で吐出するときの表面エネルギと運動エネルギの和は、０．１〜０．３ｎＪ程度である。一般に記録ヘッドに必要とされる駆動エネルギは、インク滴のエネルギの１０倍程度といわれていることから、本実施例のインクジェット式記録ヘッドは、体積５ｐｌ（ピコリットル）程度のインク滴を吐出する能力を有していることが分かる。
【０１０１】
次に、本実施例において表１に示した各パラメータを変更したときの挙動について、同様にシミュレーション結果を使用して詳細に検討する。
【０１０２】
まず、第１や第２の弾性膜３０ａ、３０ｂの厚さを変化させたときの性能について検討した。図１４（ａ）は、駆動体積に及ぼす、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂの剛性比の影響を示し、図１４（ｂ）は、駆動エネルギに及ぼす剛性比の影響を示す。
【０１０３】
駆動体積は剛性比が０．５以上０．６以下の範囲で最大値を示す。一方、駆動エネルギは剛性比が１以上１．１以下の範囲で最大値を示す。インク滴を吐出するためには、駆動体積と駆動エネルギの双方が大きいことが必要であるから、剛性比は０．５以上１．１以下の範囲であることが最も望ましい。また、各最大値の１／２以上の性能があることが必要と考えられることから、少なくても剛性比が０．３以上１．８以下であることが望ましい。
【０１０４】
次に、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂが積層されている、端部３１の幅が圧力発生室１１の幅（側壁部１０ａと側壁部１０ｂ間の距離に等しい）に占める割合について検討した。図１５（ａ）は、駆動体積に及ぼす、端部３１の幅（端部長）の割合の影響を示し、図１５（ｂ）に駆動エネルギに及ぼす端部３１の幅（端部長）の割合の影響を示す。
【０１０５】
駆動体積および駆動エネルギは、共に端部３１の幅（端部長）の割合が０．３以上０．４以下で最大値を示す。したがって、端部３１の幅の割合は０．３以上０．４以下であることが最も望ましい。また、各最大値の１／２以上の性能があることが必要と考えられることから、少なくても端部３１の幅の割合は０．２以上０．４５以下であることが望ましい。
【０１０６】
（実施例２）
図１０、１１に示す第３の実施の形態と同様の構造を備えるインクジェット式記録ヘッドについて、シミュレーションを行った。第２の弾性膜３０ｂおよび第３の弾性膜３０ｄに通電加熱を行ったときの、第１の弾性膜３０ａに生じる撓みについて、シミュレーション結果に基づきさらに詳細に説明する。
【０１０７】
シミュレーションに使用した本実施例の主要部寸法を表２に示す。第１の弾性膜３０ａとしては、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）を、第２の弾性膜３０ｂおよび第３の弾性膜３０ｄとしては銅を使用した。
【０１０８】
なお、本実施例における第１と第２ないし第３の弾性膜の剛性比は約０．７３であり、第１の弾性膜の端部の幅の圧力発生室幅に対する割合は０．２５である。剛性比は上記式（１）により算出した。
【０１０９】
【表２】
2013248762.tif 000004
【０１１０】
第２および第３の弾性膜３０ａ、３０ｄに０．２８Ａの電流を５μｓ流し、第２および第３の弾性膜３０ａ、３０ｄの最高温度が２００℃になったとき、中央部３２の中心の垂直方向の変位は０．３６μｍであり、５００μｍの長さの第１の弾性膜３０全体での駆動体積は５．６ｐｌ（ピコリットル）である。第１の弾性膜３０ａの中心を０．３６μｍ変形させるための駆動圧力は１．８ＭＰａであり、本実施例のインクジェット式駆動ヘッドのトータルの駆動エネルギは５．２ｎＪと算出された。
【０１１１】
例えば、体積５ｐｌ（ピコリットル）の有機溶媒や水溶液からなるインク滴を１０ｍ/ｓの速度で吐出するときの表面エネルギと運動エネルギの和は、０．１〜０．３ｎＪ程度である。一般に記録ヘッドに必要とされる駆動エネルギは、インク滴のエネルギの１０倍程度といわれていることから、本実施例のインクジェット式記録ヘッドは、体積５ｐｌ（ピコリットル）程度のインク滴を吐出する能力を有していることが分かる。
【０１１２】
次に、本実施例において表２に示した各パラメータを変更したときの挙動について、同様にシミュレーション結果を使用して詳細に検討する。
【０１１３】
まず、第１の弾性膜３０に対して、第２および第３の弾性膜３０ａ、３０ｄの厚さを変化させたときの性能について検討した。図１６（ａ）は、駆動体積に及ぼす、第１の弾性膜と第２ないし第３の弾性膜の剛性比の影響を示し、図１６（ｂ）に駆動エネルギに及ぼす剛性比の影響を示す。剛性比は上記式（１）と同様に算出した。
【０１１４】
駆動体積は剛性比が小さいほど増大し、一方駆動エネルギは剛性比が１以上１．１以下で最大値を示す。インク滴を吐出するためには、駆動体積と駆動エネルギの双方が大きいことが必要であるから、剛性比は０．５以上１．１以下であることが最も望ましい。また、各最大値の１／２以上の性能があることが必要と考えられることから、少なくても剛性比が０．３以上１．８以下であることが望ましい。
【０１１５】
次に、第１の弾性膜３０ａと第２の弾性膜３０ｂが積層されている、端部３１の幅（端部長）の圧力発生室１１の幅に占める割合について検討した。図１７（ａ）は、駆動体積に及ぼす、端部３１の幅の割合の影響を示し、図１７（ｂ）に駆動エネルギに及ぼす端部３１の割合の影響を示す。
【０１１６】
駆動体積および駆動エネルギは、共に端部３１の幅（端部長）の割合が０．２以上０．３以下で最大値を示す。したがって、端部３１の幅の割合は０．２以上０．３以下であることが最も望ましい。また、各最大値の１／２以上の性能があることが必要と考えられることから、少なくても端部３１の幅の割合は０．０５以上０．４以下であることが望ましい。
【０１１７】
（比較例１）
次に、比較例１として、従来の片持ち梁構造を持つインクジェット式記録ヘッドについても同様にシミュレーション結果を示し、実施例１および２と詳細に比較する。
【０１１８】
図１８は、比較例１のインクジェット式記録ヘッドの断面図である。比較例１における１つの圧力発生室の横手方向における断面構造を示す図である。実施例１と同じ部材には同じ番号を付してある。
【０１１９】
比較例１のインクジェット式記録ヘッド５００においては、可動プレート３３０が、第１の弾性膜３３０ａと第２の弾性膜３３０ｂとで構成される。可動プレート３３０は、左右に分割された片持ち梁型の第１の弾性膜３３０ａを有しており、第１の弾性膜３３０の上部には、第２の弾性膜３３０ｂが直接積層され、いわゆるバイメタル構造を形成している。
【０１２０】
なお、本比較例においては、駆動体積および駆動エネルギを考慮した吐出性能が、第１の弾性膜３３０ａと第２の弾性膜３３０ｂの剛性比がほぼ１程度で最大になるため、剛性比が１となるように第２の弾性膜３３０ｂの厚さを定めた。
【０１２１】
その他の形状・寸法・材料は実施例１と同様である。シミュレーションに使用した本比較例の主要部寸法を表３に示す。
【０１２２】
【表３】
2013248762.tif 000005
【０１２３】
シミュレーションにより、第２の弾性膜３３０ｂの最大温度が２００℃になるときの、駆動体積を計算した結果、約５ｐｌ（ピコリットル）と比較的大きな値が得られた。しかしながら、駆動エネルギは１．７ｎＪと小さかった。
【０１２４】
（比較例２）
次に、比較例２として、両持ち梁の座屈駆動型インクジェット式記録ヘッドについても同様にシミュレーション結果を示し、実施例１と詳細に比較する。
【０１２５】
図１９は、比較例２のインクジェット式記録ヘッドの断面図である。比較例２における１つの圧力発生室の横手方向における断面構造を示す図である。実施例１と同じ部材には同じ番号を付してある。
【０１２６】
比較例２のインクジェット式記録ヘッド６００においては、可動プレート４３０が、第１の弾性膜４３０ａと第２の弾性膜４３０ｂとで構成される。第１の弾性膜４３０ａおよび第２の弾性膜４３０ｂは、圧力発生室１１の上面全面に形成されている。第２の弾性膜４３０ｂと第１の弾性膜４３０ａが加熱された場合に圧縮応力が加わり座屈変形を生じる。
【０１２７】
なお、本比較例においては、駆動体積および駆動エネルギを考慮した吐出性能が、第１の弾性膜３３０ａと第２の弾性膜３３０ｂの剛性比がほぼ０．４程度で最大になるため、剛性比が０．４となるように第２の弾性膜３３０ｂの厚さを定めた。
【０１２８】
その他の形状・寸法・材料は実施例１と同様である。シミュレーションに使用した本比較例の主要部寸法を表３に示す。
【０１２９】
【表４】
2013248762.tif 000006
【０１３０】
図２０は、実施例および比較例のシミュレーション結果の比較図である。比較例１および比較例２を実施例１および２と比較した結果を示す。実施例１と比較例１を比較すると、駆動体積についてはほぼ同等であるものの、駆動エネルギについては実施例１が比較例１よりも２倍程度大きく、実施例１の優位性は明らかである。また、実施例１と比較例２を比較すると、駆動エネルギは実施例１よりも一桁程度小さく、実施例１の優位性は明らかである。
【符号の説明】
【０１３１】
１０  流路形成基板
１０ａ  側壁部
１０ｂ  側壁部
１１  圧力発生室
２０  ノズルプレート
２１  ノズル開口部
３０  可動プレート
３０ａ  第１の弾性膜
３０ｂ  第２の弾性膜
３０ｃ  抵抗発熱膜
３０ｄ  第３の弾性膜
３１  端部
３２  中央部
６０  共通インク室
６１  インク供給路
６２  インク導入口
７１  リード
７２  個別電極
７３  リード
７４  共通電極
８０  スルーホール
８２  スルーホール
１００  インクジェット式記録ヘッド
２００  インクジェット式記録ヘッド
３００  インクジェット式記録ヘッド
４００  インクジェット式記録ヘッド
【図１】
2013248762.tif 000007
【図２】
2013248762.tif 000008
【図３】
2013248762.tif 000009
【図４】
2013248762.tif 000010
【図５】
2013248762.tif 000011
【図６】
2013248762.tif 000012
【図７】
2013248762.tif 000013
【図８】
2013248762.tif 000014
【図９】
2013248762.tif 000015
【図１０】
2013248762.tif 000016
【図１１】
2013248762.tif 000017
【図１２】
2013248762.tif 000018
【図１８】
2013248762.tif 000019
【図１９】
2013248762.tif 000020
【図２０】
2013248762.tif 000021
【図１３】
2013248762.tif 000022
【図１４】
2013248762.tif 000023
【図１５】
2013248762.tif 000024
【図１６】
2013248762.tif 000025
【図１７】
2013248762.tif 000026