(57)【要約】      （修正有）【課題】種々の環境下においても安定した接着特性及び剥離特性を得ることができる粘着テープを提供する。【解決手段】熱可塑性樹脂フィルムの片面に感圧性粘着剤層が形成されてなる粘着シートであって、少なくとも熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層のいずれか一方に、炭素数１〜４のアルキレン基及び炭素数１２〜１８の飽和脂肪酸残基を含むアルキレンビス飽和脂肪酸アミドが含有されている粘着テープであり、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドが、熱可塑性樹脂１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部で添加されている粘着テープ。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂フィルムの片面に感圧性粘着剤層が形成されてなる粘着シートであって、少なくとも熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層のいずれか一方に、炭素数１〜４のアルキレン基及び炭素数１２〜１８の飽和脂肪酸残基を含むアルキレンビス飽和脂肪酸アミドが含有されていることを特徴とする粘着テープ。
【請求項２】
アルキレンビス飽和脂肪酸アミドが、熱可塑性樹脂１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部で添加されてなる請求項１記載の粘着テープ。
【請求項３】
熱可塑性樹脂フィルムが、可塑剤を含む軟質ポリ塩化ビニルからなるフィルムである請求項１又は２に記載の粘着テープ。
【請求項４】
感圧性粘着剤層が、アクリル系ポリマーをベースポリマーとして含む請求項１〜３のいずれか１つに記載の粘着テープ。
【請求項５】
粘着テープの感圧性粘着層側に剥離ライナーが配置されてなる請求項１〜４のいずれか１つに記載の粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造プロセス等において再剥離可能な粘着テープの基材層として、ＰＶＣフィルム等が使用されている。粘着テープは、このようなＰＶＣフィルム等からなる基材層の一面に粘着剤層が塗布されて構成されており、基材又は粘着剤中に、脂肪酸アミドを添加し（特許文献１）、粘着剤面に、脂肪酸アミドを適度にブリードさせることによって、巻き戻し性、被着体への接着性が制御されている。
また、尿素化合物及びハイドロタルサイトを塩化ビニル系樹脂に添加することによって、良好な剥離性と耐汚染性とを得ることが提案されている（特許文献２）。
【０００３】
しかし、現状においては、その粘着特性が安定しておらず、粘着テープを巻回体として保存した場合の巻き戻しの際のロール剥離力が安定しておらず、あるいは粘着テープを剥がした際の半導体ウェハなどの被着体に対する汚染が大きい。特に、粘着テープの巻回体での保管状態、被着体への貼り合せ後の保存状態等によって、巻回体からの巻き戻し又は被着体から粘着テープを剥離する際に、剥がれにくくなる又は被着体に粘着剤等の汚染物が残る等という不具合が生じることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５７−１３９１６３号公報
【特許文献２】特開平０７−２７６５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、種々の環境下においても安定した接着特性及び剥離特性を得ることができる粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、現状の再剥離可能な粘着テープの粘着特性及び剥離特性について鋭意研究を行った結果、粘着テープの基材層又は粘着剤層に添加剤として含有されるアルキレンビス脂肪酸アミドには、合成時の原材料等によって各種の不純物の問題が存在するものの、種々のアルキレンビス脂肪酸アミドが市販されており、その種類によって、予想外にも、特に、ロール剥離力を低減させることができることを見出した。その結果、適当なアルキレンビス脂肪酸アミド、特にその飽和の化合物を選択して添加剤として含有させることにより、種々の環境下において、粘着テープの保存及び被着体への貼合わせ保存のバランスを図り、安定したロール剥離力等の剥離特性を得ることができる本発明の粘着テープの完成に至った。
【０００７】
すなわち、本発明の粘着テープは、
熱可塑性樹脂フィルムの片面に感圧性粘着剤層が形成されてなる粘着シートであって、少なくとも熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層のいずれか一方に、炭素数１〜４のアルキレン基及び炭素数１２〜１８の飽和脂肪酸残基を含むアルキレンビス飽和脂肪酸アミドが含有されていることを特徴とする。
このような粘着テープは、以下の１以上を備えることが好ましい。
アルキレンビス飽和脂肪酸アミドが、熱可塑性樹脂１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部で添加されてなる。
熱可塑性樹脂フィルムが、可塑剤を含む軟質ポリ塩化ビニルからなるフィルムである。
感圧性粘着剤層が、アクリル系ポリマーをベースポリマーとして含む。
粘着テープの感圧性粘着層側に剥離ライナーが配置されてなる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の粘着テープによれば、種々の環境下において、粘着テープの保存及び被着体への貼合わせ保存のバランスを図り、安定したロール剥離力等の剥離特性を得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
〔粘着テープ〕
本発明の粘着テープは、主として、基材層としての熱可塑性樹脂フィルムと、この熱可塑性樹脂フィルムの片面に積層された感圧性粘着剤層とによって形成されている。これら熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層のいずれか一方には、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドが含有されている。アルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、感圧性粘着剤層にのみ又は熱可塑性樹脂フィルムにのみにそれぞれ含有されていてもよいし、感圧性粘着剤層及び熱可塑性樹脂フィルムの双方に含有されていてもよい。後述するように、熱可塑性樹脂フィルム及び／又は感圧性粘着剤層が積層構造の場合には、そのうちの一層に含有されていてればよいが、少なくとも、熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層が互いに接触する層において含有されていることが好ましい。
本発明の粘着テープは、必要に応じて、感圧性粘着剤層に接触して剥離ライナーが配置されていることが適している。
【００１０】
〔アルキレンビス飽和脂肪酸アミド〕
本発明におけるアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、炭素数１〜４のアルキレン基及び炭素数１２〜１８の飽和脂肪酸残基を含む。ここで、アルキレン基は直鎖又は分岐のいずれでもよい。また、飽和脂肪酸残基とは、飽和脂肪族モノカルボン酸から水酸基を除いた基を意味する。
このようなアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、例えば、式（II）で表わすことができる。
2013173875.tif 000002
（式中、Ｒは、炭素数１〜４のアルキレン基を表し、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立して、炭素数１１〜１７の飽和炭化水素基を表す。）
【００１１】
Ｒのアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ｎ−ブチレン基等が挙げられる。
Ｒ１及びＲ２の飽和炭化水素基としては、直鎖、分岐、環状及びこれらの組み合わせのいずれをも含む。例えば、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基等の鎖状アルキル基及びこれらの分岐アルキル基等が挙げられる。
【００１２】
さらに、式（II）で表される化合物としては、式（IV）で表される化合物がより好ましい。
ＣＨ３−（ＣＨ２）ｎ−ＣＯ−ＮＨ−（ＣＨ２）ｔ−ＮＨ−ＣＯ−（ＣＨ２）ｍ−ＣＨ３      （IV）
（式中、ｎ及びｍは、それぞれ独立して、１０〜１６の整数を表し、ｔは１又は２を表す。）
【００１３】
このアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、単独で又は２種以上が組み合わせられて含有されていてもよい。より具体的には、式（II）で表される化合物は、１種であってもよいし、２種以上の混合物であってもよい。Ｒ１及びＲ２は、互いに異なっていてもよいが、同一であることが好ましい。
【００１４】
式（II）においては、Ｒは、炭素数１〜３が好ましく、炭素数１又は２がより好ましい。
Ｒ１及びＲ２は、直鎖又は分岐の飽和炭化水素基が適しており、炭素数が１１、１３、１５及び１７からなる群から選択される１以上が好ましく、炭素数１５〜１７がより好ましく、あるいはウンデシル基、ヘプタデシル基等がより好ましい。
式（IV）においては、ｎ及びｍは、炭素数が１０、１２、１４及び１６からなる群から選択される１以上が好ましく、炭素数１４〜１６がより好ましく、あるいは、１０及び１６がより好ましい。
【００１５】
式（II）の具体的な化合物としては、
Ｎ，Ｎ’−メチレンビスラウリン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−メチレンビスミリスチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−メチレンビスパルミチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−メチレンビスステアリン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−エチレンビスラウリン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−エチレンビスミリスチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−エチレンビスパルミチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−エチレンビスステアリン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−プロピレンビスラウリン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−プロピレンビスミリスチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−ブチレンレンビスパルミチン酸アミド、
Ｎ，Ｎ’−ブチレンレンビスステアリン酸アミド、
【００１６】
なかでも、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスステアリン酸アミド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスラウリン酸アミド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスパルミチン酸アミド及びこれらの組み合わせ等が好ましく、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスステアリン酸アミド及びＮ，Ｎ’−メチレンビスパルミチン酸アミドの混合物がより好ましい。なお、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスステアリン酸アミド及びＮ，Ｎ’−メチレンビスパルミチン酸アミドの含有率は、メチレンビスステアリン酸アミド：メチレンビスパルミチン酸アミド＝０〜１０：１０〜０程度が挙げられ、５〜８：２〜５程度であることが好ましい。
【００１７】
通常、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、以下に示すように、飽和脂肪酸アミドとアルデヒドとの反応により生成される。また、飽和脂肪酸アミドは、飽和脂肪酸とアンモニアとの反応によって工業的に生成されている。
２Ｒａ−ＣＯ−ＮＨ２＋ＲｂＣＨＯ→Ｒａ−ＣＯ−ＮＨ−ＣＨ２−ＮＨ−ＣＯ−Ｒａ
Ｒａ−ＣＯ−ＮＨ２＋ＲｂＣＨＯ→Ｒａ−ＣＯ−ＮＨ−Ｒｂ’ＯＨ
（式中、Ｒａ、Ｒｂ及びＲｂ’は飽和又は不飽和炭化水素基を表す）
【００１８】
なお、上述した製造方法では、ビス脂肪酸アミドのみならず、モノ脂肪酸アミドも副生成（原料として用いたものの残存も含む）され、製造条件等によって、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドの純度が変動するとともに、工業プロセスにおいては、厳密にその精度が制御されていないようである。現に、市販品であるアルキレンビス飽和脂肪酸アミドの純度を分析すると、以下のように、不純物成分を多く含み、製造ロットごとのばらつきも大きいことが確認された。
メチレンビスステアリン酸アミド／メチレンビスパルミチン酸アミド    併せて約７０％、
ステアリン酸アミド      １〜４％、
パルミチン酸アミド      ０．５〜１．５％、
ステアリン酸      １〜５％、
パルミチン酸      ０．５〜１．５％及び
トリスアミド体      約２０％。
【００１９】
このように、理論的には、飽和脂肪酸アミドとホルムアルデヒドとの反応によって得られ、その精製によって非常に純度の高いアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは存在し得るが、現実には、工業製品として、不純物が実質的に含有されていないアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは存在していない。
【００２０】
本発明の粘着テープでは、特定のアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを含有することにより、粘着テープの保存及び被着体への貼合わせ保存のバランスを図ることができ、特に、ロール剥離力の経時における上昇を効果的に抑制し、粘着剤を残留させることなく、安定した剥離特性を得ることができる。
そのために、本発明の粘着テープに使用されるアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、所定の溶媒による抽出（洗浄等も含む）等に付されて精製されているものが好ましい。
ここでの溶媒としては、原料として用いた飽和脂肪酸アミドを溶解するが、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドを溶解しない溶媒を用いることが適している。なお、飽和脂肪酸アミドとホルムアルデヒドとの反応により得られたアルキレンビス飽和脂肪酸アミドの純度をより高めるために、さらに脂肪酸アミドの原料として用いた脂肪酸をも溶解する溶媒を用いることが好ましい。ここで、溶解するとは、溶質１ｇを溶解するために必要な溶媒量が１０ｇ以下であることを意味し、溶解しないとは、溶質１ｇを溶解するために必要な溶媒量が１００ｇ以上であることを意味する。
この溶媒としては、具体的には、クロロホルム、エタノール、メタノール及びこれらの加熱溶媒等が挙げられる。なかでも、クロロホルム、加熱エタノール、加熱メタノール等が好ましい。
【００２１】
抽出としては、公知の方法のいずれをも使用することができる。例えば、飽和脂肪酸モノアミドとホルムアルデヒドとの反応により得られたアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを溶媒に浸漬して洗浄する方法、得られたアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを、溶媒を用いたソックスレー抽出する方法等が挙げられる。この際の条件は、特に限定されるものではなく、例えば、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドの３０〜１００倍容量又は重量程度の溶媒を加え、３０分間〜数時間程度、浸漬、浸とう、洗浄又は抽出等を行う。用いる溶媒の種類によっては、室温〜１００℃程度に溶媒を加熱してもよい。また、必要に応じて、このような操作を複数回繰り返してもよい。得られた不溶物をろ過等の公知の手段により分離する。
【００２２】
抽出後、不溶物を乾燥することが好ましい。乾燥は、当該分野で通常行われる方法のいずれをも利用することができる。乾燥条件及び温度は、特に限定されるものではなく、適宜調整することが好ましい。
具体的には、クロロホルム抽出の場合には、例えば、市販のアルキレンビス飽和脂肪酸アミド約１ｇにクロロホルム４０ｍｌを加え、浸とう機を用いて１時間浸とうし、その後、吸引ろ過により不溶分と可溶分とに分離する。任意に、得られたクロロホルム不溶分について、同様の操作をさらに２回程度行うことにより、精製したアルキレンビス飽和脂肪酸アミド組成物を得ることができる。
また、エタノール抽出の場合には、例えば、市販のアルキレンビス飽和脂肪酸アミド約１ｇにエタノール４０ｍｌを加え、８０℃（ホットプレート温度）で１時間加熱抽出する。その後、上澄み液（可溶分）と沈殿物（不溶分）とに分離し、任意に、得られたエタノール不溶分について、同様の操作をさらに２回行い、精製したアルキレンビス飽和脂肪酸アミド組成物を得ることができる。
【００２３】
このように、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドを溶媒抽出することによって、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドの生成時に副生成／残存した脂肪酸モノアミド（好ましくは、さらに脂肪酸）を除去することができ、純度の高いアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを得ることができる。
本発明で使用されるアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、脂肪酸モノアミド及び／又は脂肪酸が除去されており、実質的に含有されていないことが適している。実質的に含有されていないとは、通常の分析機器（液体クロマトグラフ装置、高速液体クロマトグラフ装置等）において、脂肪酸モノアミド及び／又は脂肪酸が単一種で含有されていたとしても、０．２５重量％未満、０．２重量％未満、０．１重量％未満、０．０５重量％、検出限界以下で測定されるか、複数種で含有されていたとしても、その合計量が１重量％未満、０．８重量％未満、０．５重量％未満、０．４重量％未満、０．３重量％未満、０．０５重量％、検出限界以下であることが例示される。
【００２４】
つまり、本発明で使用するアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、原料／製法等に起因する脂肪酸モノアミド及びこれと同種又は異種の脂肪酸、例えば、ラウリン酸モノアミド、ステアリン酸モノアミド、オレイン酸モノアミド、エルカ酸モノアミド、カプリン酸モノアミド、パルミチン酸モノアミド、ミリスチン酸モノアミド、ベヘン酸モノアミド等を実質的に含有されないことが適している。
また、本発明で使用されるアルキレンビス飽和脂肪酸アミドは、原料等に起因する脂肪酸及びこれと同種又は異種の脂肪酸、例えば、カプリン酸、ステアリン酸、オレイン酸、エルカ酸、ラウリル酸、パルミチン酸、ミリスチン酸、ベヘン酸等、特に、ステアリン酸、オレイン酸、パルミチン酸等が含有されないことが適している。
【００２５】
本発明の粘着テープにおいて、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドの熱可塑性樹脂フィルムにおける含有量は、例えば、熱可塑性樹脂フィルムにおける熱可塑性樹脂１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部程度の範囲であることが好ましく、０．１〜３．０重量部程度がより好ましい。
また、アルキレンビス飽和脂肪酸アミドの感圧性粘着剤層における含有量は、例えば、後述するベースポリマー１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部程度の範囲であることが好ましく、０．１〜３．０重量部程度がより好ましい。
アルキレンビス飽和脂肪酸アミドを、熱可塑性樹脂フィルム及び／又は感圧性粘着剤層双方に含有させる場合には、その総量が、熱可塑性樹脂１００重量部に対し、０．１〜５．０重量部程度の範囲で適宜調整することが好ましく、０．１〜３．０重量部程度がより好ましい。
【００２６】
（熱可塑性樹脂フィルム）
本発明の熱可塑性樹脂フィルムは、特に限定されず、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン；エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体等のポリオレフィン系樹脂；ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂；（メタ）アクリル系ポリマー、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、フッ素樹脂、セルロース樹脂及びこれらの架橋体などの熱可塑性樹脂からなるフィルムが挙げられる。これら熱可塑性樹脂は必要に応じて数種をブレンドしたものを用いてもよい。なかでも、塩化ビニル系樹脂フィルムが好ましい。
【００２７】
塩化ビニル系樹脂は、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニルへのグラフト共重合体、他の樹脂との混合物を含む。
塩化ビニル共重合体における共単量体としては、例えば、酢酸ビニルのようなビニルエステル類、エチレンビニルエーテルのようなビニルエーテル類、エチレン、プロピレン、１−ブテン等のα−オレフィン類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル等の（メタ）アクリル酸エステル類、塩化ビニリデン等が挙げられる。
特に、塩化ビニル系樹脂が用いられる場合には、後述する可塑剤が添加された軟質の塩化ビニル系樹脂が好ましい。
【００２８】
熱可塑性樹脂フィルムは、それより得られる粘着テープが適度の柔軟性を示すように、可塑剤を含んでいることが好ましく、さらに、必要に応じて、安定剤、フィラー滑剤、着色剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤等の添加剤を含んでいてもよい。
可塑剤は、特に限定されるものではなく、例えば、フタル酸エステル系、トリメリット酸エステル系（大日本インキ（株）製Ｗ−７００、トリメリット酸トリオクチル等）、アジピン酸エステル系（（株）ジェイプラス製Ｄ６２０、アジピン酸ジオクチル、アジピン酸ジイソノニル等）、リン酸エステル系（リン酸トリクレシル等）、アジピン酸系エステル、クエン酸エステル（アセチルクエン酸トリブチル等）、セバシン酸エステル、アセライン酸エステル、マレイン酸エステル、安息香酸エステル、ポリエーテル系ポリエステル、エポキシ系ポリエステル（エポキシ化大豆油、エポキシ化亜麻仁油等）、ポリエステル（カルボン酸とグリコールからなる低分子ポリエステル等）等が挙げられる。なかでも、エステル系可塑剤を用いることが好ましい。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
可塑剤は、熱可塑性樹脂１００重量部に対して、例えば、１０〜６０重量部の割合で用いることが適しており、１０〜３０重量部が好ましい。
【００２９】
安定剤は、特に限定されるものではないが、バリウム−亜鉛系、スズ系、カルシウム−亜鉛系、カドミウム−バリウム系等の複合安定剤が挙げられる。
フィラーとしては、炭酸カルシウム、シリカ、雲母などの無機フィラー、鉄、鉛等の金属フィラー等が挙げられる。
着色剤としては、顔料、染料等が挙げられる。
その他の添加剤は、当該分野で公知のもののいずれをも使用することができる。
【００３０】
熱可塑性樹脂フィルムは、単層フィルムであってもよく、材料もしくは組成が異なり、各樹脂の長所を生かした、フィルムの積層体（多層フィルム）であってもよい。
熱可塑性樹脂フィルムの厚みは、得ようとする粘着テープ等の物性によって調節することができ、例えば、３０〜１０００μｍ、好ましくは４０〜８００μｍ、さらに好ましくは５０〜５００μｍ、特に好ましくは６０〜２００μｍが挙げられる。
熱可塑性樹脂フィルムの表裏面、特に、上面、すなわち粘着剤層が設けられる側の面には粘着剤との密着性を向上させるために、慣用の表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理などが施されていてもよい。
【００３１】
本発明の粘着テープでは、上述したように、特にロール剥離力を低減することができるために、熱可塑性樹脂フィルムの裏面側、つまり、巻回体とした際にのみ粘着剤層が接触する面側への裏面処理、例えば、粘着剤層との接触面積を低減する凹凸処理、離型処理などの処理を施すことなく、適切なロール剥離力を維持することができる。
【００３２】
（感圧性粘着剤層）
感圧性粘着剤（以下、単に「粘着剤」ということがある）層は、感圧性粘着剤によって形成されている。感圧性粘着剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、粘着剤を構成するベースポリマーの種類によって、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤等が挙げられるが、これら公知の粘着剤の中から適宜選択することができる。なかでも、アクリル系粘着剤は、耐熱性、耐候性など種々の特性に優れ、アクリル系ポリマーを構成するモノマー成分の種類等を選択することにより、所望の特性を発現させることが可能であるため、好適に使用することができる。
【００３３】
アクリル系粘着剤は、通常、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等のアクリル系ポリマーを主成分として構成されるベースポリマーによって形成される。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ１〜Ｃ２０のアルキルエステル（好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ１〜Ｃ１２のアルキルエステル。さらに好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ１〜Ｃ８のアルキルエステル）などが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルは１種又は２種以上を選択して使用することができる。
【００３４】
アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。
このような単量体成分としては、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；
（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；
スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；
【００３５】
２−ヒドロキシエチルアクロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド系モノマー；
（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；
（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；
Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；
【００３６】
Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α−メチルスチレン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどのビニル系モノマー；
【００３７】
アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレート系モノマー；
（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；
（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチルグリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；
（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどの複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子などを有するアクリル酸エステル系モノマー；
【００３８】
ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマー；
イソプレン、ジブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；
ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上を使用することができる。
【００３９】
アクリル系共重合体は、上述の（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、必要に応じてその他の単量体を公知適宜な方法により重合に付すことにより製造できる。
アクリル系共重合体の分子量等は特に制限されず、例えば、重量平均分子量１０万〜２００万、好ましくは１５万〜１００万、さらに好ましくは３０万〜１００万の範囲であるものを使用できる。重量平均分子量は、例えば、分子量標準物質として、例えば、ポリスチレンを用いたゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した値とすることができる。
【００４０】
粘着剤は、エネルギー線重合性化合物を添加するか、ベースポリマーにエネルギー線重合性二重結合を導入すること等によって、エネルギー線硬化型粘着剤とすることができる。エネルギー線硬化型粘着剤を使用した粘着剤層は、エネルギー線照射前には十分な接着力を発現するが、エネルギー線照射後には接着力が著しく低下し、被着体にストレスを与えることなしに容易に剥離することが可能である。なお、エネルギー線としては、例えば、紫外線、電子線などが挙げられる。
【００４１】
エネルギー線重合性化合物としては、エネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を分子中に２以上有する化合物を使用することができる。このような化合物としては、例えば、多官能アクリレート系化合物が挙げられる。
多官能アクリレート系化合物としては、例えば、１，４−ブチレンジ（メタ）アクリレート、１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレートやポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートなどの直鎖状脂肪族ポリオールの（メタ）アクリレート；
シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートなどの脂環式基を有する脂肪族ポリオールの（メタ）アクリレート；
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートなどの分岐鎖状脂肪族ポリオールの（メタ）アクリレートやこれらの縮合物（ジトリメチロールプロパンテトラクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなど）が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４２】
エネルギー線重合性化合物として、例えば、ウレタンアクリレート系オリゴマーなどの多官能アクリレート系オリゴマーを使用してもよい。
ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ジイソシアネート化合物とポリオール化合物との反応により得られたウレタンオリゴマーに、ヒドロキシル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルを反応させて得られる。
ジイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネートなどが挙げられる。
【００４３】
ポリオール化合物としては、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、トリメチロールプロパン、ジプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、グリセリン等の多価アルコール類、前記多価アルコール類と、アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸、マレイン酸などの脂肪族ジカルボン酸又はテレフタル酸、イソフタル酸などの芳香族ジカルボン酸との縮合反応により得られるポリエステル系ポリオール化合物；
ポリエチレンエーテルグリコール、ポリプロピレンエーテルグリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリヘキサメチレンエーテルグリコール等のポリエーテル系ポリオール化合物；
ポリカプロラクトングリコール、ポリプロピオラクトングリコール、ポリバレロラクトングリコール等のラクトン系ポリオール化合物；
エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ペンタンジオール、オクタンジオール、ノナンジオール等の多価アルコールと、ジエチレンカーボネート、ジプロピレンカーボネート等との脱アルコール反応により得られるポリカーボネート系ポリオール化合物が挙げられる。ヒドロキシル基含有（メタ）アクリル酸アルキルエステル化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００４４】
エネルギー線重合性化合物は、ベースポリマー１００重量部に対して、例えば、５〜２００重量部、好ましくは１０〜１００重量部、さらに好ましくは１０〜４５重量部の範囲で用いることができる。
【００４５】
ベースポリマーにエネルギー線重合性二重結合を導入する方法としては、例えば、ベースポリマーであるアクリル系ポリマーを調製する際に、カルボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基などの反応性官能基を有する共重合性モノマーを共重合させる方法が挙げられる。これにより、ベースポリマーに反応の基点となる官能基を導入し、エネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を有する多官能性モノマー又はオリゴマーを前記反応の基点となる官能基を介して結合させることができ、側鎖にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーを得ることができる。
【００４６】
エネルギー線硬化型粘着剤は、必要に応じて光重合開始剤を含んでいてもよい。光重合開始剤はエネルギー線を照射することにより励起、活性化してラジカルを生成し、粘着剤層の効率的な重合硬化反応を促進する。
光重合開始剤としては、例えば、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル系開始剤；
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ポリビニルベンゾフェノン等のベンゾフェノン系開始剤；
α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α’−ジメチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン等の芳香族ケトン系開始剤；
ベンジルジメチルケタール等の芳香族ケタール系開始剤；
チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−ドデシルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系開始剤、ベンジル等のベンジル系開始剤、ベンゾイン等のベンゾイン系開始剤、α−ケトール系化合物（２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノンなど）、芳香族スルホニルクロリド系化合物（２−ナフタレンスルホニルクロリドなど）、光活性オキシム化合物（１−フェノン−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなど）、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド、アシルホスフォナートなどが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４７】
粘着剤は、ベースポリマーとしてカルボキシル基などの酸性基を有するポリマーを使用し、中和剤を添加してベースポリマー中の酸性基の全部又は一部を中和することにより親水性を付与した親水性粘着剤としてもよい。親水性粘着剤は一般に被着体への糊残りが少なく、また、糊残りが生じた場合であっても、純水で洗浄することにより簡易に除去することができる。
酸性基を有するポリマーは、ベースポリマーを調製する際に上述のカルボキシル基含有モノマー等の酸性基を有する単量体を共重合することにより得られる。
中和剤としては、例えば、モノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミンなどの３級アミン等、アルカリ性を示す有機アミノ化合物が挙げられる。
【００４８】
粘着剤は、必要に応じて架橋剤を含んでいてもよい。
架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などの架橋剤を使用することができ、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤等を好適に使用することができる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル−トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール−Ｓ−ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ樹脂などが挙げられる。
【００４９】
イソシアネート系架橋剤としては、例えば、１，２−エチレンジイソシアネート、１，４−ブチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネートなどの低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロヘキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加トリレンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネートなどの脂肪族ポリイソシアネート類、；２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート類などが挙げられる。
【００５０】
粘着剤層は、可塑剤を含んでいることが好ましい。可塑剤としては、上述したものと同様のものが挙げられる。この場合の可塑剤の添加量は、粘着剤を構成する熱可塑性樹脂、つまりベースポリマー１００重量部に対して、例えば、１０〜１００重量部の割合で用いることが適しており、好ましくは１０〜８０重量部、より好ましくは１０〜６０重量部が好ましい。
粘着剤層は、さらに、必要に応じて、安定剤、フィラー滑剤、着色剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、着色剤等の添加剤を含んでいてもよい。これらの添加剤は、上述したものと同様のものが挙げられる。
【００５１】
粘着剤層は、上記粘着剤をナイフコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど、適宜な方法で基材上に塗布することにより形成することができる。また、例えば、表面に離型処理を施したフィルムなど適当なキャスト用工程シート上に粘着剤層を形成し、この粘着剤層を熱可塑性樹脂フィルム上に転写してもよい。
粘着剤層の厚みは特に制限されないが、好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは５〜６０μｍ、特に好ましくは５〜３０μｍである。粘着剤層の厚みが上記範囲内であると、熱可塑性樹脂フィルムの応力を軽減し、粘着テープの応力緩和率を向上させることができる。
【００５２】
本発明の粘着テープは、例えば、シリコンウェハ接着力が、保存の状態にかかわらず、保存前後において、±０．５Ｎ／２０ｍｍ以内の変動値に抑制されているものが好ましい。また、別の観点から、初期値の±７０％以内、好ましくは６５％以内、より好ましくは±６３％以内の変動範囲に抑制されているものが好ましい。このような範囲での変動とすることにより、保存状態にかかわらずに、粘着テープの粘着力の低下を防止することができ、被着体からの剥離を容易に行うことができる。ここで、保存前及び初期値とは、粘着テープを製造した（巻回体とした）直後又は何着シートを製造し、剥離ライナーを粘着剤層側に接触させた直後を意味する。保存後とは、通常、製造した時（巻回体とした時）又は剥離ライナーを粘着剤層側に接触させた時から、１週間程度以上経過した時点の後を意味する。
【００５３】
この粘着テープは、種々の用途に用いることができる。例えば、光学装置又はフィルム、樹脂、ガラス、金属等からなる板状又は曲面を有する製品等の様々な部材、半導体プロセスにおけるウェハ等の固定用、半導体バックグラインド用、半導体ダイシング用、半導体パッケージ、ガラス、セラミックス等のダイシング用、これらプロセス時の回路面等の保護用に貼着（さらに再剥離）する粘着テープ等として使用することができる。このために、本発明の粘着テープは、これら用途に適する形状、例えば、シート状、短冊状等、種々の形状及び大きさのものとすることができる。
【００５４】
このように、本発明の粘着テープは、特定のアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを、少なくとも熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層のいずれか一方に含有することにより、粘着テープの保存及び被着体への貼合わせ保存のバランスをより図ることができ、特に、ロール剥離力の経時における上昇を効果的に抑制することができる。また、保管状態にかかわらず（つまり、高温での保存又は処理によっても）、常に十分な粘着力を得ることができる。あるいは、巻回体としての保存及びシリコンウェハなどの被着体に貼り付けた状態での６０℃程度の温度での保存においても（つまり、巻回体での及び被着体貼り合わせ後の保存状態にかかわらず）、巻回体から巻き戻す際及び再度被着体から剥離する際に、被着体等に粘着剤が残る等という不具合を効果的に防止することができる。
【００５５】
（剥離ライナー）
本発明の粘着テープは、粘着剤層を保護等するために、粘着剤層側に、粘着剤層に接触して剥離ライナーを配置してもよい。
剥離ライナーとしては、当該分野で通常使用されているものであれば、特に限定されることなく用いることができる。例えば、紙、ゴム、アルミニウム箔、銅箔、ステンレス箔、鉄箔、ジュラルミン箔、錫箔、チタン箔、金箔などの各種金属箔、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル、ポリアミドなどの各種樹脂よりなるフィルム、ポリウレタンフォーム、ビニールフォーム、ポリエチレンフォーム、スチレンフォームなどの発泡体、不織布、織布、フェルトならびにこれらを高分子材料でラミネートしてなるフィルム等を基材として用いることができる。基材の厚みは特に限定されず、例えば、５μｍ〜５ｍｍ、好ましくは３０μｍ〜１００μｍ程度とすることが適当である。
このような基材における粘着剤層と接する側の表面にはシリコーン系樹脂、長鎖アルキル系樹脂、フッ素系樹脂、低分子量ポリエチレン、ポリプロピレン、ゴム系ポリマー、リン酸エステル系界面活性剤等の離型剤を層状に塗布するなど、当該分野で公知の離型処理を施したものが挙げられる。
剥離ライナーは、粘着テープを被着体へ貼付する際の貼付操作性を向上させるために、直線状、波状、鋸歯状、ギザギザ状のスリット（所謂、背切り）を一本又は複数本入れてもよい。
【００５６】
〔粘着テープの製法〕
本発明の粘着テープは、特定のアルキレンビス飽和脂肪酸アミドを樹脂に添加して熱可塑性樹脂フィルム又は感圧性粘着剤層を形成し、
前記熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層を積層することによって製造することができる。
【００５７】
アルキレンビス飽和脂肪酸アミドを添加剤として樹脂等に添加して、熱可塑性樹脂フィルム又は感圧性粘着剤層を形成する方法は、当該分野で公知の方法を利用することができる。
なお、このような熱可塑性樹脂フィルム又は感圧性粘着剤層の形成及び積層は、順次に行ってもよい。つまり、当該分野で公知の方法によって、熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層をそれぞれ単独で形成してもよい。そのために、例えば、溶融押出成形法（インフレーション法、Ｔダイ法等）、溶融流延法、カレンダー法等を利用することができる。また、粘着剤層については、上述した方法によって、別途形成してもよい。このように、熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層を単独で形成した場合には、当該分野で公知の方法によって、両者を積層することができる。
【００５８】
熱可塑性樹脂フィルム又は感圧性粘着剤層の形成及び積層は同時に行ってもよい。つまり、熱可塑性樹脂フィルム及び感圧性粘着剤層を、共押出法、ラミネート法（押出ラミネート法、接着剤を用いたラミネート法等）、ヒートシール法（外部加熱法、内部発熱法等）によって多層構造として形成してもよい。
剥離ライナーは、通常、粘着テープを形成した後、粘着剤層側に貼着することによって、剥離ライナー付き粘着テープを得ることができる。
【実施例】
【００５９】
（粘着テープの作成）
以下の原料を準備し、予めヘンシェルミキサーでブレンドし、可塑剤を樹脂に染み込ませてドライアップした。これをバンバリミキサーで混練することで得たポリ塩化ビニル混和物を用い、カレンダー成膜機により厚さ１１０μｍの熱可塑性樹脂フィルムを得た。
滑剤として、以下の表に示すアルキレンビス脂肪酸アミドを用いた。滑剤は、バンバリミキサー混練時に添加した。
熱可塑性樹脂：ポリ塩化ビニル樹脂（平均重合度１０５０）    １００重量部
可塑剤：ジエチルヘキシルフタレート                          ３０重量部
安定剤：Ｂａ−Ｚｎ混合安定剤                                  ３重量部
滑剤                                                        ０.６重量部
【００６０】
粘着剤を以下の組成で調製した。
アクリルポリマー（ブチルアクリレート／アクリロニトリル／アクリル酸＝８４／１４／２）
１００重量部
可塑剤：ジエチルヘキシルフタレート                      ２０重量部
架橋剤：ブチル化メラミン樹脂                            １０重量部
得られた粘着剤をトルエンにて２０％に希釈し、乾燥後の厚さが１０μｍになるように、上記熱可塑性樹脂フィルムに塗布し、１５０℃、１分間の乾燥工程を経て、ロール状に巻き取った。
【００６１】
得られた粘着テープを用いて、以下の評価を行った。
ロール状粘着テープを２０ｍｍ幅に切断し、サンプルとした。
このサンプルをインストロン型引っ張り試験機にて、引っ張り速度０．３ｍ／分にて巻き戻し、ロールからの引き剥がし力を測定した。引き剥がし力が、
１．０Ｎ／２０ｍｍ未満を○、
１．０Ｎ／２０ｍｍ以上、３．６Ｎ／２０ｍｍ未満を△、
３．６Ｎ／２０ｍｍ以上を×とした。
なお、引き剥がし力の測定は、ロール状に巻き取った直後のもの、室温にて一週間保存した後のもの及び６０℃の乾燥機中で一週間保存した後、１時間室温で放置したものを、それぞれ測定した。
これらの結果を以下の表に示す。
【００６２】
【表１】
2013173875.tif 000003
【００６３】
表１における各成分は、以下のとおりである。
実施例１のメチレンビスステアリン酸アマイド：ビスアマイドＬＡ（日本化成（株）製）、
実施例２のエチレンビスステアリン酸アマイド：スリパックスＥ（日本化成（株）製）、
実施例３のエチレンビスラウリン酸アマイド：スリパックス  Ｌ  （日本化成（株）製）、
比較例１のエチレンビスベヘン酸アマイド：スルパックスＢ  （日本化成（株）製）、
比較例２のヘキサメチレンビスステアリン酸アマイド：  スリパックスＺＨＳ（日本化成（株）製）、
比較例３のエチレンビスオレイン酸アマイド：スリパックスＯ（日本化成（株）製）、
比較例４のエチレンビスエルカ酸アマイド：スリパックスＲ（日本化成（株）製）、
比較例５のヘキサメチレンオレイン酸アマイド：スリパックスＺＨＯ（日本化成（株）製）。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明の粘着テープは、電子部品など種々の被着体の表面保護用テープ又はシート、ダイシング時の加工用又は保護用テープ又はシート等として広範に利用することができる。