(57)【要約】【課題】導電性及び可撓性を備えたシート状カバー部材を用い、シート状カバー部材を移動手段の作用によって開口部を開閉するとともに、移動手段をアースすることで、静電気が速やかにアースされる構成を提供する。【解決手段】シート状カバー部材は、筐体の上面からローラーを介し筐体の側壁に沿うように屈曲して配設され、シート状カバー部材の静電気が移動手段を介してアースされる、洗浄機構を備えた加工装置とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工するための加工手段と、該加工手段によって加工された該被加工物を洗浄する洗浄機構と、該チャックテーブルに保持された加工後の該被加工物を該洗浄機構に搬送する搬送手段と、を備える加工装置において、
該洗浄機構は、
上面に開口部が形成された筐体と、
該筐体内に配設され被加工物を保持し回転するスピンナーテーブルと、
該スピンナーテーブルに保持された該被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、
該開口部を開閉可能に遮蔽するカバー手段と、を具備し、
該カバー手段は、
該開口部を遮蔽可能な大きさの導電性及び可撓性を有するシート状カバー部材と、
該シート状カバー部材の一端に連結された錘と、
該開口部に隣接して配設され、該シート状カバー部材の幅より広い幅を有して該シート状カバー部材を下方から支持しつつ該錘を垂下させるローラーと、
該シート状カバー部材の該錘が連結される側の端部と反対側の端部と連結され、該開口部を挟んで対向する第一位置と第二位置の間で移動され、該シート状カバー部材を該開口部を遮蔽する遮蔽位置と該開口部を開放する開放位置との間で移動させるアースされた移動手段と、からなり、
該シート状カバー部材は、該筐体の上面から該ローラーを介し該筐体の側壁に沿うように屈曲して配設され、
該シート状カバー部材の静電気が該移動手段を介してアースされる、
洗浄機構を備えた加工装置。
【請求項２】
前記シート状カバー部材は、樹脂製のシートに金属材料が被覆されている請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の表面に洗浄液を供給して被加工物を洗浄する洗浄装置を備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板状の被加工物について加工を行うダイシング装置、レーザー加工装置、グラインディング装置では、加工に伴って被加工物の加工屑等が発生するため、加工後に被加工物を洗浄する必要がある。この洗浄を実施するために、洗浄機構を備えた加工装置が知られている（特許文献１参照。）。
【０００３】
洗浄機構の開口部は、洗浄水の飛散を防止するために閉鎖する必要がある。特許文献１では、開口部を閉鎖するための板状のカバー部材を設けた構成について開示されている。
【０００４】
他方、二枚のフィルム片をカールして伸縮自在に構成するカーテンの構造について開示する文献も存在する（特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３３９４３５号公報
【特許文献２】特開２００７−１３２０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のように板状のカバー部材を設ける構成では、カバー部材の水平方向の移動を許容するためのスペースが必要となる。このため、装置ハウジング（筐体）の上面の面積が狭い場合や、装置ハウジング上の他の装置と干渉するような場合には、適用することが困難なこととなる。
【０００７】
また、装置ハウジングよりも外側に水平に突出するようにカバー部材をずらすことも考えられるが、装置の置き場所が限定されることや、通路の通行を妨げる、など、新たな課題が生じることが懸念される。
【０００８】
また、カバー部材が水平にスライドすると発塵してしまう可能性があり、被加工物に異物を付着させることも懸念される。
【０００９】
他方、特許文献２に開示されるようなフィルムによるカバー部材の構成については、フィルムが帯電してしまうことが懸念され、静電気を嫌う被加工物の場合には使用できないという問題が有った。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、導電性及び可撓性を備えたシート状カバー部材を用い、シート状カバー部材を移動手段の作用によって開口部を開閉させるとともに、移動手段をアースすることで静電気が速やかにアースされる構成を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を加工するための加工手段と、加工手段によって加工された被加工物を洗浄する洗浄機構と、チャックテーブルに保持された加工後の被加工物を洗浄機構に搬送する搬送手段と、を備える加工装置において、洗浄機構は、上面に開口部が形成された筐体と、筐体内に配設され被加工物を保持し回転するスピンナーテーブルと、スピンナーテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、開口部を開閉可能に遮蔽するカバー手段と、を具備し、カバー手段は、開口部を遮蔽可能な大きさの導電性及び可撓性を有するシート状カバー部材と、シート状カバー部材の一端に連結された錘と、開口部に隣接して配設され、シート状カバー部材の幅より広い幅を有してシート状カバー部材を下方から支持しつつ錘を垂下させるローラーと、シート状カバー部材の錘が連結される側の端部と反対側の端部と連結され、開口部を挟んで対向する第一位置と第二位置の間で移動され、シート状カバー部材を開口部を遮蔽する遮蔽位置と開口部を開放する開放位置との間で移動させるアースされた移動手段と、からなり、シート状カバー部材は、筐体の上面からローラーを介し筐体の側壁に沿うように屈曲して配設され、シート状カバー部材の静電気が移動手段を介してアースされる、洗浄機構を備えた加工装置が提供される。
【００１２】
請求項２に記載の発明によると、シート状カバー部材は、樹脂製のシートに金属材料が被覆されている加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、導電性及び可撓性を備えたシート状カバー部材を用い、シート状カバー部材を移動手段の作用によって移動させて開口部を開閉するとともに、移動手段をアースすることで、静電気を速やかにアースすることができる。
【００１４】
また、シート状カバー部材はその可撓性を利用して、自由端部には錘を設置し、屈曲させて筐体の側壁に沿って垂れ下がらせることで、開放時のカバー部材収容に関する問題を解決することができる。
【００１５】
また、屈曲部の支持をシート状カバー部材の移動に合わせて回転するローラーで行うため、シート状カバー部材が擦れたりして傷付き発塵するなどの不具合発生を防止できる。
【００１６】
シート状カバー部材は、樹脂シートに金属材料（アルミ等）を被膜（蒸着）させることで容易に実現可能であり、この構成により、十分な可撓性と耐久性を両立することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態である洗浄機構を備えた加工装置について示す斜視図である。
【図２】洗浄機構とカバー手段の構成について示す斜視図である。
【図３】カバー手段の構成について示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１には、本発明の一実施形態である洗浄装置を備えた加工装置としての切削装置の斜視図が示されている。
【００１９】
切削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２には、被加工物である半導体ウェーハなどを保持するチャックテーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示す切削送り方向に移動可能に配設されている。
【００２０】
チャックテーブル３は、吸着チャック支持台３ａと、吸着チャック支持台３ａ上に装着された吸着チャック３ｂを具備しており、吸着チャック３ｂの表面である載置面上に例えば円板状のウェーハが保持されるようになっている。
【００２１】
装置ハウジング２の上面２０には、チャックテーブル３を間に挿通させるような開口部２２が形成された門型フレーム２４が立設されており、門型フレーム２４には、互いに対向するように一対の切削ユニット４，６が設けられている。各切削ユニット４，６は、それぞれ高速回転する切削ブレードを備えている。
【００２２】
各切削ユニット４，６は、Ｚ軸方向移動基台４ａ，６ａによってＺ軸方向に移動制御され、また、Ｙ軸方向移動基台４ｂ，６ｂによってＹ軸方向に移動制御される。これにより、各切削ユニット４，６の切削ブレードをＹ軸位置、Ｚ軸位置を所定の位置にアライメントすることが可能となり、切削ブレードを高速回転させた状態としてチャックテーブル３をＸ軸方向に加工送りすることで、所定の位置に切削加工がなされるようになっている。
【００２３】
チャックテーブル３上において切削加工された被加工物は、図示せぬ搬送装置によって洗浄装置３０内のスピンナーテーブル３１に保持される。図２に示すように、洗浄装置３０は、切削加工がされた被加工物を洗浄するためのものであり、被加工物を保持して回転するスピンナーテーブル３１と、スピンナーテーブル３１上の被加工物に洗浄水を供給するための洗浄水ノズル３３，３３を備える構成としている。
【００２４】
装置ハウジング２の上面２０には、上下方向の筒状穴部を構成する洗浄ハウジング３２の開口部３４が形成されており、開口部３４の下方には洗浄装置３０が収容される構成としている。そして、この開口部３４が発明において特徴的な構成であるカバー装置４０によって閉鎖、開放されるようになっている。
【００２５】
図２及び図３に示すように、カバー装置４０は、開口部３４を遮蔽可能な大きさの導電性及び可撓性を有するシート状カバー部材４２と、シート状カバー部材４２の一端に連結された錘４４と、開口部３４に隣接して配設され、シート状カバー部材４２の幅より広い幅を有してシート状カバー部材４２を下方から支持しつつ錘４４を垂下させるローラー４６と、シート状カバー部材４２の錘４４が連結される側の端部と反対側の端部と連結され、開口部３４を挟んで対向する第一位置Ａと第二位置Ｂの間で移動され、シート状カバー部材４２の開口部３４を遮蔽する遮蔽位置（第一位置Ａ：図３）と開口部３４を開放する開放位置（第二位置Ｂ：図３）間で移動させるアースされた移動機構４８とを有する。
【００２６】
シート状カバー部材４２は、帯状のシート部材であって、開口部３４を上側から覆うことが可能な長さ、横幅を有する構成としている。シート状カバー部材４２は、例えば、ＰＥＴシート（ポリエチレンテレフタラートシート）などの樹脂シートの片面にアルミなどの金属材料が蒸着（皮膜形成）されているシートを、金属材料が両面（外側面）になるように貼り合わせることで構成される。
【００２７】
装置ハウジング２の上面２０と、上面２０から連続的に下方へ向かう側壁２１の間に形成される角部２５には、ローラー４６が設けられる。ローラー４６の軸方向は、シート状カバー部材４２の横幅方向と一致する方向とされる。
【００２８】
ローラー４６は、シート状カバー部材４２が摩擦で傷付き発塵することを防ぐため、摩擦抵抗の高い材料を用いることが好ましい。ただし、摩擦抵抗が高いと静電気が生じやすくなるため静電気対策が必要となる。このため、詳しくは後述するように、ブラケット４９ａを介してアース接続が行われる。
【００２９】
なお、摩擦抵抗が高い材質で導電性の高い材質を入手するのは困難と考えられるため、ローラー４６の部位でアース接続する構成とするよりも、ブラケット４９ａを介してアース接続する形態が好ましい。
【００３０】
ローラー４６の上側からは、シート状カバー部材４２が掛けられる。ローラー４６に掛けられたシート状カバー部材４２の長手方向の一端側は、装置ハウジング２の上面２０の上方に位置付けられ、他端側は装置ハウジング２の側壁２１の側方に位置付けられることで、ローラー４６の部位によってシート状カバー部材４２が折り曲げられるようにして支持される。
【００３１】
シート状カバー部材４２においてローラー４６の部位よりも下方に垂れ下げられた部位は、装置ハウジング２の側壁２１に対向するように配置され、その下端部には錘４４が設けられている。
【００３２】
以上のようにして、シート状カバー部材４２は、筐体である装置ハウジング２の上面２０からローラー４６を介し筐体の側壁２１に沿うように屈曲して配設される。本実施形態では、シート状カバー部材４２がローラー４６において、略９０度屈曲して配置される状態となる。
【００３３】
本実施形態の錘４４は、シート状カバー部材４２の横幅方向に一連に設けられる棒状の部材にて構成され、ローラー４６と錘４４の間においてシート状カバー部材４２に略均一なテンションを生じさせることで、シート状カバー部材４２のヨレやシワの発生が防がれる。
【００３４】
シート状カバー部材４２において装置ハウジング２の上面２０に対向する位置に配置される端部には、棒状のアーム部材４３が設けられている。本実施形態のアーム部材４３は、シート状カバー部材４２の横幅方向に一連に設けられる棒状の部材にて構成され、ローラー４６とアーム部材４３の間においてシート状カバー部材４２に略均一なテンションを生じさせることで、シート状カバー部材４２のヨレやしわの発生が防がれるようになっている。
【００３５】
アーム部材４３の長手方向の一側端部は、移動機構４８の移動ブロック４８ａと連結されており、移動ブロック４８ａのＹ軸方向に移動に応じてアーム部材４３がＹ軸方向に移動する。
【００３６】
移動機構４８は、Ｙ軸方向に設けられる案内パイプ４８ｂと、案内パイプ４８ｂに沿って移動する移動ブロック４８ａを具備している。案内パイプ４８ｂは、その両端部が装置ハウジング２の上面２０に配設されたブラケット４９ａ，４９ｂによって支持されている。
【００３７】
ブラケット４９ａ，４９ｂは、装置ハウジング２の上面２０に立設する壁面７０に設けられ、両ブラケット４９ａ，４９ｂの間に案内パイプ４８ｂが架設される。
【００３８】
なお、本実施形態では、一本の案内パイプ４８ｂに移動ブロック４８ａをスライドさせる構成とし、移動ブロック４８ａによってアーム部材４３がいわゆる方持ち状態とされるものであるが、このほか、二本の案内パイプを平行に設けて二つの移動ブロックの間にアーム部材４３を架設することで、アーム部材４３がいわゆる両持ち状態とされるものとしてもよい。
【００３９】
移動ブロック４８ａには案内パイプ４８ｂが挿通される挿通穴が設けられ、移動ブロック４８ａは案内パイプ４８ｂに沿うように案内される。また、移動ブロック４８ａは磁性材によって形成されており、案内パイプ４８ｂ内で移動する永久磁石に引き連られるようにして、案内パイプ４８ｂに沿って移動する。案内パイプ４８ｂ内の永久磁石は、移動制御手段５０によって移動が制御される。
【００４０】
移動制御手段５０は、案内パイプ４８ｂの両端からエアーを選択的に供給するエアー供給手段５１を具備している。エアー供給手段５１は、エアー供給源５２と、エアー供給源５２と上記案内パイプ４８ｂの両端とを接続するエアーパイプ５３，５４，５５と、エアーパイプ５３とエアーパイプ５４，５５との間に配設された電磁切替弁５６とからなる。
【００４１】
電磁切替弁５６は、一方のソレノイド５６ａが附勢（ＯＮ）されるとエアーパイプ５３とエアーパイプ５４が連通され、他方のソレノイド５６ｂが附勢（ＯＮ）されるとエアーパイプ５３とエアーパイプ５４が連通される。
【００４２】
以上の構成において、電磁切替弁５６の一方のソレノイド５６ａが附勢（ＯＮ）されエアーパイプ５３とエアーパイプ５４が連通されると、図において右側のブラケット４９ｂ側にエアーが供給され、永久磁石が左側へと移動する。これに伴い移動ブロック４８ａが左側へと移動し、シート状カバー部材４２が開口部３４の上方を覆う遮蔽位置（第一位置Ａ）位置付けられる。
【００４３】
他方、電磁切替弁５６の他方のソレノイド５６ｂが附勢（ＯＮ）されエアーパイプ５３とエアーパイプ５５が連通されると、図において左側のブラケット４９ａ側にエアーが供給され、永久磁石が右側へと移動する。これに伴い移動ブロック４８ａが右側へと移動し、シート状カバー部材４２が開口部３４の上方を解放する開放位置開放位置（第二位置Ｂ）に位置付けられる。
【００４４】
また、移動機構４８のブラケット４９ａは、アース線４９ｃを介してアース接続されており、これによりシート状カバー部材４２の静電気を逃すことができる。なお、このアースを実現するために、シート状カバー部材４２、アーム部材４３、移動ブロック４８ａ、案内パイプ４８ｂ、ブラケット４９ａは、いずれも導電性を有する部材にて構成されるものとする。
【００４５】
以上のようにして、本発明を実施することができる。
即ち、図１乃至図３に示すように、被加工物を保持するチャックテーブル３と、チャックテーブル３に保持された被加工物を加工するための切削ユニット（加工手段）４，６と、切削ユニット４，６によって加工された被加工物を洗浄する洗浄装置（洗浄機構）３０と、チャックテーブル３に保持された加工後の該加工物を洗浄装置３０に搬送する図示せぬ搬送装置（搬送手段）と、を備える切削装置（加工装置）１が構成される。
【００４６】
洗浄装置３０は、上面２０に開口部３４が形成された装置ハウジング（筐体）２と、装置ハウジング２ないに配設され被加工物を保持して回転するスピンナーテーブル３１と、スピンナーテーブル３１上の被加工物に洗浄水を供給するための洗浄水ノズル（洗浄水供給手段）３３，３３と、開口部３４を開閉可能に遮蔽するカバー装置（カバー手段）４０と、を具備している。
【００４７】
カバー装置４０は、開口部３４を遮蔽可能な大きさの導電性及び可撓性を有するシート状カバー部材４２と、シート状カバー部材４２の一端に連結された錘４４と、開口部３４に隣接して配設され、シート状カバー部材４２の幅より広い幅を有してシート状カバー部材４２を下方から支持しつつ錘４４を垂下させるローラー４６と、シート状カバー部材４２の錘４４が連結される側の端部と反対側の端部と連結され、開口部３４を挟んで対向する第一位置と第二位置の間で移動され、シート状カバー部材４２の開口部３４を遮蔽する遮蔽位置と開口部３４を開放する開放位置間で移動させるアースされた移動機構（移動手段）４８とを有する。
【００４８】
そして、シート状カバー部材４２は、筐体である装置ハウジング２の上面２０からローラー４６を介し筐体の側壁２１に沿うように屈曲して配設され、シート状カバー部材４２の静電気が移動機構４８を介してアースされることとなっている。
【００４９】
以上の形態によれば、導電性及び可撓性を備えたシート状カバー部材４２を用い、シート状カバー部材４２を移動機構４８の作用によって移動させて開口部３４を開閉するとともに、移動機構４８をアースすることで、静電気を速やかにアースすることができる。
【００５０】
また、シート状カバー部材４２はその可撓性を利用して、自由端部には錘４４を設置し、屈曲させて装置ハウジング２の側壁２１に沿って垂れ下がらせることで、開放時のカバー部材収容に関する問題を解決することができる。
【００５１】
また、屈曲部の支持をシート状カバー部材４２の移動に合わせて回転するローラー４６で行うため、シート状カバー部材４２が擦れたりして傷付き発塵するなどの不具合発生を防止できる。
【００５２】
さらに、シート状カバー部材４２は、樹脂シートに金属材料（アルミ等）を皮膜（蒸着）させることで容易に実現可能であり、この構成により、十分な可撓性と耐久性を両立することが可能となる。
【符号の説明】
【００５３】
１    切削装置
２    装置ハウジング
３    チャックテーブル
４    切削ユニット
６    切削ユニット
２０    上面
２１    側壁
３０    洗浄装置
３１    スピンナーテーブル
３２    洗浄ハウジング
３３    洗浄水ノズル
３４    開口部
４０    カバー装置
４２    シート状カバー部材
４３    アーム部材
４４    錘
４６    ローラー
４８    移動機構
４８ａ    移動ブロック
４８ｂ    案内パイプ
４９ａ    ブラケット
４９ｂ    ブラケット
４９ｃ    アース線
５０    移動制御手段
【図１】
2013229462.tif 000003
【図２】
2013229462.tif 000004
【図３】
2013229462.tif 000005