(57)【要約】      （修正有）【課題】蒸着用るつぼからの溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの発生、及び、蒸着装置の動作不良などの発生を防止し、被蒸着体の品質及び生産性を向上させることができるペレット溶出防止具及び被蒸着体の製造方法を提供する。【解決手段】ペレット溶出防止具１は、上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレット４が収容される蒸着用るつぼ３とともに用いられ、蒸着用るつぼ３から下方に突き出た焼結ペレット４の下部が挿入される貫通孔の形成された板状部材からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレットが収容される蒸着用るつぼとともに用いられるペレット溶出防止具であって、
前記蒸着用るつぼから下方に突き出た前記焼結ペレットの下部が挿入される貫通孔の形成された板状部材からなることを特徴とするペレット溶出防止具。
【請求項２】
前記板状部材の上面が、蒸着用るつぼから離れている請求項１に記載のペレット溶出防止具。
【請求項３】
前記板状部材が、冷却部材と接触する請求項１〜２のいずれか一項に記載のペレット溶出防止具。
【請求項４】
前記板状部材に、前記焼結ペレットを移動させるためのガイド面が形成された請求項１〜３のいずれか一項に記載のペレット溶出防止具。
【請求項５】
上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレットが収容される蒸着用るつぼを用いて、前記焼結ペレットを加熱し、前記蒸着材料を被蒸着体に蒸着する蒸着工程を有する被蒸着体の製造方法であって、
前記蒸着工程において、上記請求項１〜４のいずれか一項に記載されたペレット溶出防止具が用いられることを特徴とする被蒸着体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペレット溶出防止具及び被蒸着体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、反射率を減少させ透過光を増すために、反射防止膜を形成したレンズが広く普及している。このような反射防止膜を形成するに際し、一般的に、真空蒸着法が用いられており、様々な技術が開発されてきた。
【０００３】
例えば、特許文献１には、真空室内に回転自在に配設されたハースと、このハースを回転させる駆動装置と、蒸着物質を収納しハースに配設される坩堝（蒸着用るつぼとも呼ばれる。）とを備えた蒸着装置が開示されている。この蒸着装置は、ハースにそれぞれ複数個の坩堝を半径方向に移動可能に収納する複数個の坩堝収納部を放射状に設け、坩堝を移動させ使用済み坩堝を坩堝収納部から排出する坩堝移動・排出機構を設けたことを特徴としている。
【０００４】
また、特許文献２には、上方および下方に開放し、蒸着材料からなる焼結ペレットを収容する空洞を有する蒸着用るつぼが開示されている。この蒸着用るつぼは、空洞を焼結ペレットが嵌合する第１の空洞部と、この第１の空洞部の上側に設けられ焼結ペレットとの間に隙間を形成する第２の空洞部とで構成し、第１、第２の空洞部の接続部に段状部を設けたことを特徴としている。
【０００５】
［従来例］
次に、従来例に係る被蒸着体の製造方法について、図面を参照しながら説明する。なお、この製造方法は、被蒸着体をレンズとしてあるので、レンズの製造方法であり、上記特許文献１の蒸着装置と同様の装置を利用して実施される。
【０００６】
図３は、従来例に係る被蒸着体の製造方法に用いられる蒸着装置の要部を説明するための説明図である。
なお、上記特許文献１では、抵抗加熱蒸発源を用いて蒸着物質を加熱しているが、本従来例では、電子ビームを照射して蒸着物質を加熱するものとして説明する。
図３に示す蒸着装置１０は、電子ビームによって蒸着する装置の一部であり、真空室（図示せず）内に回転自在に配設された冷却ハース２と、蒸着物質からなる焼結ペレット４を収納し、冷却ハース２に配設される蒸着用るつぼ３とを備えている。この蒸着装置１０は、冷却ハース２にそれぞれ複数個の蒸着用るつぼ３を半径方向に移動可能に収納する複数個の収納凹部２１が放射状に形成されており、また、蒸着用るつぼ３を移動させ使用済み蒸着用るつぼ３を収納凹部２１から坩堝収納容器５へ排出する坩堝移動・排出機構（図示せず）が設けられている。
【０００７】
図４は、従来例に係る被蒸着体の製造方法に用いられる蒸着用るつぼなどを説明するための説明図であり、（ａ）は、図３のＡ−Ａ概略拡大断面図であり、（ｂ）は蒸着用るつぼの下面図である。
図４に示すように、蒸着用るつぼ３は、平面形状がほぼ矩形状の筒状部材３１からなり、上方および下方に開放する空洞３２を有しており、この空洞３２には、蒸着材料からなる柱状の焼結ペレット４が収容される。また、焼結ペレット４は、通常、焼結ペレット４の上面が蒸着用るつぼ３の上面と同一平面となり、かつ、焼結ペレット４の下部が蒸着用るつぼ３の下面より突き出た状態で空洞３２に収容される。
【０００８】
また、蒸着用るつぼ３は、上部の左右方向の縁部に、鍔部３３が形成されており、これら鍔部３３の下面が冷却ハース２の上面と接触する。これにより、蒸着用るつぼ３は、電子ビームによって焼結ペレット４が加熱されると、焼結ペレット４からの熱伝導によって昇温するが、焼結ペレット４から供給された熱を冷却ハース２に熱伝導させることができるので、高温になり過ぎるといった不具合（例えば、蒸着用るつぼ３が溶融するといった不具合）を回避することができる。
さらに、蒸着用るつぼ３は、左右方向の側面にテーパ面３４が形成されており、これにより、蒸着用るつぼ３を容易に収納凹部２１に挿入することができる。また、四隅の角部に、円弧状の面取り部３５が形成されており、これにより、蒸着用るつぼ３は、収納凹部２１内をスムースに移動することができる。
【０００９】
冷却ハース２は、銅などからなる円板であり、収納凹部２１の周囲に複数の冷媒循環孔２４が形成されており、これら冷媒循環孔２４に冷媒を循環させることによって、冷却ハース２が強制的に冷却される。また、収納凹部２１は、断面形状がほぼ矩形状であるが、底面２２の左右方向の縁部に段状部２３が形成されている。
なお、これらの段状部２３は、蒸着用るつぼ３を使用しないで焼結ペレット４だけを収納凹部２１に挿入する際に、焼結ペレット４をガイドするためのものであることから、蒸着用るつぼ３を使用する場合には、段状部２３を形成しない構造としてもよい。
【００１０】
上記の蒸着装置１０を利用して実施される従来例に係る被蒸着体の製造方法は、蒸着材料からなる柱状の焼結ペレット４を、上方および下方に開放する空洞３２を有する蒸着用るつぼ３に収容した状態で、蒸着用るつぼ３を冷却しながら焼結ペレット４を加熱して溶融させて蒸発させ、レンズ（図示せず）に蒸着する蒸着工程を有する方法としてある。
【００１１】
また、従来例に係る被蒸着体の製造方法においては、焼結ペレット４は、上面中央に電子ビームが照射されることによって加熱されるが、溶融し蒸発することによって、通常、図４（ａ）において破線で示すようなくぼみ４１が形成される。この際、焼結ペレット４は、加熱によって上方から下方に向かって溶融するが、焼結ペレット４の下面が冷却ハース２の底面２２と接触しているので、熱伝導によって、焼結ペレット４の下部は、効果的に冷却される。これにより、蒸着用るつぼ３の下部に位置する焼結ペレット４の部分が溶融しないので、焼結ペレット４の蒸着材料が、蒸着用るつぼ３の下側端面と焼結ペレット４の側面との境界付近から収納凹部２１に溶け出ることはなく、このような動作が、蒸着工程における正常な動作である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】実開平５−７２９６４号公報
【特許文献２】特開２００３−１４７５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上述した従来例に係る被蒸着体の製造方法においては、蒸発しくぼみ４１が形成された焼結ペレット４は、坩堝移動・排出機構によって、使用済み蒸着用るつぼ３とともに収納凹部２１から坩堝収納容器５へ排出されるが、稀に、焼結ペレット４を加熱した際、焼結ペレット４の蒸着材料が蒸着用るつぼ３の下側端面と焼結ペレット４の側面との境界付近から収納凹部２１に溶け出て固化し、例えば、図４（ａ）において点線で示すように、底面２２上に溶出部４２を形成することがある。
そして、このように、収納凹部２１の底面２２などに溶出部４２が形成されると、蒸着装置１０は、使用済み蒸着用るつぼ３を収納凹部２１から坩堝収納容器５へ排出することができなくなり、生産が停止してしまう場合があるといった問題がある。また、焼結ペレット４の蒸着材料が溶けて流れ出すと、正常な蒸着ができなくなり、蒸着ムラなどの品質不良が発生する場合があるといった問題がある。
【００１４】
本発明者らは、焼結ペレット４の蒸着材料が溶けて流れ出る要因として、焼結ペレット４や加熱手段などによる溶けムラや溶け過ぎ、又は、蒸着用るつぼ３の変形などによる隙間の発生などを挙げ、調査及び検討を行ったが、複数の要因によって発生することも想定され、原因を明確に特定することは容易ではなかった。
そこで、本発明者らは、焼結ペレット４の蒸着材料が溶け出てきた際、溶融した蒸着材料を迅速に固化させ、さらなる流出を防止することによって、蒸着ムラなどの品質不良の発生、及び、蒸着装置１０の動作不良の発生を防止することができるという観点から鋭意検討を重ねたところ、本発明を完成するに至った。
【００１５】
すなわち、本発明は、蒸着用るつぼからの溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの発生、及び、蒸着装置の動作不良などの発生を防止し、被蒸着体の品質及び生産性を向上させることができるペレット溶出防止具及び被蒸着体の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るペレット溶出防止具は、上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレットが収容される蒸着用るつぼとともに用いられるペレット溶出防止具であって、前記蒸着用るつぼから下方に突き出た前記焼結ペレットの下部が挿入される貫通孔の形成された板状部材からなる構成としてある。
【００１７】
また、本発明に係る被蒸着体の製造方法は、上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレットが収容される蒸着用るつぼを用いて、焼結ペレットを加熱し、前記蒸着材料を被蒸着体に蒸着する蒸着工程を有する被蒸着体の製造方法であって、前記蒸着工程において、上記ペレット溶出防止具が用いられる方法としてある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、蒸着用るつぼからの溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの発生、及び、蒸着装置の動作不良などの発生を防止し、被蒸着体の品質及び生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係るペレット溶出防止具の使用状態を示す説明図である。
【図２】本発明の実施形態に係るペレット溶出防止具を示す説明図である。
【図３】従来例に係る被蒸着体の製造方法に用いられる蒸着装置を説明するための説明図である。
【図４】従来例に係る被蒸着体の製造方法に用いられる蒸着用るつぼなどを説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
［ペレット溶出防止具］
図１は、本発明の実施形態に係るペレット溶出防止具の使用状態を示す説明図であり、このペレット溶出防止具は、上述した蒸着装置１０とともに用いられる。
また、図２は、本発明の実施形態に係るペレット溶出防止具を示す説明図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は右側側面図であり、（ｃ）は下面図である。
【００２２】
図１、２に示すペレット溶出防止具１は、上述した蒸着用るつぼ３とともに用いられ、蒸着用るつぼ３は、蒸着装置１０の冷却ハース２に配設される。すなわち、ペレット溶出防止具１は、上方および下方に開放する空洞３２を有し、当該空洞３２に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレット４が収容される蒸着用るつぼ３とともに用いられる。また、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３から下方に突き出た焼結ペレット４の下部が挿入される貫通孔１２の形成された板状部材１１からなる構成としてある。
【００２３】
より具体的には、ペレット溶出防止具１は、四隅が４５°面取りされたほぼ矩形平板状の板状部材１１であり、ほぼ中央に、貫通孔１２が形成されている。このペレット溶出防止具１は、四隅に４５°面取りが形成されており、これらによって、収納凹部２１内をスムースに移動することができる。
なお、板状部材１１の形状は、上記に限定されるものではなく、例えば、ほぼ円形平板状としてもよいが、後述する鍔部１３と収納凹部２１に形成された段状部２３との接触面積を大きくするほど、冷却効率を向上させることができることから、ほぼ矩形平板状が好ましい。また、ペレット溶出防止具１の材料は、通常、熱伝導性に優れた銅などが用いられる。
【００２４】
また、板状部材１１は、左右方向の長さＷ１が、蒸着用るつぼ３の下側端面の左右方向の長さＬ１とほぼ等しく（Ｗ１≒Ｌ１）、かつ、移動・搬出方向の長さＷ２が、蒸着用るつぼ３の下側端面の移動・搬出方向の長さＬ２とほぼ等しい（Ｗ２≒Ｌ２）形状としてある（図２（ａ）、図４（ｂ）参照）。これにより、ペレット溶出防止具１の上面が蒸着用るつぼ３の下側端面とほぼ同じ大きさを有しているので、焼結ペレット４を加熱した際に、焼結ペレット４の蒸着材料が蒸着用るつぼ３の下側端面と焼結ペレット４の側面との境界付近から溶け出しても、ペレット溶出防止具１は、溶け出した蒸着材料を上面で受けて固化させることができる。すなわち、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から溶融した蒸着材料が流れ出ても、上面が受け皿として機能し、例えば、図１において点線で示すように、上面上に溶出部４３を形成するので、溶け出した蒸着材料が収納凹部２１に付着するといった不具合を効果的に防止することができる。
【００２５】
また、貫通孔１２の直径は、通常、焼結ペレット４が嵌入される程度の直径としてあるので、貫通孔１２の側面は、焼結ペレット４の側面とほぼ全面的に接触する。これにより、ペレット溶出防止具１は、加熱される焼結ペレット４の下部をペレット溶出防止具１への熱伝導によって効果的に冷却することができ、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から、溶融した蒸着材料が流れ出ること自体を抑制することができる。
【００２６】
例えば、焼結ペレット４の直径が２２ｍｍであり、ペレット溶出防止具１の厚みが２ｍｍである場合、焼結ペレット４の下面と底面２２との接触面積は、約３８０ｍｍ２であり、貫通孔１２の側面と焼結ペレット４の側面との接触面積は、約１３８ｍｍ２となる。すなわち、焼結ペレット４の下部の冷却面積を約３６％（＝（３８０＋１３８）／３８０）増やすことができ、ペレット溶出防止具１は、加熱される焼結ペレット４の下部を熱伝導によって効果的に冷却することができる。そして、この冷却によって、焼結ペレット４を加熱した際、焼結ペレット１４が蒸着用るつぼ３の中で平均的に溶けて、図４（ａ）において破線で示すような形状のくぼみ４１が形成される。これにより、蒸着用るつぼ３の下側端面よりも下側の位置において、焼結ペレット４に穴が開くといった不具合を効果的に抑制することができる。
【００２７】
ここで、好ましくは、図１に示すように、板状部材１１の上面が、蒸着用るつぼ３から微小距離（例えば、１〜２ｍｍ）だけ離れているとよく、すなわち、焼結ペレット４に取り付けられたペレット溶出防止具１は、板状部材１１の上面が、蒸着用るつぼ３から微小距離だけ離れる構造を有しているとよい。このようにすると、焼結ペレット４が加熱されると、蒸着用るつぼ３も昇温するが、ペレット溶出防止具１が蒸着用るつぼ３から離れていると、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３からの熱伝導によっては昇温せず、蒸着用るつぼ３より低い温度に維持される。したがって、溶融した蒸着材料が流れ出ても、ペレット溶出防止具１の上面に触れると固化するので、ペレット溶出防止具１は、蒸着材料が溶け出して収納凹部２１に付着するといった不具合をより確実に防止することができる。
なお、この作用は、蒸着用るつぼ３の変形などによって、空洞３２の側面と焼結ペレット４の側面との間に隙間が発生した場合にも、有効である。
さらに、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３からの熱伝導が無いので、熱による劣化が抑制され、ペレット溶出防止具１の耐久性が向上し、繰り返し利用することができる。
【００２８】
また、好ましくは、板状部材１１は、冷却部材としての冷却ハース２と接触するとよい。より具体的には、本実施形態では、ペレット溶出防止具１は、上部の左右方向の縁部に、当該縁部の下方を切り欠くことによって、鍔部１３が形成されており、これら鍔部１３の下面が冷却ハース２の段状部２３の上面と接触する。このようにすると、ペレット溶出防止具１は、焼結ペレット４が加熱されると、焼結ペレット４からの熱伝導によって昇温するが、焼結ペレット４から供給された熱を冷却ハース２に熱伝導させることができるので、焼結ペレット４の下部を効果的に冷却することができ、蒸着用るつぼ３の下側端面付近の蒸着材料が溶解することを抑制することができる。また、ペレット溶出防止具１は、効果的に冷却されるので、溶け出した蒸着材料を迅速に固化させ、蒸着用るつぼ３の下側端面とペレット溶出防止具１の上面とで挟み込むようにして溶出部４３を形成することができ、さらなる流出を抑制することができる。
【００２９】
また、好ましくは、板状部材１１に、焼結ペレット４を移動させるためのガイド面１４が形成されているとよい。より具体的には、本実施形態では、ペレット溶出防止具１は、鍔部１３の下方を切り欠くことによって、ガイド面１４が形成されており、これらガイド面１４は、移動・排出方向側の先端に４５°面取りが形成されており、かつ、段状部２３の側面と所定の隙間を介して対向している。このようにすると、ペレット溶出防止具１の回転ずれによって、段状部２３の側面との引っ掛かりが発生するといった不具合を回避でき、焼結ペレット４をガイドした状態でスムースに収納凹部２１内を移動させることができる。
【００３０】
なお、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３とともに用いられる構成としてあるが、蒸着用るつぼ３の構造は、上方および下方に開放する空洞を有し、当該空洞に蒸着材料からなる柱状の焼結ペレットが収容される構造であればよく、上述した構造に限定されるものではない。
また、ペレット溶出防止具１は、段状部２３が形成された収納凹部２１に対応するように、鍔部１３が形成された構造としてあるが、ペレット溶出防止具１の構造はこれに限定されるものではない。例えば、図示してないが、段状部２３が形成されていない収納凹部２１に対しては、鍔部１３の下方に切欠が形成されていない構造としてもよい。さらに、このような構造の場合、好ましくは、ペレット溶出防止具１の下面が冷却ハース２の底面２２と接触しているとよく、このようにすると、ペレット溶出防止具１が冷却ハース２への熱伝導によって冷却されるので、焼結ペレット４の下部をより効果的に冷却することができる。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態にあっては、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から、溶融した蒸着材料が流れ出ることを効果的に抑制し、さらに、溶融した蒸着材料が流れ出たとしても、溶融した蒸着材料を迅速に固化させ、さらなる流出を防止することができるので、溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの発生、及び、蒸着装置１０の動作不良などの発生を防止し、被蒸着体の品質及び生産性を向上させることができる。
【００３２】
［被蒸着体の製造方法］
本実施形態に係る被蒸着体の製造方法は、上述した蒸着用るつぼ３を用いて、焼結ペレット４を加熱し、蒸着材料を被蒸着体に蒸着する蒸着工程を有しており、蒸着工程において、上記ペレット溶出防止具１が用いられる方法としてある。
なお、本実施形態では、被蒸着体をレンズとしてあり、上述した蒸着装置１０を用いて蒸着工程を行うが、本発明における被蒸着体は、レンズに限定されるものではない。
【００３３】
本実施形態の蒸着工程においては、蒸着用るつぼ３、焼結ペレット４及びペレット溶出防止具１が、蒸着装置１０の真空室内に設けられた冷却ハース２の収納凹部２１に収容され、蒸着工程を行うための準備がなされた後に、以下に述べる各ステップ（Ｓ１〜Ｓ３）が順に行われる。
【００３４】
Ｓ１において、蒸着装置１０の真空室内の真空状態が維持されるようにしつつ、図示しない前室で待機するレンズを当該真空室内に移送する。これによって、真空室内にレンズを移送するたびに、真空室内を大気解放したり、真空排気したりする必要がなくなり、蒸着工程を連続して行うことができる。
なお、真空室内は、蒸着中の真空度が概ね５×１０−３Ｐａで維持されるようにする。
【００３５】
Ｓ２において、焼結ペレット４が電子ビームの照射によって加熱され、焼結ペレット４の蒸着材料が蒸発し、レンズ表面に蒸着する。
なお、蒸着材料としては、レンズに反射防止膜を蒸着する場合、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウムなどが用いられる。
【００３６】
ここで、焼結ペレット４が加熱される際、ペレット溶出防止具１は、加熱される焼結ペレット４の下部をペレット溶出防止具１への熱伝導によって効果的に冷却することができ、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から、溶融した蒸着材料が流れ出ること自体を抑制することができる。
また、ペレット溶出防止具１は、鍔部１３の下面が冷却ハース２の段状部２３の上面と接触するので、焼結ペレット４から供給された熱を冷却ハース２に熱伝導させることができ、焼結ペレット４の下部をより効果的に冷却することができ、蒸着用るつぼ３の下側端面付近の蒸着材料が溶解することを抑制することができる。
【００３７】
さらに、ペレット溶出防止具１は、上記の冷却にもかかわらず、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から溶融した蒸着材料が流れ出ると、上面が受け皿として機能し、上面上に溶出部４３を形成するので、溶け出した蒸着材料が収納凹部２１に付着するといった不具合を効果的に防止することができる。
この際、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３から離れているので、蒸着用るつぼ３からの熱伝導によっては昇温せず、蒸着用るつぼ３より低い温度に維持される。これにより、溶融した蒸着材料が流れ出ても、ペレット溶出防止具１の上面に触れると迅速に固化するので、流れ出た蒸着材料が収納凹部２１に付着するといった不具合をより確実に防止することができる。
また、ペレット溶出防止具１は、鍔部１３の下面が冷却ハース２の段状部２３の上面と接触しており、供給された熱を冷却ハース２に熱伝導させることができ、効果的に冷却されるので、溶け出した蒸着材料を迅速に固化させ、蒸着用るつぼ３の下側端面とペレット溶出防止具１の上面とで挟み込むようにして溶出部４３を形成することができ、さらなる流出を抑制することができ、溶け出した蒸着材料が収納凹部２１に付着するといった不具合を効果的に防止することができる。
【００３８】
このように、ペレット溶出防止具１は、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から、溶融した蒸着材料が流れ出ること自体を抑制し、さらに、溶融した蒸着材料が流れ出たとしても、溶融した蒸着材料を迅速に固化させ、さらなる流出を防止することができるので、蒸着ムラなどの品質不良の発生を防止することができる。
【００３９】
Ｓ３において、焼結ペレット４の加熱が終了すると、蒸着装置１０の真空室内の真空状態が維持されるようにしつつ、蒸着工程を終えたレンズが、後処理が行われる図示しない後室に移送される。そして、冷却ハース２が時計回り方向に４５°回転し、坩堝移動・排出機構（図示せず）が、蒸着用るつぼ３を移動させ使用済み蒸着用るつぼ３を収納凹部２１から坩堝収納容器５へ排出され、これとともに、次の蒸着工程に使用される焼結ペレット４を収容する蒸着用るつぼ３が所定の位置に移動する。
この際、ペレット溶出防止具１によって、溶融した蒸着材料が収納凹部２１に流れ出て、収納凹部２１の底面２２などに溶出部４２（図４参照）が形成されることを防止することができる。
また、正常な状態で溶融した焼結ペレット４と蒸着用るつぼ３は問題なく排出されるが、焼結ペレット４が溶出したものであっても、溶融した蒸着材料が収納凹部２１に流れ出て、収納凹部２１の底面２２などに溶出部４２（図４参照）が形成されてしまうことが、ペレット溶出防止具1によって防止でき、この場合も問題なく排出することができる。
これにより、使用済み蒸着用るつぼ３は、スムースに、かつ、確実に収納凹部２１から坩堝収納容器５へ排出されるので、溶融した蒸着材料の流出に起因する異常停止を回避することができ、生産性を向上させることができる。
【００４０】
ここで、ペレット溶出防止具１は、板状部材１１に、焼結ペレット４を移動させるためのガイド面１４が形成されており、これらガイド面１４は、移動・排出方向側の先端に４５°面取りが形成されており、かつ、段状部２３の側面と所定の隙間を介して対向している。これにより、ペレット溶出防止具１の回転ずれによって、段状部２３の側面との引っ掛かりが発生するといった不具合を回避でき、焼結ペレット４をガイドした状態でスムースに収納凹部２１内を移動させることができる。
【００４１】
その後、Ｓ１〜Ｓ３が繰り返されて、蒸着工程が連続して行われる。
例えば、一回の蒸着工程で一個の焼結ペレット４を使用する場合、図３に示す例では、焼結ペレット４を収容した二十四個の蒸着用るつぼ３があるので、二十四回の蒸着工程を連続して行うことができる。このとき、使用済み蒸着用るつぼ３が排出できないと、工程を停止して、蒸着装置１０の真空室を大気解放してメンテナンスしなければならないため、このような連続した蒸着工程の実施ができなくなってしない、生産性を悪化させてしまうが、本実施形態にあっては、そのような不具合を有効に回避することができる。
【００４２】
以上説明したように、本実施形態にあっては、製造工程の一つである蒸着工程において、蒸着用るつぼ３と焼結ペレット４との間から、溶融した蒸着材料が流れ出ることを効果的に抑制し、さらに、溶融した蒸着材料が流れ出たとしても、溶融した蒸着材料を迅速に固化させ、さらなる流出を防止することができる。したがって、溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの発生、及び、蒸着装置１０の動作不良などの発生を防止し、被蒸着体の品質及び生産性を向上させることができる。
【００４３】
以上、本発明について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明は、前述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることはいうまでもない。
【００４４】
例えば、上述した実施形態の被蒸着体の製造方法は、蒸着装置１０を用いて蒸着工程を行っているが、溶融した蒸着材料の流出に起因する蒸着ムラなどの品質不良を回避することができるので、このような品質不良を回避することが要望される様々な構成の蒸着装置に対しても、好適に適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１        ペレット溶出防止具
３        蒸着用るつぼ
４        焼結ペレット
１１      板状部材
１２      貫通孔
３２      空洞
【図１】
2013173985.tif 000003
【図２】
2013173985.tif 000004
【図３】
2013173985.tif 000005
【図４】
2013173985.tif 000006