(57)【要約】【課題】縦姿勢のガラス基板を搬送する途中で基板の検査や加工を実施する際に、基板の下縁部が把持しやすくする。【解決手段】縦姿勢のガラス基板Ｇにおける上縁部Ｕを把持してガラス基板Ｇを吊り下げ支持する複数の把持手段１０、１１を備え、把持手段１０、１１により吊り下げ支持されたガラス基板Ｇを上縁部Ｕに沿う搬送方向Ｔに搬送するガラス基板の搬送装置１であって、複数の把持手段１０、１１の内、少なくとも一の把持手段を、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段１０とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦姿勢のガラス基板における上縁部を把持して該ガラス基板を吊り下げ支持する複数の把持手段を備え、該把持手段により吊り下げ支持された前記ガラス基板を前記上縁部に沿う搬送方向に搬送するガラス基板の搬送装置であって、
前記複数の把持手段の内、少なくとも一の把持手段は、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段であることを特徴とするガラス基板の搬送装置。
【請求項２】
前記可動把持手段は、水平面上の円軌道に沿って旋回するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項３】
前記可動把持手段は、鉛直線廻りに自転するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項４】
前記可動把持手段は、前記搬送方向と垂直な方向に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項５】
前記可動把持手段は、前記搬送方向と平行な方向に移動するように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項６】
前記複数の把持手段により吊り下げ支持されているガラス基板が、作業エリアで所定の処理を受ける間は、前記可動把持手段を位置及び／または姿勢が変化していない初期状態にすると共に、前記ガラス基板の下縁部を他の複数の把持手段が把持することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項７】
前記可動把持手段を含む前記複数の把持手段が、複数の工程に対応してそれぞれ複数エリアに備えられ、前工程の複数の把持手段により吊り下げ支持されていたガラス基板を、後工程の複数の把持手段に受け渡す際に、前記可動把持手段を位置及び／または姿勢が変化していない初期状態にすることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項８】
前記可動把持手段を駆動させる駆動手段と、前記ガラス基板の下縁部の反りを測定する測定手段と、該測定手段からの信号に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項９】
前記可動把持手段を含む前記複数の把持手段が、複数の工程に対応してそれぞれ複数エリアに備えられ、前工程の複数の把持手段により吊り下げ支持されていたガラス基板を、後工程の複数の把持手段に受け渡す際に、前工程の可動把持手段を駆動させる駆動手段の動作情報を記憶しておき、この記憶された動作情報に基づいて後工程の可動把持手段を駆動させる駆動手段を制御するように構成したことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載のガラス基板の搬送装置において、前記複数の把持手段の一部を、前記ガラス基板の上縁部を遊挿させて案内するガイド部材に置き換えたことを特徴とするガラス基板の搬送装置。
【請求項１１】
縦姿勢のガラス基板における上縁部を把持して該ガラス基板を吊り下げ支持する複数の把持手段を備え、該把持手段により吊り下げ支持された前記ガラス基板を前記上縁部に沿う搬送方向に搬送するガラス基板の搬送方法であって、
前記複数の把持手段の内、少なくとも一の把持手段を、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段として、前記ガラス基板を吊り下げ支持して搬送することを特徴とするガラス基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の搬送装置及び搬送方法に係り、詳しくは、縦姿勢の基板を搬送した後に検査や加工を実施するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、ガラス基板の検査や加工を行う装置の一種として、縦姿勢における基板の上縁部を把持し、吊り下げ支持した状態で搬送すると共に、搬送した後に基板の検査や加工を実施する装置が広く普及するに至っている。このような装置は、例えば、下記の特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１には、上流側から搬送されてきたガラス基板の上縁部を把持する上部把持手段と、上部把持手段によって吊り下げ支持された基板の下縁部を把持する下部把持手段と、基板の搬送経路に沿って設けられ且つ欠陥の有無を検知する欠陥検知手段とを備えた装置が開示されている。そして、同文献に開示された装置は、上下の両把持手段に把持された基板を下流側へと搬送しながら欠陥検知手段を通過させることで、欠陥の有無を検査する構成とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２３６７１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年大量に製造されるに至っている液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いられる薄型のガラス基板は、本体デバイスの軽量化への要求の高まりに伴って、さらなる薄肉化が推進されている。このような事情に起因して、上記の特許文献１に開示されるような装置を用いて、これらの基板の検査や加工を行う際には、下記のような問題が生じていた。
【０００６】
すなわち、ガラス基板の検査や加工を実施する際には、例えば、基板の撮影を行うカメラのピントを基板に合わせることや、基板を切断するカッターを基板に押さえつけること等が必要となるため、基板の上縁部と下縁部との双方を把持して、基板に張りを持たせることが必須となる。
【０００７】
しかしながら、薄肉化が推進されたガラス基板は、基板の厚みが薄くなるにつれて剛性が低くなるために、基板に発生した僅かな内部応力の差によって容易に反りを生じてしまう。このため、吊り下げ支持された基板の下縁部が、反りによってアーチ状に湾曲してしまう場合があった。その結果、上記の特許文献１に開示されるように、上縁部のみが把持された状態で搬送される基板の下縁部を、基板の検査を実施するにあたって把持する際に、基板の下縁部を把持手段で円滑に把持することが困難、或いは、把持すること自体が不可能となる問題があった。
【０００８】
このような事態を生じると、ガラス基板の下縁部を把持手段に据え付ける際に、湾曲した下縁部と把持手段とが衝突し、基板に割れを生じたり、破損してしまったりすることで、製品歩留まりの低下を招くばかりか、破損した基板の破片が把持手段上に残存してしまうという不都合をも生じてしまう。
【０００９】
従って、上記のような問題を防止するため、ガラス基板の検査や加工を実施する際に、基板の下縁部を把持しやすくするための工夫を施す必要があったが、そのための措置については、未だ十分に講じられていないのが現状である。
【００１０】
上記事情に鑑みなされた本発明は、縦姿勢のガラス基板を吊り下げ支持して搬送した後に検査や加工を実施する際に、基板の下縁部を把持しやすくして、製品歩留まりの改善等を図ることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、縦姿勢のガラス基板における上縁部を把持して該ガラス基板を吊り下げ支持する複数の把持手段を備え、該把持手段により吊り下げ支持された前記ガラス基板を前記上縁部に沿う搬送方向に搬送するガラス基板の搬送装置であって、前記複数の把持手段の内、少なくとも一の把持手段は、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段であることに特徴付けられる。
【００１２】
このような構成によれば、可動把持手段を含む複数の把持手段によりガラス基板を吊り下げ支持して搬送する場合に、当該基板が可撓性を有する薄肉のガラス基板であれば、その基板の下縁部が平面視で大きく湾曲した形状となる。そのような状態でガラス基板を搬送した後に、基板の検査や加工を実施するために、基板の下縁部を把持する必要が生じるような場合においては、下記のような好ましい態様が得られる。すなわち、ガラス基板の上縁部を複数の把持手段が把持した状態の下で、可動把持手段の水平面上における位置及び／または姿勢を変化させれば、基板の上縁部の形状が、直線形状から非直線形状（湾曲形状）に変形すると同時に、基板の下縁部も、上縁部の形状変化に引き連れられてその形状が変形する。このため、基板の上縁部を可動把持手段が非直線形状に変形させる際に、その変形の方向及び度合いを適度に調整すれば、基板の下縁部を、大きく湾曲した形状から直線形状に近似する形状に変形させることができる。従って、ガラス基板の検査や加工を行うに際しては、直線形状に近似する形状に変形した下縁部を、下方に存する他の把持手段により容易且つ円滑に把持することが可能となる。その結果、ガラス基板の下縁部に他の把持手段が干渉すること等に起因して生じ得る基板の割れや破損を防止することができ、製品歩留まりの改善等を図ることが可能となる。
【００１３】
上記の構成において、前記可動把持手段は、水平面上の円軌道に沿って旋回するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
このようにすれば、可動把持手段が旋回することによって、ガラス基板の上縁部が非直線形状（湾曲形状）に変形し、これに伴って基板の下縁部が直線形状に近似する形状に矯正され得る。この場合、「可動把持手段が旋回する」という事は、可動把持手段の位置及び姿勢が可変であることを意味している。なお、この場合には、ガラス基板における可変把持手段に把持される部位の近傍において、曲げに起因する大きな応力が局所的に発生するという不具合が回避され得る。
【００１５】
上記の構成において、前記可動把持手段は、鉛直線廻りに自転するように構成されていることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、可動把持手段が自転することによって、ガラス基板の上縁部が非直線形状（湾曲形状）に変形し、これに伴って基板の下縁部が直線形状に近似する形状に矯正され得る。この場合、「可動把持手段が自転する」という事は、可動把持手段の姿勢が可変であることを意味している。そして、上述のように可動把持手段が旋回しながら、自転をもすれば、基板の下縁部を直線形状に近似する形状に矯正する上でさらに有利となる。
【００１７】
上記の構成において、前記可動把持手段は、前記搬送方向と垂直な方向に移動するように構成されていることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、可動把持手段が搬送方向と直角な方向に移動することによって、ガラス基板の上縁部が非直線形状（湾曲形状）に変形し、これに伴って基板の下縁部が直線形状に近似する形状に矯正され得る。この場合、「可動把持手段が搬送方向と直角な方向に移動する」という事は、可動把持手段の位置が可変であることを意味している。そして、上述のように可動把持手段が旋回しながら、搬送方向と直角な方向に移動したり、自転しながら、搬送方向と直角な方向に移動したりすれば、基板の下縁部を直線形状に近似する形状に矯正する上でさらに有利となる。
【００１９】
上記の構成において、前記可動把持手段は、前記搬送方向と平行な方向に移動するように構成されていることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、可動把持手段が搬送方向と平行な方向に移動することによって、ガラス基板の上縁部が非直線形状（湾曲形状）に変形し、これに伴って基板の下縁部が直線形状に近似する形状に矯正され得る。この場合、「可動把持手段が搬送方向と平行な方向に移動する」という事は、可動把持手段の位置が可変であることを意味している。そして、上述のように可動把持手段が旋回しながら、搬送方向と平行な方向に移動したり、自転しながら、搬送方向と平行な方向に移動したり、さらには、搬送方向と直角な方向に移動しながら、搬送方向と平行な方向に移動したりすれば、基板の下縁部を直線形状に近似する形状に矯正する上でさらに有利となる。
【００２１】
上記の構成において、前記複数の把持手段により吊り下げ支持されているガラス基板が、作業エリアで所定の処理を受ける間は、前記可動把持手段を位置及び／または姿勢が変化していない初期状態にすると共に、前記ガラス基板の下縁部を他の複数の把持手段が把持することが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、ガラス基板が所定の処理を受けている間において、基板の上縁部と下縁部との双方を直線形状とすることができる。そのため、基板全体の湾曲が解消され、所定の処理を施すのに適した平板状の形状に維持される。この結果、ガラス基板に対する所定の処理を円滑且つ正確に行うことが可能となる。
【００２３】
上記の構成において、前記可動把持手段を含む前記複数の把持手段が、複数の工程に対応してそれぞれ複数エリアに備えられ、前工程の複数の把持手段により吊り下げ支持されていたガラス基板を、後工程の複数の把持手段に受け渡す際に、前記可動把持手段を位置及び／または姿勢が変化していない初期状態にすることが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、ガラス基板を後工程に受け渡す際に、基板の上縁部を直線形状に戻すことができるため、工程間における円滑な基板の受け渡しが可能となる。
【００２５】
上記の構成において、前記可動把持手段を駆動させる駆動手段と、前記ガラス板の下縁部の反りを測定する測定手段と、該測定手段からの信号に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを備えることが好ましい。
【００２６】
このようにすれば、ガラス基板の製造条件等が変更されて基板の反りの大きさが刻々と変化するような場合であっても、測定手段からの信号に基づいて駆動手段を制御する制御手段が備えられていることにより、各々の基板が有する反りの大きさに応じて、上縁部の変形を調整することが可能となる。
【００２７】
上記の構成において、前記可動把持手段を含む前記複数の把持手段が、複数の工程に対応してそれぞれ複数エリアに備えられ、前工程の複数の把持手段により吊り下げ支持されていたガラス基板を、後工程の複数の把持手段に受け渡す際に、前工程の可動把持手段を駆動させる駆動手段の動作情報を記憶しておき、この記憶された動作情報に基づいて後工程の可動把持手段を駆動させる駆動手段を制御するように構成することが好ましい。
【００２８】
このようにすれば、例えば、ガラス基板に所定の処理を実施した後、後工程で別の処理を実施するために、再び基板の下縁部を把持する必要が生じるような場合において、下記のような好ましい態様が得られる。すなわち、前工程の駆動手段の動作情報が記憶されていることにより、この動作情報に基づいて後工程の駆動手段に前工程の駆動手段と同一の動作をさせれば、必然的に可動把持手段も前工程の可動把持手段と同一の動作をすることになる。これにより、後工程においては、可動把持手段に対して何ら制御を行わなくても、基板の下縁部を直線形状に近似する形状に矯正できるため、工程間での作業の流れが大幅に円滑化される。
【００２９】
上記の構成において、前記複数の把持手段の一部を、前記ガラス基板の上縁部を遊挿させて案内するガイド部材に置き換えてもよい。
【００３０】
このようにすれば、ガラス基板におけるガイド部材に遊挿される部位は、完全に拘束された状態にないため、可動把持手段の位置及び／または姿勢が変化する際に、当該部位において局所的に大きな応力が発生する恐れを低減することが可能となる。
【００３１】
また、上記課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、縦姿勢のガラス基板における上縁部を把持して該ガラス基板を吊り下げ支持する複数の把持手段を備え、該把持手段により吊り下げ支持された前記ガラス基板を前記上縁部に沿う搬送方向に搬送するガラス基板の搬送方法であって、前記複数の把持手段の内、少なくとも一の把持手段を、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段として、前記ガラス基板を吊り下げ支持して搬送することに特徴付けられる。
【００３２】
このような方法によれば、上記のガラス基板の搬送装置について既に述べた事項と同様の作用効果を享受することができる。
【発明の効果】
【００３３】
以上のように、本発明によれば、縦姿勢のガラス基板を吊り下げ支持して搬送した後に基板の検査や加工を実施する際に、基板の下縁部を把持しやすくなるため、把持不良に起因する製品歩留まり低下の問題が解消する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図２】ガラス基板を搬送する搬送経路を示す側面図である。
【図３】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図５】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【図６】本発明の第三実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図７】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【図８】本発明の第四実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図９】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【図１０】本発明の第五実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図１１】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【図１２】本発明の第六実施形態に係るガラス基板の搬送装置を示す斜視図である。
【図１３】ガラス基板の上縁部及び下縁部の変形を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して説明する。なお、下記の各実施形態においては、可動把持手段として可動チャック１０を用い、可動把持手段以外の把持手段として固定チャック１１を用いている。また、ガイド部材として可動ガイド１２、及び固定ガイド１３を用いている。さらに、可動把持手段を駆動させる駆動手段としてサーボモーター６、シリンダー７、モーター８を用い、基板の下縁部を把持する他の把持手段として下縁部把持チャック２０を用いている。加えて、基板の下縁部の反りを側定する測定手段として第一センサー４０を用い、基板に処理を施す作業エリアとして検査領域Ａ２を設けている。
【００３６】
図１は、本発明の第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。同図に示すように、ガラス基板の搬送装置１は、ガイドレールＧＲに沿って図中に示す搬送方向Ｔに移動するメインフレーム２と、メインフレーム２から吊り下げられた三本のサブフレーム３と、各サブフレーム３にそれぞれ固定され且つガラス基板Ｇ（以下、単に基板Ｇという）の上縁部Ｕを把持する可動チャック１０及び固定チャック１１とを備える。
【００３７】
三本のサブフレーム３の内、中央に位置するサブフレーム３は、二本のアーム５によってメインフレーム２から吊り下げられ固定される。また、両端に位置する二本のサブフレーム３は、メインフレーム２に固定された減速器付きのサーボモーター６を介してメインフレーム２から吊り下げられる。そして、サーボモーター６に備えられた回転駆動部６ａが図中のＲ方向に回転するのに伴って、回転駆動部６ａの下部に固定されたサブフレーム３が、図に示す初期状態からＳ方向に旋回するように構成されている。
【００３８】
中央に位置するサブフレーム３は、固定チャック１１を備え、両端に位置する二本のサブフレーム３は、各々可動チャック１０を備えると共に、可動チャック１０と固定チャック１１とは、初期状態において、これらのチャックを上方及び側方から視た時に、各々が一直線上に並ぶように配置される。また、両チャック１０、１１は、基板Ｇの上縁部Ｕを把持する部位としての一対の爪部１０ａ、１１ａを有し、この一対の爪部１０ａ、１１ａは、両チャック１０、１１に固定された軸１０ｂ、１１ｂを中心に空気圧によって回転することにより開閉する。さらに、可動チャック１０は、サブフレーム３がＳ方向に旋回するのに伴って、基板Ｇの上端面Ｕａと平行な図示しない仮想平面上、つまり水平面上を、円軌道に沿って旋回するように構成されている。
【００３９】
以下、上記第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１が、基板Ｇを搬送する搬送経路の構成について、図２に基づいて説明する。なお、下記に説明する構成は、基板Ｇを搬送する途中で欠陥の有無を検査し、その後、基板Ｇを後工程へと受け渡す場合の構成である。なお、後工程においては、上記と同様の構成とされた搬送装置１が使用される。
【００４０】
図２は、基板Ｇの搬送経路を示す側面図である。なお、同図において、上記第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１の構成の内、可動チャック１０と固定チャック１１以外の構成要素については、図示を省略している。基板Ｇの搬送経路は、図中に示す搬送方向Ｔに沿って、基板Ｇの下縁部Ｄにおける反りの大きさを測定する測定領域Ａ１と、欠陥の有無を検査する検査領域Ａ２と、基板Ｇを後工程へと移送する移送領域Ａ３とで構成される。
【００４１】
測定領域Ａ１は、上流側から搬送されてきた基板Ｇの下縁部Ｄにおける反りの大きさを測定する第一センサー４０を備えている。第一センサー４０による測定結果の情報は、図示しない回路を通じ、電気信号として図示しない制御手段に伝達される。そして、この信号に基づいてサーボモーター６を制御することにより、フィードバック制御を行う構成となっている。
【００４２】
検査領域Ａ２は、測定領域Ａ１から搬送されてきた基板Ｇの下縁部Ｄを把持する３つの下縁部把持チャック２０と、可動チャック１０の初期状態からの位置及び／または姿勢の変化を測定する第二センサー５０と、基板Ｇの表裏面における欠陥の有無を検査するラインセンサー３０とを備えている。
【００４３】
下縁部把持チャック２０は、上方及び側方から視た時に各々が一直線上に並ぶように配置される。そして、下縁部把持チャック２０に備えられ、且つ基板Ｇの下縁部Ｄを把持する把持部２０ａは、基板Ｇの厚み方向にスライドして移動する一対の板状部材であり、基板Ｇの把持及びその解除が可能となっている。また、第二センサー５０で測定された可動チャック１０の初期状態からの位置及び／または姿勢の変化の情報は、図示しない記憶手段に記憶された後、後工程で使用される同様の可動チャック１０のサーボモーター６に伝達可能である。なお、上記の可動チャック１０の初期状態からの位置及び／または姿勢の変化の情報は、サーボモーター６の回転角度（或いは後述するシリンダー７の移動量、モーター８の回転量）として、記憶手段に記憶させるようにしてもよい。さらに、ラインセンサー３０は、上下方向に並んだ複数のカメラ３０ａを備えており、基板Ｇの表面側に向けて照射された光を基板Ｇの裏面側で受光し、受光した光量の変化に基づいて欠陥の有無を検査する構成とされている。
【００４４】
移送領域Ａ３は、欠陥の有無の検査を終え、下縁部Ｄの把持を解除された基板Ｇを、搬送経路の下流端まで搬送した後、後工程へと受け渡す構成となっている。
【００４５】
以下、上記第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を用いて、基板Ｇを上記搬送経路に沿って搬送する搬送方法について、図２及び図３に基づいて説明する。ここで、搬送される基板Ｇは可撓性を有しており、その厚みとしては、０．２〜０．７ｍｍであることが好ましい。
【００４６】
先ず、測定領域Ａ１において、上流側から搬送されてきた基板Ｇを第一センサー４０上で停止させ、基板Ｇの下縁部Ｄにおける反りの大きさを測定する。このとき、反りの大きさの測定値が検査領域Ａ２に備えられた下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌより大きい場合、図３に示すように、下縁部Ｄにおける反りの大きさの矯正がなされる。
【００４７】
図３（ａ）は、第一センサー４０上で停止した基板Ｇの初期状態を鉛直上方から視た状態を示す平面図であり、基板Ｇの上縁部Ｕの輪郭を実線で表し、下縁部Ｄの輪郭を一点鎖線で表している。なお、この図においてもガラス基板の搬送装置１の構成の内、可動チャック１０と固定チャック１１以外の構成要素については、図示を省略している。
【００４８】
下縁部Ｄにおける反りの大きさが測定され、その値が下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌより大きい場合、その測定値の情報が回路を通じ、電気信号として図示しない制御手段に伝達される。そして、この信号に基づいてサーボモーター６を制御することにより、フィードバック制御が行われる。これにより、サーボモーター６に備えられた回転駆動部６ａが回転し、サブフレーム３に固定された可動チャック１０がＳ方向に旋回する。その結果、上縁部Ｕの変形に伴い、図３（ｂ）に示すように、下縁部Ｄにおける反りの大きさが下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように矯正される。そして、下縁部Ｄにおける反りの大きさが矯正された基板Ｇは検査領域Ａ２へと搬送される。
【００４９】
検査領域Ａ２に搬送された基板Ｇは、欠陥の有無を検査するにあたり、下縁部Ｄが下縁部把持チャック２０に備えられた把持部２０ａによって把持され、張りを持った状態とされる。このとき、測定領域Ａ１において、下縁部Ｄにおける反りの大きさが矯正されていることにより、円滑に下縁部Ｄを把持することが可能となる。このため、把持不良に起因する製品歩留まり低下の問題を解消することができる。
【００５０】
さらに、基板Ｇの下縁部Ｄが下縁部把持チャック２０によって把持される際に、可動チャック１０の初期状態からの位置及び姿勢の変化が第二センサー５０によって測定され、その測定値の情報が後工程へと伝達される。これにより、後工程で同じ構成のガラス基板の搬送装置１を用い、別の検査や加工を実施するために、再び基板Ｇの下縁部Ｄを把持する必要が生じる場合においても、可動チャック１０の位置及び姿勢の変化の情報が後工程へと受け渡されることにより、後工程において、円滑に基板Ｇの下縁部Ｄを把持することができる。
【００５１】
上述のように、下縁部Ｄが下縁部把持チャック２０により把持されると、サーボモーター６に備えられた回転駆動部６ａをＲ方向に沿って逆向きに回転させる。これに伴いサブフレーム３がＳ方向に沿って初期位置へと旋回することにより、サブフレーム３に備えられた可動チャック１０も同様に初期状態へと戻る。その結果、基板Ｇの上縁部Ｕにおける輪郭が直線形状へと戻される。その後、上縁部Ｕ及び下縁部Ｄが把持された基板Ｇを下流側へと搬送しつつ、ラインセンサー３０を通過させることで、欠陥の有無がラインセンサー３０に備えられたカメラ３０ａによって検査される。
【００５２】
欠陥の有無の検査を終えた基板Ｇは、下縁部把持チャック２０による把持を解除され、上縁部Ｕのみが把持された状態で、後工程へと向かって移送領域Ａ３を搬送される。そして、移送領域Ａ３の下流端まで到達すると、後工程へと基板Ｇが受け渡される。
【００５３】
図４は、本発明の第二実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。なお、図４において、上記第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１と同一の機能又は形状を有する構成要素については、同一の符号を付すことにより重複する説明を省略する。加えて、後述する第三実施形態〜第六実施形態においても、既に説明した各実施形態に係るガラス基板の搬送装置と同一の機能又は形状を有する構成要素については、重複する説明を同様に省略する。また、本実施形態及び後述の第三実施形態〜第六実施形態において、基板Ｇを搬送する搬送経路の構成は、上記第一実施形態と同じ構成である。
【００５４】
この第二実施形態に係るガラス基板の搬送装置１が、上述の第一実施形態に係るガラス基板の搬送装置１と相違している点は、中央に位置するサブフレーム３において、固定チャック１１に代えて固定ガイド１３が備えられている点である。固定ガイド１３は、基板Ｇの上縁部Ｕを案内するガイド部１３ａを備えており、ガイド部１３ａは、空気圧によって基板Ｇの厚み方向にスライド可能な一対の板状部材である。また、ガイド部１３ａと基板Ｇとの間には遊びが設けられ、基板Ｇを完全には拘束しない構成となっている。
【００５５】
この搬送装置１を用いたガラス基板の搬送方法によれば、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、下縁部Ｄにおける反りの大きさが、下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように、下縁部Ｄの形状を矯正するにあたって、好ましい態様が得られる。すなわち、可動チャック１０が動作し、基板Ｇの上縁部Ｕが変形する際に、ガイド部１３ａに案内される部位が完全に拘束されていないため、基板Ｇに局所的な応力が発生する恐れを低減することができる。また、ガラス基板の搬送装置１の振動や、下縁部把持チャック２０への据付の際における精度のバラつきによって、基板Ｇに割れを生じたり、基板Ｇが破損したりするような事態を適切に防止することが可能となる。なお、同図においては、上記第一実施形態と同様に、搬送されてきた基板Ｇの上縁部Ｕの輪郭を実線で表し、下縁部Ｄの輪郭を一点鎖線で表している。また、この図においてもガラス基板の搬送装置１の構成の内、可動チャック１０と固定ガイド１３に備えられたガイド部１３ａ以外の構成要素については、図示を省略している。このような表記は、後述の第三実施形態〜第六実施形態についても同様である。
【００５６】
図６は、本発明の第三実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。同図に示すように、ガラス基板の搬送装置１は、ガイドレールＧＲに沿って図中に示す搬送方向Ｔに移動するメインフレーム２と、メインフレーム２に固定された３つのアーム５と、基板Ｇの上縁部Ｕを把持する固定チャック１１と、基板Ｇの上縁部Ｕを案内する可動ガイド１２とを備える。
【００５７】
３つのアーム５の内、両端に位置する２つのアーム５の下部には、シリンダー７がそれぞれ固定されており、このシリンダー７に内包されるピストンが運動することによって、可動ガイド１２が、水平面上を図中に示すＹ方向（直線軌道）に沿って移動可能となっている。また、可動ガイド１２は、基板Ｇの上縁部Ｕを案内するガイド部１２ａを備えており、ガイド部１２ａは、空気圧によって基板Ｇの厚み方向にスライド可能な一対の板状部材である。さらに、ガイド部１２ａと基板Ｇとの間には遊びが設けられ、基板Ｇを完全には拘束しない構成とされている。そして、中央に位置するアーム５の先端には固定チャック１１が固定されている。
【００５８】
この搬送装置１を用いたガラス基板の搬送方法によっても、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、可動ガイド１２をＹ方向に移動させることによって、下縁部Ｄにおける反りの大きさが、下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように、下縁部Ｄの形状を矯正することができる。また、このガラス基板の搬送装置１は、装置の構造が単純であるという利点も有する。
【００５９】
図８は、本発明の第四実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。この第四実施形態に係るガラス基板の搬送装置１は、上記の第三実施形態に係るガラス基板の搬送装置１と下記の点で相違する構成となっている。両端に位置するアームの先端に固定ガイド１３が固定されている点と、中央に位置するアーム５の下部にシリンダー７が固定され、このシリンダー７のピストン運動によって可動チャック１０が、水平面上を図中に示すＺ方向（直線軌道）に沿って移動可能となっている点である。
【００６０】
この搬送装置１を用いたガラス基板の搬送方法によっても、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、可動チャック１０をＺ方向に移動させることによって、下縁部Ｄにおける反りの大きさが、下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように、下縁部Ｄの形状を矯正することができる。また、このガラス基板の搬送装置１は、上記第三実施形態に係るガラス基板の搬送装置１と同様に、装置の構造が単純であるという利点も有している。
【００６１】
図１０は、本発明の第五実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。同図に示すように、ガラス基板の搬送装置１は、ガイドレールＧＲに沿って図中に示す搬送方向Ｔに移動するメインフレーム２と、メインフレーム２に固定された３つのアーム５と、基板Ｇの上縁部Ｕを把持する可動チャック１０と、基板Ｇの上縁部Ｕを案内する固定ガイド１３とを備える。
【００６２】
中央に位置するアーム５には、モーター８が固定されている。モーター８の回転軸は、アーム５を貫通してアーム５の下方に備えられた可動チャック１０と接続されており、モーター８の回転に伴って可動チャック１０が、図中に示すＶ方向に可動チャック１０自身を回転軸として自転することが可能となっている。また、両端に位置するアーム５の下部には、固定ガイド１３が固定されている。
【００６３】
この搬送装置１を用いたガラス基板の搬送方法によっても、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、可動チャック１０をＶ方向に自転させることによって、下縁部Ｄにおける反りの大きさが、下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように、下縁部Ｄの形状を矯正することができる。また、基板Ｇの上縁部ＵをＳ字状に湾曲させることが可能となることにより、曲げに対して強いという利点がある。この場合、基板ＧをＳ字状に湾曲させることで、基板Ｇに局所的に大きな応力が作用するという危惧が生じるが、基板Ｇの上縁部Ｕの長手方向における両端は、固定ガイド１３に備えられたガイド部１３ａによって案内されるのみで、拘束されていないため、このような危惧は適切に排除される。
【００６４】
図１２は、本発明の第六実施形態に係るガラス基板の搬送装置１を示す斜視図である。この第六実施形態に係るガラス基板の搬送装置１は、上記の第四実施形態に係るガラス基板の搬送装置１と下記の点で相違する構成となっている。上記の第四実施形態では、基板Ｇの上縁部Ｕを案内する２つの固定ガイド１３の間に可動チャック１０が１つのみ備えられていたが、本実施形態では、２つの可動チャック１０が備えられる。この両可動チャック１０は、シリンダー７に内包されるピストンが運動することにより、水平面上を図中に示すＷ方向（直線軌道）に沿って移動可能となっている。また、両可動チャック１０は、Ｗ方向において互いに相反する方向に移動するように構成される。
【００６５】
このガラス基板の搬送装置１を用いたガラス基板の搬送方法によっても、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、両可動チャック１０をＷ方向に移動させることによって、下縁部Ｄにおける反りの大きさが、下縁部把持チャック２０の可動範囲Ｌ内に収まるように、下縁部Ｄの形状を矯正することができる。また、上記の第五実施形態と同様に、基板Ｇの上縁部ＵをＳ字状に湾曲させることが可能となることにより、曲げに対して強いという利点がある。また、装置の構造も単純なものとすることができる。
【００６６】
ここで、本発明に係るガラス基板の搬送装置の構成は、上記の第一実施形態〜第六実施形態に係るガラス基板の搬送装置１に限定されるものではない。上記の各実施形態において、可動チャック１０、或いは可動ガイド１２は、水平面上を円軌道に沿って旋回、又は直線軌道に沿って移動する構成となっているが、これらの軌道を組み合わせた軌道に沿って動作させてもよい。また、これらの軌道に沿った動作と、第五実施形態に開示した自転動作とを併用するようにしてもよい。さらに、各実施形態に係るガラス基板の搬送装置に備えられた可動ガイド１２、又は固定ガイド１３は、基板Ｇの搬送方向と平行に移動可能としてもよく、このようにすれば、基板Ｇに局所的な応力が負荷される恐れをより低減することができる。加えて、可動チャック１０、固定チャック１１、可動ガイド１２、固定ガイド１３の数や配置位置も、各実施形態で開示した構成に限定されるものではなく、搬送する基板Ｇのサイズや重さを考慮して適宜変更してもよい。
【００６７】
また、基板Ｇの搬送経路の構成も上記の実施形態に開示した構成に限定されるものではない。上記の各実施形態において、測定領域Ａ１には、基板Ｇの下縁部Ｄにおける反りの大きさの測定を行う第一センサー４０が備えられ、検査領域Ａ２には、可動チャック１０の初期状態からの位置及び姿勢の変化の測定を行う第二センサー５０が備えられているが、両センサーを同じ領域に配置し、同時に測定を行うようにしてもよい。加えて、上記の各実施形態では、基板Ｇの搬送の途中で欠陥の有無を検査する場合について開示したが、このような場合以外にも本発明に係るガラス基板の搬送装置は使用することができ、例えば、基板Ｇの搬送の途中で、基板Ｇの切断加工を行うような場合にも使用することが可能である。
【００６８】
さらに、上記の各実施形態では、基板Ｇの欠陥の有無について検査を行った後、基板Ｇの上縁部Ｕを直線形状に保ったまま搬送を行っているが、例えば、上縁部ＵをＳ字状に変形させて搬送を行ってもよい。このようにすれば、装置内部における気流の乱れや、装置の振動等が基板Ｇに作用した場合であっても、基板Ｇが揺れにくいため、基板Ｇが搬送経路の周辺に備えられた部材等と接触するような事態を的確に回避することができる。また、このような場合、後工程における基板Ｇの搬送装置として本発明に係るガラス基板の搬送装置を採用すれば、搬送経路の下流端（移送領域Ａ３の下流端）において、上縁部Ｕの形状をＳ字状に保ったまま基板Ｇを後工程へと受け渡してもよい。このようにすれば、検査領域Ａ２で測定された可動把持手段の初期状態からの位置及び／または姿勢の変化が、後工程へと伝達されているため、上縁部Ｕを直線形状に戻さなくとも、後工程に存する可動チャック１０や固定チャック１１が、円滑に基板Ｇの上縁部Ｕを把持することが可能となる。
【符号の説明】
【００６９】
１          ガラス基板の搬送装置
６          サーボモーター
７          シリンダー
８          モーター
１０        可動チャック
１１        固定チャック
１２        可動ガイド
１３        固定ガイド
Ｔ          搬送方向
Ｇ          ガラス基板
Ｕ          ガラス基板の上縁部
Ｄ          ガラス基板の下縁部
Ｕａ        ガラス基板の上端面
２０        下縁部把持チャック
４０        第一センサー
５０        第二センサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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