(57)【要約】【課題】把持部を駆動する駆動手段にブレーキ装置を備えなくても、正確に位置決めされる搬送装置、および電子部品の搬送装置、さらにその搬送装置を備えた検査装置を提供する。【解決手段】被搬送物を保持する保持手段を備える保持部と、前記保持部を移動させる保持部移動装置と、を備える搬送装置であって、前記保持部は、前記保持手段を移動させる保持手段移動装置を備え、前記保持手段移動装置は、圧電アクチュエーターにより駆動される被駆動体を２以上備え、前記被駆動体の駆動方向が互いに交差する方向である駆動装置を備え、前記被駆動体の前記駆動方向が前記保持部移動装置の移動方向とも交差している搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置。【選択図】図２
2013230017.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を保持する保持手段を備える保持部と、前記保持部を移動させる保持部移動装置と、を備え、
前記保持部は、前記保持手段を移動させる保持手段移動装置を備え、
前記保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差する前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、
前記被駆動体の前記駆動方向が前記保持部移動装置の移動方向とも交差している、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記保持手段移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、を備え、
前記第１被駆動体の重量を重量Ｗ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｗ２、とした場合、
前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記保持部移動装置の前記移動方向となす角度を角度α１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記保持部移動装置の前記移動方向となす角度を角度α２と、とした場合、
Ｗ１＞Ｗ２
の場合、
α１≧α２
である、
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第１駆動方向と前記第２駆動方向とが、互いに直交している、
ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記保持部移動装置は、前記移動方向が互いに交差する少なくとも２方向に移動可能となる走査手段を備えている、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項５】
電子部品を保持する電子部品保持手段を備える電子部品保持部と、前記電子部品保持部を移動させる電子部品保持部移動装置と、を備え、
前記電子部品保持部は、前記電子部品保持手段を移動させる電子部品保持手段移動装置を備え、
前記電子部品保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差する前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、
前記被駆動体の前記駆動方向が前記電子部品保持部移動装置の移動方向とも交差している、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記電子部品保持部移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、を備え、
前記第１被駆動体の重量を重量Ｊ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｊ２、とした場合、
前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β２と、とした場合、
Ｊ１＞Ｊ２
の場合、
β１≧β２
である、
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
電子部品を保持する電子部品保持手段を備える電子部品保持部と、
前記電子部品保持部を移動させる電子部品保持部移動装置と、を備える電子部品搬送部と、
前記電子部品を検査する電子部品検査部と、を備え、
前記電子部品保持部は、前記電子部品保持手段を移動させる電子部品保持手段移動装置を備え、
前記電子部品保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差する前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、
前記被駆動体の前記駆動方向が前記電子部品保持部移動装置の移動方向とも交差している、
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項８】
前記電子部品保持部移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、を備え、
前記第１被駆動体の重量を重量Ｊ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｊ２、とした場合、
前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β２と、とした場合、
Ｊ１＞Ｊ２
の場合、
β１≧β２
である、
ことを特徴とする請求項７に記載の電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品検査装置、例えば半導体（ＩＣ）検査装置においては、検査対象物のＩＣが収納されたトレイなどから、電気的な性能を検査するために接続用のプローブを備えた検査台へＩＣを移動させる搬送装置では、検査時間短縮のため高速移動を可能とする駆動装置によりロボットハンドなどの把持手段を備えた部品把持部を駆動し、ＩＣを移動させている。
【０００３】
搬送装置に備える駆動源としては、正確な位置決め制御と高速駆動が可能なサーボモーターや超音波モーターなどが用いられ、検査時間の短縮が図られている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
しかし、特許文献１にあるようにステージを高速で駆動し、テーブルを所定の位置に停止させるためには、例えば特許文献２に示すようなブレーキ装置を更に備えることが必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２１８１６３号公報
【特許文献２】特開２００４−６０７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、近年の電子部品検査装置においては、検査台に検査対象物の電子部品を載置する際の位置決めに高い精度が要求され、部品把持部を備えるテーブルを高速で移動させる駆動装置に加え、部品把持部を微小駆動する駆動装置がテーブルに備えられるようになってきている。このテーブルに備える駆動装置としては、圧電素子を振動させ駆動対象物を駆動する圧電アクチュエーターが好適に用いられている。
【０００７】
しかし、特許文献２に示すブレーキ装置によってテーブルを制動させる際に、把持部を駆動する圧電アクチュエーターには把持部の重量によって生じる慣性力が掛かる。この慣性力が圧電アクチュエーターの圧電素子に備える振動伝達部を駆動対象物に押圧して駆動する押圧力を超えてしまうことにより、圧電素子と駆動対象物との間で滑りが発生し、正確な位置決めが困難となっていた。また、圧電素子と駆動対象物との間にブレーキ装置を備えることで、滑りを抑制することができるが、装置が大型化、複雑化することとなる。
【０００８】
そこで、把持部を駆動する駆動手段にブレーキ装置を備えなくても、位置決め精度の高い搬送装置、および電子部品の搬送装置、さらにその搬送装置を備えた検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
〔適用例１〕本適用の搬送装置は、被搬送物を保持する保持手段を備える保持部と、前記保持部を移動させる保持部移動装置と、を備え、前記保持部は、前記保持手段を移動させる保持手段移動装置を備え、前記保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差するように前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、前記被駆動体の駆動方向が互いに交差する方向である駆動装置を備え、前記被駆動体の前記駆動方向が前記保持部移動装置の移動方向とも交差していることを特徴とする。
【００１１】
本適用例の搬送装置は、被搬送物を保持する保持手段は、保持手段移動装置によって保持手段を備える保持部に対して圧電アクチュエーターを駆動手段として相対的に移動可能に備えられている。このような構成にすることによって、保持部が保持部移動装置によって所定の位置に停止した状態において、さらに僅かに保持手段を移動させることで精密に被搬送物の搬送位置を決めることを可能とする。しかし、保持部移動装置によって移動される保持部が、所定の停止位置に停止させる際の負の加速度、いわゆる制動力（ブレーキ）によって、保持手段が持つ重量による慣性力が生じ、圧電クチュエーターと被駆動体との間に滑り（スリップ）を発生させてしまう。
【００１２】
本適用例の搬送装置によれば、制動力（ブレーキ）によって、保持手段が持つ重量によって生じる慣性力に対して、慣性力が作用する方向となる保持部搬送装置の移動方向に交差する駆動方向になるように圧電アクチュエーターを配置することにより、圧電アクチュエーターと被駆動体との間に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを抑制することができる。したがって、位置精度の高い搬送装置を得ることができる。
【００１３】
〔適用例２〕上述の適用例において、前記保持手段移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、を備え、前記第１被駆動体の重量を重量Ｗ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｗ２、とした場合、前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記保持部移動装置の前記移動方向となす角度を角度α１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記保持部移動装置の前記移動方向となす角度を角度α２と、とした場合、
Ｗ１＞Ｗ２
の場合、
α１≧α２
であることを特徴とする。
【００１４】
上述の適用例によれば、被駆動体によって支持される構成が多くなった場合、第１被駆動体と第１被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｗ１が、第２被駆動体と第２被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｗ２より大きくなると、第１被駆動体に付加される慣性力が第２被駆動体に付加される慣性力より大きくなる。これを、被駆動体の駆動方向の設定だけで、容易に圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを適正なバランスで抑制することができる。したがって、位置精度の高い搬送装置を得ることができる。
【００１５】
〔適用例３〕上述の適用例において、前記第１駆動方向と前記第２駆動方向とが、互いに直交していることを特徴とする。
【００１６】
上述の適用例によれば、保持部移動装置によって保持部が所定位置で止められる制動時において、被駆動体の重量と被駆動体に付加される重量との総和重量による慣性力が原因となる圧電アクチュエーターと被駆動体との相対的な滑り（スリップ）を、制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても抑制しながら、保持手段の微小移動における制御を容易にすることができる。
【００１７】
〔適用例４〕上述の適用例において、前記保持部移動装置は、前記移動方向が互いに交差する少なくとも２方向に移動可能となる走査手段を備えていることを特徴とする。
【００１８】
上述の適用例によれば、直交する２軸もしくは３軸のスライド軸により構成される直交ロボットなどで保持部移動装置が構成されても、保持部移動装置の移動方向に対して、圧電アクチュエーターと被駆動体との間に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを抑制することができる。したがって、位置決め精度の高い搬送装置を得ることができる。
【００１９】
〔適用例５〕本適用例の電子部品搬送装置は、電子部品を保持する電子部品保持手段を備える電子部品保持部と、前記電子部品保持部を移動させる電子部品保持部移動装置と、を備え、前記電子部品保持部は、前記電子部品保持手段を移動させる電子部品保持手段移動装置を備え、前記電子部品保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差するように前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、前記被駆動体の駆動方向が互いに交差する方向である駆動装置を備え、前記被駆動体の前記駆動方向が前記電子部品保持部移動装置の移動方向とも交差していることを特徴とする。
【００２０】
電子部品搬送装置には、微小な電子部品を保持し搬送するための精密な保持手段の位置精度が要求されている。本適用例の電子部品搬送装置によれば、制動力（ブレーキ）によって、保持手段が持つ重量によって生じる慣性力に対して、慣性力が作用する方向となる保持部搬送装置の移動方向に交差する駆動方向になるように圧電アクチュエーターを配置することにより、圧電アクチュエーターと被駆動体との間に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを抑制することができる。したがって、位置精度の高い電子部品搬送装置を得ることができる。
【００２１】
〔適用例６〕上述の適用例において、前記電子部品保持部移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、を備え、前記第１被駆動体の重量を重量Ｊ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｊ２、とした場合、前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β２と、とした場合、
Ｊ１＞Ｊ２
の場合、
β１≧β２
であることを特徴とする。
【００２２】
上述の適用例によれば、被駆動体によって支持される構成が多くなった場合、第１被駆動体の重量と第１被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｊ１が、第２被駆動体と第２被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｊ２より大きくなると、第１被駆動体に付加される慣性力が第２被駆動体に付加される慣性力より大きくなる。これを、被駆動体の駆動方向の設定だけで、容易に圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを適正なバランスで抑制することができる。したがって、位置精度の高い電子部品搬送装置を得ることができる。
【００２３】
〔適用例７〕本適用例の電子部品検査装置は、電子部品を保持する電子部品保持手段を備える電子部品保持部と、前記電子部品保持部を移動させる電子部品保持部移動装置と、を備える電子部品搬送部と、前記電子部品を検査する電子部品検査部と、を備え、前記電子部品保持部は、前記電子部品保持手段を移動させる電子部品保持手段移動装置を備え、前記電子部品保持手段移動装置は、被駆動体の駆動方向が互いに交差するように前記被駆動体を有する圧電アクチュエーターを２以上配置された駆動装置を、備え、前記被駆動体の駆動方向が互いに交差する方向である駆動装置を備え、前記被駆動体の前記駆動方向が前記電子部品保持部移動装置の移動方向とも交差していることを特徴とする。
【００２４】
電子部品検査装置は、電子部品を検査するための電気的な接続部（プローブ）が緻密に配置された検査台を備えており、この緻密に配置されたプローブに正確に検査対象の微小な電子部品を保持し搬送するための、精密な保持手段の位置精度を備える電子部品搬送装置を備えなければならない。本適用例の電子部品搬送装置によれば、制動力（ブレーキ）によって、保持手段が持つ重量によって生じる慣性力に対して、慣性力が作用する方向となる保持部搬送装置の移動方向に交差する駆動方向になるように圧電アクチュエーターを配置することにより、圧電アクチュエーターと被駆動体との間に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを抑制することができ、位置精度の高い電子部品搬送装置を備えることができる。したがって、検査精度の高い電子部品検査装置を得ることができる。
【００２５】
〔適用例８〕上述の適用例において、前記電子部品保持部移動装置は、前記被駆動体が２備えられ、前記被駆動体のひとつである第１被駆動体と、前記被駆動体の他のひとつである第２被駆動体と、前記第１被駆動体の重量を重量Ｊ１、前記第２被駆動体の重量を重量Ｊ２、とした場合、前記第１被駆動体の第１駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β１、前記第２被駆動体の第２駆動方向が前記搬送部の前記移動方向となす角度を角度β２と、とした場合、
Ｊ１＞Ｊ２
の場合、
β１≧β２
であることを特徴とする。
【００２６】
上述の適用例によれば、被駆動体によって支持される構成が多くなった場合、第１被駆動体と第１被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｊ１が、第２被駆動体と第２被駆動体によって支持される構成の重量との総和重量Ｊ２より大きくなると、第１被駆動体に付加される慣性力が第２被駆動体に付加される慣性力より大きくなる。これを、被駆動体の駆動方向の設定だけで、容易に圧電アクチュエーターと被駆動体との間の滑りを適正なバランスで抑制することができる、位置精度の高い電子部品搬送装置を備えることができる。したがって、検査精度の高い電子部品検査装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略概観図。
【図２】実施形態に係る電子部品検査装置に備える電子部品搬送部の保持装置を示す、（ａ）は概略構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ方向矢視図。
【図３】実施形態に係る保持部に備える圧電アクチュエーターの概略構成を示す、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ´部断面図、（ｃ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ´部断面図。
【図４】実施形態に係る圧電素子を示す、（ａ）表平面図、（ｂ）側面図、（ｃ）裏平面図。
【図５】実施形態に係る圧電素子の動作を模式図的に説明する平面図。
【図６】実施形態に係る圧電アクチュエーターと被駆動体とのスリップに関する概念図。
【図７】実施形態に係る圧電アクチュエーターと被駆動体とのスリップに関する概念図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００２９】
（実施形態）
図１は、実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略概観図である。図１に示す電子部品検査装置３０００（以下、検査装置３０００という）は、電子部品の電気的特性を検査する機能を有する部分１０００（以下、検査部１０００という）と、電子部品を搬送する搬送装置としての電子部品搬送装置を備える搬送装置部２０００と、を備えている。
【００３０】
図１に示す検査装置３０００は、直方体状の装置基台１０１０を備えている。装置基台１０１０の長手方向をＹ方向とし、水平面においてＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ（−）方向とする。
【００３１】
装置基台１０１０上において図中左側には給材装置１０２０が設置されている。給材装置１０２０の上面には、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１０３１ａ，１０３１ｂが給材装置１０２０のＹ方向全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール１０３１ａ，１０３１ｂの上側には直動機構を備えたステージ１０４０が取付けられている。そのステージ１０４０の直動機構は、例えば案内レール１０３１ａ，１０３１ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモーターを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモーターに入力されると、リニアモーターが前進または後退して、ステージ１０４０が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って往動または復動する。ステージ１０４０のＺ方向を向く面は載置面１０４０ａであり、載置面１０４０ａには電子部品ＥDが載置される。ステージ１０４０には吸引式の基板チャック機構が設置されている。そして、基板チャック機構が電子部品ＥDを載置面１０４０ａに固定するようになっている。
【００３２】
装置基台１０１０において給材装置１０２０のＹ方向側には撮像部としての第２撮像部１０５２が設置されている。第２撮像部１０５２は、受光する光を電気信号に変換するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）素子等を搭載した電気回路基板、ズーム機構を備えた対物レンズ、落射照明装置、自動焦点合わせ機構を備えている。これにより、第２撮像部１０５２と対向する場所に電子部品ＥDが位置するとき、第２撮像部１０５２は電子部品ＥDを撮影することができる。そして、第２撮像部１０５２は電子部品ＥDに光を照射してピント合わせをした後撮影することにより、焦点の合った画像を撮影することができる。
【００３３】
装置基台１０１０において第２撮像部１０５２のＹ方向側には検査台１０６０が設置されている。検査台１０６０は電子部品ＥDを検査するときに電気信号を送受信するための治具である。また、装置基台１０１０のＸ方向側には制御部としての制御装置１１００が設置されている。制御装置１１００は検査装置３０００の動作を制御する機能を備えている。更に、制御装置１１００は電子部品ＥDを検査する機能を備えている。各制御装置１１００は入力装置１１００ａおよび出力装置１１００ｂを備えている。入力装置１１００ａはキーボートや入力コネクター等であり、信号やデータの他に操作者の指示を入力する装置である。出力装置１１００ｂは表示装置や外部装置に出力する出力コネクター等であり、信号やデータを他装置へ出力する。他にも検査装置３０００の状況を操作者に伝達する装置である。
【００３４】
装置基台１０１０上において検査台１０６０のＹ方向側には除材装置１０７０が設置されている。除材装置１０７０の上面にはＹ方向に延びる一対の案内レール１０３２ａ，１０３２ｂが全幅にわたり凸設されている。一対の案内レール１０３２ａ，１０３２ｂの上側には直動機構を備えたステージ１０８０が取付けられている。ステージ１０８０の直動機構は、給材装置１０２０が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、ステージ１０８０は案内レール１０３２ａ，１０３２ｂに沿って往動または復動する。ステージ１０８０のＺ方向を向く面は載置面１０８０ａであり、載置面１０８０ａには電子部品ＥDが載置される。
【００３５】
装置基台１０１０のＸ（−）方向には略直方体状の支持台２０１０が設置されている。装置基台１０１０に比べて支持台２０１０はＺ（＋）方向に高い形状となっている。支持台２０１０においてＸ方向を向く面にはＹ方向に延びる一対の被駆動体としての駆動レール２０２１ａ，２０２１ｂが支持台２０１０のＹ方向全幅にわたり凸設されている。駆動レール２０２１ａ，２０２１ｂのＸ方向側には、一対の駆動レール２０２１ａ，２０２１ｂに沿って移動する直動機構を備えたＹステージ２０３０が取付けられている。Ｙステージ２０３０の直動機構は、例えばサーボモーターあるいは超音波モーターの回転駆動を直線駆動に変換し、固定された駆動レール２０２１ａ，２０２１ｂに対して相対的にＹステージ２０３０を駆動レール２０２１ａ，２０２１ｂに沿って往動または復動させる。
【００３６】
Ｙステージ２０３０においてＸ方向を向く面にはＸ方向に延在する角柱状の腕部２０４０が設置されている。腕部２０４０において−Ｙ方向を向く面にはＸ方向に延びる一対の駆動レール２０２２ａ，２０２２ｂが腕部２０４０のＸ方向全幅にわたり凸設されている。一対の駆動レール２０２２ａ，２０２２ｂの−Ｙ方向側には駆動レール２０２２ａ，２０２２ｂに沿って移動する直動機構を備えたＸステージ２０５０が取付けられている。Ｘステージ２０５０の直動機構は例えばサーボモーターあるいは超音波モーターの回転駆動を直線駆動に変換し、固定された駆動レール２０２２ａ，２０２２ｂに対して相対的にＸステージ２０５０は駆動レール２０２２ａ，２０２２ｂに沿って往動または復動させる。
【００３７】
Ｘステージ２０５０には撮像部としての第１撮像部１０５１と、電子部品ＥＤを保持し、検査台１０６０に保持した電子部品ＥＤを載置する保持装置２０６０が設置されている。第１撮像部１０５１は第２撮像部１０５２と同様な構造と機能を備えている。そして、第１撮像部１０５１および第２撮像部１０５２にて撮像部を構成している。保持装置２０６０の概略構成を図２に示す。
【００３８】
図２（ａ）に示すように、保持装置２０６０の内部には、把持部１０９０が接続され回転軸２０７０ａを備える回転装置２０７０を、所定の方向に駆動する複数の駆動装置を備えている。駆動装置は、駆動源となる圧電アクチュエーター１００ｘ，１００ｙ，１００θと、各圧電アクチュエーター１００ｘ，１００ｙ，１００θにより駆動させる被駆動体としての第１被駆動体７１、第２被駆動体７２、そして回転駆動される回転装置２０７０を備えている。また、回転装置２０７０を図示するＺ方向に直動させるための図示しない直動機構を備えている。
【００３９】
ここで、圧電アクチュエーターについて図３により説明する。図３は本実施形態に係る搬送装置部２０００の保持装置２０６０に備える圧電アクチュエーター１００の一実施形態を示す、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ´部断面図、（ｃ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ´部断面図である。図３（ａ）に示すように、アクチュエーター１００は、保持部材としての保持ケース２０と、保持ケース２０に保持される圧電素子１０と、保持ケース２０の付勢手段としてのばね６０が装着されるばね固定部５０ａを備える基台５０と、被駆動体７０と、を備えている。
【００４０】
被駆動体７０は図示するＨ方向に直線駆動される。本実施形態に係るアクチュエーター１００では、被駆動体７０で示されるＨ方向の直線駆動によって説明するが、被駆動体が回転駆動される場合であっても良い。被駆動体７０へは、基台５０に備えるばね固定部５０ａに対してばね６０によって保持ケース２０の付勢部２０ａが付勢され、付勢された保持ケース２０を介して圧電素子１０が付勢される。圧電素子１０には被駆動体７０と接触する接触部を有する突起部１０ａが設けられ、詳細は後述するが、圧電素子１０の振動によって突起部１０ａが楕円軌道を描いて揺動し、この楕円運動によって被駆動体７０がＨ方向に直線駆動される。
【００４１】
保持ケース２０は、図３（ｂ），（ｃ）に示すように、ケース本体２１と、ケース本体２１にねじ２３によって固定される押え板２２ａ，２２ｂと、を備えている。ケース本体２１の支持面２１ａと押え板２２ａ，２２ｂとの間に圧電素子１０が配置される。圧電素子１０は、圧電素子１０と、保持ケース２０の支持面２１ａと、の間に配置される第３支持部３２および第４支持部４２と、圧電素子１０と押え板２２ａとの間に配置され、圧電素子１０を介して第３支持部３２と対向配置される第１支持部３１と、圧電素子１０と押え板２２ｂとの間に配置され、圧電素子１０を介して第４支持部４２と対向配置される第２支持部４１と、によって挟持されて保持ケース２０に保持、固定される。
【００４２】
支持部３１，３２，４１，４２は緩衝材料により形成され、圧電素子１０の振動が保持ケース２０に漏れることを抑制している。支持部３１，３２，４１，４２を形成する緩衝材料としては、圧電素子１０に励起された振動を保持ケース２０に漏れさせない性能として、動的粘弾性（ｔａｎδ）が０．０５以下であることが好ましい。動的粘弾性（ｔａｎδ）とは、材料を引っ張りモードにおいて正弦波ひずみεを与えると、材料に生じる応力σの発生には、入力されたひずみに対して遅れの位相δが生じる。この位相δを用いて材料の動的な粘性を定量化しているのが、動的粘弾性（ｔａｎδ）である。すなわち動的粘弾性が大きい、すなわち位相δが大きい、ということは与えられたひずみによって材料の内部での伝達遅れを生じることとなる。言い換えると、振動の伝達を、より遅くさせ、保持ケース２０への振動漏れを抑制することができる。支持部３１，３２，４１，４２を形成する緩衝材料としては、例えばゴム、エラストマー、ポリイミド、ポリエーテルサルフォンなどが好適に用いられるが、アクチュエーター１００の駆動によって熱が生じやすいため、耐熱性に優れるポリイミドがより好適に用いることができる。
【００４３】
図４は圧電素子１０の形態を示す、（ａ）は表平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は裏平面図、である。図４（ａ）に示すように圧電素子１０は、圧電体１０ｂの一方の面１０ｃには屈曲振動を励振させる電極１１，１２，１３，１４が形成されている。更に、他方の面１０ｄには共通電極１５が形成されている。圧電体１０ｂとしては、圧電性を有する材料であれば限定されないが、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）が好適に用いられる。電極としては、導電金属であれば限定されないが、例えばＡｌ，Ａｕ，Ａｇ，Ｗ，Ｃｕなどをスパッタリング法、蒸着法などの方法で形成される。また、突起部１０ａは、被駆動体７０と接触し、その摩擦によって被駆動体７０を駆動させることから、被駆動体７０との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料により形成され、図示しない方法で固着されて突起部１０ａを備える圧電素子１０が形成される。もしくは、被駆動体７０との摩擦係数は高く、且つ耐摩耗性の優れた材料を圧電体１０ｂと一体的に形成した突起部１０ａの表面にコーティングすることで形成することができる。突起部１０ａに用いる耐摩耗性に優れた材料として、セラミックス、例えばアルミナなど、が好適に用いられる。
【００４４】
図５は圧電素子１０の動作を模式図的に説明する平面図である。図５（ａ）に示すように、電極１１，１３と図４に示す共通電極１５との間に電荷を掛け、電極１２，１４には電荷を掛けないことにより、圧電素子１０における電極１１，１３に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極１２，１４には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極１１，１３による縦振動と、電極１２，１４の無振動によって圧電素子１０は屈曲振動が生じ圧電素子１０Ａのように振動し、突起部１０ａが図示する楕円軌道ＳRの矢印方向に揺動する。突起部１０ａの楕円軌道によるＳR方向の揺動が、当接される被駆動体７０を図示ＨR方向に駆動させる。
【００４５】
図５（ｂ）により説明する圧電素子１０の動作は、上述の図５（ａ）により説明したＨR方向への被駆動体７０の駆動方向が、逆のＨL方向に駆動される状態である。図５（ｂ）に示すように、電極１２，１４と図４に示す共通電極１５との間に電荷を掛け、電極１１，１３には電荷を掛けないことにより、圧電素子１０における電極１２，１４に対応する部位で図示矢印の縦振動が励起される。しかし、電極１１，１３には電荷を掛けられていないため縦振動は励起されず、その結果、電極１２，１４による縦振動と、電極１１，１３の無振動によって圧電素子１０は屈曲振動が生じ圧電素子１０Ｂのように振動し、突起部１０ａが図示する楕円軌道ＳLの矢印方向に揺動する。突起部１０ａの楕円軌道によるＳL方向の揺動が、当接される被駆動体７０を図示ＨL方向に駆動させる。このように電極１１，１２，１３，１４への電荷の付加を切り換えることにより、圧電素子１０の屈曲振動の方向を変え、被駆動体７０の駆動方向を容易に切り換えることができる。
【００４６】
図５（ａ），（ｂ）により、突起部１０ａの楕円軌道ＳR，ＳLによって被駆動体７０を駆動させることは説明したが、例えば図５（ａ）に示すように被駆動体７０をＨR方向に駆動させる場合における突起部１０ａと被駆動体７０との接触部での詳細を図５（ｃ）に示す。図５（ｃ）に示すように、圧電素子１０の突起部１０ａにおける被駆動体７０との接触部においては、突起部１０ａの振動による楕円軌道ＳRによって被駆動体７０に対して接触部の摩擦によって駆動力Ｆを生じる。この駆動力Ｆによって被駆動体７０がＨR方向に駆動される。この時、接触部には突起部１０ａに対して駆動力Ｆの反力としてＦ´が働き、突起部１０ａをＨR方向とは逆の方向に移動させようとするが、この反力Ｆ´による突起部１０ａ、すなわち圧電素子１０の移動を規制、抑制することにより駆動力Ｆが被駆動体７０へ伝えられ、圧電素子１０の屈曲振動を効率よく被駆動体７０の駆動に変換させることができる。
【００４７】
図２（ａ）に示す保持装置２０６０の内部に備える圧電アクチュエーター１００ｘ，１００ｙ，１００θは上述する圧電アクチュエーター１００を用いている。圧電アクチュエーター１００ｘは第１被駆動体７１を駆動し、圧電アクチュエーター１００ｙは第２被駆動体７２を駆動し、圧電アクチュエーター１００θは回転装置２０７０を駆動する。なお以降は、圧電アクチュエーター１００ｘを第１アクチュエーター１００ｘ、圧電アクチュエーター１００ｙを第２アクチュエーター１００ｙ、圧電アクチュエーター１００θを第３アクチュエーター１００θ、という。
【００４８】
第１アクチュエーター１００ｘは、第１被駆動体７１を図示矢印Ｐ方向に駆動するように配置され保持装置２０６０に装着されている。なお、図示しないが、第１被駆動体７１は駆動方向Ｐにのみ移動可能なスライド機構を備えている。第２アクチュエーター１００ｙは、第２被駆動体７２を図示矢印Ｑ方向に駆動するように、第１被駆動体７１と同期して移動するように装着されている。言い換えるなら、第２アクチュエーター１００ｙは第１被駆動体７１に固定されている。第２被駆動体７２は、第２アクチュエーター１００ｙとともに第１アクチュエーター１００ｘのＰ方向に駆動することが可能で、尚且つ第２アクチュエーター１００ｙに対して相対的にＱ方向にのみ移動可能な図示しないスライド機構を備えている。
【００４９】
第３アクチュエーター１００θは、第２被駆動体７２に固定され、回転装置２０７０を第２被駆動体７２に対して相対的に回転駆動させる。このように第１アクチュエーター１００ｘ、第２アクチュエーター１００ｙ、そして第３アクチュエーター１００θを配置することにより、保持装置２０６０が、Ｙステージ２０３０、Ｘステージ２０５０（図１参照）によって、所定の停止位置まで移動して停止した後に、把持部１０９０を微小移動させることが可能となり、把持部１０９０の位置精度を格段に向上させることができる。
【００５０】
第１アクチュエーター１００ｘは、図２（ａ）に示す矢印Ａの矢視図である図２（ｂ）に示すように、腕部２０４０に備えるＸステージ２０５０の移動方向のＸ方向に対して角度α１（上述の適用例６，８におけるβ１も適用される）で交差するＸh方向、すなわちＰ方向に第１被駆動体７１を駆動させるように備えられている。また第２アクチュエーター１００ｙは、Ｘステージ２０５０の移動方向のＸ方向に対して角度α２（上述の適用例６，８におけるβ２も適用される）で交差するＹh方向、すなわちＱ方向に第２被駆動体７２を駆動させるように備えられている。
【００５１】
第１アクチュエーター１００ｘによる第１被駆動体７１の駆動方向を、Ｘステージ２０５０の移動方向、すなわち保持装置２０６０の移動方向に対して角度α１で交差する方向Ｐとなるように配置する。これにより、Ｘステージ２０５０の停止制動時における第１被駆動体７１が支持する部位の重量から生じる慣性力により生じる第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１との間の滑り（以下、スリップという）を抑制することができる。図６に、第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１とのスリップに関する概念図を示す。
【００５２】
図６（ａ）に示すように、アクチュエーター１００は被駆動体７０に対して付勢力Ｆｐが与えられている。アクチュエーター１００の駆動時には、アクチュエーター１００の屈曲振動による突起部１０ａの楕円軌道が、突起部１０ａと被駆動体７０との間の摩擦係数μから付勢力Ｆｐにより生じる摩擦力が、図５に示す駆動力Ｆを生じさせることによって被駆動体７０をＨR，ＨL方向に駆動させる。しかし、アクチュエーター１００の非駆動時、すなわち停止時においては付勢力Ｆｐと、突起部１０ａと被駆動体７０の摩擦係数μと、により生じる摩擦力が、被駆動体７０を制動する制動力Ｆｆとなり、
Ｆｆ＝μ×Ｆｐ        （１）
で求められる。なお、図６（ａ）の制動力Ｆｆは、図示上、便宜的に図示左右方向に描いているが、これは図示左右どちらの方向に対しても制動力Ｆｆが働くことを意味している。
【００５３】
図２に示すように、例えば第１アクチュエーター１００ｘでは、第１被駆動体７１には、第２アクチュエーター１００ｙと、第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される第２被駆動体７２と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続されている。言い換えると、図６（ａ）に示すように、被駆動体７０としての第１被駆動体７１に重さｗaの錘ＷAが付加されている状態となっている。
【００５４】
このアクチュエーター１００が停止状態において、錘ＷAが付加された被駆動体７０とともに移動している状態から停止状態に移行する、すなわち図２に示すＸステージ２０５０が移動から停止に移行する状態、の場合、移動速度ｖ１を速度０にするマイナス加速度ａ１によって、アクチュエーター１００に対して移動可能な被駆動体７０は、停止の加速度ａ１による慣性力によって移動しようとする。その慣性力Ｋ１は、被駆動体７０の重量をｗ70とすると、
Ｋ１＝ａ１×（ｗa＋ｗ70）
となる。従って、
Ｋ１≦Ｆｆ
すなわち、式（１）より、
Ｋ１≦（μ×Ｆｐ）
であれば、アクチュエーター１００に対して被駆動体７０は相対的に動かない状態を維持できる。
【００５５】
しかし、
Ｋ１＞Ｆｆ
すなわち、式（１）より、
Ｋ１＞（μ×Ｆｐ）
となったところで、アクチュエーター１００に対して被駆動体７０は相対的に動く、すなわちスリップを起こしてしまう。
【００５６】
スリップを生じた状態とは、図６（ａ）に示すように、アクチュエーター１００の突起部１０ａと被駆動体７０との所定の接点位置を位置Ｐ0とした場合、上述のスリップによって突起部１０ａと接しなければならない位置Ｐ0が、位置Ｐ0´へ移動してしまった状態をいう。このスリップによって発生したスリップ量δによって、本来はＰ０位置で被駆動体７０の位置制御が実行されるものが、所定位置に対して常にスリップ量δ分のずれを持ったままの位置制御が実行されてしまう。
【００５７】
本実施形態に係る検査装置３０００における搬送装置部２０００では、図２に示すように保持装置２０６０内部に備える第１アクチュエーター１００ｘはＸステージ２０５０の移動方向に対して角度α１の方向に第１被駆動体７１を駆動するように配置されている。このように配置されていることにより、図６（ｂ）に示すように、Ｘステージ２０５０が所定の方向であるＨR方向に移動し、指定された停止位置で停止動作が開始されると、上述した通り第１アクチュエーター１００ｘによって駆動される第１被駆動体７１と、第２アクチュエーター１００ｙと、第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される第２被駆動体と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続された、式（２）に示す慣性力Ｋ１が第１アクチュエーター１００ｘに働く。
【００５８】
このとき、慣性力Ｋ１は、図６（ｃ）に示すように第１アクチュエーター１００ｘに対して、第１アクチュエーター１００ｘの駆動方向Ｘhの方向の分力ｋh1と、駆動方向Ｘhに直交する方向の分力ｋh1´と、に分解される。上述した通り、本実施形態に係る被駆動体７１，７２は、各々対応するアクチュエーターの駆動方向にのみ移動可能となる図示しないスライド機構、すなわち、スライド機構のスライド方向以外には移動が規制される構成となっていることから、分力ｋh1´の方向に対しては第１被駆動体７１と第１アクチュエーター１００ｘとはスリップしない。
【００５９】
一方、駆動方向Ｘhに沿って分解された分力ｋh1に対しては、図６（ａ）によって上述した通り、第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１との間でスリップを生じさせる方向に働く力である。したがって、分力ｋh1と制動力Ｆｆの関係を、
ｋh1≦Ｆｆ      （３）
とすることで、第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１との間のスリップを抑制することができる。ここで、分力ｋh1は、
ｋh1＝Ｋ１×ｃｏｓα１      （４）
となる。式（１），（３），（４）より、
（Ｋ１×ｃｏｓα１）≦（μ×Ｆｐ）      （５）
が求められる。
【００６０】
ここで式（５）から、
ｃｏｓα１≦（μ×Ｆｐ）／Ｋ１      （６）
が求められ、式（２）におけるｗ70を第１被駆動体７１の重量ｗ71に置き換えて代入すると、
ｃｏｓα１≦（μ×Ｆｐ）／｛ａ１×（ｗa＋ｗ71）｝      （７）
と表される。
【００６１】
式（７）で表される（ｗa＋ｗ71）は、第１アクチュエーター１００ｘによって直接駆動される第１被駆動体７１と、第１被駆動体７１に接続される第２アクチュエーター１００ｙと、第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される第２被駆動体７２と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続されている重さｗaの錘ＷAが付加されている。ここで、第１アクチュエーター１００ｘによって駆動される総重量、すなわち（ｗa＋ｗ71）をＷ１（上述の適用例６，８におけるＪ１も適用される）とすると、式（７）は、
ｃｏｓα１≦（μ×Ｆｐ）／（ａ１×Ｗ１）      （８）
と表すことができる。
【００６２】
上述の式（８）を満足させて、第１アクチュエーター１００ｘの駆動方向ＰのＸステージ２０５０の移動方向Ｘに対する配置角度α１を設定することにより、第１アクチュエーター１００ｘの第１被駆動体７１に対する付勢力Ｆｐによって得られる制動力Ｆｆだけで第１アクチュエーター１００ｘによって駆動される総重量Ｗ１によるスリップを抑制することが可能となる。したがって、別に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、正確な微小位置制御を可能とする保持装置２０６０を得ることができる。
【００６３】
次に、第２アクチュエーター１００ｙの場合について、図７を用いて説明する。図７（ａ）に示すように、第２アクチュエーター１００ｙの駆動方向は、第１アクチュエーター１００ｘの駆動方向に対して駆動方向が互いに交差し、Ｘステージ２０５０の移動方向に対して角度α２を成す方向に設定されている。第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される第２被駆動体７２には、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続されている重さｗbの錘ＷBが付加されている（図６参照）。
【００６４】
これら接続された各構成の重量による慣性力Ｋ２が、下記式（９）に示す大きさで第２アクチュエーター１００ｙに働く。
Ｋ２＝ａ１×（ｗb＋ｗ72）        （９）
ここで、ｗbはＷＢ重量、ｗ72は第２被駆動体７２の重量、である。
【００６５】
図７（ｂ）に示すように慣性力Ｋ２は第２アクチュエーター１００ｙに対して、第２アクチュエーター１００ｙの駆動方向Ｙhの方向の分力ｋh2と、駆動方向Ｙhに直交する方向の分力ｋh2´と、に分解される。上述した通り、本実施形態に係る被駆動体７１，７２は、各々対応するアクチュエーターの駆動方向にのみ移動可能となる図示しないスライド機構、すなわち、スライド機構のスライド方向以外には移動が規制される構成となっていることから、分力ｋh2´方向に対しては第２被駆動体７２と第２アクチュエーター１００ｙとはスリップしない。
【００６６】
一方、駆動方向Ｙhに沿って分解された分力ｋh2に対しては、図６（ａ）によって上述したと同様に、第２アクチュエーター１００ｙと第２被駆動体７２との間でスリップを生じさせる方向に働く力である。したがって、分力ｋh2と制動力Ｆｆの関係を、
ｋh2≦Ｆｆ      （１０）
とすることで、第２アクチュエーター１００ｙと第２被駆動体７２との間のスリップを抑制することができる。ここで、分力ｋh2は、
ｋh2＝Ｋ２×ｃｏｓα２      （１１）
となる。式（９），（１０），（１１）より、
（Ｋ２×ｃｏｓα２）≦（μ×Ｆｐ）      （１２）
が求められる。
【００６７】
ここで式（１２）から、
ｃｏｓα１≦（μ×Ｆｐ）／Ｋ１      （１３）
が求められ、式（２）におけるｗ70を第２被駆動体７２の重量ｗ72に置き換えて代入すると、
ｃｏｓα２≦（μ×Ｆｐ）／｛ａ１×（ｗb＋ｗ72）｝      （１４）
と表される。
【００６８】
式（１４）で表される（ｗb＋ｗ72）は、第２アクチュエーター１００ｙによって直接駆動される第２被駆動体７２と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続されている重さｗbの錘ＷBが付加されている。ここで、第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される総重量、すなわち（ｗb＋ｗ72）をＷ２（上述の適用例６，８におけるＪ１も適用される）とすると、式（１４）は、
ｃｏｓα２≦（μ×Ｆｐ）／（ａ１×Ｗ２）      （１５）
と表すことができる。
【００６９】
上述の式（１５）を満足させて、第２アクチュエーター１００ｙの駆動方向ＱのＸステージ２０５０の移動方向Ｘに対する配置角度α２を設定することにより、第２アクチュエーター１００ｙの第２被駆動体７２に対する付勢力Ｆｐによって得られる制動力Ｆｆだけで第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される総重量Ｗ２によるスリップを抑制することが可能となる。したがって、別に制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても、正確な微小位置制御を可能とする保持装置２０６０を得ることができる。
【００７０】
本実施形態に係る保持装置２０６０では、図２に示すように第１アクチュエーター１００ｘは、第１アクチュエーター１００ｘによって直接駆動される第１被駆動体７１と、第１被駆動体７１に接続される第２アクチュエーター１００ｙと、第２アクチュエーター１００ｙによって駆動される第２被駆動体７２と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続された総重量Ｗ１を駆動している。そして第２アクチュエーター１００ｙは、第２アクチュエーター１００ｙによって直接駆動される第２被駆動体７２と、第２被駆動体７２に備える第３アクチュエーター１００θと、第３アクチュエーター１００θによって駆動される回転装置２０７０と、回転装置２０７０に備える把持部１０９０と、が図示しない手段によって接続された総重量Ｗ２を駆動している。すなわち、
Ｗ１＞Ｗ２      （１６）
の関係である。
【００７１】
この式（１６）の関係を、式（８），（１５）の右辺に代入すると、
｛（μ×Ｆｐ）／（ａ１×Ｗ１）｝＜｛（μ×Ｆｐ）／（ａ１×Ｗ２）｝
の関係にあり、すなわち、
ｃｏｓα１＜ｃｏｓα２
の関係となり、これから、式（１６）に示すＷ１とＷ２の関係において、
α１＞α２
とすることが好ましい。
【００７２】
電子部品ＥDを検査する検査装置３０００は、一般的にクリーン環境、すなわち防塵環境下に設置される。また、図示しないが、検査台１０６０には電子部品ＥDの電気的特性を計測するための複数のプローブが配置され、電子部品ＥDのプローブが接触すべき位置が全てのプローブに対して正確に配置されるように、給材装置１０２０から検査台１０６０に電子部品ＥDが搬送されなければならない。電子部品ＥDの位置は、検査台１０６０に載置される前に、第１撮像部１０５１、第２撮像部１０５２によって得られる電子部品ＥDの画像より、画像処理されて検査台１０６０に備えるプローブ位置に搬送装置部２０００によって正確に位置合わせされ、検査台１０６０に載置される。更に、電子部品ＥDはより小型で精密且つ多機能が進行していることから、いわゆる全数検査が一般的となっている。従って、電子部品ＥDの一連の検査時間は、検査すべき電子部品ＥDの数量が極めて大量であることから、より短時間の検査処理を可能とすることが求められ、特に検査時間に占める電子部品ＥDの搬送時間の短縮が求められていた。
【００７３】
本実施形態に係る搬送装置としての搬送装置部２０００では、保持装置２０６０に複数の駆動手段として第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１、第２アクチュエーター１００ｙと第２被駆動体７２、そして第３アクチュエーター１００θと被駆動体としての回転装置２０７０とを備えることにより、Ｙステージ２０３０およびＸステージ２０５０によって移動される保持装置２０６０の所定停止位置において、さらに被検査物である電子部品ＥDの検査台１０６０へ正確に載置させるため、把持部１０９０を微小移動させて高い位置精度が確保される。
【００７４】
特に、第１アクチュエーター１００ｘと第１被駆動体７１、および第２アクチュエーター１００ｙと第２被駆動体７２の配置を、Ｘステージ２０５０の移動方向に対して所定の角度を成す駆動方向になるように設定することにより、Ｘステージ２０５０が所定位置で止める制動時において、被駆動体７１，７２を含む付加重量による慣性力を原因とするアクチュエーター１００ｘ，１００ｙと被駆動体７１，７２との相対的な滑り（スリップ）を、制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても抑制することができる。したがって、微小移動の位置精度を確実に維持させることができる。このように搬送装置部２０００は、高い精度で電子部品を移載でき、検査台あるいは基板などに高精度で位置決めして電子部品を配置することができる電子部品搬送装置として好適に用いられる。
【００７５】
（その他の実施形態）
上述の実施形態に係る保持装置２０６０に備える第１アクチュエーター１００ｘの駆動方向Ｐと第２アクチュエーター１００ｙの駆動方向Ｑとの成す角度、すなわち図２（ｂ）に示す角度γを直交させる９０度とすることができる。ここで直交とは、厳密な角度９０度を意味するものではなく、一般的な製造上のばらつき（誤差）なども含めた、略直交する状態を示す。
【００７６】
第１アクチュエーター１００ｘの駆動方向Ｐと第２アクチュエーター１００ｙの駆動方向Ｑとの成す角度γを直交させることにより、上述した、Ｘステージ２０５０が所定位置で止める制動時において、被駆動体７１，７２を含む付加重量による慣性力を原因とするアクチュエーター１００ｘ，１００ｙと被駆動体７１，７２との相対的な滑り（スリップ）を、制動手段（ブレーキ手段）を備えなくても抑制しながら、把持部１０９０の微小移動における制御を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００７７】
７１…第１被駆動体、７２…第２被駆動体、１００ｘ…第１アクチュエーター、１００ｙ…第２アクチュエーター、１０９０…把持部、２０４０…腕部、２０５０…Ｘステージ、２０６０…保持装置、２０７０…回転装置。
【図１】
2013230017.tif 000003
【図２】
2013230017.tif 000004
【図３】
2013230017.tif 000005
【図４】
2013230017.tif 000006
【図５】
2013230017.tif 000007
【図６】
2013230017.tif 000008
【図７】
2013230017.tif 000009