(57)【要約】【課題】マイクロクラックを有する基板又は太陽電池セルのいずれかを太陽電池製造ラインにおいて簡単に選別する検査装置を提供する。【解決手段】半導体基板又は少なくとも１つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備える太陽電池の検査装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板又は少なくとも１つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備える太陽電池の検査装置。
【請求項２】
保持部は、板状部材の表面の周縁部を解放可能に吸着する周縁吸着部と、前記表面の中央部を解放可能に吸着する中央吸着部と、板状部材の表面に直交する方向に周縁吸着部と中央吸着部とを相対的に移動させる移動部とを備える請求項１記載の太陽電池の検査装置。
【請求項３】
保持部は、周縁吸着部および中央吸着部によって板状部材の上面を吸着し、移動部により周縁吸着部を中央吸着部に対して上昇させて板状部材を湾曲させた後、周縁吸着部を解放させる請求項２記載の太陽電池の検査装置。
【請求項４】
板状部材が４つの角部を有する請求項２又は３記載の太陽電池の検査装置。
【請求項５】
周縁吸着部の吸着する周縁部が前記４つの角部の内の１つの対角線上の２つの角部である請求項４記載の太陽電池の検査装置。
【請求項６】
板状部材が４つの角部を有し、保持部は板状部材の４つの角部をそれぞれ吸着する４つの吸着部と、各吸着部を板状部材の表面に直交する方向に互いに相対移動させる４つの移動部とを備える請求項１記載の太陽電池の検査装置。
【請求項７】
保持部は４つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記４つの角部の内の対角線上の２つの角部を吸着する２つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、解放させる請求項６記載の太陽電池の検査装置。
【請求項８】
保持部は４つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記４つの角部の内の対角線上の２つの角部を吸着する２つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、前記２つの吸着部を下降させると共に残り２つの吸着部を上昇させて板状部材を逆に湾曲させる請求項６記載の太陽電池の検査装置。
【請求項９】
請求項１に記載の検査装置と、前記検査装置の保持部を搬送する搬送装置と、前記検査装置と搬送装置を制御する制御部とを備え、制御部は、搬送装置に保持部を板状部材が載置された箇所へ移動させ、板状部材を保持させた後、板状部材の廃棄箇所の上へ移動させ、保持部材によって板状部材を湾曲させた後に、検出センサに破壊の有無を検出させ、破壊が検出された時には保持部から板状部材を解放させて板状部材を廃棄箇所へ落下させ、破壊が検出されない時には板状部材を、次の工程のために載置する箇所へ搬送させる太陽電池検査システム。
【請求項１０】
半導体基板又は半導体基板上に形成された太陽電池セルのいずれかである板状部材を、表面が伸縮するように湾曲させる工程と、表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する工程とを備えた太陽電池の検査方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の太陽電池セル検査方法を用いた太陽電池製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池の検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この発明に関連する背景技術としては、太陽電池セル自体を強制的に湾曲させ、湾曲時に発生する振動波を検出し、振動波の波形とマイクロクラックの存在位置や長さとの関係をコンピュータで詳細に解析し、内部割れの原因を調べる方法および装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３４３９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、太陽電池セルの内部割れの原因を調査する従来の方法や装置は、太陽電池の割れの防止対策に適用できるが、実際の太陽電池の製造工程（ライン）を速やかに流れる太陽電池セルの良否の選別には適用が難しいという問題点があった。
【０００５】
この発明はこのような事情を考慮してなされたもので、実際の太陽電池の製造ラインを流れる太陽電池セルの良否の選別に容易に適用することが可能な太陽電池の検査装置および検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、半導体基板又は少なくとも１つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備える太陽電池の検査装置を提供するものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明は、前記板状部材がマイクロクラックを有する場合、板状部材を表面が伸縮するように湾曲させると、その衝撃によってマイクロクラックを起点として割れる、つまり破壊するという現象を見出すことによってなされたものである。
【０００８】
この発明によれば、板状部材は表面又は裏面にマイクロクラックを有すると、保持部による湾曲動作により破壊されてしまうので、それを検出センサが検出したとき、その板状部材をそのまま廃棄すればよい。従って、この発明は、マイクロクラックの発見とその処理を迅速に行うことができるので、容易に太陽電池の製造ラインに効果的に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１（Ａ）】この発明の第１実施形態の保持ハンドの上面図である。
【図１（Ｂ）】図１（Ａ）の保持ハンドの側面図である。
【図２】図１の保持ハンドの動作説明図である。
【図３】この発明の検査システムの構成説明図である。
【図４】この発明の検査システムの制御系を示すブロック図である。
【図５】この発明の検査システムの動作を示すフローチャートである。
【図６】この発明の製造ラインを示す説明図である。
【図７（Ａ）】この発明の第２実施例の保持ハンドの上面図であり、図１（Ａ）に対応する。
【図７（Ｂ）】図７（Ａ）の保持ハンドの側面図である。
【図８】図７の保持ハンドの動作説明図であり、図２に対応する。
【図９】図７の保持ハンドの他の動作説明図であり、図８に対応する。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
この発明の太陽電池の検査装置は、半導体基板又は少なくとも１つの太陽電池が形成された半導体基板のいずれかである板状部材を保持して表面が伸縮するように湾曲させる保持部と、保持部により表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する検出センサとを備えることを特徴とする。
【００１１】
保持部は、板状部材の表面の周縁部を解放可能に吸着する周縁吸着部と、前記表面の中央部を解放可能に吸着する中央吸着部と、板状部材の表面に直交する方向に周縁吸着部と中央吸着部とを相対的に移動させる移動部とを備えてもよい。
【００１２】
保持部は、周縁吸着部および中央吸着部によって板状部材の上面を吸着し、移動部により周縁吸着部を中央吸着部に対して上昇させて板状部材を湾曲させた後、周縁吸着部を解放させてもよい。
【００１３】
検出センサには、例えば、透過形又は反射形のフォトインタラプタを使用し、湾曲動作の前後に得られる光強度の変化から板状部材が破壊されたか否かを検出してもよいし、ＣＣＤカメラを使用し、湾曲動作の前後で板状部材の画像を撮像し、前後に得られた画像を比較して板状部材が破壊されたか否かを検出するようにしてもよい。さらに、周縁吸着部の吸着力の変化を検出するセンサを使用し、湾曲動作の前後に得られる吸着力の変化から板状部材の破壊の有無を検出してもよい。
板状部材は４つの角部を有してもよい。
周縁吸着部の吸着する周縁部が前記４つの角部の内の対角線上の２つの角部であってもよい。
周縁吸着部の吸着する周縁部は、隣接する２つの角部であってもよい。
周縁吸着部の吸着する周縁部は、３つ又は４つの角部であってもよい。
【００１４】
板状部材が４つの角部を有し、保持部は板状部材の４つの角部をそれぞれ吸着する４つの吸着部と、各吸着部を板状部材の表面に直交する方向に互いに相対移動させる４つの移動部とを備えてもよい。
【００１５】
保持部は４つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記４つの角部の内の対角線上の２つの角部を吸着する２つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、解放させてもよい。
【００１６】
保持部は４つの吸着部によって板状部材の上面を吸着し、前記４つの角部の内の対角線上の２つの角部を吸着する２つの吸着部を移動部により上昇させて板状部材を湾曲させた後、前記２つの吸着部を下降させると共に残り２つの吸着部を上昇させて板状部材を逆に湾曲させてもよい。
【００１７】
この発明は、別の観点から、上記検査装置と、前記検査装置の保持部を搬送する搬送装置と、前記検査装置と搬送装置を制御する制御部とを備え、制御部は、搬送装置に保持部を板状部材が載置された箇所へ移動させ、板状部材を保持させた後、板状部材の廃棄箇所の上へ移動させ、保持部材によって板状部材を湾曲させた後に、検出センサに破壊の有無を検出させ、破壊が検出された時には保持部から板状部材を解放させて板状部材を廃棄箇所へ落下させ、破壊が検出されない時には板状部材を、次の工程のために載置する箇所へ搬送させる太陽電池検査システムを提供するものである。
【００１８】
この発明は、さらに別の観点から、半導体基板又は半導体基板上に形成された太陽電池セルのいずれかである板状部材を、表面が伸縮するように湾曲させる工程と、表面が伸縮するように湾曲されることによって板状部材が破壊されたか否かを検出する工程とを備えた太陽電池の検査方法を提供するものである。
【００１９】
また、この発明は、上記太陽電池セル検査方法を用いた太陽電池製造方法を提供するものである。
【００２０】
以下、図面に示す第１および第２実施形態に基づいてこの発明を詳述する。
第１実施形態
図１（Ａ）はこの発明の第１実施形態の保持ハンド（保持部）の上面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の保持ハンドの側面図である。
【００２１】
これらの図に示すように保持ハンド１は、四角形の支持板２と、支持板２の４隅から下方へ突出する４本の保持脚４ａ〜４ｄと、保持脚４ａ〜４ｄをそれぞれ矢印ＥおよびＦ方向に昇降させる４つの昇降シリンダ７ａ〜７ｂとを備える。
【００２２】
保持脚４ａ〜４ｄは各下端に吸着パッド５ａ〜５ｄを備え、支持板２はその中央部から下方に突出する中央吸着器６と、中央部から上方に突出する吊下げ部材３を備える。保持ハンド１は、吸着パッド５ａ〜５ｄおよび中央吸着器６を板状部材（シリコン基板又は、少なくとも１つの太陽電池が形成されたシリコン基板）１０に吸着させて板状部材１０を保持し、昇降シリンダ７ａ〜７ｂによって保持脚４ａ〜４ｄを選択的に矢印Ｅ方向に上昇させると、それによって板状部材１０を湾曲させることができるようになっている。
【００２３】
図２は保持ハンド１の動作の１例を示す動作説明図である。
図２（Ａ）は、保持ハンド１により、四角形の支持板２が四角形の板状部材１０に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ７ａ〜７ｄが４つの吸着パッド５ａ〜５ｄを下降させ、吸着パッド５ａ〜５ｄが板状部材１０の４つの角部に接触する状態を示す。
図２（Ｂ）は、次に、吸着パッド５ａ，５ｃが板状部材１０の対角線上の２つの角部を吸着すると共に、中央吸着器６が板状部材１０の中央部を吸着する状態を示す。
【００２４】
図２（Ｃ）は、次に、昇降シリンダ７ａ，７ｃによって保持脚４ａ，４ｃが上昇し、吸着パッド５ａ，５ｃが引上げられて板状部材１０が湾曲する状態を示す。
図２（Ｄ）は、次に、吸着パッド５ａ，５ｃが板状部材１０を解放し、板状部材１０が中央吸着器６に吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。
【００２５】
図３はこの発明の検査システムの構成説明図である。
図３に示すように、水平レール１３に矢印ＣおよびＤ方向に移動するキャリッジ１２が設けられ、キャリッジ１２には昇降アーム１１を矢印ＡおよびＢ方向に移動させる昇降装置９が搭載されている。昇降アーム１１の下端には、板状部材１０を保持する保持ハンド１が吊下げ部材３を介して吊下げられている。
【００２６】
水平レール１３の下方には、搬入される板状部材１０を載置する搬入トレイ１４と、保持ハンド１に保持された板状部材１０が破壊されたか否かを検出する検出センサとしてのＣＣＤカメラ８と、破壊された板状部材１０を回収する回収ボックス１５と、破壊されなかった板状部材を受入れて次の工程へ搬送するベルトコンベア１６が設けられている。
【００２７】
図４は図３に示す検査システムの制御系を示すブロック図である。
吸着パッド駆動部２２は、吸着パッド５ａ〜５ｄを駆動してそれぞれに吸着動作をさせる。吸着器駆動部２３は、中央吸着器６を駆動して吸着動作をさせる。シリンダ駆動部２４は、昇降シリンダ７ａ〜７ｄを駆動してそれぞれに昇降動作をさせる。
【００２８】
昇降装置駆動部２５は、昇降装置９を駆動して昇降アーム１１を昇降させる。キャリッジ駆動部２６は、キャリッジ１２を駆動して水平移動させる。ＣＣＤカメラ８は、板状部材１０の破壊の有無を検出するために、保持ハンド１に保持された板状部材１０の画像を撮像する。
【００２９】
制御部２１は所定のプログラムに基づいて、吸着パッド駆動部２２、吸着器駆動部２３、シリンダ駆動部２４、昇降装置駆動部２５、キャリッジ駆動部２６およびＣＣＤカメラ８を制御する。
【００３０】
図５は図３に示す検査システムの動作を示すフローチャートである。図３〜図５を用いて検査システムの動作を説明する。
まず、ステップＳ１において、保持ハンド１を搬入トレイ１４の上へ移動させ、次に保持ハンド１を搬入トレイ１４に載置された板状部材１０の上へ下降させて吸着パッド５ａ〜５ｄを板状部材１０に接触させる（ステップＳ２）。
【００３１】
次に、吸着パッド５ａ〜５ｄおよび中央吸着器６で吸着することにより板状部材１０を保持ハンド１で保持し、保持ハンド１を上昇させる（ステップＳ３）。次に、保持ハンド１を回収ボックス１５の上へ移動させ（ステップＳ４）、保持ハンド１に保持された板状部材１０をＣＣＤカメラ８で撮像する（ステップＳ５）。
【００３２】
次に、湾曲・解放動作、例えば、図２（Ｃ）〜図２（Ｄ）に示すように、保持脚４ａ，４ｃを上昇させて板状部材１０を湾曲させた後に吸着パッド５ａ，５ｃを解放する動作を行う（ステップＳ６）。そして、逆方向に湾曲して水平状態に戻った板状部材１０を再びＣＣＤカメラ８で撮像し（ステップＳ７）、ステップＳ５で撮像した板状部材１０の画像とステップＳ７で撮像した板状部材１０の画像の面積を比較し、面積が所定値以上異なっている場合には板状部材１０は破壊されたものと判定され（ステップＳ８）、中央吸着器６が板状部材１０を解放する。
【００３３】
なお、この場合、ステップＳ５で得られた画像の画素の平均輝度とステップＳ７で得られた画像の画素の輝度とを比較し、平均輝度と異なる輝度の画素の数（割れた部分の面積）が所定値以上である場合に板状部材１０が破壊されたものと判定してもよい。
【００３４】
中央吸着器６から板状部材１０が解放されると、板状部材１０は回収ボックス１５へ落下して回収される（ステップＳ９）。そして、ルーチンはステップＳ１へ戻る。また、ステップＳ８において、板状部材１０の画像の面積が、前回撮像分と今回撮像分とで所定値以上異なっていない場合には、板状部材１０は破壊されなかったものと判定されて次の工程用のベルトコンベア１６へ搬送される（ステップＳ１０）。そして、ルーチンはステップＳ１へ戻る。
【００３５】
ここで、ステップＳ６の「湾曲・解放動作」は、次の動作を含むものである。
（１）４つの吸着パッド５ａ〜５ｄの内、いずれか２つを用いて板状部材１０を湾曲させた後、解放させる。
（２）４つの吸着パッド５ａ〜５ｄの内、いずれか３つを用いて板状部材１０を湾曲させた後、解放させる。
【００３６】
（３）４つの吸着パッド５ａ〜５ｄをすべて用いて板状部材１０を湾曲させた後、解放させる。
（４）上記（１）〜（３）の動作を選択的に組合わせる（この場合、解放動作毎に撮像を行う）。
【００３７】
なお、マイクロクラックを有する板状部材１０が「湾曲・解放動作」により、マイクロクラックを起点として破壊するメカニズムは、次の通りである。
板状部材１０の表面にマイクロクラックが存在する場合、表面が伸びるように湾曲させるとマイクロクラックが拡がる方向に応力がかかるので板状部材１０が割れ易いが、表面が縮むように湾曲させるとマイクロクラックが閉じる方向に応力がかかるので、板状部材１０は割れにくい。
【００３８】
しかし、この発明のように、板状部材１０を、その表面が縮み裏面が伸びるように湾曲させ、次にその湾曲状態を解放すると、その反動で表面が伸びて裏面が縮むように湾曲するので、板状部材１０は表面および裏面のいずれにマイクロクラックが存在する場合でも、板状部材１０はそのマイクロクラックを起点として破壊する。
【００３９】
図６は、この発明の太陽電池製造ラインを示す説明図である。
図６に示すように、太陽電池製造ラインは、太陽電池セル製造ライン１００と、太陽電池モジュール製造ライン２００から構成される。
【００４０】
太陽電池セル製造ライン１００は、ラインの流れに沿って、基板投入部１０１、基板選別部１０２、洗浄工程処理部１０３、拡散工程処理部１０４、電極形成工程処理部１０５およびセル搬出部１０６を備える。
【００４１】
また、太陽電池モジュール製造ライン２００は、ラインの流れに沿って、セル投入部２０１、セル選別部２０２、配線工程処理部２０３、封止工程処理部２０４、端子箱・枠など取付処理部２０５およびモジュール搬出部２０６を備える。そして、基板選別部１０２およびセル選別部２０２にそれぞれ図３に示す検査システムが設置される。
【００４２】
次に、ライン１００，２００の動作を説明する。
まず、基板投入部１０１では、所定サイズのシリコン基板を外部から受入れて搬入トレイ１４（図３）に載置する。
【００４３】
次の基板選別部１０２では、図３に示す検査システムが、搬入トレイ１４上のシリコン基板を図５に示す手順で検査し、マイクロクラックのない基板を選別し、次の洗浄工程処理部１０３へ渡す。
【００４４】
洗浄工程処理部１０３では、選別されたマイクロクラックのない基板に対して酸、アルカリ、純水などを用いたウェット洗浄処理によって基板上の異物やコンタミネーション（金属不純物）を取り除く処理を施す。
【００４５】
次に、拡散工程処理部１０４では、基板上にｐ型またはｎ型不純物を含有するドーパント剤を塗布した後、拡散炉中で加熱することで基板にｐ型またはｎ型の不純物拡散層を形成するという処理を施す。ここでｐｎ接合を形成することで光電変換が可能となる。
【００４６】
次に、電極形成工程処理部１０５では、ｐ型層およびｎ型層の表面に電極ペーストをスクリーン印刷法などで塗布形成した後、加熱乾燥させることで焼成電極を形成するという処理を施す。これによって、基板に入射した光のエネルギーによってｐｎ接合で発生した電力（キャリア）を外部に取り出すことが出来るようになって、太陽電池セルが完成する。
次に、セル搬出部１０６では、完成した太陽電池セルをベルトコンベア（図示しない）へ順次搭載し、太陽電池モジュール製造ライン２００へ搬出する。
【００４７】
次に、太陽電池モジュール製造ライン２００では、ライン１００からベルトコンベアで搬入される太陽電池セルをセル投入部２０１において受入れて搬入トレイ１４（図３）に載置する。
【００４８】
セル選別部２０２では、図３に示す検査システムが、搬入トレイ１４上の太陽電池セル（少なくとも１つの太陽電池が形成されたシリコン基板）を図５に示す手順で検査し、マイクロクラックのない基板を選別し、次の配線工程処理部２０３へ渡す。配線工程処理部２０３では、例えばエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などの封止材が戴置されたガラス基板上に複数の太陽電池セルを配線にて電気的に接続して配列する。
【００４９】
次に、封止工程処理部２０４では、上述の配列された太陽電池セル上に封止材と保護シートを戴置した後、それらを加圧して密着させつつ加熱することで封止材を溶融して封止処理を行うラミネート装置による封止処理が行われる。なお、この時点で太陽電池セルは太陽電池モジュールと呼ばれることもある。
【００５０】
次に、端子箱・枠など取付処理部２０５では、基板端部の余剰の保護シートをガラス基板端部に沿って切断除去した後、端面にブチルゴムなどの端面保護材を接着する。次に、太陽電池セルの発電電力を外部に取り出すために保護シートから引き出されたリード線と外部接続用のコネクタを備えた端子箱を電気的に接続するとともに端子箱を固定する。次に、ガラス基板の外周に補強用の金属枠を取り付けるという処理を施す。以上によって、太陽電池モジュールがパネルとして完成する。
【００５１】
最後にモジュール搬出部２０６は、完成した太陽電池モジュールを、次の図示しない検査ラインや梱包ラインなどへ搬出する。
このようにして、この発明の検査システムは太陽電池の製造ラインに組込まれ、シリコン基板や太陽電池セルの選別を効率よく行うことができる。
【００５２】
第２実施形態
図７（Ａ）はこの発明の第２実施形態の保持ハンドの上面図、図７（Ｂ）は図７（Ａ）の保持ハンドの側面図である。
【００５３】
これらの図に示すように保持ハンド１ａは、四角形の支持板２と、支持板２の４隅から下方へ突出する４本の保持脚４ａ〜４ｄと、保持脚４ａ〜４ｄをそれぞれ矢印ＥおよびＦ方向に昇降させる４つの昇降シリンダ７ａ〜７ｂとを備える。
【００５４】
保持脚４ａ〜４ｄは各下端に吸着パッド５ａ〜５ｄを備え、支持板２は中央部から上方に突出する吊下げ部材３を備える。つまり、この実施形態では、第１実施形態における中央吸着器６（図１）が除去されている。
【００５５】
保持ハンド１ａは、吸着パッド５ａ〜５ｄを板状部材（シリコン基板やシリコン基板上に形成された太陽電池セル）１０に吸着させて板状部材１０を保持し、昇降シリンダ７ａ〜７ｂによって保持脚４ａ〜４ｄを選択的に矢印ＥおよびＦ方向に昇降させると、それによって板状部材１０をその表面が伸縮するように湾曲させることができるようになっている。
【００５６】
図８は図７に示す保持ハンド１ａの動作の１例を示す動作説明図である。
図８（Ａ）は、保持ハンド１ａにより四角形の支持板２が四角形の板状部材１０に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ７ａ〜７ｄが４つの吸着パッド５ａ〜５ｄを下降させ、吸着パッド５ａ〜５ｄが板状部材１０の４つの角部に接触する状態を示す。
図８（Ｂ）は、４つの吸着パッド５ａ〜５ｄがそれぞれ板状部材１０の４つの角部を吸着する状態を示す。
【００５７】
図８（Ｃ）は、次に、昇降シリンダ７ａ，７ｃによって保持脚４ａ，４ｃが上昇し、吸着パッド５ａ，５ｃが引上げられて板状部材１０が湾曲する状態を示す。
図８（Ｄ）は、次に、吸着パッド５ａ，５ｃが板状部材１０を解放し、板状部材１０が吸着パッド５ｂ，５ｄに吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。
【００５８】
図９は図７に示す保持ハンド１ａの動作の他の例を示す動作説明図である。
図９（Ａ）は、保持ハンド１ａにより四角形の支持板２が四角形の板状部材１０に互いの角部が対向するように位置合せされ、昇降シリンダ７ａ〜７ｄが４つの吸着パッド５ａ〜５ｄを下降させ、吸着パッド５ａ〜５ｄが板状部材１０の４つの角部に接触する状態を示す。
図９（Ｂ）は、４つの吸着パッド５ａ〜５ｄがそれぞれ板状部材１０の４つの角部を吸着する状態を示す。
【００５９】
図９（Ｃ）は、次に、昇降シリンダ７ａ，７ｃによって保持脚４ａ，４ｃが上昇し、吸着パッド５ａ，５ｃが引上げられて板状部材１０が湾曲する状態を示す。
図９（Ｄ）は、次に、昇降シリンダ７ａ，７ｃが下降すると共に、昇降シリンダ４ｂ，４ｄが上昇し、板状部材１０が４つの吸着パッド５ａ〜５ｄに吸着されたまま逆方向に湾曲する状態を示す。
【００６０】
なお、第２実施形態では、第１実施形態の図１に示す保持ハンド１が図７に示す保持ハンド１ａに置換されると共に、それに対応して第１実施形態の図２に示す保持ハンド１の動作が図８又は図９に示す保持ハンド１ａの動作に置換されている。その他の構成および動作は第１実施形態と同等であるので、説明を省略する。
【符号の説明】
【００６１】
１  保持ハンド
２  支持板
３  吊下げ部材
４ａ〜４ｄ  保持脚
５ａ〜５ｄ  吸着パッド
６  中央吸着器
７ａ〜７ｄ  昇降シリンダ
８  ＣＣＤカメラ
９  昇降装置
１０  板状部材
１１  昇降アーム
１２  キャリッジ
１３  水平レール
１４  搬入トレイ
１５  回収ボックス
１６  ベルトコンベア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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