(57)【要約】【課題】可動電極の開極距離を大きくすること無く耐電圧性能を向上させ、特に進み小電流遮断試験およびコンデンサバンク開閉試験における遮断性能を向上させる。【解決手段】接離可能に設けられた可動電極１と固定電極２、この固定電極２の接点面の中央部に別の可動電極９を設け、真空遮断器の投入時は、別の可動電極９を固定電極２の接点面から突出させることで、プレアークが別の可動電極９の接点で発生するようにし、開極時は別の可動電極９を固定電極２に押し込んだ状態とするため、溶着引き剥がしによる接点の損傷は別の可動電極９の接点面とその対向面だけで生じ、電極接点面の周辺部は溶着引き剥がしが生じないため、電界の局所的上昇が発生せず電極間耐電圧は向上し、遮断性能が向上する。【選択図】図１
2013251089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密封状態に保持された容器内に接離可能に設けられた可動電極および固定電極と、該可動電極および固定電極の何れか一方の電極の接点面の中心部に設けられた別の可動電極と、該別の可動電極を上記電極の接点が開く動作時には電極の接点面に押し込まれた状態で保持するとともに、上記電極の接点が閉じる動作時には電極の接点面から突出させて保持する保持機構を備えたことを特徴とする真空遮断器。
【請求項２】
上記別の可動電極の接点面が電極の接点面に対して凹んだ状態に押し込まれて保持されていることを特徴とする請求項１に記載の真空遮断器。
【請求項３】
上記保持機構が皿バネで構成され、該皿バネの反転により上記別の可動電極の位置を保持することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空遮断器。
【請求項４】
上記別の可動電極が上記可動電極の接点面の中心部に設けられ、上記可動電極の接点面の裏側より上記容器外に延びたロッドに上記保持機構が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空遮断器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空遮断器に関するもので、特に定格電圧が高く、進み小電流遮断試験およびコンデンサバンク開閉試験における遮断性能の高い真空遮断器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空遮断器に用いられる真空バルブでは、一対の可動電極と固定電極の接点を用いて遮断性能と耐電圧性能の両性能を確保するのが基本構造であるが、近年の高電圧化、大容量化に対応するため、真空バルブの内部の接点数を直列に二対に増やして、遮断性能は短ギャップの平行磁界形電極で、また、耐電圧性能は長ギャップの耐電圧電極で分担することで解決したものがある。（例えば特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５８−６８８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の真空遮断器に用いられる真空バルブでは、遮断用の平行磁界型電極と耐圧用に開極距離を大きくした耐電圧電極を直列に設けるため、電極部分の寸法が大きくなるとともに耐電圧可動電極の可動距離が大きくなる。従って、電極部分を収納する密封容器が大きくなるとともに、耐電圧可動電極を封止するベローズが長くなり、それに伴って真空バルブが大きくなってしまうという課題があった。また、真空バルブの可動電極は例えば1m/s以上の高速で開極する必要があり、特に定格電圧が高い真空バルブの方が開極スピードを速くする必要があるため、長いベローズにおいては座屈が生じやすくなるという課題もあった。さらに、可動電極の開極距離が大きくなると電極を開閉する駆動機構も大きくなってしまうという課題があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、密封容器の大きさや可動電極の開極距離を大きくすること無く耐電圧性能を向上させ、遮断性能の良い真空遮断器を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係わる真空遮断器は、密封状態に保持された容器内に接離可能に設けられた可動電極および固定電極と、該可動電極および固定電極の何れか一方の電極の接点面の中心部に設けられた別の可動電極と、該別の可動電極を上記電極の接点が開く動作時には電極の接点面に押し込まれた状態で保持するとともに、上記電極の接点が閉じる動作時には電極の接点面から突出させて保持する保持機構とを備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の真空遮断器によれば、密封状態に保持された容器内に接離可能に設けられた可動電極および固定電極の何れか一方の電極の接点面の中心部に別の可動電極を設けたため、密封容器や可動電極の開極距離を大きくすること無く耐電圧性能を向上させることができる。また、可動電極の開極距離を大きくすることが無いので、ベローズを長くする必要が無く、真空バルブが大きくなることもない。さらに、保持機構によって上記別の可動電極を上記電極の接点が開く動作時には電極の接点面に押し込まれた状態で保持するとともに、上記電極の接点が閉じる動作時には電極の接点面から突出させて保持するため、遮断性能を示す進み小電流遮断試験性能とコンデンサバンク開閉試験性能が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１に係る真空遮断器を示す側面断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る真空バルブの投入動作における各電極の動きを説明する説明図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係る真空バルブの遮断動作における各電極の動きを説明する説明図である。
【図４】この発明の実施の形態１に係る真空遮断器における真空バルブの固定電極側の構造を示す側面断面図である。
【図５】この発明の実施の形態１に係る真空遮断器における保持機構のラッチ機構を説明する説明図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係る真空バルブの開極時の接点中央部における電界の時間変化を示すグラフ図である。
【図７】この発明の実施の形態２に係る真空遮断器における保持機構の動作を説明する説明図である。
【図８】この発明の実施の形態２に係る真空バルブの各電極の状態を説明する説明図である。
【図９】この発明の実施の形態３に係る真空遮断器における真空バルブの可動電極側の構造を示す側面断面図である。
【図１０】従来の真空遮断器における真空バルブの電極の開閉動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る真空遮断器を示す側面断面図、図４はその真空バルブの固定電極側の構造を示す側面断面図である。図において、真空遮断器はタンク２７と、該タンク２７内の中央部に設置された真空バルブ１９と、タンク２７の外部に設けられた保持機構１２、図示していない開閉機構およびブッシングを主要部品とし、ブッシングの導体２８と真空バルブ１９で電路を構成し、上記開閉機構で真空バルブ１９内の一対の電極の接点を開閉することで電流を入り切りする。
上記真空バルブ１９は、密封状態に保持された絶縁筒１８内に、該絶縁筒１８の軸方向に対向して接離可能に配置された一対の可動電極１および固定電極２を備え、可動電極１の接点面の裏側に固着された可動電極棒３をベローズ５と可動側フランジ７を介して絶縁筒１８に取り付けるとともに、可動側絶縁ロッド２１およびタンク側ベローズ２６を介してタンク２７に取り付けて、図示していない開閉機構によって、図１の左右方向に開閉駆動される。また、固定電極２の接点面の裏側に固着された固定電極棒４が固定側フランジ８を介して絶縁筒１８に取り付けられている。
【００１０】
さらに、固定電極棒４は中空形状となっており、固定電極２の接点面の中央部に別の可動電極９を設け、該別の可動電極９の接点面の裏側に固着された別の可動電極棒１０が上記中空形状の固定電極棒４内を貫通させて設けられ、固定側ベローズ６を介して固定側フランジ８に取り付けられるとともに、固定側絶縁ロッド２０およびタンク側ベローズ２６を介してタンク２７に取り付けられ、保持装置１２のロッド２５に接続されて、保持装置１２により別の可動電極９が後述の所定位置になるように保持される。また、固定側フランジ８には強度補強と電流の通路となる支持ブロック３２が固着されており、該支持ブロック３２は支持枠３０および絶縁ブッシング３１を介してタンク２７内に固定されている。上記図示していないブッシングの導体２８は可とう導体３４を介して支持ブロック３２に電気的に接続されており、可とう導体３４で接続しているため、真空バルブ１９の固定時の軸合わせなどの作業性が良くなる。また、可動側もブッシングの導体２８は可とう導体３４を介して可動電極棒３に固定した割り端子に取り付けられている。
【００１１】
絶縁筒１８はセラミックで形成されており、該セラミックには薄い金属であるメタライズ層を設けてフランジ７および８とロウ付けにより固定する。このため、メタライズ層の端部が高電界となるためシールド３３を絶縁筒１８の左右の両端部を取り囲んで設ける。また、別の可動電極棒１０は可とう導体３５および支持具３６を介して支持ブロック３２に電気的に接続されるとともに、ガイド３７により軸合わせされ図１の左右方向にスライド可能に支持されている。タンク２７は接地電位であるが、ブッシングの導体２８と真空バルブ１９の中の各導体は高電圧となるので、これらの間に位置する絶縁ロッド２０、絶縁ロッド２１および絶縁ブッシング３１は絶縁材料製として耐電圧を確保する。また、タンク２７の中は絶縁性ガスであるＳＦ６ガス、空気、窒素ガス等を封入する。また、真空遮断器の遮断性能を高める手段として、縦磁界電極がある。図２（ａ）に示すように、一対の可動電極１および固定電極２は遮断動作時に縦磁界を発生するコイル１７を介して可動電極棒３および固定電極棒４にそれぞれ固着して縦磁界電極を構成しており、コイル１７の強度補強のため補強部材５０を設ける。
【００１２】
次に上記保持機構１２の詳細構成について説明する。バネ１１はタンク２７に固定されたバネ支持板１３に設けたバネボックス２２に収納される。該バネボックス２２はロッド２５に固定された圧縮板２４を備え、バネ１１が圧縮板２４を押すことで別の可動電極棒１０に対して、該別の可動電極棒１０の軸と平行で、別の可動電極９から対向する可動電極１に向かう方向の力が発生する。このため、別の可動電極９を固定電極２の接点面より突出させることができる。この突出長を例えば５ｍｍに規定するため、バネボックス２２にはストッパ部２３が設けられている。また、保持機構１２にはロッド２５の右端部に図５に示すラッチ機構が設けられている。別の可動電極９は別の電極棒１０および絶縁ロッド２０を介してロッド２５につながる。該ロッド２５の動きは連結部６１によってアーム５９に伝わる。アーム５９は支点５８を中心に回転し、支点５８と連結部６１の距離よりも支点５８と突起６０の距離の方が大きいため、突起６０ではロッド２５の動きが拡大され、別の可動電極９の移動距離が小さくても上記ラッチ機構を働かせることができる。
【００１３】
突起６０は回転板５４に設けられた逆へ字形の溝５５に嵌め込まれている。回転板５４は支点５７によって回動可能に支持されており、図示していないバネにより矢印６５方向の力が加えられているとともに、図示していないソレノイドによって矢印５６方向の力が加えられる。このため、別の可動電極９が固定電極３の接点面から突出した状態では、図５（ａ）のようにロッド２５に対してバネ１１の力が矢印６４の方向に働いている。さらに図示していないソレノイドによって図示していないバネの矢印６５方向の力を上回る矢印５６方向の力を働かせることで、突起６０は溝５５の右端に位置する。別の可動電極９が固定電極３の接点面に押し込まれた状態では、図５（ｂ）のようにロッド２５は右に移動するため突起６０は左に移動しようとする。ここで図示していないソレノイドによる矢印５６方向の力が印加しないようにしておくと、図示していないバネの矢印６５方向の力で上記回転板５４が回転し、突起６０が溝５５の左端に移動する。ロッド２５にバネ１１による矢印６４方向の力が印加しても、溝５５の形状により突起６０は右に移動しないので、この状態で接点を開極しても別の可動電極９は固定電極３の接点面に押し込まれた状態を維持する。
【００１４】
次に実施の形態１における動作について、図２および図３にもとづいて説明する。図２はこの発明の実施の形態１に係る真空バルブの投入動作における各電極の動きを説明する説明図、図３はこの発明の実施の形態１に係る真空バルブの遮断動作における各電極の動きを説明する説明図である。図２（ａ）において、可動電極１と固定電極２とが開極している状態では、固定電極２の接点面の中央部に設けられた別の可動電極９は固定電極２に押し込まれた状態であり、保持機構１２のラッチ機構は図５（ｂ）の状態になっている。この状態から真空遮断器の投入動作が開始されると、まず閉極動作の前に図５（ａ）の回転板５４に図示していないソレノイドによって矢印５６方向の力を加えて保持機構１２のラッチを外すと、バネ１１による矢印６４方向の力により、図２（ｂ）のように別の可動電極９を固定電極２の接点面から突出させる。この状態で図示していない開閉機構により可動電極１が図１の右方向に移動して可動電極１と固定電極２が閉極していくと、図２（ｃ）に示すように、最初に可動電極１と別の可動電極９とが接触する。続いて、図２（ｄ）に示すように図示していない開閉機構により可動電極１と固定電極２が完全に閉極すると、別の可動電極９は固定電極２に押し込まれ、保持機構１２は図５（ｂ）の状態になり、別の稼動電極９は固定電極９に押し込まれた状態の位置で保持される。
【００１５】
一方、遮断動作では図３（ａ）に示すように、別の可動電極９が固定電極２に押し込まれた状態で図示していない開閉機構によって可動電極１が図１の左方向に移動させられるため、可動電極１と固定電極２は開極する。開極しても保持機構１２は図５（ｂ）の状態のままであるため、図３（ｂ）に示すように別の可動電極９は固定電極２に押し込まれた状態の位置で保持される。
【００１６】
以上のように構成された本発明の真空遮断機においては、密封状態に保持された容器内に接離可能に設けられた可動電極１および固定電極２と該固定電極２の接点面の中心部に別の可動電極９を設けたため、密封容器や可動電極１の開極距離を大きくすることが無く、また、可動電極１の開極距離を大きくすることが無いので、ベローズ５、２６を長くする必要が無く、真空バルブ１９が大きくなることもない。
【００１７】
次いで、上記のように構成された真空遮断器の遮断性能および耐電圧性能について、より分かりやすくするため、従来の真空バルブの電極構造と対比させて説明する。一般に、送電線もしくはコンデンサバンク開閉に用いられる真空遮断器は、送電線の対地キャパシタンスまたはコンデンサバンクのキャパシタンスによって決まる進み小電流を遮断する能力が要求される。このため、進み小電流遮断試験やコンデンサバンク開閉試験を実施して遮断性能を検出する必要がある。この進み小電流遮断試験やコンデンサバンク開閉試験を行った真空遮断器の電極の接点表面分析を実施した結果、以下の現象が起こっていることを見出した。回路電圧を印加した状態で電極を閉じていくと、固定電極２と可動電極１の間の電界が高くなり、該電極が閉じる前に絶縁破壊が生じる。この時に生じるアーク（以後、プレアークと呼ぶ）の熱によって電極の接点表面に溶融が生じる。この後、電極は閉じ、溶融部位は熱拡散により温度が下がり溶着する。続く開極動作によって、溶着部位は引き剥がされるので、接点表面に損傷が生じる。この損傷によって、電極の接点表面には高さ数十μmから数百μmの微小な突起が生じ、その先端には高電界が生じるため遮断性能や耐電圧性能が低下する。
【００１８】
この現象を図１０に示す従来の真空遮断機における電極の動作説明図にもとづいて説明する。図１０において、通常の真空バルブでは固定電極と可動電極だけがあるが、特許文献１の真空バルブでは中間ホルダ９０を設けており、該中間ホルダ９０の両端部にそれぞれ一対の耐電圧可動電極９１と耐電圧中間電極９２ならびに一対の平行磁界型中間電極９３と平行磁界型固定電極９４が設けられており、ストッパー９５で遮断性能を高めるために上記一対の平行磁界型電極９３および９４の開極距離は遮断に最適な十数ｍｍの短い距離にするとともに、上記一対の耐電圧電極９１および９２は耐電圧性能を高めるために十数ｍｍ以上の長い開極距離としている。中間ホルダガイド板９６と上記耐電圧中間電極との間には圧縮バネ９７が設けられている。
【００１９】
次に、このように構成された従来の電極の動作について説明する。開極状態では図１０（ａ）に示すように一対の平行磁界型電極９３、９４と一対の耐電圧電極９１、９２の両方とも開いている。閉極動作では図１０（ｂ）閉極途中に示すように、まず一対の耐電圧電極９１、９２が閉じ、さらに図示していない開閉機構によって圧縮バネ９７を押し縮めることで、一対の平行磁界型電極９３、９４も閉じるが、このときに発生したプレアークにより図１０（ｃ）閉極状態に示すように一対の平行磁界型電極９３、９４に融着９８が生ずる。開極時は１０（ｄ）開極途中のようにまず一対の平行磁界型電極９３、９４が開くので、該一対の平行磁界型電極９３、９４の接点表面に上記引き剥がしによる微小な突起９９が発生しアークが発生するため遮断性能が低下するが、一対の平行磁界型電極９３、９４は高い遮断性能を持つのでアークは消弧する。その後、図１０（ｅ）に示すように一対の耐電圧電極９１、９２が長い開極距離で開くので、耐電圧性能は高くなる。
【００２０】
一般に電極間に電圧が印加されている状態においては、電極の接点面の周辺部の方が中央部に比べて高電界となるため、上記プレアークによる溶着９８および引き剥がしによる微小な突起９９は電極の接点面の周辺部に発生しやすく、周辺部に発生した場合の方が中央部に発生した場合よりも遮断性能が低下するため、電極の接点面の周辺部にＲ加工を施したり、電極の接点面の中央部を突出させるなど、電極形状を工夫することによって少しでも遮断性能を向上させる対策が実施されているが、電極の接点面の周辺部にＲ加工を施したものでは、その直ぐ内側の接点面の平坦部分で、上記融着９８および引き剥がしによる突起９８が発生し、その突起９８の発生した部分が高電界となって遮断性能が低下する。また、電極の接点面の中央が突出している形状においては、接点中央部は接点周辺部よりギャップ長が短いため高電界となる。この中央突出部に溶着引き剥がしによる微小な突起ができるため、極端な高電界となり遮断性能が低下する。
【００２１】
一方、本発明の電極構造では、真空バルブの開極距離は数十ｍｍという値で、定格電圧が高いほど開極距離も大きくなる。これに対して、投入時のプレアークは電極間距離が数ｍｍという小さな値になった所で発生する。そこで、別の可動電極９の固定電極２からの突出量を例えば５ｍｍとすると、別の可動電極９の表面電界の方が固定電極２の接点面周辺部より先に放電発生電界となり、別の可動電極９でプレアークが発生する。閉極時に図２（ｃ）のように上記別の可動電極９とその対向面の上記可動電極１の接点面の中央部が最初に接するので、閉極時のプレアークによる溶着引き剥がしによって生じる突起は別の可動電極９の接点面とその対向面である可動電極１の接点面の中央部でのみ発生し、別の可動電極９と可動電極１が接触すると可動電極１と固定電極２は同電位となるため、プレアークは発生しない。別の可動電極９のある接点面中央部は接点面周辺部に比べて電界が低いため、溶着引き剥がしによる微小な突起ができても突起先端の電界は接点周辺部にできた場合に比べて緩和される。さらに、可動電極１の接点面周辺部および固定電極２の接点面はプレアークが発生しないため清浄に保たれるので、電界の局所的上昇が発生せず電極間耐電圧は向上し、その結果、進み小電流遮断試験およびコンデンサバンク開閉試験における遮断性能が向上することとなる。
【００２２】
ここで、進み小電流遮断試験における接点表面電界の変化を調べたところ、再起電圧の立ち上り速度と開極動作による接点間ギャップ長の増大の関係から、開極途中に接点表面電界が最大となることが分った。本発明による真空遮断器の電極形状を用いて電界解析した結果を図６に示す。図６において、縦軸は接点中央部の電界を示す。再起電圧第１波目の電界が極端に高く、その後のピーク電界は一定となる。さらに、再起電圧第１波目の電界ピークでは、接点中心部の電界が、接点周辺部で溶着引き外しによる微小な突起ができる位置の電界より約２０％小さくなった。微小な突起ができることによる電界増倍率をβとすると、接点中心部の場合も接点周辺部の場合も電界はβ倍になるので、本構造のように接点面中心部に微小な突起ができる場合の方が接点面周辺部の場合より電界は約２０％小さくなる。この結果、再起電圧第１波目の高電界に耐えることができ遮断性能が向上する。また、再起電圧第２波以降の電界ピークでは、開極しきった状態であり、接点面中心部の電界が、接点面周辺部より約３６％電界緩和され、耐電圧性能も向上する。
【００２３】
さらに、真空遮断器の耐電圧性能を向上させるために、一般的に製造工程においてコンディショニングが行われる。コンディショニング方法として、ＡＣ電圧やインパルスという電圧を印加して放電させる電圧コンディショニングと、ｋＡオーダーの大電流を遮断する電流コンディショニングがある。本発明の真空遮断器では、別の可動電極９を固定電極２に押し込んだ状態では、上記説明のように接点面の周辺部の方が中央部より電界が高いという傾向があるので、接点面中央部のコンディショニングが不十分になる傾向がある。そこで、本構造では別の可動電極９を突出させた状態での電圧コンディショニングも行い、別の可動電極９の接点面と可動電極１および固定電極２の接点面の両方を十分にコンディショニングする。また、電流コンディショニングでは、接点面が最後に離れる位置でアークが発弧してコンディショニングする性質があるので、接点面の周辺部の方がコンディショニングされるが、接点面中心部のコンディショニングが不足する傾向がある。そこで本構造では、別の可動電極９を突出させた電流コンディショニングも行い、接点面中心部の電流コンディショニングも十分に行うことができる。
一般にコンディショニングは、真空バルブ単体で実施した後に真空遮断器として組み立てるが、耐電圧性能安定化のために真空遮断器として組み立てた後におこなっても良い。
【００２４】
実施の形態２．
上記実施の形態１の保持機構１２では、開極時に別の可動電極９が固定電極２に押し込まれている状態を保持したが、この実施の形態２の保持機構１２では皿バネ６６を用いて開極時に別の可動電極９が固定電極２の接点面に対して奥に凹んだ状態に押し込まれて保持するものである。図７はこの発明の実施の形態２に係る真空遮断器における保持機構１２の動作を説明する説明図で、図８は真空バルブの各電極の状態を説明する説明図である。図８（ａ）は別の可動電極９が固定電極２より突出している状態を示しており、このとき保持機構１２は図７（ａ）の状態になっている。この保持機構１２でもアーム５９を用いてロッド２５の動きを増幅する。可動電極１の閉極動作によって図８（ｂ）のように可動電極１と固定電極２が閉じた時に、図７（ｂ）に示すように支持板６７に支持された皿バネ６６が反転し、ロッド２５をさらに奥に引き込む結果、別の可動電極９は図８（ｃ）に示すように固定電極２の接点面よりも奥に凹んだ状態に押し込まれた状態となる。開極時は別の可動電極９がこの奥に凹んだ状態に押し込まれたまま開極する。
【００２５】
投入時に別の可動電極９を突出させるには、ソレノイドにより矢印５６方向の力で中心軸６８を押すことで皿バネ６６を反転させて、保持機構１２を図７（ｂ）の状態から図７（ａ）の状態にする。以上の動作により、投入時のプレアークは別の可動電極９とその対向面にある可動電極１の接点面の中心部で発生し、その後、図８（ｃ）のように別の可動電極９が固定電極２の接点面の奥に凹んだ状態に押し込まれた時に、この部分の電極接点表面に溶着引き剥がしによる微小突起が発生する。しかし、開極時は別の可動電極９がこの奥に凹んだ状態のまま開極するため、別の可動電極９の接点表面に印加する電界が抑制され、一層の電界緩和がなされる。このため短絡遮断の時に可動電極１の接点面周辺部と固定電極２の接点面周辺部でアークが発弧するようにできる。一般に縦磁界電極では、接点周辺部でアークが発弧した方が、発弧直後にアークに作用する縦磁界が強くなるので、その結果、進み小電流遮断試験およびコンデンサバンク開閉試験における遮断性能が向上する。
【００２６】
実施の形態３．
図９はこの発明の実施の形態３に係る真空遮断器における真空バルブの可動電極側の構造を示す側面断面図である。上記実施の形態１および２では何れも固定電極２に別の可動電極９を設けた場合について説明したが、この実施の形態３では可動電極１に別の可動電極９を設けたものである。このため、可動電極棒３は中空とし内部に別の電極棒１０を設ける。また、真空バルブの内部の真空封止のため小形ベローズ６９を設ける。電極棒３とタンク２７を絶縁するため絶縁ロッド７１と別の電極棒１０の絶縁ロッド７２を設ける。また、タンク側ベローズ２６の外に、小形タンクベローズ７０を設ける。保持機構１２は可動電極棒３に絶縁ロッド７１を介して接続されたロッド７７に設け、別の電極棒１０に絶縁ロッド７２を介してつながるロッド７８に保持機構１２用ロッド７３を設ける。この保持機構１２は図５または図７に示した構造を用いてもよいし他の構造でもよい。別の可動電極９を突出させるためのバネ１１やロッド７７には接圧バネ７４を設ける。本構造ではアーム７５を用いて電極棒を駆動するため、支点５８からの距離の遠い別の電極棒１０の方が移動距離が大きくなることを利用している。この結果、閉極動作において別の可動電極９が先に固定電極２と接触する。図９は閉極途中状態を示しており別の可動電極９が突出している状態を示している。また、別の可動電極９の動作は基本的に実施の形態１での説明と同じである。本構造によりタンク２７の固定電極２側に保持機構１２を設ける必要が無くなり、よりコンパクトな構造となるという効果がある。
【００２７】
なお、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  可動電極                            ２  固定電極
９  別の可動電極                      １２  保持機構
１９  真空バルブ                        ６６  皿バネ
【図１】
2013251089.tif 000003
【図２】
2013251089.tif 000004
【図３】
2013251089.tif 000005
【図４】
2013251089.tif 000006
【図５】
2013251089.tif 000007
【図６】
2013251089.tif 000008
【図７】
2013251089.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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