(57)【要約】      （修正有）【課題】粉末を、プラズマコーティング装置のために供給する際に、粉末の特徴パラメータをチェックおよび監視すること。【解決手段】粉末１のための容器２、粉末１のための容器２をマーキングする方法、および、粉末１を使用する装置を開示する。少なくとも１つのＲＦＩＤチップ２０が容器２内に設けられる。ＲＦＩＤチップ２０は、容器２内の粉末１の物質特性に関する少なくとも一組のパラメータを格納する。それぞれ固有のキーが、それぞれの種類の粉末１に割り当てられる。容器２内に位置するＲＦＩＤチップ２０のデータは、容器２の外側に配置されたアンテナを介して、キーによって、読み、書き、更新が可能である。【選択図】図２
2013230871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉末を収納する容器であって、
前記容器内に設けられ、前記容器内の前記粉末の物質特性に関する少なくとも一組のパラメータを格納する少なくとも１つのＲＦＩＤチップと、
それぞれの種類の前記粉末に割り当てられるそれぞれ固有のキーであって、前記容器内に位置するＲＦＩＤチップ内のデータが、前記容器の外側に配置されたアンテナを介して、前記キーによって、読み、書き、更新が可能となっている前記キーと、
を備えることを特徴とする容器。
【請求項２】
前記ＲＦＩＤチップは、前記容器の底面または側面に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の容器。
【請求項３】
前記ＲＦＩＤチップは複数あって、
複数の前記ＲＦＩＤチップは、前記粉末内に均一に分散配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の容器。
【請求項４】
粉末を収納する容器をマーキングする方法であって、
少なくとも１つのＲＦＩＤチップを、それぞれの、前記粉末を収容する前記容器に割り当てるステップと、
前記容器内に前記粉末を充填するステップと、
製造業者による前記少なくとも１つのＲＦＩＤチップに対応するキーを呼び出し、前記粉末を使用する装置を使用するステップと、
前記容器の外側に配置されたアンテナを介して、前記キーによって、個々の一組のパラメータを用いて、前記容器内に含まれる少なくとも１つのＲＦＩＤチップのデータを、読み、書き、更新するステップと、
を実行することを特徴とする容器マーキング方法。
【請求項５】
前記個々の一組のパラメータは、前記粉末をとって前記容器を空にする間、読み、書き、更新される
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項６】
前記一組のパラメータは、前記粉末を使用する装置に関する設定値と、前記粉末を使用する装置の継続的な作業ステップのための設定値を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項７】
前記一組のパラメータは、前記粉末に関する製造バッチ証明と製造業者証明と、前記容器内の粉末の充填量を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項８】
前記一組のパラメータは、前記容器内の前記粉末の物質特性を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項９】
前記一組のパラメータは、前記容器内の粉末の残量であって、前記粉末を使用する装置内における前記容器を空にするプロセスの間に検出されて、前記ＲＦＩＤチップに書きこまれる粉末の残量である
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項１０】
前記一組のパラメータは、部分的に空になった容器を用いた前記粉末を使用する装置の新たな使用のために、吸引手段が、前記粉末の表面まで所定の距離、または、前記粉末の表面内の所定の深さで、調整装置によって移動できるように、前記容器内の粉末の表面を基準とする前記吸引手段の位置を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の容器マーキング方法。
【請求項１１】
粉末を使用する粉末使用装置であって、
前記粉末を収納する容器と、
前記容器から外に向けて前記粉末の表面から前記粉末を吸い上げ、前記粉末を搬送する吸引手段と、
前記容器に設けられる少なくとも１つのＲＦＩＤチップと、
前記容器の外側に設けられ、前記ＲＦＩＤチップとデータの送受信をする少なくとも１つのアンテナと、を備え、
前記粉末だけが、キーによって開放された前記装置内で使用される
ことを特徴とする粉末使用装置。
【請求項１２】
前記容器は、計量器の上に載っており、
前記アンテナは、前記計量器と一体とされている
ことを特徴とする請求項１１に記載の粉末使用装置。
【請求項１３】
前記ＲＦＩＤチップに存在するデータに基づいて、前記粉末の使用に関する単位時間ごとの前記粉末の要求量が自動的に調整されるような方法で、前記容器内の前記粉末の表面に対する前記吸引手段の位置決めをする調整装置が設けられている
ことを特徴とする請求項１１に記載の粉末使用装置。
【請求項１４】
前記粉末使用装置は、基板をコーティングする装置である
ことを特徴とする請求項１１に記載の粉末使用装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉末の容器（以下、粉末容器とも称する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
また、本発明は、粉末容器をマーキングする方法に関する。１つの可能な実施形態によれば、粉末はコーティング装置内で基板をコーティングするのに役立つ。
さらにまた、本発明は、粉末を使用する装置に関する。示される実施形態において、装置は、基板をコーティングすることに関して記述される。装置に対して用意されている容器がある。その容器はコーティングのために使われる粉末を収納する。さらにまた、容器内に配置され、容器から外に向けて粉末の表面から粉末を吸い上げるのに役立つ吸引手段がある。同様に、吸引手段は、容器から基板まで粉末を搬送する能力がある。容器は、容器から粉末を除去する間、一対の計量器の上に載っている。
【０００３】
粉末容器は、例えば、計量した量の微粒子粉末を、プラズマコーティングプロセスやプラズマコーティング装置のために供給するのに用いられる。このプロセスでは、粉末の搬送が停止可能なので、粉末の凝集や堆積を避けることが重要である。
【０００４】
未公開の国際特許出願ＰＣＴ／ＥＰ２０１２／０５４３４０は、粉末を運ぶ装置と方法を開示する。容器は粉末のために用意され、粉末は容器内の表面を明確にする。吸引手段は、表面から粉末を吸い上げるための吸引開口部を形成している。動作手段によって、吸引開口部が、粉末の表面に対して相対的に動く。その相対的な動きの間、粉末を吸い上げる。そのとき、その相対的な動きの速度は、粉末の一定量の流れが容器から基板まで起こるような方法で、変更可能である。
【０００５】
独国特許出願公開１０  ２０１０  ０１４  ５５２号公報は、コーティング液で基板の表面をプラズマコーティングするための方法を開示する。低温プラズマのプラズマビームは、基板の表面に向けられる。コーティング液は、キャリヤ流体と微粒子粉末から成る。塗料液は、均質化容器で均質化されて、ポンプ手段と測定システムによってプラズマに受け渡される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
欧州特許出願公開第２２８２１８４号公報は、容器から取り出される物質の充填レベルを監視するための容器を開示する。容器は、粉末を収納するのに適している。容器内の例えば容器の底面に付けられた少なくとも１つのＲＦＩＤチップがある。光学センサは、ＲＦＩＤチップに接続して用いられ、充填レベルを測定する。ＲＦＩＤチップを用いた物質特性のオプションについては開示されていない。
【０００７】
米国特許出願公開第２００６／０１３２３５１号公報は、少なくとも１つのＲＦＩＤチップが付けられる容器であって、粉末状の物質の充填レベルを監視するための容器を開示する。複数の異なる容器は、ＲＦＩＤチップが保持する識別番号を用いて、一組のパラメータに基づいて識別可能である。物質特性（少なくとも物質の識別と質に関する物質特性）の一組のパラメータは記述されている。しかし、これらのパラメータは、ＲＦＩＤチップに格納されておらず、その代わりにＲＦＩＤチップをともに用いた測定を通して決定される。容器の使用のために起動を可能にするキーは、開示されていない。
【０００８】
国際特許出願公開第２００５／００２９９２号パンフレットは、粉末を収納するのに適し、少なくとも１つのＲＦＩＤチップを備えている容器を開示する。ＲＦＩＤチップは、容器やその内容の識別のための一組のパラメータの製造業者によって、すでに提供されている。さらにまた、ＲＦＩＤチップは、容器の外側側面の分離ポケットに付けられる。容器の使用のために起動を可能にするキーは、開示されていない。
【０００９】
独国特許出願ＤＥ１０  ２００７  ０１３０９３Ａ１では、粉末を保管するための容器を用いて粉末を使用する装置が、開示されている。物質特性のための一組のパラメータを保持するＲＦＩＤチップの配置は、言及されていない。また、日本特許出願ＪＰ２００１−１３０は、容器内のＲＦＩＤチップの配置を開示していない。その出願は、単に容器から粉末を吸い上げることを開示しているにすぎない。
【００１０】
粉末を吸い上げることは、容器内に含まれる粉末の表面だけから起こることである。容器から基板の表面までの粉末の一定量の流れを実現するために、粉末の特定の品質基準が満たされることは、非常に重要である。粉末の品質基準は、容器から基板までの粉末の搬送を確実にするだけでなく、基板の表面に適用されるコーティングの品質にも影響する。粉末の搬送とコーティングの品質は、粉末粒子の量、サイズと、おそらく容器の汚染度に依存する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の目的は、粉末の特徴パラメータをチェックおよび監視する粉末容器であって、これらのパラメータが容器内に存在する粉末に変わることなく割り当てられるような粉末容器を提供することである。
【００１２】
この目的は、請求項１の特徴を備える粉末容器によって達成される。
【００１３】
本発明の更なる目的は、粉末容器をマーキングする方法を作成し、装置を扱う会社がこの粉末を使用することが安全であり、使われる粉末が特定の品質基準を満たすか、あるいは、粉末の使用のための装置とともに粉末の質的に十分に良い処理のために必要なパラメータが実現されることである。
【００１４】
上記目的は、請求項４の特徴を備える方法によって達成される。
【００１５】
本発明の更なる１つの目的は、装置に対して使われる粉末に関する特定の品質基準かパラメータが満たされるような、粉末使用のための容器を作製することである。さらにまた、その装置によって、粉末使用のための装置の設定がより簡単でより単純になる。
【００１６】
この目的は、請求項１１の特徴を備える粉末使用装置によって、達成される。
【００１７】
粉末容器は、本発明によって開示される。以下の説明では基板をコーティングするための粉末容器について言及するが、これは本発明を限定するものではない。その容器は、一般的な計測装置、計量装置、充填装置、混合装置などとして使用可能である。容器内に収納されている粉末の物質特性に対する少なくとも一組のパラメータを有する、容器内に与えられる少なくとも１つのＲＦＩＤチップがある。各タイプの粉末は、それぞれ固有のキーを割り当てられる。その固有のキーを有する、容器内のＲＦＩＤチップ内に含まれるデータは、容器外に配置されたアンテナを介して、読み、書き、および、更新が可能である。容器内に収納されている粉末に対する認証されたキーによって起動するパラメータを使って、オプションが、さらなる品質保証のために作成される。このように、粉末のユーザは、自分が質的に保証された粉末を使っていると確信できる。さらにまた、粉末を使用するための装置の製造業者に、保証された粉末だけが装置に使用できるという確証を与える。不具合があると、装置の製造業者は、認証されていない粉末が装置に用いられたかどうかを、非常に単純な方向で調べることができる。粉末データごとのパラメータは、例えば、装置内のメモリ装置内に格納される。
【００１８】
ＲＦＩＤチップは、容器の底面で金属粉末や導電粉末によって覆われたときや、金属粉末や導電粉末内に埋もれたときでも、機能する。
【００１９】
すでに述べたように、コーティング領域内に適切に取り付けられた容器は、使用できる可能性がある。コーティング装置としては、例えば、プラズマを使ったコーティングのための装置がある。これは、本発明を限定するものではない。
【００２０】
ＲＦＩＤチップは、容器の底面に取り付けることができる。さらにまた、ＲＦＩＤチップは、容器の側面に取り付けることができる。また、いくつかのＲＦＩＤチップが容器内の粉末の中に均一に分散配置されることも考えられる。これは、ＲＦＩＤチップが粉末の中で自由になめらかに動くことを意味する。粉末は、導電粉末でありえる。
【００２１】
本発明による方法は、粉末容器をマーキングするのに役立つ。粉末は、粉末を使うための装置で使用可能である。使用のための１つのオプションは、コーティング装置内の基板のコーティングである。以下の説明は基板をコーティングする方法に限定されているが、これは本発明による方法を限定するものではない。少なくとも１つのＲＦＩＤチップが、容器をマーキング／特定する方法のために、各々の容器に割り当てられる。一旦、この割り当てが完了されれば、粉末は容器に充填可能になる。複数のＲＦＩＤチップが粉末の中に均一に分散配置される場合、ＲＦＩＤチップは、粉末と共に混ぜられて、容器内に充填される。一旦、粉末とＲＦＩＤチップが容器内に配置されると、キーは、使用のために、または、基板をコーティング装置の製造業者によって、呼び出されるか要求される。キーは、例えば、中央データベース内で管理可能である。容器内に収納されている少なくとも１つのＲＦＩＤチップのデータは、容器の外側に配置されるアンテナを介して、個々の一組のパラメータを有するキーによって、読まれ、書かれ、そして、呼び出される。アンテナは、例えば、容器を囲む。ここでは、アンテナは送信機と受信機として設計可能である。
【００２２】
また、個々の一組のパラメータが、粉末をとって容器を空にしていくとともに、その粉末で基板をコーティングするプロセスの間に、読まれ、書かれ、更新されることは、ありえる。一組のパラメータは、ＲＦＩＤチップに保管されるコーティング装置の設定値を含むことができる。コーティング装置のこれらの設定値は、その装置の継続的な処理ステップのために使用可能である。一組のパラメータは、また、粉末に関する製造バッチ証明や製造業者証明を含んでもよい。一組のパラメータは、さらに、容器内に収納されている粉末の充填量を含んでいてもよい。それにより、後の処理ステップにおいて容器の再使用のための装置の設定をかなり単純化できる。一組のパラメータは、容器内に収納されている粉末の物質特性として選択してもよい。ここで、物質特性は、例えば、粉末の粒径分布や、その電気的特性や、製造の日付などである。一組のパラメータは、容器内に収納されている粉末の残量を表すこともできる。容器内に収納されている粉末の残量は、コーティング装置内で容器を空にするプロセスの間に作られ、更なる処理ステップのためにＲＦＩＤチップに書かれる。
【００２３】
一組のパラメータは、また、部分的に空になった容器内においてコーティング装置を再起動する場合に、吸引手段が、粉末の表面まで所定の距離、または、粉末の表面内の所定の深さで、調整装置によって動作するように、容器内に収納されている粉末の表面を基準にした吸引手段の位置や配置を含んでいてもよい。
【００２４】
装置の説明も、装置に基板をコーティング装置に言及する。装置が、任意のアプリケーションのための容器からの粉末が使われるすべての粉末容器のために、とりわけ使用可能であることは、当業者にとって自明である。以下の説明は、本発明の限定を意味するものではない。基板をコーティング装置は、コーティングのために使われる粉末容器に割り当てられる。さらにまた、その装置は吸引手段を備えている。吸引手段は、粉末の表面から容器の外側に粉末を吸い上げるのに役立つ。吸引手段は、また、容器から基板まで粉末を搬送するのに役立つ。容器は、吸引手段を用いて容器から粉末を除去する間、一対の計量器の上に載っている。容器自体は、ＲＦＩＤチップを備えていて、そして、少なくとも１つのＲＦＩＤチップからデータを読み込むこと、および／または、少なくとも１つのＲＦＩＤチップにデータを書くことのために、容器の外側に少なくとも１つのアンテナを備えている。もし、キーによって開放されていない装置内に粉末があったり、あるいは、粉末容器に割り当てられるＲＦＩＤチップがなかったりする場合は、キーによって認証されるＲＦＩＤチップ上のデータを使って、装置を停止させることもできる。
【００２５】
アンテナ自体は、一組の計量器と一体とすることができる。一組の計量器は、また、ＲＦＩＤチップをアンテナによって検知できるように、ちょうど、一組の計量器に割り当て可能である。
【００２６】
吸引手段が、基板をコーティングするための単位時間あたりの粉末の要求量が自動的にセット可能であるような方法で、容器内に存在する粉末の表面と比較してＲＦＩＤチップに存在するデータに基づいて配置可能であるように、装置は、調整要素を備えている。
【００２７】
望ましくは、カバー層内の吸引手段を使用して粉末を吸い上げることは、粉末の表面近くで起こる。０．０１〜１００μｍの粒径を有する微粒子粉末の表面近くをいつも吸い上げることによって、容器から基板まで同微粒子粉末を確実に搬送する。すでに述べたように、３軸システムは、相対的な動作の生成のための動作手段として使用可能である。この動作手段を使用して、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向で吸引手段の動きを生み出せる。このように、３軸システムを用いることにより、ＲＦＩＤチップにおけるデータに基づいて定められるＺ方向で吸引手段の位置決めを行うことができる。したがって、ＲＦＩＤチップに存在するデータによって、容器内に存在する粉末に対応する吸引手段を正確に設定できる。
【００２８】
したがって、このＺ方向の設定を使うことで、粉末の表面の下側の一定の深さに吸引手段を保つことができる。また、別の基板を同じ材料や粉末でコーティングするために、使用中の容器をコーティング装置で再び使う場合、吸引手段の吸引開口部の現在の位置の追跡や位置決めを実現することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
本発明について、図面に基づいて以下で更に詳細に説明する。図面は、以下の通りに示す。
【図１】粉末を搬送する装置を示す図である。ここで示される装置は、基板を粉末でコーティングするのに用いられる。微粒子粉末は容器によって基板まで運ばれる。
【図２】本発明による、ＲＦＩＤチップが容器の底面に付けられる容器の実施形態である。
【図３】本発明による、ＲＦＩＤチップが容器の側面に付けられる容器の更なる実施形態である。
【図４】本発明による、複数のＲＦＩＤチップが粉末の中に均一に分散配置される容器の更なる実施形態である。
【図５】粉末を使う装置の一部の略図である。ここでは、装置はコーティング装置であり、容器は一対の計量器の上に載っている。一対の計量器がそれに割り当てられたアンテナを有するか、あるいは、アンテナが一対の計量器と一体とされている。
【図６】本発明による、容器内にある粉末を特徴づけるためにそれぞれのデータがＲＦＩＤチップに割り当てられる方法のブロック図の略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１は、１００μｍ〜０．０１μｍの粒径を有する微粒子で非流動性の粉末１を用いるコーティング装置２００を表す。粉末１は、容器２内に保管される。容器２内の粉末１は、粉末１が吸引手段６を使用して容器２から取り出し可能である部分である表面３を形成する。吸引手段は、表面３全体から粉末を吸い上げるために、マルチ軸システム４１をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に使用して、移動可能である。第１の作業領域５１と第２の作業領域５２の間に形成された圧力差Δｐがある。圧力差Δｐに基づいて、粉末１は、容器２から、第２の作業領域５２に位置する基板３６の表面３５まで搬送可能である。
【００３１】
粉末１の表面３と基板３６の表面３５の間、または、第１の作業領域５１と第２の作業領域５２の間における圧力差Δｐを調節するための１つのオプションは、膜ポンプ１２で提供される。この場合、膜ポンプ１２は、吸引手段６によって吸引側部材１３に接続している。圧力線１６が、膜ポンプ１２の圧力側部材１５に取り付けられている。圧力線１６は、アーク放電を通して焦束されたプラズマビーム３２を生み出すためのビーム発生器３１と接続されている。ビーム発生器３１からのプラズマビーム３２は、出口部３４の領域内のノズル３３を通して粉末１を供給領域内に搬送するのに使われる。細かく分けられた粉末１は、プラズマビーム３２によって、コーティング３７として基板３６の表面３５上に分離される。ビーム発生器３１は、プラズマビーム３２を生成する内部のロッド形電極３８と、内部のロッド形電極３８を囲み、内部のロッド形電極３８から絶縁されているシースで覆われた電極３９とを備えている。ビーム発生器３１は、ノズル３３の反対側の開口部から流れる作業ガス４０を有する。
【００３２】
図２は、本発明で使われる粉末１を入れるための容器２の概略実施形態を表す。ＲＦＩＤチップ２０は、容器２の内部か底面４上に設けられている。粉末１は、容器２内に充填され、このように、容器２の底面４に取り付けられたＲＦＩＤチップ２０を覆う。ここでは、ＲＦＩＤチップ２０は、底面４に直接接着されるか、あるいは、底面４の上に直接置かれる。粉末が充填される前に、ＲＦＩＤチップ２０にカバー（保護カバーは不図示）を取り付けてもよい。
【００３３】
図３は、容器２の他の実施形態を表す。この場合、ＲＦＩＤチップ２０は、容器２の側面５に取り付けられる。この場合、図２の説明ですでに述べたように、ＲＦＩＤチップ２０に保護カバーをさらに取り付けてもよい。
【００３４】
図４は、容器２の更なる実施形態を表す。ここでは、粉末１が容器２内に充填される前に、粉末１は複数のＲＦＩＤチップ２０とすでに混ぜ合わせられている。複数のＲＦＩＤチップ２０は、ここで基本的に、粉末１内に均一に分散配置される。したがって、ＲＦＩＤチップ２０は、容器２内に存在する粉末１の中で自由に動く。
【００３５】
図５は、基板３６をコーティング装置２００の内の、粉末１を収納した容器２の概要の配置を表す。基板３６をコーティング装置２００は、容器２がその上に載る一対の計量器４２を備えている。図２〜４の説明ですでに述べたように、少なくとも１つのＲＦＩＤチップ２０が、容器２内に与えられる。容器２に割り当てられているアンテナ１０は、一対の計量器４２の上に載っている。ここでは、アンテナ１０は、一対の計量器４２と一体とされていてもよい。１つの更なるオプションは、アンテナ１０が容器２を囲み、一方、容器２が一対の計量器４２の上に置かれる、という態様でもよい。両方の可能な実施形態は、図５に示される。粉末１を吸い上げる間、容器２内の粉末１の質量Ｍを連続的に量ることによって、容器２内の粉末１の現在の質量Ｍを、このように決定可能である。そのようにして得られたデータは、電子ユニット４３に送られる。容器２内の粉末１の質量Ｍに関して一対の計量器４２を用いて最も正確な測定データを得るために、演算増幅器２６が、一対の計量器４２と電子ユニット４３の間に設けられる。特定のタイプの粉末１によるコーティング・プロセスが終わった場合、コーティング目的の特定のタイプの粉末１を再使用するために電子ユニット４３に格納された、または、ＲＦＩＤチップ２０に書かれたデータを使うことによって、装置２００のセットアップが行われ、粉末１のこの開放されたパッキング装置の再使用が可能となる。したがって、例えば、吸引手段が適切な距離に達して、粉末１の表面３より下の適切な深さに来るように、吸引手段をＺ方向に位置決めすることができる。したがって、コーティングのために必要とされるすべてのパラメータが設定されるように、自動的に装置２００を操作することができる。さらにまた、ＲＦＩＤに格納されたデータは、容器２からの粉末の搬送速度を設定するために再使用可能である。装置の設定は、異なるタイプの粉末１に対して、かなり単純化可能である。アンテナ１０によって、データは、ＲＦＩＤチップ２０から読み出されて、電子ユニット４３に送られる。電子ユニット４３は、続いて、基板３６をコーティング装置２００のそれぞれのセッティングを保証する。
【００３６】
図６は、粉末１に対して容器２をマーキングする方法の略図を表す。まず、粉末１を収納するのに適した各々の容器２に割り当てられる少なくとも１つのＲＦＩＤチップ２０がある。可能な限り広範な範囲の粉末タイプの粉末１が、様々な製造業者によって市販されている。粉末１は、続いて複数の容器２内に粉末１を充填する分配器３０に、送られる。ここでは、容器２が、おそらくすでにＲＦＩＤチップを取り付けられている点に、注意すべきである。つまり、ＲＦＩＤチップは常に容器２内に提供される。また、複数のＲＦＩＤチップ２０と粉末１を混ぜ合わせて、粉末１とＲＦＩＤチップ２０の混合物を容器２へ入れることもできる。分配器３０は、粉末１を使用する装置２００、または、基板３６をコーティング装置２００に関して、製造業者１００からキー２１を呼び出す。
【００３７】
基板３６のコーティング装置２００の以下の説明における限定は、本発明を限定するものではない。粉末１を使用する装置２００は、一般的な計量装置、計量システム、充填装置、混合装置などであればよい。したがって、それぞれの種類の粉末１に対して指定されるそれぞれ固有のキー２１がある。キー２１を使うことで、容器２内のＲＦＩＤチップ２０で利用可能なデータは、容器２の外側に配置されているアンテナ１０によって、個々の一組のパラメータで読まれ、書かれ、そして、更新される。キー２１を用いて分配器３０によって起動されるＲＦＩＤチップ２０は、基板３６をコーティングするコーティング装置２００に対応する容器２に入れられる。基板をコーティング装置２００は、通常、基板３６の最も広範囲にコーティングをする適切な装置操作者の建物に設置される。コーティング装置２００の一対の計量器４２は、また、定められたキー２１で開放された粉末１だけが装置２００で使用可能であるための、品質保証システムでもある。この効果のために、前記したように、一対の計量器４２は、アンテナ１０を取り付けられている。アンテナ１０は、送信機や受信機として設計可能である。
【００３８】
また、粉末１をとって容器２を空にする間、アンテナ１０を使って、ＲＦＩＤチップ２０における個々の一組のパラメータを読み、書き、更新することができる。ＲＦＩＤチップ２０に格納される一組のパラメータは、例えば、コーティング装置２００の値を設定することができる。また、設定値は、コーティング装置２００に関する処理ステップのために使用可能である。一組のパラメータは、粉末に関する製造バッチ証明や製造業者証明を含んでもよい。コーティング・プロセスの間に問題が起きる場合、製造業者１００によって特定された粉末１だけがコーティング作業のための装置２００に対して使われたことの証明が、単純な方法によって提供されることは必要である。もしこれが事実でないなら、コーティング装置を使用している会社は、非特定の粉末１か、非特定の粉末１を使った分配器３０を利用したのである。一組のパラメータのための更なる１つのオプションは、粉末１の物質特性である。物質特性は、例えば、粉末１内の個々の粒径の分布や、粉末１の密度、流動性、電気伝導度、化学組成などを含む。
【００３９】
図５の説明ですでに述べたように、容器２内の粉末１の残量を検出することもできる。粉末１の残量は、コーティング装置２００を空にするプロセスから計算する。したがって、容器に存在する残量は、ＲＦＩＤチップ２０に書きこむことができる。したがって、残量は、容器２内の粉末１の表面３の位置の指標となる。コーティング装置２００を用いて容器２を再利用するために、コーティング装置２００は、ＲＦＩＤチップ２０における利用可能なデータを用いることで、単純な方法で設定できる。ここで、装置２００の設定は完全に自動的に行われる。つまり、吸引手段は、粉末１の表面３を基準に所定の距離で、または、所定の深さで位置するような方法で、Ｚ方向に動かされる。したがって、コーティング装置２００のユーザが何もしなくても、粉末の量が異なる、ある程度の量が加えられる変化は個々の容器内で対応可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１      粉末
２      容器
３      粉末の表面
４      底面
５      側面
６      吸引手段
１０    アンテナ
１２    膜ポンプ
１３    吸引側部材
１５    圧力側部材
１６    圧力線
２０    ＲＦＩＤチップ
２１    キー
２６    演算増幅器
３０    分配器
３１    ビーム発生器
３２    プラズマビーム
３３    ノズル
３４    出口部
３５    表面
３６    基板
３７    コーティング
３８    ロッド形電極
３９    シースで覆われた電極
４０    作業ガス
４１    マルチ軸システム
４２    計量器
４３    電子ユニット
５１    第１の作業領域
５２    第２の作業領域
１００  製造業者
２００  コーティング装置
Δｐ    圧力差
【図１】
2013230871.tif 000003
【図２】
2013230871.tif 000004
【図３】
2013230871.tif 000005
【図４】
2013230871.tif 000006
【図５】
2013230871.tif 000007
【図６】
2013230871.tif 000008
【外国語明細書】
2013230871000001.pdf