(57)【要約】【課題】  誘導加熱式液体加熱方法、誘導加熱式液体加熱器、液体加熱システムの加熱効率を高める。【解決手段】  高周波発振器にマッチングトランスを介して接続される誘導コイルと発熱基体とケースを備え、発熱基体と誘導コイルはケース内に収容され、発熱基体に液体通路を設け、液体通路内に発熱コイルを配置し、ケースは供給口と排出口を備え、誘導コイルに高周波電流を供給すると発熱基体、金属製発熱コイル及び誘導コイルが発熱して液体が加熱されるようにした。フィンは帯状金属板を心材の外周に巻いたものでもよい。発熱コイルは液体通路の外周縁側に配置してもよい。発熱基体と誘導コイルの間に隔離パイプを配置し、液体が隔離パイプの内側に供給されるようにしてもよい。液体槽やポンプを設けて液体加熱システムとすることもできる。液体加熱システムには循環路を設けたり、供給制御手段を設けてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波誘導加熱により液体を加熱する方法において、液体内に入れた誘導コイルに、マッチングトランス（絶縁トランス）を介して高周波電流を供給して、前記液体内に入れてある誘導加熱式液体加熱器を誘導加熱して当該液体を加熱することを特徴とする誘導加熱式液体加熱方法。
【請求項２】
請求項１記載の誘導加熱式液体加熱方法において、誘導加熱式液体加熱器として、螺旋状のフィンとフィン間に設けられた螺旋状の液体通路を備え、金属製発熱コイルが前記液体通路内にその螺旋に沿って螺旋状に配置されたものを使用し、液体内の誘導コイルに高周波電流を供給して当該誘導コイル及び前記発熱基体及び金属製発熱コイルを発熱させ、その熱で前記液体を加熱することを特徴とする誘導加熱式液体加熱方法。
【請求項３】
高周波発振器にマッチングトランスを介して接続される誘導コイルと、当該誘導コイルに高周波電流を流すことによって発熱する発熱基体と、前記誘導コイルと発熱基体の双方を収容可能なケースを備え、前記発熱基体及び誘導コイルは前記ケース内に収容され、前記発熱基体は螺旋状のフィンと、フィン間に設けられた螺旋状の液体通路を備え、金属製発熱コイルが前記液体通路内にその螺旋に沿って螺旋状に配置され、前記ケースは、ケース内に液体を供給するための供給口と、ケース内で加熱された液体をケース外に排出するための排出口を備え、前記誘導コイルに高周波発振器から高周波電流を供給するとケース内の発熱基体、金属製発熱コイル及び誘導コイルが発熱して、前記液体通路及び前記ケース内を通過する液体又はそれらの内部に滞留する液体が加熱されるようにしたことを特徴とする誘導加熱式液体加熱器。
【請求項４】
請求項３記載の誘導加熱式液体加熱器において、フィンは帯状の金属板がパイプ状の心材の外周に螺旋状に巻かれて心材に固定されたものであることを特徴とする誘導加熱式液体加熱器。
【請求項５】
請求項３又は請求項４記載の誘導加熱式液体加熱器において、発熱コイルが液体通路の外周縁側に配置されたことを特徴とする誘導加熱式液体加熱器。
【請求項６】
請求項３乃至請求項５のいずれか１項記載の誘導加熱式液体加熱器において、発熱基体と誘導コイルは、両者の間に配置した隔離パイプで隔離し、供給口から供給される液体が当該隔離パイプの内側に供給されて加熱されるようにしたことを特徴とする誘導加熱式液体加熱器。
【請求項７】
液体槽と、その液体槽内の液体を加熱する誘導加熱式液体加熱器と、高周波発振器と、前記液体槽内の液体を前記誘導加熱式液体加熱器に供給するポンプを備え、請求項３乃至請求項６のいずれか１項記載の誘導加熱式液体加熱器を前記誘導加熱式液体加熱器としたことを特徴とする液体加熱システム。
【請求項８】
請求項７記載の液体加熱システムにおいて、誘導加熱式液体加熱器で加熱した液体を液体槽に戻し、その液体を前記誘導加熱式液体加熱器に循環させて再度加熱する循環式としたことを特徴とする液体加熱システム。
【請求項９】
請求項７又は請求項８記載の液体加熱システムにおいて、液体をケース内に連続供給する連続供給モードと間欠供給する間欠供給モードとに切換えるための供給制御手段を設けたことを特徴とする液体加熱システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高周波誘導加熱を利用して液体を加熱する方法と、誘導加熱式液体加熱器と、液体加熱システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体の加熱（加温）には各種加熱器が使用されており、その一つとして高周波誘導加熱を利用するもの（特許文献１、２）が知られている。
【０００３】
特許文献１記載の誘導加熱温水器は、誘導加熱を利用するものではあるが、水用の配管とガス用の配管を必要としたガス温水器の施工上の面倒を改善するものであり、誘導加熱による加熱効率の向上を目的とするものではない（段落番号：０００３、０００４）。
【０００４】
特許文献２の誘導加熱温水器は、誘導加熱を利用するものではあるが、従来は抑制の対象とされていたコイル外側の磁束を熱交換の対象として利用するものである（段落番号：００４０）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３０２７５５号公報
【特許文献２】特開平８−９４１７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の解決課題は、誘導加熱式液体加熱方法、誘導加熱式液体加熱器、液体加熱システムの加熱効率を高めることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の誘導加熱式液体加熱方法は、高周波誘導加熱により液体を加熱する方法において、液体内に入れた誘導コイルに、マッチングトランス（絶縁トランス）を介して高周波電流を供給して、前記液体内に入れてある誘導加熱式液体加熱器を誘導加熱して当該液体を加熱する方法である。
【０００８】
前記誘導加熱式液体加熱方法において、誘導加熱式液体加熱器として、螺旋状のフィンとフィン間に設けられた螺旋状の液体通路を備え、金属製発熱コイルが前記液体通路内にその螺旋に沿って螺旋状に配置されたものを使用し、液体内の誘導コイルに高周波電流を供給して当該誘導コイル及び前記発熱基体及び金属製発熱コイルを発熱させ、その熱で前記液体を加熱することができる。
【０００９】
本発明の誘導加熱式液体加熱器は、高周波発振器にマッチングトランスを介して接続される誘導コイルと、当該誘導コイルに高周波電流を流すことによって発熱する発熱基体と、前記誘導コイルと発熱基体の双方を収容可能なケースを備え、前記発熱基体及び誘導コイルは前記ケース内に収容され、前記発熱基体は螺旋状のフィンと、フィン間に設けられた螺旋状の液体通路を備え、金属製発熱コイル（以下「発熱コイル」という）が前記液体通路内にその螺旋に沿って螺旋状に配置され、前記ケースは、ケース内に液体を供給するための供給口と、ケース内で加熱された液体をケース外に排出するための排出口を備え、前記誘導コイルに高周波発振器から高周波電流を供給するとケース内の発熱基体、金属製発熱コイル及び誘導コイルが発熱して、前記ケース内を通過する液体又はその内部に滞留する液体が加熱されるようにしたものである。
【００１０】
本発明の誘導加熱式液体加熱器のフィンは、帯状の金属板がパイプ状の心材の外周に螺旋状に巻かれて心材に固定されたものとすることができる。誘導加熱式液体加熱器の発熱コイルは液体通路の外周縁側に配置するのが発熱効率の面から望ましい。
【００１１】
本発明の誘導加熱式液体加熱器の発熱基体と誘導コイルは、両者の間に配置した隔離パイプで隔離し、供給口から供給される液体が当該隔離パイプの内側に供給されて加熱されるようにすることもできる。
【００１２】
本発明の液体加熱システムは、液体槽と、その液体槽内の液体を加熱する誘導加熱式液体加熱器と、高周波発振器と、前記液体槽内の液体を前記誘導加熱式液体加熱器に供給するポンプを備え、前記誘導加熱式液体加熱器を前記誘導加熱式液体加熱器としたものである。
【００１３】
前記液体加熱システムは、誘導加熱式液体加熱器で加熱した液体を液体槽に戻し、その液体を前記誘導加熱式液体加熱器に循環させて再度加熱する循環式とすることもできる。
【００１４】
前記液体加熱システムには、液体をケース内に連続供給する連続供給モードと間欠供給する間欠供給モードとに切換えるための供給制御手段を設けることもできる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の誘導加熱式液体加熱方法は、次のような効果がある。
（１）誘導加熱式液体加熱器のみならず、誘導コイルも加熱する液体内に入れた（浸漬した）ので、液体が誘導加熱式液体加熱器と誘導コイルの双方で直に加熱され、加熱効率が向上する。
（２）誘導コイルにマッチングトランス（絶縁トランス）を介して高周波電流を供給するので、誘導コイルが液体内に浸漬されていても漏電の心配がない。
【００１６】
本発明の誘導加熱式液体加熱器には、次のような効果がある。
（１）発熱基体と発熱コイルのほか、自らも発熱する誘導コイルがケース内に収納されているため、ケース内の液体の加熱効率が飛躍的に向上する。
（２）誘導コイルにマッチングトランスを接続してあるため、液体と電源の絶縁を図ることができ、誘導コイルを液体内に浸漬しても漏電を起こす心配がない。
（３）発熱基体と誘導コイルの双方が液体に接触するため、発熱基体だけで加熱する場合に比べて、液体の加熱効率が高い。
（４）液体通路に発熱コイルが設けられているため、液体はその発熱コイルによっても加熱され、更に熱交換効率が向上する。
（５）螺旋状の液体通路に発熱コイルを収容する簡潔な構成であるため、制作もメンテナンスも容易である。
（６）発熱コイルを螺旋状のフィンのうち中心部側よりも高温になる外周縁側に設ければ、より効果的に熱交換を行うことができる。
（７）発熱基体と誘導コイルを隔離ケースで隔離した場合は、発熱基体と誘導コイルの接触が阻止され、誘導加熱が確実になる。
【００１７】
本発明の液体加熱システムには次のような効果がある。
（１）前記特徴を備える誘導加熱式液体加熱器を使用したシステムであるため、前記誘導加熱式液体加熱器と同様の効果がある。
（２）誘導加熱式液体加熱器で加熱された液体を液体槽に戻す循環路を設けて、液体槽に戻された液体を再加熱可能な循環式としたので、液体を必要温度まで昇温させることができる。
（３）連続供給モードと間欠供給モードとを切換えるための（供給方法を切り替えるための）供給制御手段を設けた場合、用途に応じてモード切り替え可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の液体加熱システムの一例を示す概略図。
【図２】（ａ）は本発明の誘導加熱式液体加熱器に用いる発熱基体の斜視図、（ｂ）はその平面図。
【図３】本発明の誘導加熱式液体加熱器の一例を示す分解斜視図。
【図４】本発明の誘導加熱式液体加熱器の一例を示す断面図。
【図５】本発明の誘導加熱式液体加熱器において、誘導コイルと発熱コイルを隔離ケースで隔離した場合の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（実施形態）
本発明の誘導加熱式液体加熱方法、誘導加熱式液体加熱器、液体加熱システムの実施形態の一例を以下に説明する。液体加熱システムの一例として図１に示すものは、液体槽Ｔと、その液体槽Ｔ内の液体Ｗを加熱する誘導加熱式液体加熱器１０と、前記液体槽Ｔ内の液体Ｗを前記誘導加熱式液体加熱器１０内に供給するポンプＰを備えている。
【００２０】
［誘導加熱式液体加熱方法］
本発明の誘導加熱式液体加熱方法は、高周波誘導加熱により液体Ｗを加熱する方法であり、図４、図５のようにケース１１内の液体Ｗ内に入れた誘導コイル１７に、マッチングトランス（絶縁トランス）ＭＴを介して高周波電流を供給して、前記液体Ｗ内に入れてある（浸漬されている）誘導加熱式液体加熱器１０を誘導加熱して当該液体Ｗを加熱するようにした方法である。
【００２１】
前記誘導加熱式液体加熱方法では、誘導加熱式液体加熱器１０として、図４、図５のように、螺旋状の発熱フィン５とこの発熱フィン５間に設けられた螺旋状の液体通路６を備え、金属製の発熱コイル２が前記液体通路６内にその螺旋に沿って螺旋状に配置されたものを使用し、液体Ｗ内の誘導コイル１７に高周波電流を供給して当該誘導コイル１７及び前記発熱基体１及び発熱コイル２を発熱させ、その熱で前記液体Ｗを加熱することができる。
【００２２】
［誘導加熱式液体加熱器］
誘導加熱式液体加熱器１０は発熱基体１と金属製の発熱コイル２を備え、それらが筒状のケース１１（図４）内に収容されている。発熱基体１は、図２に示すように、パイプ状の心材３の外周に帯状の金属板を螺旋状に巻き付けて固定した発熱フィン５の間に液体通路６が形成されている。発熱コイル２は細長のコイルであり、前記液体通路６内にその螺旋に沿って螺旋状に配置してある。発熱コイル２は少なくとも両端部を発熱フィン５に固定して不用意に液体通路６から外れないようにしてある。
【００２３】
前記発熱基体１には、例えば、勝川熱工株式会社製のAEROFIN TUBE（エロフィンチューブ）を用いることができる。このAEROFIN TUBEは、金属製パイプ（心材３）の外周に発熱フィン５を螺旋状に密着して巻いたものである。発熱基体１は各種サイズのものを使用することができる。また、心材３の外周に発熱フィン５を備えたものであれば、他社の物でも、新たに製作したものでも使用可能である。心材３の径、長さ、発熱フィン５の幅及び螺旋ピッチ等は用途に合わせて設計することができる。心材３、発熱フィン５にはステンレス、鉄、銅といった各種金属を使用することができる。
【００２４】
前記発熱コイル２には、市販の螺旋状のニクロム線のコイルを使用することができるが、螺旋状に巻いたコイルであれば他の金属製のコイルも使用でき、独自に製作することもできる。その線径、巻き径等は用途に合わせて設計することができる。ステンレス、金、銀、銅、アルミといった熱伝導率の高い他の材質製とすることもできる。
【００２５】
本発明の誘導加熱式液体加熱器１０は、図４のように発熱コイル２の外周に間隔をあけて誘導コイル１７を配置し、この誘導コイルに高周波電流を流すことにより、発熱基体１及び発熱コイル２に磁界が生じ、それらに渦電流が流れてそれらが発熱する。この場合、渦電流は表皮効果で表面に近いほど多く流れて発熱量が多くなり、発熱フィン５の外周縁（先端側）ほど多く流れるため、発熱コイル２を発熱フィン５の外周縁側（図２（ｂ）の箇所）に配置して発熱量が多くなるようにするのがよい。
【００２６】
図４に示す実施形態では、発熱基体１の外周に隙間をあけて誘導コイル１７を設けてあるが、図５に示すように発熱基体１の外周にＦＲＰ（繊維強化プラスチック）製の隔離パイプ１６を被せ、その隔離パイプ１６の外周に誘導コイル１７を設けることもできる。この場合、隔離パイプ１６は発熱基体１の外周に被せた際に、発熱コイル２の外周面と隔離パイプ１６の内面に隙間ができない程度の内径にすると、発熱コイル２が安定し型崩れしにくくなる。隔離パイプ１６はＦＲＰ以外の絶縁材製とすることもできる。
【００２７】
［ケース］
前記ケース１１は両端開口の本体９と、その上端を閉塞する上蓋２１と、その下端を閉塞する下蓋１２を備える。本体９は縦長筒状であり、内部空間に発熱基体１及びその外周に設けられる誘導コイル１７を収容できるようにしてある。この実施形態では、本体９をＦＲＰ（繊維強化プラスチック）製としてあるが、これ以外の絶縁材製とすることもできる。本体９と上蓋２１の間には上スペーサ２０が、本体９と下蓋１２の間には下スペーサ１５が設けられているが、両スペーサ２０、１５は設けなくてもよい。
【００２８】
前記上蓋２１及び下蓋１２は本体９を閉塞可能な円板状であり、下蓋１２にはポンプＰから供給された液体Ｗをケース１１内へ送り込むための供給パイプ２４が、上蓋２１にはケース１１内を通過して加熱された液体Ｗをケース１１の外部へ排出する排出パイプ２６が夫々突設されている。下蓋１２の上面には供給パイプ２４に連通する供給口２３が開口され、供給パイプ２４から供給された液体Ｗをケース１１内に送り込み可能としてある。上蓋２１の下面には排出パイプ２６に連通する排出口２５が開口され、ケース１１内で加熱された液体Ｗを排出パイプ２６を通じて外部に送り出せるようにしてある。上蓋２１と下蓋１２は共にＦＲＰ（繊維強化プラスチック）製であるが、これ以外の絶縁材製とすることもできる。
【００２９】
［誘導コイル］
前記誘導コイル１７は銅製のパイプ材であり、両端には電極端子２９が設けられている。電極端子２９にはマッチングトランス（絶縁トランス）ＭＴが接続されて誘導コイル１７と高周波発振回路のインピーダンスが整合（インピーダンスマッチング）するようにするのが、エネルギーの無駄がなく望ましい。本発明では、誘導コイル１７をケース内（液体Ｗ内）に入れることによって加熱効率を高めるようにしてある。誘導コイル１７を液体Ｗ内に入れた場合の漏電の危険を防止するため、一次側と二次側が絶縁されている前記マッチングトランス（絶縁トランス）ＭＴを接続することにより漏電を防止できるようにしてある。
【００３０】
高周波発振器３０には、例えば、富士電機株式会社製のＨＦＲ５．０Ｃ１１Ｋ−１（５ｋＷ、３０ｋＨｚ）を用いることができる。
【００３１】
［誘導加熱式液体加熱器の組立て］
本発明の誘導加熱式液体加熱器１０は、例えば図３に示すように構成されている。
（１）下蓋１２、下閉塞蓋１３の上方に突出している軸棒１４に下スペーサ１５を被せて、下蓋１２の外周に下スペーサ１５を嵌合してある。
（２）前記軸棒１４の外周に樹脂製の円筒状の本体９を被せて本体９の下端９ａを下スペーサ１５の上周縁１５ａに被せてある。
（３）本体９内にその上方から誘導加熱式液体加熱器１０を入れて、心材３の下端部３ａを前記下閉塞蓋１３の外周に被せてある。誘導コイル１７を本体９内に入れ、本体９と誘導加熱式液体加熱器１０の間に配置してある。
（４）前記誘導加熱式液体加熱器１０の心材３の上端に上閉塞蓋１８を被せてある。この場合、心材３内を貫通する軸棒１４の上端部を上閉塞蓋１８の貫通孔１９に差し込んで上方まで突出させてある。
（５）本体９の上開口部内に上スペーサ２０を入れて上閉塞蓋１８に被せてある。このとき、軸棒１４の上端部を上スペーサ２０の上に突出させ、上スペーサ２０の上から、ケース１１の上方開口部に上蓋２１を被せ、その中心孔２１ａに軸棒１４を通して上方に突出させ、軸棒１４にナット２２を螺合して上蓋２１を本体９に固定してある。誘導コイル１７の上方にある電極端子２９は上蓋２１の挿通孔３２に通して上蓋２１の上方に突出させ、支持板３１上に載置されたマッチングトランスＭＴに接続してある。
【００３２】
［液体槽］
図１に示す液体槽Ｔは加熱したい液体Ｗや、加熱した液体Ｗを貯留するためのものである。この実施形態では、縦４００ｍｍ×横６００ｍｍ×高さ４００ｍｍのものを使用しているが、液体槽Ｔはこれより大きくても小さくてもよい。
【００３３】
［ポンプ］
図１に示すポンプＰは液体槽Ｔ内の液体Ｗを吸い上げ、誘導加熱式液体加熱器１０内に送り込むためのものである。この実施形態では毎分６５リットルの供給能力を有する株式会社荏原製作所製の２５ＳＣＤ６．２５を使用しているが、ポンプＰは用途に応じて最適なものを選択することができる。
【００３４】
［流量調節コック］
図１に示す流量調節コック３３は誘導加熱式液体加熱器１０内に送り込む液体Ｗの流量を調節するためのものであり、既存のものを用いることができる。液体Ｗの流量は電磁的に調節できるようにしてもよい。
【００３５】
［循環路］
本実施形態では、ポンプＰで吸い上げた液体ＷをポンプＰ内に導入する導入通路Ｒ１と、ポンプＰ内に導入された液体Ｗを誘導加熱式液体加熱器１０に送り込む送出通路Ｒ２と、誘導加熱式液体加熱器１０内で加熱された液体Ｗを誘導加熱式液体加熱器１０外に送り出す循環路Ｒ３を備えている。これら通路や循環路には既存のホースやパイプを用いることができる。
【００３６】
［温度センサ］
図１に示す温度センサ２７は、誘導加熱式液体加熱器１０を通過する前後の液体Ｗの温度を測定するためのセンサであり、例えば、富士電機株式会社製の熱電対温度計（ＰＸＲ９ＴＥＹ１−０Ｙ０００）を使用することができる。
【００３７】
［流量センサ］
図１に示す流量センサ２８は、誘導加熱式液体加熱器１０内に供給される液体Ｗの流量を測定するための電磁式のセンサであり、例えば、株式会社キーエンス製のＦＤ−ＭＨ５０Ａなどを使用することができる。
【００３８】
［供給制御手段］
図示していないが、本発明の液体加熱システムには、液体Ｗをケース１１内に連続供給する連続供給モードと、間欠供給する間欠供給モードとを切換えるための（供給方法を切り替えるための）供給制御手段（切り替え手段）を設けこともできる。
【００３９】
（使用例）
本発明の誘導加熱式液体加熱器１０と液体加熱システムの使用例について、図１を参照して説明する。この使用例は、本発明の誘導加熱式液体加熱器１０を液体加熱システムに用いて液体（水）Ｗを加熱する場合の例である。
【００４０】
本発明の誘導加熱式液体加熱器１０は、例えば次のように使用する。
（１）ケース１１内に配置された誘導コイル１７に高周波発振器３０から高周波電流を供給する。これにより、発熱基体１及び発熱コイル２に磁界が生じ、それらに渦電流が流れて発熱基体１及び発熱コイル２が発熱する。
（２）液体槽Ｔ内の液体ＷをポンプＰで誘導加熱式液体加熱器１０内に送り込む。液体Ｗを誘導加熱式液体加熱器１０内に送り込む際には、流量調節コック３３で、液体Ｗの送り込み量を調整することができる。
（３）誘導加熱式液体加熱器１０内に送り込まれた液体Ｗは、ケース１１内に収容された発熱基体１の液体通路６やケース１１内の空間を通って排出口２５に向けて流れ、その間に発熱基体１、発熱コイル２及び誘導コイル１７の熱によって加熱される。
（４）ケース１１内を通過して加熱された液体Ｗは排出口２５から排出パイプ２６へ送り出されて液体槽Ｔに戻される。加熱された液体Ｗは直接蛇口から排出したり床下に配設された床暖房用のパイプ内や農業用ハウスに供給したりすることもできる。
【００４１】
前記使用例は本発明の使用形態の一例であり、これ以外の方法によって使用することもできる。例えば、液体Ｗを任意の時間ケース内に滞留させた状態で加熱することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明の誘導加熱式液体加熱器１０及び液体加熱システムは、温泉施設の追い焚き用の誘導加熱式液体加熱器や床暖房器具用の誘導加熱式液体加熱器、その他各種工業製品の誘導加熱式液体加熱器としても使用することもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１      発熱基体
２      発熱コイル
３      心材
３ａ    （心材の）下端部
５      発熱フィン
６      液体通路
９      本体
９ａ    （本体の）下端
１０    誘導加熱式液体加熱器
１１    ケース
１２    下蓋
１３    下閉塞蓋
１４    軸棒
１５    下スペーサ
１５ａ  上周縁
１６    隔離パイプ
１７    誘導コイル
１８    上閉塞蓋
１９    貫通孔
２０    上スペーサ
２１    上蓋
２１ａ  中心孔
２２    ナット
２３    供給口
２４    供給パイプ
２５    排出口
２６    排出パイプ
２７    温度センサ
２８    流量センサ
２９    電極端子
３０    高周波発振器
３１    支持板
３２    挿通孔
３３    流量調節コック
Ｐ      ポンプ
Ｒ１    導入通路
Ｒ２    送出通路
Ｒ３    循環路
Ｔ      液体槽
ＭＴ    マッチングトランス
Ｗ      液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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