(57)【要約】【課題】ＳＴＥＭ観察において、固体と液体試料の界面を１０ｎｍ以上の高分解能で観察するためには、液中の散乱を抑えた液体試料観察用の試料ホルダが必要である。【解決手段】互いに独立した三段の入れ子構造のＳＴＥＭ観察用ホルダにおいて、初段の内部構造が、上下二枚のシリコン基板の内側に窒化シリコン膜、酸化シリコン膜の順に積層した膜であり、酸化シリコン膜同士の間に高さ２００ｎｍ以下のスペーサを設け、そのスペーサが観察部の液体試料と接合用の封止樹脂を分離させ、かつ高分解能観察に必要な狭ギャップを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気中で液体試料に電子線を照射して観察する電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、
前記液体試料を挟み込む一対の基板と、該一対の基板に設けられた電子線透過用の窓と、前記一対の基板間の前記窓を囲む位置に設けられた前記液体試料を注入する枠体と、前記一対の基板間の前記枠体の外側に塗布充填されて前記一対の基板と枠体を接着すると共に前記液体試料を前記枠体内に封止する封止樹脂とを有し、前記液体試料と接する前記一対の基板表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜を形成したことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記一対の基板はシリコン基板から形成されたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項３】
請求項１または２に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記酸化シリコン膜の厚さを１ｎｍ〜１０ｎｍとしたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項４】
請求項１または２に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記窒化シリコン膜の厚さを１ｎｍ〜５０ｎｍとしたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記試料ホルダの積層順序が、窒化シリコン膜／酸化シリコン膜／液体試料／酸化シリコン膜／窒化シリコン膜の順であることを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記一対の基板における前記二組の窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜の合計厚さを６０ｎｍ〜１００ｎｍとしたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記一対の基板に挟まれた前記枠体の高さを１ｎｍ〜１０，０００ｎｍとしたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項８】
請求項７に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、前記一対の基板に挟まれた前記枠体の高さを１ｎｍ〜２００ｎｍとしたことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダを固定する収納容器を設け、該収納容器を前記電子顕微鏡に設けた試料セルホルダに着脱自在に固定したことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項１０】
請求項９に記載された電子顕微鏡において、前記収納容器は銅または銅合金からなることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項１１】
液体試料を挟み込む一対の基板と、前記一対の基板に設けられた電子線透過用の窓と、前記一対の基板間の前記窓を囲む位置に設けられた枠体と、前記一対の基板間の前記枠体の外側に封止されて前記一対の基板と枠体を接着すると共に前記液体試料を前記枠体内に封止する封止樹脂とを有し、前記液体試料と接する前記一対の基板表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜を形成した、真空雰囲気中で液体試料を観察する電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、
上下２層の基板を設け、下側基板の表面に一定高さを有する閉鎖領域をもつ前記枠体を形成し、該枠体内に前記液体試料を注入し、前記枠体の外周に前記封止樹脂を塗布して前記上下２層の基板と前記枠体を接着して前記液体試料を封止したことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、前記電子線透過用の窓は、前記基板表面に窒化シリコン膜を形成し、次いで該窒化シリコン膜の上に前記酸化シリコン膜を形成し、さらに基板裏面を除去して表面に前記窒化シリコン膜と前記酸化シリコン膜の２層を残して形成したことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載された電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、前記枠体の形成は、前記基板の前記酸化シリコン膜表面にＦＩＢ加工方法によりタングステンからなる枠体を積層形成したことを特徴とする電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として、走査透過型電子顕微鏡に用いられる液体試料観察用の試料ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体事業分野における基板の微細な鍍金配線などの電気化学的反応、および電気自動車用電池の化学反応を原子レベルで精密に調査することは、開発中の関連技術にとって必須の課題となってきている。特に、自動車産業ではグリーン環境への対応として、脱化石燃料が急務の課題である。
【０００３】
電気自動車の実用化に当たっては高出力および高信頼性等の電池材料の性能向上が課題であるが、その課題解決には現用の材料を使用するだけでは限界がある。そのため、正極および負極材料にナノレベルの原子配列を制御した部材を開発する必要がある。
【０００４】
材料特性および電池セル構造での性能検査を行うためには、従来の手法として、電池性能評価後に破壊して部材を電子顕微鏡を用いて観察してきた。しかし、より正確な性能検査には電気化学的なイオンの動きをその場で観察する必要がある。そのためには、電子顕微鏡のホルダの中で、原子が正極と負極の間を移動し、正極または負極に到達後に拡散もしくは浸透してゆく電気化学的挙動を観察する手法が必要不可欠になる。
【０００５】
そこで従来は、例えば図７に示す様に、表面に窒化シリコン膜１４を形成した一対のシリコン基板１１を真空雰囲気中に設け、基板１１にケミカルエッチング等により電子線ＥＢ透過用の窓１２を形成して基板１１の間に液体試料１５を流入させ、これに電子線ＥＢを照射して電子顕微鏡で観察していた。
【０００６】
また、金属の接合に用いられるハンダ用ナノ粒子の接合形態も、真空中では不可能な反応を大気雰囲気で観察する必要がある。
【０００７】
また走査透過型電子顕微鏡に用いられる液体試料観察用の試料ホルダとしては、従来種々の改良工夫が提案されている。例えば特許文献１には、試料から電気的信号を取り出して観察を行う電子顕微鏡において、試料交換の際に良好な電気的接続を得て、交換作業が容易に行え、試料ホルダの厚みを薄くし、電荷蓄積による観察像のドリフトを回避できる試料ホルダを実現するため、試料を試料台に押止する押止部材と電圧印加する端子を共用し、試料台の片面を絶縁コーティングする構成が開示されている。
【０００８】
また、特許文献２には、透過電子顕微鏡等を用いた試料観察において、試料ホルダを交換すること無く加熱／電圧印加を行って試料の変化を観察することにより、大気中での試料交換時の試料への汚れ等の付着や破損のない試料ホルダを提供するため、試料ホルダに加熱手段が設置された構成が開示されている。
【０００９】
また、特許文献３には、試料を２軸傾斜ホルダへ容易に配置できる試料ホルダを提供するため、チップオンカートリッジは取付部とシャトルから構成され、取付部の一端は導入部の先端に取り付けられシャトルは取付部の他端に各々着脱可能に取り付けられた試料ホルダの構成が開示されている。
【００１０】
また、特許文献４には、２軸傾斜可能で、部品同士のカジリ等による動作不良が無く、試料位置再現性の高い隔膜型ガス雰囲気試料ホルダを提供する構成が開示されている。隔膜型ガス雰囲気試料室を有するシーリングブロックは一対のＹ回転軸と軸受けにより支えられている。ガスの流路となるガス供給側管、 ガス排出側管、隔膜型ガス雰囲気試料室内部は、ゴムＯリングによって真空との気密を保持され、シーリングブロックはＹ軸を中心にして真空との気密を保ったまま傾斜動作する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２６３９６９号公報
【特許文献２】特開２００４−０２２１９２号公報
【特許文献３】特開２００５−２９３８６５号公報
【特許文献４】特開２００９−１１７１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
一般に、電子顕微鏡の真空チャンバ内で液体試料を保持するためには、サンプルホルダの液体試料接触部の膜に十分な強度が必要である。膜の厚さが厚いほど強度は向上するが、膜材料による電子線の吸収が大きくなるため、膜が厚くなるほど電子線のビーム強度が低下して分解能の高い観察には不適当になる。また、膜表面と液体試料との濡れ性が悪いと、液体試料が前記膜からはじかれて球を形成するため、サンプルホルダ内部に液体試料がうまく納まらなくなる。したがって、これらの課題を解決する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、真空雰囲気中で液体試料に電子線を照射して観察する電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、液体試料を挟み込む一対の基板と、一対の基板に設けられた電子線透過用の窓と、一対の基板間の窓を囲む位置に設けられた液体試料を注入する枠体と、一対の基板間の枠体の外側に封止されて一対の基板と枠体を接着すると共に液体試料を枠体内に封止する封止樹脂とを有し、液体試料と接する一対の基板表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜を形成したことを特徴とする。
【００１４】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、一対の基板はシリコン基板から形成されたことを特徴とする。
【００１５】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、酸化シリコン膜の厚さを１ｎｍ〜１０ｎｍとしたことを特徴とする。
【００１６】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、窒化シリコン膜の厚さを１ｎｍ〜５０ｎｍとしたことを特徴とする。
【００１７】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、試料ホルダの積層順序が、窒化シリコン膜／酸化シリコン膜／液体試料／酸化シリコン膜／窒化シリコン膜の順であることを特徴とする。
【００１８】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、一対の基板における二組の窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜の合計厚さを６０ｎｍ〜１００ｎｍとしたことを特徴とする。
【００１９】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、一対の基板に挟まれた枠体の高さを１ｎｍ〜１０，０００ｎｍとしたことを特徴とする。
【００２０】
また、電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、一対の基板に挟まれた枠体の高さを１ｎｍ〜２００ｎｍとしたことを特徴とする。
【００２１】
さらに、電子顕微鏡の液体試料ホルダを固定する収納容器を設け、収納容器を電子顕微鏡に設けた試料セルホルダに着脱自在に固定したことを特徴とする。
【００２２】
さらに、電子顕微鏡において、液体試料ホルダの収納容器は銅または銅合金からなることを特徴とする。
【００２３】
さらに、液体試料を挟み込む一対の基板と、一対の基板に設けられた電子線透過用の窓と、一対の基板間の窓を囲む位置に設けられた枠体と、一対の基板間の枠体の外側に封止されて一対の基板と枠体を接着すると共に液体試料を枠体内に封止する封止樹脂とを有し、液体試料と接する一対の基板表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜を形成した、真空雰囲気中で液体試料を観察する電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、上下２層の基板を設け、下側基板の表面に一定高さを有する閉鎖領域をもつ枠体を形成し、枠体内に液体試料を注入し、枠体の外周に封止樹脂を塗布して上下２層の基板と枠体を接着して液体試料を封止したことを特徴とする。
【００２４】
さらに、電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、電子線透過用の窓は、基板表面に窒化シリコン膜を形成し、次いで窒化シリコン膜の上に酸化シリコン膜を形成し、さらに基板裏面を除去して表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜の２層を残して形成したことを特徴とする。
【００２５】
さらに、電子顕微鏡の液体試料ホルダの製造方法において、枠体の形成は、基板の酸化シリコン膜表面にＦＩＢ加工方法によりタングステンからなる枠体を積層形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、  真空雰囲気中で液体試料に電子線を照射して観察する電子顕微鏡の液体試料ホルダにおいて、液体試料を挟み込む一対の基板と、一対の基板に設けられた電子線透過用の窓と、一対の基板間の窓を囲む位置に設けられた枠体と、一対の基板間の枠体の外側に封止されて一対の基板と枠体を接着すると共に液体試料を枠体内に封止する封止樹脂とを有し、液体試料と接する一対の基板表面に窒化シリコン膜と酸化シリコン膜を形成したことにより、高分解能を可能にする狭ギャップで、封止樹脂の観察液体試料および酸化シリコン膜観察窓の汚染のない試料ホルダを作製することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施例における液体試料ホルダを示す断面構成図。
【図２】本発明の実施例における液体試料ホルダの概略構成図。
【図３】本発明の実施例における枠体構造のＳＥＭ画像。
【図４】本発明の実施例における試料ホルダ下部の概略構成図。
【図５】本発明の実施例における液体試料セルホルダの全体概略構成図。
【図６】本発明の図１の実施例における液体試料のＳＴＥＭ画像およびＥＤＸ元素分析結果を示す説明図。
【図７】従来例の走査透過型電子顕微鏡における液体試料観察部を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、電子顕微鏡用液体試料ホルダにおいて、中央に観察用の窓が形成された一対のシリコン製等の基板を用い、シリコン基板の観察用の窓部を被う窒化シリコン膜と、窒化シリコン膜の表面を覆う酸化シリコン膜とを形成し、酸化シリコン膜表面に枠体を形成し、枠体の内側に観察用液体試料を注入し、二枚のシリコンホルダを封止樹脂で接合して形成され、以下の点を特徴とする。
（１）試料ホルダはシリコン基板二枚で液体試料を挟む構造である。
（２）二枚のシリコン基板とも中央に電子線が通過する窓が開いており、窓は窒化シリコン膜で覆われている。窒化シリコン膜の膜厚は５０ｎｍ以下が望ましい。
（３）窒化シリコン膜の表面は酸化シリコン膜で覆われており、向かい合った酸化シリコン膜の間に枠体が挟持されている。酸化シリコン膜の膜厚は１０ｎｍ以下が望ましい。
（４）観察用の液体試料は上下を酸化シリコン膜に接し、周囲を枠体の内周に接している。高分解能を実現する場合は、枠体の高さは２００ｎｍ以下が望ましい。
（５）接着用の封止樹脂は上下を酸化シリコン膜に接し、周囲を外気に接し、内部を枠体の外周に接している。
【００２９】
以下に本発明を実施例について説明する。
【実施例】
【００３０】
図１は実施例１を示す試料ホルダの本体側面から見た断面図である。ここで１０は試料ホルダを示し、１１は上下一対のシリコン基板、１２はシリコン基板の中央部に形成された電子線ＥＢ透過用の窓である。
【００３１】
シリコン基板１１の表面には、窒化シリコン膜１３及び酸化シリコン膜１４が形成されている。シリコン基板１１の表面に窒化シリコン膜１３をＣＶＤ等で形成した後、表面を酸化させて親水性の酸化シリコン膜１４を形成した後、母材のシリコン基板１１をケミカルエッチング等で穿孔除去して直径１００μｍ程度の窓１２を形成する。
【００３２】
１５は観察用液体試料、１６は枠体、および１７は封止樹脂である。枠体１６内に観察用液体試料１５を注入し、封止樹脂１７で上下一対のシリコン基板１１を接着して観察用液体試料１５を封止する。
【００３３】
電子線ＥＢは上部シリコン基板１１の窓１２から入射し、窒化シリコン膜１３と酸化シリコン膜１４を透過して、液体試料１５を照射し、再び下部シリコン基板１１の酸化シリコン膜１４と窒化シリコン膜１３を順次通過して下部の窓１２から出射する。
【００３４】
この試料ホルダは、図１において液体試料部分を通る水平軸に対し上下に線対称の幾何形状をしているため、液体試料１５中心の水平軸から見て、上下が逆であっても電子線通過順序は同様である。
【００３５】
電子線ＥＢは常にこの枠体１６に接触せず、枠体１６の内側のみを透過してゆく。枠体１６は液体試料１５と封止樹脂１７の間に存在し、液体試料１５と封止樹脂１７を明確に分離して、お互いの液体試料が侵入して混ざり合うことを防止する。このことは、窓１２から入射する電子線ＥＢが窒化シリコン膜１３、酸化シリコン１４、液体試料１５を透過する領域において、液体試料１５と直接接する親水性の酸化シリコン膜１４表面への封止樹脂１７による汚染を防止できる。すなわち、酸化シリコン膜１４表面上の封止樹脂１７が、液体試料１５の電子顕微鏡での観察の妨げになることを防止する効果を有する。
【００３６】
また、電子線ＥＢは窒化シリコン膜１３及び酸化シリコン膜１４、液体試料１５を透過するたびに電子線ＥＢを吸収されるため、ビーム強度はその厚さの関数として、厚くなるほど減衰してゆく。したがって、上下に設けたシリコン基板１１における窒化シリコン膜１３及び酸化シリコン膜１４のトータルな厚さとしては６０乃至１００ｎｍであることが望ましい。すなわち、一枚のシリコン基板１１における窒化シリコン膜１３及び酸化シリコン膜１４の厚さは３０乃至５０ｎｍであることが望ましい。窒化シリコン膜１３は窓１２に主に強度を与え、酸化シリコン膜１４は窓１２に撥水性を与える。さらに上記複合膜により、真空雰囲気中の液体試料のもつ大気圧に耐える強度を実現する。
【００３７】
また、液体試料１５は、一般に１０μｍ以下が望ましく、１０ｎｍを超える高分解能化のためには２００ｎｍ以下の厚さが望ましい。これ以上の厚さではラザフォード散乱により分解能が著しく低下する。
【００３８】
次に、図２を用いて、枠体構造について説明する。試料ホルダ１０は、上下に面対称な二枚の基板を用意する必要があるが、枠体１６の形成については、下側の基板１１を用いて酸化シリコン膜１４が上部表面を向くように置く。電子線透過領域に接触しない十分離れた位置に、枠体１６を電子線透過領域を囲むように設ける。枠体１６の高さが液体試料１５の厚さになるため、高分解能像を得るためには枠体１６の高さが低いほど高分解能化する。したがって、枠体１６の高さを制御することが試料ホルダ１０の分解能を制御することになる。
【００３９】
図２で示した枠体構造を、酸化シリコン膜１４上に作製したときのＳＥＭ像を図３に示す。酸化シリコン膜１４上にＦＩＢ（Focused Ion Beam）装置を用いて、ＷＣＯガス６をＦＩＢの真空チャンバ内に導入し、Ｇａイオン照射でＷＣＯガスを分解することによって
６ＷＣＯ→Ｗ＋６ＣＯ
反応によって固体になるタングステン（Ｗ）を用いて、Ｗ製の枠体１６を酸化シリコン膜１４上に形成した。したがって、図３のＳＥＭ像は図２の枠体構造の具体例である。図３のＳＥＭ像は枠体の厚さおよび高さの均一性を確認するため、４５°傾斜させて側壁を露出させた。ＦＩＢを用いた枠体１６の形成結果では、枠体１６の壁の厚さおよび高さにばらつきの少ない、健全な枠体構造が得られた。
【００４０】
図４に試料ホルダ１０の積層構造を示す。前に述べたように試料ホルダ１０は上下二枚の基板に分かれており、図４にしめす下側のシリコン基板１１を酸化シリコン膜１４を最上面にして載置し、その上に枠体１６を形成しその内部に液体試料１５を注入した。液体試料１５は枠体１６の効果で外部に溢れることなく留まった。
【００４１】
次いで、上下二枚のシリコン基板を接合するために封止樹脂１７を枠体１６の外周に接するように塗布充填した。この状態での試料セルの積層順序は上から封止樹脂１７、酸化シリコン膜１４、窒化シリコン膜１３、シリコン基板１１の順である。
【００４２】
試料ホルダ１０の作製には、図４で準備した積層シリコン基板の上に、上からシリコン基板１１、窒化シリコン膜１３、酸化シリコン膜１４の順に積層した基板を被せて、軽く圧力をかけて圧迫したまま封止樹脂１７を固化させた。試料ホルダ１０に電子線ＥＢを透過させて液体試料１５を観察するためには、上下二枚の１１シリコン基板の窓１２の位置が合致していなければならない。そのために、電子線ＥＢの代わりに可視光を用いた光軸の確認を行った。すなわち、ＬＥＤの可視光を用いて下部から試料ホルダ１０の二個の窓１２を光が透過する面積が十分な大きさであることを確認した。
【００４３】
図５に液体試料セルホルダ全体の構造の実施例を示す。試料ホルダ１０は収納容器２０の底部２３に、試料ホルダ１０の窓１２と収納容器底部２３に開けた穴２２とが、お互いに電子線ＥＢを透過させる妨げにならない位置に設置された。両者の固定は、接着樹脂を用いて試料ホルダ１０の外周部と収納容器２０の底部２３とを接合する方法を用いた。
【００４４】
試料ホルダ１０と収納容器２０を接着樹脂で接合した後、液体試料セルホルダ３０に載置した。液体試料セルホルダ３０は、セルホルダ底部３１に収納容器２０を固定する図示しない座金を設けてある。したがって、電子線ＥＢが透過する光軸は、試料ホルダ１０の窓１２、収納容器２０の穴２２および液体試料セルホルダ３０の穴３２を通過することができ、穴どうしはお互いにその面積を減少させる妨げにはならない。
【００４５】
ＳＴＥＭ（Scanning Transmission Electron Microscope）観察、およびＥＥＬＳ（Electron Energy Loss Spectroscopy）またはＥＤＸ（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）による元素分析を行うためには、試料ホルダ１０、収納容器２０、および液体試料セルホルダ３０の三パーツを順次積み上げた構造になっている。試料ホルダ１０及び収納容器２０と液体試料セルホルダ３０は、互いに分離独立しているため液体試料１５の交換が容易であり、ＳＴＥＭ観察などによる電子ビーム照射時に外部から付着するコンタミネーションなどの汚染後、新規の試料ホルダ１０及び収納容器２０に交換することが容易であるため、汚染されていない液体試料１５を用いることが出来る。したがって、常に汚染の無い液体試料１５を用いたＳＴＥＭ観察およびＥＥＬＳまたはＥＤＸ分析が可能となった。
【００４６】
図６は、本実施例のＳＴＥＭ観察によるＡｕナノ粒子画像、およびＥＤＸによるナノ粒子および液体試料の元素分析結果を示す。
【００４７】
Ａｕナノ粒子は直径が約１０ｎｍの白色粒子で示されており、その粒子間距離の計測可能な分解能は約１ｎｍと高い性能を示した。
【００４８】
液体試料の存在を検証するのにＨ２Ｏ分子のＥＥＬＳスペクトルから判断することが困難であったため、ＥＤＸを用いた。ＥＤＸではＨのスペクトルは計測不可能であり、Ｏは酸化シリコン膜１４にも含まれるため断定することができない。そこで、塩化リチウム（ＬｉＣｌ）の飽和水溶液を作製し、そこに含まれる塩素（Ｃｌ）のスペクトルによって液体試料の存在を確認した。測定はナノ粒子および液体試料について二か所づつ実施して、ナノ粒子がＡｕであり、液体試料中のＬｉＣｌに由来するＣｌがどちらにも存在することを検証した。このように、試料ホルダ１０中の液体試料１５は、液体試料セルホルダ３０を用いてＳＴＥＭ観察およびＥＥＬＳもしくはＥＤＸ分析することができることが実証できた。
【００４９】
本発明は、以上の構成により、高分解能を可能にする狭ギャップで、封止樹脂による観察液体試料および酸化シリコン膜観察窓の汚染なしに試料ホルダを作製することができ、かつ、収納容器部分が電子顕微鏡の液体試料ホルダから着脱可能であるため、常に新しい窒化シリコン膜および酸化シリコン膜で観察できる効果を奏する。
【符号の説明】
【００５０】
１０：試料ホルダ
１１：シリコン基板
１２：窓
１３：窒化シリコン膜
１４：酸化シリコン膜
１５：液体試料
１６：枠体
１７：封止樹脂
２０：収納容器
２１：外枠体
２２、３２：穴
２３：収納容器底部
３０：液体試料セルホルダ
３１：セルホルダ底部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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