(57)【要約】      （修正有）【課題】インクの吐出過程で発生する圧力波を効果的に吸収または減少させることができるインクジェットブリントヘッドの提供。【解決手段】インクジェットプリントヘッド１００は、ノズル１０及び圧力室１２が形成されるノズル基板１１０と、ノズル基板１１０と結合し、圧電アクチュエータによる圧力を上記圧力室に伝達する振動基板１２０と、を含み、振動基板１２０は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル及び圧力室が形成されるノズル基板と、
前記ノズル基板と結合し、圧電アクチュエータによる圧力を前記圧力室に伝達する振動基板と、
を含み、
前記振動基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有する、インクジェットプリントヘッド。
【請求項２】
前記ノズル基板は、
前記ノズルが形成される第１ノズル基板と、
前記圧力室が形成される第２ノズル基板と、
を含む、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項３】
前記ノズル基板は、マニホールド及びリストリクターを含む、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項４】
前記ノズル基板は、
前記ノズルが形成される第１ノズル基板と、
前記圧力室及び前記マニホールドが形成される第２ノズル基板と、
前記圧力室と前記マニホールドとを連結する前記リストリクターが形成される第３ノズル基板と、
を含む、請求項３に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項５】
前記複数の細孔は、化学的表面処理工程によって形成される、請求項１から４のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項６】
前記複数の細孔の直径は０．５〜２０μｍであり、
前記複数の細孔の深さは１〜２０μｍである、請求項１から５のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項７】
前記振動基板と結合し、インク流入口と前記圧力室とを連結するインク供給流路が形成される流路形成基板をさらに含む、請求項１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項８】
前記流路形成基板は、
前記圧力室と連結され、基板の厚さ方向に沿って延長される連結流路が形成される第１流路形成基板と、
前記連結流路と連結され、基板の幅方向及び長さ方向に沿って長く延長される前記インク供給流路が形成される第２流路形成基板と、
を含む、請求項７に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項９】
前記流路形成基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有する、請求項７または８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１０】
前記流路形成基板の前記複数の細孔は、化学的表面処理工程によって形成される、請求項９に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１１】
ノズル及び圧力室が形成されるノズル基板と、
前記ノズル基板と結合し、前記圧力室に駆動力を提供するアクチュエータが付着される振動基板と、
前記振動基板と結合し、インクが流入されるインク流入口及び前記インク流入口と前記圧力室とを連結するインク供給流路が形成される流路形成基板と、
を含み、
前記流路形成基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有する、インクジェットプリントヘッド。
【請求項１２】
前記複数の細孔は、化学的表面処理工程によって形成される、請求項１１に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１３】
前記複数の細孔の直径は０．５〜２０μｍであり、
前記複数の細孔の深さは１〜２０μｍである、請求項１１または１２に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１４】
前記インク供給流路は、前記流路形成基板の長さ方向に沿って長く形成される、請求項１１から１３のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１５】
前記インク供給流路にはインク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の柱部材が形成される、請求項１１から１４のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１６】
前記複数の柱部材にはインク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔が形成される、請求項１５に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１７】
前記複数の柱部材の間隔は、前記インク流入口から前記圧力室に行くほど次第に狭くなる、請求項１５または１６に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１８】
前記流路形成基板は、
前記圧力室と連結され、基板の厚さ方向に沿って延長される連結流路が形成される第１流路形成基板と、
前記連結流路と連結され、基板の幅及び長さ方向に沿って長く延長される前記インク供給流路が形成される第２流路形成基板と、
を含む、請求項１１から１７のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項１９】
前記第１流路形成基板にはアクチュエータを収容するアクチュエータ収容空間がさらに形成される、請求項１８に記載のインクジェットプリントヘッド。
【請求項２０】
前記流路形成基板には前記アクチュエータと駆動回路とを電気的に連結するワイヤを挿入するための貫通孔が形成される、請求項１１から１９のいずれか一項に記載のインクジェットプリントヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリントヘッドに関するもので、より詳細には、インクの吐出過程で発生する反射波（または圧力波）による混線（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）現象を最小限にするインクジェットプリントヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリントヘッドは、ノズルを通じて一定量のインクを吐出する装置である。
【０００３】
一般に、インクジェットプリントヘッドは、インクが保存される圧力室と、インクの吐出に必要な駆動力を提供するアクチュエータと、を含む。
【０００４】
アクチュエータによって発生する大部分の駆動力（または圧力）は、圧力室のインクを吐出するのに用いられる。しかしながら、一部の駆動力は、インクが満たされているマニホールドまたはインク供給流路に伝達されて隣接する圧力室に影響を及ぼす。これを混線（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）現象と呼ぶが、このような現象は、インクの吐出速度が速くなったり、またはインクジェットプリントヘッドの駆動周波数が高くなるほど著しくなる。
【０００５】
インクジェットプリントヘッドの混線現象を最小限にするための先行技術としては、特許文献１及び２がある。
【０００６】
特許文献１は、共通リザーバー１１に柱３０を形成して圧力波を減少させる構造であり、特許文献２は、圧力室２１、２４にフィルタ２２、２３を形成して圧力波を吸収する構造である。
【０００７】
しかしながら、特許文献１及び２は、柱３０及びフィルタ２２、２３を通じてインクの流れを過度に妨害するため、圧力室にインクを円滑に供給することが困難である。また、特許文献１及び２は、圧力波を減少させるため、インクが供給される流路内に別途の構造物を形成しなければならないことから、インクジェットプリントヘッドの製作が複雑になるという短所がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１１−０５８４２２号公報
【特許文献２】特開平９−２３９９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記のような問題点を解決するためのもので、インクの吐出過程で発生する圧力波を効果的に吸収または減少させることができるインクジェットプリントヘッドを提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドは、ノズル及び圧力室が形成されるノズル基板と、上記ノズル基板と結合し、圧電アクチュエータによる圧力を上記圧力室に伝達する振動基板と、を含み、上記振動基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有することができる。
【００１１】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記ノズル基板は、上記ノズルが形成される第１ノズル基板と、上記圧力室が形成される第２ノズル基板と、を含むことができる。
【００１２】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記ノズル基板は、マニホールド及びリストリクターを含むことができる。
【００１３】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記ノズル基板は、上記ノズルが形成される第１ノズル基板と、上記圧力室及び上記マニホールドが形成される第２ノズル基板と、上記圧力室及と上記マニホールドとを連結する上記リストリクターが形成される第３ノズル基板と、を含むことができる。
【００１４】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記細孔は、化学的表面処理工程によって形成されることができる。
【００１５】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記細孔の直径は０．５〜２０μｍで、上記細孔の深さは１〜２０μｍであることができる。
【００１６】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドは、上記振動基板と結合し、インク流入口と上記圧力室とを連結するインク供給流路が形成される流路形成基板をさらに含むことができる。
【００１７】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記流路形成基板は、上記圧力室と連結され、基板の厚さ方向に沿って延長される連結流路が形成される第１流路形成基板と、上記連結流路と連結され、基板の幅及び長さ方向に沿って長く延長される上記インク供給流路が形成される第２流路形成基板と、を含むことができる。
【００１８】
本発明の一実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記流路形成基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有することができる。
【００１９】
ここで、上記細孔は、化学的表面処理工程によって形成されることができる。
【００２０】
上記目的を達成するための本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドは、ノズル及び圧力室が形成されるノズル基板と、上記ノズル基板と結合し、上記圧力室に駆動力を提供するアクチュエータが付着される振動基板と、上記振動基板と結合し、インクが流入されるインク流入口及び上記インク流入口と上記圧力室とを連結するインク供給流路が形成される流路形成基板と、を含み、上記流路形成基板は、インク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔を有することができる。
【００２１】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記細孔は、化学的表面処理工程によって形成されることができる。
【００２２】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記細孔の直径は０．５〜２０μｍで、上記細孔の深さは１〜２０μｍであることができる。
【００２３】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記インク供給流路は、上記流路形成基板の長さ方向に沿って長く形成されることができる。
【００２４】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドには、上記インク供給流路にインク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の柱部材が形成されることができる。
【００２５】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドには、上記複数の柱部材にインク吐出過程で発生する圧力波を吸収する複数の細孔が形成されることができる。
【００２６】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記複数の柱部材の間隔は、上記インク流入口から上記圧力室に行くほど次第に狭くなることができる。
【００２７】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドにおける上記流路形成基板は、上記圧力室と連結され、基板の厚さ方向に沿って延長される連結流路が形成される第１流路形成基板と、上記連結流路と連結され、基板の幅及び長さ方向に沿って長く延長されるインク供給流路が形成される第２流路形成基板と、を含むことができる。
【００２８】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドは、上記第１流路形成基板にアクチュエータを収容するアクチュエータ収容空間がさらに形成されることができる。
【００２９】
本発明の他の実施例によるインクジェットプリントヘッドは、上記流路形成基板に上記アクチュエータと駆動回路とを電気的に連結するワイヤを挿入するための貫通孔が形成されることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は、インクの吐出過程で発生する圧力波を効果的に吸収または減少させることができる。
【００３１】
従って、本発明によると、インクジェットプリントヘッドの駆動周波数に関係なく一定の品質を有する印刷解像度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図である。
【図２ａ】図１に示される振動基板の表面を示す写真である。
【図２ｂ】図１に示される振動基板の表面を示す写真である。
【図３】本発明の第２実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図である。
【図４】本発明の第３実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図である。
【図５】図４に示されるインクジェットプリントヘッドのＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図６】本発明の第４実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図である。
【図７】本発明の第５実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図である。
【図８】図７に示されるインクジェットプリントヘッドのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
インクジェットプリントヘッドの印刷品質を向上させるため、インクジェットプリントヘッドにおけるノズル間の間隔が次第に狭くなっている。
【００３４】
一例として、最近のインクジェットプリントヘッドは、５１２構造（インクジェットプリントヘッドの長さ方向に沿って５１２個のノズルが配置された構造）から１０２４構造（インクジェットプリントヘッドの長さ方向に沿って１０２４個のノズルが配置された構造）に変更されつつある。
【００３５】
しかしながら、ノズル間の間隔が狭くなるにつれ、インク吐出過程で発生する圧力波（または反射波）によって発生する混線（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）現象が問題になっている。参考までに、本明細書における混線現象とは、圧力室に与えられた圧力の一部がインクの供給される共通流路（例えば、マニホールド）に与えられて隣接する圧力室に影響を及ぼす現象を意味する。また、圧力波または反射波は、圧力室から共通流路の方向に伝達されるインクの流動または衝撃エネルギーを示す用語として用いられる。
【００３６】
本発明は、このような混線現象を抑制するためのもので、混線現象をもたらす圧力波を吸収することができるインクジェットプリントヘッドを提供することができる。
【００３７】
このため、本発明は、インクジェットプリントヘッドを構成する少なくとも一つの基板に細孔を形成することができる。ここで、基板に形成される細孔は、規則または不規則な形状であることができる。
【００３８】
また、細孔は、基板の化学的表面処理または機械的加工によって形成されることができる。
【００３９】
このように形成された細孔は、インクの吐出過程で発生する圧力波を吸収することで、混線現象の発生を最小化または抑制することができる。
【００４０】
以下では、本発明の好ましい実施例を添付の例示図面に基づいて詳細に説明する。
【００４１】
以下で本発明を説明するにあたり、本発明の構成要素を称する用語はそれぞれの構成要素の機能を考慮し命名されたものであるため、本発明の技術的構成要素を限定する意味で理解されてはならない。
【００４２】
図１は本発明の第１実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図で、図２ａ及び２ｂは図１に示される振動基板の表面を示す写真で、図３は本発明の第２実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図で、図４は本発明の第３実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図で、図５は図４に示されるインクジェットプリントヘッドのＡ−Ａ線に沿った断面図で、図６は本発明の第４実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図で、図７は本発明の第５実施例によるインクジェットプリントヘッドの断面図で、図８は図７に示されるインクジェットプリントヘッドのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【００４３】
参考までに、添付の図面において、Ｘ軸方向はインクジェットプリントヘッドの幅方向を、Ｙ軸方向はインクジェットプリントヘッドの長さ方向を、Ｚ軸方向はインクジェットプリントヘッドの厚さ方向を意味することができる。添付の図面において、矢印の方向は正の方向（「＋」方向と称する場合もある）を示す。
【００４４】
以下では、図１、図２ａ及び図２ｂを参照して第１実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００４５】
インクジェットプリントヘッド１００は、ノズル基板１１０と、振動基板１２０と、を含むことができる。
【００４６】
ノズル基板１１０は、単結晶のシリコン基板からなることができる。しかしながら、必要に応じて、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板からなるか、またはシリコン基板及び複数の絶縁部材が積層された積層基板からなることができる。
【００４７】
ノズル基板１１０には、ノズル１０及び圧力室１２が形成されることができる。
【００４８】
ノズル１０は、インクジェットプリントヘッド１００の長さ方向（図１におけるＹ軸方向）に沿って一定間隔をおいて形成されることができる。例えば、１０２４個のノズル１０がインクジェットプリントヘッド１００の長さ方向に沿って一定間隔をおいて形成されることができる。
【００４９】
また、複数のノズル１０は、インクジェットプリントヘッド１００の幅方向（図１におけるＸ軸方向）に沿って複数の列で形成されることができる。例えば、２列のノズル１０がインクジェットプリントヘッド１００の幅方向に沿って形成されることができる。
【００５０】
ノズル１０は、ノズル基板１１０の厚さ方向に沿って断面積が異なる形状であることができる。例えば、ノズル１０は、Ｚ軸の「−」方向（「負」の方向と称する場合もある）に行くほど、その断面積が次第に減少する形状であることができる。しかしながら、このようなノズル１０の形状は、単に例示的なものに過ぎず、これに限定されるものではない。従って、ノズル１０は、図１に示されているように、同一の断面サイズを有する孔状であることができる。
【００５１】
圧力室１２は、所定の体積を有することができる。例えば、圧力室１２は、１回のインク吐出量と同一の体積を有するか、またはこれより大きい体積を有することができる。ここで、前者はインクの定量吐出に有利であり、後者はインクの連続吐出に有利である。
【００５２】
圧力室１２は、ノズル基板１１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）に沿って長く形成されることができ、ノズル１０と連結されることができる。
【００５３】
このように形成された圧力室１２は、ノズル１０と同様にインクジェットプリントヘッド１００の長さ方向（Ｙ軸方向）及び幅方向（Ｘ軸方向）に沿って一定間隔をおいて形成されることができる。
【００５４】
振動基板１２０は、ノズル基板１１０と同様に単結晶のシリコン基板からなることができる。しかしながら、必要に応じて、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板からなるか、またはシリコン基板及び複数の絶縁部材が積層された積層基板からなることができる。また、振動基板１２０は、ノズル基板１１０と異なる材質で製作されることもできる。このように形成された振動基板１２０はノズル基板１１０と結合することができ、アクチュエータ２０の駆動力を圧力室１２に伝達することができる。
【００５５】
振動基板１２０には細孔１０２が形成されることができる。例えば、振動基板１２０の一の面（図１における底面）には複数の細孔１０２が形成されることができる。
【００５６】
細孔１０２は、所定の深さまたはサイズを有することができる。例えば、細孔１０２の直径は０．５〜２０μｍであることができ、細孔の深さは１〜２０μｍであることができる。
【００５７】
細孔１０２は、化学的表面処理工程または機械的加工工程によって形成されることができる。例えば、細孔１０２は、振動基板１２０の表面をエッチング液で表面処理することで形成されることができる。または、細孔１０２は、振動基板１２０の表面を機械的に加工（例えば、研磨）することで形成されることもできる。
【００５８】
このように形成された細孔１０２は、図２ａ及び図２ｂに示されているように、不規則な形状であることができる。
【００５９】
振動基板１２０にはアクチュエータ２０が付着されることができる。
【００６０】
アクチュエータ２０は、図１における振動基板１２０の上部表面に形成されることができる。さらに説明すると、アクチュエータ２０は、振動基板１２０の上部表面において圧力室１２に対応する位置に形成されることができる。
【００６１】
アクチュエータ２０は、圧電素子と、複数の電極部材と、を含むことができる。さらに説明すると、アクチュエータ２０は、第１の電極部材と第２の電極部材との間に圧電素子が配置された積層構造物であることができる。
【００６２】
第２の電極部材は、例えば下部電極部材として、振動基板１２０の上部表面に形成されることができ、一つ以上の導電性金属物質からなることができる。例えば、下部電極部材は、チタン（Ｔｉ）及び白金（Ｐｔ）からなる二つの金属部材からなることができる。
【００６３】
圧電素子は、下部電極部材の表面に形成されることができる。さらに説明すると、圧電素子は、スクリーンプリンティング、スパッタリングなどによって下部電極部材の表面に薄く形成されることができる。圧電素子は、圧電物質からなることができる。例えば、セラミック材質（例えば、ＰＺＴ）からなることができる。
【００６４】
第１の電極部材は、例えば上部電極部材として、圧電素子の上部表面に形成されることができる。上部電極部材は、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｔｉ及びＣｕなどの物質のうちいずれか一つの物質からなることができる。
【００６５】
このように構成されたアクチュエータ２０は、電気信号に応じて引張及び収縮し、圧力室１２のインクを吐出するための駆動力を提供することができる。
【００６６】
上記のように構成されたインクジェットプリントヘッド１００における圧力室１２は、ノズル基板１１０と、細孔１０２が形成された振動基板１２０と、を含んで形成されるため、インクの吐出過程で発生する圧力波を吸収することができる。
【００６７】
即ち、本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、振動基板１２０の細孔１０２によって圧力室１２で発生する圧力波を吸収することができるため、混線現象の発生を抑制することができる。
【００６８】
また、本実施例によると、インクジェットプリントヘッド１００に複数のノズルを粗密に形成することができ、これによる混線現象の発生を最小化または抑制することができる。
【００６９】
なお、本実施例は、圧力波を減少させるため、インク供給流路の形状を変更したり、またはインク供給流路上に別途の構造物を形成しないことから、インクジェットプリントヘッドを容易に製作することができる。
【００７０】
以下では、本発明の他の実施例について説明する。参考までに、以下の実施例において、第１実施例と同一の構成要素は同一の図面符号を用いており、これらの構成要素に関する詳細な説明は省略する。
【００７１】
図３を参照して第２実施例によるインクジェットプリントヘッド１００について説明する。
【００７２】
第２実施例におけるノズル基板１１０は、第１ノズル基板１１２と、第２ノズル基板１１４と、を含むことができる。
【００７３】
第１ノズル基板１１２及び第２ノズル基板１１４は、同一材質からなることができ、Ｚ軸方向に積層結合して一つのノズル基板１１０を形成することができる。
【００７４】
第１ノズル基板１１２にはノズル１０が形成されることができる。
【００７５】
ノズル１０は、第１ノズル基板１１２の厚さ方向（図３におけるＺ軸方向）に沿って長く形成されることができる。ノズル１０は、第１ノズル基板１１２のエッチング工程によって形成されることができる。
【００７６】
第２ノズル基板１１４には圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６が形成されることができる。ここで、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６は、第２ノズル基板１１４のエッチング工程によって形成されることができる。
【００７７】
圧力室１２は、第２ノズル基板１１４の厚さ方向（図３におけるＺ軸方向）に沿って形成されることができる。例えば、圧力室１２の深さは、第２ノズル基板１１４の厚さと同一であることができる。
【００７８】
このように形成された圧力室１２は、第１ノズル基板１１２及び第２ノズル基板１１４が結合した状態でノズル１０と連結されることができる。
【００７９】
マニホールド１４は、第２ノズル基板１１４の厚さ方向に沿って形成されることができる。また、マニホールド１４の深さは、第２ノズル基板１１４の厚さと同一であることができる。
【００８０】
マニホールド１４は、第２ノズル基板１１４の長さ方向（図３におけるＹ軸方向）に沿って長く形成されることができる。マニホールド１４は、圧力室１２と間隔をおいて配置されることができる。マニホールド１４は、インク流入口から供給されたインクを保存することができ、リストリクター１６を通じて一つ以上の圧力室１２にインクを供給することができる。
【００８１】
リストリクター１６は、圧力室１２とマニホールド１４との間に形成されることができ、圧力室１２とマニホールド１４とを連結することができる。このように形成されたリストリクター１６は、マニホールド１４から圧力室１２に供給されるインクの流量を調節することができる。
【００８２】
振動基板１２０は、第１ノズル基板１１２または第２ノズル基板１１４と同一材質で製作されることができる。振動基板１２０の一の面には第１実施例と同様に複数の細孔１０２が形成されることができる。
【００８３】
振動基板１２０は第２ノズル基板１１４と結合することができ、アクチュエータ２０の駆動力を圧力室１２に伝達することができる。
【００８４】
振動基板１２０は、第２ノズル基板１１４と結合した状態で圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６の上面を完全に閉鎖することができる。従って、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６に保存されたインクは、振動基板１２０の一の面（即ち、細孔１０２が形成された面）と常に接触することができる。
【００８５】
上記のように形成されたインクジェットプリントヘッド１００は、ノズル基板１１０に保存されたインクと振動基板１２０の細孔１０２との接触面積が、振動基板１２０が細孔１０２を備えない場合に比べて、相対的に広いため、インクの吐出過程で発生する圧力波をさらに効果的に抑制することができる。
【００８６】
以下では、図４及び図５を参照して第３実施例によるインクジェットプリントヘッドについて説明する。
【００８７】
第３実施例におけるノズル基板１１０は、第１ノズル基板１１２と、第２ノズル基板１１４と、第３ノズル基板１１６と、を含むことができる。
【００８８】
第１ノズル基板１１２は、複数のノズル１０を含むことができる。例えば、複数のノズル１０は、第１ノズル基板１１２の厚さ方向（図４におけるＺ軸方向）に沿って形成されることができる。ノズル１０は、第１ノズル基板１１２のエッチング工程によって形成されることができる。
【００８９】
第２ノズル基板１１４は、第１ノズル基板１１２と結合することができ、第１ノズル基板１１２と同一材質からなることができる。しかしながら、第２ノズル基板１１４の材質が第１ノズル基板１１２の材質に限定されるとは限らない。
【００９０】
第２ノズル基板１１４には圧力室１２及びマニホールド１４が形成されることができる。ここで、圧力室１２及びマニホールド１４は、第２ノズル基板１１４のエッチング工程によって形成されることができる。
【００９１】
圧力室１２は、第２ノズル基板１１４の厚さ方向（図４におけるＺ軸方向）に沿って形成されることができる。また、圧力室１２の深さは、第２ノズル基板１１４の厚さと同一であることができる。
【００９２】
このように形成された圧力室１２は、第１ノズル基板１１２及び第２ノズル基板１１４が結合した状態でノズル１０と連結されることができる。
【００９３】
マニホールド１４は、第２ノズル基板１１４の厚さ方向に沿って形成されることができる。例えば、マニホールド１４の深さは、第２ノズル基板１１４の厚さと同一であることができる。
【００９４】
マニホールド１４は、第２ノズル基板１１４の長さ方向（図４におけるＹ軸方向）に沿って長く形成されることができる。マニホールド１４は、圧力室１２と間隔をおいて配置されることができる。マニホールド１４は、インク流入口から供給されたインクを保存することができ、リストリクター１６を通じて一つ以上の圧力室１２にインクを供給することができる。
【００９５】
第３ノズル基板１１６は、第２ノズル基板１１４と結合することができ、第１ノズル基板１１２または第２ノズル基板１１４と同一材質からなることができる。しかしながら、第３ノズル基板１１６の材質が第１ノズル基板１１２または第２ノズル基板１１４の材質に限定されるものではない。
【００９６】
第３ノズル基板１１６にはリストリクター１６が含まれることができる。また、第３ノズル基板１１６には、図５に示されているように、圧力室１２の一部分、マニホールド１４の一部分及びリストリクター１６が形成されることができる。ここで、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６は、第３ノズル基板１１６のエッチング工程によって形成されることができる。
【００９７】
このように形成された第３ノズル基板１１６は、第２ノズル基板１１４と結合して圧力室１２及びマニホールド１４の形状を完成することができる。
【００９８】
振動基板１２０は第３ノズル基板１１６と結合することができ、アクチュエータ２０の駆動力を圧力室１２に伝達することができる。
【００９９】
振動基板１２０は、第３ノズル基板１１６と結合した状態で圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６の上面を完全に閉鎖することができる。従って、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６に保存されたインクは、第２実施例と同様に、振動基板１２０の一面（即ち、細孔１０２が形成された面）と常に接触することができる。
【０１００】
上記のように構成されたインクジェットプリントヘッド１００は、リストリクター１６が別途の基板（第３ノズル基板１１６）に形成されるため、リストリクター１６の精密加工が容易であることができる。
【０１０１】
また、本実施例は、第３ノズル基板１１６のエッチング形状（図５を参照）を変更して振動基板１２０の細孔１０２及びインクが接触する面積を任意に調整することができるため、圧力波による影響をさらに最小限にすることができる。
【０１０２】
以下では、図６を参照して第４実施例によるインクジェットプリントヘッド１００について説明する。
【０１０３】
第４実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、流路形成基板１３０をさらに含むことができ、インク注入口３６の中心を通りＺ軸に平行な面を中心として面対象の構造を有してよい。図６は、インクジェットプリントヘッド１００をインク注入口３６の中心を通るＸＺ平面で切断した場合の断面図を示す。図６に示されるように、一実施形態においてインクジェットプリントヘッド１００は、インク注入口３６の中心を通るＹＺ平面を中心として面対称の構造を有する。例えば、図６においては、ノズル１０、ダンパー１１、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６がインク注入口３６の中心を通り、Ｚ軸方向に平行な直線を中心として左右対称に形成される。
【０１０４】
ノズル基板１１０は、第１ノズル基板１１２と、第２ノズル基板１１４と、第３ノズル基板１１６と、を含むことができる。
【０１０５】
第１ノズル基板１１２にはノズル１０が形成されることができ、第２ノズル基板１１４にはダンパー１１及びリストリクター１６が形成されることができる。また、第３ノズル基板１１６には圧力室１２及びマニホールド１４が形成されることができる。
【０１０６】
振動基板１２０は第３ノズル基板１１６と結合することができ、アクチュエータ２０の駆動力を圧力室１２に伝達することができる。
【０１０７】
振動基板１２０には連結流路３０が形成されることができる。連結流路３０は、マニホールド１４とインク供給流路３４とを連結することができる。
【０１０８】
振動基板１２０の一の面（図６における上面）には細孔が形成されることができる。しかしながら、上記細孔は、必要に応じて、省略されることもできる。
【０１０９】
流路形成基板１３０は、振動基板１２０と結合することができ、複数の基板からなることができる。
【０１１０】
流路形成基板１３０にはインク供給流路３４及びインク流入口３６が形成されることができる。
【０１１１】
インク供給流路３４は、流路形成基板１３０の幅及び長さ方向に沿って長く形成されることができ、振動基板１２０の連結流路３０と連結されることができる。
【０１１２】
インク供給流路３４には細孔１０２が形成されることができる。
【０１１３】
細孔１０２は、流路形成基板１３０の表面を化学的に処理したり、または機械的に加工（研磨）することで形成されることができる。このように形成された細孔１０２は、上記した実施例に説明されているように、インクの吐出過程で発生する圧力波を吸収することができる。
【０１１４】
また、本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、圧力室１２、マニホールド１４及びリストリクター１６に細孔１０２が形成されないため、インクの定量吐出に有利であることができる。
【０１１５】
なお、本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、細孔１０２がインク供給流路３４の全領域にわたって形成されるため、圧力波の抑制または吸収効果を極大化することができる。
【０１１６】
また、本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、比較的流路構造が単純な流路形成基板１３０のみに細孔１０２が形成されるため、細孔１０２の形成作業が容易に行われることができる。
【０１１７】
以下では、図７及び図８を参照して第５実施例によるインクジェットプリントヘッド１００について説明する。
【０１１８】
第５実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、流路形成基板１３０の構造において、第４実施例と区別されることができる。即ち、本実施例において、流路形成基板１３０は、振動基板１２０の上部全体を覆うことができ、圧力波を減少させるための複数の柱部材３８を含むことができる。
【０１１９】
流路形成基板１３０は、振動基板１２０の対向する２つの面のうち、ノズル基板１１０に対向する面とは反対側の面に対向するように配される。図７によれば、流路形成基板１３０は、振動基板１２０の上部全体を覆うことができる。このため、流路形成基板１３０には、アクチュエータ２０を収容する収容空間３２が形成されることができ、ボンディングワイヤ５０または電気配線が挿入される貫通孔４０が形成されることができる。参考までに、ボンディングワイヤ５０は、アクチュエータ２０と駆動回路６０とを連結する接続部材であることができる。
【０１２０】
流路形成基板１３０は、図８に示されているように、複数の柱部材３８を含むことができる。
【０１２１】
柱部材３８は、インク供給流路３４に形成されることができる。さらに説明すると、柱部材３８は、インク流入口３６から連結流路３０に行くほど、次第に密になるように配置されることができる。
【０１２２】
柱部材３８には複数の細孔が形成されることができる。柱部材３８の細孔は、インク供給流路３４の細孔１０２と同様に化学的な表面処理工程によって形成されることができる。ここで、柱部材３８に形成される細孔の直径は０．５〜２０μｍであることができ、細孔の深さは１〜２０μｍであることができる。
【０１２３】
流路形成基板１３０は、複数の基板からなることができる。例えば、流路形成基板１３０は、連結流路３０が形成される第１流路形成基板及びインク供給流路３４が形成される第２流路形成基板からなることができる。または、流路形成基板１３０は、連結流路３０が形成される第１流路形成基板、インク供給流路３４及び柱部材３８が形成される第２流路形成基板、インク流入口３６が形成される第３流路形成基板からなることができる。しかしながら、流路形成基板１３０の数がこれらの例示形態に限定されるものではない。従って、必要に応じて、単一基板または４枚以上の基板で流路形成基板１３０を構成することができる。
【０１２４】
このように形成された流路形成基板１３０は、インク供給流路３４の細孔、柱部材３８及び柱部材３８の細孔を通じて圧力波をさらに効果的に吸収することができる。
【０１２５】
従って、本実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、インクの吐出過程で発生する圧力波による混線現象を顕著に減少させると共に、インクの定量吐出も可能である。
【０１２６】
本発明は以上で説明した実施例のみに限定されず、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、以下の特許請求の範囲に記載の技術的思想の要旨から外れない範囲内において、多様に変更して実施することができる。
【符号の説明】
【０１２７】
１００  インクジェットプリントヘッド
１１０  ノズル基板
１１２  第１ノズル基板
１１４  第２ノズル基板
１１６  第３ノズル基板
１２０  振動基板
１３０  流路形成基板
１０  ノズル
１２  圧力室
１４  マニホールド
１６  リストリクター
２０  アクチュエータ（または圧電素子）
３０  連結流路
３２  収容空間
３４  インク供給流路
３６  インク流入口
３８  柱部材
４０  貫通孔
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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