(57)【要約】【課題】エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を確保でき、その後の工程でウエハの破損を防止できるエッチング方法を提供する。【解決手段】ウエットエッチングにより行うウエハ６０のエッチング方法であって、前記ウエハ６０の第一主面６１および第二主面に、ウエハ固定治具２０を当接させて保持するウエハ固定治具保持工程と、ウエハ固定治具２０ごと、ウエハ６０をエッチング液に浸漬してウエットエッチングを行う浸漬工程と、を備え、ウエハ固定治具保持工程では、ウエハ固定治具２０は、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面における外縁側Ｓをウエハ６０の外縁６４ａ〜６４ｄに沿って保持することを特徴としている。【選択図】図３
2013187498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエットエッチングにより行うウエハのエッチング方法であって、
前記ウエハの少なくとも一方主面の一部に、ウエハ固定治具を当接させて保持するウエハ固定治具保持工程と、
前記ウエハ固定治具ごと、前記ウエハをエッチング液に浸漬して前記ウエットエッチングを行う浸漬工程と、
を備え、
前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面における外縁側を前記ウエハの外縁に沿って保持することを特徴とするウエハのエッチング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のウエハのエッチング方法であって、
前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面における外縁側を前記ウエハの全周にわたって保持することを特徴とするウエハのエッチング方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウエハのエッチング方法であって、
前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面および前記一方主面とは反対側の他方主面における外縁側を、前記ウエハの全周にわたって保持することを特徴とするウエハのエッチング方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のウエハのエッチング方法であって、
前記ウエハ固定治具保持工程の後、前記浸漬工程の前に、前記ウエハ固定治具を収納可能なバケットに、前記ウエハ固定治具ごと前記ウエハを収納するバケット収納工程を備え、
前記浸漬工程では、前記バケットごと前記ウエハを前記エッチング液に浸漬して行うことを特徴とするウエハのエッチング方法。
【請求項５】
請求項４に記載のウエハのエッチング方法であって、
前記バケット収納工程では、前記バケットに、複数の前記ウエハ固定治具ごと複数の前記ウエハを収納することを特徴とするウエハのエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウエハのエッチング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、いわゆるＡＴカット型の圧電振動片や音叉型の圧電振動片等をパッケージに封入した圧電振動子が知られている。
【０００３】
圧電振動片は、圧電体である水晶を用いて形成される。具体的には、角柱または円柱形状に形成された水晶のランバード原石を用意し、薄く切断して板状のウエハを切り出す（スライス工程）。続いて、ウエハをラッピングして粗研磨加工し（ラッピング工程）、ウエハの加工変質層をウエットエッチングで取り除いた後（エッチング工程）、鏡面研磨加工を行って所定の厚みのウエハとする（ポリシング工程）。続いて、ウエハを洗浄、乾燥した後、機械加工やフォトリソグラフィ技術等を用いて圧電振動片の外形を有する圧電板を形成する。最後に、圧電板に所定の金属膜をパターニングして電極を形成することで、圧電振動片が形成される。
【０００４】
ところで、エッチング工程によりウエハを薄型化すると、ウエハの強度が低下する。このため、その後の工程においてウエハを破損するおそれがある。特に、近年は、製品の小型化や薄型化に対応して、ウエハのさらなる薄型化が要求されているため、この傾向は顕著である。
【０００５】
上述の問題を解決するため、例えば特許文献１には、複数の水晶ウエハ（請求項の「ウエハ」に相当。）に、少なくとも一つの貫通穴を形成する貫通穴形成工程と、前記貫通穴に支持部材を挿入し、前記複数の水晶ウエハを支持する支持工程と、前記支持部材に支持された前記複数の水晶ウエハを、エッチング液に浸漬し、エッチングするエッチング工程と、を有する水晶ウエハの製造方法が提案されている。
【０００６】
特許文献１に記載の水晶ウエハの製造方法によれば、水晶ウエハの貫通穴に支持部材を挿入することにより、水晶ウエハが貫通穴部分で支持されてエッチングされる。また、水晶ウエハの貫通穴への支持部材を抜き差しすることによって、支持部材への水晶ウエハの着脱が行える。これにより、支持部材への水晶ウエハの着脱が容易であることから、着脱時に加える外力を低減できるので、水晶ウエハの破損を抑制できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１８６８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上述の従来技術にあっては、貫通穴形成工程においてエンドミル等でウエハに貫通穴を形成しているため、貫通穴を形成する際にウエハを破損するおそれがある。
また、貫通穴を形成することにより、ウエハの貫通穴周辺の強度が低下する。特に、エッチング工程によりウエハが薄型化した後は、ウエハの貫通穴周辺の強度が大幅に低下すると考えられる。したがって、従来技術のように、エッチング工程において、支持部材への水晶ウエハの着脱時に水晶ウエハの破損を抑制できたとしても、エッチング工程以降に行われる研磨加工等の工程でウエハを破損するおそれがある。
【０００９】
そこで本発明は、エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を確保でき、その後の工程でウエハの破損を防止できるエッチング方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明のエッチング方法は、ウエットエッチングにより行うウエハのエッチング方法であって、前記ウエハの少なくとも一方主面の一部に、ウエハ固定治具を当接させて保持するウエハ固定治具保持工程と、前記ウエハ固定治具ごと、前記ウエハをエッチング液に浸漬して前記ウエットエッチングを行う浸漬工程と、を備え、前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面における外縁側を前記ウエハの外縁に沿って保持することを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、ウエハ固定治具保持工程においてウエハの少なくとも一方主面の一部にウエハ固定治具が当接しているので、浸漬工程においてウエハ固定治具ごとウエハをエッチング液に浸漬したとき、ウエハとウエハ固定治具との当接部分へのエッチング液の浸入が抑制される。これにより、ウエハは、ウエハ固定治具との当接部分のエッチングが抑制されるので、ウエハ固定治具との当接部分におけるウエハの肉厚がエッチング前と同等に確保される。ここで、ウエハ固定治具は、ウエハの一方主面における外縁側を、ウエハの外縁に沿って当接して保持しているので、ウエハの外縁側のエッチングが抑制され、ウエハの外縁側の肉厚がエッチング前と同等に確保される。これにより、ウエハには、エッチングされた領域よりも厚い厚肉部が形成されるので、エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を確保でき、その後の工程でウエハの破損を防止できる。しかも、特に破損しやすいウエハの外縁側に厚肉部が形成されるので、ウエハの外縁側の強度を確保でき、ウエハの割れや欠け等を効果的に防止できる。
【００１２】
また、前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面における外縁側を前記ウエハの全周にわたって保持することを特徴としている。
【００１３】
本発明によれば、ウエハの一方主面における外縁側の全周にわたってウエハ固定治具が当接しているので、ウエハの外縁側の全周にわたって厚肉部が形成される。これにより、エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を、ウエハの全周にわたって確保できるので、その後の工程でウエハの破損を防止できる。さらに、ウエハの外縁側の全周にわたって厚肉部が形成されるので、ウエハの面剛性を確保できる。これにより、エッチング時やその後の工程において、ウエハの歪みや反りを抑制できる。
【００１４】
また、前記ウエハ固定治具保持工程では、前記ウエハ固定治具は、前記ウエハの前記一方主面および前記一方主面とは反対側の他方主面における外縁側を、前記ウエハの全周にわたって保持することを特徴としている。
【００１５】
本発明によれば、ウエハの一方主面および他方主面における外縁側の全周にわたってウエハ固定治具が当接しているので、ウエハの一方主面および他方主面において外縁側のエッチングが抑制され、ウエハの外縁側の全周にわたってさらに肉厚な厚肉部が形成される。したがって、エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を、ウエハの全周にわたって十分に確保できるので、その後の工程でウエハの破損を確実に防止できる。さらに、ウエハの面剛性を十分確保できるので、エッチング時やその後の工程において、ウエハの歪みや反りを確実に抑制できる。
【００１６】
また、前記ウエハ固定治具保持工程の後、前記浸漬工程の前に、前記ウエハ固定治具を収納可能なバケットに、前記ウエハ固定治具ごと前記ウエハを収納するバケット収納工程を備え、前記浸漬工程では、前記バケットごと前記ウエハを前記エッチング液に浸漬して行うことを特徴としている。
【００１７】
本発明によれば、バケットに収納した状態でウエハをエッチング液に浸漬しているので、エッチング液内でのウエハの姿勢を保持できる。これにより、安定した状態でウエハをエッチングできるので、精度よくウエハを形成できる。
【００１８】
また、前記バケット収納工程では、前記バケットに、複数の前記ウエハ固定治具ごと複数の前記ウエハを収納することを特徴としている。
【００１９】
本発明によれば、バケットに複数のウエハ固定治具ごと複数のウエハを収納しているので、一度に複数枚のウエハをエッチング液に浸漬できる。したがって、複数のウエハを効率よくエッチングでき、作業効率を向上できる。また、バケットに複数のウエハ固定治具ごと複数のウエハを収納することで、エッチング液内でバケットを揺動させてウエハをエッチングする場合に、複数のウエハが互いに衝突するのを抑制できる。したがって、エッチングの際にウエハが互いに衝突して破損するのを防止できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ウエハ固定治具保持工程においてウエハの少なくとも一方主面の一部にウエハ固定治具が当接しているので、浸漬工程においてウエハ固定治具ごとウエハをエッチング液に浸漬したとき、ウエハとウエハ固定治具との当接部分へのエッチング液の浸入が抑制される。これにより、ウエハは、ウエハ固定治具との当接部分のエッチングが抑制されるので、ウエハ固定治具との当接部分におけるウエハの肉厚がエッチング前と同等に確保される。ここで、ウエハ固定治具は、ウエハの一方主面における外縁側を、ウエハの外縁に沿って当接して保持しているので、ウエハの外縁側のエッチングが抑制され、ウエハの外縁側の肉厚がエッチング前と同等に確保される。これにより、ウエハには、エッチングされた領域よりも厚い厚肉部が形成されるので、エッチングにより薄型化された後のウエハの強度を確保でき、その後の工程でウエハの破損を防止できる。しかも、特に破損しやすいウエハの外縁側に厚肉部が形成されるので、ウエハの外縁側の強度を確保でき、ウエハの割れや欠け等を効果的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】ウエハ形成工程のフローチャートである。
【図２】切り出されたウエハの斜視図である。
【図３】ウエハ固定治具の説明図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】バケット収納工程の説明図である。
【図６】浸漬工程の説明図である。
【図７】エッチング工程終了後におけるウエハの説明図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
（実施形態のエッチング方法）
以下に、本発明の実施形態に係るエッチング方法について、図面を参照して説明する。
以下では、水晶のランバード原石から所定の厚みの水晶ウエハを形成するウエハ形成工程、およびウエハ形成工程において行われるエッチング工程（エッチング方法）について説明をする。
図１は、ウエハ形成工程Ｓ５０のフローチャートである。
図１に示すように、ウエハ形成工程Ｓ５０は、スライス工程Ｓ１０と、ラッピング工程Ｓ２０と、エッチング工程Ｓ３０と、ポリシング工程Ｓ４０とを備えている。
【００２３】
（スライス工程Ｓ１０）
図２は、スライス工程Ｓ１０により切り出されたウエハ６０の説明図である。
ウエハ形成工程Ｓ５０では、まず、略角柱状に形成された水晶等のランバード原石から、図２に示す平板状のウエハ６０を切り出すスライス工程Ｓ１０を行う。
スライス工程Ｓ１０では、ランバード原石を用意するとともに、ベースとなるダミーガラス上に、例えば接着剤等を用いて固定する。次いで、ダミーガラス上に固定されたランバード原石を、例えばワイヤーソーを用いて所定の角度で所定の厚みに切断する。
これにより、図２に示すように、平面視で略正方形状をした平板状の角型のウエハ６０が切り出される。ランバード原石から切り出されたウエハ６０は、四辺に対応した外縁６４ａ〜６４ｄと、各辺の間に形成される角部を面取りして形成されたオリエンテーションフラット６５とを備えている。
以上で、スライス工程Ｓ１０が終了する。
【００２４】
（ラッピング工程Ｓ２０）
続いて、切断されたウエハ６０の第一主面６１（請求項の「一方主面」に相当。）および第二主面６２（請求項の「他方主面」に相当。）を粗く研磨してラッピングを行い、ウエハ６０の厚みを所定の厚みにするラッピング工程Ｓ２０を行う。
ラッピング工程Ｓ２０では、不図示の研磨装置を用いて、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２を粗加工して研磨する（ラッピング）。
粗加工による研磨を行い、切り出されたウエハ６０が所定の厚みになった時点で、ラッピング工程Ｓ２０が終了する。
【００２５】
（エッチング工程Ｓ３０）
続いて、ラッピング工程Ｓ２０によってウエハ６０の表面に生じた加工変質層を除去し、ウエハ６０の厚みを所定の厚みにするエッチング工程Ｓ３０を行う。
図１に示すように、エッチング工程Ｓ３０は、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２と、バケット収納工程Ｓ３４と、浸漬工程Ｓ３６とを備えている。以下、各工程について詳細に説明をする。
【００２６】
（ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２、ウエハ固定治具）
図３は、ウエハ固定治具２０の説明図であり、ウエハ６０をウエハ固定治具２０に取り付けた状態を図示している。
図４は、図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
図３に示すように、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２では、ウエハ６０をウエハ固定治具２０に取り付けて保持させている。以下では、まずウエハ固定治具２０について説明をし、その後にウエハ固定治具保持工程Ｓ３２について説明をする。
ウエハ固定治具２０は、ウエハ６０の外形よりも大きく形成された、平面視で略正方形状をした平板状の部材であり、例えばアルミ等の金属により形成されている。図４に示すように、ウエハ固定治具２０は、第一保持板２１と第二保持板２６とを重ね合わせることで形成されている。
【００２７】
第一保持板２１は、ウエハ６０の第一主面６１を露出させる第一開口部２２を有している。第一開口部２２は、第一主面６１のうちエッチングされる領域に対応した領域が開口している。第一開口部２２は、ウエハ６０の外形と略相似形状に形成されており、ウエハ６０の外形よりも若干小さく形成されている。
第一保持板２１の第二保持板２６との合わせ面２１ａには、第一保持板２１の厚さ方向に深さを有する凹部２３が形成されている。凹部２３は、第一開口部２２における第二保持板２６側に形成された角部を全周にわたって切り欠くことで形成されている。
凹部２３の深さは、ラッピング工程Ｓ２０後のウエハ６０の板厚と略同一に形成されている。また、凹部２３の外形は、ウエハ６０の外形と略同一に形成されている。これにより、第一開口部２２から第一主面６１のエッチングされる領域を露出させつつ、第一保持板２１の凹部２３に、ウエハ６０の第一主面６１の外縁側Ｓ（図３におけるハッチング領域）を当接させて配置できる。
【００２８】
第二保持板２６は、第一保持板２１の第一開口部２２と対向する位置に、ウエハ６０の第二主面６２を露出させる第二開口部２７を有している。第二開口部２７は、第一保持板２１の第一開口部２２と同様に、第二主面６２のエッチングされる領域に対応した領域が開口しており、ウエハ６０の外形よりも若干小さく形成されている。
【００２９】
図３に示すように、ウエハ６０は、第一保持板２１の凹部２３内に配置された後、第一保持板２１の合わせ面２１ａに第二保持板２６を当接させて重ね合わせることで、ウエハ固定治具２０に取り付けられている。このとき、第一開口部２２よりも外側では、第一主面６１の外縁側Ｓと第一保持板２１とが、ウエハ６０の全周にわたって当接している。また、図４に示すように、第二開口部２７よりも外側では、第二主面６２の外縁側Ｓと第二保持板２６とが、ウエハ６０の全周にわたって当接している。このように、ウエハ固定治具２０は、第一保持板２１と第二保持板２６とにより、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２の外縁側Ｓを、全周にわたって挟持および保持している。
【００３０】
（ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２）
エッチング工程Ｓ３０では、はじめに、上述したウエハ固定治具２０にウエハ６０を取り付けて保持させるウエハ固定治具保持工程Ｓ３２を行う。
図４に示すように、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２では、まず、ウエハ６０を第一保持板２１の凹部２３内に配置する。続いて、第一保持板２１の合わせ面２１ａに第二保持板２６を当接させて重ね合わせ、ウエハ６０を第一保持板２１と第二保持板２６との間に配置する。最後に、第一保持板２１および第二保持板２６を、第一保持板２１に設けた不図示のクリップでクランプ固定することにより、第一保持板２１と第二保持板２６とでウエハ６０を挟持して保持する。これにより、第一主面６１の外縁側Ｓと第一保持板２１とが全周にわたって当接し、第二主面６２の外縁側Ｓと第二保持板２６とが全周にわたって当接した状態で、ウエハ固定治具２０によりウエハ６０が保持される。
ウエハ固定治具２０にウエハ６０を取り付けた時点で、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２が終了する。
【００３１】
（バケット収納工程Ｓ３４、バケット）
図５は、バケット収納工程Ｓ３４の説明図である。
図５に示すように、バケット収納工程Ｓ３４では、バケット３０にウエハ固定治具２０ごとウエハ６０を収納している。以下では、まずバケット３０について説明した後、バケット収納工程Ｓ３４について説明をする。
バケット３０は、略ボックス状に形成されており、所定方向に長手方向を有し、同一平面上で長手方向と直交する方向に幅方向を有し、長手方向および幅方向と直交する方向に所定の深さを有している。
【００３２】
バケット３０は、重力方向上方（図５における上方）に開口を有する収納部３１を備えている。
収納部３１の深さは、略正方形状をしたウエハ固定治具２０の一辺の長さと略同一となるように形成されている。また、収納部３１の幅は、ウエハ固定治具２０の一辺の長さよりも若干広くなるように形成されている。これにより、収納部３１は、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２がバケット３０の長手方向に面した状態で、ウエハ固定治具２０を収納可能となっている。
【００３３】
また、バケット３０の収納部３１内には、幅方向の一方側面３２ａおよび他方側面３２ｂから、それぞれ内側に向かって、複数の壁部（一方側壁部３４ａおよび他方側壁部３４ｂ）が立設されている。
一方側壁部３４ａおよび他方側壁部３４ｂは、幅方向において対向して配置されている。幅方向に対向する一方側壁部３４ａと他方側壁部３４ｂとの離間距離は、ウエハ固定治具２０の一辺の長さよりも若干狭くなるように形成されている。
【００３４】
また、一方側壁部３４ａおよび他方側壁部３４ｂは、それぞれ長手方向において所定距離だけ離間して等間隔に複数形成されている。長手方向に隣り合う一方側壁部３４ａ，３４ａの離間距離および他方側壁部３４ｂ，３４ｂの離間距離は、ウエハ固定治具２０の厚さよりも若干広くなるように形成されている。これにより、長手方向に隣り合う一方側壁部３４ａ，３４ａの間および他方側壁部３４ｂ，３４ｂの間には、ウエハ固定治具２０を挿入配置可能な溝部３５が複数形成される。
さらに、長手方向における収納部３１の一方側端面３３ａと一方側壁部３４ａおよび他方側壁部３４ｂとの間、および長手方向における収納部３１の他方側端面３３ｂと一方側壁部３４ａおよび他方側壁部３４ｂとの間にも、それぞれウエハ固定治具２０を挿入配置可能な溝部３５が形成されている。
このように形成された収納部３１内の複数の溝部３５には、複数（本実施形態では８枚）のウエハ固定治具２０が挿入配置される。なお、バケット３０の収納部３１内に収納されるウエハ固定治具２０の枚数は、８枚に限定されることはない。
【００３５】
（バケット収納工程Ｓ３４）
エッチング工程Ｓ３０では、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２の後、上述したバケット３０にウエハ固定治具２０ごとウエハ６０を収納するバケット収納工程Ｓ３４を行う。
バケット収納工程Ｓ３４では、収納部３１に形成された溝部３５内に、収納部３１の開口側からウエハ固定治具２０を挿入して配置している。これにより、バケット３０の収納部３１内には、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２がバケット３０の長手方向に面した状態で、ウエハ６０がウエハ固定治具２０ごと略平行に収納される。
８枚のウエハ６０をウエハ固定治具２０ごとバケット３０の収納部３１内に収納した時点で、バケット収納工程Ｓ３４が終了する。
【００３６】
（浸漬工程Ｓ３６）
図６は、浸漬工程Ｓ３６の説明図である。なお、図６は、エッチング液３９が貯留されたエッチング浴槽３８にバケット３０が投入されたときの、エッチング浴槽３８の斜視断面図となっている。
続いて、図６に示すように、エッチング工程Ｓ３０では、上述したバケット収納工程Ｓ３４の後、エッチング液３９にウエハ６０を浸漬してウエハ６０をウエットエッチングする浸漬工程Ｓ３６を行う。
浸漬工程Ｓ３６では、ウエハ固定治具２０が収納されたバケット３０ごと、エッチング液３９が貯留されたエッチング浴槽３８内にウエハ６０を投入して、エッチング液３９にウエハ６０を浸漬している。なお、浸漬工程Ｓ３６では、エッチング浴槽３８内にバケット３０ごとウエハ６０を投入した後、バケット３０を揺動させて、エッチングを進行させてもよい。
【００３７】
ここで、図３に示すように、ウエハ固定治具２０に取り付けられたウエハ６０は、外縁側Ｓが全周にわたって第一保持板２１と第二保持板２６（図４参照）とにより挟持されている。このため、ウエハ６０の第一主面６１と第一保持板２１とがウエハ６０の全周にわたって当接し、ウエハ６０の第二主面６２と第二保持板２６とがウエハ６０の全周にわたって当接している。これにより、浸漬工程Ｓ３６では、ウエハ固定治具２０ごとウエハ６０をエッチング液３９に浸漬したとき、第一主面６１と第一保持板２１との当接部分、およびウエハ６０の第二主面６２と第二保持板２６との当接部分において、エッチング液３９の浸入が抑制される。したがって、ウエハ６０の外縁側Ｓは、全周にわたってエッチングが抑制される。
【００３８】
これに対して、ウエハ６０の外縁側Ｓよりも内側は、第一保持板２１の第一開口部２２によりウエハ６０の第一主面６１が露出し、第二保持板２６の第二開口部２７によりウエハ６０の第二主面６２が露出している。したがって、ウエハ６０は、第一主面６１の第一開口部２２に対応した領域および第二主面６２の第二開口部２７に対応した領域がエッチングされ、ウエハ６０が薄型化される。
ウエハ６０を所定時間エッチング液３９に浸漬してエッチングを進行させ、ウエハ６０のエッチングされる領域が所望の厚さになった時点で、バケット３０ごと複数のウエハ６０をエッチング液３９から取り出す。その後、バケット３０ごと複数のウエハ６０を純水等に漬浸させてエッチング液３９を洗浄した時点で、浸漬工程Ｓ３６が終了する。また、浸漬工程Ｓ３６が終了し、ウエハ固定治具２０からウエハ６０を取り外した時点で、エッチング工程Ｓ３０が終了する。
【００３９】
図７は、エッチング工程Ｓ３０終了後におけるウエハ６０の説明図である。
図８は、図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
ここで、図７に示すように、ウエハ６０の外縁側Ｓはエッチングが抑制されているのに対して、外縁側Ｓよりも内側の第一開口部２２および第二開口部２７に対応した領域はエッチングされている。したがって、エッチング工程Ｓ３０終了後において、ウエハ６０の外縁側Ｓの肉厚はエッチング工程Ｓ３０前と同等に確保されるのに対して、外縁側Ｓよりも内側のエッチングされた領域は薄型化されている。これにより、図８に示すように、ウエハ６０の外縁側Ｓには、エッチングされた領域よりも厚い厚肉部６７が形成されるので、エッチングにより薄型化された後であっても、ウエハ６０の外縁側Ｓの強度が確保される。しかも、厚肉部６７は、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって形成されるので、ウエハ６０の面剛性が確保される。
【００４０】
（ポリシング工程Ｓ４０）
続いて、鏡面研磨加工を行って、ウエハ６０の厚みを所定の厚みにするポリシング工程Ｓ４０を行う。ポリシング工程Ｓ４０では、不図示の研磨装置を使用して、第一主面６１および第二主面６２における外縁側Ｓよりも内側のエッチングされた領域を研磨する。これにより、外縁側Ｓよりも内側の領域が鏡面仕上げされた、所定の厚さのウエハ６０が得られる。ここで、ウエハ６０の外縁側Ｓには、ウエハ６０の全周にわたって厚肉部６７が形成されているので、ウエハ６０の強度および面剛性が十分に確保されている。したがって、ポリシング工程Ｓ４０において鏡面研磨加工を行う際、ウエハの破損や歪み、反り等が抑制される。
ポリシング工程Ｓ４０が終了した時点で、ウエハ形成工程Ｓ５０の全工程が終了する。
【００４１】
（効果）
本実施形態によれば、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２において、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２の外縁側Ｓにウエハ固定治具２０が当接しているので、浸漬工程Ｓ３６においてウエハ固定治具２０ごとウエハ６０をエッチング液３９に浸漬したとき、ウエハ６０とウエハ固定治具２０との当接部分へのエッチング液３９の浸入が抑制される。これにより、ウエハ６０は、ウエハ固定治具２０との当接部分のエッチングが抑制されるので、ウエハ固定治具２０との当接部分におけるウエハ６０の肉厚がエッチング前と同等に確保される。ここで、ウエハ固定治具２０は、第一保持板２１および第二保持板２６がウエハ６０の外縁６４ａ〜６４ｄに沿って、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２の外縁側Ｓと当接して保持しているので、ウエハ６０の外縁側Ｓのエッチングが抑制され、ウエハ６０の外縁側Ｓの肉厚がエッチング前と同等に確保される。これにより、ウエハ６０には、エッチングされた領域よりも厚い厚肉部６７が形成されるので、エッチングにより薄型化された後のウエハ６０の強度を確保でき、その後の工程（例えばポリシング工程Ｓ４０）でウエハ６０の破損を防止できる。しかも、特に破損しやすいウエハ６０の外縁側Ｓに厚肉部６７が形成されるので、ウエハ６０の外縁側Ｓの強度を確保でき、ウエハ６０の割れや欠け等を効果的に防止できる。
【００４２】
また、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２における外縁側Ｓの全周にわたってウエハ固定治具２０が当接しているので、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって厚肉部６７が形成される。したがって、エッチングにより薄型化された後のウエハ６０の強度を、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって確保できるので、その後の工程でウエハ６０の破損を防止できる。さらに、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって厚肉部６７が形成されるので、ウエハ６０の面剛性を確保できる。これにより、エッチング時やその後の工程において、ウエハ６０の歪みや反りを抑制できる。
【００４３】
なお、この発明の技術範囲は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００４４】
実施形態のウエハ固定治具保持工程Ｓ３２において、ウエハ固定治具２０は、ウエハ６０の外縁側Ｓを、ウエハ６０の外縁６４ａ〜６４ｄに沿って全周にわたって保持しており、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって厚肉部６７を形成していた。これに対して、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２において、ウエハ固定治具２０は、ウエハ６０の外縁側Ｓを、ウエハ６０の外縁６４ａ〜６４ｄに沿って一部のみ保持し、ウエハ６０の外縁側Ｓの一部にのみ厚肉部６７を形成してもよい。ただし、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたって厚肉部６７を形成することにより、ウエハ６０の外縁側Ｓの全周にわたってウエハ６０の強度を確保できるとともに、ウエハ６０の面剛性を確保できる点で、実施形態に優位性がある。
【００４５】
実施形態では、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２において、ウエハ固定治具２０は、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２における外縁側Ｓに当接してウエハ６０を保持し、ウエハ６０の第一主面６１側および第二主面６２側のエッチングを抑制して厚肉部６７を形成していた。これに対して、ウエハ固定治具保持工程Ｓ３２において、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２のいずれか一方主面における外縁側Ｓに当接してウエハ６０を保持し、ウエハ６０の第一主面６１および第二主面６２のいずれか一方主面側のみエッチングを抑制して厚肉部６７を形成してもよい。
【００４６】
実施形態では、略正方形状をした角型のウエハ６０を例にして説明したが、ウエハの形状は角型に限定されない。例えば、丸型のウエハであっても、ウエハの外縁側にウエハ固定治具２０を当接させ、ウエハの外縁側のエッチングを抑制することにより、本発明の効果を得ることができる。
【００４７】
実施形態では、ウエハ固定治具２０は、第一開口部２２、第二開口部２７およびウエハ６０が配置される凹部２３がそれぞれ一個形成されており、一枚のウエハ６０を保持可能に形成されていた。これに対して、ウエハ固定治具２０は、第一開口部２２、第二開口部２７およびウエハ６０が配置される凹部２３が複数形成されて、複数枚のウエハ６０を保持可能に形成されていてもよい。これにより、さらに多くのウエハ６０を一度にエッチングできるので、エッチング工程Ｓ３０の効率を向上できる。
【００４８】
実施形態では、ウエハ６０として水晶ウエハを例にして説明をしたが、水晶ウエハに限定されない。ウエットエッチングが可能な基板であれば、本発明の効果を得ることができる。
【００４９】
実施形態では、バケット３０に複数のウエハ固定治具２０ごと複数のウエハ６０を収納しており、浸漬工程Ｓ３６では、バケット３０ごと複数のウエハ６０をエッチング液３９に浸漬していた。これに対して、バケット３０を使用することなく、ウエハ固定治具２０ごとウエハ６０をエッチング液３９に浸漬してもよい。ただし、バケット３０にウエハ固定治具２０ごとウエハ６０を収納することで、エッチング液３９内においてウエハ６０の姿勢が保持されて、精度よくウエハ６０をエッチングされる。さらに、バケット３０を使用することで、複数のウエハ固定治具２０ごと複数のウエハ６０をエッチング液３９に浸漬できるので、複数のウエハ６０を効率よくエッチングできる。したがって、バケット３０に複数のウエハ固定治具２０ごと複数のウエハ６０を収納して浸漬工程Ｓ３６を行う本実施形態に優位性がある。
【符号の説明】
【００５０】
２０・・・ウエハ固定治具  ３０・・・バケット  ３９・・・エッチング液  ６０・・・ウエハ  ６１・・・第一主面（一方主面）  ６２・・・第二主面（他方主面）  ６４ａ〜６４ｄ・・・外縁  Ｓ・・・外縁側  Ｓ３０・・・エッチング工程（エッチング方法）  Ｓ３２・・・ウエハ固定治具保持工程  Ｓ３４・・・バケット収納工程  Ｓ３６・・・浸漬工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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