(57)【要約】  【課題】  露光の際にプラスチック基材にしわが発生したり、露光ステージとの間に気泡を挟んでしまうといった問題を防ぎ、かつパターン寸法精度が安定したカラーフィルターの製造方法を提供する。  【解決手段】  連続したプラスチック基材１１の一方の面に感光性化合物が含まれる層１５を形成して積層体６を形成し、前記積層体６の前記感光性化合物が含まれる層１５を露光し、かつ前記露光中の前記積層体６の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2であることを特徴とする積層体６の露光方法によって解決した。【選択図】  図４
2013122498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成し、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を露光し、かつ前記露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2であることを特徴とする積層体の露光方法。
【請求項２】
プラスチック基材の一方の面にパターン層を有するカラーフィルターの製造方法であって、連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2である露光工程と、露光した前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を現像する現像工程と、を備えることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層体の露光方法及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーフィルターの部材としてガラス基材が用いられている。しかし、ガラス基材は脆く、破損しやすいためガラス基材の代わりにプラスチック基材が用いられている。また、プラスチック基材は可撓性を有することから、プラスチック基材上へのパターン形成にロール・ツー・ロールプロセスを適用することができるため、枚葉プロセスに比べて高い生産性を得ることができる。
【０００３】
しかし、プラスチック基材に張力（以下、「テンション」とも言う）が加わるとプラスチック基材が伸びるため、特にパターンの露光において露光前後でパターン寸法の変動が大きくなり、パターン不良が発生するおそれがある。また、露光の度にパターン寸法が大きく変動すると、パターンの露光、現像を繰り返し行う場合に、露光したパターンとパターンがずれて重なり合う問題や、パターンとパターンに隙間ができてバックライト等の光源からの光が漏れる問題が生じるおそれがあるために、パターン寸法が安定する露光が要求される。
【０００４】
一般的にカラーフィルターのパターン寸法の安定性として、パターン寸法精度、すなわち設計上のパターン寸法と実際のパターン寸法との差分のばらつきが１００ｍｍ当たり５μｍ以下（以下、５μｍ／１００ｍｍという。）であることが要求されているが、プラスチック基材にテンションをかけて露光する場合には、要求されるパターン寸法精度を満たすことができないおそれがある。
【０００５】
このような問題に対して特許文献１には露光する際にテンションをかけない、いわゆるフリーテンション状態にして、露光ステージ上でプラスチック基材を吸着により固定して露光することを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１４４８６２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載のカラーフィルターの製造方法では、プラスチック基材を露光ステージ上に吸着、固定した際に、プラスチック基材にしわが発生したり、プラスチック基材と露光ステージの間に気泡を挟んでしまい、パターンの形状が正確に露光されず、不良が発生するおそれがある。
【０００８】
上記問題を解決するために、本発明は露光の際にプラスチック基材にしわが発生したり、露光ステージとの間に気泡を挟んでしまうといった問題を防ぎ、かつ露光後のパターン寸法精度が安定した露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、連続したプラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成し、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を露光し、かつ前記露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2であることを特徴とする積層体の露光方法を提供する。
【００１０】
本発明の積層体の露光方法によれば、積層体を露光ステージ上に固定して露光した際に、プラスチック基材にしわが発生したり、プラスチック基材と露光ステージの間に気泡を挟んでしまい、パターンの形状が正確に露光されず、不良が発生する問題を防ぐことができる。
【００１１】
本発明は、プラスチック基材の一方の面にパターン層を有するカラーフィルターの製造方法であって、連続した前記プラスチック基材の一方の面に感光性化合物が含まれる層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2である露光工程と、露光した前記積層体の前記感光性化合物が含まれる層を現像する現像工程と、を備えることを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１２】
本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、パターン露光中の積層体の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2であることにより、露光したパターン寸法精度が５μｍ／１００ｍｍを満たすカラーフィルターを安定して得ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、露光の際にプラスチック基材にしわが発生したり、露光ステージとの間に気泡を挟んでしまうといった問題を防ぐ露光方法を提供することができる。
本発明によれば、露光前後のパターン寸法精度が安定したカラーフィルターの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るカラーフィルターの一例を示す断面図である。
【図２】本発明に係るプラスチック基材に形成したパターン層の一例を示す平面図である。
【図３】本発明に係るパターン層の形成の一例を示す断面図である。
【図４】本発明に係る露光装置の概略を示す断面図である。
【図５】本発明に係る積層体にかかるテンションを測定する方法の一例を示す断面図である。
【図６】本発明に係る積層体にかかるテンションを調整したときの、パターン層寸法精度の変化の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
１．カラーフィルター
図１により本発明の露光方法及びカラーフィルターの製造方法によりできるカラーフィルター１０について説明する。図１に示すカラーフィルター１０は、プラスチック基材１１の一方の面にカラーフィルター用のパターン層１２が形成されている。パターン層１２は、ブラックマトリックス１３や、赤色着色層１４ａ 、緑色着色層１４ｂ、青色着色層１４ｃの複数色の着色層より形成される着色層１４である。
【００１６】
本発明の露光方法及びカラーフィルターの製造方法によりできたカラーフィルター１０は、例えば液晶ディスプレイ、タッチパネル、有機ELディスプレイ、電子ペーパー等に用いることができる。
【００１７】
（１）プラスチック基材
本発明に用いられるプラスチック基材１１について説明する。プラスチック基材１１は、ロール・ツー・ロールプロセスに適用することができる程度の可撓性を有していれば特に制限されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。特に、ヤング率が４．７ＧＰａ〜６．０ＧＰａのプラスチック基材が好ましく、具体的には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のプラスチック基材を挙げることができる。
【００１８】
プラスチック基材１１の厚さは、１０μｍ〜５００μｍであることが好ましく、さらに５０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。プラスチック基材１１の厚さが５００μｍを超える場合には、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、プラスチックフィルムをロール状に巻き取ることが困難になる。また、プラスチック基材１１の厚さが１０μｍ未満である場合には、こしが無くなり、工程における取り扱いが困難になる。
【００１９】
（２）パターン層
次に、本発明のパターン層１２について説明する。パターン層１２は上記の通り、ブラックマトリックス１３、赤色着色層１４ａ 、緑色着色層１４ｂ、青色着色層１４ｃの複数色の着色層より形成される着色層１４、アライメントマーク（図示せず）等である。また、パターン層１２のパターンは、後述するマスクにより露光される文字、図形、模様等のことをいう。
【００２０】
パターン層１２は、プラスチック基材１１に形成された感光性化合物が含まれる層１５を露光、現像することにより形成することができる。
【００２１】
例えば、ブラックマトリックス１３を形成するために用いられる感光性化合物が含まれる層１５としては、遮光性を有するブラックカーボン等の黒色の顔料、溶剤、バインダー樹脂、感光性化合物等を含む組成物を挙げることができる。
【００２２】
バインダー樹脂としては、ポリカーボネート樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ノルボルネン系樹脂、４−メチルペンテン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリプロピレンテレフタレート樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂等を挙げることができる。また、エポキシ系樹脂、シリコーン樹脂等を主骨格として、吸水性を低減するような設計をなされたものを挙げることができる。
【００２３】
感光性化合物としては、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する電離放射線硬化性化合物、特に電子線硬化性化合物もしくは紫外線硬化性化合物を使用することができる。紫外線硬化性化合物を用いる場合には、バインダー樹脂に光重合開始剤が単独または複数組み合わせて用いることができる。紫外線硬化性化合物を用いる場合には、必要に応じて増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等と組み合わせて用いることができる。
【００２４】
また、着色層１４を形成するために用いられる感光性化合物が含まれる層１５は、黒色の顔料を染料、または無機顔料もしくは有機顔料等の着色剤に変更する以外は、ブラックマトリックス１３に関するものと同じである。
【００２５】
なお、本発明のカラーフィルター１０は、前述したプラスチック基材１１と、プラスチック基材１１の一方の面にパターン層１２とを有するものであれば特に限定されるものではなく、必要に応じて、保護層や透明電極等が形成されたものであってもよい。
【００２６】
形成されたパターン層１２のパターン寸法精度について説明する。パターン寸法精度は、形成したパターン層１２の特定区間の距離（以下、「測定値」とも言う）と、当該特定区間の設計上の寸法（以下、「設計値」とも言う）とにより得ることができる。例えば、図２に示すように、形成したパターン層１２の四隅（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）を用いて、ａ−ｂ間、ｃ−ｄ間、ａ−ｄ間、ｂ−ｃ間の各区間の距離を測定する。次に、得られた各区間の測定値と、パターンを露光する際に用いられるマスク２４に形成されたパターンにおいて、プラスチック基材１１に形成されたパターン層１２のａ−ｂ間、ｃ−ｄ間、ａ−ｄ間、ｂ−ｃ間に相当する区間の距離の設計値との差分を求める。設計値が１００ｍｍでない場合には、求めた差分を設計値の１００分の１で割り、１００ｍｍ当たりの測定値と設計値との差分を求めることができる。ただし、前記の差分、設計値の単位は、ミリメートル単位である。
【００２７】
さらに、同様のパターン層１２を形成したプラスチック基材１１を複数作製すると、各区間の測定値と設計値との差分はパターン層１２を形成したプラスチック基材１１の数だけ得ることができる。各区間（ａ−ｂ間、ｃ−ｄ間、ａ−ｄ間、ｂ−ｃ間）において得られた複数の測定値と設計値との差分（以下、差分１と言う。）のうち、差分１の最大値と最小値との差分（以下、差分２と言う。）を求めて、求めた各区間の差分２の平均値を求めることによりパターン層１２のパターン寸法精度を得ることができる。このパターン寸法精度によりパターン寸法の安定性を評価することができる。例えば、実際のパターン寸法の測定値と設計値との差が大きくても、パターン寸法精度が小さい場合には、実際のパターン寸法の測定値と設計値との差が無くなるよう補正を加えることにより設計値に近いパターン寸法のカラーフィルターを安定して得ることができる。
【００２８】
また、パターン層１２にアライメントマークや寸法測定用のパターン等を設けている場合には、それらを用いてパターン寸法精度を求めてもよい。
【００２９】
また、パターン寸法を測定する方法としては、二次元座標測定機を用いることができる。具体的には、ＳＯＫＫＩＡ社製二次元座標測定機「ＡＭＩＣ−１３００」を挙げることができる。
【００３０】
次に、本発明におけるカラーフィルター１０の製造方法について詳細に説明するとともに、本発明における積層体１６の露光方法についても詳細に説明する。
【００３１】
２．カラーフィルターの製造方法
【００３２】
本発明のカラーフィルターの製造方法は、図３に示すように連続したプラスチック基材１１の一方の面に感光性化合物が含まれる層１５を形成して積層体１６を形成する積層体形成工程（図３（ａ））と、前記積層体１６の前記感光性化合物が含まれる層１５にパターンを露光し、かつ露光中の前記積層体１６の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2である露光工程（図３（ｂ））と、露光した前記積層体１６の前記感光性化合物が含まれる層１５を現像する現像工程（図３（ｃ））とを有するものである。
【００３３】
以下、各工程について詳細に説明する。
【００３４】
２−１．積層体形成工程
まず、本発明の積層体形成工程について説明する。積層体形成工程は、連続したプラスチック基材１１を準備し、プラスチック基材１１の一方の面に前述の感光性化合物を含む組成物を塗布して、感光性化合物が含まれる層１５を形成して積層体１６を得ることができる。ここで、積層体１６とはプラスチック基材１１の一方の面に感光性化合物を含む層１５を形成したものをいう。
【００３５】
プラスチック基材１１の一方の面に感光性化合物を含む層１５を形成して積層体１６を得る方法としては、プラスチック基材１１に直接感光性化合物を含む組成物を塗布する方法が挙げられる。具体的には、グラビアコート、ダイコート等による塗布方法を挙げることができる。
【００３６】
また、プラスチック基材１１の一方の面に感光性化合物を含む層１５を形成して積層体１６を得る方法としては、転写により感光性化合物が含まれる層１５を形成する方法を挙げることができる。具体的には、プラスチック基材１１とは別の剥離性シートを準備して、剥離性シートの剥離性のある面に感光性化合物を含む組成物を塗布して、感光性化合物が含まれる層１５を転写することができる転写シートを作製する。この転写シートを用いて、プラスチック基材１１に感光性化合物が含まれる層１５を転写して、積層体１６を得ることができる。なお、転写する方法としては、剥離性シートに塗布した感光性化合物を含む組成物自体の接着性、特に熱接着性を利用する方法や、塗布した感光性化合物を含む組成物の上に感熱接着剤層を積層しておく方法等を挙げることができる。
【００３７】
転写により感光性化合物が含まれる層１５を形成する方法を用いることにより、感光性化合物が含まれる層１５をドライプロセスで行うことができ、塗布後に乾燥を行うための時間や設備を減らすことができ、より効率的に積層体１６を得ることができる。
【００３８】
２−２．露光工程
次に、本発明の露光工程について説明する。図３（ｂ）に示すように、積層体形成工程で得られた積層体１６の感光性化合物が含まれる層１５に対して、マスク２４を介してパターンを露光する。図３（ｂ）では、感光性化合物が含まれる層１５がネガ型であることを想定して描いてあるが、感光性化合物が含まれる層１５はポジ型であってもよい。また、図４は本発明の露光工程で用いられる露光装置の一例を示す図である。
【００３９】
まず、前述した積層体形成工程で得られた積層体１６をロール状に巻取り、繰り出し積層体ロール２１として、露光装置２０に設置する。
【００４０】
繰り出し積層体ロール２１から繰り出された積層体１６は、露光部２２に搬送される。露光部２２は、光源２３及びマスク２４を有している。
【００４１】
露光部２２に搬送された積層体１６は、露光する前に露光部２２の入口側及び出口側に設けられたダンサーローラ２５ａ、２５ｂによりテンションをかけられる。積層体１６にかけるテンションは、ダンサーローラ２５ａ及び２５ｂの少なくとも、いずれか一方を、露光部２２内の積層体１６が伸びる方向に移動させることにより調整される。図４では、ダンサーローラ２５ａ、２５ｂは光源２３がある側とは反対の方向に移動するよう描いている。
【００４２】
なお、積層体１６にかかるテンションは、積層体１６の搬送方向と垂直な方向を幅方向とした時に、積層体１６の搬送方向と平行な方向にかかるテンションが０．０２N／ｍｍ2〜０．４０N／ｍｍ2であることが好ましく、さらに０．０２N／ｍｍ2〜０．１４N／ｍｍ2であることがより好ましい。ここで、本発明における積層体１６にかかるテンションは、積層体１６の幅と厚さによりできる面の単位面積当たりにかかる力として求められる。また、「搬送方向と平行な方向」とは、図２に示すように、幅方向に垂直な搬送方向と平行な方向であり、積層体１６が搬送されて進む方向とその逆の方向との両方を意味する。
【００４３】
テンションが０．０２N／ｍｍ2より小さい場合には、積層体１６が弛み、シワが発生した状態で露光されてしまい、パターンの形状が正確に露光されないといった問題が発生するおそれがある。また、積層体１６と露光装置２０の搬送系との間に静電気が生じると、積層体１６にかかるテンションよりも静電気による力の方が大きいため、積層体１６にシワが発生し、パターンの形状が正確に露光されないといった問題が発生するおそれがある。
【００４４】
テンションが０．４０N／ｍｍ2より大きい場合には、積層体１６が大きく伸びた状態で露光されるため、露光後にテンションが開放され積層体１６が元の状態に戻ると、パターン寸法精度が５μｍ／１００ｍｍを超えるおそれがある。また、ブラックマトリックス１３や着色層１４等を形成するために露光や現像を繰り返し行う場合に、２版目以降は既に形成されているパターン層１２を基準に位置合わせ（以下、「アライメント」とも言う）を行うことがある。しかし、露光中のテンションが０．４０N／ｍｍ2より大きいと、アライメントのズレが生じ、例えば、ブラックマトリックス１３のパターンと赤色着色層１４ａのパターンが重なるおそれがある。
【００４５】
積層体１６にかかるテンションを測定する方法としては、プッシュプルゲージを用いることができる。例えば、図５に示すように、露光装置２０にセットした繰り出し積層体ロール２１から繰り出された積層体１６をダンサーローラ２５ａに通して、積層体１６の端部にプッシュプルゲージ２７を設置する。次に、ダンサーローラ２５ａを移動させて、積層体１６にかかる力を測定し、積層体１６の幅と厚さによりできる面の面積で割ることによりテンションを求めることができる。具体的なプッシュプルゲージとしては、アイコーエンジニアリング株式会社製プッシュプルゲージ「ＣＰＵ  ＧＡＵＧＥ ９５００シリーズ５０Ｎ  Ｂ  Ｔｙｐｅ」を挙げることができる。
【００４６】
次に、積層体１６にテンションがかけられた状態で、積層体１６は露光される。露光に用いられる光源は、感光性化合物が含まれる層１５がパターン層１２を形成することができる光源であれば、特に制限は無く、感光性化合物が含まれる層１５に応じて適宜選択して用いることができる。
【００４７】
露光量は、感光性化合物が含まれる層１５がパターン層１２を形成することができる露光量であれば特に制限は無く、感光性化合物が含まれる層１５に応じて適宜選択して用いることができる。
【００４８】
また、マスク２４と積層体１６との距離は、５００μｍ以下が好ましい。マスク２４と積層体１６との距離が５００μｍを超えると、露光するパターンの解像度が低下するおそれがある。
【００４９】
露光した後に、ダンサーローラ２５ａ、２５ｂが移動することにより積層体１６にかかるテンションを開放し、積層体１６はテンションをかけられる前の状態になる。その後、露光された積層体１６は搬送され、ロール状に巻き取られ、巻き取り積層体ロール２６を得ることができる。
【００５０】
２−３．現像工程
次に、本発明の現像工程について説明する。露光した後に、現像を行うことによりパターン層１２を得ることができる。
【００５１】
現像は、図３（ｃ）に示すように、感光性化合物が含まれる層１５がネガ型の場合には、現像液により露光されなかった感光性化合物が含まれる層１５が除去されて、パターン層１２が形成される。
【００５２】
現像液は、パターン層１２が形成することができれば特に制限されることはなく、感光性化合物が含まれる層１５に応じて適宜選択して用いることができる。
【００５３】
以上の説明では、１つのパターン層１２を形成する方法について説明したが、ブラックマトリックス１４や着色層１３等を形成する場合には、上記の積層体形成工程、露光工程、現像工程を繰り返し行えばよい。
【実施例】
【００５４】
以下実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみに限定されない。以下の実施例と比較例では、ブラックマトリックス１３を形成したプラスチック基材１１を作製した。
【００５５】
（実施例１）
プラスチック基材１１として、厚さ０．１２５ｍｍ、幅３３０ｍｍ、長さ３０ｍのロール状のプラスチック基材１１（東洋紡績株式会社製コスモシャインＡ４１００）を準備した。プラスチック基材１１の一方の面にマイクログラビアコーターで下記の組成のブラックマトリックス形成用感光性化合物を含む組成物を塗布して、乾燥させ、積層体１６を作製した。
【００５６】
下記にブラックマトリックス形成用感光性化合物を含む組成物を示す。
・カーボンブラック                                                ６１重量部  
・アクリル樹脂                                              １２．４８重量部  
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                  １６．３８重量部  
・エピコート１８０Ｓ７０（三菱油化シェル（株）社製）          ７．０２重量部  
・Ｉｒｇ．９０７（チバスペシャリティケミカルズ（株）社製）    ３．１２重量部  
・メトキシブチルアセテート                                      ３００重量部  
【００５７】
次に、作製した積層体１６を図４に示す露光装置２０によりロール・ツー・ロールでパターンを露光した。露光の際に積層体１６にかけたテンションは、０．０２Ｎ／ｍｍ2であった。また、マスク２４と積層体１６の距離は１５０μｍとし、光源２３は超高圧水銀ランプを用いて、２００ｍＪ／ｃｍ2露光した。露光後に現像を行い、プラスチック基材１１にブラックマトリックス１３を形成した。なお、同様の方法でブラックマトリックス１３を形成したプラスチック基材１１を３枚作製した。
【００５８】
次に、形成したブラックマトリックス１３のパターン寸法精度を求めた。まず、図２に示すように、形成したブラックマトリクス１３の四隅（ａ、ｂ、ｃ、ｄ）を用いて、ａ−ｂ間、ｃ−ｄ間、ａ−ｄ間、ｂ−ｃ間の各区間の距離を測定した。次に、得られた各区間の測定値と、パターンを露光する際に用いられるマスク２４に形成されたブラックマトリクス１３のパターンにおいて、プラスチック基材１１に形成されたブラックマトリクス１３のａ−ｂ間、ｃ−ｄ間、ａ−ｄ間、ｂ−ｃ間に相当する区間の距離の設計値との差分を求めた。また、求めた測定値と設計値との差分を設計値の１００分の１で割り、１００ｍｍ当たりの測定値と設計値との差分（差分１）を計算した。ただし、前記の差分、設計値の単位は、ミリメートル単位である。
【００５９】
ブラックマトリックス１３を形成したプラスチック基材１１は３枚作製されているので、得られた測定値と設計値との差分（差分１）は各区間でＮ＝３である。さらに、各区間のＮ＝３の差分１のうち最大値と最小値との差分（差分２）を求めて、求めた各区間の差分２の平均値を求めて、パターン寸法精度を得た。
【００６０】
（実施例２）
積層体１６にパターンを露光する際に積層体１６にかけたテンションを０．１４Ｎ／ｍｍ2とした以外は実施例１と同様とした。
【００６１】
（実施例３）
積層体１６にパターンを露光する際に積層体１６にかけたテンションを０．４０Ｎ／ｍｍ2とした以外は実施例１と同様とした。
【００６２】
（比較例１）
積層体１６にパターンを露光する際に積層体１６にかけたテンションを０．４６Ｎ／ｍｍ2とした以外は実施例１と同様とした。
【００６３】
（比較例２）
積層体１６にパターンを露光する際に露光装置２０のダンサーローラ２５ａ及び２５ｂを取り外し、積層体１６をフリーテンションの状態とした以外は実施例１と同様とした。
【００６４】
（評価）
表１と図６に実施例１〜実施例３、比較例１の結果を示す。
【００６５】
【表１】
2013122498.tif 000003
【００６６】
実施例１〜実施例３のパターン寸法精度は、５μｍ／１００ｍｍより小さかった。一方、比較例１のパターン寸法精度は、５μｍ／１００ｍｍより大きかった。また、比較例２では、テンションがかかっていないため露光ステージ上で積層体１６が弛み、露光ステージ上で積層体１６を吸着する際に露光ステージと積層体１６との間に気泡が発生し、積層体１６が歪んでしまい、パターン不良が発生した。
【符号の説明】
【００６７】
１０            カラーフィルター
１１            プラスチック基材
１２            パターン層
１３            着色層
１３ａ          赤色着色層
１３ｂ          緑色着色層
１３ｃ          青色着色層
１４            ブラックマトリックス
１５            感光性化合物が含まれる層
１６            積層体
２０            露光装置
２１            繰り出し積層体ロール
２２            露光部
２３            光源
２４            マスク
２５ａ、２５ｂ  ダンサーローラ
２６            巻き取り積層体ロール
２７            プッシュプルゲージ
【図１】
2013122498.tif 000004
【図２】
2013122498.tif 000005
【図３】
2013122498.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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