(57)【要約】【課題】ノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化でき、各チャネルへのインク供給構造も簡素化でき、各駆動電極との電気的接続も容易なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】駆動壁とチャネル11とが交互に並設されたチャネル列を1又は複数有する複数のヘッドチップ1が、隣接するヘッドチップ1間に隙間をあけて共通のノズルプレート2に位置合わせされて接着され、ヘッドチップ1を個別に挿通させる挿通口31を有する保持枠部材3がノズルプレート2の背面に接して設けられる。インクマニホールドは、複数のヘッドチップ1の外側方に張り出した保持枠部材3の張り出し部32から、ヘッドチップ1の後方側の少なくとも一部を包囲するように設けられ、チャネルの入口11bをその内部に配置しており、駆動電極に電圧を印加する電圧印加手段の少なくとも一部が、ヘッドチップ1毎にインクマニホールド4を貫通している。【選択図】図2
2013230596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、前記ノズル孔に対応する前記チャネルがそれぞれ位置合わせされると共に隣接する前記ヘッドチップ間に隙間をあけて前記ノズルプレートに接着されており、
前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有する保持枠部材が前記ノズルプレートの背面に接して設けられており、
前記インクマニホールドは、前記保持枠部材において複数の前記ヘッドチップを取り囲むように該ヘッドチップの外側方に張り出した張り出し部から、該ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲することにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置しており、
前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部が、前記ヘッドチップ毎に前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に後面に前記チャネルの入口が配置され、前記後面に、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が形成されており、
前記引き出し電極に対して前記電圧印加手段の一部を構成する外部配線部材が電気的に接続されており、該外部配線部材が前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に後面に前記チャネルの入口が配置され、前記後面に、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が形成されており、
前記ヘッドチップの後面に、前記電圧印加手段の一部を構成すると共に前記引き出し電極と電気的に接続される配線が形成された配線引き出し部材が接合され、該配線引き出し部材が前記後面から後方に延びて前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に前記チャネルの入口が該チャネルの長さ方向と交差する側方に向けて開口し、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続されて前記電圧印加手段の一部を構成する引き出し電極が、該ヘッドチップにおける前記チャネルの入口よりも後方に向けて延びるように形成されており、
前記ヘッドチップおける前記チャネルの入口よりも後方側の少なくとも一部が前記インクマニホールドを貫通することにより、前記引き出し電極が該インクマニホールドを貫通していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記保持枠部材は、前記チャネルの入口を閉塞することなく前記ノズルプレートの背面と前記チャネルの入口との間の段差を埋める厚みを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記保持枠部材は、複数枚に分かれており、該複数枚が積層されることによって前記厚みが形成されていることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記保持枠部材は前記ヘッドチップの前面と面一状に配置されており、
前記ノズルプレートは、前記保持枠部材と前記ヘッドチップの前面とに亘って接着されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記保持枠部材の前面側に、前記ノズルプレートよりも前方に突出することによって該ノズルプレートを保護するための天板が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記ヘッドチップのチャネル列数は、１列又は２列であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップに、前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部を、該ヘッドチップの後方に向けて延びるように設ける工程と、
次いで、予め前記ノズル孔が形成された前記ノズルプレートに、複数の前記ヘッドチップをそれぞれ位置合わせして接着する工程と、
次いで、前記ノズルプレートの背面側に、前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有すると共に複数の前記ヘッドチップを取り囲む大きさを有する保持枠部材を、前記挿通口に前記ヘッドチップをそれぞれ挿通させて装着する工程と、
次いで、前記保持枠部材に対して、前記ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲するようにインクマニホールドを取り付けることにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置すると共に前記電圧印加手段の少なくとも一部を前記ヘッドチップ毎に該インクマニホールドを貫通させる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドの製造方法であって、
予め前記ノズル孔が形成された前記ノズルプレートに、前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有すると共に複数の前記ヘッドチップを取り囲む大きさを有する保持枠部材を装着する工程と、
次いで、予め前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部を後方に向けて延びるように設けられた複数の前記ヘッドチップを、前記保持枠部材の前記挿通口を通して前記ノズルプレートの背面に対してそれぞれ位置合わせして接着する工程と、
次いで、前記保持枠部材に対して、前記ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲するようにインクマニホールドを取り付けることにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置すると共に前記電圧印加手段の少なくとも一部を前記ヘッドチップ毎に該インクマニホールドを貫通させる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳しくは、ノズルプレートに形成されたノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化することができると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットヘッドは高精細な画像を記録可能とするためにノズルの高密度化が要求されている。このためチャネル列数を多列化することが行われており、特に４列以上のチャネル列数を持つインクジェットヘッドが要求されている。
【０００３】
従来、チャネル列数を多列化したインクジェットヘッドとして、特許文献１、２に記載のものが提案されている。これらのインクジェットヘッドは、駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列をそれぞれ有するヘッドチップを複数積層することによってチャネル列が多列となるように構成されたヘッドチップに対して、各チャネルに対応するノズル孔が多列に配列された１枚のノズルプレートを貼着して構成されており、ヘッドチップを複数積層することによって容易にインクジェットヘッドを多列化することができる。
【０００４】
しかし、このような多列のチャネル列を持つヘッドチップを作製する際、積層されるヘッドチップ間でチャネルピッチを精密に一致させる必要があり、積層数が多くなって多列になればなるほど、ヘッドチップ相互間のチャネルピッチのズレが発生し易くなる問題がある。これに対し、ノズルプレートはノズル孔のピッチが高精度に規定されているため、積層された多列のヘッドチップの全体に対して１枚のノズルプレートを貼着すると、ノズル孔とチャネルとの間で位置ズレが発生する場合があり、最悪の場合、ノズル孔とチャネルとが一致せずにノズル詰まりとなって吐出不良を発生させてしまうおそれがある。
【０００５】
また、特にヘッドチップが、前面及び後面と、該前面と該後面との間の４つの側面とを有し、前面と後面にそれぞれチャネルの出口と入口とが配置された六面体からなる構造のヘッドチップである場合、チャネルの長さ方向に長尺な積層物をフルカットすることによって、同一構造の多列のヘッドチップを多数個取りすることができて生産性が良いという利点を有しているが、チャネル列数を多列化していくに従って、積層物の厚みが大きくなるためにフルカットすることが困難となり、特に切断面の平面性が得られにくくなってチャネル列間でチャネルの長さに相違が生じ、射出特性に影響が出るおそれもある。
【０００６】
一方、特許文献３の図１５〜１８には、１枚のノズルプレートに対し、それぞれ２列のチャネル列を持つ複数のヘッドチップを個別に接合することで、チャネル列数を多列化したインクジェットヘッドが開示されている。このようなインクジェットヘッドによれば、２列のチャネル列を持つヘッドチップ毎にノズルプレートのノズル孔とチャネルとの位置合わせをすることができるため、上述したようにヘッドチップを積層して多列化する場合に見られる位置ズレの問題はなくなり、また、ヘッドチップをフルカットして作製する場合でもフルカットが困難となることはなく、切断面の平面性が問題となることもない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１７８５０９号公報
【特許文献２】特開２０１１−１８３５７４号公報
【特許文献３】米国特許第６２８１９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この特許文献３の図１５〜１８に開示される従来のインクジェットヘッドは、ノズルプレートに駆動ＩＣを実装し、この駆動ＩＣと各ヘッドチップとをノズルプレート上で配線接続するようにしており、ノズルプレートで各ヘッドチップを支持する必要がある。
【０００９】
しかし、ノズルプレートは、複数のヘッドチップを支持するために大きな面積で形成されており、また薄いために撓み易く、各ヘッドチップを同一平面上に支持することが困難となり、インクの着弾性能に影響が出る問題がある。
【００１０】
また、上記従来のインクジェットヘッドは、ヘッドチップ毎に個別にインクマニホールドを接合しているため、インク供給のための構造が複雑になるといった問題もある。
【００１１】
更に、上記従来のインクジェットヘッドは、各ヘッドチップをノズルプレートに接合する際に、ノズル孔との位置合わせと同時に各駆動電極と駆動ＩＣとの間の電気的接続を行う必要があり、接合作業が極めて煩雑となる問題もある。
【００１２】
このような上記従来のインクジェットヘッドに見られる問題は、インクジェットヘッドのチャネル列数を多列化すればするほど顕著となるものであった。
【００１３】
そこで、本発明は、ノズルプレートに形成されたノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化することができ、各チャネルへのインク供給のための構造も簡素化できると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえるインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
【００１４】
また、本発明は、ノズルプレートに形成されたノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化することができ、各チャネルへのインク供給のための構造も簡素化できると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【００１５】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１７】
１．  圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、
前記ヘッドチップは、前記ノズル孔に対応する前記チャネルがそれぞれ位置合わせされると共に隣接する前記ヘッドチップ間に隙間をあけて前記ノズルプレートに接着されており、
前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有する保持枠部材が前記ノズルプレートの背面に接して設けられており、
前記インクマニホールドは、前記保持枠部材において複数の前記ヘッドチップを取り囲むように該ヘッドチップの外側方に張り出した張り出し部から、該ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲することにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置しており、
前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部が、前記ヘッドチップ毎に前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【００１８】
２．  前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に後面に前記チャネルの入口が配置され、前記後面に、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が形成されており、
前記引き出し電極に対して前記電圧印加手段の一部を構成する外部配線部材が電気的に接続されており、該外部配線部材が前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００１９】
３．  前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に後面に前記チャネルの入口が配置され、前記後面に、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続された引き出し電極が形成されており、
前記ヘッドチップの後面に、前記電圧印加手段の一部を構成すると共に前記引き出し電極と電気的に接続される配線が形成された配線引き出し部材が接合され、該配線引き出し部材が前記後面から後方に延びて前記インクマニホールドを貫通していることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００２０】
４．  前記ヘッドチップの各々は、前面に前記チャネルの出口が配置されると共に前記チャネルの入口が該チャネルの長さ方向と交差する側方に向けて開口し、一端が前記チャネル内の前記駆動電極と電気的に接続されて前記電圧印加手段の一部を構成する引き出し電極が、該ヘッドチップにおける前記チャネルの入口よりも後方に向けて延びるように形成されており、
前記ヘッドチップおける前記チャネルの入口よりも後方側の少なくとも一部が前記インクマニホールドを貫通することにより、前記引き出し電極が該インクマニホールドを貫通していることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
【００２１】
５．  前記保持枠部材は、前記チャネルの入口を閉塞することなく前記ノズルプレートの背面と前記チャネルの入口との間の段差を埋める厚みを有することを特徴とする前記１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２２】
６．  前記保持枠部材は、複数枚に分かれており、該複数枚が積層されることによって前記厚みが形成されていることを特徴とする前記５記載のインクジェットヘッド。
【００２３】
７．  前記保持枠部材は前記ヘッドチップの前面と面一状に配置されており、
前記ノズルプレートは、前記保持枠部材と前記ヘッドチップの前面とに亘って接着されていることを特徴とする前記１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２４】
８．  前記保持枠部材の前面側に、前記ノズルプレートよりも前方に突出することによって該ノズルプレートを保護するための天板が設けられていることを特徴とする前記１〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２５】
９．  前記ヘッドチップのチャネル列数は、１列又は２列であることを特徴とする前記１〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【００２６】
１０．  圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドチップに、前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部を、該ヘッドチップの後方に向けて延びるように設ける工程と、
次いで、予め前記ノズル孔が形成された前記ノズルプレートに、複数の前記ヘッドチップをそれぞれ位置合わせして接着する工程と、
次いで、前記ノズルプレートの背面側に、前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有すると共に複数の前記ヘッドチップを取り囲む大きさを有する保持枠部材を、前記挿通口に前記ヘッドチップをそれぞれ挿通させて装着する工程と、
次いで、前記保持枠部材に対して、前記ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲するようにインクマニホールドを取り付けることにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置すると共に前記電圧印加手段の少なくとも一部を前記ヘッドチップ毎に該インクマニホールドを貫通させる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【００２７】
１１．  圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設されたチャネル列を１又は複数有し、前記チャネル内に臨む前記駆動壁の壁面に駆動電極が形成されてなる複数のヘッドチップと、
複数の前記ヘッドチップに亘って共通に接着され、前記チャネル内のインクを吐出させるノズル孔を有するノズルプレートと、
複数の前記ヘッドチップの前記チャネルに対して共通にインクを供給するインクマニホールドとを有し、
前記駆動電極に電圧を印加することにより前記駆動壁を変形させ、前記チャネル内のインクを前記ノズル孔から吐出させるようにしたインクジェットヘッドの製造方法であって、
予め前記ノズル孔が形成された前記ノズルプレートに、前記ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口を有すると共に複数の前記ヘッドチップを取り囲む大きさを有する保持枠部材を装着する工程と、
次いで、予め前記駆動電極に対して電圧を印加するための電圧印加手段の少なくとも一部を後方に向けて延びるように設けられた複数の前記ヘッドチップを、前記保持枠部材の前記挿通口を通して前記ノズルプレートの背面に対してそれぞれ位置合わせして接着する工程と、
次いで、前記保持枠部材に対して、前記ヘッドチップの後方側の少なくとも一部を包囲するようにインクマニホールドを取り付けることにより、前記チャネルの入口を該インクマニホールドの内部に配置すると共に前記電圧印加手段の少なくとも一部を前記ヘッドチップ毎に該インクマニホールドを貫通させる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、ノズルプレートに形成されたノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化することができ、各チャネルへのインク供給のための構造も簡素化できると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえるインクジェットヘッドを提供することができる。
【００２９】
また、本発明によれば、ノズルプレートに形成されたノズル孔との位置ズレの心配なく容易にチャネル列数を多列化することができ、各チャネルへのインク供給のための構造も簡素化できると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図
【図２】第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図３】ヘッドチップを後面側からみた斜視図
【図４】図２の(iv)−(iv)線断面図
【図５】配線引き出し部材の斜視図
【図６】１列のチャネル列を持つヘッドチップを有するインクジェットヘッドの部分断面図
【図７】第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図
【図８】第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図９】第２の実施形態の他の態様を示すインクジェットヘッドの断面図
【図１０】第２の実施形態の更に他の態様を示すインクジェットヘッドをノズル面側からみた図
【図１１】第３の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図１２】（ａ）、（ｂ）はチャネル長（Ｌ長）が異なるヘッドチップを比較する説明図
【図１３】第４の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図１４】第５の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図１５】第６の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図１６】図１５の要部拡大断面図
【図１７】第７の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図
【図１８】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例の説明図
【図１９】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例の説明図
【図２０】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の他の一例の説明図
【図２１】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の他の一例の説明図
【図２２】本発明に係るインクジェットヘッドの他の態様を示す図
【図２３】本発明に係るインクジェットヘッドの更に他の態様を示す図
【図２４】本発明に係るインクジェットヘッドの更に他の態様を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００３２】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図、図２はその断面図、図３は１つのヘッドチップを後面側からみた斜視図、図４は図２の(iv)−(iv)線断面図である。
【００３３】
本実施形態に示すインクジェットヘッドＨ１は、１枚のノズルプレート２にヘッドチップ１が２つ並設されている。２つのヘッドチップ１は相互間に隙間をあけて、それぞれ独立してノズルプレート２に対して接着されている。
【００３４】
各ヘッドチップ１は同一構造であり、前面１Ｂにチャネル１１の出口１１ａが配置されると共に、該前面１Ｂと相反する後面１Ａにチャネル１１の入口１１ｂが配置された六面体を呈している。
【００３５】
なお、本明細書において前面とはインクがチャネル１１内から吐出される方向に面している面であり、後面とはその反対面である。また、チャネルの出口とはインクがチャネル１１内から吐出される側の開口部のことであり、チャネルの入口とはチャネル１１内にインクが導入される側の開口部のことである。
【００３６】
ノズルプレート２は、例えばポリイミド等の合成樹脂シートによって２つのヘッドチップ１の前面１Ｂと２つのヘッドチップ１間とを含み、これら前面１Ｂ及びヘッドチップ１間よりも更に周囲にはみ出す程度の大判な矩形状に形成されており、各ヘッドチップ１においてインク吐出を行う各チャネル１１にそれぞれ対応するようにノズル孔２１が開設されている。各ヘッドチップ１は、これらノズル孔２１と各チャネル１１の出口１１ａとがそれぞれ位置合わせされて接着されている。
【００３７】
なお、本実施形態では、ヘッドチップ１における隣接するチャネル１１同士がいずれもインクを吐出するチャネルとされており、ノズルプレート２のノズル孔２１も隣接するチャネル１１にそれぞれ対応するように開設されているが、ヘッドチップ１のチャネル１１が、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないダミーチャネルとからなり、これらが交互に配置されてなる独立駆動タイプのヘッドチップ１である場合は、図示しないが、ノズルプレート２１にはインク吐出を行うインクチャネルのみに対応するようにノズル孔２１が開設される。
【００３８】
各ヘッドチップ１には、図３に示すように、圧電素子からなる駆動壁１２とチャネル１１とが交互に並設されて同図の左右方向に延びる１列のチャネル列１０が形成されている。ここでは１つのヘッドチップ１につきそれぞれ２列のチャネル列１０が並設されている。
【００３９】
各チャネル１１内に臨む両駆動壁１２の表面には、それぞれ駆動電極１３が形成されている。ヘッドチップ１は、圧電素子からなる駆動壁１２を挟むように配置される駆動電極１３、１３に対して後述する電圧印加手段を介して外部から所定の電圧を印加すると、この駆動壁１２が変形してチャネル１１内のインクに吐出のための圧力が付与される。
【００４０】
各チャネル１１内において互いに対向している駆動電極１３、１３同士は、チャネル１１内の壁面のうちの隣接するチャネル列１０側に配置された壁面において、駆動電極１３と同時に形成された金属膜からなる連結部１３ａによって電気的に繋がっている。ヘッドチップ１の後面１Ａには、一端がこの連結部１３ａと電気的に接続された引き出し電極１４が、チャネル１１と同一ピッチで該チャネル１１毎に形成されている。引き出し電極１４の他端は、それぞれ隣接するチャネル列１０側に向けて延び、２列のチャネル列１０の間の非チャネル形成領域１０ａに互いに短絡しないように配置されている。この引き出し電極１４は、本発明において駆動電極１３に対して電圧を印加するための電圧印加手段の一部を構成している。
【００４１】
ノズルプレート２の背面側（ヘッドチップ１が接着されている面側）には、各ヘッドチップ１をノズルプレート２上で保持するための保持枠部材３が設けられている。
【００４２】
保持枠部材３は、ノズルプレート２上で各ヘッドチップ１を保持し得る剛性を有する材料、好ましくは、アルミニウム、ステンレス等の金属材や、ガラス、セラミックス、エンジニアリングプラスチック等の硬質材料によって、外形形状がノズルプレート２とほぼ同一となる枠板状に形成されている。この保持枠部材３には、ノズルプレート２に接着された各ヘッドチップ１に対応する位置に、それぞれヘッドチップ１を挿通させるための２つの矩形状の挿通口３１が形成されている。各ヘッドチップはノズルプレート２に対して位置合わせされて接着されるので、各挿通口３１は、ヘッドチップ１の取付け位置の微調整に対応可能とするために、ヘッドチップ１の外形形状よりも若干大きく形成されている。
【００４３】
この保持枠部材３の外形形状はノズルプレート２とほぼ同一形状であるため、保持枠部材３の外周側は、ノズルプレート２上の２つのヘッドチップ１を取り囲むように該ヘッドチップ１の外側方に向けて張り出した張り出し部３２とされ、２つの挿通口３１の間は、隣接するヘッドチップ１間に露出するノズルプレート２の背面を被覆するチップ間被覆部３３とされている。従って、ノズルプレート２を背面側から見た場合、ヘッドチップ１からはみ出して露出する部分は、保持枠部材３の張り出し部３２及びチップ間被覆部３３によって全て被覆されている。
【００４４】
この保持枠部材３は、各挿通口３１にそれぞれヘッドチップ１を挿通させてノズルプレート２の背面に装着される。また、保持枠部材３をノズルプレート２の後面に装着した後に、各挿通口３１を通して該ノズルプレート２の背面に各ヘッドチップ１を位置合わせして接着してもよい。いずれにしても、保持枠部材３の張り出し部３２と各ヘッドチップ１のノズルプレート接着面である前面１Ｂとは面一状に配置されており、ノズルプレート２は、この保持枠部材３の張り出し部３２及びチップ間被覆部３３と各ヘッドチップ１の前面１Ｂとに亘って接着剤を用いて接着されている。
【００４５】
また、各ヘッドチップ１と挿通口３１との隙間も、接着剤が塗布されることによって封止されている。これにより、撓み易い薄板状のノズルプレート２でありながらも、該ノズルプレート２上の各ヘッドチップ１は、保持枠部材３によってノズルプレート２に負担をかけることなく、互いの位置関係が保持される。また、特に保持枠部材３にアルミニウムのような放熱効果の高い材質を使用することで、ヘッドチップ１の放熱を図ることもできる。
【００４６】
この保持枠部材３に対して１つのインクマニホールド４が接着されている。インクマニホールド４は、内部が２つのヘッドチップ１の各チャネル１１に対して共通にインクを供給するための共通インク室４１とされた箱型形状に形成され、２つのヘッドチップ１の外側を覆うように、保持枠部材３の張り出し部３２に対して接着されている。インクマニホールド４内の共通インク室４１の高さ（図２における上下方向の内寸）は、保持枠部材３に接着された状態で各ヘッドチップ１の後面１Ａの位置よりも高い。このため、各ヘッドチップ１の各チャネル１１の入口１１ｂは、インクマニホールド４内に配置され、インクマニホールド４に設けられた不図示のインク供給口から共通インク室４１内のインクを導入可能としている。
【００４７】
このインクマニホールド４が保持枠部材３に接着されることで、ノズルプレート２の背面側が共通インク室４１と対面するが、保持枠部材３は共通インク室４１内に臨み、ノズルプレート２の背面側における各ヘッドチップ１との接着面以外の部分を全て被覆しており、インクと直に接する流路部材としても機能しているため、インクがノズルプレート２と直接接触することはない。これによりノズルプレート２がインク中の成分によって侵されることが防止され、ノズルプレート２をインクによる汚損から保護することができる。つまり、保持枠部材３はノズル保護部材としても機能している。
【００４８】
各ヘッドチップ１の後面１Ａには、各チャネル１１内の駆動電極１３に対して電圧を印加するための配線をヘッドチップ１毎にインクマニホールド４の外部に取り出すための配線引き出し部材５がそれぞれ接着されている。本実施形態における配線引き出し部材５は、ヘッドチップ１の後面１Ａの２列のチャネル列１０間に形成された非チャネル形成領域１０ａにそれぞれ一つずつ、後面１Ａから後方に向けて延びるように突設されている。
【００４９】
なお、本明細書において後方とは、チャネル１１（ノズル孔２１）からインクが吐出される方向（前方）と反対方向のことであり、ヘッドチップ１の後面１Ａに対して垂直方向に離反する方向のことである。
【００５０】
配線引き出し部材５は、例えばガラス、セラミックス、エンジニアリングプラスチック等の硬質な絶縁材からなる直方体からなり、図５に示すように、チャネル列方向に沿う幅Ｌ１は、チャネル列１０の長さ以上、且つ、ヘッドチップ１の後面１Ａにおけるチャネル列方向の長さ以下であり、その厚みＬ２は、非チャネル形成領域１０ａの幅Ｌ４（図３参照）以下となっている。
【００５１】
配線引き出し部材５は、前端面５Ａがヘッドチップ１の後面１Ａとの接合面であり、前端面５Ａと該前端面５Ａに隣接する相反する２つの側面５Ｂ、５Ｃとに亘って、当該配線引き出し部材５を挟むように配置されている各チャネル１１からそれぞれ引き出された各引き出し電極１４にそれぞれ対応するピッチで、配線５１がパターン形成されている。
【００５２】
これら配線引き出し部材５は、前端面５Ａがヘッドチップ１の後面１Ａの非チャネル形成領域１０ａにおいて、各引き出し電極１４と各配線５１とが位置合わせされ、例えば異方性導電フィルム（ＡＣＦ）等を用いて、ヘッドチップ１毎にそれぞれ接着されることで、引き出し電極１４と配線５１とを電気的に接続している。これにより、各チャネル１１内の駆動電極１３は、引き出し電極１４及び配線引き出し部材５上の配線５１によって、ヘッドチップ１の後面１Ａに対して垂直方向に方向転換され、ヘッドチップ１毎に後方に向けて引き出されている。従って、この配線引き出し部材５の表面に形成される配線５１は、本発明において駆動電極１３に対して電圧を印加するための電圧印加手段の一部を構成している。
【００５３】
配線引き出し部材５のチャネル１１の長さ方向に沿う長さＬ３は、ヘッドチップ１の後面１Ａからインクマニホールド４の外面までの距離よりも長い。このため、インクマニホールド４には、これら配線引き出し部材５を挿通させるための挿通口４２が個別に形成されており、各配線引き出し部材５は各挿通口４２からインクマニホールド４の後方に向けてそれぞれ突出して延びている。従って、各配線引き出し部材５の表面の配線５も、各挿通口４２からインクマニホールド４の後方に向けてそれぞれ突出して延びている。
【００５４】
各ヘッドチップ１は、通常、インクマニホールド４を保持枠部材３に対して接着する前に、予め配線引き出し部材５及び後述する外部配線部材６を後面１Ａに接着しておいた後、ノズルプレート２に対して接着され、その後、ヘッドチップ１を内側に収容するように、インクマニホールド４が保持枠部材３に対して接着される。
【００５５】
このとき、配線引き出し部材５とインクマニホールド４の挿通口４２との相対位置は、ヘッドチップ１とノズルプレート２との位置合わせ状態によって異なることとなるため、配線引き出し部材５を挿通させている挿通口４２も、保持枠部材３の挿通口３１と同様に、各ヘッドチップ１の位置合わせ状態にそれぞれ対応可能とするために、外部配線部材６が接合された配線引き出し部材５の外形形状よりも若干大きく形成されている。各挿通口４２と各配線引き出し部材５との隙間はそれぞれ接着剤によって封止される。
【００５６】
各配線引き出し部材５がインクマニホールド４から突出した部分には、各配線５１が形成された面に、それぞれ外部配線部材６が例えば異方性導電フィルム（ＡＣＦ）等を用いて接合されている。これにより、配線引き出し部材５上の配線５１とこれに対応する外部配線部材６上の配線とがそれぞれ電気的に接続され、図示しない駆動ＩＣからの電圧（駆動信号）を、外部配線部材６上の配線、配線引き出し部材５上の配線５１及び引き出し電極１４を介して、各チャネル１１内の駆動電極１３に印加することができるようになっている。外部配線部材６には例えばＦＰＣ（フレキシブルプリント配線基板）を用いることができる。この外部配線部材６は、本発明において駆動電極１３に対して電圧を印加するための電圧印加手段の一部を構成している。
【００５７】
各外部配線部材６は、配線引き出し部材５におけるヘッドチップ１の後方に沿って延びる側面に接合されるため、該配線引き出し部材５にそのまま沿わせてヘッドチップ１の後方に向けて延ばされている。このため、隣接するチャネル列１０の外部配線部材６同士及び隣接するヘッドチップ１の外部配線部材６同士が干渉して邪魔になるようなことはない。
【００５８】
また、各配線引き出し部材５は、ヘッドチップ１の後面１Ａと接着されることに加え、インクマニホールド４の挿通口４２の部位においても接着剤によって接着されるため、各配線引き出し部材５の固定は、ヘッドチップ１の後面１Ａと挿通口４２との２箇所においてなされることになり、ヘッドチップ１の後面１Ａに対して安定且つ確実な固定状態を得ることができる。
【００５９】
このインクジェットヘッドＨ１は、それぞれ２列のチャネル列１０を有するヘッドチップ１を２つ並設することで合計４列のチャネル列１０を有しているが、更にヘッドチップ１をもう１つ、２つと並設数を増加していくことで、合計６列、８列といったチャネル列１０を持つことになることは容易に理解できるであろう。すなわち、本発明によれば、それぞれ少ないチャネル列を持つヘッドチップ１を使用し、そのヘッドチップ１の並設数を適宜設定することで、容易に４列以上の多列のチャネル列１０を持つインクジェットヘッドを構成することができる。各ヘッドチップ１は、少ないチャネル列数で済むため、多列のチャネル列を有する積層体をフルカットする困難さや、切断面の平面性が問題となることはない。
【００６０】
また、ヘッドチップ１をそれぞれ個別にノズルプレート２に接着すればよいため、少ないチャネル列数でノズル孔２１との位置合わせを行うことができ、ノズル孔２１との位置ズレが発生するおそれを低減できる。
【００６１】
更に、複数のヘッドチップ１に対して１つのインクマニホールド４を設けているため、各ヘッドチップ１に個別にインク供給するための手段を講ずる必要がなく、インク供給のための構造も極めて簡素化できる。このインクマニホールド４は、各ヘッドチップ１よりも側方に張り出した保持枠部材３の張り出し部３２に接着されるため、内部に大きな共通インク室４１を形成することができ、ヘッドチップ１のサイズに対して大容量のインクを貯留することができる。
【００６２】
本実施形態ではそれぞれ２列のチャネル列１０を持つヘッドチップ１を使用しており、各ヘッドチップ１に配線引き出し部材５が１つずつ接合されるため、ヘッドチップ１と配線引き出し部材５との接合時に他の配線引き出し部材５が邪魔になるようなことがなく楽に行うことができ、各駆動電極１３との電気的接続が容易となるという利点がある。
【００６３】
なお、本発明では、各ヘッドチップ１のチャネル列数は２列に限定されるものではなく、図６に示すように、１列のチャネル列のみを持つヘッドチップ１であってもよいことはもちろんである。この場合、ヘッドチップ１の引き出し電極１４と配線引き出し部材５の配線５１との位置合わせは１列同士の位置合わせで済むため、２列の場合に比べて容易に行なえると共に、各チャネル１１とノズル孔２１との位置合わせも１列同士の位置合わせとなって容易に行えるようになる。
【００６４】
（第２の実施形態）
図７は第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図、図８はその断面図である。図１、図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００６５】
本実施形態では、保持枠部材３は、張り出し部３２と各ヘッドチップ１の前面１Ｂとが面一状に配置されている点では第１の実施形態と同一であるが、保持枠部材３の前面側に、ノズルプレート２よりも前方に突出する天板７が設けられている。
【００６６】
図７、図８に示す態様では、ノズルプレート２の外形形状は、２つのヘッドチップ１の前面１Ｂの全面に亘って被覆する面積（各ヘッドチップ１の前面１Ｂの面積とチップ間被覆部３３の面積とを足し合わせた面積）よりもやや小さく形成されている。これにより、ノズルプレート２の外側に、ノズルプレート２が存在しないことによりヘッドチップ１の前面１Ｂから保持枠部材３の張り出し部３２に面一状に連続するノズルプレート非接着面２２が形成されている。そして、天板７は、このノズルプレート非接着面２２に、ノズルプレート２の外周を取り囲むように接着されている。
【００６７】
天板７は、例えばアルミニウム、ステンレス等の金属材や、ガラス、セラミックス、エンジニアリングプラスチック等の硬質材によって矩形の枠状に形成されている。天板７はノズルプレート非接着面２２の形状に合致するように形成され、中央の開口７１にノズルプレート２の全体が臨んでいる。
【００６８】
この第２実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２によれば、第１の実施形態と同一の効果が得られることに加え、天板７がノズルプレート２よりも前方に突出することで、ノズルプレート２が記録媒体と接触することを防止する保護機能を果たすと同時に、一部が各ヘッドチップ１の前面１Ｂに対して接着されることで、保持枠部材３と共に各ヘッドチップ１を固定保持する機能をも果たしている。これによって各ヘッドチップ１をより安定且つ強固に保持することができる。
【００６９】
この天板７を設ける場合、図９に示すように、ノズルプレート２の外形形状は保持枠部材３の外形形状と同一形状であってもよい。この場合も、開口７１の周縁が各ヘッドチップ１の前面１Ｂに一部かかるように形成することで、各ヘッドチップ１を安定且つ強固に保持することができる。
【００７０】
また、ノズルプレート２の外形形状を保持枠部材３の外形形状と同一形状に形成した場合、天板７には、図１０に示すように、ヘッドチップ１毎にそれぞれ独立した開口７１を形成してもよい。各開口７１は、ヘッドチップ１の前面１Ｂの面積よりもやや小さく形成されている。これにより、開口７１の周縁でヘッドチップ１の前面１Ｂ側を支持することができるため、図８、図９の場合と同様に、各ヘッドチップ１を安定且つ強固に保持することができる。
【００７１】
この第２の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２も、図６と同様に１列のチャネル列を持つヘッドチップ１を用いるようにしてもよい。
【００７２】
（第３の実施形態）
図１１は第３の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。図１、図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００７３】
以上説明した各実施形態における保持枠部材３は、ヘッドチップ１のチャネル長よりも薄く形成されているが、本実施形態に示すインクジェットヘッドＨ３では、保持枠部材３は、図示するように、各ヘッドチップ１のチャネル１１の入口１１ｂを閉塞することなく、ノズルプレート２の背面とチャネル１１の入口１１ｂとの間に形成される段差を埋める厚みを有している。これによりヘッドチップ１間にインクの淀みが生ずる部位をなくすことができ、共通インク室４１のインクを各チャネル１１の入口１１ｂに円滑に導入することができるようになる。
【００７４】
また、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、ヘッドチップ１のチャネル長（Ｌ長）が異なるインクジェットヘッドＨａとＨｂとをそれぞれ製造する場合、保持枠部材３の厚みをチャネル長と一致する厚みとなるように形成しておけば、両者で同一のインクマニホールド４及び配線引き出し部材５を使用しても、配線引き出し部材５のインクマニホールド４からの突出量Ｐを同一に揃えることができる。また、両者で、インクマニホールド４内の共通インク室４１の容積を同じにすることもできる。
【００７５】
なお、この保持枠部材３は、天板７を有する第２の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２にも同様に適用することができる。
【００７６】
また、この第３の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ３も、図６と同様に１列のチャネル列を持つヘッドチップ１を用いるようにしてもよい。
【００７７】
（第４の実施形態）
図１３は第４の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。図１、図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００７８】
本実施形態に示すインクジェットヘッドＨ４は、保持枠部材３が第３の実施形態と同様に厚みが厚く形成されているが、保持枠部材３は複数枚に分かれており、厚みが、その複数枚の保持枠部材３ａ〜３ｃを積層することによって形成されている。保持枠部材３ａ〜３ｃの枚数を適宜調整することで、様々なチャネル長（Ｌ長）を持つヘッドチップ１に容易に対応して、第３の実施形態と同様に各ヘッドチップ１間の段差をなくすようにすることができる。
【００７９】
ここに示す保持枠部材３は、図面上最も上段の保持枠部材３ｃが、ヘッドチップ１の後面１Ａよりも若干高く位置する厚みに形成されており、その挿通口３１の内周縁側が面取りされて傾斜面３１ａとなっている。これにより、保持枠部材３は、共通インク室４１のインクをヘッドチップ１の各チャネル１１に流れ込み易くしている。
【００８０】
このような傾斜面３１ａは、第３の実施形態のような１枚からなる保持枠部材３にも同様に適用することができる。この場合は、１枚からなる保持枠部材３をヘッドチップ１の後面１Ａの高さ位置よりも若干高くなる厚みに形成し、その挿通口３１の内周縁側を面取りすることで傾斜面を形成すればよい。
【００８１】
なお、この積層構造の保持枠部材３も天板７を有する第２の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２に同様に適用することができる。
【００８２】
また、この第４の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ４も、図６と同様に１列のチャネル列を持つヘッドチップ１を用いるようにしてもよい。
【００８３】
（第５の実施形態）
図１４は第５の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。ここでは複数のヘッドチップ１のうちの１つのヘッドチップ１の部分のみを示している。図１、図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００８４】
この第５の実施形態に示すインクジェットヘッドＨ５は、配線引き出し部材の部分が異なっている。この配線引き出し部材５０には上述した配線引き出し部材５のような配線５１が形成されておらず、単なる直方体状の部材として使用されている。配線引き出し部材５０の相反する側面５０Ｂには、それぞれフレキシブルな外部配線部材６（ＦＰＣ）が、配線の形成面が表面となるように接合されている。外部配線部材６は、その端部が配線引き出し部材５０の前端面５０Ａにそれぞれ折り曲げられ、該外部配線部材６上の配線が、各ヘッドチップ１の引き出し電極１４と電気的に接続されている。
【００８５】
前述の配線引き出し部材５では、配線５１によって各ヘッドチップ１の引き出し電極１４と外部配線部材６上の配線とを電気的に接続していたため、外部配線部材６の配線は間接的に引き出し電極１４と電気的に接続される構成であったが、本実施形態では、外部配線部材６上の配線は直接的に引き出し電極１４と電気的に接続される構成となっている。従って、外部配線部材６がインクマニホールド４を貫通して該インクマニホールド４の外部において後方に向けて延びている。これにより電気的接続部位の数を削減でき、電気的接続の信頼性を向上させることができる。
【００８６】
また、本実施形態では、外部配線部材６を配線引き出し部材５０に対して電気的に接続する必要がないため、配線引き出し部材５０はインクマニホールド４から突出させる必要はなく、図示するようにインクマニホールド４の外面と面一状に形成することもできる。
【００８７】
なお、この配線引き出し部材５０は天板７を有する第２の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２にも同様に適用することができる。
【００８８】
また、この第５の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ５も、図６と同様に１列のチャネル列を持つヘッドチップ１を用いるようにしてもよい。
【００８９】
（第６の実施形態）
図１５は第６の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図、図１６は図１５中の要部拡大断面図であり、ここでは１つのヘッドチップ１の部分のみを示している。図１、図２と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００９０】
このインクジェットヘッドＨ６では、配線引き出し部材５、５０を用いる代わりに、ヘッドチップ１の後面１Ａにおける非チャネル形成領域１０ａに、チャネル列方向に沿う１本の溝１５が形成されており、この溝１５内に電圧印加手段の一部を構成する外部配線部材６０が挿入されている。
【００９１】
溝１５は、例えばダイシングブレード等によって長さ方向に一定幅、一定深さで形成されており、各チャネル１１に対応する引き出し電極１４の他端が、この溝１５内部の相対する内壁面１５ａにかけて互いに短絡しないように形成され、各チャネル１１と同一ピッチで配列されている。
【００９２】
外部配線部材６０は、この溝１５内に一端が挿入されることで、他端側がそれぞれヘッドチップ１の後面１Ａから後方に向けて延び、インクマニホールド４を貫通して更に後方に延びている。
【００９３】
外部配線部材６０は、絶縁材料からなる基板６１の表面に、溝１５内に配列された引き出し電極１４と同ピッチで配線６２が配列形成されている。このヘッドチップ１は２列のチャネル列を有するため、溝１５の内壁面１５ａに配列された各引き出し電極１４に対応するべく、１枚の基板６１が２つ折りにされ、その外側のそれぞれの表面に配線６２が配列され、その２つ折りされた側の端部が、溝１５内に挿入されている。この挿入時、各引き出し電極１４と、これに対応する各配線６２とが一致するように位置合わせされている。
【００９４】
２つ折りされた基板６１の間には発泡樹脂材料６３が充填されており、この発泡樹脂材料６３が加熱されて発泡した際の膨張による押圧力を利用することによって、２つ折りされた基板６１が互いに離反する方向に押しやられ、その表面の各配線６２を対応する引き出し電極１４に圧接している。これにより各引き出し電極１４と各配線６２との確実な電気的接続が図られている。発泡樹脂材料６３は、発泡による膨張力を利用して配線６２と引き出し電極１４とを圧接させるため、適度な圧接力を生み出し、ヘッドチップ１に破損を生じさせるおそれはない。この電気的接続をさらに確実にする目的で、各引き出し電極１４と各配線６２との間に導電性接着剤を介在させてもよい。
【００９５】
なお、この外部配線部材６０を用いた構造は、天板７を有する第２の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ２にも同様に適用することができる。
【００９６】
また、この第６の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ６も、図６と同様に１列のチャネル列を持つヘッドチップ１を用いるようにしてもよい。
【００９７】
（第７の実施形態）
図１７は第７の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。図１、図２及び図８と同一符号の部位は同一構成の部位であるため説明を省略する。
【００９８】
このインクジェットヘッドＨ７は、ヘッドチップ構造が上述のインクジェットヘッドＨ１〜Ｈ６と異なっている。このヘッドチップ１００は、圧電素子基板１０１の一面に、溝状のチャネル１０２と該チャネル１０２間の駆動壁とが交互となるように並設されてチャネル列を形成しており、チャネル１０２のインクの入口１０３ａが、チャネル１０２を塞ぐように設けられたカバー基板１０３に形成されることで、チャネル１０２の長さ方向と交差する側方に向けて開口するタイプのヘッドチップである。
【００９９】
圧電素子基板１０１の表面には、各チャネル１０２内の駆動電極と電気的に接続された引き出し電極１０４がパターン形成されており、圧電素子基板１０１の後端（図１７における上側の端部）まで延びてカバー基板１０３からはみ出すことでヘッドチップ１００の表面に露出しており、その端部に外部配線部材６が接合されている。なお、この引き出し電極１０４は電圧印加手段の一部を構成している。
【０１００】
各ヘッドチップ１００は、圧電素子基板１０１とカバー基板１０３の一体物を、互いの圧電素子基板１０１同士が背中合わせとなるように貼り合わせて接着することで、２列のチャネル列を持つヘッドチップとされている。
【０１０１】
各ヘッドチップ１００は、各チャネル１０２がノズル孔２１に位置合わせされて個別に接着され、チャネル１０２の入口１０３ａよりも後方側のカバー基板１０３の部分がインクマニホールド４に形成された各挿通口４２を貫通して接着剤によって封止されている。これによって各ヘッドチップ１００のチャネル１０２の入口１０３ａはインクマニホールド４の内部に配置されていると共に、カバー基板１０３から後方に向けて延びている引き出し電極１０４もインクマニホールド４の挿通口４２を貫通して更に後方に向けて延びている。外部配線部材６は、このインクマニホールド４を貫通して外部に突出した引き出し電極１０４に対して接合されている。
【０１０２】
このようなヘッドチップ１００の構造でも、１枚のノズルプレート２に対して複数並設していくことで、多列のインクジェットヘッドＨ７を容易に作製することができる。また、各チャネルへのインク供給のための構造も簡素化できると共に、各駆動電極との電気的接続も容易に行なえる効果を有する。
【０１０３】
なお、ノズルプレート２は、図９のように、保持枠部材３の外形形状と同一形状としてもよく、また、天板７は、図１０のように、ヘッドチップ１００毎に開口７１を形成してもよい。更に、本実施形態は天板７がないインクジェットヘッドにも同様に適用することができる。
【０１０４】
また、この第７の実施形態に係るインクジェットヘッドＨ７も、圧電素子基板１０１を張り合わせて２列にすることなく、１列のチャネル列を持つヘッドチップのままとしてもよい。
【０１０５】
（インクジェットヘッドの製造方法）
図１８、図１９は本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の一例を示す説明図である。
【０１０６】
まず、予め、図２に示されるようなヘッドチップ１、配線５１（図示せず）を有する配線引き出し部材５及び外部配線部材６を有するヘッドチップ一体物を複数用意しておく。
【０１０７】
予めノズル孔（図示せず）が形成されたノズルプレート２に、予め形成しておいた複数のヘッドチップ一体物を、ノズル孔とこれに対応するチャネルとをそれぞれ位置合わせして接着剤を用いて接着する（図１８（ａ））。ここでは、ノズルプレート２は、図８と同様に２つのヘッドチップ１の前面１Ｂ及びヘッドチップ１間の全面に亘って被覆する面積よりも小さく形成されている。
【０１０８】
次いで、このノズルプレート２の外周を取り囲む大きさの開口７１を有する天板７を、ノズルプレート２の外周からはみ出した各ヘッドチップ１の前面１Ｂに対して接着する（図１８（ｂ））。
【０１０９】
次いで、ノズルプレート２の背面側に保持枠部材３を、各挿通口３１にヘッドチップ１をそれぞれ挿通させて装着し、天板７の背面に対して接着剤を用いて接着する（図１９（ａ））。ここでは、保持枠部材３は、３ａ〜３ｄの複数枚に分かれており、各保持枠部材３ａ〜２ｄを積層することで、ヘッドチップ１間の段差を埋めるようにしている。また、保持枠部材３の各挿通口３１と各ヘッドチップ１との間は接着剤によって封止しておく。
【０１１０】
次いで、この保持枠部材３に対してインクマニホールド４を取り付ける（図１９（ｂ））。
【０１１１】
次いで、インクマニホールド４の各挿通口４２と各配線引き出し部材５との間を接着剤によって封止することで、電圧印加手段である配線が形成された配線引き出し部材５がヘッドチップ１毎にインクマニホールド４を貫通したインクジェットヘッドが得られる（図１９（ｃ））。
【０１１２】
図２０、図２１は本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法の他の一例を示す説明図である。
【０１１３】
予めノズル孔（図示せず）が形成されたノズルプレート２に、ヘッドチップを個別に挿通させる挿通口３１を有する保持枠部材３ａを接着することで、ノズルプレート２と保持枠部材３ａの一体物を作製する（図２０（ａ））。
【０１１４】
次いで、このノズルプレート２と保持枠部材３の一体物に、ノズルプレート２の側から、図１０に示されるように予めヘッドチップ毎の開口７１がそれぞれ形成された天板７を接着することで、ノズルプレート２と保持枠部材３ａと天板７の一体物を作製する（図２０（ｂ））。
【０１１５】
次いで、別途予め複数用意しておいた、図２に示されるようなヘッドチップ１、配線５１（図示せず）を有する配線引き出し部材５及び外部配線部材６を有するヘッドチップ一体物のヘッドチップ１の部分を、保持枠部材３ａの側から、該保持枠部材３ａの挿通口３１を通してノズルプレート２の背面に対してそれぞれ位置合わせして接着する（図２０（ｃ））。このとき、保持枠部材３ａの各挿通口３１と各ヘッドチップ１との間は接着剤によって封止しておく。
【０１１６】
ここでは複数枚の保持枠部材３ａ〜３ｄを積層することによって保持枠部材３を構成することで、ヘッドチップ１間の段差を埋める場合を示しており、次いで、保持枠部材３ａに順次保持枠部材３ｂ〜３ｄを同様にして積層していく（図２１（ａ））。
【０１１７】
次いで、この保持枠部材３に対してインクマニホールド４を取り付ける（図２１（ｂ））。
【０１１８】
次いで、インクマニホールド４の各挿通口４２と各配線引き出し部材５との間を接着剤によって封止することで、電圧印加手段である配線が形成された配線引き出し部材５がヘッドチップ１毎にインクマニホールド４を貫通したインクジェットヘッドが得られる（図２１（ｃ））。
【０１１９】
なお、図１８、図１９に示した製造方法において、天板７を設けない場合は、ノズルプレート２を保持枠部材３の外形形状と同一形状となるように大判に形成し、このノズルプレート２の背面に対して保持枠部材３を接着すればよい。また、いずれの製造方法においても、ヘッドチップは図１７に示したヘッドチップ１００であってもよい。
【０１２０】
（インクジェットヘッドのその他の態様）
本発明に係るインクジェットヘッドは、複数のヘッドチップ１をノズル列と直交する方向に並設するものに限らず、ノズル列に沿う方向に直列に設けることにより、長尺なインクジェットヘッドとしてもよい。
【０１２１】
また、図２２に示すように、複数のヘッドチップ１を、ノズル列と直交する方向に並設すると共にノズル列に沿う方向にも複数設けることによって、長尺なインクジェットヘッドとすることもできる。図２２では、図１０と同様にヘッドチップ１毎の開口７１を有する天板７を設けたものを示しているが、天板７はなくてもよい。
【０１２２】
更に、本発明に係るインクジェットヘッドは、複数のヘッドチップ１に対して共通に保持枠部材３及びインクマニホールド４を有していればよいため、図２３に示すように、例えば４つのヘッドチップ１を有する場合、この４つのヘッドチップ１に対して１枚のノズルプレート２及び保持枠部材３を設ける一方、インクマニホールド４については、２つずつのヘッドチップ１に対して共通にインクを供給するための２つのインクマニホールド４を設けるようにしてもよい。この場合、２つずつのヘッドチップ１に対して異なるインクを供給することができるため、１つのインクジェットヘッドにおいてインク種やインク色を異ならせることもできる。
【０１２３】
また、図２４に示すように、例えば４つのヘッドチップ１に対して１枚の保持枠部材３及び１つのインクマニホールド４を設ける一方、ノズルプレート２については、２つずつのヘッドチップ１に対して共通となる２枚のノズルプレート２に分けるようにしてもよい。
【０１２４】
本発明において、ノズルプレート２と保持枠部材３とが直接接する態様では、これらノズルプレート２と保持枠部材３は、例えば合成樹脂、ガラス、シリコン等によって一体成形されたものであってもよい。
【０１２５】
また、本発明において、保持枠部材３とインクマニホールド４とは、例えば合成樹脂、ガラス、シリコン等によって一体成形されたものであってもよい。
【０１２６】
更に、インクマニホールド４は、複数部材に分割されていてもよく、例えば挿通口４２が形成された後壁部分と各ヘッドチップ１を取り囲む側壁部分とは別部材とし接着等によって一体化することによって内部の共通インク室４１が形成される構造であってもよい。
【符号の説明】
【０１２７】
Ｈ１〜Ｈ７：インクジェットヘッド
１、１００：ヘッドチップ
１Ａ：後面
１Ｂ：前面
１０：チャネル列
１０ａ：非チャネル形成領域
１１：チャネル
１１ａ：出口
１１ｂ：入口
１２：駆動壁
１３：駆動電極
１３ａ：連結部
１４：引き出し電極
１５：溝
１５ａ：内壁面
１０１：圧電素子基板
１０２：チャネル
１０３：カバー基板
１０３ａ：入口
２：ノズルプレート
２１：ノズル孔
２２：ノズルプレート非接着面
３、３ａ〜３ｃ：保持枠部材
３１：挿通口
３１ａ：傾斜面
３２：張り出し部
３３：チップ間被覆部
４：インクマニホールド
４１：共通インク室
４２：挿通口
５、５０：配線引き出し部材
５Ａ、５０Ａ：前端面
５Ｂ、５０Ｂ：側面
５１：配線
６、６０：外部配線部材
６１：基板
６２：配線
６３：発泡樹脂材料
７：天板
７１：開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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