(57)【要約】【課題】複数の太陽電池基板の表面を連続的に効率良く安定して洗浄すること。【解決手段】一端側から太陽電池基板が搬入されるとともに他端側から前記太陽電池基板が搬出され、前記太陽電池基板を洗浄する処理液を内部に収容する処理槽と、前記太陽電池基板を載置した状態で前記太陽電池基板を前記処理槽に搬入し、前記太陽電池基板の上面が前記処理液中に浸漬した状態で前記処理液中を搬送した後に前記太陽電池基板を前記処理槽から搬出するローラコンベアと、前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板が前記ローラコンベアから浮き上がった際に前記太陽電池基板の上面の端部のみが接触するように、前記ローラコンベアの上方に配置されたガイドと、を備える。【選択図】図２
2013230444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側から太陽電池基板が搬入されるとともに他端側から前記太陽電池基板が搬出され、前記太陽電池基板を洗浄する処理液を内部に収容する処理槽と、
前記太陽電池基板を載置した状態で前記太陽電池基板を前記処理槽に搬入し、前記太陽電池基板の上面が前記処理液中に浸漬した状態で前記処理液中を搬送した後に前記太陽電池基板を前記処理槽から搬出するローラコンベアと、
前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板が前記ローラコンベアから浮き上がった際に前記太陽電池基板の上面の端部のみが接触するように、前記ローラコンベアの上方に配置されたガイドと、
を備えることを特徴とする太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項２】
前記ガイドにおける前記太陽電池基板に対向する内面が、前記ローラコンベアの幅方向に沿った断面において、前記幅方向における前記太陽電池基板の中心側から外周側に向かって高さが低くなるように前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板の面方向に対して傾斜した形状とされていること、
を特徴とする請求項１に記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項３】
前記ガイドの内面が、前記ローラコンベアの幅方向に沿った断面において、前記太陽電池基板に対して凹形状とされていること、
を特徴とする請求項２に記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項４】
前記ローラコンベアは、前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板の前記太陽電池基板の搬送方向における後方に、前記ローラコンベアの延在方向において前記太陽電池基板を保持する基板保持部を前記太陽電池基板の載置面に有すること、
を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項５】
前記ガイドが、少なくとも前記処理槽内に配置された前記ローラコンベアの上方に配置されること、
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項６】
前記ガイドが、少なくとも前記太陽電池基板における前記太陽電池基板の搬送方向に沿った方向に延在する一対の辺の上部およびその周辺領域に設けられること、
を特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項７】
前記ガイドが、前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板の搬送経路を前記ローラコンベアの幅方向において覆う蓋形状とされること、
を特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項８】
前記太陽電池基板の搬送方向において前記ローラコンベアに前記太陽電池基板が複数載置可能であり、前記複数の前記太陽電池基板が連続的に搬送されること、
を特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の太陽電池基板の洗浄装置。
【請求項９】
太陽電池基板を洗浄する処理液を内部に収容する処理槽において前記太陽電池基板の洗浄を行う太陽電池基板の洗浄方法であって、
前記太陽電池基板をローラコンベアにより前記処理槽に搬入し、前記太陽電池基板の上面が前記処理液中に浸漬した状態で前記処理液中を搬送した後に前記太陽電池基板を前記処理槽から搬出する工程を有し、
前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板が前記ローラコンベアから浮き上がった際に前記太陽電池基板の上面の端部のみが接触するように、前記ローラコンベアの上方にガイドを配置した状態で前記太陽電池基板を搬送すること、
を特徴とする太陽電池基板の洗浄方法。
【請求項１０】
前記ガイドが、少なくとも前記処理槽内における前記ローラコンベアの上方に配置されること、
を特徴とする請求項９に記載の太陽電池基板の洗浄方法。
【請求項１１】
前記太陽電池基板の搬送方向において前記ローラコンベアに前記太陽電池基板が複数載置され、前記複数の前記太陽電池基板が連続的に搬送されること、
を特徴とする請求項９または１０に記載の太陽電池基板の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池基板の洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池セルの製造工程においては、薬液または純水などの処理液によって基板の洗浄を行う洗浄処理が洗浄装置を用いて行われている。このような基板の洗浄装置では、効率良く複数の基板を連続して洗浄するために、基板を処理液に浸漬させながら搬送させるローラコンベアが用いられている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、洗浄装置における処理液による洗浄中の基板の浮き上がりを防止するために、たとえば基板の縁部に接触するチャック面に傾斜を持たせることが提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−４４４６６号公報
【特許文献２】特開平１１−７４２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の洗浄装置では、処理液を基板の表面に安定して供給することができない。また、処理液を安定して基板の表面に供給できるように、処理液中の基板搬送機構を処理槽の基板搬入口および基板搬出口よりも低い位置に設置すると、基板全体が処理液に接触する。しかし、このような構成の場合は、基板が軽い場合には基板が処理液中で浮き上がるため、安定した均一な洗浄ができない、という問題があった。
【０００６】
また、特許文献２の洗浄装置においては、基板の浮き上がりは防止できるが、回転板１枚につき基板１枚の処理となり、ローラコンベアのように大量に複数の基板を連続的に効率良く搬送処理できない、という問題があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、複数の太陽電池基板の表面を連続的に効率良く安定して洗浄することが可能な太陽電池基板の洗浄装置および洗浄方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる太陽電池基板の洗浄装置は、一端側から太陽電池基板が搬入されるとともに他端側から前記太陽電池基板が搬出され、前記太陽電池基板を洗浄する処理液を内部に収容する処理槽と、前記太陽電池基板を載置した状態で前記太陽電池基板を前記処理槽に搬入し、前記太陽電池基板の上面が前記処理液中に浸漬した状態で前記処理液中を搬送した後に前記太陽電池基板を前記処理槽から搬出するローラコンベアと、前記ローラコンベアに載置された前記太陽電池基板が前記ローラコンベアから浮き上がった際に前記太陽電池基板の上面の端部のみが接触するように、前記ローラコンベアの上方に配置されたガイドと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、処理液中における太陽電池基板の浮き上がりによる洗浄処理の不均一を防止して、複数の太陽電池基板の表面を連続的に効率良く安定して洗浄することが可能である、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置の概略構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置においてローラコンベアによって太陽電池基板が洗浄槽の洗浄液中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置の洗浄槽中においてベルト上に載置された太陽電池基板とガイドとの位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＡ−Ａ’線に沿った要部断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置におけるガイドと基板保持部との位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＢ−Ｂ’線に沿った要部断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板における太陽電池基板と基板保持部との位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＣ−Ｃ’線に沿った要部断面図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置においてローラコンベアによって太陽電池基板が洗浄槽の洗浄液中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。
【図７】図７は、図６におけるＤ−Ｄ’線に沿った要部断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置においてローラコンベアによって太陽電池基板が洗浄槽の洗浄液中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。
【図９】図９は、図８におけるＥ−Ｅ’線に沿った要部断面図である。
【図１０】図１０は、図８におけるＦ−Ｆ’線に沿った要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明にかかる太陽電池基板の洗浄装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。また、平面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付す場合がある。
【００１２】
実施の形態
図１は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池基板の洗浄装置（以下、洗浄装置と呼ぶ）の概略構成を模式的に示す断面図である。なお、本実施の形態における太陽電池基板１には、製造工程中における太陽電池基板から太陽電池セルまでを含むものである。図１に示すように、本実施の形態にかかる洗浄装置は、洗浄液１２を貯留して太陽電池基板１を洗浄するための処理槽であって上部が開口された洗浄槽１１と、純水１４を貯留して太陽電池基板１に付着した洗浄液１２を除去するための水洗槽であって上部が開口された水洗槽１３と、水洗が完了した太陽電池基板１の乾燥が行われる乾燥炉１５とを備えている。洗浄槽１１と水洗層１３と乾燥炉１５とは、たとえば図示しない専用の基台に設置される。
【００１３】
洗浄槽１１には、図示しない洗浄液供給部から洗浄液１２が供給される。また、洗浄槽１１には、図示しない循環ポンプ、フィルターおよびヒータが備えられ、貯留した洗浄液１２を循環ポンプにより洗浄槽１１において循環させ、フィルターにより浄化し、またヒータにより所望の温度に温度調整することが可能とされている。洗浄液１２としては、たとえばアンモニア過水（ＡＰＭ）、塩酸過水（ＨＰＭ）、希フッ酸（ＤＨＦ）、硫酸過水（ＳＰＭ）などを用いることができる。また、洗浄槽１１においては、対向する一対の側壁のうち一端の側壁側が太陽電池基板１の搬入側とされ、他端の側壁側が搬出側とされている。
【００１４】
水洗槽１３には、水洗槽１３の下部に設けられた図示しない純水供給部から純水１４が供給される。また、水洗槽１３の上部より溢れた純水１４は、水洗槽１３に戻さずに排水される。また、水洗槽１３においては、洗浄槽１１側の側壁側が太陽電池基板１の搬入側とされ、洗浄槽１１と反対側の側壁側が搬出側とされている。
【００１５】
洗浄槽１１の水洗槽１３と反対側（搬入側）には、被洗浄物である太陽電池基板１がローラコンベア１６上に配置されるローダ部２０が設けられている。ローラコンベア１６は、被処理面を上向きにして太陽電池基板１を搬送する搬送機構として、太陽電池基板１が載置されるベルト１７と該ベルト１７を移動させるローラ１８とを有する。ローラコンベア１６を構成するローラ１８は、図示しない回転駆動機構の駆動力によって回転し、その動力をベルト１７に伝達することによりベルト１７を所定の方向に移動させ、ベルト１７の上面に載置された太陽電池基板１を搬送する。
【００１６】
ここで、本実施の形態において太陽電池基板１の主面（被処理面）は略長方形状とされており、ローダ部２０では、たとえば太陽電池基板１の上面（被処理面）における長手方向に延在する一対の辺（長辺）が該太陽電池基板１の搬送方向（ベルト１７の上面の移動方向）と略平行に載置される。
【００１７】
水洗槽１３の洗浄槽１１と反対側（搬出側）には、水洗処理が完了した太陽電池基板１の乾燥が行われる乾燥炉１５が設けられている。乾燥炉１５においては、水洗槽１３側が太陽電池基板１の搬入側とされ、水洗槽１３と反対側が搬出側とされている。
【００１８】
さらに、乾燥炉１５の水洗槽１３と反対側（搬出側）には、乾燥が完了した太陽電池基板１がローラコンベア１６上から降ろされて搬出されるアンローダ部２１が設けられている。ローラコンベア１６は、これらのローダ部２０からアンローダ部２１まで連続して設けられており、太陽電池基板１をローダ部２０からアンローダ部２１まで搬送する。
【００１９】
ここで、本実施の形態においては、太陽電池基板１の被処理面（上面）を洗浄槽１１内の洗浄液１２および水洗槽１３内の純水１４に接触させるために、洗浄槽１１および水洗槽１３におけるローラコンベア１６は、他の部分のローラコンベア１６よりも下方に設置されている。すなわち、洗浄槽１１および水洗槽１３におけるローラコンベア１６は、ローダ部、洗浄槽１１と水洗槽１３との間の領域、乾燥炉１５およびアンローダ部２１よりも低い位置に設置されている。
【００２０】
そして、ローダ部２０から乾燥炉１５に至るローラコンベア１６の上部には、太陽電池基板１の浮き上がりを防止するためのガイド３１が太陽電池基板１の搬送方向（ベルト１７の上面の移動方向）と略平行に設置されている。なお、ガイド３１は、少なくとも洗浄槽１１上および水洗槽１３上の領域に設ければ、洗浄槽１１および水洗槽１３での処理中の太陽電池基板１の浮き上がりを防止することが可能である。ガイド３１は、ローラコンベア１６に干渉しないように、ベルト１７から離間して設けられている。
【００２１】
つぎに、上記のように構成された洗浄装置を用いて太陽電池基板１を洗浄する方法について説明する。まず、図示しない洗浄液供給部から洗浄槽１１に洗浄液１２が供給される。洗浄液１２は、洗浄槽１１内に配置されたローラコンベア１６のベルト１７の上面よりも高い水位であって、ベルト１７上の太陽電池基板１の上面（被処理面）に洗浄液１２が供給できる水位まで、すなわちベルト１７上の太陽電池基板１が洗浄液１２に浸漬される水位まで洗浄槽１１に貯留される。洗浄槽１１に貯留された洗浄液１２は、図示しないヒータにより所定の温度に昇温される。
【００２２】
また、図示しない純水供給部から水洗槽１３に純水１４が供給される。純水１４は、少なくとも水洗槽１３に配置されたローラコンベア１６のベルト１７の上面よりも高い水位であって、ベルト１７上の太陽電池基板１の上面（被処理面）に純水１４が供給される水位まで、すなわちベルト１７上の太陽電池基板１が純水１４に浸漬される水位まで水洗槽１３に貯留される。また、水洗槽１３の上部より溢れた純水１４は、水洗槽１３に戻さずに排水される。
【００２３】
つぎに、ローダ部２０において、太陽電池基板１がローラコンベア１６のベルト１７上に載置される。太陽電池基板１は、被処理面を上向きにして、被処理面における一対の長辺が該太陽電池基板１の搬送方向（ベルト１７の上面の移動方向、図１におけるＸ方向））と略平行に載置される。また、ローダ部２０においては、ベルト１７の幅方向において所定の間隔で２列に、且つ搬送方向において所定の間隔で、複数の太陽電池基板１がベルト１７上に載置される。
【００２４】
つぎに、ローラコンベア１６を駆動することにより、太陽電池基板１は搬送方向（図１におけるＸ方向）へ搬送される。そして、太陽電池基板１がローラコンベア１６によって洗浄槽１１の洗浄液１２中に搬送されると、太陽電池基板１の被処理面に洗浄液１２が供給されることにより該被処理面が洗浄される。太陽電池基板１は所定の低速で搬送されながら洗浄液１２による洗浄が行われるが、ローラコンベア１６を一時停止して洗浄槽１１内において所定の時間だけ浸漬した状態で洗浄液１２による洗浄が行われてもよい。
【００２５】
図２は、ローラコンベア１６によって太陽電池基板１が洗浄槽１１の洗浄液１２中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。図２に示すように、洗浄槽１１の上部領域には、二対のガイド（ガイド３１Ａ、ガイド３１Ｃ）が太陽電池基板１の搬送方向（図１におけるＸ方向）と略平行に設置されている。以下では、二対のガイドを総称してガイド３１と呼ぶ場合がある。ガイド３１Ａは一対のガイド部材であるガイド部材３１ａとガイド部材３１ｂとにより構成され、ガイド３１Ｃは一対のガイド部材であるガイド部材３１ｃとガイド部材３１ｄとにより構成されている。
【００２６】
各一対のガイド３１の下方のベルト１７上に２枚の太陽電池基板１が位置しており、洗浄槽１１に２列×２枚の合計４枚の太陽電池基板１（太陽電池基板１Ａ、太陽電池基板１Ｂ、太陽電池基板１Ｃ、太陽電池基板１Ｄ）が洗浄液１２中に浸漬されている。なお、図２においては、ベルト１７上および太陽電池基板１上の洗浄液１２を透過して見ている。そして、各ガイド部材は、ベルト１７の幅方向において、太陽電池基板１の被処理面における長辺上およびその周辺上にわたって配置されている。すなわち、ガイド部材３１ａはベルト１７上に載置された太陽電池基板１Ａにおける一対の長辺のうちの一方の辺の上部周辺領域に配置されており、ガイド部材３１ｂはベルト１７上に載置された太陽電池基板１Ａにおける一対の長辺のうちの他方の辺の上部周辺領域に配置されている。また、ガイド部材３１ｃはベルト１７上に載置された太陽電池基板１Ｃにおける一対の長辺のうちの一方の辺の上部周辺領域に配置されており、ガイド部材３１ｄはベルト１７上に載置された太陽電池基板１Ｃにおける一対の長辺のうちの他方の辺の上部周辺領域に配置されている。なお、太陽電池基板１の長辺方向は、太陽電池基板１の搬送方向（図１におけるＸ方向）と平行方向とされている。
【００２７】
図３は、洗浄槽１１中においてベルト１７上に載置された太陽電池基板１とガイド３１との位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＡ−Ａ’線に沿った要部断面図である。なお、図３では、ベルト１７と太陽電池基板１とガイド３１との位置関係に注目して示しており、他の部材は省略している。各ガイド３１における太陽電池基板１に対向する面（以下、内面と呼ぶ）の形状は、ベルト１７の幅方向に沿った断面において、ベルト１７の幅方向における太陽電池基板１の中心側から外周側に向かって高さが低くなるように、ベルト１７の面方向（水平方向）に対して傾斜した形状とされている。そして、図３では、ガイド３１の内面の形状は、ベルト１７の幅方向に沿った断面において、太陽電池基板１に対して凹形状とされている。
【００２８】
洗浄槽１１中において太陽電池基板１がベルト１７から浮き上がらない場合には、太陽電池基板１は被処理面と反対側の面（裏面）の全面がベルト１７の表面に接触している。しかしながら、図３に示すように洗浄槽１１中において太陽電池基板１がベルト１７から浮き上がった場合には、太陽電池基板１の上面（被処理面）の縁部のみが、ガイド３１の内面に接触する。このように、洗浄槽１１中において太陽電池基板１が浮き上がっても、ガイド３１の内面に太陽電池基板１の上面（被処理面）の縁部のみが接触し、さらなる浮き上がりを防止することが可能となる。これにより、太陽電池基板１の表面を安定して均一に洗浄できる。
【００２９】
ここで、太陽電池基板１がガイド３１とベルト１７との間で上下反転できないように、ガイド３１の内面の曲率およびガイド３１の配置高さが設定されている。また、太陽電池基板１が浮き上がった際に太陽電池基板１の上面（被処理面）の縁部がガイド３１の内面に接触する高さ位置は、太陽電池基板１の搬送に干渉しない範囲で低い位置に設定されることが好ましい。これにより、太陽電池基板１の表面をより安定して均一に洗浄できる。
【００３０】
また、ベルト１７上には、ベルト１７の幅方向に延在して太陽電池基板１の厚みよりも十分に高い高さを有する基板保持部１９が設けられており、太陽電池基板１は太陽電池基板１の搬送方向において基板保持部１９の前方に載置されている。すなわち、基板保持部１９は、ベルト１７の延在方向において、ベルト１７に載置された太陽電池基板１の太陽電池基板の搬送方向における後方に位置する。図４は、ガイド３１と基板保持部１９との位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＢ−Ｂ’線に沿った要部断面図である。なお、図４では、ベルト１７と基板保持部１９とガイド３１との位置関係に注目して示しており、他の部材は省略している。基板保持部１９は、ローラコンベア１６が作動中でもガイド３１に接触しないように設置されている。図２および図４では、基板保持部１９は、ベルト１７の幅方向において一対のガイド部材に挟まれた領域の略中央に該ガイド部材と同等の高さで配置されている。
【００３１】
図５は、太陽電池基板１と基板保持部１９との位置関係を模式的に示す図であり、図２におけるＣ−Ｃ’線に沿った要部断面図である。なお、図５では、ベルト１７と基板保持部１９とガイド３１との位置関係に注目して示しており、他の部材は省略している。太陽電池基板１の裏面全面がベルトに接触して場合には該太陽電池基板１はベルト１７とともに移動する（太陽電池基板１Ｃ）。一方、洗浄槽１１中において太陽電池基板１がベルト１７から浮き上がった場合には、ベルト１７の動力が太陽電池基板１に伝わらず、太陽電池基板１を搬送できない場合がある。
【００３２】
そこで、図２および図５に示すようにベルト１７の表面に基板保持部１９を配置することにより、太陽電池基板１が浮き上がっても、該太陽電池基板１の後端辺が基板保持部１９に保持されることにより基板保持部１９を通してベルト１７の動力が太陽電池基板１に伝わり、搬送が可能となる。また、図４のようにガイド３１と基板保持部１９とが接触しないため、太陽電池基板１の搬送に支障はない。
【００３３】
つぎに、洗浄槽１１で洗浄された太陽電池基板１はローラコンベア１６により搬送方向へ搬送されて洗浄槽１１から搬出され、水洗槽１３に搬入されると、太陽電池基板１に純水１４が供給されることにより水洗され、洗浄液１２が洗い流される。太陽電池基板１は所定の低速で搬送されながら純水１４による洗浄が行われるが、ローラコンベア１６を一時停止して水洗槽１３内において所定の時間だけ浸漬した状態で純水１４による水洗が行われてもよい。
【００３４】
ここで、洗浄槽１１上から延在するガイド３１が水洗槽１３上にも配置されている。すなわち、洗浄槽１１での洗浄時と同様に、水洗槽１３中において太陽電池基板１が浮き上がっても、ガイド３１の内面に太陽電池基板１の上面（被処理面）の縁部のみが接触し、さらなる浮き上がりを防止することが可能となる。
【００３５】
つぎに、水洗槽１３で洗浄された太陽電池基板１はローラコンベア１６により搬送方向へ搬送されて水洗槽１３から搬出され、乾燥炉１５に搬入される。太陽電池基板１は、乾燥炉１５内を通過する間に水洗槽１３で付着した純水１４が乾燥される。
【００３６】
そして、太陽電池基板１はローラコンベア１６により搬送方向へ搬送されて乾燥炉１５から搬出され、最後にアンローダ部２１に運ばれ、該アンローダ部２１でローラコンベア１６上から降ろされて別工程に搬出される。
【００３７】
そして、上記のようにベルト１７上に所定の間隔で載置された太陽電池基板１がローラコンベア１６によってローダ部２０からアンローダ部２１まで搬送されることにより、複数の太陽電池基板１に対して連続して洗浄処理、水洗処理、乾燥処理が安定して均一に行われる。
【００３８】
なお、上記においては太陽電池基板１の搬送経路において太陽電池基板１の幅方向（短辺方向）の一部のみをガイド３１で覆っているが、図６および図７に示すように蓋形状とされたガイド４１により、太陽電池基板１の搬送経路を覆ってもよい。図６は、ローラコンベア１６によって太陽電池基板１が洗浄槽１１の洗浄液１２中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。図７は、図６におけるＤ−Ｄ’線に沿った要部断面図である。
【００３９】
また、ガイドは、図８〜図１０に示すように、蓋形状のガイド４１の一部に開口部４２が設けられたガイド４３とされてもよい。図８は、ローラコンベア１６によって太陽電池基板１が洗浄槽１１の洗浄液１２中に搬送されて洗浄されている状態を上部から見た要部平面図である。図９は、図８におけるＥ−Ｅ’線に沿った要部断面図である。図１０は、図８におけるＦ−Ｆ’線に沿った要部断面図である。
【００４０】
また、上記においては洗浄槽１１の洗浄液１２中や水洗槽１３の純水１４中において太陽電池基板１がベルト１７から浮き上がった場合について説明したが、洗浄槽１１中や水洗槽１３中以外の場所においても搬送中においてガイド３１、４１、４３による太陽電池基板１の浮き上がり防止効果が得られ、安定して太陽電池基板１を搬送することができる。
【００４１】
また、上記においては太陽電池基板１の乾燥に乾燥炉１５を用いたが、太陽電池基板１の乾燥は乾燥炉１５に限らず、空気や窒素などの気体よるブロー乾燥や、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いた乾燥等でもよい。
【００４２】
また、上記においてはベルト１７上に載置された２列×２枚の合計４枚が洗浄槽１１および水洗槽１３で処理可能である場合について示したが、洗浄槽１１および水洗槽１３のサイズ、洗浄槽１１および水洗槽１３への太陽電池基板１の投入の列数、枚数に応じた形態のガイドや基板保持部を設置することにより、洗浄槽１１および水洗槽１３において任意の枚数の太陽電池基板１の洗浄処理が可能である。そして、洗浄装置を複数並列配置することにより、より効率良く太陽電池基板１の洗浄が可能である。
【００４３】
また、上記においては洗浄槽１１と水洗槽１３とが並列配置されて洗浄処理と水洗処理とを連続して実施する形態について示したが、洗浄槽１１のみを有する形態または水洗槽１３のみを有する形態としてもよい。
【００４４】
また、上記においてはローダ部２０からアンローダ部２１まで連続して設けられたローラコンベア１６を示しているが、ローラコンベア１６の形態はこれに限定されない。すなわち、ローダ部２０からアンローダ部２１まで太陽電池基板１を搬送できれば、ローラコンベア１６は領域毎に分割された形態としてもよい。ローラコンベア１６は、たとえばローダ部２０、洗浄槽１１、洗浄槽１１と水洗槽１３との間の領域、水洗槽１３、乾燥炉１５とアンローダ部２１などの領域毎に分割された形態とされてもよい。また、ローダ部２０、洗浄槽１１と水洗槽１３との間の領域、アンローダ部２１のローラコンベア１６の高さ位置を洗浄槽１１内および水洗槽１３内において太陽電池基板１の洗浄処理が行われるローラコンベア１６の高さ位置に合わせてもよい。
【００４５】
なお、ローラコンベア１６が、ローダ部２０と洗浄槽１１とで分割されている場合は、太陽電池基板１が洗浄槽１１のローラコンベア１６に載置される際に基板保持部１９に乗り上げないように基板保持部１９の位置と太陽電池基板１との位置調整が必要である。
【００４６】
上述したように、本実施の形態においては、ローラコンベア１６による太陽電池基板１の搬送中に太陽電池基板１が処理液中で浮き上がっても、太陽電池基板１の上面（被処理面）の縁部のみが、ガイド３１等の内面に接触し、太陽電池基板１のさらなる浮き上がりが防止できる。これにより、太陽電池基板１の被処理面に接触することなく太陽電池基板１の浮き上がりを抑制できるため、太陽電池基板１と処理液との接触状態が安定して均一とされる。
【００４７】
したがって、本実施の形態によれば、ローラコンベア式の洗浄装置において複数の太陽電池基板の表面を安定して均一に洗浄できる、という顕著な効果を奏する。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上のように、本発明にかかる太陽電池基板の洗浄装置は、複数の太陽電池基板の表面を連続的に効率良く安定して洗浄する場合に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  太陽電池基板
１Ａ  太陽電池基板
１Ｂ  太陽電池基板
１Ｃ  太陽電池基板
１Ｄ  太陽電池基板
１１  洗浄槽
１２  洗浄液
１３  水洗槽
１４  純水
１５  乾燥炉
１６  ローラコンベア
１７  ベルト
１８  ローラ
１９  基板保持部
２０  ローダ部
２１  アンローダ部
３１  ガイド
３１Ａ  ガイド
３１Ｃ  ガイド
３１ａ  ガイド部材
３１ｂ  ガイド部材
３１ｃ  ガイド部材
３１ｄ  ガイド部材
４１  ガイド
４２  開口部
４３  ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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