(57)【要約】【課題】振動発電器の出力電流の増大及び電極間の隙間変化による容量変化の均整化を図る。【解決手段】第１の基板(101)と振動体(103)とに、第１の隙間(g1)を隔てて対向するよう第１の固定電極(102)及び第１のエレクトレット電極(105)が設けられ、第１の基板(101)と振動体(103)との間に第１のばね(104)が介在し、第１のエレクトレット電極(105)に正又は負の電荷が注入され、振動体(103)に対し第１の基板配置側とは反対側に第２の基板(106)が配置され、第２の基板(106)と振動体(103)とに、第２の隙間(g2)を隔てて対向するよう第２の固定電極(107)及び第２のエレクトレット電極(109)が設けられ、第２の基板(106)と振動体(103)との間に、第２のばね(108)が介在し、第２のエレクトレット電極(109)に負電荷又は正電荷が注入され、第１の基板(101)と第２の基板(106)とは、同一の整流回路(110)に接続されている。【選択図】図１
2013198314.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の固定電極と第１のエレクトレット電極とが、第１の隙間を隔てて対向するよう、第１の基板と振動体とにそれぞれ設けられ、前記第１の基板と前記振動体との間に、第１のばねが伸縮可能に介在し、前記第１のエレクトレット電極に負電荷又は正電荷が注入され、前記第１の隙間が増減する方向に前記振動体が振動し、発電する振動発電器において、
前記振動体に対し前記第１の基板配置側とは反対側に第２の基板が配置され、
第２の固定電極と第２のエレクトレット電極とが、第２の隙間を隔てて対向するよう、前記第２の基板と前記振動体とにそれぞれ設けられ、
前記第２の基板と前記振動体との間に、第２のばねが伸縮可能に介在し、
前記第２のエレクトレット電極に負電荷又は正電荷が注入され、
前記第１の基板と前記第２の基板とは、同一の整流回路に接続されている振動発電器。
【請求項２】
前記第１の固定電極及び前記第２の固定電極からの電流が、同一位相となるように前記第１の固定電極と第２の固定電極が前記整流器に接続されている、請求項１に記載の振動発電器。
【請求項３】
前記第１のばねのばね定数と前記第２のばねのばね定数が等しい請求項１又は２に記載の振動発電器。
【請求項４】
前記第１の固定電極の面積と前記第２の固定電極の面積とが等しい請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動発電器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境振動エネルギーを電力に変換する、エレクトレット材料静電誘導型の振動発電器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境に広く存在するエネルギーから電力を取り出し、小電力の電子機器に利用する環境発電が注目されている。この環境発電として、太陽光発電をはじめ、熱電発電、磁石とコイルの電磁誘導による発電、及び振動発電などがある。前記振動発電を行う振動発電器は、人体や車両や機械などの振動エネルギーを用いている。前記振動発電器の一般的な構造は、固定電極とエレクトレット電極とが隙間を隔てて対向配置され、振動体に一方の電極が設けられており、前記エレクトレット電極に半永久的に電荷が注入されている。前記振動体が振動することにより、前記両電極間の隙間（距離）が増減し、両電極間の容量変化を用いて誘導電荷が変化し、電流が生じる。これにより負荷にかかる電圧が発生し、電力を取り出すことができる。
【０００３】
図７は従来の振動発電器の縦断面図である。この図７において、基板２０１に固定電極２０２が設けられ、振動体２０３にエレクトレット電極２０４が設けられている。固定電極２０２とエレクトレット電極２０４とは、隙間ｇを隔てて対向している。振動体２０３は、複数のばね２０５を介して基板２０１に接続している。振動体２０３が、隙間ｇの増減方向（Ｚ１Ｚ２方向）に振動することにより、両電極２０２、２０４間の隙間（距離）ｇが増減し、ばね２０５が伸縮する。
【０００４】
エレクトレット電極２０４にプラスの電荷が注入されている場合、エレクトレット電極２０４が固定電極２０２に接近したときに、固定電極２０２にマイナスの誘導電荷が流入する。つまり固定電極２０２から電流が流出する。反対に、エレクトレット電極２０４が固定電極２０２から遠ざかったときに、固定電極２０２からマイナスの誘導電荷が流出する。つまり固定電極２０２に電流が流入する。このような誘導電荷の流入及び流出により発生する電流は、整流回路２０６で整流される。そして、電流変化を負荷２０７で受けることにより、負荷２０７に電圧が発生し、発電する。（特許文献１参照）
【０００５】
固定電極２０２とエレクトレット電極２０４との間の容量Ｃは、Ｃ＝ε0×Ａ／ｇで表される。記号ｇは固定電極２０２とエレクトレット電極２０４との隙間であり、記号ε0は真空の誘電率であり、記号Ａは電極面積である。前記式から、隙間ｇと容量Ｃとは、図８に示すように、反比例の関係となることが分かる。
【０００６】
発電中、エレクトレット電極２０４と固定電極２０２には静電力が発生するが、振動体２０３の振動は、ばね２０５の単振動動作と略一致する。図９の曲線２１０(g)は、図７の振動発電器における隙間ｇの時間変化を示しており、前記曲線２１０（ｇ）は正弦波となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２２１９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、図７の従来例のように、振動体２０３の片側のみにばね２０５及びエレクトレット電極２０４を配置し、振動体２０３の振動がばね２０５の単振動動作と略一致する構造では、次のような課題がある。
【０００９】
図９は、隙間ｇの時間変化（曲線２１０（ｇ））と共に、容量Ｃの時間変化（曲線２１１(C)）も示している。隙間ｇが狭いとき（減少しているとき）には容量変化が急となり、隙間ｇが広いとき（増加しているとき）には、容量変化が緩やかとなっている。つまり、容量Ｃの中心値をＣc、最大容量値をＣmax、最小容量値をＣminとしたとき、容量Ｃが中心値Ｃcから最大容量値Ｃmaxまで増加し、続いて、中心値Ｃcに戻るまでの期間Ｔ１は、容量Ｃの１周期Ｔ２の半周期を大きく下回る。これにより、容量Ｃの変化曲線２１１(C)は不均整な波形となる。また、容量変化に対応して誘導電荷が流出入し、負荷２０７にかかる電圧が変化するので、電圧変化も不均整な波形となり、発電波形が乱れ、発電効率が劣化する。
【００１０】
前記発電波形の乱れに対し、整流回路２０６で整流した後の交流電圧を、負荷２０７と並列に配置した平滑コンデンサで平滑化しているが、不均整な波形を平滑化すると、リプルの大きい直流電圧となり、発電効率の低下は避けられない。
【００１１】
［発明の目的］
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、発電量を増大させ、かつ、電極間の隙間変化による容量変化の不均整な波形変化を低減し、発電効率を改善できる振動発電器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る振動発電器は、第１の固定電極と第１のエレクトレット電極とが、第１の隙間を隔てて対向するよう、第１の基板と振動体とにそれぞれ設けられ、前記第１の基板と前記振動体との間に、第１のばねが伸縮可能に介在し、前記第１のエレクトレット電極に負電荷又は正電荷が注入され、前記第１の隙間が増減する方向に前記振動体が振動し、発電する振動発電器において、前記振動体に対し前記第１の基板配置側とは反対側に第２の基板が配置され、第２の固定電極と第２のエレクトレット電極とが、第２の隙間を隔てて対向するよう、前記第２の基板と前記振動体とにそれぞれ設けられ、前記第２の基板と前記振動体との間に、第２のばねが伸縮可能に介在し、前記第２のエレクトレット電極に負電荷又は正電荷が注入され、前記第１の基板と前記第２の基板とは、同一の整流回路に接続されている。
【００１３】
本発明は、上記構成に加え、次の構成をとることができる。
【００１４】
（ａ）前記第１の固定電極及び前記第２の固定電極からの電流が、同一位相となるように前記第１の固定電極と第２の固定電極が前記整流器に接続されている。
【００１５】
（ｂ）前記第１のばねのばね定数と前記第２のばねのばね定数が等しい。
【００１６】
（ｃ）前記第１の固定電極の面積と前記第２の固定電極の面積とが等しい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、一つの振動体の表裏両面を利用して２箇所で発電するので、振動体を増やすことなく、発電量を増やすことができる。しかも、２箇所で発電した電流を共通の整流器に流すことにより、隙間の変化による容量変化の不均一性を改善し、発電効率を改善できる振動発電器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器であって、振動体が下方に移動中の縦断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器であって、振動体が上方に移動中の縦断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器における第１の隙間と第１の容量の時間特性図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器における第２の隙間と第２の容量の時間特性図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器の見かけ上の合成容量変化を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る振動発電器であって、振動体が下方に移動中の縦断面図である。
【図７】従来の振動発電器の縦断面図である。
【図８】従来の振動発電器の隙間による容量変化特性図である。
【図９】従来の振動発電器の隙間と容量の時間特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器であって、振動体が下方に移動中の縦断面図である。図２は、図１と同じ振動発電器であって、振動体が上方に移動中の縦断面図である。
【００２１】
図１において、振動発電器は、第１の基板１０１と、第１の基板１０１に上方から対向する第２の基板１０６と、第１の基板１０１と第２の基板１０６との間に配置された振動体１０３と、を有している。
【００２２】
第１の基板１０１の上面には第１の固定電極１０２が設けられている。第１の固定電極１０２に対し第１の隙間ｇ1を隔てて上方から対向するよう、振動体１０３の下面に第１のエレクトレット電極１０５が設けられている。第１の基板１０１と振動体１０３との間には、第１の隙間ｇ1の増減方向（Ｚ１Ｚ２方向）に伸縮自在に第１のばね１０４が介在している。第１のばね１０４の上下端部は、振動体１０３及び第１の基板１０１に連結されている。第１のばね１０４として、第１の実施の形態ではコイルばねが備えられているが、金属板あるいは樹脂板などを撓ませた板ばねを利用することもできる。
【００２３】
第２の基板１０６の下面には第２の固定電極１０７が設けられている。第２の固定電極１０７に対し第２の隙間ｇ2を隔てて下方から対向するよう、振動体１０３の上面に第２のエレクトレット電極１０９が設けられている。第２の基板１０６と振動体１０３との間には、第２の隙間ｇ2の増減方向（Ｚ１Ｚ２方向）に伸縮自在に第２のばね１０８が介在している。第２のばね１０８の上下端部は、第２の基板１０６及び振動体１０３に連結されている。第２のばね１０８として、コイルばねが備えられているが、金属板あるいは樹脂板などを撓ませた板ばねを利用することもできる。
【００２４】
第１の基板１０１、第２の基板１０６及び振動体１０３は、シリコン又はガラスなどでできている。第１の固定電極１０２及び第２の固定電極１０７は、ポリシリコンなどでできている。第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９は、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜などでできている。第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９には、予めマイナスの電荷が注入されており、両エレクトレット電極１０５、１０９はマイナス電荷を半永久的に保持している。
【００２５】
第１の固定電極１０２及び第２の固定電極１０７は同一の整流回路１１０に接続されている。整流回路１１０は、４個のダイオード１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄにより構成されたブリッジ回路である。第１の固定電極１０２は、ダイオード１１０ｃとダイオード１１０ｂ間に接続され、第２の固定電極１０７は、ダイオード１１０ａとダイオード１１０ｄ間に接続されている。整流回路１１０は、さらに負荷１１１の両端と接続されている。具体的には、ダイオード１１０ａとダイオード１１０ｃとの間と、ダイオード１１０ｂとダイオード１１０ｄとの間に、負荷１１１の両端が接続されている。また、振動体１０３と負荷１１１の一端は、グランド電位に接地されている。
【００２６】
第１のばね１０４と第２のばね１０８とは、振動体１０３を介して直列状態に接続されている。したがって、振動体１０３は、第１のばね１０４と第２のばね１０８の合成ばね係数ｋ３に基づき振動する。すなわち、第１のばね１０４のばね定数と第２のばね１０８のばね定数を、それぞれｋ１とｋ２とした場合、合成ばね係数ｋ３は、ｋ３＝ｋ１×ｋ２／（ｋ１＋ｋ２）で表され、この合成ばね定数ｋ３に基づき、振動体１０３が単振動運動を行う。
【００２７】
振動体１０３の上下で発生する電流の重畳を考慮し、第１の実施の形態では、第１のばね１０４のばね定数ｋ１と第２のばね１０８のばね定数ｋ２を同一にしている。これにより、第１の隙間ｇ1の変化分と第２の隙間ｇ2の変化分が同一になり、振動体１０３の変位が、上下に均整のとれた形状となる。
【００２８】
第１の実施の形態では、第１の固定電極１０２の面積と、第２の固定電極１０７の面積とを同一としている。さらに、第１のエレクトレット電極１０５の面積と、第２のエレクトレット極１０９の面積と、を同一としている。これにより、前記第１及び第２のばね１０４、１０８のばね定数を同一とした場合と同様、振動体１０３の上下での第１の容量Ｃ１及び第２の容量Ｃ２の変化を、均整のとれたものとしている。
【００２９】
また、第１の実施の形態では、第１の固定電極１０２の面積と第１のエレクトレット電極１０５の面積とを略同一とし。第２の固定電極１０７の面積と第２のエレクトレット電極１０９の面積とを略同一としている。なお、振動体１０３の水平方向のずれを考慮する場合には、第１及び第２の固定電極１０２、１０７の面積を、それぞれ振動体１０３側の第１及び第２のエレクトレット電極１０５、１０９の面積よりも、大きくすることができる。
【００３０】
振動体１０３が上下に振動した場合、第１の隙間ｇ1は、振動体１０３の単振動動作により、図３の変化曲線１３１のように変化する。この第１の隙間ｇ1の変化に伴い、第１のエレクトレット電極１０５と第１の固定電極１０２で形成される第１の容量Ｃ1が、変化曲線１３２のように変化する。
【００３１】
一方、第２の隙間ｇ2は、振動体１０３の単振動動作により、図４の変化曲線１３５のように変化する。この第２の隙間ｇ2の変化に伴い、第２のエレクトレット電極１０９と第２の固定電極１０７とで形成される第２の容量Ｃ2が、変化曲線１３６のように変化する。
【００３２】
第１のばね１０４が伸張しているときには第２のばね１０８は収縮し、第１のばね１０４が収縮しているときには第２のばね１０８は伸張する。これに基づき、図４の第２の隙間ｇ2の変化曲線１３５は、図３の第１の隙間ｇ1の変化曲線１３１に対して半波長ずれることになる。同様に、第２の固定電極１０７と第２のエレクトレット電極１０９との間の第２の容量Ｃ2の変化曲線１３６も、第１の固定電極１０２と第１のエレクトレット電極１０５との間の第１の容量Ｃ1の変化曲線１３２に対し、半波長ずれることになる。
【００３３】
このように構成された本発明の第１の実施の形態に係る振動発電器の動作について説明する。
【００３４】
図１のように、振動体１０３が下方（Ｚ１方向）に移動している場合、マイナスの電荷が注入された第１のエレクトレット電極１０５が第１の固定電極１０２に接近し、隙間ｇ１が縮小する。これにより、第１の固定電極１０２にプラスの誘導電荷が流入する。つまり電流が流入する。一方、振動体１０３の上側では、マイナスの電荷が注入された第２のエレクトレット電極１０９が第２の固定電極１０７から遠ざかり、第２の隙間ｇ2が拡大する。第２の固定電極１０７には、前段階の動作で、第２のエレクトレット電極１０９が接近したときにプラスの電荷が蓄えられている。したがって、この蓄えられていたプラスの誘導電荷が第２の固定電極１０７から流出する。つまり電流が流出する。
【００３５】
第２の固定電極１０７から流出した電流は、図１に矢印で示すように、整流回路１１０のダイオード１１０ａ、負荷１１１及びダイオード１１０ｂを順に流れる。そして、プラスの誘導電荷が第１の固定電極１０２に流入する。
【００３６】
一方、図２のように、振動体１０３が上方に移動している場合、マイナスの電荷が注入された第２のエレクトレット電極１０９が第２の固定電極１０７に接近し、第２の隙間ｇ2が縮小する。これにより、第２の固定電極１０７にはプラスの誘導電荷が流入する。つまり電流が流入する。一方振動体１０３の下側では、マイナスの電荷が注入された第１のエレクトレット電極１０５が第１の固定電極１０２から遠ざかり、第１の隙間ｇ1が拡大する。第１の固定電極１０２には、前段階の動作（図１の動作）で第１のエレクトレット電極１０５が接近したときにプラスの電荷が蓄えられている。したがって、この蓄えられていたプラスの誘導電荷が第１の固定電極１０２から流出する。つまり電流が流出する。
【００３７】
第１の固定電極１０２から流出した電流は、図２に矢印で示すように、整流回路１１０のダイオード１１０ｃ、負荷１１１、ダイオード１１０ｄを順に流れる、そして、プラスの誘導電荷は第２の固定電極１０７に流入する。
【００３８】
このように、振動体１０３の上下方向の振動により発生した上下の各誘導電流は、整流回路１１０によって整流され、負荷１１１には常に同じ方向に電流が流れ、これにより負荷１１１には電圧が発生し発電する。
【００３９】
第１のエレクトレット電極１０５と第１の固定電極１０２との間の第１の容量をＣ1（図３参照）とすると、第１の固定電極１０２から発生する誘導電流は、第１の容量Ｃ1の時間に対する変化曲線１３２に応じて発生する。
【００４０】
同様に第２のエレクトレット電極１０９と第２の固定電極１０７との間の第２の容量をＣ2（図４参照）とすると、第２の固定電極１０７から発生する誘導電流は、第２の容量Ｃ2の時間に対する変化曲線１３６に応じて発生する。
【００４１】
図３及び図４に示すように、第１の容量Ｃ1の変化曲線１３２及び第２の容量Ｃ2の変化曲線１３６、つまり電流変化は、それぞれ不均整な波形となっている。しかし、両電流を共通の整流回路１１０にて合成し、負荷１１１より取り出すことにより、図５に示すように、見かけ上の合成した容量Ｃ3の変化は、変化曲線１４１のようになる。すなわち、１周期つまり１波長１４２における前半半波長１４２ａと後半半波長１４２ｂの波形が、均整がとれた対称的な形状になる。これにより出力電流及び出力電圧も均整がとれ、さらには発電効率が向上する。
【００４２】
また整流回路１１０で整流後交流電圧を負荷１１１と並列に配置した平滑コンデンサで平滑化すると、このとき均整な電圧波形の平滑化により、リプルが小さくなり、発電効率が向上する。
【００４３】
また従来例のような振動体の片側のみを利用した発電に比べ、第１の固定電極１０２からの電流と第２の固定電極１０７からの電流とを合成するので、出力電流も増大し、発電効率が向上する。
【００４４】
［第２の実施の形態］
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る振動発電器の縦断面図であって、振動体１０３が下方に移動中の縦断面図である。図１と同じ構成要素には同じ符号を用い、説明を省略する。
【００４５】
第１の実施の形態と異なる点は、第１のばね１０４及び第２のばね１０８として、ゴムあるいは樹脂等よりなる高反発弾性材料の塊を使用している。
【００４６】
また、第２の実施の形態では、第１の基板１０１と第２の基板１０６の間に、角筒状のスペーサー１１２が配置されている。このスペーサー１１２と、第１の基板１０１と、第２の基板１０６とで、密閉された振動体収納空間Ｓ１を構成している。すなわち、振動体収納空間Ｓ１は、外気が混入することのない気密封止されている。これにより、第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９へのダメージ、つまり電荷の脱離を防ぐことが可能となる。尚、封止構造については、第２の実施の形態の構造に限るものではない。
【００４７】
第２の実施の形態によると、第１及び第２のばね１０４、１０８として、コイルばねや板ばねを用いる場合に比べ、図６のようにゴムなどの弾性体の塊を利用しているので、組み付けが容易である。また、部品コストを下げることができる。
【００４８】
［その他の実施の形態］
（１）第１及び第２の基板１０１、１０６に第１及び第２のエレクトレット電極１０５、１０９を備え、振動体１０３に第１及び第２の固定電極１０２、１０７を備える構造とすることも可能である。
【００４９】
（２）第１及び第２の基板１０１、１０６、振動体１０３、第１及び第２の固定電極１０２、１０７並びに第１及び第２のエレクトレット電極１０５、１０９を構成する材料は、前記実施の形態で挙げたものには限定されない。たとえば、第１の基板１０１、第２の基板１０６及び振動体１０３を、樹脂基板や金属ブロックで構成することも可能である。第１の固定電極１０２及び第２の固定電極１０７はアルミや銅などの導電性材料でもよい。第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９は有機系のエレクトレット材料でもよい。
【００５０】
（３）第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９に注入する電荷は、マイナスの電荷には限らず、プラスの電荷でも可能である。プラスの電荷を注入した場合には、マイナスの電荷を注入した場合と、誘導電荷の極性が異なり、電流方向が逆となるが、同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００５１】
（４）第１及び第２の実施の形態では、第１及び第２の固定電極１０２、１０７並びに第１及び第２のエレクトレット電極１０５、１０９が、水平姿勢に配置されているが、本発明は、このような構造に限定されない。たとえば、第１及び第２の固定電極並びに第１及び第２のエレクトレット電極を、鉛直姿勢に配置した構造や、水平面に対して任意の角度で傾斜した姿勢で配置する構造なども、本発明に含まれる。
【００５２】
（５）前記実施の形態では、整流回路１１０をブリッジ回路とし、負荷１１１の両端と、第１及び第２の固定電極１０２、１０７にそれぞれ接続した構成としたが、このような整流回路に限るものではなく、他方式を採用することもできる。
【００５３】
（６）整流回路１１０への引き出し配線や、振動体１０３の接地する引き出し配線は、図は結線イメージで記載しているが、実際は、基板上の配線電極や基板貫通電極などを配置して接続することは言うまでもない。
【００５４】
（７）図１に示す第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９から振動体１０３に電荷が流出しないように、第１のエレクトレット電極１０５及び第２のエレクトレット電極１０９と、振動体１０３とを、酸化膜などを介して絶縁することができる。同様に第１の基板１０１と第１の固定電極１０２の間並びに第２の基板１０６と第２の固定電極１０７の間も、酸化膜などを介して絶縁することができる。
【００５５】
（８）図１では、振動体１０３を接地接続される構成としたが、第１のエレクトレット電極１０５や第２のエレクトレット電極１０９の下部に同程度のサイズの電極を備え、該電極が接地接続する構成であってもよい。
【００５６】
（９）前記実施の形態では、第１の固定電極１０２の面積と第２の固定電極１０７の面積とを同一としているが、必ずしも同一でなくとも良い。ただし、電流の重畳を考慮すると同一サイズであることが望ましいのである。
【００５７】
（１０）振動体１０３の振動方向（Ｚ１Ｚ２方向）と垂直となる水平方向へのずれに対応するため、前述のように、第１の固定電極１０２は第１のエレクトレット電極１０５より大きく、第２の固定電極１０７は第２のエレクトレット電極１０９より大きいことが望ましい。
【００５８】
もしくは、振動体１０３の振動方向と垂直となる水平方向へのずれに対応するため、第１の固定電極１０２は第１のエレクトレット電極１０５より小さく、第２の固定電極１０７は第２のエレクトレット電極１０９より小さくしてもよい。
【００５９】
（１１）前記実施の形態では、第１のばね１０４のばね定数と第２のばね１０８のばね定数を略同一にしているが、本発明は、第１のばね１０４のばね定数と第２のばね１０８のばね定数が異なる構成も含んでいる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明にかかる振動発電器は、様々な外界の振動エネルギーに応用可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１０１  第１の基板
１０２  第１の固定電極
１０３  振動体
１０４  第１のばね
１０５  第１のエレクトレット電極
１０６  第２の基板
１０７  第２の固定電極
１０８  第２のばね
１０９  第２のエレクトレット電極
１１０  整流回路
１１１  負荷
１１２  スペーサー
１３１  第１の固定電極と第１のエレクトレット電極の第１の隙間ｇ1の変化曲線（時間変化）
１３２  第１の固定電極と第１のエレクトレット電極の第１の容量Ｃ1の変化曲線（時間変化）
１３５  第２の固定電極と第２のエレクトレット電極の第２の隙間ｇ2の変化曲線（時間変化）
１３６  第２の固定電極と第２のエレクトレット電極の第２の容量Ｃ2の変化曲線（時間変化）
１４１  見かけ上の合成容量変化曲線
１４２  見かけ上の合成容量の１周期
Ｓ１  振動体収納空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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