(57)【要約】【課題】故障が発生する可能性が高くなったときに、実際に故障が発生することを抑制するとともに、無駄な保守作業を実施することを抑制する処理装置の制御方法を提供する。【解決手段】処理装置の制御方法は、通常稼働モードで稼働している処理装置の稼働指標を測定する稼働指標測定工程と、稼働指標測定工程で測定された稼働指標の測定値を予め定められた稼働閾値と比較して処理装置の稼働状態を判定する、稼働状態判定工程と、稼働状態判定工程において、稼働指標の測定値が稼働閾値を超えている稼働状態であると判定された場合に、処理装置の稼働モードを、安全稼働モードに変更する稼働モード変更工程と、を有し、記安全稼働モードは、稼働指標の設定値である安全稼働指標値が、通常稼働モードにおける稼働指標の設定値である通常稼働指標値より、故障が発生する可能性が小さくなる値に設定されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通常稼働モードで稼働している処理装置の稼働指標を測定する稼働指標測定工程と、
前記稼働指標測定工程で測定された前記稼働指標の測定値を予め定められた稼働閾値と比較して前記処理装置の稼働状態を判定する、稼働状態判定工程と、
前記稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が前記稼働閾値を超えている稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働モードを、安全稼働モードに変更する稼働モード変更工程と、を有し、
前記安全稼働モードは、前記稼働指標の設定値である安全稼働指標値が、前記通常稼働モードにおける前記稼働指標の設定値である通常稼働指標値より、故障が発生する可能性が小さくなる値に設定されていることを特徴とする処理装置の制御方法。
【請求項２】
前記安全稼働モードで稼働している前記処理装置の前記稼働指標を測定する稼働指標再測定工程と、
前記稼働指標再測定工程で測定された前記稼働指標の測定値を予め定められた安全稼働閾値と比較して前記処理装置の稼働状態を判定する、安全稼働状態判定工程と、
前記安全稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が第１安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働モードを、前記安全稼働モードから前記通常稼働モードに回復させる稼働モード回復工程と、をさらに有することを特徴とする、請求項１に記載の処理装置の制御方法。
【請求項３】
前記安全稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が第２安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働を停止させる稼働停止工程をさらに有し、
前記第２安全稼働閾値は、前記稼働閾値より許容幅が広くなる値に設定されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の処理装置の制御方法。
【請求項４】
前記安全稼働モードでは、前記処理装置が処理を実施する処理時間が、前記通常稼働モードにおける処理時間より長く設定されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【請求項５】
前記処理装置は搬送装置であり、前記安全稼働モードでは、搬送速度が、前記通常稼働モードにおける搬送速度より遅く設定されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【請求項６】
前記処理装置は副処理装置を複数備え、
前記稼働指標測定工程では、それぞれの前記副処理装置について、前記稼働指標を測定し、
前記稼働状態判定工程では、前記副処理装置について稼働状態を判定し、
前記稼働モード変更工程では、前記稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が前記稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された前記副処理装置を停止させることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【請求項７】
前記安全稼働モードでは、前記稼働指標再測定工程を実施する頻度が、前記通常稼働モードにおける前記稼働指標測定工程を実施する頻度より高く設定されていることを特徴とする、請求項２乃至６のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【請求項８】
前記安全稼働モードでは、前記安全稼働モードで稼働していることを表示することを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【請求項９】
前記安全稼働モードでは、前記安全稼働モードを解除するための保守作業内容を表示することを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の処理装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理媒体を処理する処理装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被処理媒体に対して加工や搬送などの処理を実施する処理装置が知られている。処理装置は、処理装置の経時変化や被処理媒体の過大な固体差などによって、故障が発生する。故障が発生すると、修復に要する費用の発生や、修復の間の処理装置の停止による生産の停止など、故障を修復するための費用や時間が必要である。故障が発生すると、被処理媒体の破損や、処理装置の破損などの新た不具合が発生する場合もある。故障発生を回避するために、定期的に保守作業や部品交換を行う定期予防保守が行われる場合がある。定期予防保守を行う場合には、確実に故障を防止することが必要である。そのためには、保守作業の実施間隔や部品の耐用年数を短く設定することが必要である。そのため、保守作業が過剰になったり、部品が充分使用可能であるにもかかわらず交換されたりして、保守費用が増加するという課題があった。
【０００３】
特許文献１には、それぞれ別の原動機によって駆動される左右一対の車輪を有する搬送台車が軌道上を走行する搬送システムにおける原動機の異常の検出に基づく搬送台車の停止により搬送システムが停止した場合に、搬送台車が現状走行可能かどうか判断する第１工程と、第１工程にて走行不可と判断した場合に、搬送台車の加速度および、速度の少なくとも一方を下げた状態で搬送台車が走行可能かどうかを判断する第２工程と、第２工程にて走行不可と判断した場合に、搬送台車の左右いずれか一方の車輪の駆動のみで搬送台車が搬送可能かどうかを判断する第３工程と、を備え、第１工程、第２工程、第３工程のいずれかの工程において走行可能と判断した場合には搬送システムを再稼働することで、搬送台車の停止による搬送システム全体の停止時間を短縮する搬送システムにおける制御方法が開示されている。
特許文献２には、ワークに対して複数の動作を実行するために要する時間を計測するカウント部と、複数の動作に要する時間として予め設定された基準時間と、カウント部で実際に測定した動作時間との時間差を算出し、時間差が所定の閾値を越えているか調べる判定部と、時間差が閾値を越えている場合にはメンテナンスを指示する信号を出力する出力部と、を含み構成要素の異常や劣化を確実に検知できる生産装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２５７３６３号公報
【特許文献２】特開２０１１−２８６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された方法では、故障が発生してからの対応処理であり、少なくとも対応処理に要する時間の間はシステムが停止するという課題があった。特許文献２に開示された装置では、故障の予測の対応としてメンテナンス指示が出され、メンテナンスが実施されるため、メンテナンスの際は装置が停止するという課題があった。また、故障の要因よっては、回復する可能性があるが、特許文献２に開示された方法では、メンテナンスが実施されてしまい、無駄なメンテナンスが実施される場合があるという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる処理装置の制御方法は、通常稼働モードで稼働している処理装置の稼働指標を測定する稼働指標測定工程と、前記稼働指標測定工程で測定された前記稼働指標の測定値を予め定められた稼働閾値と比較して前記処理装置の稼働状態を判定する、稼働状態判定工程と、前記稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が前記稼働閾値を超えている稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働モードを、安全稼働モードに変更する稼働モード変更工程と、を有し、前記安全稼働モードは、前記稼働指標の設定値である安全稼働指標値が、前記通常稼働モードにおける前記稼働指標の設定値である通常稼働指標値より、故障が発生する可能性が小さくなる値に設定されていることを特徴とすることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる処理装置の制御方法によれば、稼働指標測定工程において、通常稼働モードで稼働している処理装置の稼働指標を測定する。稼働指標は、搬送装置における搬送速度や、搬送装置における搬送に要する時間などであり、処理装置の稼働状態を示すものである。一般的に、稼働指標の値が、設定値に対して許容値の範囲であれば、処理装置は正常に稼働している状態である。稼働指標の値が特定の値を超えると、処理装置が故障する可能性が高いことが推定でき、さらに別の特定の値を超えると、処理装置が正常に動作しておらず、故障したと推定できる。安全稼働モードは、安全稼働指標値が、通常稼働モードにおける通常稼働指標値より、故障が発生する可能性が小さくなる値に設定されている。このため、故障する可能性が高くなった処理装置を安全稼働モードで稼働させることで、通常稼働モードで稼働させる場合にくらべて、故障する可能性を低くすることができる。稼働モード変更工程において、稼働状態判定工程において稼働指標の測定値が稼働閾値を超えている稼働状態であると判定された場合に、処理装置の稼働モードを安全稼働モードに変更することで、故障状態に陥る可能性が高くなった処理装置が故障状態に陥ることを抑制することができる。すなわち、処理装置が故障状態に陥ることで停止することを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働モードで稼働している前記処理装置の前記稼働指標を測定する稼働指標再測定工程と、前記稼働指標再測定工程で測定された前記稼働指標の測定値を予め定められた安全稼働閾値と比較して前記処理装置の稼働状態を判定する、安全稼働状態判定工程と、前記安全稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が第１安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働モードを、前記安全稼働モードから前記通常稼働モードに回復させる稼働モード回復工程と、をさらに有することが好ましい。
【００１０】
この処理装置の制御方法によれば、稼働指標再測定工程において安全稼働モードで稼働している処理装置の稼働指標を測定し、安全稼働状態判定工程において、測定された稼働指標の測定値に基づいて、処理装置の稼働状態を判定することができる。処理装置が故障状態に陥る可能性が高くなったと判定される要因には様々な要因があり、自然に解消される要因もある。例えば、被処理媒体の個体差が要因である場合には、処理している被処理媒体の個体が変わることで、稼働指標の測定値が、処理装置は正常に稼働している状態の値に戻る可能性が極めて高い。稼働モード回復工程において、安全稼働状態判定工程において稼働指標の測定値が第１安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、処理装置の稼働モードを、安全稼働モードから通常稼働モードに回復させることで、要因が解消されたにもかかわらず安全稼働モードでの稼働を継続することを抑制することができる。また、自然に解消される要因に対して、当該要因を解消するための作業を実施するというような、不要な作業を実施することを抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が第２安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、前記処理装置の稼働を停止させる稼働停止工程をさらに有し、前記第２安全稼働閾値は、前記稼働閾値より許容幅が広くなる値に設定されていることが好ましい。
【００１２】
この処理装置の制御方法によれば、稼働停止工程では、安全稼働状態判定工程において稼働指標の測定値が第２安全稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された場合に、処理装置を停止させる。第２安全稼働閾値を適切な値に設定することにより、故障に陥る可能性が高い処理装置を選別して停止させることができるため、処理装置が稼働中に停止することを抑制することができる。安全稼働モードは通常稼働モードより故障し難いため、第２安全稼働閾値を、稼働閾値より許容幅が広い値にすることが可能である。第２安全稼働閾値を、稼働閾値より許容幅が広い値にすることで、処理装置を停止させる可能性を少なくすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働モードでは、前記処理装置が処理を実施する処理時間が、前記通常稼働モードにおける処理時間より長く設定されていることが好ましい。
【００１４】
この処理装置の制御方法によれば、安全稼働モードでは、処理時間が、通常稼働モードにおける処理時間より長く設定されている。稼働指標には、処理能力を示す指標も含まれる。処理能力を示す指標は、例えば、洗浄用の光を照射することによる洗浄装置における光源の射出強度である。光源の射出強度が低下した場合でも、照射時間を長くすることで、適切な洗浄が可能である。このように、安全稼働モードにおいて、処理時間を、通常稼働モードにおける処理時間より長く設定することで、処理能力が低下した処理装置であっても、適切な処理を実施することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記処理装置は搬送装置であり、前記安全稼働モードでは、搬送速度が、前記通常稼働モードにおける搬送速度より遅く設定されていることが好ましい。
【００１６】
この処理装置の制御方法によれば、安全稼働モードでは、搬送速度が、通常稼働モードにおける搬送速度より遅く設定されている。搬送速度を遅くすると、搬送装置にかかる負荷を低減させることができる。搬送装置にかかる負荷を低減させることで、搬送装置が故障状態に陥ることを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記処理装置は副処理装置を複数備え、前記稼働指標測定工程では、それぞれの前記副処理装置について、前記稼働指標を測定し、前記稼働状態判定工程では、前記副処理装置について稼働状態を判定し、前記稼働モード変更工程では、前記稼働状態判定工程において、前記稼働指標の測定値が前記稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された前記副処理装置を停止させることが好ましい。
【００１８】
この処理装置の制御方法によれば、副処理装置ごとに稼働指標を測定し、稼働状態を判定して、稼働指標の測定値が稼働閾値を超えた稼働状態であると判定された副処理装置を停止させる。稼働閾値を適切に設定することによって、故障状態に陥る可能性が高い副処理装置を停止させて、副処理装置が稼働中に停止することを抑制することができる。安全稼働モードでは、停止させられなかった副処理装置を稼働させて、処理を継続することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働モードでは、前記稼働指標再測定工程を実施する頻度が、前記通常稼働モードにおける前記稼働指標測定工程を実施する頻度より高く設定されていることが好ましい。
【００２０】
この処理装置の制御方法によれば、稼働指標再測定工程は、稼働指標測定工程より高い頻度で実施される。処理装置は、故障に陥る可能性が高くなったことによって、通常稼働モードから安全稼働モードに変更されているため、安全稼働モードで稼働している処理装置は、故障に陥る可能性が高い場合が多い。稼働指標再測定工程を高い頻度で実施することで、処理装置が故障に陥ることを事前に検知できる可能性を高くすることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働モードでは、前記安全稼働モードで稼働していることを表示することが好ましい。
【００２２】
この処理装置の制御方法によれば、安全稼働モードで稼働していることが表示される。これにより、処理装置の操作者に、処理装置が安全稼働モードで稼働していることを認識させて、安全稼働モードに移行した要因に対する対応を促すことができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる処理装置の制御方法において、前記安全稼働モードでは、前記安全稼働モードを解除するための保守作業内容を表示することが好ましい。
【００２４】
この処理装置の制御方法によれば、安全稼働モードを解除するための保守作業内容が表示される。これにより、処理装置の操作者に、安全稼働モードを解除するための保守作業内容を認識させて、対応を促すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）は、マーキング画像が描画された半導体パッケージを示す説明図。（ｂ）は、半導体パッケージが保持基板上に整列させられたパッケージ描画体を示す説明図。（ｃ）は、半導体チップに描画されたマーキング画像を示す説明図。（ｄ）は、半導体チップが保持基板上に整列させられた状態を示す説明図。
【図２】描画装置ユニットの構成を示す説明図。
【図３】前処理装置の要部の概略構成を示す説明図。
【図４】前処理工程を示すフローチャート。
【図５】前処理工程を示すフローチャート。
【図６】（ａ）は、液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。
【図７】（ａ）は、描画工程の全体を示すフローチャート。（ｂ）は、描画工程における吐出検査工程を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る処理装置の制御方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、描画装置ユニットを用いてマーキング対象物にマーキング画像を形成する工程を例にして説明する。描画装置ユニットは、インクジェット方式の液滴吐出装置や、前処理装置や、後処理装置や、マーキング対象物の搬送装置などの処理装置を備えるユニットである。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２７】
＜マーキング対象物＞
最初に、マーキング対象物について、図１を参照して説明する。図１は、マーキング対象物と、マーキング対象物に描画されたマーキング画像とを示す説明図である。図１（ａ）は、マーキング画像が描画された半導体パッケージを示す説明図であり、図１（ｂ）は、半導体パッケージが保持基板上に整列させられたパッケージ描画体を示す説明図であり、図１（ｃ）は、半導体チップに描画されたマーキング画像を示す説明図であり、図１（ｄ）は、半導体チップが保持基板上に整列させられた状態を示す説明図である。
【００２８】
図１（ａ）に示した、半導体パッケージ１１は、フリップチップ接続で実装するパッケージである。バンプが形成された面の反対側の面にマーキング画像であるパッケージ画像１１０が描画されている。パッケージ画像１１０は、例えば、ロゴマーク、製品名称、製品型番、ロット番号などの画像である。
図１（ｂ）に示したように、半導体パッケージ１１を保持基板１２の上に整列させて仮固定し、パッケージ描画体１０を構成する。パッケージ描画体１０に描画する画像を、パッケージ描画画像１１０Ａと表記する。パッケージ描画体１０を、液滴吐出装置１０１（図６参照）の媒体載置台３１（図６参照）に載置して、パッケージ描画体１０にパッケージ描画画像１１０Ａを描画することで、半導体パッケージ１１にパッケージ画像１１０を描画する。
【００２９】
図１（ｃ）に示した、半導体チップ１６は、ボンディングパットが形成された面の反対側の面にマーキング画像であるチップ画像１５０が描画されている。チップ画像１５０は、例えば、ロゴマーク、製品名称、製品型番、ロット番号などの画像である。
図１（ｄ）に示したように、半導体チップ１６を保持基板１７の上に整列させて仮固定し、チップ描画体１５を構成する。チップ描画体１５に描画する画像を、チップ描画画像１５０Ａと表記する。チップ描画体１５を、液滴吐出装置１０１の媒体載置台３１に載置して、チップ描画体１５にチップ描画画像１５０Ａを描画することで、半導体チップ１６にチップ画像１５０を描画する。
【００３０】
＜描画装置ユニット＞
次に、上述したチップ描画体１５のような描画対象に、チップ描画画像１５０Ａのような画像を描画する描画装置ユニットについて、図２を参照して説明する。図２は、描画装置ユニットの構成を示す説明図である。
【００３１】
図２に示すように、描画装置ユニット１００は、液滴吐出装置１０１と、搬送ロボット１０２と、前処理装置１０３と、温度調整装置１０４ａと、温度調整装置１０４ｂと、ロード装置１０５と、アンロード装置１０６と、描画ユニット制御装置１０７と、入出力装置１０８と、表示装置１０９と、を備えている。
チップ描画体１５などは、所定のマガジンに装着される。チップ描画体１５などが装着されたマガジンをロード装置１０５に装填することで、チップ描画体１５などが、描画装置ユニット１００に供給される。
描画装置ユニット１００における処理が終了したチップ描画体１５などは、アンロード装置１０６に装填されたマガジンに装着される。当該マガジンをアンロード装置１０６から取り出すことによって、処理済みのチップ描画体１５などが、描画装置ユニット１００から除材される。
【００３２】
搬送ロボット１０２は、ロード装置１０５に装填されたマガジンからチップ描画体１５などを取り出し、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などにおける所定の位置に載置する。また、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などで処理されたチップ描画体１５などを、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などから除材して、次の処理を実施する装置に供給する。搬送ロボット１０２が、処理装置に相当する。
【００３３】
液滴吐出装置１０１は、チップ描画体１５のような描画対象に、チップ描画画像１５０Ａのような画像を描画する。液滴吐出装置１０１は、搬送ロボット１０２によって、媒体載置台３１上に供給されたチップ描画体１５のような描画対象を吸着保持して、チップ描画画像１５０Ａのような画像を描画する。液滴吐出装置１０１が、処理装置に相当する。
【００３４】
前処理装置１０３は、チップ描画体１５などを、液滴吐出装置１０１によって描画するために好適な状態にするための前処理を実施する。また、チップ描画画像１５０Ａなどを構成する機能液を硬化させるための硬化光を照射する硬化装置として用いられる場合もある。前処理装置１０３は、搬送ロボット１０２によって、前処理テーブル７１上に供給されたチップ描画体１５のような描画対象を吸着保持して、前処理などを実施する。前処理装置１０３が、処理装置に相当する。
【００３５】
温度調整装置１０４ａ及び温度調整装置１０４ｂは、チップ描画体１５などの温度を、前処理装置１０３による処理や、液滴吐出装置１０１による描画を実施するために好適な温度に調整する。また、チップ描画画像１５０Ａなどを構成する機能液を硬化させるための加熱などの後処理を実施するために用いられる場合もある。温度調整装置１０４ａ及び温度調整装置１０４ｂが、処理装置に相当する。
【００３６】
描画ユニット制御装置１０７は、画像データにしたがって、上記した各装置などを制御して、チップ描画体１５のような描画対象に、チップ描画画像１５０Ａのような画像を描画させる。
入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７に接続されている。入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７の記憶装置に記憶させるプログラムやデータなどを入力するための入力手段として機能する。描画ユニット制御装置１０７は、記憶装置に記憶されたプログラムやデータなどにしたがって、上記した各装置などを制御する。また、入出力装置１０８は、各装置などの稼働にともなって取得されるデータの出力手段としても、機能する。
表示装置１０９は、各装置などの稼働状態などを表示する手段として機能する。
【００３７】
＜前処理装置＞
次に、前処理装置１０３について、図３を参照して説明する。図３は、前処理装置の要部の概略構成を示す説明図である。
【００３８】
図３に示すように、前処理装置１０３は、前処理テーブル７１と、紫外線ランプ７４と、ランプ支持枠７５と、テーブル搬送装置７３と、装置基台７７とを備えている。
ランプ支持枠７５は、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとを備えている。支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、装置基台７７に立設されている。支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、図示省略したソケットを備えており、それぞれのソケットが互いに対向する状態で立設されている。紫外線ランプ７４は、電極ピン（図示省略）が、支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂに形成されたソケットに嵌合しており、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。本実施形態の前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えている。６本の紫外線ランプ７４は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。
【００３９】
テーブル搬送装置７３は、紫外線ランプ７４の延在方向と略平行に延在している。前処理テーブル７１は、図３に矢印ａ及び矢印ｂで示したテーブル搬送装置７３の延在方向に移動可能に、テーブル搬送装置７３に支持されている。前処理装置１０３は、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３とをそれぞれ２個備えており、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３の組が、６本の紫外線ランプ７４からなる壁の両側にそれぞれ配設されている。
【００４０】
前処理テーブル７１は、載置面に吸着パッド７２が配設されている。吸着パッド７２の中央に形成された吸着孔は、図示省略した吸引装置に連通している。チップ描画体１５などが前処理テーブル７１の載置面に載置されると、吸着パッド７２に接触して支持される。吸引装置によって吸引されることで、チップ描画体１５などが吸着パッド７２に吸着されて、前処理テーブル７１に保持される。
【００４１】
テーブル搬送装置７３は、前処理テーブル７１を、給除材位置又は前処理位置に保持し、給除材位置と前処理位置との間を移動させる。給除材位置は、搬送ロボット１０２によって、チップ描画体１５などを、前処理テーブル７１に給材又は前処理テーブル７１から除材する位置である。図２及び図３に示した前処理テーブル７１は、給除材位置に位置している。前処理位置は、前処理テーブル７１に保持されたチップ描画体１５などを、紫外線ランプ７４に臨ませて紫外線を照射させる位置である。テーブル搬送装置７３は、前処理位置において、図示省略した回動装置によって前処理テーブル７１を回動させて、前処理テーブル７１の載置面を、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に臨ませる。図３に二点差線で示した前処理テーブル７１Ａは、回動させられた前処理テーブル７１を示している。
【００４２】
＜前処理工程＞
次に、前処理装置１０３を用いて実施する前処理工程について、図４及び図５を参照して説明する。前処理装置１０３を用いて実施する前処理工程は、例えば、紫外線を照射することによって、チップ描画体１５などの被描画面を洗浄する工程である。あるいは、例えば、チップ描画体１５などの被描画面を、描画用の機能液に対して親液性などに改質する工程である。図４及び図５は、前処理工程を示すフローチャートである。
【００４３】
図４のステップＳ２１では、搬送ロボット１０２が、ロボットハンドでチップ描画体１５を把持する。
次に、ステップＳ２２では、搬送ロボット１０２が、把持したチップ描画体１５を、給除材位置に位置している前処理テーブル７１に移動させる。搬送ロボット１０２は、チップ描画体１５を、前処理テーブル７１の吸着パッド７２に当接させて、押し付ける方向に押圧した状態を維持する。
【００４４】
次に、ステップＳ２３では、前処理テーブル７１の吸引装置によって吸引して、チップ描画体１５を吸着パッド７２に吸着させる。
次に、ステップＳ２４では、前処理テーブル７１の吸引センサーが吸着状態を示すＯＮ状態になるまでの時間が規定された吸着標準時間以内であったか否かを判定する。すなわち、吸着標準時間内に吸着が終了したか否かを判定する。吸着標準時間内に吸着が終了した場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）には、吸引装置を停止し、吸引装置を稼働させることで形成した吸着状態を維持した状態で、ステップＳ２８に進む。吸着標準時間内に吸着が終了しなかった場合（ステップＳ２４でＮＯ）には、ステップＳ２５に進む。
吸着に要する時間が、稼働指標に相当する。吸着標準時間の値が、稼働閾値に相当する。ステップＳ２４が、稼働状態判定工程に相当する。
【００４５】
ステップＳ２４の次に、ステップＳ２５では、前処理テーブル７１の吸引装置による吸着工程を安全稼働モードに移行する。この吸着工程の場合、安全稼働モードでは、吸着が所定の時間内に終了したか否かを判定する際に規準とする時間を吸着延長時間に設定する。吸着延長時間は、吸着標準時間より長く設定されている。また、吸着工程を実施する時間である、搬送ロボット１０２がチップ描画体１５を前処理テーブル７１の吸着パッド７２に当接させて、押し付ける方向に押圧した状態を維持する時間を、通常稼働モードにおける当該時間より長く設定する。
安全稼働モードにおける、搬送ロボット１０２がチップ描画体１５を押圧した状態を維持する時間として設定された値が、安全稼働指標値又は処理時間に相当する。通常稼働モードにおける当該時間として設定された値が、通常稼働指標値又は処理時間に相当する。
吸着延長時間の値が、安全稼働閾値及び第２安全稼働閾値に相当する。
さらに、吸着工程に対応する安全稼働モードでは、搬送ロボット１０２によってチップ描画体１５を移動させる際の移動速度を、通常稼働モードにおける移動速度より遅く設定する。移動速度を遅くすることで、搬送ロボット１０２に把持されたチップ描画体１５がずれることを抑制することができる。搬送ロボット１０２に把持されたチップ描画体１５がずれると、チップ描画体１５が前処理テーブル７１の吸着パッド７２に当接させられる際の、チップ描画体１５と吸着パッド７２との相対位置が変わり、それに起因して吸着がし難くなる可能性がある。
安全稼働モードにおける、搬送ロボット１０２による搬送速度が、安全稼働指標値に相当する。通常稼働モードにおける当該速度として設定された値が、通常稼働指標値に相当する。
ステップＳ２５が、稼働モード変更工程に相当する。
【００４６】
次に、ステップＳ２６では、前処理テーブル７１の吸引装置による吸引を継続する。
次に、ステップＳ２７では、吸着延長時間内に吸着が終了したか否かを判定する。吸着延長時間内に吸着が終了した場合（ステップＳ２７でＹＥＳ）には、吸引装置を停止し、吸引装置を稼働させることで形成した吸着状態を維持した状態で、ステップＳ２９に進む。吸着延長時間内に吸着が終了しなかった場合（ステップＳ２７でＮＯ）には、図５のステップＳ４７に進む。ステップＳ２７が、稼働指標再測定工程に相当する。吸着延長時間の値が、安全稼働閾値及び第２安全稼働閾値に相当する。
【００４７】
ステップＳ２４の次に、ステップＳ２８では、前処理テーブル７１の吸引装置による吸着工程の稼働モードが通常稼働モードの場合には、そのままステップＳ２９に進む。吸着工程の稼働モードが安全稼働モードの場合には、吸着工程の稼働モードを通常稼働モードに移行して、ステップＳ２９に進む。ステップＳ２８で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の前処理工程においては、吸着工程は、通常稼働モードで実施される。
稼働モードを通常稼働モードに移行する場合のステップＳ２８が、稼働モード回復工程に相当する。安全稼働モードで稼働している場合のステップＳ２４は、安全稼働状態判定工程に相当する。この場合の吸着標準時間は、安全稼働閾値及び第１安全稼働閾値に相当する。
【００４８】
ステップＳ２８で安全稼働モードから通常稼働モードに移行させることができる例としては、例えば、保持基板１７の歪みに起因する吸着に要する時間の増大が挙げられる。保持基板１７の個体差によって僅かな歪みがある場合、前処理テーブル７１による吸着は可能であるが、吸着完了までにかかる時間がかかる可能性がある。当該時間が吸着標準時間を超えた場合、ステップＳ２５で安全稼働モードに移行する。次の前処理工程では、保持基板１７（チップ描画体１５）は別の個体になるため、吸着標準時間内に吸着が完了する可能性が高い。ステップＳ２４で、吸着標準時間内に吸着が終了したと判定される可能性が高く、ステップＳ２８で安全稼働モードから通常稼働モードに移行させることができる可能性が高い。
【００４９】
ステップＳ２７又はステップＳ２８の次に、ステップＳ２９では、ロボットハンドによるチップ描画体１５の把持を解除する。
【００５０】
次に、ステップＳ３０では、テーブル搬送装置７３によって、前処理テーブル７１を給除材位置から前処理位置に移動させる引込移動を実施する。引込移動では、前処理テーブル７１を、図３に示した矢印ａの方向に移動させる。
次に、ステップＳ３１では、前処理テーブル７１が前処理位置に位置していることを検出する処理位置センサーがＯＮ状態になるまでの時間が規定された引込標準時間以内であったか否かを判定する。すなわち、引込標準時間内に引込移動が終了したか否かを判定する。引込標準時間内に引込移動が終了した場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）には、前処理テーブル７１を前処理位置に保持して、ステップＳ３５に進む。引込標準時間内に引込移動が終了しなかった場合（ステップＳ３１でＮＯ）には、ステップＳ３２に進む。
引込移動に要する時間が、稼働指標に相当する。引込移標準時間の値が、稼働閾値に相当する。ステップＳ３１が、稼働状態判定工程に相当する。
【００５１】
ステップＳ３１の次に、ステップＳ３２では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の引込移動工程を安全稼働モードに移行する。この引込移動工程の場合、安全稼働モードでは、引込移動が終了したか否かを判定する時間を引込延長時間に設定する。引込延長時間は、引込標準時間より長く設定されている。また、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の移動速度を、通常稼働モードにおける当該移動速度より遅く設定する。ステップＳ３２が、稼働モード変更工程に相当する。
安全稼働モードにおける、前処理テーブル７１の移動速度が、安全稼働指標値又は搬送速度に相当する。通常稼働モードにおける、前処理テーブル７１の移動速度が、通常稼働指標値又は搬送速度に相当する。
【００５２】
次に、ステップＳ３３では、前処理テーブル７１が前処理位置に達するまでは、前処理テーブル７１の引込移動を継続する。
次に、ステップＳ３４では、引込延長時間内に引込移動が終了したか否かを判定する。引込延長時間内に引込移動が終了した場合（ステップＳ３４でＹＥＳ）には、前処理テーブル７１を前処理位置に保持して、ステップＳ３６に進む。引込延長時間内に引込移動が終了しなかった場合（ステップＳ３４でＮＯ）には、図５のステップＳ４７に進む。ステップＳ３４が、稼働指標再測定工程に相当する。引込延長時間の値が、安全稼働閾値及び第２安全稼働閾値に相当する。
【００５３】
ステップＳ３１の次に、ステップＳ３５では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の引込移動工程の稼働モードが通常稼働モードの場合には、そのままステップＳ３６に進む。前処理テーブル７１の引込移動工程の稼働モードが安全稼働モードの場合には、前処理テーブル７１の引込移動工程の稼働モードを通常稼働モードに移行して、ステップＳ３６に進む。ステップＳ３５で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の前処理工程においては、引込移動工程は、通常稼働モードで実施される。
稼働モードを通常稼働モードに移行する場合のステップＳ３５が、稼働モード回復工程に相当する。安全稼働モードで稼働している場合のステップＳ３１は、安全稼働状態判定工程に相当する。ステップＳ３１が安全稼働状態判定工程に相当する場合の引込標準時間は、安全稼働閾値及び第１安全稼働閾値に相当する。
【００５４】
ステップＳ３４又はステップＳ３５の次に、図５のステップＳ３６では、前処理テーブル７１を図３に示した矢印ｃ１又は矢印ｃ２の方向に回動させる。前処理テーブル７１を回動させることによって、前処理テーブル７１に吸着されたチップ描画体１５を、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に臨ませる。
次に、ステップＳ３７では、紫外線ランプ７４によって、チップ描画体１５に紫外線を照射する。
次に、ステップＳ３８では、前処理テーブル７１を図３に示した矢印ｄ１又は矢印ｄ２の方向に回動させる。前処理テーブル７１を回動させることによって、前処理テーブル７１を略水平な状態に戻す。
【００５５】
次に、ステップＳ３９では、テーブル搬送装置７３によって、前処理テーブル７１を前処理位置から給除材位置に移動させる排出移動を実施する。排出移動では、前処理テーブル７１を、図３に示した矢印ｂの方向に移動させる。
次に、ステップＳ４０では、前処理テーブル７１が給除材位置に位置していることを検出する給除材位置センサーがＯＮ状態になるまでの時間が規定された排出標準時間以内であったか否かを判定する。すなわち、排出標準時間内に排出移動が終了したか否かを判定する。排出標準時間内に排出移動が終了した場合（ステップＳ４０でＹＥＳ）には、前処理テーブル７１を給除材位置に保持して、ステップＳ４４に進む。排出標準時間内に排出移動が終了しなかった場合（ステップＳ４０でＮＯ）には、ステップＳ４１に進む。
排出移動に要する時間が、稼働指標に相当する。排出移標準時間の値が、稼働閾値に相当する。ステップＳ４０が、稼働状態判定工程に相当する。
【００５６】
ステップＳ４０の次に、ステップＳ４１では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の排出移動工程を安全稼働モードに移行する。この排出移動工程の場合、安全稼働モードでは、排出移動が終了したか否かを判定する時間を排出延長時間に設定する。排出延長時間は、排出標準時間より長く設定されている。また、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の移動速度を、通常稼働モードにおける当該移動速度より遅く設定する。ステップＳ４１が、稼働モード変更工程に相当する。
安全稼働モードにおける、前処理テーブル７１の移動速度が、安全稼働指標値又は搬送速度に相当する。通常稼働モードにおける、前処理テーブル７１の移動速度が、通常稼働指標値又は搬送速度に相当する。
【００５７】
次に、ステップＳ４２では、前処理テーブル７１が給除材位置に達するまでは、前処理テーブル７１の排出移動を継続する。
次に、ステップＳ４３では、排出延長時間内に排出移動が終了したか否かを判定する。排出延長時間内に排出移動が終了した場合（ステップＳ４３でＹＥＳ）には、前処理テーブル７１を給除材位置に保持して、ステップＳ４５に進む。排出延長時間内に排出移動が終了しなかった場合（ステップＳ４３でＮＯ）には、ステップＳ４７に進む。ステップＳ４３が、稼働指標再測定工程に相当する。排出延長時間の値が、安全稼働閾値及び第２安全稼働閾値に相当する。
【００５８】
ステップＳ４０の次に、ステップＳ４４では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の排出移動工程の稼働モードが通常稼働モードの場合には、そのままステップＳ４５に進む。テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の排出移動工程の稼働モードが安全稼働モードの場合には、排出移動工程の稼働モードを通常稼働モードに移行して、ステップＳ４５に進む。ステップＳ４４で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の前処理工程においては、排出移動工程は、通常稼働モードで実施される。
稼働モードを通常稼働モードに移行する場合のステップＳ４４が、稼働モード回復工程に相当する。安全稼働モードで稼働している場合のステップＳ４０は、安全稼働状態判定工程に相当する。ステップＳ４０が安全稼働状態判定工程に相当する場合の排出標準時間は、安全稼働閾値及び第１安全稼働閾値に相当する。
【００５９】
ステップＳ４３又はステップＳ４４の次に、ステップＳ４５では、搬送ロボット１０２が、ロボットハンドでチップ描画体１５を把持する。チップ描画体１５が把持されたところで、前処理テーブル７１によるチップ描画体１５の吸着を解除する。
次に、ステップＳ４６では、搬送ロボット１０２が、チップ描画体１５を次の処理を実施する処理装置に搬送する。
【００６０】
図４のステップＳ２７、図４のステップＳ３４、又は図５ステップＳ４３の次に、図５のステップＳ４７では、前処理装置１０３を停止させる。
ステップＳ２７からステップＳ４７に進む場合は、チップ描画体１５の吸着が適切に実施できない場合である。この要因としては、吸着パッド７２の劣化や、吸引装置の能力低下などが挙げられる。吸着パッド７２の交換や、吸引装置の保守作業を実施して前処理装置１０３を復帰させることができる。
ステップＳ３４、又はステップＳ４３からステップＳ４７に進む場合は、前処理テーブル７１の移動が適切に実施できない場合である。この要因としては、テーブル搬送装置７３の駆動源の劣化や、テーブル搬送装置７３の動力伝達装置の負荷の増大などが挙げられる。駆動源や動力伝達装置の部品交換や、保守作業を実施して前処理装置１０３を復帰させることができる。
【００６１】
ステップＳ４６又はステップＳ４７を実施して、前処理装置１０３を用いて実施する前処理工程を終了する。
【００６２】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１０１について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。図６（ａ）は、液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図であり、図６（ｂ）は、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図である。
【００６３】
図６（ａ）に示すように、液滴吐出装置１０１は、ヘッド機構部２と、媒体機構部３と、保守装置部５と、吐出検査装置部６と、吐出装置制御部７と、を備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。液滴吐出装置１０１は、また、図示省略した機能液供給部を備えている。液滴吐出ヘッド２０が吐出する機能液は、機能液供給部から液滴吐出ヘッド２０に供給される。吐出装置制御部７は、上記した各機構部などを総括的に制御する。
【００６４】
ヘッド機構部２は、キャリッジユニット２２と、キャリッジ走査機構４２と、を備えている。キャリッジユニット２２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１を備えている。キャリッジ走査機構４２は、キャリッジユニット２２が吊設されたキャリッジ枠４５と、駆動モーター４７と、を備えている。キャリッジ枠４５を、キャリッジ走査機構４２によってＹ軸方向に移動させることで、キャリッジ枠４５に吊設されたヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０を、Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。
【００６５】
図６（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが、２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にあるチップ描画体１５などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１０１に装着された状態で、図６（ａ）に示したＸ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＸ軸方向に半ノズルピッチずれている。これにより、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｘ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。
【００６６】
図６（ａ）に示すように、媒体機構部３は、媒体載置台３１と、スライド台３１ａと、媒体移動機構３３と、を備えている。
媒体移動機構３３は、Ｘ軸ガイド３５とＸ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸ガイド３５は、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に略平行に延在している。
スライド台３１ａは、Ｘ軸方向に摺動自在に、Ｘ軸ガイド３５に支持されている。Ｘ軸リニアモーターは、Ｘ軸ガイド３５と略平行に配設されており、スライド台３１ａは、Ｘ軸リニアモーターによって、Ｘ軸方向に移動させられる。また、移動した任意の位置に保持させられる。媒体載置台３１は、図示省略した媒体回動機構によって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と直交するＺ軸方向に平行な軸まわりの方向に回動可能に、スライド台３１ａの上に固定されて、支持されている。
【００６７】
媒体移動機構３３によって、スライド台３１ａをＸ軸方向に移動させることで、スライド台３１ａに固定されて支持された媒体載置台３１を、Ｘ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。すなわち、媒体載置台３１に保持されたチップ描画体１５などを、Ｘ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。図６（ａ）に二点差線で示した媒体載置台３１は、チップ描画体１５を液滴吐出装置１０１に給除材する際の給除材位置に位置する媒体載置台３１を示している。
【００６８】
ヘッド機構部２において、キャリッジ枠４５に吊設されたヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を下側に向けて、保持されている。媒体載置台３１に保持されたチップ描画体１５などを、Ｘ軸方向の液滴吐出ヘッド２０が対向可能な位置まで移動して停止し、上方にある液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）のＹ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するチップ描画体１５などと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、チップ描画体１５などの上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００６９】
吐出検査装置部６は、撮像部６１と、検査媒体保持部６５と、を備えている。
検査媒体保持部６５は、検査媒体保持台６６と、スライド台６６ａと、を備えている。検査媒体保持台６６は、吐出検査の際に液滴を着弾させる吐出検査媒体を保持する。検査媒体保持台６６は、媒体載置台３１と同様に、スライド台６６ａを介して、媒体移動機構３３に支持されている。
媒体移動機構３３によって、媒体載置台３１と同様に、検査媒体保持台６６をＸ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。すなわち、検査媒体保持台６６に保持された吐出検査媒体を、Ｘ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。
媒体載置台３１に保持されたチップ描画体１５などに画像を描画する場合と同様にして、検査媒体保持台６６に保持された吐出検査媒体上に、吐出検査用のパターンを描画させることができる。吐出検査用のパターンは、例えば、液滴吐出ヘッド２０が備える全ての吐出ノズル２４から、１滴ずつ吐出させた液滴を一直線状に着弾させて形成するパターンである。
【００７０】
撮像部６１は、撮像カメラ６２と、撮像カメラ６２をＹ軸方向に移動可能に保持するカメラ移動機構６３とを、備えている。カメラ移動機構６３は、撮像カメラ６２を、Ｙ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した任意の位置に保持することができる。
撮像カメラ６２は、下方を撮像可能にカメラ移動機構６３に保持されている。検査媒体保持台６６に保持された吐出検査媒体を、Ｘ軸方向の撮像カメラ６２に臨む位置まで移動して停止し、上方にある撮像カメラ６２によって撮影することで、吐出検査媒体上に着弾した液滴の画像を取得することが可能である。
吐出検査用のパターンの画像から、吐出ノズル２４ごとの吐出状態を検証することができる。液滴の着弾位置から、吐出ノズル２４ごとの着弾位置精度を検証することができる。液滴の大きさから、吐出ノズル２４ごとの吐出量の精度を検証することができる。
【００７１】
吐出装置制御部７は、液滴吐出ヘッド２０や、キャリッジ走査機構４２の駆動モーター４７や、媒体移動機構３３のＸ軸リニアモーターや、撮像カメラ６２や、カメラ移動機構６３の駆動モーターなどと、電気的に接続されている。吐出装置制御部７が備える制御部から制御信号を送り、液滴吐出ヘッド２０や、駆動モーター４７や、Ｘ軸リニアモーターや、撮像カメラ６２や、カメラ移動機構６３の駆動モーターなどを稼働させる。
【００７２】
保守装置部５は、各種保守装置を備えている。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。液滴吐出ヘッド２０の保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、キャリッジ走査機構４２を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられ、保守作業が実施される。
【００７３】
＜描画工程＞
次に、液滴吐出装置１０１を用いて実施する描画工程について、図７を参照して説明する。液滴吐出装置１０１を用いて実施する描画工程は、例えば、液滴吐出ヘッド２０から機能液の液滴を吐出し、チップ描画体１５などの被描画面上の所定の位置に着弾させて、着弾した液状体によってチップ描画画像１５０Ａなどを描画する工程である。図７は、描画工程を示すフローチャートである。図７（ａ）は、描画工程の全体を示すフローチャートであり、図７（ｂ）は、描画工程における吐出検査工程を示すフローチャートである。
【００７４】
図７（ａ）のステップＳ５１では、吐出検査媒体を、移動させる。吐出検査媒体を保持している検査媒体保持台６６を媒体移動機構３３によって移動させることにで、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が吐出検査媒体に臨むことができる位置に、吐出検査媒体を移動させる。
次に、ステップＳ５２では、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４の吐出検査を実施する。
【００７５】
次に、ステップＳ５３では、搬送ロボット１０２が、ロボットハンドでチップ描画体１５を把持して、液滴吐出装置１０１に給材する。チップ描画体１５は、図６に二点差線で示した給除材位置に位置する媒体載置台３１の上に給材される。
次に、図７（ａ）のステップＳ５４では、媒体載置台３１に接続された吸引装置を用いて、チップ描画体１５を媒体載置台３１に吸着させる。
次に、ステップＳ５５では、媒体載置台３１を、媒体回動機構によって図６に示したＺ軸方向に平行な軸まわりに回動させて、チップ描画体１５のアライメントを実施する。
【００７６】
次に、ステップＳ５６では、チップ描画体１５を、描画位置に移動させる。チップ描画体１５を保持している媒体載置台３１を媒体移動機構３３によって移動させることによって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）がチップ描画体１５に臨むことができる描画位置に、チップ描画体１５を移動させる。
次に、ステップＳ５７では、チップ描画画像１５０Ａの描画を実施する。描画は、吐出走査と、改行走査とを交互に実施することによって描画する。吐出走査は、キャリッジ走査機構４２によってキャリッジユニット２２を図６に示したＹ軸方向に一定速度で移動させるとともに、液滴吐出ヘッド２０から機能液の液滴を選択的に吐出させて、チップ描画体１５の所定の位置に着弾させる工程である。改行走査は、チップ描画体１５を保持している媒体載置台３１を媒体移動機構３３によって図６に示したＸ軸方向に移動させることによって、チップ描画体１５におけるヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が臨むことができる部分を移動させる工程である。
次に、図７（ａ）のステップＳ５８では、チップ描画画像１５０Ａの描画が終了したか否かを判定する。チップ描画画像１５０Ａの描画が終了していた場合（ステップＳ５８でＹＥＳ）には、ステップＳ５９に進む。チップ描画画像１５０Ａの描画が終了していなかった場合（ステップＳ５８でＮＯ）には、ステップＳ５７に戻り、チップ描画画像１５０Ａの描画を継続する。
【００７７】
ステップＳ５８の次に、ステップＳ５９では、チップ描画体１５を、給除材位置に移動させる。
次に、ステップＳ６０では、チップ描画体１５を、液滴吐出装置１０１から除材する。最初に、給除材位置において、媒体載置台３１によるチップ描画体１５の吸着を解除する。次に、搬送ロボット１０２が、ロボットハンドでチップ描画体１５を把持して、次の処理を実施する処理装置に搬送する。
ステップＳ６０を実施して、描画工程を終了する。
【００７８】
次に、描画工程の中の吐出検査工程について、詳細に説明する。
図７（ｂ）のステップＳ７１では、吐出検査媒体に吐出検査用のパターンを描画させる検査吐出を実施する。吐出検査用のパターンは、例えば、液滴吐出ヘッド２０が備える全ての吐出ノズル２４から、１滴ずつ吐出させた液滴を一直線状に着弾させて形成するパターンである。
吐出検査媒体は、図７（ａ）のステップＳ５１において、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が吐出検査媒体に臨むことができる位置に移動させられている。ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）を図６に示したＹ軸方向に走査させながら、ヘッドユニット２１が備える全ての液滴吐出ヘッド２０が備える全ての吐出ノズル２４から吐出された液滴が、Ｘ軸方向に平行な直線状に着弾する時点で、吐出ノズル２４から液滴を吐出させる。
１滴の液滴は、着弾して、略円形に濡れ広がり、略一定の直径を有し、内部が塗りつぶされた円形を形成する。当該円形を着弾円と表記する。ヘッドユニット２１が備える全ての吐出ノズル２４が適正に機能している場合、略同じ大きさの着弾円が、Ｘ軸方向に等間隔で直線状に並ぶパターンが形成される。
【００７９】
次に、図７（ｂ）のステップＳ７２では、ステップＳ７１で形成した吐出検査用のパターンの画像を取得する。ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が吐出検査媒体に臨むことができる位置に位置していた吐出検査媒体を、撮像カメラ６２が吐出検査媒体に臨むことができる位置に移動させて、撮像カメラ６２によって撮影し、吐出検査用のパターンの画像を取得する。
【００８０】
次に、ステップＳ７３では、ステップＳ７２において取得した吐出検査用のパターンの画像から、吐出検査用のパターンが適正に形成されているか否かを判定する。吐出検査用のパターンが適正に形成されていない場合は、不具合が発生した吐出ノズル２４が存在する。不具合が発生した吐出ノズル２４を不具合ノズルと表記する。それぞれの吐出ノズル２４が、副処理装置に相当する。
着弾円の位置がＸ軸方向にずれている場合、対応する吐出ノズル２４から吐出された液滴の飛行方向がＸ軸方向に曲がっていることが分かる。着弾円の位置がＹ軸方向にずれている場合、対応する吐出ノズル２４から吐出された液滴の飛行方向がＹ軸方向に曲がっているか、吐出タイミングがずれているかであることが分かる。着弾円の位置が、稼働指標に相当する。着弾円の位置の許容誤差の値が、稼働閾値に相当する。
着弾円があるべき位置の近くに存在しない場合、対応する吐出ノズル２４が吐出できなくなっていることが分かる。着弾円の径が過大又は過小の場合、対応する吐出ノズル２４の吐出量が不適切になっていることが分かる。着弾円の径が、稼働指標に相当する。着弾円の径の許容誤差の値が、稼働閾値に相当する。
吐出検査用のパターンが適正に形成されていた場合（ステップＳ７３でＹＥＳ）には、ステップＳ８３に進む。吐出検査用のパターンが適正に形成されていない場合（ステップＳ７３でＮＯ）には、ステップＳ７４に進む。吐出検査用のパターンが適正に形成されていない場合は、不具合ノズルが発生している場合である。ステップＳ７３が、稼働状態判定工程に相当する。
【００８１】
ステップＳ７３の次に、ステップＳ７４では、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）の保守工程を実施する。保守工程としては、ノズル基板２５の面のクリーニング（ヘッドクリーニング）、吐出ノズル２４からの連続吐出（いわゆる捨て吐出）、吐出ノズル２４からの吸引などが挙げられる。実施する保守工程は、検査結果から推定される不具合ノズルの状態に対応して、いずれかの保守工程、又はいずれか複数の保守工程が、予め指定されている。
次に、ステップＳ７５では、ステップＳ７１と同様の検査吐出を実施する。
次に、ステップＳ７６では、ステップＳ７２と同様に、ステップＳ７５で形成した吐出検査用のパターンの画像を取得する。
【００８２】
次に、ステップＳ７７では、ステップＳ７３と同様に、ステップＳ７６において取得した吐出検査用のパターンの画像から、吐出検査用のパターンが適正に形成されているか否かを判定する。
吐出検査用のパターンが適正に形成されている場合は、ステップＳ７４の保守工程の実施によって、吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）が回復した場合である。吐出検査用のパターンが適正に形成されていた場合（ステップＳ７７でＹＥＳ）には、ステップＳ８３に進む。吐出検査用のパターンが適正に形成されていない場合（ステップＳ７７でＮＯ）には、ステップＳ７８に進む。
【００８３】
次に、ステップＳ７８では、不具合ノズルであると判定された吐出ノズル２４を不使用ノズルに指定する。すなわち、稼働モードを、ヘッドユニット２１が備える全ての吐出ノズル２４を用いて描画する通常稼働モードから、不具合ノズルであると判定された吐出ノズル２４以外の吐出ノズル２４を用いて描画する安全稼働モードに移行する。
次に、ステップＳ７９では、不使用ノズルに指定された吐出ノズル２４を使用しないヘッドユニット２１を用いて適切な描画が可能であるか否かを判定する。適切な描画が可能である場合（ステップＳ７９でＹＥＳ）には、ステップＳ８１に進む。適切な描画が可能でない場合（ステップＳ７９でＮＯ）には、ステップＳ８０に進む。
【００８４】
ステップＳ７９の次に、ステップＳ８０では、液滴吐出装置１０１を停止させる。ステップＳ８０を実施して、吐出検査工程を終了する。ステップＳ８０を実施して吐出検査工程を終了した場合は、液滴吐出装置１０１が描画不能な状態に陥っている場合であるため、描画工程も終了する。ステップＳ８０が、稼働停止工程に相当する。ステップＳ８０を実施する場合のステップＳ７９が、安全稼働状態判定工程に相当する。その場合の不使用ノズルに指定されていない吐出ノズル２４の数が、稼働指標の測定値に相当する。適切な描画が可能な吐出ノズル２４の数又は配置が、第２安全稼働閾値に相当する。
【００８５】
ステップＳ７９の次に、ステップＳ８１では、吐出検査の実施回数を増加させる。すなわち、稼働モードを、図７（ａ）に示したような１回の描画工程において１回の吐出検査工程を実施する通常稼働モードから、１回の描画工程において複数回の吐出検査工程を実施する安全稼働モードに移行する。図７（ａ）に示した描画工程の場合、増加させた吐出検査工程は、ステップＳ５７の画像描画工程の中で実施する。
【００８６】
次に、ステップＳ８２では、安全稼働モードで稼働していることを表示する。安全稼働モードで稼働していることの表示は、表示装置１０９を用いて実施する。表示装置１０９に表示する内容は、「着弾位置不良」や「吐出量不良」など、より具体的な内容であってもよい。また、「着弾位置不良」に対応してノズル基板２５の面のクリーニング（ヘッドクリーニング）を表示したり、「吐出量不良」に対応して吐出ノズル２４からの吸引を表示したり、してもよい。すなわち、安全稼働モードを解除するための保守作業内容を表示してもよい。
【００８７】
ステップＳ７３又はステップＳ７７の次に、ステップＳ８３では、稼働モードが安全稼働モードの場合には、稼働モードを通常稼働モードに移行して、図７（ａ）のステップＳ５６に進む。ステップＳ８３で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の描画工程においては、吐出検査工程は通常稼働モードで実施される。
稼働モードを通常稼働モードに移行する場合のステップＳ８３が、稼働モード回復工程に相当する。安全稼働モードで稼働している場合のステップＳ７３及びステップＳ７７は、安全稼働状態判定工程に相当する。この場合の着弾円の位置の許容誤差値や着弾円の径の許容誤差値が、安全稼働閾値及び第１安全稼働閾値に相当する。
ステップＳ８２又はステップＳ８３を実施して、吐出検査工程を終了する。
【００８８】
＜安全稼働モード適用例＞
次に、描画装置ユニット１００において安全稼働モードを適用する例を列挙する。
（１）ロード装置１０５におけるロードテーブルの移動。稼働指標は、ロードテーブルが下限位置から上限位置に移動する移動時間である。安全稼働モードでは、当該移動時間の設定値を、通常稼働モードにおける移動時間の設定値より長く設定する。また、稼働状態を判定する際の移動時間の閾値を、通常稼働モードにおける移動時間の閾値より長く設定する。
【００８９】
（２）搬送ロボット１０２におけるロボットハンドによる把持又は把持の解除。稼働指標は、把持又は把持の解除のためにロボットハンドを開状態又は閉状態にさせる際の時間である。安全稼働モードでは、当該開状態又は閉状態にさせる時間の設定値を、通常稼働モードにおける開状態又は閉状態にさせる時間の設定値より長く設定する。また、稼働状態を判定する際の開状態又は閉状態にさせる時間の閾値を、通常稼働モードにおける当該時間の閾値より長く設定する。
【００９０】
（３）前処理装置１０３におけるチップ描画体１５の吸着の解除。稼働指標は、前処理テーブル７１の吸引センサーが吸着解除を示すＯＦＦ状態になるまでの時間である。安全稼働モードでは、当該吸着解除に要する時間の設定値を、通常稼働モードにおける吸着解除に要する時間の設定値より長く設定する。また、稼働状態を判定する際の吸着解除に要する時間の閾値を、通常稼働モードにおける吸着解除に要する時間の閾値より長く設定する。
【００９１】
（４）前処理装置１０３における紫外線照射による前処理。稼働指標は、紫外線ランプ７４の照度である。所定の照度で所定の時間紫外線を照射することで所定の前処理が実施できる。安全稼働モードでは、当該前処理に要する時間の設定値を、通常稼働モードにおける前処理に要する時間の設定値より長く設定する。また、稼働状態を判定する際の紫外線ランプ７４の照度の閾値を、通常稼働モードにおける紫外線ランプ７４の照度の閾値より低く設定する。
【００９２】
（５）温度調整装置１０４ａ又は温度調整装置１０４ｂにおけるチップ描画体１５の吸着。前処理装置１０３におけるチップ描画体１５の吸着の場合と同様である。
（６）温度調整装置１０４ａ又は温度調整装置１０４ｂにおける引込移動。前処理装置１０３における引込移動の場合と同様である。
（７）温度調整装置１０４ａ又は温度調整装置１０４ｂにおける排出移動。前処理装置１０３における排出移動の場合と同様である。
（８）温度調整装置１０４ａ又は温度調整装置１０４ｂにおけるチップ描画体１５の吸着の解除。前処理装置１０３におけるチップ描画体１５の吸着の解除の場合と同様である。
【００９３】
（９）液滴吐出装置１０１における媒体載置台３１によるチップ描画体１５の吸着。前処理装置１０３におけるチップ描画体１５の吸着の場合と同様である。
【００９４】
（１０）液滴吐出装置１０１における媒体回動機構によるチップ描画体１５のアライメント。稼働指標は、アライメントが完了するまでに要する時間である。安全稼働モードでは、当該アライメントが完了するまでに要する時間の設定値を、通常稼働モードにおけるアライメントが完了するまでに要する時間の設定値より長く設定する。また、稼働状態を判定する際のアライメントが完了するまでに要する時間の閾値を、通常稼働モードにおけるアライメントが完了するまでに要する時間の閾値より長く設定する。
アライメント時間の増加の要因として、例えば、媒体回動機構の駆動モーターの劣化が挙げられる。この場合、安全稼働モードとして、アライメントが完了するまでに要する時間の設定値を長くして、駆動モーターの駆動速度を低下させることができる。駆動モーターの駆動速度を低下させることで、劣化した駆動モーターであっても適正に媒体載置台３１を回動させることができる。なお、さらに劣化が進行した場合には、アライメント時間が安全稼働モードにおける閾値より長くなった時点で駆動モーターの保守を実施する。
アライメント時間の増加の要因として、例えば、チップ描画体１５の保持基板１７のアライメントマークのばらつきによる不具合が挙げられる。この場合、不具合があるチップ描画体１５については、安全稼働モードに移行して、時間が余分にかかるがアライメントできる可能性がある。次の、描画工程においては、描画対象のチップ描画体１５が異なるため、アライメント時間の測定結果が良好である可能性が高い。この場合には、稼働モードを通常稼働モードに戻すことができる。
【００９５】
（１１）アンロード装置１０６におけるアンロードテーブルの移動。ロード装置１０５におけるロードテーブルの移動の場合と同様である。
【００９６】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）前処理工程のステップＳ２５では、安全稼働モードに移行し、吸着が所定の時間内に終了したか否かを判定する際に規準とする時間を、吸着標準時間より長い吸着延長時間に設定する。これにより、例えば吸着パッド７２の劣化などにより吸着に要する時間が増加した場合でも、吸着不良、すなわち故障であると判定されることを回避して、前処理工程を継続することができる。
【００９７】
（２）前処理工程のステップＳ２５では、安全稼働モードに移行し、搬送ロボット１０２がチップ描画体１５を前処理テーブル７１の吸着パッド７２に当接させて、押し付ける方向に押圧した状態を維持する時間を、通常稼働モードにおける当該時間より長く設定する。これにより、例えば吸着パッド７２の劣化などにより吸着に要する時間が増加した場合でも、吸着が完了するまで、搬送ロボット１０２によるチップ描画体１５の押圧を継続して、吸着不良に起因して前処理装置１０３が停止することを回避して、前処理工程を継続することができる。
【００９８】
（３）前処理工程のステップＳ２４の次に、ステップＳ２８では、稼働モードが安全稼働モードの場合には、稼働モードを通常稼働モードに移行して、ステップＳ２９に進む。ステップＳ２８で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の前処理工程においては、吸着工程は、通常稼働モードで実施される。ステップＳ２４では、前処理テーブル７１の吸引センサーが吸着状態を示すＯＮ状態になるまでの時間が規定された吸着標準時間以内であったと判定されている。これにより、一旦安全稼働モードに移行しても、通常稼働モードでの稼働が可能である状態に復帰した場合には、通常稼働モードに戻すことができる。例えば、被処理媒体の個体差に起因して安全稼働モードに移行した場合などのように、一時的な要因によって安全稼働モードに移行した場合などは、要因の解除にともなって、通常稼働モードに復帰させることができる。
【００９９】
（４）前処理工程のステップＳ３２では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の引込移動工程を安全稼働モードに移行し、引込移動が終了したか否かを判定する時間を、引込標準時間より長い引込延長時間に設定する。これにより、例えばテーブル搬送装置７３の負荷の増大のなどにより引込移動に要する時間が増加した場合でも、引込移動不良と判定されることを回避して、前処理工程を継続することができる。
【０１００】
（５）前処理工程のステップＳ３２では、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の引込移動工程を安全稼働モードに移行し、テーブル搬送装置７３による前処理テーブル７１の移動速度を、通常稼働モードにおける当該移動速度より遅く設定する。これにより、例えばテーブル搬送装置７３の駆動源の劣化などによりテーブル搬送装置７３の駆動機能が劣化した場合でも、遅く設定された移動速度で前処理テーブル７１を前処理位置まで移動させて、前処理テーブル７１の移動速度不良に起因して前処理装置１０３が停止することを回避して、前処理工程を継続することができる。
【０１０１】
（６）吐出検査工程のステップＳ７８では、稼働モードを、ヘッドユニット２１が備える全ての吐出ノズル２４を用いて描画する通常稼働モードから、不具合ノズルであると判定された吐出ノズル２４以外の吐出ノズル２４を用いて描画する安全稼働モードに移行する。これにより、一部の吐出ノズル２４に不具合が発生したことに起因して、良好な吐出ノズル２４のみによって描画することが可能であるにもかかわらず描画工程が中止されることを抑制することができる。
【０１０２】
（７）吐出検査工程のステップＳ７３又はステップＳ７７の次に、ステップＳ８３では、稼働モードが安全稼働モードの場合には、稼働モードを通常稼働モードに移行して、ステップＳ５６に進む。ステップＳ８３で稼働モードを通常稼働モードに移行した場合、次の描画工程においては、吐出検査工程は通常稼働モードで実施される。この場合、ステップＳ７３及びステップＳ７７では、吐出検査用のパターンが適正に形成されており、全ての吐出ノズル２４が正常に機能していると判定されている。
液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４は、一旦不具合が発生しても、クリーニングなどの保守を繰り返して不具合が解消される可能性がある。ステップＳ８３を実施することで、機能が回復した吐出ノズル２４を、再度、描画のために使用することができる。
【０１０３】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０４】
（変形例１）前記実施形態においては、吸着工程における安全稼働モードでは、吸着が所定の時間内に終了したか否かを判定する際に規準とする時間を吸着延長時間に設定するとともに、吸着工程を実施する時間である、搬送ロボット１０２がチップ描画体１５を前処理テーブル７１の吸着パッド７２に当接させて、押し付ける方向に押圧した状態を維持する時間を、通常稼働モードにおける当該時間より長く設定していた。しかし、安全稼働モードにおいて、通常稼働指標値より故障が発生する可能性が小さくなる安全稼働指標値を設定するとともに、処理時間を通常稼働モードにおける処理時間より長く設定することは必須ではない。安全稼働モードは、安全稼働指標値のみを設定するモードであってもよい。
【０１０５】
（変形例２）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１が備える全ての吐出ノズル２４を使用して描画を実施していた。しかし、特定の位置にある吐出ノズル２４は、他の位置にある吐出ノズル２４に比べて性能が充分でない可能性がある場合などには、当該特定の位置にある吐出ノズル２４は、通常稼働モードであっても使用しない場合がある。そのような場合には、ヘッドユニット２１が備える全ての吐出ノズル２４は、当該特定の位置にある吐出ノズル２４を含まない構成であってもよい。
【０１０６】
（変形例３）前記実施形態においては、描画工程における安全稼働モードでは、不具合が発生した吐出ノズル２４を停止させ、残りの吐出ノズル２４を用いて描画を実施していた。しかし、特定の数の吐出ノズル２４を予め予備ノズルとして、予備ノズル以外の吐出ノズル２４が正常に稼働できる場合には、予備ノズルを使用しない稼働方法であってもよい。不具合がある吐出ノズル２４が発生した場合には、不具合がある吐出ノズル２４に代えて予備ノズルを稼働させる方法であってもよい。これにより、安全稼働モードにおいても通常稼働モードと同様に描画できる可能性を高くすることができる。
【０１０７】
（変形例４）前記実施形態においては、前処理工程は、安全稼働モードで稼働していることを表示する工程や、安全稼働モードを解除するための保守作業内容を表示する工程を含んでいなかった。前処理工程においても、描画工程における吐出検査工程と同様に、安全稼働モードで稼働していることを表示する工程や、安全稼働モードを解除するための保守作業内容を表示する工程を実施してもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
２…ヘッド機構部、３…媒体機構部、５…保守装置部、６…吐出検査装置部、７…吐出装置制御部、１５…チップ描画体、１６…半導体チップ、１７…保持基板、２０…液滴吐出ヘッド、２４…吐出ノズル、３１…媒体載置台、３３…媒体移動機構、６１…撮像部、６２…撮像カメラ、６５…検査媒体保持部、６６…検査媒体保持台、７１…前処理テーブル、７２…吸着パッド、７３…テーブル搬送装置、７４…紫外線ランプ、１００…描画装置ユニット、１０１…液滴吐出装置、１０２…搬送ロボット、１０３…前処理装置、１０４ａ…温度調整装置、１０４ｂ…温度調整装置、１０５…ロード装置、１０６…アンロード装置、１０７…描画ユニット制御装置、１０８…入出力装置、１０９…表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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