(57)【要約】【課題】超音波を用いて洗浄用カゴに収納された被洗浄物を洗浄する際に、被洗浄物の体格が小さい場合であっても洗浄効果の低下を抑制することができる洗浄用カゴ及び洗浄システムを提供すること。【解決手段】液体中において超音波発振器３１０から超音波が照射されて洗浄されるワーク２００を、液体に浸漬された状態で収納する洗浄用カゴ１００であって、側壁２２〜２５と、側壁２２〜２５が互いに連結されて筒状部材の開口部を覆う底部２１とを備え、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する底部２１は板状部材からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中において超音波発振器から超音波が照射されて洗浄される被洗浄物を、液体に浸漬された状態で収納する洗浄用カゴであって、
筒状の第１壁部と、
前記第１壁部における開口部のうち、少なくとも前記超音波発振器における超音波の発振部に対向する側の開口部を覆う第２壁部と、を備え、
前記第２壁部における、少なくとも前記超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位は、板状部材からなることを特徴とする洗浄用カゴ。
【請求項２】
前記第２壁部は、前記第１壁部における両側の開口部を覆うものであり、
前記第１壁部、又は前記第２壁部における前記板状部材を除く部分に、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部を有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄用カゴ。
【請求項３】
前記貫通部は、前記第１壁部に設けられることを特徴とする請求項２に記載の洗浄用カゴ。
【請求項４】
液体中において超音波発振器から被洗浄物に対して超音波を照射することで該被洗浄物を洗浄する洗浄システムであって、
前記被洗浄物は、洗浄用カゴに収納された状態で液体に浸漬されるものであり、
前記洗浄用カゴは、
筒状の第１壁部と、
前記第１壁部における開口部のうち、少なくとも前記超音波発振器における超音波の発振部に対向する側の開口部を覆い、少なくとも一部が板状部材からなる第２壁部と、を備え、
前記洗浄用カゴを前記被洗浄物とともに液体中に浸し、前記第２壁部における板状部材を前記超音波発振器おける超音波の発振部に対向させて配置する配置工程と、
前記配置工程後に、前記被洗浄物に対して、前記超音波発振器における発振部から超音波を照射することで前記被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、
を備えることを特徴とする洗浄システム。
【請求項５】
前記洗浄用カゴは、前記第１壁部における両側の開口部を覆う二つの前記第２壁部を有するものであり、
前記第１壁部は、二つの前記第２壁部とで挟まれた空間に対応する領域に、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部を有するものであり、
前記洗浄工程後に、前記洗浄用カゴを液体から取り出し、前記洗浄用カゴを第１回転機構に取り付け、前記第１回転機構によって、前記第２壁部に交わる軸を回転軸として前記被洗浄物を収納している前記洗浄用カゴを回転させることによって、前記被洗浄物に付着した液体の水切りを行う水切工程を備えることを特徴とする請求項４に記載の洗浄システム。
【請求項６】
前記水切工程後に、熱風が流れる熱風乾燥炉中に設けられた第２回転機構に対して、前記第１壁部の一部が底部となるように前記洗浄用カゴを取り付け、前記第２回転機構によって、前記第２壁部に交わる軸を回転軸として前記被洗浄物を収納している前記洗浄用カゴを回転させて、前記被洗浄物の乾燥を行う乾燥工程を備えることを特徴とする請求項５に記載の洗浄システム。
【請求項７】
前記超音波発振器から発振される超音波の周波数は、３８ｋＨｚであり、
前記第２部材の板状部は、ステンレスからなり、且つ厚さが１．５ｍｍとされていることを特徴とする請求項４乃至６いずれか１項に記載の洗浄用カゴ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄用カゴ及び洗浄用カゴを用いた洗浄システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載されているように、洗浄用カゴに収納された状態で液体に浸漬された被洗浄物を超音波洗浄するものがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１９０３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、洗浄用カゴとしては、壁面が網で形成されたものが用いられることがある。このように、壁面が網で形成された洗浄用カゴを用いる場合、網目から被洗浄物が出ないようにするために、被洗浄物の体格に応じた大きさの網目の網を用いる必要がある。従って、洗浄用カゴの網は、収納する被洗浄物の体格が小さければ小さいほど、網目が小さいものとなる。
【０００５】
しかしながら、超音波は、その特性上、網目が小さくなるほど網を透過しにくいものである。つまり、超音波は、体格が大きな被洗浄物の洗浄に用いられる洗浄用カゴ（壁面が網で形成された洗浄用カゴ）よりも、体格が小さい被洗浄物の洗浄に用いられる洗浄用カゴ（壁面が網で形成された洗浄用カゴ）の方が透過しにくい。よって、被洗浄物を収納した洗浄用カゴの外部から超音波を照射した場合、体格が大きな被洗浄物よりも体格が小さい被洗浄物の方が、超音波が照射されにくいことになる。従って、壁面が網で形成された洗浄用カゴは、収納する被洗浄物の体格が小さいほど、超音波が透過しにくく（すなわち、被洗浄物に超音波が照射されにくく）、被洗浄物の洗浄効果が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、超音波を用いて洗浄用カゴに収納された被洗浄物を洗浄する際に、被洗浄物の体格が小さい場合であっても洗浄効果の低下を抑制することができる洗浄用カゴ及び洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、
液体中において超音波発振器から超音波が照射されて洗浄される被洗浄物を、液体に浸漬された状態で収納する洗浄用カゴであって、
筒状の第１壁部と、
第１壁部における開口部のうち、少なくとも超音波発振器における超音波の発振部に対向する側の開口部を覆う第２壁部と、を備え、
第２壁部における、少なくとも超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位は、板状部材からなることを特徴とする。
【０００８】
本発明の発明者の実験により、超音波は、網状の部材よりも板状の部材の方が透過しやすいことがわかった。そこで、請求項１における洗浄用カゴは、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位を板状部材とするものである。このようにすることによって、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合よりも、洗浄用カゴ内に超音波が透過されやすくなる。よって、洗浄用カゴ内に収納されている被洗浄物は、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合よりも、超音波が照射されやすく、洗浄されやすくすることができる。
【０００９】
特に、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合、被洗浄物の体格が小さければ小さいほど、網状部材の網目を小さくする必要がある。また、網状部材の網目が小さくなるほど超音波は透過しにくい。つまり、網状部材の網目が小さくなるほど洗浄効果が低下する。
【００１０】
しかしながら、請求項１における洗浄用カゴは、上述のように、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合よりも、被洗浄物が洗浄されやすい。従って、被洗浄物の体格が小さい場合であっても、洗浄効果が低下することを抑制することができる。
【００１１】
また、請求項２に示すように、
第２壁部は、第１壁部における両側の開口部を覆うものであり、
第１壁部、又は第２壁部における板状部材を除く部分に、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部を有するようにしてもよい。
【００１２】
このようにすることによって、
第１壁部における両側の開口部を第２壁部で覆われていたとしても、洗浄用カゴを液体に浸すことで、洗浄用カゴにおける被洗浄物を収納している空間に液体を入れることができる。よって、洗浄用カゴに収納された被洗浄物を液体に浸漬しやすくすることができる。また、洗浄用カゴは、液体から取り出されると、貫通部の複数の穴を介して、被洗浄物を収納している空間と外部との間で空気を通わせることができる。よって、洗浄用カゴに収納された状態の被洗浄物であっても、乾燥させやすくすることができる。
【００１３】
また、請求項３に示すように、貫通部は、前記第１壁部に設けられるようにしてもよい。
【００１４】
このようにすることによって、第１壁部における両側の開口部を覆う各第２壁部の全体が板状部材であったとしても、洗浄用カゴを液体に浸すことで、洗浄用カゴにおける被洗浄物を収納している空間に液体を入れることができる。よって、第１壁部における両側の開口部を覆う各第２壁部の全体が板状部材であったとしても、洗浄用カゴに収納された被洗浄物を液体に浸漬しやすくすることができる。また、請求項３における洗浄用カゴであっても、液体から取り出されると、貫通部の複数の穴を介して、被洗浄物を収納している空間と外部との間で空気を通わせることができる。よって、洗浄用カゴに収納された状態の被洗浄物であっても、乾燥させやすくすることができる。
【００１５】
また、上記目的を達成するために請求項４に記載の洗浄システムは、
液体中において超音波発振器から被洗浄物に対して超音波を照射することで被洗浄物を洗浄するものであって、
被洗浄物は、洗浄用カゴに収納された状態で液体に浸漬されるものであり、
洗浄用カゴは、
筒状の第１壁部と、
第１壁部における開口部のうち、少なくとも超音波発振器における超音波の発振部に対向する側の開口部を覆い、少なくとも一部が板状部材からなる第２壁部と、を備え、
洗浄用カゴを被洗浄物とともに液体中に浸し、第２壁部における板状部材を超音波発振器おける超音波の発振部に対向させて配置する配置工程と、
配置工程後に、被洗浄物に対して、超音波発振器における発振部から超音波を照射することで被洗浄物を洗浄する洗浄工程と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
このように、請求項４における洗浄用カゴは、第１壁部における開口部を覆い、少なくとも一部が板状部材からなる第２壁部を備える。そして、請求項４に記載の洗浄システムは、この洗浄用カゴに収納されている被洗浄物を超音波によって洗浄するものであり、第２壁部における板状部材を超音波発振器おける超音波の発振部に対向させて配置する。また、上述のように、超音波は、網状の部材よりも板状の部材の方が透過しやすい。
【００１７】
よって、請求項４に記載の洗浄システムは、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材から洗浄用カゴを用いる場合よりも、洗浄用カゴ内に収納されている被洗浄物に対して超音波が照射されやすく、被洗浄物を洗浄しやすくすることができる。
【００１８】
特に、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合、被洗浄物の体格が小さければ小さいほど、網状部材の網目を小さくする必要がある。また、網状部材の網目が小さくなるほど超音波は透過しにくい。つまり、網状部材の網目が小さくなるほど洗浄効果が低下する。
【００１９】
しかしながら、請求項４に記載の洗浄システムは、上述のように、超音波発振器における超音波の発振部に対向する部位が網状部材からなる場合よりも、被洗浄物を洗浄しやすくすることができる。従って、被洗浄物の体格が小さい場合であっても、洗浄効果が低下することを抑制することができる。
【００２０】
また、請求項５に示すように、
洗浄用カゴは、第１壁部における両側の開口部を覆う二つの第２壁部を有するものであり、
第１壁部は、二つの第２壁部とで挟まれた空間に対応する領域に、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部を有するものであり、
洗浄工程後に、洗浄用カゴを液体から取り出し、洗浄用カゴを第１回転機構に取り付け、第１回転機構によって、第２壁部に交わる軸を回転軸として被洗浄物を収納している洗浄用カゴを回転させることによって、被洗浄物に付着した液体の水切りを行う水切工程を備えるようにしてもよい。
【００２１】
このように、洗浄用カゴの第１壁部は、複数の穴が形成された貫通部が設けられているため、液体から取り出されると、この複数の穴を介して、被洗浄物を収納している空間と外部との間で空気を通わせることができる。そこで、請求項５に示すように、このような洗浄用カゴを第１回転機構によって回転させる。この回転によって、被洗浄物に付着した液体は、遠心力によって貫通部の穴から洗浄用カゴの外部に放出されることになる。よって、被洗浄物に付着した液体の水切を行うことができる。
【００２２】
なお、被洗浄物に付着した液体の水切を行う際には、洗浄用カゴに収納された被洗浄物に対してエアを吹き付けることも考えられる。ところが、洗浄用カゴは、第１壁部における両側の開口部が二つの第２側壁で覆われている。さらに、この二つの第２壁部の両方に板状部材が設けられていることもある。この場合、第２側壁における板状部材によってエアを遮ることになる。よって、あまり効率的に水切を行うことができない。しかしながら、上述のように、洗浄用カゴを回転させた遠心力で水切を行うことによって、二つの第２側壁に板状部材が設けられた洗浄用カゴであっても、効率的に水切を行うことができる。
【００２３】
また、請求項６に示すように、水切工程後に、熱風が流れる熱風乾燥炉中に設けられた第２回転機構に対して、第１壁部の一部が底部となるように洗浄用カゴを取り付け、第２回転機構によって、第２壁部に交わる軸を回転軸として被洗浄物を収納している洗浄用カゴを回転させて、被洗浄物の乾燥を行う乾燥工程を備えるようにしてもよい。
【００２４】
このように、第１壁部の一部が底部となるように洗浄用カゴを取り付けることによって、熱風が貫通孔の穴を介して洗浄用カゴ内を通過しやすくなる。また、熱風が流れる熱風乾燥炉中で洗浄用カゴを回転させることによって、洗浄用カゴ内に多くの被洗浄物が入っていた場合であっても、満遍なく被洗浄物に熱風があたり、効率的に被洗浄物を乾燥させることができる。
【００２５】
なお、具体的には、請求項７に示すように、超音波発振器から発振される超音波の周波数は、３８ｋＨｚであり、記第２部材の板状部は、ステンレスからなり、且つ厚さが１．５ｍｍとされていると好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ），（ｂ）は、実施形態における洗浄用カゴの概略構成を示す斜視図である。
【図２】実施形態における洗浄用カゴの蓋を開扉した状態を示す斜視図。
【図３】図２の矢印III方向から見た平面図。
【図４】実施形態のワーク投入工程を示す洗浄用カゴの側面図である。
【図５】実施形態の洗浄工程を説明するイメージ図であり、洗浄槽内の洗浄用カゴ及び超音波発振器を示す図面である。
【図６】実施形態の水切工程を説明するイメージ図であり、（ａ）はエアブローノズルと洗浄用カゴを示す図面であり、（ｂ）は図６（ａ）の矢印VIｂ方向から見た図面である。
【図７】実施形態の熱風乾燥工程を説明するイメージ図であり、（ａ）は乾燥炉内の洗浄用カゴを示す図面であり、（ｂ）は図７（ａ）の矢印VIIｂ方向から見た図面である。
【図８】実施形態における回転機構の概略構成を示す図面であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は回転機構の内部に配置された洗浄用カゴの側面図である。
【図９】実施形態の真空乾燥工程を説明するイメージ図である。
【図１０】実施形態のワーク取出工程を示す洗浄用カゴの側面図である。
【図１１】（ａ）は本発明の洗浄用カゴを用いた場合の板状部材の板厚とアルミ箔の破壊面積との関係を示すグラフであり、（ｂ）はメッシュ洗浄用カゴを用いた場合のメッシュサイズとアルミ箔の破壊面積との関係を示すグラフである。
【図１２】ワークの代わりにアルミ箔を用いた場合の洗浄効果を示す写真を線画にしたものであり、（ａ）は従来技術に相当する洗浄カゴを用いて洗浄した場合のアルミ箔を示すものであり、（ｂ）本発明の洗浄用カゴを用いて洗浄した場合のアルミ箔を示すものである。
【図１３】ワークを用いた場合の洗浄効果を示す写真を線画にしたものであり、（ａ）は従来技術に相当する洗浄カゴを用いて洗浄した場合のワークを示すものであり、（ｂ）本発明の洗浄用カゴを用いて洗浄した場合のワークを示すものである。
【図１４】変形例１の水切工程を説明するイメージ図（平面図）である。
【図１５】変形例２における洗浄用カゴを示す図面であり、（ａ）は蓋を閉扉した状態の洗浄用カゴを示す正面図である。（ｂ）は蓋を開扉した状態の洗浄用カゴを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。本実施形態は、ワーク（被洗浄物）２００を洗浄する際の洗浄用カゴ１００、及びこの洗浄用カゴ１００を用いた洗浄システムに関するものである。ここでの洗浄は、例えばワーク２００に付着した油（防錆油や鉱物油など）やワーク２００に付着した異物（例えば油によってワーク２００に付着した塵埃））などを、ワーク２００から除去するものである。
【００２８】
なお、ワークとしては、ボールスチールや有底の筒部材（キャップ）など様々なものを採用することができる。特に、本実施形態の洗浄用カゴ１００及び洗浄システムは、体格が比較的小さいワーク２００を洗浄するのに有効である。よって、ここでは、ワーク２００として、φ１．２［ｍｍ］〜φ１．５［ｍｍ］程度のボールスチールを採用する。なお、ボールスチールとは、例えばＡＢＳ（Antilock Brake System）におけるチェック弁に用いられるボールを示すものである。
【００２９】
まず、図１〜図３に基づいて、洗浄用カゴ１００に関して説明する。洗浄用カゴ１００は、液体３２０中において超音波発振器３１０から超音波（周波数２５〜４０ｋＨｚ程度）が照射されて洗浄されるワーク２００を、液体３２０に浸漬された状態で収納するである。洗浄用カゴ１００は、箱部２０と、箱部２０の開口を覆う蓋部１０とを備えて構成されている。この洗浄用カゴ１００は、箱部２０の開口を蓋部１０で覆うことによって、ワーク２００を収納するための収納空間３０が形成される。つまり、ワーク２００の収納空間３０は、蓋部１０と箱部２０とで囲まれた空間である。
【００３０】
図１〜図３に示すように、蓋部１０は、特許請求の範囲における第２壁部と板状部材に相当する天井部１１と、側壁１２〜１４とを備えて構成されている。図１（ａ）、図２に示すように、天井部１１は、全体が板状部材（言い換えると平板部材）からなるものである。つまり、天井部１１には、自身の板厚方向に貫通する穴は設けられていない。
【００３１】
また、天井部１１は、例えばステンレスやセラミックスなどから構成されるものであり（ここではステンレスを採用する）、超音波が透過可能な程度の板厚（例えば、超音波の周波数が３８ｋＨｚの場合、板厚が１．５ｍｍ）を有する。なお、後ほど説明するが、天井部１１は、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向して配置されることもある。
【００３２】
なお、本実施形態においては、矩形形状の天井部１１を採用している。しかしながら、蓋部１０の形状は、箱部２０の開口形状に対応した形状であればよい。つまり、ここでは、箱部２０の開口形状は矩形形状である（すなわち、箱部２０が有底の四角筒形状）。また、例えば、箱部２０の開口形状が丸形状の場合（すなわち、箱部２０が有底の円筒形状の場合）、天井部１１の形状は丸形状とする。
【００３３】
図２，図３に示すように、天井部１１の四辺のうち三辺（連続する三辺）には、側壁１２〜１４が設けられている。そして、天井部１１の四辺のうち残りの一辺には、蓋部１０を箱部２０に対して開閉可能に取り付けるための蓋側取付部１５が設けられている。この蓋側取付部１５は、箱部２０の箱側取付部２６とともに蝶番を構成するものである。つまり、洗浄用カゴ１００は、蓋部１０が開いた状態（図２）と、蓋部１０が閉じた状態（図１（ａ））とをとりうる。
【００３４】
さらに、図１，図２に示すように、側壁１２の外側には、蓋部１０で箱部２０の開口部を覆った状態で、蓋部１０と箱部２０とを固定（すなわち、箱部２０の開口部を覆っている蓋部１０が開かないように固定）するための蓋側固定部１６が設けられている。なお、箱部２０には、この蓋側固定部１６に対応する箱側固定部２７が設けられている。そして、蓋側固定部１６と箱側固定部２７とが嵌合することによって、蓋部１０で箱部２０の開口部を覆った状態で、蓋部１０と箱部２０とが固定される。
【００３５】
一方、箱部２０は、主に、特許請求の範囲における第２壁部と板状部材に相当する底部２１と、特許請求の範囲における第１壁部に相当する側壁２２〜１５とを備えて構成されている。
【００３６】
側壁２２〜２５は、互いに連結されて筒状に構成されている。また、側壁２２〜２５の夫々は、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部２２ａ〜２５ａを有している。言い換えると、側壁２２〜２５には、自身の板厚方向に貫通した複数の貫通穴が形成されている。さらに、側壁２２〜２５は、天井部１１と底部２１とで挟まれた空間（収納空間３０）に対応する領域に、貫通部２２ａ〜２５ａを有していると言い換えることができる。
【００３７】
この貫通部２２ａ〜２５ａに設けられている穴の開口径は、ワーク２００の体格に応じて決定されるものである。当然ながら、洗浄用カゴ１００に収納されたワーク２００が、貫通部２２ａ〜２５ａに設けられている穴からでないようにする必要がある。よって、貫通部２２ａ〜２５ａに設けられている穴の開口径は、洗浄用カゴ１００に収納されたワーク２００が洗浄用カゴ１００外に出ない程度の大きさとする。
【００３８】
上述のように、本実施形態におけるワーク２００は、φ１．２［ｍｍ］〜φ１．５［ｍｍ］程度である。よって、貫通部２２ａ〜２５ａに設けられている穴の開口径は、０．８５ｍｍ程度としている。なお、本実施形態における貫通部２２ａ〜２５ａは、２０メッシュの網を採用している。２０メッシュとは、１インチ（２．５４［ｃｍ］）の間の目（開口、網目）の数が２０個であることを示す。また、この網を構成する金属線の線形は０．５ｍｍ程度である。よって、貫通部２２ａ〜２５ａに設けられている穴の開口径（網目）は、０．８５ｍｍ程度となる。
【００３９】
また、図１（ｂ），図３に示すように、底部２１は、側壁２２〜２５が互いに連結されて筒状部材の開口部を覆うように設けられている。また、底部２１は、全体が板状部材（言い換えると平板部材）からなるものである。つまり、底部２１には、自身の板厚方向に貫通する穴は設けられていない。また、底部２１は、蓋部１０によって箱部２０の開口部が覆われた状態（閉じられた状態）では天井部１１と対向配置される（すなわち、天井部１１と底部２１とは平行に配置される）。
【００４０】
また、底部２１は、例えばステンレスやセラミックスなどから構成されるものであり（ここではステンレスを採用する）、超音波が透過可能な程度の板厚（例えば、超音波の周波数が３８ｋＨｚの場合、板厚が１．５ｍｍ）を有する。なお、後ほど説明するが、底部２１に関しても、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する。
【００４１】
上述のように、板厚が１．５ｍｍのステンレスは、超音波の透過率は７０％程度である。よって、底部２１は、板厚が１．５ｍｍのステンレスを用いることができる。なお、底部２１に関しても、セラミックスを用いることもできる。
【００４２】
このように、箱部２０は、底部２１と側壁２２〜２５とによって、有底の筒形状を有するものである。なお、本実施形態においては、有底の四角筒形状の箱部２０を採用しているが、本発明はこれに限定されるものではない。上述のように、例えば、有底の円筒形状の箱部２０などを採用することもできる。
【００４３】
ここで、この洗浄用カゴ１００を用いた洗浄システムに関して説明する。
【００４４】
まず、図４に示すように、ワーク投入工程を行う。つまり、洗浄用カゴ１００の収納空間３０にワーク２００を投入する。このとき、洗浄用カゴ１００の蓋部１０を開扉されている。このように、蓋部１０を開扉すると、洗浄用カゴ１００は、箱部２０の一部（底部２１に対向する領域が）開口した状態となる。そして、この開口したところからワーク２００を投入する。
【００４５】
ワーク投入工程後に、図５に示すように、ワーク配置工程（配置工程）を行う。このワーク配置工程では、蓋部１０を閉じて洗浄用カゴ１００をワーク２００とともに、洗浄槽３００内の液体（以下、洗浄液とも称する）３２０中に浸す。この洗浄槽３００内には、洗浄液３２０が貯留されており、且つ、超音波発振器３１０が配置されている。また、超音波発振器３１０は、超音波の発振部（発振面）３１０ａが洗浄槽３００の開口側（洗浄槽３００の底に対向する側）に向いた状態で配置されている。そして、ワーク配置工程では、洗浄用カゴ１００における底部２１（第２壁部における板状部材）を発振部３１０ａに対向させて配置する。なお、図５に示すように、地面に対して天井部１１及び底部２１が平行となるように配置された洗浄用カゴ１００の状態を寝かせた状態とも称する。
【００４６】
より具他的には、例えば、ワーク２００が入れられた洗浄用カゴ１００をロボット（図示省略）によって洗浄槽３００の上方まで移動させる。その後、この洗浄用カゴ１００を洗浄槽３００内（すなち洗浄液３２０内）に移動させることで、ワーク２００を洗浄液３２０に浸す。このとき、洗浄用カゴ１００における底部２１（第２壁部における板状部材）を発振部３１０ａに対向させて配置する。また、洗浄用カゴ１００は、超音波発振器３１０との間隔が予め設定された最適な間隔となるように配置される。つまり、洗浄用カゴ１００は、超音波発振器３１０から発振された超音波の強度が大きくなる位置に配置される。
【００４７】
なお、上述のように、洗浄用カゴ１００は、側壁２２〜２５の夫々に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられている。よって、洗浄用カゴ１００を洗浄槽３００の洗浄液３２０内に移動させることで、天井部１１と底部２１とが板状部材からなるものであっても、貫通部２２ａ〜２５ａの開口（網目）から洗浄用カゴ１００の収納区間３０内に洗浄液３２０が流入する。これによって、ワーク２００を洗浄液３２０に浸すことができる。つまり、側壁２２〜２５の夫々に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられているため、天井部１１と底部２１とが板状部材からなるものであっても、洗浄用カゴ１００に収納されたワークを液体３２０に浸漬しやすくすることができる。
【００４８】
また、洗浄用カゴ１００は、側壁２２〜２５の夫々に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられているため、天井部１１と底部２１とが板状部材からなるものであっても、液体３２０から取り出されると、貫通部２２ａ〜２５ａの穴を介して収納空間３０と外部との間で空気を通わせることができる。よって、洗浄用カゴ１００に収納された状態のワーク２００であっても、乾燥させやすくすることができる。
【００４９】
なお、液体（洗浄液）３２０としては、例えば、水にアルカリ性の洗剤（例えば１％）を含有したものを採用する。また、ワーク２００を洗浄する際には、液体３２０の温度を所定温度（例えば６０度）に暖めた状態で行う。
【００５０】
ワーク配置工程後に、図５に示すように、ワーク洗浄工程（洗浄工程）を行う。このワーク洗浄工程では、超音波発振器３１０における発振部３１０ａから超音波を照射することでワーク２００を洗浄する（例えば、数分間照射する）。より詳細には、洗浄液３２０に浸漬させたワーク２００に対して、超音波発振器３１０から超音波を照射することによって、ワーク２００を洗浄する。つまり、洗浄用カゴ１００に収納され、洗浄液３２０中に入れられたワーク２００を超音波洗浄する。
【００５１】
上述のように、超音波は、その特性上、網目が小さくなるほど網を透過しにくいものである。しかしながら、本発明の発明者の実験により、超音波は、網状の部材よりも板状の部材の方が透過しやすいことがわかった。そこで、本実施形態では、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が板状部材（天井部１１、底部２１）からなる洗浄用カゴ１００を採用する。このようにすることによって、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が網状部材からなる場合よりも、洗浄用カゴ１００内に超音波が透過されやすくなる。よって、洗浄用カゴ１００内に収納されているワーク２００は、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が網状部材からなる場合よりも、超音波が照射されやすく、洗浄されやすくすることができる。
【００５２】
特に、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が網状部材からなる場合、ワーク２００の体格が小さければ小さいほど、網状部材の網目を小さくする必要がある。また、網状部材の網目が小さくなるほど超音波は透過しにくい。つまり、網状部材の網目が小さくなるほど洗浄効果が低下する。
【００５３】
しかしながら、本実施形態における洗浄用カゴ１００は、上述のように、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が網状部材からなる場合よりも、ワーク２００が洗浄されやすい。従って、ワーク２００の体格が小さい場合であっても、洗浄効果が低下することを抑制することができる。
【００５４】
つまり、このような洗浄用カゴ１００を用いた上述の洗浄システムは、超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が網状部材から洗浄用カゴを用いる場合よりも、洗浄用カゴ内に収納されているワーク２００に対して超音波が照射されやすく、ワーク２００を洗浄しやすくすることができる。さらに、ワーク２００の体格が小さい場合であっても、洗浄効果が低下することを抑制することができる。
【００５５】
ここで、本発明の洗浄用カゴ１００と、従来技術に相当する洗浄用カゴとを用いて、実際に超音波洗浄を行った結果を示す。なお、従来技術に相当する洗浄用カゴとは、四角筒形状であり、側壁、天井部、底部の全てが網で構成されたものである。
【００５６】
まず、ワーク２００の代わりにアルミ箔（すなわち、ワーク２００としてアルミ箔）を用いて超音波洗浄を行った。この超音波洗浄を行ったときの条件は、超音波の周波数３８ｋＨｚ、液体３２０の温度６０度、超音波の照射時間１分である。図１１（ａ）は、本発明の洗浄用カゴ１００で、アルミ箔（ワーク２００）の超音波洗浄を行った際のアルミ箔における破壊面積と板状部材の板厚（ｍｍ）との関係を示すグラフである。図１１（ｂ）は、従来技術に相当する洗浄用カゴで、アルミ箔（ワーク２００）の超音波洗浄を行った際のアルミ箔における破壊面積と網カゴのメッシュサイズ（本／インチ）との関係を示すグラフである。なお、図１１のグラフにおける破壊面積は、６０ｍｍ２のアルミ箔における破壊面積である。
【００５７】
図１１（ａ）に示すように、本発明の洗浄用カゴ１００の場合、板状部材の板厚が１．５ｍｍで、アルミ箔の破壊面積が１３ｍｍ２程度であった。なお、アルミ箔の破壊面積は、板状部材の板厚が１ｍｍで１４ｍｍ２程度、板状部材の板厚が２ｍｍでも１２ｍｍ２程度であった。
【００５８】
これに対して、図１１（ｂ）に示すように、従来技術に相当する洗浄用カゴの場合、アルミ箔の破壊面積は、２０メッシュで４ｍｍ２程度であり、５メッシュでも８ｍｍ２に達しない。この図１１（ａ）と図１１（ｂ）から、本発明の洗浄用カゴ１００における板状部材の板厚が１〜２ｍｍ程度の場合は、従来技術に相当する洗浄用カゴよりも洗浄効果が高いことがわかる。
【００５９】
また、同様な実験を超音波の照射時間をかえて行った結果を図１２に示す。図１２は、ワーク２００の代わりにアルミ箔（すなわち、ワーク２００としてアルミ箔）を用いた場合の洗浄効果を示す写真を線画にしたものである。この超音波洗浄を行ったときの条件は、超音波の周波数３８ｋＨｚ、液体３２０の温度６０度、超音波の照射時間３分である。また、従来技術に相当する洗浄用カゴは、四角筒形状であり、側壁、天井部、底部の全てが２０メッシュの網で構成されたものである。
【００６０】
図１２（ａ）は従来技術に相当する洗浄用カゴを用いて洗浄した場合のアルミ箔を示すものであり、図１２（ｂ）本発明の洗浄用カゴ１００を用いて上述のように洗浄した場合のアルミ箔を示すものである。また、図１２（ａ）と図１２（ｂ）における符号２１０は、アルミ箔が破壊された箇所を示している。この図１２（ａ）と図１２（ｂ）から、本発明の洗浄用カゴ１００の方が、従来技術に相当する洗浄用カゴよりも洗浄効果が高いことがわかる。なお、上述の図１１での実験においても、図１２に示すように、アルミ箔が破壊されるものである。また、図１１の説明における破壊面積とは、このようにアルミ箔が破壊された箇所２１０の面積である。
【００６１】
また、図１３は、ワーク２００として油性マジックで塗ったφ１．５ｍｍのボールを用いた場合の洗浄効果を示す写真を線画にしたものである。この超音波洗浄を行ったときの条件は、超音波の周波数３８ｋＨｚ、液体３２０の温度６０度、超音波の照射時間３分である。
【００６２】
図１３（ａ）は従来技術に相当する洗浄用カゴを用いて洗浄した場合のワーク２００を示すものであり、図１３（ｂ）本発明の洗浄用カゴ１００を用いて上述のように洗浄した場合のワーク２００を示すものである。なお、図１３（ａ）におけるハッチングは、マジックを示している。この図１３（ａ）と図１３（ｂ）からも、本発明の洗浄用カゴ１００の方が、従来技術に相当する洗浄用カゴよりも洗浄効果が高いことがわかる。
【００６３】
なお、ワーク洗浄工程（洗浄工程）では、ワーク２００にムラなく超音波を照射するため、洗浄用カゴ１００を回転させると好ましい。この場合、洗浄用カゴ１００は、例えばロボット（第３回転機構）に把持（設置）され、洗浄槽３００内の液体（以下、洗浄液とも称する）３２０中でロボットによって回転可能とする。具体的には、洗浄用カゴ１００は、底部２１が発振部３１０ａに対向して配置された状態から、天井部１１が発振部３１０ａに対向して配置された状態に回転可能とし、さらに、天井部１１が発振部３１０ａに対向して配置された状態から、底部２１が発振部３１０ａに対向して配置された状態に回転可能とする。
【００６４】
このように洗浄用カゴ１００を回転させたとしても、底部２１が発振部３１０ａに対向して配置された状態で超音波を所定時間照射し、さらに、天井部１１が発振部３１０ａに対向して配置された状態でも超音波を所定時間照射する。このように、洗浄用カゴ１００を回転させると、ワーク２００として、キャップのような凹部を有するものを採用する場合でも好適である。なお、洗浄用カゴ１００は、蓋部１０が設けられている。よって、回転させたとしてもワーク２００が洗浄用カゴ１００外に出ることはない。
【００６５】
ワーク配置工程後に、図６に示すように、水切工程を行う。まず、洗浄用カゴ１００を液体３２０から取り出す。そして、洗浄用カゴ１００に収納されたワーク２００に対して、エアブローノズル４００の吹出口４１０から出されたエアを吹き付ける。なお、図６に示すように、水切工程では、複数の洗浄用カゴ１００を纏めて行うようにしてもよい。つまり、複数の洗浄用カゴ１００の夫々に収納されたワーク２００を纏めて水切りしてもよい。
【００６６】
ところで、上述のように、洗浄用カゴ１００は、天井部１１と底部２１とが板状部材からなる。よって、天井部１１や底部２１を吹出口４１０に対向して配置したとしても（つまり、洗浄用カゴ１００を寝かせた状態）、エアは天井部１１や底部２１によって遮られるため、ワーク２００にエアが届きにくく、効率よくワーク２００の水切を行うことができない。
【００６７】
そこで、図６に示すように、洗浄用カゴ１００を側壁２２〜２５（貫通部２２ａ〜２５ａ）のいずれかが吹出口４１０に対向するように配置する。つまり、寝かせた状態の洗浄用カゴ１００を立たせて、側壁２２〜２５（貫通部２２ａ〜２５ａ）のいずれかが吹出口４１０に対向するように配置する。このようにすることによって、吹出口４１０からのエアは、側壁２２〜２５の貫通部２２ａ〜２５ａを介して洗浄用カゴ１００内部に入り込み、ワーク２００に吹き付けられる。よって、効率よくワーク２００の水切りを行うことができる。
【００６８】
なお、水切工程は、エアの吹きつけに限定されるものではない。図１４に示すように、洗浄工程後のワーク２００を収納した洗浄用カゴ１００を回転ステージ（第１回転機構）７００に取り付ける。このとき、洗浄用カゴ１００は、回転ステージ７００に対して、寝かせた状態で取り付ける。つまり、回転ステージ７００に対して、天井部１１又は底部２１を底面として取り付ける。そして、この回転ステージ７００を回転させることで、ワーク２００を収納している洗浄用カゴ１００を回転（例えば２５０回転／分）させる。
【００６９】
このとき、天井部１１（又は底部２１、又は天井部１１と底部２１）に交わる軸を回転軸として洗浄用カゴ１００を回転させる。なお、天井部１１に交わる軸としては、天井部１１に直交する中心軸を採用することができる。よって、この水切工程では、天井部１１（又は底部２１、又は天井部１１と底部２１）に直交する中心軸を回転軸として洗浄用カゴ１００を回転させる。このようにして、ワーク２００に付着した液体３２０の水切りを行うようにしてもよい。
【００７０】
洗浄用カゴ１００は、側壁２２〜２５に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられているため、液体３２０から取り出されると、この貫通部２２ａ〜２５ａにおける穴を介して、収納空間３０と洗浄用カゴ１００の外部との間で空気を通わせることができる。そこで、このように洗浄用カゴ１００を回転させることによって、ワーク２００に付着した液体３２０は、遠心力によって貫通部２２ａ〜２５ａの穴から洗浄用カゴ１００の外部に放出されることになる。よって、ワーク２００に付着した液体３２０の水切を行うことができる。
また、このように、洗浄用カゴ１００を回転させた遠心力で水切を行うことによって、天井部１１と底部２１が板状部材からなる洗浄用カゴ１００であっても、効率的に水切を行うことができる。
【００７１】
なお、洗浄用カゴ１００を回転させて水切り行う場合、ワーク２００に付着した液体３２０が遠心力によって貫通部２２ａ〜２５ａの穴から洗浄用カゴ１００の外部に放出される程度に回転させる必要がある。
【００７２】
水切工程後に、図７，８に示すように、ワーク熱風乾燥工程（乾燥工程）を行う。このワーク熱風乾燥工程では、図７（ａ），図８（ａ）に示すように、水切工程後のワーク２００を収納した洗浄用カゴ１００を熱風が流れる熱風乾燥炉５００中に設けられた回転機構（第２回転機構）５３０に取り付ける。図７（ａ）に示すように、熱風乾燥炉５００は、送風口５１０から熱風が送られ、熱風が排気口５２０から排出される。つまり、熱風乾燥炉５００内は、熱風が循環している。なお、熱風乾燥炉５００内の温度は、例えば１１０度程度に保たれている。
【００７３】
また、図７（ｂ）、図８（ｂ）に示すように、洗浄用カゴ１００を回転機構５３０に取り付ける際には、貫通部２２ａ〜２５ａが設けられた側壁２２〜２５の一部が底部となるように取り付ける。そして、回転機構５３０によって、天井部１１（又は底部２１、又は天井部１１と底部２１）に交わる軸を回転軸として洗浄用カゴ１００を回転させる。なお、天井部１１に交わる軸としては、天井部１１に直交する中心軸を採用することができる。よって、このワーク熱風乾燥工程では、天井部１１（又は底部２１、又は天井部１１と底部２１）に直交する中心軸を回転軸として洗浄用カゴ１００を回転させる。このようにして、洗浄用カゴ１００に収納されたワーク２００の乾燥を行う。
【００７４】
なお、回転機構５３０としては、様々な機構を採用することができるが、ここで一例を説明する。回転機構５３０は、回転筒５３１、貫通孔５３２、ギア５３３、ハンド５３４、上下移動機構５３５などを備える。回転筒５３１は、貫通孔５３２が設けられており、この貫通孔５３２内に上下移動機構５３５、ハンド５３４が設けられている。上下移動機構５３５は、一方の端部が回転筒５３１の内壁に取り付けられており、他方の端部にハンド５３４が設けられている。この上下移動機構５３５でハンド５３４を上下されることによって洗浄用カゴ１００を把持する。よって、洗浄用カゴ１００は、ハンド５３４に把持された状態で貫通孔５３２内に配置される。
【００７５】
また、回転筒５３１は、一部にギア５３３が設けられている。そして、このギア５３３には、駆動装置（図示省略、例えばモータなどのアクチュエータ）のギアが噛み合うようになっている。上述のように、この回転筒５３１には、上下移動機構５３５取り付けられており、さらに、上下移動機構５３５を介してハンド５３４が取り付けられている。よって、駆動装置によって回転筒５３１が回転駆動されると、回転筒５３１と共にハンド５３４に把持された洗浄用カゴ１００も回転することになる。
【００７６】
このように、貫通部２２ａ〜２５ａが設けられた側壁２２〜２５の一部が底部となるように洗浄用カゴ１００を取り付けることによって、熱風が貫通部２２ａ〜２５ａの穴を介して洗浄用カゴ１００内を通過しやすくなる。また、熱風が流れる熱風乾燥炉５００中で洗浄用カゴ１００を回転させることによって、洗浄用カゴ１００内に多くのワーク２００が入っていた場合であっても、満遍なくワーク２００に熱風があたり、効率的にワーク２００を乾燥させることができる。
【００７７】
なお、図７，図８に示すように、ワーク真空乾燥工程でも、複数の洗浄用カゴ１００を纏めて行うようにしてもよい。つまり、複数の洗浄用カゴ１００の夫々に収納されたワーク２００を纏めて乾燥させてもよい。
【００７８】
ワーク熱風乾燥工程後に、図９に示すように、ワーク真空乾燥工程を行う。このワーク真空乾燥工程では、ワーク２００を収納した洗浄用カゴ１００を真空釜６００に配置する。洗浄用カゴ１００が配置された真空釜６００の吸引口６１０から空気を吸引することによって、真空釜６００の内部を真空状態とする。このようにして、洗浄用カゴ１００に収納されたワーク２００の乾燥を行う。
【００７９】
ワーク真空乾燥工程後に、図１０に示すように、ワーク取出工程を行う。つまり、洗浄用カゴ１００の収納空間３０からワーク２００を取り出す。このとき、閉扉している洗浄用カゴ１００の蓋部１０を開扉する。これによって、洗浄用カゴ１００は、箱部２０の一部（底部２１に対向する領域が）開口した状態となる。そして、この開口したところからワーク２００を取り出す。
【００８０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に何ら制限されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
【００８１】
例えば、底部２１が発振部３１０ａに対向して配置され、蓋部１０は発振部３１０ａに対向して配置されない場合、底部２１における、少なくとも超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が板状部材からなるものであればよい。よって、蓋部１０は設けられていなくてもよい。また、蓋部１０の天井部１１は全体が網で形成されていてもよい。
【００８２】
また、蓋部１０が発振部３１０ａに対向して配置され、底部２１は発振部３１０ａに対向して配置されない場合、天井部１１における、少なくとも超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が板状部材からなるものであればよい。よって、箱部２０の底部２１は設けられていなくてもよい。また、箱部２０の底部２１は全体が網で形成されていてもよい。
【００８３】
また、図１５に示す洗浄用カゴ１１０であってもよい（変形例２）。なお、上述の実施形態における洗浄用カゴ１００と、この洗浄用カゴ１１０とは共通する箇所が多いため、共通する箇所は同じ符号を付与して詳しい説明を省略する。洗浄用カゴ１１０は、天井部１１ａの一部、及び底部２１ａの一部が板状部材からなる点で洗浄用カゴ１００と異なる。
【００８４】
図１５（ａ），図１５（ｂ）に示すように、蓋部１０ａの天井部（第２壁部）１１ａは、板状部（板状部材）１１ａ１と、自身の板厚方向に貫通した複数の穴が設けられた貫通部１１ａ２とを含む。一方、箱部２０ａの底部（第２壁部）２１ａは、板状部（板状部材）２１ａ１と、自身の板厚方向に貫通した複数の穴が設けられた貫通部（第２壁部）２１ａ２とを含む。
【００８５】
このように、天井部１１ａは、超音波発振器３１０の発振部３１０ａに対向して配置される部分のみが板状部１１ａ１となっている。同様に、底部２１ａは、超音波発振器３１０の発振部３１０ａに対向して配置される部分のみが板状部２１ａ１となっている。
【００８６】
天井部１１ａの貫通部１１ａ２は、板状部１１ａ１に対して傾斜して設けられている。これは、天井部１１ａが底面として配置された状態（洗浄工程時）で、ワーク２００が板状部１１ａ１上に配置されるようにするためである。
【００８７】
同様に、底部２１ａの貫通部２１ａ２は、板状部２１ａ１に対して傾斜して設けられている。これは、底部２１ａが底面として配置された状態（洗浄工程時）で、ワーク２００が板状部２１ａ１上に配置されるようにするためである。
【００８８】
このように、天井部１１ａに貫通部１１ａ２が設けられていたり、底部２１ａに貫通部２１ａ２が設けられていた場合、側壁２２〜２５に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられていなくてもよい。この貫通部１１ａ２や貫通部２１ａ２からも収納空間３０に液体３２０や空気を通すことができるので、側壁２２〜２５に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられていなくてもよい。
【００８９】
なお、この変形例においても、底部２１ａが発振部３１０ａに対向して配置され、蓋部１０ａは発振部３１０ａに対向して配置されない場合、底部２１ａにおける、少なくとも超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が板状部材（２１ａ１）からなるものであればよい。よって、蓋部１０ａは設けられていなくてもよい。また、蓋部１０ａの天井部１１ａは全体が網で形成されていてもよい。さらに、蓋部１０ａの天井部１１ａは全体が板状部材で形成されていてもよい。
【００９０】
また、この変形例においても、蓋部１０ａが発振部３１０ａに対向して配置され、底部２１ａは発振部３１０ａに対向して配置されない場合、天井部１１ａにおける、少なくとも超音波発振器３１０における超音波の発振部３１０ａに対向する部位が板状部材（１１ａ１）からなるものであればよい。よって、底部２１ａは設けられていなくてもよい。また、底部２１ａは全体が網で形成されていてもよい。さらに、底部２１ａは全体が板状部材で形成されていてもよい。
【００９１】
また、本発明は、第１壁部、又は第２壁部における前記板状部材を除く部分に、自身の板厚方向に貫通した穴が複数形成された貫通部を有するものであれば採用することができる。よって、変形例における洗浄用カゴ１１０のように、蓋部１０ａにおける天井部１１ａや底部２１ａに貫通部２１ａ２が設けられている場合は、側壁２２〜２５に貫通部２２ａ〜２５ａが設けられていなくてもよい。
【００９２】
なお、上述の実施形態及び変形例においては、蓋部１０（１０ａ）と箱部２０（２０ａ）とは、蝶番を構成する蓋側取付部１５と箱側取付部２６とで互いに組みつけられている（取り付けられている）。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、蓋部１０（１０ａ）は、箱部２０（２０ａ）に対してスライド式に取り付けられるものであってもよい。つまり、蓋部１０（１０ａ）をスライドさせて、箱部２０（２０ａ）の開口部を開けたり閉めたりできるものであってもよい。また、蓋部１０（１０ａ）は、箱部２０（２０ａ）に対して被せることによって取り付けられるものであってもよい。つまり、蓋部１０（１０ａ）は、箱部２０（２０ａ）から取り外し可能なものであってもよい。
【００９３】
さらに、洗浄用カゴ１００（１１０）の収納空間にワーク２００を投入するために投入口が、他に設けられている構成も考えられる。このような場合、蓋部１０（１０ａ）は、箱部２０（２０ａ）の一方の開口部を覆うものであれば、採用することができる。つまり、蓋部１０（１０ａ）は、箱部２０（２０ａ）の一方の開口部に溶接などによって取り付けられていてもよい。
【符号の説明】
【００９４】
１０，１０ａ  蓋部、１１，１１ａ  天井部、１１ａ１  板状部、１１ａ２  貫通部、１２〜１４  側壁、１５  蓋側取付部、１６  蓋側固定部、２０，２０ａ  箱部、２１，２１ａ  底部、２１ａ１  板状部、２１ａ２  貫通部、２２〜２５  側壁、２２ａ〜２５ａ  貫通部、２６  箱側取付部、２７  箱側固定部、３０  収納空間、１００，１１０  洗浄用カゴ、２００  ワーク、３００  洗浄槽、３１０  超音波発振器、３１０ａ  発振部（発振面）、３２０  洗浄液、４００  エアブローノズル、４１０  吹出口、５００  熱風乾燥炉、５１０  送風口、５２０  排気口、５３０  回転機構、５３１  回転筒、５３２  貫通孔、５３３  ギア、５３４  ハンド、５３５  上下移動機構、６００  真空釜、６１０  吸引口、７００  回転ステージ
【図１】
2013128910.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2013128910.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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