(57)【要約】【課題】本発明は、金属線材の線速を低下させることなく金属線材の処理時間を調整することができ、処理槽において十分な処理効果を得ることができる表面処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】金属線材１５０を長手方向に送って進行させ、処理液２０に所定時間浸漬することにより前記金属線材の表面を処理する表面処理装置であって、  離間して配置された第１及び第２のプーリー３０、３１を有し、前記金属線材の表面を処理する際に前記処理液中に浸漬され、前記第１及び第２のプーリー間を跨ぐように前記金属線材を所定回数巻き回して進行させることにより、前記金属線材の浸漬時間を調整する浸漬時間調整手段４０を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属線材を長手方向に送って進行させ、処理液に所定時間浸漬することにより前記金属線材の表面を処理する表面処理装置であって、
離間して配置された第１及び第２のプーリーを有し、前記金属線材の表面を処理する際に前記処理液中に浸漬され、前記第１及び第２のプーリー間を跨ぐように前記金属線材を所定回数巻き回して進行させることにより、前記金属線材の浸漬時間を調整する浸漬時間調整手段を有することを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
前記処理槽の外部には、前記金属線材を前記処理槽内に導く入口側プーリーと、前記金属線材を前記処理槽外に導く出口側プーリーとが更に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記第１のプーリーは前記第２のプーリーよりも深い位置に配置され、
前記金属線材が前記処理槽内に導かれる際には、前記入口側プーリーから前記第１のプーリーに前記金属線材が送られ、
前記金属線材が前記処理槽外に導かれる際には、前記第１のプーリーから前記出口側プーリーに前記金属線材が送られることを特徴とする請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記第１及び第２のプーリーは、鉛直方向に列をなして配置されたことを特徴とする請求項３に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記浸漬時間調整手段は、上下移動機構を有し、前記第１及び第２のプーリーを前記浸漬槽から引き上げ可能であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記浸漬時間調整手段は、前記第１及び第２のプーリーを保持するプーリー保持手段を有し、
前記上下移動機構は、前記プーリー保持手段を上下移動させることにより前記第１及び第２のプーリーを上下移動させることを特徴とする請求項５に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記上下移動機構は、吊り下げ手段の一端に前記プーリー保持手段を吊り下げ支持し、他端に錘を吊り下げることにより前記プーリー保持手段を平衡支持し、前記錘を上下移動させることにより前記プーリー保持手段を上下移動させる機構であることを特徴とする請求項６に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記第１及び第２のプーリーは、樹脂で構成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項９】
前記入口側プーリー及び／又は前記出口側プーリーは、陽極又は陰極のいずれか一方として構成され、
前記処理槽内には、前記陽極又は陰極の他方の電極が設けられたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の第１及び第２の表面処理装置が連続して配置され、
前記第１の表面処理装置の第１の処理槽内には陽極が設けられ、
前記第２の表面処理装置の第２の処理槽内には陰極が設けられ、
前記金属線材は、前記第１の処理槽内と前記第２の処理槽内で連続して表面処理が行われることを特徴とする表面処理装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２のプーリー間の距離は、変更可能であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置に関し、特に、金属線材を長手方向に送って進行させ、処理液に所定時間浸漬することにより前記金属線材の表面を処理する表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、各処理槽の入口と出口に各１個のローラーを設け、金属線材をこれらのローラーによりガイドして走行させながら、処理槽に収容された液体中に浸漬して金属線材を処理する金属線材の連続処理方法において、液体中にローラーを設けて金属線材を液体に浸漬する方法や、処理槽で液体をオーバーフローさせて液体中にローラーを設けずに金属線材を液体に浸漬する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。かかる金属線材の連続処理方法によれば、液体に金属線材を浸漬して液体中を通過させることを、熱処理、めっき処理、洗浄処理、乾燥処理等の各工程について連続的に行うことにより、金属線材を連続的に処理することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１５８０７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の構成では、金属線材は、総て連続的に各処理槽を走行通過するため、各工程での処理時間の調整は困難であり、処理が不十分になるという問題があった。例えば、処理時間が不足すると、めっき処理では十分な膜厚でめっき膜を形成することができないし、洗浄処理では十分に金属線材に付着した油分等の不純物を除去することができず、十分な処理効果が得られないおそれがあるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、金属線材の線速を低下させることなく金属線材の処理時間を調整することができ、処理槽において十分な処理効果を得ることができる表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る表面処理装置は、金属線材を長手方向に送って進行させ、処理液に所定時間浸漬することにより前記金属線材の表面を処理する表面処理装置であって、
離間して配置された第１及び第２のプーリーを有し、前記金属線材の表面を処理する際に前記処理液中に浸漬され、前記第１及び第２のプーリー間を跨ぐように前記金属線材を所定回数巻き回して進行させることにより、前記金属線材の浸漬時間を調整する浸漬時間調整手段を有することを特徴とする。
【０００７】
ここで、前記処理槽の外部には、前記金属線材を前記処理槽内に導く入口側プーリーと、前記金属線材を前記処理槽外に導く出口側プーリーとが更に設けられてもよい。
【０００８】
また、前記第１のプーリーは前記第２のプーリーよりも深い位置に配置され、
前記金属線材が前記処理槽内に導かれる際には、前記入口側プーリーから前記第１のプーリーに前記金属線材が送られ、
前記金属線材が前記処理槽外に導かれる際には、前記第１のプーリーから前記出口側プーリーに前記金属線材が送られることとしてもよい。
【０００９】
なお、前記第１及び第２のプーリーは、鉛直方向に列をなして配置されてもよい。
【００１０】
更に、前記浸漬時間調整手段は、上下移動機構を有し、前記第１及び第２のプーリーを前記浸漬槽から引き上げ可能であることとしてもよい。
【００１１】
なお、前記浸漬時間調整手段は、前記第１及び第２のプーリーを保持するプーリー保持手段を有し、
前記上下移動機構は、前記プーリー保持手段を上下移動させることにより前記第１及び第２のプーリーを上下移動させる構成であってもよい。
【００１２】
ここで、前記上下移動機構は、吊り下げ手段の一端に前記プーリー保持手段を吊り下げ支持し、他端に錘を吊り下げることにより前記プーリー保持手段を平衡支持し、前記錘を上下移動させることにより前記プーリー保持手段を上下移動させる機構であることとしてもよい。
【００１３】
また、前記第１及び第２のプーリーは、樹脂で構成されていることが好ましい。
【００１４】
ここで、前記入口側プーリー及び／又は前記出口側プーリーは、陽極又は陰極のいずれか一方として構成され、
前記処理槽内には、前記陽極又は陰極の他方の電極が設けられた構成であってもよい。
【００１５】
また一方で、前記第１及び第２の表面処理装置が連続して配置され、
前記第１の表面処理装置の第１の処理槽内には陽極が設けられ、
前記第２の表面処理装置の第２の処理槽内には陰極が設けられ、
前記金属線材は、前記第１の処理槽内と前記第２の処理槽内で連続して表面処理が行われる構成であってもよい。
【００１６】
また、前記第１及び第２のプーリー間の距離は、変更可能としてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、処理時間を調整でき、適切な処理時間で金属線材の表面処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１に係る表面処理装置の一例を示した概略構成図である。
【図２】下段プーリー及び上段プーリーの一例を示した図である。図２（Ａ）は、下段プーリー及び上段プーリーの一例の側断面図である。図２（Ｂ）は、下段プーリー及び上段プーリーの一例の正面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る表面処理装置のプーリー移動機構の詳細について説明するための斜視図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る表面処理装置のプーリー上昇時の一例を示した斜視図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例を示した図である。図５（Ａ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置のプーリー移動機構の一例を示した側面図である。図５（Ｂ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置のプーリー移動機構の一例を示した正面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した図である。図６（Ａ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した側面図である。図６（Ｂ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した正面図である。
【図７】本発明の実施形態３に係る表面処理装置の一例を示した図である。
【図８】本発明の実施形態４に係る表面処理装置の一例を示した図である。
【図９】本発明の実施形態５に係る表面処理装置の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
【００２０】
〔実施形態１〕
図１は、本発明の実施形態１に係る表面処理装置の一例を示した概略構成図である。図１において、実施形態１に係る表面処理装置は、処理槽１０と、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０と、取っ手５０と、プーリーガイド支持部材６０と、プーリーホルダーガイド７０と、錘用ワイヤー８０と、入口側プーリー１１０と、出口側プーリー１１１とを備える。また、実施形態１に係る表面処理装置の関連構成要素として、処理液２０と、被表面処理対象である金属線材１５０が示されている。
【００２１】
処理槽１０には、処理液２０が貯留され、処理液２０中に下段プーリー３０及び上段プーリー３１が浸漬されて設けられている。下段プーリー３０と上段プーリー３１は、鉛直方向に列をなして離間して配置されている。下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、プーリーホルダー４０に固定されて設けられている。また、プーリーホルダー４０の上端には、取っ手５０が設けられている。更に、プーリーホルダー４０は、錘用ワイヤー８０に吊り下げられて支持されている。また、プーリーホルダー４０及び錘用ワイヤー８０は、プーリーホルダーガイド７０により側面が覆われている（図３参照）。
【００２２】
なお下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、入口側プーリー１１０及び出口側プーリー１１１と区別するために、下段浸漬プーリー３０及び上段浸漬プーリー３１と呼んでもよい。
【００２３】
水平に、長手方向に沿って進行している金属線材１５０は、入口側プーリー１１０により、進路が水平方向から略鉛直方向に変更されて処理槽１０内に導かれている。処理槽１０内には、処理液２０が貯留されて満たされている。よって、金属線材１０は、処理液２０中に浸漬した状態となる。入口側プーリー１１０から処理槽１０内に導かれた金属線材１５０は、下段プーリー３０に導かれ、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を跨ぐように往復して１回又は複数回巻き回される。処理液２０中に金属線材１５０が浸漬している間、金属線材１１０の表面処理が行われる。金属線材１５０は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１間を所定回数巻き回された後、出口側プーリー１１１に導かれ、処理槽１０の外部へと送り出される。実施形態１に係る表面処理装置は、概略的には上述のような構成を有するが、以下、個々の構成要素について詳細に説明する。
【００２４】
処理槽１０は、処理液２０を貯留し、処理液２０内で金属線材１５０を表面処理するための処理容器である。処理槽１０は、処理液２０を貯留することができ、処理槽１０内で金属線材１５０の表面処理を行うことができる形状及び容積を有すれば、種々のものを用いることができる。
【００２５】
処理液２０は、金属線材１５０を表面処理するための液体であり、表面処理の内容に応じた液体が用いられる。例えば、処理槽１０において脱脂等の洗浄を行う場合には、脱脂液等の洗浄液が処理液２０として用いられ、めっき処理を行う場合には、めっき液が処理液２０として用いられる。
【００２６】
下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、金属線材１５０の処理液２０中の浸漬時間を調整するための浸漬時間調整手段であり、金属線材１５０の表面処理を行う際には、処理液２０中に浸漬される。下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、金属線材１５０を進行方向に送ることができる円筒部分を有するが、当該円筒部分は、金属線材１５０を複数回巻き回すことができる程度の幅を有している。
【００２７】
図２は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１の一例を示した図である。図２（Ａ）は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１の一例の側断面図であり、図２（Ｂ）は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１の一例の正面図である。
【００２８】
図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、中心軸（シャフト）３２を有するとともに、側壁３３で仕切られた複数の溝３４を有する。例えば、金属線材１５０を溝３４に沿って巻き回すことにより、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を金属線材１５０は複数回往復することができ、処理液２０中での浸漬時間を長期化させることができる。なお、図２においては、表面に複数の溝３４が形成された下段プーリー３０及び上段プーリー３１の例を挙げたが、溝３４の形成は必須ではなく、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を複数回安定して往復した状態で金属線材１５０を保持することができれば、単なる円筒形状で構成されてもよいし、円筒表面に、側壁３３の無い浅い溝３４が切られた構成であってもよい。
【００２９】
図１に戻る。下段プーリー３０及び上段プーリー３１は、離間して列をなして配置される。図１においては、下段プーリー３０と上段プーリー３１とは、鉛直方向に列をなして配置されている。下段プーリー３０と上段プーリー３１とを鉛直方向に列をなして離間して配置することにより、処理槽１０の金属線材１５０の進行方向の長さを短く構成することができる。
【００３０】
しかしながら、下段プーリー３０と上段プーリー３１とは、離間して列をなして配置されていれば、種々の配置構成とすることができる。例えば、下段プーリー３０に対して、上段プーリー３１を斜め上方に配置するような構成としてもよい。また、下段プーリー３０と上段プーリー３１とを水平に配置し、下段プーリー３０を第１のプーリー、上段プーリー３１を第２のプーリーと呼んでもよい。このように、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を跨るように金属線材１５０を巻回することができ、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を金属線材１５０が往復することにより金属線材１５０の処理液２０内での浸漬時間を調整することができれば、下段プーリー３０及び上段プーリー３１の配置構成は種々の構成とすることができる。
【００３１】
図１に示すように、金属線材１５０は、処理槽１０に導入される際には入口側プーリー１１０から下段プーリー３０に導かれ、処理槽１０から外部に導出される際にも、下段プーリー３０から出口側プーリー１１１に導出される方が、浸漬時間を長くできるとともに、下段プーリー３０及び上段プーリー３１への巻回回数を減少させることができて有利である。しかしながら、金属線材１５０の処理槽１０への導入時及び／又は処理槽１０への導出時において、上段プーリー３１を用いることも可能であり、処理槽１０への導入及び処理槽１０からの導出箇所は、用途に応じて種々定めることができる。
【００３２】
プーリーホルダー４０は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１を保持するプーリー保持手段であり、鉛直方向に延在した形状を有する。プーリーホルダー４０は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１を、所定間隔離間した状態で、回転可能に支持する。プーリーホルダー４０は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１を保持した状態で、上下に移動可能に構成されてよい。よって、プーリーホルダー４０は、下段プーリー３０と上段プーリー３１との配置関係を維持したまま上下に移動することができる。
【００３３】
なお、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０とで、浸漬時間調整手段を構成する。
【００３４】
取っ手５０は、プーリーホルダー４０を上下に移動させるための操作手段であり、プーリーホルダー４０と一体的に構成される。ユーザは、取っ手５０を把持し、取っ手５０を上下に移動させることにより、プーリーホルダー４０を上下に移動させることができ、下段ローラー３０及び上下ローラー３１を上下に移動させることができる。
【００３５】
プーリーガイド支持部材６０は、処理槽１０に固定され、プーリーガイド７０を支持する支持手段である。プーリーガイド支持部材６０がプーリーガイド７０を支持することにより、プーリーガイド７０を処理槽１０に固定し、下段プーリー３０及び上段プーリー３１を最適な位置に設置することができる。
【００３６】
プーリーガイド７０は、プーリーホルダー４０の上下移動をガイドするためのガイド手段であり、フレーム的な役割を果たす。
【００３７】
錘用ワイヤー８０は、プーリーホルダー４０を上下移動可能に吊り下げ支持するための吊り下げ支持手段である。錘用ワイヤー８０の一端は、プーリーホルダー４０に連結されてプーリーホルダー４０を吊り下げ支持する。図示しない錘用ワイヤー８０の他方には、錘が連結され、錘とプーリーホルダー４０をバランスさせることにより、プーリーホルダー４０を平衡支持する。
【００３８】
入口側プーリー１１０は、金属線材１５０を、処理槽１０の外部から処理槽１０内に導くための搬送手段である。入口側プーリー１１０は、金属線材１５０が入って来る側から処理槽１０の内側に向かって回転し（図１中時計回り）、金属線材１５０を進行方向に順送りする。なお、入口側プーリー１１０により導入された金属線材１５０は、処理槽１０内の深部に配置された下段プーリー３０に送られる。
【００３９】
出口側プーリー１１１は、金属線材１５０を処理槽１０内から処理槽１０の外部に移動させるための搬送手段である。出口側プーリー１１１は、入口側プーリー１１０と同様に、金属線材１５０を送り出す進行方向に回転し（図１中時計回り）、金属線材１５０を下段プーリー３０から引き上げ、処理槽１０の外部まで引き上げたら金属線材１５０を前方に送り出す。なお、出口側プーリー１１１は、入口側プーリー１１０と同様のプーリーが用いられてよい。
【００４０】
金属線材１５０は、種々の用途に用いられる金属線を用いることができる。例えば、半導体実装に用いられるボンディングワイヤ用の金属線材１５０が用いられてもよい。半導体実装用のボンディングワイヤには、金線や銅線があり、例えば、金線や銅線が金属線材１５０として用いられてもよい。
【００４１】
図３は、本発明の実施形態１に係る表面処理装置のプーリー上下移動機構の詳細について説明するための斜視図である。図３においては、図１と同様に、下段プーリー３０及び上段プーリー３１が処理槽１０内に配置されたプーリー下降時の状態が示されている。
【００４２】
図３において、実施形態１に係る表面処理装置は、処理槽１０と、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０と、取っ手５０と、プーリーガイド支持部材６０と、プーリーガイド７０と、錘用ワイヤー８０と、錘用ワイヤーガイドプーリー９０と、錘１００とを備える。このうち、図１で示された処理槽１０と、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０と、取っ手５０と、プーリーガイド支持部材６０と、プーリーガイド７０と、錘用ワイヤー８０については、図１と同様の参照番号を付している。
【００４３】
図３に示すように、プーリーガイド支持部材６０が処理槽１０に固定され、プーリーガイド支持部材６０にプーリーガイド７０が固定されている。プーリーガイド７０は、プーリーホルダー４０の上下移動機構の錘用ワイヤー８０を両側面及び背面から覆うようにコ字状に構成されている。プーリーホルダー４０は、取っ手５０の部分が錘用ワイヤー８０と連結され、取っ手５０を上下移動させることにより、プーリーホルダー４０を上下移動できるように構成されている。
【００４４】
一端がプーリーホルダー４０の取っ手５０の部分に連結された錘用ワイヤー８０は、２つの錘用ワイヤーガイドプーリー９０にガイドされてプーリーガイド７０の外部に導かれ、他端に錘１００が連結され、錘１００を吊り下げ支持する。錘１００は、錘用ワイヤー８０の他端に吊り下げ支持している下段プーリー３０、上段プーリー３１、プーリーホルダー４０及び取っ手５０と釣り合い、平衡状態となるような質量の錘１００が選択される。これにより、錘用ワイヤー８０の両端の質量がバランスし、取っ手５０を任意の位置に移動させても、常に下段プーリー３０及び上段プーリー３１を静止状態とすることができる。
【００４５】
なお、錘用ワイヤーガイドプーリー９０は、錘用ワイヤー８０をガイドするためのプーリーであり、プーリーガイド７０内に１つと、プーリーガイド７０外に１つ配置される。
【００４６】
図４は、本発明の実施形態１に係る表面処理装置のプーリー上昇時の一例を示した斜視図である。なお、図４において、各構成要素は、図３において説明した内容と同様であるので、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００４７】
図４において、下段プーリー３０及び上段プーリー３１が処理槽１０よりも上部に引き上げられ、下段プーリー３０及び上段プーリー３１が処理槽１０外に配置された状態が示されている。取っ手５０及びプーリーホルダー４０は、下段プーリー３０及び上段プーリー３１と一体となり、やはり処理槽１０よりも上方に配置されている。ユーザが取っ手５０を把持し、図３の状態から取っ手５０を上部に引き上げることにより、図４に示すような状態とすることができる。これにより、表面処理を行わない場合には、下段プーリー３０及び上段プーリー３１を引き上げ、清掃等のメインテナンスを容易に行うことができる。
【００４８】
このように、実施形態１に係る表面処理装置においては、プーリーホルダー４０に離間して設けられた２つのプーリー３０、３１を往復して金属線材１５０を複数回巻回させることにより、金属線材１５０を処理液２０に浸漬させて行う表面処理の浸漬時間を調整し、十分な時間で金属線材１５０の表面処理を行うことができる。つまり、１対のプーリー３０、３１間を所望の回数金属線材１５０を往復させられるため、金属線材１５０の線速を変更せずに好適な表面処理時間を設定することができ、表面処理のために金属線材１５０の線速が限定されない。よって、実施形態１に係る表面処理装置を脱脂工程に適用した場合には、後の酸化膜除去工程、めっき工程を同一ライン内に設ける事ができる。
【００４９】
また、プーリー上下移動機構により、下段プーリー３０及び上段プーリー３１は容易に上下動させることができ、清掃等のメインテナンスも容易に行うことができる。
【００５０】
〔実施形態２〕
図５は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例を示した図である。実施形態２に係る表面処理装置は、上段プーリー３１の移動機構を有する点で実施形態１に係る表面処理装置と異なっているが、他の構成については、実施形態１に係る表面処理装置と同様であるので、図示及びその説明を省略する。
【００５１】
図５（Ａ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置のプーリー配置移動機構の一例を示した側面図であり、図５（Ｂ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置のプーリー配置移動機構の一例を示した正面図である。
【００５２】
図５（Ｂ）において、実施形態２に係る表面処理装置は、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４１とを備える点で実施形態１に係る表面処理装置と共通するが、プーリーホルダー４１にスリット４２が形成されている点で、実施形態１に係る表面処理装置と異なる。スリット４２は、上段プーリー３１が上下に移動するために設けられ、レールのような役割を果たす。よって、スリット４２は、下段プーリー３０の箇所には設けられておらず、上段プーリー３１が移動可能な範囲に設けられている。
【００５３】
図５（Ａ）において、下段プーリー３０がシャフト３２により固定され、上段プーリー３１がシャフト３３に固定されているが、上段プーリー３１は、ボルト３５、３６によりシャフト３３がスプールホルダー４１に固定された状態が示されている。上段プーリー３１を固定しているシャフト３３には、ボルト３５、３６と嵌合するねじが切られており、ボルト３５、３６を締めることによりシャフト３３をスプールホルダー４１に固定することができ、ボルト３５、３６を緩めることにより、シャフト３３がスリット４２内を移動できる構成となっている。このように、上段プーリー３１を上下に移動可能に構成することにより、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間の距離を調整することができ、金属線材１５０の浸漬時間を調整することができる。
【００５４】
図６は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した図である。図６（Ａ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した側面図であり、図６（Ｂ）は、本発明の実施形態２に係る表面処理装置の一例の上段スプール移動後の状態を示した正面図である。なお、図６において示された構成要素は、図５で示された構成要素と同様であるので、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００５５】
図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、上段スプール３１をスリット４１に沿って下方に設置箇所を移動させることにより、下段吸スプール３０と上段スプール３１との間の距離を短くすることができる。例えば、実施形態１に係る表面処理装置では、金属線材１５０の浸漬時間は、下段スプール３０と上段スプール３１との間を金属線材１５０が巻回する回数により定めるが、実施形態２に係る表面処理装置では、下段スプール３０及び上段スプール３１との間の距離と、下段スプール３０及び上段スプール３１の周囲の巻回回数の双方のパラメータを用いて浸漬時間を調整することができる。
【００５６】
なお、上段スプール３１の移動は、ボルト３５、３５を緩め、上段スプール３１がスリット４２に沿って移動し、所定の位置で上段スプール３１を固定することにより行ってよい。
【００５７】
なお、図５及び図６においては、上段プーリー３１を配置移動可能とした例を挙げて説明したが、スリット４２を下段プーリー３０の移動範囲に設け、下段プーリー３０を配置移動可能に構成したり、下段プーリー３０と上段プーリー３１の双方を配置移動可能に構成したりしてもよい。
【００５８】
実施形態２に係る表面処理装置によれば、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間の距離を調整することができ、金属線材１５０の下段プーリー３０及び上段プーリー３１の巻回回数だけではなく、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間の距離の調整により金属線材１５０の浸漬時間を調整することができ、きめ細かく浸漬時間の調整を行うことができる。
【００５９】
〔実施形態３〕
図７は、本発明の実施形態３に係る表面処理装置の一例を示した図である。図７において、本発明の実施形態３に係る表面処理装置は、第１の処理槽１０と、第２の処理槽１１の２つの処理槽１０、１１を備え、各々の処理槽１０、１１が下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０と、入口側プーリー１１０と、出口側プーリー１１１とを備える点で、実施形態１、２に係る表面処理装置と異なっている。なお、図７においては、主要な構成要素のみを示しており、実施形態１、２で説明した詳細な構成要素は省略しているが、必要に応じて同様の構成要素を備えてよい。
【００６０】
このように、実施形態３に係る表面処理装置は、第１の処理槽１０と第２の処理槽２０とを備え、２段階の表面処理を行う点で、実施形態１、２に係る表面処理装置と異なっている。なお、第１の処理槽１０は第１の処理液２１を貯留し、第２の処理槽１１は第２の処理液２２を貯留しており、異なる表面処理を第１の処理槽１０と第２の処理槽１１とで行うことができる。また、第１の処理槽１０における第１の処理液２１を用いた表面処理と、第２の処理槽２０における第２の処理液２２を用いた表面処理は、ともに離間して配置された第１のスプール３０と第２のスプール３１を用いることにより、表面処理時間を適切な時間に調整することができる。
【００６１】
このように、実施形態３に係る表面処理装置によれば、２つの処理槽１０、１１を用いて２段階の表面処理を行う場合において、双方に離間した下段スプール３０及び上段スプール３１を設けることにより、各々の処理液２１、２２への金属線材１５０の浸漬時間を調整することができ、各々の表面処理工程において十分な表面処理を行うことができる。
【００６２】
〔実施形態４〕
図８は、本発明の実施形態４に係る表面処理装置の一例を示した図である。実施形態４に係る表面処理装置は、電解脱脂装置として構成されている。
【００６３】
実施形態４に係る表面処理装置は、処理槽１０と、下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、スプールホルダー４０とを備える点で、実施形態１乃至３に係る表面処理装置と共通するが、処理槽１０内にアノード１２０と、アノードバッグ１３０とを更に備える点で実施形態１乃至３に係る表面処理装置と異なっている。また、実施形態４に係る表面処理装置は、入口側スプール１１２及び出口側スプール１１３がカソード電極として構成され、処理槽１０外部の整流器１４０に接続されている点で、実施形態１乃至３に係る表面処理装置と異なっている。
【００６４】
なお、図８において、処理槽１０には処理液２３が貯留され、被表面処理対象である金属線材１５０が示されている。また、実施形態４に係る表面処理装置のスプールホルダー４０の移動機構等は省略されているが、必要に応じて、図２、３に示した移動機構等を備えてよい。
【００６５】
実施形態４に係る表面処理装置においては、整流器１４０により処理液２３中に浸漬して配置されたアノード１２０に正電圧が印加され、カソードである入口側プーリー１１２及び出口側プーリー１１３に負電圧が印加される。これにより、水の電気分解によりアノード周辺で酸素ガスが発生し、発生した酸素ガスにより金属線材１５０の脱脂洗浄を行う。なお、処理液２３には、一般的にはアルカリ水溶液が用いられる。また、アノードバッグ１３０は、アノード１２０周辺で発生したスラッジ（沈殿物）が処理液２３内に再び戻らないようにするための手段である。
【００６６】
実施形態４に係る表面処理装置においても、処理槽１０内に離間して配置された下段プーリー３０及び上段プーリー３１が設けられているため、金属線材１５０は、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を所定回数往復することにより、線速を遅くすることなく所定の浸漬時間（処理時間）を設定することができ、十分な電解脱脂処理を金属線材１５０に対して行うことができる。
【００６７】
このように、実施形態４に係る表面処理装置によれば、線速を遅くすることなく金属線材１５０に対して十分な電解脱脂処理を行うことができる。
【００６８】
〔実施形態５〕
図９は、本発明の実施形態５に係る表面処理装置の一例を示した図である。実施形態５に係る表面処理装置は、２槽式の電解脱脂装置として構成されている。
【００６９】
実施形態５に係る表面処理装置は、第１の処理槽１０と、第２の処理槽１１と、アノード１２０と、カソード１２１と、アノードバッグ１３０と、カソードバッグ１３１とを備える。また、第１の処理槽１０及び第２の処理槽１１は、各々下段プーリー３０と、上段プーリー３１と、プーリーホルダー４０とを備える。更に、第１の処理槽１０及び第２の処理槽１１の外部には各々、入口側ローラー１１０と、出口側ローラー１１１とが設けられている。また、第１の処理槽１０及び第２の処理槽１１の外部に共通に整流器１４０が設けられている。また、第１の処理槽１０には第１の処理液２４が貯留され、第２の処理槽１１には第２の処理液２５が貯留されている。更に、被表面処理対象物として、金属線材１５０が第１の処理槽１０と第２の処理槽１１に連続して浸漬されている。なお、第１の処理液２４及び第２の処理液２５は、例えば、同一の電解脱脂用アルカリ溶液が用いられる。
【００７０】
金属線材１５０は、まず、第１の処理槽１０において、アノード１２０の周囲で酸素ガスが発生し、これにより脱脂を行う電解脱脂処理が行われる。次いで、第２の処理槽２０において、カソード１２１の周囲で水素ガスが発生し、これにより脱脂を行う電解脱脂処理が行われる。その際、鉛直方向に離間して配置された下段プーリー３０と上段プーリー３１との間を金属線材１５０が所定回数往復することにより、線速を低下させることなく、所定時間、十分な電解脱脂を行うことができる。
【００７１】
第１の処理槽１０で電解脱脂処理が行われた金属線材１５０は、第１の処理槽１０の出口側プーリー１１１から第２の処理槽１１の入口側プーリー１１０に送られ、第２の処理槽１１内に導入される。第２の処理槽１１では、カソード１２１の周囲で水素ガスが発生し、これにより脱脂を行う電解脱脂処理が行われる。その際、鉛直方向に離間して配置された下段プーリー３０及び上段プーリー３１により、第１の処理槽１０における線速と同じ線速で所定時間の浸漬が可能な点は、第１の処理槽１０における電解脱脂処理と同様である。
【００７２】
実施形態５に係る表面処理装置においては、入口側プーリー１１０及び出口側プーリー１１１を電極として用いる必要が無いので、樹脂性のプーリーを用いることができる。これにより、金属線材１５０にキズ等を発生させることを防止できるという利点がある。
【００７３】
実施形態５に係る表面処理装置によれば、金属線材１５０にキズ等が発生することを抑制しつつ、金属線材１５０の線速を低下させることなく、十分に第１の処理槽１０及び第２の処理槽１１で電解脱脂処理を行うことができ、高速かつ効果的に金属線材１５０の電解脱脂処理を行うことができる。
【００７４】
なお、実施形態３乃至５においては、実施形態１に係る表面処理装置を電解脱脂装置等の各装置に適用した例について説明したが、下段プーリー３０と上段プーリー３１との間の距離を調整できる実施形態２に係る表面処理装置を実施形態３乃至５に適用できることは言うまでもない。
【００７５】
また、実施形態３乃至５においては、実施形態１、２に係る表面処理装置を脱脂装置に適用した例を挙げて説明したが、めっき装置等の浸漬処理が必要な表面処理装置全般に適用することも可能である。
【００７６】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、脱脂装置、めっき装置等の表面処理装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００７８】
１０、１１    処理槽
２０〜２５    処理液
３０    下段プーリー
３１    上段プーリー
３２    シャフト
３３    側壁
３４    溝
３５、３６    ボルト
４０    プーリーホルダー
５０    取っ手
６０    プーリーガイド支持部材
７０    ぷーリーガイド
８０    錘用ワイヤー
９０    錘用ワイヤーガイドプーリー
１００    錘
１１０    入口側プーリー
１１１    出口側プーリー
１２０    アノード
１２１    カソード
１３０    アノードバッグ
１３１    カソードバッグ
１４０    整流器
１５０    金属線材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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