(57)【要約】【課題】圧電モーターを小型化し、構造を簡単にする。【解決手段】振動体を収容した収容ケースを、ガイド軸とガイド穴とで振動体の伸縮方向にガイドするとともに、収容ケースを、収容ケースを挟んでガイド軸とは反対側から、転動体を介して、板バネによって振動体の屈曲方向に付勢する。こうすれば、ガイド穴とガイド軸とを用いて、振動体の伸縮方向には収容ケースが移動可能でありながら、屈曲方向には殆ど動かない状態とすることができる。もちろん、ガイド穴に対してガイド軸が摺動可能とすると、屈曲方向にも僅かに動きうるが、この程度であれば、転動体と板バネとからなる簡単な構造によって抑えることができる。その結果、振動体の屈曲方向から収容ケースを付勢する構造を簡単にすることができるので、圧電モーターの構造を簡単にすることができ、圧電モーターを小型化することが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える圧電モーター。
【請求項２】
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える圧電モーター。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電モーターであって、
前記転動体は球形に形成されており、
前記前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との少なくとも一方には、前記転動体が転動する溝部が形成されている圧電モーター。
【請求項４】
請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記転動体は球形に形成されており、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの少なくとも一方には、前記転動体が転動する溝部が形成されている圧電モーター。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記ガイド軸は、円形断面の軸であり、
前期ガイド穴は、円形断面の穴である圧電モーター。
【請求項６】
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を有するロボットハンド。
【請求項７】
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を有するロボットハンド。
【請求項８】
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケース取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備えるロボット。
【請求項９】
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備えるロボット。
【請求項１０】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品搬送装置。
【請求項１１】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品搬送装置。
【請求項１２】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品検査装置。
【請求項１３】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品検査装置。
【請求項１４】
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える送液ポンプ。
【請求項１５】
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える送液ポンプ。
【請求項１６】
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える印刷装置。
【請求項１７】
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える印刷装置。
【請求項１８】
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子時計。
【請求項１９】
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子時計。
【請求項２０】
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える投影装置。
【請求項２１】
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える投影装置。
【請求項２２】
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える搬送装置。
【請求項２３】
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料で形成された部材（圧電部材）に所定周波数の駆動電圧を印加し、伸縮方向の振動と屈曲方向の振動とを同時に発生させることによって、対象物を摩擦駆動する圧電モーターが知られている（特許文献１）。
【０００３】
この圧電モーターは、摩擦力で対象物を駆動することから、圧電部材の端面に設けた凸部をバネなどの付勢部材によって対象物に押し付けた状態で使用する必要がある。そこで、圧電モーターでは、次のような構造で圧電部材を保持することが行われている（例えば、特許文献２）。先ず、端面に設けた凸部が突出する状態で圧電部材を第１ケースに収容し、その第１ケースを第２ケースに収容する。第１ケースの底面側（圧電部材の凸部が突出した側の反対側）と、第２ケースの内壁面との間には付勢バネを設けて、第１ケースごと圧電部材を伸縮方向に付勢する。また、第１ケースが屈曲方向に動かないようにするために、第１ケースの屈曲方向の側面を、反対側からバネを用いて第２ケースの内壁面に押し付ける。このとき、第１ケースの伸縮方向への摺動が妨げられないようにするために、第１ケースの押し付けられる側の側面と第２ケースの内壁面との間、および第１ケースの反対側の側面とバネとの間には、それぞれコロが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１８７７６８号公報
【特許文献２】特開２００９−３３７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、圧電部材を保持するために上記のような構造を採用したのでは、圧電モーターが大きくなり、且つ、構造が複雑になるという問題があった。
【０００６】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、圧電モーターを小型化し、且つ、構造を簡単にすることが可能な技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と
を備えることを要旨とする。
【０００８】
このような本発明の圧電モーターにおいては、収容ケースおよび振動体が、付勢バネによって振動体の伸縮方向に付勢されることで、振動体が対象物に押しつけられる。また、収容ケースは、収容ケース側（または支持体側）のガイド軸と支持体側（または収容ケース側）のガイド穴とにガイドされて、振動体の伸縮方向に移動可能となっている。さらに、収容ケースは、収容ケースを挟んでガイド軸とは反対側から、転動体を介して、板バネによって振動体の屈曲方向に付勢されている。尚、本発明の「板バネ」とは、金属などの弾性体が板状に形成されて、外力を受けると変形し、その外力が減少すると復元力によって元の形状に戻る機械要素をいう。
【０００９】
ガイド穴とガイド軸とを用いれば、振動体の伸縮方向には収容ケースが移動可能でありながら、屈曲方向には殆ど動かない状態とすることができる。もちろん、ガイド穴に対してガイド軸が摺動可能とすると、屈曲方向にも僅かに動きうるが、この程度であれば、転動体と板バネとからなる簡単な構造によって抑えることができる。このように、本発明の圧電モーターでは、振動体の屈曲方向から収容ケースを付勢する構造を簡単にすることができる。その結果、圧電モーターの構造を簡単にすることができ、圧電モーターを小型化することが可能となる。
【００１０】
また、上述した本発明の圧電モーターは、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
圧電材料を含み、電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と
を備えることを要旨とする。
【００１１】
このような本発明の圧電モーターにおいても、ガイド穴とガイド軸とによって、振動体の伸縮方向には収容ケースが移動可能でありながら、屈曲方向には殆ど動かない状態とすることができる。もちろん、ガイド穴に対してガイド軸が摺動可能とすると、屈曲方向にも僅かに動きうるが、この程度であれば、転動体と板バネとからなる簡単な構造によって抑えることができる。その結果、圧電モーターの構造を簡単にすることができ、圧電モーターを小型化することが可能となる。
【００１２】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、転動体を球形に形成することとし、収容ケースに取り付けられた板バネと支持体との少なくとも一方に、転動体が転動する溝部を形成することとしてもよい。
【００１３】
転動体を球形にすると、板バネと支持体とに転動体を点接触させることができる。このため、転動体が振動体の伸縮方向に転動する際の転動体と板バネとの間の摩擦力、あるいは転動体と支持体との間の摩擦力を小さくすることができ、収容ケースの移動を円滑にすることが可能となる。また、転動体が転動する溝部が形成されており、転動体の一部が溝部に嵌るので、板バネと支持体の間から転動体が抜け落ちてしまうこともない。
【００１４】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、転動体を球形に形成することとし、支持体に取り付けられた板バネと収容ケースとの少なくとも一方に、転動体が転動する溝部を形成することとしてもよい。
【００１５】
転動体を球形にすると、板バネと収容ケースとに転動体を点接触させることができる。このため、転動体が振動体の伸縮方向に転動する際の転動体と板バネとの間の摩擦力、あるいは転動体と収容ケースとの間の摩擦力を小さくすることができ、収容ケースの移動を円滑にすることが可能となる。また、転動体が転動する溝部が形成されており、転動体の一部が溝部に嵌るので、板バネと収容ケースの間から転動体が抜け落ちてしまうこともない。
【００１６】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、ガイド軸は円形断面の軸とし、ガイド軸が挿通されるガイド穴は円形断面の穴とすることとしてもよい。
【００１７】
円形断面のガイド軸やガイド穴は、旋盤加工によって形成することができるので、高精度で製造することができる。従って、ガイド穴の内径をガイド軸の外径よりも大きく形成する際、ガイド軸の外径とガイド穴の内径の寸法差をたいへん小さくすることができる。その結果、板バネおよび転動体で振動体の屈曲方向に収容ケースを付勢することによって、振動体の屈曲方向に収容ケースが動くことを確実に回避することが可能となる
【００１８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケース取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を有するロボットハンドとして把握することもできる。
【００１９】
このような本発明のロボットハンドでは、指部を移動さえる駆動部を小型化することができるので、ロボットハンドの小型化を図ることが可能となる。
【００２０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部を含み、対象物を把持するロボットハンドであって、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を有するロボットハンドとして把握することもできる。
【００２１】
このような本発明のロボットハンドでは、指部を移動さえる駆動部を小型化することができるので、ロボットハンドの小型化を図ることが可能となる。
【００２２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備えるロボットとして把握することもできる。
【００２３】
このような本発明のロボットでは、関節部を屈曲あるいは回転させる駆動部を小型化することができるので、ロボットの小型化を図ることが可能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。
【００２４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備えるロボットとして把握することもできる。
【００２５】
このような本発明のロボットでは、関節部を屈曲あるいは回転させる駆動部を小型化することができるので、ロボットの小型化を図ることが可能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。
【００２６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２７】
このような本発明の電子部品搬送装置では、把持部を駆動する圧電モーターを小型化することができるので、電子部品搬送装置の小型化を図ることが可能となる。
【００２８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２９】
このような本発明の電子部品搬送装置では、把持部を駆動する圧電モーターを小型化することができるので、電子部品搬送装置の小型化を図ることが可能となる。
【００３０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品検査装置として把握することもできる。
【００３１】
このような本発明の電子部品検査装置では、把持部を駆動する圧電モーターを小型化することができるので、電子部品検査装置の小型化を図ることが可能となる。
【００３２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子部品検査装置として把握することもできる。
【００３３】
このような本発明の電子部品検査装置では、把持部を駆動する圧電モーターを小型化することができるので、電子部品検査装置の小型化を図ることが可能となる。
【００３４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える送液ポンプとして把握することもできる。
【００３５】
このような本発明の送液ポンプでは、移動部を駆動する駆動部を小型化することができるので、送液ポンプの小型化を図ることが可能となる。
【００３６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能な液体チューブと、
前記液体チューブの一部に当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える送液ポンプとして把握することもできる。
【００３７】
このような本発明の送液ポンプでは、移動部を駆動する駆動部を小型化することができるので、送液ポンプの小型化を図ることが可能となる。
【００３８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える印刷装置として把握することもできる。
【００３９】
このような本発明の印刷装置では、印刷ヘッドを移動させる駆動部を小型化することができるので、印刷装置の小型化を図ることが可能となる。
【００４０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える印刷装置として把握することもできる。
【００４１】
このような本発明の印刷装置では、印刷ヘッドを移動させる駆動部を小型化することができるので、印刷装置の小型化を図ることが可能となる。
【００４２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子時計として把握することもできる。
【００４３】
このような本発明の電子時計では、回転円板を駆動する駆動部を小型化することができるので、電子時計の小型化を図ることが可能となる。
【００４４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える電子時計として把握することもできる。
【００４５】
このような本発明の電子時計では、回転円板を駆動する駆動部を小型化することができるので、電子時計の小型化を図ることが可能となる。
【００４６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える投影装置として把握することもできる。
【００４７】
このような本発明の投影装置では、調整部を駆動する駆動部を小型化することができるので、投影装置の小型化を図ることが可能となる。
【００４８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える投影装置として把握することもできる。
【００４９】
このような本発明の投影装置では、調整部を駆動する駆動部を小型化することができるので、投影装置の小型化を図ることが可能となる。
【００５０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記収容ケースに取り付けられた板バネと、
前記収容ケースに取り付けられた前記板バネと前記支持体との間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える搬送装置として把握することもできる。
【００５１】
このような本発明の搬送装置では、搬送装置の構造を簡単にすることができるので、搬送装置の小型化を実現可能となる。
【００５２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースが取り付けられる支持体と、
前記収容ケースと前記支持体との間に設けられ、前記収容ケースを前記伸縮方向に付勢する付勢バネと、
前記収容ケースの前記屈曲方向の端面側に前記伸縮方向と平行に設けられ、前記収容ケースまたは前記支持体の何れか一方に固定されたガイド軸と
前記収容ケースまたは前記支持体のうちの前記ガイド軸が固定されていない側に設けられ、前記ガイド軸が摺動可能に挿通されるガイド穴と、
前記収容ケースを挟んで前記ガイド軸とは反対側に設けられ、両端が前記支持体に取り付けられた板バネと、
前記支持体に取り付けられた前記板バネと前記収容ケースとの間に設けられて、前記伸縮方向に転動可能な転動体と、
を備える搬送装置として把握することもできる。
【００５３】
このような本発明の搬送装置では、搬送装置の構造を簡単にすることができるので、搬送装置の小型化を実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。
【図２】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図３】本実施例の圧電モーターが、振動体の凸部を対象物に押し付ける構造を示した説明図である。
【図４】変形例の圧電モーターの構成を示した説明図である。
【図５】本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。
【図６】ロボットハンドを備えた単腕のロボットを例示した説明図である。
【図７】ロボットハンドを備えた複腕のロボットを例示した説明図である。
【図８】本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図９】把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。
【図１０】本実施例の圧電モーターを組み込んだ送液ポンプを例示した説明図である。
【図１１】本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。
【図１２】本実施例の圧電モーターを組み込んだ電子時計を例示した説明図である。
【図１３】本実施例の圧電モーターを組み込んだ投影装置を例示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
図１は、本実施例の圧電モーター１００の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）に示されるように本実施例の圧電モーター１００は、圧電材料を含んで形成された振動体１１０と、振動体１１０を収容した収容ケース１２０と、収容ケース１２０が取り付けられる支持体１３０などを備えている。振動体１１０は直方体形状に形成されており、振動体１１０の長手方向の端面には、セラミックス製で円柱形状に形成された凸部１１２が設けられている。
【００５６】
図面上で収容ケース１２０の右方向手前側には、振動体１１０の凸部１１２が突出する方向と平行に円形断面のガイド軸１４０が設けられている。ガイド軸１４０は、固定部１３２を介して支持体１３０に固定されている。また、ガイド軸１４０の両端は、収容ケース１２０に形成された円形断面のガイド穴１２２に挿通される。この状態で、収容ケース１２０は、ガイド軸１４０に沿って振動体１１０の凸部１１２が突出する方向に摺動可能となっている。
【００５７】
尚、本実施例の圧電モーター１００では、ガイド軸１４０が支持体１３０側に固定され、ガイド穴１２２が収容ケース１２０側に形成されているが、ガイド軸１４０を収容ケース１２０側に固定し、ガイド穴１２２を支持体１３０側に形成することとしてもよい。
【００５８】
また、収容ケース１２０のガイド穴１２２と支持体１３０の固定部１３２との間には、コイルばね１４２（付勢バネ）が設けられている。コイルばね１４２は、ガイド軸１４０に取り付けられた状態で設けられている。凸部１１２が突出する方向と反対側に収容ケース１２０を移動させると、ガイド穴１２２と固定部１３２との間でコイルばね１４２が圧縮され、コイルばね１４２によって収容ケース１２０が付勢される。更に、図面上で収容ケース１２０の左方向奥側には、支持体１３０から側壁１３４が立設されている。
【００５９】
図１（ｂ）には、側壁１３４と収容ケース１２０との間の部分の構造が示されている。図示されているように、側壁１３４には収容ケース１２０と面する側に板バネ１３６が設けられている。板バネ１３６は、両端が凹部１３５に嵌め込まれることによって、側壁１３４に取り付けられている。また、板バネ１３６と収容ケース１２０との間には、ガイド球１３８（転動体）が設けられている。ガイド球１３８は、板バネ１３６に形成されたスリット１３７（溝部）と、収容ケース１２０の側面に形成されたガイド溝１２３（溝部）とに係合した状態で、凸部１１２が突出する方向に転動可能となっている。
【００６０】
尚、本実施例の圧電モーター１００では、板バネ１３６と収容ケース１２０との間に球形のガイド球１３８を設けることとしているが、板バネ１３６と収容ケース１２０との間に設ける部材は、凸部１１２が突出する方向に転動可能な形状に形成されていればよい。従って、球形に限らず、例えば円柱形の部材をガイド球１３８の代わりに板バネ１３６と収容ケース１２０との間に設けることとしてもよい。
【００６１】
図２は、圧電モーター１００の動作原理を示す説明図である。図２（ａ）に示されているように、収容ケース１２０に収容された振動体１１０の表側の側面には、その側面を縦横に２分割（合計で４分割）するように４つの矩形形状の表電極１１４ａ〜ｄが形成されている。尚、４つの表電極１１４ａ〜ｄを区別する必要がない場合には、これらを単に表電極１１４と称することがある。また、図示は省略しているが、振動体１１０の裏側の側面には、その側面のほぼ全面に亘って裏電極が形成されている。圧電モーター１００は、振動体１１０の表電極１１４に一定周期で電圧を印加したときに、振動体１１０の凸部１１２が楕円運動することによって動作する。振動体１１０の凸部１１２が楕円運動するのは次の理由による。
【００６２】
先ず、振動体１１０は主に圧電材料によって形成されており、そして、周知のように圧電材料は正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図２（ａ）に示すように、４つの表電極１１４ａ〜ｄの全てに正電圧を印加した後、印加した電圧を解除することを繰り返すと、振動体は長手方向に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体１１０が長手方向に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。以下では、振動体１１０が伸縮する方向（図中の±Ｘ方向）を「伸縮方向」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体の物性と、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００６３】
また、図２（ｂ）あるいは図２（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１４を組（表電極１１４ａおよび表電極１１４ｄの組、あるいは表電極１１４ｂおよび表電極１１４ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体１１０は、長手方向の端面（凸部１１２が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図２（ｂ）に示したように、表電極１１４ａおよび表電極１１４ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１０は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図２（ｃ）に示したように、表電極１１４ｂおよび表電極１１４ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体１１０が屈曲振動する方向（図中の±Ｙ方向）を「屈曲方向」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体の物性と、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１４に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１０は屈曲方向に大きく首を振って振動する。
【００６４】
ここで、図２（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図２（ｂ）あるいは図２（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体の物性や、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１０に対して、図２（ｂ）あるいは図２（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図２（ｂ）あるいは図２（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図２（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図２（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１０の端面（凸部１１２が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図２（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１１０の端面が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。尚、以上の説明では振動体１１０に正電圧を印加するものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっても変形する。従って、振動体１１０に負電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良い。また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。
【００６５】
圧電モーター１００は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１１０の凸部１１２を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させると、振動体１１０が伸張する際には凸部１１２が対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動する。そして、振動体１１０が収縮する際には、凸部１１２が対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、凸部１１２から受ける摩擦力によって一方向に駆動される。
【００６６】
また、上述したように振動体１１０の楕円運動を発生させるためには、振動体１１０を伸縮方向（あるいは屈曲方向）に振動しうる状態で収容ケース１２０内に収容しておく必要がある。このため振動体１１０は、適度な弾性を呈する緩衝材（プラスチック、エラストマー、ゴム類など）を介して、収容ケース１２０に収容されている。
【００６７】
また、本実施例の圧電モーター１００では、摩擦力で対象物を駆動することから、振動体１１０の凸部１１２を対象物に押しつけた状態で使用する必要がある。そこで、以下のような構造によって凸部１１２を対象物に押し付けている。
【００６８】
図３は、本実施例の圧電モーター１００が、振動体１１０の凸部１１２を対象物に押し付ける構造を示した説明図である。尚、図３（ａ）には、参考として、本実施例の圧電モーター１００とは異なる構造によって振動体８１０の突部８１２を対象物に押し付ける参考例の圧電モーター８００の平面図が示されており、図３（ｂ）には、本実施例の圧電モーター１００の平面図が示されている。
【００６９】
図３（ａ）に示した参考例の圧電モーター８００では、収容ケース８２０は、本体ケース８３０に収容された状態で、本体ケース８３０との間に設けられたコイルばね８４０によって振動体８１０の伸縮方向に付勢されている。このため、振動体８１０の突部８１２が対象物Ｗに向かって押し付けられる。また、収容ケース８２０は、側方の２か所からコイルばね８３２によって本体ケース８３０の内壁面に押し付けられており、本体ケース８３０の内壁面との間、および収容ケース８２０とコイルばね８４２，８４３との間にはコロ８３４，８３６が設けられている。このように複雑な構造とするのは、収容ケース８２０（および振動体８１０）が、振動体８１０の伸縮方向には移動可能でありながら、屈曲方向には動かないようにガイドするためである。
【００７０】
これに対して、本実施例の圧電モーター１００では、収容ケース１２０が、ガイド軸１４０とガイド穴１２２とによって振動体１１０の伸縮方向にガイドされている。ガイド穴１２２もガイド軸１４０も円形断面に形成されているので、高い精度で製造することができる。ここで、ガイド穴１２２に対してガイド軸１４０が摺動可能でなければならないので、ガイド穴１２２の内径はガイド軸１４０の外径よりも大きく形成する必要があるが、摺動できればよいので、ごく僅かに大きく形成するだけでよい。従って、本実施例の圧電モーター１００の構造では、振動体１１０の屈曲方向には殆ど動かないような状態で、収容ケース１２０を振動体１１０の伸縮方向に付勢することができる。もちろん、収容ケース１２０が屈曲方向に全く動かないわけではないが、それでも僅かに動くだけなので、本実施例の圧電モーター１００のように、板バネ１３６とガイド球１３８などの転動体を用いて付勢するだけの簡単な構造で十分である。その結果、圧電モーター１００の構造を簡単にすることができるので、圧電モーター１００を小型化することが可能となる。
【００７１】
以下では、上述した本実施例の圧電モーター１００の変形例について説明する。尚、変形例の説明にあたっては、上述の実施例と同様の構成部分については、先に説明した実施例と同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７２】
図４は、変形例の圧電モーター１７０の構成を示した説明図である。前述した実施例の圧電モーター１００では、板バネ１３６が支持体１３０側（側壁１３４）に設けられ、ガイド球１３８が板バネ１３６と収容ケース１２０との間に設けられていた（図１を参照）。これに対して、変形例の圧電モーター１７０では、図４に示されるように、板バネ１３６が収容ケース１２０側に設けられており、ガイド球１３８が板バネ１３６と支持体１３０の側壁１３４との間に設けられている。このようにしても、本実施例の圧電モーター１００と同様に、圧電モーター１７０の構造を簡単にすることができるので、圧電モーター１７０を小型化することが可能となる。
【００７３】
上述した本実施例の圧電モーター１００は、構造が単純で小型化することができるので、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。
【００７４】
図５は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだロボットハンド２００を例示した説明図である。図示したロボットハンド２００は、基体２０２から複数本の指部２０３が立設されており、手首２０４を介してアーム２１０に接続されている。ここで、指部２０３の根元の部分は基体２０２内で移動可能となっており、この指部２０３の根元の部分に凸部１１２を押しつけた状態で圧電モーター１００が搭載されている。このため、圧電モーター１００を動作させることで、指部２０３を移動させて対象物を把持することができる。この圧電モーター１００は、複数の指部２０３の間隔を変更する「駆動部」となっている。また、手首２０４の部分にも、手首２０４の端面に凸部１１２を押しつけた状態で圧電モーター１００が搭載されている。このため、圧電モーター１００を動作させることで、基体２０２全体を回転させることが可能である。
【００７５】
図６は、ロボットハンド２００（ハンド部）を備えた単腕のロボット２５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２（リンク部材）と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０（腕部）を有している。また、ロボットハンド２００はアーム２１０の先端に接続されている。そして、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動部として圧電モーター１００が内蔵されている。このため、圧電モーター１００を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００７６】
図７は、ロボットハンド２００を備えた複腕のロボット２６０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２６０は、複数本のリンク部２１２と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０を複数本（図示した例では２本）有している。アーム２１０の先端には、ロボットハンド２００や、工具２０１（ハンド部）が接続されている。また、頭部２６２には複数台のカメラ２６３が搭載され、本体部２６４の内部には全体の動作を制御する制御部２６６が搭載されている。更に、本体部２６４の底面に設けられたキャスター２６８によって搬送可能である。このロボット２６０にも、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動部として圧電モーター１００が内蔵されている。このため、圧電モーター１００を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００７７】
図８は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んで構成された電子部品検査装置３００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置３００は、大まかには基体３１０と、基体３１０の側面に立設された支持体３３０とを備えている。基体３１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ３１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ３１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ３１２ｕと下流側ステージ３１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置３１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台３１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。
【００７８】
また、支持体３３０には、基体３１０の上流側ステージ３１２ｕおよび下流側ステージ３１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ３３２が設けられており、Ｙステージ３３２からは、基体３１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部３３４が延設されている。また、腕部３３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ３３６が設けられている。そして、Ｘステージ３３６には、撮像カメラ３３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置３５０が設けられている。また、把持装置３５０の先端には、電子部品１を把持する把持部３５２が設けられている。更に、基体３１０の前面側には、電子部品検査装置３００の全体の動作を制御する制御装置３１８も設けられている。尚、本実施例では、支持体３３０に設けられたＹステージ３３２や、腕部３３４や、Ｘステージ３３６や、把持装置３５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
【００７９】
以上のような構成を有する電子部品検査装置３００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ３１２ｕに載せられて、検査台３１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、上流側ステージ３１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置３５０を移動させる。このとき、撮像カメラ３３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置３５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置３５０を降下させて、把持部３５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置３５０を撮像装置３１４の上に移動させて、撮像装置３１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置３５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置３５０を検査台３１６の上まで移動させた後、把持装置３５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台３１６の上にセットする。把持装置３５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台３１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台３１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台３１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、下流側ステージ３１２ｄの上まで把持装置３５０を移動させ、下流側ステージ３１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ３１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【００８０】
図９は、把持装置３５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置３５０内には、把持部３５２に接続された回転軸３５４や、回転軸３５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート３５６などが設けられている。また、微調整プレート３５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能である。
【００８１】
ここで、図９に斜線を付して示されるように、回転軸３５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１００θが搭載されており、圧電モーター１００θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸３５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１００θを動作させることによって、回転軸３５４（および把持部３５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート３５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１００ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１００ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート３５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｘを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１００ｙを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図９の電子部品検査装置３００は、圧電モーター１００θ、圧電モーター１００ｘ、圧電モーター１００ｙを動作させることにより、把持部３５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。
【００８２】
図１０は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んで構成された送液ポンプ４００を例示した説明図である。図１０（ａ）には送液ポンプ４００を上面視した平面図が示されており、図１０（ｂ）には送液ポンプ４００を側面視した断面図が示されている。図示されるように送液ポンプ４００は、矩形形状のケース４０２内に円板形状のローター４０４（移動部）が回転可能に設けられており、ケース４０２とローター４０４との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ４０６（液体チューブ）が挟持されている。また、チューブ４０６の一部は、ローター４０４に設けられたボール４０８（閉塞部）によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター４０４が回転すると、ボール４０８がチューブ４０６を押しつぶす位置が移動するので、チューブ４０６の液体が送液される。そして、本実施例の圧電モーター１００の凸部１１２をローター４０４の側面に押し付けた状態で設ければ、ローター４０４を駆動する駆動部として用いることができる。こうすれば、極僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ４００を実現することができる。
【００８３】
図１１は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ印刷装置５００を例示した斜視図である。図示した印刷装置５００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。尚、印刷装置５００が印刷する「画像」には、文字、図形、絵画、模様、写真映像などが含まれるものとする。印刷装置５００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ５０１や、排出口５０２や、複数の操作ボタン５０５が設けられている。また、背面側には、ロール状に巻いた印刷媒体２（ロール紙５０４）をセットする用紙ホルダー５０３が設けられている。用紙ホルダー５０３にロール紙５０４をセットして操作ボタン５０５を操作すると、用紙ホルダー５０３にセットされたロール紙５０４が吸い込まれて、印刷装置５００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷される。また、ロール紙５０４は、印刷装置５００の内部に搭載された後述の切断機構５３０で切断された後、排出口５０２から排出される。
【００８４】
印刷装置５００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド５２０と、印刷ヘッド５２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール５１０が設けられている。また、図示した印刷ヘッド５２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する印字部５２２や、印刷ヘッド５２０を主走査方向に走査するための走査部５２４などから構成されている。印字部５２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、走査部５２４には、駆動部としての圧電モーター１００ｍ，１００ｓが搭載されている。圧電モーター１００ｍの凸部（図示は省略）はガイドレール５１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｍを動作させることで、印刷ヘッド５２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１００ｓの凸部１１２は、印字部５２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｓを動作させることで、印字部５２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷装置５００には、ロール紙５０４を切断するための切断機構５３０も搭載されている。切断機構５３０は、用紙カッター５３６を先端に搭載したカッターホルダー５３４と、カッターホルダー５３４を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸５３２とを備えている。カッターホルダー５３４内には圧電モーター１００ｃが搭載されており、圧電モーター１００ｃの図示しない凸部はガイド軸５３２に押し付けられている。このため、圧電モーター１００ｃを動作させるとカッターホルダー５３４がガイド軸５３２に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター５３６がロール紙５０４を切断する。また、印刷媒体２を紙送りするための駆動部としても、圧電モーター１００を用いることも可能である。
【００８５】
図１２は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ電子時計６００の内部構造を例示した説明図である。図１２では、電子時計６００の時刻表示側とは反対側（裏蓋側）から見た平面図が示されている。図１２に例示した電子時計６００の内部には、円板形状の回転円板６０２と、回転円板６０２の回転を、時刻を表示する指針（図示省略）に伝達する歯車列６０４と、回転円板６０２を駆動する駆動部としての圧電モーター１００と、電力供給部６０６と、水晶チップ６０８と、ＩＣ６１０とを備えている。また、電力供給部６０６や、水晶チップ６０８、ＩＣ６１０は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列６０４は、図示しないラチェットを含む複数の歯車で構成されており、隣り合う歯車同士の歯を噛み合わせて順次回転を伝達するように配列されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図１２では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。
【００８６】
回転円板６０２には、同軸に小さな歯車６０２ｇが設けられており、この歯車６０２ｇが歯車列６０４と噛み合わされている。このため回転円板６０２の回転は、所定の比率で減速されながら歯車列６０４を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達されて時刻を表示する。そして、本実施例の圧電モーター１００の凸部１１２を回転円板６０２の側面に押し付けた状態で設ければ、回転円板６０２を回転させる駆動部として用いることができる。
【００８７】
図１３は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ投影装置７００を例示した説明図である。図示されるように投影装置７００は、光学レンズを含んだ投影部７０２を備えており、内蔵する光源（図示は省略）からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部７０２に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整部７０４を、本実施例の圧電モーター１００を駆動部として用いて駆動するようにしても良い。圧電モーター１００は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー７０６で投影部７０２の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー７０６を開閉するための駆動部として、本実施例の圧電モーター１００を用いることもできる。
【００８８】
以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【符号の説明】
【００８９】
１…電子部品、    ２…印刷媒体、    １００…圧電モーター、
１１０…振動体、    １１２…凸部、    １１４…表電極、
１２０…収容ケース、    １２２…ガイド穴、    １２３…ガイド溝、
１３０…支持体、    １３２…固定部、    １３４…側壁、
１３５…凹部、    １３６…板バネ、    １３７…スリット、
１３８…ガイド球、    １４０…ガイド軸、    １４２…コイルばね、
１７０…圧電モーター、    ２００…ロボットハンド、    ２０１…工具、
２０２…基体、    ２０３…指部、    ２０４…手首、
２１０…アーム、    ２１２…リンク部、    ２２０…関節部、
２５０…ロボット、    ２６０…ロボット、    ２６２…頭部、
２６３…カメラ、    ２６４…本体部、    ２６６…制御部、
２６８…キャスター、    ３００…電子部品検査装置、    ３１０…基体、
３１２ｄ…下流側ステージ、  ３１２ｕ…上流側ステージ、    ３１４…撮像装置、
３１６…検査台、    ３１８…制御装置、    ３３０…支持体、
３３４…腕部、    ３３８…撮像カメラ、    ３５０…把持装置、
３５２…把持部、    ３５４…回転軸、    ３５６…微調整プレート、
４００…送液ポンプ、    ４０２…ケース、    ４０４…ローター、
４０６…チューブ、    ４０８…ボール、    ５００…印刷装置、
５０１…排紙トレイ、    ５０２…排出口、    ５０３…用紙ホルダー、
５０４…ロール紙、    ５０５…操作ボタン、    ５１０…ガイドレール、
５２０…印刷ヘッド、    ５２２…印字部、    ５２４…走査部、
５３０…切断機構、    ５３２…ガイド軸、    ５３４…カッターホルダー、
５３６…用紙カッター、    ６００…電子時計、    ６０２…回転円板、
６０２ｇ…歯車、    ６０４…歯車列、    ６０６…電力供給部、
６０８…水晶チップ、    ６１０…ＩＣ、    ７００…投影装置、
７０２…投影部、    ７０４…調整部、    ７０６…レンズカバー、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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