(57)【要約】【課題】本発明は、パッケージ内に形成される電極による浮遊容量の発生が抑えられた圧電発振器を提供する。【解決手段】圧電発振器（１００）は、圧電振動片（１１０）と、励振電極（１１１）と、一端側と他端側とに引き出された一対の引出電極（１１２）と、励振電極を励振させる一対の圧電端子（１２５ａ）、電源を接続される電源端子、励振電極が励振した周波数を出力する出力端子、及び接地用のグランド端子を有する発振回路（１２０）と、一対の圧電端子から一対の引出電極まで配線する一対の配線電極（１３９）を有するパッケージ（１３０）と、を備え、一対の圧電端子が、互いに対向する位置に配置され、一対の圧電端子の両側に、電源端子、出力端子及びグランド端子の少なくとも１つが配置され、一対の配線電極が、圧電端子から互いに逆方向に引き出されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に伸びる第１辺と該第１方向と直交する第２方向に伸びる第２辺とを有する矩形状の圧電振動片と、
前記圧電振動片の中央領域の両主面に形成された励振電極と、
前記一対の励振電極からそれぞれ前記第１方向に前記圧電振動片の一端側と他端側とに引き出された一対の引出電極と、
前記圧電振動片の前記励振電極を励振させる一対の圧電端子、電源を接続される電源端子、前記励振電極が励振した周波数を出力する出力端子、及び接地用のグランド端子を有する発振回路と、
前記一対の圧電端子から前記一対の引出電極まで配線する一対の配線電極を有するパッケージと、を備え、
前記一対の圧電端子は、前記発振回路の前記第１方向に互いに対向する位置に配置され、前記一対の圧電端子の間には、前記電源端子、前記出力端子及び前記グランド端子の少なくとも１つが配置され、
前記一対の配線電極は、前記圧電端子から前記第１方向に互いに逆方向に引き出されている圧電発振器。
【請求項２】
前記発振回路は、さらに前記出力端子からの出力をオンオフするスタンバイ端子又は前記周波数を制御する周波数制御電圧端子を含む請求項１に記載の圧電発振器。
【請求項３】
前記一対の配線電極の一部はそれぞれ前記パッケージの外側にも形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電発振器。
【請求項４】
前記圧電振動片と前記発振回路とは、前記第１及び第２方向と交差する方向から見て、互いに重なり合う位置に配置される請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電発振器。
【請求項５】
前記発振回路と前記圧電振動片とが前記パッケージ内の同じキャビティに配置される請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電発振器。
【請求項６】
前記発振回路と前記圧電振動片とが前記パッケージ内のそれぞれ別のキャビティに配置される請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片及び発振回路を有する圧電発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動周波数で振動する圧電振動片と、発振回路と、圧電振動片及び発振回路が載置されるキャビティが形成されたセラミックパッケージと、を有する圧電発振器が知られている。このような圧電発振器は発振回路が複数の端子を有しているため、これらの端子に対応した複数の配線電極がセラミックパッケージ内に張り巡らされる。交差する配線電極は、配線電極間のセラミック層によって浮遊容量を発生させてしまい、圧電振動片の振動の特性を低下させる場合がある。このため、例えば特許文献１は、圧電振動片と発振回路とが重ならないようにして、且つ特許文献１の図面に示されるようにパッケージ内の配線電極が交差しないようにして、浮遊容量の発生を抑えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−０１８９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、省スペース化のために、高さ方向に圧電振動片と発振回路とが重なる圧電発振器が求められている。また、特許文献１に開示された圧電発振器は、電極が圧電振動片に重ならないように迂回して形成されているため、電極の形成距離が長くなっており、その分、電極の電気抵抗が増加する。
【０００５】
本発明は、パッケージ内に形成される電極による浮遊容量の発生が抑えられた圧電発振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１観点の圧電発振器は、第１方向に伸びる第１辺と該第１方向と直交する第２方向に伸びる第２辺とを有する矩形状の圧電振動片と、圧電振動片の中央領域の両主面に形成された励振電極と、一対の励振電極からそれぞれ第１方向に圧電振動片の一端側と他端側とに引き出された一対の引出電極と、圧電振動片の励振電極を励振させる一対の圧電端子、電源を接続される電源端子、励振電極が励振した周波数を出力する出力端子、及び接地用のグランド端子を有する発振回路と、一対の圧電端子から一対の引出電極まで配線する一対の配線電極を有するパッケージと、を備える。一対の圧電端子は、発振回路の第１方向に互いに対向する位置に配置され、一対の圧電端子の間には、電源端子、出力端子及びグランド端子の少なくとも１つが配置される。また、一対の配線電極が、圧電端子から第１方向に互いに逆方向に引き出されている。
【０００７】
第２観点の圧電発振器の発振回路は、さらに出力端子からの出力をオンオフするスタンバイ端子又は周波数を制御する周波数制御電圧端子を含む。
第３観点の圧電発振器は、第１観点及び第２観点において、一対の配線電極の一部がそれぞれパッケージの外側にも形成される。
【０００８】
第４観点の圧電発振器において、圧電振動片と発振回路とが、第１及び第２方向と交差する方向から見て、互いに重なり合う位置に配置される。
第５観点の圧電発振器は、第１観点から第４観点において、発振回路と圧電振動片とがパッケージ内の同じキャビティに配置される。
第６観点の圧電発振器は、第１観点から第４観点において、発振回路と圧電振動片とがパッケージ内のそれぞれ別のキャビティに配置される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の圧電発振器によれば、パッケージ内に形成される電極による浮遊容量の発生が抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】圧電発振器１００の分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）は、圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面の平面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１１０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。  （ｃ）は、発振回路１２０の平面図である。
【図４】（ａ）は、パッケージ１３０の第１層１３０ａの平面図である。  （ｂ）は、パッケージ１３０の第２層１３０ｂの平面図である。  （ｃ）は、パッケージ１３０の第３層１３０ｃの平面図である。
【図５】（ａ）は、発振回路２２０の平面図である。  （ｂ）は、パッケージの第３層２３０ｃの平面図である。
【図６】圧電発振器３００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１２】
（第１実施形態）
＜圧電発振器１００の構成＞
図１は、圧電発振器１００の分解斜視図である。圧電発振器１００は、表面実装型の圧電発振器であり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電発振器１００は主に、圧電振動片１１０と、発振回路１２０と、パッケージ１３０と、リッド板１４０と、により形成されている。圧電振動片１１０には、例えば、ＡＴカットの水晶振動片を用いることができる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電発振器１００において圧電発振器１００の長手方向をＸ軸方向、圧電発振器１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ軸方向及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００１３】
圧電振動片１１０は、矩形形状に形成されている。圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面にはそれぞれ励振電極１１１が形成され、各励振電極１１１から＋Ｘ軸側又は−Ｘ軸側の辺には引出電極１１２が引き出されている。
【００１４】
発振回路１２０は、圧電振動片１１０と電気的に接続されて電気回路が形成される。発振回路１２０は−Ｙ’軸側の面に複数の端子が形成されており、これらの端子が圧電振動片１１０の引出電極１１２又はパッケージ１３０に形成される外部電極１３５に電気的に接続される。
【００１５】
パッケージ１３０は、Ｘ軸方向に長辺、Ｚ’軸方向に短辺が形成されている。また、−Ｙ’軸側の面には外部電極１３５が形成されており、＋Ｙ’軸側の面には圧電振動片１１０及び発振回路１２０が載置される凹部１３１が形成されている。凹部１３１の周りには、リッド板１４０に接合される接合面１３２が形成されている。また、凹部１３１には、圧電振動片１１０が載置される載置部１３３が形成されており、載置部１３３の＋Ｙ’軸側の面には、圧電振動片１１０の引出電極１１２と導電性接着剤１５２（図２参照）を介して電気的に接続される接続電極１３４が形成されている。パッケージ１３０は、例えばセラミックを基材としており、第１層１３０ａ、第２層１３０ｂ、及び第３層１３０ｃの３つの層が重ね合わされることにより形成されている。第１層１３０ａは、パッケージ１３０の＋Ｙ’軸側に配置され、第１層１３０ａの＋Ｙ’軸側の面には接合面１３４が形成されている。第２層１３０ｂは、第１層１３０ａの−Ｙ’軸側の面に接合されており、第２層１３０ｂは載置部１３３を形成している。第３層１３０ｃは、第２層１３０ｂの−Ｙ’軸側の面に形成されており、第３層１３０ｃの−Ｙ’軸側の面には外部電極１３５が形成されている。また、パッケージ１３０の四隅の側面にはキャスタレーション１３７ａが形成され、パッケージ１３０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の側面にはキャスタレーション１３７ｂが形成され、パッケージ１３０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各側面の２箇所にはキャスタレーション１３７ｃが形成されている。キャスタレーション１３７ｂの第２層１３０ｂには、圧電発振器１００が完成した後に圧電振動片の振動周波数を検査するための検査電極１３６ａが形成されている。キャスタレーション１３７ｃの第３層１３０ｃには側面電極１３６ｂが形成されている。
【００１６】
リッド板１４０は、平板状に形成されており、パッケージ１３０の接合面１３２に封止材１５１（図２参照）を介して接合されることにより、パッケージ１３０の凹部１３１を密封する。
【００１７】
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電発振器１００は、パッケージ１３０の凹部１３１がリッド板１４０で密封されることにより、圧電発振器１００の内部にキャビティ１６１が形成される。キャビティ１６１には、圧電振動片１１０と、発振回路１２０と、が載置される。圧電振動片１１０は、パッケージ１３０の第２層１３０ｂに形成される載置部１３３に載置され、発振回路１２０は、第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面に載置される。第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面から載置部１３３の＋Ｙ’軸側の面までには配線電極１３９が形成される。この配線電極１３９は、載置部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成される接続電極１３９、及びキャスタレーション１３７ｂに形成される検査電極１３６ａを含んでいる。配線電極１３９は発振回路１２０の圧電端子１２５ａとバンプ１５３を介して電気的に接続され、また、圧電振動片１１０の引出電極１１２に導電性接着剤１５２を介して電気的に接続される。
【００１８】
図３（ａ）は、圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面の平面図である。圧電振動片１１０は、Ｘ軸方向に長辺、Ｚ’軸方向に短辺を有する矩形形状の平面を有している。圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面の中央領域には励振電極１１１が形成されており、さらに励振電極１１１からは−Ｘ軸側の辺に引出電極１１２が引き出されている。−Ｘ軸側の辺に引き出された引出電極１１２は圧電振動片１１０の−Ｘ軸側の辺に沿って形成されており、さらに圧電振動片１１０の−Ｘ軸側の側面に形成されている引出電極１１２ａを介して圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の辺には、−Ｙ’軸側の励振電極１１１から引き出された引出電極１１２が＋Ｘ軸側の辺に沿って形成されている。
【００１９】
図３（ｂ）は、圧電振動片１１０の−Ｙ’軸側の面の平面図である。圧電振動片１１０の−Ｙ’軸側の面の中央領域には励振電極１１１が形成されており、さらに励振電極１１１からは＋Ｘ軸側の辺に引出電極１１２が引き出されている。＋Ｘ軸側の辺に引き出された引出電極１１２は圧電振動片１１０の＋Ｘ軸側の辺に沿って形成されており、さらに圧電振動片１１０の＋Ｘ軸側の側面に形成されている引出電極１１２ａを介して圧電振動片１１０の＋Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、圧電振動片１１０の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の辺には、＋Ｙ’軸側の励振電極１１１から引き出された引出電極１１２が−Ｘ軸側の辺に沿って形成されている。
【００２０】
図３（ｃ）は、発振回路１２０の平面図である。発振回路１２０は、−Ｙ’軸側の面に６つの端子が形成されている。図３（ｃ）では、発振回路１２０の−Ｙ’軸側に形成される６つの端子が点線で描かれる円で示されている。発振回路１２０の−Ｚ’軸側の−Ｘ軸側には電源端子１２１ａが形成されている。電源端子１２１ａは電源に接続される端子である。発振回路１２０の−Ｚ’軸側の＋Ｘ軸側には出力端子１２２ａが形成されている。出力端子１２２ａは、圧電振動片１２０が振動する周波数を圧電発振器１００の外部に出力する端子である。発振回路１２０の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側には周波数制御電圧端子１２３ａが形成されている。周波数制御電圧端子１２３ａは圧電振動片１１０の振動周波数を調整するための端子である。発振回路１２０の＋Ｚ’軸側の＋Ｘ軸側にはグランド端子１２４ａが形成されており、グランド端子１２４ａは接地される。発振回路１２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側であり、出力端子１２２ａとグランド端子１２４ａとの間、及び電源端子１２１ａと周波数制御電圧端子１２３ａとの間には、それぞれ圧電端子１２５ａが互いに対向する位置に形成されている。各圧電端子１２５ａはそれぞれ圧電振動片１１０の引出電極１１２に電気的に接続される。
【００２１】
図４（ａ）は、パッケージ１３０の第１層１３０ａの平面図である。第１層１３０ａの＋Ｙ’軸側の面には、リッド板１４０に封止材１５１を介して接合される接合面１３２が形成されている。また、接合面１３２の内側はＹ’軸方向に貫通した空間であり、この空間は、パッケージ１３０の凹部１３１の一部を形成する。
【００２２】
図４（ｂ）は、パッケージ１３０の第２層１３０ｂの平面図である。第２層１３０ｂの＋Ｙ’軸側の面は第１層１３０ａの−Ｙ’軸側の面に接合し、第２層１３０ｂの−Ｙ’軸側の面は第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面に接合される。また、第２層１３０ｂの＋Ｙ’軸側の面の一部には接続電極１３４が形成され、第２層１３０ｂのキャスタレーション１３７ｂには検査端子１３６ａが形成され、接続電極１３４と検査端子１３６ａとは互いに電気的に接続される。また、第２層１３０ｂの中央には、第２層１３０ｂをＹ’軸方向に貫通する空間が形成されており、この空間は、パッケージ１３０の凹部１３１の一部を形成する。
【００２３】
図４（ｃ）は、パッケージ１３０の第３層１３０ｃの平面図である。図４（ｃ）には、説明のために、第３層１３０ｃの−Ｙ’軸側の面の四隅にそれぞれ形成される４つの外部電極１３５及び第２層１３０ｂに形成される検査電極１３６ａが点線で示されている。第３層１３０ｃの４か所に形成されているキャスタレーション１３７ｃにはそれぞれ側面電極１３６ｂが形成されており、各外部電極１３５と各側面電極１３６ｂとはそれぞれ一対一に対応して電気的に接続されている。また、第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面の中央付近には、発振回路１２０の６つの端子に対応した６つの電極が形成されている。６つの電極の−Ｚ’軸側の−Ｘ軸側には電源電極１２１ｂが形成されている。電源電極１２１ｂは、発振回路１２０の電源端子１２１ａにバンプ１５３を介して電気的に接続される。６つの電極の−Ｚ’軸側の＋Ｘ軸側には出力電極１２２ｂが形成されている。出力電極１２２ｂはバンプ１５３を介して発振回路１２０の出力端子１２２ａに電気的に接続される。６つの電極の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側には周波数制御電圧電極１２３ｂが形成されている。周波数制御電圧電極１２３ｂは、発振回路１２０の周波数制御電圧端子１２３ａにバンプ１５３を介して電気的に接続される。６つの電極の＋Ｚ’軸側の＋Ｘ軸側にはグランド電極１２４ｂが形成されている。グランド電極１２４ｂは、発振回路１２０のグランド端子１２４ａにバンプ１５３を介して電気的に接続される。６つの電極の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側であり、出力電極１２２ｂとグランド電極１２４ｂとの間、及び電源電極１２１ｂと周波数制御電圧電極１２３ｂとの間には、それぞれ圧電電極１２５ｂが形成されている。圧電電極１２５ｂは配線電極１３９の一部を構成している。各圧電電極１２５ｂは発振回路１２０の圧電端子１２５ａにそれぞれ電気的に接続される。電源電極１２１ｂ、出力電極１２２ｂ、周波数制御電圧電極１２３ｂ、及びグランド電極１２４ｂは、それぞれ最も近くに存在する側面電極１３６ｂに電気的に接続されている。＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に形成される圧電電極１２５ｂからは、それぞれ＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に配線電極１３９が伸びている。第３層１３０ｃの＋Ｙ’軸側の面に形成されている各配線電極１３９は、それぞれ第２層１３０ｂのキャスタレーション１３７ｂに形成される検査電極１３６ａに電気的に接続されている。
【００２４】
圧電発振器１００は振動周波数の調整することができ、この調整範囲は圧電振動片１１０の励振電極１１１の面積に依存する。圧電発振器の大きさが小型化される場合、励振電極の面積が小さくなり、振動周波数の調整範囲も小さくなる。さらに、配線電極が浮遊容量を有する場合には、振動周波数の調整範囲がさらに小さくなる。圧電発振器１００では、発振回路１２０の圧電端子１２５ａが発振回路１２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に形成され、さらに各圧電電極１２５ｂからそれぞれ＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に配線電極１３９が伸びることにより、配線電極１３９が第３層１３０ｃ上に形成される他の電極にはＹ’軸方向に重ならないように形成されている。そのため、配線電極１３９が浮遊容量を有することが防がれており、圧電発振器１００の振動周波数の調整可能範囲が狭くなることが防がれている。また、図４（ｃ）に示されるように、配線電極１３９と外部電極１３５とがＹ’軸方向に重ならないように形成された場合にも、配線電極１３９が浮遊容量を有することが防がれる。また、浮遊容量の発生が抑えられることにより、ノイズの発生も防がれる。
【００２５】
また、発振回路１２０の圧電端子１２５ａが発振回路１２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に形成され、さらに各圧電電極１２５ｂからそれぞれ＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に配線電極１３９が伸びることにより、配線電極１３９の長さが最短距離、又は最短距離に近い長さに形成することができる。これにより、配線電極１３９が有する電気抵抗を小さくすることができ、配線電極１３９の電気抵抗の違いに起因するクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値等の圧電発振器１００の特性の違いを小さくすることができる。
【００２６】
（第２実施形態）
圧電発振器では、様々な変形例が考えられる。以下、発振回路、及びパッケージが圧電発振器１００とは異なる圧電発振器の変形例を説明する。また以下の説明では、第１実施形態と同じ部分に関しては、第１実施形態と同じ番号を付してその説明を省略する。
【００２７】
＜発振回路２２０の構成＞
発振回路には端子が８個形成されていてもよい。以下、８個の端子を有する発振回路２２０に関して説明する。
【００２８】
図５（ａ）は、発振回路２２０の平面図である。発振回路２２０は、−Ｙ’軸側の面に８つの端子が形成されている。発振回路２２０では、図３（ｃ）に示された発振回路１２０と同様に、電源端子２２１ａ、出力端子２２２ａ、周波数制御電圧端子２２３ａ、グランド端子２２４ａ、及び一対の圧電端子２２５ａが発振回路２２０の−Ｙ’軸側の面に形成されており、さらに、電源端子２２１ａと出力端子２２２ａとの間にはスタンバイ端子２２６ａが形成され、周波数制御電圧端子２２３ａとグランド端子２２４ａとの間には、予備端子２２７ａが形成されている。スタンバイ端子２２６ａは、出力端子２２２ａからの周波数の出力のオンオフ、つまり、周波数を出力するしないを制御することができる。予備端子２２７ａは圧電発振器の外部とは電気的に接続されない、予備の端子である。発振回路２２０においても、一対の圧電端子２２５ａが発振回路２２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の互いに対向する位置に形成されている。
【００２９】
図５（ｂ）は、発振回路２２０が載置されるパッケージの第３層２３０ｃの平面図である。第３層２３０ｃの＋Ｙ’軸側の面には、発振回路２２０に形成される各端子に対応する８つの電極が形成される。８つの電極の−Ｚ’軸側の−Ｘ軸側には電源電極２２１ｂが形成され、電源電極２２１ｂから時計回りに、スタンバイ電極２２６ｂ、出力電極２２２ｂ、圧電電極２２５ｂ、グランド電極２２４ｂ、予備電極２２７ｂ、周波数制御電圧電極２２３ｂ、及び圧電電極２２５ｂが形成されている。また、発振回路２２０が載置されるパッケージは、発振回路２２０の端子に合わせて、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の側面に、それぞれキャスタレーション２３７ｃが形成されている。キャスタレーション２３７ｃは、片側の側面に３か所ずつ、計６か所に形成されている。各キャスタレーション２３７ｃには側面電極２３６ｂが形成されており、それぞれ最も近くに形成されている、電源電極２２１ｂ、スタンバイ電極２２６ｂ、出力電極２２２ｂ、グランド電極２２４ｂ、予備電極２２７ｂ、及び周波数制御電圧電極２２３ｂのいずれか１つに電気的に接続される。また、第３層２３０ｃの−Ｙ’軸側の面には、外部電極２３５が四隅及び＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺の中央に形成されている。各外部電極２３５はそれぞれ側面電極２３６ｂに、一対一に対応して電気的に接続される。また、＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の圧電電極２２５ｂからは、それぞれ＋Ｘ軸方向及び−Ｘ軸方向に配線電極２３９が伸びている。
【００３０】
８個の端子が形成されている発振回路２２０においても、一対の圧電端子２２５ｂが＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に形成されている。そのため、発振回路１２０と同様に、パッケージ内に形成される配線電極２３９が、最短距離、又は最短距離に近い長さに形成することができる。また、配線電極２３９が他の端子から引き出されている電極に重なることがないため、配線電極２３９に浮遊容量が発生することが防がれている。
【００３１】
＜圧電発振器３００の構成＞
図６は、圧電発振器３００の断面図である。圧電発振器３００は主に、圧電振動片１１０と、発振回路１２０と、パッケージ３３０と、リッド板１４０と、により構成されている。また、パッケージ３３０は、第１層３３０ａと、第２層３３０ｂと、第３層３３０ｃと、第４層３３０ｄと、の４つの層により構成されている。第１層３３０ａは、パッケージ３３０の＋Ｙ’軸側に配置されている。第１層３３０ａの＋Ｙ’軸側の面は接合面３３２であり、封止材１５１を介してリッド板１４０に接合される。第１層３３０ａの−Ｙ’軸側の面は第２層３３０ｂに接合されている。第１層３３０ａの中心には第１層３３０ａをＹ’軸方向に貫通した空間が形成されている。第２層３３０ｂは、平板状に形成されている。第２層３３０ｂの＋Ｙ’軸側の面には接続電極３３４が形成されており、接続電極３３４には導電性接着剤１５２を介して圧電振動片１１０の引出電極１１２が電気的に接続される。また、リッド板１４０と、第１層３３０ａと、第２層３３０ｂと、に囲まれたキャビティ１６２には圧電振動片１１０が配置される。第２層３３０ｂの−Ｙ’軸側の面には、第３層３３０ｃが接合される。第３層３３０ｃの中央には、第３層をＹ’軸方向に貫通する空間が形成されており、＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の外側の側面には検査端子３３６ａが形成されている。第３層３３０ｃの−Ｙ’軸側の面には、平板状に形成された第４層３３０ｄが接合されている。第４層３３０ｄの＋Ｙ’軸側の面には配線電極３３９が形成されており、配線電極３３９はバンプ１５３を介して発振回路１２０の圧電端子１２５ａに電気的に接続される。また、第４層３３０ｄの＋Ｙ’軸側の面には、図４（ｃ）に示された第３層１３０ｃと同様に発振回路１２０の各端子に対応する複数の電極が形成されている。これらの第４層３３０ｄの＋Ｙ’軸側に形成される各電極は、図４（ｃ）に示された第３層１３０ｃと同様に、電極同士が互いにＹ’軸方向に重ならず、配線電極３３９が最短距離、又は最短距離に近い長さで形成されている。第４層３３０ｄの−Ｙ’軸側の面には外部電極１３５が形成されている。圧電発振器３００では、第２層３３０ｂと、第３層３３０ｃと、第４層３３０ｄと、で密閉されたキャビティ１６３が形成され、このキャビティ１６３の中には発振回路１２０が配置される。
【００３２】
圧電発振器３００においても、圧電発振器１００と同様に、配線電極３３９を、最短距離、又は最短距離に近い長さに形成することができる。また、配線電極３３９が他の端子から引き出されている電極に重なることがないため、配線電極３３９に浮遊容量が発生することが防がれている。
【００３３】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００３４】
例えば、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットなどであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００３５】
１００、３００  …  圧電発振器
１１０  …  圧電振動片
１１１  …  励振電極
１１２  …  引出電極
１２０、２２０  …  発振回路
１２１ａ、２２１ａ  …  電源端子
１２１ｂ、２２１ｂ  …  電源電極
１２２ａ、２２２ａ  …  出力端子
１２２ｂ、２２２ｂ  …  出力電極
１２３ａ、２２３ａ  …  周波数制御電圧端子
１２３ｂ、２２３ｂ  …  周波数制御電圧電極
１２４ａ、２２４ａ  …  グランド端子
１２４ｂ、２２４ｂ  …  グランド電極
１２５ａ、２２５ａ  …  圧電端子
１２５ｂ、２２５ｂ  …  圧電電極
１３０  …  パッケージ
１３０ａ、３３０ａ  …  第１層
１３０ｂ、３３０ｂ  …  第２層
１３０ｃ、３３０ｃ  …  第３層
１３１  …  凹部
１３２、３３２  …  接合面
１３３  …  載置部
１３４、３３４  …  接続電極
１３５  …  外部電極
１３６ａ、３３６ａ  …  検査電極
１３６ｂ  …  側面電極
１３７ａ、１３７ｂ、１３７ｃ  …  キャスタレーション
１３９、３３９  …  配線電極
１４０  …  リッド板
１５１  …  封止材
１５２  …  導電性接着剤
１５３  …  バンプ
１６１、１６２、１６３  …  キャビティ
３３０ｄ  …  第４層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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