(57)【要約】【課題】キャリッジの走査によりキャリッジに生じる振動によって噴射速度、液滴の着弾位置などの噴射特性が低下することを抑制し、好適な噴射特性をもつ液体噴射装置および液体噴射装置の制御方法を提供すること。【解決手段】記録ヘッド２を備えるプリンター１は、キャビティ内のインクに生じる圧力変動を逆起電力として検出する圧電素子を有する圧電装置１００と、記録ヘッド２および圧電装置１００を搭載したキャリッジ３を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構４と、記録ヘッド２による噴射動作を制御するプリントコントローラー１１０を備えている。プリントコントローラー１１０は、キャリッジ３を移動させることによって圧電装置１００の圧電素子に発生する逆起電力の変化に応じて、記録ヘッド２の圧電振動子に印加する噴射パルスを変更する。【選択図】図５
2013018225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生部の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドを移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドの移動に伴って、前記圧力発生部に液体を噴射させる噴射パルスを含む駆動信号を前記液体噴射ヘッドに供給して前記液体噴射ヘッドに液体を噴射させる噴射制御を行う制御部と、
液室が形成され、前記液室内の液体に生じる圧力変動を逆起電力として検出する圧電装置と、を備え、
前記移動機構は、前記液体噴射ヘッドとともに前記圧電装置を移動させ、
前記制御部は、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて、前記圧力発生部に印加される前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射装置において、
前記制御部は、前記噴射パルスの波形を、前記圧電装置が検出する逆起電力の変化量が大きいほど液体の噴射力が大きい波形に補正することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液体噴射装置において、
前記圧電装置は、前記液体噴射ヘッドが移動する期間に亘って逆起電力を検出し、
前記制御部は、前記噴射制御を行う期間に亘って検出された前記逆起電力の変化の推移に応じて前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液体噴射装置において、
前記制御部は、噴射力が異なる前記噴射パルスを含む複数の駆動信号から、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて前記噴射パルスを選択し、前記選択した噴射パルスを圧力発生部に印加することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液体噴射装置において、
前記制御部は、異なる種類の液滴を噴射させる複数の前記噴射パルスを含む駆動信号から、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて前記噴射パルスを選択し、前記選択した噴射パルスを圧力発生部に印加することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の液体噴射装置において、
液室が形成され、前記液室内の液体に生じる圧力変動を逆起電力として検出し、前記圧電装置とは圧力変動の検出方向が異なる第２圧電装置を備え、
前記移動機構は、前記圧電装置および前記第２圧電装置を前記液体噴射ヘッドとともに移動させ、
前記制御部は、前記圧電装置が検出した逆起電力および前記第２圧電装置が検出した逆起電力に応じて、前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の液体噴射装置において、
前記圧電装置が、前記液体噴射ヘッドの前記圧力発生部であることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項８】
圧力発生部の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置の制御方法であって、
液室内の液体に生じる圧力変動を圧電効果の逆起電力として検出する圧電装置を前記液体噴射ヘッドとともに移動させるステップと、
前記圧電装置が検出する逆起電力の変化に応じて、前記圧力発生部に印加される前記噴射パルスを補正するステップと、を含むことを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主走査方向に沿う液体噴射ヘッドの移動に伴って、記録紙などの媒体に液体を噴射する液体噴射装置および液体噴射装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の例として、液体噴射ヘッドである記録ヘッドを記録紙などの媒体の幅方向に移動させるとともに、ヘッドの移動に伴って記録ヘッドから媒体にインクを噴射させることにより媒体への記録を行うシリアル型のインクジェット式プリンターが広く知られている。
【０００３】
シリアル型のインクジェット式プリンターは、記録ヘッドと、記録ヘッドを搭載するキャリッジと、主走査方向にキャリッジを往復移動させるキャリッジ移動機構と、記録紙を紙送りする紙送り機構と、を備える。キャリッジは、ガイドロッドに軸支された状態で主走査方向にスライド可能に取り付けられており、キャリッジ移動機構の作動によって主走査方向に移動する。このような構成をもつプリンターでは、キャリッジに搭載された記録ヘッドを主走査方向に移動させるとともに、キャリッジに取り付けられたリニアエンコーダーがガイドロッドに沿って設けられたリニアスケールを読み取り、リニアエンコーダーにより得られた位置情報に応じて、記録ヘッドによるインクの噴射が制御される。
【０００４】
また、特許文献１には、インクカートリッジに圧電装置を設けた構成とし、圧電装置に生じた逆起電力から、インクカートリッジに残されたインクの状態を判定するようにしたシリアル型のインクジェットプリンターが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２９９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、シリアル型のインクジェット式プリンターでは、例えば、ガイドロッド、またはそのロッドを支持するフレームの歪み、あるいはリニアエンコーダーのスケール部の寸法精度に起因して、キャリッジに搭載した記録ヘッドをガイドロッドに沿って移動させる際にがたつきを生じ、キャリッジおよびこれに搭載される記録ヘッドに振動を生じることがある。この振動が、記録ヘッドのノズル内に形成されたメニスカスに伝わると、メニスカスの状態が設計段階で想定されていた所期のものとは異なる状態となるため、インク滴の噴射速度や着弾位置の精度などの噴射特性が低下し、好適な噴射特性が得られなくなってしまうという課題があった。
【０００７】
また、キャリッジおよび記録ヘッドの移動により生じる振動の強さは、主走査方向における位置に応じて変化する。例えば、フレームが反るようにして歪んでいる場合、主走査方向の中央から両端に向かってがたつきが徐々に大きくなって、振動が強まる傾向がある。このように、主走査方向における位置に応じてメニスカスに伝わる振動の強さが変化すると、主走査方向の位置に応じて噴射特性の低下量が変化することになるため、安定した好適な噴射特性を得ることができない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］圧力発生部の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドの移動に伴って、前記圧力発生部に液体を噴射させる噴射パルスを含む駆動信号を前記液体噴射ヘッドに供給して前記液体噴射ヘッドに液体を噴射させる噴射制御を行う制御部と、液室が形成され、前記液室内の液体に生じる圧力変動を逆起電力として検出する圧電装置と、を備え、前記移動機構は、前記液体噴射ヘッドとともに前記圧電装置を移動させ、前記制御部は、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて、前記圧力発生部に印加される前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【００１０】
この構成によれば、液体噴射ヘッドの移動に伴って生じる振動は、液体噴射ヘッドとともに移動する圧電装置によって逆起電力の変化として検出されて、圧力発生部に印加する噴射パルスが逆起電力の変化に応じて補正されるので、液体噴射ヘッドが移動するときに生じる振動に起因した噴射特性の低下を抑制できる。したがって、好適な噴射特性を有する液体噴射装置を得ることができる。
【００１１】
［適用例２］上記液体噴射装置において、前記制御部は、前記噴射パルスの波形を、前記圧電装置が検出する逆起電力の変化量が大きいほど液体の噴射力が大きい波形に補正することを特徴とする液体噴射装置。
【００１２】
この構成によれば、圧電装置に生じる逆起電力の変化が大きいほど、噴射力が大きい噴射パルスによって液体が噴射されるので、噴射特性の低下を補うようにしてこれを抑制することができる。
【００１３】
［適用例３］上記液体噴射装置において、前記圧電装置は、前記液体噴射ヘッドが移動する期間に亘って逆起電力を検出し、前記制御部は、前記噴射制御を行う期間に亘って検出された前記逆起電力の変化の推移に応じて前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【００１４】
この構成によれば、液体噴射ヘッドが移動する期間に亘って逆起電力が検出されて、逆起電力に応じた補正が行われるので、液体噴射ヘッドの移動に伴って噴射制御を行う期間における噴射特性の変化が抑制され、安定した好適な噴射特性を得ることができる。
【００１５】
［適用例４］上記液体噴射装置において、前記制御部は、噴射力が異なる前記噴射パルスを含む複数の駆動信号から、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて前記噴射パルスを選択し、前記選択した噴射パルスを圧力発生部に印加することを特徴とする液体噴射装置。
【００１６】
この構成によれば、複数の駆動信号を使って補正を行うことで、好適な噴射特性を有する液体噴射装置を得ることができる。
【００１７】
［適用例５］上記液体噴射装置において、前記制御部は、異なる種類の液滴を噴射させる複数の前記噴射パルスを含む駆動信号から、前記圧電装置が検出した逆起電力の変化に応じて前記噴射パルスを選択し、前記選択した噴射パルスを圧力発生部に印加することを特徴とする液体噴射装置。
【００１８】
この構成によれば、複数種類の噴射パルスを使って補正を行うことで、好適な噴射特性を有する液体噴射装置を得ることができる。
【００１９】
［適用例６］上記液体噴射装置において、液室が形成され、前記液室内の液体に生じる圧力変動を逆起電力として検出し、前記圧電装置とは圧力変動の検出方向が異なる第２圧電装置を備え、前記移動機構は、前記圧電装置および前記第２圧電装置を前記液体噴射ヘッドとともに移動させ、前記制御部は、前記圧電装置が検出した逆起電力および前記第２圧電装置が検出した逆起電力に応じて、前記噴射パルスを補正することを特徴とする液体噴射装置。
【００２０】
この構成によれば、圧力変動の検出方向が異なる圧電装置によって検出される２つの逆起電力に基づいて噴射パルスが補正される。これにより、ヘッドを移動させたときに生じる振動に起因した噴射特性の低下が２つの方向について抑制されるため、より好適な噴射特性を得ることができる。
【００２１】
［適用例７］上記液体噴射装置において、前記圧電装置が、前記液体噴射ヘッドの前記圧力発生部であることを特徴とする液体噴射装置。
【００２２】
この構成によれば、液体の噴射に用いられる圧力発生素子に生じる逆起電力を用いるため、１つの検出方向について圧電素子を新たに追加することなく、逆起電力を検出できる。このため、ヘッドを移動させたときに生じる振動に起因した噴射特性の低下を抑制し、好適な噴射特性をもつ液体噴射装置を低コストで実現することができる。
【００２３】
［適用例８］圧力発生部の駆動により液体を噴射する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置の制御方法であって、液室内の液体に生じる圧力変動を圧電効果の逆起電力として検出する圧電装置を前記液体噴射ヘッドとともに移動させるステップと、前記圧電装置が検出する逆起電力の変化に応じて、前記圧力発生部に印加される前記噴射パルスを補正するステップと、を含むことを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【００２４】
このようにすれば、ヘッドを移動させたときに生じるヘッドの振動に起因した噴射特性の低下を抑制し、好適な噴射特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１の実施形態に係るプリンターの概略構成を示した図である。
【図２】プリンターの内部構成を示したブロック図である。
【図３】圧電装置の構成を示した図である。
【図４】記録ヘッドの構成を示した図である。
【図５】プリンターの電気的な構成を示したブロック図である。
【図６】噴射パルスＰＳの一例を示した図である。
【図７】キャリッジ走査においてキャリッジに生じる振動と、圧電装置の逆起電力の推移の一例を示した図である。
【図８】噴射パルスの補正方法を説明する説明図である。
【図９】プリンターの処理の流れを示したフローチャートである。
【図１０】第２の実施形態における噴射パルスの補正方法を説明する説明図である。
【図１１】第３の実施形態における噴射パルスの補正方法を説明する説明図である。
【図１２】第４の実施形態に係るプリンターの構成を示したブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
（第１の実施形態）
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。第１の実施形態では、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置の一例として、インクジェット方式の記録ヘッドを備えたプリンターについて説明する。
【００２７】
図１は、プリンターの概略構成を示した図である。図１に示すように、プリンター１は、インクジェット式記録ヘッド２（以下、「記録ヘッド」という）を搭載したキャリッジ３と、被噴射媒体である記録紙Ｓの紙幅方向にキャリッジ３を往復移動させるキャリッジ移動機構（移動機構）４と、カートリッジ収納部５と、記録紙Ｓを紙送りする紙送り機構６と、を備えている。なお、記録紙Ｓに対してキャリッジ３が移動する方向が主走査方向、記録紙Ｓが紙送りされる方向が主走査方向に直交する副走査方向である。
【００２８】
キャリッジ移動機構４は、主走査方向に架設されたガイドロッド７と、主走査方向に沿って設けられたリニアエンコーダーのリニアスケール８と、キャリッジモーター９ａ、従動ローラー９ｂ間に掛け渡されたタイミングベルト１０と、を有している。キャリッジ３は、ガイドロッド７にスライド可能に軸支されており、キャリッジ３の一部がタイミングベルト１０に係止されている。したがって、キャリッジモーター９ａの駆動により、キャリッジ３はガイドロッド７に沿って移動する。主走査方向におけるキャリッジ３の位置は、キャリッジ３のリニアスケール８側に設けられたリニアエンコーダーがリニアスケール８を読み取ることによって検出され、リニアエンコーダーの検出信号はプリントコントローラーに送信される。プリントコントローラーは、この検出信号に基づいて、走査範囲内におけるキャリッジ３の位置、すなわち記録ヘッド２の位置を認識して記録ヘッド２による記録動作を制御する。
【００２９】
また、キャリッジ３の移動範囲内の記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ３の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター１は、ホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ３が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ３が戻る復動時との双方向で記録紙Ｓ上に文字や画像などを記録する、所謂双方向記録が可能に構成されている。
【００３０】
カートリッジ収納部５は、インクカートリッジ１１が装着される部分であり、キャリッジ３の移動範囲のうちホームポジションとは反対側となる端部に設けられている。カートリッジ収納部５とキャリッジ３はインク供給チューブ１２によって接続されており、カートリッジ収納部５に装着されたインクカートリッジ１１は、インク供給チューブ１２を通じてキャリッジ３にインクを供給する。すなわち、本実施形態のプリンター１は、キャリッジ３外にインクカートリッジ１１を搭載した、いわゆるオフキャリッジ方式を採用している。
【００３１】
図２は、プリンター内部の概略構成を示したブロック図である。図２に示すように、プリンター１のキャリッジ３には、圧電装置１００と、サブタンク１４と、記録ヘッド２とが設けられる。インク供給チューブ１２から流入するインクはいったん圧電装置１００内に供給される。圧電装置１００は第１インク供給路１３を介してサブタンク１４に連通しており、サブタンク１４は第２インク供給路１５を介して記録ヘッド２に連通している。したがって、インク供給チューブ１２を通じてキャリッジ３に供給されたインクは、圧電装置１００、第１インク供給路１３、サブタンク１４、第２インク供給路１５を通じて記録ヘッド２に供給される。
【００３２】
次に、圧電装置１００について説明する。図３は、圧電装置１００の構成を示した図である。圧電装置１００は、キャリッジ３の走査に伴って発生する振動を、撓みモードの圧電素子を利用して検出するものであり、特許文献１に記載の液体検出装置と同様の構成になっている。図３に示すように、圧電装置１００は、キャビティ板２１と、振動板２２と、流入口形成板３０とを備えている。なお、この圧電装置１００は、キャリッジ３がガイドロッド７に軸支される部分の近傍に設けられており、キャリッジ３の走査によりキャリッジ３およびこれに搭載される記録ヘッド２ががたつき振動を生じた場合に、この振動を検出し易いよう構成されている。
【００３３】
キャビティ板２１の一方面には振動板２２が積層されている。キャビティ板２１には、キャビティ２３となる空部が基板を貫通しており、この空部の開口２３ａが振動板２２に塞がれることによってキャビティ（液室）２３が形成されている。
【００３４】
キャビティ板２１とは反対側となる振動板２２の一方面には、一端に第１電極端子２４、他端に第２電極端子２５が形成されており、キャビティ２３に対応する領域に第１電極２６が形成されている。第１電極２６には圧電層２７が積層されており、圧電層２７にはさらに第２電極２９が積層されている。なお、圧電層２７の材料としては、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）、ジルコン酸チタン酸鉛ランタン（ＰＬＺＴ）、または、鉛を使用しない鉛レス圧電膜、を用いることが好ましい。キャビティ板２１の材料としては、ジルコニアまたはアルミナを用いることが好ましい。また、第１電極２６および第２電極２９は、導電性を有する材料、例えば、金、銀、銅、プラチナ、アルミニウム、ニッケルなどの金属を用いることができる。
【００３５】
第１電極端子２４、第２電極端子２５が設けられた振動板２２の面のうち、第１電極２６が形成されていない領域には補助電極２８が形成されており、この補助電極２８が圧電層２７のうち第１電極２６が支持していない部分を支持している。
【００３６】
また、第１電極２６は第１電極端子２４の方向に延出していて第１電極端子２４に接続されている。第２電極２９は、補助電極２８を介して第２電極端子２５に接続されている。そして、第１電極端子２４と第２電極端子２５のそれぞれは、ケーブルなどの接続配線を介して後述する圧電装置駆動回路と電気的に接続される。
【００３７】
以上に説明したように、圧電装置１００の圧電層２７は第２電極２９と第１電極２６とによって挟みこまれる構造となっており、第１電極２６、圧電層２７および第２電極２９が圧電素子を構成している。このとき、キャビティ２３によって規定される振動板２２の振動可能な部分が、圧電装置１００の振動部となる。
【００３８】
流入口形成板３０は、キャビティ板２１の振動板２２とは反対側に積層される。この流入口形成板３０には、キャビティ２３に液体を導入するための流入口３１と、キャビティ２３内のインクを流出するための流出口３２とが形成されており、流入口３１にはインク供給チューブ１２、流出口３２には第１インク供給路１３が接続されている。このため、インクカートリッジ１１からキャリッジ内に供給されたインクは、インク供給チューブ１２を介して流入口３１から圧電装置１００のキャビティ２３内に導入され、キャビティ２３内のインクは、流出口３２から第１インク供給路１３を介してサブタンク１４に供給される。このように、キャビティ２３自体が、インクを流通する通路の一部となることによって、キャビティ２３内にインクが充填される。
【００３９】
上述した構成の圧電装置１００は圧電素子を有しているため、キャビティ２３内のインクに発生する圧力変動を、圧電効果による逆起電力の変化として検出することが可能である。すなわち、キャビティ２３内のインクに圧力変動が生じると、この圧力変動を受けて圧電装置１００の振動部が変位するため、圧電素子によって第１電極２６、第２電極２９間に生じる逆起電力の変化として圧力変動が検出される。なお、本実施形態では、図３に示すように、第１電極２６、圧電層２７、第２電極２９の積層方向が主走査方向となるように圧電装置１００が設けられている。このため、圧電装置１００は、キャビティ２３内のインクに発生する圧力変動のうち主走査方向の変動成分を逆起電力として検出する。
【００４０】
次に、記録ヘッド２の構成について説明する。図４は、記録ヘッド２の構成を示した図である。図４に示すように、記録ヘッド２は、インク流路が形成された流路ユニット４０と、圧力発生室内のインクに圧力変動を生じさせる圧力発生部を有する振動子ユニット５０と、振動子ユニット５０を内部に収容するヘッドケース６０と、を備えている。
【００４１】
ヘッドケース６０は、振動子ユニット５０を収容するための空部が形成された箱状部材であり、その一方面には記録ヘッド２に導入されたインクが流通する供給流路が形成されたホルダー（図示なし）が装着され、ホルダーとは反対側となる面に、流路ユニット４０が固定されている。さらに、ヘッドケース６０の内部には、振動子ユニット５０を収容する収容空部６１と、ホルダーの供給流路から供給されるインクをリザーバー８１に供給するためのケース流路６２とがホルダーから流路ユニット４０に向かう方向に貫通して形成されている。ケース流路６２は、流路ユニット４０のインク導入口９３を介してリザーバー８１と液密に連通している。インクカートリッジ１１から記録ヘッド２にインクの供給を受けることによって記録ヘッド２内にインクが導入されると、ケース流路６２を通じてリザーバー８１にインクが供給される。
【００４２】
流路ユニット４０は、ノズルプレート７０と、流路形成基板８０と、振動板９０とを備えている。流路形成基板８０の一方面にノズルプレート７０を、ノズルプレート７０とは反対側となる流路形成基板８０の他方の面に振動板９０をそれぞれ配置して積層し、接着剤などで固定されることによって流路ユニット４０が構成されている。
【００４３】
ノズルプレート７０は、ステンレス鋼板などの薄い金属板であり、接着などによって流路形成基板８０に固定される。ノズルプレート７０には、記録ヘッド２のドット形成密度に対応して、例えば、１８０ｄｐｉなどの所定のピッチで複数のノズル７１が形成されている。また、複数のノズル７１は主走査方向に沿う列状に形成され、列状に並んだこれらのノズル７１によってノズル列が構成されている。
【００４４】
流路形成基板８０には、ノズル列の各ノズル７１に対応させて圧力発生室８３となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成され、さらにインク供給流路８２やリザーバー８１となる空部が形成されている。この流路形成基板８０は、ノズルプレート７０と振動板９０とに挟まれるようにして上述した各空部の開口部が塞がれることによって、リザーバー８１、インク供給流路８２、および圧力発生室８３を含む一連の流路が形成される。なお、本実施形態では、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されたものを流路形成基板８０として用いている。もっとも、流路形成基板８０としてはこれに限られることなく、例えば、流路となる貫通孔などが形成された複数の板状部材を積層することによって流路を構成していてもよい。
【００４５】
圧力発生室８３は、ノズル列方向に対して直交する方向に細長い室として形成されている。インク供給流路８２は、圧力発生室８３とリザーバー８１との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。リザーバー８１は、複数の圧力発生室８３に共通の共通液室であり、インクカートリッジ１１から供給されるインクを一旦貯留する。リザーバー８１には、各圧力発生室８３に対応するインク供給流路８２が連通しており、インク供給流路８２を通じてリザーバー８１から複数の圧力発生室８３のそれぞれにインクが供給される。
【００４６】
振動板９０は、ステンレス鋼などの金属製の支持板９１上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂フィルム９２をラミネート加工した二重構造の板材である。この振動板９０には、上下方向に貫通させたインク導入口９３が各リザーバー８１に対応して複数開設されており、このインク導入口９３を通じてリザーバー８１とケース流路６２とが連通する。
【００４７】
また、振動板９０には、圧力発生室８３に対応する部分に、圧力発生室８３の一方の開口面を封止してこの圧力発生室８３の容積を変動させるためのダイヤフラム部９４が形成されている。ダイヤフラム部９４は、上述した二重構造をもつ板材のうち、圧力発生室８３に対応した部分の支持板９１にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して後述する圧電振動子（圧力発生部）５１の自由端部の先端を接合するための島部９５を形成することによって作製されている。この島部９５は圧力発生室８３に対応する領域より小さく、エッチング加工によって支持板９１が除去された島部９５の周りの樹脂フィルム９２、すなわち圧力発生室８３に対応する領域のうち島部９５が形成されていない領域の樹脂フィルム９２が弾性体膜として機能する。
【００４８】
さらに、振動板９０のうちリザーバー８１に対応する部分は、流路形成基板８０に形成されたリザーバー８１となる空部の開口形状に倣って支持板９１がエッチング加工で除去されており、残存した樹脂フィルム９２がコンプライアンス部９６となっている。このコンプライアンス部９６が、リザーバー８１となる空部の一方の開口面を封止することにより、リザーバー８１内のインクにコンプライアンスが与えられている。
【００４９】
次に、振動子ユニット５０の構成について説明する。振動子ユニット５０は、圧力発生部に相当する圧電振動子５１と、フレキシブルケーブル５２とを有している。圧電振動子５１は、細長い櫛歯状に形成されており、数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けられている。そして、この圧電振動子５１は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。圧電振動子５１は、固定端部を固定板６３上に接合することにより、自由端部を固定板６３の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子５１における自由端部の先端は、流路ユニット４０におけるダイヤフラム部９４を構成する島部９５に固定される。また、各圧電振動子５１を支持する固定板６３は、圧電振動子５１からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成される。固定板６３は、例えば、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。さらに、フレキシブルケーブル５２は、その一端が固定板６３とは反対側となる圧電振動子５１の側面で圧電振動子５１と電気的に接続され、他端は後述するヘッド駆動回路１５０が実装された制御基板に接続されている。これにより、プリントコントローラー１１０からの信号を制御基板、フレキシブルケーブル５２を介して圧電振動子５１に送ることにより、圧電振動子５１の伸縮を制御できるよう構成されている。
【００５０】
以上のように構成された記録ヘッド２では、圧電振動子５１の先端面が島部９５に接合されているので、駆動回路（図示なし）などの駆動手段によって圧電振動子５１を駆動させ、圧電振動子５１の自由端部を伸縮させることによって、圧力発生室８３の容積が変動して圧力発生室８３内のインクに圧力変動が生じる。記録ヘッド２は、この圧力変動を利用して、圧力発生室８３内のインクをノズル７１から噴射することによって、記録用紙などの着弾対象に向けてインク滴が噴射される。
【００５１】
次に、プリンター１の電気的構成について説明する。図５は、プリンター１の電気的な構成を示したブロック図である。図５に示すように、プリンター１は、プリントコントローラー１１０と、リニアエンコーダー１４０と、記録ヘッド２と、ヘッド駆動回路１５０と、圧電装置１００と、圧電装置駆動回路１６０と、を備えている。このうち、リニアエンコーダー１４０と、記録ヘッド２と、ヘッド駆動回路１５０と、圧電装置１００と、圧電装置駆動回路１６０とがキャリッジ３に搭載されるものである。また、プリンター１には、例えばパーソナルコンピューターやデジタルカメラなどの外部装置２００がデータ通信可能に接続されており、外部装置２００は、画像やテキストをプリンター１に印刷させるための印刷データを生成して、プリンター１に送信する。なお、プリントコントローラー１１０およびヘッド駆動回路１５０が制御部に相当している。
【００５２】
プリントコントローラー１１０は、プリンター１の各部の制御を行う制御ユニットであり、外部インターフェイス部（以下、「外部Ｉ／Ｆ部」という）１１１と、ＣＰＵ１１２と、記憶部１１３と、内部インターフェイス部（以下、「内部Ｉ／Ｆ部」という）１１４と、駆動信号生成部１１５と、を有する。
【００５３】
外部Ｉ／Ｆ部１１１は、外部装置２００との通信を行うインターフェイス部分であり、印刷データや印刷命令の受信や、インクカートリッジ１１のインク残量などの状態データの送信等、データの送受信を行う。内部Ｉ／Ｆ部１１４は、紙送り機構６、キャリッジ移動機構４、リニアエンコーダー１４０、ヘッド駆動回路１５０および圧電装置駆動回路１６０などのプリンター１内部の各構成とのインターフェイス部分である。
【００５４】
ＣＰＵ１１２は、プリンター全体の制御を司る演算処理装置である。記憶部１１３は、ＣＰＵ１１２のプログラムや各種制御に用いられるデータを記憶する素子であり、ＲＯＭ、ＲＡＭ、およびＮＶＲＡＭやＥＥＰＲＯＭなどの読み書き可能な不揮発性メモリーを有している。ＣＰＵ１１２は、記憶部１１３に記憶されているプログラムを読み出して実行することにより、プリンター１の各部を制御する。具体的には、ＣＰＵ１１２は、リニアエンコーダー１４０から出力されるエンコーダーパルスＥＰからタイミングパルスＰＴＳを生成する処理、印刷データを画素ごとにインクの噴射の有無を指定する噴射データに変換する処理、タイミングパルスＰＴＳに同期して噴射データを記録ヘッド２に転送する処理、パルス形状を規定する波形データを駆動信号生成部１１５に指定して、駆動信号ＣＯＭを生成させる処理などを行う。
【００５５】
また、ＣＰＵ１１２は、タイミングパルスＰＴＳに基づいて、ラッチ信号ＬＡＴなどのタイミング信号を生成して記録ヘッド２のヘッド駆動回路１５０に出力する。ヘッド駆動回路１５０は、シフトレジスター、ラッチ回路、レベルシフター、スイッチ回路を含んでおり、噴射データおよびタイミング信号に基づき、記録ヘッド２の圧電振動子５１に対して、駆動信号ＣＯＭに含まれる噴射パルスを選択的に印加する制御を行う。
【００５６】
駆動信号生成部１１５は、波形データに基づいて駆動信号ＣＯＭを生成し、生成した駆動信号ＣＯＭをヘッド駆動回路１５０に供給する。駆動信号ＣＯＭは、繰り返し周期である単位期間内に、噴射パルスＰＳを少なくとも１つ以上含んだ信号である。噴射パルスＰＳは、記録ヘッド２のノズル７１から液滴状のインクを噴射させるべく圧電振動子５１に所定の動作を行わせるものである。
【００５７】
図６に、駆動信号ＣＯＭに含まれる噴射パルスＰＳの一例を示す。駆動信号ＣＯＭは、繰り返し周期である単位期間Ｔｐごとに駆動信号生成部１１５によって繰り返し生成される。この単位期間Ｔｐは、記録紙Ｓに印刷する画像などの１画素分に対応する距離だけノズル７１が移動する間の期間に対応し、１つの単位期間内には、噴射パルスＰＳが少なくとも１つ以上含まれている。図６に示すように、噴射パルスＰＳは、中間電位ＶＭを維持するホールド要素Ｐ０と、ホールド要素Ｐ０の電位ＶＭから最高電位ＶＨに電圧が変化する膨張要素Ｐ１と、膨張要素Ｐ１の電位ＶＨを維持するホールド要素Ｐ２と、ホールド要素Ｐ２の電位ＶＭから最低電位ＶＬに変化する収縮要素Ｐ３と、収縮要素Ｐ３の電位ＶＬを維持するホールド要素Ｐ４と、ホールド要素Ｐ４の電位ＶＬから中間電位ＶＭに変化する膨張要素Ｐ５と、膨張要素Ｐ５の電位ＶＭを維持するホールド要素Ｐ６とを、含む。この噴射パルスＰＳが圧電振動子５１に印加されると、膨張要素Ｐ１の電位変化により、圧電振動子５１は収縮して圧力発生室８３は膨張する。そして、収縮要素Ｐ３が圧電振動子５１に印加されると、膨張した状態の圧力発生室８３が急激に収縮して圧力発生室８３内のインクに圧力変動が生じ、これにより、圧力発生室８３に連通するノズル７１からインク滴が噴射される。したがって、収縮要素Ｐ３の前後の電位差（ＶＨ−ＶＬ）が大きいほどインクの噴射力は大きくなり、よりインク量が多いインク滴、あるいはより早い速度でインク滴が噴射される。駆動信号生成部１１５は、波形データに基づいて、最高電位ＶＨおよび最低電位ＶＬを変更することにより、噴射力が異なる噴射パルスＰＳを生成可能に構成されている。
【００５８】
圧電装置駆動回路１６０は、圧電装置１００の圧電素子の駆動制御を行う部分であり、圧電装置１００の圧電素子に生じる逆起電力を検出し、検出信号としてプリントコントローラー１１０に送出する。
【００５９】
ここで、シリアル型のインクジェット式のプリンター１では、例えば、ガイドロッド７、ガイドロッド７を支持する本体フレーム、キャリッジ３のフレームなどの機構部品の精度や温度変化による歪み、またはリニアスケール８の精度などに起因して、キャリッジ３を主走査方向に走査する際に、キャリッジ３がガイドロッド７に対してがたつくことによって、キャリッジ３およびこれに搭載される記録ヘッド２に振動が生じることがある。この振動が記録ヘッド２のノズル７１内に形成されたメニスカスに伝わると、メニスカスの状態が設計段階で意図されていた所期の状態と異なってしまうため、噴射速度、液滴の着弾位置の精度などの噴射特性が低下することになる。
【００６０】
そこで、本実施形態のプリンター１では、キャリッジ３を走査する際、キャリッジ３に生じる振動によって圧電装置１００のキャビティ２３内の液体に発生する圧力変動を、圧電装置１００に生じる逆起電力の変化として検出し、逆起電力の変化に応じて噴射パルスの波形を補正する。このため、プリントコントローラー１１０は、キャリッジの走査によって圧電装置１００に生じた逆起電力の検出信号を圧電装置駆動回路１６０から取得する処理、逆起電力の変化から噴射パルスＰＳの波形を決定する処理、決定した波形の波形データを駆動信号生成部１１５に送出して駆動信号ＣＯＭに含まれる噴射パルスＰＳの波形を変更させる処理、噴射データをヘッド駆動回路１５０に送出して、変更した波形による噴射駆動を行わせる処理などを行う。
【００６１】
図７は、圧電素子に生じる逆起電力の一例を示す図である。図７（ａ）は、横軸に主走査方向におけるキャリッジの位置、縦軸にはキャリッジに生じる振動の変位を示している。図７（ｂ）は、横軸に時間、縦軸には逆起電力の電位を示している。なお、図７（ａ）に示すキャリッジ位置ｐ１〜ｐ３と図７（ｂ）に示す時間ｔ１〜ｔ３とは対応しており、位置ｐｎ（ｎ＝１〜３）は、時間ｔｎにおけるキャリッジ３の位置を示している。
【００６２】
上述したように、キャリッジ３の走査中には、プリンター１の機構部品の精度や温度変化による歪みなどに起因して、キャリッジに振動が発生する。そして、この振動の振幅は、キャリッジ３の主走査位置に応じて変化する。このため、図７（ａ）の例では、主走査の範囲のうち区間Ｓ１においては逆起電力変化の振幅Ａ１が小さく、弱い振動であるが、区間Ｓ２においては振幅Ａ２（＞Ａ１）となるより強い振動が生じている。キャリッジ３に図７（ａ）の振動が生じた場合、圧電装置１００によって検出される逆起電力の変化は、図７（ｂ）に示すように、区間Ｓ１における電位変化Ｖ１より区間Ｓ２における電位変化Ｖ２が大きくなる。
【００６３】
噴射パルスＰＳの補正は、圧電装置１００の逆起電力の変化が大きくなるキャリッジ位置ほど、インクの噴射力がより強い駆動波形を用いて噴射制御することにより行う。すなわち、記録ヘッド２を移動させるとともにインクを噴射させる噴射制御の期間における逆起電力の変化量の推移に応じて、噴射パルスＰＳの補正が行われる。図７の例では、区間Ｓ１についてはキャリッジ走査に伴って生じる電位変化が比較的小さいため、発生する振動は小さく、噴射特性の低下量は比較的小さいことが想定される。一方、区間Ｓ２については、区間Ｓ１よりキャリッジ走査に伴って生じる電位変化が大きいため、発生する振動は大きく、区間Ｓ１に比べて噴射特性が大きく低下することが想定される。そこで、図８の上段に示すように、区間Ｓ１の逆起電力の変化量に応じた電位差Ｅ１を有する噴射パルスＰＳ１を区間Ｓ１に対応する時間ｔ１〜ｔ２に含むとともに、区間Ｓ２の逆起電力の変化量に応じて噴射パルスＰＳ１より大きい電位差を有し（Ｅ２＞Ｅ１）、噴射力がより大きい噴射パルスＰＳ２を区間Ｓ２に対応する時間ｔ２〜ｔ３に含む駆動信号ＣＯＭを生成する。ヘッド駆動回路１５０は、プリントコントローラー１１０からの噴射データに応じて、図８の下段に示すように、区間Ｓ１においては駆動信号ＣＯＭから噴射パルスＰＳ１を選択し、区間Ｓ２においては駆動信号ＣＯＭから噴射パルスＰＳ２を選択し、選択した噴射パルスＰＳを記録ヘッド２の圧電振動子５１に印加する。こうして、キャリッジ３に生じる振動が大きくなる区間ほど噴射力が強い波形の噴射パルスＰＳによる噴射駆動が行われる。なお、図７，８の例では、説明の便宜のため、２つの区間Ｓ１，Ｓ２について２種類の噴射パルスＰＳ１，ＰＳ２を用いて補正する場合を例にして説明したが、区間の数および噴射パルスＰＳの種類についてはこれに限られるものではない。
【００６４】
次に、プリンター１が行う処理の流れについて、図９のフローチャートを参照して詳細に説明する。なお、図９に示すフローチャートは、プリントコントローラー１１０のＣＰＵ１１２が主体となって実行する処理の一例であるが、図９に示す全てのステップの処理が必須であるとは限らない。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲で処理の順番を適宜変更してもよい。
【００６５】
例えば、プリンター１の電源が投入されたときや、所定時間が経過する毎などのタイミングで、図９の処理が開始される。処理が開始されると、プリントコントローラー１１０は、圧電装置駆動回路１６０に圧電装置１００の圧電素子を駆動させ、逆起電力を検出可能な状態とする（ステップＳ１０）。
【００６６】
次に、プリントコントローラー１１０は、キャリッジ移動機構４を作動させ、キャリッジ３の走査を開始させる（ステップＳ２０）。キャリッジ３の走査により記録ヘッド２とともに圧電装置１００が主走査方向に移動する。キャリッジ３の走査中、圧電装置１００の圧電素子には逆起電力が発生する。プリントコントローラー１１０は、逆起電力の検出信号を内部Ｉ／Ｆ部１１４を介して圧電装置駆動回路１６０から取得する（ステップＳ３０）。キャリッジ３の走査が終わると、１往復走査において逆起電力が変化する推移を検出データとして記憶部１１３に保存する（ステップＳ４０）。なお、検出データは、キャリッジ３の往動時と復動時のそれぞれについて検出して保存される。
【００６７】
次に、プリントコントローラー１１０は、印刷指示を待ち続け（ステップＳ５０：Ｎｏ）、例えば、外部装置２００などから印刷データを受信することにより印刷指示を受けると（ステップＳ５０：Ｙｅｓ）、ステップＳ６０に進む。
【００６８】
ステップＳ６０に処理が進むと、プリントコントローラー１１０は、記憶部１１３から検出データを読み出し、検出データにある逆起電力の変化から、噴射パルスＰＳの波形とその噴射パルスＰＳを印加する区間を決定する（ステップＳ６０）。
【００６９】
噴射パルスＰＳの波形とその噴射パルスＰＳを印加する区間を決定すると、プリントコントローラー１１０は、噴射パルスＰＳの波形データを駆動信号生成部１１５に送出し、決定した波形の駆動信号ＣＯＭを生成させる（ステップＳ７０）。そして、プリントコントローラー１１０はヘッド駆動回路１５０に噴射データを送出することにより、ヘッド駆動回路１５０に、駆動信号ＣＯＭに含まれる噴射パルスＰＳを噴射データに基づいて選択させ、選択した噴射パルスＰＳを記録ヘッド２の圧電振動子５１に印加させる噴射制御を行う（ステップＳ８０）。これにより、噴射パルスＰＳの補正が行われて、補正された噴射パルスＰＳによる記録が行われる。なお、こうした噴射パルスＰＳの補正は、キャリッジ３の往動時においては往動時に検出された検出データに従って行われ、復動時には復動時に検出された検出データに従って行われる。
【００７０】
以上に述べた第１の実施形態によれば、キャリッジ３の走査により記録ヘッド２とともに圧電装置１００を移動させ、圧電装置１００の圧電素子に生じる逆起電力の変化に応じて噴射パルスＰＳをより噴射力が強い波形に補正している。これにより、キャリッジ３の走査によってキャリッジ３に生じる振動が大きくなり、記録ヘッド２の噴射特性の低下が大きくなる区間ほど、噴射力が強い波形の噴射パルスＰＳによる噴射駆動が行われることとなる。したがって、キャリッジの振動に起因して噴射特性が低下する分を、噴射力がより強い噴射パルスＰＳを用いることで補うようにして、インク滴のインク量や着弾位置などの好適な噴射特性を得ることができる。なお、キャリッジ３の走査によって、インクが充填されたキャビティ内に生じる圧力変動を検出して噴射パルスＰＳを補正するようにしたので、同じ液体で形成されるノズル内のメニスカスに生じる振動の影響を好適に抑えることが可能である。
【００７１】
また、記録ヘッド２が移動する期間に亘って逆起電力が検出されて、記録ヘッド２の移動に伴って噴射制御を行う期間において逆起電力が変化する推移に応じて噴射パルスＰＳが随時補正される。したがって、記録ヘッド２の移動中に生じる噴射特性の変化を適宜抑制し、印字ムラなどの画質劣化が生じ難い好適な噴射特性を得ることができる。
【００７２】
（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、２種類の噴射パルスＰＳ１，ＰＳ２を含む駆動信号ＣＯＭを生成して、圧電装置１００に生じる逆起電力に応じて駆動信号ＣＯＭより、噴射力が異なる噴射パルスＰＳを選択的に圧電振動子５１に印加するようにした。第２の実施形態では、駆動信号生成部１１５が、複数種類の駆動信号ＣＯＭ１，ＣＯＭ２を生成することにより、圧電振動子５１に印加される噴射パルスＰＳを補正する。なお、以下では、第１の実施形態と同様の構成については同じ符号を付与し、詳細な説明を省略する。
【００７３】
駆動信号生成部１１５は、第１駆動信号生成部と第２駆動信号生成部（図示なし）とを有しており、第１駆動信号生成部が第１駆動信号ＣＯＭ１を生成するとともに、第２駆動信号生成部が第２駆動信号ＣＯＭ２を生成する。プリントコントローラー１１０のＣＰＵ１１２は、噴射パルスＰＳ１の波形データを第１駆動信号生成部に送出することにより、図１０の上段に示すように、区間Ｓ１の逆起電力の変化量に応じた噴射パルスＰＳ１を含む第１駆動信号ＣＯＭ１を生成させる。また、ＣＰＵ１１２は、噴射パルスＰＳ２の波形データを第２駆動信号生成部に送出することにより、図１０の中段に示すように、区間Ｓ２の逆起電力の変化量に応じた噴射パルスＰＳ２を含む第２駆動信号ＣＯＭ２を生成させる。さらに、プリントコントローラー１１０がヘッド駆動回路１５０に噴射データを送出することにより、ヘッド駆動回路１５０は、図１０の下段に示すように、区間Ｓ１においては第１駆動信号ＣＯＭ１から噴射データに応じて噴射パルスＰＳ１を選択し、区間Ｓ２においては第２駆動信号ＣＯＭ２から噴射データに応じて噴射パルスＰＳ２を選択し、選択したパルスを記録ヘッド２の圧電振動子５１に印加する。これにより、図１０下段に示すように、区間Ｓ１については圧電振動子５１に噴射パルスＰＳ１が印加され、区間Ｓ２については圧電振動子５１に噴射パルスＰＳ２が印加されることとなり、キャリッジに生じる振動が大きい区間Ｓ２ほど噴射力が強い波形の噴射パルスＰＳ２を用いて噴射駆動が行われる。
【００７４】
第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様に、キャリッジ３からヘッドに伝わる振動に起因して記録ヘッド２の噴射特性が低下することを抑制し、好適な噴射特性を得ることができる。
【００７５】
（第３の実施形態）
第３の実施形態では、圧電装置１００の圧電素子に生じた逆起電力の変化量に応じて、噴射するインク滴の種類を変えることにより、キャリッジの振動に起因する噴射特性の低下を防ぐ場合について説明する。
【００７６】
図１１は、第３の実施形態における駆動信号の一例を示した図である。図１１に示すように、駆動信号ＣＯＭ３は、１単位期間Ｔｐにおいて、大ドットを記録するためのインク滴を噴射させる噴射パルスＰＳＬと、小ドットを記録するためのインク滴を噴射させる噴射パルスＰＳＳを含む。駆動信号ＣＯＭ４は、１単位期間Ｔｐにおいて、中ドットを記録するためのインク滴を噴射させる噴射パルスＰＳＭ１，ＰＳＭ２を含む。ここで、例えば、噴射パルスＰＳＬによって大ドットを噴射したときのインク滴速度に比べて、噴射パルスＰＳＭ１，ＰＳＭ２によって中ドットを噴射したときのインク滴速度が速いものとする。この場合、圧電装置１００によって検出された逆起電力の変化からインク滴の噴射速度が低くなることが推測されるとき、ヘッド駆動回路１５０は、例えば、大ドット用の噴射パルスＰＳＬを選択して圧電振動子５１に印加することに代えて、中ドット用の２つの噴射パルスＰＳＭ１，ＰＳＭ２を選択して圧電振動子５１に印加して、２つの中ドットを噴射させることにより、大ドットに相当するインク量を噴射させる。このようにすれば、キャリッジ３の走査時にインク滴の噴射速度が低下することによるドットの着弾位置ずれを低減できる。
【００７７】
また、圧電装置１００によって検出された逆起電力の変化に応じて、噴射するインク滴を増やすことにより、インク滴の噴射量の低下を補うようにしてもよい。例えば、大ドットとなるインク滴を噴射すべき場合に、１単位期間Ｔｐにおいて、駆動信号ＣＯＭ３に含まれる大ドット用の噴射パルスＰＳＬに加えて、さらに駆動信号ＣＯＭ３に含まれる小ドット用の噴射パルスＰＳＳを選択して圧電振動子５１に印加する。このようにすれば、大ドットとなるインク滴に加えて小ドットとなるインク滴も噴射する分、噴射量を補うようにして噴射特性の低下を防ぐことができる。
【００７８】
（第４の実施形態）
上記第１ないし第３の実施形態では、圧電装置１００によって、キャリッジ３の振動により主走査方向の圧力変動より生じる逆起電力の変化を検出するようにしたが、複数の方向についての逆起電力の変化を検出してもよい。
【００７９】
図１２に示すように、第４の実施形態に係るプリンター１’は、圧電装置１００と同様の構成を有する第１圧電装置１０１および第２圧電装置１０２を備え、第１圧電装置１０１は主走査方向の圧力変動により生じる逆起電力の変化を検出し、第２圧電装置１０２は鉛直方向の圧力変動により生じる逆起電力の変化を検出する。この場合、プリントコントローラー１１０は、２方向についての逆起電力の変化から噴射パルスＰＳの波形を補正する。このようにすれば、キャリッジ３に生じる振動による噴射特性への影響を２方向において抑えることでより好適な噴射特性を得ることができる。
【００８０】
なお、鉛直方向の振動成分を逆起電力として検出するため、上述したように２つの圧電装置１０１，１０２を設けるようにしてもよいが、記録ヘッド２には、圧電振動子５１、すなわち圧電素子があるため、鉛直方向については、圧電振動子５１の圧電素子を利用して逆起電力を検出するようにしてもよい。このようにすれば、鉛直方向については新たに圧電装置１００を設けることなく、キャリッジ３に生じる振動を逆起電力として検出できるため、製品コストの上昇を抑えながら、好適な噴射特性を得ることが可能である。
【００８１】
以上、本発明の第１ないし第４の実施形態について説明したが、本発明はこの形態に限られることなく、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良により様々な形態とすることができる。また、本発明には、その等価物が含まれることはもちろんである。以下、変形例について説明する。
【００８２】
（変形例１）上記第１の実施形態では、キャリッジ３が走査するときに主走査方向に生じる振動による逆起電力を検出する場合、上記第４の実施形態では、主走査方向に加えてさらに鉛直方向に生じる振動による逆起電力を検出する場合について説明したが、検出方向およびその組み合わせとしてはこれに限られない。例えば、鉛直方向のみについて逆起電力を検出して補正するようにしてもよいし、副走査方向の振動によって生じる逆起電力も検出して補正するようにしてもよい。
【００８３】
（変形例２）上記第１ないし第４の実施形態では、キャリッジ３に圧電装置１００を設けるようにしたが、圧電装置１００を設ける位置としてはこれに限られることなく、キャリッジ３の走査に伴って記録ヘッド２とともに圧電装置１００が移動することとなる構成であればよい。例えば、記録ヘッド２自体に圧電装置１００を設けるようにしてもよいし、サブタンク１４に設けるようにしてもよい。また、キャリッジ３にインクカートリッジを搭載した、所謂オンキャリッジ方式のプリンターであれば、特許文献１に記載のようにインクカートリッジに設けられた圧電装置を用いて逆起電力を検出するようにしてもよい。
【００８４】
（変形例３）上記第１ないし第４の実施形態では、インクカートリッジ１１から供給されるインクをキャビティ２３に充填するようにした圧電装置１００の構成としたが、圧電装置１００に用いられる液体の種類としてはこれに限られない。例えば、圧電装置１００の流入口３１と流出口３２とを塞ぎ、キャビティ２３には、インクカートリッジ１１のインクではない所定の液体が液密に充填された構成としてもよい。このようにすれば、圧電装置１００に対してインクを供給する必要がないため、例えば、キャリッジ上にインクカートリッジを搭載し、記録ヘッドのインク導入部がインクカートリッジと直接接続される構造をもつ、所謂オンキャリッジ方式のプリンターに本発明を適用することができる。
【００８５】
（変形例４）上記実施形態では、液体噴射ヘッドの一例として、いわゆる縦振動型の圧電素子を用いてインクを噴射する記録ヘッドについて説明したが、液体噴射ヘッドとしてはこれに限られない。例えば、撓みモードの圧電素子を採用した液体噴射ヘッドやシェアモードを採用した液体噴射ヘッドとしてもよい。また、発熱素子の発熱によって圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる方式の液体噴射ヘッドや、静電アクチュエーターによって圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせる方式の液体噴射ヘッドとしてもよい。さらに、ライン型の液体噴射ヘッドであってもよい。
【００８６】
（変形例５）上記実施形態では、液体の一例としてのインクを噴射する記録ヘッド、液体噴射装置の一例としてプリンターについてについて説明したが、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドおよびこの液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置としてもよい。噴射の対象となる液体としては、例えば、液晶ディスプレイのカラーフィルターに用いられる各色材の溶液や、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイに用いられる有機ＥＬ材料の溶液、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる液状の電極材料等であってもよい。これらの液体を噴射する液体噴射ヘッドの例としては、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ装置の製造に用いられる色材噴射ヘッド、ＦＥＤ（等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【符号の説明】
【００８７】
１…液体噴射装置としてのプリンター、２…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、３…キャリッジ、４…移動機構としてのキャリッジ移動機構、５…カートリッジ収納部、６…紙送り機構、１１…インクカートリッジ、２３…液室としてのキャビティ、５１…圧力発生部としての圧電振動子、１００…圧電装置、１０１…第１圧電装置、１０２…第２圧電装置、１１０…制御部としてのプリントコントローラー、１１３…記憶部、１５０…制御部としてのヘッド駆動回路、ＣＯＭ…駆動信号、ＰＳ…噴射パルス。
【図１】
2013018225.tif 000003
【図２】
2013018225.tif 000004
【図３】
2013018225.tif 000005
【図４】
2013018225.tif 000006
【図５】
2013018225.tif 000007
【図６】
2013018225.tif 000008
【図７】
2013018225.tif 000009
【図８】
2013018225.tif 000010
【図９】
2013018225.tif 000011
【図１０】
2013018225.tif 000012
【図１１】
2013018225.tif 000013
【図１２】
2013018225.tif 000014