(57)【要約】【課題】  本発明は、水晶振動片を水晶ウエハから折り取ることが容易な水晶振動片、水晶デバイス、及び水晶振動片の製造方法を提供する。【解決手段】  水晶材を基材とし矩形形状に形成される水晶振動片（１３０）が、第１方向に伸びる一対の第１辺（１３７ａ）と第１方向に垂直な第２方向に伸びる一対の第２辺（１３７ｂ）とを有し、第１辺の少なくとも一方には水晶振動片の内側に凹んだ凹部（１３３）、又は水晶振動片の外側に突き出た凸部が形成され、凹部及び凸部の側面が水晶材の劈開面である第１劈開面（１３４ａ）、及び第１劈開面とは異なる方向に面する劈開面である第２劈開面（１３４ｂ）により形成される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶材を基材とし、矩形形状に形成される水晶振動片であって、
第１方向に伸びる一対の第１辺と、前記第１方向に垂直な第２方向に伸びる一対の第２辺とを有し、
前記第１辺の少なくとも一方には前記水晶振動片の内側に凹んだ凹部、又は前記水晶振動片の外側に突き出た凸部が形成され、
前記凹部及び前記凸部の側面は、前記水晶材の劈開面である第１劈開面、及び前記第１劈開面とは異なる方向に面する劈開面である第２劈開面により形成される水晶振動片。
【請求項２】
前記水晶材は、ＡＴカットの水晶材であり、
前記第２方向が前記水晶材のＸ軸方向であり、
前記第１劈開面及び前記第２劈開面の法線が前記第２方向から前記第１方向に２３度傾いた方向に伸びる請求項１に記載の水晶振動片。
【請求項３】
前記凹部又は前記凸部の側面の少なくとも一部は前記水晶材の破断により形成される破断面であり、前記凹部又は前記凸部の側面以外の前記水晶振動片の側面は前記水晶材をエッチングすることにより形成されるエッチング面である請求項１又は請求項２に記載の水晶振動片。
【請求項４】
前記水晶振動片の一方の主面に接する前記凹部又は前記凸部の側面は前記エッチング面であり、前記水晶振動片の他方の主面に接する前記凹部又は前記凸部の側面は前記破断面である請求項３に記載の水晶振動片。
【請求項５】
前記水晶振動片の一対の主面の両方に接する前記凹部又は前記凸部の側面は前記エッチング面であり、前記凹部又は前記凸部の側面に形成される前記破断面は前記エッチング面に挟まれて形成されている請求項３に記載の水晶振動片。
【請求項６】
前記凹部又は前記凸部は、複数の前記第１劈開面及び複数の前記第２劈開面を含み、鋸状に形成されている請求項１から請求項５に記載の水晶振動片。
【請求項７】
前記凹部又は前記凸部は前記第１辺の中央に対して対称になるように形成されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項８】
前記凹部又は前記凸部は、一方の前記第１辺の全てに形成されている請求項６に記載の水晶振動片。
【請求項９】
前記凹部又は前記凸部は、一方の前記第１辺の２箇所に形成されており、各前記凹部又は前記凸部は前記第１辺の中央に対して互いに対称に形成されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項１０】
前記凹部又は前記凸部は、各前記第１辺に１箇所ずつ形成されている請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項１１】
一方の前記第１辺の前記凹部又は前記凸部の前記第１方向の幅は、他方の前記第１辺の前記凹部又は前記凸部の前記第１方向の幅よりも小さい請求項１０に記載の水晶振動片。
【請求項１２】
前記第１辺に形成される前記凹部又は前記凸部は、一方又は他方の前記第１辺のどちらか一方のみに形成されている請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項１３】
前記各第２辺の一方の前記第１辺側にそれぞれ前記凹部又は前記凸部が形成されている請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項１４】
前記水晶振動片の主面の両方にそれぞれ励振電極が形成され、
前記励振電極は、一方の前記第１辺の端にそれぞれ引き出されて引出電極が形成されている請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の水晶振動片。
【請求項１５】
請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の水晶振動片と、
前記水晶振動片を収納するベース板と、
前記水晶振動片を前記ベース板に密封するリッド板と、
を有する水晶デバイス。
【請求項１６】
水晶材を基材とする水晶ウエハを用意する工程と、
前記水晶ウエハをエッチングすることにより、前記水晶ウエハに複数の水晶振動片を、連結部を介して前記水晶ウエハに連結された状態で形成する工程と、
前記連結部を前記水晶材の劈開面で破断することにより前記水晶振動片を前記水晶ウエハから切り離す工程と、を有し、
前記水晶振動片が第１方向に伸びる一対の第１辺と、前記第１方向に垂直な第２方向に伸びる一対の第２辺とを含み、
破断される前記劈開面が、前記第１辺の少なくとも一方の少なくとも一部を形成し、前記水晶材の劈開面である第１劈開面、及び前記第１劈開面とは異なる方向に面する劈開面である第２劈開面を含んでいる水晶振動片の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動片を水晶ウエハから折り取ることが容易な水晶振動片、水晶デバイス、及び水晶振動片の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電圧をかけることにより所定の振動周波数で振動する水晶振動片が知られている。このような水晶振動片は、まず水晶ウエハに連結部を介して連結した状態で形成され、連結部を破断することにより水晶ウエハから折り取られる。この連結部は水晶振動片の製造工程中に容易に落下しないように水晶振動片に強く連結していなければならない。しかし、連結部が水晶振動片に強く連結しすぎる場合には水晶振動片を水晶ウエハから容易に折り取ることができず、折り取りの際に水晶振動片に意図しない突起が残ってしまう場合があった。意図しない突起が残った水晶振動片は突起の存在によって水晶振動片をパッケージ等に載置しようとする際の位置合わせを狂わせ、また不定形の突起は水晶振動片に不必要な振動モードを発生させ水晶振動片の電気的特性に悪影響を与える場合がある。
【０００３】
このような問題に対して、例えば特許文献１では、水晶振動片の短辺の端と長辺の端とを結ぶ劈開面で水晶振動片を折り取る旨を開示している。結晶構造の原子間の結合力の弱い劈開面で水晶振動片を折り取ることにより、意図しない突起が形成されることが防がれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４５０７５５１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示された水晶振動片は、水晶振動片がパッケージ等に載置される際に導電性接着剤が塗布される角部が削られることになる。そのため、導電性接着剤が塗布される領域が狭くなり、水晶振動片のパッケージ等への接着力が弱くなることが懸念される。
【０００６】
本発明は、導電性接着剤が塗布される水晶振動片の角部を削ることなく水晶振動片を水晶ウエハから折り取ることが容易な水晶振動片、水晶デバイス、及び水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の水晶振動片は、水晶材を基材とし矩形形状に形成される水晶振動片であって、第１方向に伸びる一対の第１辺と、第１方向に垂直な第２方向に伸びる一対の第２辺とを有し、第１辺の少なくとも一方には水晶振動片の内側に凹んだ凹部又は水晶振動片の外側に突き出た凸部が形成され、凹部及び凸部の側面が水晶材の劈開面である第１劈開面及び第１劈開面とは異なる方向に面する劈開面である第２劈開面により形成される。
【０００８】
第２観点の水晶振動片は、第１観点において、水晶材がＡＴカットの水晶材であり、第２方向が水晶材のＸ軸方向であり、第１劈開面及び第２劈開面の法線が第２方向から第１方向に２３度傾いた方向に伸びる。
【０００９】
第３観点の水晶振動片は、第１観点及び第２観点において、凹部又は凸部の側面の少なくとも一部が水晶材の破断により形成される破断面であり、凹部又は凸部の側面以外の水晶振動片の側面が水晶材をエッチングすることにより形成されるエッチング面である。
【００１０】
第４観点の水晶振動片は、第３観点において、水晶振動片の一方の主面に接する凹部又は凸部の側面がエッチング面であり、水晶振動片の他方の主面に接する凹部又は凸部の側面が破断面である。
【００１１】
第５観点の水晶振動片は、第３観点において、水晶振動片の一対の主面の両方に接する凹部又は凸部の側面がエッチング面であり、凹部又は凸部の側面に形成される破断面がエッチング面に挟まれて形成されている。
【００１２】
第６観点の水晶振動片は、第１観点から第５観点において、凹部又は凸部が複数の第１劈開面及び複数の第２劈開面を含み、鋸状に形成されている。
【００１３】
第７観点の水晶振動片は、第１観点から第６観点において、凹部又は凸部が第１辺の中央に対して対称になるように形成されている。
【００１４】
第８観点の水晶振動片は、第６観点において、凹部又は凸部が一方の第１辺の全てに形成されている。
【００１５】
第９観点の水晶振動片は、第１観点から第６観点において、凹部又は凸部が一方の第１辺の２箇所に形成されており、各凹部又は各凸部が第１辺の中央に対して互いに対称に形成されている。
【００１６】
第１０観点の水晶振動片は、第１観点から第６観点において、凹部又は凸部が各第１辺に１箇所ずつ形成されている。
【００１７】
第１１観点の水晶振動片は、第１０観点において、一方の第１辺の凹部又は凸部の第１方向の幅が、他方の第１辺の凹部又は凸部の第１方向の幅よりも小さい。
【００１８】
第１２観点の水晶振動片は、第１観点から第７観点において、第１辺に形成される凹部又は凸部が、一方又は他方の第１辺のどちらか一方のみに形成されている。
【００１９】
第１３観点の水晶振動片は、第１観点から第１１観点において、各第２辺の一方の第１辺側にそれぞれ凹部又は凸部が形成されている。
【００２０】
第１４観点の水晶振動片は、第１観点から第１２観点において、水晶振動片の主面の両方にそれぞれ励振電極が形成され、励振電極が一方の第１辺の端にそれぞれ引き出されて引出電極が形成されている。
【００２１】
第１５観点の水晶デバイスは、第１観点から第１４観点の水晶振動片と、水晶振動片を収納するベース板と、水晶振動片をベース板に密封するリッド板と、を有する。
【００２２】
第１６観点の水晶振動片の製造方法は、水晶材を基材とする水晶ウエハを用意する工程と、水晶ウエハをエッチングすることにより水晶ウエハに複数の水晶振動片を連結部を介して水晶ウエハに連結された状態で形成する工程と、連結部を水晶材の劈開面で破断することにより水晶振動片を水晶ウエハから切り離す工程と、を有し、水晶振動片が第１方向に伸びる一対の第１辺と、第１方向に垂直な第２方向に伸びる一対の第２辺とを含み、破断される劈開面が、第１辺の少なくとも一方の少なくとも一部を形成し、水晶材の劈開面である第１劈開面、及び第１劈開面とは異なる方向に面する劈開面である第２劈開面を含んでいる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の水晶振動片及び水晶振動片の製造方法によれば、水晶振動片を水晶ウエハから折り取ることを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】水晶デバイスの分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）は、水晶振動片１３０の斜視図である。  （ｂ）は、水晶振動片１３０の平面図である。  （ｃ）は、水晶振動片１３０の−Ｘ軸側から見た側面図である。
【図４】水晶デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。
【図５】複数の水晶振動片１３０が形成された水晶ウエハＷ１３０の平面図である。
【図６】（ａ）は、図５の点線１７０の拡大平面図である。  （ｂ）は、図６（ａ）の点線１７１の拡大平面図である。  （ｃ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】ベースウエハＷ１２０の平面図である。
【図８】リッドウエハＷ１１０の平面図である。
【図９】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０Ａの溝１６３Ａの部分断面図である。  （ｂ）は、水晶振動片１３０Ａの−Ｘ軸側から見た側面図である。
【図１０】（ａ）は、水晶振動片２３０の斜視図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片２３０の平面図である。
【図１１】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片３３０の平面図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片４３０の−Ｘ軸側半分の平面図である。  （ｃ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片５３０の−Ｘ軸側半分の平面図である。
【図１２】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片６３０の平面図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片７３０の平面図である。
【図１３】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片８３０の平面図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片９３０の平面図である。
【図１４】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１０３０の平面図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１１３０の平面図である。
【図１５】（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１２３０の平面図である。  （ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１３３０の平面図である。
【図１６】水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１４３０の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２６】
（第１実施形態）
＜水晶デバイス１００の構成＞
図１は、水晶デバイス１００の分解斜視図である。水晶デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、水晶振動片１３０と、により構成されている。水晶振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、水晶デバイス１００においては水晶デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、水晶デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００２７】
水晶デバイス１００は、ベース板１２０の＋Ｙ’軸側に形成された凹部１２１に水晶振動片１３０が載置される。さらに水晶振動片１３０が載置された凹部１２１を密封するようにリッド板１１０がベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面に接合されて水晶デバイス１００が形成される。
【００２８】
水晶振動片１３０は、＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に励振電極１３１が形成されており、各励振電極１３１からは引出電極１３２が引き出されている。また、水晶振動片１３０の−Ｘ軸側の側面には、水晶振動片１３０の内側に凹んだ凹部１３３が形成されている。
【００２９】
ベース板１２０は、＋Ｙ’軸側の面に水晶振動片１３０が載置される凹部１２１が形成されている。また、凹部１２１の周りにはベース板１１０に封止材１４２（図２参照）を介して接合される接合面１２２が形成されている。凹部１２１には、水晶振動片１３０の引出電極１３２と導電性接着剤１４１（図２参照）を介して接合される接続電極１２３が形成されており、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２５が形成されている。接続電極１２３はベース板１２０を貫通する貫通電極１２４を介して実装端子１２５に電気的に接続されている。
【００３０】
リッド板１１０は、−Ｙ’軸側の面に、ベース板１２０の接合面１２２に封止材１４２を介して接合される接合面１１２と、接合面１１２から＋Ｙ’軸側に凹んだ凹部１１１と、が形成されている。
【００３１】
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。水晶デバイス１００は、ベース板１２０の凹部１２１に水晶振動片１３０が載置され、ベース板１２０の接合面１２２にリッド板１１０の接合面１１２が封止材１４２を介して接合されることにより形成されている。ベース板１２０の凹部１２１には接続電極１２３が形成されており、接続電極１２３と水晶振動片１３０の引出電極１３２とが導電性接着剤１４１により電気的に接合されている。また、ベース板１２０を貫通する貫通電極１２４は、接続電極１２３と実装端子１２５とを電気的に接続している。すなわち、水晶振動片１３０の励振電極１３１は、実装端子１２５に電気的に接続される。
【００３２】
図３（ａ）は、水晶振動片１３０の斜視図である。水晶振動片１３０の＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３１からは−Ｘ軸側に引出電極１３２が引き出され、さらに引出電極１３２は水晶振動片１３０の＋Ｚ’軸側の側面を介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。また、水晶振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３１から引き出される引出電極１３２は、励振電極１３１から−Ｘ軸側に伸び、さらに水晶振動片１３０の−Ｚ’軸側の側面を介して＋Ｙ’軸側の面にまで引き出されている。また水晶振動片１３０の−Ｘ軸側の側面に形成されている凹部１３３は、ＡＴカットの水晶材の劈開面である第１劈開面１３４ａ、及び第１劈開面１３４ａとは異なる方向に面した劈開面である第２劈開面１３４ｂが互いに接して形成されている。
【００３３】
図３（ｂ）は、水晶振動片１３０の平面図である。水晶振動片１３０は、Ｚ’軸に平行な一対の第１辺１３７ａと、Ｘ軸に平行であり第１辺１３７ａよりも長い一対の第２辺１３７ｂとにより外形が形成されている。水晶振動片１３０に形成される凹部１３３は水晶振動片１３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央に形成されている。また、凹部１３３は第１辺１３７ａの中心を通りＸ軸に平行な直線１７２に対して対称に形成されており、凹部１３３の側面を形成する第１劈開面１３４ａと第２劈開面１３４ｂとは直線１７２上で接している。第１劈開面１３４ａ及び第２劈開面１３４ｂは、それぞれＺ’軸との角度が角度αとなるように形成されている。すなわち、第１劈開面１３４ａ及び第２劈開面１３４ｂの法線は、Ｘ軸からＺ’軸方向に角度αだけ回転した方向に形成される。ＡＴカットの水晶振動片では、角度αは約２３度である。
【００３４】
図３（ｃ）は、水晶振動片１３０の−Ｘ軸側から見た側面図である。凹部１３３に形成される側面は、破断により形成される破断面１３６ａ及びエッチングにより形成されるエッチング面１３６ｂにより形成されている。破断面１３６ａは、凹部１３３の側面の中央に形成され、凹部１３３のエッチング面１３６ｂは破断面１３６ａを取り囲むように形成されている。また、水晶振動片１３０の凹部１３３以外の側面はエッチング面１３６ｂとなっている。
【００３５】
＜水晶デバイス１００の製造方法＞
図４は、水晶デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。以下、図４のフローチャートに従って水晶デバイス１００の製造方法について説明する。
【００３６】
ステップＳ１０１では、水晶ウエハＷ１３０が用意される。水晶ウエハＷ１３０はＡＴカットの水晶材により形成されている。
【００３７】
ステップＳ１０２では、水晶ウエハＷ１３０に複数の水晶振動片１３０が形成される。水晶振動片１３０の形成では、まず水晶ウエハＷ１３０を貫通する貫通孔１６１（図５参照）を形成することにより、水晶振動片１３０の外形を形成する。貫通孔１６１の形成は水晶ウエハＷ１３０をエッチングすることによって行われる。また、水晶ウエハＷ１３０と各水晶振動片１３０とは連結部１６２（図５参照）を介して連結されている。その後、各水晶振動片１３０に金属膜が形成されることにより励振電極１３１及び引出電極１３２が形成される。
【００３８】
図５は、複数の水晶振動片１３０が形成された水晶ウエハＷ１３０の平面図である。水晶ウエハＷ１３０にはエッチングにより貫通孔１６１が形成されており、貫通孔１６１により各水晶振動片１３０の外形が形成されている。図５では、連結部１６２が水晶振動片１３０の−Ｘ軸側の辺の中央及び水晶ウエハＷ１３０に連結されており、各水晶振動片１３０を水晶ウエハＷ１３０に連結している。また図５では、各水晶振動片１３０に励振電極１３１及び引出電極１３２が形成されている。
【００３９】
図６（ａ）は、図５の点線１７０の拡大平面図である。図６（ａ）には、水晶ウエハＷ１３０に形成された１つの水晶振動片１３０が示されている。図６（ａ）では、水晶振動片１３０の周りに貫通孔１６１が示されており、貫通孔１６１の外側は水晶ウエハＷ１３０となっている。また、水晶振動片１３０の−Ｘ軸側の辺と水晶ウエハＷ１３０とが連結部１６２を介して連結されている。連結部１６２と水晶振動片１３０との境には、溝１６３が形成されており、溝１６３は水晶材の劈開面に沿って形成されている。
【００４０】
連結部１６２は、連結部１６２の側面の水晶振動片１３０側のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ１、連結部１６２の側面の水晶ウエハＷ１３０側のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ２とすると、連結部１６２は長さＷＲ２が長さＷＲ１よりも長くなるように形成されている。これにより、連結部１６２は水晶ウエハＷ１３０との連結が水晶振動片１３０との連結よりも強くなり、連結部１６２が水晶ウエハＷ１３０側で破断することが防がれる。また、連結部１６２の水晶振動片１３０側は、連結部１６２の中で最もＺ’軸方向の幅が狭くなり破断時に応力がかかりやすくなるため、破断面が形成される箇所が特定されやすく、水晶振動片１３０の折り取り時に水晶振動片１３０に意図しない突起が形成されることが防がれる。
【００４１】
図６（ｂ）は、図６（ａ）の点線１７１の拡大平面図である。連結部１６２と水晶振動片１３０との境には溝１６３が形成されており、溝１６３の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の両端では水晶ウエハＷ１３０をＹ’軸方向に貫通する切込み１６４がエッチングにより形成されている。切込み１６４は、連結部１６２と水晶振動片１３０とを破断により折り取る際の破断の起点となり、水晶振動片１３０の折り取りを容易にする。
【００４２】
図６（ｃ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。溝１６３は水晶ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に形成されている。連結部１６２のＹ’軸方向の厚さを厚さＴＲ１とすると、溝１６３が形成された箇所の水晶ウエハＷ１３０の厚さは厚さＴＲ１よりも薄い厚さＴＲ２に形成されている。そのため、水晶振動片１３０の折り取りの際には水晶振動片１３０が溝１６３に沿って破断されやすくなる。
【００４３】
図４のフローチャートに戻って、ステップＳ１０３では水晶振動片１３０が折り取られる。これにより、水晶振動片１３０は、水晶ウエハＷ１３０から切り離される。水晶振動片１３０の折り取りは、連結部１６２と水晶振動片１３０との境の溝１６３に沿って連結部１６２を破断することにより行われる。この破断は、溝１６３が劈開面に沿って形成されていること、連結部１６２と水晶振動片１３０との境に溝１６３が形成されていること、及び溝１６３の両端に切込み１６４が形成されていることにより容易に行うことができ、そのため意図しない突起が形成されることが防がれる。
【００４４】
ステップＳ２０１では、ベースウエハＷ１２０が用意される。ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成されている。各ベース板１２０には凹部１２１が形成され、接続電極１２３、貫通電極１２４、及び実装端子１２５が形成される。
【００４５】
図７は、ベースウエハＷ１２０の平面図である。ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成されている。各ベース板１２０には凹部１２１が形成されており、凹部１２１には接続電極１２３及び貫通電極１２４が形成されている。また、各ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には実装端子１２５（図２参照）が形成される。図７では、Ｘ軸方向及びＺ’軸方向に互いに隣接する各ベース板１２０の間に二点鎖線が引かれている。この二点鎖線は、後述されるステップＳ５０２でウエハが切断される線であるスクライブライン１６５である。
【００４６】
ステップＳ３０１では、リッドウエハＷ１１０が用意される。リッドウエハＷ１１０には、複数のリッド板１１０が形成されている。各リッド板１１０には凹部１１１が形成されている。
【００４７】
図８は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。リッドウエハＷ１１０には複数のリッド板１１０が形成されている。各リッド板１１０の−Ｙ’軸側の面には凹部１１１及び接合面１１２が形成されている。また、図８では、隣接する各リッド板１１０の間が二点鎖線で示されており、この二点鎖線はスクライブライン１６５になる。
【００４８】
ステップＳ４０１では、水晶振動片１３０がベースウエハＷ１２０の各凹部１２１に載置される。ステップＳ４０１では、まず、ベースウエハＷ１２０の接続電極１２３又は水晶振動片１３０の引出電極１３２に導電性接着剤１４１（図２参照）が塗布される。そして、接続電極１２３と水晶振動片１３０の引出電極１３２とが導電性接着剤１４１を介して互いに電気的に接続されるように水晶振動片１３０がベース板１２０の凹部１２１に載置される。
【００４９】
ステップＳ５０１では、ベースウエハＷ１２０とリッドウエハＷ１１０とが接合される。ベースウエハＷ１２０とリッドウエハＷ１１０とは、ベースウエハＷ１２０の接合面１２２又はリッドウエハＷ１１０の接合面１１２に封止材１４２（図２参照）が塗布された後に、ベースウエハＷ１２０の接合面１２２とリッドウエハＷ１１０の接合面１１２とが封止材１４２を挟んで互いに向かい合うように接合される。これにより、複数の水晶デバイス１００がウエハ上に形成される。
【００５０】
ステップＳ５０２では、ベースウエハＷ１２０とリッドウエハＷ１１０とが切断される。切断は、ベースウエハＷ１２０及びリッドウエハＷ１１０のスクライブライン１６５に沿って行われる。これにより、ウエハから個々に分離された水晶デバイス１００が形成される。
【００５１】
水晶振動片１３０は、水晶振動片１３０の結晶構造の原子間の結合力が弱い劈開面に沿って折り取られることにより容易に水晶ウエハＷ１３０から折り取ることができる。そのため水晶振動片１３０には不定形な突起が残りにくく、不必要な振動モードの発生が抑えられている。また溝１６３及び切込み１６４が形成されることにより、水晶振動片１３０をさらに容易に水晶ウエハＷ１３０から折り取ることができる。
【００５２】
連結部が水晶振動片と２箇所以上で連結される場合は、これらの連結部が同時にかつ均等に破断されないときに水晶振動片を安定して一定方向に折り取りができず、水晶振動片を破損させてしまう場合がある。水晶振動片１３０は連結部１６２と１箇所のみで連結されていること、及び水晶振動片１３０の凹部１３３が第１辺１３３の中央を通りＸ軸に平行な直線１７２に対称に形成されることにより水晶振動片１３０を安定して一定方向に折り取りすることができる。そのため、水晶振動片を安定して一定方向に折り取りができないことによる水晶振動片の破損がない。また、水晶振動片１３０は、導電性接着剤１４１（図２参照）が形成される引出電極１３２の面積が狭くならないため、水晶振動片１３０のベース板１２０への接合強度を確保することができ好ましい。
【００５３】
以上の水晶振動片１３０及び水晶ウエハＷ１３０では、図６（ｃ）に示されるように水晶振動片１３０と連結部１６２との間に形成される溝１６３は水晶ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に形成されたが、溝はどちらか一方の面のみに形成されてもよい。以下に＋Ｙ’軸側の面にのみ溝が形成される水晶振動片１３０Ａ及び水晶ウエハＷ１３０Ａについて説明する。
【００５４】
図９（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０Ａの溝１６３Ａの部分断面図である。水晶ウエハＷ１３０Ａは＋Ｙ’軸側の面にのみ溝が形成されたウエハであり、複数の水晶振動片１３０Ａが形成されている。また、水晶ウエハＷ１３０Ａは水晶ウエハＷ１３０とは溝の形状のみが異なっており、水晶ウエハＷ１３０Ａの平面形状は図５に示された水晶ウエハＷ１３０と同じである。図９（ａ）は、図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面に相当する箇所の断面図が示されている。水晶ウエハＷ１３０Ａには図９（ａ）に示されるように＋Ｙ’軸側の面のみに溝１６３Ａが形成されており、−Ｙ’軸側の面には溝が形成されていない。溝１６３Ａが形成された箇所の水晶ウエハＷ１３０Ａの厚さは、連結部１６２のＹ’軸方向の厚さである厚さＴＲ１よりも薄い厚さＴＲ３に形成されている。そのため、水晶振動片１３０Ａの折り取りの際には水晶振動片１３０Ａが溝１６３Ａに沿って破断されやすくなる。
【００５５】
図９（ｂ）は、水晶振動片１３０Ａの−Ｘ軸側から見た側面図である。水晶振動片１３０Ａの外形形状は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示される水晶振動片１３０の外形形状と同じであるが、水晶振動片１３０とは凹部１３３に形成される破断面１３６ａの形成位置が異なっている。水晶振動片１３０Ａでは図９（ｂ）に示されるように、破断面１３６ａが凹部１３３の側面の−Ｙ’軸側に形成され、エッチング面１３６ｂが凹部１３３の側面の＋Ｙ’軸側に形成されている。
【００５６】
以上の第１実施形態では溝１６３（又は溝１６３Ａ）及び切込み１６４が共に形成されていたが、溝１６３（又は溝１６３Ａ）及び切込み１６４はどちらか一方のみの形成でも良い。
【００５７】
（第２実施形態）
水晶振動片には凹部の代わりに凸部が形成されても良い。また、水晶振動片の凹部又は凸部は様々な形に形成することができる。以下にこれらの水晶振動片１３０の変形例について説明する。また以下の説明においては、第１実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００５８】
＜水晶振動片２３０の構成＞
図１０（ａ）は、水晶振動片２３０の斜視図である。水晶振動片２３０には、＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の主面に励振電極１３１がそれぞれ形成され、各励振電極１３１からは引出電極１３２が引き出されている。また、水晶振動片２３０の−Ｘ軸側の側面の中央には水晶振動片２３０の外側に突き出た凸部２３３が形成されている。凸部２３３の側面は、第１劈開面２３４ａ及び第２劈開面２３４ｂにより形成されており、第１劈開面２３４ａ及び第２劈開面２３４ｂは互いに接している。
【００５９】
図１０（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片２３０の平面図である。図１０（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に形成される貫通孔１６１、水晶振動片２３０、及び水晶振動片２３０と水晶ウエハＷ１３０とを連結する連結部２６２が示されている。連結部２６２と水晶振動片２３０との境には、溝２６３が形成されている。溝２６３は、水晶材の劈開面に沿って形成されており、水晶振動片２３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの両端よりも−Ｘ軸側に突き出るように形成されている。また、連結部２６２の側面の水晶振動片２３０側のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ１、連結部２６２の側面の水晶ウエハＷ１３０側のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ２とすると、連結部２６２では長さＷＲ２が長さＷＲ１よりも長くなるように形成されている。また、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａと溝２６３の−Ｘ軸側の端との間のＸ軸方向の長さをＬＲ１とする。
【００６０】
水晶振動片２３０は、水晶振動片１３０と同様に凸部２３３の側面が水晶材の劈開面で形成されることにより、水晶振動片２３０を水晶ウエハＷ１３０から容易に折り取ることができ、水晶振動片２３０には不定形な突起が残りにくく不必要な振動モードの発生が抑えられている。また水晶振動片２３０は、水晶振動片２３０の外側に向かって凸部２３３が形成されるため、水晶振動片２３０の振動する領域を狭くすることがない。さらに、水晶振動片１３０と同様に、ベース板１２０に接合されるための導電性接着剤１４１が接合する領域が狭く形成されることがない。
【００６１】
＜水晶振動片３３０の構成＞
図１１（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片３３０の平面図である。図１１（ａ）では、水晶振動片３３０が水晶ウエハＷ１３０に連結部３６２を介して連結されている状態が示されている。水晶振動片３３０と連結部３６２との間には、水晶振動片３３０の劈開面に沿って鋸状の溝３６３が形成されている。連結部３６２は図１０（ｂ）に示された連結部２６２と同様に、水晶振動片３３０側の側面のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ１、水晶ウエハＷ１３０側の側面のＺ’軸方向の間隔の長さを長さＷＲ２としている。また、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａと溝３６３の−Ｘ軸側の端との間のＸ軸方向の長さをＬＲ２とする。水晶振動片３３０には、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの長さＷＲ１の領域に３つの山から成る鋸状の凸部３３３が形成される。凸部３３３の側面は水晶振動片３３０の劈開面であるため、凸部３３３の側面とＺ’軸とにより形成される角度と、凸部２３３の側面とＺ’軸とにより形成される角度とは、共に約２３度であり互いに等しい。したがって、長さＬＲ２は長さＬＲ１（図１０（ｂ）参照）の１／３の長さに形成される。このように水晶振動片では、凸部を複数の山により形成することによりＸ軸方向の長さを短くすることができ、水晶振動片の形状を矩形形状に近づけることができる。
【００６２】
＜水晶振動片４３０の構成＞
図１１（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片４３０の−Ｘ軸側半分の平面図である。図１１（ｂ）では、水晶振動片４３０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側に水晶ウエハＷ１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔４６１が形成されており、水晶振動片４３０が水晶ウエハＷ１３０に連結部４６２を介して連結されている状態が示されている。連結部４６２は水晶振動片４３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの全てに連結されており、水晶振動片４３０と連結部４６２との間には水晶振動片４３０の劈開面に沿って鋸状に溝４６３が形成されている。水晶振動片４３０は溝４６３の長さが長く形成されていることにより、水晶振動片４３０を製造中に水晶振動片４３０が水晶ウエハＷ１３０から落下しにくくなっている。また、溝４６３が水晶振動片４３０の劈開面に沿って形成されていることにより、水晶振動片４３０の水晶ウエハＷ１３０からの折り取りが容易になっている。
【００６３】
＜水晶振動片５３０の構成＞
図１１（ｃ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片５３０の−Ｘ軸側半分の平面図である。図１１（ｃ）では、水晶振動片５３０が水晶ウエハＷ１３０に連結部５６２を介して連結されている状態が示されている。連結部５６２は水晶振動片５３０の第１辺１３７ａの＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の両端にそれぞれ連結されており、水晶振動片５３０と連結部５６２との間には水晶振動片５３０の劈開面に沿って鋸状に溝５６３が形成されている。また、連結部５６２の間、及び水晶振動片５３０の＋Ｚ’軸側と−Ｚ’軸側とに水晶ウエハＷ１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔５６１が形成されている。水晶振動片５３０は、水晶振動片５３０の第１辺１３７ａの両端に連結されることにより、安定して水晶ウエハＷ１３０に連結され、水晶振動片５３０の形成途中に容易に落下することがない。また、溝５６３が水晶振動片５３０の劈開面に沿って形成されていることにより、水晶振動片５３０の水晶ウエハＷ１３０からの折り取りが容易になっている。
【００６４】
＜水晶振動片６３０の構成＞
図１２（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片６３０の平面図である。図１２（ａ）では、水晶振動片６３０が水晶ウエハＷ１３０に連結部６６２を介して連結されている状態が示されている。連結部６６２は水晶振動片６３０の第１辺１３７ａの中央に連結されており、水晶振動片６３０と連結部６６２との間には水晶振動片６３０の劈開面に沿って溝６６３が形成されている。また、連結部６６２の側面はＺ’軸からＸ軸方向に約２３度傾いた水晶振動片６３０の劈開面であり、水晶ウエハＷ１３０から水晶振動片６３０へ細くなるように形成されている。そのため、連結部６６２の側面と溝６６３とは直線上で繋がるように形成されており、劈開面沿いに応力がかかりやすい。よって、水晶振動片６３０の水晶ウエハＷ１３０からの折り取りが容易である。
【００６５】
＜水晶振動片７３０の構成＞
図１２（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片７３０の平面図である。図１２（ｂ）では、水晶振動片７３０が水晶ウエハＷ１３０に連結部７６２を介して連結されている状態が示されている。連結部７６２は水晶振動片７３０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央にそれぞれ連結されており、水晶振動片７３０と連結部７６２との境には水晶振動片７３０の劈開面に沿って溝７６３が形成されている。水晶振動片７３０は、連結部７６３が水晶振動片７３０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の両側に形成されていることにより、水晶振動片７３０の形成途中に水晶ウエハＷ１３０から落下することが防がれている。また、溝７６３が水晶振動片７３０の劈開面に沿って形成されていることにより、水晶振動片７３０の水晶ウエハＷ１３０からの折り取りが容易になっている。さらに、水晶振動片７３０を水晶ウエハＷ１３０から折り取る際に２つの連結部７６２が同時に破断されなかった場合でも、各連結部７６２が第１辺１３７ａの中心に連結されているため、水晶振動片７３０を安定して一定方向に折り取りすることができる。
【００６６】
＜水晶振動片８３０の構成＞
図１３（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片８３０の平面図である。水晶振動片８３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央には連結部７６２が連結され、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央には連結部８６２が連結されている。また、水晶振動片８３０と連結部７６２及び連結部８６２との境には水晶振動片８３０の劈開面に沿って溝７６３及び溝８６３が形成されている。溝７６３のＸ軸方向の間隔の長さは長さＷＲ１に形成され、溝８６３のＸ軸方向の間隔の長さは、長さＷＲ１よりも狭い長さＷＲ３に形成されている。
【００６７】
水晶振動片８３０は、水晶振動片８３０の−X軸側に引出電極１３２が形成されているため水晶振動片８３０の−X軸側が導電性接着剤１４１を介してベース板１２０に固定される固定端となる。また、水晶振動片８３０の＋X軸側はベース板１２０等に固定されない自由端となっている。水晶振動片に発生する不必要な振動モードの発生は、固定されて振動しにくくなっている固定端側の形状よりも、自由端側の形状に依存しやすい。水晶振動片８３０では、第１辺１３７ａの＋X軸側及び−X軸側の両側に連結部が形成されることによって水晶振動片８３０が形成途中に水晶ウエハＷ１３０から落下することが防がれるとともに、水晶振動片８３０の＋X軸側の溝８６３の長さＷＲ３が狭く形成されることによって水晶振動片８３０の自由端側に形成される凹部の大きさを小さくし、不必要な振動モードの発生の影響が小さくされている。
【００６８】
＜水晶振動片９３０の構成＞
図１３（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片９３０の平面図である。水晶振動片９３０は、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央には連結部８６２が連結され、水晶振動片９３０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの−Ｘ軸側の端には、それぞれ連結部９６２が連結されている。水晶振動片９３０と連結部８６２との間には溝８６３が形成されており、水晶振動片９３０と連結部９６２との間には水晶振動片８３０の劈開面に沿って溝９６３が形成されている。また、水晶振動片９３０に形成される引出電極１３２は、水晶振動片９３０の−X軸側の第１辺１３７ａの側面を介して＋Ｙ’’軸側の面から−Ｙ’軸側の面、又は−Ｙ’’軸側の面から＋Ｙ’軸側の面に引き出されている。
【００６９】
水晶振動片は、水晶ウエハＷ１３０に連結された状態で、各引出電極１３２にプローブ（不図示）が当てられて水晶振動片の周波数測定がなされる。このとき、水晶振動片の−Ｘ軸側の保持が弱い場合には、水晶振動片にプローブが当てられることで水晶振動片が水晶ウエハＷ１３０から落下する場合がある。水晶振動片９３０は、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａ、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの３つの辺にそれぞれ連結部が形成されることにより、水晶振動片９３０の水晶ウエハＷ１３０への連結強度が上げられており、水晶振動片９３０にプローブが当てられたとしても容易に水晶ウエハＷ１３０から落下しないようにされている。
【００７０】
＜水晶振動片１０３０の構成＞
図１４（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１０３０の平面図である。水晶振動片１０３０は、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央には連結部７６２が連結され、水晶振動片９３０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの−Ｘ軸側の端には、それぞれ連結部９６２が連結されている。また、各連結部と水晶振動片１０３０との間には、溝７６３又は溝９６３が形成されている。水晶振動片１０３０は、水晶振動片９３０と同様に、３つの辺にそれぞれ連結部が形成されることにより、水晶振動片１０３０の水晶ウエハＷ１３０への連結強度が上げられている。また、水晶振動片１０３０は、固定端側のみに連結部を形成して自由端側に連結部を形成しないようにすることにより、水晶振動片１０３０の自由端側に凹凸を作らないようにし、不必要な振動モードの発生の影響が抑えられている。
【００７１】
＜水晶振動片１１３０の構成＞
図１４（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１１３０の平面図である。水晶振動片１１３０は、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの両端に連結部５６２（図１１（ｃ）参照）が形成されており、水晶振動片１１３０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの−Ｘ軸側の端には、それぞれ連結部９６２が連結されている。また、各連結部と水晶振動片１１３０との間には、溝５６３又は溝９６３が形成されている。水晶振動片１１３０の引出電極１３２は、水晶振動片１１３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの側面（図１４（ｂ）の１３２ａで示された部分）を介して＋Ｙ’’軸側の面から−Ｙ’軸側の面、又は−Ｙ’’軸側の面から＋Ｙ’軸側の面に引き出されている。
【００７２】
水晶振動片１１３０では、水晶振動片９３０と同様に３つの辺にそれぞれ連結部が形成され、さらに合計４つの連結部が形成されることにより、水晶振動片９３０の水晶ウエハＷ１３０に対する連結強度が上げられている。また、水晶振動片１０３０と同様に、固定端側のみに連結部を形成して自由端側に自由端側に連結部を形成しないようにすることによって水晶振動片１０３０の自由端側に凹凸を作らないようにすることで、不必要な振動モードの発生の影響が抑えられている。
【００７３】
＜水晶振動片１２３０の構成＞
図１５（ａ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１２３０の平面図である。水晶振動片１２３０は、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央に連結部８６２が連結され、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央に連結部７６２が連結され、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの−Ｘ軸側にそれぞれ連結部９６２が連結されている。また、各連結部と水晶振動片１２３０との間には、それぞれ溝８６３、溝７６３、溝９６３が形成されている。水晶振動片１２３０では、水晶振動片１２３０の４つの辺に連結部が形成され、さらに合計４つの連結部が形成されることにより、水晶振動片１２３０の水晶ウエハＷ１３０への連結強度が上げられている。
【００７４】
＜水晶振動片１３３０の構成＞
図１５（ｂ）は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１３３０の平面図である。水晶振動片１３３０は、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央に連結部８６２が連結され、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの両端にそれぞれ連結部５６２が連結され、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の各第２辺１３７ｂの−Ｘ軸側にそれぞれ連結部９６２が連結されている。また、各連結部と水晶振動片１３３０との間には、それぞれ溝８６３、溝５６３、溝９６３が形成されており、水晶振動片１３３０の引出電極１３２は、水晶振動片１３３０の−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの側面（図１５（ｂ）の１３２ａで示された部分）を介して＋Ｙ’’軸側の面から−Ｙ’軸側の面、又は−Ｙ’’軸側の面から＋Ｙ’軸側の面に引き出されている。水晶振動片１３３０では、水晶振動片１３３０の４つの辺にそれぞれ連結部が形成され、さらに合計５つの連結部が形成されることにより、水晶振動片１３３０の水晶ウエハＷ１３０への連結強度が上げられている。
【００７５】
図１６は、水晶ウエハＷ１３０に連結された水晶振動片１４３０の平面図である。水晶振動片１４３０は、−Ｘ軸側の第１辺１３７ａの両端に引出電極１３２が形成されており、＋Ｘ軸側の第１辺１３７ａの中央に連結部７６２が連結されている。また、連結部７６２と水晶振動片１４３０との間には、溝７６３が形成されている。水晶振動片１４３０は、図１０（ｂ）に示された水晶振動片２３０、図１１（ａ）〜（ｃ）に示された水晶振動片３３０〜５３０、図１２（ａ）に示された水晶振動片６３０とは反対に、引出電極１３２が形成されていない＋X軸側の第１辺１３７aのみに連結部が形成されている。このような水晶振動片であっても、水晶振動片２３０〜６３０と同様に、水晶振動片１４３０を水晶ウエハＷ１３０から容易に折り取ることができる。水晶振動片１４３０には、連結部７６２が連結されたが、水晶振動片２３０〜６３０と同様の様々な形状の連結部が連結されていても良い。
【００７６】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００７７】
例えば、第２実施形態で説明された水晶振動片には凸部の代わりに凹部、又は凹部の代わりに凸部が形成されても良い。また、第１実施形態及び第２実施形態に於いて説明された複数の実施例は、様々な形態に組み合わされて実施されることができる。
【００７８】
さらに、上記実施例ではＡＴカットの水晶振動片が用いられた場合について説明されているが、ＢＴカット、ＣＴカット、ＳＴカット、ＤＴカット等の水晶振動片が用いられても良い。この場合においても、連結部と水晶振動片との間に形成される溝は劈開面に沿って形成される。人口水晶原石において、劈開面角度（劈開面が水晶振動片のＺ’軸方向と成す角度）は基本的にＲ面とｒ面との接線角度により決まる。そのため、例えばＺ’軸方向を水晶振動片の短辺方向とすると、ＢＴカットの劈開面がＺ’軸と成す角度は約１９．５度であり、ＣＴカットの劈開面がＺ’軸と成す角度は約２２度であり、ＳＴカットの劈開面がＺ’軸と成す角度は約２１度であり、ＤＴカットの劈開面がＺ’軸と成す角度は約１８．５度である。また、水晶の単結晶には複数の劈開面があり、上記に示された水晶振動片における劈開面がＺ’軸と成す角度は１つの例である。そのため、上記の角度以外の劈開面に沿って連結部と水晶振動片との間に溝が形成されても良い。
【符号の説明】
【００７９】
１００  …  水晶デバイス
１１０  …  リッド板
１１１  …  凹部
１１２  …  接合面
１２０  …  ベース板
１２１  …  凹部
１２２  …  接合面
１２３  …  接続電極
１２４  …  貫通電極
１２５  …  実装端子
１３０、１３０Ａ、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０、１１３０、１２３０、１３３０、１４３０  …  水晶振動片
１３１  …  励振電極
１３２  …  引出電極
１３３  …  凹部
１３４ａ、２３４ａ  …  第１劈開面
１３４ｂ、２３４ｂ  …  第２劈開面
１３６ａ  …  破断面
１３６ｂ  …  エッチング面
１３７ａ  …  第１辺
１３７ｂ  …  第２辺
１４１  …  導電性接着剤
１４２  …  封止材
１６１、４６１、５６１  …  貫通孔
１６２、２６２、３６２、４６２、５６２、６６２、７６２、８６２、９６２  …  連結部
１６３、１６３Ａ、２６３、３６３、４６３、５６３、６６３、７６３、８６３、９６３  …  溝
１６４  …  切込み
１６５  …  スクライブライン
２３３、３３３  …  凸部
Ｗ１１０  …  リッドウエハ
Ｗ１２０  …  ベースウエハ
Ｗ１３０  …  水晶ウエハ
【図１】
2013128273.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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