(57)【要約】【課題】適切な位置で被検査物を加振できるようにし、被検査物から発生される振動や音波を確実に検知することが可能となる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置２９は、支持台２２で被検査物Ｗを支持し、加振装置２０で被検査物Ｗを振動させるものである。そして、検査装置２９は、被検査物Ｗの振動により発生した信号（音波、音圧及び振動等を）信号検出装置２１で検知し、信号検出装置２１の検知信号に基づいて解析装置２３が被検査物Ｗを検査するものである。支持台２２は昇降装置２２ｂを備えており、検査装置２９は昇降装置２２ｂによって被検査物Ｗと加振装置２０との間の距離を制御する。【選択図】図２
2013007686.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を支持する支持装置と、
支持装置の上方に設けられ、前記被検査物を振動させる加振装置と、
前記被検査物の振動により発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも１つを検知する信号検出装置と、
前記信号検出装置の検知信号を解析し、前記被検査物を検査する解析装置と、
前記支持装置及び前記加振装置のうちの少なくとも１つを昇降させる第１の昇降装置と、
前記解析装置で解析された結果に基づいて前記第１の昇降装置を制御し、前記支持装置と前記加振装置との間の距離を調整する制御装置と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記解析装置が、前記制御装置を兼ねたことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記支持装置は、少なくとも３つの凸部により前記被検査物を支持することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記支持装置は、前記凸部に対応した数の弾性体を備え、
前記凸部は、衝撃吸収材で形成され、各弾性体の上部に配置されて前記被検査物を支持することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記信号検出装置において検出された信号が所定の検知信号でない場合には、
前記第１の制御装置は、前記第１の昇降装置を制御して前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更し、
前記解析装置は、前記支持装置と前記加振装置との間の距離の変更後に、前記被検査物を再度検査することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記解析装置は、
前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更する度に検査を繰り返し、
当該検査を所定の回数繰り返しても前記信号検出装置から所定の検知信号が得られない場合には検査を終了することを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記解析装置は、
前記支持装置と前記加振装置との間の距離を変更する度に検査を繰り返し、
当該検査を所定の時間繰り返しても前記信号検出装置から所定の検知信号が得られない場合には検査を終了することを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項８】
前記加振装置は、前記被検査物を非接触で振動させるものであることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記支持装置は、上部に前記被検査物が配置されたことを検知する検知センサーを備えたことを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記信号検出装置を昇降させる第２の昇降装置を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記第１の昇降装置は、少なくとも前記支持装置を昇降させるものであり、
前記制御装置は、前記支持装置を所定高さ上昇させた後、前記支持装置と前記加振装置との間の距離を調整することを特徴とする請求項３、請求項４、又は請求項３に従属する請求項５〜請求項１０のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記支持装置及び前記第１の昇降装置を水平方向に移動させる移動装置を備えたことを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の検査装置と、
前記被検査物を前記検査装置に搬送し、前記検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する搬送装置と、
を備えたことを特徴とする搬送システム。
【請求項１４】
請求項１２に記載の検査装置と、
前記被検査物を前記検査装置に搬送する第１の搬送装置と、
前記検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する第２の搬送装置と、
を備え、
前記移動装置によって前記支持装置を前記第１の搬送装置側へ移動させて、前記第１の搬送装置から前記被検査物を受け取り、
前記移動装置によって前記支持装置を前記第２の搬送装置側へ移動させて、検査後の前記被検査物を前記第２の搬送装置へ受け渡すことを特徴とする搬送システム。
【請求項１５】
前記検査装置の検査結果に基づいて前記被検査物を分別する分別装置を備えたことを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査を行う検査装置及びこの検査装置を備えた搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被検査物の不良検査を行う検査装置として、加振装置によって被検査物（測定対象物）に振動を与え、発生した音圧や振動を解析することにより被検査物の欠陥を検知するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、検査装置を備えた従来の搬送システムとしては、搬送装置であるコンベアを停止させ、コンベアを上下方向に移動させることによって被検査物を検査位置に搬送するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３３３４３６号公報（要約、図１）
【特許文献２】特開平６−１６０５３３号公報（段落０００４、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置（例えば特許文献１）は、被検査物の支持手段や加振装置の高さが常に一定の状態で、被検査物の検査が行われている。このため、従来の検査装置は、被検査物の支持手段や加振装置の高さによっては被検査物を適切に加振できないことがあり、被検査物を適切に検査できるだけの特徴量をもつ音圧や振動を得ることができないという課題があった。
【０００６】
また、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置（例えば特許文献１参照）を従来の搬送システム（例えば特許文献２参照）に採用した場合、以下のような課題があった。
【０００７】
つまり、被検査物に振動を与えて検査を行う場合、加振装置と支持手段によって被検査物を挟み込み、加振装置によって被検査物を振動させる必要がある。このため、従来の搬送システムにおいては、被検査物と一体となって上下に移動するコンベアが支持手段となるため、加振装置と支持手段であるコンベアによって被検査物を挟み込むこととなる。したがって、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置を従来の搬送システムに採用した場合、加振装置によって被検査物を振動させても、被検査物から発生する振動や音波がコンベアに吸収されて信号が減衰してしまうという課題があった。また、被検査物を振動させることによって被検査物の検査を行う従来の検査装置を従来の搬送システムに採用した場合、被検査物の加振に伴ってコンベアも加振され、コンベアから発生する振動や音波をノイズとして信号検出装置が拾ってしまい、被検査物を精度良く検査することができないという課題もあった。
【０００８】
本発明は、上述のような課題のうちの少なくとも１つを解決するためになされたものであり、被検査物から発生する振動や音波等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることが可能な検査装置及びこの検査装置を備えた搬送システムを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る検査装置は、被検査物を支持する支持装置と、支持装置の上方に設けられ、被検査物を振動させる加振装置と、被検査物の振動により発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも１つを検知する信号検出装置と、信号検出装置の検知信号を解析し、被検査物を検査する解析装置と、支持装置及び加振装置のうちの少なくとも１つを昇降させる第１の昇降装置と、解析装置で解析された結果に基づいて第１の昇降装置を制御し、支持装置と加振装置との間の距離を調整する制御装置と、を備えたものである。
【００１０】
また、本発明に係る搬送システムは、上記の検査装置と、被検査物を検査装置に搬送し、検査装置で検査された被検査物を次工程へ搬送する搬送装置と、を備え、検査装置の支持装置は少なくとも３つの凸部により被検査物を支持し、検査装置の昇降装置は少なくとも支持装置を昇降させ、制御装置は、支持装置を所定高さ上昇させた後、支持装置と加振装置との間の距離を調整するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る検査装置においては、制御装置は、解析装置で解析された結果に基づいて第１の昇降装置を制御し、支持装置と加振装置との間の距離を調整する。このため、本発明に係る検査装置は、加振装置と被検査物との距離を好適な状態にして、被検査物を加振することができる。したがって、本発明に係る検査装置は、被検査物を確実に振動させることができるので、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明に係る搬送システムにおいては、支持装置と加振装置との間の距離を調整する前に、支持装置を所定高さ上昇させる。つまり、本発明に係る搬送システムは、被検査物を検査する前に被検査物を持ち上げ、被検査物と搬送装置を非接触状態にすることができる。また、本発明に係る搬送システムにおいては、検査装置の支持装置は少なくとも３つの凸部により被検査物を支持している。このため、本発明に係る搬送システムは、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等がコンベア等の搬送装置に吸収されることを防止できる。また、搬送装置の振動等を検出装置が検出してしまうことも防止できる。したがって、本発明に係る搬送システムは、被検査物から発生する音波、音圧及び振動等をより確実に検知することができ、被検査物の検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る検査装置を備えた搬送システムの上流部分を側方から示した概念図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る検査装置が備えた支持台を示す概略斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。
【図５】図４に続く、本発明の実施の形態１に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。
【図７】本発明の実施の形態２に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。
【図９】図８に続く、本発明の実施の形態２に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。
【図１１】本発明の実施の形態１に係る搬送システムの別の一例を上方から示した概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。図２は、この搬送システムの上流部分（より詳しくは、検査装置よりも上流側の部分）を側方から示した概念図である。また、図３は、この検査装置が備えた支持台を示す概略斜視図である。以下、これら図１〜図３を用いて、本実施の形態１に係る検査装置２９及びこの検査装置２９を備えた搬送システム１について説明する。
【００１５】
搬送システム１は、搬送装置１０と、検査装置２９と、分別装置３０と、不良判定品回収所３１と、判定不可品回収所３２とを備えている。
【００１６】
搬送装置１０は、水平方向に並行して走る１組のコンベア１１を備えている。この搬送装置１０は、上流側の前工程等から検査装置２９へ被検査物Ｗを搬送するものである。また、搬送装置１０は、被検査物Ｗの検査終了後、検査装置２９から下流側の次工程等へ被検査物Ｗを搬送するものである。
【００１７】
なお、本実施の形態１では、搬送装置１０をコンベア１１で構成したが、搬送装置１０の構成はこれに限定されるものではない。例えば、搬送装置１０を、把持アームで被検査物Ｗを接触保持して搬送する構成や、ベルヌーイチャック方式の非接触保持アーム等で被検査物Ｗを接触保持して搬送する構成にしてもよい。
【００１８】
このような搬送装置１０の途中には、被検査物Ｗを検査する検査装置２９が設けられている。この検査装置２９は、加振装置２０と、信号検出装置２１と、解析装置２３と、支持台２２と、位置検知センサー２２ａとを備えている。
【００１９】
加振装置２０は、被検査物Ｗに振動を与えて被検査物Ｗから音波や音圧、振動を発生させるものである。本実施の形態１では、加振装置２０として、音波や超音波による放射圧により非接触で被検査物Ｗを振動させる方法を採用している。なお、本実施の形態１に係る加振装置２０は、このような方式のものに限定されるものではなく、例えば、圧電素子による振動や打検用の棒や板による打撃を被検査物Ｗに直接あてて振動させる方法や、加振装置２０表面からエアー等の流体を直接または非接触により放出する方法等、任意の方法を採用できる。また、本実施の形態１では、加振装置２０のＯＮ・ＯＦＦ等を解析装置２３で制御している。しかしながら、これに限らず、加振装置２０の制御装置と解析装置２３を別体で構成しても勿論よい。なお、本実施の形態１では、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となるため、これらを一体で形成している。
【００２０】
信号検出装置２１は、被検査物Ｗから発生した音波、音圧及び振動のうちの少なくとも１つを検出するものである。本実施の形態１では、信号検出装置２１は、並行して走る１組のコンベア１１の間から被検査物Ｗの音波、音圧及び振動等を検出できるように配置されている。つまり、信号検出装置２１は、平面視（図１）においてコンベア１１の間となる位置に設けられている。
【００２１】
支持台２２は、検査時に被検査物Ｗを載せ、所定の高さに上昇させる昇降機能を持つものである。本実施の形態１では、支持台２２は、被検査物Ｗの四隅を支持できるように、平面視においてコンベア１１の外側となる位置に４つ配置されている。これら各支持台２２は、昇降装置２２ｂと、土台２２ｄと、脚２２ｃと、接触部２２ｅとを備えている。昇降装置２２ｂは、可動部を上下方向に移動させる直動アクチュエーターである。なお、昇降装置２２ｂの構成は、特に限定されるものではない。例えば、回動自在に設けられたネジ部、該ネジ部を駆動するモーター等の駆動源、及び該ネジ部に螺合したナット部で昇降装置２２ｂを構成し、ネジ部を回動させることにより可動部であるナットを昇降させてもよい。
【００２２】
昇降装置２２ｂの可動部には、土台２２ｄが設けられている。昇降装置２２ｂを制御することにより、土台２２ｄを昇降させることができる。この土台２２ｄの上部には、例えばコイルバネである脚２２ｃが設けられている。そして、脚２２ｃの上部には、上部がドーム形状に形成された接触部２２ｅが設けられている。接触部２２ｅは、被検査物Ｗを接触する部材であり、衝撃吸収材で形成されている。
【００２３】
つまり、昇降装置２２ｂを制御して土台２２ｄを上昇させることにより、コンベア１１の上面（搬送面）よりも下方に配置されている接触部２２ｅが土台２２ｄ及び脚２２ｃとともに上昇することとなる。これにより、接触部２２ｅが被検査物Ｗの下面に当接して、コンベア１１によって支持台２２の上方まで運ばれた被検査物Ｗを持ち上げ、コンベア１１と被検査物Ｗを非接触状態とすることができる。そして、昇降装置２２ｂを制御して被検査物Ｗをさらに持ち上げることにより、被検査物Ｗを検査位置２４（加振された被検査物Ｗが発生する振動や音波、音圧を検出するのに最適な高さ）に配置することができる。
ここで、土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅの集合体が、本発明における支持装置に相当する。また、昇降装置２２ｂが、本発明における第１の昇降装置に相当する。また、接触部２２ｅが、本発明における凸部に相当する。
【００２４】
なお、本実施の形態１で示した支持台２２の構成は、あくまでも一例である。例えば、接触部２２ｅの上部形状は、ドーム形状に限らず、被検査物Ｗとの接触範囲が小さい形状であればよい。また、接触部２２ｅの上部形状は、被検査物Ｗ及び接触部２２ｅが傷つきにくい形状であればよい。つまり、接触部２２ｅの上部形状は、直方体形状や円錐形状等であってもよい。接触部２２ｅの材料については、ゴム、ゼラチン、エラストマー、プラスチック、ゲル、繊維、タンパク質等の弾性体を用いてもよい。例えば、シリコン、スチレンブタジエン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリウレタンストラマー、ポリイソブチレン、ポリビニルブチラール樹脂等の重合体や、その組合せなどが挙げられる。また例えば、脚２２ｃは、コイルバネに限らず、ゴム等の弾力性がありバネのような働きをする材料で形成すればよい。つまり、接触部２２ｅが被検査物Ｗと接触した際の衝撃を吸収できる材料で脚２２ｃを形成すればよい。また、支持台２２の数も任意であり、少なくとも３つの支持台２２が設けられていれば、被検査物Ｗを支持することができる。また、検査位置２４の高さ（換言すると、支持台２２が被検査物Ｗを上昇させる高さ）も特に限定するものではない。被検査物Ｗを検査する際に、被検査物Ｗが発生する音波、音圧及び振動等の信号以外の雑音を信号検出装置２１が検出しない高さであればよい。このとき、信号検出装置２１の上方や周囲に、被検査物Ｗが発生する音波、音圧及び振動等を妨げる障害物がないようにすることが好ましい。
【００２５】
解析装置２３は、信号検出装置２１で検出された信号を解析し、被検査物Ｗの良否を検査するものである。本実施の形態１では、解析装置２３は、上述の昇降装置２２ｂの制御装置としても機能している。換言すると、解析装置２３と昇降装置２２ｂの制御装置は一体で形成されている。なお、これらを別体で構成しても勿論よい。本実施の形態１では、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となるため、これらを一体で形成している。この解析装置２３は、例えばマイクロコンピュータで構成され、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等を備えており、ＲＯＭには制御プログラム及び後述のフローチャートに対応した搬送制御プログラム等が記憶されている。
【００２６】
位置検知センサー２２ａは、被検査物Ｗが支持台２２の上部に配置されたことを検知するものである。本実施の形態１においては、位置検知センサー２２ａは、支持台２２の接触部２２ｅの内部に設けられている。接触部２２ｅには、位置検知センサー２２ａから接触部２２ｅの上部にかけて貫通した孔が形成されており、位置検知センサー２２ａはこの孔を介して被検査物Ｗを検知している。
【００２７】
本実施の形態１においては、位置検知センサー２２ａが被検査物Ｗを検知すると、位置検知センサー２２ａからの信号を受け取った図示しないコントローラーが直ちにコンベア１１を停止させる。このとき、上述のように位置検知センサー２２ａを設けることにより、搬送されてきた被検査物Ｗを支持台２２の上方に正確に停止させることができる。
【００２８】
なお、本実施の形態１では位置検知センサー２２ａを支持台２２に内蔵させているが、支持台２２の外部に位置検知センサー２２ａを設け、支持台２２とは別の位置から被検査物Ｗを検知してもよい。このように位置検知センサー２２ａを設けても、搬送されてきた被検査物Ｗを支持台２２の上方に停止させることができる。また、本実施の形態１では、解析装置２３とは別にコンベア１１のコントローラーを設けているが、昇降装置２２ｂの制御装置と同様に、このコントローラーを解析装置２３や昇降装置２２ｂの制御装置と一体形成しても勿論よい。
【００２９】
分別装置３０は、上述した検査装置２９よりも下流側に設けられている。この分別装置３０は、コンベア１１によって搬送された検査後の被検査物Ｗを検査装置２９の検査結果に応じて分別するものである。詳細は後述するが、本実施の形態１に係る検査装置２９の検査結果は、良品Ｗａ、不良品Ｗｂ、または判定不可品Ｗｃとなる。このため、本実施の形態１に係る分別装置３０は、被検査物Ｗを、良品Ｗａ、不良品Ｗｂ、または判定不可品Ｗｃに分別する。
【００３０】
より詳しくは、分別装置３０はコンベア１１上の不良品Ｗｂを把持して持ち上げる把持アームを備えており、分別装置３０の制御部（図示せず）は、当該把持アームを制御して、コンベア１１上の不良品Ｗｂを不良判定品回収所３１へ搬送する。また、分別装置３０はコンベア１１上の判定不可品Ｗｃを把持して持ち上げる把持アームも備えており、分別装置３０の制御部（図示せず）は、当該把持アームを制御して、コンベア１１上の判定不可品Ｗｃを判定不可品回収所３２へ搬送する。そして、良品Ｗａのみが、そのままコンベア１１によって搬送され、次工程に送られることとなる。なお、分別装置３０による不良品Ｗｂや判定不可品Ｗｃの搬送方法は、接触保持する把持アームを用いたものに限らず、例えば、吸着式のロボットハンドを用いた搬送方法や、ベルヌーイチャック方式による非接触保持アームを用いた搬送方法を採用することができる。また、分別装置３０による不良品Ｗｂや判定不可品Ｗｃの搬送方法は、コンベア１１上からこれらを一端持ち上げて搬送する方法に限らず、不良品Ｗｂや判定不可品Ｗｃを水平方向にコンベア１１上から押し出す方法を採用することも可能である。
【００３１】
［検査手順の説明］
続いて、本実施の形態１に係る搬送システム１の検査手順について説明する。
図４及び図５は、本発明の実施の形態１に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。また、図６は、本発明の実施の形態１に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。なお、図４及び図５は、搬送システム１を側方から示した図となっている。
以下、これら図４〜図６を参照して、本実施の形態１に係る搬送システム１の検査手順について説明する。なお、以下で示す検査手順は、ある１つの被検査物Ｗをコンベア１１で検査装置２９へ搬送し、検査装置２９で検査後のこの被検査物Ｗが分別装置３０を通過するまでの流れを示している。
【００３２】
まず、検査工程が開始されると、図４（ａ）に示すように、コントローラーは、コンベア１１により、被検査物Ｗを検査装置２９へ向かって搬送する。そして、コントローラーは、検査装置２９の位置検知センサー２２ａが被検査物Ｗを検知するまで、被検査物Ｗをコンベア１１で搬送させる。位置検知センサー２２ａが支持台２２上に被検査物Ｗが到着したことを検知すると、コントローラーは、位置検知センサー２２ａから信号を受信し、コンベア１１を停止させる（Ｓ１）。
【００３３】
図４（ｂ）に示すように、被検査物Ｗが支持台２２上に配置されたところで、解析装置２３は、各支持台２２の昇降装置２２ｂを制御して、各支持台２２の土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅを上昇させる。そして、解析装置２３は、被検査物Ｗを予め設定された検査位置２４まで上昇させる（Ｓ２ａ）。
【００３４】
被検査物Ｗを予め設定された検査位置２４に配置すると、解析装置２３は、加振装置２０の出力をＯＮにし、被検査物Ｗを振動させる（Ｓ３）。すると、搬送システム１（より詳しくは、検査装置２９）は、図５（ｃ）に示す状態となる。なお、本実施の形態１では、被検査物Ｗが検査位置２４に搬送されてから加振装置２０の出力をＯＮにしているが、被検査物Ｗが検査位置２４に搬送される前から加振装置２０の出力をＯＮの状態にしておき、被検査物Ｗが加振された状態で検査位置２４に搬送する方法をとってもよい。
【００３５】
ステップＳ３の後、解析装置２３は、信号検出装置２１によって得た検出信号が、良品、不良品の判定に適した信号であるかを判別する（Ｓ４）。信号が良品、不良品の判定に適切な信号であれば、解析装置２３において被検査物Ｗが良品であるかどうかの検査が行われ、終了次第、次の工程へと移行する（Ｓ５）。なお、解析装置２３は、解析装置２３に予め記憶されている所定の信号と、信号検出装置２１から得られた信号とを比較して、信号検出装置２１から得られた信号が適切な信号か否かを判別する。
【００３６】
ステップＳ４において良品、不良品の判定に適切な信号が得られない場合、解析装置２３は、ステップＳ７において被検査物Ｗの高さ（つまり、支持台２２の土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅの高さ）を微調整し、再び被検査物Ｗの検査を試みることとなる。ここで、本実施の形態１では、１つの被検査物Ｗの検査にかけられる最大時間である制限時間、又は被検査物Ｗの高さを微調整ができる最大回数である制限回数が、例えば解析装置２３に予め記憶されている。このため、ステップＳ４において良品、不良品の判定に適切な信号が得られない場合、解析装置２３は、ステップＳ７に進む前に、制限時間または制限回数以内であるか否かを判断する（Ｓ６）。
【００３７】
ステップＳ６において、制限時間以内であると判断した場合や、制限回数以内であると判断した場合、解析装置２３は、昇降装置２２ｂを制御して、被検査物Ｗの高さ（つまり、支持台２２の土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅの高さ）を上下方向に微調整し（Ｓ７）、再度良品、不良品の判定に適切な信号であるかを判断する（Ｓ４）。
【００３８】
ステップＳ５において被検査物Ｗが良品であるかどうかの検査をした後、解析装置２３はステップＳ８ｂへ進む。ステップＳ６において制限時間を超えていると判断した場合や、制限回数を超えていると判断した場合も、解析装置２３は、同様にステップＳ８ｂへ進む。
そして、ステップＳ８ｂにおいて、解析装置２３は、図５(ｄ)に示すように、昇降装置２２ｂを制御して接触部２２ｅを降下させて、被検査物Ｗを検査位置２４からコンベア１１上へと戻す（Ｓ８ｂ）。このとき、被検査物Ｗが傷ついたり破損したりしない程度の降下速度にして、丁寧に下ろすようにする。被検査物Ｗがコンベア１１上に戻されると、コントローラーは再びコンベア１１を動作させ、被検査物Ｗを分別位置へと搬送させる（Ｓ９ａ）。
【００３９】
被検査物Ｗが分別位置に搬送されると、分別装置３０の制御部は、ステップＳ５，６で示した解析装置２３の検査結果に基づき、搬送されてきた被検査物Ｗが良品Ｗａであるか否かを判断する（Ｓ１０）。被検査物Ｗが良品Ｗａの場合、分別装置３０の制御部は、良品Ｗａを良品搬送順路に搬送する（Ｓ１１）。なお、本実施の形態１の場合、良品Ｗａが送られる次工程はコンベア１１の下流側となっている。このため、分別装置３０の制御部は、コンベア１１から良品Ｗａを取り除かず、そのままコンベア１１の下流側へ搬送させている。
【００４０】
ステップＳ１０において被検査物Ｗが良品Ｗａでなかった場合、分別装置３０の制御部は、ステップＳ５，６で示した解析装置２３の検査結果に基づき、当該被検査物Ｗが不良品Ｗｂであるか否かを判断する（Ｓ１２）。被検査物Ｗが不良品Ｗｂの場合、図５(ｅ)に示すように、分別装置３０の制御部は、把持アームによって不良品Ｗｂを把持して浮上させ、コンベア１１から不良判定品回収所３１へ不良品Ｗｂを搬送する（Ｓ１３）。一方、被検査物Ｗが不良品Ｗｂでない場合（つまり、被検査物Ｗが判定不可品Ｗｃの場合）、分別装置３０の制御部は、把持アームによって判定不可品Ｗｃを把持して浮上させ、コンベア１１から判定不可品回収所３２へ判定不可品Ｗｃを搬送する（Ｓ１４）。
【００４１】
以上、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、解析装置２３で解析された結果に基づいて昇降装置２２ｂを制御し、被検査物Ｗと加振装置２０との間の距離（つまり、支持台２２の接触部２２ｅと加振装置２０との間の距離）を調整している。このため、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、被検査物Ｗと加振装置２０との距離を好適な状態にして被検査物Ｗを加振することができるので、被検査物Ｗを確実に振動させることができる。
【００４２】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、解析装置２３が、昇降装置２２ｂの制御装置としても機能している。このため、部品点数を削減することができ、信号の授受も容易となる。したがって、装置の小型化、設置位置の省スペース化、外部電源からの電力供給量と配線の削減、及びメンテナンスの簡略化を図ることができる。また、信号授受のエラー数低減、制御精度や、制御速度の向上及び安定を見込むことができる。
【００４３】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、支持台２２の接触部２２ｅで被検査物Ｗを４点支持し、被検査物Ｗを振動させている。つまり、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、被検査物Ｗとコンベア１１とを非接触状態にして、被検査物Ｗを振動させることができる。このため、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、被検査物Ｗから発生する音波、音圧及び振動等がコンベア１１に吸収されることを防止できる。また、加振装置２０が被検査物Ｗを振動させる際にコンベア１１も振動してしまうことを防止でき、よって、信号検出装置２１がコンベア１１の当該振動（又は当該振動に相当する音波や音圧）を検出してしまうことも防止できる。
【００４４】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、支持台２２の接触部２２ｅを衝撃緩衝材で形成し、これら接触部２２ｅをバネで構成された脚２２ｃで支持している。このため、接触部２２ｅが被検査物Ｗを支持する際、被検査物Ｗの損傷を防止することができる。
【００４５】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、信号検出装置２１が良品、不良品の判定に適切な信号を検出できなかった場合、被検査物Ｗの高さを再調整し、被検査物Ｗを再検査している。このため、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、より高精度に被検査物Ｗの良否判定を行うことができる。
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、検査時間が制限時間を超えた場合や、検査回数が制限回数を超えた場合、被検査物Ｗの再検査を行わなず、被検査物Ｗを判定不可品Ｗｃとしている。このため、被検査物Ｗの再検査が繰り返されることによって生じる処理能力の低下を防止することができる。
【００４６】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、非接触で被検査物Ｗを振動させる加振装置２０を採用している。このため、加振装置２０が被検査物Ｗを加振する際、被検査物Ｗが損傷することを防止することができる。
【００４７】
また、本実施の形態１に係る検査装置２９及び搬送システム１は、支持台２２の接触部２２ｅの内部に位置検知センサー２２ａを設けている。このため、コンベア１１によって搬送されてきた被検査物Ｗを支持台２２の上方に正確に停止させることができる。
【００４８】
また、本実施の形態１に係る搬送システム１は、検査装置２９の検査結果に基づいて被検査物Ｗを分別する分別装置３０を備えている。このため、本実施の形態１に係る搬送システム１は、被検査物Ｗの品質状態に応じた管理を容易にすることができる。
【００４９】
実施の形態２．
実施の形態１で示した検査装置２９に以下の構成を追加することにより、被検査物Ｗの検査精度をより向上させることが可能となる。なお、本実施の形態２において、特に記述しない項目については実施の形態１と同様とし、同一の機能や構成については同一の符号を用いて述べることとする。
【００５０】
図７は、本発明の実施の形態２に係る検査装置を備えた搬送システムの全体構成を上方から示した概念図である。
図７に示すように、本実施の形態２に係る検査装置２９は、実施の形態１で示した検査装置２９（図１参照）の構成に加え、支持台２２を水平移動させる移動装置２５が設けられている。つまり、移動装置２５は、可動部を水平方向に移動させる直動アクチュエーターであり、支持台２２が可動部に設けられている。この移動装置２５は、制御装置２６で制御されている。ここで、移動装置２５の構成は、特に限定されるものではない。例えば、回動自在に設けられたネジ部、該ネジ部を駆動するモーター等の駆動源、及び該ネジ部に螺合したナット部で移動装置２５を構成し、ネジ部を回動させることにより可動部であるナットを水平移動させてもよい。また、制御装置２６を、加振装置２０の制御装置と同様に、解析装置２３と一体で形成しても勿論よい。
なお、図７及び後述する図８，図９では、搬送システム１及び検査装置２９の理解を容易にするため、移動装置２５は可動部のみを表示している。
【００５１】
また、コンベア１１の構成も、実施の形態１と本実施の形態２では異なっている。詳しくは、実施の形態１に係るコンベア１１は、検査装置２９の上流側から下流側まで連なった構成となっていた。一方、本実施の形態１に係るコンベア１１は、検査装置２９の上流側に設けられたコンベア１１ａと、検査装置２９の下流側に設けられたコンベア１１ｂとで構成されている。
【００５２】
すなわち、実施の形態１に係る搬送システム１は、検査前の被検査物Ｗをコンベア１１によって加振装置２０の真下まで搬送させていた。一方、本実施の形態２に係る搬送システム１は、コンベア１１ａによって搬送されてきた検査前の被検査物Ｗを、移動装置２５によってコンベア１１ａの下流部まで移動した支持台２２で受け取る構成となっている。そして、移動装置２５を移動させ、検査前の被検査物Ｗを加振装置２０の真下まで搬送する構成となっている。また、本実施の形態２に係る搬送システム１は、被検査物Ｗを検査した後、当該被検査物Ｗを移動装置２５によって、検査装置２９の下流側に設けられたコンベア１１ｂに受け渡す構成となっている。なお、本実施の形態２では、コンベア１１ａで搬送されてきた被検査物Ｗが検査装置２９への受け渡し前に落下することを防止するため、コンベア１１ａの下流端に落下防止装置１２を設けている。
【００５３】
［検査手順の説明］
続いて、本実施の形態２に係る搬送システム１の検査手順について説明する。
図８及び図９は、本発明の実施の形態２に係る搬送システムの検査手順を示した説明図である。また、図１０は、本発明の実施の形態２に係る搬送システムの検査手順を示したフローチャートである。なお、図８及び図９は、搬送システム１を側方から示した図となっている。また、図１０は、実施の形態１の図６で示したフローチャートに対して、ステップＳ２ｂとステップＳ８ａを追加し、ステップＳ９ａをステップＳ９ｂに変更したものである。
以下、これら図８〜図１０を参照して、本実施の形態１に係る搬送システム１の検査手順について説明する。なお、以下で示す検査手順は、ある１つの被検査物Ｗをコンベア１１で検査装置２９へ搬送し、検査装置２９で検査後のこの被検査物Ｗが分別装置３０を通過するまでの流れを示している。
【００５４】
まず、検査工程が開始されると、図８（ａ）に示すように、コントローラーは、コンベア１１ａにより、被検査物Ｗを下流側へ搬送し始める。また、制御装置２６は、移動装置２５によって支持台２２を移動させ、コンベア１１ａの下流部に支持台２２を待機させる。そして、コントローラーは、検査装置２９の位置検知センサー２２ａが被検査物Ｗを検知するまで、被検査物Ｗをコンベア１１ａで搬送させる。位置検知センサー２２ａが支持台２２上に被検査物Ｗが到着したことを検知すると、コントローラーは、位置検知センサー２２ａから信号を受信し、コンベア１１ａを停止させる（Ｓ１）。
【００５５】
図８（ｂ）に示すように、被検査物Ｗが支持台２２上に配置されたところで、解析装置２３は、各支持台２２の昇降装置２２ｂを制御して、各支持台２２の土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅを上昇させる。そして、解析装置２３は、被検査物Ｗを予め設定された高さまで上昇させる（Ｓ２ａ）。このとき、被検査物Ｗを検査位置２４と同じ高さまで上昇させることが好ましい。被検査物Ｗを予め設定された高さまで上昇させた後、制御装置２６は、移動装置２５を移動させて被検査物Ｗを加振装置２０の下方に移動させる（Ｓ２ｂ）。このとき、ステップＳ２ａで被検査物Ｗを検査位置２４と同じ高さまで上昇させていた場合、移動装置２５の可動部の移動のみで、被検査物Ｗを検査位置２４に配置することができる。
【００５６】
被検査物Ｗを予め設定された検査位置２４に配置すると、解析装置２３は、加振装置２０の出力をＯＮにし、被検査物Ｗを振動させる（Ｓ３）。すると、搬送システム１（より詳しくは、検査装置２９）は、図９（ｃ）に示す状態となる。その後、解析装置２３は、実施の形態１と同様に、ステップＳ４〜ステップＳ７の動作を繰り返す。
【００５７】
ステップＳ５において被検査物Ｗが良品であるかどうかの検査をした後、解析装置２３はステップＳ８ａへ進む。ステップＳ６において制限時間を超えていると判断した場合や、制限回数を超えていると判断した場合も、解析装置２３は、同様にステップＳ８ａへ進む。そして、ステップＳ８ａにおいて、制御装置２６は、図９(ｄ)に示すように移動装置２５を制御し、コンベア１１ｂの上流部に被検査物Ｗを移動させる。そして、解析装置２３は、図９(ｅ)に示すように、昇降装置２２ｂを制御して接触部２２ｅを降下させて、被検査物Ｗをコンベア１１ｂ上へと戻す（Ｓ８ｂ）。このとき、被検査物Ｗが傷ついたり破損したりしない程度の降下速度にして、丁寧に下ろすようにする。被検査物Ｗがコンベア１１上に戻されると、コントローラーはコンベア１１ｂを動作させ、被検査物Ｗを分別位置へと搬送する。また、制御装置２６は、移動装置２５を制御して、支持台２２を初期位置（例えば、コンベア１１ａの下流部の待機位置）へ移動させる（Ｓ９ｂ）。
【００５８】
その後、分別装置３０は、実施の形態１と同様に、ステップＳ１０〜ステップＳ１４の動作を行う。
【００５９】
以上、本実施の形態２に係る検査装置２９及び搬送システム１は、コンベア１１ａで検査前の被検査物Ｗを受け取った後、当該被検査物Ｗを水平移動して検査位置２４に移動させる。また、本実施の形態２に係る検査装置２９及び搬送システム１は、検査後の被検査物Ｗを水平移動してコンベア１１ｂ上に搬送し、当該被検査物Ｗをコンベア１１ｂに受け渡す。このため、本実施の形態２に係る検査装置２９及び搬送システム１は、図９（ｃ）に示すように、検査装置２９の構成要素を除き、検査位置２４の周囲には被検査物Ｗしかない状態にすることができる。したがって、本実施の形態２に係る検査装置２９及び搬送システム１は、実施の形態１で示した効果に加え、信号検出装置２１の信号検出時に周囲からのノイズの影響を最小限に留めることができるという効果を得ることもできる。
【００６０】
なお、上記の実施の形態１及び実施の形態２で示した検査装置２９の構成や搬送システム１の構成は、あくまでも一例であり、本発明を限定するものではない。
【００６１】
例えば、実施の形態１に係る搬送システム１のコンベア１１は、検査装置２９の上流側から下流側まで連なった構成となっていたが、このコンベア１１を例えば図１１に示すような構成にしてもよい。つまり、並行して走る１組のコンベア１１を検査装置２９の位置だけ分断して構成し、当該位置のコンベア１１の間隔を大きくしてもよい。そして、平面視において、検査装置２９の支持台２２を、当該位置のコンベア１１の内側に設けてもよい。このようにコンベア１１を構成することにより、信号検出装置２１とコンベア１１との距離を大きくすることができ、信号検出装置２１の信号検出時にコンベア１１に起因するノイズの影響を抑制することができる。
【００６２】
また例えば、上記の実施の形態１及び実施の形態２においては、昇降装置２２ｂは本発明に係る支持装置（支持台２２の土台２２ｄ、脚２２ｃ及び接触部２２ｅ）を昇降する構成となっていたが、本発明に係る昇降装置は、この昇降装置２２ｂの構成に限定されるものではない。つまり、本発明に係る昇降装置は、少なくとも本発明に係る支持装置を昇降できるものであればよい。より詳しくは、本発明に係る昇降装置は、本発明に係る搬送装置（上記の実施の形態１，２のコンベア１１）から被検査物Ｗを受け取るために本発明に係る支持装置を所定量上昇させることができれば、その後の被検査物Ｗと加振装置との間の距離の調整は加振装置２０を昇降させて行ってもよい。被検査物Ｗと加振装置２０との間の距離の調整に、本発明に係る支持装置と加振装置の双方を昇降させても勿論よい。
【００６３】
また例えば、上記の実施の形態１及び実施の形態２においては信号検出装置２１が固定配置された構成となっていたが、信号検出装置２１を昇降させる昇降装置（本発明における第２の昇降装置に相当）を設けてもよい。被検査物Ｗと信号検出装置２１との間の距離を調整することができ、信号検出精度が向上する。
【００６４】
また例えば、上記の実施の形態１及び実施の形態２で示した検査装置２９に被検査物Ｗを手動で供給する等して、検査装置２９を単体で使用することも勿論できる。この場合、本発明に係る昇降装置は、支持装置及び加振装置のうちの少なくとも一方を昇降できるものであればよい。また、昇降装置が加振装置を昇降させるものの場合は、支持装置を所定量上昇させる機能を有する必要は特にない。支持装置を所定量上昇させる機能は、搬送装置と検査装置が被検査物Ｗを受け渡す際に必要な構成だからである。検査装置２９を単体で使用する場合、このように昇降装置を構成しても、解析装置の検査結果に基づいて被検査物Ｗと加振装置との間の距離を調整することができ、本発明を実施することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１  搬送システム、１０  搬送装置、１１（１１ａ，１１ｂ）  コンベア、１２  落下防止装置、２０  加振装置、２１  信号検出装置、２２  支持台、２２ａ  位置検知センサー、２２ｂ  昇降装置、２２ｃ  脚、２２ｄ  土台、２２ｅ  接触部、２３  解析装置、２４  検査位置、２５  移動装置、２６  制御装置、２９  検査装置、３０  分別装置、３１  不良判定品回収所、３２  判定不可品回収所、Ｗ  被検査物、Ｗａ  良品、Ｗｂ  不良品、Ｗｃ  判定不可品。
【図１】
2013007686.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013007686.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2013007686.tif 000012
【図１１】
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