(57)【要約】【課題】駆動性能が良好で、組立て工数・部品点数の少ない振動アクチュエータを提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１０，２２４は、駆動信号により振動される圧電体１１，２２１と、前記圧電体１１，２２１に接合され、前記振動により駆動面に振動波を生じる弾性体１２，２２２と、前記弾性体１２，２２２の前記駆動面に加圧接触され、前記振動波によって駆動される移動体１５，２２５と、を備える振動アクチュエータ１０，２００において、前記圧電体１１，２２１は、駆動信号を印加する電極部２０，２２４を有し、前記電極部２０，２２４の少なくとも１箇所は、導電性を有する高分子材料で製造されていること、を特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号により振動される圧電体と、
前記圧電体に接合され、前記振動により駆動面に振動波を生じる弾性体と、
前記弾性体の前記駆動面に加圧接触され、前記振動波によって駆動される移動子と、
を備える振動アクチュエータにおいて、
前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、
前記電極部の少なくとも１箇所は、導電性を有する高分子材料で製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、  
前記電極部から、外部電源からの入力用の端子部が延び、該端子部は前記導電性を有する高分子材料で製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記電極部は、外部センサへの出力用の端子部が延び、該端子部は前記導電性を有する高分子材料で製造されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記端子部における、外部に露出している部分は、絶縁部材で被覆されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記導電性を有する高分子材料は、炭素粒子を含むこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記炭素粒子の大きさは、０．４ｎｍ〜１０μｍであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記炭素粒子は、カーボンナノチューブ、フラーレン又はケッチェンブラックのうちの少なくとも１つを含むこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項５から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記炭素粒子は、互いに接触し、連続状態にあること、
を特徴とする振動アクチュエータ。  
【請求項９】
請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記炭素粒子の含有率は、５〜４０％であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ及び光学機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動アクチュエータとして、振動子と相対移動部材とが加圧接触され、振動子に発生した超音波振動の振動波が相対移動部材に伝達されることにより、相対移動部材が駆動される振動アクチュエータが知られている。
このような振動アクチュエータでは、振動子は、振動を効率よく相対移動部材に伝達する必要がある。このため、振動子には、高弾性材料、例えば、ステンレス系の材料等が用いられている。
【０００３】
振動アクチュエータの振動子は、圧電体と弾性体とから構成されており、圧電体と弾性体とは接着剤等により強固に接着されている。圧電体は、その両表面にスクリーン印刷等により銀・ニッケルなどの金属材料による電極が形成されている。
その電極に電圧を印加することにより、駆動方法に応じて分極を行う。その後、場合によっては圧電体の変形を除去するために、加熱を行う。圧電体を振動アクチュエータに組み込む際は、その電極面に駆動信号が印加されるようになっている。
電極材料は、抵抗率が低い金・銀（及びパラジウム）・プラチナ・銅・ニッケル等が選択されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３０７８８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のような電極では、抵抗値は低いが、強度が弱く、耐擦傷性に欠けるという問題がある。また、可撓性が無い為圧電体の動きに完全に追従することが難しい。そのため、振動アクチュエータとして、効率に改善の余地があり、長期間の安定した駆動が行えない等、所望する駆動性能が得られないという問題がある。
【０００６】
また、圧電体の一種であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の弾性体圧接面ではない側の銀電極へ、駆動信号入力のためのフレキシブルプリント基板（以下ＦＰＣ）などを、熱と異方性導電ペースト（以下ＡＣＰ）接着剤により圧接している。しかし、圧接ばらつきによる振動アクチュエータの性能ばらつきの問題がある。また、接着剤の塗布量の制御や圧接温度プロファイルの管理も含め工数が多いため費用がかかるという問題がある。
【０００７】
本発明の課題は、駆動性能が良好で、組立て工数・部品点数の少ない振動アクチュエータ及びこれを備える光学機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、駆動信号により振動される圧電体（１１，２２１）と、前記圧電体（１１，２２１）に接合され、前記振動により駆動面に振動波を生じる弾性体（１２，２２２）と、前記弾性体（１２，２２２）の前記駆動面に加圧接触され、前記振動波によって駆動される移動体（１５，２２５）と、を備える振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記圧電体（１１，２２１）は、駆動信号を印加する電極部（２０，２２４）を有し、前記電極部（２０，２２４）の少なくとも１箇所は、導電性を有する高分子材料で製造されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記電極部（２０，２２４）から、外部電源からの入力用の端子部（１４）が延び、該端子部（１４）は前記導電性を有する高分子材料で製造されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記電極部（２０，２２４）は、外部センサへの出力用の端子部（１４）が延び、該端子部（１４）は前記導電性を有する高分子材料で製造されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記端子部（１４）における、外部に露出している部分は、絶縁部材（２３）で被覆されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記導電性を有する高分子材料は、炭素粒子を含むこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記炭素粒子の大きさは、０．４ｎｍ〜１０μｍであること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項７に記載の発明は、請求項５又は６に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記炭素粒子は、カーボンナノチューブ、フラーレン又はケッチェンブラックのうちの少なくとも１つを含むこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項８に記載の発明は、請求項５から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記炭素粒子は、互いに接触し、連続状態にあること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項９に記載の発明は、請求項５から請求項８までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）において、前記炭素粒子の含有率は、５〜４０％であること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２００）である。
請求項１０に記載の発明は、請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２００）を備える光学機器（１，３）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、駆動性能が良好で、組立て工数・部品点数の少ない振動アクチュエータ及びこれを備える光学機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態のカメラを示す図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータを示す図である。
【図３】圧電体の平面図であり、（ａ）は、圧電体における電気信号入力側Ａを示す平面図であり、（ｂ）は、圧電体の弾性体との接触側を示す平面図であり、（ｃ）は（ａ）の変形形態である。
【図４】圧電体の一部断面図であり、（ａ）は、図３の一点鎖線ｘ−ｘで示す部分の断面図であり、（ｂ）及び（ｃ）は変形形態である。
【図５】第２実施形態の超音波モータを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明による振動アクチュエータの実施形態として、超音波領域の振動を利用する超音波モータを例に挙げて説明する。
なお、図１を含め以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張している。
【００１３】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態のカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
【００１４】
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。
超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。
【００１５】
図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって、撮像素子６の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子６によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００１６】
図２は、本実施形態の超音波モータ１０を示す図である。
本実施形態の超音波モータ１０は、圧電体１１及び弾性体１２を備える振動子１３と、移動体１５と、端子部１４と、振動吸収材１６と、支持体１７等とを備えている。
【００１７】
圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、圧電体１１として圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体１１は、フェルト等の振動吸収材１６を介して、レンズ鏡筒３に設けられた支持体１７に固定されている。
【００１８】
圧電体１１には、電極部２０（後述する図３に図示）が形成されている。本実施形態において電極部２０は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）という導電性高分子によって製造されている。そして圧電体１１は、電極部２０に供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を励振する。
【００１９】
弾性体１２は、圧電体１１の励振により進行波を発生する部材である。弾性体１２は、高弾性率を有するステンレス鋼、インバー鋼等の鉄合金により形成される。本実施形態の弾性体１２は、ＳＵＳ３０３により形成されている。
弾性体１２は、略円環形状の部材であり、一方の面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、他方の面には複数の溝１２ｂを切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。
【００２０】
櫛歯部１２ａの先端面は、後述する移動体１５と加圧接触する接触面であり、この面に発生する進行性振動波によって移動体１５が回転駆動される。この櫛歯部１２ａの先端面には、無電解ニッケル−リン鍍金等の耐摩耗性被膜が形成されている。
【００２１】
移動体１５は、アルミニウム等の金属によって形成された略円環形状の部材である。本実施形態の移動体１５は、アルミニウム合金により形成されている。移動体１５は、振動子１３（弾性体１２）と加圧接触し、進行波により摩擦駆動される。この移動体１５の振動子１３に対する接触面には、アルマイト皮膜層が形成されている。
【００２２】
端子部１４は、後に詳述するが、圧電体１１の電極部２０と電気的に接続されており、圧電体１１に駆動信号を供給する。なお、端子部１４は入力用に限定されず、例えば外部センサへの出力用の端子部であってもよい。
また、端子部１４には、カメラ１の制御を行う制御装置（図示せず）が接続されている。制御装置は、超音波モータ１０の回転数が一定となるように、圧電体１１に供給する駆動信号の周波数を調整している。
【００２３】
図３（ａ）は、圧電体１１における電気信号入力側Ａを示す平面図であり、（ｂ）は、圧電体１１の弾性体１２との接触側Ｂを示す平面図であり、（ｃ）は（ａ）の変形形態である。
図４（ａ）は、図３の一点鎖線ｘ−ｘで示す部分の断面図である。なお、図４（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）の変形形態である。
【００２４】
図３（ａ）に示すように、圧電体１１の電気信号入力側Ａには、電極部２０（Ａ相電極部２０ａ及びＢ相電極部２０ｂ）が設けられ、さらに、Ａ相電極部２０ａとＢ相電極部２０ｂとの間にはピックアップ部２０ｃと、ＧＮＤ（アース）部２０ｄが設けられている。また、図４（ａ）に示すように、圧電体１１における弾性体１２との接触側Ｂには、共通電極部２１が設けられている。
【００２５】
圧電体１１のＡ相電極部２０ａ，Ｂ相電極部２０ｂは、ポーリングの向きが交互に逆方向となるように、その周方向に沿って分割されている。これらの分割された圧電体１１の各電極は、λ／２のピッチで配列されている。Ａ相電極部２０ａとＢ相電極部２０ｂとは、ピックアップ部２０ｃによりλ／４の位相差が設けられている。圧電体１１の全周の長さは、λの整数倍となっている。  
【００２６】
本実施形態において、Ａ相電極部２０ａ，Ｂ相電極部２０ｂ及び共通電極部２１は、導電性高分子で作られている。
導電性高分子は、上述のように導電性を有するＰＥＤＯＴであり、さらに、本実施形態において導電性物質として炭素粒子を含有している。
【００２７】
炭素粒子の大きさは、０．４ｎｍ〜１０μｍが好ましく、単一のサイズの炭素粒子のみでも良く、また異なるサイズの炭素粒子が混合されたものでもよい。
また、炭素粒子として本実施形態では、ＣＮＴ（カーボンナノチューブ）を用いる。カーボンナノチューブは１０９Ａ／ｃｍ２の高電流密度であるからである。なお、０．４ｎｍは、現在、入手が可能なカーボンナノチューブの最小値である。なお、ＣＮＴに限定されず、フラーレン、ケッチェンブラックであってもよい。
また、炭素粒子の含有率は、可撓性という観点からは５〜４０％が好ましい。ここで炭素粒子は、互いに接触し、連続状態である。なお、炭素粒子の連続性を得られれば１〜９９％まで可能である。
なお、本実施形態で導電性物質として炭素粒子を例として説明したが、これに限定されず、ステンレス製繊維、銅製繊維、アクリル繊維・ナイロン繊維に硫化銅を化学結合させた有機導電性繊維等であっても良い。
【００２８】
ピックアップ部２０ｃ付近においてＡ相電極部２０ａ及びＢ相電極部２０ｂから、圧電体１１の外周側向かうって端子部１４が延びている。また、ピックアップ部２０ｃからも端子部１４が延びている。この端子部１４も導電性高分子で製造され、圧電体１１の外側まで延びて、その外部の露出した部分の外周は絶縁部材２３で被覆されている。
【００２９】
図３（ｃ）は、図３（ａ）に対応する図であり、本実施形態の変形例を示す。
図３（ａ）の本実施形態では、それぞれの電極２０ａ，２０ｂ等から延びる端子部１４は、互いに接続されていないが、図３（ｃ）においては、端子部１４のうちの圧電体１１よりさらに外側に延びる部分は、間に絶縁部材２３を挟んで連結されている。このように一体化することで、取り扱いが容易となり、また、強度も向上する。
【００３０】
図４（ｂ）は本実施形態の別の変形例である。本実施形態では、圧電体１１の、電気信号入力側Ａの面と反対側Ｂとの両面の電極２０が導電性高分子で製造されている例について説明した。しかし、これに限定されず、（ｂ）に示すように、一面側（例えば入力側Ａ）の電極（信号入力側電極２０）だけを導電性高分子で製造し、他面（例えば弾性体側Ｂ）側の電極（共通電極部２１）は銀または金またはニッケルを主とする金属材料で製造してもよい。
図４（ｃ）も本実施形態の変形例である。本実施形態では、端子部１４を電極２０から延ばしたが、これに限定されない。例えば、ＦＰＣ２５を電極部２０にＡＣＰ等の導電性ペースト２６によって接続する構成であってもよい。
さらに、圧電体１１の各電極部２０を導電性高分子で製造し、その上にＦＰＣをハンダで接合してもよい。
また、ハンダを用いず、圧電体１１の各電極部２０を導電性高分子で製造し、ＦＰＣを、その導体パターンが圧電体１１の各電極部２０に圧接されるように配置してもよい。
【００３１】
本実施形態において、端子部１４から、圧電体１１のＡ相電極部２０ａとＢ相電極部２０ｂとに位相が９０゜ずれた電圧を印加すると、弾性体１２には周方向に進む曲げ振動の振動波が発生する。その振動波の進行方向は印加電圧の位相差の正負により定まる。弾性体１２に発生した振動波によって移動体１５が回転され、移動体１５に連結されたカム筒５が回転される。カム筒５の回転はレンズ枠４ａを回転させて、レンズ４は光軸方向へ移動される。
【００３２】
以上、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）導電性高分子により電極部２０を形成することにより、電極部２０の可撓性が向上し、圧電体１１の動きに対する追従性も向上する。それにより、振動アクチュエータ１０の効率が上がる。また、余分な振動を抑制することができ、接触面の摩擦摺動に対する強度が向上し、磨耗量を低減することができる。従って、磨耗粉の発生を抑えることができ、異音の発生を低減できる。
【００３３】
（２）導電性高分子の電極部２０から連続して駆動信号の端子部１４が延びていることにより、ＦＰＣを接着・圧着するための接着工程も不要である。よって、作業工程及び作業時間の短縮や、生産コストの低減等を図ることができる。
【００３４】
（３）導電性高分子により電極部２０を形成することにより、２００００回転後の入力電流値変化率が低減する。これにより、耐久性が向上し、長時間にわたって安定した駆動を行うことができる。また、高負荷であっても、安定した駆動を行うことができる。
【００３５】
（４）電極部２０を製造する高分子材料に炭素粒子を入れることにより、抵抗率を下げることができ、分極工程の所要時間を短くすることができる。また、振動アクチュエータ１０への入力電流も小さくすることができる。
【００３６】
（５）炭素粒子としてＣＮＴ（カーボンナノチューブ）、フラーレン、ケッチェンブラックを用いることにより、堆積を増加させずに電極を形成することができる。また抵抗率を下げることもできる。前記粒子は、大きさが小さいため厚み方向・上面方向に対して略均一に分散しているので、超音波モータの回転ムラを抑えることができ、安定した駆動及び駆動効率の向上を得ることができる。
【００３７】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態の超音波モータ２００を示す図である。
第２実施形態の超音波モータ２００は、第１実施形態の超音波モータ１０と同様のカメラ１のレンズ鏡筒３に設けられ、フォーカス動作を行なう際のレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
この超音波モータ２００は、不図示のギアを介して駆動力を不図示のカム筒に伝え、このカム筒に保持されるレンズ４を駆動する形態となっている点が第１実施形態とは異なる。
【００３８】
第２実施形態の超音波モータ２００は、振動子２２３、移動体２２５、出力軸２２８、加圧部２２９等を備えている。
振動子２２３は、弾性体２２２と、弾性体２２２に接合された圧電体２２１等を有する略円環形状の部材である。この振動子２２３は、圧電体２２１の伸縮により進行波が発生する。
【００３９】
弾性体２２２は、ステンレス鋼により形成された略円環形状の部材であり、一方の面には圧電体２２１が接合され、もう一方の面には周方向に複数の溝を切って形成された櫛歯部２２２ａが設けられている。この櫛歯部２２２ａの先端面は、移動体２２５に加圧接触される接触面であり、この面に接する移動体２２５を進行波によって駆動する。
【００４０】
振動子２２３の移動体２２５との接触面には、第１実施形態に示した振動子１３と同様に、ニッケル−リン被膜２３１が形成されている。この樹脂膜２３１の膜厚は３０μｍである。
弾性体２２２は、その内周側の径方向に伸ばして形成された鍔状のフランジ部２２２ｂを有し、このフランジ部２２２ｂにより支持体２２６に支持されている。
【００４１】
圧電体２２１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、第１実施形態と同様に、圧電体２２１として、圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体２２１は、圧電体２２１に形成された導電性高分子電極部２２４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体２２２に振動を生じさせる。
【００４２】
導電性高分子の電極部２２４には、超音波モータ２００を備えるカメラの制御を行う制御装置２０８が接続されている。本実施形態において、制御装置２０８は、所定の回転数となるように、圧電体２２１に供給する駆動信号の周波数を調整している。
【００４３】
移動体２２５は、振動子２２３と加圧接触し、振動子２２３の接触面（櫛歯部２２２ａの先端面）に生じた進行波による楕円運動によって回転駆動される。
移動体２２５は、アルミニウム等の軽金属により形成された部材である。移動体２２５は、出力軸２２８に嵌合している。本実施形態の移動体２２５は、アルミニウム合金によって形成され、移動体２２５の振動子２２３との接触面にアルマイト皮膜層２３２が形成されている。
【００４４】
出力軸２２８は、略円筒形状をしており、一方の端部はゴム部材２３０を介して移動体２２５と嵌合し、もう一方の端部は、ベアリング２２７を介して支持体２２６に回転自在に取り付けられている。この出力軸２２８は、移動体２２５と一体に回転して移動体２２５の回転運動を不図示のギア等の被駆動部材に伝達する。
【００４５】
加圧部２２９は、振動子２２３と移動体２２５とを加圧する機構である。加圧部２２９は、加圧力を発生するバネ２２９ａと、ベアリング２２７に接して配置され、バネ２２９ａの一端を押さえる押さえリング２２９ｂと、バネ２２９ａの他端を押さえる押さえリング２２９ｃと、出力軸２２８に形成された溝に挿入され、押さえリング２２９ｃの位置を規制するＥリング２２９ｄとを備えている。
【００４６】
本実施形態で示すような超音波モータ２００においても、導電性高分子電極をＰＺＴに形成することにより、磨耗粉や異音の低減、耐久性の向上、最大負荷トルクの向上、低温環境下での低速起動特性の向上、長時間駆動時における駆動性能の安定化等の効果を奏することができる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、銀電極にＦＰＣを圧着する場合等に比べて、工数が少なく、安定した駆動結果が得られる。
さらに、本実施形態に示した超音波モータ２００は、第１実施形態に示した超音波モータに比べて径が小さい小型の超音波モータとして作製される場合が多いため、ＦＰＣの圧着等の処理を行うことが困難である。しかし、本実施形態によれば、導電性高分子電極は、弾塗布して容易に形成することができるので、作業工程を短縮でき、安価で容易に製造することができる。  
【００４８】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能である。
（１）フラーレンは、単層フラーレンに限らず、例えば、多層フラーレンを用いてもよいし、これらを適宜選択して組み合わせて用いてもよい。
（２）各実施形態では、導電性高分子としてポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）で形成する例を示したが、これに限らず、例えば、ポリチオフェン、ポリピロールやポリアニリン等の他の高分子を用いてもよい。
【００４９】
（３）弾性体を使用せずに、圧電体と移動体とが摩擦接触する形態の振動アクチュエータに適用してもよい。
（４）各実施形態では、導電性高分子膜は、塗布によって形成される例を示したが、塗布以外の方法（スプレー・印刷等）であってもよい。
（５）各実施形態では、弾性体１２，２２を形成する材料として、ステンレス鋼を用いたが、その他の鉄系材料を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよいし、リン青銅、アルミニウム系合金を用いてもよい。
【００５０】
（６）各実施形態では、移動体１５，２５は、アルミニウム合金によって形成される例を示したが、これに限らず、鉄系材料等を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよい。また、ポリイミド樹脂や、ＰＥＥＫ（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ）樹脂等や無機材料を用いてもよい。
（７）各実施形態では、移動体１５，２５が回転駆動される超音波モータを示したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動アクチュエータとしてもよい。
【００５１】
（８）各実施形態では、超音波領域の振動を用いる超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を用いる電気機械変換アクチュエータに適用してもよい。
（９）各実施形態では、超音波モータ１０，２０は、カメラのレンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源に用いてもよい。また、超音波モータ１０，２０を、複写機等の駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部等に用いてもよい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【符号の説明】
【００５２】
１：カメラ、１０：振動アクチュエータ、１０：超音波モータ、１１：圧電体、１２：弾性体、１３：振動子、１４：端子部、１５：移動体、２０：電極部、２１：共通電極部、２２：弾性体、２３：絶縁部材、２５：移動体、２００：超音波モータ、２２１：圧電体、２２２：弾性体、２２３：振動子、２２４：電極部、２２５：移動体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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