(57)【要約】【課題】液体の吐出時に発生する泡を発泡室内に溜まりにくくすることで、安定した液体吐出性能を発揮する液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２０は、液体を吐出するための吐出口５と、吐出口５に対向して配置され、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子２と、吐出エネルギー発生素子２を内包し吐出口５と連通する発泡室１１と、発泡室１１に連通し発泡室１１に液体を供給するための流路３と、を有している。発泡室１１には、流路３と連通する側とは反対側に位置する側壁と、吐出口５が形成された面と、を接続する傾斜面８であって、吐出エネルギー発生素子２が形成された面に対して傾斜する傾斜面８が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に対向して配置され、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、前記吐出エネルギー発生素子を内包し前記吐出口と連通する発泡室と、前記発泡室に連通し該発泡室に液体を供給するための流路と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記発泡室には、前記流路と連通する側とは反対側に位置する側壁と、前記吐出口が形成された面と、を接続する傾斜面であって、前記吐出エネルギー発生素子が形成された面に対して傾斜する傾斜面が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記傾斜面は、前記発泡室の内側に向かって突出する曲面である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記吐出エネルギー発生素子が設けられた基板と、前記吐出口が形成された流路形成部材と、が接合されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路形成部材の、前記基板と接合された面とは反対側の面に、前記吐出口に沿って凹部が形成されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路形成部材の、前記傾斜面が形成された位置に対応する位置に、前記凹部が形成されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通して該吐出口に液体を供給するための発泡室と、前記発泡室の内側に前記吐出口に対向して配置され、前記吐出口が液体を吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、を有し、
前記発泡室および前記吐出エネルギー発生素子は、前記吐出口の深さ方向と直交する方向に延びる細長形状に形成され、前記発泡室は、一方の端部が、該発泡室に液体を供給する供給口に連通し、前記吐出エネルギー発生素子の中心と前記吐出口の中心とが一致する、液体吐出ヘッドにおいて、
前記発泡室の前記吐出口側の内面には、前記吐出口から前記発泡室の他方の端部に向かって前記吐出エネルギー発生素子側に傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記発泡室を規定する流路形成部材の表面には、前記傾斜面に対応する位置に凹部が形成されている、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記流路形成部材には、前記凹部とは別の凹部が形成されている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記別の凹部が、前記発泡室と前記供給口とを連通する流路内に突出する凸部を形成するように、前記流路形成部材の前記流路に対応する位置に形成されている、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出口が、１２００ｄｐｉまたはそれ以上のピッチで複数配列されている、請求項６から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項６から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを製造するための液体吐出ヘッドの製造方法において、
基板の上に、前記発泡室の型となる固体層を形成する工程と、
前記基板の上に、前記固体層を覆うように流路形成部材を形成する工程と、
前記流路形成部材の、前記吐出口と前記発泡室の前記傾斜面とに対応する部分を除く領域を露光し、熱処理する工程と、
前記流路形成部材の、前記吐出口に対応する部分を除く領域を露光し、熱処理した後、現像する工程と、
前記固体層を除去する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記流路形成部材の、前記吐出口と前記発泡室の前記傾斜面とに対応する部分を除く領域を露光し、熱処理する工程において、前記熱処理の温度が、前記固体層の軟化点以上の温度である、請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記流路形成部材が、ネガ型の有機樹脂から形成され、前記固体層が、ポジ型の有機樹脂から形成されている、請求項１１または１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーマルタイプの液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インク等の液体を吐出するサーマルタイプの液体吐出ヘッドのインク吐出特性を支配する因子として、吐出口、吐出エネルギー発生素子、吐出エネルギー発生素子と吐出口との位置関係、及び流路の内部構造などがある。このような液体吐出ヘッドでは、各吐出口毎に、対応する吐出エネルギー発生素子を取り囲むように発泡室が設けられており、発泡室から流路を介して共通液室が形成されている。このうち、発泡室は、対応する吐出エネルギー発生素子の形状や面積に応じて、寸法が決められることが多く、これが大きすぎたり小さすぎたりすると、安定したインク吐出性能を得るには好ましくない。
【０００３】
近年、インクジェットプリンタの高速・高画質化の要求に伴い、吐出口を高密度に配列するために、吐出エネルギー発生素子（および発泡室）の縦横比を大きくする傾向がある（例えば、特許文献１参照）。つまり、吐出エネルギー発生素子の寸法を、吐出口の配列方向（以下、Ｙ方向）に対しては短くし、その垂直方向（以下、Ｘ方向）に対しては長くすることで、同じ面積であっても、吐出エネルギー発生素子を高密度に配置することができる。
【０００４】
このとき、Ｙ方向では、吐出エネルギー発生素子と発泡室の壁との間隔をできるだけ小さくすることで、隣接する発泡室間の間隔を大きくすることが好ましい。これは、発泡室の幅を大きくして、隣接する発泡室間の間隔を小さくすると、発泡室を規定する流路形成部材と吐出エネルギー発生素子が設けられた基板との接合面積が小さくなるためである。この面積が小さくなると、両者間で剥がれが起こるなど、液体吐出ヘッドの品質に不具合が生じる可能性が高くなってしまう。したがって、Ｙ方向では、ヘッドの信頼性を向上させる上で、発泡室の壁をできるだけ基板の面に対して垂直に保つことで、隣接する発泡室間の距離を十分に確保することが好ましい。
【０００５】
一方、Ｘ方向では、比較的寸法に余裕がある反面、吐出口および吐出エネルギー発生素子から発泡室の壁までの距離がいずれも長くなる。そのため、発泡室の奥側の領域、すなわち、共通液室に連通する側とは反対側の領域に、インクの流れが少ない淀み領域が生じてしまう。その結果、この領域に、インク吐出の際に吐出口から取り込まれる泡が溜まり易くなる。このことは、発泡・消泡を安定的に繰り返すサーマルタイプの吐出に影響を及ぼす可能性が高い。すなわち、吐出エネルギー発生素子上の発泡・消泡を妨げたり、インク吐出の際に、溜まった泡とインク吐出とが干渉して正常なインク滴吐出を妨げたりすることになる。
【０００６】
このような発泡室内に気泡を溜まりにくくする構成として、特許文献２には、吐出口の中心が、吐出エネルギー発生素子の中心から発泡室の奥側にずれて配置された液体吐出ヘッドが開示されている。このような構成により、吐出口から発泡室の奥側の壁までの距離を比較的短くすることで、淀み部分を小さくすることができ、その結果、吐出口から取り込まれた泡が発泡室内に滞留することを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許第７６９０７６０号明細書
【特許文献２】特開２００８−２３８４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示されているようなインラインで１２００ｄｐｉ以上の高密度な吐出口配列を有する液体吐出ヘッドにおいて、特に１〜５ｐｌ程度のインク滴を吐出するためには、発泡室および吐出エネルギー発生素子をさらに細長くする必要がある。このような液体吐出ヘッドに対して、特許文献２に開示された構成を適用しようとすると、吐出エネルギー発生素子に対する吐出口のずれ量を非常に大きくする必要がある。その場合、吐出エネルギー発生素子の発泡中心と吐出口の中心との間で大きなずれが生じてしまい、このことがインク吐出時の液滴形成に悪影響を与えることになる。そのため、吐出エネルギー発生素子の中心と吐出口の中心とは、インク吐出性能上効率も良く、紙面に着弾する際の精度も良好な点で、一致していることが好ましい。
【０００９】
本発明の目的は、インク吐出時に発生する泡を発泡室内に溜まりにくくすることで、安定したインク吐出性能を発揮する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様による液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための吐出口と、吐出口に対向して配置され、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、吐出エネルギー発生素子を内包し吐出口と連通する発泡室と、発泡室に連通し発泡室に液体を供給するための流路と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、発泡室には、流路と連通する側とは反対側の側壁と、吐出口が形成された面と、を接続する傾斜面であって、吐出エネルギー発生素子が形成された面に対して傾斜する傾斜面が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の他の態様による液体吐出ヘッドは、インクを吐出するための吐出口と、吐出口に連通して吐出口にインクを供給するための発泡室と、発泡室内で吐出口に対向して配置され、吐出口がインクを吐出するためのエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子と、を有し、発泡室および吐出エネルギー発生素子は、吐出口の深さ方向と直交する方向に延びる細長形状に形成され、発泡室は、一方の端部が、発泡室にインクを供給する供給口に連通し、吐出エネルギー発生素子の中心と前記吐出口の中心とが一致する、液体吐出ヘッドにおいて、発泡室の吐出口側の内面には、吐出口から発泡室の他方の端部に向かって吐出エネルギー発生素子側に傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、上記に記載の液体吐出ヘッドを製造するための液体吐出ヘッドの製造方法において、基板の上に、発泡室に対応する固体層を形成する工程と、基板の上に、固体層を覆うように流路形成部材を塗布する工程と、流路形成部材の、吐出口と発泡室の傾斜面とに対応する部分を除く領域を露光し、熱処理する工程と、流路形成部材の、吐出口に対応する部分を除く領域を露光し、熱処理した後、現像する工程と、固体層を除去する工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上、本発明によれば、インク吐出時に発生する泡を発泡室内に溜まりにくくすることで、安定したインク吐出性能を発揮する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本実施形態の液体吐出ヘッドの平面図である。
【図３】本実施形態の液体吐出ヘッドの概略平面図および断面図である。
【図４】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図５】従来の液体吐出ヘッドの吐出口付近の拡大断面図である。
【図６】本実施形態の吐出口付近の構成を示す拡大断面図である。
【図７】実施例１で作製した液体吐出ヘッドを示す模式図である。
【図８】実施例２で作製した液体吐出ヘッドを示す模式図である。
【図９】実施例３で作製した液体吐出ヘッドを示す模式図である。
【図１０】実施例４で作製した液体吐出ヘッドを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されず、本明細書の特許請求の範囲に記載された発明の概念に包含されるべき他の技術にも応用することができる。
【００１６】
図１は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態を示す斜視図であり、一部を切り欠いて示す斜視図である。図２は、本実施形態のインク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドの吐出口部分を拡大して示す平面図である。
【００１７】
本実施形態の液体吐出ヘッド２０は、液体を吐出するために利用される複数の吐出エネルギー発生素子２が設けられた基板１と、この基板１の主面に積層されて接合され、複数の流路を規定する流路形成部材４とを備えている。
【００１８】
基板１は、例えば、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等によって形成され、一般には、Ｓｉによって形成されている。基板１の主面上には、各インクの流路ごとに、吐出エネルギー発生素子２と、吐出エネルギー発生素子２に電圧を印加する電極（図示せず）と、電極に接続され、所定の配線パターンを有する配線（図示せず）とがそれぞれ設けられている。また、基板１の主面には、吐出エネルギー発生素子２を被覆するように、蓄熱の発散性を向上させる絶縁膜（図示せず）が設けられている。
【００１９】
流路形成部材４には、図２に示すように、複数の吐出口５と、各吐出口５に連通して吐出口５にインクを供給するための発泡室１１と、発泡室１１に流路３を介してインクを供給する供給口６と、が形成されている。吐出口５は、発泡室１１に内包され基板１の主面に配置された吐出エネルギー発生素子２に対向する位置に形成されている。
【００２０】
再び図１を参照すると、液体吐出ヘッド２０は、供給口６を挟んで互いに平行に配置され、それぞれ複数の吐出口５から構成された、第１および第２の吐出口列を有している。第１および第２の吐出口列のうちの少なくとも一方は、隣接する各吐出口の間隔が１２００ｄｐｉに形成されている。このとき、第１および第２の吐出口列は、ドット配置の理由から必要に応じて、隣接する各吐出口間のピッチが互いにずれて配列されている場合もある。
【００２１】
このような液体吐出ヘッドは、特開平４−１０９４０号公報および特開平４−１０９４１号公報に開示されたインクジェット記録方法が適用されたインク吐出手段を有している。このような液体吐出ヘッドには、インクの吐出時に発生する気泡が吐出口を介して外気に連通されているものもある。
【００２２】
ここで、図２を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドにおける各部の寸法の一例を示す。なお、以下に示す寸法は、本発明を適用するのに好適な一例であるが、これに限定されるものではない。
【００２３】
例えば、吐出口５の配列ピッチはＰ＝２１μｍであり、１２００ｄｐｉ配列に対応している。その結果、発泡室１１の幅（吐出口の配列方向の長さ）はＷn＝１２．８μｍと、非常に狭くなっている。また、図示した吐出口５での吐出量は２．８ｎｇである。これを吐出する吐出口５の形状は、吐出口の幅の制約、有効面積の確保との兼ね合いから、幅がＷo＝８μｍ、長さがＬo＝１６μｍと、アスペクト比２．０（＝１６／８）の長円形状となっている。
【００２４】
吐出エネルギー発生素子２の形状も同様に、吐出口幅の寸法制約、有効面積確保との兼ね合いから、幅がＷh＝１０μｍで、長さがＬh＝３０μｍの、縦横比３．０の細長形状となっている。また、流路３の入口から吐出エネルギー発生素子２中心（重心）までの距離はＬn1＝２２．５μｍであり、吐出エネルギー発生素子２中心（重心）から発泡室１１の奥側（流路３に連通する側とは反対側）の端部までの距離はＬn2＝３９．６μｍである。また、吐出エネルギー発生素子２中心（重心）からノズルフィルタ１４の中心までの距離はＬnf＝５７．０μｍであり、供給口６中心から供給口６端部までの距離はａ＝５６μｍである。また、供給口６中心から吐出エネルギー発生素子２中心までの距離はｂ＝１３７．５μｍであり、ノズルフィルタ１４の直径はｃ＝１３μｍである。また、吐出エネルギー発生素子２中心から吐出口５中心までの距離は０μｍであり、すなわち、吐出エネルギー発生素子２の中心と吐出口５の中心とは一致している。
【００２５】
次に、図３を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッド、特に、発泡室の構成について説明する。
【００２６】
図３（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘッドの構成を模式的に示す平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った概略断面図である。
【００２７】
発泡室１１は、吐出口５の深さ方向および配列方向にそれぞれ直交する方向（図の左右方向）に延びる細長形状に形成され、一方の端部が、流路３を介して供給口６に連通している。発泡室１１内で吐出口５に対向して配置された吐出エネルギー発生素子２も、発泡室１１の形状に合わせて細長形状を有している。
【００２８】
また、流路形成部材４の吐出口５が形成された側の面には凹部９が形成されている。さらに、この凹部９に対応するように、発泡室１１には、発泡室１１の吐出口５側の内面と、発泡室１１の供給方向の奥側の側壁（発泡室の内面）と、を接続し、基板１の面に対して傾斜する傾斜面８が形成されている。傾斜面８は、発泡室１１の他方の端部（供給口６に連通する側とは反対側の端部）に形成され、吐出口５から発泡室１１の他方の端部に向かって吐出エネルギー発生素子２側に傾斜している。このような傾斜面８が設けられていることで、後述するように、発泡室１１内では、インクが流動しにくくなる部分を減らすことができる。
【００２９】
次に、図４を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法、特に、内面に傾斜面が形成される発泡室の形成方法について説明する。
【００３０】
図４は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造工程を示す概略断面図であり、図１（ｂ）に対応する図である。
【００３１】
まず、図４（ａ）に示すように、吐出エネルギー発生素子２が設けられた基板１上に、発泡室１１および流路３の型となる固体層７を形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、基板１上に、固体層７を覆うように流路形成部材４を形成する。本実施形態の流路形成部材４としては、高い機械的強度、耐インク性、基板との密着性等が要求されるため、ネガ型レジスト（有機樹脂）が好適に用いられ、特にエポキシ樹脂のカチオン重合物が好適に用いられる。また、本実施形態の固体層７としては、流路形成部材４で用いられるネガ型レジストで溶解せず、微細パターンが形成可能で、かつ吐出口形成後に除去が可能なことが要求されるため、ポジ型レジスト（有機樹脂）が好適に用いられる。
【００３２】
次に、図４（ｃ）に示すように、マスク（図示せず）を介して、フォトリソグラフィー技術により、流路形成部材４の、凹部９および吐出口５となる部分を除く領域を露光する。その後、流路形成部材４および固体層７の軟化点以上の温度で熱処理（ＰｏｓｔＥｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）を行うことで、流路形成部材４の露光された部分（露光部）の硬化が進行して樹脂が収縮する。また、軟化点以上に加熱されている固体層７は、流路形成部材４の露光部の硬化収縮に伴い、隙間を形成しないように流路形成部材４の露光部の硬化収縮に追随する。そのため、流路形成部材４の露光されていない部分（未露光部）１０では、図４（ｄ）に示すように、追随した体積に相当する固体層７が凹部９を形成する。さらに、軟化点以上で加熱された流路形成部材４の未露光部１０は、露光部の収縮によって増加した空間に応じて窪み、それに応じて、図４（ｅ）に示すように、固体層７にも窪みが形成され、それが傾斜面８となる。なお、凹部９の形状および配置は、使用する液体吐出ヘッドの必要特性に合わせてマスクパターンを適宜選択することで制御可能であり、凹部９の深さは、露光量、熱処理の温度および時間、流路形成部材４の膜厚によって制御可能である。
【００３３】
次に、マスク（図示せず）を介して、流路形成部材４の、凹部９（傾斜面８）を含む領域であって、吐出口５となる部分を除く領域を露光する。その後、再び熱処理を行い、現像することで、図４（ｆ）に示すように、吐出口５が形成される。
【００３４】
次に、基板１の背面（流路形成部材４および固体層７が設けられた面とは反対側の面）に、供給口６を形成するためのマスク（図示せず）を適切に配置する。そして、基板１の表面（流路形成部材４および固体層７が設けられた面）をゴム膜（図示せず）によって保護した後、Ｓｉからなる基板１の異方性エッチングによって供給口６を形成する。異方性エッティング完了後、基板１の表面のゴム膜を除去し、溶剤を用いて固体層７を溶解除去し、流路形成部材４を完全に硬化させるために、２００℃で１時間加熱プロセスを実施する。その後、電気的な接続およびインク供給の手段を適宜配置して、図４（ｇ）に示す液体吐出ヘッド２０が完成する。
【００３５】
次に、図５および図６を用いて、発泡室１１の吐出口５側の内面に形成された傾斜面８の効果について説明する。
【００３６】
図５は、従来の液体吐出ヘッド１２０の吐出口５付近の構成を示す概略断面図であり、実際のインク吐出時に吐出口５が下側を向いている様子を示している。
【００３７】
図５に示す構成では、インク吐出を繰り返し行った場合、インク吐出時に発生する気液界面（メニスカス）が流路形成部材４の吐出口５表面近傍に残存するインクと接触する。この際に、インク吐出時に必要な気泡とは異なる、余分で微小な泡が発生し、それが発泡室１１内に取り込まれてしまう場合がある。
【００３８】
このような微小な泡も、インク吐出時に生成する、吐出エネルギー発生素子（図５には図示せず）上で発生させる気泡等と早い段階で合体し、インク吐出時に吐出口５を通じて大気に解放されれば、大きな問題が発生することはない。
【００３９】
しかしながら、上述したように、例えば１２００ｄｐｉなど、吐出口５を高密度に配置し、それに応じて細長形状の発泡室１１を採用した場合、吐出口５の端部から発泡室１１の端部までの距離Ｌaが大きくなる。そのため、通常のインク吐出時に発生するインクの流れだけでは、メニスカス面から取り込まれた気泡と吐出エネルギー発生素子上で発生させる気泡との合体等が起こらない場合がある。その場合、ある程度大きくなるまで発泡室１１の端部に滞留してしまう泡２１が存在することになる。
【００４０】
このように、泡２１が発泡室１１内の一部に溜まると、吐出エネルギー発生素子上で繰り返す発泡の効率が減少してしまう。また、発泡室１１の端部に溜まった泡２１とインク吐出時のメニスカスとが干渉して、突発的に起こる不吐出や液滴吐出時のヨレを引き起こすなど、液体吐出ヘッドの所望の印字性能を妨げる可能性が高くなってしまう。
【００４１】
図６は、本実施形態の液体吐出ヘッド２０において、発泡室１１の内面に傾斜面８が形成された、吐出口５付近の構成を示す概略断面図である。図６も同様に、吐出口５が下側を向いている様子を示している。
【００４２】
本実施形態では、発泡室１１の吐出口５側の内面に、上述したように、吐出口５から発泡室１１の奥側（図の右側）に向かって吐出エネルギー発生素子側（図の上側）に傾斜した傾斜面８が設けられている。これにより、発泡室１１内でインクが流動しにくくなる部分、すなわち、発泡室１１内に取り込まれた余計な気泡２１が滞留する部分をできるだけ小さくすることができる。これにより、たとえ微小な気泡が堆積して大きな気泡になった場合でも、それがインク吐出に多大な影響を及ぼす前に吐出エネルギー発生素子上で発生させる気泡等と早い段階で合体させ、インク吐出時に吐出口５を通じて大気に解放させることができる。そのため、印字性能に与える影響を少なくすることができる。このような傾斜面としては、図６に示すような、発泡室１１の内側に向かって凸となる（突出する）曲面によって形成されたものが、気泡の滞留を抑制する点で好ましいが、これに限らず、平面によって形成されたものであってもよい。
【００４３】
次に、いくつかの実施例を挙げて、本発明の液体吐出ヘッドについて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、それらをさらに組み合わせたものであってもよく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することもできる。
【００４４】
（実施例１）
図７は、本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０を示す模式図である。
【００４５】
本実施例では、上述した実施形態に基づいて、図７に示す液体吐出ヘッド２０を作製した。具体的には、吐出口５すなわち吐出エネルギー発生素子２を、インラインに１２００ｄｐｉで配列させ、その配列方向に沿って、各吐出エネルギー発生素子２の中心が直線的に並ぶように配置した。そして、各吐出エネルギー発生素子２に対して、流路３、発泡室１１、および吐出口５を形成した。なお、図には示していないが、供給口６を挟んだ反対側にも、同様の構成が設けられている。
【００４６】
また、発泡室１１の内面に傾斜面８を形成するための凹部９を、約１２００ｄｐｉのピッチで配列した発泡室１１の配列方向に沿って長方形の帯状に形成し、少なくとも２つ以上の吐出口５にわたって一括して形成した。このように一括して凹部９を形成することで、隣接する発泡室１１間に、ほぼ均一な傾斜面８を形成することが可能となる。
【００４７】
本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０を用いて記録印字を行ったところ、流路内での泡の残存が少なくなり、従来ではランダムに起こっていた、突発的な不吐出や液滴吐出時のヨレも少なく、良好な印字が可能となった。
【００４８】
（実施例２）
図８は、本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０を示す模式図である。
【００４９】
本実施例の液体吐出ヘッド２０は、複数の吐出エネルギー発生素子２のうち、一部の吐出エネルギー発生素子２に対して、実施例１と同様の凹部９が形成され、それ以外の部分で、実施例１と異なっている。具体的には、供給口６に並行して配置される２群の吐出エネルギー発生素子２のうち、一方の群（図の左側）に対しては、実施例１と同様に凹部９を作製した。その一方で、他方の群（図の右側）に対しては、少なくとも１つの吐出口５上に、傾斜面８を形成するための凹部９を形成するのと同時に、別の凹部９’を形成した。
【００５０】
これには、異なる目的で複数の凹部９，９’を設ける場合に、傾斜面８を形成するための凹部９と、吐出口５上に形成する凹部９’とが干渉しないように、それぞれを形成することができるという利点がある。なお、１つの吐出エネルギー発生素子２（すなわち１つの吐出口５）に対して、それぞれの凹部９，９’を両方形成できるスペースがある場合には、それらを両方形成することもできる。このように本発明では、基板１上に形成される全ての吐出口において上述した傾斜面が設けられている必要はなく、発泡室の形状や吐出量等が異なり、泡だまりの影響が小さい吐出口に関しては、上述した傾斜面が形成されていなくてもよい。
【００５１】
本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０において記録印字を行ったところ、流路内への泡の残存が少なくなり、従来ではランダムに起こっていた、突発的な不吐出や液滴吐出時のヨレも少なく、良好な印字が可能となった。
【００５２】
（実施例３）
図９は、本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０を示す模式図である。
【００５３】
本実施例では、供給口６に並行して配置される２群の吐出エネルギー発生素子２のうち、少なくとも１群について、吐出エネルギー発生素子２の中心位置が千鳥状になるように配置した。
【００５４】
さらに、千鳥状に配置した吐出エネルギー発生素子２のうち、供給口６からの距離が長い方の吐出エネルギー発生素子２に対応する発泡室１１にのみ傾斜面８が設けられるように、凹部９を形成した。これは、千鳥状に配置した吐出エネルギー発生素子２のうち、供給口６からの距離が長い方の吐出エネルギー発生素子２の方が、短い方の吐出エネルギー発生素子２に比べて、その縦横比が大きくなることが多いためである。つまり、供給口６からの距離が長い方が、吐出口５と発泡室１１の奥側の壁との距離が長くなることから、傾斜面８の必要性がより高くなるためである。このように、吐出エネルギー発生素子２もしくは発泡室１１の形状が異なる場合、少なくとも縦横比が大きい側の吐出口側に傾斜面を設けることが好ましい。
【００５５】
本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０において記録印字を行ったところ、流路内への泡の残存が少なくなり、従来ではランダムに起こっていた、突発的な不吐出や液滴吐出時のヨレも少なく、良好な印字が可能となった。
【００５６】
（実施例４）
図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０を示す模式図であり、図１０（ａ）は平面図、図１０（ｂ）は断面斜視図である。
【００５７】
本実施例では、実施例３の構成に加えて、周囲に傾斜面８を形成するための凹部９が形成されていない少なくとも１つの吐出口５に対して、実施例２と同様の凹部９’を、傾斜面８を形成するための凹部９と同時に形成した。すなわち、千鳥状に配置した吐出エネルギー発生素子２のうち、供給口６からの距離が短い方の吐出エネルギー発生素子２に対して、吐出口５上に凹部９’を形成した。これにより、傾斜面８を形成するための凹部９と吐出口５上に形成する凹部９’とを干渉しにくくすることができる。なお、凹部９’によって、供給口６からの距離が長い方の吐出エネルギー発生素子２に対応する流路３には、流路３内に突出する凸部が形成されている。
【００５８】
本実施例で作製した液体吐出ヘッド２０において記録印字を行ったところ、流路内への泡の残存が少なくなり、従来ではランダムに起こっていた、突発的な不吐出や液滴吐出時のヨレも少なく、良好な印字が可能となった。
【符号の説明】
【００５９】
２  吐出エネルギー発生素子
５  吐出口
８  傾斜面
１１  発泡室
２０  液体吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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