(57)【要約】【課題】  内部にコイルを備えた、生産性が高く、信頼性の高い積層型電子部品を提供する。【解決手段】  本発明の積層型電子部品は、第１磁性体部１と、低透磁率部２と、第２磁性体部３と、低透磁率部２内に配置された、少なくとも１つの、環状または渦巻き状のコイル５ａ、５ｂと、低透磁率部２内において、第１磁性体部１と第２磁性体部３を繋ぎ、コイル５ａ、５ｂの内側を貫通して配置された柱状磁性体部とを備え、柱状磁性体部が複数からなるようにした（貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃそれぞれの積層体が柱状磁性体に該当する）。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１磁性体部と、
前記第１磁性体部上に積層された低透磁率部と、
前記低透磁率部上に積層された第２磁性体部と、
前記低透磁率部内に配置された、少なくとも１つの、環状または渦巻き状のコイルと、
前記低透磁率部内において、前記第１磁性体部と前記第２磁性体部を繋ぎ、前記コイルの内側を貫通して配置された柱状磁性体部とを備えた積層型電子部品において、
前記柱状磁性体部が、複数からなることを特徴とする積層型電子部品。
【請求項２】
前記コイルが１対からなり、当該１対のコイルが相互に電磁結合されてコモンモードチョークコイルが構成されていることを特徴とする、請求項１に記載された積層型電子部品。
【請求項３】
前記柱状磁性体部の横断面が、円形であることを特徴とする、請求項１または２に記載された積層型電子部品。
【請求項４】
複数の磁性体シートを準備する工程と、
複数の低透磁率シートを準備する工程と、
前記低透磁率シートに、当該低透磁率シートを貫通する複数の孔を形成する工程と、
前記複数の孔に磁性体を充填する工程と、
前記複数の低透磁率シートのうち、所定のものの表面に、環状または渦巻き状のコイル導体を形成する工程と、
所定の枚数からなる前記磁性体シートを積層し、第１磁性体部を形成する工程と、
前記第１磁性体部上に、前記孔に前記磁性体が充填され、所定のものの表面に前記コイル導体が形成された、前記複数の低透磁率シートを、所定の順番に積層して、低透磁率部を形成する工程と、
前記低透磁率部上に、所定の枚数からなる前記磁性体シートを積層し、第２磁性体部を形成する工程と、
前記第１磁性体部、前記低透磁率部、前記第２磁性体部からなる積層体を焼成する工程を備えたことを特徴とする、積層型電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記複数の孔に磁性体を充填する工程が、前記低透磁率シートを保持シート上に貼着しておこなわれ、前記磁性体を充填した後に、前記保持シートが前記低透磁率シートから剥離されることを特徴とする、請求項５に記載された積層型電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記低透磁率シートの前記保持シートからの剥離において、前記低透磁率シートの、前記磁性体が充填された前記複数の孔の存在する部分が、時間をずらして順番に剥離されることを特徴とする、請求項６に記載された積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部にコイルを備えたコモンモードチョークコイルなどの積層型電子部品に関し、さらに詳しくは、生産性が高く、信頼性の高い積層型電子部品に関する。
【０００２】
また、本発明は、積層型電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、コモンモードチョークコイルなどの電子部品は、フェライトなどからなるコアに巻線を施したものが一般的であった。しかしながら、コイル部品においても、小型化が重要な課題となっており、近時、セラミック積層技術を利用して製造した、内部にコイルを備えた積層型電子部品が広く使用されるようになってきている。
【０００４】
例えば、そのような積層型電子部品として、特許文献１（特開２００５−２６８４５５号公報）に、コモンモードチョークコイルが開示されている。
【０００５】
図７に、特許文献１に開示されたコモンモードチョークコイル２００を示す。ただし、図７は分解斜視図である。
【０００６】
コモンモードチョークコイル２００は、第１磁性体部１０１上に低透磁率部１０２が積層され、低透磁率部１０２上に第２磁性体部１０３が積層された構造からなる。
【０００７】
第１磁性体部１０１は、複数の磁性体シート１０１ａが積層された構造からなる。
【０００８】
低透磁率部１０２は、複数の低透磁率シート１０２ａが、内部に渦巻き状のコイル導体１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄを介在させて、積層された構造からなる。各低透磁率シート１０２ａには、表裏面を貫通して、矩形の孔１０２ｂが形成されている。孔１０２ｂは、磁性体シート１０２ａの、コイル導体１０４ａ〜１０４ｄの内側に対応する部分に形成されている。また、低透磁率シート１０２ａの所定のものには、所定の部分に、表裏間を電気的に接続するビア導体１０８ａ、１０８ｂが形成されている。
【０００９】
低透磁率部１０２の内部において、コイル導体１０４ａと１０４ｂがビア導体１０８ａを介して接続され、第１コイル１０５ａが形成されている。また、コイル導体１０４ｃと１０４ｄがビア導体１０８ｂを介して接続され、第２コイル１０５ｂが形成されている。そして、第１コイル１０５ａと第２コイル１０５ｂは、相互に電磁結合されてコモンモードチョークコイルが構成されている。
【００１０】
第２磁性体部１０３は、複数の磁性体シート１０３ａが積層された構造からなる。
【００１１】
コモンモードチョークコイル２００の表面には、外部電極１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄが形成されている。外部電極１０６ａはコイル導体１０４ａの一端と、外部電極１０６ｂはコイル導体１０４ｂの一端と、外部電極１０６ｃはコイル導体１０４ｃの一端と、外部電極１０６ｄはコイル導体１０４ｄの一端とそれぞれ接続されている。
【００１２】
かかる構造からなるコモンモードチョークコイル２００は、たとえば、未焼成のグリーンシート状の、磁性体シート１０１ａと、予め孔１０２ｂ、ビア導体１０８ａ、１０８ｂ、コイル導体１０４ａ〜１０４ｄが形成された低透磁率シート１０２ａと、磁性体シート１０３ａを、それぞれ所定の枚数、所定の順番に積層し、圧着して積層体を形成し、その積層体を所定のプロファイルで焼成し、焼成された積層体の表面に導電ペーストを焼付けるなどして外部電極１０６ａ〜１０６ｄを形成することにより製造される。
【００１３】
なお、磁性体シート１０１ａと低透磁率シート１０２ａと磁性体シート１０３ａを積層し、圧着して積層体を形成するとき、下側の磁性体シート１０１ａと上側の磁性体シート１０３ａが、圧力により低透磁率シート１０２ａに形成された孔１０２ｂの内部に入り込み、孔１０２ｂの内部において、下側の磁性体シート１０１ａと上側の磁性体シート１０３ａが繋がった状態となる。すなわち、コモンモードチョークコイル２００は、第１磁性体部１０１と第２磁性体部１０３が、両者の間に存在する低透磁率部１０２を柱状に貫通して繋がった構造となっており、その低透磁率部１０２を貫通する柱状の磁性体の周囲に、コイル導体１０４ａ〜１０４ｄがそれぞれ配置された構造となっている。
【００１４】
しかしながら、特許文献１に開示されたコモンモードチョークコイル２００においては、低透磁率シート１０２ａの孔１０２ｂに入り込む下側の磁性体シート１０１ａと上側の磁性体シート１０３ａの量が不足すると、両者が繋がらない場合があるという問題があった。すなわち、この場合には、コモンモードチョークコイル２００は、第１磁性体部１０１と第２磁性体部１０３が両者の間に存在する低透磁率部１０２を貫通して繋がった構造とはならず、不良品になってしまうという問題があった。
【００１５】
この問題を解決する方法として、低透磁率シート１０２ａの孔１０２ｂの内部に、予め磁性体を充填しておく方法が考えられる。たとえば、特許文献２（特開２０００−３２１３４１号公報）には、低透磁率シート（非磁性体シート）に形成された孔に予め磁性体を充填しておいたうえで、複数の下側の磁性体シート、複数の低透磁率シート、複数の上側の磁性体シートを、低透磁率シートの間にコイル導体（コイルパターン）を介在させて積層し、圧着して積層体を形成し、焼成してコイルを形成する方法が開示されている。なお、特許文献２は磁気センサについての発明を開示するものであるが、この磁気センサは内部にコイルを備えている。
【００１６】
特許文献２に開示されたコイルを製造するにあたり、低透磁率シートに形成された孔に磁性体を充填するには、たとえば、次の方法によれば良い。
【００１７】
まず、加工に用いるための保持シートを準備する。
【００１８】
次に、保持シート上に、低透磁率スラリー（低透磁率材料、バインダー、溶剤を混練したもの）を一定の厚みに塗布して低透磁率シートを形成する。
【００１９】
次に、保持シート上に形成された低透磁率シートに枠状の刃を押圧し、続いて引き離し、刃の内側の低透磁率シート部分のみをくり抜き、低透磁率シートに孔を形成する。また、所定の低透磁率シートには、ビア導体用の孔も形成する。
【００２０】
次に、低透磁率シートに形成された孔の内部に磁性体スラリー（磁性体材料、バインダー、溶剤を混練したもの）を充填する。充填は、たとえば、低透磁率シートの一方の主面側から、低透磁率シートに形成された孔、および孔周辺に、磁性体スラリーを塗布することによりおこなうことができる。
【００２１】
また、上述したビア導体用の孔の内部に、導電性ペーストを充填する。
【００２２】
次に、低透磁率シートの所定のものの表面に、導電性ペーストを印刷して、所定の形状からなるコイル導体を形成する。なお、このコイル導体の形成は、低透磁率シートに孔を形成する前におこなっても良い。
【００２３】
最後に、保持シートから、孔に磁性体が充填された低透磁率シートを剥離する。
【００２４】
このような工程を経て得られた低透磁率シートを使用して製造されたコイルは、第１磁性体部と第２磁性体部が、低透磁率部を貫通して形成された柱状の磁性体により、確実に繋げられた構造となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開２００５−２６８４５５号公報
【特許文献２】特開２０００−３２１３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
しかしながら、上述した従来の技術には、不良品発生率が高く、生産性が悪いという問題があった。
【００２７】
すなわち、低透磁率シートに形成された孔に磁性体を充填する工程のうち、保持シートから孔に磁性体が充填された低透磁率シートを剥離する工程において、孔の開口面積が大きいと、磁性体が孔から抜けてしまうという問題があった。つまり、せっかく充填した磁性体が保持シートの表面に残り、孔が空洞になった低透磁率シートが保持シートから剥離されるという問題があった。
【００２８】
この問題は、低透磁率シートに形成する孔の断面積が大きいほど深刻であり、磁性体が孔から抜けてしまう頻度が高くなる傾向にあった。
【００２９】
そして、孔が空洞になった低透磁率シートを使用して製造したコイルは不良品となるため、生産性が悪いという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明は、上述した、従来技術の有する問題を解決するためになされたものである。その手段として、本発明の積層型電子部品は、第１磁性体部と、第１磁性体部上に積層された低透磁率部と、低透磁率部上に積層された第２磁性体部と、低透磁率部内に配置された、少なくとも１つの、環状または渦巻き状のコイルと、低透磁率部内において、第１磁性体部と第２磁性体部を繋ぎ、コイルの内側を貫通して配置された柱状磁性体部とを備え、柱状磁性体部が、複数からなるようにした。
【００３１】
本発明の積層型電子部品は、低透磁率シートに形成される磁性体を充填するための孔を複数に分割して形成することがきるので、個々の孔の断面積を小さくすることができ、保持シートから孔に磁性体が充填された低透磁率シートを剥離する工程において、磁性体が孔から抜けてしまうことがない。
【００３２】
なお、コイルとして１対のものを形成し、それらのコイルを相互に電磁結合させることにより、コモンモードチョークコイルを構成することができる。
【００３３】
また、柱状磁性体部の横断面は、たとえば、円形とすることができる。この場合には、保持シートから低透磁率シートを剥離する工程において、孔に充填された磁性体は、まず１点から剥離され、時間の経過とともに、剥離される幅が徐々に大きくされてゆくため、孔に充填された磁性体を無理なく剥離することができ、より磁性体が孔から抜けにくくなる。
【００３４】
また、上述した従来技術の有する問題を解決するため、本発明の積層型電子部品の製造方法は、複数の磁性体シートを準備する工程と、複数の低透磁率シートを準備する工程と、低透磁率シートに、低透磁率シートを貫通する複数の孔を形成する工程と、複数の孔に磁性体を充填する工程と、複数の低透磁率シートのうち、所定のものの表面に、環状または渦巻き状のコイル導体を形成する工程と、所定の枚数からなる磁性体シートを積層し、第１磁性体部を形成する工程と、第１磁性体部上に、孔に前記磁性体が充填され、所定のものの表面にコイル導体が形成された、複数の低透磁率シートを、所定の順番に積層して、低透磁率部を形成する工程と、低透磁率部上に、所定の枚数からなる磁性体シートを積層し、第２磁性体部を形成する工程と、第１磁性体部、低透磁率部、第２磁性体部からなる積層体を焼成する工程を備えるようにした。
【００３５】
複数の孔に磁性体を充填する工程は、たとえば、低透磁率シートを保持シート上に貼着し、磁性体を充填した後に、低透磁率シートを保持シートから剥離することによっておこなうことができる。この場合において、本発明の積層型電子部品の製造方法は、低透磁率シートに形成される磁性体を充填するための孔を複数に分割して形成されているので、個々の孔の断面積を小さくすることができるため、保持シートから孔に磁性体が充填された低透磁率シートを剥離する工程において、磁性体が孔から抜けてしまうことがない。
【００３６】
なお、低透磁率シートの保持シートからの剥離において、低透磁率シートの、磁性体が充填された複数の孔の存在する部分を、時間をずらして順番に剥離するようにすることができる。孔の存在する部分を剥離するときには、低透磁率シートに不安定な引張り力がかかるため、複数の孔の存在する部分を同時に剥離すると、低透磁率シートは破れやすい。しかしながら、上記のように、複数の孔の存在する部分を、時間をずらして順番に剥離するようにすれば、低透磁率シートの破れを防止することができる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明の積層型電子部品および積層型電子部品の製造方法によれば、低透磁率シートに形成される磁性体を充填するための孔を複数に分割して形成することがきるため、個々の孔の断面積を小さくすることができ、保持シートから低透磁率シートを剥離する工程において、磁性体が孔から抜けてしまうことがない。したがって、本発明によれば、不良品の発生率を抑えることができ、生産性が高くなる。
【００３８】
また、本発明の積層型電子部品は、柱状磁性体部が複数からなるため、万一、１つの柱状磁性体部が非貫通となった場合でも、もともと柱状磁性体部が１つ積層型電子部品の柱状磁性体部が非貫通となった場合よりも、電気的特性の劣化が小さい。したがって、本発明の積層型電子部品は、信頼性が高い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００を示す分解斜視図である。
【図２】図２（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の製造方法において適用される各工程を示す断面図である。
【図３】図３（Ｄ）〜（Ｆ）は、図２の続きであり、それぞれ、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の製造方法において適用される各工程を示す断面図である。
【図４】図４（Ｇ）は、図３の続きであり、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の製造方法において適用される工程を示す断面図である。
【図５】図５（Ｈ）、（Ｉ）は、図４の続きであり、それぞれ、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の製造方法において適用される各工程を示す断面図である。
【図６】図６（Ａ）は、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の製造方法において、保持シート９ｂから低透磁率シート２ａを剥離する工程を示す平面図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の変形例を示す平面図である。
【図７】従来のコモンモードチョークコイル２００を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００４１】
図１は、本実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００を示す分解斜視図である。
【００４２】
コモンモードチョークコイル１００は、第１磁性体部１上に低透磁率部２が積層され、低透磁率部２上に第２磁性体部３が積層された構造からなる。なお、低透磁率部２は、第１磁性体部１および第２磁性体部３、さらに後述する貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃよりも透磁率の低い材質で形成されたものであるが、材質は磁性体であるか非磁性体であるかを問わない。たとえば、低透磁率部２に、第１磁性体部１よりも透磁率が低い同一組成系の磁性体材料を使用しても良い。
【００４３】
第１磁性体部１は、複数の磁性体シート１ａが積層された構造からなる。なお、本実施形態のコモンモードチョークコイル１００は、後述するように、積層体が一体焼成されたものであるため、第１磁性体部１内部において、磁性体シート１ａ同士の界面が消失している場合がある。第１磁性体部１の材質としては、たとえば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト、六方晶フェライトなどを用いることができる。
【００４４】
低透磁率部２は、複数の低透磁率シート２ａが、内部に渦巻き状のコイル導体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを介在させて、積層された構造からなる。各低透磁率シート２ａには、表裏面を貫通して、３つの、横断面が円形の貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃが形成されている。貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃは、磁性体シート２ａの、コイル導体４ａ〜４ｄの内側に対応する部分に形成されている。なお、本実施形態においては、製造方法の都合により、貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃは、各低透磁率シート２ａの上側の主面上に形成された膜状磁性体７ｄにより繋がっている。また、低透磁率シート２ａの所定のものには、所定の部分に、表裏間を電気的に接続するビア導体８ａ、８ｂが形成されている。
【００４５】
そして、複数の低透磁率シート２ａが積層されることにより、各低透磁率シートに形成された貫通磁性体７ａが積層されて１つの柱状磁性体部が形成され、貫通磁性体７ｂが積層されて別の１つの柱状磁性体部が形成され、貫通磁性体７ｃが積層されてさらに別の１つの柱状磁性体部が形成され、合計３つの柱状磁性体部が形成されている。
【００４６】
低透磁率部２の材質には、たとえば、透磁率がほぼ１のガラスセラミックスのような非磁性体や、透磁率が１〜１０程度のＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、非磁性フェライトなどを用いることができる。また、貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃの材質には、上述した第１磁性体部と同じものを用いることができる。さらに、コイル導体４ａ〜４ｄ、ビア導体８ａ、８ｂの材質には、たとえば、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｌ、Ａｇなどの金属や、これらの合金を用いることができる。なお、本実施形態のコモンモードチョークコイル１００は、後述するように、積層体が一体焼成されたものであるため、低透磁率部２内部において、低透磁率シート２ａ同士の界面や、貫通磁性体７ａ同士、貫通磁性体７ｂ同士、貫通磁性体７ｃ同士の界面が消失している場合がある。
【００４７】
低透磁率部２の内部において、コイル導体４ａと４ｂがビア導体８ａを介して接続され、第１コイル５ａが形成されている。また、コイル導体４ｃと４ｄがビア導体８ｂを介して接続され、第２コイル５ｂが形成されている。そして、第１コイル５ａと第２コイル５ｂは、相互に電磁結合されてコモンモードチョークコイルが構成されている
第２磁性体部３は、複数の磁性体シート３ａが積層された構造からなる。第２磁性体部３の材質には、第１磁性体部１の材質と同じものを用いることができる。なお、本実施形態のコモンモードチョークコイル１００は、後述するように、積層体が一体焼成されたものであるため、第２磁性体部３内部において、磁性体シート３ａ同士の界面が消失している場合がある。
【００４８】
コモンモードチョークコイル１００の表面には、外部電極６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄが形成されている。外部電極６ａはコイル導体４ａの一端と、外部電極６ｂはコイル導体４ｂの一端と、外部電極６ｃはコイル導体４ｃの一端と、外部電極６ｄはコイル導体４ｄの一端とそれぞれ接続されている。外部電極６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの材質には、たとえば、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｌ、Ａｇなどの金属や、これらの合金を用いることができる。
【００４９】
本実施形態のコモンモードチョークコイル１００は、低透磁率部２の内部に３つの柱状磁性体部（貫通磁性体７ａが積層されたもの、貫通磁性体７ｂが積層されたもの、貫通磁性体７ｃが積層されたもの）が形成され、第１磁性体部１と第２磁性体部３を繋いでいる。各柱状磁性体部の横断面は小さいが、３つを合わせることにより、従来技術と同等の断面積を備えている。したがって、従来技術と同等の電気的特性を得ることができる。
【００５０】
次に、図２（Ａ）〜図５（Ｉ）を参照して、本実施形態のコモンモードチョークコイル１００の製造方法の一例について説明する。
【００５１】
まず、図２（Ａ）に示すように、加工に用いるためのＰＥＴなどからなる保持シート９ａを準備し、保持シート９ａ上に、磁性体スラリーを所定の厚みに塗布して、多数個の磁性体シート１ａまたは３ａがマトリックス状に配置された、マザー磁性体シート１Ａ（３Ａ）を作製する。なお、図２（Ａ）においては、マザー磁性体シート１Ａ（３Ａ）の隣接する磁性体シート１ａ（３ａ）同士の境界を、鎖線で示している。磁性体スラリーの塗布は、たとえばドクターブレード法によりおこなう。マザー磁性体シート１Ａ（３Ａ）は、必要に応じて複数枚作成する。
【００５２】
また、図２（Ｂ）に示すように、加工に用いるためのＰＥＴなどからなる保持シート９ｂを準備し、保持シート９ｂ上に、低透磁率スラリーを所定の厚みに塗布して、多数個の低透磁率シート２ａがマトリックス状に配置された、マザー低透磁率シート２Ａを作製する。なお、図２（Ｂ）においては、マザー低透磁率シート２Ａの隣接する低透磁率シート２ａの境界を、鎖線で示している（以下の図においても同じ）。低透磁率スラリーの塗布は、たとえばドクターブレード法によりおこなう。マザー低透磁率シート２Ａは、必要に応じて複数枚作製する。
【００５３】
次に、図２（Ｃ）に示すように、マザー低透磁率シート２Ａの各低透磁率シート２ａに、貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃを形成するための３つの孔７ａ’、７ｂ’、７ｃ’を形成する。なお、図２（Ｃ）では、図１における低透磁率シート２ａの鎖線矢印Ｘ−Ｘ部分に該当する部分の断面を示しているため、孔７ａ’のみが現れており、孔７ｂ’、７ｃ’は現れていない。孔７ａ’、７ｂ’、７ｃ’の形成は、たとえば、保持シート９ｂ上に形成された各低透磁率シート２ａに、環状の刃を押圧し、続いて引き離し、刃の内側の低透磁率シート部分のみをくり抜くことによりおこなう。
【００５４】
また、図示しないが、マザー低透磁率シート２Ａのうちの所定のものの各低透磁率シート２ａに、ビア導体８ａまたは８ｂを形成するための孔８ａ’、８ｂ’を形成する。孔８ａ’、８ｂ’の形成は、たとえば、レーザー光を照射することによりおこなう。
【００５５】
次に、図３（Ｄ）に示すように、マザー低透磁率シート２Ａの各低透磁率シート２ａに形成した３つの孔７ａ’、７ｂ’、７ｃ’内に、磁性体スラリーを充填して、貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃを形成する。磁性体スラリーの充填は、たとえばスクリーン印刷法によりおこなう。
【００５６】
なお、本実施形態においては、このとき、各低透磁率シート２ａの上側の主面上の孔７ａ’、７ｂ’、７ｃ’を含む領域に、円形の膜状磁性体７ｄが形成される。膜状磁性体７ｄは、貫通磁性体７ａ、７ｂ、７ｃそれぞれと繋がっている。なお、膜状磁性体７ｄは、本発明において必須のものではなく、孔７ａ’、７ｂ’、７ｃ’内のみに磁性体スラリーを供給するようにしても良い。なお、図３（Ｄ）では、図１における低透磁率シート２ａの鎖線矢印Ｘ−Ｘ部分に該当する部分の断面を示しているため、貫通磁性体７ａのみが現れており、貫通磁性体７ｂ、７ｃは現れていない。
【００５７】
また、図示しないが、マザー低透磁率シート２Ａのうち孔８ａ’または８ｂ’が形成されたものには、孔８ａ’または８ｂ’内に導電性ペーストを充填し、ビア導体８ａまたは８ｂを形成する。導電性ペーストの充填は、たとえばスクリーン印刷法によりおこなう。
【００５８】
次に、図３（Ｅ）に示すように、マザー低透磁率シート２Ａのうちの所定のものの各低透磁率シート２ａ上に、コイル導体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのいずれかを形成する。コイル導体４ａ〜４ｄの形成は、たとえば、導電性ペーストを所望の形状にスクリーン印刷することによりおこなう。なお、コイル導体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは、それぞれ異なった形状に形成される。
【００５９】
次に、図示しないが、保持シート９ａからマザー磁性体シート１Ａおよび３Ａを剥離する。
【００６０】
また、図３（Ｆ）に示すように、保持シート９ｂからマザー低透磁率シート２Ａを剥離する。マザー低透磁率シート２Ａを保持シート９ｂから剥離する工程については、別途、図６（Ａ）に平面図を示す。ただし、図６（Ａ）では、マザー低透磁率シート２Ａの中の１つの低透磁率シート２ａ部分を示しているため、以下の説明においては、低透磁率シート２ａを１つの単位として説明する。
【００６１】
図６（Ａ）に示すように、低透磁率シート２ａを保持シート９ｂから矢印Ｄ方向に剥離すると、まず、貫通磁性体７ｃが剥離され始める。続いて、貫通磁性体７ｃが剥離されている途中に、貫通磁性体７ａが剥離され始める。続いて、貫通磁性体７ｃが完全に剥離された後、かつ貫通磁性体７ａが剥離されている途中に、貫通磁性体７ｂが剥離され始める。このように、貫通磁性体７ａ〜７ｃは、時間をずらして順番に剥離されることが好ましい。貫通磁性体７ａ〜７ｃの存在する部分（孔の存在する部分）を剥離するときには、低透磁率シート２ａに不安定な引張り力がかかるため、同時に剥離すると、低透磁率シート２ａは破れやすい。しかしながら、貫通磁性体７ａ〜７ｃを、時間をずらして順番に剥離するようにすれば、低透磁率シート２ａの破れを防止することができる。
【００６２】
なお、図６（Ｂ）に示すように、貫通磁性体７ａ〜７ｃの形成位置を変更して、貫通磁性体７ｃが完全に剥離された後に、貫通磁性体７ａの剥離が開始され、貫通磁性体７ａが完全に剥離された後に、貫通磁性体７ｂの剥離が開始されるようにすれば、低透磁率シート２ａの破れを防止する効果はより高くなる。
【００６３】
このように、低透磁率シート２ａ（マザー低透磁率シート２Ａ）を保持シート９ｂから剥離するが、本発明においては、低透磁率部２内に形成された柱状磁性体部が複数に分割され、個々の横断面積が小さくなっているため、低透磁率シート２ａに形成する各貫通磁性体７ａ〜７ｃの面積も小さくなっており、低透磁率シート２ａを保持シート９ｂから剥離するときに、貫通磁性体７ａ〜７ｃが保持シート９ｂに残ることがなく、低透磁率シート２ａから抜けてしまうことがない。
【００６４】
次に、図４（Ｇ）に示すように、複数枚のマザー磁性体シート１Ａと、複数枚のマザー低透磁率シート２Ａと、複数枚のマザー磁性体シート３Ａを積層する。
【００６５】
次に、図５（Ｈ）に示すように、積層されたマザー磁性体シート１Ａ、マザー低透磁率シート２Ａ、マザー磁性体シート３Ａを圧着して一体化させ、未焼成のマザー積層体１０Ａを形成する。
【００６６】
次に、図示しないが、未焼成のマザー積層体１０Ａを所定のプロファイルで焼成して、焼成済のマザー積層体１０Ａを作製する。
【００６７】
次に、図５（Ｉ）に示すように、焼成済のマザー積層体１０Ａを個々の積層体１０に分割する。なお、個々の積層体への分割は、上述した焼成の前におこなうようにしても良い。
【００６８】
最後に、図示しないが、分割された積層体１０の表面に、外部電極６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを形成することにより、本実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００が完成する。外部電極６ａ〜６ｄの形成は、たとえば、導電性ペーストを所望の形状に塗布し、焼付けることによりおこなう。
【００６９】
以上、本発明の実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００の構造、および製造方法の一例について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更をなすことができる。
【００７０】
たとえば、本発明の積層型電子部品は、コモンモードチョークコイルには限られず、他の種類のコイル部品、あるいは内部にコイルを含む他の種類の電子部品であっても良い。また、コモンモードチョークコイルのように、２個のコイルを備えたものには限られず、１個のコイル、または３個以上のコイルを備えたものであっても良い。
【００７１】
また、低透磁率部の内部に形成される柱状磁性体の個数は、３個には限られず、２個、または４個以上であっても良い。
【００７２】
さらに、低透磁率部の内部に形成される柱状磁性体の横断面の形状は円形には限られず、矩形、あるいは他の多角形であっても良い。
【実験例】
【００７３】
本発明の積層型電子部品が、従来のものと同等の電気的特性を備えていること、また、複数の柱状磁性体部のうちの１つが非貫通となった場合でも、もともと柱状磁性体部が１つ積層型電子部品の柱状磁性体部が非貫通となった場合よりも、電気的特性の劣化が小さいことを確認するため、次の実験をおこなった。
【００７４】
実施例として、上述した実施形態にかかるコモンモードチョークコイル１００を用意した。なお、コモンモードチョークコイル１００の、低透磁率部２の内部に配置された、３つの、横断面が円形の柱状磁性体部（貫通磁性体７ａが積層されたもの、貫通磁性体７ｂが積層されたもの、貫通磁性体７ｃが積層されたもの）の直径は、それぞれ０．０６５ｍｍとした。
【００７５】
また、比較例として、低透磁率部２の内部に、１つの、横断面が長方形の柱状磁性体部を備えたコモンモードチョークコイルを用意した。柱状磁性体部の横断面は、０．１２ｍｍ×０．１０ｍｍとした。比較例のコモンモードチョークコイルの、他の部分は実施例と同一にした。また、製造方法も、同一にした。
【００７６】
実施例の３つの柱状磁性体部の横断面積の合計は０．０１ｍｍ2であり、比較例の柱状磁性体部の横断面積は０．０１２ｍｍ2であり、両者はほぼ等しい。
【００７７】
実施例と比較例の、１００ＭＨｚにおけるコモンモードインピーダンス（Ω）を、インピーダンスアナライザにより測定した。表１に示すように、実施例は１６０Ω、比較例は１８０Ωであり、両者の電気的特性はほぼ同等であった。
【００７８】
【表１】
2013183068.tif 000003
【００７９】
次に、電磁界シミュレータを使ったシミュレーションにより、実施例において３つの柱状磁性体部のうちの１つが非貫通となった場合と、実施例において柱状磁性体部が非貫通となった場合の、１００ＭＨｚにおけるコモンモードインピーダンス（Ω）を測定した。
【００８０】
表１に示すように、実施例は１３０Ω、比較例は８５Ωであった。柱状磁性体部が非貫通となった場合の比較例の変化率が−５３％であるのに対し、柱状磁性体部のうちの１つが非貫通となった場合の実施例の変化率は−１９％であり、実施例は比較例に対して、柱状磁性体部が非貫通となった場合の堅牢性が高いと言える。
【符号の説明】
【００８１】
１：第１磁性体部
１ａ：磁性体シート
１Ａ：マザー磁性体シート
２：低透磁率部
２ａ：低透磁率シート
２Ａ：マザー低透磁率シート
３：第２磁性体部
３ａ：磁性体シート
３Ａ：マザー磁性体シート
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ：コイル導体
５ａ：第１コイル
５ｂ：第２コイル
６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ：外部電極
７ａ’、７ｂ’、７ｃ’：孔
７ａ、７ｂ、７ｃ：貫通磁性体（貫通磁性体７ａが複数積層されることにより、貫通磁性体７ｂが複数積層されることにより、また貫通磁性体７ｃが複数積層されることにより、それぞれ柱状磁性体が構成される。）
７ｄ：膜状磁性体
８ａ’、８ｂ’：孔
８ａ、８ｂ：ビア導体
９ａ、９ｂ：保持シート
１０：積層体
１０Ａ：マザー積層体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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