(57)【要約】【課題】転がり軸受の軌道輪の製造方法として、従来の方法よりも、熱処理効率が高く、熱処理時の変形を小さくできる方法を提供する。【解決手段】内輪７に対して、先ず、一次熱処理室１で、減圧下でＡ1 変態点を超える温度に誘導加熱して浸炭処理を行った後に、Ａ1 変態点未満に冷却する。次に、誘導加熱部２の誘導加熱コイル２２内で、Ａ1 変態点を超える温度に誘導加熱する。次に、二次焼入れ・矯正部３で焼入れと矯正を行う。冷却途中のＭS 点に到達する前に、内輪７を外径拘束型３４に入れてＭS 点以下になるまで冷却する。次に、焼戻し部４で高周波焼戻しを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転がり軸受を構成する鋼製の軌道輪を、減圧下でＡ1 変態点を超える温度に誘導加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、Ａ1 変態点未満に冷却する浸炭・一次焼入れ工程と、
前記浸炭・一次焼入れ工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度に誘導加熱した後にＭS 点以下になるまで冷却する工程であって、冷却途中のＭS 点に到達する前に、前記軌道輪の外周面、内周面、および軌道溝肩のいずれか一箇所を拘束し、この状態で前記軌道輪の冷却を継続する二次焼入れ・矯正工程と、
前記二次焼入れ・矯正工程後の軌道輪を誘導加熱することで焼戻しを行う高周波焼戻し工程と、
をこの順に行うことを特徴とする転がり軸受軌道輪の製造方法。
【請求項２】
前記浸炭・一次焼入れ工程の冷却を、不活性ガスを用いたガス冷却法により行う請求項１記載の転がり軸受軌道輪の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、熱処理工程に特徴を有する転がり軸受軌道輪の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受の軌道輪を誘導加熱により浸炭または浸炭窒化処理を行う場合には、処理温度を高くして処理時間を短縮化することにより、熱処理効率を高めることが求められている。
例えば、特許文献１には、鋼部品の浸炭方法として、１．３３〜１３．３ｋＰａの減圧無酸化雰囲気下で高周波加熱手段により１０００〜１２００℃に加熱し、鎖状炭化水素ガス供給を行う浸炭処理と行わない拡散処理を、鋼部品の表面炭素量がオーステナイト固溶限に到達しない範囲で、各浸炭時間を５秒〜３分として適数回繰り返し、その後、減圧無酸化雰囲気下において一次冷却、再加熱、均熱保持及びガス焼入れを行う方法が記載されている。
しかし、処理温度を高くすると熱処理時の変形が大きくなるため、熱処理後に行う研削工程での取り代が多くなり、研削工程の作業効率が低下する。よって、転がり軸受の軌道輪を誘導加熱により浸炭または浸炭窒化処理を行う場合には、熱処理時の変形を低減することが求められている。
【０００３】
一方、自動車などの低燃費化の要求に伴って、機械部品の小型化や高効率化が行われている。そのため、機械部品の使用環境は、潤滑不良下や異物混入下などのより厳しい条件下となっている。
異物混入潤滑下で使用する転がり軸受の寿命を長くするためには、異物の噛み込みによって軌道面に生じた圧痕の周辺部に、応力が集中することを緩和する必要がある。このような応力集中の緩和を達成できる方法として、軌道面の残留オーステナイト量を多くする方法がある。軌道面に浸炭処理や浸炭窒化処理を行うことで、軌道面の残留オーステナイト量を多くすることができる。
【０００４】
特許文献２には、軸受部品（内輪、外輪および転動体の少なくとも一つ）に対する熱処理として、Ａ1 変態点（オーステナイト変態温度）を超える温度（Ｔ１）に加熱して浸炭窒化処理を行った後に、Ａ1 変態点未満に冷却する浸炭窒化工程と、前記浸炭窒化工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上であって浸炭窒化工程の加熱温度（Ｔ１）未満の温度（Ｔ２＜Ｔ１）に加熱（二次加熱）した後に冷却する焼入れ工程とを、この順に行う方法が記載されている。
【０００５】
特許文献２には、この方法によれば、オーステナイト結晶粒度の粒径が従来の２分の１以下となるミクロ組織を得ることができるため、一次加熱（浸炭窒化処理）に引き続いてそのまま１回焼入れし、二次加熱を行わない通常の浸炭窒化・焼入れ方法と比較して、表層部分を浸炭窒化しつつ、割れ強度を向上させ、経年寸法変化率を減少させることができるとの記載がある。
特許文献３および４には、鋼製部品をＡ1 変態点を越える温度（Ｔ１）に加熱した後、Ａ1 変態点未満に冷却して表面に窒素富化層を形成する一次熱処理装置と、一次熱処理後の鋼製部品を、Ａ1 変態点を越える温度（Ｔ２）に加熱した後、Ａ1 変態点未満に冷却する二次熱処理装置とを備え、二次熱処理装置が誘導加熱で加熱する装置であると共に、二次熱処理装置で型焼入れすることが記載されている。
【０００６】
特許文献３には、また、一次熱処理装置に真空炉を使用して、大気圧未満で鋼製部品と雰囲気ガスを接触させることにより、酸化および脱炭を防止して鋼製部品の光輝性を向上することが記載されている。
特許文献５には、軌道輪をオーステナイト変態温度以上に誘導加熱した後、回転している軌道輪に向けて冷却液を噴射することにより、軌道輪の表面温度がマルテンサイト変態開始温度（ＭS 点）より高い温度から５００℃までの温度範囲となるまで水冷した後、ＭS 点以下となるまでガス冷する焼入れ工程を備え、前記水冷またはガス冷中に、軌道輪を筒状の外径矯正型に入れて拘束し、軌道輪の外形寸法を矯正することを特徴とする転がり軸受軌道輪の製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許４０４１６０２号公報
【特許文献２】特開２００６−３１６８２１号公報
【特許文献３】特開２００５−１１３２１３号公報
【特許文献４】特開２００５−１３３２１２号公報
【特許文献５】特開２００９−２０３５２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明の課題は、転がり軸受を構成する鋼製の軌道輪を、Ａ1 変態点を超える温度に加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、 Ａ1 変態点未満に冷却する一次熱処理工程と、一次熱処理工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度に加熱した後に、ＭS 点以下になるまで冷却する二次熱処理工程と、を有する転がり軸受軌道輪の製造方法として、熱処理効率が高く、熱処理時の変形を小さくできる方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、この発明の転がり軸受軌道輪の製造方法は、下記の構成(1) 〜(3) の工程を順に行うことを特徴とする。
(1) 転がり軸受を構成する鋼製の軌道輪（内輪または外輪）を、減圧下でＡ1 変態点を超える温度Ｔ１に誘導加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、Ａ1 変態点未満に冷却する浸炭・一次焼入れ工程。
加熱温度Ｔ１が高いほど、浸炭または浸炭窒化処理にかかる時間が短くできが、高すぎるとオーバーヒートが発生する。オーバーヒートの発生温度は鋼種によって異なるが、軸受鋼の場合は１２５０℃程度、浸炭鋼の場合は１３００℃程度まで、加熱温度Ｔ１を高くすることができる。
加熱温度Ｔ１の範囲としては、加熱時間を短くすることが主な目的の場合には１０００℃〜１３００℃とすることが好ましく、良好な金属組織を確保しつつ加熱時間を短くするためには１０００℃〜１１００℃にすることが好ましい。
【００１０】
(2) 前記浸炭・一次焼入れ工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度Ｔ２に誘導加熱した後にＭS 点以下になるまで冷却する工程であって、冷却途中のＭS 点に到達する前に、前記軌道輪の外周面、内周面、および軌道溝肩のいずれか一箇所を拘束し、この状態で前記軌道輪の冷却を継続する二次焼入れ・矯正工程。
軌道輪の変形を抑制するために、加熱温度Ｔ２は８００℃〜９００℃にすることが好ましく、８３０℃〜８８０℃にすることがより好ましい。
【００１１】
(3) 前記二次焼入れ・矯正工程後の軌道輪を誘導加熱することで焼戻しを行う高周波焼戻し工程。
高周波焼戻し工程の加熱温度は、１６０℃〜３５０℃とすることが好ましく、１８０℃〜３００℃とすることがより好ましい。高周波焼戻し工程の加熱温度が３５０℃を超えると、靱性が不十分となる。高周波焼戻し工程の加熱温度が３００℃を超えると、硬さが不十分となる。
この発明の方法は、Ａ1 変態点を超える温度に加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、 Ａ1 変態点未満に冷却する一次熱処理工程と、一次熱処理工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度に加熱した後に、ＭS 点以下になるまで冷却する二次熱処理工程と、を有する転がり軸受軌道輪の製造方法に含まれ、前記構成(1) の工程が一次熱処理工程に対応し、前記構成(2) の工程が二次熱処理工程に対応する。
【００１２】
そして、この発明の方法では、一次熱処理工程の浸炭または浸炭窒化処理を減圧下で誘導加熱により行うことで、炉加熱により行った場合と比較して、一次熱処理工程に要する時間が短くなる。
また、二次熱処理工程の冷却途中のＭS 点に到達する前に、軌道輪の外周面、内周面、および軌道溝肩のいずれか一箇所を拘束し、この状態で前記軌道輪の冷却を継続することにより、過冷オーステナイトからマルテンサイトへの変態膨張を利用した矯正が行われる。よって、このような矯正を行わない場合と比較して、熱処理時の変形を小さくすることができる。
【００１３】
なお、ＭS 点は、浸炭または浸炭窒化処理により鋼材の表面と芯部とで異なるものとなる。前記構成(2) のＭS 点は、浸炭層または浸炭窒化層におけるＭS 点を意味する。
この発明の方法において、前記浸炭・一次焼入れ工程の冷却を、不活性ガスを用いたガス冷却法により行えば、水冷却法や油冷却法により行った場合と比較して冷却速度を遅くできるため、 一次焼入れ時の変形量が低減できる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の方法は、転がり軸受を構成する鋼製の軌道輪を、Ａ1 変態点を超える温度に加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、 Ａ1 変態点未満に冷却する一次熱処理工程と、一次熱処理工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度に加熱した後に、ＭS 点以下になるまで冷却する二次熱処理工程と、を有する転がり軸受軌道輪の製造方法であって、従来の方法よりも、熱処理効率が高く、熱処理時の変形を小さくできる方法である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態の方法を実施可能な処理ラインを示す概略構成図である。
【図２】図１の処理ラインを構成する一次熱処理室を示す図である。
【図３】図１の処理ラインを構成する誘導加熱部で、内輪を加熱している状態を示す図である。
【図４】図１の処理ラインを構成する二次焼入れ・矯正部で、内輪を冷却しながら矯正している状態を示す図である。
【図５】図１の処理ラインを構成する焼戻し部で、内輪を加熱している状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、この発明の実施形態について説明する。
この実施形態の方法では、図１に示す処理ラインを使用して、転がり軸受の内輪（軌道輪）に対する処理を行う。
この処理ラインは、浸炭・一次焼入れ工程を行う一次熱処理室１と、誘導加熱部２と、二次焼入れ・矯正部３と、焼戻し部４と、コンベヤ６とを有する。内輪７は、各室および部間をコンベヤ６で搬送される。なお、内輪７の各室および部間を搬送する方法はこの限りではない。
【００１７】
一次熱処理室１は、図２に示すように、加熱室１１と冷却室１２を有し、加熱室１１と冷却室１２との間に開閉扉１３が設けてある。加熱室１１の内部には、環状の誘導加熱コイル１１１と、被処理物である内輪７を配置する台１１２が配置されている。加熱室１１から外部に延びる各配管には、内部を所定の減圧下に保持する真空ポンプ１１４と、浸炭性ガス供給装置１１５と、アンモニアガス供給装置１１６が接続されている。
【００１８】
冷却室１２の内部には、被処理物である内輪７を配置する台１２１が配置されている。冷却室１２から外部に延びる配管には、窒素ガス供給装置１２２が接続されている。
誘導加熱部２には、回転テーブル２１と、環状の誘導加熱コイル２２と、ピストン２３が配置されている。回転テーブル２１は、下方に延びる回転軸２１ａを有し、この回転軸２１ａに沿って昇降自在に構成されている。回転テーブル２１はコンベヤ６とほぼ同じ高さの位置に待機している。
【００１９】
誘導加熱コイル２２は、回転テーブル２１の回転軸２１ａと中心を合わせて、コンベヤ６より高い位置に配置されている。誘導加熱コイル２２としては、処理対象の内輪７の外側に一定の間隔が生じる内径のものを使用する。
ピストン２３は、円板状の押え板２３ａと上方に延びる軸２３ｂを有し、軸２３ｂに沿って昇降自在に構成されている。ピストン２３は、回転テーブル２１の回転軸２１ａと中心を合わせて、誘導加熱コイル２２よりも高い位置に配置されている。
【００２０】
誘導加熱部２で内輪７を加熱する際には、内輪７を載せた回転テーブル２１を上昇させて、図３に示すように、誘導加熱コイル２２内に内輪７を配置し、ピストン２３を下降させて押え板２３ａで内輪７を上から押える。この状態で、回転テーブル２１を回転させ、誘導加熱コイル２２に通電する。
二次焼入れ・矯正部３には、回転テーブル３１と、環状の冷却ジャケット３２と、内部冷却装置３３と、円筒形の外径矯正型３４と、ピストン３５が配置されている。回転テーブル３１は、下方に延びる回転軸３１ａを有し、この回転軸３１ａに沿って昇降自在に構成されている。回転テーブル３１はコンベヤ６とほぼ同じ高さの位置に待機している。
【００２１】
冷却ジャケット３２は、外径矯正型３４より内径および軸方向寸法が大きい環状体からなる。冷却ジャケット３２の内側には多数のノズルが配置されている。冷却ジャケット３２に冷却液を供給する冷却液供給装置が、冷却ジャケット３２に接続されている。この冷却液供給装置により、所定のタイミングで設定量の冷却液が、冷却ジャケット３２のノズルから噴射される。冷却ジャケット３２は、回転テーブル３１の回転軸３１ａと中心を合わせて、コンベヤ６より高い位置に配置されている。
【００２２】
内部冷却装置３３はピストン３５の下部に固定されている。内部冷却装置３３の外側には多数のノズルが配置されている。内部冷却装置３３に冷却液を供給する冷却液供給装置が、ピストン３５を介して内部冷却装置３３に接続されている。この冷却液供給装置により、所定のタイミングで設定量の冷却液が、内部冷却装置３３のノズルから内輪７に向けて噴射される。
外径矯正型３４は、冷却ジャケット３２の内部の上側に、回転テーブル３１の回転軸３１ａと中心を合わせて配置されている。
【００２３】
ピストン３５は、円板状の押え板３５ａと上方に延びる軸３５ｂを有し、軸３５ｂに沿って昇降自在に構成されている。押え板３５ａの下面の中央部に内部冷却装置３３が固定されている。ピストン３５は、回転テーブル３１の回転軸３１ａと中心を合わせて、外径矯正型３４の内部の上側に配置されている。
二次焼入れ・矯正部３で内輪７を冷却する際には、内輪７を載せた回転テーブル３１を上昇させて、図４（ａ）に示すように、冷却ジャケット３２内の内径矯正型３４より下側に内輪７を配置する。また、ピストン３５を下降させて押え板３４ａで内輪７を上から押える。これにより、内部冷却装置３３が内輪７の内部に入る。この状態で、冷却ジャケット３２および内部冷却装置３３を作動させて、回転テーブル３１を回転させる。
【００２４】
二次焼入れ・矯正部３で内輪７を矯正する際には、内輪７を載せた回転テーブル３１を、図４（ａ）の状態からさらに上昇させて、図４（ｂ）に示すように、内輪７を外径矯正型３４に圧入する。この状態で、冷却ジャケット３２および内部冷却装置３３を作動させて、回転テーブル３１を回転させる。
焼戻し部４には、回転テーブル４１と、環状の誘導加熱コイル４２とが配置されている。回転テーブル４１は、下方に延びる回転軸４１ａを有し、この回転軸４１ａに沿って昇降自在に構成されている。回転テーブル４１はコンベヤ６とほぼ同じ高さの位置に待機している。
【００２５】
誘導加熱コイル４２は、回転テーブル４１の回転軸４１ａと中心を合わせて、コンベヤ６より高い位置に配置されている。誘導加熱コイル４２としては、処理対象の内輪７の外側に一定の間隔が生じる内径のものを使用する。
焼戻し部４で内輪７を加熱する際には、内輪７を載せた回転テーブル４１を上昇させて、図５に示すように、誘導加熱コイル４２内に内輪７を配置する。この状態で、回転テーブル２１を回転させ、誘導加熱コイル４２に通電する。
この実施形態の方法では、図１の処理ラインを使用し、以下の方法で、内輪７に対する処理を行う。
先ず、図２に示すように、一次熱処理室１の加熱室１１内に内輪７を入れて、台１１２の上に載せ、 真空ポンプ１１４を作動させて、 加熱室１１の内部を減圧下（０．１〜１０ｋＰａ）に保持する。その際に、開閉扉１３は閉じておく。
【００２６】
次に、浸炭を行う場合には、浸炭性ガス供給装置１１５から浸炭性ガス（ブタン、プロパン、エチレン、アセチレンなどの炭化水素ガス、または炭化水素ガスに窒素ガスを添加した混合ガス）を加熱室１１内に供給することで、加熱室１１内を浸炭雰囲気にする。浸炭窒化を行う場合には、浸炭性ガス供給装置１１５から浸炭性ガスを供給するとともに、 アンモニアガス供給装置１１６からアンモニアガスを供給することで、加熱室１１内を浸炭窒化雰囲気にする。
この状態で、誘導加熱コイル１１１に高周波（５〜１５ｋＨｚ）を所定時間通電する。これにより、内輪７の軌道面７１を、Ａ1 変態点（７２６℃）を超える温度Ｔ１（例えば、９５０〜１１００℃）に加熱して、この温度に所定時間保持する。これにより、内輪７に対する浸炭処理または浸炭窒化処理を行う。
【００２７】
次に、開閉扉１３を開いて、内輪７を冷却室１２内に移動して台１２１に載せた後、 開閉扉１３を閉じ、窒素ガス供給装置１１２から冷却室１２内に窒素ガスを導入して、浸炭層のＭS 点以下の温度になるまで冷却することにより、内輪７に対して一次焼入れを行う。
次に、内輪７を一次熱処理室１から出してコンベヤ６に載せ、誘導加熱部２まで搬送して、回転テーブル２１の上に載せる。次に、内輪７を載せた回転テーブル２１を上昇させて図３に示す状態とし、回転テーブル２１を回転させて、誘導加熱コイル２２に高周波（５〜１５ｋＨｚ）を短時間（２〜３秒）通電する。
これにより、内輪７の軌道面７１を、Ａ1 変態点以上であって、浸炭または浸炭または浸炭窒化工程の加熱温度Ｔ１より低い温度Ｔ２（８００〜９００℃）に加熱する。通電終了後、軌道面７１からの熱が内輪７の軌道面７１以外の表面と芯部に伝達されて、軌道面７１の深さ方向に温度勾配が形成される。
【００２８】
次に、回転テーブル２１をコンベヤ６の高さまで降下して、内輪７をコンベヤ６に載せて二次焼入れ・矯正部３まで搬送する。次に、コンベヤ６上の内輪７を回転テーブル３１の上に載せて、回転テーブル３１を上昇させるとともに、ピストン３５を降下して図４（ａ）に示す状態とする。この状態で、冷却ジャケット３２および内部冷却装置３３を作動させて、回転テーブル３１を回転させることにより、内輪７を冷却する。
この冷却により、内輪７が浸炭層のＭS 点より少し高い温度になった時点で、回転テーブル３１をさらに上昇させて、図４（ｂ）に示すように、内輪７を外径矯正型３４に圧入する。この状態で浸炭層のＭS 点以下の温度になるまで冷却を行う。これにより、内輪７の外径が矯正される。また、図４（ａ）および（ｂ）の工程により、内輪７に対する二次焼入れが行われる。
【００２９】
次に、回転テーブル３１をコンベヤ６の高さまで降下して、内輪７をコンベヤ６に載せて焼戻し部４まで搬送する。次に、コンベヤ６上の内輪７を回転テーブル４１の上に載せて、回転テーブル４１を上昇させることで、図５に示す状態とする。この状態で、回転テーブル３１を回転させて、誘導加熱コイル４２に高周波（３〜１０ｋＨｚ）を短時間（３〜１０秒）通電する。これにより、内輪７の軌道面７１を、焼戻し加熱温度（１８０〜３００℃）に加熱する。
この実施形態の方法によれば、浸炭または浸炭窒化処理を減圧下で誘導加熱により行うことで、炉加熱により行った場合と比較して、浸炭または浸炭処理工程に要する時間が短くなる。
【００３０】
また、二次焼入れ・矯正部３で、冷却途中の内輪７が浸炭層のＭS 点に到達する前に、内輪７の外周面を拘束し、この状態で内輪７の冷却を継続することにより、過冷オーステナイトからマルテンサイトへの変態膨張を利用した矯正が行われるため、熱処理時の変形を小さくすることができる。
さらに、浸炭・一次焼入れ工程の冷却を、窒素ガス（不活性ガス）を用いたガス冷却法により行うため、 水冷却法や油冷却法により行った場合と比較して冷却速度を遅くできるため、 一次焼入れ時の変形量が低減できる。
【００３１】
したがって、この実施形態の方法は、転がり軸受を構成する鋼製の内輪（軌道輪）７を、Ａ1 変態点を超える温度に加熱して浸炭または浸炭窒化処理を行った後に、 Ａ1 変態点未満に冷却する一次熱処理工程と、一次熱処理工程後の軌道輪を、Ａ1 変態点以上の温度に加熱した後に、ＭS 点以下になるまで冷却する二次熱処理工程と、を有する転がり軸受軌道輪の製造方法であって、従来の方法よりも、熱処理効率が高く、熱処理時の変形を小さくできる方法であることが分かる。
【実施例】
【００３２】
以下、この発明の実施例について説明する。
ＳＣｒ４２０（浸炭後の表面ＭS 点：２００℃）からなる素材を旋削することで、玉軸受の内輪の形状（外径１０１ｍｍ、内径９５ｍｍ、幅１３ｍｍ、溝底厚さ２ｍｍ）に加工した。この内輪７に対して、表１に示す熱処理を行った。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
サンプルNo. １〜３では、図１の処理ラインを用いて、上述の実施形態の方法に基づき、浸炭・一次焼入れ工程、二次焼入れ・矯正工程、高周波焼戻し工程を行った。
浸炭・一次焼入れ工程では、先ず、一次熱処理室１の加熱室１１の内部を減圧下（１ｋＰａ）でアセチレン雰囲気とし、誘導加熱コイル１１１に高周波を通電した。この通電を、サンプルNo. １では周波数１０ｋＨｚで行い、軌道面７１の溝底位置での表面温度を１１００℃として、 軌道面７１の有効硬化層深さが０．５ｍｍになるまで２０分間保持した。
【００３５】
サンプルNo. ２では周波数１０ｋＨｚで行い、軌道面７１の溝底位置での表面温度を１０００℃として、 軌道面７１の有効硬化層深さが０．５ｍｍになるまで６０分間保持した。サンプルNo. ３では周波数１０ｋＨｚで行い、軌道面７１の溝底位置での表面温度を９５０℃として、 軌道面７１の有効硬化層深さが０．５ｍｍになるまで１２０分間保持した。
【００３６】
次に、冷却室１２に移動して窒素ガスによる冷却を行い、内輪７の表面温度を２００℃以下とした。
二次焼入れ・矯正工程では、誘導加熱部２における加熱を、高周波（周波数１０ｋＨｚ）で２秒間行うことで、内輪７の軌道面７１の表面温度を８４０℃とした。
そして、誘導加熱コイル２２に対する通電を終えた後に図３に示す状態を３秒間保持することにより、軌道面以外の部分に軌道面からの熱を伝導して内輪全体を加熱した。また、二次焼入れ・矯正部３での冷却を、図４（ａ）の状態で２秒間行うことで内輪の表面温度を３００℃とした後に、図４（ｂ）の状態として、さらに１０秒間冷却することで内輪の表面温度を３０℃とした。
【００３７】
高周波焼戻し工程では、誘導加熱コイル４２による加熱条件を、周波数５ｋＨｚ、加熱時間５秒とすることにより、内輪７に対する焼戻しを１８０℃で行った。
サンプルNo. ４では、誘導加熱コイル２２に対する通電を終えた直後に、二次焼入れ・矯正部３に移動して冷却を行った。つまり、No. ４では、誘導加熱部２で軌道面のみを８４０℃に加熱した。これ以外はサンプルNo. ３と同様にして、浸炭・一次焼入れ工程、二次焼入れ・矯正工程、高周波焼戻し工程を行った。
【００３８】
サンプルNo. ５では、図１の処理ラインを用いて、浸炭・一次焼入れ工程、二次焼入れ工程、高周波焼戻し工程を行った。すなわち、サンプルNo. ５では、二次焼入れ・矯正部３での冷却を、図４（ａ）の状態で１２秒間行うことで内輪の表面温度を３０℃とすることで終え、図４（ｂ）の状態にする矯正工程は行わなかった。浸炭・一次焼入れ工程と高周波焼戻し工程はサンプルNo. ３と同様にして行った。
【００３９】
サンプルNo. ６では、先ず、大気圧下、アセチレン雰囲気（No. １〜５と同じアセチレン濃度）で、温度９５０℃に保持した加熱炉内に１８０分間保持した。次に、油冷却による油焼入れを行った。次に、加熱炉内の温度を８４０℃に保持して１時間加熱した後、油冷却した。次に、温度１８０℃に保持した加熱炉内に９０分間保持することにより、 内輪７に対する焼戻しを１８０℃で行った。
【００４０】
また、No. １〜６の全てのサンプルについて、焼戻し工程の後に、内輪７を設計通りの形状になるように研削する仕上げ工程を行った。この仕上げ工程にかかった時間を測定した。
また、各サンプルで、熱処理のうち浸炭処理にかかった時間および仕上げ工程にかかった時間を、No. １の値で除算して、No. １の値を「１」とした相対値を算出した。その結果と各サンプルの熱処理方法の違いを表２に示す。
【００４１】
【表２】
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【００４２】
表２の結果から以下のことが分かる。
浸炭処理を同じ９５０℃で行い、二次焼入れ時の加熱を内輪全体で行ったNo. ３，５，６の結果を比較すると、浸炭処理を減圧下での誘導加熱で行ったNo. ３，５の熱処理時間は、浸炭処理を炉加熱で行ったNo. ６の熱処理時間の２／３に短くすることができた。
浸炭処理を減圧下での誘導加熱で行い、浸炭処理の温度のみが異なるNo. １〜３の結果を比較すると、１１００℃であるNo. １で９５０℃であるNo. ３の１／６となっており、著しく短くすることができた。
浸炭処理を減圧下での誘導加熱で同じ９５０℃で行い、矯正工程の有無のみが異なるNo. ３と５を比較すると、矯正工程を行うことで研削時間を半分以下（１／２．５）にすることができた。
【００４３】
浸炭処理を減圧下での誘導加熱で同じ９５０℃で行い、二次焼入れ時の加熱を内輪全体で行うか表面のみで行うかが異なるNo. ３と４を比較すると、全体で行うNo. ３は表面のみで行うNo. ４と比較して矯正効果が高く、研削時間を半分にできる。
したがって、この発明の実施例に相当するサンプルNo. １〜４に対して行った方法によれば、この発明の比較例に相当するサンプルNo. ５，６に対して行った方法よりも、熱処理効率が高く、熱処理時の変形を小さくすることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  一次熱処理室
１１  加熱室
１１１  誘導加熱コイル
１１２  台
１１４  真空ポンプ
１１５  浸炭性ガス供給装置
１１６  アンモニアガス供給装置
１２  冷却室
１２１  台
１２２  窒素ガス供給装置
１３  開閉扉
２  誘導加熱部
２１  回転テーブル
２１ａ  回転軸
２２  誘導加熱コイル
２３  ピストン
２３ａ  押え板
２３ｂ  軸
３  二次焼入れ・矯正部
３１  回転テーブル
３１ａ  回転軸
３２  冷却ジャケット
３３  内部冷却装置
３４  外径矯正型
３５  ピストン
３５ａ  押え板
３５ｂ  軸
４  焼戻し部
４１  回転テーブル
４１ａ  回転軸
４２  誘導加熱コイル
６  コンベヤ
７  内輪（軌道輪）
７１  軌道面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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