(57)【要約】【課題】ケミカル物質の室内への侵入を確実に防止することができるうえ、外気に対する区画性能や気密性能を高めることで、ケミカルユニットにかかるコストの低減を図ることができる。【解決手段】室Ｒ内を内壁２と外壁３とからなる二重の壁体で覆い、それら内壁２と外壁３とによって囲まれる加圧ゾーンＳを形成し、この加圧ゾーンＳを空気清浄化装置１０により供給されたケミカル外気Ｅ０で充満させることで、室Ｒ内の気密性能を高め、外部から室内への空気の流入を確実に防止することを可能にしたクリーンルーム１を提供する。【選択図】図２
2013050248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内を二重の壁体で覆うことで、それら壁体同士の間に空間を形成し、該空間を清浄空気で充満させる構成としたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記空間の圧力を前記二重の壁体の外部の圧力より高くする構成としたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記室には、ケミカルフィルタユニットが設置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工場等に設けられる従来のクリーンルームは、粉塵微粒子の除去を目的として設けられているのが一般的である。このようなクリーンルームでは、粉塵微粒子を含む空気は高性能フィルタで濾過し、０．１μｍ以上の微粒子を除去している。
さらに、空気に含まれている分子状の汚染物質が外部から侵入するのを防ぐ必要があり、これらの工場では、例えばケーシング内に各種フィルタ等を備えて外部からの空気を清浄化する外調機が設置されている。
【０００３】
また、クリーンルームには、その出入口を経由してクリーンルーム室内に通じる前室を備えたものがある。この前室は、クリーンルームの室内圧及び外部の気圧に対して所定の差圧で室内圧を維持することで、外部からクリーンルーム内に汚染空気が流入するのを防止している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１３２３４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のクリーンルームでは、以下のような問題があった。
すなわち、液晶パネルの製造工程では、ケミカル物質に対して極めて敏感な工程があり、当該工程におけるクリーンルームの気中ケミカル物質の品質が劣化したり、生産効率が低下するといった不具合が生じるという問題があった。
そして、高度なケミカルクリーン性能を実現するためには、外気量及び内部循環風量を増やす必要があり、コストが増大することから、その点で改良の余地があった。
【０００６】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、ケミカル物質の室内への侵入を確実に防止することができるうえ、外気に対する区画性能や気密性能を高めることで、ケミカルユニットにかかるコストの低減を図ることができるクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係るクリーンルームでは、室内を二重の壁体で覆うことで、それら壁体同士の間に空間を形成し、空間を清浄空気で充満させる構成としたことを特徴としている。
【０００８】
本発明では、クリーンルームの室内を覆う壁面及び天井を二重化させることができるとともに、その二重化された間の空間に清浄空気を充満されているので、室内の気密性能も高くなり、クリーンルームの外部から室内への空気の流入を確実に防止することができる。そのため、ケミカル物質が室内に侵入するのを防止することができる。このように二重構造とすることで、区画性能や気密性能が高まるので、従来設置していた外気処理や内部循環用のケミカル除去装置の台数や運転時間などを抑えることができ、ランニングコストを低減させることができるという利点があり、優れたクリーンルームを実現することができる。
【０００９】
また、本発明に係るクリーンルームでは、空間の圧力を二重の壁体の外部の圧力より高くする構成としたことが好ましい。
【００１０】
この場合、二重化された間の空間が加圧された状態となることから、この壁体よりも外部の空気（ケミカル物質）が前記空間を介して室内に侵入するのを確実に防止することができる。
【００１１】
また、本発明に係るクリーンルームでは、室には、ケミカルフィルタユニットが設置されていることが好ましい。
【００１２】
本発明では、クリーンルームの室内においてもケミカルフィルタユニットによってケミカル物質を除去することができるので、より優れたクリーンルームを実現することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のクリーンルームによれば、室内を二重の壁体で覆うとともに、それら壁体同士の間の空間に清浄空気を充満させることで、その空間に加圧ゾーンが形成され、外部から室内へのケミカル物質の侵入を確実に防止することができる。
しかも、外気に対する区画性能や気密性能を高めることで、外気量および内部循環風量の増加を抑制することが可能となるので、ケミカルユニットにかかるコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態によるクリーンルームの概要を示す平面図である。
【図２】図１に示すクリーンルームの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態によるクリーンルームについて、図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１および図２に示すように、本実施の形態によるクリーンルーム１は、例えば液晶パネル工場等の一例であり、平面視で長方形状をなしており、短辺方向の中央部に長手方向に沿って延びる搬送路１Ａを有し、その搬送路１Ａを挟んで幅方向両側には製品ストックエリア１Ｂとリターンエリア１Ｃとが設けられている。リターンエリア１Ｃは、長手方向の両端部と中央部に配置されており、搬送路１Ａ側のみに開口部１ａを有している。また、クリーンルーム１の天井部には、搬送路１Ａ及びリターンエリア１Ｃのそれぞれに連通する天井チャンバー１Ｄが設けられている。さらに搬送路１Ａの長手方向の一端側に配置される入口部には、開口シャッター１ｂを有する製品の受け渡し口１Ｅが設けられている。
【００１７】
また、クリーンルーム１は、内壁２と外壁３とからなる二重壁構造、すなわち内壁２に囲まれた室Ｒを覆う空間が外壁３によって形成されている。この内壁２と外壁３とによって囲まれる空間（加圧ゾーンＳ）は、図２に示す空気清浄化装置１０によって清浄化されたケミカル外気Ｅ０（清浄空気）を取り入れて充満させている。ここで、ケミカル外気Ｅ０は、空気清浄化装置１０によって例えば時間当たり５回程度でケミカル処理を施した外気である。
【００１８】
搬送路１Ａは、図２に示す搬送台車５が走行する部分である。
製品ストックエリア１Ｂを流通する空気は、搬送路１Ａから取り込まれ、製品ストックエリア１Ｂと搬送路１Ａを通過した空気が内壁２の外（加圧ゾーンＳ）へ排気される。リターンエリア１Ｃを流通する空気は、搬送路１Ａから取り込まれるとともに、空気清浄化装置１０によって清浄化されたケミカル外気Ｅ０も取り込まれ、天井チャンバー１Ｄへ送気される。また、各リターンエリア１Ｃ内には、このリターンエリア１Ｃ内の空気に対して内部循環除去するケミカルフィルタユニット４が設けられている。
また、受け渡し口１Ｅは、開口シャッター１ｂによって搬送路１Ａへの有機物の侵入を防止している。
【００１９】
空気清浄化装置１０は、クリーンルーム１の外部（外壁３より外側）に配置されており、ダクト６を介して加圧ゾーンＳ及び室Ｒのリターンエリア１Ｃにケミカル外気Ｅ０を供給するものである。
【００２０】
図２に示すように、具体的に空気清浄化装置１０は、外気中の汚染物質を除去すると共に、外気の温度及び湿度を調節する外調機であって、外気を取り入れる吸気口１２及び空気を吹き出す吹出し口１３が形成されているケーシング１１と、このケーシング１１内に配置されている各種フィルタ等と、このケーシング１１内に配置され、吸気口１２からケーシング１１内に空気を取り入れて吹出し口１３から空気を吹き出すためのファン１４と、を備えている。
【００２１】
ケーシング１１内には、吸気口１２側の上流側から順に、外部から入ってきた空気を冷却する冷却コイル１５、空気を加熱する温水コイル１６、ケーシング１１内の空気流路を遮るように水膜を形成して、空気中の水溶性汚染物質等を除去する水膜式加湿機１７、空気を再び加熱する再熱コイル１８、前述のファン１４、空気中の分子状汚染物質（ケミカル汚染物質）を除去する有機除去ケミカルフィルタ１９、高性能フィルタ（ＨＥＰＡ （High  Efficiency Particulate Air））２０が配置されている。
【００２２】
このように設けられるクリーンルーム１は、室Ｒを構成する内壁２の外部に、室Ｒ（内壁２）を覆う空間（加圧ゾーンＳ）を作り、その加圧ゾーンＳにケミカル外気Ｅ０を満たす構成となっている。つまり、ケミカル外気Ｅ０が導入された加圧ゾーンＳの圧力を外壁３の外部の圧力よりも大きくすることができ、外部の空気がクリーンルーム１内（外壁３内）に侵入するのを防止することができる。
【００２３】
また、クリーンルーム１の気中ケミカル物質を低減させる方法として、空気清浄化装置１０によりリターンエリア１Ｃ内にケミカル外気Ｅ０を導入し、そのリターンエリア１Ｃ内に設けられているケミカルフィルタユニット４によって内部循環除去を行う方法となっている。
【００２４】
次に、上述した構成からなるクリーンルーム１の作用について、以下説明する。
図１及び図２に示すように、クリーンルーム１の室Ｒ内を覆う壁面及び天井を二重化させることができるとともに、その二重化された間の加圧ゾーンＳにケミカル外気Ｅ０が充満されているので、室Ｒ内の気密性能も高くなり、クリーンルーム１の外部から室内への空気の流入を確実に防止することができる。そのため、ケミカル物質が室Ｒ内に侵入するのを防止することができる。
【００２５】
なお、リターンエリア１Ｃと天井チャンバー１Ｄが陰圧となり、外部からの空気が侵入し易い条件となるが、上記のように二重構造としてケミカル外気Ｅ０で満たされた加圧ゾーンＳを設けることで、仮にリターンエリア１Ｃと天井チャンバー１Ｄ内には加圧ゾーンＳ内のケミカル外気Ｅ０が侵入するので、室Ｒ内にケミカル物質が侵入することが防止されることになる。
例えば、本実施の形態では、従来のような通常のケミカル対策で行った場合での目標とする室内濃度が１００μｇ・Ｃ／ｍ３であるのに対して、３０μｇ・Ｃ／ｍ３以下に抑えることが可能である。
【００２６】
このように二重構造とすることで、区画性能や気密性能が高まるので、従来設置していた外気処理や内部循環用のケミカル除去装置の台数や運転時間などを抑えることができ、ランニングコストを低減させることができるという利点があり、優れたクリーンルーム１を実現することができる。
しかも、リターンエリア１Ｃ内には、ケミカルフィルタユニット４が設置されており、クリーンルーム１の室内においてもケミカルフィルタユニット４によってケミカル物質を除去することができ、これにより室内清浄循環が行われるため、より優れたクリーンルーム１を実現することができる。
【００２７】
上述のように本実施の形態によるクリーンルームでは、室Ｒ内を二重の壁体（内壁２と外壁３）で覆うとともに、それら壁体２、３同士の間の加圧ゾーンＳにケミカル外気Ｓを充満させることで、外部から室内へのケミカル物質の侵入を確実に防止することができる。
しかも、外気に対する区画性能や気密性能を高めることで、外気量および内部循環風量の増加を抑制することが可能となるので、ケミカルユニットにかかるコストの低減を図ることができる。
【００２８】
以上、本発明によるクリーンルームの実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施の形態ではリターンエリア１Ｃにも空気清浄化装置１０よりケミカル外気Ｅ０を導入したり、受け渡し口１Ｅを設ける構成としているが、このような構成は省略することも可能である。
【００２９】
また、空気浄化装置１０の構成は、本実施の形態に制限されることはない。つまり、ケーシング１１内に配置されるファン１４や冷却コイル１５、有機除去ケミカルフィルタ１９、或いは高性能フィルタ２０等の構成、配列は適宜なものを設定することが可能である。
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００３０】
１  クリーンルーム
１Ａ  搬送路
１Ｂ  製品ストックエリア
１Ｃ  リターンエリア
１Ｄ  天井チャンバー
１Ｅ  製品の受け渡し口
２  内壁
３  外壁
４  ケミカルフィルタユニット
５  搬送台車
６  ダクト
１０  空気清浄化装置
Ｅ０  ケミカル外気（清浄空気）
Ｒ  室
Ｓ  加圧ゾーン（空間）  
【図１】
2013050248.tif 000003
【図２】
2013050248.tif 000004