(57)【要約】【課題】部品を支持する支持部の温度を常温よりも低い温度である低温と、常温と、常温よりも高い温度である高温とに切り替えることの可能であるとともに、支持部が低温から高温へ切り替わるのに要する時間を短くすることが可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備えた部品検査装置を提供する。【解決手段】ハンドラーは、収容ポケット１７Ａを冷却する窒素ガスが流れる第１流路５７、常温復帰させる常温復帰ガスが流れる第２流路８７Ａ、高温にする昇温エアが流れる第３流路９２を有する。第１及び第２流路５７，８７Ａが媒体供給路６１に並列に接続され、媒体供給路６１と第３流路９２とが温調流路７１Ａに並列に接続される。冷却運転時にはバルブ５９が開状態且つバルブ８９，９４が閉状態、常温復帰運転時にはバルブ８９が開状態且つバルブ５９，９４が閉状態、高温切替運転時にはバルブ５９，８９が閉状態且つバルブ９４が開状態に制御される。【選択図】図２
2013221911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品が支持される支持部に設けられて温調用の媒体が流れる温調流路と、
前記温調流路の流入端に接続されて前記媒体を前記温調流路に供給する媒体供給路と、
常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、
常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、
常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、
前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の各々の動作を制御する制御部と、を備え、
前記第１流路と前記第２流路とは、前記媒体供給路に対して並列に接続され、
前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、
前記制御部が、
前記第１弁を開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、
前記第１弁と前記第３弁とを閉じ、前記第２弁を開ける第２温調状態と、
前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する
ことを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
前記媒体供給路には、前記第３媒体が前記第１流路及び前記第２流路に流入することを抑止する逆止弁が配設されている
請求項１に記載のハンドラー。
【請求項３】
前記第３流路には、前記第３弁に前記第１媒体及び前記第２媒体が流入することを抑止する逆止弁が配設されている
請求項１または２に記載のハンドラー。
【請求項４】
前記第３流路には、前記第３媒体を加熱する加熱部が配設され、
前記第３流路の逆止弁は、該第３流路における前記加熱部の下流側に配設されている
請求項３に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記第１媒体が液化ガスを含み、
前記媒体供給路の途中に、該媒体供給路よりも大きな流路断面積を有して前記液化ガスを気化させる気化容器を備え、
前記第３流路及び前記媒体供給路が、前記気化容器の下流側で前記流入端に対して並列に接続され、
前記媒体供給路には、前記第３媒体が前記第１流路及び第２流路に流入することを抑止する逆止弁が配設され、
前記媒体供給路の逆止弁は、該媒体供給路における前記気化容器よりも下流側に配設されている
請求項２〜４のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記支持部が収容される収容容器と、
前記収容容器に接続され、前記温調流路の流出端から排出された媒体が流れる排出路とを備え、
前記第１媒体が液化ガスまたは該液化ガスを気化させたガスであり、且つ第２媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスであり、且つ第３媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである
請求項１〜５のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記排出路には、該排出路を流れる媒体を加熱する排気加熱部が配設されている
請求項６に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記第３流路が、前記媒体供給路に接続され、
前記媒体供給路には、前記第３流路との接続部の下流側に複数の温調流路が並列に接続されている
請求項１〜７のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項９】
部品が支持される支持部に設けられて温調媒体が流れる温調流路と、
前記温調流路の流入端に供給弁を通じて前記温調媒体を供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路の一部である主流路と、該主流路とは異なる副流路とを含み、前記主流路の前記温調媒体と前記副流路の流体との間で熱交換する熱交換器と、
常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、
常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、
常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、
前記供給弁、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の動作を制御する制御部と、を備え、
前記第１流路と前記第２流路とは、前記副流路に対して並列に接続され、
前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、
前記制御部は、
前記供給弁と前記第１弁とを開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、
前記供給弁と前記第２弁とを開け、前記第１弁と前記第３弁とを閉じる第２温調状態と、
前記供給弁と前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態と
を有することを特徴とするハンドラー。
【請求項１０】
部品が支持される支持部に設けられて温調用の媒体が流れる温調流路と、
前記温調流路の流入端に接続されて前記媒体を前記温調流路に供給する媒体供給路と、
常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、
常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、
常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、
前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の各々の動作を制御する制御部と、を備え、
前記第１流路と前記第２流路とは、前記媒体供給路に対して並列に接続され、
前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、
前記制御部が、
前記第１弁を開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、
前記第１弁と前記第３弁とを閉じ、前記第２弁を開ける第２温調状態と、
前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する
ことを特徴とする部品検査装置。
【請求項１１】
部品が支持される支持部に設けられて温調媒体が流れる温調流路と、
前記温調流路の流入端に供給弁を通じて前記温調媒体を供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路の一部である主流路と、該主流路とは異なる副流路とを含み、前記主流路の前記温調媒体と前記副流路の流体との間で熱交換する熱交換器と、
常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、
常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、
常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、
前記供給弁、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の動作を制御する制御部と、を備え、
前記第１流路と前記第２流路とは、前記副流路に対して並列に接続され、
前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、
前記制御部は、
前記供給弁と前記第１弁とを開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、
前記供給弁と前記第２弁とを開け、前記第１弁と前記第３弁とを閉じる第２温調状態と、
前記供給弁と前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態と
を有することを特徴とする部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を搬送するハンドラーに関し、特に部品の温度を常温よりも低い温度である低温に保持するハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置では、基台上のトレイと検査用ソケットとの間で検査前や検査後の電子部品を搬送するハンドラーが用いられている。こうした部品検査装置の中には、電子部品を０℃以下の低温にしたうえで該電子部品の電気的特性を検査するものがある。
【０００３】
従来、電子部品を低温まで冷却する方法としては、例えば特許文献１に記載のような技術が知られている。特許文献１に記載のハンドラーは、複数の電子部品が収容されるトレイと該トレイが載置されるケースとによって、電子部品を支持する支持部が構成されている。そして、乾燥状態にしたドライエアを冷凍機にて冷却し、その冷却されたドライエアをケースの内部に形成された温調流路に供給することによって、ケースを介してトレイを冷却し、そのトレイを介して電子部品を冷却している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４７３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、電子部品の検査は、低温だけでなく、電子部品を例えば１８℃といった常温や例えば１２５℃といった常温よりも高い温度である高温にしたうえでも行なわれ、これら低温、常温、高温による検査が選択的に連続して行なわれる場合もある。また、装置のメンテナンスを行なう際、支持部が低温にあるときには冷却媒体が流れていた部分を常温に復帰させる必要もある。そのため、部品検査装置の処理効率を向上させるうえで、支持部を低温、常温、高温に切り替えること、これらが実行可能な装置が望まれている。そして、こうした切り替えが可能な装置の中でも、特に、支持部が低温から高温へ切り替わるまでに要する時間の短い装置が望まれている。なお、こうした要望は、電子部品を検査する部品検査装置に適用されるハンドラーに限らず、部品を低温、常温、高温にする機能を備えたハンドラーに概ね共通するものである。
【０００６】
本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、その目的は、部品を支持する支持部の温度を常温よりも低い温度である低温と、常温と、常温よりも高い温度である高温とに切り替えることの可能であるとともに、支持部が低温から高温へ切り替わるのに要する時間を短くすることが可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備えた部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のハンドラーの一態様は、部品が支持される支持部に設けられて温調用の媒体が流れる温調流路と、前記温調流路の流入端に接続されて前記媒体を前記温調流路に供給する媒体供給路と、常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の各々の動作を制御する制御部とを備え、前記第１流路と前記第２流路とは、前記媒体供給路に対して並列に接続され
、前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、前記制御部が、前記第１弁を開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、前記第１弁と前記第３弁とを閉じ、前記第２弁を開ける第２温調状態と、前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する。
【０００８】
また、本発明の部品検査装置の一態様は、部品が支持される支持部に設けられて温調用の媒体が流れる温調流路と、前記温調流路の流入端に接続されて前記媒体を前記温調流路に供給する媒体供給路と、常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の各々の動作を制御する制御部とを備え、前記第１流路と前記第２流路とは、前記媒体供給路に対して並列に接続され、前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、前記制御部が、前記第１弁を開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、前記第１弁と前記第３弁とを閉じ、前記第２弁を開ける第２温調状態と、前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する。
【０００９】
本発明のハンドラー及び部品検査装置の一態様によれば、制御部が、支持部を低温にする第１媒体が温調流路に供給される第１温度調整状態と、支持部を常温にする第２媒体が温調流路に供給される第２温度状態と、支持部を高温にする第３媒体が温調流路に供給される第３温度調整状態とを有することから、支持部を低温、常温、高温に切り替えることができる。
【００１０】
また、媒体供給路に対して第１及び第２流路が並列に接続され、且つ温調流路の流入端に対して媒体供給路と第３流路とが並列に接続されている。すなわち、第３流路は、流入端あるいは媒体供給路に接続されており、いずれにしても、第３流路の末端が第２流路の末端よりも流入端側に配設されている。そのため、第３流路の末端から流入端までの第３媒体の流路は、第２流路の末端から流入端までの第２媒体の流路である媒体供給路よりも短くなる。
【００１１】
その結果、第１温度調整状態から第３温度調整状態への切り替え直後において、第２及び第３流路の各末端における媒体の条件、例えば温度や流量、圧力等が等しいという前提の下では、第２流路からの媒体よりも第３流路からの媒体の方が温調流路に流入する際の温度が高くなる。それゆえに、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【００１２】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記媒体供給路には、前記第３媒体が前記第１流路及び前記第２流路に流入することを抑止する逆止弁が配設されている。
媒体供給路に上記逆止弁が配設されていない場合、第３流路から媒体供給路に供給された第３媒体の一部が、媒体供給路を逆流して第１及び第２流路に到達する。媒体供給路を逆流する第３媒体は、媒体供給路との熱交換によって、第１温度調整状態から第３温度調整状態への切り替え直後は特に、温度が低下することになる。そして、この温度低下した第３媒体を含む第３媒体が温調流路に流入するとなれば、媒体供給路における逆流によって温度が低下した分だけ、支持部が低温から高温へ切り替わるまでに要する時間が長くなる。
【００１３】
この点、本発明のハンドラーの他の態様によれば、媒体供給路に逆止弁が配設されていることから、第３媒体が逆流する媒体供給路の範囲を小さくすることができる。これにより、温調流路に流入する第３媒体の温度低下を抑えることができる。
【００１４】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記第３流路には、前記第３弁に前記第１媒体及び
前記第２媒体が流入することを抑止する逆止弁が配設されている。
本発明のハンドラーの他の態様によれば、上記逆止弁が配設されていない場合に比べて、第１温度調整状態において第１媒体が流入する第３流路の範囲を小さくすることができる。そのため、第１温度調整状態における第３流路そのものの温度低下を抑えることが可能であることから、第３温度調整状態への切り替え直後に第３流路から媒体供給路に供給される第３媒体の温度をより高いものにすることができる。
【００１５】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記第３流路には、前記第３媒体を加熱する加熱部が配設され、前記第３流路の逆止弁は、該第３流路における前記加熱部の下流側に配設されている。
【００１６】
本発明のハンドラーの他の態様によれば、第１温度調整状態において、第１媒体が加熱部に流入することによる加熱部の温度低下を抑えることができる。その結果、加熱部に第１媒体が流入する場合に比べて、第３温度調整状態の開始時における加熱部の温度が高められることから、温調流路に対して支持部を高温にする第３媒体を早期に供給することができる。
【００１７】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記第１媒体が液化ガスを含み、前記媒体供給路の途中に、該媒体供給路よりも大きな流路断面積を有して前記液化ガスを気化させる気化容器を備え、前記第３流路及び前記媒体供給路が、前記気化容器の下流側で前記流入端に対して並列に接続され、前記媒体供給路には、前記第３媒体が前記第１流路及び第２流路に流入することを抑止する逆止弁が配設され、前記媒体供給路の逆止弁は、該媒体供給路における前記気化容器よりも下流側に配設されている。
【００１８】
本発明のハンドラーの他の態様によれば、第１媒体を気化させる気化容器の上流側で第１流路と第２流路とが媒体供給路に対して並列に接続され、該気化容器の下流側で第３流路と媒体供給路とが流入端に対して並列に接続されている。そのため、第２温度調整状態では、支持部や媒体供給路に加えて、気化容器も常温にすることができる。
【００１９】
また、第３の供給路と媒体供給路とが上記気化容器の下流側で流入端に対して並列に接続されており、且つ媒体供給路には気化容器の下流側に逆止弁が配設されている。そのため、第３温度調整状態では、媒体供給路よりも単位長さあたりの熱容量の大きい気化容器に対して、第３媒体が流入することを抑えることができる。その結果、気化容器に第３媒体が流入する場合に比べて、媒体供給路を逆流することによる第３媒体の温度低下を抑えることができる。
【００２０】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記支持部が収容される収容容器と、前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路とを備え、前記第１媒体が液化ガスまたは該液化ガスを気化させたガスであり、且つ第２媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスであり、且つ第３媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである。
【００２１】
本発明のハンドラーの他の態様によれば、通常のエアに比べて水分含有量が少ない各媒体が収容容器に導入されることから、第１温度調整状態において収容容器内で結露が発生することを抑えることができる。すなわち、第１温度調整状態において収容容器内に結露が発生することを抑えるうえで各媒体を有効に利用することができる。
【００２２】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記排出路には、該排出路を流れる媒体を加熱する排気加熱部が配設されている。
本発明のハンドラーの一態様によれば、第１温度調整状態から第３温度調整状態に切り
替えられたときに、温調流路を通過することによって温度低下した第３媒体を排気加熱部で加熱することができる。そのため、支持部を収容している収容容器内の温度が高められやすくなることから、第３温度調整状態では、支持部から収容容器内の空間への放熱量を抑えることができる。その結果、支持部が高温へ切り替わるまでに要する時間をさらに短くすることができる。
【００２３】
本発明のハンドラーの他の態様は、前記第３流路が、前記媒体供給路に接続され、前記媒体供給路には、前記第３流路との接続部の下流側に複数の温調流路が並列に接続されている。
【００２４】
本発明のハンドラーの他の態様によれば、第１温度状態から第３温度状態に切り替えることによって、１つの第３流路を流れる第３媒体によって各温調流路に対応する支持部を高温へ切り替えることができる。その結果、第３流路が、複数の温調流路の各々に対して１つずつ配設される場合に比べて、支持部を高温にするうえでの回路構成を簡易なものとすることができる。
【００２５】
本発明のハンドラーの一態様は、部品が支持される支持部に設けられて温調媒体が流れる温調流路と、前記温調流路の流入端に供給弁を通じて前記温調媒体を供給する媒体供給路と、前記媒体供給路の一部である主流路と、該主流路とは異なる副流路とを含み、前記主流路の前記温調媒体と前記副流路の流体との間で熱交換する熱交換器と、常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、前記供給弁、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の動作を制御する制御部と、を備え、前記第１流路と前記第２流路とは、前記副流路に対して並列に接続され、前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、前記制御部は、前記供給弁と前記第１弁とを開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、前記供給弁と前記第２弁とを開け、前記第１弁と前記第３弁とを閉じる第２温調状態と、前記供給弁と前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する。
【００２６】
本発明の部品検査装置の一態様は、部品が支持される支持部に設けられて温調媒体が流れる温調流路と、前記温調流路の流入端に供給弁を通じて前記温調媒体を供給する媒体供給路と、前記媒体供給路の一部である主流路と、該主流路とは異なる副流路とを含み、前記主流路の前記温調媒体と前記副流路の流体との間で熱交換する熱交換器と、常温よりも低温の第１媒体が第１弁を通じて流れる第１流路と、常温の第２媒体が第２弁を通じて流れる第２流路と、常温よりも高温の第３媒体が第３弁を通じて流れる第３流路と、前記供給弁、前記第１弁、前記第２弁、前記第３弁の動作を制御する制御部と、を備え、前記第１流路と前記第２流路とは、前記副流路に対して並列に接続され、前記媒体供給路と前記第３流路とは、前記流入端に対して並列に接続され、前記制御部は、前記供給弁と前記第１弁とを開け、前記第２弁と前記第３弁とを閉じる第１温調状態と、前記供給弁と前記第２弁とを開け、前記第１弁と前記第３弁とを閉じる第２温調状態と、前記供給弁と前記第１弁と前記第２弁とを閉じ、前記第３弁を開ける第３温調状態とを有する。
【００２７】
本発明のハンドラー及び部品検査装置の一態様によれば、制御部が、熱交換器において第１媒体と熱交換した温調媒体が温調流路に供給されることで支持部が低温になる第１温度調整状態と、熱交換器において第２媒体と熱交換した温調媒体が温調流路に供給されることで支持部が常温になる第２温度状態と、第３媒体が温調流路に供給されることで支持部が高温になる第３温度調整状態とを有することから、支持部を低温、常温、高温に切り替えることができる。
【００２８】
また、温調流路の流入端に対して媒体供給路と第３流路とが熱交換器の下流側で並列に
接続されていることから、第３温度調整状態では、熱交換器を通過する温調媒体ではなく、熱交換器への流入が抑えられた第３媒体が温調流路に流入することになる。そのため、第１温度調整状態から第３温度調整状態への切り替え直後において、熱交換器の上流と第３流路の末端とにおける媒体の条件、例えば温度や流量、圧力等が等しいという前提の下では、熱交換器の上流からの媒体よりも第３流路からの媒体の方が温調流路に流入する際の温度が高くなる。それゆえに、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明を具体化したハンドラー及び部品検査装置の一実施形態について、その全体構成を示す構成図。
【図２】第１実施形態の温度調整ユニットにおける流路系統を示した流路系統図。
【図３】第１実施形態のハンドラーにおける電気的構成の一部を示すブロック図。
【図４】第１実施形態における冷却運転、常温復帰運転、高温切替運転時の各バルブ、各エアヒーターの駆動態様を示す図。
【図５】第１実施形態の冷却運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図６】第１実施形態の常温復帰運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図７】第１実施形態の高温切替運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図８】第２実施形態の温度調整ユニットにおける流路系統を示した流路系統図。
【図９】第２実施形態のハンドラーにおける電気的構成の一部を示すブロック図。
【図１０】第２実施形態における冷却運転、常温復帰運転、高温切替運転時の各バルブ、各エアヒーターの駆動態様を示す図。
【図１１】第２実施形態の冷却運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図１２】第２実施形態の常温復帰運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図１３】第２実施形態の高温切替運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図１４】変形例における支持部を模式的に示した図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した第１及び第２実施形態について、図１〜図１３を参照して説明する。なお、部品検査装置は、電子部品を搬送するハンドラーと、ハンドラーとは別体の装置であって電子部品の電気的特性を検査するテスターとを備えるものである。
【００３１】
［ハンドラー及び部品検査装置の構成］
まず、第１及び第２実施形態のハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に共通する全体構成について図１を参照して説明する。図１に示されるように、ハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、該搭載面１１ａの大部分が、カバー部材１２によって覆われている。これらカバー部材１２と搭載面１１ａとにより囲まれた空間である搬送空間は、外部から供給されるドライエアにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。
【００３２】
基台１１の搭載面１１ａには、カバー部材１２の外側と内側との間で電子部品Ｔを搬送する４つのコンベアーＣ１〜Ｃ４が配列されている。このうち、コンベアーの配列方向であるＸ方向の一方側には、カバー部材１２の外側から内側に向かって検査前の電子部品Ｔ
を搬送する供給用コンベアーＣ１が敷設され、Ｘ方向の他方側には、カバー部材１２の内側から外側に向かって検査後の電子部品Ｔを搬送する回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４が敷設されている。これらのコンベアーＣ１〜Ｃ４では、複数の電子部品Ｔが各コンベアー上のデバイストレイＣ１ａ〜Ｃ４ａに収容された状態で搬送される。
【００３３】
また、搭載面１１ａのうち、搬送空間の略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形状の開口部１３が形成されている。この開口部１３には、テスターのテストヘッド１４が取り付けられている。テストヘッド１４は、その上面に電子部品Ｔが嵌め込まれる検査用ソケットを有しており、該電子部品Ｔを検査するためのテスター内の検査回路に電気的に接続されている。このテスターにおいては、テストヘッド１４と検査用ソケット１４ａとによって１つの支持部が構成されている。
【００３４】
さらに、搭載面１１ａのうち、Ｘ方向と直交するＹ方向では、開口部１３の両側に、検査前及び検査後の電子部品Ｔが一時的に載置される第１シャトル１５と第２シャトル１６とが配設されている。これらのシャトル１５，１６は、Ｘ方向に延びるように形成されており、その上面における上記供給用コンベアーＣ１側には、検査前の電子部品Ｔが収容される収容ポケット１７，１８が複数形成された供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａがそれぞれ固定されている。一方、シャトル１５，１６の上面における上記回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４側には、検査後の電子部品Ｔが収容される回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂがそれぞれ固定されている。そして、これらシャトル１５，１６は、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びるシャトルガイド１５ｃ，１６ｃにそれぞれ連結されてＸ方向に沿って往動及び復動する。ハンドラー１０においては、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとによって１つの支持部が構成されており、第２シャトル１６と供給用シャトルプレート１６ａとによって１つの支持部が構成されている。
【００３５】
基台１１の搭載面１１ａ上には、検査用ソケット１４ａ、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々に電子部品Ｔを搬送するロボット機構が搭載されている。そして、ロボット機構を構成する供給ロボット２０、搬送ロボット３０、及び回収ロボット４０の動作に合わせて、上述のシャトル１５，１６はシャトルガイド１５ｃ，１６ｃに沿って移動する。
【００３６】
供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１上のデバイストレイＣ１ａから、シャトル１５，１６上の供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに検査前の電子部品Ｔを搬送するロボットであり、供給用コンベアーＣ１のＹ方向に配置されている。詳しくは、供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された供給用ハンドユニット２３とを有している。また、供給用ハンドユニット２３は、その下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に供給側可動ガイド２２に連結されている。そして、供給側可動ガイド２２及び供給用ハンドユニット２３の移動により、デバイストレイＣ１ａに載置された電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３の吸着部に吸着されて搬送され、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに載置される。
【００３７】
回収ロボット４０は、シャトル１５，１６上の回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂから、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４上のデバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに検査後の電子部品Ｔを搬送するロボットであり、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４のＹ方向に配置されている。詳しくは、回収ロボット４０は、上述の供給ロボット２０と同様、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された回収用ハンドユニット４３とを有している。また、回収用ハン
ドユニット４３は、その下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に回収側可動ガイド４２に連結されている。そして、回収側可動ガイド４２及び回収用ハンドユニット４３の移動により、回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂに載置された電子部品Ｔが、回収用ハンドユニット４３の吸着部に吸着されて搬送され、デバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに載置される。
【００３８】
搬送ロボット３０は、搬送空間の略中央に設置されたＹ方向に延びる固定軸である搬送ガイド３１と、搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３とを有している。このうち、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上とテストヘッド１４上との間を往復し、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上とテストヘッド１４上との間を往復する。また、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、各々がその下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に搬送ガイド３１に連結されている。
【００３９】
そして、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａに載置された検査前の電子部品Ｔを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。検査用ソケット１４ａの底面には、電子部品Ｔの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されており、電子部品Ｔの有する雄端子が検査用ソケット１４ａの雌端子に嵌め込まれることによって、電子部品Ｔの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラー１０から検査開始の指令を受けて電子部品Ｔの検査を開始し、その検査結果とともに検査の終了を示す信号をハンドラー１０に出力する。こうして電子部品Ｔの検査が終了すると、第１搬送ユニット３２は、検査後の電子部品Ｔをテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第１シャトル１５上の回収用シャトルプレート１５ｂへ搬送する。
【００４０】
同様に、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上の供給用シャトルプレート１６ａに載置された検査前の電子部品Ｔを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。そして、テスターによる電子部品Ｔの検査が終了すると、第２搬送ユニット３３は、検査後の電子部品Ｔを、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第２シャトル１６上の回収用シャトルプレート１６ｂへ搬送する。このような第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３によるテストヘッド１４への電子部品Ｔの搬送は交互に行われ、電子部品Ｔがテスターによって順次検査されていく。
【００４１】
なお、供給用ハンドユニット２３、回収用ハンドユニット４３、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、複数の電子部品を同時に吸着保持するものであり、各々の吸着部は例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着して把持することの可能なエンドエフェクターとして構成される。
【００４２】
ここで、本実施形態では、第１シャトル１５の周囲に、搬送空間内で隔離され、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂとを収容する部屋を有する収容容器としての収容ボックス５０が配設されている。同様に、開口部１３及び開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４の周囲には、搬送空間内で隔離され、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａを収容する部屋である検査ボックス５１が配設されている。さらに、第２シャトル１６の周囲には、搬送空間内で隔離され、第２シャトルと供給用シャトルプレート１６ａ及び回収用シャトルプレート１６ｂとを収容する部屋である収容ボックス５２が配設されている。そして、これら収容ボックス５０、検査ボックス５１、及び収容ボックス５２の各々において電子部品Ｔの温度調整が行なわれる。
【００４３】
［第１実施形態における温度調整ユニットの構成］
次に、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。まず、温度調整ユニットの構成について、図２を参照して説明する。なお、部品検査装置には、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａの収容ポケット１７，１８に収容された電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニット、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに収容された電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットが搭載されている。第１実施形態では、供給用シャトルプレート１５ａの収容ポケット１７に収容される電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットを用いて説明する。
【００４４】
図２に示されるように、１つの温度調整ユニットは、供給用シャトルプレート１５ａに形成された複数の収容ポケット１７のうち、４つの収容ポケット１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄの温度を調整する。温度調整ユニットは、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を調整することで、該収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに収容される電子部品Ｔの温度を調整する。温度調整ユニットは、例えば、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を例えば−４５℃といった常温よりも低い第１目標温度に調整する。また例えば、温度調整ユニットは、第１目標温度にある収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を例えば１８℃といった常温である第２目標温度に調整する。また例えば、温度調整ユニットは、第１目標温度にある収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を例えば１２５℃といった常温よりも高い第３目標温度に調整する。
【００４５】
温度調整ユニットにおいて、貯蔵タンク５５には、第１媒体である窒素が液相状態にある液体窒素が貯蔵されている。貯蔵タンク５５には、共通路５６を介して第１流路５７と第１流路５８とが接続されている。
【００４６】
第１流路５７の途中には、第１弁としての窒素供給バルブ５９（以下、単にバルブ５９という。）が配設されており、第１流路５７の末端にある接続部６０には、収容ポケット１７の温度を調整する媒体の流れる媒体供給路６１が接続されている。媒体供給路６１は、気化容器６２の第１気化室６３を含んでおり、バルブ５９は、第１流路５７を開閉して媒体供給路６１に対する液体窒素の供給量を制御する。
【００４７】
同様に、第１流路５８の途中には、窒素供給バルブ６５（以下、単にバルブ６５という。）が配設されており、第１流路５８の末端にある接続部６６には、媒体供給路６７が接続されている。この媒体供給路６７は、気化容器６２の第２気化室６８を含んでおり、バルブ６５は、第１流路５８を開閉して媒体供給路６７に対する液体窒素の供給量を制御する。なお、これらの第１流路５７，５８、媒体供給路６１，６７は、流路断面積が略等しい配管である。
【００４８】
気化容器６２は、いわゆるプレート式熱交換器であって、第１気化室６３を流れる流体と第２気化室６８を流れる流体との間で熱交換が可能な熱交換器である。気化容器６２には、該気化容器６２における流体の流れが並行流となるように媒体供給路６１，６７が接続されている。第１及び第２気化室６３，６８は、媒体供給路６１，６７の流路断面積よりも大きな流路断面積に形成されている。第１及び第２気化室６３，６８に流入した液体窒素は、液体窒素の沸点よりも温度が高い気化容器内部で気化膨張されて、第１目標温度である制御装置の設定温度よりも低い温度の窒素ガスとなる。そして、第１気化室６３にて窒素ガスとなった第１媒体は本温度調整ユニットに用いられ、第２気化室６８にて窒素ガスとなった第１媒体は他の温度調整ユニットＴＣに用いられる。
【００４９】
媒体供給路６１は、収容ポケット１７Ａの直下を通るように第１シャトル１５に形成された温調流路７１Ａにおける流入端７２Ａに接続されている。また、媒体供給路６１には
、該媒体供給路６１の分岐部７３に対して３つの分岐路７４Ｂ，７４Ｃ，７４Ｄが並列に接続されている。これら分岐路７４Ｂ，７４Ｃ，７４Ｄの各々は、収容ポケット１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄの直下を通るように第１シャトル１５に形成された温調流路７１Ｂ，７１Ｃ，７１Ｄの流入端７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｄに接続されている。すなわち、これら温調流路７１Ａ〜７１Ｄは並列に接続されている。また、媒体供給路６１には、該媒体供給路６１を流れる媒体の温度を検出する温度センサー６９が備えられている。
【００５０】
一方、温調流路７１Ａの流出端７５Ａには、排出路７６Ａが接続されている。排出路７６Ａは、収容ボックス５０に接続されており、温調流路７１Ａから排出された媒体は、収容ボックス５０に導入される。また、温調流路７１Ｂ，７１Ｃ，７１Ｄの流出端７５Ｂ，７５Ｃ，７５Ｄには、排出路７６Ａと等しい流路断面積を有する排出路７６Ｂ，７６Ｃ，７６Ｄがそれぞれ接続されている。排出路７６Ｂ〜７６Ｄは、排出路７６Ａとの合流部７７において排出路７６Ａに接続されており、温調流路７１Ｂ〜７１Ｄから排出された媒体を排出路７６Ａに排出する。すなわち、収容ボックス５０には、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出された媒体が導入される。
【００５１】
排出路７６Ａには、合流部７７よりも上流側に、該排出路７６Ａの流路断面積を変化させて温調流路７１Ａにおける媒体の流量を絞る絞り弁７８Ａが配設されている。同様に、排出路７６Ｂ〜７６Ｄの各々にも、合流部７７よりも上流側に、該排出路７６Ｂ〜７６Ｄの流路断面積を変化させて温調流路７１Ｂ〜７１Ｄにおける媒体の流量を絞る絞り弁７８Ｂ，７８Ｃ，７８Ｄがそれぞれ配設されている。
【００５２】
また、排出路７６Ａには、絞り弁７８Ａと合流部７７との間に、温調流路７１Ａの流出端７５Ａから合流部７７への媒体の流れを許容し、且つ合流部７７から流出端７５Ａへの媒体の逆流を抑止する逆止弁としての逆止弁７９Ａが配設されている。同様に、排出路７６Ｂ〜７６Ｄの各々にも、合流部７７と絞り弁７８Ｂ〜７８Ｄとの間に、該排出路７６Ｂ〜７６Ｄを逆流する媒体が温調流路７１Ｂ〜７１Ｄに流入することを抑止する逆止弁としての逆止弁７９Ｂ，７９Ｃ，７９Ｄがそれぞれ配設されている。
【００５３】
また、排出路７６Ａには、合流部７７よりも下流側に、該排出路７６Ａを流通する媒体を昇温可能な排気加熱部としての熱交換器８０が配設されている。熱交換器８０は、いわゆるプレート式熱交換器であって、排出路７６Ａと、ドライエア供給源８１からのドライエアであるパージエアが流れるパージエア供給路８２とが接続されている。熱交換器８０では、排出路７６Ａを流通する媒体と、パージエア供給路８２を流通するパージエアとが並行流となっており、これら媒体とパージエアとの間で熱交換が行なわれる。
【００５４】
また、排出路７６Ａには、熱交換器８０の下流側に、熱交換器８０から収容ボックス５０への媒体の流れを許容し、且つ収容ボックス５０から熱交換器８０への媒体の逆流を抑止する逆止弁８３が配設されている。
【００５５】
ドライエア供給源８１は、コンプレッサーや乾燥機で構成されており、部品検査装置の周辺にあるエアを圧縮し、乾燥させたうえでパージエア供給路８２に供給する。パージエア供給路８２に対する供給量は、パージエア供給路８２の流路断面積を変化させるパージエア供給バルブ８４（以下、単にバルブ８４という。）によって制御される。パージエア供給路８２は、収容ボックス５０に接続されており、熱交換器８０から流出したパージエアは、収容ボックス５０に導入される。パージエア供給路８２には、バルブ８４と熱交換器８０との間にパージエアを加熱可能なエアヒーター８５が配設されている。
【００５６】
また、パージエア供給路８２には、熱交換器８０の下流側に、熱交換器８０から収容ボックス５０への媒体の流れを許容し、且つ収容ボックス５０から熱交換器８０への媒体の
逆流を抑止する逆止弁８６が配設されている。
【００５７】
上記ドライエア供給源８１は、上記パージエア供給路８２の他、該ドライエア供給源８１の生成するドライエアを第２媒体である常温復帰ガスとして第２流路８７に供給する。この第２流路８７は、分岐部８８において第２流路８７Ａと第２流路８７Ｂとに分岐されている。第２流路８７Ａは、媒体供給路６１の接続部６０に接続され、第２流路８７Ｂは、媒体供給路６７の接続部６６に接続されている。すなわち、媒体供給路６１に対して第１流路５７と第２流路８７Ａとが並列に接続されており、媒体供給路６７に対して第１流路５８と第２流路８７Ｂとが並列に接続されている。
【００５８】
第２流路８７における分岐部８８よりも上流側には、第２流路８７の流路断面積を変化させて、第２流路８７に対する常温復帰ガスの供給量を制御する第２弁としての常温復帰バルブ８９（以下、単にバルブ８９という。）が配設されている。また、第２流路８７におけるバルブ８９と分岐部８８との間には、常温復帰ガスを第２目標温度である１８℃よりも高い所定の温度である例えば６０℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター９０とが配設されている。そして、バルブ５９が閉状態、且つバルブ８９が開状態にある場合、媒体供給路６１には、第２目標温度よりも高い温度の常温復帰ガスが接続部６０から流入することとなり、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが常温復帰ガスによって直接的に加熱されることになる。
【００５９】
また、第２流路８７Ａには、第２流路８７から接続部６０に対する常温復帰ガスの流れを許容し、且つ接続部６０から第２流路８７への窒素ガスの流れを抑止する抑止する抑止部としての逆止弁９１Ａが配設されている。同様に、第２流路８７Ｂには、第２流路８７から接続部６６に対する常温復帰ガスの流れを許容し、且つ接続部６６から第２流路８７への窒素ガスの流れを抑止する抑止部としての逆止弁９１Ｂが配設されている。なお、媒体供給路６７は、他の温度調整ユニットにおける収容ポケットの温度調整に用いられるため、以下では、媒体供給路６７に関する説明を省略する。
【００６０】
さらに、ドライエア供給源８１は、該ドライエア供給源８１の生成するドライエアを第３媒体である昇温ガスとして第３流路９２に供給する。第３流路９２は、媒体供給路６１における分岐部７３と気化容器６２との間であって、温度センサー６９の上流にある接続部９３に接続されている。
【００６１】
第３流路９２には、該第３流路９２の流路断面積を変化させて、第３流路９２に対する昇温ガスの供給量を制御する第３弁としての高温切替バルブ９４（以下、単にバルブ９４という。）が配設されている。
【００６２】
また、第３流路９２におけるバルブ９４と接続部９３との間には、昇温ガスを第３目標温度である１２５℃よりも高い所定の温度まで加熱する加熱部としてのエアヒーター９５が配設されている。
【００６３】
すなわち、温調流路７１Ａの流入端７２Ａに対して、媒体供給路６１と第３流路９２とが並列に接続されている。そして、バルブ５９，８９が閉状態、バルブ９４が開状態にある場合、媒体供給路６１には、第３目標温度よりも高い温度の昇温ガスが接続部９３から流入するととなり、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが昇温ガスによって直接的に加熱されることになる。
【００６４】
また、第３流路９２におけるエアヒーター９５の下流側には、該第３流路９２から接続部９３に対する昇温ガスの流れを許容し、且つ接続部９３から第３流路９２への媒体の流れを抑止する抑止する抑止部としての逆止弁９６が配設されている。また、媒体供給路６
１には、接続部９３と気化容器６２との間に、気化容器６２から接続部９３への気体の流通を許可し、接続部９３から気化容器６２への気体の流通を抑止する逆止弁９７が配設されている。
【００６５】
［第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成］
次に、第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー１０の電気的構成を中心に図３を参照して説明する。上記ハンドラー１０に備えられた制御部を構成する制御装置１００は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリー（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリー（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置１００は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、上述の供給ロボット２０、搬送ロボット３０、回収ロボット４０といったロボット機構の動作をはじめとするハンドラー１０にかかわる各種制御を統括的に行っている。また、制御装置１００には、テスター１０１が電気的に接続されており、テスター１０１との間で電子部品Ｔの検査の開始や終了を示す信号の入出力を行っている。ここでは、制御装置１００による制御のうち、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに対応する温度調整ユニットにかかわる制御の態様について説明する。なお、制御装置１００は、入出力装置１０２を介して入力される目標温度に関する情報に基づいて、温度調整ユニットに関わる各種制御を実行する。
【００６６】
制御装置１００は、電子部品Ｔの目標温度が例えば−４５℃である第１目標温度に切り替えられた場合には、収容ポケットを冷却する第１温度調整状態である冷却運転を実施する。また、制御装置１００は、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度から例えば１８℃といった常温である第２目標温度に切り替えられた場合には、収容ポケットを常温に復帰させる第２温度調整状態である常温復帰運転を実施する。また、制御装置１００は、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度から例えば１２５℃といった常温よりも高い第３目標温度に切り替えられた場合には、収容ポケットを加熱する第３温度調整状態である高温切替運転を実施する。
【００６７】
図３に示されるように、制御装置１００には、バルブ駆動部１０３ａとエアヒーター駆動部１０３ｂと絞り弁駆動部１０３ｃを有する温度調整ユニット駆動部１０３が電気的に接続されている。まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂ、絞り弁駆動部１０３ｃによる各バルブ、各エアヒーター、各絞り弁の駆動態様について説明する。
【００６８】
冷却運転において、バルブ駆動部１０３ａは、制御装置１００から入力された第１目標温度と、例えば温度センサー６９の検出値の推移といった温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報と基づいて、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度になるように、バルブ５９の開閉時間を設定するとともに、該開閉時間を示す信号をバルブ５９に出力する。バルブ５９は、入力された信号に応じた開閉を行うことで媒体供給路６１に対する窒素ガスの供給量を調整する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８９．９４を閉状態に維持することを示す信号をバルブ８９，９４に出力する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８４の開度を最大開度に維持することを示す信号をバルブ８４に出力する。
【００６９】
冷却運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９０，９５のうち、エアヒーター８５のみを駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、バルブ５９の開閉時間に基づいて、熱交換器８０における窒素ガスとパージエアとの熱交換によって、これら窒素ガスとパージエアが常温以上の温度となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【００７０】
また、絞り弁駆動部１０３ｃは、バルブ５９の開閉時間と、分岐部７３から各流入端７２Ａ〜７２Ｄまでの流路抵抗に関する情報とに基づいて、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄにおける窒素ガスの流量が同じとなるように、各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄの開度を設定するとともに、該開度を示す信号を各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄに出力する。
【００７１】
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂ、絞り弁駆動部１０３ｃによる各バルブ、各エアヒーター、各絞り弁の駆動態様について説明する。
【００７２】
常温復帰運転において、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ５９，９４を閉状態に維持することを示す信号を各バルブ５９，９４に出力する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８４，８９の開度を最大開度にすることを示す信号を各バルブ８４，８９に出力する。
【００７３】
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９０，９５のうち、エアヒーター８５，９０を駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄに供給される常温復帰ガスが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター９０に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター９０に出力し、エアヒーター９０を駆動する。
【００７４】
また、エアヒーター駆動部１０３ｂは、例えば温度センサー６９の検出値の推移といった温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、熱交換器８０における常温復帰ガスとパージエアとの熱交換によって、これら常温復帰ガスとパージエアの双方が常温以上の温度となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【００７５】
常温復帰運転において、絞り弁駆動部１０３ｃは、分岐部７３から各流入端７２Ａ〜７２Ｄまでの流路抵抗に関する情報に基づいて、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄにおける常温復帰ガスの流量が同じとなるように、各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄの開度を設定するとともに、該開度を示す信号を各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄに出力する。
【００７６】
次に、高温切替運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂ、絞り弁駆動部１０３ｃによる各バルブ、各エアヒーター、各絞り弁の駆動態様について説明する。
【００７７】
高温切替運転において、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ５９，８９を閉状態に維持することを示す信号を各バルブ５９，８９に出力する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８９，９４の開度を最大開度にすることを示す信号をバルブ各８９、９４に出力する。
【００７８】
高温切替運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９０，９５のうち、エアヒーター８５，９５を駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、媒体供給路６１に供給される昇温ガスが第３目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター９５に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター９５に出力し、エアヒーター９５を駆動する。
【００７９】
また、エアヒーター駆動部１０３ｂは、例えば温度センサー６９の検出値の推移といった温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、
熱交換器８０における昇温ガスとパージエアとの熱交換によって、これら昇温ガスとパージエアの双方が常温以上の温度となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【００８０】
高温切替運転において、絞り弁駆動部１０３ｃは、分岐部７３から各流入端７２Ａ〜７２Ｄまでの流路抵抗に関する情報に基づいて、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄにおける昇温ガスの流量が同じとなるように、各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄの開度を設定するとともに、該開度を示す信号を各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄに出力する。
【００８１】
すなわち、第１実施形態の温度調整ユニット駆動部１０３は、冷却運転、常温復帰運転、高温切替運転において、図４に示すように、窒素供給バルブ５９、常温復帰バルブ８９、高温切替バルブ９４、パージエア供給バルブ８４、エアヒーター８５，９０，９５の駆動態様を変化させる。
【００８２】
なお、温度調整ユニット駆動部１０３と同様、供給用シャトルプレート１５ａの他の収容ポケット１７や、供給用シャトルプレート１６ａの収容ポケット１８、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに対応する温度調整ユニットに対しても、該温度調整ユニットごとに温度調整ユニット駆動部が設けられている。すなわち、制御装置１００は、各温度調整ユニットを互いに独立させた態様で制御する。
【００８３】
［第１実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて］
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて図５を参照して説明する。上述したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ５９，８４が開状態に制御されるとともに、バルブ８９，９４が閉状態に制御される。なお、冷却運転においては、バルブ８９，９４が閉状態であり、且つ媒体供給路６１の接続部６０から第２流路８７Ａへの窒素ガスの流れが逆止弁９１Ａで抑止され、且つ媒体供給路６１の接続部９３から第３流路９２への窒素ガスの流れが逆止弁９６で抑止される。そのため、図５では、第２流路８７，８７Ａ、第３流路９２を流体の流通していない流路として点線で示している。
【００８４】
図５に示されるように、貯蔵タンク５５から共通路５６を通じて第１流路５７に供給された液体窒素は、やがて接続部６０から媒体供給路６１に流入する。媒体供給路６１に流入した液体窒素は、気化容器６２の第１気化室６３を通過する際に窒素ガスへと転移したのち、逆止弁９７、接続部９３を通過して温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する。温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入した各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを冷却する。
【００８５】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出された窒素ガスは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記窒素ガスの他、エアヒーター８５によって加熱されて窒素ガスよりも温度の高いパージガスが流入している。熱交換器８０に流入した窒素ガスは、パージガスとの熱交換によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換によって常温まで降温させられたのち、収容ボックス５０に導入される。
【００８６】
こうした冷却運転において、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度となるように各温調流路７１Ａ〜７１Ｄに供給される窒素ガスの供給量を制御する。
【００８７】
［第１実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて］
次に、常温復帰運転の温度調整ユニットについて、図６を参照して説明する。上述したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、バルブ５９，９４が閉状態に制御されるとともに、バルブ８４，８９の開度が最大開度に制御される。なお、常温復帰運転においては、バルブ５９，９４が閉状態であり、且つ媒体供給路６１の接続部９３から第３流路９２への流体の流れが逆止弁９６で抑止される。そのため、図６では、共通路５６、第１流路５７、第３流路９２を流体の流通していない流路として点線で示している。
【００８８】
図６に示されるように、ドライエア供給源８１から第２流路８７に供給された常温復帰ガスは、エアヒーター９０によって第２目標温度よりも高い温度まで加熱させられたのち、分岐部８８から第２流路８７Ａに流入する。第２流路８７Ａに流入した常温復帰ガスは、接続部６０において媒体供給路６１に流入し、該媒体供給路６１を加熱しながら流通して温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する。温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入した常温復帰ガスは、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを加熱したのち、排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出される。
【００８９】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出された常温復帰ガスは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記常温復帰ガスの他、エアヒーター８５によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器８０に流入した常温復帰ガスは、パージガスとの熱交換によって常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス５０に導入される。
【００９０】
こうした常温復帰運転において、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第２目標温度となるように、バルブ８９の開度を最大開度に制御しつつ、エアヒーター９０に出力される駆動電力を制御する。また、制御装置１００は、バルブ８４を最大開度に制御するとともに、収容ボックス５０に導入される窒素ガス及びパージエアが常温以上となるようにエアヒーター８５に出力される駆動電力を制御する。
【００９１】
やがて制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第２目標温度に到達したと判断すると、バルブ８９を閉状態、エアヒーター８５，９０を停止状態に制御して常温復帰運転を終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第２目標温度に切り替えられる。なお、バルブ８４は、常温復帰運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【００９２】
なお、常温復帰後に常温検査を実施する場合、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第２目標温度に到達した後もバルブ８９を開状態、エアヒーター８５，９０を運転状態に制御して第２目標温度状態を維持することも可能としている。
【００９３】
［第１実施形態における高温切替運転時の温度調整ユニットについて］
次に、高温切替運転の温度調整ユニットについて、図７を参照して説明する。上述したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置における高温切替運転では、バルブ５９，８９が閉状態に制御されるとともに、バルブ８４，９４の開度が最大開度に制御される。なお、高温切替運転においては、バルブ５９，８９が閉状態であり、且つ媒体供給
路６１において接続部９３から第１気化室６３への流体の流れが逆止弁９７で抑止される。そのため、図７では、共通路５６、第１流路５７、第２流路８７，８７Ａ、媒体供給路６１における接続部９３よりも上流側の部分、これらを流体の流通していない流路として点線で示している。
【００９４】
図７に示されるように、ドライエア供給源８１から第３流路９２に供給された昇温ガスは、エアヒーター９５によって第３目標温度よりも高い所定の温度まで加熱させられたのち、逆止弁９６を通過して接続部９３から媒体供給路６１に流入する。媒体供給路６１に流入した昇温ガスは、続けて温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する。
【００９５】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入した昇温ガスは、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを加熱したのち、排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出される。温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出された昇温ガスは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記昇温ガスの他、エアヒーター８５によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器８０に流入した常温復帰ガスは、パージガスとの熱交換によって常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス５０に導入される。
【００９６】
こうした高温切替運転において、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第３目標温度となるように、バルブ９４の開度を最大開度に制御しつつ、エアヒーター９５に出力される駆動電力を制御する。また、制御装置１００は、バルブ８４を最大開度に制御するとともに、収容ボックス５０に導入される昇温ガス及びパージエアが常温以上となるようにエアヒーター８５に出力される駆動電力を制御する。
【００９７】
やがて制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第３目標温度に到達したと判断すると、バルブ９４を閉状態、エアヒーター８５，９５を停止状態に制御して高温切替運転を終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度から第３目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第３目標温度に切り替えられる。なお、バルブ８４は、高温切替運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【００９８】
なお、高温切換運転後に高温検査を実施する場合、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第３目標温度に到達した後もバルブ９４を開状態、エアヒーター８５，９５を運転状態に制御して第３目標温度状態を維持することも可能としている。
【００９９】
［第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置の作用］
次に、第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用について説明する。
第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度のときには冷却運転が実施され、目標温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられると上述した常温復帰運転が実施される。また、目標温度が第１目標温度から第３目標温度へと切り替えられると上述した高温切替運転が実施される。そのため、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を低温、常温、高温に切り替えることができる。
【０１００】
また、媒体供給路６１に対して、第１流路５７と第２流路８７Ａとが接続部６０で接続され、且つ第３流路９２が該接続部６０よりも下流側にある接続部９３で接続されている
。すなわち、接続部６０から流入端７２Ａまでの配管長よりも接続部９３から流入端７２Ａまでの配管長の方が短くなっている。そのため、例えば、冷却運転停止直後に媒体供給路６１に対して接続部６０と接続部９３とから温度や流量等の条件が同じガスを個別に供給したとすると、接続部６０からのガスよりも接続部９３からのガスの方が流入端７２Ａに到達するときの温度が高くなる。その結果、上述した温度調整ユニットに第３流路９２を配設することによって、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【０１０１】
また、媒体供給路６１には、接続部９３と気化容器６２との間に逆止弁９７が配設されている。この逆止弁９７が配設されていない場合、第３流路９２から媒体供給路６１に流入した昇温ガスの一部は、該媒体供給路６１を逆流して第１流路５７及び第２流路８７Ａに到達する。この際、昇温ガスは、媒体供給路６１との熱交換によって温度が低下することになる。そして、この温度低下した昇温ガスを含む昇温ガスが温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入するとなれば、その温度低下した分だけ各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるまでに要する時間が長くなる。この点、媒体供給路６１に逆止弁９７が配設されていることから、媒体供給路６１において昇温ガスが逆流する範囲を小さくすることができる。その結果、温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する昇温ガスの温度低下を抑えることができる。
【０１０２】
しかも、気化容器６２は、媒体供給路６１よりも大きな流路断面積を有していることから、単位長さあたりの熱容量が媒体供給路６１よりも大きい。そのため、逆止弁９７が気化容器６２の下流側に配設されていることによって、媒体供給路６１よりも熱容量の大きい気化容器６２に昇温ガスが流入することを抑えることができる。その結果、昇温ガスの温度低下を効果的に抑えることができる。
【０１０３】
また、第３流路９２には、エアヒーター９５の下流側に逆止弁９６が配設されている。そのため、この逆止弁９６が配設されていない場合に比べて、冷却運転において窒素ガスが流入する第３流路９２の範囲を小さくすることができる。また、エアヒーター９５に窒素ガスが流入することを抑えることができる。その結果、冷却運転において第３流路９２及びエアヒーター９５の温度低下が抑えられることから、媒体供給路６１に対してより高い温度の昇温ガスを早期に供給することができる。
【０１０４】
また、常温復帰ガス、昇温ガス、パージエアとなるドライエア、及び窒素ガスは、通常のエアに比べて水分含有量が少ない気体であり、これらが収容ボックス５０に導入される。そのため、冷却運転において収容ボックス５０内で結露が発生することを抑えることができる。すなわち、収容ボックス５０内で結露が発生することを抑えるうえで常温復帰ガス、昇温ガスを有効に利用することができる。
【０１０５】
また、常温復帰運転及び高温切替運転において、温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出された媒体は、排出路７６Ａの熱交換器８０によって常温以上の温度に調整されてから収容ボックス５０に導入される。そのため、こうした熱交換器８０による加熱を受けない場合に比べて収容ボックス５０内の温度が高められやすくなることから、温調流路が形成された第１シャトル１５、収容ポケットが形成された供給用シャトルプレート１５ａ、これらから収容ボックス５０への放熱量を抑えることができる。その結果、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が高められやすくもなる。
【０１０６】
以上説明したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を低温、常温、高温に切り替えることができるとともに、媒体供給路６１における接続部６０と接続部９３との間の配管長の分だけ
、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるのに要する時間を短くすることができる。
【０１０７】
（２）媒体供給路６１に逆止弁９７が配設されていることから、高温切替運転において昇温ガスが逆流する媒体供給路６１の範囲を小さくすることができる。その結果、温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する昇温ガスの温度低下が抑えられることから、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるのに要する時間をさらに短くするができる。
【０１０８】
（３）上記逆止弁９７が気化容器６２の下流側に配設されていることから、媒体供給路６１における昇温ガスの温度低下を効果的に抑えることができる。
（４）第３流路９２に逆止弁９６が配設されていることから、冷却運転において窒素ガスが流入する第３流路９２の範囲を小さくすることができる。その結果、高温切替運転開始時に媒体供給路６１に流入する昇温ガスの温度を高めることができる。
【０１０９】
（５）上記逆止弁９６がエアヒーター９５の下流側に配設されていることから、媒体供給路６１に対してより高い温度の昇温ガスを早期に供給することができる。その結果、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるのに要する時間をさらに短くするができる。
【０１１０】
（６）常温復帰ガス、昇温ガス、パージエアであるドライエア、及び窒素ガスが収容ボックス５０に導入されることから、冷却運転において収容ボックス５０内に結露が発生することを抑えるうえでこれらのガスを有効に利用することができる。
【０１１１】
（７）窒素ガス、常温復帰ガス、昇温ガス、これらは熱交換器８０によって常温以上の温度に調整されてから収容ボックス５０に導入される。その結果、常温復帰運転及び高温切替運転において、第１シャトル１５及び供給用シャトルプレート１５ａから収容ボックス５０内への放熱量を抑えることができる。
【０１１２】
（８）媒体供給路６１における接続部９３の下流には、複数の温調流路７１Ａ〜７１Ｄが並列に接続されていることから、１つの第３流路９２を流れる昇温エアによって、複数の収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを高温へ切り替えることができる。
【０１１３】
（９）各排出路７６Ａ〜７６Ｄに絞り弁７８Ａ〜７８Ｄが配設されることによって、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄにおける媒体の流量を調整することが可能である。その結果、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度の均一化を図ることができる。
【０１１４】
（１０）各排出路７６Ａ〜７６Ｄに逆止弁７９Ａ〜７９Ｄが配設されることによって、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出された媒体が他の温調流路に流入することを抑えることができる。その結果、窒素ガスによる各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの冷却、常温復帰ガス及び昇温ガスによる各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの加熱を効果的に行なうことができる。
【０１１５】
（１１）排出路７６Ａに逆止弁８３が配設されることによって、排出路７６Ａに対して収容ボックス５０から窒素ガスやドライエアよりも水分含有量の多いエアが流れ込むことを抑えることができる。その結果、冷却運転時に窒素ガスの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
【０１１６】
（１２）パージエア供給路８２に逆止弁８６が配設されることによって、収容ボックス５０から窒素ガスやドライエアよりも水分含有量の多いエアがパージエア供給路８２に流れ込むことを抑えることができる。その結果、熱交換器８０及びパージエア供給路８２を
乾燥状態に維持することができる。
【０１１７】
（１３）第２流路８７Ａに逆止弁９１Ａが配設されることによって、窒素ガスによる第２流路８７，８７Ａ、エアヒーター９０の温度低下を抑えることができる。その結果、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが常温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【０１１８】
［第２実施形態における温度調整ユニットの構成］
次に、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。まず、第２実施形態における温度調整ユニットの構成について、図８を参照して説明する。なお、第１実施形態の温度調整ユニットでは収容ポケットの温調流路に対して、冷却運転では第１媒体である窒素、常温復帰運転では第２媒体である常温復帰ガスを供給していた。一方、第２実施形態の冷却運転及び常温復帰運転では、第１媒体及び第２媒体とは異なる温調媒体が温調流路に供給される。
【０１１９】
そして、第１媒体は、温調媒体を介して間接的に収容ポケットを冷却する。同様に、第２媒体も、温調媒体を介して間接的に収容ポケットを加熱する。第２実施形態においては、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、第１実施形態における温度調整ユニットと同じ機能を有する構成要素については、同じ符号を付すことによりその詳細な説明を省略する。
【０１２０】
図８に示されるように、第２実施形態の温度調整ユニットにおいて、ドライエア供給源８１は、温調媒体としてのドライエアを媒体供給路１０５に供給する。媒体供給路１０５は、熱交換器１０６の主流路１０７を含んでおり、分岐部７３を通じて各温調流路７１Ａ〜７１Ｄの流入端７２Ａ〜７２Ｄに接続されている。熱交換器１０６は、いわゆるプレート式熱交換器であって、主流路１０７と流れる流体と、副流路１０８を流れる流体との間で熱交換が行なわれる。
【０１２１】
媒体供給路１０５には、熱交換器１０６の上流側に、供給弁としてのドライエア供給バルブ１０９（以下、単にバルブ１０９という。）が配設されている。バルブ１０９は、媒体供給路１０５の流路断面積を変化させることでドライエアの供給量を制御する。また、媒体供給路１０５には、バルブ１０９と熱交換器１０６との間に該媒体供給路１０５を流れるドライエアを加熱可能なエアヒーター１１０が配設されている。また、媒体供給路１０５には、熱交換器１０６の下流側に逆止弁９７が配設されており、この逆止弁９７の下流にある接続部９３に第３流路９２が接続されている。
【０１２２】
熱交換器１０６における副流路１０８の流入端１１１には、共通供給路１１２が接続されており、この共通供給路１１２の接続部１１３には、第１流路１１４と第２流路１１５とが並列に接続されている。第１流路１１４は、貯蔵タンク５５に接続されており、この第１流路１１４の途中には、窒素供給バルブ１１６（以下、単にバルブ１１６という。）が配設されている。バルブ１１６は、第１流路１１４を開閉して副流路１０８に対する液体窒素の供給量を制御する。なお、副流路１０８は、第１流路１１４及び第２流路１１５よりも大きな流路断面積を有しており、副流路１０８に流入した液体窒素は、該副流路１０８において窒素ガスへと転移する。
【０１２３】
第２流路１１５には、ドライエア供給源８１の生成したドライエアが第２媒体である常温復帰ガスとして供給される。第２流路１１５の途中には、常温復帰バルブ１１７（以下、単にバルブ１１７という。）が配設されており、バルブ１１７は、第２流路１１５を開閉して副流路１０８に対する常温復帰ガスの供給量を制御する。
【０１２４】
第２流路１１５におけるバルブ１１７の下流側には、常温復帰ガスを第２目標温度である１８℃よりも高い所定の温度である例えば６０℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター１１８が配設されている。第２流路１１５におけるエアヒーター１１８の下流側には、エアヒーター１１８から接続部１１３への媒体の流れを許容し、接続部１１３からエアヒーター１１８への媒体の流れを抑止する逆止弁１１９が配設されている。
【０１２５】
熱交換器１０６における副流路１０８の流出端１２０には、媒体排出路１２１が接続されている。媒体排出路１２１は、収容ボックス５０に接続されており、該媒体排出路１２１の途中には、該媒体排出路１２１を流れる媒体を加熱するエアヒーター１２２が配設されている。媒体排出路１２１には、エアヒーター１２２と収容ボックス５０との間に、エアヒーター１２２から収容ボックス５０への媒体の流れを許容し、且つ収容ボックス５０からエアヒーター１２２への媒体の逆流を抑止する逆止弁１２３が配設されている。
【０１２６】
［第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成］
次に、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー１０の電気的構成を中心に図９を参照して説明する。なお、絞り弁駆動部１０３ｃによる各絞り弁７８Ａ〜７８Ｄの駆動態様は、第１実施形態と同じであるためその詳細な説明を省略する。
【０１２７】
まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
冷却運転において、バルブ駆動部１０３ａは、制御装置１００から入力された第１目標温度と、例えば温度センサー６９の検出値の推移といった温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報と基づいて、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度になるように、バルブ１１６の開閉時間を設定する。バルブ駆動部１０３ａは、その開閉時間を示す信号をバルブ１１６に出力する。バルブ１１６は、入力された信号に応じた開閉を行うことで熱交換器１０６に対する窒素の供給量を調整する。
【０１２８】
また、バルブ駆動部１０３ａは、制御装置１００から入力された第１目標温度と、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報とに基づいて、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度になるように、バルブ１０９の開度を設定する。バルブ駆動部１０３ａは、その開度を示す信号をバルブ１０９に出力する。バルブ１０９は、入力された信号に応じて媒体供給路１０５に対するドライエアの供給量を調整する。
【０１２９】
また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ９４，１１７を閉状態に維持することを示す信号を各バルブ９４，１１７に出力する。バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８４の開度を最大開度に維持することを示す信号をバルブ８４に出力する。
【０１３０】
冷却運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９５，１１０，１１８，１２２のうち、エアヒーター８５，１２２を駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、バルブ１１６の開閉時間に基づいて、収容ボックス５０に導入される窒素ガスの温度が常温となるように、エアヒーター１２２に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１２２に出力し、エアヒーター１２２を駆動する。
【０１３１】
また、エアヒーター駆動部１０３ｂは、温度センサー６９の検出値とバルブ１０９の開度とに基づいて、収容ボックス５０に導入されるドライエアの温度が常温となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【０１３２】
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
常温復帰運転において、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ９４，１１６を閉状態に維持することを示す信号を各バルブ９４，１１６に出力する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８４，１０９，１１７の各々の開度を最大開度に維持することを示す信号を各バルブ８４，１０９，１１７に出力する。
【０１３３】
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９５，１１０，１１８，１２２のうち、エアヒーター８５，１１０，１１８，１２２を駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、熱交換器１０６に供給されるドライエアが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター１１０に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１１０に出力し、エアヒーター１１０を駆動する。
【０１３４】
エアヒーター駆動部１０３ｂは、熱交換器１０６に供給される常温復帰ガスが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター１１８に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１１８に出力し、エアヒーター１１８を駆動する。
【０１３５】
エアヒーター駆動部１０３ｂは、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、収容ボックス５０に導入されるドライエアの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【０１３６】
また、エアヒーター駆動部１０３ｂは、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、収容ボックス５０に導入される常温復帰ガスの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター１２２に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１２２に出力し、エアヒーター１２２を駆動する。
【０１３７】
次に、高温切替運転に関し、バルブ駆動部１０３ａ、エアヒーター駆動部１０３ｂによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
高温切替運転において、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ１０９，１１６，１１７を閉状態に維持することを示す信号を各バルブ１０９，１１６，１１７に出力する。また、バルブ駆動部１０３ａは、バルブ８４，９４の各々の開度を最大開度に維持することを示す信号を各バルブ８４，９４に出力する。
【０１３８】
高温切替運転において、エアヒーター駆動部１０３ｂは、エアヒーター８５，９５，１１０，１１８，１２２のうち、エアヒーター８５，９５を駆動する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、媒体供給路１０５の接続部９３に供給される昇温ガスが第３目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター９５に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター９５に出力し、エアヒーター９５を駆動する。
【０１３９】
また、エアヒーター駆動部１０３ｂは、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、熱交換器８０における昇温ガスとパージエアとの熱交換によって、これら昇温ガスとパージエアの双方が常温以上の温度となるように、エアヒーター８５に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部１０３ｂは、その生成した駆動電力をエアヒーター８５に出力し、エアヒーター８５を駆動する。
【０１４０】
すなわち、第２実施形態の温度調整ユニット駆動部１０３は、冷却運転、常温復帰運転、高温切替運転において、図１０に示すように、窒素供給バルブ１１６、常温復帰バルブ
１１７、高温切替バルブ９４、パージエア供給バルブ８４、ドライエア供給バルブ１０９、エアヒーター８５，９５，１１０，１１８，１２２の駆動態様を変化させる。
【０１４１】
［第２実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて］
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて、図１１を参照して説明する。上述したように、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ８４，１０９，１１６が開状態に制御されるとともに、バルブ９４，１１７が閉状態に制御される。また、エアヒーター９５，１１０，１１８が停止状態に制御されるとともに、エアヒーター８５，１２２の駆動電力が制御される。
【０１４２】
なお、冷却運転においては、バルブ１１７，９４が閉状態であり、且つ共通供給路１１２の接続部１１３から第２流路１１５への窒素ガスの流れが逆止弁１１９で抑止され、且つ媒体供給路１０５の接続部９３から第３流路９２へのドライエアの流れが逆止弁９６によって抑止される。そのため、図１１では、第２流路１１５，第３流路９２は、流体を流通していない流路として点線で示している。
【０１４３】
図１１に示されるように、貯蔵タンク５５から第１流路１１４に供給された液体窒素は、共通供給路１１２を通じて熱交換器１０６の副流路１０８に流入する。副流路１０８に流入した液体窒素は、窒素ガスへと転移して熱交換器１０６を冷却しながら流通し媒体排出路１２１へと排出される。媒体排出路１２１に排出された窒素ガスは、エアヒーター１２２によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス５０に導入される。
【０１４４】
一方、ドライエア供給源８１から媒体供給路１０５に供給されたドライエアは、熱交換器１０６の主流路１０７に流入する。ドライエアは、熱交換器１０６における窒素ガスとの熱交換によって第１目標温度よりも低い温度まで冷却された低温ドライエアとなって熱交換器１０６から流出する。そして、熱交換器１０６を通過した低温ドライエアは、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入して収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを冷却する。
【０１４５】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出された低温ドライエアは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記低温ドライエアの他、エアヒーター８５によって加熱されて低温ドライエアよりも温度の高いパージガスが流入している。熱交換器８０に流入した低温ドライエアは、パージガスとの熱交換によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、低温ドライエアとの熱交換によって常温まで降温させられたのち、収容ボックス５０に導入される。
【０１４６】
制御装置１００は、温度センサー６９から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度となるように、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄに供給されるドライエアの供給量と、第１流路１１４に供給される液体窒素の供給量とを制御する。
【０１４７】
［第２実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて］
次に、常温復帰運転時の温度調整ユニットについて図１２を参照して説明する。上述したように、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、温度調整ユニットにおいて、バルブ８４，１０９，１１７が開状態に制御されるとともに、バルブ９４，１１６が閉状態に制御される。また、エアヒーター８５，１１０，１１８，１２２の駆動電力が制御される。なお、常温復帰運転においては、バルブ９４，１１６が閉状態であり、且つ媒体供給路１０５の接続部９３から第３流路９２への流体の流れが逆止弁９６で抑止される。そのため、図１２では、第１流路１１４、第３流路９２は、流体の流通していない流路として点線で示している。
【０１４８】
図１２に示されるように、ドライエア供給源８１から第２流路１１５に供給された常温復帰ガスは、エアヒーター１１８によって第２目標温度よりも高い温度まで加熱されたのち、共通供給路１１２を通じて熱交換器１０６の副流路１０８に流入する。
【０１４９】
副流路１０８に流入した常温復帰ガスは、続いて媒体排出路１２１へと排出されてエアヒーター１２２に流入する。すなわち、常温復帰ガスは、熱交換器１０６等、冷却運転時に低温となっていた窒素ガスの流通経路を加熱する。そして、窒素ガスの流通経路を加熱することによって温度が低下した常温復帰ガスは、エアヒーター１２２によってその温度が常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。
【０１５０】
一方、ドライエア供給源８１から媒体供給路１０５に供給されたドライエアは、エアヒーター１１０によって第２目標温度よりも高い所定の温度まで加熱されたのち熱交換器１０６に流入する。そして、ドライエアは、冷却運転時にドライエアを冷却していた熱交換器１０６、及び熱交換器１０６の下流側における媒体供給路１０５を加熱しながら流通し、やがて各温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する。温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入したドライエアは、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを加熱したのち、排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出される。
【０１５１】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出されたドライエアは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記ドライエアガスの他、エアヒーター８５によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器８０に流入したドライエアは、パージガスとの熱交換によって常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス５０に導入される。
【０１５２】
制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第２目標温度に到達したと判断すると、バルブ１０９，１１７を閉状態、エアヒーター８５，１１０，１１８を停止状態に制御して常温復帰運転を終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第２目標温度に切り替えられる。なお、バルブ８４は、常温復帰運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【０１５３】
なお、常温復帰後に常温検査を実施する場合、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第２目標温度に到達した後もバルブ１０９を開状態、エアヒーター８５、１１０を運転状態に制御して第２目標温度状態を維持することも可能としている。
【０１５４】
［第２実施形態における高温切替運転時の温度調整ユニットについて］
次に、高温切替運転の温度調整ユニットについて、図１３を参照して説明する。上述したように、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置における高温切替運転では、バルブ１０９，１１６，１１７が閉状態に制御されるとともに、バルブ８４，９４の開度が最大開度に制御される。なお、高温切替運転においては、バルブ１０９，１１６，１１７が閉状態であり、且つ媒体供給路１０５において接続部９３から熱交換器１０６への流体の流れが逆止弁９７で抑止される。そのため、図１３において第１流路１１４、第２流路１１５、媒体供給路１０５における接続部９３よりも上流側の部分、これらを流体の流通し
ていない流路として点線で示している。
【０１５５】
図１３に示されるように、ドライエア供給源８１から第３流路９２に供給された昇温ガスは、エアヒーター９５によって第３目標温度よりも高い所定の温度まで加熱させられたのち、逆止弁９６を通過して接続部９３から媒体供給路６１に流入する。媒体供給路６１に流入した昇温ガスは、続けて温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する。
【０１５６】
温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入した昇温ガスは、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを加熱したのち、排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出される。温調流路７１Ａ〜７１Ｄから排出路７６Ａ〜７６Ｄに排出された昇温ガスは、合流部７７にて合流したのち、熱交換器８０に流入する。この熱交換器８０には、上記昇温ガスの他、エアヒーター８５によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器８０に流入した昇温ガスは、パージガスとの熱交換後も常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器８０に流入したパージエアは、昇温ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス５０に導入される。
【０１５７】
制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第３目標温度に到達したと判断すると、バルブ９４を閉状態、エアヒーター８５，９５を停止状態に制御して高温切替運転を終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度が第１目標温度から第３目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第３目標温度に切り替えられる。なお、バルブ８４は、高温切替運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【０１５８】
なお、高温切換運転後に高温検査を実施する場合、制御装置１００は、温度センサー６９の検出値から得られる収容ポケットの温度に関する情報に基づいて、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが第３目標温度に到達した後もバルブ９４を開状態、エアヒーター８５，９５を運転状態に制御して第３目標温度状態を維持することも可能としている。
【０１５９】
［第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用］
次に、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用であって、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置とは異なる特有の作用について説明する。
【０１６０】
第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄの流入端７２Ａ〜７２Ｄに対して、媒体供給路１０５と第３流路９２とが熱交換器１０６の下流側で並列に接続されていることから、第３流路９２から媒体供給路１０５に供給された昇温ガスが熱交換器１０６に流入することを抑えることができる。
【０１６１】
ここで、熱交換器１０６は、冷却運転時に窒素ガスによって冷却されている。そのため、熱交換器１０６を通過するドライエアで各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄを高温に切り替えるとなると、温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入するドライエアは、熱交換器１０６を通過する際に該熱交換器１０６を加熱することによって温度低下したドライエアである。
【０１６２】
この点、上述した構成によれば、熱交換器１０６に対する昇温ガスの流入が抑えられていることから、温調流路７１Ａ〜７１Ｄに流入する昇温ガスの温度低下を抑えることができる。その結果、その温度低下が抑えられた分だけ温度の高い昇温ガスを温調流路７１Ａ〜７１Ｄに供給することができる。それゆえに、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【０１６３】
以上説明したように、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置によれば、第１実施形態に記載した（２）〜（１３）に準ずる効果に加えて、以下に列挙する効果が得られるようになる。
【０１６４】
（１４）各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄの温度を低温、常温、高温に切り替えることができる。また、各温調流路７１Ａ〜７１Ｄの流入端７２Ａ〜７２Ｄに対して、媒体供給路１０５と第３流路９２とが熱交換器１０６の下流側で並列に接続されていることから、温調流路７１Ａ〜７１Ｄに対してより高い温度の昇温ガスを供給することができる。その結果、各収容ポケット１７Ａ〜１７Ｄが低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短くすることができる。
【０１６５】
なお、上記の第１及び第２実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・第１及び第２実施形態において、１つの第３流路９２が、１つの温調流路に対応する態様であってもよい。また、媒体供給路に複数の第３流路９２が接続され、その複数の第３流路９２が、１つの温調流路に対応する態様であってもよいし、複数の温調流路に対応する態様であってもよい。
【０１６６】
・第１及び第２実施形態において、排出路７６Ａの熱交換器８０が割愛されてもよい。また、排出路７６Ａには、熱交換器８０に代えて、排出路７６Ａを流れる媒体を加熱するエアヒーターが配設されていてもよい。
【０１６７】
・第１媒体、第２媒体、第３媒体の各々は、大気中よりも水分含有量が少ないものであればよい。例えば、第１媒体は、液化ガスあるいは該液化ガスを気化させたガスであればよく、例えば酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。また例えば、第２及び第３媒体は、ドライエアに限らず、液化ガスを気化させたガスであってもよく、第１媒体同様、窒素、酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。
【０１６８】
・第１及び第２実施形態において、第１媒体である窒素、第２及び第３媒体であるドライエアは、カバー部材１２内や大気中に排出されてもよい。
・第１及び第２実施形態において、ハンドラー１０は、該ハンドラー１０が乾燥雰囲気下に設置されているならば、収容ボックス５０，５２、検査ボックス５１が割愛された構成であってもよい。
【０１６９】
・第１実施形態において、第３流路９２は、媒体供給路６１における気化容器６２の上流側に接続されていてもよい。
・第１実施形態の媒体供給路６１において、逆止弁９７が気化容器６２の上流側に配設されていてもよい。こうした構成であっても、該逆止弁９７が割愛される場合に比べれば、昇温ガスが逆流する媒体供給路６１の範囲を小さくすることができる。
【０１７０】
・第１実施形態の媒体供給路６１において、逆止弁９７が割愛されてもよい。
・第１実施形態の媒体供給路６１において、気化容器６２が割愛されてもよい。
・第２実施形態の媒体供給路１０５において、逆止弁９７が熱交換器１０６の上流側に配設されてもよい。こうした構成であっても、該逆止弁９７が割愛される場合に比べれば、昇温ガスが逆流する媒体供給路１０５の範囲を小さくすることができる。
【０１７１】
・第２実施形態の媒体供給路１０５において、逆止弁９７が割愛されてもよい。
・第１及び第２実施形態の第３流路９２において、逆止弁９６がエアヒーター９５の上流側に配設されていてもよい。こうした構成であっても、該逆止弁９６が割愛される場合に比べれば、収容ポケットを低温にする媒体が逆流する第３流路９２の範囲を小さくする
ことができる。
【０１７２】
・第１及び第２実施形態の第３流路９２において、逆止弁９６が割愛されてもよい。
・第１及び第２実施形態において、各逆止弁は、各流路における媒体の逆流を抑えるものであればよく、例えば制御装置１００によって開閉制御される仕切弁であってもよい。
【０１７３】
・第１及び第２実施形態において、温調流路の流入端に対して媒体供給路と第３流路９２とが並列に接続されるうえでは、第３流路９２は、媒体供給路ではなく、温調流路の流入端に直接接続される態様であってもよい。なお、こうした場合、収容ポケットの温度に関する情報を取得するうえで、温度センサーは、排出路７６Ａに配設されることが好ましい。
【０１７４】
・第１及び第２実施形態において、収容ポケットの温度に関する情報を取得するうえで、温度センサーは、媒体供給路における第３流路との接続部の下流に限らず、温調流路から媒体が排出される排出路に配設されていてもよい。
【０１７５】
・第１及び第２実施形態において、収容ポケットの温度に関する情報を取得するうえで、温度センサーは、媒体供給路における第３流路との接続部の下流と、排出路との双方に配設されていてもよい。こうした構成によれば、温度センサーの検出値に応じた温度勾配に基づいて収容ポケットの温度を取得することができる。
【０１７６】
・また、収容ポケットの温度に関する情報を取得するうえで、温度センサーは、収容ポケットの温度を検出するものであってもよい。
・上記第１及び第２実施形態において、基台１１を貫通する開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４とテストヘッド１４上面の検査用ソケット１４ａとにより支持部が構成されるものとした。これに代えて、図１４に示されるように、媒体の流れる温調流路１３０及び検査用ソケット１４ａの収容される収容部１３２を備える台座１３３を基台１１に設置し、この台座１３３を支持部としてもよい。この場合、検査用ソケット１４ａは、台座１３３の収容部１３２に収容されることによってハンドラー１０に搭載される。そして、台座１３３の温度が調整されることによって、検査用ソケット１４ａに収容された電子部品の温度が調整される。
【０１７７】
部品検査装置を構成するハンドラーとテスターとは別体の装置であるため、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａを支持部とする場合、ハンドラー側の構成とは別に、予めテスターのテストヘッド１４に媒体の流れる温調流路やヒーターを備えておく必要がある。この点、上述した構成によれば、温調流路やヒーターを備えたテストヘッド１４を要することなく、検査用ソケット１４ａに収容された電子部品Ｔの温度を調整することが可能となる。
【０１７８】
なお、図１４に記載の台座１３３には１つの収容部１３２が形成されているが、台座１３３に形成される収容部１３２の数は、２以上であってもよい。また、台座１３３の収容部１３２にテストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａが収容される構成としてもよい。要は、電子部品を支持する支持部として、熱を伝導する部材を挟んで電子部品に間接的に触れる部材そのものが冷却あるいは加熱される態様であればよい。なお、台座１３３に複数の収容部１３２が形成されている場合、台座１３３には、各収容部１３２に個別に対応する温調流路１３０が形成されることが好ましい。
【０１７９】
・また、図１４に示されるように、支持部である台座１３３には、該台座１３３を加熱する加熱ヒーター１３１が配設されていてもよい。
・また、支持部は、基台１１の搭載面１１ａ上、もしくはカバー部材１２によって覆わ
れた搬送空間内における基台１１の上方で電子部品Ｔを支持する部分であれば任意に設定することが可能である。例えば、供給用シャトルプレート１５ａと回収用シャトルプレート１５ｂとをそれぞれ別の支持部として、これらに対して各別の温度調整ユニットを設けてもよい。また、搬送ロボット３０における第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の下端の吸着部に支持部を配設し、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の各々の下端部に温度調整ユニットを設けるようにしてもよい。要は、電子部品Ｔが支持される部分であれば、その箇所を支持部として温度調整ユニットを設けることができる。なお、各温度調整ユニット間において電子部品Ｔを搬送する際には、収容容器の一部を開閉して電子部品Ｔの移送を行うようにすればよい。
【符号の説明】
【０１８０】
Ｔ…電子部品、Ｃ１…供給用コンベアー、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…回収用コンベアー、ＴＣ…温度調整ユニット、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…デバイストレイ、１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材、１３…開口部、１４…テストヘッド、１４ａ…検査用ソケット、１５…シャトル、１５…第１シャトル、１５ａ…供給用シャトルプレート、１５ｂ…回収用シャトルプレート、１５ｃ…シャトルガイド、１６…シャトル、１６…第２シャトル、１６ａ…供給用シャトルプレート、１６ｂ…回収用シャトルプレート、１６ｃ…シャトルガイド、１７，１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄ，１８…収容ポケット、２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給用ハンドユニット、３０…搬送ロボット、３１…搬送ガイド、３２…第１搬送ユニット、３３…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収用ハンドユニット、５０…収容ボックス、５１…検査ボックス、５２…収容ボックス、５５…貯蔵タンク、５６…共通路、５７，５８…第１流路、５９…窒素供給バルブ、６０…接続部、６１…媒体供給路、６２…気化容器、６３…第１気化室、６５…窒素供給バルブ、６６…接続部、６７…媒体供給路、６８…第２気化室、６９…温度センサー、７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ，７１Ｄ…温調流路、７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｄ…流入端、７３…分岐部、７４Ｂ，７４Ｃ，７４Ｄ…分岐路、７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃ，７５Ｄ…流出端、７６Ａ，７６Ｂ，７６Ｃ，７６Ｄ…排出路、７７…合流部、７８Ａ，７８Ｂ，７８Ｃ，７８Ｄ…絞り弁、７９Ａ，７９Ｂ，７９Ｃ，７９Ｄ…逆止弁、８０…熱交換器、８１…ドライエア供給源、８２…パージエア供給路、８３…逆止弁、８４…パージエア供給バルブ、８５…エアヒーター、８６…逆止弁、８７，８７Ａ，８７Ｂ…第２流路、８８…分岐部、８９…常温復帰バルブ、９０…エアヒーター、９１Ａ，９１Ｂ…逆止弁、９２…第３流路、９３…接続部、９４…高温切替バルブ、９５…エアヒーター、９６…逆止弁、９７…逆止弁、１００…制御装置、１０１…テスター、１０２…入出力装置、１０３…温度調整ユニット駆動部、１０３ａ…バルブ駆動部、１０３ｂ…エアヒーター駆動部、１０３ｃ…絞り弁駆動部、１０５…媒体供給路、１０６…熱交換器、１０７…主流路、１０８…副流路、１０９…ドライエア供給バルブ、１１０…エアヒーター、１１１…流入端、１１２…共通供給路、１１３…接続部、１１４…第１流路、１１５…第２流路、１１６…窒素供給バルブ、１１７…温復帰バルブ、１１８…エアヒーター、１１９…逆止弁、１２０…流出端、１２１…媒体排出路、１２２…エアヒーター、１２３…逆止弁、１３０…温調流路、１３１…加熱ヒーター、１３２…収容部、１３３…台座。
【図１】
2013221911.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2013221911.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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