(57)【要約】【課題】  ねじ軸の回転を支承している転がり軸受部材の冷却を促進することで、当該ねじ軸の熱膨張を抑え、もって移動体の位置決め精度に優れた精密位置決めテーブルを提供する。【解決手段】  ねじ軸４と、このねじ軸４の一端に接続されて当該ねじ軸４を回転させるモータ６と、前記ねじ軸４に螺合して当該ねじ軸４の回転に応じて並進運動を行う移動体２と、前記ねじ軸４の前記モータとの接続端近傍に配置され当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材５と、この転がり軸受部材５を支持する軸受ハウジング７とを備え、前記転がり軸受部材５は前記軸受ハウジング７に対して密着状態に設けられる一方、前記軸受ハウジンング７には当該軸受ハウジング７の冷却手段８が設けられている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸と、このねじ軸の一端に接続されて当該ねじ軸を回転させるモータと、前記ねじ軸に螺合して当該ねじ軸の回転に応じて並進運動を行う移動体と、前記ねじ軸の前記モータとの接続端近傍に配置され当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材と、この転がり軸受部材を支持する軸受ハウジングとを備え、
前記転がり軸受部材は前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられる一方、前記軸受ハウジンングには当該軸受ハウジングの冷却手段が設けられたことを特徴とする精密位置決めテーブル。
【請求項２】
前記軸受ハウジングは前記転がり軸受部材の収容穴を有し、当該転がり軸受部材は前記収容穴に対してしまりばめ状態で挿入されていることを特徴とする請求項１記載の精密位置決めテーブル。
【請求項３】
前記軸受ハウジングの熱伝導率は前記ねじ軸のそれよりも大きいことを特徴とする請求項２記載の精密位置決めテーブル。
【請求項４】
前記冷却手段は、前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられると共にペルチェ素子を利用した伝熱モジュールと、この伝熱モジュールが前記ハウジングから汲み出した熱を放散するヒートシンクとを備えていることを特徴とする請求項３記載の精密位置決めテーブル。
【請求項５】
前記移動体にも冷却手段が設けられることを特徴とする請求項４記載の精密位置決めテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入力信号に応じたモータの回転運動をボールねじ機構によって移動体の並進運動に変換して出力する精密位置決めテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物を直線状に移動させると共に任意の位置に正確に位置決めする装置として、ボールねじ機構を備えた精密位置決めテーブルが知られている。この精密位置決めテーブルではモータの回転運動がボールねじ機構を利用して移動体の並進運動に変換されており、前記モータの回転量を制御することで前記移動体に搭載した対象物を任意の位置に停止させることが可能となっている。
【０００３】
前記ボールねじ機構は、外周面に所定リードでボールの転動溝が螺旋状に形成されたねじ軸と、多数のボールを介して前記ねじ軸に螺合するナット部材とから構成されており、前記ねじ軸はモータとの接続端の近傍に配置された転がり軸受部材によって回転自在に支承されている。ここで、ねじ軸のリードとは、ねじ軸を１回転させた際に前記転動溝が軸方向へ進行する距離である。従って、モータの回転量と前記移動体の並進運動の距離とを一対一で対応させ、当該移動体に搭載した対象物を正確に位置決めするためには、前記ねじ軸のリードが常に一定であることが重要である。
【０００４】
しかし、精密位置決めテーブルの運転中においては、ねじ軸の回転に伴って前記ボールが当該ねじ軸の転動溝を転動することから、摩擦熱によってねじ軸が熱膨張を生じ、前記リードが変動してしまう傾向にある。
【０００５】
このような運転中におけるねじ軸のリード変動を抑制するために、従来からねじ軸を冷却する方法が提案されている。例えば、ねじ軸を中空とし、かかる中空部に対して温度制御された液体を流すことによって当該ねじ軸を冷却する方法がある。しかし、液体を循環させてその温度を管理する装置が必要であり、構造が複雑であると共に高価なものとなってしまう。
【０００６】
一方、実開昭６３−１３３９３５号公報には、前記ねじ軸に螺合するナット部材を冷却し、ボールに生じた摩擦熱をナット部材に吸収することで前記ねじ軸の温度上昇を抑えたボールねじ機構が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６３−１３３９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ナット部材に対して冷却装置を設けた場合の効果を確認するため、精密位置決めテーブルを実際に運転し、時経過に伴う前記移動体の位置決め精度の変動を観察したところ、確かに、ナット部材に対して冷却装置を設けた場合にはねじ軸の軸方向への熱膨張が抑えられ、前記移動体の位置決め精度の向上を図ることができた。しかし、それだけではねじ軸の熱膨張を完全には排除することができず、移動体の位置決め精度の更なる向上のために改善の余地があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明者らは検証を重ねた結果、ねじ軸の回転を支承している転がり軸受部材に注目するに至った。前述の如く、ねじ軸はモータとの接続端の近傍に配置された転がり軸受部材によって回転自在に支承されており、この転がり軸受部材はねじ軸に作用する軸力に抗して当該ねじ軸を所定位置に保持しなければならない。このため、前記転がり軸受部材の内輪はねじ軸に対して所謂しまりばめ状態で嵌合しているのが通例であり、かかる内輪とねじ軸が緊密に接していることから、転がり軸受部材の内部で発生した摩擦熱が内輪を通じてねじ軸に流入していることが想定された。実際に精密位置決めテーブルを運転してねじ軸の表面温度の変化を実際に計測したところ、運転時間が経過するにつれ、前述の転がり軸受部材を装着したねじ軸の軸端の表面温度が当該ねじ軸の全長の中で最も上昇した。
【００１０】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ねじ軸の回転を支承している転がり軸受部材の冷却を促進することで、当該ねじ軸の熱膨張を抑え、もって移動体の位置決め精度に優れた精密位置決めテーブルを提供することにある。
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の精密位置決めテーブルは、ねじ軸と、このねじ軸の一端に接続されて当該ねじ軸を回転させるモータと、前記ねじ軸に螺合して当該ねじ軸の回転に応じて並進運動を行う移動体と、前記ねじ軸の前記モータとの接続端近傍に配置され当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材と、この転がり軸受部材を支持する軸受ハウジングとを備えており、前記転がり軸受部材は前記軸受ハウジングに対して密着状態に設けられる一方、前記軸受ハウジンングには当該軸受ハウジングの冷却手段が設けられている。
【発明の効果】
【００１２】
前記モータによってねじ軸を繰り返し回転させると、当該ねじ軸の回転を支承する転がり軸受部材が発熱するが、かかる転がり軸受部材は軸受ハウジングと密着状態に設けられると共に、前記軸受ハウジングには冷却手段が設けられているので、前記転がり軸受部材は軸受ハウジングを介して冷却され、前記ねじ軸の温度上昇を抑制される。これにより、前記ねじ軸の熱膨張を抑え、もって移動体の位置決め精度の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明が適用された精密位置決めテーブルの一例を示す斜視図である。
【図２】軸受ハウジングに対するアンギュラコンタクトベアリングの嵌合を示す断面図である。
【図３】冷却手段の一例を示す概念図である。
【図４】ペルチェ素子の原理を示す模式図である。
【図５】伝熱モジュールの概要を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を用いながら本発明の精密位置決めテーブルを詳細に説明する。
【００１５】
図１は本発明を適用した精密位置決めテーブル（以下、「位置決めテーブル」という）の実施形態の一例を示すものである。この位置決めテーブル１は、位置決め対象物が固定される移動体２と、この移動体２を案内する軌道レールとしての役割を果たす案内部材３と、前記案内部材３の長手方向に沿って配設されたねじ軸４と、このねじ軸４を回転自在に支承する転がり軸受部材５と、前記ねじ軸４を回転させるモータ６と、前記転がり軸受部材５を保持する軸受ハウジング７と、前記軸受ハウジング７に固定された冷却手段８とを備えている。尚、図１では前記軸受ハウジング７の一部を切り欠いて示しているため、前記冷却手段８は軸受ハウジング７の一方の側面にのみ示されているが、実際には軸受ハウジング７を挟んで一対の冷却手段８を設けている。
【００１６】
前記案内部材３は、他の機械装置に固定される底板部３０と、この底板部３０から立設された一対の側壁部３１を有して溝型状に形成されており、一対の側壁部３１に挟まれた空間が前記移動体２の案内通路３２となっている。前記底板部３０にはこの案内部材３を他の機械装置に固定する際に利用される複数のボルト取付け穴が設けられている。また、各側壁部３１の内側面、すなわち移動体２の案内通路３２に面した側面には当該案内部材３の長手方向に沿ってボールの転走面３３が形成されている。尚、図１に示した例では前記底板部３０と一対の側壁部３１が一体に形成されているが、各側壁部３１を前記底板部３０に対してボルトで固定するように構成しても良い。
【００１７】
一方、前記移動体２は略矩形状に形成されて前記案内部材３の一対の側壁３１の間に配置されている。この移動体２は前記側壁３１に形成された転走面３３を転走する多数のボール２０を介して前記案内部材３に組つけられている。また、前記移動体２は前記ボール２０の無限循環路を内蔵しており、案内部材３の転走面３３を転走するボール２０を循環させることで、当該案内部材３の長手方向に沿って往復移動することが可能となっている。すなわち、前記案内部材３の一対の側壁３１は前記移動体２の軌道レールとして機能しており、前記案内部材３と移動体２とが組み合わさって直線案内装置を構成している。
【００１８】
前記移動体２は搬送対象物としてのテーブル等の可動体の取付け面２１を備えており、かかる取付け面２１は前記案内部材３の案内通路３２から上方へ突出した位置に設けられている。これにより、前記取付け面２１よりも大きいサイズの可動体を前記移動体２に固定した場合であっても、案内部材３の側壁部３１と可動体との干渉が回避される。
【００１９】
尚、この実施形態では前記案内部材３を溝型状に形成し、かかる案内部材３に具備された案内通路３２の内部を前記移動体２が往復移動するように構成したが、前記案内部材３と移動体２との組合せ例はこれに限られるものではない。例えば、底板部に対して一条の軌道レールを敷設して案内部材とし、溝型状に形成した移動体が前記軌道レールに跨がるようにして当該軌道レールに沿って往復移動するように構成しても良い。
【００２０】
また、前記ねじ軸４の外周面にはボールの転動溝が所定リードで螺旋状に形成されると共に、当該ねじ軸４は前記案内部材３の案内通路３２内に配置されて前記移動体２を貫通している。前記移動体２は前記ねじ軸４と組み合わさってボールねじ機構を構成するナット部材を内蔵しており、前記転動溝を転走する多数のボールを介して前記ねじ軸４に螺合している。従って、ねじ軸４を回転させると、当該ねじ軸４の回転量に応じて前記移動体２が案内通路３２内を往復移動するようになっている。尚、この実施形態では移動体２がその内部にナット部材を内蔵しているが、かかるナット部材を移動体２の外側に固定した構造であっても差し支えない。
【００２１】
前記ねじ軸４を案内部材３の案内通路３２内で回転自在に支承するため、かかる案内部材３の長手方向の一端には前記軸受ハウジング７が固定される一方、他端にはサポートブラケット９が固定されている。前記軸受ハウジング７には前記転がり軸受部材５としてのアギュラコンタクトベアリングが装着される一方、前記サポートブラケット９には深溝ボールベアリング（図示せず）が装着され、前記ねじ軸４はこれらベアリングによってその両端を回転自在に支持されている。尚、以降の説明では転がり軸受部材５をアンギュラコンタクトベアリングとして説明するが、これに限定されるものではない。但し、転がり軸受部材５はねじ軸４に作用するラジアル荷重以外に軸方向荷重を十分に負荷できることが必要である。
【００２２】
前記軸受ブラケット７は略矩形状に形成されており、固定ボルト７０によって前記案内部材３の一端に取り付けられている。また、この軸受ハウジング７は前記モータ６を前記案内部材３に取り付けるためのモータブラケットとしても機能している。
【００２３】
図２に示すように、前記軸受ブラケット７には前記アンギュラコンタクトベアリング５が装着される収容穴７１が設けられており、かかる収容穴７１には正面組合せされた一対のアンギュラコンタクトベアリング５が嵌合している。一対のアンギュラコンタクトベアリング５を正面組合せで使用することにより、ねじ軸４が高速回転時に若干の振れ周りを生じたとして、かかるアンギュラコンタクトベアリング５が調心性を発揮し、ねじ軸４の回転を無理なく円滑に行うことが可能となる。
【００２４】
また、ねじ軸４はこれらアンギュラコンタクトベアリング５の内輪に挿入され、ベアリングナット７２の締結によってアンギュラコンタクトベアリング５からの離脱が防止されている。前記アンギュラコンタクトベアリング５はその内輪がねじ軸４と共に回転することから、前記ねじ軸４は当該内輪に対して所謂しまりばめ状態で挿入されている。
【００２５】
一方、前記アンギュラコンタクトベアリング５の外輪は固定側である軸受ハウジング７に装着されることから、通常、当該外輪は軸受ハウジング７の収容穴７１に対して所謂すきまばめの状態で装着される。しかし、この実施形態の位置決めテーブル１ではアンギュラコンタクトベアリング５の外輪と軸受ハウジング７との間の伝熱に考慮し、各アンギュラコンタクトベアリング５の外輪は前記収容穴７１に対して所謂しまりばめで挿入されている。つまり、アンギュラコンタクトベアリング５の外輪は前記軸受ハウジング７に対して隙間なく密着した状態にある。
【００２６】
モータの近傍に配置された前記アンギュラコンタクトベアリング５はねじ軸４に作用する軸方向荷重を負荷しており、当該ねじ軸４の軸方向の位置基準として機能する。このため、アンギュラコンタクトベアリング５の装着位置と反対側におけるねじ軸４の端部は前記深溝ボールベアリングの内輪に対して所謂すきまばめ状態で挿入されており、温度変化に伴うねじ軸４の軸方向の膨張を吸収することができるように構成されている。
【００２７】
また、前記アンギュラコンタクトベアリング５を貫通して前記軸受ハウジング７内に挿入されたねじ軸４の端部は、カップリング（図示せず）を介して前記モータ６の出力軸と連結され、モータ６の回転出力が前記ねじ軸４に伝達されるようになっている。
【００２８】
図３は前記冷却手段８を示すものである。この冷却手段８は、前記軸受ハウジング７に固定される伝熱モジュール８０と、この伝熱モジュール８０に固定されると共に多数の放熱フィンが設けられたヒートシンク８１と、このヒートシンク８１の放熱フィンの間から空気を排出するファン８２とを備えている。
【００２９】
前記伝熱モジュール８０はペルチェ素子を利用した吸熱部材であり、直流電流を通電することによって、前記軸受ハウジング７から熱を吸収し、その熱を前記ヒートシンク８１へ伝えるように構成されている。図４は前記ペルチェ素子の動作原理を示す模式図である。Ｐ型半導体素子８３とＮ型半導体素子８４の夫々には直流電源に接続される電極８５，８６が配置されると共に、これらＰ型半導体８３とＮ型半導体８４は共通電極８７によって接続されている。電極８５からＰ型半導体素子８３を通して共通電極８７へ通電し、更に、共通電極８７からＮ型半導体素子８４を通して電極８６へ通電すると、Ｎ型半導体素子８４からＰ型半導体素子８３に向けて電流が流れている電極８５，８６では吸熱現象が発生する一方、Ｐ型半導体素子８３からＮ型半導体素子８４に向けて電流が流れている共通電極８７では放熱現象が発生する。
【００３０】
図５は前記伝熱モジュール８０の具体例を示すものである。この伝熱モジュール８０は、被冷却物（軸受ハウジング７）に接合する高温側セラミック基板８０ａと、前記ヒートシンク８１に接合する低温側セラミック基板８０ｂと、これら２枚のセラミック基板の間に直列に配置された４個のペルチェ素子８０ｃと、これらペルチェ素子を直流電源に接続する電極８０ｄとから構成されている。すなわち、２枚のセラミック基板８０ａ，８０ｂは前記ペルチェ素子８０ｃ及び電極８０ｄを配置するための絶縁基板として機能しており、これらセラミック基板８０ａ，８０ｂの表面に対して任意の個数のペルチェ素子８０ｃを自由に配置することができる。
【００３１】
そして、前記電極８０ｄに直流電流を通電することによって、２枚のセラミック基板８０ａ，８０ｂの間に配列されたペルチェ素子８０ｃが動作し、図４に示した原理に基づいて高温側セラミック基板８０ａが軸受ハウジング７から吸熱する一方、低温側セラミック基板８０ｂはヒートシンク８１へ放熱することになる。これにより、前記軸受ハウジング７に蓄えられた熱が前記伝熱モジュール８０を介してヒートシンク８１へ汲み出されると共に、当該ヒートシンク８１から空気中に放熱され、前記軸受ハウジングが冷却されることになる。このとき、伝熱モジュール８０が軸受ハウジング７から汲み出す熱量は、前記ペルチェ素子８０ｃへの通電電流の大きさで制御することが可能である。
【００３２】
前記伝熱モジュール８０はヒートシンク８１を軸受ハウジング７にボルト固定する際に両者の間に挟み込まれて固定される。但し、伝熱モジュール８０と軸受ハウジング７との接合面、伝熱モジュール８０とヒートシンク８１との接合面に空気が残っていると、熱伝導の妨げとなるので、これら接合面の間には熱伝導率の高いグリースを予め塗布し、十分な空気抜き作業を行うことが必要である。また、伝熱モジュール８０そのものを熱伝導率の良好な接着剤で軸受ハウジング７及びヒートシンク８１に固定するようにしても良い。
【００３３】
尚、前記冷却手段８は前記伝熱モジュール８０を使用したものには限られず、例えば、前記軸受ハウジング７の表面を直接水冷又は空冷するタイプのものであっても差し支えない。
【００３４】
以上のように構成された位置決めテーブル１では、前記モータ６を駆動して前記ねじ軸４を回転させると、当該モータ６の回転量及び回転方向に応じて前記移動体２が案内部材３の案内通路３２内を往復移動し、かかる案内通路３２内の所定位置に位置決めされる。そして、前記ねじ軸４を繰り返し反転させながら位置決めテーブル１の運転を継続すると、当該ねじ軸４の回転を支承している前記アンギュラコンタクトベアリング５が発熱し、このアンギュラコンタクトベアリング５の内輪に対して所謂しまりばめ状態で密着しているねじ軸４に熱が流入することになる。特に、アンギュラコンタクトベアリング５のガタつきを排除するために、当該ベアリングに対して予圧を付与していると、かかるアンギュラコンタクトベアリング５の内輪とボール、外輪とボールの接触面圧が高いことから、より多くの摩擦熱が生じることになる。また、前記アンギュラコンタクトベアリング５の外輪は固定側である軸受ハウジング７に装着されており、通常、かかる外輪は軸受ハウジング７に対して所謂すきまばめ状態で設けられているので、当該アンギュラコンタクトベアリング５と軸受ハウジング７との密着度合いはねじ軸４とのそれに比べて小さく、アンギュラコンタクトベアリング５から軸受ハウジング７には熱が伝導し難い。
【００３５】
このため、前記軸受ハウジング７に対して何ら冷却手段を設けない場合には、位置決めテーブル１の運転経過に伴い、ねじ軸４の軸方向に沿った温度分布は、アンギュラコンタクトベアリング５への嵌合部位が最も高温となり、前記サポートブラケット９側の端部が最も低温となってしまう。その結果、ねじ軸４の熱膨張に伴って当該ねじ軸４の外周面に形成された転動溝のリードが変化してしまい、移動体２の位置決めに誤差が生じてしまう。しかも前述のリードの変化はねじ軸４の軸方向に沿って一様ではないので、その変化量を予測してモータ６の回転量を制御することも難しい。
【００３６】
このとき、この実施形態の位置決めテーブル１によれば、熱源となるアンギュラコンタクトベアリング５の外輪を前記軸受ハウジング７に対して密着状態に設けているので、かかるアンギュラコンタクトベアリング５で発生した熱はねじ軸４ばかりでなく、前記軸受ハウジング７にも流入し易くなっている。このため、前記冷却手段８を動作させて前記軸受ハウジング７を冷却すれば、アンギュラコンタクトベアリング５で発生した熱はねじ軸４よりも低温の軸受ハウジング７に流入し易くなり、ねじ軸４の温度上昇を抑えることが可能となる。
【００３７】
通常、前記ねじ軸４はボールの転動溝を焼き入れするために鋼から形成されているので、前記軸受ハウジング７を鋼よりも熱伝導率の高いアルミニウム等の材質で製作すれば、アンギュラコンタクトベアリング５で発生した摩擦熱はねじ軸４よりも軸受ハウジング７へ流入し易くなり、前記ねじ軸４の温度上昇を一層効果的に抑えることが可能となる。また、軸受ハウジングをＳ５５Ｃ等の鉄系材料で形成している場合には、当該軸受ハウジング７に熱伝導率の高い銅板を固定し、この銅板に対して前述の伝熱モジュール８０を固定するようにしても当該軸受ハウジング７の冷却を促進することが可能である。
【００３８】
特に、前記冷却手段８として、ペルチェ素子を利用した伝熱モジュール８０及びヒートシンク８１を使用すれば、軸受ハウジング７に蓄積された熱を当該伝熱モジュール８０への通電によってヒートシンク８１へ積極的に汲み出し、これを空気中に放散することができるので、その分だけ軸受ハウジング７の冷却を促進し、ねじ軸４の温度上昇を抑えることが可能となる。
【００３９】
本発明の効果を確認するため、本願発明者らは前述の実施形態で説明した位置決めテーブルを製作し、ねじ軸４の温度を計測する実験を行った。実験では、案内部材３に対する移動体２のストロークを３００ｍｍに設定し、加速度１Ｇ、最高速度１００〜５００ｍｍ／ｓの台形波速度で前記移動体２を往復移動させた。また、実験は室温２３℃±０．５℃のクリーンブース内で行った。使用したねじ軸４は外径１５ｍｍ、リード１０ｍｍであり、前記伝熱モジュール８０として一辺４０ｍｍの正方形のものを使用した。
【００４０】
計測方法としては、位置決めテーブル１の駆動前にねじ軸４の表面温度を軸方向へ５０ｍｍピッチで測定し、その後、前記冷却手段８を動作させることなく位置決めテーブル１を連続運転し、９０分後に移動体２を停止した状態で再びねじ軸４の表面温度を同様に測定した。この状態から前記冷却手段８を動作させると共に位置決めテーブル１の連続運転を再開し、最初の運転開始から２４０分後に移動体２を停止して、再びねじ軸４の表面温度を測定した。
【００４１】
この実験の結果、位置決めテーブル１の運転開始前はねじ軸４の表面温度は室温と略同一で軸方向に略均一であったが、９０分運転後のねじ軸４の表面温度は前記軸受ハウジング７の近傍で最高であり、軸受ハウジング７から最も遠いサポートブラケット９の近傍で最低であった。この時の軸受ハウジング７の近傍での最高温度は室温よりも１０℃程度高く、サポートブラケット９の近傍であっても室温より５℃程度高かった。また、この時点の軸受ハウジング７の表面温度を測定したところ、室温よりも高い約２６℃であった。
【００４２】
そして、位置決めテーブル１の運転を再開すると共に前記冷却手段８を動作させたところ、前記軸受ハウジング７の表面温度は急激に低下し、運転再開から１０分程度で約１５℃に、更に運転再開から２０分程度で約７℃に急激に低下し、前記冷却手段８が軸受ハウジング７の熱を吸い取っていることが確認された。また、このままの状態で最初の運転開始から２４０分まで連続運転した後のねじ軸４の表面温度は、当該ねじ軸４の軸方向の全域において室温から僅かな温度範囲内に収まり、軸受ハウジング７の冷却の結果としてねじ軸４の温度上昇が抑えられ、当該ねじ軸４の温度が軸方向に一様化されたことを確認することができた。すなわち、ねじ軸４の熱膨張を軸方向の全域にわたって効果的に抑制することができ、移動体２の位置決め精度の向上を十分に期待することができた。
【００４３】
尚、前述の実施形態では前記軸受ハウジング７を挟んで当該軸受ハウジング７の両側面に一対の冷却手段８を固定したが、個々の冷却手段８が十分な能力を有して前記軸受ハウジング７を十分な速度で冷却可能であれば、かかる冷却手段８の配設個数は適宜変更して差し支えない。
【００４４】
前述の実施形態では軸受ハウジング７にのみ冷却手段８を設けたが、前記移動体２に対しても冷却手段８を装着することが可能である。前記移動体２はねじ軸４に螺合するナット部材を内蔵しており、移動体２の内部では多数のボールがねじ軸４に形成された螺旋状の転動溝を転動している。このため、ねじ軸４が貫通している移動体２の内部でも摩擦熱が発生し、ねじ軸４に熱が流入する傾向にある。
【００４５】
従って、軸受ハウジング７に対してのみ前記冷却手段８を装着し、かかる冷却手段８を動作させてもねじ軸４の軸方向に沿った温度分布を一様に制御することができない場合には、前記移動体２に対しても軸受ハウジング７と同様の冷却手段８を設けるのが好ましい。尚、ナット部材が移動体２に対して外付けされている場合には、ナット部材そのものに対して冷却手段８を設けることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…位置決めテーブル、２…移動体、３…案内部材、４…ねじ軸、５…転がり軸受部材、６…モータ、７…軸受ハウジング、８…冷却手段
【図１】
2013064421.tif 000003
【図２】
2013064421.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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