(57)【要約】【課題】フットスペースの小型化が図られるとともに、対象物を確実に位置決めすることができる位置決め装置を提供する。【解決手段】位置決め装置は、位置決め対象物を支持する支持部と、位置決めすべき方向と略平行な方向に沿って延びる軸線を回転中心Ｏとして回動可能に構成されたアーム部１２と、アーム部１２を回動駆動するモータとを備える。モータは、アーム部１２が対象物から退避した退避位置と、アーム部１２が当該対象物の外周縁に接触することで当該対象物を位置決め方向に沿って押し出して位置決めを完了させる位置決め完了位置との間を行き来するように、アーム部１２を回動駆動する。アーム部１２は、アーム部１２が退避位置から位置決め完了位置へ回動する際に、接触した対象物の外周縁がその表面に沿って摺動することで対象物を位置決め方向に沿って押し出すための傾斜面１４ｂを含んでいる。【選択図】図２
2013030668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に沿って対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
前記対象物を支持する支持部と、
前記所定方向と略平行な方向に沿って延びる軸線を回転中心として回動可能に構成されたアーム部と、
前記アーム部を回動駆動する駆動手段とを備え、
前記駆動手段は、前記アーム部が前記対象物から退避した退避位置と、前記アーム部が前記対象物の前記所定方向に位置する一方の外周縁に接触することで前記対象物を前記所定方向に沿って押し出して前記対象物の位置決めを完了させる位置決め完了位置との間を行き来するように、前記アーム部を回動駆動し、
前記アーム部には、前記アーム部が前記退避位置から前記位置決め完了位置へ回動する際に、接触した前記対象物の前記一方の外周縁がその表面に沿って摺動することで前記対象物を前記所定方向に沿って押し出すための傾斜面が設けられている、位置決め装置。
【請求項２】
前記アーム部は、回転中心としての前記軸線を含む部分から直線状に延びる根元部と、前記退避位置から前記位置決め完了位置へ回動する際の当該アーム部の回動方向に向けて前記根元部の先端から屈曲して延びる屈曲部とを含み、
前記傾斜面が、前記屈曲部の先端に設けられている、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記アーム部が、前記対象物の前記一方の外周縁に沿って一対設けられ、
前記一対のアーム部の前記退避位置から前記位置決め完了位置へ回動する際の回動方向が、互いに逆向きである、請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記対象物の前記一方の外周縁とは反対側に位置する他方の外周縁が当接することにより、前記対象物の前記所定方向に沿った移動を規制する規制部をさらに備えた、請求項１から３のいずれかに記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記対象物に当接する部分の前記規制部に、緩衝材が設けられている、請求項４に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記支持部が、前記対象物の下面を支持するフリーローラを含んでいる、請求項４または５に記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定方向に沿って対象物を位置決めするための位置決め装置に関し、特に、支持部に載置された対象物の外周縁にアーム部を接触させることにより、当該対象物を支持部上において所定方向に沿って移動させることで対象物の当該所定方向に沿った位置決めが行なわれるように構成された接触式の位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池や液晶パネル、半導体装置等の製造工程においては、ワーク（ガラス基板、半導体基板等）そのものや、あるいはこれらワークが載置されたトレイ等の対象物が所定の位置に配置されることとなるように、当該対象物を位置決めするための位置決め装置が利用されている。当該位置決め装置は、製造ラインのいたるところに設置され、必要に応じて対象物の位置決めを行なうことにより、ワークに対する各種加工や対象物の搬送等を可能にしている。また、当該位置決め装置は、対象物が位置ずれを起こすことで生じ得る製造ラインの突発的な停止や対象物の破損等の不具合の発生をも未然に防止している。
【０００３】
この種の位置決め装置には、種々の構成のものが存在するが、その一つに、支持部に載置された対象物の外周縁にアーム部を接触させることにより、当該対象物を支持部上において所定方向に沿って移動させることで対象物の当該所定方向に沿った位置決めを行なう接触式の位置決め装置が知られている。たとえば、特開２０１１−７３８７５号公報（特許文献１）には、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置のロードロック室に収容された、基板が載置されたトレイを、ロボットハンドを用いて基板カセットに移載する移載装置が開示されているが、当該移載装置にも上述した接触式の位置決め装置が併設されることにより、ロボットハンドとトレイとの位置決めが行なわれてトレイの移載が行なわれることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−７３８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した製造ラインには、その周辺に各種の装置が多数付設されている場合が多く、そのため、位置決め装置を設置することができるスペースは、往々にして大きな制約を受けてしまう。そのため、位置決め装置としては、製造ラインに容易に付設することが可能となるように小型に構成されることが好ましく、この点において上述した接触式の位置決め装置は、対象物の外周縁に接触させるアーム部と、当該アーム部を駆動する駆動手段とのみによって基本的に構成されるため、非常に小型に構成できる点において優れている。
【０００６】
しかしながら、接触式の位置決め装置を利用することとした場合にも、アーム部を駆動する方向を対象物の位置決めを行なうべき所定方向と平行な方向に構成した場合には、アーム部が往復動できるだけの比較的大きなフットスペースが支持部近傍に必要となり、その設置が困難になる問題が生じてしまう。
【０００７】
当該問題が生じないようにするためには、対象物の位置決めを行なうべき上記所定方向に沿って延びる軸線周りにアーム部が回動駆動されるように構成することが想定され、このように構成することにより、位置決め装置のフットスペースを可能な限り低減することができる。したがって、当該構成を採用することとすれば、位置決め装置を比較的容易に製造ラインに付設することが可能になる。
【０００８】
しかしながら、上記のように位置決め装置を構成した場合には、回動駆動されるアーム部の上昇の際に当該アーム部の先端によって対象物の周縁が上方に向けて押し上げられてしまい、対象物に浮き上がりが生じて位置決めが正確に行なえないといった不具合や、対象物に反り等が発生している場合に対象物の外周縁にアーム部がうまく接触せず、やはり位置決めが正確に行なえないといった不具合が生じてしまうおそれがある。
【０００９】
したがって、本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたものであり、フットスペースの小型化が図られるとともに、対象物を確実に位置決めすることができる位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に基づく位置決め装置は、所定方向に沿って対象物の位置決めを行なうものであって、上記対象物を支持する支持部と、上記所定方向と略平行な方向に沿って延びる軸線を回転中心として回動可能に構成されたアーム部と、上記アーム部を回動駆動する駆動手段とを備えている。上記駆動手段は、上記アーム部が上記対象物から退避した退避位置と、上記アーム部が上記対象物の上記所定方向に位置する一方の外周縁に接触することで上記対象物を上記所定方向に沿って押し出して上記対象物の位置決めを完了させる位置決め完了位置との間を行き来するように、上記アーム部を回動駆動する。上記アーム部には、上記アーム部が上記退避位置から上記位置決め完了位置へ回動する際に、接触した上記対象物の上記一方の外周縁がその表面に沿って摺動することで上記対象物を上記所定方向に沿って押し出すための傾斜面が設けられている。
【００１１】
上記本発明に基づく位置決め装置にあっては、上記アーム部が、回転中心としての上記軸線を含む部分から直線状に延びる根元部と、上記退避位置から上記位置決め完了位置へ回動する際の当該アーム部の回動方向に向けて上記根元部の先端から屈曲して延びる屈曲部とを含んでいてもよく、その場合には、上記傾斜面が、上記屈曲部の先端に設けられていることが好ましい。
【００１２】
上記本発明に基づく位置決め装置にあっては、上記アーム部が、上記対象物の上記一方の外周縁に沿って一対設けられていることが好ましく、その場合には、上記一対のアーム部の上記退避位置から上記位置決め完了位置へ回動する際の回動方向が、互いに逆向きであることが好ましい。
【００１３】
上記本発明に基づく位置決め装置は、さらに、上記対象物の上記一方の外周縁とは反対側に位置する他方の外周縁が当接することにより、上記対象物の上記所定方向に沿った移動を規制する規制部をさらに備えていることが好ましい。
【００１４】
上記本発明に基づく位置決め装置にあっては、上記対象物に当接する部分の上記規制部に、緩衝材が設けられていることが好ましい。
【００１５】
上記本発明に基づく位置決め装置にあっては、上記支持部が、上記対象物の下面を支持するフリーローラを含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、フットスペースの小型化が図られるとともに、対象物を確実に位置決めすることができる位置決め装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１における位置決め装置の平面図および正面図である。
【図２】図１に示す位置決め装置の押し出し機構の概略斜視図である。
【図３】図２に示す位置決め部材の平面図および正面図ならびに先端部分の断面図である。
【図４】図１に示す位置決め装置の位置決め動作時における平面図および正面図である。
【図５】図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイの移動の様子を示す模式背面図および模式平面図である。
【図６】図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイの移動の様子を示す模式背面図および模式平面図である。
【図７】図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイに反りがある場合におけるトレイの移動の様子を示す模式背面図および模式平面図である。
【図８】図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイに反りがある場合におけるトレイの移動の様子を示す模式背面図および模式平面図である。
【図９】図１に示す位置決め装置による位置決めが完了した後において移載装置によってトレイが移載される様子を説明するための平面図である。
【図１０】図１に示す位置決め装置による位置決めが完了した後において移載装置によってトレイが移載される様子を説明するための正面図である。
【図１１】図１に示す位置決め装置による位置決めが完了した後において移載装置によってトレイが移載される様子を説明するための平面図である。
【図１２】本発明の実施の形態２における位置決め装置の平面図および正面図である。
【図１３】本発明の実施の形態３における位置決め装置の平面図および正面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における位置決め装置の平面図および正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態１ないし４は、ＣＶＤ装置のロードロック室に収容された、ワークである基板が載置されたトレイを、ロボットハンドを用いて基板カセットに移載する移載装置に、本発明に基づく位置決め装置を併設した場合を例示するものである。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における位置決め装置の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。まず、この図１を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ａの構成について説明する。
【００２０】
図１に示すように、位置決め装置１Ａは、基板２００が載置されたトレイ１００を支持する支持部２と、トレイ１００を押し出すための押し出し機構１０と、トレイ１００の移動を規制するための規制部３とを主として備えている。ここで、本実施の形態においては、基板２００が載置された上記トレイ１００が、位置決めすべき対象物に相当し、位置決め装置１Ａは、おおよその位置に配置されることで支持部２によって支持された上記トレイ１００を、所定方向に沿って移動させて精緻に位置決めするものである。
【００２１】
本実施の形態において、トレイ１００を位置決めすべき方向は、図中に示すＹ軸方向である。そのため、支持部２上に載置されたトレイ１００は、押し出し機構１０によって当該Ｙ軸方向に沿って押し出され、支持部２上において当該Ｙ軸方向に沿って僅かに移動することとなり、その後当該トレイ１００が規制部３に当て留めされることにより、その位置決めが行なわれる。
【００２２】
支持部２は、その表面に複数のフリーローラ２ａを具備しており、当該複数のフリーローラ２ａによってトレイ１００の下面が支持される。これにより、トレイ１００は、支持部２によって移動可能に支持される。なお、個々のフリーローラ２ａは、載置されたトレイ１００がＹ軸方向に沿って移動可能となるように、その回転軸がＹ軸方向と直交するＸ軸方向に沿って延びるように設けられている。
【００２３】
また、支持部２は、トレイ１００を支持した状態において、後述する移載装置としてのロボットハンド２０（図９等参照）を抜き差しするための空間Ｓ（図１（Ｂ）参照）がトレイ１００の下方に大きく確保されることとなるように、上述したＹ軸方向と直交するＸ軸方向の両端近傍の位置にＹ軸方向に沿って延びるように一対配置されている。
【００２４】
押し出し機構１０は、トレイ１００のＹ軸方向に位置する一対の外周縁のうち、一方の外周縁（図１（Ａ）において、下側に位置する方の外周縁）に対応する位置に設けられている。押し出し機構１０は、当該外周縁に沿って左右対称に一対設けられており、特に本実施の形態においては、一対の押し出し機構１０が、当該一方の外周縁の両端部近傍に配置されるように構成されている。このような位置に押し出し機構１０が配置されることにより、上述したロボットハンド２０を抜き差しするための空間Ｓがトレイ１００の下方に大きく確保されることになる。なお、トレイ１００の上記一方の外周縁の中央部には、台形状に切り欠かれた切り欠き部１０１が設けられており、一対の押し出し機構１０は、この切り欠き部１０１の両外側に位置する両端部近傍に配置される。
【００２５】
一対の押し出し機構１０のそれぞれは、棒状の部材からなるアーム部１２と、当該アーム部１２を回動駆動するための駆動手段としての図示しないモータと、当該モータを収容するモータハウジング１１とを含んでいる。アーム部１２は、その一端がモータハウジング１１から露出するように設けられた上記モータの回転軸に固定されており、当該モータの回転軸が回転することにより、当該回転軸を回転中心Ｏとしてアーム部１２が回動駆動される。
【００２６】
ここで、上記モータは、その回転軸がＹ軸方向に沿って延びるように、支持部２に載置されたトレイ１００の下方に配置されており、これによりアーム部１２は、トレイ１００を位置決めすべき方向であるＹ軸方向に沿って延びる軸線（すなわちモータの回転軸の軸心）を回転中心Ｏとして回動可能に駆動されることになる。このように構成することにより、押し出し機構１０を設置するために必要となるフットスペースが非常に小さくて済むことになり、容易に位置決め装置１Ａを設置することが可能になる。
【００２７】
一方、規制部３は、トレイ１００のＹ軸方向に位置する一対の外周縁のうち、他方の外周縁（図１（Ａ）において、上側に位置する方向の外周縁）に対応する位置に設けられている。当該規制部３のトレイ１００に対向する部分には、クッション性を有する緩衝材３ａが設けられている。当該緩衝材３ａを設けることにより、規制部３にトレイ１００が接触する際にその衝撃が吸収され、反動によってトレイ１００が規制部３から遠ざかる方向に移動することが防止される。
【００２８】
図２は、図１に示す位置決め装置の押し出し機構の概略斜視図である。また、図３は、図２に示す位置決め部材の形状を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は先端部分の断面図である。なお、（Ｃ）に示す断面は、（Ａ）において示すＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線に沿った断面である。次に、これら図２および図３を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ａの押し出し機構１０の詳細な構造について説明する。
【００２９】
図２に示すように、押し出し機構１０は、モータハウジング１１に取付けられたブラケット１７を介して設置板１６上に設置される。アーム部１２は、回転中心Ｏである上記軸線を含む部分から直線状に延びる回転アーム１３と、当該回転アーム１３に組付けられた位置決め部材１４とを含んでいる。この位置決め部材１４は、たとえばボルト１５等によって回転アーム１３に固定される。
【００３０】
図３に示すように、位置決め部材１４は、その先端が屈曲した平面視略Ｖ字状の形状を有する板状の部材にて構成されている。位置決め部材１４の根元側の部分には、当該位置決め部材１４を回転アーム１３に固定するボルト孔１４ｃが２箇所設けられており、当該位置決め部材１４の根元側の部分が回転アーム１３に重なるように配置されるとともに当該ボルト孔１４ｃにボルト１５が捩じ込まれて締結されることにより、位置決め部材１４が回転アーム１３に固定される（図２参照）。これら回転アーム１３および当該回転アーム１３に重なるように配置された位置決め部材の根元側の部分とが、回転中心Ｏから直線状に延びる根元部に相当する。
【００３１】
ここで、位置決め部材１４の先端側の部分である屈曲部１４ａは、上述した根元部に対して、後述する退避位置から位置決め完了位置へアーム部１２が回動する際の当該アーム部１２の回動方向に向けて屈曲している。なお、その根元部に対する屈曲角は、特に限定されるものではないが、本実施の形態においては、４５°に設定されている。
【００３２】
また、位置決め部材１４の先端側の部分である屈曲部１４ａには、傾斜面１４ｂが設けられている。当該傾斜面１４ｂは、屈曲部１４ａの先端側に向かうにつれてその厚みが減じることとなるように屈曲部１４ａの先端に設けられている。図２に示すように、当該傾斜面１４ｂは、位置決め部材１４が回転アーム１３に固定された状態において、モータハウジング１１側を向くように形成されている。
【００３３】
図２に示すように、回転アーム１３は、上述した回転中心Ｏを中心として図中に示す矢印Ａ方向に図示しないモータによって回動駆動され、これにより位置決め部材１４も回動駆動されることになる。すなわち、回転アーム１３およびこれに固定された位置決め部材１４からなるアーム部１２は、トレイ１００を位置決めすべき方向であるＹ軸方向と直交するＸＺ平面内において回動することになる。
【００３４】
ここで、アーム部１２は、アーム部１２がトレイ１００から退避した退避位置（図１に示す位置、すなわち図２において鎖線で示す位置）と、アーム部１２がトレイ１００に接触してこれを押し出すことで当該トレイ１００の位置決めを完了させる位置決め完了位置（後述する図４に示す位置、すなわち図２において実線で示す位置）との間を行き来するように回動駆動される。なお、アーム部１２が上記行き来のために回動駆動される角度範囲としては、これが特に限定されるものではないが、製造ラインに設置された他の装置に物理的に干渉することがないように可能限り小さい角度範囲とされることが好ましく、本実施の形態においては、これが９０°に設定されている。
【００３５】
図４は、図１に示す位置決め装置の位置決め動作時における状態を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。次に、この図４を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ａの位置決め動作時の状態について説明する。
【００３６】
図４に示すように、トレイ１００のＹ軸方向に沿った位置決めを行なう際には、アーム部１２が図中に示す矢印Ａ１方向に回動駆動され、上述した退避位置から位置決め完了位置へと移行する。その際、アーム部１２は、その一部がトレイ１００の上記一方の外周縁に接触することになり、これによりトレイ１００がＹ軸方向に沿って規制部３側に向けて押し出される。なお、その際の一対のアーム部１２の回動方向は、図示するように互いに逆向きである。
【００３７】
押し出されたトレイ１００は、フリーローラ２ａが回転することで支持部２上において移動することになり、その他方の外周縁が規制部３に接触することでその移動が規制される。その際、規制部３に設けられた緩衝材３ａの作用によってトレイ１００は、規制部３に当て留めされることになり、これによりトレイ１００のＹ軸方向に沿った精緻な位置決めが行なわれることになる。
【００３８】
なお、その後、アーム部１２は、上述したＡ１方向とは逆方向に回動駆動され、これにより上述した位置決め完了位置から退避位置へと移行し、以上によりトレイ１００の位置決め動作が完了する。
【００３９】
上述したように、本実施の形態における位置決め装置１Ａにあっては、アーム部１２に屈曲部１４ａが設けられ、当該屈曲部１４ａの先端に傾斜面１４ｂが設けられている。このように構成することにより、回動駆動されるアーム部１２の先端部分が上昇する際に当該アーム部１２の先端部分によってトレイ１００の上記一方の外周縁が上方に向けて押し上げられてしまい、トレイ１００に浮き上がりが生じて位置決めが正確に行なえないといった不具合や、トレイ１００に反り等が発生している場合にトレイ１００の上記一方の外周縁にアーム部１２がうまく接触せず、位置決めが正確に行なえないといった不具合の発生が効果的に防止できるようになる。以下、その仕組みについて詳細に説明する。
【００４０】
図５および図６は、図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイの移動の様子を示す一連の模式背面図および模式平面図であり、図７および図８は、図１に示す位置決め装置のアーム部の詳細な動作およびトレイに反りがある場合におけるトレイの移動の様子を示す一連の模式背面図および模式平面図である。
【００４１】
図５および図７に示すように、アーム部１２が図中矢印Ａ１方向に回動移動するに際し、アーム部１２が上述した退避位置と位置決め完了位置との間であって、かつ屈曲部１４ａの先端部分がトレイ１００が載置される基準面Ｐよりも上方に所定量だけ迫り出した途中位置に達した時点において、屈曲部１４ａの先端に設けられた傾斜面１４ｂが、トレイ１００の上述した一方の外周縁の所定位置に接触することになる。
【００４２】
その際、トレイ１００に反り等が生じていない場合には、図５に示すように、傾斜面１４ｂが上記基準面Ｐに達した時点で当該傾斜面１４ｂとトレイ１００の外周縁の所定位置とが接触することになり、トレイ１００に反り等が生じている場合には、図７に示すように、傾斜面１４ｂが上記基準面Ｐよりも高い位置にまで達した時点で当該傾斜面１４ｂとトレイ１００の外周縁の所定位置とが接触することになる。
【００４３】
次いで、図６および図８に示すように、アーム部１２が図中矢印Ａ１方向にさらに回動駆動されることにより、接触したトレイ１００の外周縁が傾斜面１４ｂの表面に沿って摺動し、これに伴ってトレイ１００がアーム部１２によってＹ軸方向に沿って押し出されることで図中矢印Ｂ方向に移動する。そして、アーム部１２が位置決め完了位置に達するまでの間には、傾斜面１４ｂが上記基準面Ｐよりも十分に高い位置にまで達することになるため、傾斜面１４ｂの表面上を摺動したトレイ１００の外周縁が傾斜面１４ｂから外れ、これらの接触が解除されることになる。
【００４４】
なお、本実施の形態においては、アーム部１２が位置決め完了位置に達した時点でアーム部１２の屈曲部１４ａの延在方向が鉛直方向に合致するように設定されることにより、傾斜面１４ｂが上記基準面Ｐよりも十分に高い位置にまで確実に達するように構成されている。
【００４５】
以上により、トレイ１００は、上述したアーム部１２の回動の際に確実にアーム部１２よりも規制部３側に移動されることになるため、そのＹ軸方向に沿った位置決めが確実に行なわれるようになる。
【００４６】
ここで、上記構成を採用することにより、アーム部１２の回動の際に傾斜面１４ｂのトレイ１００に対する傾きが常に変化することになるため、傾斜面１４ｂとトレイ１００の外周縁とが接触を開始した時点からこれが解除されるまでの間、傾斜面１４ｂとトレイ１００の外周縁との接触位置が常に変化することになる。そのため、上記摺動の際に、これ部材間に生じる摩擦力によってその摺動が阻害されることが抑制されることになり、スムーズに上記摺動が生じることになる。したがって、トレイ１００の浮き上がりが好適に防止できることになり、トレイ１００を確実に移動させることが可能となって位置決めが正確に行なえることになる。
【００４７】
また、上記構成を採用することにより、アーム部１２の回動の際に傾斜面１４ｂがトレイ１００の外周縁の延びる方向に沿ってより広い範囲をカバーしつつ通過することになるため、トレイ１００に反り等がある場合にも、確実にトレイ１００の外周縁に傾斜面１４ｂが接触することになり（すなわち、トレイ１００の位置決めが可能な許容範囲が十分に広く確保できることになり）、トレイ１００を確実に移動させることが可能となって位置決めが正確に行なえることになる。
【００４８】
図９ないし図１１は、図１に示す位置決め装置による位置決めが完了した後において移載装置によってトレイが移載される様子を説明するための平面図および正面図である。次に、これら図９ないし図１１を参照して、位置決め完了後に行なわれるトレイ１００の移載について説明する。
【００４９】
図９に示すように、トレイ１００の位置決めが完了した後には、支持部２によって支持されたトレイ１００の下方の空間（図１（Ｂ）に示す空間Ｓ）に移載装置としてのロボットハンド２０が図中矢印Ｙ１方向に沿って挿入される。その際、本実施の形態においては、上述したように、支持部２および押し出し機構１０がいずれもトレイ１００のＸ軸方向に沿った両端部近傍に配置されているため、ロボットハンド２０の挿入の際にこれらが邪魔になることはない。
【００５０】
図１０に示すように、ロボットハンド２０がトレイ１００の下方の空間に挿入された後には、ロボットハンド２０が図中矢印Ｚ１方向に沿って上向きに移動される。ここで、ロボットハンド２０の上面には、吸着パッド２１が複数設けられており、当該ロボットハンド２０の上昇の際に、当該吸着パッド２１の吸着面がトレイ１００の下面に接触してこれを吸着することになり、トレイ１００がロボットハンド２０によって保持される。そして、さらにロボットハンド２０が上向きに移動されることにより、トレイ１００が支持部２から持ち上げられる。
【００５１】
図１１に示すように、ロボットハンド２０によってトレイ１００が支持部２から持ち上げられた後には、ロボットハンド２０が図中矢印Ｙ２方向に抜き出される。これにより、トレイ１００は、基板２００を支持した状態のまま、ＣＶＤ装置のロードロック室から搬出される。搬出されたトレイ１００上に載置された基板２００は、その後、基板カセットに収容される。
【００５２】
以上において説明したように、本実施の形態の如くの構成を採用することにより、フットスペースの小型化が図られるとともに、トレイ１００を確実に位置決めすることができる位置決め装置１Ａとすることができる。
【００５３】
（実施の形態２）
図１２は、本発明の実施の形態２における位置決め装置の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。以下においては、この図１２を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ｂの構成について説明する。なお、上述した本発明の実施の形態１における位置決め装置１Ａと共通する部分については、図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００５４】
図１２に示すように、位置決め装置１Ｂは、上述した本発明の実施の形態１における位置決め装置１Ａと同様に、フリーローラ２ａが設けられた支持部２と、緩衝材３ａが設けられた規制部３と、押し出し機構１０とを備えている。ここで、本実施の形態における位置決め装置１Ｂにあっては、一対の押し出し機構１０のそれぞれに設けられたアーム部１２が、上述した本発明の実施の形態１におけるそれとは異なる方向にそれぞれ回動するように構成されている。
【００５５】
すなわち、図１２に示すように、一対のアーム部１２のそれぞれは、図中に示す矢印Ａ２方向に回動駆動されることにより、退避位置から位置決め完了位置へと移行する。なお、その際の一対のアーム部１２の回動方向は、図示するように互いに逆向きである。
【００５６】
このように構成した場合にも、アーム部１２が回転駆動されることにより、アーム部１２の屈曲部の先端に設けられた傾斜面がトレイ１００の外周縁に接触することになり、接触したトレイ１００の外周縁が当該傾斜面の表面に沿って摺動するようになり、これによりトレイ１００が確実に位置決めされることになる。したがって、本実施の形態における位置決め装置１Ｂとした場合にも、上述した本発明の実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになる。
【００５７】
（実施の形態３）
図１３は、本発明の実施の形態３における位置決め装置の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。以下においては、この図１３を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ｃの構成について説明する。なお、上述した本発明の実施の形態１における位置決め装置１Ａと共通する部分については、図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００５８】
図１３に示すように、位置決め装置１Ｃは、上述した本発明の実施の形態１における位置決め装置１Ａと同様に、支持部２と、緩衝材３ａが設けられた規制部３と、押し出し機構１０とを備えている。ここで、本実施の形態における位置決め装置１Ｃにあっては、支持部２にフリーローラ２ａは設けられておらず、支持部２によって直接トレイ１００の下面が支持されている。
【００５９】
上述した本発明の実施の形態１における位置決め装置１Ａにあっては、フリーローラ２ａが支持部２の上面に設けられることにより、押し出し機構１０によって押し出されたトレイ１００がスムーズに移動して規制部３に当接するように構成されていたが、これはトレイ１００のＹ軸方向に沿った長さにある程度のばらつきが生じてしまうことを前提としたためである。すなわち、トレイ１００に上述したばらつきがある場合には、当該ばらつきの分だけ規制部３とアーム部１２との間の距離にマージンを設けることが必要になり、当該マージンを設けた場合には、トレイ１００が移動することで確実に規制部３に当接するように構成することが必要となり、そのためトレイ１００のスムーズな移動を実現するためにフリーローラ２ａが支持部２の上面に設けられていた。
【００６０】
しかしながら、当該ばらつきが生じない場合やこれが無視できる場合には、当該フリーローラ２ａがなくともトレイ１００の位置決めが行なえることになる。すなわち、規制部３とアーム部１２との間の距離に上述したマージンを設ける必要がなくなるため、トレイ１００を移動させるためのフリーローラ２ａが不要になる。したがって、本実施の形態における位置決め装置１Ｃの如くの構成とした場合にも、上記のような使用条件下においては、上述した本発明の実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになる。
【００６１】
（実施の形態４）
図１４は、本発明の実施の形態４における位置決め装置の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。以下においては、この図１４を参照して、本実施の形態における位置決め装置１Ｄの構成について説明する。なお、上述した本発明の実施の形態３における位置決め装置１Ｃと共通する部分については、図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【００６２】
図１４に示すように、位置決め装置１Ｄは、上述した本発明の実施の形態３における位置決め装置１Ｃと同様に、支持部２と、押し出し機構１０とを備えている。ここで、本実施の形態における位置決め装置１Ｄにあっては、支持部２にフリーローラ２ａは設けられておらず、また規制部３がそもそも設けられていない。
【００６３】
上述した本発明の実施の形態３における位置決め装置１Ｃにあっては、トレイ１００のＹ軸方向に沿った長さにばらつきがない場合やこれが無視できる場合を想定したものであるが、仮に無視できないばらつきが生じる場合であっても、トレイ１００の位置決めをするための基準位置をトレイ１００の押し出し機構１０が設けられた側の外周縁とした場合には、規制部３を設けないことにより、トレイ１００の位置決めが可能になる。すなわち、トレイ１００のＹ軸方向に沿った位置決めのための基準位置をアーム部１２のモータハウジング１１側の壁面とすれば、規制部３を設けないことでその精緻な位置決めが可能になる。
【００６４】
より詳細には、上述した如くの位置決め装置１Ｄにおいても、アーム部１２が回転駆動されることにより、アーム部１２の屈曲部の先端に設けられた傾斜面がトレイ１００の外周縁に接触することになり、接触したトレイ１００の外周縁が当該傾斜面の表面に沿って摺動することになる。これにより、トレイ１００がＹ軸方向に沿って押し出されることになり、その後、傾斜面とトレイ１００との接触が解除された時点においてトレイ１００の移動が停止されることになる。
【００６５】
そのため、当該接触が解除された時点において、トレイ１００の上記外周縁がアーム部１２のモータハウジング１１側の壁面に沿って配置された状態となるため、これによりトレイ１００の位置決めが可能になる。したがって、本実施の形態における位置決め装置１Ｄとした場合にも、上述した本発明の実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになる。
【００６６】
なお、上述した本発明の実施の形態１ないし４においては、本発明に基づく位置決め装置を、ロボットハンドを用いてトレイを移載する移載装置に併設した場合を例示して説明を行なったが、本発明に基づく位置決め装置は、製造ラインに含まれるあらゆる装置への付設が可能である。また、押し出し機構の具体的な設置位置や設置数、アーム部の形状や回動の角度範囲等は、当該付設される装置に応じて適宜調整すればよく、上述した本発明の実施の形態１ないし４の如くに限定されるものではない。
【００６７】
このように、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００６８】
１Ａ〜１Ｄ  位置決め装置、２  支持部、２ａ  フリーローラ、３  規制部、３ａ  緩衝材、１０  押し出し機構、１１  モータハウジング、１２  アーム部、１３  回転アーム、１４  位置決め部材、１４ａ  屈曲部、１４ｂ  傾斜面、１４ｃ  ボルト孔、１５  ボルト、１６  設置板、１７  ブラケット、２０  ロボットハンド、２１  吸着パッド、１００  トレイ、１０１  切り欠き部、２００  基板。
【図１】
2013030668.tif 000003
【図２】
2013030668.tif 000004
【図３】
2013030668.tif 000005
【図４】
2013030668.tif 000006
【図５】
2013030668.tif 000007
【図６】
2013030668.tif 000008
【図７】
2013030668.tif 000009
【図８】
2013030668.tif 000010
【図９】
2013030668.tif 000011
【図１０】
2013030668.tif 000012
【図１１】
2013030668.tif 000013
【図１２】
2013030668.tif 000014
【図１３】
2013030668.tif 000015
【図１４】
2013030668.tif 000016