(57)【要約】【課題】スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせを的確に行うことができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する。【解決手段】紫外光照射部３４は、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置合わせマーク１４に紫外光を照射する。撮像部３２は、紫外光が照射された基材１０の位置合わせマーク１４を撮像する。基材１０に付けられた位置合わせマーク１４は透明導電性材料から形成されており、印刷定盤３０の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置合わせマークが付けられた基材が載置される印刷定盤と、
前記印刷定盤に載置された基材に対してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷部であって、所定のパターンからなる複数の貫通穴が設けられたスクリーン版を介して透明導電性ペーストを前記印刷定盤上の基材に転移させるスクリーン印刷部と、
前記印刷定盤に載置された基材の位置合わせマークに紫外光を照射する紫外光照射部と、
前記紫外光照射部により紫外光が照射された基材の位置合わせマークを撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像データを処理する画像処理部と、
前記画像処理部により処理された画像データに基づいて、前記印刷定盤に載置された基材の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、
前記位置ずれ量検出部により検出された基材の位置ずれ量に基づいて、前記印刷定盤または前記スクリーン版を移動させ、前記スクリーン版に対する前記印刷定盤上の基材の相対的な位置を所定の位置にする位置合わせ部と、
を備え、
前記基材に付けられた位置合わせマークは透明導電性材料から形成されており、前記印刷定盤の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記紫外光反射防止処理は、前記印刷定盤の表面に対する黒色加工処理であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記印刷定盤の表面はアルミニウムから形成されており、
前記印刷定盤の表面に対して行われている黒色加工処理は、前記印刷定盤の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理であることを特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記紫外光照射部は、複数のＬＥＤ素子の集合体からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記画像処理部は、前記撮像部によって撮像された画像データの２値化処理を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
位置合わせマークが付けられた基材を印刷定盤に載置する工程と、
前記印刷定盤に載置された基材の位置合わせマークに紫外光を照射する工程と、
前記紫外光照射部により紫外光が照射された基材の位置合わせマークを撮像する工程と、
撮像された画像データを画像処理部により処理する工程と、
前記画像処理部により処理された画像データに基づいて、前記印刷定盤に載置された基材の位置ずれ量を検出する工程と、
検出された基材の位置ずれ量に基づいて、前記印刷定盤またはスクリーン印刷部のスクリーン版を移動させ、前記スクリーン版に対する前記印刷定盤上の基材の相対的な位置を所定の位置にする工程と、
を備え、
前記基材に付けられた位置合わせマークは透明導電性材料から形成されており、前記印刷定盤の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項７】
前記紫外光反射防止処理は、前記印刷定盤の表面に対する黒色加工処理であることを特徴とする請求項６記載のスクリーン印刷方法。
【請求項８】
前記印刷定盤の表面はアルミニウムから形成されており、
前記印刷定盤の表面に対して行われている黒色加工処理は、前記印刷定盤の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理であることを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷方法。
【請求項９】
前記画像処理部は、前記撮像部によって撮像された画像データの２値化処理を行うことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電膜付き基材を製造するスクリーン印刷装置および印刷方法に関し、より詳細には、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせを的確に行うことができるスクリーン印刷装置および印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、透明導電膜付き基材を製造するスクリーン印刷装置として様々な種類のものが知られている。ここで、透明導電膜とは、例えば酸化インジウムスズ（スズドープ酸化インジウム）（Indium Tin Oxide（ITO））により形成される膜のことをいい、透明導電膜付き基材は例えばタッチパネル等で使用されるようになっている。より詳細には、スクリーン印刷装置では、基材が載置された印刷定盤を、所定のパターンからなる複数の貫通穴が設けられたスクリーン版の下方の位置に移動させ、その後、スキージによりスクリーン版を印刷定盤上の基材に向かって押圧しながら当該スキージをスクリーン版に沿って移動させることにより、スクリーン版の貫通穴を介して透明導電性ペーストを基材上に転移させ、その後、基材上の透明導電性ペーストを乾燥させて硬化させることにより透明導電膜を基材上に形成するようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷装置では、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせが重要となる。スクリーン印刷装置のスクリーン印刷部により透明導電性ペーストが基材上に転写される前に、印刷定盤上の基材における透明導電膜が形成されるべき位置と、スクリーン版の貫通穴との位置合わせを的確に行わなければ、基材の所定の位置に導電性ペーストが精度良く転移されないからである。
【０００４】
スクリーン印刷装置における、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせ方法として、例えば、特許文献１、２等に開示される方法が知られている。特許文献１には、位置合わせマーク（アライメントマーク）が付けられた板状体を、移動可能な印刷定盤上に位置精度良く固定するための位置合わせマークの検出方法および印刷装置が開示されている。特許文献１では、印刷定盤の移動にかかわらず当該印刷定盤に対する相対的位置が固定された位置合わせマーク検出器によって位置合わせマークを検出する方法が示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、機能性材料層の平坦層を正確かつ容易に判定できる有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置が開示されている。特許文献２では、試料移動手段と、光照射  手段と、撮像手段と、撮像手段と中間製品との間の距離を測定する距離測定手段と、Ｚ方向移動手段と、画像処理手段とを有する中間製品検査装置が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２９３１３１号公報
【特許文献２】特開２００８−２８６７２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、透明導電膜付き基材を製造する従来のスクリーン印刷装置では、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせを行うにあたり、基材に付けられた位置合わせマークをＣＣＤカメラ等の撮像部により撮像し、撮像部により撮像された画像データを処理する際に、ノイズが発生してしまうという問題がある。とりわけ、タッチパネル等で使用される透明導電膜付き基材を製造するときには、基材に対して不可視化処理が行われるので、位置合わせマークが見にくくなり、当該位置合わせマークを検出しにくくなるという問題がある。
【０００８】
より詳細に説明すると、透明導電膜付き基材を製造する従来のスクリーン印刷装置では、基材に付けられた位置合わせマークは透明導電性材料から形成されており、このような位置合わせマークに紫外光を照射し、紫外光が照射された基材の位置合わせマークを撮像するようになっているが、基材が載置された印刷定盤の表面で紫外光が反射してしまい、このような印刷定盤の表面で反射した紫外光がノイズの原因となってしまう。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、印刷定盤の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることにより、基材が載置された印刷定盤の表面で紫外光が反射してしまうことを防止することができ、撮像部により撮像された画像データを処理する際に、ノイズを取り除くことができるので、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせを的確に行うことができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のスクリーン印刷装置は、位置合わせマークが付けられた基材が載置される印刷定盤と、前記印刷定盤に載置された基材に対してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷部であって、所定のパターンからなる複数の貫通穴が設けられたスクリーン版を介して透明導電性ペーストを前記印刷定盤上の基材に転移させるスクリーン印刷部と、前記印刷定盤に載置された基材の位置合わせマークに紫外光を照射する紫外光照射部と、前記紫外光照射部により紫外光が照射された基材の位置合わせマークを撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された画像データを処理する画像処理部と、前記画像処理部により処理された画像データに基づいて、前記印刷定盤に載置された基材の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、前記位置ずれ量検出部により検出された基材の位置ずれ量に基づいて、前記印刷定盤または前記スクリーン版を移動させ、前記スクリーン版に対する前記印刷定盤上の基材の相対的な位置を所定の位置にする位置合わせ部と、を備え、前記基材に付けられた位置合わせマークは透明導電性材料から形成されており、前記印刷定盤の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明のスクリーン印刷装置においては、前記紫外光反射防止処理は、前記印刷定盤の表面に対する黒色加工処理であることが好ましい。
【００１２】
この際に、前記印刷定盤の表面はアルミニウムから形成されており、前記印刷定盤の表面に対して行われている黒色加工処理は、前記印刷定盤の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理であることがより好ましい。
【００１３】
本発明のスクリーン印刷装置においては、前記紫外光照射部は、複数のＬＥＤ素子の集合体からなることが好ましい。
【００１４】
本発明のスクリーン印刷装置においては、前記画像処理部は、前記撮像部によって撮像された画像データの２値化処理を行うことが好ましい。
【００１５】
本発明のスクリーン印刷方法は、位置合わせマークが付けられた基材を印刷定盤に載置する工程と、前記印刷定盤に載置された基材の位置合わせマークに紫外光を照射する工程と、前記紫外光照射部により紫外光が照射された基材の位置合わせマークを撮像する工程と、撮像された画像データを画像処理部により処理する工程と、前記画像処理部により処理された画像データに基づいて、前記印刷定盤に載置された基材の位置ずれ量を検出する工程と、検出された基材の位置ずれ量に基づいて、前記印刷定盤またはスクリーン印刷部のスクリーン版を移動させ、前記スクリーン版に対する前記印刷定盤上の基材の相対的な位置を所定の位置にする工程と、を備え、前記基材に付けられた位置合わせマークは透明導電性材料から形成されており、前記印刷定盤の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明のスクリーン印刷方法においては、前記紫外光反射防止処理は、前記印刷定盤の表面に対する黒色加工処理であることが好ましい。
【００１７】
この際に、前記印刷定盤の表面はアルミニウムから形成されており、前記印刷定盤の表面に対して行われている黒色加工処理は、前記印刷定盤の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理であることがより好ましい。
【００１８】
本発明のスクリーン印刷方法においては、前記画像処理部は、前記撮像部によって撮像された画像データの２値化処理を行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のスクリーン印刷装置および印刷方法によれば、スクリーン版に対する印刷定盤上の基材の位置合わせを的確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態におけるスクリーン印刷装置の構成を示す側面図である。
【図２】図１に示すスクリーン印刷装置の各撮像部によって撮像された画像データを画像処理部により２値化処理した後の位置合わせマークを示す図である。
【図３】図１に示すスクリーン印刷装置により１回目のスクリーン印刷が行われた後の基材の構成を示す斜視図である。
【図４】図１に示すスクリーン印刷装置におけるスクリーン版の構成を示す斜視図である。
【図５】図１に示すスクリーン印刷装置を用いて基材にスクリーン印刷を行う際の動作の流れを示す側面図である。
【図６】図５に示す状態に引き続く、基材にスクリーン印刷を行う際の動作の流れを示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態によるスクリーン印刷装置および印刷方法を示す図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施の形態によるスクリーン装置は、基材１０が載置される印刷定盤３０と、印刷定盤３０に載置された基材１０に対してスクリーン印刷を行うスクリーン印刷部４０と、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置合わせマーク（アライメントマーク）１４（後述）に紫外光を照射する紫外光照射部３４と、紫外光照射部３４により紫外光が照射された基材１０を撮像するＣＣＤカメラ等の撮像部３２とを備えている。
【００２３】
スクリーン印刷部４０は、所定のパターンからなる複数の貫通穴（版孔）４２ａが設けられたスクリーン版４２と、このスクリーン版４２を保持する保持部材４４とを有している。ここで、各貫通穴４２ａは、基材１０に透明導電性ペースト５２（後述）が付着されるべき位置に対応するようスクリーン版４２に設けられている。なお、透明導電性ペースト５２とは、例えば酸化インジウムスズ（スズドープ酸化インジウム）（Indium Tin Oxide（ITO））により形成されるペーストのことをいう。
【００２４】
また、スクリーン印刷部４０には、スクリーン版４２上で走査し、当該スクリーン版４２の貫通穴４２ａを介して透明導電性ペースト５２を基材１０上に転移させるスキージ５０と、スキージ５０を移動させるスキージ駆動部４５とが設けられている。スキージ駆動部４５には、スキージ５０を支持する支持部材４６と、支持部材４６を水平方向（図１における左右方向）に移動させるよう案内を行うガイド部材４８とが設けられており、支持部材４６は、スキージ５０を図１に示す状態から下方に進出させることができるようになっている。このようなスキージ駆動部４５によって、スキージ５０はガイド部材４８に沿って図１における左右方向に移動するとともにスクリーン版４２に向かって進退移動（図１における上下方向の移動）を行うようになっている。ここで、スキージ５０およびスキージ駆動部４５によりスキージユニットが構成されている。
【００２５】
スクリーン印刷部４０のスクリーン版４２の構成について図４を用いてより詳細に説明する。図４に示すように、スクリーン版４２には、貫通穴４２ａが設けられたスクリーン印刷領域４２ｍと、スクリーン印刷領域４２ｍの外側に設けられた、位置合わせマーク形成用貫通穴４２ｎとがそれぞれ形成されている。そして、スクリーン版４２のスクリーン印刷領域４２ｍに設けられた貫通穴４２ａを介して、スキージ５０により透明導電性ペースト５２が基材１０上に転移されるようになっている。一方、スクリーン印刷装置による１回目のスクリーン印刷において、スクリーン版４２における位置合わせマーク形成用貫通穴４２ｎを介して基材１０上に転移された透明導電性ペースト５２は、後工程において乾燥処理が行われて硬化することにより位置合わせマーク１４（図３参照）となる。このため、スクリーン印刷部４０により１回目のスクリーン印刷が行われた基材１０は、図３に示すように、貫通穴４２ａを介して透明導電性ペースト５２が転移された透明導電膜形成領域１２と、この透明導電膜形成領域１２の外側に設けられた位置合わせマーク１４を有するようになる。位置合わせマーク１４は、任意のマークを設定できる。例えば、円、十字、四角等の多角形等のマークを位置合わせマーク１４として設定することができる。本実施の形態では、位置合わせマーク１４として直径０．３ｍｍの円を用いた。基材１０の透明導電膜形成領域１２において、図５に示すように、スクリーン印刷部４０により基材１０上に転移した透明導電性ペースト５２が乾燥処理により硬化することによって、透明導電膜１０ａが形成されるようになる。
【００２６】
また、印刷定盤３０の下方にはガイド部材３０ａが配置されており、印刷定盤３０は、ガイド部材３０ａに沿って水平方向（図１における左右方向）に移動可能となっている。
【００２７】
紫外光照射部３４は、前述のように、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置合わせマーク１４に紫外光を照射するようになっている。より詳細には、紫外光照射部３４として、ハーフミラー同軸落射照明、ビームスプリッター同軸落射照明を用いることができる。ここで、図１に示すように、紫外光照射部３４は、基材１０に設けられた位置合わせマーク１４の数に対応して複数設けられている。また、各紫外光照射部３４は、複数のＬＥＤ素子の集合体から構成されている。ここで、各紫外光照射部３４が複数のＬＥＤ素子の集合体から構成されていることにより、位置合わせマーク１４がより明るく見えるようになる。なお、ＬＥＤ素子の個体差が大きいため、照度ムラを極力小さくするために、ＬＥＤ素子の選定を行い、均一な照度が得られるようにすることが望ましい。または、拡散板を設け、照度ムラを低減することも有効である。
【００２８】
撮像部３２としては、一般的なＣＣＤカメラ等を使用することができるが、紫外光用のＣＣＤカメラを用いてもよい。撮像部３２は、被印刷物である基材１０の印刷パターンを対角線上に見ることが好ましいが、更に好ましくは、基材１０の四隅に設けられた位置合わせマーク１４に対応して撮像部３２が４つ設置され、各撮像部３２が基材１０の四隅の各位置合わせマーク１４を撮像するようになっている。
【００２９】
また、本実施の形態によるスクリーン装置には、当該スクリーン装置の各構成要素を制御するコントローラ６０が設けられている。コントローラ６０は、撮像部３２によって撮像された画像データを処理する画像処理部６２と、画像処理部６２により処理された画像データに基づいて、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部６４と、位置ずれ量検出部６４により検出された基材１０の位置ずれ量に基づいて、印刷定盤３０またはスクリーン印刷部４０のスクリーン版４２を移動させる位置合わせ部６６とから構成されている。
【００３０】
画像処理部６２は、撮像部３２によって撮像された画像データの２値化処理を行うようになっている。すなわち、画像処理部６２において、撮像部３２によって撮像された画像データのうち、所定の閾値の光量以上であるか否かによって白黒を明確に分けるようになっている。このときに、２値化した画像により各画素についてポジティブまたはネガティブを設定する。図２（ａ）（ｂ）に、各撮像部３２によって撮像された画像データを画像処理部６２により２値化処理した後の位置合わせマーク１４を示す。
【００３１】
位置ずれ量検出部６４は、画像処理部６２により２値化処理が行われた位置合わせマーク１４の画像データに基づいて、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置ずれ量を検出する。より詳細には、撮像部３２により撮像され画像処理部６２により２値化処理が行われた位置合わせマーク１４が、所定の位置からＸ方向、Ｙ方向、θ方向（回転）にそれぞれどれだけ離れているかを検出する。
【００３２】
位置合わせ部６６は、位置ずれ量検出部６４により検出された基材１０の位置ずれ量に基づいて、印刷定盤３０またはスクリーン印刷部４０のスクリーン版４２を移動させ、スクリーン印刷部４０のスクリーン版４２に対する印刷定盤３０上の基材１０の相対的な位置を所定の位置にする。ここで、位置合わせ部６６が印刷定盤３０を移動させるときには、コントローラ６０は、基材１０が載置された後の印刷定盤３０を制御してこの印刷定盤３０を移動させる。一方、位置合わせ部６６がスクリーン版４２を移動させるときには、コントローラ６０は、このスクリーン版４２を保持する保持部材４４を移動させることによりスクリーン版４２を移動させる。
【００３３】
本実施の形態のスクリーン印刷装置では、基材１０に付けられた位置合わせマーク１４は透明導電性材料（具体的には、例えば酸化インジウムスズ（スズドープ酸化インジウム）（Indium Tin Oxide（ITO）））から形成されている。より詳細には、基材１０により１回目のスクリーン印刷が行われる際に、スクリーン版４２における位置合わせマーク形成用貫通穴４２ｎを介して透明導電性ペースト５２が基材１０上に転移されるようになるが、その後に基材１０上に転移された透明導電性ペースト５２を乾燥して硬化させることにより、透明導電性材料からなる位置合わせマーク１４が基材１０に形成されるようになる（図３参照）。
【００３４】
また、本実施の形態のスクリーン印刷装置では、印刷定盤３０の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されている。具体的には、紫外光反射防止処理は、印刷定盤３０の表面に対する黒色加工処理である。更に詳細には、印刷定盤３０の表面はアルミニウムから形成されており、印刷定盤３０の表面に対して行われている黒色加工処理は、印刷定盤３０の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理である。
【００３５】
次に、図１に示すスクリーン印刷装置を用いて基材にスクリーン印刷を行う際の動作の一連の流れについて図１、図５および図６を用いて具体的に説明する。まず、図１に示すように、印刷定盤３０の上に基材１０を載置し、吸引孔（図示せず）からの吸引力によって印刷定盤３０上に基材１０を保持させる。次に、印刷定盤３０をガイド部材３０ａに沿って水平方向に移動させることにより、基材１０をスクリーン印刷部４０のスクリーン版４２の真下の位置に移動させる。そして、スクリーン印刷部４０において、スキージ５０が支持部材４６から下方に進出し、このスキージ５０がスクリーン版４２を下方に押して当該スクリーン版４２が印刷定盤３０上の基材１０の表面に当接する。そして、支持部材４６をガイド部材４８に沿って水平方向（図１の左方向）に移動させることによりスキージ５０を水平方向（図１の左方向）に移動させ、このときにスキージ５０がスクリーン版４２を下方に押し続けるようにする。この際に、透明導電性ペースト５２はスクリーン版４２の貫通穴４２ａを通過して基材１０の表面に付着する。また、透明導電性ペースト５２はスクリーン版４２の位置合わせマーク形成用貫通穴４２ｎを通過して基材１０の表面に付着する。その後、透明導電性ペースト５２付きの基材１０を印刷定盤３０から取り外し、この透明導電性ペースト５２付きの基材１０の乾燥を行う。このことにより、基材１０の表面に付着した透明導電性ペースト５２が熱硬化して基材１０の透明導電膜形成領域１２に透明導電膜１０ａ（図５参照）が形成されるとともに基材１０に複数（例えば４つ）の位置合わせマーク１４が形成されることとなる。
【００３６】
次に、図５に示すように、印刷定盤３０の上に透明導電膜１０ａ付きの基材１０を載置し、吸引孔（図示せず）からの吸引力によって印刷定盤３０上に基材１０を保持させる。このときに、基材１０に設けられた位置合わせマーク１４に対して紫外光照射部３４により紫外光を照射する。また、紫外光が照射された位置合わせマーク１４を撮像部３２で撮像する。ここで、透明導電性材料である酸化インジウムスズは紫外光をよく反射するので、透明導電性材料からなる位置合わせマーク１４に紫外光を照射し、その反射光を撮像部３２により撮像可能となる。撮像部３２により撮像された位置合わせマーク１４の画像データはコントローラ６０に送られる。
【００３７】
コントローラ６０において、画像処理部６２により、撮像部３２によって撮像された位置合わせマーク１４の画像データを２値化処理する。また、２値化された位置合わせマーク１４の画像データに基づいて、位置ずれ量検出部６４により、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置ずれ量を検出する。そして、検出された基材１０の位置ずれ量に基づいて、位置合わせ部６６が印刷定盤３０またはスクリーン版４２を移動させ、スクリーン版４２に対する印刷定盤３０上の基材１０の相対的な位置を所定の位置にする。このようにして、印刷定盤３０やスクリーン版４２の位置を微調整することにより、後工程において基材１０における透明導電膜１０ａが形成された位置と、スクリーン版４２の貫通穴４２ａの位置とを容易に位置合わせすることができるようになる。
【００３８】
次に、印刷定盤３０をガイド部材３０ａに沿って水平方向に移動させることにより、図６に示すように、基材１０をスクリーン印刷部４０のスクリーン版４２の真下の位置に移動させる。そして、スクリーン印刷部４０により基材１０に対して２回目以降のスクリーン印刷を行う。このことにより、基材１０に対して追加の透明導電膜１０ａを形成することができるようになる。
【００３９】
以上のように本実施の形態のスクリーン印刷装置および印刷方法によれば、紫外光照射部３４は、印刷定盤３０に載置された基材１０の位置合わせマーク１４に紫外光を照射するようになっており、撮像部３２は、紫外光が照射された基材１０の位置合わせマーク１４を撮像するようになっている。また、基材１０に付けられた位置合わせマーク１４は透明導電性材料から形成されており、印刷定盤３０の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されている。このように、印刷定盤３０の少なくとも表面が紫外光反射防止処理されていることにより、基材１０が載置された印刷定盤３０の表面で紫外光が反射してしまうことを防止することができる。このため、撮像部３２により撮像された画像データを処理する際に、ノイズを取り除くことができるようになり、したがってスクリーン版４２に対する印刷定盤３０上の基材１０の位置合わせを的確に行うことができるようになる。
【００４０】
また、本実施の形態のスクリーン印刷装置においては、紫外光反射防止処理は、印刷定盤３０の表面に対する黒色加工処理となっている。具体的には、前述のように、印刷定盤３０の表面はアルミニウムから形成されており、印刷定盤３０の表面に対して行われている黒色加工処理は、印刷定盤３０の表面に形成されたアルミニウムの黒色アルマイト処理である。
【００４１】
また、本実施の形態のスクリーン印刷装置においては、前述のように、紫外光照射部３４は、複数のＬＥＤ素子の集合体から構成されている。このことにより、紫外光照射部３４により紫外光が照射されたときに、位置合わせマーク１４がより明るく見えるようになる。
【００４２】
また、本実施の形態のスクリーン印刷装置においては、前述のように、コントローラ６０の画像処理部６２は、撮像部３２によって撮像された画像データの２値化処理を行うようになっている。
【００４３】
なお、本実施の形態によるスクリーン印刷装置および印刷方法は、上記の態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００４４】
例えば、画像処理部６２により行われる画像データの処理は、２値化処理に限定されることはない。画像データに対して他の種類の処理が行われるようになっていてもよい。
【００４５】
また、印刷定盤３０の表面に対して行われている黒色加工処理は、アルミニウムの黒色アルマイト処理に限定されることはない。他の種類の処理が印刷定盤３０の表面に対して行われることによりこの印刷定盤３０の表面が黒色となっていてもよい。
【００４６】
また、印刷定盤３０の表面に対して行われる紫外光反射防止処理として、黒色加工処理以外に、公知の紫外線吸収剤を含む塗料を印刷定盤３０の表面にコーティングして紫外光反射防止膜を形成するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１０  基材
１０ａ  透明導電膜
１２  透明導電膜形成領域
１４  位置合わせマーク
３０  印刷定盤
３０ａ  ガイド部材
３２  撮像部
３４  紫外光照射部
４０  スクリーン印刷部
４２  スクリーン版
４２ａ  貫通穴
４２ｍ  スクリーン印刷領域
４２ｎ  位置合わせマーク形成用貫通穴
４４  保持部材
４５  スキージ駆動部
４６  支持部材
４８  ガイド部材
５０  スキージ
５２  透明導電性ペースト
６０  コントローラ
６２  画像処理部
６４  位置ずれ量検出部
【図１】
2013018179.tif 000003
【図２】
2013018179.tif 000004
【図３】
2013018179.tif 000005
【図４】
2013018179.tif 000006
【図５】
2013018179.tif 000007
【図６】
2013018179.tif 000008