(57)【要約】【課題】接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供する。【解決手段】板状の弾性ソケットと、弾性ソケット内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、電気貫通部は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一および第二の可動部材を備え、これらの可動部材が近接するように外力が付与されたときにこれらの可動部材を離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、これらの可動部材は、少なくとも近接した状態では弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、これらの可動部材の相対位置の変動を可能とする摺動接触構造は可動制限手段を備え、弾性ソケットにおける電極接触部側の主面に設けられた剛性材料からなる電極側板状部材を異方導電性部材はさらに備える。【選択図】    図２０
2013050436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケットと、前記弾性ソケット内に個別に保持されて前記弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、
前記電気貫通部は、電気的に接続しつつ前記弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、
前記第一の可動部材は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部を前記弾性ソケットの一方の主面側に備え、
前記第二の可動部材は、測定装置の配線基板と接触するための基板接触部を前記弾性ソケットの他方の主面側に備え、
前記電極接触部および前記基板接触部が前記弾性ソケットの厚さ方向に近接するように外力が付与されたときにこれらを離間させる弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記第一および第二の可動部材は、少なくとも前記電極接触部と前記基板接触部とが近接した状態では前記弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、
前記電気貫通部は、前記第一または第二の可動部材の一方に設けられたすべり軸とこれらの部材の他方に設けられたすべり面とが前記弾性ソケットの厚さ方向に相互に摺動する摺動接触構造を備え、当該摺動接触構造によって、前記電極接触部と前記基板接触部との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能であり、
前記摺動接触構造は前記すべり軸が前記すべり面上を前記弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限機構を備え、当該可動制限機構によって、前記電極接触部の前記基板接触部に対する可動範囲は上限を有し、
前記可動制限機構は前記電極接触部と前記基板接触部との間の可動範囲を制限する脱離止めを含み、当該脱離止めは、前記すべり面から前記すべり軸側に突出するすべり面突出部、および当該すべり面突出部に接触することにより前記すべり軸の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部からなり、
前記電極接触部および前記基板接触部の一方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第一の柱状体を前記第一および第二の可動部材の一方が備え、さらに前記電極接触部および前記基板接触部の他方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第二の柱状体を前記第一および第二の可動部材の他方が備え、
前記第一の柱状体は、前記弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部と細径部とを備え、前記すべり軸は前記太径部に設けられ、前記すべり軸係止部は前記太径部と前記細径部との連結部に設けられ、
前記第二の柱状体は、内部が中空であって前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し、前記すべり面は前記中空部の内側面に設けられ、前記開口を部分的に閉塞するように前記開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部が前記すべり面突出部を構成し、
前記太径部に設けられた前記すべり軸は前記中空部内に配置されて、前記中空部の内側面に設けられた前記すべり面と接触して前記摺動接触構造を構成し、
前記部分閉塞部は前記太径部との接触により変形可能とされ、前記太径部は、前記部分閉塞部の当該変形により前記部分閉塞部を超えて前記第二の柱状体の中空部内へと挿設され、
前記弾性ソケットにおける前記電極接触部が設けられている側の主面にその一方の主面が対向するように設けられた、剛性材料からなる電極側板状部材を前記異方導電性部材はさらに備え、当該電極側板状部材は前記電極接触部に対応した配置で貫通孔を有し、前記電極接触部の前記弾性ソケット側と反対側の端部が前記電極側板状部材における前記弾性ソケットの主面に対向する側と反対の主面から突出するように、前記第一の可動部材は前記電極側板状部材の貫通孔に貫装されることを特徴とする異方導電性部材。
【請求項２】
前記部分閉塞部は、異方導電性部材が使用されて前記電極接触部と前記測定対象物に付設された電極との間に発生する密着力に相当する外力が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きと反対向きに付与された場合でも前記すべり面突出部を構成する、請求項１に記載の異方導電性部材。
【請求項３】
前記太径部は金属系材料から構成され、前記部分閉塞部は樹脂系材料から構成される、請求項２に記載の異方導電性部材。
【請求項４】
前記第一および第二の可動部材は、前記第一および第二の柱状体が前記弾性ソケットに設けられた貫通孔内に挿設され、
前記貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を前記弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、
前記細孔部内に前記第一の柱状体の細径部の少なくとも一部が配置され、前記太孔部内に前記第二の柱状体の少なくとも一部が配置される、請求項１から３のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項５】
前記第二の柱状体は前記部分閉塞部を構成する部材と他の部材とから構成され、前記部分閉塞部を構成する部材は前記他の部材と別体であって、前記部分閉塞部を構成する部材は、前記太孔部および前記細孔部によって形成される段差と前記他の部材とに挟まれることにより、前記他の部材に対する位置変動が制限される、請求項４に記載の異方導電性部材。
【請求項６】
前記第二の柱状体を備える前記第一および第二の可動部材の他方は、いずれも内部が中空であるとともに前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し同軸上に配置される、第一の柱状部材および第二の柱状部材を備え、
前記第一の柱状部材は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記第二の柱状部材の中空内に配置され、
前記部分閉塞部は前記第二の柱状部材の開口に設けられている、請求項１から５のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項７】
前記第二の柱状部材は前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側と反対側の端部に第二の開口を有し、当該第二の開口はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部を備え、前記第一の柱状部材はその開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記部分閉塞部と前記第二の部分閉塞部とを両端とする前記第二の柱状部材の中空内に配置される、請求項６に記載の異方導電性部材。
【請求項８】
前記第一の柱状部材は金属系材料から構成され、前記第二の柱状部材は樹脂系材料から構成される、請求項６または７に記載の異方導電性部材。
【請求項９】
前記第一の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の一方は、導電性材料からなり前記測定対象物に付設される電極または前記測定装置の配線基板と直接接触する中心側の部材と、前記電極接触部および前記基板接触部の一方における最も外径が大きな部分を含む絶縁体からなるリング状の部材とからなり、当該リング状の部材における中央の中空部に前記中心側の部材がはめ込まれることにより前記電極接触部および前記基板接触部の一方は構成される、請求項１から８のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１０】
前記第二の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の他方は、前記弾性ソケットの主面の面内方向に突出する突出部を備え、当該突出部が前記弾性ソケットの主面に接触するように、前記第二の柱状体は前記貫通孔内に挿設される、請求項１から９のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１１】
前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材における当該貫通孔の内側面と対向する外側面と当該貫通孔の内側面とのクリアランスは、前記第一の可動部材の可動方向の前記弾性ソケットの厚さ方向に対する傾きの許容範囲に基づき設定されたものである、請求項１から１０のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１２】
前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材は、前記弾性ソケットにおける前記電極接触部が設けられている側の主面と前記電極側板状部材との間にその外側面の一部から外周方向に突出する係止突出部を有し、前記弾性ソケットの厚さ方向を法線とし前記係止突出部を含む面における前記第一の可動部材の断面形状の外接円の直径は、前記電極側板状部材の貫通孔の前記弾性ソケット側端部における開口径よりも大きい、請求項１から１１のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１３】
前記電極接触部が前記測定対象物に付設された電極と接触する前の状態において、前記電極側板状部材の貫通孔の前記弾性ソケットに対向する側の周縁部が前記係止突出部を前記弾性ソケットの厚さ方向中心側に押し込むことにより、前記電極接触部および前記基板接触部にはこの押し込みによる反発力が前記弾性ソケットから付与されている、請求項１２に記載の異方導電性部材。
【請求項１４】
前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材は、前記電極接触部における前記弾性ソケット側と反対側の端部および前記係止突出部の少なくとも一部を含むように構成された接触側部材と他の部材とから構成され、前記接触側部材は前記その他の部材とは別体であって、前記係止突出部の少なくとも一部によって、前記接触側部材は、前記弾性ソケットの厚さ方向中心向きと反対の向きへの移動が制限されるとともに、前記電極側板状部材の貫通孔から脱離しないように構成されている、請求項１２または１３に記載の異方導電性部材。
【請求項１５】
前記第一の可動部材が前記第一の柱状体を備える、請求項１から１４のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１６】
前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備える、請求項１から１４のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１７】
前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備え、当該第二の柱状体が備える前記部分閉塞部および前記係止突出部の少なくとも一部が前記弾性ソケット内に埋設される、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１８】
前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備えるとともに、その全体が前記弾性ソケットから露出している、請求項１２から１４のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項１９】
前記電極接触部および前記基板接触部が前記弾性ソケットの厚さ方向に近接するように前記電極接触部に外力が付与されたときに、前記電極接触部および前記基板接触部の双方が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに変動するように、前記弾性ソケットは、前記測定装置の配線基板に対して、前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能に取り付けられるものである、請求項１７または１８に記載の異方導電性部材。
【請求項２０】
前記弾性ソケットと前記測定装置の配線基板との間に剛性材料からなる基板側板状部材を前記異方導電性部材はさらに備え、当該基板側板状部材は前記基板接触部に対応した配置で貫通孔を有し、前記基板接触部は、少なくともその一部が、当該基板側板状部材の貫通孔に挿設される、請求項１９に記載の異方導電性部材。
【請求項２１】
前記電極接触部および前記基板接触部の他方と前記第二の柱状体とは前記弾性ソケットの厚さ方向に重複する部分を有する、請求項１から２０のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【請求項２２】
前記弾性ソケットは、前記貫通孔における前記細孔部と前記太孔部との段差部分を含む面を分離面として、前記太孔部を有する第一の部分弾性ソケットと前記細孔部を有する第二の部分弾性ソケットとに分割され、前記第一の部分弾性ソケットは、前記太孔部における前記第二の部分弾性ソケット側の端部に、前記第一の部分弾性ソケットを構成する材料により構成されて、前記第一の部分弾性ソケットと一体に設けられた前記部分閉塞部を備える、請求項５から２１のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣの検査などに使用される異方導電性部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の端子を備えるＩＣを検査するときには、ＩＣにおける隣接する端子同士での電気的接続を抑制しつつ、ＩＣの各端子と、ＩＣを検査するための検査装置（ＩＣテスター）に接続された検査用基板における各端子に対応する電極とを電気的に接続するための、異方導電性部材が使用される。
【０００３】
その異方導電性部材は、全体形状としてはおおむね板状であり、その主面の法線方向の導電性は十分に高いため電気信号を通過させるが、主面の面内方向には絶縁されていて電気を通さないという特性を有する。この特性に基づき、異方導電性部材は、主面の法線方向に電流を通過させる部分を検査対象のＩＣの端子に対応して多数備える構造を有する。本発明において、ＩＣの端子に対応してこの主面の法線方向に電流を通過させる部分を電気貫通部という。
【０００４】
電気貫通部の具体的な構造は任意であり、異方導電性部材の双方の主面から露出するようにその部材に埋設された金属などの導電性細線を備える構造、双方の主面間に充填された一群の導電性微粒子を備える構造、両端が部分的に閉塞されつつ開口された管状体とこの管状体の内部に配置されたコイルスプリングとこのコイルスプリングに付勢されながら上記の部分的な閉塞部に係止された状態で管状体から部分的に突出する二つの接触部材とからなるプローブピンなどが例示される。
【０００５】
使用時における電気貫通部では、ＩＣの端子および検査用基板と異方導電性部材における電気貫通部の主面上の端部とが、これらの間の電気的接触を安定化させるために所定の圧力で接触している。上記の電気的接触の安定化を実現する程度に接触圧力が発生するように、多くの場合において、電気貫通部には弾性復元力を利用した接触圧力発生のための構造が設けられている。
【０００６】
例えば、上記の導電性細線を用いる電気貫通部や一群の導電性微粒子を用いる電気貫通部は、これらの部材が弾性体内に埋設される構造を備えることによって、これらの部材とＩＣの端子および検査用基板との接触圧力を発生させている。また、プローブピンでは、コイルスプリングが二つの接触部材を離間するように付勢することによって、これらの接触部材とＩＣの端子および検査用基板との接触圧力を発生させている。
【０００７】
上記の例以外に、特許文献１および２に開示されるような構造の電気貫通部が例示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２９１４３０号公報
【特許文献２】特開２００８−２１６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
電気貫通部は、電流を可能な限り損失少なく通過させることという基本要求のほかに、電気貫通部の電気的接触状態を長期にわたり安定化すること（接触安定化）、隣接する電気貫通部の間隔を可能な限り狭めること（高密度化）、および上記の基本要求を満たすための具体的な手段の一つとして異方導電性部材の主面間の距離を可能な限り狭くすること（薄肉化）も求められている。
【００１０】
しかしながら、前掲の従来技術に係る電気貫通部は、これらの要請の全てを満たすことができていない。
【００１１】
すなわち、導電性細線や導電性微粒子を弾性体の内部に埋め込む形式の電気貫通部は、ＩＣの端子と接触する部分が細線の断面や微粒子の表面であり、ＩＣの端子に対する接触状態が安定化しにくい。また、製造上の理由により、高密度化への対応にも限界がある。
【００１２】
プローブピンの場合には、コイルスプリングを内在することから、高密度化と薄肉化とが原理的にトレードオフの関係にある。
【００１３】
特許文献１に開示される電気貫通部は、金属板材料からなる導電部材が圧縮力の印加と解除との繰り返しを受けるため、この部材が金属疲労しやすく、接触安定化の観点で大きな問題を抱えている。
【００１４】
特許文献２に開示される電気貫通部は、主面上に金属回路を有し、さらにこの金属回路とは主面上別の位置にスルーホールを有するため、高密度化を実現することは不可能である。
【００１５】
かかる技術背景を鑑み、本発明は、前述の接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために提供される本発明は次のとおりである。
（１）絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケットと、前記弾性ソケット内に個別に保持されて前記弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、前記電気貫通部は、電気的に接続しつつ前記弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材および第二の可動部材を備え、前記第一の可動部材は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部を前記弾性ソケットの一方の主面側に備え、前記第二の可動部材は、測定装置の配線基板と接触するための基板接触部を前記弾性ソケットの他方の主面側に備え、前記電極接触部および前記基板接触部が前記弾性ソケットの厚さ方向に近接するように外力が付与されたときにこれらを離間させる弾性復元力が前記弾性ソケットに生じるように、前記第一および第二の可動部材は、少なくとも前記電極接触部と前記基板接触部とが近接した状態では前記弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、前記電気貫通部は、前記第一または第二の可動部材の一方に設けられたすべり軸とこれらの部材の他方に設けられたすべり面とが前記弾性ソケットの厚さ方向に相互に摺動する摺動接触構造を備え、当該摺動接触構造によって、前記電極接触部と前記基板接触部との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能であり、前記摺動接触構造は前記すべり軸が前記すべり面上を前記弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限機構を備え、当該可動制限機構によって、前記電極接触部の前記基板接触部に対する可動範囲は上限を有し、前記可動制限機構は前記電極接触部と前記基板接触部との間の可動範囲を制限する脱離止めを含み、当該脱離止めは、前記すべり面から前記すべり軸側に突出するすべり面突出部、および当該すべり面突出部に接触することにより前記すべり軸の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部からなり、前記電極接触部および前記基板接触部の一方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第一の柱状体を前記第一および第二の可動部材の一方が備え、さらに前記電極接触部および前記基板接触部の他方から前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに延設された第二の柱状体を前記第一および第二の可動部材の他方が備え、前記第一の柱状体は、前記弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部と細径部とを備え、前記すべり軸は前記太径部に設けられ、前記すべり軸係止部は前記太径部と前記細径部との連結部に設けられ、前記第二の柱状体は、内部が中空であって前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し、前記すべり面は前記中空部の内側面に設けられ、前記開口を部分的に閉塞するように前記開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部が前記すべり面突出部を構成し、前記太径部に設けられた前記すべり軸は前記中空部内に配置されて、前記中空部の内側面に設けられた前記すべり面と接触して前記摺動接触構造を構成し、前記部分閉塞部は前記太径部との接触により変形可能とされ、前記太径部は、前記部分閉塞部の当該変形により前記部分閉塞部を超えて前記第二の柱状体の中空部内へと挿設され、前記弾性ソケットにおける前記電極接触部が設けられている側の主面にその一方の主面が対向するように設けられた、剛性材料からなる電極側板状部材を前記異方導電性部材はさらに備え、当該電極側板状部材は前記電極接触部に対応した配置で貫通孔を有し、前記電極接触部の前記弾性ソケット側と反対側の端部が前記電極側板状部材における前記弾性ソケットの主面に対向する側と反対の主面から突出するように、前記第一の可動部材は前記電極側板状部材の貫通孔に貫装されることを特徴とする異方導電性部材。
【００１７】
（２）前記部分閉塞部は、異方導電性部材が使用されて前記電極接触部と前記測定対象物に付設された電極との間に発生する密着力に相当する外力が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きと反対向きに付与された場合でも前記すべり面突出部を構成する、上記（１）に記載の異方導電性部材。
【００１８】
（３）前記太径部は金属系材料から構成され、前記部分閉塞部は樹脂系材料から構成される、上記（２）に記載の異方導電性部材。
【００１９】
（４）前記第一および第二の可動部材は、前記第一および第二の柱状体が前記弾性ソケットに設けられた貫通孔内に挿設され、前記貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を前記弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、前記細孔部内に前記第一の柱状体の細径部の少なくとも一部が配置され、前記太孔部内に前記第二の柱状体の少なくとも一部が配置される、上記（１）から（３）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２０】
（５）前記第二の柱状体は前記部分閉塞部を構成する部材と他の部材とから構成され、前記部分閉塞部を構成する部材は前記他の部材と別体であって、前記部分閉塞部を構成する部材は、前記太孔部および前記細孔部によって形成される段差と前記他の部材とに挟まれることにより、前記他の部材に対する位置変動が制限される、上記（４）に記載の異方導電性部材。
【００２１】
（６）前記第二の柱状体を備える前記第一および第二の可動部材の他方は、いずれも内部が中空であるとともに前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側の端部に開口を有し同軸上に配置される、第一の柱状部材および第二の柱状部材を備え、前記第一の柱状部材は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記第二の柱状部材の中空内に配置され、前記部分閉塞部は前記第二の柱状部材の開口に設けられている、上記（１）から（５）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２２】
（７）前記第二の柱状部材は前記弾性ソケットの厚さ方向で前記第一の柱状体側と反対側の端部に第二の開口を有し、当該第二の開口はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部を備え、前記第一の柱状部材はその開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が前記部分閉塞部と前記第二の部分閉塞部とを両端とする前記第二の柱状部材の中空内に配置される、上記（６）に記載の異方導電性部材。
【００２３】
（８）前記第一の柱状部材は金属系材料から構成され、前記第二の柱状部材は樹脂系材料から構成される、上記（６）または（７）に記載の異方導電性部材。
【００２４】
（９）前記第一の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の一方は、導電性材料からなり前記測定対象物に付設される電極または前記測定装置の配線基板と直接接触する中心側の部材と、前記電極接触部および前記基板接触部の一方における最も外径が大きな部分を含む絶縁体からなるリング状の部材とからなり、当該リング状の部材における中央の中空部に前記中心側の部材がはめ込まれることにより前記電極接触部および前記基板接触部の一方は構成される、上記（１）から（８）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２５】
（１０）前記第二の柱状体が延設される前記電極接触部および前記基板接触部の他方は、前記弾性ソケットの主面の面内方向に突出する突出部を備え、当該突出部が前記弾性ソケットの主面に接触するように、前記第二の柱状体は前記貫通孔内に挿設される、上記（１）から（９）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２６】
（１１）前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材における当該貫通孔の内側面と対向する外側面と当該貫通孔の内側面とのクリアランスは、前記第一の可動部材の可動方向の前記弾性ソケットの厚さ方向に対する傾きの許容範囲に基づき設定されたものである、上記（１）から（１０）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２７】
（１２）前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材は、前記弾性ソケットにおける前記電極接触部が設けられている側の主面と前記電極側板状部材との間にその外側面の一部から外周方向に突出する係止突出部を有し、前記弾性ソケットの厚さ方向を法線とし前記係止突出部を含む面における前記第一の可動部材の断面形状の外接円の直径は、前記電極側板状部材の貫通孔の前記弾性ソケット側端部における開口径よりも大きい、上記（１）から（１１）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００２８】
（１３）前記電極接触部が前記測定対象物に付設された電極と接触する前の状態において、前記電極側板状部材の貫通孔の前記弾性ソケットに対向する側の周縁部が前記係止突出部を前記弾性ソケットの厚さ方向中心側に押し込むことにより、前記電極接触部および前記基板接触部にはこの押し込みによる反発力が前記弾性ソケットから付与されている、上記（１２）に記載の異方導電性部材。
【００２９】
（１４）前記電極側板状部材の貫通孔に貫装された前記第一の可動部材は、前記電極接触部における前記弾性ソケット側と反対側の端部および前記係止突出部の少なくとも一部を含むように構成された接触側部材と他の部材とから構成され、前記接触側部材は前記その他の部材とは別体であって、前記係止突出部の少なくとも一部によって、前記接触側部材は、前記弾性ソケットの厚さ方向中心向きと反対の向きへの移動が制限されるとともに、前記電極側板状部材の貫通孔から脱離しないように構成されている、上記（１２）または（１３）に記載の異方導電性部材。
【００３０】
（１５）前記第一の可動部材が前記第一の柱状体を備える、上記（１）から（１４）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００３１】
（１６）前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備える、上記（１）から（１４）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００３２】
（１７）前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備え、当該第二の柱状体が備える前記部分閉塞部および前記係止突出部の少なくとも一部が前記弾性ソケット内に埋設される、上記（１２）から（１４）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００３３】
（１８）前記第一の可動部材が前記第二の柱状体を備えるとともに、その全体が前記弾性ソケットから露出している、上記（１２）から（１４）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００３４】
（１９）前記電極接触部および前記基板接触部が前記弾性ソケットの厚さ方向に近接するように前記電極接触部に外力が付与されたときに、前記電極接触部および前記基板接触部の双方が前記弾性ソケットの厚さ方向の前記弾性ソケット中心向きに変動するように、前記弾性ソケットは、前記測定装置の配線基板に対して、前記弾性ソケットの厚さ方向に変動可能に取り付けられるものである、上記（１７）または（１８）に記載の異方導電性部材。
【００３５】
（２０）前記弾性ソケットと前記測定装置の配線基板との間に剛性材料からなる基板側板状部材を前記異方導電性部材はさらに備え、当該基板側板状部材は前記基板接触部に対応した配置で貫通孔を有し、前記基板接触部は、少なくともその一部が、当該基板側板状部材の貫通孔に挿設される、上記（１９）に記載の異方導電性部材。
【００３６】
（２１）前記電極接触部および前記基板接触部の他方と前記第二の柱状体とは前記弾性ソケットの厚さ方向に重複する部分を有する、上記（１）から（２０）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【００３７】
（２２）前記弾性ソケットは、前記貫通孔における前記細孔部と前記太孔部との段差部分を含む面を分離面として、前記太孔部を有する第一の部分弾性ソケットと前記細孔部を有する第二の部分弾性ソケットとに分割され、前記第一の部分弾性ソケットは、前記太孔部における前記第二の部分弾性ソケット側の端部に、前記第一の部分弾性ソケットを構成する材料により構成されて、前記第一の部分弾性ソケットと一体に設けられた前記部分閉塞部を備える、上記（５）から（２１）のいずれか一項に記載の異方導電性部材。
【発明の効果】
【００３８】
本発明に係る異方導電性部材は、電気的接触状態を維持しつつ弾性ソケットの厚さ方向に摺動し得る二つの可動部材を有し、これらの可動部材が離間する方向にこれらを付勢する力は、二つの可動部材間に配置される弾性ソケットの弾性復元力によりもたらされている。したがって、接触安定化、高密度化および薄肉化を高度にバランスすることが実現されている。しかも、ＩＣの端子と電極接触部との間に高い接触圧力が発生し、このため電極接触部がＩＣの端子に食い込むようなことがあっても、二つの可動部材は垂直方向の可動制限機構を有するため、検査が終了してＩＣを異方導電性部材から離間させたときにＩＣの端子に食い込んだ電極接触部を有する可動部材が異方導電性部材から脱離してしまうような事態が十分に抑制されている。しかも、本発明に係る異方導電性部材は電極側板状部材を有するため、電極接触部の弾性ソケットの厚さ方向に対する傾きは制限される。それゆえ、電極接触部とＩＣの端子との接触が安定する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２】図１に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
【図３】本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図４】本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
【図５】本発明の実施例３−１に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図６】本発明の実施例３−１に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
【図７】本発明の実施例３−２に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図８】本発明の実施例３−２に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
【図９】本発明の実施例３−３に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１０】本発明の変形例１に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１１】本発明の変形例２に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１２】本発明の変形例３に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１３】本発明の変形例４に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１４】本発明の変形例５に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１５】本発明の変形例６に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１６】本発明の実施例４−１に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１７】本発明の実施例４−１の具体的な他の一例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１８】図１７に示される異方導電性部材の使用状態を示す、当該部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図１９】本発明の実施例４−２に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２０】本発明の実施例４−３に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２１】本発明の実施例４−２の具体的な他の一例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２２】本発明の実施例４−３の具体的な他の一例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２３】本発明の実施例４−３の具体的な別の一例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２４】本発明の実施例５に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２５】本発明の実施例５の具体的な他の一例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２６】本発明の各実施形態に係る異方導電性部材が備える第二の柱状体の具体的構造の一例について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２７】本発明の各実施形態に係る異方導電性部材が備える第二の柱状体の具体的構造の他の一例について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【図２８】本発明の実施例４−３の一変形例に係る異方導電性部材について弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る異方導電性部材を説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００４１】
本実施形態に係る異方導電性部材１００は、絶縁体からなり弾性を有する板状の弾性ソケット１０１と、弾性ソケット１０１内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部１０２とを備える。弾性ソケットの材質は特に限定されない。その材質を例示すれば、シリコーンゴムやフッ素ゴム、あるいはアクリル系エラストマーなど弾性を有する絶縁材料が挙げられる。
【００４２】
電気貫通部１０２は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一の可動部材１０３および第二の可動部材１０４を備える。第一の可動部材１０３は、測定対象物に付設される電極と接触するための電極接触部１０５を弾性ソケット１０１の一方の主面側に備える。第二の可動部材１０４は、測定装置の配線基板（検査用基板）と接触するための基板接触部１０６を弾性ソケット１０１の他方の主面側に備える。
【００４３】
第一および第二の可動部材１０３，１０４は、少なくとも電極接触部１０５と基板接触部１０６とが近接した状態では弾性ソケット１０１の一部を圧縮可能に配置される。図１では、電極接触部１０５および基板接触部１０６における最も外径が大きな部分（以下、「鍔部分」ともいう。）１０７，１０８が、それぞれ、弾性ソケット１０１の主面における貫通孔１０９の周縁部１１０，１１１に接触するように配置されている。このため、電極接触部１０５と基板接触部１０６とが近接すると、これらの接触部の鍔部分１０７，１０８によって弾性ソケット１０１の主面における貫通孔１０９の周縁部１１０，１１１は圧縮される。このように配置されることにより、電極接触部１０５および基板接触部１０６が弾性ソケットの厚さ方向に近接するように外力が付与されたときにこれらを離間させる弾性復元力が弾性ソケット１０１に生じることが実現される。
【００４４】
電気貫通部１０２は、第一または第二の可動部材１０３，１０４の一方、本実施形態では第一の可動部材１０３に設けられたすべり軸１１２と、これらの部材１０３，１０４の他方、本実施形態では第二の可動部材１０４に設けられたすべり面１１３とが弾性ソケットの厚さ方向に摺動する摺動接触構造１１４を備える。この摺動接触構造１１４によって、電極接触部１０５と基板接触部１０６との距離は、これらの接触部の電気的接続を維持したまま弾性ソケットの厚さ方向に変動可能である。
【００４５】
摺動接触構造１１４はすべり軸１１２がすべり面１１３上を弾性ソケットの厚さ方向に摺動する範囲を制限する可動制限機構１１５を備える。この可動制限機構１１５によって、電極接触部１０５の基板接触部１０６に対する可動範囲は上限を有する。
【００４６】
可動制限機構１１５は電極接触部１０５と基板接触部１０６との間の可動範囲を制限する脱離止めを含む。本実施形態では、可動制限機構１１５は脱離止めからなる。この脱離止め１１５は、すべり面１１３からすべり軸１１２側、本実施形態ではすべり軸１１２を備える第一の可動部材１０３の中心軸側に突出するすべり面突出部１１６、およびこのすべり面突出部１１６に接触することによりすべり軸１１２の一方向への摺動を停止させるすべり軸係止部１１７から構成される。
【００４７】
本実施形態に係る電気貫通部１０２において、電極接触部１０５から弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット１０１の中心向きに延設された第一の柱状体を第一の可動部材１０３が備える。以下、この第一の柱状体と電極接触部１０５とからなる第一の可動部材１０３をプランジャーともいう。プランジャー１０３において、弾性ソケット１０１の主面から突出する部分は電極接触部１０５に含まれる。したがって、第一の柱状体はその全体が弾性ソケット１０１の貫通孔１０９内部に配置される。本実施形態においては、電極接触部１０５は貫通孔１０９内部に部分的に埋設されており、その埋設された部分の外径は貫通孔１０９の孔径とほぼ同じである。この電極接触部１０５における部分的に埋設された部分は、プランジャー１０３がＩＣ端子との接触によって軸倒れすることを防止するためのものである。
【００４８】
また、基板接触部１０６から弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット１０１の中心向きに延設された第二の柱状体を第二の可動部材１０４が備える。以下、この第二の柱状体と基板接触部１０６とからなる第二の可動部材１０４をバレルともいう。なお、本明細書において「延設」とは、基板接触部１０６と第二の柱状体とに弾性ソケットの厚さ方向に重複する部分を有する場合も含むものとする。すなわち、基板接触部１０６の機能は基板と電気的接触を維持することであるから、バレル１０４の外部構造によって特定されるべきものであり、一方、第二の柱状体は第一の柱状体と摺動接触構造を構成するためのものであるから、バレル１０４の内部構造によって特定されるべきものである。したがって、バレル１０４における弾性ソケットの厚さ方向の一部では、基板接触部としての外部構造を有しつつ第二の柱状体としての内部構造を有している場合もあり、この場合であっても、バレル１０４において、基板接触部１０６と第二の柱状体とは延設されているものとする。かかる構造の関係は、電極接触部に第二の柱状体が延設している場合も同様である。
【００４９】
バレル１０４において、弾性ソケット１０１の主面から突出する部分は基板接触部１０６に含まれる。したがって、本実施形態においては、第二の柱状体はその全体が弾性ソケット１０１の貫通孔１０９内部に配置される。第二の柱状体はその内面側にすべり面１１３が設けられた部分であり、他の実施形態においては、第二の柱状体の一部が弾性ソケット１０１の貫通孔１０９より突出する場合もある。
【００５０】
プランジャー１０３が備える第一の柱状体は、弾性ソケットの厚さ方向に連続して配置される太径部１１８と細径部１１９とを備え、すべり軸１１３は太径部１１８に設けられ、すべり軸係止部１１７は太径部１１８と細径部１１９との連結部に設けられる。
【００５１】
バレル１０４が備える第二の柱状体は内部が中空であって弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側（すなわち、本実施形態においてはプランジャー１０３側）の端部に開口を有する。この開口の内部にある中空部の内側面にすべり面１１３は設けられ、この開口を部分的に閉塞するように開口の縁部から内側に突出する部分閉塞部がすべり面突出部１１６を構成する。この部分閉塞部の具体的形状は任意である。開口の縁部全周から内側に突出してリング状をなしていてもよいし、開口の縁部の一部から内側に突出していてもよい。
【００５２】
太径部１１８に設けられたすべり軸１１２はバレル１０４の開口の内部にある中空部内に配置され、中空部の内側面に設けられたすべり面１１３と接触して摺動接触構造１１４を構成している。
【００５３】
図２は、図１に示した本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材１００が検査用基板２０１に取り付けられ、ＩＣ２０２と検査用基板２０１との間で圧縮され、ＩＣ２０２を検査可能な状態（本明細書において、「使用状態」ともいう。）を概念的に示す断面図である。
【００５４】
異方導電性部材１００全体が検査装置により対向するＩＣ２０２と検査用基板２０１との間において圧縮されると、電極接触部の鍔部分２０３および基板接触部の鍔部分２０４の間で弾性ソケット２０５が圧縮され、双方の鍔部分２０３，２０４は弾性ソケット２０５から弾性復元力を受ける。この弾性復元力に基づく力が電極接触部２０６に伝達されることにより、電極接触部２０６はＩＣ２０２の電極に所定の圧力で接触する。したがって、電極接触部２０６とＩＣ２０２との電気的接触は安定化する。
【００５５】
続いて、本発明の第一の実施形態に係る異方導電性部材におけるプランジャーおよびバレルの部分構造が具体的に特定された異方導電性部材を、本発明の第二の実施形態として、図３および４を用いて詳しく説明する。
【００５６】
図３は、本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
本発明の第二の実施形態に係る異方導電性部材３００において、太径部３０１は金属系材料から構成され、部分閉塞部３０２は樹脂系材料から構成される。ここで、金属系材料とは、金属または合金から構成される材料であって、次に説明する樹脂系材料よりも十分に高い硬度を有することおよび導電性を有することが特性となる。一方、樹脂系材料は、樹脂を成分として有する材料であって、実質的に絶縁体であり、上記の金属系材料に比べて十分に低い弾性率を有し、それゆえ金属系材料と接触した場合には樹脂系材料が優先的に弾性変形する特性を有する。したがって、樹脂系材料は、ゴムからなる場合や、エラストマーからなる場合を含む。
【００５７】
樹脂系材料を具体的に例示すれば、ナイロンやポリアセタールなど比較的軟質な樹脂が挙げられる。金属系材料を具体的に例示すれば、ステンレスや炭素鋼などの鉄系金属、あるいは黄銅、ベリリウム銅などの銅系金属が挙げられる。なお、金属系材料には摺動部分の接触抵抗を抑制するため金めっきが施されていることが望ましい。
【００５８】
金属系材料および樹脂系材料はそれぞれ上記のような特性を有することから、部分閉塞部３０２は太径部３０１との接触により弾性的に変形可能である。このため、太径部３０１は、当初はバレル３０３の中空部３０４の外にあったものが、部分閉塞部３０２と接触し、部分閉塞部３０２の上記の変形により部分閉塞部３０２を超えてバレル３０３の中空部３０４内へと挿入されることにより設置されたものである。
【００５９】
ここで、部分閉塞部３０２は、異方導電性部材３００が使用されて電極接触部３０５と測定対象物であるＩＣに付設された電極、具体例を挙げればはんだボールとの間に発生する密着力に相当する外力が弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット３０６の中心向きと反対向き、つまりＩＣが異方導電性部材３００から離れる向きに付与された場合でも、すべり面突出部を構成し、プランジャー３０７がバレル３０３から分離してしまうことが抑制されている。
【００６０】
バレル３０３は上記のように樹脂系材料で構成され、樹脂系材料は一般的には良導体ではない。一方、バレル３０３の中空部３０４の内側面にあるすべり面は、プランジャー３０７に対する電気的接触部であることから、良導体であることが必要である。そこで、本実施形態に係る異方導電性部材３００のバレル３０３は、いずれも内部が中空であるとともに弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側（すなわち、本実施形態においてはプランジャー３０７側）の端部に開口を有し同軸上に配置される、金属系材料からなる第一の柱状部材３０８および樹脂系材料からなる第二の柱状部材３０９を備える。本実施形態では、第一の柱状部材３０８は一つの開口３１６を有し、第二の柱状部材３０９は弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側（すなわち、本実施形態においてはプランジャー３０７側）の端部に第一の開口３１７を有し、この第一の開口３１７が設けられた側と反対側の端部に第二の開口３１８を有している。
【００６１】
第一の柱状部材３０８は、その開口の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が第二の柱状部材３０９の中空内に配置されている。すなわち、本実施形態に係るバレル３０３は、同軸上に配置された二重管構造を有する。以下、第一の柱状部材３０８をインナーバレル、第二の柱状部材３０９をアウターバレルともいう。そして、樹脂系材料からなる部分閉塞部３０２はアウターバレル３０９の第一の開口３１７に設けられている。また、インナーバレル３０８の開口３１６とは反対側の端部３１９はアウターバレル３０９の第二の開口３１８より突出し、基板接触部における基板と直接的に接触する部分を構成している。
【００６２】
アウターバレル３０９は一体構造であってもよいし、複数の部材から構成されていてもよい。複数の部材から構成される場合の具体例として、アウターバレル３０９の中心軸を含む平面で分割することが挙げられる。
【００６３】
このようにバレル３０３が二重管構造を有し、インナーバレル３０８は良導体であってアウターバレル３０９は絶縁体であることは、異方導電性部材の使用時に流れる電気信号が高周波信号である場合に、波形劣化が少なくなるという利点も有する。すなわち、高周波信号は表皮効果により導体の表面を流れるため、バレルの導体部分についてバレルの中心軸を含む断面で切断した断面の外側面の長さが短いことが、高周波信号の劣化を抑制する観点から好ましい。本実施形態に係るバレル３０３は、この外側面はインナーバレル３０８によって形成されるため、二重管構造を有さないバレルの上記外側面に比べて外側面の長さが短くなる。したがって、本実施形態に係るバレル３０３は通常の単管構造のバレルに比べて高周波信号を劣化させにくい。
【００６４】
このような高周波信号における表皮効果を考慮する観点から、本実施形態に係る異方導電性部材３００のプランジャー３０７の電極接触部３０５は、導電性材料、具体的には金属材料からなり電極と直接接触する中心側の部材３１１と、電極接触部３０５における最も外径が大きな部分（鍔部分）を含む絶縁体、具体的には樹脂系材料からなるリング状の部材（以下、「リング状絶縁部材」ともいう。）３１２とからなる。このリング状絶縁部材３１２における中央の中空部に中心側の部材３１１がはめ込まれることにより、電極接触部３０５は構成される。
【００６５】
このような構造を有する電極接触部３０５は、そのような構造を有さないものに比べて、プランジャーの導体部分についてプランジャーの中心軸を含む断面で切断した断面の外側面の長さは、リング状絶縁部材３１２を含まない分短くなる。それゆえ、このような構造を有することにより高周波信号の劣化が抑制される。
【００６６】
なお、中心側の部材３１１に対して弾性ソケット３０６を弾性ソケットの厚さ方向に圧縮するような力が付与されたときに、その力が電極接触部３０５の鍔部分に確実に伝達され、鍔部分において弾性ソケット３０６を圧縮できる構造を、中心側の部材３１１とリング状絶縁部材３１２とは有しているべきである。また、リング状絶縁部材３１２は段差構造を有し、弾性ソケット３０６における貫通孔３１４の内部にリング状絶縁部材３１２の一部分（本実施形態では段差部分）が挿入されていることが、使用状態またはその前後の使用時にプランジャーがバレルに対して傾きながら摺動することを抑制する観点から好ましい。
【００６７】
本実施形態に係るアウターバレル３０９は前述のように二つの開口を有し、弾性ソケットの厚さ方向で第一の柱状体側（本実施形態においてはプランジャー３０７側）と反対側の端部に設けられた第二の開口３１８はその縁部から内側に突出する第二の部分閉塞部３１３を備える。そして、インナーバレル３０８は少なくともその一部、具体的には、インナーバレル３０８の開口３１６の周縁部およびこれに続く外側面の少なくとも一部が部分閉塞部３０２と第二の部分閉塞部３１３とを両端とするアウターバレル３０９の中空内に配置される。第二の部分閉塞部３１３の具体的な構造は、部分閉塞部３０２同様任意である。
【００６８】
このような構造を有することにより、アウターバレル３０９の内側面とインナーバレル３０８の外側面との間にクリアランスがあってアウターバレル３０９内でインナーバレル３０８が自由に動くことができる状態であっても、アウターバレル３０９からインナーバレル３０８が脱落することが防止される。
【００６９】
なお、このような二つの部分閉塞部を有するアウターバレル３０９を、成形金型を用いて一体で作る場合には材料として軟質樹脂などを選定すればよい。一般的に無理抜きと言われる方法により、内側面から突出する部分があってもアウターバレル３０９を金型から取り出すことが可能である。そのような材料の具体例として、先に例示したナイロンやポリアセタールなどが挙げられる。
【００７０】
以下、本実施形態に係る異方導電性部材の製造方法の一例について説明する。
まず、インナーバレル３０８は、アウターバレル３０９の第二の部分閉塞部３１３が設けられた第二の開口３１８側からその内部に圧入され、部分閉塞部３０２および第二の部分閉塞部３１３によってアウターバレル３０９内に保持される。
【００７１】
次に、インナーバレル３０８とアウターバレル３０９とからなるバレル３０３を、弾性ソケット３０６における貫通孔３１４の一方の開口側から挿入する。すなわち、バレル３０３の部分閉塞部３０２を有する開口と反対側の端部の外側面から外側に突出する突出部である鍔部分３１５における弾性ソケット３０６の主面に対向する一方の面が、弾性ソケット３０６の主面における貫通孔３１４の周縁部に接触するように、バレル３０３を貫通孔３１４に部分的に挿入する。
【００７２】
ここで、貫通孔３１４の内径はバレル３０３の筒状の外側面の直径とほぼ等しく設定されているため、貫通孔３１４の内側面によってバレル３０３は保持され、貫通孔３１４からバレル３０３は容易には抜け落ちない。
【００７３】
なお、アウターバレル３０９が前述のように中心軸を含む平面で分割されている場合には、まず、アウターバレル３０９を貫通孔３１４に挿入し、その後インナーバレル３０８をアウターバレル３０９内に挿入してもよい。アウターバレル３０９は分割されているため、インナーバレル３０８の挿入は容易である。
【００７４】
続いて、中心側の部材３１１とリング状絶縁部材３１２とを備えるプランジャー３０７を、弾性ソケット３０６における貫通孔３１４の他方の開口側から挿入する。プランジャー３０７を挿入することによってプランジャー３０７の太径部３０１がバレル３０３の部分閉塞部３０２に接したら、さらにプランジャー３０７を貫通孔３１４内に挿入するよう押し込んで、太径部３０１によって部分閉塞部３０２を変形させて、太径部３０１をバレル３０３の中空部３０４内に挿入する。太径部３０１が中空部３０４内に完全に挿入されると、部分閉塞部３０２は変形した状態から初期の状態に戻り、太径部３０１は中空部３０４内に保持される。
【００７５】
こうして、プランジャー３０７とバレル３０３とからなる連結体（以下、「プローブピン」という場合もある。）は、弾性ソケット３０６の貫通孔３１４内に、容易には分離しない状態で保持される。
【００７６】
図４は、本実施形態に係る異方導電性部材３００の使用状態を概念的に示す断面図である。
【００７７】
図５は、本発明の第三の実施形態に係る異方導電性部材の一例（本明細書において、「実施例３−１」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
図５に示される実施例３−１に係る異方導電性部材は、プローブピンが、弾性ソケットに設けられた貫通孔に部分的に挿設されることによって弾性ソケットに対して保持されている。
【００７８】
実施例３−１に係る異方導電性部材のバレルの構造は第二の実施形態に係る異方導電性部材３００のバレル３０３と同一の構造である。実施例３−１に係る異方導電性部材のプランジャーの構造も、ほとんど第二の実施形態に係る異方導電性部材３００のプランジャー３０７と等しいが、実施例３−１に係る異方導電性部材では、第二の実施形態に係る異方導電性部材３００の貫通孔３１４と異なり、貫通孔におけるプランジャー側の開口部を含む領域が狭まっている。つまり、実施例３−１の貫通孔は、径が細い細孔部および径が太い太孔部を弾性ソケットの厚さ方向に隣接して備え、この細孔部内にプランジャーの細径部が配置され、太孔部内にバレル３０３の少なくとも一部、具体的にいえば基板接触部以外の部分の少なくとも一部が配置されている。この構成に合わせて、実施例３−１のプランジャーにおけるリング状絶縁部材は、第二の実施形態のプランジャー３０７におけるリング状絶縁部材３１２に比べて、中央の中空部の直径が小さくなっている。また、この構造の場合には、使用状態またはその前後の使用時にプランジャーがバレルに対して傾きながら摺動することが貫通孔における細孔部の内側面によって抑制されるため、実施例３−１のリング状絶縁部材は段差構造を有していなくともよい。また、リング状絶縁部材の外径が小さい場合にこの部材が貫通孔の内部に入り込んでバレルとプランジャーとの摺動を阻害することも、貫通孔における細孔部の孔径が小さいことによって抑制されている。
【００７９】
図６は、図５に示される実施例３−１に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
図６に示されるように、ＩＣの端子（はんだボール）によりプランジャーが押し込まれることによって、プランジャーの太径部はバレルの中空部内の奥に移動し、これに伴い、貫通孔の太孔部の内部におけるバレルもプランジャーも存在しない空隙領域が圧縮される。図６に示される実施例３−１に係る異方導電性部材においては、弾性ソケットにおける細孔部と太孔部との段差部分がバレルに接触している。この空隙領域の有無や大きさは、貫通孔における細孔部および太孔部の弾性ソケットの厚さ方向の長さのバランスを変更することによって任意に設定可能であり、空隙領域が使用状態において消滅するようにしてもよいし、残留するようにしてもよい。
【００８０】
図７は、第三の実施形態に係る異方導電性部材の他の一例（本明細書において、「実施例３−２」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
図７に示される実施例３−２に係る異方導電性部材では、上記の空隙領域は、使用状態の前の状態、つまり電極接触部および基板接触部を近接させる外力が付与されていない状態でも空隙が発生しないように構成されている。すなわち、本実施例では、バレルにおける弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケットの中心側の端部（以下、「バレルの電極側端部」ともいう。）は、貫通孔の太孔部と細孔部とが作る段差部分（以下、「貫通孔段差部」ともいう。）に接している。この構造の場合には、使用状態において電極接触部および基板接触部が弾性ソケットの厚さ方向に近接するように外力が付与されたときにこれらを離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように弾性ソケットの一部を圧縮する部分は、プランジャーではリング状絶縁部材であり、バレルではバレルの電極側端部である。したがって、本変形例に係るバレルは、第一の実施形態、第二の実施形態、および実施例３−１におけるバレルでは必須となっていた基板接触部の鍔部分が不要となっている。この基板接触部が鍔部分を有さないことはプローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。
【００８１】
図８は、図７に示される実施例３−２に係る異方導電性部材の使用状態を概念的に示す断面図である。
図８に示されるように、ＩＣの端子（はんだボール）によりプランジャーが押し込まれることによって、プランジャーの太径部はバレルの中空部内の奥に移動する。この移動に伴い貫通孔の細孔部の周辺をなす弾性ソケットが圧縮され、この圧縮された部分の弾性ソケットの弾性回復力に基づいて、プランジャーのリング状絶縁部材およびバレルの電極側端部に対して両者を離間させる力が付与される。
【００８２】
図９は、第三の実施形態に係る異方導電性部材の別の他の一例（本明細書において、「実施例３−３」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
実施例３−３におけるプローブピンと貫通孔との関係は実施例３−２と同じであり、バレルの電極側端部は貫通孔段差部に接している。しかしながら、実施例３−３のバレルは、実施例３−２のバレルと異なり二重管構造を有していない。実施例３−３のバレルは、単管構造であるが、部分閉塞部を構成する部材が他の部材とは別体である。本明細書において別体とは、複数の部品が互いに相手の部材の分離を抑制する構造を有しておらず、例えば傾けるなどの状態変化によって容易に分離可能な状態にあることを意味する。本実施例において、部分閉塞部を構成する部材は樹脂系材料からなり、その他の部分は金属系材料からなる。そして、部分閉塞部を構成する部材は、貫通孔段差部分と金属系材料からなる他の部材とに挟まれることにより、他の部材に対する位置変動が制限されている。したがって、貫通孔段差部分と他の部材とを離間させれば、その間にある部分閉塞部は他の部材から容易に分離しうる状態にある。
【００８３】
この構成では、実施例３−２のバレルに比べて、アウターバレルを有さない分、バレルの外径が小さい。このバレルが細いことは、貫通孔の最大内径を小さくすることができるため、プローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。
【００８４】
なお、実施例３−３では部分閉塞部を構成する部材は樹脂系材料からなるが、これに限定されない。例えば、部分閉塞部を構成する部材が複数の部材から構成されている場合には、この部材は金属系材料から構成されていてもよい。このような場合の具体例として、リング状の構造体がリングの中心軸を含む面で２分割された構成が挙げられる。この構成では、プランジャーの太径部と接触することによってこの部材はリング状の構造体が折れ曲がるように分離し、部分閉塞部としての機能を失って、太径部がバレルの内部に挿入されることが可能となる。一方、使用状態では、貫通孔段差部と金属系材料からなる他の部材とがこのリング状の構造体を圧縮するため、この構造体の分離は抑制される。したがって、使用状態において太径部がバレルから抜けてしまうことは十分に抑制されている。
【００８５】
以下、これまで説明した第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例３−１から３−３に係る異方導電性部材の変形例について列記する。
図１０は第二の実施形態に係る異方導電性部材の一変形例（本明細書において、「変形例１」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
変形例１に係る異方導電性部材は、使用前の状態、すなわち弾性ソケットの貫通孔内にプローブピンが配置された状態で、電極接触部の鍔部分および基板接触部の鍔部分は弾性ソケットを圧縮している。このため、異方導電性部材の電極接触部とＩＣの端子（はんだボール）との接触が開始された初期の段階から、プランジャーとＩＣの端子、およびバレルと検査用基板の電極との間に接触圧力が発生し、電気的接触がより安定して好ましい。
【００８６】
この変形例１の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例３−１から３−３に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。
【００８７】
図１１は第二の実施形態に係る異方導電性部材の他の一変形例（本明細書において、「変形例２」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００８８】
変形例２に係る異方導電性部材は、リング状絶縁部材とこれに対向する弾性ソケットの表面との間に接着層を有している。リング状絶縁部材が弾性ソケットの表面に接着剤などで固着されることにより、弾性ソケットが圧縮されたときにリング状絶縁部材が弾性ソケットの貫通孔内に潜り込む可能性を排除することができ、好ましい。この例では接着剤層によりリング状絶縁部材と弾性ソケットとを固着させたが、弾性ソケットがラバーからなる場合には、接着剤層に代えて、硬度の高い薄いリング状のラバーを挟んでもよい。ラバー同士の摩擦力は極めて大きいため、リング状絶縁部材の弾性ソケットに対するずれを安定的に抑制することができる。
【００８９】
この変形例２の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例３−１から３−３に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。
【００９０】
図１２は実施例３−１に係る異方導電性部材の一変形例（本明細書において、「変形例３」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００９１】
変形例３に係る異方導電性部材は、プランジャーがリング状絶縁部材を有していない。このため、プランジャーの外径が小さくなっている。このプランジャーの最大外径部が細いことはプローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。
この変形例３の構成は、実施例３−１から３−３に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。
【００９２】
図１３は第二の実施形態に係る異方導電性部材の別の他の一変形例（本明細書において、「変形例４」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
変形例４に係る異方導電性部材は、インナーバレルがすべり面を構成する筒状の部材と基板接触部の一部を構成する部材とからなる。かかる構造を有することにより、筒状の部材の肉厚を薄くすることが可能となる。それゆえ、アウターバレルの外径を小さくすることができる。アウターバレルが細くなることは、貫通孔の最大内径を小さくすることができるため、プローブピンの配置を狭ピッチ化することに有効である。また、インナーバレルの製造が容易になるという利点もある。
【００９３】
この変形例４の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、および実施例３−１から３−３に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。
【００９４】
図１４は第二の実施形態に係る異方導電性部材のさらに別の一変形例（本明細書において、「変形例５」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００９５】
変形例５に係る異方導電性部材は、基本構造が第二の実施形態に係る異方導電性部材と反対である。すなわち、すべり軸を備えるプランジャーが基板接触部を有し、すべり面を備えるバレルが電極接触部を有する。
【００９６】
この変形例５の構成は、第二の実施形態に係る異方導電性部材、ならびに実施例３−１および３−２に係る異方導電性部材のいずれにも適用することができる。
【００９７】
図１５は第三の実施形態に係る異方導電性部材の一変形例（本明細書において、「変形例６」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【００９８】
変形例６に係る異方導電性部材は、弾性ソケットが貫通孔の細孔部と太孔部との段差部分において弾性ソケットの厚さ方向に２分割され、２分割された弾性ソケットのうち基板接触部側の部材における太孔部の電極接触部側開口に、その部材と一体に部分閉塞部が設けられている。かかる構造を有することにより、部分閉塞部を弾性ソケットと一体に製造することが可能となり、部分閉塞部の組立製造コストを削減することが可能となる。
【００９９】
この変形例６の構成は、実施例３−３に係る異方導電性部材に適用することができる。
【０１００】
以上の変形例１から６は、単独で適用してもよいし、複数の変形例に係る構成を組み合わせて適用してもよい。また、次に説明する第四、第五の実施形態に係る異方導電性部材においてこれらの変形例に係る構成を採用してもよい。
【０１０１】
図１６は、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の一例（本明細書において、「実施例４−１」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１０２】
図１６に示される実施例４−１に係る異方導電性部材４００は、弾性ソケット４０１における電極接触部４０２が設けられている側の主面４０１ａにその一方の主面４０３ａが対向するように設けられた、剛性材料からなる電極側板状部材４０３を有する。なお、本明細書において「剛性材料」とは、弾性を有する弾性ソケットに比べて剛性を有する、つまり外力が付与されても変形しにくい材料であることを意味する。この電極側板状部材４０３は電極接触部４０２に対応した配置で貫通孔４０４を有する。電極接触部４０２における弾性ソケット側と反対側の端部４０２ａが電極側板状部材４０３における弾性ソケットの主面４０１ａに対向する側と反対の主面４０３ｂから突出するように、電極接触部４０２を備える可動部材である第一の可動部材４０５は、電極側板状部材４０３の貫通孔４０４に貫装されている。
【０１０３】
図１６に示される実施例４−１に係る異方導電性部材４００は、すべり軸４０６を有する第一の柱状体４０７が第一の可動部材４０５の構成要素となっており、この第一の柱状体４０７のすべり軸４０６が第二の柱状体４０８のすべり面４０９に対して摺動する際に、その本来の摺動方向である弾性ソケットの厚さ方向から傾きながら摺動することがあっても、その傾きの程度は、電極側板状部材４０３の貫通孔４０４の開口内における電極接触部４０２のクリアランスにより制限される。このため、電極接触部４０２が過度に傾くことが抑制され、異方導電性部材４００が使用中に破損する事態が生じにくい。この点を換言すれば、電極側板状部材４０３の貫通孔４０４に貫装された第一の可動部材４０５における貫通孔４０４の内側面と対向する外側面と、貫通孔４０４の内側面とのクリアランスは、第一の可動部材４０５の可動方向の弾性ソケットの厚さ方向に対する傾きの許容範囲に基づき設定されたものである。
【０１０４】
なお、測定対象に付設された電極がはんだボールであり、図１６に例示されるように電極接触部４０２がはんだボールを内包するようなすり鉢状、具体的には円柱などの柱状体の端面をクロスカットして得られるナイフエッジ形状、をなしている場合には、はんだボールが製造上の公差の範囲で位置ずれしていても、第一の可動部材４０５が傾斜することにより、電極接触部４０２も傾斜し、電極接触部４０２がはんだボールを内包する状態を維持できるため好ましい。
【０１０５】
電極側板状部材４０３はある程度の剛性を有していれば、その材質は特に限定されない。電極接触部４０２が電極側板状部材４０３の貫通孔４０４の内壁や開口端部に接する可能性があることから、通常は絶縁性の材料で形成される。そのような材料の具体例として、エポキシ樹脂やフェノール樹脂などを主成分とする樹脂系材料、ガラスやセラミックスを主成分とする無機系材料、樹脂系材料内にガラスフィラーなど無機成分が分散した複合材料が挙げられる。
【０１０６】
電極側板状部材４０３と弾性ソケット４０１との相対位置の関係は任意である。例えば、図１６に示されるように、弾性ソケット４０１における電極接触部４０２が設けられている側の主面４０１ａと、電極側板状部材４０３におけるこれに対向する側の主面で４０３ａとが例えば接着剤によって固定されていてもよい。この場合には、電極接触部４０２がはんだボールなどの電極と接触して弾性ソケットの厚さ方向中心向きに移動すると、その移動に伴って電極側板状部材４０３も弾性ソケットの厚さ方向中心向きに移動することになる。
【０１０７】
あるいは、図１７に示されるように、電極側板状部材４０３と弾性ソケット４０１とは弾性ソケットの厚さ方向の相対位置が変動可能とされていてもよい。この場合には、電極側板状部材４０３は図１７では示されていない検査用基板に対して相対位置を固定しておいてもよい。その固定の方法は任意である。ここで、電極側板状部材４０３と弾性ソケット４０１との相対位置が変動しても電極接触部４０２と電極との接触状態が維持されるように、図１７に係る第一の可動部材は、図１６に係る第一の可動部材に比べて電極接触部４０２が突出している。このため、図１８に示されるように、電極接触部４０２と電極４１０とが接触した状態で電極接触部４０２に弾性ソケットの厚さ方向中心向きの力が加わり、電極接触部４０２がその向きに移動しても、位置変動しない電極側板状部材４０３（電極４１０に対しては接近し、弾性ソケット４０１からは離間することになる。）が電極４１０と接触することは回避されている。
【０１０８】
図１９は、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の他の一例（本明細書において、「実施例４−２」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１０９】
図１９に示される実施例４−２に係る異方導電性部材５００は、電極側板状部材５０１の貫通孔５０２に貫装された第一の可動部材５０３は、弾性ソケット５０４における電極接触部５０５が設けられている側の主面５０４ａと電極側板状部材５０１との間にその外側面の一部から外周方向に突出する係止突出部５０６を有する。そして、弾性ソケット５０４の厚さ方向を法線としこの係止突出部５０６を含む面における第一の可動部材５０３の断面形状の外接円の直径（本実施例においては係止突出部５０６の直径に等しい。）は、電極側板状部材５０１の貫通孔５０２の弾性ソケット側端部における開口径よりも大きい。なお、図１９に示される実施例４−２では係止突出部５０６は鍔状に突出しており、第一の実施形態に係る異方導電性部材の鍔部分の機能も有する。
【０１１０】
かかる構成を備えることにより、電極接触部５０５が測定対象物に付設された電極（例えばはんだボール）と接触する前の状態において、電極側板状部材５０１の貫通孔５０２における弾性ソケット５０４に対向する側の周縁部５０７が係止突出部５０６を弾性ソケット５０３の厚さ方向中心側に押し込むことで、第一の可動部材５０３における電極接触部５０５および第二の可動部材５０８における基板接触部５０９に対して、この押し込みによる反発力を弾性ソケット５０４から付与することができる。その結果、基板接触部５０９と検査用基板５１０が常に一定以上の圧力で接触しているため、基板接触部５０９と検査用基板５１０の隙間に異物が入り込むことが防がれ、基板接触部５０９と検査用基板５１０の接触不良の発生が抑制される。以下、このように電極接触前の段階で弾性ソケットの厚さ方向中心向きに弾性ソケットを圧縮することをプリロードともいう。なお、第一の可動部材５０３の外側面における係止突出部５０６が設けられている位置は限定されない。また、係止突出部５０６が脱離止めの機能を果たしてもよい。
【０１１１】
図２０は、本発明の第四の実施形態に係る異方導電性部材の別の一例（本明細書において、「実施例４−３」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１１２】
図２０に示される実施例４−３に係る異方導電性部材６００は、実施例４−２に係る異方導電性部材５００に対する相違点として、電極側板状部材６０１の貫通孔６０２に貫装された第一の可動部材６０３が電極接触部６０４における弾性ソケット６０５側と反対側の端部６０４ａおよび係止突出部６０６の少なくとも一部を含むように構成された接触側部材６０７と他の部材６０８とから構成され、接触側部材６０７はその他の部材６０８とは別体である。図２０に示される実施例４−３に係る異方導電性部材６００では、接触側部材６０７と他の部材６０８との境界面は係止突出部６０６が設けられている部分に位置している。
【０１１３】
本実施例において、接触側部材６０７を構成する係止突出部６０６の少なくとも一部によって、接触側部材６０７は、弾性ソケットの厚さ方向中心向きと反対の向きへの移動が制限されるとともに、電極側板状部材６０１の貫通孔６０２から脱離しないように構成されている。
【０１１４】
本実施例４−３に係る異方導電性部材６００において、電極側板状部材６０１における第一義的な機能は、別体である接触側部材６０７と他の部材６０８とが分離しないようにすることである。電極側板状部材６０１によって接触側部材６０７とその他の部材６０８とは異方導電性部材６００が使用される前の状態においても離間することがなく、電気的に導通された状態が維持される。
【０１１５】
しかも、電極側板状部材６０１を弾性ソケット６０５から取り外した時に、第一の可動部材６０３におけるその他の部材６０８（当該その他の部材６０８は本実施例では第一の柱状体６１０を備えている。）は弾性ソケット６０５内部に埋設された状態を維持しつつ、接触側部材６０７を異方導電性部材６００から取り外すことができる。接触側部材６０７の端部６０４ａは、通常金属からなる電極と繰り返し接触を行うため、異方導電性部材６００における他の構成要素に比べて摩耗しやすく、耐久性が相対的に低い。通常の異方導電性部材は、この端部６０４ａに対応する部分である電極に接触する部分のみを交換可能な構成を有していないため、他の部分が使用可能な状態を維持していていも、この部分の耐久性によって異方導電性部材全体の寿命が決定されてしまう。これに対し、本実施例４−３に係る異方導電性部材６００はこの端部６０４ａ含む接触側部材６０７を取り外して交換することができるため、接触側部材６０７以外の部分を長期にわたって使用することが可能である。
【０１１６】
なお、本実施例４−３に係る異方導電性部材６００も、実施例４−２に係る異方導電性部材５００と同じようにプリロードを行って、基板接触部６０９と検査用基板との間における接触不良の発生を抑制してもよい。また、実施例３−３と同様に、バレルは単管構造であってもよい。この場合、図２８に示されるように、異方導電性部材が前述の変形例６に係る構成を備えていてもよい。すなわち、弾性ソケットが２分割され、２分割された弾性ソケットのうち基板接触部側の部材における太孔部の電極接触部側開口に、その部材と一体に部分閉塞部が設けられていてもよい。
【０１１７】
図１６から２０では、第一の可動部材が第一の柱状体を備える場合を具体例として示すことにより、実施例４−１から４−３について説明したが、第一の可動部材が第二の柱状体を備える構成であってもよい。
【０１１８】
図２１から２３は、実施例４−２および４−３に係る異方導電性部材において、第一の可動部材が第二の柱状体を備える場合の構成を概念的に示した、弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を示す図である。
【０１１９】
図２１に示される異方導電性部材は実施例４−２に対応するものであって、第一の可動部材が係止突出部を有し、この係止突出部は弾性ソケット上に位置し、それゆえ、第一の可動部材は弾性ソケットからその全体が露出している。かかる構成の場合には、図１７に示される異方導電性部材と対比すると明らかなように、使用前の状態における電気貫通部の長さが短くなっている。すなわち、使用状態において電極が電極側板状部材に接触してしまうことを回避することから、電極接触部の電極側板状部材からの突出長さはある程度確保する必要があるところ、図２１に示される異方導電性部材では、この突出した電極接触部の内部にすべり面を有する第二の柱状体の構造を組み込んでいるため、図１７に示される異方導電性部材との対比において第二の柱状体に相当する分だけ電気貫通部の全長を短縮することが実現されている。
【０１２０】
図２２に示される異方導電性部材は実施例４−３に対応するものであって、第二の柱状体における部分閉塞部を構成する部材が、第一の可動部材における接触側部材以外の部分をなす部材（他の部材）を構成している。この場合には、部分閉塞部を構成する部材が第一の柱状体に係止された状態を維持しつつ、接触側部材を他の部材と別体とすることにより接触側部材が取り外し交換可能となる。
【０１２１】
なお、図２１および図２２に示される異方導電性部材における第二の柱状体は、いずれも弾性ソケットからその全体が露出しているが、図２３に例示的に示されるように、第二の柱状体の一部、図２３では具体的には部分閉塞部および係止突出部の少なくとも一部とされている、が弾性ソケットの内部に埋設されていてもよい。この場合には、使用状態においても第二の柱状体の位置ずれが発生しにくく、使用状態において第二の柱状体の係止突出部同士が接触する危険を回避することができる。
【０１２２】
図２４は、本発明の第五の実施形態に係る異方導電性部材の一例（本明細書において、「実施例５」ともいう。）の弾性ソケットの厚さ方向の断面の一部を概念的に示す図である。
【０１２３】
図２４に示される実施例５に係る異方導電性部材７００は弾性ソケット７０１の測定装置の配線基板（検査用基板）に対する位置の固定方法に特徴を有する。すなわち、電極接触部７０２および基板接触部７０３が弾性ソケットの厚さ方向に近接するように電極接触部７０２に外力が付与されたとき、具体的には、電極（例えばはんだボール）が電極接触部７０２を弾性ソケット７０１の厚さ方向中心側に押し込んだときに、電極接触部７０２および基板接触部７０３の双方が弾性ソケットの厚さ方向の弾性ソケット７０１中心向きに変動するように、弾性ソケット７０１は、測定装置の配線基板（検査用基板）に対して、弾性ソケットの厚さ方向に変動可能に取り付けられている。かかる構成の場合には、弾性ソケット７０１の電極接触部側の主面７０１ａと基板接触部側の主面７０１ｂとが同程度に圧縮されうる。
【０１２４】
弾性ソケット７０１を構成する材料であるゴムやエラストマーなどのラバーは、おおよそ弾性体の硬度に逆比例して、圧縮量と弾性とが比例して変化する圧縮量の範囲（以下、「線形領域」ともいう。）が決まっており、線形領域を超えて圧縮すると圧縮量と弾性は非線形に変化し、この圧縮量の範囲である非線形領域では圧縮量に対して弾性が急激に増加する。そのため、弾性ソケット７０１を非線形領域で使用すると、電極接触部７０２とこれに接触する測定対象の電極（例えばはんだボール）との間に加わる荷重が急激に増加し、最悪の場合には電極の損傷などの問題が発生する。
【０１２５】
本実施例５のように弾性ソケット７０１が両方の主面側から圧縮可能である場合には、一方の主面側からのみ圧縮可能な構成の場合に比べて、線形領域となる可動範囲を最大２倍に拡張することが実現される。このことは、一方の主面のみが圧縮される場合に比べて、本実施例５に係る異方導電性部材７００は、弾性ソケット７０１の厚さを半分にしても同一の線形領域を確保しうることを意味する。
【０１２６】
なお、本実施例５に係る異方導電性部材７００は基板接触部７０３側の主面においても弾性ソケット７０１は相当量圧縮されることから、基板接触部７０３の検査用基板に対する相対位置が不安定になることが懸念される場合もある。そこで、図２５に示されるように、弾性ソケット７０１と測定装置の配線基板（検査用基板）７０４との間に剛性材料（ここでいう「剛性」とは電極側板状部材における剛性と同義である。）からなる基板側板状部材７０５を設けてもよい。この基板側板状部材７０５は基板接触部７０３に対応した配置で貫通孔７０６を有し、基板接触部７０３は、少なくともその一部が、基板側板状部材７０５の貫通孔７０６に挿設される。このため、基板接触部７０３の検査用基板７０４に対する位置ずれや傾きが生じにくくなる。なお、図２５では基板側板状部材７０５は検査用基板７０４上に載置され、貫通孔７０６内には基板接触部７０３の端部が位置しているが、これは一例であって、基板側板状部材７０５は弾性ソケット７０１と検査用基板７０４との間の任意の位置に設けられてもよい。
【０１２７】
なお、本実施例５においてプリロードを行ってもよい。
【０１２８】
図２６は、上記の各実施形態に係る異方導電性部材が備える第二の柱状体の具体的構造についての一例を概念的に示す断面図である。
第二の柱状体は、内部が中空の筒状をなし、内側面は第一の柱状体が備えるすべり軸と摺動接触するすべり面を備える。ここで第二の柱状体が備えるすべり面と第一の柱状体が備えるすべり軸は電気的に安定した摺動接触を得るために、金めっきなどが施されておることが望ましい。そのため、内側面にすべり面を備える第二の柱状体には、めっき液を還流するための貫通孔を設けることが望ましい。貫通孔は第二の柱状体の外側面に設けてもよいが、第二の柱状体が第二の可動部材に設けられていて、第二の柱状体に基板接触部が延設されている場合には、図２６に示されるように、基板接触部の中心に貫通孔を設けてもよい。
【０１２９】
図２７は、上記の各実施形態に係る異方導電性部材が備える第二の柱状体の具体的構造についての他の一例を概念的に示す断面図である。
第二の柱状体が第一の可動部材に設けられていて、第二の柱状体に電極接触部が延設されている場合には、電極接触部の中心に貫通孔があると微細な異物などが電気貫通部内に入り込むおそれがあるため、図２７に示されるように、電極接触部における電極と接触する部分とその他の部分とは別体とし、それぞれをめっき後にカシメなどにより一体としてもよい。
【符号の説明】
【０１３０】
１００  異方導電性部材
１０１  弾性ソケット
１０２  電気貫通部
１０３  第一の可動部材
１０４  第二の可動部材
１０５  電極接触部
１０６  基板接触部
１１２  すべり軸
１１３  すべり面
１１６  すべり面突出部
１１７  すべり軸係止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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