(57)【要約】【課題】  対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いる回収ヘッドとを提供しようとする。【解決手段】  従来の基板を液滴で処理する物質捕集装置にかわって、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面の一部に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、物質を取り込むことをできる液体を貯留できる回収液ボトルと、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、を備えるものとした。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置であって、
対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、
物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルと、
前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、
前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、
を備えることを特徴とする物質捕集装置。
【請求項２】
前記液送り機器が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる、
ことを特徴とする請求項１に記載の物質捕集装置。
【請求項３】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項２に記載の物質捕集装置。
【請求項４】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項３に記載の物質捕集装置。
【請求項５】
前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、
ことを特徴とする請求項４に記載の物質捕集装置。
【請求項６】
前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、
ことを特徴とする請求項５に記載の物質捕集装置。
【請求項７】
前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での前記離間距離より小さい、
ことを特徴とする請求項６に記載の物質捕集装置
【請求項８】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１に記載の物質捕集装置。
【請求項９】
前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の物質捕集装置。
【請求項１０】
前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の物質捕集装置。
【請求項１１】
前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１に記載の物質捕集装置。
【請求項１２】
対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集方法であって、
対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとを準備する準備工程と、
対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを相対移動させる移動工程と、
前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り工程と、
前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し工程と、
を備え、
前記移動工程と前記液送り工程と前記液戻し工程を同時に実施する、
ことを特徴とする物質捕集方法。
【請求項１３】
前記液送り工程が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる、
ことを特徴とする請求項１２に記載の物質捕集方法
【請求項１４】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１３に記載の物質捕集方法。
【請求項１５】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１４に記載の物質捕集方法。
【請求項１６】
前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、
前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる、
ことを特徴とする請求項１５に記載の物質捕集方法。
【請求項１７】
前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、
ことを特徴とする請求項１６に記載の物質捕集方法。
【請求項１８】
前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での前記離間距離より小さい、
ことを特徴とする請求項１７に記載の物質捕集方法
【請求項１９】
前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、
前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、
前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１２に記載の物質捕集方法。
【請求項２０】
前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して（前記捕集面の全域で）前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、
前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる、
ことを特徴とする請求項１２に記載の物質捕集方法。
【請求項２１】
前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる、
ことを特徴とする請求項１２に記載の物質捕集方法。
【請求項２２】
前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である、
ことを特徴とする請求項１２に記載の物質捕集方法。
【請求項２３】
対象物の表面に付着した物質を捕集するために用いる回収ヘッドであって、
対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられ、
物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させ、
前記第二開口から吸い込んだ前記液体を回収液ボトルに戻すことができる、
ことを特徴とする回収ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いる回収ヘッドとに係る。
【背景技術】
【０００２】
対象物の表面に付着した物質を捕集したいという要請がある。
例えば、配管の外周面に付着した物質を捕集し、物質の物性を特定しまたは物質の量を測定する。この様にすると、配管の内部から外部へ漏れでた物質を特定し、または物質の量を測定する。
例えば、配管の内周面に付着した物質を捕集し、物質の物性を特定しまたは物質の量を測定する。この様にすると、配管の内周面に堆積した物質を特定し、または物質の量を測定する。
【０００３】
例えば、配管の内部に特定のガスを導入し、配管の外周面に付着した物質を捕集し、物質の物性を特定する。この様にすると、配管の壁に生じた微細なクラックを発見できる。
【０００４】
物質を取り込むことができる液体をスポンジに吸わせて、スポンジで対象物の表面を拭い、スポンジを絞り液体を回収する。液体を液体クロマトグラフィーに通して、液体に取り込まれた物質を特定することが考えられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、簡易な構成で、対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いる回収ヘッドとを提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置を、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと、物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルと、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り機器と、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し機器と、を備えるものとした。
【０００７】
上記本発明の構成により、前記回収ヘッドが、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられる。前記回収液ボトルが、物質を取り込むことができる液体を貯留できる。前記液送り機器が、前記液体を前記第一開口から噴き出させる。前記液戻し機器が、前記第二開口から吸い込んだ液体を前記回収液ボトルに戻す。
その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
【０００８】
以下に、本発明の実施形態に係る複数の物質捕集装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【０００９】
本発明に実施形態に係る物質捕集装置は、前記液送り機器が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。
上記実施形態の構成により、前記液送り機器が、前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。
その結果、前記第一開口から噴き出た前記液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
【００１０】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭が略長方形である。前記第一開口が、前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が、前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００１１】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭が略長方形である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、前記液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００１２】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる。
上記実施形態の構成により、前記回収へッドに設けられた案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。
その結果、前記離間距離を容易に維持できる。
【００１３】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。
上記実施形態の構成により、前記回収ヘッドに設けられた柔軟材料でできる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ、対象物の表面に接触できる面を形成する。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００１４】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００１５】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集装置は、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。
その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明に係る基板を液滴で処理する物質捕集方法を、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとを準備する準備工程と、
対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを移動させる移動工程と、前記液体を前記第一開口から噴き出させる液送り工程と、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す液戻し工程と、
を備え、前記移動工程と前記液送り工程と前記液戻し工程を同時に実施する、
ものとした。
【００１７】
上記本発明の構成により、回収ヘッドが、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられる。回収液ボトルが、物質を取り込むことができる液体を貯留できる。対象物の表面に前記捕集面を対面させて対象物の表面に沿って前記回収ヘッドを移動させ、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んだ前記液体を前記回収液ボトルに戻す。
その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
【００１８】
以下に、本発明の実施形態に係る複数の物質捕集方法を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【００１９】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記液送り工程が前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。
上記実施形態の構成により、前記回収液ボトルから吸い込んだ前記液体を前記第一開口から噴き出させる。
その結果、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
【００２０】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００２１】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面である。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００２２】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる、前記移動工程が前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる。
上記実施形態の構成により、前記回収へッドに設けられる案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。前記案内部を対象物の表面に倣って移動させる。
その結果、前記離間距離を容易に維持できる。
【００２３】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記回収ヘッドが前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。
上記実施形態の構成により、前記回収ヘッドに設けられる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ、対象物の表面に接触できる面を形成する。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００２４】
本発明に実施形態に係る物質捕集方法は、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が、前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００２５】
さらに、本発明の実施形態に係る物質捕集方法は、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。
その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００２６】
上記目的を達成するため、本発明に係る基板を液滴で処理する回収ヘッドを、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し前記捕集面に第一開口と第二開口とを設けられ、物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻すことができる、ものとした。
【００２７】
上記本発明の構成により、形成される捕集面が、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる。前記第一開口と前記第二開口とが、前記捕集面にを設けらる。物質を取り込むことができる液体を前記第一開口から噴き出させる。前記第二開口から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻すことができる。
その結果、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
【００２８】
以下に、本発明の実施形態に係る複数の回収ヘッドを説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【００２９】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００３０】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ面であって、前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、、前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記捕集面が略長方形の輪郭を持つ。前記第一開口が前記略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口である。前記第二開口が前記第一開口を間に挟んで前記略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口である。
その結果、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００３１】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記回収へッドが対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる部分である案内部を設けられる。
上記実施形態の構成により、
前記回収へッドに設けられる案内部が、対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる。
その結果、前記離間距離を容易に維持できる。
【００３２】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する囲い部を設けられる。
上記実施形態の構成により、回収ヘッドに設けられる囲い部が、前記捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００３３】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
上記実施形態の構成により、前記捕集面の輪郭の付近での離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい。
その結果、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００３４】
さらに、本発明の実施形態に係る回収ヘッドは、前記第二開口が前記第一開口の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口である。
上記実施形態の構成により、前記第二開口のスリット状の部分が前記第一開口の周囲を囲う様に延びる。
その結果、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【発明の効果】
【００３５】
以上説明したように本発明に係る物質捕集装置とは、その構成により、以下の効果を有する。
前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
また、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記回収液ボトルに駐留する前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む１対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。
また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００３６】
以上説明したように本発明に係る物質捕集方法は、その構成により、以下の効果を有する。
前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持できる前記回収ヘッドを対象物の表面に沿って移動させながら、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
また、前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持できる前記回収ヘッドを対象物の表面に沿って移動させながら、前記回収液ボトルに駐留する前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて前記第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む１対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。
また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
【００３７】
以上説明したように本発明に係る回収ヘッドは、その構成により、以下の効果を有する。
前記回収ヘッドを対象物の表面に接近させるときに前記第一開口と前記第二開口とを設けられる前記捕集面が対象物の表面との間に所定の離間距離を維持でき、前記液体を前記第一開口から噴き出させ、前記第二開口から吸い込んで前記回収液ボトルに戻す様にしたので、前記第一開口から噴き出た液体が対象物の表面と前記捕集面との間にある所定の前記離間距離の隙間を流れて第二開口から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が前記回収液ボトルに溜まり、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面に長辺に平行に延びるスリット状の前記第一開口と前記第一開口を間に挟む１対のスピットである前記第二開口とを設ける様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに前記離間距離を維持し易く、液体が前記第一開口から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、前記案内部が対象物の表面に倣って移動して前記離間距離を維持できる様にしたので、前記離間距離を容易に維持できる。
また、捕集面の輪郭を囲う前記囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、前記捕集面の輪郭の付近での前記離間距離が前記捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が前記捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
また、第二開口が第一開口の周囲を囲う様にしたので、液体が前記第一開口から噴き出て周囲を囲う前記第二開口に吸い込まれて、物質を捕集できる。
従って、簡易な構成で、対象物の表面に付着した物質を捕集する物質捕集装置と物質捕集方法とそれに用いるのに適する回収ヘッドとを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る物質捕集装置の概念図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の平面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の側面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の正面図である。
【図５】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の部分拡大断面図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその２の部分拡大断面図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその３の部分拡大断面図である。
【図８】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその４の部分拡大断面図である。
【図９】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその５の部分拡大断面図である。
【図１０】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその６の部分拡大断面図である。
【図１１】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその７の部分拡大断面図である。
【図１２】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその８の部分拡大断面図である。
【図１３】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその９の平面図である。
【図１４】本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその９の側面図である。
【図１５】本発明の第二の実施形態に係る物質捕集装置の概念図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る物質捕集方法のフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
【００４０】
最初に、本発明の実施形態にかかる物質捕集装置を、図を基に、説明する。
図１は、本発明の第一の実施形態に係る物質捕集装置の概念図である。図２は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の平面図である。図３は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の側面図である。図４は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の正面図である。図５は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の部分拡大断面図である。
【００４１】
物質捕集装置は、対象物１０の表面Ｓに付着した物質を捕集する装置である。
例えば、対象物１０は配管である。
例えば、表面Ｓは、対象物の外面である。
例えば、表面Ｓは、配管の外周面である。
例えば、表面Ｓは、配管の内周面である。
物質捕集装置は、回収ヘッド２０と回収液ボトル３０と液送り機器４０と液戻し機器５０とで構成される。
【００４２】
回収ヘッド２０は、対象物１０に接近させるときに対象物１０の表面Ｓに対面して表面との間に所定の離間距離Ｄを維持できる面である捕集面２２を形成し、捕集面２２に第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられるものである。
回収ヘッド２０は、対象物１０に接近させるときに対象物１０の表面Ｓに対面して表面との間に所定の離間距離Ｄを維持できる面である捕集面２２を形成し、捕集面２２に内部で互いに連通しない第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられるものであってもよい。
【００４３】
回収ヘッド２０は回収ヘッド本体２１で構成される。
回収ヘッド本体２１は、捕集面２２と第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２と液送り回路２４と液戻し回路２５とを形成する。
液送り回路２４は、第一開口Ｏ１と後述する液送り機器４０とを連通する内部回路である。
液戻し回路２５は、第二開口Ｏ２と後述する液戻し機器５０とを連通する内部回路である。
【００４４】
液体６０が、第一開口Ｏ１から噴き出し、第二開口Ｏ２から吸い込まれる。
液体６０が、第一開口Ｏ２から噴き出し、対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間に形成される隙間空間に滞留し、第二開口Ｏ２から吸い込まれる。
【００４５】
回収へッド２０が、対象物１０の表面Ｓに倣って移動して離間距離Ｄを維持できる部分である案内部２３を設けられてもよい。
回収へッド２０が、対象物１０の表面Ｓに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Ｄを維持できる部分である案内部２３を設けられてもよい。
案内部２３は、対象物１０の表面Ｓを摺動する面をもつ部分であってよい。
案内部２３は、対象物１０の表面Ｓを転動する車輪をもつ部分であってもよい。
案内部２３は、対象物１０の表面Ｓを転動する球体をもつ部分であってもよい。
【００４６】
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第二開口Ｏ２が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口Ｏ２が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であってもよい。
【００４７】
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口であってもよい。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の開口であってもよい。
【００４８】
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口Ｏ２が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の部分を持つ開口であり、第一開口Ｏ１が第二開口Ｏ２を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の部分を持つ開口であってもよい。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口Ｏ２が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、、第一開口Ｏ１が第二開口Ｏ１を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の開口であってもよい。
【００４９】
第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１の周囲を囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。
第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１の周囲を環状に囲う様に延びるスリット状の部分を持つ開口であってもよい。
【００５０】
回収ヘッド２０が、捕集面２２の輪郭を囲う様に設けられ対象物１０の表面Ｓに接触できる面を形成する囲い部２６を設けられてもよい。
囲い部２６は、柔軟材料でできていてもよい。
【００５１】
捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面２２の輪郭より内側での離間距離Ｄより小さくてもよい。
【００５２】
捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが、捕集面２２の輪郭より内側での離間距離Ｄより大きくてもよい。
【００５３】
以下に、本発明の実施形態にかかる各種の対応の回収ヘッドを、図を基に、説明する。
図２は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の平面図である。図３は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の側面図である。図４は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の正面図である。図５は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその１の部分拡大断面図である。図６は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその２の部分拡大断面図である。図７は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその３の部分拡大断面図である。図８は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその４の部分拡大断面図である。図９は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその５の部分拡大断面図である。図１０は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその６の部分拡大断面図である。図１１は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその７の部分拡大断面図である。図１２は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその８の部分拡大断面図である。図１３は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその９の平面図である。図１４は、本発明の第一の実施形態に係る回収ヘッドその９の側面図である。
【００５４】
その１のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図２乃至図５は、その１のタイプの回収ヘッド２０を示す。
回収ヘッド２０は、対象物１０に接近させるときに対象物１０の表面Ｓに対面して表面との間に所定の離間距離Ｄを維持できる面である捕集面２２を形成し、捕集面２２に内部で互いに連通しない第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる。
回収へッド２０が、対象物１０の表面Ｓに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Ｄを維持できる部分である案内部２３を設けられる。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の開口である。
【００５５】
その２のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図６は、その２のタイプの回収ヘッド２０を示す。
捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面の輪郭より内側での離間距離Ｄより小さい。
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００５６】
その３のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図７は、その３のタイプの回収ヘッド２０を示す。
捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面２２の輪郭より内側での離間距離Ｄより大きい。
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００５７】
その４のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図８は、その４のタイプの回収ヘッド２０を示す。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第二開口Ｏ２が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、、第一開口Ｏ１が第二開口Ｏ２を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の開口である、
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００５８】
その５のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図９は、その５のタイプの回収ヘッド２０を示す。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状の開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１の周囲を囲う様に延びるスリット状の開口である。
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００５９】
その６のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図１０は、その６のタイプの回収ヘッド２０を示す。
回収ヘッド２０が、捕集面の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する柔軟材料でできた囲い部２６を設けられる、
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００６０】
ぞの７のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図１１は、その７のタイプの回収ヘッド２０を示す。
捕集面は円の輪郭をもつ面であり、第一開口Ｏ１が円形の輪郭をもつ開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１の周囲を環状に囲う様に延びるスリット状の開口である。
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。  
【００６１】
その８のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図１２は、その８のタイプの回収ヘッド２０を示す。
回収ヘッド２０が、捕集面２２の輪郭を囲う様に設けられ対象物の表面に接触できる面を形成する柔軟材料でできた囲い部２６を設けられる。
その他の構造は、その６のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００６２】
その９のタイプの回収ヘッド２０を説明する。
図１３乃至図１４は、その９のタイプの回収ヘッド２０を示す。
回収ヘッド２０は、対象物１０に接近させるときに対象物１０の表面Ｓに対面して表面との間に所定の離間距離Ｄを維持できる面である捕集面２２を形成し、捕集面２２に内部で互いに連通しない第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる。
回収へッド２０が、対象物１０の表面Ｓに倣って移動して、捕集面の全域で離間距離Ｄを維持できる部分である案内部２３を設けられる。
捕集面２２が略長方形の輪郭を持つ面であって、第一開口Ｏ１が略長方形の長辺に平行に延びるスリット状開口であり、第二開口Ｏ２が第一開口Ｏ１を間に挟んで略長方形の長辺に平行に延びる１対のスリット状の開口である。
回収ヘッド２０が、回収ヘッド本体２１と１対のガイド部材２７とで構成されてよい。
１対のガイド部材２７が、回収ヘッド本体２１を間に挟む姿勢で固定される。
１対のガイド部材２７が、回収ヘッド本体２１を間に挟む姿勢で固定される板材であってもよい。
１対の案内部２３が、ガイド部材２７の対象物１０に対面する端面に設けられる。
回収ヘッド２０は、１対のガイド部材２７の４つの案内部２３を対象物１０の表面Ｓに各々に倣って、相対移動する。
その９のタイプの回収ヘッド２０は、対象物１０の表面が所定の曲率をもつ場合に、用いられる。
その他の構造は、その１のタイプの回収ヘッド２０の構造と同じなので、説明を省略する。
【００６３】
回収液ボルト３０は、物質を取り込むことができる液体を貯留できる容器状のものである。
【００６４】
液送り機器４０は、液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させる機器である。
液送り機器４０は、回収液ボルト３０から吸い上げた液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させてもよい。
液送り機器４０は、液送り回路４１と液送りポンプ４２とで構成される。
液送り回路４１は、回収液ボトル３０と回収ヘッド２０とを連通する回路である。
液送りポンプ４２は、液送り回路４１の途中に設けられ、液を回収ヘッド２０の側へ圧送するポンプである。
【００６５】
液戻し機器５０は、第二開口Ｏ２から吸い込んだ液体６０を回収液ボトル３０に戻す機器である。
液戻し機器５０は、液戻し回路５１とエジェクタ５２とコンプレッサ５３とで構成される。
液戻し回路５１は、回収液ボトル３０と回収ヘッド２０とを連通する回路である。
エジェクタ５２は、液戻し回路５１の途中に設けられ、回収ヘッド２０の内部の液を回収液ボトル３０へ移動させる機器である。
コンプレッサ５３は、エジェクタ５２を作動させる圧縮空気を供給する機器である。
【００６６】
次に、本発明の第二の実施形態にかかる物質捕集装置について、図を基に説明する。
物質捕集装置は、対象物１０の表面Ｓに付着した物質を捕集する装置である。
例えば、対象物１０は配管である。
例えば、表面Ｓは、対象物の外面である。
例えば、表面Ｓは、配管の外周面である。
例えば、表面Ｓは、配管の内周面である。
物質捕集装置は、回収ヘッド２０と回収液ボトル３０と液送り機器４０と液戻し機器５０とで構成される。
回収ヘッド２０と回収液ボトル３０と液戻し機器５０の構造は、第一の実施形態にかかる物質捕集装置のものと同じなので、説明を省略する。
【００６７】
液送り機器４０は、回収液ボトル３０から吸い込んだ液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させる機器である。
液送り機器４０は、液送り回路４１と液送りポンプ４２と原液ボトル４３とで構成される。
液送り回路４１は、原液ボトル４３と回収ヘッド２０とを連通する回路である。
液送りポンプ４２は、液送り回路４１の途中に設けられ、液を回収ヘッド２０の側へ圧送するポンプである。
原液ボトル４３は、液を貯留するボトルである。
【００６８】
以下に、本発明の実施形態にかかる物質捕集方法を、図を基に、説明する。
図１６は、本発明の実施形態に係る物質捕集方法のフローチャート図である。
本発明の実施形態にかかる物質捕集方法は、準備工程Ｓ１０と移動工程Ｓ２０と液送り工程Ｓ３０と液戻し工程Ｓ４４０とで構成される。
【００６９】
準備工程Ｓ１０は、物質捕集装置を準備する工程である、
物質捕集装置は、対象物に接近させるときに対象物の表面に対面して表面との間に所定の離間距離を維持できる面である捕集面を形成し捕集面に第一開口と第二開口とを設けられた回収ヘッドと物質を取り込むことができる液体を貯留できる回収液ボトルとで構成されてもよい。
物質捕集装置の詳細は、上述したので、説明を省略する。
【００７０】
移動工程Ｓ２０は、対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って回収ヘッドを相対移動させる工程である。
対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って回収ヘッドを移動させてもよい。
対象物の表面に捕集面を対面させて対象物の表面に沿って所定の領域の中を回収ヘッドを相対移動させてもよい。
例えば、対象物が直線状に延びる円管であり、表面がその外周面であり、捕集面の輪郭が略長方形であり、第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２がスリット状の開口であるときに、略長方形の長辺は円管の軸心に平行になるように姿勢を維持して、回収ヘッドを相対移動させる。
【００７１】
液送り工程Ｓ３０は、液体を第一開口Ｏ１から噴き出させる工程である。
【００７２】
液戻し工程Ｓ４０は、第二開口Ｏ２から吸い込んだ液体を回収液ボトルに戻す工程である。
【００７３】
移動工程Ｓ２０と液送り工程Ｓ３０と液戻し工程Ｓ４０を同時に実施する、
この様にすると、対象物の表面に付着する物質を液に取り込み、液を回収液ボトルに戻すことができる。
液回収ボトルんに溜まった液を検査すると、捕集した物質の種類を特定し、また捕集した物質の量を計量できる。
その結果、回収ヘッドを相対移動させた対象物１０の表面Ｓの領域に付着する物質を特定し、物質の単位面積あたりの濃度を計量できる。
【００７４】
上述の実施形態に係る物質捕集装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに接近させるときに第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる捕集面２２が対象物１０の表面Ｓとの間に所定の離間距離Ｄを維持でき、液体を第一開口Ｏ１から噴き出させ、第二開口Ｏ２から吸い込んで回収液ボトル３０に戻す様にしたので、第一開口Ｏ１から噴き出た液体６０が対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間にある所定の離間距離Ｄの隙間を流れて第二開口Ｏ２から吸い込んで、物質を取り込んだ液体６０が回収液ボトル３０に溜まり、物質を捕集できる。
また、回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに接近させるときに第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる捕集面２２が対象物１０の表面Ｓとの間に所定の離間距離Ｄを維持でき、回収液ボトル３０に駐留する液体を第一開口Ｏ１から噴き出させ、第二開口Ｏ２から吸い込んで回収液ボトル３０に戻す様にしたので、第一開口Ｏ１から噴き出た液体６０が対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間にある所定の離間距離Ｄの隙間を流れて第二開口Ｏ２から吸い込んで、物質を取り込んだ液体６０が回収液ボトル３０に溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体６０が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第一開口Ｏ１を間に挟む１対のスリット状の第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、案内部２３が対象物１０の表面Ｓに倣って移動して離間距離Ｄを維持できる様にしたので、離間距離Ｄを容易に維持できる。
また、捕集面２２の輪郭を囲う囲い部分が対象物の表面に接触できる様にしたので、液体が捕集面２２の輪郭から漏れにくくなる。
また、捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面２２の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体６０が捕集面２２の輪郭から漏れにくくなる。
【００７５】
以上説明したように本発明に係る物質捕集方法を用いれば、以下の効果を有する。
回収ヘッド２０を対象物の表面に接近させるときに第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる捕集面２２が対象物１０の表面Ｓとの間に所定の離間距離Ｄを維持できる回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに沿って移動させながら、液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させ、第二開口Ｏ２から吸い込んで回収液ボトル３０に戻す様にしたので、第一開口Ｏ２から噴き出た液体６０が対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間にある所定の離間距離Ｄの隙間を流れて第二開口Ｏ２から吸い込んで、物質を取り込んだ液体６０が回収液ボトル３０に溜まり、物質を捕集できる。
また、回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに接近させるときに第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる捕集面２２が対象物１０の表面Ｓとの間に所定の離間距離Ｄを維持できる回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに沿って移動させながら、回収液ボトル３０に駐留する液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させ、第二開口Ｏ２から吸い込んで回収液ボトル３０に戻す様にしたので、第一開口Ｏ１から噴き出た液体６０が対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間にある所定の離間距離Ｄの隙間を流れて第二開口Ｏ２から吸い込んで、物質を取り込んだ液体６０が回収液ボトル３０に溜まりつつ循環し、少ない液体の量で物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体６０が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第一開口Ｏ１を間に挟む１対のスピットである第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面に対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体６０が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、案内部２３が対象物１０の表面Ｓに倣って移動して離間距離を維持できる様にしたので、離間距離を容易に維持できる。
また、捕集面２２の輪郭を囲う囲い部２６が対象物１０の表面に接触できる様にしたので、液体６０が捕集面２２の輪郭から漏れにくくなる。
また、捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面２２の輪郭より内側での離間距離Ｄより小さい様にしたので、液体６０が捕集面２２の輪郭から漏れにくくなる。
【００７６】
以上説明したように本発明に係る回収ヘッドは、その構成により、以下の効果を有する。
回収ヘッド２０を対象物１０の表面Ｓに接近させるときに第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とを設けられる捕集面２２が対象物１０の表面Ｓとの間に所定の離間距離Ｄを維持でき、液体６０を第一開口Ｏ１から噴き出させ、第二開口Ｏ２から吸い込んで回収液ボトル３０に戻す様にしたので、第一開口Ｏ１から噴き出た液体６０が対象物１０の表面Ｓと捕集面２２との間にある所定の離間距離Ｄの隙間を流れて第二開口Ｏ２から吸い込んで、物質を取り込んだ液体が回収液ボトル３０に溜まり、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面Ｓに対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体６０が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、略長方形の輪郭をもつ捕集面２２に長辺に平行に延びるスリット状の第一開口Ｏ１と第一開口Ｏ１を間に挟む１対のスピットである第二開口Ｏ２とが設けられる様にしたので、特に略長方形の短辺に沿って曲率の大きい表面Ｓに対面させるときに離間距離Ｄを維持し易く、液体６０が第一開口Ｏ１から噴き出て略長方形の短辺に平行に流れて第二開口Ｏ２に吸い込まれて、物質を捕集できる。
また、案内部２３が対象物の表面に倣って移動して離間距離Ｄを維持できる様にしたので、離間距離Ｄを容易に維持できる。
また、捕集面２２の輪郭を囲う囲い部分が対象物１０の表面Ｓに接触できる様にしたので、液体が捕集面２２の輪郭から漏れにくくなる。
また、捕集面２２の輪郭の付近での離間距離Ｄが捕集面の輪郭より内側での離間距離より小さい様にしたので、液体が捕集面の輪郭から漏れにくくなる。
【００７７】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
【符号の説明】
【００７８】
Ｓ  表面
Ｄ  離間距離
１０  対象物
２０  回収ヘッド
２１  回収ヘッド本体
２２  捕集面
２３  案内部
２４  液送り回路
２５  液戻し回路
２６  囲い部
２７  ガイド部材
３０  回収液ボトル
４０  液送り機器
４１  液送り回路
４２  液送りポンプ
４３  原液ボトル
５０  液戻し機器
５１  液戻し回路
５２  エジェクタ
５３  コンプレッサ
６０  液
Ｓ１０  準備工程
Ｓ２０  移動工程
Ｓ３０  液送り工程
Ｓ４０  液戻し工程
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７９】
【特許文献１】特開２０１１−５３２１７
【特許文献２】特開平６−１３８２３９
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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