【手続補正書】
【提出日】平成26年4月7日(2014.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動中心軸から離れるにつれて段階的に小さくなる形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とするアクチュエーター。
【請求項２】
前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動中心軸から離れるにつれて２段階小さくなる請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項３】
前記板厚方向からの平面視における前記可動部の外形は、主として、前記回動中心軸に平行な線分と、前記回動中心軸に対して垂直な線分とで構成されている請求項１または２に記載のアクチュエーター。
【請求項４】
前記可動部の板面は、シリコンの（１００）面で構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項５】
前記可動部の側面は、主として、シリコンの（１１１）面で構成されている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項６】
前記可動部の側面には、前記可動部の板面に直交する断面においてＶ字状をなす溝が形成されている請求項５に記載のアクチュエーター。
【請求項７】
前記連結部の表面は、シリコンの（１００）面および（１１１）面で構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項８】
前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記回動中心軸に対して対称な形状をなしている請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項９】
前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記可動部の中心を通りかつ前記回動中心軸に対して垂直な線分に対して対称な形状をなしている請求項８に記載のアクチュエーター。
【請求項１０】
回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを辺とする四角形の四隅が欠けた外形を有し、当該欠けた部分の外形が前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを交互に接続した階段状の形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とするアクチュエーター。
【請求項１１】
回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、四隅のそれぞれに複数の角を含む階段状の外形を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とするアクチュエーター。
【請求項１２】
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動中心軸から離れるにつれて段階的に小さくなる形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする光スキャナー。
【請求項１３】
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを辺とする四角形の四隅が欠けた外形を有し、当該欠けた部分の外形が前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを交互に接続した階段状の形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする光スキャナー。
【請求項１４】
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、四隅のそれぞれに複数の角を含む階段状の外形を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする光スキャナー。
【請求項１５】
光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動中心軸から離れるにつれて段階的に小さくなる形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１６】
光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを辺とする四角形の四隅が欠けた外形を有し、当該欠けた部分の外形が前記回動中心軸に平行な線分と前記回動中心軸に垂直な線分とを交互に接続した階段状の形状を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１７】
光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、四隅のそれぞれに複数の角を含む階段状の外形を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のアクチュエーターでは、前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記回動中心軸に対して対称な形状をなしていることが好ましい。
これにより、可動部の重心を可動部の回動中心軸上に位置させ、可動部の回動を円滑なものとすることができる。
本発明のアクチュエーターでは、前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記可動部の中心を通りかつ前記回動中心軸に対して垂直な線分に対して対称な形状をなしていることが好ましい。
これにより、可動部の設計が容易となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の光スキャナーは、光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、四隅のそれぞれに複数の角を含む階段状の外形を有し、
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする。
このように構成された光スキャナーによれば、製造における可動部の形状ばらつきを小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
言い換えると、平面視において、可動板２１（本体部２１２）の外周に沿って、欠損部２５１、突出部２１３、欠損部２５２、突出部２１６、欠損部２５４、突出部２１４、欠損部２５３、突出部２１５がこの順で並んで設けられている。
また、欠損部２５１と欠損部２５２とは突出部２１３を介して対向している。また、欠損部２５２と欠損部２５４とは突出部２１６を介して対向している。また、欠損部２５３と欠損部２５４とは突出部２１４を介して対向している。また、欠損部２５１と欠損部２５３とは突出部２１５を介して対向している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
後述に詳述するように、板面がシリコンの（１００）面で構成されたシリコン基板をその両面側から異方性エッチングするため、可動板２１、支持部２２および１対の連結部２３、２４を形成する際に、シリコン基板の両面に形成したマスクの形成位置がずれることがある。このように、シリコン基板の両面のマスクの形成位置がずれると、各梁部材２３１、２３２のシリコンの（１１１）面で構成されるべき１対の側面２３１３、２３１４、２３２３、２３２４に段差が生じてしまう。上記式（１）を満たすことにより、シリコン基板の両面に形成したマスクの形成位置がずれた場合に、一方の側面に形成された段差と、他方の側面に形成された段差とをシリコン基板の厚さ方向にずらすことができる（図１２（ｄ）参照）。そのため、可動板２１の回動時における各梁部材２３１、２３２に生じる応力集中を緩和することができる。
このようにして、光スキャナー１は、駆動時の応力集中による破損を比較的簡単に防止することができる。
また、１対の梁部材２３１、２３２の上側の端同士の間の距離をＷ２としたとき、下記式（２）を満たす。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
このような駆動部４によって、次のように可動板２１が回動する。
まず、図示しない電源によりコイル４２に例えば交番電圧を印加する。これにより、コイル４２の上側（可動板２１側）がＮ極、下側がＳ極となる第１の磁界と、コイル４２の上側がＳ極、下側がＮ極となる第２の磁界とが、交互にかつ周期的に発生する。
第１の電界では、永久磁石４１のＳ極側がコイル４２に引きつけられ、反対にＮ極側がコイル４２から遠ざかるように、可動板２１が軸線Ｘを中心に図２にて反時計回りに回動する（第１の状態）。反対に、第２の電界では、永久磁石４１のＮ極側がコイル４２に引きつけられ、反対にＳ極側がコイル４２から遠ざかるように、可動板２１が軸線Ｘを中心に図２にて時計回りに回動する（第２の状態）。このような第１の状態と第２の状態とが交互に繰り返され、可動板２１が軸線Ｘを中心に回動する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
−Ａ６−
次に、レジスト膜６１、６２Ａを除去する。これにより、図６（ｇ）に示すように、シリコン基板１０２は、その上面が窒化膜５１で覆われ、下面が窒化膜５２Ａで覆われた状態となる。
レジスト膜６１、６２Ａの除去方法としては、特に限定されないが、例えば、硫酸による洗浄、Ｏ２アッシング等が挙げられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
−Ａ７−
次に、窒化膜５１、５２Ａを除去する。これにより、図７（ｂ）に示すように、シリコン基板１０２Ａの上面および下面が露出した状態となる。
窒化膜５１、５２Ａの除去方法としては、特に限定されないが、上記工程Ａ５と同様、例えば、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）、ＣＦ４を用いたドライエッチング等が挙げられる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
以下、連結部２３Ａについて代表的に説明し、連結部２４Ａについては、連結部２３Ａと同様であるので、その説明を省略する。
連結部２３Ａは、軸線Ｘに沿って設けられている。また、連結部２３Ａは、その横断面形状が台形をなしている。
より具体的には、連結部２３Ａは、軸線Ｘに平行な方向からみたときに（言い換えると、図１４に示す断面でみたとき）、上下に延び軸線Ｘを通る線分に対して対称（図１４にて左右対称）な形状をなしている。
また、図１４に示す断面において、連結部２３Ａ全体の幅は、下側から上側に向けて拡がって（漸増して）いる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
第３実施形態の光スキャナーは、可動板の平面視形状が異なる以外は、第１実施形態の光スキャナー１とほぼ同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の光スキャナーに備えられた可動板２１Ｂは、図１５に示すように、板厚方向からの平面視にて、四隅の部分が３段階の階段状をなす。すなわち、四隅の部分にはそれぞれ７つの角が含まれる。さらに、言い換えると、可動板２１Ｂは、板厚方向からの平面視にて、軸線Ｘ方向での長さ（幅）が線分Ｙ方向に沿って中央側から両端側に離れるにつれて３段階で段階的に小さくなり、結果として４つの長さ（幅）の値をとる。また、可動板２１Ｂは、板厚方向からの平面視にて、線分Ｙ方向での長さ（幅）が軸線Ｘ方向に沿って中央側から両端側に離れるにつれて３段階で段階的に小さくなり、結果として４つの長さ（幅）の値をとる。これにより、可動板２１Ｂの光反射領域をより効率的に確保することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2012220796.tif 000001