【手続補正書】
【提出日】平成26年9月3日(2014.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を偏向する偏向手段と、該偏向手段に光束を導光する入射光学系と、前記偏向手段により偏向された光束を集光する結像光学系と、を備える走査光学系の製造方法であって、
主走査方向の各像高位置において、前記結像光学系により集光される光束を、主走査方向の幅が該光束のスポット径よりも小さい受光領域で受光して、像高位置毎のピーク光量を取得する第１の工程と、
前記第１の工程で得られるピーク光量の各像高位置に対する分布データを平滑化する第２の工程と、
前記第２の工程で得られるデータに基づいて、前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査する第３の工程と、を有することを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記第２の工程では、前記ピーク光量の分布データの移動平均を算出することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記第２の工程では、前記ピーク光量の分布データを一定の評価幅で関数近似することを特徴とする請求項１又は２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程では、前記ピーク光量の分布データを周波数分解することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
前記第３の工程では、前記第２の工程で得られるデータを微分して各像高位置に対するピーク光量の変化量を求め、該ピーク光量の変化量に基づいて前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記第３の工程は、前記第２の工程で得られるデータに対して最大振幅の規格を設け、該最大振幅の規格に基づいて前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項７】
前記第３の工程では、前記第２の工程で得られるデータにおいて、所定の範囲から外れているデータの有無に基づいて前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項８】
前記第３の工程では、前記第２の工程で得られるデータにおいて、各像高位置に対する一定の評価幅での最大値と最小値との差分が所定範囲内に含まれるか否かに基づいて前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項９】
前記第１の工程では、前記結像光学系の像面位置に対して光軸方向にずれて配置された受光領域で、前記結像光学系により集光される光束を受光することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項１０】
光束を偏向する偏向手段と、該偏向手段に光束を導光する入射光学系と、前記偏向手段により偏向された光束を集光する結像光学系と、を備える走査光学系の検査装置であって、
主走査方向の各像高位置において、前記結像光学系により集光される光束を、主走査方向の幅が該光束のスポット径よりも小さい受光領域で受光する受光部と、
前記受光部の出力に基づいて、像高位置毎のピーク光量を取得する第１の処理と、該第１の処理で得られるピーク光量の各像高位置に対する分布データを平滑化する第２の処理と、該第２の処理で得られるデータに基づいて、前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査する第３の処理と、を行う演算部と、を有することを特徴とする検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】走査光学系の製造方法および走査光学系の検査装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は、装置構成が簡易であり、容易に良否検査が可能な走査光学系の製造方法および走査光学系の検査装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る走査光学系の製造方法は、光束を偏向する偏向手段と、該偏向手段に光束を導光する入射光学系と、前記偏向手段により偏向された光束を集光する結像光学系と、を備える走査光学系の製造方法であって、主走査方向の各像高位置において、前記結像光学系により集光される光束を、主走査方向の幅が該光束のスポット径よりも小さい受光領域で受光して、像高位置毎のピーク光量を取得する第１の工程と、前記第１の工程で得られるピーク光量の各像高位置に対する分布データを平滑化する第２の工程と、前記第２の工程で得られるデータに基づいて、前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査する第３の工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明に係る走査光学系の検査装置は、光束を偏向する偏向手段と、該偏向手段に光束を導光する入射光学系と、前記偏向手段により偏向された光束を集光する結像光学系と、を備える走査光学系の検査装置であって、主走査方向の各像高位置において、前記結像光学系により集光される光束を、主走査方向の幅が該光束のスポット径よりも小さい受光領域で受光する受光部と、前記受光部の出力に基づいて、像高位置毎のピーク光量を取得する第１の処理と、該第１の処理で得られるピーク光量の各像高位置に対する分布データを平滑化する第２の処理と、該第２の処理で得られるデータに基づいて、前記走査光学系又は前記結像光学系の良否を検査する第３の処理と、を行う演算部と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、装置構成が簡易であり、容易に良否検査が可能な走査光学系の製造方法および走査光学系の検査装置を提供できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（ビーム走査検査装置）
図１は、本実施形態における走査光学系の検査装置（ビーム走査検査装置）の概略図である。図１において、１は走査光学系であり、走査光学系内に設けられた回転多面鏡によってスポット走査している。本実施形態で走査光学系１とは、ポリゴンミラー、光源からポリゴンミラーに至る入射光学系、ポリゴンミラーから像面である感光ドラム面に至る結像光学系を含む。本実施形態では走査光学系全体を被検物とするが、走査光学系を構成する光学素子として、結像光学系を構成する結像光学素子（ｆθレンズ）を被検物としても良い。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
（複数の像高位置に対するピーク光量に基づく良否の検査）
［良否の検査方法１］
以下、走査光学系の製造時における良否の検査方法１に関して詳細に記載する。本検査方法のフローチャートを図２に示す。本検査方法では、受光センサー３から送られてきた信号を基に、演算部７でピーク光量を算出する。同時にステージ位置測定手段から送られてくるステージの位置（像高位置）情報を基に、測定位置とピーク光量を関連付ける。尚、スリット２の位置が像面上からずらして配置されているときは、測定位置と実施の印字位置が異なるため、座標変換を行う。