【手続補正書】
【提出日】平成26年7月22日(2014.7.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のインプリント材を型により成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引きつけて保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記型の背圧を離型と並行して減少させ、該離型に伴う前記モールドの変形を低減する減圧手段と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記インプリント材に向かって凸に前記型を変形させる変形機構を有し、
前記変形機構により前記型を変形させた状態で前記インプリント材に前記型を接触させる、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記変形機構は、前記保持部に保持された前記型の背圧を陽圧にして前記型を変形させる、ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記型の撓みと相関のある物理量を計測する計測手段を有し、
前記減圧手段は、前記計測手段の出力に基づいて前記型の背圧を減少させる、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記計測手段は、前記型の歪み、前記型の反り量、前記型の背圧、及び前記基板と前記型との距離のうち少なくとも一つを計測する、ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記減圧手段は、離型されるインプリント材の前記基板上での面積に基づいて前記型の背圧を減少させる、ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記面積を計測する手段を有する、ことを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記計測手段の出力に基づいて、前記離型のために前記型に作用させる力を制御する、ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記型として、前記インプリント材を成形するためのパターンを含むメサ部を有し、かつ、該メサ部が他の部分より薄い型を用いる、ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
基板上のインプリント材を型により成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引きつけて保持する保持部と、
前記型の撓みと相関のある物理量を計測する計測手段と、
離型と並行して前記計測手段の出力に基づいて前記保持部に保持された前記型の背圧を調整し、前記離型に伴う前記モールドの変形を低減する調整手段と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１１】
前記調整手段は、押型と並行して、前記型が前記基板に向かって凸形状を維持するように、前記計測手段の出力に基づいて、前記型の背圧を調整する、ことを特徴とする請求項１０に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
前記調整手段は、離型と並行して、前記型が前記基板に向かって凸形状とならないように、前記計測手段の出力に基づいて、前記型の背圧を調整する、ことを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
基板上のインプリント材を型により成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引きつけて保持する型保持部と、
前記基板を引きつけて保持する基板保持部と、
前記型の撓みと相関のある物理量を計測する計測手段と、
前記型保持部に保持された前記型と前記基板保持部に保持された前記基板との間の空間を減圧する減圧手段と、
を備え、
押型を行うための前記型保持部と前記基板保持部との間の相対移動の量または速度を前記計測手段の出力に基づいて制御して、前記減圧手段により前記空間を減圧しながら前記型が前記基板に向かって凸形状を維持する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１４】
基板上のインプリント材を型により成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引きつけて保持する型保持部と、
前記基板を引きつけて保持する基板保持部と、
前記型の撓みと相関のある物理量を計測する計測手段と、
前記型保持部に保持された前記型と前記基板保持部に保持された前記基板との間の空間を減圧する減圧手段と、を備え、
押型を行うための前記型保持部と前記基板保持部との間の相対移動と並行して、前記減圧手段により減圧される前記空間の気圧を前記計測手段の出力に基づいて制御して、前記減圧手段により前記空間を減圧しながら前記型が前記基板に向かって凸形状を維持する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１５】
前記減圧手段は、前記型が前記基板に向かって凸形状を維持するように、前記計測手段の出力に基づいて、前記空間から排気される気体の流量を調整する、ことを特徴とする請求項１５に記載のインプリント装置。
【請求項１６】
前記減圧手段は、前記空間に気体を供給する供給部を含み、前記型が前記基板に向かって凸形状を維持するように、前記計測手段の出力に基づいて、前記供給部により前記空間に供給される気体の流量を調整する、ことを特徴とする請求項１５に記載のインプリント装置。
【請求項１７】
前記計測手段は、前記型の歪み、前記型の反り量、前記型の背圧、前記基板と前記型との距離、および、前記インプリント材に接触している前記型の領域のうち少なくとも１つを計測する、ことを特徴とする請求項１１乃至請求項１７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１８】
前記型として、前記インプリント材を成形するためのパターンを含むメサ部を有し、かつ該メサ部が他の部分より薄い型を用いる、ことを特徴とする請求項１１乃至請求項１８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１９】
基板上のインプリント材を型により成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引きつけて保持する保持部と、
前記型の撓みと相関のある物理量を計測する計測手段と、
前記計測手段の出力に基づいて前記保持部に保持された前記型の背圧を調整する調整手段と、
前記型保持部に保持された前記型と前記基板保持部に保持された前記基板との間の空間を減圧する減圧手段と、を備え、
押型を行うための前記型保持部と前記基板保持部との間の相対移動と並行して、前記調整手段により調整される前記背圧を前記計測手段の出力に基づいて制御して、前記減圧手段により前記空間を減圧しながら前記型が前記基板に向かって凸形状を維持する、
ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２０】
請求項１乃至請求項１９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、例えば、型の撓み量を制限する、または、型の特定の撓み状態を得るのに有利なインプリント装置を提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上のインプリント材を型により成形して基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、型を引きつけて保持する保持部と、保持部に保持された型の背圧を離型と並行して減少させ、該離型に伴うモールドの変形を低減する減圧手段と、を備えることを特徴とする。