【手続補正書】
【提出日】平成26年8月29日(2014.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液供給源とノズルとの間の流路にフィルタ部、処理液中の気体の排出口及び送液機構が設けられ、前記送液機構によりノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を運転する方法において、
前記フィルタ部の新規取り付け後または交換後に前記フィルタ部の上流側から下流側に処理液を満たす工程と、
次いで前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧して当該フィルタ部に処理液を通流させる減圧ろ過ステップと、処理液を前記フィルタ部の上流側から加圧して当該フィルタ部を通流させる加圧ろ過ステップと、を複数回繰り返す工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の運転方法。
【請求項２】
前記複数回繰り返す工程を行う前に、前記加圧ろ過ステップを行うことを特徴とする請求項１記載の処理液供給装置の運転方法。
【請求項３】
前記送液機構は前記フィルタ部の下流側に設けられ、
前記減圧ろ過ステップは、前記フィルタ部の上流側のバルブを閉じた状態とし、このバルブの上流側にその一端側が接続されると共に前記送液機構にその他端側が接続され、前記フィルタ部をバイパスするバイパス路に、前記送液機構により処理液を前記他端側から一端側に通流させることにより、前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧させることを特徴とする請求項１または２に記載の処理液供給装置の運転方法。
【請求項４】
前記複数回繰り返す工程を行う前に、フィルタ部のろ過部材に処理液を毛細管現象で染み込ませるために、処理液を加圧せずに前記ろ過部材に接した状態を予め設定した時間維持する放置工程を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の処理液供給装置の運転方法。
【請求項５】
加圧ろ過ステップは前記気体の排出口を開いた状態にして行われ、前記流路内の処理液が当該排出口を介して押し出されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の処理液供給装置の運転方法。
【請求項６】
前記フィルタ部に供給される処理液中の気泡を除去するために、前記減圧ろ過ステップと加圧ろ過ステップとの間に、前記フィルタ部内におけるろ過部材の上流側に開口するベントを開いて閉じる工程を行うことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の処理液供給装置の運転方法。
【請求項７】
処理液供給源とノズルとの間の流路にフィルタ部、処理液中の気体の排出口及び送液機構が設けられ、前記送液機構によりノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記フィルタ部の新規取り付け後または交換後に、前記フィルタ部の上流側から下流側に処理液を満たす工程と、
次いで前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧して当該フィルタ部に処理液を通流させる減圧ろ過ステップと、処理液を前記フィルタ部の上流側から加圧して当該フィルタ部を通流させる加圧ろ過ステップと、を複数回繰り返す工程と、
を実施するための制御信号を出力する制御部を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記複数回繰り返す工程を行う前に、前記加圧ろ過ステップを行うように制御信号を出力するものであることを特徴とする請求項７記載の処理液供給装置。
【請求項９】
前記送液機構は前記フィルタ部の下流側に設けられ、
前記フィルタ部の上流側に設けられたバルブと、このバルブの上流側にその一端側が接続されると共に前記送液機構にその他端側が接続され、前記フィルタ部をバイパスするバイパス路と、を備え、
前記制御部の制御信号により実施される前記減圧ろ過ステップは、前記フィルタ部の上流側のバルブを閉じた状態とし、前記バイパス路に、前記送液機構により処理液を前記他端側から一端側に通流させることにより、前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧させることを特徴とする請求項７または８に記載の処理液供給装置。
【請求項１０】
前記制御部の制御信号により実施される加圧ろ過ステップは、前記気体の排出口を開いた状態にして行われ、前記流路内の処理液が当該排出口を介して押し出されることを特徴とする請求項７ないし９のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項１１】
前記処理液供給源から供給された処理液を用いて、前記処理液供給装置を運転する方法を行う装置に用いられるコンピュータプログラムが記録された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の処理液供給装置の運転方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の処理液供給装置の運転方法は、
処理液供給源とノズルとの間の流路にフィルタ部、処理液中の気体の排出口及び送液機構が設けられ、前記送液機構によりノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置を運転する方法において、
前記フィルタ部の新規取り付け後または交換後に前記フィルタ部の上流側から下流側に処理液を満たす工程と、
次いで前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧して当該フィルタ部に処理液を通流させる減圧ろ過ステップと、処理液を前記フィルタ部の上流側から加圧して当該フィルタ部を通流させる加圧ろ過ステップと、を複数回繰り返す工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の処理液供給装置は、
処理液供給源とノズルとの間の流路にフィルタ部、処理液中の気体の排出口及び送液機構が設けられ、前記送液機構によりノズルを介して被処理体に処理液を供給する処理液供給装置において、
前記フィルタ部の新規取り付け後または交換後に、前記フィルタ部の上流側から下流側に処理液を満たす工程と、
次いで前記フィルタ部の下流側の処理液を減圧して当該フィルタ部に処理液を通流させる減圧ろ過ステップと、処理液を前記フィルタ部の上流側から加圧して当該フィルタ部を通流させる加圧ろ過ステップと、を複数回繰り返す工程と、
を実施するための制御信号を出力する制御部を備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
続いて、レジスト供給装置１０におけるフィルタウェッティングの手順の一形態について述べていく。  
先ず、フィルタ取付の前に、予めレジスト供給装置１０からレジストを排出し、バルブ３２を閉成した上、バルブ３０及び３１を開成する。そして排気管２２からＮ２ガスを排気しながら、Ｎ２ガス供給源１１からのＮ２ガス圧を例えば５ｋＰａとなるように調節する。５ｋＰａに圧力を設定する理由は、後述のようにフィルタ部１４を新規なものに交換した後、系内にレジストを投入することによりフィルタ部１４内における発泡を防止し、細かな溝へのレジスト浸透効果を高めるためである。なおガス圧の調整は、先ずバルブ３１を閉成しＮ２ガスの供給を遮断し、バルブ３３、３５、３８、３９、４１及び電空エアオペレートバルブ４２を開成する。そしてトラップ１５からのドレーン管２１を通じた排気及びノズル６１からの排気を行い、Ｎ２ガス圧を０にした後に、上述したＮ２ガス供給源１１からのＮ２ガス圧の調整を行った上で、Ｎ２ガスを供給し系内への加圧を行う。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2014033111.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2014033111.tif 000002