【手続補正書】
【提出日】平成26年10月29日(2014.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光反射性を有する光反射部を備え、第１の軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記第１の軸に沿う方向の端部に接続された第１の軸部材と、
前記可動部に配置され、一方の磁極と他方の磁極とが前記第１の軸を挟んで配置された磁石と、
前記可動部の前記光反射部を備える面と異なる面に設けられた下地層と、を備え、
前記下地層と前記磁石とは、半田で構成された半田層によって接合され、
前記下地層は、軟磁性体を含み、前記可動部よりも前記半田の濡れ性が高く、
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記可動部と前記磁石とが重なる第１の領域に形成されている、ことを特徴とするミラーデバイス。
【請求項２】
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記第１の領域に連続して形成される第２の領域を備える、請求項１に記載のミラーデバイス。
【請求項３】
前記下地層は、互いに異なる材料で構成された第１層と、第２層と、第３層とが前記半田層と反対側からこの順序で積層された積層体で構成され、
前記第１層は、前記可動部と前記第２層との密着性を向上させる機能を有し、
前記第２層は、前記軟磁性体で構成され、
前記第３層は、前記半田の濡れ性を向上させる機能を有する請求項１または２に記載のミラーデバイス。
【請求項４】
前記第１層の構成材料は、Ｃｒ、ＴｉおよびＴａのうちの少なくとも１種を含み、
前記第２層の構成材料は、Ｎｉを含み、
前記第３層の構成材料は、ＡｕおよびＰｄのうちの少なくとも１種を含む請求項３に記載のミラーデバイス。
【請求項５】
前記磁石と前記半田層との間に介在し、前記磁石よりも前記半田の濡れ性が高い磁石側下地層を有する請求項１ないし４のいずれかに記載のミラーデバイス。
【請求項６】
前記磁石側下地層は、前記磁石の前記可動部側の面に設けられている請求項５に記載のミラーデバイス。
【請求項７】
前記磁石側下地層は、前記磁石の側面に設けられている請求項５または６に記載のミラーデバイス。
【請求項８】
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記磁石の両極を結ぶ線分の方向において前記第２の領域が形成されており、前記下地層の前記磁石から前記線分の方向において、前記第２の領域に形成された部位における前記線分に対して直交する方向の長さは、前記線分に沿って前記磁石から離間する方向に向って、漸増している請求項２ないし７のいずれかに記載のミラーデバイス。
【請求項９】
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記第２の領域は前記第１の領域を囲んで形成されている請求項１ないし８のいずれかに記載のミラーデバイス。
【請求項１０】
前記可動部は、枠状部材と、
前記枠状部材の内側に設けられ、前記光反射部を備え、前記第１の軸に直交する第２の軸周りに揺動可能な可動板と、
前記可動板の前記第２の軸に沿う方向の端部に接続され、前記可動板と前記枠状部材とを接続する第２の軸部材とを備え、
前記第１の軸部材は、前記枠状部材を前記第１の軸周りに揺動可能とするように、前記枠状部材の前記第１の軸に沿う方向の端部に接続されたものである請求項１ないし９のいずれかに記載のミラーデバイス。
【請求項１１】
前記磁石は、前記枠状部材に１対配置され、前記１対の磁石は、それぞれ、前記磁石の両極を結ぶ線分が前記第１の軸部材の軸線および前記第２の軸部材の軸線のそれぞれに対して傾斜して配置され、
前記半田層は、１対配置され、前記１対の半田層は、それぞれ、前記枠状部材と前記１対の磁石との間に介在して前記枠状部材と前記１対の磁石とを接合し、
前記下地層は、１対配置され、前記１対の下地層は、それぞれ、前記枠状部材よりも前記半田の濡れ性が高く、前記枠状部材と前記１対の半田層との間に介在している請求項１０に記載のミラーデバイス。
【請求項１２】
光反射性を有する光反射部を備え、軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記軸に沿う方向の端部に接続された軸部材と、
前記可動部に配置され、一方の磁極と他方の磁極とが前記軸を挟んで配置された磁石と、を備えるミラーデバイスの製造方法であって、
前記可動部に、前記可動部よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含み、前記可動部の平面視で前記可動部と前記磁石とが重なる第１の領域に形成され得る下地層を形成する工程と、
前記下地層上に半田を配置する工程と、
前記半田を溶融し、前記可動部の平面視で、前記下地層が前記可動部と前記磁石とが重なる第１の領域に形成され、該下地層の少なくとも一部が前記第１の領域と、前記第１の領域に連続して第２の領域を形成するように、半田層により前記磁石または着磁前の前記磁石を前記下地層に接合する工程とを有することを特徴とするミラーデバイスの製造方法。
【請求項１３】
基板の所定の位置に前記下地層を形成した後、前記基板を所定の形状に加工し、前記可動部と、前記軸部材とをそれぞれ形成する請求項１２に記載のミラーデバイスの製造方法。
【請求項１４】
光反射性を有する光反射部を備え、軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記軸に沿う方向の両端に接続された軸部材と、
前記可動部に配置され、一方の磁極と他方の磁極とが前記軸を挟んで配置された磁石と、
前記可動部と前記磁石との間に介在して前記可動部と前記磁石とを接合し、半田で構成された半田層と、
前記可動部と前記半田層との間に介在し、前記可動部よりも前記半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層と、
前記可動部に対向して配置され、電圧の印加により前記磁石に作用する磁界を発生するコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電圧印加手段と、を備え、
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記可動部と前記磁石とが重なる第１の領域に形成され、該下地層の少なくとも一部が前記第１の領域に連続して第２の領域が形成されており、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記所定の周波数で前記軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項１５】
光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、光反射性を有する光反射部を備え、軸周りに揺動可能な可動部と、
前記可動部の前記軸に沿う方向の両端に接続された軸部材と、
前記可動部に配置され、一方の磁極と他方の磁極とが前記軸を挟んで配置された磁石と、
前記可動部と前記磁石との間に介在して前記可動部と前記磁石とを接合し、半田で構成された半田層と、
前記可動部と前記半田層との間に介在し、前記可動部よりも前記半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層と、
前記可動部に対向して配置され、電圧の印加により前記磁石に作用する磁界を発生するコイルと、
前記コイルに電圧を印加する電圧印加手段と、を備え、
前記可動部の平面視で、前記下地層は、前記可動部と前記磁石とが重なる第１の領域に形成され、該下地層の少なくとも一部が前記第１の領域と、前記第１の領域に隣接する領域に連続して形成されており、
前記電圧印加手段により、所定の周波数の電圧を前記コイルに印加することにより、前記可動部を前記所定の周波数で前記軸周りに揺動させるよう構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、可動板１１（光反射部１２）と、軸部材１３ａ、１３ｂと、永久磁石２０と、半田層２１と、下地層２２、２３とで、軸部材１３ａ、１３ｂを回動軸とする振動系が構成される。
可動板１１は、軸部材１３ａ、１３ｂによって支持枠１８に支持されている。また、支持枠１８は、ホルダー１９に支持されている。
可動板１１の形状は、図示の構成では、平面視で円形をなしているが、これに限定されず、平面視で、例えば、楕円形、四角形等の多角形であってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、下地層２３は、永久磁石２０の表面全体に設けられている。そして、下地層２３は、その表面の半田の濡れ性が永久磁石２０よりも高くなるように構成されている。これにより半田層２１により永久磁石２０を接合する際、下地層２３上に半田が確実に、かつ均一に濡れ広がることができる。なお、下地層２３は、軟磁性体を含んでいることが好ましい。
このように、可動板１１と半田層２１との間に下地層２２を介在させ、永久磁石２０と半田層２１との間に下地層２３を介在させることにより、それらの下地層２２、２３を介して可動板１１と永久磁石２０とを確実に接合することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
なお、コイル３０に印加する交流電圧の周波数は、可動板１１と軸部材１３ａ、１３ｂと、永久磁石２０と、半田層２１と、下地層２２、２３とで構成される振動系のねじり共振周波数（共振周波数）と一致していてもよいし、異なっていてもよい。
また、本実施形態では、電圧印加手段４０によりコイル３０へ図４に示す交流電圧を印加するものについて説明したが、可動板１１を回動させることができれば、これに限定されず、例えば、電圧印加手段４０によりコイル３０へ直流電圧を間欠的に印加するように構成されていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
図９および図１０に示すように、光スキャナー１０は、ミラーデバイス１と、ホルダー１７と、コイル３０と、コイル３０に電圧を印加する電圧印加手段４０とを備えている。ミラーデバイス１は、可動板本体１１０および光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の軸部材（第２の軸部材）１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４と、１対の軸部材（第１の軸部材）１５ａ、１５ｂと、支持枠１６と、１対の永久磁石（磁石）２０ａ、２０ｂと、枠状部材１４と永久磁石２０ａとを接合する半田層２１ａと、枠状部材１４と永久磁石２０ｂとを接合する半田層２１ｂと、枠状部材１４と半田層２１ａとの間に介在する下地層２２ａと、枠状部材１４と半田層２１ｂとの間に介在する下地層２２ｂと、永久磁石２０ａと半田層２１ａとの間に介在する下地層２３ａと、永久磁石２０ｂと半田層２１ｂとの間に介在する下地層２３ｂとを備えている。光反射部１２は、可動板本体１１０の上面に設けられている。なお、可動板１１と、軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４と、軸部材１５ａ、１５ｂとにより、可動部が構成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
また、ホルダー１７の上面には、永久磁石２０ａ、２０ｂに作用する磁界を発生するコイル３０が設けられている。コイル３０は電圧印加手段４０に電気的に接続されている。永久磁石２０ａ、２０ｂ、コイル３０および電圧印加手段４０によって可動板１１および枠状部材１４を回動させる駆動手段が構成される。
永久磁石２０ａ、２０ｂは、それぞれ、長手形状、図示の構成では、直方体形状、すなわち、横断面が四角形をなす真っ直ぐな棒状をなしており、その長手方向に磁化されている。すなわち、永久磁石２０ａのＳ極とＮ極とを結ぶ線分の方向が、永久磁石２０ａの長手方向と一致している。換言すれば、永久磁石２０ａのＳ極とＮ極とを結ぶ線分が、永久磁石２０ａの軸線と一致している。永久磁石２０ｂについても同様である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
１…ミラーデバイス  １０…光スキャナー  １１…可動板  １１０…可動板本体  １２…光反射部  １３ａ、１３ｂ…軸部材  １４…枠状部材  １５ａ、１５ｂ…軸部材  １６、１８…支持枠  １７、１９…ホルダー  ２０、２０ａ、２０ｂ…永久磁石  ２００…硬磁性体  ２１、２１ａ、２１ｂ…半田層  ２２、２２ａ、２２ｂ、２３、２３ａ、２３ｂ…下地層  ２２１、２３１…第１層  ２２２、２３２…第２層  ２２３、２３３…第３層  ２２４、２２５…突出した部位  ２２６ａ、２２６ｂ、２２６ｃ、２２６ｄ…斜辺  ３０…コイル  ４０…電圧印加手段  ４１…第１の電圧発生部  ４２…第２の電圧発生部  ４３…電圧重畳部  ４３ａ…加算器  ５…基板  ６１、６３…レジスト膜  ６２…層  ６４、６７…フラックス膜  ６５…半田ボール  ６６…半田  ７…制御部  ９…プロジェクター  ９１…光源装置  ９１１…赤色光源装置  ９１２…青色光源装置  ９１３…緑色光源装置  ９２…ダイクロイックミラー  Ｋ…固定ミラー  Ｓ…スクリーン
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2013105117.tif 000001