【手続補正書】
【提出日】平成26年10月27日(2014.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源と、
粒子の集束ビームを生成し、前記ビームをサンプルに向かって誘導するための粒子光学カラムであり、光軸を有する粒子光学カラムと、
排気可能なサンプル室と、
前記排気可能な室内に配置された移動ステージであり、前記光軸に対して移動可能な移動ステージと、
処理するためのサンプルを収容するための、前記排気可能な室内に配置されたセルと
を備え、前記セルが、
前記ステージに接続され前記ステージ上に配置された囲いを形成する本体を含み、前記ステージ上に配置され、前記ステージと一緒に移動可能な前記セルの少なくとも一部分と、
前記セル内へガスを導入するための少なくとも１つのガス入口と、
放射状に外側へ延在する部材を含む、前記粒子光学カラムに対して固定された前記セルの少なくとも別の一部分であって、前記セルの前記一部分の前記本体と前記セルの前記他の一部分の放射状に外側へ延在する前記部材が、前記ステージが運動する間、前記セルを実質的に密閉するために協働する別の一部分と
を含む
荷電粒子ビーム・システム。
【請求項２】
前記セルが、前記ステージと一緒に移動可能な前記セルの一部分と、前記粒子光学カラムに対して固定された前記セルの一部分との間をシールするシールを含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３】
前記シールが、前記粒子光学カラムに対して固定された、前記セルの一部分上の第１の平面と、前記ステージ上に配置された前記セルの一部分から延びる第２の平面とを含み、前記２つの平面が、前記セルの内部から前記排気可能な室へのガス流を低減させるシールを形成する、請求項２に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項４】
前記第１の平面が、前記粒子光学カラムのレンズに取り付けられた、請求項３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項５】
前記第１の平面および前記第２の平面が、ステンレス鋼、アルミニウム、またはポリテトラフルオロエチレンなどのフルオロポリマーを含む、請求項３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項６】
前記第１の平面と前記第２の平面が、エラストマーを使用することなくシールを形成する、請求項３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項７】
前記シールが接触シールである、請求項３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項８】
前記シールが１ｍｍ未満の隙間である、請求項３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項９】
前記セルが、前記ステージと一緒に移動可能な前記セルの一部分と前記粒子光学カラムに対して固定された前記セルの一部分との間の垂直移動を可能にする柔軟な部分を含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１０】
前記セルが光子透過性の窓を含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１１】
前記排気可能な室を開かずに、前記粒子光学カラムに対して固定された前記セルの一部分を後退させることができる、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１２】
前記電子ビームが衝突したときに前記サンプルから放出された放射を検出する放射検出器をさらに備える、請求項１１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１３】
前記放射検出器が、Ｘ線分析のためにＸ線を検出し、またはルミネセンス分析のために光を検出する、請求項１２に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１４】
前記セルが、前記サンプルを加熱する加熱器を含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１５】
前記ステージ上に配置された前記セルの一部分を冷却する冷却器を含む、請求項１４に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１６】
前記粒子光学カラムに対して固定された前記セルの一部分を冷却する冷却器を含む、請求項１４に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１７】
前記セルが、前記サンプルを冷却する冷却器を含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１８】
ホトルミネセンス分析または光電子収率分光法を実行するため、ある周波数範囲にわたる放射を前記サンプルに照射する能力を有する放射源をさらに備える、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項１９】
前記セルがさらに、ガス・カスケード増幅によって増幅された前記サンプルからの電子信号を検出する検出電極を含む、請求項１に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項２０】
荷電粒子ビーム処理の方法であって、
排気可能な室と、
移動ステージと、
集束カラムと、
光軸と
を有する荷電粒子ビーム・システムを用意するステップと、
前記排気可能な室内に配置された、ガス環境中でサンプルを処理するための環境セルを用意するステップであり、前記移動ステージに接続され前記移動ステージ上に配置された、外側へ延在するフランジを有する囲いを形成する第１の部分、および、前記セルを密閉するために、前記第１の部分の前記外側へ延在するフランジと協働する第２の部分を有し、前記第２の部分は圧力制限アパーチャを含む、ステップと、
前記圧力制限アパーチャが前記光軸に対して固定された状態を維持したまま、前記ステージを移動させるステップと
を含む方法。
【請求項２１】
前記ステージを移動させる前記ステップが、前記環境セルのシール部分を、前記圧力制限アパーチャに対して固定されたシール部材に対して移動させるステップを含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記ステージを移動させる前記ステップが、前記環境セルの前記シール部分を前記シール部材から分離することによって前記室内の前記セルの開閉を可能にするために、前記環境セルを下げるステップを含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記セルと前記集束カラムの間に光子捕集器を挿入するステップと、前記光子捕集器を使用して、前記サンプルによって放出された光子を検出器へ誘導するステップとをさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記光子が、前記荷電粒子ビームによって励起される、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
ガス環境中で前記サンプルを加熱するステップと、ガス環境中で前記サンプルを処理する前および処理した後に光子を捕集するステップとをさらに含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記サンプルから放出された光子を前記検出器を使用して捕集する間、前記サンプルを室温よりも低い温度に冷却するステップをさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
荷電粒子源と、
排気可能なサンプル室と、
粒子の集束ビームを生成し、前記排気可能なサンプル室内のサンプルに向かって前記ビームを誘導するための粒子光学カラムと、
環境ガスのイオン化しきい値までの複数の周波数範囲で単一の集束ビーム中の光子を、前記排気可能なサンプル室内の前記サンプルに向かって誘導する能力を有し、それによって前記サンプルが光電子を放出する光子源と、
前記光電子信号を検出する電極と
を備える荷電粒子ビーム・システム。
【請求項２８】
前記光電子信号がガス・カスケードで増幅される、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項２９】
前記サンプルまたは前記ステージを流れる電流を光電子放出電流の尺度として検出するために、前記電極が、前記サンプルまたは前記ステージに接続された、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３０】
前記放射源がレーザである、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３１】
前記放射源が、約２ｅＶから約１０ｅＶまでの間のあるエネルギー範囲にわたる光子を供給する能力を有する、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３２】
前記排気可能なサンプル室にガスを供給するガス源をさらに備える、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３３】
前記排気可能なサンプル室が、前記サンプル室内に環境セルを含む、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３４】
前記電極が、前記環境セル内に配置されており、
前記放射源が、前記環境セルの外側に配置されており、
前記環境セルが、前記放射が前記サンプルに到達することを可能にするフィードスルーを含む、
請求項３３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３５】
前記環境セルが後退可能な蓋を含み、前記蓋が後退しているときに、前記電極が、前記光電子信号を検出するために使用される、請求項３３に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３６】
前記放射源からの前記放射を前記サンプルに向かって導く放射ガイドをさらに備える、請求項２７に記載の荷電粒子ビーム・システム。
【請求項３７】
荷電粒子ビーム・システム内でサンプルを処理する方法であって、
移動ステージおよび集束カラムを含む荷電粒子ビーム・システムを用意するステップであり、前記集束カラムが、前記移動ステージ上のサンプルに向かって荷電粒子のビームを誘導する能力を有するステップと、
前記移動ステージを収容するための排気可能な室を用意するステップと、
前記排気可能な室内でガスをサンプルに局所的に供給するステップと、
前記排気可能な室内の前記ガスをサンプル表面と反応させるためのエネルギー源を用意するステップと、
前記排気可能な室内の前記サンプルに向かって、ある周波数範囲にわたる光子照射ビームを誘導するステップと、
前記光子ビームによって生成された前記サンプルからの光電子信号を測定するステップと
を含む方法。
【請求項３８】
前記光子ビームによって生成された前記サンプルからの光電子信号を測定する前記ステップが、電極検出器に電圧を印加して、前記サンプルから放出され、ガス・カスケード増幅によって増幅された光電子を含む信号を検出するステップを含み、検出された前記信号が、前記サンプル表面の特性を決定するために使用される、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
サンプルの特性を決定することが、処理が完了したかどうかを判定すること、および処理が完了している場合に処理をやめることを含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記排気可能な室内の前記ガスを前記サンプル表面と反応させるためのエネルギー源を用意する前記ステップが、前記サンプルを加熱するステップを含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項４１】
前記排気可能な室内の前記ガスを前記サンプル表面と反応させるためのエネルギー源を用意する前記ステップが、前記サンプル表面に向かって荷電粒子ビームを誘導するステップを含む、請求項３７に記載の方法。