【手続補正書】
【提出日】平成26年7月29日(2014.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分は、前記第１部分よりも、前記物体と前記第１面との間の空間から前記回収流路への前記孔を介した気体の流入が抑制される液浸部材。
【請求項２】
前記第２部分は、前記孔を介した前記物体と前記第１面との間の空間から前記回収流路への気体の流入抵抗が、前記第１部分よりも大きい請求項１記載の液浸部材。
【請求項３】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分は、前記孔を介した前記物体と前記第１面との間の空間から前記回収流路への気体の流入抵抗が、前記第１部分よりも大きい液浸部材。
【請求項４】
前記第２部分は、前記第１面における単位面積当たりの前記孔の割合が、前記第１部分より小さい請求項１〜３のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項５】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分は、前記第１面における単位面積当たりの前記孔の割合が、前記第１部分より小さい液浸部材。
【請求項６】
前記第２部分の前記孔の寸法が、前記第１部分の前記孔の寸法よりも小さい請求項１〜５のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項７】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分の前記孔の寸法が、前記第１部分の前記孔の寸法よりも小さい液浸部材。
【請求項８】
前記第２部分の前記孔の数が、前記第１部分の前記孔の数よりも少ない請求項１〜７のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項９】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分の前記孔の数が、前記第１部分の前記孔の数よりも少ない液浸部材。
【請求項１０】
前記第２部分の前記孔の表面は、前記第１部分の前記孔の表面よりも前記液体に対して親液性である請求項１〜９のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１１】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分の前記孔の表面は、前記第１部分の前記孔の表面よりも前記液体に対して親液性である液浸部材。
【請求項１２】
前記第２部分の前記孔の内面における前記液体の接触角が、前記第１部分の前記孔の内面における前記液体の接触角より実質的に大きくなるように、前記第１部分の前記孔の内面の傾斜角と前記第２部分の前記孔の内面の傾斜角とが異なる請求項１〜１１のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１３】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
第１面、前記第１面と異なる方向を向く第２面、及び前記第１面と前記第２面とを結ぶ複数の孔を有し、前記孔から前記第１面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部を回収する第１部材と、
前記第１部材の前記孔から回収された前記液体が流れる回収流路と、
前記回収流路の液体と気体とを排出する排出部と、を備え、
前記排出部は、第１排出口と第２排出口とを有し、前記第１排出口は前記第２排出口よりも気体の流入が抑制され、前記第２排出口は前記第１排出口よりも液体の流入が抑制されており、
前記第１部材は、第１部分と第２部分とを含み、前記第２部分の前記孔の内面における前記液体の接触角が、前記第１部分の前記孔の内面における前記液体の接触角より実質的に大きくなるように、前記第１部分の前記孔の内面の傾斜角と前記第２部分の前記孔の内面の傾斜角とが異なる液浸部材。
【請求項１４】
前記第２排出口の少なくとも一部が、前記第２部分の前記第２面と対向する請求項１〜１３のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１５】
前記液浸露光装置内において、前記第２部分は、前記光路の放射方向に関して前記第１部分の外側に配置される請求項１〜１４のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１６】
前記液浸露光装置内において、前記第１排出口は、前記光路に対する放射方向に関して前記第２排出口の外側に配置される請求項１〜１５のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１７】
前記液浸露光装置内において、前記第１排出口は、前記光路に対する放射方向に関して前記第２排出口の内側に配置される請求項１〜１６のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１８】
前記第２排出口は、前記第１排出口より、前記第１部材の前記第２面から離れて配置されている請求項１〜１７のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項１９】
前記液浸露光装置内において、前記第２部分は、前記物体上の液体と接触している前記孔から前記物体上の液体を前記回収流路に回収可能であり、前記物体上の液体と接触していない前記孔から前記回収流路への気体の流入が抑制される請求項１〜１８のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項２０】
前記液浸露光装置内において、前記第１部材を介して前記物体上の液体を回収しているときに、前記第２部分の前記孔から前記物体上の液体が前記回収流路に回収され、前記第２部分の前記孔から前記回収流路への気体の流入が抑制されるように、前記第１面と前記物体との間の空間の圧力と前記回収流路の圧力との差が設定される請求項１９記載の液浸部材。
【請求項２１】
前記液浸露光装置内において、前記第１部分は、前記物体上に形成されている液浸空間に面している前記孔から前記液浸空間の液体を前記回収流路に回収可能であり、前記液浸空間に面していない前記孔から前記回収流路に気体を吸い込む請求項１９または２０記載の液浸部材。
【請求項２２】
前記液浸露光装置内において、前記第１部材を介して前記物体上の液体を回収しているときに、前記第１部分の前記孔から前記回収流路に気体が吸い込まれるように、前記第１面と前記物体との間の空間の圧力と前記回収流路の圧力との差が設定される請求項２１記載の液浸部材。
【請求項２３】
前記液浸露光装置内において、前記第１部材を介して前記物体上の液体を回収しているときに、前記第２部分の前記第２面は、前記回収流路の液体で覆われる請求項１９〜２２のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項２４】
液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置であって、
請求項１〜２３のいずれか一項記載の液浸部材を備える液浸露光装置。
【請求項２５】
請求項２４記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸部材、液浸露光装置、及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液浸部材、液浸露光装置、及びデバイス製造方法に関する。