【手続補正書】
【提出日】平成26年6月19日(2014.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨材を用いたホーニング処理により、被処理材に対して表面剥離又は付着物除去を行う表面処理方法において、
１つの処理容器内で１つの被処理材に対して少なくとも２つのホーニング処理のための噴射ガンを同時に用い、
モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の少なくとも１種と、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の少なくとも１種と、を個別の噴射ガンから噴射し、
モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付ける
ことを特徴とする表面処理方法。
【請求項２】
前記モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材が、常温で固体の研磨材であり、
前記モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材が、常温で液体となる材料を冷却固化してなる研磨材または常温で気体となる材料を冷却固化してなる研磨材である
請求項１に記載の表面処理方法。
【請求項３】
前記常温で液体となる材料を冷却固化してなる研磨材または常温で気体となる材料を冷却固化してなる研磨材が、氷またはドライアイスである請求項２に記載の表面処理方法。
【請求項４】
磁性の研磨材と非磁性の研磨材をそれぞれ個別の噴射ガンから噴射する請求項１〜３のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項５】
前記磁性の研磨材が、鉄およびＳＵＳ４３０からなる群から選ばれる少なくとも１つであり、
前記非磁性の研磨材が、ジルコン、くるみ、ナイロンおよびガラスからなる群から選ばれる少なくとも１つである
請求項４に記載の表面処理方法。
【請求項６】
前記噴射ガンから被処理材に吹き付けられる単位時間における単位面積当たりの研磨材衝突エネルギーが大きいほうから順に被処理材の被処理部に吹き付ける請求項１〜５のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項７】
被処理部の法線と噴射ガンの中心軸とが成す角を噴射角とし、前記モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材を噴射する噴射ガンの噴射角をθ１とし、前記モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材を噴射する噴射ガンの噴射角をθ２としたとき、
０°＜θ１≦４５°、および、
θ１≦θ２＜９０°
を満たす請求項１〜６のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項８】
被処理部の法線と噴射ガンの中心軸とが成す角を噴射角としたとき、前記モース硬度が小さい研磨材を吹き付ける噴射ガンほど、噴射角が大きい請求項１〜７のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項９】
前記モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材が、鉄の略球形の研磨材およびステンレスの略球形の研磨材からなる群から選ばれる少なくとも１つである請求項１〜７のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項１０】
被処理材が、アルミニウム及び又はアルミニウム合金で形成されている請求項１〜９のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項１１】
前記被処理材が、プラズマＣＶＤ装置用の成膜炉内部品である請求項１〜１０のいずれか１項に記載の表面処理方法。
【請求項１２】
前記プラズマＣＶＤ装置用の成膜炉内部品である基体ホルダーを請求項１１の表面処理方法で表面処理する工程と、
表面処理された基体ホルダーに導電性基体を装着し、プラズマＣＶＤ装置で前記導電性基体上に光受容層を堆積する工程と、
を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項１３】
前記光受容層が、アモルファスシリコン系光受容層である請求項１２に記載の電子写真感光体の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係わる表面処理方法は、
研磨材を用いたホーニング処理により、被処理材に対して表面剥離又は付着物除去を行う表面処理方法において、
１つの処理容器内で１つの被処理材に対して少なくとも２つのホーニング処理のための噴射ガンを同時に用い、
モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の少なくとも１種と、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の少なくとも１種と、を個別の噴射ガンから噴射し、
モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付ける
ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
すなわち、本発明は、１つの処理容器内で１つの被処理材に対して少なくとも２つのホーニング処理のための噴射ガンを同時に用い、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の少なくとも１種と、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の少なくとも１種と、を個別の噴射ガンから噴射し、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けて表面処理することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ここで、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けて表面処理するとは、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材を吹き付けて被処理材全面の処理を施し、それが終了した後に次の研磨材を吹き付けて処理を行うことのみを指すものではない。被処理材の被処理部において、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材を用いた処理が施され、続いて、モース硬度が先の研磨材よりも小さい研磨材を用いた処理が施されていれば良い。使用する研磨材が２種類の場合は、後から噴射する研磨材のモース硬度は被処理剤のモース硬度よりも小さい。
噴射ガンを３個以上使う場合も、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けて表面処理施されていれば良い。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このように本発明の表面処理方法は、１つの被処理材に対して少なくとも２つの噴射ガンを同時に用いる。そして、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の少なくとも１種と、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の少なくとも１種と、を個別の噴射ガンから噴射することが必要である。
研磨材の粒径は１００番〜１０００番メッシュ相当、または１０〜１００μｍの範囲にあるものが好ましい。また研磨材の比重が０．５〜１０の範囲にある微粉末で、形状は球状のものが好ましく用いられる。好適に用いられる研磨材の材質としては、鉄、ステンレス、ガラス、アルミナ、フェライト、ジルコニア、酸化クロム、炭化ケイ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素、エポキシ樹脂、ナイロン、氷粒、ドライアイスペレットが挙げられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
このような本発明の表面処理は、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の吹き付けに続いてモース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けるという連続した表面処理を複数回に分けて行うことが好ましい。モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の吹き付けによる付着膜除去は吹き付け時間が長くなるに従い、微紛およびバリの発生が増え、微粉付着が増加する傾向にある。更には、複数の微紛やバリが重なりあって埋め込まれたり摺り込まれたりしてしまう場合がある。このような状況においては、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の吹き付けでこれら微粉やバリの除去を行う際に、微粉やバリの量が多いこと及びそれらが重なりあっていることにより除去しにくい。特に重なりあった微粉やバリは、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の吹き付けによる除去効果を低減させる場合が多かった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
これに対して、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けるという一連の表面処理を複数回に分けて行う場合、１回の吹き付け時間が短くなり微紛およびバリの発生量を抑えることができる。また、微紛やバリが重なりあって埋め込まれたり摺り込まれたりすることも少なくなる。即ち、微粉付着が少なくなる。そのため、続くモース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の吹き付けによる処理が短時間であっても埋め込まれたり摺り込まれたりした微紛やバリをほぼすべて除去することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
以上より、１回の吹き付け時間を短くして、モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の吹き付けに続いて、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けるという連続した表面処理を複数回に分けて施すことが、清浄な表面状態を得るために好ましい。
このような処理は研磨材ごとに別個の処理装置を用いて行うことも可能であるが、装置コストが高まり、装置設置面積が増大し、被処理材を移動する工程が必要なために処理時間が増加してしまう。このため同一容器内で、研磨材毎に個別の噴射ガンを同時に用いて表面処理する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
被処理材に対する研磨材の噴射の角度によっても、本発明の効果の程度が変化する。具体的には、図１（a）に示すように、被処理材１０１の法線方向にとったＺ軸と第１の噴射ガンの中心軸とが成す噴射角１０６（θ１）を０°＜θ１≦４５°とすることが好ましい。
ＸＺ面に対してＹ軸（−）側に噴射ガンがあるときは、角度θを正の値で表記し、Ｙ軸（＋）側に噴射ガンがあるときは、角度θを負の値で表記するものとした。さらに、Ｚ軸と第２の噴射ガンの中心軸とが成す噴射角１０７（θ２）は、θ１≦θ２＜９０°とすることが好ましい。噴射角θ１が４５°を超える場合には、噴流速度の被処理材垂直方向成分が減少してくるので付着膜除去に要する、処理時間が長くなることがあった。また被処理材に垂直となる噴射角０°では被処理材に一度衝突した研磨材が処理領域内に留まりやすく、そこから排出されるまでに時間がかかる。そのために被処理材に一度衝突した研磨材が繰り返し被処理材表面に衝突する場合が生じ微粉付着が多くなる場合がある。また、噴射角θ１が０°未満になると第１の噴射ガンの中心軸方向と第２の噴射ガンの中心軸方向が逆となり、各々のガンから吹き付けられた研磨材が衝突領域外へ排出される方向が対面する。そのために研磨材がお互いに衝突することになり、研磨材の残留や、微紛、バリの埋め込み、摺り込みが増加する傾向にある。なお、噴流の拡がりにより、噴射角θ１が０°未満でなくても噴流の方向が対面する箇所が存在することがある。しかし、噴流の拡がりの外側ほど研磨材の密度や噴流速度が小さくなるために、中心軸の方向が対面しないように設置すれば上記のような現象はほとんど問題にならなかった。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
表４の評価結果より、Ｍ１＞Ｍｍ＞Ｍ２として、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けをして表面処理することにより、付着膜除去能の高レベルでの維持と微粉付着の効果的な抑制が両立し、清浄な表面が得られることがわかる。
実施例１−７では１回処理で表面処理するようにしたところ、第１の噴射ガンによる吹き付けに続いて第２の噴射ガンによる吹き付けを複数回に分けて行うトレース処理を施した実施例１−１よりも微粉付着が若干増加した。実施例１−８では、第１の研磨材であるアルミナが角のある形状のため微粉付着が若干増加するというという結果になった。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
以上のことから、以下の方法によって、付着膜除去と微粉付着抑制が両立して清浄な表面が得られることがわかった。
１）１つの被処理材に対して少なくとも２つのホーニング処理のための噴射ガンを同時に用いる。
２）モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の少なくとも１種と、モース硬度が被処理材よりも小さい研磨材の少なくとも１種と、を個別の噴射ガンから噴射し、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理材の被処理部に吹き付けて表面処理する。
さらに、以下のトレース処理のほうが、１回処理より、付着膜除去能と微粉付着抑制が両立して清浄な表面が得られることがわかった。
１）モース硬度が被処理材よりも大きい研磨材の吹き付けに続いて、モース硬度が大きい研磨材から順に被処理部に吹き付けるという連続した表面処理を複数回に分けて施す。