【手続補正書】
【提出日】平成26年9月9日(2014.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が光電変換素子を含む複数の画素を有する撮像部と、
アンプを含んで構成されると共に、前記光電変換素子により得られた電荷を前記アンプを用いて前記画素から信号として読み出す読み出し動作と、前記画素内の電荷をリセットするための画素リセット動作と、前記アンプの動作をリセットするためのアンプリセット動作とがそれぞれ行われるように、各画素を駆動する駆動部と
を備え、
前記駆動部は、前記画素リセット動作の終了タイミングおよび前記アンプリセット動作の終了タイミングのうちの少なくとも一方が、所定の電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
撮像装置。
【請求項２】
前記駆動部は、前記画素リセット動作の終了タイミングが前記電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記画素リセット動作の終了タイミングおよび前記アンプリセット動作の終了タイミングの双方が前記電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記アンプリセット動作の終了タイミングが前記電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
請求項１に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記画素リセット動作の期間と前記アンプリセット動作の期間との少なくとも一部が、互いにオーバーラップしている
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記アンプリセット動作の期間内に、前記画素リセット動作の期間全体が含まれている
請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記画素リセット動作の期間と前記アンプリセット動作の期間とが、互いに一致している
請求項５に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記駆動部は、前記画素リセット動作の全期間または前記アンプリセット動作の全期間が前記電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記駆動部は、
前記アンプを用いて読み出された信号の一部を選択するマルチプレクサ回路と、
前記マルチプレクサ回路により選択された信号に対してＡ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄコンバータとを有し、
前記電源電位不安定化期間は、前記マルチプレクサ回路の動作期間および前記Ａ／Ｄコンバータの動作期間のうちの少なくとも一方を含む
請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記駆動部は、前記画素リセット動作が所定の単位期間内で間欠的に複数回行われるように、各画素を駆動する
請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記画素リセット動作が、１水平期間を超える期間に亘って間欠的に複数回行われる
請求項１０に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記撮像部が、入射した放射線に応じて電気信号を発生させるものであり、放射線撮像装置として構成されている
請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１３】
前記撮像部は、
前記光電変換素子を構成する光電変換層と、
前記放射線を前記光電変換層の感度域に波長変換する波長変換層と
を有する請求項１２に記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記撮像部は、前記光電変換素子を構成すると共に前記放射線に応じて前記電気信号を直接発生させる光電変換層を有する
請求項１２に記載の撮像装置。
【請求項１５】
前記放射線がＸ線である
請求項１２ないし請求項１４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１６】
撮像装置と、この撮像装置により得られた撮像信号に基づく画像表示を行う表示装置とを備え、
前記撮像装置は、
各々が光電変換素子を含む複数の画素を有する撮像部と、
アンプを含んで構成されると共に、前記光電変換素子により得られた電荷を前記アンプを用いて前記画素から信号として読み出す読み出し動作と、前記画素内の電荷をリセットするための画素リセット動作と、前記アンプの動作をリセットするためのアンプリセット動作とがそれぞれ行われるように、各画素を駆動する駆動部と
を備え、
前記駆動部は、前記画素リセット動作の終了タイミングおよび前記アンプリセット動作の終了タイミングのうちの少なくとも一方が、所定の電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素の駆動を行う
撮像表示システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
このようにして読み出された信号電荷は、信号線Ｌsigを介して複数（ここでは４つ）の画素列ごとに、Ａ／Ｄ変換部１４内の列選択部１７へ入力される。列選択部１７では、まず、各信号線Ｌsigから入力される信号電荷ごとに、チャージアンプ１７２等からなるチャージアンプ回路においてＱ−Ｖ変換（信号電荷から信号電圧への変換）を行う。次いで、変換された信号電圧（チャージアンプ回路からの出力電圧Ｖca）ごとに、Ｓ／Ｈ回路１７３およびマルチプレクサ回路１７４を介してＡ／Ｄコンバータ１７５においてＡ／Ｄ変換を行い、デジタル信号からなる出力データＤout（撮像信号）を生成する。このようにして、各列選択部１７から出力データＤoutが順番に出力され、外部へ伝送される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
この１フレーム期間ΔＴｖでは、まずタイミングｔ１１〜ｔ１２の露光期間Ｔexにおいて、図５（Ａ）等を用いて前述したようにして、露光動作が行われる。すなわち、撮像光Ｌinが撮像部１１へ入射すると、各画素２０内の光電変換素子２１では、この撮像光Ｌinが信号電荷に変換（光電変換）される。そして、この信号電荷が画素２０内の蓄積ノードＮに蓄積され、その電位Ｖｎが徐々に変化する（図６中の矢印Ｐ３１参照）。なお、この露光動作に伴って、電位Ｖｎがリセット電圧Ｖrst側から０Ｖへ向けて徐々に低下していっているのは、ここでは光電変換素子２１のカソード側が蓄積ノードＮに接続されているためである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
次いで、タイミングｔ１３〜ｔ１４の読み出し／第１リセット期間Ｔｒ１では、図５（Ｂ）等を用いて前述したようにして、読み出し動作と１回目の画素リセット動作とが行われる。すなわち、画素２０から信号電荷を読み出すことによってこの信号電荷に対応する撮像信号Ｄ１１を取得する読み出し動作と、この画素２０内の信号電荷をリセットするための１回目の画素リセット動作とが、実質的に同時に行われる。ただし、図６中の矢印Ｐ３２で示したように、この１回目の画素リセット動作後において蓄積ノードＮの電位Ｖｎが徐々に低下していき、前述した残留電荷ｑ１が発生してしまっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
このように、アクティブ型の回路構成からなる画素２０Ｂ，２０Ｃを有する撮像装置においても、これまで説明したパッシブ型の回路構成の場合と同様の効果が得られる。すなわち、画素リセット動作の終了タイミングおよびアンプリセット動作の終了タイミングのうちの少なくとも一方が電源電位不安定化期間内に含まれないように、各画素２０の駆動を行うことにより、Ｓ／Ｎ比を向上させることができ、撮像画像の高画質化を実現することが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
波長変換層１１２は、放射線Ｒrad（α線，β線，γ線，Ｘ線等）を、光電変換層１１１の感度域に波長変換するものであり、これにより光電変換層１１１では、この放射線Ｒradに基づく情報を読み取ることが可能となっている。この波長変換層１１２は、例えばＸ線などの放射線を可視光に変換する蛍光体（例えば、シンチレータ）からなる。このような波長変換層１１２は、例えば光電変換層１１１の上部に、有機平坦化膜もしくはスピンオングラス材料等からなる平坦化膜を形成し、その上部に蛍光体膜をＣｓＩ、ＮａＩ、ＣａＦ2等によって形成することにより得られる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
一方、図２６（Ｂ）に示した変形例８に係る撮像部１１Ｂは、上記実施の形態で説明した光電変換層１１１の代わりに、光電変換層１１１Ｂを有している。この光電変換層１１１Ｂは、入射した放射線Ｒradに応じて電気信号を直接発生させるものである。つまり、図２６（Ａ）に示した変形例７の撮像部１１Ａは、いわゆる間接型の放射線撮像装置に適用されるものであるのに対し、変形例８の撮像部１１Ｂは、いわゆる直接型の放射線撮像装置に適用されるものとなっている。なお、このような直接型に適用される光電変換層１１１Ｂは、例えば、アモルファスセレン（ａ−Ｓｅ）半導体や、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）半導体などにより構成されている。