(57)【要約】      （修正有）【課題】煩雑な位置決め操作が不要な対物ミクロメータおよび硬さ試験機を提供する。【解決手段】対物ミクロメータ６０は、金属製の外装部材６１の中央付近に基準スケールとしての機能を実現する基準パターン６３を形成した円形のガラス板６２を埋め込んだものである。基準パターン６３は、中心マーカ６４と、中心マーカ６４と中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成したものである。このような基準パターン６３は、蒸着またはエッチングにより形成される。この対物ミクロメータ６０では、２種類の色により区別される中心角９０度の扇形を交互に組み合わせた中心マーカ６３を、ガラス板６２の中央に形成している。【選択図】図４
0003217602.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
試料の表面に圧子を押し込み、前記試料の表面に形成した圧痕をカメラにより撮影して得た画像を用いて前記圧痕の大きさを計測する硬さ試験機の画像校正用の対物ミクロメータであって、
中心を判別するマーカが形成され、前記マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有することを特徴とする対物ミクロメータ。
【請求項２】
請求項１に記載の対物ミクロメータにおいて、
前記マーカは、２種類の色により区別される中心角９０度の扇形を交互に組み合わせた図形である対物ミクロメータ。
【請求項３】
ステージに載置された試料に対して、所定の試験力で圧子を押し込むことにより前記試料の特性を評価するための硬さ試験を実行し、対物レンズを介して観察される前記ステージ上の像を撮影するカメラを有する試験機本体と、
データの入力に利用される入力部と、前記カメラにより撮影した画像を記憶する記憶部と、前記カメラにより撮影した画像を表示する表示部と、を有し、前記試験機本体に接続されたコンピュータと、
を備えた硬さ試験機であって、
前記コンピュータは、
マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有する対物ミクロメータを前記カメラにより撮影して得た画像を前記表示部に表示し、
前記マーカの中心点を含む画像上において、垂直線と前記同心円の各円周との接点、および、水平線と前記同心円の各円周との接点を検出し、
前記垂直線と前記同心円の各円周との接点のうち最も離隔している２点間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＸ方向の１画素あたりの実寸法を算出し、
前記水平線と前記同心円の各円周との接点のうち最も離隔している２点間の画素数と前記同心円の間隔の寸法情報とからＹ方向の１画素あたりの実寸法を算出することを特徴とする硬さ試験機。
【請求項４】
ステージに載置された試料に対して、所定の試験力で圧子を押し込むことにより前記試料の特性を評価するための硬さ試験を実行し、対物レンズを介して観察される前記ステージ上の像を撮影するカメラを有する試験機本体と、
データの入力に利用される入力部と、前記カメラにより撮影した画像を記憶する記憶部と、前記カメラにより撮影した画像を表示する表示部と、を有し、前記試験機本体に接続されたコンピュータと、
を備えた硬さ試験機であって、
前記コンピュータは、
マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有する対物ミクロメータを前記カメラにより撮影して得た画像を前記表示部に表示し、
前記マーカの中心点を含む画像上において、垂直線と前記同心円の各円周との接点、および、水平線と前記同心円の各円周との接点を検出し、
前記垂直線と前記同心円の各円周との接点のうち前記マーカの中心点から最も離隔している点と前記マーカの中心点との間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＸ方向の１画素あたりの実寸法を算出し、
前記水平線と前記同心円の各円周との接点のうち前記マーカの中心点から最も離隔している点と前記マーカの中心点との間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＹ方向の１画素あたりの実寸法を算出することを特徴とする硬さ試験機。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、硬さ試験機における拡大撮影画像の校正のための対物ミクロメータおよびこの対物ミクロメータを使用した画像校正を実行する硬さ試験機に関する。
【背景技術】
【０００２】
材料の硬さを評価するための試験として、ビッカース圧子を使用するビッカース硬さ試験（ＪＩＳ  Ｚ  ２２４４）や、ヌープ圧子を使用するヌープ硬さ試験（ＪＩＳ  Ｚ  ２２５１）がある。この２つの試験は、所定の試験力で圧子を試料に押し込んだときに形成された圧痕の対角線長さから圧痕の大きさを測定し、試料の硬さを算出する構成を有する。このような硬さ試験機においては、試料の表面状態は、接眼レンズを介して目視により、あるいは、カメラにより撮影された画像をモニターに表示することにより、確認することができる構成となっている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２１４１６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
対物レンズにより拡大されカメラにより撮影して得た画像上の１画素あたりの長さは、解像度（ｄｐｉ：ｄｏｔｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）と対物レンズの倍率によって算出することができる。一方、対物レンズにより拡大された試料の観察像をカメラで撮影して得た画像上で、圧痕の対角線の長さの実寸法を計測するには、画像から読み取った長さ（解像度と対物レンズの倍率から画素数を長さの単位に変換した長さ）と実際の寸法が一致するように予め画像校正を行っておく必要がある。従来の画像校正の方法では、試料に代えて、例えば０．０１ｍｍピッチの水平目盛が刻まれた対物ミクロメータと呼称される基準スケールを撮影して画像を取得し、その画像上の任意の目盛間の画素数から１画素あたりの長さを割り出し、これを実寸法に換算するための校正値としている。
【０００５】
水平目盛が刻まれた対物ミクロメータを用いて画像校正を行う場合は、試料を載置するステージに目盛の基線が画像のＸ軸またはＹ軸に平行になるように、対物ミクロメータをセットする必要がある。これは、目盛の基線が軸に対して傾いていると、画像校正により求められた１画素当たりの長さの値である校正値が真値より大きくなり、測定誤差を生じさせることになるためである。
【０００６】
従来から、対物ミクロメータの位置決めは手動で行われており、目盛の基線が軸に対して平行になるように正確に位置決めすることは、ユーザにとって難易度が高い作業である。
【０００７】
この考案は上記課題を解決するためになされたものであり、煩雑な位置決め操作が不要な対物ミクロメータおよび硬さ試験機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の考案は、試料の表面に圧子を押し込み、前記試料の表面に形成した圧痕をカメラにより撮影して得た画像を用いて前記圧痕の大きさを計測する硬さ試験機の画像校正用の対物ミクロメータであって、中心を判別するマーカが形成され、前記マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載の対物ミクロメータにおいて、前記マーカは、２種類の色により区別される中心角９０度の扇形を交互に組み合わせた図形である。
【００１０】
請求項３に記載の考案は、ステージに載置された試料に対して、所定の試験力で圧子を押し込むことにより前記試料の特性を評価するための硬さ試験を実行し、対物レンズを介して観察される前記ステージ上の像を撮影するカメラを有する試験機本体と、データの入力に利用される入力部と、前記カメラにより撮影した画像を記憶する記憶部と、前記カメラにより撮影した画像を表示する表示部と、を有し、前記試験機本体に接続されたコンピュータと、を備えた硬さ試験機であって、前記コンピュータは、マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有する対物ミクロメータを前記カメラにより撮影して得た画像を前記表示部に表示し、前記マーカの中心点を含む画像上において、垂直線と前記同心円の各円周との接点、および、水平線と前記同心円の各円周との接点を検出し、前記垂直線と前記同心円の各円周との接点のうち最も離隔している２点間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＸ方向の１画素あたりの実寸法を算出し、前記水平線と前記同心円の各円周との接点のうち最も離隔している２点間の画素数と前記同心円の間隔の寸法情報とからＹ方向の１画素あたりの実寸法を算出することを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の考案は、ステージに載置された試料に対して、所定の試験力で圧子を押し込むことにより前記試料の特性を評価するための硬さ試験を実行し、対物レンズを介して観察される前記ステージ上の像を撮影するカメラを有する試験機本体と、データの入力に利用される入力部と、前記カメラにより撮影した画像を記憶する記憶部と、前記カメラにより撮影した画像を表示する表示部と、を有し、前記試験機本体に接続されたコンピュータと、を備えた硬さ試験機であって、前記コンピュータは、マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有する対物ミクロメータを前記カメラにより撮影して得た画像を前記表示部に表示し、前記マーカの中心点を含む画像上において、垂直線と前記同心円の各円周との接点、および、水平線と前記同心円の各円周との接点を検出し、前記垂直線と前記同心円の各円周との接点のうち前記マーカの中心点から最も離隔している点と前記マーカの中心点との間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＸ方向の１画素あたりの実寸法を算出し、前記水平線と前記同心円の各円周との接点のうち前記マーカの中心点から最も離隔している点と前記マーカの中心点との間の画素数と前記基準パターンの寸法情報とからＹ方向の１画素あたりの実寸法を算出することを特徴とする。
【考案の効果】
【００１２】
請求項１から請求項４に記載の考案によれば、対物ミクロメータは、マーカによって判別される中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成した基準パターンを有することから、中心点から各円の円周上までの距離がどの方向でも一定であり、ユーザは、対物ミクロメータの傾きや位置を気にすることなく正確な画像校正を簡単に行うことが可能となる。
【００１３】
請求項２に記載の考案によれば、マーカは、２種類の色により区別される中心角９０度の扇形を交互に組み合わせた図形であることから、線分を十字に重ねて中心を特定する場合のように画像上で線の太さを考慮する必要がなく、色の境界により中心点をより正確に特定することが可能となる。
【００１４】
請求項３および請求項４に記載の考案によれば、マーカの中心点を含む画像が取得できれば、画像のＸ方向とＹ方向の両方の１画素あたりの実寸法を算出することができることから、ユーザは、マーカの中心点が視野に入るように対物ミクロメータをステージに置けばよく、対物ミクロメータの煩雑な位置決め操作が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この考案に係る硬さ試験機の概要図である。
【図２】ターレット４０に支持された対物レンズ等の配置を示す説明図である。
【図３】この考案に係る硬さ試験機の主要な制御系を説明するブロック図である。
【図４】この考案に係る対物ミクロメータ６０の概要図である。
【図５】表示部５５に表示する基準パターン６３の画像例である。
【図６】表示部５５に表示する基準パターン６３の画像例である。
【考案を実施するための形態】
【００１６】
以下、この考案の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この考案に係る硬さ試験機の概要図である。
【００１７】
この硬さ試験機は、試料に所定の試験力で圧子を押し込み、試料に付けられた圧痕の大きさを測ることにより、試料の硬さなどの特性を評価する硬さ試験を行うものである。この硬さ試験機の本体部１は、試料を載置するためのステージ３２と、ステージ３２の移動機構および入力表示部３９等から成る基台部５２と、圧子４１、対物レンズ４２、４３等から成る圧痕観察部５１と、基台部５２と圧痕観察部５１を接続する接続部５３により構成されている。この接続部５３には、開口部５４が形成されている。
【００１８】
この基台部５２は、テーブル３１上部に配設された、試料を載置するためのステージ３２を備える。ステージ３２は、試料をＸ方向およびＸ方向に直交するＹ方向に移動させるためのものであり、テーブル３１の上面に対して試料載置面が平行となるように配置される。このステージ３２には、試料をＸ方向に移動させるためのマイクロメータ式のツマミ３３と、試料をＹ方向に移動させるためのマイクロメータ式のツマミ３４とが付設されている。このステージ３２はツマミ３３、３４を操作することにより移動する手動式のＸＹステージである。なお、ステージ３２は電動式のＸＹステージであってもよい。また、ステージ３２は、昇降ハンドル３５の作用によりＸ方向とＹ方向に直交するＺ方向に昇降する構成となっている。
【００１９】
テーブル３１の正面には、入力表示部３９が配設されている。この入力表示部３９は、タッチパネル式の液晶表示パネルから構成され、各種データを入力するための入力キーを表示するとともに、試験条件や計測結果などの各種データを表示する。この入力表示部３９は、入力部および表示部として機能する。
【００２０】
本体部１には、パーソナルコンピュータ５０が接続される。パーソナルコンピュータ５０の本体５６には、入力部であるキーボード５７およびマウス５８と、表示部５５が接続されている。本体５６には、この硬さ試験機の本体部１の動作を制御する制御ソフトウェアがインストールされている。
【００２１】
圧痕観察部５１には、試料の表面の拡大画像を撮影するＣＣＤカメラ３７（図３参照）と、ターレット４０に支持された対物レンズで拡大された像をＣＣＤカメラ３７に入力させるための光学系が内蔵されている。ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像は、デジタル画像データとしてパーソナルコンピュータ５０に送信される。試料に形成された圧痕はＣＣＤカメラ３７によって得られた画像データによって観察され、その大きさが計測される。そして、圧痕の大きさに基づいて試料の表面の硬さが算出される。
【００２２】
図２は、ターレット４０に支持された対物レンズ等の配置を示す説明図である。
【００２３】
圧痕観察部５１は、試料に一定の試験力で押し込まれる圧子４１、４４と、これらの圧子４１、４４に対して試験力を付与するための負荷機構７０（図３参照）と、複数の対物レンズ４２、４３と、これらの圧子４１、４４および対物レンズ４２、４３を支持して回転するターレット４０とを備える。このターレット４０は、ツマミ４６を操作することにより、鉛直方向を向く回転軸Ｃを中心に回転する。なお、ターレット４０の回転は電動で行うようにしてもよい。
【００２４】
上述した圧子４１、４４は、例えば、試料に対してビッカース硬さ試験を実行するためのビッカース圧子、または、試料に対してヌープ硬さ試験を実行するためのヌープ圧子、または、ブリネル硬さ試験用のブリネル圧子に適宜付け替えることが可能である。なお、図２においては、２つの圧子４１、４４と２つの拡大倍率の異なる対物レンズ４２、４３を配置したターレット４０を例に示しているが、これに限定されない。例えば、２つの圧子と４つの拡大倍率の異なる対物レンズを配置したターレットであってもよい。
【００２５】
図３は、この考案に係る硬さ試験機の主要な制御系を説明するブロック図である。
【００２６】
この硬さ試験機は、本体部１に試験機の動作を制御する試験機制御部８０を備え、この試験機制御部８０は通信ケーブルを介してパーソナルコンピュータ５０の本体５６に接続されている。試験機制御部８０とパーソナルコンピュータ５０の本体５６は、この硬さ試験機の制御部を構成する。試験機制御部８０には、入力表示部３９、負荷機構７０の駆動系が接続されている。また、試験機制御部８０における通信部８２は、パーソナルコンピュータ５０や他の端末との通信機能を実現するブロックであり、基板上に構成された回路によって実現される。
【００２７】
パーソナルコンピュータ５０の本体５６には、入力部であるキーボード５７やマウス５８と、表示部５５が接続され、さらに、本体部１に内蔵されたＣＣＤカメラ３７が接続されている。本体５６内には、ＲＯＭやＲＡＭなどのメモリ９１、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）などの演算装置９８、記憶装置９９が設けられ、互いにバスにより接続されている。メモリ９１には、プログラムの機能モジュールである画像処理部９２、接点検出部９３、校正部９４、表示制御部９５が格納される。各機能は演算装置９８がプログラムを実行することにより実現される。画像処理部９２は、ＣＣＤカメラ３７からの入力をデジタル処理し画像データを記憶装置９９に記憶させる。接点検出部９３は、対物ミクロメータ６０（図４参照）を撮影して得た画像上を垂直線および水平線で走査することで、基準パターンの各円周と上述の垂直線または水平線である直線との接点を検出する。校正部９４は、画像上の距離が実寸法に一致するように画像のＸ方向およびＹ方向の校正値を算出して記憶する。また、表示制御部９５は、表示部５５への撮影画像の表示やＧＵＩ部品の画面上での配置などの表示態様を制御する。
【００２８】
図４は、この考案に係る対物ミクロメータ６０の概要図である。この図においては、紙面上段に対物ミクロメータ６０の平面概要図を示し、下段に基準パターン６３の拡大図を示す。
【００２９】
この画像校正用の対物ミクロメータ６０は、金属製の外装部材６１の中央付近に基準スケールとしての機能を実現する基準パターン６３を形成した円形のガラス板６２を埋め込んだものである。基準パターン６３は、中心マーカ６４と、中心マーカ６４と中心点を共有する複数の同心円を所定の間隔で形成したものである。このような基準パターン６３は、蒸着またはエッチングにより形成される。この対物ミクロメータ６０では、半径０．０２ｍｍで、黒と白の２種類の色により区別される中心角９０度の扇形を交互に組み合わせた中心マーカ６４を、ガラス板６２の中央に形成している。中心マーカ６４としては、十字線を用いることも可能であるが、線の場合は画像上の中心点を線の太さを考慮して決める必要がある。この実施形態においては線の太さを考慮することなく、色の境界により画像上で中心となる画素位置を正確に決めることができる。なお、中心マーカ６４は、２種類の色により区別される中心角６０度の扇形、あるいは、中心角４５度の扇形を交互に組み合わせたものであってもよいが、中心角９０度の扇形の方が中心付近の色の境界が明確であり中心点を正確に決めることができる。
【００３０】
中心マーカ６４によって判別される中心点を共有する複数の同心円は、０．０１ｍｍの間隔で形成されており、各円周が目盛の役割を果たす。同心円は、中心から円周までの距離がどの方向でも一定であることから、ユーザは、対物ミクロメータ６０をステージ３２に設置したときのＸ方向、Ｙ方向の傾きを気にする必要がない。
【００３１】
対物ミクロメータ６０を使用した画像の校正について説明する。図５および図６は、表示部５５に表示する基準パターン６３の画像例である。対物ミクロメータ６０の使用状態におけるＣＣＤカメラ３７の視野としては、中心マーカ６４が表示部５５に表示されるような視野となっていることが必要である。すなわち、中心マーカ６４が見えている状態が必要である。なお、これらの図において、表示部５５に表示されている範囲以外の対物ミクロメータ６０の全体も描いてあり、矩形の表示枠６８で囲まれた領域が、表示部５５に表示されているものとする。
【００３２】
ここで表示画面上のＸ方向とＹ方向について注釈しておく。表示画面上のＸ方向とＹ方向はＣＣＤカメラ３７に内蔵される撮像素子の各画素の並び方向であって、そのうちの長い辺の方向がＸ方向である。すなわち、Ｘ方向は図５における表示枠６８が示す矩形の長い方の辺（図５の横方向）が示す方向である。そしてＹ方向は、上記のＸ方向と直交する方向で、撮像素子の各画素の並び方向の短い辺の方向である。すなわち、Ｙ方向は図５における表示枠６８が示す矩形の短い方の辺（図５の縦方向）が示す方向である。なお、表示画面上のＸ方向およびＹ方向は、ステージ３２の駆動方向であるＸ方向およびＹ方向と同じ方向であるように調整されている。
【００３３】
接点検出部９３は、表示部５５に表示した基準パターン６３の画像上において、垂直線で画面を左右に走査するとともに、水平線で画面を上下に走査し、各円周と垂直線または水平線である直線との接点を検出する。しかる後、校正部９４は、各円周と垂直線との接点のうち、画面のＸ方向に最も離隔した２点間の画素数と寸法情報とから、１画素あたりのＸ方向の実寸法を算出する。各円周と水平線との接点のうち画面のＹ方向に最も離隔した２点間の画素数と寸法情報とから、１画素あたりのＹ方向の実寸法を算出する。寸法情報は、中心マーカ６４の半径と、同心円の各円周間の間隔を含む。なお、寸法情報は予め記憶装置９９に記憶させておく。ここで、水平線とはＸ方向に並んだ画素を結んだ線であり、表示画面上の横方向の線である。垂直線とはＹ方向に並んだ画素を結んだ線であり、表示画面上の縦方向の線である。そして、垂直線で画面を左右に走査するとは、その垂直線を画面上でＸ方向に動かしていくことであり、水平線で画面を上下に走査するとは、その水平線を画面上でＹ方向に動かしていくことである。
【００３４】
なお、画面のＸ方向に最も離隔した２点には、接点検出部９３の作用による垂直線での走査において、左から右に走査したときに最初に検出された円周との接点と、右から左に走査したときに最初に検出された円周との接点とが選択される。また、画面のＹ方向に最も離隔した２点には、接点検出部９３の作用による水平線での走査において、上から下に走査したときに最初に検出された円周との接点と、下から上に走査したときに最初に検出された円周との接点とが選択される。水平線および垂直線による走査は、画面のＸ方向、Ｙ方向において、必ずしも一方向に端から端まで行う必要はなく、矩形の表示枠６８の上下左右の端から最も近い円周との接点が検出できていれば、最も離隔した２点を決めることができる。
【００３５】
図５に示した例では、同心円の各円周と垂直線との接点のうち、画面のＸ方向に最も離隔した２点間の距離は、寸法情報から１７０μｍ（マイクロメートル）となる。この２点間の距離１７０μｍを基準長さとし、２点間の画素数が６９９画素であるとすると、Ｘ方向の１画素あたりの実寸法は、１７０／６９９＝０．２４３μｍ／画素となり、この値がＸ方向の校正値となる。同心円の各円周と水平線との接点のうち、画面のＹ方向に最も離隔した２点間の距離は、寸法情報から１２０μｍとなる。この２点間の距離１２０μｍを基準長さとし、２点間の画素数が４９２画素であるとすると、Ｙ方向の１画素あたりの実寸法は、１２０／４９２＝０．２４４μｍ／画素となり、この値が、Ｙ方向の校正値となる。
【００３６】
Ｘ方向の校正値およびＹ方向の校正値は、対物レンズ４２、４３の倍率に対応付けて記憶装置９９に記憶される。そして、これらの校正値は、試験により試料に形成された圧痕の大きさを、ＣＣＤカメラ３７で撮影した画像から読み取る際に、画像上の画素数として数えられた値を実寸法に換算するために利用される。
【００３７】
図５では、各円周と垂直線との接点、各円周と水平線との接点のうち最も離隔した２点間の画素数と寸法情報から、Ｘ方向およびＹ方向の校正値を求める例を示したが、図６では、中心マーカ６４の中心点と各円周と直線との接点のうち中心点から最も離隔した点との間の画素数と寸法情報から、Ｘ方向およびＹ方向の校正値を求める場合を示している。図６の例では、ＣＣＤカメラ３７により撮影した対物ミクロメータ６０の画像上で、中心マーカ６４の中心点を読み取る。この中心点の読み取りは、画像処理により自動的に行ってもよく、ユーザが表示部５５に表示された中心マーカ６４の画像を見ながら画像上の中心点を、マウス５８を利用して指定してもよい。
【００３８】
基準パターン６３の画像上で、垂直線による画面左右への走査と、水平線による画面上下への走査により、各円周と直線との接点が検出されると、その接点のうち、中心点から最も離隔した接点が、Ｘ方向、Ｙ方向のそれぞれについて選択される。各円周と垂直線との接点のうち中心点から画面のＸ方向に最も離隔した点と中心点との距離は、寸法情報から９０μｍとなる。この２点間の距離９０μｍを基準長さとし、２点間の画素数が３７０画素であるとすると、Ｘ方向の１画素あたりの実寸法は、９０／３７０＝０．２４３μｍ／画素となり、この値がＸ方向の校正値となる。各円周と水平線との接点のうち中心点から画面のＹ方向に最も離隔した点と中心点との距離は、寸法情報から９０μｍとなる。この２点間の距離９０μｍを基準長さとし、２点間の画素数が３６９画素であるとすると、Ｙ方向の１画素あたりの実寸法は、９０／３６９＝０．２４４μｍ／画素となり、この値が、Ｙ方向の校正値となる。
【００３９】
なお、図６の例では、垂直線で画面を左右に走査し、各円周と垂直線との接点のうち画面のＸ方向に最も離隔した２点間の距離、および、水平線で画面を上下に走査し、画面のＹ方向に最も離隔した２点間の距離は、いずれも寸法情報から７０μｍとなる。２点間の距離が長く画素数が多いほど、校正値における有効数字に対して端数を小さくすることができる。このため、図６では、円周と直線との接点のうち最も離隔した２点間よりも、中心点と円周と直線との接点のうち中心点から最も離隔した点との間の距離が長い場合は、距離の長い方を採用して２点を決め、校正値を求めるようにするほうが好ましい。
【００４０】
なお、上述した実施形態では、対物ミクロメータ６０の基準パターン６３の撮影画像から画像校正を行う機能構成である接点検出部９３と校正部９４を、パーソナルコンピュータ５０に設けているが、これらの機能を実現する回路と記憶部を試験機制御部８０の機能構成として本体部１のテーブル３１内に設けてもよい。この場合には、基準パターン６３の撮影画像を入力表示部３９に表示させ、本体部１の記憶部に校正値を記憶するようにすればよい。
【符号の説明】
【００４１】
１        本体部
３１      テーブル
３２      ステージ
３７      ＣＣＤカメラ
３９      入力表示部
４０      ターレット
４１      圧子
４２      対物レンズ
４３      対物レンズ
４４      圧子
５０      パーソナルコンピュータ
５１      圧痕観察部
５２      基台部
５３      接続部
５４      開口部
５５      表示部
５６      本体
５７      キーボード
５８      マウス
６０      対物ミクロメータ
６１      外装部材
６２      ガラス板
６３      基準パターン
６４      中心マーカ
６８      表示枠
７０      負荷機構
８０      試験機制御部
８２      通信部
９１      メモリ
９２      画像処理部
９３      接点検出部
９４      校正部
９５      表示制御部
９８      演算装置
９９      記憶装置
【図１】
0003217602.tif 000003
【図２】
0003217602.tif 000004
【図３】
0003217602.tif 000005
【図４】
0003217602.tif 000006
【図５】
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【図６】
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