【手続補正書】
【提出日】平成26年9月16日(2014.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。尚、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（リセット間隔を補正して複数回リセット駆動を行う撮像装置の例）
２．変形例１（パッシブ型の画素回路の他の例）
３．変形例２（パッシブ型の画素回路の他の例）
４．変形例３，４（アクティブ型の画素回路の例）
５．変形例５，６（放射線に基づいて撮像を行う撮像部の例）
６．変形例７（リセット電圧値を補正する場合の例）
７．適用例（撮像表示システムへの適用例）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
シフトレジスタ回路１３１は、システム制御部１６から供給されるスタートパルスＶＳＴ１およびクロック信号ＣＬＫ１に基づいて、複数の単位回路１３０全体として、Ｖ方向に順次シフトするパルス信号を生成する回路である。同様に、シフトレジスタ回路１３２は、システム制御部１６から供給されるスタートパルスＶＳＴ２およびクロック信号ＣＬＫ２に基づいて、複数の単位回路１３０全体として、Ｖ方向に順次シフトするパルス信号を生成する回路である。これらのシフトレジスタ回路１３１，１３２は、後述するリセット駆動の実行回数（例えば２回）に対応して設けられたものである（実行回数に対応して２列設けられている）。即ち、例えば、シフトレジスタ回路１３１は、１回目のリセット駆動用のパルス信号を生成する役割を担う一方、シフトレジスタ回路１３２は、２回目のリセット駆動用のパルス信号を生成する役割を担っている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
（リセットタイミング補正部１８）
リセットタイミング補正部１８は、リセット間隔（後述のリセット間隔Ａ）と残像特性との相関関係（例えば、ルックアップテーブル（ＬＵＴ））を予め保持しており、この相関関係に基づいて、リセットタイミング（リセット間隔）を補正（調整）する処理部である。後述するように、撮像部１１の各画素２０では、光電変換素子２１におけるいわゆるDecay現象（後述するように読み出し後に電荷が放出され、その放出電荷量が時系列に沿って減衰していく現象）により、撮像画像に残像が生じる。このようなDecay現象に起因して蓄積ノードＮに蓄積される電荷量（残留電荷量）の時間的変化（残像特性，Decay特性）は、光電変換素子２１に使用される光電変換材料等に応じて異なり、即ち撮像部１１の構成に固有のものである。従って、撮像部１１における残像特性を予め測定しておき、この測定結果を補正用のルックアップテーブルとして保持しておけばよい。尚、本実施の形態および本開示における「残像」とは、撮影した画像においては、実際の撮像時刻（露光期間）よりも前に蓄積された信号電荷に基づく実際の被写体像とは異なる像を意味し、出力データＤoutにおいてはノイズ成分となるものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
（読み出し／リセット後の信号電荷の残存）
上述のように、読み出し／第１リセット期間Ｔｒ１では、読み出し動作に伴ってリセット動作がなされるが、この期間Ｔｒ１後であっても、それ以前に蓄積されていた信号電荷の一部が画素２０内に残る場合がある。信号電荷の一部が画素２０内に残ると、次の読み出し動作時（次のフレーム期間での撮像時）においてその残留電荷に起因した残像が発生し、撮像画質が劣化してしまう。以下、図７〜図１２を参照して、このような信号電荷の残存について、詳細に説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
ここで、図１７にDecayの時間的変化（残像特性）を示す。これは、フレーム０（ゼロ）において信号電荷の読み出しを行い、その読み出した信号電荷量を１００％とした場合のフレーム１以降の残留電荷量（％）をプロットし、これを近似したものである。但し、フレーム０，１，２，…は、５０（フレーム／秒）で時間的に連続するタイミングで取得したフレームとする。また、図１８には、リセット間隔Ａ（ｍｓ）と残留電荷量（％）の関係を示す。これは、図１７のフレーム０においてリセット間隔Ａを変化させた場合の、１フレームにおける残留電荷量（フレーム０で読み出した信号電荷量を１００％とする）を表すものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
また、図１９には、補正用のルックアップテーブルとして、上記のようなリセット間隔Ａと残像特性との相関関係の一例を示す。これは、例えば、図１７のフレーム０における１回目のリセット動作と２回目のリセット動作とのリセット間隔Ａを変化させながら、その次の１フレームにおける残留電荷量をプロットし、これを近似したものである。補正時には、このようにして作成した特性図において、所望の残像規定値Ｂ（例えば１％）以下となるようなリセット間隔Ａの値（Ａ１）を選択する。そして、リセットタイミング（２回目のリセットタイミング）を、そのリセット間隔Ａの値Ａ１となるようなタイミングへ補正（調整）する。このようにして得られたリセットタイミングについての補正データＤｔは、システム制御部１６へ出力され、入力された補正後のリセットタイミングに基づいて、各画素２０のリセット駆動が行われる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１〜７）について説明する。尚、上記実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
＜変形例２＞
図２１は、変形例２に係る画素（画素２０Ｄ）の回路構成を、上記実施の形態で説明した列選択部１７の回路構成例と共に表したものである。本変形例の画素２０Ｄは、実施の形態の画素２０と同様にいわゆるパッシブ型の回路構成となっており、１つの光電変換素子２１を有しており、Ｈ方向に沿って延在する読み出し制御線Ｌread、Ｖ方向に沿って延在する信号線Ｌsigとに接続されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
＜変形例３，４＞
図２２は、変形例３に係る画素（画素２０Ｂ）の回路構成を、以下説明する列選択部１７Ｂの回路構成例とともに表したものである。また、図２３は、変形例４に係る画素（画素２０Ｃ）の回路構成を、列選択部１７Ｂの回路構成例とともに表したものである。これらの変形例３，４に係る画素２０Ｂ，２０Ｃはそれぞれ、これまで説明した画素２０，２０Ａとは異なり、いわゆるアクティブ型の画素回路を有している。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
また、これらの変形例３，４において列選択部１７Ｂは、前述した列選択部１７において、チャージアンプ１７２、容量素子Ｃ１およびスイッチＳＷ１に代わりに、定電流源１７１およびアンプ１７６を設けたものとなっている。アンプ１７６では、正側の入力端子には信号線Ｌsigが接続されると共に、負側の入力端子と出力端子とが互いに接続され、ボルテージフォロワ回路が形成されている。尚、信号線Ｌsigの一端側には定電流源１７１の一方の端子が接続され、この定電流源１７１の他方の端子には電源ＶＳＳが接続されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
このようなアクティブ型の回路構成を有する画素２０Ｂ，２０Ｃを有する撮像装置においても、読み出し後の残留電荷に起因して残像が発生する。このため、変形例３，４においても、上記実施の形態と同様、複数回のリセット動作を行い、またリセット間隔Ａを残像特性に応じて補正することにより、残像を低減して、撮像画像の高画質化を図ることができる。但し、アクティブ型の回路構成を有する画素２０Ｂ，２０Ｃに対しては、以下のようにして撮像動作（線順次撮像駆動）が行われる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
＜変形例５，６＞
図２５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、変形例５，６に係る撮像部（撮像部１１Ａ，１１Ｂ）の概略構成を模式的に表したものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
これらの変形例５，６に係る撮像部１１Ａ，１１Ｂを備えた撮像装置では、入射した放射線Ｒradに基づいて電気信号を得る、様々な種類の放射線撮像装置として利用される。放射線撮像装置としては、例えば、医療用のＸ線撮像装置（Digital Radiography等）や、空港等で用いられる携帯物検査用Ｘ線撮影装置、工業用Ｘ線撮像装置（例えば、コンテナ内の危険物等の検査や、鞄等の中身の検査を行う装置）などに適用することが可能である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げたが、本開示内容はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、撮像部における画素の回路構成は、上記実施の形態等で説明したもの（画素２０，２０Ａ〜２０Ｄの回路構成）には限られず、他の回路構成であってもよい。同様に、行走査部や列選択部等の回路構成についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の回路構成であってもよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が光電変換素子を含む複数の画素を有する撮像部と、
前記画素内に蓄積された信号電荷の読み出し駆動およびリセット駆動を行う駆動部と、
前記撮像部から出力される画像において残像が低減されるように、前記リセット駆動を行うタイミングを補正する補正部と
を備えた撮像装置。
【請求項２】
前記駆動部は、前記リセット駆動を１フレーム期間内で間欠的に複数回行い、
前記補正部は、各リセット駆動動作の時間間隔（リセット間隔）を最適化することにより前記タイミングを補正する
請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記補正部は、
前記リセット間隔と残像特性との相関関係を予め保持すると共に、前記相関関係を用いて所望の残像値以下となるリセット間隔を選択し、
選択したリセット間隔に応じて前記タイミングを調整する
請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記駆動部による読み出し駆動に伴って、前記画素内の信号電荷のリセット動作がなされる
請求項２または請求項３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記駆動部は、１フレーム期間において、前記読み出し駆動に伴うリセット動作を１回目のリセット動作として、この１回目のリセット動作後、間欠的に１または２以上のリセット動作がなされるように、前記リセット駆動を複数回にわたって行う
請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記駆動部は、１フレーム期間において、前記１回目のリセット動作を含む計ｎ回（ｎは２以上の整数）のリセット動作がなされるように複数回のリセット駆動を行うと共に、（ｎ−１）回目のリセット動作後、前記補正後のタイミングに基づいてｎ回目のリセット駆動を行う
請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記駆動部は、１フレーム期間において、前記１回目のリセット動作を含む計２回のリセット駆動を行う
請求項６に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記補正部は、前記タイミングと共に、前記リセット動作の際に前記画素のトランジスタに印加するリセット電圧を補正する
請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項９】
前記駆動部は、１フレーム期間において、前記１回目のリセット動作を含む計ｎ回（ｎは２以上の整数）のリセット動作がなされるように複数回のリセット駆動を行うと共に、前記補正部によって補正されたリセット電圧を用いてｎ回目のリセット駆動を行う
請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記駆動部は、前記ｎ回目のリセット駆動を、（ｎ−１）回目よりも低いリセット電圧を用いて行う
請求項９に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記補正部は、前記タイミングの補正を、環境条件を考慮して行う
請求項１ないし請求項１０のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記補正部は、前記タイミングの補正を、装置起動前または動画撮影前に行う
請求項１ないし請求項１１のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項１３】
前記光電変換素子が、ＰＩＮ型のフォトダイオードまたはＭＩＳ型センサからなる
請求項１ないし請求項１２のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記撮像部が、入射した放射線に基づいて電気信号を発生させるものである
請求項１ないし請求項１２のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項１５】
前記撮像部は、前記光電変換素子上に、放射線を前記光電変換素子の感度域に変換する波長変換層を有する
請求項１３に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記放射線がＸ線である
請求項１４または請求項１５に記載の撮像装置。
【請求項１７】
前記複数の画素を駆動するためのトランジスタを有し、
前記トランジスタは、アモルファスシリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコンまたは酸化物半導体よりなる
請求項１ないし請求項１６のいずれか１つに記載の撮像装置。
【請求項１８】
撮像装置と、この撮像装置により得られた撮像信号に基づく画像表示を行う表示装置とを備え、
前記撮像装置は、
各々が光電変換素子を含む複数の画素を有する撮像部と、
前記画素内に蓄積された信号電荷の読み出し駆動およびリセット駆動を行う駆動部と、
前記撮像部から出力される画像において残像が低減されるように、前記リセット駆動を行うタイミングを補正する補正部とを有する
撮像表示システム。