【手続補正書】
【提出日】平成26年9月2日(2014.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＢＳに露出した第１の面と、この第１の面とＺ軸方向において離間して平行をなす第２の面とを有するスライダと、
前記スライダにおける第１の面と第２の面との間に設けられ、ＡＢＳに露出した一端面を含む垂直磁気ポール（ＰＭＰ）と、
前記スライダの第２の面に配置され、Ｚ軸方向へＴＥモードのレーザビームを射出するＴＥモードで動作するレーザダイオード（ＬＤ）と、
前記スライダの第２の面から第１の面へ向けてＺ軸方向へ延在し、前記ＴＥモードのレーザビームとの最適な結合がなされるように配置されたＴＥモードで動作する光導波路（ＷＧ）と、
Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向において前記ＰＭＰと前記ＷＧとの間に設けられ、Ｚ軸方向へ延在し、前記ＰＭＰと対向するＰＭＰ対向面と、前記ＷＧと対向するＷＧ対向面とを含むセルフフォーカシングプラズモンジェネレータ（ＳＧＰＧ）と
を備え、
前記ＳＧＰＧは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交するＸ軸方向において誘電体ギャップを介して対向配置された一対の金属部分をそれぞれ含み、前記レーザダイオードの側からＡＢＳへ向けて順に配置されると共に互いに結合した第１から第３の領域部分に区分され、
前記一対の金属部分のＸ軸方向の相互間隔は、前記ＷＧ対向面から前記ＰＭＰ対向面へ向かうほど小さくなると共に、Ｚ軸方向に沿ってＡＢＳへ近づくほど小さくなり、
前記ＷＧを前記ＴＥモードで伝播する光学的放射が前記ＳＧＰＧと結合し、前記ＰＭＰから０．１μｍ以内の位置に５０ｎｍの幅で集束されたプラズモン放射としてＡＢＳに現れ、
前記第１から第３の領域部分は、それぞれ少なくとも２つの内面を有し、
前記ＷＧは、Ｙ軸方向において前記ＳＧＰＧと重なり合うように、前記ＳＧＰＧから０．１μｍ以内の位置に離間して、かつ、その端縁がＡＢＳに露出し、もしくはＡＢＳから１μｍ以下の位置となるように設けられ、
光学的放射のエッジ結合が前記ＳＧＰＧと前記ＷＧとの間で生じている
熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項２】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、前記ＡＢＳへ近づくほど互いの距離が近づくように設けられた第２の側面をそれぞれ有し、
前記第２の側面の間隔は、前記第１の領域部分との接続部分において０．１μｍ以上１．０μｍ以下であると共に前記第３の領域部分との接続部分において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下であり、
前記第２の領域部分におけるＺ軸方向の長さは０．１μｍ以上２．０μｍ以下であり、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項３】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有し、ギャッププラズモン共振器として機能し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項４】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項５】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は第２の側面をそれぞれ有すると共に第１および第２の部分に区分され、前記第１の部分における前記第２の側面は前記第１の領域部分における前記第１の側面と連続し、前記第２の部分における前記第２の側面は放物線状の輪郭を有し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において２．０μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項６】
磁気記録媒体への熱アシスト垂直磁気記録方法であって、
ＡＢＳに露出した第１の面と、この第１の面とＺ軸方向において離間して平行をなす第２の面とを有するスライダを用意することと、
前記第１の面と第２の面との間に、ＡＢＳに露出した一端面を含む垂直磁気ポール（ＰＭＰ）を設けることと、
前記スライダの第２の面に、Ｚ軸方向へＴＥモードのレーザビームを射出するＴＥモードで動作するレーザダイオード（ＬＤ）を配置することと、
前記スライダの第２の面から第１の面へ向けてＺ軸方向へ延在し、前記ＴＥモードのレーザビームとの最適な結合がなされるように光導波路（ＷＧ）を配置することと、
Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向において前記ＰＭＰと前記ＷＧとの間に、Ｚ軸方向へ延在し、前記ＰＭＰと対向するＰＭＰ対向面と、前記ＷＧと対向するＷＧ対向面とを含むセルフフォーカシングプラズモンジェネレータ（ＳＧＰＧ）を設けることと
を含み、
前記ＳＧＰＧを、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交するＸ軸方向において誘電体ギャップを介して対向配置された一対の金属部分を含み、前記レーザダイオードの側からＡＢＳへ向けて順に区分されて互いに結合した、それぞれ少なくとも２つの内面を有する第１から第３の領域部分を含むようにし、
前記一対の金属部分を、そのＸ軸方向の相互間隔が前記ＷＧ対向面から前記ＰＭＰ対向面へ向かうほど小さくなると共にＺ軸方向に沿ってＡＢＳへ近づくほど小さくなるように形成し、前記ＷＧを前記ＴＥモードで伝播する光学的放射が前記ＳＧＰＧと結合し、前記ＰＭＰから０．１μｍ以内の位置に５０ｎｍの幅で集束されたプラズモン放射としてＡＢＳに現れるようにし、
前記ＷＧを、Ｙ軸方向において前記ＳＧＰＧと重なり合うように、前記ＳＧＰＧから０．１μｍ以内の位置に離間して、かつ、その端縁がＡＢＳに露出し、もしくはＡＢＳから１μｍ以下の位置となるように設け、
光学的放射のエッジ結合を前記ＳＧＰＧと前記ＷＧとの間で生じさせる
熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項７】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するように形成し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、前記ＡＢＳへ近づくほど互いの距離が近づくように設けられた第２の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の側面の間隔を、前記第１の領域部分との接続部分において０．１μｍ以上１．０μｍ以下であると共に前記第３の領域部分との接続部分において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下とし、
前記第２の領域部分におけるＺ軸方向の長さを０．１μｍ以上２．０μｍ以下とし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項８】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有するようにし、ギャッププラズモン共振器として機能させ、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項９】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項１０】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、第２の側面をそれぞれ有するようにすると共に第１および第２の部分に区分し、前記第１の部分における前記第２の側面を前記第１の領域部分における前記第１の側面と連続させ、前記第２の部分における前記第２の側面を放物線状の輪郭を有するようにし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項１１】
ＡＢＳに露出した第１の面と、この第１の面とＺ軸方向において離間して平行をなす第２の面とを有するスライダと、
前記スライダにおける第１の面と第２の面との間に設けられ、ＡＢＳに露出した一端面を含む垂直磁気ポール（ＰＭＰ）と、
前記スライダの第２の面に配置され、Ｚ軸方向へＴＥモードのレーザビームを射出するＴＥモードで動作するレーザダイオード（ＬＤ）と、
前記スライダの第２の面から第１の面へ向けてＺ軸方向へ延在し、前記ＴＥモードのレーザビームとの最適な結合がなされるように配置されたＴＥモードで動作する光導波路（ＷＧ）と、
Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向において前記ＰＭＰと前記ＷＧとの間に設けられ、Ｚ軸方向へ延在し、前記ＰＭＰと対向するＰＭＰ対向面と、前記ＷＧと対向するＷＧ対向面とを含むセルフフォーカシングプラズモンジェネレータ（ＳＧＰＧ）と
を備え、
前記ＳＧＰＧは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交するＸ軸方向において誘電体ギャップを介して対向配置された一対の金属部分をそれぞれ含み、前記レーザダイオードの側からＡＢＳへ向けて順に配置されると共に互いに結合した第１から第３の領域部分に区分され、
前記一対の金属部分のＸ軸方向の相互間隔は、前記ＷＧ対向面から前記ＰＭＰ対向面へ向かうほど小さくなると共に、Ｚ軸方向に沿ってＡＢＳへ近づくほど小さくなり、
前記ＷＧを前記ＴＥモードで伝播する光学的放射が前記ＳＧＰＧと結合し、前記ＰＭＰから０．１μｍ以内の位置に５０ｎｍの幅で集束されたプラズモン放射としてＡＢＳに現れ、
前記第１から第３の領域部分は、それぞれ少なくとも２つの内面を有し、
前記ＳＧＰＧは、前記ＷＧの直下に０．２μｍ以内の位置に設けられており、前記ＳＧＰＧと前記ＷＧとの間に直接的な放射結合が生じている
熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項１２】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、前記ＡＢＳへ近づくほど互いの距離が近づくように設けられた第２の側面をそれぞれ有し、
前記第２の側面の間隔は、前記第１の領域部分との接続部分において０．１μｍ以上１．０μｍ以下であると共に前記第３の領域部分との接続部分において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下であり、
前記第２の領域部分におけるＺ軸方向の長さは０．１μｍ以上２．０μｍ以下であり、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項１３】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有し、ギャッププラズモン共振器として機能し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項１４】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項１５】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分は第２の側面をそれぞれ有すると共に第１および第２の部分に区分され、前記第１の部分における前記第２の側面は前記第１の領域部分における前記第１の側面と連続し、前記第２の部分における前記第２の側面は放物線状の輪郭を有し、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分は、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有し、一端がＡＢＳに露出している
請求項１１記載の熱アシスト垂直磁気記録装置。
【請求項１６】
磁気記録媒体への熱アシスト垂直磁気記録方法であって、
ＡＢＳに露出した第１の面と、この第１の面とＺ軸方向において離間して平行をなす第２の面とを有するスライダを用意することと、
前記第１の面と第２の面との間に、ＡＢＳに露出した一端面を含む垂直磁気ポール（ＰＭＰ）を設けることと、
前記スライダの第２の面に、Ｚ軸方向へＴＥモードのレーザビームを射出するＴＥモードで動作するレーザダイオード（ＬＤ）を配置することと、
前記スライダの第２の面から第１の面へ向けてＺ軸方向へ延在し、前記ＴＥモードのレーザビームとの最適な結合がなされるように光導波路（ＷＧ）を配置することと、
Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向において前記ＰＭＰと前記ＷＧとの間に、Ｚ軸方向へ延在し、前記ＰＭＰと対向するＰＭＰ対向面と、前記ＷＧと対向するＷＧ対向面とを含むセルフフォーカシングプラズモンジェネレータ（ＳＧＰＧ）を設けることと
を含み、
前記ＳＧＰＧを、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交するＸ軸方向において誘電体ギャップを介して対向配置された一対の金属部分を含み、前記レーザダイオードの側からＡＢＳへ向けて順に区分されて互いに結合した、それぞれ少なくとも２つの内面を有する第１から第３の領域部分を含むようにし、
前記一対の金属部分を、そのＸ軸方向の相互間隔が前記ＷＧ対向面から前記ＰＭＰ対向面へ向かうほど小さくなると共にＺ軸方向に沿ってＡＢＳへ近づくほど小さくなるように形成し、前記ＷＧを前記ＴＥモードで伝播する光学的放射が前記ＳＧＰＧと結合し、前記ＰＭＰから０．１μｍ以内の位置に５０ｎｍの幅で集束されたプラズモン放射としてＡＢＳに現れるようにし、
前記ＳＧＰＧを、前記ＷＧの直下に０．２μｍ以内の位置に設け、前記ＳＧＰＧと前記ＷＧとの間に直接的な放射結合を生じさせる
熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項１７】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するように形成し、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、前記ＡＢＳへ近づくほど互いの距離が近づくように設けられた第２の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の側面の間隔を、前記第１の領域部分との接続部分において０．１μｍ以上１．０μｍ以下であると共に前記第３の領域部分との接続部分において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下とし、
前記第２の領域部分におけるＺ軸方向の長さを０．０５μｍ以上２．０μｍ以下とし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項１６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項１８】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有するようにし、ギャッププラズモン共振器として機能させ、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項１６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項１９】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．２μｍ以上１．６μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．０５μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第２の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項１６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。
【請求項２０】
前記第１の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．１μｍ以上１．０μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．１μｍ以上２．０μｍ以下の長さに亘って互いに平行に延在する第１の側面をそれぞれ有するようにし、
前記第２の領域部分において、前記一対の金属部分を、第２の側面をそれぞれ有するようにすると共に第１および第２の部分に区分し、前記第１の部分における前記第２の側面を前記第１の領域部分における前記第１の側面と連続させ、前記第２の部分における前記第２の側面を放物線状の輪郭を有するようにし、
前記第３の領域部分において、前記一対の金属部分を、Ｘ軸方向において０．０１μｍ以上０．１μｍ以下の間隔で対向すると共にＺ軸方向において０．２μｍ以下の長さに亘って延在する第３の側面をそれぞれ有すると共に一端がＡＢＳに露出するように形成する
請求項１６記載の熱アシスト垂直磁気記録方法。