【手続補正書】
【提出日】平成26年1月10日(2014.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を施す基板処理装置であって、
ベース部と、
前記基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、
前記搬送シャフトを前記ベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、を有し、
前記軸受保持ユニットは、
前記軸受を保持する軸受ホルダーと、
前記搬送シャフトを通し、前記軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、
前記メインシャフトを固定することで前記メインシャフトへ前記軸受の内輪を押し付けるための予圧を与える予圧付与部材と、
前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトを前記搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記メインシャフトは、テーパ状の突き当て内面部を有し、
前記メインシャフト固定部は、メインシャフト固定用スリーブと、メインシャフト固定ナットを有し、
前記メインシャフト固定用スリーブは、前記メインシャフトの前記テーパ状の突き当て内面部に突き当てられるテーパ状の突き当て外面部を有し、
前記メインシャフト固定ナットを前記メインシャフトに固定して、前記メインシャフト固定用スリーブの前記テーパ状の突き当て外面部を、前記メインシャフトの前記テーパ状の突き当て内面部に押し当てて、前記メインシャフト固定用スリーブの内面を前記搬送シャフトの外面に固定することで、前記メインシャフトは前記メインシャフト固定用スリーブを介して前記搬送シャフトに固定させることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記メインシャフトは外周部にオネジを有し、前記予圧付与部材は内周部にメネジを有し、前記予圧付与部材の前記メネジが前記メインシャフトの前記オネジにかみ合うことで、前記メインシャフトへ前記軸受の内輪を押し付けるための予圧を与えることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記ベース部材に保持部材が固定されており、前記保持部材は、前記軸受保持ユニットの前記軸受ホルダーを着脱可能に保持する凹部状の軸受保持部を有し、
前記軸受ホルダーは、前記軸受保持部内で回転可能に保持され、前記軸受ホルダーには、前記軸受保持部内における回転角度を規制する回転規制部材を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記軸受保持ユニットは、前記基板の洗浄処理工程において、エア吹き付けにより前記基板上の洗浄処理液を除去した後の前記基板を搬送するためのドライ搬送部に用いられ、
前記軸受保持ユニットは樹脂製であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の実施形態に係る基板処理装置は、基板に処理を施す基板処理装置であって、ベース部と、前記基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、前記搬送シャフトを前記ベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、を有し、前記軸受保持ユニットは、前記軸受を保持する軸受ホルダーと、前記搬送シャフトを通し、前記軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトへの前記軸受の内輪を押し付けるための予圧を与える予圧付与部材と、前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトを前記搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図６（Ａ）と図７に示す軸受予圧用のナット５４は、取り付けることにより軸受５２のインナーレース５２Ａに対して、中心軸ＣＬと平行な方向に予圧を与えるための予圧付与部材の一例である。軸受予圧用のナット５４は、例えば樹脂製であり、メインシャフト固定用スリーブ５６が樹脂製であると、金属製であるのに比べて、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図７に示すように、軸受予圧用のナット５４は、内周部にメネジ５４Ｍを有している。この軸受予圧用のナット５４のメネジ５４Ｍが、メインシャフト５７のオネジ５７Ｎにかみ合うことで、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、図６（Ａ）に示すように、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部に突き当てられるようになっている。突き当て内端部５４Ｔは、ナット５４の全周囲に渡って形成されている。これにより、軸受予圧用のナット５４は、インナーレース５２Ａに対して予圧を与える方向ＰＫに押す。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図７の軸受予圧用のナット５４のメネジ５４Ｍが、メインシャフト５７のオネジ５７Ｎにかみ合うことで、軸受５２のインナーレース５２Ａの一方の側面部がこの突き当て部６１Ａに突き当てられる。しかも、すでに説明したように、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、図６（Ａ）に示すように、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部に突き当てられるようになっている。これにより、軸受５２のインナーレース５２Ａは、インナーレース５２Ａに対して予圧を与える方向ＰＫに押され、軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
軸受予圧用のナット５４を回して、軸受予圧用のナット５４のメネジ５４Ｍをメインシャフト５７のオネジ５７Ｎに噛み合わせることで、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部５２Ｔに突き当てられる。これにより、軸受予圧用のナット５４は、突き当て部６１Ａとの間でインナーレース５２Ａに対して予圧を与える。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
このように組み立てたメインシャフト５７と軸受５２と軸受予圧用のナット５４から成る組み立てユニットは、図７に示す軸受ホルダー５１の穴部５１Ｈにはめ込まれる。そして、Ｃ型のトメ輪５３が軸受ホルダー５１のはめ込み溝部分６３にはめ込まれる。これにより、軸受５２のアウターレース５２Ｂの一方の側面部５２Ｎは、軸受ホルダー５１の収容部６１の突き当て部６１Ｂに突き当てられ、軸受５２のアウターレース５２Ｂの他方の側面部５２Ｓは、Ｃ型のトメ輪５３に突き当てられる。このため、軸受５２のアウターレース５２Ｂは、軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定される。つまり、軸受５２に予圧を掛けることでアキシャル方向（軸方向ＣＬ）の隙間を無くして、軸受ホルダー５１内における軸受５２のセンタリングを行う。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
その後、メインシャフト５７と軸受５２と軸受予圧用のナット５４とそして軸受ホルダー５１から成る組み立てユニットには、搬送シャフト２１を通す。つまり、搬送シャフト２１は、メインシャフト５７の貫通孔５７Ｓに通す。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図７に示す軸受ホルダー５１とＣ型のトメ輪５３とベアリング５２のアウターレース５２Ｂは、ステータ部である。これに対して、軸受５２のインナーレース５２Ａと軸受予圧用のナット５４とメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６とメインシャフト５７は、搬送シャフト２１とともに回転するロータ部である。特に、このロータ部を構成する軸受５２のインナーレース５２Ａと軸受予圧用のナット５４とメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６とメインシャフト５７が樹脂製であると、金属製にした場合に比べて、搬送シャフト２１が回転する際に、慣性モーメントを小さくできる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
メインシャフト固定用ノナット５５を回すことで、メインシャフト固定用スリーブ５６をメインシャフト５７に押し付けることで、メインシャフト固定用スリーブ５６の内面は搬送シャフト２１の外周面に押し付けることができ、軸受保持ユニット５０は搬送シャフト２１の外周面に固定できる。このため、軸受保持ユニット５０と搬送シャフト２１との間での摺動による発塵物の発生は無くすことができ、軸受５２のインナーレース５２Ａとメインシャフト５７との嵌合状態は、軸受５２のインナーレース５２Ａに対して予圧を掛けていることで強固なものにしているので、軸受５２のインナーレース５２Ａとメインシャフト５７との間での摺動を抑えることで、発塵物の発生を防いでいる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
本発明の実施形態は、基板に処理を施す基板処理装置であって、ベース部と、基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、搬送シャフトをベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、を有し、軸受保持ユニットは、軸受を保持する軸受ホルダーと、搬送シャフトを通し、軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、メインシャフトに固定することでメインシャフトへ軸受の内輪を押し付けるための予圧を与える予圧付与部材と、メインシャフトに固定することでメインシャフトを搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、を備える。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
これにより、基板処理装置１では、軸受からの発塵物の発生を防ぎ、軸受からの発塵物が例えば洗浄処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる。軸受は軸受ホルダーに保持され、軸受の内輪は予圧付与部材により予圧を受けてメインシャフトに固定され、メインシャフトは、メインシャフト固定部により搬送シャフトに固定される。このため、軸受保持ユニットと搬送シャフトとの間で摺動による発塵物の発生が生じないので、軸受からの発塵物が処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
本発明の実施形態では、メインシャフトは外周部にオネジを有し、予圧付与部材は内周部にメネジを有し、予圧付与部材のメネジがメインシャフトのオネジにかみ合うことで、メインシャフトへ軸受の内輪を押し付けるための予圧を与えるようになっている。これにより、予圧付与部材を回転して予圧付与部材のメネジをメインシャフトのオネジにかみ合せるだけで、簡単にメインシャフトへ軸受の内輪を押し付けることができる。