(57)【要約】【課題】  流通ガス（腐食性ガス）と接触するロータ，ケーシング，段間仕切板やサイドフレームの部位には隙間を設けて厚肉のテフロンライニングが設けると共に隣接ケーシング間にテフロンライニングのない部位を形成して隙間保持とテフロンライニングの変位を防止する耐腐食性多段式真空ポンプを提供する。【解決手段】  例えば、第１段ケーシング９Ａと第２段ケーシング９Ｂとの接触面の一部（◎印で示す）にはテフロンライニングが施されていない部位があり、金属接触するように形成される。これにより、締結固定時においてもテフロンライニングの変形が防止され、隙間５を所定の寸法に保持することができる。【選択図】  図２
2013079616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータと段間仕切板とケーシング及びサイドフレームとの間に微少隙間を保持し隣接する前記ケーシング間及び前記サイドフレームと前記ケーシングとを締結固定してなる多段式真空ポンプの流通ガスと接触する部位に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の締結面の一部を除いて厚肉のテフロンライニングを施すことを特徴とする耐腐食性段式真空ポンプ。
【請求項２】
前記テフロンライニングの厚みが１５０μ以上であることを特徴とする請求項１に記載の耐腐食性段式真空ポンプ。
【請求項３】
隣接する前記ケーシングのテフロンライニングを施している接合面間にガス洩れ防止のためのＯリングを介設することを特徴とする請求項１に記載の耐腐食性段式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、腐食性の流通ガスを使用する多段式真空ポンプにおいて前記流通ガスと接触する部位に厚肉のテフロンライニングを施すと共にロータや段間仕切板との間やケーシングやサイドフレームと間に内部性能保持のための微少隙間を形成保持する構造の耐腐食性多段式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
多段式真空ポンプとしては各種のものがあるが本発明と同一の出願人の製作している多段式真空ポンプとしては「非特許文献１」に示すものが挙げられる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】ＣＡＴＡＬＯＧ  Ｎｏ  １０９（図４に示されている）  この「非特許文献１」は図４に示すようにシャフトに挿着されている３段のロータとこれを囲むケーシングとロータ及びケーシング間に介設されている中間仕切板（段間仕切板とも言う）やロータやケーシングに接触している両側のサイドフレーム等とからなり、冷却液や吸気は図４の矢印等で示す経路で流通している。  なお、この多段式真空ポンプの各構成要素の材質や構造としては標準材料や標準材料にニッケルメッキをしたものやステンレス材を用いたものや標準材料に２０μ乃至３０μのテフロンコーティング膜を形成したものがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の適用される多段式真空ポンプとしては図３に示すものが一例として挙げられる。この多段式真空ポンプは、シャフト７に挿着されている第１段ロータ８Ａ，第２段ロータ８Ｂ，第３段ロータ８Ｃ及び第４段ロータ８Ｄからなり、これ等は第１段ケーシング９Ａ，第２段ケーシング９Ｂ，第３段ケーシング９Ｃ及び第４段ケーシング９Ｄ内に回転可能に収納されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等間には段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤが夫々介設されている。また、第１段ロータ８Ａや第１段ケーシング９Ａ及び第４段ロータ８Ｄや第４段ケーシング９Ｄは夫々両側のサイドフレーム１１，１１に当接して配設される。なお、図３におけるその他の各構成要素についての構造の説明や冷却水や吸気（ガス）の流通経路等については特別のものではなく、その説明を省略する。
【０００５】
夫々のロータとケーシングや段間仕切板やサイドフレーム間には熱変位等による夫々の部材の直接接触を防止するための微少隙間（例えば、０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度）が設けられている（図３には明示されていない）。
【０００６】
流通ガスとしては腐食性ガスでないものもあるが、腐食性ガスが流通ガスとして使用される場合には前記した標準材料や標準材料にニッケルメッキしたものやステンレス材では腐食性ガスにより腐食され長時間使用できない問題点がある。このためテフロンライニングを施す必要があるが、従来ではこのテフロンライニングは２０μ乃至３０μ程度の厚みのものであった。この２０μ乃至３０μのテフロンコーティングは腐食性を有するものではあるが多数のピンホールが存在し、長時間の耐腐食性を保持することができない問題点があった。
【０００７】
一方、テフロンライニング（テフロンコーティングで１５０μを越えるものはテフロンライニングとも称している）の厚みを例えば３００μのものを採用すると４段の多段式真空ポンプの場合には全体のテフロンライニングの厚みが０．３ｍｍ×１０＝３ｍｍとなる。また、テフロンライニングは組立時における締結固定によってクリープ減少を起こして変形して薄くなり、前記の厚み３ｍｍが大きく変化し１ｍｍ乃至２ｍｍ程度の厚みになる。この厚み変化が発生すると各構成部材間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を保持することができない問題点がある。
【０００８】
本発明は、以上の問題点を解消すべく発明されたものであり、各構成部材間に必要の隙間を保持すると共に腐食性ガスに対しても十分の耐腐食性を有する厚肉のテフロンライニングを部材間に設けることが出来る耐腐食性多段式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以上の目的を達成するために、請求項１の発明は、ロータと段間仕切板とケーシング及びサイドフレームとの間に微少隙間を保持し隣接する前記ケーシング間及び前記サイドフレームと前記ケーシングとを締結固定してなる多段式真空ポンプの流通ガスと接触する部位に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の締結面の一部を除いて厚肉のテフロンライニングを施すことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、前記テフロンライニングの厚みが１５０μ以上であることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、隣接する前記ケーシングのテフロンライニングを施している接合面間にガス洩れ防止のためのＯリングを介設することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、各構成部材には肉厚の厚いテフロンライニングが施されているため腐食性ガスに対しても各構成部材を腐食から防ぐことができ、耐腐食性の向上が図られると共に、隣接するケーシングやケーシングとサイドフレームとの接触部位の一部にテフロンライニングを施さない部分を形成し、金属接触させることによりそれ以上のテフロンライニングの圧縮を防止することができ、各構成部材間の隙間を０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度に保持することができる。
【００１３】
また、請求項２の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、テフロンライニングの肉厚を１５０μ以上にすることによりテフロンライニング内のピンホールの発生を防止することができ、強耐腐食性を保持することができる。
【００１４】
また、請求項３の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、隣接するケーシング間のテフロンライニングを施してある部位にＯリングを設けることにより各部材間の隙間からのガスの漏洩を有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの主要構成要素の全体構造を示す軸断面図。
【図２】図１におけるテフロンライニングを施してある部位やケーシング間の金属接触の状態やＯリングまわりの詳細構造を示す拡大部分断面図。
【図３】本発明の適用される多段式真空ポンプの全体構造を示す軸断面図。
【図４】従来の多段式真空ポンプの全体構造を示す非特許文献１を示す構造説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの実施の形態を図面を参照して詳述する。
【実施例】
【００１７】
まず、図１により本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの全体構造を説明するが、本発明に関連しない各構成要素や冷却水や流通ガスの流通経路についての説明は省略する。
【００１８】
第１段ロータ８Ａ乃至第４段ロータ８Ｄのガスと接触する部位には例えば３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段のテフロンライニング１Ａ，２Ａ，３Ａ，４Ａとする）。また、各段のケーシング９Ａ等のガスと接触する部位には図示における◎印の部位を除き３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段のテフロンライニングを１Ｂ，２Ｂ，３Ｂ，４Ｂとする）。また、段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤ等のガスと接触する部位には３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段用のテフロンライニングを１Ｃ，２Ｃ，３Ｃとする）。
また、サイドフレーム１１のロータ８Ａ等やケーシング９Ａと接触する部位にも３００μのテフロンライニングが設けられている（符号としてこのテフロンライニングを１Ｄ，４Ｄとする）。
【００１９】
サイドフレーム１１のテフロンライニング１Ｄと第１段ロータ８Ａのテフロンライニング１Ａとの間やサイドフレーム１１のテフロンライニング４Ｄと第４段ロータ８Ｄのテフロンライニング４Ａとの間には約０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が形成されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等との間やロータ８Ａ等及びケーシング９Ａ等と段間仕切板１０ＡＢ等の夫々のテフロンライニング（符号を省略する）間にも０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が設けられている。
【００２０】
次に、テフロンライニングが施されていないケーシング９Ａ等やサイドフレーム１１の部位における構造を図２により説明する。図２はケーシング９Ｂ等間における構造についてのみ説明されているがケーシング９Ａ等とサイドフレーム１１との間についても同一の構造のものからなるが重複説明を省略する。
【００２１】
図２に示すように、例えば第２段目のケーシング９Ｂと第３段目のケーシング９Ｃとの接触部位の一部にはテフロンライニングが施されていない部位（◎で示す）が形成されている。このため、この部位は金属接触することになり、ケーシング間はこれ以上の締め込みを防止することができる。この◎印の部位のテフロンライニングのない状態により、テフロンライニングの施されている部位は余分の変形が防止され、０．１５ｍｍ及び０．３ｍｍの隙間５を保持することができる。
【００２２】
隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間が以上のように金属接触し板としてもこの面間からがガスの漏洩を防止するためテフロンライニングの施されているケーシング間の部位にはＯリング６が介設され、ガス洩れの防止を図っている。
なお、ケーシング９Ａ等のテフロンライニングを除去した金属接触面の形成についての形成手段についてはノウハウ的の内容でもあり、説明を省略する。
【００２３】
以上のように、隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間の一部にテフロンライニングを施さない部位を形成する比較的簡便の手段により、従来の大きな問題点であった腐食性の大巾の改善ができ、本発明の価値が大きいことが証明される。
なお、本発明は、以上の内容のものではあるが、同一技術的範疇のものが適用されることは勿論である。又,以上の実施例ではテフロンライニングの厚みを３００μとしたがこれに限定するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明は多段式真空ポンプのすべてのタイプのものに適用可能であり、更に、腐食性を問題とするガス接触部位を有するその構造体にも適用可能であり、その利用範囲は広い。
【符号の説明】
【００２５】
１Ａ      テフロンライニング
２Ａ      テフロンライニング
３Ａ      テフロンライニング
３Ｄ      テフロンライニング
１Ｂ      テフロンライニング
２Ｂ      テフロンライニング
３Ｂ      テフロンライニング
４Ｂ      テフロンライニング
１Ｃ      テフロンライニング
２Ｃ      テフロンライニング
３Ｃ      テフロンライニング
１Ｄ      テフロンライニング
４Ｄ      テフロンライニング
５        隙間
６        Ｏリング
７        シャフト
８Ａ      第１段ロータ
８Ｂ      第２段ロータ
８Ｃ      第３段ロータ
８Ｄ      第４段ロータ
９Ａ      第１段ケーシング
９Ｂ      第２段ケーシング
９Ｃ      第３段ケーシング
９Ｄ      第４段ケーシング
１０ＡＢ  段間仕切板
１０ＢＣ  段間仕切板
１０ＣＤ  段間仕切板
１１      サイドフレーム
【図１】
2013079616.tif 000003
【図２】
2013079616.tif 000004
【図３】
2013079616.tif 000005
【図４】
2013079616.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月5日(2012.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右のサイドフレームの内面側に端面を微少隙間を介して略当接して配置され隣接する各段の端面を互いに略当接して配設される多段のケーシングと、該ケーシング内に収納され駆動軸により回転される各段のロータと、隣接するロータ間にこれ等と微少隙間を介して略当接して介設されると共に前記ケーシングに外面側を微少隙間を介して略当接して保持される段間仕切板とを有し、流通媒体による腐食を防止すべく形成される多段の真空ポンプであって、前記サイドフレームとケーシングとロータ及び段間仕切板の夫々の略当接面及び流通媒体と接する面に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の一部の当接面を除きライニングを施すと共に前記一部の当接面を除いた部位の近傍の互いに当接して配置されるフッ素樹脂ライニングの内部にＯリングを圧接介入させることを特徴とする耐腐食性多段式真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、腐食性の流通ガスを使用する多段式真空ポンプにおいて前記流通ガスと接触する部位に厚肉のフッ素樹脂ライニングを施すと共にロータや段間仕切板との間やケーシングやサイドフレームと間に内部性能保持のための微少隙間を形成保持する構造の耐腐食性多段式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
多段式真空ポンプとしては各種のものがあるが本発明と同一の出願人の製作している多段式真空ポンプとしては「非特許文献１」に示すものが挙げられる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】ＣＡＴＡＬＯＧ  Ｎｏ  １０９（図４に示されている）  この「非特許文献１」は図４に示すようにシャフトに挿着されている３段のロータとこれを囲むケーシングとロータ及びケーシング間に介設されている中間仕切板（段間仕切板とも言う）やロータやケーシングに接触している両側のサイドフレーム等とからなり、冷却液や吸気は図４の矢印等で示す経路で流通している。  なお、この多段式真空ポンプの各構成要素の材質や構造としては標準材料や標準材料にニッケルメッキをしたものやステンレス材を用いたものや標準材料に２０μ乃至３０μのフッ素樹脂コーティング膜を形成したものがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の適用される多段式真空ポンプとしては図３に示すものが一例として挙げられる。この多段式真空ポンプは、シャフト７に挿着されている第１段ロータ８Ａ，第２段ロータ８Ｂ，第３段ロータ８Ｃ及び第４段ロータ８Ｄからなり、これ等は第１段ケーシング９Ａ，第２段ケーシング９Ｂ，第３段ケーシング９Ｃ及び第４段ケーシング９Ｄ内に回転可能に収納されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等間には段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤが夫々介設されている。また、第１段ロータ８Ａや第１段ケーシング９Ａ及び第４段ロータ８Ｄや第４段ケーシング９Ｄは夫々両側のサイドフレーム１１，１１に当接して配設される。なお、図３におけるその他の各構成要素についての構造の説明や冷却水や吸気（ガス）の流通経路等については特別のものではなく、その説明を省略する。
【０００５】
夫々のロータとケーシングや段間仕切板やサイドフレーム間には熱変位等による夫々の部材の直接接触を防止するための微少隙間（例えば、０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度）が設けられている（図３には明示されていない）。
【０００６】
流通ガスとしては腐食性ガスでないものもあるが、腐食性ガスが流通ガスとして使用される場合には前記した標準材料や標準材料にニッケルメッキしたものやステンレス材では腐食性ガスにより腐食され長時間使用できない問題点がある。このためフッ素樹脂ライニングを施す必要があるが、従来ではこのフッ素樹脂ライニングは２０μ乃至３０μ程度の厚みのものであった。この２０μ乃至３０μのフッ素樹脂コーティングは腐食性を有するものではあるが多数のピンホールが存在し、長時間の耐腐食性を保持することができない問題点があった。
【０００７】
一方、フッ素樹脂ライニング（フッ素樹脂コーティングで１５０μを越えるものはフッ素樹脂ライニングとも称している）の厚みを例えば３００μのものを採用すると４段の多段式真空ポンプの場合には全体のフッ素樹脂ライニングの厚みが０．３ｍｍ×１０＝３ｍｍとなる。また、フッ素樹脂ライニングは組立時における締結固定によってクリープ減少を起こして変形して薄くなり、前記の厚み３ｍｍが大きく変化し１ｍｍ乃至２ｍｍ程度の厚みになる。この厚み変化が発生すると各構成部材間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を保持することができない問題点がある。
【０００８】
本発明は、以上の問題点を解消すべく発明されたものであり、各構成部材間に必要の隙間を保持すると共に腐食性ガスに対しても十分の耐腐食性を有する厚肉のフッ素樹脂ライニングを部材間に設けることが出来る耐腐食性多段式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以上の目的を達成するために、左右のサイドフレームの内面側に端面を微少隙間を介して略当接して配置され隣接する各段の端面を互いに略当接して配設される多段のケーシングと、該ケーシング内に収納され駆動軸により回転される各段のロータと、隣接するロータ間にこれ等と微少隙間を介して略当接して介設されると共に前記ケーシングに外面側を微少隙間を介して略当接して保持される段間仕切板とを有し、流通媒体による腐食を防止すべく形成される多段の真空ポンプであって、前記サイドフレームとケーシングとロータ及び段間仕切板の夫々の略当接面及び流通媒体と接する面に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の一部の当接面を除きライニングを施すと共に前記一部の当接面を除いた部位の近傍の互いに当接して配置されるフッ素樹脂ライニングの内部にＯリングを圧接介入させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、流通媒体と接する部位に１５０μ以上フッ素樹脂ライニングを施しているため流通媒体による腐食を完全に防止することが出来る。また、隣接するケーシング間にフッ素樹脂ライニングの施されていない部位を形成することにより前記の１５０μ以上のフッ素樹脂ライニングの圧縮が防止され、その厚みを保持することが出来る。また、Ｏリングをフッ素樹脂ライニング内に圧接介入することにより流通媒体の外部洩れを完全に防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの主要構成要素の全体構造を示す軸断面図。
【図２】図１におけるフッ素樹脂ライニングを施してある部位やケーシング間の金属接触の状態やＯリングまわりの詳細構造を示す拡大部分断面図。
【図３】本発明の適用される多段式真空ポンプの全体構造を示す軸断面図。
【図４】従来の多段式真空ポンプの全体構造を示す非特許文献１を示す構造説明図。
【図５】本発明の主要構造（Ｏリングまわり）を示す拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの実施の形態を図面を参照して詳述する。
【実施例】
【００１３】
まず、図１により本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの全体構造の主要構造を説明する。
【００１４】
本発明の真空ポンプは図１に示すように次の主要構造からなる。
まず、左右に歯車機構部や軸受を収納するサイドフレーム１１，１１と、これに両端を枢支されるシャフト７と、このシャフト７に固定される第１段ロータ８Ａ，第２段ロータ８Ｂ，第３段ロータ８Ｃ，第４段ロータ８Ｄと、これ等を収納する第１段ケーシング９Ａ，第２段ケーシング９Ｂ，第３段ケーシング９Ｃ，第４段ケーシング９Ｄと、第１段ロータ８Ａ及び第２段ロータ８Ｂに当接すると共に第１段ケーシング９Ａ及び第２段ケーシング９Ｂに保持される段間仕切板１０ＡＢ及び第２段ロータ８Ｂと第３段ロータ８Ｃに当接すると共に第２段ケーシング９Ｂと第３段ケーシング９Ｃに保持される段間仕切板１０ＢＣと、第３段ロータ８Ｃと第４段ロータ８Ｄに当接すると共に第３段ケーシング９Ｃと第４段ケーシング９Ｂに保持される段間仕切板１０ＣＤ等とからなる。なお、その他の本発明に関連しない各構成要素や冷却水や流通ガスの経路等については図１を参照しその説明を省略する。
第１段ロータ８Ａ乃至第４段ロータ８Ｄのガスと接触する部位には３００μのフッ素樹脂ライニングが設けられている（符号として各段のフッ素樹脂ライニング１Ａ，２Ａ，３Ａ，４Ａとする）。また、各段のケーシング９Ａ等のガスと接触する部位には図示における◎印の部位を除き３００μのフッ素樹脂ライニングが設けられている（符号として各段のフッ素樹脂ライニングを１Ｂ，２Ｂ，３Ｂ，４Ｂとする）。また、段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤ等のガスと接触する部位には３００μのフッ素樹脂ライニングが設けられている（符号として各段用のフッ素樹脂ライニングを１Ｃ，２Ｃ，３Ｃとする）。
また、サイドフレーム１１のロータ８Ａ等やケーシング９Ａと接触する部位にも３００μのフッ素樹脂ライニングが設けられている（符号としてこのフッ素樹脂ライニングを１Ｄ，４Ｄとする）。
【００１５】
サイドフレーム１１のフッ素樹脂ライニング１Ｄと第１段ロータ８Ａのフッ素樹脂ライニング１Ａとの間やサイドフレーム１１のフッ素樹脂ライニング４Ｄと第４段ロータ８Ｄのフッ素樹脂ライニング４Ａとの間には約０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が形成されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等との間やロータ８Ａ等及びケーシング９Ａ等と段間仕切板１０ＡＢ等の夫々のフッ素樹脂ライニング（符号を省略する）間にも０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が設けられている。
【００１６】
次に、フッ素樹脂ライニングが施されていないケーシング９Ａ等やサイドフレーム１１の部位における構造を図２により説明する。図２はケーシング９Ｂ等間における構造についてのみ説明されているがケーシング９Ａ等とサイドフレーム１１との間についても同一の構造のものからなるが重複説明を省略する。
【００１７】
図２に示すように、例えば第２段目のケーシング９Ｂと第３段目のケーシング９Ｃとの接触部位の一部にはフッ素樹脂ライニングが施されていない部位（◎で示す）が形成されている。このため、この部位は金属接触することになり、ケーシング間はこれ以上の締め込みを防止することができる。この◎印の部位のフッ素樹脂ライニングのない状態により、フッ素樹脂ライニングの施されている部位は余分の変形が防止され、０．１５ｍｍ及び０．３ｍｍの隙間５を保持することができる。
【００１８】
隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間が以上のように金属接触し板としてもこの面間からがガスの漏洩を防止するためフッ素樹脂ライニングの施されているケーシング間の部位にはＯリング６が介設され（図５に示す）、ガス洩れの防止を図っている。
なお、ケーシング９Ａ等のフッ素樹脂ライニングを除去した金属接触面の形成についての形成手段についてはノウハウ的の内容でもあり、説明を省略する。
【００１９】
以上のように、隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間の一部にフッ素樹脂ライニングを施さない部位を形成する比較的簡便の手段により、従来の大きな問題点であった腐食性の大巾の改善ができ、本発明の価値が大きいことが証明される。
なお、本発明は、以上の内容のものではあるが、同一技術的範疇のものが適用されることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明は多段式真空ポンプのすべてのタイプのものに適用可能であり、更に、腐食性を問題とするガス接触部位を有するその構造体にも適用可能であり、その利用範囲は広い。
【符号の説明】
【００２１】
１Ａ      フッ素樹脂ライニング
２Ａ      フッ素樹脂ライニング
３Ａ      フッ素樹脂ライニング
３Ｄ      フッ素樹脂ライニング
１Ｂ      フッ素樹脂ライニング
２Ｂ      フッ素樹脂ライニング
３Ｂ      フッ素樹脂ライニング
４Ｂ      フッ素樹脂ライニング
１Ｃ      フッ素樹脂ライニング
２Ｃ      フッ素樹脂ライニング
３Ｃ      フッ素樹脂ライニング
１Ｄ      フッ素樹脂ライニング
４Ｄ      フッ素樹脂ライニング
５        隙間
６        Ｏリング
７        シャフト
８Ａ      第１段ロータ
８Ｂ      第２段ロータ
８Ｃ      第３段ロータ
８Ｄ      第４段ロータ
９Ａ      第１段ケーシング
９Ｂ      第２段ケーシング
９Ｃ      第３段ケーシング
９Ｄ      第４段ケーシング
１０ＡＢ  段間仕切板
１０ＢＣ  段間仕切板
１０ＣＤ  段間仕切板
１１      サイドフレーム
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】追加
【補正の内容】
【図５】
2013079616.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成24年8月6日(2012.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右のサイドフレームとケーシングとの間、隣接する格段のケーシング間の間、前記ケーシング内に収納されて駆動軸により回転される各段のロータと格段の前記ロータ間に介設される段間仕切板との間の夫々間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を形成すべく配置すると共に前記サイドフレーム，ケーシング，ロータ及び段間仕切板の腐食性ガスと接触する部位に１５０μ乃至３００μのフッ素樹脂ライニングを施し、隣接する各段のケーシングの一部には前記隙間がなく、かつフッ素樹脂ライニングが設けられていない部位を形成し、該部位の近傍でフッ素樹脂ケーシングの設けられている部位には相対抗するフッ素樹脂ライニング間の隙間を閉止するＯリングが圧入されることを特徴とする耐腐食性多段真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、以上の目的を達成するために、左右のサイドフレームとケーシングとの間、隣接する格段のケーシング間の間、前記ケーシング内に収納されて駆動軸により回転される各段のロータと格段の前記ロータ間に介設される段間仕切板との間の夫々間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を形成すべく配置すると共に前記サイドフレーム，ケーシング，ロータ及び段間仕切板の腐食性ガスと接触する部位に１５０μ乃至３００μのフッ素樹脂ライニングを施し、隣接する各段のケーシングの一部には前記隙間がなく、かつフッ素樹脂ライニングが設けられていない部位を形成し、該部位の近傍でフッ素樹脂ケーシングの設けられている部位には相対抗するフッ素樹脂ライニング間の隙間を閉止するＯリングが圧入されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の請求項１の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、腐食性の流通媒体と接する部位には１５０μ乃至３００μの以上フッ素樹脂ライニングを施しているため前記流通媒体による腐食を完全に防止することが出来る。また、隣接するケーシング間にフッ素樹脂ライニングの施されていない部分を形成することにより前記の１５０μ乃至３００μのフッ素樹脂ライニングの圧縮が防止され、その厚みを保持することが出来る。また、Ｏリングをフッ素樹脂ライニング内に圧接介入することにより流通媒体の外部洩れを完全に防止することが出来る。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月1日(2012.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右のサイドフレームとロータの間、隣接する各段のケーシングとロータの間、前記ケーシング内に収納されて駆動軸により回転される各段の前記ロータ間に介設される段間仕切板とロータの間の夫々間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を形成すべく配置すると共に前記サイドフレーム、ケーシング、ロータ及び段間仕切板の腐食性ガスと接触する部位に１５０μｍ乃至３００μｍのフッ素樹脂ライニングを施し、隣接して当接している各段のケーシング面の一部にはフッ素樹脂ライニングが施されていない部位を形成し、該部位のフッ素樹脂ライニングの施されている部位には相対抗する当接面からの洩れを閉止するＯリングがフッ素樹脂ライニングを施した溝内に圧入されることを特徴とする耐腐食性多段真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】  本発明は、以上の目的を達成するために、左右のサイドフレームとロータの間、隣接する各段のケーシングとロータの間、前記ケーシング内に収納されて駆動軸により回転される各段の前記ロータ間に介設される段間仕切板とロータの間の夫々間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を形成すべく配置すると共に前記サイドフレーム、ケーシング、ロータ及び段間仕切板の腐食性ガスと接触する部位に１５０μｍ乃至３００μｍのフッ素樹脂ライニングを施し、隣接して当接している各段のケーシング面の一部にはフッ素樹脂ライニングが施されていない部位を形成し、該部位のフッ素樹脂ライニングの施されている部位には相対抗する当接面からの洩れを閉止するＯリングがフッ素樹脂ライニングを施した溝内に圧入されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】  本発明の請求項１の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、腐食性の流通媒体と接する部位には１５０μｍ乃至３００μｍのフッ素樹脂ライニングを施しているため前記流通媒体による腐食を完全に防止することが出来る。また、隣接して当接している各段のケーシング面のフッ素樹脂ライニングが施されている部位にフッ素樹脂ライニングで囲まれた溝を形成し、この中にＯリングを圧入し腐食ガス洩れを完全に防止することが出来ると共にＯリングの圧入されている溝はフッ素樹脂ライニングが施されており、その腐食を防止することが出来る。また、Ｏリングを圧入している部位を各段のケーシングの当接面の一部に形成しているため各段のケーシングにはフッ素樹脂ライニングが施されていない直接的な当接面を形成することができ各部における１５０μｍ乃至３００μｍのフッ素樹脂ライニングの圧縮が防止され腐食ガスに触れる各部の腐食を完全に防止することが出来る。