(57)【要約】      （修正有）【課題】破片があるキャリアプレートがプロセスチャンバへ進入することを効果的に回避し、破片がプロセスチャンバの下塗膜装置に落ちることを回避し、塗膜の効果を確保し、チャンバを開ける操作を回避し、塗膜の効率を向上させる両面塗膜装置及びそのキャリアプレート処理ユニットを提供する。【解決手段】キャリアプレート処理ユニットは、作動チャンバ４と連通する付加キャビティ１０と、作動チャンバ内のキャリアプレート１を付加キャビティに移動させるための処理装置とを含む。キャリアプレート処理ユニットは、付加キャビティ内に処理装置が設置され、付加キャビティを作動チャンバと連通させる。作動チャンバがプロセスチャンバの前に設置され、処理装置により作動チャンバ内のキャリアプレートを付加キャビティに移動させることで上記課題を解決する。【選択図】図５
0003219436.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
キャリアプレート処理ユニットであって、
作動チャンバと連通する付加キャビティと、
前記作動チャンバ内のキャリアプレートを前記付加キャビティに移動させるための処理装置とを含むことを特徴とするキャリアプレート処理ユニット。
【請求項２】
前記処理装置は、前記付加キャビティ内に設置され、前記作動チャンバ内に伸びて前記キャリアプレートを取り出すことができるロボットであることを特徴とする請求項１に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項３】
前記付加キャビティと前記作動チャンバの配列方向は、前記キャリアプレートのプロセス流れ方向に垂直であり、
前記キャリアプレートのプロセス流れ方向は、前記作動チャンバから前記プロセスチャンバへの方向であることを特徴とする請求項１に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項４】
前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートに破片があるかどうかを検出するための破片検出装置が設置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項５】
両面塗膜装置であって、
請求項１〜４のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニットを含むことを特徴とする両面塗膜装置。
【請求項６】
前記作動チャンバは、フロント隔離チャンバであることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項７】
前記作動チャンバにおいて、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバに進入させる作動チャンバ入口と、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバから退出させる作動チャンバ出口と、前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口とが設置されていることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項８】
前記作動チャンバ入口は前記作動チャンバ出口と同一の水平面にあり、前記付加出口と前記作動チャンバ出口との間に高度差があり、破片がある前記キャリアプレートは前記付加出口に合わせることができ、
前記処理装置は、前記付加出口から前記作動チャンバに進入できる平行移動型の一軸ロボットであることを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項９】
前記作動チャンバ入口と、前記作動チャンバ出口と、前記付加出口とにそれぞれ密封ゲートバルブが設置されていることを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項１０】
前記付加出口は前記作動チャンバ出口よりも高く、前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートを前記付加出口と水平に合わせる位置まで持ち上げることができるリフト装置をさらに有することを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項１１】
前記リフト装置は、
昇降駆動ユニットと、
前記昇降駆動ユニットの駆動端に接続される接続板と、
前記接続板の前記昇降駆動ユニットから離れる側に設置されるリフト柱とを含むことを特徴とする請求項１０に記載の両面塗膜装置。
【請求項１２】
前記作動チャンバに前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口が設置され、
前記処理装置は、前記付加出口から前記作動チャンバに進入できるロボットであり、前記ロボットは平行移動及び昇降を実現できる多軸ロボットであることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項１３】
前記作動チャンバと前記付加キャビティとの間に付加ゲートバルブが設置されていることを特徴とする請求項５〜１２のいずれか一項に記載の両面塗膜装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２０１８年０４月２４日に中国専利局に提出した、出願番号が２０１８２０５９６７２９.３であって、実用新案の名称が「両面塗膜装置及びそのキャリアプレート処理ユニット」である中国特許出願の優先権を主張し、本願で、その全ての内容を援用するものとする。
【０００２】
本願は、光起電力モジュール製造装置の技術分野に関し、特に、両面塗膜装置及びそのキャリアプレート処理ユニットに関する。  
【背景技術】
【０００３】
現在、両面塗膜装置において、電池セルは、搬送過程全体でキャリアプレートにより支持される。
【０００４】
図１、図２、図３に示すように、キャリアプレート０１は、筐体構造であり、電池セルの上下面に対して塗膜を行うように、電池セルの縁を支持し位置決めする。キャリアプレート０１は、底板０１１とカバー板０１３からなる。電池セルをキャリアプレートの底板０１１の凹溝０１２に置き、次に、カバー板０１３で位置決めピンと穴とを介して底板０１１に取り付けることで、電池セルは固定される。カバー板０１３上に堆積窓０１４を有する。
【０００５】
図４及び図５に示すように、両面塗膜装置において、キャリアプレート０１のプロセス流れ方向に沿って、順にセル進入チャンバ０３、フロント隔離チャンバ０４、フロントバッファチャンバ０５、プロセスチャンバ０６、リアバッファチャンバ０７、リア隔離チャンバ０８、セル退出チャンバ０９を通過し、セル進入チャンバ０３と作動チャンバ０４との間に第１のゲートバルブａ１が設置され、フロント隔離チャンバ０４とフロントバッファチャンバ０５との間に第２のゲートバルブａ２が設置され、リアバッファチャンバ０７とリア隔離チャンバ０８との間に第３のゲートバルブａ３が設置され、リア隔離チャンバ０８とセル退出チャンバ０９との間に第４のゲートバルブａ４が設置されている。電池セルが薄く、わずか１８０μm-２００μmであるので、中空のキャリアプレート０１の上で、電池セルは、周囲のみがキャリアプレート０１と接触し、他の部位が完全に懸架される。
【０００６】
キャリアプレート０１はセル進入チャンバ０３内に進入した後、真空プロセス操作が行われ、セル進入チャンバ０３に対して真空引き操作を行う必要がある。ポンピング出口がセル進入チャンバ０３の底部に取り付けられているので、真空引きが行われると、電池セルの上面と下面とに圧力差が生じ、電池セルはこのプロセスで破損しやすくなる。そして、セル進入チャンバ０３内で電池セルに対して加熱もし、加熱の過程で、キャリアプレート０１又は電池セルの変形により、電池セルが破損するおそれもある。
【０００７】
プロセスチャンバ０６は、堆積チャンバ塗膜に使用されるので、上塗膜装置０６１と、下塗膜装置０６２とを有し、キャリアプレート０１における電池セルが破損した場合に、キャリアプレート０１の中央に穴ができる。塗膜プロセスの際に、上塗膜装置０６１のフィルム層は欠けによって電池セルの下面に回り込みコーティングされ、下塗膜装置０６２のフィルム層はまた電池セルの上面に回り込みコーティングされ、当該プレートの欠け付近の電池プロセスの失敗を招いてしまう。
【０００８】
従って、如何に塗膜の効果を確保し、塗膜の効率を向上させるかが、当業者によって解決されるべき問題である。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
これに鑑み、本願は、塗膜の効果を確保し、塗膜の効率を向上させるキャリアプレート処理ユニットを提供する。本願は、さらに、上記キャリアプレート処理ユニットを有する両面塗膜装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を実現するために、本願は、以下の技術案を提供する。
キャリアプレート処理ユニットであって、
作動チャンバと連通する付加キャビティと、
前記作動チャンバ内のキャリアプレートを前記付加キャビティに移動させるための処理装置とを含む。
【００１１】
好ましくは、前記キャリアプレート処理ユニットでは、前記処理装置は前記付加キャビティ内に設置され、前記作動チャンバ内に伸びて前記キャリアプレートを取り出すことができるロボットである。
【００１２】
好ましくは、前記キャリアプレート処理ユニットでは、前記付加キャビティと前記作動チャンバの配列方向は前記キャリアプレートのプロセス流れ方向に垂直であり、
前記キャリアプレートのプロセス流れ方向は前記作動チャンバから前記プロセスチャンバへの方向である。
【００１３】
好ましくは、前記キャリアプレート処理ユニットでは、前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートに破片があるかどうかを検出するための破片検出装置が設置されている。
【００１４】
本願は、さらに、両面塗膜装置を提供し、上記のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニットを含む。
【００１５】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバはフロント隔離チャンバである。
【００１６】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバにおいて、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバに進入させる作動チャンバ入口と、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバから退出させる作動チャンバ出口と、前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口とが設置されている。
【００１７】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバ入口は前記作動チャンバ出口と同一の水平面にあり、前記付加出口と前記作動チャンバ出口との間に高度差があり、破片がある前記キャリアプレートは前記付加出口に合わせることができ、
前記処理装置は前記付加出口から前記作動チャンバに進入できる平行移動型の一軸ロボットである。
【００１８】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバ入口と、前記作動チャンバ出口と、前記付加出口とにそれぞれゲートバルブが設置されている。
【００１９】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記付加出口は前記作動チャンバ出口よりも高く、前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートを前記付加出口と水平に合わせる位置まで持ち上げることができるリフト装置をさらに有する。
【００２０】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記リフト装置は、
昇降駆動ユニットと、
前記昇降駆動ユニットの駆動端に接続される接続板と、
前記接続板の前記昇降駆動ユニットから離れる側に設置されるリフト柱とを含む。
【００２１】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバに前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口が設置され、
前記処理装置は前記付加出口から前記作動チャンバに進入できるロボットであり、前記ロボットは平行移動及び昇降を実現できる多軸ロボットである。
【００２２】
好ましくは、前記両面塗膜装置では、前記作動チャンバと前記付加キャビティとの間に付加ゲートバルブが設置されている。
【００２３】
上記の技術案から見て、本願が提供するキャリアプレート処理ユニットは、付加キャビティ内に処理装置が設置され、付加キャビティを作動チャンバに連通させるようにする。作動チャンバがプロセスチャンバの前に設置されるので、処理装置により作動チャンバ内のキャリアプレートを付加キャビティに移動させることで、破片があるキャリアプレートのプロセスチャンバへの進入を効果的に回避し、破片がプロセスチャンバの下塗膜装置に落ちることを回避し、塗膜の効果を確保し、チャンバを開ける操作を回避し、塗膜の効率を向上させるようになる。
【００２４】
本願は、さらに、両面塗膜装置を提供し、キャリアプレート処理ユニットを含み、キャリアプレート処理ユニットは上記のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニットである。上記キャリアプレート処理ユニットは上記技術的効果を有するので、上記キャリアプレート処理ユニットを有する両面塗膜装置も同様の技術的効果を有し、ここで重複しない。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
本出願の実施例又は従来技術における技術案をより明確に説明するために、以下で実施例又は従来技術の記述において使用する必要がある図面を簡単に紹介し、もちろん、以下に記述の図面は本出願のいくつかの実施例に過ぎず、当業者にとって、創造的な労力をしない前提で、これらの図面に応じて他の図面を得ることもできる。
【図１】従来技術におけるキャリアプレートの構成模式図である。
【図２】従来技術におけるキャリアプレートの底板の構成模式図である。
【図３】従来技術におけるキャリアプレートのカバー板の構成模式図である。
【図４】従来技術における両面塗膜装置の第１種の構成模式図である。
【図５】本願の実施例が提供する両面塗膜装置の構成模式図である。
【図６】本願の実施例が提供するリフト装置の第１の状態構成模式図である。
【図７】本願の実施例が提供するリフト装置の第２の状態構成模式図である。
【図８】本願の実施例が提供する、作動チャンバ内を搬送するキャリアプレートの平面視の構成模式図である。
【図９】本願の実施例が提供するキャリアプレート処理ユニットの第１の状態構成模式図である。
【図１０】本願の実施例が提供するキャリアプレート処理ユニットの第２の状態構成模式図である。
【図１１】本願の実施例が提供するキャリアプレート処理ユニットの第３の状態構成模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００２６】
本願は、塗膜の効果を確保し、塗膜の効率を向上させるキャリアプレート処理ユニットを開示する。本願は、さらに、上記キャリアプレート処理ユニットを有する両面塗膜装置を提供する。
【００２７】
以下、本願の実施例における図面を結合して、本願の実施例における技術案を明確かつ完全に記述する。明らかに、記述された実施例は、本願の一部の実施例に過ぎず、全ての実施例ではない。本願の実施例に基づいて、当業者が創造的な労働をしない前提で得られた全ての他の実施例は本願の保護範囲に属するものである。
【００２８】
図５、図９、図１０及び図１１に示すように、本願の実施例は、作動チャンバ４に連通する付加キャビティ１０と、作動チャンバ４内のキャリアプレート１を付加キャビティ１０に移動させる処理装置１０１とを含むキャリアプレート処理ユニットを提供する。
【００２９】
本願の実施例が提供するキャリアプレート処理ユニットは、付加キャビティ１０内に処理装置１０１を設置し、付加キャビティ１０を作動チャンバに連通させる。作動チャンバ４がプロセス流れ方向のプロセスチャンバ６の前に設置されているので、処理装置１０１により作動チャンバ４内のキャリアプレート１を付加キャビティ１０に移動させることで、破片があるキャリアプレート１がプロセスチャンバ６に進入することを効果的に回避し、破片がプロセスチャンバ６の下塗膜装置に落ちることを回避し、塗膜の効果を確保し、チャンバを開ける操作を回避し、塗膜の効率を向上させるようになる。
【００３０】
作動チャンバ４は、プロセスチャンバ６の前に設置することができ、これにより、キャリアプレート１のプロセス流れ方向は作動チャンバ４を通過した後にプロセスチャンバ６を通過する。もちろん、付加キャビティ１０は、プロセスチャンバ６の前に設置されてもよく、作動チャンバの近傍又はプロセスチャンバ近傍に設置されてもよく、いずれかのチャンバにおいて破片を検出した場合に、後続するプロセスに影響を与えない又はプロセス時間を節約するために、すぐに破片を付加キャビティ内に移動させる。
【００３１】
この実施例において、処理装置１０１は付加キャビティ１０内に設置され、且つ処理装置１０１は作動チャンバ４内に伸びてキャリアプレート１を取り出すことができるロボットである。処理装置１０１は、優先的にロボットを選択して使用し、ロボットが作動チャンバ４内に伸びて破片があるキャリアプレート１を取り出すことで、破片があるキャリアプレート１を付加キャビティ１０内に移させ、破片があるキャリアプレート１の移動を容易にする。作動チャンバ４内において、キャリアプレート１を付加キャビティ１０内に押し込むことができる押し込み装置を設置してもよく、同様に、作動チャンバ４内のキャリアプレート１を付加キャビティ１０内に移動させることができる。
【００３２】
図５に示すように、付加キャビティ１０及び作動チャンバ４の配列方向はキャリアプレート１のプロセス流れ方向に対して垂直であり、キャリアプレート１のプロセス流れ方向は作動チャンバ４からプロセスチャンバ６への方向である。上記の設置によって、付加キャビティ１０とキャリアプレート１がプロセス流れ方向に沿って通過する必要があるチャンバ（例えばセル進入チャンバ３や、フロントバッファチャンバ５など）を回避し、両面塗膜装置の構造の配置が容易になり、両面塗膜装置の改善のコストを低減するようになる。
【００３３】
さらに、作動チャンバ４内において、キャリアプレート１に破片があるかどうかを検出するための破片検出装置が設置されている。作動チャンバ４の前に位置するチャンバ内において、破片検出装置が設置されてもよい。上記の設置によって、検出の操作を容易にする。又は、作動チャンバ４に観察窓が設置され、人間による観察又は外付け装置を設置することで作動チャンバ４内のキャリアプレート１を検出し、外付け装置は、観察窓を介して作動チャンバ４内のキャリアプレート１に破片があるかどうかの状態を観察することで検出する。
【００３４】
本願の実施例は、さらに、両面塗膜装置を提供し、上記のいずれかのキャリアプレート処理ユニットを含む。上記キャリアプレート処理ユニットは上記技術的効果を有するので、上記キャリアプレート処理ユニットを有する両面塗膜装置も、同様な技術的効果を有し、ここで重複しない。
【００３５】
好ましくは、作動チャンバ４は、フロント隔離チャンバであり、構造の配置を容易にする。フロントバッファチャンバ５又はセル進入チャンバ３を作動チャンバ４としてもよく、作動チャンバ４をプロセスチャンバ６の前に設置することを確保すればよい。
【００３６】
図６及び図７に示すように、作動チャンバ４において、キャリアプレート１をそのプロセス流れ方向に沿って作動チャンバ４に進入させる作動チャンバ入口３-４と、キャリアプレート１をそのプロセス流れ方向に沿って作動チャンバ４から退出させる作動チャンバ出口４-５と、キャリアプレート１を付加キャビティ１０に移動させる付加出口４-１０とが設置されている。
【００３７】
この実施例において、作動チャンバ４は隔離チャンバであるので、作動チャンバ入口３-４はセル進入チャンバ３と作動チャンバ４とを連通し、作動チャンバ出口４-５は作動チャンバ４とフロントバッファチャンバ５とを連通する。
【００３８】
この実施例において、作動チャンバ入口３-４は作動チャンバ出口４-５と同一の水平面にあり、付加出口４-１０と作動チャンバ出口４-５との間に高度差があり、破片があるキャリアプレート１は付加出口４-１０に合わせることができ、処理装置１０１は付加出口４-１０から作動チャンバ４に進入できる平行移動型の一軸ロボットである。作動チャンバ入口３-４は作動チャンバ出口４-５と同一の水平面にあるので、キャリアプレート１が作動チャンバ４内の搬送輪２に位置されて搬送される過程で、キャリアプレート１が作動チャンバ入口３-４から作動チャンバ４に進入する際に搬送輪２により搬送され、搬送輪２の搬送操作により作動チャンバ出口４-５から作動チャンバ４を退出する。付加出口４-１０と作動チャンバ出口４-５との間に高度差があることで、破片があるキャリアプレート１を付加出口４-１０に合わせるようにし、破片があるキャリアプレート１を付加キャビティ１０へ移動させる過程で、搬送装置（例えば搬送輪２）と干渉することを回避するようになる。
【００３９】
好ましくは、この実施例において、付加出口４-１０は作動チャンバ出口４-５よりも高く、作動チャンバ４内において、キャリアプレート１を付加出口４-１０と水平に合わせる位置まで持ち上げるリフト装置をさらに有している。上記の設置よって、キャリアプレート１が作動チャンバ４から退出することを容易にする。作動チャンバ４内の搬送輪２を昇降可能な昇降搬送輪２として設置してもよく、付加出口４-１０は作動チャンバ出口４-５より高くなってもよいし、付加出口４-１０は作動チャンバ出口４-５より低くなってもよい。
【００４０】
図６、図７、図８に示すように、リフト装置は、昇降駆動ユニット４１０と、昇降駆動ユニット４１０の駆動端に接続される接続板４１１と、接続板４１１の昇降駆動ユニット４１０から離れる側に設置されるリフト柱４１２とを含む。リフト柱４１２がキャリアプレートの搬送輪２と干渉することを回避するために、リフト柱４１２は、作動チャンバ４内の隣り合う二つの搬送輪２の間の隙間を通過できるように設置される。上記の設置によって、リフト装置がキャリアプレート１を付加出口４-１０と水平に合わせる位置まで持ち上げる操作を確保し、構造のコンパクト性を向上させる。リフト装置は搬送輪２の昇降に用いられる装置として設置されてもよい。
【００４１】
この実施例において、昇降駆動ユニット４１０は、昇降シリンダであり、リニアモータとして設置してもよい。図８に示すように、リフト柱４１２は好ましくは４つであり、キャリアプレート１に対してリフト操作を行う場合に、リフト柱４１２はキャリアプレート１のフレームと接触する。
【００４２】
他の一実施例において、作動チャンバ４内において、キャリアプレート１を付加キャビティ１０に移動させる付加出口４-１０を有し、処理装置１０１は付加出口４-１０から作動チャンバ４に進入できるロボットであり、ロボットは、平行移動と昇降とを実現できる多軸ロボットである。同様に、キャリアプレート１の付加キャビティ１０への移動を容易にする。
【００４３】
好ましくは、隣り合う二つのチャンバの間にゲートバルブが設置される。
【００４４】
図５に示すように、両面塗膜装置では、キャリアプレート１のプロセス流れ方向は、順にセル進入チャンバ３、作動チャンバ４（フロント隔離チャンバ）、フロントバッファチャンバ５、プロセスチャンバ６、リアバッファチャンバ７、リア隔離チャンバ８及びセル退出チャンバ９を通過し、各チャンバの間の真空度の要求及びプロセス環境の要求を確保するために、各チャンバの間が密封設置され、優先的に、仕切り板を選択して密封し、キャリアプレートが仕切り板を通過できるように、その仕切り板にキャリアプレートを通過させる通過口が設置され、且つ通過口に密封ゲートバルブが設置され、ゲートバルブはキャリアプレートの通過口を密封するために用いられる。この実施例のように、セル進入チャンバ３と作動チャンバ４との間に第１のゲートバルブａ１が設置され、作動チャンバ４とフロントバッファチャンバ５との間に第２のゲートバルブａ２が設置され、リアバッファチャンバ７とリア隔離チャンバ８との間に第３のゲートバルブａ３が設置され、リア隔離チャンバとセル退出チャンバ９との間に第４のゲートバルブａ４が設置され、各々のチャンバの独立操作を確保し、互いに干渉することを回避するようになる。
【００４５】
好ましくは、作動チャンバ４と付加キャビティ１０との間に付加ゲートバルブａ１０が設置され、作動チャンバ４の独立使用を効果的に確保するようになる。
【００４６】
本明細書における各実施例は、プログレッシブ方法を採用して記述し、各実施例は他の実施例との異なる部分を主に説明した。各実施例の間の同一の部分又は類似の部分は、互いに参照できる。
【００４７】
開示されている実施例についての上記説明は、当業者が本願を実現又は使用できるようにする。これらの実施例についての様々な修正は、当業者にとって自明であり、本文で定義されている一般的原理は、本願の精神又は範囲を逸脱しない限り、他の実施例において実現できる。従って、本願は、本文に示すこれらの実施例に限定されるものではなく、本文に開示されている原理と新規な特点に一致する最も広い範囲に該当する。
【図１】
0003219436.tif 000003
【図２】
0003219436.tif 000004
【図３】
0003219436.tif 000005
【図４】
0003219436.tif 000006
【図５】
0003219436.tif 000007
【図６】
0003219436.tif 000008
【図７】
0003219436.tif 000009
【図８】
0003219436.tif 000010
【図９】
0003219436.tif 000011
【図１０】
0003219436.tif 000012
【図１１】
0003219436.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成30年10月26日(2018.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
キャリアプレート処理ユニットであって、
作動チャンバと連通する付加キャビティと、
前記作動チャンバ内のキャリアプレートを前記付加キャビティに移動させるための処理装置とを含むことを特徴とするキャリアプレート処理ユニット。
【請求項２】
前記処理装置は、前記付加キャビティ内に設置され、前記作動チャンバ内に伸びて前記キャリアプレートを取り出すことができるロボットであることを特徴とする請求項１に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項３】
前記付加キャビティと前記作動チャンバの配列方向は、前記キャリアプレートのプロセス流れ方向に垂直であり、
前記キャリアプレートのプロセス流れ方向は、前記作動チャンバからプロセスチャンバへの方向であることを特徴とする請求項１に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項４】
前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートに破片があるかどうかを検出するための破片検出装置が設置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニット。
【請求項５】
両面塗膜装置であって、
請求項１〜４のいずれか一項に記載のキャリアプレート処理ユニットを含むことを特徴とする両面塗膜装置。
【請求項６】
前記作動チャンバは、フロント隔離チャンバであることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項７】
前記作動チャンバにおいて、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバに進入させる作動チャンバ入口と、前記キャリアプレートをそのプロセス流れ方向に沿って前記作動チャンバから退出させる作動チャンバ出口と、前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口とが設置されていることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項８】
前記作動チャンバ入口は前記作動チャンバ出口と同一の水平面にあり、前記付加出口と前記作動チャンバ出口との間に高度差があり、破片がある前記キャリアプレートは前記付加出口に合わせることができ、
前記処理装置は、前記付加出口から前記作動チャンバに進入できる平行移動型の一軸ロボットであることを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項９】
前記作動チャンバ入口と、前記作動チャンバ出口と、前記付加出口とにそれぞれ密封ゲートバルブが設置されていることを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項１０】
前記付加出口は前記作動チャンバ出口よりも高く、前記作動チャンバ内において、前記キャリアプレートを前記付加出口と水平に合わせる位置まで持ち上げることができるリフト装置をさらに有することを特徴とする請求項７に記載の両面塗膜装置。
【請求項１１】
前記リフト装置は、
昇降駆動ユニットと、
前記昇降駆動ユニットの駆動端に接続される接続板と、
前記接続板の前記昇降駆動ユニットから離れる側に設置されるリフト柱とを含むことを特徴とする請求項１０に記載の両面塗膜装置。
【請求項１２】
前記作動チャンバに前記キャリアプレートを前記付加キャビティに移動させる付加出口が設置され、
前記処理装置は、前記付加出口から前記作動チャンバに進入できるロボットであり、前記ロボットは平行移動及び昇降を実現できる多軸ロボットであることを特徴とする請求項５に記載の両面塗膜装置。
【請求項１３】
前記作動チャンバと前記付加キャビティとの間に付加ゲートバルブが設置されていることを特徴とする請求項５〜１２のいずれか一項に記載の両面塗膜装置。