(57)【要約】      （修正有）【課題】フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構を提供する。【解決手段】円周運動を行い、且つ円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブル１０と、複数の原料載置構造５０と、原料供給排出伝送装置４０と、それぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アーム２０と、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するＣＣＤ照準検出装置と、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置７０と、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置８０とにより構成し、運搬工程を減少し、試験効率を向上する。【選択図】図１
0003158102.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、
原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、
原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、
それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、
照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するＣＣＤ照準検出装置と、
電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、
フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、
を含むフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項２】
前記回転テーブルは、回転軸上に設置され、該回転軸が回転テーブル駆動装置の連動を受け、該回転テーブルを連動し、円周運動を行なう請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項３】
前記原料載置構造は、試験待ち基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造と、を分けることができる請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項４】
前記所定基板配置位置は、複数の等間隔に設けられた基板挟持アーム上の挟持部位である請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項５】
前記所定基板配置位置は、原料供給排出位置上に設けられ、基板を載置させる基板配置ステージである請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項６】
前記ＣＣＤ照準検出装置は、更に第１イメージ取得ステージと、第２イメージ取得ステージと、第１イメージ取得レンズと、第２イメージ取得レンズと、を有し、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得レンズは、該第１イメージ取得ステージ上に設置され、該第２イメージ取得レンズは、該第２イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第１イメージ取得レンズ及び該第２イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項７】
前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム、及び該伝送アーム上にそれぞれ設置される吸着アセンブリを有し、該伝送アームは、１８０度回転することができ、吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に配置させることができる請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項８】
前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる第１伝送アーム及び第２伝送アーム、及び該第１伝送アーム及び第２伝送アーム上にそれぞれ設置される第１吸着アセンブリ及び第２吸着アセンブリを有し、且つ該第１、第２伝送アームは、１８０度回転することができ、第１吸着アセンブリ及び第２吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に交互に配置させ、第１伝送アーム及び第２伝送アームにより持続的に交互に原料の供給排出を達成する請求項１記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項９】
前記伝送アーム及び吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該伝送アーム及びアセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する請求項７記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【請求項１０】
前記第１伝送アーム及び第１吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第２伝送アーム及び第２アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する請求項９記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、プリント回路基板試験機構に関し、特に、フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
台湾専利公告第５４８４１３号「基板検査装置及び基板検査方法」は、回転テーブル上に所定の間隔で４つの基板保持装置を設置し、検査待ち基板を安定固定保持することに用い、回転テーブル駆動装置により回転テーブルの回転を駆動し、該回転テーブル上の基板保持装置上の検査待ち基板を順に搬入位置、位置偏差検出位置、検査位置及び搬出位置に導引し、搬入位置上に設置した搬入装置により、検査待ち基板を搬入位置の基板保持装置上に移動し、位置偏差検出位置上に設置した位置偏差検出装置により、その位置に位置する検査待ち基板の位置に対して位置偏差量の検出を行ない、検査位置に設置した検査装置により、検査位置に配置された検査待ち基板に対して検査作業を行ない、搬出位置に位置する搬出装置によって、搬出位置に位置する検査待ち基板を回転点から離す作業を行ない、回転テーブルの搬入位置、位置偏差検査位置、検査位置及び搬出位置間の分段回転によって、基板の試験作業を持続的に行なうことができる。
【０００３】
しかしながら、上記の機構は、搬入位置及び排出位置をそれぞれした領域とし、回転テーブルが位置偏差位置及び検査位置以外に搬入位置及び搬出位置上に停止する必要があり、より多くの位置における停止が機構の設計をより複雑にし、製造コストを上昇させる。
【０００４】
また、上記の検査装置が試験を行なった後、正常でない基板は、別途人工でフライングプローブ検出装置に移送し、再度より精確なプローブ検出を行なう必要があり、試験作業効率が良好でなくなる。
【０００５】
好ましくは、該ＣＣＤ照準検出装置は、更に第１イメージ取得ステージと、第２イメージ取得ステージと、第１イメージ取得レンズと、第２イメージ取得レンズと、を有し、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得レンズは、該第１イメージ取得ステージ上に設置され、該第２イメージ取得レンズは、該第２イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第１イメージ取得レンズ及び該第２イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】台湾専利公告第５４８４１３号明細書
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
これに鑑みて、本考案の主要な目的は、フライングプローブ試験を統合したプリント回路基板試験機構を提供し、試験プロセス中にフライングプローブ検出作業を含み、試験の効率を増進することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、本考案が提供するフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構は、円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するＣＣＤ照準検出装置と、電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、を含む。
本考案は下記の特徴を有する。
（１）円周運動を行い、且つ該円周運動が原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置を経過することができる回転テーブルと、
原料供給排出位置上に設置され、基板を載置させることに用いる複数の原料載置構造と、
原料載置構造中の基板を所定基板配置位置に取り置き、基板配置位置上の基板を原料載置構造中に載置する供給排出原料伝送装置と、
それぞれ該回転テーブル上に等間隔で設置され、所定基板配置位置上の基板を挟持又は挟持した基板を所定基板配置位置上及び原料供給排出位置上に載置し、且つそれぞれ原料供給排出位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ検出位置上に対応する複数の基板挟持アームと、
照準位置上に設置され、照準位置に位置する基板に対してイメージ取得を行い、電気試験位置上に電気試験偏差値を計算するＣＣＤ照準検出装置と、
電気試験位置上に設置され、電気試験位置に位置する基板に接触式試験を行い、該基板が正常基板か否かを判別する基板電気試験装置と、
フライングプローブ検出位置上に設置され、基板電気試験装置が正常でないと判別した基板にプローブ試験検査を行うフライングプローブ検出装置と、
を含むフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（２）前記回転テーブルは、回転軸上に設置され、該回転軸が回転テーブル駆動装置の連動を受け、該回転テーブルを連動し、円周運動を行なう（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（３）前記原料載置構造は、試験待ち基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造と、試験を完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造と、を分けることができる（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（４）前記所定基板配置位置は、複数の等間隔に設けられた基板挟持アーム上の挟持部位である（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（５）前記所定基板配置位置は、原料供給排出位置上に設けられ、基板を載置させる基板配置ステージである（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（６）前記ＣＣＤ照準検出装置は、更に第１イメージ取得ステージと、第２イメージ取得ステージと、第１イメージ取得レンズと、第２イメージ取得レンズと、を有し、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得ステージは、独立したＸ，Ｙ軸任意の平行移動定位を行なうことができ、該第１イメージ取得レンズは、該第１イメージ取得ステージ上に設置され、該第２イメージ取得レンズは、該第２イメージ取得ステージ上に設置され、且つ該第１イメージ取得レンズ及び該第２イメージレンズは、相互に向き合い、所定のイメージ取得空間を隔て、基板を経過させる（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（７）前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム、及び該伝送アーム上にそれぞれ設置される吸着アセンブリを有し、該伝送アームは、１８０度回転することができ、吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に配置させることができる（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（８）前記供給排出原料伝送装置は、所定経路に沿って移動することができる第１伝送アーム及び第２伝送アーム、及び該第１伝送アーム及び第２伝送アーム上にそれぞれ設置される第１吸着アセンブリ及び第２吸着アセンブリを有し、且つ該第１、第２伝送アームは、１８０度回転することができ、第１吸着アセンブリ及び第２吸着アセンブリを該所定基板配置位置上方又は原料載置構造上方に交互に配置させ、第１伝送アーム及び第２伝送アームにより持続的に交互に原料の供給排出を達成する（１）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（９）前記伝送アーム及び吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該伝送アーム及びアセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する（７）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
（１０）前記第１伝送アーム及び第１吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第２伝送アーム及び第２アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する（９）記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。
【考案の効果】
【０００９】
これにより、人工運搬工程を減少し、試験効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の好適実施例の構成部材の配置説明図である。
【図２】図１に示す好適実施例の局部構成部材の動作説明図である。
【図３】図１に示す好適実施例の局部構成部材の動作説明図である。
【図４】図１に示す実施例の動作説明図である。
【図５】図１に示す実施例の動作説明図である。
【図６】図１に示す実施例の動作説明図である。
【図７】図１に示す実施例の局部構成部材の動作説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案の特徴及び利点を分かり易くする為、以下に好適実施例を挙げ、図面に併せて説明を行なう。
【００１２】
図１〜図７において、本考案の好適実施例が提供するフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構１００は、回転テーブル１０と、４組の基板挟持アーム２０と、回転テーブル駆動装置（図示せず）と、所定基板配置位置２１，３０と、供給排出原料伝送装置４０と、複数の原料載置構造５０と、ＣＣＤ照準検出装置６０と、基板電気試験装置７０と、フライングプローブ検出装置８０と、を含み、そのうち、図１に示すように、該回転テーブル１０は、回転軸１１上に設置される。
【００１３】
図１において、該基板挟持アーム２０は、該回転テーブル１０の周辺位置上に等間隔で設置され、基板を挟持することに用いる。
【００１４】
図１において、該回転テーブル駆動装置は、該回転軸１１を駆動し、同一円心の円周運動を行い、該回転テーブル１０は、原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置において所定時間の停止を行い、且つ該原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置に所定時間停止する時、該回転テーブル１０上の該基板挟持アーム２０は、該原料供給排出位置、所定基板配置位置、照準位置、電気試験位置及びフライングプローブ位置上に正確に位置する。
【００１５】
図１において、該所定基板配置位置は、該基台上に設置され、基板配置位置上に位置し、基板を配置ステージ３０に平らに載置させることに用いるか、等間隔、等角度に置かれる複数の基板挟持アーム２０の挟持ユニット２１が基板を挟持する部位である。
【００１６】
図１、図２、図７において、該原料供給排出装置４０は、所定経路に沿って移動することができる伝送アーム４１，４２、及び該伝送アーム４１，４２上に設置される吸着アセンブリ４３，４４を有し、且つ該伝送アーム４１，４２は、１８０度回転することができ、吸着アセンブリ４３，４４を伝送アーム４１，４２において回転させる時、該所定基板配置位置（基板配置３０又は挟持アーム２０の挟持ユニット２１）上方又は原料載置構造５０上方に移動する。該伝送アーム４１，４２及び吸着アセンブリ４３，４４により原料の供給又は排出の用途とする。
【００１７】
図１において、該原料載置構造５０は、該原料供給排出位置上に設置され、該供給排出原料伝送装置４０の移動経路上に位置し、検査待ち基板を載置させる原料載置構造（伝送アーム原料供給用）、又は試験が完成し、且つ正常である基板を載置させる原料載置構造（伝送アーム原料排出用）、試験が完成し、且つ正常でない基板を載置させる原料載置構造（伝送アーム原料排出用）に分けることができる。
【００１８】
図１において、該ＣＣＤ照準検出装置６０は、該照準位置上に設置され、基板に対して位置イメージ取得を行い、電気試験位置の偏差修正値を取得、計算することに用いる。
【００１９】
図１において、該基板電気試験装置７０は、該電気試験位置上に設置され、基板に対して接触式の配線検査を行ない、該基板が正常な基板であるか否かを判別することに用いる。
【００２０】
図１において、該フライングプローブ検出装置８０は、該フライングプローブ検出位置上に設置され、該基板電気試験装置７０を経由して正常でないと判別された基板に対してより精確なプローブ試験を行なうことに用いる。
【００２１】
上記のように、本考案が提供する好適実施例のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構１００の各部構成部材及びその組み立て方式について紹介したが、続いて、本考案を使用する利点を以下に紹介する。
【００２２】
先ず、該供給排出原料伝送装置４０と、伝送アーム４１，４２上の吸着アセンブリ４３，４４によって、試験待ち原料載置構造５０中に位置する基板９１を、真空吸引力を利用し、吸い取り、１８０度の回転を行い、該吸着アセンブリ４３，４４を所定基板配置位置上に配置し、該試験待ち基板９１を該所定基板配置位置上に載置し（図３参照）、続いて、該回転テーブル１０が該回転テーブル駆動装置の連動を受けて、円周運動を行い、その基板挟持アーム２０を原料供給排出位置上の所定基板配置位置上に停止し、所定基板配置位置上に配置する検査待ち基板９１を挟持することができ（基板配置ステージ上に載置され、挟持アームユニットにより挟持されるか又はアーム挟持ユニット上に直接載置され、挟持される）、原料供給作業を完成し（図４参照）、続いて、該回転テーブル１０が挟持された試験待ち試験基板９１の基板挟持アーム２０を照準位置上に回転し（図５参照）、該ＣＣＤ照準検出装置６０によって該試験待ち基板９１に対して位置のイメージ取得を行い、電気試験位置が必要とする正確な位置偏差値を得て、該基板挟持アーム２０によって挟持位置の調整を行い、続いて、該回転テーブル１０は、照準試験を完成した試験待ち基板９１を挟持した基板挟持アーム２０を電気試験位置上に回転し（図５参照）、該基板電気試験装置７０によって接触式の方式で該試験待ち基板に対して回路配線の検出を行い、該基板が正常な基板であるか否かを判別し、該回転テーブル１０が試験を完成した基板９１を挟持した基板アーム２０をフライングプローブ検出位置上に回転し（図６参照）、該フライングプローブ検出装置８０により正常でないと判別された基板に対してより詳細なプローブ試験を行い（フライングプローブ検出位置に回転した基板は、電気試験装置により正常と判断された時、フライングプローブ検出装置は、基板に対して試験を行なう必要がない）、続いて、該回転テーブル１０は、フライングプローブ検出位置を経過した基板９１を挟持し、原料供給排出位置上に回転させ、基板配置位置上に載置し、該伝送アーム４１，４２上の吸着アセンブリ４３，４４により基板９１を吸い取り（図７参照）、判別結果に基づき、原料載置構造５０上に載置し、原料排出作業を完成する。
【００２３】
本考案は、フライングプローブ検出装置を統合してフライングプローブ検出位置上に置くことにより、人工を経由し別途移送作業を行なう必要がなく、基板を試験する効率を増進することができる。
【００２４】
なお、本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない均等の範囲内で各種の変動や潤色を加えることができることは勿論である。
【符号の説明】
【００２５】
１００  フライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構
１０  回転テーブル
１１  回転軸
２０  基板挟持アーム
２１  挟持ユニット
３０  基板配置ステージ
４０  原料供給排出装置
４１  第１伝送アーム
４２  第２伝送アーム
４３  第１吸着アセンブリ
４４  第２吸着アセンブリ
５０  原料載置構造
６  ＣＣＤ照準検出装置
７０  基板電気試験装置
８０  フライングプローブ検出装置
９１  基板
【図１】
0003158102.tif 000003
【図２】
0003158102.tif 000004
【図３】
0003158102.tif 000005
【図４】
0003158102.tif 000006
【図５】
0003158102.tif 000007
【図６】
0003158102.tif 000008
【図７】
0003158102.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成22年1月12日(2010.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記第１伝送アーム及び第１吸着アセンブリは、原料供給に用いられ、原料載置構造中の検査待ち基板を所定基板配置位置上に移動し、該第２伝送アーム及び第２吸着アセンブリは、原料排出に用いられ、所定基板配置位置上の既に試験された基板を原料載置構造中に移動する請求項８記載のフライングプローブ検出を統合したプリント回路基板試験機構。