【手続補正書】
【提出日】平成25年12月11日(2013.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が互いに第１の間隔をあけて重なるように当該複数の基板を収容する基板容器が載置される容器載置部と、
前記第１の間隔よりも狭い第２の間隔をあけて複数の基板が互いに重なるように当該複数の基板を保持する基板保持具と、
基板支持可能な少なくとも２つの基板支持部を含み、前記基板保持具と前記基板容器との間で前記複数の基板を受け渡す基板搬送部であって、前記少なくとも２つの基板支持部が、前記第１の間隔で互いに重なるように配置され、前記基板容器に対して共に進退し、前記基板保持具に対して独立に進退する当該基板搬送部と、
前記少なくとも２つの基板支持部のうちの下方の基板支持部が前記基板を支持しているときに、上方の基板支持部が動作しないように当該上方の基板支持部を制御する制御部と
を備える熱処理装置。
【請求項２】
前記下方の基板支持部が、当該下方の基板支持部により支持される基板の有無を検出する検出器を備える、請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記制御部が、前記検出器により検出された、前記下方の基板支持部により支持される基板の有無に基づいて、前記上方の基板支持部が動作可能であるか否かを判断する、請求項２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記少なくとも２つの基板支持部の一方の基板支持部に、前記基板保持具に保持される前記基板を検出するセンサ部が設けられる、請求項１から３のいずれか一項に記載の熱処理装置。
【請求項５】
複数の基板が互いに第１の間隔をあけて重なるように当該複数の基板を収容する基板容器から、前記第１の間隔よりも狭い第２の間隔をあけて複数の基板が互いに重なるように当該複数の基板を保持することができる基板保持具へ、前記第１の間隔で互いに重なるように配置され、基板支持可能な少なくとも２つの基板支持部を用いて複数の基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記基板容器内へ前記少なくとも２つの基板支持部を共に進入させる工程と、
前記少なくとも２つの基板支持部の各々により１枚ずつの基板を受け取る工程と、
前記少なくとも２つの基板支持部を前記基板容器から共に退出させる工程と、
前記少なくとも２つの基板支持部のうち下方の基板支持部により、当該基板支持部が支持する第１の基板を前記基板保持具へ搬入する工程と、
前記少なくとも２つの基板支持部のうち上方の基板支持部により、当該基板支持部が支持する第２の基板を、前記基板保持具における、前記下方の基板支持部により搬入された前記第２の基板の下方へ搬入する工程と
を含む基板搬送方法。
【請求項６】
第１の間隔よりも狭い第２の間隔をあけて複数の基板が互いに重なるように当該複数の基板を保持する基板保持具から、複数の基板が互いに前記第１の間隔をあけて重なるように当該複数の基板を収容することができる基板容器へ、前記第１の間隔で互いに重なるように配置され、基板支持可能な少なくとも２つの基板支持部を用いて複数の基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記基板保持具において下方側に位置する第１の基板を、前記少なくとも２つの基板支持部のうちの上方の基板支持部により取り出す工程と、
前記基板保持具において前記第１の基板があった位置よりも上に位置する第２の基板を、前記少なくとも２つの基板支持部のうちの下方の基板支持部により取り出す工程と、
前記第１の基板を支持する前記上方の基板支持部、及び前記第２の基板を支持する前記下方の基板支持部が前記基板容器に共に進入する工程と、
前記第１の基板及び前記第２の基板を前記基板容器内に受け渡す工程と、
前記基板容器から前記上方の基板支持部及び前記下方の基板支持部を共に退出される工程と
を含む基板搬送方法。
【請求項７】
前記下方の基板支持部が前記基板を支持しているかを検出する工程と、
前記検出する工程における検出の結果に基づいて、前記下方の基板支持部が前記基板を支持しているか否かを判定する工程と、
前記判定する工程において前記下方の基板支持部が前記基板を支持していると判定されたときに、前記上方の基板支持部が動作しないよう当該上方の基板支持部を制御する工程と
を更に含む請求項５又は６に記載の基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第３の態様によれば、第１の間隔よりも狭い第２の間隔をあけて複数の基板が互いに重なるように当該複数の基板を保持する基板保持具から、複数の基板が互いに前記第１の間隔をあけて重なるように当該複数の基板を収容することができる基板容器へ、前記第１の間隔で互いに重なるように配置され、基板支持可能な少なくとも２つの基板支持部を用いて複数の基板を搬送する基板搬送方法が提供される。この基板搬送方法は、前記基板保持具において下方側に位置する第１の基板を、前記少なくとも２つの基板支持部のうちの上方の基板支持部により取り出す工程と、前記基板保持具において前記第１の基板があった位置よりも上に位置する第２の基板を、前記少なくとも２つの基板支持部のうちの下方の基板支持部により取り出す工程と、前記第１の基板を支持する前記上方の基板支持部、及び前記第２の基板を支持する前記下方の基板支持部が前記基板容器に共に進入する工程と、前記第１の基板及び前記第２の基板を前記基板容器内に受け渡す工程と、前記基板容器から前記上方の基板支持部及び前記下方の基板支持部を共に退出される工程とを含む基板搬送方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
ウエハボート３は、図３及び図４（ａ）に示すように、天板３４と、底板３５と、底板３５に対して天板３４を支持する複数（図示の例では４つ）の支柱３６を備えている。支柱３６には、図４（ｂ）に示すように、第２の間隔（ウエハ間距離とウエハ厚さとの合計）で複数のスリット３ｓが設けられている。本実施形態においては、第２の間隔は、ウエハボート３に搭載可能なウエハＷの枚数を増やすため、例えば約６ｍｍとされている。したがって、ウエハボート３におけるウエハの間隔（第２の間隔）は、キャリアＣにおけるウエハの間隔（第１の間隔）よりも狭い。また、一つの支柱３６における一つのスリット３ｓに対して、他の支柱３６の対応するスリット３ｓは同じ高さに形成されている。これにより、複数の支柱３６の対応するスリット３ｓにより、第２の間隔で複数のウエハＷが支持される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次に、図８（ｂ）に示すように、上フォークＦＵが最も下のウエハＷの下方に進入し、進退機構４５が例えば４．０ｍｍ上昇することにより、そのウエハＷが上フォークＦＵにより受け取られる。上フォークＦＵのチャック機構が起動し、ウエハＷを保持しつつ元の位置に戻る（図８（ｃ））。続けて、図８（ｄ）に示すように、上フォークＦＵが取り出したウエハＷがあった位置の一つの上の位置にあるウエハＷの下方に下フォークＦＤが進入できるように、進退機構４５の上下方向位置が調整される。その後、図９（ｅ）に示すように、下フォークＦＤがそのウエハＷの下方に進入し、進退機構４５が例えば４．０ｍｍ上昇することにより、そのウエハＷが下フォークＦＤにより受け取られる。下フォークＦＤのチャック機構が起動し、ウエハＷを保持しつつ、元の位置に戻る（図９（ｆ））。