(57)【要約】      （修正有）【課題】コーティング用キャリアトレイ、シリコンウェハーキャリア装置及びシリコンウェハー搬送システムを提供する。【解決手段】キャリアトレイは、貫通する第一蒸着窓３が設けられるカバープレート１と、貫通する第二蒸着窓が設けられ、第二蒸着窓の開口寸法が第一蒸着窓３より大きくて、第二蒸着窓の内壁にシリコンウェハー１００をキャリアするための支持部が設けられるベースプレート２と、を備え、カバープレート１はベースプレート２にフィットし接続される。シリコンウェハーキャリア装置は支持プレート及び上記キャリアトレイを備え、キャリアトレイは支持プレートに置かれ、且つベースプレート２は支持プレートに接続される。シリコンウェハー搬送システムは搬送装置及び上記キャリアトレイ又はシリコンウェハーキャリア装置を備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
貫通する第一蒸着窓が設けられるカバープレートと、
貫通する第二蒸着窓が設けられ、前記第二蒸着窓の開口寸法は前記第一蒸着窓より大きくて、前記第二蒸着窓の内壁にシリコンウェハーをキャリアするための支持部が設けられるベースプレートと、を備え、
前記カバープレートは前記ベースプレートにフィットし接続されるコーティング用のキャリアトレイ。
【請求項２】
前記第一蒸着窓の縦断面は矩形である請求項１に記載のキャリアトレイ。
【請求項３】
前記カバープレートは接続部材によって前記ベースプレートにフィットし接続される請求項２に記載のキャリアトレイ。
【請求項４】
前記支持部は前記第二蒸着窓の内壁の中央又は底部に位置する請求項１に記載のキャリアトレイ。
【請求項５】
前記カバープレートには位置決めピンが設けられ、且つ前記ベースプレートには前記位置決めピンに嵌合される位置決め穴が設けられる請求項３に記載のキャリアトレイ。
【請求項６】
前記接続部材は磁気吸引装置、ねじ込み装置及びロック装置のうちの少なくとも１つを含む請求項３に記載のキャリアトレイ。
【請求項７】
前記ベースプレートは前記支持部と一体成形される請求項１に記載のキャリアトレイ。
【請求項８】
前記カバープレート及び前記ベースプレートの材質はグラファイト、炭素繊維、アルミニウム合金又はステンレスである請求項１〜７のいずれか一項に記載のキャリアトレイ。
【請求項９】
前記第二蒸着窓の各隣接する内壁上の前記支持部は互いに接続される請求項２〜７のいずれか一項に記載のキャリアトレイ。
【請求項１０】
前記支持部は前記第二蒸着窓の内壁の垂直方向に沿って設置される突出ブロックである請求項９に記載のキャリアトレイ。
【請求項１１】
前記支持部は複数の独立した支持部材を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載のキャリアトレイ。
【請求項１２】
隣接する前記支持部材の間隔は等しい請求項１１に記載のキャリアトレイ。
【請求項１３】
支持プレートと、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のキャリアトレイと、を備え、前記キャリアトレイは前記支持プレートに置かれ、且つ前記ベースプレートは前記支持プレートに接続されるシリコンウェハーキャリア装置。
【請求項１４】
前記支持プレートに置かれる複数の前記キャリアトレイはマトリックス状に配列される請求項１３に記載のシリコンウェハーキャリア装置。
【請求項１５】
搬送装置と、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のキャリアトレイと、を備え、前記搬送装置は前記キャリアトレイを搬送することに用いられるシリコンウェハー搬送システム。
【請求項１６】
搬送装置と、請求項１３又は１４に記載のシリコンウェハーキャリア装置と、を備え、前記搬送装置は前記シリコンウェハーキャリア装置を搬送することに用いられるシリコンウェハー搬送システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は２０１８年５月２８日に出願された中国実用新案特許出願第２０１８２０８０３８５５．１号に基づいて提出し、且つ該中国実用新案特許出願の優先権を主張し、ここで該中国実用新案特許出願の内容の全体が本願に援用される。
【０００２】
本開示はシリコン系太陽電池モジュール製造分野に関するが、それに限らず、特にコーティング用キャリアトレイ、シリコンウェハーキャリア装置及びシリコンウェハー搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００３】
製造プロセスにおいて、両面太陽電池はシリコンウェハーの両面においてコーティングプロセスを行う必要があるため、一般的に、操作者が電池シリコンウェハーをシリコンウェハー搬送システムにおけるトレイ内に置く必要がある。ところが、トレイの底部が密閉構造であるため、片面の蒸着を完了してから、シリコンウェハーを手動で反転し、再びトレイ内に置いて、再びコーティング装置に搬送して他面においてコーティングプロセスを行い、それにより両面のコーティングを完了しなければならない。
【０００４】
以上から分かるように、トレイ内のシリコンウェハーの反転動作を手動で行うことは、複雑で時間がかかるだけでなく、操作中にも割れやすいため、製造コストが高くなり、製造効率が低下してしまう。
【考案の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の少なくとも１つの実施例に提供されるコーティング用キャリアトレイは、貫通する第一蒸着窓が設けられるカバープレートと、貫通する第二蒸着窓が設けられ、前記第二蒸着窓の開口寸法は前記第一蒸着窓より大きくて、前記第二蒸着窓の内壁にシリコンウェハーをキャリアするための支持部が設けられるベースプレートと、を備え、前記カバープレートは前記ベースプレートにフィットし接続される。
【０００６】
本開示の少なくとも１つの実施例に提供されるシリコンウェハーキャリア装置は、支持プレートと、上記キャリアトレイと、を備え、前記キャリアトレイは前記支持プレートに置かれ、且つ前記ベースプレートは前記支持プレートに接続される。
【０００７】
本開示の少なくとも１つの実施例に提供されるシリコンウェハー搬送システムは、搬送装置と、上記キャリアトレイと、を備え、前記搬送装置は前記キャリアトレイを搬送するように設置される。
【０００８】
本開示の少なくとも１つの実施例に提供されるシリコンウェハー搬送システムは、搬送装置と、上記シリコンウェハーキャリア装置と、を備え、前記搬送装置は前記シリコンウェハーキャリア装置を搬送するように設置される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本開示の一実施例のキャリアトレイの軸側模式図である。
【図２】本開示の一実施例のキャリアトレイの縦断面模式図である。
【図３】本開示の一実施例のベースプレートの軸側模式図である。
【図４】本開示のほかの実施例のベースプレートの軸側模式図である。
【図５】本開示のほかの実施例のキャリアトレイの縦断面模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら本開示の実施例を詳しく説明する。ただし、衝突がない場合、本開示の実施例及び実施例の特徴を互いに組み合わせることができる。
【００１１】
通常のキャリアトレイの欠点に対して、本開示の実施例に提供されるキャリアトレイは、シリコンウェハーがキャリアトレイ内に挟持されて、両面コーティングプロセスにおいて、キャリアトレイの内部のシリコンウェハーを反転する必要がなく、該キャリアトレイを直接回転するだけで、第一、第二蒸着窓によって両面蒸着プロセスを行うことができ、人件費を節約するだけでなく、操作プロセスも簡素化し、更に、操作者がシリコンウェハーに直接接触する確率を減少させ、シリコンウェハーの破損率を低下させ、製造効率を効果的に向上させる。
【００１２】
以下、実施例を参照しながら本開示のキャリアトレイ、シリコンウェハーキャリア装置及びシリコンウェハー搬送システムを説明する。
【００１３】
図１及び図２に示すように、本開示の実施例に提供されるキャリアトレイは、主にカバープレート１及びベースプレート２を備え、カバープレート１及びベースプレート２の材質はグラファイト、炭素繊維、アルミニウム合金又はステンレス等の材質であってもよい。具体的に、カバープレート１には貫通する第一蒸着窓３が設けられ、且つ第一蒸着窓３の縦断面は矩形であるため、加工便利性を確保することができるだけでなく、コーティング面積を最大化することもできる。また、ベースプレート２には同様に貫通する第二蒸着窓４が設けられ、且つ第二蒸着窓４の内壁にシリコンウェハー１００をキャリアするための支持部５が固設される。組立後のキャリアトレイにおいて、シリコンウェハー１００はベースプレート２の支持部５に置かれ、且つカバープレート１は接続部材によってベースプレート２に係合される。当業者は、カバープレート１及びベースプレート２が一体にカバーバックルされる係合方式を形成し、接続部材が磁気吸引装置、ねじ込み装置及びロック装置等のうちの少なくとも１つを用いてもよいと理解できる。なお、キャリアトレイを反転する時にシリコンウェハー１００が落ちないように確保するために、第二蒸着窓４の開口寸法を第一蒸着窓３の開口寸法より大きくするべきであり、つまり、キャリアトレイを反転した後、ベースプレート２が上側に位置しカバープレート１が下側に位置する場合、カバープレート１がシリコンウェハー１００を支持することに用いられてもよい。
【００１４】
当業者は、２つの蒸着窓の作用は、文字通り、支持されているシリコンウェハー１００の上下両面に対して蒸着コーティングを行い、つまり、カバープレート１がベースプレート２に係合された後、上記２つの蒸着窓によってキャリアトレイを上下に貫通する構造（つまり、カバープレート１とベースプレート２との間にシリコンウェハー１００を置かない状態において）に形成させることであると理解できる。蒸着窓の開口形状（非縦断面）は図１に示す矩形であってもよいし、異なる処理待ちのシリコンウェハーの形状と合わせて決定してもよい。また、２つの蒸着窓の開口寸法を一定の比率でマッチングしてもよく、シリコンウェハー１００の上下端面の露出面積を同じにして、更にシリコンウェハー１００の両面のコーティング面積を一致させる。
【００１５】
本開示の例示的な一実施例において、図２及び図３に示すように、支持部５は第二蒸着窓４の内壁の中央に位置することによって、該ベースプレート２を上下両方向に使用可能にし、つまり、ベースプレート２の上面と下面のうちの片面が破壊される場合、他面はカバープレート１にフィットし使用することができる。
【００１６】
また、本開示の例示的な一実施例において、図３に示すように、支持部５は複数の独立した支持部材６を備え、支持部材６は第二蒸着窓４の内壁から突出するボスであり、複数の支持部材６は第二蒸着窓４の１つ又は複数の内壁に均一に配置されてもよく、ここの均一配置は、具体的に、各隣接する支持部材６の間隔が等しい。
【００１７】
本開示のほかの実施例はキャリアトレイを提供する。本実施例において、キャリアトレイには位置決め装置を設置する。
【００１８】
図４に示すように、カバープレート１及びベースプレート２を正確且つ便利に締結するように確保するために、該キャリアトレイは位置決め装置によってそれらの位置を正確にロックし、ずれを避ける。具体的に、ベースプレート２には更に位置決め穴７が設けられ、カバープレート１には該位置決め穴７に嵌合される位置決めピンが設置され、又は、位置決めピンはベースプレート２に設置され、位置決め穴７はカバープレート１に設置されてもよい。
【００１９】
本開示の例示的な一実施例において、支持部５は一体構造であり、つまり、各隣接する内壁上の支持部５は互いに接続され、個別設置と異なり、連続構造を呈する。具体的に、該支持部５は図示のように第二蒸着窓４の内壁の垂直方向に沿って設置される突出ブロック構造である。支持部５の設置方式は溶接又はベースプレート２と支持部５とが一体成形される構造を用いてもよく、例えば、金型で製造されてもよい。
【００２０】
本開示のほかの実施例はキャリアトレイを提供する。本実施例において、支持部は第二蒸着窓の内壁の底部に位置する。
【００２１】
図５に示すように、該支持部５は第二蒸着窓４の内壁の底部に設置され、シリコンウェハー１００は支持部５とカバープレート１との間に挟まれる。該ベースプレート２の厚さが小さいため、スペースを節約して加工に便利である。
【００２２】
本開示の実施例に提供されるシリコンウェハーキャリア装置は、支持プレート及び以上の少なくとも１つの実施例に説明されたキャリアトレイを備え、キャリアトレイは支持プレートに置かれ、且つベースプレートは支持プレートに接続される。例えば、シリコンウェハーキャリア装置は以上のいずれか１つの実施例に説明されたキャリアトレイのみを含んでもよく、又はいずれか２つの実施例に説明されたキャリアトレイを含んでもよく、又は３つの実施例に説明されたキャリアトレイを含んでもよい。具体的に、キャリアトレイは支持プレートに４×７のマトリックス状に配列されて、位置決めピン又は取付穴等によって支持プレートに固定して取り付けられてもよい。
【００２３】
本開示の実施例に提供されるシリコンウェハー搬送システムは、搬送装置及び以上の少なくとも１つの実施例に説明されたキャリアトレイを備え、該搬送装置は複数種の搬送装置、例えば、マニピュレータ、ローラ又はコンベアベルト等であってもよい。キャリアトレイは搬送装置に置かれ、且つベースプレートは搬送装置に接続され、シリコンウェハーを搬送することに用いられる。例えば、マニピュレータはキャリアトレイを直接に挟持することで搬送してもよく、搬送ローラを用いる実施形態において、キャリアトレイはローラに直接置かれてもよい。
【００２４】
本開示の実施例に提供されるシリコンウェハー搬送システムは、搬送装置及び以上に説明されたシリコンウェハーキャリア装置を備え、シリコンウェハーキャリア装置は搬送装置に置かれる。該搬送装置は複数の搬送装置、例えば、マニピュレータ、ローラ又はコンベアベルト等であってもよい。マニピュレータは支持プレートを直接に挟持することで搬送してもよく、搬送ローラを用いる方式において、支持プレートはローラに置かれてもよい。
【００２５】
本開示において、用語「複数」とは２つ又はそれ以上を意味する。
【００２６】
以上に記載の実施形態は本開示のいくつの実施形態のみを示し、その説明はより具体的且つ詳細であるが、前記内容は本開示を容易に理解するために用いた実施形態であり、本開示を制限するためのものではない。当業者は、本開示に開示される趣旨及び範囲を逸脱せずに、実施形態及び細部に対していかなる修正及び変更を行うことができるが、本開示の実用新案登録の保護範囲は添付の実用新案登録請求の範囲に準じる。
【符号の説明】
【００２７】
１  カバープレート
２  ベースプレート
３  第一蒸着窓
４  第二蒸着窓
５  支持部
６  支持部材
７  位置決め穴
１００  シリコンウェハー
【図１】
0003218936.tif 000003
【図２】
0003218936.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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