【手続補正書】
【提出日】平成26年9月9日(2014.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
基材と、その片面に形成された粘着剤層とを有する板状部材加工用粘着シートであって、
前記粘着剤層の厚さが、１００〜３００μｍであり、
前記粘着剤層は、以下の粘着性高分子（Ａ）およびポリロタキサン（Ｂ）が、架橋剤（Ｃ）を介して結合した架橋構造を形成してなり、
前記粘着性高分子（Ａ）とポリロタキサン（Ｂ）が同一の反応性官能基を有し、前記粘着性高分子（Ａ）が有する反応性官能基の数を１としたときの、
前記ポリロタキサン（Ｂ）が有する反応性官能基の数の相対比αと、
前記架橋剤（Ｃ）が有する架橋性基の数の相対比βが、
１＋α−β≦０．８の関係を満たす板状部材加工用粘着シート。
（Ａ）反応性官能基を有する粘着性高分子
（Ｂ）少なくとも２つの環状分子の開口部に直鎖状分子が貫通してなるポリロタキサン
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
そこで、粘着剤層を厚くするのではなく、表面保護シートの基材フィルムと粘着剤層との間に、バンプを吸収、緩和するための中間層を設けることが提案されている。（特許文献１および２）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
すなわち、上記課題を解決する本発明の要旨は以下のとおりである。
（１）  基材と、その片面に形成された粘着剤層とを有する板状部材加工用粘着シートであって、
前記粘着剤層の厚さが、１００〜３００μｍであり、
前記粘着剤層は、以下の粘着性高分子（Ａ）およびポリロタキサン（Ｂ）が、架橋剤（Ｃ）を介して結合した架橋構造を形成してなり、
前記粘着性高分子（Ａ）とポリロタキサン（Ｂ）が同一の反応性官能基を有し、前記粘着性高分子（Ａ）が有する反応性官能基の数を１としたときの、
前記ポリロタキサン（Ｂ）が有する反応性官能基の数の相対比αと、
前記架橋剤（Ｃ）が有する架橋性基の数の相対比βが、
１＋α−β≦０．８の関係を満たす板状部材加工用粘着シート。
（Ａ）反応性官能基を有する粘着性高分子
（Ｂ）少なくとも２つの環状分子の開口部に直鎖状分子が貫通してなるポリロタキサン
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、粘着性高分子（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、３０℃以下であることが好ましく、１０℃以下であることがより好ましく、−１０℃以下であることが特に好ましい。ガラス転移温度（Ｔｇ）が高い場合、粘着剤層の粘着力が低下し、被着体から剥がれたり、被着体の加工に用いる水が粘着剤層と被着体の界面に浸入したりする等のおそれがある。また、粘着性高分子（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、−６０℃以上であることが好ましく、−５０℃以上であることがより好ましい。粘着性高分子（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）が−６０℃以上であることにより、粘着剤層が適度な凝集性を有することとなり、粘着力が過度に上昇することを防止し、また被着体表面への残渣発生がより抑制される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
粘着性高分子（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）を上述のような範囲に調整するために、粘着性高分子（Ａ）は単量体として、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アクリロニトリル、スチレン等の単独重合体または共重合体のガラス転移温度が−２５℃以上の単量体を含有することが好ましい。単独重合体または共重合体のガラス転移温度が−２５℃以上の単量体に由来する構成単位の含有量は、好ましくは１〜５０質量％、さらに好ましくは３〜４０質量％である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
ポリロタキサンの環状分子Ｔが有する反応性官能基Ｒ１は、前記粘着性高分子の反応性官能基Ｒ２と同様に、例えば、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、ビニル基、アクリロイル基等が挙げられ、酸性側にもアルカリ側にも偏らず、反応により着色等が生じにくく、さらに結合の安定性に優れることから、特に水酸基が好ましい。これら反応性官能基Ｒ１は、ポリロタキサン中で２種以上混在していてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
以上を具体的に説明すると、例えば、シクロデキストリンそのものに存在する水酸基は反応性官能基Ｒ１であるし、該水酸基にヒドロキシプロピル基を付加した場合には、ヒドロキシプロピル基の水酸基も反応性官能基Ｒ１に含まれる。さらには、該ヒドロキシプロピル基の水酸基を介してε−カプロラクトンの開環重合を行った場合、該開環重合により得られたポリエステル鎖の反対側末端には水酸基が形成される。この場合、該水酸基も反応性官能基Ｒ１に含まれる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
半導体ウエハはシリコンウエハであってもよく、またガリウム・砒素などの化合物半導体ウエハであってもよい。ウエハ表面へのバンプの形成は、メッキや半田により形成することができる。バンプの高さは、通常５０μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは５０〜５００μｍ程度であり、このようなバンプの形成された半導体ウエハに本発明の粘着シートを適用した場合に、その突起の吸収性が発揮され好ましい。このようなウエハの研削前の厚みは特に限定はされないが、通常は５００〜１０００μｍ程度である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
裏面研削は粘着シートが貼付されたままグラインダーおよびウエハ固定のための吸着テーブル等を用いた公知の手法により行われる。粘着シートは、適度な破断伸度と貯蔵弾性率を有するため、ウエハ裏面研削時にウエハに強い剪断力が負荷されても、ウエハの振動、位置ズレが防止でき、ウエハ裏面を平坦、かつ極薄にまで研削することができる。
裏面研削工程の後、研削によって生成した破砕層を除去する処理が行われてもよい。裏面研削後の半導体ウエハの厚みは、特に限定はされないが、好ましくは１０〜３００μｍ、特に好ましくは２５〜２００μｍ程度である。また、半導体ウエハの回路面には導通用のバンプが形成されていてもよい。本発明の粘着シートは、バンプ等の凹凸差を吸収、緩和する効果が高く、バンプを有するウエハに特に好ましく用いられる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
第３工程：前記溝の底部を除去し、所定の厚さになるまでウエハの裏面を研削して個々のチップに分割する。研削時には、研削屑や研削熱を除去するために研削面に水（研削水）を供給しつつ研削を行う。この際、本発明の粘着シートを用いることで、チップと粘着剤層との間に高い密着性が得られるため、回路面への研削水の滲入がなく、チップの汚染を防止できる。また、先ダイシング法においては、溝の形成された面に表面保護シートを貼付するため溝のエッジ部（溝の非形成部における溝との境界）に粘着剤残渣が発生しやすいが、本発明の粘着剤は凝集性が高いため、エッジ部の粘着剤残渣が発生しにくい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのポリロタキサンの水酸基の数の比をα、アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのイソシアナート化合物のイソシアナート基の数の比をβとした場合の１＋α−βを表に示す。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
（実施例２）
実施例１と同じアクリル系粘着剤１００質量部と硬化剤イソシアナート化合物（綜研化学株式会社製、ＴＤ−７５）１．５１質量部とポリロタキサン０．５１質量部を混合した粘着剤を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのポリロタキサンの水酸基の数の比をα、アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのイソシアナート化合物のイソシアナート基の数の比をβとした場合の１＋α−βを表に示す。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
（実施例３）
実施例１と同じアクリル系粘着剤１００質量部と硬化剤イソシアナート化合物（綜研化学株式会社製、ＴＤ−７５）１．５１質量部とポリロタキサン０．２５質量部を混合した粘着剤を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのポリロタキサンの水酸基の数の比をα、アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのイソシアナート化合物のイソシアナート基の数の比をβとした場合の１＋α−βを表に示す。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
（実施例４）
実施例１と同じアクリル系粘着剤１００質量部と硬化剤イソシアナート化合物（綜研化学株式会社製、ＴＤ−７５）３．０質量部とポリロタキサン１．６８質量部を混合した粘着剤を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのポリロタキサンの水酸基の数の比をα、アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのイソシアナート化合物のイソシアナート基の数の比をβとした場合の１＋α−βを表に示す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
（比較例１）
実施例１と同じアクリル系粘着剤１００質量部と硬化剤イソシアナート化合物（綜研化学株式会社製、ＴＤ−７５）１．５１質量部とポリロタキサン１．６８質量部を混合した粘着剤を用いた以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのポリロタキサンの水酸基の数の比をα、アクリル系粘着剤の水酸基の数を１としたときのイソシアナート化合物のイソシアナート基の数の比をβとした場合の１＋α−βを表に示す。