(57)【要約】      （修正有）【課題】静電式空気浮遊プラットフォームを提供する。【解決手段】静電式空気浮遊プラットフォームは、基板３をプラットフォーム上方に浮遊させることに用い、ベース１と、静電構造２と、を含み、ベース１は、工作表面１０を有し、且つ工作表面１０に複数の空気浮遊孔１１を設け、静電構造２は、それぞれ工作表面１０に設置され、各空気浮遊孔１１に露出され、各空気浮遊孔１１は、基板３に対して正方向力を提供し、静電構造２は、通電により静電を発生し、基板３に対して静電による逆方向力を提供する。それにより、静電吸引力が形成する逆方向力によって正方向力と基板３に対して発生する浮力のバランスを取ることができる。【選択図】図３
0003218873.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板（３）を該プラットフォーム上方に浮遊させることに用い、
工作表面（１０）を有し、且つ工作表面（１０）に複数の空気浮遊孔（１１）を設けるベース（１）と、
工作表面（１０）に設置され、前記空気浮遊孔（１１）に露出される静電構造（２）と、
を含み、
前記空気浮遊孔（１１）は、前記基板（３）に対して正方向力を提供し、静電構造（２）は、通電により静電を発生し、前記基板（３）に対して静電による逆方向力を提供する、静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項２】
前記静電構造（２）は、誘電体を有する複数の電子回路構造である請求項１に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項３】
前記誘電体は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層である請求項２に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項４】
各前記空気浮遊孔（１１）は、複数列を呈して該工作表面（１０）に配列され、且つ各前記電子回路は、シート状に各列の前記空気浮遊孔（１１）の間に位置する請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項５】
前記ベース（１）の工作表面（１０）は、該電子回路に対応する複数の埋設溝（１００）を凹設し、且つ該電子回路は、それぞれ各該埋設溝（１００）内に埋設される請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項６】
前記電子回路は、該ベース（１）の工作表面（１０）に直接貼付する請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項７】
前記ベース（１）は、延伸段（１’）を有し、且つ該延伸段（１’）上に前記空気浮遊孔（１１’）及び該静電構造（２’）を設ける請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項８】
前記延伸段（１’）上の該静電構造（２’）は、該延伸段（１’）の２つの外側箇所にその長さ方向に沿って延伸し、該延伸段（１’）上の該空気浮遊孔（１１’）は、内側にＳの長さ方向に配列される請求項７に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項９】
前記延伸段（１’）上の該静電構造（２’）は、該延伸段（１’）の中間箇所に配置され、その長さ方向に沿って延伸し、該延伸段（１’）上の該空気浮遊孔（１１’）は、両側箇所に配置されてその長さ方向に沿って延伸する請求項７に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項１０】
前記静電構造（２）は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層から層状体に構成され、該ベース（１）の工作表面（１０）に被覆する請求項１に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、加工装置に関し、特に静電式空気浮遊プラットフォームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のガラス等製品の基板加工作業では、主に、空気浮遊作用を提供するプラットフォームによって基板に対して載置又は搬送等作業を行い、空気浮遊載置状態で加工及び検査等を行う。従来のこの種の気体浮遊プラットフォームは、通常、プラットフォームの表面に複数の空気孔を設け、気圧で空気を吹いた後に祖の表面に空気から形成されるエアパッド層を形成し、該エアパッド層により基板に上向きの浮力を提供し、前記の加工作業を行い易くしている。
【０００３】
しかしながら、単一方向に上向きの空気浮力で基板を浮遊させることで、往々にして空気がその基盤に接触した後に過度な空気が基板の安定性に影響を及ぼす。従って、双方向の気流の方式によって問題を改善したものもあり、即ち、プラットフォーム上に逆向きに空気孔を設け、前記空気孔が正方向であるものは、正方向力を提供し、逆方向の空気孔は、逆方向力を提供し、故に逆方向力によって余分な空気を迅速にエアパッド層外に吹き出し、基板の安定に影響を及ぼすことを回避している。
【０００４】
しかしながら、上記の正方向空気孔及び逆方向空気孔は、同時にプラットフォーム表面で作用を提供し、且つ吹きながら吸う状況において、互いの間のエネルギー損耗が生じ易く、故に省エネルギーの考慮の下、理想的ではない。
【０００５】
これに鑑み、本考案者は、上記欠陥を解決する為、研究に専念し、学理の運用を合わせ、ようやく設計が合理的であり且つ上記欠陥を有効に改善し領域の空気浮遊の高さを調整可能な本考案を考案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表2017-518180号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
本考案の目的は、静電場の吸着力によって加工したい基板に対して逆方向力を提供し、基板が正方向力の衝突によって振動する幅を軽減し、基板が浮力を受ける時に更に安定させ、浮遊の高さを調整できる静電式空気浮遊プラットフォームを提供することにある。
【０００８】
本考案のもう１つの目的は、静電場の吸着力により逆方向力を発生し、これにより、気圧を主とした正方向力に対して影響を与えることなく、故に正方向力がエネルギー損耗する問題がない静電式空気浮遊プラットフォームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成する為、本考案の静電式空気浮遊プラットフォームは、基板を該プラットフォーム上方に浮遊させることに用い、ベース、及び静電構造を含み、ベースは、工作表面を有し、且つ工作表面に複数の空気浮遊孔を設け、静電構造は、工作表面に分布設置され、各空気浮遊孔に露出し、各空気浮遊孔は、前記基板に対して正方向力を提供し、静電構造は、通電により静電を発生し、前記基板に対して静電による逆方向力を提供する。
【考案の効果】
【００１０】
静電吸引力が形成する逆方向力によって正方向力と前記基板に対して発生する浮力のバランスを取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案の第１実施例の立体分解説明図である。
【図２】本考案の第１実施例の使用状態説明図である。
【図３】本考案の第１実施例の使用状態の断面図である。
【図４】本考案の第２実施例の使用状態の断面図である。
【図５】本考案の第３実施例の断面図である。
【図６】本考案の第４実施例の立体外観説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
本考案の特徴及び技術内容を更に分かり易くする為、本考案の詳細な説明及び図面を参考とするが、図面は、参考及び説明用に提供するのみであり、本考案に制限を加えるものではない。
【００１３】
図１、図２を参照し、それは、それぞれ本考案の第１実施例の立体分解説明図及び使用状態説明図である。本考案は、静電式空気浮遊プラットフォームを提供し、それは、基板３を載置又は搬送することに用いられ、該プラットフォーム表面が提供する正逆方向力によって浮力を発生し、前記基板３を該プラットフォーム上方に浮遊させて載置又は搬送の目的を達成し、前記基板３に対して洗浄、スプレーコート、検査、露光、成膜、エッチング、仕上げ等の加工作業を行うことができる。該静電式空気浮遊プラットフォームは、ベース１、及び該ベース１に設ける静電構造２を含む。
【００１４】
該ベース１は、剛性が良好な金属又はセラミック及びその他の複合材料で形成されることができ、主に該プラットフォームを構成する本体とすることに用いられ、必要に応じてその形状、長さを延伸し、又は前記基板３に対応する寸法の大きさを有する。本考案が挙げる実施例において、該ベース１は、主に前記基板３を載置することに用いられ、載置箇所に必要な加工を提供し、且つ該ベース１は、一定の長さの延伸段１’を有することができ、基板３をその他の箇所から機具４に挟持又は載置する等の方式で該延伸段１’まで移動した後、該延伸段１’によって該ベース１に搬送される。
【００１５】
上記のように、該ベース１は、工作表面１０を有し、該工作表面１０は、前記基板３の表面に向き、即ち、該ベース１は、工作表面１０を有し、該工作表面１０は、複数の空気浮遊孔１１を設け、該空気浮遊孔１１は、該ベース１内部に連通史、該ベース１のその他の部位により空気供給設備（図示せず）に接続し、気体が発生する正方向力によって各空気浮遊孔１１から排出する。本考案が挙げる実施例において、該ベース１の前側（これに限定するものではない）に複数の吸気孔１１０を設け、前記吸気孔１１０は、それぞれ該ベース１内において各空気浮遊孔１１に連通し、このように、各吸気孔１１０から空気を供給した後、各空気浮遊孔１１において正方向力を排出する。
【００１６】
静電構造の原理は、直流電圧を構造内の電極板（Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）に印加し、キャリア上の誘電層（Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｌａｙｅｒ）に静電荷を発生させ、静電場を発生させ、キャリアに基板表面に付着する静電電荷をセンシングし、この静電力により基板及び静電構造に吸着の逆方向力を獲得させる。該静電構造２は、通電後に静電を発生誘電できる誘電体構造であり、上記ベース１の工作表面１０に設置され、静電により前記基板３が発生する浮力に対してバランスを取る。本実施例において、該静電構造２は、誘電体を有する複数の電子回路から構成され、前記誘電体は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層であることができ、電子回路が通電（直流電）後、電荷を発生して静電場の吸着力を有することができる。各空気浮遊孔１１は、複数列を呈して該工作表面１０に配列され、各前記電子回路は、シート状に各列の空気浮遊孔１１の間にあり、電子回路は、該空気浮遊孔１１の間に挿入され、空気浮遊孔１１に影響を及ぼさない。
【００１７】
また、該ベース１は、その延伸段１’において、前記空気浮遊孔１１’及び静電構造２’を設けることができ、延伸段１’上で搬送することを考慮する時、前記基板３の中間箇所が比較的重く湾曲し易く、故に静電構造２’を左右２つの外側箇所に配置し、その長さ方向に延伸し、各空気浮遊孔１１’は、静電構造２’内側に長さ方向に配列される。
【００１８】
これに基づき、図３に示すように、上記基板３は、機具４の挟持又は載置によって該ベース１又は延伸段１’上に移動され、各空気浮遊孔１１によって正方向力を提供して前記基板３を上向きに浮遊させることができる。しかしながら、単独で各空気浮遊孔１１が提供する正方向力のみによって空気接触基板３にある場合、提供された圧力及び基板３により衝突を発生して基板３全体の安定性に影響を及ぼす。従って、本考案は、該静電構造２によって静電を発生して吸着力により基板３に対して逆方向力を提供し、基板３が正方向力の衝突を受けて振動する幅を軽減する。言い換えれば、前記逆方向力によって、前記基板３を、浮力を受ける時に更に安定させ、且つ静電場の吸着力によって発生する逆方向力により気圧を主とした正方向力に影響を及ぼすことがなく、故に、正方向力の損耗を招くことがない。更に、正逆方向力の大きさによって空気浮遊の高さを調整する目的及び効果を達成することができる。
【００１９】
従って、上記の構造により、本考案の静電式空気浮遊プラットフォームを得ることができる。
【００２０】
図３に示すように、上記静電構造２が誘電体を有する複数の電子回路で構成される実施態様において、該ベース１の工作表面１０上の該電子回路に対応する複数の埋設溝１００を凹設し、電子回路をそれぞれ各埋設溝１００内に埋設させる。又は、図４に示すように、直接電子回路をそれぞれ該工作表面１０に貼付することができる。
【００２１】
また、図５に示すように、本考案のその他の実施態様において、該静電構造２は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層から構成される層状体であることもでき、該ベース１の工作表面１０上に被覆し、且つ各空気浮遊孔１１に影響を及ぼさない状況で各空気浮遊孔１１に露出する。当然、該ベース１の強度を考慮しない状況において、該ベース１そのものは、上記材質から構成されて該静電構造２と一体成型されることもできる。
【００２２】
また、図６に示すように、前記基板３の搬送の各種可能な状況を考慮し、前記延伸段１’のその他の実施態様は、その中間箇所にその長さ方向に沿って延伸する前記静電構造２’を設け、前記静電構造２’の左右二側箇所にそれぞれ各空気浮遊孔１１’を延伸段１’の長さ方向に沿って延伸配列する。
【００２３】
上記を総合し、本考案は、稀な新しい考案製品であり、確かに予期する使用目的を達成し、従来の欠陥を解決し、極めて新規性、進歩性を有し、実用新案出願要件に符合すると考えられる。
【００２４】
上記のように、本考案の携帯式洗浄器は、予期する使用目的を確かに達成でき、従来の欠陥を解決し、新規性、進歩性を有し、実用新案出願要件に完全に符号する。
【符号の説明】
【００２５】
＜本考案＞
１  ベース
１０  工作表面
１００  埋設溝
１１  空気浮遊孔
１１０  吸気孔
１’  延伸段
１１’  空気浮遊孔
２、２’  静電構造
３  基板
４  機具
【図１】
0003218873.tif 000003
【図２】
0003218873.tif 000004
【図３】
0003218873.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年9月4日(2018.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板（３）をプラットフォーム上方に浮遊させることに用い、
工作表面（１０）を有し、且つ工作表面（１０）に複数の空気浮遊孔（１１）を設けるベース（１）と、
工作表面（１０）に設置され、前記空気浮遊孔（１１）に露出される静電構造（２）と、
を含み、
前記空気浮遊孔（１１）は、前記基板（３）に対して正方向力を提供し、静電構造（２）は、通電により静電を発生し、前記基板（３）に対して静電による逆方向力を提供する、静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項２】
前記静電構造（２）は、誘電体を有する複数の電子回路構造である請求項１に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項３】
前記誘電体は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層である請求項２に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項４】
各前記空気浮遊孔（１１）は、複数列を呈して該工作表面（１０）に配列され、且つ各前記電子回路は、シート状に各列の前記空気浮遊孔（１１）の間に位置する請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項５】
前記ベース（１）の工作表面（１０）は、該電子回路に対応する複数の埋設溝（１００）を凹設し、且つ該電子回路は、それぞれ各該埋設溝（１００）内に埋設される請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項６】
前記電子回路は、該ベース（１）の工作表面（１０）に直接貼付する請求項３に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項７】
前記ベース（１）は、延伸段（１’）を有し、且つ該延伸段（１’）上に延伸段空気浮遊孔（１１’）及び延伸段静電構造（２’）を設ける請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項８】
前記延伸段（１’）上の延伸段静電構造（２’）は、該延伸段（１’）の２つの外側箇所にその長さ方向に沿って延伸し、該延伸段（１’）上の延伸段空気浮遊孔（１１’）は、内側にその長さ方向に配列される請求項７に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項９】
前記延伸段（１’）上の延伸段静電構造（２’）は、該延伸段（１’）の中間箇所に配置され、その長さ方向に沿って延伸し、該延伸段（１’）上の延伸段空気浮遊孔（１１’）は、両側箇所に配置されてその長さ方向に沿って延伸する請求項７に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。
【請求項１０】
前記静電構造（２）は、セラミック、有機材料又は陽極酸化層から層状体に構成され、該ベース（１）の工作表面（１０）に被覆する請求項１に記載の静電式空気浮遊プラットフォーム。