【手続補正書】
【提出日】平成26年1月15日(2014.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の工程を経て形成された最終形態品を検査する最終検査と、最終の工程より前の工程で形成された中間品を検査する中間検査との関係に基づき、中間検査に用いられる判定基準値が適切であるか否かを判定する方法であって、
複数の中間品およびこれらの中間品から形成された最終形態品に対してそれぞれ検査対象の特徴量を得るための計測処理を実施して、各計測値を同一物品に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定する第１ステップと、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、前記中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との相関関係を導出する第２ステップと、
中間品に対する計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記第２ステップで導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終形態品の計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第３ステップと、
前記中間検査に用いられる判定基準値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める第４ステップと、
第４ステップにおいて求められた各範囲における整合の度合いおよび不整合の度合いに基づき、中間検査に用いられる判定基準値が適切であるか否かを判定する第５ステップとが含まれる、
ことを特徴とする判定基準値の適否判定方法。
【請求項２】
前記第２ステップでは、前記中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との回帰直線を導出し、
前記第３ステップの前記第１演算処理では、前記回帰直線の式に演算対象点に対応する計測値を適用して最終形態品の計測値の平均値を求めると共に、前記複数のサンプルが示す中間品に対する計測値の平均値と前記演算対象点が示す計測値との差が大きいほど値を小さくするように機能する補正関数を用いて前記回帰直線の標準誤差を補正することにより、最終形態品の計測値のばらつきを算出する、請求項１に記載された判定基準値の適否判定方法。
【請求項３】
前記第４ステップでは、分割された範囲毎に、その範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率の平均値を算出し、その算出結果に基づき、中間検査の結果と最終検査の結果との組み合わせ毎に、その組み合わせの発生確率を算出する、請求項１に記載された判定基準値の適否判定方法。
【請求項４】
複数の工程を経て形成された最終形態品を検査する最終検査と、最終工程より前の工程で形成された中間品を検査する中間検査との関係に基づき、中間検査に用いられる判定基準値の適正な値を導出する方法であって、
複数の中間品およびこれらの中間品から形成された最終形態品に対してそれぞれ検査対象の特徴量を得るための計測処理を実施して、各計測値を同一物品に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定する第１ステップと、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、前記中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との相関関係を導出する第２ステップと、
中間品に対する計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記第２ステップで導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終形態品の計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第３ステップと、
前記中間検査に用いられる判定基準値を変動させながら、判定基準値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める処理を、毎回の判定基準値に対して実行する第４ステップと、
前記第４ステップで判定基準値毎に整合の度合いおよび不整合の度合いが求められるのに応じて、これらの度合いに基づき、各判定基準値の中から適切な値を選択する第５ステップとが含まれる、
ことを特徴とする判定基準値の適正値の特定方法。
【請求項５】
複数の工程を経て形成された最終形態品を検査する最終検査と、最終工程より前の工程で形成された中間品を検査する中間検査との関係に基づき、中間検査につき設定されている判定基準値を適切な値に変更する方法であって、
複数の中間品およびこれらの中間品から形成された最終形態品に対してそれぞれ検査対象の特徴量を得るための計測処理を実施して、各計測値を同一物品に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定する第１ステップと、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、前記中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との相関関係を導出する第２ステップと、
中間品に対する計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記第２ステップで導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終形態品の計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第３ステップと、
前記中間検査に用いられる判定基準値を変動させながら、判定基準値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める処理を、毎回の判定基準値に対して実行する第４ステップと、
前記第４ステップで判定基準値毎に整合の度合いおよび不整合の度合いが求められるのに応じて、これらの度合いに基づき、各判定基準値の中から適切な値を選択する第５ステップと、
前記中間検査につき現在設定されている判定基準値と前記第５ステップで選択された適切な判定基準値とに関して、それぞれの判定基準値による中間検査における良否の判定結果が前記最終検査における良否の判定結果にどの程度整合しているかを比較して示す画面をモニタに表示する第６ステップと、
前記第６ステップによる表示が行われている状態下で判定基準値の変更を指示する操作を受け付け、この操作に応じて前記中間検査の判定基準値を前記適切な値に書き換える第７ステップとが含まれる、
ことを特徴とする判定基準値の変更方法。
【請求項６】
前記第６ステップでは、前記第３ステップの第２演算処理の結果を用いて、前記中間品に対する計測値と各計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率または不良と判定される確率との関係を示すグラフを、前記中間検査につき現在設定されている判定基準値および前記第５ステップで選択された適切な判定基準値に対応する位置を明示した状態にして表示する請求項５に記載された判定基準値の変更方法。
【請求項７】
前記第６ステップでは、前記中間検査につき現在設定されている判定基準値および前記第５ステップで選択された適切な判定基準値のそれぞれに、当該判定基準値による中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとの大小関係を示す数値を対応づけて表示する請求項５に記載された判定基準値の変更方法。
【請求項８】
部品実装基板を生産するための複数の工程のうちのリフロー工程に配備される最終検査用の検査機と、リフロー工程より前の少なくとも１工程に配備される中間検査用の検査機とを含むシステムであって、
各検査機が検査のために実施した計測処理の結果および検査結果を、検査対象部位の同一性を特定可能な状態で保存する記憶手段と、同じ判定基準値を適用可能な複数の検査対象部位につき前記記憶手段に保存された情報を解析して、これらの検査対象部位に対する中間検査に用いられる判定基準値に関する処理を実行する判定基準値処理手段とを具備するコンピュータシステムをさらに含み、
前記判定基準値処理手段は、
前記複数の検査対象部位に対する中間検査における計測値と最終検査における計測値とを、同一の部位に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定するサンプル設定手段と、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、中間検査における計測値と最終検査における計測値との相関関係を導出する相関関係導出手段と、
前記中間検査における計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記相関関係導出手段が導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終検査における計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた検査対象部位が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第１の解析手段と、
前記中間検査に用いられる判定基準値に基づき、前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める第２の解析手段と、
第２の解析手段により求められた各範囲における整合の度合いおよび不整合の度合いに基づき、中間検査で用いられる判定基準値が適切であるか否かを判定する判定手段と、
判定手段による判定結果を出力する出力手段とを、
具備する、部品実装基板の検査システム。
【請求項９】
部品実装基板を生産するための複数の工程のうちのリフロー工程に配備される最終検査用の検査機と、リフロー工程より前の少なくとも１工程に配備される中間検査用の検査機とを含むシステムであって、
各検査機が検査のために実施した計測処理の結果および検査結果を、検査対象部位の同一性を特定可能な状態で保存する記憶手段と、同じ判定基準値を適用可能な複数の検査対象部位につき前記記憶手段に保存された情報を解析して、これらの検査対象部位に対する中間検査に用いられる判定基準値に関する処理を実行する判定基準値処理手段とを具備するコンピュータシステムをさらに含み、
前記判定基準値処理手段は、
各検査対象部位に対する中間検査における計測値と最終検査における計測値とを、同一の部位に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定するサンプル設定手段と、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、中間検査における計測値と最終検査における計測値との相関関係を導出する相関関係導出手段と、
前記中間検査における計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記相関関係導出手段が導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終検査における計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた検査対象部位が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第１の解析手段と、
前記中間検査に用いられる判定基準値を変動させながら、判定基準値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める処理を、毎回の判定基準値に対して実行する第２の解析手段と、
第２の解析手段により判定基準値毎に整合の度合いおよび不整合の度合いが求められるのに応じて、これらの度合いに基づき、各判定基準値の中から適切な値を選択する判定基準値選択手段と、
判定基準値選択手段により選択された判定基準値を出力する出力手段とを、
具備する、部品実装基板の検査システム。
【請求項１０】
前記出力手段は、前記中間検査用の検査機に、前記基準値選択手段により選択された判定基準値を送信する手段として構成され、中間検査用の検査機には、出力手段から送信された判定基準値を中間検査のために登録する手段が設けられる、請求項９に記載された部品実装基板の検査システム。
【請求項１１】
部品実装基板を生産するための複数の工程のうちのリフロー工程に配備される最終検査用の検査機と、リフロー工程より前の少なくとも１工程に配備される中間検査用の検査機とを含むシステムであって、
各検査機が検査のために実施した計測処理の結果および検査結果を、検査対象部位の同一性を特定可能な状態で保存する記憶手段と、同じ判定基準値を適用可能な複数の検査対象部位につき前記記憶手段に保存された情報を解析して、これらの検査対象部位に対する中間検査に用いられる判定基準値に関する処理を実行する判定基準値処理手段とを具備するコンピュータシステムをさらに含み、
前記判定基準値処理手段は、
各検査対象部位に対する中間検査における計測値と最終検査における計測値とを、同一の部位に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定するサンプル設定手段と、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、中間検査における計測値と最終検査における計測値との相関関係を導出する相関関係導出手段と、
前記中間検査における計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記相関関係導出手段が導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終検査における計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた検査対象部位が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率の少なくとも一方を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第１の解析手段と、
前記中間検査に用いられる判定基準値を変動させながら、判定基準値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、これらの範囲毎に、当該範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された確率を用いて、中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとを求める処理を、毎回の判定基準値に対して実行する第２の解析手段と、
第２の解析手段により判定基準値毎に整合の度合いおよび不整合の度合いが求められるのに応じて、これらの度合いに基づき、各判定基準値の中から適切な値を選択する判定基準値選択手段と、
前記中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値と前記判定基準値選択手段により選択された適切な判定基準値とに関して、それぞれの判定基準値による中間検査における良否の判定結果が前記最終検査における良否の判定結果にどの程度整合しているかを比較して示す画面を表示する表示手段と、
前記表示手段による表示が行われている状態下で判定基準値の変更を指示する操作を受け付け、この操作に応じて前記中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値を前記適切な判定基準値に書き換えさせるために、当該適切な判定基準値を出力する書き換え制御手段とを、具備する、部品実装基板の検査システム。
【請求項１２】
前記表示手段は、前記第１の解析手段による第２演算処理の結果を用いて、前記中間検査における計測値と各計測値が得られた検査対象部位が最終検査において良と判定される確率または不良と判定される確率との関係を示すグラフを、前記中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値および前記判定基準値選択手段により選択された適切な判定基準値に対応する位置を明示した状態にして表示する、請求項１１に記載された部品実装基板の検査システム。
【請求項１３】
前記表示手段は、前記中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値および前記判定基準値選択手段により選択された適切な判定基準値のそれぞれに、当該判定基準値による中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査が整合しない度合いとの大小関係を示す数値を対応づけて表示する、請求項１１に記載された部品実装基板の検査システム。
【請求項１４】
複数の工程を経て形成された最終形態品を検査する最終検査と、最終の工程より前の工程で形成された中間品を検査する中間検査とが実施される生産ラインにおける各検査の結果を導出するためのシミュレーション演算を、コンピュータを用いて実施する方法であって、
複数の中間品およびこれらの中間品から形成された最終形態品に対してそれぞれ検査対象の特徴量を得るための計測処理を実施することにより得られた各計測値を、同一物品に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定する第１ステップと、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、前記中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との相関関係を導出する第２ステップと、
中間品に対する計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記第２ステップで導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終形態品の計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率を求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第３ステップと、
前記中間検査に用いられる判定基準値としての設定値の入力を受け付けて、入力された値に基づき前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、不良と判定される範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された２種類の確率を用いて中間品が不良と判定される確率を求める一方、前記良と判定される範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された２種類の確率を種類毎に処理することにより、中間検査を合格した中間品から形成された最終品が良と判定される確率および不良と判定される確率を求める第４ステップと、
前記第４ステップにおいて算出された各確率を用いて、生産ラインで生産される所定数の中間品のうちで中間検査に合格する割合または不合格となる割合と、中間検査に合格した中間品のうちで最終検査に合格する割合または不合格となる割合とを求める第５ステップと、
前記第５ステップで算出された各割合をシミュレーション演算の結果として表示する第６ステップとを、前記コンピュータに実施させることを特徴とする、
生産現場におけるシミュレーション方法。
【請求項１５】
部品実装基板を生産するための複数の工程を含み、そのうちのリフロー工程に最終検査用の検査機が、リフロー工程より前の少なくとも１工程に中間検査用の検査機が、それぞれ配備される基板生産ラインを対象として、当該生産ラインにおける各検査の結果を導出するためのシミュレーション演算を実行してその結果を表示するコンピュータシステムであって、
各検査機が検査対象の特徴量を得るための計測処理を実施することにより得られた各計測値を、検査対象部位の同一性を特定可能な状態で保存すると共に、最終検査に用いられる判定基準値を保存する記憶手段と、同じ判定基準値を適用可能な複数の検査対象部位につき中間検査に用いられる判定基準値の設定値の入力を受け付ける入力手段と、入力された判定基準値が適用される検査対象部位につき前記記憶手段に保存された情報を解析して、これらの検査対象部位に対するシミュレーション演算を実行するシミュレーション演算手段と、シミュレーション演算の結果を表示する表示手段とを備え、
前記シミュレーション演算手段は、
演算対象の各検査対象部位に対する各検査機による計測値を、同一の部位に対応するもの毎に組み合わせることにより複数のサンプルを設定するサンプル設定手段と、
前記複数のサンプルが示す計測値の組み合わせを用いて、中間検査における計測値と最終検査における計測値との相関関係を導出する相関関係導出手段と、
前記中間検査のための計測処理で得られる計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、前記相関関係導出手段が導出した相関関係に基づき、演算対象点が示す計測値に対応する最終検査における計測値の分布パターンを特定する第１演算処理と、この分布パターンと前記記憶手段に保存されている最終検査用の判定基準値との関係に基づき、当該演算対象点が示す計測値が得られた検査対象部位が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率とを求める第２演算処理とを、演算対象点毎に実施する第１の解析手段と、
前記入力手段が受け付けた判定基準値の設定値に基づき、前記演算対象点が設定された範囲を良と判定される範囲と不良と判定される範囲とに分割し、不良と判定される範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された２種類の確率を用いて中間検査において不良と判定される確率を求める一方、前記良と判定される範囲に含まれる演算対象点につき前記第２演算処理により算出された２種類の確率を種類毎に処理することにより、中間検査を合格した部位が最終検査において良と判定される確率および不良と判定される確率を求める第２の解析手段と、
前記第２の解析手段により算出された各確率を用いて、前記中間検査用の検査機が配備される工程に導入された基板のうちで中間検査に合格する割合または不合格となる割合と、中間検査に合格した基板のうちで最終検査に合格する割合または不合格となる割合とを求める第３の解析手段とを具備し、
前記表示手段は、前記第３の解析手段により算出された各割合をシミュレーション演算の結果として表示する、部品実装基板の生産ライン用のシミュレーションシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】判定基準値の適否判定方法およびその適正値の特定方法ならびに適正値への変更方法、部品実装基板の検査システム、生産現場におけるシミュレーション方法およびシミュレーションシステム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記の方法によれば、中間検査のために設定された当初の判定基準値が適切でなかった場合でも、検査によりある程度の計測値が蓄積された段階で当該方法を実施することにより、判定基準値の適切な値を特定し、その値に判定基準値を書き換えることが可能になる。また、この方法は検査の前に、中間検査のための判定基準値を決定する場合にも実施することができる。
判定基準値の書き換えに際しては、中間検査につき現在設定されている判定基準値と前記第５ステップで選択された適切な判定基準値とに関して、それぞれの判定基準値による中間検査における良否の判定結果が前記最終検査における良否の判定結果にどの程度整合しているかを比較して示す画面をモニタに表示する第６ステップと、この第６ステップによる表示が行われている状態下で判定基準値の変更を指示する操作を受け付け、この操作に応じて前記中間検査の判定基準値を前記適切な値に書き換える第７ステップとを実施することができる。第６ステップでは、たとえば第３ステップの第２演算処理の結果を用いて、前記中間品に対する計測値と各計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が最終検査において良と判定される確率または不良と判定される確率との関係を示すグラフを、前記中間検査につき現在設定されている判定基準値および前記第５ステップで選択された適切な判定基準値に対応する位置を明示した状態にして表示する。または、中間検査につき現在設定されている判定基準値および前記第５ステップで選択された適切な判定基準値のそれぞれに、当該判定基準値による中間検査の結果と最終検査の結果とが整合する度合いと各検査結果が整合しない度合いとの大小関係を示す数値を対応づけて表示することもできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
第１の検査システムでは、判定基準値処理手段に、以下のサンプル設定手段、相関関係導出手段、第１の解析手段、第２の解析手段、判定手段、出力手段が含まれる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上記の実施形態によれば、コンピュータシステムによる処理により適切な判定基準値がの選択されたことに応じて、以後の中間検査に、選択された判定基準値を使用することができる。
さらに本発明による第３の検査システムにおける判定基準値処理手段は、第２の検査システムと同様のサンプル設定手段、相関関係導出手段、第１の解析手段、第２の解析手段、判定基準値選択手段のほか、以下の表示手段および書き換え制御手段を具備する。
表示処理手段は、中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値と前記判定基準値選択手段により選択された適切な判定基準値とに関して、それぞれの判定基準値による中間検査における良否の判定結果が前記最終検査の結果における良否の判定結果にどの程度整合しているかを比較して示す画面を表示する。書き換え制御手段は、表示手段による表示が行われている状態下で判定基準値の変更を指示する操作を受け付け、この操作に応じて前記中間検査用の検査機に現在設定されている判定基準値を前記適切な判定基準値に書き換えさせるために、当該適切な判定基準値を出力する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
ステップＳ３１では、上記のＸｓｏがＸｓｉにセットされていたときのステップＳ２３で算出された確率Ｐ１ｉ，Ｐ３ｉを用いて，中間検査での直行率Ｐｐｒｅ・ＯＫ（検査対象の基板から不良が全く検出されない確率）を算出する。具体的には、基板上において判定基準値Ｘｓが設定される部位のみに着目し、その他の部位では不良は発生しないものとして，以下の（９）式を実行する。
Ｐｐｒｅ・ＯＫ＝（１−（Ｐ１ｉ＋Ｐ３ｉ））ＳＵＭ  ・・・（９）
（ＳＵＭは基板上の着目中部位の総数）