【手続補正書】
【提出日】平成26年8月8日(2014.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向と、第１方向と異なる第２方向にそれぞれ周期をもつ第１回折格子と、前記第１回折格子の第２方向の周期と異なる周期を第２方向にもつ第２回折格子とを照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を光電変換素子で検出する検出光学系と、を備える検出器であって、
前記照明光学系は、その瞳面において、第１の極と第２の極を形成し、
前記検出光学系は、前記検出光学系の瞳面に配置された導光部を有し、
前記導光部は、前記第１の極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を前記光電変換素子に導き、前記第２の極からの光を前記第２方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第２回折格子で回折された回折光が、前記検出光学系の瞳面において前記導光部とは異なる場所に入射することを特徴とする検出器。
【請求項２】
前記検出器は、前記検出された回折光に基づいて前記第１回折格子と前記第２回折格子の第２方向の相対的な位置を求めることを特徴とする請求項１に記載の検出器。
【請求項３】
前記検出光学系は、前記第１回折格子と前記第２回折格子で回折された回折光により生じるモアレ縞を検出することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検出器。
【請求項４】
前記第１方向と第２方向は互いに直交することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項５】
前記導光部は開口であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項６】
瞳面における座標を、（前記第１方向における位置、前記第２方向における位置）と表すと、
前記第１の極は、前記照明光学系の瞳面において、ＮＡＰ１の直径を有し座標（０，ＮＡｉｌ１）を中心位置とし、
前記第２の極は、前記照明光学系の瞳面において、ＮＡＰ２の直径を有し座標（ＮＡｉｌ２，０）を中心位置とし、
前記検出光学系の導光部は、前記検出光学系の瞳面において、ＮＡＯの半径を有し座標（０，０）を中心位置とすることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項７】
前記照明光学系から射出される光の波長をλとして、前記第１回折格子の第１方向の周期をＰ１、前記第１回折格子の第２方向の周期をＰ２、前記第２回折格子の第２方向の周期をＰ３としたとき、
｜λ／Ｐ２−ＮＡｉｌ２｜≧ＮＡＯ＋ＮＡＰ２／２、
｜λ／Ｐ３−ＮＡｉｌ２｜≧ＮＡＯ＋ＮＡＰ２／２、および、
｜ＮＡｉｌ１−λ／Ｐ１｜＜ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２の関係を満たすことを特徴とする請求項６に記載の検出器。
【請求項８】
λ／Ｐ２＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２、および、λ／Ｐ３＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２の関係をさらに満たすことを特徴とする請求項７に記載の検出器。
【請求項９】
ＮＡｉｌ１＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２、および、ＮＡｉｌ２＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ２／２の関係をさらに満たすことを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１０】
前記照明光学系は複数波長の光で前記第１回折格子と前記第２回折格子を照明することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１１】
前記導光部の半径、前記第１の極の直径および前記第２の極の直径の少なくともいずれかは可変であることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１２】
前記検出光学系により検出された回折光の強度またはコントラストに基づいて、前記第１回折格子及び前記第２回折格子の格子ピッチ、前記導光部の半径、前記第１の極の中心位置、前記第２の極の中心位置、前記照明光学系の照明光の中心波長、前記照明光の波長範囲のうちの少なくとも１つが定められていることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１３】
前記照明光学系はその瞳面において、光軸に対して第１の極とは反対側の第３の極を形成することを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１４】
前記照明光学系はその瞳面において、光軸に対して第２の極とは反対側の第４の極を形成することを特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１５】
前記照明光学系は、その瞳面においてＮＡＰ１の直径を有し座標（０，−ＮＡｉｌ１）を中心位置とする第３の極と、ＮＡＰ２の直径を有し座標（−ＮＡｉｌ２，０）を中心位置とする第４の極とを形成することを特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１６】
前記検出光学系は、その瞳面において座標（ＮＡｉｌ１，ＮＡｉｌ２）、（−ＮＡｉｌ１，ＮＡｉｌ２）、（−ＮＡｉｌ１，−ＮＡｉｌ２）および（ＮＡｉｌ１，−ＮＡｉｌ２）をそれぞれ中心位置としＮＡＯの半径を有する、回折光を前記光電変換素子に導く４つの導光部をさらに有することを特徴とする請求項１５に記載の検出器。
【請求項１７】
前記検出光学系は、その瞳面において座標（ＮＡｉｌ１，ＮＡｉｌ２）、（−ＮＡｉｌ１，ＮＡｉｌ２）、（−ＮＡｉｌ１，−ＮＡｉｌ２）および（ＮＡｉｌ１，−ＮＡｉｌ２）をそれぞれ中心位置とし半径がＮＡＯの４つの円の内側の領域のうちで座標（０，０）を中心位置とし（ＮＡｉｌ１＋ＮＡＰ１／２）と（ＮＡｉｌ２＋ＮＡＰ２／２）のうち大きい方を半径とする円の内側の部分にある、回折光を前記光電変換素子に導く導光部をさらに有することを特徴とする請求項１５に記載の検出器。
【請求項１８】
前記照明光学系は、
第１物体に形成された前記第１回折格子と、第２物体に形成された前記第２回折格子と、を照明し、
前記第１物体に形成された、第１方向と第２方向にそれぞれ周期構造をもつ第３回折格子と、前記第２物体に形成された、前記第３回折格子の第１方向への周期と異なる周期の周期構造を第１方向にもつ第４回折格子とを照明し、
前記検出光学系は、前記照明光学系によって照明された前記第３回折格子及び前記第４回折格子で回折された回折光を検出し、
前記第２の極からの光を前記第２方向から斜入射させて前記第３回折格子及び前記第４回折格子を照明することによって前記第３回折格子及び前記第４回折格子で回折された回折光が、前記導光部に入射して前記光電変換素子に導かれ、
前記第１の極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第３回折格子及び前記第４回折格子を照明することによって前記第４回折格子で回折された回折光が、前記検出光学系の瞳面において前記導光部とは異なる場所に入射する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項１７のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項１９】
前記第３回折格子の第１方向の周期をＰ４、前記第３回折格子の第２方向の周期をＰ５、前記第４回折格子の第２方向の周期をＰ６、として、
｜λ／Ｐ４−ＮＡｉｌ１｜≧ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２、｜λ／Ｐ６−ＮＡｉｌ１｜≧ＮＡＯ＋ＮＡＰ１／２、及び、｜ＮＡｉｌ２−λ／Ｐ５｜＜ＮＡＯ＋ＮＡ、
を満たすことを特徴とする請求項６を引用する請求項１８に記載の検出器。
【請求項２０】
λ／Ｐ４＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ２／２、及び、λ／Ｐ６＞ＮＡＯ＋ＮＡＰ２／２の関係をさらに満たすことを特徴とする請求項１９に記載の検出器。
【請求項２１】
前記検出光学系により検出された回折光の強度またはコントラストに基づいて、前記第４回折格子の格子ピッチを決定することを特徴とする請求項１８乃至請求項２０のいずれか１項に記載の検出器。
【請求項２２】
前記検出器は、該検出された回折光に基づいて前記第１物体と前記第２物体の前記第１方向及び第２方向の相対的な位置を求めることを特徴とする請求項１８乃至請求項２１のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項２３】
第１方向と、第１方向と異なる第２方向にそれぞれ周期をもつ第１回折格子と、前記第１回折格子の第２方向の周期と異なる周期を第２方向にもつ第２回折格子とを照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を検出する検出光学系と、を備える検出器であって、
前記照明光学系は、その瞳面において、第１の極と第２の極を形成し、
前記第１の極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を前記検出光学系が検出し、
前記第２の極からの光を前記第２方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第２回折格子で回折された回折光を前記検出光学系が検出しないことを特徴とする検出器。
【請求項２４】
基板に塗布されたインプリント材と型のパターンとを接触させて前記インプリント材を硬化させ、該硬化されたインプリント材のパターンを前記基板に形成するインプリント装置であって、
前記型に形成された回折格子と前記基板上に形成された回折格子で回折された回折光を検出する請求項１乃至請求項２３のいずれか１項に記載の検出器を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、を含む物品の製造方法。
【請求項２６】
第１方向と、第１方向と異なる第２方向にそれぞれ周期をもつ第１回折格子と、前記第１回折格子の第２方向の周期と異なる周期を第２方向にもつ第２回折格子とを照明光学系が照明する照明工程と、
該照明された前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を検出光学系が検出する検出工程と、を有する検出方法であって、
前記照明工程において、前記照明光学系は、その瞳面において、第１の極と第２の極を形成し、
前記検出工程において、
前記第１の極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を前記検出光学系が検出し、
前記第２の極からの光を前記第２方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第２回折格子で回折された回折光を前記検出光学系が検出しないことを特徴とする検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の１つの側面は、第１方向と、第１方向と異なる第２方向にそれぞれ周期をもつ第１回折格子と、前記第１回折格子の第２方向の周期と異なる周期を第２方向にもつ第２回折格子とを照明する照明光学系と、前記照明光学系によって照明された前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を光電変換素子で検出する検出光学系と、を備える検出器であって、前記照明光学系は、その瞳面において、第１の極と第２の極を形成し、前記検出光学系は、前記検出光学系の瞳面に配置された導光部を有し、前記導光部は、前記第１の極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第１回折格子及び前記第２回折格子で回折された回折光を前記光電変換素子に導き、前記第２の極からの光を前記第２方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第２回折格子で回折された回折光が、前記検出光学系の瞳面において前記導光部とは異なる場所に入射することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2013102139.tif 000001