(57)【要約】      （修正有）【課題】プラズマ強化化学蒸着装置における沈殿室の分離装置を提供する。【解決手段】沈殿室の分離装置であって、沈殿室の内室及び外室を分離することに用いられ、分離装置は内室を密閉するための仕切板機構１を備え、仕切板機構１は主戸板２及び弾性装置３を備え、主戸板２は内室の口開き部を覆いかぶせ、弾性装置３は内室に向かって主戸板２を押し出すことにより、主戸板２が内室を密着、密閉するように設置される。仕切板機構１は基板４を更に備え、弾性装置３は主戸板２と基板４との間に設置される。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
沈殿室の分離装置であって、
沈殿室の内室及び外室を分離することに用いられ、前記分離装置は前記内室を密閉するための仕切板機構を備え、前記仕切板機構は主戸板及び弾性装置を備え、前記主戸板は前記内室の口開き部を覆いかぶせ、前記弾性装置は前記内室に向かって前記主戸板を押し出すことにより、前記主戸板が前記内室を密閉するように設置される沈殿室の分離装置。
【請求項２】
前記仕切板機構は基板を更に備え、前記弾性装置は前記主戸板と前記基板との間に設置される請求項１に記載の分離装置。
【請求項３】
前記基板は前記沈殿室に回転接続される請求項２に記載の分離装置。
【請求項４】
前記主戸板は前記弾性装置に接続される請求項１に記載の分離装置。
【請求項５】
前記沈殿室に回転可能な枢が設置され、前記基板は前記枢に固定され、前記分離装置は駆動装置を更に備え、前記駆動装置は前記枢に接続され、前記枢を駆動して回転させるように設置され、前記仕切板機構は前記枢と連動して回転する請求項３に記載の分離装置。
【請求項６】
前記沈殿室に枢が固定され、前記基板は前記枢に回転可能に取り付けられ、前記分離装置は駆動装置を更に備え、前記駆動装置は前記基板に接続され、前記仕切板機構を駆動して前記枢の回りに回転させるように設置される請求項３に記載の分離装置。
【請求項７】
前記基板に接続台が固定され、前記基板は前記接続台によって前記枢に取り付けられる請求項５又は６に記載の分離装置。
【請求項８】
前記駆動装置に接続されるリンク機構を更に備え、前記駆動装置は前記リンク機構によって前記仕切板機構を駆動して回転させる請求項５又は６に記載の分離装置。
【請求項９】
前記駆動装置はシリンダであり、前記シリンダは前記内室の外側に固定され、前記リンク機構は駆動ロッド及び駆動リンクを備え、前記駆動ロッドの一端は前記シリンダの出力側に固定され、前記駆動ロッドの他端は前記駆動リンクにヒンジ連結される請求項８に記載の分離装置。
【請求項１０】
前記内室の外側に固定されるヒンジベースを更に備え、前記シリンダは前記ヒンジベースにヒンジ連結される請求項９に記載の分離装置。
【請求項１１】
前記枢はその両端に設置される軸受台によって前記内室の外側に取り付けられる請求項５又は６に記載の分離装置。
【請求項１２】
前記弾性装置は複数の弾性シートを備える請求項１〜４のいずれか一項に記載の分離装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は２０１８年４月２４日に中国特許局へ提出し、出願第２０１８２０５９２４４５．７号、「沈殿室の分離装置」を名称とする中国実用新案登録出願の優先権を主張し、該出願の内容の全部が本開示に援用される。
【０００２】
本開示は、太陽電池の製造装置に関するが、それに限らず、特に沈殿室の分離装置に関するが、それに限らない。
【背景技術】
【０００３】
プラズマ強化化学蒸着装置（ＰＥＣＶＤ装置）はＨＩＴ高効率ヘテロ接合電池を製造するコア装置である。該装置におけるＰＥＣＶＤ沈殿室はシリコンウェハーに対してＰ／Ｉ／Ｎ接合を蒸着するチャンバである。
【０００４】
ＰＥＣＶＤ沈殿室は外室及び内室を含み、内室が外室の内部に位置し、内室の側面に口開き部を有し、化学気相蒸着を行う時、外室及び内室を分離する必要がある。従来技術において、３０ｍｍ厚さのアルミニウム板で製造された戸板で分離し（つまり、戸板で口開き部を塞ぐことにより、内室及び外室の分離を実現する）、戸板を垂直方向に移動して、戸板におけるＯ型シールリングで内外室の密閉分離を実現する。
【０００５】
しかしながら、内室で高温作業を行う時、シールリングが劣化して弾性を失いやすいため、戸板と内室との間に隙間があり、従って、内室及び外室を完全に分離することができない。また、戸板を垂直方向に上下移動することにより内室を開閉し、シールリングが頻繁に摩擦され、速く破壊されるため、シールリングを頻繁に取り替える必要があり、このため、装置の使用に不便をもたらす。
【考案の概要】
【０００６】
本開示は沈殿室の分離装置を提供し、蒸着室の内室及び外室を分離することに用いられ、前記分離装置は前記内室を密閉するための仕切板機構を備え、前記仕切板機構は主戸板及び弾性装置を備え、前記主戸板は前記内室の口開き部を覆いかぶせ、前記弾性装置は前記内室に向かって前記主戸板を押し出すことにより、前記主戸板が前記内室を密閉するように設置される。
【０００７】
例示的な一実施例において、前記仕切板機構は基板を更に備え、前記弾性装置は前記主戸板と前記基板との間に設置される。
【０００８】
例示的な一実施例において、前記主戸板は前記弾性装置に接続される。
【０００９】
例示的な一実施例において、前記沈殿室に回転可能な枢が設置され、前記基板は前記枢に固定され、前記分離装置は駆動装置を更に備え、前記駆動装置は前記枢に接続され、前記枢を駆動して回転させるように設置され、前記仕切板機構は前記枢と連動して回転する。
【００１０】
例示的な一実施例において、前記沈殿室に枢が固定され、前記基板は前記枢に回転可能に取り付けられ、前記分離装置は駆動装置を更に備え、前記駆動装置は前記基板に接続され、前記仕切板機構を駆動して前記枢の回りに回転させるように設置される。
【００１１】
例示的な一実施例において、前記基板に接続台が固定され、前記基板は前記接続台によって前記枢に取り付けられる。
【００１２】
例示的な一実施例において、前記分離装置は前記駆動装置に接続されるリンク機構を更に備え、前記駆動装置は前記リンク機構によって前記仕切板機構を駆動して回転させる。
【００１３】
例示的な一実施例において、前記駆動装置はシリンダであり、前記シリンダは前記内室の外側に固定され、前記リンク機構は駆動ロッド及び駆動リンクを備え、前記駆動ロッドの一端は前記シリンダの出力側に固定され、他端は前記駆動リンクにヒンジ連結される。
【００１４】
例示的な一実施例において、前記分離装置は前記内室の外側に固定されるヒンジベースを更に備え、前記シリンダは前記ヒンジベースにヒンジ連結される。
【００１５】
例示的な一実施例において、前記枢はその両端に設置される軸受台によって前記内室の外側に取り付けられる。
【００１６】
例示的な一実施例において、前記弾性装置は複数の弾性シートを備える。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本開示の一実施例に記載の仕切板機構の断面模式図である。
【図２】本開示の一実施例に記載の分離装置の正面構造模式図である。
【図３】図２に示す分離装置の右面構造模式図である。
【図４】本開示の他の実施例に記載の分離装置の右面構造模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
本開示の目的、技術案及び利点を明らかにするために、以下、図面を参照しながら本開示の実施例を詳しく説明する。なお、衝突がない場合、本開示における実施例及び実施例における特徴を互いに任意に組み合わせることができる。
【００１９】
図１に示すように、例示的な一実施例に係る内外室を分離するための分離装置は、内室を密閉するための仕切板機構１を備える。該仕切板機構１は互いに接続される主戸板２及び弾性装置３を備え、主戸板２は内室の口開き部を覆いかぶせることができるが、弾性装置３は内室に向かって主戸板２を押し出すことにより、主戸板２が内室を密着、密閉し、それにより内室及び外室の分離を実現し、従来技術において、分離構造がシールリングの故障に起因して内室及び外室を完全に分離できないという問題を避けると同時に、部品の摩損を軽減することができ、部品を頻繁に取り替える必要もない。
【００２０】
図１に示すように、該仕切板機構１は主戸板２、弾性装置３及び基板４を備え、弾性装置３は主戸板２と基板４との間に挟まれて、弾性装置３の一端は主戸板２に接続され、他端は基板４に接続される。弾性装置３は複数の弾性シートであってもよく、各弾性シートの一端は主戸板２に当接され、主戸板２を突っ張ることに用いられ、他端は基板４に固定されるが、基板４は該仕切板機構１を移動する駆動装置に接続固定される。
【００２１】
例示的な一実施例において、内室及び外室を分離する時、仕切板機構１は垂直に設置され、基板４は駆動装置により制限されるため、内室に対して固定され、弾性シートは内室に向かって主戸板２を押し出すことにより、主戸板２が口開き部の口壁に密着することで、内室を密閉し、それにより仕切板機構１で内室及び外室を密閉分離し、該仕切板機構１は取付誤差及び蒸着高温による変形を効率よく吸収することができ、従って、従来技術において、シールリングの故障に起因して内室及び外室を完全に分離できないという問題を避けると同時に、シールリングの摩損を軽減することができ、シールリングを頻繁に取り替える必要もない。
【００２２】
例示的な他の実施例において、図２及び図３に示すように、仕切板機構は回転可能に設置される。
【００２３】
沈殿室の外壁に枢７が設置され、図２及び図３に示すように、水平を呈する枢７の両端に更に軸受台６が取り付けられ、２つの軸受台６はそれぞれ沈殿室の両側に固定され、それにより枢７はその自体の軸線の回りに回転できる。また、枢７にその長手方向に沿って複数の接続台５が固定され、複数の接続台５は等間隔で設置され、枢７は接続台５によって仕切板機構１の基板４に接続される。
【００２４】
分離装置は動力を提供する駆動装置を更に備え、図２及び図３に示すように、該駆動装置はシリンダ９であってもよく、シリンダ９は内室の外側に固定されて枢７に接続され、該枢７を駆動して回転させることにより、仕切板機構１が回転して内室の口開き部を覆いかぶせ又はそれを離脱するように設置される。シリンダ９はリンク機構によって枢７に接続されてもよく、リンク機構は更に駆動ロッド１０及び駆動リンク８を備えるが、駆動ロッド１０の一端はシリンダ９の出力側に固定されて、それがシリンダ９の出力側と同方向に設置されるように確保し、その他端は駆動ピン１３によって駆動リンク８にヒンジ連結されるが、駆動リンク８は枢７に固定されて、駆動リンク８と接続台５との相対位置をロックする。
【００２５】
シリンダ９の底部はヒンジベース１１によって固定されてもよく、該ヒンジベース１１は内室の外側に固定されて、シリンダ９はヒンジピン１２によってヒンジベース１１にヒンジ連結される。
【００２６】
分離装置で内室及び外室を分離していない時、接続台５は仕切板機構１が水平に設置されるように確保するが、内室及び外室を分離する必要がある時、シリンダ９のピストンロッドは外へ伸び出され、駆動ロッド１０は駆動ピン１３によって駆動リンク８を回転させることにより、枢７及び接続台５を同時に回転させ、９０度まで回転した時、仕切板機構１は垂直に設置され、分離を完了し、内室でプロセス過程を開始する。内室及び外室を再び連通する必要がある時、シリンダ９が動作し続け、ピストンロッドを取り戻して枢７を逆方向に回転させるだけでよい。従って、本実施例の駆動装置は仕切板機構１を回転することにより内室及び外室を分離又は連通し、従来技術における垂直に移動する動作方式に比べて、各部材同士の頻繁な摩擦による部品の損傷を避け、装置の摩損を軽減することができる。
【００２７】
例示的な別の実施例において、図４に示すように、駆動装置は仕切板機構に接続される。
【００２８】
沈殿室の壁に枢７が固定されて、該枢７は回転できず、図４に示すように、仕切板機構１は枢７に回転可能に取り付けられ、仕切板機構１の基板４は接続台５によって枢に接続されるが、接続台５の一端は基板４に固定され、他端は枢７に套設され、それにより仕切板機構１は枢７の回りに回転できる。また、分離装置は更にシリンダ９を備え、該シリンダ９は駆動ロッド１０及び駆動リンク８によって接続台５に接続され、駆動ロッド１０の一端はシリンダ９の出力側に固定されて、それがシリンダ９の出力側と同方向に設置されるように確保し、その他端は駆動ピン１３によって駆動リンク８にヒンジ連結されるが、駆動リンク８は接続台５に固定される。また、シリンダ９はそれにヒンジ連結されるヒンジベース１１によって内室の外側に固定される。
【００２９】
分離装置で内室及び外室を分離していない時、接続台５は仕切板機構１が水平に設置されるように確保するが、内室及び外室を分離する必要がある時、シリンダ９のピストンロッドは外へ伸び出され、駆動ロッド１０は接続台５を駆動して回転させ、それにより仕切板機構１を回転させ、それが垂直になるまで回転した時、内室及び外室の分離を完了し、内室でプロセス過程を開始する。内室及び外室を再び連通する必要がある時、シリンダ９が動作し続け、ピストンロッドを取り戻して接続台５を逆方向に回転させるだけでよい。
【００３０】
本開示の実施例は弾性装置付き仕切板機構を用いて内室及び外室を密閉分離し、取付誤差及び蒸着高温による変形を効率よく吸収することができ、それにより従来技術において、シールリングの故障に起因して内室及び外室を完全に分離できないという問題を避けると同時に、部品の摩損を軽減することができ、部品を頻繁に取り替える必要もない。本開示の実施例の駆動装置は仕切板機構を回転することにより内室を開閉し、垂直に移動する動作方式に比べて、頻繁な摩擦による部品の損傷を避ける。
【００３１】
本開示の説明において、専門用語「取付」、「連結」、「接続」、「固定」等をいずれも広義で理解すべきであり、例えば、「接続」が固定接続であってもよく、取り外し可能な接続、又は一体接続であってもよく、直接接続であってもよく、中間媒質による間接接続であってもよい。当業者なら、具体的な状況に応じて上記専門用語の本開示での具体的な意味を理解することができる。
【００３２】
本明細書の説明において、専門用語「一実施例」、「いくつかの実施例」、「具体的な実施例」等の説明とは該実施例又は例を参照しながら説明した具体的な特徴、構造、材料又は特性が本開示の少なくとも１つの実施例又は例に含まれることを意味する。本明細書において、上記専門用語の例示的な説明は同じ実施例又は実例を指すとは限らない。且つ、説明された具体的な特徴、構造、材料又は特性をいずれか１つ又は複数の実施例又は例で、適切な方式で組み合わせることができる。
【００３３】
以上は本開示に開示された実施形態であるが、前記内容は本開示を理解しやすくするために用いた実施形態であり、本開示を制限するためのものではない。当業者であれば、本開示に開示された趣旨及び範囲を逸脱せずに、実施形態及び細部に対していかなる修正及び変更を行うことができるが、本開示の実用新案登録の保護範囲は、添付の実用新案登録請求の範囲に準じる。
【符号の説明】
【００３４】
１  仕切板機構
２  主戸板
３  弾性装置
４  基板
５  接続台
６  軸受台
７  枢
８  駆動リンク
９  シリンダ
１０  駆動ロッド
１１  ヒンジベース
１２  ヒンジピン
１３  駆動ピン
【図１】
0003218818.tif 000003
【図２】
0003218818.tif 000004
【図３】
0003218818.tif 000005
【図４】
0003218818.tif 000006