【手続補正書】
【提出日】平成25年11月22日(2013.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内の可燃性ガスを希釈ガスで希釈して排気し、除害装置により除害する排気方法であって、
前記チャンバ内に前記可燃性ガスを導入して所定の圧力で基板に対してプロセスを行う工程と、
前記プロセスを行う工程が終了した後、前記チャンバ内からの前記処理ガスの排気流量を、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値に決定する工程と、
前記決定した処理ガスの排気流量を維持するための単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量を、前記排気流量と前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量との関係式に基づいて算出する工程と、
前記算出された単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量となるように、前記チャンバ内の圧力の目標設定値を所定時間毎に自動圧力制御バルブの制御値として更新設定して前記自動圧力制御バルブによりチャンバ内の圧力を制御しながら、前記チャンバ内の圧力が前記処理圧力からチャンバ引ききり状態になるまで前記決定された排気流量を維持するように排気する工程と
を有することを特徴とする排気方法。
【請求項２】
処理ガスの排気流量を、その爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量に近い量とすることを特徴とする請求項１に記載の排気方法。
【請求項３】
前記チャンバ内の圧力をキャパシタンスマノメータにより計測することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の排気方法。
【請求項４】
前記チャンバ内に処理ガスを導入して前記キャパシタンスマノメータの保護バルブが閉じたときに、処理ガス供給を停止した後、自動的に前記自動圧力制御バルブの弁体の角度を、前記処理ガスの排気流量が、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値になるような角度にして真空引きを行い、
圧力が低下して保護バルブが開いた後に、前記排気流量を決定する工程と、前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量を算出する工程と、前記決定された排気流量を維持するように排気する工程とを行うことを特徴とする請求項３に記載の排気方法。
【請求項５】
可燃性の処理ガスを導入して所定の処理圧力でプロセスを行うチャンバと、
前記チャンバに前記処理ガスを供給するガス供給機構と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバからガスを排出する排気管と、
前記排気管に設けられた自動圧力制御バルブと、
前記チャンバ内の圧力を計測する圧力計と、
前記チャンバから前記排気管に排出された処理ガスに希釈ガスを供給して処理ガスを希釈する希釈ユニットと、
前記希釈された処理ガスを除害する除害装置と、
前記チャンバからの排気を制御する制御部と
を具備し、
前記制御部は、
前記チャンバ内に前記可燃性ガスを導入して所定の圧力で基板に対してプロセスを行い、
前記プロセスを行う工程が終了した後、前記チャンバからの前記処理ガスの排気流量を、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値に決定し、
前記決定した処理ガスの排気流量を維持するための単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量を、前記排気流量と前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量との関係式に基づいて算出し、
前記算出された単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量となるように、前記チャンバ内の圧力の目標設定値を所定時間毎に自動圧力制御バルブの制御値として更新設定して前記自動圧力制御バルブによりチャンバ内の圧力を制御させながら、前記チャンバ内の圧力が前記処理圧力からチャンバ引ききり状態になるまで前記決定された排気流量を維持させることを特徴とするガス処理装置。
【請求項６】
前記制御部は、処理ガスの排気流量を、その爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量に近い量に設定ことを特徴とする請求項５に記載のガス処理装置。
【請求項７】
前記圧力計は、キャパシタンスマノメータであることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のガス処理装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記チャンバ内に処理ガスを導入して前記キャパシタンスマノメータの保護バルブが閉じたときに、処理ガス供給を停止した後、自動的に前記自動圧力制御バルブの弁体の角度を、前記処理ガスの排気流量が、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値になるような角度にして真空引きを行い、
圧力が低下して保護バルブが開いた後に、前記排気流量の決定と、前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量の算出と、前記決定された排気流量の維持を実行させることを特徴とする請求項７に記載のガス処理装置。
【請求項９】
コンピュータ上で動作し、ガス処理装置を制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項１から請求項４のいずれかの排気方法が行われるように、コンピュータに前記ガス処理装置を制御させることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、チャンバ内の可燃性ガスを希釈ガスで希釈して排気し、除害装置により除害する排気方法であって、前記チャンバ内に前記可燃性ガスを導入して所定の圧力で基板に対してプロセスを行う工程と、前記プロセスを行う工程が終了した後、前記チャンバ内からの前記処理ガスの排気流量を、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値に決定する工程と、前記決定した処理ガスの排気流量を維持するための単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量を、前記排気流量と前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量との関係式に基づいて算出する工程と、前記算出された単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量となるように、前記チャンバ内の圧力の目標設定値を所定時間毎に自動圧力制御バルブの制御値として更新設定して前記自動圧力制御バルブによりチャンバ内の圧力を制御しながら、前記チャンバ内の圧力が前記処理圧力からチャンバ引ききり状態になるまで前記決定された排気流量を維持するように排気する工程とを有することを特徴とする排気方法を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第２の観点では、可燃性の処理ガスを導入して所定の処理圧力でプロセスを行うチャンバと、前記チャンバに前記処理ガスを供給するガス供給機構と、前記チャンバに接続され、前記チャンバからガスを排出する排気管と、前記排気管に設けられた自動圧力制御バルブと、前記チャンバ内の圧力を計測する圧力計と、前記チャンバから前記排気管に排出された処理ガスに希釈ガスを供給して処理ガスを希釈する希釈ユニットと、前記希釈された処理ガスを除害する除害装置と、前記チャンバからの排気を制御する制御部とを具備し、前記制御部は、前記チャンバ内に前記可燃性ガスを導入して所定の圧力で基板に対してプロセスを行い、前記プロセスを行う工程が終了した後、前記チャンバからの前記処理ガスの排気流量を、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量以下の所定値に決定し、前記決定した処理ガスの排気流量を維持するための単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量を、前記排気流量と前記単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量との関係式に基づいて算出し、前記算出された単位時間当たりのチャンバ内の圧力降下量となるように、前記チャンバ内の圧力の目標設定値を所定時間毎に自動圧力制御バルブの制御値として更新設定して前記自動圧力制御バルブによりチャンバ内の圧力を制御させながら、前記チャンバ内の圧力が前記処理圧力からチャンバ引ききり状態になるまで前記決定された排気流量を維持させることを特徴とするガス処理装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、チャンバ内でのプロセス後にチャンバから可燃性の処理ガスを排気する際に、処理ガスをその爆発下限界値以下に希釈しても除害装置の最大処理能力以下のガス流量となるような排気流量を維持して排気されるように、自動圧力制御バルブの制御値を更新設定して、処理圧力から最小圧力になるまで単位時間当たりの圧力降下量が一定になるようにして排気を行うので、可燃性の処理ガスを希釈ガスの無駄を抑制しつつ安全に排気することができる。しかも、処理ガスの排気流量を、前記処理ガスをその爆発下限界値に希釈したときに前記除害装置の最大処理能力のガス流量となる量に近い量とすることにより、スループットを高く維持することができる。