【手続補正書】
【提出日】平成26年7月18日(2014.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも表層部が１０原子％以上のＣｒを含有する合金基材と、
上記合金基材の表面に形成された合金皮膜とを有し、
上記合金皮膜は少なくとも一層の内層と少なくとも一層の外層とを有し、
少なくとも一層の上記内層はＦｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とＷとＣｒとを含有し、
少なくとも一層の上記外層はＡｌおよびＣｒからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含有する耐熱合金部材。
【請求項２】
少なくとも一層の上記内層がＦｅ−Ｃｒ−Ｗ系合金またはＦｅ−Ｃｒ−Ｗ−Ｎｉ−Ｔａ−Ｒｅ−Ｍｏ系合金からなり、少なくとも一層の上記外層がＦｅ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ａｌ系合金、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ系合金Ｆｅ−Ｃｒ系合金またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなり、または、少なくとも一層の上記内層がＣｏ−Ｃｒ−Ｗ系合金またはＣｏ−Ｃｒ−Ｗ−Ｎｉ−Ｔａ−Ｒｅ−Ｍｏ系合金からなり、少なくとも一層の上記外層がＮｉ−Ａｌ系合金、Ｎｉ−Ａｌ−Ｃｒ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ａｌ−Ｃｒ−Ｓｉ系合金、Ｎｉ−Ｃｒ系合金またはＮｉ−Ｃｏ−Ｃｒ系合金からなり、または、少なくとも一層の上記内層がＮｉ−Ｃｒ−Ｗ系合金またはＮｉ−Ｃｒ−Ｗ−Ｆｅ−Ｔａ−Ｒｅ−Ｍｏ系合金からなり、少なくとも一層の上記外層がＮｉ−Ａｌ系合金、Ｎｉ−Ｃｒ−Ａｌ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ−Ａｌ系合金、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｎｉ−Ｃｒ系合金またはＮｉ−Ｃｒ−Ａｌ系合金からなる請求項１記載の耐熱合金部材。
【請求項３】
少なくとも一層の上記内層は、Ｗを１０原子％以上２１原子％以下、Ｃｒを２３原子％以上５３％原子以下、Ｆｅを２５原子％以上６６原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３０原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを１０原子％以上４０原子％以下、Ｆｅを３０原子％以上５９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３５原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ｆｅを１５原子％以上６４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、Ｆｅを０．１原子％以上２９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを７７原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｆｅを０．１原子％以上２原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上３原子％以下、Ｃｒを５２原子％以上６５原子％以下、Ｃｏを３０原子％以上５４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを３０原子％以上６５原子％以下、Ｃｏを２５原子％以上５５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを２５原子％以上３５原子％以下、Ｃｒを２０原子％以上４０原子％以下、Ｃｏを３０原子％以上５０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３０原子％以上５５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ｃｏを２０原子％以上６０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを６５原子％以上９９原子％以下、Ｃｏを０．１原子％以上２５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを７５原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２５原子％以下、Ｃｏを０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを２原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを４０原子％以上６５原子％以下、Ｎｉを３０原子％以上４０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、Ｎｉを０．１原子％以上３０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを８０原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｎｉを０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）する請求項１または２記載の耐熱合金部材。
【請求項４】
上記合金皮膜は、互いに組成が異なる少なくとも二層の上記内層を含む請求項１〜３のいずれか一項記載の耐熱合金部材。
【請求項５】
少なくとも一層の上記外層は、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上２２原子％以下、Ｎｉを５１原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上１０原子％以下、Ａｌを２３原子％以上２９原子％以下、Ｎｉを７０原子％以上７５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上１４原子％以下、ＡｌおよびＳｉを総和で３０原子％以上５５原子％以下、Ｎｉ、ＣｏおよびＦｅを総和で４５原子％以上６５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ａｌを５８原子％以上６３原子％以下、Ｎｉを３６原子％以上４１原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを５６原子％以上９９原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上４３原子％以下、Ｎｉを０．１原子％以上２５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上１５原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上１０原子％以下、Ｆｅを８６原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上９９原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上５０原子％以下、Ｆｅを０．１原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ａｌを５５原子％以上６５原子％以下、Ｆｅを０．１原子％以上４４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ａｌを２５原子％以上５０原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上１０原子％以下、Ｃｏを０．１原子％以上１０原子％以下、Ｓｉを０．１原子％以上１０原子％以下、Ｎｉを１９．９原子％以上７４原子％以下含有（総和で１００原子％）する請求項１〜４のいずれか一項記載の耐熱合金部材。
【請求項６】
上記合金皮膜は、互いに組成が異なる少なくとも二層の上記外層を含む請求項１〜５のいずれか一項記載の耐熱合金部材。
【請求項７】
少なくとも一層の上記内層は、Ｗを１０原子％以上２１原子％以下、Ｃｒを２３原子％以上５３％原子以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で２５原子％以上６６原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３０原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを１０原子％以上４０原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上５９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３５原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で１５原子％以上６４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを７７原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上３原子％以下、Ｃｒを５２原子％以上６５原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上５４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを３０原子％以上６５原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で２５原子％以上５５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを２５原子％以上３５原子％以下、Ｃｒを２０原子％以上４０原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上５０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを３０原子％以上５５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で２０原子％以上６０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを６５原子％以上９９原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを７５原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２５原子％以下、ＣｏとＦｅおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを２原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを４０原子％以上６５原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上４０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上３０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｗを８０原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）する請求項１または２記載の耐熱合金部材。
【請求項８】
少なくとも一層の上記外層は、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上２２原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で５１原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上１０原子％以下、Ａｌを２３原子％以上２９原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で７０原子％以上７５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ａｌを５８原子％以上６３原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３６原子％以上４１原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを５６原子％以上９９原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上４３原子％以下、ＮｉとＦｅおよびＣｏからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上１５原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上１０原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で８６原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上９９原子％以下、Ａｌを０．１原子％以上５０原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上９９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ａｌを５５原子％以上６５原子％以下、ＦｅとＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上４４原子％以下含有（総和で１００原子％）する請求項１または２記載の耐熱合金部材。
【請求項９】
少なくとも一層の上記内層は、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で１０原子％以上２１原子％以下、Ｃｒを２３原子％以上５３％原子以下、Ｆｅを２５原子％以上６６原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを１０原子％以上４０原子％以下、Ｆｅを３０原子％以上５９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３５原子％以上４５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で１５原子％以上６４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．１原子％以上２９原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で７７原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．１原子％以上２原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上３原子％以下、Ｃｒを５２原子％以上６５原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で３０原子％以上５４原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを３０原子％以上６５原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で２５原子％以上５５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で２５原子％以上３５原子％以下、Ｃｒを２０原子％以上４０原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で３０原子％以上５０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で３０原子％以上５５原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上５０原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で２０原子％以上６０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２５原子％以下、Ｃｒを６５原子％以上９９原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．１原子％以上２５原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で７５原子％以上９９原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２５原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で２原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを４０原子％以上６５原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で３０原子％以上４０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で０．１原子％以上２０原子％以下、Ｃｒを７０原子％以上９９原子％以下、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．１原子％以上３０原子％以下含有（総和で１００原子％）し、または、ＷとＲｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素とを総和で８０原子％以上９０原子％以下、Ｃｒを０．１原子％以上２０原子％以下、Ｎｉを０．１原子％以上３原子％以下含有（総和で１００原子％）する請求項１または２記載の耐熱合金部材。
【請求項１０】
少なくとも一層の上記外層は、さらに、Ｙ、Ｈｆ、Ｃｓ、ＭｇおよびＴｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を総和で０．０１原子％以上２原子％以下含有する請求項５または８記載の耐熱合金部材。
【請求項１１】
少なくとも表層部が１０原子％以上のＣｒを含有する合金基材の表面に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｒｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む第１の層を形成する工程と、
上記第１の層が形成された上記合金基材を８００℃以上１３００℃以下の温度に加熱することにより、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とＷとＣｒとを含有する内層を形成する工程と、
上記内層上にＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む第２の層を形成する工程と、
上記第２の層が形成された上記合金基材を８００℃以上１３００℃以下の温度に加熱することにより、ＡｌおよびＣｒからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含有する外層を形成する工程とを有する耐熱合金部材の製造方法。
【請求項１２】
上記第１の層および上記第２の層をスラリー法、スプレー法、めっき法、溶射法および電子ビーム蒸着法からなる群より選択された少なくとも一種の方法で形成する請求項１１記載の耐熱合金部材の製造方法。
【請求項１３】
少なくとも表層部が１０原子％以上のＣｒを含有する合金基材の表面に形成された、少なくとも一層の内層と少なくとも一層の外層とを有し、
少なくとも一層の上記内層はＦｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とＷとＣｒとを含有し、
少なくとも一層の上記外層はＡｌおよびＣｒからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含有する合金皮膜。
【請求項１４】
少なくとも表層部が１０原子％以上のＣｒを含有する合金基材の表面に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｒｅ、ＭｏおよびＴａからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む第１の層を形成する工程と、
上記第１の層が形成された上記合金基材を８００℃以上１３００℃以下の温度に加熱することにより、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素とＷとＣｒとを含有する内層を形成する工程と、
上記内層上にＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、ＡｌおよびＳｉからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含む第２の層を形成する工程と、
上記第２の層が形成された上記合金基材を８００℃以上１３００℃以下の温度に加熱することにより、ＡｌおよびＣｒからなる群より選択された少なくとも一種の元素を含有する外層を形成する工程とを有する合金皮膜の製造方法。