(57)【要約】【課題】搭載板上から可撓性基板を容易に剥離し得る、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造を提供する。【解決手段】搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造は、剥離ユニット１、可撓性ガスケット２及び第１の多孔質材料層６を備える。前記可撓性ガスケット２は、前記剥離ユニット１の底面に設けられるとともに、断面がＬ字状を呈する。前記第１の多孔質材料層６は、前記可撓性ガスケット２内に形成されるとともに、前記剥離ユニット１の底面に接続される頂面を有する。前記剥離ユニット１は、通気下板１１と、通気上板１２と、少なくとも１つの第２の多孔質材料層１３と、可撓性シールリング１４とを有する。【選択図】図１
0003215163.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
剥離ユニット、可撓性ガスケット及び第１の多孔質材料層を備えた、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造であって、
前記可撓性ガスケットは、前記剥離ユニットの底面に設けられるとともに、断面がＬ字状を呈し、
前記第１の多孔質材料層は、前記可撓性ガスケット内に形成されるとともに、前記剥離ユニットの底面に接続される頂面を有することを特徴とする搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項２】
前記剥離ユニットは、通気下板と、通気上板と、少なくとも１つの第２の多孔質材料層と、可撓性シールリングと、を有し、
前記第２の多孔質材料層は、前記通気下板の頂面に形成され、
前記通気上板は、前記第２の多孔質材料層の頂面に積層され、
前記第２の多孔質材料層は、前記通気下板と前記通気上板との間に位置し、
前記可撓性ガスケット及び前記第１の多孔質材料層は、前記通気下板の底面に位置し、
前記可撓性シールリングは、前記通気下板、前記通気上板及び前記第２の多孔質材料層の周縁を密封するとともに、断面が弧状を呈することを特徴とする請求項１に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項３】
前記通気下板は、複数の下通気孔を有し、
前記下通気孔は、前記可撓性シールリング内にそれぞれ位置し、
前記通気上板は、複数の上通気孔を有し、
前記上通気孔は、前記可撓性シールリング内にそれぞれ位置することを特徴とする請求項２に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項４】
前記可撓性シールリングは、第１の貼付リング部、第２の貼付リング部及び変形リング部を有し、
前記変形リング部の断面は弧状を呈し、
前記第１の貼付リング部は、前記第２の貼付リング部に対向し、
前記変形リング部は、前記第１の貼付リング部及び前記第２の貼付リング部の端縁に接続され、
前記第１の貼付リング部の底面は、前記通気上板の頂面に結合され、
前記第２の貼付リング部の頂面は、前記通気下板の底面に結合され、
前記変形リング部は、前記通気下板、前記通気上板及び前記第２の多孔質材料層の周縁に位置することを特徴とする請求項２に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項５】
前記可撓性シールリングは、ゴム、シリコーン、ポリウレタン（ＰＵ）又はポリエチレン（ＰＥ）からなることを特徴とする請求項２に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項６】
前記可撓性ガスケットは、第１の表面、第２の表面及び切欠き部を有し、
前記第１の表面は、前記可撓性ガスケットの頂面に位置するとともに、前記剥離ユニットの底面に接続され、
前記第２の表面は、前記可撓性ガスケットの底面に位置し、
前記切欠き部は、前記可撓性ガスケットの外側に位置するとともに、前記第２の表面に隣接することを特徴とする請求項１に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【請求項７】
前記第１の表面は、前記第２の表面より大きいことを特徴とする請求項６に記載の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造に関し、特に、可撓性基板に運用する剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置は、一般に剥離ユニットと組み合わせて使用する。剥離ユニットは、交互に積層した支持板及び多孔質材料により構成される。多孔質材料の周縁には、密封部材がそれぞれ設けられる。そのため、多孔質材料が可撓性材料に接触されるとともに、抽気装置により剥離ユニットと接続され、支持板と多孔質材料との間の密封部材により気密状態が形成されるとともに、抽気装置の吸引力により可撓性基板が多孔質材料を圧縮し、密封部材を変形させて可撓性基板を搭載板上から剥離させ、容易に後続の関連工程を行うことができる。
【０００３】
従来の剥離ユニットは、可撓性基板に多孔質材料を直接接触させ、搭載板上から可撓性基板を剥離することができたが、多孔質材料が所定の体積及び厚さを有し、多孔質材料の変形量には限界があるため、多孔質材料の吸引性能に悪影響を与える虞がある。
【０００４】
上述したような従来技術の問題点に鑑み、好ましい吸引方式を利用し、容易に搭載板上から可撓性基板を剥離させ、従来技術の問題点を改善する、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造が求められていた。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、搭載板上から可撓性基板を容易に剥離し得る、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本考案の第１の形態によれば、剥離ユニット、可撓性ガスケット及び第１の多孔質材料層を備えた、搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造であって、前記可撓性ガスケットは、前記剥離ユニットの底面に設けられるとともに、断面がＬ字状を呈し、前記第１の多孔質材料層は、前記可撓性ガスケット内に形成されるとともに、前記剥離ユニットの底面に接続される頂面を有することを特徴とする搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造が提供される。
【０００７】
前記剥離ユニットは、通気下板と、通気上板と、少なくとも１つの第２の多孔質材料層と、可撓性シールリングと、を有し、前記第２の多孔質材料層は、前記通気下板の頂面に形成され、前記通気上板は、前記第２の多孔質材料層の頂面に積層され、前記第２の多孔質材料層は、前記通気下板と前記通気上板との間に位置し、前記可撓性ガスケット及び前記第１の多孔質材料層は、前記通気下板の底面に位置し、前記可撓性シールリングは、前記通気下板、前記通気上板及び前記第２の多孔質材料層の周縁を密封するとともに、断面が弧状を呈することが好ましい。
【０００８】
前記通気下板は、複数の下通気孔を有し、前記下通気孔は、前記可撓性シールリング内にそれぞれ位置し、前記通気上板は、複数の上通気孔を有し、前記上通気孔は、前記可撓性シールリング内にそれぞれ位置することが好ましい。
【０００９】
前記可撓性シールリングは、第１の貼付リング部、第２の貼付リング部及び変形リング部を有し、前記変形リング部の断面は弧状を呈し、前記第１の貼付リング部は、前記第２の貼付リング部に対向し、前記変形リング部は、前記第１の貼付リング部及び前記第２の貼付リング部の端縁に接続され、前記第１の貼付リング部の底面は、前記通気上板の頂面に結合され、前記第２の貼付リング部の頂面は、前記通気下板の底面に結合され、前記変形リング部は、前記通気下板、前記通気上板及び前記第２の多孔質材料層の周縁に位置することが好ましい。
【００１０】
前記可撓性シールリングは、ゴム、シリコーン、ポリウレタン（ＰＵ）又はポリエチレン（ＰＥ）からなることが好ましい。
【００１１】
前記可撓性ガスケットは、第１の表面、第２の表面及び切欠き部を有し、前記第１の表面は、前記可撓性ガスケットの頂面に位置するとともに、前記剥離ユニットの底面に接続され、前記第２の表面は、前記可撓性ガスケットの底面に位置し、前記切欠き部は、前記可撓性ガスケットの外側に位置するとともに、前記第２の表面に隣接することが好ましい。
【００１２】
前記第１の表面は、前記第２の表面より大きいことが好ましい。
【考案の効果】
【００１３】
本考案の搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造は、剥離ユニットを剥離装置の抽気関連装置に設けて使用し、可撓性基板を吸引するときに、可撓性ガスケットと可撓性基板とが接触する面積が小さいため、可撓性基板の周囲が変形し、搭載板上から可撓性基板を容易に剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造を示す断面図である。
【図２】図２は、本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造の可撓性ガスケットを示す斜視図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
以下、本考案を実施形態に基づいて、より具体的に説明する。但し、本考案はこれらの実施形態に何ら限定されるものではない。
【００１６】
図１及び図２を参照する。図１は、本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造を示す断面図である。図２は、本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造の可撓性ガスケットを示す斜視図である。
【００１７】
図１及び図２に示すように、本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造は、少なくとも剥離ユニット１、可撓性ガスケット２及び第１の多孔質材料層６から構成されてなる。
【００１８】
可撓性ガスケット２は、剥離ユニット１の底面に設けられる。可撓性ガスケット２の断面はＬ字状を呈する。
【００１９】
第１の多孔質材料層６は、可撓性ガスケット２内に設けられるとともに、剥離ユニット１の底面に接続される頂面を有する。
【００２０】
本考案の一実施形態に係る搭載板に搭載する可撓性基板の剥離装置の吸引構造は、剥離ユニット１を備える。剥離ユニット１は、通気下板１１と、通気上板１２と、少なくとも１つの第２の多孔質材料層１３と、可撓性シールリング１４と、を有する。第２の多孔質材料層１３は、通気下板１１の頂面に形成される。通気上板１２は、第２の多孔質材料層１３の頂面に積層される。第２の多孔質材料層１３は、通気下板１１と通気上板１２との間に形成される。可撓性ガスケット２の頂面及び第１の多孔質材料層６の頂面は、通気下板１１の底面に位置する。可撓性シールリング１４は、通気下板１１、通気上板１２及び第２の多孔質材料層１３の周縁を密封する。可撓性シールリング１４の断面は弧状を呈する。通気下板１１は、複数の下通気孔１１１を有する。複数の下通気孔１１１は、可撓性シールリング１４内に位置する。通気上板１２は、複数の上通気孔１２１を有する。複数の上通気孔１２１は、可撓性シールリング１４内に位置する。
【００２１】
また、可撓性シールリング１４は、第１の貼付リング部１４１、第２の貼付リング部１４２及び変形リング部１４３を有する。変形リング部１４３の断面は弧状を呈する。第１の貼付リング部１４１は、第２の貼付リング部１４２に対向する。変形リング部１４３は、第１の貼付リング部１４１及び第２の貼付リング部１４２の端縁に接続される。第１の貼付リング部１４１の底面は、通気上板１２の頂面に結合される。第２の貼付リング部１４２の頂面は、通気下板１１の底面に結合される。変形リング部１４３は、通気下板１１、通気上板１２及び第２の多孔質材料層１３の周縁に位置する。可撓性シールリング１４は、ゴム、シリコーン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）、ポリウレタン（ＰＵ）又はポリエチレン（ＰＥ）からなる。
【００２２】
本実施形態の可撓性ガスケット２は、第１の表面２１、第２の表面２２及び切欠き部２３を有する。第１の表面２１は、可撓性ガスケット２の頂面に位置するとともに、剥離ユニット１の通気下板１１の底面に接続される。第２の表面２２は、可撓性ガスケット２の底面に位置するとともに、可撓性基板５の頂面に接続される。切欠き部２３は、可撓性ガスケット２の外側に位置するとともに、第２の表面２２に隣接する。第１の表面２１は、第２の表面２２より大きい。
【００２３】
実際の運用では剥離装置の抽気関連装置の固定座４下に剥離ユニット１を配設し、可撓性基板５に可撓性ガスケット２及び第１の多孔質材料層６が接触される。抽気装置が起動されると、通気上板１２及び通気下板１１により第２の多孔質材料層１３が圧縮されて可撓性シールリング１４が変形され、通気上板１２の複数の上通気孔１２１と、通気下板１１の複数の下通気孔１１１と、第２の多孔質材料層１３と、第１の多孔質材料層６との組み合わせにより、可撓性基板５に吸引力が発生し、搭載板３上から可撓性基板５を剥離させる。搭載板３は、ガラスを積載するために用いることができる上、他方の抽気装置により吸着固定する。剥離ユニット１と可撓性基板５との間には、可撓性ガスケット２及び第１の多孔質材料層６が形成される。そのため、搭載板３上に可撓性基板５が吸着される際、可撓性ガスケット２の第２の表面２２により、可撓性ガスケット２と可撓性基板５とが接触される面積が小さくなり、剥離ユニット１は、可撓性基板５の周囲が変形し易いため吸引性能が高く、積載板上から可撓性基板を容易に剥離させることができる。
【００２４】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００２５】
１      剥離ユニット
２      可撓性ガスケット
３      搭載板
４      固定座
５      可撓性基板
６      第１の多孔質材料層
１１    通気下板
１２    通気上板
１３    第２の多孔質材料層
１４    可撓性シールリング
２１    第１の表面
２２    第２の表面
２３    切欠き部
１１１  下通気孔
１２１  上通気孔
１４１  第１の貼付リング部
１４２  第２の貼付リング部
１４３  変形リング部
【図１】
0003215163.tif 000003
【図２】
0003215163.tif 000004