(57)【要約】      （修正有）【課題】組み立ての利便性という目的を図るため、固定座に枢接でき、さらにウェハを固定するために蓋内に固定されることで、使用時に微粒の粉塵の発生を減少させることができるウェハ固定パッドを提供する。【解決手段】ウェハ固定パッドに関し、主に固定パッド１と、該固定パッドの両側にそれぞれ設けられ、ウェハにスムーズに接触し、両者が損傷しないようにする接触部１１と、固定パッドと接触部との間に複数設けられ、固定パッドの強度を増強する支持部１２とを主に有し、各支持部間にはそれぞれ弾性を増強させる中空部１２１が形成され、組み立ての利便性を図るために、固定パッド上には固定座２に枢設するための複数の枢設部１３，１４が形成され、固定座をカバー内に固定することにより、ウェハを固定し、固定パッドの下端に回転車輪が枢設され、使用時において微粒の粉塵の発生を減少させることができる。【選択図】図１
0003164389.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
固定パッドと、
ウェハが接触するように、前記固定パッドの両側にそれぞれ形成された接触部と、
固定パッドと接触部との間に複数設けられた支持部と、
各支持部の間にそれぞれ形成された中空部と、
固定座に枢接して蓋内に固定されるように、固定パッド上に形成された枢接部と、
固定パッドの下端に設けられたローラーと、
を有するウェハ固定パッド。
【請求項２】
前記接触部は円弧面を有する、請求項１に記載のウェハ固定パッド。
【請求項３】
前記支持部と前記固定パッドとの間に鋭角が形成される、請求項１又は２に記載のウェハ固定パッド。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はウェハ固定パッドに関し、特に組み立てが容易で、使用時において微粒の粉塵を減少させることができるウェハ固定パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハは運送の途中で、空気中の微粒の粉塵がウェハ上に沈積することで汚れてしまい、歩留まり率が低下するため、ウェハが汚れないように、ウェハケースを用いてウェハの積載、運送を行う必要があり、またウェハが運送の途中でぶつかって破損しないように、ウェハケース内の適切な箇所にウェハ固定装置を設ける必要がある。
上記のウェハ固定装置は、台湾公告第Ｍ２９１０８１号「ウェハケース及びウェハケース内に用いる上押しスライド構造」の特許発明を参照することができる。前記発明は複数のウェハを搭載するのに適したウェハケースであって、当該ウェハケースは、
台座と、
前記台座上に配置され、前記ウェハを支持するための支持座と、
前記支持座と前記台座とを覆う筐体と、を有し、
上押しスライド構造は、
前記筐体内の一端に固定される固定板であって、前記固定板の相対する両側に位置する複数のスライドブロックを有する固定板と、
前記固定板と平行に相対するスライダーであって、前記スライダーの相対する両側に位置し、前記スライドブロックがスライドできる複数のスライド溝を有するスライダーと、を有し
前記スライドブロックが前記スライド溝の上死点から前記スライド溝の下死点に移動した場合、前記スライダーは前記ウェハを押して位置決めする。
しかしながら、上記のウェハ固定装置は、スライダーのスライド溝を利用して、固定板のスライドブロックに係合接続されることで、スライダーがウェハを移動させ位置決めすることができるが、スライド溝とスライダーとの係合接続及びスライド方式には、動きの柔軟性を欠き、接触面積が大きいことで微粒の粉塵を生じやすいという欠点がある。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案は上記の欠点に鑑み、組み立ての利便性という目的を図るため、固定座に枢接できるように、固定パッド上に複数の枢接部が形成され、さらにウェハを固定するために固定座により蓋内に固定されることで、使用時に微粒の粉塵の発生を減少させることができるウェハ固定パッドを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本考案に係るウェハ固定パッドの具体的な実施の形態は、固定パッドと、前記固定パッドの両側にそれぞれ設けられ、ウェハにスムーズに接触し、両者が損傷しないようにする接触部と、固定パッドと接触部との間に複数設けられ、固定パッドの強度を増強する支持部と、を主に有し、各支持部間にはそれぞれ弾性を増強させる中空部が形成され、組み立ての利便性を図るために、固定パッド上には固定座に枢設するための複数の枢設部が形成され、固定座を蓋内に固定することにより、ウェハを固定し、固定パッドの下端に回転ローラーが枢設され、使用時において微粒の粉塵の発生を減少させることができることを特徴とする。
【考案の効果】
【０００５】
本考案におけるウェハ固定パッドの具体的な実施の形態によれば、固定パッドの強度を増強するように、当該固定パッドと当該接触部との間に、複数の支持部が相応に斜めに設置される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本考案の実施の形態１に係る立体分解図。
【図２】本考案の実施の形態１に係る立体組立図。
【図３】本考案の実施の形態１に係る使用参考図。
【図４】本考案の実施の形態１に係る台座がローラーを押さないイメージ図。
【図５】本考案の実施の形態１に係る台座がローラーを押すイメージ図。
【図６】本考案の実施の形態２に係る台座がローラーを押さないイメージ図。
【考案を実施するための形態】
【０００７】
本考案に用いられる技術内容、考案の目的及び達成する効果をより完全且つ明確に開示するために、図面及び図面の符号を参照にして、以下に詳細に説明する。
【０００８】
まず、図１は、本考案のウェハ固定パッドの具体的な実施の形態を示すイメージ図であり、ウェハを固定するために、固定座（２）に組み込まれた固定パッド（１）を有する。
スムーズにウェハを接触させて両者が損傷しないように、前記固定パッド（１）の両側はそれぞれ円弧面を形成する接触部（１１）であり、また、固定パッドの強度を増強し、支持部（１２）と固定パッド（１）の間に鋭角が形成されるように、固定パッド（１）と接触部（１１）との間には、複数の支持部（１２）が相応に斜めに設置されており、且つ各指示部（１２）の弾性を増強するために、各支持部（１２）の間には、それぞれ中空部（１２１）が形成され、また、固定座（２）に枢接するために、固定パッド（１）の上段及び下段には、複数の第１枢接部（１３）及び複数の第２枢接部（１４）がそれぞれ設けられ、さらに固定パッド（１）の下端にはローラー（１５）が枢接され、使用時に微粒の粉塵の発生を減少させることができる。
【０００９】
図３に示すように、ネジを貫通させて蓋（３）内に安定的に固定するために、前記固定座（２）の上端の両側にはそれぞれ固定孔（２１）が設けられ、また固定パッド（１）を枢接するために、固定座（２）上の前記固定パッド（１）に対応する第１枢接部（１３）及び第２枢接部（１４）の位置に、それぞれ第１回転バー（２２）及び第２回転バー（２３）が設けられ、且つ微粒の粉塵の発生を減少させ、ウェハの汚染を避けるために、第１回転バー（２２）及び第２回転バー（２３）は柔軟に回転することができる。
【００１０】
図２〜図４に示すように、使用時には、まず固定座（２）の両側の固定孔（２１）にネジを貫通させて蓋（３）の内壁に固定し、図５に示すように、固定パッド（１）を各第１枢接部（１３）及び各第２枢接部（１４）でそれぞれ挟んで固定座（２）の第１回転バー（２２）及び第２回転バー（２３）に設置して回転させ、且つ蓋（３）でウェハを置く台座（４）を覆う。この場合、台座（４）の上面が固定パッド（１）のローラー（１５）を押し、固定パッド（１）を第１回転バー（２２）及び第２回転バー（２３）を軸心にして、回転、上昇させ、固定パッド（１）が接触部（１１）によって押されることにより、ウェハを固定し、ウェハを台座（４）に安定的に位置決めしぐらつかないようにすることができる。且つ、蓋（３）は台座（４）上のウェハをカバーして外部の空気中における微粒の粉塵を遮断し、ウェハが汚れることを確実に防ぐことができる。
【００１１】
また、図６は、本考案のウェハ固定パッドの実施の形態２のイメージ図を示す。実施の形態１とは、前記蓋（３）の内壁の適切な位置に、第１回転バー（３１）と第２回転バー（３２）とがそれぞれ設けられ、固定パッド（１）を各第１枢接部（１３）と各第２枢接部（１４）で直接蓋（３）の内壁の第１回転バー（３１）と第２回転バー（３２）とに枢接する点において異なる。しかしながら、前記実施の形態又は図面は、本考案の製品の態様、設置構造又は使用方法を限定するものではなく、当業者による適切な変更や修飾は、本考案の権利範囲を逸脱するものとは見なされない。
【００１２】
上記の構造及び説明により、本考案は従来の構造に比べて、以下の利点を有する。
１、本考案の固定パッドには、固定座を枢接して組み立てやすい目的を図るために、複数の第１枢接部及び複数の第２枢接部が設けられ、また固定座が蓋内に固定されることでウェハを固定し、固定パッドの下端にはローラーが設けられ、使用時において微粒の粉塵の発生を減少させることできる。
２、本考案の固定パッドの両側にはそれぞれ円弧面を有する接触部が形成され、ウェハにスムーズに接触して両者が損傷しないようにし、固定パッドと接触部との間には相対して斜めに複数の支持部が設けられ、固定パッドの強度を増強し、各支持部の間にはそれぞれ弾性を増強する中空部が形成される。
３、本考案の固定パッドは、固定座を蓋内に固定することにより、ウェハを固定し、また固定パッドの下端にはローラーが設けられ、使用時において微粒の粉塵の発生を減少させることができる。
【符号の説明】
【００１３】
１    固定パッド
１１  接触部
１２  支持部
１２１  中空部
１３  第１枢接部
１４  第２枢接部
１５  ローラー
２    固定座
２１  固定孔
２２  第１回転バー
２３  第２回転バー
３    蓋
３１  第１回転バー
３２  第２回転バー
４    台座
【図１】
0003164389.tif 000003
【図２】
0003164389.tif 000004
【図３】
0003164389.tif 000005
【図４】
0003164389.tif 000006
【図５】
0003164389.tif 000007
【図６】
0003164389.tif 000008