【手続補正書】
【提出日】平成26年8月29日(2014.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、
当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、
前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材とを備え、
前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、
前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、
前記第１補強部材は、前記弾性膜の当接部のほぼ全域に亘って埋設されていることを特徴とする弾性部材。
【請求項２】
前記当接部は円形で、前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に放射状に配置された糸状部材から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項３】
前記当接部は円形で、前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に同心円状に配置された糸状部材から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項４】
前記当接部は円形で、前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に渦巻き状に配置された糸状部材から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項５】
前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に格子状に配置された糸状部材から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項６】
前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に配置された不織布または織布から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項７】
前記第１補強部材は、前記当接部のほぼ全域に配置された樹脂板から成ることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項８】
前記当接部には、吸着穴が設けられ、前記第１補強部材は、前記吸着穴及びその周囲を除く領域に配置されていることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項９】
前記第１周壁部と前記第２周壁部の少なくとも一方は、弾性膜より剛性の高い第２補強部材により補強されていることを特徴とする請求項１記載の弾性部材。
【請求項１０】
基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、
当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、
前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材と、
前記弾性膜より剛性が高い第２補強部材とを備え、
前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、
前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、
前記第２補強部材は、前記当接部との連接部を除いて、前記第１周壁部と前記第２周壁部の少なくとも一方を補強することを特徴とする弾性部材。
【請求項１１】
前記第２補強部材は、高さ方向に沿って所定間隔離間して配置された糸状部材から成ることを特徴とする請求項９又は１０記載の弾性部材。
【請求項１２】
前記第２補強部材は、コイル状の糸状部材から成ることを特徴とする請求項９又は１０記載の弾性部材。
【請求項１３】
前記第２補強部材は、樹脂板、不織布または織布から成ることを特徴とする請求項９又は１０記載の弾性部材。
【請求項１４】
前記第１周壁部の外側面に低摩擦部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１又は１０記載の弾性部材。
【請求項１５】
基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、
当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、
前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材とを備え、
前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、
前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、
前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、
前記第１周壁部の外側面に低摩擦部材が取り付けられていることを特徴とする弾性部材。
【請求項１６】
前記低摩擦部材は、コーティング皮膜であることを特徴とする請求項１４又は１５記載の弾性部材。
【請求項１７】
前記コーティング皮膜は、含浸コーティング皮膜であることを特徴とする請求項１６記載の弾性部材。
【請求項１８】
前記コーティング皮膜は、フッ素樹脂から成ることを特徴とする請求項１６記載の弾性部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明の一態様は、基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材とを備え、前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、前記第１補強部材は、前記弾性膜の当接部のほぼ全域に亘って埋設されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
前記低摩擦部材は、コーティング皮膜であることが好ましく、このコーティング皮膜は、含浸コーティング皮膜であっても良く、フッ素樹脂から成るコーティング皮膜であっても良い。
本発明の別の態様は、基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材と、前記弾性膜より剛性が高い第２補強部材とを備え、前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、前記第２補強部材は、前記当接部との連接部を除いて、前記第１周壁部と前記第２周壁部の少なくとも一方を補強することを特徴とする。
本発明のさらに別の態様は、基板の外周部にリテーナリングを位置させて基板を保持する基板保持装置に用いられる弾性部材であって、当接部と、第１周壁部と、第２周壁部を有する弾性膜と、前記弾性膜より剛性が高く、前記弾性膜の当接部をほぼ全域に亘って補強する第１補強部材とを備え、前記弾性膜の当接部は、基板と当接する当接面を有し、前記弾性膜の第１周壁部は、前記当接部の外周端に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、前記第１周壁部の内側で前記当接部に連接されて上方に延び、前記弾性膜の第２周壁部は、外側に第１圧力室を、内側に第２圧力室をそれぞれ形成し、前記第１周壁部の外側面に低摩擦部材が取り付けられていることを特徴とする。