(57)【要約】【課題】光学機器に用いられる環境を配慮した耐候試験において外部から熱が加えられた場合に光学薄膜にき裂が発生しない、生産性が向上された光学部品素子の製造方法を提供する。【解決手段】一方の主面から他方の主面まで貫通穴が形成され、前記貫通穴内側を向く面の一方の主面側の縁部に沿って前記貫通穴内側に凸形状となるように環状の凸部が設けられている成膜用ジグに、主面の大きさが前記貫通穴の他方の主面側の開口部と同形状となっているウエハを前記貫通穴の内部に収納しつつ、前記ウエハの主面の縁部と前記凸部とが接触するように前記ウエハを配置する配置工程と、  前記凸部側を向く前記ウエハの面のうち露出している面に光学薄膜を前記ウエハが配置されている前記成膜用ジグの一方の主面側から成膜する成膜工程と、を備えていることを特徴とする。【選択図】      図３
2013025058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面から他方の主面まで貫通穴が形成され、前記貫通穴内側を向く面の一方の主面側の縁部に沿って前記貫通穴内側に凸形状となるように環状の凸部が設けられている成膜用ジグに、主面の大きさが前記貫通穴の他方の主面側の開口部と同形状となっているウエハを前記貫通穴の内部に収納しつつ、前記ウエハの主面の縁部と前記凸部とが接触するように前記ウエハを配置する配置工程と、
前記凸部側を向く前記ウエハの面のうち露出している面に光学薄膜を前記ウエハが配置されている前記成膜用ジグの一方の主面側から成膜する成膜工程と、
を備えていることを特徴とする光学部品素子の製造方法。
【請求項２】
平板状に形成されているウエハと、
前記ウエハの主面に成膜され形成されている光学薄膜と、
からなり、
前記光学薄膜側から前記ウエハの主面側を見た場合、前記光学薄膜の縁部と前記光学薄膜が形成されているウエハの主面の縁部とが離れている
ことを特徴とする光学部品素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学薄膜が形成され光学機器に用いられる光学部品素子の製造方法と、光学薄膜が形成され光学機器に用いられる光学部品素子に関する。
【０００２】
光学部品素子は、例えば、ビデオカメラやデジタルカメラといった光学機器に多く用いられている。
【０００３】
このような光学部品素子は、例えば、光学薄膜が形成されている二つのウエハが水晶板を挟んで接着されている構造となっている。このとき、光学薄膜は、一方のウエハ側から光が入射された他方のウエハ側から光が出射された場合、光が入射又は出射する際にウエハの主面で反射することを防ぐために成膜され形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、光学薄膜が形成されている光学部品素子の別の一例として、直接接合により複数の水晶板が接合されウエハが形成され、このウエハの光が入射される面及び光が出射される面に光学薄膜が設けられている場合がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、光学薄膜が形成されている光学部品素子の更に別の一例として、１枚のウエハの一方の主面に光学薄膜が形成されている場合がある。
【０００６】
つまり、前述したような光学部品素子では、光が入射されるウエハの面又は／及び光が出射されるウエハの面に光学薄膜が形成されている。
【０００７】
このような光学薄膜が形成されている光学部品素子の製造方法は、ウエハ配置工程、成膜工程を備えている。
ここで、製造される光学部品素子は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面が矩形形状となっているウエハ２１０の一方の主面にのみ光学薄膜Ｍが成膜されて形成されている。
【０００８】
（ウエハ配置工程）
ウエハ配置工程は、図７（ａ）と図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、成膜用ジグ２２０にウエハ２１０を配置する工程である。
【０００９】
ウエハ２１０は、例えば、両主面が矩形形状となっている水晶部材が用いられる。
また、ウエハ２１０は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有するランバード人工水晶部材が切断された後、両面研磨機により両主面が研磨されて形成されている。
【００１０】
成膜用ジグ２２０は、例えば、図６（ａ）と図６（ｂ）と図６（ｃ）に示すように、矩形形状の平板状に形成されており、開口部が矩形形状であって、一方の主面から他方の主面まで貫通している貫通穴２２２（２２２ａ，２２２ｂ）が形成されている。
また、成膜用ジグ２２０は、成膜用ジグ２２０の一方の主面側の貫通穴２２２内側を向く面のうち対向している所定の二つの面に沿って凸部２２１が設けられている。
【００１１】
ここで、貫通穴２２２は、凸部２２１の面に挟まれている空間を成膜用空間２２２ｂとし、成膜用空間２２２ｂを除く貫通穴２２２の内側を向く面に囲まれている空間をウエハ収納空間２２２ａとする。
つまり、貫通穴２２２は、成膜用空間２２２ｂとウエハ収納空間２２２ａとが連なった状態で構成されており、成膜用ジグ２２０の一方の主面側に成膜用空間２２２ｂが形成されつつ成膜用ジグ２２０の他方の主面側にウエハ収納空間２２２ａが形成されて、成膜用ジグ２２０の一方の主面から他方の主面にかけて貫通した状態で形成されている。
【００１２】
ウエハ収納空間２２２ａは、例えば、図６（ａ）に示すように、開口部が矩形形状に形成されている。
また、ウエハ収納空間２２２ａの開口部は、例えば、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、ウエハ２１０が三つ並んでいるときの大きさと同じ大きさとなっている。
【００１３】
成膜用空間２２２ｂは、例えば、図６（ａ）及び図６（ｃ）に示すように、開口部が凸部２２１の分だけウエハ収納空間２２２ａの開口部より小さくなっている。
【００１４】
ウエハ配置工程では、成膜用ジグ２２０の他方の主面側から成膜用ジグ２２０の貫通穴２２１の内にウエハ２１０を収納しつつ、ウエハ２１０の主面が凸部２１２に接触するようにウエハ２１０を成膜用ジグ２２０に配置している。
また、ウエハ配置工程では、例えば、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、三つのウエハ２１０が並べて配置されている。このとき、図７（ｃ）に示すように、凸部２１２側を向くウエハ２１０の面のうち対向している所定の二辺の縁部を成膜用ジグ２２０の凸部２１２で保持している状態となっている。
【００１５】
（成膜工程）
成膜工程は、例えば、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、凸部２１２側を向くウエハ２１０の面のうち露出しているウエハ２１０の面に光学薄膜Ｍをウエハ２１０が配置されている成膜用ジグ２２０の一方の主面側から成膜する工程である。
成膜工程では、例えば、蒸着法が用いられ、図８（ａ）に示すように、ウエハ２１０が配置されている成膜用ジグ２２０の一方の主面が蒸着源Ｊ側を向くように配置され、図８（ｂ）に示すように、凸部２１２側を向くウエハ２１０の面のうち露出しているウエハ２１０の面に光学薄膜Ｍが成膜される。
【００１６】
従って、光学薄膜Ｍが形成されている光学部品素子の製造方法では、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ２１０の主面の対向する所定の二辺に沿った縁部でウエハ２１０が保持された状態で、光学薄膜Ｍが成膜されて形成される。このとき、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ２１０の主面の対向する所定の他の二辺に沿った縁部には、光学薄膜Ｍが形成される。
【００１７】
このような光学部品素子の製造方法により製造された光学部品素子２００は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、成膜用ジグ２２０の凸部２２１と接触していた部分を残してウエハ２１０の全面に光学薄膜Ｍが形成された状態となる。つまり、ウエハ２１０の主面を見た場合、光学薄膜Ｍは、平行な二つの縁部がウエハ２１０の平行な二つの縁部と一致し、平行な他の二つの縁部がウエハ２１０の平行な他の二つの縁部から離れて存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開平１１−２１８６１２号公報
【特許文献２】特開２００６−２７６３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、従来の光学部品素子の製造方法は、光学薄膜が形成されるウエハの主面の対向する所定の二辺に沿った縁部でウエハが保持された状態で、光学薄膜が成膜されて形成されているので、光学薄膜が形成されるウエハの主面の対向する所定の他の二辺に沿った縁部に光学薄膜が形成されることとなる。従来の光学部品素子の製造方法では、ウエハの主面の縁部に微少な傷や欠けがあった場合に、この微少な傷又は欠けの上に光学薄膜が成膜されてしまう。
このため、従来の光学部品素子の製造方法では、光学機器が用いられる環境に配慮した耐候試験において外部から熱が加えられた場合、微少な傷又は欠け上の光学薄膜部分に歪みが生じ、その部分を起点として光学膜にき裂が発生し、生産性が低減する恐れがある。
【００２０】
従来の光学部品素子は、光学薄膜側から光学薄膜が形成されているウエハ側を見た場合、光学薄膜の縁部と光学薄膜が形成されるウエハの面の縁部から離れている部分、及び、光学薄膜の縁部と光学薄膜が形成されるウエハの面の縁部と一致している部分が存在するので、光学薄膜が形成されるウエハの面の縁部に微少な傷や欠けがあった場合に、この微少な傷又は欠けの上に光学薄膜が成膜され形成されている。
このため、従来の光学部品素子は、光学機器が用いられる環境に配慮した耐候試験において外部から熱が加えられた場合、微少な傷又は欠け上の光学薄膜部分に歪みが生じその部分を起点として光学膜にき裂が発生してしまう恐れがある。
【００２１】
そこで、本発明は、前述した課題を解決し、光学機器に用いられる環境を配慮した耐候試験において外部から熱が加えられた場合に光学薄膜にき裂が発生しない光学部品素子と生産性が向上された光学部品素子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
前記課題を解決するために、一方の主面から他方の主面まで貫通穴が形成され、前記貫通穴内側を向く面の一方の主面側の縁部に沿って前記貫通穴内側に凸形状となるように環状の凸部が設けられている成膜用ジグに、主面の大きさが前記貫通穴の他方の主面側の開口部と同形状となっているウエハを前記貫通穴の内部に収納しつつ、前記ウエハの主面の縁部と前記凸部とが接触するように前記ウエハを配置する配置工程と、前記凸部側を向く前記ウエハの面のうち露出している面に光学薄膜を前記ウエハが配置されている前記成膜用ジグの一方の主面側から成膜する成膜工程と、を備えていることを特徴とする。
【００２３】
また、前記課題を解決するために、平板状に形成されているウエハと、前記ウエハの主面に成膜され形成されている光学薄膜と、からなり、前記光学薄膜側から前記ウエハの主面側を見た場合、前記光学薄膜の縁部と前記光学薄膜が形成されているウエハの主面の縁部とが離れていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
このような光学部品素子の製造方法によれば、光学薄膜が形成されるウエハの主面の縁部でウエハが成膜用ジグに保持された状態で、光学薄膜が成膜され形成されているので、ウエハの主面の縁部には光学薄膜が成膜されず、ウエハの主面の縁部に微少な傷や欠けがあった場合でも、微少な傷又は欠けの上に光学薄膜が成膜されること防ぐことができる。
このため、このような光学部品素子の製造方法によれば、光学機器が用いられる環境に配慮した耐候試験において外部から熱が加えられても、微少な傷又は欠けによる光学薄膜の歪みが生じないので、光学薄膜にき裂が発生することを防ぐことができ、従来の光学部品素子の製造方法と比較して生産性を向上させることができる。
【００２５】
このような光学部品素子によれば、光学薄膜側から光学薄膜が形成されているウエハ側を見た場合、光学薄膜の縁部と光学薄膜が形成されるウエハの面の縁部とが離れているので、光学薄膜が形成されるウエハの面の縁部に微少な傷や欠けがあっても、この微少な傷又は欠けの上に光学薄膜が成膜されること防ぐことができる。
このため、このような光学部品素子によれば、光学機器が用いられる環境に配慮した耐侯試験において外部から熱が加えられた場合、微少な傷又は欠けによる光学薄膜の歪みが生じないので、光学薄膜にき裂が発生することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態に係る光学部品素子の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る光学部品素子の一例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施形態に係る光学部品素子の製造方法で用いる成膜用ジグの平面図であり、（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、（ｃ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の実施形態に係る光学部品素子の製造方法のウエハ配置工程の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図であり、（ｃ）は、図３（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の実施形態に係る光学部品素子の製造方法の成膜工程の状態の一例を示す断面図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る好学部品素子の製造方法の成膜工程後の状態の一例を示す断面図である。
【図５】（ａ）は、従来の光学部品素子の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、従来の光学部品素子の一例を示す平面図である。
【図６】（ａ）は、従来の光学部品素子の製造方法で用いる成膜用ジグの平面図であり、（ｂ）は、図６（ａ）のＥ−Ｅ断面図であり、（ｃ）は、図６（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図７】（ａ）は、従来の光学部品素子の製造方法のウエハ配置工程の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、図７（ａ）のＧ−Ｇ断面図であり、（ｃ）は、図７（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。
【図８】（ａ）は、従来の光学用部品素子の製造方法の成膜工程の状態の一例を示す断面図であり、（ｂ）は、従来の光学用部品素子の製造方法の成膜工程後の状態の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。
【００２８】
本発明の実施形態に係る光学部品素子１００は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、ウエハ１１０と光学薄膜Ｍとから構成されており、例えば、ウエハ１１０の一方の主面に光学薄膜Ｍが成膜され形成されている。
【００２９】
ウエハ１１０は、例えば、両主面が矩形形状となっている水晶部材が用いられる。
また、ウエハ１１０は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有するランバード人工巣賞部材が切断され後、両面研磨機により両主面が研磨されて形成されている。このため、ウエハ１１０の主面の縁部には、縁部から０．５ｍｍより小さい範囲内に傷や欠けが生じている場合がある。
【００３０】
光学薄膜Ｍは、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、ウエハ１１０の一方の主面に成膜され形成されている。このとき、光学薄膜Ｍの縁部は、ウエハ１１０の一方の主面の縁部から離れている。
また、光学薄膜Ｍは、例えば、ウエハ１１０の一方の主面に光が入射される場合に、ウエハ１１０の一方の主面で光の反射を防ぐ反射防止膜の役割を果たしている。
【００３１】
このような光学用部品素子１００は、光学薄膜Ｍ側から光学薄膜Ｍが成膜され形成されているウエハ１１０の面側を見た場合に、光学薄膜Ｍの縁部と光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部とが離れている。つまり、このような光学用部品素子１００は、ウエハ１１０の面の縁部に沿って環状に光学薄膜Ｍが形成されていない部分がある。
【００３２】
ここで、光学薄膜Ｍ側から光学薄膜Ｍが成膜され形成されているウエハ１１０の面側を見た場合に、光学薄膜Ｍの縁部と光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部との距離が０．５ｍｍ以上となっている。つまり、ウエハ１１０の面の縁部に沿って環状に光学薄膜Ｍが形成されていない部分の幅が０．５ｍｍ以上となっている。
【００３３】
ウエハ１１０の面の縁部に沿って環状に光学薄膜Ｍが形成されていない部分の幅が０．５ｍｍより小さい場合、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部に傷又は欠けの上に光学薄膜Ｍが形成されることとなってしまう。
このため、ウエハ１１０の面の縁部に沿って環状に光学薄膜Ｍが形成されていない部分の幅が０．５ｍｍ以上となっている。
【００３４】
従って、このような光学用部品素子１００は、光学薄膜Ｍ側から光学薄膜Ｍが成膜され形成されているウエハ１１０の面側を見た場合に、光学薄膜Ｍの縁部と光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部とが離れているので、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部に傷や欠けがあっても、この傷や欠けを避けて光学薄膜が形成される構造となっている。
【００３５】
また、このような光学用部品素子１００は、ウエハ１１０の主面の縁部から０．５ｍｍより小さい範囲内に傷や欠けが生じている場合があるが、ウエハ１１０の面の縁部に沿って環状に光学薄膜Ｍが形成されていない部分の幅が０．５ｍｍ以上となっているため、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部に傷や欠けがあっても、この傷や欠けを避けて光学薄膜が形成される構造となっている。
【００３６】
このような本発明の実施形態に係る光学部品素子１００によれば、光学薄膜Ｍ側から光学薄膜Ｍが形成されているウエハ１１０側を見た場合、光学薄膜Ｍの縁部と光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部とが離れているので、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の面の縁部に微少な傷や欠けがあっても、この微少な傷又は欠けの上に光学薄膜Ｍが成膜されること防ぐことができる。
このため、このような本発明の実施形態に係る光学部品素子１００によれば、光学機器が用いられる環境に配慮した耐侯試験において外部から熱が加えられた場合、微少な傷又は欠けによる光学薄膜Ｍの歪みが生じないので、光学薄膜Ｍにき裂が発生することを防ぐことができる。
【００３７】
次に、本発明の実施形態に係る光学用部品素子の製造方法について説明する。
本発明の実施形態に係る光学用部品素子の製造方法は、ウエハ配置工程、成膜工程を備えている。
【００３８】
ここで、本発明の実施形態に係る光学用部品素子の製造方法で製造される光学用部品素子は、本発明の実施形態に係る光学用部品素子１００である。
従って、本発明の実施形態に係る光学用部品素子の製造方法で製造される光学用部品素子は、両主面が矩形形状のウエハ１１０とウエハ１１０の一方の主面に成膜され形成されている光学薄膜Ｍとから構成されている。
【００３９】
（ウエハ配置工程）
ウエハ配置工程は、図３（ａ）と図３（ｂ）と図３（ｃ）に示すように、一方の主面から他方の主面まで貫通穴１２２が形成され、前記貫通穴１２２内側を向く面の一方の主面側の縁部に沿って前記貫通穴１２２内側に凸形状となるように環状の凸部１２１が設けられている成膜用ジグ１２０に、主面の大きさが前記貫通穴１２２の他方の主面側の開口部と同形状となっているウエハ１１０を前記貫通穴１２２の内部に収納しつつ、前記ウエハ１１０の主面の縁部と前記凸部１２１とが接触するように前記ウエハ１１０を配置する工程である。
【００４０】
ウエハ１１０は、前述したように、両主面が矩形形状となっている水晶部材が用いられる。
また、ウエハ１１０は、例えば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有するランバード人工巣賞部材が切断され後、両面研磨機により両主面が研磨されて形成されている。このため、ウエハ１１０の主面の縁部には、縁部から０．５ｍｍより小さい範囲内に傷や欠けが生じている場合がある。
【００４１】
成膜用ジグ１２０は、例えば、図２（ａ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、矩形形状の平板状に形成されており、開口部が矩形形状であって、一方の主面から他方の主面まで貫通している貫通孔１２２（１２２ａ，１２２ｂ）が形成されている。
また、成膜用ジグ１２０は、例えば、図２（ａ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、貫通穴１２２内側を向く面の成膜用ジグ１２０の一方の主面側の縁部に沿って環状の凸部１２１が設けられている。
【００４２】
ここで、凸部１２１の面に囲まれている空間を成膜用空間１２２ｂとし、成膜用空間１２２ｂを除く貫通穴１２２内側を向く面に囲まれている空間をウエハ収納空間１２２ａとする。
つまり、貫通穴１２２は、成膜用空間１２２ｂとウエハ収納空間１２２ａとが連なった状態で構成されており、成膜用ジグ１２０の一方の主面側に成膜用空間２２２ｂが形成されつつ成膜用ジグ１２０の他方の主面側にウエハ収納空間１２２ａが形成されて、成膜用ジグ１２０の一方の主面から他方の主面にかけて貫通した状態で形成されている。
【００４３】
ウエハ収納空間１２２ａは、例えば、図２（ａ）に示すように、開口部が矩形形状に形成されている。
また、ウエハ収納空間１２２ａの開口部は、例えば、成膜用ジグ２２０の一方の主面側にそれぞれ独立して並んで設けられている。
また、ウエハ収納空間１２２ａの開口部は、図３（ａ）と図３（ｂ）と図３（ｃ）に示すように、開口部の大きさがウエハ１１０の主面の大きさと同じ大きさとなっている。
【００４４】
成膜用空間１２２ｂは、例えば、図２（ａ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、成膜用空間１２２ｂの開口部が凸部１２１の分だけウエハ収納空間１２２ａの開口部より小さくなっている。
【００４５】
ウエハ配置工程では、図３（ａ）と図３（ｂ）と図３（ｃ）に示すように、成膜用ジグ１２０の他方の主面側から成膜用ジグ１２０の貫通穴１２２内にウエハ１１０を収納しつつ、ウエハ１１０の主面が凸部１２１に接触するようにウエハ１１０を成膜用ジグ１１２０に配置している。
このとき、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すように、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面の縁部が成膜用ジグ１２０の凸部１１２の面と対向しつつ接触するように配置されるので、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面の縁部が貫通穴１２２内側を向く面に沿って環状に設けられている凸部１２１で保持されている状態となる。
【００４６】
また、ウエハ配置工程では、例えば、ウエハ１１０と凸部１２１とが接触している部分に着目した場合、貫通穴１２２内側を向く面に最も近い辺からこの辺に対向する辺までの長さが０．５ｍｍ以上となっている。つまり、ウエハ配置工程では、ウエハ１１０と凸部１２１とが接触している部分が凸部１２１側を向くウエハ１１０の面の縁部に沿って環状となっており、その幅が０．５ｍｍ以上となっている。
【００４７】
ウエハ１１０と凸部１２１とが接触している部分が０．５ｍｍより小さい場合、成膜用ジグ１２０にウエハ１１０を配置した後に成膜用ジグ１２０の他方の主面側から見ると、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面であって露出されている面、つまり、成膜用空間１２２ｂの底面となっている面に、ウエハ１１０の傷や欠けが露出されている恐れがある。
従って、ウエハ配置工程では、成膜用ジグ１２０にウエハ１１０を配置した後に成膜用ジグ１２０の他方の主面側から見た場合、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面であって露出されている面、つまり、成膜用空間１２２ｂの底面となっている面に、ウエハ１１０の傷や欠けが露出しないように配置することができる。
【００４８】
このため、ウエハ１１０と凸部１２１とが接触している部分に着目した場合、貫通穴１２２内側を向く面に最も近い辺からこの辺に対向する辺までの長さが０．５ｍｍ以上となっている。
【００４９】
（成膜工程）
成膜工程は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、前記凸部１２１側を向く前記ウエハ１１０の面のうち露出している面に光学薄膜Ｍを前記ウエハ１１０が配置されている前記成膜用ジグ１２０の一方の主面側から成膜する工程である。
【００５０】
成膜工程では、例えば、蒸着法が用いられ、図４（ａ）に示すように、ウエハ１１０が配置されている成膜用ジグ１１０の一方の主面が蒸着源Ｊ側を向くように配置され、図４（ｂ）に示すように、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面のうち露出しているウエハ２１０の面、つまり、凸部１２１と接触していた部分を残してウエハ１１０の全面に光学薄膜Ｍが成膜される。
【００５１】
成膜工程後のウエハ１１０は、図４（ｂ）に示すように、凸部１２１側を向くウエハ１１０の面のうち露出しているウエハ２１０の面にのみ光学薄膜Ｍが成膜され、かつ、ウエハ１１０と凸部１２１とが接触している部分に光学薄膜Ｍが成膜されない状態となる。
従って、成膜工程では、ウエハ配置工程でウエハ１１０の傷や欠けが露出しないように成膜用ジグ１２０にウエハ１１０が配置された状態で光学薄膜Ｍが成膜されているので、光学薄膜Ｍが傷や欠けの上に成膜されない。
【００５２】
このような本発明の実施形態に係る光学部品素子の製造方法によれば、光学薄膜Ｍが形成されるウエハ１１０の主面の縁部でウエハ１１０が成膜用ジグ１２０に保持された状態で、光学薄膜Ｍが成膜され形成されているので、ウエハ１１０の主面の縁部には光学薄膜Ｍが成膜されず、ウエハ１１０の主面の縁部に微少な傷や欠けがあった場合でも、傷又は欠けの上に光学薄膜Ｍが成膜されること防ぐことができる。
このため、このような本発明の実施形態に係る光学部品素子の製造方法によれば、光学機器が用いられる環境に配慮した耐候試験において外部から熱が加えられても、傷又は欠けによる光学薄膜の歪みが生じないので、光学薄膜Ｍにき裂が発生することを防ぐことができ、従来の光学部品素子の製造方法と比較して生産性を向上させることができる。
【００５３】
なお、成膜用ジグに貫通穴が三つ設けられている場合について図示しているが、それぞれの貫通穴が独立していれば、貫通穴の数が幾つ設けられていてもよい。例えば、一つだけ設けられていてもよい。また、例えば、四つ設けられていてもよい。
【００５４】
また、光学薄膜がウエハの一方の主面にのみ設けられている場合について説明しているが、例えば、両主面に光学薄膜が設けられていてもよい。
【００５５】
また、光学薄膜をウエハの一方の主面に成膜する場合ついて説明したが、例えば、ウエハの一方の主面に光学薄膜を成膜した後、光学薄膜が設けられていないウエハの他方の主面を成膜用ジグの凸部側に向けた状態でウエハを配置し成膜することでウエハの両主面に成膜を行ってもよい。
【００５６】
また、光学薄膜が蒸着法により成膜されている場合について説明しているが、例えば、スパッタ法を用いて成膜してもよい。
【００５７】
１００，２００  光学部品素子
１１０，２１０  ウエハ
Ｍ  光学薄膜
１２０，２２０  成膜用ジグ
１２１，２２１  凸部
１２２，２２２  貫通穴
１２２ａ，２２２ｂ  ウエハ収納空間
１２２ｂ、２２２ｂ  成膜用空間
Ｊ  蒸着源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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