【手続補正書】
【提出日】平成26年2月14日(2014.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が所定の光透過率を有する複数の単位領域を含むグレースケールマスクであって、
前記単位領域は、光透過領域と光遮蔽領域の少なくとも一方を有するとともに対称軸を挟んで互いに隣接し前記対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり、
前記光透過領域が占める面積比率がＴである前記単位領域における前記光透過領域の形状と、前記面積比率が１−Ｔである前記単位領域における前記光透過領域の形状とが、前記対称軸に関して反転関係にあることを特徴とするグレースケールマスク。
【請求項２】
前記単位領域が配列される方向に、前記光透過領域が占める面積比率がＴである前記単位領域と、前記光透過領域と前記光遮蔽領域の面積が等しい前記単位領域と、前記光透過領域が占める面積比率が１−Ｔである前記単位領域とが配列された領域を含むことを特徴とする請求項１に記載のグレースケールマスク。
【請求項３】
前記単位領域が配列される方向に、前記単位領域における前記光透過領域の面積または前記光遮蔽領域の面積が段階的に増加するよう配列された領域を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のグレースケールマスク。
【請求項４】
前記単位領域が配列される方向に、前記単位領域における前記光透過領域の面積または前記光遮蔽領域の面積が段階的に増加するよう配列された領域において、前記単位領域における前記光透過領域の形状または前記光遮蔽領域の形状が、前記単位領域の中心を基準として相似形状に増加することを特徴とする請求項３に記載のグレースケールマスク。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一つに記載のグレースケールマスクを用いて加工されたことを特徴とするマイクロレンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グレースケールマスク及びマイクロレンズ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズを製造する目的等のために用いられるグレースケールマスク及び当該グレースケールマスクを用いて加工されたマイクロレンズに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、光透過率の連続性を保った上で、高い光透過率を再現することができるグレースケールマスク及び当該グレースケールマスクを用いて加工されたマイクロレンズを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
かかる課題を解決するために、本発明は、各々が所定の光透過率を有する複数の単位領域（１０）を含むグレースケールマスクであって、前記単位領域（１０）は、光透過領域（ａ）と光遮蔽領域（ｂ）の少なくとも一方を有するとともに対称軸（Ｌ）を挟んで互いに隣接し前記対称軸（Ｌ）に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域（１１，１２，１３，１４）からなり、前記光透過領域（ａ）が占める面積比率がＴである前記単位領域（１０）における前記光透過領域（ａ）の形状と、前記面積比率が１−Ｔである前記単位領域（１０）における前記光透過領域（ａ）の形状とが、前記対称軸（Ｌ）に関して反転関係にあるグレースケールマスクとしたことを特徴とする。
また、本発明は、前記したグレースケールマスクを用いて加工されたマイクロレンズとしたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、複数の単位領域がそれぞれ、光透過領域と光遮蔽領域の少なくとも一方を有するとともに対称軸を挟んで互いに隣接し対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり、光透過領域が占める面積比率がＴである単位領域における光透過領域の形状と、面積比率が１−Ｔである単位領域における光透過領域の形状とが、対称軸に関して反転関係にあることで、光透過率の連続性を保った上で、高い光透過率を再現することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のグレースケールマスクは、図１に示すような、ピクセル１を複数、隣接配置した構成となっており、１ピクセル中に少なくとも１の単位領域１０を有している。この単位領域１０とは、後述する本発明の特徴を備える最小単位の領域であり、１ピクセルそのままの領域又は１ピクセルを同じ形状で等分割した１つの領域となっている。本実施の形態のグレースケールマスクでは、１ピクセル中に１つの単位領域１０を有している（すなわち、１ピクセル１そのままが１つの単位領域１０を構成している）。また、本実施の形態の単位領域１０は正方形状となっており、その単位領域１０がさらに４つの正方形状部（部分領域）１１，１２，１３，１４に区分けされている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、単位領域１０は、光を通す透光部（光透過領域）である第１領域ａと、光を通さない遮光部（光遮蔽領域）である第２領域ｂとで構成されている。そして、これら第１領域ａと第２領域ｂの面積が、マスク描画装置の分解能の限界に至るまでそれぞれ増減することで、当該単位領域１０における開口率（光透過率）が拡縮するようになっている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
そして、単位領域１０における開口率の拡縮において、第１領域ａと第２領域ｂの面積比が１：１（すなわち、５０％ずつ）となると（例えば、図１における中央の図参照）、４つの正方形状部１１，１２，１３，１４のうちの左上部１１と右下部１４は全て第１領域ａとなり、右上部１３と左下部１２は全て第２領域ｂとなる状態（所謂、市松模様の状態）になる。このときの第１領域ａと第２領域ｂとの境界（ここでは、単位領域１０の上下方向の中心線（なお、この場合刃単位領域１０の左右方向の中心線でも可））を境界線（対称軸）Ｌとする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本実施の形態では、前記したように、第１領域ａと第２領域ｂの面積比を変化させていく際、図１における中央の図に示すような第１領域ａと第２領域ｂの面積比が１：１（すなわち、１ピクセルの光透過率が５０％）となる単位領域１０を基準とし、これより開口率が高いものと低いものとで、その面積比が丁度逆となるものについて（すなわち、１ピクセルの光透過率が５０％からの差の絶対値が同じで、５０％よりも大きい光透過率を有したときと小さい光透過率を有したときを比較すると）、面積比が１：１となる単位領域１０における第１領域ａと第２領域ｂとの境界線Ｌを中心線として線対称で、かつ、第１領域ａと第２領域ｂとが入れ替わった状態となっている。すなわち、単位領域１０における第１領域ａと第２領域ｂの面積比がＡ：Ｂのもの（１ピクセルの光透過率が５０％＋α）とＢ：Ａのもの（１ピクセルの光透過率が５０％−α）については、それぞれ、境界線Ｌで線対称で、かつ、第１領域ａと第２領域ｂとを入れ替えた形状となるように、単位領域１０の形状が構成されている（光透過領域が占める面積比率がＴである単位領域における光透過領域の形状と、面積比率が１−Ｔである単位領域における光透過領域の形状とが、対称軸に関して反転関係にある）。このようにすることで、急に開口形状が変化してグレースケールマスクの光透過率の連続性にずれが生じることを防ぎ、当該連続性を保ちながら、高い開口率（光透過率）を確保することができるものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
以上のように、本発明の各実施の形態のグレースケールマスクによれば、１ピクセル１に少なくとも１つ有する単位領域１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０がそれぞれ、光を通す第１領域（光透過領域）ａと光を通さない第２領域（光遮蔽領域）ｂの少なくとも一方を有するとともに、１ピクセル１の光透過率が５０％からの差の絶対値が同じで、５０％よりも大きい光透過率を有したときと小さい光透過率を有したときを比較すると、第１領域ａと第２領域ｂの面積比が１：１となる単位領域１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０における双方の領域の境界線（対称軸）Ｌ，Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６を中心線として線対称で（対称軸を挟んで互いに隣接し対称軸に対して対称な外形形状を有する複数の部分領域からなり）、かつ、その領域同士が入れ替わった形状となる（光透過領域が占める面積比率がＴである単位領域における光透過領域の形状と、面積比率が１−Ｔである単位領域における光透過領域の形状とが、対称軸に関して反転関係にある）ことで、光透過率の連続性を保った上で、高い光透過率を再現することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
１，１０１，２０１，３０１，４０１，５０１，６０１  ピクセル
１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０  単位領域
１１，１２，１３，１４  正方形状部（部分領域）
ａ  第１領域（光透過領域）
ｂ  第２領域（光遮蔽領域）
Ｌ，Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６  境界線（対称軸）