【手続補正書】
【提出日】平成26年3月27日(2014.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理装置を構成する各部品で生成されるデータが収集される操作部と、所定の処理を付与するために前記各部品を動作させて制御する制御部と、を設けたコントローラと、
前記各部品から前記コントローラを介して前記データを収集する収集ユニットと、を備え、
前記収集ユニットは、
前記収集されたデータを一時的に格納するバッファと、
前記データに添付される時刻データに基づいて、時系列に並べ換える手段と、を含み、
前記各部品で生成されたデータを前記コントローラを介して受信したときに、前記操作部や前記制御部のそれぞれにおいて添付される時刻データに基づいて、前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納し、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する処理システム。
【請求項２】
前記制御部は、前記基板に所定の基板処理を制御する第一の制御部と、前記基板に所定の基板搬送を制御する第二の制御部を更に設け、
前記収集ユニットは、前記第一の制御部や前記第二の制御部のそれぞれにおいて添付される時刻データに基づいて、前記操作部から送信される前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納する請求項１の処理システム。
【請求項３】
前記バッファ内に格納するデータを保持可能な時間範囲は、前記制御部でデータが収集されてから前記収集ユニットに送られるまでの最大遅延時間により決定される請求項１の処理システム。
【請求項４】
前記バッファ内に格納するデータは、種々の制御データを含む装置モニタデータ、イベントデータ、例外データである請求項１または請求項３の処理システム。
【請求項５】
更に、前記バッファは、同一の時刻データを持つデータを管理する時刻リストを設け、
前記収集ユニットは、前記時刻データと前記バッファ内のリスト管理時刻と比較し、一致するリスト内に前記データを格納する請求項１の処理システム。
【請求項６】
前記バッファ内で保持されるデータの所定時間範囲は、前記時刻リストの一番古いリストと一番新しいリストの時刻差で決定される請求項５の処理システム。
【請求項７】
前記時刻リストは、複数のデータが格納可能に構成される請求項５の処理システム。
【請求項８】
更に、前記バッファは、前記コントローラを介して収集される際に生じる遅延時間を吸収するために、収集されたデータを一定時間格納するように構成され、
前記収集ユニットは、前記収集されたデータの収集時刻が、前記バッファ内の最新データ収集時刻から前記一定時間内の範囲に収まっていれば、前記バッファに格納し、前記範囲に収まっていなければ、新しいバッファを作成し、そのバッファに格納する請求項１の処理システム。
【請求項９】
前記収集ユニットは、前記一定時間を超えた場合、最も古いバッファ内に格納されたデータを同期部に送信すると共に、前記バッファ内から前記データを削除する請求項８の処理システム。
【請求項１０】
更に、前記収集ユニットは、前記バッファ内に格納されたデータを報告する手段を有し、
前記収集ユニットは、前記空データを含むデータを報告対象とする請求項１の処理システム。
【請求項１１】
基板処理装置を構成する各部品で生成されるデータが収集される操作部と、
基板に所定の基板処理を付与するために前記各部品を動作させて制御する制御部と、
前記各部品から前記操作部を介して前記データを収集する収集ユニットと、
を有する基板処理装置であって、
前記収集ユニットは、
前記収集されたデータを一時的に格納するバッファと、
前記データに添付される時刻データに基づいて、時系列に並べ換える手段と、を含み、
前記各部品で生成されたデータを受信したときに、前記操作部や前記制御部のそれぞれにおいて添付される時刻データに基づいて、前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納し、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する基板処理装置。
【請求項１２】
処理装置を構成する各部品で生成されるデータが収集される操作部と、所定の処理を付与するために前記各部品を動作させて制御する制御部と、を設けたコントローラと、
前記各部品から前記コントローラを介して前記データを収集する収集ユニットと、を備えた処理システムのデータ処理方法であって、
前記収集ユニットは、
前記収集されたデータを一時的に格納するバッファと、
前記データに添付される時刻データに基づいて、時系列に並べ換える手段と、を含み、
前記各部品で生成されたデータを前記コントローラを介して受信したときに、前記操作部や前記制御部のそれぞれにおいて添付される時刻データに基づいて、前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納し、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する処理システムのデータ処理方法。
【請求項１３】
各部品で生成されるデータが収集される操作部を設けたコントローラを介して収集されたデータを一時的に格納するバッファと、前記データに添付される時刻データに基づいて時系列に並べ換える手段と、を含み、各部品からデータを収集する収集ユニットであって、
前記各部品で生成されたデータを、前記コントローラを介して受信したときに、前記操作部において添付される時刻データに基づいて、前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納し、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する収集ユニット。
【請求項１４】
各部品で生成されるデータが収集される操作部を設けたコントローラを介して収集されたデータを一時的に格納するバッファと、前記データに添付される時刻データに基づいて時系列に並べ換える手段と、を含み、各部品からデータを収集する収集ユニットで実行されるプログラムを読み取り可能に記録する記録媒体あって、
前記各部品で生成されたデータを、前記コントローラを介して受信したときに、前記操作部において添付される時刻データに基づいて、前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納する手順と、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する手順と、
を少なくとも有するプログラムを読み取り可能に記録する記録媒体。
【請求項１５】
基板処理装置を構成する各部品で生成されるデータを収集するデータ収集工程と、
前記各部品を動作させて基板に所定の処理する基板処理工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、
前記データ収集工程は、
前記各部品で生成されたデータを受信したときに、前記制御部において添付される時刻データに基づいて、送信される前記データを前記時刻データ順に、前記バッファ内に格納する手順と、
前記データが前記バッファに所定の期間格納されない場合、前記時刻データのみの空データを前記バッファ内に格納する手順と、を含み、
前記データ収集工程は前記基板処理工程と並行して実行される半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】処理システム、基板処理装置、処理システムのデータ処理方法、収集ユニット及び記録媒体並びに半導体装置の製造方法