【手続補正書】
【提出日】平成25年12月26日(2013.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出される液滴を基板上の多数位置に着弾させて塗布する液滴塗布方法において、
撮像装置の撮像視野を前記基板上の複数個の液滴を含む第１の撮像範囲に位置付け、前記第１の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された複数個の液滴の画像を画像処理装置により画像処理することにより、前記複数個の液滴の内、少なくとも１つの液滴の着弾位置を基準位置とし、他の液滴の着弾位置は前記基準位置との相対位置関係からそれぞれ検出する第１の検出工程と、
前記基板と前記撮像装置の相対移動により、前記撮像装置の次の撮像範囲を、前記第１の撮像範囲に含まれていた前記少なくとも１つの液滴と前記第１の撮像範囲に含まれていなかった新たな液滴を含む第２の撮像範囲とし、この第２の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記新たな液滴の着弾位置を前記基準位置に対する位置として検出する第２の検出工程とを有することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項２】
前記撮像装置による前記第２の撮像範囲の撮像時に、前記基準位置とされた前記少なくとも１つの液滴に前記撮像装置の焦点を合わせるように、前記基板と前記撮像装置をその対向方向において相対移動させる請求項１に記載の液滴塗布方法。
【請求項３】
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出される液滴を基板上の多数位置に着弾させて塗布する液滴塗布装置において、
前記塗布ヘッドと前記基板とを基板面に沿う方向に相対的に移動させる第１の相対移動装置と、
前記ノズルから吐出されて前記基板に着弾した液滴を撮像する撮像装置と、
この撮像装置により撮像された液滴の画像を画像処理することにより前記液滴の着弾位置を検出する画像処理装置と、
前記塗布ヘッドと、前記第１の相対移動装置と、前記撮像装置と、前記画像処理装置の駆動を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は、
前記撮像装置の撮像視野を前記基板上の複数個の液滴を含む第１の撮像範囲に位置付け、前記第１の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された複数個の液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記複数個の液滴の内、少なくとも１つの液滴の着弾位置を基準位置とし、他の液滴の着弾位置は前記基準位置との相対位置関係からそれぞれ検出するとともに、
前記基板と前記撮像装置の相対移動により、前記撮像装置の次の撮像範囲を、前記第１の撮像範囲に含まれていた前記少なくとも１つの液滴と前記第１の撮像範囲に含まれていなかった新たな液滴を含む第２の撮像範囲とし、この第２の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記新たな液滴の着弾位置を前記基準位置に対する位置として検出することを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項４】
前記基板と前記撮像装置とをそれらの対向する方向において相対的に移動させる第２の相対移動装置を備え、
前記制御装置は、前記撮像装置による前記第２の撮像範囲の撮像時に、前記基準位置とされた前記少なくとも１つの液滴に前記撮像装置の焦点を合わせるように、前記第２の相対移動装置を制御する請求項３に記載の液滴塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明による液滴塗布方法は、
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出される液滴を基板上の多数位置に着弾させて塗布する液滴塗布方法において、
撮像装置の撮像視野を前記基板上の複数個の液滴を含む第１の撮像範囲に位置付け、前記第１の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された複数個の液滴の画像を画像処理装置により画像処理することにより、前記複数個の液滴の内、少なくとも１つの液滴の着弾位置を基準位置とし、他の液滴の着弾位置は前記基準位置との相対位置関係からそれぞれ検出する第１の検出工程と、
前記基板と前記撮像装置の相対移動により、前記撮像装置の次の撮像範囲を、前記第１の撮像範囲に含まれていた前記少なくとも１つの液滴と前記第１の撮像範囲に含まれていなかった新たな液滴を含む第２の撮像範囲とし、この第２の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記新たな液滴の着弾位置を前記基準位置に対する位置として検出する第２の検出工程とを有するようにしたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明による液滴塗布装置は、
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出される液滴を基板上の多数位置に着弾させて塗布する液滴塗布装置において、
前記塗布ヘッドと前記基板とを基板面に沿う方向に相対的に移動させる第１の相対移動装置と、
前記ノズルから吐出されて前記基板に着弾した液滴を撮像する撮像装置と、
この撮像装置により撮像された液滴の画像を画像処理することにより前記液滴の着弾位置を検出する画像処理装置と、
前記塗布ヘッドと、前記第１の相対移動装置と、前記撮像装置と、前記画像処理装置の駆動を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は、
前記撮像装置の撮像視野を前記基板上の複数個の液滴を含む第１の撮像範囲に位置付け、前記第１の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された複数個の液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記複数個の液滴の内、少なくとも１つの液滴の着弾位置を基準位置とし、他の液滴の着弾位置は前記基準位置との相対位置関係からそれぞれ検出するとともに、
前記基板と前記撮像装置の相対移動により、前記撮像装置の次の撮像範囲を、前記第１の撮像範囲に含まれていた前記少なくとも１つの液滴と前記第１の撮像範囲に含まれていなかった新たな液滴を含む第２の撮像範囲とし、この第２の撮像範囲において前記撮像装置により撮像された液滴の画像を前記画像処理装置により画像処理することにより、前記新たな液滴の着弾位置を前記基準位置に対する位置として検出するようにしたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明によれば、基板に対する液滴の着弾位置の検出精度を向上させることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
液滴塗布装置１０が備える各塗布ヘッド２０の各ノズル２１から吐出される液滴を基板Ｋの多数位置の凹部に塗布するに際しては、塗布ヘッド２０を回転機構によりＹ軸方向に対して傾け、塗布ヘッド２０の相隣るノズル２１のＹ軸方向ピッチを、基板移動テーブル１１上に載置した基板Ｋの凹部のうち、同一色を着色すべき凹部のＹ軸方向ピッチに合せる。そして、基板移動テーブル１１のＹ軸移動装置１２を制御装置５０により駆動し、基板移動テーブル１１上の基板Ｋを塗布ヘッド２０の下方で塗布ヘッド２０に対してＸ方向へ相対移動させながら、塗布ヘッド２０の各ノズル２１のそれぞれから吐出される液滴を予め設定された滴下タイミングｔ（滴下時間間隔）で順に基板Ｋの同一色を着色すべき凹部内に塗布する。例えば、塗布ヘッド２０の各ノズル２１から赤色Ｒのインクを吐出する場合、赤色を着色する凹部のそれぞれに対してインクを塗布する。尚、塗布ヘッド２０の各ノズル２１からの液滴Ｅの吐出周波数（滴下タイミングｔ）を変更することにより、基板Ｋに対するＸ軸方向の塗布ピッチｐを調整することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
（Ａ）吐出工程
基板移動テーブル１１に検査用基板ＫＡを載置し、製品用基板Ｋに対する液滴塗布動作と同様に、基板移動テーブル１１のＸ軸移動装置１３を制御装置５０により駆動し、基板移動テーブル１１上の検査用基板ＫＡを塗布ヘッド２０の下方で塗布ヘッド２０に対してＸ方向へ所定の速度で相対移動させ、塗布ヘッド２０における検査用基板ＫＡとの上記相対移動方向であるＸ方向に直交するＹ方向に一定のピッチで並置されている複数のノズル２１から滴下タイミングｔで吐出される各液滴Ｅを、検査用基板ＫＡ上で製品用基板Ｋの各凹部に対応する位置に定めた各塗布範囲に着弾させる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
（Ｂ−１）第１の検出工程（図３、図４）
（１）撮像装置３０の撮像視野を検査用基板ＫＡ上の３個以上、本実施例では１２個（Ｘ方向３個、Ｙ方向４個）の液滴Ｅを含む大きさの矩形とする。まず、この視野範囲を検査用基板ＫＡ上に、Ｙ方向６個、Ｘ方向５個で行列状に塗布された液滴（図３参照）のうち、右下に位置する液滴から数えて、Ｙ方向左側に４つ、Ｘ方向上側に３つの液滴を含む第１の撮像範囲Ｆ１に位置付けるように検査用基板ＫＡと撮像装置３０の水平方向の相対位置をＹ軸移動装置１２及びＸ軸移動装置１３を制御して調整する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
（Ｂ−２）第２の検出工程（図３、図４）
（１）基板移動テーブル１１をＹ軸移動装置１２、Ｘ軸移動装置１３により移動し、検査用基板ＫＡを撮像装置３０に対するＸＹ方向に相対移動させ、撮像装置３０の画像視野を次の撮像範囲である第２の画像範囲Ｆ２に位置付ける。第２の画像範囲Ｆ２は、第１の撮像範囲Ｆ１に含まれていた少なくとも２個の液滴、本実施例では第１の画像範囲Ｆ１の左上にＹ方向に並んだ２個の液滴Ｅ２ａ、Ｅ２ｂと、第１の撮像範囲Ｆ１に含まれていなかった新たな液滴Ｅｊからなる検査用基板ＫＡ上の３個以上、本実施例では２個の液滴Ｅ２ａ、Ｅ２ｂのうち右側の液滴Ｅ２ａから数えて、Ｙ方向左側に４つ、Ｘ方向上側に３つの１２個（Ｘ方向３個、Ｙ方向４個）の液滴Ｅを含む視野範囲である。即ち、第１の撮像範囲Ｆ１と第２の撮像範囲Ｆ２は、少なくとも２個の仲介点、本実施例では２個の仲介液滴Ｅ２ａ、Ｅ２ｂを共有して一部重なるものになる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
そして、前述（Ａ）で塗布ヘッド２０の各ノズル２１から吐出される液滴Ｅを検査用基板ＫＡ上に着弾させた際の、検査用基板ＫＡの塗布ヘッド２０に対する相対移動方向であるＸ方向に沿う方向で、液滴Ｅの着弾位置の位置ずれがあったときには、当該液滴Ｅに対応するノズル２１の前述（Ａ）の滴下タイミングｔを調整することにより、その位置ずれを修正する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
一方、検査用基板ＫＡの塗布ヘッド２０に対する相対移動方向と直交する方向であるＹ方向で液滴Ｅの着弾位置に位置ずれがあったときには、位置ずれが許容値を越えるか否かを判別し、許容値を越える場合には、塗布実行不可能としてその旨を作業者に報知する警報をモニタ等の表示装置に表示させる。即ち、ノズル２１は、塗布ヘッド２０に所定のピッチで形成されているので、個別に位置調整することができない。そのため、Ｙ方向で液滴Ｅの着弾位置に位置ずれがあったときには、いずれかのノズル２１からの液滴の吐出方向に何らかの原因により曲がりが生じているなど不具合が生じていることが考えられるので、この不具合を解消するためのメンテナンスが必要となるためである。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（ｃ）基板が撮像装置３０に対して相対移動したとき、基板上の第２の撮像範囲Ｆ２が撮像装置３０に相対する高さ位置が、基板上の第１の撮像範囲Ｆ１が撮像装置３０に相対する高さ位置に対してずれると、撮像装置３０の焦点から第２の撮像範囲Ｆ２がずれるものになり、第２の撮像範囲Ｆ２内の液滴の撮像位置の位置精度を損なう。従って、撮像装置３０による第２の撮像範囲Ｆ２の撮像時に、第１の撮像範囲Ｆ１に含まれていた少なくとも２個の仲介液滴Ｅ２ａ、Ｅ２ｂに撮像装置３０の焦点を合せるように、基板を撮像装置３０に対する高さ方向（焦点深度の方向）に相対移動させることにより、第２の撮像範囲Ｆ２内の液滴の撮像位置の位置精度を向上し、ひいては液滴の着弾位置の検出精度を向上できる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2013240788.tif 000001
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2013240788.tif 000002