【手続補正書】
【提出日】平成26年5月22日(2014.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１周波数で変調された基準光から基準信号を取得し、前記第１周波数での変調に加えて対象物の移動に起因して第２周波数で変調された測定光から測定信号を取得し、前記基準信号と前記測定信号との位相差を算出して前記対象物の位置を測定する測定装置であって、
前記第２周波数をｆｄとして、
前記測定信号を前記第１周波数で復調することによって前記第２周波数の成分、周波数がｎ×ｆｄ（ただしｎ＝１／２、２、３、・・・）の前記第２周波数の周期誤差成分及び高調波成分を含む信号を生成する復調部と、
前記復調部で生成された信号から前記高調波成分を除去して前記第２周波数の成分及び前記周期誤差成分を含む信号を出力するデシメーションフィルタと、
前記デシメーションフィルタから出力された信号に含まれる前記周期誤差成分を検出する検出部と、
前記デシメーションフィルタから出力された信号から前記検出部により検出された前記周期誤差成分を除去して前記第２周波数の成分の信号を出力する除去部と、
前記除去部から出力された信号に基づいて前記対象物の位置を演算する演算部と、
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記検出部は、前記デシメーションフィルタから出力された信号をフーリエ変換演算することによって前記周期誤差成分の振幅および位相を算出し、該算出された振幅及び位相を用いて前記除去部で除去すべき周期誤差成分の信号を生成し、
前記除去部は、前記検出部により生成された信号を用いて前記周期誤差成分を除去する、
ことを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記検出部は、前記デシメーションフィルタから出力された信号を前記周期誤差成分の周波数で復調し、該復調された信号から高調波成分を除去し、該高調波成分が除去された信号から前記周期誤差成分の振幅と位相を算出し、該算出された振幅及び位相を用いて前記除去部で除去すべき周期誤差成分の信号を生成し、
前記除去部は、前記検出部により生成された信号を用いて前記周期誤差成分を除去する、
ことを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記演算部は、前記デシメーションフィルタから出力された信号から前記基準信号と前記測定信号の位相差の変化量又は前記対象物の位置の変化量の暫定値を演算し、該演算された変化量の暫定値から前記第２周波数の暫定値を演算し、
前記検出部は、前記演算部により演算された前記第２周波数の暫定値を使用して前記周期誤差成分の周波数の信号を生成し、該生成された信号を用いて前記デシメーションフィルタから出力された信号を復調する、
ことを特徴とする請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
第１周波数で変調された基準光から基準信号を取得し、前記第１周波数での変調に加えて対象物の移動に起因して第２周波数で変調された測定光から測定信号を取得し、前記基準信号と前記測定信号との位相差を算出して前記対象物の位置を測定する測定装置であって、
前記第１周波数をｆｒとし、前記第２周波数をｆｄとして、ｎ＝１／２、−１、２、３、・・・とし、
前記測定信号を前記第１周波数で復調することによって前記第２周波数の成分、周波数がｎ×ｆｄである前記第２周波数の周期誤差成分及び高調波成分を含む信号を生成する復調部と、
前記復調部で生成された信号から前記高調波成分を除去して前記第２周波数の成分及び前記周期誤差成分を含む信号を出力するデシメーションフィルタと、
前記測定信号を（ｆｒ＋ｎ×ｆｄ）の周波数で復調することによって前記周期誤差成分を検出する検出部と、
前記デシメーションフィルタから出力された信号から前記検出部により検出された前記周期誤差成分を除去して前記第２周波数の成分の信号を出力する除去部と、
前記除去部から出力された信号に基づいて前記対象物の位置を演算する演算部と、
を備えることを特徴とする測定装置。
【請求項６】
前記検出部は、前記（ｆｒ＋ｎ×ｆｄ）の周波数で前記測定信号を復調し、該復調された信号から高調波成分を除去し、該高調波成分が除去された信号から前記周期誤差成分の振幅と位相を算出し、該算出された振幅及び位相を用いて前記除去部で除去すべき周期誤差成分の信号を生成し、
前記除去部は、前記検出部により生成された信号を用いて前記周期誤差成分を除去する、
ことを特徴とする請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
前記演算部は、前記デシメーションフィルタから出力された信号から前記基準信号と前記測定信号の位相差の変化量又は前記対象物の位置の変化量の暫定値を演算し、該演算された変化量の暫定値から前記第２周波数の暫定値を演算し、
前記検出部は、前記演算部により演算された前記第２周波数の暫定値を使用して前記（ｆｒ＋ｎ×ｆｄ）の周波数の信号を生成し、該生成された信号を用いて前記測定信号を復調する、
ことを特徴とする請求項６に記載の測定装置。
【請求項８】
前記復調部による復調に使用する前記第１周波数の信号を前記基準信号から生成する位相同期部を含む、ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記デシメーションフィルタは、ＣＩＣ（Ｃａｓｃａｄｅｄ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｏｒ  Ｃｏｍｂ）フィルタであることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記測定装置はヘテロダイン干渉計であることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１１】
第１周波数で変調された基準光から基準信号を取得し、前記第１周波数での変調に加えて対象物の移動に起因して第２周波数で変調された測定光から測定信号を取得し、前記基準信号と前記測定信号との位相差を算出して前記対象物の位置を測定する測定方法であって、
前記第２周波数をｆｄとして、
前記測定信号を前記第１周波数で復調することによって前記第２周波数の成分、周波数がｎ×ｆｄ（ただしｎ＝１／２、２、３、・・・）の前記第２周波数の周期誤差成分及び高調波成分を含む信号を生成する生成工程と、
該生成された信号から前記高調波成分を除去して前記第２周波数の成分及び前記周期誤差成分を含む信号を出力する第１出力工程と、
前記第１出力工程で出力された信号に含まれる前記周期誤差成分を検出する検出工程と、
前記第１出力工程で出力された信号から該検出された前記周期誤差成分を除去して前記第２周波数の成分の信号を出力する第２出力工程と、
前記第２出力工程で出力された信号に基づいて前記対象物の位置を演算して求める演算工程と、
を有することを特徴とする測定方法。
【請求項１２】
第１周波数で変調された基準光から基準信号を取得し、前記第１周波数での変調に加えて対象物の移動に起因して第２周波数で変調された測定光から測定信号を取得し、前記基準信号と前記測定信号との位相差を算出して前記対象物の位置を測定する測定方法であって、
前記第１周波数をｆｒとし、前記第２周波数をｆｄとして、ｎ＝１／２、−１、２、３、・・・とし、
前記測定信号を前記第１周波数で復調することによって前記第２周波数の成分、周波数がｎ×ｆｄである前記第２周波数の周期誤差成分及び高調波成分を含む信号を生成する生成工程と、
該生成された信号から前記高調波成分を除去して前記第２周波数の成分及び前記周期誤差成分を含む信号を出力する第１出力工程と、
前記測定信号を（ｆｒ＋ｎ×ｆｄ）の周波数で復調することによって前記周期誤差成分を検出する検出工程と、
前記第１出力工程で出力された信号から該検出された前記周期誤差成分を除去して前記第２周波数の成分の信号を出力する第２出力工程と、
前記第２出力工程で出力された信号に基づいて前記対象物の位置を演算して求める演算工程と、
を有することを特徴とする測定方法。