【手続補正書】
【提出日】平成26年3月6日(2014.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカ系多孔質膜の製造方法において、
アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、沸点１２５〜１８０℃で２０℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物を霧状に噴出させることにより、透光基材上にシリカ系前駆体を製膜する製膜工程、
及び、該シリカ系前駆体を加熱してシリカ系多孔質膜とする加熱工程を含むことを特徴とするシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項２】
前記炭素数１〜３の低級アルコールに対する沸点１２５〜１８０℃で２０℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒のモル比が、０．１〜５０（ｍｏｌ／ｍｏｌ）である請求項１に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項３】
シリカ系多孔質膜の製造方法において、
アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、沸点１２５〜１８０℃で２５℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物を霧状に噴出させることにより、透光基材上にシリカ系前駆体を製膜する製膜工程、
及び、該シリカ系前駆体を加熱してシリカ系多孔質膜とする加熱工程を含むことを特徴とするシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項４】
前記炭素数１〜３の低級アルコールに対する沸点１２５〜１８０℃で２５℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒のモル比が、０．１〜５０（ｍｏｌ／ｍｏｌ）である請求項３に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項５】
前記界面活性剤が、アルキレンオキサイド部位を有する非イオン性高分子である請求項１ないし４のいずれか１項に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項６】
前記アルコキシシラン化合物が、下記アルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と下記アルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物、或いは、下記アルコキシシラン類群IIIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物、或いは、下記アルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物及び／又は下記アルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と下記アルコキシシラン類群IIIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
アルコキシシラン類群Ｉ：テトラアルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるテトラアルコキシシラン類群
アルコキシシラン類群II：上記テトラアルコキシシラン類以外のアルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるその他のアルコキシシラン類群
アルコキシシラン類群III：上記テトラアルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と上記他のアルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物との部分縮合物群
【請求項７】
前記製膜工程で、５ｋＰａ以上５００ｋＰａ以下の気体により前記シリカ系組成物を霧状に噴出させるノズルを用い、かつ該ノズルと前記透光基材との距離を３ｃｍ以上１００ｃｍ以下として該シリカ系組成物を噴出させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項８】
前記製膜工程の後に粗乾燥工程を行い、該粗乾燥工程後の前記シリカ系前駆体の膜厚が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項９】
前記シリカ系多孔質膜が光学フィルターであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項１０】
前記光学フィルターが反射防止膜であることを特徴とする請求項９に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項１１】
前記反射防止膜が太陽電池用反射防止膜であることを特徴とする請求項１０に記載のシリカ系多孔質膜の製造方法。
【請求項１２】
アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、その他の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物であって、
該その他の有機溶媒が、沸点１２５〜１８０℃、２０℃の蒸気圧２．０ｋＰａ以下で、分子量が１００以上であることを特徴とするシリカ系組成物。
【請求項１３】
アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、その他の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物であって、
該その他の有機溶媒が、沸点１２５〜１８０℃、２５℃の蒸気圧２．０ｋＰａ以下で、分子量が１００以上であることを特徴とするシリカ系組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、このような知見に基いて達成されたものであり、本発明の第一の要旨は、シリカ系多孔質膜の製造方法において、アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、沸点１２５〜１８０℃で２０℃又は２５℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物を霧状に噴出させることにより、透光基材上にシリカ系前駆体を製膜する製膜工程、及び、該シリカ系前駆体を加熱してシリカ系多孔質膜とする加熱工程を含むことを特徴とするシリカ系多孔質膜の製造方法、に存する（請求項１，３）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明において、炭素数１〜３の低級アルコールと沸点１２５〜１８０℃で２０℃又は２５℃の蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒とは、炭素数１〜３の低級アルコールに対する沸点１２５〜１８０℃で蒸気圧が２．０ｋＰａ以下の有機溶媒のモル比が、０．１〜５０（ｍｏｌ／ｍｏｌ）となるように用いることが好ましい（請求項２，４）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、界面活性剤としては、アルキレンオキサイド部位を有する非イオン性高分子が好ましい（請求項５）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、アルコキシシラン化合物としては、下記アルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と下記アルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物、或いは、下記アルコキシシラン類群IIIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物、或いは、下記アルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物及び／又は下記アルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と下記アルコキシシラン類群IIIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物を用いることが好ましい（請求項６）。
アルコキシシラン類群Ｉ：テトラアルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるテトラアルコキシシラン類群
アルコキシシラン類群II：上記テトラアルコキシシラン類以外のアルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるその他のアルコキシシラン類群
アルコキシシラン類群III：上記テトラアルコキシシラン類群Ｉより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と上記他のアルコキシシラン類群IIより選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物との部分縮合物群
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、製膜工程においては、５ｋＰａ以上５００ｋＰａ以下の気体によりシリカ系組成物を霧状に噴出させるノズルを用い、かつ該ノズルと前記透光基材との距離を３ｃｍ以上１００ｃｍ以下としてシリカ系組成物を噴出させることが好ましい（請求項７）。
また、製膜工程の後に粗乾燥工程を行い、該粗乾燥工程後の前記シリカ系前駆体の膜厚が１０μｍ以下であることが好ましい（請求項８）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のシリカ系多孔質膜の製造方法により製造されるシリカ系多孔質膜は、光学フィルター、特に、反射防止膜であることが好ましく（請求項９，１０）、とりわけ、太陽電池用反射防止膜であることが好ましい（請求項１１）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第二の要旨は、アルコキシシラン類、その加水分解物及び部分縮合物からなるアルコキシシラン類群より選ばれる少なくとも１種のアルコキシシラン化合物と、界面活性剤と、炭素数１〜３の低級アルコールと、その他の有機溶媒と、水とを含むシリカ系組成物であって、該その他の有機溶媒が、沸点１２５〜１８０℃、２０℃又は２５℃の蒸気圧２．０ｋＰａ以下で、分子量が１００以上であることを特徴とするシリカ系組成物、に存する（請求項１２，１３）。