(57)【要約】【課題】静電容量式のタッチパネルを使用した電子機器の製造時に、静電容量式のタッチパネルの動作確認を効率良く正確に実施可能なタッチパネル検査装置を提供する。【解決手段】静電容量式タッチパネル１を備える電子機器３を導電被覆された収容部３０に収容し、導電被覆された導電性接触子２０を移動機構で移動して静電容量式タッチパネル１にタッチさせ、タッチ位置をカメラ４４で撮影し、制御装置４０によってカメラ４４で撮影されたタッチ位置と電子機器３の内部のタッチ位置検出回路で検出したタッチ位置とを照合してタッチパネル１の良否を検査するタッチパネルの検査装置５０であり、導電性接触子２０と収容部３０の導電部分にその接地条件を変更する容量可変コンデンサ２３，３３と可変抵抗器２４，３４を設け、導電性接触子２０と収容部３０の接地条件をそれぞれ人体による接地条件になるように調整してタッチパネル１の良否を検査する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電容量式タッチパネルに接触させる第１の導電性部材で被覆された導電性接触子を前記タッチパネルに対して３次元方向に移動させる移動機構と、
前記静電容量式タッチパネルを備える電子機器を取り外し可能に収容し、収容部は第２の導電性部材で被覆されている、前記電子機器の固定部と、
前記導電性接触子の前記タッチパネル上の接触位置を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置と、前記電子機器内にある前記導電性接触子の前記タッチパネルへの接触位置を検出するタッチ位置検出回路とに接続し、前記撮像装置と前記タッチ位置検出回路のそれぞれによる前記導電性接触子の前記タッチパネルへの接触位置の検出値を照合する制御装置とを備え、
前記第１の導電性部材の接地条件を変更する第１の特性パラメータ可変回路と、
前記第２の導電性部材の接地条件を変更する第２の特性パラメータ可変回路と
を設けたことを特徴とするタッチパネル検査装置。
【請求項２】
前記第１と第２の特性パラメータ可変回路は、それぞれ接地条件として、抵抗値と静電容量を変更することを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項３】
前記第１の特性パラメータ可変回路は、前記タッチパネルを触れた時の結合静電容量の変化と、前記導電性接触子の結合容量変化とがマッチングするように、前記第１の導電性部材の接地条件を調整することを特徴とする請求項１又は２に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項４】
前記第２の特性パラメータ可変回路は、前記タッチパネルを備える電子機器を把持した時の結合静電容量の変化と、前記タッチ位置検出回路で計測した結合容量値の変化とがマッチングするように、前記第２の導電性部材の接地条件を調整することを特徴とする請求項１又は２に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項５】
静電容量式タッチパネルに接触させる第１の導電性部材で被覆された導電性接触子が複数設けられており、前記移動機構はそれぞれの導電性接触子を独立に移動させることができるように構成され、
前記第１の特性パラメータ可変回路は、前記複数の導電性接触子に対してそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願はタッチパネル検査装置に関する。以下に説明される実施の形態では、実施例として静電容量式タッチパネルの検査装置が説明される。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話、ＰＤＡ（携帯用個人情報端末）、パーソナルコンピュータやゲーム機の画面にタッチパネルを備え、入力にタッチパネルを利用する電子機器がある。入力手段にタッチパネルを備えた電子機器では、投影型静電容量式のタッチパネルが主流になっている。
【０００３】
投影型の静電容量式タッチパネルは、誘電体で構成されるフロントパネルの裏面に駆動電極と受信電極をマトリクス状に配置したものであり、駆動電極に印加された交流信号や駆動パルスを受信電極で検出している。そして、フロントパネルに指が触れると、電界が変化して静電容量が変化するので、人体が触れた時の静電容量の変化を受信電極に接続された検出回路で検出して触れた場所を検出して動作する。
【０００４】
一方、投影型の静電容量式タッチパネルは、検出回路が正しく接地された環境では正常な波形が検出できるが、小型端末のような電子機器では、機器を人の手で持ってタッチパネルを操作するため、ノイズの影響を非常に受け易い。そして、ノイズの影響を受けると、タッチパネルが誤動作し易くなる。そこで、投影型の静電容量式タッチパネルを採用した電子機器では、電子機器の組み立て後に全数検査を行い、実際にタッチパネルを人の手で触って動作確認を行っていた。
【０００５】
ところが、動作確認を人手によって行う場合、人体の条件が湿度や温度、指によるタッチパネル接触時の接触面積等によって変化するために、たまたま良い条件で検査した場合に、本来組み立て不良となる電子機器を見逃す可能性があった。例えば、タッチパネルをタッチする指では、静電容量が小さく、抵抗値が大きく、接触面積が小さければ応答が悪化していた。また、電子機器を保持する持ち手の場合は、静電容量が大きく、抵抗値が大きく、接触面積が小さければ応答が悪化していた。そこで、擬似指を使用した静電容量式のタッチパネルの検査装置が特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−４４７３０号公報（図１２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載のタッチパネルの検査装置における擬似指は、円柱部材の先端に導電体部を貼り付けただけのものであり、擬似指をスクリーンに乗せて導電体部を接地することにより、タッチパネルをタッチしたと擬似するものであった。このため、特許文献１に記載のタッチパネルの検査装置における擬似指は、人体条件を考慮したものではなく、抵抗値や静電容量などの特性パラメータが固定で、常に良い条件で検査を行うために、組立不良品を見逃す可能性があった。
【０００８】
本出願は、静電容量式のタッチパネルを使用した電子機器において、電子機器製造時に静電容量式のタッチパネルの動作確認を効率良く正確に実施することが可能なタッチパネル検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成する本出願のタッチパネル検査装置は、静電容量式タッチパネルに接触させる第１の導電性部材で被覆された導電性接触子を前記タッチパネルに対して３次元方向に移動させる移動機構と、静電容量式タッチパネルを備える電子機器を取り外し可能に収容し、収容部は第２の導電性部材で被覆されている電子機器の固定部と、導電性接触子のタッチパネル上の接触位置を撮影する撮像装置と、撮像装置と電子機器内にある導電性接触子のタッチパネルへの接触位置を検出するタッチ位置検出回路とに接続し、撮像装置とタッチ位置検出回路のそれぞれによる導電性接触子のタッチパネルへの接触位置の検出値を照合する照合装置とを備えたタッチパネルの検査装置において、第１の導電性部材の接地条件を変更する第１の特性パラメータ可変回路と、第２の導電性部材の接地条件を変更する第２の特性パラメータ可変回路とを設けたことを特徴としている。
【００１０】
第１の特性パラメータ可変回路は、タッチパネルを人の指で触れた時の結合静電容量の変化と、導電性接触子の結合容量変化とがマッチングするように、第１の導電性部材の接地条件を調整できる。また、第２の特性パラメータ可変回路は、タッチパネルを備える電子機器を人の手で把持した時の結合静電容量の変化と、タッチ位置検出回路で計測した結合容量値の変化とがマッチングするように、第２の導電性部材の接地条件を調整できる。
【発明の効果】
【００１１】
本出願によれば、タッチパネル検査装置に、人体と同じ程度の接触面積を持つ擬似指部材としての導電性接触子を設け、導電性接触子に付加した可変の抵抗器や静電容量が可変のコンデンサなどを用いて特性パラメータを調整することにより、環境条件に関わらず、正確な検査を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は静電容量式タッチパネルを備えた電子機器の製造後の従来のタッチパネルの動作試験の実施方法を説明する図、（ｂ）はタッチパネルに組立不良がある上に動作試験の計測条件が悪い場合のタッチパネルの結合容量を示す特性図、（ｃ）はタッチパネルに組立不良があったがタッチパネルの動作試験の計測条件が良い場合のタッチパネルの結合容量を示す特性図である。
【図２】（ａ）は静電容量式タッチパネルの構造を示す組立斜視図、（ｂ）は（ａ）のようにして組み立てられた静電容量式タッチパネルの平面図である。
【図３】従来の静電容量式タッチパネルを備えた電子機器の製造後のタッチパネルの動作試験の実施方法における問題部分をどのように改良したかを説明する説明図である。
【図４】本出願の第１の実施例のタッチパネル検査装置の構成を示す構成図である。
【図５】本出願の第２の実施例のタッチパネル検査装置の構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を用いて本出願のタッチパネル検査装置の実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明するが、本出願を説明する前に、従来のタッチパネル検査装置の構成と課題について説明する。
【００１４】
図１（ａ）は、筐体２の表示画面側に静電容量式タッチパネル１を備えた電子機器３のタッチパネル１の動作試験を、電子機器３の製造後に行う方法を示すものである。電子機器３には、タッチパネル１と筐体２の間にも抵抗成分Ｒと容量成分Ｃがあるので、タッチパネル１と筐体２を分解して示してある。電子機器３のタッチパネル１の動作試験では、筐体２を人の手５の上に載せ、タッチパネル１を人の指４でタッチして動作試験を行う。
【００１５】
タッチパネル１は、図２（ａ）に示すように、基板層１０の表面に表側透明電極１３が配置された透明電極膜（第１層）１１を積層し、裏面に裏側透明電極１４が配置された透明電極膜（第２層）１２を積層して形成される。第１層１１と第２層１２の外側に積層される保護膜の図示は省略してある。表側透明電極１３の各個は、第１層１１の上に千鳥格子状に配置され、長手方向に並んだ表側透明電極１３同士は電気的に接続されて表側引出し線１５で引き出されて外部の装置に接続されている。短手方向に並んだ表側透明電極１３同士は電気的に接続されていない。
【００１６】
また、裏側透明電極１４の各個は、第２層１２の上に千鳥格子状に配置され、短手方向に並んだ表側透明電極１４同士は電気的に接続されて裏側引出し線１６で長手方向に引き出されて外部の装置に接続されている。長手方向に並んだ裏側透明電極１４同士は電気的に接続されていない。更に、基板層１０の表面に第１層１１を積層し、裏面に第２層１２を積層した状態では、図２（ｂ）に示すように、表側透明電極１３の各個と裏側透明電極１４の各個とは、積層方向において重なり合わないようになっている。
【００１７】
図１（ａ）に戻って、指４で行う電子機器３のタッチパネル１の動作試験では、指４のタッチパネル１へのタッチによって、指４が電極となってグランドとタッチパネル１の間に抵抗成分Ｒと容量成分Ｃ（特性パラメータ）が接続される。また、筐体２を手５で保持することにより、手５が電極となってグランドと筐体２との間にも抵抗成分Ｒと容量成分Ｃ（特性パラメータ）が接続される。
【００１８】
ところが、人手でタッチパネル１の動作を確認する場合、人体の条件が湿度や温度、或いは押し方（接触面積）などによって変化するため、電子機器３の組立不良を見逃す可能性があった。即ち、図１（ｂ）に示すように、計測条件が悪く、組立不良がある場合はタッチパネル１へのタッチによる結合容量の変化が閾値に達せず不良となる。一方、計測条件が良い場合は、組立不良があってもタッチパネル１へのタッチによる結合容量の変化が図１（ｃ）に示すように閾値に達してしまい、組立不良の電子機器３が良品と判断されてしまう。
【００１９】
一方、特許文献１に記載のタッチパネルの検査装置のように擬似指を用いても、検査時の擬似指が人体条件を備えていなければ、人手によるタッチパネルの検査と同じ結果になってしまう。そこで、本出願のタッチパネル検査装置では、図３に示すように、指４の代わりに擬似指として使用する導電性接触子２０と、持ち手５の代わりに使用する電子機器収容体３０が人体条件を満足できるようにした。
【００２０】
具体的には、導電性接触子２０は、先端部がドーム状の円柱部材として構成し、材質をゴムなどの弾性部材２１とし、この弾性部材２１の後端部を除く外周部に第１の導電性部材による導電被覆２２を施した。導電性接触子２０を弾性部材２１から構成することにより、導電性接触子２０でタッチパネルをタッチした時に導電性接触子２０の先端部が変形し、接触部２５の面積を大きくして人の指で押した時と同じ程度の接触面を確保することができる。更に、導電性接触子２０の導電被覆２２とグランドとの間には、容量可変コンデンサ２３と可変抵抗器２４の並列回路を付加した。なお、導電性接触子２０は、弾性部材２１の代わりに、弾性力を備えた導電性高分子材料で構成すれば、導電被覆は不要である。
【００２１】
同様に、電子機器収容体３０は、電子機器の形状に合わせた凹部３５を備えた平板状に形成し、全体の材質を弾性部材３１とし、この弾性部材３１にある凹部３５の底面と内周面に第２の導電性部材による導電被覆３２を施した。電子機器収容体３０を弾性部材３１から構成することにより、凹部３５の開口部側の内周面の内法寸法を底面の寸法より小さくして、電子機器の凹部３５への挿入動作或いは凹部３５からの取出動作を、凹部３５の開口部を変形させて行うことができる。凹部３５内に収容された電子機器はその側面と底面が、人手同様に導電被覆３２に密着性を確保した状態で導通保持される。更に、電子機器収容体３０の導電被覆３２とグランドとの間には、容量可変コンデンサ３３と可変抵抗器３４の並列回路を付加した。なお、導電性接触子２０は、弾性部材３１の代わりに、弾性力を備えた導電性高分子材料で構成すれば、導電被覆は不要である。第１と第２の導電部材は同じで良い。
【００２２】
図４は、本出願の第１の実施例のタッチパネル検査装置５０の構成を示すものである。導電性接触子２０は、前述のように先端部がドーム状の弾性部材２１の後端部を除く外周部に導電被覆２２を施して形成されている。また、電子機器収容体３０は、検査台４６に固定されており、弾性部材３１と弾性部材３１に設けられた凹部３５の内周面に施された導電被覆３２を備える。凹部３５の開口部３６の内周面の内法寸法は底面の寸法より小さくしてあり、電子機器３の凹部３５への挿入動作或いは凹部３５からの取出動作を、開口部３６を変形させて行うようになっている。更に、電子機器収容体３０の導電被覆３２とグランドとの間には、容量可変コンデンサ３３と可変抵抗器３４の並列回路を付加した。
【００２３】
また、導電性接触子２０は、移動機構であるＸステージ４１、Ｙステージ４２及びＺステージ４３によってタッチパネル１に対して三次元方向に移動可能である。即ち、Ｘステージ４１とＹステージ４２によって導電性接触子２０はタッチパネル１のどこを押圧するかの位置決めがなされ、Ｚステージ４４によってタッチパネル１側に移動してタッチパネル１に所定の押圧力でタッチを行うことができる。この実施例では、導電性接触子２０がＺステージ４３に取り付けられており、Ｚステージ４３がＸステージ４１に取り付けられている。また、Ｙステージ４２は検査台４６を移動させるようになっている。導電性接触子２０は、弾性部材２１の代わりに、弾性力を備えた導電性高分子材料で構成すれば、導電被覆は不要である。
【００２４】
更に、検査台４６の上方には、タッチパネル１の全体を見渡せる位置にカメラ４４が設置されており、導電性接触子２０のタッチパネル１へのタッチ点を撮影できるようになっている。カメラ４４で撮影した画像は、コンピュータで構成された制御装置４０に入力される。また、制御装置４０は電子機器３の内部にあるタッチ位置検出回路（図示せず）に接続しており、導電性接触子２０がタッチパネル１にタッチした時のタッチ位置がタッチ位置検出回路で算出されて入力されるようになっている。制御回路４０は、カメラ４４で撮影された導電性接触子２０のタッチパネル１へのタッチ点と、タッチ位置検出回路で算出された導電性接触子３０のタッチパネル１への接触位置とを照合する。
【００２５】
ここで、以上のように構成されたタッチパネル検査装置５０を用いて行われる、電子機器３のタッチパネル１の検査方法について説明する。電子機器３のタッチパネル１の検査時は、まず、リファレンス（基準）となる電子機器を電子機器収容体３０の凹部３５に嵌め込む。次いで、この電子機器のタッチパネルを人手でタッチした時の容量変化特性とマッチングするように、導電性接触子２０の導電被覆２２に接続する容量可変コンデンサ２３と可変抵抗器２４を調整する。同様に、電子機器収容体３０の導電被覆３２に接続する容量可変コンデンサ３３と可変抵抗器３４を、電子機器を人手で保持した時の容量変化特性とマッチングするように調整する。
【００２６】
容量可変コンデンサ２３と可変抵抗器２４の調整においては、人手によるタッチのばらつきの範囲で、最も容量変化が小さい場合に合うように調整する。また、容量可変コンデンサ３３と可変抵抗器３４の調整においては、人手で電子機器を保持した時の静電容量の変化のばらつきの範囲で、最も容量変化が小さい場合に合うように調整する。この結果、電子機器に組立状態が悪くタッチパネルの機能が正常でないものがあっても、これを見逃す可能性が小さくなり、電子機器の不良判別の精度が向上する。
【００２７】
図５は、本出願の第２の実施例のタッチパネル検査装置５０Ａの構成を示すものである。第１の実施例のタッチパネル検査装置５０では、導電性接触子２０の数が１つだけであり、タッチパネル１の所定の位置にＸ，Ｙ，Ｚステージ４１，４２，４３によってタッチさせる、或いはタッチさせた後に横に移動させることしかできなかった。しかし近年、静電容量式のタッチパネルを採用した電子機器の表示画面上で２本の指を使用し、指の間隔を広げたり狭めたりすることで、電子機器に画像の拡大動作や縮小動作などを行わせることができるようになっている。本出願の第２の実施例のタッチパネル検査装置５０Ａは、このような２本の指の動作の検査を行うことができるものである。
【００２８】
第２の実施例のタッチパネル検査装置５０Ａが第１の実施例のタッチパネル検査装置５０と異なる点は、Ｚステージ４３の先端部に横移動機構４５が設けられている点である。そして、横移動機構４５には２つの導電性接触子２０と導電性接触子２０Ａとが取り付けられている。導電性接触子２０は横移動機構４５に対して固定であるが、導電性接触子２０Ａは、横移動機構４５によって導電性接触子２０と同じ高さ位置で、導電性接触子２０から遠ざかったり、導電性接触子２０に近づいたりできる。よって、横移動機構４５とＸステージ４１とを組み合わせれば、導電性接触子２０と導電性接触子２０Ａとを、タッチパネル上で指の間隔を開く動作と指の感覚を狭める動作に対応させて移動させることができる。
【００２９】
導電性接触子２０Ａは導電性接触子２０と同様に導電被覆２２Ａを施した弾性部材２１Ａを備えており、導電性接触子２０Ａの導電被覆２２Ａとグランドとの間には、容量可変コンデンサ２３Ａと可変抵抗器２４Ａの並列回路が付加されている。導電性接触子２０Ａも、弾性部材２１Ａの代わりに、弾性力を備えた導電性高分子材料で構成すれば、導電被覆は不要である。第２の実施例のタッチパネル検査装置５０Ａのその他の部分の構成は第１の実施例のタッチパネル検査装置５０の構成と同じであるので、同じ構成部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００３０】
なお、導電性接触子２０に対して導電性接触子２０Ａを水平方向に移動させる機構は図５に示した横方向移動機構４５に限定されるものではなく、Ｘステージ４１に別のＺステージを取り付ける方法などによっても実現できる。また、Ｚステージ４３の先端部に導電性接触子２０Ａを導電性接触子２０に対して同一平面上で回転させる機構を取り付ければ、指の回転動作についても検査することができる。
【００３１】
以上説明したように、本出願のタッチパネル検査装置では、静電容量式のタッチパネルを使用した電子機器において、電子機器製造時に静電容量式のタッチパネルの動作確認を効率良く正確に実施することが可能である。
【００３２】
以上、本出願を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。本出願の容易な理解のために、本出願の具体的な形態を以下に付記する。
【００３３】
（付記１）  静電容量式タッチパネルに接触させる第１の導電性部材で被覆された導電性接触子を前記タッチパネルに対して３次元方向に移動させる移動機構と、
前記静電容量式タッチパネルを備える電子機器を取り外し可能に収容し、収容部は第２の導電性部材で被覆されている、前記電子機器の固定部と、
前記導電性接触子の前記タッチパネル上の接触位置を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置と、前記電子機器内にある前記導電性接触子の前記タッチパネルへの接触位置を検出するタッチ位置検出回路とに接続し、前記撮像装置と前記タッチ位置検出回路のそれぞれによる前記導電性接触子の前記タッチパネルへの接触位置の検出値を照合する制御装置とを備え、
前記第１の導電性部材の接地条件を変更する第１の特性パラメータ可変回路と、
前記第２の導電性部材の接地条件を変更する第２の特性パラメータ可変回路と
を設けたことを特徴とするタッチパネル検査装置。
（付記２）  前記第１と第２の特性パラメータ可変回路は、それぞれ接地条件として、抵抗値と静電容量を変更することを特徴とする付記１に記載のタッチパネル検査装置。
（付記３）  前記第１の特性パラメータ可変回路は、前記タッチパネルを触れた時の結合静電容量の変化と、前記導電性接触子の結合容量変化とがマッチングするように、前記第１の導電性部材の接地条件を調整することを特徴とする付記１又は２に記載のタッチパネル検査装置。
（付記４）  前記第２の特性パラメータ可変回路は、前記タッチパネルを備える電子機器を把持した時の結合静電容量の変化と、前記タッチ位置検出回路で計測した結合容量値の変化とがマッチングするように、前記第２の導電性部材の接地条件を調整することを特徴とする付記１又は２に記載のタッチパネル検査装置。
（付記５）  静電容量式タッチパネルに接触させる第１の導電性部材で被覆された導電性接触子が複数設けられており、前記移動機構はそれぞれの導電性接触子を独立に移動させることができるように構成され、
前記第１の特性パラメータ可変回路は、前記複数の導電性接触子に対してそれぞれ設けられていることを特徴とする付記１から４の何れかに記載のタッチパネル検査装置。
【００３４】
（付記６）  前記導電性接触子の設置数は２個であり、前記移動機構は２個の導電性接触子の間隔を同一平面上で広げる、或いは狭めるように動作させることができるように構成されていることを特徴とする付記５に記載のタッチパネル検査装置。
（付記７）  前記導電性接触子の設置数は２個であり、前記移動機構は一方の導電性接触子を他方の導電性接触子に対して、同一平面上で回転させる動作を行わせることができるように構成されていることを特徴とする付記５に記載のタッチパネル検査装置。
（付記８）  前記第１の導電性部材で被覆された導電性接触子の本体部分は、弾性体で構成されていることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のタッチパネル検査装置。
（付記９）  前記第１の導電性部材で被覆された導電性接触子の本体部分は、導電性高分子材料で構成されていることを特徴とする付記１から７の何れかに記載のタッチパネル検査装置。
（付記１０）  前記第２の導電性部材で被覆されている前記電子機器の固定部の本体部分は、弾性体で構成されていることを特徴とする付記１から９の何れかに記載のタッチパネル検査装置。
【００３５】
（付記１１）  前記第２の導電性部材で被覆されている前記電子機器の固定部の本体部分は、柔軟な導電性高分子材料で構成されていることを特徴とする付記１から９の何れかに記載のタッチパネル検査装置。
【符号の説明】
【００３６】
１    タッチパネル
２    筐体
３    電子機器
１０    基板層
１１    第１層（透明電極膜）
１２    第２層（透明電極膜）
１３    表側透明電極
１４    裏側透明電極
１５    表側引出し線
１６    裏側引出し線
２０，２０Ａ    導電性接触子
２１，２１Ａ、３１    弾性部材
２２，２２Ａ、３２    導電被膜
２３，２３Ａ，３３    可変容量コンデンサ
２４，２４Ａ，３４    可変抵抗器
３０    電子機器収容体
４０    制御装置（コンピュータ）
４１    Ｘステージ
４２    Ｙステージ
４３    Ｚステージ
４４    カメラ
４５    横移動機構
４６    検査台
５０，５０Ａ    タッチパネル検査装置
【図１】
2013012047.tif 000003
【図２】
2013012047.tif 000004
【図３】
2013012047.tif 000005
【図４】
2013012047.tif 000006
【図５】
2013012047.tif 000007