(57)【要約】【課題】外套管内に長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する紫外線照射装置において、光照射領域の照度均一度を改善すること。【解決手段】光源部１０の光源エレメント２０は、光透過性を有する長尺状の外套管２４内に、長尺状のランプ２５を挿入したものであり平行に等間隔で並列配置される。冷却ファン４２によって作られた冷却風は、第１の導風路４３Ａを介して一端側から、光源エレメント２０の冷却風流通路２４Ａに導入され、ランプ２５を冷却しながら右から左に流れて他端側から排出される。排出された冷却風は、第２の導風路４３Ｂから熱交換器４３に導かれて冷却される。光源部１０とワークステージ６０の間には内面に反射面を有する筒型ライトガイド５１が配置され、筒型ライトガイド５１の冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に反射する光の量を低下させる反射光量低下手段５５が設けられる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性を有する長尺状の外套管内に、長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する光源部と、
上記光源エレメントの上記外套管の一端側から、該外套管と上記ランプの間に冷却風を導入し、上記外套管の他端側から上記冷却風を排出するランプ冷却機構と、
光源エレメントから放射される光が照射されるワークが置かれるワークステージと、
上記光源部と上記ワークステージの間に配置した、上記光源エレメントからの光を反射する反射面を内面に有する筒型ライトガイドとを備えた紫外線照射装置において、
上記筒型ライトガイドの反射面のうち、上記光源エレメントを流れる冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射光量低下手段を設けた
ことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
上記反射光量低下手段は、メッキにより上記反射面を黒色化したものである
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性を有する長尺状の外套管内に、長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する紫外線照射装置に関し、特に、液晶パネルの製造工程において用いるのに好適な紫外線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、２枚の光透過性基板（ガラス基板）の間に液晶を封入した構造であり、一方のガラス基板上に多数のアクテイブ素子（ＴＦＴ）と液晶駆動用電極を形成し、その上に配向膜を形成している。もう一方のガラス基板には、カラーフィルタ、配向膜、そして透明電極（ＩＴＯ）を形成している。そして両ガラス基板の配向膜間に液晶を封入し、シール剤にて周囲を封止している。
このような液晶パネルの製造工程において、液晶に紫外線に反応して重合する光反応性物質（モノマー）を含ませ、この液晶パネルに対して電圧を印加しながら紫外線を照射し、上記光反応性物質を重合することにより液晶のプレチルト角を制御する技術が知られている（例えば特許文献１参照）。このような技術は、当該技術分野においてＰＳＡ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｕｓｔａｉｎｅｄ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）という通称で呼ばれている。
このようなＰＳＡの処理を行うための紫外線照射装置として、光照射面における紫外線照度の面内均一性が高く、また、紫外線照射中の液晶パネルの温度上昇が少なく、かつ液晶パネルの温度の面内均一性が良好な装置が期待されている。
【０００３】
図８は、ＰＳＡ用途に用いる紫外線照射装置の構成例を示す断面図である。
紫外線照射装置は、光源部１０、ランプ冷却機構４０、筒型ライトガイド５０、ワークステージ６０を有する。
光源部１０は、光源エレメント２０を備えている。光源エレメント２０は、紫外線を放射する複数の長尺状のランプ２５を、図８の手前から奥に平行に等間隔で並列配置することにより構成されている。
図９は、光源エレメント２０を拡大して示した図である。図９（ａ）は、光源エレメント２０の長手方向に沿った断面図であり、図９（ｂ）は、光源エレメントの長手方向に直交する方向の断面図である。
ランプ２５は、例えば長尺の矩形の筒状のガラス管（封体）２５ａの内部に放電ガスとしてキセノンガスを封入したエキシマランプである。このランプ２５の封体２５ａの内壁には蛍光体が塗布されており、この蛍光体が、封体内で誘電体バリヤ放電により励起したキセノンガスから発生した紫外光により励起して、ＰＳＡ処理に適する波長領域が３００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外線を放射する。
ランプ２５のそれぞれは、光透過性を有する長尺状の両端を開放した外套管（円筒状のガラスジャケット）２４内に挿入されている。外套管２４の内面とランプ２５の外面との間には隙間があり、この隙間は、点灯中のランプ２５を冷却するための冷却風が流れる冷却風流通路２４Ａを構成する。
【０００４】
次に、図８と図９を用いて、上記冷却風流通路２４Ａを流れる冷却風をつくるランプの冷却機構４０について説明する。
ランプの冷却機構４０は、冷却風を作る軸流ファンなどの冷却ファン４２、冷却風を光源エレメントの冷却風流通路２４Ａに導く第１の導風路４３Ａ、ランプ２５を冷却し冷却風流通路２４Ａから出てくる冷却風を冷却ファン４２に導く第２の導風路４３Ｂ、第２の導風路４３Ｂを流れる冷却風を冷却する水冷ラジエータなどの熱交換器４３を備える。
第１の導風路４３Ａ、第２の導風路４３Ｂは、光源部１０の側壁３１と紫外線照射装置の外装カバー３０と、光源部１０とワークステージ６０側を仕切る隔壁３２とにより形成される。
冷却ファン４２によって作られた冷却風は、第１の導風路４３Ａにより導かれて、両端が開放されている外套管２４の一端側から、光源エレメント２０の冷却風流通路２４Ａに導入される。冷却風流通路２４Ａに導入された冷却風は、ランプ２５を冷却しながら冷却風流通路２４Ａを図８、図９の右から左に流れて、外套管２４の他端側から排出される。排出された冷却風は、第２の導風路４３Ｂにより、熱交換器４３に導かれて冷却されて冷却フアン４２に送られ、再度ランプ２５の冷却に使われる。
ワークステージ６０は、電圧をかけながら紫外線が照射される（ＰＳＡ処理がなされる）液晶パネルを保持するステージである。
【０００５】
図１０にワークステージの斜視図を示す。なお、同図は、ワークステージ６０上にＰＳＡ処理を行う液晶パネル７０（以下ワークと呼ぶ場合もある）を置いた状態を示している。ワークステージ６０の表面の周辺部には、紫外線照射中に液晶パネルをステージに吸着保持するための真空吸着孔６１が形成されている。
筒型ライトガイド５０は、光源部１０とワークステージ６０の間に、光源エレメント２０を取り囲むように配置される。図１１は、筒型ライトガイド５０を光出射側（下側）から見上げた斜視図であり、図１２は、筒型ライトガイド５０を光源エレメント２０側から見た斜視図である。筒型ライトガイド５０の内面には、光源エレメント２０から出射する光を反射する反射面が形成されている。
【０００６】
筒型ライトガイド５０は、図１１、図１２に示すように、ワークである液晶パネルの形状に応じた矩形状の光照射領域を形成するために、４つの板状部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄを、それぞれ四角形の一辺になるように組み合わせて構成している。
図１３は板状部材５２の断面図である。同図に示すように、板状部材５２は、例えばアルミニウムからなるベース部材５３に、例えば高輝アルミからなる光反射性部材５４を組み合わせることにより構成され、これらを複数枚、つなぎ合わせることにより上記板状部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄは構成される。
このような内面に反射面を有する筒型のライトガイドを設けることにより、光照射面全体の照度の均一度が良くなることが知られており、高い照度均一度が要求される光照射装置においてはしばしば採用される（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２５６５１５号公報
【特許文献２】特公平７−１０６３１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記で示した紫外線照射装置を用いて、ランプ２５を点灯し、ワークステージ上で、紫外線の照度分布を測定したところ、図１４に示すように、矩形状の光照射領域の一部、具体的には、照射領域のある一辺に近い部分の紫外線照度が高くなるという現象が生じた。
ＰＳＡなど処理のためには、光照射領域の照度均一度は±５％以下、さらにはプロセスマージンを考慮すれば±２．５％以下が望まれている。しかし、このように、一部の紫外線照度が高くなると、±５％以下の照度均一度の要求に応えられず、面内均一性の高い紫外線を照射することが必要な工程に、本紫外線照射装置を用いることができない。
以上のように上記紫外線照射装置においては、光照射領域の一部の照度が高くなり、照度均一度が悪くなるという現象が生じた。
本発明は、上記問題点を解決するものであって、本発明の目的は、上記紫外線照射装置において光照射領域の照度均一度を改善し、これにより、紫外線照射装置を±５％以下、望ましくは±２．５％以下の面内均一性の高い紫外線を照射することが必要な工程に使用できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明者らは、鋭意検討の結果、次のことを見出した。
光照射領域において照度が高くなる部分は、図１４に示されるように照射領域のある一辺に近い部分である。そしてその一辺は、ランプの長手方向の一端側であて冷却風が排出される側である。
上記したように、冷却風は外套管の一端側から導入され、他端側から排出される。しかし、ランプは長尺であり、冷却風の温度は導入側に比べて排出側のほうが高くなる。冷却風の温度が排出側で高くなるということは、それに応じて、ランプ自体の温度も、冷却風の導入側に比べて排出側のほうが高くなる。
詳細な理由は不明であるが、図２に示すように、本発明の紫外線照射装置において使用している外套管に放電ランプを挿入した光源エレメントにおいては、ランプの温度が高くなると放射する紫外線の量（放射エネルギー）が増加するという関係があることがわかった。なお、図２（ａ）は光源エレメント２０の長手方向に沿った断面図、図２（ｂ）は光源エレメント長手方向のランプの温度分布、図２（ｃ）は光源エレメント長手方向の放射エネルギー分布を示す。
すなわち、上記したように、ランプの温度は冷却風の入り口部と出口部の間で温度勾配が生じることで、この温度勾配に比例してランプの輝度分布が発生し、放射エネルギーにも勾配が生ずる。そして、ランプは、温度の高い冷却風排出側の紫外線の放射エネルギーが大きくなり、ランプの冷却風が排出される側に辺に近い領域の照度が高くなる。
この状態で液晶基板等の被照射物に紫外線を照射すると、被照射物の照射面で照度分布に影響がでる。前記したようにライトガイド５０を配置してインテグレーションさせても、ランプの持つエネルギー勾配が反映し、被照射面には均一な照度分布の紫外線を照射することはできなかった。
【００１０】
そこで、発明者らは、この光照射領域の一部の照度が高くなることを防ぐために、装置を次のように構成することを考えた。
光源部とワークステージの間に設けている筒型のライトガイドは、特許文献２に記載されているように、光源部から出射した光のうち、所望の光照射領域外に逃げていく光を、内面の反射面で折り返すことにより、光照射領域の周辺部の照度を高くする。
図３は、光源エレメント２０と筒型ライトガイド５０の断面図であり、光源エレメント２０から出射した光の一部が、筒型ライトガイド５０により反射される様子を示した図である。
同図に示すように、ランプ２５の温度の高い部分から放射された紫外線の放射エネルギーの大きい光が、筒型ライトガイド５０の冷却風排出側の板状部材５２Ｃの反射面において反射し、このことにより光照射領域の冷却風排出側において照度が高くなる。
そこで、筒型ライトガイド５０の、照度が高い側（光源エレメント２０の冷却風排出側）の板状部材５２Ｃの反射面の反射率を、他の反射面の反射率よりも下げることにより、冷却風排出側に生じている高い照度を低くすることができるのではないかと考えた。
このため、筒型ライトガイド５０において、冷却風が排出される側にあたる反射面の一部に反射する光の量を低下させる反射率低下手段を設けた（具体的には、例えば黒色化した）ところ、光照射領域において照度の高い部分がなくなり、光照射領域の照度の均一度が改善された。
【００１１】
すなわち、本発明においては、次のようにして前記課題を解決する。
（１）光透過性を有する長尺状の外套管内に、長尺状のランプを挿入した光源エレメントを有する光源部と、上記光源エレメントの上記外套管の一端側から、該外套管と上記ランプの間に冷却風を導入し、上記外套管の他端側から上記冷却風を排出するランプ冷却機構と、光源エレメントから放射される光が照射されるワークが置かれるワークステージと、上記光源部と上記ワークステージの間に配置した、上記光源エレメントからの光を反射する反射面を内面に有する筒型ライトガイドとを備えた紫外線照射装置において、上記筒型ライトガイドの反射面のうち、上記光源エレメントを流れる冷却風の排出される側に設けた反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射光量低下手段を設ける。
（２）上記反射光量低下手段としてメッキにより上記反射面を黒色化したものを用いる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、筒型ライトガイドの、冷却風が排出される側にあたる反射面の一部に、反射する光の量を低下させる反射率低下手段を設けたので、光照射領域の照度均一度を改善することができた。これにより、面内均一性の高い紫外線を照射することが必要なＰＳＡなどの処理に、本紫外線照射装置を用いることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例の紫外線照射装置の構成を示す図である。
【図２】光源エレメント長手方向のランプの温度分布、放射エネルギー分布を示す図である。
【図３】光源エレメントと筒型ライトガイドの断面図である。
【図４】本発明の実施例の紫外線照射装置の筒型ライトガイドの断面図である。
【図５】本発明の実施例の紫外線照射装置の筒型ライトガイドを模式的に示した斜視図である。
【図６】本発明で使用されるエキシマランプの構成例を示す図である。
【図７】本発明の紫外線照射装置による光照射領域の紫外線放射照度分布（照度分布）を示す図である。
【図８】ＰＳＡ用途に用いる紫外線照射装置の構成例を示す断面図である。
【図９】図８に示す紫外線照射装置の光源エレメントの拡大図である。
【図１０】ワークステージの斜視図である。
【図１１】筒型ライトガイドの斜視図（下側から見上げた図）である。
【図１２】筒型ライトガイドの斜視図（光源エレメント側から見た図）である。
【図１３】筒型ライトガイドを構成する板状部材の断面図である。
【図１４】従来の紫外線照射装置における光照射面上の紫外線の照度分布を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に、本発明の実施例の紫外線照射装置の構成を断面図で示す。図８により示した従来の装置と構成の異なる構成は、筒型ライトガイド５０に反射率低下手段５５を設けたことであり、その他の構成は基本的に同一である。
すなわち、前記したように紫外線照射装置は、光源部１０、ランプ冷却機構４０、筒型ライトガイド５１（反射率低下手段５５を設けた筒型ライトガイドを本実施例では筒型ライトガイド５１という）、ワークステージ６０を有する。光源部１０は、光源エレメント２０を備え、光源エレメント２０は、紫外線を放射する複数の長尺状のランプ２５を、同図の手前から奥に平行に等間隔で並列配置することにより構成されている。
光源エレメント２０は、前記図２に示すように、光透過性を有する長尺状の外套管２４内に、長尺状のランプ２５を挿入したものであり、外套管２４の内面とランプ２５の外面との間には冷却風が流れる冷却風流通路２４Ａを構成する。ランプ２５は、後述する例えば図６に示すエキシマランプであり、内壁に塗布された蛍光体が、封体内で誘電体バリヤ放電により励起したキセノンガスから発生した紫外光により励起して、波長領域が３００ｎｍ〜４００ｎｍの紫外線を放射する。
【００１５】
ランプの冷却機構４０は、前記図８で説明したものと同様であり、冷却風を作る軸流ファンなどの冷却ファン４２、第１の導風路４３Ａ、第２の導風路４３Ｂ、水冷ラジエータなどの熱交換器４３を備え、第１の導風路４３Ａ、第２の導風路４３Ｂは、光源部１０の側壁３１と紫外線照射装置の外装カバー３０と、光源部１０とワークステージ６０側を仕切る隔壁３２とにより形成される。
冷却ファン４２によって作られた冷却風は、第１の導風路４３Ａにより導かれて、外套管２４の一端側から、光源エレメント２０の冷却風流通路２４Ａに導入され、ランプ２５を冷却しながら冷却風流通路２４Ａを図１の右から左に流れて、外套管２４の他端側から排出される。排出された冷却風は、第２の導風路４３Ｂにより、熱交換器４３に導かれて冷却されて冷却フアン４２に送られ、再度ランプ２５の冷却に使われる。
【００１６】
図４、図５に本発明の実施例の紫外線照射装置の筒型ライトガイド５１を示す。図４は光源エレメントと筒型ライトガイドを示し、ランプ２５の長手方向に沿った断面図である。図５は筒型ライトガイド５１を模式的に示した斜視図である。なお、図５において、光源エレメント２０の外套管２４は１本のみ示している。
筒型ライトガイド５１は、前記したように、光源部１０とワークステージ６０の間に、光源エレメント２０を取り囲むように、すなわち、光源エレメントからの光が照射される光照射領域を取り囲むように配置され、高輝アルミからなる光反射性部材からなる４つの板状部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄを、それぞれ四角形の一辺になるように組み合わせて構成している。
筒型ライトガイド５１の大きさは、図５に示すように、Ｘ（ランプ長手方向）＝約２８００ｍｍ、Ｙ（ランプを並べている方向）＝約２４００ｍｍ、Ｚ（高さ）＝約４５０ｍｍであり、光源エレメントを流れる冷却風が排出される側の、板状部材５２Ｃの反射面の一部の反射率を低くし、反射率低下手段５５を形成した。
【００１７】
本実施例における反射率を低くするための具体的な手段は、耐熱性対紫外線性を有する濃黒色無電界ニッケルメッキである。以下このメッキを施した部分を黒色化した部分と呼ぶ。反射面の黒色化した部分は、板状部材５２Ｃの光源エレメント２０側（上側）端から、ａ＝１３０ｍｍの幅で、板状部材５２ＣのＹ方向の幅いっぱい（約２４００ｍｍ）である。
ランプ２５の長さ約３０００ｍｍで、図１において手前奥の方向に３２本、長手方向をそろえて並べている。ランプを冷却するために流す冷却風の風量は、１７０ｍ3／分、外套管１本に流れる流量は５．３ｍ3／分、外套管の導入部分での冷却風温度は約３５°Ｃで、排出部分での温度は約５０°Ｃである。また、ランプの表面温度は冷却風導入側の部分で約６５°Ｃ、冷却風排出側の部分で１３０°Ｃである。
【００１８】
本発明の紫外線照射装置のランプはエキシマランプと呼ばれるランプであり、その一構成例を図６に示す。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はランプの長手方向に垂直な断面を示す断面図である。
ランプ（エキシマランプ）２５は、内部に放電空間Ｓが形成された断面矩形状の中空長尺状の放電容器（封体）２６を備えており、この封体２６の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。封体２６は石英ガラスよりなる。
封体２６における上壁２６Ａおよび下壁２６Ｂの各々の外表面には、一対のメッシュ状の電極２７Ａと２７Ｂが長手方向に伸びるよう互いに対向して配置されている。電極２７Ａは高電圧給電電極として機能し、電極２７Ｂは接地電極として機能する。
封体２６の内部の光出射部を形成する下壁２６Ｂの内表面には、ガラス粉末層２８ｂおよび蛍光体層２８ｃが積層された状態で設けられている。また、封体２６の内部の下壁２６Ｂを除く壁の内表面には、外面側から順に、反射材層２８ａ、ガラス粉末層２８ｂおよび蛍光体層２８ｃが積層された状態で設けられている。
【００１９】
反射材層２８ａは、例えば、シリカとアルミナの混合物により構成されている。
ガラス粉末層２８ｂを構成するガラスとしては、例えば、ホウケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ｂ−Ｏ系ガラス）およびアルミノケイ酸ガラス（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ系ガラス）、バリウムケイ酸ガラス、または、これらいずれかの組成を元にアルカリ土類酸化物やアルカリ酸化物、金属酸化物を添加したガラスなどがある。
蛍光体層２８ｃを構成する蛍光体としては、例えばユーロピウム付活ホウ酸ストロンチウム蛍光体、セリウム付活アルミン酸マグネシウムランタン蛍光体、ガドリニウム、プラセオジム付活リン酸ランタン蛍光体などがある。
【００２０】
図７は、本発明の紫外線照射装置による光照射領域の紫外線放射照度分布（照度分布）を示す図である。同図において、横軸は光照射領域のランプ長手方向（Ｘ方向：図５参照）の距離（ｍｍ）であり、縦軸は光照射領域における紫外線の放射照度（ｍＷ／ｃｍ2）である。
同図において、右側が冷却風導入側、左側が冷却風排出側である。また、照度分布は、光照射領域のＹ方向（ランプを並べている方向：図５参照）の中間位置での値を示している。
なお、光源エレメント２０から光照射面までの距離は、筒型ライトガイド５１の高さ（Ｚ方向距離：図５参照）とほぼ等しい４５０ｍｍである。すなわち、光源部から光照射面までの距離は、筒型ライトガイド５１の高さ（Ｚ）とほぼ等しい。
【００２１】
図７において、「◇」（同図Ａ）は筒型ライトガイドの反射面に黒色化を施さない従来の装置における照度分布である。図からわかるように、左側（冷却風排出側）の放射照度が全体的に高くなっている。このデータに基づき照度分布を計算すると±５％であった。この値は、上記した課題の要求を満たすものの、プロセスマージンを考慮すると、さらに良好な均一度が望まれる。
これに対して、「＊」、「×」、「□」（同図Ｄ，Ｃ，Ｂ）は、板状部材５２Ｃの反射面の黒色化を行った場合の照度分布である。従来に比べて左側（冷却風排出側）の放射照度が低くなっている。
【００２２】
同図Ｄの「＊」は、板状部材５２Ｃの反射面の上から約１３０ｍｍを黒色化した場合の照度分布である。左側（冷却風排出側）の放射照度の高かった部分が低くなり、照度分布は左右でほぼ対称になっている。これにより、照度分布の均一度を±５％よりも良好な値にすることができた。
同図Ｂの「□」は板状部材５２Ｃの反射面の上から約２００ｍｍを、同図Ｄの「＊」は上記したように約１３０ｍｍを、同図Ｃの「×」は約１００ｍｍを黒色化した場合の照度分布である。それぞれの照度分布は、「□」（黒色化幅約２００ｍｍ）は±４．１％、「＊」（黒色化幅約１３０ｍｍ）は±２．５％、「×」（黒色化幅約１００ｍｍ）は±２．８％である。本実施例においては、黒色化幅を約１３０ｍｍにした場合に、照度均一度が最も良くなり、望ましいとされる照度分布±２．５％を達成することができた。
【００２３】
同図に示されるように、反射板の黒色化のＺ（高さ）方向の幅を広くすれば、放射照度の低下の割合は大きくなり、幅を狭くすれば低下の割合は少なくなる。したがって、板状部材５２Ｃに形成する黒色化のＺ（高さ）方向の幅を変えることにより、放射照度の低下の割合を変化させ、光照射領域の照度分布を調整することができる。
【００２４】
このように、筒型ライトガイド５１に、冷却風排出側の反射面の反射率を低下させる反射率低下手段５５を設けることにより、光照射領域の照度分布の面内均一度を良くすることができる。反射面の反射率を低下させる部分の位置や大きさは、光照射領域の照度分布を測定しながら、またシミュレーションにより適宜設定する。
筒型ライトガイドの反射面で反射する光の量を低下させる反射光量低下手段としては、上記に例示したメッキによる黒色化の他に以下のようなものが考えられる。
（１）黒色の耐熱性、耐紫外線性を備える塗料を塗布する。
（２）反射面を摺り面などにする。または、セラミック板を貼り付けて紫外線を拡散させる。
（３）反射面にフッ素樹脂板を貼り付けて紫外線を吸収する。
（４）反射面に切り欠き部を設ける。
【符号の説明】
【００２５】
１０    光源部
２０    光源エレメント
２４    外套管
２４Ａ  冷却風流通路
２５    ランプ（エキシマランプ）
２６    放電容器（封体）
２７Ａ、２７Ｂ    電極
２８ａ  反射材層
２８ｂ  ガラス粉末層
２８ｃ  蛍光体層
３０    外装カバー
３１    側壁
３２    隔壁
４０    ランプ冷却機構
４２    冷却ファン
４３Ａ  第１の導風路
４３Ｂ  第２の導風路
４３    熱交換器
５１    筒型ライトガイド
５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄ    板状部材
５５    反射率低下手段
６０    ワークステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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