(57)【要約】【課題】チップを素早く、且つ効率的に選び出すことができ、設備の設置スペースを減少することができ、工場の土地の利用効率を高めることができるチップ選出機構を提供する。【解決手段】チップ受け部と、当該チップ受け部に対向し、且つ前記チップ受け部と平行に配されたチップ保管部と、前記チップ受け部と前記チップ保管部との間に配され、取離部を含む選出装置と、を含むチップ選出機構において、前記取離部は、前記チップ受け部に粘着されたチップを、取り上げて、チップを保管する前記チップ保管部に移動させるものである。【選択図】図２
0003162689.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
チップ受け部と、
当該チップ受け部に面し、且つ前記チップ受け部に平行して配されたチップ保管部と、
前記チップ受け部と前記チップ保管部との間に配され、取離部を含む選出装置と、
を含むチップ選出機構において、
前記取離部は、前記チップ受け部に粘着されたチップを、取り上げて、チップを保管する前記チップ保管部に移動するものであることを特徴とするチップ選出機構。
【請求項２】
前記チップ選出機構は、回転アームを含み、前記取離部が前記回転アームの一端に設けられ、前記回転アームにより、前記取離部は前記チップ受け部と前記チップ保管部との間を移動可能であることを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【請求項３】
前記取離部は吸上げノズルであることを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【請求項４】
前記取離部はグリップであることを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【請求項５】
前記チップ受け部は、回転可能であり、且つ前記チップ保管部に対して平行に移動可能であることを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【請求項６】
前記チップ保管部は、回転可能であり、且つ前記チップ受け部に対して平行に移動可能であることを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【請求項７】
更に、映像監視装置を含み、当該映像監視装置は、前記チップ受け部と前記チップ保管部との間に配され、チップの状態を監視することを特徴とする、請求項１に記載のチップ選出機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、チップ選出機構に関し、特に、チップを素早く選び出すことができるチップ選出機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
１枚のウエハを複数のチップに分割した後、そのチップは、それぞれの品質、性能および特性によって用途を分類することが必要であり、相違する分類に属するチップは、それぞれ相違する分野に利用される。図１を参照する。図１は従来のチップ選出機構１を示す斜視図である。従来のチップ選出機構１は、チップ受けユニット１１と、選出装置１２と、チップ保管ユニット１３とを含む。チップ受けユニット１１は、チップ受け部１１１と、チップ剥離部１１２とを含む。これにより、チップ受け部１１１の表面に１枚のウエハを分割して形成される複数のチップ１０を粘着させ、固定することができる。チップ保管ユニット１３はチップ保管部１３１を含み、チップ保管部１３１の表面は粘着性を有するフィルムで覆われており、チップ保管部１３１の表面にチップ１０を粘着させ固定することができる。選出装置１２は、回転可能な選出アーム１２１を含み、選出アーム１２１の一端に吸上げノズル１２２が設けられる。吸上げノズル１２２により、選出アーム１２１は、チップ受け部１１１から特定のチップ１０を選び出して、チップ剥離部１１２の押上げピンとの共働作用によって、特定のチップ１０を吸上げてチップ保管部１３１に載置することができる。
【０００３】
選出装置１２におけるチップ受けユニット１１とチップ保管ユニット１３の間で行われるチップの取離効果を向上させるために、チップ受け部１１１とチップ保管部１３１を、回転可能とし、且つ水平方向に自在に移動可能とする。これにより、選出装置１２がチップ１０を吸上げノズル１２２によって吸上げ可能な位置を定位置として、チップ受け部１１１を移動することで、選び出されたチップ１０を前記定位置まで移動させ、選出アーム１２１を回転するだけで、選び出し定位置の上方に吸上げノズル１２２を移動させることができる。このとき、チップ剥離部１１２の押上げピンにより、選び出したいチップ１０をチップ受け部１１１から離脱させ、選び出したいチップ１０が吸上げノズル１２２によって吸上げられる。同じように、チップ保管部１３１は、水平移動および回転により、吸上げノズル１２２によって吸上げられたチップ１０を、チップ保管部１３１中の決められた位置に載置することができる。従来のチップ選出機構１は、更に、複数の映像監視カメラ１４と、映像サーボシステム（図示せず）とを含み、これによりチップ１０の選び出し及び位置決めの精度が向上する。
【０００４】
しかしながら、従来のチップ選出機構１によれば、チップ受け部１１１とチップ保管部１３１に載置されるチップ１０の表面が、図１に示すように、Ｚ軸方向に向いているため、チップ受けユニット１１とチップ保管ユニット１３は、水平方向に沿って配置することが必要である。更に、チップ受けユニット１１とチップ保管ユニット１３の２軸水平移動システムが、空間の制限を加えると、チップ受け部１１１からチップ保管部１３１までの取離距離が規制され、装置全体の体積を更に縮小することができない。すなわち、選出アーム１２１をより長くしないと、チップ受け部１１１とチップ保管部１３１との上方でチップ１０を選び出すことができない。選出アーム１２１をより長くすると、その移動の慣性を減少することができず、ひいては取離の精度を向上することができず、取離の周期を減少することができない。一方、チップ受けユニット１１とチップ保管ユニット１３とが水平方向に沿って配置されるため、設備の設置スペースがより広くなり、工場の土地の利用効率が低下する。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、チップを素早く、且つ効率的に選び出すことができるチップ選出機構を提供することにある。
【０００６】
本考案の次の目的は、設備の設置スペースを減少することができ、工場の土地の利用効率を高めることができるチップ選出機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案におけるチップ選出機構は、チップ受け部と、当該チップ受け部に面し、且つ前記チップ受け部に平行して配されたチップ保管部と、前記チップ受け部と前記チップ保管部との間に配され、取離部を含む選出装置とを含むチップ選出機構において、前記取離部は、前記チップ受け部に粘着されたチップを、取り上げて、チップを保管する前記チップ保管部に移動するものであることを特徴とする。
【０００８】
本考案におけるチップ選出機構は、回転アームを含み、前記取離部が前記回転アームの一端に設けられ、前記回転アームにより、前記取離部は前記チップ受け部と前記チップ保管部との間を移動可能であることを特徴とする。
【０００９】
本考案におけるチップ選出機構は、前記取離部は吸上げノズルであることを特徴とする。
【００１０】
本考案におけるチップ選出機構は、前記取離部はグリップであることを特徴とする。
【００１１】
本考案におけるチップ選出機構は、前記チップ受け部は、回転可能であり、且つ前記チップ保管部に対して平行に移動可能であることを特徴とする。
【００１２】
本考案におけるチップ選出機構は、前記チップ保管部は、回転可能であり、且つ前記チップ受け部に対して平行に移動可能であることを特徴とする。
【００１３】
本考案におけるチップ選出機構は、更に、映像監視装置を含み、当該映像監視装置は、前記チップ受け部と前記チップ保管部との間に配され、チップの状態を監視することを特徴とする。
【考案の効果】
【００１４】
本考案のチップ選出機構によれば、次のような効果がある。
（１）チップを素早く、且つ効率的に選び出すことができる。
（２）設備の設置スペースを減少することができ、工場の土地の利用効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のチップ選出機構を示す斜視図である。
【図２】本考案のチップ選出機構を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）乃至（Ｄ）は本考案のチップ選出機構のチップを選び出すプロセスを示す説明図である。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本考案の実施の形態を図面に基づいて説明する。
下記のチップは、１枚のウエハを分割して形成されるものであり、例えばＩＣチップまたは発光ダイオードチップなどがあるが、前記用途に特に限定されない。
【００１７】
図２を参照する。図２は本考案のチップ選出機構を示す斜視図である。本考案のチップ選出機構２は、チップ受けユニット２１と、選出装置２２と、チップ保管ユニット２３とを含む。チップ受けユニット２１は、チップ受け部２１１と、チップ剥離部２１３とを含む。チップ受け部２１１は、１枚のウエハを分割して形成される複数のチップ２０を粘着し固定するものである。チップ剥離部２１３は、チップ受け部２１１に粘着されたチップ２０をチップ受け部２１１から離脱させるものである。チップ保管ユニット２３はチップ保管部２３１を含み、選び出されるチップ２０はチップ保管部２３１に粘着し固定される。選出装置２２は、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１との間に配され、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１とが互いに平行となるように対向して配される。例えば、図２に示すように、チップ受け部２１１がＹ軸方向に向くように配される場合には、チップ保管部２３１が-Ｙ軸方向に向くように配される。選出装置２２は、チップ受け部２１１に粘着されたチップ２０を取上げて、チップ保管部２３１にチップ２０を移動して貼付する。
【００１８】
図３（Ａ）に示すように、チップ受け部２１１のチップ受け面２１２と、チップ保管部２３１のチップ保管面２３２は、粘着性を有する。例えば、チップ受け面２１２、又は/及びチップ保管面２３２に樹脂膜が設けられ、これにより、ウエハを分割して形成されるチップ２０を粘着し固定することができ、これらのチップ２０がチップ受け面２１２から離脱することを防止することができる。前記樹脂膜は、ブルー膜でもよいし、ＵＶ膜でもよい。チップ受け面２１２に設けられる樹脂膜からチップ２０を離脱させたいときには、図２に示すように、チップ受け部２１１の背面に位置するチップ剥離部２１３によって、離脱させたいチップ２０を押上げることにより、チップ２０が樹脂膜から容易に離脱し、選出装置２２によって、特定のチップを選び出すことができる。
【００１９】
また、選出装置２２の取出効果を向上するために、チップ受け部２１１自体を回転、又はチップ受け面２１２を平行に移動（例えば図２におけるＸ-Ｚ平面に沿う移動）させることにより、選出装置２２がチップ２０を取り出し可能な定位置まで、チップ受け面２１２中の選び出したいチップ２０を移動させることができる。同じように、チップ保管部２３１自体を回転、又はチップ保管面２３２を平行に移動（例えば図２におけるＸ-Ｚ平面に沿う移動）させることにより、チップ保管面２３２中の予め決められた定位箇所に、選出装置２２によって選出されたチップ２０を粘着し固定させることができる。
【００２０】
図３（Ａ）乃至図３（Ｄ）を参照する。図３（Ａ）乃至図３（Ｄ）は本考案のチップ選出機構２のチップを選び出すプロセスを示す説明図である。本実施例では、選出装置２２は、回転アーム２２１を含み、回転アーム２２１の一端に取離部２２２が設けられる。取離部２２２は、吸上げノズルでもよいし、グリップでもよい。取離部２２２により、チップ受け面２１２にあるチップ２０を、吸上げ、又は挟み上げて、チップ保管面２３２に移動させ粘着し固定させることができる。本考案のチップ選出機構２のチップを選び出すプロセスは、まず、図３（Ａ）に示すように、取離部２２２の先端でチップ２０を、吸上げ、又は挟み上げて可能な位置を定位置として設定し、チップ受け部２１１自体の位置を移動することにより、前記定位置に選び出したいチップ２０を定位させると同時に、前記定位置にチップ保管部２３１を移動する。次に、図３（Ｂ）に示すように、取離部２２２によってチップ２０を吸上げ、又は挟み上げると、チップ２０がチップ受け面２１２から離脱して取離部２２２に固定される。この後、図３（Ｃ）に示すように、回転アーム２２１を回転させることにより、チップ２０はチップ受け面２１２に対向するチップ保管面２３２へ移動する。最後に、図３（Ｄ）に示すように、取離部２２２によって、チップ保管面２３２にチップ２０を押付けて粘着する。これにより、チップ２０の選出プロセスが完了する。
【００２１】
上記の実施例のチップ選出機構２は、図２に示すように、更に、映像監視装置２４を含む。映像監視装置２４は、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１との間に配され、反射鏡２４１の反射により、チップ受け部２１１にある選び出したいチップ２０とチップ保管部２３１にある選び出したチップ２０との両方の状態を監視することが可能である。
【００２２】
本考案は、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１とが互いに対向して配されているため、チップ２０の取離距離はチップ受け部２１１とチップ保管部２３１との間の距離のみに関連する（図３（Ａ）における距離ｄを参照）。これにより、回転アーム２２１の寸法を減少することができ、選出装置２２の取離の速度および精度を向上することができる。また、本考案のチップ受け部２１１とチップ保管部２３１とが互いに対向して配されているため、チップ受けユニット２１とチップ保管ユニット２３とを図２に示すように、Ｚ軸方向に平行するように延ばすことができ、これにより、設備の設置スペースを減少することができ、工場の土地の利用効率を高めることができる。
【００２３】
ここで、特に説明したいのは、本考案のチップ受け部２１１とチップ保管部２３１と選出装置２２との互いの変位は、相対変位と見た方がよい。すなわち、本実施例では、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１が移動可能であり、選出装置２２のチップの取離位置に、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１とを移動させることを例にして説明したが、もちろん、本考案は、チップ受け部２１１とチップ保管部２３１とが固定され、チップの取離位置に、図２に示すように、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸という３軸方向に移動可能、又は回転可能な選出装置２２を移動させてもよい。
【００２４】
このように、本考案が、特定の例を参照して説明したが、それらの例は、説明のためだけのものであり、本考案を限定するものではなく、この分野に通常の知識を有する者には、本考案の要旨および特許請求の範囲を逸脱することなく、ここで開示された実施例に変更、追加、または、削除を施してもよいことがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本考案は、チップ選出装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００２６】
１  チップ選出機構
２  チップ選出機構
１０  チップ
１１  チップ受けユニット
１２  選出装置
１３  チップ保管ユニット
１４  映像監視カメラ
２０  チップ
２１  チップ受けユニット
２２  選出装置
２３  チップ保管ユニット
２４  映像監視装置
１１１  チップ受け部
１１２  チップ剥離部
１３１  チップ保管部
１２１  選出アーム
１２２  吸上げノズル
２１１  チップ受け部
２１２  チップ受け面
２１３  チップ剥離部
２２１  回転アーム
２２２  取離部
２３１  チップ保管部
２３２  チップ保管面
２４１  反射鏡
【図１】
0003162689.tif 000003
【図２】
0003162689.tif 000004
【図３】
0003162689.tif 000005