【手続補正書】
【提出日】平成26年7月16日(2014.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の未硬化樹脂と、モールドとを接触させて、前記基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールドは、前記基板に対向する側に凹凸パターンが形成された平板部と、外周側に位置する壁部と、を有し、
前記インプリント装置は、
前記壁部の被保持面を保持する保持部と、
前記平板部の中央部と前記壁部との間の形状を変形させるモールド変形機構と、を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記モールド変形機構は、前記壁部、又は前記保持部の側壁に対して外力を作用させる外力印加手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記側壁にて前記外力を作用させる領域は、前記外力の作用に対して、前記壁部と前記平板部の中央部との間の前記モールドの内部に反力を作用させ、前記平板部に変形を生じさせるモーメントが発生する位置であることを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記モールド変形機構は、前記凹凸パターンと前記樹脂とを互いに引き離す離型動作時に、前記壁部、又は前記保持部の側壁に対して引張力を作用させ、前記平板部の中央部と前記壁部との間の領域の一部を、前記基板の表面とは反対側に向けて湾曲させることを特徴とする請求項２又は３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記モールド変形機構は、前記凹凸パターンと前記未硬化樹脂とを接触させる押印動作時に、前記壁部、又は前記保持部の側壁に対して圧縮力を作用させ、前記平板部の中央部を前記基板の表面の側に向けて湾曲させることを特徴とする請求項２又は３に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記壁部の側壁における前記平板部に対向する領域に対して外力印加手段を備えることを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記平板部の前記凹凸パターンが形成された面とは反対の面の側の圧力を調整する圧力調整手段を備え、
前記押印動作時に、前記圧力を上げるように、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記モールドは、前記凹凸パターンの周囲に吸引口を備え、
前記押印動作時に、前記凹凸パターンと前記未硬化樹脂との間の空間を減圧することを特徴とする請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記モールドの変形量を計測する計測手段を有し、
前記押印動作時に、前記計測手段の出力に基づいて前記モールド変形機構を制御することを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
基板上の未硬化樹脂と、モールドとを接触させて、前記基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールドは、前記基板に対向する側に凹凸パターンが形成された平板部と、外周側に位置する壁部と、を有し、
前記インプリント装置は、
前記壁部の被保持面を保持する保持部と、
前記保持部の内側に存在する空間領域に設置される補強部材と、
前記平板部の前記凹凸パターンが形成された面とは反対側の内面と、該内面に対向する前記補強部材の表面とを結合、又は分離させる結合分離手段と、
を備えることを特徴とするインプリント装置。
【請求項１１】
前記結合分離手段は、前記未硬化樹脂と前記モールドとを接触させる押印動作時に、前記モールドの内面と前記補強部材の表面とを分離し、
一方、前記離型動作時に、前記モールドの内面と前記補強部材の表面とを結合する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
前記補強部材は、前記平板部の中央部と前記壁部との間の領域の一部に向けて通気口が位置する圧力調整流路を有し、
前記結合分離手段は、前記圧力調整流路を介して前記補強部材と前記モールドとの間の空間領域の圧力を調整する圧力調整手段であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
前記圧力調整手段は、前記モールドの内面と前記補強部材の表面とを分離する際には、前記空間領域を加圧し、
一方、前記モールドの内面と前記補強部材の表面とを結合する際には、前記空間領域を減圧する、
ことを特徴とする請求項１２に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
前記補強部材は、前記保持部の内壁と、弾性部材とにより接続されることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１５】
前記補強部材の全体又は一部は、光透過性の部材で形成されることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１６】
前記インプリント装置は、前記モールドのパターンの形状を補正するための、前記モールド変形機構とは異なる、形状補正機構を備えることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上に樹脂のパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１８】
基板上にパターンを形成するインプリント方法であって、
凹凸パターンが形成された平板部と、外周部に位置する壁部とを有するモールドを、前記基板に対向させる工程と、
前記基板上に未硬化樹脂を塗布する工程と、
前記基板上に塗布された未硬化樹脂と前記モールドの凹凸パターンとを接触させる接触工程と、
前記未硬化樹脂を硬化させる硬化工程と、
前記硬化工程で硬化させた樹脂と前記モールドの凹凸パターンとを離間させる離型工程と、を有し、
さらに、前記硬化工程と前記離型工程との間において、前記離型時の引っ張り力による前記モールドの凹凸パターンの曲げ変形を緩和するように前記平板部の中央部と前記壁部との間の形状を変形させる変形工程を有することを特徴とするインプリント方法。
【請求項１９】
基板上にパターンを形成するインプリント方法であって、
凹凸パターンが形成された平板部と、外周部に位置する壁部とを有するモールドを、前記基板に対向させる工程と、
前記基板上に未硬化樹脂を塗布する工程と、
前記基板上に塗布された未硬化樹脂と前記モールドの凹凸パターンとを接触させる接触工程と、
前記未硬化樹脂を硬化させる硬化工程と、
前記硬化工程で硬化させた樹脂と前記モールドの凹凸パターンとを離間させる離型工程と、を有し、
さらに、前記硬化工程と前記離型工程との間において、前記離型時の引張力による前記モールドの凹凸パターンの曲げ変形を緩和するように前記平板部の中央部に補強部材を結合させる補強工程を有することを特徴とするインプリント方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上の未硬化樹脂と、モールドとを接触させて、基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、モールドは、基板に対向する側に凹凸パターンが形成された平板部と、外周側に位置する壁部と、を有し、インプリント装置は、壁部の被保持面を保持する保持部と、平板部の中央部と壁部との間の形状を変形させるモールド変形機構と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
更に、本実施形態のモールド保持装置４は、上記の構成に加え、モールド３の形状を変形させるモールド変形機構５０を備える。図２（ａ）は、モールド変形機構５０の構成を示す概略図である。また、図２（ｂ）は、モールド３の各部の寸法を示す概略断面図である。なお、図２（ａ）以下の各図において、図１に示すインプリント装置１と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態では、特に、モールド３の形状は、平板部３ａと、外周側に壁部３ｂとを有する箱形であり、また、平板部３ａの押印面の中央部には、上述したように、凹凸パターン３ｃが形成されている。この場合、モールド保持装置４のモールドベース２４は、中心部（内側）を照明系ユニット２の光源２０から射出された紫外線が通過するように空間とし、モールド３の外周部である壁部３ｂの垂直面（被保持面）３ｄを吸着することによりモールド３を保持するものとする。