【手続補正書】
【提出日】平成26年5月20日(2014.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアップに備えられた触針を被測定物に当接させて、前記ピックアップを駆動手段によって所定の測定方向に所定の移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から所定の測定待ち時間経過後、測定手段によって前記触針の変位を所定の測定周期で測定し、前記被測定物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法において、
前記触針を所定の試験片に当接させて、前記ピックアップを前記測定方向に前記移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から前記触針の変位を前記測定周期で測定するステップと、
前記変位の測定結果を解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出するステップと、
前記ピックアップの移動開始から前記測定値安定開始点に到達するまでに要する前記ピックアップの移動時間を算出するステップと、
算出された前記移動時間を前記測定待ち時間に設定するステップと、
を含むことを特徴とする表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
【請求項２】
前記ピックアップを前記測定方向に移動させる前に前記ピックアップを前記測定方向と逆方向に所定量移動させるステップを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
【請求項３】
前記試験片には、表面に所定の凹凸が一定ピッチで繰り返し形成され、
前記測定値安定開始点を検出するステップでは、前記試験片の凹凸に対応して現れる前記測定値の極値点を検出し、隣り合う極値点の間の距離を算出し、算出された距離が、あらかじめ設定された基準を満たす最初の極値点を検出し、該極値点を測定値安定開始点とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
【請求項４】
前記試験片には、表面に前記凹凸として所定の波形を有するサイン波面が形成されることを特徴とする請求項３に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
【請求項５】
前記ピックアップの移動速度を複数選択できる場合において、
基準となる一の移動速度で前記ピックアップを移動させて、前記測定を実施し、前記測定値安定開始点を検出して、前記移動時間を算出し、前記一の移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間を求め、
他の移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間については、あらかじめ移動速度ごとに設定された係数を前記一の移動速度で求めた前記移動時間に乗じて、移動速度ごとに移動時間を求め、各移動速度で測定する場合の前記測定待ち時間に設定することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法。
【請求項６】
ピックアップに備えられた触針を被測定物に当接させて、駆動手段によって前記ピックアップを所定の測定方向に所定の移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から所定の測定待ち時間経過後、測定手段によって前記触針の変位を所定の測定周期で測定し、前記被測定物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置において、
前記測定待ち時間の設定を指示する指示手段と、
前記指示手段の指示に応じて、前記駆動手段を制御し、前記触針を所定の試験片に当接させて、前記測定方向に前記移動速度で移動させる一方、前記測定手段を制御し、前記ピックアップの移動開始から前記触針の変位を前記測定周期で測定させる制御手段と、
前記指示手段の指示に応じて行われた前記変位の測定結果を解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する測定値安定開始点検出手段と、
前記ピックアップの移動開始から前記測定値安定開始点に到達するまでに要する前記ピックアップの移動時間を算出する移動時間算出手段と、
前記移動時間算出手段で算出された前記移動時間を前記測定待ち時間に設定してメモリに記録する記録手段と、
を備えたことを特徴とする表面粗さ測定装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記ピックアップを前記測定方向に移動させる前に前記ピックアップを前記測定方向と逆方向に所定量移動させることを特徴とする請求項６に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項８】
前記試験片には、表面に所定の凹凸が一定ピッチで繰り返し形成され、
前記測定値安定開始点検出手段は、前記試験片の凹凸に対応して現れる前記測定値の極値点を検出し、隣り合う極値点の間の距離を算出し、算出された距離が、あらかじめ設定された基準を満たす最初の極値点を検出し、該極値点を測定値安定開始点とすることを特徴とする請求項６又は７に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項９】
前記試験片には、表面に前記凹凸として所定の波形を有するサイン波面が形成されることを特徴とする請求項８に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１０】
前記ピックアップの移動速度を複数選択できる場合において、
選択可能な移動速度ごとに設定された係数を前記移動時間算出手段で算出された移動時間に乗じて、選択可能な移動速度ごとの移動時間を算出する第２の移動時間算出手段を更に備え、
前記記録手段は、前記第２の移動時間算出手段で算出された選択可能な移動速度ごとの移動時間を選択可能な移動速度ごとの前記測定待ち時間に設定して前記メモリに記録することを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１１】
請求項１から５のいずれか１項に記載の表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定方法をコンピュータに実現させることを特徴とする表面粗さ測定装置の測定待ち時間設定プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［６］表面粗さ測定装置の第１の態様は、ピックアップに備えられた触針を被測定物に当接させて、駆動手段によって前記ピックアップを所定の測定方向に所定の移動速度で移動させる一方、前記ピックアップの移動開始から所定の測定待ち時間経過後、測定手段によって前記触針の変位を所定の測定周期で測定し、前記被測定物の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置において、前記測定待ち時間の設定を指示する指示手段と、前記指示手段の指示に応じて、前記駆動手段を制御し、前記触針を所定の試験片に当接させて、前記測定方向に前記移動速度で移動させる一方、前記測定手段を制御し、前記ピックアップの移動開始から前記触針の変位を前記測定周期で測定させる制御手段と、前記指示手段の指示に応じて行われた前記変位の測定結果を解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する測定値安定開始点検出手段と、前記ピックアップの移動開始から前記測定値安定開始点に到達するまでに要する前記ピックアップの移動時間を算出する移動時間算出手段と、前記移動時間算出手段で算出された前記移動時間を前記測定待ち時間に設定してメモリに記録する記録手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
［１０］表面粗さ測定装置の第５の態様は、上記第１から４のいずれか一の態様の表面粗さ測定装置において、前記ピックアップの移動速度を複数選択できる場合において、選択可能な移動速度ごとに設定された係数を前記移動時間算出手段で算出された移動時間に乗じて、選択可能な移動速度ごとの移動時間を算出する第２の移動時間算出手段を更に備え、前記記録手段は、前記第２の移動時間算出手段で算出された選択可能な移動速度ごとの移動時間を選択可能な移動速度ごとの前記測定待ち時間に設定して前記メモリに記録することを特徴とする。