【手続補正書】
【提出日】平成26年6月25日(2014.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図４（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。また、図４（ａ）では、参考のために、第１励振電極１３４ａが形成される領域が点線で囲まれて示されている。励振部１３１の第１辺１３８ａの長さは長さＬＺ１であり、第２辺１３８ｂは長さＬＸ１に形成されている。圧電振動片１３０では、第１辺１３８ａが励振部１３１の短辺であり第２辺１３８ｂが励振部１３１の長辺であるため、長さＬＺ１は長さＬＸ１よりも短い。また、圧電振動片１３０の枠部１３２の全体のＸ軸方向の長さを長さＷＸ１、Ｚ’軸方向の全体の長さを長さＷＺ１、Ｚ’軸方向に伸びる枠部１３２のＸ軸方向の長さを長さＷＸ２、Ｘ軸方向に伸びる枠部１３２のＺ’軸方向の長さを長さＷＺ２とする。圧電振動片１３０では、例えばこれらの各長さは、長さＬＺ１が１．０ｍｍ、長さＬＸ１が１．４ｍｍ、長さＷＸ１が２．０ｍｍ、長さＷＸ２が０．２ｍｍ、長さＷＺ１が１．６ｍｍ、長さＷＺ２が０．２ｍｍに形成される。また、圧電振動片１３０の連結部１３３のＺ’軸方向の長さを幅ＲＺ１とすると、圧電振動片１３０では、例えば、幅ＲＺ１が０．２ｍｍに形成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に電極が形成される。ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に形成されている各圧電振動片１３０に、第１励振電極１３４ａ、第２励振電極１３４ｂ、第１引出電極１３５ａ、及び第２引出電極１３５ｂが形成される。これらの電極は、例えば、圧電ウエハＷ１３０にクロム（Ｃｒ）層が形成され、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を蒸着することにより形成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図５のフローチャートで示された圧電デバイス１００の製造方法では、ステップＳ１０６において第１励振電極１３４ａの逆スパッタリングが行われる。逆スパッタリングでは、圧電ウエハＷ１３０にマスク１４３がかけられるが、このマスク１４３は、ずれを考慮して第１励振電極１３４ａの範囲よりも広い範囲に開口が形成されている。そのため、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に形成される引出電極も逆スパッタリングにより薄くなる場合がある。圧電振動片１３０では第１引出電極１３５ａが＋Ｙ’軸側に形成されているが、第１引出電極１３５ａは第１励振電極１３４ａから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが短く形成されるため全体の電気抵抗が小さく、逆スパッタリングにより薄く形成されることによる第１引出電極１３５ａの電気抵抗の増加の影響が小さい。また第１励振電極１３４ａは、第１引出電極１３５ａが、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、−Ｙ’軸側の面、及び側面１３３ａに形成されており、逆スパッタリングの影響は連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極１３５ａが受けるのみであり、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面及び側面１３３ａに形成されている第１引出電極１３５ａは逆スパッタリングの影響を受けない。さらに、第２励振電極１３４ｂから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが長く形成されるため電気抵抗が第１引出電極１３５ａよりも大きい第２引出電極１３５ｂは、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に形成されているため逆スパッタリングの影響を受けない。これらのことにより、圧電振動片１３０では、逆スパッタリングによる第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂへの影響が抑えられ、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図１０（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。図１０（ｂ）では、圧電振動片３３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極３３５ａは、＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから連結部１３３の側面１３３ａ、第１辺１３８ａ、及び枠部１３２の連結部１３３に連結される側面まで引き出されている。また、第１引出電極３３５ａは、第２引出電極１３５ｂにＹ’軸方向に重ならないように、圧電振動片３３０の＋Ｚ’軸側の半分のみに形成されている。＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極３３５ａは、側面電極３３５に電気的に接続されて＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
＜圧電振動片４３０の構成＞
図１１（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。圧電振動片４３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極４３５ａ及び第２引出電極４３５ｂが引き出されている。第１引出電極４３５ａは、第１励振電極１３４ａから＋Ｙ’軸側の面の側面電極３３５の周りまで引き出され、側面電極３３５を介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。さらに第１引出電極４３５ａは、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極４３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから連結部１３３を通り、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
＜圧電振動片５３０の構成＞
図１２（ａ）は、圧電振動片５３０の平面図である。圧電振動片５３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂが引き出されている。第１引出電極５３５ａは、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面する辺、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した辺、に引き出されている。さらに第１引出電極５３５ａは貫通孔１３６の側面に形成された側面電極５３９ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで伸びている。側面電極５３９ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、第２引出電極５３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２に引き出され、さらに枠部１３２を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。第２引出電極５３５ｂは、さらに、側面電極５３９ｂ及び圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面の側面電極５３９ｂの周囲にも形成されている。側面電極５３９ｂは連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面１３３ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される側面電極５３９ｂは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した辺の−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
＜圧電振動片６３０の構成＞
図１３（ａ）は、圧電振動片６３０の平面図である。圧電振動片６３０は、励振部６３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。励振部６３１は、第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂを含む矩形形状に形成されている。また、励振部６３１には、連結部１３３に直接連結される領域である第１領域１３１ａと、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成される領域である第３領域１３１ｃと、第１領域１３１ａ及び第３領域１３１ｃ以外の領域であり第１領域１３１ａと第３領域１３１ｃとの間に形成される第４領域１３１ｄと、に分けることができる。圧電振動片６３０は第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成されている第３領域１３１ｃが、第３領域１３１ｃを囲んでいる第４領域１３１ｄよりもＹ’軸方向に厚く形成されているメサ型の圧電振動片である。また、励振部６３１の第３領域１３１ｃに形成される第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからは、それぞれ第１引出電極６３５ａ及び第２引出電極６３５ｂが枠部１３２に引き出されて形成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。圧電振動片６３０は、例えば励振部６３１の第３領域１３１ｃのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２に形成され、第４領域１３１ｄのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成される。また、連結部１３３、枠部１３２、及び第１領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さは、図４（ｂ）に示された圧電振動片１３０と同様に、それぞれ厚さＴ２、厚さＴ１、及び厚さＴ２に形成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
図１３（ｄ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。図１３（ｄ）では、圧電振動片６３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極６３５ａは、−Ｙ’軸側の面では、側面電極６３９ａから圧電振動片６３０の−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ａの周りに引き出され、さらに、枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。また、第２引出電極６３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に引き出され、−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極６３５ｂはまた、−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ｂの周りに引き出され、側面電極６３９ｂを介して＋Ｙ’軸側に形成されている第２引出電極６３５ｂに電気的に接続されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
圧電振動片７３０では、連結部１３３に形成されている第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、連結部において互いにＹ’軸方向、Ｚ’軸方向には重なっていない。そのため、圧電振動片７３０では、連結部１３３において第１引出電極７３５ａと第２引出電極７３５ｂとにより静電容量が発生しない。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは連結部１３３の側面にも電極が形成されることにより、連結部１３３に形成される面積が広くなっており好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記枠部の前記第１接合面に前記第１引出電極が形成され、前記連結部の前記リッド板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積が、前記連結部の前記ベース板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積よりも狭い請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記リッド板と、
前記ベース板と、を備え、
前記圧電振動片は前記リッド板と前記ベース板とに挟まれた圧電デバイス。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2013026810.tif 000001