(57)【要約】【課題】  製造時間を短時間とし、かつ、製造コストを低額化しながら、良好に裏面電極を形成することが可能な太陽電池製造装置を提供する【解決手段】  機能性基板の表面にＩＴＯから成る透明電極を形成する第１ナノ粒子インクを塗布する第１塗布部１と、第１ナノ粒子インクを乾燥する第１乾燥部２と、第１ナノ粒子インクの表面にＡｇから成る反射膜を形成する第２ナノ粒子インクを塗布する第２塗布部３と、第２ナノ粒子インクを乾燥する第２乾燥部４と、第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとを焼結する第１焼結部５と、第２ナノ粒子インクの表面にＳｉＯ２  から成る保護膜を形成する保護膜形成用インクを塗布する第３塗布部６と、保護膜形成用インクを乾燥する第３乾燥部７と、保護膜形成用インクを焼結する第２焼結部８とを備える。【選択図】        図２
2013225607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池に使用する透光性の機能性基板に対して裏面電極を形成するための太陽電池製造装置であって、
前記機能性基板の表面に電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布する第１塗布部と、
前記第１ナノ粒子インクの表面に反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布する第２塗布部と、
前記第１ナノ粒子インクおよび前記第２ナノ粒子インクを焼結する第１焼結部と、
焼結後の前記第２ナノ粒子インクの表面に保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布する第３塗布部と、
前記保護膜形成用インクを焼結するための第２焼結部と、
前記基板を前記第１塗布部、前記第２塗布部、前記第１焼結部、前記第３塗布部、前記第２焼結部に順次搬送する搬送機構と、
を備えたことを特徴とする太陽電池製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池製造装置において、
前記第１塗布部と前記第２塗布部との間に、前記第１ナノ粒子インクを乾燥するための第１乾燥部が配設される太陽電池製造装置。
【請求項３】
請求項２に記載の太陽電池製造装置において、
前記第２塗布部と前記第１焼結部との間に、前記第２ナノ粒子インクを乾燥するための第２乾燥部が配設される太陽電池製造装置。
【請求項４】
請求項３に記載の太陽電池製造装置において、
前記第３塗布部と前記第２焼結部との間に、前記保護膜形成用インクを乾燥するための第３乾燥部が配設される太陽電池製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池に使用する透光性の基板に対して裏面電極を形成するための太陽電池製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜シリコン太陽電池は、表面電極等が形成されたガラス基板に、透明電極と反射膜と保護膜とをこの順に積層した裏面電極を形成し、この裏面電極の表面に、封止層等を形成した構成を有する。そして、裏面電極を形成するときには、スパッタリングにより裏面電極を構成する各層を形成している（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−４１１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
裏面電極を形成するためにスパッタリングを実行した場合には、スパッタリングはターゲットとなる金属が基板上に付着する効率が低いことから、ランニングコストが高額になるという問題が生ずる。また、スパッタリングを実行するためには、基板を真空状態とする必要があることから、成膜に時間がかかるばかりではなく、成膜装置自体も高額化するという問題が生ずる。
【０００５】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、製造時間を短時間とし、かつ、製造コストを低額化しながら、良好に裏面電極を形成することが可能な太陽電池製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、太陽電池に使用する透光性の機能性基板に対して裏面電極を形成するための太陽電池製造装置であって、前記機能性基板の表面に電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布する第１塗布部と、前記第１ナノ粒子インクの表面に反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布する第２塗布部と、前記第１ナノ粒子インクおよび前記第２ナノ粒子インクを焼結する第１焼結部と、焼結後の前記第２ナノ粒子インクの表面に保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布する第３塗布部と、前記保護膜形成用インクを焼結するための第２焼結部と、前記機能性基板を前記第１塗布部、前記第２塗布部、前記第１焼結部、前記第３塗布部、前記第２焼結部に順次搬送する搬送機構とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第１塗布部と前記第２塗布部との間に、前記第１ナノ粒子インクを乾燥するための第１乾燥部が配設される。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記第２塗布部と前記第１焼結部との間に、前記第２ナノ粒子インクを乾燥するための第２乾燥部が配設される。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記第３塗布部と前記第２焼結部との間に、前記保護膜形成用インクを乾燥するための第３乾燥部が配設される。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、スパッタリングを行うことなく裏面電極を形成することができることから、金属材料の使用効率を向上させてランニングコストを低額化させることができるとともに、常圧下で裏面電極を形成できることから、製造時間の短縮と製造装置の低額化を図ることが可能となる。また、基板の表面に電極を形成するための第１ナノ粒子インクと、この第１ナノ粒子インクの表面に反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクとを同時に焼結することから、電極と反射膜との密着性を向上させることが可能となる。さらに、第１、第２ナノ粒子インクと保護膜形成用インクとを別々に焼結することから、保護膜形成用インクの粒子が第２ナノ粒子インクの結合を妨げることを防止することができ、反射膜を強固とし、また、反射率と導電率を向上させることが可能となる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、第１ナノ粒子インクとして揮発性が低いものを使用した場合においても、これを迅速に乾燥させて成膜時間を短時間とすることが可能となる。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、第２ナノ粒子インクとして揮発性が低いものを使用した場合においても、これを迅速に乾燥させて成膜時間を短時間とすることが可能となる。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、保護膜形成用インクとして揮発性が低いものを使用した場合においても、これを迅速に乾燥させて成膜時間を短時間とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】裏面電極が形成される太陽電池の断面を模式的に示す概要図である。
【図２】この発明に係る太陽電池製造装置の斜視図である。
【図３】第１塗布部１の斜視図である。
【図４】スリットノズル４１による第１ナノ粒子インクの供給動作を模式的に示す説明図である。
【図５】スリットノズル４１を一部破断して示す正面図である。
【図６】第１乾燥部２の概要図である。
【図７】コンベア１９、２０、２１の斜視図である。
【図８】コンベア１９、２０、２１による機能性基板Ｓの搬送動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。最初に、この発明により製造される裏面電極の構成について説明する。図１は、この発明により裏面電極が形成される太陽電池の断面を模式的に示す概要図である。
【００１６】
この発明により最終的に作成される薄膜シリコン太陽電池は、表面電極が形成されたガラス基板の表面電極上にシリコン系発電層が形成されており、該シリコン系発電層上に、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）から成る透明電極（ＴＣＯ）と、Ａｇ（銀）から成る反射膜と、ＳｉＯ２  （二酸化ケイ素、シリカ）から成る保護膜とをこの順に積層した裏面電極を備える。この裏面電極の表面には封止層が積層され、薄膜シリコン太陽電池が作成される。この発明は、表面に表面電極とシリコン系発電層とが、この順序で形成されたガラス基板（以下、単に機能性基板とも称する）上に上述した裏面電極を形成するための太陽電池の製造装置に関する。
【００１７】
次に、この発明に係る太陽電池製造装置の構成について説明する。図２は、この発明に係る太陽電池製造装置の斜視図である。
【００１８】
この太陽電池製造装置は、機能性基板であるガラス基板上に表面電極を介して積層されたシリコン系発電層の表面にＩＴＯ（酸化インジウムスズ）から成る透明電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布する第１塗布部１と、第１ナノ粒子インクを乾燥するための第１乾燥部２と、第１ナノ粒子インクの表面にＡｇ（銀）から成る反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布する第２塗布部３と、第２ナノ粒子インクを乾燥するための第２乾燥部４と、第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとを同時に焼結する第１焼結部５と、焼結後の第２ナノ粒子インクの表面にＳｉＯ２  （二酸化ケイ素）から成る保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布する第３塗布部６と、保護膜形成用インクを乾燥するための第３乾燥部７と、保護膜形成用インクを焼結するための第２焼結部８と、機能性基板を第１塗布部１、第１乾燥部２、第２塗布部３、第２乾燥部４，第１焼結部５、第３塗布部６、第３乾燥部７、第２焼結部８に順次搬送するコンベア１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４とを備える。第１焼結部５および第２焼結部８は、高温の雰囲気下で第１ナノ粒子インクまたは第２ナノ粒子インクを乾燥するベークオーブン部から構成される。以下、各部の構成について説明する。
【００１９】
図３は、第１塗布部１の斜視図である。
【００２０】
この第１塗布部１は、ガラス基板上に表面電極を介して積層されたシリコン系発電層の表面にＩＴＯから成る透明電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布するためのものである。ここでＩＴＯは、酸化インジウムに数％の酸化スズを添加した化合物であり、可視光の透過率が約９０％となることから、透明電極を形成するために使用されるものである。ＩＴＯからなるナノ粒子インクとは、ナノサイズのＩＴＯ微粒子を溶媒に分散したインク状の液体である。
【００２１】
この第１塗布部１は、本体１１上に配設されたステージ１２と、このステージ１２の保持面３０に対して水平方向に往復移動するスリットノズル４１と、ステージ１２に対して機能性基板を搬入するコンベア１５と、ステージ１２から機能性基板を搬出するコンベア１４とを備える。この第１塗布部１においては、機能性基板は、コンベア１５によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２の保持面３０上に吸着保持された機能性基板の表面に、スリットノズル４１における第１ナノ粒子インク吐出用スリットを近接させた状態で、このスリットノズル４１を機能性基板に対して水平方向に移動させることにより、機能性基板の表面に第１ナノ粒子インクを塗布する。しかる後、第１ナノ粒子インクが塗布された機能性基板を、コンベア１４によりステージ１２上から搬出する。
【００２２】
上記コンベア１５は、ステージ１２の一方側に配設されている。コンベア１５は、一対の側板９３の両端部に軸支され、図示しないモータの駆動により回転する一対の駆動軸９２を備える。この駆動軸９２は、各々、３個のプーリを備え、これらのプーリ間には、３本のベルト９１が巻回されている。これら３本のベルト９１は、一対の駆動軸９２の回転に伴って、互いに同期して回動し、ベルト９１の上部に載置された機能性基板をステージ１２上に水平に搬入する。なお、一対の側板９３は、これらの側板９３をスライド可能に支持する支持部９４に沿って、各ベルト９１等がステージ１２に近接し、ベルト９１に載置された機能性基板をステージ１２に受け渡し可能とする受渡位置と、ステージ１２から離隔して後述する移動子５０ｂの移動を可能とする離間位置との間を往復移動可能となっている。
【００２３】
同様に、上記コンベア１４は、ステージ１２の他方側に配設されている。コンベア１４は、一対の側板９７の両端部に軸支され、図示しないモータの駆動により回転する一対の駆動軸９６を備える。この駆動軸９６は、各々、３個のプーリを備え、これらのプーリ間には、３本のベルト９５が巻回されている。これら３本のベルト９５は、一対の駆動軸９６の回転に伴って、互いに同期して回動し、ベルト９５の上部に載置された機能性基板をステージ１２から水平に搬出する。なお、一対の側板９７は、これらの側板９７をスライド可能に支持する支持部９８に沿って、各ベルト９５等がステージ１２に近接し、ステージ１２に載置された機能性基板をベルト９５に受け渡し可能とする受渡位置と、ステージ１２から離隔して後述する移動子５０ｂの移動を可能とする離間位置との間を往復移動可能となっている。
【００２４】
つまり、コンベア１５と、ステージ１２と、コンベア１４とは一列に配置されている。したがって、機能性基板は、コンベア１５によってステージ１２の一方側から搬入され、ステージ１２上で第１ナノ粒子インクの塗布処理が行われた後、ステージ１２の他方側からコンベア１４によって搬出される。
【００２５】
また、コンベア１５と、コンベア１４は、ステージ１２に対して機能性基板をステージ１２に受け渡し可能とする受渡位置と、ステージ１２から離隔して後述する移動子５０ｂの移動を可能とする離間位置との間を往復移動可能となっているため、機能性基板を搬送する際には、ステージ１２に近接することで機能性基板をステージ１２に確実に搬送することができる。また、後述するスリットノズル４１が第１ナノ粒子インクの塗布を行う際には、ステージ１２から離間することで、スリットノズル４１との干渉を防ぎ、安定した第１ナノ粒子インクの塗布を行うことができる。
【００２６】
上記スリットノズル４１は、ステージ１２を跨ぐように設けられた架橋構造を有するノズル支持部４０により支持されている。すなわち、スリットノズル４１は、ノズル支持部４０の下面に付設されている。一方、ステージ１２の両側部分には、それぞれ固定子（ステータ）５０ａと移動子５０ｂを備える一対のＡＣコアレスリニアモータ（以下、単に、「リニアモータ」と略する。）５０が配設されている。そして、ノズル支持部４０の両端は、一対の移動子５０ｂに固定されている。なお、この移動子５０ｂ内には、ノズル支持部４０の両端と連結された図示しない左右一対の昇降機構が配設されている。このため、スリットノズル４１は、リニアモータ５０の作用によりステージ１２の表面に沿って往復移動するとともに、図示しない昇降機構の作用によりステージ１２に対して昇降する構成となっている。なお、このスリットノズル４１の往復移動方向は、コンベア１４、１５による機能性基板の搬送方向と直交する方向となっている。
【００２７】
図４は、スリットノズル４１による第１ナノ粒子インクの供給動作を模式的に示す説明図であり、図５は、スリットノズル４１を一部破断して示す正面図である。
【００２８】
このスリットノズル４１は、その長手方向（図４における紙面に垂直な方向であり図５における左右方向）に延びるスリット状の吐出用スリット４４を有する。この吐出用スリット４４の長手方向の長さは、矩形状の機能性基板Ｓの短辺の長さ以上の長さである。第１ナノ粒子インク供給配管４６により供給された第１ナノ粒子インク４５は、図４に示すように、機能性基板Ｓの表面に近接配置されたスリット状の吐出用スリット４４を介して、機能性基板Ｓの表面に供給される。そして、機能性基板Ｓの表面に第１ナノ粒子インク膜が形成される。言い換えると、ガラス基板上に表面電極を介して積層されたシリコン系発電層の表面に第１ナノ粒子インク膜が形成される。
【００２９】
再度図３を参照する。上記ステージ１２の表面には、機能性基板Ｓを吸着保持するための吸着溝７２が形成されている。そして、ステージ１２の表面には、複数のローラ８１が、２列状をなして配設されている。これらのローラ８１は、その一部がステージ１２の保持面３０の表面より上方に配置される搬送位置と、その全部がステージ１２の保持面３０の表面より下方に配置される退避位置との間を互いに同期して昇降可能となっている。また、ステージ１２の表面には、多数の吸着盤７１が、ステージ１２における保持面３０の表面にその一部を突出させた状態で配設されている。
【００３０】
この第１塗布部１により機能性基板Ｓに第１ナノ粒子インクを塗布する場合には、最初に、複数のローラ８１を、機能性基板Ｓを搬送するための搬送位置に配置する。この時には、各ローラ８１の上端は、コンベア１５における３本のベルト９１の上端と同一高さ位置に配置される。このとき、コンベア１５もステージ１２に近接した位置である受渡位置に移動する。この状態において、３本のベルト９１を一対の駆動軸９２の回転に伴って互いに同期して回動させる。また、各ローラ８１を、ベルト９１の回動と同期して回転させる。そして、これらのベルト９１およびローラ８１の作用により、機能性基板Ｓをコンベア１５からステージ１２における保持面３０上に搬送する。
【００３１】
機能性基板Ｓがステージ１２の上部まで移動すれば、ベルト９１およびローラ８１を停止させる。そして、各ローラ８１を、ローラ８１の上端部がステージ１２の保持面３０より上方に配置された搬送位置から、ローラ８１の上端部がステージ１２の保持面３０より下方に配置される退避位置に移動させる。これにより、機能性基板Ｓは、吸着盤７１と当接する。
【００３２】
また、機能性基板Ｓをステージ１２の上部まで移動させた後には、コンベア１５における一対の側板９３を移動させ、各ベルト９１をステージ１２に近接する受渡位置から、ステージ１２から離隔して移動子５０ｂの移動を可能とする離間位置に移動させる。なお、コンベア１４も、ステージ１２から離隔して移動子５０ｂの移動を可能とする離間位置に配置しておく。
【００３３】
そして、吸着盤７１の作用により機能性基板Ｓの裏面をステージ１２の保持面３０に押し付けるとともに、吸着溝７２からも排気を行い、機能性基板Ｓの裏面側を大気圧に対して負圧とすることにより、機能性基板Ｓを保持面３０に吸着保持する。
【００３４】
この状態において、スリットノズル４１における吐出用スリット４４をステージ１２の保持面３０に吸着保持された機能性基板Ｓの表面と近接させた状態で、スリットノズル４１をリニアモータ５０の駆動により機能性基板Ｓの表面に沿って移動させる。そして、図４に示すように、第１ナノ粒子インク供給配管４６により供給された第１ナノ粒子インク４５を、機能性基板Ｓの表面に供給する。これにより、機能性基板Ｓの表面に第１ナノ粒子インク４５の薄膜が形成される。
【００３５】
機能性基板Ｓへの第１ナノ粒子インクの塗布が完了すれば、複数のローラ８１を、その上端部がステージ１２の保持面３０の表面より上方に配置される搬送位置まで上昇させる。さらに、コンベア１４を各ベルト９５がステージ１２に近接する受渡位置に移動させる。そして、３本のベルト９５を一対の駆動軸９６の回転に伴って互いに同期して回動させる。また、各ローラ８１を、ベルト９５の回動と同期して回転させる。そして、これらのベルト９５およびローラ８１の作用により、機能性基板Ｓをステージ１２上からコンベア１４に向けて搬出する。
【００３６】
なお、上述した第１塗布部１は、機能性基板Ｓの表面にＩＴＯから成る透明電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布している。これに対して、第２塗布部３は、第１ナノ粒子インクの表面にＡｇから成る反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布し、第３塗布部６は、焼結後の第２ナノ粒子インクの表面にＳｉＯ２  から成る保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布する点が異なるのみで、その他の構成は上述した第１塗布部１と同様である。なお、Ａｇからなるナノ粒子インクとは、ナノサイズのＡｇ微粒子を溶媒に分散したインク状の液体である。このような材料をＡｇナノメタルペーストとも呼ぶ。
【００３７】
図６は、第１乾燥部２の概要図である。
【００３８】
この第１乾燥部２は、第１塗布部１において塗布された第１ナノ粒子インクを減圧乾燥するためのものであり、基部４９と蓋部４８とから構成されるチャンバーと、基部４９内に配設されたコンベア２５とを備える。この第１乾燥部２においては、第１塗布部１において第１ナノ粒子インクが塗布され、前段のコンベア１４により搬送される機能性基板Ｓは、コンベア１４とコンベア２５との作用により基部４９と蓋部４８とから構成されるチャンバー内に搬送される。この時には、蓋部４８はコンベア２５の上方の待機位置まで上昇している。
【００３９】
第１ナノ粒子インクが塗布された機能性基板Ｓの全域がコンベア２５上に載置されれば、蓋部４８を基部４９と当接する位置まで下降させ、基部４９と蓋部４８とによりチャンバーを構成する。そして、このチャンバー内を減圧することにより、第１ナノ粒子インクを乾燥する。第１ナノ粒子インクの乾燥が完了すれば、再度、蓋部４８がコンベア２５の上方の待機位置まで上昇する。そして、コンベア２５とコンベア１６との作用により、第１ナノ粒子インクが乾燥した機能性基板Ｓを次工程に搬送する。
【００４０】
なお、第２乾燥部４は第２ナノ粒子インクを乾燥するためのものであり、第３乾燥部７は保護膜形成用インクを乾燥するためのものであるが、これらの第２乾燥部４および第３乾燥部７も、上述した第１乾燥部２と同様の構造を有する。
【００４１】
次に、上述した機能性基板Ｓの搬送方向を変更するためのコンベア１９、２０、２１の構成について説明する。図７は、コンベア１９、２０、２１の斜視図である。また、図８は、これらのコンベア１９、２０、２１による機能性基板Ｓの搬送動作を示す説明図である。
【００４２】
機能性基板Ｓは、最初に、コンベア１９における複数の搬送ローラ３４により、図７に示す長辺Ｓ１と平行な方向に搬送される。次に、機能性基板Ｓは、コンベア１９における複数の搬送ローラ３３と、コンベア２０における複数の搬送ローラ３５と、コンベア２１における複数の搬送ローラ３２により、その短辺Ｓ２と平行な方向に搬送される。さらに、機能性基板Ｓは、コンベア２１における複数の搬送ローラ３１により、その長辺Ｓ１と平行でコンベア１９による搬送方向と逆方向を向く方向に搬送される。
【００４３】
ここで、図８（ｂ）に示すように、機能性基板Ｓがコンベア１９からコンベア２０を介してコンベア２１に搬送されるときには、複数の搬送ローラ３５は、複数の搬送ローラ３４や複数の搬送ローラ３１よりも高い位置に配置されている。そして、複数の搬送ローラ３３と複数の搬送ローラ３２とは、複数の搬送ローラ３５と同じ高さである上昇位置と、複数の搬送ローラ３４や複数の搬送ローラ３１よりも低い下降位置との間を昇降可能となっている。複数の搬送ローラ３３の昇降動作に伴って、機能性基板Ｓは、その搬送方向を変更され、複数の搬送ローラ３２の昇降動作に伴って、機能性基板Ｓは、その搬送方向を変更される。
【００４４】
すなわち、機能性基板Ｓは、最初に、複数の搬送ローラ３４によりその長辺Ｓ１と平行な方向に搬送される。このときには、図８（ａ）に示すように、複数の搬送ローラ３３は下降位置に配置されている。そして、機能性基板Ｓが複数の搬送ローラ３３の上方の位置まで搬送されれば、図８（ｂ）に示すように、複数の搬送ローラ３３が上昇位置に移動する。これにより、機能性基板Ｓは、複数の搬送ローラ３４から複数の搬送ローラ３３に受け渡される。このときには、図８（ｂ）に示すように、複数の搬送ローラ３２も、上昇位置に移動している。この状態において、各搬送ローラ３３、３５、３２を同期して回転させる。これにより、機能性基板Ｓは、その短辺Ｓ２と平行な方向に搬送される。
【００４５】
機能性基板Ｓが複数のローラ３１の上方の位置まで搬送されれば、各搬送ローラ３３、３５、３２の回転を停止する。そして、図８（ｃ）に示すように、複数の搬送ローラ３２が下降位置に移動する。これにより、機能性基板Ｓは、複数の搬送ローラ３２から複数の搬送ローラ３１に受け渡される。そして、機能性基板Ｓは、複数の搬送ローラ３１が回転することにより、その長辺Ｓ１と平行な方向に搬送される。
【００４６】
以上のように、この実施形態に係るコンベア１９、２０、２１においては、機能性基板Ｓの方向を変更することなく、この機能性基板Ｓの搬送方向を９０度変更している。但し、機能性基板Ｓの方向を変更することで、この機能性基板Ｓの搬送方向を変更するようにしてもよい。
【００４７】
以上のような構成を有する太陽電池製造装置において、機能性基板Ｓの表面に裏面電極を形成する場合においては、最初に、第１塗布部１により機能性基板Ｓの表面にＩＴＯから成る透明電極を形成するための第１ナノ粒子インクを塗布する。そして、この第１ナノ粒子インクを第１乾燥部２により乾燥させる。次に、第２塗布部３により第１ナノ粒子インクの表面にＡｇから成る反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布する。そして、この第２ナノ粒子インクを第２乾燥部４により乾燥させる。しかる後、第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとを、第１焼結部５により同時に焼結する。
【００４８】
このように、Ａｇから成る反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを焼結した場合においては、第２ナノ粒子インク内の溶剤を蒸発させ、第２ナノ粒子インク内に分散するＡｇを結合させることで、Ａｇ膜の密着性の向上と、発電層への光の取り込み量を増大させるための反射率の向上を図ることができる。この時、第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとを同時に焼結することから、電極と反射膜との密着性を向上させることが可能となる。また、単一の第１焼結部５により第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとを焼結することから、太陽電池製造装置のフットプリントを減少させることができる。
【００４９】
第１ナノ粒子インクと第２ナノ粒子インクとが焼結されれば、第３塗布部６により焼結後の第２ナノ粒子インクの表面にＳｉＯ２  から成る保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布する。そして、この保護膜形成用インクを第３乾燥部７により乾燥させる。しかる後、第２焼結部８において、保護膜形成用インクを焼結する。
【００５０】
Ａｇから成る反射膜を形成するための第２ナノ粒子インクを塗布し、乾燥した場合においても、第２ナノ粒子インク内のＡｇ粒子は、各々が独立した状態を保持する傾向にあり、このような独立状態を保持するためには、Ａｇ粒子間で隙間が多く存在する状態にある。この状態で第２ナノ粒子インクの表面にＳｉＯ２  から成る保護膜を形成するための保護膜形成用インクを塗布した場合には、Ａｇ粒子間にＳｉＯ２  粒子が入り込むことになる。Ａｇ粒子間にＳｉＯ２  粒子が入り込んでしまうと、その後に焼結処理を実行しても、Ａｇ粒子の結合をＳｉＯ２  粒子が妨げることとなり、反射膜が脆弱なものとなるばかりではなく、その反射率が低下するとともに、導電率の向上が困難となるという問題がある。
【００５１】
しかしながら、この発明に係る太陽電池製造装置においては、第１、第２ナノ粒子インクと保護膜形成用インクとを別々に焼結することから、上述した問題の発生を防止することが可能となり、反射膜を強固なものとすることができるとともに、反射率と導電率を向上させることが可能となる。
【００５２】
なお、上述した実施形態においては、機能性基板Ｓを略Ｕ字状となる搬送路に沿って搬送しながら各種の処理を実行しているが、機能性基板を直線状の搬送路に沿って搬送しながら各種の処理を実行するようにしてもよい。
【００５３】
また、上述した実施形態においては、機能性基板を構成するガラス基板として透光性を有するガラスを用いているがこれに限定されるものではない。例えば、セラミックス又は高分子材料からなる透光性を有する基板等であればよい。
【符号の説明】
【００５４】
１      第１塗布部
２      第１乾燥部
３      第２塗布部
４      第２乾燥部
５      第１焼結部
６      第３塗布部
７      第３乾燥部
８      第２焼結部
１４    コンベア
１５    コンベア
１６    コンベア
１７    コンベア
１８    コンベア
１９    コンベア
２０    コンベア
２１    コンベア
２２    コンベア
２３    コンベア
２４    コンベア
２５    コンベア
４１    スリットノズル
４８    蓋部
４９    基部
Ｓ      機能性基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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