【手続補正書】
【提出日】平成26年9月5日(2014.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２（Ａ）では、揺動部材５が初期位置Ｐ１に位置決めされていることで、揺動部材５の長手方向Ｇは、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に対して角度θで傾斜している。この状態では、揺動部材５の長手方向Ｇは、検出ローラ６の取り付け軸部１２の中心と、揺動支点部材１０の中心と、マグネット７の中心と、検出センサ８の中心を通っている。検出ローラ６の取り付け軸部１２と揺動支点部材１０との間の距離Ｌ１は、揺動支点部材１０とマグネット７（ウエイト５Ｃ）との間の距離Ｌ２に比べて、好ましくは短く設定されている。これにより、揺動部材５が図２（Ｂ）に示す検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に逆回転方向Ｒ１に回転して復帰することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図２に示すように、初期位置Ｐ１では、この揺動部材５の長手方向Ｇは、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に対して、所定の角度θだけ揺動支点部材１０を中心にして傾けてある。マグネット７は、検出センサ８に対面している。揺動ストッパ１１には、揺動部材５の下側側面部５Ｄが当接している。この角度θは、例えば４０度である。角度θの範囲は、好ましくは３０度から５０度の範囲である。角度θが３０度未満であると、検出ローラ６が基板Ｂにより回転方向Ｒに押し下げられた場合に、検出ローラ６が回転方向Ｒに回転してしまう角度が大きくなり、揺動部材５が検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に復帰するまでの復帰時間が長くかかるので、好ましくない。また、角度θが５０度を超えると、検出ローラ６が基板Ｂにより回転方向Ｒに押し下げられた場合に、検出ローラ６が回転方向Ｒに回転する角度は小さいが、マグネット７が検出センサ８から遠ざかる距離が小さい（マグネットの逃げ距離が小さい）ので、検出センサ８はマグネット７の磁界の変化を検出し難いことから、好ましくない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
これに対して、図２（Ｂ）に示すように、揺動部材５が検出位置Ｐ２に回転した時に、すなわち基板Ｂが検出ローラ６を押し下げた時には、揺動部材５の長手方向Ｇは、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に対して、所定の角度θに加えて追加の回転角度θ１だけ、揺動支点部材１０を中心にしてさらに回転方向Ｒに回転される。これにより、マグネット７は、検出センサ８から回転方向Ｒに離れる。揺動ストッパ１１は、揺動部材５の下側側面部５Ｄから離れる。この回転角度θ１の例としては、１５．５度であるが、特に限定されない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図４（Ｂ）に示す反力Ｗ０は、検出ローラＫ２が基板を検出する際に、検出ローラＫ２が基板から受ける突き上げ反力である。図４（Ｂ）において、揺動部材Ｋの揺動支点Ｋ１を中心とする倒れ易さ（回転し易さ）は、（Ｗ０＋Ｗ１）×Ｌ１＞Ｗ２×Ｌ２で表すことができ、Ｗ２×Ｌ２の値が小さい程、揺動部材Ｋの重量バランスは安定する。また、揺動部材Ｋの逆回転方向Ｒ１への戻り易さ（復帰し易さ）は、Ｗ１×Ｌ１＜Ｗ２×Ｌ２で表すことができ、Ｗ２×Ｌ２の値が大きい程、揺動部材Ｋは逆回転方向Ｒ１へ戻り易くなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
基板Ｂが通過して基板Ｂが検出ローラ６を押し下げた時には、揺動部材５の長手方向Ｇは、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に対して、予め設定されている所定の角度θに加えて回転角度θ１だけ、揺動支点部材１０を中心にして回転方向Ｒにさらに回転される。これにより、マグネット７は、検出センサ８から回転方向Ｒに離れる。揺動部材５の下側側面部５Ｄは、揺動ストッパ１１から離れる。これにより、マグネット７は、図２（Ａ）に示す検出センサ８に対向した状態から図２（Ｂ）に示す離れることにより、磁界を生じなくなる。検出センサ８がこの磁界が生じなくなったことを示す検出信号ＤＳを制御部１００に送って制御部１００が認識することで、制御部１００は基板Ｂを検出していると判断する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
逆に、基板Ｂがさらに搬送方向Ｔに搬送されて、基板Ｂが検出ローラ６から離れると、揺動部材５は重力の力で逆回転方向Ｒ１に回転して検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に復帰するので、マグネット７が検出センサ８から離れた状態から対向した状態に戻ると磁界を発生したことを検出センサ８が検出するので、制御部１００は磁界が発生したことを認識して、基板Ｂは検出していないと判断する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
これにより、揺動部材５は回転方向Ｒと逆回転方向Ｒ１について振り子のように揺れ動く動作（チャタリング）を全く起こすことなく、揺動部材５は初期位置Ｐ１に直ちに位置決めすることができる。基板Ｂが検出ローラ６から離れると、揺動部材５が検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に逆回転方向Ｒ１に回転して直ちに復帰できるのは、すでに説明したように、揺動部材５が初期位置Ｐ１において、回転方向Ｒ側に向けて予め角度θだけ傾斜して保持されているからである。しかも、図２（Ａ）に示すように、好ましくは検出ローラ６の取り付け軸部１２と揺動支点部材１０との間の距離Ｌ１が、揺動支点部材１０とマグネット７（ウエイト５Ｃ）との間の距離Ｌ２に比べて、好ましくは短く設定されているからである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の実施形態における基板検出装置２では、図２（Ａ）と図２（Ｂ）に示すように、基板Ｂが通過して図６の時点ｔ１において、検出ローラ６を垂直線Ｚ１方向に押し下げると、揺動部材５が初期位置Ｐ１に位置決めされている状態から回転方向Ｒに回転して、時点ｔ３において検出位置Ｐ２に位置決めされる。これにより、マグネット７は、図２（Ａ）に示す検出センサ８に最接近した状態から図２（Ｂ）に示す離れた状態になるので、図６の時点ｔ１から時間ＤＬ１だけわずかに遅れた時点ｔ３において、検出センサ８は制御部１００に検出信号ＤＳを発生する。図６に示すように、基板Ｂが搬送されて基板Ｂが検出ローラ６を押し下げている間は、検出信号ＤＳを発生している。そして、図６の時点ｔ２で基板Ｂが通過すると、揺動部材５が検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に復帰するので、マグネット７は、検出センサ８から離れた状態から接近した状態に戻ることから、時点ｔ２から時間ＤＬ２だけわずかに遅れた時点ｔ４において、検出信号ＤＳの発生は終わる。時点ｔ４の後には、ソフトウェア上必要な時間余裕を設定する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
次に、上述した本発明の第２実施形態の基板処理装置１の基板検出装置１０２の動作例を説明する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
基板Ｂが搬送方向Ｔに搬送される途中で、基板Ｂが基板検出装置１０２の上を通過すると、図７（Ａ）に示す検出ローラ１０６は基板Ｂの下面に押されるので、図７（Ａ）に示す揺動部材１０５が初期位置Ｐ１に位置されている状態から検出位置Ｐ２に回転方向Ｒに沿って回転する。これにより、マグネット１０７は、検出センサ１０８から回転方向Ｒに離れる。揺動ストッパ１１１は、ウエイト１０５Ｃから離れる。これにより、マグネット１０７は、検出センサ１０８が最接近した状態から離れた状態になるので、検出センサ１０８は制御部１００に検出信号ＤＳを発生する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図８に示すように、基部（図示せず）と、揺動部材１０５と、ウエイト１０５Ｃと、追加ウエイト１０５Ｄと、検出ローラ１０６と、マグネット１０７と、リードスイッチのような検出センサ１０８と、揺動支点部材１１０と、揺動ストッパ１１１を有している。揺動部材１０５は、図７（Ａ）に示す初期位置Ｐ１に位置決めされている状態では、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に沿って形成された第１部分１０５Ｓと、傾斜線Ｖに沿って形成された第２部分１０５Ｔを有している。傾斜線Ｖは、垂直線Ｚ１とは所定の角度θ２だけ傾斜している。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
この傾斜角度θ２は、角度θと角度ｕを足した角度である。この基板検出装置２０２の基部（図示せず）と、揺動部材１０５と、ウエイト１０５Ｃと、追加ウエイト１０５Ｄと、検出ローラ１０６と、マグネット１０７と、リードスイッチのような検出センサ１０８と、揺動支点部材１１０と、揺動ストッパ１１１は、図７に示す基板検出装置１０２の基部１０４と、揺動部材１０５と、ウエイト１０５Ｃと、追加ウエイト１０５Ｄと、検出ローラ１０６と、マグネット１０７と、リードスイッチのような検出センサ１０８と、揺動支点部材１１０と、揺動ストッパ１１１と同じものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
ただし、揺動部材１０５の第１部分１０５Ｓの長手方向ＲＧは、Ｚ方向の垂直線Ｚ１に対して、予め角度ｕだけ傾斜されている。つまり、揺動ストッパ１１１が、垂直線Ｚ１側に寄せて固定されており、揺動部材１０５は角度ｕだけ傾斜した状態で、ウエイト１０５Ｃが揺動ストッパ１１１に対して突き当たっていることで、揺動部材１０５は初期位置Ｐ１に位置決めされている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
基板Ｂが検出ローラ１０６を押し下げた時には、揺動部材１０５が、揺動支点部材１１０を中心にして回転方向Ｒに回転される。これにより、マグネット１０７は、検出センサ１０８から回転方向Ｒに離れる。揺動ストッパ１１１は、ウエイト１０５Ｃから離れる。これにより、マグネット１０７は、検出センサ１０８に対向した状態から離れた状態になるので、検出センサ１０８は制御部１００に検出信号ＤＳを発生する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
そして、基板Ｂがさらに搬送方向Ｔに搬送されて、基板Ｂが検出ローラ１０６から離れると、揺動部材１０５が検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に逆回転方向Ｒ１に回転して初期位置Ｐ１に復帰するので、マグネット１０７は、検出センサ１０８から離れた状態から接近した状態に戻るので、検出センサ１０８からの検出信号ＤＳの発生は終わる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
このように、基板Ｂが検出ローラ１０６から離れると、揺動部材１０５が検出位置Ｐ２から初期位置Ｐ１に逆回転方向Ｒ１に回転して直ちに初期位置Ｐ１に復帰し、しかも揺動部材５のウエイト１０５Ｃは、揺動ストッパ１１１に突き当たるので、揺動部材１０５は振り子のように揺れ動く動作（チャタリング）を起こすことなく、揺動部材１０５は初期位置Ｐ１に直ちに位置決めすることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図８に示す揺動部材１０５は、図７の揺動部材１０５に比べて、初期位置Ｐ１においても予めさらにオフセット角度ｕだけ回転方向Ｒ側に傾けている。しかも、追加ウエイト１０５Ｄは、検出ローラ１０６とは逆方向へ荷重を与えることにより、揺動部材１０５には逆回転方向Ｒ１へ揺動ベクトルを発揮でき、すなわち揺動ストッパ１１１へ当接する方向へ揺動ベクトルを発揮できるからである。これにより、図８に示す基板検出装置２０２は、図７に示す基板検出装置１０２に比べて、基板検出動作における回転方向Ｒへの回転および逆回転方向Ｒ１への復帰を、さらに高めることができる。このため、図８に示す基板検出装置２０２は、揺動部材１０５の揺動運動の収束を短くして、基板Ｂの通過の誤検出を防げる。しかも、揺動部材１０５の揺動運動の収束を短くできるので、順次搬送される複数の基板Ｂ同士の搬送間隔を小さくしても、基板Ｂの有無の検出を確実に行えるので、基板を搬送しながらの基板処理効率を上げることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
また、揺動部材は直線状の部材とすることができる。これにより、揺動部材の形状が単純化でき、基板検出装置の構造を簡単化することができる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2014041897.tif 000001
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2014041897.tif 000002