Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月4日(2014.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で前記樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記型保持部に保持された状態の前記型を、該型に接する空間の圧力を調整することで前記基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、
前記凸形に変形した前記型と、前記未硬化樹脂との押し付け動作中に、前記型または前記基板の姿勢を変化させることで前記型と前記未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、
前記接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、
前記画像情報に基づいて前記接触領域の図心の平面座標を算出し、該図心の平面座標の位置が、前記画像情報に基づいて算出した、または予め取得した前記基板上のパターン形成領域の図心の平面座標の位置に向かうように前記駆動部の動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記型と前記未硬化樹脂との押し付け位置が前記基板の端部にかかる場合には、前記接触領域の図心の平面座標の算出と並行して前記パターン形成領域の図心の平面座標の算出を実行することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記型保持部に設置され、前記基板の平面に対する前記型保持部での前記型の保持面の角度を変化させる駆動系であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記基板保持部に設置され、前記型の面に対する前記基板保持部での前記基板の保持面の角度を変化させる駆動系であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記駆動部は、前記型を吸着する複数の吸着溝と、該複数の吸着溝のそれぞれの吸着を独立して切り替え可能とする切り替え機構とを含む前記型保持部であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記駆動部は、前記型保持部に保持されつつ前記基板に向かい凸形に変形した状態の前記型を、前記基板の平面に対して平行に移動させる移動機構であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記押し付け動作の完了後に、平行に移動した状態を前記移動機構により元に戻させることを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記押し付け動作の前の前記型と前記基板との相対位置の計測結果に基づいて位置合わせを実行することを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記押し付け動作の完了後の前記型と前記基板との相対位置の計測結果に基づいて位置合わせを実行することを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上に樹脂のパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１１】
基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で前記樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記型保持部に保持された状態の前記型を、該型に接する空間の圧力を調整することで前記基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、
前記凸形に変形した前記型と、前記未硬化樹脂との押し付け動作中に、前記型または前記基板の姿勢を変化させることで前記型と前記未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、
前記接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、
凸形に変形させた前記型と前記未硬化樹脂とを接触させた状態で前記測定部により取得された前記画像情報にもとづいて、前記接触領域の図心の位置が前記パターン面の図心の位置に向かうように前記駆動部の動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、型を保持する型保持部と、基板を保持する基板保持部と、型保持部に保持された状態の型を、該型に接する空間の圧力を調整することで基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、凸形に変形した型と、未硬化樹脂との押し付け動作中に、型または基板の姿勢を変化させることで型と未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、画像情報に基づいて接触領域の図心の平面座標を算出し、該図心の平面座標の位置が、画像情報に基づいて算出した、または予め取得した基板上のパターン形成領域の図心の平面座標の位置に向かうように駆動部の動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年8月27日(2014.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極と、
前記第１の電極上の第１の半導体層と、
前記第１の半導体層上の第２の半導体層と、
前記第２の半導体層上の第３の半導体層と、
前記第３の半導体層上の第２の電極と、を有し、
前記第１の半導体層は、有機化合物および無機化合物を含む透光性半導体層であり、
前記第２の半導体層および前記第３の半導体層は、有機化合物を含む半導体層であり、
前記第１の半導体層の導電型はｐ型、前記第２の半導体層の導電型はｉ型、前記第３の半導体層の導電型はｎ型であることを特徴とする光電変換装置。
【請求項２】
第１の電極と、
前記第１の電極上の第１の半導体層と、
前記第１の半導体層上の第２の半導体層と、
前記第２の半導体層上の第３の半導体層と、
前記第３の半導体層上の第４の半導体層と、
前記第４の半導体層上の第２の電極と、を有し、
前記第１の半導体層は、有機化合物および無機化合物を含む透光性半導体層であり、
前記第２の半導体層、前記第３の半導体層、および前記第４の半導体層は、有機化合物を含む半導体層であり、
前記第１の半導体層および前記第２の半導体層の導電型はｐ型、前記第３の半導体層の導電型はｉ型、前記第４の半導体層の導電型はｎ型であることを特徴とする光電変換装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第１の半導体層の有機化合物は、芳香族アミン化合物、カルバゾール誘導体、芳香族炭化水素、高分子化合物、ジベンゾフラン骨格もしくはジベンゾチオフェン骨格を含む複素環化合物のいずれかであることを特徴とする光電変換装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記第１の半導体層の前記無機化合物は、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウム、酸化チタンのいずれかであることを特徴とする光電変換装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月16日(2014.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された第１色変換係数を用いた変換を介して、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させた第２色変換係数を生成する生成手段、
を含む色処理装置。
【請求項２】
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された第１色変換係数と、
前記第１色変換係数の後段に、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、前記出力デバイスの色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、第２色変換係数とを用いて、色変換する色変換手段
を含む色処理装置。
【請求項３】
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された、入力色を出力色域内の色に変換するときに利用される第１色変換係数を用いた変換を介して、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、入力色を変換する第２色変換係数と、前記第１色変換係数とを順次利用して出力デバイス依存色空間の出力色に変換する色変換処理手段
を含む色処理装置。
【請求項４】
変換対象となる入力を、グラフィック画像とし、
前記第２色変換係数を、緑色及び赤色の各々の最大彩度色を、前記対応する最大彩度色に近づけて対応させるように生成されたものとした請求項１〜請求項３の何れか１項記載の色処理装置。
【請求項５】
前記第２色変換係数を、各色相での色域境界の彩度に対して彩度が低い色ほど、前記第２色変換係数を用いた色変換による色の変化量が小さくなるように生成されたものとした請求項１〜請求項４の何れか１項記載の色処理装置。
【請求項６】
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現し、かつ、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、入力色を出力色域内の色に変換する色変換係数を用いて、入力色を、出力デバイス依存色空間の出力色に変換する色変換処理手段
を含む色処理装置。
【請求項７】
コンピュータを、
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された第１色変換係数を用いた変換を介して、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させた、第２色変換係数を生成する生成手段
として機能させるためのプログラム。
【請求項８】
コンピュータを、
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された第１色変換係数、及び
前記第１色変換係数を用いた変換を介して、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、前記出力デバイスの色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、出力デバイス依存色を入力とする第２色変換係数を順次用いて、入力色を、出力デバイス依存色空間の出力色に色変換する色変換処理手段
として機能させるためのプログラム。
【請求項９】
コンピュータを、
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現するように生成された、第１色変換係数を用いた変換を介して、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、第２色変換係数、および前記第１色変換係数を順次用いて、入力色を、出力デバイス依存色空間の出力色に変換する色変換処理手段
として機能させるためのプログラム。
【請求項１０】
コンピュータを、
表示装置によって表示された色を出力デバイスで色再現し、かつ、入力色域の概ね外郭上に位置する最大彩度色を、出力色域内の、対応する色相の最大彩度色に近づけて対応させるように生成された、入力色を出力色域内の色に変換する色変換係数を用いて、入力色を、出力デバイス依存色空間の出力色に変換する色変換処理手段
として機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月1日(2014.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部の装置からのトリガを、撮像素子のリセットおよびリードアウトのタイミングで受ける受付部と、
前記受付部により前記トリガを受け付けたとき、前記装置に対して、前記撮像素子の状態を示すステータスを返す出力部とを
備える撮像装置。
【請求項２】
前記装置は、光源の発光タイミングも制御する
請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記出力部は、前記撮像素子の状態が変化したときも、前記装置に対して、前記ステータスを返す
請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記トリガは、前記リセットまたは前記リードアウトを示す２種類で構成され、
前記受付部により受け付けた前記トリガが、前記リードアウトを示す場合、前記撮像素子からのデータをメモリに書き込む書き込み部を
さらに備える請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記書き込み部により前記メモリに前記データが書き込まれ始めたところで、前記メモリに書き込まれた前記データの送信を開始する送信部を
さらに備える請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記送信部は、USB（Universal Serial Bus）を介して、前記メモリに書き込まれた前記データを送信する
請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
連続撮像を行う場合、前記トリガは、ｎ枚目の前記リードアウトおよびｎ＋１枚目の前記リセットを示す
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記撮像素子に対して同期信号を発行する同期信号発行部と、
前記受付部により前記トリガを受け付けたとき、前記撮像素子を低電流モードから起動させ、前記同期信号発行部による前記同期信号の発行終了後に、前記撮像素子を低電流モードに移行させるモード移行部と
をさらに備える請求項１乃至７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
撮像装置の制御方法であって、
外部の装置からのトリガを、撮像素子のリセットおよびリードアウトのタイミングで受け、
前記トリガを受け付けたとき、前記装置に対して、前記撮像素子の状態を示すステータスを返す
ステップを含む制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
なお、本開示における実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
図６の例においては、上から順に、光源ＯＮ、ＰＣ１３からの制御信号、補助装置１４からのトリガ（リセット）とトリガ（リードアウト）、垂直同期信号、水平同期信号、イメージャのセッティングの各タイミングが示されている。さらに、０乃至(LAST)の水平ライン、補助装置１４へのステータス信号、メモリ１１４へのデータの蓄積、およびＰＣ１３への画像転送の各タイミングが示されている。なお、各タイミングについての詳細な説明は、図５の例と同様であるので省略する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
コンピュータにインストールされ、コンピュータによって実行可能な状態とされるプロ
グラムを記録（記憶）する記録媒体は、図１１に示すように、磁気ディスク（フレキシブルディスクを含む）、光ディスク（CD-ROM(Compact Disc-Read Only Memory),DVD(Digital Versatile Disc)を含む）、光磁気ディスク（ＭＤ（Mini-Disc）を含む）、もしくは半導体メモリ等よりなるパッケージメディアであるリムーバブルメディア２１１、又は、プログラムが一時的もしくは永続的に格納されるROM２０２や、記憶部２０８を構成するハードディスク等により構成される。記録媒体へのプログラムの記録は、必要に応じてルータ、モデム等のインタフェースである通信部２０９を介して、ローカルエリアネットワーク、インターネット、デジタル衛星放送といった、有線又は無線の通信媒体を利用して行われる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
以上、添付図面を参照しながら本開示の好適な実施形態について詳細に説明したが、開示はかかる例に限定されない。本開示の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例また修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月4日(2014.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図５は、操作部１０４の外観を示している。上述したタッチパネル３０１と表示部３０２は、積層されて一体化されている。ハードキー群３０３には複数のキーが設けられている。電源スイッチ５０１は、画像形成システム全体の電源供給のＯＮ／ＯＦＦを切り替える。スタートキー５０２は、コピー動作の開始をＣＰＵ１０１に指示するキーである。ストップキー５０３は、コピー動作の中断をＣＰＵ１０１に指示するキーである。テンキー５０４は、コピー枚数をＣＰＵ１０１に指示するキーである。クリアーキー５０５は、コピーモードを所定のモードから標準モードに戻すことをＣＰＵ１０１に指示するキーである。ユーザーモードキー５０６は、ユーザーモード画面に移行することをＣＰＵ１０１に指示するキーである。ユーザーモード画面では、置き忘れてしまった原稿が誰によって除去されたかを示す情報が表示される。図５において表示部３０２には、タッチパネル３０１またはハードキー群３０３を通じてユーザーに設定された用紙サイズ、コピー倍率、コピー濃度などの情報が表示されている。ＩＤ認証部５１０は、外部通信部３０４のアンテナに相当する。ＩＤ認証部５１０にＩＤカード４００が近づくと、外部通信部３０４はＩＤ読取部３０７に制御されてＩＤカード４００と通信し、ユーザーＩＤを受信する。ＩＤ読取部３０７は、ユーザーＩＤを受信すると、ＲＯＭ１０２に記憶されているユーザーデータベースを参照し、ユーザーデータベースに登録された正規のユーザーかどうかを判定する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図７（Ａ）は、ＲＡＭ１０３に記憶される認証情報のデータ構造及び第１のユーザーのデータを示す図である。ユーザーＩＤ欄７０１には、認証情報に含まれていたユーザーＩＤがＣＰＵ１０１によって記入される。日付欄７０２には、認証情報を受信したときの日付データがＣＰＵ１０１によって記入される。時刻欄７０３には、認証情報を受信したときの時刻データがＣＰＵ１０１によって記入される。データ７０４は、第１のユーザーのデータの一例である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
Ｓ１００６で、ＣＰＵ１０１は、ポップアップ画面８２０を消去する。Ｓ１００７で、ＣＰＵ１０１は、該当するユーザーＩＤの置き忘れ原稿情報をＲＡＭ１０３から消去する。このように、ＲＡＭ１０３は、ＯＫキー８１１によって置き忘れ原稿情報の消去指示が入力されると、置き忘れ原稿情報を消去する。
実施例２によれば、ＩＤ読取部３０７が取得したユーザーＩＤと、原稿を置き忘れたユーザーのユーザーＩＤとが一致すると、置き忘れ原稿情報が出力される。つまり、原稿を置き忘れたユーザーが戻ってきたときに、画像形成システム２０００は、原稿を置き忘れていることを知らせることができる。画像形成システム２０００は、一日に何度か同一のユーザーによって使用される可能性がある。特に、オフィスではその確率が高い。よって、実施例２は、第１のユーザーに効率よく原稿の取り忘れを警告できると考えられる。さらに、原稿を置き忘れた第１のユーザーは、置き忘れた原稿を除去した第２のユーザーの情報を把握できる。よって、第１のユーザーは、原稿を除去した第２のユーザーにどこに原稿を移動したかを尋ねることができるため、原稿の紛失を従来よりも抑制しやすくなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
複数のユーザーのそれぞれの識別情報と、前記複数のユーザーのそれぞれの連絡先を示す連絡先情報とを対応付けて記憶したユーザーデータベースをさらに備え、
前記出力手段は、前記第１のユーザーの識別情報に対応する連絡先情報を前記ユーザーデータベースから読み取って前記置き忘れ情報とともに出力することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の画像読取装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月5日(2013.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一方の面側にｐ型用の電極およびｎ型用の電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材の一方の面側にｐ型用の配線およびｎ型用の配線が形成された配線シートとを備える太陽電池であって、
前記電極は孔を有し、
前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとの間に設けられた絶縁性接着材を備え、
前記絶縁性接着材が前記電極の前記孔内に入り込んでいる、太陽電池。
【請求項２】
前記裏面電極型太陽電池セルは、前記基板の一方の面側にｐ型不純物領域およびｎ型不純物領域が形成されている、請求項１に記載の太陽電池。
【請求項３】
前記電極と前記配線とを電気的に接続する導電性接着材を備え、
前記絶縁性接着材が、隣り合う前記電極に対応する前記導電性接着材の間の位置で前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを機械的に接続している、請求項１または２に記載の太陽電池。
【請求項４】
導電性接着材を用いずに前記電極と前記配線とが電気的に接続されている、請求項１または２に記載の太陽電池。
【請求項５】
前記電極の内部に入り込んだ前記絶縁性接着材が前記基板と接している、請求項１から４のいずれか１項に記載の太陽電池。
【請求項６】
前記裏面電極型太陽電池セルの受光面側に透光性基板が配置され、前記裏面電極型太陽電池セルが封止材に封止されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の太陽電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、基板の一方の面側にｐ型用およびｎ型用の電極が形成された裏面電極型太陽電池セルと、絶縁性基材の一方の面側にｐ型用およびｎ型用の配線が形成された配線シートとを備える太陽電池であって、前記電極は孔を有しており、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとの間に設けられた絶縁性接着材を備え、前記絶縁性接着材が前記電極の前記孔内に入り込んでいる太陽電池である。
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月8日(2014.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報処理装置、プリントサーバー、及びプリンターを含む印刷システムであって、
前記プリンターは、
接続された情報処理装置に要求に応じて、プリントサーバーの構成情報を応答する応答手段を有し、
前記情報処理装置は、
前記構成情報を利用してプリントサーバーから取得した情報を用いた、プリンターの機種固有の機能に関する設定が可能な拡張印刷設定画面の表示を制御する表示手段と、
印刷データを前記プリントサーバーに対して送信する第１の送信手段と、を有し、
前記プリントサーバーは、
前記拡張印刷設定画面を介した設定を含む印刷チケットと、前記情報処理装置からの前記印刷データとを用いて、前記プリンターに対して印刷ジョブを発行する発行手段を有することを特徴とする印刷システム。
【請求項２】
前記応答手段は、前記プリンターを近距離の無線通信を利用して接続された情報処理装置に要求に応じて、前記構成情報を応答することを特徴とする請求項１に記載の印刷システム。
【請求項３】
前記表示手段は、前記構成情報を利用して取得した前記拡張印刷設定画面を提供するアプリケーションを用いて、当該拡張印刷設定画面の表示を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の印刷システム。
【請求項４】
前記発行手段は、前記情報処理装置から受信できる前記拡張印刷設定画面を介した設定を含む印刷チケットと前記印刷データとを用いて、印刷ジョブを発行することを特徴とする請求項３に記載の印刷システム。
【請求項５】
前記プリンターは、印刷管理用の識別情報を前記プリントサーバーに対して送信する第２の送信手段を、更に有し、
前記プリントサーバーは、前記拡張印刷設定画面を介した設定を含む印刷チケットと印刷管理用の識別情報とを関連付けて保存する保存手段を、更に有し、
前記第１の送信手段は、印刷管理用の識別情報とともに、印刷データを前記プリントサーバーに対して送信し、
前記発行手段は、前記情報処理装置からの前記印刷データと、当該印刷データとともに受信した印刷管理用の識別情報に関連付けて保存されている前記印刷チケットとを用いて、印刷ジョブを発行することを特徴とする請求項１または２に記載の印刷システム。
【請求項６】
前記印刷管理用の識別情報は、前記プリンターが前記情報処理装置との接続に応じて生成するセッションＩＤであることを特徴とする請求項５に記載の印刷システム。
【請求項７】
近距離の無線通信を利用して接続された情報処理装置からの要求に応じて、プリントサーバーの構成情報を応答する応答手段と、
前記構成情報に基づき前記情報処理装置に表示される設定画面を介した設定を含む印刷チケットを用いて、前記プリントサーバーで発行された印刷ジョブを受信する受信手段と、
前記印刷ジョブに基づき印刷処理を行う印刷手段と、を有することを特徴とするプリンター。
【請求項８】
印刷管理用の識別情報を前記プリントサーバーに対して送信する送信手段を、更に有し、
前記受信手段は、前記プリントサーバーにおいて前記情報処理装置からの前記印刷データとともに受信した印刷管理用の識別情報に関連付けて保存されている印刷チケットとを用いて発行された印刷ジョブを受信することを特徴とする請求項７に記載のプリンター。
【請求項９】
前記印刷管理用の識別情報は、前記プリンターが前記情報処理装置との接続に応じて生成するセッションＩＤであることを特徴とする請求項８に記載のプリンター。
【請求項１０】
情報処理装置、プリントサーバー、及びプリンターを含む印刷システムにおける方法であって、
前記プリンターは、
接続された情報処理装置に要求に応じて、プリントサーバーの構成情報を応答する応答工程を有し、
前記情報処理装置は、
前記構成情報を利用してプリントサーバーから取得した情報を用いた、プリンターの機種固有の機能に関する設定が可能な拡張印刷設定画面の表示を制御する表示工程と、
印刷データを前記プリントサーバーに対して送信する第１の送信工程と、を有し、
前記プリントサーバーは、
前記拡張印刷設定画面を介した設定を含む印刷チケットと、前記情報処理装置からの前記印刷データとを用いて、前記プリンターに対して印刷ジョブを発行する発行工程を有することを特徴とする方法。
【請求項１１】
近距離の無線通信を利用して接続された情報処理装置からの要求に応じて、プリントサーバーの構成情報を応答する応答工程と、
前記構成情報に基づき前記情報処理装置に表示される設定画面を介した設定を含む印刷チケットを用いて、前記プリントサーバーで発行された印刷ジョブを受信する受信工程と、
前記印刷ジョブに基づき印刷処理を行う印刷工程と、を有することを特徴とするプリンターにおける方法。
【請求項１２】
請求項７乃至９に記載の手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、情報処理装置、プリントサーバー、及びプリンターを含む印刷システムであって、
前記プリンターは、接続された情報処理装置に要求に応じて、プリントサーバーの構成情報を応答する応答手段を有し、
前記情報処理装置は、前記構成情報を利用してプリントサーバーから取得した情報を用いた、プリンターの機種固有の機能に関する設定が可能な拡張印刷設定画面の表示を制御する表示手段と、印刷データを前記プリントサーバーに対して送信する第１の送信手段と、を有し、
前記プリントサーバーは、前記拡張印刷設定画面を介した設定を含む印刷チケットと、前記情報処理装置からの前記印刷データとを用いて、前記プリンターに対して印刷ジョブを発行する発行手段を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年8月18日(2014.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナコイルを有し、外部装置と電磁結合により通信を行う送信部と、
所定周波数の信号を生成し、該生成した信号を前記送信部に出力する信号出力部と、
前記アンテナコイルに流れる電流に関する情報をモニタし、該モニタされた情報に基づいて通信状態を判別する通信モニタ部と、
前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、通信特性を補正する通信補正部と
を備える送信装置。
【請求項２】
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記送信部のキャパシタンス、インダクタンス及びＱ値の少なくとも一つを変化させて、通信特性を補正する
請求項１に記載の送信装置。
【請求項３】
前記送信部は、前記アンテナコイルに並列接続された容量可変の並列コンデンサを有し、
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記並列コンデンサのキャパシタンスを変化させる
請求項２に記載の送信装置。
【請求項４】
前記送信部は、前記アンテナコイルに直列接続された容量可変の直列コンデンサを有し、
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記直列コンデンサのキャパシタンスを変化させる
請求項２に記載の送信装置。
【請求項５】
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記アンテナコイルに流れる電流を増加して、通信特性を補正する
請求項１〜４のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項６】
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記信号出力部の出力インピーダンスを小さくして、通信特性を補正する
請求項１〜５のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項７】
前記通信補正部は、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、前記送信部のＱ値を第１のＱ値から該第１のＱ値より大きな第２のＱ値に変化させて、通信特性を補正し、
前記通信モニタ部は、前記送信部のＱ値が前記第１のＱ値である時に用いる前記通信状態の第１の判別閾値と、前記送信部のＱ値が前記第２のＱ値である時に用いる前記通信状態の第２の判別閾値とを有し、前記通信状態の判別結果に基づいて、前記通信状態を判別するための閾値を前記第１の判別閾値及び前記第２の判別閾値間で切り替える
請求項１〜６のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項８】
前記アンテナコイルに流れる電流に関する情報が、前記アンテナコイルに流れる電流に対応する電圧値である
請求項１〜７のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項９】
前記通信モニタ部は、前記アンテナコイルに流れる電流に対応する電圧値の最大値の１／２の値と、モニタされた前記電圧値とを比較して、通信状態を判別する
請求項８に記載の送信装置。
【請求項１０】
前記通信モニタ部は、外部受信装置が非接触通信可能な範囲に存在するか否かを識別するための所定の閾値電圧と、モニタされた前記電圧値とを比較して、通信状態を判別する
請求項８に記載の送信装置。
【請求項１１】
前記通信モニタ部が、前記外部受信装置が非接触通信可能な範囲に存在しないと判別した場合には、前記通信補正部は、前記信号出力部で生成された前記信号の位相と、前記送信部から送出される信号の位相との差を補正する
請求項１０に記載の送信装置。
【請求項１２】
さらに、前記通信モニタ部における通信状態の判別結果を表示する表示部を備える
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項１３】
前記送信部が、前記通信モニタ部における通信状態の判別結果に関するデータを外部に送信する
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の送信装置。
【請求項１４】
アンテナコイルを有し、外部と電磁結合により通信を行う送信部と、所定周波数の信号を生成し、該生成した信号を前記送信部に出力する信号出力部と、前記アンテナコイルに流れる電流に関する情報をモニタし、該モニタされた情報に基づいて通信状態を判別する通信モニタ部と、前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、通信特性を補正する通信補正部とを有する送信機能部と、
受信アンテナを有し、外部と電磁結合により通信を行う受信機能部と
を備える送受信装置。
【請求項１５】
外部装置と電磁結合により通信を行う送信アンテナのアンテナコイルに流れる電流に関する情報をモニタし、該モニタされた情報に基づいて通信状態を判別する通信モニタ部と、
前記通信モニタ部における前記通信状態の判別結果に基づいて、通信特性を補正する通信補正部と
を備える集積回路。
【請求項１６】
アンテナコイルを有し、外部と電磁結合により通信を行う送信部と、前記アンテナコイルに流れる電流に関する情報をモニタする通信モニタ部とを備える送信装置の前記通信モニタ部が、アンテナコイルに流れる電流に関する情報をモニタするステップと、
前記通信モニタ部が、前記モニタされた前記アンテナコイルに流れる電流に関する情報に基づいて通信状態を判別するステップとを
含む通信状態のモニタ方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年8月27日(2014.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
同軸コネクタ装置１０が備える絶縁ハウジング部材２２は、図６，図７及び図８に示されるように、基部２５に加えて、基部２５の一端から折曲可能に伸び、折り曲げられたときコンタクト部材２０に当接するものとされる折曲当接部４０と、基部２５から伸び、グラウンドコンタクト部材２１の環状嵌合部２６にその内側から係合してグラウンドコンタクト部材２１を保持する保持部４１とを有している。折曲当接部４０は、全体として平板状部を成すものとされており、また、保持部４１には、グラウンドコンタクト部材２１の環状嵌合部２６に連なる部分に設けられた切欠き２６ａ（図９）に挿入される突起部４１ａが設けられている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、同軸コネクタ装置１０が備えるグラウンドコンタクト部材２１にあっては、図９及び図１０に示されるように、環状嵌合部２６に連なる部分に、絶縁ハウジング部材２２の保持部４１に設けられた突起部４１ａが挿入される切欠き２６ａが設けられている。そして、グラウンドコンタクト部材２１は、環状嵌合部２６に加えて、環状嵌合部２６の一端から折曲可能に伸び、折り曲げられるとき、それに伴って絶縁ハウジング部材２２の折曲当接部４０を折り曲げるとともに、中心導体１２がコンタクト部材２０に接続された同軸ケーブル１１の外側導体１４との接続がなされることになるシェル部４４と、環状嵌合部２６から伸びて、中心導体１２がコンタクト部材２０に接続された同軸ケーブル１１の外側導体１４に接触して当該同軸ケーブル１１を支持するケーブル支持部４５とを有している。シェル部４４は、それに沿って絶縁ハウジング部材２２における折曲当接部４０が伸びることになるものとされている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
続いて、グラウンドコンタクト部材２１が、コンタクト部材２０が取り付けられた絶縁ハウジング部材２２に取り付けられ、それにより、絶縁ハウジング部材２２により支持された状態におかれる。その際には、絶縁ハウジング部材２２における基部２５から伸びる保持部４１が、グラウンドコンタクト部材２１の環状嵌合部２６にその内側から係合するとともに、グラウンドコンタクト部材２１の環状嵌合部２６に連なる部分に形成された切欠き２６ａに保持部４１に設けられた突起部４１ａが挿入される。そして、絶縁ハウジング部材２２の基部２５から伸びる折曲当接部４０が、図１６に示されるように、グラウンドコンタクト部材２１における環状嵌合部２６から伸びるシェル部４４に沿って伸びるものとされる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月24日(2014.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の他の通信装置の各々へ送信する各データをフレームに格納して送信する通信装置であって、
前記複数の他の通信装置の各々が受信可能なフレーム長と前記各データのデータ長とに基づいて、送信フレーム長を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された送信フレーム長のフレームを生成する生成手段と、
前記生成手段により生成された前記フレームを送信する送信手段と、
を有することを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記決定手段は、前記各データ間の差分に応じて、前記送信フレーム長を決定することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記各データのデータ長と前記複数の他の通信装置の各々が受信可能なフレーム長との差分に基づいて、前記送信フレーム長を決定することを特徴とする請求項１または２に記載の通信装置。
【請求項４】
前記決定手段は、前記複数の他の通信装置の各々が受信可能なフレーム長のうちのいずれかのフレーム長を送信フレーム長として決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項５】
前記生成手段は、前記各データにパッディングデータを追加することで、前記送信フレーム長のフレームを生成することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の通信装置。
【請求項６】
複数の他の通信装置の各々へ送信する各データをフレームに格納して送信する通信装置の制御方法であって、
前記複数の他の通信装置の各々が受信可能なフレーム長と前記各データのデータ長とに基づいて、送信フレーム長を決定する決定工程と、
決定された送信フレーム長のフレームを生成する生成工程と、
生成された前記フレームを送信する送信工程と、
を有することを特徴とする制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の通信装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の目的を達成する本発明に係る通信装置は、
複数の他の通信装置の各々へ送信する各データをフレームに格納して送信する通信装置であって、
前記複数の他の通信装置の各々が受信可能なフレーム長と前記各データのデータ長とに基づいて、送信フレーム長を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された送信フレーム長のフレームを生成する生成手段と、
前記生成手段により生成された前記フレームを送信する送信手段と、
を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月7日(2014.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両周囲の環境を画像認識する車載カメラシステムの較正方法であって、
車両周囲を撮像し、
撮像された画像から予め設定された直線部分を有する認識対象物を認識し、前記画像から前記認識対象物の特徴点を抽出し、
該抽出された特徴点の中から、前記較正に不要な特徴点を選別して除外し、
該除外により残された特徴点を仮想球面に投影し、該仮想球面に形成された特徴点列の形状に基づいて撮像部の内部パラメータを推定し、該推定した内部パラメータを較正し、
前記除外により残された特徴点に基づいて前記画像の俯瞰視点を算出し、該算出した俯瞰視点に基づいて撮像部の外部パラメータを推定し、該推定した外部パラメータを較正することを特徴とする較正方法。
【請求項２】
前記認識対象物の特徴点として実空間での直線的物体のエッジ点列を抽出し、
前記較正に不要な特徴点として実空間での曲線的構造のエッジ点列を除外することを特徴とする請求項１に記載の車載カメラシステム。
【請求項３】
前記特徴点として、前記画像から前記直線部分に沿ったエッジ点列を抽出し、
内部パラメータを調整して、前記仮想球面の中心を含む断面により形成される外周円に沿って前記エッジ点列を延在させることにより、前記内部パラメータを較正することを特徴とする請求項１または２に記載の較正方法。
【請求項４】
外部パラメータを調整して、前記画像の視点から前記俯瞰視点までの角度を予め設定された基準角度に一致させることにより、前記外部パラメータを較正することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の較正方法。
【請求項５】
複数の撮像部にて、同一の認識対象物を互いに異なる位置から撮像し、
第１の撮像部で撮像した画像の視点を前記俯瞰視点に変換した第１の画像と、第２の撮像部で撮像した画像の視点を前記俯瞰視点に変換した第２の画像を用いて、前記外部パラメータを較正することを特徴とする請求項４に記載の較正方法。
【請求項６】
前記内部パラメータとして前記撮像部のレンズ歪みと、光軸中心、単位撮像素子の縦横比、焦点距離の少なくとも一つを含み、および／または、前記外部パラメータとして前記撮像部の三次元位置と姿勢状態を含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の較正方法。
【請求項７】
前記車両の挙動情報を取得し、
前記車両の挙動情報に基づいて前記特徴点の間隔を推定することで前記特徴点を抽出することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の較正方法。
【請求項８】
車両周囲の環境を画像認識する車載カメラシステムであって、
車両周囲を撮像する撮像部と、
該撮像部により撮像された画像から予め設定された直線部分を有する認識対象物を認識し、前記画像から前記認識対象物の特徴点を抽出する特徴点抽出部と、
該特徴点抽出部で抽出された特徴点の中から、前記較正に不要な特徴点を選別して除外する特徴点選別部と、
該特徴点選別部により除外されずに残された特徴点を仮想球面に投影し、該仮想球面に形成された特徴点列の形状に基づいて前記撮像部の内部パラメータを推定し、該推定した内部パラメータを較正する内部パラメータ較正部と、
該特徴点選別部により除外されずに残された特徴点に基づいて前記画像の俯瞰視点を算出し、該算出した俯瞰視点に基づいて前記撮像部の外部パラメータを推定し、該推定した外部パラメータを較正する外部パラメータ較正部と、
を有することを特徴とする車載カメラシステム。
【請求項９】
前記特徴点抽出部は、実空間での直線的物体のエッジ点列を抽出し、
前記特徴点選別部は、実空間での曲線的構造のエッジ点列を除外することを特徴とする請求項８に記載の車載カメラシステム。
【請求項１０】
前記特徴点抽出部は、前記特徴点として、前記画像から前記直線部分に沿ったエッジ点列を抽出し、
前記内部パラメータ較正部は、内部パラメータを調整して、前記仮想球面の中心を含む断面により形成される外周円に沿って前記エッジ点列を延在させることにより、前記内部パラメータを較正することを特徴とする請求項８または９に記載の車載カメラシステム。
【請求項１１】
前記外部パラメータ較正部は、外部パラメータを調整して、前記画像の視点から前記俯瞰視点までの角度を予め設定された基準角度に一致させることにより、前記外部パラメータを較正することを特徴とする請求項８から請求項１０のいずれか一項に記載の車載カメラシステム。
【請求項１２】
同一の認識対象物を互いに異なる位置から撮像可能な複数の撮像部を有し、
前記外部パラメータ較正部は、
第１の撮像部で撮像した画像の視点を前記俯瞰視点に変換した第１の画像と、
第２の撮像部で撮像した画像の視点を前記俯瞰視点に変換した第２の画像を用いて、前記外部パラメータを較正することを特徴とする請求項１１に記載の車載カメラシステム。
【請求項１３】
前記内部パラメータは、前記撮像部のレンズ歪みと、光軸中心、単位撮像素子の縦横比、焦点距離の少なくとも一つを含み、および／または、前記外部パラメータは、前記撮像部の三次元位置と姿勢状態を含むことを特徴とする請求項８から請求項１２のいずれか一項に記載の車載カメラシステム。
載の車載カメラシステム。
【請求項１４】
前記車両の挙動情報を取得する車両挙動情報取得部を有し、
前記特徴点抽出部は、前記車両の挙動情報に基づいて前記特徴点の間隔を推定することで前記特徴点を抽出することを特徴とする請求項８から請求項１３のいずれか一項に記載の車載カメラシステム。
【請求項１５】
画像処理装置によって実行される車載カメラシステムの較正プログラムであって、
前記車載カメラシステムの撮像部により撮像された車両周囲の画像から予め設定された直線部分を有する認識対象物を認識して前記画像から前記認識対象物の特徴点を抽出し、
該抽出された特徴点の中から、前記較正に不要な特徴点を選別して除外し、
該除外により残された特徴点を仮想球面に投影して該仮想球面に形成された特徴点列の形状に基づいて前記撮像部の内部パラメータを推定し、該推定した内部パラメータを較正し、
前記除外により残された特徴点に基づいて前記画像の俯瞰視点を算出し、該算出した俯瞰視点に基づいて前記撮像部の外部パラメータを推定し、該推定した外部パラメータを較正することを特徴とする車載カメラシステムの較正プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月24日(2014.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準露光量を含む複数の露光量にそれぞれ対応しかつ共通のシーンを各々が表す複数の画像を取得する取得手段、
前記取得手段によって取得された複数の画像を合成して合成画像を作成する合成手段、
前記取得手段によって取得された複数の画像のうち前記基準露光量に対応する基準画像と前記合成手段によって作成された合成画像とをモニタ画面に表示する表示手段、
前記表示手段によって表示された基準画像および合成画像の少なくとも一方を選択する選択操作を受け付ける受け付け手段、および
前記選択操作によって選択された画像を記録する記録手段を備える、画像記録装置。
【請求項２】
前記表示手段は変更操作を受け付ける毎に表示対象を前記基準画像および前記合成画像の間で変更する変更手段を含む、請求項１記載の画像記録装置。
【請求項３】
前記表示手段は前記合成手段の処理の実行中に前記基準画像を表示する基準画像表示手段を含む、請求項１または２記載の画像記録装置。
【請求項４】
前記表示手段は前記合成手段の処理の後に前記合成画像を表示する合成画像表示手段をさらに含む、請求項３記載の画像記録装置。
【請求項５】
撮像面で捉えられたシーンを表す画像を繰り返し出力する撮像手段、および
前記基準露光量を含む複数の露光量を前記撮像手段から出力された画像に基づいて設定する設定手段をさらに備え、
前記取得手段は前記設定手段の処理と並列して前記複数の画像を取得する、請求項１ないし４のいずれかに記載の画像記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年10月15日(2014.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図２は、図２（ａ）に示すパターン幅Ｌの図形パターンを描画する場合に実施の形態１における照射量と従来の照射量とを比較して説明するためのビームプロファイルの一例を示す図である。図２（ｂ）は従来の補正手法による照射量プロファイルを示しており、各ショットの入射照射量は、隣接したショットが無くても各ショット端での全照射量がレジストを解像する照射量閾値Ｅｔｈとなるように設定されている。そのため各ショットの入射照射量は、レジストを解像する照射量閾値Ｅｔｈからショットの位置での後方散乱照射量分を引いた値の２倍になるように設定されている。しかし、例えば、図形内部のショット２〜６のような位置では、前方散乱の影響による寸法変動が無視できる程度なので、理想的にはショットされるビームのエネルギー最大値がレジスト解像の閾値Ｅｔｈまであれば十分である。そこで、実施の形態１では、図２（ｃ）に示すように、かかる図形パターンの内部領域における照射量Ｄ２〜Ｄ３をレジストが解像する照射量閾値Ｅｔｈからショット位置での後方散乱照射量分を引いた値に設定する。かかる構成により図形パターンの内部領域２〜６における照射量が小さくなった分、かかるショットの照射時間を短縮できる。以下、具体的に処理フローを説明する。
【手続補正書】
【提出日】平成26年8月12日(2014.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される基板載置面を有する基体と、前記基体に内蔵された電極と、前記基体に内蔵された環状のガス流路と、を有する静電チャックの製造方法であって、
第１のグリーンシートに複数の貫通孔と、隣接する前記貫通孔間に設けられた連結部と、を環状に形成する貫通孔形成工程と、
第２のグリーンシート上に前記第１のグリーンシートを仮接着し、前記複数の貫通孔の一方の側を前記第２のグリーンシートで塞ぐ仮接着工程と、
前記仮接着工程の後に、前記連結部を除去し、前記複数の貫通孔を一体化して環状の貫通孔を形成する連結部除去工程と、
前記第１のグリーンシート上に第３のグリーンシートを仮接着し、前記環状の貫通孔の他方の側を前記第３のグリーンシートで塞いで、前記第１のグリーンシートのみにより環状のガス流路を形成するガス流路形成工程と、
仮接着された各グリーンシートを焼成して前記基体を形成する基体形成工程と、を有することを特徴とする静電チャックの製造方法。
【請求項２】
前記貫通孔形成工程では、環状に形成された前記複数の貫通孔の内側に、更に、複数の第２の貫通孔と、隣接する前記第２の貫通孔間に設けられた第２の連結部と、を環状に形成することを特徴とする請求項１記載の静電チャックの製造方法。
【請求項３】
前記貫通孔形成工程では、前記複数の貫通孔の一部と前記複数の第２の貫通孔の一部とを互いに連通させることを特徴とする請求項２記載の静電チャックの製造方法。
【請求項４】
基板が載置される基板載置面を有する基体と、前記基体に内蔵された電極と、前記基体に内蔵された環状のガス流路と、を有する静電チャックであって、
前記環状のガス流路は、１枚のグリーンシートのみにより同一平面内に形成された第１の環状のガス流路と、前記第１の環状のガス流路の内側に配置された第２の環状のガス流路と、を有し、
前記第１の環状のガス流路及び前記第２の環状のガス流路は、平面視において、前記基体の半径の半分よりも外周側に設けられていることを特徴とする静電チャック。
【請求項５】
前記基板載置面の外縁部に、平面視円環状の突起部が設けられている請求項４記載の静電チャック。
【請求項６】
前記第１の環状のガス流路と前記第２の環状のガス流路とは、互いに連通していることを特徴とする請求項４又は５記載の静電チャック。
【請求項７】
請求項４乃至６の何れか一項記載の静電チャックと、
接着層を介して前記静電チャックを固定するベースプレートと、を有する基板温調固定装置。