(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の表面を汚したり、傷を付けることなく搬送できる加工基板の搬送装置を提供する。【解決手段】並列するバー材２からなる第１ステージＢと、バー材２上の基板Ａの吸引保持手段と、第１ステージＢとその前方との間で進退走行手段Ｆにより走行する走行体Ｇと、走行体Ｇの上側の第１ステージＢのバー材２間に嵌入する並列する荷受け移載バー材２０と、走行体Ｇの昇降手段Ｉにより昇降し荷受け移載バー材２０を進退スライドさせる進退走行体Ｈと、荷受け移載バー材２０上の基板Ａの吸引保持手段と、走行体Ｇの前方で荷受け移載バー材２０が嵌入する並列する荷受けバー材２１と、荷受けバー材２１間で基板Ａの下面中央部分を吸引する吸引パッドと、荷受けバー材２１に設けた基板Ａ浮上用エア噴出孔と、吸引パッドを９０°旋回させる旋回手段４３とで構成した第２ステージＪとからなる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
両端が前後方向に向き、かつ左右に間隔を存して並列する水平なバー材により形成した第１ステージと、この第１ステージの上記バー材に前記バー材上で荷受けする基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、上記第１ステージとその前方との間でガイド手段により走行ガイドすると共に、進退走行手段により往復走行するように設けた走行体と、この走行体の上側に両端が前後方向に向き、かつ左右に間隔を存して並列して上記第１ステージのバー材間に嵌入するように設けた荷受け移載バー材と、上記走行体に設けた昇降手段により昇降すると共に、上記荷受け移載バー材を前後方向に進退スライドさせるように設けた可逆進退走行手段と、上記荷受け移載バー材に前記各荷受け移載バー材上で荷受けした前記基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、上記走行体の前方に両端が前後方向に向いて並列すると共に、この並列間に上記荷受け移載バー材が嵌入するように設けた荷受けバー材と、この並列する荷受けバー材の中央側の並列前記荷受けバー材間に設けた前記基板の下面中央部分を吸引するように設けた吸引パッドと、上記荷受けバー材に設けた上記基板の浮上エア噴出孔と、上記吸引パッドを９０°旋回させるように設けた旋回手段とで構成した第２ステージとからなることを特徴とする加工基板の搬送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、例えばガラス基板（液晶パネル）を切断或いは辺縁を研磨加工する際の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ガラス基板を切断又は四辺の辺縁を研磨加工する場合、加工装置に基板を送り込む搬送が必要になる。勿論、加工後に基板を払い出すための搬送も行う。
【０００３】
上記基板の搬送方法としては、上段の第１ステージ又は第２ステージに基板を供給することで前進走行する途中において研磨砥石により基板の一方の対向する二辺縁が研磨され、一方下段の空の第１ステージ又は第２ステージは基板の供給側に後退すると共に、前進停止後の基板の移載ずみ空の第１ステージ、第２ステージは、昇降手段により降下し、一方後退停止した空の第１ステージ、第２ステージは、基板の荷受けのため昇降手段により上昇するようにしてあるので、第１ステージ、第２ステージを有効にまわして使用することができるようにしてある（特許文献１参照）。
【０００４】
そして、上記特許文献１の第１ステージ、第２ステージへの基板の供給、払い出しは、移載装置の吸引保持装置の吸盤（パッド）で基板の上面を吸引保持して行うようになっている。
なお、基板の辺縁の向きの変更は、吸引保持装置をモーターで９０°旋回させて行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３２１６８６６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１の搬送方式によると、基板の表面（搬入の際の上面）を吸引方式で支持して移載するため、基板の表面に傷がついて不良品の発生原因となる問題があり、また表面を吸着保持するため、表面が汚れ、汚れを除去する作業が必要になるなどの問題があった。
そこで、この考案の課題は、上述の問題を解決した搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、この考案は、両端が前後方向に向き、かつ左右に間隔を存して並列する水平なバー材により形成した第１ステージと、この第１ステージの上記バー材に前記バー材上で荷受けする基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、上記第１ステージとその前方との間でガイド手段により走行ガイドすると共に、進退走行手段により往復走行するように設けた走行体と、この走行体の上側に両端が前後方向に向き、かつ左右に間隔を存して並列して上記第１ステージのバー材間に嵌入するように設けた荷受け移載バー材と、上記走行体に設けた昇降手段により昇降すると共に、上記荷受け移載バー材を前後方向に進退スライドさせるように設けた可逆進退走行手段と、上記荷受け移載バー材に前記各荷受け移載バー材上で荷受けした前記基板を吸引保持するように設けた吸引保持手段と、上記走行体の前方に両端が前後方向に向いて並列すると共に、この並列間に上記荷受け移載バー材が嵌入するように設けた荷受けバー材と、この並列する荷受けバー材の中央側の並列前記荷受けバー材間に設けた前記基板の下面中央部分を吸引するように設けた吸引パッドと、上記荷受けバー材に設けた上記基板の浮上エア噴出孔と、上記吸引パッドを９０°旋回させるように設けた旋回手段とで構成した第２ステージとからなる構成を採用する。
【考案の効果】
【０００８】
以上のように、この考案の加工基板の搬送装置によれば、第１ステージのバー材上に供給した基板を、走行体を後退させたのち、昇降手段により各並列荷受け移載バー材を上昇させることで、荷受け移載バー材上に基板を荷受けし、次いで可逆進退走行手段で荷受け移載バー材を前進走行しながら、荷受け移載バー材と上の基板を前方に搬送し、次いで昇降手段により荷受け移載バー材を降送して第２ステージの荷受けバー材上に基板を移載することができるので、基板の上側表面に傷を付けたり汚すことなく搬送することができる。
【０００９】
そして、旋回手段により吸引パッドを９０°旋回させることで、基板の下面中央部分を吸引した基板を９０°旋回させる。このとき、荷受けバー材の噴出孔から上向きにエアを噴出させて基板を浮上させてあるので、荷受けバー材と基板の下面との接触を回避して、基板をスムーズに９０°旋回させて、基板の四辺の向きを変更することができる。
【００１０】
そして基板の９０°旋回後、噴出孔からのエアの噴射をストップすることで、第２ステージの荷受けバー材上に基板が荷受けされ、その後に可逆進退走行手段により荷受け移載バー材を後方に走行させ、かつ走行体を後方に走行させることで、第１ステージのバー材間に荷受け移載バー材を後退させて、バー材の直上に基板を送り込み、その後に昇降手段により荷受け移載バー材を降下させることで、第１ステージのバー材上に基板を荷受けすることができる。
【００１１】
このため、９０°旋回後の基板の表面を傷付けることなく、また汚すことなく搬送することができる特有の効果があると共に、大判な重量の大きい基板の搬送に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この考案の実施例を示す一部切欠側面図である。
【図２】同上の平面図である。
【図３】同正面図である。
【図４】同上の第１ステージ部分の要部を示す一部切欠拡大側面図である。
【図５】第２ステージに基板を搬送する状態を示す拡大側面図である。
【図６】第２ステージの荷受けバー材の直上に基板を搬送した状態を示す側面図である。
【図７】第２ステージの荷受けバー材で基板を荷受けした状態を示す側面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１３】
次に、この考案の実施の形態を添付図面の図１から図７に基づいて説明する。
図においてＡは、例えばガラス基板（液晶パネルなど）で、この考案は特に大判な、例えば３５００ｍｍ×３２００ｍｍなどの基板Ａを表面（図示上面）に傷を付けたり、汚すことなく搬送することを目的とする。
【００１４】
Ｂは基板Ａの下面を荷受けする第１ステージである。
上記の第１ステージＢは、床面Ｃから起立する脚材１の上端に両端が前後方向に向き、かつ左右に間隔を存して並列する水平なバー材２を並べて形成する。
【００１５】
また、第１ステージＢの並列バー材２の上面には、載置した荷受け基板Ａの下面を吸引保持する吸引保持手段Ｄが設けてある。
【００１６】
上記の吸引保持手段Ｄとしては、図２に示すように中空な角パイプの上面に無数の小孔３を設けて、上記のパイプ内を吸引（パイプに接続してあるホースで吸引して）することで、吸引保持するようになっている。
【００１７】
なお、吸引保持を解除する場合、ホースからパイプ内にエアを圧入することで、吸引保持が解除される。
【００１８】
また、第１ステージＢと、第１ステージＢの前方との間で、ガイド手段Ｅにより走行をガイドされると共に進退走行手段Ｆにより往復走行する走行体Ｇを設ける。
【００１９】
上記のガイド手段Ｅは、図示の場合、床面Ｃに敷設したレール４と、このレール４にスライド自在に係合するよう走行体Ｇの下面に設けたスライダ５とで構成したが、限定されない。
【００２０】
上記の進退走行手段Ｆは、図示の場合、レール４に沿って両端をフリーに回転するように軸承した雄ネジ６と、この雄ネジ６にねじ込んで走行体Ｇに支持した雌ネジ７と、雄ネジ６を可逆駆動するモーター８とで構成し、モーター８により雄ネジ６をドライブして進退走行するようにしたが、限定されず、リニアモーターを使用することもある。
【００２１】
さらに、走行体Ｇの上側には、両端が前後方向に向く進退走行体Ｈを配置すると共に、走行体Ｇに設けた昇降手段Ｉで上記進退走行体Ｈを昇降させるようになっている。
【００２２】
上記の進退走行体Ｈとしては、図１に示すように、前後のプーリ９にタイミングベルト１０をかけ渡して、このタイミングベルト１０のリターン側途中にモーター１１によりドライブするプーリ１２を噛み合わせてタイミングベルト１０のキャリヤ側を進退走行させるようにしたが、限定されず、例えば前後方向に走行するスライダなどであってもよい。
【００２３】
上記の昇降手段Ｉとしては、図示の場合、進退走行体Ｈの設置フレーム１３から下方に突出するプレート１４の上下に設けてあるスライダ１５を走行体Ｇの縦方向のレール１６にスライド自在に係合し、走行体Ｇに据え付けてあるモーター１７のドライブにより可逆回転の雄ネジ１８にプレート１４に支持してある雌ネジ１９をねじ込んで、モーター１７の可逆運転にともない昇降するプレート１４と共に進退走行体Ｈを昇降させるようにしたが、限定されず、その他の手段で進退走行体Ｈを前後方向に走行させてもよい。
【００２４】
そして、進退走行体Ｈ上には、第１ステージＢのバー材２間にフレーム１３の上昇にともない降下状況下から上昇して嵌入し、そして上方に通過する並列（両端が前後方向に向く）荷受け移載バー材２０が設けてある。
【００２５】
すると、第１ステージＢのバー材２上の基板Ａを上昇する荷受け移載バー材２０上に乗り移るよう荷受けする（図４参照）。
【００２６】
なお、並列する荷受け移載バー材２０は、進退走行体Ｈの（図示の場合、タイミングベルト１０のキャリヤ側に取付具２５を介し前後方向に移動調整可能に接続してある）と共に上昇することで、バー材２上から荷受け移載バー材２０に乗り移るようになっている（図１から図４に示す通り）。
【００２７】
勿論、荷受け移載バー材２０にバー材２と同様の吸引保持手段Ｄを設けてあるので、荷受け移載バー材２０上の基板Ａを吸引保持する。
【００２８】
また、走行体Ｇの前進停止時の前方には、荷受け移載バー材２０上の基板Ａを荷受けする第２ステージＪが設けてある。
【００２９】
上記の第２ステージＪは、上昇停止状況下にある荷受け移載バー材２０より低い位置で、進退走行体Ｈの降下にともない並列各荷受け移載バー材２０が嵌入するよう並列状に荷受けバー材２１を配置する。
【００３０】
そして、並列する荷受けバー材２１には、荷受けした基板Ａを浮上させる噴出孔４１が設けてある。
【００３１】
上記の噴出孔４１は、荷受けバー材２１を両端閉鎖のパイプ（角パイプ）を用い、このパイプ内にエアを圧入して、パイプの上面壁に設けてある噴出孔４１からエアを噴出させて、荷受け基板Ａを９０°旋回させて浮上させる。
【００３２】
この浮上は、荷受けバー材２１に対する基板Ａの裏面の接触を回避して、基板Ａのスムーズな９０°旋回をはかる。すなわち、基板Ａの対向する二辺縁の向きを変える。
【００３３】
この並列する荷受けバー材２１のセンタ側対向二列の荷受けバー材２１、２１間には、基板Ａの下面中央部分を吸引する吸引パッド４２が設けてあり、この吸引パッド４２は、旋回手段４３としてのモーターにより９０°旋回するようになっている。
【００３４】
上記の吸引パッド４２は、図２に示すように、旋回手段４３により９０°旋回するベース４４上に据え付けてあり、吸引パッド４２は、中空に扁平なボックスの頂壁に多数の吸引孔４５を設けて、吸引パッド４２上に基板Ａを吸引保持するようになっている。
【００３５】
上記のように構成すると、前述の操作によって、第１ステージＢのバー材２上の基板Ａを、昇降手段Ｉにより上昇した荷受け移載バー材２０上に受け取る。
【００３６】
その後に、進退走行手段Ｆにより走行体Ｇを前進走行させながら、共に進退走行体Ｈのフレーム１３を前進走行させながら、荷受け基板Ａを前方に送り込む（図５に示す通り）。
【００３７】
この送り込み後に、進退走行体Ｈを前方に走行させながら、荷受け移載バー材２０が前方に走行することで、基板Ａを荷受けした荷受け移載バー材２０がさらに前方に送り出されて、並列荷受けバー材２１間に荷受け移載バー材２０が位置する（図６に示す通り）。
【００３８】
この状況下で、昇降手段Ｉにより進退走行体Ｈと共に荷受け移載バー材２０を降下することで、荷受け移載バー材２０上の基板Ａを荷受けバー材２１上に下ろして、荷受けさせる（図７に示す通り）。
【００３９】
その後に、進退走行手段Ｆにより進退走行体Ｈを進退移動させて、第１ステージＢに向け搬出する。
【００４０】
なお、辺縁の９０°変位させた基板Ａは、走行体Ｇと共に進退走行体Ｈを前方に走行させて、荷受けバー材２１上の基板Ａを荷受け移載バー材２０上に荷受け（この荷受けの作用は、前述の昇降手段Ｉ及び進退走行体Ｈを作用させて）して後方に搬出する。
【００４１】
基板Ａは、前進走行時に左右の一方対向二辺を研磨し、９０°旋回後、後進走行時に変位した左右の残る他方対向二辺を研磨したり、或いは基板Ａの上面を切断のためのＸ、Ｙ方向の切断線をスクライブする。
【００４２】
なお、第１ステージＢへの基板Ａの搬入（供給）は、例えば、コンベヤから行い、また加工後の第１ステージＢに戻ってきた基板Ａの払い出し（取り下ろし）は、例えばコンベヤで行う（図示省略）。
【００４３】
勿論、この装置の目的は、基板Ａの表面に傷が付く（表面が汚れないようにする）のを防止することにある。
【符号の説明】
【００４４】
Ａ  基板
Ｂ  第１ステージ
Ｃ  床面
Ｄ  吸引保持手段
Ｅ  ガイド手段
Ｆ  進退走行手段
Ｇ  走行体
Ｈ  進退走行体
Ｉ  昇降手段
Ｊ  第２ステージ
１  脚材
２  バー材
３  小孔
４  レール
５  スライダ
６  雄ネジ
７  雌ネジ
８  モーター
９  プーリ
１０  タイミングベルト
１１  モーター
１２  ドライブプーリ
１３  フレーム
１４  プレート
１５  スライダ
１６  レール
１７  モーター
１８  雄ネジ
１９  雌ネジ
２０  荷受け移載バー材
２１  荷受けバー材
２５  取付具
４１  噴出孔
４２  吸引パッド
４３  旋回手段
４４  ベース
４５  吸引孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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