(57)【要約】      （修正有）【課題】収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染を抑制し、さらに作業性にも考慮した半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台１０は、半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、前記保持台は、底板部１と、支持部２と、蓋体止め部５と、これらに取り付けられる蓋体接触部４とを有する。【選択図】図１
0003216688.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【請求項２】
前記蓋体接触部がフッ素樹脂から形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【請求項３】
前記支持部が、前記底板部上の少なくとも２ヶ所に立設するものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【請求項４】
前記支持部が、前記蓋体を立てかけるための傾斜面を有するものであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【請求項５】
前記支持部が切りかき孔を有するものであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【請求項６】
前記底板部の裏面に滑り止めを有するものであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、半導体ウェーハの収納容器のフタ（以下、蓋体）、特に、ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｓｈｉｐｐｉｎｇ  Ｂｏｘ）の蓋体の保持台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの輸送用収納容器として、特に直径が３００ｍｍの半導体ウェーハではＦＯＳＢが一般的である。当ＦＯＳＢの蓋体を作業者が外す場面としては、半導体ウェーハの検査や移載など数多くの工程や作業を挙げることができる。その際、ＦＯＳＢより取り外された蓋体は、裏返してテーブル等に寝かすように置かれている。また半導体ウェーハ収納容器から半導体ウェーハの出し入れに関する作業性を考慮したウェーハ容器傾け台が特許文献１に開示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、収納容器の蓋体を自動開閉する際に、蓋体を保持する機構（図２など）が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平６−５０３４４号公報
【特許文献２】特開２００７−１９３２８号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
収納容器蓋体の内側は半導体ウェーハとの接触面となっており、収納容器から蓋体を取り外す際に作業者が蓋体内側と接触することで、ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染などの懸念があった。また、蓋体の収納容器への取り付け動作では、前記の取り外し時同様、蓋体内側との接触の懸念や、自動で装置が当蓋体を開閉させる自動オープナータイプの蓋体では、特に持ち易い構造にはなっておらず、作業者が持ち上げた際の蓋体内側との接触や蓋体の落下の懸念など作業性に問題があった。また、特許文献１ではウェーハ容器を傾けて半導体ウェーハを出し入れし易くする方法は開示されているが、ウェーハ容器の蓋体については触れていない。
【０００６】
本考案は、上記問題を解決するためになされたものであり、収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染を抑制し、さらに作業性にも考慮した半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本考案は、半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を提供する。
【０００８】
このように、本考案に係る半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台であれば、半導体ウェーハ収納容器から外した蓋体をテーブル等に寝かして置くことなく保持可能であり、作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができる。
また蓋体の半導体ウェーハ収納容器への取り付けの際は、前記蓋体保持台に蓋体が支持されているため、前述のように作業者はテーブル等から持ち上げる動作が不要となり作業性も向上し、しかも蓋体内側と接触する懸念もない。こうして、蓋体内側との接触によるウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染を抑制できる。
【０００９】
さらに、前記蓋体接触部がフッ素樹脂から形成されたものであることが好ましい。
【００１０】
このように蓋体接触部にフッ素樹脂を用いることで、蓋体の汚染を防止できることから、収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染も抑制できる。
【００１１】
前記支持部が、前記底板部上の少なくとも２ヶ所に立設するものであることが特に好ましい。
【００１２】
このように複数の支持部を間隔を空けて設けることで、蓋体を確実に支持できるとともに、視認性を向上させ、軽量化を図ることもできる。
【００１３】
前記支持部が、前記蓋体を立てかけるための傾斜面を有するものであることが好ましい。
【００１４】
このように傾斜面を有していれば、収納容器から外した蓋体をテーブル等に寝かして置くことなく、簡単かつ確実に立てかけることが可能となり、前述のように作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができ、作業性も向上する。
【００１５】
前記支持部は、切りかき孔を有するものとすることができる。
【００１６】
このように、支持部が切りかき孔を有することにより、作業者の持ち運びやすさを向上させ蓋体保持台の軽量化を図ることができる。
【００１７】
また、前記底板部の裏面に滑り止めを有するものとすることができる。
【００１８】
こうして、本考案に係る半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台をテーブル等に置いたときに、滑りにくくさせることができる。また、切りかき孔等を設けることによって蓋体保持台を軽量化した場合には、滑り止めを設ける効果が一層顕著となる。
【考案の効果】
【００１９】
以上説明したように、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台であれば、収納容器から外した蓋体をテーブル等に寝かして置くことなく、立てかけて簡単かつ確実に保持することが可能で、作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができる。さらに蓋体接触部にフッ素樹脂を用いることで、収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染も抑制できる。また前記蓋体の収納容器への取り付けの際は、前記蓋体保持台に蓋体が支持されているため、前述のように作業者はテーブル等から持ち上げる動作が不要となり作業性も向上し、しかも蓋体内側と接触する懸念もない。
複数の支持部を間隔を空けて設けることで、視認性を向上させ、軽量化を図ることもできる。また、支持部に切りかき孔を設けることにより、作業者の持ち運びやすさを向上させ前記蓋体保持台の軽量化を図ることができる。さらに、底板部の裏面に滑り止めを設けることにより、本考案に係る半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台をテーブル等に置いたときに、滑りにくくさせることができ、特に切りかき孔等を設けることによって蓋体保持台を軽量化した場合には、滑り止めを設ける効果が一層顕著となる。
本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台はクリーンルームにも対応しており、長期間の使用も期待できる。
本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台の更なる特徴として、蓋体保持台を、ＦＯＳＢを製造する全メーカの、さらに全種類の収納容器に対応させることができる。そのため、複数形状の蓋体保持台を所有する必要がなく、作業エリアの省スペース化にも貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】（ａ）、（ｂ）は、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を模式的に示すそれぞれ背面図と側面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台に蓋体を保持した状態を模式的に示すそれぞれ背面図と側面図である。
【考案を実施するための形態】
【００２１】
上述のように、半導体ウェーハを検査等する際、半導体ウェーハ収納容器から蓋体を取り外し裏返してテーブル等に寝かすように置くのが一般的である。収納容器蓋体の内側は半導体ウェーハとの接触面となっており、作業者が蓋体内側と接触すると、半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染などの懸念があり、蓋体の取り扱いや作業性に問題があった。
【００２２】
本考案者らは、上記課題について鋭意検討を重ねた結果、半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有する保持台であれば、蓋体をテーブル等に寝かして置くことなく保持可能であり、作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため蓋体の清浄度を保つことができること、また、蓋体を半導体ウェーハ収納容器に取り付ける際にテーブル等から持ち上げる動作が不要となり作業性も向上し、しかも蓋体内側と接触する懸念もないことを見出し、本考案を完成させた。
【００２３】
即ち、本考案は、半導体ウェーハを収納する収納容器の蓋体を保持する樹脂製の保持台であって、
前記保持台は、底板部と、支持部と、蓋体止め部と、これらに取り付けられる蓋体接触部とを有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台である。
【００２４】
以下、本考案の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明するが、本考案はこれらに限定されるものではない。
【００２５】
図１は本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台を模式的に示す背面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
図１（ａ）に示すように、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台１０は、底板部１と、支持部２と、蓋体止め部５と、これらに取り付けられる蓋体接触部４とを有するものである。
【００２６】
底板部１は、半導体ウェーハ収納容器から外された蓋体が載置される部位である。底板部１の材質としてはＰＶＣ（塩化ビニル）が挙げられる。
図１（ａ）に示すように、底板部１の底面（裏面）両端側に滑り止め６を接着により貼り付けることが好ましい。滑り止め６の材質としてはウレタンが挙げられる。滑り止め６の効果は、テーブル等に置かれた蓋体保持台１０を滑りにくくさせることである。
【００２７】
支持部２は、蓋体保持台１０において蓋体を立てかけ、支持する部位である。支持部２の材質としてはＰＶＣが挙げられる。支持部２は底板部１と溶接（いわゆる塩ビ溶接）により取り付けられている。
【００２８】
支持部２は蓋体を支持し得るものであれば特に限定されないが、図１（ａ）に示すように底板部１上の少なくとも２ヶ所に柱状の支持部２が立設することが特に好ましい。このように１つの太い支持部２を設けるよりも、複数の細い支持部２を間隔を空けて設けることで、視認性を向上させ、軽量化を図ることもできる。
【００２９】
また、支持部２の形態は蓋体を支持し得るものであれば特に限定されないが、図１（ｂ）に示すように蓋体を立てかけるための傾斜面８を有するものであることが好ましい。こうして、半導体ウェーハ収納容器から外した蓋体をテーブル等に寝かして置くことなく、簡単かつ確実に立てかけることが可能となり、前述のように作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができ、作業性も向上する。
【００３０】
さらに、支持部２に切りかき孔３を設けることによって作業者の持ち運びやすさを向上させ蓋体保持台１０の軽量化を図ることができる。また、切りかき孔３を設けることによって蓋体保持台１０を軽量化した場合には、前記滑り止め６を設ける効果が一層顕著となる。
【００３１】
蓋体止め部５は、支持部２に立てかけられた蓋体を蓋体保持台１０前方に転倒、摺動させないように固定する部位である。蓋体止め部５は、材質としてＰＶＣが挙げられ、前記支持部２と同様に底板部１に取り付けられている。しかし、底板部１と支持部２の取り付けのように溶接ではなく、底板部と蓋体止め部はネジ止め（非図示）で取り付けられていてもよい。前記ネジとしてＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）を使用できる。このＰＥＥＫ材は半導体の製造部材としては一般的であり、低アウトガス性や金属イオンの抽出が少ないなど半導体ウェーハの製造に適した部材の１つである。
【００３２】
図２は本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台に蓋体を保持した状態を模式的に示す背面図（ａ）と側面図（ｂ）である。
【００３３】
ここで半導体ウェーハ収納容器から蓋体７を外し、蓋体保持台１０に置く動作を説明する。半導体ウェーハ収納容器から蓋体７を外した後は、蓋体７を蓋体保持台１０の下部にある底板部１に置く。次に支持部２の傾斜面８に立て掛ける（いわゆる、蓋体７を支持部２に寄りかからせる）ことで動作が完了する。この時、蓋体７の下端は蓋体止め部５により保持される。
このように、半導体ウェーハ収納容器から外した蓋体７をテーブル等に寝かして置くことなく、簡単かつ確実に立てかけることが可能となり、前述のように作業者が蓋体内側に触れる懸念もないため該蓋体の清浄度を保つことができ、作業性も向上する。
【００３４】
蓋体接触部４は、図２の特に側面図（ｂ）から分かるように、本考案の蓋体保持台１０と蓋体７との接触部として配置されている。詳細には前記底板部１、支持部２、蓋体止め部５に蓋体接触部４は取り付けられており、ネジ止め（非図示）等により固定されている。このネジの材質は、前述同様ＰＥＥＫ材でもよい。このように、蓋体保持台１０と保持される蓋体７との接触は、蓋体接触部４で行なわれる。
また、蓋体接触部４の材質としては特にフッ素樹脂を用いることが好ましい。これにより、収納容器に収納された半導体ウェーハのパーティクルの悪化や金属汚染も抑制できる。蓋体接触部４の材質はフッ素樹脂としたが、具体的にはＰＴＦＥ（四フッ化エチレン）を使用してもよい。このＰＴＦＥも前記ＰＥＥＫと同様で半導体の製造部材には一般的であり、ＰＥＥＫ材同様に半導体ウェーハの製造において優れた性質を有している。
【００３５】
ここで、蓋体７を自動で開閉させる自動オープナータイプのＦＯＳＢについて、本考案の蓋体保持台１０を適用する具体例を説明する。尚、以下の説明は、信越ポリマー社製ＦＯＳＢのＭＷ３００ＧＴタイプを一例として挙げたものであるが、その他のＦＯＳＢメーカーの蓋体の開閉手順についてはこの限りではない。
【００３６】
図２（ａ）に示すように、自動オープナータイプのＦＯＳＢの蓋体７の場合、この蓋体７の両側部中央には、左右一対の開閉部９が設けられており、各開閉部９に自動開閉装置のピンを差し込み、ピンを回してロックを解除し開閉することができる構造になっている。また、このタイプの蓋体７の開閉部９には、指を挿入して回すことによりロックを解除する機構も設けられているので、手動でロックを解除し開閉することもできる。
【００３７】
手動で蓋体７のロックを解除し蓋体７を支持部２に載置する手順は以下の通りである。
【００３８】
まず、蓋体７が閉じているＦＯＳＢ本体（不図示）をテーブル等に置く。この時、蓋体７は本体の上になっていても横になっていてもよい。
【００３９】
図２（ａ）の点線丸で示した開閉部９には、それぞれ２ヶ所指を入れる穴があり、それぞれの穴に両手の人差し指と親指を入れる。なお、親指を挿入することは必須だが、人差し指の代わりに中指を入れてもよい。
【００４０】
入れた２本の指で回転部（不図示）をつかみ、それを時計回りに回すことでＦＯＳＢ本体と蓋体７のロックが外れるので、そのままこの２本の指で開閉部９の回転部をつまみ上げることにより、蓋体７をＦＯＳＢ本体から外し、外した蓋体７を本考案の蓋体保持台１０に載せる。
【００４１】
以上のような手順で蓋体７を蓋体保持台１０に載せるので、蓋体保持台１０に載せる際に、蓋体７を持つ指と支持部２が干渉しないように、支持部２の幅ｄ１は、２つの開閉部９の間隔ｄ２より狭くなるように設計することが好ましい。
【００４２】
以上により構成された本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台１０はクリーンルームにも対応しており、長期間の使用も期待できる。
また、本考案の半導体ウェーハ収納容器の蓋体保持台１０の更なる特徴として、蓋体保持台１０を、ＦＯＳＢを製造する全メーカの、さらに全種類の収納容器に対応させている。そのため、複数形状の蓋体保持台を所有する必要がなく、作業エリアの省スペース化にも貢献できる。
【００４３】
なお、本考案は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本考案の実用新案登録請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本考案の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００４４】
１…底板部、  ２…支持部、  ３…切りかき孔、  ４…蓋体接触部、
５…蓋体止め部、  ６…滑り止め、  ７…蓋体、  ８…傾斜面、  ９…開閉部、
１０…蓋体保持台、  ｄ１…支持部の幅、  ｄ２…開閉部の間隔。
【図１】
0003216688.tif 000003
【図２】
0003216688.tif 000004