【手続補正書】
【提出日】平成26年2月14日(2014.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１変位部と、
第２変位部と、
前記第１変位部と対向するように設けられている第１固定電極部と、
前記第２変位部と対向するように設けられている第２固定電極部と、
前記第１変位部に設けられている第１回転軸と、
前記第２変位部に設けられている第２回転軸と、
前記第１回転軸および第２回転軸と接続されている支持部と、
前記支持部を振動方向に振動させる駆動部と、を備え、
前記第１回転軸は、前記第１変位部の重心からずれて設けられ、前記第１固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第２回転軸は、前記第２変位部の重心からずれて設けられ、前記第２固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第１変位部の重心から前記第１回転軸に向かう方向と前記第２変位部の重心から前記第２回転軸に向かう方向は、互いに反対であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第１回転軸および前記第２回転軸は、前記支持部の前記振動方向に沿うように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１変位部と前記第２変位部は、前記支持部の前記振動方向を軸に対称となるように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
第１振動体及び第２振動体と、を有し、
前記第１振動体は、第１回転軸を有する第１変位部と、第２回転軸を有する第２変位部と、前記第１回転軸および前記第２回転軸と接続されている第１支持部と、を備え、
前記第２振動体は、第３回転軸を有する第３変位部と、第４回転軸を有する第４変位部と、前記第３回転軸および前記第４回転軸と接続されている第２支持部と、を備え、
前記第１変位部と対向するように設けられている第１固定電極部と、
前記第２変位部と対向するように設けられている第２固定電極部と、
前記第３変位部と対向するように設けられている第３固定電極部と、
前記第４変位部と対向するように設けられている第４固定電極部と、
前記第１支持部及び前記第２支持部の各々を振動させる駆動部と、を備え、
前記第１振動体及び前記第２振動体は、互いに反対方向に振動し、
前記第１回転軸は、前記第１変位部の重心からずれて設けられ、前記第１固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第２回転軸は、前記第２変位部の重心からずれて設けられ、前記第２固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第３回転軸は、前記第３変位部の重心からずれて設けられ、前記第３固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第４回転軸は、前記第４変位部の重心からずれて設けられ、前記第４固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、
前記第１変位部の重心から前記第１回転軸に向かう方向と、前記第２変位部の重心から前記第２回転軸に向かう方向は、互いに反対であり、
前記第３変位部の重心から前記第３回転軸に向かう方向と、前記第４変位部の重心から前記第４回転軸に向かう方向は、互いに反対であることを特徴とする物理量センサー。
【請求項５】
前記第１振動体及び前記第２振動体は、連結バネで互いに接続されていることを特徴とする請求項４に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記第１変位部と前記第１変位部に対向する前記第１固定電極部との間の静電容量をＣ１とし、
前記第２変位部と前記第２固定電極部との間の静電容量をＣ２とし、
前記第３変位部と前記第３固定電極部との間の静電容量をＣ３とし、
前記第４変位部と前記第４固定電極部との間の静電容量をＣ４としたときに、
前記物理量センサーの出力値は、
（Ｃ１＋Ｃ２）−（Ｃ３＋Ｃ４）
に応じていることを特徴とする請求項４又は５に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記振動方向に対し平面視で直交する方向を軸とする角速度を検出することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のある実施形態に係る物理量センサーは、第１変位部と、第２変位部と、前記第１変位部と対向するように設けられている第１固定電極部と、前記第２変位部と対向するように設けられている第２固定電極部と、前記第１変位部に設けられている第１回転軸と、前記第２変位部に設けられている第２回転軸と、前記第１回転軸および第２回転軸と接続されている支持部と、前記支持部を振動方向に振動させる駆動部と、を備え、前記第１回転軸は、前記第１変位部の重心からずれて設けられ、前記第１固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第２回転軸は、前記第２変位部の重心からずれて設けられ、前記第２固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第１変位部の重心から前記第１回転軸に向かう方向と前記第２変位部の重心から前記第２回転軸に向かう方向は、互いに反対であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、前記第１回転軸および前記第２回転軸は、前記支持部の前記振動方向に沿うように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、前記第１変位部と前記第２変位部は、前記支持部の前記振動方向を軸に対称となるように配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、第１振動体及び第２振動体と、を有し、前記第１振動体は、第１回転軸を有する第１変位部と、第２回転軸を有する第２変位部と、前記第１回転軸および前記第２回転軸と接続されている第１支持部と、を備え、前記第２振動体は、第３回転軸を有する第３変位部と、第４回転軸を有する第４変位部と、前記第３回転軸および前記第４回転軸と接続されている第２支持部と、を備え、前記第１変位部と対向するように設けられている第１固定電極部と、前記第２変位部と対向するように設けられている第２固定電極部と、前記第３変位部と対向するように設けられている第３固定電極部と、前記第４変位部と対向するように設けられている第４固定電極部と、前記第１支持部及び前記第２支持部の各々を振動させる駆動部と、を備え、前記第１振動体及び前記第２振動体は、互いに反対方向に振動し、前記第１回転軸は、前記第１変位部の重心からずれて設けられ、前記第１固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第２回転軸は、前記第２変位部の重心からずれて設けられ、前記第２固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第３回転軸は、前記第３変位部の重心からずれて設けられ、前記第３固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第４回転軸は、前記第４変位部の重心からずれて設けられ、前記第４固定電極部の主面と交差する方向に変位可能であり、前記第１変位部の重心から前記第１回転軸に向かう方向と、前記第２変位部の重心から前記第２回転軸に向かう方向は、互いに反対であり、前記第３変位部の重心から前記第３回転軸に向かう方向と、前記第４変位部の重心から前記第４回転軸に向かう方向は、互いに反対であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、前記第１振動体及び前記第２振動体は、連結バネで互いに接続されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、前記第１変位部と前記第１変位部に対向する前記第１固定電極部との間の静電容量をＣ１とし、前記第２変位部と前記第２固定電極部との間の静電容量をＣ２とし、前記第３変位部と前記第３固定電極部との間の静電容量をＣ３とし、前記第４変位部と前記第４固定電極部との間の静電容量をＣ４としたときに、前記物理量センサーの出力値は、（Ｃ１＋Ｃ２）−（Ｃ３＋Ｃ４）に応じていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る物理量センサーは、前記振動方向に対し平面視で直交する方向を軸とする角速度を検出することを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る電子機器は、上記いずれか１に記載の物理量センサーを備えていることを特徴とする。
［適用例１］基板と、前記基板上の空間平面に配置され、回転軸を有した第１変位部及び第２変位部と、前記基板の前記第１変位部及び第２変位部の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、前記第１変位部及び第２変位部の各々の前記回転軸を支持する支持部と、バネ部を介して前記支持部を支持する固定部と、前記支持部を振動方向に振動させる駆動部と、を備え、前記第１変位部及び第２変位部は、前記回転軸を軸として前記空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、前記回転軸の各々は、前記第１変位部又は第２変位部の重心からずれて設けられ、前記第１変位部の前記回転軸と前記第２変位部の前記回転軸とは、前記重心からのずれの方向が互いに反対であることを特徴とする物理量センサー。
上記構成によれば、例えば、物理量センサーを角速度センサーとして用いた場合に、検出軸まわりの角速度のみを検出して、ノイズとなる検出軸以外の他軸の角速度が検出されない。従って物理量検出を高精度に行うことができる。