【手続補正書】
【提出日】平成26年8月18日(2014.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部材と、樹脂と、これらの間に形成された中間層及びシランカップリング剤層と、を有し、
前記シランカップリング剤層と前記樹脂とが接触し、
前記中間層は、前記金属部材の酸化物層、キレート剤層、前記酸化物層とキレート剤層との複合層、及び前記酸化物とキレート剤との混層のいずれかであり、
前記中間層は、電気的非絶縁性であることを特徴とする金属部材と樹脂の接合体。
【請求項２】
前記酸化物層の厚さが、１００Å以上、１０００Å未満であることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項３】
前記中間層が前記酸化物層とキレート剤層との複合層又は酸化物とキレート剤との混層であることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項４】
前記中間層が酸化物層であることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項５】
前記金属部材の少なくとも表面は、銅、ニッケル、コバルト若しくは亜鉛又はそれらの合金であることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項６】
前記シランカップリング剤は、Ｘ３−ｎＲｎＳｉ−ＹまたはＸ３−ｎＳｉＲ’ＳｉＸ３−ｎの構造で示され、ｎは０または１であり、Ｘは加水分解基ＯＲ（Ｒはメチル、エチル、エチルメチル、プロピル、ブチル、イソブチル、ｓ−ブチル、ｔ−ブチル又はアセチルである。）であり、Ｘどうしが同じでも異なっていてもよく、Ｙはアミノ、メルカプト、フェニル、ビニル、エポキシ、メタクリル、イソシアネート、ウレイド若しくはサルファーである有機官能基又はアルキル基であり、Ｒはメチル基であり、Ｒ’はアルキル、アルケニル又は少なくとも１個のアミノ基若しくはＳ基で置換されたアルケニルであることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項７】
前記キレート剤は、Ｎ含有基またはＳ含有基を有することを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項８】
前記金属部材は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ若しくはそれらの合金又はめっきされた金属であることを特徴とする請求項１に記載の金属部材と樹脂の接合体。
【請求項９】
金属部材上にその金属の酸化物層を形成した後、前記酸化物層を少なくとも部分加水分解したシランカップリング剤を含有する溶液と接触させ、その後前記溶液の溶剤を除去することにより前記金属部材にシランカップリング反応層を形成し、中間層を形成し、次いで樹脂と接合する工程を含む金属部材と樹脂の接合体の製造方法であって、
前記中間層は、前記金属の酸化物層、キレート剤層、前記酸化物層とキレート剤層との複合層及び前記酸化物と前記キレート剤との混層のいずれかであり、電気的に非絶縁性であることを特徴とする金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１０】
前記金属部材をキレート剤溶液に浸漬して前記中間層を形成した後に、前記シランカップリング剤を含有する溶液に浸漬することを特徴とする請求項９に記載の金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１１】
前記金属部材を酸化剤とキレート剤溶液を含有する溶液に浸漬して前記中間層を形成した後に、前記シランカップリング剤を含有する溶液に浸漬することを特徴とする請求項９に記載の金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１２】
前記シランカップリング剤は、Ｘ３−ｎＲｎＳｉ−ＹまたはＸ３−ｎＳｉＲ’ＳｉＸ３−ｎの構造で示され、ｎは０または１であり、Ｘは加水分解基ＯＲ（Ｒはメチル、エチル、エチルメチル、プロピル、ブチル、イソブチル、ｓ−ブチル、ｔ−ブチル又はアセチルである。）であり、Ｘどうしが同じでも異なっていてもよく、Ｙはアミノ、メルカプト、フェニル、ビニル、エポキシ、メタクリル、イソシアネート、ウレイド若しくはサルファーである有機官能基又はアルキル基であり、Ｒはメチル基であり、Ｒ’はアルキル、アルケニル又は少なくとも１個のアミノ基若しくはＳ基で置換されたアルケニルであることを特徴とする請求項９に記載の金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１３】
前記キレート剤が、Ｎ含有基またはＳ含有基を有することを特徴とする請求項９に記載の金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１４】
前記金属部材は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ若しくはそれらの合金又はめっきされた金属であることを特徴とする請求項９に記載の金属部材と樹脂の接合体の製造方法。
【請求項１５】
金属部材を酸化処理、キレート剤処理、または前記酸化処理と前記キレート剤処理との組み合わせにより前記金属部材の表面に中間層を形成し、次いで加水分解し、又は部分的に加水分解した１種類若しくは２種類以上の有機官能性シランおよび溶剤を含有する溶液と接触させた後に、前記溶剤を除去することにより前記金属部材の前記中間層上にシランカップリング反応層を形成した後に熱処理を施す金属と樹脂の接着方法であって、
前記中間層は、前記金属の酸化物層、キレート剤層、前記酸化物層と前記キレート剤層との複合層及び前記酸化物と前記キレート剤との混層のいずれかであり、電気的に非絶縁性であることを特徴とする金属と樹脂の接着方法。
【請求項１６】
半導体素子、その半導体素子に電気的に接続するリードフレーム、及び前記リードフレームに接着する樹脂モールドを有する半導体パッケージにおいて、
前記リードフレームと前記樹脂モールドが前記リードフレームの酸化物からなる酸化膜及び／又はキレート剤との中間層と、シランカップリング剤とが結合した層に結合していることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項１７】
前記リードフレームの表面がめっきされた金属により被覆されていることを特徴とする請求項１６に記載の半導体パッケージ。
【請求項１８】
前記リードフレームを構成する金属は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ若しくはそれらの合金又はめっきされた金属であることを特徴とする請求項１６に記載の半導体パッケージ。
【請求項１９】
請求項１６に記載の酸化物層の厚さが、１００Å以上、１０００Å未満であることを特徴とする半導体パッケージ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】金属部材と樹脂の接合体及びその製造方法、金属と樹脂の接着方法、並びに半導体パッケージ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
以下に本発明の具体的な実施形態について説明する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（１）本発明の、金属部材と樹脂の界面において、前記金属部材上に形成された中間層とシランカップリング剤層を有し、前記シランカップリング剤層と前記樹脂とが接触し、前記中間層は、前記金属の酸化物層、キレート剤層、前記酸化物層とキレート剤層との複合層及び前記酸化物とキレート剤との混層のいずれかであり、前記中間層は、電気的非絶縁性である金属部材と樹脂の接合体において、前記中間層はシランカップリング剤層の後で形成され、あるいは両者が混合して一体の混合層となっていてもよく、或いは、酸化剤層及び／キレート剤層にシランカップリング剤が結合していてもよい。本発明では、酸化膜及び／又はキレート剤層を形成すると同時にシランカップリング剤処理をする方法或いはシランカップリング剤で処理した後加熱処理する方法を、１段処理と言い、酸化膜及び／又はキレート剤層を形成してから、シランカップリング剤で処理する方法を２段処理と称する。但し、中間層（酸化膜及び／又はキレート剤層）を形成した後でシランカップリング剤で処理する方法が好ましい。