(57)【要約】      （修正有）【課題】プリント配線板又はウェハの電気メッキ層の厚さの均一性を向上し、電気メッキ層の厚さが不均一であることによる後段の線路のエッチング工程中の短絡と断路を減少し、プリント配線板又はウェハの良品率を向上し、最終的に生産の製造コストを低下させるプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品を提供する。【解決手段】プリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品１は、電気メッキ溝内におけるプリント配線板又はウェハの電気メッキ面側に設置され、遮蔽板とプリント配線板又はウェハの間に位置されており、この攪拌部品１は、固定フレーム１１と固定フレーム１１に水平に又は垂直に設けられた少なくとも一つの攪拌棒１２とを備えており、攪拌棒１２は断面が三角形又は菱形、或いは直尺状のものであり、直尺の幅方向とプリント配線板又はウェハの電気メッキ面とは直角又は傾斜角をなしており、攪拌部品１の長さはプリント配線板の長さ又はウェハの径長より長い。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品であって、電気メッキ溝内におけるプリント配線板又はウェハの電気メッキ面側に設置され、遮蔽板とプリント配線板又はウェハの間に位置されており、この攪拌部品は、固定フレームと固定フレームに水平に又は垂直に設けられた少なくとも一つの攪拌棒とを備えており、前記攪拌棒は断面が三角形又は菱形、或いは直尺状のものであり、直尺の幅方向とプリント配線板又はウェハの電気メッキ面とは直角又は傾斜角をなしており、前記攪拌部品の長さはプリント配線板の長さ又はウェハの径長より長いことを特徴とするプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品。
【請求項２】
前記攪拌部品とプリント配線板又はウェハの電気メッキ面の間では近距離を保っており、距離範囲が5-100mmであることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実用新案は電気メッキ装置に関し、特にプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、市販されているプリント配線板の電気メッキ装置の電気メッキ層の厚さの偏差は一般的に±10-30%の範囲にある。即ち、一枚のプリント配線板の電気メッキ層の平均な厚さが20umであるとする時に、ある箇所において最大厚さが22-26umであり、最小厚さが18-14umである。電気メッキ層の厚さの偏差が大きいほど、後段の工程（現像・エッチング・回線形成）の負担が大きい。電気メッキ層の厚さが不均一であることによる線路のエッチング工程時の短絡と断路の不都合は現在各配線板メーカーの主な技術上のボトルネックである。
【０００３】
従来のプリント配線板の電気メッキ装置の薬剤攪拌は、エア攪拌又はノズル噴射攪拌の技術を採用することが多い。これら方法はプリント配線板表面の一部的な攪拌の現象を容易に発生させやすい。これはプリント配線板の電気メッキ層の厚さが不均一になる原因のその一である。
【０００４】
次に、従来のプリント配線板の電気メッキ装置の遮蔽技術は、一部的な遮蔽の形態を採用することが多い。即ち、従来の遮蔽板が単にプリント配線板の縁及び角しか遮蔽しないものである。このような遮蔽形態では、プリント配線板の全部箇所（特に中間領域）を全面的に遮蔽することはできない。これはプリント配線板の電気メッキ層の厚さが不均一になる原因のその二である。 
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本実用新案はプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品を提供することを目的とする。電気メッキ工程において、プリント配線板又はウェハの電気メッキ層の厚さの均一性を効果的に向上し、プリント配線板又はウェハの後段の工程における電気メッキ層の厚さが不均一であることによる回線のエッチング時の不都合（短絡と断路）を減少し、最終的にプリント配線板の製造コストを低下させる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本実用新案にかかる技術方案は下記の通りである。
【０００７】
プリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品は、電気メッキ溝内におけるプリント配線板又はウェハの電気メッキ面側に設置され、即ち、遮蔽板とプリント配線板又はウェハの間に位置されている。この攪拌部品は、固定フレームと固定フレームに水平に又は垂直に設けられた少なくとも一つの攪拌棒とを備えている。前記攪拌棒は断面が三角形又は菱形、或いは直尺状のものである。直尺の幅方向とプリント配線板又はウェハの電気メッキ面とは直角又は傾斜角をなしている。攪拌部品の長さはプリント配線板の長さ又はウェハの径長より長い。
【０００８】
好ましくは、前記攪拌部品とプリント配線板又はウェハの電気メッキ面の間では近距離を保っており、距離範囲が5-100mmである。
【０００９】
電気メッキを行う時に、攪拌部品が直接にプリント配線板の電気メッキ面に対向して、その揺動機構によって、攪拌部品がプリント配線板又はウェハの電気メッキ面に沿って往復揺動して、電気メッキ液はプリント配線板又はウェハの表面（スルーホール、ブラインドホール、パータン）を均一的に攪拌する作用を機能する。
【００１０】
攪拌部品がプリント配線板又はウェハ表面に平行して非接触的に往復揺動する。
【００１１】
本実用新案が従来の技術における同類製品と比べると、以下の二点が異なっている。本実用新案の攪拌形態では新規な攪拌部品が使われており、攪拌部品は若干の攪拌棒により構成される攪拌組立部品で、電気メッキの工程ではプリント配線板又はウェハに近距離的な、かつ均一な薬剤攪拌を提供することができる。従来の技術の攪拌形態はエア攪拌又はノズル噴射の攪拌の形態である。
【考案の効果】
【００１２】
通過攪拌部品の改良によって、電気メッキ薬剤がプリント配線板又はウェハの電気メッキ表面に均一な攪拌を実施しょうとする課題は解決された。プリント配線板又はウェハの電気メッキ層の厚さの均一性を向上し、電気メッキ層の厚さの偏差を±5-10%に低減し、電気メッキ層の厚さが不均一であることによる後段の線路のエッチング工程中の短絡と断路を減少し、プリント配線板又はウェハの良品率を向上し、最終的に生産の製造コストを低下させる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本実用新案に係る攪拌部品の実施例１の正面図である。
【図２】図２は、図１の断面図である。
【図３】図３は、本実用新案に係る攪拌部品の実施例２の断面図である。
【図４】図４は、本実用新案に係る攪拌部品の実施例３の断面図である。
【図５】図５は、本実用新案に係るの実施例の作動状態を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
図１〜５に示すように、本実用新案に係るプリント配線板又はウェハの電気メッキ装置用の攪拌部品1は、電気メッキ溝10内におけるプリント配線板又はウェハ20の電気メッキ面側に設置され、即ち、遮蔽板30とプリント配線板又はウェハ20の間に位置されている。この攪拌部品1は、固定フレーム11と固定フレーム11に水平に又は垂直に設けられた少なくとも一つの攪拌棒12とを備えている。前記攪拌棒12は断面が三角形又は菱形、或いは直尺状のものである。直尺の幅方向とプリント配線板又はウェハ20の電気メッキ面とは直角又は傾斜角をなしている。攪拌部品1の長さはプリント配線板の長さ又はウェハの径長より長い。
【００１５】
より好ましくは、前記の攪拌部品1とプリント配線板又はウェハ20の電気メッキ面の間では近距離を保っている。距離範囲が5-100mmである。
【００１６】
陽極40、遮蔽板30、プリント配線板又はウェハ20 （陰極）はすべて鉛直で、互いに平行して電気メッキ溝10内に設置されている。攪拌部品1がプリント配線板又はウェハ20における電気メッキの表面に平行している。
【００１７】
本実施例において、前記の攪拌部品1が直接にプリント配線板又はウェハ20の電気メッキ面に対向している。揺動機構の働きによって、攪拌部品がプリント配線板の電気メッキ表面に沿って左右に又は上下に揺動する。攪拌部品とプリント配線板又はウェハの電気メッキ表面の間では近距離を保っている。距離範囲が5-100mmである。
【００１８】
以上をまとめると、従来の技術における同類方法と比べると、本実用新案において通常のプリント配線板の電気メッキ設備に新規な攪拌部品が使用されているため、従来における電気メッキ設備の攪拌システム（エア攪拌又はノズル攪拌）がプリント配線板に一部的な攪拌を行うことのみができる問題、従来における遮蔽板がプリント配線板の中間領域を効果的に遮蔽できない問題が解決された。プリント配線板の電気メッキ層の厚さの均一性を大幅に向上し、これにより回線のエッチング工程における短絡と断路の不都合率を低減して、最終的にプリント配線板の製造コストを低下させる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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