(57)【要約】      （修正有）【課題】異形基板のエッジの検査を行えるエッジ検査装置を提供する。【解決手段】数値制御の進退走行手段により左右方向に進退走行する第１走行体Ｃと、第１走行体Ｃの走行路の片側に数値制御の進退走行手段Ｅにより前後方向に進退走行する第２走行体Ｆと、第２走行体Ｆ上に供給異形基板Ｘを荷受けするテーブルＧと、第１走行体上Ｃにフリー回転するよう軸承した旋回軸１０の下端に固定した旋回支持部材１１と、旋回支持部材１１の下面に取り付けてテーブルＧ上の異形基板Ｘのエッジに焦点を合わせた２Ｄレーザー変位計１２と、旋回支持部材１１の片端にテーブルＧ上の異形基板Ｘのエッジに焦点を合わせたラインセンサー１３と、旋回支持部材１１のもう片端側の２Ｄレーザー変位計１２とラインセンサー１３の焦点を照らす照明装置１４と、ラインセンサー１３の焦点が法線方向に向くように旋回軸１０を可逆駆動する駆動手段Ｈとからなる。【選択図】図２
0003217260.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
走行ガイド手段により左右方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第１走行体と、この第１走行体の走行路の片側に走行ガイド手段により前後方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第２走行体と、この第２走行体上に供給異形基板を上面に荷受けすると共に、この荷受け上記異形基板を保持する吸引保持機能を有するように設けたテーブルと、前記第１走行体上に設けてある支持部材にフリー回転するように軸承した軸線が垂直な旋回軸と、この旋回軸の下端に両端間の中央を固定した水平な旋回支持部材と、この旋回支持部材の下面上記旋回軸の軸芯位置に取り付けて前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けた２Ｄレーザー変位計と、上記旋回支持部材の片端に前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けたラインセンサーと、上記旋回支持部材のもう片端側に前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーの焦点を照らすように設けた照明装置と、前記ラインセンサーの焦点が法線方向に向くように前記旋回軸を可逆駆動するように設けた駆動手段と、前記第１走行体側に前記異形基板の板面のマークを読み取るように設けたカメラとからなり、前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーによる検査を画像に取り入れて上記異形基板の良品、不良品を判定するようにしたことを特徴とする異形基板のエッジ検査装置。
【請求項２】
走行ガイド手段により左右方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第３走行体と、この第３走行体上に走行ガイド手段により前後方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第４走行体と、この第４走行体上に供給異形基板を上面に荷受けすると共に、この荷受け上記異形基板を保持する吸引保持機能を有するように設けたテーブルと、前記第３走行体の走行路の直上に設けてある定置支持部材にフリーに回転するように軸承した軸線が垂直な旋回軸と、この旋回軸の下端に両端間の中央を固定した水平な旋回支持部材と、この旋回支持部材の下面上記旋回軸の軸芯位置に取り付けて前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けた２Ｄレーザー変位計と、上記旋回支持部材の片端に前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けたラインセンサーと、上記旋回支持部材のもう片端側に前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーの焦点を照らすように設けた照明装置と、前記ラインセンサーの焦点が法線方向に向くように前記旋回軸を可逆駆動するように設けた駆動手段と、前記支持部材側に前記異形基板の板面のマークを読み取るように設けたカメラとからなり、前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーによる検査を画像に取り入れて上記異形基板の良品、不良品を判定するようにしたことを特徴とする異形基板のエッジ検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この考案は、端材を折割分断したのちの異形基板のエッジを検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
異形基板は、既知のように、基板に異形切断線を（端材分断のための半裁線も）スクライブしたのち、この切断線を折割（分断）して異形基板を得る（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第３２１６０１７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１によって得られた異形基板のエッジには、チッピング（蛤状の欠損）や、分断にともないエッジから基板方向のクラックが入ることがあり、また、端子傷や端材の折割（分断）にともない折割縁に分断残渣片が存在することがある。
【０００５】
これらのチッピングやクラック、端子傷及び残渣片の検査は、作業者による目視のため、非能率的であった。
【０００６】
また、目視のため、完全に検知することができず、ともすれば、選別漏れで良品に不良品が混入する問題もあった。
【０００７】
そこで、この考案は、上述の問題を解決するようにした検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、この考案は、走行ガイド手段により左右方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第１走行体と、この第１走行体の走行路の片側に走行ガイド手段により前後方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第２走行体と、この第２走行体上に供給異形基板を上面に荷受けすると共に、この荷受け上記異形基板を保持する吸引保持機能を有するように設けたテーブルと、前記第１走行体上に設けてある支持部材にフリー回転するように軸承した軸線が垂直な旋回軸と、この旋回軸の下端に両端間の中央を固定した水平な旋回支持部材と、この旋回支持部材の下面上記旋回軸の軸芯位置に取り付けて前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けた２Ｄレーザー変位計と、上記旋回支持部材の片端に前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けたラインセンサーと、上記旋回支持部材のもう片端側に前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーの焦点を照らすように設けた照明装置と、前記ラインセンサーの焦点が法線方向に向くように前記旋回軸を可逆駆動するように設けた駆動手段と、前記第１走行体側に前記異形基板の板面のマークを読み取るように設けたカメラとからなり、前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーによる検査を画像に取り入れて上記異形基板の良品、不良品を判定するようにした構成を採用する。
【０００９】
また、走行ガイド手段により左右方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第３走行体と、この第３走行体上に走行ガイド手段により前後方向に走行すると共に、数値制御の進退走行手段により進退走行するように設けた第４走行体と、この第４走行体上に供給異形基板を上面に荷受けすると共に、この荷受け上記異形基板を保持する吸引保持機能を有するように設けたテーブルと、前記第３走行体の走行路の直上に設けてある定置支持部材にフリーに回転するように軸承した軸線が垂直な旋回軸と、この旋回軸の下端に両端間の中央を固定した水平な旋回支持部材と、この旋回支持部材の下面上記旋回軸の軸芯位置に取り付けて前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けた２Ｄレーザー変位計と、上記旋回支持部材の片端に前記テーブル上の前記異形基板のエッジに焦点を合わせて設けたラインセンサーと、上記旋回支持部材のもう片端側に前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーの焦点を照らすように設けた照明装置と、前記ラインセンサーの焦点が法線方向に向くように前記旋回軸を可逆駆動するように設けた駆動手段と、前記支持部材側に前記異形基板の板面のマークを読み取るように設けたカメラとからなり、前記２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーによる検査を画像に取り入れて上記異形基板の良品、不良品を判定するようにした構成を採用する。
【考案の効果】
【００１０】
以上のように、この考案の異形基板のエッジ検査装置によれば、テーブル上に検査しようとする異形基板を載置して保持したのち、テーブルを移動（異形基板のエッジに沿って）させることで、通過するエッジを、２Ｄレーザー変位計及びラインセンサーで画像に取り込んで、取り込んだ画像によりエッジのチッピングやクラック、そして端材の分断にともなう分断残渣片の存在を知り、良品、不良品の判別を極めて容易に行うことができ、良品に不良品が混入する不都合をなくすることができる。
【００１１】
また、照明装置で微細なチッピングやクラックも鮮明に画像に取り入れて、判別をより正確に行うことができる。
【００１２】
さらに、可逆駆動装置によりラインセンサーの焦点方向を異形基板のエッジに対し直角に交差する放線方向に常に向くようにしてあるので、エッジの正確な検査を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この考案の第１の実施形態を示す平面図である。
【図２】同上の一部切欠正面図である。
【図３】同上の要部を示す拡大平面図である。
【図４】同上の一部切欠拡大正面図である。
【図５】同上の９０°旋回した状態の拡大平面図である。
【図６】エッジの検査状態を示す平面図である。
【図７】同エッジの検査状態を示す平面図である。
【図８】同エッジの検査状態を示す平面図である。
【図９】第２の実施形態を示す平面図である。
【図１０】同上の一部切欠正面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１４】
次に、この考案の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
第１の実施形態では、図１から図４に示すように走行ガイド手段Ａにより左右方向に走行ガイドされると共に、数値制御の進退走行手段Ｂにより進退走行する第１走行体Ｃが設けてある。
【００１５】
上記の走行ガイド手段Ａは、図１、２に示すように、並行する２本のレール１と、このレール１にスライド自在に係合するように第１走行体Ｃの下面四隅に設けたスライダ２とで構成したが、その他の方式により左右方向に走行させるようにしてもよい。
【００１６】
上記の進退走行手段Ｂは、図１、２に示すように、レール１に並行して軸承した雄ネジ３と、この雄ネジ３を可逆駆動モーター４と、雄ネジ３にねじ込むと共に、第１走行体Ｃの下面に支持した雌ネジ５とで前記第１走行体Ｃを進退走行するようにしたが、限定されず、その他の方式により走行するようにすることもある。
【００１７】
また、第１走行体Ｃの走行路の片側には、走行ガイド手段Ｄにより前後方向に走行ガイドされると共に、数値制御の進退走行手段Ｅにより進退走行する第２走行体Ｆが設けてある。
【００１８】
上記の走行ガイド手段Ｄは、前記の走行ガイド手段Ａと同様につき、また進退走行手段Ｅは、前記の進退走行手段Ｂと同様につき詳細な説明を省略する。
【００１９】
なお、上記の走行ガイド手段Ａは、定置式のベース６上に設けてあり、上記の走行ガイド手段Ｄは、ベース６上に設けてあるベース７上に設けた（図１、２に示すように）。
【００２０】
さらに、第２走行体Ｆ上は、供給異形基板Ｘを上面に荷受けすると共に、この荷受け異形基板Ｘを保持する吸引保持機能としての多数の吸引孔８を有するテーブルＧが設けてある。
【００２１】
上記の異形基板Ｘは、周知（例えば、実用新案登録第３２１６０１７号公報参照）のように、大判なサイズのパネルを小分けするように、分割スクライブし、この分割パネル毎に異形基板のための切断線をスクライブし、そして切断線の外側端材を折割分割して、異形基板を得る。
【００２２】
上記の吸引孔８を有するテーブルＧとしては、扁平な中空ボックスの頂壁に多数の小孔を設けて、中空のボックス内を吸引することで、テーブルＧ上に異形基板Ｘを吸引するようになっている。
【００２３】
また、第１走行体Ｃ上に支持部材９を設けて、この支持部材９には、軸線が垂直なフリーに回転する旋回軸１０が設けてある。
【００２４】
さらに、旋回軸１０の下端に水平な旋回支持部材１１の両端間の中央を固定すると共に、旋回支持部材１１の下面旋回軸１０の軸芯位置から下方に突出すると共に、テーブルＧ上の異形基板Ｘのエッジに焦点を合わせた２Ｄレーザー変位計１２を設け、旋回支持部材１１の異形基板Ｘのエッジ側片端にエッジに焦点を合わせたラインセンサー１３を設け、旋回支持部材１１のもう片端に２Ｄレーザー変位計１２及びラインセンサー１３を照らす照明装置１４を設ける。
【００２５】
上記の２Ｄレーザー変位計１２は、異形基板Ｘのエッジの端子出しの形状の不良、良品の形状検査や外形形状を検査するもので、ラインセンサー１３は、異形基板Ｘのエッジのチッピングや、分断にともないエッジにクラックの有無及び端材分断にともなう折割縁に残渣片が存在しているかの検査をするもので、ラインスキャンカメラを使用している。
そして、上述の検査を画像に取り込んで、異形基板Ｘの良品、不良品を判定する。
【００２６】
また、ラインセンサー１３の焦点が法線方向に向くように旋回軸１０を可逆駆動手段Ｈで旋回させるようにしてある。
【００２７】
上述の可逆駆動手段Ｈとしては、図１〜図４に示すように、旋回軸１０に設けたウォームホイール１５と、このウォームホイール１５に噛み合わされたウォームギヤー１６と、このウォームギヤー１６を可逆駆動する減速機１７付きのモーター１８とで構成したが、限定されず、その他の構成により目的を達成することもある。
【００２８】
さらに、第１走行体Ｃには、異形基板Ｘのマークを読み取るカメラ１９が設けてある。
【００２９】
なお、前述の進退走行手段Ｂ、Ｅの数値制御は、パネルから異形基板Ｘを得る際の切断線をスクライブする際のＸ軸、Ｙ軸のエンコーダバルスを入力とし、その合成ベクトルに対して異形基板Ｘの外形に沿って第１走行体Ｃ及び第２走行体ＦをＸ軸、Ｙ軸方向に走行させるようにしてある。
【００３０】
上記のように構成すると、異形基板Ｘの図６に示す短辺の直線部分や、異形基板Ｘの図７に長辺の略直線に近い部分や、偉業基板Ｘの図８に示す短辺と長辺との間のコーナーのアール部分であってもラインセンサー１３が常に法線方向（直角）に可逆駆動手段Ｈにより調整するので、いかなる部分での検査で最も必要な加工断面が絶えず画像上特定点（例えば中心）を通過するデータとして画像に取り込んで、良品、不良品の正確な判定を行うことができる。
【００３１】
すなわち、画像データと同時に取り込むため３次元画像データとして欠陥検査を行うものである。
図中２０はラインセンサー１３及び２Ｄレーザー変位計１２の支持金具である。
【００３２】
なお、カメラ１９により偉業基板Ｘ面のマークの読み取りを行う要因は、マークの読み取りにともなう位置演算後、ラインセンサー１３及び２Ｄレーザー変位計１２、中心位置に移動後演算装置に入力された異形基板Ｘのデーターに基づいて異形基板Ｘのエッジに沿って法線方向調整、Ｘ、Ｙ軸データー線上位置で異形基板Ｘの外形を読み取り検査を行う。
【００３３】
上記検査の要点は、異形基板Ｘの外形に対して一定の精度でトリガを生成させてデーター取り込みを行い、異形基板Ｘの外形に対して２Ｄレーザー変位計を用いて一定精度で立体データー取り込みを行い、異形基板Ｘの外形に対して２Ｄレーザー変位計と同時に画像を取り込み、立体画像検査を行うことにある。
【００３４】
なお、ラインセンサー１３及び２Ｄレーザー変位計１２によるエッジの検査の際、照明装置１４の光源で鮮明な画像を取り込むことができる。
【００３５】
第２の実施形態では、図９、１０に示すように、走行ガイド手段Ｊにより左右方向に走行ガイドされると共に、数値制御の進退走行手段Ｋにより進退走行する第３走行体Ｌを設ける。
【００３６】
上記の走行ガイド手段Ｊは、第１の実施形態の走行ガイド手段Ａと同様につき、また上記の進退走行手段Ｋは、第１の実施形態の進退走行手段Ｂと同様につき詳細な説明を省略する。
【００３７】
また、第３走行体Ｌ上には、走行ガイド手段Ｍにより前後方向に走行ガイドされると共に、数値制御の進退走行手段Ｎにより前後方向に走行する第４走行体Ｏが設けてある。
【００３８】
上記の走行ガイド手段Ｍは、第１の実施形態の走行ガイド手段Ｄと同様につき、また上記の進退走行手段Ｋは、第１の実施形態の進退走行手段Ｅと同様につき詳細な説明を省略する。
【００３９】
さらに、第４走行体Ｏ上には、供給異形基板Ｘを上面に荷受けすると共に、吸引保持機能付のテーブルＧが設けてある。
上記の吸引保持機能は、第１の実施形態と同様につき詳細な説明を省略する。
【００４０】
また、テーブルＧの走向路の直上には、定置式の支持部材９を設けて、この支持部材９には、第１実施形態と同様の旋回軸１０、この旋回軸１０の下端に旋回支持部材１１、この旋回支持部材１１に第１実施形態と同様の２Ｄレーザー変位計１２、ラインセンサー１３、照明装置１４が設けてあり、そして旋回軸１０を可逆駆動してラインセンサー１３の焦点が法線方向に向く可逆駆動手段Ｈが設けてある。
【００４１】
上記の２Ｄレーザー変位計１２、ラインセンサー１３、照明装置１４及び可逆駆動手段Ｈは、第１の実施形態と同様につき詳細な説明を、また進退走行手段Ｋ、Ｎの数値制御による走行は、第１の実施形態と同様につき詳細な説明を省略する。そして、支持部材９側には、第１の実施形態と同様のカメラ１９が設置してあり、このカメラ１９の使用目的は、第１の実施形態と同様につき説明を省略する。
【００４２】
すると、第１の実施形態と同様に、異形基板Ｘのエッジの各種不具合を検査して、異形基板Ｘの良品、不良品を画像に取り込んで選別することができる。
【００４３】
検査後の異形基板Ｘは、例えば、図１２に示すように払い出し機Ｒの吸盤Ｒ′によりテーブルＧ上から取り上げて、良品、不良品別に払い出す。
【００４４】
なお、異形基板Ｘのエッジの検査方式及び作用並びに効果は、第１の実施形態と同様ににつき詳細な説明を省略する。
【００４５】
上記第１の実施形態及び第２の実施形態の可逆駆動手段Ｈのドライブは、前述のように異形切断スクライブのデータで３軸制御して作用するが、３軸制御以外の２軸制御で直線のライン（エッジ）検査もできる。
【００４６】
そしてラインセンサー１３の法線方向に向く調整にともない美しい（乱れのない）画像を取り込んでエッジの残渣片の存在や、クラック、チッピング及び端子傷の有無の良好な検査ができる。
【符号の説明】
【００４７】
Ａ  走行ガイド手段
Ｂ  進退走行手段
Ｃ  第１走行体
Ｄ  走行ガイド手段
Ｅ  進退走行手段
Ｆ  第２走行体
Ｇ  テーブル
Ｈ  可逆駆動手段
Ｊ  走行ガイド手段
Ｋ  進退走行手段
Ｌ  第３走行体
Ｍ  走行ガイド手段
Ｎ  進退走行手段
Ｏ  第４走行体
Ｒ  払い出し機
Ｒ′  吸盤
Ｘ  異形基板
１  レール
２  スライダ
３  雄ネジ
４  モーター
５  雌ネジ
６  ベース
７  ベース
８  吸引孔
９  支持部材
１０  旋回軸
１１  旋回支持部材
１２  ２Ｄレーザー変位計
１３  ラインセンサー
１４  照明装置
１５  ウォームホイール
１６  ウォームギヤー
１７  減速機
１８  モーター
１９  カメラ
２０  支持金具
【図１】
0003217260.tif 000003
【図２】
0003217260.tif 000004
【図３】
0003217260.tif 000005
【図４】
0003217260.tif 000006
【図５】
0003217260.tif 000007
【図６】
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【図７】
0003217260.tif 000009
【図８】
0003217260.tif 000010
【図９】
0003217260.tif 000011
【図１０】
0003217260.tif 000012