(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーから、一次遠心分離機及び二次遠心分離機を介して、有用成分を短時間で効率的に回収することができる装置を提供する。【解決手段】相対的に低遠心力で運転する１台の一次遠心分離機１１に対して相対的に高遠心力で運転する複数台の二次遠心分離機２１，２２を並列に接続し、該１台の一次遠心分離機１１で処理して分離した液状分を該複数台の二次遠心分離機２１，２２に分配して処理するようにした。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーを、相対的に低遠心力で運転する一次遠心分離機及び該一次遠心分離機の下流側に接続された相対的に高遠心力で運転する二次遠心分離機に供して、該使用済みスラリーから有用成分を回収する装置において、１台の一次遠心分離機に対して複数台の二次遠心分離機を並列に接続し、該１台の一次遠心分離機で処理して分離した液状分を該複数台の二次遠心分離機に分配して処理するようにして成ることを特徴とする使用済みスラリーからの有用成分の回収装置。
【請求項２】
１台の一次遠心分離機及び複数台の二次遠心分離機がいずれも同一のデカンタ型連続式遠心分離機である請求項１記載の使用済みスラリーからの有用成分の回収装置。
【請求項３】
１台の一次遠心分離機に対し、該１台の一次遠心分離機で処理して分離した固状分を受ける複数台のタンクを、切替バルブを介して並列に接続した請求項１又は２記載の使用済みスラリーからの有用成分の回収装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は使用済みスラリーからの有用成分の回収装置に関する。シリコンウエハの加工工程では、シリコンのインゴットをブロック状に切断し、切断したブロックをダイシングソーやワイヤーソー等でウエハ状に切断した後、切断したウエハに研削や研磨等を施して、所要の表面特性を有する所定の肉厚及び口径のウエハに加工している。かかるシリコンウエハの加工工程では、切断、研削及び研磨等、多くの加工場面で、クーラント及び砥粒、例えば炭化珪素（ＳｉＣ）を含有するスラリーが使用され、結果としてこれらの他に更にシリコンのインゴット、ブロック、ウエハ等から取り除かれたシリコン粒をも含有する使用済みスラリーが排出される。この使用済みスラリーには、それ自体は有用な砥粒、シリコン粒及びクーラント等の成分が含まれているので、これらを回収して再使用することが望まれる。本考案は、以上のような使用済みスラリーから、有用成分を短時間で効率的に回収する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、前記のようなシリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーから有用成分を回収する装置として、２台の遠心分離機を直列に接続し、使用済みスラリーを上流側の相対的に低遠心力で運転する一次遠心分離機に供して処理した後、ここで分離した液状分を下流側の相対的に高遠心力で運転する二次遠心分離機に供して処理し、一次遠心分離機では固状分として砥粒を回収する一方、二次遠心分離機では固状分としてシリコン粒を回収すると共に液状分としてクーラントを回収するようにした装置が知られている（例えば、特許文献１〜６参照）。
【０００３】
ところが、かかる従来の装置には、２台の遠心分離機の保守管理上、上流側の一次遠心分離機及び下流側の二次遠心分離機として同一のものを使用しているため、相対的に低遠心力で運転する一次遠心分離機に比べて、相対的に高遠心力で運転する二次遠心分離機の処理量が低くなり、結果として全体の処理に時間がかかるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３９４３０号公報
【特許文献２】特開２００１−２７７１１５号公報
【特許文献３】特開２００６−２５６８９４号公報
【特許文献４】特開２００７−２４６３６６号公報
【特許文献５】特開２００７−２４６３６７号公報
【特許文献６】特開２０１０−８２５６８号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案が解決しようとする課題は、シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーから、一次遠心分離機及び二次遠心分離機を介して有用成分を回収する装置において、有用成分を短時間で効率的に回収することができる装置を提供する処にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の課題を解決する本考案は、シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーを、相対的に低遠心力で運転する一次遠心分離機及び該一次遠心分離機の下流側に接続された相対的に高遠心力で運転する二次遠心分離機に供して、該使用済みスラリーから有用成分を回収する装置において、１台の一次遠心分離機に対して複数台の二次遠心分離機を並列に接続し、該１台の一次遠心分離機で処理して分離した液状分を該複数台の二次遠心分離機に分配して処理するようにして成ることを特徴とする使用済みスラリーからの有用成分の回収装置に係る。
【０００７】
本考案に係る使用済みスラリーからの有用成分の回収装置（以下、単に本考案の回収装置という）も、一次遠心分離機と二次遠心分離機とを備え、前記したようなシリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーを、相対的に低遠心力で運転する一次遠心分離機及び該一次遠心分離機の下流側に接続された相対的に高遠心力で運転する二次遠心分離機に供して、該使用済みスラリーから有用成分を回収するようになっている。
【０００８】
本考案の回収装置は、１台の一次遠心分離機に対して複数台の二次遠心分離機を備え、複数台の二次遠心分離機は並列に接続されていて、前記したような使用済みスラリーを一次遠心分離機に供して、固状分と液状分とに分離した後、ここで分離した液状分を複数台の二次遠心分離機に分配して、各二次遠心分離機で更に固状分と液状分とに分離し、かくして分離した一次遠心分離機の固状分、各二次遠心分離機の固状分及び液状分を回収するようになっている。
【０００９】
運転時に、一次遠心分離機に加えられる遠心力や各二次遠心分離機に加えられる遠心力によって影響を受ける一次遠心分離機の処理能力や各二次遠心分離機の処理能力にもよるが、例えば各二次遠心分離機の処理能力が一次遠心分離機の１／２である場合、１台の一次遠心分離機に対して２台の二次遠心分離機を並列に接続する。このようにすると、一次遠心分離機と二次遠心分離機との間で一次遠心分離機で分離した液状分が滞ることがなく、全体の処理を短時間で効率的に行なうことができる。
【００１０】
本考案の回収装置において、一次遠心分離機及び二次遠心分離機としては、固液を分離するそれ自体は公知の各種の形式の遠心分離機を使用できるが、通常は横置き（又は横型）のデカンタ型（又はスクリューデカンタ型）連続式遠心分離機を使用するのが好ましく、各遠心分離機の保守管理上、例えば部品の共通性により点検、修理、交換等を容易にするため、いずれも同一のものを使用するのが好ましい。
【００１１】
また本発明の回収装置において、１台の一次遠心分離機に対し、該１台の一次遠心分離機で処理して分離した固状分を受ける複数台のタンクを、切替バルブを介して並列に接続するのが好ましい。使用済みスラリーから、一次遠心分離機で処理して分離した固状分を受けるタンクは、通常は再使用に備えた調整タンクとして使用され、かかるタンクには撹拌機や更に必要な場合には加熱又は冷却手段が装備されていて、二次遠心分離機で処理して分離した液状分や新たに追加する液状分等を供給できるようになっている。シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーの場合、一次遠心分離機で固状分として分離した砥粒、例えばＳｉＣ粒をタンクに受けるが、このタンクには二次遠心分離機で液状分として分離したクーラントや新たに追加するクーラントが供給されるようになっており、このタンクで所要量の砥粒とクーラントとを混合して再使用に供するようになっているのである。１台の一次遠心分離機に対し、複数台のかかるタンクを切替バルブを介して並列に接続すると、一つのタンクで再使用に備えて前記のように調整している間も、一次遠心分離機を運転してそこから分離される固状分を他のタンクに受けることができるため、結果として、使用済みスラリーの処理と有用成分の回収を、より短時間で効率的に行うことができる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案の回収装置によると、シリコンウエハの加工工程から排出される使用済みスラリーから、有用成分を短時間で効率的に回収することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本考案の回収装置を一部ブロックで例示する全体図。
【実施例】
【００１４】
図１は本考案の回収装置の一実施例を一部ブロックで示す全体図である。図１中、１１は一次遠心分離機、２１，２２は二次遠心分離機、３１〜３５はタンク、４１〜４５はポンプ、５１〜５３は切替バルブ、６１〜６４は撹拌機を示している。
【００１５】
図１の回収装置の場合、上流側の１台の一次遠心分離機１１に対して下流側に２台の二次遠心分離機２１，２２が並列に接続されている。シリコンウエハの加工工程から排出されるクーラント、砥粒及びシリコン粒を含有する使用済みスラリーを、ポンプ４１を介して、相対的に低遠心力で運転する１台の一次遠心分離機１１に供し、固状分として砥粒と液状分としてクーラント及びシリコン粒の混合物とに分離した後、分離した固状分としての砥粒を切替バルブ５１を介してタンク３１に受け、また液状分としてのクーラント及びシリコン粒の混合物をタンク３３に受けるようになっている。
【００１６】
またタンク３３に受けた液状分としてのクーラント及びシリコン粒の混合物を、撹拌機６３で撹拌しつつ、ポンプ４２，４３を介して、相対的に高遠心力で運転する２台の二次遠心分離機２１，２２に分配し、各二次遠心分離機２１，２２で更に固状分としてシリコン粒と液状分としてクーラントとに分離した後、分離した固状分としてのシリコン粒をタンク３４に受け、また液状分としてのクーラントをタンク３５に受けるようになっている。
【００１７】
そして一定時間、以上のような処理を連続して行なうと、タンク３１には所要量の砥粒が溜るので、タンク３５に受けて溜まった液状分としてのクーラントを、撹拌機６４で撹拌しつつ、ポンプ４４及び切替バルブ５２を介してタンク３１に供給し、また不足分の新たなクーラントを、ポンプ４５及び切替バルブ５３を介してタンク３１に供給して、タンク３１において、撹拌機６１で撹拌しつつ、所要量の砥粒とクーラントとを混合し、再使用に供するようになっている。タンク３１を再使用に供するために以上のような調整に使用している間は、切替バルブ５１を切替えて、一次遠心分離機１１で分離した固状分としての砥粒を、一次遠心分離機１１に対してタンク３１と並列に接続されているタンク３２に受ける。以下は、以上の繰り返しであるが、図１の回収装置の場合、１台の一次遠心分離機１１及び２台の二次遠心分離機２１，２２はいずれも同一の横置きのデカンタ型連続式遠心分離機を使用している。
【符号の説明】
【００１８】
１１        一次遠心分離機
２１，２２  二次遠心分離機
３１〜３５  タンク
４１〜４５  ポンプ
５１〜５３  切替バルブ
【図１】
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