【手続補正書】
【提出日】平成26年8月12日(2014.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有するベース、前記ベースに対して変位可能なシャッター部、および前記シャッター部を駆動する駆動手段を有し、前記駆動手段によって前記シャッター部を前記ベースに対して変位させることにより、前記貫通孔が開かれた開状態と前記シャッター部によって閉じられた閉状態とを切り替えることのできるシャッター装置であって、
前記駆動手段は、前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金を冷却する冷却手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、を有することを特徴とするシャッター装置。
【請求項２】
前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段を有する請求項１に記載のシャッター装置。
【請求項３】
貫通孔を有するベースと、
前記ベースに対して変位可能なシャッター部と、
前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金を有し、前記シャッター部を駆動する駆動手段と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、
前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段とを備え、
前記駆動手段によって前記シャッター部を前記ベースに対して変位させることにより、前記貫通孔が開かれた開状態と前記シャッター部によって閉じられた閉状態とを切り替えることのできるシャッター装置の制御方法であって、
前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記電圧印加手段による前記形状記憶合金への電圧印加を制御することを特徴とするシャッター装置の制御方法。
【請求項４】
前記制御手段は、前記開状態において、前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果が前記所定温度よりも低い場合は、前記電圧印加手段の駆動を行い、前記所定温度より高い場合は、前記電圧印加手段の駆動を停止する請求項３に記載のシャッター装置の制御方法。
【請求項５】
前記シャッター装置は、前記形状記憶合金を冷却する冷却手段を有し、
前記制御手段は、前記閉状態における前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果に基づいて前記電圧印加手段および前記冷却手段の少なくとも一方の駆動を制御する請求項３または４に記載のシャッター装置の制御方法。
【請求項６】
前記制御手段は、前記閉状態において、前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果が前記所定温度よりも高い場合は、前記冷却手段の駆動を行い、前記所定温度より低い場合は、前記冷却手段の駆動を停止する請求項５に記載のシャッター装置の制御方法。
【請求項７】
振動子の共振周波数を調整する周波数調整方法であって、
貫通孔を有するベースと、
前記ベースに対して変位可能なシャッター部と、
前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金を有する前記駆動手段と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金を冷却する冷却手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、
前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段と、を備えているシャッター装置を用意する工程と、
前記振動子と前記振動子の質量を変化させる質量変化手段との間に、前記ベースと前記シャッター部を配置する工程と、
前記貫通孔を閉状態から開状態へ切り替える第１の切り替え工程と、
前記開状態において前記質量変化手段を駆動させつつ、前記振動子の質量を変化させて前記振動子の共振周波数を変化させる工程と、
前記開状態から前記閉状態へ切り替える第２の切り替え工程と、
前記閉状態において前記振動子の共振周波数の変化を阻止する工程を含み、
前記第１の切り替え工程および前記第２の切り替え工程のうち一方は、前記電圧印加手段による前記形状記憶合金への電圧印加によって前記形状記憶合金を収縮させ、前記付勢手段の付勢力に逆らって前記シャッター部を第１方向に変位させることにより行われ、他方は、前記冷却手段による前記形状記憶合金の冷却によって前記形状記憶合金を伸長させ、前記付勢手段の付勢力によって前記シャッター部を前記第１方向と反対の第２方向へ変位させることにより行なわれ、
前記制御手段は、前記開状態における前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果に基づいて前記電圧印加手段および前記冷却手段の少なくとも一方の駆動を制御するよう構成されていることを特徴とする振動子の周波数調整方法。
【請求項８】
前記質量変化手段は、不活性ガスを電界で加速させることによりイオンビームを発射するイオンビーム発射部を有し、
前記冷却手段は、前記イオンビームと同種の不活性ガスからなる冷却ガスによって前記形状記憶合金を冷却する請求項７に記載の振動子の周波数調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のシャッター装置は、貫通孔を有するベース、前記ベースに対して変位可能なシャッター部、および前記シャッター部を駆動する駆動手段を有し、前記駆動手段によって前記シャッター部を前記ベースに対して変位させることにより、前記貫通孔が開かれた開状態と前記シャッター部によって閉じられた閉状態とを切り替えることのできるシャッター装置であって、
前記駆動手段は、前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金を冷却する冷却手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
これにより、開状態から閉状態とするのにかかる時間をほぼ一定に保つことができるシャッターが得られる。
本発明のシャッター装置では、前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段を有することが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のシャッター装置の制御方法は、貫通孔を有するベースと、
前記ベースに対して変位可能なシャッター部と、
前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金を有し、前記シャッター部を駆動する駆動手段と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、
前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段とを備え、
前記駆動手段によって前記シャッター部を前記ベースに対して変位させることにより、前記貫通孔が開かれた開状態と前記シャッター部によって閉じられた閉状態とを切り替えることのできるシャッター装置の制御方法であって、
前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記電圧印加手段による前記形状記憶合金への電圧印加を制御することを特徴とする。
これにより、より素早く、シャッターを開状態から閉状態とすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のシャッター装置の制御方法では、前記シャッター装置は、前記形状記憶合金を冷却する冷却手段を有し、
前記制御手段は、前記閉状態における前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果に基づいて前記電圧印加手段および前記冷却手段の少なくとも一方の駆動を制御することが好ましい。
これにより、閉状態から開状態とするのにかかる時間をほぼ一定に保つことができるシャッターが得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の振動子の周波数調整方法は、振動子の共振周波数を調整する周波数調整方法であって、
貫通孔を有するベースと、
前記ベースに対して変位可能なシャッター部と、
前記シャッター部と連結し、電圧が印加されることにより収縮する形状記憶合金を有する前記駆動手段と、
前記形状記憶合金に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記形状記憶合金を冷却する冷却手段と、
前記形状記憶合金の温度を検知する温度検知手段と、
前記電圧印加手段および前記冷却手段の駆動を制御する制御手段と、
前記ベースに対して前記シャッター部を前記形状記憶合金の収縮方向と反対方向に付勢する付勢手段と、を備えているシャッター装置を用意する工程と、
前記振動子と前記振動子の質量を変化させる質量変化手段との間に、前記ベースと前記シャッター部を配置する工程と、
前記貫通孔を閉状態から開状態へ切り替える第１の切り替え工程と、
前記開状態において前記質量変化手段を駆動させつつ、前記振動子の質量を変化させて前記振動子の共振周波数を変化させる工程と、
前記開状態から前記閉状態へ切り替える第２の切り替え工程と、
前記閉状態において前記振動子の共振周波数の変化を阻止する工程を含み、
前記第１の切り替え工程および前記第２の切り替え工程のうち一方は、前記電圧印加手段による前記形状記憶合金への電圧印加によって前記形状記憶合金を収縮させ、前記付勢手段の付勢力に逆らって前記シャッター部を第１方向に変位させることにより行われ、他方は、前記冷却手段による前記形状記憶合金の冷却によって前記形状記憶合金を伸長させ、前記付勢手段の付勢力によって前記シャッター部を前記第１方向と反対の第２方向へ変位させることにより行なわれ、
前記制御手段は、前記開状態における前記形状記憶合金の温度が所定温度となるように、前記温度検知手段の検知結果に基づいて前記電圧印加手段および前記冷却手段の少なくとも一方の駆動を制御するよう構成されていることを特徴とする。
これにより、振動子の共振周波数の調整を高精度に行うことができる。