【手続補正書】
【提出日】平成26年9月11日(2014.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
描画データを生成する生成部と、
前記荷電粒子線に対するブランキングを行うブランキング部と、
前記ブランキング部を制御するブランキング制御部と、を有し、
前記ブランキング制御部は、
前記生成部で生成された描画データを記憶する第１記憶部、第２記憶部及び第３記憶部を含み、
前記第３記憶部に記憶された描画データに基づいて前記ブランキング部を制御し、
前記生成部で生成された描画データを前記第１記憶部及び前記第２記憶部のうち選択された一方に記憶させる動作と、前記第１記憶部及び前記第２記憶部のうち他方に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の動作を制御することを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記ブランキング制御部は、
前記生成部、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の間の接続状態を、前記第１記憶部と前記第３記憶部とが接続され、且つ、前記生成部と前記第２記憶部とが接続された第１状態と、前記第２記憶部と前記第３記憶部とが接続され、且つ、前記生成部と前記第１記憶部とが接続された第２状態との間で切り替える切替部を含み、
前記第１状態では、前記生成部で生成された描画データを前記第２記憶部に記憶させる動作と、前記第１記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第２状態では、前記生成部で生成された描画データを前記第１記憶部に記憶させる動作と、前記第２記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の動作を制御することを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記ブランキング制御部は、
前記第１状態において、前記第２記憶部による記憶が完了し、且つ前記第３記憶部に記憶された描画データに基づく前記ブランキング部の制御が完了した後に、前記切替部によって前記第１状態を前記第２状態に切り替え、
前記第２状態において、前記第１記憶部による記憶が完了し、且つ前記第３記憶部に記憶された描画データに基づく前記ブランキング部の制御が完了した後に、前記切替部によって前記第２状態を前記第１状態に切り替えることを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項４】
前記ブランキング制御部は、
前記第１状態において、前記ブランキング部の制御が完了した後に、前記切替部によって前記第１状態を前記第２状態に切り替え、
前記第２状態において、前記ブランキング部の制御が完了した後に、前記切替部によって前記第２状態を前記第１状態に切り替えることを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項５】
前記ブランキング制御部は、
前記第１状態を前記第２状態に切り替えたときに、前記第１状態において前記第２記憶部による記憶が完了していない場合、前記第２記憶部に記憶されていない残りの描画データを前記第１記憶部に記憶させる動作と、前記第２記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の動作を制御し、
前記第２状態を前記第１状態に切り替えたときに、前記第２状態において前記第１記憶部による記憶が完了していない場合、前記第１記憶部に記憶されていない残りの描画データを前記第２記憶部に記憶させる動作と、前記第１記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の動作を制御することを特徴とする請求項４に記載の描画装置。
【請求項６】
前記ブランキング制御部は、
前記第１状態において、前記第２記憶部による記憶が完了した後に、前記切替部によって前記第１状態を前記第２状態に切り替え、
前記第２状態において、前記第１記憶部による記憶が完了した後に、前記切替部によって前記第２状態を前記第１状態に切り替えることを特徴とする請求項２に記載の描画装置。
【請求項７】
前記第３記憶部は、前記第１記憶部の記憶容量及び前記第２記憶部の記憶容量のそれぞれより小さい記憶容量を有し、且つ前記第１記憶部の記憶速度及び前記第２記憶部の記憶速度のそれぞれより速い記憶速度を有することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項８】
荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
前記荷電粒子線に対するブランキングを行うブランキング部と、
第１乃至第３記憶部と切替部とを含み、描画データに基づいて前記ブランキング部を制御するブランキング制御部と、を有し、
前記ブランキング制御部は、
前記描画データを前記第１記憶部に記憶させる動作と、前記第２記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが２つの状態のうちの一方において並行して行われ、前記描画データを前記第２記憶部に記憶させる動作と、前記第１記憶部に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが前記２つの状態のうちの他方において並行して行われるように、前記第１乃至第３記憶部および前記切替部の動作を制御して前記２つの状態の間で状態を切り替え、
前記第３記憶部に記憶された前記描画データに基づいて前記ブランキング部を制御する、
ことを特徴とする描画装置。
【請求項９】
荷電粒子線で基板に描画を行う描画方法であって、
描画データの生成を生成部に行わせ、
第１記憶部および第２記憶部のうちの選択された１つに前記描画データを記憶させる動作と、前記第１記憶部および前記第２記憶部のうちの他の１つに記憶された前記描画データを読み出して第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記荷電粒子線に対するブランキングを行うブランキング部を制御するブランキング制御部に、前記第１乃至第３記憶部の動作の制御を行わせ、
前記第３記憶部に記憶された前記描画データに基づいて前記荷電粒子線のブランキングを前記ブランキング部に行わせる、
ことを特徴とする描画方法。
【請求項１０】
請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の描画装置または請求項９に記載の描画方法を用いて基板に描画を行うステップと、
前記ステップで描画を行われた前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、描画装置におけるスループットの点で有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての描画装置は、荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、描画データを生成する生成部と、前記荷電粒子線に対するブランキングを行うブランキング部と、前記ブランキング部を制御するブランキング制御部と、を有し、前記ブランキング制御部は、前記生成部で生成された描画データを記憶する第１記憶部、第２記憶部及び第３記憶部を含み、前記第３記憶部に記憶された描画データに基づいて前記ブランキング部を制御し、前記生成部で生成された描画データを前記第１記憶部及び前記第２記憶部のうち選択された一方に記憶させる動作と、前記第１記憶部及び前記第２記憶部のうち他方に記憶された描画データを読み出して前記第３記憶部に記憶させる動作とが並行して行われるように、前記第１記憶部、前記第２記憶部及び前記第３記憶部の動作を制御することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、例えば、描画装置におけるスループットの点で有利な技術を提供することができる。