(57)【要約】      （修正有）【課題】排液機能を有するウェーハー研磨機構を提供する。【解決手段】リング体１と、リング体１に、その内側と外側とを連通するように、傾斜して設けられる多数の排液穴２と、リング体１の一面に設けられる多数の排液槽３と、を有する。これにより、ウェーハーがリング体１に設置されて、研磨機構によって、リング体１が連動されることによりウェーハーの研磨を行うことができ、研磨する時、仕事廃液と廃粒が、排液穴２と排液槽３により、快速的に排出されるため、仕事廃液や廃粒によって、ウェーハーに対して、くりかえして汚染することを防止でき、また、有効的に歩留りを向上できる。【選択図】図２
0003218642.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
リング体と、
上記リング体に、その内側と外側とを連通するように、傾斜して設けられる、多数の排液穴と、
上記リング体の一面に設けられる、多数の排液槽と、を有する、
ことを特徴とする排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項２】
上記リング体は、第一表面や第二表面、内側リング部及び外側リング部を有し、各排液穴が、上記内側リング部と上記外側リング部とを連通するように、上記リング体１に設けられ、各排液槽が、上記第二表面に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項３】
各排液穴と上記第一表面との夾角は、10°〜20°の範囲内にあり、15°がより好ましい、ことを特徴とする請求項２に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項４】
各排液穴の両端は、それぞれ、内側リング部にある入力端と、外側リング部にある出力端であり、各出力端と上記第一表面との距離が、7mm〜8mmの範囲内にあり、7.89mmが、より好ましく、また、各入力端の上記内側リング部に位置する一端と上記第一表面との距離が、0.5mm 〜3mmより小さい、ことを特徴とする請求項２に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項５】
上記リング体は、金属材質である、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項６】
上記リング体は、非金属材質でもよい、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項７】
各排液穴の直径は、それぞれ、1.0mm〜2.0mmの範囲内にあり、1.5mmがより好ましい、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項８】
各排液穴の両端の内側境界は、面取りされる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項９】
各排液穴は、等距離配置によって、リング体に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項１０】
各排液穴は、非等距離配置によって、リング体に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、排液機能を有するウェーハー研磨機構に関し、特に、研磨機構に結合されて、ウェーハーの位置決めとして利用されるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハーの工程には、如何にウェーハーの表面を平坦化するかは、重要なステップであり、研磨機構を利用するのが一般であり、それは、上記ウェーハーを研磨機構の位置決めリングに設置してから、研磨機構によって位置決めリングが連動され、また、スラリーに合わせて研磨する。
【０００３】
しかしながら、上記従来の位置決めリングは、底面に複数の凹槽が形成されるだけであり、研磨する時、仕事廃液や廃粒を排出するため、排出速度が遅い問題があり、それにより、仕事廃液や廃粒が位置決めリングに滞在すると、持続的に研磨が行われ、上記仕事廃液や廃粒はウェーハーと一緒に研磨されるから、ウェーハーに対して繰り返して汚染し、製品の歩留りに大きい悪影響を与える。
【０００４】
本考案者は、上記欠点を解消するため、慎重に研究し、また、学理を活用して、有効に上記欠点を解消でき、設計が合理である本考案を提案する。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
本考案の主な目的は、ウェーハーをリング体に設置して、研磨機構によってリング体が連動されて、ウェーハーの研磨を行い、また、研磨する時、仕事廃液や廃粒が排液穴と排液槽によってすばやく排出されて、仕事廃液や廃粒によって、ウェーハーに対して、くりかえして汚染することを防止でき、また、有効的に歩留りを向上できるものを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、上記目的を達成するため、排液機能を有するウェーハー研磨機構であり、リング体と、上記リング体に、その内側と外側とを連通するように、傾斜して設けられる多数の排液穴と、上記リング体の一面に設けられる多数の排液槽と、を有する。
【０００７】
本考案の実施例によれば、上記リング体は、第一表面や第二表面、内側リング部及び外側リング部を有し、各排液穴が、上記内側リング部と上記外側リング部とを連通するように、上記リング体１に設けられ、各排液槽が上記第二表面に設けられる。
【０００８】
本考案の実施例によれば、各排液穴と上記第一表面との夾角は、10°〜20°の範囲内にあり、15°がより好ましい。
【０００９】
本考案の実施例によれば、各排液穴の両端は、それぞれ、内側リング部にある入力端と、外側リング部にある出力端であり、各出力端と上記第一表面との距離が、7mm〜8mmの範囲内にあり、7.89mmが、より好ましく、また、各入力端の上記内側リング部に位置する一端と上記第一表面との距離が、0.5mm 〜3mmより小さい。
【００１０】
本考案の実施例によれば、上記リング体は、金属材質である。
【００１１】
本考案の実施例によれば、上記リング体は、非金属材質でもよい。
【００１２】
本考案の実施例によれば、各排液穴の直径は、それぞれ、1.0mm〜2.0mmの範囲内にあり、1.5mmがより好ましい。
【００１３】
本考案の実施例によれば、各排液穴の両端の内側境界は、面取りされる。
【００１４】
本考案の実施例によれば、各排液穴は、等距離配置によって、リング体に設けられる。
【００１５】
本考案の実施例によれば、各排液穴は、非等距離配置によって、リング体に設けられる。
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本考案の特徴や技術内容について、詳しく説明するが、それらの図面等は、参考や説明のためであり、本考案は、それによって制限されることが無い。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の外観概念図である。
【図２】本考案のもう一つの外観概念図である。
【図３】本考案の断面状態概念図である。
【図４】本考案の図３のa部分の一部拡大概念図である。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
図１や２、３及び４は、それぞれ、本考案の外観概念図や本考案のもう一つの外観概念図、本考案の断面概念図及び本考案の図３のa部分の一部拡大概念図である。図のように、本考案は、排液機能を有するウェーハー研磨機構であり、リング体１と多数の排液穴２及び多数の排液槽１から構成される。
【００１９】
上記リング体１は、金属材質か非金属材質である。
【００２０】
各排液穴２は、その内側と外側とを連通するように傾斜して、上記リング体１に設けられ、また、リング体１に等距離配置されるか非等距離配置される。
【００２１】
各排液槽３は、上記リング体１の一面に設けられる。上記の構成により、新規の排液機能を有するウェーハー研磨機構が実現される。
【００２２】
本考案によれば、上記リング体１が研磨機構（図示せず）に結合され、ウェーハー（図示せず）が、上記リング体１の内側に設置され、研磨機構によって上記リング体１が連動され、また、必要とする仕事液体に合わせて、ウェーハーの研磨を行い、研磨する時、生成する仕事廃液や廃粒が、各排液穴２と各排液槽３によって快速的に排出されるため、仕事廃液や廃粒がリング体１に滞在して、研磨中のウェーハーに対して、悪影響を与えることを防止でき、また、仕事廃液や廃粒が、ウェーハー４に対して、繰り返して汚染することを防止できるため、有効的に歩留りを向上できる。
【００２３】
本考案の実施例によれば、上記リング体１は、第一表面１１や第二表面１２、内側リング部１３及び外側リング部１４が、含有され、各排液穴２が、上記内側リング部１３と上記外側リング部１４とを連通するように、上記リング体１に設けられ、また、各排液槽３が上記第二表面１２に設けられる。これにより、上記リング体１は、第一表面１１によって、研磨機構に結合され、ウェーハーがリング体１の内側リング部１３に設置され、研磨する時、生成する仕事廃液や廃粒が、上記第二表面１２に形成された各排液槽３と、上記内側リング部１３と上記外側リング部１４とを連通する各排液穴２によって快速的に排出される。
【００２４】
本考案の実施例によれば、各排液穴２と上記第一表面１１との夾角は、10°〜20°の範囲内であり、15°がより好ましい。上記角度で、各排液穴２を傾斜して、上記リング体１に設置することにより、仕事廃液や廃粒が、上記内側リング部１３を経由して、上記外側リング部１４の方向へ快速的に排出されることが実現される。
【００２５】
本考案の実施例によれば、各排液穴２の両端は、それぞれ、内側リング部１３にある入力端２１と、外側リング部１４にある出力端２２であり、各出力端２２と上記第一表面１１との距離が、7mm〜8mmの範囲内にあり、7.89mmがより好ましく、また、各入力端２２の上記内側リング部１４に位置する一端と上記第一表面１１との距離が、0.5mm 〜3mmより小さい。このように、前記の設置距離により、各排液穴２が傾斜して、上記リング体１に設けられ、15°の夾角に合わせて、仕事廃液と廃粒が、各入力端２１から入って、各出力端２２から排出され、これにより、各排液穴２で、容易に、仕事廃液と廃粒を、上記内側リング部１３から上記外側リング部１４への方向に、快速的に排出できる。
【００２６】
本考案の実施例によれば、各排液穴２の直径は、それぞれ、1.0mm〜2.0mmの範囲内にあり、1.5mmがより好ましい。これにより、各排液穴２の直径を利用して、同時に、仕事廃液と廃粒の通過空間を確保でき、そのため、より速い流速で仕事廃液と廃粒を排出できる。
【００２７】
本考案の実施例によれば、各排液穴２の入力端２１と出力端２２の内側境界は、面取りされる。面取りで、仕事廃液と廃粒の排出を案内するため、仕事廃液と廃粒が、スムーズに、各入力端２１から導入されて、各出力端２２から排出され、そのため、仕事廃液と廃粒が、より速い流速で排出される。
【００２８】
以上のように、本考案に係る排液機能を有するウェーハー研磨機構は、有効的に従来の諸欠点を解消でき、ウェーハーがリング体に設置されて、研磨機構によって、リング体が連動されることにより、ウェーハーの研磨を行うことができ、研磨する時、仕事廃液と廃粒が、排液穴と排液槽により、快速的に排出されるため、仕事廃液や廃粒によって、ウェーハーに対して、くりかえして汚染することを防止でき、また、有効的に歩留りを向上でき、そのため、本考案は、より進歩的かつより実用的で、法に従って実用新案登録請求を出願する。
【００２９】
以上は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本考案は、それによって制限されることが無く、本考案に係わる実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本考案の実用新案登録請求の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００３０】
１    リング体
１１  第一表面
１２  第二表面
１３  内側リング部
１４  外側リング部
２    排液穴
２１  入力端
２２  出力端
３    排液槽
【図１】
0003218642.tif 000003
【図２】
0003218642.tif 000004
【図３】
0003218642.tif 000005
【図４】
0003218642.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成30年9月3日(2018.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
リング体と、
上記リング体に、その内側と外側とを連通するように、傾斜して設けられる、多数の排液穴と、
上記リング体の一面に設けられる、多数の排液槽と、を有する、
ことを特徴とする排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項２】
上記リング体は、第一表面や第二表面、内側リング部及び外側リング部を有し、各排液穴が、上記内側リング部と上記外側リング部とを連通するように、上記リング体１に設けられ、各排液槽が、上記第二表面に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項３】
各排液穴と上記第一表面との夾角は、10°〜20°の範囲内にある、ことを特徴とする請求項２に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項４】
各排液穴の両端は、それぞれ、内側リング部にある入力端と、外側リング部にある出力端であり、各出力端と上記第一表面との距離が、7mm〜8mmの範囲内にある、また、各入力端の上記内側リング部に位置する一端と上記第一表面との距離が、0.5mm 〜3mmの範囲内にある、ことを特徴とする請求項２に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項５】
上記リング体は、金属材質である、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項６】
上記リング体は、非金属材質である、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項７】
各排液穴の直径は、それぞれ、1.0mm〜2.0mmの範囲内にある、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項８】
各排液穴の両端の内側境界は、面取りされる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項９】
各排液穴は、等距離配置によって、リング体に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。
【請求項１０】
各排液穴は、非等距離配置によって、リング体に設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の排液機能を有するウェーハー研磨機構。