【手続補正書】
【提出日】平成26年7月25日(2014.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、
前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、
前記演算処理手段は、前記画像での前記マーカの位置を検出し、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び／又は垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求めて、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。
【請求項２】
前記複数のマーカが垂直走査方向に沿って前記保持部材に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の画像計測装置。
【請求項３】
前記保持部材を、前記撮像素子の撮像面と平行な面内で回転させる回転部を更に備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像計測装置。
【請求項４】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、
空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、
前記演算処理手段は、前記画像におけるマーカの波形から前記空間周波数の１／２よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出して、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第１の補正量を行単位で求めると共に、前記画像におけるマーカの波形を前記第１の補正量で水平走査方向に行単位で補正し、補正されたマーカの波形の周波数変調成分を抽出して、前記周波数変調成分を打ち消す垂直走査方向の第２の補正量を行単位で求め、前記第１の補正量及び前記第２の補正量で補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。
【請求項５】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、
空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状の第１のマーカ及び前記第１のマーカに対して９０°の位相差を有する余弦波状の第２のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、
前記演算処理手段は、前記画像における第１のマーカ及び第２のマーカの波形のうちのいずれか一方のマーカの波形から前記空間周波数の１／２よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出して、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第１の補正量を行単位で求めると共に、前記画像における第１のマーカ及び第２のマーカの波形を前記第１の補正量で水平走査方向に行単位で補正し、補正された第１のマーカ及び第２のマーカの波形を用いて行毎に逆正接を求め、前記逆正接の位相値から垂直走査方向の第２の補正量を行単位で求め、前記第１の補正量及び前記第２の補正量で補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする画像計測装置。
【請求項６】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、
前記演算処理手段が、前記画像での前記マーカの位置を検出する工程と、
前記演算処理手段が、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び／又は垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求める工程と、
前記演算処理手段が、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。
【請求項７】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、
前記演算処理手段が、前記画像におけるマーカの波形から前記空間周波数の１／２よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出する工程と、
前記演算処理手段が、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第１の補正量を行単位で求める工程と、
前記演算処理手段が、前記画像におけるマーカの波形を前記第１の補正量で水平走査方向に行単位で補正する工程と、
前記演算処理手段が、補正されたマーカの波形の周波数変調成分を抽出する工程と、
前記演算処理手段が、前記周波数変調成分を打ち消す垂直走査方向の第２の補正量を行単位で求める工程と、
前記演算処理手段が、前記第１の補正量及び前記第２の補正量で補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。
【請求項８】
複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、空間周波数が既知であり水平走査方向と交差して延びる正弦波状の第１のマーカ及び前記第１のマーカに対して９０°の位相差を有する余弦波状の第２のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、
前記画像における第１のマーカ及び第２のマーカの波形のうちのいずれか一方のマーカの波形から前記空間周波数の１／２よりも低い値の周波数帯域の振動成分を抽出する工程と、
前記演算処理手段が、前記振動成分を打ち消す水平走査方向の第１の補正量を行単位で求める工程と、
前記演算処理手段が、前記画像における第１のマーカ及び第２のマーカの波形を前記第１の補正量で水平走査方向に行単位で補正する工程と、
前記演算処理手段が、補正された第１のマーカ及び第２のマーカの波形を用いて行毎に逆正接を求める工程と、
前記演算処理手段が、前記逆正接の位相値から垂直走査方向の第２の補正量を行単位で求める工程と、
前記演算処理手段が、前記第１の補正量及び前記第２の補正量で補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする画像計測方法。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれか１項に記載の画像計測方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の画像計測装置は、複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、を備えた画像計測装置において、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材を備え、前記演算処理手段は、前記画像での前記マーカの位置を検出し、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び／又は垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求めて、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求めることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の画像計測方法は、複数の画素を含む撮像素子を有し、前記撮像素子の各画素を水平走査方向の行単位で順次露光することで計測対象物を撮像するカメラと、前記カメラの撮像により得られた画像から、前記計測対象物の像を求める演算処理手段と、前記水平走査方向と交差して配置された互いの相対位置が既知の複数のマーカを有する、前記計測対象物を保持する保持部材と、を備えた画像計測装置を用いた画像計測方法であって、前記演算処理手段が、前記画像での前記マーカの位置を検出する工程と、前記演算処理手段が、前記マーカの基準位置に対する、前記画像での前記マーカの位置の水平走査方向及び／又は垂直走査方向のずれ量を、前記画像の行単位で求める工程と、前記演算処理手段が、前記ずれ量を打ち消すように補正した前記計測対象物の像を求める工程と、を備えたことを特徴とする。