(57)【要約】【課題】ベント管の溶接によって強度が低下することなく、ハウジング内に気体が残り難いフィルタ装置を提供することにある。【解決手段】フィルタ装置１０は、金属製の円筒状のハウジング１１と、ハウジング１１内に収容される、フィルタ要素を含むフィルタ組立体３０と、ハウジング１１の軸方向一端に固定される、液体の入口１３を有する底部蓋体１２と、ハウジング１１の軸方向他端に溶接により固定される、液体の出口２２を有する金属製の頭部蓋体２０と、ハウジング１１内部でかつフィルタ組立体３０外部に規定される側部液体通路１４に存在する気体をハウジング１１外部に排出するためのベント１とを備える。ベント１は、頭部蓋体２０の外周面における、ハウジング１１と頭部蓋体２０間の溶接箇所から軸方向他端側に離れた箇所に溶接により固定されるベント管２と、頭部蓋体２０の軸方向一端側の面から軸方向他端側に延びる軸方向路３とから成る。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
金属製の円筒状のハウジングと、
ハウジング内に収容される、フィルタ要素を含むフィルタ組立体と、
ハウジングの軸方向一端に固定される、ろ過処理対象の液体の入口を有する底部蓋体と、
ハウジングの軸方向他端に対し軸方向一端側の面が溶接により固定される、ろ過処理後の液体の出口を有する金属製で略厚肉円板状の頭部蓋体と、
ハウジング内部でかつフィルタ組立体外部に規定される側部液体通路に存在する気体をハウジング外部に排出するためのベントとを備え、
前記ベントは、頭部蓋体の外周面における、ハウジングと頭部蓋体間の溶接箇所から軸方向他端側に離れた箇所に対し溶接により固定される金属製のベント管と、頭部蓋体の軸方向一端側の面における前記側部液体通路に対応する部分から頭部蓋体を通って軸方向他端側に軸線と平行に延び、ベント管に連通する軸方向路とから成るフィルタ装置。
【請求項２】
前記軸方向路は軸線に垂直な断面が略円形である請求項１のフィルタ装置。
【請求項３】
前記ベント管は頭部蓋体の半径方向に沿う請求項１又は２のフィルタ装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案はフィルタ装置、特に液体用フィルタ装置のベント構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ、液晶ガラス基板、有機ＥＬパネル等の製造に使用する薬液等の液体は、事前にフィルタ装置に通されて不純物等がろ過される。このようなフィルタ装置の一例を図４に示す。該図のフィルタ装置４０は、金属製の円筒状のハウジング４１と、ハウジング４１内に収容される円柱状のフィルタ組立体５０と、ハウジング４１の軸方向一端（図４において左側）に溶接により固定される、液体の入口４３を有する金属製の底部蓋体４２と、ハウジング４１の軸方向他端に対し軸方向一端側の面が溶接により固定される、液体の吐出路４５’及び出口４５を有する金属製の頭部蓋体４４と、ハウジング４１内部でかつフィルタ組立体５０外部に規定される側部液体通路４６に存在する気泡等をハウジング４１外部に排出するための金属製のベント管４７とを備える。フィルタ組立体５０は、それぞれ多数の開口を有する外側スリーブ５１及び内側スリーブ（コア）５２と、これら外内スリーブ５１、５２間に収容されるＰＴＦＥ製のフィルタ要素（図示せず）と、内外スリーブ５１、５２及びフィルタ要素の軸方向一端部及び他端部がそれぞれ固着される底部エンドキャップ５３及び頭部エンドキャップ５４とから構成される。ろ過処理対象の液体は、入口４３からハウジング４１内の側部液体通路４６に導入された後、外側スリーブ５１の開口からフィルタ組立体５０内に入り、フィルタ要素を通過してろ過処理された後、内側スリーブ５２の開口から内側スリーブ５２内の中央液体通路に至り、ここから吐出路４５’及び出口４５を通ってハウジング４１の外部に吐出され、次の下流工程に送られる。なお、側部液体通路４６に残留した気泡が後に液体に連行されて、次工程に送られると、種々の不具合が生じ得る。
【０００３】
フィルタ装置４０において、ベント管４７はハウジング４１の外周面に対し溶接により固定されるが、このベント管４７の溶接箇所が、ハウジング４１と頭部蓋体４４間の溶接箇所４８と重なると、この溶接部分に気体透過を引き起こす微小なピンホールが発生したり、この溶接部分の強度が過度に低下するおそれが生じる。そのため、図４に示すように、ベント管４７は、ハウジング４１の外周面における溶接箇所４８よりも軸方向一端側（左側）に離れた箇所に溶接されている。しかしながら、この場合、側部液体通路４６がベント管４７よりも軸方向他端側（右側）にも存在し、この側部液体通路４６の他端側部分、特に頭部エンドキャップ５４と頭部蓋体４４との間の環状空間４９に気体が残留する場合があった。なお、フィルタ装置４０は、図４に示す横置きで使用される他、頭部蓋体４４又は底部蓋体４２が上方に来る縦置きでも使用され、特に頭部蓋体４４が上となる縦置き使用の場合に環状空間４９に気体が残り易い。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ベント管の溶接によって強度が低下することなく、ハウジング内に気体が残り難いフィルタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本考案によれば、金属製の円筒状のハウジングと、ハウジング内に収容される、フィルタ要素を含むフィルタ組立体と、ハウジングの軸方向一端に固定される、ろ過処理対象の液体の入口を有する底部蓋体と、ハウジングの軸方向他端に対し軸方向一端側の面が溶接により固定される、ろ過処理後の液体の出口を有する金属製で略厚肉円板状の頭部蓋体と、ハウジング内部でかつフィルタ組立体外部に規定される側部液体通路に存在する気体をハウジング外部に排出するためのベントとを備え、前記ベントは、頭部蓋体の外周面における、ハウジングと頭部蓋体間の溶接箇所から軸方向他端側に離れた箇所に対し溶接により固定される金属製のベント管と、頭部蓋体の軸方向一端側の面における前記側部液体通路に対応する部分から頭部蓋体を通って軸方向他端側に軸線と平行に延び、ベント管に連通する軸方向路とから成るフィルタ装置が提供される。
【０００６】
本考案では、ハウジング内の気体を外部に排出するためのベントを、頭部蓋体の外周面に溶接したベント管と、頭部蓋体内（頭部蓋体の中実部分）に形成した軸方向路とから成る。そのため、ベントよりも軸方向他端側に、気体が残り易い側部液体通路の一部が存在しない。また、頭部蓋体の外周面におけるベント管の溶接箇所は、ハウジングと頭部蓋体間の溶接箇所から軸方向他端側に離れているため、両溶接箇所が重なって強度が低下するようなことはない。
【０００７】
本考案において、ベントの軸方向路を頭部蓋体に形成するため、頭部蓋体の軸方向長さ（厚さ）は、図４に示す従来のフィルタ装置４０における頭部蓋体４４の軸方向長さよりも長く設定され得る。
【０００８】
本考案において、前記軸方向路は軸線に垂直な断面が略円形であり得、また、前記ベント管は頭部蓋体の半径方向に沿い得る。
【考案の効果】
【０００９】
本考案に係るフィルタ装置では、ハウジング内の気体を外部に排出するためのベントを、頭部蓋体の外周面に溶接したベント管と、頭部蓋体に形成した軸方向路とから構成したため、ベントよりも軸方向他端側（頭部蓋体側）に、気体が残り易い側部液体通路の一部が存在せず、ハウジング内に気体が残り難い。また、頭部蓋体の外周面に対するベント管の溶接箇所を、ハウジングと頭部蓋体間の溶接箇所から軸方向他端側に離したため、両溶接箇所が重ならず、そのため、気体透過を引き起こす微小なピンホールが発生したり、強度が低下するようなことはない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本考案の一実施形態に係るフィルタ装置の側面図である。
【図２】図２は、図１のフィルタ装置の断面説明図である。
【図３】図３は、図１のフィルタ装置の右側から見た平面図である。
【図４】図４は、従来のフィルタ装置の側面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
以下、本考案の好適な実施形態を図面を参照しつつ説明する。図１及び２は、本考案の一実施形態に係るフィルタ装置１０の側面図及び断面説明図であり、図３は、図１の右側から見たフィルタ装置１０の平面図である。フィルタ装置１０は、一例として有機ＥＬ素子パネルの製造に使用する薬液をろ過するためのものであり、ステンレススチール製の円筒状のハウジング１１と、ハウジング１１内に収容されるフィルタ組立体３０と、ハウジング１１の軸方向一端（図１及び２において左側）に溶接によって固定されるステンレススチール製の底部蓋体１２と、ハウジング１１の軸方向他端に溶接によって固定されるステンレススチール製の頭部蓋体２０と、詳しくは後述するベント１とを備える。以下、ハウジング１１の軸方向一端側を「左側」、軸方向他端側を「右側」ともいう。フィルタ組立体３０は、図４に示す従来のフィルタ装置（以下単に「従来装置」ともいう）４０と同様に、それぞれ多数の開口を有するＰＦＡ製の外側スリーブ３１及び内側スリーブ（コア）３２と、これら外内スリーブ３１、３２間に収容されるＰＴＦＥ製のフィルタ要素（図示せず）と、外内スリーブ３１、３２及びフィルタ要素の左側端部及び右側端部がそれぞれ固着される底部エンドキャップ３３及び頭部エンドキャップ３４とから構成される。底部エンドキャップ３３は左側に突出する複数の脚部３３’を有する。頭部エンドキャップ３４は、内側スリーブ３２内に規定される中央液体通路の液体を、頭部蓋体２０の後述する吐出路２１へと通すための開口３４ａと、頭部蓋体２０の後述する連結部２３を受け入れて連結するため、右側に円筒状に突出する被連結部３４ｂとを含む。底部蓋体１２は、ろ過処理対象の液体をハウジング１１内に導入するための入口１３を有し、入口１３は軸線に沿いかつ底部蓋体１２の左側面から左側に突出する。
【００１２】
頭部蓋体２０は、その軸方向に沿う長さ（厚さ）が従来装置４０の頭部蓋体４４の軸方向長さに比べ約１．５倍に拡大された略厚肉円板状の部材であり、ろ過処理された液体をハウジング１１外部に吐出するための、軸線に沿う吐出路２１及び出口２２と、頭部蓋体２０の左側面から左側に突出し、頭部エンドキャップ３４の被連結部３４ｂに液密に連結される連結部２３とを有する。出口２２は頭部蓋体２０の右側面から右側に突出する。ベント１は、ハウジング１１の内周面とフィルタ組立体３０の外側スリーブ３１の外周面との間に規定される側部液体通路１４に残留する気体（気泡）をハウジング１１外部に排出するためのもので、頭部蓋体２０の外周面に対し溶接により固定した金属製のベント管２と、頭部蓋体２０に形成した軸方向路３とから成る。軸方向路３は、軸線に垂直な断面が円形であり、頭部蓋体２０の左側面における側部液体通路１４に対応する部分から頭部蓋体２０の中実部分を通って右側へと軸線と平行に延びて、ベント管２に連通する。軸方向路３の、頭部蓋体２０の左側面から右側への深さは、左側面と右側面間の中間点を若干超え、軸方向長さの約２／３程度である。ベント管２は、軸方向路３の右側端から半径方向外側へと延びる。
【００１３】
フィルタ装置１０において、ろ過処理対象の液体は、入口１３からハウジング１１内の側部液体通路１４に導入された後、外側スリーブ３１の開口からフィルタ組立体３０内に入り、フィルタ要素を通過してろ過処理された後、内側スリーブ３２の開口から内側スリーブ３２内の中央液体通路に至り、ここから吐出路２１及び出口２２を通ってハウジング１１の外部に吐出され、次の下流工程に送られる。
【００１４】
フィルタ装置１０では、ベント１の軸方向路３が、側部液体通路１４の右側端（頭部蓋体２０の左側面）より右側にあり、気体が残り易い側部液体通路１４の一部がベント１よりも右側に存在するようなことはない。そのため、側部液体通路１４に残った気体はベント１からハウジング１１外に円滑に排出される。また、ベント１のベント管２は、頭部蓋体２０の外周面において、ハウジング１１と頭部蓋体２０間の溶接箇所から右側に離れた箇所に溶接されるため、両溶接箇所が重ならず、そのため、気体透過を引き起こす微小なピンホールが発生したり、強度が低下するようなことはない。
【符号の説明】
【００１５】
１  ベント
２  ベント管
３  軸方向路
１０  フィルタ装置
１１  ハウジング
１２  底部蓋体
１３  入口
１４  側部液体通路
２０  頭部蓋体
２２  出口
３０  フィルタ組立体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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