【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年11月18日(2013.11.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板；
作動電極；
前記基板と前記作動電極との間の可動素子；および
前記可動素子の移動に対する停止部として構成された固定素子；
を備え、
前記可動素子が、可変層と反射素子とを備え、
前記可変層と反射素子との各々が、前記基板と前記作動電極との間にあり、
前記反射素子にほぼ垂直な方向に沿って、前記可変層が、前記反射素子から分離され、
前記反射素子によって反射された光が、前記作動電極を介して伝播せず、
前記固定素子が、粗面化表面及び反スティクション層の少なくとも１つを備えることを特徴とする電気機械装置。
【請求項２】
前記基板が、光学層を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記作動電極が、非−透明導電体を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記非−透明導電体が、アルミニウム、銅、銀、および金の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記基板が、第２作動電極を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記基板と前記可変層との間に、支持構造をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記作動電極に電圧が加えられていない場合、前記基板の上表面が、前記反射素子から分離されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記固定素子が、前記可変層と反射層との間にあることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記固定素子が、前記可変層と前記作動電極との間に絶縁層を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記可動素子が、前記可変層を前記反射素子に機械的に連結する結合素子を備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記結合素子が、電気伝導性であることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記結合素子が、電気絶縁性であることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
ディスプレイ；
前記ディスプレイと通信するように構成されたプロセッサであって、画像データを処理するように構成されたプロセッサ；および
前記プロセッサと通信するように構成されたメモリデバイス；
をさらに備えることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
前記ディスプレイに少なくとも１つの信号を送信するように構成された駆動回路をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記駆動回路に前記画像データの少なくとも一部を送信するように構成されたコントローラーをさらに備えることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記プロセッサに前記画像データを送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに備えることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記画像ソースモジュールが、レシーバ、トランシーバ、及びトランスミッタの少なくとも１つを備えることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
入力データを受信し、前記プロセッサに前記入力データを通信するように構成された入力装置をさらに備えることを特徴とする請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
電気機械装置であって、
前記装置の一部の移動手段；
前記移動手段の支持手段；
前記移動手段の作動手段；および
前記移動手段の移動の停止手段；
を備え、
前記移動手段が、変形手段及び反射手段を備え、
前記反射手段にほぼ垂直な方向に沿って、前記変形手段が、前記反射手段から分離され、
前記移動手段が、前記変形手段と前記反射手段の両方を備え、前記変形手段と前記反射手段の各々が、前記支持手段と前記作動手段との間にあり、
前記反射手段によって反射された光が、前記作動手段を介して伝播せず、
前記停止手段が、粗面化表面及び反スティクション層の少なくとも１つを備えることを特徴とする電気機械装置。
【請求項２０】
前記支持手段が、基板を備えるか、
前記移動手段が、可動素子を備えるか、
前記変形手段が、可変層を備えるか、
前記反射手段が、反射素子を備えるか、または、
前記作動手段が、作動電極を備えることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記作動手段が、非−透明導電体を備えることを特徴とする請求項１９または２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記支持手段が、前記移動手段の第２作動手段を備えることを特徴とする請求項１９〜２１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２３】
前記第２作動手段が、第２作動電極を備えることを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記停止手段が、前記変形手段と前記反射手段との間に固定素子を備えることを特徴とする請求項１９〜２３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２５】
前記停止手段が、前記変形手段と前記作動手段との間に絶縁層を備えることを特徴とする請求項１９〜２３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２６】
基板と、可動素子と、作動電極とを備えた表示素子を提供する段階；および
前記作動電極に電圧を加える段階；
を含み、
前記可動素子が、可変層と反射素子とを備え、前記可変層と反射素子との各々が、前記基板と前記作動電極との間にあり、
前記反射素子にほぼ垂直な方向に沿って、前記可変層が、前記反射素子から分離され、
前記電圧が、前記可動素子への引力を形成し、
前記反射素子によって反射された光が、前記作動電極を介して伝播せず、
前記表示素子が、粗面化表面及び反スティクション層の少なくとも１つを備える固定素子を備え、
前記方法が、前記固定素子に前記可動素子を接触させる段階と、前記可動素子の移動を停止する段階とをさらに含むことを特徴とする光を調節する方法。
【請求項２７】
前記作動手段が、非−透明導電体を備えることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記表示素子が、第２作動電極を備え、
前記方法が、前記第２作動電極に第２電圧を加える段階をさらに含み、
前記第２電圧が、前記可動素子への第２引力を形成し、これによって、前記可動素子を前記基板に向かって移動させることを特徴とする請求項２６または２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記第２電圧を加える段階が、前記電圧を加える段階の後であることを特徴とする請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記固定素子に前記可動素子を接触させる段階が、前記可変層を、前記固定素子に触れさせる段階を含むことを特徴とする請求項２６〜２９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３１】
前記固定素子に前記可動素子を接触させる段階が、前記反射素子を、前記固定素子に触れさせる段階を含むことを特徴とする請求項２６〜２９のいずれか一項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
ある実施形態において、反射素子上に配置された作動電極及び可動素子の可変層が設けられる。作動電極が、光学経路内になく、これにより、これが、非−透明導電体を備え、厚くなることが可能となり、これによって、電力消費を改善する。いくつかの実施形態において、反射表面よりはむしろ、可変層が、作動中のＭＥＭＳ装置の固定部と接触し、順に、スティクション（ｓｔｉｃｔｉｏｎ）、バネ定数、静電力、及びコンデンサ領域を減少させ、この結果、速くかつ低い動力操作が可能となる。いくつかの実施形態において、光学的性能に影響を与えることなく、粗面処理及び他の反スティクション（ａｎｔｉ−ｓｔｉｃｔｉｏｎ）機構が、作動電極と可変層との間に形成されうるが、これは、この機構が、光学経路内にないためである。いくつかの実施形態において、反射表面が、作動時にいずれとも接触せず、これにより、スティクションの危険を伴わずに、これが、実質的に滑らかかつ平坦になることが可能となる。いくつかの実施形態において、第二作動電極が、可動素子の下に、又は可変層と反射表面との間に設けられ、反射表面が、少なくとも３つの状態に安定する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７０】
ある実施形態において、付加的な導電層１４２が、ミラー１４が、誘電層１０６とごく接近する又は接触する場合に生じうるスティクション力（ｓｔｉｃｔｉｏｎａｌ  ｆｏｒｃｅｓ）（静止摩擦）を乗り越える電極として有用となりうる。これらの力が、ファンデルワールス力又は静電力、及び当業者が理解するような他の可能性のあるものを含む。ある実施形態において、オプティカルスタック１６の導電層に加えられた電圧パルスが、可動ミラー１４を、図１２Ｂの“ノーマル”駆動状態にしうる。同様に、次の電圧パルスが、導電層１４２に加えられることが可能であり、オプティカルスタック１６から離れて可動ミラー１４を引き付ける。ある実施形態において、導電層１４２に加えられたこのような電圧パルスが、可動ミラー１４を逆駆動状態に向かって駆動することにより、図１２Ｂに図解された駆動状態から、図１２Ａに図解された非駆動状態に戻る可動ミラー１４の回復を促進するために使用されることが可能である。従って、ある実施形態において、変調器１５０が、図１２Ａの非駆動状態及び図１２Ｂの駆動状態の２つの状態のみを操作しうるものであり、スティクション力を乗り越えるために役立つ電極として導電層１４２を利用することが可能である。ある実施形態において、変調器１５０が、図１２Ｂの駆動位置から図１２Ａの非駆動位置に変わるたびに、導電層１４２が、上記のように駆動されてよい。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８７】
作動電極１０２が、ＭＥＭＳ装置の光路内に存在し、これが、基板２０に向かってミラー１４を引き付ける実施形態において、通常、ミラー１４が、ミラー１４の移動に対する“停止部”として機能する基板２０の上面１３０６を有する基板２０の上表面１３０６（例えば、基板２０上の絶縁層１０６の上表面）と接触する。基板２０の上表面１３０６及びミラー１４の反射表面が、平面である実施形態において（例えば、色域を増加させる）、表面間のスティクションが、これらが接触する場合におけるＭＥＭＳ装置の操作に、不利に影響を及ぼしうる。粗面処理及び反スティクション層のようなある特徴が、このようなスティクションを減らすために使用されてよいが、これらの特徴が、ＭＥＭＳ装置の光学的性能に不利に影響を及ぼすことがある。しかしながら、可動素子１３４０上の作動電極１４２が、可動素子１３４０の一部が作動電極１４２と接触するような構成のＭＥＭＳ装置を可能とし、基板２０の上表面１３０６よりもむしろ、可動素子１３４０の移動に対する停止部として機能する。これが、光路内にないため、可動素子１３４０と作動電極１４２とが接触する部分の接触面が、光学的性能に影響を及ぼすことなく、有利に、スティクションを減らすように適合されることが可能である。例えば、絶縁層１４４ａの表面トポグラフィーが、接触点の数を減らすように粗面化されてよく、又は、作動電極１４２上に反スティクション層が形成されてよい。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８９】
機械的機能が、光学的機能から少なくとも部分的に分離されているため、キャパシタが、作動電極１４２及び可変層１３０２の上表面の部分を備えるＭＥＭＳ装置１３００が（例えば、図１３Ａに示される）、有利に、ＭＥＭＳ装置を操作するために使用される機械的力を減らし、可変層１３０２のある寸法を減少させることも可能である。ＭＥＭＳ装置の作動電極１４２が、可変層１３０２と反射素子１３１４との間にあり、可変層１３０２又は反射素子１３１４に対する停止部として機能するある実施形態において、接触領域が、反射表面１３０１の領域よりも小さいことが可能である。この小さな接触領域が、より小さなスティクションを生じ、小さな機械的力が使用されてよく、可変層１３０２の寸法を減らすことを可能にする。キャパシタが、可変層１３０２及び作動電極１４２を含む実施形態において、可変層１３０２の寸法の減少により、キャパシタの領域が減少し、これによって、有利に、ＭＥＭＳ装置１３００の電力消費及びキャパシタンスを減少させることが可能である。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９３】
広帯域白色を形成するために、反射素子１３１４及び第１反射層１０４が接触する又は近接するようにＭＥＭＳ装置１３００が構成される実施形態において、アーク放電を引き起こしうるそれらの間の電界又は静電力を減少させるために、反射素子１３１４及び第１反射層１０４が、好ましくは同じ電位である。ある実施形態において、反射素子１３１４が、可変層１３０２を介して第１反射層１０４と電気的に接続され、これらが、同じ電位である。ある実施形態において、反射素子１３１４が、可変層１３０２から電気的に絶縁され（例えば、誘電性結合素子１３１９を使用する）、第１反射層１０４も、電気的に絶縁され、これらが、同じ電位である。これらが接触する実施形態における反射素子１３１４と第１反射層１０４との間のスティクションを減少させるために、伝導性の特徴（例えば、バンプ（ｂｕｍｐｓ））が、第１反射層１０４及び／又は反射表面１３０１に加えられてよいが、このような特徴が、ＭＥＭＳ装置の光学的性能に不利に影響を及ぼしうる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０６】
可変層１３０２と反射素子１３１４との間の作動電極９０２により、可動素子１４４０の一部が作動電極９０２と接触するようなＭＥＭＳ装置１４００の構成が可能となる（即ち、基板２０の上表面１３０６又は絶縁層１４４ａの下表面よりもむしろ、作動電極９０２が、可動素子１４４０の移動に対する停止部として機能する）。これが、光路内に存在しないため、可動素子１４４０の部分が作動電極９０２と接触する接触面が、光学的性能に影響を及ぼすことなくスティクションを減らすように、有利に適合されることが可能である。例えば、絶縁層１５５４の表面トポグラフィーが、接触点の数を減らすように粗面化されてよく、又は、作動電極９０２上に反スティクション層が形成されてよい。他の実施例において、反射素子１３１４の上表面又は可変層１３０２の下表面の表面トポグラフィーが、接触点の数を減らすように粗面化されてよく、又は、反射素子１３１４の上表面若しくは可変層１３０２の下表面上に反スティクション層が形成されてよい。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２０】
反射素子が、基板２０の上表面１３０６と接触しない実施形態において、反射素子１３１４の反射表面１３０１が、好ましくは、実質的に、滑らかかつ平坦であり、例えば、色域を増加させる。いくつかの実施形態において、反射素子１３１４の形成前に、第１犠牲層１７０２を研磨することにより（例えば、モリブデンを含む）、又は滑らかかつ平坦な第１犠牲層１７０２上に反射素子１３１４を形成することにより（例えば、フォトレジストを含む）、反射表面１３０１が、実質的に、滑らかかつ平坦に形成される。反射素子１３１４が、基板２０の上表面１３０６（例えば、黒を形成するような１００ｎｍの厚さの絶縁層１０６の上表面１３０６、又は、広帯域白色を形成するような第１反射層１０４の上表面１３０６）と接触する実施形態では、反射素子１３１４の反射表面１３０１が、滑らかかつ平坦であってもよいが、スティクションの推定される影響が、このような実施形態において考えられる（例えば、絶縁又は導電性バンプを追加することによる）。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１３０】
第２作動電極９０２に電圧を加えた場合、可動素子１４４０が、基板２０に向かって移動するように構成された実施形態において、絶縁層１５５４が、第２作動電極９０２の導電部１５５２の上端上に形成されてよく、可変層１３０２の下表面と接触する（例えば、図１５Ａ及び１５Ｂに図解される）。このようなある実施形態において、可変層１３０２とのスティクションを減少させるために、第２作動電極９０２の上表面が、粗面化されてよく、接触点の数が減少する。他の層（例えば、反スティクション層）が、第２作動電極９０２の上面上に形成されてもよい。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１３８】
作動電極９０２に電圧を加えると、基板２０から離れて移動するように、可動素子１６４０が構成された実施形態において、絶縁層１５５４が、作動電極９０２の導電部１５５２の底部上に形成されてよく、反射素子９１４の上表面と接触する。あるこのような実施形態において、反射素子９１４とのスティクションを減少させるために、作動電極９０２の底表面が、粗面化されてよく、接触点の数が減少する。他の層（例えば、反スティクション層）が、作動電極９０２の底部上に形成されてもよい。