【手続補正書】
【提出日】平成26年7月25日(2014.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体からの光束を集光する反射屈折部を含む第１結像光学系と、前記第１結像光学系からの光束を用いて前記物体の像を形成する屈折部を含む第２結像光学系と、を有する反射屈折光学系であって、
前記物体は前記第１結像光学系を通過した光束で中間像が形成され、該中間像は前記像面に再結像されており、
前記第１結像光学系は、光軸周辺に設けられた第１の透過部と物体側の面に設けられた第１の反射部とを含む第１の光学素子と、光軸周辺に設けられた第２の透過部と像側の面に設けられた第２の反射部とを含む第２の光学素子と、前記第１の光学素子と前記第２の光学素子との間に配置された開口絞りとを備え、
前記物体からの光束は、前記第１の透過部、前記開口絞り、前記第２の反射部、前記開口絞り、前記第１の反射部、前記開口絞り、前記第２の透過部、を順に介して前記第２結像光学系に入射していることを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項２】
前記第１の光学素子と前記開口絞りとの光軸上における距離をｔ１、前記開口絞りと前記第２の光学素子との光軸上における距離をｔ２、とするとき、
２．３＜ｔ２／ｔ１
なる条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の反射屈折光学系。
【請求項３】
前記第１の光学素子と前記開口絞りとの光軸上における距離をｔ１、前記第１結像光学系の焦点距離をｆ１、とするとき、
０．００＜ｔ１／ｆ１＜０．２５     
なる条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の反射屈折光学系。
【請求項４】
前記第１の光学素子は物体側の面が凸面のメニスカス形状であり、前記第２の光学素子は物体側の面が凹面のメニスカス形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項５】
前記第１及び第２の反射部は非球面形状であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項６】
前記第２の結像光学系は、前記物体からの光束のうち前記第１の反射部及び第２の反射部を介さずに前記第１及び第２の透過部を通過する光束を遮光する遮光部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の反射屈折光学系。
【請求項７】
光源手段と、該光源手段からの光束により前記物体を照明する照明光学系と、前記物体の像を形成する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の反射屈折光学系と、該反射屈折光学系により形成された前記物体の像を光電変換する撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項８】
前記反射屈折光学系は収差補正用のレンズ成分を有し、該レンズ成分を光軸に沿って移動させる駆動手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記駆動手段は、環境温度に応じて前記レンズ成分を移動させることにより、前記反射屈折光学系の収差の変動を低減することを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記撮像素子からのデータより画像情報を生成する画像処理系を備えることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記画像情報を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の反射屈折光学系は、物体からの光束を集光する反射屈折部を含む第１結像光学系と、前記第１結像光学系からの光束を用いて前記物体のを形成する屈折部を含む第２結像光学系と、を有する反射屈折光学系であって、
前記物体は前記第１結像光学系を通過した光束で中間像が形成され、該中間像は前記像面に再結像されており、
前記第１結像光学系は、光軸周辺に設けられた第１の透過部と物体側の面に設けられた第１の反射部とを含む第１の光学素子と、光軸周辺に設けられた第２の透過部と像側の面に設けられた第２の反射部とを含む第２の光学素子と、前記第１の光学素子と前記第２の光学素子との間に配置された開口絞りとを備え、  前記物体からの光束は、前記第１の透過部、前記開口絞り、前記第２の反射部、前記開口絞り、前記第１の反射部、前記開口絞り、前記第２の透過部、を順に介して前記第２結像光学系に入射していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また本発明の反射屈折光学系１０４は、物体１０３からの光束を集光する反射屈折部を含む第１結像光学系Ｇ１と、第１結像光学系Ｇ１からの光束を用いて物体の像を形成する屈折部を含む第２結像光学系Ｇ２とを有する。
物体１０３は第１結像光学系Ｇ１を通過した光束で中間像ＩＭが形成され、中間像ＩＭは像面１０５に再結像されている。
第１結像光学系Ｇ１は、光軸周辺に設けられた第１の透過部と物体側の面に設けられた第１の反射部とを含む第１の光学素子Ｍ１と、光軸周辺に設けられた第２の透過部と像側の面に設けられた第２の反射部とを含む第２の光学素子Ｍ２とを有する。第１の光学素子Ｍ１と第２の光学素子Ｍ２との間に開口絞りＡＳとを備えている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第１、第２の光学素子Ｍ１、Ｍ２は反射面側が向き合っている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図２は図１の本発明に係る反射屈折光学系１０４の実施例１の要部断面図である。図２において、１０４は反射屈折光学系、１０３は試料としての物体面である。１０５は撮像素子であり、像面に配置されている。ＡＳは開口絞り、ＩＭは中間像である。ＡＸは反射屈折光学系１０４の光軸である。反射屈折光学系１０４は物体１０３からの光束を集光する開口絞りＡＳと、反射面を含む第１結像光学系Ｇ１を有する。そして第１結像光学系Ｇ１からの光束を受けて物体の像を撮像素子１０５に結像する屈折面と遮光部ＳＨを含む第２結像光学系Ｇ２を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第１結像光学系Ｇ１は、物体側から順に第１の光学素子（マンジャンミラー）Ｍ１、開口絞りＡＳ、第２の光学素子（マンジャンミラー）Ｍ２を有している。第２結像光学系Ｇ２は、物体側から順にレンズ群Ｇ２１、Ｇ２２、遮光部ＳＨ、レンズ群Ｇ２３〜レンズＧ２５を有している。第１結像光学系Ｇ１の第１の光学素子Ｍ１は、物体１０３側の面が凸形状で、光軸周辺が正の屈折力の光透過部（第１の透過部）Ｍ１Ｔ、周辺部のうち物体側の面（第１の反射部）Ｍ１ａに反射膜を施し、裏面反射部としている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第２の光学素子Ｍ２は物体側に凹面を向けたメニスカス形状で、光軸周辺が負の屈折力の光透過部（第２の透過部）Ｍ２Ｔ、周辺部のうち像側の面（第２の反射部）Ｍ２ｂに反射膜を施し、裏面反射部としている。第１の光学素子Ｍ１と第２の光学素子Ｍ２は互いに裏面反射部Ｍ１ａ、Ｍ２ｂが対向するように配置されている。第２の結像光学系Ｇ２は物体１０３からの光束のうち光軸近傍の光束を遮光し、撮像素子１０５に入射するのを防止する遮光板ＳＨがレンズ群Ｇ２２の近傍に配置されている。物体１０３からの光束は、第１の透過部Ｍ１Ｔ、開口絞りＡＳ、第２の反射部Ｍ２ｂ、開口絞りＡＳ、第１の反射部Ｍ１ａ、開口絞りＡＳ、第２の透過部Ｍ２Ｔを介して第２結像光学系Ｇ２に入射している。