(57)【要約】【課題】この発明は液晶パネルにＴＣＰを精度よく実装することができるようにした実装装置を提供することにある。【解決手段】液晶パネル４のＴＣＰ６が接続された側辺部の下面を支持するバックアップツール１７と、バックアップツールの上方に対向して配置され加圧用駆動源１６によって下降方向に駆動されることで、液晶パネルの側辺部の上面に仮圧着されたＴＣＰを加圧加熱して異方性導電部材５を溶融硬化させて本圧着するヒータ１５ｂを有する加圧ツール１５と、加圧ツールによって本圧着された液晶パネルの第１のリードとＴＣＰ６の第２のリードとのずれ量を測定する測定部４１と、測定部が測定した第１のリードと第２のリードのずれ量に基いて加圧用駆動源による加圧ツールの下降速度を制御してＴＣＰが液晶パネルに本圧着される前に加圧ツールの熱によって膨張する長さを設定する制御装置を具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のリードを有する基板の側辺部の上面に粘着性を有する異方性導電部材によって仮圧着された第２のリードを有する電子部品を加圧加熱して本圧着する電子部品の実装装置であって、
上記基板の上記電子部品が接続された側辺部の下面を支持するバックアップツールと、
このバックアップツールの上方に対向して配置され駆動手段によって下降方向に駆動されることで、上記基板の側辺部の上面に仮圧着された上記電子部品を加圧加熱して上記異方性導電部材を溶融硬化させて本圧着するヒータを有する加圧ツールと、
この加圧ツールによって本圧着された上記基板の第１のリードと上記電子部品の第２のリードとのずれ量を測定する測定手段と、
この測定手段が測定した上記第１のリードと上記第２のリードのずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御して上記電子部品が上記基板に本圧着される前に上記加圧ツールの熱によって膨張する長さを設定する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記基板と上記電子部品とにはそれぞれ複数の第１のリードと第２のリードが所定間隔で設けられていて、
上記測定手段は、上記複数の第１のリードの配置方向両端に位置する一対の第１のリードに対して上記複数の第２のリードの配置方向両端に位置する一対の第２のリードが配置方向の内側と外側のどちらに位置するかを判定し、
上記制御手段は、上記基板の第１のリードに対して上記電子部品の第２のリードが配置方向の内側に位置するときには上記加圧ツールの下降速度を遅くし、外側に位置するときには上記加圧ツールの下降速度を速くするよう上記加圧ツールを駆動する駆動手段を制御することを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記測定手段は、上記複数の第１のリードと第２のリードの配置方向中央に位置する上記第１のリードと第２のリードのずれ量を算出して補正ずれ量とし、
複数の第１のリードの配置方向両端に位置する一対の第１のリードに対する上記複数の第２のリードの配置方向両端に位置する一対の第２のリードのずれ量からそれぞれ上記補正ずれ量を差し引いて実質ずれ量とし、
上記制御手段は、上記実質ずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御することを特徴とする請求項２記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記加圧ツールは上記異方性導電部材を溶融硬化させる温度に加熱され、上記バックアップツールは上記異方性導電部材を溶融硬化させることのない温度に加熱されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電子部品の実装装置。
【請求項５】
第１のリードを有する基板の側辺部の上面に粘着性を有する異方性導電部材によって仮圧着された第２のリードを有する電子部品を加圧加熱して本圧着する電子部品の実装方法であって、
上記基板の上記電子部品が接続された側辺部の下面をバックアップツールによって支持する工程と、
上記バックアップツールの上方に対向して配置された加圧ツールを駆動手段によって下降方向に駆動して上記基板の側辺部の上面に仮圧着された上記電子部品を加圧加熱して上記異方性導電部材を溶融硬化させて本圧着する工程と、
上記加圧ツールによって本圧着された上記基板の第１のリードと上記電子部品の第２のリードとのずれ量を測定する工程と、
測定された上記第１のリードと上記第２のリードのずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御して上記電子部品が上記基板に本圧着される前に上記加圧ツールの熱によって膨張する長さを設定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は液晶パネルなどの基板にＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶パネルには粘着性を有する熱硬化性樹脂に導電性の金属粒子を混入してなる異方性導電部材（ＡＣＦ）を介して電子部品である上記ＴＣＰが圧着される。上記液晶パネルは、２枚のガラス板をシール剤によって所定の間隔で接着し、これらガラス板間に液晶を封入するとともに、各ガラス板の外面にそれぞれ偏光板を貼着して構成される。そして、上記構成の液晶パネルには、側辺部の上面に上記異方性導電部材を貼着し、この異方性導電部材上に上記ＴＣＰの一端部を仮圧着した後、その一端部を本圧着（実装）するようにしている。
【０００３】
上記液晶パネルの側辺部の上面にＴＣＰを本圧着する場合、まず、一側部にＴＣＰが仮圧着された液晶パネルを搬送テーブルに供給載置する。ついで、上記液晶パネルを搬送テーブルによって搬送し、ＴＣＰが仮圧着された一側部をバックアップツールの上端面に位置決め載置して上記一側部の下面を支持したならば、バックアップツールの上方に配置された加圧ツールを下降させ、上記ＴＣＰの仮圧着された一端部を加圧する。
【０００４】
上記バックアップツールと加圧ツールにはヒータが設けられている。それによって、液晶パネルの一側部に貼着された異方性導電部材が加圧されながら上記各ヒータによって加熱されるから、上記異方性導電部材が溶融硬化して上記ＴＣＰが上記液晶パネルの一側部に接続固定される。つまり、上記ＴＣＰの一端部が上記液晶パネルに本圧着されることになる。
【０００５】
ガラス板からなる上記液晶パネルと、テープ状の樹脂材料によって形成された上記ＴＣＰとでは材料が異なることで熱膨張率も大きく相違する。つまり、ガラス製の液晶パネルの熱膨張率に比べ、樹脂製のＴＣＰの熱膨張率の方がはるかに大きい。
【０００６】
そのため、液晶パネルにＴＣＰが実装される前の状態、つまり液晶パネルとＴＣＰが加圧加熱される前の状態においては、液晶パネルに形成された端子のピッチよりも、ＴＣＰに形成された端子のピッチが小さくなるよう設計しておき、ＴＣＰが上記加圧ツールとバックアップツールによって加圧加熱されながら液晶パネルに実装される際、ＴＣＰが熱膨張しながら本圧着されることで、ＴＣＰのリードのピッチを液晶パネルのリードのピッチに一致させるようにしている。
【０００７】
そこで、従来ではＴＣＰのリードのピッチ寸法が最適値よりもどの程度小さく設定されているのかを基準にし、上記加圧ツールの下降速度、加圧温度及び加圧時間を設定して上記ＴＣＰを本圧着することで、ＴＣＰのリードのピッチ寸法が液晶パネルのリードのピッチ寸法に一致するよう、上記リードを最適なピッチ寸法に熱膨張させるということが行なわれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１３４５５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、ＴＣＰに形成されるリードのピッチ間隔は、製造品質やロッドバラツキなどを含む製造環境や生産工場の現場環境などを含む保存環境における温度や湿度などによって大きく変化する。
【００１０】
そのため、ＴＣＰのリードのピッチ寸法が最適値よりもどの程度小さく設計されているかということを基準にして、上記加圧ツールの下降速度、加圧温度及び加圧時間を設定して上記ＴＣＰを本圧着しても、上述した製造環境や保存環境における温度や湿度などの変化によってリードのピッチ間隔が設計されたピッチ間隔と異なっていることがあり、そのような場合には、本圧着されたＴＣＰのリードのピッチ間隔が最適値にならないということがある。
【００１１】
そして、そのような場合、ＴＣＰのリードと液晶パネルのリードとが電気的に確実に接続されない実装不良を招くという虞がある。
【００１２】
この発明は、製造環境や保存環境における温度や湿度などの変化によって電子部品のリードのピッチ間隔が変化しても、その変化に応じて電子部品のリードのピッチ間隔が最適値になるよう加圧ツールの下降速度を制御して電子部品を基板の実装できるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、第１のリードを有する基板の側辺部の上面に粘着性を有する異方性導電部材によって仮圧着された第２のリードを有する電子部品を加圧加熱して本圧着する電子部品の実装装置であって、
上記基板の上記電子部品が接続された側辺部の下面を支持するバックアップツールと、
このバックアップツールの上方に対向して配置され駆動手段によって下降方向に駆動されることで、上記基板の側辺部の上面に仮圧着された上記電子部品を加圧加熱して上記異方性導電部材を溶融硬化させて本圧着するヒータを有する加圧ツールと、
この加圧ツールによって本圧着された上記基板の第１のリードと上記電子部品の第２のリードとのずれ量を測定する測定手段と、
この測定手段が測定した上記第１のリードと上記第２のリードのずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御して上記電子部品が上記基板に本圧着される前に上記加圧ツールの熱によって膨張する長さを設定する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００１４】
上記基板と上記電子部品とにはそれぞれ複数の第１のリードと第２のリードが所定間隔で設けられていて、
上記測定手段は、上記複数の第１のリードの配置方向両端に位置する一対の第１のリードに対して上記複数の第２のリードの配置方向両端に位置する一対の第２のリードが配置方向の内側と外側のどちらに位置するかを判定し、
上記制御手段は、上記基板の第１のリードに対して上記電子部品の第２のリードが配置方向の内側に位置するときには上記加圧ツールの下降速度を遅くし、外側に位置するときには上記加圧ツールの下降速度を速くするよう上記加圧ツールを駆動する駆動手段を制御することが好ましい。
【００１５】
上記測定手段は、上記複数の第１のリードと第２のリードの配置方向中央に位置する上記第１のリードと第２のリードのずれ量を算出して補正ずれ量とし、
複数の第１のリードの配置方向両端に位置する一対の第１のリードに対する上記複数の第２のリードの配置方向両端に位置する一対の第２のリードのずれ量からそれぞれ上記補正ずれ量を差し引いて実質ずれ量とし、
上記制御手段は、上記実質ずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御することが好ましい。
【００１６】
上記加圧ツールは上記異方性導電部材を溶融硬化させる温度に加熱され、上記バックアップツールは上記異方性導電部材を溶融硬化させることのない温度に加熱されることが好ましい。
【００１７】
この発明は、第１のリードを有する基板の側辺部の上面に粘着性を有する異方性導電部材によって仮圧着された第２のリードを有する電子部品を加圧加熱して本圧着する電子部品の実装方法であって、
上記基板の上記電子部品が接続された側辺部の下面をバックアップツールによって支持する工程と、
上記バックアップツールの上方に対向して配置された加圧ツールを駆動手段によって下降方向に駆動して上記基板の側辺部の上面に仮圧着された上記電子部品を加圧加熱して上記異方性導電部材を溶融硬化させて本圧着する工程と、
上記加圧ツールによって本圧着された上記基板の第１のリードと上記電子部品の第２のリードとのずれ量を測定する工程と、
測定された上記第１のリードと上記第２のリードのずれ量に基いて上記駆動手段による上記加圧ツールの下降速度を制御して上記電子部品が上記基板に本圧着される前に上記加圧ツールの熱によって膨張する長さを設定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、実装後の電子部品のリードと基板のリードのずれ量を測定し、その測定に基いて電子部品のリードのピッチが基板のリードのピッチに一致するよう加圧ツールの下降速度を制御して電子部品を熱膨張させるようにした。
【００１９】
そのため、製造環境や保存環境における温度や湿度などの変化によって電子部品のリードのピッチ間隔が変化していても、電子部品のリードのピッチ間隔を基板のリードのピッチ間隔に一致するよう電子部品を熱膨張させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施の形態を示す実装装置の構成図。
【図２】図１に示す実装装置の制御系統図。
【図３】液晶パネルの斜視図。
【図４】液晶パネルとＴＣＰに設けられたリードを示す斜視図。
【図５】測定部の液晶パネルと第１乃至第３の撮像カメラを示す側面図。
【図６】測定部の液晶パネルと第１乃至第３の撮像カメラを示す平面図。
【図７】（ａ）は液晶パネルとＴＣＰのリードのピッチ間隔が一致している状態を示す説明図、（ｂ）は液晶パネルのリードに対してＴＣＰのリードのピッチが小さい状態を示す説明図、（ｃ）は液晶パネルのリードに対してＴＣＰのリードのピッチが大きい状態を示す説明図。
【図８】（ａ）は加圧ツールの駆動高さと時間との関係を示すグラフ、（ｂ）は加圧ツールの移動速度と時間との関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２２】
図１はこの発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図３に示すガラス製の基板として液晶パネル４の一側部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材５によって仮圧着された電子部品としてのＴＣＰ６が後述するように本圧着される。ＴＣＰ６は樹脂製のキヤリアテープから打ち抜かれる。したがって、ＴＣＰ６の材料はガラス製の液晶パネル４の材料に比べて熱膨張率が大きい。
【００２３】
図４に示すように、上記液晶パネル４の一側部の上面には複数の第１のリード４ａが所定のピッチで設けられ、上記ＴＣＰ６の一端部の下面には上記第１のリード４ａよりも小さなピッチで複数の第２のリード６ａが設けられている。
【００２４】
つまり、図４に示すように液晶パネル４に設けられた第１のリード４ａのピッチをＰ１とし、ＴＣＰ６に設けられた第２のリード６ａのピッチをＰ２とすると、Ｐ１＞Ｐ２に設定されている。
【００２５】
そして、後述するように上記液晶パネル４の側辺部の下面をバックアップツール１７の上端面で支持して上記側辺部の上面に仮圧着された上記ＴＣＰ６を加圧ツール１５で加圧加熱して本圧着（実装）するとき、上記ＴＣＰ６の第２のリード６ａのピッチＰ２が上記液晶パネル４の第１のリード４ａのピッチＰ１と同じになるよう、上記ＴＣＰ６を熱膨張させてから本圧着されるようになっている。
【００２６】
なお、液晶パネル４の第１のリード４ａの列方向の両端には一対の第１の位置決めマーク７ａが設けられ、ＴＣＰ６の第２のリード６ａの列方向の両端には一対の第２の位置決めマーク７ｂが設けられている。そして、これら第１、第２の位置合わせマーク７ａ，７ｂを位置合わせして液晶パネル４にＴＣＰ６が仮圧着されるようになっている。
【００２７】
図３に示すように、上記液晶パネル４は、一対のガラス板４ｂを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板４ｂの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｃ（一方のみ図示）が貼着されている。下側のガラス板４ｂの側辺部の上面には上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。この実施の形態では、上記異方性導電部材５は１００度で溶融硬化するものが用いられている。
【００２８】
なお、図示はしないが、液晶パネル４には１つの側辺部だけでなく、２つ或いは３つの側辺部に対してＴＣＰ６を実装することもあるが、この実施の形態では１つの側辺部に対してＴＣＰ６を実装する例を挙げて説明している。
【００２９】
図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット１１及び後述する実装ステージ３７を水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び矢印で示す上下方向（Ｚ方向）に移動させる位置決めユニット１２を備えている。
【００３０】
上記圧着ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には加圧ツール１５が駆動手段としての加圧用駆動源１６によって上下方向に対して駆動及び位置決め可能に設けられている。
【００３１】
上記加圧用駆動源１６は、図２に示すサーボモータ１６ａとエアーシリンダ１６ｂが一体化されていて、上記サーボモータ１６ａによって上記加圧ツール１５の下降速度が制御され、上記エアーシリンダ１６ｂによって本圧着時の加圧力を発生させるようになっている。
【００３２】
上記加圧ツール１５には第１のヒータ１５ｂが内蔵され、この加圧ツール１５を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール１５の下端面は加圧面１５ａに形成され、この加圧面１５ａの下方には上記バックアップツール１７が垂直に立設されている。上記バックアップツール１７の上端部には第２のヒータ１７ｂが埋設されていて、その上端面は上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと平行な支持面１７ａとなっている。
【００３３】
上記第１のヒータ１５ｂによる加圧ツール１５の加熱温度は上記異方性導電部材５を溶融硬化させる温度であって、この実施の形態では約３７０度に設定されている。さらに、異方性導電部材５は約１７０度に達すると、約５秒で溶融硬化が終了するものが用いられている。
【００３４】
上記第２のヒータ１７ｂによる上記バックアップツール１７の上端部の加熱温度はたとえば８０度に設定されている。つまり、バックアップツール１７は異方性導電部材５を溶融硬化させることのない温度であって、しかも液晶パネル４の温度のばらつきをなくして温度に対する伸びを一定にするために加熱されるようになっている。
【００３５】
上記バックアップツール１７は液晶パネル４の側辺部の全長を支持できる長さを有し、上記加圧ツール１５は上記バックアップツール１７と対応する長さに設定されている。
【００３６】
上記位置決めユニット１２は上記圧着ユニット１１の側方に配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ１８を有し、このＸステージ１８にはＸ駆動源１９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体２０が設けられている。
【００３７】
なお、上記圧着ユニット１１のバックアップツール１７の長手方向と平行な方向である、図１の紙面に対して直交する方向をＸ方向とし、このＸ方向と交差する方向をＹ方向とする。Ｙ方向は図１に矢印で示す。したがって、上記加圧ツール１５と上記バックアップツール１７はＸ方向に対して長く形成されていることになる。
【００３８】
上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと、上記バックアップツール１７の支持面１７ａとの間には上記Ｘ方向に沿ってクッションシート２４が設けられている。このクッションシート２４はたとえばフッ素樹脂などの耐熱性を有する樹脂によって形成されている。
【００３９】
上記クッションシート２４は、上記液晶パネル４に仮圧着されたＴＣＰ６を上記加圧ツール１５によって本圧着するときに、これらの間に介在して溶融した異方性導電部材５が上記加圧ツール１５の加圧面１５ａに付着するのを阻止したり、加圧ツール１４の平坦度のむらを吸収するようになっている。
【００４０】
なお、クッションシート２４は上記加圧ツール１５の長手方向一端側に配置された図示しない供給リールから繰り出され、使用された部分は長手方向他端側に配置された同じく図示しない巻き取りリールによって巻き取られるようになっている。
【００４１】
上記Ｘ可動体２０の上面にはＹステージ２１が一体的に設けられている。このＹステージ２１の上面にはＹ可動体２２が設けられている。このＹ可動体２２はＹ駆動源２３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。
【００４２】
上記Ｙ可動体２２の上面には側面形状がクランク状の支持体２５が立設されている。この支持体２５の上端部の支持部２６と上記Ｙ可動体２２との間にはねじ軸２７とガイド軸２８とが軸線をＸ方向とＹ方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸２７は回転可能に設けられ、ガイド軸２８は固定的に設けられている。
【００４３】
上記ねじ軸２７にはＺ可動体２９が螺合され、このＺ可動体２９には上記ガイド軸２８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸２７を回転させれば、上記Ｚ可動体２９は回転することなく、上記ガイド軸２８に沿って上下動するようになっている。
【００４４】
上記ねじ軸２７の上端部は上記支持部２６の上面から突出し、その突出端には従動歯車３０が嵌着されている。この従動歯車３０には駆動歯車３１が噛合している。この駆動歯車３１は上記支持体２５に設けられたＺ駆動源３２の駆動軸３２ａに固定されている。
【００４５】
したがって、上記Ｚ駆動源３２が作動してその駆動軸３２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車３０、３１を介してねじ軸２７が回転されるから、上記Ｚ可動体２９が図１に矢印で示す上下方向であるＺ方向に駆動されることになる。
【００４６】
上記Ｚ可動体２９にはＬ字状の取付け部材３４の一辺が固着されている。この取付け部材３４の水平となった他辺の下面にはθ駆動源３５が設けられ、上面にはθ駆動源３５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体３６が設けられている。
【００４７】
上記θ可動体３６の上面には平面形状が矩形状の上記実装ステージ３７がその中央部をθ可動体３６の回転中心に一致させて設けられている。この実装ステージ３７の上面３７ａには、真空ポンプによって吸着力が生じる吸引孔（ともに図示せず）が開口形成されていて、上記上面３７ａに供給された上記液晶パネル４が吸着保持されるようになっている。
【００４８】
なお、液晶パネル４は、図１に示すように、ＴＣＰ６が仮圧着された側辺部を実装ステージ３７のＸ方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で上記実装ステージ３７上に保持される。
【００４９】
上記圧着ユニット１１と位置決めユニット１２の間で、上記バックアップツール１７の近傍には、上記液晶パネル４に上記ＴＣＰ６が本圧着された後、−Ｙ方向に所定距離移動したときに、上記液晶パネル４の下面側からこの液晶パネル４と、液晶パネル４の第１のリード４ａに本圧着されたＴＣＰ６の第２のリード６ａとのずれ量を測定する測定手段としての測定部４１が設けられている。
【００５０】
上記測定部４１は、図１に示すように上記バックアップツール１７の−Ｙ方向側の一側面の上端部に設けられたＬ字状の取付け部材４０を有し、この取付け部材４０の上面に図５と図６に示すように第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃが上記液晶パネル４の側辺部の長手方向に沿って所定間隔で配置されている。
【００５１】
上記第１の撮像カメラ４２ａは液晶パネル４の側辺部の長手方向の中央部に本圧着されたＴＣＰ６の幅方向の中央部を撮像し、第２のカメラ４２ｂは幅方向の一端部、第３のカメラ４２ｃは他端部を撮像するようになっている。
【００５２】
本圧着時に上記ＴＣＰ６が設計された第２のリード６ａのピッチ間隔に応じた加熱温度で加熱されることで最適値に熱膨張していれば、図７（ａ）に示すように上記液晶パネル４の第１のリード４ａに対して上記ＴＣＰ６の第２のリード６ａが一致し、第１乃至第３のカメラ４２ａ〜４２ｃが撮像した中央部及び両端部の３つの部位における第１のリード４ａと第２のリード６ａのずれ量は０になる。
【００５３】
しかしながら、上記ＴＣＰ６が最適値に熱膨張していない場合には、第１乃至第３のカメラ４２ａ〜４２ｃが撮像した部位において、第１のリード４ａと第２のリード６ａにずれが発生する。
【００５４】
たとえば、上記ＴＣＰ６の熱膨張が最適値に対して小さな場合、図７（ｂ）に示すように液晶パネル４の第１のリード４ａの列に対し、上記ＴＣＰ６の幅方向両端部に位置する第２のリード６ａが幅方向内方に位置することになる。
【００５５】
逆に、上記ＴＣＰ６の熱膨張が最適値に対して大きな場合、図７（ｃ）に示すように液晶パネル４の第１のリード４ａの列に対し、上記ＴＣＰ６の幅方向両端部に位置する第２のリード６ａが幅方向外方に位置することになる。
【００５６】
図７（ｂ）と図７（ｃ）の場合、第１のカメラ４２ａによって撮像される幅方向中央部の第１のリード４ａと第２のリード６ａにはずれが生じない場合があるが、同図に示すようにずれが生じる場合もある。この実施の形態ではずれが生じている場合を例に挙げて説明している。すなわち、図７（ｂ）の場合に生じる幅方向中央部及び両端部のずれ量をＡ，Ｂ，Ｃとし、図７（ｃ）の場合に生じる幅方向中央部及び両端部のずれ量をＡ，Ｄ，Ｅとする。
【００５７】
図２に示すように、上記第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃの撮像信号は画像処理部４４に出力される。画像処理部４４で処理された撮像信号は制御手段としての制御装置４５に出力される。  
なお、図７（ｂ）におけるＴＣＰ６の幅方向中央におけるずれ量Ａと、図７（ｃ）におけるＴＣＰ６の幅方向中央におけるずれ量Ａとは同じ場合もあるが、異なる場合もある。
【００５８】
上記制御装置４５では、撮像カメラ４２ａ〜４２ｃの撮像信号から図７（ｂ）におけるずれ量をＡ，Ｂ，Ｃ或いは図７（ｃ）におけるずれ量をＡ，Ｄ，Ｅとすると、これらのずれ量から液晶パネル４に対するＴＣＰ６の実際のずれ量である、実質ずれ量が算出される。
【００５９】
上記実質ずれ量は、（Ｂ−Ａ）、（Ｃ−Ａ）、或いは（Ｄ−Ａ）、（Ｅ−Ａ）によって算出される。そして、上記制御装置４５は算出された実質ずれ量に基いて上記加圧ツール１５の下降速度を後述するように制御する。
【００６０】
なお、図７（ｂ）に示すように、液晶パネル４の第１のリード４ａの列の幅方向両端に位置する一対の第１のリード４ａに対し、上記ＴＣＰ６の幅方向両端部に位置する第２のリード６ａが幅方向内方に位置する場合、上記ＴＣＰ６の熱膨張が最適値よりも小さことになる。
【００６１】
したがって、その場合には上記加圧ツール１５の下降速度が最適速度に対して減速される。それによって、上記加圧ツール１５が下降し始めてから、その加圧面１５ａが仮圧着されたＴＣＰ６に接触するまでの時間が長くなるから、その分、ＴＣＰ６が加圧ツール１５から受ける輻射による熱量が増大して熱膨張が大きくなる。
【００６２】
逆に、液晶パネル４の第１のリード４ａの列の幅方向両端に位置する一対の第１のリード４ａに対し、上記ＴＣＰ６の幅方向両端部に位置する第２のリード６ａが幅方向外方に位置する場合、上記ＴＣＰ６の熱膨張が最適値よりも大きいことになる。
【００６３】
したがって、その場合には上記加圧ツール１５の下降速度が最適速度に対して増加させられる。それによって、上記加圧ツール１５が下降し始めてから、その加圧面１５ａが仮圧着されたＴＣＰ６に接触するまでの時間が短くなるから、その分、ＴＣＰ６が加圧ツール１５から受ける輻射による熱量が減少して熱膨張が小さくなる。
【００６４】
上記ＴＣＰ６の熱膨張と、上記加圧ツール１５の下降速度との関係は予め測定されていて、そのデータは制御装置４５に記憶されている。したがって、測定部４１の測定に基いて制御装置４５がずれ量を算出すると、そのずれ量に基いて制御装置４５は上記加圧用駆動源１６のサーボモータ１６ａによって加圧ツール１５の下降速度を制御するようになっている。
【００６５】
図２は上記実装装置の制御系統図であって、上記制御装置４５は、上記加圧用駆動源１６、Ｘ駆動源１９、Ｙ駆動源２３、Ｚ駆動源３２及びθ駆動源３５、第１のヒータ１５ｂ、第２のヒータ１７ｂの駆動を制御する。上記測定部４１の第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃの撮像信号は、上記画像処理部４４を介して上記制御装置４５に出力される。
【００６６】
つぎに、上記構成の実装装置によって液晶パネル４の一側部の上面に仮圧着されたＴＣＰ６を本圧着するときの動作について説明する。まず、上面３７ａに液晶パネル４が保持された実装ステージ３７がＸ駆動源１９、Ｙ駆動源２３及びＺ駆動源３２によってＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動され、上記液晶パネル４のＴＣＰ６が仮圧着された側辺部の下面がバックアップツール１７の上端の支持面１７ａに支持される。
【００６７】
液晶パネル４の側辺部の下面がバックアップツール１７の支持面１７ａによって支持されると、加圧用駆動源１６によって上昇待機位置で待機していた加圧ツール１５が下降方向に駆動され、その加圧面１５ａによってクッションシート２４を押圧しながら下降する。
【００６８】
このときの加圧ツール１５の下降速度は、液晶パネル４の第１のリード４ａのピッチ間隔に対して設定されたＴＣＰ６の第２のリード６ａのピッチ間隔が加圧ツール１５から受ける輻射熱によって理論上、第２のリード６ａのピッチ間隔が第１のリード４ａのピッチ間隔と同じになるよう上記ＴＣＰ６が熱膨張する速度、つまり後述するように図８（ｂ）のＶ２で示す速度に設定されている。
【００６９】
上記加圧ツール１５は第１のヒータ１５ｂによってたとえば３７０度に加熱されている。したがって、速度Ｖ２で下降する加圧ツール１５からの輻射熱によってＴＣＰ６は加熱されて熱膨張することになる。
【００７０】
そして、理論上は、加圧ツール１５の下降速度を速度Ｖ２に設定することで、上記加圧ツール１５の加圧面１５ａがＴＣＰ６を加圧する高さまで下降すると、その間に上記ＴＣＰ６が上記加圧ツール１５からの輻射熱によって熱膨張し、図７（ａ）に示すようにその第２のリード６ａのピッチ間隔が液晶パネル４の第１のリード４ａのピッチ間隔と一致することになる。
【００７１】
そして、加圧ツール１５の加圧面１５ａがＴＣＰ６を加圧する図８（ａ）にｄで示す高さまで下降した後、上記加圧ツール１５が図８（ａ）にｃで示す加圧終了位置までさらに下降する。それによって、液晶パネル４とＴＣＰ６との間に設けられた異方性導電部材５が圧縮されながら溶融して硬化するから、ＴＣＰ６が液晶パネル４に本圧着されることになる。
【００７２】
このようにしてＴＣＰ６が本圧着されると、上記加圧ツールが所定の上昇速度で上昇する。上昇後、実装ステージ３７は−Ｙ方向に駆動され、液晶パネル４の側辺部の長手方向中央部のＴＣＰ６が実装された箇所が測定部４１の上方に位置決めされる。
【００７３】
それによって、上記測定部４１の第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃが液晶パネル４の側辺部の長手方向中央部に実装されたＴＣＰ６を液晶パネル４の下面側から撮像する。なお、第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃによる撮像は、実装ステージ３７を停止させずに行うことも可能である。
【００７４】
上記第１乃至第３の撮像カメラ４２ａ〜４２ｃの撮像信号は画像処理部４４でデジタル信号に処理されてから、制御装置４５に出力される。制御装置４５では、上記ＴＣＰ６の幅方向中央部及び両端部の三箇所における液晶パネル４の第１のリード４ａとＴＣＰ６の第２のリード６ａのずれ量を算出する。
【００７５】
それによって、加圧ツール１５を速度Ｖ２で下降させてＴＣＰ６を液晶パネル４に実装したとき、ＴＣＰ６の熱膨張が加圧ツール１５から受ける輻射熱によって最適であるか否かが判定される。
【００７６】
つまり、加圧ツール１５の速度Ｖ２が最適な速度であれば、図７（ａ）に示すようにＴＣＰ６の幅方向中央部と両端部の三箇所において理論的には第１のリード４ａと第２のリード６ａにずれは生じない。
【００７７】
しかしながら、ＴＣＰ６の第２のリード６ａのピッチ間隔が製造環境や保存環境における温度や湿度などの影響を受けて設計上のピッチ間隔に対して変化している場合、加圧ツール１５の下降速度を理論上の下降速度、つまり理論速度Ｖｔに設定して下降させても、ＴＣＰ６が最適値になるよう膨張せず、液晶パネル４の第１のリード４ａに対してＴＣＰ６の第２のリード６ａがずれることになる。
【００７８】
そして、上記第１のリード４ａに対する第２のリード６ａのずれの状態が図７(ｂ)の状態であるのか、或いは図７（ｃ）の状態であるのかによって、加圧ツール１５の下降速度が理論速度Ｖｔに対して速いか、遅いのかが判定される。
【００７９】
そして、その判定結果に基いてつぎにＴＣＰ６を本圧着するときの加圧ツール１５の下降速度が修正速度Ｖｃに変更設定される。
【００８０】
このようにして、上記測定部４１の上方で液晶パネル４の一側部が撮像され終わると、実装ステージ３７は図示しない排出位置まで後退して液晶パネル４が排出され、新たな液晶パネル４、つまりＴＣＰ６が仮圧着状態にある液晶パネル４が供給載置された後、その液晶パネル４のＴＣＰ６が仮圧着された一側部が上記バックアップツール１７の支持面１７ａ上に載置される。
【００８１】
ついで、加圧ツール１５が輻射熱によってＴＣＰ６を加熱しながら、先程の実装結果に基いて変更設定された修正速度Ｖｃで下降して、上記ＴＣＰ６を本圧着する。今回、本圧着されるＴＣＰ６が先程、本圧着されたＴＣＰ６と製造環境や保存環境における温度や湿度などの条件が同一であれば、理論上は液晶パネル４の第１のリード４ａのピッチ間隔に対してＴＣＰ６の第２のリード６ａのピッチ間隔が同じになるようＴＣＰ６が熱膨張することになる。
【００８２】
したがって、加圧ツール１５が先程の実装結果に基いて変更設定された修正速度Ｖｃで下降方向に駆動されることで、上記液晶パネル４にＴＣＰ６を、これらのリード４ａ，６ａにずれが生じることなく上記ＴＣＰ６を熱膨張させて本圧着することができる。
【００８３】
以上のように、ＴＣＰ６の製造環境や保存環境における温度や湿度などの条件が変化すると、加圧ツール１５を理論速度Ｖｒで下降させ、この加圧ツール１５から受ける輻射熱によって上記ＴＣＰ６を熱膨張させても、その第２のリード６ａのピッチ間隔が液晶パネル４の第１のリードのピッチ間隔と一致しないことがある。
【００８４】
しかしながら、そのような場合であっても、本圧着後における第１のリード４ａに対する第２のリード４ａのずれ量が測定部４１で測定され、その測定に基づいて加圧ツール１５の下降速度が補正されてつぎの本圧着が行なわれる。
【００８５】
そのため、ＴＣＰ６の製造環境や保存環境における温度や湿度などの条件の変化によってその第２のリード６ａのピッチ間隔が設計値に対して変化していても、上記ＴＣＰ６をその第２のリード６ａが液晶パネル４の第１のリード４ａのピッチ間隔に一致するよう熱膨張させて、液晶パネル４に本圧着することができる。
【００８６】
すなわち、液晶パネル４の第１のリード４ａに対してＴＣＰ６の第２のリード６ａがずれが生じても、そのずれが生じないよう加圧ツール１５の下降速度を直ちに修正して上記ＴＣＰ６を液晶パネル４に本圧着することができる。
【００８７】
図８（ａ）はＴＣＰ６を液晶パネル４に本圧着するときの加圧ツール１５の高さ位置と時間の関係を示し、図８（ｂ）加圧ツール１５の移動速度（下降及び上昇速度）と時間の関係を示している。図８（ａ）に示すａの位置は、加圧ツール１５の上昇待機位置で、たとえばＴＣＰ６の１００ｍｍ上方の位置に設定されている。
【００８８】
上記加圧ツール１５は上昇待機位置ａからクッションシート２４に接触しない所定高さ上方の位置ｂ、つまりＴＣＰ６が加圧ツール１５の輻射熱によって加熱される位置ｂまで速度Ｖ１で下降したならば、この加圧ツール１５は速度Ｖ２で加圧終了位置ｃまで下降する。速度Ｖ２は上述した理論速度Ｖｒ又は修正速度Ｖｃに相当する。
【００８９】
なお、加圧ツール１５の加圧面はｄ点にてクッションシート２４と接触を開始し、ｃ点までクッションシート２４や異方性導電部材５を押し潰すことになる。
【００９０】
加圧終了位置ｃでｔ１で示す加熱時間、たとえば２〜３秒間停止してＴＣＰ６を加熱する。それによって、熱膨張したＴＣＰ６を貼着した異方性導電部材５が溶融硬化して上記ＴＣＰ６が液晶パネル４に本圧着されることになる。
【００９１】
加熱時間ｔ１でＴＣＰ６を加圧加熱したならば、加圧ツール１５は実装位置ｃからｄで示す上昇位置まで速度Ｖ３で上昇した後、この速度Ｖ３よりも速い速度Ｖ４で上昇待機位置ａまで上昇する。なお、図８（ｂ）では上昇時の速度Ｖ３、Ｖ４を下降時の方向と逆向きに示している。
【００９２】
上記実施の形態では測定部４１を圧着ユニット１１の近傍に設けたが、仮圧着が終了した本圧着後に測定できるよう上記測定部４１を設けるようにしてもよい。測定部４１で測定されたずれ量は仮圧着用の制御装置４５に出力されて上述した制御が行なわれる。
【００９３】
このように、本圧着後にずれ量を測定するようにすることで、仮圧着及び本圧着のタクトタイムに影響を与えることなく、ずれ量の測定を行なうことができるから、生産性の向上を図ることが可能となる。
【００９４】
また、ずれ量を測定するのにＴＣＰ６のリード６ａと液晶パネル４のリード４ａを用いるようにしたが、液晶パネル４の第１の位置決めマーク７ａと、ＴＣＰ６の第２の位置決めマーク７ｂのずれ量を測定する。これら第１の位置合わせマーク７ａと第２の位置合わせマーク７ｂのずれ量は第１のリード４ａと第２のリード６ａのずれ量と同じであるとみなすことができるから、上記第１、第２の位置合わせマーク７ａ，７ｂのずれ量に基いて加圧ツール１５の下降速度を制御するようにしてもよい。この場合、測定部の撮像カメラは２つでよい。
【００９５】
すなわち、第１のリード４ａと第２のリード６ａのずれ量の測定は、これらリード４ａ，６ａのずれ量を直接測定するようにしてもよいが、上記第１、第２の位置合わせマーク７ａ，７ｂを利用して間接的に測定するようにしてもよい。
【００９６】
また、測定部４１に３つの撮像カメラ４２ａ〜４２ｃを設けたが、測定部のカメラを１つとし、このカメラをＴＣＰ６の幅方向一端部、中央部及び他端部に移動させて各移動部で測定を行うようにしてもよい。この場合、上記カメラをＴＣＰの幅方向一端部と他端部の２箇所に移動させて測定を行うようにしてもよい。
【００９７】
なお、位置合わせマークを測定する場合にはＴＣＰ６の幅方向一端部と他端部との間で移動させるようにすればよい。
【００９８】
また、図７（ｂ）,（ｃ）で説明した第１のカメラ４２ａによる幅方向中央部の第１のリード４ａと第２のリード６ａのずれ量Ａは本圧着の前工程である液晶パネル４にＴＣＰ６を仮圧着する過程で生じることは少なく、本圧着時に液晶パネル４が熱膨張することで上記ずれ量Ａとなる。
【００９９】
なお、上記ずれ量Ａは、本圧着時に液晶パネル４を裏面からバックアップツール１７で所定温度に加熱するために上記液晶パネル４が膨張するために生じる。そのため、上記ずれ量Ａは、図３で示す液晶パネル４の幅方向中央部に貼着されたＴＣＰ４よりも外側に貼着されたＴＣＰ４３の方が大きくなる。
【０１００】
したがって、上記すれ量Ａは、液晶パネル４にＴＣＰ６を仮圧着する際、ＴＣＰ６を仮圧着するための仮圧着装置の仮圧着ヘッドの移動を制御する制御装置にフィードバックさせ、上記ＴＣＰ６の仮圧着位置を補正することで、なくすことが可能となる。それによって、液晶パネル４に仮圧着されるＴＣＰ６の幅方向中央部のずれ量Ａをなくすことができるから、上記ＴＣＰ６の実装精度を向上させることができる。
【０１０１】
また、ずれ量Ａが０の場合でも、実質ずれ量（Ｂ−Ａ）、（Ｃ−Ａ）の両者、或いは（Ｄ−Ａ）、（Ｅ−Ａ）の両者のずれ量が異なる場合もある。
【０１０２】
このような場合は、ＢとＣの平均値のずれ量、或いはＤとＥの平均値のずれ量がずれ量の中心となるように仮圧着装置でのＴＣＰ４の仮圧着位置を補正するようにすれば、最大ずれ量を小さくできるので、本圧着時のＴＣＰ４の実装精度を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１０３】
４…液晶パネル（基板）、５…異方性導電部材、６…ＴＣＰ、１５…加圧ツール、１５ｂ…第１のヒータ、１６…加圧用駆動源(駆動手段)、１７…バックアップツール、３７…実装ステージ、４１…測定部(撮像手段)、４２ａ〜４２ｃ…第１乃至第３の撮像カメラ(撮像手段)、４５…制御装置（加熱制御手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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