【手続補正書】
【提出日】平成26年9月29日(2014.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容可能な処理室と、
前記基板の処理に用いる気体原料を、固体原料を昇華させて生成し、前記処理室へ供給する原料供給系と、
を有する基板処理装置であって、
前記原料供給系は、
前記固体原料を収容する固体原料容器と、
前記固体原料容器と前記処理室との間に接続された第１の配管と、
前記固体原料容器と接続された第２の配管であって、補充用の前記固体原料を保持する原料補充容器が取り付けられる取付部を備える前記第２の配管と、を備える基板処理装置。
【請求項２】
制御部と、
前記第２の配管と真空排気手段との間に接続された第３の配管と、
前記第２の配管に接続され、パージガスを導入するための第４の配管と、
前記第３の配管の途中に接続された第１のバルブと、
前記第４の配管の途中に接続された第２のバルブと、をさらに備え、
前記制御部は、前記原料補充容器から前記固体原料容器へ前記固体原料を補充するために前記原料補充容器が前記取付部に取り付けられた際に、前記第２の配管内を真空引きし、その後前記第２の配管内に前記パージガスを導入するように、前記真空排気手段と前記第１のバルブと前記第２のバルブとを制御する請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記原料補充容器にパージガスを導入する前記原料補充容器のパージガス導入部が取り付けられる原料補充容器パージガス導入部取付部と、前記原料補充容器からパージガスを排出する前記原料補充容器のパージガス排出部が取り付けられる原料補充容器パージガス排出部取付部とをさらに備え、
前記制御部は、前記原料補充容器から前記固体原料容器へ前記固体原料を補充するために前記原料補充容器が前記取付部に取り付けられ、前記原料補充容器のパージガス導入部が前記原料補充容器パージガス導入部取付部に取り付けられ、前記原料補充容器のパージガス排出部が前記原料補充容器パージガス排出部取付部に取り付けられた際に、前記第２の配管内を真空引きし、その後前記第２の配管内に前記パージガスを導入するように、前記真空排気手段と前記第１のバルブと前記第２のバルブとを制御し、前記原料補充容器のパージガス導入部から前記パージガスを前記原料補充容器に導入し、前記原料補充容器のパージガス排出部から前記パージガスを排出するように、前記真空排気手段と前記第１のバルブと、前記第２のバルブと、前記パージガス導入部と、前記パージガス排出部と、を制御する制御手段である請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板の処理に用いる気体原料を、固体原料を昇華させて生成し、前記基板を処理する処理室へ供給する原料供給系であって、前記固体原料を収容する固体原料容器と、前記固体原料容器と前記処理室との間に接続された第１の配管と、前記固体原料容器と接続された第２の配管であって、補充用の前記固体原料を保持する原料補充容器が取り付けられる取付部を備える前記第２の配管と、前記第２の配管と真空排気手段との間に接続された第３の配管と、前記第２の配管に接続され、パージガスを導入するための第４の配管と、前記第３の配管の途中に接続された第１のバルブと、前記第４の配管の途中に接続された第２のバルブと、を備える前記原料供給系の前記取付部に前記原料補充容器を取り付ける工程と、
前記原料補充容器が前記取付部に取り付けられた状態で、前記第２のバルブを閉じ、前記第１のバルブを開けて、前記第２の配管内を前記真空排気手段で真空引きする工程と、
その後、前記第１のバルブを閉じ、前記第２のバルブを開けて、前記第２の配管内に前記パージガスを導入する工程と、
その後、前記原料補充容器から前記固体原料容器に前記固体原料を前記第２の配管を介して補充する工程と、
を備える固体原料補充方法。
【請求項５】
前記原料補充容器にパージガスを導入する前記原料補充容器のパージガス導入部を前記原料供給系の原料補充容器パージガス導入部取付部に取り付け、前記原料補充容器からパージガスを排出する前記原料補充容器のパージガス排出部を前記原料供給系の原料補充容器パージガス排出部取付部に取り付ける工程と、
その後、前記原料補充容器から前記固体原料容器に前記固体原料を前記第２の配管を介して補充する前に、前記原料補充容器のパージガス導入部から前記パージガスを前記原料補充容器に導入し、前記原料補充容器のパージガス排出部から前記パージガスを排出する工程と、
をさらに備える請求項４記載の固体原料補充方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
（第２の実施の形態）
次に図１２を参照して前述した基板処理装置１０１に使用される第２の実施の形態の処理炉２０２や原料供給系２３０、排気系２４０等について説明する。本実施の形態の処理炉２０２および排気系２４０は第１の実施の形態の処理炉２０２および排気系２４０と同じである。本実施の形態の原料供給系２３０は、第１の実施の形態では、ガス供給管２８２および配管２８３にはヒータが設けられていないのに対して、本実施の形態では、ガス供給管２８２にヒータ４２２が設けられ、配管２８３にヒータ４２３が設けられている点が第１の実施の形態の原料供給系２３０と異なるが、他の点は同じである。また、第２の実施の形態の基板処理装置１０１を使用してＧａＮを形成するプロセスも第１の実施の形態と同じである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
ヒータ４２４、４２５、４２６を８０℃に設定し、固体原料４００を原料補充カートリッジ４７０から固体原料タンク３００に充填後１２時間経過後、バルブ４８０を閉じ、バルブ４８３、４８４を閉じ、バルブ４８６を開けて、原料補充カートリッジ４７０内のパージを停止する。バルブ２６８、４８７を閉じて、パージガスを封入する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
（付記３１）
本発明の好ましいさらに他の態様によれば、
固体原料補充容器と、前記容器の開口部に取り付けられたバタフライバルブとを備える固体原料補充用カートリッジが提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６１】
（付記３２）
本発明の好ましいさらに他の態様によれば、
固体原料補充容器と、
前記固体原料補充容器を取り付ける取付部と、
前記固体原料補充容器にパージガスを導入するパージガス導入部と、
前記固体原料補充容器からパージガスを排出するパージガス排出部と、
を備える固体原料補充用カートリッジが提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
（付記３３）
付記３２の固体原料補充用カートリッジであって、好ましくは、前記固体原料補充容器のパージガス導入部は、前記固体原料補充容器が取り付けられた際の前記固体原料補充容器の下部に接続され、前記固体原料補充容器のパージガス排出部は、前記固体原料補充容器が取り付けられた際の前記固体原料補充容器の上部に接続されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６３】
（付記３４）
付記３３の固体原料補充用カートリッジであって、好ましくは、前記パージガス導入部は、前記固体原料補充容器が取り付けられた際の前記固体原料補充容器の下部に接続された第１の配管と、前記第１の配管に設けられた第１のバルブとを備え、前記パージガス排出部は、前記固体原料補充容器が取り付けられた際の前記固体原料補充容器の上部に接続された第２の配管と、前記第２の配管に設けられた第２のバルブとを備えている。