【手続補正書】
【提出日】平成26年5月29日(2014.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性材料基板に対して相対的に移動させられることによって前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成するスクライビングホイールであって、
(ａ)円盤状の本体部と、
(ｂ)前記本体部の外周に設けられた円環状の刃と、
前記刃の最外周部に沿って設けられた刃先と、
を備え、
(ｃ)前記刃の厚さは、前記本体部の中心から前記刃先に向かって小さくなるとともに、
前記刃先は、前記刃の側面を形成する２つの斜面のそれぞれと接続された角丸面を有し、前記角丸面が、前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成する際の前記脆性材料基板との接触部であることを特徴とするスクライビングホイール。
【請求項２】
請求項１に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記スクライビングホイールはダイヤモンド含有物により成形されており、前記ダイヤモンド含有物は、多結晶体ダイヤモンドであり、
前記多結晶体ダイヤモンドは、微細な結晶粒組織または非晶質、を有するグラファイト型炭素物質を出発物質として、超高圧高温下で直接的にダイヤモンドに変換焼結されており、実質的にダイヤモンドのみからなることを特徴とするスクライビングホイール。
【請求項３】
請求項１に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記スクライビングホイールはダイヤモンド含有物により成形されており、前記ダイヤモンド含有物は、焼結ダイヤモンドであり、
前記焼結ダイヤモンドは、
６５．０〜７５．０重量％のダイヤモンドと、
３．０〜１０．０重量％の超微粒子炭化物と、
残部の結合材と、
を含み、
前記ダイヤモンドの平均粒子径は、０．１〜５．０μｍの範囲であり、
前記結合材は、コバルトを主成分とする鉄系金属であることを特徴とするスクライビングホイール。
【請求項４】
請求項３に記載のスクライビングホイールにおいて、
前記超微粒子炭化物は、
６．０〜８．０重量％の範囲であるとともに、
１．０〜４．０重量％の炭化チタンと、残部の炭化タングステンと、を含むことを特徴とするスクライビングホイール。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のスクライビングホイールを、前記脆性材料基板に対し、前記角丸面が、前記脆性材料基板との接触部となるように圧接転動させることによって、前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成するスクライブユニットと、
前記脆性材料基板を保持しつつ移動させることによって、前記脆性材料基板を前記スクライブユニットに対して相対的に移動させる保持ユニットと、
を備えることを特徴とするスクライブ装置。
【請求項６】
円環状の刃を備えるスクライビングホイールによって脆性材料基板上にスクライブラインを形成する方法であって、
(a)前記刃を前記脆性材料基板と接触させることによって、前記ツールから前記脆性材料基板に力を付与する工程と、
(b)前記刃を前記脆性材料基板に接触させた状態で、前記ツールを前記脆性材料基板に対して相対的に移動させることによって、前記脆性材料基板にスクライブラインを形成する工程と、
を備え、
前記刃の最外周部に沿って設けられた刃先が、前記刃の側面を形成する２つの斜面のそれぞれと接続された曲面形状の角丸面を有し、
前記工程(a)においては、前記角丸面を前記脆性材料基板と接触させることによって、
前記角丸面から前記脆性材料基板に力を付与し、
前記工程(b)においては、前記角丸面が前記脆性材料基板と接触させられる状態を保って前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板に対して相対的に圧接転動させる、
ことを特徴とするスクライブ方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】スクライビングホイール、スクライブ装置およびスクライブ方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
脆性材料基板に対して相対的に移動させられることによって脆性材料基板上にスクライブラインを形成するスクライビングホイール、このスクライビングホイールを有するスクライブ装置およびこのスクライビングホイールを用いたスクライブ方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで、本発明では、脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるスクライビングホイール、このスクライビングホイールを有するスクライブ装置およびこのスクライビングホイールを用いたスクライブ方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、脆性材料基板に対して相対的に移動させられることによって前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成するスクライビングホイールであって、(a)円盤状の本体部と、(b)前記本体部の外周に設けられた円環状の刃と、(c)前記刃の最外周部に沿って設けられた刃先とを備え、前記刃の厚さは、前記本体部の中心から前記刃先に向かって小さくなるとともに、前記刃先は、前記刃の側面を形成する２つの斜面のそれぞれと接続された角丸面を有し、前記角丸面が、前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成する際の前記脆性材料基板との接触部であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のスクライビングホイールにおいて、前記スクライビングホイールはダイヤモンド含有物により成形されており、前記ダイヤモンド含有物は、多結晶体ダイヤモンドであり、前記多結晶体ダイヤモンドは、微細な結晶粒組織または非晶質、を有するグラファイト型炭素物質を出発物質として、超高圧高温下で直接的にダイヤモンドに変換焼結されており、実質的にダイヤモンドのみからなることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、請求項３の発明は、請求項１に記載のスクライビングホイールにおいて、前記スクライビングホイールはダイヤモンド含有物により成形されており、前記ダイヤモンド含有物は、焼結ダイヤモンドであり、前記焼結ダイヤモンドは、６５．０〜７５．０重量％のダイヤモンドと、３．０〜１０．０重量％の超微粒子炭化物と、残部の結合材とを含み、前記ダイヤモンドの平均粒子径は、０．１〜５．０μｍの範囲であり、前記結合材は、コバルトを主成分とする鉄系金属であることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載のスクライビングホイールを、前記脆性材料基板に対し、前記角丸面が、前記脆性材料基板との接触部となるように圧接転動させることによって、前記脆性材料基板上にスクライブラインを形成するスクライブユニットと、前記脆性材料基板を保持しつつ移動させることによって、前記脆性材料基板を前記スクライブユニットに対して相対的に移動させる保持ユニットとを備えることを特徴とする。また、請求項６の発明は、円環状の刃を備えるスクライビングホイールによって脆性材料基板上にスクライブラインを形成する方法であって、(a)前記刃を前記脆性材料基板と接触させることによって、前記ツールから前記脆性材料基板に力を付与する工程と、(b)前記刃を前記脆性材料基板に接触させた状態で、前記ツールを前記脆性材料基板に対して相対的に移動させることによって、前記脆性材料基板にスクライブラインを形成する工程と、を備え、前記刃の最外周部に沿って設けられた刃先が、前記刃の側面を形成する２つの斜面のそれぞれと接続された曲面形状の角丸面を有し、前記工程(a)においては、前記角丸面を前記脆性材料基板と接触させることによって、前記角丸面から前記脆性材料基板に力を付与し、前記工程(b)においては、前記角丸面が前記脆性材料基板と接触させられる状態を保って前記スクライビングホイールを前記脆性材料基板に対して相対的に圧接転動させる、ことを特徴とする。