(57)【要約】【課題】板状部材の表裏面に貼着された保護フィルムを簡便な構成で、かつ低コストで剥離することができるフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】フィルム剥離装置１００は、シート材５を縦姿勢に保持して、一方の保護フィルム１を剥離する第１剥離部２０、第１剥離部２０で剥離した保護フィルム１を巻き取る第１巻き取り部４１、第１剥離部２０よりも所定長上方に設けられ、他方の保護フィルム２を横方向へ案内して剥離する第２剥離部３０、第２剥離部３０で剥離した保護フィルム２を巻き取る第２巻き取り部４２などを備える。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
貼り合わされた２枚の帯状のフィルムの間に各平面が該フィルムに貼着された複数の板状部材を該フィルムの長手方向に沿って離隔して設けてなるシート材の前記フィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、
前記シート材を縦姿勢に保持して、一方のフィルムを剥離する第１剥離部と、
該第１剥離部で剥離したフィルムを巻き取る第１巻き取り部と、
前記第１剥離部よりも所定長上方に設けられ、他方のフィルムを横方向へ案内して剥離する第２剥離部と、
該第２剥離部で剥離したフィルムを巻き取る第２巻き取り部と
を備えることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
前記第１剥離部は、
前記シート材を保持するため縦方向に沿って設けられた第１保持板と、
該第１保持板の終端側に設けられ前記一方のフィルムを剥離するための剥離板と
を備え、
前記第２剥離部は、
前記シート材の厚みより広い間隔を設けて前記第１保持板と対設された第２保持板と、
該第２保持板の終端側に設けられ前記他方のフィルムを剥離するとともに横方向へ案内する案内板と
を備え、
前記第１及び第２巻き取り部は、
フィルムを巻き取るための円筒状のロール部を有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記所定長は、
３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記所定長は、
前記板状部材の離隔寸法以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記第１及び第２巻き取り部でフィルムを巻き取る場合に、前記板状部材が前記横方向へ傾いたことを検出する第１検出部と、
該第１検出部で板状部材が傾いたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを停止する停止部と
を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項６】
前記第１検出部で検出した板状部材が取り除かれたことを検出する第２検出部と、
該第２検出部で板状部材が取り除かれたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを再開する再開部と
を備えることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置。
【請求項７】
前記第１検出部で検出した板状部材を取り出すための真空ピンセット又は挟持部を備えることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のフィルム剥離装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、液晶板、偏光板等の板状部材の表裏面に貼着して使用される連続した保護フィルムの剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、パーソナルコンピュータ、携帯端末装置、電卓等の液晶ディスプレイ等の板状部品、例えば液晶板、偏光板、導光板、前面板、裏面板等、あるいはその他の精密板状部品（以下、板状部材とも称する）の表面には、樹脂製のフィルムが保護フィルムとして貼着されている。これは、製造、搬送、あるいは保管等の際に、板状部材の表面が損傷されること、あるいは表面にゴミ又は埃等が付着して汚染されることを防止するためである。また、これらの板状部材をトレイなどの輸送容器に収容して輸送する場合に比べて、梱包密度を大きくすることができ、輸送コスト又は保管コストを低減することができるので、板状部材の表面に保護フィルムを貼着する方法が活用されている。
【０００３】
このような保護フィルムは、樹脂製フィルムに粘着剤が積層された構成をなし、通常ロール状に巻き取られて供給される。保護フィルムを板状部材に貼着する際には、ロールから粘着剤が付いたフィルムを繰り出して、板状部材の所定の部分に貼着する。そして、板状部材を使用する時点では保護フィルムを剥離する必要があるので、板状部材には粘着剤等で剥離可能に貼着されている。
【０００４】
保護フィルムを剥離する方法として、例えば、偏光板のような少なくとも１つの頂点部を有する形状の板状部材に付着している同一形状の保護フィルム（保護シート）を、張力を加えて長尺状の粘着テープを用いて剥離する際に保護フィルムの対角線方向に変異させて剥離方法が開示されている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、板材に貼着されたカバーフィルムを剥離する方法として、送りローラ上の板材に対して、粘着テープを巻き掛けた押圧ローラを押圧して、カバーフィルム先端部を押圧ローラに一定角度巻き取ることによって、当該先端部を板材から剥離し、その後、剥離された先端部をフィルムクランパによって挟持して、カバーフィルム全体を板材から引き剥がす剥離方法が開示されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１１４３８４号公報
【特許文献２】特開平６−２７８９３６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の方法にあっては、別箇独立の板状部材それぞれから保護フィルムをその都度剥離するので、板状部材１つ当たりに要する剥離作業時間が長くなり、作業効率が不十分である。また、特許文献２の方法では、装置が大型化し複雑で高コストになるという問題がある。また、特許文献１、２いずれの方法も、保護フィルムを剥離するための剥離用フィルムを必要とするので、コスト上昇の要因となり好ましくない。
【０００８】
本考案は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、板状部材の表裏面に貼着された保護フィルムを簡便な構成で、かつ低コストで剥離することができるフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１考案に係るフィルム剥離装置は、貼り合わされた２枚の帯状のフィルムの間に各平面が該フィルムに貼着された複数の板状部材を該フィルムの長手方向に沿って離隔して設けてなるシート材の前記フィルムを剥離するフィルム剥離装置であって、前記シート材を縦姿勢に保持して、一方のフィルムを剥離する第１剥離部と、該第１剥離部で剥離したフィルムを巻き取る第１巻き取り部と、前記第１剥離部よりも所定長上方に設けられ、他方のフィルムを横方向へ案内して剥離する第２剥離部と、該第２剥離部で剥離したフィルムを巻き取る第２巻き取り部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
第２考案に係るフィルム剥離装置は、第１考案において、前記第１剥離部は、前記シート材を保持するため縦方向に沿って設けられた第１保持板と、該第１保持板の終端側に設けられ前記一方のフィルムを剥離するための剥離板とを備え、前記第２剥離部は、前記シート材の厚みより広い間隔を設けて前記第１保持板と対設された第２保持板と、該第２保持板の終端側に設けられ前記他方のフィルムを剥離するとともに横方向へ案内する案内板とを備え、前記第１及び第２巻き取り部は、フィルムを巻き取るための円筒状のロール部を有することを特徴とする。
【００１１】
第３考案に係るフィルム剥離装置は、第１考案又は第２考案において、前記所定長は、３ｍｍ以上であることを特徴とする。
【００１２】
第４考案に係るフィルム剥離装置は、第１考案乃至第３考案のいずれか１つにおいて、前記所定長は、前記板状部材の離隔寸法以下であることを特徴とする。
【００１３】
第５考案に係るフィルム剥離装置は、第１考案乃至第４考案のいずれか１つにおいて、前記第１及び第２巻き取り部でフィルムを巻き取る場合に、前記板状部材が前記横方向へ傾いたことを検出する第１検出部と、該第１検出部で板状部材が傾いたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを停止する停止部とを備えることを特徴とする。
【００１４】
第６考案に係るフィルム剥離装置は、第５考案において、前記第１検出部で検出した板状部材が取り除かれたことを検出する第２検出部と、該第２検出部で板状部材が取り除かれたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを再開する再開部とを備えることを特徴とする。
【００１５】
第７考案に係るフィルム剥離装置は、第５考案又は第６考案において、前記第１検出部で検出した板状部材を取り出すための真空ピンセット又は挟持部を備えることを特徴とする。
【００１６】
第１考案にあっては、帯状の貼りあわされたフィルムを縦姿勢に保持し、一方のフィルムを第１巻き取り部で巻き取りつつ、第１剥離部で板状部材の表面（平面）から剥離する。また、他方のフィルムを第２巻き取り部で巻き取りつつ第２剥離部で板状部材の表面（平面）から剥離して横方向へ案内する。第２剥離部は、第１剥離部よりも所定長上方に設けられているので、第１剥離部で一方のフィルムが板状部材から完全に剥離された時点でも、所定長の長さ分だけ他方のフィルムは板状部材から剥離されずに貼着された状態となっており、板状部材は縦方向に保持された状態にある。
【００１７】
第１及び第２巻き取り部でさらにフィルムを巻き取ると、他方のフィルムが板状部材に貼着された上下方向（縦方向）の長さが次第に短くなり、板状部材は上下方向を維持できなくなり、自重と他方のフィルムの横方向への移動に伴って横方向に傾き、横方向に案内された他方のフィルム上に載置される。そして、フィルム上に載置された板状部材を取り出すことができる。これにより、簡便な構成で、かつ低コストで板状部材の表裏面に貼着された２つのフィルムを板状部材から剥離することができる。
【００１８】
第２考案にあっては、第１剥離部は、シート材を縦姿勢に保持するため縦方向に沿って設けられた第１保持板と、第１保持板の終端側に設けられ一方のフィルムを剥離するための剥離板とを備える。また、第２剥離部は、シート材の厚みより広い間隔を設けて第１保持板と対設された第２保持板と、第２保持板の終端側に設けられ他方のフィルムを剥離するとともに横方向へ案内する案内板とを備える。第１及び第２巻き取り部は、フィルムを巻き取るための円筒状のロール部を有する。これにより、簡便な構成で、かつ低コストで板状部材の表裏面に貼着された２つのフィルムを板状部材から剥離することができる。
【００１９】
第３考案にあっては、所定長は、３ｍｍ以上である。所定長が３ｍｍ未満である場合、一方のフィルムと他方のフィルムとがほぼ同時点で板状部材から剥離されるので、フィルムが剥離された板状部材の傾く方向が不安定となり、板状部材が第１巻き取り部へ進むという異常の原因となる。所定長を３ｍｍ以上にすることにより、一方のフィルムが板状部材から完全に剥離された状態でも、他方のフィルムが一部貼着した板状部材を上下方向に保持することができる。また、他方の保護フィルムを剥離した板状部材が、常に横方向へ案内された他方のフィルムの方へ傾くので、板状部材を確実に取り出すことができる。
【００２０】
第４考案にあっては、所定長は、板状部材の離隔寸法以下である。所定長が板状部材の離隔寸法より大きい場合、１つ目の板状部材の両フィルムが剥離されて当該板状部材が他方のフィルム上に載置された状態で、２つ目（次の）板状部材の上方部分は、第１剥離部より上方に出ているので、一方のフィルムが当該板状部材の上方部分で剥離されている。この状態で、１つ目の板状部材の取り出しにある程度の取り出し時間を要する場合、その時間の間、２つの目の板状部材のフィルムが剥離された部分が周囲の雰囲気中（例えば、空気）に曝されることになり、ゴミ又は埃が付着する可能性が高くなる。所定長を板状部材の離隔寸法以下にすることにより、板状部材の両フィルムの剥離が終了した時点で次の板状部材の剥離が始まっていないので、ゴミ又は埃が付着する可能性を低くすることができる。
【００２１】
第５考案にあっては、第１検出部は、第１及び第２巻き取り部でフィルムを巻き取る場合に、板状部材が横方向へ傾いたことを検出する。第１検出部は、例えば、光電管検知器、透過型光電スイッチ、反射型光電スイッチなどの非接触の光電式のセンサを用いることができる。停止部は、第１検出部で板状部材が傾いたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを停止する。板状部材から両フィルムが剥離された後、フィルムの巻き取りを停止させて、板状部材を取り出すことができる。なお、板状部材の取り出しは、自動でも手動でもよい。
【００２２】
第６考案にあっては、第２検出部は、第１検出部で検出した板状部材が取り除かれたことを検出する。第２検出部は、例えば、光電管検知器、透過型光電スイッチ、反射型光電スイッチなどの非接触の光電式のセンサを用いることができる。再開部は、第２検出部で板状部材が取り除かれたことを検出した場合、前記第１及び第２巻き取り部での巻き取りを再開する。これにより、連続して板状部材からフィルムを剥離することができる。
【００２３】
第７考案にあっては、第１検出部で検出した板状部材を取り出すための真空ピンセット又は挟持部を備える。これにより、フィルムが剥離された板状部材を自動で取り出すことができる。
【考案の効果】
【００２４】
本考案によれば、簡便な構成で、かつ低コストで板状部材の表裏面に貼着された２つのフィルムを板状部材から剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施の形態のフィルム剥離装置でフィルムを剥離するシート材の一例を示す説明図である。
【図２】本実施の形態のフィルム剥離装置の構成の一例を示す要部外観斜視図である。
【図３】本実施の形態のフィルム剥離装置による保護フィルムの剥離の様子を示す説明図である。
【図４】本実施の形態のフィルム剥離装置による保護フィルムの剥離の様子を示す説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００２６】
以下、本考案に係るフィルム剥離装置の実施の形態を示す図面に基づいて説明する。図１は本実施の形態のフィルム剥離装置１００でフィルムを剥離するシート材５の一例を示す説明図であり、図２は本実施の形態のフィルム剥離装置１００の構成の一例を示す要部外観斜視図である。図１に示すように、シート材５は、貼り合わされた２枚の帯状のフィルム１、２の間に各平面が保護フィルム（フィルム）１、２に貼着された複数の板状部材３を保護フィルム１、２の長手方向に沿って離隔して設けてなる。保護フィルム１、２には剥離が可能な程度の粘着力を有する粘着剤が積層してある。それぞれの板状部材３は、離隔寸法ｄだけ離隔して配置されている。
【００２７】
板状部材３は、携帯電話、パーソナルコンピュータ、携帯端末装置、電卓等の液晶ディスプレイ等の板状部品、例えば液晶板、偏光板、導光板、前面板、裏面板等、あるいはその他の精密板状部品などであり、表面にゴミ又は埃が付着しないようにする必要がある部材である。なお、板状部材の形状は、矩形状に限定されるものではなく、楕円形状、円形状、三角形状、五角形以上の多角形状であってもよい。
【００２８】
図２に示すように、本実施の形態のフィルム剥離装置１００は、シート材５を縦姿勢に保持して、一方の保護フィルム１を剥離する第１剥離部２０、第１剥離部２０で剥離した保護フィルム１を巻き取る第１巻き取り部４１、第１剥離部２０よりも所定長（図１中符号Ｄで示す長さ）上方に設けられ、他方の保護フィルム２を横方向へ案内して剥離する第２剥離部３０、第２剥離部３０で剥離した保護フィルム２を巻き取る第２巻き取り部４２などを備える。
【００２９】
第１剥離部２０は、シート材５を縦姿勢に保持するため縦方向に沿って設けられた第１保持板１０、第１保持板１０の終端側に設けられ一方の保護フィルム１を剥離するための剥離板２１など備える。また、第２剥離部３０は、シート材５の厚みより広い間隔（スリット）１１を設けて第１保持板１０と対設された第２保持板１２、第２保持板１２の終端側に設けられ他方の保護フィルム２を剥離するとともに横方向へ案内する案内板３１などを備える。また、第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２それぞれは、保護フィルム１、２を巻き取るための円筒状のロール部４１１、４２１を有する。これにより、簡便な構成で、かつ低コストで板状部材の表裏面に貼着された２つの保護フィルムを板状部材３から剥離することができる。
【００３０】
第１剥離部２０は、保護フィルム１、２の幅よりも大きい寸法の幅を有し、保護フィルム１を剥離する剥離板２１を有する。隙間１１の出口から引き出された保護フィルム１は、剥離板２１上を移動して第１巻き取り部４１で巻き取られる。
【００３１】
第２剥離部３０は、保護フィルム１、２の幅よりも大きい寸法の幅を有し、保護フィルム２を案内する案内板３１を有する。案内板３１は、隙間１１の終端側（出口側）から横方向（略水平方向）へ延設してある。隙間１１の出口から引き出された保護フィルム２は、案内板３１上を移動して第２巻き取り部４２で巻き取られる。
【００３２】
また、案内板３１の表面の水平位置は、剥離板２１の表面の水平位置よりも寸法Ｄだけ高くしている。寸法Ｄは、３ｍｍ以上であって、板状部材３の離隔寸法ｄ以下にしてある。
【００３３】
案内板３１の近傍には、第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２で保護フィルム１、２を巻き取る場合に、板状部材３が上下方向から横方向へ傾いたことを検出する第１検出部としてのセンサ５１を設けてある。センサ５１としては、例えば、光電管検知器、透過型光電スイッチ、反射型光電スイッチなどの非接触の光電式のセンサを用いることができる。
【００３４】
案内板３１の近傍には、案内板３１上の保護フィルム２上に倒れて載置した状態になった板状部材３を取り出すための真空ピンセット５３を設けてある。なお、板状部材３を取り出すには、真空ピンセット５３に代えて板状部材３を掴む挟持部を設けることもできる。
【００３５】
また、案内板３１の近傍には、真空ピンセット５３で板状部材を取り出したことを検出するためのセンサ５２を設けてある。センサ５２としては、センサ５１と同様に、例えば、光電管検知器、透過型光電スイッチ、反射型光電スイッチなどの非接触の光電式のセンサを用いることができる。また、センサ５２をセンサ５１で兼用することもできる。
【００３６】
第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２は、保護フィルム１、２を巻き取るための円筒状のロール部４１１、４２１を有する。
【００３７】
制御部６０は、センサ５１、５２で検出した信号に基づいて、第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２の巻き取り動作の停止、再開などを制御する。
【００３８】
次に、本実施の形態のフィルム剥離装置１００の動作について説明する。図３及び図４は本実施の形態のフィルム剥離装置１００による保護フィルム１、２の剥離の様子を示す説明図である。なお、図３、図４では、図２で例示した構成の要部のみ図示している。
【００３９】
第１巻き取り部４１、第２巻き取り部４２で保護フィルム１、２の巻き取り動作を開始する前の準備として、図３（ａ）に示すように、フィルム剥離装置１００の下部にシート材５を適長の長さで折り畳んだ状態で置き（図２参照）、シート材５を上方に持ち上げて隙間１１に通す。そして、隙間１１を通したシート材の一方の保護フィルム１を手で剥離し、剥離板２１に沿って横方向に引っ張り、保護フィルム１の一部を第１巻き取り部４１に券回させておく。
【００４０】
同様に、隙間１１を通したシート材の他方の保護フィルム２を手で剥離し、案内板３１に沿って横方向に引っ張り、保護フィルム２の一部を第２巻き取り部４２に券回させておく。なお、このためには、シート材５の端部から適当な長さ（例えば、数十ｃｍ〜数ｍ程度）部分には、板状部材３を配置していない箇所を予め作っておくことが好ましい。
【００４１】
図３（ｂ）に示すように、第１巻き取り部４１、第２巻き取り部４２を動作させて保護フィルム１、２を巻き取り始めると、板状部材３は、保護フィルム１、２と一緒に上方へ移動する。図３（ｂ）は、一方の保護フィルム１の剥離が開始され、他方の保護フィルム２の剥離が未だ開始されていない状態を示す。
【００４２】
図３（ｃ）に示すように、さらに第１巻き取り部４１、第２巻き取り部４２の動作を続けると、板状部材３は、さらに上方へ移動し、一方の保護フィルム１が完全に板状部材３から剥離される。この時点では、第２剥離部３０が第１剥離部よりも所定長Ｄだけ上方に位置しているので、所定長Ｄの長さ分だけ他方の保護フィルム２は板状部材３から剥離されずに貼着された状態となっており、板状部材３は上下方向に保持された状態にある。
【００４３】
図４（ｄ）に示すように、さらに第１巻き取り部４１、第２巻き取り部４２の動作を続けると、他方の保護フィルム２が板状部材３に貼着している箇所の長さが次第に短くなり、すなわち貼着面積が少なくなり、板状部材３は上下方向を維持できなくなり、自重と他方の保護フィルム２の横方向への移動に伴って横方向に傾き始める。
【００４４】
そして、図４（ｅ）に示すように、板状部材３は、横方向に案内された他方の保護フィルム２上に載置される。そして、保護フィルム２上に載置された板状部材３を、真空ピンセット５３で取り出すことができる。これにより、簡便な構成で、かつ低コストで板状部材３の表裏面に貼着された２つの保護フィルム１、２を板状部材３から剥離することができる。
【００４５】
上述の実施の形態において、所定長Ｄは、３ｍｍ以上である。所定長Ｄが３ｍｍ未満である場合、一方の保護フィルム１と他方の保護フィルム２とがほぼ同時点で板状部材３から剥離されるので、板状部材３の傾く方向が不安定となり、板状部材３が第１巻き取り部４１へ進むという異常の原因となる。所定長Ｄを３ｍｍ以上にすることにより、一方の保護フィルム１が板状部材３から完全に剥離された状態でも、他方の保護フィルム２が一部貼着した板状部材３を上下方向に保持することができる。また、他方の保護フィルム２を剥離した板状部材３が、常に横方向へ案内された他方の保護フィルム２の方へ傾くので、板状部材３を確実に取り出すことができる。
【００４６】
また、所定長Ｄは、板状部材３の離隔寸法ｄ以下である。所定長Ｄが板状部材３の離隔寸法ｄより大きい場合、１つ目の板状部材３の両保護フィルム１、２が剥離されて当該板状部材３が他方の保護フィルム２上に載置された状態で、２つ目（次の）板状部材３の上方部分は、第１剥離部２０より上方に出ているので、一方の保護フィルム１が当該板状部材３の上方部分で剥離されている。この状態で、１つ目の板状部材３の取り出し作業にある程度の取り出し時間を要する場合、その時間の間、２つ目の板状部材３の保護フィルム１が剥離された部分が周囲の雰囲気中（例えば、空気）に曝されることになり、ゴミ又は埃が付着する可能性が高くなる。所定長Ｄを板状部材３の離隔寸法ｄ以下にすることにより、図４（ｅ）に示すように、板状部材３の両保護フィルム１、２の剥離が終了した時点で次の板状部材３の剥離が始まっていないので、ゴミ又は埃が付着する可能性を低くすることができる。
【００４７】
制御部６０は、センサ５１で板状部材３が傾いたことを検出した場合、第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２での巻き取りを停止するように制御する。板状部材３から両保護フィルム１、２が剥離された後、保護フィルム１、２の巻き取りを停止させて、板状部材３を取り出すことができる。なお、板状部材３の取り出しは、自動でも手動でもよい。
【００４８】
また、制御部６０は、センサ５２で板状部材３が取り除かれたことを検出した場合、第１巻き取り部４１及び第２巻き取り部４２での巻き取りを再開する。これにより、連続して板状部材３から保護フィルム１、２を剥離することができ、剥離作業の時間を短縮することができる。
【００４９】
上述のように、本実施の形態によれば、簡便な装置で保護フィルムの剥離が可能となり、しかも連続的に剥離を行うことができるので、作業性が向上し、低コストで剥離作業を行うことができる。また、板状部材が輸送中、保管中、製造工程等で傷が付くこと、ゴミ又は埃が付着することも防止することができる。
【００５０】
上述の実施の形態では、２つの保持板の間の隙間にシート材を通す構成であったが、これに限定されるものではなく、シート材の厚み程度の間隔を設けて搬送ローラを対向させて複数個所配置してもよい。
【００５１】
上述の実施の形態では、第１剥離部の剥離板は、略水平面に沿って設けられているが、当該剥離板の表面の配置は、略水平方向に限定されない。一方、第２剥離部の案内板は、保護フィルムが剥離された板状部材を取り出すために一旦保持する場所であるので、略水平方向が望ましい。
【符号の説明】
【００５２】
１  保護フィルム（一方の保護フィルム）
２  保護フィルム（他方の保護フィルム）
３  板状部材
１０  第１保持板
１１  隙間
１２  第２保持板
２０  第１剥離部
２１  剥離板
３０  第２剥離部
３１  案内板
４１  第１巻き取り部
４２  第２巻き取り部
５１  センサ（第１検出部）
５２  センサ（第２検出部）
５３  真空ピンセット
６０  制御部（停止部、再開部）
【図１】
0003163386.tif 000003
【図２】
0003163386.tif 000004
【図３】
0003163386.tif 000005
【図４】
0003163386.tif 000006