【手続補正書】
【提出日】平成26年10月21日(2014.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた構造を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
貼り合わされる前のオリフィスプレートは、前記オリフィスプレートと前記流路部材とが貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を複数有し、
前記貼り合わされる面における、この複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、
前記貼り合わせによって前記流路部材と重なる領域で、かつ、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、このオリフィスプレートの部分について、
前記オリフィスプレートの部分の体積に対する、前記オリフィスプレートの部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、８．７％以上であり、
工程１：前記エネルギー発生素子が形成された基板の表面上に流路部材形成用材料を塗布し、パターニングして流路部材を形成する工程と、
工程２：前記オリフィスプレートを前記流路部材上に積層する工程と、
工程３：前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度以上に加熱する工程と、
工程４：前記流路部材の温度をガラス転移温度以上に維持した状態で、前記オリフィスプレートと、前記流路部材と、前記基板とを一括して、前記基板の表面に対して加圧することで、前記流路部材を圧縮し、前記オリフィスプレートと、前記流路部材とを貼り合わせる工程と、
工程５：加圧を停止する工程と、
をこの順に含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記流路部材が、感光性を有する有機樹脂で構成される請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記オリフィスプレートが、無機材料で構成される請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記無機材料が、ニッケル、パラジウム、金、白金、鉄、タンタル、タングステン、およびステンレスからなる群から選ばれる少なくとも１つの金属である請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記工程３において、前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度（℃）の１．２５倍以上の温度（℃）に加熱する請求項１から４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドを構成するオリフィスプレートが、複数の前記吐出口を有し、前記複数の空隙が、前記複数の吐出口の配列方向に対して垂直な方向に配列している請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記複数の空隙がいずれも、前記オリフィスプレートに形成された吐出口よりも小さい径を有する請求項１から６のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた液滴吐出ヘッドであって、
貼り合わされる前のオリフィスプレートは、貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を複数有し、
この複数の空隙の近傍に比べて、その他の領域での前記流路部材の厚さが厚く、かつ、前記オリフィスプレートが、前記流路部材の表面形状に沿って貼り合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記貼り合わされる前のオリフィスプレートが、複数の前記空隙を有し、
前記貼り合わされる面における、前記複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、
前記貼り合わせによって前記流路部材と重なる領域で、かつ、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、このオリフィスプレートの部分について、
前記オリフィスプレートの部分の体積に対する、前記オリフィスプレートの部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、８．７％以上である請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記液滴吐出ヘッドを構成するオリフィスプレートが、複数の前記吐出口を有し、前記複数の空隙が、前記複数の吐出口の配列方向に対して垂直な方向に配列している請求項８または９に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記複数の空隙がいずれも、前記オリフィスプレートに形成された吐出口よりも小さい径を有する請求項８から１０のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記目的を達成するための第一の発明は以下の特徴を有する液滴吐出ヘッドの製造方法である。
液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた構造を有する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、貼り合わされる前のオリフィスプレートは、前記オリフィスプレートと前記流路部材とが貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を複数有し、前記貼り合わされる面における、この複数の空隙の各中心とその中心が一致する長方形であって、前記複数の空隙の各中心と、隣接する他の空隙の中心との間の中点を通る辺を有する、各空隙に対応する長方形において、前記貼り合わせによって前記流路部材と重なる領域で、かつ、前記複数の空隙の各空隙に対応する前記長方形を全て連結した領域によって画定される、このオリフィスプレートの部分について、前記オリフィスプレートの部分の体積に対する、前記オリフィスプレートの部分に含まれる前記複数の空隙の合計体積の割合が、８．７％以上であり、
工程１：前記エネルギー発生素子が形成された基板の表面上に流路部材形成用材料を塗布し、パターニングして流路部材を形成する工程と、
工程２：前記オリフィスプレートを前記流路部材上に積層する工程と、
工程３：前記流路部材を、その流路部材のガラス転移温度以上に加熱する工程と、
工程４：前記流路部材の温度をガラス転移温度以上に維持した状態で、前記オリフィスプレートと、前記流路部材と、前記基板とを一括して、前記基板の表面に対して加圧することで、前記流路部材を圧縮し、前記オリフィスプレートと、前記流路部材とを貼り合わせる工程と、
工程５：加圧を停止する工程と、
をこの順に含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また第二の発明は、以下の特徴を有する液滴吐出ヘッドである。
液体にエネルギーを与え吐出口から液滴を吐出させ得るエネルギー発生素子が形成された基板と、前記吐出口が形成されたオリフィスプレートとが、液体が流れる領域である液体流路のパターンを形成する流路部材を介して貼り合わされた液滴吐出ヘッドであって、貼り合わされる前のオリフィスプレートは、貼り合わされる面に、前記吐出口とは別の貫通穴、および窪みの少なくとも一方の空隙を複数有し、この複数の空隙の近傍に比べて、その他の領域での前記流路部材の厚さが厚く、かつ、前記オリフィスプレートが、前記流路部材の表面形状に沿って貼り合されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
なお、本発明により製造された液滴吐出ヘッドは、プリンタ、ディスプレイ部品の製造装置、医療用吸入器などに使用することができる。
以下の本発明に関する説明には、参考となる液滴吐出ヘッドおよびその製造方法に関する説明も含まれている。