【手続補正書】
【提出日】平成26年9月22日(2014.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光により物体を照明する照明光学装置であって、
前記照明光の光路に配置され、前記照明光を偏向させる光偏向機構と、
前記光偏向機構からの前記照明光の光路に配置されたレンズと、
前記レンズからの前記照明光の光路に配置された複屈折材料を含む複屈折部材と、
前記複屈折部材と前記照明光学装置の瞳面との間における前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレーターと、
を備え、
前記複屈折部材は、実質的に一方向に偏光した第１の直線偏光状態で前記複屈折部材に入射する前記照明光が前記瞳面において前記照明光学装置の光軸周りの円周方向に偏光した第２の直線偏光状態になるように、前記照明光の偏光状態を変化させ、
前記光偏向機構は、前記照明光の偏向角および偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより前記瞳面における前記照明光の分布領域を変更可能である、
照明光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の照明光学装置において、
前記光偏向機構は、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記光軸周りの輪帯領域と前記光軸周りの実質的に離散的な複数の領域との間で相互に変更可能である、照明光学装置。
【請求項３】
請求項１に記載の照明光学装置において、
前記光偏向機構は、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記光軸周りの実質的に離散的な複数の領域からなる第１の複数領域と第２の複数領域との間で相互に変更可能であり、前記第１の複数領域と前記第２の複数領域とは互いに異なる領域を含む、照明光学装置。
【請求項４】
請求項１に記載の照明光学装置において、
前記光偏向機構は、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記物体に対して輪帯照明を行うための領域と前記物体に対して複数極照明を行うための領域との間で相互に変更可能である、照明光学装置。
【請求項５】
請求項１に記載の照明光学装置において、
前記光偏向機構は、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記物体に対して第１の複数極照明を行うための領域と第２の複数極照明を行うための領域との間で相互に変更可能であり、前記第１の複数極照明と前記第２の複数極照明とは互いに異なる照明である、照明光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の照明光学装置において、
前記第１の複数極照明は２極照明であり、前記第２の複数極照明は４極照明である、照明光学装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記複屈折部材は、前記光軸に平行な方向の厚さが前記光軸周りの周方向に沿った位置に対して連続的に変化する厚さ形状を有する、照明光学装置。
【請求項８】
請求項７に記載の照明光学装置において、
前記複屈折部材は、前記厚さが前記周方向に沿った位置に対して、互いに異なる第１の厚さと第２の厚さとの間で連続的に変化する厚さ形状を有し、
前記第１及び第２の厚さは、前記照明光のうち前記第１の厚さを通過した第１光束の前記瞳面での偏光方向と、前記照明光のうち前記第２の厚さを通過した第２光束の前記瞳面での偏向方向とが、互いに直交するように設定されている、照明光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の照明光学装置において、
前記厚さ形状は、前記厚さが前記周方向に沿った位置に対して前記第１の厚さと前記第２の厚さとの間で単調に変化する形状である、照明光学装置。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記複屈折部材は、入射面及び射出面の一方が平面である、照明光学装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の照明光学装置において、
前記複屈折部材は、前記入射面及び射出面の他方が前記平面に対して傾斜した傾斜面を含む、照明光学装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記光偏向機構の入射側における前記照明光の光路に配置され、前記照明光の偏光状態を変化させる偏光変換部材を備え、
前記偏光変換部材は、実質的に単一の偏光状態で前記偏光変換部材に入射する前記照明光の偏光状態を前記第１の直線偏光状態に変更可能に設けられている、照明光学装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の照明光学装置において、
前記単一の偏光状態は、直線偏光、円偏光または楕円偏光である、照明光学装置。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の照明光学装置において、
前記偏光変換部材は１／２波長板を含む、照明光学装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の照明光学装置において、
前記偏光変換部材は１／４波長板を含む、照明光学装置。
【請求項１６】
請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記偏光変換部材は、前記単一の偏光状態で前記偏光変換部材に入射する前記照明光を直線偏光状態とは異なる偏光状態に変換可能な偏光素子を含む、照明光学装置。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記オプティカルインテグレーターは、前記照明光が射出する側の面が前記瞳面と一致するように配置されたフライアイレンズである、照明光学装置。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記瞳面からの前記照明光の光路に配置されたコンデンサーレンズを含み、前記瞳面を、前記物体が配置される面に対する光学的フーリエ変換面にするリレー光学系を備える、照明光学装置。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれか一項に記載の照明光学装置において、
前記照明光学装置は、前記照明光を、前記物体に対してＳ偏光となる偏光状態で前記物体に入射させる、照明光学装置。
【請求項２０】
第１物体からの光により第２物体を露光する露光装置であって、
前記第２物体を保持するステージと、
前記第１物体を照明光により照明する請求項１〜１８のいずれか一項に記載の照明光学装置と、
前記照明光により照明された前記第１物体の像を、前記ステージに保持された前記第２物体に投影する投影光学系と、
を備える露光装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の露光装置において、
前記照明光学装置は、前記第１物体に対してＳ偏光となる偏光状態の前記照明光により前記第１物体を照明する、露光装置。
【請求項２２】
請求項２０または２１に記載の露光装置において、
前記露光装置は液浸型露光装置である、露光装置。
【請求項２３】
照明光により物体を照明する照明方法であって、
前記照明光の光路に配置された光偏向機構により前記照明光を偏向させることと、
前記光偏向機構からの前記照明光の光路に配置されたレンズと、前記レンズからの前記照明光の光路に配置された複屈折材料を含む複屈折部材と、前記複屈折部材と前記照明光学装置の瞳面との間における前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレーターと、を介して前記照明光を前記物体に照射することと、
実質的に一方向に偏光した第１の直線偏光状態で前記複屈折部材に入射する前記照明光が前記瞳面において前記照明光学装置の光軸周りの円周方向に偏光した第２の直線偏光状態になるように、前記複屈折部材によって前記照明光の偏光状態を変化させることと、
前記光偏向機構による前記照明光の偏向角および偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより、前記瞳面における前記照明光の分布領域を変化させることと、
を含む照明方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の照明方法において、
前記偏向角および前記偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記光軸周りの輪帯領域と前記光軸周りの実質的に離散的な複数の領域との間で相互変化させることを含む、照明方法。
【請求項２５】
請求項２３に記載の照明方法において、
前記偏向角および前記偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記光軸周りの実質的に離散的な複数の領域からなる第１の複数領域と第２の複数領域との間で相互変化させることを含む、照明方法。
【請求項２６】
請求項２３に記載の照明方法において、
前記偏向角および前記偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記物体に対して輪帯照明を行うための領域と前記物体に対して複数極照明を行うための領域との間で相互変化させることを含む、照明方法。
【請求項２７】
請求項２３に記載の照明方法において、
前記偏向角および前記偏向方向の少なくとも一方を変化させることにより、前記瞳面における前記照明光の分布領域を、前記物体に対して第１の複数極照明を行うための領域と第２の複数極照明を行うための領域との間で相互変化させることを含む、照明方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載の照明方法において、
前記第１の複数極照明は２極照明であり、前記第２の複数極照明は４極照明である、照明方法。
【請求項２９】
請求項２３〜２８のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記複屈折部材は、前記光軸に平行な方向の厚さが前記光軸周りの周方向に沿った位置に対して連続的に変化する厚さ形状を有する、照明方法。
【請求項３０】
請求項２９に記載の照明方法において、
前記複屈折部材は、前記厚さが前記周方向に沿った位置に対して、互いに異なる第１の厚さと第２の厚さとの間で連続的に変化する厚さ形状を有し、
前記第１及び第２の厚さは、前記照明光のうち前記第１の厚さを通過した第１光束の前記瞳面での偏光方向と、前記照明光のうち前記第２の厚さを通過した第２光束の前記瞳面での偏向方向とが、互いに直交するように設定されている、照明方法。
【請求項３１】
請求項３０に記載の照明方法において、
前記厚さ形状は、前記厚さが前記周方向に沿った位置に対して前記第１の厚さと前記第２の厚さとの間で単調に変化する形状である、照明方法。
【請求項３２】
請求項２９〜３１のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記複屈折部材は、入射面及び射出面の一方が平面である、照明方法。
【請求項３３】
請求項３２に記載の照明方法において、
前記複屈折部材は、前記入射面及び射出面の他方が前記平面に対して傾斜した傾斜面を含む、照明方法。
【請求項３４】
請求項２３〜３３のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記光偏向機構の入射側における前記照明光の光路に配置された偏光変換部材により、実質的に単一の偏光状態で前記偏光変換部材に入射する前記照明光の偏光状態を前記第１の直線偏光状態に変化させることを含む、照明方法。
【請求項３５】
請求項３４に記載の照明方法において、
前記単一の偏光状態は、直線偏光、円偏光または楕円偏光である、照明方法。
【請求項３６】
請求項２３〜３５のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記オプティカルインテグレーターは、前記照明光が射出する側の面が前記瞳面と一致するように配置されたフライアイレンズである、照明方法。
【請求項３７】
請求項２３〜３６のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記瞳面からの前記照明光の光路に配置されたコンデンサーレンズを含むリレー光学系により、前記瞳面を、前記物体が配置される面に対する光学的フーリエ変換面にすることを含む、照明方法。
【請求項３８】
請求項２３〜３７のいずれか一項に記載の照明方法において、
前記照明光を、前記物体に対してＳ偏光となる偏光状態で前記物体に入射させることを含む、照明方法。
【請求項３９】
第１物体からの光により第２物体を露光する露光方法であって、
前記第２物体をステージにより保持することと、
請求項２３〜３７のいずれか一項に記載の照明方法を用いて前記第１物体を照明光により照明することと、
前記照明光により照明された前記第１物体の像を、前記ステージに保持された前記第２物体に投影することと、
を含む露光方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載の露光方法において、
前記第１物体に対してＳ偏光となる偏光状態の前記照明光により前記第１物体を照明することを含む、露光方法。
【請求項４１】
請求項３９または４０に記載の露光方法において、
前記第２物体を液浸露光することを含む、露光方法。
【請求項４２】
基板上にデバイスを形成するデバイス製造方法であって、
請求項２３〜３８のいずれか一項に記載の照明方法を用いて照明光によりマスクを照明することと、
前記照明光により照明された前記マスク上のパターンを前記基板に転写することと、
前記パターンが転写された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。
【請求項４３】
基板上にデバイスを形成するデバイス製造方法であって、
請求項３９〜４１のいずれか一項に記載の露光方法を用いて前記基板を露光することと、
前記露光方法を用いて露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。