(57)【要約】      （修正有）【課題】各動力装置を制御器に接続させることができ、制御器によりそれぞれ各動力装置の動作を駆動し、各動力装置を同時に組み合わせ動作させる必要がなく、操作が簡易で、作業効率を向上させたアライメントステージを提供する。【解決手段】底台１と、Ｙ軸ガイド部材２と、第１ユニットと、第１動力装置４と、Ｘ軸ガイド５と、第２移動ユニット６と、第２動力装置７と、Θ軸ガイド部材８と、第３移動ユニット９と、接続ロッド１０と、第３動力装置１１とを含む。第１移動ユニットは、Ｙ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、第１動力装置とＸ軸ガイド部材と連動する。第２移動ユニットは第２動力装置と、第３移動ユニットは第３動力装置とそれぞれ連動する。【選択図】図３
0003162823.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
底台と、
該底台に固定設置される少なくとも１つのＹ軸ガイド部材と、
各該Ｙ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、該底台と平行である第１移動ユニットと、
第１モータ及び第１プッシュロッドを含み、該底台に固定設置され、該第１モータは、該第１移動ユニット周縁のうちの一側に位置し、該第１プッシュロッドは、該第１モータ及び該第１移動ユニットの間に設けられ、該第１モータが該第１プッシュロッドの移動を連動でき、該第１プッシュロッドの移動時、該第１移動ユニットの各該Ｙ軸ガイド部材に沿った移動を連動する第１動力装置と、
該第１移動ユニットと連動関係になり、Ｙ軸ガイド部材と相互に平行である少なくとも１つのＸ軸ガイド部材と、
各該Ｘ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、該底台と平行である第２移動ユニットと、
第２モータ及び第２プッシュロッドを含み、該第２モータは、該第１移動ユニット、該第１プッシュロッド及び各該Ｘ軸ガイド部材のうちの１つに固定設置され、該第２モータは、該第２移動ユニット周縁のうちの一側に位置され、該第２プッシュロッドは、該第２モータ及び該第２移動ユニットの間に設けられ、該第２モータは、該第２プッシュロッドの移動を連動することができ、該第２プッシュロッドの移動時、該第２移動ユニットの各該Ｘ軸ガイド部材の移動を連動する第２動力装置と、
該第２移動ユニットに固定設置される少なくとも１つのΘ軸ガイド部材と、
該Θ軸ガイド部材に転動可能に設けられることができ、該底台と平行である第３移動ユニットと、
第３モータ及び第３プッシュロッドを含み、該第３モータは、該第２移動ユニット、該第２プッシュロット及び該Θ軸ガイド部材のうちの１つに固定設置され、該第３モータは、該第２移動ユニット周縁のうちの一側に位置し、該第３プッシュロッドの一端は、該第３モータに設けられ、他端は、該接続ロッドの第１軸に転動可能に設けられ、該第３モータは、該第３プッシュロッドの移動を連動することができ、該第３プッシュロッドの移動時、該接続ロッドの移動を連動し、該接続ロッドの移動時、該第３プッシュロッドの偏移に相対して該第３移動ユニットの各該Θ軸ガイド部材に沿った転動を連動する第３動力装置と、を含むアライメントステージ。
【請求項２】
更に、複数のΘ軸ガイド部材を含み、各該Θ軸ガイド部材を含み、各該Θ軸ガイド部材が弧形ガイドレールである請求項１に記載のアライメントステージ。
【請求項３】
前記底台に少なくとも１つのスライド溝を形成し、各該Ｙ軸ガイド部材は、各該スライド溝に係止され、該第１移動ユニットは、板体を含み、該第１移動ユニットの板体は、少なくとも１つの凹溝を形成し、各該Ｘ軸ガイド部材は、各該凹溝に係止され、該第２移動ユニットは、他の板体を含み、該第２移動ユニットの板体は、少なくとも１つの溝孔を形成し、各該Θ軸ガイド部材が各該溝孔に係止する請求項２に記載のアライメントステージ。
【請求項４】
前記底台は、長さ方向及び幅方向を定義し、該第１プッシュロッドの一端は、該第１移動ユニットの長さ方向の中央箇所に接続し、該第２プッシュロッドの一端は、第２移動ユニットの幅方向の中央箇所に接続してなり、接続ロッドは、第１軸及び第２軸を有し、該接続ロッドの第２軸は、該第３移動ユニットに転動可能に設けられ、該第１軸及び該第２軸は、該回転軸と平行であり、該接続ロッドの第２軸は、該第３移動ユニットの長さ方向の中央箇所に転動可能に設けられ、該第３プッシュロッドは、該第１軸に転動可能に設けられる請求項２に記載のアライメントステージ。
【請求項５】
前記第３移動ユニットは、板体及び滑動ブロックを含み、該Θ軸ガイド部材が環形スライドレールである請求項３に記載のアライメントステージ。
【請求項６】
前記第３移動ユニットの滑動ブロックは、該環形スライドレール内周縁に転動可能に設けられる請求項３に記載のアライメントステージ。
【請求項７】
前記第１動力装置は、複数組の第１モータ及び第１プッシュロッドを含み、該第２動力装置及び該第３動力装置は、それぞれ複数組のモータ及びプッシュロッドを含み、そのうち、該複数の第１、第２、第３モータは、順に底台、第１移動ユニット、第２移動ユニットに固定設置される請求項１に記載のアライメントステージ。
【請求項８】
前記板体は、完全な四辺形板体である請求項５に記載のアライメントステージ。
【請求項９】
前記板体は、中央鏤空の四辺形板体である請求項５に記載のアライメントステージ。
【請求項１０】
複数のＹ軸ガイド部材、複数のＸ軸ガイド部材及び複数のΘ軸ガイド部材を含み、該第１移動ユニットは、複数の滑動ブロックを含み、各該第１移動ユニットの滑動ブロックがそのうち１つのＹ軸ガイド部材に滑動設置され、各該Ｘ軸ガイド部材は、そのうち１つの第１移動ユニットの滑動ブロックに固定設置され、該第２移動ユニットは、複数の滑動ブロック及び複数の板体を含み、各該第２移動ユニットの滑動ブロックは、そのうち１つのＸ軸ガイド部材に滑動設置され、各該第２移動ユニットの板体は、そのうち１つの第２移動ユニットの滑動ブロックに固定設置され、各該Θ軸ガイド部材は、そのうち１つの第２移動ユニットの板体に固定設置され、該第３移動ユニットは、複数の滑動ブロック及び板体を含み、各該第３移動ユニットの滑動ブロックは、そのうち１つのΘ軸ガイド部材に滑動設置され、各該第３移動ユニットの滑動ブロックは、該第３移動ユニットの板体に固定設置される請求項１に記載のアライメントステージ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、工作部材を載置できる作業ステージに関し、特に移動機構を設置し、工作部材を所定位置に移動し、後続処理を行なうことができる作業ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の作業ステージは、台湾２００９１２６８８号専利出願案が記載する超高正方向負荷アライメント装置を参考することができ、該装置は、３組の連動装置により３組の変位装置の直線移動を連動し、更に、作業ステージの移動及び転動を連動し、そのうち、作業ステージの転動を連動する時、３組の連動装置により同時に組み合わせ移動する必要があり、作業ステージを円弧に沿って転動させ、制御器又は電算機で装置の動作を連動する時、更に制御器又は電算機により大量の関数演算を行なう必要があり、制御器の反応時間を上昇させ、作業効率を低下させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】台湾２００９１２６８８号専利出願明細書
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案の目的は、工作部材の移動及び転動を連動し易く、アライメントステージを操作する複雑度を低減するアライメントステージを提供することにある。
【０００５】
本考案のもう１つの目的は、アライメントステージの全体の高さを縮小し、薄型化したアライメントステージを獲得することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成する為、本考案が提供するアライメントステージは、底台と、少なくとも１つのＹ軸ガイド部材と、第１移動ユニットと、第１動力装置と、少なくとも１つのＸ軸ガイド部材と、第２移動ユニットと、第２動力装置と、少なくとも１つのΘ軸ガイド部材と、第３移動ユニットと、接続ロッドと、第３動力装置と、を含む。該少なくとも１つのＹ軸ガイド部材は、該底台に固定設置される。該第１移動ユニットは、各該Ｙ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、該第１移動ユニットは、該底台と平行である。該第１動力装置は、第１モータ及び第１プッシュロッドを含み、該第１モータは、該底台に固定設置され、該第１モータは、該第１移動ユニット周縁のうち一側に位置し、該第１プッシュロッドは、該第１モータ及び該第１移動ユニットの間に設けられ、該第１モータは、該第１プッシュロッドの移動を連動でき、該第１プッシュロッドの移動時、該第１移動ユニットの各該Ｙ軸ガイド部材に沿った移動を連動する。該少なくとも１つのＸ軸ガイド部材は、該第１移動ユニットと連動関係となり、該Ｘ軸ガイド部材及びＹ軸ガイド部材と同語に平行でない。該第２移動ユニットは、各該Ｘ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、該第２移動ユニットは、該底台と平行である。該第２動力装置は、第２モータ及び第２プッシュロッドを含み、該第２モータは、該第１移動ユニット、該第１プッシュロッド及び各該Ｘ軸ガイド部材のうちの１つに固定設置され、該第２モータは、該第２移動ユニット周縁のうちの一側に位置され、該第２プッシュロッドは、該第２モータ及び該第２移動ユニットの間に設けられ、該第２モータは、該第２プッシュロッドの移動を連動することができ、該第２プッシュロッドの移動時、該第２移動ユニットの各該Ｘ軸ガイド部材の移動を連動する。該少なくとも１つのΘ軸ガイド部材は、該第２移動ユニットに固定設置され、各該Θ軸ガイド部材は、円弧形を呈し、各該Θガイド部材は、該Θ軸ガイド部材に移動可能に設けられ、該第３移動ユニットは、該底台と平行である。該接続ロッドは、第１軸及び第２軸を有し、該接続ロッドの第２軸は、該第３移動ユニットに転動可能に設けられ、該第１軸及び該第２軸は、該回転軸と平行である。該第３動力装置は、第３モータ及び第３プッシュロッドを含み、該第３モータは、該第２移動ユニット、該第２プッシュロット及び該Θ軸ガイド部材のうちの１つに固定設置され、該第３モータは、該第２移動ユニット周縁のうちの一側に位置し、該第３プッシュロッドの一端は、該第３モータに設けられ、他端は、該接続ロッドの第１軸に転動可能に設けられ、該第３モータは、該第３プッシュロッドの移動を連動することができ、該第３プッシュロッドの移動時、該接続ロッドの移動を連動し、該接続ロッドの移動時、該第３プッシュロッドの偏移に相対して該第３移動ユニットの各該Θ軸ガイド部材に沿った転動を連動する。
【考案の効果】
【０００７】
これにより、本考案が提供するアライメントステージは、各モータを制御器に接続させることができ、制御器によりそれぞれ各モータの動作を駆動し、各モータ動作時は、それぞれ該移動ユニットの異なる方向上の移動又は転動を連動し、単純に第３移動ユニットを転動させる時、単一のモータだけを駆動する必要があり、各モータを同時に組み合わせ動作させる必要がなく、アライメントステージの操作の難度を簡易化し、作業効率を向上する。
【０００８】
また、本考案は、各モータを各ステージ周縁のうちの一側に配置され、各モータ及びステージが相互に重なり合うことを回避でき、本考案の全体の高さを向上し、本考案は、底台を第３移動ユニットの高さまで低減することができ、薄型化のアライメントステージを獲得する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の立体図である。
【図２】本考案の局部分解図である。
【図３】本考案の立体分解図である。
【図４】本考案の側面図である。
【図５】本考案の複数の第1モータ、第１プッシュロッド、第２モータ及び第２プッシュロッドを設置した立体分解図である。
【図６】本考案の複数の第２移動ユニットを有する板体を設置時の説明図である。
【図７】本考案の他の実施例の局部分解図である。
【図８】本考案の動作説明図である。
【図９】本考案の動作説明図である。
【図１０】本考案の動作説明図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
以下は、実施例により本考案が可能な実施態様を説明するが、本考案が保護を欲する範囲を制限することに用いるのではない。
【００１１】
図１を参照し、本考案は、アライメントステージを提供し、本考案上に各式工作部材を載置又は固定し、本考案が工作部材の平面上の移動及び定位を連動し、その他の機械に加工又はエッチングを行なわせるか、工作部材上その他の部品を組み合わせることができる。本実施例中、該アライメントステージは、中央が鏤空の四辺形ステージを形成し、その他の実施例中に、該アライメントステージに完全な四辺形ステージ又はその他の外型のステージを形成させることもできる。
【００１２】
図２〜図４を参照し、本考案は、底台１と、４つのＹ軸ガイド部材２と、第１移動ユニットと、第１動力装置４と、４つのＸ軸ガイド部材５と、第２移動ユニット６と、第２動力装置７と、４つのΘ軸ガイド部材８と、第３移動ユニット９と、接続ロッド１０と、第３動力装置１１と、を含む。
【００１３】
該底台１は、板体であり、該底台を水平面に安置させることができ、その他の実施例中、該底台１に複数の貫通孔を開設するか、該底台にその他の固定装置に装着し、該底台を水平面又はその他の水平な平面に固定させることができる。該底台１により長さ方向及び幅方向を定義する。該底台１は、複数のスライド溝を形成することができる。
【００１４】
該Ｙ軸ガイド部材２は、該底台１に固定設置され、各該Ｙ軸ガイド部材を各該スライド溝に係止することができ、各該Ｙ軸ガイド部材２は、相互に平行であり、その他の実施例中、本考案中にＹ軸ガイド部材２を含むだけでも良いが、本考案中に複数のＹ軸ガイド部材を含む時、各Ｙ軸ガイド部材を利用し、本考案中のその他の部材を比較的均一に支持することができる。
【００１５】
該第１移動ユニットは、該Ｙ軸ガイド部材２に移動可能に設けられ、該第１移動ユニットを該Ｙ軸ガイド部材２に沿って移動させることができ、該第１移動ユニットは、該底台と平行である。そのうち、該第１移動ユニットは、板体３１及び複数の滑動ブロック３２を含むことができ、各該第１移動ユニットの滑動ブロック３２を該第１移動ユニットの板体３１と連動関係にし、且つ該第１移動ユニットの滑動ブロック３２は、それぞれそのうちのＹ軸ガイド部材２に移動可能に設けられる。該第１移動ユニットの板体３１は、複数の凹溝３１１を形成することができる。
【００１６】
該第１動力装置４は、第１モータ４１及び第１プッシュロッド４２を含み、該第１モータ４１は、該底台１に固定設置され、該第１モータ４１は、該第１移動ユニット周縁のうちの一側に位置し、より明確に言えば、該第１モータ４１は、該第１移動ユニットの板体３１の長さ方向の両側又は幅方向の両側に位置する。該第１プッシュロッド４２及び該Ｙ軸ガイド部材２は、平行であり、該第１プッシュロッド４２は、該第１モータ４１及び第１移動ユニットの間に設けられ、好適には、該第１プッシュロッド４２の一端は、該第１移動ユニットの長さ方向の中央箇所に設けられる。該第１モータ４１は、該第１プッシュロッド４２の移動を連動でき、該第１プッシュロッド４２の移動時、該第１移動ユニットの該Ｙ軸ガイド部材２に沿った移動を連動する。図５において、他の実施例中、該第１動力装置は、複数の第１モータ４１及び第１プッシュロッド４２を含むことができ、各該第１プッシュロッド４２は、各該第１モータ４１及び該第１移動ユニットの間に接続し、且つ該第１プッシュロッド４２は、相互に平行であり、各該第１モータ４１を各該第１プッシュロッド４２の移動を連動することができ、該第１移動ユニットを該Ｙ軸ガイド部材２に沿って移動させる。
【００１７】
該Ｘ軸ガイド部材５は、該第１移動ユニットに固定設置されるか、各該Ｘ軸ガイド部材５を各凹溝３１１中に係止することができ、各該Ｘ軸ガイド部材５を第１移動ユニットと連動関係にし、各該Ｘ軸ガイド部材５は、相互に平行であり、各該Ｘ軸ガイド部材５及び各該Ｙ軸ガイド部材２は、相互に平行でなく、好適には、何れか１つのＸ軸ガイド部材５の延伸方向及び何れか１つのＹ軸ガイド部材２の延伸方向は、それぞれ該底台１の長さ方向及び幅方向と平行である。その他の実施例中、本考案中にＸ軸ガイド部材５を含むだけでも良いが、本考案中に複数のＸ軸ガイド部材５を含む時、各Ｙ軸ガイド部材５を利用し、本考案中のその他の部材を比較的均一に支持することができる。
【００１８】
該第２移動ユニット６は、該Ｘ軸ガイド部材５に移動可能に設けられ、該第２移動ユニット６を該Ｘ軸ガイド部材５に沿って移動させることができ、該第２移動ユニット６は、該底台１と平行である。そのうち、該第２移動ユニット６は、板体６１及び複数の滑動ブロック６２を含むことができ、各該第２移動ユニットの滑動ブロック６２を該第２移動ユニットの板体６１と連動関係にし、且つ該第１移動ユニットの滑動ブロック６２は、それぞれそのうちのＸ軸ガイド部材５に移動可能に設けられる。該第２移動ユニットの板体６１は、複数の凹溝６１１を形成することができる。図６を参照して、他の実施例中、該第２移動ユニットの板体６１は、４つの板体を設けるように変えることもでき、各該第２移動ユニットの板体６１を各該第２移動ユニットの滑動ブロックに固定設置させ、各該第２移動ユニットの板体６１によりΘ軸ガイド部材８を固定設置させる。
【００１９】
該第２動力装置７は、第２モータ７１及び第２プッシュロッド７２を含み、該第２モータ７１は、該第１移動ユニットに固定設置され、より明確に言えば、該第２モータ７１は、該第１移動ユニットの板体３１に固定設置でき、その他の実施例中、該第２モータ７１を該第１プッシュロッド４２又はＸ軸ガイド部材５に固定設置でき、該第１移動ユニットを移動させる時、該第２モータ７１の同期移動を連動することができる。該第２モータ７１は、該第２移動ユニット６周縁のうちの一側に位置し、更に明確に言えば、該第２モータ７１は、第２移動ユニットの板体６１周縁の一側に位置し、即ち、該第２モータ７１は、該第２移動ユニットの板体６１の長さ方向の両側又は幅方向の両側のいずれかに位置する。該第２プッシュロッド７２及び該Ｘ軸ガイド部材５は、平行であり、該第２プッシュロッド７２は、該第１モータ７１及び第２移動ユニット６の間に設けられ、好適には、該第２プッシュロッドの一端は、該第２移動ユニットの長さ方向の中央箇所に設けられる。該第２モータ７１は、該第２プッシュロッド７２の移動を連動でき、該第２プッシュロッド７２の移動時、該第２移動ユニットの該Ｘ軸ガイド部材５に沿った移動を連動し、そのうち、該第２動力装置及び該第１動力装置は、それぞれ第２移動ユニット及び第１プッシュロッドと異なる方向に押し動かし、該第２プッシュロッドの延伸方向は、該第１プッシュロッドの延伸方向と異なり、該第１モータが第１移動ユニットの長さ方向の一側に位置する時、該第２モータは、該第２移動ユニットの幅方向のうちの一側に位置する。図５において、他の実施例中、該第２動力装置は、複数の第２モータ７１及び第２プッシュロッド７２を含むことができ、各該第２プッシュロッド７２は、各該第２モータ７１及び該第２移動ユニット６の間に接続し、且つ該第２プッシュロッド７２は、相互に平行であり、各該第２モータ７１を各該第２プッシュロッド７２の移動を連動することができ、該第２移動ユニットを該Ｘ軸ガイド部材５に沿って移動させる。
【００２０】
該Θ軸ガイド部材８は、該第２移動ユニット６に固定設置されるか、各該Θ軸ガイド部材８を各凹溝６１１中に係止することができ、各該Θ軸ガイド部材８を第２移動ユニット６と連動関係にする。該Θ軸ガイド部材８は、円弧形の軌道を呈し、各該Θ軸ガイド部材８は、同一の中心を有し、好適には、該Θ軸ガイド部材８は、円を共にする。該Θ軸ガイド部材８の中心を回転軸と定義し、該回転軸は、該底台１と垂直する。その他の実施例中、本考案中に１つのΘ軸ガイド部材８を含むだけでも良い。図７を参考にし、本考案の他の実施例中、該Θ軸ガイド部材８を環形に延伸することもでき、環形ガイドレール又は軸受け又はその類の物を形成し、該第３移動ユニットの滑動部材９２は、該環形ガイドレールを組み合わせ、円形のブロック体を形成し、環形ガイドレールの内周縁に転動可能に設置される。が、本考案中に複数のＸ軸ガイド部材５を含む時、各Ｙ軸ガイド部材５を利用し、本考案中のその他の部材を比較的均一に支持することができる。
【００２１】
該第３移動ユニット９は、該Θ軸ガイド部材８に転動可能に設けられ、該第３移動ユニット９を該Θ軸ガイド部材８に沿って該回転軸に沿って転動することができ、該第３移動ユニット９は、該底台１と平行である。そのうち、該第３移動ユニット９は、板体９１及び複数の滑動ブロック９２を含み、各該第３移動ユニットの滑動ブロック９２は、該第３移動ユニットの板体９１に固定設置され、且つ該第３移動ユニットの滑動ブロック９２は、それぞれΘ軸ガイド部材８に移動可能に設けられる。
【００２２】
該接続ロッド１０は、第１軸１０１及び第２軸１０２を有し、該接続ロッド１０の第２軸１０２は、該第３移動ユニット９に転動可能に設けられ、該第１軸１０１及び該第２軸１０２は、該回転軸と平行であり、好適には、該接続ロッドの第２軸１０２は、該第３移動ユニットの長さ方向の中央箇所に転動可能に設けられる。他の実施例中、複数の接続ロッドを含むことができ、各該接続ロッドは、第１軸及び第２軸を有し、且つ各該接続ロッドの第２軸は、該第３移動ユニットに転動可能に設けられる。
【００２３】
該第３動力装置１１は、第３モータ１１１及び第３プッシュロッド１１２を含み、該第３モータ１１１は、該第２移動ユニット６に固定設置され、その他の実施例中、該第３モータ１１１は、該第２プッシュロッド７２又はそのうち１つのΘ軸ガイド部材に固定設置され、該第２移動ユニット６の移動時を該第３モータ１１１の同期移動を連動することができる。該第３モータ１１１は、該第２移動ユニット６周縁のうちの一側に位置し、より明確に言えば、該第３モータ１１１は、第２移動ユニットの板体６１周縁のうち一側に位置し、即ち、該第３モータ１１１は、該第２移動ユニットの板体６１の長さ方向の両側又は幅方向の両側のうちの何れかに位置する。該第３プッシュロッド１１２一端は、該第３モータ１１１に設けられ、他端は、該接続ロッドの第１軸１０１に転動可能に接続し、該第３プッシュロッド１１２を該接続ロッド１０に相対して偏移させることができる。該第３モータ１１１は、該第３プッシュロッド１１２の移動を連動することができ、該第３プッシュロッド１１２の移動時、該接続ロッド１０の移動を連動し、該接続ロッド１０の移動時、該第３プッシュロッド１１２の偏移に相対し、該第３移動ユニット９の各該Θ軸ガイド部材８に沿った転動を連動する。他の実施例中、本考案は、複数の接続ロッドを含む時、該第３プッシュロッドは、各該第３モータ及び各該接続ロッドの間に設けられ、各該第３モータを各該第３プッシュロッドの移動を連動でき、該接続ロッドに該第３移動ユニットの該Θ軸ガイド部材の移動を連動させる。
【００２４】
上記装置を利用し、本考案は、該第１モータ４１、該第２モータ７１及び該第３モータ１１１を制御器に接続し、該制御器により各該モータの運転を駆動し、図８を参照し、制御器が第１モータ４１の運転を駆動する時、該第１移動ユニットは、Ｙ軸ガイド部材２に沿って移動し、第１移動ユニットに直接設置したＸ軸ガイド部材の移動を同時に連動し、第１移動ユニットに間接設置した第２移動ユニット及び第３移動ユニットのＹ軸ガイド部材２に沿った移動を連動する。図９を参考にして、制御器が第２モータ７１の運転を駆動する時、該第２移動ユニットがＸ軸ガイド部材に沿って移動し、第２移動ユニットに直接設置したΘ軸ガイド部材を同時に連動し、第２移動ユニットに関連設置した第３ユニットのＸ軸ガイド部材に沿った移動を連動する。図１０を参照し、制御器が第３モータ１１１の運転を駆動する時、該第３移動ユニットをΘ軸ガイド部材に沿って転動させることができる。これにより、本考案は、それぞれ第３移動ユニットのＹ軸ガイド部材２に沿った移動、Ｘ軸ガイド部材に沿った移動又はΘ軸ガイド部材に沿った転動を連動し、第３移動ユニットを連動する時、別途第１モータ４１及び第２モータ７１を駆動する必要がなく、より簡潔な駆動及び使用方式を提供でき、制御器の演算負荷を減少し、制御器の反応時間を短縮する。
【００２５】
そのうち、本考案は、第１移動ユニット、第２移動ユニット及び第３移動ユニットの板体を中央鏤空の四辺形板体として設け、各板体中央に貫通孔を形成し、その他の実施例中、各板体を完全な四辺形板体として設けることもできる。
【００２６】
また、本考案は、各モータを第１移動ユニット又は第２移動ユニット周縁のうちの一側に設置され、各モータ及び各ステージが相互に重なり合うことを回避することができ、同時、本考案は、Ｙ軸ガイド部材、Ｘ軸ガイド部材及びΘ軸ガイド部材をそれぞれスライド溝、凹溝及び溝孔中に係止でき、底台及び各ステージの間の距離を低減することができ、底台から第３移動ユニットまでの高さを縮小し、薄型化のアライメントステージを獲得し、本考案に高さが比較的低い特長を持たせ、進歩した効果を有する。
【符号の説明】
【００２７】
１  底台
２  Ｙ軸ガイド部材
３１  板体
３１１  凹溝
３２  活動ブロック
４  第1動力装置
４１  第1モータ
４２  第1プッシュロッド
５  Ｘ軸ガイド部材
６  第２移動ユニット
６１１  溝孔
６２  滑動ブロック
７  第２動力装置
７１  第２モータ
７２  第２プッシュロッド
８  Θ軸ガイド部材
９  第３移動ユニット
９１  板体
９２  滑動ブロック
１０  接続ロッド
１０１  第１軸
１０２  第２軸
１１  第３動力装置
１１１  第３モータ
１１２  第３プッシュロッド
【図１】
0003162823.tif 000003
【図２】
0003162823.tif 000004
【図３】
0003162823.tif 000005
【図４】
0003162823.tif 000006
【図５】
0003162823.tif 000007
【図６】
0003162823.tif 000008
【図７】
0003162823.tif 000009
【図８】
0003162823.tif 000010
【図９】
0003162823.tif 000011
【図１０】
0003162823.tif 000012