【手続補正書】
【提出日】平成26年10月22日(2014.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のレンズ群が移動することによって可逆的且つ連続的に通常観察状態から近接観察状態への観察状態の変更を行うことのできる対物光学系において、
最も物体側に配置されていてフォーカシング時及び前記観察状態の変更時に固定の負のパワーを持つ固定レンズ群と、フォーカシング時に少なくとも一方が光軸に沿って移動する第一の可動レンズ群及び第二の可動レンズ群と、を備え、
前記第一の可動レンズ群が、前記第二の可動レンズ群よりも物体側に配置されており、
前記第二の可動レンズ群の単位移動量あたりの倍率変化量が、前記第一の可動レンズ群よりも大きく、
前記第二の可動レンズ群が移動することによって前記観察状態の変更を行い、
前記第二の可動レンズ群を静止した状態にて前記第一の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、
前記第一の可動レンズ群を静止した状態にて前記第二の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、
可変間隔をレンズ群の境界として４つのレンズ群もしくは５つのレンズ群からなることを特徴とする対物光学系。
【請求項２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の対物光学系。
３＜（ｍc-d／ｍu-d）／（ｍc-n／ｍc-d）＜１０
ただし、ｍc-dは前記近接観察状態の最遠点での全系の横倍率、ｍu-dは前記通常観察状態の最遠点での全系の横倍率、ｍc-nは前記近接観察状態の最近点での全系の横倍率である。
【請求項３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の対物光学系。
１＜ｍc-n／ｍc-d＜１．５５
ただし、ｍc-nは前記近接観察状態の最近点での全系の横倍率、ｍc-dは前記近接観察状態の最遠点での全系の横倍率である。
【請求項４】
前記第一の可動レンズ群よりも像側にレンズ群を備え、
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の対物光学系。
０．２＜|（１−β・β）×β’・β’|＜３
ただし、βは前記第一の可動レンズ群の横倍率、β’は前記第一の可動レンズ群よりも像側の前記レンズ群の横倍率である。
【請求項５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の対物光学系。
２＜｜Ｆ1／Ｆc-d｜＜８
ただし、Ｆ1は前記第一の可動レンズ群の焦点距離、Ｆc-dは前記近接観察状態の最遠点での全系の焦点距離である。
【請求項６】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の対物光学系。
１．８＜｜Ｆ2／Ｆc-d｜＜５
ただし、Ｆ2は前記第二の可動レンズ群の焦点距離、Ｆc-dは前記近接観察状態の最遠点での全系の焦点距離である。
【請求項７】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の対物光学系。
０．０２＜Ｄ1／Ｌ＜０．１２
ただし、Ｄ1は前記第一の可動レンズ群の物体側のレンズ群から前記第一の可動レンズ群までの空気間隔と前記第一の可動レンズ群から前記第一の可動レンズ群の像側のレンズ群までの空気間隔との和、Ｌは全系の全長である。
【請求項８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の対物光学系。
｜ＤＴc-n−ＤＴc-d｜＜５
ただし、ＤＴc-nは前記近接状態の最近点での像高比１．０の歪曲収差、ＤＴc-dは前記近接状態の最遠点での像高比１．０の歪曲収差である。
【請求項９】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の対物光学系。
ＤＴu＜−５０
ただし、ＤＴuは前記通常観察状態の最遠点での像高比１．０の歪曲収差である。
【請求項１０】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の対物光学系。
Ｆｎｏu／Ｆｎｏc＞０．９４
ただし、Ｆｎｏuは前記通常観察状態での全系のＦナンバー、Ｆｎｏcは前記近接観察状態での全系のＦナンバーである。
【請求項１１】
５つのレンズ群からなり、
前記５つのレンズ群のうち物体側から２つ目のレンズ群が、前記第一の可動レンズ群であり、
前記５つのレンズ群のうち物体側から４つ目のレンズ群が、前記第二の可動レンズ群であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の対物光学系。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の対物光学系と、
前記第一の可動レンズ群を移動させるオートフォーカス機構を備えていることを特徴とする観察装置。
【請求項１３】
前記第一の可動レンズ群と前記第２の可動レンズ群との間にフォーカシング時及び前記観察状態の変更時に固定の第２の固定レンズ群を有する
ことを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の対物光学系。
【請求項１４】
前記対物光学系中で光軸に沿って移動する可動レンズ群は前記第一の可動レンズ群と前記第二の可動レンズ群の２つのみである
ことを特徴とする請求項１から１１または１３のいずれかに記載の対物光学系。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の対物光学系は、所定のレンズ群が移動することによって可逆的且つ連続的に通常観察状態から近接観察状態への観察状態の変更を行うことのできる対物光学系において、最も物体側に配置されていてフォーカシング時及び前記観察状態の変更時に固定の負のパワーを持つ固定レンズ群と、フォーカシング時に少なくとも一方が光軸に沿って移動する第一の可動レンズ群及び第二の可動レンズ群と、を備え、  前記第一の可動レンズ群が、前記第二の可動レンズ群よりも物体側に配置されており、前記第二の可動レンズ群の単位移動量あたりの倍率変化量が、前記第一の可動レンズ群よりも大きく、前記第二の可動レンズ群が移動することによって前記観察状態の変更を行い、前記第二の可動レンズ群を静止した状態にて前記第一の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、前記第一の可動レンズ群を静止した状態にて前記第二の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、可変間隔をレンズ群の境界として４つのレンズ群もしくは５つのレンズ群からなることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、上記目的を達成するために、本発明の観察光学系は、上記の対物光学系と、前記第一の可動レンズ群を移動させるオートフォーカス機構を備えていることを特徴とする。
また、本発明の対物光学系は、前記第一の可動レンズ群と前記第２の可動レンズ群との間にフォーカシング時及び前記観察状態の変更時に固定の第２の固定レンズ群を有することを特徴とする。
また、本発明の対物光学系は、前記対物光学系中で光軸に沿って移動する可動レンズ群は前記第一の可動レンズ群と前記第二の可動レンズ群の２つのみであることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本実施形態の対物光学系は、所定のレンズ群が移動することによって可逆的且つ連続的に通常観察状態から近接観察状態への観察状態の変更を行うことのできる対物光学系において、最も物体側に配置されていてフォーカシング時及び前記観察状態の変更時に固定の負のパワーを持つ固定レンズ群と、フォーカシング時に少なくとも一方が光軸に沿って移動する第一の可動レンズ群及び第二の可動レンズ群と、を備え、前記第一の可動レンズ群が、前記第二の可動レンズ群よりも物体側に配置されており、前記第二の可動レンズ群の単位移動量あたりの倍率変化量が、前記第一の可動レンズ群よりも大きく、前記第二の可動レンズ群が移動することによって前記観察状態の変更を行い、前記第二の可動レンズ群を静止した状態にて前記第一の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、前記第一の可動レンズ群を静止した状態にて前記第二の可動レンズ群のみが光軸に沿って移動可能であり、可変間隔をレンズ群の境界として４つのレンズ群もしくは５つのレンズ群からなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
また、この対物光学系では、第三レンズ群Ｇ３を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第三レンズ群Ｇ３のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第三レンズ群Ｇ３の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
また、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第四レンズ群Ｇ４のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
また、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第四レンズ群Ｇ４のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
また、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第四レンズ群Ｇ４のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４２】
また、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第四レンズ群Ｇ４のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
また、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４を静止した状態にて第二レンズ群Ｇ２のみが光軸に沿って移動可能であり、第二レンズ群Ｇ２を静止した状態にて第四レンズ群Ｇ４のみが光軸に沿って移動可能に構成されている。
なお、この対物光学系では、第四レンズ群Ｇ４の単位移動量あたりの倍率変化量が、第二レンズ群Ｇ２の単位移動量あたりの倍率変化量よりも大きい。