(57)【要約】      （修正有）【課題】位置決め可能のウエハ研磨構造を提供する。【解決手段】固定リング１と研磨リング２が含有される。固定リング１の一面に多数の固定穴が設けられ、もう一面の周りに少なくとも二つの結合部１２が設けられ、研磨リング２が固定リング１と異なる材質からなり、固定リング１に結合され、研磨リング２の一面に多数の排水槽２１が設けられ、もう一面の周りに各結合部１２にドッキングするための少なくとも二つの組合せ部が設けられる。これにより、固定リング１と研磨リング２は、結合部１２と組合せ部によって互いに結合されて、安定的に組み合わせられるため、緊密に結合され、また、構造強度が向上される。【選択図】図２
0003219432.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一面に多数の固定穴が設けられ、もう一面の周りに、少なくとも二つの結合部が設置される固定リングと、
固定リングと異なる材質からなり、固定リングに結合され、一面に多数の排水槽が設けられて、もう一面の周りに、各結合部とドッキングする少なくとも二つの組合せ部が設置される研磨リングと、が含有される、
ことを特徴とする位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項２】
上記固定リングは、剛性が比較的に良い金属材質からなる、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項３】
各結合部は、それぞれ、凹槽やリブ或いはその組み合わせである、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項４】
各結合部の間に、粗い面の頂面を有する突出部が設けられ、上記研磨リングのもう一面が上記粗い面に接触する、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項５】
上記研磨リングは、耐摩耗や耐薬品性の非金属材料からなる、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項６】
各組合せ部は、それぞれ、リブや凹槽或いはその組み合わせである、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項７】
各組合せ部の間に、突出部の粗い面に接触するための、粗い面の底面を有して、突出部にドッキングする凹み部が設けられる、ことを特徴とする請求項４に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【請求項８】
各排水槽は傾斜して設置されて、その傾斜角度が35°〜45°の範囲内にあり、40°がより好ましい、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、位置決め可能のウエハ研磨構造に関し、特に、ウエハ研磨に適用できるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般の半導体ウエハを研磨する時、固定型板で、半導体ウエハを位置決めさせた後、ウエハを研磨布を有する受け盤に接触させ、駆動機構によって、型板が回転されて研磨を行い、また、ウエハが有効に位置決めされて、チップの製造品質が向上され、この時、固定型板の回転軸をウエハの中心に一致することが必要になり、また、回転過程において、上記ウエハの中心が精確の位置決めを維持しなければならないが、上記従来の方法でウエハを研磨する時、ウエハ中心の位置決めが安定的ではない。
【０００３】
そのため、関連業者が、上記従来の欠点を解消するため、ある位置決めリング構造を提案したが、上記位置決めリングは、金属と非金属の二種類の異なる材質によって結合された、リング体であり、実用上、金属リング体は、必要とする駆動機構に位置決めされて結合され、非金属リング体の内径は、研磨待ちのウエハの外径に合わせられ、これにより、ウエハを研磨する時、上記ウエハの中心を精確に位置決めすることができる。
【０００４】
しかしながら、上記位置決めリングの金属リング体と非金属リング体の両者は、粘着や螺合によって結合されるため、所定の時間を運用した後、長期的に、加圧や回転及び仕事液体の影響により、金属リング体と非金属リング体との間に隙間が発生して弛んで、構造強度や安定度が悪くなり、更に、金属リング体と非金属リング体とが分解されることもあり、そのため、一般の従来のウエハ研磨の位置決めリングは実用的とは言えない。
【０００５】
本考案者は、上記欠点を解消するため、慎重に研究し、また、学理を活用して、有効に上記欠点を解消でき、設計が合理である本考案を提案する。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００６】
本考案の主な目的は、固定リングと研磨リングが、結合部と組合せ部によって、互いに結合されて、安定的に実装され、緊密に結合することができ、また、構造の強度が向上される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本考案は、上記目的を達成するため、固定リングと研磨リングを有する位置決め可能のウエハ研磨構造を提供する。上記固定リングの一面に多数の固定穴が設けられ、もう一面の周りに、少なくとも二つの結合部が設置され、上記研磨リングは、固定リングと異なる材質からなり、固定リングに結合され、上記研磨リングは、一面に多数の排水槽が設けられ、もう一面の周りに各結合部とドッキングする、少なくとも二つの組合せ部が設置される。
【０００８】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、上記固定リングは、剛性が比較的に良い金属材質からなる。
【０００９】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、各結合部は、それぞれ、凹槽やリブ或いはその組み合わせである。
【００１０】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、各結合部の間に、粗い面の頂面を有する突出部が設けられ、上記研磨リングのもう一面が上記粗い面に接触する。
【００１１】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、上記研磨リングは耐摩耗や耐薬品性の非金属材料からなる。
【００１２】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、各組合せ部は、それぞれ、リブや凹槽或いはその組み合わせである。
【００１３】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、各組合せ部の間に、突出部の粗い面に接触するための粗い面の底面を有して、突出部にドッキングする凹み部が設けられる。
【００１４】
上記位置決め可能のウエハ研磨構造によれば、各排水槽は傾斜して設置されて、その傾斜角度が35°〜45°の範囲内にあり、40°がより好ましい。
【００１５】
以下、図面を参照しながら、本考案の特徴や技術内容について詳しく説明するが、それらの図面等は参考や説明のためであり、本考案は、それによって制限されることが無い。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本考案の外観概念図である。
【図２】本考案の分解概念図である。
【図３】本考案の断面概念図である。
【図４】本考案の図３a部分の一部拡大概念図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
図１、２、３及び４は、それぞれ、本考案の外観概念図と本考案の分解概念図、本考案の断面概念図及び本考案の３図a部分の一部拡大概念図である。図のように、本考案に係る位置決め可能のウエハ研磨構造は、少なくとも、固定リング１と研磨リング２から構成される。
【００１８】
上記固定リング１は、一面に多数の固定穴１１が設けられ、もう一面の周りに、少なくとも二つの結合部１２が設置される。
【００１９】
上記研磨リング２は、固定リング１に結合されて、固定リング１と異なる材質からなり、上記研磨リング２は、一面に多数の排水槽２１が設けられて、もう一面の周りに各結合部１２とドッキングする、少なくとも二つの組合せ部２２が設置される。
【００２０】
上記固定リング１が上記研磨リング２に結合される時、上記固定リング１の結合部１２と上記研磨リング２の組合せ部２２とが互いにドッキングすることにより、上記固定リング１と上記研磨リング２とが安定的に実装されるため、緊密に結合でき、また、構造強度が向上される。
【００２１】
本考案によれば、上記固定リング１が、その一面の各固定穴１１で固定素子に合わせて、必要とする駆動機構に位置決めされて結合され（図示せず）、また、上記研磨リング２の内径が、研磨待ちのウエハ外径に合わせることができるため、上記研磨リング２が、ウエハの外縁にセットされて位置決めされ（図示せず）、また、駆動機構の回転によって、上記固定リング１と上記研磨リング２が連動されて研磨し、そして、研磨する時の仕事液体と廢粒が、上記研磨リング２の一面にある各排水槽２１から排出される。
【００２２】
本考案の一つの実施例によれば、上記固定リング１は剛性が比較的に良い金属材質からなる。これにより、上記固定リング１は、比較的に良い支持力を有して、上記研磨リング２の変形を防止できる。
【００２３】
本考案の一つの実施例によれば、上記研磨リング２は、耐摩耗や耐薬品性の非金属材料からなる。これにより、研磨する時、ウエハに傷つくことを防止でき、また、上記研磨リング２の耐用寿命が向上される。
【００２４】
本考案の一つの実施例によれば、各結合部１２は、それぞれ、凹槽やリブ或いはその組み合わせであり、また、各組合せ部２２は、それぞれ、凹槽やリブ或いはその組み合わせである。これにより、各結合部１２と各組合せ部２２とが、確実に組み合わせられる。本考案において、各結合部１２は、それぞれ、凹槽であって、各組合せ部２２は、それぞれリブであり、上記固定リング１と上記研磨リング２とが結合される時、リブである各組合せ部２２が凹槽である各結合部１２にドッキングされることにより、上記固定リング１と上記研磨リング２とが安定に組み合わせられて、緊密に結合され、また、構造強度が向上される。
【００２５】
本考案の一つの実施例によれば、各結合部１２の間に突出部１３が設けられ、上記突出部１３の頂面が粗い面１４を有し、各組合せ部２２の間に突出部１３にドッキングする凹み部２３が設けられ、上記凹み部２３の底面にもう一つの粗い面２４が設けられる。上記固定リング１の結合部１２と上記研磨リング２の組合せ部２２とが、互いにドッキングすると、上記突出部１３が上記凹み部２３に突きこんで、上記突出部１３の頂面の粗い面１４と、上記凹み部２３の底面のもう一つの粗い面２４とが、互いに接触するため、安定的に咬合でき、上記固定リング１と上記研磨リング２とは、安定的に組み合わせられて緊密に結合され、また、構造強度が向上される。
【００２６】
本考案の一つの実施例によれば、各排水槽２１は傾斜して設置され、その傾斜角度が35°〜45°の範囲内にあり、40°がより好ましい。これにより、ウエハを研磨する時、傾斜して設置された各排水槽２１により、容易に、仕事液体と廢粒が排出される。
【００２７】
以上のように、本考案に係る位置決め可能のウエハ研磨構造は、有効に従来の諸欠点を解消でき、固定リングと研磨リングとが、結合部と組合せ部によって互いに結合され、安定的に組み合わせられるため、緊密に結合されて、構造強度が向上され、そのため、本考案は、より進歩的かつより実用的で、法に従って実用新案登録出願をする。
【００２８】
以上は、ただ、本考案のより良い実施例であり、本考案は、それによって制限されることが無く、本考案に係わる実用新案登録請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本考案の実用新案登録請求の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００２９】
１    固定リング
１１  固定穴
１２  結合部
１３  突出部
１４  粗い面
２    研磨リング
２１  排水槽
２２  組合せ部
２３  凹み部
２４  粗い面
【図１】
0003219432.tif 000003
【図２】
0003219432.tif 000004
【図３】
0003219432.tif 000005
【図４】
0003219432.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成30年10月29日(2018.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
各排水槽は傾斜して設置されて、その傾斜角度が35°〜45°の範囲内にある、ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め可能のウエハ研磨構造。