(57)【要約】      （修正有）【課題】塗液の漏洩（ｌｅａｋａｇｅ）を防止することができる気密機能を具備したノズル装置及びこれを具備したコーテイング装置を提供する。【解決手段】塗液供給部と連結されるチャンバー、及び該チャンバーの下部に沿って第１リップの内側面と第２リップの内側面の間でギャップを具備するように形成され、塗液を吐出するように形成された吐出口を含み、上記第１リップ及び上記第２リップは上記チャンバーの上部及び側面一部で上記第１リップ及び上記第２リップに形成された複数の締結穴を介して複数の組立部材２３０によって組み立てられ、上記複数の組立部材はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山を具備した締結ボルト２３４ａ、及び内側面に形成された第２ネジ山を具備した締結ナット２３４ｄから構成され、上記締結ボルトの上記第１ネジ山は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜を具備することを特徴とする。【選択図】図２
0003161403.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ノズル装置において、
互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ；
上記第１リップまたは第２リップの内部に形成される塗液供給部；
上記塗液供給部と連結されるチャンバー；及び
上記チャンバーの下部に沿って上記第１リップの内側面と上記第２リップの内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備するように形成され、塗液を吐出するように形成された吐出口
を含み、
上記第１リップ及び上記第２リップは上記チャンバーの上部及び側面一部で上記第１リップ及び上記第２リップに形成された複数の締結穴を介して複数の組立部材によって組み立てられ、
上記複数の組立部材はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山を具備した締結ボルト；及び内側面に形成された第２ネジ山を具備した締結ナットから構成され、
上記締結ボルトの上記第１ネジ山は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜を具備する
ノズル装置。
【請求項２】
上記コーティング膜はテフロン（Ｔｅｆｌｏｎ）系列の樹脂で具現されることを特徴とする第１項に記載のノズル装置。
【請求項３】
上記ノズル装置は上記吐出口がスリットであるスリットダイであるか、または上記吐出口が複数のノズル穴であるノズルディスペンサーであることを特徴とする第１項または第２項に記載のノズル装置。
【請求項４】
ＰＤＰまたはＬＣＤパネル製造用コーティング装置において、
サクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ  ｔａｂｌｅ）；
上記サクションテーブル上に位置される作業物；
上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー；及び
上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのノズル装置
を含み、
上記ノズル装置は
互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ；
上記第１リップまたは第２リップの内部に形成される塗液供給部；
上記塗液供給部と連結されるチャンバー；及び
上記チャンバーの下部に沿って上記第１リップの内側面と上記第２リップの内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備するように形成され、塗液を吐出するように形成された吐出口
を含み、
上記第１リップ及び上記第２リップは上記チャンバーの上部及び側面一部で上記第１リップ及び上記第２リップに形成された複数の締結穴を介して複数の組立部材によって組み立てられ、
上記複数の組立部材はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山を具備した締結ボルト；及び内側面に形成された第２ネジ山を具備した締結ナットから構成され、
上記締結ボルトの上記第１ネジ山は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜を具備する
コーティング装置。
【請求項５】
上記コーティング膜はテフロン（Ｔｅｆｌｏｎ）系列の樹脂で具現されることを特徴とする第４項に記載のコーティング装置。
【請求項６】
上記ノズル装置は上記吐出口がスリットであるスリットダイであるか、または上記吐出口が複数のノズル穴であるノズルディスペンサーであることを特徴とする第４項または第５項に記載のコーティング装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は気密機能を具備したノズル装置及びこれを具備したコーティング装置に関する。より具体的には、本考案はスリットダイまたはノズルディスペンサーのようなノズル装置を構成する２個のリップ（ｌｉｐ）を組み立てるための複数の組立部材をシーリング（ｓｅａｌｉｎｇ）処理してノズル装置内へ気泡の流入を遮断することで、塗液の漏洩（ｌｅａｋａｇｅ）を防止することができる気密機能を具備したノズル装置及びこれを具備したコーティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、ＰＤＰまたはＬＣＤパネルを製造するためには、ガラス基板のような基材または作業物（ｗｏｒｋ  ｐｉｅｃｅ：  以下  “作業物“という）上に塗液を塗布するためにはノズル装置（ｓｌｉｔ  ｄｉｅ）またはノズルディスペンサー（ｎｏｚｚｌｅ  ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ）のようなノズル装置を具備したコーティング装置が使用される。
より具体的には、図１ａに概略的に図示されたＰＤＰまたはＬＣＤパネルを製造するために使用されるテーブルコーティング装置（ｔａｂｌｅ  ｃｏａｔｅｒ）（１００）（以下  “コーティング装置“という）ではコーティングする作業物であるガラス基板（１１０）をステージまたはサクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ  ｔａｂｌｅ：  １１２）上に位置させた後、ガントリー（ｇａｎｔｒｙ）（１２５）に付着したノズル装置（１２０）を水平方向に移動させながらガラス基板のような作業物（１１０）上に必要な塗液を塗布させる方法が使用されている。
図１ｂは上述の図１ａに図示された従来技術によるコーティング装置に使用される塗液を吐出するノズル装置の概略的な斜視図を図示しており、図１ｃは図１ｂに図示された従来技術によるノズル装置の片側断面図を図示しており、図１ｄは図１ｂに図示された従来技術によるノズル装置の２個のリップが複数の組立部材によって組み立てられた状態の平断面図と正面図を図示している。
図１ｂないし図１ｄを参照すると、従来技術によるノズル装置（１２０）は互いに対向する１対の第１リップ（ｌｉｐ）（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）から構成される。第１リップ（１２２ａ）の内部には塗液供給部（図示しない）が形成され、チャンバー（１２６）は塗液供給部（図示しない）に連結されて形成される。しかし、当業者であれば塗液供給部（図示しない）とチャンバー（１２６）が第２リップ（１２２ｂ）の内部に形成可能であることを十分に理解することができる。チャンバー（１２６）の下部に沿って第１リップ（１２２ａ）の内側面と第２リップ（１２２ｂ）の内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備し、塗液が吐出されるようにスリット（１２８ａ）または複数のノズル穴（１２８ｂ）が形成されている。ノズル装置（１２０）が一つの長い長手方向のスリット（１２８ａ）を具備する場合、ノズル装置（１２０）はスリットダイであり、ノズル装置（１２０）が複数のノズル穴（１２８ｂ）を具備する場合、ノズル装置（１２０）はノズルディスペンサーである。以下では、スリット（１２８ａ）及び複数のノズル穴（１２８ｂ）を総称して吐出口（１２８）と指称することにする。
また図１ａないし図１ｄを参照すると、上述の構成を具備したノズル装置（１２０）を具備したコーティング装置（１００）では、ノズル装置（１２０）と作業物（１１０）は相対的に移動しながら、塗液が吐出口（１２８）を介して吐出され、作業物（１１０）の表面に塗膜（例えば、カラーフィルター薄膜）またはパターン（例えば、画素を形成するＲ、Ｇ、Ｂパターン）を形成する。
上述の従来技術によるノズル装置（１２０）では、通常第１リップ（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）はチャンバー（１２６）の上部及び側面一部で第１リップ（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）に形成された複数の締結穴（１３２ａ，１３２ｂ：  以下総称して参照符号１３２と表示する）を介して複数の組立部材（１３０ａ，１３０ｂ）によって組み立てられる。以下では、複数の組立部材（１３０ａ，１３０ｂ）は総称して組立部材（１３０）と指称することにする。
図１ｅは従来技術によるノズル装置の２個のリップを組み立てるのに使用される組立部材の解除状態及び結合状態を図示した図面である。
図１ｅを参照すると、従来技術による組立部材（１３０）は締結ボルト（１３４ａ）と締結ナット（１３４ｄ）から構成される。締結ボルト（１３４ａ）は図１ｄに図示された締結穴（１３２）内で締結ナット（１３４ｄ）と締結される。より具体的には、締結ボルト（１３４ａ）の外側面に形成されている第１ネジ山（１３４ｂ）と、締結ナット（１３４ｄ）の内側面に形成されている第２ネジ山（図示しない）が互いに嵌合して第１リップ（１２２ａ）と第２リップ（１２２ｂ）が組み立てられてノズル装置（１２０）を形成する。
しかし、上述の従来技術による組立部材（１３０）として使用される締結ボルト（１３４ａ）と締結ナット（１３４ｄ）は、それぞれ通常使用されるボルトとナットで具現される。この場合、締結ボルト（１３４ａ）と締結ナット（１３４ｄ）の間の微細な空間を介して気泡（例えば、空気）がノズル装置（１２０）のチャンバー（１２６）内に侵透する。気泡がチャンバー（１２６）内に侵透すると、気泡の圧力によってチャンバー（１２６）内の塗液がスリット（１２８ａ）または複数のノズル穴（１２８ｂ）のような吐出口（１２８）を介して漏洩する問題が発生する。
また、ノズル装置（１２０）が一定の時間使用されない場合、漏洩した塗液が吐出口（１２８）内で硬化する。この場合、後続的にノズル装置（１２０）を使用する場合、塗液が吐出口（１２８）を介して一定に吐出されないという問題が発生する。
さらに、上述の漏洩塗液の硬化問題を解決するために、吐出口（１２８）を洗浄する場合にも、吐出口（１２８）を完全に洗浄するのが困難であったり、異物が発生する可能性が高い。従って、吐出口（１２８）の洗浄による全体工程の時間が長くなったり、または異物によって最終製品に不良が発生する可能性が高くなる。
従って、上述の従来技術の問題点を解決するための新しい方案が要求される。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
本考案は上述の従来技術の問題点を解決するためのものであり、ノズル装置を構成する２個のリップを組み立てるための複数の組立部材をシーリング（ｓｅａｌｉｎｇ）処理してノズル装置内へ気泡の流入を遮断することで、塗液の漏洩（ｌｅａｋａｇｅ）を防止することができる気密機能を具備したノズル装置及びこれを具備したコーティング装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本考案の第１の特徴によるノズル装置は、互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ；上記第１リップまたは第２リップの内部に形成される塗液供給部；上記塗液供給部と連結されるチャンバー；及び上記チャンバーの下部に沿って上記第１リップの内側面と上記第２リップの内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備するように形成され、塗液を吐出するように形成された吐出口を含み、上記第１リップ及び上記第２リップは上記チャンバーの上部及び側面一部で上記第１リップ及び上記第２リップに形成された複数の締結穴を介して複数の組立部材によって組み立てられ、上記複数の組立部材はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山を具備した締結ボルト；及び内側面に形成された第２ネジ山を具備した締結ナットから構成され、上記締結ボルトの上記第１ネジ山は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜を具備することを特徴としている。
本考案の第２特徴によるＰＤＰまたはＬＣＤパネル製造用コーティング装置は、サクションテーブル（ｓｕｃｔｉｏｎ  ｔａｂｌｅ）；上記サクションテーブル上に位置される作業物；上記サクションテーブル上で直線往復運動をするガントリー；及び上記ガントリーに付着し、上記作業物上に塗液を塗布するためのノズル装置を含み、上記ノズル装置は互いに対向する１対の第１リップ及び第２リップ；上記第１リップまたは第２リップの内部に形成される塗液供給部；上記塗液供給部と連結されるチャンバー；及び上記チャンバーの下部に沿って上記第１リップの内側面と上記第２リップの内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備するように形成され、塗液を吐出するように形成された吐出口を含み、上記第１リップ及び上記第２リップは上記チャンバーの上部及び側面一部で上記第１リップ及び上記第２リップに形成された複数の締結穴を介して複数の組立部材によって組み立てられ、上記複数の組立部材はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山を具備した締結ボルト；及び内側面に形成された第２ネジ山を具備した締結ナットから構成され、上記締結ボルトの上記第１ネジ山は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜を具備することを特徴としている。
【考案の効果】
【０００５】
本考案の気密機能を具備したノズル装置及びこれを具備したコーティング装置では、次のような長所が達成される。
１．締結ボルトと締結ナットが気密状態を維持するので、気泡（例えば、空気）がノズル装置のチャンバー内へ浸透されるのを防止する。それによって、吐出口を介した塗液の漏洩を防止する。
２．塗液が吐出口内で硬化しないので、後続的にノズル装置を使用する場合にも、塗液が吐出口を介して一定に吐出される。
３．漏洩塗液の硬化による吐出口の洗浄が不要なため、全体の工程時間が減少する。
４．漏洩塗液の硬化による吐出口の洗浄が不要なため、ノズル装置で異物の発生する可能性がなく、最終製品の不良発生の可能性が顕著に低くなる。
本考案のさらなる長所は、同一または類似する参照番号が同一の構成要素を表示する添付図面を参照し、以下の説明から明白に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１ａ】従来技術のＰＤＰまたはＬＣＤパネル製造用コーティング装置を概略的に図示した図面である。
【図１ｂ】図１ａに図示された従来技術によるコーティング装置に使用される塗液を吐出するノズル装置の概略的な斜視図を図示した図面である。
【図１ｃ】図１ｂに図示された従来技術によるノズル装置の片側断面図を図示した図面である。
【図１ｄ】図１ｂに図示された従来技術によるノズル装置の２個のリップが複数の組立部材によって組み立てられた状態の平断面図と正面図を図示した図面である。
【図１ｅ】従来技術によるノズル装置の２個のリップを組み立てるのに使用される組立部材の解除状態及び結合状態を図示した図面である。
【図２】本考案の実施例によるノズル装置の２個のリップを組み立てるのに使用される組立部材の解除状態及び結合状態を図示した図面である。
【考案を実施するための形態】
【０００７】
以下では、本考案の実施例及び図面を参照して本考案を詳細に記述する。
図２は本考案の実施例によるノズル装置の２個のリップを組み立てるのに使用される組立部材の解除状態及び結合状態を図示した図面である。
図２を参照すると、本考案の実施例による組立部材（２３０）は外側面に形成された第１ネジ山（２３４ｂ）を具備した締結ボルト（２３４ａ）；及び内側面に形成された第２ネジ山（図示しない）を具備した締結ナット（２３４ｄ）から構成される。ここで、締結ボルト（２３４ａ）の第１ネジ山（２３４ｂ）は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜（２３４ｃ）を具備する。コーティング膜（２３４ｃ）としては、例えばテフロン（Ｔｅｆｌｏｎ）系列の樹脂が使用される。
以下では、図１ａないし図１ｅ及び図２を共に参照し、本考案のノズル装置及びこれを具備したコーティング装置を詳細に記述する。本考案のノズル装置及びコーティング装置はそれぞれ図２に図示された本考案の実施例による組立部材（２３０）を除き、図１ａないし図１ｅに図示された従来技術のノズル装置及びコーティング装置と実質的に同一の構成を具備する。
また図１ａないし図１ｅ及び図２を共に参照すると、本考案の実施例によるノズル装置は、互いに対向する１対の第１リップ（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）；上記第１リップ（１２２ａ）または上記第２リップ（１２２ｂ）の内部に形成される塗液供給部（図示しない）；上記塗液供給部（図示しない）と連結されるチャンバー（１２６）；及び上記チャンバー（１２６）の下部に沿って上記第１リップ（１２２ａ）の内側面と上記第２リップ（１２２ｂ）の内側面の間でギャップ（Ｌ）を具備し、塗液を吐出するように形成される吐出口（１２８）を含む。上記第１リップ（１２２ａ）及び上記第２リップ（１２２ｂ）は上記チャンバー（１２６）の上部及び側面一部に形成された複数の締結穴（１３２）を介して複数の組立部材（２３０）によって組み立てられる。複数の組立部材（２３０）はそれぞれ外側面に形成された第１ネジ山（２３４ｂ）を具備した締結ボルト（２３４ａ）；及び内側面に形成された第２ネジ山（図示しない）を具備した締結ナット（２３４ｄ）から構成され、上記締結ボルト（２３４ａ）の上記第１ネジ山（２３４ｂ）は気密のためにシーリング処理されたコーティング膜（２３４ｃ）を具備する。
また、本考案の実施例によるＰＤＰまたはＬＣＤパネル製造用コーティング装置は、サクションテーブル（１１２）；上記サクションテーブル（１１２）上に位置される作業物（１１０）；上記サクションテーブル（１１２）上で直線往復運動をするガントリー（１２５）；及び上記ガントリー（１２５）に付着し、上記作業物（１１０）上に塗液を塗布するためのノズル装置（１２０）を含み、上記ノズル装置（１２０）は上述のような図１ａないし図１ｅ及び図２を共に参照して詳細に記述された本考案の実施例によるノズル装置が使用される。
上述のように、本考案の実施例によるノズル装置及びコーティング装置では、第１リップ（１２２ａ）及び第２リップ（１２２ｂ）の組み立てがコーティング膜（２３４ｃ）を具備した締結ボルト（２３４ａ）と締結ナット（２３４ｄ）によって行われ、気泡（例えば、空気）が締結ボルト（２３４ａ）と締結ナット（２３４ｄ）の間の空間を介してノズル装置（１２０）のチャンバー（１２６）内へ浸透されるのを防止する。従って、気泡の圧力によって塗液が吐出口（１２８）を介して漏洩する問題を防止する。
【産業上の利用可能性】
【０００８】
多様な変形例が本考案の範囲を超えることなく、本明細書に記述され例示された構成及び方法で作製することができるので、上記詳細な説明に含まれたり、添付図面に図示されたすべての事項は例示的なものとして本考案を制限するものではない。従って、本考案の範囲は上述の例示的な実施例によって制限されることがなく、以下の請求の範囲及びその均等物によってのみ定められる。
【符号の説明】
【０００９】
２３０    組立部材
２３４ａ    締結ボルト
２３４ｂ  ネジ山
２３４ｄ  締結ナット
【図１ａ】
0003161403.tif 000003
【図１ｂ】
0003161403.tif 000004
【図１ｃ】
0003161403.tif 000005
【図１ｄ】
0003161403.tif 000006
【図１ｅ】
0003161403.tif 000007
【図２】
0003161403.tif 000008