【手続補正書】
【提出日】平成26年10月8日(2014.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一基板と、
前記第一基板に対向して配置された第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた第一電極、及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターと、を具備し、
前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、
前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、
前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、
前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続された
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項２】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記平面視において、前記部分アクチュエーターを構成する前記第一部分電極及び前記第二部分電極のうちいずれか一方の外周縁は、他方の外周縁の内側に位置する
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
複数の前記第一部分電極は、前記平面視においてそれぞれ同一形状であり、
複数の前記第二部分電極は、前記平面視においてそれぞれ同一形状である
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第一部分電極及び前記第二部分電極のうちのいずれか２つにより電圧印加用部分電極が構成され、
前記２つの電圧印加用部分電極は、前記第二基板に設けられて前記第一基板に対して進退可能な可動領域の重心点を中心とした仮想円上で、互いに隣り合って配置され、
前記静電アクチュエーターにおいて、２つの前記電圧印加用部分電極間で、前記仮想円の周方向に沿って配列された前記部分アクチュエーターが順に電気的に直列に接続された
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項５】
請求項１からは請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記静電アクチュエーターが複数設けられ、これらの静電アクチュエーターが電気的に並列に接続された
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項６】
第一基板、前記第一基板に対向して配置された第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、及び前記第一基板に設けられた第一電極及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、
を具備し、
前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、
前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、
前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、
前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続された
ことを特徴とする光学フィルターデバイス。
【請求項７】
第一基板、前記第一基板に対向して配置された第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、及び、前記第一基板に設けられた第一電極及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターにより取り出された光を検出する検出部と、
を具備し、
前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、
前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、
前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、
前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続された
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項８】
第一基板と、
前記第一基板に対向して配置された第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた第一電極、及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターと、を具備し、
前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、
前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、
前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、
前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続された
ことを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
この特許文献２の波長可変干渉フィルターは、導電性の可動部を有する第１の基板と、第２の基板とを備え、第１の基板の可動部と、第２の基板の可動部に対向する位置とにそれぞれ反射膜が設けられている。そして、これらの第２の基板の可動部に対向する位置には、円弧状の２つの駆動電極を設けられている。このような波長可変干渉フィルターでは、２つの駆動電極のそれぞれに異なる電圧を印加することで、各駆動電極と可動部との間に、それぞれ異なる静電引力を作用させることが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の波長可変干渉フィルターは、第一基板と、前記第一基板に対向して配置された第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極、及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターと、を具備し、前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続されたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の波長可変干渉フィルターでは、前記第一部分電極及び前記第二部分電極のうちのいずれか２つにより電圧印加用部分電極が構成され、前記２つの電圧印加用部分電極は、前記第二基板に設けられて前記第一基板に対して進退可能な可動領域の重心点を中心とした仮想円上で、互いに隣り合って配置され、前記静電アクチュエーターにおいて、２つの前記電圧印加用部分電極間で、前記仮想円の周方向に沿って配列された前記部分アクチュエーターが順に電気的に直列に接続されたことが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の光学フィルターデバイスは、第一基板、前記第一基板に対向して配置された第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、及び前記第一基板に設けられた第一電極及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、を具備し、前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続されたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の光学モジュールは、第一基板、前記第一基板に対向して配置された第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、及び、前記第一基板に設けられた第一電極及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターにより取り出された光を検出する検出部と、を具備し、前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続されたことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の電子機器は、第一基板と、前記第一基板に対向して配置された第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極、及び前記第二基板に設けられて前記第一電極に対向する第二電極を備えた静電アクチュエーターと、を具備し、前記第一電極は、複数の第一部分電極を備え、前記第二電極は、複数の第二部分電極を備え、前記第二部分電極は、それぞれ、前記複数の第一部分電極のいずれか一つに対応して設けられており、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第二部分電極は、少なくとも一部が対応する前記第一部分電極に重なり、前記静電アクチュエーターは、前記平面視において、前記第一部分電極及び当該第一部分電極に対応する前記第二部分電極が重なる領域により構成された部分アクチュエーターを複数備え、前記複数の部分アクチュエーターが電気的に直列に接続されたことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
反射膜設置部５１２は、上述したように、電極配置溝５１１と同軸上で、電極配置溝５１１よりも小さい径寸法となる円柱状に形成されている。なお、本実施形態では、図３に示すように、反射膜設置部５１２の可動基板５２に対向する反射膜設置面５１２Ａが、電極設置面５１１Ａよりも可動基板５２に近接して形成される例を示すが、これに限らない。電極設置面５１１Ａ及び反射膜設置面５１２Ａの高さ位置は、反射膜間ギャップｇ１の寸法、固定電極５４１及び可動電極５４２の間の寸法、固定反射膜５６や可動反射膜５７の厚み寸法、測定対象波長域等により適宜設定される。したがって、例えば、電極設置面５１１Ａと反射膜設置面５１２Ａとが同一面に形成される構成や、電極設置面５１１Ａの中心部に、円柱凹溝状の反射膜固定溝が形成され、この反射膜固定溝の底面に反射膜固定面が形成される構成などとしてもよい。