【手続補正書】
【提出日】平成26年4月2日(2014.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に垂直な方向に沿って前記可動部の両側へ突出する１対の第１突出部と、前記回動中心軸に平行な方向に沿って前記可動部の両側に突出する１対の第２突出部とを有する十字状をなし、
前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記可動部の長さをＡとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記可動部の長さをＢとし、前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記第１突出部の長さをａとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記第２突出部の長さをｂとしたときに、下記式（Ａ）および（Ｂ）をそれぞれ満たすことを特徴とするアクチュエーター。
【数１】
2012220641.tif 000001
【請求項２】
前記可動部は、ａ≦ｂの関係を満たす請求項１に記載のアクチュエーター。
【請求項３】
下記式（Ｃ）および（Ｄ）を満たす請求項１または２に記載のアクチュエーター。
【数２】
2012220641.tif 000002
【請求項４】
前記平面視における前記可動部の外形は、主として、前記可動部の回動中心軸に平行な線分と、前記可動部の回動中心軸に垂直な線分とで構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項５】
前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものである請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項６】
前記可動部の板面は、シリコンの（１００）面で構成されている請求項５に記載のアクチュエーター。
【請求項７】
前記可動部の側面は、主として、シリコンの（１１１）面で構成されている請求項５または６に記載のアクチュエーター。
【請求項８】
前記可動部の側面には、前記可動部の板面に直交する断面においてＶ字状をなす溝が形成されている請求項７に記載のアクチュエーター。
【請求項９】
前記連結部の表面は、シリコンの（１００）面および（１１１）面で構成されている請求項５ないし８のいずれかに記載のアクチュエーター。
【請求項１０】
回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に沿った１対の辺と前記回動中心軸に垂直な方向に沿った１対の辺とで構成された四角形の四隅の部分をそれぞれ四角形に欠いた形状をなし、
前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記可動部の長さをＡとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向での前記可動部の長さをＢとし、前記平面視における前記四隅の部分の前記回動中心軸に垂直な方向の長さをａとし、前記平面視における前記四隅の部分の前記回動中心軸に平行な方向の長さをｂとしたときに、下記式（Ａ）および（Ｂ）をそれぞれ満たすことを特徴とするアクチュエーター。
【数３】
2012220641.tif 000003
【請求項１１】
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に垂直な方向に沿って前記可動部の両側へ突出する１対の第１突出部と、前記回動中心軸に平行な方向に沿って前記可動部の両側に突出する１対の第２突出部とを有する十字状をなし、
前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記可動部の長さをＡとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記可動部の長さをＢとし、前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記第１突出部の長さをａとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記第２突出部の長さをｂとしたときに、下記式（Ａ）および（Ｂ）をそれぞれ満たすことを特徴とする光スキャナー。
【数４】
2012220641.tif 000004
【請求項１２】
光を出射する光源と、
前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは、
光反射性を有する光反射部と、
前記光反射部を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
前記連結部を支持する支持部と、を有し、
前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に垂直な方向に沿って前記可動部の両側へ突出する１対の第１突出部と、前記回動中心軸に平行な方向に沿って前記可動部の両側に突出する１対の第２突出部とを有する十字状をなし、
前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記可動部の長さをＡとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記可動部の長さをＢとし、前記平面視における前記回動中心軸に垂直な方向の前記第１突出部の長さをａとし、前記平面視における前記回動中心軸に平行な方向の前記第２突出部の長さをｂとしたときに、下記式（Ａ）および（Ｂ）をそれぞれ満たすことを特徴とする画像形成装置。
【数５】
2012220641.tif 000005
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明のアクチュエーターでは、前記可動部は、ａ≦ｂの関係を満たすことが好ましい。
これにより、可動部の回動時の慣性モーメントを効果的に低減することができる。
本発明のアクチュエーターでは、下記式（Ｃ）および（Ｄ）を満たすことが好ましい。
【数２】
2012220641.tif 000006
これにより、可動部の光反射領域を確保しながら、可動部の回動時の慣性モーメントを効果的に低減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
そして、可動板２１の外周に沿った方向における突出部２１３と突出部２１５との間には、欠損部２５１が形成されている。また、可動板２１の外周に沿った方向における突出部２１３と突出部２１６との間には、欠損部２５２が形成されている。また、可動板２１の外周に沿った方向における突出部２１４と突出部２１６との間には、欠損部２５４が形成されている。また、可動板２１の外周に沿った方向における突出部２１４と突出部２１５との間には、欠損部２５３が形成されている。
言い換えると、可動板２１の板厚方向からの平面視において、可動板２１（本体部２１２）の外周に沿って、欠損部２５１、突出部２１３、欠損部２５２、突出部２１６、欠損部２５４、突出部２１４、欠損部２５３、突出部２１５がこの順で並んで設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
以下、上記式（Ａ）、（Ｂ）について簡単に説明する。
図３に示すように平面視にて可動板２１に光Ｌの円形または楕円形のスポットが内接する場合、各欠損部２５１〜２５４が光Ｌのスポットの外側で面積が最大となるのは、ａ＝（１−１／√２）Ａ、ｂ＝（１−１／√２）Ｂである。また、このとき、各欠損部２５１〜２５４の角Ｐ３が光Ｌのスポットの外周縁上に位置し、ａ／ｂ＝Ａ／Ｂである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
−Ａ６−
次に、レジスト膜６１、６２Ａを除去する。これにより、図６（ｇ）に示すように、シリコン基板１０２は、その上面が窒化膜５１で覆われ、下面が窒化膜５２Ａで覆われた状態となる。
レジスト膜６１、６２Ａの除去方法としては、特に限定されないが、例えば、硫酸による洗浄、Ｏ２アッシング等が挙げられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
以下、連結部２３Ａについて代表的に説明し、連結部２４Ａについては、連結部２３Ａと同様であるので、その説明を省略する。
連結部２３Ａは、軸線Ｘに沿って設けられている。また、連結部２３Ａは、その横断面形状が台形をなしている。
より具体的には、連結部２３Ａは、軸線Ｘに平行な方向からみたときに（言い換えると、図１２に示す断面でみたとき）、上下に延び軸線Ｘを通る線分に対して対称（図１２にて左右対称）な形状をなしている。
また、図１２に示す断面において、連結部２３Ａ全体の幅は、下側から上側に向けて拡がっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
本実施形態の光スキャナーに備えられた可動板２１Ｃは、図１３に示すように、本体部２１２Ｃと、この本体部２１２Ｃから軸線Ｘ方向に両側へ突出する１対の突出部２１３Ｃ、２１４Ｃと、本体部２１２Ｃから線分Ｙ方向に両側に突出する１対の突出部２１５Ｃ、２１６Ｃとで構成されている。これにより、可動板２１Ｃは、平面視にて十字状をなす。
そして、可動板２１Ｃの外周に沿った方向における突出部２１３Ｃと突出部２１５Ｃとの間には、欠損部２５１Ｃが形成されている。また、可動板２１Ｃの外周に沿った方向における突出部２１３Ｃと突出部２１６Ｃとの間には、欠損部２５２Ｃが形成されている。また、可動板２１Ｃの外周に沿った方向における突出部２１４Ｃと突出部２１６Ｃとの間には、欠損部２５４Ｃが形成されている。また、可動板２１Ｃの外周に沿った方向における突出部２１４Ｃと突出部２１５Ｃとの間には、欠損部２５３Ｃが形成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
本実施形態では、可動板２１Ｃは、板厚方向からの平面視にて軸線Ｘに対して対称となるように形成されているが、当該平面視にて線分Ｙに対して非対称となるように形成されている。なお、以下では、欠損部２５１Ｃ、２５３Ｃについて代表的に説明するが、欠損部２５２Ｃ、２５４Ｃについても同様である。
より具体的に説明すると、欠損部２５１Ｃの線分Ｙ方向に沿った長さをａ１とし、欠損部２５１Ｃの軸線Ｘ方向に沿った長さをｂ１としたとき、ａ１＜ｂ１の関係を満たす。すなわち、欠損部２５１Ｃは、軸線Ｘ方向に沿った長さが線分Ｙ方向に沿った長さよりも長い長方形をなしている。これにより、可動板２１Ｃの軸線Ｘから遠位の端部の質量を効率的に低減することができる。そのため、可動板２１Ｃの回動時の慣性モーメントを効果的に抑えることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
本実施形態の光スキャナーに備えられた可動板２１Ｄは、図１４に示すように、本体部２１２Ｄと、この本体部２１２Ｄから軸線Ｘ方向に両側へ突出する１対の突出部２１３Ｄ、２１４Ｄと、本体部２１２Ｄから線分Ｙ方向に両側に突出する１対の突出部２１５Ｄ、２１６Ｄとで構成されている。これにより、可動板２１Ｄは、平面視にて十字状をなす。
そして、可動板２１Ｄの外周に沿った方向における突出部２１３Ｄと突出部２１５Ｄとの間には、欠損部２５１Ｄが形成されている。また、可動板２１Ｄの外周に沿った方向における突出部２１３Ｄと突出部２１６Ｄとの間には、欠損部２５２Ｄが形成されている。また、可動板２１Ｄの外周に沿った方向における突出部２１４Ｄと突出部２１６Ｄとの間には、欠損部２５４Ｄが形成されている。また、可動板２１Ｄの外周に沿った方向における突出部２１４Ｄと突出部２１５Ｄとの間には、欠損部２５３Ｄが形成されている。