Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月15日(2014.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の他の態様による超音波内視鏡システムは、第１超音波送受信部と、前記第１超音波送受信部の観察視野に向けて超音波を送受信可能な第２超音波送受信部と、前記第１超音波送受信部及び前記第２超音波送受信部を同時に駆動して異なる周波数の超音波を同時に送信する駆動部と、所定の音速を有し、前記第２超音波送受信部の観察視野に進退可能に配置された穿刺針と、前記穿刺針の少なくとも一部に配置された複数の凹部と、を備え、前記第２超音波送受信部の受信用中心周波数は式（２）を満たし、前記第１超音波送受信部の送信用中心周波数は式（３）を満たすものである。  
Ｙ＝（Ｃ／ａ）×（ｎ／２）  …（２）
但し、
Ｙ：第２超音波送受信部の送信用中心周波数
Ｃ：凹部を形成した部分の穿刺針上での音速
ａ：凹部と凹部との距離
ｎ：自然数
であり、
Ｙ２ｆ＜Ｘｆ１２  …（３）
但し、
Ｙ２ｆ：第２超音波送受信部からの送信波に対する受信波の二次高調波成分の中心周波数
Ｘｆ１２：第１超音波送受信部の送信用周波数帯域のうち画像生成に有効な強度帯域の低
周波側の閾値
である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１超音波送受信部と、
前記第１超音波送受信部の観察視野に向けて超音波を送受信可能な第２超音波送受信部と、
前記第１超音波送受信部及び前記第２超音波送受信部を同時に駆動して異なる周波数の超音波を同時に送信する駆動部と、
所定の音速を有し、前記第２超音波送受信部の観察視野に進退可能に配置された穿刺針と、
前記穿刺針の少なくとも一部に配置された複数の凹部と、を備え、
前記第１超音波送受信部の送信用中心周波数は式（１）を満たすことを特徴とする超音波内視鏡システム。
Ｘ＝Ｙ＋α＝（（Ｃ／ａ）×（ｎ／２））＋α  …（１）
但し、Ｘ：第１超音波送受信部の送信用中心周波数
Ｙ：第２超音波送受信部の送信用中心周波数
α：３［ＭＨｚ］以上
Ｃ：穿刺針上での音速
ａ：凹部と凹部との距離
ｎ：自然数
である。
【請求項２】
第１超音波送受信部と、
前記第１超音波送受信部の観察視野に向けて超音波を送受信可能な第２超音波送受信部と、
前記第１超音波送受信部及び前記第２超音波送受信部を同時に駆動して異なる周波数の超音波を同時に送信する駆動部と、
所定の音速を有し、前記第２超音波送受信部の観察視野に進退可能に配置された穿刺針と、
前記穿刺針の少なくとも一部に配置された複数の凹部と、を備え、
前記第２超音波送受信部の受信用中心周波数は式（２）を満たし、
前記第１超音波送受信部の送信用中心周波数は式（３）を満たすことを特徴とする超音波内視鏡システム。
Ｙ＝（Ｃ／ａ）×（ｎ／２）  …（２）
但し、Ｙ：第２超音波送受信部の送信用中心周波数
Ｃ：穿刺針上での音速
ａ：凹部と凹部との距離
ｎ：自然数
であり、
Ｙ２ｆ＜Ｘｆ１２  …（３）
但し、Ｙ２ｆ：第２超音波送受信部からの送信波に対する受信波の二次高調波成分の中心周波数
Ｘｆ１２：第１超音波送受信部の送信用周波数帯域のうち画像生成に有効な強度帯域の低周波側の閾値である。
【手続補正書】
【提出日】平成26年8月11日(2014.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の演出を実行可能な演出手段と、
前記演出手段に前記所定の演出を実行させる演出制御手段と、
所定の音声を出力可能なスピーカと、
所定の設定操作を行うことが可能な操作手段と、
前記操作手段による前記設定操作に応じた音量で前記スピーカから前記所定の音声を出力させる音声制御手段と、を備え、
前記演出制御手段は、
前記操作手段により特定の設定操作が行なわれたときは、該特定の設定操作が行なわれなかったときよりも前記演出手段に係る消費電力が低減された状態で前記所定の演出を実行させることが可能であることを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の遊技機は、所定の演出を実行可能な演出手段（画像表示装置７１及び演出用照明装置７３〜７８）と、前記演出手段に前記所定の演出を実行させる演出制御手段（演出制御基板１０２）と、所定の音声を出力可能なスピーカ（音声出力装置７２）と、所定の設定操作を行うことが可能な操作手段（音量切替スイッチ装置７２０）と、前記操作手段による前記設定操作に応じた音量で前記スピーカから前記所定の音声を出力させる音声制御手段（画像制御基板１０５）と、を備え、前記演出制御手段は、前記操作手段により特定の設定操作が行なわれたときは、該特定の設定操作が行なわれなかったときよりも前記演出手段に係る消費電力が低減された状態で前記所定の演出を実行させることが可能であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の遊技機によれば、節電することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月29日(2014.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面側に所定の遊技領域が形成された遊技盤を保持する枠部材と、
前記枠部材の前面側に開閉自在に設けられ、前記枠部材の少なくとも一部を覆う閉止位置と、当該一部を開放する開放位置との間で揺動する開閉部材と、
前記枠部材の前面側に設けられて、遊技球を前記遊技領域に向けて打ち出す発射ユニットと、を備える弾球遊技機であって、
前記発射ユニットは、
ソレノイドの駆動により球送り部材を動作させて遊技球を球送りする球送り機構と、
前記球送り機構から球送りされた遊技球を発射レールに沿って前記遊技領域へ向けて打ち出す発射機構と、
前記発射機構の側に設けられるケース本体と当該ケース本体に開閉可能に取り付けられて前記球送り機構の側に設けられるケース蓋とを有するケース部材と、を備えて構成され、
前記球送り機構から前記発射機構へ通された糸状体を受容して切断可能な切断部材が前記ケース蓋によって前面側から覆われた状態で設けられ、前記切断部材は遊技球の発射方向から見て前記球送り機構と前記発射機構との間に配置されており、
前記ソレノイドと当該ソレノイドを駆動制御する制御手段とを電気接続するための接続手段を有し、
前記ケース部材を前面側から見て、前記ケース蓋に設けられた前記ソレノイドを基準として、左右方向の一方側に遊技球を前記球送り機構へ導く球入口が前記ケース蓋に設けられ、左右方向の他方側で前記接続手段を当該ケース部材の内外へ通過させていることを特徴とする弾球遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
ところで、パチンコ機には、各種入賞装置に対応して通過型センサ等からなる入賞球検出器が設けられており、この入賞装置に入球する遊技球が入賞球検出器を通過することによって該入賞装置での遊技球の入賞が検出され、入球個数に応じた賞球の払い出しが適時実行されるようになっている。ここで、正常な遊技では原則として遊技球１球につき１回のみ入賞球検出器への通過が検出されるものであるが、近年においては、釣糸等の糸状体を付けた遊技球を入賞装置に入球させて、該糸状体を手前に引っ張ったり奥側へ送り込んだりする不正な操作をすることで、この遊技球を入賞球検出器に何度も繰り返し通過させて（遊技球の連続入賞を検出させて）、多数の賞球を払い出させる不正入賞行為（ゴト行為）が頻発しており、その被害が大きな問題になってきている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、糸状体を付けた遊技球を不正に操作して遊技球の入賞を検出させる不正入賞行為を効果的に抑止することが可能な構成の弾球遊技機を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような目的達成のために、本発明に係る弾球遊技機は、前面側に所定の遊技領域が形成された遊技盤を保持する枠部材（例えば、実施形態における前枠２）と、枠部材の前面側に開閉自在に設けられ、枠部材の少なくとも一部を覆う閉止位置と、当該一部を開放する開放位置との間で揺動する開閉部材（例えば、実施形態における上球皿３０）と、枠部材の前面側に設けられて遊技球を遊技領域に向けて打ち出す発射ユニットと、を備える弾球遊技機であって、発射ユニットは、ソレノイドの駆動により球送り部材を動作させて遊技球を球送りする球送り機構と、球送り機構から球送りされた遊技球を発射レールに沿って遊技領域へ向けて打ち出す発射機構と、発射機構の側に設けられるケース本体と当該ケース本体に開閉可能に取り付けられて球送り機構の側に設けられるケース蓋とを有するケース部材（例えば、実施形態におけるユニットケース１１０）と、を備えて構成され、球送り機構から発射機構へ通された糸状体を受容して切断可能な切断部材がケース蓋によって前面側から覆われた状態で設けられ、切断部材は遊技球の発射方向から見て球送り機構と発射機構との間に配置されており、ソレノイドと当該ソレノイドを駆動制御する制御手段とを電気接続するための接続手段（例えば、実施形態におけるコネクタ１６５Ｃ，１７５Ｃおよびハーネス１７５など）を有し、ケース部材を前面側から見て、ケース蓋に設けられたソレノイドを基準として、左右方向の一方側に遊技球を球送り機構へ導く球入口がケース蓋に設けられ、左右方向の他方側で接続手段を当該ケース部材の内外へ通過させるよう構成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係る弾球遊技機によれば、糸状体の付いた遊技球を不正に操作して遊技球の入賞を検出させる不正入賞行為を効果的に抑止することが可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月6日(2014.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
テクスチャ方向判定手段２０２は、さらに前記の４つの各方向に沿って算出された微分値から統計量を算出する統計量算出手段３２１ａ〜３２１ｄと、前記各方向の統計量を比較して、近傍領域２１１のテクスチャの方向を決定する統計量比較手段３３１を有している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
次に、統計量比較手段３３１の処理について説明する。
統計量比較手段３３１は、前記の各方向、すなわち水平、垂直、右上がり、右下がり各方向について、統計量算出手段３２１ａ〜ｄで算出された統計量ｍＨｇｒａｄ、
ｍＶｇｒａｄ、ｍＡｇｒａｄ、ｍＤｇｒａｄの比較を行い、最も統計量が小さい方向をテクスチャ方向であると判定する。
例えば、ｍＨｇｒａｄが最も小さい値だった場合、近傍領域２１１のテクスチャ方向は、水平方向であると判定する。
欠陥補正手段１１８内のテクスチャ方向判定手段２０２は、このようにしてテクスチャ方向を判定し、判定情報としてのテクスチャ方向情報（ｄｉｒ）を欠陥画素検出手段２０３に出力する。
なお、テクスチャ方向情報（ｄｉｒ）とは、輝度変化や画素値変化のもっとも小さい方向に対応する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図１１に示した共有画素パターンの場合、
注目画素を含む共有画素（８画素）の画素集合をＦＤ０１とする。
注目画素を含む共有画素ＦＤ０１の左、左下、下、右下、右方向の隣合う共有画素を順にＦＤ００、ＦＤ１０、ＦＤ１１、ＦＤ１２、ＦＤ２２で表す。
すなわち、注目画素を中心とした７ｘ７画素領域に、
上段左側から、ＦＤ００，ＦＤ０１，ＦＤ０２、
下段左側から、ＦＤ１０，ＦＤ１１，ＦＤ１２，
これらの８画素単位の共有画素（８画素）の画素集合が設定される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
例えば、図１１に示す７ｘ７画素からなる画素領域中の、中心の点線で囲まれた画素を含む共有画素集合（ＦＤ０１）に含まれるＷ画素の平均値を（ｍＷ０１）とする。なお、共有画素集合は前述したように読み出し回路を共有する画素の集合である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
さらに、右上がり方向欠陥検出手段４２３は、これら２つの共有画素集合単位の右上がり方向差分値（グラディエント：ｇＡ０，ｇＡ１）を比較して、比較結果に基づいて、以下の右上がり方向欠陥検出用平均値（ｓａｆｅ＿ｍＷ）を算出する。
（ａ）ｇＡ０＜ｇＡ１ならば、
ｓａｆｅ＿ｍＷ＝（ｍＷ１０＋ｍＷ０１）／２、
（ｂ）ｇＡ０＞ｇＡ１ならば、
ｓａｆｅ＿ｍＷ＝（ｍＷ１１＋ｍＷ０２）／２、
上記（ａ），（ｂ）のいずれかによって、右上がり方向欠陥検出用平均値ｓａｆｅ＿ｍＷを求める。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月11日(2013.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出するターゲットの種類が異なる、少なくとも２種類以上の異なるターゲットの検出部を用いて、撮像画像中のターゲットの視野割合を推定する視野割合推定部と、
認識するターゲットの種類が異なる複数の画像認識アプリケーションの中から、推定された前記視野割合に対応する画像認識アプリケーションの候補を選択する候補アプリケーション選択部と、
前記候補アプリケーションの中から、選択された画像認識アプリケーションを実行する画像認識処理部と、
を具備する撮像画像認識装置。
【請求項２】
前記視野割合推定部は、前記検出部によって前記撮像画像内のターゲットを抽出し、カメラの視野角と、前記ターゲット及び前記カメラの位置関係と、に基づいて前記視野割合を推定する、
請求項１に記載の撮像画像認識装置。
【請求項３】
前記視野割合推定部は、前記撮像画像から、人物を検出する人物検出部及び顔を検出する顔検出部を有し、人物検出結果及び顔検出結果に基づいて、前記視野割合を推定する、
請求項１に記載の撮像画像認識装置。
【請求項４】
前記画像認識アプリケーションには、各々適正視野割合が設定されており、
前記候補アプリケーション選択部は、画像認識アプリケーションごとの適正視野割合と、前記視野割合推定部によって推定された視野割合と、に基づいて前記画像認識アプリケーションを選択する、
請求項１に記載の撮像画像認識装置。
【請求項５】
前記候補アプリケーション選択部は、前記撮像画像を撮像する撮像装置のズーム範囲を考慮してアプリケーションを選択する、
請求項１に記載の撮像画像認識装置。
【請求項６】
前記候補アプリケーション選択部は、
混雑検出アプリケーション、人物検出アプリケーション、動作認識アプリケーション、顔認識アプリケーション、視線推定アプリケーション、動線検出アプリケーション、着衣検索アプリケーション、性別推定アプリケーション、年齢推定アプリケーション、及び、表情推定アプリケーション、の中の少なくとも１つを、前記画像認識アプリケーションの候補として選択する、
請求項１に記載の撮像画像認識装置。
【請求項７】
請求項１に記載の撮像画像認識装置を具備するサーバ装置。
【請求項８】
複数の画像認識アプリケーションプログラムが格納されたデータベースを有するサーバ装置と、
前記サーバ装置にネットワーク接続されるネットワークカメラと、
を有し、
前記サーバ装置は、
前記ネットワークカメラにより撮像された撮像画像中の異なる種類のターゲットを検出する少なくとも２種類以上の検出部によって検出された前記ターゲットの大きさと前記検出部の種類とによって推定される視野割合に基づいて、前記格納した認識するターゲットの種類が異なる複数の画像認識アプリケーションプログラムの中から、前記視野割合に対応する画像認識アプリケーションの候補を選択し、
選択した画像認識アプリケーションの候補の情報を前記ネットワークカメラのユーザに提示し、
前記ユーザによって選択された前記画像認識アプリケーションのプログラムを前記ネットワークカメラに送信する、
撮像画像認識システム。
【請求項９】
検出しようとするターゲットの種類が異なる、少なくとも２種類以上の異なるターゲットの検出部を用いて、撮像画像中のターゲットの視野割合を推定する視野割合推定ステップと、
認識するターゲットの種類が異なる複数の画像認識アプリケーションの中から、推定された前記視野割合に対応する画像認識アプリケーションの候補を選択する候補アプリケーション選択ステップと、
前記候補アプリケーションの中から、選択された画像認識アプリケーションを実行する画像認識処理ステップと、
を含む撮像画像認識方法。
【請求項１０】
コンピュータに、
検出しようとするターゲットの種類が異なる、少なくとも２種類以上の異なるターゲットの検出部を用いて、撮像画像中のターゲットの視野割合を推定するステップと、
認識するターゲットの種類が異なる複数の画像認識アプリケーションの中から、推定された前記視野割合に対応する画像認識アプリケーションの候補を選択するステップと、
前記候補アプリケーションの中から、選択された画像認識アプリケーションを実行するステップと、
を実行させるプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月11日(2013.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原画像の画像データを取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記画像データの当該原画像内の処理対象の領域を決定する対象領域決定手段と、
前記対象領域決定手段により処理対象として決定された領域についての、色の特性を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段による抽出結果に基づいて、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色を決定する決定手段と、
前記決定手段により決定された色で前記原画像を取り囲んで表示されるように、画像データの出力を制御する出力制御手段と、
を備えることを特徴とする画像出力装置。
【請求項２】
前記取得手段により取得された前記画像データに基づいて、前記原画像の構図を解析する解析手段を更に備え、
前記対象領域決定手段は、前記解析手段により解析された前記原画像の構図に基づいて、前記原画像内の処理対象の領域を決定することを特徴とする請求項１に記載の画像出力装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色とともにこの色で表示される枠の画像データを決定し
前記出力制御手段は、前記枠の画像データと前記原画像の画像データとを合成することによって、前記枠が付加された前記原画像の合成画像データを生成して、前記合成画像データの出力を制御する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像出力装置。
【請求項４】
前記原画像を表示する表示手段と、
前記表示手段の周囲に設けられる複数種の発光色で発光する発光手段と、
前記出力制御手段は、前記決定手段によって決定された色で発光するよう前記発光手段を制御する発光色制御手段を含む
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像出力装置。
【請求項５】
前記抽出手段による抽出結果に基づいて、前記対象領域決定手段により処理対象として決定された領域との調和色を特定する特定手段をさらに備え、
前記決定手段は、前記特定手段により特定された前記調和色を、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色として決定する、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の画像出力装置。
【請求項６】
前記解析手段は、前記原画像の構図を解析することによって、当該原画像内に含まれる顔を検出し、
前記対象領域決定手段は、前記解析手段により検出された当該顔を含む領域を、処理対象の領域として決定する、
ことを特徴とする請求項２に記載の画像出力装置。
【請求項７】
前記決定手段は、前記対象領域決定手段によって決定された処理対象の領域を強調する枠を、前記原画像に付加する枠として決定する、
ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の画像出力装置。
【請求項８】
前記色の特性は、色彩、明度、及び彩度であることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の画像出力装置。
【請求項９】
原画像の画像データを取得する取得ステップと、
前記取得ステップの処理により取得された前記画像データの当該原画像内の処理対象の領域を決定する対象領域決定ステップと、
前記対象領域決定ステップの処理により処理対象として決定された領域についての、色の特性を抽出する抽出ステップと、
前記抽出ステップの処理による抽出結果に基づいて、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色を決定する決定ステップと、
前記決定ステップの処理により決定された色で前記原画像を取り囲んで表示されるように、画像データの出力を制御する出力制御ステップと、
を含むことを特徴とする画像出力方法。
【請求項１０】
原画像の画像データを取得する取得機能と、
前記取得機能の発揮により取得された前記画像データの当該原画像内の処理対象の領域を決定する対象領域決定機能と、
前記対象領域決定機能の発揮により処理対象として決定された領域についての、色の特性を抽出する抽出機能と、
前記抽出機能の発揮による抽出結果に基づいて、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色を決定する決定機能と、
前記決定機能の発揮により決定された色で前記原画像を取り囲んで表示されるように、画像データの出力を制御する出力制御機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様の画像出力装置は、原画像の画像データを取得する取得手段と、前記取得手段により取得された前記画像データの当該原画像内の処理対象の領域を決定する対象領域決定手段と、前記対象領域決定手段により処理対象として決定された領域についての、色の特性を抽出する抽出手段と、前記抽出手段による抽出結果に基づいて、前記原画像の周囲を取り囲む範囲の色を決定する決定手段と、前記決定手段により決定された色で前記原画像を取り囲んで表示されるように、画像データの出力を制御する出力制御手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月26日(2013.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力画像の画像処理を行い、該画像処理では前記入力画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う画像処理部と、
前記入力画像を画像処理して符号化する前に、前処理として、前記入力画像の一部である前処理画像を前記画像処理部で画像処理して符号化部に供給し、前記符号化部から前記入力画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理指示部とを備え、
前記前処理指示部は、前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する画像処理装置。
【請求項２】
前記画像処理部は、色の成分よって拡大縮小率が異なる画像を同一サイズとする画像処理、画像の位置によって拡大縮小率が異なる画像を同一サイズとする画像処理、画像の位置によってフィルタのタップ数が異なるフィルタをかける画像処理、レンズによって生じた画像歪みを補正する画像処理の少なくとも１つを含む画像処理を行う
請求項１記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記前処理指示部は、符号化に必要な情報として符号量を取得する
請求項１記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記符号化部は、予め定められた符号順序で前値差分の符号化を行うようになされ、
前記前処理指示部は、前記前処理として前記前値差分を算出するための前値を事前取得する
請求項１記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記符号化部は、ＪＰＥＧ方式を用いて符号化を行うようになされ、
前記前処理指示部は、前記前処理で直流成分を事前取得する
請求項４記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記前処理指示部は、前記画像処理後の前処理画像を前記符号化における処理単位のサイズとする
請求項１記載の画像処理装置。
【請求項７】
符号順序の並べ替えを行う並べ替え部を備え、
前記符号化部は、入力された画像を予め定められた符号順序と異なる順序で符号化するようになされ、
前記並べ替え部は、前記符号化部から出力された符号を前記予め定められた符号順序に並べ替える
請求項１記載の画像処理装置。
【請求項８】
入力画像の画像処理を行い、該画像処理では前記入力画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う工程と、
前記入力画像を画像処理して符号化する前に前記入力画像の一部である前処理画像を画像処理して符号化を行い、前記入力画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理を行い、前記前処理では前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する工程と
を含む画像処理方法。
【請求項９】
撮像画像の生成を行う撮像部と、
前記撮像画像の画像処理を行い、該画像処理では前記撮像画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う画像処理部と、
前記撮像画像を画像処理して符号化する前に、前処理として、前記撮像画像の一部である前処理画像を前記画像処理部で画像処理して符号化部に供給し、前記符号化部から前記撮像画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理指示部とを備え、
前記前処理指示部は、前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この技術の第１の側面は、入力画像の画像処理を行い、該画像処理では前記入力画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う画像処理部と、前記入力画像を画像処理して符号化する前に、前処理として、前記入力画像の一部である前処理画像を前記画像処理部で画像処理して符号化部に供給し、前記符号化部から前記入力画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理指示部とを備え、前記前処理指示部は、前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する画像処理装置にある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この技術の第２の側面は、入力画像の画像処理を行い、該画像処理では前記入力画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う工程と、前記入力画像を画像処理して符号化する前に前記入力画像の一部である前処理画像を画像処理して符号化を行い、前記入力画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理を行い、前記前処理では前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する工程とを含む画像処理方法にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この技術の第３の側面は、撮像画像の生成を行う撮像部と、前記撮像画像の画像処理を行い、該画像処理では前記撮像画像における画像位置に応じて、画像処理後の画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが異なる処理を行う画像処理部と、前記撮像画像を画像処理して符号化する前に、前処理として、前記撮像画像の一部である前処理画像を前記画像処理部で画像処理して符号化部に供給し、前記符号化部から前記撮像画像の符号化に必要な情報を事前取得する前処理指示部とを備え、前記前処理指示部は、前記画像処理後の前処理画像を得るために必要とされる画像処理前の画像のサイズが小さくなるよう前記前処理画像を決定する撮像装置にある。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月16日(2014.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の洗浄槽と、
前記第１の洗浄槽内でウェーハを揺動可能に保持する第１の受け台と、
前記第１の受け台を揺動させる第１の揺動機構と、
前記第１の洗浄槽内に超音波を供給する第１の超音波発生器と、
前記第１の洗浄槽内の前記ウェーハを保持して昇降させるウェーハ保持機構とを備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第１の受け台の揺動角度が第１の角度であるときに前記第１の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第１の角度とは異なる第２の角度であるときに前記ウェーハを前記第１の受け台上に再び載置することによって、前記第１の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とするウェーハ洗浄装置。
【請求項２】
前記ウェーハ保持機構は、基準位置から見た前記第１の受け台の揺動角度が−θであるときに前記第１の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記基準位置から見た前記第１の受け台の揺動角度が＋θであるときに前記ウェーハを前記第１の受け台上に再び載置することによって、前記第１の受け台上の前記ウェーハを周方向に２θ回転させることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項３】
前記ウェーハ保持機構は、前記第１の受け台上の前記ウェーハの持ち上げ動作と前記第１の受け台への前記ウェーハの載置動作とを交互に繰り返し、前記ウェーハを周方向に連続的に回転させることを特徴とする請求項１又は２に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項４】
第２の洗浄槽をさらに備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第１及び第２の洗浄槽の一方から他方への前記ウェーハの移動を行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項５】
前記第２の洗浄槽内でウェーハを揺動可能に保持する第２の受け台と、
前記第２の受け台を揺動させる第２の揺動機構と、
前記第２の洗浄槽内に超音波を供給する第２の超音波発生器とをさらに備え、
前記ウェーハ保持機構は、前記第２の洗浄槽内の前記ウェーハを保持して昇降させると共に、前記第２の受け台の揺動角度が第３の角度であるときに前記第２の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第３の角度とは異なる第４の角度であるときに前記ウェーハを前記第２の受け台上に再び載置することによって、前記第２の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とする請求項４に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項６】
前記ウェーハ保持機構は、前記第１の受け台と協働して前記第１の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させた後、前記第２の洗浄槽に移動させることを特徴とする請求項５に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項７】
前記ウェーハ保持機構は、前記第１の洗浄槽内のウェーハを前記第２の洗浄槽に移動させた後、前記第２の受け台と協働して第２の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させることを特徴とする請求項５に記載のウェーハ洗浄装置。
【請求項８】
第１の洗浄槽内の第１の受け台に載置されたウェーハを前記第１の受け台と共に揺動させながら前記ウェーハを超音波洗浄する第１の洗浄工程を含み、
前記第１の洗浄工程では、前記第１の受け台の揺動角度が第１の角度であるときにウェーハ保持機構が前記第１の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第１の角度とは異なる第２の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第１の受け台上に再び載置することによって、前記第１の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とするウェーハ洗浄方法。
【請求項９】
前記第１の洗浄工程では、基準位置から見た前記第１の受け台の揺動角度が−θであるときに前記ウェーハ保持機構が前記第１の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記基準位置から見た前記第１の受け台の揺動角度が＋θであるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第１の受け台上に再び載置することによって、前記第１の受け台上の前記ウェーハを周方向に２θ回転させることを特徴とする請求項８に記載のウェーハ洗浄方法。
【請求項１０】
前記第１の洗浄工程では、前記ウェーハ保持機構が前記第１の受け台上の前記ウェーハの持ち上げ動作と前記第１の受け台への前記ウェーハの載置動作とを交互に繰り返し、前記第１の洗浄槽内の前記ウェーハを周方向に連続的に回転させることを特徴とする請求項８又は９に記載のウェーハ洗浄方法。
【請求項１１】
前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第１の洗浄槽及び第２の洗浄槽の一方から他方へ前記ウェーハの移動を行うことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載のウェーハ洗浄方法。
【請求項１２】
前記第２の洗浄槽内の第２の受け台に載置されたウェーハを前記第２の受け台を共に揺動させながら前記ウェーハを超音波洗浄する第２の洗浄工程を含み、
前記第２の洗浄工程では、前記第２の受け台の揺動角度が第３の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記第２の受け台上の前記ウェーハを持ち上げ、前記第３の角度とは異なる第４の角度であるときに前記ウェーハ保持機構が前記ウェーハを前記第２の受け台上に再び載置することによって、前記第２の受け台上の前記ウェーハを周方向に回転させることを特徴とする請求項１１に記載のウェーハ洗浄方法。
【請求項１３】
前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第１の受け台と協働して前記第１の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させた後、前記第２の洗浄槽に移動させることを特徴とする請求項１２に記載のウェーハ洗浄方法。
【請求項１４】
前記ウェーハ保持機構を用いて、前記第１の洗浄槽内のウェーハを前記第２の洗浄槽に移動させた後、前記第２の受け台と協働して第２の洗浄槽内のウェーハを周方向に所定の角度回転させることを特徴とする請求項１２に記載のウェーハ洗浄方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウェーハ洗浄装置及び洗浄方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ウェーハ洗浄装置及び洗浄方法に関し、特に、ウェーハの洗浄ムラを防止する機構を備えたウェーハ洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するものであり、本発明の目的は、超音波の減衰や洗浄槽内での不均一な液流の影響を受けることなくウェーハ面内をムラ無く均一に洗浄することが可能なウェーハ洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明によれば、超音波の減衰や洗浄槽内での不均一な液流の影響を受けることなくウェーハ面内をムラ無く均一に洗浄することが可能なウェーハ洗浄装置及び洗浄方法を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子をベース基板上に搭載してなる圧電デバイスの製造方法であって、
圧電材料からなる圧電素子ウエハ内に前記圧電素子を一体的に形成する工程と、
前記圧電素子ウエハ内に一体的に形成された前記圧電素子をウエハ状態のまま前記ベース基板に接合する工程と、
前記ベース基板に接合された前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程と、
前記ベース基板に接合された前記圧電素子を除く領域の前記圧電素子ウエハを取り除く工程と、を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程と、前記圧電素子ウエハを取り除く工程とを、互いに独立した別々の工程で行うことを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程と、前記圧電素子ウエハを取り除く工程とを、同じ工程で行うことを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程において、前記ベース基板に接合された前記圧電素子を除く領域の前記圧電素子ウエハと前記ベース基板とを相対的に離反させて前記圧電素子と前記圧電素子ウエハとの接続部に応力を発生させ、当該応力により前記接続部を破断させて、前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させると同時に前記圧電素子ウエハを取り除くことを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程において、前記ベース基板に接合された前記圧電素子を除く領域の前記圧電素子ウエハをエッチングにより溶解させて消失させることで、前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させると同時に前記圧電素子ウエハを取り除くことを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させる工程において、前記ベース基板に接合された前記圧電素子を除く領域の前記圧電素子ウエハと前記ベース基板とを相対的に離反させて前記圧電素子と前記圧電素子ウエハとの接続部に応力を発生させ、当該応力により前記接続部を破断させることで、前記圧電素子を前記圧電素子ウエハから分離させると同時に前記圧電素子ウエハを取り除く圧電デバイスの製造方法とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギービーム源により生成されたエネルギービームを用いて基板にパターンを描画する描画装置であって、
前記エネルギービーム源と前記基板との間に配置され、堆積物が堆積される第１の部材と、
前記堆積物を除去する除去ユニットと、
を備え、
前記除去ユニットは、
前記エネルギービームが照射されることによって、前記堆積物を分解する活性種を気体から生成するための第１の触媒と、
前記活性種を生成したい位置に前記気体を供給する気体供給機構と、
前記堆積物の除去処理を行う場合に前記第１の触媒を前記エネルギービームが照射される第１位置に移動し、前記基板に描画処理を行う場合に前記第１の触媒を前記エネルギービームが照射されない第２位置に移動する移動機構と、
を含む、ことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記除去ユニットに含まれる少なくとも１つの前記第１の触媒は、前記基板を搭載して移動するステージ上に搭載され、前記ステージによって前記第１位置と前記第２位置とに移動される、ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記移動機構は、前記基板と同一の形状に形成された前記第１の触媒を、前記基板を搭載して移動するステージ上で前記基板が搭載されるべき位置と前記第１の触媒を保管し前記エネルギービームが照射されない位置とに移動する、ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項４】
前記除去処理を行う場合に前記気体供給機構から供給された前記気体が前記エネルギービーム源へ侵入することを制限する制限機構をさらに備える、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項５】
前記制限機構は、開口を有して前記エネルギービームの通過方向に直交する方向に移動可能なオリフィス板を含む、ことを特徴とする請求項４に記載の描画装置。
【請求項６】
前記エネルギービーム源と前記基板との間であって前記第１の部材よりも前記基板を搭載して移動するステージの側に配置され、堆積物が堆積される第２の部材と、
前記エネルギービームが照射されることによって、前記第２の部材に堆積された堆積物を分解する活性種を気体から生成するための第２の触媒と、
をさらに備え、
前記除去処理を行う場合に前記エネルギービームの一部が前記第１の触媒を照射し、前記エネルギービームの他の一部が前記第２の触媒に照射されるように、前記第１の触媒の形状が構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項７】
前記第１の触媒は、ワイヤ状又は網目状である、ことを特徴とする請求項６に記載の描画装置。
【請求項８】
前記気体は水素を含み、前記活性種は水素ラジカルを含み、前記第１の触媒は、タングステン、白金、モリブデン、ニッケル、レニウム及びタンタルの少なくとも１つを含む、ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項９】
前記エネルギービームは、荷電粒子ビーム又は極紫外光である、ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の描画装置を用いて基板にパターンを描画する工程と、
前記工程でパターンが描画された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、エネルギービーム源により生成されたエネルギービームを用いて基板にパターンを描画する描画装置であって、前記エネルギービーム源と前記基板との間に配置され、堆積物が堆積される第１の部材と、前記堆積物を除去する除去ユニットと、を備え、前記除去ユニットは、前記エネルギービームが照射されることによって、前記堆積物を分解する活性種を気体から生成するための第１の触媒と、前記活性種を生成したい位置に前記気体を供給する気体供給機構と、前記堆積物の除去処理を行う場合に前記第１の触媒を前記エネルギービームが照射される第１位置に移動し、前記基板に描画処理を行う場合に前記第１の触媒を前記エネルギービームが照射されない第２位置に移動する移動機構と、を含む、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線を用いて基板にパターンを描画する荷電粒子線描画装置であって、
前記荷電粒子線を偏向するブランキング偏向器と、
前記ブランキング偏向器で偏向された荷電粒子線を遮断可能なストッピングアパーチャと、
前記ストッピングアパーチャに堆積された堆積物を分解する活性種を気体から生成するための触媒と、
前記触媒に前記気体を供給する供給機構と、
を備え、
前記堆積物を除去する除去動作では、前記荷電粒子線を照射する領域が、前記パターンを描画する描画動作で前記荷電粒子線が照射される第１領域から前記描画動作では前記荷電粒子線が照射されない第２領域に切り替えられ、かつ、前記供給機構によって前記気体を前記触媒に供給しながら、前記第２領域に前記荷電粒子線を照射することによって、少なくとも前記第２領域に位置する前記触媒によって前記気体から前記活性種が生成され、該生成された活性種により前記堆積物を分解して除去する、ことを特徴とする荷電粒子線描画装置。
【請求項２】
前記第２領域は、前記ストッピングアパーチャの前記ブランキング偏向器の側の面の一部を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項３】
前記第２領域は、前記ストッピングアパーチャと前記ブランキング偏向器との間の位置を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項４】
前記除去動作の間、前記ブランキング偏向器に前記描画動作の間とは異なる電圧を印加することにより前記荷電粒子線を前記第２領域に照射する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項５】
前記除去動作の間、前記描画動作の間に前記ブランキング偏向器に印加する電圧と逆極性の電圧を前記ブランキング偏向器に印加する、ことを特徴とする請求項４に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項６】
前記除去動作の間、前記荷電粒子線を生成する荷電粒子線源に前記描画動作の間とは異なる加速電圧を印加することにより前記荷電粒子線を前記第２領域に照射する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項７】
前記ブランキング偏向器による前記荷電粒子の偏向方向と異なる方向に前記荷電粒子線を偏向する偏向器をさらに備え、
前記除去動作の間、前記偏向器によって前記荷電粒子線を偏向することにより前記荷電粒子線を前記第２領域に照射する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項８】
前記除去動作の間、前記偏向器及び前記ブランキング偏向器によって前記荷電粒子線を偏向して前記第２領域に照射する、ことを特徴とする請求項７に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項９】
前記触媒は、前記第２領域に加えて前記第１領域に配置される、ことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項１０】
前記触媒はプラチナである、ことを特徴とする請求項９に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項１１】
前記気体は水素である、ことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の荷電粒子線描画装置を用いて基板にパターンを描画する工程と、
前記工程でパターンが描画された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、荷電粒子線を用いて基板にパターンを描画する荷電粒子線描画装置であって、前記荷電粒子線を偏向するブランキング偏向器と、前記ブランキング偏向器で偏向された荷電粒子線を遮断可能なストッピングアパーチャと、前記ストッピングアパーチャに堆積された堆積物を分解する活性種を気体から生成するための触媒と、前記触媒に前記気体を供給する供給機構と、を備え、前記堆積物を除去する除去動作では、前記荷電粒子線を照射する領域が、前記パターンを描画する描画動作で前記荷電粒子線が照射される第１領域から前記描画動作では前記荷電粒子線が照射されない第２領域に切り替えられ、かつ、前記供給機構によって前記気体を前記触媒に供給しながら、前記第２領域に前記荷電粒子線を照射することによって、少なくとも前記第２領域に位置する前記触媒によって前記気体から前記活性種が生成され、該生成された活性種により前記堆積物を分解して除去する、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
モジュール本体とその四方に固定された枠体とから成る太陽光発電パネルであって、
前記枠体は、
軒棟方向は棟側連結枠と軒側連結枠とから成っていて、
桁行方向は左連結枠と右連結枠とから成っており、
前記棟側連結枠は、
桁行方向の端部に開口部を有する横樋部と、
該横樋部よりも外側に形成された取り付け部と、
前記横樋部の下方に形成された脚部とを有しており、 
該脚部には、
配線通気手段が形成されており、
前記軒側連結枠は、
下段に配置された太陽光発電パネルの前記棟側連結枠に嵌合できる形状に形成されており、
前記左連結枠及び前記右連結枠は、
縦樋部を有しており、
桁行方向に太陽光発電パネルを組み合わせたときに、
前記横樋部の底面が前記縦樋部の底面より高い位置に、
前記開口部が前記縦樋部の上に構成されており、
軒棟方向に太陽光発電パネルを組み合わせたときに、
上段と下段の太陽光発電パネルの上面の目地部が前記横樋部の上に位置しており、
下段側の前記棟側連結枠と上段側の前記軒側連結枠とが嵌合されることを特徴とする太陽光発電パネル。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本願の太陽光発電パネルは、モジュール本体とその四方に固定された枠体とから成る。枠体は、軒棟方向は棟側連結枠と軒側連結枠とから成っていて、桁行方向は左連結枠と右連結枠とから成っている。棟側連結枠は、桁行方向の端部に開口部を有する横樋部と、横樋部よりも外側に形成された取り付け部と、横樋部の下方に形成された脚部とを有している。脚部には、配線通気手段が形成されている。軒側連結枠は、下段に配置された太陽光発電パネルの前記棟側連結枠に嵌合できる形状に形成されている。左連結枠及び右連結枠は、縦樋部を有している。
桁行方向に太陽光発電パネルを組み合わせたときに、横樋部の底面が前記縦樋部底面より高い位置に、開口部が前記縦樋部の上に構成されている。軒棟方向に太陽光発電パネルを組み合わせたときに、上段と下段の太陽光発電パネルの上面の目地部が横樋部の上に位置しており、下段側の棟側連結枠と上段側の軒側連結枠とが嵌合される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図２は、本願の太陽光発電パネルＡの桁行方向の取り付け状態を示す説明図である。図２では、右連結枠、左連結枠の一実施例を示している。
まず、最も軒側の設置済み太陽光発電パネルＡに対して桁行方向に隣り合う太陽光発電パネルＡを取り付ける。本実施例では、設置済み太陽光発電パネルＡの右側に、太陽光発電パネルＡを設置する場合について説明する。
設置済み太陽光発電パネルＡの右連結枠３に対して、取り付ける太陽光発電パネルＡの左連結枠４を突き当てて、棟側連結枠１の取り付け部１４を止着具Ｂによって下地材Ｃに固定する。この際、桁行方向に隣り合う太陽光発電パネルＡ・Ａ同士の目地部から雨水が入らないようにシーリング処理を行なっても良い。
次に、その設置した太陽光発電パネルＡに対して上段の太陽光発電パネルＡを取り付ける。この際、左側の設置済み太陽光発電パネルＡの右連結枠３に対して、取り付けようとする太陽光発電パネルＡの左連結枠４を突き当てる。また、下段の設置済み太陽光発電パネルＡの棟側連結枠１に対して、取り付けようとする太陽光発電パネルＡの軒側連結枠２を嵌合する。そして、取り付け部１４を止着部Ｂによって下地材Ｃに固定する。
あとは、上段の太陽光発電パネルＡの取り付けを棟側に向かって繰り返していく。
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月17日(2014.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一電圧信号及び第二電圧信号を含む周期性電圧信号を受け取る発光装置であって、
第一発光ユニットと、
第二発光ユニットと、
前記第一発光ユニット及び前記第二発光ユニットに電気的に接続されるスイッチユニットと、を含み、
前記第一発光ユニットと前記第二発光ユニットとは、前記第一電圧信号の下で第一方式で接続され、及び、前記第二電圧信号の下で第二方式で接続され、
前記第一発光ユニットは、前記第一電圧信号及び前記第二電圧信号の下で実質的に固定電流により駆動される、発光装置。
【請求項２】
コンデンサを更に含み、前記コンデンサは、前記第一発光ユニットに並列接続される、請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記第一発光ユニットは、Ｎ個の発光ダイオードを含み、前記第二発光ユニットは、Ｍ個の発光ダイオードを含み、Ｎ≧１７、Ｍ≧１７、且つ、Ｎ−Ｍ≦３である、請求項１に記載の発光装置。
【請求項４】
前記第一電圧信号は、２７〜８０Ｖの範囲を有し、前記第二電圧信号は、５４〜１５０Ｖの範囲を有する、請求項１に記載の発光装置。
【請求項５】
前記スイッチユニットは、バイポーラジャンクショントランジスタ、パワーバイポーラジャンクショントランジスタ、金属酸化物半導体トランジスタ、パワー金属酸化物半導体トランジスタ、シリコン制御整流器、又は、絶縁ゲートバイポーラトランジスタを含む、請求項１に記載の発光装置。
【請求項６】
異なる電圧信号を含む周期性電圧信号を受け取る発光装置であって、
Ｘ（Ｘ≧３）個の発光ユニットと、
前記発光ユニットに電気的に接続される３（Ｘ−１）個のスイッチユニットと、を含み、
前記発光ユニットは、前記周期性電圧信号を受け取る時に、複数種類の接続組み合わせにより、互いに電気的に接続され、
前記発光ユニットのうちの少なくとも一つは、前記周期性電圧信号を受け取る時に、連続して発光する、発光装置。
【請求項７】
前記接続組み合わせは、Ｙ種類の接続方式を含み、Ｘは、Ｙ個の因数を有し、Ｙ≧２である、請求項６に記載の発光装置。
【請求項８】
前記周期性電圧信号は、Ｚ個の電圧信号を含み、Ｚ＝Ｙである、請求項７に記載の発光装置。
【請求項９】
前記接続組み合わせは、並列接続、直列接続、直並列接続、又は／及び、それらの組みわせを含む、請求項６に記載の発光装置。
【請求項１０】
前記発光ユニットは、前記周期性電圧信号を受け取る時に、連続して発光する、請求項６に記載の発光装置。