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【手続補正書】
【提出日】平成26年7月2日(2014.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換により信号を生成する第１の画素と、
前記第１の画素に対して同一行に配列され、光電変換により信号を生成する第２の画素と、
前記第１の画素に基づく信号と時間に対してレベルが変化する第１の参照信号とを比較する第１の比較器と、
前記第２の画素に基づく信号と前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が異なる第２の参照信号とを比較する第２の比較器と、
前記第１の比較器が前記第１の画素に基づく信号と前記第１の参照信号との大小関係が逆転することを示す信号を出力するまでの間にカウントを行う第１のカウンタと、
前記第２の比較器が前記第２の画素に基づく信号と前記第２の参照信号との大小関係が逆転することを示す信号を出力するまでの間にカウントを行う第２のカウンタと、
少なくとも前記第１のカウンタのカウント値及び／又は前記第２のカウンタのカウント値を基に１個の画素信号を生成する処理部とを有し、
前記第１の画素及び前記第２の画素は、列方向に隣接する同色のカラーフィルタが設けられた２画素であることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記第１の参照信号及び前記第２の参照信号の時間に対する変化率の違いに対応する前記第１のカウンタのカウント値及び前記第２のカウンタのカウント値のゲインの違いを補正することを特徴とする請求項１記載の撮像装置。
【請求項３】
前記第２の参照信号は、前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が大きく、
前記処理部は、前記第１の画素に基づく信号と前記第１の参照信号との大小関係が逆転せず、前記第２の画素に基づく信号と前記第２の参照信号との大小関係が逆転したときには、前記第２のカウンタのカウント値を選択して１個の画素信号を生成することを特徴とする請求項１又は２記載の撮像装置。
【請求項４】
前記第２の参照信号は、前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が大きく、
前記処理部は、前記第１の画素に基づく信号と前記第１の参照信号との大小関係が逆転し、前記第２の画素に基づく信号と前記第２の参照信号との大小関係が逆転したときには、前記第１のカウンタのカウント値を選択して１個の画素信号を生成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記第１の画素に基づく信号と前記第１の参照信号との大小関係が逆転し、前記第２の画素に基づく信号と前記第２の参照信号との大小関係が逆転したときには、前記第１のカウンタのカウント値及び前記第２のカウンタのカウント値を合成して１個の画素信号を生成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記第２の比較器は、第１のモードでは、前記第２の画素に基づく信号と前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が異なる第２の参照信号とを比較し、第２のモードでは、前記第２の画素に基づく信号と前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が同じ第２の参照信号とを比較することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の撮像装置は、光電変換により信号を生成する第１の画素と、前記第１の画素に対して同一行に配列され、光電変換により信号を生成する第２の画素と、前記第１の画素に基づく信号と時間に対してレベルが変化する第１の参照信号とを比較する第１の比較器と、前記第２の画素に基づく信号と前記第１の参照信号に対して時間に対する変化率が異なる第２の参照信号とを比較する第２の比較器と、前記第１の比較器が前記第１の画素に基づく信号と前記第１の参照信号との大小関係が逆転することを示す信号を出力するまでの間にカウントを行う第１のカウンタと、前記第２の比較器が前記第２の画素に基づく信号と前記第２の参照信号との大小関係が逆転することを示す信号を出力するまでの間にカウントを行う第２のカウンタと、少なくとも前記第１のカウンタのカウント値及び／又は前記第２のカウンタのカウント値を基に１個の画素信号を生成する処理部とを有し、前記第１の画素及び前記第２の画素は、列方向に隣接する同色のカラーフィルタが設けられた２画素であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月28日(2014.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
付着物の付着した被処理体の表面から付着物を除去する洗浄方法において、
被処理体の表面及び付着物の少なくとも一方に対して、エッチング処理を含む前処理を行う工程と、
被処理体の置かれる処理雰囲気よりも圧力の高い領域から、前記被処理体の表面に露出している膜に対して反応性を持たない洗浄用ガスを処理雰囲気に吐出し、断熱膨張により前記洗浄用ガスの原子または分子の集合体であるガスクラスターを生成させる工程と、
前記前処理の行われた被処理体の表面に、洗浄用ガスのガスクラスターを照射して、付着物を除去する工程と、を含むことを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
前記前処理は、被処理体の表面及び付着物の少なくとも一方に対する改質処理と、この改質処理により改質された改質層に対するエッチング処理とを含むことを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
前記前処理を行う工程と前記付着物を除去する工程とは、同時に行われることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記前処理は、前記エッチング処理を行うためにガスクラスターを照射する工程を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の洗浄方法。
【請求項５】
前記エッチング処理を行うためにガスクラスターを照射する工程は、前記洗浄用ガスのガスクラスターを照射して、付着物を除去する工程においてガスクラスターを照射する生成機構と同一の生成機構を用いて照射する工程であることを特徴とする請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項６】
前記エッチング処理を行うためにガスクラスターを照射する工程は、前記洗浄用ガスのガスクラスターを照射して、付着物を除去する工程においてガスクラスターを照射する生成機構とは異なる生成機構を用いて照射する工程であることを特徴とする請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項７】
前記洗浄用ガスのガスクラスターを照射して、付着物を除去する工程は、ガスクラスターを照射する生成機構を複数配置して、これら生成機構からガスクラスターを照射する工程であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の洗浄方法。
【請求項８】
前記エッチング処理を行うためにガスクラスターを照射する工程は、ガスクラスターを照射する生成機構を複数配置して、これら生成機構からガスクラスターを照射する工程であることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか一つに記載の洗浄方法。
【請求項９】
前記洗浄用ガスのガスクラスターを照射して、付着物を除去する工程は、ガスクラスターを照射する生成機構における被処理体に対する角度が可変な状態で行われることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の洗浄方法。
【請求項１０】
前記エッチング処理を行うためにガスクラスターを照射する工程は、ガスクラスターを照射する生成機構における被処理体に対する角度が可変な状態で行われることを特徴とする請求項４ないし６または８のいずれか一つに記載の洗浄方法。
【請求項１１】
付着物の付着した被処理体の表面から付着物を除去する被処理体の処理装置において、
被処理体がその内部に載置される前処理室と、
この前処理室内に載置された被処理体の表面または付着物の少なくとも一方に対してエッチング処理を含む前処理を行うための前処理機構を有する前処理モジュールと、
被処理体がその内部に載置される洗浄処理室と、
この洗浄処理室に設けられ、前記洗浄処理室の内部の処理雰囲気よりも圧力の高い領域から、前記被処理体の表面に露出している膜に対して反応性を持たない洗浄用ガスを処理雰囲気に吐出して、断熱膨張により前記洗浄用ガスの原子または分子の集合体であるガスクラスターを生成させ、前記付着物を除去するために、前処理後の被処理体に供給するガスクラスターノズルと、
前記前処理室及び前記洗浄処理室に対して被処理体の受け渡しを行う搬送機構と、を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項１２】
前記前処理室は、内部が常圧雰囲気に保たれた常圧処理室であり、常圧雰囲気にて被処理体の搬送を行う常圧搬送室に接続され、
前記洗浄処理室は、内部が真空雰囲気に保たれた真空処理室であり、真空雰囲気にて被処理体の搬送を行う真空搬送室に気密に接続され、
前記常圧搬送室と前記真空搬送室との間には、内部の雰囲気の切り替えを行うためのロードロック室が設けられ、
前記常圧搬送室及び前記真空搬送室には、前記搬送機構として常圧搬送機構及び真空搬送機構が夫々設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の処理装置。
【請求項１３】
前記前処理室及び前記洗浄処理室は、内部が各々真空雰囲気に保たれた真空処理室であり、
前記前処理室と前記洗浄処理室との間には、前記搬送機構が配置された真空搬送室が気密に介在して設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の処理装置。
【請求項１４】
前記前処理室及び前記洗浄処理室は、共通化されていることを特徴とする請求項１１に記載の処理装置。
【請求項１５】
前記真空搬送室には、前記前処理に先立って行われる真空処理あるいは付着物の除去を行った後に続く真空処理を行うための真空処理室が気密に接続されていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の処理装置。
【請求項１６】
被処理体の洗浄を行う処理装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項１ないし１０のいずれか一つに記載の洗浄方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月8日(2014.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のインプリント材を型により成形してパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記型と前記インプリント材とが互いに接触するように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を駆動軸に沿って移動させる第１駆動機構と、
前記駆動軸に交差する方向において前記基板が前記型に対して位置決めされるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を移動させる第２駆動機構と、
前記型と前記インプリント材とが互いに接触していない状態で前記型に形成された型マークと前記基板に形成された基板マークとを前記型を介して検出するスコープを含み、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量を計測する位置ずれ量計測器と、
制御器と、
を備え、
前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量と、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量との間の関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた前記位置ずれ量の情報とに基づいて、前記第２駆動機構を制御する、
ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記制御器は、前記関係の情報として、前記駆動軸に対する前記スコープの光軸の傾きの情報を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記第２駆動機構により移動される前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の位置を該少なくとも一方の側面を介して計測する位置計測器を備え、
前記制御器は、前記関係の情報として、前記側面に対する前記スコープの光軸の傾きの情報を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記型の表面と前記基板の表面とが互いに平行になるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を傾斜させる第３駆動機構を備え、
前記傾きの情報は、前記第３駆動機構により該少なくとも一方を傾斜させた後の前記側面に対する前記スコープの光軸の傾きの情報である、
ことを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量の情報と、それに対応する前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記関係を求める、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量の情報と、それに対応する前記パターンと前記基板との間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記関係を求める、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記インプリント装置が起動した場合、又は、前記スコープを移動させた場合に、前記制御器は、前記関係の情報を取得する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記型の寸法を補正する補正機構を備え、
前記制御器は、前記関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた複数対の前記型マークおよび前記基板マークそれぞれの間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記補正機構を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記位置ずれ量計測器は、前記スコープを複数含み、該複数の前記スコープは、前記型マークおよび前記基板マークの複数対をそれぞれ検出する、ことを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、基板上のインプリント材を型により成形してパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、前記型を保持する型保持部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記型と前記インプリント材とが互いに接触するように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を駆動軸に沿って移動させる第１駆動機構と、前記駆動軸に交差する方向において前記基板が前記型に対して位置決めされるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を移動させる第２駆動機構と、前記型と前記インプリント材とが互いに接触していない状態で前記型に形成された型マークと前記基板に形成された基板マークとを前記型を介して検出するスコープを含み、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量を計測する位置ずれ量計測器と、制御器と、を備え、前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量と、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量との間の関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた前記位置ずれ量の情報とに基づいて、前記第２駆動機構を制御する、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月9日(2014.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣとＮとを含む混合ガスをプラズマ化してＣＮ活性種を生成し、生成した前記ＣＮ活性種により半導体基体の表面を処理する
プラズマ処理方法。
【請求項２】
前記半導体基体の表面の半導体層を前記ＣＮ活性種によりパッシベートする請求項１に記載のプラズマ処理方法。
【請求項３】
ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８、ＣＯ、Ｃ２Ｈ５ＯＨ及びＣＨ３ＯＨから選ばれる少なくとも１種類以上を含む前記混合ガスを用いる請求項１又は２に記載のプラズマ処理方法。
【請求項４】
半導体基体に加えるバイアスパワーが０Ｗ以上５０Ｗ以下である請求項１から３のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
【請求項５】
前記プラズマ化する際のトップパワーが１０００Ｗ以上２０００Ｗ以下である請求項１から４のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
【請求項６】
前記ＣＮ活性種により前記半導体基体を処理した後、前記半導体基体上に堆積したポリマー層を薬液により除去する請求項１から５のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
【請求項７】
ＣとＮとを含む混合ガスをプラズマ化してＣＮ活性種を生成し、生成した前記ＣＮ活性種により半導体基体の表面を処理するプラズマ処理工程と、
前記半導体基体に半導体素子を形成する工程と、を有する
半導体装置の製造方法。
【請求項８】
ＣとＮとを含む混合ガスをプラズマ化し、生成したＣＮ活性種により半導体基体の表面を処理するプラズマ処理部を備える
プラズマ処理装置。
【請求項９】
前記プラズマ処理部は、前記ＣＮ活性種を生成するプラズマ処理条件のレシピを含むソフトウェアを備える請求項８に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１０】
前記プラズマ処理部は、ＣＮガスの除害装置を備える請求項８又は９に記載のプラズマ処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月4日(2014.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様の画像処理装置は、
撮像手段によって撮像された画像データを逐次取得する取得手段と、
前記撮像手段による撮像状況が安定しているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得手段によって逐次取得された画像データの変化を検出する変化検出手段と、
前記変化検出手段によって検出された画像データの変化に基づいて、前記取得手段によって取得された画像データを記録手段に記録させるよう制御する記録制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段によって撮像された画像データを逐次取得する取得手段と、
前記撮像手段による撮像状況が安定しているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得手段によって逐次取得された画像データの変化を検出する変化検出手段と、
前記変化検出手段によって検出された画像データの変化に基づいて、前記取得手段によって取得された画像データを記録手段に記録させるよう制御する記録制御手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記撮像手段による撮像状況が安定しているか否かを繰り返し判定し、
前記変化検出手段は、前記判定手段によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得手段によって逐次取得された画像データの変化を検出することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記取得手段によって取得された前記画像データの領域毎に動きベクトルを検出する動きベクトル検出手段と、
前記動きベクトル検出手段によって検出された前記動きベクトルの度数を算出する度数算出手段と、
を更に備え、
前記判定手段は、前記度数算出手段によって算出された前記動きベクトルの度数のうち、最大の度数が第１の閾値以上か否かを判定する度数判定手段を有し、
前記動きベクトルの最大の度数が、前記第１の閾値以上でないと判定された場合に、前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定することを特徴とする請求項１または２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
加速度を検出する加速度検出手段を更に備え、
前記判定手段は、前記加速度検出手段によって検出された加速度が第２の閾値以上か否かを判定する加速度判定手段を有し、
前記加速度が前記第２の閾値以上でないと判定された場合に、前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定することを特徴とする請求項１または２に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記判定手段によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得手段によって取得された複数の画像データの相関性を算出する相関性算出手段と、
前記相関性算出手段によって算出された前記相関性が第３の閾値以上か否かを繰り返し判定する相関性判定手段と、
を更に備え、
前記記録制御手段は、前記相関性判定手段によって、前記相関性が前記第３の閾値以上でないと判定された場合に、前記取得手段によって取得された画像データを前記記録手段に記録させることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記判定手段によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に時間を計時するする計時手段と、
前記計時手段によって計時された時間が、前記第４の閾値以上か否かを判定する計時判定手段と、
前記計時判定手段によって前記計時手段により計時された時間が前記第４の閾値以上でないと判定された場合、前記判定手段による判定を終了させる静止判定終了手段と、
を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項７】
画像処理装置における画像処理方法であって、
撮像手段によって撮像された画像データを逐次取得する取得ステップと、
前記撮像手段による撮像状況が安定しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおいて前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得ステップにおいて逐次取得された画像データの変化を検出する変化検出ステップと、
前記変化検出ステップにおいて検出された画像データの変化に基づいて、前記取得ステップにおいて取得された画像データを記録手段に記録するよう制御する記録制御ステップと、
を含むことを特徴とする画像処理方法。
【請求項８】
コンピュータに、
撮像手段によって撮像された画像データを取得する取得機能と、
前記撮像手段による撮像状況が安定しているか否かを判定する判定機能と、
前記判定機能によって前記撮像手段による撮像状況が安定していると判定された場合に、前記取得機能によって逐次取得された画像データの変化を検出する変化検出機能と、
前記変化検出機能によって検出された画像データにおける変化に基づいて、前記取得機能によって取得された画像データを記録手段に記録するよう制御する記録制御機能と、
を実現させることを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月12日(2014.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１以上の無線電話機と通信ネットワークとの間でデータを中継する無線アクセスポイントであって、
前記通信ネットワークから自無線アクセスポイントに帰属する無線電話機への着信に係る制御を実行する着信制御手段と、前記通信ネットワーク上の特定電話番号の相手先電話機からの着信を識別し前記無線電話機への電話着信を拒否する着信拒否手段と、前記無線電話機が発信した相手先電話番号を記憶する発信履歴記憶手段と、を有し、
前記着信制御手段が前記無線電話機のいずれかへの着信を検知した場合に、前記発信歴記憶手段に記憶された相手先電話番号からの着信であれば、前記着信拒否手段を起動しないことを特徴とする着信拒否機能を有する無線アクセスポイント。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで本発明では、通信ネットワーク（電話網）と無線電話機との間に位置する無線アクセスポイントに、自無線アクセスポイントに帰属する無線電話機への着信に係る制御を実行する着信制御手段と、前記通信ネットワーク上の特定電話番号の相手先電話機からの着信を識別し前記無線電話機への電話着信を拒否する着信拒否手段と、前記無線電話機が発信した相手先電話番号を記憶する発信履歴記憶手段と、を有し、前記着信呼制御手段が前記無線電話機のいずれかへの着信を検知した場合に、前記発信歴記憶手段に記憶された相手先電話番号からの着信であれば、前記着信拒否手段を起動しないこととした。
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月6日(2014.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノードとのリンクを流れる複数のトラフィックのフレームの送受信を行い、送信フレームの送信を行う送信部と受信フレームの受信を行う受信部とを備えるポートと、
前記ポートを介して受信した受信フレームが一時停止の指令のときには、前記ポートからの送信フレームの送信を所定時間まで一時的に停止し、
前記複数のトラフィックから選択した少なくとも１以上のトラフィックの送信帯域を制限し、
前記所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大したときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を強化する制御部と、
を備えたことを特徴とするネットワーク装置。
【請求項２】
請求項１に記載のネットワーク装置であって、
前記制御部は、
所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大しないときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を緩和することを特徴とするネットワーク装置。
【請求項３】
請求項１に記載のネットワーク装置であって、
前記制御部は、
予め設定した順序に従って前記送信帯域を制限する少なくとも１以上のトラフィックを選択することを特徴とするネットワーク装置。
【請求項４】
請求項１に記載のネットワーク装置であって、
前記一時停止の指令は、ＰＡＵＳＥフレームであることを特徴とするネットワーク装置。
【請求項５】
請求項１に記載のネットワーク装置であって、
前記制御部は、
前記一時停止の指令を受信する間隔が拡大した場合には、当該選択したトラフィックを、輻輳を引き起こすトラフィックとして推定することを特徴とするネットワーク装置。
【請求項６】
プロセッサと、メモリと、ノードとのリンクを流れる複数のトラフィックのフレームの送受信を行い、送信フレームの送信を行う送信部と受信フレームの受信を行う受信部とを備えるポートと、を備えたネットワーク装置で送信するフレームの輻輳を抑制する送信フレームの制御方法であって、
前記ポートを介して受信した前記受信フレームが一時停止の指令のときには、前記ポートからの前記送信フレームの送信を所定時間まで一時的に停止する第１のステップと、
前記複数のトラフィックから選択した少なくとも１以上のトラフィックの送信帯域を制限する第２のステップと、
前記所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大したときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を強化する第３のステップと、
を含むことを特徴とする送信フレームの制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の送信フレームの制御方法であって、
前記第３のステップは、
所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大しないときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を緩和することを特徴とする送信フレームの制御方法。
【請求項８】
請求項６に記載の送信フレームの制御方法であって、
前記第３のステップは、
予め設定した順序に従って前記送信帯域を制限する少なくとも１以上のトラフィックを選択することを特徴とする送信フレームの制御方法。
【請求項９】
請求項６に記載の送信フレームの制御方法であって、
前記一時停止の指令は、ＰＡＵＳＥフレームであることを特徴とする送信フレームの制御方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の送信フレームの制御方法であって、
前記第３のステップは、
前記一時停止の指令を受信する間隔が拡大した場合には、当該選択したトラフィックを、輻輳を引き起こすトラフィックとして推定することを特徴とする送信フレームの制御方法。
【請求項１１】
ノードとのリンクを流れる複数のトラフィックのフレームの送受信を行い、送信フレームの送信を行う送信部と受信フレームの受信を行う受信部とを備えるポートと、
前記ポートを介して受信した受信フレームが一時停止の指令のときには、前記ポートからの送信フレームの送信を所定時間まで一時的に停止し、
前記複数のトラフィックから選択した少なくとも１以上のトラフィックの送信帯域を制限し、
前記所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大したときは、前記選択したトラフィック以外のトラフィックの送信を促進する制御部と、
を備えたことを特徴とするネットワーク装置。
【請求項１２】
ノードとのリンクを流れる複数のトラフィックのフレームの送受信を行い、送信フレームの送信を行う送信部と受信フレームの受信を行う受信部とを備えるポートと、
前記ポートを介して受信した受信フレームが一時停止の指令のときには、前記ポートからの送信フレームの送信を所定時間まで一時的に停止し、
前記複数のトラフィックから選択した少なくとも１以上のトラフィックの送信帯域を制限し、
前記所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大しないときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を緩和する制御部と、
を備えたことを特徴とするネットワーク装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、ノードとのリンクを流れる複数のトラフィックのフレームの送受信を行い、送信フレームの送信を行う送信部と受信フレームの受信を行う受信部とを備えるポートと、前記ポートを介して受信した受信フレームが一時停止の指令のときには、前記ポートからの送信フレームの送信を所定時間まで一時的に停止し、前記複数のトラフィックから選択した少なくとも１以上のトラフィックの送信帯域を制限し、前記所定時間を経過した後、前記一時停止の指令を含む受信フレームを受信する間隔が拡大したときは、前記選択したトラフィックの送信帯域の制限を強化する制御部と、を備える。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月15日(2014.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を読み取る読取手段を備える画像処理装置であって、
前記読取手段により前記画像を読み取って第１の電子ファイルを生成する第１生成手段と、
画像データを含まず、セキュリティ機能を有する第２の電子ファイルを生成する第２生成手段と、
前記第１生成手段により生成された前記第１の電子ファイルを、前記第２生成手段により生成された前記第２の電子ファイルに添付する添付手段と、を有し、
前記第２の電子ファイルが有するセキュリティ機能は、前記第２の電子ファイルに添付された前記第１の電子ファイルにも適用されることを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記第１の電子ファイルを前記第２の電子ファイルに添付するか否かを選択可能に表示する第１の表示手段をさらに備え、
前記添付手段は、当該添付する旨の選択を受け付けた場合に、前記第１の電子ファイルを前記第２の電子ファイルに添付することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記第２の電子ファイルのフォーマットと、当該フォーマットがサポート可能なセキュリティ機能とが対応付けられたテーブルをさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記第２の電子ファイルの複数のフォーマットを選択可能に表示する第２の表示手段と、
前記テーブルを参照して、前記第２の表示手段により表示された前記複数のフォーマットから選択されたフォーマットがサポート可能な複数のセキュリティ機能を選択可能に表示する第３の表示手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項５】
複数のセキュリティ機能を選択可能に表示する第４の表示手段と、
前記テーブルを参照して、前記第４の表示手段により表示された前記複数のセキュリティ機能から選択されたセキュリティ機能をサポート可能な前記第２の電子ファイルの複数のフォーマットを選択可能に表示する第５の表示手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項６】
画像を読み取る読取手段を備える画像処理装置において実行されるデータ処理方法であって、
前記画像処理装置の第１生成手段が、前記読取手段により前記画像を読み取って第１の電子ファイルを生成する第１生成工程と、
前記画像処理装置の第２生成手段が、画像データを含まず、セキュリティ機能を有する第２の電子ファイルを生成する第２生成工程と、
前記画像処理装置の添付手段が、前記第１生成工程において生成された前記第１の電子ファイルを、前記第２の生成工程において生成された前記第２の電子ファイルに添付する添付工程と、を有し、
前記第２の電子ファイルが有するセキュリティ機能は、前記第２の電子ファイルに添付された前記第１の電子ファイルにも適用されることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明に係る画像処理装置は、画像を読み取る読取手段を備える画像処理装置であって、前記読取手段により前記画像を読み取って第１の電子ファイルを生成する第１生成手段と、画像データを含まず、セキュリティ機能を有する第２の電子ファイルを生成する第２生成手段と、前記第１生成手段により生成された前記第１の電子ファイルを、前記第２生成手段により生成された前記第２の電子ファイルに添付する添付手段と、を有し、前記第２の電子ファイルが有するセキュリティ機能は、前記第２の電子ファイルに添付された前記第１の電子ファイルにも適用されることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月18日(2014.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板上に投影して前記基板を露光する露光装置であって、
前記原版の外周部を保持する保持枠と、該保持枠を、第１方向と該第１方向に対して反対方向の第２方向とに移動可能とする駆動部とを含む原版保持部を有し、
前記保持枠は、移動方向に対して前後となる両方の側面に、前記原版と前記保持枠とに囲まれた空間に存在する気体を前記空間から流出、または前記空間に気体を流入可能とする貫通部を有し、
前記貫通部は、前記気体の第１方向の流れの圧力損失が、前記気体の第２方向の流れの圧力損失よりも小さくなる形状または構成を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記貫通部は、前記側面を貫通する孔またはスリットであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記移動方向に対して前後となる両方の側面に有する前記貫通部の一方は、前記保持枠の移動に伴い、前記保持枠の周囲から前記空間へ気体を流入させ、
前記貫通部の他方は、前記空間から前記保持枠の周囲へ、前記空間に存在する前記気体を流出させることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記基板を移動可能に保持する基板保持部を有し、
前記原版保持部と前記基板保持部とを同期走査させて露光処理を実施する場合、
前記第２方向が前記原版保持部を走査させる走査方向であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記貫通部は、前記第１方向の前記気体の流入側の開口が広く、流出側の開口が狭いテーパ形状を有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記貫通部は、前記気体の流れの方向を前記第１方向とする逆止弁を有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項７】
前記保持枠または前記駆動部に支持され、前記投影光学系に向かう前記空間の面を、前記光を透過可能として遮蔽する透過部材を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記透過部材は、前記保持枠に対して相対的に移動可能であることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記透過部材は、弾性部材を介して支持されることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記透過部材は、形状補正機構を介して支持されることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記透過部材は、その表面に、前記透過部材の温度を調節する温度調節部を有することを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記原版保持部の周囲に設置され、前記原版保持部の周囲環境の温度を調節する空調装置を有し、
前記空調装置は、前記原版の周囲を通過しつつ、所定の方向に気体を供給することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１３】
照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板上に投影して前記基板を露光する露光装置であって、
前記原版の外周部を保持する保持枠と、該保持枠を、第１方向と該第１方向に対して反対方向の第２方向とに移動可能とする駆動部とを含む原版保持部を有し、
前記保持枠は、移動方向に対して前後となる両方の側面に、前記原版と前記保持枠とに囲まれた空間に存在する気体を前記空間から流出、または前記空間に気体を流入可能とする貫通部を有し、
前記貫通部は、第１方向に前記貫通部を流れる気体の量が、第２方向に前記貫通部を流れる気体の量よりも多くなる形状または構成を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
その露光した基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介してパターンの像を基板上に投影して基板を露光する露光装置であって、原版の外周部を保持する保持枠と、該保持枠を、第１方向と該第１方向に対して反対方向の第２方向とに移動可能とする駆動部とを含む原版保持部を有し、保持枠は、移動方向に対して前後となる両方の側面に、原版と保持枠とに囲まれた空間に存在する気体を空間から流出、または空間に気体を流入可能とする貫通部を有し、貫通部は、気体の第１方向の流れの圧力損失が、気体の第２方向の流れの圧力損失よりも小さくなる形状または構成を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
さらに、本実施形態の貫通部２６は、例えば、空間２５に強制的に温調気体を導入させたり、空間２５内の気体を強制的に排除させたりするための外部装置（温調装置や排気装置）から接続されるような配管を有しない。したがって、配管自体の振動あるいは配管を介して伝達してきた外部振動が、マスクＭに伝達されることがない。これにより、マスクＭに対する振動の影響を抑止し、また、保持枠２０に付着防止膜（ペリクル）を設置している場合には、振動による付着防止膜の破損も抑止できる。さらに、上記のような配管を設置していないことから、配管の引き回し、配管の接続によるマスクＭへの力学的負荷、マスクＭの交換時の配管の着脱およびそれに伴うパーティクルの発生など、露光装置１に対する種々の負荷を軽減させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月23日(2014.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信装置であって、
前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された台数に基づいて、基地局を含む第１の無線ネットワークに接続するか、基地局を含まない第２の無線ネットワークに接続するか、を判定する判定手段と、
前記通信装置が接続している無線ネットワークと前記判定手段により接続先として判定された無線ネットワークとが異なる場合に、接続する無線ネットワークを切り替える切替手段と、
を有することを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記切替手段は、
前記通信装置が前記第１の無線ネットワークに接続している際に、前記判定手段により接続先として前記第２の無線ネットワークが判定された場合には、前記第１の無線ネットワークから前記第２の無線ネットワークに接続を切り替え、
前記通信装置が前記第２の無線ネットワークに接続している際に、前記判定手段により接続先として前記第１の無線ネットワークが判定された場合には、前記第２の無線ネットワークから前記第１の無線ネットワークに接続を切り替える、
ことを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
前記検出手段により検出された台数が所定の数より大きい場合、前記判定手段は、前記第１の無線ネットワークに接続すると判定する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の通信装置。
【請求項４】
前記検出手段により検出された台数が所定の数より小さい場合、前記判定手段は、前記第２の無線ネットワークに接続すると判定する、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項５】
前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数が変化した場合に、前記判定手段による判定が行われる、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項６】
前記判定手段により接続先として前記第１の無線ネットワークが判定された場合、前記第１の無線ネットワークにおいて基地局として動作する装置を決定するための処理を行う決定手段を更に有する、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項７】
前記決定手段により前記第１の無線ネットワークにおいて基地局として動作すると決定された装置に対して、所定の通知を行う通知手段を更に有する、
ことを特徴とする請求項６に記載の通信装置。
【請求項８】
前記判定手段により接続先として前記第１の無線ネットワークが判定された場合、前記通信装置が前記第１の無線ネットワークにおいて基地局として動作する、
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項９】
無線ネットワークにおいて通信するために通信パラメータを共有する共有手段を更に有する、
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項１０】
前記共有手段により前記通信パラメータが共有される際に、前記検出手段は、前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数を検出する、
ことを特徴とする請求項９に記載の通信装置。
【請求項１１】
前記検出手段は、ユーザからの指示に応じて、前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数を検出する、
ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項１２】
通信装置の制御方法であって、
前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数を検出する検出工程と、
検出された台数に基づいて、基地局を含む第１の無線ネットワークに接続するか、基地局を含まない第２の無線ネットワークに接続するか、を判定する判定工程と、
前記通信装置が接続している無線ネットワークと前記判定工程において接続先として判定された無線ネットワークとが異なる場合、接続する無線ネットワークを切り替える切替工程と、
を有することを特徴とする制御方法。
【請求項１３】
コンピュータを請求項１から１１のいずれか１項に記載の通信装置の各手段として動作させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明による通信装置は、前記通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された台数に基づいて、基地局を含む第１の無線ネットワークに接続するか、基地局を含まない第２の無線ネットワークに接続するか、を判定する判定手段と、前記通信装置が接続している無線ネットワークと前記判定手段により接続先として判定された無線ネットワークとが異なる場合に、接続する無線ネットワークを切り替える切替手段と、を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、通信装置が接続している無線ネットワークに参加している装置の台数に基づいて、接続する無線ネットワークを切り替えることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月23日(2014.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データを入力する入力手段と、
前記入力手段により入力された画像データが表す画像のうち局所光に対応する領域を特定する特定手段と、
前記特定手段により特定された局所光に対応する領域に対してぼかし処理を施す処理手段とを有し、
前記処理手段は、局所光に対応する領域の中心部よりも周辺部が明るい画像となるようにぼかし処理を施すことを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記特定手段により特定された局所光に対応する領域を囲む拡大領域を設定する設定手段を有し、
前記処理手段は、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域を含む前記設定手段により設定された拡大領域に対してぼかし処理を施すことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記処理手段は、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域に含まれる各画素について所定の輝度値を加算することによりぼかし処理を行い、
前記所定の輝度値は、前記拡大領域の大きさに基づいて変化させた値であることを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記処理手段は、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域の位置に応じてぼかし処理を施す領域を異ならせることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記処理手段は、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域に含まれる各画素について所定の輝度値を加算することによりぼかし処理を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記所定の輝度値は、各画素の平均輝度値又は中心点に相当する画素の輝度値を基にして算出した加算輝度値に加算係数を乗算して得た値であることを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記加算係数は、中心点からの距離に応じて決められたものであることを特徴とする請求項６に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記処理手段は、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域に含まれる各画素の各色成分の画素値を変更することによりぼかし処理を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記各色成分の画素値は、各画素の平均画素値又は中心点画素値を基にして算出した加算画素値に加算係数を乗算して得た値であることを特徴とする請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記加算係数は、中心点からの距離に応じて決められたものであることを特徴とする請求項９に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
前記処理手段は、レンズを介して画像を撮影する際に発生する回折現象をモデルとしたぼかし処理を施すことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１２】
入力された画像データが表す画像のうち局所光に対応する領域を特定し、
前記特定された局所光に対応する領域に対して領域の中心部よりも周辺部が明るい画像となるようにぼかし処理を施すことを特徴とする画像処理方法。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段をコンピュータにより実現することを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の画像処理装置は、画像データを入力する入力手段と、前記入力手段により入力された画像データが表す画像のうち局所光に対応する領域を特定する特定手段と、前記特定手段により特定された局所光に対応する領域に対してぼかし処理を施す処理手段とを有し、前記処理手段は、局所光に対応する領域の中心部よりも周辺部が明るい画像となるようにぼかし処理を施す。
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月11日(2014.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次のステップを含む有機デバイスの製造方法；
前記有機デバイスの一部を構成する中間部材を準備するステップ；
離型層を備える転写用部材を準備するステップ；
有機材料と、この有機材料が溶解すると共に前記離型層に対して親和性を有する溶媒とを含有する塗布液を準備するステップ；及び
前記塗布液を前記転写用部材における前記離型層上に塗布成膜することで前記離型層上に有機層を形成し、続いて前記有機層を前記離型層上から前記中間部材上に転写するステップ。
【請求項２】
前記溶媒が、前記有機材料が溶解する第一の溶媒と前記離型層に対し親和性を有する第二の溶媒とを含有する混合溶媒である請求項１に記載の有機デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記第一の溶媒の溶解度パラメータと、前記第二の溶媒の溶解度パラメータとが、いずれも１０以下であり、
前記第一の溶媒と前記第二の溶媒との沸点の差が２０℃以内である請求項１又は２に記載の有機デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記離型層がシリコーン系材料から形成されている請求項１乃至３のいずれか一項に記載の有機デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記離型層の表面の水の接触角が９０°以上である請求項１乃至４のいずれか一項に記載の有機デバイスの製造方法。
【請求項６】
離型層を備える転写用部材の前記離型層上に、有機材料と、この有機材料が溶解すると共に前記離型層に対して親和性を有する溶媒とを含有する塗布液を塗布する塗布部と、
前記離型層上の前記塗布液を加熱することで前記溶媒を揮発させることにより前記離型層上に有機層を形成する加熱部と、
有機デバイスの一部を構成する中間部材に前記離型層上の前記有機層を押圧することで前記有機層を前記離型層上から前記中間部材上へ転写する転写部とを備える有機デバイスの製造装置。