(57)【要約】      （修正有）【課題】製造が簡単でランニングコストが低く、フィルターを廃却せずに何度でも使用することができるろ過装置を提供する。【解決手段】中央に穴部を有し、ショットブラスト処理により表面に凹凸が形成されたワッシャーを複数個積層してなるフィルターをろ過装置タンクの内部に備える。フィルターに接続され、穴部から処理液の通過方向と逆方向に流体を流通させることにより逆洗する逆洗装置を備える。ワッシャーは穴部を貫通するボルトと、ナットとにより固定されており、ボルトの軸部には、ろ過処理後の処理液を外部に案内する貫通孔が設けられている。ろ過装置タンクは、処理液を導入する吸込口を側面に備えるとともに、底部がテーパー状に形成されている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
中央に穴部を有し、ショットブラスト処理により表面に凹凸が形成されたワッシャーを複数個積層してなるフィルターをろ過装置タンクの内部に備えたろ過装置であって、前記フィルターの外部から、ろ過処理を行う処理液を、前記凹凸が連通して形成される隙間を通過させることにより、異物を除去することを特徴とするろ過装置。
【請求項２】
前記フィルターに接続され、前記穴部から前記処理液の通過方向と逆方向に流体を流通させることにより逆洗する逆洗装置を備えたことを特徴とする請求項１に記載のろ過装置。
【請求項３】
前記ワッシャーは前記穴部を貫通するボルトと、ナットとにより固定されており、前記ボルトの軸部には、ろ過処理後の処理液を外部に案内する貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のろ過装置。
【請求項４】
前記ろ過装置タンクは、処理液を導入する吸込口を側面に備えるとともに、底部がテーパー状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つ記載のろ過装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本考案は、液中に含まれるミクロン台の異物を精密に分離することを目的としており、液をポンプでろ過装置タンク内に送り込み、液と異物を精密に分離することに関する。
【背景技術】
【０００２】従来は一般的に液を分離するのにフィルター（例えば、特許文献１、２を参照）を使用して異物と液を分離していたが、使用を重ねることによりフィルターが詰まってしまい新しいフィルターに交換して使用する必要があった。また、詰まったフイルターは２次廃棄物として別に処理する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１２４４４６号公報
【特許文献２】特開平６−１２６１１２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとしている課題】
【０００４】しかしながら、粒子の小さいミクロン台のフィルターは詰まりが早く、コスト面においても粒子が細かくなるほど高いためにランニングコストが上がり、またフィルター自身が粒子を取り込むため液から粒子だけを取り出すことが難しかった。
【０００５】そこで、本考案では、製造が簡単でランニングコストが低く、廃却不要で何度でも使用できるフィルターを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】請求項１に記載の考案では、中央に穴部を有し、ショットブラスト処理により表面に凹凸が形成されたワッシャーを複数個積層してなるフィルターをろ過装置タンクの内部に備えたろ過装置であって、前記フィルターの外部から、ろ過処理を行う処理液を、前記凹凸が連通して形成される隙間を通過させることにより、異物を除去する、という技術的手段を用いる。
【０００７】請求項１に記載の考案によれば、ショットブラスト処理により表面に凹凸が形成されワッシャーを複数個積層することによりフィルターとして用いることができるので、構造が簡単でランニングコストを低くすることができる。また、凹凸の表面の粗さを変ることにより、異なった大きさの粒子を捕捉することができる。本フィルターは薄いワッシャーを重ねるだけなので、使用が簡単であり流量が必要な場合は長くするか何十本かを組み合わせて使用することもできる。
【０００８】請求項２に記載の考案では、請求項１に記載のろ過装置において、前記フィルターに接続され、前記穴部から前記処理液の通過方向と逆方向に流体を流通させることにより逆洗する逆洗装置を備えた、という技術的手段を用いる。
【０００９】請求項２に記載の発明によれば、フィルター表面に付着した粒子の詰まりを、逆洗で回避できるので繰り返して何度でも使用が可能であるのでランニングコストも非常に安くすることができる。
【００１０】請求項３に記載の考案では、請求項１または請求項２に記載のろ過装置において、前記ワッシャーは前記穴部を貫通するボルトと、ナットとにより固定されており、前記ボルトの軸部には、ろ過処理後の処理液を外部に案内ずる貫通孔が設けられている、という技術的手段を用いる。
【００１１】請求項３に記載の発明によれば、ワッシャーをボルトを介してナットで上下から締め付けをしてワッシャー同士の緩みを無くすことができる。また、ボルトにはろ過処理後の処理液を外部に案内ずる貫通孔が設けられているため、異物を除去した処理液をスムーズに回収することができる。
【００１２】請求項４に記載の考案では、請求項１ないし請求項３のいずれか１つ記載のろ過装置において、前記ろ過装置タンクは、処理液を導入する吸込口を側面に備えるとともに、底部がテーパー状に形成されている、という技術的手段を用いる。
【００１３】請求項４に記載の発明によれば、ろ過装置タンクに処理液を導入する吸込口がろ過装置タンクの内側面に接するように取り付けられているので、圧力をかけて処理液が入った時、処理液はろ過装置タンクの内壁に遠心力で強く擦れながら高速で回転してサイクロン効果を発揮するのでワッシャーの表面の異物が詰まりにくい。また、ろ過装置タンクの底部がテーパー状に形成されているため、上から落下してきた異物が溜まりにくく異物をスムーズに回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本考案を実施するための実施形態の断面図である。
【図２】本考案を実施するための実施形態の拡大図である。
【図３】本考案を実施するための実施形態の上面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】以下、本考案の実施形態を図に基づいて説明する。なお、本考案は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１６】図１は本装置の断面図であり、図２はフィルター部分の拡大図である。ポンプ１で送られた異物を含んだ液はバルブ２を通り、タンク８内に流れる。タンクにはバルブがいくつか設けられており、この場合２と４が解放されている。内部は密閉されており、異物を含んだ液は図２において１１のワッシャーの隙間２２を通り抜けて１９の小部屋に入る。
【００１７】図２において１１のワッシャーの表面に凹凸のショットブラストがかけられておりこのワッシャー１１が何枚にも積み重ねられてフィルターとして構成されている。ワッシャー１１は幾重にも重ねて使用するが、これらのワッシャーをボルト１６を介してナット９，１０で上下から締め付けをしてワッシャー同士の緩みを無くしている。圧力をかけられた異物２１は隙間２２を通り抜けることはできないため、ワッシャー１１の表面で液と分離される。
【００１８】この場合、凹凸の高さを変えることにより希望とする粒子を補足することができる。
粒子２１の大きさはいろいろであるが０．１ミクロン程度から２０ミクロンくらいまで適応できる。
【００１９】異物でないクリーンな液は隙間２２を通り抜けて１９の小部屋へ抜ける。１９は上下に長い小部屋である。ボルト１６には流体穴１７、１８が開けられておりクリーン液貯留部屋１９内部に流れ込んだクリーン液がスムーズに吐出口１５に流れ出る。そして、ろ過されたクリーンな液はバルブ４を通り、貯蔵タンク６に溜まる。
【００２０】ろ過装置タンク８は上から見ると図３のように吸込口１４がろ過装置タンク８に接するように取り付けられているので、圧力をかけた液はろ過装置タンク８内の内壁に強く当たり、遠心力でこすれながら回転するので比較的大きな異物はろ過装置タンク８の内壁に寄せられサイクロン効果を発揮して下方へ落ちていく。これにより、ワッシャ１１の表面は回転する液のため粒子が詰まりにくくなっている。また、ろ過装置タンク８の底部はテーパー状になっていて、上から落下してきた異物が溜まりにくく異物出口２４からスムーズに流れ出る。
【００２１】一定の時間ろ過を続けるとワッシャー１１の隙間に異物が付着してフィルターとしての効率が悪くなり流量が減少するので定期的に逆洗を行なう。
方法としてはシーケンサを使用してバルブ２とバルブ４を締めてバルブ５と３を開け７の逆洗チャンバーよりエアー又はクリーン液を１８から１７さらに小部屋１９に向けて噴出する。するとワッシャー１１の表面に付着している異物は内部からの圧力で吹き飛ばされて異物出口２４に向かって流れ出る。こうしてフィルター表面１１はきれいに洗浄される。これにより、表面に詰まった異物を取り除くことができ、何度でも新品時のように再使用できるフィルターとして機能を維持し続けることができる。そして、バルブ５と３を閉じ、さらにバルブ２と４を開けて運転を繰り返す。
【００２２】以上の説明から明らかなように、本考案にあっては次に列挙する効果が得られる。
（１）凹凸を付けたワッシャー１１を通る液は、凹凸面を通過する時大きな粒子は通れないので選別される。このようなワッシャー１１をたくさん重ねることによりフィルターとしての機能を十分発揮でき、一般的なフィルターにありがちな目開きもなく凹凸の粗さを変えて目標とする粒子を捕捉できる。
（２）フィルター表面に付着した粒子の目詰まりを、逆洗で回避できるので繰り返して何度でも使用が可能であるのでランニングコストも非常に安くすることができる。
（３）ワッシャー１１の板厚を薄くしてさらに積層することにより、フィルターとしての表面積を稼ぐことができ、ミクロン台の異物を取るフィルターとしては安く作成できる。多量の液をろ過するにはこのモジュールを複数本を使用して簡単に流量確保ができる。また、長くすることによっても同様の効果を奏することができる。
（４）吸込口１４は、ろ過装置タンク８の内側に接するように取り付けられているので、ポンプ１から圧力を加えて液が入った時、液はタンクの内壁に遠心力で擦れながら高速で回転し、サイクロン効果で大きな異物は壁面に集まりながら下方へ落下するのでワッシャー１１の表面が詰まりにくい。
【産業上の利用の可能性】
【００２３】本考案は、水溶性クーラントの再生、作動油、潤滑油の再生、超仕上げ油の再生、洗浄液の再生、焼き入れ水の再生、シリコンウエハーの切断液の再生等を使用する産業で利用される。
【符号の説明】
【００２４】１ポンプ    ２電磁バルブ    ３電磁バルブ    ４電磁バルブ
５電磁バルブ    ６貯蔵タンク    ７逆洗用チャンバー
８ろ過装置タンク    ９締付ナット（上）    １０締付ナット（下）
１１ショットブラスト処理したワッシャー    １２クランプ    １３フタ
１４吸込口    １５吐出口    １６ワッシャー締付用ボルト
１７クリーン液出口    １８クリーン液出口    １９クリーン液貯留部屋
２０仕切板    ２１異物    ２２隙間    ２３ワッシャー押エ    ２４異物出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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