【手続補正書】
【提出日】平成25年12月19日(2013.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式によりインクを塗布する塗布方法であって、
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第１の保持工程と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第２の保持工程と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出工程と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成工程と、
前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正する工程と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える塗布方法。
【請求項２】
前記歪み検出工程においては、
前記矩形領域の輪郭の形状を算出することによって、矩形領域の形状の歪みを検出する、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項３】
前記歪み検出工程においては、
矩形領域の四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項２に記載の塗布方法。
【請求項４】
前記歪み検出工程においては、
矩形領域を複数のサブ領域に分割し、
前記複数のサブ領域それぞれの四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、前記複数のサブ領域それぞれの輪郭の形状を算出し、
前記複数のサブ領域の輪郭の形状に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項２に記載の塗布方法。
【請求項５】
前記歪み検出工程においては、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の各頂点の、前記長手方向におけるＸ方向ずれ量と、前記短手方向におけるＹ方向ずれ量とを求め、
前記Ｘ方向ずれ量及び前記Ｙ方向ずれ量に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項３に記載の塗布方法。
【請求項６】
前記歪み検出工程においては、
前記サブ領域それぞれの四隅の角度に基づき、当該サブ領域の各頂点の、前記長手方向におけるＸ方向ずれ量と、前記短手方向におけるＹ方向ずれ量とを求め、
前記Ｘ方向ずれ量及び前記Ｙ方向ずれ量に基づき、当該サブ領域の輪郭の形状を算出する、請求項４に記載の塗布方法。
【請求項７】
前記歪み検出工程においては、さらに、
矩形領域の、基材の中心軸に平行な方向に対する姿勢誤差を求める、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項８】
前記歪み検出工程においては、
矩形領域の端部に位置する所定数の凹部の重心を求め、
前記所定数の重心の近似直線が、基材の中心軸に平行な方向に対してなす傾きを、矩形領域の四辺それぞれについて求め、
前記傾きに基づき、矩形領域の姿勢誤差を求める、請求項７に記載の塗布方法。
【請求項９】
前記マッピングデータ作成工程においては、前記所定数の矩形領域の形状の歪みの平均値に基づいて、前記マッピングデータを作成する、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１０】
前記検出された、矩形領域の形状の歪みが許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１１】
前記検出された、矩形領域の姿勢誤差が許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項７に記載の塗布方法。
【請求項１２】
前記検出された、前記所定数の矩形領域の形状の歪みのパターンのばらつきが許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１３】
前記アライメント情報算出工程においては、さらに、前記矩形領域の、前記長手方向に対する平行誤差を求め、
前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正する工程をさらに備える、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１４】
前記Ｙ位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＹ方向の位置の補正は、前記インク吐出工程において行われることを特徴とする、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１５】
前記アライメント情報算出工程においては、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出し、前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第２の塗布スキャン方向を求め、
前記インク吐出工程においては、前記複数のノズルを前記第２の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項１３に記載の塗布方法。
【請求項１６】
前記インク吐出工程を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布する工程をさらに備える、請求項１に記載の塗布方法。
【請求項１７】
前記塗布されたテストパターンを撮影する工程と、
前記撮影されたテストパターンを検査する工程と、
前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする工程と、
前記検査結果を判断する工程とを備える、請求項１６に記載の塗布方法。
【請求項１８】
前記マッピングデータは、矩形領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項１７に記載の塗布方法。
【請求項１９】
前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる矩形領域の１つ前の矩形領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項１７に記載の塗布方法。
【請求項２０】
矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式によりインクを塗布する塗布装置であって、
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第１の保持手段と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第２の保持手段と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機手段と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給手段と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定手段と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差とを求めるアライメント情報算出手段と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出手段と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成手段と、
前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正するＸ位置補正手段と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出手段とを備える塗布装置。
【請求項２１】
前記歪み検出手段は、
前記矩形領域の輪郭の形状を算出することによって、矩形領域の形状の歪みを検出する、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項２２】
前記歪み検出手段は、
矩形領域の四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項２１に記載の塗布装置。
【請求項２３】
前記歪み検出手段は、
矩形領域を複数のサブ領域に分割し、
前記複数のサブ領域それぞれの四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、前記複数のサブ領域それぞれの輪郭の形状を算出し、
前記複数のサブ領域の輪郭の形状に基づき、矩形領域（Ｓ）の輪郭の形状を算出する、請求項２１に記載の塗布装置。
【請求項２４】
前記歪み検出手段は、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の各頂点の、前記長手方向におけるＸ方向ずれ量と、前記短手方向におけるＹ方向ずれ量とを求め、
前記Ｘ方向ずれ量及び前記Ｙ方向ずれ量に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項２２に記載の塗布装置。
【請求項２５】
前記歪み検出手段は、
前記サブ領域それぞれの四隅の角度に基づき、当該サブ領域の各頂点の、前記長手方向におけるＸ方向ずれ量と、前記短手方向におけるＹ方向ずれ量とを求め、
前記Ｘ方向ずれ量及び前記Ｙ方向ずれ量に基づき、当該サブ領域の輪郭の形状を算出する、請求項２３に記載の塗布装置。
【請求項２６】
前記歪み検出手段は、さらに、
矩形領域の、基材の中心軸に平行な方向に対する姿勢誤差を求める、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項２７】
前記歪み検出手段は、
矩形領域の端部に位置する所定数の凹部の重心を求め、
前記所定数の重心の近似直線が、基材の中心軸に平行な方向に対してなす傾きを、矩形領域の四辺それぞれについて求め、
前記傾きに基づき、矩形領域の姿勢誤差を求める、請求項２６に記載の塗布装置。
【請求項２８】
前記マッピングデータ作成手段は、前記所定数の矩形領域の形状の歪みの平均値に基づいて、前記マッピングデータを作成する、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項２９】
前記検出された、矩形領域の形状の歪みが許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項３０】
前記検出された、矩形領域の姿勢誤差が許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項２６に記載の塗布装置。
【請求項３１】
前記検出された、前記所定数の矩形領域の形状の歪みのパターンのばらつきが許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項３２】
前記アライメント情報算出手段は、さらに、前記矩形領域の、前記長手方向に対する平行誤差を求め、
前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正するθ補正手段をさらに備える、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項３３】
前記Ｙ位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＹ方向の位置の補正は、前記インク吐出手段によって行われることを特徴とする、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項３４】
前記アライメント情報算出手段は、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出すると共に前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第２の塗布スキャン方向を求め、
前記インク吐出手段は、前記複数のノズルを前記第２の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項３２に記載の塗布装置。
【請求項３５】
前記インク吐出手段は、前記凹部へのインク塗布を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布することを特徴とする、請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項３６】
前記塗布されたテストパターンを撮影するテストパターン撮影手段をさらに備える、請求項３５に記載の塗布装置。
【請求項３７】
前記撮影されたテストパターンを検査する手段と、
前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする手段と、
前記検査結果を判断する手段とを備える、請求項３６に記載の塗布装置。
【請求項３８】
前記マッピングデータは、矩形領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項３７に記載の塗布装置。
【請求項３９】
前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる矩形領域の１つ前の矩形領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項３７に記載の塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の塗布方法は、矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式によりインクを塗布する塗布方法であって、
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第１の保持工程と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第２の保持工程と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出工程と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成工程と、
前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正する工程と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える。