(57)【要約】      （修正有）【課題】走路幅全体を浮上用エア圧力発生面として有効活用することにより走路幅当りの搬送能力を高め、同時に、搬送用キャリヤの浮上走行面とキャリヤの駆動手段を設置する空間とを分けることによりクリーンで洗浄が容易な搬送ラインを提供する。【解決手段】多孔質材で構成されたエア浮上搬送用走路面の中央部に両隣の多孔質材より厚さが薄い非磁性体部材６を設け、当該非磁性体部材の裏側にエア浮上搬送用キャリヤ１２、１３を磁気的に駆動する手段を収めるための空間を設けた。この様に構成された多孔質エア浮上搬送用走路を用いれば、エア浮上搬送用キャリヤ１２の裏面に磁性体を嵌め込み前記非磁性体部材６の裏側にマグネットを用いた駆動手段を設けることにより、搬送用キャリヤ１２の裏面に嵌め込んだ磁性体と前記駆動手段に用いたマグネットの間に働く磁気力により効率良くクリーンな状態でエア浮上搬送用キャリヤを駆動することが出来る。【選択図】図７
0003159137.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
多孔質素材を用いて構成されたエア浮上搬送用の走路であり、走路裏面の中央部に両隣の多孔質素材部分より厚さを減じた長手方向の溝を有し、且つ、当該長手方向溝の両隣にある多孔質素材部分の夫々の裏面に接して密閉された空間を有し、当該密閉空間に開口したポートから浮上用エアが供給されることを特徴とする、多孔質エア浮上搬送用走路
【請求項２】
前記１項において、両隣の多孔質素材部分より厚さを減じた長手方向溝の底面の材質が非磁性体であることを特徴とする、多孔質エア浮上搬送用走路
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本考案は、多孔質素材を用いたエア浮上搬送用の走路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  多孔質材を応用したエア浮上搬送用走路の一例として特許文献１に一例を示すようにエア浮上搬送用走路の中央部に表面に開いた案内用の溝を有する方式がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実用新案登録第３１４４６８８号
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】  特許文献１に示した従来のエア浮上搬送用走路は、走路上面に浮上面の他に案内用の溝も有するので、走路幅当たりの浮上用エア圧力の発生面積が案内溝の開口部分だけ少なくなり、また案内溝の側面にも多孔質材を応用した非接触案内面を有するので、エア浮上搬送用キャリヤの方向安定性は優れているが、案内溝側面の多孔質材を応用した案内面がエアを消費する分だけエアの消費量が多いという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本考案の多孔質エア浮上搬送用走路は、前項の課題を解決するために、走路には案内溝等の開口部は設けず走路の幅全体を浮上用エア圧力の有効発生面とすると共に、エア浮上した被搬送物の駆動と案内を磁気力で行う目的で、走路の中央部分を両隣の多孔質材部分と同一平面で且つ厚さが多孔質材部分より薄い非磁性材で構成している。即ち、走路の裏面中央部に底面が非磁性材で構成された溝を有している。この走路の中央部分の構成方法は、非磁性材であれば両隣の多孔質材部分と一体の構造でも或いは個別構造でもよい。また多孔質材の裏面に接して箱状の部材により密閉空間を形成し、当該空間に適切に開けたポートより浮上用のエアを供給している。
【考案の効果】
【０００６】  上述の様に、本考案に関わる構造のエア浮上搬送用走路を用いれば、同一の走路幅に対するエア浮上搬送荷重が大きく、且つ、磁気的な駆動も可能なエア浮上搬送用走路を得ることが可能になる。また、被搬送物がエア浮上走行する走路面と被搬送物を磁気的に駆動する手段を格納する空間とを完全に分離することが可能になるので、駆動手段に起因する発塵物の汚染から被搬送物を防御することが可能になると共に、走路面の清浄化も容易になる。これらは走路面に案内溝を有する従来のエア浮上搬送用走路と比較して優れている点である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本考案の多孔質エア浮上搬送用走路を示す立体図である。
【図２】本多孔質エア浮上搬送用走路の断面図である。
【図３】本多孔質エア浮上搬送用走路の第１の実施例を示す斜視図である。
【図４】図３に示す実施例で用いるキャリヤプレートの裏面を示す。
【図５】図３に示す実施例の断面図である。
【図６】図３に示す実施例の内部を説明するための立体図である。
【図７】本多孔質エア浮上搬送用走路の第２の実施例を示す立体図である。
【図８】図７に示す実施例で用いるクレセント型キャリヤプレートの裏面を示す。
【図９】図７に示す実施例の断面図である。
【考案を実施するための形態】
【０００８】  添付図面により本考案の実施形態を説明する。図１は本考案を実施するための一つの形態である直線のエア浮上搬送用走路モジュールを示す。図で１は被搬送物の重量をエアの静圧で支えるエア浮上搬送面であり適切な気孔率を持つ多孔質材により構成されている。６は多孔質材１に挟まれた非磁性体であり多孔質材１と同一平面をなすように構成され、且つ厚さは多孔質材１より薄い。このため走路モジュールの裏面には２に示すように溝が形成されている。４は多孔質材１にエアを供給するための箱状の部材であり、７は前記箱状の部材４を多孔質材１の裏面に固定するための締結ネジである。
【０００９】  次に図２は図１のＡ−Ａ断面を示したものである。図で１、６、２、４、７は図１と同じである。３は多孔質材１の裏面に箱状部材４により形成された密閉空間であり、前記部材４に開けられたポート５を介して、浮上用のエアが供給される。なお裏面の溝２の底面を構成する６は、非磁性材であれば多孔質材１と一体構造でもよい。
【実施例】
【００１０】  本考案の第１の実施例として、図１のエア浮上搬送用直線走路モジュール上にエア浮上搬送用キャリヤプレート８をセットした状態を図３に示す。キャリヤプレート８の浮上面（裏面）には一例として２個の磁性体９ａと９ｂが走路方向に適切なピッチｐで嵌め込まれている。【００１１】  次に図４は図３のキャリヤプレート８の浮上面（裏面）を示したものである。適切なピッチｐで嵌め込まれた磁性体９ａと９ｂの表面はプレート８の浮上面と同一面である。【００１２】  図５は図３のＢ−Ｂ断面を示している。図でキャリヤプレート８は多孔質材１の表面から噴出するエアの靜圧軸受け効果により、隙間ｈだけ浮上しており浮上用エアは多孔質材１の裏面に接している密閉空間３から供給されている。非磁性体６の裏側には適切な駆動手段（図示せず）により非磁性体６との隙間を一定に保って走行方向に駆動されるマグネット１０ａと１０ｂが継鉄１１上にピッチｐで取り付けられており、キャリヤプレート８に嵌め込まれた磁性体９ａ及び９ｂがマグネット１０ａ及び１０ｂの磁気力に吸引されて、プレート８は常に非磁性体６の裏側のマグネットに対向する位置で停止する。【００１３】  図６は、図３で非磁性体６とキャリヤプレート８を取り去り、継鉄１１上に取り付けられたマグネット１０ａ及び１０ｂを示したものである。マグネット１０ａと１０ｂの取付ピッチｐはキャリヤプレートの磁性体９ａと９ｂの取付ピッチｐと同じであり、継鉄上のマグネットは、図示せざる適切な駆動手段により、裏側溝２に沿って矢印方向に駆動される。【００１４】  本考案の第２の実施例として、複数のエア浮上搬送用直線走路モジュールを結合し、複数のクレセント型キャリヤプレートをセットした例を図７に示す。図で１２は浮上面（裏面）に一例として２個の磁性体１４ａ、１４ｂを嵌め込んだクレセント型キャリヤプレート、１３は磁性体を嵌め込んでいないクレセント型キャリヤプレートであり、夫々のクレセント型キャリヤプレート１２、１３は相互に結合されることなく独立している。磁性体を嵌め込んだクレセント型キャリヤプレート１２は、第１の実施例におけるキャリヤプレート８と同様に、非磁性体６の裏側の溝２に配置されたマグネットにより駆動されるが、磁性体を嵌め込んでいないクレセント型キャリヤプレート１３はマグネットでは駆動されず、磁性体が嵌め込まれたクレセント型キャリヤプレート１２に押されて移動する。前記キャリヤプレート１３はフリー状態で浮上しているため僅かな力で移動させることが可能であり、磁性体を嵌め込んだクレセント型キャリヤプレート１枚で恰も１台の機関車が複数の貨車を最後尾から押す様に、複数のフリーなクレセント型キャリヤプレート１３を後方から押して進むことが可能である。この様なクレセント型キャリヤプレートの１枚毎に被搬送物を載せることにより、フリーフローコンベアと一定速度コンベアの両者の特長を備えた非常にフレキシブルで且つクリーンな搬送ラインを構成することができる。【００１５】  図８は、図７のクレセント型キャリヤプレート１２の浮上面（裏面）を示したものである。適切なピッチｐで嵌め込まれた磁性体１４ａと１４ｂの表面は、前記キャリヤプレート１２の浮上面と同一面である。【００１６】  図９は図７のＣ−Ｃ断面である。図で磁性体１４ａ、１４ｂが嵌め込まれたキャリヤプレート１２は多孔質材１の表面から噴出するエアの靜圧軸受け効果により、隙間ｈだけ浮上しており浮上用エアは多孔質材１の裏面に接している密閉空間３から供給されている。非磁性体６の裏側には適切な駆動手段（図示せず）により非磁性体６との隙間を一定に保って走行方向に駆動されるマグネット１０ａと１０ｂが継鉄１１上にピッチｐで取り付けられており、キャリヤプレート１２に嵌め込まれた磁性体１４ａ及び１４ｂがマグネット１０ａ及び１０ｂの磁気力に吸引されて、キャリヤプレート１２は常に非磁性体６の裏側のマグネットに対向する位置で停止する。なお図で１５はフリーのクレセント型キャリヤプレート１３が走路から外れないためのガイド板であり、多孔質材１の側面からのエア漏れを防ぐ役割も果たしている。【００１７】  上述の２例の実施例では直線のエア浮上搬送用走路モジュールを例にとって説明したが、本考案の主旨は走路の曲率に関わらず成立し、従って曲率があるエア浮上搬送用走路モジュールを用いる場合も、本考案に基づく実施例が可能であることは言うまでも無い。
【産業上の利用可能性】
【００１８】  本考案に関わる多孔質エア浮上搬送用走路を用いることにより、従来のエア浮上搬送方式と比較して、搬送速度、分岐、合流などに関して自由度が高い、より柔軟でクリーンな搬送ラインを構築することが可能になる。応用例として半導体製造工程における各種の搬送の他に、電子機器、化粧品、薬品等の製造工程、回転寿司などの外食産業にも、クリーン且つ低コストの搬送装置として利用することが可能である。
【符号の説明】
【００１９】  １  エア浮上用多孔質材
２  多孔質エア浮上搬送用走路の裏面中央部の溝
３  エア浮上用多孔質材の裏面に接する、エア供給用の密閉空間
４  エア浮上用多孔質材の裏面に接する箱状部材
５  密閉空間３にエアを供給するポート
６  搬送用走路の中央にあり多孔質材１より厚さが薄い非磁性体
７  多孔質材１と箱状部材４を締結するネジ
８  第１の実施例のキャリヤプレート
９ａ  キャリヤプレート８の裏面に嵌め込まれた磁性体
９ｂ            同        上
１０ａ  キャリヤプレート駆動用のマグネット
１０ｂ          同        上
１１  駆動用マグネットを取り付けた継鉄
１２  第２の実施例の磁性体を嵌め込んだクレセント型キャリヤプレート
１３  第２の実施例の磁性体がないクレセント型キャリヤプレート
１４ａ  キャリヤプレート１２の裏面に嵌め込まれた磁性体
１４ｂ          同        上
１５  第２の実施例の側面ガイド板
ｈ  キャリヤプレートの浮上量
ｐ  キャリヤプレートの磁性体及び駆動用マグネットの取付ピッチ
【図１】
0003159137.tif 000003
【図２】
0003159137.tif 000004
【図３】
0003159137.tif 000005
【図４】
0003159137.tif 000006
【図５】
0003159137.tif 000007
【図６】
0003159137.tif 000008
【図７】
0003159137.tif 000009
【図８】
0003159137.tif 000010
【図９】
0003159137.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月19日(2010.2.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
請求項１に記載された多孔質エア浮上搬送用走路において、両隣の多孔質素材部分より厚さを減じた長手方向溝の底面の材質が非磁性体であることを特徴とする、多孔質エア浮上搬送用走路