Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月19日(2014.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報処理装置と通信可能に接続され、複数の転送方法で電子データを転送可能な中継サーバであって、
電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを記憶する記憶手段と、
転送する電子データと、当該電子データに対応する複数の転送方法とを選択可能な画面を生成する画面生成手段と、
前記画面生成手段で生成された画面を前記情報処理装置に送信する画面送信手段と、
前記画面送信手段で送信された画面においてユーザから選択された情報であって、転送する電子データと当該電子データに対応する複数の転送方法とを示す情報を、前記情報処理装置から受信する受信手段と、
前記受信手段で受信した情報が示す複数の転送方法それぞれに対応する前記アダプタを用いて、当該情報が示す電子データを転送する転送手段と
を備えることを特徴とする中継サーバ。
【請求項２】
前記画面生成手段は、転送する複数の電子データと、当該複数の電子データそれぞれに対応する複数の転送方法とを選択可能な画面を生成し、
前記受信手段は、前記画面送信手段で送信された画面においてユーザから選択された情報であって、転送する複数の電子データと当該複数の電子データごとに対応する複数の転送方法とを示す情報を、前記情報処理装置から受信し、
前記転送手段は、前記受信手段で受信した情報が示す複数の電子データを、当該電子データに対応する複数の転送方法それぞれに対応する前記アダプタを用いて転送することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記受信手段で受信した情報が示す電子データが複数存在する場合に、当該複数の電子データを結合する結合手段を更に備えることを特徴とする請求項１または２に記載の中継サーバ。
【請求項４】
前記転送手段は、前記受信手段で受信した情報が示す電子データが複数存在する場合には、前記結合手段で結合した電子データを当該複数の転送方法ごとに転送し、前記受信手段で受信した情報が示す電子データが１つである場合には、当該電子データを当該複数の転送方法ごとに即時転送することを特徴とする請求項３に記載の中継サーバ。
【請求項５】
前記中継サーバは、
前記受信手段で受信した情報が示す電子データが所定のファイル形式でない場合に、当該電子データを所定のファイル形式に変換する変換手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の中継サーバ。
【請求項６】
前記転送手段は、前記受信手段で受信した情報が示す複数の転送方法に、画像処理装置に対する印刷指示が含まれていた場合には、印刷指示に対応する前記アダプタがプリンタドライバを用いて、当該情報が示す電子データを当該画像処理装置に転送することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の中継サーバ。
【請求項７】
前記転送手段は、前記受信手段で受信した情報が示す複数の転送方法に、ファクシミリ装置に対するファックス指示が含まれていた場合には、ファックス指示に対応する前記アダプタがファックスドライバを用いて、当該情報が示す電子データを当該ファクシミリ装置に転送することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の中継サーバ。
【請求項８】
電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを記憶する記憶手段を備え、情報処理装置と通信可能に接続され、複数の転送方法で電子データを転送可能な中継サーバの制御方法であって、
前記中継サーバの画面生成手段が、転送する電子データと、当該電子データに対応する複数の転送方法とを選択可能な画面を生成する画面生成ステップと、
前記中継サーバの画面送信手段が、前記画面生成ステップで生成された画面を前記情報処理装置に送信する画面送信ステップと、
前記中継サーバの受信手段が、前記画面送信ステップで送信された画面においてユーザから選択された情報であって、転送する電子データと当該電子データに対応する複数の転送方法とを示す情報を、前記情報処理装置から受信する受信ステップと、
前記中継サーバの転送手段が、前記受信ステップで受信した情報が示す複数の転送方法それぞれに対応する前記アダプタを用いて、当該情報が示す電子データを転送する転送ステップと
を備えることを特徴とする中継サーバの制御方法。
【請求項９】
電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを記憶する記憶手段を備え、情報処理装置と通信可能に接続され、複数の転送方法で電子データを転送可能な中継サーバの制御方法を実行可能なプログラムであって、
前記中継サーバを、
転送する電子データと、当該電子データに対応する複数の転送方法とを選択可能な画面を生成する画面生成手段と、
前記画面生成手段で生成された画面を前記情報処理装置に送信する画面送信手段と、
前記画面送信手段で送信された画面においてユーザから選択された情報であって、転送する電子データと当該電子データに対応する複数の転送方法とを示す情報を、前記情報処理装置から受信する受信手段と、
前記受信手段で受信した情報が示す複数の転送方法それぞれに対応する前記アダプタを用いて、当該情報が示す電子データを転送する転送手段
として機能させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は上記の課題を鑑みてなされたもので、電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを用いて、電子データを複数の転送方法で中継サーバから転送することの可能な仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の中継サーバは、情報処理装置と通信可能に接続され、複数の転送方法で電子データを転送可能な中継サーバであって、電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを記憶する記憶手段と、転送する電子データと、当該電子データに対応する複数の転送方法とを選択可能な画面を生成する画面生成手段と、前記画面生成手段で生成された画面を前記情報処理装置に送信する画面送信手段と、前記画面送信手段で送信された画面においてユーザから選択された情報であって、転送する電子データと当該電子データに対応する複数の転送方法とを示す情報を、前記情報処理装置から受信する受信手段と、前記受信手段で受信した情報が示す複数の転送方法それぞれに対応する前記アダプタを用いて、当該情報が示す電子データを転送する転送手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、電子データを転送する転送方法ごとに当該転送方法を実行可能なアダプタを用いて、電子データを複数の転送方法で中継サーバから転送することのできる効果を奏する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月8日(2013.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の課題は、第１の観点からは、
収納された蓄冷器に冷媒ガスを供給する流路を有したディスプレーサと、
前記ディスプレーサを軸方向に移動可能に収容すると共に高温端部に熱拡散部を備えており、前記ディスプレーサの高温端との間に空間部を形成するシリンダとを有する極低温冷凍機であって、
前記ディスプレーサの外周面と前記シリンダの内周面との間にクリアランスを形成し、
前記ディスプレーサの外周面に前記流路を開口させ、
前記空間部内の前記冷媒ガスが、前記クリアランス及び前記流路を通り前記蓄冷器に流入するよう構成したことを特徴とする極低温冷凍機により解決することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ディスプレーサ本体２Ａは、軸方向の熱伝達を小さくするために、例えばベークライト（登録商標）など熱伝導係数の小さい材料が用いられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
従来では、この高温の冷媒ガスが蓄冷器７に流入する構成とされていたため熱効率が低下していた。しかしながら本実施形態では、ディスプレーサ２に第１流路１１を形成すると共に、ディスプレーサ２（ディスプレーサ本体２Ａ）とシリンダ４（トップフランジ４Ｂ）との間にクリアランスＣＬを設けることにより、冷凍効率の低下を防止している。なおこれについては、説明の便宜上、後に詳述するものとする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
具体的には、図示しない固定ピンを用いて高温側熱伝導部を固定する方法、及びディスプレーサ本体２Ａ及び高温側熱伝導部２Ｃに雄ネジ，雌ねじを形成しておき、これを螺合させることにより高温側熱伝導部を固定する方法を用いることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ  極低温冷凍機
２  ディスプレーサ
２Ａ  ディスプレーサ本体
２Ｂ  低温側熱伝導部
２Ｃ  高温側熱伝導部
３  膨張空間
４  シリンダ
４Ａ  シリンダ本体
４Ｂ  トップフランジ
５  冷却ステージ
６  ピン
７  蓄冷器
８  室温室
１１，２０  第１流路
１１Ａ  外周側端部
１１Ｂ  内側端部
１２  圧縮機
１６  第２流路
２０Ａ  伝導部側流路
２０Ｂ  本体側流路
２５，２６  螺旋溝
２８  外周面
２９  内周面
ＣＬ  クリアランス
Ｐ１  伝熱部
Ｐ２  熱拡散部
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月6日(2014.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る捩り管形熱交換器は、外周面に複数条の螺旋山と螺旋溝を持つ内管と、内管の螺旋溝に沿うように巻きつけた複数条の外管とを備え、内管は、螺旋山の高さが螺旋溝に巻きつけた外管よりも高く、かつこの螺旋山の内部に流路となる空洞が残るように隣接する一方の外管を包み込むようにカシメられて接合されているものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の捩り管形熱交換器においては、外周面に複数条の螺旋山と螺旋溝を持つ内管と、内管の螺旋溝に沿うように巻きつけた複数条の外管とを備え、内管は、螺旋山の高さが螺旋溝に巻きつけた外管よりも高く、かつこの螺旋山の内部に流路となる空洞が残るように隣接する一方の外管を包み込むようにカシメられて接合されているので、金属ロウによる接合材を使用することなく、内管と外管を密着接合でき、安価に製造することができる。また、内管のカシメた部分も流路となるので、内部を流れる流体の乱流効果を期待することができ、伝熱性能を向上させることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に複数条の螺旋山と螺旋溝を持つ内管と、
前記内管の螺旋溝に沿うように巻きつけた複数条の外管とを備え、
前記内管は、前記螺旋山の高さが前記螺旋溝に巻きつけた前記外管よりも高く、かつ該螺旋山の内部に流路となる空洞が残るように隣接する一方の外管を包み込むようにカシメられて接合されていることを特徴とする捩り管形熱交換器。
【請求項２】
前記内管は、カシメ接合前の前記螺旋山の高さＨが、前記外管の外径Ｒｏの略２倍に形成されていることを特徴とする請求項１記載の捩り管形熱交換器。
【請求項３】
前記内管は、カシメ接合前のスパイラルピッチＰが前記外管の外径Ｒｏより大きく、該外管の外径Ｒｏの２倍より小さく形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の捩り管形熱交換器。
【請求項４】
前記外管は、カシメ接合時に断面扁平管状に変形され、その断面扁平管状の短軸側外径Ｒａが、カシメ接合前の前記内管の螺旋山の高さＨの１／２以下に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の捩り管形熱交換器。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月18日(2013.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
行方向と列方向に対応してマトリクス状に複数の画素が配置された画素部と、
ビデオ信号を信号線に入力する信号線駆動回路と、
前記ビデオ信号を書き込む画素の行を選択する走査線駆動回路と、を有し、
前記走査線駆動回路はシフトレジスタを備え、
前記シフトレジスタは第１乃至第３のフリップフロップ回路と第１乃至第３のスイッチと、を有し、
前記第１のフリップフロップ回路の出力端子は、前記第２のフリップフロップ回路の入力端子と、電気的に接続され、
前記第２のフリップフロップ回路の出力端子は、前記第３のフリップフロップ回路の入力端子と、電気的に接続され、
前記第１のスイッチの第１の端子は、前記第１のフリップフロップ回路の出力端子と、電気的に接続され、
前記第２のスイッチの第１の端子は、前記第２のフリップフロップ回路の出力端子と、電気的に接続され、
前記第３のスイッチの第１の端子は、前記第３のフリップフロップ回路の出力端子と、電気的に接続され、
前記第１のスイッチの第２の端子は、第１の配線と電気的に接続され、
前記第２のスイッチの第２の端子は、前記第１の配線と電気的に接続され、
前記第３のスイッチの第２の端子は、前記第１の配線と電気的に接続され、
前記第１乃至第３のスイッチは、第１の信号に応じて、それぞれの前記第１の端子と前記第２の端子の導通または非導通が制御される機能を有し、
前記第１の配線は、前記第１乃至第３のフリップフロップ回路の出力端子の信号をリセットすることができる電位を有し、
前記走査線駆動回路の前記第１のフリップフロップ回路に電気的に接続された行の画素に書き込むビデオ信号と前記第２及び第３のフリップフロップ回路に電気的に接続された行の全ての行列の画素に新たに書き込もうとするビデオ信号とが等しいとき、前記第１のスイッチが導通することを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月29日(2014.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、転写パターンを形成するための金属を含む材料からなり、炭化水素を含む酸化膜からなる表面改質層を有する薄膜を備えるマスクブランクを準備し、
前記マスクブランク上にレジスト膜を形成し、
前記レジスト膜に対し、電子線描画装置を用いてパターン描画を行い、現像液で現像してレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンをマスクとして前記薄膜をエッチングすることを特徴とする転写用マスクの製造方法。
【請求項２】
基板上に、転写パターンを形成するための金属を含む材料からなり、炭化水素を含む酸化膜からなる表面改質層を有する薄膜を備え、該薄膜上にレジスト膜を備えるマスクブランクを準備し、
前記レジスト膜に対し、電子線描画装置を用いてパターン描画を行い、現像液で現像してレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンをマスクとして前記薄膜をエッチングすることを特徴とする転写用マスクの製造方法。
【請求項３】
前記薄膜は積層膜であり、該積層膜の最上層は前記金属として遷移金属を含む材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項４】
前記遷移金属は、クロムであり、
前記表面改質層は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）によって測定されるO（酸素）1sスペクトルにおいて、結合エネルギーがそれぞれ532eV付近にある第１のピークと530eV付近にある第２のピークとに分離したときに、第２のピーク面積に対する第１のピーク面積の割合が２．０以上であることを特徴とする請求項３に記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項５】
前記遷移金属は、タンタルであることを特徴とする請求項３に記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項６】
前記表面改質層の膜厚は、３ｎｍ以下の範囲であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項７】
前記薄膜は積層膜であり、該積層膜の最上層は遷移金属およびケイ素を含む材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項８】
前記レジスト膜は、化学増幅型レジスト膜であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項９】
前記化学増幅型レジスト膜はネガ型であることを特徴とする請求項８に記載の転写用マスクの製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の転写用マスクの製造方法で作製された転写用マスクを用いて製造されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】転写用マスクの製造方法及び半導体装置の製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成26年6月4日(2014.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物系であって、
１個または複数個の合焦レンズ素子を含み、入射光エネルギを受け取り合焦光エネルギを出射するように構成された合焦レンズ素子集合体であって、各合焦レンズ素子の直径が１００ｍｍ未満である合焦レンズ素子集合体と、
１個または複数個の視野レンズ素子を含む視野レンズ素子集合体であって、各視野レンズ素子の直径が１００ｍｍ未満であり、各視野レンズ素子が、前記合焦光エネルギを受け取り、中間光エネルギを出射するように構成された視野レンズ素子集合体と、
平坦面を有する１個または複数個のマンジャンミラー素子を含むマンジャンミラー集合体であって、各マンジャンミラー素子の直径が１００ｍｍ未満であり、各マンジャンミラー素子が、前記中間光エネルギを受け取り、制御光エネルギを浸漬媒を介して標本に向け出射するように構成され、当該マンジャンミラー集合体が、前記視野レンズ素子集合体と前記標本との間に配置され、前記１個または複数個のマンジャンミラー素子の平坦面が前記浸漬媒に隣接し、当該マンジャンミラー集合体の前記１個または複数個のマンジャンミラー素子が２個の反射面を含むマンジャンミラー集合体と、を備え、
各合焦レンズ素子及び各視野レンズ素子は、同じ単一のガラス素材から形成され、前記マンジャンミラー集合体、視野レンズ素子集合体及び合焦レンズ素子集合体の全ての構成要素は、受け取る光エネルギの軸線に沿って整列され、前記マンジャンミラー集合体において、前記１個または複数個のマンジャンミラー素子の２個の反射面は、前記受け取る光エネルギの軸線に沿って非ゼロ距離の離れた鏡面であり、
２６６ｎｍから４３６ｎｍの波長の光エネルギを受け取って画像生成を行うよう構成された、対物系。
【請求項２】
請求項１記載の対物系であって、その視野サイズが０．１５ｍｍの対物系。
【請求項３】
請求項１記載の対物系であって、そのＮＡ値が１．２となるよう構成された対物系。
【請求項４】
請求項１記載の対物系であって、使用している各レンズ素子の直径が２５ｍｍ未満の対物系。
【請求項５】
請求項１記載の対物系であって、通常動作時におけるフランジ対物距離が少なくとも４５ｍｍの顕微鏡にて使用される対物系。
【請求項６】
請求項５記載の対物系であって、通常動作時におけるフランジ対物距離が少なくとも１００ｍｍの顕微鏡にて使用される対物系。
【請求項７】
請求項１記載の対物系であって、第２のガラス素材から形成された別のレンズ素子を少なくとも１つさらに備える対物系。
【請求項８】
請求項１記載の対物系であって、浸漬媒が水、油、またはシリコーンゲルである対物系。
【請求項９】
請求項１記載の対物系であって、球面収差、軸方向色収差及び収差色変化が最小になるよう構成された対物系。
【請求項１０】
請求項１記載の対物系であって、前記１個又は複数個のマンジャンミラー素子が、合焦レンズ素子集合体にて発生する収差が補償されるよう球面収差、軸方向色収差及び収差色変化を発生させる対物系。
【請求項１１】
請求項１記載の対物系であって、多色波面収差最悪値が０．０３７波長になるよう構成された対物系。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月28日(2014.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセッサであって、
変換処理バッファ（ＴＬＢ）と、
アドレス空間識別子（ＡＳＩＤ）レジスタであって、第１のアドレス空間に関連する第１のＡＳＩＤ値を記憶するＡＳＩＤレジスタと
を有し、前記ＴＬＢは第１の仮想アドレスと第１の物理アドレスと前記第１のＡＳＩＤ値とを含む第１のエントリを記憶し、かつ前記ＴＬＢは第２の仮想アドレスと第２の物理アドレスと第２のアドレス空間に関連する第２のＡＳＩＤ値とを含む第２のエントリを記憶し、
前記プロセッサは、前記第１のアドレス空間から前記第２のアドレス空間へのコンテクスト切り替えの際に、前記ＴＬＢの前記第１のエントリをフラッシュせずに、前記ＡＳＩＤレジスタに前記第２のＡＳＩＤ値を記憶する、プロセッサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プロセッサ
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月25日(2014.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】タッチパネル、表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明手段と、
導光板と、
前記導光板と同一材料で形成されたプリズムレンズシートと、
光センサーと、を有し、
前記導光板は、前記照明手段から発せられる光を伝搬する機能を有し、
前記プリズムレンズシートは、三角柱状の凸部が連続して設けられており、
前記プリズムレンズシートは、光を一方向に集光する機能を有し、
前記光センサーは、前記導光板の一方の側面に配置され、前記照明手段は、前記プリズムレンズシートを介して、前記導光板の他方の側面に配置されていることを特徴とするタッチパネル。
【請求項２】
照明手段と、
導光板と、
前記導光板と同一材料で形成されたプリズムレンズシートと、
光センサーと、を有し、
前記導光板は、前記照明手段から発せられる光を伝搬する機能を有し、
前記プリズムレンズシートは、三角柱状の凸部が連続して設けられており、
前記プリズムレンズシートは、光を前記導光板の膜厚方向と直交する方向に集光する機能を有し、
前記光センサーは、前記導光板の一方の側面に配置され、前記照明手段は、前記プリズムレンズシートを介して、前記導光板の他方の側面に配置されていることを特徴とするタッチパネル。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記導光板と、前記光センサーとの間に、第２のプリズムレンズシートを有することを特徴とするタッチパネル。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載のタッチパネルと、表示部とを有することを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年7月18日(2014.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
内部に発光ガスが封入された発光部と、その両端部に形成された封止部とよりなる発光管と、前記発光部の外表面に配置された外部電極と、該発光部の内部に配置された内部電極とよりなるエキシマランプにおいて、
前記発光管は、前記発光部から前記封止部に向けて徐々に外径が小さくなる縮径部を備え、該縮径部にはその内部に微小な間隙が形成され、
前記外部電極は、前記縮径部を含んで前記発光部の根元部にまで延在し、該外部電極の端部が前記発光管の根元部に巻き付けられていることを特徴とするエキシマランプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、この発明に係るエキシマランプにおいては、前記発光管は、発光部から封止部に向けて徐々に外径が小さくなる縮径部を備え、該縮径部にはその内部に微小な間隙が形成され、前記外部電極は、前記縮径部を含んで前記発光部の根元部にまで延在し、該外部電極の端部が前記発光管の根元部に巻き付けられていることを特徴とする。
また、前記封止部は、金属箔が埋設されたピンチシール構造であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
かかる構成とすることにより、前記縮径部８においては、外部電極４と内部電極５との間の距離が他の部分よりも近接すると共に、該縮径部８の内部に形成される微小な間隙Ｓに相当する部分は、内部電極５に誘電体が接近する部位であり、外部電極４と内部電極５との間において電位勾配が極めて大きくなるため、誘電体を介在させた放電を生起しやすく、エキシマランプが良好に始動される。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月5日(2014.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
差動対トランジスタと、
前記差動対トランジスタに流れる電流量が少なくとも２つのレベルで切替わるように、切替可能なテール電流を供給するテール電流源とを備え、
前記差動対トランジスタは、前記差動対トランジスタに流れる電流の減少に伴って、σ(ΔI/gm)の値が単調に減少する特性を有する、ただし、σは標準偏差、ΔＩは、前記差動対トランジスタの電流量の差分、ｇｍは、前記差動対トランジスタのトランスコンダクタンスを表わす、半導体装置。
【請求項２】
前記テール電流源が第１のテール電流を供給することによって、強反転領域で前記差動対トランジスタが動作し、
前記テール電流源が前記第１のテール電流よりも少ない量の第２のテール電流を供給することによって、温反転領域または弱反転領域で前記差動対トランジスタが動作する、請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記テール電流源は、
前記差動対トランジスタとグランドとの間の第１の経路に設けられた第１のトランジスタおよび第２のトランジスタと、
前記差動対トランジスタとグランドとの間の第２の経路に設けられた第３のトランジスタおよび第４のトランジスタと、
前記第１のトランジスタと前記第３のトランジスタのゲートには、共通の電位が供給され、前記第１のトランジスタのチャネル幅と前記第３のトランジスタのチャネル幅は、前記第１のテール電流および前記第２のテール電流の大きさに合せて設定され、
前記第２のトランジスタは、前記強反転領域での動作時と、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなり、
前記第４のトランジスタは、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなる、請求項２記載の半導体装置。
【請求項４】
前記テール電流源は、
前記差動対トランジスタに接続された第１のトランジスタと、
前記第１のトランジスタとカレントミラーを構成する第２のトランジスタと、
電源ノードと前記第２のトランジスタとの間の第１の経路に設けられた第３のトランジスタおよび第４のトランジスタと、
前記電源ノードと前記第２のトランジスタとの間の第２の経路に設けられた第５のトランジスタおよび第６のトランジスタと、
前記第３のトランジスタと前記第５のトランジスタのゲートには、共通の電位が供給され、前記第３のトランジスタのチャネル幅と前記第５のトランジスタのチャネル幅は、前記第１のテール電流と前記第２のテール電流の大きさに合せて設定され、
前記第４のトランジスタは、前記強反転領域での動作時と、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなり、
前記第６のトランジスタは、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなる、請求項２記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体装置は、さらに、
一対の負荷トランジスタを備え、
前記一対の負荷トランジスタは、前記一対の負荷トランジスタに流れる電流の減少に伴って、σ(ΔI2/gm2)の値が単調に減少する特性を有する、ただし、σは標準偏差、ΔＩ２は、前記一対の負荷トランジスタの電流量の差分、ｇｍ２は、前記一対の負荷トランジスタのトランスコンダクタンスを表わす、請求項１記載の半導体装置。
【請求項６】
分離領域とソース側の活性領域との間を覆ってリング状に形成されたゲートを有する差動対トランジスタと、
前記差動対トランジスタに流れる電流量が少なくとも２つのレベルで切替わるように、切替可能なテール電流を供給するテール電流源とを備えた、半導体装置。
【請求項７】
前記テール電流源が第１のテール電流を供給することによって、強反転領域で前記差動対トランジスタが動作し、
前記テール電流源が前記第１のテール電流よりも少ない量の第２のテール電流を供給することによって、温反転領域または弱反転領域で前記差動対トランジスタが動作する、請求項６記載の半導体装置。
【請求項８】
前記テール電流源は、
前記差動対トランジスタとグランドとの間の第１の経路に設けられた第１のトランジスタおよび第２のトランジスタと、
前記差動対トランジスタとグランドとの間の第２の経路に設けられた第３のトランジスタおよび第４のトランジスタと、
前記第１のトランジスタと前記第３のトランジスタのゲートには、共通の電位が供給され、前記第１のトランジスタのチャネル幅と前記第３のトランジスタのチャネル幅は、前記第１のテール電流および前記第２のテール電流の大きさに合せて設定され、
前記第２のトランジスタは、前記強反転領域での動作時と、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなり、
前記第４のトランジスタは、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなる、請求項７記載の半導体装置。
【請求項９】
前記テール電流源は、
前記差動対トランジスタに接続された第１のトランジスタと、
前記第１のトランジスタとカレントミラーを構成する第２のトランジスタと、
電源ノードと前記第２のトランジスタとの間の第１の経路に設けられた第３のトランジスタおよび第４のトランジスタと、
前記電源ノードと前記第２のトランジスタとの間の第２の経路に設けられた第５のトランジスタおよび第６のトランジスタと、
前記第３のトランジスタと前記第５のトランジスタのゲートには、共通の電位が供給され、前記第３のトランジスタのチャネル幅と前記第５のトランジスタのチャネル幅は、前記第１のテール電流と前記第２のテール電流の大きさに合せて設定され、
前記第４のトランジスタは、前記強反転領域での動作時と、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなり、
前記第６のトランジスタは、前記温反転領域または前記弱反転領域での動作時にオンとなる、請求項７記載の半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月28日(2014.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部に支持され、第１方向に延在し、屈曲振動する振動腕と、
前記振動腕に設けられている励振電極と、
を含み、
前記第１方向において、
前記振動腕の長さをＬａ、
前記励振電極の長さをＬｂとしたとき、
０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２
を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６
を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項２において、
０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２
を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項において、
前記振動腕に溝部が設けられ、
前記励振電極の少なくとも一部が前記溝部の内面に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項において、
前記屈曲振動の二次モードの等価直列容量が、前記屈曲振動の一次モードの等価直列容量の１０％以下であることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項において、
前記屈曲振動の二次モードの電気機械結合係数が、前記屈曲振動の一次モードの電気機械結合係数の１％以下であることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか一項において、
前記基部から延出している支持腕を含むことを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項７において、
前記支持腕は一対の支持腕からなり、
平面視で、前記振動腕は、前記一対の支持腕の間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項において、
前記振動腕は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って並んでいる一対の振動腕からなることを特徴とする振動片。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の振動片と、
前記振動片が内部に収納されているパッケージと、
を含むことを特徴とする振動子。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記内部は真空であることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の振動片と、
回路と、
を含むことを特徴とする発振器。
【請求項１３】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の振動片を含むことを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、
基部と、
前記基部に支持され、第１方向に延在し、屈曲振動する振動腕と、
前記振動腕に設けられている励振電極と、
を含み、
前記第１方向において、
前記振動腕の長さをＬａ、
前記励振電極の長さをＬｂとしたとき、
０．２８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．５２
を満たしていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、０．３４≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４６を満たしていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、０．３８≦Ｌｂ／Ｌａ≦０．４２を満たしていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕に溝部が設けられ、前記励振電極の少なくとも一部が前記溝部の内面に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記屈曲振動の二次モードの等価直列容量が、前記屈曲振動の一次モードの等価直列容量の１０％以下であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記屈曲振動の二次モードの電気機械結合係数が、前記屈曲振動の一次モードの電気機械結合係数の１％以下であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記基部から延出している支持腕を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記支持腕は一対の支持腕からなり、平面視で、前記振動腕は、前記一対の支持腕の間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記振動腕は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って並んでいる一対の振動腕からなることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が内部に収納されているパッケージと、を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記内部が真空であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る発振器は、前記振動片と、回路と、を含むこと特徴とする。
本発明のある別の形態に係る電子機器は、前記振動片を含むこと特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月30日(2014.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含まない場合、前記第１の傾き補正手段による補正を実行させ、複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合は、前記第１の傾き補正手段による補正を実行させないように切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
【請求項２】
搬送される原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合は、前記第２の傾き補正手段で補正し、複数の前記原稿が複数種類のサイズを含まない場合は、前記第２の傾き補正手段による補正を実行しないように切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
【請求項３】
原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
搬送される前記原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合、前記第１の傾き補正手段を前記第２の傾き補正手段に切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
【請求項４】
操作部をさらに有し、
前記切替手段は、前記操作部において予め定めた操作がされた場合に、複数の前記原稿が複数種類のサイズから構成されると判断する請求項１−３のいずれか１項に記載の画像読取装置。
【請求項５】
前記原稿の搬送方向に対する原稿の幅を読み取る検知部をさらに有し、
前記切替手段は、前記検知部の検出内容に基づいて複数の前記原稿が複数種類のサイズを含むと判断する請求項１−３のいずれか１項に記載の画像読取装置。
【請求項６】
原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
搬送される前記原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合、前記第１の傾き補正手段を前記第２の傾き補正手段に切り替える切替手段と
前記第１の傾き補正手段が傾き補正した読取画像又は前記第２の傾き補正手段によって傾き補正された原稿を前記読取部によって読み取られた読取画像に基づいて用紙に画像を形成する画像形成部とを有する画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
［１］原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含まない場合、前記第１の傾き補正手段による補正を実行させ、複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合は、前記第１の傾き補正手段による補正を実行させないように切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
［２］搬送される原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合は、前記第２の傾き補正手段で補正し、複数の前記原稿が複数種類のサイズを含まない場合は、前記第２の傾き補正手段による補正を実行しないように切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
［３］原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
搬送される前記原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合、前記第１の傾き補正手段を前記第２の傾き補正手段に切り替える切替手段とを有する画像読取装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［４］操作部をさらに有し、
前記切替手段は、前記操作部において予め定めた操作がされた場合に、複数の前記原稿が複数種類のサイズから構成されると判断する前記［１］−［３］のいずれかに記載の画像読取装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［５］前記原稿の搬送方向に対する原稿の幅を読み取る検知部をさらに有し、
前記切替手段は、前記検知部の検出内容に基づいて複数の前記原稿が複数種類のサイズを含むと判断する前記［１］−［３］のいずれかに記載の画像読取装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［６］原稿に光を照射しその反射光から前記原稿と前記原稿以外の領域に対応する背景との境界を読み取り、原稿の画像の傾きを補正する第１の傾き補正手段と、
搬送される前記原稿の傾きを機械的に補正する第２の傾き補正手段と、
複数の前記原稿が複数種類のサイズを含む場合、前記第１の傾き補正手段を前記第２の傾き補正手段に切り替える切替手段と
前記第１の傾き補正手段が傾き補正した読取画像又は前記第２の傾き補正手段によって傾き補正された原稿を前記読取部によって読み取られた読取画像に基づいて用紙に画像を形成する画像形成部とを有する画像形成装置。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１、２、３又は６に係る発明によれば、搬送される原稿のサイズが複数の種類混合されている場合にも傾き補正を実行する画像読取装置及び画像形成装置を提供することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に係る発明によれば、操作部において予め定めた操作がされた場合に原稿が複数のサイズから構成されると判断することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５に係る発明によれば、検知部の検出内容に基づいて原稿が複数のサイズから構成されると判断することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月19日(2014.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
さらに、システム制御部３０３は、連写時において、サブ画像を用いた被写体探索を行い、サブ画像中での特定被写体の位置を検出し、検出した特定被写体の位置に対応する焦点検出領域を図３に示した複数の焦点検出領域の中から１つ（又は２以上）選択する。そして、選択した焦点検出領域での合焦位置の演算結果に基づいて、レンズ駆動部３１４にレンズ駆動信号を送信する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
次にステップＳ４０５では、システム制御部３０３は、ステップＳ４０１での合焦位置演算の結果およびステップＳ４０３での露出演算の結果に基づいて、レンズ駆動信号および絞り駆動信号をそれぞれレンズ駆動部３１４および絞り制御部３１３に送信する。これにより、撮影光学系の合焦状態が得られるとともに、絞り２１４の開口径が調節される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
なお、第１の被写体探索範囲にて特定被写体を検出できない場合には、第２段階としてサブ画像中にてマッチングを行う範囲をサブ画像のほぼ全域に相当する広い第２の被写体探索範囲に広げる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
続いてステップＳ４２１では、システム制御部３０３は、ステップＳ４２０での合焦位置演算の結果およびステップＳ４１９での露出演算の結果に基づいて、レンズ駆動信号および絞り駆動信号をそれぞれレンズ駆動部３１４および絞り制御部３１３に送信する。これにより、撮影光学系の合焦状態が得られるとともに、絞り２１４の開口径が調節される。この後は、システム制御部３０３は、ステップＳ４０８に戻る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
また、上記実施例では、画素加算を行わないときは被写体探索を行い、画素加算を行うときは被写体探索を中止（中断または禁止）する場合について説明した。しかし、画素加算を行うときの被写体探索に対して、中止を含めた何らかの制限を加えればよい。制限には、中止だけでなく、特定の条件の下でのみ被写体探索を許可するというように中止以外の対処も含まれる。例えば、画素加算して生成されたサブ画像中の特定被写体の大きさが、該特定被写体を良好な精度で検出可能な大きさである場合に限り被写体探索を許可してもよい。また、テンプレート画像を画素加算の度合いに応じて縮小して使用することで被写体探索を許可するようにしてもよい。また、被写体探索を特定被写体の色を検出する方法（色追跡）で行うことで被写体探索を許可してもよい。この場合に、テンプレート画像を特定被写体の色で塗りつぶす処理を行ってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月23日(2014.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
接点１ｅは抵抗Ｒ５の一端に接続される。接点１ｇは抵抗Ｒ３の一端と逆流防止用のダイオードＤ３のアノードに接続され、抵抗Ｒ３の他端と直流阻止コンデンサＣ５の他端は、高周波スイッチ２に含まれるＰＩＮダイオードＤ２のアノードに共通接続される。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月26日(2014.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の回転面を有する被駆動部と、
前記被駆動部の前記回転面に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを前記被駆動部に付勢する付勢手段と、を備えるモーターであって、
前記被駆動部を駆動させる前記アクチュエーターの振動によって描かれる前記突起の楕円軌跡を、前記回転面と接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点Ｐ、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Ｑ、前記被駆動部の回転中心を回転中心Ｒ、とした場合、
前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Ｒと前記接点Ｐとを結ぶ方向と、でなす角度θ１と、
前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Ｐと前記作用点Ｑを結ぶ方向と、でなす角度θ２と、は、
θ１＜θ２
である、
ことを特徴とするモーター。
【請求項２】
請求項１に記載のモーターを備えるロボットハンド。
【請求項３】
請求項２に記載のロボットハンドを備えるロボット。
【請求項４】
回転中心と、前記回転中心から等しい距離の点で形成される円筒面を回転面として有する円柱状の被駆動部と、
圧電体を含み、前記被駆動部に当接する突起を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを前記被駆動部に付勢する付勢手段と、
を備えるモーターであって、
前記アクチュエーターが振動する場合に描かれる前記突起の軌跡と、前記回転面とを接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点Ｐ、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Ｑ、
前記被駆動部の回転中心を回転中心Ｒ、とした場合、
前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Ｒと前記接点Ｐとを結ぶ方向と、でなす角度θ１と、
前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Ｐと前記作用点Ｑを結ぶ方向と、でなす角度θ２と、は、
θ１＜θ２
である、
ことを特徴とするモーター。
【請求項５】
回転中心と、前記回転中心から等しい距離の点で形成される円筒面を回転面として有する円柱状の被駆動部と、
圧電体を含み、前記被駆動部に当接する突起を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを前記被駆動部に付勢する付勢手段と、
複数の指部と、
を備えるロボットハンドであって、
前記アクチュエーターが振動する場合に描かれる前記突起の軌跡と、前記回転面とを接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点Ｐ、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Ｑ、
前記被駆動部の回転中心を回転中心Ｒ、とした場合、
前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Ｒと前記接点Ｐとを結ぶ方向と、でなす角度θ１と、
前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Ｐと前記作用点Ｑを結ぶ方向と、でなす角度θ２と、は、
θ１＜θ２
である、
ことを特徴とするロボットハンド。
【請求項６】
回転中心と、前記回転中心から等しい距離の点で形成される円筒面を回転面として有する円柱状の被駆動部と、
圧電体を含み、前記被駆動部に当接する突起を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを前記被駆動部に付勢する付勢手段と、
回動可能な関節部を持つアーム部と、
を備えるロボットあって、
前記アクチュエーターが振動する場合に描かれる前記突起の軌跡と、前記回転面とを接するように配置し、前記楕円軌跡と前記回転面との接点を接点Ｐ、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Ｑ、
前記被駆動部の回転中心を回転中心Ｒ、とした場合、
前記付勢手段の付勢方向と、前記回転中心Ｒと前記接点Ｐとを結ぶ方向と、でなす角度θ１と、
前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Ｐと前記作用点Ｑを結ぶ方向と、でなす角度θ２と、は、
θ１＜θ２
である、
ことを特徴とするロボット。
【手続補正書】
【提出日】平成26年5月26日(2014.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の回転面を有する被駆動部と、
前記被駆動部の前記回転面に付勢する突起を端部に有する振動板と、前記振動板に積層される圧電体と、を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターを前記被駆動部に付勢する付勢手段と、を備え、
前記被駆動部の前記回転面と前記突起が接する接点を接点Ｐ、前記アクチュエーターに前記付勢手段による付勢力が作用する作用点を作用点Ｑ、とした場合、
前記回転面に対する前記突起の摩擦係数がμである場合、
前記付勢手段の付勢方向と、前記接点Ｐと前記作用点Ｑを結ぶ方向と、でなす角度θは、
θ＞ｔａｎ-1μ
である、
ことを特徴とするモーター。
【請求項２】
請求項１に記載のモーターを備えるロボットハンド。
【請求項３】
請求項２に記載のロボットハンドを備えるロボット。
【手続補正書】
【提出日】平成26年4月28日(2014.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
発散する荷電粒子線が入射するコリメータレンズを含む照射系と、
前記照射系からの荷電粒子線を複数の荷電粒子線に分割するアパーチャアレイと、
前記アパーチャアレイからの複数の荷電粒子線からそれぞれ複数のクロスオーバを形成する集束レンズアレイと、
前記複数のクロスオーバにそれぞれ対応する複数の開口を備えた素子と、該複数の開口に対してそれぞれ設けられて荷電粒子線を前記基板上に投影する複数の投影ユニットと、を含む投影系と、を有し、
前記集束レンズアレイは、前記素子における対応する開口に対して偏心している集束レンズを含み、
前記照射系は、前記照射光学系の収差に依る入射角で前記アパーチャアレイに入射して前記集束レンズアレイにより形成される前記複数のクロスオーバのそれぞれの位置が前記素子における対応する開口に整合するように、前記収差を調整する調整手段を含む、ことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記コリメータレンズは、複数の荷電粒子レンズを含み、
前記調整手段は、前記コリメータレンズの前側焦点位置及び前側主面位置を保って前記収差を変化させるように、前記複数の荷電粒子レンズそれぞれのパワーおよび位置のうちの少なくとも一つを調整する、ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項３】
前記照射系は、前記コリメータレンズの前側の位置に照射系クロスオーバを形成し、
前記調整手段は、前記コリメータレンズの焦点距離を調整し、かつ、該調整のされた焦点距離に整合するように前記照射系クロスオーバの位置を調整することにより、前記収差を調整する、
ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。
【請求項４】
前記照射系は、荷電粒子源を含み、
前記調整手段は、前記荷電粒子源の移動により前記照射系クロスオーバの位置を調整する、ことを特徴とする請求項３に記載の描画装置。
【請求項５】
前記照射系は、前記照射系クロスオーバの前側に設けられたクロスオーバ調整系を含み、
前記調整手段は、前記クロスオーバ調整系のパワーの調整により前記照射系クロスオーバの位置を調整する、ことを特徴とする請求項３に記載の描画装置。
【請求項６】
前記偏心している集束レンズは、前記照射系の収差を補償するように偏心している、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項７】
前記コリメータレンズは、荷電粒子線のクロスオーバから発散する荷電粒子線が入射し、該クロスオーバは、前記コリメータレンズの前側焦点からずれた位置にある、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項８】
前記アパーチャアレイは、前記集束レンズアレイにおける対応する集束レンズとともに前記素子における対応する開口に対して偏心しているアパーチャを含む、ことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項９】
前記アパーチャアレイは、前記集束レンズアレイの前側焦点に配置され、前記集束レンズアレイにおける対応する集束レンズと同じ量だけ前記素子における対応する開口に対して偏心しているアパーチャを含む、ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１０】
前記アパーチャアレイは、前記集束レンズアレイの前側焦点からずれた位置に配置され、前記集束レンズアレイにおける対応する集束レンズとは異なる量だけ前記素子における対応する開口に対して偏心しているアパーチャを含む、ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１１】
前記照射光学系と前記アパーチャアレイと前記集束レンズアレイと前記投影系とを含む組を並列に複数有する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１２】
前記素子は、ブランカーアレイである、ことを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１３】
前記素子は、ストップアパーチャアレイである、ことを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項１４】
請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載の描画装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一つの側面は、複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
発散する荷電粒子線が入射するコリメータレンズを含む照射系と、
前記照射系からの荷電粒子線を複数の荷電粒子線に分割するアパーチャアレイと、
前記アパーチャアレイからの複数の荷電粒子線からそれぞれ複数のクロスオーバを形成する集束レンズアレイと、
前記複数のクロスオーバにそれぞれ対応する複数の開口を備えた素子と、該複数の開口に対してそれぞれ設けられて荷電粒子線を前記基板上に投影する複数の投影ユニットと、を含む投影系と、を有し、
前記集束レンズアレイは、前記素子における対応する開口に対して偏心している集束レンズを含み、
前記照射系は、前記照射光学系の収差に依る入射角で前記アパーチャアレイに入射して前記集束レンズアレイにより形成される前記複数のクロスオーバのそれぞれの位置が前記素子における対応する開口に整合するように、前記収差を調整する調整手段を含む、ことを特徴とする描画装置。である。