【手続補正書】
【提出日】平成26年1月8日(2014.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記第１板と前記第２板とは接着剤により接合され、
前記接着剤は、３５０℃〜４１０℃で溶融するガラス材料である請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記第２ウエハは、前記振動部と前記振動部を囲み前記パッケージの一部をなす枠体とを有する複数の圧電フレームを有する圧電ウエハを含み、
前記第１ウエハは、前記圧電ウエハの一面に接合され複数のベース部を有するベースウエハを含み、
前記枠体及び前記ベース部と前記振動部を密封する前記パッケージを構成する複数のリッド部を有するリッドウエハを用意する工程と、
前記第１切断工程前に、前記接着剤により前記リッドウエハを前記圧電ウエハの他面に接合する第２接合工程と、をさらに備える請求項５に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記第１切断工程では前記貫通孔の縁部に沿って、１つの前記圧電デバイスに少なくとも２つの前記キャスタレーションが形成されるように切断する請求項５から請求項８のいずれか一項に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第７観点の圧電デバイスの製造方法において、第２ウエハは振動部と振動部を囲みパッケージの一部をなす枠体とを有する複数の圧電フレームを有する圧電ウエハを含み、第１ウエハは圧電ウエハの一面に接合され複数のベース部を有するベースウエハを含み、枠体及びベース部と振動部を密封するパッケージを構成する複数のリッド部を有するリッドウエハを用意する工程と、第１接合工程後及び第１切断工程前に接着剤によりリッドウエハを圧電ウエハの他面に接合する第２接合工程と、をさらに備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、第１実施形態では水晶振動片１０がベース部１２の第２端面Ｍ２に載置されているが、ベース凹部１２１の内部に収納されてもよい。このとき、接続電極は、ベースキャスタレーション１２２ａ、１２２ｃから第２端面Ｍ２を介してベース凹部１２１の底面まで伸びて形成される。また、この場合にリッド部はリッド凹部が形成されていない平板状となってもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
ここで図７を参照して説明する。ベース部１２Ｂの外部電極１２５ａ、１２５ｃにプローブＰＢ１、ＰＢ２から交番電圧が印加されても、ベース部１２Ａ，１２Ｃ，１２Ｄの外部電極１２５ａ、１２５ｃ同士はそれぞれ電気的に接続されていない。このため、ベース部１２Ａ，１２Ｃ，１２Ｄの水晶振動片１０からの影響を受けない。このため、ダイシングされる前のウエハ状態で、ベース部１２Ｂの水晶振動片１０の振動周波数を正確に測定することができる。また、ステップＳ１４では一対の周波数測定用のプローブＰＢ１，ＰＢ２が一対の外部電極１２５ａ、１２５ｃに当接されたが、一対の接続電極１２４ａ、１２４ｂ又は一対のベース側面電極１２３ａ，１２３ｃに当接されて、水晶振動片１０の振動周波数が測定されてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
ステップＳ１７では、接合されたリッドウエハ１１Ｗとベースウエハ１２ＷとがＺ’軸方向に沿って切断される。切断工程では、レーザーを用いたダイシング装置、または切断用ブレードを用いたダイシング装置などを用いて行われる。ステップＳ１７では、図５〜図７に示された一点鎖線の第１スクライブラインＳＬ１に沿って接合されたリッドウエハ１１Ｗとベースウエハ１２Ｗとが切断される。つまり、貫通孔ＢＨ１が形成されている第１辺Ｌ１に沿ってリッドウエハ１１Ｗとベースウエハ１２Ｗとが切断される。ここで、ダイシング装置が貫通孔ＢＨ１を通過するときにはベースウエハ１２Ｗに負荷がかからないので、負荷がかかる全体的な時間が短くなる。このため、ベースウエハ１２Ｗには電極の剥離などの破損が発生しにくくなる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
（第２実施形態）
＜第２水晶振動子２００の全体構成＞
第２水晶振動子２００の全体構成について、図８及び図９を参照しながら説明する。図８は第２水晶振動子２００の分解斜視図で、図９は第２水晶振動子２００の底面図である。なお、図８では接続電極１２４ａ、１２４ｂ全体が見えるように、封止材である低融点ガラスＬＧが透明に描かれている。第２実施形態において、第１実施形態で説明された構成要件については同じ符号を付して説明する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
＜第２水晶振動子２００の製造方法＞
第２水晶振動子２００の製造方法は、図３で説明された第１水晶振動子１００の製造方法のフローチャートとほぼ同じである。但し、ベースウエハ２２Ｗ状態でベース部２２を形成するとき、貫通孔ＢＨ２が異なっている。図１０はベースウエハ２２Ｗの平面図で、図１１はベースウエハ２２Ｗの底面図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
（第３実施形態）
＜第３水晶振動子３００の全体構成＞
第３水晶振動子３００の全体構成について、図１２及び図１３を参照しながら説明する。図１２は第３水晶振動子３００の分解斜視図で、図１３は第３水晶振動子３００の底面図である。なお、図１２では接続電極３２４ａ、３２４ｂ全体が見えるように、封止材である低融点ガラスＬＧが透明に描かれている。また、第１実施形態で説明された構成要件については同じ符号を付して説明する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
＜第３水晶振動子３００の製造方法＞
第３水晶振動子３００の製造方法は、図３で説明された第１水晶振動子１００の製造方法のフローチャートとほぼ同じである。但し、ベースウエハ３２Ｗ状態でベース部３２を形成するとき、図１４に示されたように外部電極とアース電極との位置が異なっている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図１４は、複数のベース部３２を同時に製造できるベースウエハ３２Ｗの底面図である。図１４に示されたようにＸ軸方向に隣り合うベース部３２Ａ、３２Ｂにおいて、外部電極３２５ａとアース電極３２５ｄとが一体に形成され、外部電極３２５ｂとアース電極３２５ｃとが一体に形成されている。また、Ｚ’軸方向に隣り合うベース部の実装端子（外部電極、アース電極）はそれぞれ離れて形成され、それらのＺ’軸方向の間隔ＳＰ３は４０μｍ〜２８０μｍ程度である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
このため、一対の周波数測定用のプローブＰＢ１、ＰＢ２がベース部３２Ａの外部電極３２５ａと外部電極３２５ｂとにそれぞれ当接されると、１つの水晶振動片３０の振動周波数が測定できる。プローブＰＢ１、ＰＢ２からベース部３２Ａの外部電極３２５ａ、３２５ｂに交番電圧が印加されても、外部電極３２５ａ、３２５ｂはベース部３２Ｂのアース電極３２５ｃ、３２５ｄのみに接続されるのみでベース部３２Ｂの水晶振動片３０には電気的に接続されていない。このため、隣り合うベース部３２からの影響がなく、ウエハ状態で水晶振動片３０の振動周波数を正確に測定することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
また、第４実施形態では第１実施形態で説明されたように一対の外部電極及び一対のアース電極が第４水晶振動子４００の実装面の対角線方向に配置されているが、第２実施形態で説明されたように一対の外部電極及び一対のアース電極が同じ一辺に形成されてもよい。さらに、第２実施形態で説明されたように、一対のアース電極に対応するキャスタレーションが形成されなくてもよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
＜第４水晶振動子４００の製造方法＞
第４水晶振動子４００の製造方法は、図３で説明された第１水晶振動子１００の製造方法のフローチャートとほぼ同じであるので、図３を参照しながら説明する。また、図１７は複数の水晶振動片４０を同時に製造できる水晶ウエハ４０Ｗの平面図である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
ステップＳ１４では、一対の周波数測定用のプローブＰＢ１、ＰＢ２を同じベース部４２の外部電極４２５ａと外部電極４２５ｃとにそれぞれ当接し、１つ１つの水晶振動部４０１の振動周波数が測定される。ここで、外部電極４２５ａ、４２５ｃに交番電圧が印加されても、外部電極４２５ａ、４２５ｃは隣り合うベース部４２のアース電極４２５ｂ、４２５ｄのみに接続され外部電極４２５ａ、４２５ｃ同士はそれぞれ電気的に接続されていない。このため、ウエハ状態で水晶振動部４０１の振動周波数を正確に測定することができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
（第４実施形態の変形例）
＜第４水晶振動子４００’の全体構成＞
第４実施形態の変形例の第４水晶振動子４００’の全体構成について、図１８〜図２０を参照しながら説明する。図１８（ａ）は第４実施形態の変形例の水晶振動片４０’を＋Ｙ’側から見た平面図で、（ｂ）は第４実施形態の変形例の水晶振動片４０’を＋Ｙ’側から見た透視図で、（ｃ）は第４実施形態の変形例のベース部４２’を＋Ｙ’側から見た平面図で、（ｄ）は第４実施形態の変形例のベース部４２’を＋Ｙ’側から見た透視図である。図１９は、図１８（ｂ）のＤ−Ｄ断面図である。図２０（ａ）は、第４実施形態の変形例の第４水晶振動子４００’を＋Ｙ’側から見た平面図で、リッド部４１を省略して描かれている。また、図２０ではベース部４２’が見えるように、水晶振動片４０’が透明に描かれている。