【手続補正書】
【提出日】平成26年10月21日(2014.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材は、前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体が焼成されることにより形成されており、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記支持部材は複数の前記吐出素子基板を支持し、前記フィルタ部材は複数の前記吐出素子基板のそれぞれに対応して１枚ずつ設けられている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記支持部材は、一つの前記吐出素子基板に供給する複数の前記液体導入路につき１つの前記フィルタ部材を有する請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記積層体において、前記吐出素子基板が配置される第一の面に前記導入路用プレートが配置されている請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記積層体において、前記第一の面に前記導入路用プレートが配置され、該第一の面に配置された導入路用プレートの前記第一の面と反対側に隣接して前記フィルタ用プレートが配置されている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記積層体において、少なくとも２つの前記導入路用プレートが前記フィルタ用プレート上に積層され、該少なくとも２つの導入路用プレートのうちの最上層の導入路用プレートが前記第一の面に配置されている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記積層体において、さらに、前記フィルタ用プレートの前記第一の面と反対側に少なくとも１つの前記導入路用プレートが配置されている請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記支持部材において、前記吐出素子基板が配置される第一の面が平坦化されている請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記フィルタ部材は、Ｆｅ、Ｃｒ及びＮｉからなる合金からなる請求項１乃至８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記支持部材はアルミナからなる請求項１乃至９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体を用意する工程と、（２）前記積層体を焼成することにより一体化する工程と、
を有し、
前記工程（１）において、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記工程（２）は、前記積層体をプレスしながら焼成する工程である請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記フィルタ部材は、前記フィルタ用プレートよりも厚い請求項１１又は１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記工程（１）において、前記吐出素子基板が配置される第一の面に前記導入路用プレートを配置する請求項１１乃至１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記工程（１）において、前記第一の面に前記導入路用プレートを配置し、該第一の面に配置した導入路用プレートの前記第一の面と反対側に隣接させて前記フィルタ用プレートを配置する請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記工程（１）において、少なくとも２つの前記導入路用プレートを前記フィルタ用プレート上に積層し、該少なくとも２つの導入路用プレートのうちの最上層の導入路用プレートを前記第一の面に配置する請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記工程（１）において、さらに、前記フィルタ用プレートの前記第一の面と反対側に少なくとも１つの前記導入路用プレートを配置する請求項１５又は１６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記工程（２）の後に、
（３）前記フィルタ部材及び前記貫通穴に樹脂を侵入させる工程と、
（４）前記工程（３）より得られる積層体の表面を研磨する工程と、
（５）前記樹脂を除去する工程と、
をこの順で有する請求項１１乃至１７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記樹脂は熱により溶解する樹脂であり、前記工程（５）は前記樹脂を加熱することにより溶解させて前記フィルタ部材及び前記貫通穴から除去する工程である請求項１８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２０】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
（１）前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ基板を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ基板と、からなる積層体を用意する工程と、（２）前記積層体を焼成することにより一体化する工程と、
（３）前記工程（２）より得られる積層体の表面を研磨する工程と、
（４）前記フィルタ基板に穴あけ加工を施し、フィルタ部材とする工程と、
をこの順で有し、前記工程（１）において、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２１】
前記フィルタ部材は、Ｆｅ、Ｃｒ及びＮｉからなる合金からなる請求項１１乃至２０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２２】
前記支持部材はアルミナである請求項１１乃至２１のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
インクを吐出口から吐出することにより被記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッドとして、セラミック等から形成される支持部材を備えるインクジェット記録ヘッドが知られている。該インクジェット記録ヘッドは、吐出エネルギー発生素子を備えた基板とインクの吐出口とを備えた吐出素子基板が支持部材に支持された構成を有する。基板には、吐出エネルギー発生素子へ液体を供給するための供給口が基板を貫通するように設けられている。また、支持部材にも貫通孔が設けられている。支持部材と基板とは、インク中の混入物を濾過するフィルタ部材を間に挟んで接合されている。インクはインクカートリッジ等から支持部材の貫通孔から供給口に供給される際にフィルタを通過することとなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
一方、インクジェット記録ヘッドがフルラインタイプのものである場合には、アルミナなどで形成される支持部材を長尺なものとする必要がある。支持部材が長尺化しても支持部材の記録素子基板を配置する側の平坦性を損なわないように、支持部材を複数のプレートを積層して一体化することで形成することが知られている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
しかしながら、上記支持部材を複数のプレートを積層して一体化することで形成する方法では、支持部材と別体のフィルタを接着剤で接合しており、製造工程が複雑になることが懸念される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一例は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記支持部材は、前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体が焼成されることにより形成されており、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の一例は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、（１）前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ部材を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ部材と、からなる積層体を用意する工程と、（２）前記積層体を焼成することにより一体化する工程と、を有し、前記工程（１）において、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の一例は、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と前記液体を吐出する吐出口と前記吐出口に連通する液体供給口とを備える吐出素子基板と、前記吐出素子基板を支持し、前記液体供給口に前記液体を供給するための液体導入路を有する支持部材と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、（１）前記液体導入路の一部を構成する貫通穴を有する少なくとも２つの導入路用プレートと、前記液体を濾過するフィルタ基板を配置するための開口を有するフィルタ用プレートと、前記開口に配置された前記フィルタ基板と、からなる積層体を用意する工程と、（２）前記積層体を焼成することにより一体化する工程と、（３）前記工程（２）より得られる積層体の表面を研磨する工程と、（４）前記フィルタ基板に穴あけ加工を施し、フィルタ部材とする工程と、をこの順で有し、前記工程（１）において、前記フィルタ部材は２つの前記導入路用プレートの間に該２つの導入路用プレートに接触した状態で挟まれていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１に示したインクジェット記録ヘッドの概略断面図である。
【図３】フィルタ部材の形状の例を示す概略上面図である。
【図４】本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明するための断面工程図である。
【図５】図４（３）における点線の円部分Ａの拡大断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態を示す支持部材の断面図である。
【図７】第３の実施形態を説明するための断面工程図である。
【図８】第４の実施形態を説明するための断面工程図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と液体の吐出口とを備える吐出素子基板を備える。また、本発明に係る液体吐出ヘッドは、吐出素子基板と接合され、該吐出素子基板を支持し、該吐出素子基板に液体を供給するための液体の流路となる液体導入路を有する支持部材を備える。
なお、以下の本発明に関する説明には、参考となる液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する説明も含まれている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
上述のように、フィルタ用プレートよりも厚いフィルタ部材を用いてプレスして焼成することにより、図４（４）に示すように、フィルタ部材表面とプレートとの間に隙間ができないように形成することができる。これらによって、フィルタ部材１が強固に固定される。また、高い面精度のプレス／焼成治具１０の面に支持部材１００の記録素子接合面がならうことで、支持部材１００の平面精度を高めることが可能となる。また、吐出素子基板３の吐出口から吐出されたインク滴が記録媒体に精度良く記録することが可能となる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図６は、第２の実施形態を示す支持部材１００の断面図である。複数のプレートの最上層である第１の導入路用プレート１０１ａ上に吐出素子基板３が接合される。本明細書において、支持部材の吐出素子基板が配置される面を第一の面と称し、その反対側の支持部材の面を第二の面と称す。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
このような構成とすることにより、接合ズレのような段差がインクの流れる方向に対して、吐出素子基板３とフィルタ部材１との間に発生しなくなるため、流体の流れによどみが発生し難くすることが可能となる。また、フィルタ用プレート１０２の下側に配置された第２の導入路用プレート１０１ｂと第３の導入路用プレート１０１ｃで接合ズレが生じてよどみによる洗浄不足が発生しても、フィルタ部材１によって吐出素子基板３への異物の侵入を防ぐことができる。したがって、吐出口からインク滴を精度良く吐出することが可能となる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
（第３の実施形態）
以下に、第３の実施形態を示す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
（第４の実施形態）
以下に、第４の実施形態を示す。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
これらによって、支持部材１００の平面精度を高めることが可能となり、吐出素子基板３の吐出口からインク滴を記録媒体に精度良く吐出することが可能となる。本実施形態においては、複数のプレートの最上層にフィルタ部材１及びフィルタ用プレートを配置した構成である。しかし、フィルタ部材１の配置位置に関係なく、どの層においても、研磨後に穴あけ加工をすることで、同様な効果を得ることが可能となる。