【手続補正書】
【提出日】平成26年2月20日(2014.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨークと、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニットと、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニットと、前記ヨークを該ヨークの回転中心を中心として回転させる回転機構と、を備え、
前記外部磁石ユニットおよび前記内部磁石ユニットによって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成するマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットであって、
前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの所定位置から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、
前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の角形状を有する外部磁石で構成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項２】
ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨークと、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニットと、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニットと、前記ヨークを該ヨークの回転中心を中心として回転させる回転機構と、を備え、
前記外部磁石ユニットおよび前記内部磁石ユニットによって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成するマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットであって、
前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの回転中心から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、
前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の角形状を有する３ｎ−１本以上の外部磁石で構成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項３】
前記ｎ本の内部磁石は、１８０°以下の角度で、円周方向に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項４】
前記ｎ本の内部磁石は、ｎ／３６０°の角度で、円周方向に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項５】
前記外部磁石は、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ角形の形状を有する３ｎ本の外部磁石で構成され、前記３ｎ本の外部磁石とｎ本の内部磁石とのそれぞれの間には、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下の間隙が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項６】
ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨークと、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニットと、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニットと、前記ヨークを該ヨークの回転中心を中心として回転させる回転機構と、を備え、
前記外部磁石ユニットおよび前記内部磁石ユニットによって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成するマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットであって、
前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの回転中心と異なる放射中心から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、
前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の形状を有する３ｎ−１本以上の外部磁石で構成されているとを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項７】
前記ｎ本の内部磁石は、１８０°以下の角度で、円周方向に配置されていることを特徴とする請求項６記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項８】
前記ｎ本の内部磁石は、ｎ／３６０°の角度で、円周方向に配置されていることを特徴とする請求項６記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項９】
前記外部磁石は、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ角形の形状を有する３ｎ本の外部磁石で構成され、前記３ｎ本の外部磁石とｎ本の内部磁石とのそれぞれの間には、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下の間隙が設けられていることを特徴とする請求項６記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【請求項１０】
真空排気可能な処理室に、
処理対象としての基板と、
前記基板に対向するように配され、放電用電力が供給されるカソード電極と、
前記カソード電極の前面側に支持されたターゲットと、
前記ターゲットの前方に前記基板を通過させる搬送機構と、
を備え、
前記カソード電極の背面側に、請求項１から９のいずれかに記載の磁石ユニットが配されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置。
【請求項１１】
前記３ｎ−１角形の角形状を有する外部磁石の各辺がｎ本の前記内部磁石の各辺と平行に、等しい間隔で設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨークと、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニットと、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニットと、前記ヨークを該ヨークの回転中心を中心として回転させる回転機構と、を備え、
前記外部磁石ユニットおよび前記内部磁石ユニットによって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成するマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットであって、
前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの所定位置から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、
前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の角形状を有する外部磁石で構成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項２記載の発明は、ターゲットを支持するカソード電極の背面側に、強磁性板材からなるヨークと、該ヨーク上に配置された環状の外部磁石ユニットと、前記ヨーク上の前記外部磁石ユニットの内部に配置され、前記外部磁石ユニットと極性が異なる内部磁石ユニットと、前記ヨークを該ヨークの回転中心を中心として回転させる回転機構と、を備え、前記外部磁石ユニットおよび前記内部磁石ユニットによって前記ターゲット上に発生した磁力線の接線が前記ターゲット面と平行になるような領域の集合としての磁気トラックを形成するマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットであって、
前記内部磁石ユニットは、前記ヨークの回転中心から少なくともｎ（ｎは３以上の正の整数）の方向に放射状に伸びるｎ本の内部磁石で構成され、前記外部磁石ユニットは、前記ｎ本の内部磁石を取り囲むように配置された３ｎ−１角形以上の角形状を有する３ｎ−１本以上の外部磁石で構成されていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング装置の磁石ユニットである。