【手続補正書】
【提出日】平成25年11月25日(2013.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式［１］で示される塩基発生剤及び塩基反応性樹脂を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2012113256.tif 000001
（式中、Ｒ１は、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ２は、水素原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ３〜Ｒ６は夫々独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基、ヒドロキシル基又はニトロ基を表し、Ｚは１級又は２級アミン由来の基を表し、Ｒ２とＲ３とで環状構造を形成していてもよいし、Ｒ３〜Ｒ６の２つ以上が結合してＲ３〜Ｒ６が結合しているベンゼン環と縮合環を形成していてもよい。ただし、Ｒ３〜Ｒ６のすべてが水素原子であるものを除く。）
【請求項２】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ１が、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基であり、Ｒ２が、水素原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基であって、かつ、Ｒ３〜Ｒ６の少なくとも１つが、ハロゲン原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基、ヒドロキシル基又はニトロ基である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ５が、ハロゲン原子、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基、ヒドロキシル基又はニトロ基であって、かつ、Ｒ３、Ｒ４及びＲ６が、水素原子である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ５が、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルコキシ基であって、かつ、Ｒ３、Ｒ４及びＲ６が、水素原子である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ５が、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルコキシ基であって、かつ、Ｒ３、Ｒ４及びＲ６が、水素原子である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ１が、炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ１が、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ２が、水素原子又は炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｒ２が、水素原子又は炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｚで示される１級又は２級アミン由来の基が、下記一般式［２］で示されるものである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2012113256.tif 000002
（式中、Ｒ７及びＲ８は夫々独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状の炭化水素基を表すか、或いはこれらが結合している窒素原子と共に、置換基を有していてもよい炭素数２〜１０の含窒素脂肪族環又は含窒素芳香環を形成するものを表す。）
【請求項１１】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｚで示される１級又は２級アミン由来の基が、下記一般式［３］で示されるものである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
2012113256.tif 000003
（式中、Ｒ９及びＲ１０は夫々独立して、水素原子又は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０の直鎖状、分枝状若しくは環状の炭化水素基を表し、Ｖ１は、主鎖の炭素原子が酸素原子又はケイ素原子で置換されていてもよい炭素数２〜１０のアルキル基を表し、Ｙは、下記一般式［１'］で示される基を表す。）
【化４】
2012113256.tif 000004
（式中、Ｒ１〜Ｒ６は、前記に同じ。）
【請求項１２】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤において、Ｚで示される１級又は２級アミン由来の基が、下記一般式［４］で示されるものである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【化５】
2012113256.tif 000005
（式中、Ｒ１１〜Ｒ１４は夫々独立して、水素原子又は炭素数１〜６の直鎖状、分枝状若しくは環状のアルキル基を表し、Ｖ２は、主鎖の炭素原子が酸素原子又はケイ素原子で置換されていてもよい炭素数１〜１０のアルキル基を表し、Ｙは、下記一般式［１'］で示される基を表し、ｍ及びｎは夫々独立して、１又は２を表す。）
【化６】
2012113256.tif 000006
（式中、Ｒ１〜Ｒ６は、前記に同じ。）
【請求項１３】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤が、下記一般式［５］で示されるものである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化７】
2012113256.tif 000007
（式中、Ｒ１'は、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ２'は、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ３'〜Ｒ６'は夫々独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基、ヒドロキシル基又はニトロ基を表し、Ｚ'は下記式［６］〜［１４］で示される基を表し、Ｒ２'とＲ３'とで環状構造を形成していてもよいし、Ｒ３'〜Ｒ６'の２つ以上が結合してＲ３'〜Ｒ６'が結合しているベンゼン環と縮合環を形成していてもよい。ただし、Ｒ３'〜Ｒ６'のすべてが水素原子であるものを除く。）
【化８】
2012113256.tif 000008
【化９】
2012113256.tif 000009
【化１０】
2012113256.tif 000010
【化１１】
2012113256.tif 000011
【化１２】
2012113256.tif 000012
【化１３】
2012113256.tif 000013
【化１４】
2012113256.tif 000014
【化１５】
2012113256.tif 000015
（式中、Ｙ'は、下記一般式［５'］で示される基を表す。）
【化１６】
2012113256.tif 000016
（式中、Ｙ'は、下記一般式［５'］で示される基を表す。）
【化１７】
2012113256.tif 000017
（式中、Ｒ１'〜Ｒ６'は、前記に同じ。）
【請求項１４】
前記一般式［１］で示される塩基発生剤が、式［１７］で示されるものである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化１８】
2012113256.tif 000018
【請求項１５】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物からなるパターン形成材料。
【請求項１６】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物から作製された塗膜又は成形体に、活性エネルギー線を照射する工程を含むことを特徴とする樹脂硬化方法。
【請求項１７】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物から作製された塗膜に、所定のパターンで活性エネルギー線を照射する工程、
前記工程後の塗膜を現像する工程、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１８】
下記一般式［５］で示される樹脂硬化用光塩基発生剤。
【化１９】
2012113256.tif 000019
（式中、Ｒ１'は、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ２'は、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基又はシアノ基を表し、Ｒ３'〜Ｒ６'は夫々独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルキル基、炭素数１〜４の直鎖状若しくは分枝状のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基、ヒドロキシル基又はニトロ基を表し、Ｚ'は下記式［６］〜［１４］で示される基を表し、Ｒ２'とＲ３'とで環状構造を形成していてもよいし、Ｒ３'〜Ｒ６'の２つ以上が結合してＲ３'〜Ｒ６'が結合しているベンゼン環と縮合環を形成していてもよい。ただし、Ｒ３'〜Ｒ６'のすべてが水素原子であるものを除く。）
【化２０】
2012113256.tif 000020
【化２１】
2012113256.tif 000021
【化２２】
2012113256.tif 000022
【化２３】
2012113256.tif 000023
【化２４】
2012113256.tif 000024
【化２５】
2012113256.tif 000025
【化２６】
2012113256.tif 000026
【化２７】
2012113256.tif 000027
（式中、Ｙ'は、下記一般式［５'］で示される基を表す。）
【化２８】
2012113256.tif 000028
（式中、Ｙ'は、下記一般式［５'］で示される基を表す。）
【化２９】
2012113256.tif 000029
（式中、Ｒ１'〜Ｒ６'は、前記に同じ。）