(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークを固定し、搬送する真空吸着装置などの吸着面に使用し、安価でワークに皺や吸着跡が残らず、また吸着汚れを発生させることのない不織布製吸着プレートを提供する。【解決手段】吸着プレート１は吸着面を形成する熱接着不織布Ａと真空吸引側に使用する熱接着不織布Ｂとで形成する。該熱接着不織布Ａ，Ｂは、融点１００〜２００℃の低融点繊維と、該低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維を混綿し、カーディング，交絡加工後、熱接着してなり、１層又は複数層Ａ，Ｂを重ね合わせて積層し、外周を熱プレスにて融着して形成する。又、非融着部の通気量を５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ、融着部Ｃ の通気量を５ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ以下とした。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
融点が１００〜２００℃の低融点繊維と、低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維を混綿し、カーディング，交絡加工後、熱接着してなる熱接着不織布を１層又は複数層重ね合わせ、外周を熱プレスで融着して形成され、非融着部の通気量が５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ，融着部の通気量が５ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ以下の特性を有していることを特徴とする不織布製吸着プレート。
【請求項２】
重ね合わされる熱接着不織布が低融点繊維の混綿割合を異にする不織布である請求項１記載の不織布製吸着プレート。
【請求項３】
熱接着不織布に使用される低融点繊維が融点１００〜２００℃，繊維径が１〜７０ｄｔｅｘ、繊維長が１〜１００ｍｍである変性ポリエステル繊維、変性ナイロン繊維、ポリプロピレン、ポリエチレンなどのオレフィン繊維あるいはポリエステル／ナイロンなどの芯鞘構造の繊維、あるいは繊維断面の半分がポリプロピレン、半分がポリエチレンなどの２成分系繊維から選ばれた繊維であり、該繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維が繊維径１〜７０ｄｔｅｘ、繊維長１〜１００ｍｍのポリエステル繊維、ナイロン繊維、レーヨン繊維から選ばれた繊維である請求項１記載の不織布製吸着プレート。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は紙，フィルム，ウエハ，ガラス板，金属板等のワークを搬送あるいは固定するため、ロボットの手部分など真空吸着装置の吸着面に使用し、ワークに皺や吸着跡が残らず、また吸着汚れ等を発生させることのない不織布製吸着プレートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶用ガラス板や半導体ウエハの精密切断や精密加工においてはワークが位置ずれしないように確実に固定されることが必要であり、その際の固定装置として真空吸着装置が一般的に使用されている。
【０００３】
ところで、真空吸着装置は上記の如くワークを安定して確実に固定しなければならない関係上、吸着面が重要な役割を有しており、従来より吸着面構造に関して種々の提案がなされ、ワークに皺や吸着跡が残らなくするため、また均一に吸着がなされるためにスポンジとネオプレンにより構成された吸着部材（例えば特許文献１参照）や、ワークを高精度に保持固定するため超高分子量ポリエチレンかならる多孔質シート（例えば特許文献２参照）、あるいはステンレスまたは真鍮の焼結金属からなる多孔質吸着プレート（例えば特許文献３参照）、更に吸着面の気孔径を小さくしてより吸着を均一に行うためのセラミックス系多孔質材料（例えば特許文献４参照）などが提案されて来た。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１２７０６７号公報
【特許文献２】特開平８−１６９９７１号公報
【特許文献３】特開平６−７１８５４号公報
【特許文献４】特開２００４−５９２９５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記各提案に係る吸着面部材は、先ず、吸着面に用いられている材料のスポンジは耐摩耗性に劣り、また多孔質シート，焼結金属とか多孔質セラミックスは一般的に通気量が少なく充分な吸着力が得難く、しかも曲げ硬さが大きいため圧縮時の密着性が乏しく、更に高価であるなどの各欠点を有していた。
【０００６】
本考案は上述の如き実状に対処し、特に熱接着性不織布の使用に着目し、熱接着性不織布を吸着面プレートとして使用することによりワークに皺や吸着跡を発生させることなく、かつ強い吸引力でワークを強固に把持，固定，移動を可能ならしめることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
即ち、上記目的に適合する本考案不織布製吸着プレートは、融点１００〜２００℃の低融点繊維と該低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維を混綿し、カード，交絡加工後熱接着してなる熱接着タイプの不織布を１層又は複数層重ね合わせ、外周を熱プレスにて融着して形成され、非融着部の通気量が５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ２／ｓｅｃ，融着部の通気量が５ｃｃ／ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有している構成よりなる。
【０００８】
ここで重ね合わされる熱接着性不織布は同一の繊維配合の不織布層に限らず、両繊維の混綿割合を異ならしめた不織布の重ね合わせでもよい。特に重ね合わされる不織布におけるなきは低融点繊維の混綿割合を異ならしめるときは多い方を吸着面側、すくない方を真空吸引側とすることが好適である。
【０００９】
なお、上記不織布に使用される低融点繊維は融点が１００〜２００℃、繊維径が１〜７０ｄｔｅｘ、繊維長が１〜１００ｍｍである変性ポリエステル繊維，変性ナイロン繊維，ポリプロピレン，ポリエチレンなどのオレフィン繊維あるいはポリエステル／ナイロンなどの芯鞘構造の繊維、あるいは繊維断面の半分がポリプロピレン、半分がポリエチレンなどの２成分系繊維より選ばれた少なくとも１種の繊維であり、また該繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維は繊維径が１〜７０ｄｔｅｘ、繊維長が１〜１００ｍｍのポリエステル繊維，ナイロン繊維，レーヨン繊維より選ばれた少なくとも１種の繊維が用いられる。
【考案の効果】
【００１０】
本考案は上記の如く吸着プレートが比較的安価な不織布で構成され、かつ低融点繊維を含み平滑な加圧・加熱された比較的嵩密度の大きい接着タイプの不織布であるからワークに皺や吸着跡が発生することなく、また、不織布であるため吸引力（吸着力）が強く、ワークを強固に把持、固定し、移動を可能とし、ロボットの手部分など、真空吸着装置の吸着面に使用して頗る優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本考案に係る吸着プレートの１例を示す平面図である。
【図２】上記吸着プレートのＸ−Ｘ断面図である。
【図３】同吸着プレートの使用態様図である。
【考案を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照し本考案の具体的形態について説明する。図１は本考案に係る吸着プレートの１例を示す平面図、図２は図１のＸ−Ｘ断面図であり、これら図において１は吸着プレートで、図示の如く吸着面を形成する熱接着不織布Ａと真空吸引側に使用される熱接着不織布Ｂの２層を積層することによって構成されていると共に、その外周において熱プレスなどにより融着されて融着部Ｃとして前記両不織布Ａ，Ｂを一体化している。
【００１３】
なお、図においては吸着プレート１は２層の重ね合わせにより形成されているが、１層のみであってもよく、また３層以上としてもよい。これらは吸着プレートに求められる厚さ，目付等により選択する。
【００１４】
ここで上記吸着プレート１に使用される熱接着不織布は低融点繊維と、該繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維とを所要比率で混綿し、カーディング，ニードルパンチ加工又は水流交絡加工等により交絡した後、熱プレスにより繊維間接着し、作成した不織布であり、目付，層厚さは使用態様により選定されるが、通常、目付３００〜８００ｇ／ｍ2，厚さ２〜５ｍｍ程度が好適である。
【００１５】
そして上記熱接着不織布は前述の如く１層に限らず、複数層の重ね合わせによる積層として構成されるが、複数層の場合、各層は必らずしも同じ繊維組成のものに限らず、例えば低融点繊維が混綿される量を代え、混綿割合の異なる層の重ね合わせとすることも使用目的に応じ好適である。
【００１６】
例えば低融点繊維を９０重量部以上、低融点繊維より融点が７０℃以上高い繊維を１０重量部以下からなる不織布Ａと、低融点繊維を９０重量部以下で、低融点繊維より融点が７０℃以上高い繊維を１０重量部以上混綿した不織布Ｂの２層を重ね合わせるときは上記熱接着不織布Ａ側を真空吸着装置等のワーク吸着面側に、一方、熱接着不織布Ｂを吸引側と使用することによりワークの吸着による搬送，固定等に頗る効果を奏する。
【００１７】
低融点繊維としては通常の熱カレンダー，ホットプレス等にて溶融固化するタイプの繊維であれば特に限定されるまのではなく、例えば変性ポリエステル繊維，変性ナイロン繊維，ポリエチレン，ポリプロピレンなどのポリオレフィン繊維、あるいはポリエステル／ナイロンなどの芯鞘構造又は繊維断面の半分がポリプロピレン，他の半分がポリエチレンの２成分系繊維などの複合繊維が通常、使用される。
【００１８】
また、これら低融点繊維は、融点が１００〜２００℃，繊維径が１〜７０デシテックス（ｄｔｅｘ），繊維長が１〜１００ｍｍであることが一般に好ましい。勿論、混綿，カーディング，ニードルパンチ加工あるいは水流交絡加工などの交絡加工が可能であれば上記に拘るものではない
一方、 前記低融点繊維よりも融点が７０℃以上高い繊維はレギュラータイプのポリエステル繊維，ナイロン繊維，レーヨン繊維，木綿などが含まれ、これら繊維も前記と同じく混綿，カーディング，交絡加工などから繊維径１〜７０ｄｔｅｘ、繊維長１〜１００ｍｍであることが好ましい。
【００１９】
そして、前記の熱接着不織布は１層又は複数層を重ね合わせ、吸引した際に周囲からエアーが進入するのを防止するのと同時に吸着プレート本体に取り付け易くするために、外周を７〜２０ｍｍ幅でホットプレスにて融着・固化し、熱接着不織布を一体化させる。この際、融着部Ｃ以外の部分においては、通気量の低下を招かないために可能な限り嵩高く仕上げるのが望ましい。また、外周の融着部Ｃは、装着を容易にすると共に、非融着部以外からエアーが漏れ混入し吸着力が低下することを防止している。そのため非融着部の通気量は５０〜１５０ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ，融着部の通気量は５ｃｃ／ｃｍ2／ｓｅｃ以下であることが好適である。
【００２０】
なお、以上の熱接着不織布よりなる吸着プレートにおいて、不織布は使用目的，使用場所により熱成型される前に常用の加工方法、即ち、含浸加工，コーティング加工あるいはスプレー加工により帯電防止剤，難燃剤などを付与することも好適である。
【００２１】
図３は上記吸着プレート１を真空吸着装置などの吸着部をなす真空ポート２に取り付け使用している場合を示しており、吸引プレート１をワーク固定部をなす真空ポート２内に穴あき板４を介し取り付け、吸引部３より吸引することによってワークを随時、固定・保持せしめることができる。
【００２２】
なお、吸着プレート１は図１においては長方形状となっているが、長方形状に限らず正方形，円形，楕円形など、吸着部の構造に合わせて適宜形状に形成することができる。
【符号の説明】
【００２３】
１：吸着プレート
Ａ：吸着面側不織布
Ｂ：真空吸引側不織布
Ｃ：融着部
２：真空ポート
３：吸引部
４：穴あき板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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