【手続補正書】
【提出日】平成26年9月25日(2014.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査する基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、
前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、
前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、
を備え、前記回動軸を中心にして前記マクロ検査用ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ前記基板載置部の側方から検査者の目視によるマクロ検査を行うことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記マクロ検査用ホルダは、前記基板の短手方向の両側を支持する2本の縦支持部と、これら縦支持部に嵌合された複数本の横支持部で構成され、
前記基板載置部は、上面に複数の吐出孔を全面に形成し気体を噴出して前記基板を浮上させる浮上プレート構成され、該浮上プレートに前記マクロ検査用ホルダを収容する溝部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記基板載置部は、前記基板搬送方向に沿って細長い帯状に延びた複数の浮上プレートが互いに平行に設けられ、これらの複数の浮上プレートの間に前記マクロ検査用ホルダの横支持部を収容する溝部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、
前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、
前記基板搬送部により前記基板を保持する第１基板保持ステップと、
前記基板を前記基板搬送部により前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、
前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記ミクロ検査が終了した前記基板を前記基板搬送部により前記基板載置部に埋没している前記マクロ検査用ホルダの上まで搬送する第２搬送ステップと、
前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、
前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第２基板保持ステップと、
前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、
マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、
前記第２保持解除ステップ後に前記基板を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
【請求項５】
検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、
前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、
前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第１基板保持ステップと、
前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、
マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、
前記基板搬送部により保持する第２基板保持ステップと
前記基板搬送部により前記マクロ検査が終了した前記基板を前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、
前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記基板を前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと
前記基板搬を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る基板検査装置は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記ミクロ検査部の下流側に設けられた基板搬出領域に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備え、前記回動軸を中心にして前記マクロ検査用ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ前記基板載置部の側方から検査者の目視によるマクロ検査を行うことを特徴とする基板検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の基板検査方法は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、前記基板搬送部により前記基板を保持する第１基板保持ステップと、前記基板を前記基板搬送部により前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、 前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記ミクロ検査が終了した前記基板を前記基板搬送部により前記基板載置部に埋没している前記マクロ検査用ホルダの上まで搬送する第２搬送ステップと、前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第２基板保持ステップと、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、前記第２保持解除ステップ後に前記基板を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の基板検査方法は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第１基板保持ステップと、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、前記基板搬送部により前記基板を保持する第２基板保持ステップと、前記基板搬送部により前記マクロ検査が終了した前記基板を前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、前記基板搬を搬出する搬出ステップと、を含むことを特徴とする。