【手続補正書】
【提出日】平成26年11月10日(2014.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受圧部と、
前記受圧部の外周部を保持する固定部を含む保持部材と、
前記受圧部に固定された第１の基部と、第２の基部と、前記第１の基部と前記第２の基部の間に設けられた感圧部と、を含む感圧素子と、を含み、
前記保持部材には、前記感圧素子の前記第２の基部を固定するための支持体が接続され
ていることを特徴とする物理量検出器。
【請求項２】
前記保持部材は、前記受圧部が変位する方向から見たときに、前記受圧部と重なるように突出して設けられた突出部を備え、
前記支持体は、前記突出部に接続されている請求項１に記載の物理量検出器。
【請求項３】
前記突出部は、前記固定部から環状に突出して設けられている請求項２に記載の物理量検出器。
【請求項４】
前記第１の基部および前記第２の基部は、前記受圧部が変位する方向に並んで設けられている請求項１ないし３のいずれか一項に記載の物理量検出器。
【請求項５】
前記支持体は、
前記保持部材に立設されている柱部材と、
前記柱部材と前記第２の基部とを連結する梁部材と、
を備えている請求項１ないし４のいずれか一項に記載の物理量検出器。
【請求項６】
前記受圧部に接続されている固定部材を含み、
前記第１の基部は、前記固定部材に固定されている請求項１ないし５のいずれか一項に記載の物理量検出器。
【請求項７】
前記柱部材および前記梁部材は、異なる材料で構成されている請求項５に記載の物理量検出器。
【請求項８】
前記感圧素子は圧電体材料で構成され、
前記柱部材は、前記圧電体材料と同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されている請求項７に記載の物理量検出器。
【請求項９】
前記梁部材は、前記保持部材と前記受圧部とのうち少なくとも何れかと同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されている請求項７に記載の物理量検出器。
【請求項１０】
前記保持部材は、前記受圧部の構成材料と同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されている請求項９に記載の物理量検出器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の物理量検出器は、受圧部と、
前記受圧部の外周部を保持する固定部を含む保持部材と、
前記受圧部に固定された第１の基部と、第２の基部と、前記第１の基部と前記第２の基部の間に設けられた感圧部と、を含む感圧素子と、を含み、
前記保持部材には、前記感圧素子の前記第２の基部を固定するための支持体が接続され
ていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、支持体の保持部材とは反対側の端部の小型化を図ることができることから、支持体の加速度による変形も防止または抑制することができる。
さらに、保持部材が突出部を有することにより、保持部材の剛性を高めることができる。そのため、保持部材の変形による受圧部および支持体の不本意な変形を防止することもできる。
これらのようなことから、本発明の圧力センサーは、優れた検知精度を発揮することができる。
［適用例２］
本発明の物理量検出器では、前記保持部材は、前記受圧部が変位する方向から見たときに、前記受圧部と重なるように突出して設けられた突出部を備え、
前記支持体は、前記突出部に接続されていることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例３］
本発明の物理量検出器では、前記突出部は、前記固定部から環状に突出して設けられていることが好ましい。
これにより、突出部の内側を通じて圧電振動子の第１の基部と受圧部との接続を許容しつつ、保持部材の剛性を効果的に高めることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例４］
本発明の物理量検出器では、前記第１の基部および前記第２の基部は、前記受圧部が変位する方向に並んで設けられていることが好ましい。
これにより、受圧部が圧電振動子側に変位したとき、圧電振動子の振動部が圧縮応力を受け、振動部の共振周波数が小さくなり、一方、変位部が圧電振動子とは反対側に変位したとき、圧電振動子の振動部が引張応力を受け、振動部の共振周波数が大きくなる。そのため、このような振動部の共振周波数に基づいて、圧力を検出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例５］
本発明の物理量検出器では、前記支持体は、
前記保持部材に立設されている柱部材と、
前記柱部材と前記第２の基部とを連結する梁部材と、
を備えていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、第１の基部および第２の基部を、変位部が変位する方向に並べて設けることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例６］
本発明の物理量検出器では、前記受圧部に接続されている固定部材を含み、
前記第１の基部は、前記固定部材に固定されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、変位部が変位する方向における柱部材および圧電振動子の長さを揃えることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例７］
本発明の物理量検出器では、前記柱部材および前記梁部材は、異なる材料で構成されていることが好ましい。
これにより、柱部材および梁部材をそれぞれ所望の熱膨張係数の材料で構成することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例８］
本発明の物理量検出器では、前記感圧素子は圧電体材料で構成され、
前記柱部材は、前記圧電体材料と同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されていることが好ましい。
これにより、圧電振動子の熱歪みを防止または抑制することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例９］
本発明の物理量検出器では、前記梁部材は、前記保持部材と前記受圧部とのうち少なくとも何れかと同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されていることが好ましい。
これにより、圧電振動子の熱歪みを防止または抑制することができる。
［適用例１０］
本発明の物理量検出器では、前記保持部材は、前記受圧部の構成材料と同等または近似した熱膨張係数を有する材料で構成されていることが好ましい。
これにより、受圧部の熱歪みを防止または抑制することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】