(57)【要約】  本発明は、ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板（１）に関し、スクリーン板（１）は、ポリシリコンの供給領域（２）と、山部（３２）と谷部（３１）とを有する凹凸領域（３）と、谷部（３１）から続くスロット（４１）を有する領域（４）と、引取り領域（５）とを含み、スロット（４１）は、引取り領域（５）に向かう方向に大きくなる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板（１）であって、
ポリシリコンの供給領域（２）と、山部（３２）と谷部（３１）とを有する凹凸領域（３）と、前記谷部（３１）から続くスロット（４１）を有する領域（４）と、引取り領域（５）とを備え、前記スロット（４１）は、前記引取り領域（５）に向かう方向に大きくなる、スクリーン板。
【請求項２】
プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、シリコン、および金属からなる群から選択される１つ以上の材料から作られる、請求項１に記載のスクリーン板。
【請求項３】
金属製の本体と、プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、およびシリコンからなる群から選択される１つ以上の材料の膜またはライニングとを含む、請求項１または２に記載のスクリーン板。
【請求項４】
窒化チタン、炭化チタン、窒化アルミニウムチタン、またはＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の膜を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項５】
硬質金属から作られる、または硬質金属によって覆われているもしくはコーティングされている、請求項１または２に記載のスクリーン板。
【請求項６】
前記スロット（４１）の大きさは、２００ｍｍ以下である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項７】
前記谷部（３１）の開口角は、１度よりも大きく１８０度よりも小さい、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項８】
前記谷部（３１）は、１〜２００ｍｍの深さを有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項９】
スクリーンプラントを用いてポリシリコンを機械的に分級する方法であって、前記ポリシリコンは、請求項１に記載のスクリーン板（１）の上に供給され、前記スクリーン板（１）は、前記ポリシリコンが前記引取り領域（５）に向かう方向に移動するような振動に設定されており、小粒径のポリシリコンは、前記スクリーン板（１）の前記谷部（３１）に集まって前記スクリーン板（１）の前記スロット（４１）から落ち、このように前記ポリシリコン・フィードから分離される、方法。
【請求項１０】
前記スクリーン板は、水平方向に対して５度〜２０度の傾斜角度を有する、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板を提供する。
【背景技術】
【０００２】
多結晶シリコン（略して、ポリシリコン）は、半導体用の単結晶シリコンをチョクラルスキー（ＣＺ）法またはゾーンメルト（ＦＺ）法によって製造するための出発材料になり、太陽光発電セクター用に太陽電池を製造するための単結晶または多結晶シリコンを各種引き上げ法および鋳造法によって製造するための出発材料にもなる。
【０００３】
多結晶シリコンは、一般的に、シーメンス法によって製造される。この方法は、ベルジャー型反応炉（「シーメンス炉」）に電流を直接通すことによって、通常、シリコンの薄いフィラメントロッドである、支持体を加熱するステップと、１つ以上のシリコン含有成分と水素とを含む反応ガスを導入するステップとを含み、多結晶シリコンが支持体に成膜される。
【０００４】
ほとんどの用途の場合、このように製造された多結晶シリコンロッドは、小さい塊に破砕されて、通常は、その後、大きさに従って分級される。粉砕した後、通常、スクリーニング機を用いて多結晶シリコンを異なる大きさの部類に選別／分級する。
【０００５】
あるいは、流動床反応器を用いて粒状の多結晶シリコンが製造される。これは、ガス流を利用して流動床内でシリコン粒子を流動化させて、当該床を、加熱装置を使って、高温度に熱することによって達成される。シリコンを含有した反応ガスを加えることによって、高温の粒子表面において熱分解反応が生じる。これによって、元素シリコンがシリコン粒子に成膜され、個々の粒子の直径が大きくなる。
【０００６】
粒状のポリシリコンは、いったん製造されると、スクリーンプラント（分級）によって、通常、２つ以上の分級物または部類に分けられる。最小のふるい分級物（ふるい下）は、その後、粉砕プラントで種粒子に処理され、反応炉に加えられる場合がある。ふるい対象の分級物は、通常、梱包されて取引先に運ばれる。取引先は、とりわけ、チョクラルスキー法（Ｃｚ法）に従って単結晶を成長させるために、粒状のポリシリコンを使う。
【０００７】
スクリーニング機は、一般的な言葉で言うと、粒径に従って固体混合物をふるいにかける、すなわち、分離するための機械である。平面振動スクリーニング機とシェーカースクリーニング機とは、運動特性において区別されている。スクリーニング機は、通常、電磁的な手段によって、または、不平衡モータまたは駆動装置によって駆動される。スクリーントレイが運動することによって、荷電材料がスクリーンの長手方向に搬送され、微粉分級物が網目を通過し易くなる。平面振動スクリーニング機とは対照的に、シェーカースクリーニング機は、水平方向のみならず、垂直方向のスクリーン加速も実施する。
【０００８】
１つの具体的な種類に、いろいろな粒径を同時に細分できるマルチデッキスクリーニング機がある。マルチデッキスクリーニング機は、中間〜超微細の粒径範囲で多種多様に粒径を厳密に分離するように設計されている。マルチデッキ平面スクリーニング機の駆動原理は、互いに反対方向に回転して線形振動を発生させる２つの不平衡モータに基づく。ふるいにかけられた材料は、水平な分離面をまっすぐに移動する。機械は、低い振動加速で動作する。モジュラー方式を使って多数のスクリーンデッキをスクリーンスタックに組み立ててもよい。したがって、必要な場合、スクリーントレイを交換する必要なしに、１つの機械で異なる粒径を製造できる。同一スクリーンデッキシーケンスを複数回繰り返すことによって、ふるいにかけられた材料に対して大きなスクリーン領域を使えるようになる。
【０００９】
ＵＳ８０２１４８３Ｂ２は、多結晶シリコン片を選別するための装置を開示しており、装置は、振動モータアセンブリと、振動モータアセンブリに取り付けられる段差デッキ分級機とを備える。振動モータアセンブリによって、溝を有する第１デッキの上にシリコン片を確実に移動させる。流動床領域では、多孔板を通る気流によって、ほこりが除去される。第１デッキの凹凸領域では、シリコン片が溝の穴に沈降するか溝の頂上に留まる。第１デッキの端に到達すると、第１デッキと後段デッキとの間の隙間よりも小さいシリコン片がデッキを通ってコンベアの上に落ちる。より大きなシリコン片は、隙間を超え、第２デッキの上に落ちる。
【００１０】
ＵＳ２００７／０２３５５７４Ａ１は、多結晶シリコンを粉砕および選別するための装置を開示しており、装置は、粗大な塊のポリシリコンを破砕プラントに供給するための供給装置と、破砕プラントと、塊のポリシリコンを分級するための選別プラントとを備え、装置は、破砕プラントにおける少なくとも１つの破砕用パラメータおよび／または選別プラントにおける少なくとも１つの選別用パラメータの可変調整を可能にするコントローラを備える。選別プラントは、多段式の機械式スクリーンプラントおよび多段式の光電子分離プラントから構成されることが特に好ましい。
【００１１】
また、ＵＳ２００９／０１２０８４８Ａ１は、破砕された多結晶シリコンのフレキシブルな分級を可能にする装置を記載しており、装置は、機械式スクリーンプラントと、光電子選別プラントとを備えることを特徴とし、塊状のポリシリコンが、まず、機械式スクリーンプラントによってシリコンの微粉分級物と残余のシリコン分級物とに分離され、残余のシリコン分級物は、光電子選別プラントによって、さらなる分級物に分離される。
【００１２】
機械式スクリーンプラントは、不平衡モータによって駆動される振動スクリーニング機であることが好ましい。好ましいスクリーントレイは、メッシュスクリーンおよび穿孔スクリーンである。
【００１３】
ＵＳ２０１２／０１９８７９３Ａ１は、ポリシリコン塊を計量して梱包する方法を開示しており、ポリシリコン塊の生成物流が搬送路を通って運ばれ、少なくとも１つのスクリーンによって粗大な塊と微細な塊とに分離され、目標重量になるように計量器を使って計量され、少なくとも１つのスクリーンおよび計量器は、その表面の少なくとも一部に硬質金属を含む。
【００１４】
多結晶シリコン塊の梱包方法という関係では、ＵＳ２０１４／０１３０４５５Ａ１が、計量システムにおいて、ポリシリコンの微粉分級物、すなわち、最も微細な粒子およびかけらが、スクリーンによって除去されることを開示している。スクリーンは、多孔板、バー・スクリーン、またはオプトニューマチック選別機であってもよい。
【００１５】
使用されるスクリーンは、その表面の少なくとも一部に、低汚染材料、たとえば、硬質金属またはセラミックス／カーバイドを含む。スクリーンは、窒化チタン、炭化チタン、窒化アルミニウムチタン、またはＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の膜が部分的または全面に施されていてもよい。
【００１６】
バー・スクリーンは、通常、互いに平行なバーを備え、ふるい下は、バー同士の距離によって決定され、ふるい上は、バーの自由端から出る。既知のバー・スクリーンでは、スクリーンバーは平面状に並べられており、スクリーンバーの自由端へ向かう下方向の傾斜によって、ふるいにかけられた材料が運搬される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
バー・スクリーンなど、従来技術の除去装置は、梱包機において微粉分級物を除去する間、詰まりやすい。これは、デッキ同士の間の隙間によって分級物を除去しようとする既知の段差デッキ分級機でも同様である。
【００１８】
その結果、これらの除去装置では、クリーニングサイクルを必要とする。したがって、連続的に一定した分離精度を達成することができない。
【００１９】
これによって、さらに、プラント休止時間、追加費用、およびクリーニングのための不便が伴う。
【００２０】
別の欠点は、特に、除去される分級物に加えて、ふるい上の相当な分級物が常に同時に除去されるせいで、正確な分離を達成できないことである。したがって、対象の分級物の歩留まりが不必要に減少してしまう。
【００２１】
本発明によって達成される目的は、上記の問題から生じたものである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明の目的は、ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板（１）によって達成され、スクリーン板（１）は、ポリシリコンの供給領域（２）と、山部（３２）と谷部（３１）とを有する凹凸領域（３）と、谷部（３１）から続くスロット（４１）を有する領域（４）と、引取り領域（５）とを備え、スロット（４１）は、引取り領域（５）に向かう方向に大きくなる。
【００２３】
また、上記目的は、スクリーンプラントを用いてポリシリコンを機械的に分級する方法によっても達成され、ポリシリコンは、ポリシリコンが引取り領域（５）に向かう方向に移動するような振動に設定された上述のスクリーン板（１）の上に供給され、小粒径のポリシリコンは、スクリーン板（１）の谷部（３１）に集まってスクリーン板（１）のスロット（４１）を通って落ち、このようにポリシリコン・フィードから分離される。
【００２４】
ポリシリコンは、多結晶塊、または粒状のポリシリコンであってもよい。
小粒径のポリシリコンは、ポリシリコン・フィードの量に対して、スクリーンプラントによって除去される割合の意味であると理解されるべきである。したがって、小粒径のポリシリコンは、除去される分級物である。
【００２５】
小粒径のポリシリコンは、粒状のポリシリコンまたはポリシリコン塊を含む対象の分級物から除去される多結晶シリコン粒子であってもよい。
【００２６】
別の実施形態において、ポリシリコン・フィードは、微粉分級物を含むポリシリコン塊である。微粉分級物は、スクリーン板を使って除去される。
【００２７】
ポリシリコン塊の大きさの部類は、シリコン塊の表面上の２点間の最も長い距離（＝最大長さ）として定義される。
【００２８】
塊の大きさ（ＢＧ）０      ０．１〜５ｍｍ
塊の大きさ１              ３〜１５ｍｍ
塊の大きさ２              １０〜４０ｍｍ
塊の大きさ３              ２０〜６０ｍｍ
塊の大きさ４              ４５〜１２０ｍｍ
塊の大きさ５              １００〜２５０ｍｍ
以下では、塊の大きさ３〜５について、大きさ８ｍｍ×８ｍｍの正方形の網目を有するメッシュスクリーンによって除去され得るような大きさのシリコンの塊または粒子のすべては、微粉分級物と称される。
【００２９】
塊の大きさ０〜２についても同じ定義が当てはまり、ここでは、網目の幅は１ｍｍ×１ｍｍと定める。
【００３０】
スクリーン板は、ポリシリコンの供給が実施される供給領域を含む。
一実施形態において、ポリシリコンは、搬送路によってスクリーンプラントに搬送されてスクリーン板の供給領域に送られる。
【００３１】
スクリーン板は、フルート溝または溝、または、全体的にくぼみと隆起とを有する凹凸領域をさらに含み、凹凸領域は谷部と山部とを有するようになっている。
【００３２】
凹凸領域上でポリシリコンが移動している間に、（対象の分級物と比べて小さい）小さい塊または小さいシリコン粒子、または微粉分級物が凹凸領域の谷部に集まる。
【００３３】
一実施形態において、ポリシリコン・フィードは、大きさの部類３〜５の塊および上述の定義に応じた微粉分級物を含む。凹凸領域上をポリシリコンが移動する間に、微粉分級物は、凹凸領域の谷部に集まる。
【００３４】
一実施形態において、ポリシリコン・フィードは、大きさの部類０〜２の塊および上述の定義に応じた微粉分級物を含む。凹凸領域上をポリシリコンが移動する間に、ポリシリコンに存在する微粉分級物は、凹凸領域の谷部に集まる。
【００３５】
スクリーン板は、凹凸領域から続くスロットを有する領域を含む。スロットは、凹凸領域の谷部の搬送方向のすぐ下流側に配置されている。その結果、凹凸領域の谷部に存在するポリシリコンの微粉分級物は、領域のスロットに選択的に渡される。
【００３６】
一実施形態において、スクリーン板全体が凹凸になるように凹凸領域の山部もスロットを有する領域に続いているが、スクリーン板は、搬送方向の後端に、谷部ではなくスロットを有する。
【００３７】
微粉分級物の除去または小さな塊／粒子の除去は、スクリーン板のスロットによってこのように実施される。
【００３８】
一実施形態において、除去された微粉分級物または小さな塊／粒子は、スクリーン板のスロットの下に配置された収容容器に受けられる。
【００３９】
より大きな塊は、凹凸領域の山部を越えて引取り領域に渡される。
一実施形態において、引取り領域は、より大きな塊が降ろされる搬送路に接続されている。ポリシリコンからさらなる分級物を除去するために、さらなるスクリーン板が後に続くことも同様に可能である。
【００４０】
スロットは、搬送方向に広がっている。意外にも、これによって開口部／スロットの目詰まりを効果的に回避できるようになる。したがって、従来技術に見られる、かなりの費用および不便さを伴う問題は発生しない。
【００４１】
分離精度は、バー・スクリーンの分離精度よりも著しく高いので、除去されてしまう標準外の大きさの物の量は著しく減少し、その結果、歩留まりが増加する。
【００４２】
本発明は、このように、微粉分級物または小粒径のシリコン材料がスクリーン板の第１領域の谷部に集まってスクリーン板のいちばん後の領域に広がるスクリーンスロットによって選択的に除去される全ての種類のスクリーンプラントにおいて使用できるスクリーン板を提供する。
【００４３】
一実施形態において、スクリーン板は、プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、シリコン、または金属からなる群から選択される１つ以上の材料から作られる。
【００４４】
一実施形態において、スクリーン板は、プラスチック、ポリウレタン、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、およびシリコンからなる群から選択される１つ以上の材料によって覆われているまたはコーティングされている。
【００４５】
一実施形態において、ポリシリコンと接触するスクリーン板のパーツは、プラスチック、ポリウレタン、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、およびシリコンからなる群から選択される１つ以上の材料によって覆われているまたはコーティングされている。
【００４６】
一実施形態において、スクリーン板は硬質金属から作られる、または、硬質金属によって覆われているもしくはコーティングされている。
【００４７】
一実施形態において、スクリーン板は、金属製の本体と、プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、およびシリコンからなる群から選択される１つ以上の材料の膜またはライニングとを含む。
【００４８】
本発明の一実施形態において、上述の実施形態において使用されたプラスチックは、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＵ（ポリウレタン）、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシ）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、およびＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）からなる群から選択される。
【００４９】
一実施形態において、スクリーン板は、窒化チタン、炭化チタン、窒化アルミニウムチタン、またはＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の膜を含む。
【００５０】
スロットの大きさは、除去される分級物によって異なり、２００ｍｍ以下であり得る。
一実施形態において、１０ｍｍでの分離ステップが実施される（１０ｍｍより小さいポリシリコンをふるいにかけて除去する）ことになり、スロットは、端部（引取り領域の始端）の幅が１０ｍｍである。
【００５１】
スクリーン板の凹凸領域の実装例は、除去される分級物によって異なる。凹凸領域における谷部の深さおよび角度は、除去される分級物、すなわち、たとえば微粉分級物が谷部に集まるように構成される。
【００５２】
谷部の角度は、平坦〜非常に鋭角であり得、１度よりも大きく１８０度よりも小さくてもよい。
【００５３】
谷部の深さは、１〜２００ｍｍであってもよい。
たとえば、角度４５度および深さ２０ｍｍは、１０ｍｍの分級物を除去するのに適している。
【００５４】
スクリーン板の励振は、平面振動スクリーニング機を使って、またはシェーカースクリーニング機を使って実施されてもよい。振動駆動装置（たとえば、磁気駆動装置）または不平衡駆動装置も同様に設けられてもよい。
【００５５】
一実施形態において、スクリーン板は、水平方向に対して傾いている。０〜９０度の傾斜角度が可能である。
【００５６】
スクリーン板上の搬送を重力が手助けしてくれるため、５度〜２０度の間の傾斜角度が好ましい。
【００５７】
本発明に係る方法の上述の実施形態に関連して挙げられた特徴は、本発明に係る装置に同様に当てはめることができる。逆に、本発明に係る装置の上述の実施形態に関連して挙げられた特徴も、本発明に係る方法に同様に当てはめることができる。本発明のこれらの特徴、ならびに請求項および図面の説明に記載の特徴は、本発明の実施形態として別々にまたは組み合わせて実現されてもよい。当該特徴は、その権利を保護するために望ましい有利な実装例をさらに説明し得る。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】スクリーン板の構造の略図である。
【発明を実施するための形態】
【００５９】
スクリーン板１は、ポリシリコンの供給が実施される供給領域２を含む。ポリシリコンは、たとえば、搬送路によって、スクリーンプラントに搬送されてスクリーン板１の供給領域２に送られ得る。
【００６０】
スクリーン板１は、さらに、凹凸領域３を含む。この凹凸領域３は、凹凸領域３が谷部３１と山部３２とを有するように、フルート溝もしくは溝、または別の種類のくぼみを設ける。
【００６１】
ポリシリコンに存在する微粉分級物は、凹凸領域３上でポリシリコンが移動する間に、凹凸領域３の谷部３１に集まる。
【００６２】
スクリーン板１は、凹凸領域３から続くスロット４１を有する領域４を含む。スロット４１は、凹凸領域３の谷部３１の（搬送方向の）すぐ下流側に配置されている。その結果、凹凸領域３の谷部３１に存在するポリシリコンの微粉分級物は、領域４のスロット４１に選択的に渡される。
【００６３】
スクリーン板１の全体が凹凸になるように凹凸領域３の山部３２も領域４に続いているが領域４は谷部３１ではなくスロット４１を有していることが好ましい。
【００６４】
微粉分級物の除去は、スクリーン板１のスロット４１によってこのように実施される。除去された微粉分級物は、たとえば、スクリーン板１のスロット４１の下に配置された収容容器に受けられ得る。
【００６５】
より大きな塊は、凹凸領域の山部３２を超え、引取り領域５に渡される。
スロット４１は、搬送方向に広がっている。これによって、開口部／スロットの目詰まりを効果的に回避できるようになることが分かっている。
【００６６】
本明細書の上述の実施形態の説明は、例示的であるものとして理解すべきである。これによってなされた開示は、本発明およびそれに関連する利点を当業者が理解できるようにし、また、記載の構造および方法の、当業者にとって明らかな代替例および変更例を含む。それゆえ、すべてのこのような代替例および変更例、また、均等例は、請求項によって保護される範囲によって保護されることになっている。
【符号の説明】
【００６７】
使用される参照番号の一覧
１    スクリーン板
２    供給領域
３    スクリーン板の凹凸領域
３１  凹凸領域の谷部
３２  凹凸領域の山部
４    スロットを有する領域
４１  スロット
５    引取り領域
【図１】
2018524163.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月24日(2017.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリシリコンを機械的に分級するためのスクリーンプラント用のスクリーン板（１）であって、
ポリシリコンの供給領域（２）と、山部（３２）と谷部（３１）とを有する凹凸領域（３）と、前記谷部（３１）から続くスロット（４１）を有する領域（４）と、引取り領域（５）とを備え、前記スロット（４１）は、前記引取り領域（５）に向かう方向に大きくなり、
前記スクリーン板（１）全体が凹凸になるように、前記凹凸領域（３）の前記山部（３２）も前記スロット（４１）を有する前記領域（４）に続いているが、前記スクリーン板（１）は、搬送方向の下流側端に、前記谷部（３１）ではなく前記スロット（４１）を有する
、スクリーン板。
【請求項２】
プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、シリコン、および金属からなる群から選択される１つ以上の材料から作られる、請求項１に記載のスクリーン板。
【請求項３】
金属製の本体と、プラスチック、セラミックス、ガラス、ダイヤモンド、非晶質炭素、およびシリコンからなる群から選択される１つ以上の材料の膜またはライニングとを含む、請求項１または２に記載のスクリーン板。
【請求項４】
窒化チタン、炭化チタン、窒化アルミニウムチタン、またはＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の膜を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項５】
硬質金属から作られる、または硬質金属によって覆われているもしくはコーティングされている、請求項１または２に記載のスクリーン板。
【請求項６】
前記スロット（４１）の大きさは、２００ｍｍ以下である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項７】
前記谷部（３１）の開口角は、１度よりも大きく１８０度よりも小さい、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項８】
前記谷部（３１）は、１〜２００ｍｍの深さを有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスクリーン板。
【請求項９】
スクリーンプラントを用いてポリシリコンを機械的に分級する方法であって、前記ポリシリコンは、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスクリーン板（１）の上に供給され、前記スクリーン板（１）は、前記ポリシリコンが前記引取り領域（５）に向かう方向に移動するような振動に設定されており、小粒径のポリシリコンは、前記スクリーン板（１）の前記谷部（３１）に集まって前記スクリーン板（１）の前記スロット（４１）から落ち、このように前記ポリシリコン・フィードから分離される、方法。
【請求項１０】
前記スクリーン板は、水平方向に対して５度〜２０度の傾斜角度を有する、請求項９に記載の方法。
【国際調査報告】
2018524163.tif 000004
2018524163.tif 000005
2018524163.tif 000006
2018524163.tif 000007