(57)【要約】【解決手段】本発明は、複数の吸込室を形成しているポンプハウジングを備えたドライ真空ポンプに関し、ロータ要素が、ポンプ媒体を高真空側入口から出口に運ぶために吸込室に配置されている。少なくとも１つのロータ要素が各吸込室に配置されている。ロータ要素はロータ軸に連結されている。ロータ軸は軸受によって支持されており、高真空側軸受が凹部に配置されている。密閉装置が、高真空側軸受と高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室との間に配置されている。凹部は、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い圧力が存在するドライ真空ポンプの領域に第１の管によって連結されている。
2018532943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライ真空ポンプであって、
複数の吸込室(12)を画定しているポンプハウジング(10)と、
ポンプ媒体を高真空側入口(22, 60)から出口(24)に運ぶために前記複数の吸込室(12)に配置されているロータ要素(14, 16)と
を備えており、
少なくとも１つのロータ要素(14, 16)が各吸込室(12)に配置されており、
前記ロータ要素(14, 16)と連結されているロータ軸(18, 20)と、
前記ロータ軸(18, 20)を支持している軸受(30, 32)と
を更に備えており、
高真空側軸受(32)が凹部(42)に配置されており、
密閉装置(36)が、前記高真空側軸受(32)と前記高真空側軸受(32)と隣り合う少なくとも１つの吸込室(34)との間に配置されており、
前記高真空側軸受(32)と隣り合う少なくとも１つの吸込室(34)内の圧力より高い圧力が存在する前記ドライ真空ポンプの領域と前記凹部(42)を第１の管(44)が連結していることを特徴とするドライ真空ポンプ。
【請求項２】
前記高真空側軸受(32)はグリース潤滑軸受であることを特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項３】
前記凹部(42)にも前記密閉装置(36)にもオイルが存在しないことを特徴とする請求項１又は２に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項４】
前記密閉装置(36)は少なくとも１つのリップシール(38, 40)を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項５】
前記リップシール(38, 40)はPTFEリップシールであることを特徴とする請求項４に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項６】
前記密閉装置(36)は少なくとも２つのリップシール(38, 40)を有しており、
少なくとも２つのリップシール(38, 40)の間の中間室(54)が、前記高真空側軸受(32)と隣り合う少なくとも１つの吸込室(12)内の圧力より高く、前記凹部(42)内の圧力より低い圧力が存在する前記ドライ真空ポンプの領域と第２の管(56)を介して連結されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項７】
前記高真空側軸受(32)と隣り合う少なくとも１つの吸込室(34)には、0.01 mbar 未満の圧力が存在することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項８】
前記凹部(42)内の圧力は前記ドライ真空ポンプの周囲圧力より低いことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項９】
前記凹部(42)内の圧力は、100 mbarより高く、好ましくは400 mbarより高く、特に好ましくは500 mbarより高いことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１０】
前記高真空側軸受(32)と隣り合う少なくとも１つの吸込室(12)と前記凹部(42)との間の圧力差は、300 mbar未満であり、好ましくは200 mbar未満であり、特に好ましくは50 mbar 未満であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１１】
前記第１の管(44)は前記凹部(42)との２つの連結点(48)を有しており、
圧力差が前記高真空側軸受(32)の側部間に存在しないように、前記連結点(48)の夫々は前記高真空側軸受(32)の夫々の側部に配置されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１２】
２つの吸込室(12)が前記吸込室(12)の流体連通のために連結管(26)によって連結されており、前記第１の管(44)及び／又は前記第２の管(56)は１つの連結管(26)に夫々連結されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１３】
前記高真空側軸受(32)は前記ロータ軸(18, 20)の端部領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１４】
少なくとも１つの第１の吸込室(34)、中間吸込室(62)及び最後の吸込室(50)を備えており、前記第１の吸込室(34)は、前記高真空側軸受(32)のすぐ隣に配置されており、前記高真空側入口(60)は前記中間吸込室(62)と連結されており、前記出口(24)は最後の吸込室(50)と連結されており、
ポンプ媒体が前記中間吸込室(62)から前記第１の吸込室(34)に運ばれ、前記第１の吸込室(34)から最後の吸込室(50)に運ばれることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１５】
２つの吸込室(12)が隔壁(28)によって分離されており、前記連結管(26)は前記隔壁(28)に配置されていることを特徴とする請求項９〜１４のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１６】
前記第１の管(44)及び／又は前記第２の管(56)は、夫々の吸込室(12)と直接連結されていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１７】
前記ポンプハウジングの分離面が前記ロータ軸(18, 20)の長手方向に延びていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【請求項１８】
前記ポンプハウジング(10)は２つの部分から構成されていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一項に記載のドライ真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を生成するためのドライ真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
公知のドライ真空ポンプは、回転のために支持されて電気モータによって駆動されるロータ軸に連結されているロータ要素を備えている。ロータ要素は、ポンプハウジングによって形成された吸込室に配置されている。ポンプハウジングは入口及び出口を有しており、ロータ要素の回転によって入口から出口にポンプ媒体が運ばれる。このために、ドライ真空ポンプは、特にポンプ媒体を運ぶべく協働する複数のロータ要素、好ましくは２つのロータ要素を１つの吸込室に備えている。
【０００３】
高真空を生成するために、複数の吸引室がポンプハウジングに形成されて、吸込室の各々に少なくとも1つのロータ要素が配置されているように、ドライ真空ポンプは多段ポンプとして構成されている。ポンプ媒体が入口から各吸込室を通って運ばれるように、個々の吸込室は適宜の連結チャネルによって流体的に連結されている。そのため、特に１mbar未満から0.0001 mbar 未満までの圧力が生成される。
【０００４】
ロータ要素とポンプハウジングとの間の密閉部分がオイルを含まないドライ真空ポンプが特に知られている。このようなドライ真空ポンプには、オイルを含む空気がドライ真空ポンプから漏れることはないので、連結された装置を汚染しないという特別な利点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ロータ軸はポンプハウジングに対して軸受によって支持されており、軸受は特には転がり軸受である。ロータ軸の回転速度が高速であるため、これらの軸受を潤滑しなければならない。潤滑に使用される潤滑剤は、潤滑剤からガスが放出されることを防ぐように軸受における真空に適合していなければならない。このため、軸受のための可能な潤滑剤の選択が制限される。ドライ真空ポンプの潤滑及び軸受は互いに一致しなければならないので、使用され得る軸受が更に制限され、特別な軸受が必要になるので、通常コストがより高くなる。
【０００６】
本発明は、より経済的な軸受が使用され得るドライ真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的は、請求項１に係るドライ真空ポンプによって達成される。
【０００８】
本発明のドライ真空ポンプはポンプハウジングを備えている。ポンプハウジングは複数の吸込室を形成している。ロータ要素が、ポンプ媒体を高真空側入口から出口に運ぶために吸込室に配置されている。少なくとも１つのロータ要素が各吸込室に配置されている。好ましくは、２つのロータ要素が少なくとも１つの吸込室に配置されており、ポンプ媒体を高真空側入口から出口に運ぶために適宜の方法で協働する。
【０００９】
本発明によれば、ロータ要素はロータ軸に連結されている。２以上のロータ要素が吸込室毎に設けられている場合、個々のロータ要素は夫々のロータ軸と連結されている。ここで、少なくとも１つのロータ軸が、好ましくは電気モータによって駆動される。
【００１０】
本発明によれば、ロータ軸は軸受によって支持されており、高真空側軸受が凹部に配置されている。ここで、高真空側軸受は、長手方向に見て高真空により近い軸受である。ここで、高真空側軸受は、必ずしもロータ軸の高真空側端部に配置されなくてもよい。但し、このような構成は可能であり、高真空側軸受の定義によって包含されている。他方では、出口側軸受が設けられており、高真空の方向に見てロータ軸の長手方向に高真空側軸受の前方に配置されている。
【００１１】
本発明に係る凹部は、好ましくはハウジングによって形成されており、特にロータ軸に向かって開口している。本発明によれば、高真空側軸受が凹部に配置されるので、凹部は高真空側軸受の場所に形成されている。
【００１２】
本発明によれば、密閉装置が、高真空側軸受と特には高真空側軸受のすぐ隣に配置されている少なくとも１つの吸込室との間に配置されている。更に、第１の管が、高真空側軸受が配置されている凹部を、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い圧力が存在するドライ真空ポンプの領域と連結している。第１の管は、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い圧力が凹部に存在することを保証する。従って、高真空側軸受は、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い圧力を受ける。従って、潤滑剤及び軸受が高真空との適合性に関してあまり厳しくない要件を満たす必要があるだけなので、他の潤滑剤を使用することが可能であり、ひいてはより経済的な軸受を使用することも可能である。具体的には、潤滑剤からガスが放出されるという問題が軽減される。第１の管を設けることにより、第１の管が連結されているドライ真空ポンプの領域によって決定される定められた圧力が凹部に存在することが保証される。
【００１３】
ドライ真空ポンプは、クローポンプ、ルーツポンプ又はスクリュー式ポンプであることが好ましい。
【００１４】
ドライ真空ポンプは、１mbar未満の圧力、好ましくは0.001 mbar未満の圧力、特に好ましくは0.0001 mbar 未満の圧力を生成することが好ましい。
【００１５】
高真空側軸受はグリース潤滑軸受であることが好ましい。このような構成は、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い圧力が凹部に存在するため可能である。軸受の潤滑のためのグリースは、特に真空中でガスを放出する傾向があり、そのため潤滑特性を失う傾向がある。第１の管を設けるだけで、凹部内の圧力、ひいては高真空側軸受での圧力も上昇し得るため、高真空側軸受としてグリース潤滑軸受を使用することも可能である。グリース潤滑軸受は、特に標準的な軸受であるため、使用される軸受のためのコストを更に下げることができる。
【００１６】
オイルが凹部にも密閉装置にも存在しないことが好ましい。密閉装置は乾式密閉であることが特に好ましい。オイルは、粘度が低いため、密閉装置を介して吸込室に達し得るという深刻な不利点があり、そのため、ドライ真空ポンプに連結された装置がオイルを含む空気によって汚染される場合がある。オイルが存在しない場合、凹部であれ、密閉装置であれ、この問題は簡単な方法で回避される。更に、グリース又は別の密閉剤が密閉装置に含まれない。
【００１７】
オイルで更に濡らす必要がない密閉材料が使用されてもよいように、密閉装置は、好ましくは乾式密閉として形成されている。特に、密閉は、非常に小さな密閉隙間を有する非接触軸密閉である。
【００１８】
好ましくは、密閉装置は少なくとも１つのリップシールを有しており、少なくとも１つのリップシールは、特にはPTFEリップシールである。リップシールは、簡単な方法で製造されることができ、経済的な方法で得られる標準的な製品である。第１の管により、凹部と高真空側軸受と隣り合う吸込室との間の圧力差が制御可能であるため、一方ではリップシールとロータ軸との間に接点が存在し、他方ではロータ軸の高速回転によりリップシールが余りにも早くに焼けたり、摩耗したりしないことが保証される。接触圧力は、制御可能な圧力差によって制御可能である。
【００１９】
好ましくは、密閉装置は少なくとも２つのリップシールを有しており、少なくとも２つのリップシールの間の中間室が第２の管を介してドライ真空ポンプの領域に連結されており、この領域には、高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内の圧力より高い一方で、凹部内の圧力より低い第２の圧力が存在する。従って、関連で見ると、最も低い圧力が高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室内に存在し、最も高い圧力が凹部に存在し、この圧力差は、中間室を介して好ましくは段階的な方法で調節される。従って、一方では単に一定の圧力差がリップシール毎に存在するだけであることが保証されるため、リップシールが余りにも早く焼けたり摩耗したりすることが防止される。加えて、少なくとも２つのリップシールを設けることにより、凹部と高真空側軸受と隣り合う吸込室との間のより大きい圧力差を達成することが可能である。従って、より高い圧力が凹部の領域に存在することができ、それによって、高真空との適合性に関する軸受及び軸受の潤滑剤に対する要件が軽減される。言うまでもなく、３以上のリップシールが設けられてもよく、２つの夫々のリップシールの間に中間室を設けることが特に好ましい。中間室のいずれもドライ真空ポンプの適宜の領域に管を介して連結されなくてもよく、中間室の内の１つ、複数又は全てがドライ真空ポンプの適宜の領域に管を介して連結されてもよいため、リップシールの特性が考慮され得るように、中間室内の圧力が正確に選択され得る。
【００２０】
1000 mbar 〜0.1 mbarの圧力が高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室に存在することが好ましい。
【００２１】
ドライ真空ポンプの周囲圧力又は大気圧未満の圧力が凹部に存在することが好ましい。特に、グリース潤滑軸受を使用するとき、周囲圧力が軸受に存在することは必要ではない。そのため、凹部と高真空側軸受と隣り合う吸込室との間の圧力差が可能な限り小さく維持され得るので、特に密閉装置が簡単な構造を有することができる。
【００２２】
100 mbarを超える圧力、より好ましくは400 mbarを超える圧力、特に好ましくは500 mbarを超える圧力が凹部に存在することが好ましい。
【００２３】
高真空側軸受と隣り合う少なくとも１つの吸込室と凹部との間に、300 mbar未満の圧力差、より好ましくは200 mbar未満の圧力差、特に好ましくは50 mbar 未満の圧力差が存在することが好ましい。
【００２４】
第１の管は好ましくは２つの連結点を有しており、これらの連結点によって第１の管は凹部に連結されており、高真空側軸受の側部間に圧力差が存在しないように、夫々の連結点は高真空側軸受の夫々の側部に配置されている。典型的には、軸受が圧力差を補償するために構成されていない。第１の管の２つの連結点を設けることにより、圧力差が高真空側軸受に亘って存在しないことが保証される。
【００２５】
ドライ真空ポンプは、好ましくは多段ポンプである。ここで、特には２つの吸込室が、吸込室の流体連通のために連結管を介して連結されている。従って、ポンプ媒体が、１つの吸込室から連結管を介して隣り合う吸込室に流れることができる。ここで、第１の管及び／又は第２の管が夫々の連結管に連結されていることが好ましい。
【００２６】
高真空側軸受は、ロータ軸の端部分に配置されていることが好ましい。特に、密閉要素が設けられている場合には密閉要素を除いて、更なる要素が高真空側軸受の外側でロータ軸に連結されていない。具体的には、端部分はロータ軸の外側の５cm、特に外側の３cmを覆う部分である。
【００２７】
高真空側軸受に隣り合う少なくとも１つの吸込室が入口に連結されていることが好ましい。
【００２８】
ドライ真空ポンプは、好ましくは少なくとも１つの第１の吸込室、中間吸込室及び最後の吸込室を備えており、第１の吸込室は、特には高真空側軸受のすぐ隣に配置されている。更に、入口は中間吸込室に連結されており、出口は最後の吸込室に連結されている。ポンプ媒体が中間吸込室から第１の吸込室に運ばれて、その後、第１の吸込室から最後の吸込室に運ばれる。この配置によって、入口に連結された中間吸込室は最も低い圧力を有する。しかしながら、第１の吸込室は高真空側軸受のすぐ隣に配置されており、第１の吸込室には、中間吸込室内の圧力より高い圧力が既に存在している。従って、高真空側軸受と隣り合う吸込室と、高真空側軸受が配置されている凹部との間の圧力差が減少する。入口が第１の吸込室に直接連結されている場合、第１の吸込室が最も低い圧力を有するため、より大きな圧力差が密閉装置によって克服される必要がある。
【００２９】
２つの吸込室が隔壁によって分離されており、連結管が隔壁に配置されていることが好ましい。第１の管及び／又は第２の管は、夫々の吸込室に直接連結されていることが好ましい。
【００３０】
ポンプハウジングは、ロータ軸の長手方向に延びている分離面を有している。ポンプハウジングは２つの部分から構成されていることが特に好ましい。ポンプハウジングの構造はこのようにして簡略化される。従って、単一のロータ軸を使用することが可能であることが特に好ましい。
【００３１】
ポンプハウジングの部品が接触面を有しており、接触面を通して分離面が延びていることが好ましい。ここで、第１の管及び／又は第２の管は接触面の内の１つに溝として形成されている。このため、第１の管及び／又は第２の管の経路が簡単な方法で形成され得る。ポンプハウジングの部品を組み立てることによって、組み立てられた部品の接触面によって溝が密閉されるため、閉じた管が形成される。
【００３２】
本発明を、好ましい実施形態及び図面を参照して以下に更に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】ポンプハウジングの分離面に沿って切断された本発明に係るドライ真空ポンプを示す概略図である。
【図２】図１に示されているドライ真空ポンプの高真空側軸受及び密閉装置を示す詳細図である。
【図３】代替的な実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明のドライ真空ポンプは、軸方向に連続的に配置された複数のポンプ段を備えている。複数の吸込室12が１つのポンプハウジング10に設けられている。第１のロータ要素14及び第２のロータ要素16が吸込室12に配置されている。第１のロータ要素14は第１のロータ軸18に連結されており、第２のロータ要素16は第２のロータ軸20に連結されている。ポンプ媒体が入口22から出口24に運ばれるように、第１のロータ要素14及び第２のロータ要素16は協働する。このために、個々のポンプ段は、吸込室12を互いに分離する隔壁28に配置されている連結管26を介して連結されている。
【００３５】
ロータ軸18, 20は、真空側軸受30及び高真空側軸受32によって回転自在に支持されている。図示されている実施形態では、高真空側軸受32は、夫々のロータ軸18, 20の端部領域に配置されている。
【００３６】
第１の吸込室34が、高真空側軸受32のすぐ隣に設けられている。低圧が第１の吸込室34に存在するように、入口は第１の吸込室34に連結されている。密閉装置36が、高真空側軸受32と第１の吸込室34との間に配置されており、密閉装置36は図２に詳細に示されている。密閉装置36は第１のリップシール38及び第２のリップシール40を有している。第１のリップシール38及び第２のリップシール40はスペーサ43によって互いに分離している。第１のリップシール38及び第２のリップシール40の両方はロータ軸18に接している。
【００３７】
高真空側軸受32は凹部42に配置されている。第１の管44が凹部42に連結されている。第１の管44は、高真空側軸受32の一方の側部で凹部42に夫々連結されている２つの連結点48を有している。そのため、高真空側軸受によって補償されなければならない圧力差が高真空側軸受に亘って存在しないことが保証される。このため、軸受の摩耗が増加したり性能が低下したりする。第１の管44は連結管26に連結されている。図１に示されている実施形態では、第１の管44は、最後の吸込室50と最後から２番目の吸込室52との間で連結管26に連結されている。この場所には、好ましくは500 mbarまでの比較的高い圧力が既に存在している。しかしながら、最後の吸込室50に配置されている最後のポンプ段により、この圧力は、真空ポンプの周りの周囲圧力より常に低い。最後の吸込室50と最後から２番目の吸込室52との間の連結管内の圧力と同一の圧力が凹部42に存在することが第１の管44によって保証される。この領域における圧力が、例えば500 mbarである場合、高真空側軸受も500 mbarの圧力で配置されている。従って、高真空側軸受32のために様々な更なる潤滑剤を使用することが可能である。従って、具体的には高真空側軸受32をグリース潤滑軸受とすることが可能である。
【００３８】
図示されている実施形態では、約500 mbarの圧力差が第１の吸込室34と凹部42との間に存在する。通常、この大きな圧力差を、特にロータ軸18の高い回転速度のため乾式密閉によって十分に閉じ込めることができない。この理由から、密閉装置36は第１のリップシール38及び第２のリップシール40を有しており、第１のリップシール38及び第２のリップシール40の間に中間室54が形成されている。ここで、中間室54は第２の管56を介して真空ポンプの領域に連結されており、この領域には、第１の吸込室34内の圧力より高いが、高真空側軸受32が配置されている凹部42内の圧力より低い圧力が存在する。このために、例えば、流れ方向に見て第１の管44が連結されている連結管26の上流側にある連結管26に第２の管56を連結することが可能である。第２の管56を設けることにより、単に圧力差が１つのリップシール38, 40に亘って与えられるだけであることを保証することができ、リップシールは実際このような圧力差のために構成されている。従って、リップシール38, 40が著しく摩耗したり、焼けたりすることが防止される。
【００３９】
図１は、ポンプハウジング10の分離面と一致する断面のドライ真空ポンプを示す。図１は、接触面58を有するポンプハウジングの下半分を示しており、接触面58によって、ポンプハウジング10の下半分はポンプハウジング10の上半分に結合されている。ここで、第１の管44及び第２の管56は接触面58に溝として形成されている。第１のポンプハウジング部分を第２のポンプハウジング部分に組み立てることにより、第１の管44及び第２の管56が形成されるように、形成された溝は閉じられる。
【００４０】
言うまでもなく、密閉装置36に更なるリップシールが設けられてもよい。第１の吸込室34と凹部42との間の圧力の段階的な均等化がもたらされるように、更なるリップシールによって形成された中間室が更なる管に連結されてもよい。
【００４１】
別の実施形態が図３に示されており、図３には同様の要素が同様の参照番号によって特定されている。
【００４２】
図３に示されているドライ真空ポンプでは、入口60が中間吸込室62に連結されている。従って、中間吸込室62に最も低い圧力が存在する。ポンプ媒体が、ロータ要素14によって中間吸込室62から連結管26を介して第１の吸込室34に運ばれる。ここで、中間吸込室62内の圧力より高い圧力が第１の吸込室34内に既に存在している。従って、密閉装置36の構造が簡略化され得るように、高真空側軸受32が配置されている凹部42と第１の吸込室34との間の圧力差が減少する。（図示されていない）連結管を介して、ポンプ媒体は、第１の吸込室34から場合によっては設けられる更なる吸込室を介して最後の吸込室50に流れて、最後の吸込室50から出口24に流れる。
【００４３】
ポンプ段の配置のために、密閉装置36の要件を簡単な方法で軽減することが可能であるため、凹部42内のより高い圧力が達成される。従って、高真空側軸受32としてグリース潤滑軸受を使用することが可能である。
【００４４】
２つの実施形態のいずれも、リップシールを能動的に冷却する必要がない。更に、リップシール38, 40の適切な密閉効果を達成するように密閉装置36の領域にオイルを設ける必要もない。
【００４５】
ドライ真空ポンプが二軸式ポンプである場合、特に高真空側軸受32の両方に密閉装置36が設けられる。この場合、密閉装置36は同一の構成であることが好ましい。
【図１】
2018532943.tif 000003
【図２】
2018532943.tif 000004
【図３】
2018532943.tif 000005
【国際調査報告】
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2018532943.tif 000007
2018532943.tif 000008
2018532943.tif 000009
2018532943.tif 000010
2018532943.tif 000011