(57)【要約】  ３００μｍ以下の厚さを有するフレキシブルガラスシートを処理する方法が、フレキシブルガラスシートの接合部分が、担体基板の第１の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシートの接合部分から、フレキシブルガラスシートの外縁部分を分離するステップを備えている。外縁部分を分離するステップによって、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシートに新しい外縁部がもたらされる。フレキシブルガラスシートの新しい外縁部と担体基板の第１の主面の外周部との側方距離が、約７５０μｍ以下である。
2018510120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブルガラスシートを処理する方法であって、
（Ｉ）第１の主面、及び該第１の主面に対向する第２の主面を有するフレキシブルガラスシートを用意するステップであって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、担体基板の第１の主面に対して接合され、前記フレキシブルガラスシートの外縁部分が、前記担体基板の外周部から突出し、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面と前記第２の主面との間の厚さが、約３００μｍ以下である、ステップと、次に
（ＩＩ）前記フレキシブルガラスシートの接合部分が、前記担体基板の第１の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離するステップであって、前記外縁部分を分離するステップによって、前記フレキシブルガラスシートに、前記分離経路に沿って延びる新しい外縁部がもたらされ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部と前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部との側方距離が、約７５０μｍ以下である、ステップと、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記ステップ（ＩＩ）が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面の少なくとも一方の前記分離経路上に、少なくとも１つの傷を形成することを含んで成ることを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記少なくとも１つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に、複数の傷を含み、該複数の傷が、前記分離経路に沿って互いに離間配置され、更に（ｉ）前記複数の傷の各々の傷が、前記第１の主面から、前記フレキシブルガラスシートの厚さの２０％以下の深さまで、前記第１の主面の下方に延び、及び（ｉｉ）前記複数の傷の隣接する傷と傷との間隔が、約１５μｍ〜２５μｍの範囲であるうちの少なくとも一方であることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記ステップ（ＩＩ）が、前記第１の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
（ａ）前記複数の傷のうちの少なくとも１つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
（ｂ）前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って、前記複数の傷のうちの残りの傷を介して伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
ことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記ステップ（ＩＩ）が、前記第１の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームに続いて、流体の冷却流を横断させることを更に含み、
（ａ）前記少なくとも１つの傷を、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
（ｂ）前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って、伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
ことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記少なくとも１つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面の、前記分離経路に沿って、ケガキ線を含み、前記ステップ（ＩＩ）が、前記外縁部分に曲げ力を加えて、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離することを更に含んで成ることを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項７】
前記ステップ（ＩＩ）の間、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分に対し、前記外縁部分が屈曲され、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に張力が加えられることを特徴とする、請求項１及び３〜５いずれか１項記載の方法。
【請求項８】
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａの範囲のＢ１０強度を有することを特徴とする、請求項１〜７いずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記ステップ（Ｉ）によって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の前記第１の主面の表面領域より大きい表面領域を備えることを特徴とする、請求項１〜８いずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記ステップ（Ｉ）によって、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分が、前記担体基板の前記第１の主面を側面に沿って包囲することを特徴とする、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
ガラス−担体組立体であって、
第１の主面、及び該第１の主面に対向する第２の主面を有するフレキシブルガラスシートであって、前記第１の主面と前記第２の主面との間の厚さが３００μｍ以下である、フレキシブルガラスシート、及び
担体基板であって、第１の主面、及び前記担体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面、並びに外周部を有し、前記担体基板の前記第１の主面が、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面に一時的に接合される、担体基板を備え、
前記フレキシブルガラスシートが、前記外周部の周囲の各々の点において、前記担体基板より７５０μｍ以下だけ小さいか、又は前記担体基板が、前記外周部の周囲の各々の点において、前記フレキシブルガラスシートより７５０μｍ以下だけ小さいことを特徴とするガラス−担体組立体。
【請求項１２】
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａの範囲のＢ１０強度を有することを特徴とする、請求項１１記載の組立体。
【請求項１３】
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、側面に沿って、前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部を越えて延びることを特徴とする、請求項１１又は１２記載の組立体。
【請求項１４】
前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びることを特徴とする、請求項１１〜１３いずれか１項記載の組立体。
【発明の詳細な説明】
【関連技術の相互参照】
【０００１】
本出願は、２０１５年１月６日出願の米国仮特許出願第６２／１００，２３２号の米国特許法第１１９条に基づく優先権を主張するものであって、その内容に依拠し、参照により全内容が本明細書に組み込まれたものとする。
【技術分野】
【０００２】
本開示は、概して、フレキシブルガラスシートを処理する方法に関し、より具体的には、フレキシブルガラスシートが担体基板の第１の主面に対して接合されている間に、フレキシブルガラスシートの接合部分から、外縁部分を分離するステップを含む、フレキシブルガラスシートを処理する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
薄くて柔軟性を有するガラスリボンを、フレキシブル電子機器又は他の装置の製造に使用することに関心がある。フレキシブルガラスリボンから分離されるフレキシブルガラスシートは、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、太陽光発電装置等の電子機器の製造又は性能のいずれかに対して、幾つかの有益な特性を提供することができる。フレキシブルガラスリボンの使用における１つの要素は、フレキシブルガラスリボンから分離されたフレキシブルガラスシートを取り扱う能力である。
【０００４】
処理手順中において、フレキシブルガラスシートの取り扱いを可能にするために、フレキシブルガラスシートシートは、通常、結合剤を用いて硬い担体基板に接合される。担体基板に接合された後、担体基板の硬い特性及び大きさによって、生産時に、ガラスシートを屈曲させたり損傷させたりすることなく、接合構造体を取り扱うことができる。例えば、ＬＣＤの製造において、フレキシブルガラスシートが硬い担体基板に接合されている間に、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の構成要素をフレキシブルガラスシートに取り付けることができる。処理後、フレキシブルガラスシートは、担体基板から取り外すことができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フレキシブルガラスシートを担体基板から取り外した後、その後における別のフレキシブルガラスシートの処理手順のために、担体基板を再利用することが望まれている。しかし、トリミングされたフレキシブルガラスシートを担体基板に接合するのに先立って、フレキシブルガラスシートを所定のサイズにトリミングする現在の技術では、通常、担体基板の第１の主面を汚染する可能性があるガラス粒子が生成され、それによって、現在又は将来の処理手順のための担体基板の有用性が低下又は損なわれる。加えて、トリミングされたフレキシブルガラスシートを担体基板に接合するのに先立って、フレキシブルガラスシートを所定のサイズにトリミングすることによって、フレキシブルガラスシートの第２の主面を汚染するガラス粒子が生成される可能性があり、それが次の点において問題を起こす可能性がある。つまり、フレキシブルガラスシートと担体基板との接合強度が低下すること、フレキシブルガラスシート上に機器を処理する間に、フレキシブルガラスシートと担体基板との界面に処理液が浸入する経路が与えられること、及び／又はガラス粒子によって、フレキシブルガラスシートと担体との間に接合機構が与えられたときのように、フレキシブルガラスシートが担体基板から剥離されること、またこの接合機構が、剥離プロセスにおいて、フレキシブルガラスシート及び／又は担体に損傷を与え得ることである。更に、フレキシブルガラスシートの対応する外縁と担体基板との間に、所定の側方距離が得られることが望まれている。しかし、接合に先立って、フレキシブルガラスシートを所定のサイズにトリミングする現在の技術では、正確に位置決めして、トリミングしたフレキシブルガラスシートを担体基板に接合し、所定の側方距離及び／又は側方距離の所定の範囲内の側方距離を得るのは困難である。従って、薄いフレキシブルガラスシートを処理するための実用的な解決策の必要性が存在している。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
将来の処理手順のために担体基板の有用性を維持しつつ、担体基板に接合されたフレキシブルガラスシートを提供するように構成された方法が記載されている。また、本開示の方法は、フレキシブルガラスシートが担体基板に接合されている間に、フレキシブルガラスシートの接合部分の外縁部を分離することによって、フレキシブルガラスシートの縁部と担体基板のそれぞれの縁部との相対位置合わせを容易にする。このようにして、予めトリミングされたフレキシブルガラスシートを、担体基板に位置合わせするという難しい作業を回避することができる。むしろ、最初に、より大きいサイズのフレキシブルガラスシートを担体基板に対して接合し、その後、所定のサイズにトリミングして位置合わせすることができる。従って、一部の例において、フレキシブルガラスシート及び担体基板は、フレキシブルガラスシートが、担体の周囲の各々の点において、担体より７５０μｍ以下だけ小さくなるようなサイズにすることが容易にできる。
【０００７】
1つの例示的な態様において、フレキシブルガラスシートを処理する方法が、第１の主面、及び第１の主面に対向する第２の主面を有するフレキシブルガラスシートを用意するステップ（Ｉ）を備えている。フレキシブルガラスシートの第２の主面が、担体基板の第１の主面に対して接合され、フレキシブルガラスシートの外縁部分が、担体基板の外周部から突出している。フレキシブルガラスシートの第１の主面と第２の主面との間の厚さが、約３００μｍ以下である。次に、本方法は、フレキシブルガラスシートの接合部分が、担体基板の第１の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシートの接合部分から、外縁部分を分離するステップ（ＩＩ）を備えている。外縁部分を分離するステップによって、フレキシブルガラスシートに、分離経路に沿って延びる新しい外縁部がもたらされる。フレキシブルガラスシートの新しい外縁部と担体基板の第１の主面の外周部との側方距離が約７５０μｍ以下である。
【０００８】
本態様の１つの例において、ステップ（Ｉ）が、フレキシブルガラスシートの第２の主面を、担体基板の第１の主面に対して接合することを更に含んでいる。ステップ（Ｉ）において接合される、フレキシブルガラスシートの第２の主面が、担体基板の第１の主面の表面領域より大きい表面領域を有している。１つの特定の例において、ステップ（Ｉ）における接合によって、担体基板の第１の主面が、側面に沿って、フレキシブルガラスシートの外縁部分によって囲まれる。
【０００９】
本態様の別の例において、ステップ（ＩＩ）が、フレキシブルガラスシートの第１の主面及び第２の主面の少なくとも一方の分離経路上に、少なくとも１つの傷を形成することを含んでいる。
【００１０】
本態様の１つの特定の例において、少なくとも１つの傷が、フレキシブルガラスシートの第１の主面に複数の傷を含み、複数の傷が、分離経路に沿って互いに離間配置されている。１つの例において、複数の傷の各々の傷が、第１の主面から、フレキシブルガラスシートの厚さの２０％以下の深さまで、第１の主面の下方に延びている。別の例において、複数の傷の隣接する傷と傷との間隔が、約１５μｍ〜２５μｍの範囲である。更に別の例において、ステップ（ＩＩ）が、第１の主面上を、分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み（ａ）複数の傷のうちの少なくとも１つを、フレキシブルガラスシートの第１の主面及び第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し（ｂ）分離経路に沿って、完全な傷を、複数の傷のうちの残りの傷を介して伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、担体基板の第１の主面に接合されている間に、フレキシブルガラスシートの接合部分から、外縁部分を完全に分離する。
【００１１】
本態様の別の特定の例において、少なくとも１つの傷がフレキシブルガラスシートの第２の主面に形成され、ステップ（ＩＩ）が、第１の主面上を、分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを含み（ａ）複数の傷のうちの少なくとも１つを、フレキシブルガラスシートの第１の主面及び第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し（ｂ）前記完全な亀裂を、分離経路に沿って伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する。
【００１２】
本態様の更に別の特定の例において、ステップ（ＩＩ）が、第１の主面上を、分離経路に沿って、電磁放射線のビームに続いて、流体の冷却流を横断させることを更に含み（ａ）少なくとも１つの傷を、フレキシブルガラスシートの第１の主面及び第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し（ｂ）分離経路に沿って、完全な亀裂を伝播させることによって、フレキシブルガラスシートの第２の主面が、担体基板の第１の主面に接合されている間に、フレキシブルガラスシートの接合部分から、外縁部分を完全に分離する。１つの例において、少なくとも１つの傷が、フレキシブルガラスシートの第１の主面に形成されている。
【００１３】
更に別の特定の例において、少なくとも１つの傷が、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシートの第１の主面にケガキ線を含み、ステップ（ＩＩ）が、外縁部分に曲げ力を加えて、フレキシブルガラスシートの接合部分から、外縁部分を分離することを更に含んでいる。
【００１４】
本態様の更なる例において、ステップ（ＩＩ）の間、フレキシブルガラスシートの接合部分に対し、外縁部分が屈曲され、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシートの第１の主面に張力が加えられる。
【００１５】
本態様の更に別の例において、フレキシブルガラスシートの新しい外縁部が、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａの範囲のＢ１０強度を有している。
【００１６】
本態様の更に別の例において、フレキシブルガラスシートの新しい外縁部が、側面に沿って、担体基板の第１の主面の外周部を越えて延びている。
【００１７】
本態様の別の例において、担体基板の第１の主面の外周部が、側面に沿って、フレキシブルガラスシートの新しい外縁部を越えて延びている。
【００１８】
本態様の別の例において、担体基板の第１の主面の外周部が、側面に沿って、約２５０μｍ以下の距離だけ、フレキシブルガラスシートの新しい外縁部を越えて延びている。
【００１９】
本態様の更に別の例において、ステップ（Ｉ）によって、フレキシブルガラスシートの第２の主面が、担体基板の第１の主面の表面領域より大きい表面領域を備える。１つの特定の例において、ステップ（Ｉ）によって、フレキシブルガラスシートの外縁部分が、担体基板の第１の主面を側面に沿って包囲する。
【００２０】
本態様の更に別の例において、ステップ（ＩＩ）の後に、本方法は、フレキシブルガラスシートの第１の主面に、凹状湾曲を生じさせることによって、担体基板から、フレキシブルガラスシートの少なくとも一部を解放するステップ（ＩＩＩ）を更に備えている。
【００２１】
本態様は、単独で提供しても、前述の本態様の任意の１つ以上の例と組み合わせて提供してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
本発明の前述及び他の特徴、態様及び効果は、添付図面を参照しながら、以下の本発明の詳細な説明を読むことによって、より良く理解することができる。
【図１】担体基板に接合されて、ガラス−担体組立体を形成したフレキシブルガラスシートの斜視図。
【図２】図１のガラス−担体組立体の上面図。
【図３】図１のビュー３におけるガラス−担体組立体の部分拡大図。
【図４】本開示の別の実施の形態によるガラス−担体組立体の部分拡大図。
【図５】本開示の更に別の実施の形態によるラス−担体組立体の部分拡大図。
【図６】フレキシブルガラスシートを担体基板に接合する方法を示す図。
【図７】担体基板に接合されたより大きいサイズのフレキシブルガラスシートを示す図。
【図８】図７のビュー８におけるフレキシブルガラスシートの外縁部分の部分拡大図。
【図９】例示的な分離経路を示す、フレキシブルガラスシートの第１の主面の平面図。
【図１０】図９の１０−１０線部分拡大図。
【図１１】フレキシブルガラスシートの第１の主面に、複数の傷を形成することによって、ガラスリボンの外縁部分を分離する例示的な方法を示す図。
【図１２】複数の傷のうちの少なくとも１つを、完全な亀裂に転換される様子を示す、図１１の１２−１２線部分拡大断面図。
【図１３】完全な亀裂が、複数の傷を通して伝播する様子を示す図。
【図１４】完全な亀裂が、複数の傷を通して伝播する様子示す、図１３の１４−１４線断面図。
【図１５】図１４の完全な亀裂によって形成された新たな外縁部の拡大図。
【図１６】図１１〜１５に示す方法と同様の方法によって分離され、次いで２点曲げ試験を受けた、フレキシブルガラスシートの分離された外縁部分の強度のワイブル分布図。
【図１７】フレキシブルガラスシートの第１の主面に傷を形成することによって、ガラスリボンの外縁部分を分離する別の例示的な方法を示す図。
【図１８】フレキシブルガラスシートの第１の主面における傷の形成を示す、図１７の部分拡大図。
【図１９】傷が完全な亀裂に転換される様子を示す、図１８と同様の部分拡大図。
【図２０】完全な亀裂が、図１７の分離経路に沿って伝播する様子を示す図。
【図２１】完全な亀裂が、分離経路に沿って伝播する様子を示す、図２０の２１−２１線断面図。
【図２２】図１７〜２１に示す方法と同様の方法によって分離され、次いで２点曲げ試験を受けた、フレキシブルガラスシートの分離された外縁部分の強度のワイブル分布図。
【図２３】フレキシブルガラスシートの第２の主面に傷を形成することによって、ガラスリボンの外縁部分を分離する更に別の例示的な方法を示す図。
【図２４】傷が完全な亀裂に転換される様子を示す、図２３と同様の図。
【図２５】完全な亀裂が、分離経路に沿って伝播する様子を示す図。
【図２６】完全な亀裂が、分離経路に沿って伝播する様子を示す、図２５の２６−２６線断面図。
【図２７】フレキシブルガラスシートの第１の主面に、ケガキ線を形成することによって、ガラスリボンの外縁部分を分離する、更に別の例示的な方法を示す図。
【図２８】ケガキ線に沿って、外縁部分がフレキシブルガラスシートの接合部分から切断される様子を示す図。
【図２９】担体基板から、フレキシブルガラスシートの縁部を少なくとも部分的に剥離する方法を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
ここで、特許請求した発明の例示的な実施の形態を示す添付図面を参照して、以下本発明について更に詳しく説明する。図面全体を通し、可能な限り、同じ又は同様の部品には同じ参照番号を用いている。しかし、特許請求した発明は、多くの異なる形態で実施することができ、本明細書に記載の実施の形態に限定されるものと解釈されるべきではない。これ等の例示的な実施の形態は、本開示が徹底かつ完全なものであり、特許請求した発明の範囲が当業者に完全に伝わるようにするためのものである。
【００２４】
フレキシブルガラスシートの処理方法は、第１の主面１０５及び第１の主面１０５に対向する第２の主面１０７を有する、フレキシブルガラスシート１０３を備えた、ガラス−担体組立体１０１を用意することができる。第１の主面１０５と第２の主面１０７との間の厚さ「Ｔ１」は、約３００μｍ以下、例えば約２５０μｍ以下、例えば約２００μｍ以下、例えば約１５０μｍ以下、例えば約１００μｍ以下、例えば約５０μｍ以下である。１つの例において、厚さＴ１は約５０μｍ〜約３００μｍの範囲、例えば約５０μｍ〜約２５０μｍの範囲、例えば約５０μｍ〜約２００μｍの範囲、例えば約５０μｍ〜約１５０μｍの範囲、例えば約５０μｍ〜約１００μｍの範囲とすることができる。更に別の例において、厚さＴ１は約１００μｍ〜約３００μｍの範囲、例えば約１００μｍ〜約２５０μｍの範囲、例えば約１００μｍ〜約２００μｍの範囲、例えば約１００μｍ〜約１５０μｍの範囲とすることができる。更に別の例において、厚さＴ１は約１５０μｍ〜約３００μｍの範囲、例えば約１５０μｍ〜約２５０μｍの範囲、例えば約１５０μｍ〜約２００μｍの範囲とすることができる。更に別の例において、厚さＴ１は約２００μｍ〜約３００μｍの範囲、例えば約２００μｍ〜約２５０μｍの範囲、例えば約２５０μｍ〜約３００μｍの範囲とすることができる。
【００２５】
フレキシブルガラスシート１０３は、少なくとも１つの縁部を含み、フレキシブルガラスシートに曲線形状（例えば、楕円形、円形等）又は多角形状（例えば、三角形、例えば正方形等の矩形等）を与えることができる。例えば、図２に示すように、フレキシブルガラスシート１０３は、以下において更に詳細に説明するように、本開示の方法によって生成された４つの新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７を更に含むことができる。４つの新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７は、図示の正方形とすることができる、第１の主面１０５及び第２の主面１０７の境界を画成するが、別の例において、別の形状、例えば、矩形、多角形、楕円形、又は曲線形状とすることができる。
【００２６】
薄い（即ち、３００μｍ以下の）フレキシブルガラスシート１０３は透明であって、高い光透過性を実現することができる。薄いフレキシブルガラスシート１０３は、低い表面粗さ、高い熱的及び寸法的安定性、並びに比較的低い熱膨張係数を更に実現することができる。従って、薄いフレキシブルガラスシート１０３は、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、太陽光発電装置等の電子機器の製造又は性能のいずれかに、幾つかの有益な特性を提供することができる。本開示の薄いフレキシブルガラスシート１０３は、ダウンドロー、アップドロー、フロート、フュージョン、プレスローリング若しくはスロットドロー、ガラス成形プロセス、又は他の技術を含む、任意の数の方法で製造することができる。次に、フレキシブルガラスシートは、ガラスリボンが、ガラス成形プロセスで形成されているとき、プロセス中のガラスリボンから分離することができる。あるいは、フレキシブルガラスシートは、ガラスリボンから別の時間又は場所において（例えば、予め形成されたガラスリボンのロールから）分離することができる。薄いフレキシブルガラスシートの例は、コーニング社から入手可能なＣｏｒｎｉｎｇ（登録商標）Ｗｉｌｌｏｗ（登録商標）ガラスから形成することができるが、本開示の別の例においては、別の種類の薄いフレキシブルガラスシートを用いることができる。
【００２７】
図１に更に示すように、ガラス−担体組立体１０１は、第１の主面１１１及び第１の主面１１１に対向する、第２の主面１１３を有する担体基板１０９も備えている。第１の主面１１１と第２の主面１１３との間の厚さ「Ｔ２」は、概して、厚さＴ１より大きく、約４００μｍ〜約１ｍｍ、例えば約４００μｍ〜約７００μｍ、例えば約４００μｍ〜約６００μｍとすることができるが、別の例では、別の厚さの範囲を用いることができる。担体基板１０９は、例えば、ガラス、セラミック、ガラスセラミック、又は他の材料等、広範囲の材料として提供することができる。処理技術又は他の要件に応じて、担体基板１０９は光を透過してもしなくてもよく、従って、少なくとも部分的に又は完全に透明、半透明、又は不透明であってよい。
【００２８】
図２に更に示すように、担体基板１０９は、担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７を画成する、外縁部２０９、２１１、２１３、２１５も有している。この用途に関し、外縁部は、面取り部３０３ａ、３０３ｂを含む最外面３０１を有している。従って、第１の主面１１１の外周部２１７は、第１の主面１１１が外縁に移行し始める境界と考えられる。一部の例において、外周部２１７は、面取り部が実質的に存在せず、最外面３０１（例えば、実質的に平坦な最外面）のみである比較的鋭い角部（例えば、９０°の角部）とすることができる。更に、図示のように、実質的に平坦な第１の主面１１１を有する用途において、実質的に平坦な第１の主面１１１の外周部２１７は、担体基板１０９が実質的に平坦な第１の主面１１１の平面を離れる境界と考えることができる。一部の例において、面取り部を備えることによって、応力の集中を抑制することができる。担体基板１０９が約５００μｍの厚さ「Ｔ２」を有する１つの例において、最外面３０１と外周部２１７との側方距離３０５を約１５０μｍ〜約２５０μｍとすることができるが、担体基板の厚さ及び他のプロセスの考慮事項に応じて、別の距離３０５（例えば約５０μｍ〜約７５０μｍ）も可能である。例えば、比較的鋭い角部を有するような別の実施の形態において、距離３０５は５０μｍ未満、又はゼロに近くする、即ち最外面３０１が実質的に外周部２１７に隣接することができる。
【００２９】
図１〜５に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７は、担体基板１０９の第１の主面１１１に対し、取り外し可能に接合することができ、そのようにして、ガラス−担体組立体１０１が形成される。例えば、１つの例において、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７を、接着材料層（図６の６０１参照）を用いて、担体基板１０９の第１の主面１１１に取り外し可能に（一時的に）接合することができる。更に、別の接合技術、例えば、管理された水素結合を用いて、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７を、担体基板１０９の第１の主面１１１に、一時的に接合することができる。接着剤層（又は他の接着機構）は、第１の主面１１１全体が、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７に接合されるように、全長「Ｌ１」に延びていてもよく、更には表面領域「Ａ２」全体にわたって延びていてもよい。別の例において、第１の主面１１１の中央部のみが、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７に接合されるように、接着剤層（又は他の接合機構）は、長さ「Ｌ１」より短い長さ「Ｌ２」に延びることができる。
【００３０】
一部の例において、担体基板１０９は、フレキシブルガラスシート１０３と幾何学的に類似又は同等の周囲形状を有することができる。例えば、図示省略してあるが、担体基板１０９は、フレキシブルガラスシート１０３の正方形の外形と同等とすることができる正方形の外形を有している。別の例において、担体基板１０９は、同等ではないが、幾何学的にフレキシブルガラスシート１０３に類似した形状を有することができる。例えば、図１〜４の例示的な実施の形態に示すように、担体基板１０９は、フレキシブルガラスシート１０３の形状より大きいが、幾何学的に類似した形状を有することができる。より大きい担体基板１０９を用意することによって、フレキシブルガラスシート１０３の比較的壊れ易い新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７を損傷から保護するのが支援される。この例において、フレキシブルガラスシート１０３は、担体基板１０９（担体基板１０９の全周囲）より約７５０μｍ以下、例えば約６５０μｍ以下、例えば約５５０μｍ以下、例えば約４５０μｍ以下、例えば約３５０μｍ以下、例えば約２５０μｍ以下、例えば約１５０μｍ以下、例えば約５０μｍ以下だけ小さくてよい。更に、図５に示すように、一部の例において、担体基板１０９は、フレキシブルガラスシート１０３より小さい形状を有することもできる。
【００３１】
より具体的には、図３を参照すると、本開示の方法において、フレキシブルガラスシートの新しい外縁部と担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７との側方距離「Ｌｄ」は約７５０μｍ以下、例えば約６５０μｍ以下、例えば約５５０μｍ以下、例えば約４５０μｍ以下、例えば約３５０μｍ以下、例えば約２５０μｍ以下、例えば約１５０μｍ以下、例えば約５０μｍ以下である。
【００３２】
一部の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約０μｍ〜約５５０μｍ、例えば約０μｍ〜約４５０μｍ、例えば約０μｍ〜約３５０μｍ、例えば約０μｍ〜約２５０μｍ、例えば約０μｍ〜約１５０μｍ、例えば約０μｍ〜約５０μｍとすることができる。
【００３３】
別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約５０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約５０μｍ〜約５５０μｍ、例えば約５０μｍ〜約４５０μｍ、例えば約５０μｍ〜約３５０μｍ、例えば約５０μｍ〜約２５０μｍ、例えば約５０μｍ〜約１５０μｍとすることができる。
【００３４】
更に別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約１５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約１５０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約１５０μｍ〜約５５０μｍ、例えば約１５０μｍ〜約４５０μｍ、例えば約１５０μｍ〜約３５０μｍ、例えば約１５０μｍ〜約２５０μｍとすることができる。
【００３５】
更なる例において、側方距離「Ｌｄ」は、約２５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約２５０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約２５０μｍ〜約５５０μｍ、例えば約２５０μｍ〜約４５０μｍ、例えば約２５０μｍ〜約３５０μｍとすることができる。
【００３６】
別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約３５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約３５０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約３５０μｍ〜約５５０μｍ、例えば約３５０μｍ〜約４５０μｍとすることができる。
【００３７】
更に別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約４５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約４５０μｍ〜約６５０μｍ、例えば約４５０μｍ〜約５５０μｍとすることができる。
【００３８】
別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約５５０μｍ〜約７５０μｍの範囲、例えば約５５０μｍ〜約６５０μｍとすることができる。別の例において、側方距離「Ｌｄ」は、約６５０μｍ〜約７５０μｍの範囲とすることができる。
【００３９】
図３及び５に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の新しい外縁部２０７は、側面に沿って、図３及び５において「Ｌｄ」で示すように、担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７を越えて延びている。あるいは、図４に示すように、担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７は、側面に沿って、図４において「Ｌｄ」で示すように、フレキシブルガラスシート１０３の新しい外縁部２０７を越えて延びている。
【００４０】
本開示の方法は比較的高い強度を有するフレキシブルガラスシート１０３の新しい外縁部をもたらすこともできる。事実、存在していれば、亀裂破損点になると思われる傷、亀裂、又は他の欠陥を顕著に少なくしたフレキシブルガラスシートの外縁部分を提供することができる。縁部の強度は従来の２点曲げ試験によって測定することができる。同じ縁部形成技術を用いて、多数のサンプルを作製することができる。各々のサンプルが破損した点をワイブル分布グラフにプロットすることができる。本出願を通して、フレキシブルガラスシートの「Ｂ１０強度」は、１０％のサンプルが破損すると予想されるフレキシブルガラスシートの平均破損応力である。フレキシブルガラスシートの分離された外縁部分に対して実施した２点曲げ試験に基づき、本開示の方法は、少なくとも１５０ＭＰａ、例えば少なくとも１７５ＭＰａ、例えば少なくとも２００ＭＰａのＢ１０強度を有するフレキシブルガラスシートを提供することが期待されている。一部の例において、Ｂ１０強度は、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａ、例えば１５０ＭＰａ〜約１９０ＭＰａ、例えば１５０ＭＰａ〜約１８０ＭＰａ、例えば１５０ＭＰａ〜約１７０ＭＰａ、例えば１５０ＭＰａ〜約１６０ＭＰａである。
【００４１】
ここで、例えば、前述のガラス−担体組立体１０１の別の実施の形態を生成するためのフレキシブルガラスシートの処理方法について説明する。
【００４２】
本方法は、第１の主面１０５及び第１の主面１０５に対向する第２の主面１０７を有するフレキシブルガラスシート１０３を用意することから開始することができる。フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７は、担体基板１０９の第１の主面に対して一時的に接合される。１つの例において、本方法は、図７に示すように、担体基板１０９に既に接合されているフレキシブルガラスシート１０３から開始することができる。例えば、フレキシブルガラスシート及び担体基板は予め接合されていてもよい。あるいは、図６に示すように、本方法は担体基板１０９の第１の主面１１１に対して、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７を、一時的に接合するステップを備えることができる。事実、例えば、前述のように、（例えば、担体基板１０９の第１の主面１１１に）接着材料層６０２を適用することができる。第２の主面１０７を第１の主面１１１に一時的に接合する具体的な機構は特に重要ではなく、接着材料を必要としない。その後、図７に示すように、フレキシブルガラスシート１０３と担体基板１０９を互いに押圧して、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７を、担体基板１０９の第１の主面１１１に接合することができる。
【００４３】
図６に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７は、担体基板１０９の表面領域「Ａ２」より大きくすることができる表面領域「Ａ１」を有している。事実、フレキシブルガラスシート１０３のサイズを、より大きくし、サイズをより大きくしたフレキシブルガラスシートの表面領域が、フレキシブルガラスシートの最終的にトリミングされた表面領域より大幅に大きくなるようにすることができる。フレキシブルガラスシートのサイズをより大きくすることによって、担体基板に対してフレキシブルガラスシートを正確に位置合わせする必要がないため、接合ステップを単純化することができる。むしろ、所望の相対寸法は、ガラスシートを担体基板に取り付けた後における、ガラスシートの外縁部分のその後の分離によって得ることができる。
【００４４】
図７及び８に示すように、サイズをより大きくしたフレキシブルガラスシートを担体基板に対して取り付けた後、フレキシブルガラスシート１０３の外縁部分７０１は、担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７を越えて突出している。換言すれば、フレキシブルガラスシート１０３の外縁部分７０１は、担体基板１０９の第１の主面１１１から片持ちにされている。一部の例において、突出距離は約１５ｍｍ〜約１５０ｍｍとすることができるが、別の例では、別の突出距離を用いることができる。図２の隠線で更に示すように、一部の例において、ガラスシートのより大きいサイズによって、フレキシブルガラスシート１０３の外縁部分７０１が、担体基板１０９の第１の主面１１１の側面に沿って囲むように、フレキシブルガラスシートと担体基板との間のおおよその位置合わせを行うことができる。接合が完了した後、外縁部分７０１を、その後除去して、フレキシブルガラスシートと担体基板との間の正確な相対寸法を得ることができる。
【００４５】
まず図９及び１０を参照すると、本開示の方法は、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１（一時的に接合された部分であって、フレキシブルガラスシート１０３は、処理後、例えば、フレキシブルガラスシートに機器を処理した後、取り外すことができる）が、担体基板１０９の第１の主面１１１に対して接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を分離するステップを更に備えることができる。一部の例において、外縁部分７０１の領域は、断片として順次除去することができる。例えば、外縁部分７０１の一辺を経路の中央部分９０３ａ、及び対向する末端部分を９０３ｂ、９０３ｃを含む、分離経路９０３に沿って分離することによって除去することができる。あるいは、分離経路は、末端部分の１つ又は何れも含まずに、複数の中央部分９０３ａ、９０５ａ、９０７ａ、９１１ａを含むことができる。事実、一部の例において、外縁部分７０１の外周部分を除去する外周部リング９０３ａ、９０５ａ、９０７ａ、９１１ａの形態を成す、閉分離経路に沿って分離することができる。
【００４６】
分離経路に沿って分離した後、外縁部分７０１を分離するステップによって、分離経路に沿って延びる、新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７が、フレキシブルガラスシート１０３にもたらされる。図１０に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７と担体基板１０９の第１の主面１１１の外周部２１７との側方距離「Ｌｄ」を、前述のように、約７５０μｍ以下とすることができる。
【００４７】
様々技術を用いて、フレキシブルガラスシート１０３に所望のレベルの強度を与える比較的高品質の新しい外縁部２０１、２０３、２０５、２０７をもたらしつつ、外縁部分７０１を分離することができる。1つの例において、分離する方法は、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面及び第２の主面１０７の少なくとも一方の分離経路９０３、９０５、９０７、９１１上に、少なくとも１つの傷を形成するステップを含むことができる。
【００４８】
第２の主面１０７に傷を形成することによって、第１の主面１０５が、分離経路に沿って、電磁放射線（例えばＣＯ２レーザー）で加熱される用途における分離を促進することができる。事実、第１の主面１０５を加熱すると、第１の主面が圧縮応力を受け、それによってフレキシブルガラスシート１０３の対向する第２の主面１０７が、引張応力を受けることになる。フレキシブルガラスシートは圧縮より引張に弱いため、第２の主面１０７に傷を形成することによって、分離を促進することができる。しかし、第２の主面に傷を形成すると、分離後も、傷の周囲の領域が結果として弱くなる可能性がある。その後のフレキシブルガラスシートを取り外す手順によって、第２の主面１０７が引張応力を受ける可能性があるため、第２の主面の弱さを回避したいという願望があると考えられる。事実、図２９に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の取り外しには、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７が張力を受けるような、フレキシブルガラスシートの湾曲が伴う可能性がある。従って、別の例において、第２の主面の弱さを回避するために、第１の主面１０５の分離経路９０３、９０５、９０７、９１１上に、少なくとも１つの傷を形成することができる。図２９に示すように、剥離手順の間、第１の主面１０５は圧縮応力下に置かれる。フレキシブルガラスシートは圧縮に強いため、第１の主面１０５の傷による弱さは、あまり懸念する必要がない。
【００４９】
図１１〜１５は、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１が、担体基板１０９の第１の主面１１１に対して接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を分離する単なる１つの方法を示す図である。図１１に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５における、少なくとも１つの傷は、複数の傷１１０１を含むことができ、複数の傷１１０１は、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、距離１１０３だけ互いに離間配置されている。1つの例において、複数の傷は、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、交互方向１１０７に移動するように構成された、紫外線レーザー１１０５によって生成することができる。
【００５０】
一部の例において、複数の傷１１０１の各々の傷は、第１の主面１０５から、フレキシブルガラスシートの厚さＴ１の２０％以下まで、例えばフレキシブルガラスシートの厚さＴ１の１０％以下の深さ１５０１まで、第１の主面１０５の下方の延びることができる。加えて又は代えて、複数の傷１１０１の隣接する傷間の距離１１０３は、約１５μｍ〜約２５μｍの範囲、例えば２０μｍである。
【００５１】
図１１〜１４に示すように、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿った、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５上を、方向１１１１に沿って、電磁放射線のビーム１１０９を横断させるステップを更に備えることができる。１つの例において、電磁放射線はＣＯ２レーザー１２０１によって供給されるが、別の例では、別の種類のレーザーを用いることができる。図１２に示すように、電磁放射線のビーム１１０９は、複数の傷１１０１のうちの少なくとも１つの傷１１０１ａを、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５及び第２の主面１０７に接触する完全な亀裂１２０３に転換する。図１３〜１５に示すように、電磁放射線のビーム１１０９は、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿った、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５上を、方向１１１１に沿って、連続的に横断して、複数の傷１１０１のうちの残りの傷を介して完全な亀裂を伝播させることができる。経路が完了した後、図２に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１が担体基板１０９の第１の主面１１１に接合されている間に、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から（除去され、図２において隠線で示す）外縁部分７０１が完全に分離される。
【００５２】
図１６は、図１１〜１５に関連して図示及び説明した方法と同様の方法によって分離され、次いで２点曲げ試験を受けた、外縁部分７０１の３０のサンプルのワイブル分布である。ワイブル分布の縦軸はパーセント単位の破損確率であり、横軸はＭＰａ単位の最大強度である。１０％の水平破線から分かるように、分離された外縁部分７０１のＢ１０強度、及び結果としてトリミングされたフレキシブルガラスシートの予想される強度は、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａの範囲であり得る。外側範囲線１６０１、１６０３は、Ｐ１（約１５４ＭＰａ）及びＰ２（約１９４ＭＰａ）で１０％の確率と交差し、平均線１６０５はＰ３（約１７５ＭＰａ）で１０％の確率と交差する。２点曲げ試験に用いた外縁部分の３０のサンプルを生成した試験は、紫外線レーザーを用いて、２０μｍの距離１１０３で離間配置した、８μｍの直径及び１０μｍの深さ１５０１の複数の傷を形成することを含んでいた。
【００５３】
図１７〜２１は、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１が、担体基板１０９の第１の主面１１１に対して接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を分離する別の例示的な方法を示す図である。図示のように、第１の傷は、ガラスシートの第１の主面１０５に形成することができるが、別の例では、第２の主面１０７に形成することができる。第１の傷１７０１は、様々な方法を用いて生成することができる。例えば、第１の傷１７０１は、レーザーパルス（例えば、紫外線レーザー）又は機械工具（図１８の１８０１参照）、例えば、ケガキ工具、スコアリングホイール、ダイアモンドチップ、圧子等によって生成することができる。
【００５４】
図２０〜２１に示すように、本方法は、第１の主面１０５上を、電磁放射線のビーム１１０９を横断させるステップを更に備えることができる。電磁放射線のビーム１１０９はレーザーによって生成することができ、図２０に示す加熱領域１１０９を生成することができる。更に図２０に示すように、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、電磁放射線のビーム１１０９の後に、流体の冷却流２１０３が続く。冷却流は液体、気体、又は液体と気体の組み合わせを含むことができる。例えば、冷却流体は空気及び水を含む霧の冷却流を含むことができる。冷却流２１０３を適用することによって、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５に、電磁放射線のビーム１１０９によって生成された加熱領域より、実質的に低い温度の冷却領域を生成することができる。この温度差の結果、第１の傷１７０１をフレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５及び第２の主面１０７に接触する完全な亀裂１９０１に転換する熱応力が、フレキシブルガラスシート１０３に生じる。
【００５５】
図２０及び２１に示すように、本方法は電磁放射線のビーム１１０９に続いて、冷却流２１０３を方向２００１に横断させ、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、完全な亀裂を伝播さることによって、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面１０７が担体基板１０９の第１の主面１１１に接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を完全に分離することができる。
【００５６】
一部の例において、電磁放射線のビーム１１０９の生成に用いるレーザーは、ＣＯ２レーザーを含むことができる。一部の例において、ＣＯ２レーザーは、約５Ｗ〜約４００ｗの電力、例えば１０Ｗ〜約２００Ｗ、例えば１５Ｗ〜約１００Ｗ、例えば２０Ｗ〜７５Ｗで動作することができる。ビームスポットの最大寸法（例えば、図２０のビームの楕円形スポット２１０１を参照）は、約２ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲、例えば約２ｍｍ〜３０ｍｍ、例えば約２ｍｍ〜約２０ｍｍ、例えば約５ｍｍ〜約１５ｍｍ、例えば約１０ｍｍ〜約１１ｍｍとすることができる。
【００５７】
第１の傷１７０１を形成する前若しくは形成中、又は第１の傷１７０１を完全な亀裂に転換する前若しくは転換中、図１８及び１９の隠線で示すように、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１に対し、外縁部分７０１を屈曲させ、分離経路に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５に張力を加えることができる。第１の主面１０５に張力を加えることによって、第１の傷１７０１の重要性が増し、第１の傷の完全な亀裂への転換、又は分離経路に沿った完全な亀裂の伝播が容易になる。
【００５８】
図２２は、図１７〜２１に関連して図示及び説明した方法と同様の方法によって分離され、次いで２点曲げ試験を受けた、外縁部分７０１の３０のサンプルのワイブル分布である。ワイブル分布の縦軸はパーセント単位の破損確率であり、横軸はＭＰａ単位の最大強度である。１０％の水平破線から分かるように、分離された外縁部分７０１のＢ１０強度、及び結果としてトリミングされたフレキシブルガラスシートの予想される強度は、約１２５ＭＰａ〜約２２５ＭＰａの範囲、例えば約１５０〜約２００であり得る。第１の外側範囲線２２０１は、１２５ＭＰａと１５０ＭＰａとの間のＰ４で１０％の確率と交差する。第２の外側範囲線２２０３は、２００ＭＰａと２５０ＭＰａとの間のＰ５で１０％の確率と交差する。平均の線２２０５はＰ６（約１７５ＭＰａ）で１０％の確率と交差する。
【００５９】
図２３〜図２６は、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１が、担体基板１０９の第１の主面１１１に対して接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を分離する更に別の例示的な方法を示す図である。図２３に示すように、傷２３０１は、図１８に示すように第１の主面１０５ではなく、フレキシブルガラスシート１０３第２の主面１０７に形成することができる。図１８の実施の形態と同様に、傷は様々な方法を用いて生成することができる。例えば、第１の傷２３０１は、レーザーパルス（例えば、紫外線レーザー）又は機械工具（図２３の１８０１参照）、例えば、ケガキ工具、スコアリングホイール、ダイアモンドチップ、圧子等によって生成することができる。
【００６０】
図２３の傷２３０１は第２の主面１０７に形成されているため、図２０〜２１に示す冷却流の必要性はないと考えられる。事実、前述のように、第１の主面１０５を加熱すると、第２の主面が張力を受ける可能性がある。電磁放射線のビーム１１０９を第１の主面１０５上を横断させることによって生じる、かかる張力は、それだけで、傷２３０１をフレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５及び第２の主面１０７に接触する完全な亀裂２４０１（図２４参照）に転換するのに十分であり得る。
【００６１】
図２５に示すように、本方法は、電磁放射線のビーム１１０９を方向２５０１に横断させて、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って完全な亀裂２４０１を伝播させることによって、フレキシブルガラスシート１０３の第２の主面が、担体基板１０９の第１の主面１１１に接合されている間に、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を完全に分離することができる。
【００６２】
一部の例において、電磁放射線のビーム１１０９の生成に用いるレーザーは、ＣＯ２レーザーを含むことができる。一部の例において、ＣＯ２レーザーは、約５Ｗ〜約４００ｗの電力、例えば１０Ｗ〜約２００Ｗ、例えば１５Ｗ〜約１００Ｗ、例えば５０Ｗ〜８０Ｗ、例えば２０Ｗ〜７５Ｗで動作することができる。ビームスポットの最大寸法（例えば、図２５のビームの楕円形スポット２１０１を参照）は、約２ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲、例えば約２ｍｍ〜３０ｍｍ、例えば約２ｍｍ〜約２０ｍｍ、例えば約５ｍｍ〜約１５ｍｍ、例えば約１０ｍｍ〜約１１ｍｍとすることができる。
【００６３】
図２７及び２８は、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１が、担体基板１０９の第１の主面１１１に対して接合されている間に、分離経路９０３、９０５、９０７、９１１に沿って、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から、外縁部分７０１を分離する、更に別の例示的な方法を示す図である。図示のように、少なくとも1つの傷は、分離経路９０３に沿った、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５のケガキ線２７０１を含むことができる。ケガキ線２７０１は、相当の距離、例えば、対向する末端部２７０３ａと２７０３ｂとの間の全距離にわたって延びることができ、レーザーパルス（例えば、紫外線レーザー）又は機械工具（図２７の１８０１参照）、例えば、ケガキ工具、スコアリングホイール、ダイアモンドチップ、圧子等によって生成することができる。
【００６４】
図２８に示すように、本方法は、更に、外縁部分７０１に曲げ力「Ｆ」を加えて、外縁部分７０１をフレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１から分離することができる。相当の距離、例えば対向する縁部間の全距離に沿ってケガキ線を生成することによって、フレキシブルガラスシートの曲げ力を低下させる可能性がある、対応する損傷をもたらし得る。しかし、損傷は第１の主面１０５に限定されているため、後続の担体基板１０９からのフレキシブルガラスシートの剥離において、弱くなった領域そのものが、不具合として現れることはないと考えられる。
【００６５】
図２９に示すように、フレキシブルガラスシート１０３の接合部分９０１からの外縁部分の分離後しばらくして、本方法は、必要に応じ、第１の主面１０５に凹状湾曲２９０３を生じさせることによって、担体基板１０９からフレキシブルガラスシート１０３の少なくとも一部を解放するステップを備えることができる。凹状湾曲２９０３は、第１の主面１０５を圧縮状態にすることによってもたらされ、それによって、ケガキ線２７０１を形成するときに生じる可能性がある、フレキシブルガラスシート１０３の第１の主面１０５に沿ったあらゆる弱体化を抑制することができる。単なる１つの例において、フレキシブルガラスシート１０３の縁部に力２９０１を加えて、担体基板からのフレキシブルガラスシートの最初又は全体の剥離を促進することができる。
【００６６】
図１〜４のガラス−担体組立体１０１を形成した後、図２９に示すフレキシブルガラスシートを剥離する前に、フレキシブルガラスシート１０３は、更なる処理技術を受けることができる。例えば、液晶成長、薄膜蒸着、偏光子結合、又は他の技術を実施することができる。更に、フレキシブルガラスシート１０３は、比較的硬い担体基板に一時的に支持され、比較的硬く厚いガラスシートを扱うように構成された、現在の製造プロセス及び装置を用いて、フレキシブルガラスシートの処理を容易にすることができる。
【００６７】
本発明の精神及び範囲を逸脱せずに、本発明に対して様々な改良及び変形が可能であることは、当業者には明白であろう。従って、本発明は、かかる本発明の改良及び変形が添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内に属することを条件に、本発明に包含されることを意図するものである。
【００６８】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００６９】
実施形態１
フレキシブルガラスシートを処理する方法であって、
（Ｉ）第１の主面、及び該第１の主面に対向する第２の主面を有するフレキシブルガラスシートを用意するステップであって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、担体基板の第１の主面に対して接合され、前記フレキシブルガラスシートの外縁部分が、前記担体基板の外周部から突出し、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面と前記第２の主面との間の厚さが、約３００μｍ以下である、ステップと、次に
（ＩＩ）前記フレキシブルガラスシートの接合部分が、前記担体基板の第１の主面に対して接合されている間に、分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離するステップであって、前記外縁部分を分離するステップによって、前記フレキシブルガラスシートに、前記分離経路に沿って延びる新しい外縁部がもたらされ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部と前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部との側方距離が、約７５０μｍ以下である、ステップと、
を備えた方法。
【００７０】
実施形態２
前記ステップ（Ｉ）が、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面を、前記担体基板の前記第１の主面に対して接合するステップを更に含み、前記ステップ（Ｉ）において接合される、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の前記第１の主面の表面領域より大きい表面領域を有する、実施形態１の記載の方法。
【００７１】
実施形態３
前記ステップ（Ｉ）における接合によって、前記担体基板の前記第１の主面が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分によって囲まれる、実施形態２に記載の方法。
【００７２】
実施形態４
前記ステップ（ＩＩ）が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面の少なくとも一方の前記分離経路上に、少なくとも１つの傷を形成することを含む、実施形態１〜３のいずれかに記載の方法。
【００７３】
実施形態５
前記少なくとも１つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に複数の傷を含み、該複数の傷が、前記分離経路に沿って互いに離間配置されている、実施形態４に記載の方法。
【００７４】
実施形態６
前記複数の傷の各々の傷が、前記第１の主面から、前記フレキシブルガラスシートの厚さの２０％以下の深さまで、前記第１の主面の下方に延びる、実施形態５に記載の方法。
【００７５】
実施形態７
前記複数の傷の隣接する傷と傷との間隔が、約１５μｍ〜２５μｍの範囲である、実施形態５又は実施形態６に記載の方法。
【００７６】
実施形態８
前記ステップ（ＩＩ）が、前記第１の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
（ａ）前記複数の傷のうちの少なくとも１つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
（ｂ）前記完全な傷を、前記分離経路に沿って、前記複数の傷のうちの残りの傷を介して伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態５〜７のいずれかに記載の方法。
【００７７】
実施形態９
前記少なくとも１つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの第２の主面に形成され、前記ステップ（ＩＩ）が、前記第１の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームを横断させることを更に含み、
（ａ）前記複数の傷のうちの少なくとも１つを、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
（ｂ）前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態４に記載の方法。
【００７８】
実施形態１０
前記ステップ（ＩＩ）が、前記第１の主面上を、前記分離経路に沿って、電磁放射線のビームに続いて、流体の冷却流を横断させることを更に含み、
（ａ）前記少なくとも１つの傷を、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面及び前記第２の主面に接触する完全な亀裂に転換し、
（ｂ）前記完全な亀裂を、前記分離経路に沿って伝播させることによって、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面が、前記担体基板の第１の主面に接合されている間に、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を完全に分離する、
実施形態４に記載の方法。
【００７９】
実施形態１１
前記少なくとも１つの傷が、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に形成されて成る、実施形態１０に記載の方法。
【００８０】
実施形態１２
前記少なくとも１つの傷が、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面にケガキ線を含み、前記ステップ（ＩＩ）が、前記外縁部分に曲げ力を加えて、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分から、前記外縁部分を分離することを更に含む、実施形態４に記載の方法。
【００８１】
実施形態１３
前記ステップ（ＩＩ）の間、前記フレキシブルガラスシートの前記接合部分に対し、前記外縁部分が屈曲され、前記分離経路に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に張力が加えられる、実施形態１〜３、５〜８、１０、及び１１のいずれかに記載の方法。
【００８２】
実施形態１４
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、約１５０ＭＰａ〜約２００ＭＰａの範囲のＢ１０強度を有する、実施形態１〜１３のいずれかに記載の方法。
【００８３】
実施形態１５
前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部が、側面に沿って、前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部を越えて延びる、実施形態１〜１４のいずれかに記載の方法。
【００８４】
実施形態１６
前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部が、側面に沿って、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びる、実施形態１〜１４のいずれかに記載の方法。
【００８５】
実施形態１７
前記担体基板の前記第１の主面の前記外周部が、側面に沿って、約２５０μｍ以下の距離だけ、前記フレキシブルガラスシートの前記新しい外縁部を越えて延びる、実施形態１〜１４、及び１６のいずれかに記載の方法。
【００８６】
実施形態１８
前記ステップ（Ｉ）によって、前記担体基板の前記第１の主面の表面領域より大きい表面領域が、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面に与えられる、実施形態１〜１７のいずれかに記載の方法。
【００８７】
実施形態１９
前記ステップ（Ｉ）によって、前記フレキシブルガラスシートの前記外縁部分が、前記担体基板の前記第１の主面を側面に沿って包囲する、実施形態１８に記載の方法。
【００８８】
実施形態２０
前記ステップ（ＩＩ）の後に、前記フレキシブルガラスシートの前記第１の主面に、凹状湾曲を生じさせることによって、前記担体基板から、前記フレキシブルガラスシートの少なくとも一部を解放するステップ（ＩＩＩ）を更に備えた、実施形態１〜１９のいずれかに記載の方法。
【００８９】
実施形態２１
ガラス−担体組立体であって、
第１の主面、及び該第１の主面に対向する第２の主面を有するフレキシブルガラスシートであって、前記第１の主面と前記第２の主面との間の厚さが３００μｍ以下である、フレキシブルガラスシート、及び
担体基板であって、第１の主面、及び前記担体基板の前記第１の主面に対向する第２の主面、並びに外周部を有し、前記担体基板の前記第１の主面が、前記フレキシブルガラスシートの前記第２の主面に一時的に接合される、担体基板を備え、
前記フレキシブルガラスシートが、前記外周部の周囲の各々の点において、前記担体基板より７５０μｍ以下だけ小さい、ガラス−担体組立体。
【符号の説明】
【００９０】
１０１                          ガラス−担体組立体
１０３                          フレキシブルガラスシート
１０５                          フレキシブルガラスシートの第１の主面
１０７                          フレキシブルガラスシートの第２の主面
１０９                          担体基板
１１１                          担体基板の第１の主面
１１３                          担体基板の第２の主面
２１７                          担体基板の第１の主面の外周部
２０１、２０３、２０５、２０７  フレキシブルガラスシートの新しい外縁部
７０１                          フレキシブルガラスシートの外縁部分
９０１                          フレキシブルガラスシートの接合部分
９０３、９０５、９０７、９１１  分離経路
１１０１                        複数の傷
１１０９                        電磁放射線のビーム
１２０１                        ＣＯ２レーザー
１２０３、１９０１、２４０１    完全な亀裂
１７０１                        第１の傷
１８０１                        機械工具
２１０３                        冷却流
２７０１                        ケガキ線
【図１】
2018510120.tif 000003
【図２】
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【図３】
2018510120.tif 000005
【図４】
2018510120.tif 000006
【図５】
2018510120.tif 000007
【図６】
2018510120.tif 000008
【図７】
2018510120.tif 000009
【図８】
2018510120.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2018510120.tif 000012
【図１１】
2018510120.tif 000013
【図１２】
2018510120.tif 000014
【図１３】
2018510120.tif 000015
【図１４】
2018510120.tif 000016
【図１５】
2018510120.tif 000017
【図１６】
2018510120.tif 000018
【図１７】
2018510120.tif 000019
【図１８】
2018510120.tif 000020
【図１９】
2018510120.tif 000021
【図２０】
2018510120.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
2018510120.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
2018510120.tif 000026
【図２５】
2018510120.tif 000027
【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【国際調査報告】
2018510120.tif 000032
2018510120.tif 000033
2018510120.tif 000034