(57)【要約】  粘性流体を基材上に正確にディスペンスするための方法とシステム（１０）。一実施形態では、方法は、電気的な流量計装置（３２ａ、３２ｂ）を用いて、電気的な流量計出力信号を生成し、出力データセットと参照データセットとの間の差を補償するべく、少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整することによって閉ループの態様での応答制御機能を実施する。別の実施形態では、システム（１０）が、気体流量計装置（３２ａ、３２ｂ）及び重量計（７２）に動作可能に結合された制御部を含み、粘性材料のある量の密度が決定されることを許容する。
2018527178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性流体を基材上に正確にディスペンスするために非接触式の噴射ディスペンシングを制御する方法であって、
粘性流体供給部から、入口と出口とを有する非接触式噴射ディスペンサへと、粘性流体を差し向ける工程と、
前記非接触式噴射ディスペンサの前記出口を通して前記粘性流体を排出する工程であって、前記非接触式噴射ディスペンサは前記粘性流体の前記出口を通っての基材上への流れを開始及び停止するよう動作可能である、という工程と、
前記粘性流体供給部と前記非接触式噴射ディスペンサの前記出口との間の流路内に動作可能に結合された電気的な流量計装置を用いて、当該流路を通流する前記粘性流体の流量に比例する電気的な流量計出力信号を生成する工程であって、前記電気的な流量計出力信号は出力データセットを形成する、という工程と、
前記出力データセットを制御部内に記憶された参照データセットと比較する工程と、
前記出力データセットと前記参照データセットとの間の差を修正するべく、少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整することによって、閉ループの態様で応答制御機能を実施する工程と、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、前記非接触式の噴射ディスペンサの前記出口を通ってディスペンスされる粘性流体の流量を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記流量を調整する工程は、更に、前記粘性流体の粘度を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、ディスペンシング時間を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、粘性流体が前記出口を通って前記基材上にディスペンスされる周波数を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記粘性流体供給部は、更に、当該粘性流体供給部の空気圧入口を介して流れる圧縮空気を利用する圧力供給部を有しており、
前記電気的な流量計装置は、前記空気圧入口に動作可能に結合されており、前記空気圧入口を通る圧縮空気の流量に比例する電気的な流量計出力信号を提供し、
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する工程は、更に、前記圧力供給部の圧力を調整する工程を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記出口を通して前記粘性流体を排出する工程及び前記応答制御機能を実施する工程は、更に、
前記非接触式噴射ディスペンサと前記基材との間の相対移動中に前記出口を通して前記粘性流体を排出する工程と、
前記非接触式噴射ディスペンサと前記基材との間の前記相対移動の速度を調整する工程と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記出力データセットを参照データセットと比較する工程及び前記応答制御機能を実施する工程は、更に、
前記出力データセットを用いて、目標量の粘性材料が前記基材上に排出されることに帰結する前記非接触式噴射ディスペンサと前記基材との間の相対移動の速度を決定する工程と、
前記目標量の粘性流体を前記基材上に排出するべく、前記非接触式噴射ディスペンサと前記基材との間の前記相対移動の速度（ｓｐｅｅｄ）を調整する工程と、
を含み、
前記相対移動の速度を決定する工程は、
前記出力データセットの１ドットあたりの平均体積を決定することによって、前記目標量に実質的に等しいことが要求されるドットの全数の形態での粘性流体の量を決定する工程と、
前記ドットを分布させるために要求される前記ドットの全数の各々の間の距離を決定する工程と、
前記ドットの全数が前記非接触式噴射ディスペンサからディスペンスされる速度（ｒａｔｅ）を決定する工程と、
前記ドットの全数がディスペンスされる速度と、前記ドットの全数の前記ドットの各々の間の距離と、を用いる工程と、
を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記出力データセットを前記制御部内に記憶された参照データセットと比較する工程は、更に、前記出力データセットを積分して、当該出力データセットの体積を決定する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記出力データセットを前記参照データセットと比較する工程及び前記応答制御機能を実施する工程は、更に、
前記出力データセットの前記体積を前記参照データセットの参照体積と比較する工程と、
前記出力データセットの前記体積と前記参照データセットの前記参照体積との間の差を修正するべく、少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整することによって、閉ループの態様で応答制御機能を実施する工程と、
を含む
ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、前記非接触式噴射ディスペンサを通って流れる前記粘性流体内のエアバブルを検出する工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
粘性流体を基材上に正確にディスペンスするための粘性流体ディスペンシングシステムであって、
入口と出口とを有する粘性流体ディスペンサと、
粘性流体を保持するようになっていて前記粘性流体ディスペンサの前記入口と流体連通状態に結合された粘性流体供給部であって、当該粘性流体供給部と前記粘性流体ディスペンサの前記出口との間に前記粘性流体の流路を確立させる粘性流体供給部と、
前記流路内に動作可能に結合されて、前記粘性材料の第１量に対応する気体流量計出力信号を生成する気体流量計装置と、
前記第１量を受容して重量を計測して、対応する重量計出力信号を生成するように構成された重量計と、
前記気体流量計装置と前記重量計とに動作可能に結合された制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記重量計から受信される前記重量計出力信号を用いて前記第１量の質量を決定し、前記気体流量計装置から受信される前記気体流量出力信号を積分することによって前記第１量の体積を決定し、前記第１量の前記質量と前記第１量の前記体積とを用いて前記第１量の密度を決定する
ことを特徴とするシステム。
【請求項１３】
前記制御部は、前記第１量の前記密度を、予め決定された許容範囲と比較し、前記密度が前記許容範囲の外側にある場合にユーザに警告する
ことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記気体流量計装置は、前記流路を介して流れて前記出口からディスペンスされる前記粘性流体の第２量の体積に比例する気体流量計出力信号を生成し、
前記制御部は、前記第１量の前記密度と前記第２量の前記体積とを用いて、前記第２量の質量流量を決定する
ことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
前記第２量の前記質量流量を調整するために少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素
を更に備えたことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素は、更に、前記粘性流体供給部の流体供給圧を調整する要素を含む
ことを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素は、更に、前記粘性流体の連続的な量が前記出口からディスペンスされる周波数を調整する要素を含む
ことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項１８】
前記制御部に結合された温度制御部を更に備え、
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素は、更に、前記温度制御部を用いて前記粘性流体ディスペンサの温度を調整する要素を含む
ことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項１９】
前記粘性流体ディスペンサは、粘性流体の複数のドットを噴射するように構成された噴射ディスペンサであり、
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素は、更に、前記複数のドットが前記噴射ディスペンサから噴射される発火頻度を調整する要素を含む
ことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項２０】
前記粘性流体ディスペンサは、粘性流体の複数のドットを噴射するように構成された噴射ディスペンサであり、
前記少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する要素は、更に、あるパターン内に噴射されるドットの数を調整する要素を含む
ことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項２１】
前記制御部は、前記粘性流体ディスペンサを通って流れる前記粘性流体内のエアバブルを検出する
ことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項２２】
粘性流体を基材上に正確にディスペンスするために粘性流体ディスペンシングシステムを制御する方法であって、
粘性流体供給部から粘性流体ディスペンサへと第１量の粘性流体を差し向ける工程であって、前記粘性流体ディスペンサは当該粘性流体ディスペンサの出口を通っての前記粘性流体の基材上への流れを開始及び停止するよう動作可能である、という工程と、
前記粘性流体供給部と前記出口との間の流路内に動作可能に結合された気体流量計装置を用いて、当該流路を通流する前記第１量の前記流量に比例する気体流量計出力信号を生成する工程と、
前記出口からの前記第１量を、前記制御部に結合された重量計上に排出する工程であって、前記重量計は、前記第１量の質量に比例する重量計出力信号を生成する、という工程と、
前記気体流量計出力信号と前記重量計出力信号とを用いて少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整することによって、閉ループの態様で応答制御機能を実施する工程と、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２３】
前記応答制御機能は、前記第１量の比重を用いて、前記粘性流体ディスペンサの出口を通ってディスペンスされる前記粘性流体の流量を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、前記第１量の比重を用いて、ディスペンシング時間を調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
前記重量計出力信号を用いて前記第１量の質量を決定する工程と、
前記気体流量計出力信号を用いて前記第１量の体積を決定する工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２６】
前記第１量の前記体積を決定する工程は、前記制御部を用いて、前記気体流量計装置から得られる前記気体流量計出力信号を積分する工程を含む
を更に備えたことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２７】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、
前記第１量の前記質量及び前記体積を用いて、前記第１量の比重を計算する工程と、
前記第１量の前記比重を用いて、少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する工程と、
を含むことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２８】
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、
前記第１量の前記質量及び前記体積を用いて、前記第１量の密度を計算する工程と、
前記第１量の前記密度を用いて、少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する工程と、
を含むことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２９】
前記気体流量計出力信号と前記重量計出力信号とが、出力データセットを形成し、
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、前記出力データセットを用いて計算される比重を用いて少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項３０】
前記気体流量計出力信号と前記重量計出力信号とが、出力データセットを形成し、
前記応答制御機能を実施する工程は、更に、前記出力データセットを用いて計算される密度を用いて少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整する工程を含む
ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項３１】
前記気体流量計出力信号と前記重量計出力信号とが、出力データセットを形成し、
当該方法は、更に、前記出力データセットを前記制御部内に記憶された参照データセットと比較する工程を備えている
ことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１５年９月１６日出願の米国出願第１４／８５５，４８７の優先権を主張するものである。当該仮出願は、その全体の内容が、当該参照によって本明細書に組み込まれる（ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ  ｂｙ  ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）。
【０００２】
本発明は、全体として、ドット状、液滴状、ライン状等の様々な形態で少量の粘性流体を正確にディスペンスする流体ディスペンサの分野に関している。
【背景技術】
【０００３】
印刷回路（ＰＣ）板のような様々な物品の製造において、しばしば、基板上に、例えば５０センチポワーズを超える粘度を有する粘性材料の微小量を適用（塗布）することが必要である。そのような材料は、一般用途の接着剤、はんだペースト、はんだ溶剤（ｓｏｌｄｅｒ  ｆｌｕｘ）、はんだマスク、グリース、オイル、カプセル化剤、埋込用樹脂、エポキシ樹脂、ダイ取り付けペースト、シリコン、ＲＴＶ、シアノアクリレート、を例示的に含むが、それらに限定はされない。
【０００４】
一例として、フリップチップ技術として知られている製造方法が発展している。それは、粘性流体のディスペンシングを要求する複数の処理を含む。例えば、半導体ダイまたはフリップチップが、最初に、はんだボールまたはパッドを介してＰＣ板に取り付けられる。この処理において、粘性のはんだ溶剤が、フリップチップとＰＣ板との間に適用される。次に、粘性液体状のエポキシ樹脂がディスペンスされて、チップの下側を流れて完全に覆うことが許される。下地埋め（ｕｎｄｅｒｆｉｌｌｉｎｇ）作業は、正確な量の液体状のエポキシ樹脂が半導体チップの少なくとも１つの側縁に沿って堆積されることを要求する。エポキシ樹脂の体積は硬化処理時に減少するので、応力の疑似静水状態がはんだボールまたはパッドに課され、これが、はんだボールまたはパッドの変形に対する抵抗、すなわち、割れ（ｆｒａｃｔｕｒｅ）に対する抵抗をもたらす。液体状のエポキシ樹脂は、チップの下側とＰＣ板の上面との間の小さい隙間に起因する毛管現象の結果としてチップの下側を流れる。下地埋め作業が完了すると、電気的な相互接続部の全てをカプセル化するべく十分な液体状のエポキシ樹脂が堆積されることが望まれる。これにより、フィレ部がチップの側縁に沿って形成される。適切に形成されるフィレ部は、十分なエポキシ樹脂が堆積されて、チップとＰＣ板との間の結合部の最大の機械的強度をもたらすことを保証する。正確な量のエポキシ樹脂が正しい位置に正確に堆積されることが、下地埋め処理の質にとって重要である。過少なエポキシ樹脂は、腐食及び過大な熱応力に帰結し得る。過多なエポキシ樹脂は、チップの下側を超えて流れて、他の半導体装置及び相互接続部と干渉し得る。これらのパラメータは、高速の生産性を要求する製造環境下で正確に制御されなければならない。
【０００５】
別の応用において、チップがＰＣ板に結合される。この応用では、接着剤のパターンがＰＣ板上に堆積されて、チップは、下向きの圧力を伴って接着剤上に載置される。接着剤パターンは、接着剤がチップの底部とＰＣ板との間に均一に流れて、チップの下方から外側へ流れない、というように設計される。この応用では、正確な量の接着剤がＰＣ板上の正確な位置に堆積されることが重要である。
【０００６】
ＰＣ板は、しばしば、当該ＰＣ板上において２軸動作可能に取り付けられた粘性材料ディスペンサを通過するコンベヤによって保持されている。移動するディスペンサは、しばしば、ＰＣ板上の所望位置に粘性材料の小ドットまたは小滴を堆積可能なタイプのものである。このタイプのディスペンサは、一般に、非接触式の噴射ディスペンサと呼ばれている。高品質な粘性材料ディスペンシング処理を提供するためにしばしば制御される幾つかの変数が存在する。まず、ドットの各々の重量またはサイズが制御される。公知の粘性材料ディスペンサは、材料ディスペンシング処理の間にドットサイズを一定に維持するよう設計された閉ループ制御系を有する。粘性材料の供給圧、ディスペンサ内のディスペンシングバルブのオンタイム（ｏｎ−ｔｉｍｅ）、及び、噴射ディスペンサのバルブ部材のストローク長、を変化させることによって、ディスペンスされる重量またはドットサイズを制御することが知られている。公知の制御ループは、特定のディスペンサの設計及びディスペンスされる粘性材料に依存して、有利な点と不利な点とを有する。一方、公知の技術は、しばしば、付加的な構成要素及び機械的構造を要求する。例えば重量計である。これによって、付加的なコスト、時間、信頼性の問題が生じる。更に、公知の方法は、しばしば、製造処理とは別個に、較正処理の利用を必要とする。これは、生産性低減させる。従って、ドットサイズ、ディスペンス流体の体積または重量のようなパラメータを制御するための迅速かつ簡単な手段を提供するという継続的なニーズが存在する。
【０００７】
ディスペンシング処理において制御され得る別の重要な変数は、特定の周期でディスペンスされる粘性材料の全体量である。チップの設計者は、しばしば、粘性材料の全体量を特定する。粘性材料は、例えば、下地埋め用のエポキシ樹脂や、結合用の接着剤であり、所望の下地埋め処理や結合処理を提供するために利用されるものである。噴射の際、例えば、所与のドットサイズ及びディスペンサ速度のため、ディスペンサ制御をプログラムすることが知られている。これにより、ディスペンサは、適切な数のドットをディスペンスして、特定された量の粘性材料を所望の位置の所望のラインまたはパターンにディスペンスする。そのようなシステムは、ディスペンシングパラメータが一定である時、合理的に有効である。しかしながら、そのようなパラメータは、短時間に亘ってほんの僅かにではあるが、絶えず変化する。このような変化の集約的な効果が、ディスペンサによってディスペンスされる流体の体積の不所望の変化に帰結し得る。従って、ディスペンスされる量の変化を検出して自動的な調整をすることができ、所望の全体量の粘性流体が全体のディスペンスサイクルに亘って均一にディスペンスされるような制御システムのニーズがある。
【０００８】
現在のシステムは、粘性材料の密度が一定であると仮定している。しかしながら、密度も絶えず変化して、実際にディスペンスまたは噴射される流体の量の不所望のばらつきに帰結する。粘性材料のディスペンスされる量は、特定の質量、体積、密度、あるいは、質量、体積、密度の許容可能な公差、を有することが望ましい。ディスペンスされる粘性材料の密度が正確な値であることは、所望の量の粘性材料を基材上にディスペンスする際に、より高い精度を可能にする。従って、粘性材料がディスペンスされる時の粘性材料の密度を正確に取得して、当該密度または比重に基づいてディスペンシングパラメータを調整することの継続的なニーズがある。
【０００９】
一般に、高い生産性の製造処理等において少量の粘性流体を正確にディスペンスするという、これらの及び他の課題に対処する、改良されたコンピュータ制御される粘性流体ディスペンシングシステムのニーズがある。
【発明の概要】
【００１０】
本発明は、様々な態様で、粘性流体を基材上に正確にディスペンスするために非接触式の噴射ディスペンシングを制御する方法を提供する。本方法は、粘性流体供給部から、非接触式噴射ディスペンサへと、粘性流体を差し向ける工程を備える。非接触式噴射ディスペンサは、入口と出口とを有する。本方法は、更に、前記非接触式噴射ディスペンサの前記出口から前記粘性流体を排出する工程を備える。前記非接触式噴射ディスペンサは、前記粘性流体の前記出口から基材上への流れを開始及び停止するよう動作可能であり得る。本方法は、更に、前記粘性流体供給部と前記出口との間の流路内に動作可能に結合された電気的な流量計装置を用いて、当該流路を通流する前記粘性流体の流量に比例する電気的な流量計出力信号を生成する工程を備える。前記電気的な流量計出力信号は、出力データセットを形成する。本方法は、更に、前記出力データセットを制御部内に記憶された参照データセットと比較する工程と、ディスペンシングパラメータを調整することによって、閉ループの態様で応答制御機能を少なくとも１つ実施する工程と、を備える。この調整が、前記出力データセットと前記参照データセットとの間の差を修正する（補償する）。
【００１１】
粘性流体を基材上に正確にディスペンスするための粘性流体ディスペンシングシステムもまた、開示される。当該システムは、入口と出口とを有する粘性流体ディスペンサを備える。当該システムは、また、粘性流体を保持するようになっていて前記粘性流体ディスペンサの前記入口と流体連通状態に結合された粘性流体供給部であって、当該粘性流体供給部と前記粘性流体ディスペンサの前記出口との間に前記粘性流体の流路を確立させる粘性流体供給部、を備える。当該システムは、また、前記流路内に動作可能に結合されて、前記粘性材料の第１量に対応する気体流量計出力信号を生成する気体流量計装置を備える。当該システムは、また、前記第１量を受容して重量を計測して、対応する重量計出力信号を生成するように構成された重量計を備える。当該システムは、また、前記気体流量計装置と前記重量計とに動作可能に結合された制御部を備える。前記制御部は、前記重量計から受信される前記重量計出力信号を用いて前記第１量の質量を決定し、前記気体流量計装置から受信される前記気体流量出力信号を積分することによって前記第１量の体積を決定し、前記第１量の前記質量と前記第１量の前記体積とを用いて前記第１量の密度を決定する。様々な付加的な特徴ないし代替的な特徴が、当該システム内に含まれ得る。
【００１２】
粘性流体を基材上に正確にディスペンスするために粘性流体ディスペンシングシステムを制御する方法もまた、開示される。本方法は、粘性流体供給部から粘性流体ディスペンサへと第１量の粘性流体を差し向ける工程を備える。前記粘性流体ディスペンサは当該粘性流体ディスペンサの出口を通っての前記粘性流体の基材上への流れを開始及び停止するよう動作可能である。本方法は、また、前記粘性流体供給部と前記出口との間の流路内に動作可能に結合された気体流量計装置を用いて、当該流路を通流する前記第１量の前記流量に比例する気体流量計出力信号を生成する工程を備える。本方法は、また、前記出口からの前記第１量を、前記制御部に結合された重量計上に排出する工程を備える。前記重量計は、前記第１量の質量に比例する重量計出力信号を生成する。本方法は、また、前記気体流量計出力信号と前記重量計出力信号とを用いて少なくとも１つのディスペンシングパラメータを調整することによって、閉ループの態様で応答制御機能を実施する工程を備える。
【００１３】
当該方法の付加的な特徴が、前述され、また、以下により詳細に説明されるシステム動作を参照することから理解されるであろう。例えば、幾つかの実施形態において、出力データセットは、電気的な流量計出力信号を含み得るし、他の実施形態では、出力データセットは、気体流量計出力信号及び重量計出力信号を含む。また、ディスペンシングは、粘性流体の様々なタイプの区分された体積の出力、例えばドット、液滴、ライン、あるいは他のタイプの出力、を含み得る。本発明のこれら及び他の目的及び利点が、添付の図面と関連して以下の詳細な説明を参酌することで、より容易に明らかとなるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の一実施形態によって構成された粘性流体ディスペンシングシステムの正面図である。
【００１５】
【図２】図２は、図１に示されたシステムと関連付けられる制御によって実施される工程群の一実施形態を示すフロー図である。
【００１６】
【図３】図３は、図１に示されたシステムと関連付けられる制御によって実施される工程群の別の実施形態を示すフロー図である。
【００１７】
【図４】図４は、本発明の別の実施形態によって構成された粘性流体ディスペンシングシステムの正面図である。
【００１８】
【図５】図５は、図４に示されたシステムと関連付けられる制御によって実施される工程群の一実施形態を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、粘性流体を正確にディスペンシングして、ディスペンシング動作を制御するための粘性流体ディスペンシングシステム１０の概略図である。システム１０は、粘性流体入口１４と、粘性流体のためのディスペンシング出口１６と、基材２２上への粘性流体２０のディスペンシング動作のオン／オフを制御するための内部可動バルブ１８と、を有する粘性流体ディスペンサ１２を備えている。バルブ１８は、例えば区分された体積で出口１６を介して基材２２上に粘性流体２０をディスペンスするべく、開放位置及び閉鎖位置の間で可動である。本発明は、ディスペンサからの流れを開始及び停止するための当該タイプの方法または構造に限定されない。例えば、流れの開始及び停止を圧力誘起の態様に依存する他のタイプのディスペンサも、利用され得る。ディスペンサ１２は、ディスペンシングの用途やユーザのニーズに依存して、任意の好適なタイプ及び形態であり得る。一般に、ディスペンサは、粘性流体２０の連続ラインや他のパターンを基材２２上にディスペンスしてもよいし、ドットや液滴の形態で粘性流体の小さい区分された体積を迅速にディスペンスする噴射タイプのディスペンサであってもよい。例えば、そのような噴射ディスペンサは、ディスペンスジェット（登録商標）及びネックスジェット（登録商標）の名称で、カリフォルニアのカールスバッドのノードソンＡＳＹＭＴＥＫから入手可能である。ディスペンサ１２は、例えば空気作動式あるいは電動式に作動され得る。図示のように、ディスペンサ１２は、バルブ１８を少なくとも開放位置に移動させるための公知の態様で、ラインまたは導管２５を通る圧縮作動空気の導入を制御するソレノイドバルブ２４を含むか、それと結合されている。二重空気チャンバディスペンサにおいては、圧縮空気は、バルブ１８を閉鎖位置に移動させるためにも利用され得る。他の実施形態では、バルブ１８を閉鎖位置に移動させるためにバネが利用され得る。
【００２０】
システム１０は、更に、粘性流体２０を保持するようになっていてディスペンサ１２の入口と流体連通状態に結合された粘性流体供給容器２６を備えている。粘性流体供給容器２６と粘性流体ディスペンサ１２の出口１６間に、粘性流体の流路が確立されている。本実施形態では、容器２６内の流体２０の供給は、圧力レギュレータ３０によって調整される好適な空気源２８からの空気によって圧縮駆動される。液体流量計３２ａ、すなわち流量センサ装置が、前記流路内に結合されていて、バルブ１８が開放位置にある時に当該流路を通流する流体２０の流量に比例する電気的な流量計出力信号を生成する。液体流量計３２ａは、供給容器２６の出口３６からディスペンサ１２の入口１４まで延びる流体ラインまたは導管３４内に直接的に結合され得る。本実施形態では、液体流量計３２ａは、好適には、スイスのセンシリオンＡＧから入手可能な、センシリオンモデルＬＧ１６−２０００またはＬＧ１６−１０００液体流量センサ、または、モデルＳＬＱ−ＱＴ１０５流量センサである。選択される流量計の特定のモデルは、典型的には、当該用途において要求される流量と、応答時間や感度等の要因と、に依存する。他の実施形態では、液体流量計３２ａは、図１に破線で示されるように、ディスペンサ１２内に直接的に、出口１６の上流の流路内のいずれかに、包含され得る。更に代替的には、ノズル１６内に液体流量計３２ａを設けることができる。更に別の実施形態では、気体流量計３２ｂが、システムの空気圧作動側に結合され得る。例えば、気体流量計３２ｂは、圧力レギュレータ３０と容器２６の入口３８との間に結合され得る。本実施形態では、気体流量計３２ｂは、好適には、スイスのセンシリオンＡＧから入手可能な、センシリオンモデルＳＦＭ３１００またはＳＦＭ４１００気体流量センサである。制御部４０が、システム内におけるその位置に拘わらず、電気的な流量計３２ａ、３２ｂのいずれかまたは両方に動作可能に結合されている。制御部４０は、流量計３２ａ、３２ｂからの粘性流体または気体の流量データ点のそれぞれを示す電気的な流量計出力信号を連続的に受信して処理して、後に詳述されるように閉ループの態様で応答制御機能を実施する。制御部４０は、例えば、流量計３２ａ、３２ｂからの信号を処理して以下に詳述される機能を実施可能な、ＰＬＣ、プログラマブルロジックコントローラ、または、他の任意の好適なコンピュータベースの制御装置、であり得る。システム１０の用途、及び、ディスペンスされるべき流体材料は、背景技術の項で説明されたものを含む、任意の所望のタイプであり得る。
【００２１】
図２及び図３は、図１に示される制御部４０によって実装されて実行されるソフトウェアの概略フローについて、異なる実施形態を図示している。図２の第１工程５０に示されるように、流量計３２ａ、３２ｂ、圧力レギュレータ３０、及び、ディスペンサ１２に関連付けられた任意の他の制御要素が、ディスペンシング動作を開始するために初期化される。次の工程５２において、ディスペンサ１２は、制御部４０によってプログラムされて実行される通り、粘性流体のディスペンシングを所望の態様で開始する。例えば、粘性流体２０の複数のドットないし液滴または１つのラインが、基材２２上に高速にディスペンスされる（図１）。ディスペンシング動作が実施されている間、粘性流体または気体の流量データ点（信号）が、流量計３２ａ、３２ｂから制御部４０によって集められる。このデータは、工程５４において、以下に詳述されるように１または複数の態様で処理される。例えば、工程５４における処理は、集められたデータセットを記憶された参照データと比較すること、あるいは、他の解析法、を含み得る。工程５６では、制御部４０が、粘性流体の流量（流速）が許容範囲内であるか否かを判定する。流量が許容範囲内であれば、処理は工程５２に戻って、ディスペンシング動作を継続する。流量が許容範囲内でなければ、ディスペンスパラメータが、工程５８において、対応するように調整される。制御部４０は、その後、ディスペンシング動作と閉ループ態様での制御機能の実行を継続する。
【００２２】
流量計３２ａ、３２ｂから集められたデータまたは信号を解析するべく、制御部４０は、例えば、流量計３２ａ、３２ｂからの出力データを記憶された参照データと比較し得る。流量径３２ａ、３２ｂからの出力データは、例えば、１つのデータセットであり得る。当該データセットは、流量ｖｓ時間として、グラフにプロットされ得る。結果として、曲線または波形が制御部４０によって生成され得る。概ね矩形状の波形が生成され得て、その場合、信号はディスペンサバルブ１８が開放されている間がピークであり、その後、バルブが閉鎖されると急激に降下する。噴射動作中、流量計３２ａ、３２ｂから出力される流量信号データによって生成される当該波形ないし曲線は、当該曲線に沿った鋸歯パターンに似ており、流体材料２０がディスペンサ出口１６から複数のドットとして迅速に噴射される時のバルブ１８の迅速なオン・オフないし開閉状態（の切り替わり）を示している。バルブ１８が噴射動作の終わりに閉鎖位置に維持される時、前記波形ないし曲線は、ゼロに降下するであろう。当該動作において、制御部４０によって実施される解析は、流量計３２ａ、３２ｂからのデータ（信号）によって生成される波形を、より理想的な流れパターンを表す参照波形と、比較し得る。比較される２つの波形ないし曲線が似ていない場合、制御部４０はシステム１０に対する調整を実施する。より一般的に言えば、制御部４０は、流量計３２ａ、３２ｂからの信号に基づく現在またはリアルタイムのデータセットと、粘性流体または気体の流れの代表値と、を比較して、当該リアルタイムのデータセットと、粘性流体または気体の流れの類似の参照データセットと、を比較する。比較される２つのデータセット間の不一致の検出に基づいて、制御部は、システムの様々な処理パラメータへの調整を実施するようにプログラムされている。データセットが制御部４０によって波形としてアセンブル（加工）されることは、必要でない。例えば１つのライン状の粘性流体２０をディスペンスするために、バルブが連続的に開放されるディスペンス周期を有する連続的なディスペンス動作の場合においては、波形は、更に一層、矩形形状となり得る。
【００２３】
流量計３２ａ、３２ｂから信号／データを集める時に実施される解析は、様々な処理及び／またはアルゴリズムを含み得る。１つの処理は、検出された波形のピークの平均を、制御部４０内に記憶された参照ないし理想波形と比較することを含み得る。別の方法は、波形の下方の面積を決定して（すなわち、曲線の下方を積分して）、当該面積を参照データと比較することを含み得る。
【００２４】
流体２０のラインをディスペンスする場合、あるいは、流体２０のドットを噴射する場合、ディスペンシングないし噴射中の適切な流れを表すデータセットが、参照データセットとして記憶され得て、流量計３２ａ、３２ｂからのリアルタイムのデータセットと比較され得る。リアルタイムのデータセットが参照データセットから変動する場合（相違が大きい場合）に、較正が、ディスペンシングまたは噴射に対してなされ得る。システムに対する変更は、例えば、流体２０を供給するシリンジないし容器２６への空気圧の変更、ディスペンサが粘性流体２０をディスペンシングする時間の調整、ディスペンサ１２の温度、粘性流体２０のディスペンシング速度（発火頻度）、ないし、特定パターンでディスペンスされるドットの数、を含み得る。較正は、非常に迅速になされ得て、例えば、応答時間は４０ミリ秒以内である。典型的には、２つの連続するディスペンス間に１００ミリ秒オーダの時間が存在する場合、当該時間が、処理時間に影響を与えることなく、ディスペンスされる粘性流体２０の量を調整ないし較正するために利用され得る。結果的に、較正は、１つのディスペンスまたは噴射動作の終了と、次のディスペンスまたは噴射動作の開始と、の間でなされ得る。この大変に短い応答時間は、従来の構成処理におけるような、重量計上に流体材料２０をディスペンスして、当該流体材料２０の重量を測定して、流量を計算する等のために要求され得る数秒という時間に対して、好対照である（非常に優れている）。
【００２５】
システム１０は、また、出口１６を通って排出される１または複数のエアバブルを検出するためにも利用され得る。この場合、流量計３２ａ、３２ｂは、エアバブルがディスペンサ出口１６を通過する時に、流量の瞬間的な増大を検出するであろう。この瞬間的な流量の増大は、流量計３２ａ、３２ｂからの信号に基づいて制御部４０によって検出される場合、例えばアラーム、信号灯、または制御部ないしコンピュータスクリーン上の他の指示器を介してオペレータに当該問題を提示するべく利用され得る。オペレータ１０は、その時、品質上の問題について基材２２を検査し得て、システム１０の必要なメンテナンスを実施し得る。システム１０は、また、ディスペンサ１２に関連付けられる、特にはディスペンサ１２のノズルまたは出口１６に関連付けられる、閉塞ないし半閉塞状態を検出するためにも利用され得る。この場合、流量計３２ａ、３２ｂは、流量が無い状態、あるいは、流量が顕著に低減された状態、を検出するであろう。この状態が検出される場合、流量計３２ａ、３２ｂからの信号は、当該状態をオペレータに提示するべく、例えばアラーム音、光、または他の制御部ないしコンピュータスクリーン上の指示器を用いて、制御部４０によって利用される。これは、オペレータが、メンテナンス目的でシステムを停止することを許容するであろう。エアバブルや閉塞状態のような問題のためにシステム１０を迅速に停止することは、生産品の無駄（廃棄物）を最小化し、歩留まりを増大させる。
【００２６】
図３の第１工程６０に示されるように、流量計３２ａ、３２ｂ、圧力レギュレータ３０、及び、ディスペンサ１２に関連付けられた任意の他の制御要素が、ディスペンシング動作を開始するために初期化される。次の工程６２において、ディスペンサ１２は、制御部４０によってプログラムされて実行される通り、粘性流体のディスペンシングを所望の態様で開始する。例えば、粘性流体２０の複数のドットないし液滴または１つのラインが、基材２２上に高速にディスペンスされる。前述されたように、ディスペンシング動作が実施されている間、粘性流体または気体の流量データ点が、流量計３２ａ、３２ｂから制御部４０によって集められる。これらの信号は、電気的な流量計装置信号を含み得る。このデータは、工程６４において、以下に詳述されるように１または複数の態様で処理され得る。例えば、工程６４における処理は、粘性流体または気体の流量計データを積分して、流量計３２ａ、３２ｂを通過する粘性流体２０のある量の体積を決定する工程を含み得る。換言すれば、流量計データを時間について積分して、粘性流体２０の第１量の体積を生成する。そして、出力データセットの体積が、参照データセットの参照体積に対して比較され得る。所望の場合、粘性流体２０の第１量の質量が、参照データを用いて決定され得る。ここで、質量は、流量計３２ａ、３２ｂを通流する粘性流体２０の特定の量に対応する。これらの参照値は、制御部４０内に記憶され得る。工程６６において、全体質量または全体体積をドットの全数で除算することによって、（データまたは信号の形態の）体積、または、（データまたは信号の形態の）組み合わされた質量及び体積が、１ドットあたりに、決定され得る。工程６８において、制御部４０は、当該値（例えば、体積／質量の値）が許容可能な公差内であるか否かを判定し得る。当該値が許容可能な公差内である場合、粘性流体がディスペンスされて、ディスペンシング処理が進行する。当該値が許容可能な公差内でない場合、１または複数のディスペンシングパラメータが調整され得る。更に、以下に詳述されるように、ユーザが警告され得る。
【００２７】
ディスペンシングパラメータを調整することは、例えば、ディスペンサ１２の出口１６を通ってディスペンスされる粘性流体２０の流量を調整すること、ディスペンシング時間をより短くあるいはより長く調整すること、所与の時間内のディスペンシング動作の数を増大させることによって、粘性流体が出口を通って基材上にディスペンスされる周波数を調整すること、粘性流体２０の複数の用量分け（ｄｏｓｅｓ）を用いて区分されたドットないし液滴の数を調整すること、及び、ディスペンサ１２と基材との間の相対移動の速度を調整すること、を含み得る。これらのディスペンシングパラメータの各々は、単一で、あるいは、他のディスペンシングパラメータと組み合わせて、出力データセットと参照データセットとの間の差を修正するために、調整され得る。ディスペンサ１２の出口１６を通ってディスペンスされる粘性流体２０の流量を調整することは、例えば、粘性流体２０の温度を調整することによって粘性流体２０の粘度を調整することを含み得る。粘性流体２０の温度は、ヒータ（不図示）を用いて調整され得る。ヒータは、ディスペンサ１２によってディスペンスされる粘性流体２０の温度を昇降されるべく構成され得る。更に、ヒータは、制御部４０に電気的に結合され得て、制御部４０は、ヒータを操作（制御）するように構成され得る。もっとも、出口１６からディスペンスされる流体２０の流量を調整する他の方法も、考慮される。
【００２８】
ディスペンサ１２と基材との間の相対移動の速度を調整することは、以下の態様で実施され得る。システム１０は、ノズル４８と基材２２との間の相対速度が、粘性流体ディスペンシング特性と基材２２上で利用されるべき材料の特定された全体量との関数として、自動的に最適化されることを許容し得る。また、システム１０は、ディスペンサ１２の出口１６と基材２２との間の相対速度の関数として、それぞれのドットがディスペンスされるべき位置を最適化し得る。具体的には、出力データセットを参照データセットと比較することは、出力データセット用いてディスペンサ１２と基材２２との間の相対移動の速度を決定することを含み得る。これは、基材２２上に排出される粘性流体２０を目標量とすることに帰結する。
【００２９】
相対移動の速度は、目標量に実質的に等しいことが要求されるドットの全数の形態で粘性流体２０の量を決定することによって、決定され得る。これは、出力データセットのドット毎の平均体積を計算することによって、決定され得る。付加的に、ドットないし液滴を分布させるために要求されるドットの全数の各々の間の距離が決定される。付加的に、ドットないし液滴の全数がディスペンサからディスペンスされるべき速度（ｒａｔｅ：頻度）が決定される。これは、ドットないし液滴の全数がディスペンスされる速度（ｒａｔｅ：頻度）であるし、ドットないし液滴の全数におけるドットの各々の間の距離である。この速度（ｒａｔｅ：頻度）は、その後、目標量の粘性流体２０を基材２２上に排出するべく、ディスペンサ１２と基材２２との間の相対移動の速度を調整するために利用され得る。更なる詳細は、「粘性材料の非接触式噴射システム」というタイトルの米国出願第１３／０７９，３００号、今や米国特許第８，２５７，７７９号として権利化されている、において本件出願人によって開示されている。当該出願の内容は、当該参照によって本明細書に組み込まれる（ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ  ｂｙ  ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）。
【００３０】
図４は、粘性流体２０を正確にディスペンシングして、ディスペンシング動作を制御するための粘性流体ディスペンシングシステム１００の概略図である。図４のシステム１００は、図１のシステム１０に類似しているが、付加的に、制御部４０に電気的に結合された重量計７２を備えている。重量計７２は、粘性流体２０を受容するための較正面７３を含み得る。重量計７２は、較正面７３上に堆積される粘性流体２０のある量を受容して、その重量を計測し、粘性流体２０の当該量の質量に比例する重量計出力信号を生成する、というように構成されている。重量計７２は、様々な形態の少量の粘性流体２０、例えばドット、液滴またはライン、が正確に重量測定されることを可能にする。粘性流体２０は、所望の用途に依存して、堆積（ｄｅｐｏｓｉｔ）ないし噴射（ｊｅｔ）され得る。制御部４０が重量計７２に動作可能に結合されていることに加えて、制御部４０は、また、液体流量計３２ａまたは気体流量計３２ｂのいずれかに結合されている。以下に更に詳述されるように、重量計７２と気体流量計３２ｂを用いることは、重量計７２と液体流量計３２ａを用いるのとは、異なる利点をもたらす。
【００３１】
重量計７２と気体流量計３２ｂとの両方を用いることは、粘性流体２０の密度が決定されることを可能にする。これは、制御部４０に結合された重量計７２または気体流量計３２ｂのいずれか一方のみを用いる場合の問題を解消する。例えば、重量計７２のみを用いる場合、質量が決定されることを可能にするが、重量計７２から質量を取得するために、ディスペンシング動作は停止する。これは、粘性流体ディスペンサ１２のスループットを低減するが、このことは、当然、望ましくないことである。ここで用いられる用語「質量」は、以下で説明されるように、例えば質量、質量流量及び重量を含む、質量の（質量に対応する）任意の測定値を含むことが意図されている。質量流量は、所与の時間単位において、ディスペンサ１２の出口１６を通流する粘性流体２０の質量の測定値であり、慣例上、１秒あたりのポンド、あるいは、１秒あたりのキログラム、で測定される。重量は、数式Ｗ＝ｍ×ｇを用いて、質量に関連付けられている。ここで、重量（Ｗ）は、重力加速度（ｇ）によって乗算された質量（ｍ）に等しい。あるいは、気体流量計３２ｂを通流する気体の温度及び圧力が知られているので、このことによって、気体の体積が決定されることが可能である。当業者は、このことによって、粘性流体２０の体積が決定される、ということを理解するであろう。ここで用いられる用語「体積」は、例えば体積及び体積流量を含む、体積の（体積に対応する）任意の測定値を含むことが意図されている。体積流量は、所与の時間単位において、ディスペンサ１２の出口１６を通流する粘性流体２０の体積の測定値である。もっとも、体積は、粘性流体２０の質量に関する情報を提供しない。
【００３２】
結果として、全面的なディスペンシングを開始する前に、気体流量計３２ｂと共に「セットアップツール」として重量計７２を用いることは、粘性流体２０のある量の密度及び比重が決定されることを可能にする。具体的には、気体流量計３２ｂは、流路を流れて出口３６を通ってディスペンスされる粘性流体の第２量の流量に比例する気体流量計出力信号を生成する。これは、制御部４０が、第１量の密度と第２量の体積とを用いて、第２量の質量を推定することを可能にする。これは、粘性流体２０のより正確なディスペンシングを可能にする。第１量及び第２量に関する履歴データを用いることは、システム１０がディスペンシングパラメータをリアルタイムに調整することを可能にする。
【００３３】
図５は、制御部４０によって実装されて実行されるソフトウェアの概略フロー図を示している。図５は、ディスペンスされる流体の密度または比重を取得するために、重量計５２と気体流量計３２ｂとの両方を利用し得る。第１工程７４において、気体流量計３２ｂ、圧力レギュレータ３０、及び、ディスペンサ１２に関連付けられた任意の他の制御要素が、ディスペンシング動作を開始するために初期化される。次の工程７６において、ディスペンサ１２は、粘性流体２０のディスペンシングを所望の態様で開始する。これは、粘性流体２０の第１量が重量計７２にディスペンスされる工程、気体流量計出力データを集める工程、及び、重量計出力データを集める工程、を含む。結果として、第１量の質量が、重量計出力信号を用いて決定され得る。同様に、第１量の体積が、気体流量計出力信号を用いて、場合によって同時に、決定され得る。このデータは、工程７８において、以下に詳述されるように１または複数の態様で処理され得る。例えば、工程７８における処理は、気体流量計データを積分して、気体流量計３２ｂを通過する粘性流体２０のある第１量の体積を決定する工程を含み得る。時間について粘性流体または気体の流量計データを積分することが、粘性流体２０のある第１量の体積を生成する。
【００３４】
次の工程８０において、密度（体積で除算された質量に等しい）が、重量計７２を用いて取得された質量を、気体流量計３２ｂを用いて取得された体積で全体として除算することによって、決定され得る。比重もまた、密度を用いて決定され得る。比重とは、（前述されたような）粘性流体２０の密度の、一般には特定の温度の水である参照物質の密度に対する比率である。所望される場合、粘性流体２０の第１量の質量及び体積は、１ドットあたり、１液滴あたり、あるいは、１ラインあたり、に決定され得る。換言すれば、密度は、粘性流体２０の複数のドット、複数の液滴または複数のラインを用いて決定され得るし、あるいは代替的に、粘性流体２０の単一のドット、単一の液滴または単一のラインを用いて決定され得る。工程８２において、制御部４０は、粘性流体２０の当該密度が所定値の許容可能な公差内であるか否かを判定する。当該密度が許容可能な公差内である場合、当該処理は、より高い動作精度を保証するために、換算係数（例えば体積／質量に等しい逆密度）を利用し得る。許容可能な公差は、制御部４０内に記憶された参照データセットを用いて、あるいは他の受容可能な方法によって、決定され得る。当該密度が許容可能な公差内でない場合、ユーザが警告される。例えば、制御部４０は、アラーム用の音または光の提示、または、制御部に関連付けられたスクリーンまたはモニタ上の表示、のような好適な指示をオペレータに提供し得る。オペレータへの指示に加えて、あるいはその代わりに、前述されたように、少なくとも１つのディスペンシングパラメータが調整され得る。図５に関しては、密度が図示されて説明されているが、比重もまた、所望されるように決定されて調整され得る。
【００３５】
制御部４０が気体流量計出力信号及び重量計出力信号を受信して処理し、第１量の密度を決定した後、制御部４０は、当該第１量の密度と第２量の体積とを用いて、第２量の推定質量を決定し得る。第２量の推定質量を有することにより、制御部４０は、前述のように、出口を介してディスペンスされる粘性流体の更なる量のために、１または複数のディスペンシングパラメータを調整可能である。結果として、粘性流体ディスペンシングシステム１０は、以前の（直前の）量の密度及び体積を連続的に利用して質量を推定して、ディスペンシング動作を連続的に改善することができる。これは、気体流量計を用いて全ての体積測定値が取得されることを許容し、気体流量計３２ｂ及び重量計７２から密度を得て、生産を停止することなく質量を計算して、処理に対する調整をなすことができる。
【００３６】
別の実施形態のシステム１００では、制御部は、重量計７２と液体流量計３２ａとの両方に動作可能に結合され得る。当該実施形態では、重量計７２と液体流量計３２ａとの両方を用いることで、液体流量計３２ａが迅速かつ正確に較正されることを可能にする。重量計７２の較正面７３上に公知の重量の物体を載置することによって、重量計７２は最初に迅速かつ正確に較正される一方で、液体流量計３２ａを較正するための処理は、それよりもずっと困難である。しかしながら、液体流量計３２ａを通して重量計７２の較正面７３上にある量の粘性流体２０をディスペンスすることは、液体流量計３２ａの迅速かつ正確な構成を可能にする。結果として、重量計７２と液体流量計３２ａとの両方を含むことは、重量計７２が液体流量計３２ａを有効に較正することを可能にする。
【００３７】
ディスペンス動作を含む製造処理の進行中において、システム１０、１００が、前述のようなディスペンスパラメータへのオン・ザ・フライ（ｏｎ−ｔｈｅ−ｆｌｙ）の調整及びオン・ザ・フライ（ｏｎ−ｔｈｅ−ｆｌｙ）の検出目的のために利用され得る、ということが理解されるであろう。すなわち、図２、図３及び図５に示されたルーチンは、製造処理中に連続的に利用され得て、ディスペンスパラメータは、生産性を向上するべく、製造中に調整される。図５のルーチンは、前述のように、全面的なディスペンシングの前に密度を決定する工程を含んでいる。システム１０、１００は、また、較正ステーションと共に利用され得て、その場合、ディスペンサ１１２はオフラインとされて較正ステーションに移動され、図２、図３及び図５に示されたルーチンは、較正ステーションにおいて実施される。この態様は、製造処理中のオン・ザ・フライでの実施と好対照である。システム１０、１１０の較正ステーションでの利用にも、利点がある。例えば、重量計を用いる典型的な較正ステーションにおけるよりも、より少ない流体材料２０が利用されるであろうし、較正及び調整の処理が、より迅速であろうし、場合によってはより正確であろう。はんだ溶剤のような所定の流体材料は、揮発性があり、当該流体と関連付けられる溶剤は、大気に曝されると揮発（蒸発）してしまう。従って、揮発を許すほどに重量計の処理が時間を要してしまうと、結果が、正確さにおいて劣ってしまうであろう。本発明のシステム１０によれば、リアルタイムに近い（短）時間内に、流れのデータが制御部４０によって集められる。流体に関連付けられた溶剤の揮発は、この測定において影響を及ぼさない。なお、オフラインというのは、システム１０、１００に依然として結合されたディスペンサ１２が、粘性流体２０を、基材に隣接ないし近接して位置付けられた重量計７２の較正面７３上にディスペンスする状態が、想定される。
【００３８】
本発明は、幾つかの実施形態についての記述によって説明され、当該実施形態は、かなり詳しく説明された。しかしながら、添付の特許請求の範囲の請求項の範囲を、そのような詳細に制限することや、何らかの態様で限定することは、意図されていない。付加的な利点及び修正は、当業者にとって容易である。従って、本発明は、その広い観点では、図示されて説明された特定の詳細に限定されない。ここで説明された様々な特徴は、特定の用途にとって必要ないし所望される任意の組合せで利用可能である。結果的に、特許請求の範囲の請求項の精神または範囲から逸脱することなく、ここで説明された詳細からの発展がなされ得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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