(57)【要約】  本明細書に記載の実施形態は、システムインパッケージ（ＳｉＰ）に関する。ＳｉＰは、第１活性面及び第１活性面と反対側の第１不活性面に対する１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤを有してよい。ＳｉＰは、さらに、それぞれ第２活性面及び第２活性面と反対側の第２不活性面を有する１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤを含んでよい。実施形態では、第１活性面の１又は複数は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアを通じて第２活性面の１又は複数に向いて電気的に結合される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１活性レイヤ面と前記第１活性レイヤ面と反対側の第１不活性レイヤ面とを有するウェハにモールドされる１又は複数の第１コンポーネントの第１レイヤであり、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、第１方向及び前記第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であるそれぞれの第１活性コンポーネント面及び前記第１活性コンポーネント面と反対側の第１不活性コンポーネント面を有し、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２コンポーネントのｚ高さと異なる、第１レイヤと、
第２活性レイヤ面及び前記第２活性レイヤ面と反対側の第２不活性レイヤ面を有するモールド内の１又は複数の第２コンポーネントの第２レイヤであり、前記１又は複数の第２コンポーネントは、前記第１方向及び前記第２方向に沿って互いに平行な第２活性コンポーネント面及び前記第２活性コンポーネント面と反対側の第２不活性コンポーネント面を有し、前記第２活性レイヤ面は、前記第１活性レイヤ面に向いて電気的に結合するとともに物理的に結合し、前記第２活性レイヤ面は、スルーモールドビア又はスルーシリコンビアを通じて前記第２不活性レイヤ面に電気的に結合される、第２レイヤと、
を備えるパッケージ。
【請求項２】
前記第２不活性レイヤ面に取り付けられて前記第２活性レイヤ面に電気的に結合されるランドグリッドアレイ又はボールグリッドアレイをさらに備える、請求項１に記載のパッケージ。
【請求項３】
前記第２活性レイヤ面は、はんだ又は接着剤を介して前記第１活性レイヤ面と物理的に結合される、請求項１に記載のパッケージ。
【請求項４】
前記第１方向における前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの１つの長さは、前記第１方向における前記１又は複数の第２コンポーネントのうちの１つの長さより長い、請求項１から３のいずれか一項に記載のパッケージ。
【請求項５】
それぞれ第１活性面及び前記第１活性面と反対側の第１不活性面を有する１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤと、
それぞれ第２活性面及び前記第２活性面と反対側の第２不活性面を有する１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤと、
を備え、
１又は複数の前記第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアを通じて１又は複数の前記第２活性面に向いて電気的に結合される、パッケージ。
【請求項６】
前記１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤは、ウェハにモールドされる、請求項５に記載のパッケージ。
【請求項７】
前記１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤは、モールド内にある、請求項６に記載のパッケージ。
【請求項８】
前記モールドは、環状オレフィン系共重合体を含む、請求項７に記載のパッケージ。
【請求項９】
前記１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの前記第１活性面及び前記１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれの前記コンポーネントの前記第１不活性面は、第１方向及び前記第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であり、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２のコンポーネントのｚ高さと異なる、請求項５から８のうちのいずれか一項に記載のパッケージ。
【請求項１０】
機能コンポーネントは、受動コンポーネント又は活性コンポーネントである、請求項９に記載のパッケージ。
【請求項１１】
受動コンポーネントは、抵抗又はコンデンサである、請求項１０に記載のパッケージ。
【請求項１２】
活性コンポーネントは、トランジスタ又は集積回路である、請求項１０に記載のパッケージ。
【請求項１３】
前記パッケージは、システムインパッケージ（ＳｉＰ）である、請求項９に記載のパッケージ。
【請求項１４】
パッケージアセンブリを有するシステムであって、
回路基板と、
前記回路基板に結合されるパッケージアセンブリと、を備え、
前記パッケージアセンブリは、
それぞれ第１活性面及び前記第１活性面と反対側の第１不活性面を有する１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤと、
それぞれ第２活性面及び前記第２活性面と反対側の第２不活性面を有する１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤと、
を含み、
１又は複数の前記第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアを通じて１又は複数の前記第２活性面に向いて電気的に結合される、
システム。
【請求項１５】
前記第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアにより前記第２不活性面と電気的に結合される、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第２不活性面に取り付けられて前記第１活性面に電気的に結合されるランドグリッドアレイ又はボールグリッドアレイをさらに備える、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１７】
前記第１レイヤ及び第２レイヤは、モールドされる、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１レイヤのモールド及び前記第２レイヤのモールドは、異なる化合物である、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記１又は複数の第１機能コンポーネント又は前記１又は複数の第２機能コンポーネントは、ファンアウトコンポーネントである、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの前記第１活性面及び前記１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれの前記コンポーネントの前記第１不活性面は、第１方向及び前記第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であり、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、前記１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２のコンポーネントのｚ高さと異なる、請求項１４から１９のうちのいずれか一項に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の複数の実施形態は、概して、高密度相互接続パッケージ及びスモールフォームファクタを有するパッケージアセンブリの分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォン及びウルトラブックのようなモバイル電子デバイスの最終製品サイズの継続的な縮小は、スモールフォームファクタ（ＳＦＦ）を有するパッケージングの開発に対する駆動力である。システムインパッケージ（ＳｉＰ）技術は、複数のコンポーネントを単一パッケージに組み込んでシステムサイズを縮小するために開発されている。
【図面の簡単な説明】
【０００３】
【図１Ａ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｂ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｃ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｄ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｅ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｆ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｇ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｈ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｉ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｊ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図１Ｋ】実施形態に係る製造プロセスの一段階におけるパッケージアセンブリの例を示す。
【図２】実施形態に係る製造プロセスの最終段階におけるパッケージアセンブリの別の例を示す。
【図３】実施形態に係る製造プロセスの最終段階におけるパッケージアセンブリの別の例を示す。
【図４】実施形態に係るパッケージアセンブリの製造工程の例を示す。
【図５】実施形態に係るコンピューティングデバイスを概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【０００４】
本開示の実施形態は、概して、高密度の相互接続パッケージ及び非常に小さいスモールフォームファクタの分野に関する。特に、高集積システムインパッケージ（ＳｉＰ）は、ビルドアップの前後の成形コンパウンド内の２層の機能コンポーネントを統合し、そして、２つの成形層をはんだ接合又は接着接合することにより製造されることができる。以下の詳細な説明では、本明細書の一部を形成する添付図面への参照がなされるが、全体を通じて同様の参照符号は同様の部分を示し、本開示の主題を実施し得る実施形態が例示として示される。本開示の範囲を逸脱することなく、他の実施形態が利用及び構成されてよいこと、又は、論理的な変更がなされてよいことが、理解されるべきである。従って、以下の詳細な説明は、限定的意味で解釈されるものではなく、実施形態の範囲は、添付の特許請求の範囲及びその均等物により規定される。
【０００５】
本開示を目的として、「Ａ及び／又はＢ」という文言は、（Ａ）、（Ｂ）、又は（Ａ及びＢ）を意味する。  本開示の目的において、文言「Ａ、Ｂ、及び／又はＣ」は、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ａ及びＢ）、（Ａ及びＣ）、（Ｂ及びＣ）又は（Ａ、Ｂ及びＣ）を意味する。
【０００６】
説明は、上／下、内／外、上方／下方等のような視点に基づく説明を使用してよい。そのような記載は、単に説明を容易にするために使用されているにすぎず、本明細書に記載の実施形態の用途をいずれの特定の方向にも限定する意図ではない。
【０００７】
説明においては、「１つの実施形態では」、又は「実施形態では」の語句を、同一又は異なる実施形態のうちの１又は複数にそれぞれ言及し得る場合に使用してよい。さらに、「備える」、「含む」、「有する」等の用語が本開示の実施形態に対して使用されるとき、それらは同義語である。
【０００８】
用語「〜と結合される」は、その派生語とともに、本明細書で使用されてよい。「結合される」は、以下の１又は複数を意味してよい。「結合される」は、２又はそれより多くの要素が物理的に又は電気的に直接接触していることを意味してよい。しかし、「結合される」は、２又はそれより多くの要素が間接的に互いに接触することを意味してもよいが、さらにまだ互いに協働又は相互作用し、１又は複数の他の要素が、互いに結合されると言われる要素間に結合され又は接続されることを意味してよい。用語「直接結合された」は、２又はそれより多くの要素が直接接触していることを意味してよい。
【０００９】
特許請求された主題を理解する際に最も役立つように、様々な動作が複数の個別の動作として順に説明されてよい。しかしながら、説明の順序は、これらの動作が必ず順序に従うことを示唆するものとして解釈されるべきではない。
【００１０】
本明細書において用いられるように、用語「モジュール」は、１又は複数のソフトウェア又はファームウェアプログラム、組み合わせ論理回路及び／又は説明される機能を提供する他の好適なコンポーネントを実行するＡＳＩＣ、電子回路、プロセッサ（共有、専用又はグループ）及び／又はメモリ（共有、専用又はグループ）を示し、これらの一部であり、又はこれらを含んでよい。
【００１１】
本明細書における様々な図が、１又は複数のパッケージアセンブリの１又は複数のレイヤを図示してよい。本明細書に図示されるレイヤは、異なるパッケージアセンブリのレイヤの相対位置の例として図示される。レイヤは、説明の目的のために図示され、スケールのとおりに図示されない。従って、レイヤの比較サイズは、図から仮定されるべきでなく、サイズ、厚さ、又は寸法は、具体的に示される又は説明される幾つかの実施形態のみに対して仮定されてよい。
【００１２】
上記のように、パッケージサイズスケーリングはアセンブリ製造にとって重要である。幾つかの実施形態において、開示されるパッケージは、変化するｘ，ｙ，及びｚ高さの複数の活性及び受動コンポーネントの統合、オポッサム構成のようなシリコンダイツーシリコンダイ、パネルレベル工程、低密度且つ高密度Ｉ／Ｏデバイス埋め込みの統合を最適化する２又はそれより多いモールド化合物、ファンイン及びファンアウトの実装、モールドを研磨しない金属投入ポスト、追加のめっき処理をしないビア相互接続の配置及び露出を可能としてよい。特に、高集積システムインパッケージ（ＳｉＰ）は、ビルドアップの前後の成形コンパウンド内の２層の機能コンポーネントを統合し、そして、２つの成形層をはんだ接合又は接着接合することにより製造されることが可能である。これは、コンポーネント間のより短いルーティング距離の利点を有してもよい。加えて、これは、受動デバイスをモールドへ取り付ける利点を有してもよい。ここで、受動デバイスは、厚いコンポーネントであってよく、非常に薄くてよい活性コンポーネントは、後で異なるレイヤ内に取り付けられてよい。結果として、成形レイヤは、厚くてよく、取り付けられたシリコンダイは薄くてよい。
【００１３】
図１Ａから図１Ｋは、製造プロセスの様々な段階におけるそのようなパッケージアセンブリの例を図示する。実施形態では、１又は複数の要素は、前の図、例えば図１Ａに導入され、そして、図１Ｂのような後の図に持ち越すと仮定されてよい。従って、パッケージアセンブリ１００の各及び全要素は、明確性及び理解の容易性の目的のため、図１Ａから図１Ｋの各及び全段階において表示されなくてよい。
【００１４】
具体的には、図１Ａは、受動コンポーネント１０２、１０４及び活性コンポーネント１０６を含むパッケージアセンブリ１００を図示する。実施形態では、コンポーネントの部分１０２ａ、１０４ａ及び１０６ａは、コンポーネントが電気的に結合されることができるエリアを表してよく、コンポーネントの部分１０２ｂ、１０４ｂ及び１０６ｂは、コンポーネントが電気的に結合されることができないエリアを表してよい。実施形態では、任意の数の受動又は活性コンポーネントが使用されてよい。非限定的な例において、受動コンポーネントは、抵抗又はコンデンサを含む又は示してよく、活性コンポーネントは、トランジスタ又は集積回路を含む又は示してよい。
【００１５】
実施形態では、これらのコンポーネントは、モールド化合物１０８により少なくとも部分的に取り囲まれてよい。モールド化合物１０８は、コンポーネント１０２、１０４、１０６の側面面積を増大する及び／又はそれらを電気的又は熱的に分離し得る幾つかの他の電気的及び／又は熱的にニュートラルなレイヤであってよい。幾つかの実施形態において、モールド化合物１０８はエポキシであってよいが、他の実施形態においては、モールド化合物は、フェノール、不飽和ポリエステル、熱可塑性ポリイミド等であってよい又は含んでよい。
【００１６】
コンポーネント１０２、１０４、１０６のそれぞれは、コンポーネントの第１方向及び第１方向に垂直な第２方向における互いに平行な異なる活性且つ不活性面を有してよい。第１及び第２方向に垂直な第３方向は、ｚ高さと称されてよい。実施形態では、コンポーネントのｚ高さは、モールド１０８のｚ高さより小さくてよい。
【００１７】
次に、図１Ｂに示されるように、実施形態では、導電層１１０は、様々なやり方でコンポーネント１０２、１０４、１０６を接続するために適用されてよい。例えば、幾つかの実施形態において、導電層１１０は、スパッタリング及び電気めっき又は無電解めっき及び電気めっきを介して適用されてよい。実施形態では、最初にシードレイヤを適用してよく、後で厚さを増してよい。導電層１１０は、銅又は金（Ａｕ）のような幾つかの他の電気的導電性材料であってよい。
【００１８】
その次に、実施形態では、誘電材料１１２は、導電層１１０の上に適用されてよい。実施形態では、これは、（ＪＳＲコーポレーション（登録商標）の）ＷＰＲ感光性誘電材料又は他の誘電材料のようなスピンコートであってよい。実施形態では、誘電体は、積層を通じて適用されてよい。
【００１９】
次に、図１Ｃに示されるように、ビア１１４が誘電材料１１２内に開口されてよい。実施形態では、ビア１１４は、誘電体が感光性の場合、光学的方法により開口されてよい。他の実施形態において、ビア１１４は、レーザドリル、化学エッチング、又は幾つかの他の物理的、光学的、及び／又は化学的処理により開口されてよい。
【００２０】
次に、図１Ｄに示されるように、ルーティングのための金属被膜層１１０が追加されてよい。実施形態では、レイヤは、めっきを有するセミアディティブであってよく、第２導電層と称されてよい。第２導電層は、ルーティングの交差を可能にしてよく、第１導電層と同一又は同様の方法において適用されてよい。
【００２１】
次に、図１Ｅに示されるように、はんだマスク１１６が堆積されてよく、ビア１１８がマスク内に開口されてよい。実施形態では、はんだ停止レイヤと称されてよいはんだマスク１１６は、表面レイヤメタライゼーションを保護し、他のデバイスとの接続用の開口を提供し得る光硬化誘電材料であってよい。はんだマスク１１６は、誘電材料１１２と同一の材料であってよく、コーティング又は積層されたスリット上で回転されてよい。実施形態では、はんだマスク１１６の厚さは、誘電体１１２の厚さより高くてよい。
【００２２】
次に、図１Ｆに示されるように、はんだバンプ１２０が追加されてよい。実施形態では、融剤が、ビア１１８上の印刷工程において適用されて、はんだバンプ１２０に対するエリアを形成してよい。そして、実施形態では、予め形成されたはんだバンプ１２０は、例えば印刷様工程におけるステンシルを通じて適用されてよい。そして、実施形態では、パッケージは、リフロー工程を通ってよく、融剤は、パッド及びはんだバンプ１１２上の酸化レイヤを除去してよく、（複数の）はんだバンプ１１２は融解し、パッドと接触させてよい。
【００２３】
次に、図１Ｇに示されるように、１又は複数のダイ１２２、１２４は、はんだバンプ１２０に取り付けられ、電気的に結合されてよい。ダイ１２２、１２４は、例えば、シリコン又は幾つかの他の電気的又は熱的導電性又は半導電性材料であってよい。不図示であるが、幾つかの実施形態において、ダイ１２２、１２４は、１又は複数のトランジスタデバイス及び／又はダイ１２２、１２４の活性面上に形成される相互接続構造の様々なレイヤを含んでよく、電気信号及び／又は電力を１又は複数のトランジスタのデバイスにルーティングしてよい。実施形態では、ダイ又はコンポーネントの活性面は、ダイ又はコンポーネントが電気的に結合され得る面であってよい。反対側の面であってよい不活性面は、コンポーネントが電気的に結合され得ない面であってよい。具体的には、幾つかの実施形態において、ダイ１２２、１２４は、誘電材料、基板、半導体材料、パッシベーションレイヤ、又は当技術分野において知られ得る幾つかの他の材料又はレイヤのような１又は複数のレイヤ又は材料を含んでよい。実施形態では、ビア１２２ａは、ダイ１２２に組み込まれてよい。
【００２４】
次に、図１Ｈに示されるように、ダイ１２２、１２４は、アンダーフィルされ、モールド１２６されてよい。実施形態では、トランスファー成形が、ウェハレベルで成されてよく、及び／又はパネルレベルで成されてよい。実施形態では、モールド用に使用される材料は、樹脂又はポリマーのようなより軟質相を含んでよいし、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）又は炭化ケイ素（ＳｉＣ）のようなより硬質相を含んでよい２つのコンポーネントを有してよい。フローが成されて完全に硬化されると、より軟質相は、特定の条件下で流れる材料の移動度を提供してよく、より硬質相は、所望の機械的強度を提供してよい。
【００２５】
次に、図１Ｉに示されるように、スルーモールドビア１２８，１３０は、モールド１２６を通じて切断されてよい。実施形態では、ビア１２８は、モールド１２６を通じてのみ切断されてよい。他の実施形態において、ビア１３０は、モールド１２６及びはんだマスク１１６を通じて切断されてよい。実施形態では、これは、レーザ又は化学的、物理的、又は他の光学的処理により成されてよく、又はシリコン貫通ビア１２２ａを有するシリコンダイのうちの１つを用いて成されてよい。
【００２６】
次に、図１Ｊに示されるように、ビア１２８、１３０はめっき１１０であってよい。実施形態では、これは、スパッタリング、電気めっき、又は無電解めっき、及び／又はペースト印刷、はんだ焼結、又ははんだリフローのような他の方法を含んでよい。実施形態では、追加のモールド１３２が追加されてよい。
【００２７】
次に、図１Ｋに示されるように、パッケージ１００は反転されてよく、領域アレイ配向内のはんだボールは、取り付けられ得るボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）１３４をもたらすために適用されてよい。実施形態では、この点にて、ダイ１２２、１２４は、コンポーネント１０２、１０４、１０６に向き、別個にモールド（成形）され、対面アライメントにおいて接合され、電気的に結合される。この構造は、ダイ１２２、１２４とコンポーネント１０２、１０４、１０６との間のより短い接続の利点を有してよい。構造の論理出力が駆動可能な余分のファンイン、論理ゲートの入力数、又は論理入力のファンアウト数を支持する利点も有してよい。
【００２８】
図２は、ランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）を実装してよい代替パッケージアセンブリ２００を図示する。実施形態では、ＬＧＡ実装は、より小さい全体フォームファクタ、具体的にはパッケージ全体のｚ高さをもたらしてよい。実施形態では、図１Ｊに示されるパッケージは、反転されてよく、ランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）のためのランディングパッドが取り付けられてよい。実施形態では、ＬＧＡは、はんだマスク１１６を開口し、そしてビア領域（例えば、ビア１２２ａにて又は近くに）内に導電層をめっき又は堆積することにより形成されてよい。従って、ＬＧＡは、導電性コンポーネント２１０及び非導電性コンポーネント２３２を含んでよい。パッケージアセンブリ２００は、はんだ付けを要求し得る高プロファイルＢＧＡ接続ではなく、低プロファイルＬＧＡ接続を可能にすることにより、図１Ｋ内のパッケージアセンブリ１００と異なる。実施形態では、パッケージのより低いスタンドオフ高さは、増大する信頼性を提供し得る。
【００２９】
図３は、より大きなスルーモールドビアを充填し得るボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）ボールアウト３０２を実装し得る代替パッケージアセンブリ３００を図示する。実施形態では、薄いモールドレイヤ３２６（図１Ｈの１２６と同様）は、ダイ３２２、３２４の上部（図１Ｈの１２２、１２４と同様）を露出したままにしてよい方法で代わりに適用されてよい。これは、例えば、余分のファンイン、ファンアウト、及び／又はルーティングビルドアップが必要とされなくてよい場合、有用であってよい。モールドにより取り囲まれないダイ３２２、３２４の上部により、追加の熱散逸の利点があってよい。
【００３０】
図４は、様々な実施形態によるパッケージアセンブリ１００のようなパッケージアセンブリを製造するための方法４００を示すフロー図を図示する。方法４００は、ブロック４０２にて開始してよい。
【００３１】
ブロック４０４にて、コンポーネント１０２、１０４、１０６のようなデバイスは、モールド内に埋め込まれてよい。実施形態では、デバイスは、ウェハ（不図示）上でモールド内に埋め込まれてよく、成形されたウェハは解放されて反転されてよい。他の実施形態において、図１Ａに示されるように（ウェハが反転され得た後）、デバイスは、受動コンポーネント１０２、１０４のような受動コンポーネント及び／又は活性コンポーネント１０６のような活性コンポーネントを含んでよい。実施形態では、モールド化合物１０８のようなモールド化合物は、コンポーネントを部分的に又は完全に囲んでよい。
【００３２】
ブロック４０８にて、誘電体レイヤ１１２のような誘電体が適用されてよい。実施形態では、これは、コンポーネント１０２、１０４、１０６のような１又は複数のコンポーネントを様々なやり方で接続する導電層１１０のような導電層の用途を含んでもよい。導電層１１０は、幾つかの電気的導電性金属であってよい。実施形態では、図１Ｂに示されるように、誘電体１１２のような誘電体は、導電層１１０のような導電層の上に、またモールド１０８のようなモールドの端部に適用されてよい。誘電体１１２のような誘電体は、スピンコートＷＰＲ又は他の好適な誘電材料を含んでよい。実施形態では、低温硬化ポリイミドが使用されてよい。他の実施形態において、積層レイヤは、例えば基板が長方形の場合に使用されてよい。
【００３３】
ブロック４１０にて、誘電体１１２のような誘電体内のビア１１４のようなビアが開口されてよい。実施形態では、図１Ｃ上に示されるビア１１４のような誘電体ビアは、例えば誘電体が感光性である場合に光学的方法により開口されてよい、又はレーザドリルにより開口されてよい。
【００３４】
ブロック４１２にて、金属被膜層１１０のような金属被膜層は、ルーティングに適用されてよい。実施形態では、図１Ｄに示されるように、金属被膜層１１０は電気的導電性金属であってよい。
【００３５】
ブロック４１４にて、図１Ｅ上のはんだマスク１１６のようなはんだマスクが堆積されてよく、はんだマスク内のビア１１８のようなビアが開口されてよい。ブロック４１６にて、はんだバンプ１２０のようなはんだバンプが取り付けられてよい。
【００３６】
ブロック４１８にて、シリコンダイ１２２、１２４のようなダイが取り付けられてよい。取り付けられたシリコンダイの実施形態は、図１Ｇ上に示され、はんだバンプ１２０に取り付けられることを含んでよい。
【００３７】
ブロック４２０にて、チェックが、ダイ１２２、１２４のようなダイの一部が露出されるべきかどうか判断するために実行されてよい。そして、判断の結果が、ダイは露出されるべきことを示す場合、ブロック４２２にて、ダイはアンダーフィルされてよい。実施形態では、図１Ｈに示されるように成型材料１２６のような成型材料は、露出されるダイ１２２、１２４の表面及び／又は上部（不図示）を残して、ダイ１２２、１２４の下でフローされてよい。ブロック４２４にて、図３内のはんだバンプ３０２ようなはんだバンプが取り付けられてよい。その後、方法４００は、ブロック４４０にて終了してよい。
【００３８】
そして、ブロック４２０にて、ダイの一部が露出されるべきでない場合、ブロック４２６にて、ダイ１２２、１２４のようなダイがアンダーフィルされてよく、モールド１２６のようなモールドがダイの上に適用されてよい。実施形態では、モールド１２６のようなモールドは、ダイ１２２、１２４を包んでよい。
【００３９】
ブロック４２８にて、ビア１２８、１３０のようなスルーモールドビアは開口されてよい。実施形態では、スルーモールドビア１２８、１３０は、図１Ｉに示されるように、モールド１２６のようなモールドを通じて切断されてよい。実施形態では、ビア１２８のようなビアは、モールド１２６のようなモールドを通じてのみ切断されてよい。他の実施形態において、ビア１３０のようなビアは、モールド１２６のようなモールド及びはんだマスク１１６を通じて切断されてよい。実施形態では、これは、レーザを用いて成されてよい、又はシリコン貫通ビア１２２ａを有するシリコンダイのうちの１つを用いて成されてよい。
【００４０】
ブロック４３０にて、ビア１２８、１３０のようなビアは充填されてよい。実施形態では、ビア１２８、１３０のようなビアは、図１Ｊに見られるように、材料１１０のような電気的導電性材料を用いてめっきされてよい。他の実施形態において、ビアは、電気めっき、又は無電解めっき、ペースト印刷、はんだ焼結、又ははんだリフローのような方法を用いてめっきされてよい。さらに他の実施形態では、めっき後、モールド１３２のような追加のモールドが追加されてよく、追加のモールドは電気的に導電性材料１１０にアクセス可能するためのビア（不図示）を含んでよい。
【００４１】
ブロック４３２にて、チェックが、ＢＧＡ１３４のようなＢＧＡが接続用に使用されるべきかどうか判断するために実行されてよい。そして、判断の結果が、ＢＧＡは接続用に使用されるべきことを示す場合、ブロック４３４にて、パッケージは反転されてよく、ＢＧＡ３０２のようなＢＧＡは、モールド１３２内のビア（不図示）のようなスルービアであってよい電気的導電性材料３１０（図２の２１０と同様及び／又は図１Ｂ、１Ｄ、１Ｊ、及び１Ｋの１１０と同様）のような電気的導電性材料に接続されてよい。その後、方法４００は、ブロック４４０にて終了してよい。
【００４２】
そして、ブロック４３２にてＢＧＡが接続用に使用されるべきでない場合、ブロック４３６にて、チェックが、ＬＧＡが接続用に使用されるべきかどうか判断するために実行されてよい。実施形態では、ＬＧＡレイヤは、上部モールドレイヤ２１２のような上部モールドレイヤにより分離される電気的導電性材料２１０（図１Ｂ、１Ｄ，１Ｊ，及び１Ｋの１１０と同様）のような電気的導電性材料から構成されてよい。そして、判断の結果が、ＬＧＡは使用されるべきことを示す場合、ブロック４３８にて、パッケージが反転されてよく、ＬＧＡ接続が形成されてよい。実施形態では、ＬＧＡ接続は、図２に示されるようなレイアウトであってよい。その後、方法４００は、ブロック４４０にて終了してよい。
【００４３】
本開示の実施形態は、任意の好適なハードウェア及び／又はソフトウェアを使用してシステムに実装され、必要に応じて構成してよい。図５は、本発明の一実装による、コンピューティングデバイス５００を概略的に図示する。コンピューティングデバイス５００は、マザーボード５０２（すなわち、筐体５５１）のような基板を収容してよい。マザーボード５０２は、限定されるものではないが、プロセッサ５０４及び少なくとも１つの通信チップ５０６を含む多数のコンポーネントを含んでよい。プロセッサ５０４は、マザーボード５０２に物理的及び電気的に結合されてよい。幾つかの実装において、少なくとも１つの通信チップ５０６は、物理的及び電気的にマザーボード５０２に結合されてもよい。更なる実装では、通信チップ５０６は、プロセッサ５０４の一部であってよい。
【００４４】
その用途に応じて、コンピューティングデバイス５００は、物理的及び電気的にマザーボード５０２に結合されてよい又は結合されなくてよい他のコンポーネントを含んでもよい。これらの他のコンポーネントは、これらに限定されないが、揮発性メモリ（例えば、ＤＲＡＭ）５２０、不揮発性メモリ（例えば、ＲＯＭ）５２４、フラッシュメモリ５２２、グラフィクスプロセッサ５３０、デジタル信号プロセッサ（不図示）、暗号プロセッサ（不図示）、チップセット５２６、アンテナ５２８、ディスプレイ（不図示）、タッチスクリーンディスプレイ５３２、タッチスクリーンコントローラ５４６、バッテリ５３６、オーディオコーデック（不図示）、映像コーデック（不図示）、電力増幅器５４１、全地球測位システム（ＧＰＳ）デバイス５４０、コンパス５４２、加速度計（不図示）、ジャイロスコープ（不図示）、スピーカ５５０、カメラ５５２、及び大容量ストレージデバイス（ハードディスクドライブ、コンパクトディスク（ＣＤ）、デジタル多目的ディスク（ＤＶＤ）等のような）（不図示）を含んでよい。さらに、図５に示されないコンポーネントは、マイク、フィルタ、発振器、圧力センサ、又はＲＦＩＤチップを含んでよい。実施形態では、１又は複数のパッケージアセンブリコンポーネント５５５は、図１Ｋに示されるようなパッケージアセンブリ１００、図２に示されるパッケージアセンブリ２００、又は図３に示されるパッケージアセンブリ３００のようなパッケージアセンブリであってよい。
【００４５】
通信チップ５０６は、コンピューティングデバイス５００に、及びこれからデータを転送する無線通信を可能にしてよい。用語「無線」及びその派生語は、非固体媒体を通じて変調電磁輻射を使用することによりデータ通信し得る回路、デバイス、システム、方法、技術、通信チャネル等を記述するために使用してよい。用語は、関連するデバイスがワイヤをまったく含まないことを示唆する訳ではないが、幾つかの実施形態においてまったく含まないことがあることを意味する。通信チップ５０６は、限定されるものではないが、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）（ＩＥＥＥ８０２．１１ファミリ）、ＩＥＥＥ８０２．１６標準規格（例えば、ＩＥＥＥ８０２．１６−２００５修正）、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）プロジェクト及びあらゆる修正、更新、及び／又は改訂（例えば、次世代ＬＴＥプロジェクト、ウルトラモバイルブロードバンド（ＵＭＢ）プロジェクト（「３ＧＰＰ２」とも称される）等）を含む電気電子技術者協会（ＩＥＥＥ）規格を含む複数の無線規格又はプロトコルのいずれかを実装してよい。ＩＥＥＥ８０２．１６準拠ＢＷＡネットワークは、概して、ＷｉＭＡＸ（登録商標）ネットワークと称される、これは、ＩＥＥＥ８０２．１６標準規格の適合性及び相互運用性テストに合格した製品の認証マークであるマイクロ波アクセスのための世界的相互運用を表す頭字語である。通信チップ５０６は、グローバルシステムフォーモバイルコミュニケーション（ＧＳＭ（登録商標））、汎用パケット無線サービス（ＧＰＲＳ）、ユニバーサル移動通信システム（ＵＭＴＳ）、高速パケットアクセス（ＨＳＰＡ）、進化型ＨＳＰＡ（Ｅ−ＨＳＰＡ）、又はＬＴＥネットワークに従って動作してよい。通信チップ５０６は、ＧＳＭ（登録商標）進化型高速データ（ＥＤＧＥ）、ＧＳＭ（登録商標）ＥＤＧＥ無線アクセスネットワーク（ＧＥＲＡＮ）、ユニバーサルテレストリアル無線アクセスネットワーク（ＵＴＲＡＮ）、又は進化型ＵＴＲＡＮ（Ｅ−ＵＴＲＡＮ）に従って動作してよい。通信チップ７０６は、符号分割多重アクセス（ＣＤＭＡ）、時分割多重アクセス（ＴＤＭＡ）、デジタルエンハンスドコードレス電話（ＤＥＣＴ）、進化型データ最適化（Ｅｖ−ＤＯ）、それらの派生物に加え、３Ｇ、４Ｇ、５Ｇ及びそれ以降の世代として指定された任意の他の無線プロトコルに従って動作してよい。他の実施形態において、通信チップ５０６は、他の無線プロトコルに従って動作してよい。
【００４６】
コンピューティングデバイス５００は、複数の通信チップ５０６を含んでよい。例えば、第１の通信チップ５０６は、Ｗｉ−Ｆｉ及びＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）のような短距離無線通信に専用化されてよく、第２の通信チップ５０６は、ＧＰＳ、ＥＤＧＥ、ＧＰＲＳ、ＣＤＭＡ、ＷｉＭＡＸ、ＬＴＥ、Ｅｖ−ＤＯ、及びその他のような長距離無線通信に専用化されてよい。幾つかの実施形態において、１又は複数の通信チップは、例えば本明細書に記載のパッケージアセンブリ１００、２００、３００のうちの１つのようなパッケージアセンブリ内のダイを含んでよい。
【００４７】
コンピューティングデバイス５００のプロセッサ５０４は、例えば本明細書に記載のパッケージアセンブリ１００、２００、３００のうちの１つのようなパッケージアセンブリ内のダイを含んでよい。用語「プロセッサ」は、レジスタ及び／又はメモリからの電子データを処理して、その電子データを、レジスタ及び／又はメモリに格納され得る他の電子データに変換する任意のデバイス又はデバイスの部分を示してよい。
【００４８】
様々な実装において、コンピューティングデバイス５００は、ラップトップ、ネットブック、ノートブック、ウルトラブック、スマートフォン、タブレット、携帯情報端末（ＰＤＡ）、ウルトラモバイルＰＣ、携帯電話、デスクトップコンピュータ、サーバ、プリンタ、スキャナ、モニタ、セットトップボックス、エンターテイメントコントロールユニット、デジタルカメラ、携帯音楽プレーヤ、又はデジタルビデオレコーダであってよい。更なる実装では、コンピューティングデバイス５００は、データを処理する任意の他の電子デバイス、例えばオールインワンファックス又は印刷デバイスのようなオールインワンデバイスであってよい。
【００４９】
例  例１は、第１活性レイヤ面と第１活性レイヤ面と反対側の第１不活性レイヤ面とを有するウェハにモールドされる１又は複数の第１コンポーネントの第１レイヤであり、１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、第１方向及び第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であるそれぞれの第１活性コンポーネント面及び第１活性コンポーネント面と反対側の第１不活性コンポーネント面を有し、１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２コンポーネントのｚ高さと異なる、第１レイヤと、
第２活性レイヤ面及び第２活性レイヤ面と反対側の第２不活性レイヤ面を有するモールド内の１又は複数の第２コンポーネントの第２レイヤであり、１又は複数の第２コンポーネントは、第１方向及び第２方向に沿って互いに平行な第２活性コンポーネント面及び第２活性コンポーネント面と反対側の第２不活性コンポーネント面を有し、第２活性レイヤ面は、第１活性レイヤ面に向いて電気的に結合するとともに物理的に結合し、第２活性レイヤ面は、スルーモールドビア又はスルーシリコンビアを通じて第２不活性レイヤ面に電気的に結合される、第２レイヤと、を備えるパッケージである。
【００５０】
例２は、例１の主題を含んでよく、さらに、第２不活性面に取り付けられて第２活性面に電気的に結合されるランドグリッドアレイ又はボールグリッドアレイを備える。
【００５１】
例３は、例１から２のいずれかの主題を含んでよく、第２活性レイヤ面は、はんだ又は接着剤を介して第１活性レイヤ面と物理的に結合される。
【００５２】
例４は、例１から３のいずれかの主題を含んでよく、第１方向における１又は複数の第１コンポーネントのうちの１つの長さは、第１方向における１又は複数の第２コンポーネントのうちの１つの長さより長い。
【００５３】
例５は、それぞれ第１活性面及び第１活性面と反対側の第１不活性面を有する１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤと、それぞれ第２活性面及び第２活性面と反対側の第２不活性面を有する１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤと、を備え、１又は複数の第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアを通じて１又は複数の第２活性面に向いて電気的に結合される、パッケージである。
【００５４】
例６は、例５の主題を含んでよく、１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤは、ウェハにモールド（成形）される。
【００５５】
例７は、例５から６のいずれかの主題を含んでよく、１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤは、モールド内にある。
【００５６】
例８は、例７の主題を含んでよく、モールドは、環状オレフィン系共重合体を含む。
【００５７】
例９は、例５から８のいずれかの主題を含んでよく、１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの第１活性面及び１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの第１不活性面は、第１方向及び第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であり、１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２のコンポーネントのｚ高さと異なる。
【００５８】
例１０は、例５から９のいずれかの主題を含んでよく、機能コンポーネントは、受動コンポーネント又は活性コンポーネントである。
【００５９】
例１１は、例１０の主題を含んでよく、受動コンポーネントは、抵抗又はコンデンサである。
【００６０】
例１２は、例１０の主題を含んでよく、活性コンポーネントは、トランジスタ又は集積回路である。
【００６１】
例１３は、例５から１２のいずれかの主題を含んでよく、パッケージは、システムインパッケージ（ＳｉＰ）である。
【００６２】
例１４は、パッケージアセンブリを有するシステムであって、システムは、回路基板と、回路基板に結合されるパッケージアセンブリと、を備え、パッケージアセンブリは、それぞれ第１活性面及び前記第１活性面と反対側の第１不活性面を有する１又は複数の第１機能コンポーネントの第１レイヤと、それぞれ第２活性面及び第２活性面と反対側の第２不活性面を有する１又は複数の第２機能コンポーネントの第２レイヤと、を含み、１又は複数の第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアを通じて１又は複数の第２活性面に向いて電気的に結合される。
【００６３】
例１５は、例１４の主題を含んでよく、第１活性面は、スルーモールドビア又はシリコン貫通ビアにより第２不活性面と電気的に結合される。
【００６４】
例１６は、例１４から１５のいずれかの主題を含んでよく、第２不活性面に取り付けられて第１活性面に電気的に結合されるランドグリッドアレイ又はボールグリッドアレイをさらに備える。
【００６５】
例１７は、例１４から１６のいずれかの主題を含んでよく、第１レイヤ及び第２レイヤは、モールド（成形）される。
【００６６】
例１８は、例１７の主題を含んでよく、第１レイヤのモールド及び第２レイヤのモールドは、異なる化合物である。
【００６７】
例１９は、例１８の主題を含んでよく、第１又は第２機能コンポーネントは、ファンアウトコンポーネントである。
【００６８】
例２０は、例１４から１９のいずれかの主題を含んでよく、１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの第１活性面及び１又は複数の第１機能コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントの第１不活性面は、第１方向及び第１方向に垂直な第２方向において互いに平行であり、１又は複数の第１コンポーネントのうちのそれぞれのコンポーネントは、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向におけるそれぞれのｚ高さ測定値を有し、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第１のコンポーネントのｚ高さは、１又は複数の第１コンポーネントのうちの第２のコンポーネントのｚ高さと異なる。
【００６９】
様々な実施形態は、上記の（及び）結合的な形式で説明される実施形態のうち、代替的な（又は）実施形態を含む（例えば、「及び」は、「及び／又は」であってよい）、上記の実施形態の任意の好適な組み合わせを含んでよい。さらに、幾つかの実施形態は、実行時に上記の実施形態のいずれかの動作をもたらす命令がそこに格納された１又は複数の製品（例えば、非一時的なコンピュータ可読媒体）を含んでよい。さらに、幾つかの実施形態は、上記の実施形態の様々な動作を実行する任意の好適な手段を有する装置又はシステムを含んでよい。
【００７０】
要約書に説明されることを含む、本発明の例示される実装についての上記の説明は、網羅的であること、または本発明を開示される厳密な形態に限定することを意図しない。本発明の具体的な実装及びその例は、例示目的のために本明細書で説明され、当業者であれば理解するように、様々な均等の変形が本発明の範囲内で可能である。
【００７１】
これらの変形は、上述の詳細な説明に照らして、本発明になされてよい。以下の特許請求の範囲において使用される用語は、本発明を明細書及び特許請求の範囲において開示される具体的な実装に限定するものと解釈されるべきではない。むしろ、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によってのみ決定されるべきであり、特許請求の範囲は、その解釈についての確立された原則に従って解釈されるべきである。
【図１−Ａ】
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【図１−Ｂ】
2018525807.tif 000004
【図１−Ｃ】
2018525807.tif 000005
【図１−Ｄ】
2018525807.tif 000006
【図１−Ｅ】
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【図１−Ｆ】
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【図１−Ｇ】
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【図１−Ｈ】
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【図１−Ｉ】
2018525807.tif 000011
【図１−Ｊ】
2018525807.tif 000012
【図１−Ｋ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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