(57)【要約】  本発明は、指の指紋パターンを感知するための指紋感知装置に関し、指紋感知装置は、少なくとも第１及び第２の感知構造と、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器とを含む。各電荷増幅器は、第１の入力と、第２の入力と、出力と、第１及び第２の入力と出力との間の少なくとも１つの増幅器段とを含む。出力は、第１の入力に容量結合される。第１の電荷増幅器の第１の入力は第１の感知構造に接続され、第２の電荷増幅器の第１の入力は第２の感知構造に接続され、第１の電荷増幅器の出力は第２の電荷増幅器の第１の入力に容量結合され、同相成分を抑圧する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
指の指紋パターンを感知する指紋感知装置であって、前記指紋感知装置は、
少なくとも第１及び第２の感知構造を含む複数の導電性感知構造と、
前記感知構造に接続された電荷感知回路であって、前記電荷感知回路は、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器を備える電荷増幅器のセットを含む、前記電荷感知回路と、を備え、
各電荷増幅器は、
第１の入力と、
第２の入力と、
出力と、
前記第１及び第２の入力と前記出力との間の少なくとも一つの増幅器段と、を備え、
前記出力は、前記第１の入力に容量結合され、
前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力は、前記第１の感知構造に接続され、
前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力は、前記第２の感知構造に接続され、
前記第１の電荷増幅器の前記出力は、前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力に容量結合される、指紋感知装置。
【請求項２】
前記第２の電荷増幅器の前記出力は、前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力に容量結合される、請求項１に記載の指紋感知装置。
【請求項３】
前記第２の電荷増幅器の前記出力と前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合は、前記第１の電荷増幅器の前記出力と前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合よりも強いものであり、
前記第１の電荷増幅器の前記出力と前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合は、前記第２の電荷増幅器の前記出力と前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合よりも強いものである、請求項２に記載の指紋感知装置。
【請求項４】
前記第２の電荷増幅器の前記出力と前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力との間の前記容量結合は、前記第１の電荷増幅器の前記出力と前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力との間の前記容量結合よりも強いが２倍未満であり、
前記第１の電荷増幅器の前記出力と前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力との間の前記容量結合は、前記第２の電荷増幅器の前記出力と前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力との間の前記容量結合よりも強いが２倍未満である、請求項３に記載の指紋感知装置。
【請求項５】
前記第１の電荷増幅器の前記出力は、前記第１の電荷増幅器の前記出力に直接的に導電接続された導電性の第１の電荷増幅器の出力結合構造と、前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力に直接的に導電接続された導電性の第２の電荷増幅器の入力結合構造と、前記第１の電荷増幅器の前記出力結合構造と前記第２の電荷増幅器の前記入力結合構造との間に配置された誘電層とを用いて、前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力に容量結合され、
前記第２の電荷増幅器の前記出力は、前記第２の電荷増幅器の前記出力に直接的に導電接続された導電性の第２の電荷増幅器の出力結合構造と、前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力に直接的に導電接続された導電性の第１の電荷増幅器の入力結合構造と、前記第２の電荷増幅器の前記出力結合構造と前記第１の電荷増幅器の前記入力結合構造との間に配置された誘電層とを用いて、前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力に容量結合される、請求項２〜４のいずれか一項に記載の指紋感知装置。
【請求項６】
前記第１の電荷増幅器の前記入力結合構造は、前記第１の感知構造によって構成され、
前記第２の電荷増幅器の前記入力結合構造は、前記第２の感知構造によって構成される、請求項５に記載の指紋感知装置。
【請求項７】
前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力は、
導電性の第１帰還構造であって、前記第１の電荷増幅器の前記出力と、前記第１の感知構造と、前記第１帰還構造と前記第１の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、前記第１帰還構造と、
導電性の第２帰還構造であって、前記第１の電荷増幅器の前記出力と、前記第１の感知構造と、前記第２帰還構造と前記第１の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、前記第２帰還構造と、
を用いて、前記第１の電荷増幅器の前記出力に容量結合され、
前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力は、
導電性の第３帰還構造であって、前記第２の電荷増幅器の前記出力と、前記第２の感知構造と、前記第３帰還構造と前記第２の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、前記第３帰還構造と、
導電性の第４帰還構造であって、前記第２の電荷増幅器の前記出力と、前記第２の感知構造と、前記第４帰還構造と前記第２の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、前記第４帰還構造と、
を用いて、前記第２の電荷増幅器の前記出力に容量結合される、
請求項６に記載の指紋感知装置。
【請求項８】
前記第２帰還構造及び前記第１の電荷増幅器の前記出力結合構造は、前記第１の感知構造の下に部分的に延び、前記第２の感知構造の下に部分的に延びる第１導電構造によって形成され、
前記第４帰還構造及び前記第２の電荷増幅器の前記出力結合構造は、前記第１の感知構造の下に部分的に延び、前記第２の感知構造の下に部分的に延びる第２導電構造によって形成される、請求項７に記載の指紋感知装置。
【請求項９】
前記第１の電荷増幅器の前記出力結合構造の面積は、前記第３帰還構造の面積と実質的に同一であり、
前記第２の電荷増幅器の前記出力結合構造の面積は、前記第１帰還構造の面積と実質的に同一である、請求項７又は８に記載の指紋感知装置。
【請求項１０】
前記第２帰還構造の面積は、前記第１帰還構造の面積よりも小さく、
前記第４帰還構造の面積は、前記第３帰還構造の面積よりも小さい、
請求項９に記載の指紋感知装置。
【請求項１１】
前記第２帰還構造の面積は、前記第１帰還構造の面積の半分未満であり、
前記第４帰還構造の面積は、前記第３帰還構造の面積の半分未満である、
請求項１０に記載の指紋感知装置。
【請求項１２】
前記電荷増幅器の各々は、前記の第１の入力での電位が、第２の入力での電位を実質的に追従するように構成される、請求項１〜１１のいずれかに記載の指紋感知装置。
【請求項１３】
前記指紋感知装置は、前記電荷増幅器の各々の前記第２の入力に接続された励起信号回路をさらに備え、前記励起信号回路は、前記第２の入力での電位を第１電位から第２電位に変化するように構成され、それによる前記感知構造の電位の変化に対して、それによって、前記指と前記第１の入力に接続された前記感知構造との間の電位差の変化を供給する、請求項１２に記載の指紋感知装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の指紋感知装置であって、
前記電荷感知回路は、電荷増幅器の複数のセットを備え、各セットは、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器を備え、
各電荷増幅器は、
第１の入力と、
第２の入力と、
出力と、
前記第１及び第２の入力と前記出力との間の少なくとも一つの増幅器段と、を備え、
前記出力は、前記第１の入力に容量結合され、
前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力は、前記第１の感知構造によって運ばれる電荷を感知する前記第１の感知構造に接続され、
前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力は、前記第２の感知構造によって運ばれる電荷を感知する前記第２の感知構造に接続され、
前記第１の電荷増幅器の前記出力は、前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力に容量結合される、指紋感知装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかに記載の指紋感知装置と、
処理回路とを備える、電子装置であって、
前記処理回路は、
前記指紋感知装置から前記指紋パターンの表現を取得し、
前記表現に基づいてユーザを認証し、
前記ユーザが前記表現に基づいて認証された場合のみに少なくとも１つのユーザ要求プロセスを実行する、電子装置。
【請求項１６】
指紋感知装置を使用して指の指紋パターンを感知する方法であって、
少なくとも第１及び第２の感知構造を含む複数の導電性感知構造と、
前記感知構造に接続された電荷感知回路であって、前記電荷感知回路は、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器を備える、前記電荷感知回路と、を備え、
各電荷増幅器は、
第１の入力と、
第２の入力と、
出力と、
前記第１及び第２の入力と前記出力との間の少なくとも一つの増幅器段と、を備え、
前記出力は、前記第１の入力に容量結合され、
前記方法は、
前記第１の電荷増幅器の前記出力と前記第２の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合を提供するステップと、
前記第２の電荷増幅器の前記出力と前記第１の電荷増幅器の前記第１の入力との間の容量結合を提供するステップと、
前記指紋パターンの表現を形成するように前記第１及び第２の電荷増幅器の出力をサンプリングするステップとを含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容量性指紋感知装置及び指紋パターンの感知方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々なタイプの生体認証システムが、安全性を向上するため、及び／又はユーザの利便性を高めるために、用いられることが多くなっている。
【０００３】
特に、指紋感知システムは、その小さな形状因子、高い性能及びユーザ受け入れのため、例えば消費者向けの電子機器に採用されている。
【０００４】
様々に利用可能な指紋感知原理（例えば、静電容量式、光学式、熱式など）の中でも、静電容量感知が最も一般的に用いられており、特に、大きさ及び消費電力が重要な課題である適用例に用いられている。
【０００５】
あらゆる容量性指紋センサは、いくつかの感知構造のそれぞれと、指紋センサの表面に置かれるか又は指紋センサの表面を横切って動く指との間の静電容量を示す測定値を提供する。
【０００６】
いくつかの容量性指紋センサは、感知構造と指の間の静電容量を受動的に読み取る。しかし、これには、感知構造と指の間の比較的大きな静電容量を必要とする。このため、そのような受動的な静電容量センサは概して、感知構造を覆う非常に薄い保護層を備え、これはそのようなセンサを引っかき傷及び／又はＥＳＤ（静電気放電）に対してかなり敏感にさせる。
【０００７】
米国特許第７８６４９９２号は、センサアレイの近傍に配置された導電構造をパルス操作して、センサアレイの感知構造によって運ばれる電荷の結果変化を測定することによって、駆動信号が指に注入される容量性指紋感知システムを開示する。
【０００８】
この種のいわゆる能動的容量性指紋感知システムは、上記受動的システムよりもかなり高い信号対雑音比を有する指と感知構造の間の静電容量の測定を概ね可能にする。これは、代わりに、保護被覆を大幅に厚くさせるので、かなりの摩耗を受ける携帯電話のようなアイテムにいっそう堅牢な容量性指紋センサを組み入れることができる。
【０００９】
しかし、電子装置などへの指紋センサの統合容易性及び堅牢性をさらに向上させるためには、厚さ数百ミクロンともなり得る非常に厚い保護被覆を介して指紋測定を可能にすることが望ましい。例えば、携帯電話の前面又は背面のガラスカバーのように、ガラス又は類似のシートを介して指紋測定を可能にすることが望ましい場合がある。
【００１０】
しかしながら、このような厚い保護被覆を介して測定する場合、指紋センサの出力から指紋情報を抽出することを非常に困難にするので、指と異なる複数の感知構造との間の容量結合は、ほぼ同じになる。換言すれば、感知構造への指紋情報を搬送する入力信号の一部は、感知構造への同相の入力信号に比べて非常に小さいであろう。
【００１１】
この問題を軽減するために、米国特許第８８８８００４号は、指感知画素のアレイに対して一律に、励起信号の反転又は指感知画素のアレイ全体の受信信号の平均の反転を適用することを提案している。一実施形態では、米国特許第８８８８００４号は、現在はスキャンされないことがある指感知画素群を相互接続し、相互接続された画素群に生じた平均信号を測定することにより、平均信号を生成することを提案している。
【００１２】
米国特許第８８８８００４号で提案されたアプローチは、同相の信号を抑圧するためには有用かもしれないが、提案された解決策は、実際に実装するには評価の複雑性及び困難性が予想される。
【発明の概要】
【００１３】
先行技術の上記及び他の欠点を考慮して、本発明は、向上した容量性指紋感知装置、特に、非常に厚い保護被覆を介して向上した感知性能を提供する容量性指紋感知装置を実現することを目的とする。
【００１４】
本発明の第１の態様によれば、指の指紋パターンを感知する指紋感知装置が提供される。指紋感知装置は、少なくとも第１及び第２の感知構造を含む複数の導電性感知構造と、感知構造に接続され、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器を備える、電荷感知回路と、を備える。各電荷増幅器は、第１の入力と、第２の入力と、出力と、第１及び第２の入力と出力との間の少なくとも一つの増幅器段と、を備え、出力は、第１の入力に容量結合される。第１の電荷増幅器の第１の入力は、第１の感知構造に接続され、第２の電荷増幅器の第１の入力は、第２の感知構造に接続され、第１の電荷増幅器の出力は、第２の電荷増幅器の第１の入力に容量結合される。
【００１５】
指紋感知装置は、有利には、アレイ状に配置された多数の感知構造を含むことができる。例えば、指紋感知装置は、少なくとも１００、又はさらにより有利には、少なくとも１０００の、矩形アレイ状に配置できる感知構造を含むことができる。感知構造アレイのピッチは、例えば、約５０マイクロメートル（１インチ当たり５００画素の解像度に相当する）であってもよい。
【００１６】
また、各感知構造は、有利には、金属板の形で設けられてもよく、ある種の平行板コンデンサが感知構造（感知板）、局所的な指の表面、及び感知構造と指の表面との間に設けられた保護被覆（及び指の表面と保護被覆との間に局所的に存在し得る任意の空気）によって形成される。
【００１７】
指紋感知装置に含まれてもよい保護被覆は、有利には、少なくとも２０マイクロメートルの厚さであってもよく、指紋の基本構造を摩耗及び断裂のほか、ＥＳＤから保護するために、高い絶縁耐力を有してもよい。さらに有利には、保護被覆は、少なくとも５０マイクロメートルの厚さであってもよい。実施形態において、保護被覆は数百マイクロメートルの厚さであってもよい。
【００１８】
電荷増幅器において、電荷増幅器の第１の入力（「負」の入力と呼ばれることもある）での電位は、第２の入力（「正」の入力と呼ばれることもある）での電位を追従する。換言すれば、第２の入力での電位の変化は、第１の入力での電位の変化に実質的に対応している。電荷増幅器の実際の構成によっては、第１の入力での電位は第２の入力での電位と実質的に同一であってもよく、あるいは第２の入力と第１の入力との間に実質的に一定の電位差が生じてもよい。例として、電荷増幅器の増幅段が一つの感知トランジスタを有する一段の増幅段である場合、電位差は感知トランジスタのゲート・ソース電圧になることがある。
【００１９】
米国特許第７８６４９９２号に記載の指紋センサでは、電荷増幅器は、第１の入力に接続された感知構造（板）によって運ばれる電荷の変化を、電荷増幅器の出力の電圧の変化に変換する。
【００２０】
感知構造によって運ばれる電荷の上記変化は、指と感知構造との間の電位差（電圧）の変化から生じ得、及び電荷の変化の程度は、電位差の変化の大きさと、指と感知構造との間の容量結合とに依存し得る。
【００２１】
非常に厚い保護被覆の場合（例えば、数百マイクロメートルのガラス）には、指と指紋感知装置における異なる複数の感知構造との間の容量結合が非常に類似することがある。そのため、異なる感知構造の容量結合の差（差動成分）は、異なる感知構造の同相の容量結合（同相成分）に比べて非常に小さくなる場合がある。
【００２２】
本発明者らは、第２の電荷増幅器の第１の入力への第１の電荷増幅器の出力の容量結合によって、第２の感知構造によって運ばれる電荷の変化と、第１の感知構造によって運ばれる電荷の変化との間の差を示すことを実現した。
【００２３】
従って、本発明の実施形態を通して、第２の電荷増幅器の出力の電圧の変化は、第１の感知構造と指との間の容量結合及び第２の感知構造指との間の容量結合の差に依存する場合があり、コモンモード（ＣＭ）成分が抑圧され得る。
【００２４】
さらに、本発明の実施形態を通して、この効果は、抵抗器、フィルタ又は追加の信号発生回路を必要とせずに、シンプルでコンパクトな回路で実現することができる。
【００２５】
全ての感知構造の効率的な使用を可能にするために、第２の電荷増幅器の出力は、第１の電荷増幅器の第１の入力に容量結合されてもよい。これにより、対称性回路構成が実現される。この場合、指紋感知装置の各画素（感知構造及び関連する電荷増幅器）に対して同相成分を抑圧できるように指紋感知装置が実現される。
【００２６】
同相成分の抑圧と差動成分の適切な増幅によって、指紋感知装置の所望の動作を提供するため、第２の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合は、第１の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合よりも強いものである。また、第１の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合は、第２の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合よりも強いものである。
【００２７】
第２の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合は、第１の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合よりも強いが２倍未満である。また、第１の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合は、第２の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合よりも強いが２倍未満である。
【００２８】
様々な実施形態によれば、さらに、第１の電荷増幅器の出力は、第１の電荷増幅器の出力に直接的に導電接続された導電性の第１の電荷増幅器の出力結合構造と、第２の電荷増幅器の第１の入力に直接的に導電接続された導電性の第２の電荷増幅器の入力結合構造と、第１の電荷増幅器の出力結合構造と第２の電荷増幅器の入力結合構造との間に配置された誘電層とを用いて、第２の電荷増幅器の第１の入力に容量結合される。また、第２の電荷増幅器の出力は、第２の電荷増幅器の出力に直接的に導電接続された導電性の第２の電荷増幅器の出力結合構造と、第１の電荷増幅器の第１の入力に直接的に導電接続された導電性の第１の電荷増幅器の入力結合構造と、第２の電荷増幅器の出力結合構造と第１の電荷増幅器の入力結合構造との間に配置された誘電層とを用いて、第１の電荷増幅器の第１の入力に容量結合される。
【００２９】
これらの実施形態は、指紋感知装置の設計と製造を容易にする簡単な回路構成を提供する。これは、指紋感知装置が半導体製造プロセスを用いて半導体基板上に形成されている実施形態では特に重要である。例えば、指紋感知装置は、有利には、いわゆるＣＭＯＳプロセスで製造することができる。
【００３０】
有利には、第１スイッチング回路は、第１の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の出力結合構造との間に設けてもよい。第２スイッチング回路は、第２の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の出力結合構造との間に設けてもよい。第１及び第２のスイッチング回路を使用して、第１の電荷増幅器の出力を第２の電荷増幅器の入力から切断し、第２の電荷増幅器の出力を第１の電荷増幅器の入力から切断することによって、本発明の実施形態による指紋感知装置は、「ＣＭ−抑圧」モードと「通常」モードの間で容易に制御することができる。これは、例えば、単一のセンサコンポーネントを保護被覆の異なる電気的厚さ（物理的厚さと保護被覆の誘電率に応じて）に合わせて最適に調整することを可能にする。薄い被覆については「通常」モードで最良の指紋画像を生成でき、非常に厚い被覆については「ＣＭ−抑圧」モードで最良の指紋画像を生成できる。
【００３１】
上記第１の電荷増幅器の入力結合構造は、有利には第１の感知構造で構成してもよい。そして、上記第２の電荷増幅器の入力結合構造は、有利には第２の感知構造で構成してもよい。
【００３２】
この構成では、第１の感知構造と第２の感知構造は、金属層のような第１導電層に形成されてもよく、第１及び第２の電荷増幅器の出力結合構造が第１導電層の下にある第２導電層に形成されてもよい。従って、同一の誘電層はそれぞれ、第１の感知構造と第１の電荷増幅器の出力結合構造とを分離し、第２の感知構造と第２の電荷増幅器の出力結合構造とを分離してもよい。
【００３３】
様々な実施形態によれば、さらに、第１の電荷増幅器の第１の入力は、導電性の第１帰還構造であって、第１の電荷増幅器の出力と、第１の感知構造と、第１帰還構造と第１の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、第１帰還構造と、導電性の第２帰還構造であって、第１の電荷増幅器の出力と、第１の感知構造と、第２帰還構造と第１の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、第２帰還構造と、を用いて、第１の電荷増幅器の出力に容量結合される。また、第２の電荷増幅器の第１の入力は、導電性の第３帰還構造であって、第２の電荷増幅器の出力と、第２の感知構造と、第３帰還構造と第２の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、第３帰還構造と、導電性の第４帰還構造であって、第２の電荷増幅器の出力と、第２の感知構造と、第４帰還構造と第２の感知構造との間に配置された誘電層とに直接的に導電接続された、第４帰還構造と、を用いて、第２の電荷増幅器の出力に容量結合される。
【００３４】
第１及び第２帰還構造、第３及び第４帰還構造の機能は、それぞれ、各電荷増幅器／画素に対する単一の結合構造を用いて実現できる。しかしながら、別個の帰還構造を提供することにより、指紋感知装置は、製造プロセスの変動に敏感にならなくなることが期待される。
【００３５】
様々な実施形態によれば、第２帰還構造及び第１の電荷増幅器の出力結合構造は、第１の感知構造の下に部分的に延び、第２の感知構造の下に部分的に延びる第１導電構造によって形成される。また、第４帰還構造及び第２の電荷増幅器の出力結合構造は、第１の感知構造の下に部分的に延び、第２の感知構造の下に部分的に延びる第２導電構造によって形成される。
【００３６】
これらの構成では、より少数の導電構造及び相互接続が、指紋センサの設計及び製造を容易にする所望の機能を実現するために形成される必要がある。さらに、これらの実施形態において使用されるアプローチは、複数の近傍画素との容量クロスカップリングを容易にする。
【００３７】
実施形態によれば、第１の電荷増幅器の出力結合構造は、上記第３帰還構造と実質的に同一の面積を有するように設計でき、第２の電荷増幅器の出力結合構造は、上記第１帰還構造と実質的に同一の面積を有するように設計できる。具体的には、異なる構造のサイズ及び形状が実質的に同一であるように設計できる。これにより、プロセスの変動等は、第１の電荷増幅器の出力結合構造及び第３帰還構造、第２の電荷増幅器の出力結合構造及び第１帰還構造に、それぞれ同じように影響を与える。任意のプロセス変動の影響の低減を提供し、これによって、改良された製造歩留まりを提供する。
【００３８】
異なる結合構造の用語「面積」とは、感知装置の平面における横方向の面積を理解すべきである。典型的には、異なる結合構造（及び感知構造）は、非常に薄く、例えば、約１マイクロメートル以下であってもよく、また約１００マイクロ平方メートル以上の面積を有していてもよい。
【００３９】
同相成分抑圧及び差動成分増幅の適切な組み合わせのために、上記第２帰還構造の面積は、有利には、上記第１帰還構造の面積よりも小さくてもよい。そして、上記第４帰還構造の面積は、有利には、上記第３帰還構造の面積よりも小さくてもよい。
【００４０】
具体的には、第２帰還構造の面積は、有利には、第１帰還構造の面積の半分未満であってもよい。そして、第４帰還構造の面積は、有利には、第３帰還構造の面積の半分未満であってもよい。
【００４１】
様々な実施形態によれば、さらに、指紋感知装置は、電荷増幅器の各々の第２の入力に接続された励起信号回路をさらに備え、励起信号回路は、第２の入力での電位を第１電位から第２電位に変化するように構成され、それによる感知構造の電位の変化に対して、それによって、指と第１の入力に接続された感知構造との間の電位差の変化を供給する。
【００４２】
励起信号供給回路は、異なる行に設けられた２つの以上の異なる電位間を切り替えるように構成されてもよい。代替的に、又は組み合わせて、励起信号供給回路は、矩形波電圧信号又は正弦波電圧信号として、経時変化する電位を提供するように構成された少なくとも１つの信号源を含んでもよい。
【００４３】
さらに、様々な実施形態によれば、指紋感知装置に含まれる電荷感知回路は、有利には、電荷増幅器の複数のセットを含むことができ、それぞれが上述した第１及び第２の電荷増幅器を含む。各電荷増幅器の第１の入力は、対応する感知構造に接続できる。
【００４４】
本発明の様々な実施形態による指紋感知装置は、さらに、有利には、処理回路をさらに含む電子装置に設けてもよい。処理回路は、指紋感知装置から指紋パターンの表現を取得し、表現に基づいてユーザを認証し、ユーザが表現に基づいて認証された場合のみに少なくとも１つのユーザ要求プロセスを実行する。電子装置は、例えば、携帯電話やタブレット、コンピュータ、又は腕時計若しくは類似のような電子ウェアラブルアイテムなどのハンドヘルド通信装置であってもよい。
【００４５】
本発明の第２の態様によれば、指紋感知装置を使用して指の指紋パターンを感知する方法が提供される。指紋感知装置は、少なくとも第１及び第２の感知構造を含む複数の導電性感知構造と、感知構造に接続された電荷感知回路であって、電荷感知回路は、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器を備える、電荷感知回路と、を備える。各電荷増幅器は、第１の入力と、第２の入力と、出力と、第１及び第２の入力と出力との間の少なくとも一つの増幅器段と、を備え、出力は、第１の入力に容量結合される。方法は、第１の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合を提供するステップと、第２の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合を提供するステップと、指紋パターンの表現を形成するように第１及び第２の電荷増幅器の出力をサンプリングするステップとを含む。
【００４６】
さらなる実施形態、及び本発明のこの第２の態様によって得られた効果は、本発明の第１の態様に関して上述したものとほぼ類似する。
【００４７】
要約すれば、本発明は、指の指紋パターンを感知するための指紋感知装置に関し、指紋感知装置は、少なくとも第１及び第２の感知構造と、少なくとも第１及び第２の電荷増幅器とを含む。各電荷増幅器は、第１の入力と、第２の入力と、出力と、第１及び第２の入力と出力との間の少なくとも１つの増幅器段とを含む。出力は、第１の入力に容量結合される。第１の電荷増幅器の第１の入力は第１の感知構造に接続され、第２の電荷増幅器の第１の入力は第２の感知構造に接続され、第１の電荷増幅器の出力は第２の電荷増幅器の第１の入力に容量結合され、同相成分を抑圧する。
【００４８】
以下、本発明の実施例を示す添付図面を参照しながら、本発明の上記及び他の態様をより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一例としての実施形態による指紋感知装置の適用例を示す概略図。
【図２】図１の指紋感知装置を示す概略図。
【図３】非常に厚い保護被覆を有する従来技術による指紋感知装置の一部分の概略断面図。
【図４】図３の指紋感知装置の出力を示す概略図。
【図５】非常に厚い保護被覆を有する本発明の第１実施形態による指紋感知装置の一部分の概略断面図。
【図６】図５の指紋感知装置の出力を示す概略図。
【図７】本発明の第２実施形態による指紋感知装置の一部分の部分的構造及び部分的回路の合成概略図。
【図８】図７の帰還構造と結合構造の別の構成を示す概略図。
【図９】本発明の第３実施形態による指紋感知装置の一部分の部分的構造及び部分的回路の合成概略図。
【図１０】本発明による方法の一実施形態を概略的に示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００５０】
本詳細な説明において、本発明による指紋感知装置及び方法の種々の実施形態は、主として、指と感知構造との間の容量結合の同相成分を抑圧するように異なる感知構造と関連する２つの電荷増幅器が互いにクロスカップリングされた指紋感知装置を参照して説明される。さらに、電荷増幅器におけるフィードバック（帰還）は、誘電層によって感知構造から離間された別個の帰還構造を用いて実現されることが示される。また、指紋感知装置は、タッチセンサが寸法され及び静止指から指紋表現を取得するように構成されたものとして示される。
【００５１】
これは、以下のような指紋感知装置を等しく同様に含む本発明の範囲を決して限定するわけではないことに留意すべきである。例えば、指紋感知装置は、互いにクロスカップリングされた異なる感知構造を有する２つ以上の電荷増幅器を含む。また、クロスカップリングされた電荷増幅器におけるフィードバックは、誘電層によって感知構造から離間された単一の帰還構造を用いて実現することができる。移動指から指紋表現を取得する他のセンサアレイ構成、いわゆるスワイプセンサ（ラインセンサ）などもまた、添付の特許請求の範囲によって規定される本発明の範囲内である。
【００５２】
図１は、本発明の実施例による指紋感知装置の適用例を、指紋感知装置２が組み込まれた携帯電話１の形態で概略的に示す。指紋感知装置２は、例えば、携帯電話１のロックを解除するため、及び／又は携帯電話を用いて実行される処理を認証するため等に用いられてもよい。
【００５３】
図２は、図１の携帯電話１に含まれる指紋感知装置２を概略的に示す。図２に示すように、指紋感知装置２は、センサアレイ５、電源インターフェース６及び通信インターフェース７を備える。センサアレイ５は、多数の感知素子８ａ−ｂ（図面が乱雑になるのを避けるために、２つの感知素子のみに参照記号を付して示す）を備える。各感知素子は、感知素子８ａ−ｂに含まれる感知構造と、センサアレイ５の上面に接触する指の表面との間の距離を感知するよう制御可能である。
【００５４】
電源インターフェース６は、第１接触パッド１０ａ及び第２接触パッド１０ｂを備え、供給電圧Ｖｓｕｐｐｌｙを指紋センサ２に接続するための接着パッドとして示される。
【００５５】
通信インターフェース７は、指紋センサ２の制御を可能にし、指紋センサ２から指紋データを取得するための多数の接着パッドを備える。
【００５６】
図３は、従来技術による指紋感知装置２０の一部を図２のＡ‐Ａ’線に沿って切断した概略断面図であり、指１１がセンサアレイ５の上面に置かれている。図３を参照すると、指紋感知装置２０は、導電性指駆動構造（図３には図示されない）を介して指と電気的に接続する励起信号供給回路１９と、複数の感知素子８ａ−ｂとを備え、各感知素子は、保護誘電最上層１３と、保護誘電最上層１３の下の金属板１７の形態の導電性感知構造と、電荷増幅器１８と、感知素子８ａ−ｂの選択／起動を可能にする簡単な選択スイッチ２１として機能的に図示される選択回路と、を備える。
【００５７】
一方の感知素子８ａが指紋隆線の下方に配置され、他方の感知素子８ｂが指紋の谷の下に配置されるように図示されていることに留意すべきである。
【００５８】
電荷増幅器１８は、少なくとも一つの増幅器段を備える。ここでは、感知構造１７に接続される第１の入力（負の入力）２５と、センサ接地又は別の基準電位に接続される第２の入力（正の入力）２６と、出力２７とを有する演算増幅器（オペアンプ）２４として概略的に図示される。さらに、電荷増幅器１８は、第１の入力２５と出力２７の間に接続される帰還コンデンサ２９と、ここではスイッチ３０として機能的に図示され、帰還コンデンサ２９の放電を制御可能にするリセット回路とを備える。電荷増幅器１８は、帰還コンデンサ２９が放電するようにリセット回路３０を動作させることによってリセットされてもよい。
【００５９】
負帰還構成のオペアンプ２４にはよくあることであるが、第１の入力２５での電圧は、第２の入力２６での電圧に追従する。特定の増幅器構成によっては、第１の入力２５での電位は、第２の入力２６での電位と実質的に同一であってもよく、あるいは第１の入力２５での電位と第２の入力２６での電位との間に実質的に固定されたオフセットがあってもよい。図３の構成では、電荷増幅器の第１の入力２５は、実質的には接地されている。
【００６０】
励起信号供給回路１９によって経時変化する電位を指１１に供給すると、感知構造１７と指１１の間には対応して経時変化する電位差が生じる。
【００６１】
感知構造１７と指１１の間の電位差の上記変化は、電荷増幅器１８の出力２７上に感知電圧信号Ｖｓをもたらす。
【００６２】
感知のために感知素子８ａが選択されると、選択スイッチ２１は閉じて、感知信号を読み出しライン３３に供給する。読み出しライン３３は、図２のセンサアレイ５の行又は列の共通の読み出しラインであってもよく、図３にはマルチプレクサ３６に接続されるように示されている。図３に概略的に示すように、センサアレイ５の他の行／列からの追加的な読み出しラインもまた、マルチプレクサ３６に接続されている。
【００６３】
マルチプレクサ３６の出力は、直列のサンプルホールド回路３７とアナログ／デジタル変換器（ＡＤＣ）３８とに接続され、感知素子８ａ−ｂから生じるアナログ信号をサンプリングし、センサ２上の指１１の指紋パターンのデジタル表現に変換する。
【００６４】
図３の感知構造１７を覆う非常に厚い保護被覆１３によっては、指の表面の異なる部分とその下の感知構造１７との間の容量結合は、比較的大きな同相成分と比較的小さな差動成分とを含む。図４ａ−ｂを参照してこれをさらに説明する。
【００６５】
図４ａは、図３の励起信号供給回路１９によって提供される指１１と感知構造１７との間に所望の電位差を実現するための励起信号を表す第１のグラフ１００と、図３のリセットスイッチ３０の制御に用いるリセット信号を表す第２のグラフ１０１とを含む図である。
【００６６】
図４ｂは、図３の第１感知素子８ａの電荷増幅器からの感知信号出力を表す第１のグラフ１０３と、図３の第２感知素子８ｂの電荷増幅器からの感知信号出力を表す第２のグラフ１０４とを含む図である。
【００６７】
時刻Ｔ１から始まり、帰還コンデンサ２９は、スイッチ３０の操作によってリセットされる。スイッチ３０は、時刻Ｔ２で再び開くことによって、小さな電荷注入が生じる。この電荷注入に起因して、時刻Ｔ２での感知電圧レベルの変化が起こる。
【００６８】
時刻Ｔ３で、感知素子８ａ−ｂの感知信号は、サンプルホールド回路３７による一回目のサンプリングがなされ、各感知素子８ａ−ｂの第１サンプリング値が得られる。
【００６９】
その後、時刻Ｔ４で駆動信号（図４ａ内のグラフ１００）が比較的低い電位から比較的高い電位になる。これは、指１１と感知構造１７との間の電位差の変化をもたらし、これは次に、指１１との容量結合から生じる感知構造１７の電荷の変化をもたらす。この電荷の変化は、感知素子８ａ−ｂの電荷増幅器によって供給される電圧の変化に変換される。
【００７０】
感知電圧信号Ｖｓが安定したとき、時間Ｔ５で、感知信号は、サンプルホールド回路３７による二回目のサンプリングがなされ、各感知素子８ａ−ｂの第２サンプリング値が得られる。
【００７１】
各感知素子８ａ−ｂに対して、第１及び第２のサンプリング値の差は、感知板それぞれと指との間の容量結合を示す尺度である。各感知素子８ａ−ｂに対して、この差が、例えば、指紋パターンの表現の画素値としてデジタル化され出力されるようにＡＤＣ３８に提供される。
【００７２】
図４ｂに見られるように、第１及び第２のサンプリング値の差、すなわち画素値は、指紋隆線の下の感知素子８ａ及び指紋の谷の下の感知素子８ｂに対して、ほぼ同じである。換言すれば、同相成分Ｖｃｍは、指紋パターンに関する全ての利用可能な情報を運ぶ差動成分Ｖｄよりもかなり大きい。
【００７３】
特に、乏しいコントラストを示す指、例えば、乾燥した指のように、同相成分Ｖｃｍとの関係において非常に小さな差動成分Ｖｄは、十分な生体性能を提供するために十分ではない指紋画像をもたらすことがある。
【００７４】
この状況を改善するために、本発明の実施形態は、同相成分の抑圧を提供し、差動成分の向上した増幅を可能にする。
【００７５】
図５は、図２のＡ‐Ａ’線に沿って切断した本発明の第１実施形態による指紋感知装置４０の一部分の概略断面図であり、指１１がセンサアレイ５の上面に置かれている。図５を参照すると、図５の指紋感知装置４０は、主として、第１の電荷増幅器１８の出力２７が、第２の電荷増幅器４２の第１の入力４１と容量結合される点、また第２の電荷増幅器４２の出力４３が、第１の電荷増幅器１８の第１の入力２５と容量結合される点において、図３の指紋感知装置４０とは異なる。第１の電荷増幅器１８及び第２の電荷増幅器４２のこの対称性クロスカップリングの結果として、指１１と第１の感知構造１７及び第２の感知構造４４それぞれとの間の容量結合の同相成分が抑圧される。これは、第１の電荷増幅器１８及び第２の電荷増幅器４２を飽和させることなく、差動成分をさらに増幅することができることを意味する。図５の指紋感知装置４０と図３の従来の指紋感知装置２０とのさらなる相違点は、第１感知素子８ａの電荷増幅器１８及び第２感知素子８ｂの電荷増幅器４２によって出力される感知信号出力は、異なるサンプルホールド回路３７ａ−ｂとアナログ／デジタル変換器３８ａ−ｂとが並列に設けられる点である。指紋感知装置４０は、デジタル差動成分出力ＤＭを提供する差分回路１１０と、デジタル同相成分出力ＣＭを提供する加算回路１１１とをさらに備える。差分回路及び加算回路は、好適にはサンプルホールド回路３７ａ−ｂの前又はサンプルホールド回路３７ａ−ｂとアナログ／デジタル変換器３８ａ−ｂとの間に同様に良好に配置してもよいことを理解されたい。
【００７６】
図５を再び参照すると、第１の電荷増幅器１８の出力２７と第１の入力２５との間の容量結合は、第１帰還容量Ｃｆ１によって表され、第２の電荷増幅器４２の出力４３と第１の入力４１との間の容量結合は、第２帰還容量Ｃｆ２によって表される。第１の電荷増幅器１８の出力２７と第２の電荷増幅器４２の第１の入力４１との間の容量結合は、第１クロスカップリング容量Ｃｃ１によって表され、第２の電荷増幅器４２の出力４３と第１の電荷増幅器１８の第１の入力２５との間の結合は、第２クロスカップリング容量Ｃｃ２によって表される。
【００７７】
同相成分の所望の抑圧及び指紋感知装置４０の電荷感知回路の異なる電荷増幅器の均一な動作のため、第１帰還容量Ｃｆ１及び第２帰還容量Ｃｆ２は、有利には実質的に同一である。第１クロスカップリング容量Ｃｃ１及び第２クロスカップリング容量Ｃｃ２は、有利には実質的に同一である。さらに、第１帰還容量Ｃｆ１（第２帰還容量Ｃｆ２）は、第２クロスカップリング容量Ｃｃ２（第１クロスカップリング容量Ｃｃ１）よりも大きい方がよい。例示的な例としては、第１帰還容量Ｃｆ１（第２帰還容量Ｃｆ２）は約３ｆＦであってもよく、第２クロスカップリング容量Ｃｃ２（第１クロスカップリング容量Ｃｃ１）は約２．５ｆＦであってもよい。
【００７８】
図３の従来技術の解決策と本発明の実施形態との間の結果の差は、図６ａ−ｂを図４ａ−ｂのものと比較することによって明らかとなる。
【００７９】
図６ｂに見られるように、同相成分Ｖｃｍが抑圧されており、差動成分Ｖｄが増幅されている。
【００８０】
図６ｂのような出力信号は、図４ｂのような出力信号よりもかなり多くの指紋パターンの情報を提供することを理解することは容易である。
【００８１】
図７を参照して本発明による指紋感知装置５０の第２実施形態を説明する。図７は、指紋感知装置５０の一部分の部分的構造及び部分的回路の合成概略図である。図７では、指１１、保護誘電材料１３、感知板及び結合板が、分解斜視図で概略的に示されるが、電荷増幅器は高レベルの回路図を用いて示されている。
【００８２】
細部が異なるレベルで示されていることは別として、図７の指紋感知装置５０は、指１１と第１の感知構造１７及び第２の感知構造４４との間の所望の電位差が、励起信号源（集合的に参照符号１９で示す）を、第１の電荷増幅器１８の第２の入力２６と、第２の電荷増幅器４２の第２の入力４５とに結合することによって実現される点で図５の指紋感知装置４０とは異なる。さらに上記発明の概要のセクションで説明されたように、スイッチは、さらに指紋感知装置５０を「ＣＭ−抑圧」モードと「通常」モードとの間で制御可能にするために含まれる。
【００８３】
指１１は、図７に「接地」されるものとして概略的に示されている。指「接地」は、センサ接地と異なっていてもよいことが理解されるべきである。例えば、指は、容量性指紋感知装置を含む指紋感知装置の接地電位であってもよい。あるいは、身体は、第１の感知構造１７及び／又は第２の感知構造４４の電位が変動する場合でも、指の電位が実質的に一定となる大きな電気「量（ｍａｓｓ）」を有すると考えることができる。
【００８４】
図７に概略的に示すように、第１の電荷増幅器１８の出力２７は、第１帰還構造（板）５１と、第２帰還構造（板）５２と、第１の電荷増幅器の出力結合構造（板）５３とに接続されている。同様に、第２の電荷増幅器４２の出力４３は、第３帰還構造（板）５５と、第４帰還構造（板）５６と、第２の電荷増幅器の出力結合構造（板）５７とに接続されている。第１感知板１７の下の残存空間は、第１シールド板５８によって塞がれており、第２感知板４４の下の残存空間は、第２シールド板５９によって塞がれている。
【００８５】
図５を参照して上述した指紋感知装置４０の第１実施形態を手短に参照すると、少なくとも第１帰還容量Ｃｆ１及び第２帰還容量Ｃｆ２の間の関係と、第１クロスカップリング容量Ｃｃ１及び第２クロスカップリング容量Ｃｃ２の間の関係とを正確に制御することが指紋感知装置における同相成分抑圧の均一化にとって重要である。
【００８６】
図７の指紋感知装置５０の第２実施形態を再び参照すると、第１帰還容量Ｃｆ１は、第１帰還板５１及び第２帰還板５２によって実現され、第２帰還容量Ｃｆ２は、第３帰還板５５及び第４帰還板５６によって実現され、第１クロスカップリング容量Ｃｃ１は、第１の電荷増幅器の出力板５３によって実現され、第２クロスカップリング容量Ｃｃ２は、第２の電荷増幅器の出力板５７によって実現される。
【００８７】
帰還容量とクロスカップリング容量との間の所望の関係は、半導体プロセスの変動にかかわらず、実際に多かれ少なかれ達成されることを確実にするために、第１帰還板５１は、第２の電荷増幅器の出力板５７と同じ面積（理想的には同じ形状）を有するように設計され、第３帰還板５５は、第１の電荷増幅器の出力板５３と同じ面積（理想的には同じ形状）を有するように設計される。第１帰還容量Ｃｆ１と第２クロスカップリング容量Ｃｃ２との間の所望の差は、別個の第２帰還構造５２によって実現され、第１帰還容量Ｃｆ２と第１クロスカップリング容量Ｃｃ１との間の所望の差は、別個の第４帰還構造５６によって実現される。
【００８８】
さらに、図７の指紋感知装置５０は、概略的に第１の電荷増幅器１８の出力２７と第１の電荷増幅器の出力結合構造（板）５３との間の第１スイッチ６１として示される第１スイッチング回路と、概略的に第２の電荷増幅器４２の出力４３と第２の電荷増幅器の出力結合構造（板）５７との間の第２スイッチ６２として示される第２スイッチング回路とを含む。図７において、第１スイッチ６１と第２スイッチ６２は、指紋感知装置５０がその「ＣＭ−抑圧」モードとなるように閉じている。
【００８９】
図７の様々な板は、上記原理を説明するために長方形の形状を簡略化したものであって、実際には他の形状を使用することが有益である場合があることに留意すべきである。
【００９０】
代替の板構造の一例が、図８を参照して説明される。図８は、指紋感知装置８０の概略的な斜視上面図であり、指紋感知装置８０の一部分の２つの金属上層部分のみを示す。
【００９１】
図８を参照すると、第２の感知構造４４を囲むように追加の感知構造８１ａ−ｃが示されている。この例では、各電荷増幅器は、その４つの最も近いものとクロスカップリングされている。例えば、第２の電荷増幅器４２は、第１の感知構造１７と関連する電荷増幅器（図８には示されない）と、第２の感知構造４４を囲む他の感知構造８１ａ−ｃと関連する電荷増幅器（図８には示されない）とクロスカップリングされる。
【００９２】
図８に示す構成において、感知構造の下方に配置された導電構造は、二重の機能（フィードバックとクロスカップリング）を達成するために、隣接する感知構造の下に延びている。この構成は、パターニングを少なくして、製造を容易にし、指紋感知装置８０の製造歩留まりを高めることができる。
【００９３】
例示的な実施例（図７の参照符号を使用して）として、第１の電荷増幅器の出力結合構造５３及び第１帰還構造５１は、第１複合板８３の形態で提供されてもよく、第２の電荷増幅器の出力結合構造５７及び第３帰還構造５５は、第２複合板８４の形態で提供されてもよい。
【００９４】
これまでのところ、対称性容量クロスカップリング構成を有する本発明による指紋感知装置の実施形態を説明してきた。図９を参照して、非対称性容量クロスカップリング構成を有する指紋感知装置の第３実施形態を以下に説明する。
【００９５】
図９を参照すると、第１の電荷増幅器１８の出力２７は、第１の電荷増幅器の出力板５３及び第２感知板４４と、それらの間に配置される導電層とによって形成されるコンデンサを介して、第２の電荷増幅器の第１の入力４１に結合される。指紋感知装置６０において、第２の電荷増幅器４２の出力４３は、第１の電荷増幅器１８の第１の入力２５に容量結合されていない。さらに、第１帰還板５１が第１の電荷増幅器の出力板５３と同一であるように設計されるが、第２の電荷増幅器４２の出力４３を第２の電荷増幅器４２の第１の入力４１に容量結合する帰還板６４は、第１の電荷増幅器１８の第１帰還板５１よりもかなり小さい。
【００９６】
図９の指紋感知装置６０において、第１の電荷増幅器１８による感知電圧出力は同相成分を示すが、第２の電荷増幅器４２による感知電圧出力は差動成分を示すであろう。
【００９７】
最後に、図１０のフローチャートを用いて、本発明による方法の実施形態を説明する。
【００９８】
最初のステップＳ１では、第１の電荷増幅器の出力と第２の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合を提供する。続くステップＳ２では、第２の電荷増幅器の出力と第１の電荷増幅器の第１の入力との間の容量結合を提供する。その後、ステップＳ３では、第１及び第２の電荷増幅器の出力をサンプリングして、指紋パターンの表現を形成する。
【００９９】
当業者なら、本発明は決して上記実施形態に限定されるものではないことを理解できる。逆に、多くの修正及び変形は、添付の特許請求の範囲内で可能である。
【０１００】
特許請求の範囲において、「含む／備える／有する」という単語は、他の要素又はステップを除外するものではなく、不定冠詞「ａ」又は「ａｎ」は複数を除外するものではない。単一のプロセッサ又は他のユニットが、特許請求の範囲に記載された複数のアイテムの機能を満たすものであってもよい。特定の手段が相互に異なる従属請求項に記載されているという単なる事実は、これらの手段の組み合わせが有利に使用できないことを示すものではない。コンピュータプログラムは、光学記憶媒体、又は他のハードウェアとともに又はその一部として供給される固体媒体のような適切な媒体に格納／配布されてもよいが、インターネット又は他の有線若しくは無線通信システムを介してのように、他の形式で配布されてもよい。請求項におけるいかなる参照符号も、範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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