(57)【要約】  本開示の一態様では、マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための方法、コンピュータ可読媒体、及び装置が提供される。本装置は、フィーチャのセットと、フィーチャのセットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを含む集積回路レイアウト情報を受信する。更に、本装置は、フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの第２のサブセットに対して色分解を実行する。フィーチャの第２のサブセットは、割り当てられた色をもつフィーチャの第１のサブセット中に含まれないフィーチャのセット中のフィーチャを含む。
2018521351.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てる方法であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、方法。
【請求項２】
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、前記色分解が、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記色分解が、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、前記色分解が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
ｘがｎ−ｍに等しい、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信するための手段と、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行するための手段と、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を備える、装置。
【請求項１０】
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、色分解を実行するための前記手段が、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて色分解を実行するように構成された、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
色分解を実行するための前記手段が、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成された、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、色分解を実行するための前記手段が、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
ｘがｎ−ｍに等しい、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１５】
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、請求項９に記載の装置。
【請求項１６】
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１７】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置であって、
メモリと、
前記メモリに結合された少なくとも１つのプロセッサと
を備え、前記少なくとも１つのプロセッサは、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を行うように構成された、装置。
【請求項１８】
前記マルチプルパターンプロセスが、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャの前記セットがｐ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第１のサブセットがｑ個のフィーチャを備え、フィーチャの前記第２のサブセットがｐ−ｑ個のフィーチャを含み、ここにおいて、前記少なくとも１つのプロセッサが、フィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及び前記ｎ個の色のサブセットを用いて色分解を実行するように構成された、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのプロセッサが、ｎ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成された、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
フィーチャの前記第１のサブセットがｍ個の異なる色を有し、前記少なくとも１つのプロセッサが、ｘ個の色を用いてフィーチャの前記第２のサブセット内の前記ｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである、請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】
ｘがｎ−ｍに等しい、請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記フィーチャが、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、金属ポリ（ＭＰ）相互接続、金属ポリカット、金属拡散（ＭＤ）相互接続、金属拡散接触Ａ（ＣＡ）相互接続、又は金属拡散接触Ｂ（ＣＢ）相互接続のうちの少なくとも１つを備える、請求項１７に記載の装置。
【請求項２３】
フィーチャの前記第１のサブセットの各フィーチャの前記割り当てられた色がユーザによって割り当てられる、請求項１７に記載の装置。
【請求項２４】
フィーチャの前記第１のサブセットが少なくとも１つのパワーレールを備える、請求項１７に記載の装置。
【請求項２５】
マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための非一時的コンピュータ可読媒体であって、
フィーチャのセットと、フィーチャの前記セットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを備える集積回路レイアウト情報を受信することと、
フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの前記第２のサブセットに対して色分解を実行することと、フィーチャの前記第２のサブセットが、前記割り当てられた色をもつフィーチャの前記第１のサブセット中に含まれないフィーチャの前記セット中のフィーチャを含む、
を行うためにコンピュータによって実行可能なコードを備える、非一時的コンピュータ可読媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
[0001]本出願は、その全体が参照により本明細書に明確に組み込まれる、２０１５年６月１９日に出願された「HYBRID COLORING METHODOLOGY FOR MULTI-PATTERN TECHNOLOGY」と題する米国仮出願第６２／１８２，１６８号、及び２０１６年６月１４日に出願された「HYBRID COLORING METHODOLOGY FOR MULTI-PATTERN TECHNOLOGY」と題する米国特許出願第１５／１８２，５１０号の利益を主張する。
【０００２】
[0002]本開示は、一般にマルチパターン技術に関し、より詳細には、マルチパターン技術のためのハイブリッド着色方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
[0003]集積回路（ＩＣ）のより良い性能及び電力消費を求める継続的需要が、半導体産業における広大な技術改善につながった。より高いトランジスタ密度、より速い速度、及びより低い電力消費を可能にする、ＩＣ内の構成要素のサイズの低減が１つのそのような改善である。
【０００４】
[0004]ＩＣ基板上に極めて小さいオブジェクト（object）の正確な画像を投影する能力を支配する、リソグラフィック解像度（lithographic resolution）は、フォトリソグラフィ中に使用される光の波長によって部分的に制限される。リソグラフィック解像度のこの制限は、「印刷可能閾値（printable threshold）」と呼ばれることがある。マルチパターニングリソグラフィ（ＭＰＬ：multi-patterning lithography）は、ＩＣパターン密度を高め、リソグラフィック解像度の制限を克服するために使用され得る１つのリソグラフィ技法である。ＭＰＬは、ある色のフィーチャ（feature）があるマスク上に形成され、別の色のフィーチャが別のマスク上に形成されるように、ＩＣレイアウトが２つ又はそれ以上の色（例えば、赤、青、黄など）に分解されることを可能にする。ＩＣレイアウトのフィーチャを複数のマスクに分割することによって、リソグラフィック解像度の制限を超えるオブジェクトサイズ及び間隔をもつ半導体デバイスを作製することが可能である。
【０００５】
[0005]しかしながら、ＭＰＬは、極めて長い色分解（color decomposition）ランタイムと、チップレベルにおける色バランス問題と、色競合とを含む、多くの欠点を有する。従って、色バランス及び競合問題を回避しながら、ＭＰＬの色分解速度を改善するソリューションの必要が生じる。
【発明の概要】
【０００６】
[0006]以下は、１つ又は複数の態様の基本的理解を与えるために、そのような態様の簡略化された概要を提示する。この概要は、全ての企図された態様の包括的な概観ではなく、全ての態様の主要又は重要な要素を識別するものでも、いずれか又は全ての態様の範囲を定めるものでもない。その唯一の目的は、後で提示されるより詳細な説明の導入として、１つ又は複数の態様の幾つかの概念を簡略化された形で提示することである。
【０００７】
[0007]本開示の一態様では、マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための方法、コンピュータ可読媒体、及び装置が提供される。本装置は、色分解を実行するためのツール（例えば、ソフトウェアツール）であり得る。本装置は、集積回路レイアウト情報を受信するように構成される。集積回路レイアウト情報は、フィーチャのセットと、フィーチャのセットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを含む。更に、本装置は、フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの第２のサブセットに対して色分解を実行するように構成される。フィーチャの第２のサブセットは、割り当てられた色をもつフィーチャの第１のサブセット中に含まれないフィーチャのセット中のフィーチャを含む。
【０００８】
[0008]開示される態様は、開示される態様を限定するためではなく、例示するために与えられる、添付の図面とともに以下で説明され、同様の表示は同様の要素を示す。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】[0009]マルチパターニングリソグラフィプロセスのためのＩＣレイアウトの例示的な分解を概念的に示す図。
【図２】[0010]マルチパターニングリソグラフィプロセス中のハイブリッド着色のために構成された例示的な装置を概念的に示す図。
【図３】[0011]マルチパターニングリソグラフィプロセス中のハイブリッド着色の方法の一例を概念的に示す流れ図。
【図４】[0012]マルチパターニングリソグラフィプロセス中のハイブリッド着色の方法の一例を概念的に示すフローチャート。
【図５】[0013]マルチパターニングリソグラフィプロセスにおいて形成され得る様々なフィーチャの側面プロファイルを概念的に示す図。
【図６】[0014]マルチパターニングリソグラフィプロセス中のハイブリッド着色のために構成された処理システムを採用する装置のためのハードウェア実装形態の一例を概念的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
[0015]添付の図面に関して以下に記載される発明を実施するための形態は、様々な構成を説明するものであり、本明細書で説明される概念が実施され得る構成のみを表すものではない。発明を実施するための形態は、様々な概念の完全な理解を与えるために具体的な詳細を含む。但し、これらの概念はこれらの具体的な詳細なしに実施され得ることが当業者には明らかであろう。幾つかの事例では、そのような概念を不明瞭にすることを回避するために、よく知られている構造及び構成要素がブロック図の形態で示されている。装置及び方法が、以下の詳細な説明において説明され、様々なブロック、モジュール、構成要素、回路、ステップ、プロセス、アルゴリズム、要素などによって添付の図面に示され得る。その上、本明細書で使用される「構成要素」という用語は、システムを構成する部分のうちの１つであり得、ハードウェア又はソフトウェア又はそれらの何らかの組合せであり得、他の構成要素に分割され得る。
【００１１】
[0016]集積回路（ＩＣ）を作製するために、設計者は、概略設計を作成するために、電子設計オートメーション（ＥＤＡ：electronic design automation）ツールを使用し得る。この概略設計は、１つ又は複数の機能を実行するために互いに結合された回路を含み得る。概略設計は、材料の実際の物理的配列の表現に変換され得、これは、完成時に設計レイアウトと呼ばれる。材料は、ＩＣのための複数の層に配列され、その結果、幾つかの設計層を含む設計レイアウトを生じ得る。
【００１２】
[0017]設計層が完成した後、各層上に適切な材料を実際に形成するために、作製プロセスが使用され得る。このプロセスは、光源をマスクに向けるフォトリソグラフィックプロセスを含み得る。概して、マスクは、照明されたとき、光が、所望のパターンで感光材料（photosensitive material）に当たるようにする、不透明領域と透明領域とを有し得る。例えば、光が感光材料（例えば、ポジティブレジスト）上にマスクを通して照射された後、感光材料（light-sensitive material）は、光に露出された部分を除去する（又は、代替的に、ネガティブレジストを使用するとき、光に露出されなかった部分を除去する）ために、現像プロセスを受ける。次いで、特定の材料がパターン層において所望のパターンを用いて形成されるまで、エッチング、堆積、拡散、又は何らかの他の材料変更プロセスがその層上で実行され得る。プロセスの結果は、各層における材料の所定の配列である。
【００１３】
[0018]一態様によれば、設計者は、回路を形成するために標準セルのライブラリを使用し得、回路は、所望の機能を与えるために結合され得る。各標準セルは、ブール論理関数（例えば、ＡＮＤ、ＯＲ、ＸＯＲ、反転など）又は記憶機能（例えば、フリップフロップ又はラッチ）を与えるトランジスタ及び相互接続など、様々な構造の少なくとも一部分を構成するフィーチャの定義されたグループであり得る。一態様では、フィーチャは、金属相互接続、パワーレール、ポリゲート相互接続、ビア、（金属拡散接触Ｂ（ＣＢ：contact B）相互接続と呼ばれることがある）金属ポリ（ＭＰ）相互接続、又は（金属拡散接触Ａ（ＣＡ：contact A）相互接続と呼ばれることがある）金属拡散（ＭＤ）相互接続のうちの少なくとも１つを表し得る。フィーチャはまた、金属カット、ポリカット、及び金属ポリカットのうちの少なくとも１つを表し得、これらの各々は、ライン及びカットパターニングによって達成され得る。ライン及びカットパターニングは、フィーチャライン（例えば、金属、ポリ、又はポリ金属）をパターニングし、次いで、ラインのうちの少なくとも１つを２つのライン部分に分離する短い空間（例えば、「カット」）を作成するために、ラインに対して直交方向にカットパターンを印刷することを伴うリソグラフィックプロセスである。各標準セルは、材料層のための有効な製造青写真を与える、レイアウト図をも有し得る。
【００１４】
[0019]ＭＰＬは、同じＩＣ基板を露出するために複数のマスクの使用を可能にし、それにより、その層におけるフィーチャ／オブジェクト密度を効果的に増倍し得る。例えば、図１は、ＭＰＬプロセスのためのＩＣレイアウト１００の例示的な色分解を概念的に示す図である。ＩＣレイアウト１００は、複数の（オブジェクトとも呼ばれる）フィーチャ１０１、１０２、１０３、１０４、１１１、１１２、１２１、１２２を含み得、これらの各々は、印刷可能閾値よりも小さい（即ち、単一のマスク上に形成され得ない）空間によって近隣のフィーチャから分離され得る。
【００１５】
[0020]色分解は、各色が異なるマスクに対応する、フィーチャの「着色」又は「色割当て」を伴う。色割当ては、特定の色の各マスクにおけるフィーチャが最小印刷可能閾値間隔に違反しないように行われるべきである。
【００１６】
[0021]近隣のフィーチャが印刷可能閾値よりも小さい空間によって分離されるので、近隣のフィーチャは、異なるマスクに分解され得る。例えば、フィーチャ１０１、１０２、１０３、１０４、１１１、１１２、１２１、１２２は、第１のマスク１３０と、第２のマスク１４０と、第３のマスク１５０とを形成する様式で分解され得る。詳細には、図１に示されているように、フィーチャ１０１、１０２、１０３、１０４は、第１のマスク１３０に関連する第１の色（例えば、黄）を割り当てられ得、フィーチャ１１１、１１２は、第２のマスク１４０に関連する第２の色（例えば、青）を割り当てられ得、フィーチャ１２１、１２２は、第３のマスク１５０に関連する第３の色（例えば、赤）を割り当てられ得る。
【００１７】
[0022]第１のマスク１３０、第２のマスク１４０、及び第３のマスク１５０は、別々に露出され、その後組み合わせられると、ＩＣレイアウト１００のターゲットパターンを達成し得る。
【００１８】
[0023]ＭＰＬプロセスは、Ｎ個のマスクのマルチプルパターニングに拡張され得、ここで、Ｎは整数である。異なるマスクに属するフィーチャ間隔が光の波長によってもはや制限されないので、印刷可能フィーチャ間隔は約１／Ｎに低減され得る。しかしながら、マスクの数を増加させることは、色分解の複雑さを指数関数的に増加させ、極めて長い色分解ランタイムを生じ、色バランス及び色競合など、他の問題をもたらす。
【００１９】
[0024]従って、本開示の態様は、複数の色を分解することから生じる色分解の複雑さを低減するための、ＭＰＬプロセス中の標準セルのハイブリッド着色のための方法及び装置に関する。
【００２０】
[0025]図２は、ＭＰＬプロセス中のハイブリッド着色のために構成された例示的な装置２００を概念的に示す図である。一態様では、装置２００は、標準セルライブラリ２１１と着色セルライブラリ２１２とを含み得る、セルデータベース２１０を含み得る。標準セルライブラリ２１１は、複数の無色標準セルを含み得、これらの各々は、前に説明されたように、機能を与えるフィーチャの構造を定義する。標準セルのフィーチャのいずれも色を割り当てられないという点で、標準セルは無色であり得る。着色セルライブラリ２１２は、複数の着色標準セルを含み得る。着色セルライブラリ２１２中の着色標準セルの各々は、色構成要素２２０によって色を割り当てられた少なくとも１つのフィーチャを含み得る。更に、着色標準セルの各々は、標準セルライブラリ２１１中のそれぞれの無色標準セルに対応し得る。
【００２１】
[0026]色構成要素２２０は、標準セルライブラリ２１１の無色標準セルのフィーチャのうちの少なくとも１つに色を割り当て、割り当てられた色をもつ標準セルを着色標準セルとして着色セルライブラリ２１２に記憶し得る。色構成要素２２０は、セル内のフィーチャのための最小間隔要件に準拠する事前構成された色設定に基づいて自動的に、又はユーザ入力を介して、色を割り当て得る。色構成要素２２０はまた、セル中のフィーチャの色割当ての正当さ（legality）を決定するように構成され得る。例えば、一態様によれば、色構成要素２２０は、標準セル内の同じ色を割り当てられた２つのフィーチャが、そのセル中のその２つのフィーチャ間の間隔が最小間隔閾値（例えば、７０ｎｍ）よりも小さいとき、最小間隔要件に違反すると決定し得る。次いで、色構成要素２２０は、不当（illegal）色割当てのユーザにアラートし、代替色割当てを提案し、又は異なるフィーチャに色を再割り当てすることによって、色割当てを自動的に補正し得る。
【００２２】
[0027]色構成要素２２０はまた、着色標準セルの潜在的レイアウト配置を分析することによって、色割当ての正当さを決定し得る。例えば、色構成要素２２０は、隣り合わせの、同じ又は異なる着色標準セルのうちの２つの配置が、一方のセルの着色フィーチャと別のセルの同様に着色されたフィーチャとの間の間隔が最小間隔閾値よりも小さいとき、最小間隔要件に違反し得ると決定し得る。この場合、色構成要素２２０は、再び、不当色割当てのユーザにアラートし、セルの一方又は両方中のフィーチャの代替色割当てを提案するか、又は１つ又は複数の異なるフィーチャに色を再割り当てすることによって、色割当てを自動的に補正するかのいずれかであり得る。色構成要素２２０が１つ又は複数の標準セルに２つ以上の色を割り当て、不当色割当てを検出した場合、色構成要素２２０は、１つ又は複数の着色セル内のフィーチャの色をスワップすることによって、自動的に又はユーザ入力を介してのいずれかで色割当てを補正し得る。
【００２３】
[0028]装置２００はレイアウト生成器２３０を含み得る。レイアウト生成器２３０は、標準セルの物理的レイアウトを含み得る、特定のＩＣ設計レイアウトのためのＩＣレイアウト情報を受信し得る。ＩＣレイアウト情報は、ユーザによって与えられ、及び／又はメモリからアクセスされ得る。次いで、レイアウト生成器２３０は、セルデータベース２１０にアクセスし、物理的レイアウト中のセルのいずれかが、着色セルライブラリ２１２に記憶されたセルに対応するかどうかを決定し得る。着色セルライブラリ２１２に記憶されたセルに対応する場合、レイアウト生成器２３０は、物理的レイアウト中の対応するセルのために、着色セルライブラリ２１２からの着色標準セルを使用し得る。レイアウト生成器２３０が、対応する着色標準セルを見つけない、物理的レイアウト中の他のセルのために、レイアウト生成器２３０は、標準セルライブラリ２１１からの無色標準セルを使用し得る。レイアウト生成器２３０がセルデータベース２１０から必要なセルを収集すると、レイアウト生成器２３０は、ＩＣレイアウト情報と収集されたセルとに基づいて、グラフィカルＩＣレイアウトを生成し得る。グラフィカルＩＣレイアウトは、集積チップのグラフィカル表現を含んでいるファイルであり得る。幾つかの態様では、グラフィカルＩＣレイアウトは、ＧＤＳファイル又はＧＤＳＩＩファイルなど、グラフィックデータベースシステム（ＧＤＳ：Graphic Database System）ファイルを含み得る。他の態様では、グラフィカルＩＣレイアウトは、例えば、カリフォルニア工科大学中間フォーム（ＣＩＦ：Caltech Intermediate Form）ファイルフォーマット又はオープンアートワークシステムインターチェンジスタンダード（ＯＡＳＩＳ：Open Artwork System Interchange Standard）ファイルフォーマットを含み得る。
【００２４】
[0029]装置２００は分解器２４０をも含み得る。分解器２４０は、レイアウト生成器２３０からのグラフィカルＩＣレイアウトを受信し、グラフィカルＩＣレイアウトに対して分解アルゴリズムを実行し得る。分解アルゴリズムは、グラフィカルＩＣレイアウト中の全てのフィーチャが色を割り当てられるまで、着色フィーチャ（即ち、色構成要素２２０によって色を割り当てられたフィーチャ）の事前に割り当てられた色を維持しながら、グラフィカルＩＣレイアウトの非着色フィーチャ（即ち、色構成要素２２０によって色を割り当てられなかったフィーチャ）に異なる色を割り当て得る。一態様では、分解器２４０は、非着色フィーチャに２つ又はそれ以上の色を割り当て得る。別の態様では、分解器２４０は、色構成要素２２０によって割り当てられた色とは異なる色を割り当て得る。また別の態様では、分解器２４０は、色構成要素２２０によって割り当てられた色のうちの１つ又は複数と同じである１つ又は複数の色を割り当て得る。異なる着色フィーチャ及び無色フィーチャは、図１において例示されたように、ＭＰＬプロセスで使用される異なるマスクに関連付けられ得る。
【００２５】
[0030]一態様では、装置２００によって実装されるＭＰＬプロセスは、ｎ個の色（例えば、ｎ＝３）をもつｎパターニングプロセスであり得る。グラフィカルＩＣレイアウトは、ｐ個のフィーチャ（例えば、ｐ＝８）のセットを含み得る。色構成要素２２０によって色を割り当てられたフィーチャは、ｑ個のフィーチャ（例えば、ｑ＝４）の第１のサブセットを構成し得、分解器によって色を割り当てられたフィーチャは、ｐ−ｑ個のフィーチャ（例えば、ｐ−ｑ＝４）の第２のサブセットを構成し得る。一態様では、分解器２４０は、ｎ個（例えば、２つの色＜ｎ）よりも少ない色を含む色のサブセットをもつｐ−ｑ個のフィーチャの第２のサブセットに対して色分解を実行し得る。より詳細には、フィーチャの第１のサブセットがｍ個の異なる色（例えば、ｍ＝１）を含む場合、色分解は、ｘ個の色（例えば、ｘ＝２）をもつｐ−ｑ個のフィーチャの第２のサブセットに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎ（例えば、３−１≦２＜３）である。別の態様では、分解器２４０は、ｎ個の色をもつｐ−ｑ個のフィーチャの第２のサブセットに対して色分解を実行し得る。
【００２６】
[0031]このようにして、色割当てのうちの幾つかを分解器２４０から色構成要素２２０上にオフロードすることによって、装置２００は、分解器２４０上の処理負荷を著しく低減し、それにより、色分解ランタイムを短縮し、及び色バランス及び色競合など、他の問題を潜在的に回避し得る。
【００２７】
[0032]一態様では、装置２００はまた、マスク生成器２５０を含み得る。マスク生成器２５０は、同じ色を有するフィーチャを同じマスクに書き込む様式で、分解器２４０から受信された着色グラフィカルＩＣレイアウトに基づいて、複数のマスクを生成し得る。一態様では、マスク生成器２５０は、色構成要素２２０によって事前着色されたフィーチャのみをあるマスクに書き込むが、他のマスクに割り当てられた色、又は他のマスクに割り当てられた色の欠如に基づいて、分解器２４０によって着色されたフィーチャを他のマスクに書き込み得る。例えば、ＭＰＬプロセスでは、マスク生成器２５０は、分解器２４０によって第１の色を割り当てられたフィーチャのための第１のマスク、分解器２４０によって第２の色を割り当てられたフィーチャのための第２のマスク、分解器２４０によって第３の色を割り当てられたフィーチャのための第３のマスク、及び色構成要素２２０によって色を割り当てられたフィーチャを生成し得る。言い換えれば、マスクを形成するとき、マスク生成器２５０は、分解アルゴリズムとは無関係に事前着色フィーチャをマスクに書き込み得るが、非事前着色フィーチャは、分解器２４０によってフィーチャに割り当てられた色に基づいてマスクに書き込まれる。マスクがマスク生成器２５０によって生成されると、マスクは半導体作製プロセスにおいて使用され得る。
【００２８】
[0033]図３は、マルチパターニングリソグラフィプロセス中のハイブリッド着色の方法の一例を概念的に示す流れ図３００である。図３に示されているように、プロセスは、フィーチャ３０１、３０２、３０３、３１１、３２１を含み得る、無色標準セル３７１から始まり得る。無色標準セル３７１は、色構成要素２２０によって（例えば、ユーザ入力に基づいて）色を割り当てられた幾つかのフィーチャを有し得る。例えば、色構成要素２２０は、フィーチャ３０１、３０２、３０３に第１の色（例えば、黄）を割り当て、従って、割り当てられた第１の色を有するフィーチャ３０１、３０２、３０３をもつ部分的着色セル３７２を生成し得る。部分的着色セル３７２は、セルデータベース２１０の着色セルライブラリ２１２に記憶され得る。
【００２９】
[0034]次いで、ユーザ入力に基づいて、レイアウト生成器２３０は、グラフィカルＩＣレイアウトを形成するために、着色セルライブラリ２１２からの部分的着色セル３７３、３７４など、着色標準セルを使用し得る。グラフィカルＩＣレイアウトの生成中に、レイアウト生成器２３０は、セルの各々を統合し(merge)、それにより、セル境界のない集積レイアウトをもたらし得る。例えば、部分的着色セル３７３、３７４は、セル３７３、３７４のフィーチャ３０１がフィーチャ３３１を形成するためにシームレスに接続され、セル３７３、３７４のフィーチャ３０２がフィーチャ３３２を形成するためにシームレスに接続されるように、ＩＣレイアウト３７５に統合され得る。ＩＣレイアウト３７５のフィーチャ３３３、３４１、３５１は、それぞれ、セル３７３のフィーチャ３０３、３１１、３２１に対応し、ＩＣレイアウト３７５のフィーチャ３３４、３４２、３５２は、それぞれ、セル３７４のフィーチャ３０３、３１１、３２１に対応する。
【００３０】
[0035]次いで、グラフィカルＩＣレイアウトは分解器２４０によって分解され得、分解器２４０は、グラフィカルＩＣレイアウト中の無色フィーチャに色を割り当て得る。例えば、分解器２４０は、フィーチャ３４１、３４２に第２の色（例えば、青）を割り当て、フィーチャ３５１、３５２に第３の色（例えば、赤）を割り当て、従って、事前に割り当てられた第１の色を有するフィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４と、割り当てられた第２の色を有するフィーチャ３４１、３４２と、割り当てられた第３の色を有するフィーチャ３５１、３５２とをもつ完全着色グラフィカルＩＣレイアウト３７６を生成し得る。
【００３１】
[0036]色分解の後、プロセスは、同じ色を有するフィーチャを同じマスクに書き込む様式で、例えば、マスク生成器２５０によって複数のマスクを生成することに進み得る。
【００３２】
[0037]図４は、ＭＰＬプロセス中のハイブリッド着色の方法４００の一例を概念的に示すフローチャートである。図２を参照すると、一動作態様では、装置２００は方法４００の様々な態様を実行し得る。説明を簡単にするために、方法は一連の行為として図示及び説明されるが、幾つかの行為は、１つ又は複数の態様によれば、本明細書で図示及び説明された順序とは異なる順序で、及び／又は他の行為と同時に行われ得るので、方法（及びそれに関係する更なる方法）は行為の順序によって限定されないことを理解し、諒解されたい。例えば、方法は、状態図など、一連の相互に関係する状態又はイベントとして代替的に表現され得ることを諒解されたい。その上、本明細書で説明される１つ又は複数の特徴による方法を実装するために、図示の全ての行為が必要とされるとは限らない。その上、以下のアクション又は機能は、特別にプログラムされたプロセッサ、特別にプログラムされたソフトウェア又はコンピュータ可読媒体を実行するプロセッサによって、若しくは説明されるアクション又は機能を実行することが可能なハードウェア構成要素及び／又はソフトウェア構成要素の任意の他の組合せによって実行され得ることを理解されたい。
【００３３】
[0038]一態様では、ブロック４０１において、標準セルの少なくとも１つのフィーチャに色を割り当てる。例えば、図２を参照すると、一態様では、色構成要素２２０は、標準セルの少なくとも１つのフィーチャに第１の色を自動的に割り当て得、又はそれを割り当てるためにユーザからの入力を受信し得る。
【００３４】
[0039]ブロック４０２において、ＩＣレイアウト情報を受信する。例えば、図２を参照すると、レイアウト生成器２３０は、ユーザ入力からＩＣレイアウト情報を受信するか、又はメモリからＩＣレイアウト情報を取り出し得る。
【００３５】
[0040]ブロック４０３において、ＩＣレイアウト情報とフィーチャの第１のサブセットをもつ着色標準セルとに基づいて、グラフィカルＩＣレイアウトを生成する。一態様では、フィーチャの第１のサブセットは、割り当てられた色を有する少なくとも１つのフィーチャを含み得る。例えば、図２を参照すると、レイアウト生成器２３０は、物理的レイアウト中の対応するセルのための着色セルライブラリ２１２からの部分的着色標準セルを使用し、ＩＣレイアウト情報と部分的着色標準セルとに基づいてグラフィカルＩＣレイアウトを生成し得る。
【００３６】
[0041]ブロック４０４において、グラフィカルＩＣレイアウトに対して色分解を実行する。例えば、図２を参照すると、分解器２４０は、レイアウト生成器２３０からグラフィカルＩＣレイアウトを受信し得、色構成要素２２０によって色をすでに割り当てられた、着色された、フィーチャの第１のサブセットの事前に割り当てられた色を維持しながら、グラフィカルＩＣレイアウトの非着色フィーチャの第２のサブセットに異なる色を割り当てるために、グラフィカルＩＣレイアウトに対して分解アルゴリズムを実行し得る。
【００３７】
[0042]ブロック４０５において、色分解に基づいて複数のマスクを生成する。例えば、図２を参照すると、マスク生成器２５０は、同じ色を有するフィーチャを同じマスクに書き込む様式で、複数のマスクを生成するためにグラフィカルＩＣレイアウトを使用し得る。
【００３８】
[0043]再びブロック４０４を参照すると、色分解を実行するために、装置（例えば、装置２００）は、フィーチャのセットと、フィーチャのセットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを含むＩＣレイアウト情報を受信し得る。例えば、図３を参照すると、装置は、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４、３４１、３４２、３５１、３５２のセットと、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４、３４１、３４２、３５１、３５２のセットのうちのフィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４の第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色（例えば、黄、青、赤）のうちの割り当てられた色（例えば、黄）とを含むＩＣレイアウト情報を受信し得る。更に、装置は、フィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセットに対して色分解を実行し得る。フィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセットは、割り当てられた色をもつフィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４の第１のサブセット中に含まれないフィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４、３４１、３４２、３５１、３５２のセット中のフィーチャを含む。
【００３９】
[0044]一構成では、マルチプルパターンプロセスは、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスであり、フィーチャのセットはｐ個のフィーチャを含み、フィーチャの第１のサブセットはｑ個のフィーチャを含み、フィーチャの第２のサブセットはｐ−ｑ個のフィーチャを含み、色分解は、フィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及びｎ個の色のサブセットを用いて実行される。例えば、図３を参照すると、マルチプルパターンプロセスは、３つ（ｎ＝３）の色をもつトリプルパターニングプロセスであり、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４、３４１、３４２、３５１、３５２のセットは８つ（ｐ＝８）のフィーチャを含み、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４の第１のサブセットは４つ（ｑ＝４）のフィーチャを含み、フィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセットは４つ（ｐ−ｑ＝４）のフィーチャを含み、色分解は、フィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセット内の４つ（ｐ−ｑ）のフィーチャに対して、及び３つの色のサブセットを用いて実行される。
【００４０】
[0045]一構成では、色分解は、ｎ個の色を用いてフィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行される。例えば、図３を参照すると、色分解は、３つ全ての色（例えば、黄、青、赤）を用いてフィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセット内の４つ（ｐ−ｑ）のフィーチャに対して実行され得る。代替的に、色分解は、３つよりも少ない色（例えば、青、赤）を用いてフィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセット内の４つ（ｐ−ｑ）のフィーチャに対して実行され得る。一構成では、フィーチャの第１のサブセットはｍ個の異なる色を有し、色分解は、ｘ個の色を用いてフィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである。例えば、図３を参照すると、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４の第１のサブセットは１つの異なる色（黄）を有し、色分解は、ｘ個の色を用いてフィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセット内の４つ（ｐ−ｑ）のフィーチャに対して実行され、ここで、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである。詳細には、ｎ＝３及びｍ＝１であるとき、２≦ｘ≦３である。従って、色分解は、２つの色又は３つの色を用いてフィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２に対して実行され得る。一構成では、ｘはｎ−ｍに等しく、フィーチャの第１のサブセットに割り当てられた色を、色分解中に割り当てることは考えられず、従って、図３に関して、色分解は２つの色（例えば、青、赤）を用いてフィーチャ３４１、３４２、３５１、３５２の第２のサブセットに対して実行され得る。
【００４１】
[0046]上記で説明されたように、フィーチャは、金属相互接続、パワーレール、ポリゲート相互接続、ビア、ＭＰ相互接続、又はＭＤ相互接続のうちの少なくとも１つを含み得る。一構成では、フィーチャの第１のサブセットの各フィーチャの割り当てられた色は、ユーザによって割り当てられる。一構成では、フィーチャの第１のサブセットは少なくとも１つのパワーレールを含む。例えば、図３を参照すると、フィーチャ３３１、３３２、３３３、３３４の第１のサブセットは、パワーレール３３１とパワーレール３３２とを含む。パワーレール３３１は、ｐ型金属酸化物トランジスタ（ｐＭＯＳ：p-type metal oxide transistor）トランジスタのセットに電力供給し得（例えば、Ｖdd）、パワーレール３３２は、ｎ型金属酸化物トランジスタ（ｎＭＯＳ：n-type metal oxide transistor）トランジスタのセットに電力供給し得る（例えば、Ｖss）。
【００４２】
[0047]図５は、ＭＰＬプロセスにおいて形成され得る様々なフィーチャの側面プロファイルを概念的に示す図５００である。ポリ相互接続５１０は、２０ｎｍプロセス技術などにおいて、金属相互接続であり得る。但し、他のプロセス技術では、ポリ相互接続５１０は、完全にポリシリコンであり得るか、又は金属最上層をもつポリシリコンであり得る。ＭＰ層相互接続５０８は、ポリ相互接続５１０に接触し得る。第１のＭＤ（ＭＤ１）層相互接続５０４は、（酸化物拡散（ＯＤ：oxide diffusion）とも呼ばれる）ドレイン５０２の上にあり得、第２のＭＤ（ＭＤ２）層相互接続５０６は、第１のＭＤ１層相互接続５０４の上にあり得る。第１のＭＤ層５０４及び第２のＭＤ層５０６は、本明細書では、ただ１つのＭＤ層と呼ばれることがある。ＭＤ層は、ドレイン５０２に直接接続し得る。ポリ相互接続５１０とＭＤ１層相互接続５０４とは、同じ層上にある。ＭＰ層相互接続５０８とＭＤ２層相互接続５０６とは、同じ層上にある。ビア５１２は、ＭＤ２層相互接続５０６に接触し得る。金属１（Ｍ１）層相互接続５１４は、ビア５１２に接触し得る。
【００４３】
[0048]図６は、ＭＰＬプロセス中のハイブリッド着色のための処理システム６１４を採用する装置６００のためのハードウェア実装形態の一例を示す概念図である。装置６００は、図２の装置２００に対応し得る。この例では、処理システム６１４は、バス６０２によって概略的に表されるバスアーキテクチャを用いて実装され得る。バス６０２は、処理システム６１４の特定の適用例及び全体的な設計制約に応じて、任意の数の相互接続バス及びブリッジを含み得る。バス６０２は、プロセッサ６０４によって概略的に表される１つ又は複数のプロセッサと、コンピュータ可読媒体／メモリ６０６によって概略的に表されるコンピュータ可読媒体とを含む様々な回路を互いにリンクし得る。バス６０２はまた、色構成要素２２０と、レイアウト生成器２３０と、分解器２４０と、マスク生成器２５０とをプロセッサ６０４に、及びセルデータベース２１０を含み得るコンピュータ可読媒体／メモリ６０６にリンクし得る。バス６０２はまた、タイミングソース、周辺機器、電圧調整器、及び電力管理回路など、様々な他の回路をリンクし得るが、これらの回路は当技術分野においてよく知られており、従って、これ以上説明されない。バスインターフェース６０８は、バス６０２とトランシーバ６１０との間のインターフェースを与え得る。トランシーバ６１０は、伝送媒体を介して様々な他の装置と通信するための手段を与え得る。ユーザインターフェース６１２（例えば、キーパッド、ディスプレイ、スピーカー、マイクロフォン、ジョイスティック）をも与えられ得る。
【００４４】
[0049]プロセッサ６０４は、バス６０２を管理することと、コンピュータ可読媒体６０６に記憶されたソフトウェアの実行を含む一般的な処理とを担当する。ソフトウェアは、プロセッサ６０４によって実行されたとき、処理システム６１４に、特定の装置のための以下で説明される様々な機能を実行させる。コンピュータ可読媒体６０６はまた、ソフトウェアを実行するときにプロセッサ６０４によって操作されるデータを記憶するために使用され得る。
【００４５】
[0050]一態様では、色構成要素２２０、レイアウト生成器２３０、分解器２４０、及びマスク生成器２５０は、ソフトウェア又はコンピュータ可読媒体に記憶されたコンピュータ実行可能コードによって実装され、プロセッサ６０４上で、及び／又はプロセッサ６０４内のプロセッサモジュールによって実行され得る。
【００４６】
[0051]一構成では、マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置（例えば、処理システム６１４の構成要素のうちの１つ又は複数）は、フィーチャのセットと、フィーチャのセットのうちのフィーチャの第１のサブセットの各フィーチャについての複数の色のうちの割り当てられた色とを含むＩＣレイアウト情報を受信するための手段を含む。更に、装置は、フィーチャの第２のサブセット中のフィーチャに色を割り当てるために、フィーチャの第２のサブセットに対して色分解を実行するための手段を含む。フィーチャの第２のサブセットは、割り当てられた色をもつフィーチャの第１のサブセット中に含まれないフィーチャのセット中のフィーチャを含む。一態様では、マルチプルパターンプロセスは、ｎ個の色をもつｎパターニングプロセスである。更なる態様では、フィーチャのセットはｐ個のフィーチャを含む。別の態様では、フィーチャの第１のサブセットはｑ個のフィーチャを含む。また別の態様では、フィーチャの第２のサブセットはｐ−ｑ個のフィーチャを含む。また更なる態様では、色分解を実行するための手段は、フィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して、及びｎ個の色のサブセットを用いて色分解を実行するように構成される。別の態様では、色分解を実行するための手段は、ｎ個の色を用いてフィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成される。一態様では、フィーチャの第１のサブセットはｍ個の異なる色を有する。別の態様では、色分解を実行するための手段は、ｘ個の色を用いてフィーチャの第２のサブセット内のｐ−ｑ個のフィーチャに対して色分解を実行するように構成される。一態様では、ｎ−ｍ≦ｘ≦ｎである。更なる態様では、ｘはｎ−ｍに等しい。また別の態様では、フィーチャは、金属相互接続、金属カット、パワーレール、ポリゲート相互接続、ポリカット、ビア、ＭＰ相互接続、金属ポリカット、ＭＤ相互接続、ＣＡ相互接続、又はＣＢ相互接続のうちの少なくとも１つを含み得る。一態様では、フィーチャの第１のサブセットの各フィーチャの割り当てられた色は、ユーザによって割り当てられる。更に別の態様では、フィーチャの第１のサブセットは少なくとも１つのパワーレールを含み得る。
【００４７】
[0052]上記で説明されたように、マルチプルパターニングプロセスのためにフィーチャに色を割り当てるための装置が提供される。概して、フィーチャが、色分解を実行するまで無色のままである場合、装置は、ＩＣレイアウトのためにｎp個の異なる色の組合せを考慮しなければならず、ここで、ｎは色の数であり、ｐはＩＣレイアウト中のフィーチャの数である。装置は、フィーチャのうちのｑ個に色を（例えば、ユーザ入力に基づいて）事前に割り当て得る。フィーチャへの色の事前割当てがあれば、装置は、色分解が色の各々を用いて実行される場合、ｎp-q個の異なる色の組合せを考慮し得る。ｍ個の色が事前に割り当てられ、色分解が、ｍ個の色以外の色を用いて実行される場合、装置は、（ｎ−ｍ）p-q個の異なる色の組合せを考慮し得る。色分解を実行するときに色組合せの数を低減することは、ＩＣレイアウト中のフィーチャに色を割り当てるための合計処理時間が減少され得るので、有益である。
【００４８】
[0053]幾つかのプロセッサが様々な装置及び方法に関して説明された。これらのプロセッサは、電子ハードウェア、コンピュータソフトウェア、又はそれらの任意の組合せを使用して実装され得る。そのようなプロセッサがハードウェアとして実装されるか、ソフトウェアとして実装されるかは、特定の適用例及びシステムに課される全体的な設計制約に依存することになる。例として、本開示で提示されたプロセッサ、プロセッサの任意の部分、又はプロセッサの任意の組合せは、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブル論理デバイス（ＰＬＤ）、状態機械、ゲート論理、ディスクリートハードウェア回路、及び本開示全体にわたって説明された様々な機能を実行するように構成された他の好適な処理構成要素を用いて実装され得る。本開示で提示されたプロセッサ、プロセッサの任意の部分、又はプロセッサの任意の組合せの機能は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、ＤＳＰ、又は他の好適なプラットフォームによって実行されるソフトウェアを用いて実装され得る。ソフトウェアは、ソフトウェア、ファームウェア、ミドルウェア、マイクロコード、ハードウェア記述言語などの名称にかかわらず、命令、命令セット、コード、コードセグメント、プログラムコード、プログラム、サブプログラム、ソフトウェアモジュール、アプリケーション、ソフトウェアアプリケーション、ソフトウェアパッケージ、ルーチン、サブルーチン、オブジェクト、実行ファイル、実行スレッド、プロシージャ、関数などを意味すると広く解釈されたい。ソフトウェアはコンピュータ可読媒体上に存在し得る。コンピュータ可読媒体は、例として、磁気ストレージデバイス（例えば、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気ストリップ）、光ディスク（例えば、コンパクトディスク（ＣＤ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ））、スマートカード、フラッシュメモリデバイス（例えば、カード、スティック、キードライブ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取り専用メモリ（ＲＯＭ）、プログラマブルＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、消去可能ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、電気的消去可能ＰＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ（登録商標））、レジスタ、又はリムーバブルディスクなどのメモリを含み得る。本開示全体にわたって提示される様々な実施形態において、メモリがプロセッサとは別個に示されているが、メモリは、プロセッサ（例えば、キャッシュ又はレジスタ）の内部にあり得る。コンピュータ可読媒体は、ソフトウェアを記憶又は送信するための、搬送波、伝送線路、又は他の好適な媒体をも含み得る。コンピュータ可読媒体はコンピュータプログラム製品において実施され得る。例として、コンピュータプログラム製品はパッケージング材料中にコンピュータ可読媒体を含み得る。特定の適用例及び全体的なシステムに課される全体的な設計制約に応じて、本開示全体にわたって提示される記載の機能をどのようにしたら最も良く実装することができるかを、当業者は認識されよう。
【００４９】
[0054]開示される方法におけるステップの特定の順序又は階層は、例示的なプロセスの一例であることを理解されたい。設計上の選択に基づいて、本方法におけるステップの特定の順序又は階層は並べ替えられ得ることを理解されたい。添付の方法クレームは、様々なステップの要素を例示的な順序で提示しており、方法クレーム中で特に具陳されていない限り、提示された特定の順序又は階層に限定されるものではない。
【００５０】
[0055]以上の説明は、当業者が本明細書で説明された様々な態様を実施することができるようにするために提供されたものである。これらの態様に対する様々な変更は当業者には容易に明らかであり、本明細書で定義された一般原理は他の態様に適用され得る。従って、特許請求の範囲は、本明細書で示された態様に限定されるものではなく、特許請求の範囲の言い回しに矛盾しない全範囲を与えられるべきであり、ここにおいて、単数形の要素への言及は、そのように明記されていない限り、「唯一無二の」を意味するものではなく、「１つ又は複数の」を意味するものである。別段に明記されていない限り、「幾つか」という語は１つ又は複数を表す。項目のリスト「のうちの少なくとも１つ」を指す句は、単一のメンバーを含む、それらの項目の任意の組合せを指す。一例として、「ａ、ｂ、又はｃのうちの少なくとも１つ」は、ａ、ｂ、ｃ、ａ及びｂ、ａ及びｃ、ｂ及びｃ、並びにａ、ｂ及びｃを包含するものとする。当業者に知られている、又は後に知られることになる、本開示全体にわたって説明された様々な態様の要素の全ての構造的及び機能的均等物は、参照により本明細書に明白に組み込まれ、特許請求の範囲に包含されるものである。その上、本明細書で開示されるいかなることも、そのような開示が特許請求の範囲に明示的に具陳されているかどうかにかかわらず、公に供するものではない。いかなるクレーム要素も、その要素が「ための手段」という句を使用して明確に具陳されていない限り、又は方法クレームの場合には、その要素が「ためのステップ」という句を使用して具陳されていない限り、米国特許法第１１２条第６項の規定の下で解釈されるべきではない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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