(57)【要約】  光学アセンブリおよびその光学アセンブリを製造する方法が開示されている。その光学アセンブリは、光学素子、接着促進剤、遮断コーティング、ホルダ、およびその光学素子をそのホルダに接着するように構成された接着剤を備える。この遮断コーティングは、約２５０ｎｍ以上から約４００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む。その光吸収体は、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が接着剤に入射しないように配置されている。その接着促進剤は、その光学素子に対するその遮断コーティングの接着を改善し、その光学アセンブリの取扱い、操作、または洗浄中の剥離の傾向を低下させる。
2018533034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学アセンブリにおいて、
光学素子、
前記光学素子のホルダ、
前記光学素子と前記ホルダとの間に配置された遮断コーティングであって、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング、
前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された接着促進剤、および
前記光学素子を前記ホルダに接着させるように構成された接着剤、
を備え、
前記光吸収体が、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように配置されている、光学アセンブリ。
【請求項２】
前記遮断コーティングが、前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された反射防止層をさらに含む、請求項１記載の光学アセンブリ。
【請求項３】
前記光吸収体が、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、それらの酸化物、それらの窒化物、およびそれらの炭化物からなる群より選択される一種類以上の材料から作られている、請求項１または２記載の光学アセンブリ。
【請求項４】
前記接着促進剤がフッ化物材料から作られている、請求項１から３いずれか１項記載の光学アセンブリ。
【請求項５】
前記光学素子がＣａＦ2から作られている、請求項４記載の光学アセンブリ。
【請求項６】
前記光吸収体がＣｒから作られている、請求項５記載の光学アセンブリ。
【請求項７】
光学アセンブリにおいて、
光学素子、
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング、および
前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された接着促進剤、
を備えた、光学アセンブリ。
【請求項８】
前記光吸収体が、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、それらの酸化物、それらの窒化物、およびそれらの炭化物からなる群より選択される一種類以上の材料から作られている、請求項７記載の光学アセンブリ。
【請求項９】
前記光学素子がＣａＦ2から作られている、請求項８記載の光学アセンブリ。
【請求項１０】
光学アセンブリ内の接着剤の劣化を低減する方法であって、
光学素子に、フッ化物材料から作られた接着促進剤を施す工程；
前記接着促進剤に、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティングを施す工程；
前記遮断コーティングに接着剤を施す工程；および
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように、前記光吸収体および該接着剤を構成する工程；
を有してなる方法。
【発明の詳細な説明】
【優先権】
【０００１】
本出願は、その内容が依拠され、ここに全て引用される、２０１５年８月１８日に出願された米国仮特許出願第６２／２０６５２１号の米国法典第３５編第１１９条の下での優先権の恩恵を主張するものである。
【技術分野】
【０００２】
本明細書は、広く、光学素子用のコーティング、および光学素子を光学系に接着する方法に関する。より詳しくは、本明細書は、紫外線により生じる劣化から、光学系内に光学素子を取り付けるために使用される接着剤を保護する、光学素子上のコーティングに関する。最も詳しくは、本明細書は、光学素子に対する接着が強力な紫外線保護コーティングに関する。
【背景技術】
【０００３】
リソグラフィーおよび半導体検査装置内を含む、試料を紫外線で処理または分析する様々なエンドユーザー用途において、光学系が使用されている。これらの系において、光学系に導入された紫外線を方向付け、集めて、その試料に対する操作を実行するために、紫外線透過率の高い光学素子が１つ以上、アライメントされている。光学素子としては、レンズ、プリズム、ビームスプリッタなどが挙げられる。その光学素子は、典型的に、ホルダ内に取り付けられ、接着剤で適所に固定される。光学系を確実かつ正確に操作するには、アライメントの一貫性を保証するために、光学素子の位置が、ある期間の間に固定されたままである必要がある。しかしながら、多くの一般的な接着剤は、紫外線に対して敏感であり、光学系内に存在する迷光紫外線に暴露されたときに、劣化を受ける。接着剤の劣化により、光学素子がそのホルダ内で滑り、光学系のずれをもたらすことがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、紫外光源光を利用する光学系に光学部品を取り付けるために使用される接着剤の劣化を防ぐ必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
１つの実施の形態によれば、光学素子；その光学素子のホルダ；その光学素子をそのホルダに取り付けるように構成された接着剤；その光学素子とその接着剤との間の遮断コーティング；およびその遮断コーティングと光学素子との間の接着促進剤を備えた光学アセンブリが記載される。その遮断コーティングは、約２５０ｎｍ以上から約４００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む。その光吸収体は、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように配置されることがある。
【０００６】
別の実施の形態において、光学素子；その光学素子上の接着促進剤；およびその接着促進剤上の遮断コーティングであって、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティングを備えた光学アセンブリが記載される。
【０００７】
さらに別の実施の形態において、光学アセンブリ内の接着剤の劣化を低減する方法であって、光学素子に接着促進剤を施す工程；光学素子に、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を施す工程；および約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光がその接着剤に入射しないように、その光学素子をホルダに配置するために使用される接着剤に対してその光吸収体を構成する工程を有してなる方法が記載される。
【０００８】
光学素子は、レンズ、プリズム、およびビームスプリッタなどの透過または屈折素子を含む。
【０００９】
前記接着促進剤は、フッ化物または酸化物材料であることがある。１つの実施の形態において、その接着促進剤はフッ化物材料を含み、前記光学素子はフッ化物材料を含む。そのフッ化物材料は、アルカリ土類フッ化物であることがある。別の実施の形態において、その光学素子はＣａＦ2を含み、その接着促進剤はＭｇＦ2を含む。
【００１０】
前記遮断コーティングは、光吸収体を含んでおり、反射防止層および／または引掻き防止層も含むことがある。その遮断コーティングは、複数の光吸収体を、または複数の反射防止層および／または保護層と共に複数の光吸収体を含むことがある。
【００１１】
その光吸収体は、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、またはその組合せであることがある。その反射防止層は、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、またはその組合せであることがある。その引掻き防止層は、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、またはその組合せであることがある。その光吸収体中に存在する金属は、その反射防止層中に存在する金属と同じであっても、異なってもよい。二種類以上の光吸収体を有する実施の形態において、一方の光吸収体中に存在する金属は、他方の光吸収体中に存在する金属と同じであっても、異なってもよい。二種類以上の反射防止層を有する実施の形態において、一方の反射防止層中に存在する金属は、他方の反射防止層中に存在する金属と同じであっても、異なってもよい。
【００１２】
本記載は、
光学アセンブリにおいて、
光学素子；
その光学素子のホルダ；
その光学素子とそのホルダとの間に配置された遮断コーティングであって、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング；
その光吸収体とその光学素子との間に配置された接着促進剤；および
その光学素子をそのホルダに接着させるように構成された接着剤；
を備え、
その光吸収体が、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように配置されている、光学アセンブリにまで及ぶ。
【００１３】
本記載は、
光学アセンブリにおいて、
光学素子；
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング；および
その光吸収体とその光学素子との間に配置された接着促進剤；
を備えた、光学アセンブリにまで及ぶ。
【００１４】
本記載は、
光学アセンブリ内の接着剤の劣化を低減する方法であって、
光学素子に、フッ化物材料から作られた接着促進剤を施す工程；
その接着促進剤に、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティングを施す工程；
その遮断コーティングに接着剤を施す工程；および
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光がその接着剤に入射しないように、その光吸収体およびその接着剤を構成する工程；
を有してなる方法にまで及ぶ。
【００１５】
追加の特徴および利点は、以下の詳細な説明に述べられており、一部は、その説明から当業者に容易に明白となるか、または以下の記載された説明、特許請求の範囲、並びに添付図面を含む、ここに記載された実施の形態を実施することによって認識されるであろう。
【００１６】
先の一般的な説明および以下の詳細な説明の両方とも、様々な実施の形態を記載しており、請求項の主題の性質および特徴を理解するための概要または骨子を提供する目的であることが理解されよう。添付図面は、様々な実施の形態のさらなる理解を与えるために含まれ、本明細書に包含され、その一部を構成する。図面は、ここに記載された様々な実施の形態を示しており、説明と共に、請求項の主題の原理および作動を説明する働きをする。
【００１７】
図面に述べられた実施の形態は、事実上、実例と例示であり、請求項により定義される主題を制限する意図はない。実例となる実施の形態の以下の詳細な説明は、同様の構造が同様の参照番号により示されている以下の図面と共に読んだときに、理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学系の切断正面図
【図２】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学アセンブリの上面図
【図３】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、図２の線Ａ−Ａに沿って示された、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学アセンブリの断面正面図
【図４】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、図３の視野Ｊで示された、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学アセンブリの詳細断面正面図
【図５】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学アセンブリの上面図
【図６】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、図５の線Ｂ−Ｂに沿って示された、レンズホルダに結合されたレンズを有する光学アセンブリの断面正面図
【図７】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、レンズをレンズホルダに接着するための層状構造を示す説明図
【図８】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、反射防止層および引掻き防止層を含む、レンズをレンズホルダに接着するための層状構造を示す説明図
【図９】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、多数の反射防止層および多数の吸収体を含む、レンズをレンズホルダに接着するための層状構造を示す説明図
【図１０】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、レンズをレンズホルダに接着するための接着促進剤を備えた層状構造を示す説明図
【図１１】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、反射防止層および引掻き防止層を含む、レンズをレンズホルダに接着するための接着促進剤を備えた層状構造を示す説明図
【図１２】ここに示されたか記載された１つ以上の実施の形態による、多数の反射防止層および多数の吸収体を含む、レンズをレンズホルダに接着するための接着促進剤を備えた層状構造を示す説明図
【図１３】レンズの外半径または周辺部分に材料を堆積させるための材料固定具の説明図
【図１４】ＣａＦ2レンズに施された様々な層状積重体の圧入および洗浄後の表面損傷の画像
【発明を実施するための形態】
【００１９】
「実質的に」という用語は、任意の定量比較、値、測定、または他の表現に寄与するかもしれない固有の不確実性の度合いを表すためにここに使用されることがあることを留意のこと。この用語は、それによって、問題の主題の基本機能に変化をもたらさずに、定量的表現が表示のものから変動するかもしれない程度を表すためにもここに使用される。
【００２０】
ここに用いたように、接触は、直接的接触または間接的接触を称する。直接的接触は、介在する構成要素がない場合の接触を称し、間接的接触は、一種類以上の介在する構成要素を通じての接触を称する。直接的接触における複数の素子は、互いに触れる。間接的接触における複数の素子は、互いに触れないが、それらの素子の間接的接触を確立する一種類以上の介在する構成要素とは触れる。接触における複数の素子は、強固にまたは非強固に接合されてよい。互いに隣接する構成要素または層は接触している。互いに直接隣接する構成要素または層は、直接的に接触している。
【００２１】
ここで、光学素子および光学素子のホルダを有する光学アセンブリの実施の形態、並びに光学素子を光学アセンブリに接着する方法を詳しく参照する。光学アセンブリの実施の形態は、光学素子およびその光学素子のホルダを備えることがある。その光学素子は、接着剤によりそのホルダに固定されることがある。その接着剤は、光学素子がホルダに接触するように構成されている位置で多数の構成で配置されることがある。実施の形態において、光学素子およびホルダを含む光学アセンブリは、その光学素子に光を与える光源を備えた光学系に組み込まれることがある。その光源は、接着剤がその光源からの光に暴露された場合、その接着剤を劣化させ得る波長を有することがある。例えば、迷光が、光学系中にしばしば存在する。多くの接着剤の劣化の可能性は、その光源からの光が紫外線波長を含む場合、特に問題である。接着剤の劣化を防ぐために、その光学アセンブリは、光に対する接着剤の暴露を防ぐように配置された光吸収体を含む。
【００２２】
以下の説明において、議論は、光学素子の実施の形態としてのレンズに言及する。しかしながら、光学素子は、一般に、透過または屈折光学部品を含むことが理解されよう。代表的な光学素子としては、レンズ、プリズムおよびビームスプリッタが挙げられる。
【００２３】
図１を参照すると、光学系９０の一部が、明確にするために特定の部材が切り取られて図示されている。図示された実施の形態において、光学系９０は、光源９２、少なくとも１つのビーム整形素子９４、光学アセンブリ１００、および部品キャリア９６を備える。光学アセンブリ１００はレンズホルダ１１０およびレンズ１３０を備える。光源９２により提供される光は、光学アセンブリ１００のレンズ１３０を通して向けられ、このレンズは、部品キャリア９６上に支持されている加工対象物８０に向けて、その光を透過させ、屈折させる。光学系９０は、加工対象物８０に対して製造操作を行うため、例えば、リソグラフィー過程などにおいて、加工対象物８０を検査する、または加工対象物８０を変更するために使用することができる。
【００２４】
ここで、図２を参照すると、光学アセンブリ１００の１つの実施の形態が示されている。この実施の形態において、光学アセンブリ１００はレンズホルダ１１０およびレンズ１３０を備える。図３に断面で示されているこのレンズホルダ１１０は、締結部分１１２およびレンズ支持部分１１８を備える。締結部分１１２は、前記光学系内にレンズホルダ１１０を、および／または前記光学系の内部に他のレンズホルダを締結するための固定位置を提供する複数の取付要素１１４を備える。図２に示された実施の形態において、貫通孔が締結部分１１２を貫通している。締結部分１１２は、クロック要素１１６、例えば、鍵および／または鍵穴も備えることがある。クロック要素１１６は、光学系９０の構成部材のアライメントを維持できるように、光学系９０の隣接する構成部材の間の方位基準を与えることができる。
【００２５】
図示された実施の形態において、レンズ支持部分１１８は、締結部分１１２から半径方向内向きに延在している。レンズ支持部分１１８は、図４に詳しく示されるように、平面部分１２４および輪郭部分１２６を備えることがある。この実施の形態において、輪郭部分１２６は、平面部分１２４から半径方向内側の位置に位置している。輪郭部分１２６は、接着剤１４０によってレンズ１３０がレンズ支持部分１１８に結合される位置で、レンズ１３０の一般的形状に一致するように成形されることがある。
【００２６】
図４を参照すると、レンズ１３０の取付部分１３４が、接着剤１４０によってレンズ支持部分１１８に結合されている。いくつかの実施の形態において、接着剤１４０は、レンズ１３０の周りの周縁方位に配列された複数の位置に配置されている。接着剤１４０の領域は、接着剤１４０の複数の領域間の中間の周縁位置で互いから隔てられることがあり、よって光学アセンブリ１００は、接着剤１４０の領域間の周縁位置で接着剤１４０を概して含まない。
【００２７】
接着剤１４０に適した材料としては、セメントおよび接着剤を含む市販の材料が挙げられ、その例が、ここに全てが引用される、米国特許第７２３２５９５号および同第７２５６２２１号の各明細書に述べられている。光学アセンブリ１００を組み立てるときに、接着剤１４０は、レンズホルダ１１０のレンズ支持部分１１８に沿った所望の位置に配置してよい。レンズ１３０は、クロック要素１１６を含むレンズホルダ１１０のデータ特徴に対して適所に挿入し、保持することができる。レンズ１３０は、接着剤１４０が乾燥または硬化する機会を持つまで適所に保持され、それによって、レンズ１３０の位置をレンズホルダ１１０のデータ特徴に対して維持することができる。これらの接着剤の材料は、典型的に、弾性率および熱膨張係数の操作上の必要条件を満たし、ここに記載された光学系９０に使用するのに適している。
【００２８】
しかしながら、接着剤１４０として使用される材料は、特定の波長を持つ光源により照射されたときに、劣化する傾向があるであろう。光源が短波長、例えば、深紫外線および極紫外線波長に対応する波長で発光する場合、劣化は特に深刻であろう。光源からのエネルギーは、短波長では、接着剤１４０の材料を分解する傾向にある。その劣化は、接着剤１４０のガス放出をもたらすことがあり、これにより、光学系９０が汚染されることがある。接着剤１４０の劣化は、接着剤１４０の引張強度および／または弾性にも悪影響を与えるであろうし、これにより、レンズホルダ１１０のデータ特徴に対するレンズ１３０の位置を維持する接着剤１４０の能力も低下するであろう。レンズ１３０とレンズホルダ１１０のデータ特徴との間のずれにより、光学系９０の性能特徴が低下するであろう。
【００２９】
図２および３に示される実施の形態において、レンズ支持部分１１８は、レンズ支持部分１１８の周りの周縁方位に配置されている複数の支持パッド１２０を備える。この複数の支持パッド１２０の各々は、レンズ１３０の光軸１３２に対応する方向に支持パッド１２０から間隔が置かれたリリーフ通路１２２によって互いにから隔てられている。支持パッド１２０およびリリーフ通路１２２は、レンズ１３０が結合されるレンズ支持部分１１８に沿って断続取付面を提供する。この実施の形態において、レンズ１３０に接触するように、支持パッド１２０に沿って接着剤１４０が配置されている。接着剤１４０は、概して、リリーフ通路１２２に最も近い位置には配置されず、よって、レンズ１３０は、リリーフ通路１２２に最も近い位置でレンズホルダ１１０から隔てられている。レンズ１３０とレンズホルダ１１０のリリーフ通路１２２との間の間隔が、流体が移動できる間隙を与える。光学系９０の特定の実施の形態において、バージガスを光学アセンブリ１００に導入し、リリーフ通路１２２とレンズ１３０との間に生じた間隙に流して、どのような汚染物質も流し出すことができる。
【００３０】
図２および３の実施の形態は、３つの支持パッド１２０と、したがって３つのリリーフ通路１２２と、接着剤１４０の３つの領域とを含むレンズホルダ１１０を示しているが、レンズホルダ１１０は、光学系９０の設計および要件により必然的に決まるように、いくつの支持パッド１２０、リリーフ通路１２２、および接着剤１４０の領域を含んでもよいことが理解されよう。
【００３１】
ここで、図５および６を参照すると、レンズホルダ２１０およびレンズ１３０を含む光学アセンブリ２００の別の実施の形態が示されている。この実施の形態において、レンズホルダ２１０は、締結部分１１２およびレンズ支持部分１１８を備える。締結部分１１２は、その光学系内にレンズホルダ２１０を結合させる固定位置を与える複数の取付要素１１４、ここでは、締結部分１１２を貫通する貫通孔を備える。締結部分１１２は、クロック要素１１６、例えば、鍵および／または鍵穴も備えることがある。クロック要素１１６は、光学系９０の構成部材の径方向アライメントを維持できるように、光学系９０の隣接する構成部材の間の方位基準を与えることができる。
【００３２】
この実施の形態において、レンズ支持部分１１８は、外周１３６の周りで形状が連続的であることがあり、よって、レンズ支持部分１１８は周縁方位で途切れていない。レンズ１３０は、レンズ１３０の外周１３６に最も近い位置に配置された別個の領域に配置された接着剤１４０によって、レンズ支持部分１１８に結合されている。接着剤１４０は、概して、別個の領域内のみに配置されることがあり、よって、接着剤１４０は、隣接する領域の間の位置には配置されていない。
【００３３】
接着剤１４０はレンズホルダ２１０のレンズ支持部分１１８とレンズ１３０との間の別個の領域に配置されているので、また接着剤１４０は厚さを有するであろうから、レンズ１３０は、接着剤１４０の分だけレンズ支持部分１１８の上に配置されるであろう。これらの実施の形態において、接着剤１４０の別個の領域間の位置で、レンズ支持部分１１８とレンズ１３０との間の間隔が、流体が移動できる間隙を与えるであろう。光学系９０の特定の実施の形態において、バージガスを光学アセンブリ２００に導入し、接着剤１４０の別個の領域から間隔が置かれた位置でレンズ支持部分１１８とレンズ１３０との間に生じた間隙に流して、どのような汚染物質も流し出すことができる。
【００３４】
図２〜６を参照して先に述べられた実施の形態は、その接着剤を別個の領域に配置してよいと記載しているが、他の実施の形態において、その接着剤は、レンズをレンズホルダに接着させるのに適したどの構成でレンズに施されてもよい。例えば、いくつかの実施の形態において、その接着剤は、レンズの外周の周りに連続的に施されてもよい。
【００３５】
前記光学系において紫外線により生じる劣化または損傷から接着剤を保護するために、本明細書は、レンズに遮断コーティングを与える。その遮断コーティングは、レンズと接着剤との間に配置され、接着剤への紫外線を遮断するように構成されている。先に述べたように、レンズは、接着剤でホルダに取り付けられることがある。その接着剤は、レンズの１つ以上の外半径または周辺部分とアライメントされたホルダの１つ以上の位置に配置されている。その遮断コーティングは、光学素子がホルダに取り付けられたときに、接着剤の位置と略一致する位置でレンズに施される。レンズの内側径方向または中央部分は、光学系の設計にしたがって光を透過させるために使用され、遮断コーティングがレンズの透過を損なわないことを保証するために遮断コーティングがないレンズの作用部分である。遮断コーティングは、接着剤と直接的または間接的に接触していてよい。遮断コーティングは、レンズと直接的または間接的に接触していてよい。実施の形態が以下に示されている。
【００３６】
ここで、図７に示された実施の形態を参照すると、光学アセンブリは、レンズ１３０と接着剤１４０との間に配置された光吸収体１９０を含む遮断コーティングを備える層状構造９００を備えることがある。光吸収体１９０は、接着剤１４０を劣化させるかもしれない、光源９１０から発せられる光の波長を吸収および／または反射するように構成されている。実施の形態において、光吸収体１９０は、吸収および／または反射された波長内の光が接着剤１４０に入射するのを防ぐために、例えば、図７に示されるように、光源９１０と接着剤１４０との間に配置されることがある。図７は層状構造９００の水平配向を示しているが、垂直配向などの層状構造の他の配向が、図７に示された実施の形態、並びにここに開示された層状構造の全ての実施の形態に関して、本開示の範囲内にあることを理解すべきである。
【００３７】
光吸収体１９０は、紫外線の幅広いスペクトルを吸収するどの材料から作られていてもよい。実施の形態において、光吸収体１９０は、接着剤１４０を硬化させるために使用される主硬化波長および化学線波長の両方を吸収する材料から作られている。いくつかの実施の形態において、光吸収体１９０は、約２２０ｎｍ以上から約４８０ｎｍ以下などの、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を持つ光を吸収する。他の実施の形態において、光吸収体１９０は、約２４０ｎｍ以上から約４４０ｎｍ以下などの約２３０ｎｍ以上から約４６０ｎｍ以下の波長を持つ光を吸収する。さらに他の実施の形態において、光吸収体１９０は、約２６０ｎｍ以上から約３７５ｎｍ以下などの約２５０ｎｍ以上から約４００ｎｍ以下の波長を持つ光を吸収する。また他の実施の形態において、光吸収体１９０は、約２６５ｎｍ以上から約３６５ｎｍ以下の波長を持つ光を吸収する。光吸収体１９０の厚さおよび組成は、先に示されたいずれの範囲内の波長を有する放射線の少なくとも９０％、または少なくとも９５％、または少なくとも９９％を吸収および／または反射するように選択されることがある。
【００３８】
光吸収体１９０を構成する材料は、上述したように、紫外線の少なくとも一部を吸収および／または反射することができる。いくつかの実施の形態において、光吸収体１９０を構成する材料は、紫外線を吸収および／または反射することができる一種類以上の金属であることがある。他の実施の形態において、光吸収体１９０を構成する材料は、一種類以上の遷移金属であることがある。さらに他の実施の形態において、光吸収体１９０を構成する材料は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、およびそれらの混合物から選択されることがある。実施の形態において、前記金属は、実質的に純粋な金属として、または金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、またはそれらの混合物として存在してもよい。光吸収体として使用できる様々な材料は、以前は入手できなかった層状構造の異なる構成を可能にする。例えば、いくつかの実施の形態において、光吸収体の材料は、その光吸収体が、光源に面さないレンズ１３０の表面に施されるように選択されることがある。しかしながら、いくつかの実施の形態において、光吸収体の材料は、その光吸収体が、光源に面するレンズ１３０の表面に施されるように選択されることがある。
【００３９】
図７は、同じ近似厚を有する層状構造９００の層を示しているが、実施の形態において、層状構造９００の各層は、どのような適切な厚さを有してもよい。光吸収体１９０は、化学線波長の光の透過率が約５％以下、またさらには約４％以下となるような厚さを有することがある。いくつかの実施の形態において、前記光吸収体の厚さは、化学線波長の光の透過率が約３％以下、またさらには約２％以下となるようなものである。その上、その光吸収体は、接着剤を硬化させる波長の光を透過させない。したがって、実施の形態において、その光吸収体の厚さは、硬化波長の光を透過させるように調節する必要はない。したがって、光吸収体の厚さは、硬化波長の光を透過させるように調整されていなかったであろうから以前は望ましくなかった光学アセンブリの構成が、いくつかの実施の形態において利用されることがある。その光吸収体の厚さは、２５ｎｍ〜５００ｎｍの範囲、または５０ｎｎｍ〜４００ｎｍの範囲、または１００ｎｍ〜３００ｎｍの範囲にあることがある。
【００４０】
いくつかの実施の形態において、層状構造９００は、前記光学アセンブリに他の特性を与えるように構成されることがある。実施の形態において、層状構造９００は、光吸収体１９０、接着剤１４０、および／またはレンズホルダ３１０からの光の反射がその光学装置の様々な構成部材中に散乱する（その光学装置の作動を不完全にすることがある）のを減少させるように構成されることがある。その反射防止特性は、光をわずかしかまたは全く反射しない光吸収体１９０を選択することによって与えられるであろう。しかしながら、いくつかの実施の形態において、反射防止特性は、層状構造９００にある層を加えることによって与えてもよい。いくつかの実施の形態において、ある層の別の層への接着を促進するために、および／または層状構造９００の層を保護するために、層状構造９００に層を加えてもよい。
【００４１】
ここで、図８に示された実施の形態を参照すると、層状構造９００は、レンズ１３０、光吸収体１９０、接着剤１４０、およびレンズホルダ３１０に加えて、層を備えることがある。いくつかの実施の形態において、層状構造９００は、光吸収体１９０と、反射防止層１１００および引掻き防止層１２００の１つ以上とを有する遮断コーティングを備えることがある。反射防止層１１００は、レンズ１３０と光吸収体１９０との間に配置されることがある。反射防止層１１００は、内部反射防止層として働く材料から作られることがある。反射防止層１１００を構成する材料は、層状構造９００に反射防止特性を与えるどのような材料であってもよい。いくつかの実施の形態において、反射防止層１１００は、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物、またはそれらの混合物からなることがある。いくつかの実施の形態において、反射防止層１１００は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、およびそれらの混合物の酸化物を含むことがある。いくつかの実施の形態において、反射防止層１１００は、光吸収体１９０を構成する金属の酸化物を含むことがある。例えば、光吸収体１９０がクロムからなる場合、反射防止層１１００は、酸化クロム（ＩＩＩ）などの酸化クロムからなることがある。しかしながら、他の実施の形態において、反射防止層１１００は、光吸収体１９０の金属とは異なる金属を有する金属酸化物からなってもよい。いくつかの実施の形態において、反射防止層１１００を有する層状構造は、約１８％以下、またさらには約１６％以下などの約２０％以下の、１９０ｎｍから５００ｎｍの波長範囲内の任意の波長での反射率を有してもよい。その反射防止層の厚さは、１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲、または２０ｎｍ〜８０ｎｍの範囲、または３０ｎｍ〜６０ｎｍの範囲内にあることがある。
【００４２】
層状構造９００の遮断コーティングは、引掻き防止層１２００も含むことがある。実施の形態において、その引掻き防止層は、光吸収体１９０と接着剤１４０との間に施されることがある。引掻き防止層１２００は、光吸収体１９０が、加工中に損傷を受けるのを防ぐ。例えば、光吸収体１９０が引っ掻かれた場合、光源９１０からの光が、光吸収体１９０の引掻き傷を通って接着剤１４０に透過されることがあり、それにより接着剤１４０が劣化し、レンズ１３０がずれるかもしれない。引掻き防止層１２００を与えることによって、引掻きなどによって、光吸収体１９０が損傷を受けることが少なくなる。引掻き防止層１２００は、光吸収体１９０に耐引掻性を与えることができ、また光吸収体１９０および接着剤１４０に適合もするどの材料からなってもよい。いくつかの実施の形態において、引掻き防止層１２００は、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、またはそれらの混合物からなることがある。いくつかの実施の形態において、引掻き防止層１２００は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、およびそれらの混合物の酸化物からなることがある。いくつかの実施の形態において、引掻き防止層１２００は、光吸収体１９０を構成する金属の酸化物からなることがある。例えば、光吸収体１９０がクロムからなる場合、引掻き防止層１２００は、酸化クロム（ＩＩＩ）などの酸化クロムからなることがある。しかしながら、他の実施の形態において、引掻き防止層１２００は、光吸収体１９０の金属とは異なる金属を有する金属酸化物からなってもよい。その引掻き防止層の厚さは、５０ｎｍ〜４００ｎｍの範囲、または７５ｎｎｍ〜３００ｎｍの範囲、または１００ｎｍ〜２００ｎｍの範囲にあることがある。
【００４３】
ここで図９を参照すると、層状構造９００は、多数の光吸収体１９０および多数の反射防止層１１００を有する遮断コーティングを備えることがある。光吸収体１９０および反射防止層１１００の数は、光学装置の物理的制約条件により制限される。実施の形態において、各光吸収体１９０は、レンズ１３０に最も近い側に配置された反射防止層１１００を有する。いくつかの実施の形態において、２つの光吸収体１９０および２つの反射防止層１１００、またさらには３つの光吸収体１９０および３つの反射防止層１１００があることがある。他の実施の形態において、４つの光吸収体１９０および４つの反射防止層１１００、またさらには５つの光吸収体１９０および５つの反射防止層１１００があることがある。
【００４４】
ここで、図１０に示された実施の形態を参照すると、光学アセンブリは、レンズ１３０と接着剤１４０との間に配置された接着促進剤１３００を含む層状構造９００を備えることがある。接着促進剤１３００は、レンズ１３０に直接隣接するように優先的に配置されている。接着促進剤１３００は、レンズ１３０に対する光吸収体１９０の接着を改善し、遮断コーティングが剥離する可能性を最小にする。
【００４５】
ここで、図１１に示された実施の形態を参照すると、層状構造９００は、レンズ１３０、光吸収体１９０、反射防止層１１００と引掻き防止層１２００の１つ以上、接着剤１４０、およびレンズホルダ３１０に加え、接着促進剤１３００を備えることがある。接着促進剤１３００は、レンズ１３０に優先的に直接隣接しており、レンズ１３０に対する反射防止層１１００の接着を改善する。
【００４６】
ここで図１２を参照すると、層状構造９００は、レンズ１３０、多数の光吸収体１９０と多数の反射防止層１１００、随意的な引掻き防止層１２００、接着剤１４０、およびレンズホルダ３１０に加え、接着促進剤１３００を備えることがある。接着促進剤１３００は、多周期層状積重体において、レンズ１３０に優先的に直接隣接しており、レンズ１３０に対する反射防止層１１００の接着を改善する。
【００４７】
接着促進剤１３００は、レンズ１３０に対する光吸収体１９０または反射防止層１１００の接着を改善するどのような材料であってもよい。１つの実施の形態において、接着促進剤１３００はフッ化物材料である。フッ化物材料としては、アルカリ土類フッ化物、遷移金属フッ化物、希土類フッ化物、またはそれらの組合せが挙げられる。代表的なフッ化物材料としては、ＡｌＦ3、ＢａＦ2、ＣａＦ2、ＧｄＦ3、ＬａＦ3、ＭｇＦ2、ＮｄＦ3、ＴｂＦ3、ＹｂＦ3、およびＹＦ3が挙げられる。１つの実施の形態において、レンズ１３０はフッ化物材料を含み、接着促進剤１３００はフッ化物材料である。別の実施の形態において、レンズ１３０はＣａＦ2を含み、接着促進剤１３００はＭｇＦ2またはＣａxＭｇ1-xＦ2を含む。１つの実施の形態において、接着促進剤１３００はレンズ１３０に直接隣接している。別の実施の形態において、接着促進剤１３００は、二種類以上の材料または２つ以上の層を含む。さらに別の実施の形態において、接着促進剤１３００は、反射防止性であり、層状積重体９００における反射防止層として機能する。その接着促進剤の厚さは、１ｎｍ〜５０ｎｍの範囲、または３ｎｍ〜３０ｎｍの範囲、または５ｎｍ〜２０ｎｍの範囲にあることがある。
【００４８】
図７〜１２は、レンズの一方の側に位置する層状構造の構成部材の全てを示しているが、いくつかの実施の形態において、その層状構造の他の構成部材が、紫外線が接着剤に入射するのを防ぐ限り、接着剤が、層状構造の他の構成部材からレンズの反対側に配置されていてもよい。例えば、実施の形態において、前記吸収体（および必要に応じて、接着促進剤、反射防止層、引掻き防止層、およびキャッピング層）は、光源が入射するレンズの側に位置していてもよい。前記接着剤は、レンズの反対の非入射側に配置されることがあるが、前記吸収体は、それでも、接着剤が適切に構成された場合、紫外線が接着剤に入射するのを防ぐであろう。
【００４９】
前記層状構造は、どの適切な方法によってレンズに施されてもよい。例えば、いくつかの実施の形態において、その層状構造は、真空蒸着、スパッタリング、噴霧被覆、インクジェット印刷などによって施されてもよい。層状構造が、例えば、真空蒸着またはスパッタリングにより施される実施の形態において、施用中にレンズの光学面を保護するために、マスクが使用されることがある。そのマスクは、レンズの外周のみと直接接触するように構成され、蒸着方法からの保護を与えながら、レンズの光学面を引っ掻かないかまたは他に損傷しないように、レンズの光学面と直接接触しない。そのマスクは、レンズホルダに接着される目的のレンズの所定の部分を覆わない。マスクが一旦適所に配置されたら、その層状構造を、レンズの所定の部分に施してよい。
【００５０】
図１３は、レンズに遮断コーティング、接着促進剤、および／またはキャッピング層を施すための材料固定具を示す。材料固定具２００は、レンズ１３０をその外周で支持するためのマスク２１０およびレンズ１３０の中央部分へのコーティングの堆積を防ぐためのカバー２２０を備える。外半径または周辺領域２３０は、遮断コーティング、接着促進剤、および／またはキャッピング層が堆積される表面を提供するために露出されたままである。その堆積領域は、レンズが取り付けられるホルダ上またはその中の接着剤の位置と揃っている、または略一致する。
【００５１】
光学装置内の接着剤を保護する方法も開示されている。実施の形態において、その方法は、少なくとも、ここに記載されたような遮断コーティングおよび接着促進剤を光学素子に施す工程を有してなる。その方法は、その光学素子をホルダに接着剤で取り付ける工程も含むことがある。その遮断コーティングは、接着促進剤に直接隣接して施されることがあり、その接着促進剤は、その光学素子に直接隣接して施されることがある。その遮断コーティングは、光学素子が光学装置内に取り付けられたときに、紫外線が接着剤に入射しないように接着剤を遮蔽するように光吸収体が配置されるように構成された光吸収体を含む。その光吸収体は、光源からの紫外線（接着剤を劣化させ得る）を透過させない。その光吸収体は、接着促進剤に直接隣接して施されることがある。実施の形態において、遮断コーティングを施す工程は、記載されたような反射防止層を施す工程をさらに含むことがあり、その反射防止層は光学素子と光吸収体との間に配置される。その反射防止層は、接着促進剤に直接隣接して配置されることがある。いくつかの実施の形態において、遮断コーティングを施す工程は、光学装置への取付け中などの取扱い中に光学素子を保護するために、光学素子と反対の光吸収体の表面に、ここに記載されたような引掻き防止層を施す工程を含むことがある。
【００５２】
前記層状構造の各層は、真空蒸着、スピン・オン・コーティング、ゾルゲル堆積、インクジェット堆積、化学蒸着、物理的気相堆積、および電子ビーム蒸着などのどの適切な堆積方法によって施されてもよい。いくつかの実施の形態において、その層状構造の各層は、同じ堆積方法によって施されることがある。しかしながら、他の実施の形態において、その層状構造の１つ以上の層は、他の層とは異なる堆積方法よって施されることがある。いくつかの実施の形態は、その光吸収体または引掻き防止層の一方を、光学素子をホルダに接着させるように構成された接着剤と接触させる工程を含む。
【実施例】
【００５３】
実施の形態を、以下の実施例によってさらに明らかにする。
【００５４】
以下の実施例は、遮断コーティングとレンズとの間に接着促進剤を含んだ場合の、レンズに対する遮断コーティングの接着の改善を示す。その遮断コーティングは、取扱いおよび洗浄中に剥離する傾向にあることが、実際に観察されてきた。ここに記載されたような接着促進剤を含むことは、剥離を防ぐまたは最小にすることを目的とする。
【００５５】
いくつかの試料を調製した。各試料は、ＣａＦ2から作られた光学素子と、Ｃｒ2Ｏ3の４０ｎｍ厚の層（反射防止層）、４０ｎｍ厚のＣｒ層（光吸収体層）、１６０ｎｍ厚のＣｒ2Ｏ3層（引掻き防止層）、および上部の１０ｎｍ厚のＳｉＯ2層を含む遮断コーティングとを含んだ。試料１において、接着促進剤は含まれず、遮断コーティングはＣａＦ2光学素子に直接施された。試料３において、ＣａＦ2光学素子と遮断コーティングとの間に二重層の接着促進剤が含まれた。この二重層の接着促進剤は、ＭｇＦ2の１０ｎｍ厚の層、およびＳｉＯ2の１０ｎｍ厚の層を含んだ。試料５において、ＳｉＯ2の１０ｎｍ厚の層が、ＣａＦ2光学素子と遮断コーティングとの間の接着促進剤として含まれた。試料７において、ＭｇＦ2の１０ｎｍ厚の層が、ＣａＦ2光学素子と遮断コーティングとの間の接着促進剤として含まれた。これらの試料の層状構造が、下記に纏められている：
【００５６】
【表１】
2018533034.tif 000003
【００５７】
レンズに対する遮断コーティングの接着強度を評価するために、典型的な取扱いおよび洗浄の条件をシミュレートするように設計された試験を各試料に行った。遮断コーティングの露出（上）面に、０．５Ｎの力の圧入を施し、そのコーティングをメタノールで拭いた。試験後、表面の画像を得て、表面の状況を検査した。それらの画像が図１４に示されている。
【００５８】
接着強度は、圧入および洗浄試験により生じた表面損傷のレベルによって測ることができる。接着が良好な遮断コーティングは、接着が不十分な遮断コーティングよりも少ない表面損傷を示すと予測される。接着が不十分な遮断コーティングは、ＣａＦ2レンズから分離する、亀裂を生じる、および／または剥離する可能性が高い。図１４に示された結果は、試料７が最小の損傷を示し、一方で、最大の損傷が試料１および５に観察されたことを示す。中間の損傷が試料３に観察された。この結果は、フッ化物材料を含む接着促進剤が層状積重体に含まれると、ＣａＦ2レンズに対する遮断コーティングの接着が改善されることを示す。
【００５９】
特定の実施の形態をここに説明し、記載してきたが、請求項の主題の精神および範囲から逸脱せずに、様々な他の変更および改変を行えることが理解されよう。さらに、請求項の主題の様々な態様をここに記載してきたが、そのような態様は、組合せで利用される必要はない。したがって、付随の特許請求の範囲は、請求項の主題の範囲内にあるそのような変更および改変の全てを含むことが意図されている。
【００６０】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００６１】
実施形態１
光学アセンブリにおいて、
光学素子、
前記光学素子のホルダ、
前記光学素子と前記ホルダとの間に配置された遮断コーティングであって、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング、
前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された接着促進剤、および
前記光学素子を前記ホルダに接着させるように構成された接着剤、
を備え、
前記光吸収体が、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように配置されている、光学アセンブリ。
【００６２】
実施形態２
前記光学素子がレンズである、実施形態１に記載の光学アセンブリ。
【００６３】
実施形態３
前記遮断コーティングが、前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された反射防止層をさらに含む、実施形態１または２に記載の光学アセンブリ。
【００６４】
実施形態４
前記反射防止層が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、およびそれらの混合物からなる群より選択される材料から作られている、実施形態３に記載の光学アセンブリ。
【００６５】
実施形態５
前記反射防止層が、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光について約２０％以下の反射率を有する、実施形態３または４に記載の光学アセンブリ。
【００６６】
実施形態６
前記遮断コーティングが、前記反射防止層の反対の前記光吸収体の表面に配置された引掻き防止層をさらに含む、実施形態３から５いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００６７】
実施形態７
前記引掻き防止層が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、およびそれらの混合物からなる群より選択される材料から作られている、実施形態６に記載の光学アセンブリ。
【００６８】
実施形態８
前記遮断コーティングが、
前記光学素子の反対の前記光吸収体の表面に配置された第二の反射防止層、および
前記光吸収体の反対の側の前記第二の反射防止層上に配置された第二の光吸収体、
をさらに含む、実施形態３から７いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００６９】
実施形態９
前記光吸収体が、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、およびそれらの混合物からなる群より選択される材料から作られている、実施形態１から８いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００７０】
実施形態１０
前記光吸収体が、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、それらの酸化物、それらの窒化物、およびそれらの炭化物からなる群より選択される一種類以上の材料から作られている、実施形態１から８いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００７１】
実施形態１１
前記接着促進剤がフッ化物材料から作られている、実施形態１から１０いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００７２】
実施形態１２
前記接着促進剤がＭｇＦ2から作られている、実施形態１から１０いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００７３】
実施形態１３
前記光学素子がＣａＦ2から作られている、実施形態１２に記載の光学アセンブリ。
【００７４】
実施形態１４
前記光吸収体がＣｒから作られている、実施形態１３に記載の光学アセンブリ。
【００７５】
実施形態１５
前記接着促進剤が前記光学素子に直接隣接している、実施形態１から１４いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００７６】
実施形態１６
前記遮断コーティングが前記接着促進剤に直接隣接している、実施形態１５に記載の光学アセンブリ。
【００７７】
実施形態１７
前記光吸収体が前記接着促進剤に直接隣接している、実施形態１５に記載の光学アセンブリ。
【００７８】
実施形態１８
光学アセンブリにおいて、
光学素子、
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティング、および
前記光吸収体と前記光学素子との間に配置された接着促進剤、
を備えた、光学アセンブリ。
【００７９】
実施形態１９
前記遮断コーティングが、前記光学素子と前記光吸収体との間に配置された反射防止層をさらに含む、実施形態１８に記載の光学アセンブリ。
【００８０】
実施形態２０
前記反射防止層が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、およびそれらの混合物からなる群より選択される材料から作られている、実施形態１９に記載の光学アセンブリ。
【００８１】
実施形態２１
前記遮断コーティングが、前記反射防止層の反対の前記光吸収体の表面に配置された引掻き防止層をさらに含む、実施形態１８から２０いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００８２】
実施形態２２
前記引掻き防止層が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、およびそれらの混合物からなる群より選択される材料から作られている、実施形態２１に記載の光学アセンブリ。
【００８３】
実施形態２３
前記光吸収体が、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル、それらの酸化物、それらの窒化物、およびそれらの炭化物からなる群より選択される一種類以上の材料から作られている、実施形態１８から２２いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００８４】
実施形態２４
前記接着促進剤がフッ化物材料から作られている、実施形態１８から２３いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００８５】
実施形態２５
前記接着促進剤がＭｇＦ2から作られている、実施形態１８から２３いずれか１つに記載の光学アセンブリ。
【００８６】
実施形態２６
前記光学素子がＣａＦ2から作られている、実施形態２５に記載の光学アセンブリ。
【００８７】
実施形態２７
光学アセンブリ内の接着剤の劣化を低減する方法であって、
光学素子に、フッ化物材料から作られた接着促進剤を施す工程；
前記接着促進剤に、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光を透過させない光吸収体を含む遮断コーティングを施す工程；
前記遮断コーティングに接着剤を施す工程；および
約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下の波長を有する光が前記接着剤に入射しないように、前記光吸収体および該接着剤を構成する工程；
を有してなる方法。
【００８８】
実施形態２８
前記光学素子と前記光吸収体との間に反射防止層を施す工程をさらに含む、実施形態２７に記載の方法。
【符号の説明】
【００８９】
８０    加工対象物
９０    光学系
９２、９１０    光源
９４    ビーム整形素子
９６    部品キャリア
１００、２００    光学アセンブリ
１１０、２１０、３１０    レンズホルダ
１１２    締結部分
１１４    取付要素
１１６    クロック要素
１１８    レンズ支持部分
１２０    支持パッド
１３０    レンズ
１４０    接着剤
１９０    光吸収体
２２０    カバー
９００    層状構造
１１００    反射防止層
１２００    引掻き防止層
１３００    接着促進剤
【図１】
2018533034.tif 000004
【図２】
2018533034.tif 000005
【図３】
2018533034.tif 000006
【図４】
2018533034.tif 000007
【図５】
2018533034.tif 000008
【図６】
2018533034.tif 000009
【図７】
2018533034.tif 000010
【図８】
2018533034.tif 000011
【図９】
2018533034.tif 000012
【図１０】
2018533034.tif 000013
【図１１】
2018533034.tif 000014
【図１２】
2018533034.tif 000015
【図１３】
2018533034.tif 000016
【図１４】
2018533034.tif 000017
【国際調査報告】
2018533034.tif 000018
2018533034.tif 000019
2018533034.tif 000020