(57)【要約】  本発明は、周辺環境に対して密閉され、複数の側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）により取り囲まれた内部空間を有するクリーンガスキャビン（１０）に関する。クリーンガスキャビン（１０）の側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）の少なくとも一部が、各２つの被覆板（１２．１，１２．２）と、その間に配置された構造コア（１２．３）、特にハニカムコアとを備える１つまたは複数の構造コア板（１２）、特に１つまたは複数のハニカムコア板から形成されており、クリーンガスキャビン（１０）の１つの角隅部（１１，１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６）に沿って一方の被覆板（１２．１，１２．２）が曲げられており、かつ他方の被覆板（１２．１，１２．２）と構造コア（１２．３）とが分離されていることが想定されている。構造コア板（１２）によりクリーンガスキャビン（１０）を形成することにより、クリーンガスキャビン（１０）が大幅に重量削減される。
2018512522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周辺環境に対して密閉され、複数の側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）により取り囲まれた内部空間を有するクリーンガスキャビン（１０）において、
当該クリーンガスキャビン（１０）の前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）の少なくとも一部が、各２つの被覆板（１２．１，１２．２）と、その間に配置された構造コア（１２．３）、特にハニカムコアとを備える１つまたは複数の構造コア板（１２）、特に１つまたは複数のハニカムコア板から形成されていることを特徴とする、クリーンガスキャビン（１０）。
【請求項２】
当該クリーンガスキャビン（１０）の１つの角隅部（１１，１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６）に沿って一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）が曲げられており、かつ他方の前記被覆板（１２．１，１２．２）と前記構造コア（１２．３）とは分離されている、または一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）が、他方の前記被覆板（１２．１，１２．２）に向かって前記構造コア（１２．３）内に加工成形されており、加工成形領域において前記構造コア板（１２．３）が曲げられている、請求項１記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項３】
当該クリーンガスキャビン（１０）の１つの前記角隅部（１１，１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６）に沿って、分離された前記被覆板（１２．１，１２．２）と前記構造コア（１２．３）とに形成されたギャップ（３２）が、角隅部カバー（３３）によって覆われており、かつ／または該角隅部カバー（３３）は、互いに角度を成して配置された２つの脚部（３３．１，３３．２）で以て、それぞれ前記ギャップ（３２）の片側において前記構造コア板（１２）と密に結合されている、特に密に接着されている、請求項２記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項４】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）の上下端部における前記構造コア板（１２）の縁部には、成形レール（６２）が載せられ、特に被せ嵌められ、前記構造コア板（１２）と密に結合されている、特に密に接着されている、請求項１から３までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項５】
前記構造コア板（１２）には、少なくとも１つのねじ受容部（３４）が配置されており、該ねじ受容部（３４）は、前記構造コア板（１２）の２つの前記被覆板（１２．１，１２．２）のうちの一方および各前記被覆板（１２．１，１２．２）の間に配置された前記構造コア（１２．３）の少なくとも一部を貫通して案内されており、かつ／または前記ねじ受容部（３４）は、両前記被覆板（１２．１，１２．２）および前記構造コア（１２．３）を貫通して案内されており、固定部材が挿入された状態では少なくとも片側においてシールされている、請求項１から４までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項６】
隣り合う２つの前記構造コア板（１２）は、少なくとも１つの結合レール（６０）により結合されており、前記結合レール（６０）は、当付け部分（６０．１）を有しており、該当付け部分（６０．１）は、それぞれ隣接する前記構造コア板（１２）の一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）と密に結合されており、特に密に接着されている、請求項１から５までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項７】
前記結合レール（６０）、中空成形部（６０．２）と該中空成形部（６０．２）に一体成形された前記当付け部分（６０．１）とを備える押出し成形部材であり、隣り合う前記構造コア板（１２）は、前記中空成形部（６０．２）の両側に沿って配置されていると共に、該中空成形部（６０．２）により隔てられている、請求項６記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項８】
隣り合う前記構造コア板（１２）のうちの少なくとも１つが、その縁部で以て、前記当付け部分（６０．１）と、該当付け部分（６０．１）とは反対の側で前記中空成形部（６０．２）に一体成形された対応レール（６０．３）との間の領域に挿入され、保持されている、請求項７記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項９】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の底部（２０）と間接的または直接的に結合されており、該底部（２０）は、前記構造コア板（１２）、特にハニカムコア板として形成された１つまたは複数の底板（２２，２２．１，２２．２，２２．３）から形成されている、請求項１から８までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１０】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、載置された、特に被せ嵌められた前記成形レール（６２）で以て前記底部（２０）に設置され、保持ブラケット（６５）により前記底部（２０）に固定されており、前記成形レール（６２）と前記底部（２０）との間にはシール部材が設けられており、かつ／または前記成形レール（６２）は前記底部（２０）と接着されている、請求項９記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１１】
隣り合う前記底板（２２，２２．１，２２．２，２２．３）の互いに突き合わされる縁部には、互いに内外で係合し合う底部レール（２３．１，２３．２）が一体成形されているか接着されており、これらの底部レール（２３．１，２３．２）は、互いに密に結合されている、請求項９または１０記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１２】
当該クリーンガスキャビン（１０）は上方に対して、少なくとも１つの蓋板（４３）から形成された蓋（４０）により閉鎖されており、前記蓋板（４３）は、前記構造コア板（１２）、特にハニカムコア板から形成されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１３】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、載置された、特に被せ嵌められた前記成形レール（６２）で以て、前記少なくとも１つの蓋板（４３）と間接的または直接的に結合されており、かつ／または前記成形レール（６２）と前記蓋板（４３）との間にはシール部材が設けられており、かつ／または前記成形レール（６２）は前記蓋板（４３）と接着されている、請求項１２記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１４】
前記構造コア板（１２）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の角隅部の領域において放射状に曲げられている、請求項１から１３までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１５】
前記構造コア板（１２）は、その外周において少なくとも部分的に、１つまたは複数の成形部分により取り囲まれている、請求項１から１４までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１６】
前記構造コア板（１２）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の内部空間に面した前記被覆板（１２．１，１２．２）で以て、前記成形部分に対してシールされており、かつ／または前記構造コア板（１２）の縁部領域は、その外周の少なくとも一部において覆われている、請求項１５記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周辺環境に対して密閉され、複数の側壁により取り囲まれた内部空間を有するクリーンガスキャビンに関する。
【背景技術】
【０００２】
製造や、研究および開発における多数の製造プロセスおよび作業ステップは、通常の環境条件下で実施することはできず、別個の雰囲気を必要とする。このような製造プロセスは、例えば半導体製造におけるコーティング過程、ＬＣＤまたはＯＬＥＤ製造における密封ステップ、または例えば医療・製薬技術および溶接用途、特にチタン溶接における高純度の原材料の製造プロセスであり得る。これらのプロセスは、例えばクリーンルーム条件、低湿度、不活性ガス雰囲気、またはそれぞれ異なるこれらの条件と別の条件との組合せを必要とする場合がある。
【０００３】
上記のような製造プロセスまたは作業ステップを、内部で所要条件に応じて雰囲気を発生させることのできる閉鎖空間内で実行することは周知である。この閉鎖空間はエアロックを有しており、エアロックを介して所要材料を閉鎖空間内へ導入すると共に、製品を取り出すことができるようになっている。
【０００４】
このような空間は、例えば文献（”Reinraumtechnik” 3. aktualisierte u. erw. Aufl., Springer, 202-207頁参照）で十分に説明されているような、いわゆるグローブボックスに形成されている。このようなグローブボックスは、主として特殊鋼から製造されており、グローブポートを介して所望の作業ステップをグローブボックス内で実施する手段を提供している。所要雰囲気を発生させるために、相応するガス供給部または循環用導管が設けられており、これらを介してグローブボックスからガスが取り出され、少なくとも１つのガス調製ユニットを通して案内されてから、再びグローブボックスに供給されるようになっている。このようなグローブボックスは、その構成に基づき、特に製造ユニットが大型の場合には、製造ラインに組み込むことが難しい。それというのも、包囲されるべき設備は、設けられたエアロックを介してしか、グローブボックスに入れることができないからである。
【０００５】
よって、フード設計された不活性ガスケーシングが知られている。フードは、底板と共に包囲空間を形成しており、その中で所要の雰囲気を生ぜしめることができるようになっている。予め組み立てられたフードは、上方から底板に設置されかつ密閉される。必要とされるポート、エアロック、上流側に接続される室、およびその他の所要ユニットや構成群は、好適には既にフードに取り付けられていて、テスト済みである。よって、この不活性ガスケーシングを、作業もしくは製造予定スペースに迅速に設置することができる。フード設計された取付け部材は、任意の設備または設備部分を、要求に応じて雰囲気を発生させることができる閉鎖空間内で作動させる手段を提供する。このために、フードのサイズが、その時々の設備に適合させられる。不活性ガスケーシングの形成に用いられる材料は、その内部で例えば汚染またはガス放出により雰囲気を変化させないように設定されている。さらにこのケーシングは、不活性ガスケーシングの内部空間と周辺環境との間でガス交換が行われないように形成されている。知られているのは特殊鋼製またはアルミニウム製の不活性ガスケーシングである。このような不活性ガスケーシングにおける欠点は、説明した構成形式と使用される材料とに基づき生じる、重い重量にある。重量が重いと、一方ではフードを上方から各設備に被せることを困難にする。それというのも、相応に荷重を加えることのできるリフト装置が設けられていなければならないからである。さらに、不活性ガスケーシングは、包囲される設備に加えて付加的に、底部荷重を高める。このことは、クリーンガスキャビンを設置しようとする建屋の底部耐荷重が十分でない場合には、底部の静的な平衡状態の向上のために、費用のかかる大規模な改造対策が必要になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の課題は、内部空間が周辺環境に対して密閉されており、設備または設備部分を作動させるための要求に応じた雰囲気を発生させることができ、かつ低い自重を有する、設備または設備部分を収容するためのクリーンガスキャビンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記課題は、クリーンガスキャビンの側壁の少なくとも一部が、各２つの被覆板と、その間に配置された構造コア、特にハニカムコアとを備える１つまたは複数の構造コア板、特に１つまたは複数のハニカムコア板から形成されていることによって解決される。構造コア板とは、本発明の枠内では特に、サンドイッチ状に構成されていて、２つ以上の被覆板を有しており、各被覆板の間に構造コアが配置されているような、板状の構成部材を意味する。この場合、構造コアは、任意の、特に軽量構造の構造体であってよい。軽量構造の構造体は、例えばハニカムコア、波形または蛇行状の材料、または発泡材料等により形成されていてよい。
【０００８】
本発明によるクリーンガスキャビンは、内部で所要雰囲気を発生させることができるケーシングである。このためにケーシングは、その周辺環境に対して気密に形成されている。ケーシング内では、別個の雰囲気を必要とする製造プロセスや作業ステップを実施することができる。このためクリーンガスキャビン内には、例えばロボット等の相応の製造ユニット、または実験室設備が配置されている。雰囲気に対する要求には、その清浄性、含有水分量、または組成が当てはまる場合がある。つまり例えば、特定のプロセスを、不活性ガス雰囲気下でのみ実施することができる。例えば温度またはボックス圧等の別のパラメータも、やはり調整可能であってよい。よって、クリーンガスキャビンには、相応のガス調製ユニットが対応配置されている。つまり、このクリーンガスキャビンは、多角形の底面と、周辺環境に対して密閉され、側壁により包囲された内部空間を有するキャビンであってよく、少なくとも１つの循環用導管を備えており、循環用導管を介してクリーンガスキャビンからガスが取り出され、少なくとも１つのガス調製ユニットを通して案内されてから、再びクリーンガスキャビンに供給されるようになっている。ボックスには層流システムが装備されていてもよい。
【０００９】
構造コア板から成る側壁は、比較可能な機械的耐荷重を備える中実に構成された側壁に比べると、大幅に小さな重量を有している。構造コアを介して互いに結合されている、間隔をあけて配置された２つの被覆板を有する構造コア板の構成に基づき、側壁の極めて高い耐荷重が得られる。構造コア板は高い曲げ剛性を有しているので、構造コア板から形成された側壁は、荷重が加えられても全くまたは僅かにしか弾性的に曲がらない。構造コア板は、両側に配置された被覆板に基づき、使用された被覆板の透過特性に相応して、構造コア板の面法線の方向において気密である。特に、被覆板と構造コアとがアルミニウムから形成されたアルミニウムハニカムコア板が、クリーンガスキャビンの気密な側壁の製造に適している。構造コアは、ガスが構造コア板内で、その面法線に対して横方向に流れることを防止する。これにより、例えば縁部を介して、または各被覆板にずらして形成された開口部を介して、ガスがクリーンガスキャビンに流入したりクリーンガスキャビンから流出したりする恐れは一切ないことが保証される。
【００１０】
構造コア板は全体としてその構成に基づき、簡単には曲げることができない。それというのも、この場合には外側の被覆板が伸長させられると共に、内側の被覆板は圧縮されざるを得ないからである。このことは相応の歪みにつながる。
【００１１】
よって、本発明の１つの変化態様では、クリーンガスキャビンの１つの角隅部に沿って一方の被覆板が曲げられており、かつ他方の被覆板と構造コアとは分離されている、または一方の被覆板が、他方の被覆板に向かって構造コア内に加工成形されており、加工成形領域において構造コア板が曲げられている、ということが想定されていてよい。
【００１２】
クリーンガスキャビンの１つの角隅部に沿って一方の被覆板が曲げられており、かつ他方の被覆板と構造コアとは分離されていることにより、それでもなお、構造コア板により角隅部を形成することができる。好適には、後に角隅部の外角側に位置することになる被覆板が、構造コアと共に、反対側の被覆板に達するまで分離される。次いで、内側の被覆板が、外側の被覆板と構造コアとに形成されたギャップに沿って、クリーンガスキャビンの角隅部の所望の角度に曲げられる。このときギャップは広げられる。
【００１３】
代替的に、後に角隅部の内角に位置する被覆板と、その下に位置する構造コアとが、後の角隅部に沿って反対側の被覆板に達するまで分離されることが想定されていてもよい。この場合、ギャップは、分離されない被覆板を起点として、分離された被覆板に向かってくさび状に広がるように形成される。この場合、ギャップの所要開口角度は、形成されるべき角隅部の角度に基づき予め規定されている。次いで、分離されない被覆板がギャップに沿って曲げられて、外角を形成する。このときギャップは再び縮められる。
【００１４】
有利には、それぞれに存在する分離されない被覆板に基づき、構造コア板は、角隅部が形成される領域においても気密である。この場合、構造コアは、ガスがギャップから出発して構造コア板内に広がることを防止している。
【００１５】
一方の被覆板が他方の被覆板に向かって構造コア内に加工成形されており、加工成形領域において構造コア板が曲げられていることが想定されている場合には、特に簡単に気密な角隅部を形成することができる。
【００１６】
本発明の１つの好適な構成では、クリーンガスキャビンの１つの角隅部に沿って、分離された被覆板と構造コアとに形成されたギャップが、角隅部カバーによって覆われており、かつ／または角隅部カバーは、互いに角度を成して配置された２つの脚部で以て、それぞれギャップの片側において構造コア板と密に結合されており、特に密に接着されている、ということが想定されていてよい。角隅部カバーは、角隅部の領域において側壁の安定性を高めており、角隅部の角度を確定すると共に、この角度が、側壁に荷重が加えられた際に、例えば分離されない被覆板が曲がることにより変わることを防いでいる。さらに、角隅部カバーは、角隅部に沿って側壁の付加的なシールを生じさせる。
【００１７】
機械的損傷から側壁の縁部を保護することは、側壁の上下端部における構造コア板の縁部に成形レールが載せられ、特に被せ嵌められ、構造コア板と密に結合されている、特に密に接着されていることにより、達成することができる。成形レールは、クリーンガスキャビンの底部および蓋に対する側壁の密な接続を可能にする。
【００１８】
さらに別の構成部材を簡単かつ確実に構造コア板に固定することができるようにするために、構造コア板に少なくとも１つのねじ受容部が配置されており、ねじ受容部は、構造コア板の２つの被覆板のうちの一方および各被覆板の間に配置された構造コアの少なくとも一部を貫通して案内されており、かつ／またはねじ受容部は、両被覆板および構造コアを貫通して案内されており、固定部材が挿入された状態では少なくとも片側においてシールされている、ということが想定されていてよい。ねじ受容部により、両被覆板のうちの一方だけが貫通されている場合、構成コア板は、ねじ受容部の領域において引き続き気密である。例えば、ねじ締結部に加えられる機械的な荷重が増大した場合には、両被覆板をねじ受容部が貫通することが必要となり、ねじ受容部を通ってガスが外部からクリーンガスキャビンに流入したりクリーンガスキャビンから周辺環境へ流出したりすることを、シールを介して防止することができる。
【００１９】
隣り合う２つの構造コア板の気密な結合は、隣り合う２つの構造コア板が、少なくとも１つの結合レールにより結合されており、結合レールは、当付け部分を有しており、当付け部分は、それぞれ隣接する構造コア板の一方の被覆板と密に結合されており、特に密に接着されていることによって、達成することができる。つまり、結合レールの当付け部分は、隣り合う２つの構造コア板の間で気密に形成されたブリッジを形成している。有利には、構造コア板の結合は、クリーンガスキャビンの側壁の直線的な領域において行われる。このような結合部は、クリーンガスキャビンの角隅部における結合よりも簡単にシールすることができる。接着に対して代替的または付加的に、各構造コア板と、当て付けられている結合レールの当付け部分との間には、シール部材が設けられていてもよい。
【００２０】
設計上の構成は、結合レールが、中空成形部とこの中空成形部に一体成形された当付け部分とを備える押出し成形部材であり、隣り合う構造コア板が、中空成形部の両側に沿って配置されていると共に、中空成形部により隔てられていることにより、さらに簡略化することができる。中空成形部により、結合レールの高い剛性及び安定性が達成される。これにより、結合レールと結合される側壁の付加的な補強が行われることになる。中空成形部はさらに、中空成形部に当て付けられる構造コア板の正確な位置決めをも生ぜしめる。結合レールは、１回の押出し成形プロセスで簡単かつ廉価に製造することができる。クリーンガスキャビンの軽量構造を達成するために、結合レールは好適にはアルミニウムから製造されている。
【００２１】
クリーンガスキャビンの組立は、隣り合う各構造コア板のうちの少なくとも１つが、その縁部で以て、当付け部分と、当付け部分とは反対の側で中空成形部に一体成形された対応レールとの間の領域に挿入され保持されていることにより、簡略化することができる。対応レールと、反対の側に位置する当付け部分とは、中空成形部と共にＵ字形の受容部を形成しており、この受容部に、構造コア板の縁部を挿入して保持することができるようになっている。つまり、対応レールは、構造コア板の、結合レールへの移行領域に付加的なシールならびに高められた安定性を生じさせている。
【００２２】
クリーンガスキャビンの内部空間を下方に対しても密閉することができるようにするために、側壁は、クリーンガスキャビンの底部と間接的または直接的に結合されており、底部は、構造コア板、特にハニカムコア板として形成された１つまたは複数の底板から形成されている、ということが想定されていてよい。この場合、側壁は底部と気密に結合されている。構造コア板を用いて底部を形成することにより、中実な底部構造に比べ、クリーンガスキャビンの大幅な重量削減が達成されることになる。
【００２３】
クリーンガスキャビンの側壁の、底部との簡単に組み立てられる密な結合部は、側壁が、載置された、特に被せ嵌められた成形レールで以て底部に設置され、保持ブラケットにより底部に固定されており、成形レールと底部との間にシール部材が設けられており、かつ／または成形レールは底部と接着されていることにより、達成することができる。
【００２４】
隣り合う底板間の丈夫でなおかつ気密な結合部は、隣り合う底板の互いに突き合わされる縁部に、互いに内外で係合し合う底部レールが一体成形されているか接着されており、底部レールは、互いに密に結合されていることにより、達成することができる。
【００２５】
本発明の１つの別の好適な構成では、クリーンガスキャビンは上方に対して、少なくとも１つの蓋板から形成された蓋により閉鎖されており、蓋板は、構造コア板、特にハニカムコア板から形成されている、ということが想定されていてよい。この場合も構造コア板は、低い重量、僅かな撓みにおける高い機械的耐荷重、ならびにガスに対する密閉性という、既に説明した利点を提供する。
【００２６】
クリーンガスキャビンの側壁の、蓋との簡単に組み立てられる密な結合部は、側壁が、載置された、特に被せ嵌められた成形レールで以て、少なくとも１つの蓋板と間接的または直接的に結合されており、かつ／または成形レールと蓋板との間にシール部材が設けられており、かつ／または成形レールは蓋板と接着されていることにより、達成することができる。
【００２７】
以下に、図示の各実施例に基づき本発明をより詳しく説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】クリーンガスキャビンの外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示したクリーンガスキャビンの内側を示す斜視図である。
【図３】図１および図２に示したクリーンガスキャビンの分解図である。
【図４】クリーンガスキャビンの角隅部を上から見た断面図である。
【図５】図３に示したクリーンガスキャビンの角隅部を有する部分の外観を示す斜視図である。
【図６】図３に示したクリーンガスキャビンの角隅部を有する部分の内側を示す斜視図である。
【図７】図３に示したクリーンガスキャビンの角隅部を有する部分の外観斜視図および分解図である。
【図８】図３に示したクリーンガスキャビンの角隅部を有する部分の、２つの結合レールの領域の外観斜視図である。
【図９】図８に示した結合レールを備える、端部側を互いに突き合わされた２つの側壁の断面図である。
【図１０】図３に示した、垂直に配置された結合レールを備える部分の外観図である。
【図１１】図３に示した、垂直に配置された結合レールと、第１の垂直方向の側壁の上部終端部とを備える部分の外観図である。
【図１２】図３に示した、垂直に配置された結合レールと、第１の垂直方向の側壁の下部終端部とを備える部分の外観図である。
【図１３】図３に示した、垂直に配置された結合レールと、第５および第６の側壁の下部終端部とを備える部分の内側を示す図である。
【図１４】図３に示した、２つの隣り合う底板の領域の部分の分解図である。
【図１５】クリーンガスキャビンの支持体の斜視図である。
【図１６】図１５に示した支持体を、この支持体の長手方向延在部の方向に見た断面図である。
【図１７】図３に示した、クリーンガスキャビンの蓋の領域の部分を示す図である。
【図１８】図３に示した、クリーンガスキャビンの支持構造体の固定領域の部分を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１には、クリーンガスキャビン１０の外観を示す斜視図が示されている。以下の構成をより伝えやすくするために、クリーンガスキャビン１０の正面側１０．１と背面側１０．２とが任意に規定されている。
【００３０】
クリーンガスキャビン１０は、多角形の輪郭を有している。図示の実施例では、輪郭は六角形である。相応して六角形の底部２０には、複数の側壁３０が設置されている。この場合、各側壁３０は、底部２０の外側に取り付けられた位置決め部材２１に沿って方向付けられている。選択された正面側１０．１の視点では、左側に第１の垂直方向の側壁３０．１が設けられており、重なり合って配置された第１、第２および第３の水平方向の側壁３０．８，３０．９，３０．１０が設けられている。別の垂直方向の側壁３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７は、図３に示されている。第１の垂直方向の側壁３０．１は、クリーンガスキャビン１０の第１の角隅部１１．１を有している。３つの水平方向の側壁３０．８，３０．９，３０．１０は、第２および第３の角隅部１１．２，１１．３を包囲して張設されている。第２の水平方向の側壁３０．９の中央領域には切抜き部３１が設けられており、切抜き部３１には中間扉３５が挿入されている。
【００３１】
各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０間の移行部には、それぞれ結合レール６０が設けられており、これらの結合レール６０は、結合ブラケット６１により、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に結合されている。
【００３２】
クリーンガスキャビン１０の上側は、蓋４０により閉じられている。蓋４０もやはり、六角形の基本構造を有している。蓋４０の面は、４つの蓋板４３から形成されている。これらの蓋板４３は、固定部材４４および縁部固定部材４５により保持されている。蓋板４３を包囲するように縁部包囲体４２が設けられており、縁部包囲体４２には柵４１が取り付けられている。
【００３３】
クリーンガスキャビン１０の側方には、２つの循環用導管５０．１，５０．２が矩形の通路の形態で取り付けられている。循環用導管５０．１，５０．２は、図１、図２および図３に示すような供給部５１．１，５１．２と取出し箇所５２．１，５２．２とを介してクリーンガスキャビン１０の内部空間に接続されている。このために、相応の開口部が、第１および第３の水平方向の側壁３０．８，３０．１０ならびに図３に示す第２の垂直方向の側壁３０．２に設けられている。
【００３４】
クリーンガスキャビン１０は、その周辺環境に対して密閉されたケーシングを成している。クリーンガスキャビン１０内には、製造設備または実験室設備等を配置することができる。さらに、クリーンガスキャビン１０内で所定の雰囲気を調整することもできる。このため、所定の組成を有する特定のガスまたはガス混合物が、クリーンガスキャビン１０の内部空間に存在していてよい。ガスまたはガス混合物は、不活性ガスであってよい。さらに、ガスまたはガス混合物の湿度を調整することができる。付加的な要求として、クリーンガスキャビン１０に必要とされるクリーンルームクラスが予め設定されている場合がある。複数の要求が個々に当てはまることもあるし、組み合わさって当てはまることもある。付加的に、別の雰囲気パラメータ、例えば温度や圧力を調整することができる。本発明に相応するクリーンガスは、求められる要求に対応した雰囲気であると解される。
【００３５】
所要雰囲気に応じて、クリーンガスキャビン１０にはこの雰囲気を供給しまたは発生させるための相応のユニットが装備されている。本実施例では、クリーンガスキャビン１０は、２つの循環用導管５０．１，５０．２を有している。これらの循環用導管５０．１，５０．２を介して、取出し箇所５２．１，５２．２においてガスがクリーンガスキャビン１０から取り出され、供給部５１．１，５１．２を介して再びクリーンガスキャビン１０に供給される。このときガスは、図２に示すガス調製ユニット５５に供給される。ガス調製ユニット５５は、クリーンガスキャビン１０の内部空間に接続されている。ガス調製ユニット５５内で調製されたガスは、ガス調製ユニット５５を通流した後に、取出し箇所５２．１，５２．２を介して循環用導管５０．１，５０．２、供給部５１．１，５１．２およびクリーンガスキャビン１０の内部空間へ送られる。ガス調製には、クリーンガスキャビン１０の内部空間に必要とされる雰囲気を発生させることも含まれる。
【００３６】
このようにして、クリーンガスキャビン１０は、特別な雰囲気を必要とする製造プロセスまたは作業ステップの実施を可能にする。このような製造ステップは、例えば製薬分野における高純度物質のコーティングプロセス、密閉プロセス、または処理、または製造であってよい。所要材料および物質の供給は、設けられたエアロックを介して、本実施例では例えば中間扉３５を介して行われる。この場合、中間扉３５は、クリーンガスキャビン１０に接続された室に対する接続部を成していてよい。
【００３７】
本発明に基づき、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０は、図４につきより詳細に説明するように、構造コア板１２から形成されている。各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０は、ハニカムコア板またはアルミニウムハニカムコア板として形成されていてよい。構造コア板は、多層構造を有している。図４に示すように、間隔をあけて配置された少なくとも２つの被覆板１２．１，１２．２が、構造コア１２．３と面状に結合されている。被覆板１２．１，１２．２と構造コア１２．３とは、本実施形態ではアルミニウムから製造されている。構造コア１２．３は、ハニカムコアとして形成されている。このようにして、高い曲げ剛性と同時に低い重量を有する板が形成される。つまり、クリーンガスキャビン１０は、中実のアルミニウム壁または特殊鋼壁を用いて製造されたクリーンガスキャビン１０よりも大幅に低い重量を有している。これにより、移された設備部分およびクリーンガスキャビン１０の重量に基づき生じる底部荷重が、大幅に減少する。よって、クリーンガスキャビン１０は、底部耐荷重の小さな建屋においても使用可能である。さらに、比較的低い重量は、使用箇所におけるクリーンガスキャビン１０の設置を容易にする。それというのも、このためにリフト装置を一切必要としないか、または耐荷重が小さなリフト装置を必要とするからである。
【００３８】
クリーンガスキャビン１０の重量をさらに減少させるために、蓋板４３も構造コア板１２から、本実施例ではアルミニウムハニカムコア板から形成されている。
【００３９】
図２には、図１に示したクリーンガスキャビン１０の内側が斜視図で示されている。この場合は、クリーンガスキャビン１０の背面側１０．２からクリーンガスキャビン１０内を見ている。
【００４０】
クリーンガスキャビン１０の底部２０には、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に沿ってガス供給通路５３が取り付けられている。ガス供給通路５３は、底部２０および各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に結合されている。循環用導管５０．１の第１の供給部５１．１と、循環用導管５０．２の、図３に示す第２の供給部５２．２とは、ガス供給通路５３に通じている。ガス供給通路５３は、このガス供給通路５３の側方と上部とに配置された、穿孔されたカバー格子５４を介して、クリーンガスキャビン１０の内部空間と接続されている。
【００４１】
図示の水平方向の側壁３０．８，３０．９，３０．１０の間には結合レール６０が配置されており、これらの結合レール６０は、クリーンガスキャビン１０の内部空間に向かってそれぞれ一体成形された中空成形部６０．２を有している。各側壁３０．８，３０．９，３０．１０は、中空成形部６０．２に当て付けられている。図示の実施例の結合レール６０の構造は、図９に拡大断面図で示されている。
【００４２】
クリーンガスキャビン１０の内部空間の上部領域は、支持構造体７０により仕切られている。支持構造体７０には、少なくとも部分的に孔あき天井として形成された天井１３が下向きに取り付けられている。支持構造体７０上には、ガス調製ユニット５５のフィルタ（および場合により水・空気熱交換器の形態の温度調整装置）５６が支持されている。フィルタ（熱交換器）の上には下部構造体４６が配置されており、下部構造体４６上にクリーンガスキャビン１０の蓋４０が支持されている。支持構造体７０と下部構造体４６とは、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に固定された複数の支持体８０により形成されている。
【００４３】
製造設備または実験室設備等は、クリーンガスキャビン１０の底部２０に設置することができる。製造設備または実験室設備は、例えば生ぜしめられたクリーンガスキャビン１０の雰囲気中で１つまたは複数の作業ステップを実行するロボットであってよい。
【００４４】
ガスは、取出し箇所５２．１，５２．２を介してクリーンガスキャビン１０の内部空間から取り出され、供給部５１．１，５１．２を介して内部空間に再び供給される。このためにガスは、フィルタ５６を通って天井１３と蓋４０との間の中間室に吸い込まれ、次いで循環用導管５０．１，５０．２に供給される。天井１３は、フィルタ５６の下側で穿孔されて形成されている。代替的に、天井１３はフィルタ５６の下側で切り欠かれていてもよい。これにより、クリーンガスキャビン１０の内部空間を、上から下に向かってガスが通流するようになっている。このために循環用導管５０．１，５０．２内には、相応するファン（図示せず）が設けられている。
【００４５】
図３には、図１および図２に示したクリーンガスキャビン１０の分解図が示されている。
【００４６】
クリーンガスキャビン１０の第４の角隅部１１．４は、第７の垂直方向の側壁３０．７内に配置されている。第５の角隅部１１．５は、第５の垂直方向の側壁３０．５内に延在している一方で、第６の角隅部１１．６は、第３の垂直方向の側壁３０．３に沿って延在している。各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０間の突合わせ縁部は、それぞれクリーンガスキャビン１０の各角隅部１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６に沿って延在しているのではなく、クリーンガスキャビン１０の外壁の直線状に延在する部分に沿って配置されている。これにより、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０間の移行部を良好にシールすることができる。
【００４７】
各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０には、支持構造体７０を取り付けるための取付けレール７１が取り付けられている。
【００４８】
底部２０は、隣り合う各底板２２．１，２２．２，２２．３から形成されている。本実施例では、３つの底板２２．１，２２．２，２２．３が設けられている。クリーンガスキャビン１０の重量を減少させるために、底板２２．１，２２．２，２２．３は構造コア板１２から、本実施例ではアルミニウムハニカムコア板から形成されている。
【００４９】
各部分Ｖ，ＶＩ，ＶＩＩ，ＶＩＩＩ，Ｘ，ＸＩ，ＸＩＩ，ＸＩＩＩ，ＸＩＶ，ＸＶＩＩ，ＸＶＩＩＩは、図５、図６、図７、図８、図１０、図１１、図１２、図１３、図１４、図１７および図１８に拡大されて示されている。
【００５０】
製造に関して、クリーンガスキャビン１０の種々様々な構成部材が、予め製造される。この場合、底板２２．１，２２．２，２２．３、側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０および蓋板４３が、それぞれ構造コア板１２から切り取られる。中間扉３５用の切抜き部３１や、循環用導管５０．１，５０．２の取出し箇所５２．１，５２．２および供給部５１．１，５１．２等の所要の切抜き部が、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に形成される。各角隅領域に配置される各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が、図４につきより詳細に説明するように、クリーンガスキャビン１０の後の角隅部１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６に沿って曲げられる。支持体８０が切り取られ、支持構造体７０と下部構造体４６とが組み立てられる。蓋板４３は、固定部材４４を介して下部構造体４６と結合される。
【００５１】
クリーンガスキャビン１０を組み立てるために、各底板２２．１，２２．２，２２．３が結合されて底部２０を形成していると共に、位置決め部材２１が取り付けられている。製造設備または実験室設備が底部２０に配置される。次に、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が設置され、結合レール６０により互いに結合されると共に、各底板２２．１，２２．２，２２．３と気密に結合される。この場合、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０は、片側で各位置決め部材２１に当接している。取付けレール７１が、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に取り付けられ、かつ支持構造体７０が挿入される。ガス調製ユニット５５の各ユニットが取り付けられる。次いで蓋４０が被せ嵌められ、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０と気密に結合される。中間扉３５等のアクセス部材が取り付けられる。最後に、循環用導管５０．１，５０．２、ガス供給通路５３、縁部包囲体４２および柵４１等の別の構成群が取り付けられる。この手順が提供する利点は、予め製造されたフード全体を搬送する必要がなく、個々の構成部材が現場で取り付けられる、という点にある。したがって、リフト装置は不要であり、各構成部材の設置場所までの搬送も簡単なので、廉価である。
【００５２】
１つの代替的な手順では、最初に、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０と、支持構造体７０と、蓋４０を備える下部構造体４６とから成るクリーンガスキャビン１０のフードが予め組み立てられる。その時々の状況に応じて、フードのさらに別の構成部材及び構成群が予め組み立てられてもよい。
【００５３】
クリーンガスキャビン１０の設置に関しては、底部２０が形成されて位置決め部材２１が取り付けられ、その上に製造設備または実験室設備が設置される。次いで、予め組み立てられたフードが上方から底部２０に設置される。この場合有利には、フードをその機能および密封性について、既に予め検査することができる。さらに、この構成は現場で迅速に、ひいては例えば連続的な製造を長く中断すること無しに組み立てることができる。
【００５４】
図４には、クリーンガスキャビン１０の角隅部１１を上から見た断面図が示されている。この場合、角隅部１１は、既に述べた各角隅部１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６の代理である。構造コア板１２は、間隔をあけて配置された２つの向かい合う被覆板１２．１，１２．２と、構造コア１２．３とから形成されている。構造コア１２．３は、両被覆板１２．１，１２．２を結合している。構造コア板１２が、角隅部１１を形成している。このため、外側の第２の被覆板１２．２と構造コア１２．３とは、本発明により角隅部１１に沿って分離されている。内側の第１の被覆板１２．１は、縁部１１に沿って曲げられている。この場合、内側の第１の被覆板１２．１は縁部１１に沿って、内側の第１の被覆板１２．１の、構造コア１２．３とは反対の側に内角が形成されるように曲げられている。構造コア板１２を曲げることにより、第１の被覆板１２．１および構造コア１２．３の分離線に沿って、開かれたギャップ３２が形成されることになる。このギャップ３２は、角隅部カバー３３により覆われている。角隅部カバー３３は、所定の角度で相対する２つの脚部３３．１，３３．２により形成されている。この場合、上記の角度は、クリーンガスキャビン１０の縁部１１の所要角度に相当する。脚部３３．１，３３．２は、それぞれギャップ３２の片側で、構造コア板１２の外側の第２の被覆板１２．２と結合、特に接着されている。
【００５５】
構造コア板１２は、その構成に基づき高い安定性および曲げ剛性を有すると同時に、小さな自重をも有している。よって、中実のアルミニウムまたは特殊鋼等の従来の壁材料に比べ、極めて小さな重量を有するクリーンガスキャビン１０を形成することができる。両被覆板１２．１，１２．２に基づき、構造コア板は気密である。各被覆板１２．１，１２．２の間でも、ガスが構造コア１２．３内で構造コア板１２の面法線に対して横方向に流れる恐れはない。それというのも、各構造コア要素が上記の方向において互いに密に結合されていると共に、被覆板１２．１，１２．２に対しても密に結合されているからである。本実施例では、構造コア板１２は、構造コア１２．３としてハニカムコアを備えて設けられている。ハニカムコアは、構造コア板１２の高い曲げ剛性につながる一方で、構造コア板１２の面法線に対して横方向において、気密に形成することができる。
【００５６】
縁部１１を形成するためには、外側の第２の被覆板１２．２と構造コア１２．３だけが分離され、内側の第１の被覆板１２．１は本発明に基づき分離されず、単に曲げられたに過ぎないので、構造コア板１２は縁部１１の領域において気密なままである。このことは、クリーンガスキャビン１０の側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０として使用するための基本的な前提条件である。構造コア板１２は、面法線に対して横方向において気密であるため、ギャップ３２を介してガスが流入し、構造コア板１２に対して横方向で、角隅部１１から間隔をあけて配置された内側の第１の被覆板１２．１の生じ得る開口部、ひいてはクリーンガスキャビン１０の内部に流入する恐れはない。
【００５７】
角隅部カバー３３により、縁部１１の角度が予め設定され、かつ安定化させられる。付加的に、角隅部カバー３３はギャップ３２の領域をシールする。角隅部カバー３３はさらに、内側の第１の被覆板１２．１が誤って外部からギャップ３２を通じて損傷されることを防ぐ。好適には、角隅部カバー３３は、その長手方向延在部に沿って曲げられた、特にアルミニウムから成るレールである。
【００５８】
本実施例では、構造エレメント板１２は、アルミニウムハニカムコア板として形成されている。この場合、被覆板１２．１，１２．２と構造コア１２．３とは、アルミニウムから製造されている。構造コア１２．３は、ハニカム構造を有している。これにより、密で機械的に極めて安定した側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が得られる。アルミニウムは、有利には大抵クリーンガスキャビン１０内で必要とされる雰囲気に対して不活性である。
【００５９】
図５には、図３に示したクリーンガスキャビン１０の第２の角隅部１１．２を備えた部分Ｖの外観が斜視図で示されている。第２の角隅部１１．２に沿って、角隅部カバー３３が構造コア板１２の外側の第２の被覆板１２．２に接着されている。第１の水平方向の側壁３０．８の上縁には、２つの成形レール６２が被せ嵌められている。この場合、第１の水平方向の側壁３０．８は、隣り合った各成形レール６２の受容領域６２．２内に挿入されている。成形レール６２の、受容領域６２．２の開口とは反対の側では、２つの支持ストリップ６２．１が受容領域６２．２の両側に一体成形されている。第２の縁部１１．２の領域では、留め継ぎを形成するように切断された各成形レール６２が互いに突き合わされている。
【００６０】
成形レール６２は、構造コア板１２として形成された各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０の露出した縁部を上方に対して被覆している。クリーンガスキャビン１０が組み立てられた状態では、支持ストリップ６２．１が、載置される蓋４０に対する接触面を形成している。この場合、接触面を、例えば接着または緊締により、蓋４０と密に結合することができる。シールするために、接触面に沿って複数のシールが配置されていてよい。好適には、成形レール６２と各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０との間の接触領域もシールされている。このためには、受容領域６２．２内にシール部材が設けられていてよい、または各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０は、受容領域６２．２の領域において成形レール６２と接着されている。
【００６１】
図６には、図３に示した、クリーンガスキャビン１０の第５の角隅部１１．５を備えた部分ＶＩを内側から見た斜視図が示されている。つまり、この部分ＶＩは、図５に示した図面に相応するものであるが、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０の上部終端部の領域における角隅部１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６の内角を見たところである。
【００６２】
第５の垂直方向の側壁３０．５は、構造コア板１２として形成されている。構造コア板１２の内側の第１の被覆板１２．１は、第５の角隅部１１．５に沿って曲げられており、これにより内角が形成されている。第５の角隅部１１．５の領域における内側の第１の被覆板１２．１は分断されておらず、第５の角隅部１１．５の領域は気密に保たれている。
【００６３】
図７には、図３に示した、クリーンガスキャビン１０の第２の角隅部１１．２を備えた部分ＶＩＩの外観斜視図と分解図とが示されている。
【００６４】
成形レール６２は、第２の角隅部１１．２の角度に応じて留め継ぎを形成するように切断されており、かつ下方に向かって開いた受容領域６２．２を有しており、受容領域６２．２で以て、水平方向の第１の側壁３０．８の図示の部分ＶＩＩの上縁に被せ嵌められる。
【００６５】
縁部カバー３３は、アルミニウム成形部材として、被覆しようとする角隅領域の高さに合わせて切断されている。第８の側壁３０．８が曲げられると外側の第２の被覆板１２．２と構造コア１２．３とが分離することに基づき形成されるギャップ３２が、第２の角隅部１１．２に沿って露出している。
【００６６】
重ね合わされて配置された第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９の間には、複数の結合レール６０が設けられている。これらの結合レール６０は、複数の結合ブラケット６１および複数の適当な固定部材、特にねじにより、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に取り付けられている。
【００６７】
図８には、図３に示した、クリーンガスキャビン１０の第２の角隅部１１．２を備えた第２の結合レール６０の領域の部分ＶＩＩＩの外観が斜視図で示されている。
【００６８】
結合レール６０は、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９間に配置されている。この場合、結合レール６０は当付け部分６０．１で以て、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に大面積で当て付けられている。結合レール６０は結合ブラケット６１により、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に取り付けられている。結合ブラケット６１は、複数の孔６１．１を有している。これらの孔６１．１を通して、固定部材、特にねじを案内することができるようになっており、これらの固定部材を用いて、各結合ブラケット６１を各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に、図示の部分ＶＩＩＩでは第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に固定することができるようになっている。
【００６９】
当付け部分６０．１と各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０との間の領域は、好適にはシールされている。このために、当付け部分６０．１と各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０との間にシール部材が設けられていてよい、または当付け部分６０．１は、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に接着されていてよい。これにより結合レール６０は、隣り合う各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０間の気密な結合を可能にしている。
【００７０】
第２の縁部１１．２では、結合レール６０が留め継ぎを形成するように切断されている。
【００７１】
図９には、図８に示した結合レール６０を備えて端部側を互いに突き合わされた２つの側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が断面図で示されている。図示されているのは、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９間の突合わせ領域である。
【００７２】
結合レール６０は、中空成形部６０．２と、この中空成形部６０．２に一体的に成形された当付け部分６０．１とから形成されている。第２の水平方向の側壁３０．９の、当付け部分６０．１とは反対の側では、対応レール６０．３が中空成形部６０．２に一体成形されている。対応レール６０．３は、第２の水平方向の側壁３０．９の厚さに相応して、当付け部分６０．１から間隔をあけて配置されている。これにより、当付け部分６０．１と対応レール６０．３と中空成形部６０．２との間には、Ｕ字形に取り囲まれた領域が形成されており、この領域に第２の水平方向の側壁３０．９が挿入されている。第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９は、端部側で中空成形部６０．２に当接している。つまり、中空成形部６０．２は、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９間の間隔を規定している。結合レール６０は、その当付け部分６０．１で以て外側から第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に当て付けられている。結合ブラケット６１は、当付け部分６１の長手方向延在部に対して横方向に張設されている。当付け部分６０．１の脇で、結合ブラケット６１に孔６１．１がそれぞれ形成されている。これらの孔６１．１と合致するように、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９には、それぞれねじ受容部３４が形成されている。結合ブラケット６１は、結合ブラケット６１の孔６１．１を通じてねじ受容部３４内へ案内されたねじ（図示せず）により、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９と結合される。これにより、結合レール６０が保持されることになる。結合ブラケット６１は同時に、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９が互いに離反することを防止している。有利には、結合レール６０と、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９との間の領域は、例えばシール部材または接着によりシールされている。側壁３０．９はシールされて、Ｕ字形の受容部に接着されていることが考えられる。さらに有利には、第２の側壁３０．９は、成形部長手方向に延在するシールが介在した状態で、当付け部分６０．１に支持されていてよい、ということも考えられる。この場合に推奨されるのは、シールを中空成形部６０．２とは反対の側の、当付け部分６０．１の縁部領域に配置することである。シールは圧縮されると、当付け部分６０．１にわたって脇に向かって変位することができる。この場合、突出した領域も同様に、シール目的に利用することができる。これにより、例えば、結合レールに直角にまたは角度を成して続いている構成部材に対するシール閉塞部を形成することができる。
【００７３】
ねじ受容部３４は、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９を完全に貫通している。ここで、クリーンガスキャビン１０内へのガス流入を回避するために、後でねじが取り付けられるねじ受容部３４をシールする、シール部材が設けられている。１つの代替的な実施形態では、ねじ受容部３４は、構造コア板１２の内側の第１の被覆板１２．１までしか案内されていなくてもよい。これにより、内側の第１の被覆板１２．１は閉じられたままになるので、ガスがねじ受容部３４を通って侵入し、またはクリーンガスキャビン１０から流出する恐れはない。構造コア１２．３は、ガスがねじ受容部３４から出発して、第１および第２の水平方向の側壁３０．８，３０．９に対して横方向に広がることを防止する。
【００７４】
対応レール６０．３は、クリーンガスキャビン１０の組立を簡単にするものである。対応レール６０．３に基づき、結合レール６０をまず、結合しようとする各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０のうちの１つに被せ嵌めることができる。これにより、結合レール６０は保持された状態となる。次いで、上記側壁に突き合わされる側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０を、結合レール６０に結合することができる。
【００７５】
図１０には、図３に示した、垂直方向に配置された結合レール６０を備えた部分Ｘの外観図が示されている。
【００７６】
垂直方向に配置された結合レール６０は、図示の第１の垂直方向の側壁３０．１を、図３に示した３つの水平方向の側壁３０．８，３０．９，３０．１０に結合している。つまり、結合レール６０により、水平方向と垂直方向とに配置された各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０を、互いに気密に結合することができる。
【００７７】
図１１には、図３に示した、垂直方向に配置された結合レール６０と、第１の垂直方向の側壁３０．１の上部終端部とを備える部分ＸＩの外観図が示されている。
【００７８】
第１の垂直方向の側壁３０．１は、クリーンガスキャビン１０の蓋４０に対しては、被せ嵌められた成形レール６２により覆われている。結合レール６０の中空成形部６０．２の開いた端部には、ガイド部材６３が接続管片６３．２で以て挿入されている。接続管片６３．２には脚部６３．１が一体成形されている。脚部６３．１は、隣接する成形レールの支持ストリップ６２．１と同じ断面を有している。つまり、脚部６３．１と支持ストリップ６２．１とは、１つの連続した面を形成している。この面は、蓋４０に向けられている。これにより、ガイド部材６３と成形レール６２とは、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が互いに隣接し合う領域での、各側壁の上縁に沿った、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０と蓋４０との密な結合を可能にする。
【００７９】
図１２には、図３に示した、垂直方向に配置された結合レール６０と、第１の垂直方向の側壁３０．１の下部終端部とを備えた部分ＸＩＩの外観図が示されている。
【００８０】
図１１に第１の垂直方向の側壁３０．１の上部終端部に関して示したように、下部終端部にも成形レール６２と、成形レール６２の延長上で接続管片６３．２で以て結合レール６０の中空室成形部６０．２に挿入されたガイド部材６３とが配置されている。ここでもガイド部材６３の脚部６３．１と隣接する成形レール６２の支持ストリップ６２．１とが、１つの連続した面を形成している。この面は、クリーンガスキャビンの底部２０に向けられている。これによりガイド部材６３と成形レール６２とは、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０が互いに隣接し合う領域での、各側壁の下縁に沿った、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０と底部２０との密な結合を可能にする。
【００８１】
図１３には、図３に示した、垂直方向に配置された結合レール６０と、第５および第６の垂直方向の側壁３０．５，３０．６の下部終端部とを備えた部分ＸＩＩＩを内側から見た図が示されている。
【００８２】
第５および第６の垂直方向の側壁３０．５，３０．６は、その下縁で以て、対応配置された成形レール６２の受容領域６２．２に挿入されている。第５および第６の垂直方向の側壁３０．５，３０．６の間には、結合レール６０が配置されている。第５の垂直方向の側壁３０．５は、対応レール６０．３と、対応レール６０．３に対向して配置された当付け部分６０．１（図１２に図示）と、中空成形部６０．２とによって形成されたＵ字形の領域に挿入されている。対応レール６０．３とは反対の側で、取付け山形部材６４が中空成形部６０．２に当て付けられている。好適には、取付け山形部材６４は中空成形部６０．２と結合されている。取付け山形部材６４は、第６の垂直方向の側壁３０．６と結合されている。第５および第６の垂直方向の側壁３０．５，３０．６は、結合レール６０により互いに気密に結合されている。
【００８３】
ガイド部材６３は、その接続管片６３．２で以て、結合レール６０の中空成形部６０．２に少なくとも部分的に挿入されている。このために、接続管片６３．２の外側輪郭は、この接続管片６３．２が挿入される中空成形部６０．２の中空室の輪郭に合わされている。接続管片６３．２には、この接続管片６３．２を中空成形部６０．２に挿入することのできる距離を制限するストッパが設けられている。
【００８４】
成形レール６２の支持ストリップ６２．１とガイド部材６３の脚部６３．１とは、クリーンガスキャビン１０の底部２０に面した、１つの連続した面を形成しており、支持ストリップ６２．１および脚部６３．１は、上記の面で以て底部２０に当接している。成形レール６２ひいては第５および第６の垂直方向の側壁３０．５，３０．６は、底部２０に固定されていて、成形レール６２の支持ストリップ６２．１の一部を緊締する保持ブラケット６５により、底部２０と結合されている。
【００８５】
図１４には、図３に示した、隣り合う２つの底板２２．１，２２．２の領域の部分ＸＩＶの分解図が示されている。両底板２２．１，２２．２の突き合わされた縁部には、互いに内外で係合し合う底部レール２３．１，２３．２が取り付けられている。底部レール２３．１，２３．２は、これらの底部レール２３．１，２３．２を結合することのできる結合部材のための受容部を有している。
【００８６】
本実施例では、底部レール２３．１，２３．２は別個の構成部材として形成されていて、端面側で底板２２．１，２２．２に取り付けられており、特に接着されている。１つの代替的な実施形態に相応して、底部レール２３．１，２３．２は、底板２２．１，２２．２に一体的に成形されていてもよい。
【００８７】
底板２２．１，２２．２の縁部には、位置決め部材２１が設けられている。この位置決め部材２１に向かい合うようにして、保持ブラケット６５が配置されている。位置決め部材２１と保持ブラケット６５とが組み合わされると、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０は、その成形レール６２で以て底部２０に位置決めされ、かつ固定されることになる。
【００８８】
図１５には、クリーンガスキャビン１０の支持体８０が斜視図で示されている。支持体８０は、第１の帯材８１と、ウェブ８２と、第２の帯材８３とを有するダブルＴ形支持体として形成されている。支持体８０は、ウェブ８２に沿って複数の取付け孔８４を有している。第１の帯材８１の端部側には、傾斜面８１．１が取り付けられている。
【００８９】
本発明では、支持体８０は構造コア板１２から形成されている。このため、第１および第２の帯材８１，８３ならびにウェブ８２は、相応に切り取られた構造コア板１２から製造されている。本実施例では、帯材８１，８３もウェブ８２も、アルミニウムハニカムコア板から形成されている。
【００９０】
支持体８０を構造コア板１２から製造することにより、中実な構成形式の従来の支持体８０に比べ、重量を大幅に節約することができる。使用した構造コア板１２の高い曲げ剛性およびダブルＴ形支持体の形態での構成に基づき、荷重を加えられても僅かにしか曲がらない、高荷重を加えることのできる支持体８０が得られる。
【００９１】
１つの代替的な実施形態（図示せず）では、構造コア板１２から製造された支持体８０は、シングルＴ形支持体として、またはＵ字形輪郭またはＬ字形輪郭または支持体８０に関して周知のその他の輪郭を有する支持体８０として形成されていてもよい。
【００９２】
図１６は、図１５に示した支持体８０を、この支持体８０の長手方向延在部の方向に見た断面図で示すものである。
【００９３】
第１の帯材８１および第２の帯材８３は、結合山形部材８５によりウェブ８２と結合されている。結合山形部材８５は、支持体８０の長さにわたって延在しており、一方の支持面で以てウェブ８２に当て付けられている共に、第２の支持面で以て各帯材８１，８３に当て付けられている。この場合、各帯材８１，８３には、ウェブ８２に配置された２つの向かい合う結合山形部材８５が対応配置されている。結合山形部材８５は、ウェブ８２と各帯材８１，８３とに固く結合されている。特に結合山形部材８５は、ウェブ８２および／または帯材８１，８３と接着されている。
【００９４】
ダブルＴ形とは異なる支持体形状を有する支持体８０が設けられている場合も、結合山形部材８５はダブルＴ形支持体に関して図示したように、接合された各構造コア板１２の間の突合わせ領域に沿って配置される。この場合、結合山形部材８５は、内角として設けられていても、外角として設けられていてもよい。
【００９５】
図示の実施例では、取付け孔８４は、ウェブ８２に沿って第１の帯材８１に形成されている。
【００９６】
結合山形部材８５により、各帯材８１，８３を簡単かつ迅速にウェブ８２と結合することができる。この場合、結合山形部材８５と各帯材８１，８３およびウェブ８２との大面積の接着が、荷重を加えることのできる固い結合をもたらす。ウェブ８２の両側に取り付けられた結合山形部材８５により、支持体８０の片側に荷重が加えられた場合のウェブ８２に対する各帯材８１，８３の傾きを確実に回避することができる。
【００９７】
取付け孔８４内には、固定部材、特にねじを固定することができる。これにより、クリーンガスキャビン１０の別の構成部材、本実施例では蓋板４３を、支持体８０と結合することができる。取付け孔８４は、第１の帯材８１として用いられる構造コア板１２の第１の被覆板１２．１から出発して、構造コア１２．３だけを貫通して第２の被覆板１２．２まで通じている。第２の被覆板１２．２は貫通されていない。これにより、第１の帯材８１において、クリーンガスキャビン１０の外部から挿入された固定部材が取付け孔８４内にもたらされる支持体８０では、ガスが取付け孔８４を通じてクリーンガスキャビン１０の内部に流入したりクリーンガスキャビン１０から外部へ流出したりする恐れは一切ない。
【００９８】
１つの実施形態（図示せず）に相応して、取付け孔８４がより簡単な製造に基づき、両被覆板１２．１，１２．２を貫通して案内されている場合には、ウェブ８２に沿ったその配置形式が、クリーンガスキャビン１０の内部空間と外部空間との間のガス交換を防止する。ウェブ８２の両側で、第１の帯材８１の各側に支持体８０の長手方向延在部にわたって接着された結合山形部材８５により、ウェブ８２から第１の帯材８１への移行部はシールされている。よって、ガスが取付け孔８４から第１の帯材８１とウェブ８２との間の接触面に沿ってクリーンガスキャビン１０の内部空間に流入したり内部空間から流出したりする恐れは一切ない。
【００９９】
図１７には、図３に示したクリーンガスキャビン１０の蓋４０の領域の部分ＸＶＩＩが示されている。
【０１００】
構造コア板１２から形成された各蓋板４３は、それぞれフレーム４３．１により取り囲まれている。フレーム４３．１はＵ字形の断面を有していて、蓋板４３の縁部に被せ嵌められており、特に接着されている。これにより、フレーム４３．１と各蓋板４３との間に密な結合が得られる。蓋板４３は、構造コア板１２、特にアルミニウムハニカムコア板から製造されている。
【０１０１】
蓋板４３はそのフレーム４３．１で以て、図１５および図１６に示した支持体８０の第１の帯材８１に載置されている。この場合、第１の帯材８１に取り付けられた傾斜面８１．１は、蓋４０の外縁に向けられている。
【０１０２】
支持体８０は、図２に示した蓋４０の下部構造体４６の一部である。蓋板４３は、固定部材４４により支持体８０に固定されている。固定部材４４は、側方に間隔をあけて配置された２つの緊締部分４４．１を有している。これらの緊締部分４４．１の間には、Ｕ字形に曲げられた固定部分４４．２が一体成形されており、固定部分４４．２には、支持体８０の第１のウェブ８１に形成された取付け孔８４に対応するように、複数の孔（図示せず）が形成されている。これらの孔を介して、固定部材４４は、相応のねじにより支持体８０にねじ留めされている。この場合、緊締部分４４．１は、隣り合う蓋板４３のフレーム４３．１を包囲するように係合すると共に、蓋板４３を支持体８０に固く緊締する。隣り合う蓋板４３は、それぞれ固定部分４４．２により隔てられており、ひいては位置固定されている。
【０１０３】
図１に示したように、蓋４０の外縁には、複数の縁部固定部材４５が配置されている。縁部固定部材４５はＳ字状に曲げられていて、緊締脚部４５．１と固定脚部４５．２とを有している。固定脚部４５．２には、複数の孔が形成されている。緊締脚部４５．１は、蓋板４３の外側のフレーム４３．１を包囲するように係合している。固定脚部４５．２は、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０の上側の成形レール６２（この図面には図示せず）に固定される。つまり、蓋板４３のフレーム４３．１は、緊締脚部４５．１と各成形レール６２の支持ストリップ６２．１との間に締め込まれている。これにより、蓋は確実に各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０上で保持された状態となる。好適には、支持体８０および成形レール６２におけるフレーム４３．１の支持領域は、シールされている。
【０１０４】
図１８には、図３に示したクリーンガスキャビン１０の支持構造体７０の固定領域の部分ＸＶＩＩＩが示されている。支持構造体７０は、図２に示したガス調製ユニット５５と、その中に設けられたフィルタ５６とを支持するために用いられる。
【０１０５】
図示されているのは、クリーンガスキャビン１０の第５の角隅部１１．５の領域の支持構造体７０の固定部である。第５の垂直方向の側壁３０．５には、既に図３に示したＵ字形の取付けレール７１が取り付けられている。取付けレール７１には、支持体受け７２が取り付けられている。支持体受け７２はハーフシェルを形成しており、このハーフシェルに支持構造体７０の支持体８０が挿入されている。取付けレール７１の上側の脚部は、支持体受け７２の領域において切り欠かれているので、支持体８０を支持体受け７２に挿入することができるようになっている。切欠きは、カバー７３によって覆われている。これにより支持体８０は、第５の垂直方向の側壁３０．５に確実に固定されていることになる。
【０１０６】
図３に示した支持構造体７０の支持体８０の外端部の位置では、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０に支持体受け７２が取り付けられている。つまり、クリーンガスキャビン１０を組み立てる際には、予め組み立てられた支持構造体７０を上方からクリーンガスキャビンの内部空間に挿入して、支持体受け７２に下ろすことができるようになっている。好適には、支持構造体７０の支持体８０は、支持体受け７２と結合されており、特にねじ締結されている。
【０１０７】
図１５および図１６に示した支持体８０の実施形態とは異なり、支持構造体７０の支持体８０の取付け孔８４は、支持体８０のウェブ８２の脇に、貫通孔として形成されている。これにより、フィルタ５６の固定ねじを、取付け孔８４を通して案内し、かつ下側からナットを用いてねじ締結することができるようになっている。支持構造体７０は、クリーンガスキャビン１０の内部空間に配置されているので、この場合は追加的なシール手段は一切必要とされない。
【０１０８】
図１から図１８に示した、主として構造コア板１２から製造されたクリーンガスキャビン１０は、周知のクリーンガスキャビンに比べ、極めて低い重量を有している。これにより、クリーンガスキャビン１０を、より簡単に搬送しかつ設置することができる。設置箇所での底部荷重に対する要求も、下げることができる。図示の構成に基づき、クリーンガスキャビン１０の内部空間は、周辺環境に対して密閉されている。よって、要求される雰囲気をクリーンガスキャビン１０の内部空間に発生させ、かつ維持することができる。このようにして、重要なプロセスや作業ステップを、適当な雰囲気中で実施することができるようになっている。図示の構想に従って形成されたクリーンガスキャビン１０は、そのサイズをその時々の要求に簡単に適合させることができる。このため、設けられる各底板２２．１，２２．２，２２．３、各側壁３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０、および蓋板４３ならびに所要の支持構造体７０のサイズおよび数は、相応に設定することができる。クリーンガスキャビン１０の輪郭は、図示の六角形から別の任意の多角形まで、適応可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年9月21日(2017.9.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周辺環境に対して密閉され、複数の側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）により取り囲まれた内部空間を有するクリーンガスキャビン（１０）であって、
当該クリーンガスキャビン（１０）の前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）の少なくとも一部が、各２つの被覆板（１２．１，１２．２）と、その間に配置された構造コア（１２．３）、特にハニカムコアとを備える１つまたは複数の構造コア板（１２）、特に１つまたは複数のハニカムコア板から形成されている、クリーンガスキャビン（１０）において、
当該クリーンガスキャビン（１０）の１つの角隅部（１１，１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６）に沿って、分離された前記被覆板（１２．１，１２．２）と前記構造コア（１２．３）とに形成されたギャップ（３２）が、角隅部カバー（３３）によって覆われており、かつ／または該角隅部カバー（３３）は、互いに角度を成して配置された２つの脚部（３３．１，３３．２）で以て、それぞれ前記ギャップ（３２）の片側において前記構造コア板（１２）と密に結合されている、特に密に接着されていることを特徴とする、クリーンガスキャビン（１０）。
【請求項２】
当該クリーンガスキャビン（１０）の前記１つの角隅部（１１，１１．１，１１．２，１１．３，１１．４，１１．５，１１．６）に沿って一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）が曲げられており、かつ他方の前記被覆板（１２．１，１２．２）と前記構造コア（１２．３）とは分離されている、または一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）が、他方の前記被覆板（１２．１，１２．２）に向かって前記構造コア（１２．３）内に加工成形されており、加工成形領域において前記構造コア板（１２．３）が曲げられている、請求項１記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項３】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）の上下端部における前記構造コア板（１２）の縁部には、成形レール（６２）が載せられ、特に被せ嵌められ、前記構造コア板（１２）と密に結合されている、特に密に接着されている、請求項１または２記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項４】
前記構造コア板（１２）には、少なくとも１つのねじ受容部（３４）が配置されており、該ねじ受容部（３４）は、前記構造コア板（１２）の２つの前記被覆板（１２．１，１２．２）のうちの一方および各前記被覆板（１２．１，１２．２）の間に配置された前記構造コア（１２．３）の少なくとも一部を貫通して案内されており、かつ／または前記ねじ受容部（３４）は、両前記被覆板（１２．１，１２．２）および前記構造コア（１２．３）を貫通して案内されており、固定部材が挿入された状態では少なくとも片側においてシールされている、請求項１から３までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項５】
隣り合う２つの前記構造コア板（１２）は、少なくとも１つの結合レール（６０）により結合されており、前記結合レール（６０）は、当付け部分（６０．１）を有しており、該当付け部分（６０．１）は、それぞれ隣接する前記構造コア板（１２）の一方の前記被覆板（１２．１，１２．２）と密に結合されており、特に密に接着されている、請求項１から４までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項６】
前記結合レール（６０）、中空成形部（６０．２）と該中空成形部（６０．２）に一体成形された前記当付け部分（６０．１）とを備える押出し成形部材であり、隣り合う前記構造コア板（１２）は、前記中空成形部（６０．２）の両側に沿って配置されていると共に、該中空成形部（６０．２）により隔てられている、請求項５記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項７】
隣り合う前記構造コア板（１２）のうちの少なくとも１つが、その縁部で以て、前記当付け部分（６０．１）と、該当付け部分（６０．１）とは反対の側で前記中空成形部（６０．２）に一体成形された対応レール（６０．３）との間の領域に挿入され、保持されている、請求項６記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項８】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の底部（２０）と間接的または直接的に結合されており、該底部（２０）は、前記構造コア板（１２）、特にハニカムコア板として形成された１つまたは複数の底板（２２，２２．１，２２．２，２２．３）から形成されている、請求項１から７までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項９】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、載置された、特に被せ嵌められた前記成形レール（６２）で以て前記底部（２０）に設置され、保持ブラケット（６５）により前記底部（２０）に固定されており、前記成形レール（６２）と前記底部（２０）との間にはシール部材が設けられており、かつ／または前記成形レール（６２）は前記底部（２０）と接着されている、請求項８記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１０】
隣り合う前記底板（２２，２２．１，２２．２，２２．３）の互いに突き合わされる縁部には、互いに内外で係合し合う底部レール（２３．１，２３．２）が一体成形されているか接着されており、これらの底部レール（２３．１，２３．２）は、互いに密に結合されている、請求項８または９記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１１】
当該クリーンガスキャビン（１０）は上方に対して、少なくとも１つの蓋板（４３）から形成された蓋（４０）により閉鎖されており、前記蓋板（４３）は、前記構造コア板（１２）、特にハニカムコア板から形成されている、請求項１から１０までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１２】
前記側壁（３０，３０．１，３０．２，３０．３，３０．４，３０．５，３０．６，３０．７，３０．８，３０．９，３０．１０）は、載置された、特に被せ嵌められた前記成形レール（６２）で以て、前記少なくとも１つの蓋板（４３）と間接的または直接的に結合されており、かつ／または前記成形レール（６２）と前記蓋板（４３）との間にはシール部材が設けられており、かつ／または前記成形レール（６２）は前記蓋板（４３）と接着されている、請求項１１記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１３】
前記構造コア板（１２）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の角隅部の領域において放射状に曲げられている、請求項１から１１までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１４】
前記構造コア板（１２）は、その外周において少なくとも部分的に、１つまたは複数の成形部分により取り囲まれている、請求項１から１３までのいずれか１項記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【請求項１５】
前記構造コア板（１２）は、当該クリーンガスキャビン（１０）の内部空間に面した前記被覆板（１２．１，１２．２）で以て、前記成形部分に対してシールされており、かつ／または前記構造コア板（１２）の縁部領域は、その外周の少なくとも一部において覆われている、請求項１４記載のクリーンガスキャビン（１０）。
【国際調査報告】
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