(57)【要約】  本発明は、隔離チャンバ（３）と、前記チャンバ（３）の開放及び閉鎖を可能にするために垂直軸の周囲で旋回可能なドア（３’）とを備え、隔離チャンバ（３）内に配置された加圧作動ガスの少なくとも１つの供給源（５、７）を含み、且つ作動ガスを分配するための装置（９）を含み、装置（９）は、作動ガスの少なくとも１つの供給源（５、７）及び作動ガスをそれが消費されることになるステーション（１０Ｂ）に輸送するための少なくとも１つの排出導管（１０、１０Ａ）に接続された導管（１５、２１、２３）の組と、機能部材（２５、２５Ａ）、特に導管（１５、２１、２３）内に配置され、且つその中の作動ガスの流れを調整するために使用されるバルブ（２７、２９、２７Ａ、２９Ａ）及びガス漏出の検出器（３４、３４Ａ）と、前記機能部材（３５、３５Ａ）と通信するための手段（３７）、前記機能部材（２５、２５Ａ）に関するタスクをモニタするための手段（３９）、及び分配装置（９、９Ａ）のオペレータによって操作され得る、モニタ手段（３９）を制御するための手段（４５）を含むモニタ及びコントロールユニット（３５、３５Ａ）とを含み、前記制御手段（４５）は、対応するタスクのモニタに関連付けられる命令領域（６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８）を有するタッチスクリーン（４７）を含む、作動ガスを供給するための設備において、前記タッチスクリーンは、ドア（３’）に組み込まれたハウジング（４７Ａ）に取り付けられ、前記ハウジング（４７Ａ）は、垂直軸（Ｙ）の周囲で旋回でき、且つそのように設計されることを特徴とする設備に関する。【選択図】図１
2018522183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔離エンクロージャ（３）と、前記エンクロージャ（３）が開放及び閉鎖されることを可能にするために垂直軸（Ｘ）の周囲で旋回可能なドア（３’）とを備え、前記隔離エンクロージャ（３）内に配置される加圧作動ガスの少なくとも１つの供給源（５、７）を含み、且つ作動ガスを分配するための装置（９）を含み、前記装置（９）は、少なくとも１つの作動ガス供給源（５、７）及び前記作動ガスを消費ステーション（１０Ｂ）に送給するための少なくとも１つの排出導管（１０、１０Ａ）に連結された導管（１５、２１、２３）の組と、機能コンポーネント（２５、２５Ａ）、特に前記導管（１５、２１、２３）内に配置され、且つ前記導管内の前記作動ガスの流れを調整するために使用されるバルブ（２７、２９、２７Ａ、２９Ａ）及びガス漏出検出器（３４、３４Ａ）と、前記機能コンポーネント（２５、２５Ａ）と通信するための手段（３７）、前記機能コンポーネント（２５、２５Ａ）に関するタスクをモニタするための手段（３９）、及び前記分配装置（９、９Ａ）のオペレータによって操作されることが可能である、前記モニタ手段（３９）を管理するための手段（４５）を含むモニタ及びコントロールユニット（３５、３５Ａ）とを含み、前記管理手段（４５）は、対応するタスクの前記モニタに関連付けられるコントロールゾーン（６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８）を有するタッチスクリーン（４７）を含む、作動ガスを供給するための設備において、前記タッチスクリーンは、前記ドア（３’）に組み込まれたハウジング（４７Ａ）に取り付けられ、前記ハウジング（４７Ａ）は、垂直軸（Ｙ）の周囲で旋回することができ、且つそのように設計されることを特徴とする設備。
【請求項２】
前記タッチスクリーン（４７）は、対応するタスクの前記モニタに関連付けられる主要コントロールゾーン（６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８）を有し、前記主要コントロールゾーン（６０〜６８）は、前記タスクに関連付けられるグラフィクス（５０〜５８）によって画定されることを特徴とする、請求項１に記載の設備。
【請求項３】
前記タッチスクリーン（４７）は、少なくとも１つの主要コントロールゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８）について、前記少なくとも１つの主要ゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８）に関連付けられ、且つ前記少なくとも１つの主要コントロールゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８）に対応する前記タスクをモニタするための命令に関する少なくとも１つの第二のコントロールゾーン（９１、９２、９３、９４）を含み、前記少なくとも１つの第二のコントロールゾーン（９１、９２、９３、９４）は、前記命令に関連付けられ、且つオペレータによる前記対応する主要コントロールゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８）のアクティベーション時にのみ前記タッチスクリーン（４７）上に表示されるグラフィクス（８１、８２、８３、８４）によって画定されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の設備。
【請求項４】
前記タッチスクリーン（４７）は、前記主要コントロールゾーン（６０〜６８）のために排他的に確保される第一の領域（４９）と、前記第一の領域（４９）とは別であり、且つ前記第二のコントロールゾーン（９１、９２、９３、９４）のために意図される第二の領域（８０）とを含むことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の設備。
【請求項５】
前記タッチスクリーン（４７）は、前記第一（４９）及び第二（８０）の領域とは別であり、且つオペレータによってアクティベートされた主要コントロールゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８）に関する情報項目を表示するために確保される第三の領域（１００）をさらに含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の設備。
【請求項６】
前記管理手段（４５）は、前記タッチスクリーン（４７）上において、オペレータによってアクティベートされたコントロールゾーン（６０；６１；６２；６３；６４；６５；６６；６７；６８、９１、９２、９３、９４）を通知するための手段（７０）を追加的に含むことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の設備。
【請求項７】
前記モニタ手段（３９）によってモニタされるタスクは、前記機能コンポーネント（２５、２５Ａ）によって検出されたアラームの管理と、特に前記タッチスクリーン（４７）上での表示とに関することと、前記タッチスクリーンの前記主要コントロールゾーンのうちの１つ（６０）は、起動される前記アラームの前記表示をアクティベートするためのゾーンであることとを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の設備。
【請求項８】
特に前記導管（１５）内で支配的な圧力を測定するための測定センサ（３１）を備え、前記モニタ手段（３９）によってモニタされるタスクは、前記測定センサ（３１）によって捕捉された測定値の評価と、前記タッチスクリーン（４７）上での前記値の表示とに関することと、前記主要コントロールゾーンのうちの１つ（６１）は、前記タッチスクリーン上での、捕捉される前記測定値の前記表示をアクティベートするためのゾーンであることとを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の設備。
【請求項９】
特に前記導管内で支配的な前記圧力を測定するための測定センサ（３１）を備え、前記管理手段（４５）は、前記作動ガスを分配するための前記装置（９）と、その中に配置された前記バルブ（２７、２９）とを示すブロック図を記憶するための手段（４８）を含むことと、前記モニタ手段（３９）によってモニタされるタスクは、前記センサ（３１）によって捕捉された前記測定値の前記評価と、前記タッチスクリーン（４７）上での、前記記憶手段（４８）に記録される前記分配装置（９）の前記ブロック図及び前記センサ（３１）によって捕捉された前記測定値の同時表示とに関することと、前記主要コントロールゾーンのうちの１つ（６２）は、前記タッチスクリーン（４７）上での、前記ブロック図と、捕捉される前記測定値との前記表示をアクティベートするためのゾーンであることとを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の設備。
【請求項１０】
作動ガスの２つの供給源（５、７）を含み、前記供給源は、ガスボンベであることを特徴とする、請求項１〜９のいずれか一項に記載の設備。
【請求項１１】
前記管理手段（４５）は、ＷｉＦｉ接続により、少なくとも請求項１〜１０のいずれか一項で規定された前記コントロールゾーンを有するスクリーンを備えるタブレット、スマートフォン、又はポータブルコンピュータによって遠隔的に制御されることが可能であり、且つそのように設計されることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の設備。
【請求項１２】
緊急停止ボタン（Ｂ）は、前記ハウジング（４７Ａ）に取り付けられており、前記ハウジングは、地上から１．７０ｍ未満の高さにあることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の設備。
【請求項１３】
前記タッチスクリーン（４７）の大きさは、１２インチ未満、好ましくは６インチ未満であることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作動ガスを分配するための装置と、このようなガスを供給するための設備とに関し、この装置及び設備は、半導体、光起電力、ＬＥＤ及びフラットスクリーン業界などの様々な業界、又は鉱業若しくは医薬品業界などのその他の業界における方法で使用されるガスを、ボンベから、これらの方法に使用される器具又はリアクタへ送達するために使用される。
【背景技術】
【０００２】
これらの方法の実行には、多くの場合、高品質の有害ガスが要求となり、例えば自動パージ及び連続分配が必要となる。例えば、電子回路の製造には、例えばＣｌ２、ＮＨ３、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＮＦ３、又はＷＦ６等、「作動」ガスと呼ばれる各種のガスを使用する必要があり、これらは、主にその毒性及び／又はその引火性から人間にとって有害であると考えられる。
【０００３】
この理由により、これらのガスは、「ガスキャビネット」の名称でも知られるガス供給設備内に対で配置される加圧ガスボンベ内に貯蔵される。このような設備は、制御抽出機能を有する安全エンクロージャと、エンクロージャ内に配置された作動ガス分配装置とを含む。
【０００４】
分配装置は、２つの加圧ガスボンベに連結された、ガスの供給、パージ、及び抽出のための導管の組と、導管内に配置されて作動ガスの流れを調整するバルブと、設備の動作状態を監視するためのガス漏出検出器及び導管内で支配的な圧力を測定するセンサとを含む。
【０００５】
バルブの調整と、漏出検出器及び圧力センサから発せられる各種の信号の捕捉及び利用とは、モニタ及びコントロールユニットによって実行される。
【０００６】
このモニタ及びコントロールユニットは、例えばプログラムされた自動機械と、それに連結されたディスプレイ及びコントロールパネルとを含む。
【０００７】
設備のブロック図がこのパネルに示される。
【０００８】
設備の監視を担当するオペレータにアラームを送信するために、各々が特定のアラームに関連付けられた複数のインジケータランプがパネルに配置される。追加的に、設備が手動モードで動作することを可能にする、バルブを制御するためのスイッチもこのパネルに備えられる。さらに、パネル内に実装され、自動機械によって制御される各種の表示要素は、センサによって捕捉された測定値を表示する。
【０００９】
コントロールパネルは、多くのインジケータ、スイッチ、及び表示要素があるため、一見して複雑であり且つあまり使いやすそうでないように見え、それにより、設備の監視を担当するオペレータを訓練するのにかなり長い時間を要する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、第一に、より使いやすいディスプレイ及びコントロールインタフェースを備える分配装置を提供することにより、この欠点を軽減することを目的とする。
【００１１】
第二に、これらの設備は、一般に、オペレータがエンクロージャ内にアクセスし、したがって前記エンクロージャ内に配置されているガスボンベ及び／又は各種の要素を扱えるようにするドアが設けられている。ドアを開放すると、オペレータは、ドアの前面にあるスイッチ及び表示要素等の要素、並びにディスプレイ及びコントロールパネルをアクセスすることができない。これは、オペレータにとって、その設備の使用に関する大きい欠点となる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このために、本発明の１つの主題は、隔離エンクロージャと、前記エンクロージャが開放及び閉鎖されることを可能にするために垂直軸の周囲で旋回可能なドアとを備え、隔離エンクロージャ内に配置される加圧作動ガスの少なくとも１つの供給源を含み、且つ作動ガスを分配するための装置を含み、この装置は、少なくとも１つの作動ガス供給源及び作動ガスを消費ステーションに送給するための少なくとも１つの排出導管に連結された導管の組と、機能コンポーネント、特に導管内に配置され、且つ前記導管内の作動ガスの流れを調整するために使用されるバルブ及びガス漏出検出器と、前記機能コンポーネントと通信するための手段、前記機能コンポーネントに関するタスクをモニタするための手段、及び分配装置のオペレータによって操作されることが可能である、モニタ手段を管理するための手段を含むモニタ及びコントロールユニットとを含み、前記管理手段は、対応するタスクのモニタに関連付けられるコントロールゾーンを有するタッチスクリーンを含む、作動ガスを供給するための設備において、前記タッチスクリーンは、ドアに組み込まれたハウジングに取り付けられ、前記ハウジングは、垂直軸の周囲で旋回することができ、且つそのように設計されることを特徴とする設備である。
【００１３】
旋回可能なハウジングにより、ボンベ又はその他のコンポーネントを操作するオペレータは、タッチスクリーンと、場合によりストップボタンとに、ドアが閉鎖されているときにはキャビネットの外側から、ドアが開放されているときには例えばキャビネットの形状である設備の内側からアクセスすることができる。
【００１４】
本発明による配給装置は、以下の特徴のうちの１つ又は複数を追加的に含んでいてもよい：
−  タッチスクリーンは、少なくとも１つの主要コントロールゾーンについて、前記少なくとも１つの主要ゾーンに関連付けられ、且つ前記少なくとも１つの主要コントロールゾーンに対応するタスクをモニタするための命令に関する少なくとも１つの第二のコントロールゾーンを含み、前記少なくとも１つの第二のコントロールゾーンは、前記命令に関連付けられ、且つオペレータによるアクティベーション時にのみ前記タッチスクリーン上に表示されるグラフィクスによって画定されること、
−  タッチスクリーンは、前記主要コントロールゾーンのために排他的に確保される第一の領域と、前記第一の領域とは別であり、且つ前記第二のコントロールゾーンのために意図される第二の領域とを含むこと、
−  タッチスクリーンは、前記第一及び第二の領域とは別であり、且つオペレータによってアクティベートされた主要コントロールゾーンに関する情報項目を表示するために確保される第三の領域をさらに含むこと、
−  管理手段は、タッチスクリーン上において、オペレータによってアクティベートされたコントロールゾーンを通知するための手段を追加的に含むこと、
−  モニタ手段によってモニタされるタスクは、機能コンポーネントによって検出されたアラームの管理と、特にタッチスクリーン上での表示とに関し、及びタッチスクリーンの主要コントロールゾーンのうちの１つは、起動されるアラームの表示をアクティベートするためのゾーンであること、
−  装置が、特に導管内で支配的な圧力を測定するための測定センサを備えている場合、モニタ手段によってモニタされるタスクは、前記測定センサによって捕捉された測定値の評価と、タッチスクリーン上での前記値の表示とに関し、及び前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、タッチスクリーン上での、捕捉される測定値の表示をアクティベートするためのゾーンであること、
−  装置が、特に導管内で支配的な圧力を測定するための測定センサを備えている場合、管理手段は、特に作動ガスを分配するための装置の導管のすべてと、前記導管内に配置されたバルブとを示すブロック図を記憶するための手段を含み、モニタ手段によってモニタされるタスクは、前記センサによって捕捉された測定値の評価と、タッチスクリーン上での、前記記憶手段に記録される分配装置のブロック図及びセンサによって捕捉された前記測定値の同時表示とに関し、及び前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、タッチスクリーン上での、ブロック図と、捕捉される測定値との表示をアクティベートするためのゾーンであること。
【００１５】
或いは、スクリーンは、圧力センサと分配のバイナリ状態とを含む全体図のみを表示する。この種の簡略スクリーンは小型であり、したがって大きさが縮小される。
【００１６】
本発明の１つの主題は、追加的に、並列に配置された上で定義されたような作動ガスを分配するための第一及び第二の装置を含み、そのモニタ及びコントロールユニットが相互に通信していること、第二の装置が第一の装置に関して機能するコンポーネントであること、第一の装置のモニタ手段のタスクは、機能コンポーネントと考えられる第二の装置の動作状態の監視に関すること、及び第一の装置のタッチスクリーンの前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、第一の装置のタッチスクリーン上での、第二の装置の動作状態に関する情報の表示をアクティベートするためのゾーンであることを特徴とする、作動ガスを分配する設備である。作動ガスを分配する設備は、加えて、以下の特徴を含んでいてもよい：
−  第二の分配装置が、特にその導管内で支配的な圧力を測定するための測定センサを備えている場合、第一の分配装置の管理手段は、特に作動ガスを分配するための第二の手段の導管のすべてと、前記導管内に配置されたバルブとを示すブロック図を記憶するための手段を含み、第一の分配装置のモニタ手段によってモニタされるタスクは、第二の分配装置のセンサによって捕捉された測定値の評価と、第一の分配装置のタッチスクリーン上での、第二の分配装置のブロック図及び第二の分配装置のセンサによって捕捉された前記測定値の同時表示とに関し、及び第一の装置のタッチスクリーンの前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、第一の分配装置のタッチスクリーン上での、第二の分配装置のブロック図と、第二の装置の前記測定センサによって捕捉された測定値との表示をアクティベートするためのゾーンであること。
【００１７】
或いは、スクリーンは、圧力センサ及び分配のバイナリ状態を含む全体図のみを表示する。この種の簡略スクリーンは小型であり、したがって大きさが縮小される。
【００１８】
本発明の１つの主題は、追加的に、隔離エンクロージャ内に配置された加圧作動ガスの少なくとも１つの供給源を含み、前記少なくとも１つの供給源に連結され、且つ前記隔離エンクロージャ内に配置された上で定義されたような分配装置を含むことと、分配装置のタッチスクリーンは、前記エンクロージャの外壁に組み込まれていることとを特徴とする、作動ガスを供給するための設備である。
【００１９】
作動ガスを供給するための設備は、以下の特徴のうちの１つ又は複数を追加的に含んでいてもよい：
−  前記供給源がガスボンベである場合、分配装置の前記モニタ手段によってモニタされるタスクは、空のボンベと満杯のボンベとの毎回の交換の前後の導管パージサイクルの制御に関し、及びタッチスクリーンの前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、パージサイクルをアクティベートすることを目的としたバルブの制御をアクティベートするためのゾーンであること、
−  設備が、分配装置に連結され、且つ前記分配装置に交互に供給することが意図される第一及び第二の作動ガス供給源を含む場合、分配装置の前記モニタ手段によってモニタされるタスクは、分配装置への第一の供給源からの供給から、第二の供給源からの供給への切り替えの制御に関し、及びタッチスクリーンの前記主要コントロールゾーンのうちの１つは、前記切り替えを目的としたバルブの制御をアクティベートするためのゾーンであること。
【００２０】
管理手段が、ＷｉＦｉ接続により、少なくとも上で規定されたコントロールゾーンを有するスクリーンを備えるタブレット、スマートフォン、又はポータブルコンピュータによって遠隔的に制御されることが可能であり、且つそのように設計されることを特徴とする、上で定義された設備である。
【００２１】
緊急停止ボタンが前記ハウジングに取り付けられており、前記ハウジングが地上から１．７０ｍ未満の高さにあることを特徴とする、上で定義された設備である。
【００２２】
タッチスクリーンの大きさが１２インチ未満、好ましくは６インチ未満であることを特徴とする、上で定義された設備である。
【００２３】
本発明のその他の特徴及び利点は、添付の図面を参照しながら、例として示され、限定的ではない以下の説明を読むことで明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明による、作動ガスを供給するための、このガスを分配する装置を備える設備の概略斜視図である。
【図２】図１の設備に取り付けられた、作動ガスを分配する装置の導管の概略図である。
【図３】本発明による分配装置のモニタ及びコントロールユニットのブロック図である。
【図４】本発明による装置のタッチスクリーンの概略図である。
【図５】タッチスクリーン上の表示の第一の例である。
【図６】タッチスクリーン上の表示の第二の例である。
【図７】タッチスクリーン上の表示の第三の例である。
【図８】タッチスクリーン上の表示の第四の例である。
【図９】タッチスクリーンを担持するハウジングの、設備のドアが閉鎖されているときの図である。
【図１０】タッチスクリーンを担持するハウジングの、設備のドアが開放されているときの図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、下側部分に切り欠きを有する概略斜視図において、作動ガスを供給するための設備１を示し、前記設備は、これらのガスを消費する１つ又は複数のステーションに供給されることが意図されている。
【００２６】
この設備１は隔離エンクロージャ３を含み、その中には、第一に、切り欠きによって図中に見えているように加圧作動ガスの２つのボンベ５及び７と、第二に、作動ガスを分配する装置９とが据え付けられ、この図では、それぞれボンベ５及び７に連結された装置の導管１１及び１３が示されている。この設備１はまた、前記エンクロージャ３が開放及び閉鎖されることを可能にするために垂直軸（Ｘ）の周囲で旋回可能なドア３’を含む。
【００２７】
設備１は、その排出導管１０を介して、作動ガスを分配する第二の装置９Ａに接続され、これは、その排出導管１０Ａによって作動ガスを複数の消費ステーション１０Ｂに同時に供給するために使用される。
【００２８】
図２からわかるように、設備１の作動ガスを分配する装置９は導管の組を含み、これは、特に、各ボンベ５及び７について、共有導管１７によって排出導管１０に連結されて作動ガスを消費ステーション１０Ｂに送給するための主導管１５と、パージ導管２１と、真空発生器２４の作動によってエンクロージャ３を部分真空にするためのガス抽出導管２３とを含む。
【００２９】
各種の導管内のガスの様々な流れを調整し、分配装置９の動作状態を監視することができるようにするために、分配装置９は、各種の導管１５、１７、２１、及び２３内に配置された遮断バルブ２７及び調整バルブ２９、特に主導管１５内で支配的な圧力を測定するためのセンサ３１、ボンベ５及び７の重量を計量して、液化ガスが充填されている場合のボンベの残量を判断できるようにするためのスケール３３、又はその他のガス漏出検出器３４等の機能コンポーネント２５を含み、これらは設備のエンクロージャ３内に配置される。
【００３０】
図３の概略図からわかるように、これらの機能コンポーネント２５は、すべてモニタ及びコントロールユニット３５に連結されている。機能コンポーネント２５をモニタし、制御するためのこのユニット３５は、これらの機能コンポーネント２５と通信するための手段３７と、これらの手段３７に連結された、機能コンポーネント２５に関する各種のタスクをモニタするための手段３９とを含み、これらのタスクはタスクメモリ４１に記憶される。
【００３１】
このようなタスクには、例えば、センサ３１及び／又はスケール３３によって捕捉された測定値を、閾値メモリ４３に記憶された所定の閾値と比較すること、測定値のうちの１つがそれに関係する閾値を超えた場合にアラーム信号を発生させること、及び場合により所定のアラーム優先レベルに応じた設備１の一部又は完全停止が含まれる。この場合、手段３９は、通信手段３７によって設備のバルブのいくつかの閉止を制御する。
【００３２】
別のタスクには、例えば、例として装置９に供給するボンベ５が事実上空になり、分配装置９への供給をボンベ７に切り替える必要が生じた場合、又はその逆の場合にバルブ２７及び２９を制御することが含まれる。
【００３３】
また別のタスクには、検出器３４によるガス漏出の検出と、このような漏出が検出された場合のアラーム信号の生成及び設備１の一部又は完全停止が含まれる。
【００３４】
さらに、第二の分配装置９Ａは、特別なタスクがそれに関連付けられる特定の機能コンポーネント２５を形成し、その装置のうち、モニタ及びコントロールユニット３５Ａと、このユニット３５Ａに連結された機能コンポーネント２５Ａとのみが図３に示されている。装置９Ａの構造は、それも導管の組と、作動ガスの流れを調整するために導管内に配置されたバルブ２７Ａ及び２９Ａ、導管内で支配的な圧力を測定するためのセンサ３１Ａ、及びガス漏出検出器３４Ａ等の機能コンポーネント２５Ａとを含んでいるという点で装置９のそれと同様であることから、導管及びバルブの具体的なレイアウトについてこれ以上詳しく説明しない。
【００３５】
しかしながら、留意すべき点として、装置９Ａのモニタ及びコントロールユニット３５Ａは、分配装置９のモニタ及びコントロールユニット３５と同じである。
【００３６】
図３に示されているように、モニタ及びコントロールユニット３５Ａは、ユニット３５の通信手段３７に連結されている。
【００３７】
手段３９によってモニタされる特別なタスクは、手段３７により、装置９Ａの動作状態の監視に関する。
【００３８】
特に、センサ３１Ａによって測定された圧力値及び検出器３４Ａによって検出された漏出の可能性は、モニタ手段３９に送信される。
【００３９】
各種のタスクは、手段３９により、並列若しくは逐次的のいずれかで、又は例えばアラーム検出等のイベント検出時のみにモニタされてもよい。
【００４０】
追加的に、モニタ及びコントロールユニット３５は、モニタ手段３９を管理するための手段４５を含み、それにより、オペレータは、例えば、あるタスクをアクティベートし、又はあるタスクをモニタするのに必要な特定のパラメータを選択及び定義することができる。
【００４１】
このために、管理手段４５は、タッチスクリーン４７と、タッチスクリーン４７上で表示されることが意図される概略図又はグラフィクスを記憶するための手段４８とを含む。
【００４２】
図１からわかるように、タッチスクリーン４７は設備１のエンクロージャ３の上側部分の外壁に組み込まれており、それにより、これは、設備の監視を担当するオペレータから明確に見え且つアクセス可能である。
【００４３】
有利には、スクリーン４７はエンクロージャのドアに組み込まれる。
【００４４】
図９からわかるように、タッチスクリーン４７は、設備１のエンクロージャ３の上側部分の外壁内に組み込まれたハウジング４７Ａに取り付けられる。ドア３’を閉鎖すると、ハウジングは前記ドアと同じ平面内にある。その結果、オペレータは、設備１の前に位置してスクリーン４７を読み、それにアクセスする。
【００４５】
図１０からわかるように、ドア３’を開放すると、ハウジング４７Ａは垂直軸（Ｙ）の周囲で旋回する。したがって、オペレータがエンクロージャ３の内部にアクセスする際、ドアが開放されていてもタッチスクリーン４７にアクセス可能である。
【００４６】
図９及び１０はまた、旋回式ハウジング４７Ａに取り付けられた緊急停止ボタンＢも示す。
【００４７】
自動機械（３９）からの情報を外部（メンテナンスツール、監視等）に連結するための接続装置が統合されていてもよい。メンテナンスモードへの切り替えのためのキーが統合されていてもよい。
【００４８】
本発明によって使用できるタッチスクリーンの例が図４により詳しく示されている。
【００４９】
この図４を参照すると、タッチスクリーン４７は下部に第一の領域４９を含み、その中にはグラフィクス５０、５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、及び５８が永久的に表示されている。各グラフィクス５０〜５８は、タッチスクリーン４７上で、それぞれ参照番号６０〜６８が付与された、それに関連付けられる主要コントロールゾーン、すなわち、それによって設備１の監視を担当するオペレータが、指でタッチスクリーン４７に触れることにより、管理手段４５に所定のタスクに関する命令を入力するゾーンを画定する。
【００５０】
この第一の領域４９は、常に表示されている関係するグラフィクス５０〜５８により、これらの主要コントロールゾーン６０〜６８のために厳格に確保される。これらの主要コントロールゾーン６０〜６８は、常にオペレータからの命令を受け取ることができる状態にある。これは、手段３９が各種のタスクを平行してモニタしているときに特に有利であり、それは、オペレータがそれに関連付けられる主要コントロールゾーンの単純なアクティベーションを通じてタスクの管理にアクセスできるからである。
【００５１】
特定のタスクの場合、対応する主要ゾーンをアクティベートした後、この特定のタスクに関するパラメータ又は制御命令を選択又は入力する選択肢をオペレータに提供する必要がある。
【００５２】
このために、タッチスクリーン４７は、図４で見た場合に右側に、第一の領域４９とは別の第二の領域８０を追加的に含み、その中には、アクティベートされたタスクに応じてグラフィクス８１、８２、８３、及び８４が表示され、この図において、これらはフレームのみで示されている。これらのグラフィクス８１〜８４は、それぞれ９１〜９４の参照番号が付された第二のコントロールゾーンを画定する。これらの第二のコントロールゾーンにより、オペレータは、アクティベートされた特定のタスクに関する各種の作業を実行できる。
【００５３】
当然のことながら、グラフィクス８１〜８４と、したがってオペレータが管理手段４５に入力できる作業とは、主要コントロールゾーンと、したがってアクティベートされるタスクとに応じて変わる。
【００５４】
さらに、図３からわかるように、管理手段は、タッチスクリーン４７上において、オペレータによってアクティベートされた主要又は第二のコントロールゾーンを通知するための手段７０を追加的に含む。図４に示されているように、通知手段７０は、コントロールゾーンがアクティベートされ、例えばゾーン６０がアクティベートされると、タッチスクリーン４７上で、例えばアクティベートされた主要コントロールゾーン６０を取り囲む色の付いたフレーム７２が表示されるようにする。
【００５５】
さらに、タッチスクリーン４７は、上部に第一及び第二の領域４９及び８０とは別の第三の領域１００を含み、これは、オペレータによってアクティベートされた主要コントロールゾーンに関する情報項目を表示するために確保される。
【００５６】
この領域１００の右側の、領域８０の上に、現在時刻を表示するためのゾーン１０２が画定される。
【００５７】
タッチスクリーン４７の残りの部分である、領域１００、８０及び４９によって取り囲まれた領域１０４は、第一に、手段３９によってモニタされるタスクのモニタに関する情報を、このタスクに関連付けられる主要コントロールゾーンがオペレータによってアクティベートされたときに表示することが意図される。
【００５８】
有利には、いずれの第二のコントロールゾーンも、主要コントロールゾーンによってアクティベートされた特定のタスクに関連付けられていない場合、ゾーン１０４は拡張され、領域８０をさらに含む。
【００５９】
以下に、タッチスクリーン４７を有する装置９の動作の各種の例を示す。
【００６０】
例えば、図４において、グラフィクス５０はベルを示し、その下に「アラーム」と書かれ、前述のように、手段３９によってモニタされるアラームの管理及び表示タスクに関する主要コントロールゾーン６０を画定する。オペレータによってゾーン６０がアクティベートされると、起動されたアラームがタッチスクリーン４７のゾーン１０４に表示され、これは図５に示されている。
【００６１】
追加的に、アラームの管理及び表示に関する第二のコントロールゾーン９１〜９４を画定するグラフィクス８１〜８４がスクリーン上に表示される。例えば、グラフィクス８２によって画定される第二のゾーン９２をアクティベートすることにより、アラームのログを表示できる。
【００６２】
図４のグラフィクス５１は、数字による表示を示し、その下に「圧力」と書かれている。このグラフィクス５１は、センサ３１及びスケール３３によって測定された圧力及び重量の値の捕捉と、タッチスクリーン４７上でのこれらの値の表示とに関するタスクのアクティベーションに関連付けられる主要コントロールゾーン６１を画定し、これは図６に示されている。
【００６３】
図４のグラフィクス５２は、導管及びそれに連結されたボンベを示し、その下に「全体図」と書かれている。グラフィクス５２は、センサ３１及びスケール３３によって測定された測定値の捕捉と、タッチスクリーン上での、記憶手段４８に記録される装置のブロック図と捕捉された測定値との同時表示とに関するタスクのアクティベーションに関連付けられる主要コントロールゾーン６２を画定し、これは図７に示されている。
【００６４】
図４のグラフィクス５３は、ガス供給設備（「ガスキャビネット」）を、ボンベ及びボンベの交換を指示する矢印と共に示し、その下に「ボンベ」と書かれている。このグラフィクス５３は、２つのタスクのアクティベーションに関連付けられる主要コントロールゾーン６３を画定する。これらのタスクの一方は、空のボンベから満杯のボンベへの毎回の交換の前後に必要なパージサイクル及び漏出チェックを実行するためにバルブを制御することに関する。もう一方のタスクは、分配装置９へのボンベ５又は７のうちの一方からの供給から、ボンベ７又は５のうちのもう一方からの供給へと確実に切り替えられるようにするために導管内に配置されたバルブの制御に関する。ゾーン６３をアクティベートしたときに表示されるスクリーンの例が図８に示されている。これは、左側に、設備１のうちのボンベの交換が関係する部分のブロック図を示し、右側には各種のパージ及び漏出チェックサイクルを示し、これらは、オペレータが、例えば四角によって画定されたコードＦ１〜Ｆ５が書かれている第二のコントロールゾーンによってアクティベートされてもよい。供給の切り替えは、「左」及び「右」という用語が書かれたコントロールゾーンをアクティベートすることによって実行されてもよい。
【００６５】
図４のグラフィクス５５は分配装置の導管を示し、その下に「ＤＤ」（分配装置（ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｄｅｖｉｃｅ）の略記）と書かれている。このグラフィクス５５は、設備１の装置９と直列に配置された分配装置９Ａのセンサ３１Ａによって捕捉された測定値の評価と、タッチスクリーン上での、記憶手段４８に記録される装置９Ａのブロック図と、センサ３１Ａによって捕捉された測定値との同時表示とに関するタスクのアクティベーションに関連付けられる主要コントロールゾーン６５を画定する。
【００６６】
上述の例を通じて、作動ガスを分配するための装置と、このようなガスを供給するための、これらの装置を備える設備に関するタッチスクリーン４７との使用により、それらの監視を担当するオペレータの作業が格段に容易となり、長い時間及び高いコストのかかる訓練プログラムが不要となることがわかる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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