(57)【要約】  二酸化炭素（ＣＯ2）用途のためのポンプシステム（２００）は、各々が１つまたは複数のドライガスシールを備えた複数の遠心ポンプ（３００，４００）と、動作状態にあるポンプ（３００，４００）のポンプ吐出口（３３０，４３０）を待機状態にある別のポンプの少なくとも１つのドライガスシールに流体接続するための１つまたは複数のバリア流体供給回路（３０１，４０１）と、を含む。ポンプシステムのポンプは、制御ユニットにより動作状態と待機状態との間で切り替えることができる。【選択図】図４
2018522162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプシステム（２００）であって、少なくとも第１のポンプ（３００）および第２のポンプ（４００）を含み、前記ポンプ（３００，４００）の各々には、１つまたは複数のドライガスシールが設けられ、待機状態と動作状態との間で切り替え可能であり、前記ポンプ（３００，４００）の各々は、少なくともポンプ吸込口およびポンプ吐出口（３３０，４３０）を含み、前記ポンプシステム（２００）は、前記ポンプ（３００，４００）の各々のポンプ吐出口（３３０，４３０）を前記ポンプ（３００，４００）の各々の前記ドライガスシールに流体接続する少なくとも１つの共用プロセス流体供給回路（１５０）をさらに含む、ポンプシステム（２００）。
【請求項２】
前記共用プロセス流体供給回路（１５０）は、前記第１のポンプ（３００）の前記ポンプ吐出口（３３０）を共用ライン（５００）に流体接続する第１のバリア流体供給回路（３０１）と、前記第２のポンプ（４００）の前記ポンプ吐出口（４３０）を前記共用ライン（５００）に流体接続する第２のバリア流体供給回路（４０１）と、を含み、前記共用ライン（５００）は、次に前記ポンプの前記ドライガスシールに流体接続される、請求項１に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項３】
前記共用ライン（５００）には、前記ポンプ吐出口（３３０，４３０）から来る前記バリア流体の圧力を低下させるのに適した少なくとも減圧バルブ（５１２）と、少なくともフィルタ（５１４）と、少なくともヒーター（５１３）と、少なくとも共用ヘッダー（５１５）と、が設けられる、請求項２に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項４】
前記共用ヘッダー（５１５）の下流で、前記共用プロセス流体供給回路（１５０）の前記共用分岐（５００）は、前記共用ヘッダー（５１５）を第１のポンプ（３００）の前記１つまたは複数のドライガスシールに流体接続する第１の戻り分岐ライン（５１７）と、前記共用ヘッダー（５１５）を前記第２のポンプ（４００）の前記ドライガスシールに流体接続する第２の戻り分岐ライン（５１８）と、に分かれる、請求項３に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項５】
第１のチェックバルブ（３０２）が前記第１のバリア流体供給回路（３０１）上に設けられ、第２のチェックバルブ（４０２）が前記第２のバリア流体供給回路（４０１）上に設けられる、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項６】
前記ポンプは遠心ポンプである、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項７】
前記第１のポンプ（３００）および第２のポンプ（４００）のポンプ吐出口（３３０，４３０）から吐出される前記流体は、二酸化炭素（ＣＯ2）である、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項８】
前記共用プロセス流体供給回路（１５０）の作動状態を制御するために、前記ポンプ（３００，４００）の作動状態を切り替えるように構成された制御ユニットをさらに含む、請求項１乃至７のいずれか１項に記載のポンプシステム（２００）。
【請求項９】
第１のポンプの吐出口からのバリア流体を前記吐出口に結合された共用プロセス流体回収回路内に受け入れるステップと、
前記バリア流体の圧力を減少させるステップと、
前記共用プロセス流体回収回路に結合された第２のポンプのドライシールに前記減圧バリア流体を導くステップと、を含む方法。
【請求項１０】
前記バリア流体の圧力を減少させた後で、前記減圧バリア流体を前記第２のポンプの前記ドライシールに導く前に、前記共用プロセス流体回収回路内の前記バリア流体を濾過して加温するステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１のポンプが動作状態にあり、前記第２のポンプが待機状態にある場合に、前記動作状態から来る前記バリア流体は前記待機ポンプの前記ドライシールに供給される、請求項９または請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１のポンプが待機状態に達し、かつ前記第２のポンプが動作状態に達するように、前記２つのポンプの機能状態を切り替えることからなるステップをさらに含み、前記動作状態のポンプから来る前記バリア流体は、前記待機ポンプの前記ドライシールに供給される、請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、排他的ではないが特に二酸化炭素（ＣＯ2）をポンピングするための流体ポンプシステムに関し、流体ポンプシステムは、複数のポンプと、待機状態の間に前記ポンプ、好ましくは遠心ポンプのドライガスシールの完全性を保護するためのドライガスシール保護装置と、を含む。
【０００２】
より具体的には、本開示は、ＣＯ2用途、例えば、石油およびガス回収プラントにおける純ＣＯ2およびＣＯ2＋炭化水素の再注入、輸送および隔離のための前記ポンプの待機状態の間に遠心ポンプのドライガスシールの完全性を保護することを可能にするポンプシステムに関する。
【背景技術】
【０００３】
ウェットシールの代わりにシャフトシール用のドライガスシールを遠心ポンプに適用すると、例えば、消費電力を削減し、シールシステムのフットプリントを削減し、信頼性を高め、バリア流体の再充填に関連するメンテナンスコストを削減するなどの、いくつかの利点が得られる。
【０００４】
遠心ポンプの動作状態におけるドライガスシールの多くの利点は、以下でより明確に説明するように、待機状態などの他の作動状態での遠心ポンプにおけるドライガスシールの使用に関連する問題を隠蔽する。
【０００５】
ガス、特にＣＯ2は、待機状態でもポンプが加圧されて始動の用意ができているので、一次シールのリークは正常である。
【０００６】
したがって、ポンプ内部のガス圧力は外部の大気圧よりも高くなる。一次シールの下流には、緩衝流体、通常は４〜６バールの圧力で利用可能な窒素または空気によって確立された圧力が存在する。さらに、高圧かつ未処理のプロセスガスは、一次ドライガスシールに浸透し、粒子および液体の汚染物質を輸送する。
【０００７】
この問題は、プロセス流れとしての二酸化炭素（ＣＯ2）、またはシールを通る流体の膨張によって相（氷または液体）を変化させる可能性のある他の流体で強調される。ドライガスシールリングの狭い公差を通る二酸化炭素（ＣＯ2）の膨張は、シールリング上に氷を形成する可能性がある。その後に、ポンプが正常作動状態に戻ると、ドライガスシールリング間の汚染は、ドライガスシールの早期摩耗および破損をもたらす。
【０００８】
図１〜図３を参照すると、ドライガスシールを利用する単一の遠心ポンプを含む公知の構成が示されている。
【０００９】
図１は、二酸化炭素（ＣＯ2）ポンプ用のドライガスシール（ＤＧＳ）システム１００の関連技術構成の詳細図を開示する。この構成では、超臨界状態にある任意の流体は、例示的な二酸化炭素（ＣＯ2）の代わりにバリア流体として使用できることに留意されたい。
【００１０】
図１の構成は、作動状態の間のドライガスシールの挙動を反映し、シールされる関連領域を有するＣＯ2ポンプ１０２、ドライガスシールの一次（内側）シール１０４、ドライガスシールの二次（外側）シール１０６、プロセス流体フィルタ１０８、プロセス流体ヒーター１１０、フレアセーフエリアへの流れを制御するためのバルブおよび制御要素１２０、中間緩衝ガスフィルタ１１４、中間緩衝ガス１１６、バリア流体１１８、減圧バルブ１２０、一次ドライガスシールチャンバ１２２、ならびに二次ドライガスシールチャンバ１２４を含む。
【００１１】
関連技術では、図１の構成は、プロセス流体、例えばバリア流体として用いられるポンプ吐出口からの二酸化炭素が示されている。バリア流体の圧力は、バルブ１２０によって低減され、ヒーター１１０によって加熱される。次いで、バリア流体は、フィルタ１０８によって濾過され、一次ドライガスシールチャンバ１２２に注入される。
【００１２】
バリア流体の圧力は、ポンプの吸込圧力よりも高く、したがって、未処理のプロセスガスが一次シール１０４に流入するのを防止する。
【００１３】
バリア流体（二酸化炭素）は、部分的に内側のラビリンスを通ってポンプに流れ、部分的に一次ドライガスシールを通って一次排気口に流れる。次に、関連技術の構成では、ポンプに流入する二酸化炭素（ＣＯ2）が二酸化炭素（ＣＯ2）の臨界圧力よりも高い吸込圧力に達するので、氷結の問題は生じない。さらに考慮される構成では、一次シールを通って一次排気口に流れる二酸化炭素（ＣＯ2）は、Ｐ１から緩衝ガス（通常は４〜６バールのＮ２／空気）によって確立される値まで膨張する。公知の構成では、二酸化炭素（ＣＯ2）バリア流体の温度は、膨張中に氷結の危険を回避するのに十分高い値にヒーターによって維持されなければならないことに留意されたい。
【００１４】
中間緩衝ガス１１６、例えば、窒素または乾燥空気は、フィルタ１１４によって濾過され、二次ドライガスシールチャンバ１２４に注入される。公知の構成では、窒素または空気以外の他のガスも緩衝ガスとして使用できることに留意されたい。中間緩衝ガス１１６の圧力は、一次シール１０４を通過するバリアガスの圧力よりも高く、バリアガスが二次シール１０６に達するのを防止する。
【００１５】
公知の構成では、二次ドライガスシールチャンバ１２４内のバリアガス１１８と中間緩衝ガス１１６との混合物は、バルブ１１２を通過し、フレアセーフエリアに流れる。
【００１６】
図２は、ポンプが待機状態にあるときの図１と同じ図を示す。この状態では、ポンプからの吐出圧力は、シール領域１０２内の圧力に等しい。ポンプが待機状態にある場合には、ポンプへの圧力は吸込圧力に非常に近い一様な値に達する。
【００１７】
従来技術の構成では、待機状態の結果は、ポンプ吐出口からのプロセス流体が、未処理のプロセス流体がシール領域１０２から一次シール１０４に流れるのを防止するバリア流体としてもはや作用しないということである。さらに、未処理のプロセス流体は加熱も濾過もされず、したがって汚染物が一次シール１０４に入り、一次シール１０４に氷結が生じる可能性がある。
【００１８】
待機状態でもポンプが加圧されているという事実のために、ポンプが待機状態にある場合に一次シールには自然な二酸化炭素（ＣＯ2）のリークがある。
【００１９】
最新技術によれば、図３を参照すると、ポンプが待機状態にあるときの損傷および氷結の危険性を回避するために、図示していない追加のブースタがバリア流体１１８のために設けられ、ポンプの動作状態の間に提供される条件でバリアガスを維持する。この解決策は、ドライガスシールの汚染を防ぐために、濾過および加熱に関してプロセス流体の同様の処理を必要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０８３４３７号
【発明の概要】
【００２１】
二酸化炭素（ＣＯ2）用途のプラント、例えば。石油およびガス回収プラントにおける純粋な二酸化炭素および二酸化炭素＋炭化水素の再注入、輸送および隔離がここで考慮される。
【００２２】
前記プラントでは、少なくとも１つの遠心ポンプが設けられ、好ましくは交互に動作する少なくとも２つの遠心ポンプが設けられ、第１のポンプが作動／動作状態にあるときには、第２のポンプは待機状態にある。
【００２３】
ポンプを切り替えることで、バリア流体の交換とＭＴＢＦ（平均故障間隔）の増加によるメンテナンスコストの削減が可能になる。
【００２４】
より多くの遠心ポンプを使用すると、各ポンプがより短い時間で動作し、故障と他の故障との間の予想時間（ＭＴＢＦ）を長くすることができる。
【００２５】
さらに、より多くの遠心ポンプを使用することにより、プラントの停止が回避され、第１のポンプのメンテナンスを行う必要があるときに第２のポンプを作動させることができる。
【００２６】
本開示の目的は、特に上記の利点を達成するのに適したポンプシステムを提供することである。
【００２７】
さらなる詳細および特定の実施形態は、以下の添付図面を参照する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ポンプが作動／動作状態にある場合のドライガスシールおよび関連するガス支持システムの概略図である。
【図２】ポンプが危険な待機状態（損傷および氷結の危険性がある）にある場合のドライガスシールおよび関連するガス支持システムの概略図である。
【図３】ポンプが安全な待機状態にある（損傷および氷結の危険性がない）場合のドライガスシールおよび関連するガス支持システムの概略図である。
【図４】本開示によるポンプシステムの概略図である。
【図５】本開示による方法のステップのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下の例示的な実施形態の説明は、添付の図面を参照する。以下の詳細な説明は、本開示を限定するものではない。代わりに、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定義される。
【００３０】
本開示は、石油およびガス回収プラント、すなわちオフショア石油およびガスインプラントに関する。より詳細には、本開示は、二酸化炭素（ＣＯ2）用途のための工業プラントに関する。
【００３１】
二酸化炭素の最も共用されている用途のいくつかは、石油およびガス回収プラントにおける純粋な二酸化炭素および二酸化炭素＋炭化水素の再注入、輸送および隔離である。
【００３２】
前記プラントでは、少なくとも１つの遠心ポンプが設けられ、好ましくは交互に動作する少なくとも２つの遠心ポンプが設けられ、第１のポンプが作動／動作状態にあるときには、第２のポンプは待機状態にある。
【００３３】
ポンプを切り替えることで、バリア流体の交換とＭＴＢＦ（平均故障間隔）の増加によるメンテナンスコストの削減が可能になる。
【００３４】
より多くの遠心ポンプを使用すると、各ポンプがより短い時間で動作し、故障と他の故障との間の予想時間（ＭＴＢＦ）を長くすることができる。
【００３５】
さらに、より多くの遠心ポンプを使用することにより、プラントの停止が回避され、第１のポンプのメンテナンスを行う必要があるときに第２のポンプを作動させることができる。
【００３６】
本開示の目的は、特に上記の利点を達成するのに適したポンプシステムを提供することである。
【００３７】
本開示によるポンプシステム２００は、少なくとも第１のポンプ３００および第２のポンプ４００を含み、好ましくは、第１および第２のポンプは遠心ポンプであり、少なくとも１つのドライガスシールが第１のおよび第２のポンプのそれぞれに付随している。
【００３８】
本発明によるポンプシステム２００は、共用プロセス流体供給回路１５０を含み、次に共用プロセス流体供給回路１５０は、第２のポンプ４００の前記少なくとも１つのドライガスシールにバリア流体を供給するために、第１のポンプ３００のポンプ吐出口３３０を第２のポンプ４００の少なくとも１つのドライガスシールに流体接続する第１のバリア流体供給回路３０１を含む。
【００３９】
本発明による共用プロセス流体供給回路１５０は、前記第１のポンプの前記少なくとも１つのドライガスシールにバリア流体を供給するために、第２のポンプ４００のポンプ吐出口４３０を第１のポンプ３００の少なくとも１つのドライガスシールに流体接続する第２のバリア流体供給回路４０１を含む。
【００４０】
図４に示す本開示の好ましい実施形態によれば、前記共用プロセス供給回路１５０の第１のバリア流体供給回路３０１および第２のバリア流体供給回路４０１は、共用分岐ライン５００に合流し、その上に、ポンプ吐出口３３０、４３０から来るバリア流体の圧力を減少させるのに適した減圧バルブ５１２、フィルタ５１４、およびヒーター５１３が設けられている。
【００４１】
共用ヘッダー５１５が、流れ方向に関して前記ヒーター５１３の下流で前記共用分岐５００上にさらに設けられる。前記共用ヘッダー５１５から、共用分岐５００は２つの戻り分岐ラインに分かれる。すなわち、前記共用ヘッダー５１５を第１のポンプ３００のドライガスシールに流体接続する第１の戻り分岐ライン５１７であって、前記第１の戻り分岐ライン５１７は、第１のバリア流体供給部分５１７ａおよび第２のバリア流体供給部分５１７ｂを含み、前記第１の戻り分岐ライン５１７の各部分は、第１のポンプ３００の前記ドライガスシールのうちの１つに流体接続される、第１の戻り分岐ライン５１７と、前記共用ヘッダー５１５を第２のポンプ４００のドライガスシールに流体接続する第２の戻り分岐ライン５１８であって、前記第２の戻り分岐ライン５１８は、第１のバリア流体供給部分５１８ａおよび第２のバリア流体供給部分５１８ｂを含み、前記第２の戻り分岐ライン５１８の前記第１の部分５１８ａおよび第２の部分５１８ｂは、第２のポンプ４００の前記ドライガスシールのうちの１つに流体接続される、第２の戻り分岐ライン５１８と、に分かれる。
【００４２】
図４を参照すると、第１のポンプ３００の第１のポンプ吐出口３３０から共用ヘッダー５１５に来るプロセス流体、例えば、二酸化炭素（ＣＯ2）は、作動状態において、前記第１のポンプ３００が動作状態にあり、前記第２のポンプ４００が待機状態にある場合に、第２のポンプ４００のドライガスシール用のバリア流体として使用される。
【００４３】
同様に、第２のポンプ４００の第２のポンプ吐出口４３０から共用ヘッダー５１５に来るプロセス流体は、作動状態において、前記第２のポンプ４００が動作状態にあり、前記第１のポンプ３００が待機状態にある場合に、第１のポンプ３００のドライガスシール用のバリア流体として使用される。
【００４４】
バリア流体の圧力は、減圧バルブ５１２によって低減され、フィルタ５１４によって濾過され、次いでヒーター５１３によって加熱される。次いで、バリア流体は、待機状態でポンプのドライガスシールチャンバに注入される。
【００４５】
例を挙げると、第１のポンプ３００が動作状態にある場合に、プロセス流体は、第１のポンプ３００の吐出口３３０から第１のバリア流体供給回路３０１を通って流出し、共用分岐ライン５００に入る。
【００４６】
次いで、プロセス流体の圧力が、減圧バルブ５１２によって共用分岐５００内で低減され、その後に、流体がフィルタ５１４によって濾過され、共用ヒーター５１３によって加熱される。
【００４７】
ガスシール用のバリア流体として使用する準備ができたプロセス流体は、共用ヘッダー５１５に流入し、そこで不連続な動作に起因する全ての変動が平滑化され、流体特性が安定化される。このようにして、ドライガスシールの最も壊れやすい部品、すなわちシール面が急激な圧力変化から保護される。
【００４８】
共用ヘッダー５１５の下流で、プロセス流体は、第２の戻り分岐ライン５１８を通って、待機状態にある第２のポンプ４００のドライガスシールに流れる。
【００４９】
第１のチェックバルブ３０２は、有利には、第１のバリア流体供給回路３０１上に設けられ、第２のチェックバルブ４０２は、第２のバリア流体供給回路４０１上に設けられる。
【００５０】
したがって、上述した本開示によるポンプシステム２００は、第１の動作ポンプ３００のポンプ吐出口からの流体、例えば二酸化炭素（ＣＯ2）の流れを供給し、前記第２のポンプが待機状態にある場合に、第２のポンプ４００のドライガスシールを洗浄するように適合される。
【００５１】
同様に、第１のポンプ３００が待機状態に、第２のポンプ４００が動作状態に切り替えられると、本開示によるポンプシステム２００は、第２のポンプ４００のポンプ吐出口からのプロセス流体の流れを供給して、第１のポンプ３００のドライガスシールを洗浄するのに適する。
【００５２】
本開示によるポンプシステムのおかげで、ポンプが待機状態にある全時間にわたって、待機状態にあるポンプのドライガスシールにバリア流体を提供するために、非常に信頼性の高い、したがって高価な補助ブースタ圧縮機を設ける必要がない。最終的に、ポンプシステムが２つのポンプのみを含み、両方のポンプが同時に待機状態にある場合には、より簡素でより安価なブースタをシステムに設けることで十分であり得る。実際、本開示によるポンプシステムでは、前記ブースタ圧縮機は、稀な場合であって、かつポンプシステムの全てのポンプが同時に待機状態にある短い期間にのみスイッチオンされる。
【００５３】
したがって、本開示によるポンプシステムは、より経済的なブースタ圧縮機を設置することを可能にし、前記ブースタ圧縮機がめったにスイッチオンされないので、システムは非常に信頼性が高く、かつエネルギー効率が良い。
【００５４】
本発明によるポンプシステム２００は、ポンプ機能を動作状態から待機状態に切り替えることを可能にする。
【００５５】
第１のポンプ３００が動作状態にある場合に、ポンプ吐出口３３０は、バリア流体を第１のバリア流体供給回路３０１を通して共用ヘッダー５１５に、そして最後に、待機状態にある第２のポンプ４００のドライガスシールに供給する。
【００５６】
状況によって、例えば第１のポンプでメンテナンス作業が必要な場合、または２つのポンプをより短い時間、交互に作動させることが有利な場合には、例えばポンプのＭＴＢＦを増加させるために、第１のポンプ３００を待機状態にし、第２のポンプ４００を作動状態にする。本開示によるポンプシステムは、２つのポンプの作動状態を切り替える可能性に関して非常に汎用的であるので、エンドユーザは状況および達成される結果を考慮して最良の方法でポンプを動作させることが可能になる。第２のバリア流体供給回路４０１のおかげで、そのとき動作ポンプである第２のポンプ４００は、バリア流体を第２のバリア流体供給回路４０１を通って待機状態にある第１のポンプに供給する。
【００５７】
ポンプシステムが有利には３つ以上のポンプ、例えば３つまたは４つのポンプを含むことができることは、当業者には明らかであろう。これらの可能な構成では、ポンプシステムは、対応する数のバリア流体供給回路を含む。
【００５８】
本発明によるポンプシステム２００は、有利には、ポンプの作動状態を切り替え、バリア流体供給回路上に設けられた装置の作動状態を制御するように構成された制御ユニットを含むことができる。
【００５９】
これらのうち、本開示によるポンプシステムは、メンテナンスコストの削減、ＭＴＢＦの増加、およびもはや必要ではないブースタ圧縮機のコスト削減からなる結果を達成する。
【００６０】
本開示はまた、ポンプのドライシールにバリア流体を提供するための方法に関する。
【００６１】
本開示による方法は、前記ポンプが待機状態にあり、追加のブースタを設ける必要がない場合に、ポンプのドライシールにバリア流体を提供することを可能にする。この結果を達成するために、第１の動作ポンプが、共用プロセス流体回路によって前記待機ポンプに流体接続される。
【００６２】
本方法は、少なくとも、図５のフローチャートに開示されている以下のステップを含む。
【００６３】
第１のステップ１は、第１のポンプの吐出口からのバリア流体を吐出口に結合された共用プロセス流体回収回路内に受け入れるステップからなる。
【００６４】
第２のステップ２は、バリア流体の圧力を減少させるステップからなる。
【００６５】
第３のステップ３は、共用プロセス流体回収回路に結合された第２のポンプのドライシールに減圧バリア流体を導くステップからなる。
【００６６】
上記の方法は有利には、バリア流体の圧力を減少させた後で、減圧バリア流体を第２のポンプのドライシールに導く前に、共用プロセス流体回収回路内のバリア流体を濾過して加温するステップからなるステップ２ａをさらに含む。
【００６７】
本明細書に開示した方法によれば、第１のポンプが動作状態にあり、第２のポンプが待機状態にある場合に、動作状態ポンプから来るバリア流体は待機ポンプのドライシールに供給される。
【００６８】
いつでも、第１のポンプが待機状態に切り替えられ、第２のポンプが動作状態に切り替えられるように、２つのポンプの機能状態を切り替えることができる。共用プロセス流体回収回路のおかげで、そのとき動作状態にある第２のポンプから来るバリア流体が、そのとき待機状態にある第１のポンプのドライシールに提供される。
【００６９】
「一実施形態」または「実施形態」に対する明細書全体での参照は、実施形態に関連して記載されている特定の特徴、構造、または特性が、開示されている主題の少なくとも１つの実施形態に含まれていることを意味する。したがって、明細書全体の様々な場所における句「一実施形態では」または「実施形態では」の出現は、必ずしも同一の実施形態を参照していない。さらに、特定の特徴、構造または特性は、１つまたは複数の実施形態において任意の適切な方法で組み合わせられてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１  第１のステップ
２  第２のステップ
２ａ  ステップ
３  第３のステップ
１００  ドライガスシール（ＤＧＳ）システム
１０２  シール領域
１０４  一次シール
１０６  二次シール
１０８  プロセス流体フィルタ
１１０  プロセス流体ヒーター
１１２  バルブ
１１４  中間緩衝ガスフィルタ
１１６  中間緩衝ガス
１１８  バリア流体
１２０  減圧バルブ
１２２  一次ドライガスシールチャンバ
１２４  二次ドライガスシールチャンバ
１５０  共用プロセス流体供給回路
２００  ポンプシステム
３００  第１のポンプ
３０１  第１のバリア流体供給回路
３０２  第１のチェックバルブ
３３０  第１のポンプ吐出口
４００  第２のポンプ
４０１  第２のバリア流体供給回路
４０２  第２のチェックバルブ
４３０  第２のポンプ吐出口
５００  共用分岐ライン
５１２  減圧バルブ
５１３  共用ヒーター
５１４  フィルタ
５１５  共用ヘッダー
５１７  第１の戻り分岐ライン
５１７ａ  第１のバリア流体供給部分
５１７ｂ  第２のバリア流体供給部分
５１８  第２の戻り分岐ライン
５１８ａ  第１のバリア流体供給部分
５１８ｂ  第２のバリア流体供給部分
【図１】
2018522162.tif 000003
【図２】
2018522162.tif 000004
【図３】
2018522162.tif 000005
【図４】
2018522162.tif 000006
【図５】
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【国際調査報告】
2018522162.tif 000008
2018522162.tif 000009