(57)【要約】限定された空間における使用に適した、一体化された構成を含み得る調節可能な小型のマウント。いくつかの調節可能な小型のマウントの実施形態は、ねじ駆動スクリューを含み得、ねじ駆動スクリューは、使用の間、基部の外部周囲内に完全に配置される。高密度の物質の末端キャップは、調節可能な小型のマウントについての圧電型駆動モーターの効率的な使用を可能にしながら、特定の実施形態の小型性を容易にするために使用され得る。耐久性を増強するために、特定の被膜がいくつかの実施形態の構成要素において使用され得る。
2018506741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
小型の調節可能なマウントであって、
基部であって、該基部の底部上に搭載面を含む基部と、
ステージであって、該ステージは、該ステージが該基部に関して予め決定された距離を直線自由度で並進するように、単一の直線自由度を除く全ての自由度において該基部に対して実質的に固定され、該ステージはまた、該ステージの上部上に搭載面を含む、ステージと、
長手方向軸と、ねじ長さと、外表面を有する被駆動部分とを含む細長のねじ駆動シャフトであって、該ねじ長さは、ねじ外表面を有し、該ねじ外表面は、該長手方向軸の周りで同心円状に配置された少なくとも一つのねじ溝を有し、該ねじ駆動シャフトは、該基部に関して該長手方向軸に沿った軸方向において固定され、該基部の外部周囲内に配置され、該基部に関して該長手方向軸を横断する方向において固定され、かつ、該基部に関して該長手方向軸の周りで回転可能である、細長のねじ駆動シャフトと、
該ステージに固着されるナットであって、該ナットは、該ねじ駆動シャフトの周りに配置されるボアを含み、該ボア内で係合構造を含み、該係合構造は、該ねじ駆動シャフトの該ねじ外表面の該ねじ溝を係合するように構成され、該ナットは、該基部に対する該ねじ駆動シャフトの回転が、該ナットの該係合構造に対する該ねじ溝の回転と、該基部に対する該ナットおよび該ステージの、該長手方向軸に沿った軸動きとを引き起こすように、該ねじ駆動シャフトの該長手方向軸の周りの回転方向での該ナットの回転を防ぐ構成で該ステージに固着される、ナットと、
該基部内に配置される慣性駆動モーターであって、該慣性駆動モーターは、第一接触面および第二接触面を含み、該第二接触面は、該第一接触面から間隔を空けられ、かつ該第一接触面と対向の関係で配置され、該第一接触面および該第二接触面は、該慣性駆動モーターの作動が該第一接触面と該第二接触面との間の往復運動を与え、該往復運動が該基部に対する該ねじ駆動シャフトの回転運動を引き起こすように、該ねじ駆動シャフトの該被駆動部分と動作可能に係合される、慣性駆動モーターと、
該ねじ駆動シャフトの末端に対して固定された少なくとも一つの末端キャップであって、該末端キャップは、該基部の該外部周囲内に配置され、高密度の物質を含み、かつ、該慣性駆動モーターの効率的な動作のために十分な慣性モーメントを含む、少なくとも一つの末端キャップと
を含む、小型の調節可能なマウント。
【請求項２】
前記基部と前記ステージとの間に動作可能に配置された少なくとも一つのリニアベアリングアセンブリをさらに含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項３】
前記少なくとも一つのリニアベアリングアセンブリが、前記基部および前記ステージのそれぞれのベアリングレース間に配置された一組のリニアボールベアリングアセンブリを含む、請求項２に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項４】
前記ナットの前記係合構造が、該ナットのねじ内側ボアであって、前記ねじ駆動シャフトの前記ねじ外表面を正確に係合するようにサイズ決定されるねじ内側ボアを含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項５】
前記ねじ駆動シャフトの前記ねじ長さの前記ねじ外表面が該ねじ外表面の潤滑性および耐久性を改善するための窒化物被膜を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項６】
前記慣性駆動モーターが圧電駆動モーターを含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項７】
前記ねじ駆動シャフトの前記被駆動部分が円周溝を含み、該円周溝は、該被駆動部分の前記外表面に配置され、かつ、前記慣性駆動モーターの前記第一接触面および前記第二接触面は、該被駆動部分の該円周溝を係合するように構成された溝を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項８】
前記少なくとも一つの末端キャップがステンレス鋼の密度よりも高いかまたはステンレス鋼の密度と同等の密度を有する高密度の物質を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項９】
前記少なくとも一つの末端キャップがタングステンの密度と同等かまたはタングステンの密度よりも高い密度を有する物質を含む、請求項８に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの末端キャップがタングステンを含む、請求項９に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１１】
前記ねじ駆動シャフトの第一末端に固着された第一ディスク形状末端キャップと、該ねじ駆動シャフトの第二末端に固着された第二ディスク形状末端キャップとを含み、各末端キャップは、前記基部の外側短手方向周囲内に配置され、かつ、各末端キャップは、タングステンの密度と同等かまたはタングステンの密度よりも高い密度を有する物質を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１２】
前記末端キャップが約１０ｇｍｍ２から約１５ｇｍｍ２の合成慣性モーメントを含む、請求項１１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１３】
前記末端キャップが約２０ｇｍｍ２から約３０ｇｍｍ２の合成慣性モーメントを含む、請求項１１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１４】
前記ステージが前記基部の底面から該ステージの前記搭載面まで約０．３インチから約１インチの高さを含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１５】
前記ステージが、並進の方向に沿って、かつ該ステージが前記基部に整列した状態で、約０．７５インチから約４インチの横断外側寸法を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１６】
前記ステージが、並進の方向に沿って、かつ該ステージが前記基部に整列した状態で、約１．５インチから約３インチの横断外側寸法を含む、請求項１５に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１７】
前記基部および前記ステージがアルミニウムを含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１８】
前記ねじ駆動シャフトがステンレス鋼を含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項１９】
前記慣性駆動モーターが、前記被駆動部分の前記外表面に対する前記第一接触面と前記第二接触面との間の往復運動を可能にするように、かつ、前記基部に対する該第一接触面および該第二接触面の周りでの該慣性駆動モーターの回転を防ぐように、該基部に固着される、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２０】
前記慣性駆動モーターが圧電慣性駆動モーターを含み、該圧電慣性駆動モーターは、
アクチュエータフレームであって、
前記第一接触面を含む第一支持要素と、
前記第二接触面を含む第二支持要素であって、該第二接触面は、該第一接触面から間    
隔を空けられ、かつ該第一接触面に対して実質的に対向した関係で配置される、第二支持要素と、
付勢バネクリップであって、該第一支持要素および該第二支持要素と係合され、かつ、該第二接触面から離れる該第一接触面の垂直変位に抵抗する弾性復元力を提供するように構成される、付勢バネクリップと、
該アクチュエータフレームの第一搭載面と該アクチュエータフレームの第二搭載面との間に配置される圧電要素空洞と
を含む、アクチュエータフレームと、
該圧電要素空洞内に配置される圧電要素であって、該圧電要素は、該第一搭載面に固着される第一端を有し、該第二搭載面に固着される第二端を有し、該圧電要素に伝達される電気駆動信号に応じて拡張および収縮するように構成され、かつ、該圧電要素の拡張または収縮が該第一接触面と該第二接触面との間のそれぞれ実質的に平行な往復変位を引き起こすように構成される、圧電要素と
を含む、請求項６に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２１】
前記アクチュエータフレームが減少した物質断面のヒンジ部をさらに含み、該減少した物質断面は、前記第一支持要素と前記第二支持要素との間に配置され、かつ結合され、該ヒンジ部は、該ヒンジ部におけるアクチュエータフレーム物質の弾性変形によって前記第一接触面と前記第二接触面との間の相対的往復平行変位を可能にするように構成される、請求項２０に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２２】
前記圧電駆動モーターの前記第一接触面と前記第二接触面との間の公称横断距離が約２ｍｍから約５ｍｍである、請求項６に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２３】
前記基部と前記ステージとの間に動作可能に結合され、かつ該基部と該ステージとの間の相対的変位を計測するように構成されるリニアエンコーダーをさらに含む、請求項１に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２４】
前記リニアエンコーダーのエンコーダーストリップが前記ステージに固着され、かつ、該リニアエンコーダーのリーダーが、動作の間、該リーダーが該エンコーダーストリップを読み取ることを可能にするような位置において、該エンコーダーストリップに隣接して前記基部に固着される、請求項２３に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２５】
前記リニアエンコーダーが光学リニアエンコーダーを含む、請求項２３に記載の小型の調節可能なマウント。
【請求項２６】
小型の調節可能なマウントであって、
基部と、
ステージであって、該ステージが直線自由度で並進するように、単一の直線自由度を除く全ての自由度において該基部に対して固定されるステージと、  
長手方向軸と、ねじ長さと、外表面を有する被駆動部分とを含む細長のねじ駆動シャフトであって、該ねじ長さは、ねじ外表面を有し、該ねじ外表面は、該長手方向軸の周りで同心円状に配置された少なくとも一つのねじ溝を有し、該ねじ駆動シャフトは、該基部に関して該長手方向軸に沿った軸方向において固定され、該基部の外部周囲内に配置され、該基部に関して該長手方向軸を横断する方向において固定され、かつ、該基部に関して該長手方向軸の周りで回転可能である、細長のねじ駆動シャフトと、
該ステージに固着されるナットであって、該ナットは、該ねじ駆動シャフトの周りに配置されるボアを含み、該ボア内で係合構造を含み、該係合構造は、該基部に対する該ねじ駆動シャフトの回転が、該基部に対する該ナットおよび該ステージの、該長手方向軸に沿った軸動きを引き起こすように、該ねじ駆動シャフトの該ねじ外表面の該ねじ溝を係合するように構成される、ナットと、  
該基部内に配置される慣性駆動モーターであって、該慣性駆動モーターは、少なくとも一つの接触面を含み、該少なくとも一つの接触面は、該慣性駆動モーターの作動が該少なくとも一つの接触面の往復運動を与え、該往復運動が該基部に対する該ねじ駆動シャフトの回転運動を引き起こすように、該ねじ駆動シャフトの該被駆動部分と動作可能に係合する、慣性駆動モーターと、
該ねじ駆動シャフトに固定された関係で固着される少なくとも一つの末端キャップであって、該末端キャップは、該基部の該外部周囲内に配置され、かつ該慣性駆動モーターの効率的な動作のために十分な慣性モーメントを含む、少なくとも一つの末端キャップと
を含む、小型の調節可能なマウント。
【請求項２７】
圧電慣性駆動モーターであって、該圧電慣性駆動モーターは、
アクチュエータフレームであって、
第一接触面を含む第一支持要素と、
第二接触面を含む第二支持要素であって、第二接触面は、該第一接触面から間隔を空けられ、かつ該第一接触面に対して実質的に対向した関係で配置される、第二支持要素と、
付勢バネクリップであって、該第一支持要素および該第二支持要素と係合され、かつ、該第二接触面から離れる該第一接触面の垂直変位に抵抗する弾性復元力を提供するように構成される、付勢バネクリップと、
該アクチュエータフレームの第一搭載面と該アクチュエータフレームの第二搭載面との間に配置される圧電要素空洞と
を含む、アクチュエータフレームと、
該圧電要素空洞内に配置される圧電要素であって、該圧電要素は、該第一搭載面に固着される第一端を有し、該第二搭載面に固着される第二端を有し、該圧電要素に伝達される電気駆動信号に応じて拡張および収縮するように構成され、かつ、該圧電要素の拡張または収縮が該第一接触面と該第二接触面との間のそれぞれ実質的に平行な往復運動を引き起こすように構成される、圧電要素と
を含む、圧電慣性駆動モーター。
【請求項２８】
前記アクチュエータフレームが減少した物質断面のヒンジ部をさらに含み、該減少した物質断面は、前記第一支持要素と前記第二支持要素との間に配置され、かつ結合され、該ヒンジ部は、該ヒンジ部におけるアクチュエータフレーム物質の弾性変形によって前記第一接触面と前記第二接触面との間の相対的往復平行変位を可能にするように構成される、請求項２７に記載の駆動モーター。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
（関連特許出願）
本願は、合衆国法典第３５巻第１１９条（ｅ）の定めにより、Ｈｏｎｇｑｉ  Ｌｉによって２０１５年１月２９日に出願された「ＩＮＴＥＧＲＡＴＥＤ  ＰＩＣＯＭＯＴＯＲ  ＭＯＵＮＴ」と称する米国仮特許出願第６２／１０９，４５８号からの優先権を主張し、その全体が本明細書において、参考として援用される。
【０００２】
（背景）
レンズ、鏡、波長板、フィルター、ボリュームブラッグ格子、プリズムなどの光学デバイスまたは光学素子は、多くの場合、光学システム、特に実験用の光学システムに調節可能なマウントを用いて搭載される。光学システムの一例は、光ビームを一つの光学デバイスから次の光学デバイスに向ける光路を提供するような方位を有するベースに搭載された複数の光学デバイスおよび光学要素を有する光学ベンチまたは光学ベースを含み得る。レーザーまたは他の光源からのビームは、一般的にそのような用途のために使用される。そのようなシステムについて、調節可能なマウントは、光学素子などを光学ベンチまたは光学システムの他の構成要素にしっかりと固定し、かつ光学素子の方位および／または位置のいくらかの調整を可能にするメカニズムを提供する。多くの用途について、調節可能なマウントは、限定された空間において、調節プロセスの間、近くの機器と干渉する突出部分なしに動作可能であるべきである。
【０００３】
いくつかの既存の調節可能なマウントは、第一板に固着された光学素子を有するように構成された第一板、および第一板に隣接して配置された第二板を含み得、第一板は、第二板に対して変位可能である。いくつかの場合において、圧電型駆動モーターは、第一板と第二板との間の相対変位を駆動させるために、板の間に結合されたスクリューを回転させるために使用され得る。そのような多くのマウントについて、駆動スクリュー、圧電駆動モーターまたは調節可能なマウントの他の構成要素は、第一板と第二板との間の相対変位の間、第一および／または第二板の外部周囲の外側に延び得る。加えて、圧電駆動モーターを効率的に動作させるために必要な慣性モーメントの大きさは、様々な用途のための限定された空間における使用に不適切であり得る、大きくかつ大容量のマウントデバイスをもたらし得る。また、そのようなマウントシステムのいくつかの構成要素の外表面は、時間が経つにつれて摩耗することがあり、調節可能なマウントの動作の効率性を低下させ得る。
【０００４】
必要とされてきたものは、効率的に動作し、かつ限定された空間における使用のための小型サイズも可能にする調節可能なマウントである。また、限定された空間における使用のための適用可能性をさらに増強させるために、使用の間、マウントの板の外部周囲を越えて延びる駆動スクリューまたはマウントの他の構成要素を有しない調節可能なマウントも必要とされてきた。また、長期間にわたる効率的かつ信頼できる使用に耐久性のある構成要素を含む調節可能なマウントも必要とされてきた。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（概要）
小型の調節可能なマウントのいくつかの実施形態は、基部の底部上の平坦な搭載面を有する基部を含む。調節可能なマウントは、ステージが基部に関して予め決定された距離を直線自由度で並進し得るように、単一の直線自由度を除く全ての自由度において基部に対して実質的に固定されたステージも含み得る。ステージは、光学素子などの搭載のためのステージの上部上の平坦な搭載面も含み得る。そのようなステージは、使用の間、固定された搭載面に対して正確に位置変更される必要がある非光学構成要素を搭載するためにも適し得る。調節可能なマウントは、細長のねじ駆動シャフトも含み得、細長のねじ駆動シャフトは、長手方向軸と、ねじ長さと、外表面を有する被駆動部分とを有し、ねじ長さは、ねじ外表面を有し、ねじ外表面は、長手方向軸の周りで同心円状に配置された少なくとも一つのねじ溝を有する。ねじ駆動シャフトは、使用の間、常に基部に関して長手方向軸に沿った軸方向において固定され得、かつ、基部の外部周囲内に配置され得る。ねじ駆動シャフトは、基部に関してシャフトの長手方向軸を横断する方向においても固定され得、かつ基部に関してシャフトの長手方向軸の周りで回転可能であり得る。調節可能なマウントは、さらにナットを含み得、ナットは、ステージに固着され、ねじ駆動シャフトの周りに配置されるボアを含み、かつボア内で係合構造を含み、係合構造は、ねじ駆動シャフトのねじ外表面のねじ溝を係合するように構成される。ナットは、基部に対するねじ駆動シャフトの回転が、ねじ駆動シャフトの回転の結果、ナットの係合構造に対するねじ溝の回転と、引き続いて基部に対するナットおよびステージの、長手方向軸に沿った軸動きとを引き起こすように、ねじ駆動シャフトの長手方向軸の周りの回転方向でのナットの回転を防ぐ構成でステージに固着される。慣性駆動モーターは、基部内に配置され得、かつ、第一接触面および第二接触面を含み得、第二接触面は、第一接触面から間隔を空けられ、かつ実質的に第一接触面と対向の関係で配置される。いくつかの場合において、第一接触面および第二接触面は、駆動モーターの作動が第一接触面と第二接触面との間の往復運動を与え、往復運動が基部に対するねじ駆動シャフトの回転運動を引き起こすように、ねじ駆動シャフトの被駆動部分と動作可能に係合され得る。少なくとも一つのディスク形状末端キャップは、ねじ駆動シャフトの端部に固定された関係で固着され得る。そのような末端キャップの実施形態は、基部の外部周囲内に配置され得、高密度の物質を含み得、かつ慣性駆動モーターの効率的な動作に十分な慣性モーメントを含み得る。
【０００６】
小型の調節可能なマウントのいくつかの実施形態は、基部およびステージを含み、ステージは、ステージが直線自由度で並進するように単一の直線自由度を除く全ての自由度において基部に対して固定される。そのような小型の調節可能なマウントの実施形態は、長手方向軸と、ねじ長さと、外表面を有する被駆動部分とを含む細長のねじ駆動シャフトも含み得、ねじ長さは、ねじ外表面を有し、ねじ外表面は、長手方向軸の周りで同心円状に配置された少なくとも一つのねじ溝を有し、ねじ駆動シャフトは、基部に関して長手方向軸に沿った軸方向において固定され、基部の外部周囲内に配置され、基部に関して長手方向軸を横断する方向において固定され、かつ、基部に関して長手方向軸の周りで回転可能である。ナットは、ステージに固着され得、ナットは、ねじ駆動シャフトの周りに配置されるボアを含む。ナットのボアは、ボア内で係合構造を含み得、係合構造は、基部に対するねじ駆動シャフトの回転が、基部に対するナットおよびステージの、長手方向軸に沿った軸動きを引き起こすように、ねじ駆動シャフトのねじ外表面のねじ溝を係合するように構成される。慣性駆動モーターは、基部内に配置され得、かつ、少なくとも一つの接触面を含み得、少なくとも一つの接触面は、慣性駆動モーターの作動が少なくとも一つの接触面の往復運動を与え、往復運動が基部に対するねじ駆動シャフトの回転運動を引き起こすように、ねじ駆動シャフトの被駆動部分と動作可能に係合する。加えて、少なくとも一つの末端キャップは、ねじ駆動シャフトに固定された関係で固着され得、末端キャップは、基部の外部周囲内に配置される。末端キャップは、慣性駆動モーターの効率的な動作に十分であるように構成される慣性モーメントを有し得る。
【０００７】
圧電慣性駆動モーターのいくつかの実施形態は、アクチュエータフレームを含み得、アクチュエータフレームは、第一接触面を含む第一支持要素と、第二接触面を含む第二支持要素とを有する。第二接触面は、第一接触面から間隔を空けられ、かつ第一接触面に対して実質的に対向した関係で配置される。アクチュエータフレームは、付勢バネクリップも含み得、付勢バネクリップは、第一支持要素および第二支持要素と係合され、かつ、第二接触面から離れる第一接触面の垂直変位に抵抗する弾性復元力を提供するように構成される。アクチュエータフレームは、さらに圧電要素空洞も含み得、圧電要素空洞は、アクチュエータフレームの第一搭載面とアクチュエータフレームの第二搭載面との間に配置される。圧電要素は、圧電要素空洞内に配置され得る。圧電要素は、第一搭載面に固着された第一端と、第二搭載面に固着された第二端とを有し得る。圧電要素は、圧電要素に伝達される電気駆動信号に応じて拡張および収縮するように構成され得、かつ、圧電要素の拡張または収縮が第一接触面と第二接触面との間のそれぞれ実質的に平行な往復変位を引き起こすように構成され得る。
【０００８】
特定の実施形態は、以下の説明、例、特許請求の範囲および図面においてさらに説明される。実施形態のこれらの特徴は、添付の例示図面と合わせて以下の詳細な説明からより明らかになるだろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、コントローラーに動作可能に結合され、かつ光学テーブルの搭載面に固着された、小型の調節可能なマウントの実施形態の斜視図である。
【図２】図２は、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態の斜視の分解図である。
【図３】図３は、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態のステージの底面図である。
【図４】図４は、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態の基部および他のいくつかの関連要素の斜視図である。
【図５】図５は、図４で示される基部の上面図である。
【図６】図６は、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態の、図１の線６−６に沿って取られた横断断面図であり、ステージは、ねじナットが圧電駆動モーターに向かって配置された直線位置に変位される。
【図６Ａ】図６Ａは、図６に示される円で囲まれた部分６Ａによって表示される、ねじ駆動シャフト部の拡大図である。
【図７】図７は、図６の小型の調節可能なマウントの実施形態の横断断面図であり、ステージは、ねじナットが圧電駆動モーターから離れて配置された直線位置に変位される。
【図８】図８は、ねじ駆動シャフト、圧電駆動モーター、ねじナット、末端キャップおよびロータリベアリングを含む、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態のサブアセンブリの斜視図である。
【図９】図９は、図８のねじ駆動シャフトの斜視図である。
【図１０】図１０は、ねじ駆動シャフトの二部品の実施形態の斜視の分解図である。
【図１１】図１１は、図１の小型の調節可能なマウントの実施形態の圧電駆動モーターの実施形態の斜視図である。
【図１２】図１２は、図１１の圧電駆動モーターの実施形態の、斜視の拡大図である。
【図１３】図１３は、図１１の圧電駆動モーターの実施形態の上面図であり、バネ付勢クリップは、例示の目的のために示されていない。
【図１４】図１４は、図１１の圧電駆動モーターの実施形態の側面図であり、バネ付勢クリップは、例示の目的のために示されていない。
【図１５】図１５は、図１４の圧電駆動モーターの実施形態の部における斜視図であり、バネ付勢クリップは、例示の目的のために示されていない。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図面は、技術の実施形態を例示するものであり、限定していない。例示の明確性および容易さのために、図面は、一定の縮尺で作られない場合があり、かつ、いくつかの例において、特別な実施形態の理解を容易にするために、誇張または拡大されて、様々な態様が示され得る。
【００１１】
（詳細な説明）
本願は、光学ベンチの平坦な上搭載面または他の任意の適した表面などの安定した表面に、多様なデバイスを搭載するために使用され得る、特定の小型の調節可能なマウントの実施形態に関する。本明細書において論じられる実施形態は、光学デバイスまたは光学素子などのデバイスであって、そのような小型の調節可能なマウントのステージの、上が平坦な搭載面に搭載されるデバイスが、光学ベンチなどの搭載面に対して精密かつ繰り返し可能な方法で並進させられることを可能する。上で論じられたように、そのような小型の調節可能なマウントは、光学テーブルなど安定した搭載面に光学構成要素または光学素子を搭載するために、かつ光学ベンチまたは光学ベンチ上に配置された他の光学素子に対する光学素子の位置の精密な調節を可能にするために、使用され得る。いくつかの実施形態について、搭載面を有するステージは、高度な直線精度で以てステージと基部との間における相対的な軸方向並進を可能にするように構成された一つまたは複数の精密ベアリングアセンブリによって基部に結合され得る。ステージと基部との間の相対的な直線変位は、駆動シャフトの長手方向軸の周りを回転し得、かつ基部に対して軸方向に静止し得るねじ駆動シャフトによって実施され得る。
【００１２】
ねじナットなどは、ねじ駆動シャフトのねじ部分に動作可能に結合され得、またステージに固着もされ得るので、ステージに対するねじナットの回転は、規制される。このように、ねじシャフトの回転は、ステージと基部との間で相対的な直線変位を引き起こす。いくつかの実施形態において、ねじ駆動シャフトは、ねじ駆動シャフトと同様に基部内に搭載されかつねじ駆動シャフトの被駆動部分に動作可能に結合された圧電駆動モーターによって回転させられ得る。圧電駆動モーターは、ワイヤなどによってコントローラーに結合され得、コントローラーは、駆動信号を発生させるように構成され、駆動信号は、ねじ駆動シャフトの被駆動部分にトルクを与えるように圧電駆動モーターを作動させ、ねじ駆動シャフトは、圧電駆動モーターが作動させられることによってねじ駆動シャフトを慣性型駆動方法によって回転させる。この慣性型駆動方法は、ねじ駆動シャフトの角度の変位の所望の量ならびに基部に対するねじネットおよびステージの対応する直線並進を発生させるための回転方向および角度の大きさで、ねじ駆動シャフトを回転させるために使用され得る。本明細書において示され、かつ論じられる例示的な実施形態は、小型の調節可能なマウントの基部に、駆動モーターおよびねじ駆動シャフトを有するが、本明細書で示されるかまたは予期される実施形態のうちの任意の実施形態について、これらの要素は、ステージ内にねじナットと共に適切に配置されてもよく、それによってねじナットは、ベースに固着される。
【００１３】
図を参照すると、図１の光学ベンチ１４の搭載面１２に固着された小型の調節可能なマウントの実施形態１０が示される。例示の目的のため、小型の調節可能なマウント１０のステージ２０の上搭載面１８の形態の搭載面に固着された一般的な光学素子１６が示される。小型の調節可能なマウント１０は、ワイヤーハーネス２２によって、コントローラー２４に結合され、コントローラー２４は、ワイヤーハーネス２２を通じて、図２に示されるような小型の調節可能なマウント１０の圧電慣性駆動モーター２６などの慣性駆動モーターに通信される駆動信号を発生させるように構成される。小型の調節可能なマウントの実施形態１０は、基部２８を含み、基部２８は、平坦な構成を有し得る基部２８の底部上の搭載面３０を有する。基部２８の底部上の搭載面３０は、図６または図７に見られ得る。基部２８は、基部を搭載面１２に固着するのに使用され得る搭載留め具の通路に適した、一つまたは複数の搭載孔３２（図２〜５を参照）も含み得る。複数の搭載孔３２を含む実施形態について、搭載孔３２は、光学ベンチ１４の搭載面１２における対応するねじ孔などの周期的または規則的な間隔と整合する、周期的または規則的に間隔を空けられた配列で間隔を空けられ得る。そのような周期的な間隔は、１インチ中心の全体的な増加分で配置された搭載孔３２を含み得る。
【００１４】
図に示される小型の調節可能なマウントの実施形態１０は、基部２８に対して、単一の直線自由度を除く全ての自由度において実質的に固定されたステージ２０を含む。このコンテクストにおける、実質的に固定されたという用語の使用は、小型の調節可能なマウント１０の構成要素のベアリング、レース、ベアリング面または接触面などの不完全性および公差による偶発的な動きを除いて固定されることを意味する。このように、ステージ２０は、図６および図７に示されるように、基部２８に関して、予め決定された距離を直線自由度で並進し得る。基部２８とステージ２０との間における相対的な直線運動は、基部２８とステージ２０との間に動作可能に配置された少なくとも一つのリニアベアリングアセンブリによって制御され得、かつ容易にされ得る。図で示される実施形態について、一組のリニアボールベアリングアセンブリは、基部２８およびステージ２０のそれぞれのベアリングレース間に動作可能に配置される。特に、第一リニアボールベアリングアセンブリ３４は、基部２８の第一ベアリングレース３６とステージ２０の第一ベアリングレース３８との間に動作可能に配置される。図２に示されるように、第二リニアボールベアリングアセンブリ４０は、基部２８の第二ベアリングレース４２とステージ２０の第二ベアリングレース４４との間に動作可能に配置される。ベアリングアセンブリは、複数のねじスクリュー４５によって所定の場所に捕捉される。示される実施形態について、ベアリングレース３６、３８、４２および４４は、互いに平行に延び、かつステージの単一の直線自由度に平行に延びるまっすぐな溝状構造である。ステージ２０の本体の下側は、基部に関する構造に対する間隙を提供する一つまたは複数のリリーフスロットを含み得、基部に関する構造は、間隙がなければ、基部２８に対するステージ２０の動きを阻害または干渉し得る。示される実施形態について、第一末端キャップリリーフスロット４６および第二末端キャップリリーフスロット４８は、ステージ２０の底面に切り込まれる。第一末端キャップリリーフスロット４６および第二末端キャップリリーフスロット４８は、第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２のそれぞれの外部周囲面のための間隙を提供するように構成され、第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２は、ディスク形状の構成を有し得、かつ小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４の両末端に固着される。いくつかの場合において、第一および第二末端キャップリリーフスロット４６および４８は、円柱状部形状、および図３に示されるステージ本体２０の公称底面５６によって画定される平面から計測される約０．０１インチから約０．１インチの深さを有し得る。
【００１５】
いくつかの場合において、基部２８に対するステージ２０の並進の直線範囲は、基部２８とステージ２０との間に配置されたスロットピン構造によって決定され得る。特に、運動の直線範囲は、ステージ２０の底面５６における長手方向スロット５８と、基部２８の上面に固着され、かつ基部２８の上面から長手方向スロット５８内に上向きに延びる結合ピン６０との長さおよび位置によって制御され得る。ピン６０および長手方向スロット５８は、ピン６０が、長手方向スロット５８のどちらか一方の末端（その地点において、ステージ２０と基部２８との間のいずれのさらなる運動も妨げられる）に到達するまでスロット５８の間で自由に摺動するように互いにサイズ決定される。長手方向スロット５８は、基部２８に対するステージ２０の変位の直線自由度に平行に方向づけられる。スロットピン構造に加えて、基部２８に対するステージ２０の運動の直線範囲は、ねじ駆動シャフト５４のねじ部分６４（図９参照）上のねじナット６２の対応する直線範囲、および基部２８のねじ駆動シャフト空洞６６の境界内におけるねじネット６２の空間的な制限によって規制され得る。特に、図６は、中立または中心位置（図１に示されるように）から圧電駆動モーター２６のほうに（または図の左側まで）ねじナット６２が配置された直線位置まで変位させられたステージ２０を示す。図７は、中間または中心位置から、圧電駆動モーター２６から離れて、または図の右側までねじナット６２が配置された直線位置まで変位させられたステージ２０を示す。
【００１６】
示されるステージの実施形態２０は、光学素子１６などの搭載のためのステージの上部上の上搭載面１８などの搭載面も含み得る。上搭載面１８は、標準的な光学構成要素および取付具を搭載するために適した平坦な構成を有し得る。そのようなステージの実施形態２０は、使用の間、固定された搭載面１２に対して正確に位置変更される必要がある非光学構成要素を搭載するためにも適し得る。いくつかの実施形態について、小型の調節可能なマウント１０の基部２８およびステージ２０は、ステンレス鋼を含む鋼、アルミニウム、炭素繊維複合物などを含む複合物など、任意の適した高い強度の安定した物質から作られ得る。いくつかの実施形態にについて、小型の調節可能なマウント１０は、基部２８の底面３０からステージ２０の上ステージ搭載面１８まで約０．３インチから約１インチの高さを有し得る。いくつかの例において、小型の調節可能なマウント１０は、並進の方向に沿って（かつ、図１に示されるように、ステージ２０が基部２８に軸方向に整列した状態で）、約０．７５インチから約４インチの横断外側寸法を有し得る。いくつかの実施形態について、小型の調節可能なマウント１０は、並進の方向に沿って（かつステージが基部と整列した状態で）、約１．５インチから約３インチの横断外側寸法を有し得る。
【００１７】
示された小型の調節可能なマウントの実施形態１０は、細長のねじ駆動シャフト５４を含み、細長のねじ駆動シャフト５４は、長手方向軸６８、ねじ長さ６４および被駆動部分７４を有し、ねじ長さ６４は、ねじ外表面７０を有し、ねじ外表面７０は、少なくとも一つのねじ溝７２を有し、少なくとも一つのねじ溝７２は、長手方向軸６８の周りでねじ駆動シャフト５４のねじ外表面７０上に同心円状に配置される。いくつかの場合において、ねじ駆動シャフト５４のねじ外表面７０は、ねじ外表面７０の潤滑性および耐久性を改善するための窒化物被膜を含み得る。いくつかの実施形態において、被駆動部分７４は、図９に示されるように溝付きの外表面７６であり得る外表面を含み得る。溝付きの外表面７６は、溝付き外表面７６の上に配置され、かつ／または溝付き外表面７６内に形成された円周溝を含み得る。圧電駆動モーター２６の第一接触面７８および第二接触面８０は、対応する第一および第二溝付き接触面８２および８４を有し得（図１１を参照）、第一および第二溝付き接触面８２および８４は、図６および図７に示されるように、ねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の溝付き外表面７６を係合するように構成された溝を含む。被駆動部分７４の溝付き外表面７６のリッジ８６が接触面７８および８０の溝付き面８２および８４の谷８８内に配置され、その逆もまた然りであるように、圧電駆動モーター２６の溝付き第一および第二接触面８２および８４は、ねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の溝付き外表面７６とかみ合うように構成され得る。そのような配列は、圧電駆動モーター２６とねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４との間の安定かつ一貫した機械的結合を維持することに役立ち得る。いくつかのねじ駆動シャフトの実施形態５４について、ねじ部分６４の軸長さは、約０．５インチから約３インチであり得、被駆動部分７４の軸長さは、約０．１インチから約１インチであり得、かつ、ねじ駆動シャフト５４の全体の軸長さは、約１インチから約３インチであり得る。いくつかの実施形態について、ねじ駆動シャフト５４のねじ長さ６４は、６−８０  ＵＮＳ−３Ａ型ねじ仕様などを有するねじ外表面７０を含み得る。さらに、被駆動部分７４の外表面７６の溝構造は、ゼロピッチ角を有する８−３６  ＵＮＦ−２Ａねじに対応するねじと整合し得る。しかし、任意の適したねじ型が、ねじ部分６４または被駆動部分７４のどちらか一方に使用され得る。溝なしの外表面７６もまた、いくつかの例において被駆動部分に適し得る。いくつかの実施形態について、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４は、ステンレス鋼を含む鋼、アルミニウム、炭素繊維複合物などを含む複合物など、任意の適した高い強度の安定した物質から作られ得る。いくつかの場合において、ねじ駆動シャフト５４のねじ長さ６４のねじ外表面７０および／またはねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の溝付き外表面７６は、ねじ外表面７０の潤滑性、耐久性または他の任意の所望の性質を改善するために、（図６Ａに示されるように）窒化物被膜９０などの被膜を有し得る。
【００１８】
いくつかの場合において、ねじ駆動シャフト５４は、図９に示されたねじ駆動シャフトの実施形態５４など、連続的な物質の一体的な単一の部品から作られ得る。他の場合において、図１０に示されたねじ駆動シャフトの実施形態５４についてなど、二つ以上のサブコンポーネントからねじ駆動シャフトを製作することが望ましい。図１０に示されたねじ駆動シャフトの実施形態５４について、被駆動部分７４は、スリーブ９２上に含まれ、スリーブ９２は、ねじ駆動シャフト５４のメインシャフト９６の被駆動部分端部９４に固着される。図１０におけるねじ駆動シャフト５４の分解図は、メインシャフトから取り外されたスリーブ９２を示す。スリーブ９２は、溶接、はんだ付け、蝋付け、接着剤接合、圧入、溶接接合などを含む、そのような実施形態に適した任意の態様でメインシャフト９６に固着され得る。そのような二部品の実施形態は、ねじ駆動シャフト５４の加工または製造を容易にすることに役立ち得、かつ、ねじ駆動シャフト５４のねじ部分６４および被駆動部分７４について異なる物質の使用を可能にする。
【００１９】
ねじ駆動シャフト５４は、ステージ２０の使用および基部２８に対するステージ２０のリニアの変位の間、常に基部２８に関して長手方向軸に沿った軸方向において固定され得、かつ（図５に見られる点線によって表示されるように）基部２８の外部周囲９８内に配置され得る。ねじ駆動シャフト５４を基部２８の外部周囲９８内に維持することによって、小型の調節可能なマウント１０は、使用と調節の間、小型に留まり、それによって、限定された空間における小型の調節可能なマウント１０の使用を容易にし、また、マウント１０に隣接した構造によってマウント１０の作動が干渉される危険性を減らす。ねじ駆動シャフト５４はまた、基部２８に関してねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８を横断する方向において固定され得、かつ基部２８に関してねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８の周りで回転可能であり得る。ねじ駆動シャフト５４が一つの回転の自由度を除く全ての自由度において固定されるそのような配列は、図２および図８に示される第一ロータリベアリング１００および第二ロータリベアリング１０２など一組のロータリベアリングでねじ駆動シャフト５４を基部２８に搭載することによって達成され得る。第一ロータリベアリング１００および第二ロータリベアリング１０２は、ボールベアリングを含み得る。各ロータリベアリング１００および１０２は、基部２８の対応するボア１０４および１０６の各内表面内に密接に適合するように構成された円柱状の外形を有し得る。いくつかの場合において、密接に適合することは、マウント１０が所望の空間運動公差内で作動することを可能にするのに十分な密接な適合を含み得る。いくつかの場合において、この密接に適合された関係は、圧入または滑り嵌めを含み得る。第一ロータリベアリング１００および第二ロータリベアリング１０２のうちそれぞれは、図２に示されるように、基部２８の対応する第一ボア１０４および第二ボア１０６の軸１１０と整列し、かつ同一線上にある回転の軸１０８を含み得る。小型の調節可能なマウント１０が作動上の構成にある場合、ねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８、二つのロータリベアリングの回転の軸１０８、ならびに基部２８における第一ボア１０４および第二ボア１０６の軸１１０は、全て互いに同一線上にあって、基部２８の本体の駆動シャフト空洞６６内でねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８の周りのねじ駆動シャフト５４の円滑な回転を容易にする。
【００２０】
小型の調節可能なマウント１０は、ナット６２を含み、ナット６２は、ステージ２０に固着されたねじナット６２であり得、ねじナット６２は、ねじ駆動シャフト５４の周りに配置されるボア１１２を含み、かつ、ナットのボア内で係合構造を含み、係合構造は、ねじ駆動シャフト５４のねじ部分６４のねじ外表面７０のねじ溝７２を係合するように構成される。ナット６２は、ねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８の周りの回転方向のナット６２の回転を防ぐ構成でステージ２０に固着され得る。図に示された実施形態について、ねじナット６２は、一組のねじスクリュー１１４（図６を参照）によってステージ２０に固着されるが、接着剤接合、溶接、はんだ付け、蝋付けなどを含む任意の他の適した取り付けの手段が使用され得る。図に示された構成において、ねじナット６２の係合構造は、ねじ駆動シャフト５４のねじ部分６４のねじに対応する、ナット６２のねじと共に、ねじナット６２のボア１１２のねじ内表面を含む。ナット６２のねじ内側ボアは、ねじ駆動シャフト５４のねじ外表面７０を正確に係合するようにサイズ決定されてもよく、これにより、小型の調節可能なマウント１０のリニアの動きの正確性もしくは反復性に影響を与え得るバックラッシュまたは他の要素を最小限にする。そのような実施形態について、基部２８に対するねじ駆動シャフト５４の回転は、係合構造（ナットのボアのねじ内表面）に対するねじ駆動シャフト５４のねじ外表面７０のねじ溝７２の回転、ならびに、ねじ駆動シャフト５４の回転の結果として、基部２８に対する、ナット６２およびステージ２０の、ねじ駆動シャフト５４の長手方向軸６８に沿った次の軸動きを引き起こす。いくつかの実施形態について、ナット６２は、ステンレス鋼を含む鋼、アルミニウム、炭素繊維複合物などを含む複合物など、任意の適した高い強度の安定した物質から作られ得る。ナット６２はまた、ナット６２の自己潤滑性特性を増強させるために、アルミニウム青銅などの青銅を含む合金からも作られ得る。
【００２１】
小型の調節可能なマウント１０のいくつかの実施形態について、慣性駆動モーター２６は、ねじ駆動シャフト５４に回転運動を与えて、それによってステージ２０を基部２８に対して並進させるために使用され得る。上で論じられたように、慣性駆動モーター２６は、基部２８の駆動モーター空洞１１６内に配置された圧電駆動モーター２６を含む。いくつかの場合において、圧電駆動モーター２６は、被駆動部分７４の外表面７６に対して第一接触面７８と第二接触面８０との間の往復運動を可能にし、かつ、基部２８に対して第一接触面７８と第二接触面８０（図１１を参照）との間に配置された軸１１８の周りの慣性駆動モーター２６自体の回転を防ぐように、基部２８に固着され得る。圧電慣性駆動モーター２６は、第一接触面７８および第二接触面８０を含み、第二接触面８０は、第一接触面７８から間隔を空けられ、かつ第一接触面７８に対向した、または実質的に第一接触面７８と対向の関係で配置される。第一接触面７８および第二接触面８０は、慣性駆動モーター２６の作動が第一接触面７８と第二接触面８０との間の往復運動を与え、往復運動が基部２８に対するねじ駆動シャフト５４の回転運動を引き起こすように、ねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４と動作可能に係合され得る。圧電駆動モーター２６の第一接触面７８および第二接触面８０は、一般的にねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の外表面７６を係合するように構成されるので、第二接触面８０からの第一接触面７８の分離は、ねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の外側横断寸法（または直径）によって本質的に決定される。しかし、いくつかの例において、圧電駆動モーターの第一接触面７８と第二接触面８０との間の公称横断距離は、約１ｍｍから約５ｍｍであり得る。
【００２２】
いくつかの場合において、少なくとも一つの末端キャップは、ねじ駆動シャフトアセンブリが慣性駆動モーターシステムの効率的な動作を達成するのに十分な慣性の動きを提供するために、ねじ駆動シャフト５４の端部に固定された関係で固着され得る。慣性駆動システムの効率的な動作は、上で論じられたようにいくつかの場合において、ねじシャフト５４が実質的に不動で留まる間、接触面７８および８０がねじシャフト５４の上を滑ることを可能にするのに十分な角度慣性をねじシャフト５４が有することを一般的に意味する。各末端キャップまたは末端キャップ５０および５２は、ねじボルトもしくはネジ、溶接、はんだ付け、蝋付け、接着剤接合など任意の適した方法またはデバイスによって、ねじ駆動シャフト５４またはねじ駆動シャフト５４の付随構造に固着され得る。そのような末端キャップの実施形態５０および５２は、基部２８の短手方向の外部周囲内に配置され得、高密度の物質を含み得、かつ慣性駆動モーター２６の効率的な動作に十分な慣性モーメントを含み得る。例示された調節可能なマウントの実施形態１０について、第一ディスク形状末端キャップ５０は、ねじ駆動シャフト５４の第一末端１２０に固着され、かつ、第二ディスク形状末端キャップ５２は、ねじ駆動シャフト５４の第二末端１２２に固着される。第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２のうちのそれぞれは、搭載形状の小型性を維持し、かつ使用中の隣接したデバイスまたは構造および小型の調節可能なマウント１０の調節の干渉を防ぐために、基部２８の外側短手方向周囲９８内に配置される。いくつかの実施形態について、第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２のうちのいずれかまたは両方は、ステンレス鋼と同等もしくはステンレス鋼よりも高い密度を有する物質を含み得るか、またはステンレス鋼と同等もしくはステンレス鋼よりも高い密度を有する物質から完全に作られ得る。いくつかの場合において、第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２のうちのいずれかまたは両方は、タングステンと同等もしくはタングステンよりも高い密度を有する物質を含み得るか、またはタングステンと同等もしくはタングステンよりも高い密度を有する物質から完全に作られ得るか、あるいは第一末端キャップ５０および第二末端キャップ５２のうちのいずれかまたは両方は、タングステンから作られ得る。いくつかの実施形態について、末端キャップ５０および５２は、ステンレス鋼よりも高いかもしくはステンレス鋼と同等の密度を有する高密度の物質を含み得る。いくつかの実施形態について、末端キャップ５０および５２のうちのいずれかまたは両方は、それぞれ約２ｍｍから約６ｍｍ、より具体的に言うと約４ｍｍから約５ｍｍの外半径、約０．５ｍｍから約１ｍｍの内半径、約１ｍｍから約３ｍｍの高さ、約０．０１５ｇ／ｍｍ３から約０．０２ｇ／ｍｍ３、より具体的に言うと約０．０１６ｇ／ｍｍ３から約０．０１８ｇ／ｍｍ３の密度、および約２０ｇｍｍ２から約３０ｇｍｍ２の慣性モーメントを有し得る。いくつかの場合において、第一および第二末端キャップ５０および５２のうちのいずれかまたは両方は、それぞれ約１０ｇｍｍ２から約１５ｇｍｍ２の慣性モーメントを有し得る。いくつかの実施形態について、末端キャップ５０および５２は、約１０ｇｍｍ２から約１５ｇｍｍ２、より具体的に言うと約２０ｍｍｇ２から約３０ｇｍｍ２の合成慣性モーメントを有し得る。
【００２３】
図１１に例示された圧電慣性駆動モーターの実施形態２６を再び参照すると、慣性駆動モーター２６は、アクチュエータフレーム１２４を含み、アクチュエータフレーム１２４は、第一接触面７８を含む第一支持要素１２６と、第二接触面８０を含む第二支持要素１２８とを含む。第二接触面８０は、一般的に、第一接触面７８から間隔を空けられ、かつ第一接触面７８の反対側に配置されるか、または、第一接触面７８に対して実質的に対向した関係で配置される。付勢バネクリップ１３０は、第一支持要素１２６および第二支持要素１２８の横断溝１３１と係合され、かつ、第二接触面８０から離れる第一接触面７８の垂直変位に抵抗する弾性復元力を提供するように構成される。圧電要素空洞１３２（図１２、図１３および図１５を参照）は、アクチュエータフレーム１２４の第一搭載面１３４とアクチュエータフレームの第二搭載面１３６との間に配置され、圧電要素１３８を受け取るようにサイズ決定される。圧電要素１３８は、圧電要素空洞１３２内に配置され、圧電要素１３８の第一端は、第一搭載面１３４に固着され、かつ、圧電要素１３８の第二端は、第二搭載面１３６に固着される。圧電要素１３８は、圧電要素１３８の拡張または収縮が第一接触面７８と第二接触面８０との間のそれぞれ実質的に平行な往復変位を引き起こすように、コントローラー２４からワイヤリングハーネス２２を通って圧電要素１３８に伝達される電気駆動信号に応じて拡張および収縮するように構成される。第一接触面７８と第二接触面８０との間のこの往復相対的変位は、慣性駆動手段によってねじ駆動シャフト５４の回転を生じさせる。このコンテクストにおける実質的に平行な往復変位という用語の使用は、第一接触面７８および第二接触面８０が、各面７８および８０がねじ駆動シャフト５４と依然として接触している間、互いに対して前後に移動することを意味する。接触面７８および８０は、必ずしも互いに完全に平行でなくてもよく、従って、完全に平行な往復相対的変位を行ってもよいし、または行わなくてもよい。いくつかの実施形態について、接触面７８および８０は、互いに約１０度以内で平行であるべきである。
【００２４】
いくつかの場合において、アクチュエータフレーム１２４の第一支持要素１２６および第二支持要素１２８は、単一のフレーム部材から形成され得、単一のフレーム部材は、いくつかの場合において、高い強度の弾性物質の単一の部品から切断されるか、または高い強度の弾性物質の単一の部品から別様に形成される。そのようなアクチュエータフレーム１２４または他の任意の適したフレーム部材は、減少した物質断面の一つまたは複数のヒンジ部１４０を含み得、減少した物質断面は、第一支持要素１２６と第二支持要素１２８との間に配置され、かつ結合される。そのようなヒンジ部１４０は、ヒンジ部１４０におけるアクチュエータフレーム物質の弾性変形によって第一接触面７８と第二接触面８０との間の相対的往復平行変位を容易にするように構成され得る。減少した物質断面は、ヒンジ部１４０に直ぐ隣接したアクチュエータフレーム１２４の断面に対して減少している。いくつかの場合において、隣接したアクチュエータフレーム物質の公称断面に関する、ヒンジ部１４０の物質断面の縮小は、断面における約１％の縮小から断面における約３０％の減少であり得、より具体的に言うと、断面における約５％の縮小から断面における約２５％の縮小であり得る。
【００２５】
いくつかの場合において、圧電要素１３８は、圧電結晶として構成される。圧電要素１３８は、長方形、正方形、円柱状など任意の適した構成を有し得る。いくつかの場合において、圧電要素１３８は、約１ｍｍから約２０ｍｍ、より具体的には約４ｍｍから約６ｍｍの軸長さを有し得る。さらに、圧電要素１３８は、約１ｍｍから約５ｍｍ、より具体的には約２ｍｍから約４ｍｍの横断寸法を有し得る。図１３〜１５に示される圧電要素１３８は、アクチュエータフレームの圧電要素空洞１３２の中のアクチュエータフレーム１２４内に配置される。第一搭載面と第二搭載面との間の空間は、いくつかの場合において圧電要素空洞１３２を画定し得る。圧電要素１３８は、任意の適した圧電物質から製作され得る。例えば、圧電要素１３８は、石英、ベルリナイト、トルマリン、チタン酸バリウム、タンタル酸リチウム、または他の任意の適した圧電物質から製作され得る。
【００２６】
基部２８に対するステージ２０の動きの間、コントローラー２４によって圧電要素１３８に送られる電気駆動信号の構成は、第一接触面７８および第二接触面８０が、所与の駆動サイクルの間、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４と相互作用する程度を決定し得る。第一駆動サイクルは、第一接触面７８と第二接触面８０との間の相対的往復運動の間、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４を第一角度方向に回転させるように構成され得る。第一駆動サイクルは、第一電気駆動信号を含み得、第一電気駆動信号は、第一接触面７８および第二接触面８０が、調節可能な光学マウントのねじ駆動シャフト５４と係合し、かつねじ駆動シャフト５４を第一角度方向に回転させるように構成される。第一駆動サイクルは、第二電気駆動信号も含み得、第二電気駆動信号は、第一接触面７８および第二接触面８０が小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４の上を滑るように構成され、その際小型の調節可能なマウント１０は、ねじシャフト５４の慣性と、末端キャップ５０および５２などねじシャフト５４に固着された関連構造の慣性とによって不動または実質的に不動で留まり、その慣性は、接触面７８および８０によってねじ駆動シャフト５４に適用される回転力よりも大きい。このコンテクストにおける、実質的に不動という用語の使用は、接触面７８および８０がねじシャフト５４と接触しながら、互いに相対的往復運動で移動しているとき、ねじシャフトがほぼ確実に何らかの偶発的な運動を経験するということを表す。しかし、ねじシャフト５４が実質的に不動で留まる場合、これは、ねじシャフト５４の動きが接触面７８および８０の運動よりも遥かに小さいことを意味する。いくつかの場合において、ねじシャフト５４のそのような偶発的な運動は、接触面７８および８０の運動の約３０％よりも小さくあり得る。
【００２７】
第二駆動サイクルは、小型の調節可能なマウント１０のねじシャフト５４を第二角度方向に回転させるように構成され得る。第二駆動サイクルは、第一電気駆動信号を含み得、第一電気駆動信号は、第一接触面７８および第二接触面８０が、不動で留まる小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４の上を滑るように構成される。第二駆動サイクルは、第二電気駆動信号も含み得、第二電気駆動信号は、第一接触面７８および第二接触面８０が、小型の調節可能なマウントのねじ駆動シャフト５４と係合し、かつねじ駆動シャフト５４を第二角度方向に回転させるように構成される。
【００２８】
第一接触面７８および第二接触面８０が、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４と適切かつ制御可能に係合し、かつねじ駆動シャフト５４を回転させるために、電気駆動信号は、印加電圧の大きさが、最大または最小それぞれの印加電圧が達せられるまで遅く増加または減少するように、構成され得る。第一接触面７８および第二接触面８０の相対的に遅い往復運動は、付勢バネクリップ１３０によって適用される復元力を引き起こし、付勢バネクリップ１３０によって適用される復元力は、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４の慣性力を上回り、それによって第一接触面７８と第二接触面８０と調節可能な光学マウント１０のねじシャフト５４との間の係合を引き起こし、続いてねじシャフト５４が回転する。
【００２９】
第一接触面７８および第二接触面８０が、小型の調節可能なマウント１０のねじ駆動シャフト５４の被駆動部分７４の外表面７６の上を滑るために、電気駆動信号は、印加電圧の大きさが素早く増加または減少するように構成され得る。第一接触面７８および第二接触面８０の相対的に素早い往復運動は、付勢バネクリップ１３０によって適用される復元力を上回る、ねじ駆動シャフト５４の慣性力を引き起こすように構成され得る。これは、第一接触面７８と第二接触面８０とねじ駆動シャフト５４との間の滑りを生じさせ、ねじ駆動シャフト５４は、続いて静止状態で留まる。本明細書で論じられる圧電駆動モーター２６の任意の実施形態の動作は、２００３年５月３０日に出願された、Ｚｅｉｇｌｅｒらによる、「Ｃｌｏｓｅｄ  Ｌｏｏｐ  Ｍｏｖｅｒ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ  ｗｉｔｈ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ  Ｓｙｓｔｅｍ」と称する米国特許第６，９１１，７６３号（この特許の全体が、本明細書において参考として援用される）で論じられるような慣性駆動システムのように作動するように、構成され得る。上で論じられた、例示された慣性駆動モーター２６は、圧電慣性駆動モーター２６であるが、任意の適した慣性型駆動モーターが、本明細書において予期される小型の調節可能なマウントの実施形態について使用され得る。例えば、磁気抑制型慣性駆動モーターが、使用され得る。
【００３０】
本明細書で論じられる小型の調節可能なマウントの実施形態１０は、開ループシステムまたは閉ループシステムのいずれかで使用され得る。閉ループシステムの実施形態について、小型の調節可能なマウント１０の上に位置計測システムを含むことは、役立ち得る。いくつかの場合において、小型の調節可能なマウント１０は、リニアエンコーダー１４３を含み得、リニアエンコーダー１４３は、基部２８とステージ２０との間で動作可能に結合される。そのようなリニアエンコーダー１４３は、基部２８とステージ２０との間の相対的変位を計測するように構成され得る。閉ループシステムにおける使用のためリニアエンコーダー１４３を含むいくつかのマウントの実施形態について、リニアエンコーダー１４３のエンコーダーストリップ１４４は、ステージ２０に固着され得（図３に示されるように）、かつ、リニアエンコーダー１４３のリーダー１４６は、リーダー１４６が動作の間、エンコーダーストリップ１４４を読み取ることを可能にする位置において、エンコーダーストリップ１４４に隣接して基部２８に固着され得る（図２に示されるように）。いくつかの例において、リニアエンコーダー１４３は、図に示される光学リニアエンコーダーなどの光学リニアエンコーダーを含み得る。リニアエンコーダー１４３を使用する小型の調節可能なマウントの実施形態１０について、ワイヤーハーネス２２または他の適した信号伝達管を通ってコントローラー２４と動作可能に連絡するエンコーダーリーダー１４６を有することもまた、役に立ち得る。コントローラー２４は、プロセッサー１４８を含み得、プロセッサー１４８は、リニアエンコーダー１４３からの位置信号を処理し、かつ圧電駆動モーター２６への適した駆動信号を発生させるように構成される。直線型エンコーダー１４３が示されているが、基部に対するステージの相対的な位置を計測する任意の他の適した手段、または、ロータリエンコーダー、干渉計などを含む他の適した構造が使用され得る。
【００３１】
上記の詳細な説明に関して、詳細な説明において使用される同じ参照数字は、同じまたは類似の寸法、物質および構成を有し得る同じ要素を指し得る。実施形態の特定の形態が例示され、かつ説明されてきたが、論じられた実施形態の趣旨および範囲から逸脱することなく様々な変更がなされ得るということが、明らかになるだろう。従って、本発明が上記の詳細な説明によって限定されることは意図されていない。
【００３２】
本明細書において参照された各特許、特許出願、刊行物および書類の全体は、本明細書において参考として援用される。上記の特許、特許出願、刊行物および書類の引用は、前記のうちの任意のものが関連先行技術であると認めるものではなく、かつ、これらの書類の内容または日付に関するいかなる承認も構成するものではない。
【００３３】
上記の実施形態への変更は、本技術の基本的な態様から逸脱することなくなされ得る。一つまたは複数の具体的な実施形態を参照して、本技術は実質的に詳細に説明されてきたものの、本願で具体的に開示された実施形態に対して改変がなされてもよいが、しかし、これらの変更および改善は、本技術の範囲および趣旨内にある。本明細書において適切に例示的に説明された技術は、本明細書において具体的に開示されていない任意の要素（一つまたは複数）がなくても実践され得る。従って、例えば、本明細書の各例において、用語「含む」、「から本質的に構成される」および「から構成される」のうちの任意の用語は、他の二つの用語に置き換えられ得る。採用されてきた用語および表現は、限定の用語ではなく説明の用語として使用され、かつ、そのような用語および表現の使用は、示されかつ説明された特徴またはその部分の任意の均等物を排除せず、かつ、特許請求される本技術の範囲内で様々な変更が可能である。「一つの」という用語は、その用語が修飾する要素の一つまたは複数を表し得る（例えば、「一つの試薬」は、一つまたは複数の試薬を意味し得る）（ただし、その要素のうちの一つまたはその要素のうちの複数が説明されていることが文脈上明らかでない場合に限る）。本技術は、代表的な実施形態および選択的な特徴によって具体的に開示されてきたが、本明細書に開示された概念の変更および変種はなされてもよく、かつ、そのような変更および変種は、本技術の範囲内で考慮され得る。
【００３４】
本技術の特定の実施形態は、以下の請求項（一つまたは複数）において規定される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６Ａ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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