(57)【要約】  本発明は、少なくとも１つのシリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）および光学系（２３）を備えている、特に顕微鏡において使用するための、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための装置に関し、ＳｉＰＭは、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）（３）の装置（アレイ）（４）から形成されている検出面（２２）を有しており、また光学系（２３）は、検出面（２２）がほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を成形する。さらに本発明は、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための本発明による装置を備えている顕微鏡に関する。さらに本発明は、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための方法に関する。
2018509760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのシリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）および光学系（２３）を備えている、特に顕微鏡において使用するための、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための装置において、
前記ＳｉＰＭは、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）（３）の装置（アレイ）（４）から形成されている検出面（２２）を有しており、
前記光学系（２３）は、前記検出面（２２）がほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように、前記光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を成形する、
装置。
【請求項２】
前記光学系（２３）は、フラットトップ光学系（２４）として形成されている、
請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記フラットトップ光学系（２４）は、回折光学系として、例えば回折格子として、または屈折光学系として、例えば少なくとも１つの非球面レンズおよび／または少なくとも１つのフリーフォームレンズを含む光学系として、または反射光学系として、例えば非球面ミラーとして形成されている、
請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記フラットトップ光学系（２４）は、第１のレンズおよび第２のレンズを有しており、
前記第１のレンズおよび／または前記第２のレンズは、非球面レンズとしてまたはフリーフォームレンズとして形成されており、
前記第１のレンズは、前記光の半径方向のプロフィールを歪ませ、前記第２のレンズは、前記光を視準させる、
請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記フラットトップ光学系（２４）は、マイクロレンズアレイを含んでいる、
請求項１記載の装置。
【請求項６】
前記フラットトップ光学系（２４）の少なくとも１つのレンズまたはマイクロレンズは、レンズ表面に、とりわけスペクトル的に広帯域の反射防止層を有している、
請求項３から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
前記光学系（２３）は、角錐状または多面体の形状の構成部材（２５）、特にガラスブロックまたはポリマブロックと、集束レンズ（２６）と、を含んでいる、
請求項１記載の装置。
【請求項８】
前記光学系（２３）は、前記ほぼ一定の強度の領域がほぼ円形、ほぼ矩形、特にほぼ正方形の形状を有するように前記光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を成形する、
請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
前記ＳＰＡＤ（３）は、前記検出面（２２）が円形または少なくとも近似的に円形の形状を有するように形成および／または配置されている、
請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１０】
前記ＳＰＡＤ（３）は、前記検出面（２２）が矩形の形状、特に正方形の形状を有するように形成および／または配置されている、
請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１１】
前記シリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）は、ライン検出器（２７）として形成されており、
前記ライン検出器（２７）は、複数のＳＰＡＤ（３）から成る個々のアレイ（４）を少なくとも２つ含んでおり、各アレイは、少なくとも２つの信号出力端を有している、
請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１２】
前記光学系（２３）と前記ライン検出器（２７）との間に、分散素子（２９）が、例えばプリズムおよび／またはシリンドリカルレンズ（３０）が配置されている、
請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための装置が設けられていることを特徴とする、顕微鏡、特に走査型顕微鏡、とりわけレーザ走査型顕微鏡。
【請求項１４】
蛍光顕微鏡検査および／またはＳＨＧ顕微鏡検査および／またはラマン顕微鏡検査のための顕微鏡である、
請求項１３記載の顕微鏡。
【請求項１５】
少なくとも１つのシリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）および光学系（２３）を備えている、とりわけ請求項１から１２までのいずれか１項記載の光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための装置を使用して、特に顕微鏡において使用するための、光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を検出するための方法において、
前記ＳｉＰＭは、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）（３）の装置（アレイ）（４）から形成されている検出面（２２）を有しており、
前記光学系（２３）によって、前記検出面（２２）がほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように、前記光（１６、１６ｂ、１６ｃ）を成形する、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に顕微鏡において使用するための、光を検出するための装置に関する。さらに本発明は、相応の顕微鏡、特に走査型顕微鏡、とりわけレーザ走査型顕微鏡に関する。また本発明は、とりわけ上記の装置を利用した、相応の方法に関する。
【０００２】
本発明の主旨における光とは、シリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ：Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｐｈｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒｓ）ないし単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ：Ｓｉｎｇｌｅ  Ｐｈｏｔｏｎ  Ａｖａｌａｎｃｈｅ  Ｄｉｏｄｅ）によって検出することができる、あらゆる電磁ビーム、特に可視光、赤外線光、紫外線光、Ｘ線ビームおよびガンマ線ビームを表している。したがって、本願明細書の枠内での光強度の概念は、ビーム強度の概念と同義である。一例であって限定を全く意図するものではないが、本発明をレーザ走査型顕微鏡に使用することができる。
【背景技術】
【０００３】
光を検出するための装置は、以前より実務から公知であり、また例えばレーザ走査型顕微鏡において使用されている。ここで、顕微鏡検査すべき試料の検出信号を検出する相応の装置は、画像品質にとって決定的に重要なものである。これは特に、（共焦点）蛍光顕微鏡、ＳＨＧ顕微鏡またはラマン顕微鏡では一般的であるように、検出信号が比較的弱い場合に該当する。
【０００４】
光検出にとって、２つの特性量、つまり検出器ノイズと、量子収率、すなわち検出効率と、が特に重要である。ここで量子収率は、利用可能な電気信号を実際に生成する、検出器に入射する光の割合を表している。ノイズは、本来の検出信号に重畳された妨害成分である電子的なベース信号を表している。それら２つの特性量の比率、いわゆる信号対雑音比（ＳＮＲ：Ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）は、光検出器の最も重要な特性量である。
【０００５】
実務では、以前より、光電子倍増管（ＰＭＴ）が、レーザ走査型顕微鏡における主要な光検出器である。半導体を基礎とする検出器、例えばフォトダイオードに比べて、ＰＭＴでは量子収率が低い。しかしながらＰＭＴは、ノイズが低いことから、非常に良好なＳＮＲを提供する。さらに近年では、感光媒体としてＧａＡｓＰ（ガリウムヒ素リン）層を用いる、改良されたヴァリエーションが使用されている。
【０００６】
さらにここ数年では、代替的に半導体検出器を蛍光顕微鏡において使用することが公知になっている。この場合、特に、単一光子アバランシェダイオード、いわゆるＳＰＡＤが重要な役割を担う。ＳＰＡＤは、ガイガーモードで動作する。
【０００７】
この場合、降伏電圧を僅かに上回る阻止電圧がＳＰＡＤに印加される。降伏電圧は数百ボルトになる。
【０００８】
このモードにおいては、吸収された光子が電子正孔対を形成し、この電子正孔対が高電場で加速され、更なる衝突電離が実現される。このプロセスは雪崩のように続き、数百倍に増幅された、測定可能な電荷雪崩を引き起こす。したがって、吸収された個々の光子を測定することができ、これによってそれらの検出器は測定のために、例えば蛍光顕微鏡においては一般的であるような、極めて少ない光量を使用することができる。
【０００９】
この際、単一光子によって放電が生じ、この放電が短い電圧パルスの形態で測定される。基本的に２つの測定モードが存在している。ディジタル測定モードにおいては電圧パルスが計数され、この際、電圧上昇縁がトリガ計数信号として使用される。択一的に、いわゆるアナログ測定モードにおいては、測定抵抗を介して電荷を積分して、すべてのパルスの総電荷量を測定信号として利用することができる。典型的には、規定された期間（画素露光時間）のすべてのパルスの積分された電荷量が、更なるディジタル処理のために、アナログ・ディジタル変換器によってディジタル化される。
【００１０】
どちらの測定モードが選択されたかにかかわらず、ＳＰＡＤにおいては、信号の飽和が生じることが問題になる。具体的には、測定信号は、検出器に入射する光量が増大した際に、もはや同じ割合で上昇しない。したがって、入力信号と出力信号との間の所望の線形の関係性はもはや与えられていない。飽和は、ＳＰＡＤのアバランシェ放電の間に、さらに吸収された光子が同時に第２のアバランシェ放電を惹起できないことから生じる。したがってパルストリガ後には、検出を行うことができない、ＳＰＡＤの不感時間が発生する。この不感時間は、アバランシェ放電の間に減少した電荷担体が半導体に再び補充されるために必要とされる時間に相当する。したがって、不感時間内に多数の光子が到来する大量の光をもはや完全に検出することはできず、また検出器は非線形の飽和特性曲線を示す。
【００１１】
この結果として生じる、毎秒数１０6〜数１０7光子の最大計数率を有している検出器の低ダイナミックレンジは、この高感度の検出器の問題を表していることから、近年、いわゆるＳＰＡＤアレイが開発された。それらのＳＰＡＤアレイは、例えば、ＭＰＰＣ検出器（Ｍｕｌｔｉ−Ｐｉｘｅｌ  Ｐｈｏｔｏｎ  Ｃｏｕｎｔｉｎｇ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）の名称で浜松ホトニクス株式会社より販売されている。文献においては、それらの検出器は、特にシリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）とも記載されている。相応の検出器の機能は、例えばhttps://www.hamamatsu.com/resources/pdf/ssd/mppc_techinfo_e.pdfに記載されている。
【００１２】
ＳＰＡＤアレイの基本原理は、複数の個々のＳＰＡＤを相互に並列接続して１つのフィールドを形成することである。１つの光子が１つのＳＰＡＤに入射すると、そのＳＰＡＤは不感時間に起因して、典型的には数ナノ秒の時間にわたり感応性ではなくなる。しかしながら、その時間内に、または同時に別の光子が入射する別のＳＰＡＤは、その別の光子を検出し、測定可能な電荷パルスを形成することができる。したがって、検出器の出力端において、単一のＳＰＡＤにおける計数率よりも高い計数率を有しているパルス列を生じさせることができる。
【００１３】
したがって、従来技術からは、総検出光を並列接続されている複数のＳＰＡＤに分配することが公知である。このことは、個々のＳＰＡＤには検出光の一部しか供給されず、したがってそれらのＳＰＡＤの飽和の発生が遅延されるという利点を有している。さらに、個々のＳＰＡＤの不感時間の間に、受光の準備ができた別のＳＰＡＤを使用できる。したがって、それらの検出器のダイナミックレンジは、並列接続されているＳＰＡＤの数に応じて著しく高められている。市販のＳＰＡＤアレイは、例えば２０×２０個またはそれ以上の数のＳＰＡＤを有している。
【００１４】
しかしながら、公知のＳＰＡＤアレイにおいても、それらのＳＰＡＤアレイが飽和特性を示すという問題が生じる。飽和は、不感時間内に過度に多くの光子が同一のＳＰＡＤに入射した場合に発生する可能性がある。この場合の飽和は、単一のＳＰＡＤの飽和に類似する。さらにディジタル検出モードにおいては、１つのパルスの（上昇）トリガ縁が先行のパルスの間に、その先行のパルスの電圧レベルは、カウンタトリガのための電圧閾値を、いわゆるトリガレベルを上回っており、したがってカウンタユニットによってパルス縁として検出されないことから、ディジタルカウンタの新たなトリガをもたらさない場合にも飽和が発生する可能性がある。
【００１５】
前述の２つの効果は、ＳＰＡＤアレイの飽和ももたらす。実務から、例えば入射する光子が毎秒約１０8を超えると、出力信号（放電の回数）はほぼ一定の値を取り、その結果、光量の測定をもはや正確に実現できないことが公知である。所定の設計の検出器に対して固有である特性曲線が既知である場合、その特性曲線を、計算による補正でもって線形化することができる。しかしながら、ほぼ完全な飽和の領域（例えば毎秒約１０11光子を上回る領域）においては、計算による補正をもはや十分正確に実現することはできない。アナログ測定モードにおける特性曲線は、ディジタル測定モードにおける特性曲線とほぼ同じ経過を示すので、以下では、飽和の異なる原因についての区別は行わない。
【００１６】
したがって、多数のＳＰＡＤを並列接続して１つのＳＰＡＤアレイを形成することは、確かに飽和の問題の改善策ではあるが、しかしながら飽和の問題は依然として存在している。結果として、公知のＳＰＡＤアレイのダイナミックレンジは依然として光電子倍増管のダイナミックレンジよりも遙かに低いので、したがって、ＳＰＡＤ検出器よりも検出効率が悪いにもかかわらず、光電子倍増管が少量の光量の検出に依然として使用されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
したがって本発明が基礎とする課題は、有効ダイナミックレンジの拡大、検出効率の向上ならびに特性曲線の線形化を、高感度、最適化された信号対雑音比および低製造コストで実現することができる、光を検出するための装置および相応の方法を提供することである。相応に構成された顕微鏡が提供されるべきである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前述の課題は、本発明による装置に関しては、請求項１の特徴部分に記載の構成によって解決される。本発明による顕微鏡に関しては、上記の課題は独立請求項１３の特徴部分に記載の構成によって解決される。さらに独立請求項１５でもって、相応の方法が提供される。
【００１９】
本発明によれば、特に顕微鏡において使用するための、光を検出するための装置には、少なくとも１つのシリコン光電子倍増管（ＳｉＰＭ）および光学系が設けられている。ＳｉＰＭは、複数の単一光子アバランシェダイオード（ＳＰＡＤ）の装置（アレイ）から形成されている検出面を有している。ここで本発明にとって重要であることは、検出面がほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように、光学系が光を成形することである。
【００２０】
ここではまず、術語「光」、「光ビーム」、「検出光」および「検出光ビーム」は同義で用いられていることを言及しておく。
【００２１】
本発明によれば、基礎となる上記の課題は、検出すべき光ビームを的確に成形することによって、驚くべき程簡単に解決できることが分かった。従来技術から公知であるＳＰＡＤアレイは、これまで、検出光が共焦点ピンホールの後方において、古典的な光学素子によって検出面に焦点合わせされるように、（共焦点）レーザ走査型顕微鏡において使用されてきた。ピンホールの後方において発散されて現れる光は、レンズを用いて検出器に結像され、その結果、ガウス状の光分布（より正確にはエアリー分布）が検出器表面において生じる。ここで重要であることは、ほぼすべての光が検出面に入射し、無視できる程度の極僅かな光だけが検出面外に入射することである。このことは、高い検出効率を達成するために必要である。検出光の分布がガウス状である場合、結果として、外側に位置するＳＰＡＤには、検出面の中心領域に位置するＳＰＡＤに入射する光よりも遙かに低い強度の光が入射する。例えば、外側のＳＰＡＤは、中心強度（幾何学的にＳＰＡＤアレイの中心における光強度）の１０％未満の強度で照明される。さらに内側に位置する次のＳＰＡＤは、例えば、中心強度の約３１％でしか照明されない。本発明によれば、内側のＳＰＡＤは、外側に位置するＳＰＡＤよりも遙かに早期に飽和作用を示すことが分かった。したがって、相応に照明された検出器は、総光量が少ない場合であっても、既に非線形の特性曲線を示す。
【００２２】
ここで本発明によれば、検出器の個々のＳＰＡＤが可能な限り均一に、すなわち可能な限り同一の光強度でもって照明されるように、検出光が空間的に構造化されている場合には、より大きいダイナミックレンジにわたる特性曲線の改善された線形性が実現されることが分かった。
【００２３】
本発明によれば、検出面の相応の照明が、検出面を可能な限り均一な光分布でもって照明することができる光学系を介して行われる。したがって、構造的に簡単な手段でもって、検出器の早期の飽和は、アレイの個々の領域の平均以上に高い光強度に基づき回避される。これによって、理想的には、可能な限り大きいダイナミックレンジにわたる線形の特性曲線特性が得られる。
【００２４】
有利には、光学系は、いわゆるフラットトップ光学系として形成されている。このフラットトップ光学系は、（ビーム横断面に関して）ビームプロフィールを（例えばガウスビームプロフィール）を平坦にする、すなわち比較的均一な光強度ないしエネルギ密度の領域ないし範囲を形成する、光学系を表している。そのようなビームプロフィールは、ビーム中心点から半径方向に大きい範囲にわたり、一定またはほぼ一定にとどまるが、縁部領域においては急峻な縁でもって急速に降下することを特徴としている。これによって、中心領域において実質的に一定の照明強度を有している光ビームが生じる。そのようなビームプロフィールは、フラットトップビームプロフィールと称され、相応のビームは「トップハットビーム（ｔｏｐ−ｈａｔ  ｂｅａｍ）」とも称される。光ビームのビームプロフィールを修正する、空間的なレーザビーム成形のための相応の光学素子は、既に材料加工において使用されている。例えば、ガウス状のレーザビームプロフィールをそのようなフラットトップビームプロフィールに変形させる（すなわちビームを「トップハット型ビーム」に成形する）、ビーム成形光学系（「ビームシェーパ（ｂｅａｍ  ｓｈａｐｅｒ）」）が公知である。
【００２５】
この場合、フラットトップ光学系は、回折光学系として、例えば回折格子として、または屈折光学系として、例えば少なくとも１つの非球面レンズおよび／または少なくとも１つのフリーフォームレンズを含む光学系として、または反射光学系として、例えば非球面ミラーとして形成することができる。入射したガウス状の光ビームを、平坦でほぼ角張って現れる光ビームに変換する、相応の屈折性ビーム成形光学系は、例えばＦ．Ｄｕｅｒｒ，Ｈ．Ｔｈｉｅｎｐｏｎｔ，Ｏｐｔｉｃｓ  Ｅｘｐｒｅｓｓ，Ｖｏｌ．２２  Ｉｓｓｕｅ  ７，ｐｐ．８００１−８０１１（２０１４）に記載されている。さらに、相応の光学系はＵＳ６，２９５，１６８に記載されている。
【００２６】
さらに有利には、フラットトップ光学系は、第１のレンズおよび第２のレンズを有することができ、この場合、第１のレンズおよび第２のレンズを、非球面レンズとして、またはフリーフォームレンズとして形成することができ、また第１のレンズは光の半径方向のプロフィールを歪ませ、第２のレンズは光を視準させることができる。この場合、フラットトップ光学系の少なくとも１つのレンズは、レンズ表面において反射防止層を有することができる。特に有利には、反射防止層は、スペクトル的に広帯域の反射防止層である。
【００２７】
さらに光学系は、角錐状または多面体の形状の構成部材、特にガラスブロックまたはポリマブロックと、集束レンズと、を含むことができる。相応の配置構成によって、相互に側方にずらされた複数のガウス状の光ビームプロフィールが生じ、角錐状の構成部材の場合には、例えば４つのガウス状の光ビームプロフィールが生じる。
【００２８】
さらに有利には、フラットトップ光学系が、ビームを所望のように変形させるマイクロレンズアレイを含むことができる。フラットトップビームプロフィールに成形するためのマイクロレンズアレイの使用は、他の技術分野に関して従来技術から公知である。これに関しては、例えばＯ．Ｈｏｍｂｕｒｇ，Ｄ．Ｈａｕｓｃｈｉｌｄ，Ｆ．Ｋｕｂａｃｋｉ，Ｖ．Ｌｉｓｓｏｔｓｃｈｅｎｋｏ，Ｌａｓｅｒ  Ｔｅｃｈｎｉｋ  Ｊｏｕｒｎａｌ，Ｖｏｌ．４  Ｉｓｓｕｅ  １，ｐｐ．４４−４７，２００７を参照されたい。そのようなマイクロレンズアレイに関しては、すべてのマイクロレンズまたは一部のマイクロレンズが反射防止層を有することが考えられる。特に有利には、反射防止層は、スペクトル的に広帯域の反射防止層である。
【００２９】
特に有利には、光学系は、ほぼ一定の強度の領域が少なくともほぼ円形、矩形、特にほぼ正方形の形状を有するように光を成形することができる。検出面の幾何学形状に応じて、検出面の可能な限り均一な照明が保証されるように、光学系を適合させることができる。光をほぼ正方形に成形する相応のフラットトップ光学系は、例えばＴＯＰＡＧ  Ｌａｓｅｒｔｅｃｈｎｉｋ  ＧｍｂＨ社（Ｄａｒｍｓｔａｄｔ）によって製造されており、またＳｔｅｆａｎ  Ｒｕｎｇ等著のＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ＳＰＩＥ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｗｅｓｔ  ２０１４，ＬＡＳＥ，ＬＡＭＯＮ  ＸＩＸ、「Ｌａｓｅｒ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ａｂｌａｔｉｏｎ  ｗｉｔｈ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅ  Ｂｅａｍｓ  ａｎｄ  Ｔａｉｌｏｒｅｄ  Ｂｅａｍ  Ｐｒｏｆｉｌｅｓ」、Ｐａｐｅｒ８９６７−２４に記載されている。
【００３０】
特に有利には、検出面が円形または少なくとも近似的に円形の形状、または矩形の、特に正方形の形状を有するようにＳＰＡＤを形成および／または配置することができる。
【００３１】
さらに、シリコン光電子倍増管を、ライン検出器として形成することができる。この場合、ライン検出器は、複数のＳＰＡＤから成る個々のアレイを少なくとも２つ含むことができ、また各アレイは少なくとも２つの信号出力端を有している。シリコン光電子倍増管をライン検出器として形成する場合、特に有利には、光学系とライン検出器との間に、分散素子が、例えばプリズムおよび／またはシリンドリカルレンズを配置することができる。この配置構成によって、検出すべき光が平坦な線形プロフィールに変形され、この線形プロフィールは、比較的鮮明な縁部を有しており、かつ線形プロフィールの内側領域において均一な強度分布を有している。
【００３２】
顕微鏡における、特に走査型顕微鏡における、とりわけレーザ走査型顕微鏡における本発明による装置の使用は特に有利である。この場合、顕微鏡は、蛍光顕微鏡検査および／またはラマン顕微鏡検査のための顕微鏡である。択一的または付加的に、顕微鏡が二次高調波発生（ＳＨＧ）顕微鏡検査のための顕微鏡であることも考えられる。
【００３３】
本発明による方法の種々の特徴に関して、繰り返しの説明を回避するために、本発明による装置の説明を参照されたい。それらの説明からは、本方法に該当する特徴も明らかになる。ここでもまた、光学系によって、検出面がほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように光が変形されることが重要である。
【００３４】
本発明の教示を有利に構成かつ発展させることができる種々の可能性が存在する。これに関しては、一方では、請求項１および請求項１２に従属する請求項を、また他方では、図面に基づく本発明の好適な実施例の以下の説明を参照されたい。図面に基づく、本発明の好適な実施例の説明と関連させて、一般的に、上記の教示の好適な構成および発展形態を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】ＳＰＡＤによって測定された電圧信号を時間の関数として示す。
【図２】複数のＳＰＡＤから形成されているアレイの基本的な構造を概略的に示す。
【図３】ディジタル測定モードで動作する、従来技術から公知のアレイの特性曲線を示す。
【図４】本発明による装置を組み込むことができる、レーザ走査型顕微鏡の基本的な構造を概略的に示す。
【図５】図４に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【図６】第１の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡を概略的に示す。
【図７】第２の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡を概略的に示す。
【図８】図６および図７に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【図９】第３の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡を概略的に示す。
【図１０】図９に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【図１１】第４の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡を概略的に示す。
【図１２】図１１に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【図１３】光を検出するための本発明による装置の第５の実施例を概略的に示す。
【図１４】図１３に示した装置の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【図１５】ライン検出器の一実施例を概略的に示す。
【図１６】第６の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡を概略的に示す。
【図１７】図１６に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面に入射する光のプロフィールを概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
図１には、ＳＰＡＤによって測定された電圧信号が、時間の関数として示されている。図１に基づいて、従来技術から公知のＳＰＡＤの測定信号の飽和が見て取れる。単一光子によって放電が生じ、この放電が短い電圧パルス１の形態で測定される。ＳＰＡＤのアバランシェ放電の間、それと同時に、さらに吸収された光子は第２のアバランシェ放電を惹起できない。このことは、点線で表されている電圧パルス２によって示唆されている。したがってパルストリガ後には、ＳＰＡＤが更なる光を検出できない不感時間が存在する。
【００３７】
図２には、複数のＳＰＡＤ３から形成されているアレイ４の基本的な構造が概略的に示されている。図面をより見易くするために、図２においては、また後続の図面においては、１つのＳＰＡＤ３にのみ参照番号を付している。ここでは、複数の個々のＳＰＡＤ３が相互に並列接続されることによって、１つのアレイ４が形成されている。１つの光子５ａが１つのＳＰＡＤ３に入射すると、そのＳＰＡＤ３は不感時間に起因して、数ナノ秒にわたり感応性ではなくなる。しかしながら、その時間内に、または同時に別の光子５ｂが入射する別のＳＰＡＤ３は、その別の光子５ｂを検出し、測定可能な電荷パルスを形成することができる。それによって、検出器の出力端において、単一のＳＰＡＤ３における計数率よりも高い計数率を有しているパルス列６を生じさせることができる。
【００３８】
図３には、ディジタル測定モードで動作する、従来技術から公知のアレイ４の特性曲線７が示されている。この図においては具体的に、全体のＳＰＡＤフィールド（アレイ）に入射する光子の毎秒当りの数に対する、全体のＳＰＡＤフィールドにおける放電の回数が、両対数スケールでプロットされている。入射する光子が毎秒約１０8を超えると、曲線は飽和特性に起因して非線形になる。それどころか、毎秒約１０11光子を超えると、出力信号（放電の回数）はほぼ一定になり、その結果、光量の測定をもはや正確に実現できなくなる。所定の設計の検出器に対して固有である特性曲線７が既知である場合、その特性曲線を、計算による補正でもって線形化することができる。しかしながら、ほぼ完全な飽和の領域においては、つまり毎秒約１０11光子を上回る領域においては、計算による補正をもはや十分正確に実現することはできない。図３には、ディジタル測定モードに関する特性曲線７が示されているが、同一のことがアナログ測定モードに対しても当てはまる。
【００３９】
図４には、本発明による装置を組み込むことができる、レーザ走査型顕微鏡の基本的な構造が概略的に示されている。共焦点レーザ走査型顕微鏡は、光を放射するための照明光源８、例えばレーザを有している。光は、光学系９によって成形されて、平行化された照明光ビーム１０になり、この照明光ビーム１０が、カラービームスプリッタ１１を介して顕微鏡に供給される。照明光ビーム１０は、走査ユニット１２を介して偏向される。走査ユニット１２は、照明光ビーム１０を撮像スキャニングのために２つの空間方向（Ｘ，Ｙ）において偏向させることができる。この走査ユニット１２は、通常の場合、傾斜可能なミラーによって実現されており、それらの傾斜可能なミラーは、ガルバノメータスキャナによって実現されているか、またはＭＥＭＳ（マイクロエレクトロメカニカルシステム：Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）によって小型化されて実現されている。照明光ビーム１０によって２つの空間方向において走査を行えるようにするために、２つまたはそれ以上の数の回転可能なミラーが走査ユニット１２として使用されることが多い。分かり易くするために、ここでは、走査ユニット１２としてミラーが１つだけ示している。
【００４０】
照明光ビーム１０は、フィールド光学系１３によって、対物レンズ１４に結像される。フィールド光学系１３として、通常の場合、第１の走査レンズおよび第２のチューブレンズが使用され、また場合によっては別のレンズが使用される。試料１５は、走査ユニット１２の走査運動中に２次元でスキャンされ、回折が制限されるように照明光ビーム１０が結像される点において各時点に照明される。試料１５においては、目下の照明点において、試料１５が相応の色素によってマーキングされたときに、蛍光を励起させることができる。択一的に、反射光、散乱孔、ラマン散乱、周波数２倍化光（ＳＨＧ）または他の種類の検出光ビーム１６を形成することができる。
【００４１】
検出光ビーム１６は、少なくとも部分的に、照明光ビーム１０の伝播方向とは正反対の方向において顕微鏡の光路を戻る。この場合、検出光ビーム１６は、走査ユニット１２において逆方向に偏向され、その結果、各時点において、走査ユニット１２のいずれの偏向方向においても、やはり固定の検出光ビーム１６が走査ユニット１２と検出器２１との間において生じる。検出光ビーム１６は、光学系１７によってピンホール１８に結像される。
【００４２】
ピンホール１８は、共焦点に、すなわち光学的には、試料における照明光ビーム１０の焦点に一致するように配置されている。このようにして、試料１５における照明光ビーム１０の焦点に由来する光は、共焦点ピンホール１８を通過することができるが、その一方で、焦点外の個所に由来する光は抑制される。この共焦点の検出によって、散乱光の抑制が実現され、また３次元の撮像のための試料１５の３次元のスキャンが実現される。
【００４３】
ピンホール１８を通過した検出光ビーム１６ｂは、ピンホール１８において光学的に回折されて発散される。レンズ１９は、検出光ビーム１６ｂを平行化し、その平行化された検出光ビーム１６ｂを検出器２１に供給する。検出器２１の検出面２２は、図２に示した複数のＳＰＡＤ３から成るアレイ４である。別のレンズ２０によって、検出光ビーム１６ｂをアレイ４に結像させることができる。
【００４４】
ピンホール１８が円形である場合、検出光ビーム１６ｂは、検出面２２において、エアリー分布に相当する分布を示す。ピンホール１８の形状が角張った形状、スリット状の形状または他の形状である場合、検出面２２において相応の別の回折パターンが結像される。典型的には、ガウス分布が、検出面２２における検出光ビーム１６ｂの回折パターンを十分正確に表している。本発明にとって、回折パターンの正確な形状が重要なのではなく、更なる措置を講じなくともアレイ４の検出面２２が十分均一に照明されているという特性だけが重要である。
【００４５】
図４に示されている顕微鏡においては、検出光ビーム１６ｂがアレイ４に、例えばガウス状のプロフィールを有するように結像され、また明細書の冒頭部において既に説明したように、比較的早期に検出器２１が飽和する。
【００４６】
図５には、図４に示したレーザ走査型顕微鏡の検出面２２に入射する検出光ビームが概略的に示されている。検出面２２は、アレイ４によって形成される。ここでは、例えばアレイ４の縁部領域に配置されているＳＰＡＤ３は、中心強度の１０％未満で照明される。さらに内側に位置する次のＳＰＡＤ３は、同様に中心強度の約３３％でしか照明されない。したがって、内側のＳＰＡＤ３は、図３に示した特性曲線７の性質に従い、外側に位置するＳＰＡＤ３よりも遙かに早期に飽和作用を示すことになる。
【００４７】
図６には、第１の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡が概略的に示されている。図６に示したレーザ走査型顕微鏡は、共焦点ピンホール１８と検出器２１との間に、本発明による光学系２３を有している。ここに示した実施例においては、レーザ材料加工における用途に使用されるような、フラットトップ光学系２４である。検出光ビーム１６ｂは、フラットトップ光学系２４を介して、検出面２２がほぼ一定の強度の所定の光ビーム領域でもって可能な限り完全に覆われるように変形される。相応に変形された検出光ビーム１６ｃが、図６において拡大されて示されている。
【００４８】
図７には、第２の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡が概略的に示されている。この実施例においては、光学系２３が同様にフラットトップ光学系２４として実現されており、また付加的に、図４に示したレンズ１９および／またはレンズ２０の機能も担うように形成されている。詳細には異なるか、または更なる機能で拡張された別の光路も考えられる。例えば、光学系２３および検出器２１から成る複数の本発明による装置を使用する場合に、検出光ビーム１６を複数の部分光路にスペクトル的に分割するための素子が存在していてもよい。検出器２１の手前において変形が行われ、その結果、ほぼ一定の強度の光ビーム領域でもって検出器２１の検出面２２が可能な限り完全に覆われていることだけが重要である。
【００４９】
図８には、図６および図７に示したレーザ走査型顕微鏡の、検出面２２に入射する光１６ｃのプロフィールが概略的に示されている。ここでは、ほぼ一定の強度を有している検出光ビーム１６ｃが検出面２２ないしアレイ４を可能な限り完全に覆うように、検出面２２ないしアレイ４が寸法設計されていることがはっきりと見て取れる。
【００５０】
図９には、第３の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡が概略的に示されている。図６および図７に示した実施例とは異なり、図９に示したＳＰＡＤ３は、検出面２２が少なくとも近似的に円形の形状を有するように配置されている。図６および図７に示した検出面２２とは異なり、ここでは、検出器２１のノイズに寄与する、照明されていないか、もしくは僅かにしか照明されていないＳＰＡＤ３は存在していない。むしろ検出面２２は、ビームプロフィール１６ｃに最適に適合されている。
【００５１】
図１０には、図９に示したレーザ走査型顕微鏡の、検出面２２に入射する光１６ｃのプロフィールが概略的に示されている。繰り返しの説明を回避するために、ここでは図９についての実施例を参照されたい。
【００５２】
図１１には、第４の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡が概略的に示されている。ここでは、検出器２１の検出面２２は、正方形に形成されており、したがって多くの市販のアレイ４に相当するものである。検出光ビーム１６ｃのプロフィールの可能な限り最善な適合を達成するために、フラットトップ光学系２４として形成されている光学系２３は、ほぼ正方形のプロフィールを生じさせるように形成されている。相応のフラットトップ光学系２４は、例えばＴＯＰＡＧ  Ｌａｓｅｒｔｅｃｈｎｉｋ  ＧｍｂＨ社（Ｄａｒｍｓｔａｄｔ）によって製造されており、またＳｔｅｆａｎ  Ｒｕｎｇ等著のＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ＳＰＩＥ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｗｅｓｔ  ２０１４，ＬＡＳＥ，ＬＡＭＯＮ  ＸＩＸ、「Ｌａｓｅｒ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ａｂｌａｔｉｏｎ  ｗｉｔｈ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅ  Ｂｅａｍｓ  ａｎｄ  Ｔａｉｌｏｒｅｄ  Ｂｅａｍ  Ｐｒｏｆｉｌｅｓ」、Ｐａｐｅｒ８９６７−２４に記載されている。
【００５３】
図１２には、図１０に示したレーザ走査型顕微鏡の、検出面２２に入射する光１６ｃのプロフィールが改めて拡大されて示されている。
【００５４】
図１３には、光を検出するための本発明による装置の第５の実施例が概略的に示されている。図１３からは、光学系２３が角錐状の構成部材２５と集束レンズ２６とから構成されていることがはっきりと見て取れる。この配置構成によって、四つ葉のクローバーのような、検出光ビーム１６ｃの４つのガウス状のプロフィールが、検出器２１の検出面２２に生じる。角錐状の構成部材２５、集束レンズ２６および検出面２２の寸法を適切に選択することによって、正方形の検出面２２は隅々まで均一に照明することができる。検出面２２において相応に形成された光分布が、図１４に例示的に示されている。
【００５５】
ここで、角錐状の構成部材２５と集束レンズ２６の順序が逆であってもよい。さらに、角錐状の構成部材２５の代わりに、検出面２２の形状および光学系の光路に適合された多面体の構成部材２５を使用することもできる。小さい複数のガウスプロフィールから１つの総プロフィールが形成され、その総プロフィールが検出面２２を可能な限り均一に検出することだけが重要である。
【００５６】
図１５には、ライン検出器２７の一実施例が概略的に示されている。図１５に示されているライン検出器２７においては、いずれも既に複数の並列なＳＰＡＤ３から形成されている複数のアレイ４が、複数の信号出力端を有している１つの検出器ライン２８に統合されている。したがって、検出光ビーム１６ｃを空間分解して検出することができる。相応のライン検出器２７は、例えば、スペクトル分解された光を検出するためにスペクトルメータにおいて使用される。
【００５７】
図１６には、第６の実施例による光を検出するための本発明による装置を備えている、図４に示したレーザ走査型顕微鏡が概略的に示されている。ここでは、検出器２１が図１５に示したライン検出器２７として形成されている。さらに、光学系２３に付加的に、分散素子２９（例えばプリズムまたは格子）およびシリンドリカルレンズ３０が、検出器２１の手前に配置されている。シリンドリカルレンズ３０または分散素子２９、もしくはそれら２つの組合せは、光学系２３と関連付けられて、ライン検出器２７の検出器ライン２８の均一化された照明を実現するように、検出光ビーム１６ｃを変形させることができる。ライン検出器２７の相応に照明された検出器ライン２８が、図１７において拡大されて示されている。検出光ビーム１６ｃによる均一化された照明は、平坦な線形プロフィールを表し、この線形プロフィールは、比較的鮮明な縁部を有しており、かつ線形プロフィールの内側領域において均一な強度分布を有している。
【００５８】
本発明による装置の別の有利な構成に関しては、繰り返しの説明を回避するために、明細書の冒頭部の記載ならびに添付の特許請求の範囲を参照されたい。
【００５９】
最後に、本発明による装置の上記において説明した実施例は、権利主張する教示を詳論するためにのみ役立つものであって、本発明による装置をそれらの実施例に限定されることは意図していない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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