(57)【要約】本発明は、顕微鏡的結像システムによる、逐次的なシングルスポットまたはマルチスポットの走査による物体の結像の間に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のための方法に関する。方法は、定義された平面構造を持つ基準物体を確立する方法ステップと、幾何学的結像誤差のないこの構造の電子的像データセットを生成する方法ステップと、結像システムによって少なくとも１つの電子的実像データセットを生成する方法ステップと、各場合において、実像データセットと、基準像データセットとを、原点として物体の同じ位置を持つ画素の位置に関して比較する方法ステップと、基準像データセットに対する実像データセットにおける位置偏差を決定する方法ステップと、決定された位置偏差を補正データとして保存する方法ステップと、補正データを参照して、実像データセットにおける位置偏差の補正により、幾何学的結像誤差を補償する方法ステップとを備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡的結像システムによる、逐次的なシングルスポットまたはマルチスポットの走査による物体の結像の間に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のための方法であって、
‐定義された平面構造を持つ基準物体を確立する方法ステップと、
‐この構造の、幾何学的結像誤差のない電子的像データセットを生成する方法ステップであって、前記物体の原因位置が、一対一対応で画素の各位置に割り当てられる、電子的像データセットを生成する方法ステップと、
‐前記像データセットを基準像データセットとして保存し保持する方法ステップと、
‐前記結像システムで少なくとも１つの電子的実像データセットを生成する方法ステップであって、前記物体の前記原因位置が再び画素の各位置に割り当てられる、電子的実像データセットを生成する方法ステップと、
‐前記物体の同一の位置に割り当てられた画素の位置に関して、前記実像データセットと前記基準像データセットとを比較する方法ステップと、
‐前記基準像データセットにおける前記画素に対する、前記実像データセットにおける対応する前記画素の位置偏差を決定する方法ステップと、
‐決定された位置偏差を補正データとして保存する方法ステップと、
‐前記補正データを参照して、前記実像データセットの前記位置偏差の補正によって、前記幾何学的結像誤差を補償する方法ステップと、
を備える方法。
【請求項２】
‐シングルスポット走査またはマルチスポット走査の場合の非線形性に起因して発生する幾何学的結像誤差と、
‐光学設計のパラメータの偏差に起因して発生する幾何学的結像誤差と、
が、互いから分離して捕捉され、前記シングルスポット走査もしくは前記マルチスポット走査の間に、または、時間的に前記シングルスポット走査もしくは前記マルチスポット走査の後に、前記結像誤差の前記補償のための基礎として用いられる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
走査装置の、スピード、方向および／または振幅の非線形性の結果として生じた前記幾何学的結像誤差が捕捉され、前記補償の基礎として用いられる、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
‐前記捕捉は、各場合において異なる走査スピード、走査方向および／または走査振幅の場合に、いくつかの実像データセットを参照して実行され、
‐前記補償データは、前記基準像データセットにおける画素に対する、前記実像データセットにおける対応する画素の、統計的に平均化されまたは補間された位置偏差から生成される、
請求項３に記載の方法。
【請求項５】
追加的に、前記走査装置によって実際に生成された実際の偏向角度が捕捉され、公称偏向角度と比較され、そこから補正値が決定され、これらが、前記走査装置の補正された制御で前記偏差を最小化するために用いられる、請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
前記位置偏差の前記補償は、前記物体の前記シングルスポット走査または前記マルチスポット走査の間に実行され、
前記マルチスポット方法において、各スポットに対する前記補償は個別に発生する、
請求項３〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記光学設計のパラメータの偏差に起因して発生する幾何学的結像誤差が捕捉され、
‐特定波長の照明光による実像データセットが記録され、前記補償データは、前記基準像データセットにおける画素に対する、前記実像データセットにおける対応する画素の位置偏差から生成されるか、または、
‐異なる波長の照明光によるいくつかの実像データセットが記録され、前記補償データは、前記基準像データセットにおける画素に対する、各前記実像データセットにおける対応する画素の位置偏差が統計的に平均化または補間されたものから生成される、
請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記位置偏差の前記補償は、時間的に前記物体の前記シングルスポット走査または前記マルチスポット走査の後に実行され、
前記マルチスポット方法において、各スポットに対する前記補償は個別に発生する、
請求項７に記載の方法。
【請求項９】
各前記実像データセットは、各場合において、可能な最大像フィールドサイズおよび可能な最低走査スピードをもって生成される、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
基準物体として平坦な格子構造を伴う物体が用いられる、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記補正データは、前記結像システムに恒久的に割り当てられ、したがって、任意の所望の他の物体の補正された像が生成される、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
‐結像すべき前記物体の各位置が、時間的に逐次いくつかのスポットで照明され、
‐先行するスポットの検出された信号強度が、前記物体の同一の位置に向けられた後続の各スポットのうち１つ以上の照明強度にフィードバックされ、結果として、制御される照明強度のために、
‐前記物体の個別の位置の結像の場合の、拡張されたダイナミクスと、
‐最適化（とくに前記物体の放射露光の低減）とが達成される、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
顕微鏡的結像システムによる、逐次的なシングルスポットまたはマルチスポットの走査による物体の結像の場合に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のための、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法であって、それは、光学的組立体を交換することにより変更可能であり（とくにレーザ走査型顕微鏡によって）、
‐交換可能な組立体のそれぞれに、個別の補正データが割り当てられるか、または、
‐各場合において、組立体交換によって変更されず全体として前記結像システムに補正データが割り当てられ、
‐前記幾何学的結像誤差の前記補償のための基礎として用いられる、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［技術分野］
本発明は、顕微鏡的結像システム（たとえばレーザ走査型顕微鏡）による、逐次的なシングルスポットまたはマルチスポットの走査による物体の結像の間に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のための方法に関する。
【０００２】
走査は、光の各点（スポット）に焦点を合わせたレーザ照射とともに行われる。物体のなるべく多くの場所が各スポットによって逐次的に照らされ、照らされた物体の各点によって反射された光または蛍光によって発生した光が個別に検出される。検出信号は、発生点および輝度に関する情報を含んでおり、したがって、物体の各点の個別の像に対応する。顕微鏡の対物レンズの焦点面から取得された検出信号全体が、物体のその平面の像を生成する。
【０００３】
理想的なケース（すなわち、像全体における個別の像の場所が、関連付けられた点の位置または実際の物体における点の位置に正確に対応するということ）が常に希求される。その場合には、各マルチスポット走査に対する異なる点を通して走査された試料の各領域の部分像を関連付けることもでき、結果として、同一の像内容の重ね合わせおよびオフセット処理が可能になる。
【０００４】
しかしながら、像取得における様々な技術的および工学的な影響のため、たいていそうはならない。原因は、各ケースにおいて用いられる結像システムの、機械的、光学的または電子的な組立体の精度の許容差にある。
【０００５】
したがってたとえば、走査装置によって生成される走査運動が、方向、スピードおよび／または振幅に関して非線形性を受け、これによって理想的条件が満たされなくなり、結像される物体が幾何学的に変形する。
【０００６】
［従来技術］
そのような影響を少なくとも軽減するために、独国特許発明第１９７０２７５２号明細書は、なるべく直線的な走査運動が達成されるように走査器のための制御曲線を修正することを提案している。このために、ビーム束の偏向を線形に振動させるために振動鏡を駆動するための振動モータと、可変励起電流を振動モータに供給するための制御ユニットと、関数生成器と、振動鏡の偏向位置に関する情報のシーケンスを取得するための測定値変換器とを備えるレーザ走査型顕微鏡を用いる時に。測定値変換器は、励起電流に対する補正値を決定するための関数生成器に接続され、これによって、関数生成器が出射する制御周波数は、偏差が少なくとも最小化されるように影響を受ける。
【０００７】
この方法にもかかわらず、依然として、とくに像の走査運動の方向における圧縮および伸長の形で、残留誤差が像の変形につながっている。
【０００８】
双方向走査運動を伴う結像システムの場合には、走査スピードが倍になるのが有利であるが、各走査方向における走査運動の非線形性が異なる位置で発生するのが不利であり、この結果として、画素が、物体の関連付けられる点に対して横方向にずれる（これはｂｉｄｉ誤差として知られている）。
【０００９】
２次元走査の場合の、２軸（Ｘ走査軸およびＹ走査軸）相互の影響もまた、いわゆる「ゆらぎ（wobble）」につながり、幾何学的結像誤差にもつながる。
【００１０】
とくに、マルチスポット結像の場合には、走査処理の非線形性によって生じる変形は、像情報の各項目に関連して各部分像の異なる位置で発生する（各励起スポットに同時に作用するからである）。しかしながら、レーザスポットは試料内で互いに相対的にずらされて配置されている。このため、異なる部分像からの同一の像内容を一致させて重ね合わせることができない。
【００１１】
結像システム（たとえば対物レンズ）の固定された組立体の光学設計のパラメータが、所定のパラメータからずれた場合には、幾何学的結像誤差も（たとえば樽型ひずみまたは糸巻き型ひずみの形態で）発生する。
【００１２】
［本発明の説明］
この従来技術に基づき、本発明の目的は、上述の種類の方法であって上述の不利益をもはや有しないものを作成することである。
【００１３】
目的は、
‐像で表現可能な定義された平面構造を持つ基準物体を確立する方法ステップと、
‐結像システムとは独立して、この構造の、幾何学的結像誤差のない電子的像データセットを生成する方法ステップであって、前記原因物体点の位置が、一対一対応で画素の各位置に割り当てられる、電子的像データセットを生成する方法ステップと、
‐前記像データセットを基準像データセットとして保存し(save)保持する(maintain)方法ステップと、
‐前記結像システムで少なくとも１つの電子的実像データセットを生成する方法ステップであって、前記原因物体点が再び各画素に割り当てられる、電子的実像データセットを生成する方法ステップと、
‐前記物体の同一の点に割り当てられた画素の位置に関して、前記実像データセットと前記基準像データセットとを比較する方法ステップと、
‐前記基準像データセットにおける前記画素に対する、前記実像データセットにおける対応する前記画素の位置偏差を決定する方法ステップと、
‐決定された位置偏差を補正データとして保存する方法ステップと、
‐前記補正データを参照して、前記実像データセットの前記位置偏差の補正によって、前記幾何学的結像誤差を補償する方法ステップと、
を持つ上述の種類の方法について達成される。
【００１４】
本発明の意味において、シングルスポットまたはマルチスポットの走査の場合に、非線形性に起因して発生する幾何学的結像誤差（以下「変形(deformation)」と呼ぶ）と、光学設計のパラメータの偏差に起因して発生する幾何学的結像誤差（以下「歪み(distortion)」と呼ぶ）との双方が、幾何学的結像誤差として考慮される。
【００１５】
「非線形性」とは、たとえば、スピード、方向および／または振幅（物体の各点を走査するための走査装置によって予め定義されたもの）の公称値からの偏差を意味する。これに対し、歪みは、結像システムの光学的組立体によって発生する結像スケールにおける局所的変動（とくに、光軸からの画素の増加する距離に伴う倍率の変化）である。歪みは、ある点（「歪み中心」）の周りの回転対称の分布（高次歪みの重ね合わせの間の、正方形の像における糸巻き型または樽型の変形、または、直線が波形に結像すること等）によって特徴付けられる（ウィキペディア「Distortion」）。
【００１６】
「この像データセットを基準像データセットとして保存し保持する方法ステップ」は、以下では、実像データセットを生成するために用いられる結像システムを較正する役割を果たす。
【００１７】
本発明による方法を実施すると、結果として、幾何学的結像誤差に対して補正された電子的実像データセットが得られ、これから、それ自体既知の態様で、視認可能かつ（先行する補正に起因して）幾何学的に誤差のない像が生成される。
【００１８】
本発明による方法の、他の実施形態では、
‐変形補正に関する補償データと、歪み補正に関する補償データとは、分離して（すなわち、時間的に互いから分離して）決定され、
‐シングルスポット走査またはマルチスポット走査の過程において直接的に、または時間的にその後に、補正の基礎として用いられる。
【００１９】
変形を補正するために提供される本発明による方法の実施形態では、補償データの捕捉は、ただ１つの実像データセットを参照して、または、（好ましくは精度を向上させるために）いくつかの実像データセットを参照して実行され、実像データセットは、各場合において異なる走査スピード、走査方向、および／または走査振幅の場合に記録される。後者の場合には、補償データは、実像データセットにおける各画素の統計的に平均化されるか補間された位置と、基準像データセットにおける各画素の対応する位置との比較から決定される。
【００２０】
とくに有利な実施形態では、走査装置によって実際に生成された実際の偏向角度を捕捉することと、それを公称偏向角度と比較することと、比較から走査器制御のための補正値を決定することと、したがって、走査器制御を最適化することとが提供される。本発明による方法に伴う結像誤差の補正は、このオプションによってさらに効率的に実行可能である。
【００２１】
好ましくは、変形を補正するための各方法ステップは、物体のシングルスポット走査またはマルチスポット走査の間に実行され、マルチスポット方法において、各スポットに対する補償が個別に発生する。
【００２２】
歪みを補正するために提供される本発明による方法の実施形態では、
‐特定波長の照明光による実像データセットを記録することと、基準像データセットにおける画素に対する、実像データセットにおける対応する画素の位置偏差から補償データを生成すること、または、好ましくは、精度を向上させるために、
‐異なる波長の照明光によるいくつかの実像データセットを記録することと、各実像データセットにおける画素の統計的に平均化されまたは補間された位置と基準像データセットにおける対応する画素の位置との比較から補償データを生成すること、
が提供される。
【００２３】
歪みを補正するための各方法ステップは、好ましくは、時間的に、物体のシングルスポット走査またはマルチスポット走査の後に実行され、ここでも、マルチスポット方法において、各スポットに対する補償が個別に発生する。
【００２４】
基準物体として、たとえば、平坦な格子または電子的に生成された格子構造が用いられる。双方の実施形態において、基準像データセットとの比較のための基礎として用いられる実像データセットは、各場合において、可能な最大像フィールドサイズおよび可能な最低走査スピードをもって記録されることが有利である。
【００２５】
本発明による方法の重要な利点の一つは、具体的な顕微鏡的結像システムに関して適用された後に、補正データをこの結像システムに恒久的に割り当てることができ、したがって、任意の所望の他の物体の補正された像を生成可能であるということである。
【００２６】
本発明による方法は、また、光学的組立体を交換することによって変更可能な顕微鏡的結像システム（たとえば交換可能な対物レンズを持つレーザ走査型顕微鏡）による逐次的なシングルスポット走査またはマルチスポット走査による物体の結像の場合に発生する幾何学的結像誤差の決定および補償のために用いることもできる。
【００２７】
補正データは、
‐交換可能な組立体のそれぞれに個別に、または、
‐各場合において組立体交換によって変更されない結像システム全体に、
割り当てられ、
幾何学的結像誤差の補償のための基礎として用いられる。
【００２８】
以下、実施形態の例を参照して、本発明をより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】走査方向Ｘと垂直に、互いに隣接して配置されたｎ＝４個のシングルスポットを含むマルチスポットでの物体の走査である。
【図２】走査方向Ｘの方向に、互いに隣接して配置され、同一の輝度を持つ物体に向けられたｎ＝４個のシングルスポットを含むマルチスポットでの物体の走査である。
【図３】走査方向Ｘの方向に、互いに隣接して配置され、異なる輝度を持つ物体に向けられたｎ＝４個のシングルスポットを含むマルチスポットでの物体の走査である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
［図面の詳細な説明］
第１の実施例では、本発明による方法は、共焦点レーザ走査の原理による物体の結像のための、物体のシングルスポット走査を参照して説明される。レーザビームは、ラスタ状の態様で連続的して物体表面に向けられるシングルスポットに焦点を合わせられ、物体の幾何学的形状に加えて、物体の、個別の、各場合において隣接する各点に対する反射された光の強度も、同時に捕捉される。
【００３１】
オリフィスプレートによって焦点面からの光のみが検出され、したがって、この平面から、物体の像データセットが深度方向に高い解像度で取得される。各場合において、平面を走査した後に焦点が変化した場合には、さらなる平面から像データセット（および、これから、最終的に物体の３Ｄ記録）が取得される。
【００３２】
物体の走査は、通常、走査鏡（たとえばガルバノメータまたは微小系鏡、他の偏向手段（音響光学的偏向器等）も）によるレーザ照射の偏向によって発生する。１次元または２次元の偏向のために運動可能な組立体に加え、レーザ光は、照射源から検出装置へと、固定された光学的組立体（走査対物レンズ、他のレンズ群、ビーム偏向要素および／またはビームスプリッタ等）も介して通過する。
【００３３】
そのような物体結像のための結像システムの使用の間に上述の理由で発生する、変形および／または歪みの形態の幾何学的結像誤差を、まず決定し、続いて補償するために、例示によって示される以下の方法ステップが実行される：
ａ）光学格子によって幾何学的結像誤差のない電子的像データセットが生成され、当該電子的像データセットにおいて、画素の位置が各格子点の位置に一対一対応で割り当てられる。この像データセットは、以下の方法ステップにおいて較正されるべき結像システムとは独立して（たとえば、光学的手段を用いず直接的に電子的に）生成される。
ｂ）この像データセットは、後続の各方法ステップについて基準像データセットとして保持される。
ｃ）補正されるべき結像システム（たとえばレーザ走査型顕微鏡）を用いて、
‐ただ１つの特定の走査スピード、走査方向および／または走査振幅を伴う同一の格子の単一の記録から、または、
‐好ましくは、（後に実施されるべき決定された変形の補正の精度を向上させるために）各ケースにおいて異なる走査スピード、走査方向および／または走査振幅を伴う格子の、いくつかの記録から（その結果は統計的に平均化される）、
実像データセットが取得される。
ｄ）このようにして生成された実像データセットと、基準像データセットとが、原点として格子の同じ位置を持つ画素の位置に関して比較される。
ｅ）位置偏差が記録され、補正データとして保存される。
ｆ）補正データに基づき、実像データセットにおいて、決定された位置偏差と、したがって変形とが、補償される。
【００３４】
方法ステップｃ）〜ｆ）の代替として、または、方法ステップｃ）〜ｆ）の直前または直後に、本発明によれば、歪みを補償するために、例示によって示される以下の方法ステップが実行される：
ｇ）補正されるべき結像システム（たとえば再びレーザ走査型顕微鏡）を用いて、
‐特定波長の照明光を伴う同一の格子の単一の記録から、または、好ましくは、（色倍率誤差を補償するために）異なる波長の照明光を伴う格子の、いくつかの記録から（その結果は統計的に平均化される）、実像データセットが取得される。
ｈ）このようにして生成された実像データセットは、基準像データセットと、原点として格子の同じ位置を持つ画素の位置に関して比較される。
ｉ）位置偏差が記録され、補正データとして保存される。
ｊ）補正データに基づき、実像データセットにおいて、決定された位置偏差と、したがって変形とが、補償される。
【００３５】
方法ステップａ）〜ｆ）またはｇ）〜ｊ）によって決定される補正データは、この結像システムに恒久的に割り当てられ、結果として、これらを考慮して、同一の結像システムによって、任意の所望の他の物体の補正された像を生成することができる。変形の補償はシングルスポット走査の間に実行されることが好ましく、歪みの補償は、対応する物体のシングルスポット走査の後に実行されることが好ましい。
【００３６】
以下に説明される第２の実施例では、本発明による方法は、物体のマルチスポット走査を参照して説明される。シングルスポット走査では、レーザビームは１つのスポット（シングルスポット）に焦点を合わされ、物体の走査はそこで発生するが、マルチスポットの方法では、いくつかのシングルスポットからなるマルチスポットが生成され、そこで物体が走査される。
【００３７】
走査された物体の各点によって反射された光は、検出され、シングルスポットに割り当てられて記録される。これは、空間的に分離された検出によって、または、時間的な割り当てによって、発生する。
【００３８】
走査方向に対して垂直に配置されたマルチスポットで物体を走査する手順は公知である。そのようなマルチスポット走査では、物体のｎ倍高速な走査が達成される点が有利である。これに関して、図１は、例として、走査方向Ｘに対して垂直に、互いに隣接して配置されたｎ＝４個のスポットを含むマルチスポットを示す。
【００３９】
例として、レーザ走査型顕微鏡が変形および／または歪みの形態の幾何学的結像誤差を決定し補償するために、本発明によれば、上述の方法ステップａ）〜ｆ）またはｇ）〜ｊ）が、マルチスポットに属する各シングルスポットによって生成された各画素の位置に常に関連して実行され、各画素は、シングルスポットの数ｎに関わらず、物体の同一の点に割り当てられる。
【００４０】
以下に記載される第３の実施例では、物体のマルチスポット走査を参照して本発明による方法が説明される。これにおいて、各シングルスポットは、上述の実施例とは異なり、走査方向Ｘと垂直ではなく、走査方向Ｘの方向に、互いに隣接して配置され、したがって、次々に後を追って物体上を通過する。これに関して、図２は、例として、走査方向Ｘの方向に、順に後を追うように配置されたｎ＝４個のスポットを含むマルチスポットを示す。
【００４１】
例として、この場合でも、レーザ走査型顕微鏡が変形および／または歪みを決定し補償するために、本発明によれば、上述の方法ステップａ）〜ｆ）またはｇ）〜ｊ）が、この場合でも、マルチスポットに属する各シングルスポットによって生成された各画素の位置に常に関連して実行され、各画素は、マルチスポット内のスポットの数ｎとは独立に、物体の同一の点に割り当てられる。
【００４２】
最も単純なケースでは、すべてのシングルスポットが等しい輝度に設定され、これによって、１回の走査で像データのｎ倍平均が達成可能である。
【００４３】
さらなる関連する実施形態では、しかしながら、ｎ個のスポットが異なる輝度に設定される。したがって、ただ１回の走査で、ＨＤＲＩ（高ダイナミックレンジ像（High Dynamic Range Image））法によるデジタルの高コントラスト像を取得することができ、必要な部分像の高速連続記録（とくに高速で移動する物体の場合）が可能になる。
【００４４】
物体上を順次通過するマルチスポット内の各スポットが、強度において個別に変化する場合には、先行するシングルスポットの検出された信号強度を、マルチスポット内の後続の各スポットの照明強度にフィードバックすることにより、図３に記号的に示すように、さらに改善された像品質が達成される。各スポットの空間的分離（物体の逐次的な走査では時間的分離に変換される）は、この場合、制御ループの必要性を大きく低減させ、従来の走査スピードの場合には、最初から意味のある制御が可能となる。これは、動的照明の変換の間に生じる問題を回避することが有利である（画素時間内に照明を制御しなければならないという事実により）。これは、共焦点顕微鏡法において発生するマイクロ秒の範囲内の画素時間では、しばしば達成できない。遅すぎる制御は、光強度を適応させられず、速すぎる制御は、オーバーシュートになりがちであり、結像処理においてアーテファクトを発生させる。
【００４５】
したがって、たとえば、スポット１の強度は、物体をなるべく照明せず、したがって保護するために、非常に低く設定することができる。信号の強度がすでに十分高い所定の値に達した場合には、後続のステップ２〜４は影響を受けないままである。別の場合には、照明の強度が再調整され、関連する信号は対応する程度に強くなる。制御された照明についてのこの方法は、とくに、個別の像からずれた像のダイナミクスを拡張することにつながる。さらに、試料の局所的位置における信号の生成に必要な量の光しか試料に導入されないので、試料が保護される。
【００４６】
そのような、シングルスポット１〜４の輝度が制御されるマルチスポット走査の場合でも、実際上、上述の幾何学的結像誤差は発生し得る。ここでも、変形および／または歪みを決定し補償するために、本発明によれば、上述の方法ステップａ）〜ｆ）またはｇ）〜ｊ）が、この場合でも、マルチスポットに属する各シングルスポットによって生成された各画素の位置に関連して実行され、各画素は、マルチスポット内のスポットの数ｎに関わらず、物体の同一の点に割り当てられる。
【００４７】
本発明によるこの手順のさらなる利点は、各スポットが試料の上を次々に厳密に後を追って通過する必要がないという意味において、走査方向の非常に可変な設定ができる可能性である。むしろ、走査器振動の振幅および位相（たとえば、いずれも、所望の像フィールドに対応するガルバノメータ（galvo）走査器のもの）を設定することにより、像フィールドは走査顕微鏡法のために通常の態様で回転することができる。したがって、主走査方向は予め定義される。その後、歪み補正の後に、各像の互いに対する恒久的関係に起因して、像内容の重ね合わせが達成される。上述の各方法を高ダイナミック(high dynamics)または制御可能ダイナミック照明で像記録に適用するためには、これは、各シングルスポットによって試料の各位置が走査されるということが確約される限り、走査器が試料を任意の方向に走査できるということを意味する。この場合、異なるマルチスポットによる試料の走査の間の対応する時間的差分は異なり、主走査方向に依存する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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2018526667.tif 000007
2018526667.tif 000008
2018526667.tif 000009