(57)【要約】  選択された温度での硫酸の半径方向ディスペンスの動的制御を通じて、ウェハ表面にわたるリン酸処理の温度プロファイルを制御するための方法であって、層がその上に形成された基板を提供する工程と、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整しながら、第１の化学品及び第２の化学品をその層上にディスペンスし、基板の領域にわたるエッチング速度を変化させる工程と、を含む。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の層をエッチングするための方法であって、
基板を提供する工程であって、該基板上に層が形成された、提供する工程と、
前記層上に第１の化学品をディスペンスする工程と、
前記第１の化学品をディスペンスしながら別個に、前記層上に第２の化学品をディスペンスする工程と、
前記第２の化学品のディスペンス中に、前記第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整して、基板の領域にわたるエッチング速度を変化させる工程と、を含む方法。
【請求項２】
前記第１の化学品がリン酸（Ｈ３ＰＯ４）を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第２の化学品が硫酸（Ｈ２ＳＯ４）を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記基板の前記領域は、前記基板の全体を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２の化学品をディスペンスする工程は、前記第１の化学品をディスペンスする工程と同時に開始する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第２の化学品をディスペンスする工程は、前記第１の化学品をディスペンスする工程の開始後に開始する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の化学品は第１のノズルからディスペンスされ、前記第２の化学品は第２のノズルからディスペンスされる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記第１のノズルは第１のディスペンスアームに取り付けられ、前記第２のノズルは第２のディスペンスアームに取り付けられる、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１のディスペンスアーム及び前記第２のディスペンスアームは、前記基板上のすべての半径方向位置に到達するように、枢動点の周りを回転可能である、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータは、前記基板上の前記第２の化学品のディスペンス位置、前記第２の化学品の温度、前記第２の化学品の流量、及び前記第２の化学品の濃度を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記層の厚さの不均一性を補償するために、前記基板の前記領域にわたる前記層のエッチング速度を変化させるように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記基板の前記領域にわたるオーバーエッチングを最小に抑えるように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記基板の前記領域にわたって実質的に同時に層エッチング終点に達するように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記基板の前記領域にわたって所定のエッチング速度プロファイルを達成するように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記基板の前記領域にわたって所定の温度プロファイルを達成するように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、前記基板の前記領域にわたって所定の選択性プロファイルを達成するように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２の化学品のディスペンスの前記少なくとも１つのパラメータの調整は、層エッチング終点に近づくにつれて前記エッチング速度を下げるように行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整する工程をさらに含み、前記第１の化学品のディスペンスの該少なくとも１つのパラメータは、前記基板上の前記第１の化学品のディスペンス位置、前記第１の化学品の温度、前記第１の化学品の流量、及び前記第１の化学品の濃度を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記層上に水をディスペンスする工程をさらに含み、該水のディスペンス中に、所望のエッチング選択性を選択するのに有効なように水の流量又は水の温度、又はその両方が調整される、請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
エッチング中に前記基板の温度を測定する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１５年９月３０日付けで出願された米国仮出願第６２／２３５，３３０号の優先権を主張し、その全体が参照により援用される。
【０００２】
本発明は、硫酸の半径方向ディスペンスの動的制御を通じて、半導体ウェハ表面にわたる酸の温度プロファイルを制御することにより、リン酸と硫酸との混合物中の半導体表面のウェットエッチング処理に関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体表面の湿式処理は、膜除去、基板エッチング、基板湿式ドーピング、表面研磨、汚染除去、表面コンディショニング及びそれらの組み合わせを目的とする。リン酸エッチングは、十分に確立された処理（例えば、ウェットベンチ上のウェハの処理）である。既知の処理は、酸沸点のような安定した操作条件を採用する。これらの処理は、窒化物対酸化物（１６５℃で３５：１）の良好な選択性を提供することができ、この選択性は、リン酸に加えて、硫酸及び／又は水を使用することによって改善することができる。硫酸の使用は、酸化物に対して窒化物をエッチングする選択性を改善することができ、水の使用は、窒化ケイ素のエッチング速度を上げる。しかし、完全な膜除去を保証するために、長いオーバーエッチング時間が時には必要とされ、スループットの低下をもたらし、オーバーエッチングにより他の材料に対する高い選択性が要求される。半導体表面の湿式エッチングの改善が強く求められている。
【発明の概要】
【０００４】
本発明は、上述の欠点及び／又は落度の１つ以上に対する解決手段を提供する。
【０００５】
より具体的には、本発明は、選択された温度での硫酸の半径方向ディスペンスの動的制御を通して、ウェハ表面にわたるリン酸処理の温度プロファイルを制御するための新規な方法及び提案した方法を実装するための装置を提供する。
【０００６】
本発明は、半導体表面でのリン酸濃度及び温度の局所的かつ独立した制御の問題を解決しようとするものである。半導体表面にわたる酸温度プロファイルの重要な制御を提供することを望んでいる。これは、酸温度が膜エッチング速度及び残留物除去効率に直接相関するように、各ウェハの温度プロファイルが変化し得るため、重要である。
【０００７】
本発明は、半導体表面上の酸温度プロファイルを制御する能力を提供する。したがって、プロファイルを平坦、エッジ高、エッジ低などにすることができ、エッチング速度は処理要望を満たすように局所的に調整される。
【０００８】
エッチング速度プロファイルは、例えば、エッジでより厚くなる付着処理を補償するように処理要望を満たすように選択される。この場合、温度プロファイルはエッジが高くなるように調整され、長いオーバーエッチング処理時間を必要とせず、はぎとられる膜を完全に除去することを達成した、エッジが高くなる除去をもたらす。
【０００９】
したがって、例えば、より薄い領域の下にあるフィルムを損傷することなく、より厚い領域を除去するように、膜の厚さプロファイルの決定が決定される。
【００１０】
広い意味では、本発明は、基板上の層をエッチングするための方法であって、基板上に層が形成された基板を提供する工程と、層上に第１の化学品をディスペンスする工程と、第１の化学品をディスペンスしながら別個に、層上に第２の化学品をディスペンスする工程と、第２の化学品のディスペンス中に、第２の化学品ディスペンスの少なくとも１つのパラメータを、基板の領域にわたって調整する工程と、を含む。
【００１１】
リン酸及び硫酸を使用する既知の方法とは対照的に、本発明は、半導体表面上で各酸の独立したストリームをディスペンスし、硫酸のディスペンス位置は、表面上の所望の位置での所望の温度プロファイルを達成するように制御される。
【００１２】
本発明の動的制御は、処理温度プロファイルを有意に制御するために硫酸を共にディスペンスする（co-dispensing）ことによって行われ、その結果、エッチング速度プロファイルは、局所的硫酸ディスペンスによって誘発される局所温度の変動によって制御される。硫酸の半径、温度、流量及び濃度は、所望の温度プロファイルを達成するように選択され、ディスペンス位置が交差ウェハ温度プロファイルを達成するように選択される。温度プロファイルは、各エッチング速度プロファイルもカスタマイズされるように、各ウェハに対して動的にカスタマイズされる。この結果、オーバーエッチング時間が短縮され、スループットが改善する。オーバーエッチングという用語は、半導体処理の分野における通常の意味を有する。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
一般に、温度プロファイルは、各ウェハに対してカスタマイズされ、各ウェハに対するカスタマイズされたエッチング速度プロファイルをもたらす。これにより、オーバーエッチング時間の短縮が可能となり、スループットが向上する。従来の処理と比較して、選択性要件が緩和される。硫酸のディスペンス比、温度、流量及び濃度は、各ウェハに対する所望の温度プロファイルを達成するように選択され、ディスペンス位置がウェハ温度プロファイルにわたる所望のエッチングプロファイルを達成するように選択される。本発明では、処理温度プロファイルを有意に制御するために、選択されたウェハ半径において、硫酸はリン酸と共にディスペンスされる。
【００１４】
結果として、エッチング速度プロファイルは、局所的硫酸ディスペンスによって誘発される局所温度の変動によって制御される。本発明は、オペレータがウェハプロファイルに基づいた所望の結果に応じて一定温度又は可変温度を生成することを可能にする。
【００１５】
一般に、本発明は、基板上の層をエッチングするための方法である。この方法は、基板上に層が形成された基板を提供することを含む。本発明において、基板は、従来的に使用されているように、半導体の製造に使用されるシリコンウェハである。次に、第１の化学品がその層上にディスペンスされ、第１の化学品をディスペンスしながら、別個に第２の化学品がその層上にディスペンスされる。
【００１６】
この処理中、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータが、基板のある領域にわたって第２の化学品のディスペンスの間調整される。パラメータは、温度プロファイルを達成するように決定される硫酸ディスペンス半径、典型的には９６重量％である硫酸ディスペンス濃度、所望の温度プロファイルを達成するように決定される硫酸ディスペンス温度、所与の温度プロファイルを達成するように決定される硫酸ディスペンス流量、典型的には８５重量％であるリン酸ディスペンス濃度、所与の窒化ケイ素エッチング速度を達成するように決定されるリン酸ディスペンス温度、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素の所与の選択性を達成するように決定されるリン酸ディスペンス流量、典型的には２５℃である水ディスペンス温度、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素の所与の選択性を達成するように決定される水ディスペンス流量を含むが、これらに限られない。追加的に、典型的には、１４０℃以下のリン酸温度で、最小窒化ケイ素エッチング速度が１ｎｍ／分であると考えられる。
【００１７】
表面上にディスペンスされる第１の化学品は、表面のエッチングを促進する任意の化学品とすることができ、そのような第１の化学品は、典型的には液体形態であり、及び／又は無機酸である。一実施形態では、第１の化学品はリン酸（Ｈ３ＰＯ４）を含む。第１の化学品は、典型的には、２５℃〜３００℃、より典型的には１００℃〜２５０℃、さらにより典型的には１２５℃〜２５０℃の温度でディスペンスされる。一実施形態では、第１の化学品は１４０℃でディスペンスされる。第２の化学品は、処理温度プロファイルを制御するにあたり第１の化学品を手伝う任意の化学品とすることができる。そのような第２の化学品は、典型的には液体形態であり、及び／又は無機酸である。一実施形態では、第２の化学品は硫酸（Ｈ２ＳＯ４）を含む。第２の化学品は、典型的には、２５℃〜３００℃、より典型的には１００℃〜２５０℃、さらにより典型的には１２５℃〜２５０℃の温度でディスペンスされる。一実施形態では、第１の化学品は１４０℃〜２２０℃の温度でディスペンスされる。
【００１８】
一実施形態では、ディスペンスが行われる基板の領域は基板全体である。しかし、ディスペンスは、所望の結果に応じて局所化することもできる。ディスペンスに関して、第２の化学品のディスペンスは、第１の化学品をディスペンスする工程と同時に開始することができる。別の実施形態では、第２の化学品をディスペンスする工程は、第１の化学品をディスペンスする工程の開始後に開始する。
【００１９】
特定の実施形態では、第１の化学品は第１のノズルからディスペンスされ、第２の化学品は第２のノズルからディスペンスされる。第１及び第２の化学品は、例えば、第１及び第２の化学品が互いに最初に接触する点でインラインでの第２の化学品の流れを独立的に制御することによって、同じノズルから共にディスペンスすることができることに留意すべきであり、処理が時間的に進みにつれて、そして、ノズルが基板表面にわたる領域から領域に移動するにつれて、変動する濃度で第１の化学品と第２の化学品が共分散（co-dispersed）することを可能にする。これに関して、第１のノズルは第１のディスペンスアームに取り付けられ、第２のノズルは第２のディスペンスアームに取り付けられる。第１及び第２のディスペンスアームは、枢動点の周りに回転可能であり、基板上のすべての半径方向位置に達すると理解すべきである。
【００２０】
一実施形態では、第２のディスペンスの少なくとも１つのパラメータは、基板上での第２の化学品のディスペンス位置、第２の化学品の温度、第２の化学品の流量、及び第２の化学品の濃度を含む。別の実施形態では、第２の化学品ディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたる層のエッチング速度を変化させ、その層の厚さの不均一性を補償する。別の実施形態では、第２の化学品ディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたるオーバーエッチングを最小にする。代替的には、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたって実質的に同時に層エッチング終点に達させることができる。さらに別の代替案では、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたって所定のエッチング速度プロファイルを達成する。別の実施形態では、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたって所定の温度プロファイルを達成する。別の実施形態では、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、基板の領域にわたって所定の選択性プロファイルを達成する。また、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することが行われて、層エッチング終点に近づくにつれてエッチング速度を下げることができる。
【００２１】
一実施形態では、本発明の方法は、第１の化学品ディスペンスの少なくとも１つのパラメータを調整することを含む。これに関して、第１のディスペンスの少なくとも１つのパラメータは、基板上での第１の化学品のディスペンス位置、第１の化学品の温度、第１の化学品の流量、及び第１の化学品の濃度を含む。
【００２２】
別の実施形態では、本発明の方法は、層上に水をディスペンスすることを含む。これに関して、水は第３のノズルからディスペンスすることができる。第３のノズルは、例えば、第３のディスペンスアームに取り付けることができる。この実施形態では、水の流量又は水の温度、又はその両方が、水のディスペンス中に調整される。同様に、水の流量又は水温、又はその両方の調整が行われて、所望のエッチング選択性を選択する。
【００２３】
別の実施形態では、この方法は、エッチング中に基板の温度を測定することを含む。これに関して、本方法は、第２の化学品のディスペンスの少なくとも１つのパラメータの調整のために、フィードフォワード又はフィードバック方式で測定された基板温度を利用する。
【００２４】
温度プロファイルの動的制御のために考慮される処理変数は、温度プロファイルを達成するために決定される硫酸ディスペンス半径、典型的には９６重量％である硫酸ディスペンス濃度、所望の温度プロファイルを達成するように決定される硫酸ディスペンス温度、所与の温度プロファイルを達成するように決定される硫酸ディスペンス流量、典型的には８５重量％であるリン酸ディスペンス濃度、所与の窒化ケイ素エッチング速度を達成するように決定されるリン酸ディスペンス温度、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素の所与の選択性を達成するように決定されるリン酸ディスペンス流量、典型的には１０℃〜９０℃、より典型的には２０℃〜５０℃、一実施形態では２５℃である水ディスペンス温度、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素の所与の選択性を達成するように決定される水ディスペンス流量を含むが、これらに限られない。
【００２５】
追加的に、典型的には、１４０℃以下のリン酸温度で、最小窒化ケイ素エッチング速度が１ｎｍ／分であると考えられる。一実施形態では、リン酸基準流量は、１ｓＬｍ（１標準リットル／分）である。
【００２６】
これらの変数の中でも、硫酸が温度制御及び均一性についての鍵である。均一な温度プロファイルは、例えば２２０℃のディスペンスされた硫酸温度で達成され、平坦なエッチングを達成し、２２０℃を超える温度では、エッチング速度が上がり、２２０℃未満の温度、例えば、１４０℃では下がったエッチング速度となる。硫酸は、窒化ケイ素エッチングの目的とした混合物中の不活性化学成分であることを理解すべきである。リン酸との混合物中の水の濃度は、酸の温度に依存しない。本発明の実施において、リン酸／硫酸混合物に対して水を追加することにより、それ自体、酸化ケイ素に対する窒化ケイ素のエッチング選択性を改善する高い相対含水量を備えた高温での処理を可能にする。水ディスペンス流量及び温度は、所望のエッチング速度及び選択性を達成するために選択される。
【００２７】
以下の表は、本発明の処理の多様性を説明するための動作点（operating  point）を例示している。いずれの場合も、リン酸ディスペンス濃度は８５重量％であり、リン酸ディスペンス温度は１４０℃であり、リン酸ディスペンス流量は１ｓＬｍであり、硫酸ディスペンス濃度は９６重量％である。
【００２８】
【表１】
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本発明の例示的な処理フロースキームは、以下の通りである。除去される膜の厚さプロファイル決定し、膜厚プロファイルを補償するためのエッチング速度プロファイルを決定し、所望のエッチング速度プロファイルを達成するための温度プロファイルを決定し、所与の温度、濃度及び流量でリン酸を提供し、リン酸をウェハ表面にディスペンスし、所与の温度、濃度及び流量で硫酸を提供し、所望の温度プロファイルを達成するためにウェハ表面上のある場所で硫酸を共分散させる。
【００２９】
２つ以上のノズルを有することにより、ウェハ上の異なる半径の硫酸をディスペンスすることが可能になる。これにより、オペレータは、リン酸に対する硫酸の比を局所的に制御して、所望の温度プロファイルを作成することが可能になる。代替的には、水ディスペンスのためのノズルを含めることができる。同様に、第２の硫酸ディスペンスのためのノズルを代替的に含めることができる。
【００３０】
本発明のさらなる改変及び代替実施形態は、この説明を考慮すれば当業者には明らかであろう。このため、本発明は、これらの例示的なアレンジメントによって限定されないと認識されるであろう。したがって、この説明は、例示的なものにすぎないと解釈されるべきであり、本発明を実施する方法を当業者に教示することを目的としている。本明細書に示し説明した本発明の形態は、現時点で好ましい実施形態であると捉えられるべきであると理解すべきである。さまざまな変更が実装及びアーキテクチャでなされる可能性がある。例えば、本明細書で例示し説明したものと等価な要素に置換することができ、本発明の特定の特徴は他の特徴の使用とは独立して利用することができるが、すべて本発明のこの説明の恩恵を受けた後であれば当業者には明らかであろう。
【国際調査報告】
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2018530159.tif 000004