(57)【要約】  蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ（１００）が記載される。測定アセンブリ（１００）は、堆積速度を測定するための発振水晶（１１０）と、蒸発材料を発振水晶（１１０）に供給するための測定出口（１５０）と、磁力によって測定出口（１５０）を開閉するように構成された磁気閉鎖機構（１６０）とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ（１００）であって、
前記堆積速度を測定するための発振水晶（１１０）と、
蒸発材料を前記発振水晶（１１０）に供給するための測定出口（１５０）と、
磁力によって前記測定出口（１５０）を開閉するように構成された磁気閉鎖機構（１６０）と
を備える測定アセンブリ（１００）。
【請求項２】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で移動するように構成された磁気閉鎖要素（１６１）を備える、請求項１に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項３】
前記閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備える、請求項２に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項４】
前記コーティング（１６２）が、チタン（Ｔｉ）、セラミック、特に酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む、請求項３に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項５】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、強磁性材料、特に鉄、ニッケル、コバルト、希少金属合金及び強磁性合金から成る群から選択された少なくとも１つの磁気材料を含む、請求項２から４の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項６】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、前記測定出口（１５０）の閉鎖状態において前記測定出口（１５０）を密閉するように構成されている、球のような形状、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又はこれらの任意の組み合わせから成る群から選択された形状を備える、請求項２から５の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項７】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備える、請求項１から６の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項８】
前記電磁装置（１６５）に結合された制御システムを更に備え、前記制御システム（１７０）が、前記電磁装置（１６５）を介して閉鎖状態と開放状態との間で前記磁気閉鎖要素を制御するように構成されている、請求項７に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項９】
前記測定出口（１５０）が、蒸発源によって提供された全流量の１／７０から前記蒸発源によって提供された前記全流量の１／２５までの測定流量を提供するように構成されたノズルである、請求項１から８の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１０】
前記閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備え、前記磁気閉鎖要素（１６１）が球のような形状を備え、前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の前記開放状態と前記閉鎖状態との間で前記磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備え、前記測定アセンブリが、前記電磁装置（１６５）にエネルギー供給するための電源（１８０）を更に備える、請求項２に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１１】
材料蒸発のための蒸発源（２００）であって、
材料を蒸発させるように構成されている蒸発るつぼ（２１０）と、
蒸発材料を供給するための分配管の長さに沿って設けられた一又は複数の出口（２２２）を有する分配管（２２０）であって、前記蒸発るつぼ（２１０）と流体連通している分配管（２２０）と、
請求項１から１０の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）と
を備える蒸発源（２００）。
【請求項１２】
前記測定出口（１５０）及び前記測定アセンブリ（１００）が、前記分配管（２２０）の端部、特に前記分配管（２２０）の前記端部の裏側（２２４Ａ）に配置されている、請求項１１に記載の蒸発源（２００）。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の少なくとも１つの蒸発源（２００）を備える、堆積速度で真空チャンバ（３１０）の中の基板（３３３）に材料を塗布するための堆積装置（３００）。
【請求項１４】
蒸発材料の堆積速度を測定するための方法（４００）であって、
材料を蒸発させること（４１０）と、
蒸発した前記材料の第１の部分を基板に塗布すること（４２０）と、
蒸発した前記材料の第２の部分を発振水晶（１１０）に転向させること（４３０）と、
請求項１から１０の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）を使用することによって、前記堆積速度を測定すること（４４０）と
を含む方法（４００）。
【請求項１５】
前記堆積速度を測定すること（４２０）が、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴで前記堆積速度を測定することを含み、前記測定出口（１５０）が、前記第１の測定と前記第２の測定との間で閉鎖状態にある、請求項１４に記載の方法（４００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ、材料蒸発のための蒸発源、材料を基板に塗布するための堆積装置、及び蒸発材料の堆積速度を測定するための方法に関する。本開示は、特に、蒸発有機材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ及びその方法に関する。更に、本開示は、とりわけ、その内部に有機材料を含む装置、例えば、蒸発源及び有機材料のための堆積装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機蒸発器は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）製造のためのツールである。ＯＬＥＤは、特殊な発光ダイオードであり、その中で発光層がある有機化合物の薄膜を含んでいる。有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は、情報を表示するためのテレビ画面、コンピュータモニタ、携帯電話、その他の携帯型デバイスなどの製造時に使用される。ＯＬＥＤは、一般的な空間照明にも使用することができる。ＯＬＥＤディスプレイで可能な色、輝度、及び視野角の範囲は、ＯＬＥＤピクセルが直接発光し、バックライトを含んでいないので、従来のＬＣＤディスプレイの範囲よりも大きい。したがって、ＯＬＥＤディスプレイのエネルギー消費は、従来のＬＣＤディスプレイのエネルギー消費よりもかなり少ない。更に、実際、ＯＬＥＤは、フレキシブル基板上に製造することができ、更なる用途がもたらされる。
【０００３】
ＯＬＥＤの機能性は、有機材料のコーティング厚さ次第で決まる。この厚さは、所定範囲内でなければならない。ＯＬＥＤの製造において、有機材料によるコーティングが影響を受ける堆積速度は、所定の許容範囲内にあるように制御される。換言すれば、有機蒸発器の堆積速度は、製造プロセスにおいて完全に制御されなければならない。
【０００４】
したがって、ＯＬＥＤ用途だけでなく、他の蒸発処理についても、比較的長い時間にわたって高精度の堆積速度が必要とされる。利用可能な蒸発器の堆積速度を測定するための複数の測定システムがある。しかし、これらの測定システムは、所望の期間にわたって不十分な精度及び／又は不十分な安定性のいずれかを被る。
【０００５】
したがって、改良された堆積速度測定システム、堆積速度測定方法、蒸発器及び堆積装置の提供に対する継続的な需要がある。
【発明の概要】
【０００６】
上記に鑑み、独立請求項による蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ、蒸発源、堆積装置及び蒸発材料の堆積速度を測定するための方法が提供される。更なる利点、特徴、態様、及び細部は、従属請求項、本明細書、及び図面から明らかである。
【０００７】
本開示の１つの態様によれば、蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリが提供される。測定アセンブリは、堆積速度を測定するための発振水晶と、蒸発材料を発振水晶に供給するための測定出口と、磁力によって測定出口を開閉するように構成された磁気閉鎖機構とを含む。
【０００８】
本開示の別の態様によれば、材料蒸発のための蒸発源が提供される。蒸発源は、材料を蒸発させるように構成されている蒸発るつぼと；蒸発材料を供給するための分配管の長さに沿って設けられた一又は複数の出口を有する分配管であって、蒸発るつぼと流体連通している分配管と；本明細書に記載の任意の実施形態による測定アセンブリとを含む。
【０００９】
本開示の更に別の態様によれば、堆積速度で真空チャンバの中の基板に材料を塗布するための堆積装置が提供される。堆積装置は、本明細書に記載の実施形態による少なくとも１つの蒸発源を含む。
【００１０】
本開示の更に別の態様によれば、蒸発材料の堆積速度を測定するための方法が提供される。方法は、材料を蒸発させることと；蒸発材料の第１の部分を基板に塗布することと；蒸発材料の第２の部分を発振水晶に転向させることと；本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリを使用することによって堆積速度を測定することとを含む。
【００１１】
本開示はまた、方法を実行するための装置部分を含む開示された方法を実施するための装置も対象にする。方法は、ハードウェア構成要素、適切なソフトウェアによってプログラミングされたコンピュータ、これらの２つの任意の組合せ、又は任意の他の方法で実行され得る。更に、本開示はまた、記載の装置の操作も対象とする。本開示は、装置のすべての機能を実行するための方法を含む。
【００１２】
本明細書に記載の本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、実施形態を参照することによって、先ほど簡単に概説した本開示のより具体的な説明を得ることができよう。添付の図面は、本開示の実施形態に関連し、以下で説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリであって、測定出口が開放状態にあるアセンブリの概略側面図を示す。
【図２】図１による測定アセンブリであって、測定出口が閉鎖状態にあるアセンブリの概略側面図を示す。
【図３Ａ】本明細書に記載の更なる実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリであって、測定出口が開放状態にあるアセンブリの概略側面図を示す。
【図３Ｂ】図３Ａによる測定アセンブリであって、測定出口が閉鎖状態にあるアセンブリの概略側面図を示す。
【図４】本明細書に記載の更なる実施形態による、蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリの概略側面図を示す。
【図５】ＡからＣは、本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリに対する磁気閉鎖要素の異なる実施形態の概略側面図を示す。
【図６】Ａ及びＢは、本明細書に記載の実施形態による蒸発源の概略側面図を示す。
【図７】本明細書に記載の実施形態による蒸発源の斜視図を示す。
【図８】本明細書に記載の実施形態による、真空チャンバの中の基板に材料を塗布するための堆積装置の概略上面図を示す。
【図９】本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための方法を図示するブロック図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
ここから、本開示の種々の実施形態が詳細に参照されることになり、そのうちの一又は複数の例が図示される。図面に関する以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ構成要素を指している。下記において、個々の実施形態に関する違いのみが説明される。各実施例は、本開示の説明のために提供されているが、本開示を限定することが意図されているわけではない。更に、１つの実施形態の一部として図示及び説明されている特徴は、更に別の実施形態を得るために、他の実施形態で用いられてもよく、又は他の実施形態と併用されてもよい。本説明は、このような修正及び改変を含むことが意図されている。
【００１５】
本開示において、「堆積速度を測定するための発振水晶」という表現は、発振水晶共振器の周波数における変化を測定することにより、単位面積当たりの発振水晶上の堆積材料の質量変化を測定するための発振水晶と理解され得る。特に、本開示において、発振水晶は、石英水晶共振器と理解され得る。より具体的には、「堆積速度を測定するための発振水晶」は、石英水晶マイクロバランス（ＱＣＭ）と理解され得る。
【００１６】
本開示で、「測定出口」とは、蒸発材料がそれを通って測定デバイス、例えば発振水晶などに提供できる孔又は開孔と理解され得る。更に、本開示では、「測定出口」とは、蒸発源の分配管の壁、特に裏側の壁に提供される孔又は開孔と理解され得る。とりわけ、「測定出口」とは、堆積源の分配管から分配管の測定側まで蒸発材料の通路を提供し得る。「測定側」とは、測定が、とりわけ堆積速度を測定するための発振水晶を使用することによって実行される分配管の側と理解され得る。例えば、「測定側」は、分配管の裏側であり得る。
【００１７】
本開示において、「磁気閉鎖機構」は、開孔、例えば測定出口を開閉するように構成されている機構と理解され得る。特に、「磁気閉鎖機構」は、測定出口を開閉するためにその内部で磁力が用いられる機構と理解され得る。
【００１８】
図１を参照すると、本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ１００は、堆積速度を測定するための発振水晶１１０と、蒸発材料を発振水晶１１０に供給するための測定出口１５０と、磁気閉鎖機構１６０とを含む。磁気閉鎖機構１６０は、磁力によって測定出口１５０を開閉するように構成される。
【００１９】
本明細書に記載の磁気閉鎖機構を有する測定アセンブリを提供することによって、測定出口は、迅速かつ効率的方法で閉鎖することができる。例えば、測定出口は、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔で閉鎖することができる。したがって、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔において、発振水晶は、蒸発材料から保護され得る。更に、発振水晶上の蒸発材料の量は、蒸発材料の堆積速度を測定するために必要とされる実際の量まで最小化され、これは、発振水晶の寿命を延長するのに有利であり得る。したがって、本明細書に記載の測定アセンブリの実施形態は、高品質の堆積速度測定を提供し得るが、これは発振水晶が蒸発材料に永続的に露出される構成と比較して、発振水晶が長い時間実行され得るためである。加えて、閉鎖可能な測定出口、例えば閉鎖可能なノズルなどを設けることによって、測定アセンブリの測定側、即ち、発振水晶が配置される側における蒸発材料の粒子発生が、低減され得るか又は回避することさえでき、堆積速度測定の精度に有益であり得る。したがって、本明細書に記載の実施形態による堆積速度を測定するための測定アセンブリを用いることは、高品質なディスプレイ製造、特にＯＬＥＤ製造に有益であり得る。
【００２０】
更に、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定アセンブリ１００は、発振水晶１１０を保持するためのホルダ１２０を含み得る。図１に典型的に示されるように、発振水晶１１０は、ホルダ１２０内部に配置され得る。更に、測定孔１２１がホルダ１２０に設けられ、蒸発材料の堆積速度を測定するために蒸発材料を発振水晶１１０に接近させてもよい。特に、測定孔１２１は、蒸発材料が、蒸発材料の堆積速度を測定するための発振水晶上に堆積するように、構成及び配置されてもよい。図１の点線矢印は、測定出口１５０を通って提供される蒸発材料の経路を概略的に示している。
【００２１】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖機構１６０は、図１から図４に典型的に示される磁気閉鎖要素１６１を含み得る。例えば、磁気閉鎖要素１６１は、強磁性材料、特に鉄、ニッケル、コバルト、希少金属合金及び強磁性合金から成る群から選択された少なくとも１つの磁気材料を含み得る。
【００２２】
本明細書に記載の測定アセンブリ１００の実施形態によれば、磁気閉鎖要素は、測定出口１５０の開放状態と閉鎖状態との間を移動するように構成され得る。図１は、本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリ１００の概略側面図であって、測定出口１５０が開放状態にある。図２は、図１による測定アセンブリ１００の概略側面図であって、測定出口１５０が閉鎖状態にある。図２に典型的に示されるように、測定出口１５０の閉鎖状態において、磁気閉鎖要素１６１は、測定出口１５０が磁気閉鎖要素１６１によって遮断される測定出口１５０内の位置にあり得る。したがって、磁気閉鎖要素１６１及び測定出口１５０は、測定出口１５０が磁気閉鎖要素１６１によって密閉できるように構成され得る。よって、測定出口を通る経路は、測定出口の閉鎖状態において、蒸発材料に対して遮断され得る。
【００２３】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖機構１６０は、図１及び図２に典型的に示される電磁装置１６５を含み得る。電磁装置１６５は、磁気閉鎖要素１６１に磁力を及ぼし、磁気閉鎖要素１６１を測定出口１５０の開状態から閉鎖状態に移動させるように構成されている。図１に典型的に示されるように、電磁装置１６５は、測定出口１５０周囲に配置される。例えば、電磁装置１６５は、測定側に隣接して位置する測定出口の位置に配置され得る。
【００２４】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、開放位置で磁気閉鎖要素１６１を保持するための保持要素１６３が提供され得る。図１を参照すると、保持要素１６３は、ばねなどの弾性要素であり得る。保持要素１６３は、磁気閉鎖要素１６１に結合され得る。更に、保持要素１６３は、測定出口１５０の通路の内壁に結合され得る。したがって、電磁装置１６５のスイッチが入り、磁気閉鎖要素１６１に磁力が及ぶ場合、磁気閉鎖要素は、電磁装置１６５の位置に向かって移動し、結果として、図２に示されるように、測定出口１５０が閉鎖される。図１及び図２から、当業者は、電磁装置１６５のスイッチが切れると、保持要素１６３が磁気閉鎖要素１６１に力を及ぼし、磁気閉鎖要素１６１がそれの最初の位置、例えば図１に示される開放状態の位置に戻ることを理解する。とりわけ、保持要素１６３は、磁気閉鎖要素１６１に弾力を及ぼし、例えば、図２に典型的に示されるように、磁気閉鎖要素１６１の閉鎖状態の位置の弾性細長保持要素１６３に蓄えられたばね力を及ぼし得る。
【００２５】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖要素１６１は、様々な形状寸法の形態をとることができる。特に、磁気閉鎖要素は、空気力学的形状、層促進形状、及び／又は乱気流低減形状を含み得る。例えば、磁気閉鎖要素１６１は、図２に典型的に示されるように、測定出口１５０の閉鎖状態において測定出口１５０を密閉するように構成される、球のような形状を有し得る。代替的には、磁気閉鎖要素１６１は、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又は任意の他の適した形状を含み得る。本明細書に記載の実施形態による磁気閉鎖要素１６１に使用され得る様々な形状寸法の例が、図５Ａから図５Ｃに示されている。例えば、図５Ａは、円錐のような又はコーヌスのような形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示し、図５Ｂは、二重円錐のような又はダイヤモンドのような形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示し、図５Ｃは、楕円形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示す。本明細書に記載の実施形態によれば、閉鎖要素１６１の形状寸法及び測定出口１５０の形状寸法は、閉鎖要素１６１の閉鎖位置において測定出口１５０が密閉されるように、互いに対して構成及び適合されると理解すべきである。
【００２６】
図１から図４に典型的に示されるように、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、電磁装置は、電源１８０に結合され得る。電源は、ＤＣ電源、ＡＣ電源などの可変電圧電源を含むことができる。例えば、電磁装置は、電源１８０によってエネルギー供給されるとき、磁気閉鎖要素１６１がエネルギー供給された電磁装置が配置される位置に向かって結果的に移動するように、磁気閉鎖要素１６１を磁気的に付勢し得る。磁気閉鎖要素１６１の移動が、図１において、磁気閉鎖要素１６１上の矢印によって、典型的に示されている。
【００２７】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、電磁装置１６５は、図１及び図２に典型的に示されるように、測定出口１５０周囲に配置されたリング磁石として構成され得る。代替的には、電磁装置１６５は、測定出口１５０周囲に配置される一又は複数の電磁要素を含み得る。一又は複数の電磁要素は、一又は複数の電磁要素にエネルギー供給するための電源１８０に結合することができる。
【００２８】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖要素１６１は、図３Ａ、図３Ｂ、図４、及び図５Ａから図５Ｃに典型的に示されるように、コーティング１６２を含み得る。コーティング１６２は、測定される蒸発材料に対して非反応性である材料を含み得る。とりわけ、コーティングは、蒸発有機材料に対して非反応性である材料を含み得る。例えば、コーティング１６２は、チタン（Ｔｉ）、セラミック、特に酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含み得る。したがって、磁気閉鎖要素１６１上での蒸発材料の蓄積は、低減又は回避さえされ得る。
【００２９】
図４を参照すると、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖機構１６０は、第１の電磁装置１６５Ａ及び第２の電磁装置１６６を含み得る。第１の電磁装置１６５Ａは、測定出口１５０の測定側１１１に隣接して位置する測定出口の位置に配置され、第２の電磁装置１６６は、測定側１１１の対向側に１１２に隣接して位置する測定出口の位置に配置され得る。したがって、蒸発材料の通路は、図１に典型的に示されるように第１の位置において、又は図３Ｂに典型的に示されるように第２の位置において、磁気閉鎖要素１６１によって遮断され得る。したがって、磁気閉鎖要素は、開放位置（図３Ａに典型的に示される）と第１の閉鎖位置（図１に典型的に示される）又は第２の閉鎖位置（図３Ｂに典型的に示される）との間を移動可能に構成され得る。２つの異なる閉鎖位置の間での磁気閉鎖要素のそのような見込まれる移動が、磁気閉鎖要素１６１における両面矢印によって図３Ａに典型的に示されている。
【００３０】
更に、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、図３Ａ及び図３Ｂに典型的に示されるように、第１の電磁装置１６５Ａと第２の電磁装置１６６との間に配置される第３の電磁装置１６７が提供され得る。例えば、第３の電磁装置１６７は、第１の閉鎖位置又は第２の閉鎖位置から図３Ａに示される開放位置に磁気閉鎖要素を移動させるために使用され得る。例えば、第３の電磁装置１６７は、電源１８０によってエネルギー供給されるとき、磁気閉鎖要素１６１が第３の電磁装置が配置される位置に向かって結果的に移動するように、磁気閉鎖要素１６１を磁気的に付勢し得る。したがって、第３の電磁装置１６７は、測定出口の開放状態が維持できるように、閉鎖要素を開放位置に保持するためだけではなく、閉鎖した測定出口を開放するためにも使用され得る。
【００３１】
図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、第１の電磁装置１６５Ａ，第２の電磁装置１６６及び第３の電磁装置１６７は、電源１８０に結合され得る。代替的には、第１の電磁装置１６５Ａ、第２の電磁装置１６６及び第３の電磁装置１６７の各々が、別個の電源（図示されず）に結合されてもよい。本明細書に記載の電源は、電源が結合されるそれぞれの電磁装置にエネルギー供給するために使用され、それぞれの電磁装置が磁気閉鎖要素１６１を磁気的に付勢し得ると理解すべきである。したがって、磁気閉鎖要素は、エネルギー供給されたそれぞれの電磁装置が配置される位置に向かって移動し得る。
【００３２】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定出口１５０への通路の内壁は、空気力学的形状寸法、層促進形状寸法及び／又は乱気流低減形状寸法を有するように構成され得る。更に、測定出口１５０への通路の内壁は、図４に典型的に示されるように、表面コーティング１５５を含み得る。表面コーティング１５５は、蒸発材料に対して非反応性である、特に蒸発有機材料に対して非反応性である材料を含み得る。例えば、コーティング１５５は、チタン（Ｔｉ）、セラミック、特に酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含み得る。したがって、測定出口１５０の通路の内壁における蒸発材料の蓄積は、低減され得、又は回避することさえでき、これは、測定出口１５０の閉塞を回避するために有益であり得る。
【００３３】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定アセンブリ１００は、図４に典型的に示されるような制御システム１７０を含み得る。制御システム１７０は、磁気閉鎖要素１６１に作用する磁力を生成するためにそれぞれの電磁装置に結合され得る。例えば、図４に示される例示的実施形態では、制御システム１７０は、第１の電磁装置１６５Ａ及び第２の電磁装置１６６に結合される。図１から図３に明確に示されていないが、当業者は、制御システム１７０が、図１及び図２に示す電磁装置１６５又は図３Ａ及び図３Ｂに示す第１の電磁装置１６５Ａ、第２の電磁装置１６６及び第３の電磁装置１６７に接続され得ることを理解する。図４に典型的に示されるように、制御システム１７０は、それぞれの電磁装置にエネルギー供給するための電源、例えば、第１の電磁装置１６５Ａにエネルギー供給するための第１の電源１８０Ａ、及び第２の電磁装置１６６にエネルギー供給するための第２の電源１８０Ｂに、結合され得る。とりわけ、制御システム１７０は、それぞれの電磁装置にエネルギー供給するために用いられるそれぞれの電源の電力を制御し得る。したがって、それぞれの電源の電力を制御することによって、それぞれの電磁装置が生成する磁力は調節され得、測定出口の閉鎖状態から測定出口の開放状態への又はその逆の切替時間を制御するのに有益であり得る。
【００３４】
図６Ａ及び図６Ｂは、本明細書に記載の実施形態による蒸発源２００の概略側面図を示す。実施形態によれば、蒸発源２００は、材料を蒸発させるように構成されている蒸発るつぼ２１０を含む。更に、蒸発源２００は、図６Ｂに典型的に示されるように、蒸発材料を提供するための分配管の長さに沿って設けられた一又は複数の出口２２２を有する分配管２２０を含む。実施形態によれば、分配管２２０は、図６Ｂに典型的に示されるように、例えば、蒸気導管２３２によって、蒸発るつぼ２１０と流体連通している。蒸気導管２３２は、分配管の中心部分で、又は分配管の下端と分配管の上端との間の別の位置で、分配管２２０に対して設けることができる。更に、本明細書に記載の実施形態による蒸発源２００は、本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリ１００を含む。したがって、堆積速度が高精度で測定できるような蒸発源２００が提供される。したがって、本明細書に記載の実施形態による蒸発源２００を用いることは、高品質なディスプレイ製造、特にＯＬＥＤ製造に有益であり得る。
【００３５】
図６Ａに例示的に示されるように、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、分配管２２０は、加熱要素２１５を含む細長いチューブであり得る。蒸発るつぼ２１０は、材料、例えば、有機材料を、加熱ユニット２２５で蒸発させるためのリザーバとすることができる。例えば、加熱ユニット２２５は、蒸発るつぼ２１０の筐体内に設けられ得る。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、分配管２２０は、線源を提供し得る。例えば、図６Ｂに例示的に示されるように、ノズルなどの複数の出口２２２は、少なくとも１つの線に沿って配置することができる。代替的実施形態（図示されず）によれば、少なくとも１つの線に沿って延びるスリットなどの１つの細長い孔が設けられ得る。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、線源は、本質的に垂直に延び得る。
【００３６】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、分配管２２０の長さは、堆積装置において材料が堆積する基板の高さに対応し得る。代替的には、分配管２２０の長さは、材料が堆積する基板の高さよりも長く、例えば少なくとも１０％又は２０％長いことがある。これにより、基板の上端及び／又は基板の下端における均一な堆積を提供することができる。例えば、分配管２２０の長さは、１．３ｍ以上、例えば２．５ｍ以上とすることができる。
【００３７】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、蒸発るつぼ２１０は、図６Ａに例示的に示されるように、分配管２２０の下端に設けられ得る。例えば有機材料などの材料は、蒸発るつぼ２１０で蒸発させることができる。蒸発材料は、分配管２２０の底部で分配管に侵入し、分配管２２０の複数の出口２２２を通して本質的に横向きに、例えば、本質的に垂直な基板に向かって、案内され得る。図６Ｂを参照すると、本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリ１００は、分配管２２０の上部分、特に上端に設けられ得る。
【００３８】
図６Ｂを参照すると、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定出口１５０は、分配管２２０の壁又は分配管の端部に、例えば、図６Ｂ及び図７に典型的に示されるような分配管の裏側２２４Ａの壁に、設けられ得る。代替的には、測定出口１５０は、分配管２２０の上壁２２４Ｃに設けられ得る。図６Ｂ及び図７で矢印１５１によって例示的に示されるように、蒸発材料は、分配管２２０の内側から測定出口１５０を通って測定アセンブリ１００まで提供され得る。
【００３９】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定出口１５０は、直径０．５ｍｍから４ｍｍまでの孔を有し得る。測定出口１５０は、ノズルを含み得る。例えば、ノズルは、測定アセンブリ１００に提供される蒸発材料の流れを調節するための調節可能な孔を含み得る。とりわけ、ノズルは、蒸発源によって提供される全流量の１／７０の下限、特に蒸発源によって提供される全流量の１／６０の下限、更に具体的には蒸発源によって提供される全流量の１／５０の下限から、蒸発源によって提供される全流量の１／４０の上限、特に蒸発源によって提供される全流量の１／３０の上限、更に具体的には蒸発源によって提供される全流量の１／２５の上限までの範囲から選択される測定流量を提供するように構成され得る。例えば、ノズルは、蒸発源によって提供される全流量の１／５４の測定流量を提供するように構成され得る。
【００４０】
図７は、本明細書に記載の実施形態による蒸発源２００の斜視図を示す。図７に典型的に示されるように、分配管２２０は、三角形状に設計され得る。三角形状の分配管２２０は、２以上の分配管が互いに隣合わせに配置される場合に有利であり得る。特に、三角形状の分配管２２０により、隣接する分配管の出口は、互いにできるだけ接近させることが可能になる。これにより、例えば、２つ、３つ又は更に多い異なる材料の同時蒸発の場合など、異なる分配管からの異なる材料の混合が改良可能となる。図７に典型的に示されるように、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定アセンブリ１００は、分配管２２０の中空空間、特に分配管の上端に設けられ得る。
【００４１】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、分配管２２０は、壁、例えば側壁２２４Ｂ、及び分配管の裏側２２４Ａにおける壁、例えば分配管の端部を含み、それらは加熱要素２１５によって加熱することができる。加熱要素２１５は、分配管２２０の壁に装着又は取り付けられ得る。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、蒸発源２００は、シールド２０４を含み得る。シールド２０４は、堆積エリアの方への熱放射を低減し得る。更に、シールド２０４は、冷却要素２１６によって冷却され得る。例えば、冷却要素２１６は、シールド２０４に装着され、流体を冷却するための導管を含み得る。
【００４２】
図８は、本明細書に記載の実施形態による真空チャンバ３１０の中の基板３３３に材料を塗布するための堆積装置３００の概略上面図を示す。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、蒸発源２００は、軌道、例えば線形ガイド３２０又はループ状軌道などの上の真空チャンバ３１０内に設けられ得る。線形ガイド３２０の軌道が、蒸発源２００の並進運動のために構成されてもよい。したがって、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、並進運動のためのドライバは、真空チャンバ３１０内の軌道及び／又は線形ガイド３２０において、蒸発源２００に提供することができる。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、隣接する真空チャンバ（図８には示されず）への真空密閉を可能にする、第１のバルブ３０５、例えばゲートバルブが設けられてもよい。第１のバルブは、基板３３３又はマスク３３２の真空チャンバ３１０内への又は真空チャンバ３１０から外への搬送のために開放することができる。
【００４３】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、保守真空チャンバ３１１などの更なる真空チャンバが、図８に典型的に示されるように、真空チャンバ３１０に隣接して設けられてもよい。したがって、真空チャンバ３１０及び保守真空チャンバ３１１は、第２のバルブ３０７に結合され得る。第２のバルブ３０７は、真空チャンバ３１０と保守真空チャンバ３１１との間の真空密閉を開閉するように構成され得る。蒸発源２００は、第２のバルブ３０７が開放状態にある間、保守真空チャンバ３１１に移送することができる。その後、第２のバルブ３０７は、真空チャンバ３１０と保守真空チャンバ３１１との間に真空密閉を設けるよう閉じることができる。第２のバルブ３０７が閉じられる場合、保守真空チャンバ３１１は、真空チャンバ３１０の中の真空を破壊せずに、蒸発源２００保守のために換気及び開放することができる。
【００４４】
図８に典型的に示されるように、２つの基板は、真空チャンバ３１０内のそれぞれの搬送軌道上で支持され得る。更に、その上にマスクを提供するための２つの軌道を設けることができる。したがって、コーティング中に、基板３３３は、それぞれのマスクによってマスキングすることができる。例えば、マスクは、マスク３３２を所定の位置に保持するために、マスクフレーム３３１に設けられ得る。
【００４５】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる幾つかの実施形態によれば、基板３３３は、位置合わせユニット３１２に結合することができる基板支持体３２６によって支持され得る。位置合わせユニット３１２は、マスク３３２に対する基板３３３の位置を調節し得る。図８に典型的に示されるように、基板支持体３２６は、位置合わせユニット３１２に結合され得る。したがって、基板は、材料の堆積中に、基板とマスクとの間で正確な位置合わせを行うために、マスク３３２に対して移動するのだが、これは高品質なディスプレイ製造に有益であり得る。代替的に又は追加的に、マスク３３２及び／又はマスク３３２を保持するマスクフレーム３３１は、位置合わせユニット３１２に結合することができる。したがって、マスク３３２を基板３３３に対して位置付けることができるか、マスク３３２及び基板３３３の双方を互いに対して位置付けることができるかのどちらかである。
【００４６】
図８に示されるように、線形ガイド３２０は、蒸発源２００の並進運動の方向を提供し得る。マスク３３２は、蒸発源２００の両側に設けられ得る。マスクは、並進運動の方向に実質的に平行に延び得る。更に、蒸発源２００の対向面の基板はまた、並進運動の方向に本質的に平行に延びることができる。図８に典型的に示されるように、堆積装置３００の真空チャンバ３１０に設けられた蒸発源２００は、線形ガイド３２０に沿った並進運動のために構成され得る支持体２０２を含み得る。例えば、支持体２０２は、２つの蒸発るつぼ、及び蒸発るつぼ２１０の上に設けられた２つの分配管２２０を支持し得る。これにより、蒸発るつぼで生成された蒸気は、上に向かって、分配管の一又は複数の排出口から移動することができる。
【００４７】
したがって、本明細書に記載の堆積装置は、改善された品質のディスプレイ製造、特にＯＬＥＤ製造を提供する。
【００４８】
図９において、本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための方法を図示するブロック図が示される。実施形態によれば、蒸発材料の堆積速度を測定するための方法４００は、材料、例えば有機材料を蒸発させること４１０と；蒸発材料の第１の部分を基板に塗布すること４２０と；蒸発材料の第２の部分を発振水晶１１０に転向させること４３０と；本明細書に記載の実施形態による測定アセンブリ１００を使用することによって堆積速度を測定すること４４０とを含む。したがって、本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための方法を用いることによって、堆積速度は、高い精度で測定され得る。とりわけ、本明細書に記載の堆積速度を測定するための方法を用いることによって、測定出口の閉鎖状態から測定出口の開放状態への又はその逆の切替時間を、堆積速度を測定するための従来の方法の切替時間よりも短縮することができる。更に、切替時間は、非常に正確に制御され得る。
【００４９】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、材料を蒸発させること４１０は、本明細書に記載されるような蒸発るつぼ２１０を使用することを含む。更に、蒸発材料の第１の部分を基板に塗布すること４２０は、本明細書に記載の実施形態による蒸発源２００を使用することを含み得る。本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、蒸発材料の第２の部分を発振水晶１１０に転向させること４３０は、本明細書に記載の実施形態による測定出口１５０を使用することを含み得る。とりわけ、蒸発材料の第２の部分を発振水晶１１０に転向させること４３０は、蒸発源によって提供される全流量の１／７０の下限、特に蒸発源によって提供される全流量の１／６０の下限、更に具体的には蒸発源によって提供される全流量の１／５０の下限から、蒸発源によって提供される全流量の１／４０の上限、特に蒸発源によって提供される全流量の１／３０の上限、更に具体的には蒸発源によって提供される全流量の１／２５の上限までの範囲から選択される測定流量を提供することを含み得る。例えば、蒸発材料の第２の部分を発振水晶１１０に転向させること４３０は、蒸発源によって提供される全流量の１／５４の測定流量を提供することを含み得る。
【００５０】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、堆積速度を測定すること４４０は、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴで堆積速度を測定することを含み得、本明細書に記載の実施形態による測定出口１５０は、第１の測定と第２の測定との間で閉鎖状態にある。例えば、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、測定された堆積速度に依存して調節され得る。特に、測定された堆積速度の依存は、堆積速度の関数であり得る。例えば、第１の測定及び／又は第２の測定は、５分以下、特に３分以下、より具体的には１分以下で実施され得る。
【００５１】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、５０分以下、特に３５分以下、より具体的には２０分以下に調節され得る。したがって、堆積速度の関数に依存した２つの測定の間の時間間隔を調節することによって、堆積速度の測定精度が増すことがある。特に、堆積速度の関数に依存して２つの測定の間の時間間隔を調節することによって、堆積測定デバイスの寿命が延長されることがある。特に、蒸発材料の堆積速度を測定するための測定デバイスの蒸発材料への露出は、最小値まで低減され、これは、測定デバイスの寿命全体、とりわけ発振水晶の寿命に有益となり得る。
【００５２】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、予め選択されたターゲット堆積速度の最初の調節中に、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、予め選択されたターゲット堆積速度に到達したときの第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴと比較して短くなり得る。例えば、予め選択されたターゲット堆積速度の最初の調節中に、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、１０分以下、特に５分以下、より具体的には３分以下であり得る。予め選択されたターゲット堆積速度に到達したとき、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、１０分の下限、特に２０分の下限、より具体的には３０分の下限と、３５分の上限、特に４５分の上限、より具体的には５０分の上限との間の範囲から選択され得る。特に、予め選択されたターゲット堆積速度に到達したとき、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴは、４０分であり得る。したがって、本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための方法を用いることによって、発振水晶上の蒸発材料の量は、蒸発材料の堆積速度を測定するために必要とされる実際の量まで最小化され、これは、発振水晶の寿命を延長するのに有利であり得る。
【００５３】
したがって、本明細書に記載の実施形態による蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ、蒸発源、堆積装置及び堆積速度を測定するための方法は、改善された堆積速度測定及び高品質なディスプレイの製造、例えば高品質なＯＬＥＤ製造を提供する。
【図１】
2018529014.tif 000003
【図２】
2018529014.tif 000004
【図３Ａ】
2018529014.tif 000005
【図３Ｂ】
2018529014.tif 000006
【図４】
2018529014.tif 000007
【図５Ａ】
2018529014.tif 000008
【図５Ｂ】
2018529014.tif 000009
【図５Ｃ】
2018529014.tif 000010
【図６Ａ】
2018529014.tif 000011
【図６Ｂ】
2018529014.tif 000012
【図７】
2018529014.tif 000013
【図８】
2018529014.tif 000014
【図９】
2018529014.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月5日(2018.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ（１００）であって、
前記堆積速度を測定するための測定装置（１１０）と、
蒸発材料を前記測定装置（１１０）に供給するための測定出口（１５０）と、
磁力によって前記測定出口（１５０）を開閉するように構成された磁気閉鎖機構（１６０）と
を備える測定アセンブリ（１００）。
【請求項２】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で移動するように構成された磁気閉鎖要素（１６１）を備える、請求項１に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項３】
前記閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備える、請求項２に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項４】
前記コーティング（１６２）が、チタン（Ｔｉ）及びセラミックから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む、請求項３に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項５】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、少なくとも１つの強磁性材料を含む、請求項２から４の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項６】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、前記測定出口（１５０）の閉鎖状態において前記測定出口（１５０）を密閉するように構成されている、球のような形状、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又はこれらの任意の組み合わせから成る群から選択された形状を備える、請求項２から５の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項７】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、磁気閉鎖要素（１６１）に磁力を及ぼすように構成された電磁装置（１６５）を備える、請求項１から６の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項８】
前記電磁装置（１６５）に結合され、前記電磁装置（１６５）を介して閉鎖状態と開放状態との間で前記磁気閉鎖要素を制御するように構成された制御システムを更に備える、請求項７に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項９】
前記測定出口（１５０）がノズルである、請求項１から８の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１０】
前記閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備え、前記磁気閉鎖要素（１６１）が球のような形状を備え、前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の前記開放状態と前記閉鎖状態との間で前記磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備え、かつ前記測定アセンブリが、前記電磁装置（１６５）にエネルギー供給するための電源（１８０）を更に備える、請求項２に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１１】
材料蒸発のための蒸発源（２００）であって、
蒸発るつぼ（２１０）と、
分配管の長さに沿って設けられた一又は複数の出口（２２２）を有する、前記蒸発るつぼ（２１０）と流体連通している分配管（２２０）と、
請求項１から１０の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）と
を備える蒸発源（２００）。
【請求項１２】
前記測定出口（１５０）及び前記測定アセンブリ（１００）が、前記分配管（２２０）の端部に配置されている、請求項１１に記載の蒸発源（２００）。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の少なくとも１つの蒸発源（２００）を備える、堆積速度で真空チャンバ（３１０）の中の基板（３３３）に材料を塗布するための堆積装置（３００）。
【請求項１４】
蒸発材料の堆積速度を測定するための方法（４００）であって、
材料を蒸発させること（４１０）と、
蒸発した前記材料の第１の部分を基板に塗布すること（４２０）と、
選択的に、蒸発した前記材料の第２の部分を測定装置（１１０）に転向させること（４３０）と、
請求項１から１０の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）を使用することによって、前記堆積速度を測定すること（４４０）と
を含む方法（４００）。
【請求項１５】
前記堆積速度を測定すること（４２０）が、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔ΔＴで前記堆積速度を測定することを含み、前記測定出口（１５０）が、前記第１の測定と前記第２の測定との間で閉鎖状態にある、請求項１４に記載の方法（４００）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖要素１６１は、様々な形状寸法の形態をとることができる。特に、磁気閉鎖要素は、空気力学的形状、層促進形状、及び／又は乱気流低減形状を含み得る。例えば、磁気閉鎖要素１６１は、図２に典型的に示されるように、測定出口１５０の閉鎖状態において測定出口１５０を密閉するように構成される、球のような形状を有し得る。代替的には、磁気閉鎖要素１６１は、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又は任意の他の適した形状を含み得る。本明細書に記載の実施形態による磁気閉鎖要素１６１に使用され得る様々な形状寸法の例が、図５Ａから図５Ｃに示されている。例えば、図５Ａは、円錐のような又はコーヌスのような形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示し、図５Ｂは、二重円錐のような又はダイヤモンドのような形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示し、図５Ｃは、楕円形状を有する磁気閉鎖要素１６１を示す。本明細書に記載の実施形態によれば、磁気閉鎖要素１６１の形状寸法及び測定出口１５０の形状寸法は、磁気閉鎖要素１６１の閉鎖位置において測定出口１５０が密閉されるように、互いに対して構成及び適合されると理解すべきである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖要素１６１は、図３Ａ、図３Ｂ、図４、及び図５Ａから図５Ｃに典型的に示されるように、コーティング１６２を含み得る。コーティング１６２は、測定される蒸発材料に対して非反応性である材料を含み得る。とりわけ、コーティングは、蒸発有機材料に対して非反応性である材料を含み得る。例えば、コーティング１６２は、チタン（Ｔｉ）、セラミック、特に酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、及び酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含み得る。したがって、磁気閉鎖要素１６１上での蒸発材料の蓄積は、低減又は回避さえされ得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図４を参照すると、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、磁気閉鎖機構１６０は、第１の電磁装置１６５Ａ及び第２の電磁装置１６６を含み得る。第１の電磁装置１６５Ａは、測定出口１５０の測定側１１１に隣接して位置する測定出口の位置に配置され、第２の電磁装置１６６は、測定側１１１の対向側に１１２に隣接して位置する測定出口の位置に配置され得る。したがって、蒸発材料の通路は、図２に典型的に示されるように第１の位置において、又は図３Ｂに典型的に示されるように第２の位置において、磁気閉鎖要素１６１によって遮断され得る。したがって、磁気閉鎖要素は、開放位置（図３Ａに典型的に示される）と第１の閉鎖位置（図２に典型的に示される）又は第２の閉鎖位置（図３Ｂに典型的に示される）との間を移動可能に構成され得る。２つの異なる閉鎖位置の間での磁気閉鎖要素のそのような見込まれる移動が、磁気閉鎖要素１６１における両面矢印によって図３Ａに典型的に示されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
更に、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、図３Ａ及び図３Ｂに典型的に示されるように、第１の電磁装置１６５Ａと第２の電磁装置１６６との間に配置される第３の電磁装置１６７が提供され得る。例えば、第３の電磁装置１６７は、第１の閉鎖位置又は第２の閉鎖位置から図３Ａに示される開放位置に磁気閉鎖要素を移動させるために使用され得る。例えば、第３の電磁装置１６７は、電源１８０によってエネルギー供給されるとき、磁気閉鎖要素１６１が第３の電磁装置が配置される位置に向かって結果的に移動するように、磁気閉鎖要素１６１を磁気的に付勢し得る。したがって、第３の電磁装置１６７は、測定出口の開放状態が維持できるように、磁気閉鎖要素を開放位置に保持するためだけではなく、閉鎖した測定出口を開放するためにも使用され得る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定出口１５０への通路の内壁は、空気力学的形状寸法、層促進形状寸法及び／又は乱気流低減形状寸法を有するように構成され得る。更に、測定出口１５０への通路の内壁は、図４に典型的に示されるように、表面コーティング１５５を含み得る。表面コーティング１５５は、蒸発材料に対して非反応性である、特に蒸発有機材料に対して非反応性である材料を含み得る。例えば、コーティング１５５は、チタン（Ｔｉ）、セラミック、特に酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、及び酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含み得る。したがって、測定出口１５０の通路の内壁における蒸発材料の蓄積は、低減され得、又は回避することさえでき、これは、測定出口１５０の閉塞を回避するために有益であり得る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる実施形態によれば、測定アセンブリ１００は、図４に典型的に示されるような制御システム１７０を含み得る。制御システム１７０は、磁気閉鎖要素１６１に作用する磁力を生成するためにそれぞれの電磁装置に結合され得る。例えば、図４に示される例示的実施形態では、制御システム１７０は、第１の電磁装置１６５Ａ及び第２の電磁装置１６６に結合される。図１から図３Ｂに明確に示されていないが、当業者は、制御システム１７０が、図１及び図２に示す電磁装置１６５又は図３Ａ及び図３Ｂに示す第１の電磁装置１６５Ａ、第２の電磁装置１６６及び第３の電磁装置１６７に接続され得ることを理解する。図４に典型的に示されるように、制御システム１７０は、それぞれの電磁装置にエネルギー供給するための電源、例えば、第１の電磁装置１６５Ａにエネルギー供給するための第１の電源１８０Ａ、及び第２の電磁装置１６６にエネルギー供給するための第２の電源１８０Ｂに、結合され得る。とりわけ、制御システム１７０は、それぞれの電磁装置にエネルギー供給するために用いられるそれぞれの電源の電力を制御し得る。したがって、それぞれの電源の電力を制御することによって、それぞれの電磁装置が生成する磁力は調節され得、測定出口の閉鎖状態から測定出口の開放状態への又はその逆の切替時間を制御するのに有益であり得る。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月6日(2018.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発材料の堆積速度を測定するための測定アセンブリ（１００）であって、
前記堆積速度を測定するための測定装置と、
蒸発材料を前記測定装置に供給するための測定出口（１５０）と、
磁力によって前記測定出口（１５０）を開閉するように構成された磁気閉鎖機構（１６０）と
を備え、
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で、前記測定出口（１５０）を通過する前記蒸発材料の通過方向と平行な方向に沿って移動するように構成された磁気閉鎖要素（１６１）を備える、測定アセンブリ（１００）。
【請求項２】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備える、請求項１に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項３】
前記コーティング（１６２）が、チタン（Ｔｉ）、セラミック、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、及び酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）から成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む、請求項２に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項４】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、強磁性材料、鉄、ニッケル、コバルト、希少金属合金、及び強磁性合金から成る群から選択された少なくとも１つの磁性材料を含む、請求項１から３の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項５】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、前記測定出口（１５０）の閉鎖状態において前記測定出口（１５０）を密閉するように構成されている、球のような形状、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又はこれらの任意の組み合わせから成る群から選択された形状を備える、請求項１から３の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項６】
前記磁気閉鎖要素（１６１）が、前記測定出口（１５０）の閉鎖状態において前記測定出口（１５０）を密閉するように構成されている、球のような形状、楕円形状、円錐のような形状、二重円錐のような形状、ピラミッド形状、ダイヤモンドのような形状又はこれらの任意の組み合わせから成る群から選択された形状を備える、請求項４に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項７】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備える、請求項１から３の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項８】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備える、請求項４に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項９】
前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の開放状態と閉鎖状態との間で磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備える、請求項５に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１０】
前記電磁装置（１６５）に結合され、前記電磁装置（１６５）を介して閉鎖状態と開放状態との間で前記磁気閉鎖要素を制御するように構成された制御システムを更に備える、請求項７に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１１】
前記測定出口（１５０）が、蒸発源によって提供される全流量の１／７０から蒸発源によって提供される全流量の１／２５までの測定流量を提供するように構成されたノズルである、請求項１から３の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１２】
前記測定出口（１５０）が、蒸発源によって提供される全流量の１／７０から蒸発源によって提供される全流量の１／２５までの測定流量を提供するように構成されたノズルである、請求項１０に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１３】
前記閉鎖要素（１６１）が、前記蒸発材料に対して非反応性である材料のコーティング（１６２）を備え、前記磁気閉鎖要素（１６１）が球のような形状を備え、前記磁気閉鎖機構（１６０）が、前記測定出口（１５０）の前記開放状態と前記閉鎖状態との間で前記磁気閉鎖要素（１６１）を移動させるように構成された電磁装置（１６５）を備え、かつ前記測定アセンブリが、前記電磁装置（１６５）にエネルギー供給するための電源（１８０）を更に備える、請求項１に記載の測定アセンブリ（１００）。
【請求項１４】
材料蒸発のための蒸発源（２００）であって、
材料を蒸発させるように構成された蒸発るつぼ（２１０）と、
蒸発した材料を提供するための分配管の長さに沿って設けられた一又は複数の出口（２２２）を有する分配管（２２０）であって、前記蒸発るつぼ（２１０）と流体連通している分配管（２２０）と、
請求項１から９の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）と
を備える蒸発源（２００）。
【請求項１５】
前記測定出口（１５０）及び前記測定アセンブリ（１００）が、前記分配管（２２０）の端部に配置されている、請求項１４に記載の蒸発源（２００）。
【請求項１６】
前記測定出口（１５０）及び前記測定アセンブリ（１００）が、前記分配管（２２０）の端部の上壁（２２４Ａ）に配置されている、請求項１５に記載の蒸発源（２００）。
【請求項１７】
請求項１４から１６のいずれか一項に記載の少なくとも１つの蒸発源（２００）を備える、堆積速度で真空チャンバ（３１０）の中の基板（３３３）に材料を塗布するための堆積装置（３００）。
【請求項１８】
蒸発材料の堆積速度を測定するための方法（４００）であって、
材料を蒸発させること（４１０）と、
蒸発した前記材料の第１の部分を基板に塗布すること（４２０）と、
蒸発した前記材料の第２の部分を測定装置に転向させること（４３０）と、
請求項１から１３の何れか一項に記載の測定アセンブリ（１００）を使用することによって、前記堆積速度を測定すること（４４０）と
を含む方法（４００）。
【請求項１９】
前記堆積速度を測定すること（４４０）が、第１の測定と第２の測定との間の時間間隔で前記堆積速度を測定することを含み、前記測定出口（１５０）が、前記第１の測定と前記第２の測定との間で閉鎖状態にある、請求項１８に記載の方法（４００）。
【国際調査報告】
2018529014.tif 000016
2018529014.tif 000017
2018529014.tif 000018