【事件の表示】
　特願２０００−１７７５８６「空間フィルタを備える線狭帯域レーザ」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　２月１６日出願公開、特開２００１−　４４５４９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１２年５月１０日に出願された特許出願（パリ条約による優先権主張１９９９年５月１０日、米国）であって、平成１５年３月１９日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月３０日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年７月３０日に手続補正がなされたものである。
　　
２．平成１５年７月３０日付手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
平成１５年７月３０日付手続補正を却下する。
[理由]
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】　
出力ビームを有する
Ａ）レーザビームを生成するために放電励起レーザガスを包含する利得媒体と、
Ｂ）前記利得媒体に生成された波長依存方位レーザ光に散乱するように、散乱方向を決める回折グレーティングベース散乱エレメントを包含する線狭帯域化光学素子と、
Ｃ）アパーチャ位置を定義するように位置決めされたアパーチャと、前記アパーチャ位置で焦点を各々有する少なくとも２つの焦点合わせエレメントとを包含する空間フィルタと、を有し、
　前記空間フィルタが、所望の波長範囲より長い又は短い波長でビーム光の外にフィルタリングするように、前記レーザビーム
光路内
配置
前記空間フィルタが前記出力ビームのバンド幅を実質的に低減させる
と補正された。
　上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項について、技術的限定を付加したものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の上記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　　
（２）引用例
　原審の拒絶の理由に引用された特開平３−２５０７７６号公報（以下、「引用例」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　ａ．「[産業上の利用分野]
　本発明はステッパー用の光源として使用される狭帯域発振エキシマレーザに関する。」（１頁右欄最下行〜２頁左上欄１行）、
　ｂ．「ところで、ステッパーの光源として利用されるエキシマレーザとしては線幅３ｐｍ以下の狭帯化が要求され、しかも大きな出力パワーが要求される。」（２頁左上欄１４〜１７行）、
　ｃ．「・・・従来技術では一般にビーム拡がりが大きいので出力制御のために放電電圧を変化させると、放電幅が変化して、波長線幅及び発振効率が変化するという問題があった。
　この発明はこのような事情に鑑がみてなされたもので、狭帯域化及び装置の長寿命化を図ると共に波長の制御性を向上させ、さらに波長線幅が放電幅に左右されずに高出力を得ることができる狭帯域発振エキシマレーザを提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
　上記目的を達成するためこの発明においては、狭帯域化素子としてグレーティングを具えた狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングとレーザチャンバとの間に空間フィルタを配置するようにしている。」（２頁右下欄１１行〜３頁左上欄６行）
　ｄ．「[実施例]
　以下、この発明の実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。
　第１図はこの発明の狭帯域発振エキシマレーザの一実施例を示した側面図である。この実施例の狭帯域発振エキシマレーザは、フロントミラー１と、リアミラーおよび波長選択素子の機能を有するグレーティング６との間に、レーザチャンバ３、および
波長選択素子として機能する空間フィルタ２０
　ｅ．「第５図（ａ）、（ｂ）は第４図に示した実施例にプリズムビームエキスパンダ１０を追加したこの発明の他の実施例を平面図および側面図で示したものであり、プリズムビームエキスパンダ１０は空間フィルタ２０とグレーティング６の間に配置するようにしている。」（４頁左上欄１７行〜同頁右上欄２行）
　ｆ．「[発明の効果]
　以上説明したようにこの発明によれば、・・・
（２）
空間フィルタによりビーム拡がりを小さくしているので、放電幅が変化しても波長線幅が変化しないようになり、
・・・などの優れた効果を奏する。」（４頁左下欄１７行〜同頁右下欄１４行）
　ｇ．第１図から、「集光レンズ４，４’の間にアパーチャ５が配置され、集光レンズ４，４’の焦点がアパーチャ５の位置にある空間フィルタ２０が、レーザビーム光路内に配置されている」点が見て取れる。
　
（３）対比・判断
　そこで、本願補正発明と引用例に記載のものとを以下に対比する。
　ア．引用例に記載のものは、「ステッパー用の光源として使用される狭帯域発振エキシマレーザ」（上記ａ）であって、当該狭帯域発振エキシマレーザが出力ビームを有することは自明であるから、上記事項が、本願補正発明の「出力ビームを有する線狭帯域化ガス放電レーザ」に相当することは明らかである。
　
　イ．引用例の「レーザチャンバ３」（上記ｄ）は、エキシマガスを収納しレーザビームを生成する容器に他ならないから、本願補正発明の「Ａ）レーザビームを生成するために放電励起レーザガスを包含する利得媒体」に相当する。
　
　ウ．引用例の「リアミラーおよび波長選択素子の機能を有するグレーティング６」（上記ｄ）が、レーザチャンバ３が生成したレーザビームの波長を選択し、挟帯域化を図るグレーティング素子であることは自明であるから、上記事項が、本願補正発明の「Ｂ）前記利得媒体に生成された波長依存方位レーザ光に散乱するように、散乱方向を決める回折グレーティングベース散乱エレメントを包含する線狭帯域化光学素子」に相当することは明らかである。
　
　エ．引用例の「空間フィルタ２０」は、「集光レンズ４，４’の間にアパーチャ５が配置され、集光レンズ４，４’の焦点がアパーチャ５の位置にある」（上記ｆ）ように構成されているから、本願補正発明の「Ｃ）アパーチャ位置を定義するように位置決めされたアパーチャと、前記アパーチャ位置で焦点を各々有する少なくとも２つの焦点合わせエレメントとを包含する空間フィルタ」に相当することは明らかである。
　
　オ．さらに、引用例の「空間フィルタ２０」は、「波長選択素子として機能する空間フィルタ２０」（上記ｄ）であって、「空間フィルタによりビーム拡がりを小さくしているので、放電幅が変化しても波長線幅が変化しないようになり、」（上記ｆ）との作用効果を奏するものであるから、このものが、レーザビーム光路内に配置され（上記ｇ）、放電幅が変化して利得媒体が生成するレーザビームのバンド幅が広がった場合にも、それを所定のバンド幅に狭く抑える波長選択素子として機能するものであることは明らかである。
　一方、本願補正発明の空間フィルタは、「前記空間フィルタが、所望の波長範囲より長い又は短い波長でビーム光の外にフィルタリングするように、前記レーザビーム光路内に配置され、前記空間フィルタが前記出力ビームのバンド幅を実質的に低減させる」ものであって、上記構成のうち「所望の波長範囲より長い又は短い波長でビーム光の外にフィルタリングするように・・・前記出力ビームのバンド幅を実質的に低減させる」は、空間フィルタが、レーザビームのバンド幅をより狭くする波長選択機能を有することを述べているものと解される。
　そうすると、引用例に記載の「空間フィルタ２０」は、レーザビーム光路内に配置され、レーザビームのバンド幅を所定のバンド幅に狭く抑える波長選択素子として機能するものであるから、本願補正発明の空間フィルタに関する上記事項に相当することは明らかである。
　　
　上記ア〜オによれば、引用例に記載のものは、本願補正発明のすべての構成要件を充足するから、両者は同一であるといえる。
　
　なお、請求人は、平成１５年９月１７日付け手続補正書（請求理由）において、本願補正発明は引用例に記載のものと以下の点で構成が相違するので特許されるべきであると主張しているので、これについて一応検討しておく。
　曰く、「引用例には『前記出力ビームの光路内に配置された空間フィルタ』についての開示がない。すなわち、本願補正発明の空間フィルタは、『出力』ビーム光をフィルタリングするように、レーザキャビティの外で出力ビームの光路内に位置決めされたものであるのに対し、引用例にはかかる構成は記載されていない。」
　
　空間フィルタの位置に関する本願補正発明の日本語の表記は、「前記空間フィルタが、所望の波長範囲より長い又は短い波長でビーム光の外にフィルタリングするように、
前記レーザビーム光路内に配置され
　これによれば、本願補正発明の空間フィルタは単に「
前記レーザビーム光路内に配置され
　また、上記空間フィルタ位置に関する本願補正発明のうち「前記空間フィルタが前記出力ビームのバンド幅を実質的に低減させる」は、空間フィルタの位置を直接規定した事項ではないから、結果的に空間フィルタの作用で出力ビームのバンド幅をより狭くできること、すなわち、引用例の空間フィルタの作用である「波長選択素子として機能する空間フィルタ２０」（上記ｄ）と同様の意味で挟帯域化に寄与することと解するのが相当であり、かかる記載から「前記出力ビームの光路内に配置された空間フィルタ」と限定して解釈することはできない。
　さらに、請求人は、「空間フィルタは、・・・レーザキャビティの外で出力ビームの光路内に位置決めされたものである」とも主張するが、かかる構成は本願補正発明に記載がない。のみならず、本願補正発明を引用する請求項７にかかる発明が、上記主張とは裏腹に出願当初から「空間フィルタが前記共鳴キャビティの内側に配置されたこと」と規定されていることからみても、本願補正発明に当該事項の記載がないことは明らかである。
　したがって、請求人の上記主張は、本願補正発明の範囲外の事項にかかる主張であるから、採用できない。
　
　さらに附言するならば、「空間フィルタは、・・・レーザキャビティの外で出力ビームの光路内に位置決めされたものである」なる構成は、周知技術にすぎないので、上記主張によっても本願補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないとの判断に変わりはない。
　例えば、原審の拒絶の理由に引用された欧州特許出願公開第８２０１３２号明細書（第２７図）、レーザハンドブック，オーム社，１９８２年１２月１５日，第２２７頁，第７８３頁などを参照されたい。
　
　結局、本願補正発明は、引用例に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　　
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１５年７月３０日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、平成１５年２月１２日付手続補正の特許請求の範囲の請求項１〜１４に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、次のものである。
「【請求項１】　線狭帯域化ガス放電レーザであって、
Ａ）レーザビームを生成するために放電励起レーザガスを包含する、利得媒体と、
Ｂ）前記利得媒体に生成された波長依存方位レーザ光に散乱するように、散乱方向を決める回折グレーティングベース散乱エレメントを包含する線狭帯域化光学素子と、
Ｃ）アパーチャ位置を定義するように位置決めされたアパーチャと、前記アパーチャ位置で焦点を各々有する少なくとも２つの焦点合わせエレメントとを包含する空間フィルタと、を有し、
前記空間フィルタが、所望の波長範囲より長い又は短い波長でビーム光の外にフィルタリングするように、前記レーザビームにアライメントされる、ことを特徴とする線狭帯域化ガス放電レーザ。」
　　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、上記「２．（２）」に記載したとおりである。
　　
（３）対比・判断
　本願発明は、本願補正発明の「
出力ビームを有する
光路内
配置
前記空間フィルタが前記出力ビームのバンド幅を実質的に低減させる
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「２．（３）」に記載したとおり、引用例に記載された発明と同一なのであるから、本願発明も同様の理由により引用例に記載された発明と同一である。
　　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。