【事件の表示】
　平成１１年特許願第１４１４６７号「インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年１１月２８日出願公開、特開２０００−３２８２６６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本願は、平成１１年５月２１日に出願されたものであって、平成１５年１０月２１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１５年１１月２７日付けで拒絶査定に対する審判請求がなされると共に、平成１５年１２月１１日付けで手続補正がなされたものである。
　
ＩＩ．平成１５年１２月１１日付け手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年１２月１１日付け手続補正を却下する。
　
［理　　由］
（１）手続補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１の
「【請求項１】圧電振動子を備えたインクジェットへッドの振動板を製造する方法であって、
　前記振動板となる金属薄板に高分子延伸フィルムが接合され、前記金属薄板の他方の面に感光性樹脂を塗布し露光現像することによってエッチングパターンを形成し、
　加工用水溶液を高圧ガスと混合しノズルから噴霧することにより前記金属薄板をエッチング加工し、
　エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅を１０μｍ以下としたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」を、
「【請求項１】金属薄板に高分子延伸フィルムが接合され、前記金属薄板の他方の面に感光性樹脂を塗布し露光現像することによってエッチングパターンを形成し、
　加工用水溶液を高圧ガスと混合してノズルから噴霧する事により、前記金属薄板をエッチング加工するインクジェットヘッドの製造方法であって、
　前記金属薄板の前記感光性樹脂を塗布した面の温度を３０℃以上に設定し、
　前記金属薄板とノズルとの距離を３５ｍｍ以下にすることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」とする補正事項を含むものである。
　
（２）補正の適否
　上記補正事項は、補正前の「エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅を１０μｍ以下とした」という発明を特定するために必要な事項を削除するものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号の「請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するもの」に該当するとはいえない。
　また、上記補正事項が、同項第１号の「請求項の削除」、同項第３号の「誤記の訂正」、同項第４号の「明りょうでない記載の釈明」のいずれにも該当しないことは明らかである。
　
（３）まとめ
　したがって、上記補正事項を含む本件補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項の規定によって読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
ＩＩＩ．本願発明について
１．本願発明
　前記したとおり平成１５年１２月１１日付け手続補正は却下されたから、本願の請求項１乃至１１に係る発明は、平成１５年１０月２日付け手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至１１に記載された事項により特定されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は、次のとおりである（以下、「本願発明１」という）。
「【請求項１】圧電振動子を備えたインクジェットへッドの振動板を製造する方法であって、
　前記振動板となる金属薄板に高分子延伸フィルムが接合され、前記金属薄板の他方の面に感光性樹脂を塗布し露光現像することによってエッチングパターンを形成し、
　加工用水溶液を高圧ガスと混合してノズルから噴霧することにより前記金属薄板をエッチング加工し、
　エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅を１０μｍ以下としたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」
　
２．原査定の理由
　本願発明１に関する原査定の拒絶の理由の概要は、本願発明１は、その出願前に日本国内において頒布された刊行物である引用例１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　
３．引用例と主な記載事項
　上記引用例１〜４とそれらの主な記載事項は、次のとおりである。
（１）引用例１：特開昭６２−１５１５８３号公報
（１ａ）「エッチング液をスプレーノズルから噴霧させて被加工物表面に吹き付けてエッチング処理を行なうに際し、前記スプレーノズルにエッチング液と共に圧縮空気を同時給送し、両者を混合状態にして高速噴射せしめることを特徴とするスプレーエッチング方法。」（特許請求の範囲第１項）
（１ｂ）「従来、・・・選択除去手段としてエッチング液を用い、これをスプレーノズルから霧状に噴出させ被加工物の表面に吹き付けることによりエッチング処理を行う、いわゆるスプレーノズルと称される方法が広く用いられている。・・・ところが、この種のエッチング方法は、・・・その加工に方向性がなく、被加工面と垂直な方向のみならず水平な方向へも加工される、いわゆるサイドエッチと称される現象が生じ、加工精度を低下させるという本質的な問題を内包している。
　又、一方において・・・加工精度を高く維持しつつ加工速度の増大を図ることが切望されていた。
　この発明は、前記の問題点を解決し、エッチングの加工速度を増大すると共に、加工精度を向上しうる改善されたスプレーエッチング方法を提供することを目的とするものである。」（第１頁右下欄第７行〜第２頁左上欄第１３行）
（１ｃ）「この発明による前記のスプレーノズル方法によれば、スプレーノズルにエッチング液とともに圧縮空気を同時送給することによって、エッチング液のスプレーノズルからの噴出速度が増大され、もってエッチング液の被加工面への衝突速度が増大される。これにより、拡散層付近のエッチング液をより激しく撹拌することにより拡散層を薄くして電気化学的反応速度を増大させると共に、被加工面に生成した不溶性反応物を速やかに除去させることにより、加工速度の著しい増大を可能とするものである。
　また、エッチング加工精度の良否を判断する目安の１つとして用いられるエッチングファクターの改善をも実現しうるものである。」（第３頁右下欄５〜１８行）
（１ｄ）第６図には、実施例１〜３のエッチファクター〔（サイドエッチの最大幅Ｗ２−フォトレジストの形成されていない露出部分の幅Ｗ１）／加工深さＤ〕が約０．５５〜０．８程度であったことが示されている。（第６頁の第６図及び第４頁左上欄のエッチファクターの式参照）
（２）引用例２：特開平０９−３２４２８５号公報
（３）引用例３：特開平０８−２８３９６６号公報
（４）引用例４：特開平１０−１９３６１２号公報
（４ａ）「【請求項１】ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生室、インク供給口、及びリザーバを形成するスペーサと、前記圧力発生室に対向するアイランド部を備えた弾性板とを接合して形成された流路ユニットと、
　前記アイランド部に当接してインク滴を吐出させる縦振動モードの圧電振動子とからなるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
　前記アイランド部の先端にオーバハングするように固定されている高分子フィルムを有するインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】前記アイランド部が金属の薄板をエッチングすることにより形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】前記高分子フィルムが感光性樹脂フィルムである請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】前記金属の薄板の厚みが１０乃至２０μｍである請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】前記弾性板が、金属薄板と高分子延伸フィルムとを接着剤を介して接合されたラミネート材により構成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】前記高分子フィルムの厚みが１０乃至４０μｍである請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】前記圧電振動子と前記高分子フィルムとが接着剤層を介して固定されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】前記感光性フィルムが前記金属の薄板のエッチング保護膜を兼ねる請求項１または３に記載のインクジェット式記録ヘッド。」（【特許請求の範囲】）
（４ｂ）「厚さ２０μｍの金属の薄板、例えばステンレス鋼板９の一方の面に・・・厚さ４μｍ程度の高分子延伸フィルム８・・・を接着してラミネート材２５を構成する（図６（I））。・・・ついでラミネート材２０のステンレス鋼板９が表面となるように・・・セットし、ステンレス鋼板９の表面に感光性樹脂フィルム２４を貼り付け・・・（図６（II））。この状態で、エッチングすべきパターンを形成したマスクを用いて感光性樹脂フィルム２４を露光して、アイランド部１２となる領域に感光性樹脂フィルム２４を残し、またダイヤフラム部１１には貫通孔となるエッチング保護膜を形成する（図６（III））。ついで、このエッチング保護膜を用いてラミネート材２５をエッチングする・・・（図６（IV））。・・・エッチングが進行すると、ステンレス鋼板９の厚み方向だけでなく、水平方向にもエッチングが進行する・・・（図６（Ｖ））。さらにエッチングが進行すると接着剤８が露出してステンレス鋼板９の厚み方向のエッチングが停止するから、エッチングを終了する。これにより接着剤層１０と高分子延伸フィルム８のからなる薄肉部、つまりダイヤフラム部１１に囲まれたアイランド部１２が形成され・・・アイランド部１２が断面台形状に形成されることになる（図６（VI））。・・・圧電振動子２０の先端に接着剤Ｐを塗布して、・・・圧電振動子２０の先端が・・・弾性板７のアイランド部１２に接着剤Ｐを介して当接する。このとき、・・・圧電振動子２０とアイランド部１２とを固定する接着剤の流れ出しを感光性樹脂フィルム２４によりダイヤフラム部１１への流れ出しを完全に防止できるから、アイランド部１２の高さＨ（図５（ロ））は、圧電振動子２０の変位を圧力発生室４に伝達できる程度の可及的に小さな値、つまりダイヤフラム部１１への接着剤Ｐの流れ出しを阻止するための余裕を見込む必要がないから、厚さ２０μｍ以下のものを使用することができ、アイランド部の先端の幅Ｗ１と底部の幅Ｗ２との差を可及的に小さくすることが可能となり、アイランド部を理想の形状、もしくは高い精度で形成して記録ヘッドの高密度化を可能ならしめる。このようにして・・・インクジェット式記録ヘッドが完成する。」（段落【００１３】〜【００２３】）
（４ｃ）「【図６】図（Ｉ）乃至（ＶＩ）は、それぞれ同上弾性板の製造工程を示す図である。」（【図面の簡単な説明】）
（４ｄ）図５（ロ）には、接着剤層を介して高分子延伸フィルム上に存在する断面台形状のアイランド部であって、底部の幅がＷ２、先端の幅がＷ１、高さ（金属薄板の厚さ）がＨであり、断面台形状の両斜辺がほぼ対称なアイランド部が示されている。
　
４．当審の判断
４−１．引用例４記載の発明
　引用例４の上記（４ａ）には、「・・・アイランド部を備えた弾性板とを接合して形成された流路ユニットと、前記アイランド部に当接してインク滴を吐出させる縦振動モードの圧電振動子とからなるインクジェット式記録ヘッド・・・」と記載されているから、引用例４には、「弾性板のアイランド部に当接する圧電振動子を備えたインクジェット式記録ヘッド」が記載されているといえる。
　また、上記（４ｂ）には、そのような「弾性板のアイランド部に当接する圧電振動子を備えたインクジェット式記録ヘッド」乃至「圧電振動子を備えたインクジェット式記録ヘッドの弾性板」の製造方法について、「厚さ２０μｍの金属の薄板、例えばステンレス鋼板９の一方の面に・・・厚さ４μｍ程度の高分子延伸フィルム８・・・を接着してラミネート材２５を構成する（図６（I））。・・・ついでラミネート材２０のステンレス鋼板９が表面となるように・・・セットし、ステンレス鋼板９の表面に感光性樹脂フィルム２４を貼り付け・・・（図６（II））。この状態で、エッチングすべきパターンを形成したマスクを用いて感光性樹脂フィルム２４を露光して、アイランド部１２となる領域に感光性樹脂フィルム２４を残し、またダイヤフラム部１１には貫通孔となるエッチング保護膜を形成する（図６（III））。ついで、このエッチング保護膜を用いてラミネート材２５をエッチングする・・・（図６（IV））。・・・エッチングが進行すると、ステンレス鋼板９の厚み方向だけでなく、水平方向にもエッチングが進行する・・・（図６（Ｖ））。さらにエッチングが進行すると接着剤８が露出してステンレス鋼板９の厚み方向のエッチングが停止するから、エッチングを終了する。これにより接着剤層１０と高分子延伸フィルム８のからなる薄肉部、つまりダイヤフラム部１１に囲まれたアイランド部１２が形成され・・・アイランド部１２が断面台形状に形成されることになる（図６（VI））。・・・圧電振動子２０の先端に接着剤Ｐを塗布して、・・・圧電振動子２０の先端が・・・弾性板７のアイランド部１２に接着剤Ｐを介して当接する。このとき、・・・圧電振動子２０とアイランド部１２とを固定する接着剤の流れ出しを感光性樹脂フィルム２４によりダイヤフラム部１１への流れ出しを完全に防止できるから、アイランド部１２の高さＨ（図５（ロ））は、圧電振動子２０の変位を圧力発生室４に伝達できる程度の可及的に小さな値、つまりダイヤフラム部１１への接着剤Ｐの流れ出しを阻止するための余裕を見込む必要がないから、厚さ２０μｍ以下のものを使用することができ、アイランド部の先端の幅Ｗ１と底部の幅Ｗ２との差を可及的に小さくすることが可能となり、アイランド部を理想の形状、もしくは高い精度で形成して記録ヘッドの高密度化を可能ならしめる。このようにして・・・インクジェット式記録ヘッドが完成する。」と記載されているから、これらの事項を整理すると、引用例４には、
「圧電振動子を備えたインクジェット式記録ヘッドの弾性板を製造する方法であって、前記弾性板となる金属薄板に高分子延伸フィルムを接着してラミネート材を構成し、ラミネート材の金属薄板の表面に感光性樹脂フィルムを貼り付け露光して、アイランド部となる領域に感光性樹脂フィルムを残し、ダイヤフラム部には貫通孔となるエッチング保護膜を形成し、このエッチング保護膜を用いて前記ラミネート材の金属薄膜をエッチングし、金属薄板接着剤層と高分子延伸フィルムからなるダイヤフラム部に囲まれた断面台形状のアイランド部において、高さＨ（金属薄板の厚さ）を２０μｍ以下の可及的に小さな値にすることにより、アイランド部の先端の幅Ｗ１と底部の幅Ｗ２との差を可及的に小さくするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。」という発明（以下、「引用例４発明」という）が記載されていると認められる。
　
４−２．本願発明１と引用例４発明との対比
　本願発明１（前者）と引用例４発明（後者）を対比すると、後者における「インクジェット式記録ヘッド」は、前者における「インクジェットヘッド」に、後者における「弾性板」は、前者における「振動板」に、後者における「接着」は、前者における「接合」に、後者における「露光して、アイランド部となる領域に感光性樹脂フィルムを残し、ダイヤフラム部には貫通孔となるエッチング保護膜を形成」は、前者における「露光現像することによってエッチングパターンを形成」に、後者における「金属薄板接着剤層と高分子延伸フィルムからなるダイヤフラム部に囲まれたアイランド部」は、前者における「エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）」に、それぞれ相当する。
　また、本願発明１における「金属薄板の他方の面に感光性樹脂を塗布」することと、引用例４発明における「金属薄板の表面に感光性樹脂フィルムを貼り付け」ることは、どちらも、「金属薄板の他方の面に感光性樹脂膜を形成する」ことであるといえる。
　さらに、上記（４ｄ）のとおり、図５（ロ）に、接着剤層を介して高分子延伸フィルム上に存在する断面台形状のアイランド部であって、底部の幅がＷ２、先端の幅がＷ１、高さ（金属薄板の厚さ）がＨであり、断面台形状の両斜辺がほぼ対称なアイランド部が示されていることを考慮すると、引用例４発明における「（断面台形状のアイランド部において、）アイランド部の先端の幅Ｗ１と底部の幅Ｗ２との差を可及的に小さくする」は、本願発明１における「エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅を１０μｍ以下とした」と同様に、アイランド部における前記両鉛直面の作る幅を小さくすることを意味するといえる。
　そうすると、両者は、
「圧電振動子を備えたインクジェットへッドの振動板を製造する方法であって、前記振動板となる金属薄板に高分子延伸フィルムが接合され、前記金属薄板の他方の面に感光性樹脂膜を形成し露光現像することによってエッチングパターンを形成し、前記金属薄板をエッチング加工し、エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅を小さくするインクジェットヘッドの製造方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
相違点：
（イ）金属薄板の他方の面における感光性樹脂膜の形成を、本願発明１では、「感光性樹脂を塗布」することにより行うのに対し、引用例４発明では、「感光性樹脂フィルムを貼り付け」ることにより行う点。
（ロ）本願発明１では、エッチング加工を「加工用水溶液を高圧ガスと混合しノズルから噴霧することにより」行うのに対し、引用例４発明では、エッチング加工の方法が不明である点。
（ハ）「エッチング加工された前記金属薄板中のエッチングされずに残った金属部（アイランド部）において、前記高分子延伸フィルムに接する面の縁から前記高分子延伸フィルムに対して形作られる鉛直面と、他方の面の縁に向かって前記高分子延伸フィルムから延ばした鉛直面とが作る幅」（以下、「アイランド部における前記両鉛直面が作る幅」という）を、本願発明１では、「１０μｍ以下」とするのに対し、引用例４発明では、高さＨ（金属薄板の厚さ）を２０μｍ以下の可及的に小さな値にすることにより、可及的に小さくすることが規定されているだけで、その数値が規定されていない点。
　
４−３．相違点についての検討
（ｉ）相違点（イ）について
　エッチングパターン用マスクを形成する技術において、感光性樹脂膜の形成を「感光性樹脂を塗布」することにより行うことは、本出願前周知のことであるから、引用例４発明において、金属薄板の他方の面における感光性樹脂膜の形成を「感光性樹脂フィルムを貼り付け」る代わりに、「感光性樹脂を塗布」することにより行うことは、前示の周知事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものというべきである。
　
（ｉｉ）相違点（ロ）、（ハ）について、
　引用例１の上記（１ａ）には、「エッチング液をスプレーノズルから噴霧させて被加工物表面に吹き付けてエッチング処理を行なうに際し、前記スプレーノズルにエッチング液と共に圧縮空気を同時給送し、両者を混合状態にして高速噴射せしめることを特徴とするスプレーエッチング方法。」が記載され、また、該「スプレーエッチング方法」が解決しようとした課題に関して、上記（１ｂ）には、「従来、・・・選択除去手段としてエッチング液を用い、これをスプレーノズルから霧状に噴出させ被加工物の表面に吹き付けることによりエッチング処理を行う、いわゆるスプレーノズルと称される方法が広く用いられている。・・・ところが、この種のエッチング方法は、・・・その加工に方向性がなく、被加工面と垂直な方向のみならず水平な方向へも加工される、いわゆるサイドエッチと称される現象が生じ、加工精度を低下させるという本質的な問題を内包している。又、一方において・・・加工精度を高く維持しつつ加工速度の増大を図ることが切望されていた。この発明は、前記の問題点を解決し、エッチングの加工速度を増大すると共に、加工精度を向上しうる改善されたスプレーエッチング方法を提供することを目的とするものである。」と記載されているから、引用例１には、「噴霧によるエッチング加工」において、サイドエッチを防止し加工精度を高く維持しつつ加工速度を増大することを課題として、エッチング液（本願発明１における「加工用水溶液」に相当するもの）を圧縮空気（本願発明１における「高圧ガス」に対応するもの）と混合しノズルから噴霧して被加工面に高速噴射することが開示されているといえる。
　また、液体を空気等のガスと混合しノズルより噴霧して高速噴射する際に、高圧圧縮空気等の高圧ガスを用いることは、本出願前周知のことである。
　しかも、引用例１に記載された「噴霧によるエッチング加工」における前記課題の「サイドエッチを防止し加工精度を高く維持」することは、本願発明１や引用例４発明の「アイランド部における前記両鉛直面が作る幅」を小さくすることと同様の課題といえる。
　そして、本願発明１における「アイランド部における前記両鉛直面が作る幅」の上限値である「１０μｍ」は、本願明細書の「すべての実験でＷｓが１０μｍ以下、寸法ばらつきが５μｍ以下となり、エッチングの垂直性および寸法精度が良好であった。」（段落【００３６】）等の記載を参照しても、格別の臨界的意義を有するものとは認められない。
　さらには、引用文献１の上記（１ｄ）のとおり、第６図には、前記「噴霧によるエッチング加工」の実施例１〜３のエッチファクター〔（サイドエッチの最大幅Ｗ２−フォトレジストの形成されていない露出部分の幅Ｗ１）／加工深さＤ〕が約０．５５〜０．８程度であったことが示されているから、厚さ２０μｍ以下の金属箔板についての上記「１０μｍ」は、格別なものとはいえない。
　してみれば、引用例４発明において、「アイランド部における前記両鉛直面が作る幅」をさらに可及的に小さくすることを課題として、金属薄板の厚さ（アイランド部の高さＨ）を２０μｍ以下の可及的に小さな値にするだけでなく、「サイドエッチを防止し加工精度を高く維持」するように、エッチング加工を「加工用水溶液を高圧ガスと混合しノズルから噴霧することにより」行い、「アイランド部における前記両鉛直面が作る幅」を「１０μｍ以下」とすることは、引用例１の前示の記載や前示の周知事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものというべきである。
　
（ｉｉｉ）相違点についての検討のまとめ
　上記相違点（イ）〜（ハ）は、以上のとおり、当業者が容易に想到し得たものであるから、本願発明１は、引用例１、４に記載された発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　したがって、本願発明１は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願は、請求項２乃至１１に係る発明について検討するまでもなく、拒絶されるべきである。
　よって、結論のとおり審決する。