【事件の表示】
　平成１０年特許願第　１８８３９号「プラズマ処理装置用窓部材」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　８月　６日出願公開、特開平１１−２１４１９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成１０年１月３０日の出願であって、平成１６年８月３１日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成１６年１０月７日に審判請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、出願当初の明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。（以下「本願発明」という。）
「プラズマ処理装置の壁体の一部に設けられ、一方の表面がプラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材が、厚さ０．５〜１０．０ｍｍの透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体からなることを特徴とするプラズマ処理装置用窓部材。」
　
３．引用刊行物に記載された発明
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された実願平５−６１９号（実開平６−６０１３８号）のＣＤ−ＲＯＭ（以下「引用刊行物１」という。）には、「プラズマＣＶＤ装置における観察窓」の発明に関して以下の事項が記載されている。
＜記載事項１＞
「【００１０】
  【実施例】
  以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。図１は本考案の１実施例を採用したプラズマＣＶＤ装置の概略断面図である。このプラズマＣＶＤ装置は、真空処理容器１を備え、その中には半導体デバイス基板のような成膜対象基体Ｓを載置する電極を兼ねるホルダ２及びその上方の上部電極３が配置されている。通常、ホルダ２は接地され、電極３は高周波電極とされる。さらに、容器１にはガスの導入部４が設けられ、真空排気装置５が接続されている。
【００１１】
  容器１の側壁１１の一部には容器１内を観察するための本考案に係る観察窓６が設けられている。この窓６は、側壁１１に設けた透孔１１ａの周囲外面に該孔を囲むオーリング嵌着溝６１を設けてこれに気密シール用のオーリング６２を嵌め、このオーリングに接するようにサヤァイアからなる透視可能な板体６３を当てがい、さらに、該部材に０．１ｍｍ以上の厚さを有するスペーサリング６４を介して透視可能のパイレックスガラス板６５を当てがい、その外側から緩衝材６６を介して押さえリング６７を当てがい、この押さえリング６７をねじ６８にて容器壁１１に固定して構成してある。」
＜記載事項２＞
「【００１４】
  このクリーニング処理中、観察窓６はフッ素系ガスプラズマに曝されるが、該観察窓６によると、プラズマに曝される部分にはフッ素と反応しないサファイア板６３が配置され、また、フッ素と反応するパイレックスガラス板６５はサファイア板６３の外側に配置されプラズマに曝されないので、観察窓６がフッ素系ガスプラズマによるクリーニングによって透視困難又は不能になる恐れはない。
【００１５】
  容器内観察中、目に有害な紫外線がサファイア板６３を透過して来ることがあっても、この紫外線はパイレックスガラス板６５により十分遮られるので安全である。」
　
　したがって、上記記載事項１乃至２及びそこで参照している図１に基づけば、引用刊行物１には、
「プラズマＣＶＤ装置の真空処理容器１の側壁１１の一部に設けられる観察窓６であって、該観察窓が、プラズマに曝される部分に設けられるサファイヤからなる透視可能な板体６３と、該サファイヤガラスの外側に設けられ紫外線を遮るパイレックスガラス板６５からなることを特徴とするプラズマＣＶＤ装置における観察窓。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
　また、同じく、原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された特開平３−２７５５６１号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、「透光性ＹＡＧ焼結体及びその製造方法」の発明に関して以下の事項が記載されている。
＜記載事項３＞
「〔産業上の利用分野〕
本発明は透光性に優れた多結晶ＹＡＧ焼結体、特に厚さ３ｍｍ以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適な透光性ＹＡＧ焼結体、及びその製造方法に関する。」（第１ページ右下欄第３〜７行）
＜記載事項４＞
「（発明の効果）
本発明によれば、焼結助剤を用いずに、高密度であって可視及び赤外領域で非常に優れた透光性を有するＹＡＧ焼結体を得ることが出来る。この透光性ＹＡＧ焼結体は、吸収係数が０．２〜０．１ｃｍ−１以下であるから、厚さ３ｍｍ以上で使用される赤外透過窓等の素材として特に有用である。」（第３ページ右下欄第８〜１４行）
　
　また、同じく、原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された特開平８−２９８０９９号公報（以下「引用刊行物３」という。）には、「金属蒸気放電灯用蛍光管」の発明に関して以下の事項が記載されている。
＜記載事項５＞
「【０００３】また、このような金属蒸気放電灯用発光管１を構成する透光管２に要求される特性としては、
１．可視光線から紫外光線までの直線透過率が高いこと
２．金属ハロゲン化物により浸食を受け難いこと
３．抗折強度が３０ｋｇ／ｍｍ2 以上であること
であり、これらの特性を有する材質として透光性アルミナやサファイアにより形成されたものがあった（特開昭５３−６４９７６号公報参照）。」
＜記載事項６＞
「【０００７】これに対し、近年、イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体がサファイアと同等程度の可視光線の直線透過率を有することから、この焼結体により透光管２を形成することが提案されている（特開昭６３−２６０８５６号公報、特開平４−２３３１５４号公報参照）。」
＜記載事項７＞
「【００４７】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る放電灯用発光管は透光管をイットリウム−アルミニウム−ガーネット結晶の含有量が９９．８重量％以上であって、周期律表２ａ族元素の酸化物の含有量が６００ｐｐｍ以下で、かつＳｉＯ2 の含有量が９００ｐｐｍ以下である相対密度９９．０％以上のイットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体により形成したことにより、可視光線から紫外光線の初期の直線透過率を４０％以上とできるとともに、発光管内に封入する金属ハロゲン化物に対し殆ど浸食を受けないため長寿命の発光管とすることができる。
【００４８】また、本発明は、上記イットリウム−アルミニウム−ガーネット結晶の平均結晶粒子径を３〜８０μｍの範囲で設けたことにより、可視光線から紫外光線の直線透過率を７０％以上と大幅に向上させることができ、さらには３０００時間後の直線透過率の維持率を７０％以上と、さらに長寿命の発光管とすることができる。」
　　
４．対比
　本願発明と引用発明とを比較する。
　
　引用発明の「プラズマＣＶＤ装置」は、本願発明の「プラズマ処理装置」に相当し、以下、同様に、「真空処理容器１の側壁１１」は「壁体」に、「観察窓６」は「窓部材」に、「プラズマに曝される」は「プラズマに直接曝される」に、それぞれ相当する。
　また、引用発明の対象である「プラズマＣＶＤ装置における観察窓」は本願発明の対象である「プラズマ処理装置用窓部材」に相当する。
　さらに、引用発明の「プラズマに曝される部分に設けられるサファイヤからなる透視可能な板体６３と、該サファイヤガラスの外側に設けられるパイレックスガラス板６５からなること」と本願発明の「一方の表面がプラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材が、厚さ０．５〜１０．０ｍｍの透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体からなること」とは、プラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材が、透光性の板状窓を有するという点で一致する。
　
　したがって、両者は、
「プラズマ処理装置の壁体の一部に設けられ、一方の表面がプラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材が、透光性板状の窓を有することを特徴とするプラズマ処理装置用窓部材」の点で一致し、以下の点で相違する。
[相違点]
　窓部材が、本願発明は、厚さ０．５〜１０．０ｍｍの透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体からなるのに対して、引用発明は、プラズマに曝される部分に設けられるサファイヤからなる透視可能な板体６３と、該サファイヤガラスの外側に設けられる紫外線を遮るパイレックスガラス板６５からなる点。
　
５．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　まず、引用発明では、窓部材として、プラズマＣＶＤ装置の外部に透過する紫外線の影響を考慮して、紫外線を遮るパイレックスガラス板６５も付設しているが、本願発明のように紫外線を遮る板状部材を用いずに、透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体からなるものとして窓部材を構成することは、紫外線を遮る必要性の程度に応じて、適宜になし得る設計事項にすぎない。
　次に、引用刊行物２には、可視及び赤外領域で非常に優れた透光性を有するＹＡＧ焼結体は、窓の素材として有用である旨が記載されており（記載事項４）、また、引用刊行物３には、本願発明と同様にプラズマに晒される、金属蒸気放電灯の発光管の材料として、サファイアにかえてイットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体を用いると、サファイアと同等程度の可視光の透過率を有しつつ、浸食を受けないことが記載されているので（記載事項５〜７）、窓部材の材料として、引用発明の「サファイア」にかえて、透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体からなるものを用いることは、引用刊行物１乃至３の記載に基づいて当業者が容易に想到し得たことである。
　また、本願発明は、窓部材の厚みを０．５〜１０．０ｍｍと規定しているが、引用刊行物２には、透光性を有するＹＡＧ焼結体の窓の厚みを３ｍｍ以上とする点が記載されており、その数値は本願発明の０．５〜１０．０ｍｍを満たすことは明らかである。さらに、本願明細書の記載を参照しても、窓部材の厚みを０．５〜１０．０ｍｍと規定した点に臨界的意義があるとは言えない。
　
　そして、本願発明の効果は、引用刊行物１乃至３の記載から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用刊行物１乃至３に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得えたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物１乃至３に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。