(57)【要約】複数のガラス層を有するガラス母材を加熱するステップ、及びガラス母材を遠位方向に延伸して、ガラス母材から遠位に延び、複数のガラス層を有する延伸ガラスシートを形成するステップを備えた方法。延伸ガラスシートはガラス母材より薄い。延伸ガラスシートは回収スプールに巻設することができる。例示的なガラスシートは、第１のガラス層、第１のガラス層に隣接する第２のガラス層、及び約０．１ｍｍ以下の厚さを有している。例示的なイオン交換ガラスシートは、約０．１ｍｍ以下の厚さ、及び、圧縮応力下にあり、層深さまでガラスシートの内部に延びる表面層を有している。
2018500263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性状態の第１のガラス組成を、粘性状態の第２のガラス組成に接触させて、複数のガラス層を含むガラス母材を形成する、ステップと、
前記ガラス母材を遠位方向に延伸して、前記ガラス母材から遠位に延び、前記複数のガラス層を含む延伸ガラスシートであって、厚さが前記ガラス母材の厚さより薄いシートを形成するステップと、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記接触させるステップが、フュージョンドロー装置において、前記第１のガラス組成を前記第２のガラス組成に接触させるステップを含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含み、
前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の少なくとも一部を、前記延伸ガラスシートから除去するステップを更に備えた、
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
前記コア層のシート厚さ比が、前記除去するステップの前における、前記延伸ガラスシートの前記厚さに対する、前記延伸ガラスシートにおける前記コア層の厚さの比であり、前記コア層の前記シート厚さ比が、約０．８以下であることを特徴とする、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記複数のガラス層が、第１のガラス層、及び該第１のガラス層に隣接する第２のガラス層を含み、
前記延伸ガラスシートから、前記第２のガラス層の少なくとも一部を除去するステップを備え、
前記除去するステップの前に、前記第１のガラス層の表面に、電子装置を形成するステップを備えた、
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項６】
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含み、
前記延伸ガラスシートから、前記コア層の少なくとも一部を除去して、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層を互いに分離するステップを備えた、ことを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項７】
前記除去するステップの前に、前記第１のクラッド層又は前記第２のクラッド層の少なくとも一方の表面に、電子装置を形成するステップを更に備えたことを特徴とする、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含み、
前記コア層の平均の熱膨張率（ＣＴＥ）が、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の各々の平均のＣＴＥより大きい、
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項９】
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含み、
前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の各々とのイオン交換によって、前記コア層を化学強化するステップを更に備えた、
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項１０】
前記延伸ステップ及び前記化学強化ステップに続いて、前記強化されたコア層から、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層を除去するステップを更に備えたことを特徴とする、請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連技術の相互参照】
【０００１】
本出願は、参照により全内容が本明細書に組み込まれたものとする、２０１４年１１月２６日出願の米国特許出願第６２／０８４８２６号優先権を主張するものである。
【技術分野】
【０００２】
本開示はガラスシートに関し、より具体的には、薄いガラスシート、並びにそれを形成するためのシステム及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
ガラスシートは、様々な方法によって形成することができる。例えば、ガラスシートは、ダウンドロー法（フージョンドロー又はスロットドロー）又はフロートドロー法を用いて形成することができる。薄いガラスシートは、厚いガラスシートをエッチング又は研削して、ガラスシートの厚さを所望の厚さに低減することによって形成することができる。
【発明の概要】
【０００４】
本明細書が開示するのは、薄いガラスシート及びそれを形成するための方法である。
【０００５】
本明細書が開示するのは、複数のガラス層を含むガラス母材を加熱するステップを備えた方法である。ガラス母材が、遠位方向に延伸され、ガラス母材から遠位に延び、複数のガラス層を含む延伸ガラスシートが形成される。延伸ガラスシートの厚さは、ガラス母材の厚さより薄い。延伸ガラスシートは回収スプールに巻設される。
【０００６】
本明細書が開示するのは、第１のガラス層、及び第１のガラス層に隣接する、第２のガラス層を含むガラス母材を加熱するステップを備えた方法である。ガラス母材が、遠位方向に延伸され、ガラス母材から遠位に延び、第１のガラス層及び第２のガラス層を含む延伸ガラスシートが形成される。延伸ガラスシートの厚さは、ガラス母材の厚さより薄い。第２のガラス層の少なくとも一部が、延伸ガラスシートから除去される。
【０００７】
本明細書が開示するのは、加熱ユニット、延伸ユニット、及び回収ユニットを備えたシステムである。加熱ユニットは、複数のガラス層を含むガラス母材を加熱するように構成されている。延伸ユニットは、ガラス母材を遠位方向に延伸して、ガラス母材から遠位に延びる、延伸ガラスシートを形成するように構成されている。延伸ガラスシートは、複数のガラス層を含んでいる。延伸ガラスシートの厚さは、ガラス母材の厚さより薄い。回収ユニットは、延伸ガラスシートを回収スプールに巻設するように構成されている。
【０００８】
本明細書が開示するのは、第１のガラス層、第１のガラス層に隣接する、第２のガラス層、及び約０．１ｍｍ以下の厚さを有するガラスシートである。
【０００９】
本明細書が開示するのは、約０．１ｍｍ以下の厚さ、及び圧縮応力下にあり、層深さまで内部に延びる表面層を有するイオン交換ガラスシートである。
【００１０】
更なる特徴及び効果は、これに続く詳細な説明に述べてあり、当業者はその記述から、一部は容易に明らかであり、これに続く詳細な説明、特許請求の範囲、及び添付図面を含め、本明細書に記載の実施の形態を実施することによって認識できるであろう。
【００１１】
前述の概要説明及び以下の詳細な説明は、いずれも単なる例示であって、特許請求の範囲の性質及び特徴を理解するための概要、及び枠組みの提供を意図したものであることを理解されたい。添付図面は、更なる理解が得られることを意図して添付したもので、本明細書に組み込まれ、その一部を構成するものである。図面は１つ以上の実施の形態を示すもので、その説明と併せ、様々な実施の形態の原理及び作用の説明に役立つものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ガラスシートの積層構造の１つの例示的な実施の形態の部分断面図。
【図２】ガラスシートの形成に使用可能な成形装置の１つの例示的な実施の形態の断面図。
【図３】再延伸システムの1つの例示的な実施の形態の概略図。
【図４】図１に示すガラスシートから１つの層が除去されて形成された、２層ガラスシートの部分断面図。
【図５】図４の２層ガラスシート上に形成された、電子装置の１つの例示的な実施の形態の部分断面図。
【図６】図５に示すガラスシートから１つの層が除去されて形成された、単層のガラスシート及び電子装置の部分断面図。
【図７】ガラスシートの積層構造の別の例示的な実施の形態の部分断面図。
【図８】延伸ガラスシートの１つの例示的な実施の形態の断面写真を示す図。
【図９】図８に示す延伸ガラスシートを曲げ半径に曲げた写真を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
添付図面に示す例示的な実施の形態について以下詳細に説明する。図面全体を通し、可能な限り、同一又は同様の部品には同じ参照番号を使用している。図中の構成要素は必ずしも縮尺どおりではなく、代わりに、例示的な実施の形態の原理を示すことに重点を置いている。
【００１４】
ガラスシートは、例えば、ダウンドロー法（例えば、フュージョンドロー法又はスロットドロー法）又はフロート法等の適切な成形方法を用いて形成することができる。かかる成形方法を用いてガラスシートを形成することは、形成されるガラスシートの厚さが減少するにつれ、益々困難になる可能性がある。このように、かかる成形方法を用いて、直接薄いガラスシートを形成することは、困難又は不可能でさえあり得る。
【００１５】
薄いガラスシートは、厚い単層のガラスシートをエッチング又は研削して、ガラスシートの厚さを所望の厚さに低減することによって形成することができる。しかし、かかるエッチング又は研削処理は、費用がかかり、化学エッチング剤の使用を必要とし、及び／又はガラスシートの表面に傷が生じる可能性がある。
【００１６】
様々な実施の形態において、ガラスシートを形成するための方法が、複数のガラス層を含むガラス母材を加熱するステップを有している。複数のガラス層は、少なくとも第１の層及び第２の層を含んでいる。例えば、第１の層はコア層を含み、第２の層は、コア層に隣接する１つ以上のクラッド層を含んでいる。各々のガラス層は、独立して、ガラス、ガラスセラミック、又はそれらの組み合わせを含んでいる。一部の実施の形態において、ガラス層の１つ以上が透明なガラス層である。ガラス母材は、平坦（例えば、平シート）又は非平坦（例えば、湾曲シート）であってよい。本方法は、ガラス母材を遠位方向に延伸して、ガラス母材から遠位に延びる延伸ガラスシートを形成するステップを更に有している。延伸ガラスシートは、複数のガラス層（例えば、コア層及びコア層に隣接する１つ以上のクラッド層）を含んでいる。延伸ガラスシートの厚さは、ガラス母材の厚さより薄い。延伸ガラスシートは回収スプールに巻設することができる。これに加え、又は代えて、延伸ガラスシートから１つ以上のガラス層を除去して、延伸ガラスシートの厚さを更に低減することができる。これに加え、又は代えて、巻設ステップの前又は後に、延伸ガラスシート上に電子装置を形成することができる。
【００１７】
図１は、ガラス母材１００の１つの例示的な実施の形態の積層構造の断面図である。ガラス母材１００は、複数のガラス層を含む積層構造を有している。例えば、ガラス母材１００は、単に相互に隣接して積み重ねられているのではなく、ガラス層が互いに接合又は融合された一体積層構造を有している。ガラス母材１００は、図１に示すように、実質的に平坦又は非平坦であってよい。図１に示す実施の形態において、ガラス母材１００は、第１のクラッド層１０４と第２のクラッド層１０６との間に配置されたコア層１０２を含んでいる。一部の実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６は、図１に示すように外層である。別の実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６は、コア層と外層との間に配置された中間層である。
【００１８】
コア層１０２は、第１の主面及び第１の主面に対向する第２の主面を有している。一部の実施の形態において、第１のクラッド層１０４は、コア層１０２の第１の主面に融合している。これに加え、又は代えて、第２のクラッド層１０６は、コア層１０２の第２の主面に融合している。かかる実施の形態において、第１のクラッド層１０４とコア層１０２との界面、及び／又は第２のクラッド層１０６とコア層１０２との界面は、例えば、ポリマー中間層、接着剤、コーティング層、又はそれぞれのクラッド層をコア層に接着するように追加若しくは構成された、非ガラス材料等の結合材料を一切有していない。従って、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６は、コア層１０２に直接融合、又はコア層１０２に直接隣接している。一部の実施の形態において、ガラス母材は、コア層と第１のクラッド層との間及び／又はコア層と第２のクラッド層との間に配置された、１つ以上の中間層を有している。例えば、中間層は、コア層とクラッド層との界面に形成された、中間ガラス層及び／又は拡散層を構成している。拡散層は、拡散層に直接隣接する各層の成分を含む混合領域を有することができる。一部の実施の形態において、ガラス母材１００は、直接隣接するガラス層間の界面が、ガラス−ガラス界面である、ガラス−ガラス積層（例えば、その場で融合された多層ガラス−ガラス積層）を構成している。
【００１９】
一部の実施の形態において、コア層１０２は、第１のガラス組成を含み、第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６は、第１のガラス組成と異なる、第２のガラス組成を含んでいる。例えば、図１に示す実施の形態において、コア層１０２は、第１のガラス組成を含み、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６の各々は、第２のガラス組成を含んでいる。別の実施の形態において、第１のクラッド層が、第２のガラス組成を含み、第２のクラッド層が、第１のガラス組成及び／又は第２のガラス組成と異なる第３のガラス組成を含んでいる。
【００２０】
ガラス母材は、例えば、フュージョンドロー法、ダウンドロー法、スロットドロー法、アップドロー法、又はフロート法等、適切な方法を用いて形成することができる。一部の実施の形態において、フュージョンドロー法を用いて、ガラス母材が形成される。図２は、例えば、ガラス母材１００等のガラス母材の形成に使用することができる、オーバーフロー分配器２００の１つの例示的な実施の形態の断面図である。オーバーフロー分配器２００は、参照により、全内容が本明細書に組み込まれたものとする、米国特許第４，２１４，８８６号明細書に記載のよう構成することができる。例えば、オーバーフロー分配器２００は、下部オーバーフロー分配器２２０、及び下部オーバーフロー分配器の上に配置された、上部オーバーフロー分配器２４０を有している。下部オーバーフロー分配器２２０は、溝槽２２２を有している。第１のガラス組成２２４が溶融され、溶融又は粘性状態で溝槽２２２に供給される。第１のガラス組成２２４は、以下において更に説明するように、ガラス母材１００のコア層１０２を構成する。上部オーバーフロー分配器２４０は、溝槽２４２を有している。第２のガラス組成２４４が溶融され、溶融又は粘性状態で溝槽２４２に供給される。第２のガラス組成２４４は、以下において更に説明するように、ガラス母材１００の第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６を構成する。
【００２１】
第１のガラス組成２２４は、溝槽２２２をオーバーフローして、下部オーバーフロー分配器２２０の対向する外側成形面２２６及び２２８を流れ下る。外側成形面２２６及び２２８は引出線２３０において合流する。下部オーバーフロー分配器２２０のそれぞれの外側成形面２２６及び２２８を流れ下る、第１のガラス組成２２４の別々の流れは、引出線において合流し、そこで互いに融合してガラス母材１００のコア層１０２が形成される。
【００２２】
第２のガラス組成２４４は、溝槽２４２をオーバーフローして、上部オーバーフロー分配器２４０の対向する外側成形面２４６及び２４８を流れ下る。第２のガラス組成２４４が下部オーバーフロー分配器２２０の周囲を流れ、下部オーバーフロー分配器の外側成形面２２６及び２２８を流れる、第１のガラス組成２２４と接触するように、第２のガラス組成２４４は、上部オーバーフロー分配器２４０によって外側に偏向される。第２のガラス組成２４４の別々の流れは、下部オーバーフロー分配器２２０のそれぞれの外側成形面２２６及び２２８を流れ下る、第１のガラス組成２２４のそれぞれ別々の流れに融合する。第１のガラス組成２２４の流れが、引出線２３０において合流すると、第２のガラス組成２４４は、ガラス母材１００の第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６を形成する。
【００２３】
一部の実施の形態において、溶融又は粘性状態のコア層１０２の第１のガラス組成２２４が、溶融又は粘性状態の第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６の第２のガラス組成２４４に接触して、ガラス母材１００が形成される。これに加え、又は代えて、ガラス母材１００は、図２に示すように、下部オーバーフロー分配器２２０の引出線２３０から離れる方向に進む、ガラスリボンを構成している。ガラス母材１００は、例えば、重力及び／又は牽引ローラー等を含む適切な手段によって、下部オーバーフロー分配器から離れる方向に引き出すことができる。ガラス母材１００は、下部オーバーフロー分配器２２０から離れる方向に進むにつれて冷却される。
【００２４】
一部の実施の形態において、ガラス母材１００の一方又は両方の外面にコーティングが施される。コーティングは液体として（例えば、噴霧又は浸漬により）又は膜として施すことができる。コーティングは、ガラス母材１００の損傷保護及び／又は溶融延伸シートの清浄無垢な品質維持に役立つ。例えば、コーティングは、ガラス母材１００が本明細書に記載のように巻設されたとき、表面と表面との接触を防止するように構成された間紙を成す。
【００２５】
一部の実施の形態において、ガラス母材１００は、スプールに巻設されて、本明細書に記載の再延伸ユニットに送られる。別の実施の形態において、ガラス母材１００はオーバーフロー分配器２００から再延伸ユニットに直接送られる。従って、ガラス母材１００の近位端部は、本明細書に記載のように、ガラス母材を延伸する間、オーバーフロー分配器２００に結合されたままである。別の実施の形態において、ガラス母材１００は切断されて、再延伸ユニットに送られるガラス母材セグメントが形成される。ガラス母材１００は、例えば、切り込み、屈曲、熱衝撃、及び／又はレーザー切断等、適切な技術を用いて切断することができる。
【００２６】
図１に示すガラス母材１００は３つの層を含んでいるが、別の実施の形態も本開示に包含される。別の実施の形態において、ガラスプリフォームは、２つ、４つ、又は更に多くの層のように、所定数の層を有することができる。例えば、２つの層を有するガラス母材は、２つのオーバーフロー分配器であって、分配器の各々の引出線から離れる方向に進む間に、２つの層が結合されるように配置されたオーバーフロー分配器を用いるか、又は２つのガラス組成がオーバーフロー分配器の対向する外側形成面を越えて流れ、オーバーフロー分配器の引出線において合流するように分割された、溝槽を有する１つのオーバーフロー分配器を用いて形成することができる。４つ以上の層を有するガラス母材は、追加のオーバーフロー分配器及び／又は分割された溝槽を有するオーバーフロー分配器を用いて形成することができる。従って、所定数の層を有するガラス母材は、それに応じて、オーバーフロー分配器を変更することによって形成することができる。
【００２７】
一部の実施の形態において、ガラス母材１００は、少なくとも約０．０５ｍｍ、少なくとも約０．１ｍｍ、少なくとも約０．２ｍｍ、又は少なくとも約０．３ｍｍの厚さを有している。これに加えて、又は代えて、ガラス母材１００は、約５ｍｍ以下、約３ｍｍ以下、約２ｍｍ以下、約１．５ｍｍ以下、約１ｍｍ以下、約０．７ｍｍ以下、約０．５ｍｍ以下、約０．３ｍｍ以下、又は約０．２ｍｍ以下の厚さを有している。例えば、ガラス母材１００は、約０．０５ｍｍ〜約５ｍｍ、約０．１ｍｍ〜約１ｍｍ、約０．１ｍｍ〜約０．７ｍｍ、又は約０．１ｍｍ〜約０．３ｍｍの厚さを有している。ガラス母材１００の各々のガラス層の母材厚さ比は、ガラス母材の厚さに対する、それぞれのガラス層の厚さの比を構成する。一部の実施の形態において、コア層１０２の母材厚さ比は、少なくとも約０．５、少なくとも約０．７、少なくとも約０．８、少なくとも約０．８５、少なくとも約０．９、又は少なくとも約０．９５である。これに加えて、又は代えて、コア層１０２の母材厚さ比は、約０．８以下、約０．７５以下、約０．７以下、約０．６以下、又は約０．５以下である。
【００２８】
ガラス母材を延伸して、ガラス母材より薄い延伸ガラスシートを形成することができる。かかる処理は、再延伸処理又は再成形処理として説明することができる。一部の実施の形態において、再延伸システムを用いて、ガラス母材が再延伸される。図３は、例えば、ガラス母材１００等のガラス母材の延伸に用いることができる、再延伸システム３００の１つの例示的な実施の形態の概略図である。再延伸システム３００は、供給ユニット３１０、延伸ユニット３３０、及び回収ユニット３５０を備えている。
【００２９】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０は、図３に示すように、供給スプール３１２を有している。ガラス母材１００は、供給スプール３１２に用意され、ガラス母材を供給スプールから解放することによって、延伸ユニット３３０に供給される。別の実施の形態において、ガラス母材は、ガラス母材セグメント又はシートの形態で提供され、母材セグメントを延伸ユニット３３０内に進めることによって、延伸ユニットに供給される。例えば、ガラス母材シートは、母材シートを延伸ユニット内に進める保持装置によって保持される。更に別の実施の形態において、ガラス母材は（例えば、成形ユニットに結合された）ガラス母材リボンの形態で提供され、母材リボンの遠位端部を延伸ユニット３３０内に進めることによって、延伸ユニットに供給される。
【００３０】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０は、ガラス母材１００の１つ以上の表面からコーティングを除去するように構成された剥離ユニット３１４を有している。例えば、図３に示す実施の形態において、剥離ユニット３１４は、ガラス母材の対向する表面から膜を除去するように構成された、一対の剥離ローラー３１６を有している。別の実施の形態において、剥離ユニットは、スクラブユニット（例えば、ブラシ）、噴霧ユニット（例えば、溶剤を噴霧するためのユニット）、加熱及び／又は冷却ユニット、又はコーティング若しくは膜を除去する、別の適切な除去ユニットを有している。剥離ユニット３１４は、供給スプール３１４の遠位又は下流に配置され、ガラス母材１００が延伸ユニット３３０に導入される際に、ガラス母材に係合する。
【００３１】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０は、ガラス母材１００の1つ以上の表面に蓄積された電荷を消散させるように構成された静電気防止装置３１８を有している。例えば、静電荷は、ガラス母材１００の表面から膜を除去する際に、ガラス母材の表面に蓄積し得る。静電気防止装置３１８は、静電荷を消散させるための経路を与えて、静電荷をガラス母材から除去することができる。静電気防止装置３１８は、静電気棒、イオナイザー、又は他の適切な静電気消散装置を有している。静電気防止装置３１８は、供給スプール３１４及び／又は剥離ユニット３１４の遠位若しくは下流に配置され、ガラス母材１００が延伸ユニット３３０に導入される際に、ガラス母材に係合する。
【００３２】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０は、ガラス母材１００を延伸ユニット３３０に駆動又は導入するように構成された、供給駆動ユニット３２０を有している。例えば、図３に示す実施の形態において、供給駆動ユニット３２０は、ガラス母材１００の対向する表面に係合して、ガラス母材を供給スプール３１２から延伸ユニット３３０に引き込む一対の駆動ローラーを有している。駆動ローラーは、その間にガラス母材１００を係合させ、回転してガラス母材を遠位方向に牽引する。別の実施の形態において、供給駆動ユニットは、駆動ベルト、把持アーム、又は別の適切な駆動装置を備えている。供給駆動ユニット３２０は、供給速度で、ガラス母材１００を延伸ユニット３３０に導入する。例えば、供給速度は、ガラス母材１００が延伸ユニット３３０に導入されるとき、ガラス母材１００が、遠位方向に移動する速度を構成する。供給駆動ユニット３３０は、調整可能であって、供給速度を調整する。例えば、駆動ローラーの回転速度を増加させて供給速度を増加させるか、又は減少させて供給速度を減少させることができる。供給駆動ユニット３２０は、供給スプール３１２、剥離ユニット３１４、及び／又は静電気防止装置３１８の遠位若しくは下流に配置され、ガラス母材１００を延伸ユニット３３０に導入する。
【００３３】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０又はその一部は、供給ユニット３１０の様々な構成要素を囲む制御された環境の維持に役立つ、供給エンクロージャ３２２内に封止されている。例えば、供給エンクロージャ３２２は、ガラス母材１００が延伸ユニット３３０に導入される際に、異物及び／又は汚染物質がその上に堆積するのを防止するクリーンルームを有している。一部の実施の形態において、供給エンクロージャ３２２は、その内部に不活性雰囲気を有している。これに加えて、又は代わりに、供給エンクロージャ３２２は、内部に静電気が蓄積するのを抑制するように構成されている。
【００３４】
一部の実施の形態において、供給ユニット３１０は、延伸ユニット３３０の近傍に配置された、開口制御装置３２４を有している。例えば、開口制御装置３２４は、供給エンクロージャ３２２の出口及び／又は延伸ユニット３３０の入口に配置される。開口制御装置３２４は、ガラス母材１００が通過して、延伸ユニット３３０に導入される開口部のサイズ制御に役立つ。図３に示す実施の形態において、開口制御装置３２４は、互いに向けて移動して開口部を狭め、又は互いに離間して開口部を拡大することができる、一対のスライドドアを有している。別の実施の形態において、開口制御装置はシャッター、絞り、又は別の適切な装置を備えている。開口制御装置３２４は、供給エンクロージャ３２２と延伸ユニット３３０との間の開口部を封止して、供給エンクロージャと延伸ユニットとの間のガス流（例えば、空気流）を制限するのに役立ち、これによって、異物及び／又は汚染物質が開口部を素早く通り抜ける可能性を低減することができる。
【００３５】
延伸ユニット３３０が、供給ユニット３１０の遠位又は下流に配置されることにより、本明細書に記載のように、ガラス母材１００が、供給ユニットから延伸ユニットに縦に遠位方向に進むことができる。延伸ユニット３３０は、加熱炉、徐冷窯、又はガラス母材がガラスシートに延伸できるように、及び／又はガラス母材の延伸後に、延伸ガラスシートの一部を冷却できるよう、ガラス母材の一部を加熱するように構成された、他の適切な加熱ユニットを有している。一部の実施の形態において、延伸ユニット３３０は、各々が、延伸ユニットを通過するガラス母材、及び／又は延伸ガラスシートの一部を加熱又は冷却するように構成された、複数の加熱及び／又は冷却ゾーンを有している。例えば、図３に示す実施の形態において、延伸ユニット３３０は、予熱ゾーン３３２、加熱ゾーン３３４、及び冷却ゾーン３３６を有している。延伸ユニット３３０の各々の加熱及び／又は冷却ゾーンは、熱板（例えば、誘導板及び／又は抵抗加熱器）、赤外線加熱装置、電磁加熱装置、トーチ、レーザー、流体ジェット（例えば、空気ジェット又はウォータージェット）、又は別の適切な加熱及び／又は冷却装置を備えている。これに加えて、又は代えて、１つ以上の加熱及び／又は冷却ゾーンは、加熱及び／又は冷却要素とガラス母材１００との間に配置された、熱拡散器を有している。熱拡散器は、ガラス母材を間接的に加熱及び／又は冷却して、ガラス母材の均一（例えば、ガラス母材の幅にわたる）加熱及び／又は冷却に役立つ。別の実施の形態において、延伸ユニットは、加熱及び／又は冷却ゾーンを更に備えるか、又は加熱及び／又は冷却ゾーンのうちの１つ以上（例えば、予熱ゾーン及び／又は冷却ゾーン）を除外することができる。
【００３６】
予熱ゾーン３３２は、ガラス母材１００の一部を予熱温度に加熱して、ガラス母材の予熱後部分を形成するように構成されている。一部の実施の形態において、予熱温度は、複数のガラス層のうちの最も高いひずみ点以上の温度である。本明細書において、ガラス層の「ひずみ点」とは、ガラス層の粘度が１０１４．７ポアズになる温度である。予熱ユニット３３２は、ガラス母材１００の当該部分を、予熱速度で予熱温度に加熱する。例えば、予熱速度は、約５℃／分〜約２００℃／分、約５℃／分〜約１００℃／分、約１０℃／分〜約５０℃／分、又は約１５℃／分〜約３０℃／分である。一部の実施の形態において、予熱速度は、ガラス母材のＣＴＥ曲線に実質的に一致している。例えば、予熱の間における、時間を関数とするガラス母材１００の一部の温度の勾配は、温度を関数とするガラス母材の有効ＣＴＥの勾配と実質的に同じである。この場合、ＣＴＥは、平均ＣＴＥではなく、絶対ＣＴＥであることを理解されたい。予熱速度の制御は、ガラス母材が制御不能に破損又は挫屈する原因になり得る熱応力が、ガラス母材に生じるのを防止するのに役立つ。
【００３７】
加熱ゾーン３３４は、ガラス母材１００の遠位部を、減衰温度に加熱するように構成されている。一部の実施の形態において、加熱ゾーン３３４は、ガラス母材１００の予熱後部分が、縦に遠位方向に前進して加熱ゾーンに入るように、予熱ゾーン３３２の遠位又は下流に配置されている。例えば、加熱ゾーン３３４は、ガラス母材１００の予熱後部分を減衰温度に加熱して、ガラス母材の加熱後部分を形成するように構成されている。一部の実施の形態において、減衰温度は複数のガラス層のうちの最も高い軟化点以上の温度である。これに加えて、又は代えて、減衰温度は、減衰温度におけるガラス母材の中心領域の有効粘度が、約１００ｋＰ〜約１０，０００ｋＰになるものである。一部の実施の形態において、第１のガラス組成と第２のガラス組成との粘度差は、本明細書に記載の厚さ比を維持しつつ、比較的大きくてもよい。例えば、第１のガラス組成と第２のガラス組成の粘度差は、約０ｋＰ〜約５ｋＰ、又は約１ｋＰ〜約５ｋＰ等、約５ｋＰ以下である。このことは、ガラス母材を延伸する間は、第１のガラス組成と第２のガラス組成は、互いに対して流動しないことを示唆している。加熱ゾーン３３４は、ガラス母材１００を、加熱速度で減衰温度に加熱する。例えば、加熱速度は、約５℃／分〜約２００℃／分、約５℃／分〜約１００℃／分、約１０℃／分〜約５０℃／分、又は約１５℃／分〜約３０℃／分である。
【００３８】
一部の実施の形態において、加熱ゾーンは、ガラス母材１００の加熱後部分の縦方向の長さが比較的短くなるように構成されている。例えば、ガラス母材１００の加熱後部分は横方向（ガラス母材１００の幅に対応する方向）に延びる幅、及び縦方向（ガラス母材の長さに対応する方向）に延びる長さを有し、加熱後部分は約１０ｃｍ以下、約５ｃｍ以下、約３ｃｍ以下、又は約０．５ｃｍ以下である。従って、加熱速度が十分に高く、ガラス母材１００の加熱後部分が比較的短く維持される。かかる短い加熱後部分は、加熱後部分において、及び／又はガラス母材１００が延伸ガラスシートに延伸される間において、ガラス母材の幅の維持に役立つ。例えば、かかる短い加熱後部分は、ガラス母材１００のエッジが、ガラス母材が延伸される間において、内側にひき寄せられるのが防止される。これに加え、又は代えて、ガラス母材が加熱ゾーンに供給される速度、及び／又は延伸ガラスシートが加熱ゾーンから退出する速度を増加させて、ガラス母材及び／又は延伸ガラスシートが、加熱ゾーンに曝露される時間を低減することができる。このように、ガラス母材及び／又は延伸ガラスシートが、加熱ゾーンを通過する速度を増加させることによって、加熱ゾーンの実効長を短縮することができる。一部の実施の形態において、ガラス母材１００の加熱後部分の温度は、ガラス母材の予熱後部分の温度より、少なくとも約１００℃、少なくとも約１５０℃、又は少なくとも約２００℃高い。ガラス母材の予熱後部分の温度及びガラス母材の減衰ゾーンの加熱後部分の温度が近すぎると、予熱ゾーンで減衰が起こり得る。予熱温度は、十分高くしてガラスを部分的に緩和させる必要があるが、十分低くして、ガラスが予熱ゾーンで減衰するのを防止する必要があり、ガラスを減衰温度に素早く加熱する必要がある。このように、加熱ゾーンは、比較的短い縦方向距離にわたり、ガラス母材の温度を迅速に変化させるように構成されている。
【００３９】
図３に示すように、ガラス母材１００が、縦に遠位方向に（矢印３３８で示す）に延伸され、ガラス母材から遠位に延びる延伸ガラスシート１１０が形成される。例えば、ガラス母材１００の加熱後部分が、遠位方向３３８に延伸又は牽引され、それによってガラス母材の遠位端部が伸張されて延伸ガラスシート１１０が形成される。従って、延伸ガラスシート１１０は複数のガラス層を有し、延伸ガラスシートの厚さは、ガラス母材１００の厚さより薄い。例えば、延伸ガラスシート１１０は、図１に示すガラス母材１００に関して説明した積層構造を有している。一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０の厚さに対するガラス母材１００の厚さの比は、少なくとも約２、少なくとも約５、少なくとも約１０、少なくとも約２０、少なくとも約３０、少なくとも約５０、少なくとも約１００、又は少なくとも約２００である。これに加え、又は代えて、延伸ガラスシート１１０の厚さに対するガラス母材１００の厚さの比は、約３００以下である。
【００４０】
一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０は、約０．７ｍｍ以下、約０．５ｍｍ以下、約０．３ｍｍ以下、約０．２ｍｍ以下、約０．１ｍｍ以下、約０．０５ｍｍ以下、約０．０３ｍｍ以下、約０．０２ｍｍ以下、又は約０．０１ｍｍ以下の厚さを有している。これに加え、又は代えて、延伸ガラスシート１１０は、少なくとも約０．００１ｍｍ、少なくとも約０．０１ｍｍ、又は少なくとも約０．０５ｍｍの厚さを有している。延伸ガラスシート１１０の各々のガラス層のシート厚さ比は、延伸ガラスシートの厚さに対する、それぞれのガラス層の厚さの比を構成する。本明細書に記載のように、シート厚さ比は、延伸ガラスシートからいずれのガラス層も除去されないうちに計測される。一部の実施の形態において、各々のガラス層のシート厚さ比は、それぞれのガラス層の母材厚さ比と同じ、又は実質的に同じである。換言すれば、ガラス母材１００を延伸ガラスシート１１０に延伸しても、ガラス層の相対的な厚さは実質的に変化しない。例えば、各々のガラス層のシート厚さ比は、それぞれのガラス層の母材厚さ比の、約２０％以内、約１５％以内、約１０％以内、約５％以内、又は約２％以内である。従って、一部の実施の形態において、コア層１０２のシート厚さ比は、少なくとも約０．７、少なくとも約０．８、少なくとも約０．８５、少なくとも約０．９、又は少なくとも約０．９５である。これに加えて、又は代えて、コア層１０２のシート厚さ比は、約０．８以下、約０．７５以下、約０．７以下、約０．６以下、又は約０．５以下である。
【００４１】
図３に戻り、一部の実施の形態において、延伸ユニット３３０は、ガラス母材１００及び／又は延伸ガラスシート１１０に対し、横方向及び／又は縦方向に張力を与えるように構成された、エッジ案内ユニット３４０を有している。例えば、図３に示す実施の形態において、エッジ案内ユニット３４０は、延伸ガラスシート１１０の対向するエッジに係合して、延伸ガラスシートをエッジに向けて外方向に引っ張り、延伸ガラスに対して横方向に張力を与えるように構成された、エッジローラ対（一対のみ表示）を有している。別の実施の形態において、エッジ案内ユニットは、ベルト、把持アーム、又は別の適切なエッジ係合装置を備えている。更に別の実施の形態において、エッジ案内ユニットは、延伸ガラスシートの対向するエッジ領域を選択的に冷却して、延伸ガラスシートをエッジに向けて外方向に引っ張り、延伸ガラスに対して横方向に張力を与えるように構成された、1つ以上の冷却装置（例えば、流体ジェット、冷却ラジエーターチューブ、又は他の適切な冷却装置）を有している。エッジ案内ユニット３４０は、加熱ゾーン３３４に配置することができる。エッジ案内ユニット３４０は、延伸ガラスシート１１０に張力を与えるものであって、張力は、延伸ガラスシートの温度が十分に高く、かかる張力下で伸張又は変形することができる間に与えられる。これに加えて、又は代えて、エッジ案内ユニット３４０は、延伸ガラスシート１１０に対し、延伸ガラスシートのエッジ間に存在する中央領域に係合せずに、延伸ガラスシートの対向するエッジに係合することができる。従って、延伸ガラスシートの係合しない中央領域は、エッジ案内ユニットが接触することによる不具合は生じない。エッジ冷却及び／又は牽引（例えば、加熱ゾーンにおける）により、座屈が防止されると共に、横方向の減衰が抑制される。
【００４２】
冷却ゾーン３３６は、延伸ガラスシート１１０の一部を、冷却温度に冷却するように構成されている。一部の実施の形態において、冷却ゾーン３３６は、ガラス母材１００の加熱された部分に隣接する延伸ガラスシート１１０の近位部分が、遠位に進み冷却ゾーンに入るように、加熱ゾーンの遠位又は下流に配置されている。例えば、冷却ゾーン３３６は、延伸ガラスシート１１０の近位部分を、冷却温度に冷却するように構成されている。一部の実施の形態において、冷却温度は、ガラス層のガラス組成に基づいており、延伸ガラスシートの形状歪及び応力を最小にするように適合されている。これに加えて、又は代えて、冷却温度は、複数のガラス層のうちの最も高いひずみ点以下である。冷却ゾーン３３６は、延伸ガラスシート１１０を冷却速度で冷却温度に冷却する。一部の実施の形態において、冷却速度は、ガラスが粘弾性領域未満にあるときよりも、ガラスが粘弾性領域を通過するときの方が大きい。これに加えて、又は代えて、冷却速度はＣＴＥ曲線及び／又は予熱速度に一致させることができる。延伸ガラスシートの近位部分に対する、かかる制御された冷却は、十分に迅速であって延伸ガラスシートの幅の固定に役立つと共に、十分に緩慢であって熱に誘発される形状歪及び／又は応力を抑制することができる。
【００４３】
一部の実施の形態において、延伸ユニット３３０は、延伸ガラスシート１１０を延伸ユニット３３０から駆動か又は引き出すように構成された、延伸駆動ユニット３４２を有している。例えば、図３に示す実施の形態において、延伸駆動ユニット３４２は、延伸ガラスシート１１０の対向する表面に係合して、延伸ユニット３３０を通して、延伸ガラスを牽引するように構成された一対の駆動ローラーを有している。駆動ローラーは、その間に延伸ガラスシート１１０を係合させ、回転して延伸ガラスシートを縦に遠位方向に牽引する。別の実施の形態において、延伸駆動ユニットは、駆動ベルト、把持アーム、又は別の適切な駆動装置を備えている。延伸駆動ユニット３４２は、延伸速度で、延伸ガラスシート１１０を延伸ユニット３３０から駆動又は引き出す。例えば、駆動速度は、延伸ガラスシート１１０が、延伸ユニット３３０から引き出されるときの遠位方向に進む速度を構成する。延伸駆動ユニット３４２は、調整可能であって、延伸速度を調整する。例えば、駆動ローラーの回転速度を増加させて延伸速度を増加させるか、又は減少させて延伸速度を減少させることができる。一部の実施の形態において、延伸速度は供給速度より大きい。従って、延伸ガラスシート１１０は、ガラス母材１００が延伸ユニット３３０に導入されるよりも速く、延伸ユニットから引き出される。一部の実施の形態において、供給速度に対する延伸速度の比は、延伸ガラスシートの厚さに対する、ガラス母材の厚さの比と実質的に同じである。例えば、ドローダウン比と速度比との間にほぼ直線的な関係が存在し得る。延伸速度と供給速度との間のかかる関係は、ガラス母材の加熱後遠位領域を牽引して、そこから延びる延伸ガラスシートを形成するのに役立ち得る。延伸駆動ユニット３４２は、予熱ユニット３３２、加熱ユニット３３４、及び／又は冷却ユニット３３６の遠位若しくは下流に配置され、延伸ガラスシート１１０を延伸ユニット３３０から引き出す。例えば、延伸駆動ユニット３４２は、冷却ユニット３３６又は冷却ユニットの遠位若しくは下流に配置され、減衰温度未満の温度（例えば、冷却温度）の延伸ガラスシート１１０の領域に係合する。
【００４４】
一部の実施の形態において、延伸ユニット３３０又はその一部は、延伸ユニットの様々な構成要素を囲む制御された環境の維持に役立つ、延伸エンクロージャ３４４内に封止されている。例えば、延伸エンクロージャ３４４は、その内部にクリーンルーム及び／又は不活性雰囲気を有している。
【００４５】
回収ユニット３５０を延伸ユニット３３０の遠位又は下流に配置することにより、本明細書に記載のように、延伸ガラスシート１１０が、延伸ユニットから回収ユニットに進むことができる。例えば、開口制御装置３５２が、延伸エンクロージャ３４４の出口及び／又は回収ユニット３５０の入口に配置されている。開口制御装置３５２は、延伸ガラスシート１１０が通過して、回収ユニット３５０に導入される開口部のサイズ制御に役立つ。開口制御装置３５２は、開口制御装置３２４に関して説明したように構成することができる。
【００４６】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０は、延伸ガラスシート１１０を延伸ユニット３３０から及び／又は回収ユニットを通して、駆動又は引き出すように構成された回収駆動ユニット３５４を有している。回収駆動ユニット３５４は、概して、延伸駆動ユニット３４２に関して説明したように構成することができる。例えば、図３に示す実施の形態において、回収駆動ユニット３５４は、延伸ガラスシート１１０の対向する表面に係合して、延伸ユニット３３０及び/又は回収ユニット３５０を通して、延伸ガラスシートを駆動する一対の駆動ローラーを有している。回収駆動ユニット３５４は、調整可能であって、駆動速度を調整する。
【００４７】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０は、延伸ガラスシート１１０の厚さを測定するように構成された、厚さ測定装置３５６を有している。厚さ測定装置は、レーザー測定装置、超音波測定装置、干渉計、又は別の適切な測定装置を備えている。一部の実施の形態において、計測された厚さに応じて、再延伸システム３００の１つ以上のパラメータを調整することができる。例えば、測定された厚さが目標の厚さ未満である場合、供給速度に対する延伸速度の比を低減することができ、これによって延伸ガラスシート１１０の厚さを増加させることができる。これに加えて、又は代えて、測定された厚さが目標の厚さを超えている場合、供給速度に対する延伸速度の比を増加させることができ、これによって延伸ガラスシート１１０の厚さを低減することができる。
【００４８】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０は、延伸ガラスシート１１０の欠陥を検出するように構成された、欠陥検出装置３５８を有している。欠陥検出装置３５８は、カメラシステム、干渉縞パターンシステム、反射システム、又は別の適切な検出システムを備えている。
【００４９】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０は、延伸ガラスシート１１０の一方又は両方の外面に、コーティングを施すように構成された、コーティング適用装置３６０を有している。コーティング適用装置３６０は、液体コーティング装置（例えば、噴霧装置、蒸発塗布装置、浸漬装置、ブラッシング装置）、膜適用装置（例えば、ローラー）、蒸着装置（例えば、熱蒸着装置）、又は別の適切な適用装置を備えている。コーティングは、延伸ガラスシート１１０の表面の損傷保護及び／又は延伸シートの清浄無垢な品質の維持に役立つ。例えば、コーティングは、延伸ガラスシート１１０が本明細書に記載のように巻設されたとき、表面と表面との接触を防止するように構成された間紙を成す。コーティングは、例えば、ポリマー等の適切なコーティング材料を含んでいる。
【００５０】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０は、延伸ガラスシート１１０を切断するように構成された、切断装置３６２を有している。切断装置３６２は、切り込みホイール、スクライブチップ、切断ディスク、レーザー、トーチ、流体ジェット、屈曲装置、別の適切な切断装置、又はそれらの組み合わせを含んでいる。一部の実施の形態において、切断装置３６２は、（例えば、延伸ガラスシートの幅調整及び／又は延伸ガラスシートからビーズを除去するために）延伸ガラスシート１１０を縦に切断する。これに加えて、又は代えて、切断装置３６２は、延伸ガラスシート１１０に沿って、異なる横方向位置に配置された、複数の切断装置を備えている。例えば、切断装置３６２は、延伸ガラスシート１１０の第１のエッジの近傍に配置された第１の切断装置、及び延伸ガラスシートの第１のエッジに対向する第２のエッジの近傍に配置された、第２の切断装置を備えている。第１の切断装置及び第２の切断装置の各々は、延伸ガラスシート１１０を縦に切断することができる。従って、延伸ガラスシート１１０の各々のエッジに存在する比較的厚い領域又はビーズは、ビーズ間に存在する延伸ガラスシートの中央領域から除去することができる。
【００５１】
一部の実施の形態において、回収ユニと３５０は、延伸ガラスシート１１０を巻設するための回収スプール３６４を有している。例えば、回収スプール３６４は、図３に示すように、延伸ガラスシート１１０が周囲に巻設される、実質的に円筒形の本体を有している。スプールの直径はガラスシート１１０の曲げ半径に基づくことができる。例えば、薄いガラスシートは、厚いガラスシートより小さい曲げ半径を有することができる。従って、厚いガラスシートは、薄いガラスシートより大きい直径のスプールに回収することができる。円筒形本体は円形断面形状を有している。別の実施の形態において、回収スプールは、三角形、長方形、楕円形、又は他の適切な多角形若しくは非多角形の断面形状を有することができる。一部の実施の形態において、回収スプール３６４は、軸を中心に回転可能である。かかる回転は、延伸ガラスシート１１０の回収スプール３６４周囲への巻設、及び／又は延伸ユニット３３０及び／又は回収ユニット３５０を通した、延伸ガラスシートの牽引に役立つ。一部の実施の形態において、回収スプール３６４に対する延伸ガラスシート１１０の巻設は、延伸ガラスシートに自由ループ３６６を維持、及び／又は回収駆動ユニット３５４と回収スプールとの間に張力を維持することによって制御される。
【００５２】
一部の実施の形態において、回収ユニット３５０又はその一部は、回収ユニットの様々な構成要素を囲む制御された環境の維持に役立つ、回収エンクロージャ３６８内に封止されている。例えば、回収エンクロージャ３６８は内部にクリーンルーム及び／又は不活性雰囲気を有している。
【００５３】
一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０は、フレキシブルガラスシートを構成している。かかるフレキシブルガラスシートは、本明細書に記載のように、延伸ガラスシートの回収スプールへの巻設を可能にすることができる。本明細書に記載の方法を用いて延伸ガラスシートを形成すると、延伸ガラスシートは、実質的に欠陥（例えば、切粉、亀裂、傷、又は他の欠陥）がない、清浄無垢な外面を有することができる。これに加えて、又は代えて、延伸ガラスシート１１０は、１つ以上の非研磨外面（例えば、研磨又は研削処理を経ていない外面）を有している。かかる清浄無垢な外面によって、延伸ガラスシートを破損せずに、延伸ガラスシートを比較的小さい曲げ半径に曲げることが可能になる。例えば、一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０は、理論的な最小曲げ半径の約４０％以内、約３０％以内、又は約２０％以内の曲げ半径に曲げることができる。理論的な最小曲げ半径は、清浄無垢又は欠陥の無い表面を有する、特定の厚さの延伸ガラスシートが、破損せずに曲げることができる曲げ半径を意味する。一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０は、約５０ｍｍ以下、約４０ｍｍ以下、約３５ｍｍ以下、約３０ｍｍ以下、約２５ｍｍ以下、約２０ｍｍ以下、約１５ｍｍ以下、又は約１０ｍｍ以下の曲げ半径に曲げることができる。
【００５４】
一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０は、強化ガラスシートとして構成されている。例えば、一部の実施の形態において、第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６の第２のガラス組成は、コア層の第１のガラス組成と異なる平均熱膨張率（ＣＴＥ）を有している。例えば、第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６は、コア層１０２より低い平均ＣＴＥを有するガラス組成から形成されている。本明細書において、「平均熱膨張率」という用語は、０℃〜３００℃における、所与の材料又は層の平均熱膨張率を意味する。本明細書において、「熱膨張率」という用語は、特に断りのない限り、平均の熱膨張率を意味する。延伸ガラスシート１１０が冷却されると、直接隣接する層間におけるＣＴＥの不整合（即ち、第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６の平均熱膨張率と、コア層１０２の平均熱膨張率との差）により、クラッド層に圧縮応力が生じ、コア層に引っ張り応力が生じる。様々な実施の形態において、第１及び第２のクラッド層の各々は、独立して、コア層より高い平均ＣＴＥ、低い平均ＣＴＥ、又は実質的に同じ平均ＣＴＥを有することができる。
【００５５】
一部の実施の形態において、コア層１０２の平均ＣＴＥと第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６の平均ＣＴＥは、少なくとも約５×１０−７℃−１、少なくとも約１５×１０−７℃−１、少なくとも約２５×１０−７℃−１、少なくとも約３０×１０−７℃−１、少なくとも約４０×１０−７℃−１、又は少なくとも約５０×１０−７℃−１だけ異なっている。これに加えて、又は代えて、コア層１０２の平均ＣＴＥと第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６の平均ＣＴＥは、約１００×１０−７℃−１以下、約７５×１０−７℃−１以下、約５０×１０−７℃−１以下、約４０×１０−７℃−１以下、約３０×１０−７℃−１以下、約２０×１０−７℃−１以下、又は約１０×１０−７℃−１以下だけ異なっている。一部の実施の形態において、第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６の第２のガラス組成は、約６６×１０−７℃−１以下、約５５×１０−７℃−１以下、約５０×１０−７℃−１以下、約４０×１０−７℃−１以下、又は約３５×１０−７℃−１以下の平均ＣＴＥを有している。これに加えて、又は代えて、第１及び／又は第２のクラッド層１０４及び１０６の第２のガラス組成は、少なくとも約２５×１０−７℃−１又は少なくとも３０×１０−７℃−１の平均ＣＴＥを有している。これに加えて、又は代えて、コア層１０２の第１のガラス組成は、少なくとも約４０×１０−７℃−１、少なくとも約５０×１０−７℃−１、少なくとも約５５×１０−７℃−１、少なくとも約６５×１０−７℃−１、少なくとも約７０×１０−７℃−１、少なくとも約８０×１０−７℃−１、少なくとも約９０×１０−７℃−１の平均ＣＴＥを有している。これに加えて、又は代えて、コア層１０２の第１のガラス組成は、約１１０×１０−７℃−１以下、約１００×１０−７℃−１以下、約９０×１０−７℃−１以下、約７５×１０−７℃−１以下、又は約７０×１０−７℃−１以下の平均ＣＴＥを有している。
【００５６】
一部の実施の形態において、クラッド層の圧縮応力は、約８００ＭＰａ以下、約５００ＭＰａ以下、約３５０ＭＰａ以下、又は約１５０ＭＰａ以下である。これに加えて、又は代えて、クラッド層の圧縮応力は、少なくとも約１０ＭＰａ、少なくとも約２０ＭＰａ、少なくとも約３０ＭＰａ、少なくとも約５０ＭＰａ、又は少なくとも約２５０ＭＰａである。これに加えて、又は代えて、コア層の引張応力は、約１５０ＰＭａ以下、約１２０ＰＭａ以下、又は約１００ＰＭａ以下である。これに加えて、又は代えて、コア層の引張応力は、少なくとも約５ＭＰａ、少なくとも約１０ＭＰａ、少なくとも約２５ＭＰａ、又は少なくとも約５０ＭＰａである。
【００５７】
本明細書に記載の再延伸方法は、延伸ガラスシートの中央領域に対し非接触であり、及び／又は管理された環境下で実施されるため、生来のガラス強度が維持され、これは薄い強化積層ガラス構造体の製造に有益であり得る。かかる強化積層ガラス構造体は、コアガラスに対するクラッドガラスのＣＴＥ不整合によってもたらされた、圧縮表面ガラス応力及び引張内部ガラス応力によって達成可能であり、及び／又は再成形処理の前、途中、又は後におけるイオン交換によって実現することができる。また、強化は、ガラスシートを強化する２つの技術の組み合わせとして、及び／又は焼き戻し方法と組み合わせて、実現することができる。かかる強化された薄い又は極薄の積層体は、曲げ、折り畳み、又はフレキシブルなガラス物品又はガラス含有物品が有益である用途（例えば、フレキシブル電子シート、フレキシブルディスプレイ、フレキシブルカバーシート、フレキシブル環境若しくは湿気防止基板若しくは階層、光コネクタ用導波路、及びガラス膜）に用いることができる。
【００５８】
エッチング及び研磨技術は、露出面にのみ作用するため、かかる技術は、内部コア層の厚さを低減することはできない。更に、かかる技術は、強化極薄ガラスを製造する際に、総厚さに対するコア層の比を含む、ＣＴＥ不整合によって決定される強度特性に影響を及ぼす。本明細書に記載の再延伸方法は、延伸ガラスシートが、ガラス母材と同じ厚さ比を有することを可能にする。換言すれば、再延伸方法は、ガラス母材の初期のガラス厚さ比を延伸ガラスシートに維持する。一部の実施の形態において、再成形した極薄ガラスでマイクロ又はナノ単位の厚さを実現することができる。例えば、３つのガラス層を超える、多層ガラス積層体を再延伸して、光学的又は他の固有の特性が所望されるシート内にナノ境界を生成することができる。
【００５９】
一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０の複数のガラス層のうちの少なくとも１つが、少なくとも部分的に除去されて、薄膜延伸ガラスシートが形成される。例えば、延伸ガラスシート１１０の１つ以上の層が、完全に又は実質的に完全に除去されて、延伸ガラスシートの厚さが低減され、薄膜延伸ガラスシートが形成される。一部の実施の形態において、第２の層（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６）が、少なくとも部分的に、延伸ガラスシートから除去される。例えば、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６の一方が延伸ガラスシート１１０から除去され、コア層１０２及び他方のクラッド層が、２層ガラスシートとして残る。一部の実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６の各々が、延伸ガラスシート１１０から除去されて、コア層１０２が単層ガラスシートとして残る。一部の実施の形態において、第１の層（例えば、コア層１０２）が、延伸ガラスシートから除去されて、第２の層（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６）が、１つ以上の薄膜ガラスシートとして残る。例えば、コア層１０２が、延伸ガラスシート１１０から除去されて、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６が、２つの単層ガラスシートとして残る。
【００６０】
一部の実施の形態において、第２の層（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６）は、第１の層（例えば、コア層１０２）より耐久性が低い。例えば、図１に示す実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６は、コア層１０２より耐久性が低い。第２のガラス組成（例えば、第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６のガラス組成）は、第１のガラス組成（例えば、コア層１０２のガラス組成）と比較して、試薬中における分解速度が大きい。従って、第１のガラス組成の試薬中における分解速度は、第２のガラス組成の試薬中における分解速度より小さい。一部の実施の形態において、第２のガラス組成の試薬中における分解速度は、第１のガラス組成の試薬中における分解速度より少なくとも１０倍大きい。一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０を試薬に接触させて、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６の少なくとも一部を、コア層１０２から除去して、コア層の外面が露出される。クラッド層とコア層との間の耐久性の差によって、延伸ガラスシートを試薬に接触させ、コア層を実質的に分解又は溶解せずに、クラッド層を分解又は溶解させて、クラッド層をコア層から除去することが可能になる。
【００６１】
試薬は延伸ガラスシートの１つ以上の層を分解又は溶解することができる適切な成分を含有している。例えば、試薬は酸、塩基、別の適切な成分、又はそれらの組み合わせを含有している。一部の実施の形態において、試薬は、例えば、鉱酸（例えば、ＨＣｌ、ＨＮＯ３、Ｈ２ＳＯ４、Ｈ３ＰＯ４、Ｈ３ＢＯ３、ＨＢｒ、ＨＣｌＯ４、又はＨＦ）、カルボン酸（例えば、ＣＨ３ＣＯＯＨ）、又はそれらの組み合わせ等の酸を含有している。例えば、一部の実施の形態において、試薬はＨＣｌ（例えば、水中５０体積％のＨＣｌ）を含有している。これに加えて、又は代えて、試薬はＨＮＯ３を含有している。一部の実施の形態において、試薬は、例えば、ＬｉＯＨ、ＮａＯＨ、ＫＯＨ、ＲｂＯＨ、ＣｓＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）２、Ｓｒ（ＯＨ）２、Ｂａ（ＯＨ）２、又はそれらの組み合わせ等の塩基を含有している。
【００６２】
一部の実施の形態において、試薬は実質的にＨＦを含有していない。ＨＦは多くの異なる酸化物に反応するため、殆どのガラス組成に対する反応性が高い。例えば、ＨＦは二酸化ケイ素と反応して、気体状又は水溶性フッ化ケイ素を形成する。ＨＦを含む試薬に延伸ガラスシートのコア層を接触させると、ＨＦがコア層と反応する可能性があり、これによって、コア層の表面が粗面化又は損傷する可能性がある。ＨＦを実質的に含まない試薬を用いることによって、試薬がコア層と実質的に反応するのが防止され、コア層の表面を損傷することなく、クラッド層をコア層から除去することができる。
【００６３】
一部の実施の形態において、第２の層（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６）と第１の層（例えば、コア層１０２）との間でイオン交換が行われる。例えば、コア層１０２に存在する、より小さいカチオン（例えば、一価のアルカリ金属カチオン又は二価のアルカリ土類金属カチオン）が、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層に存在する、より大きいカチオン（例えば、一価のアルカリ金属カチオン、二価アルカリ土類金属カチオン、又はＡｇ＋）に置換される。より小さいカチオン及びより大きいカチオンは、同じ価数又は酸化状態を有することができる。より小さいカチオンをより大きいカチオンに置換することによって、コア層１０２に、圧縮又は圧縮応力（ＣＳ）下にある表面層が生成される。この表面層は、層深さ（ＤＯＬ）まで、コア層１０２の内部又はバルクに延びている。これは、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６の除去後における、薄膜延伸ガラスシート（例えば、単層又は２層ガラスシート）の強度の向上に役立つ。これに加えて、又は代えて、表面層は、（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６を除去しない、又は除去する前の）ガラスシートに埋め込まれた強化層として作用することができる。表面層における圧縮応力は、コア層１０２の内部領域における引張り応力（ＴＳ）又は中心張力によってバランスされる。イオン交換は、例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６をコア層から除去する前に、（例えば、ガラス母材１００を延伸ガラス１１０の延伸する間に）ガラスシートを加熱する等、適切な方法で実施することができる。かかるその場におけるイオン交換（例えば、再延伸処理中）により、従来の技術を用いて実際にイオン交換できるものよりも薄いイオン交換ガラスシートを形成することができる。一部の実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６の各々が、本明細書に記載のようにコア層１０２から除去されて、薄い単層イオン交換カラスシートが形成される。
【００６４】
一部の実施の形態において、第１の層（例えば、コア層１０２）は第２の層（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６）より耐久性が低い。例えば、コア層１０２は、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６より耐久性が低い。第１のガラス組成（例えば、コア層１０２のガラス組成）は、第２のガラス組成（例えば、第１及び第２のクラッド層１０４及び１０６のガラス組成）と比較して、試薬中における分解速度が大きい。一部の実施の形態において、延伸ガラスシート１１０を試薬に接触させて、コア層１０２を除去して、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６を互いに分離させる。コア層とクラッド層との間の耐久性の差によって、延伸ガラスシートを試薬に接触させて、クラッド層を実質的に分解又は溶解させずに、コア層を分解又は溶解させて、クラッド層を互いに分離させることが可能になる。
【００６５】
本明細書に記載の第１のガラス組成（例えば、比較的耐久性のある第１の層用）として用いることができる、幾つかの例示的なガラス組成を表１に示す。また、本明細書に記載の第２のガラス組成（例えば、比較的耐久性の低い第２の層用）として用いることができる、幾つかの例示的なガラス組成を表２に示す。表１及び２に示すガラス組成は、単なる例示であって、本開示の範囲において、別の適切なガラス組成も使用することができる。
【００６６】
【表１】
2018500263.tif 000003
【００６７】
【表２−１】
2018500263.tif 000004
【００６８】
【表２−２】
2018500263.tif 000005
【００６９】
延伸ガラスシートから１つ以上の層を除去することにより、従来の成形技術を用いて、実際に達成できるものより薄いガラスシートを形成することができる。一部の実施の形態において、ガラス母材及び延伸ガラスシートは比較的薄いコア及び比較的厚いクラッドを有している。例えば、ガラス母材は１００μｍの厚さを有し、コア層の母材厚さ比は０．８である。従って、コア層は８０μｍの厚さを有し、第１及び第２のクラッド層の各々は１０μｍの厚さを有している。ガラス母材は、延伸ガラスシートが１．２５μｍの厚さを有するように延伸される。従って、コア層は１μｍの厚さを有し、第１及び第２のクラッド層の各々は０．１２５μｍの厚さを有している。本明細書に記載のように、第１及び第２のクラッド層の各々が除去されて、１μｍの厚さを有する薄膜延伸ガラスシートが形成される。
【００７０】
延伸ガラスシート及び／又は薄膜延伸ガラスシートは、電子装置の基板を提供することができる。一部の実施の形態において、延伸ガラスシートから外層が除去される。例えば第１のクラッド層１０４が延伸ガラスシート１１０から除去され、コア層１０２の表面が露出し、図４に示すように、２層ガラスシートが形成される。従って、２層ガラスシートはコア層１０２及び第２のクラッド層１０６を有している。図５に示すように、電子装置１２０が、コア層１０２の露出面に形成される。電子装置１２０は、例えば、リソグラフィ（例えば、フォトリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、Ｘ線リソグラフィ、又はイオンビームリソグラフィ）、印刷（例えば、インクジェット印刷、グラビア印刷、又はスクリーン印刷）、蒸着（例えば、物理蒸着又は化学蒸着）、又はそれらの組み合わせ等、適切な方法で形成される。これに加えて、又は代えて、電子装置１２０は、例えば、抵抗器、コンデンサ、ダイオード、トランジスタ、又はそれらの組み合わせ等、１つ以上の適切な電子装置を含んでいる。例えば、電子装置１２０は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を含んでいる。電子装置１２０の形成続いて、他方の外層が延伸ガラスシートから除去される。例えば、第２のクラッド層１０６が延伸ガラスシート１１０から除去され、図６に示すように、表面に電子装置１２０が形成された、単層ガラスシートが形成される。従って、コア層１０２は、電子装置１２０の基板として機能する。第２のクラッド層１０６は、コア層１０２に対し、電子装置１２０が形成される間、構造的支持又は剛性を与える支援を行うことができ、次に第２のクラッド層１０６を除去して、コア層を電子装置用の薄い及び／又はフレキシブルな基板として残すことができる。一部の実施の形態において、コア層１０２は、アルカリ金属酸化物成分を含有していないか又は実質的に含有していない。例えば、コア層のアルカリ金属酸化物成分の濃度は、約０．３モル％以下、約０．２モル％以下、又は約０．１モル％以下である。かかるアルカリ金属酸化物成分は、例えば、タッチセンサーのような特定の電子装置の動作を妨害する可能性がある。従って、アルカリを含有しないコア層を提供することにより、電子装置の動作を妨害しないコア層の表面に、電子装置を形成することができる。一部の実施の形態において、表面に電子装置１２０が形成されたコア層１０２は、フレキシブル電子用途、例えば、フレキシブルディスプレイの一部等として使用することができる。
【００７１】
一部の実施の形態において、内部層が延伸ガラスシートから除去される。例えば、コア層１０２が延伸ガラスシート１１０から除去され、第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６が互いに分離され、２つの薄膜ガラスシート（例えば、２つの単層カラスシート）が形成される。一部の実施の形態において、コア層１０２が除去される前に、延伸ガラスシート１１０の一方又は両方の外側表面（例えば、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６の外側表面）に電子装置が形成される。第１のクラッド層１０４及び第２のクラッド層１０６が分離された後、一方又は両方のクラッド層が電子装置の基板として機能する。クラッド層がコア層によって結合されている間に、電子装置を形成することにより、電子装置が形成される間、構造的支持又は剛性を与える支援を行うことができる。次にクラッド層を分離することにより、一方又は量上のクラッド層を電子装置用の薄い及び／又はフレキシブルな基板として残すことができる。一部の実施の形態において、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６は、アルカリ金属酸化物成分を含有していないか又は実質的に含有していない。一部の実施の形態において、表面に電子装置が形成された、第１のクラッド層１０４及び／又は第２のクラッド層１０６は、フレキシブル電子用途、例えば、フレキシブルディスプレイの一部等として使用することができる。
【００７２】
一部の実施の形態において、本明細書に記載の方法を用いて、内部にナノメートルスケールのバリア層を含む、延伸ガラスシートを形成することができる。例えば、図７はガラス母材１１２の別の例示的な実施の形態の積層構造の断面図である。ガラス母材１１２は、ガラス母材１１２のコア層が、内側コア層１０２ａ、第１の外側コア層１０２ｂ、及び第２の外側コア層１０２ｃを有していることを除き、ガラス母材１００と同様である。従って、ガラス母材１１２は、５層の積層構造を有している。コア層は第１のクラッド層１０４と第２のクラッド層１０６との間に配置され、内側コア層１０２ａは、第１の外側コア層１０２ｂと第２の外側コア層１０２ｃとの間に配置されている。ガラス母材１１２を本明細書に記載のように延伸して、５層の積層構造を有する延伸ガラスシートを形成することができる。かかる延伸処理は、様々な層の厚さの比を維持することができる。従って、比較的薄い外側コア層を備えたガラス母材から開始することにより、内側コア層とクラッド層の各々との間に薄いバリア層を備えた延伸ガラスシートを形成することができる。かかる構造は、ガラスシートの外側表面にのみ作用するエッチング又は研削処理を用いて、ガラス母材から形成することはできなかった。一部の実施の形態において、延伸ガラスシートの第１の外側コア層１０２ｂ及び／又は第２の外側コア層１０２ｃは、少なくとも約１０ｎｍ、少なくとも約２０ｎｍ、又は少なくとも約４０ｎｍの厚さを有している。これに加えて、又は代えて、延伸ガラスシートの第１の外側コア層１０２ｂ及び／又は第２の外側コア層１０２ｃは、約１００ｎｍ以下、約９０ｎｍ以下、又は約８０ｎｍ以下の厚さを有している。例えば、ガラス母材１１２は５ｍｍの厚さを有している。第１の外側コア層１０２ｂ及び第２の外側コア層１０２ｃの各々は、１０μｍの厚さを有している。ガラス母材１１２は延伸されて、２０μｍの厚さを有する延伸ガラスシートが形成される。従って、延伸ガラスシートの第１の外側コア層１０２ｂ及び第２の外側コア層１０２ｃの各々は、内側コア層１０２ａと第１のクラッド層１０４、又は第２のクラッド層１０６のいずれか一方との間にバリア層を有し、その厚さは４０ｎｍである。
【００７３】
様々な実施の形態において、延伸ガラスシート及び／又は薄膜延伸ガラスシートは、従来の成形技術を用いて達成できるものよりも薄い厚さを有することができる。これに加えて、又は代えて、延伸ガラスシート及び／又は薄膜延伸ガラスシートは、研削及び／又はエッチング処理に起因し得る表面損傷を受けることなく、フュージョンドローガラスシートに関連する、清浄無垢な表面を有することができる。
【００７４】
本明細書に記載のガラス製品は、例えば、ＬＣＤ、ＬＥＤ、ＯＬＥＤ、量子ドットディスプレイ、コンピュータモニタ、現金自動預け払い機（ＡＴＭ）を含む、民生用若しくは商業用電子機器のカバーガラス若しくはガラスバックプレーンの用途、例えば、携帯電話、パーソナルメディアプレーヤー、タブレットコンピュータを含む、電子機器のタッチスクリーン若しくはタッチセンサー用途、例えば、半導体ウェファーを含む集積回路用途、太陽光発電用途、建築用ガラス用途（例えば、壁、汚れ止めパネル、キャビネット等）、自動車若しくは車両ガラス用途、商業用若しくは家庭用器具用途、照明若しくは標識（例えば、静的若しくは動的標識）用途、又は、例えば、鉄道及び航空宇宙用途を含む、輸送用途等を含む、様々な用途に用いることができる。
【実施例】
【００７５】
フュージョンドロー法を用いて、図１に示す積層構造及び０．７ｍｍの厚さを有する、３層のガラス母材を形成した。コア層は約６２０μｍの厚さを有し、第１及び第２のクラッド層の各々は、約４０μｍの厚さを有していた。従って、コア層の母材厚さ比は、約０．９であった。ガラス母材を延伸して、４４μｍの厚さを有する延伸ガラスシートを形成した。図８は延伸ガラスシートの断面の写真である。コア層は約４０μｍの厚さを有し、第１及び第２のクラッド層の各々は、約２μｍの厚さを有していた。従って、コア層のシート厚さ比は約０．９であった。
【００７６】
図９は延伸ガラスシートをある半径に曲げた延伸ガラスシートを示す写真である。延伸ガラスシートは、その理論上の最小曲げ半径が２６ｍｍであるのに対し、約３１ｍｍの曲げ半径に曲げることができた。
【００７７】
本発明の精神及び範囲を逸脱せずに、様々な改良及び変形が可能であることは、当業者には明らかであろう。従って、本発明は添付の特許請求の範囲及びその等価物に照らすことを条件に、制限されるものではない。
【００７８】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００７９】
実施形態１
複数のガラス層を含むガラス母材を加熱するステップと、
前記ガラス母材を遠位方向に延伸して、前記ガラス母材から遠位に延び、前記複数のガラス層を含む延伸ガラスシートであって、厚さが前記ガラス母材の厚さより薄いシートを形成するステップと、
前記延伸ガラスシートを回収スプールに巻設するステップと、
を備えた方法。
【００８０】
実施形態２
前記ガラス母材が、前記複数のガラス層を含む一体積層構造を有する、実施形態１記載の方法。
【００８１】
実施形態３
前記複数のガラス層の各々の母材厚さ比が、前記ガラス母材の前記厚さに対する、前記ガラス母材における、それぞれのガラス層の厚さの比を構成し、
前記複数のガラス層の各々のシート厚さ比が、前記延伸ガラスシートの前記厚さに対する、前記延伸ガラスシートにおける、それぞれのガラス層の厚さの比を構成し、
前記複数のガラス層の各々の母材厚さ比が、それぞれのガラス層のシート厚さ比と実質的に同じである、
実施形態１又は実施形態２記載の方法。
【００８２】
実施形態４
粘性状態の第１のガラス層の第１のガラス組成を、粘性状態の第２のガラス層の第２のガラス組成に接触させて、前記ガラス母材を形成するステップを更に備えた、実施形態１〜３いずれかに記載の方法。
【００８３】
実施形態５
前記接触させるステップが、フュージョンドロー装置において、前記第１のガラス組成を前記第２のガラス組成に接触させるステップを含む、実施形態４記載の方法。
【００８４】
実施形態６
前記複数のガラス層が、第１のガラス層、及び該第１のガラス層に隣接する第２のガラス層を含み、前記延伸ガラスシートから、前記第２のガラス層の少なくとも一部を除去するステップを備えた、実施形態１〜５いずれかに記載の方法。
【００８５】
実施形態７
前記第２のガラス層の試薬中における分解速度が、前記第１のガラス層の前記試薬中における分解速度より大きく、前記除去するステップが、前記延伸ガラスシートを、前記試薬に接触させるステップを含む、実施形態６記載の方法。
【００８６】
実施形態８
前記第１のガラス層が、コア層を含み、前記第２のガラス層が、第１のクラッド層及び第２のクラッド層を含み、前記コア層が、前記第１のクラッド層と前記第２のクラッド層との間に配置されている、実施形態６又は実施形態７記載の方法。
【００８７】
実施形態９
前記コア層のシート厚さ比が、前記除去するステップの前における、前記延伸ガラスシートの前記厚さに対する、前記延伸ガラスシートにおける前記コア層の厚さの比を構成し、前記コア層の前記シート厚さ比が、約０．８以下である、実施形態８記載の方法。
【００８８】
実施形態１０
前記ガラス母材の前記厚さが、少なくとも約１００μｍであり、前記延伸ガラスにおける前記第１の層の厚さが、約５０μｍ未満である、実施形態６〜９いずれかに記載の方法。
【００８９】
実施形態１１
前記除去するステップの前に、前記第１のガラス層の表面に、電子装置を形成するステップを更に備えた、実施形態６〜９いずれかに記載の方法。
【００９０】
実施形態１２
前記電子装置が、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を含む、実施形態１１記載の方法。
【００９１】
実施形態１３
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含み、前記延伸ガラスシートから、前記コア層の少なくとも一部を除去して、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層を互いに分離するステップを備えた、実施形態１〜５いずれかに記載の方法。
【００９２】
実施形態１４
前記除去するステップの前に、前記第１のクラッド層又は前記第２のクラッド層の少なくとも一方の表面に、電子装置を形成するステップを更に備えた、実施形態１３記載の方法。
【００９３】
実施形態１５
前記複数のガラス層が、第１のクラッド層と第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含む、実施形態１〜５いずれかに記載の方法。
【００９４】
実施形態１６
前記コア層の平均の熱膨張率（ＣＴＥ）が、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の各々の平均のＣＴＥより大きい、実施形態１５記載の方法。
【００９５】
実施形態１７
前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の各々とのイオン交換によって、前記コア層を化学強化するステップを更に備えた、実施形態１５又は実施形態１６記載の方法。
【００９６】
実施形態１８
前記延伸ステップ及び前記化学強化ステップに続いて、前記強化されたコア層から、前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層を除去するステップを更に備えた、実施形態１７記載の方法。
【００９７】
実施形態１９
第１のガラス層、及び該第１のガラス層に隣接する第２のガラス層を含む、ガラス母材を加熱するステップと、
前記ガラス母材を遠位方向に延伸して、前記ガラス母材から遠位に延び、前記第１のガラス層及び前記第２のガラス層を含む延伸ガラスシートであって、厚さが前記ガラス母材の厚さより薄いシートを形成するステップと、
前記延伸ガラスシートから、前記第２のガラス層の少なくとも一部を除去するステップと、
を備えた方法。
【００９８】
実施形態２０
前記第２のガラス層の試薬中における分解速度が、前記第１のガラス層の前記試薬中における分解速度より大きく、前記除去するステップが、前記延伸ガラスシートを前記試薬に接触させるステップを含む、実施形態１９記載の方法。
【００９９】
実施形態２１
前記除去するステップの前に、前記第１のガラス層の表面に、電子装置を形成するステップを更に備えた、実施形態１９又は実施形態２０記載の方法。
【０１００】
実施形態２２
前記第２のガラス層が、第１のクラッド層及び第２のクラッド層を含み、前記第１のガラス層が、前記第１のクラッド層と前記第２のクラッド層との間に配置された、コア層を含む、実施形態１９〜２１いずれかに記載の方法。
【０１０１】
実施形態２３
前記第１のガラス層が、第１のクラッド層及び第２のクラッド層を含み、前記第２のガラス層が、前記第１のクラッド層と前記第２のクラッド層との間に配置された、コア層を含む、実施形態１９〜２１いずれかに記載の方法。
【０１０２】
実施形態２４
前記延伸するステップが、前記ガラス母材を、供給速度で、加熱ユニットに導入するステップ、及び前記延伸ガラスシートを、前記供給速度より大きい延伸速度で、前記加熱ユニットから引き出すステップを含む、実施形態１９〜２３いずれかに記載の方法。
【０１０３】
実施形態２５
前記延伸ガラスシートを回収スプールに巻設するステップを更に備えた、実施形態１９〜２４いずれかに記載の方法。
【０１０４】
実施形態２６
複数のガラス層を含むガラス母材を加熱するように構成された加熱ユニットと、
ガラス母材を遠位方向に延伸して、前記ガラス母材から遠位に延びる延伸ガラスシートを形成するように構成された延伸ユニットであって、前記延伸ガラスシートが、前記複数のガラス層を含み、前記延伸ガラスシートの厚さが、前記ガラス母材の厚さより薄い、延伸ユニットと、
前記延伸ガラスシートを回収スプールに巻設するように構成された、回収ユニットと、
を備えたシステム。
【０１０５】
実施形態２７
第１のガラス層、該第１のガラス層に隣接する第２のガラス層、及び約０．１ｍｍ以下の厚さを有するガラスシート。
【０１０６】
実施形態２８
非研磨外面を更に有する、実施形態２７記載のガラスシート。
【０１０７】
実施形態２９
前記第２のガラス層の試薬中における分解速度が、前記第１のガラス層の前記試薬中における分解速度より大きく、前記延伸ガラスシートを前記試薬に接触させると、前記第２のガラス層の少なくとも一部が除去される、実施形態２７又は実施形態２８記載のガラスシート。
【０１０８】
実施形態３０
前記第２のガラス層が、第１のクラッド層及び第２のクラッド層を含み、前記第１のガラス層が、前記第１のクラッド層と前記第２のクラッド層との間に配置されたコア層を含む、実施形態２７〜２９いずれかに記載のガラスシート。
【０１０９】
実施形態３１
前記第１のクラッド層及び前記第２のクラッド層の各々の平均の熱膨張率（ＣＴＥ）が、前記コア層の平均のＣＴＥより小さい、実施形態３０記載のガラスシート。
【０１１０】
実施形態３２
表面に形成された電子装置を更に有する、実施形態２７〜３１いずれかに記載のガラスシート。
【０１１１】
実施形態３３
理論上の最小曲げ半径の約４０％以内の曲げ半径に曲げることができる、実施形態２７〜３２いずれかに記載のガラスシート。
【０１１２】
実施形態３４
約５０ｍｍ以下の曲げ半径に曲げることができる、実施形態２７〜３３いずれかに記載のガラスシート。
【０１１３】
実施形態３５
約０．１ｍｍ以下の厚さ、及び圧縮応力下にあり、層深さまで内部に延びる表面層を有するイオン交換ガラスシート。
【０１１４】
実施形態３６
回収スプールに巻設される、実施形態３５記載のイオン交換ガラスシート。
【０１１５】
実施形態３７
実施形態２７〜３６いずれかに記載のガラスシートを備えた、民生用若しくは商業用電子装置、建築用ガラス構造体、車両用ガラス構造体、又は商業用若しくは家庭用器具。
【符号の説明】
【０１１６】
１００、１１２  ガラス母材
１０２          コア層
１０２ａ        内側コア層
１０２ｂ        第１の外側コア層
１０２ｃ        第２の外側コア層
１０４          第１のクラッド層
１０６          第２のクラッド層
１１０          延伸ガラスシート
２００          オーバーフロー分配器
２２０          下部オーバーフロー分配器
２４０          上部オーバーフロー分配器
３００          再延伸システム
３１０          供給ユニット
３１２          供給スプール
３１４          剥離ユニット
３１８          静電気防止装置
３３０          延伸ユニット
３３２          予熱ゾーン
３３４          加熱ゾーン
３３６          冷却ゾーン
３５０          回収ユニット
３５６          厚さ測定装置
３５８          欠陥検出装置
３６４          回収スプール
【図１】
2018500263.tif 000006
【図２】
2018500263.tif 000007
【図３】
2018500263.tif 000008
【図４】
2018500263.tif 000009
【図５】
2018500263.tif 000010
【図６】
2018500263.tif 000011
【図７】
2018500263.tif 000012
【図８】
2018500263.tif 000013
【図９】
2018500263.tif 000014
【国際調査報告】
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