【事件の表示】
　平成１０年特許願第　６８２６２号「荷電粒子線照射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　９月２８日出願公開、特開平１１−２６５６７４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成１０年３月１８日の出願であって、平成１５年１０月２９日付け（発送日同年１１月１１日）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１５年１２月１１日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成１６年１月１３日付けで手続補正がなされたものである。
　
　
２．平成１６年１月１３日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
平成１６年１月１３日付けの手続補正を却下する。
［理由］
本件補正は、特許請求の範囲の請求項１の
　
「【請求項１】　試料を保持する試料台と、前記試料台を駆動する駆動手段と、前記試料台の移動量を検出する検出手段と、試料上に荷電粒子線を２次元走査して照射するための荷電粒子線光学系と、荷電粒子線照射によって試料から発生する試料信号に基づいて試料像を表示する画像表示手段とを含む荷電粒子線照射装置において、
　前記画像表示手段に表示された試料像上にマーカを表示するマーカ表示手段と、試料像上でのマーカ位置を入力する入力手段と、前記検出手段の出力に基づいて前記画像表示手段に表示された試料像の移動量と移動方向を演算する演算手段とを備え、前記画像表示手段上での前記マーカの表示位置を前記演算手段によって演算された試料像の移動量と移動方向に従って移動させる機能を有し、前記マーカが試料像に貼り付いて移動することを特徴とする荷電粒子線照射装置。」
を、
　
「【請求項１】　試料を保持する試料台と、前記試料台を駆動する駆動手段と、前記試料台の移動量を検出する検出手段と、試料上に荷電粒子線を２次元走査して照射するための荷電粒子線光学系と、荷電粒子線照射によって試料から発生する試料信号に基づいて試料像を表示する画像表示手段とを含む荷電粒子線照射装置において、
　前記画像表示手段に表示された試料像上にマーカを表示するマーカ表示手段と、試料像上でのマーカ位置を入力する入力手段と、前記検出手段の出力に基づいて前記画像表示手段に表示された試料像の移動量と移動方向を演算する演算手段とを備え、前記画像表示手段上での前記マーカの表示位置を前記演算手段によって演算された試料像の移動量と移動方向に従って移動させる機能を有し、前記マーカが試料像に貼り付いて移動すると共に、　前記入力手段によって入力された第１のマーカ位置と第２のマーカ位置の位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料像上の位置に前記マーカ表示手段によってマーカを表示する機能を有し、
　前記マーカはその一部に文字及び／又は数値からなる符号を含み、前記符号を隣接するマーカに含まれる符号に対して自動的に変更して表示する機能を有することを特徴とする荷電粒子線照射装置。」
　
と補正することを含むものである。
　
　上記補正は、補正前の請求項１に記載した発明特定事項に、「と共に、前記入力手段によって入力された第１のマーカ位置と第２のマーカ位置の位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料像上の位置に前記マーカ表示手段によってマーカを表示する機能を有し、
　前記マーカはその一部に文字及び／又は数値からなる符号を含み、前記符号を隣接するマーカに含まれる符号に対して自動的に変更して表示する機能を有する」を追加するものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「本件補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかどうか（平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について検討する。
　
（１）引用例に記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願日前である昭和６０年６月４日に頒布された刊行物である実願昭５８−１７２７１８号（実開昭６０−８０６５８号）のマイクロフィルム（以下、「引用例」という。）には、図面とともに、
　
（１−１）「第１図は本考案の一実施例の概略を示すもので、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電子線２は集束レンズ３により収束され試料４に照射される。５ｘ、５ｙは電子線２を偏向するための偏向コイルであり走査信号発生回路６より鋸歯状波の走査信号が倍率切り換え回路７及び加算回路８を介して供給される。この走査信号発生回路６よりの走査信号は陰極線管９の偏向コイルにも供給されており、該陰極線管９は電子線２と同期走査される。１０は試料４より発生する例えば二次電子を検出する二次電子検出器であり、この検出器１０よりの出力信号は図示しない増幅器により増幅された後、陰極線管９の画面上の任意の位置に十字状のマークＭを表示するマーク加算回路１１を介して前記陰極線管９に輝度信号として供給される。１２は試料４を載置する試料ステージであり、該試料ステージ１２はパルスモータ１３ｘ、１３ｙによってＸ（水平）方向、Ｙ（垂直）方向へ移動できる様になっている。１４はパルスモータ１３ｘ、１３ｙを回転させるための駆動パルスを発生する駆動回路である。１５は前記陰極線管９にマークＭを表示する制御やパルスモータの制御や加算回路８への加算を制御する制御回路である。１６は制御回路１５に接続された視野移動手段であり、該手段１６の操作パネル１６ａには第２図に示す如く、偏向コイル５ｘ、５ｙに供給する信号レベルを変化させて電子線による試料走査範囲のシフトを行うための摘子１６Ｗ，１６Ｖと、パルスモータ１３ｘ及び１３ｙを駆動する摘子１６ｘ、１６ｙと、電子線による試料走査の幅を可変する倍率可変用の摘子Ｎが設けられている。これらの摘子を操作することにより陰極線管９の画面に表示される走査像の視野が任意に可変される。１７は制御回路１５に接続されたマーク制御手段を示し、その操作パネル１７ａには第３図に示す如く、マーク名を示す例えばＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄのスイッチと、マーク表示用のスイッチ１７ｄと、マーク移動用の摘子Ｈ，Ｖと、マーク信号を入力するためのスイッチ１７ｉと、マーク読出しのためのスイッチ１７ｒが設けられている。１８はマーク制御手段１７からの指定信号に基づいてマークの座標位置を記憶する記憶手段である。
　第１図の装置を用いて試料観察を行なうには、視野移動手段１６の操作パネル１６ａに設けられた摘子を操作して陰極線管９の画像に目的とする視野が表示されるように調整する。この調整操作は、第４図に示すように、試料４の表面に想定したＸ，Ｙ座標系における電子線走査の範囲Ｆの広さ（幅）と位置を可変することに相当する。この範囲Ｆの４隅の座標は、例えば夫々、（２００，３００）、（２００，１００）、（４００，３００）、（４００，１００）となる。そして、このような観察の途中で、その後改めて観察したいと思う視野があった場合には、マーク制御手段１７を用い、以下の手順によってその座標位置を記憶させておく。即ち、先ず操作パネル１７ａのマーク表示スイッチ１７ｄを押して陰極線管９画面内に十字マークＭを表示する。そして、マーク移動用摘子Ｈ及びＶを操作して十字マークＭを所望の観察点に位置させ、操作パネル１７ａの例えばＡのスイッチを押すと共にマーク入力スイッチ１７ｉを押す。この操作により制御回路１５は信号入力時における試料ステージの移動状態、電子線偏向レベルの状態、電子線走査幅（像倍率）の状態及び陰極線管９画面における十字マークＭの位置に基づいて試料４上に想定したＸＹ座標系における座標値を演算し、その座標値例えば（２８６，２２６）の値を記憶回路１８に“Ａ”のラベルを付して記憶させる。この時点で陰極線管９の画面上に表示されていた十字マークＭは消去される。又、試料４のマークＡとは異なった走査領域の観察点にマークを付けたい時は、視野範囲をかえて前記と同様にマーク表示スイッチ１７ｄを押して十字マークＭを表示し、マーク移動用摘子Ｈ及びＶを操作してマークＭを所望の観察点に位置させる。そして、操作パネル１７ａの例えばＢのスイッチを押すと共にマーク入力スイッチ１７ｉを押すことにより、記憶回路１８にはマーク“Ｂ”のラベルと座標（１２３，４６３）が記憶される。以下、同様に視野を変えてマークＣ、マークＤのラベルと座標をそれぞれ記憶させ、その座標は例えば（０２９，４６３）、（４５０，３５０）の様に記憶する。これらの操作によって試料４上には第４図に示す様に仮想的に４ヶ所の観察点にマークＡ、マークＢ、マークＣ、マークＤがそれぞれ付けられたことになる。
　ところで、この様に試料４上に仮想的に付けられたマークは試料４の観察視野を第４図の破線で示す範囲に変えて走査している時に、以前観察した観察箇所、例えばマークＢを観察したい場合には、スイッチＢを押すとともにスイッチ１７ｒを押す。この操作により制御回路１５は現在試料を走査している領域の座標範囲を演算して一時的に、記憶しておき、該座標範囲内に前記記憶回路１８に記憶されているマークＢの座標が存在しているかを調べて、存在している場合は陰極線管９に十字マークＭが表示される。存在していない場合には陰極線管９の画面上にはマークＭは表示されないので、観察倍率を下げたり視野移動操作を行うことにより、十字マークＭが見つかるようにすればよい。このように、十字マークを目印とすることができるため視野を捜す操作が極めて容易になる。そのため、表面の形状変化や組成変化が略一様なパターンを示す試料の像観察等において既に観察した視野を再び観察する場合の視野捜しの操作に時間と手間を掛けることはない。
　尚、本考案は以上の実施例装置に限定されるものではなく、例えば陰極線管画面内に目印を付した座標位置が存在する場合には常に十字マークが表示されるようにしたり、十字マークを表示する代わりにマークに付されたＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ等のラベル名を表わす文字や記号を表示するように構成することも容易である。」（明細書２頁１６行〜８頁８行）
　
が記載されている。
　
　そして、上記記載事項（１−１）中の「この操作により制御回路１５は信号入力時における試料ステージの移動状態、電子線偏向レベルの状態、電子線走査幅（像倍率）の状態及び陰極線管９画面における十字マークＭの位置に基づいて試料４上に想定したＸＹ座標系における座標値を演算し、その座標値例えば（２８６，２２６）の値を記憶回路１８に“Ａ”のラベルを付して記憶させる。この時点で陰極線管９の画面上に表示されていた十字マークＭは消去される。」と、
「ところで、この様に試料４上に仮想的に付けられたマークは試料４の観察視野を第４図の破線で示す範囲に変えて走査している時に、以前観察した観察箇所、例えばマークＢを観察したい場合には、スイッチＢを押すとともにスイッチ１７ｒを押す。この操作により制御回路１５は現在試料を走査している領域の座標範囲を演算して一時的に、記憶しておき、該座標範囲内に前記記憶回路１８に記憶されているマークＢの座標が存在しているかを調べて、存在している場合は陰極線管９に十字マークＭが表示される。存在していない場合には陰極線管９の画面上にはマークＭは表示されないので、観察倍率を下げたり視野移動操作を行うことにより、十字マークＭが見つかるようにすればよい。」と
の記載によれば、
　十字マークＭの、試料４上に想定したＸＹ座標系における座標値が制御回路１５によって演算・記憶され、いったん記憶された十字マークＭを再度観察したい場合には、視野移動操作を行うことにより、十字マークＭを表示できるから、
　「走査電子顕微鏡が、試料ステージ１２の移動状態を検出する手段を有し、この検出する手段の出力に基づいて陰極線管９に表示された試料の像の移動量と移動方向を演算する制御回路１５を備え、陰極線管９上での十字状のマークＭの表示位置を前記制御回路１５によって演算された試料の像の移動状態と移動方向に従って移動させる機能を有している」ことが読み取れる。
　さらに、上記記載事項（１−１）中の「本考案は以上の実施例装置に限定されるものではなく、例えば陰極線管画面内に目印を付した座標位置が存在する場合には常に十字マークが表示されるようにしたり、」の記載によれば、
「十字マークＭが試料の像に貼り付いて移動すること」も読み取れる。
　
　したがって、これらの記載事項によると、引用例には、つぎのとおりの発明、
　
「試料４を載置する試料ステージ１２と、前記試料ステージ１２を駆動するパルスモータ１３Ｘ，１３Ｙと、前記試料ステージ１２の移動状態を検出する手段と、試料４上に電子線２を２次元走査して照射するための偏向コイル５ｘ、５ｙと、電子線２照射によって試料４から発生する出力信号に基づいて試料の像を表示する陰極線管９とを含む走査電子顕微鏡において、
　前記陰極線管９に表示された試料の像上に十字状のマークＭを表示するマーカ加算回路１１と、試料の像上での十字状のマークＭ位置を入力するマーク入力スイッチ１７ｉと、前記検出する手段の出力に基づいて前記陰極線管９に表示された試料の像の移動量と移動方向を演算する制御回路１５とを備え、前記陰極線管９上での前記十字状のマークＭの表示位置を前記制御回路１５によって演算された試料の像の移動状態と移動方向に従って移動させる機能を有し、前記十字マークが試料の像に貼り付いて移動する、　
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。」（以下、これを「引用例に記載の発明」という。）
　　
が記載されているものと認める。
　
（２）対比・判断
　本件補正発明１と引用例に記載の発明とを対比する。
　引用例に記載の発明における「試料４」、「試料ステージ１２」、「パルスモータ１３Ｘ，１３Ｙ」、「移動状態」、「検出する手段」、「電子線２」、「偏向コイル５ｘ、５ｙ」、「出力信号」、「陰極線管９」、「走査電子顕微鏡」、「十字状のマークＭ」、「マーカ加算回路１１」、「マーク入力スイッチ１７ｉ」、「制御回路１５」は、それぞれ、
　本件補正発明１における「試料」、「試料台」、「駆動手段」、「移動量」、「検出手段」、「荷電粒子線」、「荷電粒子線光学系」、「試料信号」、「画像表示手段」、「荷電粒子線照射装置」、「マーカ」、「マーカ表示手段」、「入力手段」、「演算手段」に相当する。
　　
したがって、両者は、
　
【一致点】
「試料を保持する試料台と、前記試料台を駆動する駆動手段と、前記試料台の移動量を検出する検出手段と、試料上に荷電粒子線を２次元走査して照射するための荷電粒子線光学系と、荷電粒子線照射によって試料から発生する試料信号に基づいて試料像を表示する画像表示手段とを含む荷電粒子線照射装置において、
　前記画像表示手段に表示された試料像上にマーカを表示するマーカ表示手段と、試料像上でのマーカ位置を入力する入力手段と、前記検出手段の出力に基づいて前記画像表示手段に表示された試料像の移動量と移動方向を演算する演算手段とを備え、前記画像表示手段上での前記マーカの表示位置を前記演算手段によって演算された試料像の移動量と移動方向に従って移動させる機能を有し、前記マーカが試料像に貼り付いて移動する、
ことを特徴とする荷電粒子線照射装置。」
で一致し、
　
【相違点】
　「本件補正発明１では、入力手段によって入力された第１のマーカ位置と第２のマーカ位置の位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料像上の位置にマーカ表示手段によってマーカを表示する機能を有し、
　マーカはその一部に文字及び／又は数値からなる符号を含み、符号を隣接するマーカに含まれる符号に対して自動的に変更して表示する機能を有するのに対して、
　引用例に記載の発明では、マーク入力スイッチ１７ｉによって入力された二つの十字状のマークＭの位置関係によって決定される方向とピッチに十字状のマークＭを表示したり、十字状のマークＭに符号を付けて、これを自動的に変更して表示するような機能は有していない点」
で相違する。
　　
　そこで、上記【相違点】について検討する。
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願日前である昭和６２年１０月２７日に頒布された刊行物である特開昭６２−２４６２４２号公報に、
「このように構成された装置で、例えば試料２上で５点の分析点Ｐ１，Ｐ２……Ｐ５を電子線１で順次照射して分析する場合について説明する。
　先ず、モード切り換えスイッチ５及び信号選択スイッチ１０を第１図に示すように実線で示す状態にして、走査電源４よりの走査信号Ｘ，Ｙを偏向コイル３Ｘ，３Ｙに供給して試料２を電子線１で走査する。この電子線１の走査に伴って検出される２次電子ｅを陰極線管１３に供給することにより例えば第５図に示すように陰極線管１３には２次電子像Ａが表示される。次に、分析点数を決定するために分析点数設定スイッチ３３を分割抵抗選択用端子３０ｄ，３１ｄ及び分析点数設定用端子３２ｄが選択されるように移動すると、この移動によって、５点の分析点が設定される。
　ところで、それぞれの可変抵抗の両端に加えられる電子線偏向用直流電源７よりの電圧＋Ｖ〜−Ｖと走査電源４のＸ及びＹ走査信号の振幅とは対応しているため、可変抵抗２０及び可変抵抗２１を調整すると、分析点数設定回路８よりＸ軸方向の分析始点に対応した電圧Ｖｘｓが出力され、同様にＹ軸方向の分析始点に対応する電圧Ｖｙｓが出力される。従って、電圧Ｖｘｓと電圧Ｖｙｓは輝度アップ回路９を介してグリッド１３ｇに供給されるため、陰極線管１３には第６図に示すように２次電子像Ａと共に電圧Ｖｘｓと電圧Ｖｙｓの交点が分析始点Ｐ１として輝点表示される。同様に、可変抵抗２２及び可変抵抗２３を調整すると、分析点数設定回路８よりＸ軸方向の分析終点に対応した電圧Ｖｘｅが出力され、Ｙ軸方向の分析終点に対応する電圧Ｖｙｅが出力されるため、電圧Ｖｘｅ電圧Ｖｙｅは輝度アップ回路９を介してグリッド１３ｇに供給され、陰極線管１３には電圧Ｖｘｅと電圧Ｖｙｅの交点が、分析終点Ｐ５として輝点表示される。この操作により、分析始点Ｐ１と分析終点Ｐ５が決定され、順次分析点移動スイッチ３９をオン状態にすることにより、第６図に示すように他の分析点も表示することができる。」（第３頁左下欄第８行〜第４頁左上欄第７行）
と記載されている。
　この記載によれば、試料像の上に表示された始点と終点との間に、所定ピッチで他の点のマークを表示することは出願前公知の技術であるから、
　引用例に記載された発明に上記公知の技術を適用し、走査電子顕微鏡に、マーク入力スイッチ１７ｉによって入力された例えばマークＡとマークＢの二つの十字状のマークＭの位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料の像の上にマーカ加算回路１１によって十字状のマークＭを表示する機能をもたせることは、当業者が必要に応じてなし得ることである。
　さらに、例えば、引用例には、「十字マークを表示する代わりにマークに付されたＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ等のラベル名を表わす文字や記号を表示するように構成することも容易である。」と記載され、
　特開平８−２６１８２８号公報には、「【００２８】このようなトンボの検出が終了すると、トンボの印刷位置を基準とする座標系が定まる。このため、各印刷物の測定点をこの座標系で表わせば、どのような印刷物に対しても、正確に対応する点を測定点として指定でき、色彩値の比較が正しく行える。
【００２９】トンボの検出が終わると、実際の色の測定を行なう。測定値は測定点の座標とともにパーソナルコンピュータ３２に入力される。また、印刷物１０上に測定点が印されるとともに、モニタ３４上にトンボのマークとともに測定点が表示される。測定点は何番目の点であるかを示す序数として表示される。測定点は３０点であった。」と記載されているように、
　マークに代えてあるいはマークと共に、数字の符号を表示し、この符号をマークに対応して変更することは周知であるから、始点と終点との間に所定ピッチでマークを表示する際に、符号を付けてこれを変更することも当業者が適宜なし得ることである。
　したがって、引用例に記載された発明において、マークＡとマークＢの二つの十字状のマークＭの位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料の像の上に表示された十字状のマークＭが、その一部に数値からなる符号を含み、符号が隣接する十字状のマークＭに含まれる符号に対して自動的に変更されて表示されるように構成することも、当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、本件補正発明１の効果は、引用例に記載された発明、上記公知の技術及び周知事項に基づいて当業者が予測可能な範囲内のものである。
　
　したがって、本件補正発明１は、引用例に記載された発明、上記公知の技術及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
３．本願発明について
　平成１６年１月１３日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜８に係る発明は、平成１５年９月１日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載から見て、その特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりである。
　
「【請求項１】　試料を保持する試料台と、前記試料台を駆動する駆動手段と、前記試料台の移動量を検出する検出手段と、試料上に荷電粒子線を２次元走査して照射するための荷電粒子線光学系と、荷電粒子線照射によって試料から発生する試料信号に基づいて試料像を表示する画像表示手段とを含む荷電粒子線照射装置において、
　前記画像表示手段に表示された試料像上にマーカを表示するマーカ表示手段と、試料像上でのマーカ位置を入力する入力手段と、前記検出手段の出力に基づいて前記画像表示手段に表示された試料像の移動量と移動方向を演算する演算手段とを備え、前記画像表示手段上での前記マーカの表示位置を前記演算手段によって演算された試料像の移動量と移動方向に従って移動させる機能を有し、前記マーカが試料像に貼り付いて移動することを特徴とする荷電粒子線照射装置。」
　
　
４．引用例に記載の発明
　引用例に記載の発明は、前記「２．（１）」に記載したとおりである。
　
　
５．対比・判断
　本願発明１は、前記「２．」で検討した本件補正発明１から、「と共に、前記入力手段によって入力された第１のマーカ位置と第２のマーカ位置の位置関係によって決定される方向とピッチに合致する試料像上の位置に前記マーカ表示手段によってマーカを表示する機能を有し、
　前記マーカはその一部に文字及び／又は数値からなる符号を含み、前記符号を隣接するマーカに含まれる符号に対して自動的に変更して表示する機能を有する」点の事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明１の発明特定事項を全て含み、さらに他の限定事項を付加したものに相当する本件補正発明１が、前記「２．（２）」に記載したとおり、引用例に記載された発明、上記公知の技術及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、本件補正発明１についての判断で示したのと同様の理由により、引用例に記載された発明、上記公知の技術及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである
　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用例に記載された発明、上記公知の技術及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明１が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２〜８に係る発明について検討するもでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。