【事件の表示】
　平成１１年特許願第２７４５４５号「高透過率プリズムビームエキスパンダを備える狭帯域化装置」拒絶査定に対する審判事件［平成１２年４月２１日出願公開、特開２０００−１１４６３５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【1】手続の経緯
　本願は平成11年9月28日(米国での出願に基づくパリ条約による優先日: 平成10年9月28日)に出願されたものであり、平成13年9月26日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成年14年1月4日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年2月4日付けで手続補正がなされたものである。
　
【2】平成14年2月4日付けの手続補正についての補正却下
〔補正却下の決定の結論〕
　平成14年2月4日付けの手続補正を却下する。
　
〔理由〕
【2-1】補正の内容
　本件補正は、補正前の請求項1の記載「レーザを線狭帯域化するための線狭帯域化装置において、a)グレーティングと、b)少なくとも4つのCaF2プリズムからなるプリズムビームエキスパンダと、を有し、各プリズムが少なくとも1つの表面を有し、該表面はコーティングされた表面を構成し、該コーティングは単一層コーティングであり、CaF2の屈折率より大きな屈折率を有する材料からなるコーティングであり、前記プリズムは、ビームエキスパンダにおける反射損失を実質的に低減させるように、前記チャンバの外に出るレーザビームが67と71度の間の入射角度で前記プリズムの各々のコーティングされた表面と交差するように位置決めされ、前記ビームエキスパンダから出る前記ビームは拡大方向において少なくとも約20倍の倍率で拡大され、前記単一の層がまた、被覆されていないプリズムと比較してビームエキスパンダにおいて反射損失を実質的に低減させ、多層被覆と比較して実質的に増加した耐久性を提供する、ことを特徴とする線狭帯域化装置。」を、
　「レーザを線狭帯域化するための線狭帯域化装置において、前記線狭帯域化装置が、A)グレーティングと、B)レーザチャンバからのレーザビームを少なくとも約20倍の倍率で拡大するためのプリズムビームエキスパンダと、を有し、前記ビームエキスパンダが、少なくとも4つのプリズムからなり、前記4つのプリズムの各々が前記チャンバからの前記ビームと67度と71度との間の角度で配置された第1の表面を備え、Al2O3の単一層を有する被膜を備え、C)前記レーザビームに関する中心波長を選択するための波長選択手段と、を有することを特徴とする線狭帯域化装置。」と補正する内容を含むものである。
　
【2-2】補正の目的
　上記請求項1についての補正は、プリズムビームエキスパンダの素材に関する技術事項を、補正前の「少なくとも4つのCaF2プリズム」から、「少なくとも4つのプリズム」とするものである。このように、プリズムビームエキスパンダの素材に関する技術的な限定である「CaF2」を削除することは、この削除と同時に他の技術的観点による限定を新たに付加したとしても、当該素材についての技術的事項の範囲を拡げることになる。また、同補正は補正前の請求項1の「ビームエキスパンダにおける反射損失を実質的に低減させるように」及び「単一の層がまた、被覆されていないプリズムと比較してビームエキスパンダにおいて反射損失を実質的に低減させ、多層被覆と比較して実質的に増加した耐久性を提供する」という記載を削除するものである。
　よって、上記補正のうち、補正前の請求項1の記載を補正後の請求項1の記載に補正する部分は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものとは認められず、特許法第17条の2第4項第1号から第4号に掲げるいずれの事項をも目的とするものではない。
　
【2-3】むすび
　以上のとおりであるから、上記補正は、特許法第17条の2第4項の規定に違反するものであり、特許法第159条第1項で準用する特許法第53条第1項の規定により却下すべきものである。
　
【3】本願発明について
【3-1】本願発明
　平成14年2月4日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項1〜14に係る発明は、平成12年7月17日付けで補正された明細書の特許請求の範囲、請求項1〜14に記載されたとおりのものであり、その請求項1に係る発明(以下、「本願発明」という。)は以下のとおりである。
　「レーザを線狭帯域化するための線狭帯域化装置において、
a)グレーティングと、
b)少なくとも4つのCaF2プリズムからなるプリズムビームエキスパンダと、を有し、各プリズムが少なくとも1つの表面を有し、該表面はコーティングされた表面を構成し、該コーティングは単一層コーティングであり、CaF2の屈折率より大きな屈折率を有する材料からなるコーティングであり、前記プリズムは、ビームエキスパンダにおける反射損失を実質的に低減させるように、前記チャンバの外に出るレーザビームが67と71度の間の入射角度で前記プリズムの各々のコーティングされた表面と交差するように位置決めされ、前記ビームエキスパンダから出る前記ビームは拡大方向において少なくとも約20倍の倍率で拡大され、
　前記単一の層がまた、被覆されていないプリズムと比較してビームエキスパンダにおいて反射損失を実質的に低減させ、多層被覆と比較して実質的に増加した耐久性を提供する、
ことを特徴とする線狭帯域化装置。」
　
【3-2】引用例1
　これに対して、原査定の拒絶理由として引用した、特開平5-152666号公報(引用例1)には、以下の事項が記載されている。
【0001】
　「【0001】【産業上の利用分野】請求項1ないし請求項3の発明は、例えば半導体装置の露光用光源に使用されるエキシマレーザなどの狭帯域化レーザに関するものである。」
【0009】〜【0016】
　「【0009】【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る狭帯域化レーザは、ビームエキスパンダの倍率をM、グレーティングへのビームの入射角度をβとしたとき、Mtanβ≧80となるように、倍率及び入射角度を設定したものである。
【0010】請求項2の発明に係る狭帯域化レーザは、プリズムを有するビームエキスパンダを用い、グレーティングを有する光共振器の長さをL、放電幅をωとしたとき、プリズムの法線に対してビームのなす角度θが、θ＞ω/8Lの関係を満たすようにしたものである。
【0011】請求項3の発明に係る狭帯域化レーザは、グレーティングを有する光共振器中に、放電幅の16%以上の幅を有するスリットを設けたものである。
【0012】【作用】請求項1の発明においては、Mtanβを80以上としてビームエキスパンダ及びグレーティングの性能を規定することにより、ビームの波長幅を3pm以下にする。
【0013】請求項2の発明においては、ビームエキスパンダのプリズムへの入射角度を規定することにより、プリズムの面と部分反射鏡との間で生じる弱い発振を止め、波長純度を高める。
【0014】請求項3の発明においては、スリット幅を広くすることにより、ビーム出力を高くする。
【0015】【実施例】以下、請求項1ないし請求項3の発明の実施例を図について説明する。図1は請求項1ないし請求項3の発明の一実施例によるエキシマレーザを示す構成図であり、図11と同一又は相当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
【0016】図において、11は第1及び第2の窓3a,3bにそれぞれ対向している2枚のスリット板であり、これらのスリット板11には、それぞれスリット11aが設けられている。12はビームエキスパンダ4,グレーティング5及びマイクロメータ6からなる狭帯域化モジュールである。」
【0029】〜【0039】
　「【0029】次に、図3はプリズムを用いたビームエキスパンダの働きを示す説明図である。ビームエキスパンダは、球面レンズやシリンドリカルレンズを用いても良いが、1方向に拡大する場合はプリズムが良く用いられる。図3は2個のプリズムを用いた例で、ビームが約10倍に拡大されていることがわかる。
【0030】通常、図3のθ4は、拡大率を大きくするために0度に近い角度で用いられる。しかし、完全に0度であると、プリズムと部分反射鏡1(図1)との間で光共振器が組まれることになり、グレーティング5(図1)を通らない成分が発生して波長純度が低下してしまう。
【0031】これを防止するためには、放電幅をω(放電強度分布をガウシアンで近似したとき最大値の1/e2により与えられる幅とする)とし、光共振器の長さをLとしたとき、θ4＞ω/8Lとすれば良いことが、実験等により明らかにされた。これは、ビームが4往復したとき放電が生じている領域から外れるという条件に相当する。
【0032】我々の例では、ω=5mm、L=1300mmであるから、θ4は0.48mrad以上にすればよい。通常、プリズムの法線とビームとのなす角度θのうち、θ4及びθ8が最も小さいので、これらが上記の条件を満足すれば、他についても条件を満足する。
【0033】なお、θの上限としては、理論的にはθ＜90度であるが、実用上は70〜80度程度が適当である。
【0034】また、この面に図3のような無反射コート(AR)を施せば、理論的には光共振器ができず、波長純度が向上する。しかし、現実的には、エキシマレーザの波長領域では、反射率を完全に0にすることはできないため、ARだけでは多少の波長純度劣化が残る。そこで、ARに加えて、面を傾けておけば効果的である。
【0035】図4は1個のプリズムについてビームの入射角度(図3のθ1)とビームの拡大率Mとの関係及び入射角度と入射面に対してp偏光成分の反射率Rpとの関係を示す関係図である。但し、計算上θ4は0とした。
【0036】反射が大きいとレーザの効率が下がるので、反射率は許容範囲内でできるだけ小さくし、拡大率はできるだけ大きくすることが望ましい。入射角度57度(ブリュースター角)では、反射率は0になるが、拡大率は1.5と小さい。3pmを得るための考察によると、プリズムビームエキスパンダ全体の倍率としては、20から30倍にする必要があるため、このプリズムを用いるとすると7〜8個連ねなければならないことになる。或は、入射角度を80度以上にすれば、拡大率は4.2以上になり、プリズムは2〜3個で済むが、1個当たり23%以上となってレーザの効率が低下する。
【0037】そこで、入射角度は60〜80度程度とし、3〜4個のプリズムを連ねるのが妥当である。また、入射面に反射率を低減するためのコートを施すことができれば、入射角度のより大きいプリズムを使用することができる。このコートは、ビームの偏光成分のうち、少なくとも一方に対して反射率が小さければよい。それは、発振開始の早い時期にビームの偏光が反射率の低い偏光成分に揃ってしまうため、レーザの発振効率は偏光を考えないときと殆ど変わらないという事情による。
【0038】但し、偏光成分が選択されていると加工に異方性が生じるので、このビームを使って微細加工を行うときには、光共振器から出たビームをλ/4素子に通し、円偏光に変えておくなどの工夫が必要である。
【0039】反射率を低減するコートを施す場合、コートの耐光強度が問題となる。耐光強度は、光のエネルギー密度に反比例するので、放電チャンバに近いプリズム(例えば図1の第1のプリズム4a)にはコートを施さず、その代わり入射角度を小さくし、ビームが拡大されてエネルギー密度が下がったあとは、コート付きのプリズムを用いることも考えられる。」
【図7】〜【図10】
　同図には、4つのプリズムを用いたビームエキスパンダ4が図示されている。
　
【3-3】引用例2
　また、原査定の拒絶理由として引用した、特開平10-209548号公報(引用例2)には、以下の事項が記載されている。
【要約】
　「【要約】【課題】 スペクトルバンド幅変動の少ないエキシマレーザを提供する。
【解決手段】 本発明のレーザは、少なくとも2つのプリズムを有するビームエキスパンダを含む部材アッセンブリを有し、該2つのプリズムが、アッセンブリを通過するレーザビームのスペクトルバンド幅を減少させる。ビームエキスパンダの少なくとも1つのプリズムが熱的に安定な材料から形成され、そのような材料は、所望の波長を有する光に対する吸収係数が約0.1パーセント/cmと低く、温度にともなう屈折率変化率が約2.3×10-6(℃)-1と低く、20℃における熱伝導率が少なくとも約9.71W/m℃であり、および/または熱膨張係数が少なくとも約9×10-6(℃)-1である。好適な実施態様において、ビームプロフィールの安定性が改善され、レーザからのビームのスペクトルバンド幅の変動が減少し、スペクトルバンド幅自体も減少し、レーザの電圧安定性が大きい。」
【特許請求の範囲】
　「【請求項1】 エキシマレーザチャンバからの光ビームのスペクトルバンド幅を減少するために用いるアッセンブリであって、該ビームは所望の波長範囲の光および所望でない波長の光を有し、該アッセンブリは、a.少なくとも1つの開口部、b.少なくとも2つのプリズムを有するビームエキスパンダであって、該プリズムは光ビームを透過する材料で形成され、該プリズムのうち少なくとも1つは該所望の波長範囲の光に対して約0.1%/cm以下の吸収係数を有する、ビームエキスパンダおよび、c.回折格子であって、i.該少なくとも1つの開口部は、該レーザチャンバからの該光ビームが該開口部を通過するように位置され、ii.該ビームエキスパンダの該プリズムは、該ビームが該プリズムを透過する際に該レーザからの該光ビームが拡張されるように位置され、iii.該格子は、該プリズムから出射する該光ビームの少なくとも実質的な部分が該格子によって反射されるように位置され、該所望の波長範囲が反射されて該ビームエキスパンダの該プリズムおよび該開口部を再び通過して該レーザチャンバに再び入射し、該所望でない波長の光の実質的に全部が、反射して該レーザチャンバ中に再び入射することがない、回折格子を備える、アッセンブリ。
・・・
【請求項16】 前記少なくとも1つのプリズムはフッ化カルシウムを含む、請求項1から4、6、および12のいずれかに記載のアッセンブリ。」
　
【3-4】引用例3
　また、原査定の拒絶理由として引用した、 マックス・ボルン エミル・ウオルフ著 草川徹・横田英嗣訳 「光学の原理I」(1974年10月25日)東海大学出版 pp.90-99,59-65(特に、96頁5行〜97頁2行の記載)(引用例3)には、以下の事項が記載されている。
92頁図1.17
　反射率を求める式(59)に対応する均質な媒質1(屈折率n1)と3(屈折率n3)とで挟まれた単層誘電体膜2(屈折率n2、膜厚h)の電磁波の伝播方向が「図1.17均質膜の電磁波の伝播」として図示されている。
96頁5行〜97頁2行
　「(59)をさらに詳しく調べれば、斜入射の場合、TE波(電気ベクトルが入射面と直交)に対しては不可能であるが、TM波(電気ベクトルが入射面と平行)に対しては反射率を零とすることができることがわかる。すなわち、適当な条件の下では、R||=0、R┻≠0が同時に成立する。以上より、適当な誘電体物質を利用すれば・・・・。R┻の値(R||=0の下で)として大きなものを得るためには、屈折率n2が大きければ大きい程良い。例えば、n1=1,n2=2.5,n3=1.53でθ1=74°30'ならば、R||=0、R┻=0.79なる値が得られるのである。」
　
【3-4】対比
　本願発明と引用例1に記載された発明とを比較する。
　引用例1の記載事項からみて、引用例1には、
　「エキシマレーザなどのビームを狭帯域化するための狭帯域化モジュールにおいて、
a)グレーティング5と、
b)3〜4個のプリズムからなるビームエキスパンダ4と、を有し、各プリズムが少なくとも1つの表面を有し、該表面は反射率を低減するためのコートを施した表面を構成し、前記プリズムは、ビームエキスパンダ4における反射損失を実質的に低減させるように、エキシマレーザなどのビームが60〜80度程度の間の入射角度で前記プリズムの各々のコートを施した表面と交差するように位置決めされ、前記ビームエキスパンダ4から出る前記ビームは拡大方向において20から30倍の倍率で拡大され、
　前記コートは、エキシマレーザなどのビームの反射率を低減させるためのものであり、ビームの偏光成分のうち、少なくとも一方に対して反射率が小さければよい(なぜなら、発振開始の早い時期にビームの偏光が反射率の低い偏光成分に揃ってしまうため、レーザの発振効率は偏光を考えないときと殆ど変わらないという事情による)、
ことを特徴とする狭帯域化モジュール。」
なる発明(以下、「引用発明」という。)が記載されている。
　ここで、引用発明における以下の技術事項A〜Eは、それぞれ、本願発明の以下の技術事項a〜eに相当する。
A:「エキシマレーザなどのビーム」、
B:「狭帯域化」
C:「狭帯域化モジュール」、
D:「ビームエキスパンダ4」、及び
E:「コートを施した表面」
　
a:「レーザ」又は「チャンバの外に出るレーザビーム」、
b:「線狭帯域化」、
c:「線狭帯域化装置」、
d:「プリズムビームエキスパンダ」、及び
e:「コーティングされた表面」
　よって、両者は、
　「レーザを線狭帯域化するための線狭帯域化装置において、
a)グレーティングと、
b)4つのプリズムからなるプリズムビームエキスパンダと、を有し、各プリズムが少なくとも1つの表面を有し、該表面はコーティングされた表面を構成し、前記プリズムは、ビームエキスパンダにおける反射損失を実質的に低減させるように、前記チャンバの外に出るレーザビームが67と71度の間の入射角度で前記プリズムの各々のコーティングされた表面と交差するように位置決めされ、前記ビームエキスパンダから出る前記ビームは拡大方向において少なくとも約20倍の倍率で拡大され、
　前記コーティングされた表面が、被覆されていないプリズムと比較してビームエキスパンダにおいて反射損失を実質的に低減させる、
ことを特徴とする線狭帯域化装置。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点1
　
相違点2
　
【3-5】判断
　(1)
相違点1
　したがって、引用発明のプリズムをCaF2プリズムとすることは当業者が容易に想到できた事項である。
　
　(2)
相違点2
　そして、上記適用に当たり、引用例3の教示から、コーティングされる単一層の屈折率は大きければ大きいほど良いのであるから、当該層に隣接するCaF2や空気の屈折率より大きい屈折率の材料を単一層コーティングの素材として選択することは当然のことである。
　また、コーティングの耐久性についても、より耐久性の高いものとすることは当業者が当然配慮すべき事項であり、その点に格別の創作性を要したとは認められない。
　従って、引用発明のコーティングを単一層コーティングとし、その素材をCaF2の屈折率より大きな屈折率を有する材料から選択し、前記単一の層が多層被覆と比較して実質的に増加した耐久性を提供するという目標を掲げることは当業者が容易に想到できた事項である。
　
　(3)そして、本願発明の、前記相違点1、2に係る構成によりもたらされる効果は、引用例1、2、3の記載から予測できる範囲のものである。
　よって、本願発明は引用例1、2、3に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものである。
　
【4】むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項1に係る発明は特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。