【事件の表示】
　平成　８年特許願第　７８３４８号「カバーで覆われた内壁とアンテナを持つプラズマ室」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　９月１９日出願公開、特開平　９−２４５９９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成８年３月５日の出願であって、平成１７年３月３０日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成１７年４月２５日に審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１７年４月２５日付け手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　平成１７年４月２５日付け手続補正を却下する。
[理由］独立特許要件違反
　平成１７年４月２５日付け手続補正（以下「本件補正」という。）により、補正前の特許請求の範囲の請求項１が、
「ガスを導入しこれをプラズマにし出口からラジカル又はイオンを放出する真空容器と、マイクロ波を真空容器に導くための直線状のアンテナとを含み、真空容器の内壁が１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなるカバーによって着脱可能に覆われ、アンテナは直線状で予め鞘型に成形した１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなるカバーによって着脱自在に覆われていることを特徴とするカバーで覆われた内壁とアンテナを持つプラズマ室。 」と補正された。
　そして、この補正により、真空容器の内壁のカバーを構成する補正前の絶縁体が、「ＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れか」と限定されるとともに、アンテナのカバーについて、「ＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなる」との限定を付加するとともに、補正前の「着脱可能」が同義の「着脱自在」と補正された。
　
　したがって、この補正は、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。
　
（１）本件補正後の本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）は、本件補正により補正された明細書及び図面からみて、請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
　
（２）引用刊行物に記載された発明
　本願の出願前の平成８年２月２日に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された特開平８−３１３５８号公報（以下「引用刊行物」という。）には、「ＥＣＲイオンラジカル源」の発明に関して、以下の事項が記載されている。
＜記載事項１＞
「【請求項１】  真空に引くことができるチャンバであるプラズマ生成室と、プラズマ生成室にガスを導入するために設けられるガス導入部と、プラズマ生成室にマイクロ波を導入するためにプラズマ生成室の内部に設けられるアンテナと、プラズマ生成室の開口に設けられる引出電極と、開口の外側であって、引出電極に対向するように設けられる対向電極と、プラズマ生成室の外部に設けられ生成室の内部に軸方向の磁場を発生させるための磁石とを含み、プラズマ生成室の内壁がセラミックによって被覆され、アンテナがセラミックによって被覆されていることを特徴とするＥＣＲイオンラジカル源。」
＜記載事項２＞
「【０００６】次にアンテナから金属がスパッタリングされるので、アンテナが痩せてくる。１０時間〜２０時間でアンテナが消耗する。この場合も生成室を開いてアンテナを取り替える必要がある。さらにアンテナや壁面にスパッタ粒子が付着すると、アンテナと金属の壁の間が短絡する。すると、もはやマイクロ波が生成室に入らなくなる。アンテナや壁面の金属のスパッタリングを防ぎ、アンテナを長寿命にし、イオンビームやラジカルに不純物が含まれないようにしたイオンラジカル源を提供することが本発明の目的である。」
＜記載事項３＞
「【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマラジカル源は、生成室の内壁とアンテナにセラミックを被覆する。被覆の方法は、内壁の場合は、適当な寸法のセラミックの板を内壁に張り付けるか、あるいはセラミックを溶射する事によってなされる。アンテナは細い金属を曲げたものや直線状であるので、セラミックを表面に被覆するか或はセラミックパイプを被せる。セラミックとしてはアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）、窒化ボロン（ＢＮ）、窒化アルミ（ＡｌＮ）、石英等を用いる事ができる。」
＜記載事項４＞
「【００１０】
【実施例】実施例を示す図面により本発明を説明する。図１において、プラズマ生成室１は真空に引くことのできるチャンバである。ガス導入部２から、生成室１の内部にプラズマにするべき原料ガスが導入される。生成室１の後方には、絶縁物３によって支持されるマイクロ波導入部４がある。これは外部のマイクロ波源（図示しない）に接続されている。マイクロ波導入部４は先端が凹部になっており、ここにアンテナの端が差し込まれている。
【００１１】この例ではアンテナ５は？の字形に曲げられている。しかしアンテナの形状は任意である。直線でもよいし、螺旋状に巻いていても良い。導入されたガスは、マイクロ波の作用によりプラズマ６になる。プラズマ生成室（真空チャンバ）１の前方には開口があり、ここに引出電極７、対向電極８が設けられている。これらは中心に通し穴のある電極板である。イオンビームを引き出す場合は、引出電極７に高電圧をかけ、対向電極８に低電圧を印加する。電圧の差により正イオンを引き出す。ラジカルを引き出す場合は、電圧をかけない。内外の圧力の差によって外部に出るようにする。」
＜記載事項５＞
「【００１３】本発明はさらに、プラズマ生成室１（チャンバ）の内壁面に、セラミック製の被覆１１を設けている。これは薄いセラミック板を壁の内面に貼り付けたものである。あるいはセラミックを溶射して形成したものであってもよい。さらにアンテナ５の表面にも、セラミック被覆１２が形成されている。アンテナは細い針金であるが、ここにアルミナの被膜を形成している。」
＜記載事項６＞
「【００１６】
【発明の効果】本発明は、プラズマ生成室の内壁とアンテナの両方にセラミックの被覆をかぶせているので、プラズマによって、内壁やアンテナがスパッタリングされない。生成室の壁面が汚れないので、たびたび壁面を清掃する必要はない。従来は２時間ごとにチャンバを清掃する必要があった。また２０時間でアンテナが消耗した。しかし本発明により、１００時間は清掃しなくてもよいようになった。アンテナの消耗も１００時間以内では殆ど検知できない。通常の運転は長くても連続１０時間の程度である。本発明は通常の使い方をする場合、メンテナンスのために作業を中断する必要がない。」
　
　したがって、上記記載事項１乃至６及び図１に基づけば、引用刊行物には、「ガスを導入しこれをプラズマにし前方の開口からラジカル又はイオンを引き出す真空に引くことができるチャンバ（１）と、マイクロ波をチャンバ（１）に導入するための直線状のアンテナ（５）とを含み、チャンバ（１）の内壁がアルミナ、ＢＮ、ＡｌＮ、石英等のセラミックの板を張り付けることによって被覆され、アンテナ（５）は直線状でアルミナ、ＢＮ、ＡｌＮ、石英等のセラミックパイプを被せることによって被覆されているセラミックの板又はセラミックパイプで被覆された内壁とアンテナを持つプラズマ生成室。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　　
（３）対比
　本願補正発明と引用発明とを比較する。
　引用発明の「前方の開口」は本願補正発明の「出口」に相当し、以下同様に、「引き出す」は「放出する」に、「真空に引くことができるチャンバ（１）」は「真空容器」に、「被覆され」は「覆われ」に、「セラミックの板又はセラミックパイプ」は「カバー」に、それぞれ相当する。
　また、引用発明の「アルミナ、ＢＮ、ＡｌＮ、石英等のセラミックの板」及び「アルミナ、ＢＮ、ＡｌＮ、石英等のセラミックパイプ」は、本願補正発明の「ＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ，ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなるカバー」に相当する。
　さらに、引用発明の対象である「プラズマ生成室」は、本願補正発明の対象である「プラズマ室」に相当する。
　したがって、両者は、
「ガスを導入しこれをプラズマにし出口からラジカル又はイオンを放出する真空容器と、マイクロ波を真空容器に導入するための直線状のアンテナとを含み、真空容器の内壁がＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ，ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなるカバーによって覆われ、アンテナは直線状でＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ，ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなるカバーによって覆われていることを特徴とするプラズマ室。」の点で一致し、以下の点で相違する。
[相違点１]
　真空容器の内壁を覆うカバーについて、本願補正発明は、１ｍｍ〜３ｍｍの厚さであり、着脱可能であるのに対して、引用発明は、そのように限定されていない点。
[相違点２]
　アンテナを覆うカバーについて、本願補正発明は、予め鞘型に成形した１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのカバーであり、着脱自在であるのに対して、引用発明は、そのように限定されていない点。　
　
（４）当審の判断
ア．相違点１について
　本願補正発明において、真空容器の内壁を覆うカバーが「着脱可能」な点について検討するに、
（ア）引用刊行物には、プラズマ室のメンテナンスをすることが示唆されており（記載事項６）、真空容器の内壁を覆うカバーもその対象となることは明らかである点。
（イ）引用刊行物には、真空容器の内壁を覆うカバーであるセラミック板を真空容器の内壁に貼り付ける旨が記載されている点（記載事項５）。
（ウ）引用刊行物には、上記カバーを着脱可能とすることを阻害する記載がなされていない点。
の３点を考慮すると、本願補正発明において、上記カバーを「着脱可能」としたことは、引用刊行物の記載事項から当業者が容易に想到し得る事項である。
　次に、本願補正発明における上記カバーが「１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのカバー」である点について検討する。
　カバーの厚みを本願補正発明のように１ｍｍ〜３ｍｍとすることは、カバーを真空容器の内壁に貼り付ける際の作業性及びカバーのメンテナンス等を考慮して、当業者が適宜に決定し得る事項に過ぎない。
　したがって、相違点１に係る発明特定事項は、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得るものである。
　
イ．相違点２について
　本願補正発明において、アンテナを覆うカバーが「着脱自在」な点について検討する。
（ア）引用刊行物には、プラズマ室のメンテナンスをすることが示唆されており（記載事項６）、アンテナを覆うカバーもその対象となることは明らかである点。
（イ）引用刊行物には、「アンテナは・・・直線状であるので、・・・セラミックパイプを被せる。」（記載事項３）なる記載がなされている点。
（ウ）引用刊行物には、カバー（セラミックパイプ）を着脱可能とすることを阻害する記載がなされていない点。
の３点を考慮すると、本願補正発明において、上記カバーを「着脱自在」としたことは、引用刊行物の記載事項から当業者が容易に想到し得る事項である。
　次に、本願補正発明におけるアンテナを覆うカバーが「予め鞘型に成形した１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのカバー」である点について検討する。
　引用刊行物には、上記したように「アンテナは・・・直線状であるので、・・・セラミックパイプを被せる。」（記載事項３）なる記載がなされているので、引用刊行物には、予め鞘型に成形したカバーを直線状のアンテナに被せることが示唆されている。そして、アンテナを覆う予め鞘型に成形したカバーの厚みを、本願補正発明のように、１ｍｍ〜３ｍｍとすることは、カバーを鞘型に成形してアンテナに被せること、及び上記カバーのメンテナンス等を考慮して、当業者が適宜に決定し得る事項に過ぎない。
　　
　そして、本願補正発明の効果は、引用刊行物の記載から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって、本願補正発明は、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。　
　
　したがって、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　　　
（５）まとめ
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１７年４月２５日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１６年１２月７日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、以下のものと認める。（以下「本願発明」という。）
「ガスを導入しこれをプラズマにし出口からラジカル又はイオンを放出する真空容器と、マイクロ波を真空容器に導くための直線状のアンテナとを含み、真空容器の内壁が１ｍｍ〜３ｍｍの厚さの絶縁体のカバーによって着脱可能に覆われ、アンテナは直線状で予め鞘型に成形した１ｍｍ〜３ｍｍの厚さのカバーによって着脱可能に覆われていることを特徴とするカバーで覆われた内壁とアンテナを持つプラズマ室。」
　　
４．引用刊行物に記載された発明
　引用刊行物に記載された発明は、前記「２．（２）」に記載されたとおりである。
　
５．対比・判断
　本願発明は、本願補正発明から、上記「２．（１）補正後の本願発明」で述べた、真空容器の内壁のカバーを構成する絶縁体について、「ＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れか」との限定を省くとともに、アンテナのカバーについて、「ＰＢＮ、ＢＮ、ＡｌＮ、アルミナ、ＭｇＯ、ＴｉＯ２、ＳｉＯ２、ジルコニアの何れかよりなる」との限定を省き、さらに、アンテナのカバーについて、「着脱自在」が同義の「着脱可能」と表現されたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに上記限定を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、本願発明も、同様な理由により、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。
　　　　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。