(57)【要約】プローブ・アセンブリ（６５０）は、外部信号を検出するかまたはエネルギーを放出するようになっているモジュラー・デバイス（６７０）を含む。モジュラー・デバイス（６７０）は、電気コンタクトまたは光ファイバ端部の少なくとも１つを含むデバイス・アレイ（６７６）を有する。プローブ・アセンブリ（６５０）はまた、モジュラー・デバイス（６７０）をコンピューティング・システム（５５４）に通信可能に結合し、そこを通ってデータ信号を送信するようになっているケーブル・アセンブリ（６５２）を含む。ケーブル・アセンブリ（６５２）は、合せサイド（６６２）ならびに合せサイド（６６２）およびコネクタ本体（６６０）を通って延在するチャンネル（２４６）を含むコネクタ本体（６６０）を有するアレイ・コネクタ（６５４）を含む。ケーブル・アセンブリ（６５２）は、コネクタ本体（６６０）の対応するチャンネル（２４６）内に設けられた複数の通信ライン（６５６）を含む。通信ライン（６５６）は、端子アレイ（１１４）を形成するために、合せサイド（６６２）に近接して位置付けられたそれぞれの端面（４１５）を有する。端子アレイ（１１４）は、モジュラー・デバイス（６７０）のデバイス・アレイ（６７６）と整合され、結合される。【選択図】図２０
2018526946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ・アセンブリ（６５０）であって、
モジュラー・デバイス（６７０）およびケーブル・アセンブリ（６５２）を有して成り、
モジュラー・デバイス（６７０）が、外部信号を検出またはエネルギーを放出するようになっており、
モジュラー・デバイス（６７０）が、電気コンタクトまたは光ファイバ端部の少なくとも１つを有するデバイス・アレイ（６７６）を含み、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、モジュラー・デバイス（６７０）をコンピューティング・システム（５５４）に通信可能に結合し、それを介してデータ信号を送信するようになっており、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、合せサイド（６６２）ならびに合せサイド（６６２）およびコネクタ本体（６６０）を通って延在するチャンネル（２４６）を含むコネクタ本体（６６０）を有するアレイ・コネクタ（６５４）を有して成り、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、コネクタ本体（６６０）の対応するチャンネル（２４６）内に設けられた複数の通信ライン（６５６）を含み、
通信ライン（６５６）が、ワイヤ導体または光ファイバの少なくとも１つを含み、端子アレイ（１１４）を形成すべく、合せサイド（６６２）に近接して位置付けられるそれぞれの端面（４１５）を有し、
端子アレイ（１１４）が、モジュラー・デバイス（６７０）のデバイス・アレイ（６７６）と整合して結合している、プローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項２】
モジュラー・デバイス（６７０）を囲み、体内へと挿入されるようになっているプローブ本体（６０２）をさらに有して成り、好ましくはモジュラー・デバイス（６７０）が、容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）または圧電性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＰＭＵＴ）のうち少なくとも１つを含む超音波デバイスを含む、請求項１に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項３】
コネクタ本体（６６０）が、複数の基板層（１２０）を含み、基板層（１２０）が横並びで積層され、合せサイド（６６２）を形成するそれぞれの合せエッジ（１２２）を有し、基板層（１２０）が、複数の界面（２４９）を形成し、各界面が、隣接する基板層（１２０）間に規定され、隣接する基板層（１２０）が、それらの間にチャンネル（２４６）を規定する、請求項１に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項４】
通信ライン（６５６）が、ワイヤ導体およびワイヤ導体の対応する端面（４１５）に直接結合された伝導性バンプ（４２０）を含み、伝導性バンプ（４２０）が、端子アレイ（１１４）を形成すべく、対応する合せ端子（１１２）を形成し、合せサイド（６６２）に沿って存在しており、デバイス・アレイ（６７６）の対応する電気コンタクト（６７８）に電気的に結合され、好ましくは、伝導性バンプ（４２０）が、１００μｍ以下の高さおよび±１０μｍ以内の許容限界を有する、請求項３に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項５】
チャンネル（２４６）が、エッチングされたチャンネル（２４６）またはモールディングされたチャンネル（２４６）のうちの少なくとも１つである、請求項３に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項６】
端子アレイ（１１４）が、１００ｍｍ２あたり少なくとも５０の合せ端子（１１２）を含む、請求項１に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項７】
デバイス・アレイ（６７６）が、熱圧接合、はんだレス接合または異方性伝導フィルムもしくはゲルのうちの１つを介して、端子アレイ（１１４）に結合される、請求項１に記載のプローブ・アセンブリ（６５０）。
【請求項８】
システム（５５０）であって、
モジュラー・デバイス（６７０）、制御デバイス（５５４）およびケーブル・アセンブリ（６５２）を有して成り、
モジュラー・デバイス（６７０）が、外部信号を検出またはエネルギーを放出するようになっており、
モジュラー・デバイス（６７０）が、電気コンタクトまたは光ファイバ端部の少なくとも１つを有するデバイス・アレイ（６７６）を含み、
制御デバイス（５５４）が、外部信号に基づいてデータ信号を受信するように、またはエネルギーを放出するために、モジュラー・デバイス（６７０）にデータ信号を送信するようになっており、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、モジュラー・デバイス（６７０）を制御デバイス（５５４）に通信可能に結合し、それを介してデータ信号を送信するようになっており、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、合せサイド（６６２）ならびに合せサイド（６６２）およびコネクタ本体（６６０）を通って延在するチャンネル（２４６）を有するコネクタ本体（６６０）を有して成り、
ケーブル・アセンブリ（６５２）が、コネクタ本体（６６０）の対応するチャンネル（２４６）内に設けられた複数の通信ライン（６５６）を含み、
通信ライン（６５６）が、ワイヤ導体または光ファイバの少なくとも１つであり、端子アレイ（１１４）を形成すべく、合せサイド（６６２）に近接して位置付けられるそれぞれの端面（４１５）を含み、
端子アレイ（１１４）が、モジュラー・デバイス（６７０）のデバイス・アレイ（６７６）と整合して結合している、システム（５５０）。
【請求項９】
制御デバイス（５５４）が、データ信号に基づいて情報を表示するようになっているディスプレイ（５５６）を含む、請求項８に記載のシステム（５５０）。
【請求項１０】
モジュラー・デバイス（６７０）を囲み、体内へと挿入されるようになっているプローブ本体（６０２）をさらに有して成る、請求項８に記載のシステム（５５０）。
【請求項１１】
モジュラー・デバイス（６７０）が、超音波デバイス（６０６）を有して成り、好ましくは、超音波デバイス（６０６）が、容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）または圧電性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＰＭＵＴ）を有して成る、請求項１０に記載のシステム（５５０）。
【請求項１２】
通信ライン（６５６）が、ワイヤ導体およびワイヤ導体の対応する端面（４１５）に直接結合された伝導性バンプ（４２０）を含み、伝導性バンプ（４２０）が、端子アレイ（１１４）を形成すべく、対応する合せ端子（１１２）を形成し、合せサイド（６６２）に沿って存在しており、デバイス・アレイ（６７６）の対応する電気コンタクトに電気的に結合される、請求項８に記載のシステム（５５０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モジュラー・デバイスおよびケーブル・アセンブリを含むプローブ・アセンブリおよびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気技術産業および／または光学技術産業において、性能を改善または少なくとも維持しつつ、データ処理量を増加させるという一般的な市場要求がある。しかしながら、相殺的な市場要求として、電気技術および／または光学技術を使用するデバイスまたはシステムの小型化がある。これらの市場要求は、異なる構成要素が互いに電気的または光学的に通信する消費者電子産業および医療機器産業全体にわたって存在する。医療機器に関する一例として、カテーテルベースの２次元（２Ｄ）心臓内エコー（ＩＣＥ）イメージング・システムをリアルタイムの３次元（３Ｄ）イメージング・システムに置き換えることが望まれている。これらのイメージング・システムの両方は、カテーテルの遠位端に結合されたプローブを有するカテーテルを利用し得る。カテーテルは、患者の身体（例えば、ヒトまたは動物）へと挿入するようになっていてもよい。カテーテルは、ケーブル・アセンブリ（cable assembly）を介してユーザー・デバイスに通信可能に結合される。ケーブル・アセンブリは、プローブからユーザー・デバイスにデータ信号を通信するようになっている。
【０００３】
より高品質のイメージングおよび／または３Ｄイメージングを達成すべく、医療機器メーカーは、従来の圧電性トランスデューサ・プローブを、容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ（または、容量性微細加工超音波トランスデューサ、capacitive micromachined ultrasonic transducer、ＣＭＵＴ）・プローブまたは圧電性マイクロマシン超音波トランスデューサ（piezoelectric micromachined ultrasound transducer、ＰＭＵＴ）・プローブで置き換えることを追求してきた。ＣＭＵＴプローブおよびＰＭＵＴプローブは、微小電気機械システム（microelectromechanical systems、ＭＥＭＳ）の製造技術を使用して製造することができる。
【０００４】
ＣＭＵＴプローブおよびＰＭＵＴプローブは、実現可能であると実証されているが、ＣＭＵＴプローブおよびＰＭＵＴプローブは商業的には実用的でない場合がある。ＣＭＵＴおよびＰＭＵＴは、典型的には、センシング素子（または要素、element）の高密度トランスデューサ・アレイを含む。例えば、トランスデューサ・アレイは、約１０００個／ｃｍ２のセンシング素子を有する場合がある。このトランスデューサ・アレイによって検出された外部信号に基づくデータ信号を伝達することは困難な場合がある。例えば、カテーテルおよび対応するケーブル・アセンブリが、患者の体内へと挿入することができる断面サイズを有することがしばしば望ましく、または必要である。これまで、減少させた断面サイズを維持しつつ、トランスデューサ・アレイとケーブル・アセンブリとを相互接続する商業的で合理的な方法は不足している。同様の問題は、ケーブル・アセンブリに結合された小型モジュラー・デバイスを利用する他の産業または技術にも存在し得る。
【発明の概要】
【０００５】
一態様では、外部信号を検出またはエネルギーを放出するようになっている（または構成される、configure）モジュラー・デバイス（modular device）を含むプローブ・アセンブリ（probe assembly）が供される。モジュラー・デバイスは、電気コンタクト（electrical contacts）または光ファイバ端部（optical fiber ends）の少なくとも１つを含むデバイス・アレイ（device array）を有する。プローブ・アセンブリはまた、モジュラー・デバイスをコンピューティング・システム（computing system）に通信可能に結合し、それを介してデータ信号を送信するようになっているケーブル・アセンブリを含む。ケーブル・アセンブリは、合せサイド（または接合側面、もしくはメイティング・サイド、mating side）ならびに合せサイドおよびコネクタ本体（またはコネクタ機構、もしくはコネクタ・ボディ、connector body）を通って延在するチャンネル（channels）を含むコネクタ本体を有するアレイ・コネクタ（array connector）を含む。ケーブル・アセンブリは、コネクタ本体の対応するチャンネル内に設けられた複数の通信ライン（communication lines）を含む。通信ラインは、ワイヤ導体（wire conductors）または光ファイバの少なくとも１つを含む。通信ラインは、端子アレイ（terminal array）を形成するために、合せサイドに近接して位置付けられるそれぞれの端面（end faces）を有する。端子アレイは、モジュラー・デバイスのデバイス・アレイと整合され（または位置合わせされ、もしくは整列され、align）、結合される。
【０００６】
オプションとして、プローブ・アセンブリは、モジュラー・デバイスを囲み、人体または動物の体のような個体に挿入されるようになっているプローブ本体（probe body）を含む。例えば、モジュラー・デバイスは、容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）またはプローブ本体によって囲まれた圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＰＭＵＴ）のうちの少なくとも１つを含んでもよい。
【０００７】
ある態様では、コネクタ本体は、横並びで（または並べて、side-by-side）積層され（または積み重ねられ、stacked）、合せサイドを形成するそれぞれの合せエッジ（または接合エッジ、もしくはメイティング・エッジ、mating edges）を有する複数の基板層（substrate layers）を含む。基板層は、隣接する基板層の間に各界面（またはインターフェース、interfaces）が規定された複数の界面を形成することができ、隣接する基板層はそれらの間のチャンネルを規定する。オプションとして、通信ラインは、ワイヤ導体およびワイヤ導体の対応する端面に直接結合された伝導性バンプ（conductive bumps）を含む。伝導性バンプは、対応する合せ端子を形成し、端子アレイを形成するように、合せサイドに沿って設けられる。伝導性バンプは、デバイス・アレイの対応する電気コンタクトに電気的に結合される。ある態様では、デバイス・アレイは、熱圧接合（または熱圧着接合、もしくは熱圧縮接合、thermocompression bonding）、はんだレス接合、または異方性伝導フィルムもしくはゲルのうちの１つを介して端子アレイに結合される。
【０００８】
一態様では、外部信号を検出またはエネルギーを放出するようになっているモジュラー・デバイスを含むシステムが供される。モジュラー・デバイスは、電気コンタクトまたは光ファイバ端部の少なくとも１つを有するデバイス・アレイを含む。システムはまた、外部信号に基づいてデータ信号を受信するか、またはエネルギーを放出するためにデータ信号をモジュラー・デバイスに送信するようになっている制御デバイスを含む。システムはまた、モジュラー・デバイスを制御デバイスに通信可能に結合し、それを介してデータ信号を送信するようになっているケーブル・アセンブリを含む。ケーブル・アセンブリは、合せサイドならびに合せサイドおよびコネクタ本体を通って延在するチャンネルを有するコネクタ本体を含む。ケーブル・アセンブリは、コネクタ本体の対応するチャンネル内に設けられた複数の通信ラインを含む。通信ラインは、ワイヤ導体または光ファイバの少なくとも１つである。通信ラインは、端子アレイを形成するために、合せサイドに近接して位置付けられたそれぞれの端面を有する。端子アレイは、モジュラー・デバイスのデバイス・アレイと整合され、結合される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一態様に従って形成されたアレイ・コネクタの斜視図である。
【図２】図２は、図１のアレイ・コネクタの側面図である。
【図３】図３は、一態様によるアレイ・コネクタの製造方法のフローチャートである。
【図４】図４は、図３の方法の異なるステップをより詳細に示す。
【図５】図５は、一態様に従って形成されたワーキング層（または作業層、working layer）の断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像である。
【図６】図６は、図５のワーキング層の別のＳＥＭ画像である。
【図７】図７は、一態様に従って形成されたワーキング層の前端面図である。
【図８】図８は、図７のワーキング層の平面図である。
【図９】図９は、一態様に従って形成されたワーキング層の平面図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、一態様による、アレイ・コネクタの基板層が積層されている場合のアレイ・コネクタの斜視図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、一態様による、通信ラインが結合層に固定されている基板層の平面図である。
【図１０Ｃ】図１０Ｃは、通信ラインの半分が第１結合層に固定され、通信ラインの半分が第１結合層の下に位置付けられる第２結合層に固定される基板層の平面図である。
【図１１】図１１は、一態様に従って形成されたアレイ・コネクタの側面断面図である。
【図１２】図１２は、アレイ・コネクタの合せサイドが修正された（または変更された、modified）後の図１１のアレイ・コネクタの側面断面図である。
【図１３】図１３は、伝導性バンプが合せサイドに沿って堆積（deposited）または増大（grown）した後の図１１のアレイ・コネクタの側面断面図である。
【図１４】図１４は、一態様に従って形成されたケーブル・アセンブリの端部の画像である。
【図１５】図１５は、ケーブル・アセンブリの合せサイドの拡大図である。
【図１６】図１６は、モジュラー・デバイスに結合されている一態様に従って形成されたアレイ・コネクタの側面断面図である。
【図１７】図１７は、モジュラー・デバイスに結合されている一態様に従って形成されたアレイ・コネクタの側面断面図である。
【図１８】図１８は、アレイ・コネクタを利用する一態様に従って形成されたシステムを示す図である。
【図１９】図１９は、アレイ・コネクタを利用する一態様に従って形成されたプローブ・アセンブリの遠位端の斜視図である。
【図２０】図２０は、ケーブル・アセンブリがモジュラー・デバイスに結合されるべく支えている態様によるプローブ・アセンブリの部分分解図である。
【図２１】図２１は、プローブ本体が除去された図２０のプローブ・アセンブリの斜視図である。
【図２２】図２２は、一態様によるアレイ・コネクタの合せサイドを示す図である。
【図２３】図２３は、一態様によるアレイ・コネクタの合せサイドを示す図である。
【図２４】図２４は、種々の態様と共に使用され得る例示的な電極の側面断面図である。
【図２５】図２５は、種々の態様と共に使用され得る例示的な圧電性超音波素子の側面断面図である。
【図２６】図２６は、種々の態様と共に使用され得る例示的なＣＭＵＴ素子の側面断面図である。
【図２７】図２７は、種々の態様と共に使用され得る例示的なＰＭＵＴ素子の側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書に記載の態様は、アレイ・コネクタ、アレイ・コネクタを利用する装置またはデバイス（例えば、検出器アセンブリおよびシステム）、ならびにそれらを製造または二次加工（fabricating）する方法を含む。アレイ・コネクタは、装置（例えば、デバイスまたはシステム）を、別の構成要素に結合された端子のアレイに電気的および／または光学的に相互接続するようになっている。端子は、接触パッドなどの電気端子であってもよく、または端子は光ファイバの端部であってもよい。アレイ・コネクタは、複数の通信ラインを保持するコネクタ本体を含む。通信ラインは、電力またはデータ信号の形で電流を送信する（transmit）ことができるワイヤ導体を含んでもよい。通信ラインは、光または光信号を送信することができる光ファイバを含んでもよい。コネクタ本体は、典型的には、互いに対して固定位置にある通信ラインの部分またはセグメントを保持する剛性構造（rigid structure）を供する。通信ラインは、コネクタ本体の１またはそれよりも多いサイドに沿って合せ端子（または接合端末、もしくはメイティング・ターミナル、mating terminals）のアレイを形成してもよい。ある態様では、アレイ・コネクタは、モジュラー・デバイスおよび制御デバイスなどの２つの構成要素を相互接続するケーブル・アセンブリの一部であってもよい。特定の態様では、モジュラー・デバイスは、外部信号を検出またはエネルギーを放出するようになっている素子のアレイを含む。例えば、モジュラー・デバイスは、電極を有する固体デバイスであってもよい。
【００１１】
ある態様では、アレイ・コネクタは、少なくとも部分的にコネクタ本体を形成するように、横並びで積層された複数の基板層を含む。通信ラインは、隣接する基板層の間の界面に沿って延在してもよい。本明細書で使用されるように、「基材層（substrate layer）」という用語は、別段の記載がない限り、材料の単一の連続体に限定されない。例えば、各基板層は、同じまたは異なる材料の複数のサブ層から形成されてもよい。さらに、各基板層は、基板層中に位置付けられた、または基板層を通って延在する異なる材料の１またはそれよりも多い特徴（features）を含み得る。異なる基板層は、フォトリソグラフィー、エッチング、スパッタリング、蒸着、キャスティング（例えば、スピン・コーティング）、化学蒸着、電着、エピタキシー、熱酸化、物理蒸着などの既知の層製造プロセスを用いて形成されてもよい。１またはそれよりも多い層は、マイクロ・モールディングまたはナノインプリントリソグラフィ（ＮＩＬ）などのモールディング・プロセスを使用して形成することもできる。
【００１２】
本明細書に記載するように、合せ端子は、別の構成要素の対応するアレイに結合するように構成された端子アレイを形成することができる。各合せ端子は、端子アレイにおける他の合せ端子に対して固定された位置またはアドレス（address）を有する。端子アレイは、一次元または少なくとも二次元であってもよい。より具体的には、合せ端子は、少なくとも２次元に沿って指定された方法で位置付けられてもよい。例えば、合せ端子は、通信ラインに垂直または直交して延在する平面と一致して（または重なって、もしくは交わって）もよい。または、１またはそれよりも多い合せ端子は、他の合せ端子に対して異なる深さまたはＺ位置を有してもよい。従って、端子アレイは三次元であってもよい。
【００１３】
少なくともある態様の技術的効果は、素子を高密度アレイにおよび／または高密度アレイから通信する能力を含んでもよい。態様は、ワイヤ導体（または伝導性バンプ）の断面端面を同様の端子に直接的に結合してもよい。同様に、態様は、光ファイバの端部を他の光学部品と直接整合させてもよい。アレイ・コネクタの合せサイドは、指定された特性を有するように修正された突出面（または盛り上がった面、proud surface）を含んでもよい。態様は、素子のあらゆる所望の組合せの２Ｄまたは３Ｄ構造を構築するために、層ごとに組み立ててもよい。少なくともある態様は、端子密度および製品スケーラビリティ（または拡張性、scalability）の向上を可能にし、アセンブリ・コスト（または組立費、assembly cost）および製品のばらつき（product variability）を低減することができる。
【００１４】
本明細書で用いられるように、「複数の［素子（elements）］」および「［素子］のアレイ」などの語句は、詳細な説明および特許請求の範囲で使用される場合、構成要素が持ち得る各々の素子および全ての素子を必ずしも含まない。構成要素は、複数の構成要素と同様の他の構成要素を有してもよい。例えば、「［記載された特徴である／を有する］複数の基材層」という語句は、構成要素の各々の基材層および全ての基材層が記載された特徴を有することを必ずしも意味しない。他の基板層は記載された特徴を含まなくてもよい。従って、別途明示的に述べられていない限り（例えば、「各々の基材層および全ての基材層が［記載された特徴である／を有する］」）、態様は、記載された特徴を有さない類似の素子を含んでもよい。本明細書で用いられるように、用語「例示的（exemplary）」は、形容詞として使用される場合、一例としての供されることを意味する。この用語は、変更される対象が好ましいことを示すものではない。
【００１５】
本明細書で用いられるように、用語「通信ライン（communication line）」は、１またはそれよりも多い電導体または１またはそれよりも多い光ファイバを含んでもよい。例えば、通信ラインは、単一の絶縁ワイヤ導体を含むことができ、または二軸（または双軸）ケーブルなどの２またはそれよりも多い絶縁ワイヤ導体を含んでもよい。通信ラインは、同軸ケーブルを含んでもよい。ある態様では、通信ラインは、電導体（例えば、ワイヤ導体プラス絶縁体または非絶縁ワイヤ導体）または光ファイバのみを含む。このような態様では、対応する導体／ファイバの端面は、アレイを形成するために使用される通信ラインの合せ端子を構成するか、またはその一部であってもよい。しかしながら、他の態様では、通信ラインは、導体／ファイバの端面に対して位置付けられた別個の（discrete）合せ端子を含んでもよい。例えば、合せ端子は、電導体の端面に取り付けられた伝導性バンプもしくはめっきまたは光ファイバに隣接して位置付けられたレンズであってもよい。従って、「合せ端子（mating terminal）」という用語は、電導体の端面に取り付けられた伝導性バンプ、または光信号をそれぞれの光ファイバ端部におよび／またはそれぞれの光ファイバ端部から送信するように位置付けられたレンズのような、導体／ファイバの端面または端面に動作可能に結合された別個の素子であってもよい。
【００１６】
図１は、１の態様に従って形成されたアレイ・コネクタ１００の斜視図であり、図２は、アレイ・コネクタ１００の側面図である。アレイ・コネクタ１００は、互いに垂直な軸に対して向いており、合せ軸（または接合軸、もしくはメイティング軸、mating axis）１９１、横軸（lateral axis）１９２、および仰角軸（elevation axis）１９３を含む。アレイ・コネクタ１００は、複数の本体サイド（body side）１０４〜１０９を含むコネクタ本体１０２を有する。本体サイド１０７および１０８は図２には示されていない。図示された態様では、本体サイド１０４〜１０９の各々は平面サイドであり、軸１９１〜１９３のうちの２つによって規定される平面に平行に延在する。しかしながら、他の態様では、本体サイド１０４〜１０９の１またはそれよりも多くが平面ではなく、および／または軸１９１〜１９３の２つによって規定される平面に平行に延在しない。本体サイド１０４は、アレイ・コネクタ１００および他の構成要素を通信可能に結合すべく、別の構成要素と界接するように構成される。このように、本体サイド１０４は、以下、合せサイド１０４を示す。
【００１７】
アレイ・コネクタ１００は、コネクタ本体１０２を通って延在する複数の通信ライン１１０を有する。通信ライン１１０は、１またはそれよりも多いワイヤ導体および／または１またはそれよりも多い光ファイバを含んでもよい。特定の態様では、通信ライン１１０はワイヤ導体である。図示するように、通信ライン１１０は、合せサイド１０４に沿って露出された合せ端子１１２を含む。合せ端子１１２は、対応するワイヤ導体もしくは光ファイバの端面を含んでもよく、対応するワイヤ導体もしくは光ファイバの端面であってもよく、または対応するワイヤ導体もしくは光ファイバの端面に対して位置付けられた別個の素子であってもよい。通信ライン１１０が、コネクタ本体１０２に触れずに通過する（またはクリアする、clear）か、または他の本体サイド１０５〜１０８のうちの１つに沿って露出する対応する合せ端子（図示せず）を有するように、合せサイド１０４からコネクタ本体１０２を通って延在する。特定の態様では、通信ライン１１０は、コネクタ本体１０２を完全に通って延在し、通信ライン１１０がコネクタ本体１０２から突出するようにコネクタ本体１０２に触れずに通過する。ある態様では、通信ライン１１０は、１またはそれよりも多いケーブルまたはケーブル・ハーネス（図示せず）を形成するように、集合してもよく、または結束してもよい。
【００１８】
図示する態様では、コネクタ本体１０２は、各本体サイドが別の本体サイドに対向する実質的に長方形またはブロック状である。しかしながら、他の態様では、コネクタ本体１０２は、様々な形状のいずれか１つを有してもよい。例えば、コネクタ本体１０２は、合せサイド１０４が反対側１０８よりも小さい面積を有する台形状を有してもよい。このような態様では、通信ライン１１０は合せサイド１０４から本体サイド１０８に延在するため、通信ライン１１０は互いに離れて広がる（flare）。
【００１９】
ある態様では、合せ端子１１２は、コネクタ本体１０２を通って延在する通信ライン１１０のセグメントの端部である。例えば、合せ端子１１２は、合せサイド１０４に近接して位置付けられる光ファイバの端部であってもよい。このような態様では、図２に示すように、合せ端子１１２は、合せサイド１０４から突出してもよい。あるいは、合せ端子１１２は、合せサイド１０４と同一平面にある端面であってもよく、またはコネクタ本体１０２内の小さい深さで位置付けられてもよい。しかしながら、特定の態様では、合せ端子１１２は、ワイヤ導体の端面に堆積または増大する材料から形成される。例えば、合せ端子１１２は、はんだディスペンシング（またははんだ塗布、solder dispensing）、はんだスクリーン印刷、電気めっき、無電解めっき、物理蒸着（ＰＶＤ）などによって形成された金属バンプまたはめっきを構成し得る。図２に示すように、合せ端子１１２は、合せサイド１０４からバンプ距離（bump distance）１１５を突出させてもよい。あるいは、伝導性バンプは、合せサイド１０４と同一平面上にあってもよい。
【００２０】
合せ端子１１２は、端子アレイ１１４を形成し、各合せ端子１１２は他の合せ端子１１２に対して指定された位置またはアドレスを有する。図示の態様では、端子アレイ１１４は、合せ端子１１２の複数の縦列および横列を含む。しかしながら、端子アレイ１１４における合せ端子１１２の位置は、アレイ・コネクタ１００の用途に基づいて異なる方法で配置されてもよいことを理解されたい。
【００２１】
特定の態様では、合せ端子１１２の端子アレイ１１４は、高密度アレイを形成する。本明細書で用いられるように、「高密度アレイ」は、１００ｍｍ２当たり少なくとも５０の合せ端子または１００ｍｍ２当たり少なくとも７５の合せ端子を含む。ある態様では、高密度アレイは、１００ｍｍ２当たり少なくとも１００の合せ端子、１００ｍｍ２当たり少なくとも２００の合せ端子、１００ｍｍ２当たり少なくとも３００の合せ端子、または１００ｍｍ２当たり少なくとも４００の合せ端子を有してもよい。特定の態様では、高密度アレイは、１００ｍｍ２あたり少なくとも５００の合せ端子または１００ｍｍ２当たり少なくとも７５０の合せ端子を有してもよい。より特定の態様では、高密度アレイは、１００ｍｍ２あたり少なくとも１０００の合せ端子を有してもよい。
【００２２】
特定の態様では、合せ端子１１２が共通の平面に一致するように、端子アレイ１１４は、２次元アレイである。言い換えれば、合せ端子１１２は同一平面上にあってもよい。例えば、端子アレイ１１４は、仰角軸１９３および横軸１９２に平行に延在する平面と一致する。しかしながら、他の態様では、端子アレイ１１４は、共通の平面と一致しなくてもよい。例えば、合せ端子１１２の各横列は、合せ軸１９１に沿って交互の位置を有してもよい。
【００２３】
本明細書に記載するように、コネクタ本体１０２は、横並びで積層された複数の基板層１２０を含んで成ってもよい。各基板層１２０は、複数の層エッジ１２２〜１２５を有してもよい。異なる層エッジを区別するために、層エッジ１２２は、先端エッジ（leading edge）または合せエッジと称される場合がある。層エッジ１２４（図１）は、後端エッジ（trailing edge）またはローディング・エッジ（loading edge）と称され、層エッジ１２３、１２５は、サイド・エッジ（side edge）と称され得る。図示するように、通信ライン１１０は、サイド・エッジ１２３、１２５に平行に延在し、先端エッジ１２２および後端エッジ１２４に垂直に延在する。
【００２４】
基板層１２０が仰角軸１９３に沿って横並びで積層された場合、合せエッジ１２２が集合的に（または集まって、collectively）合せサイド１０４を形成する。図示の態様では、合せサイド１０４が、本質的に平面である合せ面（または接合面、もしくはメイティング面、mating surface）１２６を有するように、合せエッジ１２２は、互いに平ら（または均一、even）であるか、または互いに広がっている。合せ端子１１２は、合せ面１２６から離れるように突出する。しかしながら、他の態様では、基板層１２０の合せエッジ１２２は、互いに平らでなくてもよく、または互いに広がっていなくてもよい。例えば、合せエッジ１２２は、各合せエッジ１２２が合せ軸１９１に沿って異なる位置を有する階段状の構造を形成してもよい。
【００２５】
従って、アレイ・コネクタ１００は、別の構成要素の対応するアレイと相互接続することができる合せサイド１０４を示す。基板層１２０の各々は、隣接する基板層１２０間に延在するチャンネル（図示せず）を形成するような形状としてもよい。積層された基板層１２０は、通信ライン１１０のセグメントを互いに固定された位置に保持する、実質的なモノリシック体（monolithic body）を形成してもよい。例えば、合せ端子１１２が通信ライン１１０とは異なる材料を含んで成る場合、コネクタ本体１２０は、通信ライン１１０、基板層１２０および合せ端子１１２から本質的に構成されてもよい。
【００２６】
図３は、一態様によるアレイ・コネクタの製造方法２００のフローチャートである。アレイ・コネクタは、例えば、図１に示されるアレイ・コネクタ１００と類似または同一であってもよい。方法２００は、本明細書に記載の種々の態様の構造または形態を採用し得る。種々の態様では、特定のステップを省略または追加してもよく、特定のステップを組み合わせてよく、特定のステップを同時に実施してもよく、特定のステップを共に実施してもよく、特定のステップを複数のステップに分割してもよく、特定のステップを異なる順序で実施してもよく、または特定のステップもしくは一連のステップを反復的に再実施してもよい。
【００２７】
方法２００は、ワーキング層（またはその一部）が、ワーキング基板（working substrate）からそれぞれ追加または減ぜられる（subtract）、複数の追加するステップまたは減ずるステップを含んでもよい。「ワーキング層（working layer）」および「ワーキング基板（working substrate）」という用語は、アレイ・コネクタ１００のようなアレイ・コネクタを形成するために使用される中間対象物を記載するように用いられる。より具体的には、「ワーキング層」という用語は、１またはそれよりも多い材料の層を含み、この層は、基板層を形成するために使用されてもよい。例えば、この用語は、単一のベース層およびそれに堆積されたフォトレジストを有するベース層を包含する。「ワーキング基板」という用語は、複数の積層された基板層を含み、基板層の少なくとも１つがアレイ・コネクタを形成するために使用されている。例えば、場合によっては、この用語は、合せサイドが修正される前のアレイ・コネクタを包含してもよい。
【００２８】
アレイ・コネクタを製造する１の方法のみを以下に記載する。この方法を変更してもよいし、アレイ・コネクタを製造するために他の方法を使用してもよいことを理解されたい。基板層の少なくとも１つは、例えば、集積回路、半導体、および／または微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を製造するために使用されるプロセスと同様の１またはそれよりも多いプロセスを用いて形成してもよい。例えば、リソグラフィ（例えば、フォトリソグラフィ）は、本明細書で記載されるアレイ・コネクタを製造するために使用され得る技術またはプロセスの１つのカテゴリである。例示的なリソグラフィ技術またはプロセスは、マーク・Ｊ・マドゥーによる「マイクロファブリケーションとナノテクノロジーの基礎（Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology:Microfabrication and Nanotechnology）、Vol.II、第３版、パートI(pp.2-145)」に詳細記載されており、その全体は参照として本明細書に組み込まれる。
【００２９】
基板層および／またはアレイ・コネクタを製造するための１またはそれよりも多いプロセスは、材料がワーキング基板から除去される、減ずる技術（subtractive techniques）を含んでもよい。リソグラフィに加えて、そのようなプロセスには、（１）ドライ化学エッチング、反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）、気相エッチング、化学機械加工（ＣＭ）、異方性ウェット化学エッチング、ウェット・フォトエッチングなどの化学技術、（２）電気化学エッチング（ＥＣＭ）、電気化学研削（ＥＣＧ）、フォト電気化学エッチングなどの電気化学技術、（３）レーザ加工、電子ビーム加工、放電加工（ＥＤＭ）などの熱技術、および（４）物理ドライ・エッチング、スパッタ・エッチング、イオン・ミリング、ウォーター・ジェット加工（ＷＪＭ）、研磨ウォーター・ジェット加工（ＡＷＪＭ）、研磨ジェット加工（ＡＪＭ）、研磨研削、電解インプロセスドレッシング（ＥＬＩＤ）研削、超音波穿孔、集束イオンビーム（ＦＩＢ）ミリングなどが含まれる。上記列挙は、限定することを意図するものではなく、他の減ずる技術またはプロセスを使用してもよい。例示的な減ずる技術またはプロセスは、マーク・Ｊ・マドゥーによる「マイクロファブリケーションとナノテクノロジーの基礎（Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology:Microfabrication and Nanotechnology）、Vol.II、第３版、パートII(pp.148-384)」に詳細記載されており、その全体は参照として本明細書に組み込まれる。
【００３０】
基板層および／またはアレイ・コネクタを製造するための１またはそれよりも多いプロセスはまた、材料がワーキング基板に追加される、追加技術（additive techniques）を含んでもよい。このようなプロセスは、ＰＶＤ、蒸発（例えば熱蒸発）、スパッタリング、イオンめっき、イオン・クラスタービーム堆積、パルスレーザー堆積、レーザ・アブレーション堆積、分子ビーム・エピタキシー、化学気相堆積（ＣＶＤ）（例えば、大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、超低圧ＣＶＤ（ＶＬＰＣＶＤ）、超高真空ＣＶＤ（ＵＨＶＣＶＤ）、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ）、レーザ・アシスト化学蒸着（ＬＡＣＶＤ）、プラズマ強化ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）、原子層堆積（ＡＬＤ）、エピタキシー（例えば、液相エピタキシー、固相エピタキシー）、陽極酸化、溶射堆積、電気メッキ、無電解メッキ、溶融、熱酸化、レーザ・スパッタ堆積、反応射出モールディング（ＲＩＭ）、スピン・コーティング、ポリマー・スプレーイング、ポリマーのドライフィルム・ラミネート、キャスト、プラズマ重合、シルクスクリーン印刷、インクジェット印刷、機械マイクロ・スポッティング、マイクロ・コンタクト印刷、ステレオリソグラフィーまたはマイクロ・フォトフォーミング、ナノインプリント・リソグラフィ、電気化学形成プロセス、電気堆積、スプレー熱分解、電子ビーム蒸着、プラズマ・スプレー堆積、マイクロ・モールディング、ＬＩＧＡ（Ｘ線リソグラフィ、電気堆積、およびモールディングのドイツ語略語）、圧縮モールディングなどを含む。上記列挙は、限定することを意図するものではなく、他の追加技術またはプロセスを使用してもよい。例示的な追加技術またはプロセスは、マーク・Ｊ・マドゥーによる「マイクロファブリケーションとナノテクノロジーの基礎（Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology:Microfabrication and Nanotechnology）、Vol.II、第３版、パートIII(pp. 384-642)」に詳細記載されており、その全体は参照として本明細書に組み込まれる。
【００３１】
場合によっては、１またはそれよりも多いプロセスが、識別可能な物理的特性をアレイ・コネクタに供してもよい。例えば、アレイ・コネクタ内に形成されたチャンネルは、アレイ・コネクタの検査に基づいて、エッチングされたチャンネルまたはモールディングされた（またはモールド化された、molded）チャンネルとして識別されてもよい。より具体的には、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）または他のイメージング・システムは、アレイ・コネクタのスライスされた部分のようなアレイ・コネクタの画像を取り込むことができる。チャンネルは、エッチングまたはモールディングされた表面を示す性質または特性を有してもよい。
【００３２】
方法２００は、本出願の他の図を参照して記載される。方法２００は、２０２において、ワーキング層２２０（図４に示す）を供すことを含む。ワーキング層２２０は、本明細書で記載されるアレイ・コネクタを製造するためのあらゆる適切な材料であってよい。例えば、ワーキング層２２０は、ベース層２２２およびベース層２２２に結合されたチャンネル層２２４を含む。チャンネル層２２４は、チャンネル層２２４の選択された部分を除去するのに適している。例えば、チャンネル層２２４は、エッチング可能な材料（例えば、有機材料）を含んで成ってもよい。
【００３３】
あるケースでは、ベース層２２２は、チャンネル層２２４のベース層２２２への接着を向上させるために表面改質されてもよい。例えば、ベース層２２２の上面２２３は、シラン処理されてもよい。図示する態様では、ベース層２２２はガラス（例えばシリコンウエハ）を含み、チャンネル層２２４はネガティブ・フォトレジストのようなフォトレジストを含む。特定の態様では、フォトレジストはＳＵ−８である。ＳＵ−８には、有機溶媒（処方に応じてγ−ブチロラクトンＧＢＬまたはシクロペンタノン）および光酸発生剤として混合トリアリールスルホニウム／ヘキサフルオロアンチモネート塩を１０重量％まで溶解したビスフェノールＡノボラックエポキシが含まれる。照射すると、光酸発生剤は分解して、オリゴマー表面のエポキシドをプロトン化するヘキサフルオロアンチモン酸を形成する。プロトン化されたオキソニウムイオンは、熱の適用後に一連の架橋反応において中性エポキシドと反応するために利用できる。各モノマー分子は８つの反応性エポキシ部位を含み、それ故ネガティブ・トーン（negative tone）を与える光熱活性化の後に高度の架橋が得られる。これは、処理後のリソグラフィ構造の高い機械的安定性および熱的安定性をもたらす。しかしながら、ＳＵ−８以外の材料、例えば他のフォトレジストなどの代替の態様を使用してもよいことを理解されたい。
【００３４】
２０４において、方法２００は、チャンネル層２２４内にトレンチ（または溝、trenches）２３０を形成することを含んでもよい。例えば、マスク２２６をチャンネル層２２４に適用し、得られたワーキング層２２８に紫外線（ＵＶ）を指定された時間曝露してもよい。ＵＶ曝露は、チャンネル層２２４内にトレンチ２３０を形成することができる。別の態様では、トレンチは、追加技術によって形成してもよい。ＳＵ−８を扱い、パターニングする方法は、デル・カンポ、アランザズおよびクリスチャン・グライナーによる、「ＳＵ−８：高アスペクト比および３Ｄサブミクロン・リソグラフィのためのフォトレジスト（SU-8: a photoresist for high-aspect-ratio and 3D submicron lithography）／マイクロ・メカニックスとマイクロ・エンジニアリング（Journal of Micromechanics and Microengineering） 17.6 (2007) R81」、アブグラールおよびパトリックらによる「ラボ・オン・チップおよびマイクロ・エレクトロ・メカニカルシステムのための構造材料としてのＳＵ−８（SU-8 as a structural material for labs-on-chips and microelectromechanical systems）／電気泳動（Electrophoresis） 28.24 (2007) 4539-4551）」、チョン・ボン・リー、チョ・ハク・チェ、ユ・コンキキによる「革新的なＳＵ−８リソグラフィ技術とその応用（Innovative SU-8 Lithography Techniques and Their Applications）／マイクロマシン（Micromachines）6.1 (2014): 1-18」にも記載されており、これらの各々は、参照により本明細書に組み込まれる。
【００３５】
２０６において、方法２００は、対応するトレンチ２３０内に通信ライン２３２を設けることを含んでもよい。図４に示すように、通信ライン２３２は、チャンネル層２２４の外面（または外側表面、outer surface）２３４を超える（または外面２３４をクリアする、clear）高さを有する。他の態様では、通信ライン２３２は、トレンチ２３０内の深さに位置するように、外面２３４と同一平面上にあるか、または外面２３４を超えない高さを有する。
【００３６】
オプションとして、接着剤２３６をワーキング層２３８に適用（または塗布、applied）してもよい。接着剤２３６は、例えばエポキシであってもよい。接着剤２３６は、外面２３４に沿って、および／またはトレンチ２３０内に堆積させてもよい。接着剤２３６は、通信ライン２３２およびトレンチ２３０を規定する対応する表面との間に形成される空隙を少なくとも部分的に充填してもよい。接着剤２３６は、ワーキング層２３８の他の素子に対する本質的に固定された位置において通信ライン２３２を取り付けることを容易にし得る。特定の態様では、接着剤２３６は、ガラスまたはシリコンウエハをＳＵ−８に結合するシラン接着促進剤である。例えば、接着剤２３６は、Ｇｅｌｅｓｔ法を用いて適用してもよい。特定の態様では、接着剤２３６は、１，３−ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロキサンである。
【化１】
2018526946.tif 000003
【００３７】
２０８において、ワーキング層を互いに積層してコネクタ本体を形成してもよい。図４は、ワーキング層を積層して対応するコネクタ本体を形成する２つの異なる態様を示す。より詳細には、コネクタ本体２４０およびコネクタ本体２５０を図４に示す。コネクタ本体２４０は、第２ワーキング層２４２を第１ワーキング層２３８へと積層することによって形成されてもよい。第２ワーキング層２４２は、第１ワーキング層２３８に面する１のサイドに沿ってトレンチ２４４を有してもよい。ある態様では、第２ワーキング層２４２は、第２ワーキング層２４２の両サイドにトレンチを有する。第２サイド（または第１ワーキング層２３８から離れて面するサイド）は、トレンチ内に設けられた通信ラインを有してもよい。このようなワーキング層の例を図７に示す。
【００３８】
第２ワーキング層２４２が第１ワーキング層２３８へと下げられると、トレンチ２４４を規定する表面は、第１ワーキング層２３８のトレンチ２３０内に設けられた通信ライン２３２と係合し得る。ある態様では、通信ライン２３２は、コネクタ本体２４０を通って延在する複数のチャンネル２４６を形成するように、第２ワーキング層２４２を第１ワーキング層２３８に沿って整合させてもよい。従って、各チャンネル２４６は、トレンチ２３０の１つおよびトレンチ２４４の１つによって形成される。
【００３９】
同様に、コネクタ本体２５０は、第２ワーキング層２５２を第１ワーキング層２３８へと積層することによって形成してもよい。しかしながら、第２ワーキング層２５２は、第１ワーキング層２３８に面する第２ワーキング層２５２の側面２５４に沿ったトレンチを欠いていてもよい。オプションとして、第２ワーキング層２５２は、側面２５４に対向する側面２５５に沿ってトレンチを含んでもよい。通信ライン２３２は、外面２３４と同一面であってもよいし、トレンチ２３０内の深さに位置してもよい。第２ワーキング層２５２は第１ワーキング層２３８へと下げられる場合、第２層２５２の側面２５４は、第１層２３８の外面２３４と係合し、トレンチ２３０を覆い、複数のチャンネル２５６を形成する。
【００４０】
コネクタ本体２４０、２５０の両方において、第１ワーキング層および第２ワーキング層は、それらの間にそれぞれ界面２４９、２５９を規定する隣接する基板層である。各例において、各界面２４９、２５９の隣接する基板層は、それぞれチャンネル２４６、２５６を形成するような形状である。各例において、通信ライン２３２は、対応する界面に沿って延在するように、コネクタ本体の対応するチャンネル２４６、２５６内に設けられる。
【００４１】
図４は、２つのワーキング層が互いに横並びで積層されていることのみを示しているが、方法２００は、多数の層を横並びで繰り返し積層することを含んでもよい。本明細書に記載されるように、ワーキング層は、ワーキング層の片側または両側に沿って形成されたトレンチを有してもよい。通信ラインは、基板層の対応する合せエッジに近接する端部を有してもよい。端部は、端子アレイを形成してもよく、または端子アレイ１１４のような端子アレイを形成するように後で修正されてもよい。
【００４２】
方法２００（図３）のような、基板層を製造する方法の１つの特定の例を以下記載する。基板層は、対応するトレンチを規定する、対向する側面間を測定する７５±５μｍの最大トレンチ幅、および対応するトレンチの基板層の外面から底面までを測定する３７．５±５μｍの最大トレンチ深さを有する６４個のトレンチを含む。トレンチは、２４０μｍピッチの中心間間隔（center-to-center spacing）（またはピッチ）を有してもよい。基材層は、１つの外面から反対側の外面までを測定する４８０μｍの総厚さを有してもよい。
【００４３】
トレンチは、ＳＵ−８ベースのフォトレジストのフォトリソグラフィック・コーティングおよびエッチングを用いて形成してもよい。ＳＵ−８は、機械強度、耐薬品性および熱安定性を有することで構造材として直接使用されてきたネガティブ・フォトレジストである。ＳＵ−８は、ＵＶ曝露時に架橋することができる。
【００４４】
基板層（またはワーキング層）の片側または両側は、トレンチを含むように加工してもよい。このプロセスは、トレンチを形成するためのワーキング基板を準備することを含んでいた。ワーキング基板を準備することは、シリコンウエハの表面を洗浄し、活性化するように、シリコンウエハを酸素プラズマ処理することを含んでいた（ＡＰＥ１１０プラズマチャンバ、１５０ワットＲＦ電力、＜０．３０トール真空、２分間の滞留時間、２サイクル、１２５ｓｃｃｍのガス流量）。次いで、この活性化された表面を表面改質処理した。具体的には、表面を酸素プラズマ処理により活性化した後に、表面シラン化処理を行ってもよい。シラン化は、ＳＵ−８のシリコンウエハへの接着性を高める。シラン化プロセスには、希酸を用いて９５％エタノール−５％ＤＩＨ２Ｏ混合物のｐＨを〜５に調整すること、水性アルコールの混合物１００ｍｌ中に２ｍｌのシランを加えて撹拌すること、加水分解およびシラノール形成のために５分間放置すること、ウエハを２分間浸漬すること、エタノールですすいで、空気乾燥させること、ホットプレートにて１１０℃で１０分間ウエハを硬化させることを含んでいた。接着性は、シランおよびＳＵ−８の両方において存在するエポキシ環と結合したシリコンウエハを有するシラン官能基の結合により高められた。ある態様では、シラン接着促進剤を使用して、１つのワーキング層のＳＵ−８を別のワーキング層のシリコンウエハに結合させてもよい。
【００４５】
このプロセスはまた、４ｇのＭｉｃｒｏｃｈｅｍ ＳＵ−８−３０５を含むシリンジでクイック・インジェクションを介して動的ディスペンスし、続いて２０００ｒｐｍ−ランプ、３００秒でスピン・コーティングすることを含むフィルム堆積を含んでいた。雰囲気が約２１．７℃の場合、目標厚さ（７５±１μｍ）が得られた。スピン−スピード・プログラムは、室温、デバイスおよびラボ条件によって異なる。
【００４６】
この方法はまた、ソフトベークとも呼ばれるワーキング基板のベーキング（または焼き付け、baking）を含む。例えば、室温から９５℃までのランプによる２０分間の漸進的な加熱は、内因性応力を減少させるのに有益であり得る。
【００４７】
ベーキング後、ワーキング基板に波長３６５ｎｍのＵＶ光を照射した。所定の曝露量は、〜７５μｍの厚さに達するように１５０〜２５０ｍＪ／ｃｍ２の範囲であってもよい。２００ｍＪ／ｃｍ２の目標エネルギーレベルは、線量計を用いて決定してもよい。ワーキング基板を曝露した後、ワーキング基板を６５℃で１分間、次に９５℃で５分間ベーキングした。次いで、ワーキング基板を、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）に、ダブル・パドルで、各４分以上、中程度の撹拌下で浸漬し、次いでクリーンなＰＧＭＥＡですすいだ。次いで、ワーキング基板を１５０℃で３０分間焼成（すなわち、ハードベーク）し、恒久的な構造完全性を得た。次いで、ワーキング基板をダイシングして、トレンチが形成された複数のワーキング基板を生成した。
【００４８】
図５および図６は、上記プロセスと同様のプロセスを使用して製造されたトレンチ２８４を有する例示的なワーキング基板２７５のＳＥＭ画像２８０、２８２をそれぞれ含む。図５および図６において、トレンチ２８４は、トレンチ幅２８６およびトレンチ深さまたは高さ２８８を有する。トレンチ幅２８６は約７７．５μｍであり、トレンチ深さ２８８は約１０５．０μｍである。ワーキング基板の片面だけが、それに沿ったトレンチを有するが、ワーキング基板の両側に沿ってトレンチが形成されてもよい。あるいは、それぞれ片側にトレンチを有する２つの別個のワーキング基板を横並びで結合して、両側にトレンチを有する複合ワーキング基板を形成してもよい。
【００４９】
別の例として、ワーキング基板（または層）は、光構造性ガラスセラミック（ＰＳＧＣ）を用いて形成してもよい。ＰＳＧＣは、従来の穿孔プロセスまたは機械加工プロセスを用いることなく、トレンチなどの微細構造を形成することが可能となる。例えば、ウエハは、マスクを用いて所定の時間、指定されたＵＶ光に曝されてもよい。露出した領域は、所定の時間、所定の温度で焼成することによってセラミック材料に変換することができる。より具体的には、ＰＳＧＣは、メタケイ酸リチウム結晶相に変換し得る。変換された材料は、アモルファスガラスよりもフッ化水素酸（ＨＦ）との反応に対してより活性であり得る。このようにして、トレンチをワーキング層に形成し得る。
【００５０】
図７および図８は、トレンチ３０２およびトレンチ３０４内に通信ラインが設けられる前の、トレンチ３０２、３０４を有するワーキング層３００の一部の正面図および上面図をそれぞれ示している（図７）。ワーキング層３００は、第１層サイド（layer side）３０６および第２層サイド３０８（図７）を有する。トレンチ３０２は、第１層サイド３０６に沿って位置付けられ、トレンチ３０４は、第２層サイド３０８に沿って位置付けられる。ある態様では、ワーキング層３００は、単一のワーキング層から製造されてもよく、その両方の層サイドがトレンチ形成プロセス（例えば、エッチング）に付される。あるいは、ワーキング層３００は、２つの別個のワーキング・サブ層から形成されてもよく、各ワーキング・サブ層が１つの平面サイドおよびそれに沿ったトレンチを有する反対側を有する。２つの平面サイドは、互いに結合されて、図７および図８に示されるワーキング層３００を形成してもよい。
【００５１】
トレンチ３０２、３０４は、ワーキング層３００の全体の軸方向寸法３１０（図８）に延在する開いたサイドのトレンチまたはトレンチである。ワーキング層３００は、合せエッジ３１２および後端エッジ３１４（図８）を含み、それらの間に軸方向寸法３１０が規定されている。トレンチ３０２、３０４は、先端エッジ３１２および後端エッジ３１４を通って延在するように、軸方向寸法３１０の全体にわたって延在する。
【００５２】
図７に示すように、トレンチ３０２、３０４の各々は、トレンチ幅３２０およびトレンチ深さ３２２を有する。トレンチ３０２、３０４は、横方向の中心間間隔（またはピッチ）３２４および上昇させる（または高い、elevated）中心間間隔３２６を有する。トレンチ幅３２０、トレンチ深さ３２２、横方向の中心間間隔３２４、および上昇させる中心間間隔３２６は、ある範囲の値を有してもよい。例えば、トレンチ幅３２０およびトレンチ深さ３２２は、単一の通信ライン（例えば、単一ワイヤ導体または単一光ファイバ）のみを保持するように構成されてもよい。他の態様では、トレンチ幅３２０およびトレンチ深さ３２２は、複数の通信ラインを保持するように構成されてもよい。例えば、トレンチ幅３２０およびトレンチ深さ３２２は、異なる対のワイヤ導体を保持するように構成してもよい。通信ラインは、例えば、３０アメリカン・ワイヤゲージ（ＡＷＧ）から５０ＡＷＧの間のＡＷＧを有してもよい。通信ラインの直径は、約０．３０ｍｍ〜約０．０１ｍｍであってもよい。
【００５３】
単なる一例として、トレンチ幅３２０は、２５０μｍ以下、１５０μｍ以下、１２５μｍ以下、または１００μｍ以下であってもよい。特定の態様では、トレンチ幅３２０は、９０μｍ以下、８０μｍ以下、または７０μｍ以下であってもよい。より特定の態様では、トレンチ幅３２０は、６０μｍ以下、５０μｍ以下、または４０μｍ以下であってもよい。単なる一例として、トレンチ深さ３２２は、２００μｍ以下、１７５μｍ以下、または１５０μｍ以下であってもよい。特定の態様では、トレンチ深さ３２２は、１３０μｍ以下、１１０μｍ以下、または１００μｍ以下であってもよい。より特定の態様では、トレンチ深さ３２２は、８０μｍ以下、６０μｍ以下、または４０μｍ以下であってもよい。
【００５４】
横方向の中心間間隔３２４は、１０００μｍ以下、８００μｍ以下、または６００μｍ以下であってもよい。特定の態様では、横方向の中心間間隔３２４は、５００μｍ以下、４００μｍ以下、または３００μｍ以下であってもよい。上昇させる中心間間隔３２６は、１０００μｍ以下、８００μｍ以下、または６００μｍ以下であってもよい。特定の態様では、上昇させる中心間間隔３２６は、５００μｍ以下、４００μｍ以下、または３００μｍ以下であってもよい。より特定の態様では、上昇させる中心間間隔３２６は、２５０μｍ以下、２００μｍ以下、または１５０μｍ以下であってもよい。図７および図８に示す態様では、横方向の中心間間隔３２４は約２４０μｍであり、上昇させる中心間間隔３２６は約４８０μｍである。
【００５５】
図示する態様では、トレンチ３０２、３０４は、同一の寸法（例えば、トレンチ深さ３２２およびトレンチ幅３２０）および互いに間隔を有する。寸法および間隔は同一である必要はないことを理解されたい。例えば、いくつかのトレンチ３０２は、３２本のＡＷＧ通信ラインを受信するように構成されてもよいが、他のトレンチ３０２は、５０本のＡＷＧ通信ラインを受信するように構成されてもよい。同様に、横方向の中心間間隔３２４および上昇させる中心間間隔３２６は同じである必要はない。
【００５６】
図７および図８に示す態様では、トレンチ３０２、３０４は、合せ軸１９１（図１）などの合せ軸（図示せず）に平行に延在し、互いに平行に延在する線形経路（linear paths）を有する。しかしながら、他の態様は、非線形経路および／または互いに平行に延在しない経路を含んでもよいことを理解されたい。例えば、図９は、複数のトレンチ３３２を含むワーキング層３３０の上面図を示す。ワーキング層３３０は、合せ軸３３８に沿って反対方向に面する合せエッジ３３４およびローディング・エッジ３３６を有する。図示するように、トレンチ３３２は、互いに平行に延在しておらず、合せ軸３３８と平行ではない。トレンチ３３２が、合せサイド３３４からローディング・エッジ３３６まで延在するため、トレンチ３３２は、互いから延在するか、または互いから離れて広がってもよい。そのような態様は、コネクタ本体の一方のサイドのアレイの密度を効果的に変化させるために使用されてもよい。例えば、合せエッジ３３４は、他の合せエッジと共に、第１端子アレイ（図示せず）を有する合せサイド（図示せず）を集合的に形成されてもよい。ローディング・エッジ３３６は、他のローディング・エッジとともに、第２端子アレイ（図示せず）を有する本体サイド（図示せず）を集合的に形成してもよい。第１端子アレイは、第２端子アレイよりも大きな合せ端子密度を有してもよい。
【００５７】
図１０Ａは、アレイ・コネクタ３５０の基板層３５２が互いに重なって積層されているときに、部分的に形成されたアレイ・コネクタ３５０の斜視図である。図示するように、基板層３５２の各々は、層本体３５４および複数の通信ライン３５６を含む。層本体３５４は、上記のように、基板層を形成するように共に積層され、処理された１またはそれよりも多いサブ層を含む。層本体３５４は、トレンチ３５８および整合ホール（alignment holes）３６０を含む。トレンチ３５８は、通信ライン３５６のセグメントを受ける。整合ホール３６０は、アセンブリ・ステージ（図示せず）の固定具３６２を受けるように構成される。整合ホール３６０および固定具３６２は、基板層３５２を互いに整合させる際に協働（cooperate）し得る。上記のように、基材層３５２を互いに積層するときに基材層３５２を互いに固定することを容易にするように、１またはそれよりも多い層本体３５４を接着剤でコーティングしてもよい。最終基板層３６４は、トレンチ３５８を有する残りの基板層の頂部に積層されてもよい。
【００５８】
図１０Ｂは、本明細書に記載される基板層と類似のまたは同一の特徴を有し得る基板層３７０の平面図である。基板層３７０は、合せエッジ３７２、ローディング・エッジ３７４およびそれらの間に延在する複数のトレンチまたはチャンネル３７６を含む。複数の通信ライン３７８は、対応するトレンチ３７６内に設けられる。図示のように、通信ライン３７８は、通信ライン３７８が対応するトレンチ３７６を通って延在する場合、中心間間隔３８０を有している。中心間間隔３８０は、基材層３７０全体にわたって均一である。
【００５９】
通信ライン３７８は、ローディング・エッジ３７４に触れずに通過する。基板層３７０の外部では、通信ライン３７８は、結合層（coupling layer）３８２に固定されている。図示の態様では、結合層３８２は、接着性の外面３８４を有するテープのストリップである。通信ライン３７８は、接着性の外面３８４へと位置付けられ、接着性の外面３８４に圧入され、それによって、通信ライン３７８を結合層３８２に固定する。通信ライン３７８は、任意の指定された配置を有してもよい。例えば、通信ライン３７８は、同一平面上にあり、結合層３８２全体にわたって図１０Ｂにおける同じ中心間間隔３８０を有する。他の態様では、結合層３８２は、通信ライン３７８を異なる中心間間隔３８０に保持してもよい。さらに他の態様では、通信ライン３７８が、結合層３８２に沿うよりも基板層３７０に沿って異なる相対位置を有するように、通信ライン３７８が互いに交差するように位置付けられてもよい。
【００６０】
ある態様では、結合層３８２はテープのストリップであってもよいが、他の態様では結合層３８２もオーバーモールド（または外側被覆、overmold）であってもよい。例えば、通信ライン３７８は、モールディング・キャビティ内の互いに指定された位置に保持されてもよい。モールディング可能な材料（例えば、熱可塑性樹脂）をモールディング・キャビティ内に注入し、硬化させてオーバーモールドを形成してもよい。さらに他の態様では、結合層３８２は複数のサブ層を含んでもよい。例えば、第１サブ層は、ポリイミドなどのベース層を含んでもよい。通信ライン３７８がベース層へと位置付けられた後、接着剤材料をベース層へと適用（例えば、スプレー）し、硬化させて第２サブ層を形成し、通信ライン３７８を結合層３７８に固定する。
【００６１】
図示の態様では、結合層３８２は、通信ライン３７８の長さの一部のみに沿って延在する長さ（またはサブ長さ）３８５を有する。ある態様では、１またはそれよりも多い他の結合層（図示せず）が、長さの異なる部分に沿って通信ライン３７８を固定してもよい。図１０Ｂは、１の単一の基板層３７０および対応する結合層３８２のみを示しているが、追加の基板層３７０は、本明細書で記載するように互いに積層されてもよい。そのような態様では、対応する結合層３８２を互いに積層してもよい。
【００６２】
図１０Ｃは、複数の通信ライン３８８を有する基板層３８６の平面図である。図示するように、通信ライン３８８の第１部分３９０は、基板層３８６を通る第１中心間間隔３９１を有する。通信ライン３８８の第１部分３９０は、ローディング・エッジ３９２に触れずに通過し、第１結合層３９４に取り付けられる。第１結合層３９４は、結合層３８２と同様であってもよい。通信ライン３８８の第２部分３９６は、基材層３８６を通る第２中心間間隔３９７を有する。図示の態様では、第１中心間間隔３９１および第２中心間間隔３９７は等しいが、他の態様では異なっていてもよい。通信ライン３８８の第２部分３９６は、ローディング・エッジ３９２に触れずに通過し、第１結合層３９４の下方に位置する第２結合層（図示せず）に取り付ける。互いに積層される場合、第１結合層および第２結合層および対応する通信ライン３８８は、基板層３８６の厚さまたは高さと同じかまたはそれより小さい厚さまたは高さを有してもよい。図示するように、通信ライン３８８は、第１中心間間隔３９１よりも小さく、第２中心間間隔３９７よりも小さい、結合層３９４を通る第３の中心間間隔３９８を有する。しかしながら、通信ライン３８８は、それらの相対位置を維持する。そのような態様では、通信ライン３８８は、ケーブルの長さ分伸びるため、断面積が減少することがある。図１０Ｃは、通信ライン３８８が２つの端点の間に延在する場合に断面積を減少する１の方法を示しているが、他の方法を実施してもよい。
【００６３】
図１１〜図１３は、異なる製造段階におけるアレイ・コネクタ４００の側面断面図を示す。方法２００（図３）は、例えば、別の構成要素のアレイに結合するための合せサイドを準備するように、コネクタ本体の合せサイドを２１０で修正することを含んでもよい。図１１〜図１３は、合せサイドを修正する一例を示す。アレイ・コネクタ４００は、本明細書で記載するように、複数の積層された基板層４０１から形成される。図１１に示すように、アレイ・コネクタ４００は、コネクタ本体４０２および複数の通信ライン４０４を含む。アレイ・コネクタ４００はまた、対応する基板層４０１のエッジ面４０８から形成される合せサイド４０６を含む。アレイ・コネクタ４００は、対応するエッジ面４０８から離れるように延在する通信ライン４０４の複数のセグメント突出部（segment projections）４１０を有する。セグメント突出部４１０は、対応する基板層４０１のエッジ面４０８を越えて離れるか、または突出する通信ライン４０４の部分を示す。セグメント突出部４１０は、例えば、配置プロセスの後および／または通信ライン４０４が切断された後に存在してもよい。
【００６４】
各セグメント突出部４１０は、対応するセグメント突出部４１０の端面４１５と対応するエッジ面４０８との間で測定される長さ４１４を有する。セグメント突出部４１０の長さ４１４は、アレイ・コネクタ４００の製造方法における許容範囲（tolerances）により異なってもよい。ある用途では、合せ端子に対して限定された平面性要件を有することが望ましい場合がある。より具体的には、通信ライン４０４の端面４１５が共通の長さ４１４を有することが望ましい場合がある。
【００６５】
従って、２１０において、合せサイドを修正することは、通信ライン４０４のセグメント突出部４１０を除去するように、合せサイド４０６を研磨することを含んでもよい。研磨処理後のアレイ・コネクタ４００を図１２に示す。研磨処理は、粗い面を合せサイド４０６にわたって繰り返し動作させる機械的研磨を含んでもよい。機械的研磨に代えて、または機械的研磨に加えて、研磨処理は、化学的改質のような他の形態の表面改質を含んでもよい。
【００６６】
研磨処理は、セグメント突出部４１０（図１１）を除去するだけでなく、合せサイド４０６の側面４１６が平坦であるようにエッジ面４０８の小さな部分を除去してもよい。端面４１５は、側面４１６と同一平面にある。ある態様では、図１２に示すアレイ・コネクタ４００は、別の構成要素に結合される前にそれ以上の修正を受けない。そのような態様では、端面４１５は、アレイ・コネクタ４００の対応する合せ端子を形成してもよい。しかしながら、他の態様では、アレイ・コネクタ４００は、例えば、伝導性バンプを通信ラインに供すように、少なくとも１つの他の修正処理を受ける。
【００６７】
図１３は、伝導性バンプ４２０が通信ライン４０４に追加された後のアレイ・コネクタ４００を示す。伝導性バンプ４２０は、アレイ・コネクタ４００の合せ端子を構成してもよい。特定の態様では、伝導性バンプ４２０は、例えば、伝導性バンプ４２０は、はんだディスペンシング、はんだスクリーン印刷、電気めっき、無電解めっき、物理蒸着（ＰＶＤ）などによって形成してもよい。伝導性バンプ４２０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）、金（Ａｕ）、または他の貴金属のうちの少なくとも１つを含んで成ってもよい。伝導性バンプ４２０は、側面４１６に対して指定された高さまたは長さ４２２を達成するように制御された方法で形成されてもよい。
【００６８】
例示的な態様では、高さ４２２は１００μｍ以下であり、±１０μｍの許容限界（tolerance limit）を有する。しかしながら、高さ４２２は、異なる許容限界を有する他の値を有してもよい。例えば、高さ４２２は、２００μｍ以下、１５０μｍ以下、または１２５μｍ以下であってもよい。特定の態様では、高さ４２２は、１１０μｍ以下、１００μｍ以下、または９０μｍ以下であってもよい。より特定の態様では、高さ４２２は、８０μｍ以下、７０μｍ以下、６０μｍ以下、または５０μｍ以下であってもよい。許容限界は、高さの±１５％以内、高さの±１２％以内、高さの±１０％以内、または高さの±８％以内であってもよい。
【００６９】
図１４は、例示的な態様によって形成されたケーブル・アセンブリ４５０の斜視図であり、図１５は、ケーブル・アセンブリ４５０の合せサイド４６０の拡大図である。ケーブル・アセンブリ４５０は、アレイ・コネクタ４５２およびアレイ・コネクタ４５２に通信可能に結合されたケーブル・ハーネス４５４（図１４）を含む。アレイ・コネクタ４５２は、合せ端子４６２の２ Ｘ ６４アレイを含む合せサイド４６０を有する。図１５に示すように、合せ端子４６２は、伝導性バンプ４６４から形成される。
【００７０】
ケーブル・ハーネス４５４は、複数の通信ライン４６６（図１４）を共にグループ化または束ねるように構成されている。例えば、ケーブル・ハーネス４５４は、通信ライン４６６の各々を囲むジャケット４５６を含む。通信ライン４６６は、アレイ・コネクタ４５２の本体サイド（図示せず）を通って突出する。ジャケット４５６は、押出プロセス、モールディング・プロセスまたはラッピング・プロセスによって通信ライン４６６を覆って形成してもよい。ラッピング・プロセス中、テープを通信ライン４６６の束についてらせん状にラップしてもよい。オプションとして、ジャケット４６６は、通信ライン４６６を囲むシールド層を含んでもよい。別の態様では、ケーブル・ハーネス４５４は、複数のジャケット４５６を含んでもよい。
【００７１】
方法２００はまた、２１２（図３）において、合せサイドを別の構成要素に結合することを含んでもよい。より具体的には、端子アレイの合せ端子は、別のアレイの対応する端子と整合されてもよく、ある態様では、合せ端子および対応する端子が直接的に結合されてもよい。図１６および図１７は、アレイ・コネクタの端子アレイをモジュラー・デバイスのデバイス・アレイに結合するための２つの異なる方法を示す。図１６は、合せサイド５０４を有するアレイ・コネクタ５０２を含むケーブル・アセンブリ５００を有するシステムの一部を概略的に示す。端子アレイ５０６は、合せサイド５０４に沿って位置付けられ、合せ端子５１０の高密度アレイを含んでもよい。例示的な態様では、合せ端子５１０は、伝導性バンプである。システムはまた、合せ端子５１８のデバイス・アレイ５１６を含む取付けサイド（mounting side）５１４を有するモジュラー・デバイス５１２を含む。図示する態様では、合せ端子は、取付けサイド５１４に沿って形成された電気コンタクト（例えば、接触パッド）５１８である。図示する態様では、電気コンタクト５１８は、配線（またはトレース、traces）およびビア（vias）を介してモジュラー・デバイス５１２の他の素子に電気的に結合されてもよい。
【００７２】
図示する態様では、デバイス・アレイ５１６および端子アレイ５０６は、熱圧フリップ−チップ接合または熱音波フリップ−チップ接合（はんだレス接合とも呼ばれる）によって通信可能に結合される。熱圧フリップ−チップ接合において、アレイ・コネクタ５０２の合せ端子５１０は、熱エネルギーおよび力の印加によってモジュラー・デバイス５１２の合せ端子５１８に接合される。接合材を軟化させ、拡散接合プロセスを促進させるために、接合温度は比較的高く、例えば３００℃であってもよい。熱音波（またははんだレス）フリップ−チップ接合では、超音波エネルギーは、アレイ・コネクタ５０２を介して接合されるジョイントに伝達される。超音波エネルギーは、接合材を軟化させ、塑性変形しやすくさせてもよい。接合の方法は、検査によって特定する（または確認する、identify）ことができることを理解されたい。例えば、デバイスのＳＥＭ画像は、デバイス・アレイおよび端子アレイが熱圧接合または熱音波接合されていることを明らかにし得る。
【００７３】
図１７は、アレイ・コネクタ５２０がモジュラー・デバイス５２２に通信可能に結合された後のシステムの側面概略図である。結合処理の前に、伝導性材５２４をアレイ・コネクタ５２０の合せサイド５２６および／またはモジュラー・デバイス５２２の取付けサイド５２８に適用してもよい。伝導性材５２４は、その中に懸濁および／または分布した伝導性粒子５３２を有する接着材５３０を含む異方性伝導性フィルムまたはゲルであってもよい。結合処理中、アレイ・コネクタ５２０の合せ端子５３６は、モジュラー・デバイス５２２の対応する合せ端子５４０と界接してもよい。より具体的には、合せ端子５３６は、伝導性材５２４を介して対応する合せ端子５４０に電気的に結合されてもよい。図１７に示すように、伝導性材５２４の伝導性粒子５３２に伝導性ブリッジ５３８が選択的に形成される。
【００７４】
ファイバ端部の端子アレイは、ファイバ端部のデバイス・アレイに通信可能に結合されてもよいことを理解されたい。例えば、２つの光フェルール（optical ferrule）の合せサイドは、それぞれの、光ファイバ端部のアレイまたは光ファイバ端部に結合されたレンズを有してもよい。１つの光フェルールは、本明細書で記載するアレイ・コネクタであってもよい。もう一方の光フェルールは、マルチファイバＭＴフェルールと同様のものであってもよい。オプションとして、合せサイドは、２つのフェルールを整合させるために互いに係合する物理的整合機構を含んでもよい。合せサイドは、操作中に整合を維持するように互いに操作可能に結合されてもよい。例えば、２つのフェルールは、締結具または接着剤を用いて互いに固定されてもよい。
【００７５】
図１８は、互いに通信可能に結合されたプローブ・アセンブリ５５２および制御デバイス５５４を含む態様に従って形成されたシステム５５０を示す。図示する態様では、制御デバイス５５４は、ディスプレイ５５６を有するポータブルなユーザー・デバイスである。例えば、制御デバイス５５４は、スマートフォンまたは同様のハンドヘルド通信デバイスであってもよい。他の態様では、制御デバイス５５４は、タブレット・コンピュータまたはラップトップ・コンピュータであってもよい。さらに他の態様では、制御デバイス５５４は、ワークステーションなどのより大きな計算システムであってもよい。制御デバイス５５４（またはコンピューティング・システム）は、プログラム命令を実施するように構成された１またはそれよりも多いプロセッサ（または処理ユニット）を含んでもよい。例えば、制御デバイス５５４は、プローブ・アセンブリ５５２によって検出された外部信号に基づくデータ信号を受信し、データ信号を処理し、ユーザにとって有益な情報を生成し得る。制御デバイス５５４は、データ信号をディスプレイ５５６上に示される画像に変換し得る。ディスプレイ５５６は、ユーザがタッチスクリーンを介してシステム５５０の動作を制御できるように、ユーザ入力を受信するように構成されたタッチスクリーンを含んでもよい。タッチスクリーンの代わりに、またはタッチスクリーンに加えて、制御デバイス５５４は、ユーザ入力を受けるためのキーボードまたはタッチパッドなどの入力デバイスを含んでもよい。制御デバイス５５４は、マウスまたは外部キーボードなどの外部入力デバイスに通信可能に結合するように構成されてもよい。ある態様では、制御デバイス５５４は、プローブ・アセンブリ５５２のモジュラー・デバイス５６０からエネルギーを放出するための信号を送信してもよい。
【００７６】
例示的な態様では、プローブ・アセンブリ５５２は、身体（例えば、ヒトまたは動物）に挿入されるように構成されたカテーテルである。例えば、プローブ・アセンブリ５５２は、リアルタイムの３次元（３Ｄ）超音波撮像のために構成されてもよい。超音波は、圧電効果、磁歪および光音響効果を含む多くの異なる方法によって励起させることができる。プローブ・アセンブリ５５２はまた、組織アブレーション（または切除、もしくは焼灼、ablation）などのデリバリング・セラピー（delivering therapy）のためにエネルギーを放出するように構成されてもよい。図示するように、プローブ・アセンブリ５５２は、ケーブル・アセンブリ５５８を含む。ケーブル・アセンブリ５５８は、本明細書に記載のアレイ・コネクタなどのアレイ・コネクタ（図示せず）およびアレイ・コネクタに通信可能に結合された複数の通信ライン（図示せず）を含んでもよい。
【００７７】
プローブ・アセンブリ５５２は、ケーブル・アセンブリ５５８を通って制御デバイス５５４に通信可能に結合されたモジュラー・デバイス５６０を含んでもよい。特定の態様では、モジュラー・デバイス５５４は、相補型金属酸化膜半導体（complementary metal-oxide semiconductors、ＣＭＯＳｓ）、電荷結合素子（charge-coupled devices、ＣＣＤｓ）などのような固体デバイスを含む。モジュラー・デバイス５６０は、例えば、患者の体内に挿入するためのサイズにしてもよい。ある態様では、モジュラー・デバイス５６０は、外部信号を検出または観察するように構成される。図示する態様では、モジュラー・デバイスは、超音波デバイスまたは超音波トランスデューサ５６０である。例えば、超音波デバイス５６０は、圧電性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＰＭＵＴ）または容量性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）であってもよく、または含んでもよい。他の態様では、モジュラー・デバイス５６０は、撮像センサ（例えば、ＣＭＯＳ）を含んでもよく、または構成されてもよい。モジュラー・デバイス５６０は、圧力または温度など、指定された空間内の状態を測定するように構成されてもよい。ある態様では、モジュラー・デバイス５６０は、組織切除などのセラピーを供するように構成されてもよい。アブレーションは、指定された領域を少なくとも実質的に損傷または破壊する試みにおいて、器官または組織の指定された領域に化学療法または熱療法を直接適用することを指す場合がある。例えば、モジュラー・デバイス５６０は、高強度集束超音波（high intensity focused ultrasound、ＨＩＦＵ）、高周波（radio-frequency、ＲＦ）、マイクロ波、レーザ、または熱制御（例えば、熱切除または凍結切除）によって組織をアブレーションするように構成されてもよい。モジュラー・デバイス５６０はまた、電気パルスを送ることによって刺激するように構成されてもよい。モジュラー・デバイス５６０は、ある態様では、検出およびセラピーの両方のために構成されてもよいことを理解されたい。
【００７８】
ある態様では、システム５００全体を患者の体内に挿入するように構成してもよい。例えば、プローブ・アセンブリ５５２は、刺激デバイス（例えば、神経刺激デバイスまたはペースメーカ）を含んでもよく、制御デバイス５５４は、デリバリング・セラピーのためのプローブ・アセンブリ５５２に、指定された一連の電気パルスを供するように構成されるパルス・ジェネレータであってもよい。モジュラー・デバイス５６０は、例えば、経皮リードまたはパドルリードであってもよい。制御デバイス５５４およびプローブ・アセンブリ５５２は、患者の体内に埋め込まれてもよい。
【００７９】
しかしながら、プローブ・アセンブリ５５２は、医療用途以外の目的のために使用されてもよい。例えば、モジュラー・デバイス５６０は、外部信号を検出し、外部信号を制御デバイス５５４に直接的または間接的に通信する画像センサ（例えば、ＣＭＯＳ）または他のタイプの検出器／変換器を含んでもよい。
【００８０】
図１９は、一態様によるプローブ・アセンブリ６００の遠位端の斜視図である。プローブ・アセンブリ６００は、プローブ・アセンブリ５５２（図１８）と類似または同一であってもよい。プローブ・アセンブリ６００は、ケーブル６０４に結合されたプローブ本体６０２を含む。プローブ本体６０２は、内部構成要素が見えるように破線で示されている。プローブ本体６０２は、プローブ本体６０２の内部に設けられたモジュラー・デバイス６０６を囲んでもよく、または包封（またはカプセル化、encapsulate）してもよい。図示するように、モジュラー・デバイスは、素子６１０のアレイ６０８を含むＰＭＵＴまたはＣＭＵＴなどの超音波デバイス６０６である。アレイ６０８は、従来の超音波デバイスによって組み込まれた圧電素子のアレイと同様であってもよい。アレイ６０８は、素子６１０の高密度アレイであってもよい。例えば、アレイ６０８は、約１０００素子／ｃｍ２を有してもよい。素子６１０は、デバイス・アレイ５１６（図１６）のような電気コンタクト（図示せず）のデバイス・アレイに通信可能に結合されている。
【００８１】
素子６１０のアレイ６０８は、外部信号、より具体的には、患者の体内の領域などの関心領域（ＲＯＩ）内からの超音波信号を検出するように構成されている。特定の態様では、ＲＯＩは血管内、より具体的には心臓血管内にある。モジュラー・デバイス６０６は、超音波信号に基づくデータ信号をコンピューティング・システムに通信するように構成される。データ信号は、検出された超音波信号と同一であってもよいし、モジュラー・デバイス６０６によって所定の方法で処理されてもよい。この目的のために、モジュラー・デバイス６０６は、本明細書に記載されるケーブル・アセンブリと類似または同一である、ケーブル・アセンブリ６１２に通信可能に結合される。例えば、ケーブル・アセンブリ６１２は、アレイ・コネクタ（図示せず）およびアレイ・コネクタに結合されたワイヤ導体（図示せず）を含んでもよい。アレイ・コネクタはモジュラー・デバイス６０６と通信可能なように結合される。代替の態様では、素子６１０は、他の外部信号を検出するように構成された素子および／またはエネルギーを放出するように構成された素子と置き換えることができる。例えば、素子６１０は、無線周波数（ＲＦ）エネルギーを指定された組織に送るための電極を含んでもよい。他の態様では、素子６１０は、電気パルスを指定された組織に印加するように構成された電極であってもよい。他の態様では、素子６１０は、ＨＩＦＵを指定された組織に送るように構成される。
【００８２】
デバイス・アレイ（図示せず）およびアレイ６０８に加えて、モジュラー・デバイス６０６は、他の構成要素を含んでもよい。例えば、モジュラー・デバイス６０６は、アレイ６０８から受信されるデータ信号を処理するように構成された回路および／または制御デバイスから受信されるデータ信号を処理するように構成された回路を含んでもよい。ある態様では、モジュラー・デバイス６０６は、ある信号形式（例えば光学式）と別の信号形式（例えば電気式）との間で信号を変換する信号変換器（または光学エンジン）を含んでもよい。信号変換器は、例えば、ＴＥ Ｃｏｎｎｅｃｔｉｖｉｔｙによって開発され、Ｃｏｏｌｂｉｔの商標で販売されているエンジンと同様であってもよい。従って、モジュラー・デバイス６０６は、（ａ）ケーブル・アセンブリから光信号および／または電気信号を受信するように、または（ｂ）光信号および／または電気信号をケーブル・アセンブリに供するように構成されてもよい。
【００８３】
図２０および図２１は、異なる組立段階におけるプローブ・アセンブリ６５０を示す。図２０は、アレイ・コネクタ６５４およびアレイ・コネクタ６５４に結合された通信ライン６５６の束を有するケーブル・アセンブリ６５２の斜視図である。通信ライン６５６は、円形の断面を有するジャケット６５８によって共に囲まれ、グループ化される。他の態様では、ジャケット６５８は異なる断面寸法を有してもよい。例えば、ジャケット６５８はリボン形状を有してもよい。
【００８４】
アレイ・コネクタ６５４は、本明細書に記載のアレイ・コネクタと類似または同一であってもよい。例えば、アレイ・コネクタ６５４は、合せサイド６６２およびローディング・サイド６６４を有するコネクタ本体６６０を含む。通信ライン６５６は、ローディング・サイド６６４を通って合せサイド６６２に向かって延在する。通信ライン６５６は、コネクタ本体６６０を通って形成されたチャンネルに沿って延在してもよい。通信ライン６５６は、ワイヤ導体もしくは光ファイバ（図示せず）の端面が合せサイド６６２に沿って露出するように、または伝導性バンプもしくはレンズ（図示せず）が、合せサイド６６２に沿った端面と整合するように、合せサイド６６２に沿ってアレイを形成してもよい。
【００８５】
図示する態様では、ローディング・サイド６６４および合せサイド６６２は反対方向に面している。しかしながら、他の態様では、ローディング・サイド６６４および合せサイド６６２は、例えば互いに直交する異なる方向に面してもよい。そのような態様では、コネクタ本体６６０は、非線形なチャンネルを含んでもよい。光ファイバを有する態様では、光ファイバを曲げることで、光信号を通信するための曲げ半径を満たしてもよい。
【００８６】
アレイ・コネクタ６５４は、モジュラー・デバイス６７０に通信可能に結合されるように構成される。モジュラー・デバイス６７０は、取付けサイド６７２およびアクティブ・サイド（active side）６７４を含む。モジュラー・デバイス６７０は、例えば、半導体または集積回路製造技術またはマイクロエレクトロメカニカル・システム（microelectromechanical systems、ＭＥＭＳ）製造技術を用いて製造されてもよい。モジュラー・デバイス６７０は、例えば、上記の減ずるプロセスまたは追加プロセスを使用して製造してもよい。アクティブ・サイド６７４は、外部信号を検出するように構成された素子のアレイ（図示せず）および／またはそこからエネルギーを放出する素子のアレイを含む。素子のアレイは、取付けサイド６７２に沿って位置付けられたデバイス・アレイ６７６に（例えば、ビア、伝導性トレース、光ファイバなどを介して）通信可能に結合される。デバイス・アレイ６７６は、端子アレイ６７８を含む。ある態様では、アレイ端子は電気コンタクト６７８を含む。電気コンタクト６７８は、例えば、取付けサイド６７２と実質的に同一平面上に位置付けられた接触パッドまたは取付けサイド６７２から離れて突出するフレキシブルな（または可撓性の、flexible）接触ビーム（beams）であってもよい。ある態様では、アレイ端子は、対応する光ファイバ端部と整合するために、取付けサイド６７２に沿って露出された光ファイバ端部６７８を含む。ある態様では、デバイス・アレイ６７６は、電気コンタクトおよび光ファイバ端部の両方を含む。デバイス・アレイ６７６は、アレイ・コネクタ６７０の合せサイド６６２に沿ってアレイ（図示せず）と一致するように構成される。
【００８７】
図２１は、モジュラー・デバイス６７０に取り付けられたアレイ・コネクタ６５４を示す。アレイ・コネクタ６５４およびモジュラー・デバイス６７０は、例えば、本明細書に記載の接合プロセスを使用して、互いに機械的および通信可能に結合されてもよい。他の態様では、アレイ・コネクタ６５４およびモジュラー・デバイス６７０は、合せサイド６６２と取付けサイド６７２との間に材料を設けることなく、互いに固定される。例えば、ファスナー（または留め具、fastener）は、アレイ・コネクタ６５４およびモジュラー・デバイス６７０を互いに対して固定位置に保持するように使用されてもよい。また、図２１に示すように、ジャケット６５８は、シース６８２によって形成された通路６８０を通って延在してもよい。患者の体内に挿入される態様の場合、シース６８２は、所望の用途に認可された任意の適切な材料を含んで成ってもよい。図示されていないが、プローブ・アセンブリ６５０はまた、シース６８２に結合されたプローブ本体を含んでもよい。プローブ本体は、モジュラー・デバイス６７０およびアレイ・コネクタ６５４を囲み、保護し得る。プローブ本体は、シース６８２の端部に結合されたキャップと同様であってもよい。
【００８８】
図２２は、一態様に従って形成されたアレイ・コネクタ７００の合せサイド７０２の平面図である。アレイ・コネクタ７００は、アレイ・コネクタ１００（図１）または本明細書に記載の他のアレイ・コネクタと同様であってもよい。例えば、アレイ・コネクタ７００は、横並びで積層された複数の基板層７０４を含むコネクタ本体７０１を有する。基板層７０４は、複数の界面７０６を形成し、各界面７０６は、隣接する基板層７０４の間に規定される。隣接する基板層７０４は、対応する通信ライン７０８を受けるようにその間にチャンネルを形成するような形状である。通信ライン７０８は、合せサイド７０２に沿ってアレイを形成し得る端面を有する。あるいは、端面は、通信ラインの伝導性バンプまたはレンズに結合されてもよい。
【００８９】
また、コネクタ本体７０１は、それを通るワーキング通路（working passage）またはチャンネル７１０を有してもよい。ワーキング通路７１０は、例えばモジュラー・デバイス（図示せず）の対応する通路と位置合わせされてもよい。ワーキング通路７１０およびモジュラー・デバイスのオプションとしての通路は、器具またはツールを受けるためのサイズおよび形状にしてもよい。例えば、ワーキング通路７１０およびデバイス通路は、チューブ７１２を受けるようなサイズおよび形状にしてもよい。流体は、例えばデブリ（または破片、debris）を除去するためにチューブ７１２を通って導かれてもよい。他の態様では、モジュラー・デバイスは、フレキシブルな容器またはブラダ内に設けられてもよい。チューブ７１２は、モジュラー・デバイスのアレイに沿って流体を供してもよい。
【００９０】
図２３は、一態様に従って形成されたアレイ・コネクタ７２０の合せサイド７２２の平面図である。アレイ・コネクタ７２０は、アレイ・コネクタ１００（図１）または本明細書に記載の他のアレイ・コネクタと同様であってもよい。例えば、アレイ・コネクタ７２０は、横並びで積層された基板層７２４〜７３０の複数を含むコネクタ本体７２１を有する。基板層７２４〜７３０は、複数の界面７３２を形成し、各界面７３２は隣接する基板層７２４〜７３０の間に規定される。隣接する基板層７２４〜７３０は、それらの間にチャンネルを形成し、チャンネルは、対応する通信ライン７３４を受ける。通信ライン７３４は、合せサイド７２２に沿ってアレイ７３６を形成することができる端面を有する。あるいは、端面は、アレイ７３０を形成する通信ラインの伝導性バンプまたはレンズに結合されてもよい。また、アレイ・コネクタ７２０は、そこを通るワーキング通路７４０を含む。ワーキング通路７４０は、器具またはツールを受けるように構成されてもよい。あるいは、ワーキング通路７４０は、アレイ・コネクタ７２０を他の構成要素に結合するのを容易にするような形状にしてもよい。
【００９１】
図２３は、様々なアレイ７３６が形成され得ることを示す。図示のように、アレイ・コネクタ７２０の基板層７２４〜７３０は、様々な厚さを有する。例えば、基板層７２５および７２６は、実質的に平面であり、ワーキング通路７４０を規定する部分を除いて、実質的に等しい厚さを有する。基板層７２７は、他の基板層の厚さよりも小さい、実質的に均一な厚さを有する。基材層７２８は、２つの異なる厚さを有する非平面の本体を有する。そのような態様では、界面７３２は非平面輪郭を有してもよい。例えば、隣接する基板層７２８および７２９の間の界面７３２は、垂直断面によって接合された２つの水平断面を含む。複数の通信ライン７３４が水平セクションに沿って設けられ、１つの通信ライン７３４が垂直セクションに沿って設けられる。図２３は、水平断面および垂直断面を有する界面７３２を示しているが、非直交断面もまた形成され得ることを理解されたい。例えば、傾斜セクションは、基板層７２８および７２９の間の界面７３２の２つの水平セクションの間に延在してもよい。
【００９２】
図示の態様では、各通信ラインは、単一の通信経路のみを有する。しかしながら、他の態様では、通信ラインは、複数の通信経路を含んでもよい。あるいは、チャンネルは、２またはそれよりも多い通信ラインを受けるようなサイズおよび形状にすることができる。例えば、通信ラインは、２つのワイヤ導体が共通ジャケットを通って互いに平行に延在する２軸の通信ラインを含んでもよい。別の例として、通信ラインは同軸ラインを含んでもよい。
【００９３】
図２４〜２７は、モジュラー・デバイスに沿ってアレイを形成し得る例示的な素子を供する。例えば、図２４は、例えば印刷回路７５４を介して通信経路７５２に電気的に結合された電極７５０を示している。図２５は、圧電超音波素子（piezoelectric ultrasonic element）７６０を示す。素子７６０は、高導電率電極層７６４および７６６の間に挟まれた圧電材７６２を含み、例えば、素子７６０は、金または白金を含んでもよい。電極層７６６は、支持層（またはバッキング層、backing layer）７６８によって支持される。電極層７６４、７６６は、それぞれ導体７７０、７７２に電気的に結合される。
【００９４】
図２６は、キャビティ７７８にわたって設けられた金属化された吊られた膜（metallized suspended membrane）７７６（例えば、窒化シリコン（ＳｉｘＮｙ））を含むＣＭＵＴ素子７７４を示す。ＣＭＵＴ素子７７４はまた、剛性基板（rigid substrate）７８０を含む。ＤＣ電圧が２つの電極７８２および７８４の間で印加される場合、膜７７６は偏向され、静電力によって基板に向かって引き付けられる。膜７７６の剛性によって引き起こされる機械的復元力は、引力に抵抗する。結果として、ＡＣ電圧入力を有する膜７７６の振動から超音波を発生させることができる。
【００９５】
図２７は、電極層７８８および７９０の間に挟まれた膜７８６を含むＰＭＵＴ素子７８４を示している。ＰＭＵＴ素子７８４における膜７８６の偏向は、膜７８６の圧電効果から生じる横方向の歪みによって引き起こされる。膜７８６は、少なくとも１つの圧電層７９２および受動弾性層（passive elastic layer）７９４を含む。動作中、ＰＭＵＴの共振周波数は、圧電層７９２の厚さに直接依存しない。代わりに、屈曲モード共振周波数は、膜の形状、寸法、境界条件、固有応力および機械的剛性に密接に関連する。図２５〜図２７の素子は、Ｑｉｕら、「統合センシング、作動およびイメージングのための圧電性マイクロマシン超音波トランスデューサ（ＰＭＵＴ）アレイ、センサ（2015）」に記載されており、図２５〜２７の素子を理解するために、その内容は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【００９６】
一態様では、合せサイドを有するコネクタ本体を含むアレイ・コネクタが供される。コネクタ本体は、横並びで積層され、合せサイドを形成するそれぞれの合せエッジを有する複数の基板層を含む。基板層は複数の界面を形成し、各界面は隣接する基板層の間に規定される。各界面の隣接する基板層は、複数のチャンネルを形成するような形状である。アレイ・コネクタはまた、コネクタ本体の対応するチャンネル内に設けられる通信ラインを含み、通信ラインは界面に沿って延在する。通信ラインは、ワイヤ導体または光ファイバの少なくとも１つである。通信ラインは、合せサイドに近接して位置付けられ、少なくとも２次元の端子アレイを形成するそれぞれの合せ端子を有する。
【００９７】
一態様では、アレイ・コネクタの製造方法が供される。この方法は、（ａ）ワーキング層に沿ってトレンチを形成することを含む。ワーキング層は、合せエッジ、ローディング・エッジおよびそれらの間に延びる層サイドを含む。トレンチは、層サイドに開いて、合せエッジおよびローディング・エッジを通って延在する。この方法はまた、（ｂ）トレンチ内に通信ラインを設けて、それによって基板層を形成することを含む。通信ラインは、合せエッジに近接して位置付けられ、ローディング・エッジに少なくとも近接して延在するそれぞれの合せ端子を有する。この方法はまた、少なくとももう１つの基板層を形成するために（ａ）および（ｂ）を繰り返すこと、ならびに（ｄ）基板層を横並びで積み重ねることを含む。基板層の合せエッジは、集合的に合せサイド１０４を形成し、合せ端子は、少なくとも２次元の端子アレイを形成する。
【００９８】
一態様では、（ａ）ワーキング層に沿ってトレンチを形成することを含むアレイ・コネクタの製造方法が供される。ワーキング層は、合せエッジ、ローディング・エッジおよびこれらの間に延在する対向する第１層サイドおよび第２層サイドを含む。トレンチは、第１層サイドおよび第２層サイドに開き、合せエッジおよびローディング・エッジを通って延在する。この方法はまた、（ｂ）トレンチ内に通信ラインを設け、それによって基板層を形成することを含む。通信ラインは、合せエッジに近接して位置付けられ、ローディング・エッジに少なくとも近接して延在するそれぞれの合せ端子を有する。合せ端子は、少なくとも２次元の端子アレイを形成する。この方法はまた、（ｃ）基板層の第１層サイドへと別のワーキング層を積層することを含む。第１層サイドのトレンチはチャンネルになり、他のワーキング層はカバー層またはトレンチを有する別の基板層である。
【００９９】
上記記載は例示的なものであり、限定的なものではないことを理解されたい。例えば、上記態様（および／またはその実施形態）は、互いに組み合わせて使用されてもよい。さらに、その範囲から逸脱することなく、種々の態様の教示に特定の状況または材料を適合させるために、多くの変更を行うことができる。本明細書に記載された寸法、材料のタイプ、様々な構成要素の向き、および様々な構成要素の数および位置は、特定の態様のパラメータを定義することを意図しており、決して限定するものではなく、単なる例示的な態様である。特許請求の範囲の主旨および範囲内の他の多くの態様および改変は、上記記載を検討することにより当業者には明らかであろう。従って、特許可能な範囲は、添付の特許請求の範囲を参照して、そのような特許請求の範囲が権利を与えられている等価物の全範囲に沿って決定されるべきである。
【０１００】
本明細書中で使用される場合、「例示的な態様において（in an exemplary embodiment）」などの語は、記載された態様が単なる一例に過ぎないことを意味する。この語句は、本発明の対象をその態様に限定するものではない。本発明の対象の他の態様は、列挙された特徴または構造を含まなくてもよい。添付の特許請求の範囲において、用語「含む（including）」および「それにおいて（in which）」は、それぞれの用語「有して成る、または含んで成る（comprising）」および「それにおいて（wherein）」の平易な英語の等価物として使用される。その上、以下の特許請求の範囲において、用語「第１（first）」、「第２（second）」および「第３（third）」等は単にラベルとして用いられ、それらの対象に数値的な要件を課すことを意図しない。さらに、以下の特許請求の範囲の制限は、ミーンズ・プラス・ファンクションの形式で書かれたものではなく、そのような特許請求の範囲の制限が、明示的に「ミーンズ（または手段、means for）」の後に続く構造の無効な機能に関する記載を使用する場合を除き、米国特許法第１１２条（ｆ）項に基づいて解釈されることを意図するものではない。
（関連出願の相互参照）
【０１０１】
本出願は、本出願と同日に出願され、「アレイ・コネクタおよびその製造方法」と題される、米国特許出願第１４／８３７，８９５号に記載されている対象と同様の対象を含み、その全体が参照によって本明細書に組み込まれる。
【図１】
2018526946.tif 000004
【図２】
2018526946.tif 000005
【図３】
2018526946.tif 000006
【図４】
2018526946.tif 000007
【図５】
2018526946.tif 000008
【図６】
2018526946.tif 000009
【図７】
2018526946.tif 000010
【図８】
2018526946.tif 000011
【図９】
2018526946.tif 000012
【図１０Ａ】
2018526946.tif 000013
【図１０Ｂ】
2018526946.tif 000014
【図１０Ｃ】
2018526946.tif 000015
【図１１】
2018526946.tif 000016
【図１２】
2018526946.tif 000017
【図１３】
2018526946.tif 000018
【図１４】
2018526946.tif 000019
【図１５】
2018526946.tif 000020
【図１６】
2018526946.tif 000021
【図１７】
2018526946.tif 000022
【図１８】
2018526946.tif 000023
【図１９】
2018526946.tif 000024
【図２０】
2018526946.tif 000025
【図２１】
2018526946.tif 000026
【図２２】
2018526946.tif 000027
【図２３】
2018526946.tif 000028
【図２４】
2018526946.tif 000029
【図２５】
2018526946.tif 000030
【図２６】
2018526946.tif 000031
【図２７】
2018526946.tif 000032
【国際調査報告】
2018526946.tif 000033
2018526946.tif 000034
2018526946.tif 000035