【事件の表示】
　特願２００３−１５６０９５「フィルタの超音波洗浄方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１６年１２月２４日出願公開、特開２００４−３５８２８６号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１５年６月２日の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１５年１１月１８日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
　
「洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程と、この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入する工程と、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程と、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から脱気する工程と、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄する工程を備えたことを特徴とするフィルタの超音波洗浄方法。」
　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用した、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００１−１９８４２１号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
（ａ）「本発明は、塵埃などを除去するためのフィルタを超音波で洗浄するためのフィルタの洗浄装置、フィルタの洗浄方法及び洗浄用フィルタケースに関する。」（段落【０００１】）
（ｂ）「本発明は、洗浄槽内のフィルタに超音波を発生させることによりフィルタを洗浄するフィルタの洗浄方法において、周波数が異なる超音波を同時に発生させること、または周波数を所定時間ごとに変化させて超音波を発生させることを特徴とする。
　本発明に係るフィルタの洗浄方法において、洗浄槽内にフィルタの厚み方向の水流を発生させた状態で洗浄を行うことが好ましく、さらに洗浄槽内を減圧した状態で洗浄を行うことはより一層好ましい。」（段落【００１５】〜【００１６】）
（ｃ）「図２は、第１実施例に係る洗浄装置５の概略図である。洗浄装置５は、フィルタ１を洗浄液に浸した状態で収容する洗浄槽６と、洗浄槽６内のフィルタ１と対向する位置に設けられた超音波振動子７ａ、７ｂと、洗浄槽６の外部に設けられ、洗浄槽６内の洗浄液の汚れを除去する水処理装置８と、洗浄槽６と水処理装置８を連結する搬送パイプ９ａ、９ｂ、９ｃと、搬送パイプ９ａ→洗浄槽６→搬送パイプ９ｂ→水処理装置８とで形成された循環経路内の洗浄液を循環させるポンプ１０と、これら超音波振動子７やポンプ１０などを制御する制御装置１１と、を備えている。」（段落【００２３】）
（ｄ）「ポンプ１０を稼動することにより、ポンプ１０→搬送パイプ９ａ→洗浄槽６→搬送パイプ９ｂ→水処理装置８→搬送パイプ９ｃ→ポンプ１０と洗浄液を循環させることができ、この際、洗浄槽６内の供給パイプ１３から第１排出口１７に向かった水流を発生することができる。さらに、この循環経路には、水処理装置８を介在させているので、常に汚れなどが除去された洗浄液を洗浄槽６内に供給することができる。」（段落【００２４】）
（ｅ）「図５は、第２実施例に係るフィルタの洗浄装置の該略図である。第２実施例に係るフィルタの洗浄装置が第１実施例と異なる点は、第２実施例が、洗浄槽６内を密閉することができるシャッター２１が洗浄槽６の上面の開口６ａに開閉自在に設けられている点、及び段差１２の側面に洗浄槽６内の空気を吸引する吸引ポンプ２２に接続する吸気口２３が設けられている点である。」（段落【００２９】）
（ｆ）「第２実施例に係るフィルタの洗浄装置は、フィルタ１を洗浄槽６内に収容した後、シャッター２１を閉めて洗浄槽６内を密閉状態とし、吸引ポンプ２２を稼動させて吸気口２３から洗浄槽６内の空気を吸引することにより洗浄槽６内を減圧又は真空状態にし、その状態で超音波処理により洗浄をおこなう。このように洗浄槽６内を減圧又は真空状態にして洗浄することにより、フィルタ１を洗浄槽６内の洗浄液に浸した際にフィルタ１の表面又は内部に付着・含有している空気を取り除くことができるので、フィルタ１に洗浄液を容易に染み込ませることができ、フィルタ内外の塵埃等を効率良く排除できる。また、この際、洗浄槽６内の減圧又は真空状態と常圧状態を繰り返し行っても良く、これにより容易に塵埃等を取り除くことができる。」（段落【００３０】）
（ｇ）「図７（ａ）に示すように、薄型サイズのフィルタ１は、本発明に係るフィルタの洗浄装置の洗浄槽６に収容された際に、上流側に向けて開口したＶ字を形成し、かつ汚れた面を下流側に向けるように４組並列されている。このようにＶ字状に並列させているので、水流によりフィルタに付着した塵埃を容易に取り除くことができる。」（段落【００３２】）
　
　これらの記載事項を総合すると、引用例１には、第２実施例に関して、
「洗浄槽６内にフィルタ１を収容した後、洗浄槽６内を減圧又は真空状態にするために洗浄槽６内の空気を吸引する工程と、その状態で汚れた面を下流側に向けて洗浄液に浸したフィルタ１に対して上流側から下流方向に洗浄槽６内の洗浄液を流動させながら循環させて循環液から汚れを除去する工程と、洗浄槽６内のフィルタに超音波を発生させて超音波洗浄する工程を備えたフィルタの洗浄方法。」の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認めることができる。
　
　同じく原査定の拒絶の理由に引用した、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平３−４４９２７号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
（ｈ）「第５図に示すように、トレンチ（５）が形成されたウエハ（４）に洗浄液（３）を供給しても、トレンチ（５）内には気体（６）が残留し、洗浄液（３）がトレンチ（５）内の全面にゆきわたらない。
　これは、トレンチ（５）の開口幅寸法が極めて小さなために洗浄液（３）がその表面張力により、トレンチ（５）内に侵入されにくく、超音波方法、加圧、減圧方法等の洗浄方法ではトレンチ（５）内の残留気体（６）と洗浄液（３）とを置換えさせることが困難だからである。このため、従来の洗浄方法ではトレンチ（５）内の底部にわたり洗浄が行われず、異物を完全に除去することが出来ず、それらが残存し、信頼性の損われたものになつてしまうという問題点があつた。
　この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、ウエハ上に形成された凹部内に洗浄液がゆきわたるようにしてなされ、好適な洗浄が行われて品質の向上が図られるウエハの洗浄方法およびそれに用いる洗浄装置を得ることを目的とする。」（第２頁右上欄第１２行〜同頁左下欄第１１行）
（ｉ）「図において、（１０）は洗浄槽、（１１）は洗浄槽（１０）の底部に設けられたウエハ支持台、（１２）は洗浄槽（１０）の側部に開閉自在で、水密可能に形成された搬出入ドア、（１３）はウエハ支持台（１１）と対向して洗浄槽（１０）の上部に設けられた超音波振動子（以下、振動子と称す）である。（１４）は先端部が洗浄槽（１０）の上部より挿通された洗浄液供給管、（１５）は洗浄液供給管（１４）の経路に設けられたバルブ、（１６）は先端部が洗浄槽（１０）の上部より挿通され、洗浄液供給管（１４）と対向して設けられた減圧、加圧部である。（１７）は洗浄槽（１０）の底部に設けられた排液管、（１８）は排液管（１７）の経路に設けられた排液バルブである。」（第３頁左上欄第１行〜同欄第１２行）
（ｊ）「まず、搬出入ドア（１２）を開状態にし、処理槽（１０）内にウエハ（４）を移送し、ウエハ支持台（１１）にウエハ（４）を載置する。このウエハ（４）にはトレンチ（５）が形成されており、ウエハ支持台（１１）上では、トレンチ（５）が形成された主面側が上側になるようにウエハ（２）が載置される。搬出入ドア（１２）を開状態にした後、減圧加圧部（１６）を作動させ、処理槽（１０）内を所定圧に減圧する。このとき、バルブ（１５）、排液バルブ（１８）は閉状態となされている。この後、バルブ（１５）を開き、洗浄液供給管（１４）より洗浄液（３）、例えば純水を処理槽（１０）内に供給する。この洗浄液（３）は第２図に示すように、振動子（１３）の一部が浸漬される程度まで供給され、そこでバルブ（１５）が閉状態となる。続いて減圧、加圧部（１６）を作動させ、処理槽（１０）内を大気圧まで戻す。これにより処理槽（１０）内の空間部が減圧から加圧される状態になつて洗浄液（３）がトレンチ（５）内に入り込む。・・・（中略）・・・この状態では、従来例に比べて残留気体（６）の容積は約１／８０〜１／８程度となる。（第３図（ａ））。
　次に、振動子（１３）を・・・（中略）・・・作動させる。これにより、洗浄液（３）内にキヤビテーシヨン（１９）が発生する。キヤビテーシヨン（１９）が消滅するときの衝撃波によりトレンチ（５）内の残留気体（６）が、順次、洗浄液（３）中に分裂し、飛散、拡散が起こる。（第３図（ｂ））。
　キヤビテーシヨン（１９）発生後、約２〜３分経過するとトレンチ（５）内の気体（６）は消滅する。この超音波処理を続け、所定時間、例えば１０分間行うことにより、トレンチ（５）内の側壁及び底面に付着した異物がトレンチ（５）外に拡散され、充分洗浄される。（第３図（ｃ））。」（第３頁左上欄第１５行〜同頁左下欄第１１行）
　
　　これらの記載事項を総合すると、引用例２には、
「洗浄液（３）を抜いた洗浄槽（１０）内にウエハ（４）を移送・載置した後、洗浄槽（１０）内を所定圧に減圧する工程と、減圧された洗浄槽（１０）内に洗浄液（３）を供給する工程と、洗浄槽（１０）内を大気圧に戻す工程と、洗浄槽（１０）内の洗浄液（３）中で超音波振動子（１３）を作動させて洗浄する工程を備えたウエハの洗浄方法。」の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていると認めることができる。
　
３．対比
　本願発明と引用発明１とを対比すると、後者における「フィルタの洗浄方法」は、前記「２．（ａ）」に摘記したように「フィルタを超音波で洗浄するための・・・フィルタの洗浄方法」であるから、前者における「フィルタの超音波洗浄方法」に相当することは明らかであり、また、後者における「洗浄槽６」「フィルタ１」及び「収容」が、前者における「洗浄槽」「フィルタ」及び「投入」にそれぞれ相当することも明らかである。
　また、後者における「洗浄槽６内を減圧又は真空状態にするために洗浄槽６内の空気を吸引する」は、その作用又は機能からみて、前者における「洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする」に相当し、以下同様に、「その状態で汚れた面を下流側に向けて洗浄液に浸したフィルタ１に対して上流側から下流方向に洗浄槽６内の洗浄液を流動させながら循環させて」が前者における「洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて」に相当し、「洗浄槽６内のフィルタに超音波を発生させて」が「洗浄槽内の液中に超音波を放射して」に相当する。
　また、後者における「循環液から汚れを除去する工程」と前者における「循環液から脱気する工程」とは、どちらも「循環液から不要なものを除去する工程」の点で共通する。
　してみると、本願発明と引用発明１とは、
「洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程と、洗浄槽内の洗浄液をフィルタの濾過面に対して逆洗方向に流動させながら循環させて循環液から不要なものを除去する工程と、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄する工程を備えたフィルタの超音波洗浄方法。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　相違点１：循環液から不要なものを除去する工程に関して、本願発明では、それが「循環液から脱気する工程」であるのに対して、引用発明１では、「循環液から汚れを除去する工程」である点。
　相違点２：本願発明は、「洗浄液を抜いた洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程」と、「この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入する工程」と、「洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程」とを備えているのに対して、引用発明１は、「洗浄槽内にフィルタを投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程」を備えているものの、フィルタを投入する洗浄槽が洗浄液を抜いた洗浄槽かどうか明らかでなく、また、「この洗浄槽内に脱気した洗浄液を導入する工程」と、「洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程」とを備えていない点。
　
４．当審の判断
　上記各相違点について検討する。
（１）相違点１について
　洗浄液中に超音波を放射して液中に真空核の微小なキャビテーションを発生させ、このキャビテーションの衝撃力で被洗浄物を洗浄する超音波洗浄においては、洗浄液中の気体を脱気してキャビテーションの衝撃力を強化することが洗浄効果を高める上で効果的であるということが従来から広く知られており、洗浄槽内の洗浄液を循環させて循環液から脱気するという技術は、本願出願時において周知の技術であったということができる（例えば特開２０００−２８８３０７号公報、特開２００１−１２９３０６号公報、特開２００２−３４６４８９号公報参照）。
　そうすると、引用発明１が、洗浄液中に超音波を放射して被洗浄物を超音波洗浄するものである以上、洗浄液中の気体を脱気することは、引用発明１に接した当業者であれば、当然に考慮すべき課題であるということができるから、引用発明１において、「循環液から不要なものを除去する工程」に上記周知技術を適用して循環液から脱気するように構成することは、当業者が容易に想到できたことであるといえる。
　したがって、上記相違点１に係る本願発明の構成は、当業者が容易に想到できたものであるということができる。
（２）相違点２について
　引用発明２における「洗浄液（３）」「洗浄槽（１０）」「移送・載置」及び「洗浄方法」が本願発明における「洗浄液」「洗浄槽」「投入」及び「超音波洗浄方法」にそれぞれ相当することは明らかであり、また、引用発明２の「所定圧に減圧する」は、その作用又は機能からみて、本願発明の「所定の真空度に真空引きする」に相当し、以下同様に「減圧された洗浄槽（１０）内に洗浄液（３）を供給する」が「この洗浄槽内に洗浄液を導入する」に、「洗浄槽（１０）内を大気圧に戻す」が「洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す」に、「洗浄槽（１０）内の洗浄液（３）中で超音波振動子（１３）を作動させて洗浄する」が「洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄する」にそれぞれ相当するといえる。
　さらに、引用発明２における「ウエハ（４）」と本願発明における「フィルタ」とは、どちらも「被洗浄物」である点で共通するから、引用発明２の「ウエハ（４）を移送・載置した後」は、「被洗浄物を投入した後」と言い換えることができ、「ウエハの洗浄方法」は「被洗浄物の超音波洗浄方法」と言い換えることができる。
　してみると、引用発明２は、本願発明の用語を用いて表現すると、
「洗浄液を抜いた洗浄槽内に被洗浄物を投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程と、この洗浄槽内に洗浄液を導入する工程と、洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程と、洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄する工程を備えた被洗浄物の超音波洗浄方法。」と言い換えることができる。
　ところで、引用例１に記載されたフィルタの洗浄方法は、前記「２．（ｆ）」に摘記したように、洗浄槽内の洗浄液に浸したフィルタを超音波洗浄するものであるから、引用例１に記載されたフィルタの洗浄方法においても、少なくとも「洗浄槽内に洗浄液を導入する工程」を当然に備えているということができる。
　また、引用例１には、前記「２．（ｆ）」に摘記したように、「洗浄槽６内の減圧又は真空状態と常圧状態を繰り返し行って」超音波洗浄してもよいということが記載され、「常圧状態」とは、本願発明の用語を用いて表現すると「大気圧状態またはそれに近い状態」と言い換えることができるから、引用例１には、「洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態」で超音波洗浄することも示唆されているということができる。
　しかも、引用発明１と引用発明２とは、どちらも「洗浄槽内の液中に超音波を放射して超音波洗浄する工程を備えた被洗浄物の超音波洗浄方法」に関する点で技術分野が共通し、真空引きすることによって被洗浄物の表面又は内部に付着・含有している空気を取り除き、洗浄効果を高めることができるという点で作用効果が共通している（前記「２．（ｆ）（ｊ）」参照）。
　そうすると、引用発明１に引用発明２の「洗浄液を抜いた洗浄槽内に被洗浄物を投入した後、洗浄槽内を所定の真空度に真空引きする工程」と、「この洗浄槽内に洗浄液を導入する工程」と、「洗浄槽内を大気圧状態またはそれに近い状態に戻す工程」とを適用することは、当業者が容易に想到できたことであるということができ、その際に、引用発明２の「この洗浄槽内に洗浄液を導入する工程」における洗浄液を「脱気した洗浄液」とすることは、上記「（１）相違点１について」で述べた課題を考慮すれば、当業者が適宜なし得ることである。
　したがって、上記相違点２に係る本願発明の構成も、当業者が容易に想到できたものであるということができる。
　
　そして、本願発明の効果も、引用発明１，２及び周知技術から当業者が予測できる範囲内のものであって、格別なものとはいえない。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明１，２及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。