(57)【要約】  本発明は、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋されたポリマーコーティングを備える電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを提供し；ここで、架橋されたポリマーコーティングは、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋されたポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたってモノマー化合物及び架橋剤を含むプラズマに曝露することによって得ることができ、ここで、モノマー化合物は、以下の式を有し、2018517044.tif 000060式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は、2018517044.tif 000061から選択され；又は、式中、各Ｘは、独立して、水素、ハロゲン、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、から２７の整数であり；並びにここで、架橋剤は、１つ以上のリンカー部分によって結合された２つ以上の不飽和結合を備え、及び標準圧力で５００℃未満の沸点を有する。
2018517044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントであって、前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋された保護ポリマーコーティングを備え；
前記架橋された保護ポリマーコーティングは、前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを、前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に前記架橋された保護ポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたってモノマー化合物及び架橋剤を含むプラズマに曝露することによって得ることができ、
前記モノマー化合物は、以下の式を有し：
【化１】
2018517044.tif 000027
式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は：
【化２】
2018517044.tif 000028
から選択され、式中、各Ｘは、独立して、水素、ハロゲン、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、１から２７の整数であり；並びに、前記架橋剤は、１つ以上のリンカー部分によって結合された２つ以上の不飽和結合を備え、及び標準圧力で５００℃未満の沸点を有する、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２】
前記架橋された保護ポリマーコーティングが、物質及び電子輸送に対する物理的バリアである、請求項１に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３】
前記架橋された保護ポリマーコーティングが、少なくとも９０°の静的水接触角（ＷＣＡ）によって規定される撥液性表面を形成する、請求項１又は請求項２に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項４】
前記架橋剤が、以下の構造のうちの１つを有し：
【化３】
2018517044.tif 000029
式中、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3、Ｙ4、Ｙ5、Ｙ6、Ｙ7、及びＹ8は、各々独立して、水素、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル又はアリールから選択され；並びにＬはリンカー部分である、請求項１から３のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項５】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の式を有し：
【化４】
2018517044.tif 000030
式中、各Ｙ9は、独立して、結合、−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｙ11−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｙ11−、−ＯＹ11−、及び−Ｙ11Ｏ−から選択され、ここで、Ｙ11は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレンであり；並びに、
Ｙ10は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン及びシロキサン基から選択される、請求項４に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項６】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の構造のうちの１つを有する：
【化５】
2018517044.tif 000031
請求項５に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項７】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の構造のうちの１つを有する：
【化６】
2018517044.tif 000032
請求項５に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項８】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化７】
2018517044.tif 000033
式中、各Ｙ12及びＹ13は、独立して、Ｈ、ハロ、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状アルキル、又は−ＯＹ14から選択され、ここで、Ｙ14は、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択され、並びにｎは、１から１０の整数である、請求項５から７のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項９】
各Ｙ12が、Ｈであり、及び各Ｙ13が、Ｈである、請求項８に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１０】
各Ｙ12が、フルオロであり、及び各Ｙ13が、フルオロである、請求項８に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１１】
ｎが、４から６である、請求項８から１０のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１２】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化８】
2018517044.tif 000034
式中、各Ｙ15は、独立して、置換されていてもよい分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキルから選択される、請求項５から７のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１３】
各Ｙ15が、メチルであり、各Ｙ9が、結合である、請求項１２に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１４】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化９】
2018517044.tif 000035
式中、Ｙ16からＹ19は、各々独立して、Ｈ、及び置換されていてもよい分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択される、請求項５から７のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１５】
Ｙ18が、Ｈ又はビニレンであり、Ｙ16、Ｙ17、及びＹ19が、各々Ｈである、請求項１４に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１６】
前記架橋剤が、アジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）、１，４ブタンジオールジビニルエーテル（ＢＤＶＥ）、１，４シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル（ＣＤＤＥ）、１，７−オクタジエン（１７ＯＤ）、１，２，４−トリビニルシクロヘキサン（ＴＶＣＨ）、１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン（ＤＶＴＭＤＳ）、１，４−シクロヘキサンジカルボン酸ジアリル（ＤＣＨＤ）、１，６−ジビニルパーフルオロヘキサン（ＤＶＰＦＨ）、１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−パーフルオロヘキサンジオールジアクリレート（ＰＦＨＤＡ）、及びグリオキサールビス（ジアリルアセタール）（ＧＢＤＡ）から選択される、請求項１から１５のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１７】
化合物（ｉｉ）において、Ｌが、分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン、又はエーテル基から選択される、請求項４に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１８】
前記モノマーが、式Ｉ（ａ）の化合物であり：
【化１０】
2018517044.tif 000036
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１であるか；
又は
前記モノマーが、式Ｉ（ｂ）の化合物であり：
【化１１】
2018517044.tif 000037
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１である、請求項１から１７のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項１９】
前記ハロゲンが、フッ素である、請求項１８に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２０】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、独立して、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｎ−ペンチル、ネオペンチル、ｎ−ヘキシル、イソヘキシル、及び３−メチルペンチルから選択される、請求項１８又は請求項１９に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２１】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、独立して、水素又はメチルから選択される、請求項２０に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２２】
ａ及びｃが、各々独立して、０又は１であり、ｂが、３から７である、請求項１８から２０のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２３】
各Ｘが、Ｈである、請求項１から２２のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２４】
各Ｘが、Ｆである、請求項１から２２のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２５】
Ｒ1及びＲ2が、両方共に水素である、請求項１８から２４のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２６】
Ｒ4が、水素又はメチルである、請求項１８から２５のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２７】
Ｒ9が、水素であり、Ｒ10が、分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル基である、請求項１８から２６のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２８】
Ｒ10が、メチルである、請求項２７に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項２９】
Ｒ5からＲ8の各々が、水素である、請求項１８から２８のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３０】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、水素であり、各Ｘが、Ｈであり、ａ＝０、及びｃ＝０である、請求項１８から２９のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３１】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化１２】
2018517044.tif 000038
式中、ｎは、２から１０である、請求項２４から３０のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３２】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化１３】
2018517044.tif 000039
式中、ｎは、２から１０である、請求項２４から３０のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３３】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルアクリレート（ＰＦＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルアクリレート（ＰＦＡＣ６）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルアクリレート（ＰＦＡＣ８）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロドデシルアクリレート（ＰＦＡＣ１０）から選択される、請求項３１に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３４】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ６）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ８）から選択される、請求項３２に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３５】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化１４】
2018517044.tif 000040
式中、ａ及びｃは、各々独立して、０又は１であり、ｂ＝３〜７であり、ｎは、４から１０であり、ここで、ｎ＝ａ＋ｂ＋ｃ＋１である、請求項１８から２３のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３６】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化１５】
2018517044.tif 000041
式中、ｎは、２から１２である、請求項１８から２３のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３７】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、エチルヘキシルアクリレート、ヘキシルアクリレート、デシルアクリレート、ラウリルドデシルアクリレート、及びイソデシルアクリレートから選択される、請求項３５又は請求項３６に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３８】
前記モノマーが、式Ｉ（ｂ）の化合物であり、以下の式を有し：
【化１６】
2018517044.tif 000042
式中、ｎは、４から１４であり、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3は、各々Ｈであってもよい、請求項１８から２３のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項３９】
前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントが、携帯電話機、スマートフォン、ポケットベル、ラジオ、ラウドスピーカー、マイクロホン、リンガー、及び／若しくはブザーなどの音響・音声システム、補聴器、パーソナルＣＤ、テープカセット、若しくはＭＰ３プレーヤーなどのパーソナルオーディオ機器、テレビ、携帯型ＤＶＤプレーヤーを含むＤＶＤプレーヤー、ビデオレコーダー、デジタル及び他のセットトップボックス、ラップトップ型、ノート型、タブレット型、ファブレット型、若しくはパームトップ型コンピューターなどのコンピューター及び関連コンポーネント、携帯情報端末（ＰＤＡ）、キーボード、又は計器装備、ゲーム機、データ記憶装置、屋外照明システム、無線アンテナ及び他の形態の通信機器、並びにプリント回路基板から選択される、請求項１から３８のいずれか一項に記載の電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント。
【請求項４０】
電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを処理するための方法であって：
前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを、前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋された保護ポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたって、モノマー化合物及び架橋剤を含むプラズマに曝露することを含み；
前記モノマー化合物は、以下の式を有し：
【化１７】
2018517044.tif 000043
式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は：
【化１８】
2018517044.tif 000044
から選択され、式中、各Ｘは、独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、１から２７の整数であり；並びに、前記架橋剤は、１つ以上のリンカー部分によって結合された２つ以上の不飽和結合を備え、及び標準圧力で５００℃未満の沸点を有する、方法。
【請求項４１】
前記架橋剤が、以下の構造のうちの１つを有し：
【化１９】
2018517044.tif 000045
式中、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3、Ｙ4、Ｙ5、Ｙ6、Ｙ7、及びＹ8は、各々独立して、水素、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル又はアリールから選択され；並びにＬは、リンカー部分である、請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の式を有し：
【化２０】
2018517044.tif 000046
式中、各Ｙ9は、独立して、結合、−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｙ11−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｙ11−、−ＯＹ11−、及び−Ｙ11Ｏ−から選択され、ここで、Ｙ11は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレンであり；並びに、
Ｙ10は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン、及びシロキサン基から選択される、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の構造のうちの１つを有する：
【化２１】
2018517044.tif 000047
請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
化合物（ｉ）において、Ｌが、以下の構造のうちの１つを有する：
【化２２】
2018517044.tif 000048
請求項４２に記載の方法。
【請求項４５】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化２３】
2018517044.tif 000049
式中、各Ｙ12及びＹ13は、独立して、Ｈ、ハロ、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状アルキル、又は−ＯＹ14から選択され、ここで、Ｙ14は、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択され、並びにｎは、１から１０の整数である、請求項４２から４４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４６】
各Ｙ12が、Ｈであり、及び各Ｙ13が、Ｈである、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
各Ｙ12が、フルオロであり、及び各Ｙ13が、フルオロである、請求項４５に記載の方法。
【請求項４８】
ｎが、４から６である、請求項４５から４７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４９】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化２４】
2018517044.tif 000050
式中、各Ｙ15は、独立して、置換されていてもよい分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキルから選択される、請求項４２から４４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５０】
各Ｙ15が、メチルであり、各Ｙ9が、結合である、請求項４９に記載の方法。
【請求項５１】
Ｙ10が、以下の式を有し：
【化２５】
2018517044.tif 000051
式中、Ｙ16からＹ19は、各々独立して、Ｈ、及び置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択される、請求項４２から４４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５２】
Ｙ18が、ビニレン又はＨであり、Ｙ16、Ｙ17、及びＹ19が、各々Ｈである、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
前記架橋剤が、アジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）、１，４ブタンジオールジビニルエーテル（ＢＤＶＥ）、１，４シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル（ＣＤＤＥ）、１，７−オクタジエン（１７ＯＤ）、１，２，４−トリビニルシクロヘキサン（ＴＶＣＨ）、１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン（ＤＶＴＭＤＳ）、１，４−シクロヘキサンジカルボン酸ジアリル（ＤＣＨＤ）、１，６−ジビニルパーフルオロヘキサン（ＤＶＰＦＨ）、１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−パーフルオロヘキサンジオールジアクリレート（ＰＦＨＤＡ）、及びグリオキサールビス（ジアリルアセタール）（ＧＢＤＡ）から選択される、請求項４０から５２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５４】
化合物（ｉｉ）において、Ｌが、分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン又はエーテル基から選択される、請求項４１に記載の方法。
【請求項５５】
前記モノマーが、式Ｉ（ａ）の化合物であり：
【化２６】
2018517044.tif 000052
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１であるか；
又は
前記モノマーが、式Ｉ（ｂ）の化合物であり：
【化２７】
2018517044.tif 000053
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１である、請求項４０から５４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５６】
前記ハロゲンが、フッ素である、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、独立して、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｎ−ペンチル、ネオペンチル、ｎ−ヘキシル、イソヘキシル、及び３−メチルペンチルから選択される、請求項５５又は請求項５６に記載の方法。
【請求項５８】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、独立して、水素又はメチルから選択される、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
ａ及びｃが、各々独立して、０又は１であり、ｂが、３から７である、請求項５５から５８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６０】
各Ｘが、Ｈである、請求項４０から５９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６１】
各Ｘが、Ｆである、請求項４１から５９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６２】
Ｒ1及びＲ2が、両方共に水素である、請求項４１から６１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６３】
Ｒ4が、水素又はメチルである、請求項４１から６２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６４】
Ｒ9が、水素であり、Ｒ10が、分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル基である、請求項４１から６３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６５】
Ｒ10が、メチルである、請求項６４に記載の方法。
【請求項６６】
Ｒ5からＲ8の各々が、水素である、請求項４１から６５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６７】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々が、水素であり、各Ｘが、Ｈであり、ａ＝０、及びｃ＝０である、請求項４１から６６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６８】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化２８】
2018517044.tif 000054
式中、ｎは、２から１０である、請求項６１から６７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６９】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化２９】
2018517044.tif 000055
式中、ｎは、２から１０である、請求項６１から６７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７０】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルアクリレート（ＰＦＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルアクリレート（ＰＦＡＣ６）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルアクリレート（ＰＦＡＣ８）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロドデシルアクリレート（ＰＦＡＣ１０）から選択される、請求項６８に記載の方法。
【請求項７１】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ６）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ８）から選択される、請求項６９に記載の方法。
【請求項７２】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化３０】
2018517044.tif 000056
式中、ａ及びｃは、各々独立して、０又は１であり、ｂ＝３〜７であり、ｎは、４から１０であり、ここで、ｎ＝ａ＋ｂ＋ｃ＋１である、請求項４１から６１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７３】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、以下の式を有し：
【化３１】
2018517044.tif 000057
式中、ｎは、２から１２である、請求項４１から６１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７４】
前記式Ｉ（ａ）の化合物が、エチルヘキシルアクリレート、ヘキシルアクリレート、デシルアクリレート、ラウリルドデシルアクリレート、及びイソデシルアクリレートから選択される、請求項７２又は請求項７３に記載の方法。
【請求項７５】
前記モノマーが、式Ｉ（ｂ）の化合物であり、以下の式を有し：
【化３２】
2018517044.tif 000058
式中、ｎは、４から１４である、請求項４１から６０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７６】
前記モノマーが、式Ｉ（ｂ）の化合物であり、以下の式を有し：
【化３３】
2018517044.tif 000059
式中、ｎは、４から１４である、請求項７５に記載の方法。
【請求項７７】
前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントが、プラズマ堆積チャンバー中に置かれ、前記チャンバー内でグロー放電が発生され、電圧がパルス場として印加される、請求項４０から７６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７８】
印加される電圧が、４０から５００Ｗの出力である、請求項７７に記載の方法。
【請求項７９】
前記電圧が、オン時間：オフ時間の比が１：５００から１：１５００の範囲内であるシーケンスでパルスとされる、請求項７７又は請求項７８に記載の方法。
【請求項８０】
前記電圧が、２０〜５０μｓにわたって出力がオンとされ、１０００μｓから３００００μｓにわたって出力がオフとされるシーケンスでパルスとされる、請求項７７から７９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８１】
前記電圧が、３０秒間から９０分間にわたってパルス場として印加される、請求項７７から８０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８２】
前記電圧が、５から６０分間にわたってパルス場として印加される、請求項８１に記載の方法。
【請求項８３】
予備工程において、連続出力プラズマが前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントに適用される、請求項７７から８２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８４】
前記予備工程が不活性ガスの存在下において行われる、請求項８３に記載の方法。
【請求項８５】
前記パルス電圧が印加されている間に、気体の形態の前記モノマー化合物及び／又は前記架橋剤が、前記プラズマ中に、８０−３００ｍｇ／分の速度で供給される、請求項７７から８４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８６】
前記プラズマが、平均出力が０．００１から５００ｗ／ｍ３の電圧で作られる、請求項７７から８５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８７】
前記モノマー化合物が前記架橋剤と混和性である、請求項４０から８６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８８】
前記モノマー化合物が前記架橋剤と非混和性である、請求項４０から８６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８９】
前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントをプラズマに曝露する工程が、プラズマチャンバー内で生じ、かつ、前記モノマー化合物と前記架橋剤とが、前記チャンバーに入るに先立って混合される、請求項８７に記載の方法。
【請求項９０】
前記電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントをプラズマに曝露する工程が、プラズマチャンバー内で生じ、かつ、前記モノマー化合物と前記架橋剤が前記チャンバーに別々に導入される、請求項８７又は請求項８８に記載の方法。
【請求項９１】
前記架橋剤が、モノマー化合物と架橋剤の合計体積の１０から６０（体積／体積）％の量で存在する、請求項４０から９０のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護コーティングに関する。詳細には、本発明は、電子若しくは電気デバイス、及びそのコンポーネントのための保護コーティング、並びにそのようなコーティングを形成する方法に関する。このコーティングは、疎水性であることによって保護することができ、したがって、水性液体の電子デバイス中への侵入に耐えることができるか、又はこのコーティングは、バリアコーティングを形成することによって保護することができ、したがって、電話機の電気部品と水性液体との間に電気抵抗を提供することができる。
【背景技術】
【０００２】
モノ不飽和モノマーが、プラズマ重合プロセスを用いたバリアコーティングの作製に用いられている（同時係属出願参照）。
【０００３】
パーフルオロアルキル鎖モノマーも、パルスプラズマ堆積プロセスから疎水性表面を作り出すために用いられている（国際公開第９８５８１１７（Ａ１）号パンフレット参照）。
【０００４】
プラズマ開始重合の出力は、生成されるポリマーの性質に影響を与える。連続波プラズマの平均エネルギー投入を高めることは、モノマーの断片化の増加に繋がり、したがって、ポリマーは、モノマーの構造特性を喪失する。１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルアクリレート（ＰＦＡＣ８）の場合、パーフルオロアルキル鎖の保持率が低下し、表面コーティングの接触角が損なわれる。プラズマエネルギーを高めることは、架橋の増加にも繋がる。パルスプラズマの平均エネルギー投入を低下させた場合、モノマー構造がより良好に保持され、架橋が減少する。低エネルギーパルスプラズマ条件下でパーフルオロ鎖の保持率を上げることは、表面コーティングにおける最良レベルの接触角に繋がる。
【０００５】
パーフルオロアルキル鎖が８個以上のフッ素化炭素を有する場合（長鎖）、このモノマーから作製されたポリマーは、結晶構造を有する。パーフルオロアルキル鎖が８個未満のフッ素化炭素を有する場合、得られたポリマーは、アモルファスであり、したがって、水の存在下では不安定となり得る（“Molecular Aggregation Structure and Surface Properties of Poly(fluoroalkyl acrylate) Thin Films, Marcomolecules, 2005, vol 38, p5699-5705を参照）。
【０００６】
長鎖パーフルオロアルキルポリマーが、高平均出力（連続波若しくはＣＷ）プラズマ、又は低平均出力（パルス波若しくはＰＷ）プラズマによって作製される場合、長鎖の結晶構造のために、ポリマーは触ってもくっつかず、水の存在下で安定である。しかし、より短鎖のポリマーコーティングの手触り及び水安定性は、用いられるプラズマ出力レベルの影響を受ける。例えば、ＰＦＡＣ６（１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルアクリレート）が低出力プラズマ条件で重合される場合、得られたポリマーコーティングは、いくつかの欠点を有し得る。例えば、このコーティングは、水滴を少し広がらせる（スランプ）、その表面に水滴の存在による跡を残す、粘着性の手触りを有する、又は汚れやすいという可能性がある（例えば、シリコンウェハ及びＡＢＳプラスチックの基材上）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
重合に用いられるプラズマの出力を増加させることにより、ポリマーは、より高架橋となり、汚れに対する耐性が高まる。しかし、出力の増加は、モノマーの断片化が増加することによって水接触角が低下するという付随効果を有する（上述のように）。図１は、１２５リットルチャンバーでのＣＷプラズマにおける出力対モノマー流量比を増加させる効果を示しており、４Ｗ／μｌ／分の比で、水接触角は、約８５〜９５度であり、コーティングは、非粘着性である。しかし、この比が低下すると、接触角は増加し、粘着性の／染みのついたコーティングの発生も増加している。図２は、パルスプラズマ条件での同じ効果を示している。これらの結果は、非粘着性で染みのないコーティングを作製するためのプロセスウィンドウでは、プラズマ処理範囲が限定され、最終コーティングの水接触角が損なわれることを示している。
【０００８】
したがって、目的は、先行技術のコーティングに伴う上述した問題点の１つ以上を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様は、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋された保護ポリマーコーティングを備えた電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを提供し；
ここで、架橋された保護ポリマーコーティングは、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋された保護ポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたってモノマー化合物及び架橋剤を含むプラズマに曝露することによって得ることができ、
ここで、モノマー化合物は、以下の式を有し：
【００１０】
【化１】
2018517044.tif 000003
【００１１】
式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は：
【００１２】
【化２】
2018517044.tif 000004
【００１３】
から選択され、式中、各Ｘは、独立して、水素、ハロゲン、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、１から２７の整数であり；並びにここで、架橋剤は、１つ以上のリンカー部分によって結合された２つ以上の不飽和結合を備え、及び標準圧力で５００℃未満の沸点を有する。
【００１４】
高いレベルのポリマー架橋（これまでは、高い平均出力連続波プラズマでしか実現できなかった）を、架橋分子をモノマーに添加して架橋されたコポリマーを作製することによって実現することができる。これは、プラズマ処理範囲が広がるという利点を有し、したがって、安定なコーティングを低い平均エネルギーパルスプラズマ条件で作製することができるようになった。
【００１５】
低エネルギーパルスプラズマによって疎水性モノマー構造を高度に保持することにより、コポリマーのコーティングが、良好な疎水性コーティング（水接触角によって裏付けられるように）及び触ってもくっつかない又は汚れないコーティングとなる。したがって、これらの特性によって、不慮の損傷による水性液体の侵入を防止するための電子デバイスのコーティングとして好適となる。そのようなコーティングは、典型的には、１から１００ｎｍ、好ましくは、１から５０ｎｍの厚さを有する。
【００１６】
コーティングは、撥液性層、典型的には、撥水性層と表現することができる。コーティングは、水、雨水などの水性液体、又は油をはじくことができる。
【００１７】
別の選択肢として、又は撥液性層を提供することに加えて、コーティングは、物理的バリア層であってもよい。
【００１８】
コーティングは、物理的バリアであってよく、すなわち、物質及び電子輸送に対する物理的バリアを提供する。
【００１９】
物理的バリア層は、水、酸素、及びイオンの拡散を制限する。コーティングは、物理的バリアである場合、典型的には、５０ｎｍ超の厚さを有する。
【００２０】
コーティングは、保護層であり、すなわち、水又は他の液体との接触による損傷を防止する。コーティングは、撥液性層及び／又は物理的バリア層を形成することによって、保護機能を提供することができる。
【００２１】
コーティングは、好ましくは、それが物理的バリアを提供することができるように、実質的にピンホールフリーである。ΔＺが、ＡＦＭラインスキャンにおけるｎｍ単位の平均高さ変動であり（図３に示されるように）、ｄが、ｎｍ単位のコーティング厚さである場合に、ΔＺ／ｄ＜０．１５であることが好ましい。
【００２２】
ΔＺ／ｄの値から、コーティング表面上の欠陥／空隙が、コーティングの中へどの程度広がっているか、すなわち、コーティングの総厚さに対する欠陥深さの割合の値が分かる。例えば、ΔＺ／ｄ＝０．１５とは、表面上の空隙が、コーティング厚さの１５％までしか下向きに広がっていないことを意味する。本明細書では、ΔＺ／ｄ＜０．１５のコーティングを、実質的にピンホールフリーであると定める。空隙がこれよりも大きい場合、所望される機能が実現されない可能性が高い。
【００２３】
コーティングは、コンフォーマルであることが好ましく、これは、コーティングが、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの三次元形状を取り、デバイスの実質的に面全体を被覆していることを意味する。これには、コーティングが、デバイス又はコンポーネントの面全体にわたって最適な機能をもたらすのに充分な厚さを確実に有するという利点がある。「実質的に面全体を被覆している」の用語の意味は、被覆されるべき面の種類にある程度依存する。例えば、あるコンポーネントの場合、水没後でもそのコンポーネントが作動するために、面の完全な被覆が必要であり得る。しかし、コンポーネント又は筐体によっては、被覆に小さいギャップが許容される場合もある。
【００２４】
コーティングは、５０から１００００ｎｍ、所望に応じて、５０から８０００ｎｍ、１００から５０００ｎｍ、好ましくは、２５０ｎｍ〜５０００ｎｍ、最も好ましくは、２５０ｎｍ〜２０００ｎｍの厚さを有してよい。
【００２５】
コーティングは、電気絶縁性であってよく、及び電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントに電気コネクタを接合することができ、電気コネクタと電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントとの間の電気接続を、まずコーティングを除去するという必要性なしに行うことができるように充分に柔軟であってよい。この場合、電気コネクタからコーティングに働く力は、電気コネクタに局所的であるコーティングの構造を変化させるか、又はコーティングを貫通さえもするのに充分なものであり、それによって、電気接続を行うことが可能となる。電気コネクタは、典型的には、５０００ｎｍ未満のコーティング厚さの場合、及び高性能コーティングでは２０００ｎｍ未満の場合に、この方法で電子若しくは電気デバイス、又はコンポーネントに接合することができる。
【００２６】
電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントは、典型的には、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの電源が入った状態で、１ｍまでの水中への３０分間にわたる浸漬に対して故障又は腐食を起こすことなく耐えることができる。コーティングの効果は、設定された時間にわたって水没された時点の固定電圧でのその電気抵抗を測定することによって特定することができ；例えば、１３分間にわたって水没されるデバイスのコーティングに８Ｖの電圧を印加することによる。この試験で１×１０7オーム以上の抵抗値を有するコーティングが、効果的なバリアコーティングであり、コーティングされた電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントは、ＩＰＸ７試験に問題なく合格することになる。ＩＰＸ７試験は、水に対して得られる保護の度合いを分類し、等級付ける侵入に対する保護等級である。電話機に対するＩＰＸ７試験では、デバイスは、圧力及び３０分間の時間の定められた条件下で水中に浸漬される（１ｍまでの水没）。デバイスは、試験の間電源を入れておく必要があり、２４時間後に作動しなければならない。
【００２７】
１つの実施形態では、コーティングは、電気絶縁性であり、１ミクロン（１μｍ）未満の厚さを有し、この場合、５〜２０ｇの力を１ｍｍ径の丸型プローブを用いてコーティングに印加することで、力が印加された局所領域で、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントとの電気接続を行うことが可能となる。
【００２８】
別の実施形態では、コーティングは、電気絶縁性であり、１〜２．５ミクロン（１〜２．５μｍ）の厚さを有し、この場合、２０〜１００ｇの力を１ｍｍ径の丸型プローブを用いてコーティングに印加することで、力が印加されたコーティングの局所領域で、電気接続を行うことが可能となる。
【００２９】
コーティングは、それが形成される対応するモノマーよりも高い密度を有し得る。例えば、密度の増加は、少なくとも０．１ｇ／ｃｍ3であってよい。密度の増加は、コーティングが高架橋されていることで説明される。コーティングの高い密度により、コーティングのバリア特性が向上する。
【００３０】
コーティングは、少なくとも７０°の静的水接触角（ＷＣＡ）によって規定される表面を形成し得る。少なくとも９０°のＷＣＡを有するコーティングは、撥液性、典型的には、撥水性層である。フッ素化ポリマーの場合、コーティングは、少なくとも１００°の静的水接触角を有し得る。固体基材上での液体の接触角は、表面エネルギーの指標であり、そしてそれが基材の撥液性を示す。接触角は、ＶＣＡ  Ｏｐｔｉｍａ接触角分析器により、脱イオン水の３μｌの液滴を室温で用いて測定した。
【００３１】
架橋剤
架橋剤に対する基本的な必要条件は、−Ｃ＝Ｃ−又はアルキン基を例とする２つ以上の不飽和結合が存在することである。不飽和結合は、１つ以上のリンカー部分によって結合されている。リンカー部分は、特に限定されず、２つ以上の不飽和結合を一緒に接合するものであればよい。架橋剤は、標準圧力で５００℃未満の、好ましくは、−１０から３００℃の、所望に応じて、１８０から２７０℃の、最も好ましくは、２０５から２６０℃の沸点を有する必要がある。必須ではないが、架橋剤は、プラズマ処理での使用において過度に有害でないこと、すなわち、低レベルの蒸気がいかなる健康及び安全上の大きな問題（例：強い酸化性、爆発性、毒性、又は不快な臭気を有する（例：臭気剤））も起こすことのない生産環境で用いることができることが好ましい。架橋剤は、好ましくは、以下の構造のうちの１つを有し：
【００３２】
【化３】
2018517044.tif 000005
【００３３】
式中、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3、Ｙ4、Ｙ5、Ｙ6、Ｙ7、及びＹ8は、各々独立して、水素、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はアリールから選択され；Ｌは、リンカー部分である。
【００３４】
最も好ましくは、Ｌは、以下の式を有し：
【００３５】
【化４】
2018517044.tif 000006
【００３６】
式中、各Ｙ9は、独立して、結合、−Ｏ−、−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、−Ｙ11−Ｏ−Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−Ｙ11−、−ＯＹ11−、及び−Ｙ11Ｏ−から選択され、ここで、Ｙ11は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレンであり；並びに、
Ｙ10は、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン、及びシロキサン含有基から選択される。
【００３７】
１つの最も好ましい実施形態では、Ｙ10は、以下の式を有し：
【００３８】
【化５】
2018517044.tif 000007
【００３９】
式中、各Ｙ12及びＹ13は、独立して、Ｈ、ハロ、置換されていてもよい環状、分岐鎖状、若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル、又は−ＯＹ14から選択され、ここで、Ｙ14は、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択され、並びにｎは、１から１０の整数である。
【００４０】
所望に応じて、各Ｙ12は、Ｈであってよく、及び各Ｙ13は、Ｈであってよく、すなわち、Ｙ10は、直鎖状アルキレン鎖であってよい。この実施形態では、Ｙ9は、好ましくは、ビニルエステル又はビニルエーテル基である。
【００４１】
所望に応じて、各Ｙ12は、フルオロであってよく、及び各Ｙ13は、フルオロであってよく、すなわち、Ｙ10は、直鎖状パーフルオロアルキレン鎖であってよい。
【００４２】
典型的には、ｎは、４から６である。
【００４３】
別の実施形態では、Ｙ10は、以下の式を有し：
【００４４】
【化６】
2018517044.tif 000008
【００４５】
式中、各Ｙ15は、独立して、置換されていてもよい分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキルから選択される。
【００４６】
１つの実施形態では、各Ｙ15は、メチルであり、及び各Ｙ9は、結合である。
【００４７】
さらなる実施形態では、Ｙ10は、以下の式を有し：
【００４８】
【化７】
2018517044.tif 000009
【００４９】
式中、Ｙ16からＹ19は、各々独立して、Ｈ、及び置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキル又はアルケニルから選択される。好ましいアルケニル基は、ビニルである。所望に応じて、Ｙ18は、Ｈ又はビニルであってよく、並びにＹ16、Ｙ17、及びＹ19は、各々Ｈであってよい。１つの実施形態では、Ｙ16からＹ19の各々は、Ｈである。別の実施形態では、Ｙ18は、ビニルであり、並びにＹ16、Ｙ17、及びＹ19は、各々Ｈである。
【００５０】
化合物（ｉ）に対する好ましい実施形態では、Ｌは、以下の構造のうちの１つを有する：
【００５１】
【化８】
2018517044.tif 000010
【００５２】
化合物（ｉ）に対する別の実施形態では、Ｌは、以下の構造のうちの１つを有する：
【００５３】
【化９】
2018517044.tif 000011
【００５４】
構造（ｖｉｉ）に従うＬの場合、Ｙ10は、好ましくは、上記構造ｉｖ）及びｖｉ）に示される構造などのアルキレン鎖又はシクロアルキレンである。アルキレン鎖は、直鎖状アルキレン鎖であってよい。Ｙ10がシクロアルキレンである場合、シクロへキシレンが好ましく、１，４シクロへキシレンが最も好ましい。
【００５５】
構造（ｖｉｉｉ）に従うＬの場合、Ｙ10は、好ましくは、構造（ｉｖ）、すなわち、アルキレン又はフルオロアルキレン鎖である。
【００５６】
構造（ｉｘ）に従うＬの場合、Ｙ10は、好ましくは、構造（ｖｉ）に従うシクロへキシレンなどのシクロアルキレンである。
【００５７】
構造（ｘ）に従うＬの場合、Ｙ10は、好ましくは、各Ｙ12及びＹ13がＦである構造（ｉｖ）、すなわち、パーフルオロアルキレン鎖である。
【００５８】
構造（ｘｉ）又は構造（ｘｉｉ）に従うＬの場合、Ｙ10は、好ましくは、アルキレン又はシクロアルキレンである。所望に応じて、アルキレン又はシクロアルキレンは、１つ以上のビニル基又はアルケニルエーテル基によって、好ましくは、１つ以上のビニルエーテル基によって置換されていてもよい。
【００５９】
各Ｙ9が結合である場合、各Ｙ10は、構造（ｉｖ）、（ｖ）、及び（ｖｉ）のいずれであってもよい。好ましくは、Ｙ10は、架橋剤がヘプタジエン、オクタジエン、又はノナジエン、最も好ましくは、１，７−オクタジエンなどのジエンであるように、直鎖状アルキレンである。
【００６０】
各Ｙ9がＯである場合、各Ｙ10は、好ましくは、分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキレン、好ましくは、直鎖状アルキレン、最も好ましくは、Ｃ4直鎖状アルキレンであり、すなわち、架橋剤は、１，４−ブタンジオールジビニルエーテルである。
【００６１】
各Ｙ9基が、他のいずれのＹ9基及びＹ10基と組み合わされて架橋剤が形成されてもよいことは理解される。
【００６２】
当業者であれば、上述した環状、分岐鎖状、又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン基の各々に対する考え得る置換基を認識するであろう。アルキレン基は、好適な化学基によって１つ以上の位置で置換されていてよい。ハロ置換基が好ましく、フルオロ置換基が最も好ましい。各Ｃ1−Ｃ8アルキレン基は、Ｃ1−Ｃ3、Ｃ2−Ｃ6、又はＣ6−Ｃ8アルキレン基であってよい。
【００６３】
架橋剤の特に好ましい実施形態は、Ｙ10としてアルキル鎖を、及び両側にビニルエステル又はビニルエーテル基を有する。
【００６４】
特に好ましい架橋剤は、アジピン酸ジビニルである（ジビニルエステル）。
【００６５】
別の好ましい架橋剤は、１，４−ブタンジオールジビニルエーテルである（ジビニルエーテル）。
【００６６】
最も好ましい実施形態の場合、架橋剤は、アジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）、１，４ブタンジオールジビニルエーテル（ＢＤＶＥ）、１，４シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル（ＣＤＤＥ）、１，７−オクタジエン（１７ＯＤ）、１，２，４−トリビニルシクロヘキサン（ＴＶＣＨ）、１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン（ＤＶＴＭＤＳ）、１，４−シクロヘキサンジカルボン酸ジアリル（ＤＣＨＤ）、１，６−ジビニルパーフルオロヘキサン（ＤＶＰＦＨ）、１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−パーフルオロヘキサンジオールジアクリレート（ＰＦＨＤＡ）、及びグリオキサールビス（ジアリルアセタール）（ＧＢＤＡ）から選択される。
【００６７】
化合物（ｉｉ）に従うアルキン架橋剤の場合、Ｌは、好ましくは、分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ8アルキレン又はエーテル基から選択される。Ｌは、Ｃ3、Ｃ4、Ｃ5、又はＣ6アルキレン、好ましくは、直鎖状アルキレンであってよい。特に好ましい架橋剤の化学構造を以下の表１に示す。
【００６８】
【表１】
2018517044.tif 000012
【００６９】
モノマー化合物
モノマー化合物は、以下の式を有し：
【００７０】
【化１０】
2018517044.tif 000013
【００７１】
式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は：
【００７２】
【化１１】
2018517044.tif 000014
【００７３】
から選択され、式中、各Ｘは、独立して、水素、ハロゲン、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、１から２７の整数である。好ましくは、ｎ1は、１から１２である。所望に応じて、ｎ1は、４から１２、所望に応じて、６から８であってよい。
【００７４】
好ましい実施形態では、Ｒ3は：
【００７５】
【化１２】
2018517044.tif 000015
【００７６】
から選択され、式中、ｍ1は、０から１３の整数であり、各Ｘは、独立して、水素、ハロゲン、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｍ２は、２から１４の整数である。
【００７７】
特に好ましい実施形態では、モノマーは、式Ｉ（ａ）の化合物であり：
【００７８】
【化１３】
2018517044.tif 000016
【００７９】
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１であるか；
又は
モノマーは、式Ｉ（ｂ）の化合物であり：
【００８０】
【化１４】
2018517044.tif 000017
【００８１】
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又は置換されていてもよいＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択され；各Ｘは、独立して、水素又はハロゲンから選択され；ａは、０〜１０であり；ｂは、２から１４であり；及びｃは、０又は１である。
【００８２】
ハロゲンは、塩素又は臭素であってもよいが、ＲｏＨＳ規制（有害物質の使用制限）に準拠するために、フッ素が好ましい。
【００８３】
ａは、０から１０、好ましくは、０から６、所望に応じて、２から４、最も好ましくは、０又は１である。ｂは、２から１４、所望に応じて、２から１０、好ましくは、３から７である。
【００８４】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、又はＣ1−Ｃ6分岐鎖状若しくは直鎖状アルキル基から選択される。アルキル基は、置換されていても、又は無置換であってもよく、飽和であっても、又は不飽和であってもよい。アルキル基が置換されている場合、置換基の位置又は種類は、特に限定されず、得られるポリマーが適切な撥液性層及び／又はバリア層を提供すればよい。当業者であれば、好適な置換基を認識するであろう。アルキル基が置換されている場合、好ましい置換基は、ハロであり、すなわち、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10のいずれも、ハロアルキル、好ましくは、フルオロアルキルであってよい。他の考え得る置換基は、ヒドロキシル又はアミン基であってよい。アルキル基が不飽和である場合、それは、１つ以上のアルケン基又はアルキン基を備えていてよい。
【００８５】
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｎ−ペンチル、ネオペンチル、ｎ−ヘキシル、イソヘキシル、及び３−メチルペンチルから選択されてよい。
【００８６】
好ましい実施形態では、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、独立して、水素又はメチルから選択される。
【００８７】
好ましい実施形態では、ａ及びｃは、各々独立して、０又は１であり、ｂは、３から７である。
【００８８】
１つの好ましい実施形態では、各Ｘは、Ｈである。別の選択肢としての好ましい実施形態では、各Ｘは、Ｆである。
【００８９】
所望に応じて、Ｒ1及びＲ2は、両方が水素であってよい。
【００９０】
所望に応じて、Ｒ4は、水素又はメチルであってよい。好ましくは、Ｒ1及びＲ2は、両方が水素であり、Ｒ4は、水素又はメチルである。
【００９１】
所望に応じて、Ｒ9は、水素であってよく、Ｒ10は、分岐鎖状又は直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル基であってよい。好ましい実施形態では、Ｒ10は、メチルである。
【００９２】
１つの実施形態では、Ｒ5からＲ8の各々は、水素である。
【００９３】
１つの実施形態では、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ4、及びＲ5からＲ10の各々は、水素であり、各Ｘは、Ｈであり、ａ＝０及びｃ＝０である。
【００９４】
特に好ましい実施形態では、モノマー化合物は、以下の式を有し：
【００９５】
【化１５】
2018517044.tif 000018
【００９６】
式中、ｎは、２から１０である。
【００９７】
別の好ましい実施形態では、モノマー化合物は、以下の式を有し：
【００９８】
【化１６】
2018517044.tif 000019
【００９９】
式中、ｎは、２から１０である。
【０１００】
モノマー化合物は、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルアクリレート（ＰＦＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルアクリレート（ＰＦＡＣ６）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルアクリレート（ＰＦＡＣ８）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロドデシルアクリレート（ＰＦＡＣ１０）から選択されてよい。
【０１０１】
モノマー化合物は、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ４）、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロオクチルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ６）、及び１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ−パーフルオロデシルメタクリレート（ＰＦＭＡＣ８）から選択されてよい。
【０１０２】
式Ｉ（ａ）のモノマー化合物は、以下の式を有していてよく：
【０１０３】
【化１７】
2018517044.tif 000020
【０１０４】
式中、ａ及びｃは、各々独立して、０又は１であり、ｂ＝３〜７であり、ｎは、４から１０であり、ここで、ｎ＝ａ＋ｂ＋ｃ＋１である。
【０１０５】
式Ｉ（ａ）のモノマー化合物は、以下の式を有していてよく：
【０１０６】
【化１８】
2018517044.tif 000021
【０１０７】
式中、ｎは、２から１２である。
【０１０８】
モノマー化合物は、エチルヘキシルアクリレート、ヘキシルアクリレート、デシルアクリレート、ラウリルドデシルアクリレート、及びイソデシルアクリレートから選択されてよい。
【０１０９】
モノマーは、以下の式を有していてよく：
【０１１０】
【化１９】
2018517044.tif 000022
【０１１１】
式中、ｎは、４から１４である。
【０１１２】
モノマーは、以下の式を有していてよく：
【０１１３】
【化２０】
2018517044.tif 000023
【０１１４】
式中、ｎは、４から１４である。
【０１１５】
さらなる態様では、本発明は、電子デバイス又はそのコンポーネントを処理するための方法を提供し、その方法は：
電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントを、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントの面上に架橋された保護ポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたってモノマー化合物及び架橋剤を含むプラズマに曝露することを含み；
ここで、モノマー化合物は、以下の式を有し：
【０１１６】
【化２１】
2018517044.tif 000024
【０１１７】
式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ4は、各々独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、又はハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され、Ｒ3は：
【０１１８】
【化２２】
2018517044.tif 000025
【０１１９】
から選択され、式中、各Ｘは、独立して、水素、置換されていてもよい分岐鎖状若しくは直鎖状Ｃ1−Ｃ6アルキル、ハロアルキル、又はハロで置換されていてもよいアリールから選択され；ｎ1は、１から２７の整数であり；並びにここで、架橋剤は、２つ以上の不飽和結合を備え、及び標準圧力で５００℃未満の沸点を有する。
【０１２０】
本方法で用いられるモノマー化合物及び架橋剤については、上記でより詳細に述べている。
【０１２１】
典型的には、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントが、プラズマ堆積チャンバー中に置かれ、前記チャンバー内でグロー放電が発生され、電圧がパルス場として印加される。
【０１２２】
好ましくは、印加電圧は、３０から８００Ｗの出力である。所望に応じて、電圧は、オン時間／オフ時間の比が、０．００１から１、所望に応じて、０．００２から０．５の範囲内であるシーケンスのパルスであってよい。例えば、オン時間は、１０〜５００μｓ、好ましくは、３５〜４５μｓ、又は３０〜４０μｓであってよく、約３６μｓなどであり、オフ時間は、０．１から３０ｍｓ、好ましくは、０．１から２０ｍｓ、所望に応じて、５から１５ｍｓであってよく、例えば６ｍｓである。オン時間は、３５μｓ、４０μｓ、４５μｓであってよい。オフ時間は、０．１、１、２、３、６、８、１０、１５、２０、２５、又は３０ｍｓであってよい。
【０１２３】
パルスの用語は、プラズマ放射がない（又は実質的にない）状態（オフ状態）と特定量のプラズマが放射される状態（オン状態）との間をプラズマが反復することを意味し得る。別の選択肢として、パルスは、プラズマの放射は連続的であるが、プラズマの量が上限（オン状態）と下限（オフ状態）との間を反復することを意味し得る。
【０１２４】
さらなる実施形態では、本発明は、上記で定める電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント上にコーティングを形成する方法にあり、その方法は：前記基材を、チャンバー中で、基材上に保護ポリマーコーティングを形成させるのに充分な時間にわたってモノマー化合物を含むプラズマに、好ましくは、連続プラズマに曝露することを含み、ここで、基材の曝露の過程で、連続プラズマは、少なくとも２Ｗ／リットルの、好ましくは、２０Ｗ／リットルの出力密度を有する。
【０１２５】
所望に応じて、電圧は、３０秒間から９０分間にわたってパルス場として印加されてよい。所望に応じて、電圧は、５から６０分間にわたってパルス場として印加されてよい。所望に応じて、予備工程として、連続出力プラズマが、電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネントに適用されてよい。予備工程は、不活性ガスの存在下で行われてよい。
【０１２６】
架橋剤及び／又はモノマー化合物が堆積チャンバーに導入される前は、各々は、室温で気体、液体、又は固体（例えば、粉末）の形態であってよい。しかし、架橋剤及びモノマー化合物の両方が室温で液体であることが好ましく、最も好ましくは、モノマー及び架橋剤の液体が混和性であることが好ましい。
【０１２７】
モノマー化合物及び／又は架橋剤は、好適には、プラズマ中で気相である。プラズマは、単にモノマー化合物及び架橋剤の蒸気を含むだけであってよい。そのような蒸気は、化合物が液体の形態でチャンバー中に導入されて、ｉｎ−ｓｉｔｕで形成されてもよい。モノマーはまた、キャリアガス、特に、ヘリウム又はアルゴンなどの不活性ガスと混合されてもよい。
【０１２８】
好ましい実施形態では、モノマー及び／又は架橋剤は、例えばその内容が参照により本明細書に援用される国際公開第２００３／０９７２４５号パンフレット及び国際公開第０３／１０１６２１号パンフレットに記載されているように、ネブライザー又は同種のものなどのエアロゾル装置を用いてチャンバーに送られてよい。そのような設備では、キャリアガスが必要でない場合があり、このことは、有利には、高い流速を実現する手助けとなる。
【０１２９】
１つの実施形態では、モノマー化合物及び／又は架橋剤は、気体の形態であり、チャンバー容量に応じて、１０〜５０００ｍｇ／分の速度でプラズマ中に供給され、同時にパルス電圧が印加される。
【０１３０】
所望に応じて、プラズマは、０．００１から４０Ｗ／リットルの平均出力で生成されてよい。
【０１３１】
架橋剤は、モノマーと混和性であってよく、したがって、一緒に又は別々にプラズマチャンバー中へ導入されてよい。又は、架橋剤は、モノマーと非混和性であってもよく、別々にプラズマチャンバー中へ導入されてよい。この文脈において、「混和性」の用語は、架橋剤がモノマー中に可溶性であり、混合された場合に、それらが均一な組成の溶液を形成することを意味する。「非混和性」の用語が用いられる場合、架橋剤がモノマー中に部分的にしか可溶性でないか、又は不溶性であり、したがって、エマルジョンを形成するか、又は２つの層に分離することを意味する。
【０１３２】
架橋剤は、好ましくは、具体的な架橋剤に応じて、モノマー化合物及び架橋剤の合計体積に対して１０から６０（体積／体積）％、所望に応じて、２０から４０（体積／体積）％、所望に応じて、２５から３０（体積／体積）％、所望に応じて、３０から５０（体積／体積）％の量で存在する。当業者であれば、コーティングが撥液性であることが必要であるか、又は物質及び電子輸送に対するバリアを提供することが必要であるかに応じて、この量がある程度変動することは理解される。当業者であれば、（体積／体積）パーセントが、安定な架橋されたポリマーコーティング及び最も高い水接触角を与えるパーセントであることは理解される。
【０１３３】
電子若しくは電気デバイス、又はそのコンポーネント
本発明は、広く様々な基材の状況において有益であるが、本発明のすべての態様において、基材は、有利には、電子基材であってよい。
【０１３４】
本発明のある実施形態では、電子基材は、電子又は電気デバイスを、すなわち、いかなる電気又は電子機器をも含み得る。電気及び電子デバイスの限定されない例としては、携帯電話、スマートフォン、及びポケットベルなどの通信デバイス、ラジオ、及びラウドスピーカー、マイクロホン、リンガー、若しくはブザーなどの音響・音声システム、補聴器、パーソナルＣＤ、テープカセット、若しくはＭＰ３プレーヤーなどのパーソナルオーディオ機器、テレビ、携帯型ＤＶＤプレーヤーを含むＤＶＤプレーヤー、ビデオレコーダー、Ｓｋｙなどのデジタル及び他のセットトップボックス、ラップトップ型、ノート型、タブレット型、ファブレット型、若しくはパームトップ型コンピューターなどのコンピューター及び関連コンポーネント、携帯情報端末（ＰＤＡ）、キーボード、又は計器装備（instrumentation）、ゲーム機、特に携帯型プレーステーション及び同種のもの、データ記憶装置、屋外照明システム、又は無線アンテナ及び他の形態の通信機器が挙げられる。
【０１３５】
本発明の好ましい実施形態では、基材は、電子コンポーネントを備えるか、又は電子コンポーネントから成っていてよく、例えば、プリント回路基板（ＰＣＢ）、プリント回路基板アレイ（ＰＣＢＡ）、トランジスタ、抵抗器、又は半導体チップである。電子コンポーネントは、したがって、携帯電話機を例とする電子デバイスの内部コンポーネントであってよい。本発明のコーティングは、そのようなコンポーネントにおけるエレクトロケミカルマイグレーションを防止するのに特に有用である。
【０１３６】
本発明のすべての態様において、保護ポリマーコーティングが効果的に形成される厳密な条件は、モノマー化合物の性質、架橋剤、基材、さらには所望されるコーティングの特性などであるがこれらに限定されない因子に応じて様々となる。これらの条件は、通常の手順の方法を用いて、又は好ましくは、本発明と特に相乗効果的に作用する本明細書で述べる本発明の技術及び好ましい特徴を用いて決定することができる。
【０１３７】
以降、本発明について、以下の限定されない例及び添付の説明のための図面を参照して、さらに記載する。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】図１は、先行技術のプロセスにおいて、３リットルのチャンバー中、ＣＷプラズマでの出力対モノマー流量比を高めることの効果を示す。
【図２】図２は、パルスプラズマ条件での同じ効果を示す。
【図３】図３は、例１に従って作製された試料例（厚さｄ＝１２３０ｎｍ）の１０×１０μｍ2の視野にわたるタッピングモード画像（左側）、及びＲＭＳ粗度の算出に用いたデータを示す等高線プロット（右側）を示す。プロット上に示したΔＺ値は、コーティングの大部分を代表するこのグラフの領域全体に対して取ったものである。ΔＺ範囲よりも上にあるピークは、大粒子を示し、ΔＺ範囲よりも下にある谷部分は、コーティング中の空隙又はピンホールを示す。ピーク幅も粒子サイズの指標となる。
【図４】図４は、１２５リットルチャンバーでのプロセスからの、アジピン酸ジビニルをパーフルオロオクチルアクリレートに添加した場合の水接触角への効果を示す。
【図５】図５は、本発明に従う架橋剤を添加した場合の、コーティングのｎｍあたりの電気抵抗への効果を示す。
【図６】図６は、例３で述べる通りに作製された９０ｎｍ厚コーティングの２×２μｍ2の視野にわたるタッピングモード画像（左上）、コーティングの高さ変動（ｚ軸）を示す代表的な等高線（右上）、及び完全な基材被覆を示している位相画像（左下）を示し、コーティングのＲＭＳ粗度は、１．６５ｎｍであり、ΔＺ／ｄ＝０．０５である。
【図７】図７は、例５に従って形成されたコーティングのＦＴＩＲ／ＡＴＲスペクトルを示す。
【実施例】
【０１３９】
例１
３リットルチャンバー中、架橋剤なしでのＰＦＡＣ６のプラズマ重合例
ＰＦＡＣ６を、３リットルのガラスチャンバー中、連続プラズマプロセスを用いて重合した。実験マトリックスでは、５０、１００、及び２００ワットのＲＦ出力レベルを用いて連続プラズマを生成させた。プロセス圧力は、３０、６０、及び９０ミリトル（mTorr）で運転し、モノマー流速は、１分間あたり５０、１００、及び２００マイクロリットルの液体で運転した。プロセスの継続時間は、１０又は４０分間とした。コーティングされた基材は、シリコンウェハであり、コーティングが粘着性であるかどうかの判定は、基材を指でふき、コーティングが汚れたかどうかを目視で判定することによって行った。図１の結果は、ＣＷ出力が低い場合は、コーティングは汚れやすかったが（すなわち、粘着性）、出力対流量比を高めることによって、コーティングが汚れに対する耐性を有するようになった（すなわち、非粘着性）ことを示しており、これは、モノマー断片化が増加することに起因するさらなる架橋によるものであると考えられる。水接触角も、出力対流量比を高めることによって低下したことが見られており、このことも、出力の増加がモノマー断片化レベルを高めることを示唆している。
【０１４０】
同じ３リットルチャンバーを用いて、パルスプラズマ重合での出力対流量比の効果も調べた。これらの実験では、ピーク出力は、２５０又は５００Ｗであった。ＲＦ出力フィードは、３５マイクロ秒のオン時間、並びに５．５及び１ミリ秒のオフ時間のパルスとした。プロセス圧力は、２０、３５、６０、又は８０ミリトル（mTorr）とした。モノマー流量は、１分間あたり５０又は２００マイクロリットルの液体とした。図２は、低い出力対流量条件では、汚れが発生し得る（粘着性であり得る）コーティングが作製され得るが、出力を増加させるだけで、汚れを低減できたことを示す。この場合も、水接触角の低下を伴っていた。
【０１４１】
図１及び２からの結果は、ＰＦＡＣ６単独のプラズマ処理では、出力が他の望ましい接触角の特性を低下させるのに充分に高い場合にのみ、汚れのないコーティングを得ることができることを示している。このことは、コーティングの汚れを防止し、水接触角を維持するためには、架橋剤を添加する必要があることを示している。
【０１４２】
例２
電気抵抗の改善を示すための架橋剤を用いたパーフルオロアルキルアクリレート共重合の例
パーフルオロオクチルアクリレートモノマーを、以下のリストからの単一の架橋剤と混合した：
ビニルエステル：アジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）
ビニルエーテル：１，４−ブタンジオールジビニルエーテル（ＢＤＶＥ）；１，４シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル（ＣＤＤＥ）
ジ−又はトリ−ビニル：１，７−オクタジエン（１，７−ＯＤ）；１，２，４−トリビニルシクロヘキサン（ＴＶＣＨ）；
アルキルフルオロ基を有するジビニル：１，６−ジビニルパーフルオロヘキサン（ＤＶＰＦＨ）
ケイ素基を有するジビニル：１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサン（ＤＶＴＭＤＳ）
環状基及びカルボキシレート基を有するジビニル：１，４−シクロヘキサンジカルボン酸ジアリル（ＤＣＨＣ）
ジアクリレート：１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−パーフルオロヘキサンジオールジアクリレート（ＰＦＨＤＡ）
【０１４３】
架橋剤は、以下のパーセント、２０、４０、６０、８０、及び１００％の体積パーセントで、ＰＦＡＣ６と混合した。
【０１４４】
プラズマ開始重合反応を、３リットルのガラスプラズマチャンバー中で行った。基材は、試験回路基板であった。ＰＦＡＣ６／架橋剤混合物は、０．０４〜０．０６ｕｌ／分の速度で導入し、プロセス圧力は、４０ミリトル（mTorr）とした。プロセスプラズマは、１分間の５０Ｗの連続プラズマ（ＣＷ）工程、及びそれに続く１０〜２０分間の５０Ｗのパルスプラズマ（ＰＷ）工程から成り、ＲＦ出力は、６．９％のデューティーサイクルのパルスシーケンスで送った。コーティングされた回路基板を水道水中に浸漬し、８Ｖの電位を１３分間印加した。最終電流読み取り値をコーティング厚さの測定値と一緒に用いて、コーティングのｎｍあたりの電気抵抗を算出した。以下の図５は、様々な架橋剤を添加した場合の、バリアコーティングのｎｍあたりの電気抵抗に対する効果を示す。図５は、ＰＦＡＣ６モノマーに架橋剤を添加することによって得ることができる抵抗の改善を明らかに示している。さらに、４０％以上のレベルで汚れないコーティングとなったＤＶＴＭＤＳ、ＤＣＨＤ、ＰＦＨＤＡ、及びＤＶＰＦＨを除く試験した架橋剤のすべてにおいて、２０％以上の濃度レベルで汚れない／非粘着性コーティングを得た。
【０１４５】
例３
撥水性コーティングに対する架橋剤濃度の例
撥水性コーティングを、１２５リットル容量のチャンバー中、ＰＦＡＣ６を異なるレベルのアジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）と共に用い、及びキャリアガスとしてヘリウムを用いて作製した。堆積プロセスは、３００Ｗ出力での３分間のＣＷ工程、並びに１５０Ｗ出力及び０．０１８％のＲＦパルスデューティーサイクルでのパルス工程から構成した。シリコンウェハを試験基材として用い、コーティングされたウェハの接触角の特定は、脱イオン水の３ｕｌの液滴をコーティングされたウェハ上に適用し、画像解析ソフトウェアと共にＶＣＡ  Ｏｐｔｉｍａ（ＡＳＴ  ｐｒｏｄｕｃｔｓ）を用いて接触角を測定することによって行った。ＤＶＡ架橋剤の（体積／体積）％による接触角の変動を図４に示す。また、１０（体積／体積）％のＤＶＡ濃度の場合、水滴が、コーティングされたウェハ上、その外周部があった部分に跡を残したことも認識した。このことは、より安定なコーティングを得るには、より高いレベルの架橋剤が必要であることを示すものであった。この観察結果から、図４の結果と合わせて、ＤＶＡ架橋剤の最適範囲が２０〜４０（体積／体積）％であることが示唆されるが、これは、異なるモノマー及び架橋剤、並びに異なるチャンバーサイズによって、典型的には１０〜６０（体積／体積）％の範囲内で変動する可能性が高い。
【０１４６】
アジピン酸ジビニル（ＤＶＡ）の存在下でのパーフルオロアルキルアクリレートのパルスプラズマ重合を、１２５リットルのチャンバー中で行った。図４は、異なる液体体積パーセントのＤＶＡ架橋剤をパーフルオロオクチルアクリレートに添加した場合の、シリコンウェハ基材上での水接触角に対する効果を示す。
【０１４７】
例４
モノマー／架橋剤コポリマーコーティングのＡＦＭ測定の例
バリア型のコーティングを、２２リットル容量のチャンバー中、ＰＦＡＣ６を１０％ＤＶＡと共に用いて作製した。堆積プロセスは、ＣＷ出力対流量比３．９（Ｗ／マイクロリットル／分）での１分間のＣＷ工程、及びＰＷ出力／モノマー流量比０．２８（Ｗ／マイクロリットル／分）でのパルス工程から構成した。図６は、すべてのサンプルから得られた代表的なトポグラフィ画像及び位相コントラスト画像を示す。高空間解像度画像は、主として、盛り上がった表面構造間の領域の構造を示す。コーティングのＲＭＳ粗度は、１．６５ｎｍであり、ΔＺ／ｄ＝０．０５である。ΔＺ／ｄ値が＜０．１５であることから、これは、物理層が実質的にピンホールフリーであることを示している。
【０１４８】
例５
モノマー／架橋剤コポリマーコーティングのＦＴＩＲ／ＡＴＲ測定の例
２つのバリア型のコーティングを、２２リットル容量のチャンバー中、ＰＦＡＣ６のみ、及びＰＦＡＣ６を１０％ＤＶＡと共に用いて例４で述べたように作製した。堆積プロセスは、ＣＷ出力対流量比３．９（Ｗ／マイクロリットル／分）での１分間のＣＷ工程、及びＰＷ出力／モノマー流量比０．２８（Ｗ／マイクロリットル／分）でのパルス工程から構成した。図７は、両サンプルから得た代表的なＦＴＩＲ／ＡＴＲスペクトルを示す。
【０１４９】
コーティングのＣＦ3基及びＣ＝Ｏ基の伸縮モードに帰属されるピークのＦＴＩＲ／ＡＴＲ強度比、ＣＦ3／Ｃ＝Ｏは、物理的バリアを形成するのに充分な架橋がコーティング中に存在することの指標である。ＣＦ3は、ＰＦＡＣ６の側鎖中の末端基を意味する。
【０１５０】
バリアコーティングの形成は、重合の過程での架橋とモノマーの制御された断片化との混合によって引き起こされるものと考えられる。架橋は、主としてＣＦ２−ＣＦ３鎖を介しているものと考えられ、一方断片化は、主として重合の過程でのＣ＝Ｏ基の喪失、及び程度は低いがＣＦ２鎖の短縮によるものと考えられる。架橋は、コーティング中の−ＣＦ３基を増加させ、制御された断片化は、コーティング中のＣ＝Ｏ基の量を制御する。これら２つの官能基の比は、充分な架橋及び断片化が行われたことの指標であり、対応するＦＴＩＲ／ＡＴＲピークの強度比によって測定することができる。
【０１５１】
例２で述べたように、ＣＦ3／Ｃ＝Ｏ比が低下すると、電気試験においてより高い抵抗値が得られることが示され、架橋（ＣＦ3の場合）及び断片化（Ｃ＝Ｏの場合）の増加によってコーティング性能が向上されたことが分かる。−ＣＦ3伸縮及びＣ＝Ｏ伸縮に帰属されるピークのＦＴＩＲ／ＡＴＲ強度比、ＣＦ3／Ｃ＝Ｏが０．６ｅ-0.1n未満（ここで、ＰＦＡＣ６の場合はｎ＝６）である場合、電気試験でのコーティングの抵抗は、８Ｍオームよりも高いことが期待される。
【０１５２】
ピーク強度比のＣＦ3／Ｃ＝Ｏ、コーティング厚さ、及び電気試験中での最終電流読み取り値を、表２に示す。
【０１５３】
【表２】
2018517044.tif 000026
【図１】
2018517044.tif 000062
【図２】
2018517044.tif 000063
【図３】
2018517044.tif 000064
【図４】
2018517044.tif 000065
【図５】
2018517044.tif 000066
【図６】
2018517044.tif 000067
【図７】
2018517044.tif 000068
【国際調査報告】
2018517044.tif 000069
2018517044.tif 000070