【事件の表示】
　平成１１年特許願第　３２１２９号「厚みモニタ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　８月２２日出願公開、特開２０００−２３０８１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
  本願は、平成１１年２月１０日の出願であって、平成１５年６月２６日付け（発送日；同月３０日）で拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月２９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年８月２８日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年８月２８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年８月２８日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲
「【請求項１】　真空槽内を走行するフィルムに蒸着された薄層からなる混合膜の厚みを測定する厚みモニタ装置において、前記混合膜に一次Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、前記一次Ｘ線の照射により励起される特性（蛍光）Ｘ線の強度を測定する特性Ｘ線測定手段と、前記混合膜の成分に対応する元素に応じた既知の特性を有する複数の標準試料を備えた標準板を、前記一次Ｘ線の照射光路に出退可能に移動させる標準板移動手段と、前記標準試料から得られる特性Ｘ線強度の測定値に基づいて前記特性Ｘ線測定手段で測定された特性Ｘ線強度を補正する補正手段と、補正後の特性Ｘ線強度を基に前記混合膜の成分毎の厚みを出力する混合膜厚み出力手段と、を備えたことを特徴とする厚みモニタ装置。
【請求項２】　前記特性Ｘ線測定手段近傍の雰囲気温度を測定する温度検出手段を備えると共に、前記補正手段が、前記標準試料から得られる特性Ｘ線強度の測定値と前記温度検出手段で得られた温度とに基づいて、前記特性Ｘ線測定手段で測定された特性Ｘ線の強度を補正する請求項１の厚みモニタ装置。」
　を、
「【請求項１】　真空槽内を走行するフィルムに蒸着された薄層からなる混合膜の厚みを測定する厚みモニタ装置において、前記混合膜に一次Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、前記一次Ｘ線の照射により励起される特性（蛍光）Ｘ線の強度を
一定間隔連続的に
各成分毎の
薄板状の標準試料を用いて
デジタル信号に変換して
【請求項２】　前記特性Ｘ線測定手段近傍の雰囲気温度を測定する温度検出手段を備えると共に、
前記標準試料がＸ線減衰層を有していて、
と補正する補正事項を含むものである。
　なお、下線は、補正箇所を示すために付したものである。
　上記補正は、補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「特定Ｘ線測定手段」について「一定間隔連続的に測定する」との限定を附加し、「標準試料」について「薄板状の」との限定を附加し、「混合膜厚み出力手段」について「デジタル信号に変換して出力する」との限定を附加するものであり、特許請求の範囲の減縮に相当するものと認められる。
 したがって、上記補正は、特許法等の一部を改正する法律（平成１５年法律第４７号）附則第２条第７項の規定によりなお従前の例によるものとされた同法［第１条の規定］による改正前の特許法（以下、「平成１５年改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において読み替えて準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用刊行物 
（２−１）刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開平６−３３０３１８号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
１ａ．「【特許請求の範囲】
【請求項１】　無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性Ｘ線の内、少なくとも一つの元素の特性Ｘ線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。
【請求項２】　連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けるガスバリアフィルムの作製において、当該無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる薄膜組成の元素の特性Ｘ線の内、少なくとも一つの元素の特性Ｘ線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしうる設備を有してなるガスバリアフィルムの製造装置。」
１ｂ．「【０００５】本発明の目的は、無色透明の薄膜及び複合酸化物薄膜等を用いたガスバリアフィルムに対しても有効な膜厚モニター法を有するガスバリアフィルムの製造装置及び製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、本発明により上記目的が達成されることを見出した。即ち、本発明は、無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性Ｘ線の内、少なくとも一つの元素の特性Ｘ線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法であり、また、当該ガスバリアフィルムの製造装置である。」
１ｃ．「【００１８】本発明における無機薄膜の膜厚モニター法について、具体例を挙げて以下に説明する。・・・例えばＷ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ｃｒ等をターゲットとしたＸ線管球から発生したＸ線をコリメーターで面積を制限し、励起源として無機薄膜に照射する。
・・・
【００２０】・・・薄膜を形成する原子は、Ｘ線等を照射されて励起状態になり、その後基底状態に戻るときに各元素に固有の蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）を放出する。この放出された特性Ｘ線を分光し、検出部で検出する。
【００２１】この分光、検出部としては、グラファイト、フッ化リチウム、塩化ナトリウム等の分光結晶や回折格子による回折現象を利用した分散型でも、測定Ｘ線のエネルギーに比例した出力をもつ検出器を使用する波高分析法による非分散型でもどちらでもよい。また、特性Ｘ線検出器としては、ガス増幅比例計数管、半導体検出器、シンチレーション検出器等を用いることができる。
【００２２】ここで特性Ｘ線とは、各元素に固有な線スペクトル又はその一部によって構成されるＸ線であり、固有Ｘ線ともいう。この特性Ｘ線の波長としては、例えばＣｕのＫα線（特性Ｘ線の一種で電子がＬ殻からＫ殻の空準位へ遷移する時に放出されるＸ線）は１．５４２Å、ＭｏのＫα線は０．７１０Åであり、また、Ａｌ、Ｓｉ、Ｍｇ、ＣａのＫα線の波長は、それぞれ８．３３９Å、７．１２６Å、９．８８９Å、３．３６０Åである。
【００２３】上記のようにして得られた無機薄膜を形成する元素の特性Ｘ線強度は、薄膜の膜厚と相関関係があり、前もって膜厚既知のサンプルで特性Ｘ線強度を測定して作製した検量線から、膜厚測定が可能となる。即ち、薄膜中に含まれる元素の内の少なくとも１つの元素の特性Ｘ線強度を測定すればよい。また、２つ以上の構成元素の特性Ｘ線の強度比をとることによって、薄膜組成に関する情報も得られる。」
１ｄ「【００２６】ここで、図１は本発明のガスバリアフィルム製造装置の一実施例を示す図であり、この図を用いて本発明のガスバリアフィルムの製造方法を説明する。るつぼ６に入った蒸着源材料１０に、ＥＢ銃５から電子ビームを照射し、巻き出しロール１から送り出されたプラスチック基材４に蒸着源材料１０を蒸着させる。これにより、プラスチック基材４上に無機薄膜１６を形成させ、ガスバリアフィルム１５が得られる。次に、励起用Ｘ線源１１から発生させた励起用Ｘ線１７をコリメーター１４でその直径を制限しながら、ガスバリアフィルム１５の無機薄膜１６上に照射し、その時に放出される特性Ｘ線１８の強度を特性Ｘ線検出器１２で測定する。この得られたデータをパソコンに入れ、目標値との差をＥＢ銃５のエミッション電流等へフィードバックしながらガスバリアフィルム１５の作製を行う。」
１ｅ．「【００２９】実施例１
蒸着源として３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状の酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ，純度９９．５％）を用い、電子ビーム蒸着法により１２μｍ厚のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（東洋紡績（株) 製、E5100)上に、酸化アルミニウム薄膜の形成を行った。フィルム送り速度を約１００m/min 、ＥＢ銃のエミッション電流を１．２Ａ付近とし、目標膜厚は５００Åとした。膜厚モニターとしてＸ線管から発生させた白色Ｘ線を、コリメーターで直径３０ｍｍに制限し、酸化アルミニウム薄膜に照射した。このとき、薄膜を形成するアルミニウム原子は励起状態となり、その後基底状態に戻るときに波長８．３３９Åの特性Ｘ線を放出した。この強度をシンチレーションカウンターで測定し、前もって用意していた検量線により自動的に膜厚値に換算できるようにした。この膜厚モニターからの出力をパソコンにいれ、目標値との差をＥＢ銃のエミッション電流等へフィードバックしながら、ガスバリアフィルムの作製を行った。このようにして作製されたガスバリアフィルムの蒸着開始位置から２０００、４０００、６０００ｍのところのサンプルを切り出し、膜厚と酸素透過度を測定した。その結果を表１に示す。これからわかるように、膜厚が一定で、酸素バリア性が良好で、長さ方向に酸素バリア特性の均一な長尺透明ガスバリアフィルムが得られた。」
１ｆ．「【００３３】実施例２
蒸着源として３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状の酸化マグネシウム（ＭｇＯ，純度９９．５％）と酸化硅素（ＳｉＯ2 ，純度９９．９％）を用い、電子ビーム蒸着法で１２μｍ厚のＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、E5100)上に、酸化物薄膜の形成を行った。蒸着材料のＭｇＯとＳｉＯ2 は別々のるつぼに入れた。膜厚モニターは、実施例１と同様に励起用Ｘ線を照射して、薄膜の特性Ｘ線を測定できるようになっている。ここでは、Ｍｇ（９．８８９Å）とＳｉ（７．１２９Å）の特性Ｘ線を測定し、ＥＢ銃のエミッション電流にフィードバックをかけられるようにした。フィルム送り速度は約１００m/min とし、加熱源として一台のＥＢ銃を用い、ＭｇＯとＳｉＯ2 のそれぞれを時分割で加熱し、ＭｇＯとＳｉＯ2 の複合膜を作製した。その時のＥＢ銃のエミッション電流を１．５Ａ付近とし、ＭｇＯとＳｉＯ2 への加熱比を１：１とし、目標膜厚を５００Åとした。このようにして作製されたガスバリアフィルムの蒸着開始位置から１０００ｍ毎にサンプリングし、組成分析（ＩＣＰ原子吸光分析）と膜厚測定を行った。この結果を表３に示す。これからわかるように、組成、膜厚とも一定な長尺透明ガスバリアフィルムが得られた。」
１ｇ．図面の図１には、排気系８、励起用Ｘ線源１１、特性Ｘ線検出器１２、プラスチック基材４、電子銃５、るつぼ６等を有するガスバリアフィルム製造装置が示されている。
　
（２−２）刊行物２
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である実願平１−１１３２３４号（実開平３−５２６０９号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
２ａ．「本考案は、塗工量計の標準サンプルとその駆動装置に関し、更に詳しくは、標準サンプルの特性改善と駆動装置の構造改善に関する。・・・塗工紙の塗工量を直接測定するのにあたって、カルシウム，チタンなどを主成分とする塗工剤が塗布された塗工紙の塗工面に１次Ｘ線を照射し、これら塗工剤の主成分の光電効果により発生する元素固有の蛍光Ｘ線の強度を選択的に測定するように構成された塗工量計が用いられている。ところで、このような塗工量計の検出信号は、Ｘ線強度が気圧，温度，入射窓への紙粉の堆積，線源の減衰等で変化することによる影響を受けて変動する。そこでこれらの影響を除去して安定した測定を行うために、標準サンプル及び空気層の測定を定期的に行って自動校正することが行われている。・・・第４図は、これらの標準サンプルが取り付けられる従来の駆動装置の一例の構成図である。」（明細書１ページ１９行〜２ページ２０行）
２ｂ．「本考案はこのような課題に着目されてなされたものであり、その目的は、・・・さらに、該標準サンプルを簡単な構造で所定の校正位置に移動させて保持できる駆動装置を提供することにある。」（明細書５ページ７行〜１２行）
２ｃ．「なお、本考案の駆動装置は塗工量計以外の標準サンプルを測定位置に移動させて校正を行う構成の測定装置にも適用できる。」（明細書１０ページ１９行〜１１ページ１行）
　
（２−３）刊行物３
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開平４−１１８５０９号公報（以下、「刊行物３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
３ａ．「ケイ光Ｘ線膜厚測定法には、・・・ファンダメンタル・パラメータ法と、あらかじめ膜厚既知試料によってケイ光Ｘ線強度と膜厚との関係を求めておき、これに基づいて膜厚を求める検量線法の２通りがあるが、ケイ光Ｘ線膜厚測定装置に広く利用されているのは検量線法である。ケイ光Ｘ線の場合、マトリックス効果があり、一元素系の薄膜でも膜厚とケイ光Ｘ線強度との関係は直線にならず、指数関数で表現される。従って単層膜でも、第１図に示すように膜厚既知試料を最低３種必要とし、これが二元系ともなると８〜１０種類必要となってくる。これを使用する装置毎に用意し、Ｘ線管球の寿命や、検出器の寿命や、温度特性等の経時変化は特定の元素によって校正する方法を採用している。」（１ページ右下欄５行〜２０行）
３ｂ．「本発明はケイ光Ｘ線のマトリックス効果で表現される吸収係数を物理的な定数と仮定し、・・・原器で作成した膜厚とＸ線強度の関係をデータベース検量線とし、・・・複数の無限厚試料を測定することによって校正しうることを特徴とするケイ光Ｘ線膜厚測定用検量線作成方法。・・・本発明においては、ある原器でＩ０，ＩｓおよびＩｉ：ｘｉ（当審注；Ｉ０，ＩｓおよびＩｉはＸ線強度、ｘｉは膜厚を表す。）の関係を求めデータベース検量線とし、個々の装置ではｉ０とＩｓのみ測定するだけで校正し、その装置の検量線とする。」（２ページ左上欄１３行〜右上欄１０行）
３ｃ．図面の第２図に複数個の校正用標準試料を備えた板状の部材が示されている。
　
（３）対比・判断
　刊行物１には、上記（２−１）の「１ａ．」乃至「１ｇ．」の記載から、以下の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
「排気系８を有するガスバリアフィルム製造装置内を走行するプラスチック基材４上に蒸着された無機薄膜１６の膜厚をモニターしうる設備であって、無機薄膜上に励起用Ｘ線１７を照射する励起用Ｘ線源１１と、前記励起用Ｘ線１７の照射により放出される特性Ｘ線１８の強度を測定する特性Ｘ線検出器１２とを備え、前記薄膜中に含まれる元素のうち少なくとも１つの元素の特性Ｘ線強度を、前もって用意していた検量線により膜厚値に換算するもの。」
　本願補正発明（前者）と上記刊行物１記載の発明（後者）とを対比する。
・後者の「排気系８を有するガスバリアフィルム製造装置」は、排気系８を有し、その中で無機薄膜の蒸着がなされるものであり、その内部はほぼ真空状態に保たれるものと解されるから、前者の「真空槽」に相当する。
・後者の「走行するプラスチック基材４」は、前者の「走行するフィルム」に相当し、後者の「無機薄膜１６」は、複数の元素を含むのであるから、前者の「薄層からなる混合膜」に相当する。
・後者の、「励起用Ｘ線１７」、「励起用Ｘ線源１１」、「特性Ｘ線１８」、「特性Ｘ線検出器１２」は、それぞれ、前者の、「一次Ｘ線」、「Ｘ線照射手段」、「特性（蛍光）Ｘ線」、「特性Ｘ線測定手段」に相当する。
・後者の「前記薄膜中に含まれる元素のうち少なくとも１つの元素の特性Ｘ線強度を、前もって用意していた検量線により膜厚値に換算する」点の構成と、前者の「特性Ｘ線強度を基に前記混合膜の成分毎の厚みをデジタル信号に変換して出力する混合膜厚み出力手段」とは、前記相当関係も勘案すれば、ともに、「特性Ｘ線強度を基に前記混合膜の少なくとも１つの成分の厚みを出力する混合膜厚み出力手段」である点で共通する。
・後者の「無機薄膜１６の膜厚をモニターしうる設備」は、前者の「厚みモニタ装置」に相当する。
　したがって、両者は、
「真空槽内を走行するフィルムに蒸着された薄層からなる混合膜の厚みを測定する厚みモニタ装置において、前記混合膜に一次Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、前記一次Ｘ線の照射により励起される特性（蛍光）Ｘ線の強度を測定する特性Ｘ線測定手段と、特性Ｘ線強度を基に前記混合膜の少なくとも１つの成分の厚みを出力する混合膜厚み出力手段と、を備えたことを特徴とする厚みモニタ装置。」
　の点の構成で一致し、以下の点で相違する。
［相違点１］
  前者が、特定Ｘ線の強度を一定間隔連続的に測定するとともに、厚みをデジタル信号に変換して出力しているのに対し、後者には、この点の明記がない点。
［相違点２］
　前者が、混合膜の成分毎の厚みを求めるのに対し、後者は、薄膜中に含まれる元素のうち少なくとも１つの元素について膜厚値に換算する点。
［相違点３］
　前者が、混合膜の成分に対応する元素に応じた既知の特性を有する複数の標準試料を備えた標準板を、一次Ｘ線の照射光路に出退可能に移動させる標準板移動手段と、前記標準試料から得られる各成分毎の特性Ｘ線強度の測定値に基づいて前記特性Ｘ線測定手段で測定された特性Ｘ線強度を薄板状の標準試料を用いて補正する補正手段とを有しているのに対し、後者は、このような構成を有していない点。
　上記各相違点について検討する。
［相違点１］について
  刊行物１の段落【０００６】の「当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設ける」との記載（（２−１）の「１ｂ．」の記載参照。）、から、膜厚のモニターを連続して行うことが示唆され、また、測定に当たり所定周期でサンプリングを行うことは普通に行われているところであるから、前者の「一定間隔連続的に」測定する点に格別のものは認められない。
　次に、デジタル信号に変換する点についてみると、刊行物１の段落【００２６】の「放出される特性Ｘ線１８の強度を特性Ｘ線検出器１２で測定する。この得られたデータをパソコンに入れ、・・・」との記載（（２−１）の「１ｄ．」の記載参照。）、及び、段落【００２９】の「この膜厚モニターからの出力をパソコンにいれ、・・・」との記載（（２−１）の「１ｅ．」の記載参照。）、並びに、通常パソコンで取り扱われるのはデジタルデータであることからみて、パソコンに入力される膜厚モニターの出力データはデジタルデータであると解されることから、この点にも格別のものは認められない。
［相違点２］について
  刊行物１の段落【００２３】の「前もって膜厚既知のサンプルで特性Ｘ線強度を測定して作製した検量線から、膜厚測定が可能となる。即ち、薄膜中に含まれる元素の内の少なくとも１つの元素の特性Ｘ線強度を測定すればよい。また、２つ以上の構成元素の特性Ｘ線の強度比をとることによって、薄膜組成に関する情報も得られる。」との記載（（２−１）の「１ｃ．」の記載参照。）から、刊行物１には、薄膜中に含まれる２つ以上の構成元素の特性Ｘ線強度をそれぞれ測定して薄膜組成を求めること、及び、薄膜中に含まれる元素の内の少なくとも１つの元素の特性Ｘ線強度を測定して膜厚測定を行うことが示されているから、混合膜の成分毎の厚みを求めるようにすることは、このような刊行物１記載の事項を勘案すれば、当業者が格別の推考力を要することとは認められない。
［相違点３］について
　刊行物２には、塗工紙の塗工面に１次Ｘ線を照射し、これら塗工剤の主成分の光電効果により発生する元素固有の蛍光Ｘ線の強度を選択的に測定するように構成された塗工量計を定期的に校正するための標準サンプルとその駆動装置が示され、また、塗工量計以外の標準サンプルを測定位置に移動させて校正を行う構成の測定装置にも適用可能なことも記載されている。そうすると、相違点３に係る「標準試料を備えた標準板を、一次Ｘ線の照射光路に出退可能に移動させる標準板移動手段と、前記標準試料から得られる各成分毎の特性Ｘ線強度の測定値に基づいて前記特性Ｘ線測定手段で測定された特性Ｘ線強度を標準試料を用いて補正する補正手段」点の構成は、刊行物２に示唆されているものと認められる。また、複数の薄板状の標準試料を備えた標準板の点に関しては、刊行物３に複数個の校正用標準試料を備えた板状の部材が示されており、また、標準試料を薄板状とすることも、校正用サンプルとして薄板状のものを用いることが従来周知（例えば、実願平３−９４０３２号（実開平５−４３００９号）のＣＤ−ＲＯＭ参照。）であるから、この点も格別のものということはできない。
　
  そして、本願補正発明による効果も、刊行物１乃至３の記載並びに周知事項から当業者が予測しうる範囲内のものにすぎない。
  したがって、本願補正発明は、刊行物１乃至３に記載された発明並びに周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
 （４）むすび
  以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法１５９条第１項において読み替えて準用する同法５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１５年８月２８日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１及び２に係る発明は、平成１５年３月２４日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項によって特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記「２．（１）」の補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものである。
 
４．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１乃至３並びにその記載事項は、前記「２．（２）」の（２−１）乃至（２−３）に記載したとおりのものである。
　
５．対比・判断
  本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「特定Ｘ線測定手段」について「一定間隔連続的に測定する」との限定を省き、「標準試料」について「薄板状の」との限定の限定を省き、「混合膜厚み出力手段」について「デジタル信号に変換して出力する」との限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、更に他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）」に記載したとおり刊行物１乃至３記載の発明並びに周知事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、刊行物１乃至３記載の発明並びに周知事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明（請求項１に係る発明）が特許を受けることができないものであるから、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。