【事件の表示】
　平成　８年特許願第１４９０１０号「磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１２月２２日出願公開、特開平　９−３３０５０６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯、本願発明
　本願は、平成８年６月１１日の出願であって、平成１６年４月８日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１６年５月１３日に審判請求がなされたものである。
　本願の請求項１乃至１０に係る発明は、願書に最初に添付した明細書及び図面の記載からみて、それぞれ本願特許請求の範囲の請求項１乃至１０に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
　「【請求項１】薄膜コイルと磁極との間を熱硬化性樹脂からなる層間絶縁層により電気的に絶縁する磁気抵抗効果型薄膜ヘッドにおいて、前記熱硬化性樹脂がフォトレジスト材料からなり、且つ熱処理硬化後の膜応力が−１０ＭＰａ〜＋２５ＭＰａの範囲内であるような層間絶縁層を有することを特徴とする磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド。」
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由で引用された特開平４−４７５０７号公報（以下「引用例１」という。）には、「薄膜ヘッド装置」に関して次の事項が記載されている。（なお、下線は当審で付与した。）
　（ア）　「（１）
磁性部材から成る磁性薄膜上に配設された複数のコイル部材と、このコイル部材の相互間を絶縁するとともに一体化するレジストと、このレジストの外面全体を被覆する磁性部材から成る磁性薄膜とを備えた薄膜ヘッド装置において
　
前記レジストを、主成分たる樹脂と、この樹脂内に分散せしめた緩衝剤とを含んだ構成としたことを特徴とする薄膜ヘッド装置
　（イ）　「従来、この種の薄膜ヘッド装置に使用されているレジストは、フェノール型ノボラック樹脂と、感光剤、浴剤、安定剤等の添加物を混合した
ポジ型レジストが多い
ポジ型レジストは、パターニング後、熱硬化させ積層して磁性材料及びコイル材料間相互の絶線材
　（ウ）　「上述した従来の薄膜ヘッド用レジストは、熱硬化したレジストを積層して使用するので、磁性材料及びコイル材料との熱膨張係数の差による内部応力が、金属材料より軟らかいレジスト材に集中し、薄膜ヘッドの信頼性及び耐久性を低下させるという欠点があった。」（公報１頁右下欄１５行〜２頁左上欄３行、発明が解決しようとする課題の項）
　（エ）　「この第１図に示す実施例は、磁性部材から成る磁性薄膜１上に配設された複数のコイル部材２と、このコイル部材２の相互間を絶縁するとともに一体化するレジスト３と、このレジスト３の外面全体を被覆する磁性部材から成る磁性薄膜４とを備えている。レジスト３は、主成分たる樹脂３Ａ（例えばフェノール型ノボラック樹脂）と、この樹脂内に分散せしめた緩衝剤３Ｂとを含んだ構成となっている。緩衝剤３Ｂとしては、（１）二酸化ケイ素、（２）アルミニウム・オキサイド、（３）ジルコニウム・オキサイド、（４）ダイアモンド、（５）ガラス繊維等がある。本実施例では、この内の少なくとも一種類の緩衝剤３Ｂ（例えば二酸化ケイ素）が用いられている。前述したコイル部材２は、その周囲及び相互間がこの緩衝剤３Ｂが分散されたレジスト３により絶縁されている。その他の構成は前述した従来例と同一となっている。
　そして、例えば温度変化による磁性部材から成る磁性薄膜１，４、コイル部材２及びレジスト３の熱膨張係数の差による内部応力は、緩衝剤３Ｂに有効に吸収される。このため、
レジスト３に集中する内部応力は著しく減少す
　（オ）　「以上のように、本発明によると、薄膜ヘッド用のレジストに緩衝剤を分散させることにより、熱硬化後の積層レジストの内部応力を有効に吸収させることにより、熱硬化後の積層レジストの内部応力を有効に吸収緩和させることができ、これがため薄膜ヘッドの信転性及び耐久性を著しく向上させることができるという従来にない優れた薄膜ヘッド装置を提供することができる。」（公報２頁右下欄４行〜１１行、発明の効果の項）
　（カ）　第１，２，３図には、レジスト３は、磁気ヘッドの磁極を構成する上下の磁性薄膜１、４とコイル２の間，及びコイル２相互の間に存在することが図示されている。
　
３　対比・判断
（１）対比
　本願発明と引用例１に記載された発明とを対比する。
　引用例１には、上記２（ア）（イ）（エ）（下線部参照）に摘示した記載事項によれば、
　「磁性部材から成る磁性薄膜上に配設された複数のコイル部材と、このコイル部材の相互間を絶縁するとともに一体化するレジストと、このレジストの外面全体を被覆する磁性部材から成る磁性薄膜とを備えた薄膜ヘッド装置において、前記レジストを、主成分たる樹脂と、この樹脂内に分散せしめた緩衝剤とを含んだ構成とした薄膜ヘッド装置であって、
　レジストは、熱硬化させ積層して磁性材料及びコイル材料間相互の絶縁材となるものであり、
　レジストの内部応力は著しく減少したものである薄膜ヘッド装置。」
　の発明が記載されている。
　
　引用例１に記載された発明の「コイル」は、薄膜ヘッドの一部であるから、本願発明の「薄膜コイル」に相当している。
　引用例１に記載された発明の「磁性部材から成る磁性薄膜」は、薄膜磁気ヘッドの磁極を構成することが明らかである（上記（カ）参照）ので、本願発明の「磁極」に相当している。
　引用例１に記載された発明の「レジスト」は、「ポジ型レジスト」が例示されている（上記（イ）参照）ので、本願発明の「フォトレジスト材料」に相当している。また、引用例１に記載された発明の「レジスト」は、「熱硬化させ積層して磁性材料及びコイル材料相互の絶縁材」となるものであり、磁気ヘッドの磁極を構成する上下の磁性薄膜１、４とコイル２の間、及びコイル２相互の間に存在している（上記（カ）参照）ので、「薄膜コイルと磁極との間を熱硬化性樹脂からなる層間絶縁層により電気的に絶縁する」「薄膜ヘッド」において「前記熱硬化性樹脂がフォトレジスト材料から」なる構成を、実質的に備えている。
　引用例１に記載された発明は、「レジストの内部応力は著しく減少したものである」から、熱処理硬化後の膜応力が小さいものである。
　してみると、本願発明と引用例１に記載された発明は、
　「薄膜コイルと磁極との間を熱硬化性樹脂からなる層間絶縁層により電気的に絶縁する薄膜ヘッドにおいて、前記熱硬化性樹脂がフォトレジスト材料からなり、且つ熱処理硬化後の膜応力が小である層間絶縁層を有する薄膜磁気ヘッド。」
　である点で一致しており、以下の点で相違している。
　
　（相違点１）　本願発明では、「薄膜磁気ヘッド」が「磁気抵抗効果型」と特定されているのに対し、引用例１に記載された発明では、特定されていない点。
　（相違点２）　「熱処理硬化後の膜応力」について、本願発明では、「−１０ＭＰａ〜＋２５ＭＰａの範囲内である」と特定されているのに対し、引用例１に記載された発明では、特定されていない点。
　
（２）相違点についての判断
（相違点１について）
　引用例１には、再生素子について明記されていないものの、引用例１に記載された発明のような、磁極とコイルからなる薄膜磁気ヘッドは、磁気抵抗効果型の再生素子と一体的に形成されることが周知の事項であるから、引用例１に記載された薄膜磁気ヘッドを、磁気抵抗効果型の再生素子と一体的に形成されている磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッドと特定することは、当業者が適宜になし得ることである。
　
（相違点２について）
　引用例１に記載された薄膜磁気ヘッドでは、その膜応力が小さいことが望ましいことが示されているのであるから、その膜応力としてゼロに近い値を選定することは当業者が必要に応じ適宜なし得ることである。
　しかも、磁気ヘッドにおける絶縁層の膜応力が小さくないと、絶縁層の剥離や亀裂等が生じることは、周知の事項であって、例えば特開平５−２３４０３７号公報（発明が解決しようとする課題や作用の項参照、内部応力の低い層間絶縁層の形成が可能であるため剥離及び亀裂の発生を防止する旨の記載（段落１５）参照）、特開平５−２１４０４６号公報（従来の技術の項参照、絶縁膜に内部応力が蓄積してクラック発生する旨の記載（段落３）参照）、特公平５−５４１６９号公報（作用の項参照、剥離及び亀裂等の主因は、層が持つ内部応力が大きいためである旨の記載参照）に記載されているとおりである。
　そして、層間絶縁層の膜応力として、本願発明で数値限定されている２５ＭＰａ以下のものは、上記特公平５−５４１６９号公報（２頁第１表の右欄の、「ＰＶＭＥ添加ホトレジスト膜」を１５０℃、２００℃、２５０℃で熱処理した場合の内部応力が、それぞれ１．７×１０７ｄｙｎ／ｃｍ２（１．７ＭＰａに相当。）、２．２×１０８ｄｙｎ／ｃｍ２（２２ＭＰａに相当。）、２．５×１０８ｄｙｎ／ｃｍ２（２５ＭＰａに相当。）である記載参照。）、特開平４−３０１２０７号公報（ポジ型フォトレジストを１００℃〜２５０℃の範囲でベーキングを行った残留応力が６μｍ程度の膜厚で７〜２０×１０７ｄｙｎ／ｃｍ２（７〜２０ＭＰａに相当。）である旨（段落１９）の記載参照。）に例示されているように周知のものであって、当業者が出願当時適宜選択しうる程度の数値であるから、上記相違点２に格別の困難性を要したものではない。
　
　上記相違点１及び２を総合的に検討しても、本願発明の効果は、引用例１に記載された発明から当業者であれば予測される範囲内であり、格別顕著なものではない。
　
４　むすび
　したがって、本願発明は、本願出願前に頒布された引用例１に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。他の請求項を検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。