(57)【要約】正面開閉式一体型容器（Front-Opening Unified Pod；ＦＯＵＰ）、特に、ＦＯＵＰ製造用の射出成形された液晶ポリマー物品であって、ＭＤ方向およびＴＤ方向の両方において、（i）ＣＴＥ値が正であり、（ii）収縮値が正であり、（iii）膨張率が同等であり、（iv）収縮が同等である、液晶ポリマー物品。
2018535863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーモトロピックポリエステルとフィラーとを含む、射出成形された液晶ポリマー物品であって、
ＭＤ方向のＣＴＥ値およびＴＤ方向のＣＴＥ値がいずれも正の値であると共に、当該ＣＴＥ値同士の差が１２ｐｐｍ／℃以内であり、
ＭＤ方向の収縮値およびＴＤ方向の収縮値がいずれも正の値であると共に、当該収縮値同士の差が０．６５％以内である、物品。
【請求項２】
前記フィラーは前記物品の１０〜８０重量％を占める、請求項１に記載の物品。
【請求項３】
前記フィラーは前記物品の２０〜３０重量％を占める、請求項１に記載の物品。
【請求項４】
前記フィラーはグラファイトである、請求項１に記載の物品。
【請求項５】
前記グラファイトは、結晶性片状グラファイト、無定形細片状グラファイト、グラファイト塊、または高配向性熱分解グラファイト片の形態である、請求項４に記載の物品。
【請求項６】
前記グラファイトフィラーは小板状の形状の粒子を含む、請求項１に記載の物品。
【請求項７】
前記形状の粒子の、幅に対する長さの比率が５よりも小さい、請求項６に記載の物品。
【請求項８】
前記フィラーはグラファイトであり、ＢＥＴ表面積が２０ｍ２／ｇよりも小さい、請求項１に記載の物品。
【請求項９】
前記フィラーの導電率は、１×１０４Ｓ／ｍを超えて１×１０６Ｓ／ｃｍ未満である、請求項１に記載の物品。
【請求項１０】
前記フィラーはグラファイトであり、当該グラファイトフィラーの平均粒径は１〜２０ミクロンである、請求項１に記載の物品。
【請求項１１】
前記グラファイトの粒径は１〜６ミクロンである、請求項４に記載の物品。
【請求項１２】
前記フィラーは、
アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、コバルト、ニッケル、モリブデン、ケイ素、アンチモン、ヒ素、鉛、チタン、鉄およびバナジウムのそれぞれの不純物元素レベルが４０ｐｐｍ未満であり、
全ての不純物元素の合計不純物レベルが７５ｐｐｍ未満である、請求項１に記載の物品。
【請求項１３】
前記サーモトロピックポリエステルは、ヒドロキノン（ＨＱ）、テレフタル酸（ＴＡ）、２，６−ナフタレンジカルボン酸（ＮＤＡ）、または４−ヒドロ安息香酸（ＨＢＡ）に由来する、請求項１に記載の物品。
【請求項１４】
前記サーモトロピックポリエステルは、４−ヒドロ安息香酸（ＨＢＡ）に由来する、請求項１３に記載の物品。
【請求項１５】
呼び厚さが約３ｍｍである、請求項１５に記載の物品。
【請求項１６】
ＥＳＤ抵抗率が１０６〜１０１０Ω／スクエアである、請求項１に記載の物品。
【請求項１７】
加重たわみ温度が２６０℃超である、請求項１に記載の物品。
【請求項１８】
加重たわみ温度が２００℃超である、請求項１に記載の物品。
【請求項１９】
ＭＤ方向のＣＴＥ値およびＴＤ方向のＣＴＥ値が、いずれも１０ｐｐｍ／℃〜３５ｐｐｍ／℃である、請求項１に記載の物品。
【請求項２０】
ＭＤ方向の平均収縮およびＴＤ方向の平均収縮がいずれも０．６％未満であり、
ＭＤ方向の収縮が正の値である、請求項１に記載の物品。
【請求項２１】
ＳＥＭＩ  Ｆ４８−０６００試験で分析した場合に、浸出液中の微量金属の混入レベルが５００ｐｐｂ以下である、請求項１に記載の物品。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれか１項に記載の材料から構成される、正面開閉式一体型容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
〔関連出願の相互参照〕
本願は、２０１５年１１月２４日に提出された米国仮出願第６２／２５９３２０号（標題"LCP PRODUCT FOR HIGH TEMPERATURE SEMI-CONDUCTOR PROCESSES"）の利益を主張する。当該仮出願は、参照により本明細書に援用される。
【０００２】
本発明は、概して、正面開閉式一体型容器（Front-Opening Unified Pod；ＦＯＵＰ）に関する。特に、ＦＯＵＰ製造用の射出成形液晶ポリマー物品であって、当該物品は、（i）ＣＴＥ値および収縮値の両方が正であり、（ii）歪み防止のために、ＭＤ方向およびＴＤ方向の両方においてＣＴＥ値および収縮値が同等の値になる、射出成形液晶ポリマー物品に関する。
【背景技術】
【０００３】
通常、半導体処理用器材（正面開閉式一体型容器（ＦＯＵＰ）など）には、半導体ウェーハの製造に適用される厳格な性能要件がある。例えば、ウェーハを処理する工程においては、材料への混入物レベルがゼロであるかまたは低いこと、酸素および水蒸気に対するバリア耐性、静電気放電（ＥＳＤ）能に対する特定レベルの表面抵抗率、高温変形耐性等が要求される。また、半導体処理用器材の製造（一般的には射出成形による）においては、歪みを生じさせない高精度な等方的収縮性を呈している必要がある。
【０００４】
液晶ポリマー（ＬＣＰ）材料は、半導体処理用器材に用いられる材料として、従来から評価されている。特にＬＣＰは、１３０℃を上回って可能な限り高い温度にまで処理温度を上昇させる絶好の機会を与えるものとして、評価されてきた。処理温度が高ければ、より熱いウェーハをＦＯＵＰ内に設置することが可能となるため、ウェーハを冷却する時間が短くなり、生産性が向上する。
【０００５】
ＬＣＰ材料は本質的に異方性を有し、成形または押出加工の際の材料の流れ方向に沿った、長い結晶性ポリマー鎖を有している。例えば、従来のＬＣＰ化合物は、ガラスファイバまたは無機物質をフィラーに用いることが一般的であるが、分子の配向とフィラーの種類との組み合わせ方によっては、機械特性が極めて非等方的になることがある。これに関しては、流れ方向（ＭＤ）および横断方向（ＴＤ）の双方における、熱膨張係数（ＣＴＥ）および収縮が重要な性質である。典型的なＬＣＰは、ＭＤ方向のＣＴＥが５ｐｐｍ／℃未満であるのに対し、横断方向のＣＴＥが通常は２０ｐｐｍ／℃超である。収縮もまた、高い異方性を呈する。流れ方向の収縮は、ゼロに近い値または負の値となる場合がある。一方、ＴＤ方向の収縮は遥かに高い正の値となる。ガラスをフィラーとするＬＣＰ（特に大きな部品）では、通常の収縮の違い（ＭＤ方向とＴＤ方向との違い）によって、かなりの歪みが生じ得る。
【０００６】
ＬＣＰ  ＦＯＵＰに関する技術的な要求としては、次のものが挙げられる：
ウェーハ製造工程における混入物の回避；
Ｈ２ＯおよびＯ２に対する高いバリア特性；
収縮および歪みの低減：歪みを最小限とするような、ＭＤ方向およびＴＤ方向において同一かまたは同一に極めて近い正のＣＴＥおよび収縮；
低いＥＳＤ；
高温変形耐性；
日常の洗浄によって摩耗しないこと。
【０００７】
したがって、ＦＯＵＰに使用可能であり且つ前記の技術的な要求を全て満たす、ＬＣＰ複合ポリマーが必要とされている。
【発明の概要】
【０００８】
本発明の一態様によれば、サーモトロピックポリエステルとフィラーとを含む、射出成形された液晶ポリマー物品であって；ＭＤ方向のＣＴＥ値およびＴＤ方向のＣＴＥ値がいずれも正の値であると共に、当該ＣＴＥ値同士の差が１２ｐｐｍ／℃以内であり；ＭＤ方向の収縮値およびＴＤ方向の収縮値がいずれも正の値であると共に、当該収縮値同士の差が０．６５％以内である物品が提供される。
【０００９】
ある態様において、前記フィラーは、前記物品の１０〜８０重量％を占める。
【００１０】
ある態様において、前記フィラーは、前記物品の２０〜３０重量％を占める。
【００１１】
ある態様において、前記フィラーは、グラファイトである。
【００１２】
ある態様において、前記グラファイトは、結晶性片状グラファイト、無定形細片状グラファイト、グラファイト塊、または高配向性熱分解グラファイト片の形態である。
【００１３】
ある態様において、前記グラファイトフィラーは、小板状の形状の粒子を含む。
【００１４】
ある態様において、前記形状の粒子の幅に対する長さの比率は、５よりも小さい。
【００１５】
ある態様において、前記フィラーはグラファイトであり、ＢＥＴ表面積が２０ｍ２／ｇよりも小さい。
【００１６】
ある態様において、前記フィラーの導電率は、１×１０４Ｓ／ｍを超えて１×１０６Ｓ／ｃｍ未満である。
【００１７】
ある態様において、前記フィラーはグラファイトであり、当該グラファイトフィラーの平均粒径は１〜２０ミクロンである。
【００１８】
ある態様において、前記グラファイトの粒径は、１〜６ミクロンである。
【００１９】
ある態様において、前記フィラーは、アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、コバルト、ニッケル、モリブデン、ケイ素、アンチモン、ヒ素、鉛、チタン、鉄およびバナジウムのそれぞれの不純物元素レベルが４０ｐｐｍ未満であり、全ての不純物元素の合計不純物レベルは７５ｐｐｍ未満である。
【００２０】
ある態様において、前記サーモトロピックポリエステルは、ヒドロキノン（ＨＱ）、テレフタル酸（ＴＡ）、２，６−ナフタレンジカルボン酸（ＮＤＡ）、または４−ヒドロ安息香酸（ＨＢＡ）に由来する。
【００２１】
ある態様において、前記サーモトロピックポリエステルは、４−ヒドロ安息香酸（ＨＢＡ）に由来する。
【００２２】
ある態様において、前記物品の呼び厚さは、約３ｍｍである。
【００２３】
ある態様において、前記物品のＥＳＤ抵抗率は、１０６〜１０１０Ω／スクエアである。
【００２４】
ある態様において、前記物品は、加重たわみ温度が２６０℃超である。
【００２５】
ある態様において、前記物品は、加重たわみ温度が２００℃超である。
【００２６】
ある態様において、前記物品のＭＤ方向のＣＴＥ値およびＴＤ方向のＣＴＥ値は、いずれも１０ｐｐｍ／℃〜３５ｐｐｍ／℃の範囲である。
【００２７】
ある態様において、前記物品は、ＭＤ方向の平均収縮およびＴＤ方向の平均収縮のいずれもが０．６％未満であり、ＭＤ方向の収縮が正の値である。
【００２８】
ある態様において、前記物品は、ＳＥＭＩ  Ｆ４８−０６００試験で分析した場合に、浸出液中の微量金属の混入レベルが５００ｐｐｂ以下である。
【００２９】
ある態様において、正面開閉式一体型容器は、別の態様に記載の物品から構成される。
【００３０】
上述した（およびその他の）本発明の特徴、利点および目的は、当業者が下記の明細書、特許請求の範囲および添付の図面を参照することにより、更に理解および認識されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例３に記載の剪断掃引曲線のプロット図である。
【図２】実施例４に記載のフィラーの走査型電子顕微鏡写真である。
【図３】実施例４に記載のフィラーの走査型電子顕微鏡写真である。
【図４】実施例４に記載のフィラーの走査型電子顕微鏡写真である。
【図５】実施例４に記載のフィラーの走査型電子顕微鏡写真である。
【図６】実施例４に記載のフィラーの走査型電子顕微鏡写真である。
【図７】実施例６に記載の物品の、機械方向において測定した収縮をプロットした図である。
【図８】実施例６に記載の物品の、横断方向において測定した収縮をプロットした図である。
【図９】実施例７に記載の物品の、機械方向において測定したＣＴＥをプロットした図である。
【図１０】実施例７に記載の物品の、横断方向において測定したＣＴＥをプロットした図である。
【図１１】実施例８に記載の物品の、機械方向において測定した収縮およびＣＴＥをプロットした図である。
【図１２】実施例８に記載の物品の、横断方向において測定した収縮およびＣＴＥをプロットした図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
配向とは、膜内のポリマー鎖が当該膜の特定の方向に配列していることである。一般的には、３つの主要な方向がある。そのうち２つは膜の面内の方向であり、３つ目は膜を貫通する方向である。この３つの方向は、以下の通り定義される。第一に、樹脂が機械を通過して最後に金型に入るまでの、始点から終点に移動する方向である「機械方向（ＭＤ）」である。第二に、機械方向に垂直な方向である「横断方向（ＴＤ）」である。第三に、ＭＤ方向およびＴＤ方向に垂直な「厚み方向（ＺＤ）」である。
【００３３】
熱膨張係数は、物体のサイズが温度変化によってどの程度変化するかを表すものである。具体的には、定圧下における温度変化１度当たりの僅かなサイズ変化が測定対象となる。体積熱膨張係数、面積熱膨張係数、線形熱膨張係数という、いくつかの種類の係数が開発されている。しかし、本明細書においては、ＣＴＥとは、線形熱膨張係数を意味する（すなわち、温度変化１度当たり・単位長さ当たりの物体の長さの可逆的な増加を意味する）。通常、ＣＴＥ値は非常に小さいため、膨張は「百万分率」（すなわちｐｐｍ）で表すのが普通である。膨張はｐｐｍ／℃（セルシウス度）で表すのが通常ではあるが、温度範囲がファーレンハイト度で測定された場合には、ｐｐｍ／°Ｆで表すこともできる。ＣＴＥは、正の値、負の値、またはゼロであってもよい。また、これらのＣＴＥ値は、ＭＤ方向とＴＤ方向とで異なってもよい。好ましくは、ＣＴＥがＭＤ方向およびＴＤ方向の両方において正の値であると共に、ＣＴＥ（ＭＤ）とＣＴＥ（ＴＤ）とが互いに等しいか、または近い値である。
【００３４】
成形部品または押出成形部品は、金型から取り出された後の冷却により、縮小または収縮する場合がある。また、異方性のＬＣＰ材料では、その収縮がＭＤ方向およびＴＤ方向において異なる場合もある。収縮の測定は熱膨張に関連し、成形収縮は成形されたままの寸法の割合である。例えば、０．０１０インチ／インチの成形収縮は、１％の寸法変化に等しい。収縮は、正の値、負の値、またはゼロであってもよく、ＭＤ方向およびＴＤ方向において異なってもよい。好ましくは、収縮値は、ＭＤ方向およびＴＤ方向の両方において正の値であると共に、収縮（ＭＤ）と収縮（ＴＤ）とが互いに等しいか、近い値である。類似性の判定は、２つの値の差を取ることによって行われ、値は小さいほど好ましい。
【００３５】
使用される液晶ポリマーは、未使用であり、その単量体または繰り返し基が、ヒドロキノン（ＨＱ）、テレフタル酸（ＴＡ）、２，６−ナフタレンジカルボン酸（ＮＤＡ）または４−ヒドロ安息香酸（ＨＢＡ）に由来している液晶ポリマーである。「由来している」とは、繰り返し単位が使用されている単量体であることを必ずしも意味しない。そうではなく、繰り返し単位は、単量体に由来するものであってもよいし、重合反応における前記使用されている単量体の誘導体であってもよい。ＬＣＰは本分野において周知の方法で製造してもよく、好ましいＬＣＰとしては、例えば、Ｃｅｌｅｎｅｓｅ社によって供給されているＺｅｎｉｔｅ  ５０００がある。
【００３６】
これらのＬＣＰを、ＬＣＰ組成物に用いられる他の典型的な原料と混合し、ＬＣＰを含有する組成物を形成してもよい。そのような材料としては、フィラーが挙げられる。特に有用なフィラーの添加量としては、含有ＬＣＰを１００重量部として、好ましくは約１０〜約８０重量部、より好ましくは約２０〜約３０重量部である。
【００３７】
そのような組成物は、通常、原料を溶融混合する周知技術によって製造することができる。この溶融混合は、典型的には、熱可塑性物質溶融処理機器（ニーダー、１軸押出機または２軸押出機など）中で行われる。なお、「溶融混合」とは、ＬＣＰが溶融した状態にて混合を行うことを意味する。
【００３８】
ある態様において、フィラーとしてはグラファイトが好ましく、天然グラファイトであっても人工グラファイトであってもよい。グラファイトは、炭素含有率が非常に高い結晶性のものであってもよい。また、微量金属に関しては、フィラーへの混入レベルが低くなければならない。フィラーが、アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、コバルト、ニッケル、モリブデン、ケイ素、アンチモン、ヒ素、鉛、チタン、鉄、およびバナジウムの元素を、何らかのレベル含んでいる場合、これらは非常に低いレベルでしか含まれておらず（４０ｐｐｍ未満）、好ましくは２ｐｐｍ未満であり、最も好ましくは１ｐｐｍ未満である。不純物の合計（全ての不純物元素）は、７５ｐｐｍ未満であることが好ましい。
【００３９】
ある態様においては、フィラー材料の形状が、ＬＣＰ物品の材料特性に影響を及ぼす場合もある。フィラー材料の形状は、小板形状である片状であってもよい。「小板形」とは、ある程度似通った長さおよび幅を有し、当該長さおよび幅が厚みよりも遥かに大きいディスク形状である。フィラーがグラファイトである場合、当該グラファイトは薄片化したものであってもよいし、あるいは、厚みの小さいものでもよい。本明細書において、長さと幅との比率として定義する横縦比は、５：１未満の低い値が好ましい。
【００４０】
ある態様において、調合されたＬＣＰ物品は、不純物が滲出しないか、あるいは、不純物の混入の原因とならないことが好ましい。バルク状態の高分子材料における不揮発性の無機微量不純物は、各成分の浸出濃度および全成分の総量が得られる試験方法である、ＳＥＭＩ  Ｆ４８−０６００（ＩＣＰ−ＭＳによる高分子材料内の微量金属の特定試験；２０１４年１２月再承認）等の規格によって試験することができる。
【００４１】
以下の実施例では、（i）高温変形耐性パラメータによって定義される印加温度を上昇させても、低混入レベル、バリア耐性レベル、表面抵抗率が目標を満たしており、かつ（ii）収縮が小さく等方的であり、歪みが抑えられた状態で構成成分を射出成形することができる、調合物について説明する。
【実施例】
【００４２】
以下の実施例では、本明細書に記載の組成物および手順、ならびに、その作製方法と利用方法について説明する。
【００４３】
＜実施例１＞
通常の混合方法によって、Ｚ５０００（Ｃｅｌａｎｅｓｅ社からブランド名Ｚｅｎｉｔｅとして入手可能な、純粋なＬＣＰ）と、３０重量％のＫＳ  ６−Ｌグラファイト（Ｉｍｅｒｙｓ  Ｇｒａｐｈｉｔｅ＆Ｃａｒｂｏｎ社から入手可能）とを混合することにより、調合物を作製した。当該グラファイトの特性は、下記の通りである：
・フィラー情報：ＫＳ  ６−Ｌグラファイト（Ｉｍｅｒｙｓ  Ｇｒａｐｈｉｔｅ＆Ｃａｒｂｏｎ社から入手可能）
・密度＝２．２６１ｇ／ｃｃ
・表面積＝１８．７ｍ２／ｇ（ＢＥＴ）
・極微量不純物：特に、アルミニウム、カルシウム、銅、クロム、コバルト、ニッケル、モリブデン、ケイ素、アンチモン、ヒ素、鉛、チタン、鉄およびバナジウム不純物の量が非常に少なく（２５ｐｐｍ未満）、大部分の微量不純物は２ｐｐｍ未満であり、多くは１ｐｐｍ未満である。不純物の合計（全ての不純物元素）は５０ｐｐｍ未満であり、これは最も好ましい低値である。
・粒径：
ｄ１０＝１．６μｍ
ｄ５０＝３．５μｍ
ｄ９０＝６．６μｍ
調合混合物を射出成形し、物品を得た。
【００４４】
＜実施例２＞
実施例１で作製した物品について、下記の物理的特性が得られた。
【００４５】
ＥＭｏｄ＝７．０±０．２ＧＰａ
破断歪み＝３．６６±０．３％
引張強さ＝１０５±３ＭＰａ
＜実施例３＞
実施例１で作製した物品について、粘度vs.剪断速度をプロットすることにより、成形の挙動を表す剪断掃引曲線を作成した（図２）。
【００４６】
＜実施例４＞
調合物に有用なフィラーの特性を調査するために、複数種類のグラファイトフィラーを集めた。それらの物理的特性の詳細を表１に示す。
【００４７】
【表１】
2018535863.tif 000003
【００４８】
表１に記載のグラファイトを集めた。それぞれのグラファイトについて、走査型電子顕微鏡を用いて写真を撮影した（図２〜６を参照）。図３〜６（それぞれは表１の第２〜５行に記載の材料のＳＥＭである。図３が「Ｍｉｃｒｏ８５０」を示す。以下同様）は、片状形態のグラファイト粒子を示している。その厚みは、幅および長さよりも遥かに薄い。当該幅および長さはほとんど同一であり、縦横比が非常に小さい。一方、図２のグラファイト（Ｎａｎｏ９９）はファセットが非常に多く、表面積が大きいよう見受けられる。このことは、表１に記載のＢＥＴ測定値によっても裏付けられている。
【００４９】
表１に挙げたそれぞれのグラファイトを、調合ポリマー物品におけるフィラーとして使用した。フィラーを、３つの異なる重量割合だけ配合し（２０％、２５％、３０％）、残残部にＺｅｎｉｔｅ５０００樹脂を充当して使用した。そして、それぞれのポリマー調合物を、３インチ×２インチ×０．０６２インチの薄板に成形した。
【００５０】
＜実施例６＞
実施例５に従って薄板を成形し、測定によって機械方向および横断方向の両方における収縮を決定した。ＭＤ方向およびＴＤ方向の収縮データを、それぞれ図７および図８に示す。図に示す通り、表面積の小さいグラファイトの場合、収縮は著しく低い正の値となり、フィラーの配合量に応じた変化も無く、許容範囲内にある。このため、収縮をほとんど考慮しなくてもよい。一方、表面積の大きいグラファイトの場合、収縮はフィラー配合量に応じて変化し、且つ高い値となった。
【００５１】
＜実施例７＞
実施例５に従って薄板を成形した後、当該薄板を２０〜１５０℃の温度範囲に亘って加熱した。測定によって、機械方向および横断方向の両方における熱膨張を決定した。ＭＤ方向およびＴＤ方向のＣＴＥのデータを、それぞれ図９および図１０に示す。図に示す通り、表面積の小さいグラファイトの場合、膨張は、著しく低い値となり、フィラーの配合量に応じた変化も無く、許容範囲内にある。一方、表面積の大きいグラファイトの場合、収縮はフィラーの配合量に応じて変化し、且つ全体的に高い値となった。
【００５２】
＜実施例８＞
実施例６および７から得られたデータをプロットした、分布の狭いデータを、図１１および１２に示す。表面積の小さいフィラーは、ＬＣＰ調合物の温度感受性を低減させると共に、バリア性、静電気散逸性、高温変形耐性および耐摩耗性が高く維持されている。表２および表３に、ＣＴＥのデータおよび収縮のデータをさらに付記し、各グラファイトフィラーについて、ＭＤ方向およびＴＤ方向における、ＣＴＥの違いおよび収縮の違いを示す。
【００５３】
【表２】
2018535863.tif 000004
【００５４】
【表３】
2018535863.tif 000005
【００５５】
＜実施例９＞
実施例１で説明した調合物を用いて、ＦＯＵＰの部品（具体的には、外殻、扉のハウジング、扉のクッション、およびウェーハ支持体）を成形したところ、各部品は要求通りに機能した。具体的には、各部品は、ＬＣＰ  ＦＯＵＰに対する上述の技術的な要求を満たした。ＥＳＤを測定したところ、１０８Ω／スクエアを超えていることがわかった。また、優れたバリア性が達成された。ＳＥＭＩ  Ｆ４８−０６００試験およびＩＣＰ−ＭＳによって分析したところ、浸出液中の混入物（アルミニウム、バリウム、カルシウム、クロム、コバルト、銅、ガリウム、鉄、鉛、リチウム、モリブデン、マグネシウム、マンガン、ニッケル、カリウム、ナトリウム、ストロンチウム、錫、チタン、亜鉛、ジルコニウム、および、酸によって浸出可能な他の微量金属を含む）の合計は、５００ｐｐｂよりも少なかった。
【００５６】
本明細書においては、特定の好ましい実施形態を挙げて、本発明を詳細に説明した。しかし当業者であれば、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で、本発明の実施形態に対して多数の変形および変更を施すことが可能である。したがって、本発明は、本明細書に開示されている各実施形態に記載の詳細および手段によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲のみに限定されることが意図される。
【図１】
2018535863.tif 000006
【図２】
2018535863.tif 000007
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018535863.tif 000011
【図７】
2018535863.tif 000012
【図８】
2018535863.tif 000013
【図９】
2018535863.tif 000014
【図１０】
2018535863.tif 000015
【図１１】
2018535863.tif 000016
【図１２】
2018535863.tif 000017
【国際調査報告】
2018535863.tif 000018
2018535863.tif 000019
2018535863.tif 000020