【事件の表示】
　平成　７年特許願第３３５２７９号「基板搬送装置および中間受渡し装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　７月１１日出願公開、特開平　９−１８１１４１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
　第１　手続の経緯
　本件出願は、平成７年１２月２２日の特許出願であって、平成１４年１２月１７日付けで拒絶の理由が通知され、平成１５年２月１７日に意見書とともに手続補正書が提出され、平成１６年３月２９日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、平成１６年５月６日に本件審判の請求がされ、平成１６年６月１日に明細書を補正対象とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　
　第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理　由］
１．補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をするものであって、その請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
１−１　補正前の請求項１
「基板処理ユニットに対して基板を受け渡す基板搬送装置において、
　前記基板処理ユニットの基板受渡し部に基板を搬送する第１の基板搬送部と、
　前記基板処理ユニットの基板受渡し部から基板を受け取る第２の基板搬送部と、
　
水平１軸方向に配設されて前記第１の基板搬送部と第２の基板搬送部とが支持固定される
　前記搬送部支持部材を鉛直方向に移動調整可能に設けられており、前記搬送部支持部材を高さ方向の所定位置にて保持する保持部材と、
を備え、
　前記第１の基板搬送部と前記第２の基板搬送部とが、同時に鉛直方向の位置調整可能であることを特徴とする基板搬送装置。」
　
１−２　補正後の請求項２
「基板処理ユニットに対して基板を受け渡す基板搬送装置において、
　前記基板処理ユニットの基板受渡し部に基板を搬送する第１の基板搬送部と、
　前記基板処理ユニットの基板受渡し部から基板を受け取る第２の基板搬送部と、
　
前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向に移動調整可能に設けられており、前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向の所定位置にて固定する複数の
　前記
複数の
複数の
複数の
を備え、
　前記第１の基板搬送部と前記第２の基板搬送部とが、同時に鉛直方向の位置調整可能であることを特徴とする基板搬送装置。」
　
２．補正の適否
　上記請求項１についての補正は、搬送部支持部材について「水平１軸方向に配設されて前記第１の基板搬送部と第２の基板搬送部とが支持固定される」とされていたものを、「前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向に移動調整可能に設けられており、前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向の所定位置にて固定する複数の」と限定し、保持部材について「複数の」と限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
　
２−１　本件補正発明
　本件補正発明は、本件補正がされた明細書及び図面の記載からみて、前記１−２に示す補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基盤搬送装置」であると認める。
　
２−２　刊行物記載の発明及び事項
　原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平７−１９２９９２号公報（以下、「刊行物１」という。）、及び特開平５−２０６０１０号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下のとおり記載されている。
　
（１）刊行物１
ア．段落【００１４】
「上記ＬＣＤ基板製造装置は、図１及び図２に示すように、カセット載置部１に未処理のＬＣＤ基板Ｇ（以下に基板という）を収容する容器である搬入用キャリアカセット２と搬出用キャリアカセット３を載置し、このカセット載置部１におけるキャリアカセット２，３への基板Ｇの出入れを行うと共に、基板Ｇを所定の位置に搬送する搬送部４と、搬送部４の受け渡し位置５から受け取った基板Ｇを処理加工する処理部６と、処理部６からの受け渡し位置７で受け取った基板Ｇをインターフェイス部８を介して露光装置９に搬入するよう構成されている。そして搬送部４とインターフェイス部８は基板搬送装置１０を有する。」
イ．段落【００２３】
「図７は、この発明のインターフェイス部８の一実施例を示す部分破断斜視図である。図７及び図２に示すように、この発明の基板搬送装置１０は、露光装置９の基板搬出入部近傍に設けられた受渡用載置部８０の基板受渡しステージ８２を介して露光装置９内の図示省略の基板搬送機構と相互に基板Ｇの受け渡しを行うと共に、前記処理部６からの受け渡し位置７にて処理部６内の基板搬送機構６５のメイン搬送アーム５９と相互に基板Ｇの受け渡しを行う。そして受け渡し位置７と、基板搬送装置１０と、基板受渡しステージ８２との間の基板Ｇの受け渡しの際に基板Ｇを一時収容するための複数のバッファ用カセット８１とで概略構成されている。」
ウ．段落【００３０】〜【００３２】
「基板搬送装置１０のピンセット１４が、基板Ｇを基板受渡しステージ８２の基板支持ピン８３上の所定の位置に基板Ｇを載置し、エアーシリンダ２１Ａにより基板押圧部材２３は外側に後退する。・・・その後、基板支持ピン８３上の基板Ｇが露光装置９内の図示しない基板搬送機構によって露光装置９内に搬送されて露光処理が施される。
　また、露光装置９で露光処理された基板Ｇは、露光装置９内の基板搬送機構によって基板受渡しステージ８２の基板支持ピン８３上に載置され、・・・。
　・・・。そしてピンセット１４が後退して基板Ｇを基板受渡しステージ８２から取り出す。」
　
　以上の記載及び図面の記載より、刊行物１には、次の発明が記載されているものと認める。（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
「露光装置９へ基板の搬入・搬出を行うための受渡載置部８０に対して基板を受け渡す基板搬送装置において、
　前記受渡載置部８０の基板受渡しステージ８２に基板を搬送し、
　前記受渡載置部８０の基板受渡しステージ８２から基板を受け取る基板搬送装置１０を備える基板搬送装置。」
　
（２）刊行物２
ア．段落【０００４】
「【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来のこの種の処理装置においては、装置本体のフレームに予めタップ孔を設け、そして、固定ねじをもってユニットを装着するため、ユニットの位置合せが面倒な上、取付に手間がかかるという問題があった。また、ユニットの取付位置を変更する場合や、ユニットを交換する場合には、変更位置や交換位置に別途にタップ孔を設ける必要があるので、取付作業が面倒であるばかりか、フレームに不要なタップ孔を残すことになり、フレームの強度を低下させるという問題もあった。」
イ．段落【０００６】
「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の処理装置は、被処理体を処理するユニットを装置本体のフレームに装着してなる処理装置において、上記フレームに沿設される狭隘開口状の取付溝内に摺動可能に挿入される取付座と、上記ユニットの取付部を介して上記取付座に連結する固定部材にて、上記ユニットを着脱可能及び位置調整可能に固定してなるものである。」
ウ．段落【００１５】
「上記各ユニット６ａ〜６ｃ（以下に符号６で代表する）は固定部材である固定ねじ９をもってフレーム８に取付けられている。すなわち、図２ないし図４に示すように、ユニット６の下端の両側から外方に向って突出するフランジ１０（取付部）に設けられた取付孔１１を貫通する固定ねじ９をフレーム８に沿設された狭隘開口状の取付溝１２内に摺動可能に挿入される取付座１３にねじ結合することにより、ユニット６はフレーム８上の所定位置に載置固定される。」
　
　以上のとおりであるので、刊行物２には、次の事項が記載されているものと認める。
「ユニットの位置合わせを容易に行うために、複数の処理ユニット６ａ〜６ｃのそれぞれをフレーム８に沿設される狭隘開口状の取付溝１２内に摺動可能に挿入される取付座１３と、上記複数の処理ユニット６ａ〜６ｃの取付部１０を介して上記取付１３座に連結する固定部材９にて位置調整可能に設けられており、前記複数の処理ユニット６ａ〜６ｃのそれぞれを前記取付溝の所定位置にて固定する複数のフレーム８を設ける」こと（以下、「刊行物２記載の事項」という。）。
　
２−３．対比
　本件補正発明と刊行物１記載の発明とを対比するに、後者の「露光装置９へ基板の搬入・搬出を行うための受渡装置８０」は、受渡装置８０から基板が露光装置に搬送されるものであるから（上記２−２の（１）の摘記事項参照）、基板を製造する装置を構成する基板製造ユニットという限りで、後者の「基板処理ユニット」と共通する。
　また、後者の「基板受渡しステージ８２」は前者の「基板受渡し部」に相当し、後者の「基板搬送装置１０」は前者の「基板搬送部」に相当する。
　
　したがって、本件補正発明と刊行物１記載の発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。
＜一致点＞
「基板製造ユニットに対して基板を受け渡す基板搬送装置において、
　前記基板製造ユニットの基板受渡し部に基板を搬送し、
　前記基板製造ユニットの基板受渡し部から基板を受け取る基板搬送部を備える基板搬送装置。」である点。
＜相違点１＞
　前者では、基板製造ユニットが基板処理ユニットであるのに対して、後者では、露光装置９へ基板の搬入・搬出を行うための受渡装置８０である点。
＜相違点２＞
　前者では、基板受渡し部に基板を搬送する第１の基板搬送部と、基板受渡し部から基板を受け取る第２の基板搬送部との２つの基板搬送部を用い、さらに、「第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを水平１軸方向に移動調整可能に設けられており、前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向の所定位置にて固定する複数の搬送部支持部材と、前記複数の搬送部支持部材を鉛直方向に移動調整可能に設けられており、前記複数の搬送部支持部材を高さ方向の所定位置にて保持する複数の保持部材と、を備え、前記第１の基板搬送部と前記第２の基板搬送部とが、同時に鉛直方向の位置調整可能である」と特定されているに対して、後者では、基板受渡し部に基板を搬送し、受け取る１つの基板搬送部しか用いていない点。
　
２−４．判断
　上記相違点について検討する。
＜相違点１について＞
　刊行物１の受渡装置８０は、露光装置と別個の装置として構成されているが、露光装置９へ基板の搬入・搬出を行うためのものであり、また、露光装置９は基板処理ユニットに相当することは明らかである。
　そうすると、露光装置９とその露光装置９へ基板の搬入・搬出を行うための基板受渡装置８０を合わせて基板処理ユニットである露光装置として構成することは、当業者が適宜行う設計的事項でしかない。
　
＜相違点２について＞
　基板の搬入・搬出をそれぞれ、別個の基板搬送部で行うことは、周知（例えば、特開平６−３３８５５５号公報の段落【００５６】及び図１、及び特開平３−１６３８１８号公報の第２頁右下欄７行〜第３頁左上欄１９行及び第１図参照。）であり、刊行物１記載の発明において、基板の搬入を行う基板搬送部と基板の搬出を行う基板搬送部とをそれぞれ設けることに、困難性を見出せない。
　また、刊行物２の取付溝は、水平１軸方向に設けられていることから刊行物２の「複数の処理ユニット６ａ〜６ｃのそれぞれをフレーム８に沿設される狭隘開口状の取付溝１２内に摺動可能に挿入される取付座１３と、上記複数の処理ユニット６ａ〜６ｃの取付部１０を介して上記取付１３座に連結する固定部材９にて位置調整可能に設けられており」、「前記取付溝１２の所定位置にて固定する」は、本件補正発明の「それぞれを水平１軸方向に移動調整可能に設けられており」、「水平１軸方向の所定位置にて固定する」に相当し、さらに、刊行物２の「処理ユニット６ａ〜６ｃ」は、単に「ユニット」とも表しうるものであり、同様に「フレーム８」は、「支持部材」ともいいうるものである。
　そうすると、刊行物２記載の事項は、「複数のユニットの位置合わせを容易に行うために、それぞれを水平１軸方向に移動調整可能に設けられており、前記複数のユニットのそれぞれを水平１軸方向の所定位置にて固定する複数の支持部材を設ける」ことと表現できるものである。
　ところで、基板処理装置において、他の機器との関係で各ユニットについて、水平方向及び高さ方向の位置調整を行う必要があることは、自明の課題である。そして、刊行物２記載の事項において、水平１軸方向への位置調整に併せて、高さ方向の位置調整が必要とされる場合、複数のユニットの高さ方向を調整するために、複数のユニットが固定されている支持部材を鉛直方向に移動調整可能で、高さ方向の所定位置にて保持する機構とすることが周知（例えば、実願平５−７８９６号（実開平６−６７９９８号）のＣＤ−ＲＯＭ参照。）であることを勘案すれば、複数の支持部材を鉛直方向に移動調整可能で、高さ方向の所定位置にて保持する機構とすることに格別の困難性は認められない。
　
　そして、基板の搬入・搬出をそれぞれ別個の基板搬送部で行う場合、これらの基板搬送部は一つのユニットということができるものであるから、刊行物１記載の発明において、基板の搬入を行う基板搬送部と基板の搬出を行う基板搬送部とを設けるに当たり、刊行物２記載の事項、及び前記周知の事項を適用し、本件補正発明の上記相違点２に係る特定事項とすることは当業者が容易に想到しうるものである。
　
　また、本件補正発明の作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項１、及び前記周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものでない。
　
　したがって、本件補正発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項１、及び前記周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法１２６条第５項の規定に適合しないものであり、特許法第１５９条第１項で準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　第３　本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１〜４に係る発明は、平成１５年２月１７日付け手続補正書の特許請求範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、前記第２の１−１に示す補正前の請求項１に記載したとおりものと認められる。
　
２．刊行物記載の発明及び事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物記載の発明及び事項は前記第２の２−２（１）乃至（２）に示したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明は、前記第２で検討した本件補正発明の「水平１軸方向に配設されて前記第１の基板搬送部と第２の基板搬送部とが支持固定される」とされていたものを、「前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向に移動調整可能に設けられており、前記第１の基板搬送部および第２の基板搬送部のそれぞれを前記水平１軸方向の所定位置にて固定する複数の」とした限定事項、及び本件補正発明から保持部材について「複数の」との限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件の全てを含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本件補正発明が、前記「第２　２−４」に記載したとおり、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項１、及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項１、及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。