【事件の表示】
　特願２０１３−１６１５９２「ウェハ搬送用装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　２月１６日出願公開、特開２０１５−　３２７０２、請求項の数（３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は，平成２５年８月２日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２９年　３月２８日付け　拒絶理由通知
平成２９年　６月　５日　　　意見書・手続補正
平成２９年　７月２５日付け　拒絶査定（以下，「原査定」という。）
平成２９年１０月３１日　　　審判請求・手続補正
平成３０年　８月２８日付け　拒絶理由通知（以下，「当審拒絶理由」という。）
平成３０年１１月１２日　　　意見書・手続補正（以下，「当審補正」という。）
　
第２　原査定の概要
　原査定の概要は次のとおりである。
　本願請求項１，２に係る発明は，以下の引用文献１ないし５に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
１．特開平１０−２８４５８５号公報
２．特開２００１−１１６７０７号公報
３．特開２００４−７１７２８号公報
４．実願昭６２−８２１５７号（実開昭６３−１９３８４１号）のマイクロフィルム
５．特開２０１２−２３１７６号公報
　
第３　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は次のとおりである。
　本願請求項１，２に係る発明は，以下の引用文献１，Ａ及び２に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞ 
１．特開平１０−２８４５８５号公報 
Ａ．特開２００１−２８４４３０号公報 
２．特開２００１−１１６７０７号公報 
第４　本願発明
　本願の請求項１ないし３に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明３」という。）は，当審補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定される次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】
　半導体製造用のウェハを収容するためのカセット本体から突出部が突出する構成のカセットを置くことが可能な，カセット台と，
　前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと，を備え，
　前記カセット台に前記カセットが置かれた場合における前記カセットの向きを検出するための向き検出センサをさらに備え，
　前記向き検出センサは，前記カセット台において前記カセットが上向き姿勢および下向き姿勢の何れか一方の前記姿勢にあるときに前記カセットを検出するように構成されており，かつ，前記カセットが他方の前記姿勢にあるときには前記カセットを検出しないように構成されており，
　前記カセット検出センサと前記向き検出センサは互いに別個に設けられており，且つ，前記カセットの状態が制御部によって判定されるように構成されており，
　前記制御部では，
　前記カセット台に前記カセットが置かれたことを前記カセット検出センサが検出するとともに，前記カセットが下向き姿勢で前記カセット台に置かれたことを前記向き検出センサが検出していない場合に，前記カセットが上向きの姿勢で前記カセット台に置かれたと判定され，且つ，
　前記カセット台に前記カセットが置かれたことを前記カセット検出センサが検出するとともに，前記カセットが下向き姿勢で前記カセット台に置かれたことを前記向き検出センサが検出した場合に，前記カセットが下向きの姿勢で前記カセット台に置かれたと判定され，
　前記カセット検出センサおよび前記向きセンサは，何れも，前記カセット台に前記カセットが置かれたときに前記カセットの下方に位置するように配置されており，
　前記カセット検出センサは，電気信号を発生するセンサの数が単一であり，
　前記向き検出センサは，電気信号を発生するセンサの数が単一であることを特徴とする，ウェハ搬送用装置。
　【請求項２】
　請求項１に記載のウェハ搬送用装置であって，
　前記カセット台は，当該カセット台に置かれた前記カセットの前記突出部との接触を回避するための接触回避部を有し，
　前記向き検出センサは，前記接触回避部に進入した前記突出部を検出可能に構成されていることを特徴とする，ウェハ搬送用装置。
　【請求項３】
　請求項２に記載のウェハ搬送用装置であって，
　前記突出部は，前記カセット本体に設けられ前記カセットを把持するための把持部を含み，
　前記向き検出センサは，前記接触回避部に進入した前記把持部を検出するように構成されていることを特徴とする，ウェハ搬送用装置。」
　
第５　引用文献及び引用発明
１　引用文献１について
（１）引用文献１
　当審拒絶理由に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審で付加した。以下同じ。）
　ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は，
半導体プロセス用ウエハキャリア及びこれを設置するウエハキャリア設置台に関する
【０００２】
【従来の技術】図２２は，従来のウエハキャリア１００の構造を示す斜視図である。
（中略）
【０００３】また，図２３は，ウエハキャリア１００を設置するためのウエハキャリア設置台２００の構造を示す斜視図である。
（中略）
【０００４】従来のウエハエッチング装置を用いてウエハの裏面に付着した付着物を除去する場合には，まず
ウエハが挿入されているウエハキャリア１００からウエハを取り出し，次に取り出したウエハを搬送ロボットによって反転機構へ搬送し
　イ　「【００１３】従来のウエハキャリア１００においては下側壁５０の外側のみにキャリア位置決め部７０が設けられていたのに対し，図１に示すように本実施の形態１に係るウエハキャリア１０１においては下側壁５１の外側だけでなく上側壁４１の外側にも同一形状のキャリア位置決め部６１を設けたため，上側壁４１，下側壁５１のいずれを下にしてもウエハキャリア１０１をウエハキャリア設置台２０１に固定することができる。従って，ウエハの表面８ａが上を向いた状態からウエハの裏面８ｂが上を向くようにウエハ８を反転する際には，図２に示すように下側壁５１を下にし，
キャリア位置決め部７１を溝９にはめ込んでウエハキャリア１０１をウエハキャリア設置台２０１に設置した状態から，図３に示すように上側壁４１を下にし，キャリア位置決め部６１を溝９にはめ込んでウエハキャリア１０１をウエハキャリア設置台２０１に設置する
　ウ　「【００２８】実施の形態４．図１３は，本発明の実施の形態４に係るウエハキャリア１０４の構造を示す斜視図である。本実施の形態４においては，実施の形態３で示したウエハキャリア１０３と同様のものを用いることができる。具体的には，ウエハ挿入部１と，突起２ａ，２ｂ及び溝３ａ，３ｂと，上側壁４４及び下側壁５４と，
キャリア位置決め部６４，７４とを備えるウエハキャリア１０４
【００２９】また，図１４は，図１３におけるウエハキャリア１０４の上側壁４４及びキャリア位置決め部６４を拡大して示す斜視図である。実施の形態３に係るウエハキャリア１０３と同様に，本実施の形態４に係るウエハキャリア１０４においても，上側壁４４に溝１１ｂが選択的に設けられている。
【００３０】また，図１５は，本発明の実施の形態４に係る
ウエハキャリア設置台２０４
プッシュセンサー１２ａが設けられている
【００３１】なお，
このプッシュセンサー１２ａは，ウエハキャリア設置台２０４の上面に
【００３２】
下側壁５４を下にした状態でウエハキャリア１０４をウエハキャリア設置台２０４に設置した場合は，図１６に示すようにプッシュセンサー１２ａは
ＯＮ状態となる。一方，図１７に示すように，上側壁４４を下にした状態でウエハキャリア１０４をウエハキャリア設置台２０４に設置した場合は，
プッシュセンサー１２ａはＯＦＦ状態となる。これにより，プッシュセンサー１２ａがＯＮ状態になった場合はウエハの表面８ａが上を向き，ＯＦＦ状態になった場合はウエハの裏面８ｂが上を向いていることが分かる。
　エ　図１６及び図１７には，
突出したキャリア位置決め部６４，７４がウエハキャリア設置台２０４の溝９にはめ込まれて設置される
（２）引用発明
　前記（１）より，引用文献１には次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「突出したキャリア位置決め部を備えるウエハキャリアが設置されるウエハキャリア設置台であって，ウエハキャリア設置台の上面にプッシュセンサーが設けられ，下側壁を下にした状態でウエハキャリアをウエハキャリア設置台に設置した場合は，プッシュセンサーはＯＮ状態となり，一方，上側壁を下にした状態でウエハキャリアをウエハキャリア設置台に設置した場合は，プッシュセンサーはＯＦＦ状態となること。」
２　引用文献Ａの記載
　当審拒絶理由に引用された引用文献Ａには，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は基板を収容するキャリアが載置されるキャリア載置装置に関する。」
「【００１５】
【発明の実施の形態】図1は本発明のキャリア載置装置１を示す。
キャリア載置装置１はキャリアＣを載置する載置台３を有し
載置台３には第１正常センサ７ａ，第２正常センサ７ｂが設けられており，キャリアＣの底面ＢＳ（後述）の上下方向の位置を検出する。
【００１６】
また，載置台３には載置台３上のキャリアＣの有無を検出する有無センサ９の投光部９ａが設けられている。投光部９ａは載置台３の上面ＵＳよりも低い位置に設けられており，キャリアＣとは非接触である。そして，投光部９ａは斜め上方に向かって検出光ＤＬ１を発射している。該検出光ＤＬ１はキャリアＣが載置台３上でピン５によって位置決めされたとき，該キャリアＣが占める空間ＳＰを通過している。そして，検出光ＤＬ１の延長上で，前記キャリアＣが占める空間ＳＰよりも外には有無センサ９の受光部９ｂが設けられている。本実施形態の有無センサ９は検出光ＤＬ１が遮られたときＯＮになる設定である。
「【００３０】次に図４に従いキャリア載置装置１のハード構成を説明する。
【００３１】図のように
第１正常センサ７ａ，第２正常センサ７ｂ，有無センサ９が報知部２０に接続されている。
【００３２】報知部２０は，CPUやRAM，ROMを有して各種情報を処理する情報処理部１１と，情報処理部１１からの情報を表示するディスプレイ１２と，前記情報処理部１１と外部装置１４とを接続するインターフェース１３とを有する。なお，外部装置１４としては例えば基板処理装置や基板搬送装置，キャリア搬送装置，などがある。
【００３３】次に図５のフローチャートを用いてキャリア載置装置１の動作の一例を説明する。
【００３４】キャリア載置装置１は起動直後，即ち図のスタートＳＳでは第１正常センサ７ａ，第２正常センサ７ｂそれぞれは検出光を発射している状態になる。また，有無センサ９も検出光ＤＬ１を発射している状態である。その後，図5のステップ１に入る。ステップＳ１では外部装置１４がインターフェース１３を通じてキャリアＣの載置状態を照会してきたかどうか，情報処理部１１が判断する。照会が無い場合はステップＳ１を繰り返す。照会があった場合はステップＳ２に進む。
【００３５】ステップＳ２では
有無センサ９がＯＮになっているかどうか情報処理部１１が判断する。有無センサ９がＯＮになっていれば，載置台３にキャリアＣもしくはそれ以外の物体が存在すると判断してステップＳ３に進む。ステップＳ３では第１正常センサ７ａ，および，第２正常センサ７ｂが共にＯＮかどうか判断し，ＯＮの場合はキャリアＣが正常に載置台３に載置されているものと判断してステップＳ４に進む。
ステップＳ５での状態とは有無センサ９がＯＮになっているにもかかわらず，第1正常センサ７ａ，第２正常センサ７ｂのいずれかまたは両方がＯＦＦになっている状態であるので，載置台３上に何らかの物体が存在し，その物体が仮にキャリアＣであっても当該キャリアＣは正常に載置されているわけではないという状態であると推定される。
【００３６】よって，ステップＳ５同様，キャリアＣは正常に載置されていないことをディスプレイ１２に表示し，オペレータにこの旨，報知すると共に，インターフェース１３を通じてキャリアＣが正常に載置されていないことを外部装置１４に報知する。再びステップＳ６に戻って，第１正常センサ７ａ，および，第２正常センサ７ｂの何れもＯＮになっていない場合は載置台３上に何も無い状態であるのでステップＳ８に進み外部装置１４に対してキャリアＣが載置されていないことを報知する。
【００３７】本実施形態では
第１正常センサ７ａ，第２正常センサ７ｂ，有無センサ９のすべてがＯＮとなって初めてキャリアＣが正常に載置されたと判断する。このため，キャリアＣが正常に載置されているか否かを正確に報知することができる。
【００３８】以上，本実施形態では底部に凹部としてピン穴を有するキャリアＣを対象としているが，底部に凸部を有するキャリアの場合，載置台に該凸部と嵌合する凹部を設けて上下方向におけるキャリアの底面の位置が基準底面位置にあるかどうかを検出すればよい。」
３　引用文献２の記載
　当審拒絶理由に引用された引用文献２には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体ウエハ等のウエハが収納されるカセットと，そのようなカセットに収納されたウエハを分析する蛍光Ｘ線分析装置に関するものである。」
「【００１５】しかも，
通常用いるカセットは底部の外側に既製のカセットにない判別用の凸部を形成したものであり，その凸部に対応して凹入するスイッチを有するカセット台と，前記スイッチの凹入に対応してロボットハンドを駆動可能にする判別手段とを本装置が備えている
４　引用文献３の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【００２４】
固定ステージ２上には容器ＰのボックスＰ１と蓋Ｐ２の密閉を解除する施錠機構２６と容器Ｐの載置有無を検出する在席検出手段であるピン７が設けてある。
【００２５】
前記在席検出手段の構造を，図５を参照して詳細に説明する。
ピン７は，固定ステージ２の裏面に取り付けられた板ばね２８による下方からの付勢により，固定ステージ２の表面から出没可能に設けられており，容器Ｐが固定ステージ２上に載っていない時は飛出した状態を維持している。
【００２６】
板ばね２８は上端が固定ステージ２の裏面に取り付けられ，その下端は下方に向いた直線状部分を有する。板ばね２８の下方には上方が開放したスリットを有する凹型のフォトセンサ３０が設けてあり，スリットに物体が存在するか否かでフォトセンサ３０はＯＮ／ＯＦＦ状態となる。
【００２７】
固定ステージ２上に容器Ｐが載せられると，前記ピン７は容器Ｐに押されて固定ステージ２下へ押し込まれ，その動作に従ってピン７の下に設けられた板ばね２８の下端部がフォトセンサ３０のスリット内に侵入する。
５　引用文献４の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４には，図面とともに次の事項が記載されている。
「依って，斯る構成の
マイクロスイッチ機構を用いて，載置台上のウエハキャリアの有無を検出する
ウエハキャリア２０の下部一端部縁を上記ヘッド板９上に載置すると
マイクロスイッチ１４をオンするので，これにより載置台１９上にウエハキャリア２０が載置されていることを確実に検出することが可能となる
４　引用文献５の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献５には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【００３６】
　なお，載置されたカセットをカセット支持台に自動的に固定するカセット固定部及びその固定状態を解除するための構造は，図３〜図７に示した例には限定されない。例えば，図８に示すように，カセット支持台２ａ’，２ｂ’が，２つの断面Ｌ字型の移動部材２００ａが基台２０から突出して向かい合って構成される係合部２００と，
カセット６ａ，６ｂが載置されているか否かを検知するセンサ
　
第６　対比及び判断
１　本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明との対比
　ア　引用発明の「ウエハキャリア」は「半導体プロセス用ウエハキャリア」である（前記第５の１（１）ア【０００１】）から「半導体製造用のウェハを収容するための」「カセット」ということができ，すると，引用発明の「突出したキャリア位置決め部を備えるウエハキャリアが設置されるウエハキャリア設置台」は，本願発明１の「半導体製造用のウェハを収容するためのカセット本体から突出部が突出する構成のカセットを置くことが可能な，カセット台」に相当する。
　イ　引用発明の「プッシュセンサー」は，「下側壁を下にした状態でウエハキャリアをウエハキャリア設置台に設置した場合は，プッシュセンサーはＯＮ状態となり，一方，上側壁を下にした状態でウエハキャリアをウエハキャリア設置台に設置した場合は，プッシュセンサーはＯＦＦ状態となる」から「カセットの向きを検出するための向き検出センサ」ということができ，「前記カセット台において前記カセットが上向き姿勢および下向き姿勢の何れか一方の前記姿勢にあるときに前記カセットを検出するように構成されており，かつ，前記カセットが他方の前記姿勢にあるときには前記カセットを検出しないように構成されて」いるといえる。
　ウ　引用発明の「ウエハキャリア設置台」は「ウエハを搬送ロボットによって反転機構へ搬送」することを前提とする（前記第５の１（１）ア【０００４】）から，「ウェハ搬送用装置」の一部であるといえる。
　エ　すると，本願発明１と引用発明とは，下記オの点で一致し，下記カの点で相違する。
　オ　一致点
「半導体製造用のウェハを収容するためのカセット本体から突出部が突出する構成のカセットを置くことが可能な，カセット台と，
　を備え，
　前記カセット台に前記カセットが置かれた場合における前記カセットの向きを検出するための向き検出センサを備え，
　前記向き検出センサは，前記カセット台において前記カセットが上向き姿勢および下向き姿勢の何れか一方の前記姿勢にあるときに前記カセットを検出するように構成されており，かつ，前記カセットが他方の前記姿勢にあるときには前記カセットを検出しないように構成されていることを特徴とする，ウェハ搬送用装置。」
　カ　相違点
（ア）相違点１
　本願発明１では，「前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと」を備え，「前記カセット検出センサと前記向き検出センサは互いに別個に設けられており，且つ，前記カセットの状態が制御部によって判定されるように構成されており，前記制御部では，前記カセット台に前記カセットが置かれたことを前記カセット検出センサが検出するとともに，前記カセットが下向き姿勢で前記カセット台に置かれたことを前記向き検出センサが検出していない場合に，前記カセットが上向きの姿勢で前記カセット台に置かれたと判定され，且つ，前記カセット台に前記カセットが置かれたことを前記カセット検出センサが検出するとともに，前記カセットが下向き姿勢で前記カセット台に置かれたことを前記向き検出センサが検出した場合に，前記カセットが下向きの姿勢で前記カセット台に置かれたと判定され」るのに対し，引用発明では「カセット検出センサ」を備えず，「前記カセット検出センサと前記向き検出センサ」の両方を用いた判定は行われない点。
（イ）相違点２
　本願発明１では「前記カセット検出センサおよび前記向きセンサは，何れも，前記カセット台に前記カセットが置かれたときに前記カセットの下方に位置するように配置されており，前記カセット検出センサは，電気信号を発生するセンサの数が単一であり，前記向き検出センサは，電気信号を発生するセンサの数が単一である」のに対し，引用発明では，「カセット検出センサ」を備えず，センサの「何れも，前記カセット台に前記カセットが置かれたときに前記カセットの下方に位置するように配置されて」いるものではない点。
（２）判断
　相違点２について検討する。
　相違点２に係る構成について，引用文献Ａ，２ないし５の何れにも記載も示唆もない。
　引用文献Ａには，キャリアの底面の上下方向の位置を検出する第１正常センサ，第２正常センサの他に載置台上のキャリアの有無を検出する有無センサを設けることが記載されているが，この有無センサは載置台に設けられた投光部から発射しキャリアが占める空間を通過する検出光を有無センサの受光部で受光するもの（前記第５の２【００１６】）である。そこで，引用文献Ａに記載された技術をさらに設計変更して有無センサの受光部をキャリアの下方すなわち載置台に設ければ，キャリアの底面をセンスできたとしても「キャリアが占める空間」をセンスできなくなるから，そのような設計変更は当業者が容易になし得るものではない。
　したがって，他の相違点について検討するまでもなく，本願発明１は，引用文献１，Ａ，２ないし５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（３）まとめ
　よって，本願発明１は，引用文献１，Ａ，２ないし５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
２　本願発明２及び３について
　本願発明２及び３は，本願発明１を引用するものであり，本願発明１の発明特定事項をすべて備え，さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから，前記１と同様の理由により，引用文献１，Ａ，２ないし５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　
第７　原査定についての判断
　前記第６のとおり，本願発明１ないし３は，引用文献１ないし５に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものではない。したがって，原査定を維持することはできない。
　
第８　むすび
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。