【手続補正書】
【提出日】平成22年2月5日(2010.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式Ｅ−またはＺ−Ｒ１ＣＨ＝ＣＨＲ２（式中、Ｒ１およびＲ２は独立してＣ１〜Ｃ５パーフルオロアルキル基から選択される）を有するフッ素化オレフィンと、アルコール、ハロカーボン、フルオロアルキルエーテル、ハイドロフルオロカーボンおよびそれらの組み合わせからなる群から選択された少なくとも１つの化合物とを含むことを特徴とする組成物。
【請求項２】
ａ．残渣を含む表面を請求項１に記載の組成物と接触させる工程と、
ｂ．該表面を該組成物から回収する工程と
を含むことを特徴とするクリーニング方法。
【請求項３】
前記残渣がオイルを含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記残渣がロジンフラックスを含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記表面が集積回路デバイスであることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
【表１】
2009528432.tif 000001
本発明は以下の実施の態様を含むものである。
１．式Ｅ−またはＺ−Ｒ１ＣＨ＝ＣＨＲ２（式中、Ｒ１およびＲ２は独立してＣ１〜Ｃ５パーフルオロアルキル基から選択される）を有するフッ素化オレフィンと、アルコール、ハロカーボン、フルオロアルキルエーテル、ハイドロフルオロカーボンおよびそれらの組み合わせからなる群から選択された少なくとも１つの化合物とを含むことを特徴とする組成物。
２．式Ｅ−またはＺ−Ｒ１ＣＨ＝ＣＨＲ２（式中、Ｒ１およびＲ２は独立してＣ１〜Ｃ５パーフルオロアルキル基から選択される）を有するフッ素化オレフィンと、アルコール、ハロカーボン、フルオロアルキルエーテル、およびハイドロフルオロカーボンからなる群から選択された少なくとも１つの化合物とを含む共沸または共沸様組成物であることを特徴とする前記１に記載の組成物。
３．アルコール、ハロカーボン、フルオロアルキルエーテル、およびハイドロフルオロカーボンからなる群から選択された少なくとも１つの化合物が、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、トランス−１，２−ジクロロエチレン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３、Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、ＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、またはそれらの組み合わせであることを特徴とする前記２に記載の共沸または共沸様組成物。
４．約６０〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約１〜約４０重量パーセントのメタノール、
約７０〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約１〜約３０重量パーセントのイソプロパノール、
約７２〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約１〜約２８重量パーセントのエタノール、
約１〜約７５重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約２５〜約９９重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約９１重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約９９〜約９重量パーセントのメタノール、
約５７〜約９１重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約４３〜約９重量パーセントのイソプロパノール、
約５７〜約９２重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約４３〜約８重量パーセントのエタノール、
約１〜約６３重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約９９〜約３７重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約１〜約７０重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約９９〜約３０重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約６１〜約９９重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約３９〜約１重量パーセントのパークロロエチレン、
約４０〜約８４重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約６０〜約１６重量パーセントのトリクロロエチレン、
約１〜約９９重量パーセントのＦ２４Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約８６〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約１４〜約１重量パーセントのメタノール、
約８８〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約１２〜約１重量パーセントのイソプロパノール、
約８８〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約１２〜約１重量パーセントのエタノール、
約４８〜約８７重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約５２〜約１３重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約６４〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約３６〜約１重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約９９重量パーセントのＦ２２Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約８６〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約１４〜約１重量パーセントのメタノール、
約８７〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約１３〜約１重量パーセントのイソプロパノール、
約８８〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約１２〜約１重量パーセントのエタノール、
約４６〜約８６重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約５４〜約１４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約６４〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約３６〜約１重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約５７〜約９９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約４３〜約１重量パーセントのメタノール、
約７３〜約９９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約２７〜約１重量パーセントのイソプロパノール、
約７３〜約９９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約２７〜約１重量パーセントのエタノール、
約１〜約７６重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約９９〜約２４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約１〜約９９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約４３〜約８６重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約５７〜約１４重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約９９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約８４〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約１６〜約１重量パーセントのメタノール、
約８６〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約１４〜約１重量パーセントのイソプロパノール、
約８６〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約１４〜約１重量パーセントのエタノール、
約４２〜約８４重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約５８〜約１６重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約６１〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約３９〜約１重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約１〜約９９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび約９９〜約１重量パーセントのＨＦＣ３６５ｍｆｃ、
約１〜約６９重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび約９９〜約３１重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約１〜約８９重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび約９９〜約１１重量パーセントのメタノール、
約１〜約８８重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび約９９〜約１２重量パーセントのイソプロパノール、
約１〜約８９重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび約９９〜約１１重量パーセントのエタノール、
約１〜約７２重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび約９９〜約２８重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約７０重量パーセントのＦ４４Ｅおよび約９９〜約３０重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約１〜約７０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約２９〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約３０重量パーセントのメタノール、
約１〜約７０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約２９〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約２０重量パーセントのエタノール、
約１〜約７０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約２０〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約７０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約７０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約２９〜約９０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約６０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約１〜約８０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約１５〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約７０重量パーセントのＦ１４Ｅ、約１０〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約５０重量パーセントのＦ２４Ｅ、約４０〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約２５重量パーセントのメタノール、
約１〜約６０重量パーセントのＦ２４Ｅ、約３９〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約２０重量パーセントのエタノール、
約１〜約７０重量パーセントのＦ２４Ｅ、約２０〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約７０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約６０重量パーセントのＦ２４Ｅ、約３０〜約８０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約６０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約４５〜約８５重量パーセントのＦ２２Ｅ、約１４〜約５４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約１０重量パーセントのメタノール、
約１〜約８９重量パーセントのＦ２２Ｅ、約１０〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８５重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約７０重量パーセントのＦ２２Ｅ、約２９〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約７０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約８０重量パーセントのＦ２２Ｅ、約１９〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１重量パーセント〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約４５〜約８５重量パーセントのＦ１３ｉＥ、約１４〜約５４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約１０重量パーセントのメタノール、
約１〜約８９重量パーセントのＦ１３ｉＥ、約１０〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約８９重量パーセントのＦ１３ｉＥ、約１０〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８４重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約７５重量パーセントのＦ１３ｉＥ、約２４〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約７０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約７０重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、約２９〜約９５重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約２５重量パーセントのメタノール、
約１〜約６５重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、約３４〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約１５重量パーセントのエタノール、
約１〜約６９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、約３０〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約６９重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約６９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、約３０〜約８０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約６９重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約４５〜約８０重量パーセントのＦ１３Ｅ、約１９〜約５４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約１０重量パーセントのメタノール、
約１〜約８５重量パーセントのＦ１３Ｅ、約１４〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約１〜約８５重量パーセントのＦ１３Ｅ、約１４〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約８０重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約１〜約８０重量パーセントのＦ１３Ｅ、約１９〜約７０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約７０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約３０重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅ、約２５〜約６９重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約３０〜約６９重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣＨ３、
約１〜約５０重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅ、約３０〜約９８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約１〜約６０重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、ならびに
約１〜約７０重量パーセントのＦ４４Ｅ、約１〜約６０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および約２９〜約９８重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５
からなる群から選択された共沸または共沸様組成物を含むことを特徴とする前記２に記載の共沸または共沸様組成物。
５．約５９．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８５．１重量パーセントのＦ１４Ｅおよび１４．９重量パーセントのメタノール、
約６６．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８７．１重量パーセントのＦ１４Ｅおよび１２．９重量パーセントのイソプロパノール、
約６５．２℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８７．９重量パーセントのＦ１４Ｅおよび１２．１重量パーセントのエタノール、
約４４．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４４．３重量パーセントのＦ１４Ｅおよび５５．７重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約６６．６℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、５４．４重量パーセントのＦ１４Ｅおよび４５．６重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約６３．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７２．１重量パーセントのＦ２４Ｅおよび２７．９重量パーセントのメタノール、
約７４．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７８．１重量パーセントのＦ２４Ｅおよび２１．９重量パーセントのイソプロパノール、
約７１．８℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７９．２重量パーセントのＦ２４Ｅおよび２０．８重量パーセントのエタノール、
約４５℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２４．５重量パーセントのＦ２４Ｅおよび７５．５重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約７０．２℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２５．７重量パーセントのＦ２４Ｅおよび７４．３重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約８９．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８５．２重量パーセントのＦ２４Ｅおよび１４．８重量パーセントのパークロロエチレン、
約７５．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６５．０重量パーセントのＦ２４Ｅおよび３５．０重量パーセントのトリクロロエチレン、
約４３．７℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９５．８重量パーセントのＦ２２Ｅおよび４．２重量パーセントのメタノール、
約４７．２℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９８．０重量パーセントのＦ２２Ｅおよび２．０重量パーセントのイソプロパノール、
約４６．６℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９７．６重量パーセントのＦ２２Ｅおよび２．４重量パーセントのエタノール、
約３３．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７１．０重量パーセントのＦ２２Ｅおよび２９．０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約４３．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８７．０重量パーセントのＦ２２Ｅおよび１３．０重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約４７．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８９．８重量パーセントのＦ２２Ｅおよび１０．２重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約３９．２℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２９．３重量パーセントのＦ２２Ｅおよび７０．７重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約４４．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９５．５重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび４．５重量パーセントのメタノール、
約４８．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９７．８重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび２．２重量パーセントのイソプロパノール、
約４７．５℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９７．４重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび２．６重量パーセントのエタノール、
約３４．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７０．２重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび２９．８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約４４．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８６．４重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび１３．６重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約４８．８℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９５．３重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび４．７重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約３９．５℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２４．６重量パーセントのＦ１３ｉＥおよび７５．４重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約５９．８℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８５．０重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび１５．０重量パーセントのメタノール、
約７０．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８９．２重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび１０．８重量パーセントのイソプロパノール、
約６７．８℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８９．０重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび１１．０重量パーセントのエタノール、
約４４．５℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４４．１重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび５５．９重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約７５．７℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２２．８重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび７７．２重量パーセントのＣ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５、
約６１．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６７．４重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥおよび３２．６重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約４７．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９４．４重量パーセントのＦ１３Ｅおよび５．６重量パーセントのメタノール、
約５１．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９６．９重量パーセントのＦ１３Ｅおよび３．１重量パーセントのイソプロパノール、
約５１．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、９６．５重量パーセントのＦ１３Ｅおよび３．５重量パーセントのエタノール、
約３６．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６６．３重量パーセントのＦ１３Ｅおよび３３．７重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約４７．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８３．７重量パーセントのＦ１３Ｅおよび１６．３重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約５２．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、５９．５重量パーセントのＦ１３Ｅおよび４０．５重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約４７．６℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、７．６重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび９２．４重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、
約６５．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４２．８重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび５７．２重量パーセントのメタノール、
約８１．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、５７．８重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび４２．２重量パーセントのイソプロパノール、
約７７．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、５８．７重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび４１．３重量パーセントのエタノール、
約６９．６℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、３１．９重量パーセントのＦ３ｉ４Ｅおよび６８．１重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約７０．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、８．１重量パーセントのＦ４４Ｅおよび９１．９重量パーセントの臭化ｎ−プロピル、
約３９．９℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、３４．４重量パーセントのＦ１４Ｅ、５９．０重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および６．６重量パーセントのメタノール、
約４３．２℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４１．９重量パーセントのＦ１４Ｅ、５５．１重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および３．０重量パーセントのエタノール、
約４１．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、１０．３重量パーセントのＦ２４Ｅ、８０．３重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および９．４重量パーセントのメタノール、
約４３．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２４．８重量パーセントのＦ２４Ｅ、７０．９重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および４．３重量パーセントのエタノール、
約３２．６℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６７．９重量パーセントのＦ２２Ｅ、２９．７重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および２．４重量パーセントのメタノール、
約３３．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４５．４重量パーセントのＦ２２Ｅ、２７．２重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および２７．４重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約３３．０℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６６．９重量パーセントのＦ１３ｉＥ、３０．６重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および２．５重量パーセントのメタノール、
約３４．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６９．８重量パーセントのＦ１３ｉＥ、２９．８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および０．４重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、
約３３．３℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４１．９重量パーセントのＦ１３ｉＥ、２７．８重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および３０．３重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ、
約４０．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、３２．９重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、６０．２重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および６．９重量パーセントのメタノール、
約４３．８℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４１．１重量パーセントのＦ３ｉ３ｉＥ、５６．３重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および２．６重量パーセントのエタノール、
約３４．５℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、６２．２重量パーセントのＦ１３Ｅ、３４．７重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および３．１重量パーセントのメタノール、
約３６．１℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、４８．０重量パーセントのＦ１３Ｅ、３３．２重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および１８．８重量パーセントのＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ、ならびに
約３４．４℃の温度で約１４．７ｐｓｉａ（１０１ｋＰａ）の蒸気圧を有する、２３．１重量パーセントのＦ１３Ｅ、３０．３重量パーセントのトランス−１，２−ジクロロエチレン、および４６．６重量パーセントのＨＦＣ−３６５ｍｆｃ
からなる群から選択された共沸または共沸様組成物を含むことを特徴とする前記２に記載の共沸または共沸様組成物。
６．ａ．残渣を含む表面を前記１に記載の組成物と接触させる工程と、
ｂ．該表面を該組成物から回収する工程と
を含むことを特徴とするクリーニング方法。
７．エアゾール噴射剤をさらに含むことを特徴とする前記１に記載の組成物。
８．エアゾール噴射剤が空気、窒素、二酸化炭素、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、ジフルオロエタン、トリフルオロエタン、テトラフルオロエタン、ペンタフルオロエタン、ヘプタフルオロプロパン、およびペンタフルオロプロパンからなる群から選択されることを特徴とする前記７に記載の組成物。
９．前記残渣がオイルを含むことを特徴とする前記６に記載の方法。
１０．前記残渣がロジンフラックスを含むことを特徴とする前記６に記載の方法。
１１．前記表面が集積回路デバイスであることを特徴とする前記６に記載の方法。