【事件の表示】
　平成　８年特許願第１３１５４５号「表面処理方法および表面処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１２月　９日出願公開、特開平　９−３１４０１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成８年５月２７日の出願であって、その請求項１〜７に係る発明は、平成１５年６月１６日付け、平成１５年１１月２０日付けの手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項５に記載された発明（以下、「本願発明５」という。）は次のとおりである。
　「被処理材の表面の加工処理あるいは洗浄処理に際して、被処理材の表面に処理液を供給し、被処理面における処理液の作用を乱流領域に遷移させると共に、該処理液による加工処理あるいは洗浄処理に伴って生成された生成物の回収を自動的に行うことを特徴とする表面処理方法。」
　
２．引用例
（１）原査定の拒絶の理由に引用された特開平５−１１４５５５号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　
ア．「本実施例において処理対象となる被処理体としては図４に示すように矩形状、すなわち４角形状に成形されたＬＣＤ基板１０が使用され、この基板１０の表面全体に渡って塗布されたフォトレジスト４のうち基板の周辺部１１に形成された不要なフォトレジスト４ａが本発明の除去装置により除去されることになる。」（第２頁２欄３２〜３８行）
　
イ．「このフォトレジスト除去ユニット８は、被処理体である例えばＬＣＤ基板１０に対して相対移動しつつ基板１０の周辺部に向けてフォトレジスト４に対する溶剤１２を吐出する溶剤吐出手段１４と、フォトレジストが溶解した溶剤を基板１０の表面から吸引して排除する吸引手段１６とにより主に構成されている。・・・。
【００１０】上記吸引手段１６は、円筒体状に成形されて上記基台２０へ固定された吸引管２２を有しており、この端部には可撓性ライン２４を介して吸引装置２６が接続されており、この吸引管２２内の雰囲気を吸引し得るように構成されている。・・・。また、この吸引管２２の先端部は、前記基板１０の周辺部１１を収容すべく断面凹部状に切り欠いた基板収容部２８が形成されている。・・・。このように構成された吸引管２２の先端部の近傍には、前記溶剤吐出手段１４のニードル管３０が、上記吸引管２２を貫通して上記基板収容部２８に臨ませて設けられると共に、このニードル管３０には、例えばアセトンやＥＣＡ（エチルセロソルブアセテート）等のフォトレジストに対する溶剤を供給するための溶剤供給管３２が接続されており、上記基板収容部２８に収容された基板周辺部１１に向けて加圧圧送方式により溶剤を噴射乃至吐出するように構成されている。」（第３頁３欄６〜４５行）
　
ウ．「【００１４】以上のようにして、基板周辺部１１の収容が完了したならば、次に、フォトレジスト除去ユニット８を基板周辺部１１に沿って走査しつつ、各溶剤吐出手段１４のニードル管１２から溶剤を噴射乃至吐出すると共に、吸引装置２６を駆動して吸引手段１６の吸引管２２内の雰囲気を吸引する。これにより、ニードル管３０から噴射された溶剤１２は基板周辺部１１に噴き付けられ、ここに位置するフォトレジスト４ａ及び盛り上がり部６を溶解しつつ吸引管２２内へ吸引され、不必要なフォトレジストが除去されることになる。」（第３頁４欄３６〜４５行）
　
　前記記載事項ア．〜ウ．によると、引用例１には、
「ＬＣＤ基板１０の周辺部１１の不要なフォトレジスト４ａの除去に際して、ＬＣＤ基板１０の周辺部１１に溶剤１２を噴射乃至吐出すると共に、フォトレジスト４ａが溶解した溶剤１２の吸引・排除を行うフォトレジスト除去方法。」
の発明（以下、「引用例１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　
（２）同じく、原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−２３２１２０号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
　
カ．「【実施例】図１は、本発明の一実施例である写真感光材料を帯状に形成した支持体（以下帯状支持体と云う）に塗布する塗布方法及びその装置の全体構成を示したものである。１は液状の感光材料２を塗布するための帯状支持体で、図の様に液状の感光材料２を、前記帯状支持体１を矢印方向に搬送しながら塗布装置３を用いて一定の厚さで所定範囲に塗布を行う。その際、塗布された感光材料２の両端縁に肥厚部分２Ａ、２Ｂが発生するため、該肥厚部分２Ａ、２Ｂを吸引する吸引装置４、５が、前記塗布装置３の下流側に設けられている。・・・。
【０００８】図２は前記吸引装置４の構成を示したもので、吸引装置４の先端部には、内面に傾斜面４１Ａを形成した吸引ノズル４１が設けれ、該吸引ノズル４１より吸引される前記肥厚部分２Ａを外部に排液する排液開口部４２が設けられている。一方、前記吸引ノズル４１内より液体を噴射する液体噴射ノズル４３が設けられており、該液体噴射ノズル４３は、前記吸引ノズル４１に対し上下に調整可能に設けられている。」（第３頁３欄３６行〜同頁４欄６行）
　
キ．「【０００９】以上のように構成された吸引装置４を用いて前記肥厚部分２Ａを吸引する作用について説明する。先ず前記図１に示すように、帯状支持体１を搬送ローラ（図示せず）を用いて矢印方向に移動しながら、液状となった白黒ハロゲン化銀写真の感光材料２を塗布装置３を用いて所定の範囲で２層同時塗布を行う。塗布開始と共に前記肥厚部分２Ａ位置に接近して設けた前記液体噴射ノズル４３より液体を噴射し、同時に前記排液開口部４２より吸引ポンプ（図示せず）により吸引を開始すると、前記吸引ノズル４１より前記噴射された液体と共に前記肥厚部分２Ａを矢印方向に順次吸引する。」（第３頁４欄１３〜２３行）
　
　前記記載事項カ．、キ．によると、引用例２には、
「帯状支持体１の両端縁の肥厚部分２Ａ、２Ｂの吸引に際して、帯状支持体１の両端縁に液体を噴射すると共に、噴射された液体と肥厚部分２Ａ、２Ｂの吸引を行う塗布方法。」
の発明（以下、「引用例２記載の発明」という）が記載されていると認められる。
　
３．対比
　本願発明５と引用例１記載の発明を対比すると、引用例１記載の発明の「ＬＣＤ基板１０」は、その技術的意義からみて、本願発明５の「被処理材」に相当し、以下同様に、「周辺部１１」は「表面」に、「不要なフォトレジスト４ａの除去」は「洗浄処理」に、「溶剤１２」は「処理液」に、「噴射乃至吐出」は「供給」に、「フォトレジスト４ａが溶解した溶剤１２」は「該処理液による洗浄処理に伴って生成された生成物」に、「吸引・排除を行う」は「回収を自動的に行う」に、「フォトレジスト除去方法」は「表面処理方法」に、それぞれ、相当する。
　
　また、本願発明５と引用例２記載の発明を対比すると、引用例２記載の発明の「帯状支持体１」は、その技術的意義からみて、本願発明５の「被処理材」に相当し、以下同様に、「両端縁」は「表面」に、「肥厚部分２Ａ、２Ｂの吸引」は「洗浄処理」に、「液体」は「処理液」に、「噴射」は「供給」に、「噴射された液体と肥厚部分２Ａ、２Ｂ」は「該処理液による洗浄処理に伴って生成された生成物」に、「吸引を行う」は「回収を自動的に行う」に、「塗布方法」は「表面処理方法」に、それぞれ、相当する。
　
　してみると、本願発明５と引用例１記載の発明、又は本願発明５と引用例２記載の発明は、
「被処理材の表面の洗浄処理に際して、被処理材の表面に処理液を供給すると共に、該処理液による洗浄処理に伴って生成された生成物の回収を自動的に行う表面処理方法。」
の点で一致し、次の点で相違する。
　
［相違点］
　本願発明５においては、被処理面における処理液の作用を乱流領域に遷移させるのに対し、引用例１記載の発明、又は引用例２記載の発明においては、被処理面における処理液の作用を乱流領域に遷移させるのか否か明らかでない点。
　
４．当審の判断
　前記［相違点］について検討する。
　被処理材の表面に処理液を供給し、被処理材の表面の洗浄処理を行う表面処理方法において、「被処理面における処理液の作用を乱流領域にし、効率的な洗浄を行う」ことは、周知技術［特開平１−２９９６８０号公報の第２頁左上欄１９行〜同頁右上欄３行の「機器に小孔を形成し、そこから洗浄液を微細な間隙に圧送し、乱流を生じせしめることによって、・・・、容易に短時間かつ少量の洗浄液で微細な間隙に存在する液状物を除去でき、」なる記載、第２頁右下欄３〜５行の「洗浄液を圧送し間隙に乱流を生じさせるには、間隙内がレイノルズ数Ｒｅが３０００以上となる条件で洗浄液を圧送すればよく、」なる記載等。特開平３−１９２２５６号公報の第２頁左上欄１４〜１６行の「洗浄性を低下させることなく短時間で良好な水洗処理を行え・・・る感光材料水洗装置を提供する」なる記載、第２頁左下欄４〜８行の「水洗槽内の感光材料に向けて水洗水を供給するノズルは、供給した水洗水が感光材料表面で比較的強力な乱流を生じるように感光材料幅方向にわたるスリット状が好ましく、併せて供給水圧も調整される。」なる記載等。特開平３−２５７４５０号公報の第２頁右下欄１〜１０行の「前記室内の洗浄水を感光材料搬送方向上流に位置するスリット部に供給することにより、感光材料表面に乱流が生じ・・・、スリット内を搬送される感光材料の洗浄が良好に行われる。したがって、少量の洗浄液でも短時間で良好な洗浄を行うことができ、」なる記載等。］である。
　そうすると、引用例１記載の発明、又は引用例２記載の発明において、効率的な洗浄を行うために、前記周知技術を勘案して、「被処理面における処理液の作用を乱流領域に遷移させる」ように構成することは、当業者が格別困難なく想到し得るものと認められる。
　
　また、本願発明５の効果についてみても、引用例１記載の発明、又は引用例２記載の発明、及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものである。
　
５．むすび
　したがって、本願発明５は、引用例１記載の発明、又は引用例２記載の発明、及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。