【手続補正書】
【提出日】平成22年3月8日(2010.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する表面を有し、その間に延びて周縁表面となる側面を備えたテンプレートの寸法を変更するためのシステムにおいて、
互いに向き合って、ある距離だけ間隔を置いて配置されてペアとなっている接触部材をそれぞれが有する第１及び第２の本体と、
チャンバ内に位置付けられ、可変の容積を有し、前記容積の変化に応答して前記アクチュエータアームが移動し、前記距離を変化させるよう前記第１の本体に結合されているブラダーと、
を備え、
前記第１の本体はアクチュエータアームとそのアクチュエータアームに隣接して配置されたチャンバとを具備し、前記接触部材のペアの１つは前記アクチュエータアームの移動に応答して移動するように前記アクチュエータアームに結合されていることを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記接触部材のペアの１つが柔軟な材料で形成されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記第１の本体は、前記接触部材のペアの１つから追加距離だけ離間して配置された追加の接触部材と追加のアクチュエータアームとをさらに具備し、前記追加の接触部材は前記追加のアクチュエータアームに結合され、前記ブラダーが前記チャンバ内に配置されて、前記アクチュエータアームと前記追加のアクチュエータアームの両方が前記容積の変化に応答して移動し、前記距離と前記追加距離の両方を変化させるようにすることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
関連する追加の容積を有する追加のブラダーをさらに具備し、前記本体は、前記接触部材のペアの１つのから追加距離だけ離間して配置された追加の接触部材と追加のアクチュエータアームとを備え、前記追加の接触部材は前記追加のアクチュエータアームに結合され、前記追加のブラダーは前記チャンバ内に配置されて、前記追加のアクチュエータアームは前記容積の変化に応答して移動し、前記距離の変化とは無関係に前記追加距離を変化させるようにすることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記アクチュエータアームは、前記ブラダーが接触するアクチュエータ表面を含み、前記接触部材は前記周縁表面と接触するように適合された接触面を含み、前記接触面に関連する範囲は前記アクチュエータ表面に関連する範囲よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記アクチュエータアームは、前記テンプレートから離間して配置された平面内に位置する軸の周りで往復動をするよう前記第１の本体に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
ある範囲を取り囲み、該範囲に面した円周表面を有する圧縮リングを更に有し、前記第１及び第２の本体は互いに向き合って前記円周表面に結合されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記ブラダーは、前記チャンバ内に配置されて前記容積の増大に応答して前記距離を増大させることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記ブラダーは、前記チャンバ内に配置されて前記容積の増大に応答して前記距離を減少させることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
関連する追加の容積を有する追加のブラダーをさらに有し、前記ブラダー及び前記追加のブラダーはブラダーシステムとなり、前記ブラダーは、前記チャンバ内に配置されて前記容積の増大に応答して前記距離を増大させ、前記追加のブラダーは、前記チャンバ内に配置されて前記追加の容積の増大に応答して前記距離を減少させることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
対向する表面を有し、その間に延びて周縁表面となる側面を備えたテンプレートの寸法を変更するためのシステムにおいて、
各々が接触部材を含む本体の第１及び第２のペアを備え、前記接触部材は前記第１のペアの本体と関連付けられた第１のペアの接触部材と前記第２のペアの本体と関連付けられた第２のペアの接触部材とを有し、前記第１のペアの接触部材は互いに向き合って配置され、前記第２のペアの接触部材は互いに向き合って配置され、前記第１及び第２のペアの本体の各々の１つの本体はアクチュエータアームと該アクチュエータアームに隣接して配置されたチャンバとを含み、前記ペアの接触部材の１つが前記アクチュエータアームの移動に応答して移動するよう前記アクチュエータアームに結合され、
前記システムは、前記チャンバ内に位置付けられて可変の容積を有し、前記アクチュエータアームが前記容積の変化に応答して移動し、前記距離を変化させるよう前記第１の本体に結合されているブラダーを備えることを特徴とするシステム。
【請求項１２】
前記１つの本体は、前記接触部材のペアの１つから追加距離だけ離間して配置された追加の接触部材と追加のアクチュエータアームとを含み、前記追加の接触部材は前記追加のアクチュエータアームに結合され、前記ブラダーは前記チャンバ内に配置され、前記アクチュエータアーム及び前記追加のアクチュエータアームの両方が前記容積の変化に応答して移動し、前記距離及び前記追加距離の両方を変化させるようにすることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記追加のアクチュエータアームと接触するための、関連する追加の容積を有する追加のブラダーをさらに有し、前記追加のブラダーは前記チャンバ内に配置され、前記追加のアクチュエータアームは前記追加の容積の変化に応答して移動し、前記距離の変化とは無関係に前記追加距離を変化させるようにすることを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第１及び第２のペアの各々の前記接触部材の１つは、柔軟な材料で形成されることを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記アクチュエータアームは、前記ブラダーが接触するアクチュエータ表面を含み、前記接触部材は前記周縁表面と接触するように適合された接触面を含み、前記接触面に関連する範囲は前記アクチュエータ表面に関連する範囲よりも小さいことを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記アクチュエータアームは、前記テンプレートから離間して配置された平面内に位置する軸の周りで往復動をするよう前記第１の本体に取り付けられていることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】
ある範囲を取り囲み、該範囲に面した円周表面を有する圧縮リングをさらに有し、前記第１及び第２のペアの本体は前記円周表面に結合され、前記第１のペアに関連付けられた前記本体は互いに向き合って配置され、前記第２のペアに関連付けられた前記本体は互いに向き合って配置されることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１８】
対向する表面を有し、その間に延びて周縁表面となる側面を備えたテンプレートの寸法を変更するためのシステムにおいて、
前記システムは、
離間して配置された接触部材のペアを含み、該離間して配置された接触部材のペアの間で前記周縁表面を圧縮する圧縮装置を備え、
前記離間して配置された接触部材のペアの１つは前記周縁表面の形状と適合する材料で形成されており
前記圧縮装置は、互いに向き合ってある距離だけ間隔を置いて配置されてペアとされた接触部材をそれぞれが有する第１及び第２の本体と、前記チャンバ内に位置付けられて可変の容積を有し、前記容積の変化に応答して前記アクチュエータアームが移動し、前記距離を変化させるよう前記第１の本体に結合されているブラダーと、を更に備え、
前記第１の本体はアクチュエータアームと該アクチュエータアームに隣接して配置されたチャンバとを有し、前記接触部材のペアの１つが前記アクチュエータアームの移動に応答して移動するよう前記アクチュエータアームに結合されていることを特徴とするシステム。
【請求項１９】
前記圧縮装置は、前記周縁表面を前記接触部材間で圧縮させる力を生成する発生器と、前記接触部材のペアの１つに対する単位面積当たりの力の量を増大させる力増幅器とをさらに有することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記アクチュエータアームは、前記ブラダーが接触するアクチュエータ表面を有し、前記接触部材は前記周縁表面と接触するように適合された接触面を含み、前記接触面に関連する範囲は前記アクチュエータ表面に関連する範囲よりも小さいことを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２１】
前記アクチュエータアームは、前記テンプレートから離間して配置された平面内に位置する軸の周りで往復動をするよう前記第１の本体に取り付けられていることを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２２】
ある範囲を取り囲み、該範囲に面した円周表面を有する圧縮リングを更に含み、前記第１及び第２の本体が互いに向き合って前記円周表面に結合されることを特徴とする請求項１８に記載のシステム。