【事件の表示】
　平成　８年特許願第　５４０５６号「ビーム源及び微細加工方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　８月２６日出願公開、特開平　９−２２３５９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年２月１６日の出願であって、平成１６年２月１０日付けで拒絶査定がなされ、平成１６年３月１７日付けで審判請求がなされるとともに、平成１６年４月１６日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年４月１６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１６年４月１６日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　平成１６年４月１６日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲は、
（補正事項ａ）請求項１において、「放電容器」が「円筒状の放電容器」と限定され、
（補正事項ｂ）請求項１において、「他端に配置した」が「他端に該容器の軸線に沿って配置した」と限定され、
（補正事項ｃ）請求項１において、「超音波ノズル又は極超音波ノズル」を「１つの超音波ノズル又は極超音波ノズル」と限定、
すると共に、
（補正事項ｄ）「高速原子線源」に関する新たな内容の請求項を請求項５として追加し、
（補正事項ｅ）補正前の請求項５における「請求項１乃至４のいずれかに記載のビーム源」を「請求項１乃至４のいずれかに記載のビーム源または請求項５に記載の高速原子線源」
と補正された。
　
（２）補正の目的違反について
　本件補正における補正事項ｄおよび補正事項ｅにより、形式的にも実質的にも請求項数は増加するものであり、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とした補正に該当しないし、同項の他の各号に規定する補正の目的にも該当しない。
　
　したがって、本件補正は、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
（３）独立特許要件違反について
　もし、仮に、本件補正が特許法第１７条の２第４項に規定する目的に該当するものであるとした場合に、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。
（３．１）本願補正発明
　「絶縁性材料からなる円筒状の放電容器と、該容器の一端に配置したガス導入パイプと、前記容器内に導入されたガスをプラズマにするプラズマ発生機構と、前記容器の他端に該容器の軸線に沿って配置した１つの超音速ノズル又は極超音速ノズルとを備えたことを特徴とするビーム源。」
（３．２）刊行物
　本件出願日前に公開された特開平８−９９０号公報（以下、「刊行物１」という。）には、以下の記載がある。
［記載事項１］
「【請求項３】被処理対象の表面にガスを噴射することにより前記被処理対象の表面処理を行うガス噴射による表面処理装置において、ノズル内を通過するガスが断熱膨張されてノズル出口から音速よりも大きい流速で噴射されるように超音速ノズルを構成するとともに、前記超音速ノズルの管路途中にノズル内を通過するガスを加熱、プラズマ化する加熱手段を配設し、前記被処理対象の表面に噴射すべきガスを、前記超音速ノズルの入口または前記加熱手段の配設位置よりもガス流路の上流側のガス供給位置からノズル内に供給し、該供給されたガスを前記加熱手段によって加熱、プラズマ化し、該加熱、プラズマ化されたガスを前記ノズル出口から前記被処理対象の表面に向けて噴射させるようにしたガス噴射による表面処理装置。」
［記載事項２]
「【００２１】・第１の実施例
図１は、実施例装置の構成を示す図であり、同図に示すようにノズル内を通過するガスが断熱膨張されてノズル出口４ａから音速ａよりも大きい流速ｕで噴射されるよう後述する条件の下で、超音速ノズルであるラバールノズル（末広ノズルともいう）１が構成されている。
【００２２】ラバールノズル１は、中細のノズルであり、被処理対象（例えば切削工具チップ）１５の表面に噴射すべきガス６（例えばＣＨ4とＨ2の混合ガス）がガス導入口２ａから導入され、ガス進行に伴い断面積が徐々に小さくなるよう構成されているガス導入管２と、ノズル全体で最小の断面積Ａ1（直径ｄ1）を有しているスロート部（喉部）３と、所定の広がり角θをもって断面積が徐々に拡大し、最大断面積Ａ2（直径ｄ2）のガス噴射口４ａからガス７が噴射されるガス噴射管４とから構成されている。そして、ラバールノズル１は、噴射口４ａから噴射されるガス７が被処理対象１５の表面に向けて噴射されるように配置されている。
【００２３】スロート部３には、インダクションプラズマ装置が配設されている。すなわち、スロート部３の外周には、誘導コイル５が巻き付けられており、該誘導コイル５に高周波電流が通電され得るようになっている。このため、コイル５に通電がなされるとスロート部３内に誘導電磁場が形成され、スロート部３を通過するガスが加熱され、プラズマ化される。このように、インダクションプラズマ装置は、誘導電磁場を利用した無電極のプラズマ装置であり、ＤＣプラズマ装置のように、プラズマガスと電極が直接接触してしまい、この結果、電極の消耗に伴って電極材料（タングステン等）がプラズマガス中に混入してしまうようなことがなく、不純物の混入を防止することができる。」
　そして、上記記載および【図１】を参照すると、刊行物１には、
　「スロート部３と、該スロート部３の一端に配置したガス導入管２と、前記スロート部３内に導入されたガスをプラズマ化するインダクションプラズマ装置と、前記スロート部３の他端に該スロート部３の軸線に沿って配置した１つの超音波ノズルであるラバールノズル１とを備えたことを特徴とするガス噴射装置。」
の発明が記載されている。
　
（３．３）対比
　本願補正発明と刊行物１記載の発明（以後、「刊行物１記載発明」という。）とを比較するに、刊行物１記載発明における「スロート部３」内でも、本願補正発明における「放電容器」内でも、プラズマが発生するものであるので、「スロート部３」は「放電容器」に相当する。
　また、刊行物１記載発明における「ガス導入管２」、「プラズマ化する」、「インダクションプラズマ装置」、「超音波ノズルであるラバールノズル１」および「ガス噴射装置」は本願補正発明における「ガス導入パイプ」、「プラズマにする」、「プラズマ発生機構」、「超音速ノズル又は極超音速ノズル」および「ビーム源」にそれぞれ相当するので、両者は、
　「放電容器と、該放電容器の一端に配置したガス導入パイプと、前記放電容器内に導入されたガスをプラズマにするプラズマ発生機構と、前記放電容器の他端に該放電容器の軸線に沿って配置した１つの超音速ノズル又は極超音速ノズルとを備えたことを特徴とするビーム源。」
で一致し、本願補正発明が放電容器が「絶縁性材料からなる円筒状」であるとしているのに対し、刊行物１記載発明では規定されていない点でのみ相違する。
　
（３．４）当審の判断
　刊行物記載発明は、スロート管３の外周に誘導コイル５を巻き付け、誘導コイル５に高周波電流を通電し、誘導電磁場によりスロート管３内部のガスを加熱し、プラズマ化するものであり、本願明細書に記載された本願補正発明のプラズマ発生方法と同じである。
　そして、スロート管３が絶縁性材料でない場合、例えば金属管である場合には、スロート管３の外周の誘導コイル５によりスロート管３の内部のガスをプラズマ化することは出来ないか或いは極めて能率の悪いことは当業者にとっては技術常識であるし、原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−１９６２９８号公報（以下、「刊行物２」という。）の高周波誘導プラズマジェット発生方式の原理を示す図として示された【図２】には、高周波コイル１０を絶縁壁プラズマガイド１２に巻き回して高周波誘導プラズマを生成する構成が示されている。
　とするならば、刊行物１に明示的な記載がないとしても、刊行物１記載発明を実施するにあたり、スロート管３を絶縁材料により構成することは当業者には当然の構成である。
　また、スロート管３の形状として円筒状であるとの記載も刊行物１には記載されていないが、円筒状とすることに何ら困難性はなく、格別の構成ではない。
　このように、本願補正発明と刊行物１記載発明との相違点は何ら格別のものではないし、それによる作用効果も格別のものとは認められない。
　したがって、本願補正発明は、刊行物１に記載された発明に基づき当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができるものとは認められない。
　
（４）むすび
　以上のとおりであるので、本件補正は、特許法第１７条の２第４項各号に規定する補正の目的に該当しないので、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　そして、仮に、本件補正が特許法第１７条の２第４項に規定する補正の目的に該当するとしても、本件補正後の請求項１に記載された発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１６年４月１６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１５年４月２５日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
「絶縁性材料からなる放電容器と、該容器の一端に配置したガス導入パイプと、前記容器内に導入されたガスをプラズマにするプラズマ発生機構と、前記容器の他端に配置した超音速ノズル又は極超音速ノズルとを備えたことを特徴とするビーム源。」
　
４．引用刊行物の発明
　上記「２．（３．４）当審の判断」において言及した刊行物１には以下の記載がある。
　「【００２５】図４は無電極放電による誘導放電型プラズマジェットを単一の同軸構造の電磁加速器として超音速プラズマ流９を得る構成を示すものである。図４において、４はガス導入弁、５はアーク絶縁壁、１０は高周波コイル、１１は高周波発信器、１２は絶縁壁プラズマガイドであって、高周波コイル１０により電磁加速するよう構成し、発生した超音速プラズマ流９を絶縁壁５と絶縁壁ガイド１２とにより超音速プラズマ流９を同軸通路の出口端まで絶縁して誘導するようにしたものである。」
　上記記載および記載中で参照されている図４を参照すれば、刊行物１には、
　「コイル１０が巻かれたコイル部分と、コイル部分の一端に配置したガス導入弁４と、コイル部分に導入されたガス流８をプラズマにする高周波コイル１０と発信器１１と、コイル部分の他端にプラズマ流を加速して超音波プラズマ流９を生成する拡大ノズルを備えたことを特徴とする超音波イオン源。」
の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
５．対比・判断
　引用発明における「コイル部分」はその部分によりプラズマを生成することから、本願発明における「放電容器」に相当する。
　そして、引用発明における「ガス導入弁４」、「ガス流８」、「高周波コイル１０と発信器１１」、「プラズマ流を加速して超音波プラズマ流９を生成する拡大ノズル」、「超音波イオン源」は本願発明における「ガス導入パイプ」、「ガス」、「プラズマ発生機構」、「超音速ノズル又は極超音速ノズル」、「ビーム源」にそれぞれ相当するので、両者は、
　「放電容器と、放電容器の一端に配置したガス導入パイプと、放電容器に導入されたガスをプラズマにするプラズマ発生機構と、放電容器の他端に超音速ノズル又は極超音速ノズルを備えたことを特徴とするビーム源。」
で一致し、本願発明が放電容器が「絶縁性材料からなる」と限定されているのに対し、引用発明では「コイルが巻かれた」部分であり、その部分が絶縁性材料からなるとの明示的記載がない点でのみ相違する。
　しかしながら、【図４】におけるコイル部分の材料については特に記載がないとしても、先に「２．（３．４）当審の判断」で示したように技術常識としてコイル部分は絶縁性材料で構成することは当業者には明らかであり、当業者が引用発明を実施にあたり極めて自然に採用するものであり、相違点による作用効果も格別のものではない。
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明に基づき当業者が容易に想到し得たものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。