【事件の表示】
　平成　９年特許願第２５７２３３号「基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　４月　９日出願公開、特開平１１−　９７５０６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本件出願は、平成９年９月２２日の特許出願であって、同１５年１０月１日付で拒絶の理由が通知され、同１５年１２月１日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１６年７月５日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同１６年８月１０日に本件審判の請求がされ、同１６年９月１日に明細書を補正対象とする手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。 
　 
第２　本件補正についての補正却下の決定 
　 
［補正却下の決定の結論］ 
　本件補正を却下する。 
　 
［理由］ 
１．補正の内容の概要 
　本件補正は、特許請求の範囲について補正をすると共にそれに関連して発明の詳細な説明の一部について補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。 
　 
（１）補正前の請求項１ 
「基板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、
　前記複数の処理ユニットの各々に基板を搬送する搬送ユニットと、
　同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの動作をそれぞれ制御する複数のユニット用制御部と、
　前記複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットを協調動作させるために前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数のユニット用制御部を統括制御する主制御部とを備え、
　前記主制御部および前記複数のユニット用制御部は、ローカルエリアネットワークにより相互に接続されたことを特徴とする基板処理装置。」
　 
（２）補正後の請求項１ 
「基板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、
　
基板を搬入および搬出する基板搬入搬出装置と、
　
前記基板搬入搬出装置と
との間で
　同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニット
および前記基板搬入搬出装置
　前記複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニット
および前記基板搬入搬出装置
　前記主制御部および前記複数のユニット用制御部は、ローカルエリアネットワークにより相互に接続されたことを特徴とする基板処理装置。」
　
２．補正の適否　　　 
　上記請求項１についての補正は、基板処理装置が、「基板を搬入および搬出する基板搬入搬出装置」を備えるとの限定事項を付加するとともに、これに関連して、搬送ユニットが「前記基板搬入搬出装置と前記複数の処理ユニットの各々との間で基板を搬送する」こと、ユニット用制御部が「基板搬入搬出装置」の動作を制御すること、主制御部の統括制御により処理ユニット、搬送ユニットに加えて「基板搬入搬出装置」を協調動作させること、を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。　
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
　
（１）本件補正発明 
　本件補正発明は、本件補正により補正がされた明細書（以下、「本件補正明細書」という。）及び図面の記載からみて、上記１．の（２）に示す補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板処理装置」であると認められる。 
　
（２）刊行物に記載の発明 
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平９−１５３４４１号公報（以下、「刊行物１」という。）には以下の事項が記載されている。　 
　
ア．段落【００１６】〜【００２１】
「図３は、処理ステーションの一例を示す斜視図である。この処理ステーションは、半導体ウェハＷに一連の処理（この実施例では塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理）を行うための複数の処理ユニットを備えている。前面に配列された第１の処理ユニット群Ａは、塗布処理を行うスピンコータＳＣと、現像処理を行うスピンデベロッパＳＤとで構成されている。
　また、第１の処理ユニット群Ａに対向する後方側の位置には、第２の処理ユニット群Ｂが設けられている。第２の処理ユニット群Ｂは、各種熱処理を行うホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３及びクールプレートＣＰ１〜ＣＰ３を備えている。
　さらに、この装置には、第１の処理ユニット群Ａと第２の処理ユニット群Ｂに挟まれた位置に、第１の処理ユニット群Ａに沿って延びる搬送領域Ｃが設けられている。この搬送領域Ｃには搬送ロボット１０が移動自在に配置されている。‥‥‥
　処理ステーションの端部には、カセット２０からの半導体ウェハＷの搬出とカセット２０への半導体ウェハＷの搬入とを行うインデクサＩＮＤが設けられている。このインデクサＩＮＤに設けられた移載ロボット４０は、カセット２０から半導体ウェハＷを取り出し、搬送ロボット１０に送り出したり、逆に一連の処理が施された半導体ウェハＷを搬送ロボット１０から受け取り、カセット２０に戻す作業を行なう。‥‥‥
　図４は、図３に示す処理ステーションのブロック図である。図４において、コントローラ５０は、演算部（ＣＰＵ）やメインメモリ（ＲＡＭおよびＲＯＭ）を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ５１およびキーボード５２が接続されている。コントローラ５０は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および、各処理ユニットＳＣ，ＳＤ，ＨＰ１〜ＨＰ３，ＣＰ１〜ＣＰ３の動作を制御する。‥‥‥
　なお、コントローラ５０による各種の機能を実現するソフトウェアプログラム（アプリケーションプログラム）‥‥‥」
　
イ．第４図から、コントローラ５０と搬送ロボット１０、移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および各処理ユニットＳＣ，ＳＤ，ＨＰ１〜ＨＰ３，ＣＰ１〜ＣＰ３とが接続されていることが看取できる。
　
　上記摘記事項ア．〜イ．及び第３〜４図の記載からみて、刊行物１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。  
「半導体ウェハＷに所定の処理を行う複数の処理ユニットと、
　半導体ウェハＷを搬入および搬出するインデクサＩＮＤと、
　前記インデクサＩＮＤと前記複数の処理ユニットの各々との間で基板を搬送する搬送ロボット１０と、
　メインメモリを有し、前記複数の処理ユニット、前記搬送ロボット１０および前記インデクサＩＮＤの動作を制御するコントローラ５０とを備え、
　コントローラ５０による各種の機能はソフトウェアプログラムにより実現され、
　コントローラ５０と前記複数の処理ユニット、前記搬送ロボット１０および前記インデクサＩＮＤとが接続された処理ステーション。」
　
（３）対比・判断 
　本件補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明における「半導体ウェハＷ」は、本件補正発明における「基板」に相当しており、以下同様に、「処理ユニット」は「処理ユニット」に、「インデクサＩＮＤ」は「基板搬入搬出装置」に、「搬送ロボット１０」は「搬送ユニット」に、「メインメモリ」は「記憶部」に、「コントローラ５０」は「主制御部」に、「ソフトウェアプログラム」は「プログラム」に、「処理ステーション」は「基板処理装置」に、それぞれ相当している。 
　また、本件補正発明の「主制御部」は、「前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を協調動作させるために前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数のユニット用制御部を統括制御する」ものであるから、プログラムに従って前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を統括制御している、ということができる。
　一方、引用発明においては、上記摘記事項ア．を参酌すると、コントローラ５０は、処理レシピに従って搬送ロボット１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および、各処理ユニットの動作を制御しているところ（段落【００２０】参照）、処理レシピはプログラムにより実行されていることは明らかである。
　そして、処理レシピに従って搬送ロボット１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および、各処理ユニットの動作を制御していることは、搬送ロボット１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および、各処理ユニットを協調動作させ、統括制御しているということができる。
　そうすると、引用発明の「前記複数の処理ユニット、前記搬送ロボット１０および前記インデクサＩＮＤの動作を制御するコントローラ５０とを備え、コントローラ５０による各種の機能はソフトウェアプログラムにより実現され、」は、「複数の処理ユニット、搬送ユニットおよび基板搬入搬出装置を協調動作させるためにプログラムに従って前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を統括制御する主制御部」である限りにおいて、本件補正発明の「前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を協調動作させるために前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数のユニット用制御部を統括制御する主制御部」と共通する。
　さらに、本件補正発明の「前記主制御部および前記複数のユニット用制御部は、ローカルエリアネットワークにより相互に接続された」ことは、主制御部と複数の処理ユニット、搬送ユニットおよび基板搬入搬出装置とが接続されている、ということができる。
　そうすると、引用発明の「コントローラ５０と前記複数の処理ユニット、前記搬送ロボット１０および前記インデクサＩＮＤとが接続された」ことは、「主制御部と複数の処理ユニット、搬送ユニットおよび基板搬入搬出装置とが接続された」ことである限りにおいて、本件補正発明の「前記主制御部および前記複数のユニット用制御部は、ローカルエリアネットワークにより相互に接続された」ことと共通する。
　
　してみれば、本件補正発明と引用発明とは、
　
「基板に所定の処理を行う複数の処理ユニットと、
　基板を搬入および搬出する基板搬入搬出装置と、
　前記基板搬入搬出装置と前記複数の処理ユニットの各々との間で基板を搬送する搬送ユニットと、
　記憶部を有し、前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を協調動作させるためにプログラムに従って前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置を統括制御する主制御部とを備え、
　前記主制御部と前記複数の処理ユニット、前記搬送ユニットおよび前記基板搬入搬出装置とが接続された基板処理装置。」
　の点で一致し、以下の点で相違する。 
　
[相違点１]本件補正発明は、同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って複数の処理ユニット、搬送ユニットおよび基板搬入搬出装置の動作をそれぞれ制御する複数のユニット用制御部を具備するとともに、主制御部の記憶部に前記複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶しており、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数のユニット用制御部を統括制御するのに対して、引用発明は、そのように特定されていない点。
［相違点２] 本件補正発明は、主制御部と複数のユニット用制御部の接続が、ローカルエリアネットワークにより相互に接続されているのに対して、引用発明は、そのように特定されていない点。 
　
　上記各相違点について検討する。 
［相違点１について］
　複数の処理ユニット、搬送ユニット等を備える基板処理装置において、主制御部のみならず各ユニットを制御する複数のユニット用制御部を備えることは、従来周知の事項（例えば、原査定の拒絶の理由に引用された、特開平９−１８１１４３号公報の段落【００１６】、【００２８】参照）である。そして、ユニット用制御部を備えているのであれば、主制御部による複数の処理ユニット、搬送ユニット等の制御は、ユニット用制御部を制御することにより実行されていることが明らかである。
　また、刊行物１の段落【００１４】には、「２つの管理ステーション１１０，２１０は、同じネットワーク・サーバ用オペレーションシステム（例えばWindows NT Server （マイクロソフト社の商標））で動作するコンピュータシステムである。また、各処理ステーションと各露光ステーションは、ネットワーク・ステーション用オペレーションシステム（例えばWindows NT Station（マイクロソフト社の商標））で動作するコンピュータシステムを備えている。」と記載されていることから、管理を行う上位の制御部としての管理ステーションと管理される下位の複数の制御部としての処理ステーションのコンピュータシステムとを同じ種類のオペレーティングシステムで動作させているものと認められる。そして、同じ種類のオペレーティングシステムとして、同一のオペレーティングシステムを用いることも当業者が必要に応じて適宜変更し得る事項にすぎない。
　そうすると、基板処理装置において、複数の処理ユニット、搬送ユニット等のユニット用制御部を備えた場合、これら複数のユニット用制御部と、該複数のユニット用制御部を統括的に制御する主制御部とは、管理される下位の複数の制御部と管理を行う上位の制御部の関係であるから、上述のように上位の制御部と管理される下位の複数の制御部とを同じ種類のオペレーティングシステムで動作させることを、管理ステーションと処理ステーションのコンピュータシステムとの間のみならず、主制御部と複数の処理ユニット、搬送ユニット等のユニット用制御部との間に適用することは、当業者が容易に想到し得るものである。
　また、制御部がオペレーティングシステムで動作するのであれば、オペレーティングシステムを記憶しておく記憶部を備えること、制御がオペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従ってなされることは明らかである。　
　
［相違点２について］ 
　刊行物１の段落【００１３】には、「‥‥‥各ステーションは互いに通信経路１４０を介して接続されてローカルエリアネットワークを構成している。‥‥‥」と記載されていることから、複数の基板処理装置をローカルエリアネットワークで接続しているものと認められる。
　上述のとおり、複数のユニット用制御部を具備し、主制御部と複数のユニット用制御部との間で制御を行うのであれば、これはネットワークを構成していると表現できるものであり、該ネットワークとして上記のローカルエリアネットワークを適用することは、当業者が適宜採用し得る技術的事項である。
　
　そして、本件補正発明の作用効果は、引用発明、及び周知の事項から予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。 
　 
　したがって、本件補正発明は、引用発明、及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 
　 
３．むすび 
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、その余の補正の要件について検討するまでもなく、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について 
　 
１．本件発明 
　平成１６年９月１日付の手続補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１〜５に係る発明は、平成１５年１２月１日付手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記第２の１．の（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「基板処理装置」であると認められる。 
　
２．刊行物に記載の発明  
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、上記第２の２．の（２）に示したとおりである。 
　
３．対比・判断
　本件発明は、上記第２の２．で検討した本件補正発明の基板処理装置について「基板を搬入および搬出する基板搬入搬出装置」を備えるという事項、搬送ユニットが「前記基板搬入搬出装置と前記複数の処理ユニットの各々との間で基板を搬送する」という事項、ユニット用制御部が「基板搬入搬出装置」の動作を制御するという事項、主制御部の統括制御により処理ユニット、搬送ユニットに加えて「基板搬入搬出装置」を協調動作させるという事項を省いたものである。 
　
　そうすると、本件発明を構成する事項の全てを含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が上記第２の２．の（３）で示したとおり、引用発明、及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も、同様の理由により、引用発明、及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　
４．むすび 
　以上のとおり、本件発明は、引用発明、及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本件出願は拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。