【事件の表示】
　特許第３４６０４０１号「電解メッキ装置および方法」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４６０４０１号の請求項１ないし８に係る特許を取り消す。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３４６０４０１号（以下「本件特許」という。）は、平成７年８月１４日に特許出願されたものであって、平成１５年８月１５日に請求項１〜８に係る発明について特許権の設定登録がなされた後、平成１５年１２月２５日に特許異議申立人：中田美代子より、その請求項１〜８に係る特許について特許異議の申立がなされ、平成１７年４月１３日付けで特許取消理由の通知がなされ、これに対して平成１７年６月１３日付けで特許権者より特許異議意見書及び訂正請求書の提出がなされ、平成１７年７月２２日付けで訂正拒絶理由の通知がなされたところ、これに対して所要の応答がなされなかったものである。
　
II．本件発明
　上記平成１７年７月２２日付け訂正拒絶理由通知書で通知した理由により、平成１７年６月１３日付け訂正請求書による訂正は認められず、したがって、本件特許の発明は、特許権設定登録時の願書に添付した明細書及び図面（以下「特許明細書」という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定される以下のものと認める。（以下「本件発明１」〜「本件発明８」という。）
「【請求項１】給電電極を接続した被メッキ面を陽極に対向させて電解メッキを行う装置において、
一つの接続位置が被メッキ面の周縁部にあり、被メッキ面の中心を挟んで反対側の周縁部に該一つの接続位置と対を成す他の接続位置があるように給電電極を配置し、前記一対の接続位置のそれぞれに接続された給電配線を備えることを特徴とする電解メッキ装置。
【請求項２】被メッキ面の中心を挟んで互いに反対側にある給電電極の対を１対または複数対配置したことを特徴とする請求項１記載の電解メッキ装置。
【請求項３】上記被メッキ面の周縁部上で隣接する接続位置の間隔が全て等しくなるように給電電極を配置したことを特徴とする請求項２記載の電解メッキ装置。
【請求項４】給電電極を被メッキ面の周縁部全体に環状に連続配置したことを特徴とする請求項１記載の電解メッキ装置。
【請求項５】筒状メッキセルの上端を閉塞する基板保持具の下面に、上記基板を上記被メッキ面を下向きにして取り付け、該セル内の該基板下方に配した上記陽極の貫通孔から上記被メッキ面にメッキ液を噴流させてメッキを行うことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の電解メッキ装置。
【請求項６】メッキ浴内に被メッキ面と陽極とを平行に直立させて設けたことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の電解メッキ装置。
【請求項７】請求項１から６までのいずれか１項に記載の電解メッキ装置を用いることを特徴とする電解メッキ方法。
【請求項８】前記給電電極はどの接続位置についても被メッキ面の中心を挟んで反対側に他の接続位置があるように配置されていることを特徴とする請求項１から７までのいずれか1項記載の電気メッキ装置。」
　　
III．取消理由
　一方、上記通知した取消理由の概要は、以下のとおりである。
「本件特許の請求項１〜８に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物である下記引用例 １〜４ に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　　　　　　　　　　　　記
引用例１：特開平７−１８４９９号公報（異議申立の甲第１号証） 
引用例２：米国特許第５２２７０４１号明細書（同上、甲第２号証） 
引用例３：特開平２−６１０８９号公報（同上、甲第３号証） 
引用例４：特開平６−４９６９３号公報（同上、甲第４号証）」 
　　
IV．引用例の記載事項
　引用例１〜４には、以下の事項の記載がある。
（１）引用例１（特開平７−１８４９９号公報：甲第１号証） 
(1-1)「図１は、この発明の一実施例による電解メッキ装置の電極構造を示す図であり、図１(a) はその斜視図、図１(b) は、その電極構造を被メッキ物側からみた図、図１(c) は図１(b) のＩｃ−Ｉｃ断面における断面図である。図において、１は直径３インチの円形の被メッキ物（ここではウエハを示す）であり・・。２ａは・・環状電極部、１２は・・電極の先端部、２ｂは・・環状電極部２ａの引き出し部、３は・・レジスト非被覆部、４は・・電源である。 
　本実施例１の電解メッキ装置は、その電極構造、即ち電極２の構成を、円形のウエハ１の外縁部より内側の環状の位置に対応するよう、環状に形成された環状電極部２ａと、該環状電極部２ａの上端位置の４箇所にて、これに固定接続された４本の棒状電極引き出し部２ｂとを有する構成としたものであり」（段落【0018】〜【0019】） 
(1-2)「実施例２．図２は、この発明の第２の実施例によるメッキ装置の電極構造を示す斜視図である。・・・
図２において、図１と同一符号は同一または相当部分を示し、１４はＰｔ等からなり、その表面をテフロンでコーティングした、直径１mmの棒状の電極である。本実施例２では、レジスト非被覆部３を、ウエハ１上の外周の８箇所の位置の、棒状の電極１４を当接させようとする箇所に、各々９mm2以下の面積にて形成している。本実施例２では、レジスト非被覆部３を、ウエハ１上の外周の８箇所の位置の、棒状の電極１４を当接させようとする箇所に・・形成している。」（段落【0023】） 
(1-3)「図１１の従来例と同様に、棒状の電極１４を載置したウエハ１を硫酸銅等のメッキ液１７に浸し、電源４から棒状の電極１４およびレジスト非被覆部３を介してウエハ１に電流を供給してウエハ１上にメッキを成長させる。」（段落【0025】） 
(1-4)「本実施例２による電解メッキ装置では、電極としてウエハ１の外周に沿って８本の棒状の電極１４を設けて、電極とウエハとの接触面積を大きくしたので、上記実施例１と同様に、ウエハ１上に均一性の高い厚さのメッキを成長させることができる効果が得られる。」（段落【0026】） 
　　
 （２）引用例２（米国特許第５２２７０４１号明細書：甲第２号証（訳））
(2-1)「電気メッキ工程は次のステップを含む。電気メッキされるべき対象物はカソード電極として作用するメッキ装置に取り付けられる。メッキ装置はその後電解液に浸漬される。それから電解液に直流が供給されて、アノードで正電荷メタルイオンが溶解される。それからイオンはカソードに移動し、カソードに取り付けられた対象物をメッキする。」（第１欄第２０〜２９行）
(2-2)「図４はセントラルアパーチュア周辺部34と電気接点36を示す平面図である。また、外周で電気接点36と物理的に接触するウエハ24が描かれている。」（第３欄第２５〜２８行）
(2-3)「コンダクタ84はポスト86を通ってハンドル33中に配置される。・・当該コンダクタは、電気接点群36に連結されている。」（第４欄第８〜１１行） 
(2-4)「本発明のドライコンタクト電気メッキ装置は、また、電気接点が対象物の両サイドで対象になるように対象物の面に結合されるので、先行技術より改良されている。この改良は電気メッキされる対象物にかかる電界の均一性と品質を向上させる。」（第４欄第２９〜３５行）
　　
（３）引用例３（特開平２−６１０８９号公報：甲第３号証）
(3-1)「電気めっきの方式としては、浸漬方式が最も一般的に用いられてきた。たとえば、第７図に示すように、めっき液5を容れためっき槽5a内に、第６図（Ａ）の状態のウエハ1をカソードとして浸漬し、これと対向するアノード4との間で電析反応させる。」（第１頁右下欄第１８行〜第２頁左上欄第４行）
(3-2)「第１図に、本発明にしたがっためっき装置の一例を示す。
　ウエハ1は図示していないローダによりめっきセル10に液めっき面を多孔ノズル11に対向するようにローディングされる。ウエハ1はローディング後、キャップ12により裏面をバックアップされ、シャワー圧に対して保護される。セルは気密チャンバ13上に配置され、キャップでウエハ1をクランプすることにより、シャワーブース14内が密閉される。」（第３頁左上欄第２〜１１行）
　　
（４）引用例４（特開平６−４９６９３号公報：甲第４号証）
(4-1)「図９は従来例１の断面図、図１０は従来例２の断面図である。図９において、被めっき板としての半導体ウェハ1の表面は、噴流カップ90の３個のピン91に支持され、裏面の導電膜がばね作用のある陰極電極92に押し付けられて接触する。めっき液2は、ポンプ3から噴流カップ90に導かれて多数の小穴93aを持つ陽極電極93を通過し、半導体ウェハ1がめっきされる。」（段落【0002】）
(4-2)「図１０に示す従来例２において、めっき室100内の陽極板101に対向する座板102に押し当てられる半導体ウェハ1は、先端が針状にとがった陰極電極103で固定と電気的接触が行われる。」
(4-3)「前記従来例１によれば、半導体ウェハ1と陰極電極92との電気的接触は良好である。しかし、めっき液2は半導体ウェハ1に垂直に接近するため、半導体ウェハ1の表面の中央部のめっき液流速は大きくなく、めっき液中の泡や、電流密度が高いときによくおきる電気分解による水素泡が滞留し、付着する。」（段落【0004】）
　　
Ｖ．対比・判断
　本件発明１〜８と、引用例１〜４に記載されたものとを対比すると、上記平成１７年４月１３日付け取消理由通知書の「III.対比・判断」の欄に記載したとおり、本件発明１〜８は、引用例１〜４に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができた発明である。
　　
VI．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜８は引用例１〜４に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができた発明であって、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許を受けたものである。
　したがって、本件発明１〜８に係る特許は、特許法第１１３条第１項第２号に該当し、取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１１月１６日（２００５．１１．１６）