(57)【要約】本発明に係るコントロールバルブ装置は、駆動軸と、第１流体が充填される第１バルブチャンバー、及び第２流体が充填される第２バルブチャンバーを内部に備えるバルブハウジングと、バルブハウジングの第１側に備えられ、第１流体が流入する第１ポート部と、バルブハウジングの第２側面に備えられ、第２流体が流入する第２ポート部と、バルブハウジングの第３側に備えられ、第１流体、第２流体、または第１流体と第２流体との混合流体が流出する第３ポート部と、駆動軸の一方向の移動に応じて第１流体が第１バルブチャンバーから第３ポート部へ流れるようにし、駆動軸の他方向の移動に応じて第２流体が第２バルブチャンバーから第３ポート部へ流れるようにするバルブと、駆動軸に連結され、第１バルブチャンバーの第１流体の圧力と第２バルブチャンバーの第２流体の圧力との差の少なくとも一部を相殺させるダンピング部とを含む。【選択図】図３
2022501558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸と、
第１流体が充填される第１バルブチャンバー、及び第２流体が充填される第２バルブチャンバーを内部に備えるバルブハウジングと、
前記第１バルブチャンバーに連通するように前記バルブハウジングの第１側に備えられ、前記第１流体が流入する第１ポート部と、
前記第２バルブチャンバーと連通するように前記バルブハウジングの第２側に備えられ、前記第２流体が流入する第２ポート部と、
前記バルブハウジングの第３側に備えられ、前記第１流体、前記第２流体、または前記第１流体と前記第２流体との混合流体が流出する第３ポート部と、
前記駆動軸の一方向の移動に応じて前記第１流体が前記第１バルブチャンバーから前記第３ポート部へ流れるようにし、前記駆動軸の他方向の移動に応じて前記第２流体が第２バルブチャンバーから前記第３ポート部へ流れるようにするバルブと、
前記駆動軸に連結され、前記第１バルブチャンバーの前記第１流体の圧力と前記第２バルブチャンバーの前記第２流体の圧力との差の少なくとも一部を相殺させるダンピング部と、を含むコントロールバルブ装置。
【請求項２】
前記ダンピング部は、
前記駆動軸が貫通する一側を有するダンピングハウジングと、前記ダンピングハウジングの内部に備えられ、前記駆動軸と連結され、前記ダンピングハウジングの内部空間を第１ダンピング空間及び第２ダンピング空間に分ける分離隔壁とを含むことを特徴とする、請求項１に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項３】
前記分離隔壁が前記駆動軸の端に連結されることを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項４】
前記駆動軸が前記ダンピングハウジングの前記一側及び他側を貫通し、
前記ダンピングハウジングは、前記バルブハウジングの外部に位置することを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項５】
前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とを連通させる孔が前記分離隔壁に形成されることを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項６】
前記分離隔壁の幅が前記ダンピングハウジングの内側幅よりも小さいため、前記分離隔壁と前記ダンピングハウジングの内側面との間に、前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とを連通させる孔が形成されることを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項７】
前記ダンピングハウジングの内部と前記ダンピングハウジングの外部とが連通するように、前記ダンピングハウジングに連通孔が形成されたことを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項８】
前記ダンピングハウジングの内部に非圧縮流体が充填されることを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか一項に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項９】
前記分離隔壁によって前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とが互いに隔離される場合、前記ダンピングハウジングの内部に圧縮流体が充填されることを特徴とする、請求項２に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項１０】
前記第１バルブチャンバー及び前記第２バルブチャンバーのうちのいずれかと前記ダンピング部の内部とを連結するバランシングラインをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項１１】
前記バランシング流体が前記バランシングラインを介して前記ダンピング部へ流れることにより、前記第１バルブチャンバーの第１圧力と前記第２バルブチャンバーの第２圧力との差を下げることを特徴とする、請求項１０に記載のコントロールバルブ装置。
【請求項１２】
前記バルブは、前記駆動軸に結合された開閉部材を含み、
前記駆動軸の移動に応じて、前記開閉部材が前記第１バルブチャンバーの第１開口部を開閉するか或いは前記第２バルブチャンバーの第２開口部を開閉することを特徴とする、請求項１に記載のコントロールバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コントロールバルブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コントロールバルブ装置は、流体の流れを制御するためのものであって、流体が複数のポート部を介して流出入することができる。
【０００３】
この種の一般的なコントロールバルブ装置は、複数のポート部を介して流体が流入するので、ポート部それぞれに流入する流体の圧力が互いに異なることがある。
【０００４】
このようにポート部に流入する圧力が互いに異なる場合には、圧力差によってディスクチャタリング現象が発生する可能性があり、ディスクチャタリング現象は、コントロールバルブ装置の動作に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００５】
このため、ディスクチャタリング現象を低減することができるコントロールバルブ装置に関する研究が行われている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置は、ディスクチャタリング現象を防止するためのものである。
【０００７】
本出願の課題は、上述した課題に限定されず、上述していない別の課題は、以降の記載から通常の技術者に明確に理解できるものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、駆動軸と、第１流体が充填される第１バルブチャンバー、及び第２流体が充填される第２バルブチャンバーを内部に備えるバルブハウジングと、前記第１バルブチャンバーに連通するように前記バルブハウジングの第１側に備えられ、前記第１流体が流入する第１ポート部と、前記第２バルブチャンバーと連通するように前記バルブハウジングの第２側に備えられ、前記第２流体が流入する第２ポート部と、前記バルブハウジングの第３側に備えられ、前記第１流体、前記第２流体、または前記第１流体と前記第２流体との混合流体が流出する第３ポート部と、前記駆動軸の一方向の移動に応じて前記第１流体が前記第１バルブチャンバーから前記第３ポート部へ流れるようにし、前記駆動軸の他方向の移動に応じて前記第２流体が第２バルブチャンバーから前記第３ポート部へ流れるようにするバルブと、前記駆動軸に連結され、前記第１バルブチャンバーの前記第１流体の圧力と前記第２バルブチャンバーの前記第２流体の圧力との差の少なくとも一部を相殺させるダンピング部とを含むコントロールバルブ装置が提供される。
【０００９】
前記ダンピング部は、前記駆動軸が貫通する一側を有するダンピングハウジングと、前記ダンピングハウジングの内部に備えられ、前記駆動軸と連結され、前記ダンピングハウジングの内部空間を第１ダンピング空間及び第２ダンピング空間に分ける分離隔壁とを含むことができる。
【００１０】
前記分離隔壁が前記駆動軸の端に連結できる。
【００１１】
前記駆動軸が前記ダンピングハウジングの前記一側及び他側を貫通し、前記ダンピングハウジングは前記バルブハウジングの外側に位置することができる。
【００１２】
前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とを連通させる連通孔が前記分離隔壁に形成できる。
【００１３】
前記分離隔壁の幅が前記ダンピングハウジングの内側幅よりも小さいため、前記分離隔壁と前記ダンピングハウジングの内側面との間に、前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とを連通させる前記連通孔が形成できる。
【００１４】
前記ダンピングハウジングの内部と前記ダンピングハウジングの外部とが連通するように、前記ダンピングハウジングに連通孔が形成できる。
【００１５】
前記ダンピングハウジングの内部に非圧縮流体が充填できる。
【００１６】
前記分離隔壁によって前記第１ダンピング空間と前記第２ダンピング空間とが互いに隔離される場合、前記ダンピングハウジングの内部に圧縮流体が充填できる。
【００１７】
本発明の一態様によるコントロールバルブ装置は、前記第１バルブチャンバー及び前記第２バルブチャンバーのうちのいずれかと前記ダンピング部の内部とを連結するバランシングラインをさらに含むことができる。
【００１８】
前記バランシング流体が前記バランシングラインを介して前記ダンピング部へ流れることにより、前記第１バルブチャンバーの第１圧力と前記第２バルブチャンバーの第２圧力との差を下げることができる。
【００１９】
前記バルブは、前記駆動軸に結合された開閉部材を含み、前記駆動軸の移動に応じて、前記開閉部材が前記第１バルブチャンバーの第１開口部を開閉するか或いは前記第２バルブチャンバーの第２開口部を開閉することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置は、バランシングラインを含むことにより、ディスクチャタリング現象を防止するためのものである。
【００２１】
本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置は、ダンピング部を含むことにより、ディスクチャタリング現象を防止するためのものである。
【００２２】
本出願の効果は、上述した効果に限定されず、上述していない別の効果は、以降の記載から通常の技術者に明確に理解できるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す平面図である。
【図２ａ】本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す断面図である。
【図２ｂ】本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す断面図である。
【図２ｃ】本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す断面図である。
【図２ｄ】本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す断面図である。
【図３】図１のＣ１−Ｃ２に沿った断面図である。
【図４】一般的なコントロールバルブ装置を示す図である。
【図５】図３のダンピング部を示す拡大図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す図である。
【図７】ダンピング部の他の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。但し、添付図面は、本発明の内容をより容易に開示するために説明されるものに過ぎず、本発明の範囲が添付図面の範囲に限定されないのは、当該技術分野における通常の知識を有するものであれば容易に分かるだろう。
【００２５】
また、本出願で使用した用語は、特定の実施形態を説明するために使用されたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文脈上、明白に異なる意味を有しない限り、複数の表現を含む。
【００２６】
本出願において、「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品またはこれらの組み合わせが存在することを指定するものであり、一つまたはそれ以上の他の特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品またはこれらの組み合わせの存在または付加可能性を予め排除しないものと理解されるべきである。
【００２７】
図１乃至図３は本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す。図１は本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置を示す平面図であり、図２ａ乃至図３は図１のＣ１−Ｃ２に沿った断面図である。
【００２８】
図２ａ乃至図２ｄに示されたコントロールバルブ装置は、ダンピング部１７０とバランシングライン１８０を含む。
【００２９】
すなわち、図２ａに示すように、第１バルブチャンバー１２１及び第２バルブチャンバー１２３のうちのいずれかとダンピング部１７０の内部とを連結するバランシングライン１８０を含むことができる。これにより、バランシング流体がバランシングライン１８０を介してダンピング部１７０へ流れることにより、第１バルブチャンバー１２１の第１圧力と第２バルブチャンバー１２３の第２圧力との差を下げることができる。
【００３０】
例えば、第１バルブチャンバー１２１とダンピング部１７０の第２ダンピング空間ＤＳ２とがバランシングライン１８０によって連通することができる。第１バルブチャンバー１２１の圧力Ｐ１が第２バルブチャンバー１２３の圧力Ｐ２よりも大きいことにより、第１流体がバランシングライン１８０を介して後述の第２ダンピング空間ＤＳ２へ流れることができる。
【００３１】
つまり、第１バルブチャンバー１２１の圧力Ｐ１と第２バルブチャンバー１２３の圧力Ｐ２との差が発生する場合、バランシングライン１８０を介して第１流体が第２ダンピング空間ＤＳ２へ流れることができる。これにより、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差が減少することができる。
【００３２】
また、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差に応じて分離隔壁１７３が下方に力を受ける場合、バランシングライン１８０を介して流入した第１流体によって第２ダンピング空間ＤＳ２の圧力も高くなることにより、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差に応じて分離隔壁１７３が下方に受ける力を相殺させることができる。
【００３３】
これと逆に、図示されてはいないが、バランシングライン１８０は、第２バルブチャンバー１２３と第１ダンピング空間ＤＳ１とを連通させることもできる。これにより、圧力Ｐ２が圧力Ｐ１に比べて高い場合、第２流体がバランシングライン１８０を介して第１ダンピング空間ＤＳ１へ流れることにより、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差を相殺させることができる。
【００３４】
このとき、図２ａに示すように、ダンピングハウジング１７１の内部とダンピングハウジング１７１の外部とが連通するように、ダンピングハウジング１７１に連通孔１７５が形成できる。このような連通孔１７５を介して第１ダンピング空間ＤＳ１の気体或いは液体が移動することができるので、第１圧力と第２圧力との差が徐々に減ってコントロールバルブ装置の動作がスムーズに行われ得る。
【００３５】
一方、図２ｂに示すように、ダンピングハウジング１７１は、バルブ１６０に向かってオープンされた開口部を有することができる。開口部を介して第１ダンピング空間ＤＳ１の流体が移動することができるので、開口部は、図２ａの連通孔１７５と同様の機能を行うことができる。
【００３６】
また、図２ｃに示すように、ダンピングハウジング１７１に連通孔１７５が備えられていないため、ダンピングハウジング１７１は、第２バルブチャンバー１２３と隔離することができる。この場合、図２ａ及び図２ｂの実施形態に比べてダンピングがスムーズに行われるのではないが、バランシングライン１８０を介して流入した第１流体によって、第２ダンピング空間ＤＳ２の圧力も高くなることにより、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差に応じて分離隔壁１７３が下方に受ける力を相殺させることができる。
【００３７】
また、図２ｄに示すように、バルブ１６０の一側の開閉部材１６１は、第１バルブチャンバー１２１に向かって凸状に形成された曲面を持つことができる。これと同様に、バルブ１６０の他側の開閉部材１６３も、第２バルブチャンバー１２３に向かって凸状に形成された曲面を持つことができる。
【００３８】
第１バルブチャンバー１２１及び第２バルブチャンバー１２３に第１流体及び第２流体が流入すると、第１流体と第２流体が前記曲面に沿って流れることにより、第１流体及び第２流体の流れがより自然に行われるようにすることができる。
【００３９】
一方、図１及び図３に示すように、本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置は、駆動軸１１０、バルブハウジング１２０、第１ポート部１３０、第２ポート部１４０、第３ポート部１５０、バルブ１６０及びダンピング部１７０を含む。
【００４０】
バルブハウジング１２０は、第１流体が充填される第１バルブチャンバー１２１、及び第２流体が充填される第２バルブチャンバー１２３を内部に備える。このとき、第１流体の圧力はＰ１であり、第２流体の圧力はＰ２であることができる。第１流体と第２流体は、液体または気体であって、互いに異なる物質であってもよく、互いに同一の物質であってもよい。第１流体と第２流体は、温度が互いに異なってもよい。
【００４１】
第１ポート部１３０は、第１バルブチャンバー１２１と連通するようにバルブハウジング１２０の第１側に備えられ、第１流体が流入する。
【００４２】
第２ポート部１４０は、第２バルブチャンバー１２３と連通するようにバルブハウジング１２０の第２側に備えられ、第２流体が流入する。
【００４３】
第３ポート部１５０は、バルブハウジング１２０の第３側に備えられ、第１流体、第２流体、または第１流体と第２流体との混合流体が流出する。
【００４４】
バルブ１６０は、駆動軸１１０の一方向の移動Ｍ１に応じて第１流体が第１バルブチャンバー１２１から第３ポート部１５０へ流れるようにし、駆動軸１１０の他方向の移動Ｍ２に応じて第２流体が第２バルブチャンバー１２３から第３ポート部１５０へ流れるようにする。
【００４５】
図３は駆動軸１１０の他方向の移動Ｍ２によりバルブ１６０が第２バルブチャンバー１２３と第３ポート部１５０とを連通させた状態を示す。これにより、第２流体が第２ポート部１４０に流入して第３ポート部１５０から流出することができる。
【００４６】
図３の状態で駆動軸１１０が一方向に移動すると、第１バルブチャンバー１２１と第３ポート部１５０とが連通しながら、第１流体が第３ポート部１５０を介して流出することができる。この過程で第１バルブチャンバー１２１と第２バルブチャンバー１２３が同時に第３ポート部１５０と連通することができ、これにより、第１流体と第２流体との混合流体が第３ポート部１５０を介して流出することができる。
【００４７】
ダンピング部１７０は、駆動軸１１０に連結され、第１バルブチャンバー１２１の第１流体の圧力Ｐ１と第２バルブチャンバー１２３の第２流体の圧力Ｐ２との差の少なくとも一部を相殺させる。
【００４８】
図４は一般的なコントロールバルブ装置を示す。図４に示すように、一般的なコントロールバルブ装置は、ダンピング部１７０を含んでいない。第１流体による第１バルブチャンバー１０の圧力Ｐ１と第２流体による第２バルブチャンバー２０の圧力Ｐ２とが同一でなければ、圧力差によりバルブ３０にディスクチャタリング（ｄｉｓｃ  ｃｈａｔｔｅｒｉｎｇ）現象が発生することができる。
【００４９】
この種の一般的なコントロールバルブ装置に比べて、本発明の実施形態に係るコントロールバルブ装置は、ダンピング部１７０を含むので、前記圧力差を相殺させることができる。
【００５０】
図５に示すように、ダンピング部１７０は、ダンピングハウジング１７１及び分離隔壁１７３を含むことができる。ダンピングハウジング１７１は、駆動軸１１０が貫通する一側を有することができる。分離隔壁１７３は、ダンピングハウジング１７１の内部に備えられて駆動軸１１０に連結され、ダンピングハウジング１７１の内部空間を第１ダンピング空間ＤＳ１及び第２ダンピング空間ＤＳ２に分けることができる。
【００５１】
分離隔壁１７３の断面形状は、四角形、三角形、台形または楕円形のように多様であることができる。第１ダンピング空間ＤＳ１は、分離隔壁１７３の一側面とダンピングハウジング１７１との間の空間であり、第２ダンピング空間ＤＳ２は、分離隔壁１７３の他側面とダンピングハウジング１７１との間の空間であることができる。
【００５２】
例えば、第１流体の圧力Ｐ１が第２流体の圧力Ｐ２よりも大きい場合には、図３に示されたバルブ１６０の一側の開閉部材１６１に加わる力が、バルブ１６０の他側の開閉部材１６３に加わる力に比べて大きくなることがある。
【００５３】
これにより、図５の分離隔壁１７３を下方に移動させる力を受けることができるが、第２ダンピング空間ＤＳ２に充填された液体または気体が分離隔壁１７３の移動を妨害することにより、ディスクチャタリング現象を減らすことができる。
【００５４】
逆に、第１流体の圧力Ｐ１が第２流体の圧力Ｐ２よりも小さい場合には、図３に示されたバルブ１６０の一側の開閉部材１６１に加わる力が、バルブ１６０の他側の開閉部材１６３に加わる力に比べて小さいことができる。
【００５５】
これにより、図５の分離隔壁１７３を上方に移動させる力を受けることができるが、第１ダンピング空間ＤＳ１に充填された液体または気体が分離隔壁１７３の移動を妨害することにより、ディスクチャタリング現象を減らすことができる。このような開閉部材１６１、１６３は駆動軸１１０に結合することができる。
【００５６】
一方、図３に示すように、分離隔壁１７３が駆動軸１１０の端に連結されることもできる。これにより、ダンピング部１７０はバルブ１６０の下側に配置できる。これとは異なり、図６に示すように、駆動軸１１０がダンピングハウジング１７１の一側及び他側を貫通し、ダンピングハウジング１７１はバルブハウジング１２０の外部に位置することもできる。
【００５７】
一方、図７に示すように、ダンピングハウジング１７１の内部とダンピングハウジング１７１の外部とが連通するようにダンピングハウジング１７１に連通孔１７５が形成できる。
【００５８】
図７に示すように、ダンピングハウジング１７１が第２バルブチャンバー１２３の内部に位置する場合には、ダンピングハウジング１７１の内部と第２バルブチャンバー１２３とが連通するので、ダンピングハウジング１７１の内部物質と第２バルブチャンバー１２３の内部物質とは互いに同一であることができる。
【００５９】
一方、連通孔１７５が形成される場合、ダンピングハウジング１７１の内部に非圧縮流体が充填できる。連通孔１７５がある場合、非圧縮流体であっても連通孔１７５によってダンピングをスムーズにするので、ダンピングがスムーズに行われ得る。非圧縮性流体は、密度が一定に維持される物質であり得る。
【００６０】
これとは異なり、分離隔壁１７３によって第１ダンピング空間ＤＳ１と第２ダンピング空間ＤＳ２とが互いに隔離される場合、すなわち、第１ダンピング空間ＤＳ１と第２ダンピング空間ＤＳ２とが連通しない場合、ダンピングハウジング１７１の内部に圧縮流体が充填でき、圧縮流体はダンピングをスムーズにすることができる。
【００６１】
これとは異なり、第１ダンピング空間ＤＳ１と第２ダンピング空間ＤＳ２とを連通させる孔が分離隔壁１７３に形成できる。このような孔がある場合には、前記孔を介して第１ダンピング空間ＤＳ１と第２ダンピング空間ＤＳ２の気体或いは液体が移動することができるので、第１圧力と第２圧力との差による分離隔壁１７３の急激な移動を防止して、ダンピングがスムーズに行われ得る。
【００６２】
また、分離隔壁１７３の幅がダンピングハウジング１７１の内側幅よりも小さいため、分離隔壁１７３とダンピングハウジング１７１の内側面との間に、第１ダンピング空間ＤＳ１と第２ダンピング空間ＤＳ２とを連通させる孔が形成されることも可能である。一方、上述したバルブ１６０は、駆動軸１１０の移動に応じて、開閉部材１６１、１６３が第１バルブチャンバー１２１の第１開口部１２１ａを開閉するか或いは第２バルブチャンバー１２３の第２開口部１２３ａを開閉することができる。つまり、駆動軸１１０が下降すると、一側の開閉部材１６１が第１開口部１２１ａを塞ぎ、第２開口部１２３ａが開放され得る。これにより、第２流体が第２バルブチャンバー１２３を介して第３ポート部１５０から流出することができる。
【００６３】
逆に、駆動軸１１０が上昇すると、他側の開閉部材１６３が第１開口部１２１ａを開き、第２開口部１２３ａが閉じることができ、これにより、第１流体が第１バルブチャンバー１２１を介して第３ポート部１５０から流出することができる。
【００６４】
上述した駆動軸１１０を移動させるアクチュエータ（図示せず）は、気体の圧力や電磁力などを介して駆動軸１１０を移動させることができるが、これに限定されない。
【００６５】
上述したように本発明に係る実施形態を説明したが、上述した実施形態以外にも、本発明は、その趣旨または範疇から逸脱することなく、他の特定の形態で具体化できるという事実は、当該技術における通常の知識を有する者には自明である。よって、上述した実施形態は、限定的なものではなく、例示的なものであると考慮されるべきであり、これにより、本発明は、上述した説明に限定されず、添付された請求項の範疇及びその同等範囲内で変更されることもできる。
【図１】
2022501558.tif 000003
【図２ａ】
2022501558.tif 000004
【図２ｂ】
2022501558.tif 000005
【図２ｃ】
2022501558.tif 000006
【図２ｄ】
2022501558.tif 000007
【図３】
2022501558.tif 000008
【図４】
2022501558.tif 000009
【図５】
2022501558.tif 000010
【図６】
2022501558.tif 000011
【図７】
2022501558.tif 000012
【国際調査報告】
2022501558.tif 000013
2022501558.tif 000014
2022501558.tif 000015
2022501558.tif 000016