【事件の表示】
　特許第３２３３２４３号「ウェットプロセス装置」の請求項１、３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２３３２４３号の請求項１、３に係る特許を取り消す。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許３２３３２４３号の請求項１及び３に係る発明は、平成５年６月１８日に特許出願され、平成１３年９月２１日に特許権の設定登録（平成１３年１１月２６日特許公報発行）がなされ、その後、その特許について、異議申立人高橋友之輔により、平成１４年５月２２日付けで特許異議の申立がなされ、取消理由の通知がなされ、その指定期間内である平成１４年１２月２７日に意見書の提出とともに訂正請求がなされ、これに対して訂正拒絶理由の通知がなされ、平成１５年５月１９日に意見書が提出されたものである。
　
II．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
　本件訂正中、特許請求の範囲に係る訂正事項は次のとおりである。
訂正事項（イ）
特許請求の範囲の請求項１について、
「ウェット雰囲気に隣接してウェット雰囲気外に外部室を設け、ウェット雰囲気内に回転軸を配設し、回転機構をウェット雰囲気外に設けられた外部室に配設し、該外部室を排気する手段を設けたことを特徴とするウェットプロセス装置。」を、
　
「ウェット雰囲気室に隣接して設けられた外部室と、前記ウェット雰囲気室に配設され回転洗浄部材が装着された回転軸と、前記外部室に設けられ前記回転軸を回転する回転機構と、前記外部室を排気する排気手段と、前記回転軸が貫通する貫通部を有し、前記ウェット雰囲気室から前記外部室に侵入するウェット媒体を封じるように、前記外部室と前記ウェット雰囲気室との間で相互に所定の間隔を隔てて配設された２つのシールド手段とを有することを特徴とするウェットプロセス装置。」と訂正する。
　
訂正事項（ロ）
特許請求の範囲の請求項２について、
「前記外部室の一部を構成する第１のシールド部材と、前記外部室内の前記回転軸の一部に取り付けられた液体落下部材と、該液体落下部材と前記回転機構との間に配設された第２のシールド部材とで構成される前記回転軸が貫通する孔が形成されているシールド手段をさらに設けたことを特徴とする請求項１記載のウェットプロセス装置。」を、
　
「ウェット雰囲気室に隣接してウェット雰囲気室外に外部室を設け、ウェット雰囲気室内に回転軸を配設し、回転機構をウェット雰囲気室外に設けられた外部室に配設し、該外部室を排気する排気手段と、前記回転軸が貫通する孔が形成されているシールド手段とを有し、前記シールド手段は、前記外部室の一部を構成する第１のシールド部材と、前記外部室内の前記回転軸の一部に取り付けられた液体落下部材と、該液体落下部材と前記回転機構との間に配設された第２のシールド部材とで構成されることを特徴とするウェットプロセス装置。」と訂正する。
　
訂正事項（ハ）
特許請求の範囲の請求項３，４，５について、
「排気する手段」を、「排気手段」に、「ウェット雰囲気」を「ウェット雰囲気室」に訂正する。
　
２．新規事項の追加の有無
訂正事項（イ）について
　訂正後の請求項１に加入された「ウエット雰囲気室から前記外部室に侵入するウェット媒体を封じるように、前記外部室と前記ウェット雰囲気室との間で相互に所定の間隔を隔てて配設された２つのシールド手段」という構成について検討する。
　願書に添付された明細書には、「シールド手段」について、「前記外部室の一部を構成する第１のシールド部材と、前記外部室内の前記回転軸の一部に取り付けられた液体落下部材と、該液体落下部材と前記回転機構との間に配設された第２のシールド部材とで構成される前記回転軸が貫通する孔が形成されているシールド手段」（【請求書２】）との記載があるので、「シールド手段」は、第１のシールド部材と、液体落下部材と、第２のシールド部材との３つの部材で構成された手段であると解することができる。なお、明細書の記載を参酌すると、「カバー７、８」が「第１のシールド部材」に対応し、「水切り板１４a、１４b」が「液体落下部材」に対応し、「シールド板１１」が「第２のシールド部材」に対応するものと解される。
　そこで、上記のように「シールド手段」を解すると、願書に添付された明細書の【００１２】〜【００１３】段落に、外部室とウェット雰囲気室との間に、カバー７、８と、水切り板１４a、１４bとシールド板１１を設けることが記載されていることから、明細書には、外部室とウェット雰囲気室との間に、第１のシールド部材と、液体落下部材と、第２のシールド部材とで構成された１つのシールド手段を配設することが記載されていることは認められるが、外部室とウェット雰囲気室との間に、２つのシールド手段を、相互に所定の間隔を隔てて配設することに関する記載は見いだせず、また、明細書又は図面の記載より自明な事項であるとも認められないので、訂正事項（イ）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものとは言えない。
　また、「シールド手段」という用語を、上記３つの部材から構成されるものを指すのではなく、「第１のシールド部材」、「液体落下部材」又は「第２のシールド部材」の、いずれか一つの部材を指すものであると解しても、願書に添付された明細書の【００２１】段落には、「第１のシールド部材」であるカバーに関してのみ、「カバー７aとカバー７bとを図６（Ｂ）に示すように所定の間隔を隔てて配置すれば」と、２つのカバーを所定の間隔を隔てて配置する旨記載されているが、「シールド手段」の他の選択肢である、「液体落下部材」に対応する「水切り板」、又は「第２のシールド部材」に対応する「シールド板」に関しては、これを、外部室とウェット雰囲気室との間に、２つ所定の間隔を隔てて配設することに関する記載はなく、また、このことは、明細書又は図面の記載より自明な事項であるとも認められない。
　そこで、このように解しても、訂正事項（イ）は、「シールド手段」に包含される「液体落下部材」及び「第２のシールド部材」に関して、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものとは言えない。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから、「シールド手段」について、上記いずれと解しても、訂正事項（イ）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものとは言えないので、全体として、本件訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法１２０の４第３項において準用する平成６年改正前の特許法第１２６条第１項但書の規定に適合しないものである
　
III．特許異議の申立について
１．本件特許発明
　本件特許の請求項１及び３に係る発明（以下それぞれ「本件特許発明１」、「本件特許発明３」という。）は、特許の設定登録時の明細書（以下「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１及び３に記載されたとおりの次のものである。
　
【請求項１】
　「ウェット雰囲気に隣接してウェット雰囲気外に外部室を設け、ウェット雰囲気内に回転軸を配設し、回転機構をウェット雰囲気外に設けられた外部室に配設し、該外部室を排気する手段を設けたことを特徴とするウェットプロセス装置。」
【請求項３】
　「前記排気する手段は、排気量調整部を有することを特徴とする請求項１または請求項２記載のウェットプロセス装置。」
　
２．取消理由及び引用刊行物
　当審は、本件特許の請求項１に係る発明は、その出願前頒布された次の刊行物に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。若しくは、その出願前頒布された次の刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、また、本件特許の請求項３に係る発明は、その出願前頒布された次の刊行物に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない旨の取消理由を通知した。
［刊行物］
　１．特開昭６２−７１３３号公報（特許異議申立人提出の甲第１号証）
　２．実願昭６２−１３２１１号（実開昭６３−１２１４４０号）のマイクロフィルム（特許異議申立人提出の甲第２号証）
　
（１）刊行物１
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１（特開昭６２−７１３３号公報）には、洗浄乾燥装置について、図面とともに、以下の事項が記載されている。
　
記載事項１（１ページ左下欄４行〜１３行）
　「１．基板の洗浄乾燥を行うチヤンバ部とチヤンバ内部への純水・薬液供給部およびチヤンバ内ウエーハを回転するための回転駆動部を備えた回転式洗浄・乾燥装置において、回転駆動部で発生した塵埃を排気する構造を有することを特徴とする洗浄乾燥装置。
　２．回転駆動部で発生した塵埃を排気する構造として、回転駆動部を囲い、回転駆動室とし、回転駆動室を排気する構造を有することを特徴とする第１項記載の洗浄乾燥装置。」
　
記載事項２（１ページ左下欄末行〜右下欄５行）
　「従来の回転式洗浄乾燥装置は第１図に示すようにロータ１と、このロータ１に取りつけられたウエーハ収納部２と、清浄ガス・純水・薬品の供給部３・４・５、チヤンバ内排気口６、排水口７を備えたウエーハ洗浄乾燥チヤンバ８およびロータ１を回転する回転駆動部９などで構成されていた。」
　
記載事項３（２ページ左上欄９〜１０行）
　「回転駆動部は回転軸でチヤンバ内のロータと連結されており、」
　
記載事項４（２ページ右上欄１３〜２０行）
　「第２図に示すように従来のウエーハ洗浄乾燥装置の回転駆動部９を囲い、回転駆動室１０とし、回転駆動室１０内を排気するための排気口１１を設けた。ロータの回転数を５００r.p.mとして過酸化水素とアンモニア水の混合薬品により洗浄後純水リンス・・・を行つたところ、」
　
　記載事項１、２及び４によると、洗浄乾燥装置のチヤンバには、ウエーハ洗浄のために純水の供給部から純水が供給されることが明らかであり、その場合、チヤンバ内は、水で湿潤した状態となることも明らかである。
　また、記載事項１、４及び第２図によれば、回転駆動部９と、それを囲む回転駆動室１０とは、チヤンバ８に隣接して設けられていることが明らかである。
　
　そこで、これらの記載事項を総合すると、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「チヤンバ８に隣接してチヤンバ８外に回転駆動室１０を設け、チヤンバ内に回転軸を配設し、回転駆動部９をチヤンバ８外に設けられた回転駆動室１０に配設し、該回転駆動室１０を排気する排気口１１を設けた洗浄乾燥装置。」
　
３．対比判断
（１）本件特許発明１について
　本件特許発明１の「ウェット雰囲気」は、その意味が必ずしも明りょうではないが、「ウェット」という用語に関して、本件明細書には「本明細書では洗浄水およびその蒸気をウェット媒体という。」（【００１２】段落）との定義があるので、「ウェット雰囲気」とは、具体的には洗浄槽のような、洗浄水およびその蒸気で湿潤した状態となるものを意味するものと解することができる。してみると、引用発明の「チヤンバ８」は、洗浄用の水で湿潤した状態となるものであるから、本件特許発明１の「ウェット雰囲気」に相当するものである。
　また、引用発明の「回転駆動室１０」は、本件特許発明１の「外部室」に、「回転軸」は「回転軸」に、「回転駆動部９」は「回転機構」に、「排気口１１」は「排気する手段」にそれぞれ相当する。また、本件特許発明１の「ウェットプロセス装置」は、具体的には水等による洗浄を行う装置を包含するので、引用発明の「洗浄乾燥装置」は、本件特許発明１の「ウェットプロセス装置」に相当する。
　してみると、両者は、「ウェット雰囲気に隣接してウェット雰囲気外に外部室を設け、ウェット雰囲気内に回転軸を配設し、回転機構をウェット雰囲気外に設けられた外部室に配設し、該外部室を排気する手段を設けたことを特徴とするウェットプロセス装置。」で一致するから、本件特許発明１は、刊行物１に記載された発明である。
　
（２）本件特許発明３について
　本件特許発明３は、本件特許発明１に、「排気する手段は、排気量調整部を有する」との構成を付加した発明である。
　しかしながら、刊行物１には、チヤンバ内の浮遊塵埃数を低減することは、チヤンバ内の圧力を回転駆動部における圧力よりも相対的に高くし、また、回転駆動部を排気することで実現できる旨記載があるので（２ページ左上欄１５行〜右上欄６行）、引用発明において、チヤンバ８内の浮遊塵埃数を低減する目的で、回転駆動室１０の圧力を相対的に下げるべく排気するにあたり、排気量を調節して、目的を達成するのに適当な排気量の程度を定めることは、当業者が適宜行う設計的事項であるといえるから、排気口１１に、そのための排気量調整部を設けることは、当業者が容易に想到し得たことにすぎない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本件特許発明１は、刊行物１に記載された発明であるので、本件特許発明１の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。また、本件特許発明３は、刊行物１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、本件特許発明３の特許は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件特許発明１及び３についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年制令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１１月１７日（２００５．１１．１７）