【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年9月27日(2010.9.27)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気デバイス(18)をプローブするプローブアセンブリ装置(10)であって、前記プローブアセンブリ装置が、
（ａ）前記プローブアセンブリ装置の環境エンクロージャ内にあるチャック(20)であって、電気デバイス(18)を支持する支持面を有する第１導電性部材(19)を含むチャック(20)と、
（ｂ）前記チャック(20)から離間され、当該チャック(20)の前記支持面に対向する第２導電性部材(24)と、
を具え、
前記電気デバイス(18)は、試験信号の信号源に電気的に相互接続されるようにし、
前記支持面によって支持される前記電気デバイス(18)は、前記第１導電性部材(19)と前記第２導電性部材(24)との間に配置され、
前記第１導電性部材(19)は、前記環境エンクロージャ内で、第１の試験信号伝導用伝送ライン(28)によって直接前記第２導電性部材(24)に電気的に相互接続され、
前記第２導電性部材(24)は、第２の試験信号伝導用伝送ライン(29)によって試験器具に電気的に相互接続されるようにした、プローブアセンブリ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブアセンブリ装置において、前記第１導電性部材(19)は第１プレートを具え、前記第２導電性部材(24)は第２プレートを具え、かつ前記第２導電性部材(24)は、前記電気デバイス(18)からの距離を、前記第１導電性部材(19)よりも更なる距離離間されているプローブアセンブリ装置。
【請求項３】
請求項１に記載のプローブアセンブリ装置において、前記第２導電性部材(24)は第２プレートを具え、かつ前記第１導電性部材(19)から垂直方向に離間されているプローブアセンブリ装置。
【請求項４】
請求項１に記載のプローブアセンブリ装置において、前記第２導電性部材(24)は、前記チャック(20)によって支持されないプローブアセンブリ装置。
【請求項５】
請求項１に記載のプローブアセンブリ装置において、前記第１導電性部材(19)と前記第２導電性部材(24)とが、単一プローブ(80)に電気的に相互接続されているプローブアセンブリ装置。
【請求項６】
請求項５に記載のプローブアセンブリ装置において、前記単一プローブ(80)は、前記試験器具に、前記単一プローブ(80)と前記試験器具との距離の少なくとも５０％に亘る撚り対線によって、電気的に相互接続されているプローブアセンブリ装置。
【請求項７】
請求項１に記載のプローブアセンブリ装置において、更に、前記第１導電性部材(19)及び前記第２導電性部材(24)と係合可能な、前記チャック(20)の少なくとも一部を取り囲む着脱自在のループ部材を具え、前記ループ部材は、前記第１導電性部材(19)と前記第２導電性部材(24)とを相互接続する可撓性部材を含むプローブアセンブリ装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００４】
図１を参照するに、プローブステーションにテスト信号と、ガード信号と、シールド信号とを供給するために、既存のプローブステーションは、試験中に電気デバイス１８を載せる多段チャック２０を具えることがよくある。当該電気デバイスを支持するチャックの最上段１９は、典型的には、固体の電気伝導性金属プレートを具え、この金属プレートを経て試験信号を流すことができる。チャックの中段及び下段も同様に、固体の電気伝導性金属プレートを具え、この金属プレートを経て、ガード信号とシールド信号とをそれぞれ流すことができる。このようにして、このような多段チャック上に載せた電気デバイスは、下方からガードし、かつシールドすることもできる。同様に、単一段及び二重段チャック、並びに中心部に相当な開口部を有するチャックも同じく頻繁に使用される。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
本発明者らは更に、従来は認識されていなかった、高電流及び／又はパルス化信号に対するこのインダクタンスの源を低減するか、或いは他の方法で変更すること、即ち、この誘導試験ループによって当該測定を改善し得ることを確かめた。このような変更とは、チャック２０から試験器具までの試験信号経路を変更するか、又は他の方法でチャック２０から試験器具まで別の試験信号経路を設けることを含むものである。図３は、試験ループの長さを低減させた一実施例のプローブステーション１０を示している。チャック２０から伝送ライン２２を経て試験信号を送るのではなく、伝送ライン２８が、懸垂ガード部材２４とチャック２０を相互接続することができ、そしてこの懸垂ガード部材２４は、他の伝送ライン２９によって、試験器具に電気的に接続されている。この試験を行う際には、懸垂ガード部材２４は、典型的にはそのガード電位が除去されるようにする。従って、懸垂ガード部材２４は、従来式でない方法で使用しており、すなわちガード電位に相互接続していない。チャック２０において、伝送ライン２８が相互接続をするのは、チャック２０の頂部層１９のような、チャック２０の層のひとつとすることができる。少なくとも部分的に環状を成す導電部材３３は、通常はガード電位に接続されており、これはチャックの頂部表面よりも高い高さを有するようにもでき、チャックの頂部表面と同じ高さを有するようにもでき、またチャックの頂部表面よりは低い高さを有するようにすることもできる。導電部材３３とチャック２０との間には、エアギャップを設けるのが好適である。このエアギャップには、誘電性の材料を部分的に充填させたり、ほぼ完全に充填させたり、完全に充填させたりするようにできる。チャックの頂部表面への、又はチャックの頂部表面からの信号経路は、導電部材３３の開口部を経て設けることができる。図４に概略的に示すように、伝送ライン２８によって、チャック２０と懸垂ガード部材２４とを電気的に接続し、かつ、伝送ライン２９によって、チャック２０と試験器具とを電気的に接続することで、既存のプローブステーションの場合よりもループ経路が短くなる。この試験経路のループの長さを減らすことで、電気的性能が向上し、特に、高電流及び／又はパルス化信号を用いて電気デバイスをテストする場合に電気的性能の改善が得られる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図１】
2006507694.tif 000001
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図３】
2006507694.tif 000002
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図４】
2006507694.tif 000003
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図５】
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【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図７】
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【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図８】
2006507694.tif 000006