【事件の表示】
　特許第３３０４４５１号「積層圧電素子及びこれを用いたインクジェットヘッド」の請求項１、２、４、５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３０４４５１号の請求項３ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３３０４４５１号の請求項１ないし５に係る発明の手続きの経緯は、以下のとおりである。
　出願（特願平４−３３７４９８号）　平成４年１２月１７日
　設定登録　　　　　　　　　　　　　平成１４年５月１０日
　特許異議の申立て（請求項１、２、４、５に対して）
　　松井弘三　　　　　　　　　　　　平成１５年１月２２日
　取消理由通知（第１回）　　　　　　平成１６年６月２日（起案日）
　意見書、訂正請求書（後日取り下げ）平成１６年８月９日
　取消理由通知（第２回）　　　　　　平成１７年１２月１４日（起案日）
　意見書、訂正請求書　　　　　　　　平成１７年１２月２０日
　
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている、平成１７年１２月２０日付け訂正請求書に添付された訂正明細書における訂正の内容は以下のとおりである。
　
訂正事項ａ．特許第３３０４４５１号の明細書中の特許請求の範囲において、請求項１、請求項２及び請求項４を削除する。
　
訂正事項ｂ．特許第３３０４４５１号の明細書中の特許請求の範囲において、請求項３の記載「【請求項３】　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
なる関係を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の積層圧電素子。」を、請求項１と請求項２に繰り上げ、
「　　【請求項１】
　共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子において、
　前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、
　　Dp≧Ws
　であり、
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする積層圧電素子。
　　【請求項２】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電素子。」と訂正する。
　
訂正事項ｃ．特許第３３０４４５１号の明細書中の特許請求の範囲において、請求項５の記載「【請求項５】　前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。」を、請求項３、請求項４、請求項５とし、
「　　【請求項３】
　インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手段とを有するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧力発生素子は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子であり、
　前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられており、
　前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１であることを特徴とするインクジェットヘッド。
　　【請求項４】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
　　【請求項５】
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のインクジェットヘッド。」と訂正する。
　
訂正事項ｄ．特許第３３０４４５１号の明細書中の【０００７】段落の記載を、
「　　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子において、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり、前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａなる関係を有することを特徴とする。」と訂正する。
　
訂正事項ｅ．特許第３３０４４５１号の明細書中の【０００９】段落〜【００１２】段落の記載を、
「　　【０００９】
　また、前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする。
　　【００１０】
　本発明は、インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手段とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生素子は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子であり、前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられており、前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１であることを特徴とする。
　　【００１１】
　また、前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする。
　　【００１２】
　また、前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａなる関係を有することを特徴とする。」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
ア．前記訂正事項ａについては、訂正前の請求項１、請求項２及び請求項４を削除するものであり、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　
イ．前記訂正事項ｂについては、特許異議申立に係る特許発明ではない訂正前の請求項３の記載を、形式的に独立した請求項１と、請求項１を引用する請求項２に書き換えたものであり、この訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、前記訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ウ．前記訂正事項ｃについては、訂正前の請求項５が、訂正前の請求項４を引用しており、また、訂正前の請求項４が、訂正前の請求項１から３を引用しているため、訂正前の請求項５の内、訂正前の請求項１を引用している部分の記載を、形式的に独立した請求項３とし、また、この請求項３を直接的又は間接的に引用する請求項４と請求項５に書き換えると共に、訂正後の請求項３において、訂正前の請求項４に記載されていた「インクを吐出するノズルと、これに連通する圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子」を「インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子」と限定し、また、訂正前の請求項１に記載されていた「Dp≧Wsである」を「Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１である」と限定しようとするものであるが、「インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子」は、図５に示されており、「Dp／Wsが略１である」ことについては、明細書【００２１】段落に、「このクロストーク変位δiは、図３に示すように、セグメント電極の配列間隔Dpに相関があり、セグメント電極の配列間隔Dpが、セグメント電極の幅Wsと同等以上であれば、クロストーク変位δiは全く発生しなくなることが確認されている。」という記載があり、図３には、この記載に対応する内容が示されており、また、請求項４と請求項５は、訂正前の請求項２と３の記載と同様な文面であるので、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであると共に、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、前記訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
エ．前記訂正事項ｄ及びｅについては、前記訂正事項ｂ及びｃの如く特許請求の範囲を訂正することにより、課題を解決するための手段を明確化する訂正をしようとするものであるから、この訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、前記訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
　
３．特許異議の申立てについて
（１）申立の理由及び取消理由通知
ア．申立の理由の概要について
　特許異議申立人は、証拠として本件出願前国内において頒布された甲第１号証（特開平４−３４１８５２号公報）及び甲第２号証（特開昭６３−４９５９号公報）を提出し、本件の請求項１、４、５に係る特許発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、また、本件の請求項２に係る特許発明は、甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであると主張している。
　
イ．取消理由通知について
　当審で通知した２度の取消理由の概要は、以下の通りである。
「１．本件の下記の請求項に係る発明は、その出願前に国内において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術分野における通常の知識を有するものが、容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
２．本件発明は、明細書の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
刊行物１．特開平４−３４１８５２号公報（申立人の提出した甲第１号証）
刊行物２．特開昭６３−４９５９号公報（申立人の提出した甲第２号証）
刊行物３．特開平４−３４１８５３号公報（原審の拒絶理由通知に引用）
刊行物４．特開平２−１８４４４８号公報
刊行物５．特開昭６０−９０７７０号公報
刊行物６．特開平３−２４７４５３号公報
　
　
　刊行物１、２には、特許異議申立書第７頁第２３行〜第１０頁第３行に記載された発明（ただし、甲第１、２号証はそれぞれ刊行物１、２と読み替える）が記載されている。
　
　
・理由１
・請求項１について
・刊行物１、２
・備考
　本件の請求項１に係る発明は、特許異議申立書第１０頁第５行〜第１１頁第２２行に記載された理由（ただし、甲第１、２号証はそれぞれ刊行物１、２と読み替える）等により、上記刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　なお、上記刊行物１の、図３及び【００２１】段落の記載にも注意のこと（上記刊行物１の図３は、本件の図３にほぼ対応していると認められる。）。
　
・理由１
・請求項２について
・刊行物１〜６
・備考
　本件の請求項２に係る発明は、特許異議申立書第１１頁第２３行〜第１２頁第１０行に記載された理由（ただし、甲第１、２号証はそれぞれ刊行物１、２と読み替える）及び刊行物３〜６の記載等により、上記刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　なお、本件請求項２の「・・・部材にて保持される」部分の構成に関して、刊行物３については、図１に記載のバックプレート１９部分に注意し、刊行物４については、第３図（ａ）、第４図及び明細書第２頁右下欄第１７行〜第３頁左上欄第４行の記載に注意し、刊行物５については、第１〜３図等の剛性部材９部分に注意し、刊行物６については、第１〜３図等に記載の基板１部分に注意すること。
　
・理由１
・請求項４、５について
・刊行物１〜６
・備考
　本件の請求項４、５に係る発明は、特許異議申立書第１２頁第１１行〜第１４頁最終行に記載された理由（ただし、甲第１、２号証はそれぞれ刊行物１、２と読み替える）及び刊行物３〜６の記載等により、上記刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　
　
・理由２
・請求項４について
・備考
　請求項４の記載は、他の２以上の請求項を引用して記載しているが、択一的に引用して記載しているものとは認められず、不明りょうである。」
　
（２）本件請求項１ないし５に係る発明
　上記「２．訂正の適否についての判断」で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１ないし５に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された次のとおりのものである。
「　　【請求項１】
　共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子において、
　前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、
　　Dp≧Ws
　であり、
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする積層圧電素子。
　　【請求項２】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電素子。
　　【請求項３】
　インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手段とを有するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧力発生素子は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子であり、
　前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられており、
　前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１であることを特徴とするインクジェットヘッド。
　　【請求項４】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
　　【請求項５】
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のインクジェットヘッド。」
　
（３）引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由で引用した、本件特許出願前に日本国内で頒布された刊行物１（特開平４−３４１８５２号公報（申立人の提出した甲第１号証））には、「圧電式インクジェットプリンタヘッド」（発明の名称）に関して、
「【００１０】図１は、前記圧電式インクジェットプリンタヘッド１５に用いられるアレイ３０の断面図である。このアレイ３０は、アレイ方向３１における幅が１．２ｍｍ、アレイ方向３１に垂直方向の長さ（図中紙面に垂直な方向）が１５ｍｍである３本のインクチャンネル３２ａ，３２ｂ，３２ｃが形成されたチャンネル本体３４と、該チャンネル本体３４に固着された積層圧電素子３８と、同じく該チャンネル本体３４に前記積層圧電素子３８とは反対側に固着されたオリフィス３７を有するオリフィスプレート３６とを備えて構成されている。上記インクチャンネル３２ａ〜３２ｃによりインク室が構成される。
【００１１】積層圧電素子３８は、圧電・電歪効果を有する圧電セラミックス層４０と、内部負電極層４２と、前記インクチャンネル３２ａ〜３２ｃに対して１対１で対応するように分割され、かつアレイ方向３１における幅が１．０ｍｍである内部正電極層４４ａ，４４ｂ，４４ｃとを複数枚積層し、厚さ約０．５ｍｍとしたものである。そして、積層圧電素子３８は、内部負電極層４２と内部正電極層４４ａ〜４４ｃとに挟まれ、かつアレイ方向３１における幅が１．０ｍｍである圧電活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃと、両内部電極層４２，４４ａ〜４４ｃに挟まれていない圧電不活性部４８を有している。前記圧電セラミックス層４０は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料にて厚さ４０μｍに構成されており、積層方向に分極させられている。同図の圧電セラミックス層４０の各圧電活性部４６ａ〜４６ｃに示されている矢印は分極方向を示している。前記内部負電極層４２と前記内部正電極層４４ａ〜４４ｃは、Ａｇ−Ｐｄ系の金属材料からなり、厚さ約２μｍである。
」こと、
「【００１７】アレイ３０には、それぞれ図２に示されている電気回路が設けられている。この電気回路において、駆動電源６０の負極側と積層圧電素子３８の外部負電極５２とは接地されており、前記駆動電源６０の正極側は開閉スイッチ６２ａ，６２ｂ，６２ｃを介して前記積層圧電素子３８の外部正電極５４ａ〜５４ｃに接続されている。この各スイッチ６２ａ〜６２ｃが図示しないコントローラによって閉じられることにより、駆動電源６０から所定の圧電活性部４６ａ〜４６ｃに位置する内部負電極層４２と内部正電極層４４間に駆動電圧が印加される。
【００１８】以上のように構成された圧電式インクジェットプリンタヘッド１５の動作について説明する。
【００１９】所定の印字データに従って、前記コントローラが例えばスイッチ６２ａを閉じると、前記圧電活性部４６ａの内部負電極層４２と内部正電極層４４ａとの間に電圧が印加され、それらの間に位置する圧電セラミックス層４０にバイアス電界が印加され、圧電・電歪縦効果の寸法歪に従い前記圧電活性部４６ａが図１の上下方向に伸張し、前記インクチャンネル３２ａの容積を減少させる。そして、インクチャンネル３２ａ内のインクがオリフィス３７ａから液滴３９となって噴射される。また、スイッチ６２ａが開いて電圧の印加が遮断され圧電活性部４６ａが元の位置まで戻されると、その時のインクチャンネル３２ａの容積増加に伴って図示しない別の弁を経て前記インク供給装置１６からインクが補充される。尚、例えば他のスイッチ６２ｂが閉じられた場合には、圧電活性部４６ｂが変位させられてインクチャンネル３２ｂからインクが噴射される。」こと、
「【００２１】ここで、積層圧電素子３８の電圧印加時のアレイ方向３１における変形分布を測定したデータを図３に示す。圧電活性部４６に電圧２５Ｖを印加したとき該圧電活性部４６の部分は９０ｎｍ以上の変位をし、該圧電活性部４６からはずれた部分（圧電不活性部４８）ではほとんど変位しないことが分かる。この結果から積層圧電素子３８のインクチャンネル３２内への変形を効率よくさせるには、該インクチャンネル３２のアレイ方向３１における幅が圧電活性部４６の幅よりも大きいことが必要であることが分かる。本実施例においてはアレイ方向３１においてインクチャンネル３２の幅を１．２ｍｍと、積層圧電素子３８の圧電活性部４６の幅よりも大きくしたので、液滴３９を噴射するためにはわずか３０Ｖという低駆動電圧でよいことが分かった。」ことが、図１、２、３、６と共に記載されている。
　
　同刊行物２（特開昭６３−４９５９号公報（申立人の提出した甲第２号証））には、「セラミックインクジェットヘッドとその製造方法」（発明の名称）に関して、「第１図は、本願第１の発明によるセラミックインクジェットヘッドの一実施例の部分断面図を含む斜視図である。インクは、図示されていない外部インク溜めより導管等によって接続口１０５に導かれ、共通インク室１０４を経てインク供給口１０１、圧力室１０２を通ってノズル１０３より外部に噴射される。この実施例では、共通インク室１０４によりノズル１０３に至るインク経路が４本平行に形成された４ノズルヘッドが示されているが、ノズル数の選択は所要の記録速度を満足するように任意に行なわれる。このインクジェットヘッドは電極材料を除いて全体が電気機械変換特性を有するセラミック材料から成っている。第１図では、ヘッドは薄いセラミック板の積層構造を有することが示されており、電気機械変換特性を有する複数種のセラミック材料を用いて複合化することができる。」（第３頁右上欄第６行〜同頁左下欄第１行）こと、「すなわち、インク室に近い側から数えて第１層目および第３層目の電極パターンは第２図（ａ）に示すように、各駆動電極１０７を電気的に接続しさらに外部駆動回路に接続するための引き出し電極１０８および１０９を有するものになっている。また、第２図（ｂ）は第２層目および第４層目の電極パターンを示したもので、駆動電極１０７より個々に外部駆動回路に接続するための引き出し電極１１０が伸びた形状になっている。」（第３頁左下欄第１７行〜同頁右下欄第５行）こと、「前記の電極積層部分を積層アクチュエーターとして機能させるためには、電極間のセラミック層を予め分極しておく必要がある。この分極は、従来の積層アクチュエーターの場合と同様な方法に従って行なわれるが、本実施例の場合、二つの電極端子部１１１と１１２との間に所定の高電圧を短時間印加することにより行なわれる。」（第３頁右下欄第１７行〜第４頁左上欄第３行）こと、「第４図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）は、この発明による製造方法の一実施例として、流路形状に合わせた空孔母型の形成から焼結に至るまでの工程を説明するための工程図である。空孔母型の形成は、まず第４図（ａ）に示したように、ポリエステルフィルム等のキャリアフィルム１１４上に感光性樹脂１１５を所定の厚さに均一に塗布して作成した感光性樹脂シート１１６の上に、流路形状と同一のパターンが形成されたフォトマスク１１７を重ね、光を照射して露光を行なう。次に、第４図（ｂ）に示したように、現像処理を行なって所定の空孔母型１１８を形成する。
　次の第４図（ｃ）に示した積層工程においては、空孔母型１１８を内部に挟み込むようにセラミックグリーンシートを積層する。」（第４頁左上欄第１０行〜同頁右上欄第３行）こと、「第４図（ｃ）において、グリーンシート１２１は表面電極やスルーホールを持たないが、外形寸法はグリーンシート１２０ａおよび１２０ｂと同一に作られる。これ等のグリーンシート１２０ａ、１２０ｂおよび１２１はキャリアフィルムから剥離した空孔母型１１８と共に、圧着用の金型の中に所定の順番で積層されさらに圧力が加えられ、第４図（ｄ）に示すように一体化する。この圧着工程では必要に応じて圧力とともに熱が加えられる。この圧着により、グリーンシートは局部的に流動し、空孔母型を完全に包み込むように変形し、第４図（ｅ）に示す形となる。
　このようにして作られた積層体１２２は必要に応じて所定の寸法に切断した後、脱バインダー処理を施こす。すなわち、酸化雰囲気中でゆっくり加熱することにより、空孔母型を形成する樹脂や、セラミックグリーンシート中にある有機物を分解消失させる。」（第４頁左下欄第３〜１９行）こと、「脱バインダー処理が行なわれた積層体１２２は、続いて所定の温度で焼成して磁器化し、その後必要に応じて所定の外形寸法に切断し、またノズル端面の研磨仕上げを施こしてインクジェットヘッドが得られる。
　グリーンシートを構成するセラミック粉体としては、ＰｂＴｉＯ３−ＰｂＺｒＯ３系の圧電材料を用いた。」（第４頁右下欄第７〜１３行）ことが、第１図、第２図、第４図と共に記載されている。
　
　同刊行物３（特開平４−３４１８５３号公報）には、「圧電式インクジェットプリンタヘッド」（発明の名称）に関して、
「【００１０】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説明する。
【００１１】本実施例の圧電式インクジェットプリンタヘッドの概略構成を図１に示す。該圧電式インクジェットプリンタヘッドは、局所変形積層圧電素子１１と、インクキャビティプレート１５と、インクノズルプレート１７と、バックプレート１９を積み重ねることで構成されている。
【００１２】図２に局所変形積層圧電素子１１の概略構成図を示す。局所変形積層圧電素子１１の外形寸法は１４．４×６８×０．５ｍｍである。局所変形積層圧電素子１１として１４．４×６８ｍｍの面に６４個の分割された１×６．７ｍｍ寸法の内部電極１２または１３×６６ｍｍ寸法の共通内部電極１３が形成された厚み２０、４０、８０、１２０、１６０μｍの圧電セラミックス層を用いて５種類の積層体を構成した。一層おきに形成された分割内部電極１２を連結する６４個の外部電極１４が６８×０．５ｍｍの両面に各々３２個ずつ形成されている。また一層おきに形成された共通内部電極１３を連結する外部電極１４が１４．４×０．５ｍｍの片方の面に形成されている。
【００１３】インクキャビティプレート１５は外形寸法１４．４×６８×０．１ｍｍで各局所変形駆動部に対応する位置関係に６４個のインクキャビティ１６が寸法１．６×６．３×０．１ｍｍにて形成されている。インクノズルプレート１７は外形寸法１４．４×６８×０．１ｍｍで６４個の各インクキャビティ１６の位置に対応するように、６４個のインク噴射孔１８が設けらている。バックプレート１９は外形寸法１４．４×６８×１ｍｍで局所変形積層圧電素子１１の１４．４×６８ｍｍの裏面と強固に接着される。」ことが、図１、図２と共に記載されている。
　
　同刊行物４（特開平２−１８４４４８号公報）には、「インクジェットヘッド」（発明の名称）に関して、「第３図（ａ）に示すようにＰＺＴよりなる圧電材層３０の片面にＡｕ薄膜よりなる電極層３１とこの反対面にＮｉ薄層よりなる金属層３２を有する多層構造の圧電素子板３３とベース３４、金属薄板からなるスペーサ３５から構成される。さらにノズル３６を開口された金属板からなるノズル形成部材３７でユニット化されてフレーム２０に取付けられる。
　ベース材３４は、圧電変換器２１に対し、十分強固な厚さ０．５ｍ／ｍ以上の剛体板よりなる。
　本実施例の場合には、電気接続される電極パターン３８を上面に施された絶縁体であるアルミナ、ジルコニウムガラス、シリコン、ステンレススチール等の０．５ｍ／ｍを用いてすべて良好な結果を得たがさらには１ｍ／ｍ以上の剛体板がのぞましい。」（第２頁右下欄第９行〜第３頁左上欄第４行）ことが、第３図（ａ）、第４図（ａ）と共に記載されている。
　
　同刊行物５（特開昭６０−９０７７０号公報）には、「インクジェットヘッド」（発明の名称）に関して、「９は電極１０を介して圧電素子４の電極５に積層された剛性部材」（第２頁左下欄第５〜６行）、「剛性部材９の厚さＬｇは振動板３にくらべ１００倍あるから曲げ剛性は１００３＝１０６倍となり、圧電素子４の変形はほとんど全て振動板３に伝わる。一般的には剛性部材の曲げ剛性が振動板の１００以上あれば良い。」（第２頁右下欄第１６〜２０行）ことが、第１図〜第３図と共に記載されている。
　
　同刊行物６（特開平３−２４７４５３号公報）には、「インクジェットヘッド」（発明の名称）に関して、「第１図及び第２図は、本発明によるインクジェットヘッドの一実施例を説明するための構成図で、図中、１は基板、２は圧電素子・・・である。・・・基板は圧電素子に対して、ヤング率で同等以上、厚さで５倍以上、好ましくは１０倍以上が望ましい。」（第２頁右下欄第６〜１６行）ことが、第１図〜第３図と共に記載されている。
　
（４）対比・判断
ア．特許法第３６条第５項についての判断
　訂正後請求項１ないし５に係る発明の内、請求項５に係る発明は、他の２以上の請求項を引用して記載しているが、択一的に記載されており、明りょうである。
　また、ほかに、他の２以上の請求項を引用して記載している請求項はない。
　したがって、本件の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしているものである。
　
イ．特許法第２９条第２項についての判断
ａ．本件請求項３に係る発明について
　刊行物１に記載の発明における「アレイ方向３１における幅が１．０ｍｍである内部正電極層４４ａ，４４ｂ，４４ｃ」の幅である「アレイ方向３１における幅が１．０ｍｍである圧電活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ」の幅は、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の幅である活性部の幅Wsに相当し、刊行物１に記載の発明における「圧電不活性部４８」は、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅Dpに相当するが、刊行物１に記載の発明における「圧電不活性部４８」は、アレイ方向３１における幅の寸法について記載されておらず、その幅の寸法が不明である。
　したがって、刊行物１に記載の発明には、本件請求項３に係る発明の「前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１である」点についての記載がなく、本件請求項３に係る発明と刊行物１に記載の発明とは、この点で相違している。
　次に、この相違点について検討する。
　刊行物２に記載の発明において、駆動電極１０７の幅は、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の幅である活性部の幅Wsに相当し、駆動電極１０７の配列間隔は、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅Dpに相当するが、刊行物２において、駆動電極１０７の幅と駆動電極１０７の配列間隔のそれぞれの寸法は記載されておらず、不明である。また、刊行物２の第１図、第２図、第４図には、駆動電極１０７（１１９ａ）の幅とその配列間隔について図示されているが、この図は、概念図であるため、その幅などの実際の寸法は、不明である。
　また、刊行物３に記載の発明は、その図２に局所変形積層圧電素子１１の概略構成図を示すが、この局所変形積層圧電素子１１は、１４．４×６８ｍｍの面に６４個の分割された１×６．７ｍｍ寸法の内部電極１２が、各々３２個ずつ２列に形成されているものである。
　そして、１×６．７ｍｍ寸法の内部電極１２であるので、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の幅である活性部の幅Wsに相当する、刊行物３に記載の発明の内部電極の幅は、１ｍｍの寸法である。
　そこで、その１列について、本件請求項３に係る発明のセグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅Dpに相当する、刊行物３に記載の発明の内部電極の配列間隔部分の寸法を算出してみると、配列間隔がすべて等しいとすれば、
（６８−（１×３２））／３３≒１．０９ｍｍ
となるが、局所変形積層圧電素子１１の周辺部分と一番外側の内部電極１２との間の間隔がわからないために、内部電極の配列間隔部分の寸法は、不明である。
　したがって、刊行物３に記載の発明も、本件請求項３に係る発明の「前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１である」点について、記載されているとはいえない。
　さらに、刊行物４〜６に記載の発明は、「積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されること」に相当するものであるが、本件請求項３に係る発明の構成要件である「前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１である」点について、記載されていない。
　してみると、上記刊行物１〜６には、本件請求項３に係る発明の構成要件である「前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をWs、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をDpとする時、Dp≧Wsであり且つDp／Wsが略１である」点について、記載も示唆もない。
　そして、本件請求項３に係る発明は、上記構成要件により、セグメント電極の配列間隔Dpが、セグメント電極の幅Wsと同等以上であれば、クロストーク変位δiは全く発生しなくなるという、明細書記載の作用効果を奏するものであり、Dp／Wsが略１である点に、クロストーク変位δiが全く発生しなくなるという臨界的な意義を有するものである。
　したがって、本件請求項３に係る発明は、上記刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
ｂ．本件請求項４、５に係る発明について
　本件請求項４、５に係る発明は、本件請求項３に係る発明を直接的又は間接的に引用した発明であるので、本件請求項３に係る発明と同様な理由により、上記刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
　なお、本件請求項１及び２に係る発明については、特許異議申立に係る特許発明ではないので、対比・判断を行う必要がない。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項３ないし５に係る発明の特許を取り消すことができない。
　そして、他に本件請求項３ないし５に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項３ないし５に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１８年１月６日（２００６．１．６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
積層圧電素子及びこれを用いたインクジェットヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子において、
　前記セグメント電極の幅である活性部の幅をＷｓ、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をＤｐとする時、
　　Ｄｐ≧Ｗｓ
　であり、
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする積層圧電素子。
　【請求項２】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電素子。
　【請求項３】
　インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手段とを有するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧力発生素子は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子であり、
　前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられており、
　前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をＷｓ、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をＤｐとする時、Ｄｐ≧Ｗｓであり且つＤｐ／Ｗｓが略１であることを特徴とするインクジェットヘッド。
　【請求項４】
　前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
　【請求項５】
　前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、
　Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａ
　なる関係を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、電気信号によって発生する微細な変位と、その高速振動を応用した精密機器用の積層圧電素子に関する。
　【０００２】
　また、前記積層圧電素子が発生する圧力によってインク滴を飛翔させ、記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するプリンタ等の画像記録装置に関し、さらに詳細には、インクジェットヘッドに関する。
　【０００３】
　【従来の技術】
　圧電材料と導電（弾性）材料を接合し、電気信号によって発生する微細な変位、高速振動を応用した工業製品は多く、クオーツ時計（水晶発振子）、超音波モータ、インクジェットヘッド等は、その応用例として知られている。
　【０００４】
　また、図７に示すように、積層圧電素子をインクジェットヘッドに応用した公知技術は、特開平１−１１５６３８号公報に開示されている。これは、積層圧電素子１０を有し、前記積層振動子の振動面をノズル１開口部に対向して配置したことを特徴とするドロップオンデマンド型インクジェットヘッドである。
　【０００５】
　さらに、図８に示すように、圧電体から成る底板に溝２３を形成し、該溝２３で区分された凸部の厚み方向の変位を得る手段を有し、前記溝２３によって隣接する圧電素子の凸部の変形を防止し、クロストークをなくす構造が公知技術として特開平３−２８８６４７号公報に開示されている
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　特開平３−２８８６４７号公報に開示されているように、ダイシング加工等によって溝２３を形成する場合は、内部電極１４と圧電材料１３との境界部分で剥離現象が頻繁に発生し、完成品の部留まりが悪くなる。また、溝２３を形成する加工には極めて高い精度が要求されるので、加工時間が非常に長くなると共に、完成率が低いことも重要な課題である。こうした原因で完成品コストを安くすることは非常に困難である。さらに、こうした問題は、ノズルの数が増すほど顕著になる傾向にあるので、高品位な記録画像を高速に得ようとする要求に対して非常に大きな課題である。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　
本発明は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子において、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をＷｓ、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をＤｐとする時、Ｄｐ≧Ｗｓであり、前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａなる関係を有することを特徴とする。
　【０００８】
　【０００９】
　
また、前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重をする部材にて保持されることを特徴とする。
　【００１０】
　
本発明は、インクを吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通し、隔壁で仕切られた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に圧力を発生させる圧力発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手段とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記圧力発生素子は、共通電極と圧電材料と所定の間隔で複数並列に配置されたセグメント電極とを交互に積層して成る積層圧電素子であり、前記積層圧電素子の活性部が前記インクジェットヘッドの圧力室に対向して設けられており、前記積層圧電素子は、前記セグメント電極の幅である活性部の幅をＷｓ、前記セグメント電極の配列間隔である少なくとも前記圧電材料からなる不活性部の幅をＤｐとする時、Ｄｐ≧Ｗｓであり且つＤｐ／Ｗｓが略１であることを特徴とする。
　【００１１】
　
また、前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持されることを特徴とする。
　【００１２】
　
また、前記積層圧電素子を駆動する電圧波形の立ち上がりを時間Ｔ１、立ち下がり時間Ｔ２とし、前記積層圧電素子の固有振動周期をＴａとするとき、Ｔ１≧ＴａまたはＴ２≧Ｔａなる関係を有することを特徴とする。
　【００１３】
　【００１４】
　【作用】
　選択的な部分変位を要求する積層圧電素子において、従来の切断（溝）加工等を施さなくても、電極を電圧印加手段に接続するだけで要求特性を実現することができる。
　【００１５】
　また、こうした積層振動子を複数のノズルを有するインクジェットヘッド等に応用することによって、低価格、高印字品質、且つ生産性に優れたインクジェットヘッドを提供することができる。
　【００１６】
　【実施例】
　以下に第１の実施例の詳細を図面を参照して説明する。
　【００１７】
　図１は、第１の実施例を示す積層圧電素子１０の構造説明斜視図である。
　【００１８】
　図２は、第１の実施例を説明する積層圧電素子１０の部分断面図である（図１に示したＡ−Ａ断面図である）。
　【００１９】
　図３は、第１の実施例を説明するセグメント電極の配置間隔Ｄｐとクロストーク変位δｉの関係図である。
　【００２０】
　図１及び図２に示すように、積層圧電素子１０は、電極材料からなるセグメント電極１５と、共通電極１６が圧電材料層１３をはさんで積層成型されるものである。セグメント電極１５と、共通電極１６を形成する電極材料には銀パラジウムが用いられ、１層当たりの積層方向の厚さは、３〜５μｍ程度に構成される。また、圧電材料層１３には、チタン酸ジルコン酸鉛のパウダーが焼結成型され、１層当たりの積層方向の厚さは、２０〜５０μｍ程度に構成される。
　【００２１】
　本実施例の第１の特徴はセグメント電極１５が、図１及び図２に示すようにそれぞれ独立して構成されることである。こうした構成によって、電圧が印加されたときＤに示すような変形挙動を示し、図２に示す変位δを発生する活性部１１と、変位δを生じない不活性部１２を、それぞれ任意の位置に設定することができる。また、第２の特徴は、図２に示すセグメント電極の幅Ｗｓと、これらの配列間隔Ｄｐが、Ｄｐ≧Ｗｓの関係を有することである。図２に示す活性部１１ａと、１１ｃに電圧が印加され、それぞれ選択的な変位δを発生するとき、これらに挾持される活性部１１ｂでは相互干渉による変位（クロストーク変位δｉ）を発生する。このクロストーク変位δｉは、図３に示すように、セグメント電極の配列間隔Ｄｐに相関があり、セグメント電極の配列間隔Ｄｐが、セグメント電極の幅Ｗｓと同等以上であれば、クロストーク変位δｉは全く発生しなくなることが確認されている。さらに、第３の特徴によれば、図１に示すように、セグメント電極１５と共通電極１６が積層圧電素子１０の表面に露出して構成されるので、電圧印加手段との結線が容易である。また、第４の特徴によれば、図２に示すように積層圧電素子１０の一壁面が、積層圧電素子１０のヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有するベース部材８にて保持される。ベース部材８は、剛体に近いことが理想的であり、具体的には音響インピーダンス（ヤング率×比重）が大きいことが望ましい。少なくとも積層圧電素子１０の、ヤング率と比重に対して同等以上のヤング率と比重を有するベース部材８を用いることによって、十分な変位δと、十分小さな固有振動周期Ｔａを実現することができる。
　【００２２】
　図４（ａ）（ｂ）は、第１の実施例を説明する積層圧電素子に印加される駆動電圧波形２１と積層圧電素子の変位挙動２２の比較図である。図４（ａ）に示すように、駆動電圧波形２１の立ち上がり（充電）時間Ｔ１と、立ち下がり（放電）時間Ｔ２が、積層圧電素子の固有振動周期Ｔａより小さい場合、積層圧電素子１０の変位挙動２２は、過度的な振動挙動をしめす。こうした場合、本発明の第２の特徴に示したように、セグメント電極の幅を、これらの配列間隔より小さくして静的なクロストーク変位を緩和しても、動的なクロストーク変位（表面弾性波の伝搬による干渉）を除去することは非常に困難である。よって、第５の特徴では、図４（ｂ）に示すように、積層圧電素子に印加される駆動電圧波形２１の立ち上がり時間Ｔ１と、立ち下がり時間Ｔ２を、積層圧電素子の固有振動周期Ｔａより大きく設定する。こうすることによって、本発明の積層圧電素子は、過度的な振動を発生しなくなるので、動的なクロストーク変位を本質的に除去することができる。
　【００２３】
　以下に、第２の実施例を図面を参照して説明する。
　【００２４】
　図５は、第２の実施例を示すインクジェットヘッドの構成説明図である。図５に示す２は、複数のノズル１を形成したノズル形成基板である。ノズル１の開口面積とノズル形成基板２の厚さは、インク吐出特性に及ぼす影響が大きく、優れた印字品質を確保する為には、複数のノズル間に於いてこれらのバラツキを低く抑えなくてはならない。こうした高精度な加工を実現する為に、ノズル形成基板２は、精密プレス法、ニッケルの電鋳法、または、シリコンウエハのエッチング加工等により形成されるものである。このノズル形成基板２と貼り合わされる流路基板３は、圧力室４、セグメントインク供給路５、共通インク室６、及びインク供給パイプ７の連通口を形成して成る部材である。この流路基板３がノズル形成基板２と貼り合わされる際は、ノズル１が圧力室４の中央部に位置するように接合される。ベース部材８は、本発明による積層圧電素子１０を固定するものであり、ヤング率の高いアルミナ等にて形成される。積層圧電素子１０の内部には、セグメント電極１５と共通電極１６が交互に積層され、このセグメント電極１５はノズル１に対向する位置に配列されている。また、積層圧電素子１０は、表面に露出したセグメント電極１５と共通電極１６を形成しているので、駆動回路１７から独立した電気信号を容易に接続することができる。こうして、駆動回路１７から選択的な電気信号がセグメント電極１５に印加されることによって積層圧電素子１０は選択的な変位を発生することができる。このとき、圧力室４内の圧力が高められ、ノズル１からインクが吐出し、記録媒体上にインク像を形成することができる。以上に説明したように本発明によるインクジェットヘッドは、積層圧電素子１０に困難な加工（溝加工）を施さなくても印字品質に優れ、低価格なインクジェットヘッドを提供することができる。
　【００２５】
　図６は、第２の実施例のインクジェットヘッドによるインクジェットラインプリンタの主要部説明図である。第１の実施例による積層圧電素子は、困難な加工を必要とせずに要求特性を得ることができると共に、飛躍的に生産性の向上を実現するものである。よって、図５に示したインクジェットヘッドをさらに大型化することが比較的容易である。具体的にはプラテン１７と同等な幅のインクジェットラインヘッド２０を構成することによって図６に示す様なラインプリンタを容易に実現することができる。本インクジェットラインプリンタは、プラテン１７に転写媒体１８を巻き付け、この表面にインクジェットラインヘッド２０から吐出されるインク画像を形成した後、記録紙等にインク画像を転写させるものである。こうした転写システムによって非常に印字品質に優れた画像記録装置を実現することができる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　以上のように本発明によれば、困難な加工技術と、長い加工時間を必要とせずに、均一、且つ十分な特性の積層圧電素子を飛躍的に低コストで実現することができる。よって、従来、生産技術的に困難であると考えられていたインクジェットラインヘッドを非常に高い歩留まりで実現することができるので、より低価格で高性能な画像記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第１の実施例を示す積層圧電素子１０の構造説明斜視図である。
　【図２】
　本発明の第１の実施例を説明する積層圧電素子１０のＡ−Ａ部分断面図である。
　【図３】
　本発明の第１の実施例を説明するセグメント電極の配置間隔Ｄｐとクロストーク変位δｉの関係図である。
　【図４】
　本発明の第１の実施例を説明する積層圧電素子１０に印加される駆動電圧波形２１と積層圧電素子の変位挙動２２の比較図である。
　【図５】
　本発明の第２の実施例を示すインクジェットヘッドの構成説明図である。
　【図６】
　本発明の第２の実施例を説明するインクジェットラインプリンタの主要部説明図である。
　【図７】
　従来の示すインクジェットヘッド主要部の構造説明図である。
　【図８】
　従来のインクジェットヘッド主要部の構造説明図である。
　【符号の説明】
　　１　ノズル
　　２　ノズル形成基板
　　３　流路基板
　　４　圧力室
　　８　ベース部材
　１０　積層圧電素子
　１１　活性部
　１２　不活性部
　２０　インクジェットラインヘッド