【手続補正書】
【提出日】平成22年5月19日(2010.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含み、該ｐＨ調整物質が、硫酸、硝酸、塩酸、フルオロホウ酸、および酢酸からなる群から選択される、無電解銅めっき溶液。
【請求項２】
前記水性銅塩成分が、硫酸銅（ＩＩ）、硝酸銅（ＩＩ）、塩化銅（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸銅（ＩＩ）、酢酸銅（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸銅（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸銅（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸銅（ＩＩ）からなる群から選択される、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項３】
前記水性コバルト塩成分が、硫酸コバルト（ＩＩ）、硝酸コバルト（ＩＩ）、塩化コバルト（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸コバルト（ＩＩ）、酢酸コバルト（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸コバルト（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、トリス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸コバルト（ＩＩ）からなる群から選択される、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項４】
前記ポリアミン系錯化剤が、ジアミン化合物、トリアミン化合物、または芳香族ポリアミン化合物からなる群から選択される、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項５】
前記ジアミン化合物が、３−メチレンジアミン、エチレンジアミン、およびプロピレンジアミンからなる群から選択される、請求項４に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項６】
前記芳香族ポリアミン化合物が、ベンゼン−１，２−ジアミン、ピリジン、ジピリド、およびピリジン−１−アミンからなる群から選択される、請求項４に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項７】
前記無電解銅めっき溶液のｐＨが約４．０と約６．８との間にある、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項８】
ハロゲン化物成分もさらに含む、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項９】
前記ハロゲン化物成分の濃度が約０．０００１モル濃度（Ｍ）〜約５．０Ｍである、請求項８に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１０】
前記ハロゲン化物成分が、臭化カリウム、塩化リチウム、ヨウ化カリウム、フッ化塩素、塩化アンモニウム、臭化アンモニウム、フッ化アンモニウム、およびヨウ化アンモニウムからなる群から選択される、請求項９に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１１】
前記化学光沢剤成分が、ビス−（３−スルホプロピル）−ジスルフィド二ナトリウム塩（ＳＰＳ）である、請求項１に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１２】
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分であって、約０．００１モル濃度（Ｍ）から該水性銅塩成分の溶解度の限界までの濃度を有する、水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含み、該ｐＨ調整物質が、硫酸、硝酸、塩酸、フルオロホウ酸、および酢酸からなる群から選択される、無電解銅めっき溶液。
【請求項１３】
ハロゲン化物成分もさらに含む、請求項１２に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１４】
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分であって、約０．００１モル濃度（Ｍ）から該水性コバルト塩成分の溶解度の限界までの濃度を有する、水性コバルト塩成分と、
芳香族ポリアミン系錯化剤であって、ベンゼン−１，２−ジアミン、ピリジン、ジピリド、およびピリジン−１−アミンからなる群から選択される、芳香族ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
【請求項１５】
ハロゲン化物成分もさらに含む、請求項１４に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１６】
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
約０．００５モル濃度（Ｍ）〜約１０．０Ｍの間の濃度を有するポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含み、該ｐＨ調整物質が、硫酸、硝酸、塩酸、フルオロホウ酸、および酢酸からなる群から選択される、無電解銅めっき溶液。
【請求項１７】
ハロゲン化物成分もさらに含む、請求項１６に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項１８】
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
芳香族ポリアミン系錯化剤であって、ベンゼン−１，２−ジアミン、ピリジン、ジピリド、およびピリジン−１−アミンからなる群から選択される、芳香族ポリアミン系錯化剤と、
約０．０００００１モル濃度（Ｍ）〜約０．０１Ｍの間の濃度を有する化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
【請求項１９】
ハロゲン化物成分もさらに含む、請求項１８に記載の無電解銅めっき溶液。
【請求項２０】
無電解銅めっき溶液を調製するための方法であって、
水性銅塩成分と、錯化剤の一部と、化学光沢剤成分と、ハロゲン化物成分と、酸とを混合して、第１の混合物とすることと、
水性コバルト塩成分と該錯化剤の残りの部分とを混合して、第２の混合物とすることと、
銅析出操作で使用する前に、該第１の混合物と該第２の混合物とを一緒に合わせることと、
を含む、方法。
【請求項２１】
前記水性銅塩成分が、硫酸銅（ＩＩ）、硝酸銅（ＩＩ）、塩化銅（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸銅（ＩＩ）、酢酸銅（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸銅（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸銅（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸銅（ＩＩ）からなる群から選択される、請求項２０に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
【請求項２２】
前記水性コバルト塩成分が、硫酸コバルト（ＩＩ）、硝酸コバルト（ＩＩ）、塩化コバルト（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸コバルト（ＩＩ）、酢酸コバルト（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸コバルト（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、トリス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸コバルト（ＩＩ）からなる群から選択される、請求項２０に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
【請求項２３】
前記化学光沢剤が、ビス−（３−スルホプロピル）−ジスルフィド二ナトリウム塩（ＳＰＳ）である、請求項２０に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
【請求項２４】
前記第２の混合物が酸性ｐＨを有する、請求項２０に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
【請求項２５】
前記錯化剤が、ジアミン化合物、トリアミン化合物、または芳香族ポリアミン化合物からなる群から選択されるポリアミン系錯化剤である、請求項２０に記載の無電解銅めっき溶液を調製する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
（概要）
大まかに言えば、本発明は、無電解銅析出プロセスで使用するために酸性ｐＨ環境に維持することができる銅めっき溶液の改良された配合を提供することにより、これらの必要性を満たす。本発明は、方法および化学溶液を含めた数多くの方法で実現できることを理解する必要がある。以下では本発明のいくつかの実施形態を説明する。
本発明は、例えば、以下を提供する。
（項目１）
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
（項目２）
前記水性銅塩成分が、硫酸銅（ＩＩ）、硝酸銅（ＩＩ）、塩化銅（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸銅（ＩＩ）、酢酸銅（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸銅（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸銅（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸銅（ＩＩ）からなる群から選択される、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目３）
前記水性コバルト塩成分が、硫酸コバルト（ＩＩ）、硝酸コバルト（ＩＩ）、塩化コバルト（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸コバルト（ＩＩ）、酢酸コバルト（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸コバルト（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、トリス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸コバルト（ＩＩ）からなる群から選択される、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目４）
前記ポリアミン系錯化剤が、ジアミン化合物、トリアミン化合物、または芳香族ポリアミン化合物からなる群から選択される、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目５）
前記ジアミン化合物が、３−メチレンジアミン、エチレンジアミン、およびプロピレンジアミンからなる群から選択される、項目４に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目６）
前記芳香族ポリアミン化合物が、ベンゼン−１，２−ジアミン、ピリジン、ジピリド、およびピリジン−１−アミンからなる群から選択される、項目４に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目７）
前記無電解銅めっき溶液のｐＨが約４．０と約６．８との間にある、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目８）
前記ｐＨ調整物質が、硫酸、硝酸、塩酸、フルオロホウ酸、および酢酸からなる群から選択される、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目９）
ハロゲン化物成分もさらに含む、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１０）
前記ハロゲン化物成分の濃度が約０．０００１モル濃度（Ｍ）〜約５．０Ｍである、項目９に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１１）
前記ハロゲン化物成分が、臭化カリウム、塩化リチウム、ヨウ化カリウム、フッ化塩素、塩化アンモニウム、臭化アンモニウム、フッ化アンモニウム、およびヨウ化アンモニウムからなる群から選択される、項目１０に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１２）
前記化学光沢剤成分が、ビス−（３−スルホプロピル）−ジスルフィド二ナトリウム塩（ＳＰＳ）である、項目１に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１３）
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分であって、約０．００１モル濃度（Ｍ）から該水性銅塩成分の溶解度の限界までの濃度を有する、水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
（項目１４）
ハロゲン化物成分もさらに含む、項目１３に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１５）
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分であって、約０．００１モル濃度（Ｍ）から該水性コバルト塩成分の溶解度の限界までの濃度を有する、水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
（項目１６）
ハロゲン化物成分もさらに含む、項目１５に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１７）
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
約０．００５モル濃度（Ｍ）〜約１０．０Ｍの間の濃度を有するポリアミン系錯化剤と、
化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
（項目１８）
ハロゲン化物成分もさらに含む、項目１７に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目１９）
無電解銅めっき溶液であって、
水性銅塩成分と、
水性コバルト塩成分と、
ポリアミン系錯化剤と、
約０．０００００１モル濃度（Ｍ）〜約０．０１Ｍの間の濃度を有する化学光沢剤成分と、
該無電解銅めっき溶液のｐＨを約８未満にするのに十分な量のｐＨ調整物質と、
を含む、無電解銅めっき溶液。
（項目２０）
ハロゲン化物成分もさらに含む、項目１９に記載の無電解銅めっき溶液。
（項目２１）
無電解銅めっき溶液を調製するための方法であって、
水性銅塩成分と、錯化剤の一部と、化学光沢剤成分と、ハロゲン化物成分と、酸とを混合して、第１の混合物とすることと、
水性コバルト塩成分と該錯化剤の残りの部分とを混合して、第２の混合物とすることと、
銅析出操作で使用する前に、該第１の混合物と該第２の混合物とを一緒に合わせることと、
を含む、方法。
（項目２２）
前記水性銅塩成分が、硫酸銅（ＩＩ）、硝酸銅（ＩＩ）、塩化銅（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸銅（ＩＩ）、酢酸銅（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸銅（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸銅（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸銅（ＩＩ）からなる群から選択される、項目２１に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
（項目２３）
前記水性コバルト塩成分が、硫酸コバルト（ＩＩ）、硝酸コバルト（ＩＩ）、塩化コバルト（ＩＩ）、テトラフルオロホウ酸コバルト（ＩＩ）、酢酸コバルト（ＩＩ）、エチレンジアミン硫酸コバルト（ＩＩ）、ビス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、トリス（エチレンジアミン）硫酸コバルト（ＩＩ）、およびジエチレンアミン硝酸コバルト（ＩＩ）からなる群から選択される、項目２１に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
（項目２４）
前記化学光沢剤が、ビス−（３−スルホプロピル）−ジスルフィド二ナトリウム塩（ＳＰＳ）である、項目２１に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
（項目２５）
前記第２の混合物が酸性ｐＨを有する、項目２１に記載の無電解銅めっき溶液を調製するための方法。
（項目２６）
前記錯化剤が、ジアミン化合物、トリアミン化合物、または芳香族ポリアミン化合物からなる群から選択されるポリアミン系錯化剤である、項目２１に記載の無電解銅めっき溶液を調製する方法。