【手続補正書】
【提出日】平成21年11月16日(2009.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータとロータとを含むバランスブラシレスリニアモータアセンブリであって、前記ロータへの電流の印加が、前記ロータを前記ステータによって画定された線形経路に沿って移動させ、前記ステータは、その一部として少なくとも１つの永久磁石部材を含み、前記ロータは、その一部として少なくとも１つの巻き線を含む、バランスブラシレスリニアモータアセンブリと、
接触媒質を通して超音波エネルギのパルスを放射するように設計され、前記ロータによって直接的に駆動される、超音波トランスデューサと、
コントローラであって、
（ａ）前記ロータの前記少なくとも１つの巻き線に制御電流を印加させるように設計され、前記少なくとも１つの巻き線を通る前記制御電流の流れは、前記少なくとも１つの永久磁石部材から放射される磁場と相互作用する磁場を発生させ、そうして、前記ロータと前記超音波トランスデューサとを前記線形経路に沿って移動させ、
（ｂ）標的を少なくとも部分的に調査するために、標的において前記超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスを所定の時間に放射させるように設計される、
コントローラと、
前記線形経路におおむね平行な第２の線形経路に沿った移動のために取り付けられ、前記超音波トランスデューサおよび前記ロータの質量におおむね等しい質量を有する、釣り合い重りと、
を備え、
前記コントローラが前記ロータと前記超音波トランスデューサとを前記第１の線形経路に沿って所定の方向に移動させるたびに、前記釣合い重りが前記第２の線形経路に沿って反対方向に移動されることによって、前記標的が調査されるときに生成されるデータの存続性を維持しつつ、前記ロータと前記超音波トランスデューサとが加速時または減速時に少なくとも５Ｇの力を受けられるように設計される走査型超音波顕微鏡。
【請求項２】
前記トランスデューサは、前記標的が調査されているときに、１つまたは複数の非線形線路をたどる、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項３】
前記トランスデューサは、前記標的が調査されているときに、接触媒質を介して前記標的に可動作式につながれ、
前記コントローラは、前記標的の内側に画定された所定の体積内に位置する３次元的に多様な複数の点の各点に向けて、前記超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスを放射させるように適応され、
前記超音波トランスデューサは、前記標的の前記所定の体積内における、対応する前記３次元的に多様な点の１つと同じ位置に設けられた焦点を、前記パルスのそれぞれについて有する、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項４】
前記トランスデューサは、前記標的が調査されているときに、接触媒質を介して前記標的に可動作式につながれ、
前記コントローラは、前記標的の内側に画定された所定の体積内に位置する３次元的に多様な複数の点の各点に向けて、前記超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスを放射させるように適応され、
前記トランスデューサは、前記標的の前記所定の体積内における、対応する前記３次元的に多様な点の１つと同じ位置に設けられた焦点を、前記パルスのそれぞれについて有し、
前記コントローラは、さらに、前記パルスのそれぞれに対応する反射信号を前記トランスデューサに受信させるように適応され、前記反射信号のそれぞれは、前記標的の前記所定の体積内における対応する点に焦点を合わせた前記標的のＡ−ＳＣＡＮを含み、前記反射信号は、全て、前記標的の内側に画定された前記所定の体積内に存在する音響インピーダンス特徴を表す、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項５】
前記線形経路に垂直な方向に少なくとも前記トランスデューサを移動させるための第２のリニアモータアセンブリをさらに備える請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項６】
前記線形経路に垂直な方向に少なくとも前記トランスデューサを移動させるための第２のバランスモータアセンブリをさらに備える請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項７】
前記第１の線形経路は、前記第２の線形経路と同一線上である、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項８】
前記釣り合い重りは、第２の超音波トランスデューサを含む、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項９】
前記標的は、マイクロエレクトロニクス標的を含む、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１０】
前記釣り合い重りを前記トランスデューサおよび前記ロータにつなぐベルトおよびプーリのアセンブリをさらに備える請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１１】
前記コントローラは、前記トランスデューサを前記標的に対してＸ−Ｙラスタ走査で移動させるように適応される、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１２】
前記第１の線形経路および前記第２の線形経路は、互いから隔てられ、
前記釣り合い重りの質量の中心は、前記トランスデューサが減速され方向を変えるときに生成される回転力の少なくとも一部を低減させるように配置される、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１３】
前記標的は、密封包装を含む、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１４】
前記標的は、生体物質を含む、請求項１に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１５】
第１および第２のステータと第１および第２のロータとをそれぞれ含む第１および第２のバランスブラシレスリニアモータアセンブリであって、前記第１および第２のロータへの電流の印加が、前記第１および第２のロータを前記第１および第２のステータによって画定された第１および第２の線形経路に沿ってそれぞれ移動させ、前記第１および第２のステータは、その一部として少なくとも１つの永久磁石部材を含み、前記第１および第２のロータは、その一部として少なくとも１つの巻き線を含む、第１および第２のバランスブラシレスリニアモータアセンブリと、
前記第１および第２のロータによってそれぞれ直接的に駆動され、接触媒質を通して超音波エネルギのパルスを放射するように設計される、第１および第２の超音波トランスデューサと、
コントローラであって、
（ａ）前記第１および第２のロータの前記少なくとも１つの巻き線に制御電流を印加させるように設計され、前記第１および第２のロータの前記少なくとも１つの巻き線を通る前記制御電流の流れは、前記第１および第２のステータの前記少なくとも１つの永久磁石部材から放射される第１および第２の磁場と相互作用する第１および第２の磁場をそれぞれ発生させ、そうして、前記第１および第２のロータと前記第１および第２の超音波トランスデューサとを前記第１および第２の線形経路に沿ってそれぞれ移動させ、
（ｂ）第１および第２の標的を少なくとも部分的に調査するために、前記標的において前記第１および第２の超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスを所定の時間に放射させるように設計される、
コントローラと、
を備え、
前記第１および第２の線形経路は、互いにおおむね平行であり、前記第１の超音波トランスデューサおよび前記第１のロータの質量は、前記第２の超音波トランスデューサおよび前記第２のロータの質量におおむね等しく、
前記コントローラが前記第１のロータと前記第１の超音波トランスデューサとを前記第１の線形経路に沿って所定の方向に移動させるたびに、前記コントローラが前記第２の超音波トランスデューサと前記第２のロータとを前記第２の線形経路に沿って反対方向に移動させることによって、前記第１および第２の標的が調査されるときに生成されるデータの存続性を維持しつつ、前記第１および第２のロータと前記第１および第２の超音波トランスデューサとが加速時または減速時に少なくとも５Ｇの力を受けられるように設計される走査型超音波顕微鏡。
【請求項１６】
前記コントローラは、前記第１および第２の標的の内側に画定された所定の体積内に位置する３次元的に多様な複数の点の各点に向けて、前記第１および第２の超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスをそれぞれ放射させるように適応され、
前記第１および第２の超音波トランスデューサは、前記第１および第２の標的の前記所定の体積内における、対応する前記３次元的に多様な点の１つと同じ位置に設けられた焦点を、前記パルスのそれぞれについて有する、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１７】
前記コントローラは、前記第１および第２の標的の内側に画定された所定の体積内に位置する３次元的に多様な複数の点の各点に向けて、前記第１および第２の超音波トランスデューサに超音波エネルギのパルスをそれぞれ放射させるように適応され、
前記第１および第２のトランスデューサは、前記標的の前記所定の体積内における、前記第１および第２の標的の内側の対応する前記３次元的に多様な点の１つと同じ位置に設けられた焦点を、前記パルスのそれぞれについて、それぞれ有し、
前記コントローラは、さらに、前記パルスのそれぞれに対応する反射信号を前記第１および第２のトランスデューサに受信させるように適応され、前記反射信号のそれぞれは、前記第１および第２の標的の前記所定の体積内における対応する点に焦点を合わせた前記
標的のＡ−ＳＣＡＮを含み、前記反射信号は、全て、前記第１および第２の標的の内側に画定された前記所定の体積内に存在する音響インピーダンス特徴を表す、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１８】
前記第１の線形経路は、前記第２の線形経路と同一線上である、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項１９】
前記第１および第２の標的の１つは、マイクロエレクトロニクス標的を含む、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項２０】
前記コントローラは、前記第１および第２の超音波トランスデューサの１つを、対応する前記第１または第２の標的に対してＸ−Ｙラスタ走査で移動させるように適応される、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項２１】
前記第１および第２の標的の１つは、密封包装を含む、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【請求項２２】
前記第１および第２の標的の１つは、生体物質を含む、請求項１５に記載の走査型超音波顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図２Ａ〜２Ｃは、超音波トランスデューサ４２をＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に移動させるために使用される３つの個別のバランスリニアモータアセンブリ３６，３８，４０を含む本発明の第１の実施形態を示した一般的概略図である。図２Ｄには、超音波トランスデューサ４２の初期静止ポジションが、位置４４として示されている。リニアモータアセンブリ３６は、超音波トランスデューサ４２を、Ｘ軸に沿って初期位置４４から外側限界４６へと駆動するために使用される。リニアモータアセンブリ３８は、Ｘ軸モータアセンブリ３６およびトランスデューサ４２を、トランスデューサがＹ軸に沿って初期位置４４から外側限界へと移動可能となるように駆動する。同様に、リニアモータアセンブリ４０は、Ｘ軸モータアセンブリ３６、Ｙ軸モータアセンブリ３８、および超音波トランスデューサ４２を、トランスデューサがＺ軸に沿って初期位置４４から外側限界５０へと移動可能となるように駆動するために使用される。