【事件の表示】
　平成　８年特許願第３０１９６５号「基板搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　５月２９日出願公開、特開平１０−１４４７６２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成８年１１月１３日の特許出願であって、平成１４年１１月１１日付けで拒絶の理由が通知され、平成１５年１月２０日付けで意見書とともに手続補正書が提出され、同１５年８月２８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１５年１０月２日に本件審判の請求がされ、同年１１月４日付けで明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［理由］
１．補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
１−１　補正前の請求項１
「　【請求項１】　開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する基板搬送装置において、
　前記開口部に形成された縦案内溝に挿入または引き出し自在に配置された前記シャッタ部材を、前記縦案内溝への挿入により前記開口部の遮蔽状態とし、また前記シャッタ部材の前記縦案内溝からの引き出しにより前記開口部の開放状態とするシャッタ機構と、
　基板を保持しつつ、基板の搬送を行う搬送手段と、
　前記開口部を通して前記基板処理装置に基板を搬入または搬出するように前記搬送手段を移動させる駆動手段と、
　前記駆動手段による前記搬送手段の移動に連動させて前記シャッタ機構により前記シャッタ部材の開閉を行わせる連動手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−２　補正後の請求項１
「　【請求項１】　開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する基板搬送装置において、
　前記開口部に形成された縦案内溝に挿入または引き出し自在に配置された前記シャッタ部材を、前記縦案内溝への挿入により前記開口部の遮蔽状態とし、また前記シャッタ部材の前記縦案内溝からの
下方への
前記シャッタ部材の下辺に設けられた
　
所定のアーム部材に
　
前記アーム部材を支持するベース部材に固定され、
て前記アーム部材を前記開口部を介して移動させる
　前記駆動手段による前記搬送手段の移動に連動させて前記シャッタ機構により前記シャッタ部材の開閉を行わせる連動手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．補正の適否
　前記請求項１についての補正は、シャッタ部材の縦案内溝からの引き出しについて「下方への」との限定事項を付加し、シャッタ機構について「前記シャッタ部材の下辺に設けられた」との限定事項を付加し、搬送手段について「所定のアーム部材に」との限定事項を付加し、駆動手段について「前記アーム部材を支持するベース部材に固定され、」及び「前記アーム部材を前記開口部を介して移動させる」との限定事項を付加するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−１　本件補正発明
　本件補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、前記第２の１−２に示した補正後の請求項１に記載された事項により特定されたとおりのものと認める。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−２　引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−２７５５１９号公報（以下、「刊行物１」という。）、及び原査定の備考欄で、基板処理装置において、ガイド部材の溝内を挿脱自在にスライドするシャッタ部材等が周知であることを示す例として挙げられた特開平６−２６７９１９号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の技術的事項が記載されている。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
（１−ａ）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、例えば、超ＬＳＩ等の半導体デバイス等で製造する際に、基板に種々の処理を行なう多室型基板処理装置に関する。」
（１−ｂ）段落【０００３】，【０００４】
「・・・複数の処理室（例えばエッチングチャンバ、オリフラチャンバ、薄膜形成チャンバ等）を備えた多室型基板処理装置が考えられている。
　このような多室型基板処理装置では、一般にハンドラ室に設けたハンドラを介して各処理室に基板の出入れを行って、一連の基板処理が実行される。」
（１−ｃ）段落【００１８】〜【００２３】
「図１に示すように、回転自在のハンドラ１が備えられているハンドラ室２の周囲に、それぞれゲートバルブ３，４，５，６，７を介してロード・アンロード・チャンバ８、エッチングチャンバ９、オリフラチャンバ１０、薄膜形成チャンバ１１、測定チャンバ１２を接続することによって多室型基板処理装置が構成されている。
　・・・（中略）・・・
　また、ハンドラ室２内に配設されているハンドラ１による基板１５の搬入・搬送操作は、駆動装置１８によって行われる。」
（１−ｄ）段落【００２４】〜【００３０】
「・・・基板処理装置の基板処理動作について説明する。
　前記処理されたカセット等に収納されたクリーンルーム等から搬送されてきた基板１５は、先ずカセットステーション１４にカセットごと設置される。
　そして、カセットステーション１４に設置された基板１５を、扉１３の開閉操作に連動させてロード・アンロード・チャンバ８内に搬送した後、ゲートバルブ３の開閉動作に連動させてハンドラ室２のハンドラ１によりハンドラ室２内に搬送し、さらに、ゲートバルブ４の開閉動作に連動させてハンドラ１によりエッチングチャンバ９内に搬送する。
　・・・（中略）・・・
　エッチングチャンバ９で基板１５の酸化膜が除去されると、この基板１５をハンドラ１によりゲートバルブ４の開閉動作に連動させてハンドラ室２に搬送し、さらに、ゲートバルブ５開閉動作に連動させてハンドラ１によりオリフラチャンバ１０内に搬送する。
　・・・（中略）・・・
　オリフラチャンバ１０で基板１５のオリフラの測定が終了すると、この基板１５をハンドラ１によりゲートバルブ５の開閉動作に連動させてハンドラ室２に搬送し、さらに、ゲートバルブ６の開閉動作に連動させてハンドラ１により薄膜形成チャンバ１１内に搬送する。」
（１−ｅ）図１，２
　ハンドラ１は、そのアーム部材に基板を保持していることが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　刊行物１記載の上記事項において、基板１５をハンドラ１によりゲートバルブ４，５，６，７の開閉動作に連動させて各処理室内に搬送していることから、各処理室に開口部が設けられていて、その開口部を遮蔽状態とし、また開放状態とする何らかのシャッタ機構が前記ゲートバルブ４，５，６，７に設けられていること、及び前記ゲートバルブ４，５，６，７の開閉動作と前記駆動装置１８によるハンドラ１の移動とを連動させるための何らかの連動手段が備えられていることは明らかである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　以上のことから、刊行物１には、次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「開閉自在なゲートバルブ４，５，６，７を有する開口部を通して処理室に基板１５を搬入または搬出する基板処理装置において、
　前記開口部の遮蔽状態とし、また前記開口部の開放状態とする前記ゲートバルブ４，５，６，７に設けられたシャッタ機構と、
　所定のアーム部材に基板１５を保持しつつ、基板１５の搬送を行うハンドラ１と、
　前記開口部を通して前記処理室に基板１５を搬入または搬出するように前記ハンドラ１を移動させて前記アーム部材を前記開口部を介して移動させる駆動装置１８と、
　前記シャッタ機構による前記ゲートバルブ４，５，６，７の開閉動作に連動させて前記駆動装置１８により前記ハンドラ１の移動を行わせる連動手段と、
を備えた基板処理装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２
（２−ａ）段落【０１７５】，【１７６】
「・・・図８２は・・・半導体洗浄装置の窓構造を示す斜視図である。図中、１８０は洗浄部、水洗部及び乾燥部を密閉室内に密閉するための仕切り板に設けられた開口部、１８１は開口部１８０の外周部に形成された外枠、１８２は外枠１８１に沿って開閉自在に設けられた扉、１８３は扉１８２の開閉動作を案内するためのガイド部材である。
　洗浄部、水洗部及び乾燥部を密閉室内に密閉すると共に製品カセット２２あるいは洗浄用ウエハカセット２１の出し入れを自在に行うために図８２に示されるような窓構造１７７が設けられている。扉１８２は、ガイド部材１８３に沿ってスライドすることにより、外枠１８１に接触しないように開口部１８０を開閉する。また、外枠１８１には複数の排気口１８４が形成されており、少なくとも扉１８２が開閉動作をしている間は排気口１８４から排気が行われる。これにより、扉１８２の開閉に起因して発生するダストと洗浄装置内からのミストの舞い込みを防止することができる。なお、この実施例は、洗浄用カセットを用いたカセット方式の洗浄装置にも、また洗浄用カセットを用いずに直接ウエハをハンドリングするカセットレス方式の洗浄装置にも適用できる。」
（２−ｂ）図８２
　開口部１８０の外周部に形成された外枠１８１は下方が解放され、また、外枠１８１に縦溝が設けられていて、前記縦溝に扉１８２が挿入または引き出し自在に配置されていることが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　刊行物２記載の上記事項において、扉１８２は外枠１８１に沿って開閉自在に設けられているから、扉１８２には何らかのシャッタ機構が設けられていることは明らかである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　以上のことから、刊行物２には、次の事項（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「開閉自在な扉１８２を有する開口部を通して洗浄部にウエハを搬入または搬出する半導体洗浄装置の窓構造１７７において、
　前記開口部に形成された外枠１８１に設けられた縦溝に挿入または引き出し自在に配置され、ガイド部材１８３で案内される前記扉１８２を、前記縦溝への挿入により前記開口部の遮蔽状態とし、また前記扉１８２の前記縦案内溝からの下方への引き出しにより前記開口部の開放状態とするシャッタ機構が扉１８２に設けられていること。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（３）対比
　本件補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「ゲートバルブ４，５，６，７」は「シャッタ部材」に相当し、以下同様に、後者の「処理室」は前者の「基板処理装置」に、後者の「ハンドラ１」は前者の「搬送手段」に、後者の「駆動装置１８」は前者の「駆動手段」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、後者の「基板処理装置」は、開閉自在なゲートバルブ４，５，６，７を有する開口部を通して処理室に基板１５を搬入または搬出するものである限りにおいて、前者の「基板搬送装置」と共通している。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、次のとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［一致点］
「開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する基板搬送装置において、
　前記開口部の遮蔽状態とし、また前記開口部の開放状態とする前記シャッタ部材に設けられたシャッタ機構と、
　所定のアーム部材に基板を保持しつつ、基板の搬送を行う搬送手段と、
　前記開口部を通して前記基板処理装置に基板を搬入または搬出するように前記搬送手段を移動させて前記アーム部材を前記開口部を介して移動させる駆動手段と、
　前記駆動手段による前記搬送手段の移動と前記シャッタ機構による前記シャッタ部材の開閉とを連動させる連動手段と、
を備えた基板搬送装置。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点１］
　前者では、シャッタ部材が開口部に形成された縦案内溝に挿入又は引き出し自在に配置され、また、シャッタ機構が、シャッタ部材を前記縦案内溝への挿入により前記開口部の遮蔽状態とし、また前記シャッタ部材の前記縦案内溝からの下方への引き出しにより前記開口部の開放状態とするものであって、前記シャッタ部材の下辺に設けられているのに対して、
　後者では、そのようになされていない点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２］
　前者では、搬送手段のアーム部材を支持するベース部材に駆動部材が固定されているのに対して、
　後者では、搬送手段におけるアーム部材と駆動部材が固定されている部分との区分が不明である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３］
　前者では、連動手段が駆動手段による搬送手段の移動に連動させてシャッタ機構により前記シャッタ部材の開閉を行わせるのに対して、
　後者では、連動手段がシャッタ機構によるゲートバルブの開閉動作に連動させて駆動手段により搬送手段の移動を行わせる点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（４）判断
　前記相違点について検討する。
［相違点１について］
　刊行物２記載の事項の「扉１８２」は本件補正発明の「シャッタ部材」に、以下同様に、後者の「洗浄部」は前者の「基板処理装置」に、後者の「ウエハ」は前者の「基板」に、それぞれ相当することは明らかであるので、刊行物２記載の事項は、「開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する半導体洗浄装置の窓構造において、
　前記開口部に形成された外枠に設けられた縦溝に挿入または引き出し自在に配置され、ガイド部材で案内される前記シャッタ部材を、前記縦溝への挿入により前記開口部の遮蔽状態とし、また前記シャッタ部材の前記縦溝からの下方への引き出しにより前記開口部の開放状態とするシャッタ機構がシャッタ部材に設けられていること。」といい換えることができる。
　刊行物２記載の窓構造において、シャッタ機構がシャッタ部材のどこに設けられているのかは不明であるが、開口部の外周部に形成された外枠の下方が解放されていること（上記摘記事項（２−ｂ）参照。）から、例えば、特開平４−１９６５３０号公報にも記載されているように、基板処理装置において、基板入出用の開口部を開閉するシャッタ部材を上下動するためのシャッタ機構（シリンダー）を前記シャッタ部材の下辺に設けること（第３頁左上欄第１〜８行及び第１０，１１図参照。）は、本件出願前に周知であることを勘案すれば、シャッタ機構はシャッタ部材の下辺に設けられているとするのが自然である。
　また、開口部に形成された縦案内溝にシャッタ部材を直接開閉自在に案内することは、例示するまでもなく慣用されている。
　してみると、刊行物１記載の発明に、刊行物２記載の事項の窓構造及び前記慣用技術を適用することにより、相違点１に関する本件補正発明の特定事項とすることは当業者であれば容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２について］
　刊行物１記載の発明において、搬送手段のどの部分を基板を保持するアーム部材とし、またどの部分を該アーム部材を支持し駆動手段が固定されたベース部材とするかは、格別な技術的意義を見出せないことから、当業者が適宜なし得た設計的事項にすぎないことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点３について］
　駆動手段による搬送手段の移動とシャッタ機構によるシャッタ部材の開閉とのいずれか一方を先にして、これに連動する他方を後にするかは、搬送手段とシャッタ部材との衝突を防止する上で格別な作用効果上の差異は認められない以上、当業者が容易になし得た設計的事項にすぎないことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本件補正発明の奏する効果も刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記周知慣用技術から当業者が予測できる範囲内であって、格別なものとも認められない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本件補正発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記周知慣用技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第３　本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１ないし３に係る発明は、平成１５年１月２０日付けの手続補正書により補正がされた明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、前記第２の１−１に示したとおりのものと認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、前記第２の２−２に示したとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比・判断
　本願発明は、前記第２の２で検討したように、本件補正発明の特定事項から前記限定事項を省いたものである。
　そうすると、前記第２の２の（４）に記載したとおり、本願発明の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当する本件補正発明が、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記周知慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び前記周知慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２ないし３に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。