【手続補正書】
【提出日】平成22年6月9日(2010.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力分配のために流体を保持するように適合され、内容積を規定する容器と分配口とを有する圧力分配パッケージと、
前記流体の分配前及び分配中に前記圧力分配パッケージから気体を除去するように適合された気体除去装置と、を備え、
前記気体除去装置は、前記分配口の近傍で前記容器と嵌合するように適合されたコネクタを有し、前記コネクタは、前記容器から前記流体を受けるように適合された通気可能なリザーバを有し、前リザーバは、気体出口と液体出口とを有する、
流体分配システム。
【請求項２】
前記気体出口は、第１のレベルに配置され、
前記液体出口は、前記第１のレベルより下に配置された第２のレベルに配置される、
請求項１に記載の流体分配システム。
【請求項３】
前記気体除去装置が、（ｉ）自身から流体を分配する前に、前記圧力分配パッケージからのヘッドスペースガスを除去し、（ｉｉ）前記圧力分配パッケージから前記ヘッドスペースガスを除去した後に、前記パッケージに入る進入気体を除去するように適合される、
請求項１又は２に記載のシステム。
【請求項４】
前記圧力分配パッケージが、可撓性材料を有し前記流体を保持するように適合された折り畳み可能なライナーを含み、前記容器は、オーバーパックを有し、前記ライナーが、前記オーバーパック内に配置され、前記オーバーパックが、前記可撓性材料より実質的により剛性である壁材料を含む、
請求項１から３の何れか一項に記載のシステム。
【請求項５】
前記圧力分配パッケージは、浸漬管を有する、
請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記流体は、マイクロ電子デバイス製造用化学試薬を含み前記ライナーの内部に収容される、
請求項４又は５に記載のシステム。
【請求項７】
前記折り畳み可能なライナーと前記オーバーパックとの間に画定された容積と流体連通している加圧気体源をさらに備える、
請求項４から６の何れか一項に記載のシステム。
【請求項８】
前記気体除去装置が、
前記リザーバ内の気体の蓄積を感知し、それに応答して、前記リザーバ内の気体の前記蓄積を示す出力信号を生成するように適合されたセンサと、
前記出力信号に応答して、前記リザーバからの気体の除去を実行するように適合された少なくとも第１の制御要素と、をさらに有する、
請求項１から７の何れか一項に記載のシステム。
【請求項９】
前記センサが、容量センサ、光検出器又は光センサを含む、
請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記通気可能なリザーバが、縦軸と、前記縦軸に垂直の平均内断面積と、前記通気可能なリザーバの上部境界に沿って配置された気体収集ゾーンと、を有し、前記気体収集ゾーンが、前記縦軸に垂直で、前記通気可能なリザーバの前記平均内断面積より実質的に小さい内断面積を有する、
請求項１から９の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１１】
前記通気可能なリザーバ内に配置され、前記気体収集ゾーンへの微細気泡の移動を促進するように適合された少なくとも１つのバッフルをさらに備える、
請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記気体除去装置が、
前記圧力分配パッケージから分配された液体中の気泡の存在を示す出力信号を生成するように動作可能である気泡センサと、
前記出力信号に応答して、前記通気可能なリザーバを通気し、気泡が実質的にない液体を前記通気可能なリザーバから引き出せるように適合された制御要素と、を有する、
請求項１から１１の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１３】
前記気体除去装置が、
圧力トランスデューサと、化学物質供給弁と、ヘッドスペース除去弁と、を含み、
前記ヘッドスペース除去弁が、気泡センサ、光検出器、及び容量センサのいずれかを備える少なくとも１つのセンサと動作可能に結合され、前記圧力分配パッケージからの気体の除去を実行し、前記化学物質供給弁が、前記圧力分配パッケージから分配される前記液体の流量を調整するように適合される、
請求項１から１２の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１４】
前記圧力分配パッケージのエンプティ状態又はエンプティに近づく状態を検出するように適合されたエンプティ検出装置をさらに備える、
請求項１から１３の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１５】
前記圧力分配パッケージから分配される流体の圧力降下を感知し、それに応答して対応する出力を生成するように適合される圧力トランスデューサを含むエンプティ検出装置をさらに備える、
請求項１から１３の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１６】
前記圧力分配パッケージの前記流体がエンプティになるか又はほぼエンプティになった場合に、前記圧力分配パッケージから引き出した流体を供給するように適合された切換リザーバをさらに備える、
請求項１から１５の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１７】
圧力分配パッケージと嵌合するように適合されたコネクタであって、
気体出口と液体出口とを有し前記圧力分配パッケージから前記流体を受けるように適合された通気可能なリザーバを含む気体除去装置を備え、前記気体除去装置は、前記圧力分配パッケージから液体を分配する前及び分配する間に前記圧力分配パッケージから気体を除去するように適合される、
コネクタ。
【請求項１８】
前記気体出口は、第１のレベルに配置され、
前記液体出口は、前記第１のレベルより下に配置された第２のレベルに配置される、
請求項１７に記載のコネクタ。
【請求項１９】
前記気体除去装置が、（ｉ）液体を分配する前に、前記パッケージからヘッドスペースガスを除去し、（ｉｉ）前記パッケージから前記ヘッドスペースガスを除去した後に、前記少なくとも１つのパッケージに入る進入気体を除去するように適合される、
請求項１７又は１８に記載のコネクタ。
【請求項２０】
前記気体除去装置が、前記リザーバ内の気体の蓄積を感知し、それに応答して、前記リザーバ内の気体の前記蓄積を示す出力信号を生成するように適合された少なくとも１つのセンサをさらに有する、
請求項１７から１９の何れか一項に記載のコネクタ。
【請求項２１】
前記気体除去装置が、前記出力信号に応答して、前記リザーバから気体を除去するように適合された少なくとも第１の制御要素をさらに有する、
請求項２０に記載のコネクタ。
【請求項２２】
前記通気可能なリザーバが、縦軸と、前記縦軸に垂直の平均内断面積と、前記通気可能なリザーバの上部境界に沿って配置された気体収集ゾーンと、を有し、前記気体収集ゾーンが、前記縦軸に垂直で、前記通気可能なリザーバの前記平均内断面積より実質的に小さい内断面積を有する、
請求項１７から２１の何れか一項に記載のコネクタ。
【請求項２３】
前記気体除去装置が、
前記気体収集ゾーン内の気体の蓄積を感知し、それに応答して、前記気体収集ゾーン内の気体の前記蓄積を示す出力信号を生成するように適合されたセンサと、
前記出力信号に応答して、前記気体収集ゾーンからの気体の除去を実行するように適合された少なくとも第１の制御要素と、をさらに有する、
請求項２２に記載のコネクタ。
【請求項２４】
前記圧力分配パッケージが、液体を保持するために自身内に配置されたライナーを有し、
前記コネクタが、
リザーバを画定し、前記ライナーと自身の間に流体が漏れないシールを提供するために前記ライナーと連結するプローブを含む本体部分であって、前記プローブが前記リザーバ内へと上方向に延び、その上端が前記リザーバの上端より下で終了する導管を含み、従って前記コネクタ内で上方向に流れる液体が前記導管を通過し、その前記上端から前記リザーバ内へと流れ、前記リザーバ内で前記液体から気体を分離するために、前記リザーバ内で前記液体と前記気体の間に液体レベル界面を形成する本体部分と、
前記リザーバとセンサ関係にある少なくとも１つのセンサと、
液体放出弁と、
気体放出弁と、
前記少なくとも１つのセンサと動作可能に結合され、前記リザーバ内で液体から気体を分離して、前記気体と前記液体を別個に放出するように、前記気体放出弁及び液体放出弁を制御するように反応状態で配置された弁制御装置と、を備える、
請求項１７から２３の何れか一項に記載のコネクタ。
【請求項２５】
圧力トランスデューサが、前記本体部分に配置され、前記弁制御装置と動作可能に結合され、前記コネクタが結合された前記コネクタのエンプティ状態を検出するように配置される、
請求項２４に記載のコネクタ。
【請求項２６】
液体分配方法であって、
（ａ）圧力分配パッケージから液体を圧力分配する工程と、
（ｂ）前記圧力分配パッケージから液体利用用途に液体を前記圧力分配する前に、前記圧力分配パッケージからヘッドスペースガスを除去する工程と、
（ｃ）前記圧力分配全体を通して、前記圧力分配パッケージから前記ヘッドスペースガスを除去した後に前記液体に入る望ましくない気体を除去する工程と、を含み、
前記工程（ｂ）及び工程（ｃ）は、前記圧力分配パッケージと嵌合するように適合されたコネクタを含む気体除去装置を用いて実施され、前記コネクタは、前記容器から前記流体を受けるように適合された通気可能なリザーバを有し、前リザーバは気体出口と液体出口とを有する、
方法。
【請求項２７】
前記気体出口は、第１のレベルに配置され、
前記液体出口は、前記第１のレベルより下に配置された第２のレベルに配置される、
請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記液体を、前記リザーバ内の通気可能な気体／液体分離ゾーンに通す工程と、
前記気体／液体分離ゾーン内の気体の存在又は蓄積を感知する工程と、
前記感知工程に応答して、前記気体／液体分離ゾーンから前記気体を通気する工程と、をさらに含む、
請求項２６又は２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記圧力分配パッケージが、オーバーパック内に配置された液体収容ライナーを備え、
前記圧力分配する工程が、前記ライナーと前記オーバーパックの間の空間に加圧気体を供給する工程を含む、
請求項２６から２８の何れか一項に記載の方法。
【請求項３０】
前記パッケージから液体を利用するプロセスへと液体を分配する工程が、前記通気中に連続的に実行される、
請求項２９に記載の方法。