【事件の表示】
　特願２０００−１９２５７２「誘導結合型プラズマ発生用アンテナ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　３月３０日出願公開、特開２００１−　８５１９６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯及び本願発明
　本願は、平成１２年６月２７日（パリ条約による優先権主張１９９９年８月２６日、韓国）の出願であって、平成１４年２月５日付けで拒絶査定がなされ、平成１４年５月１３日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、その後、当審による拒絶理由の通知がなされ、その指定期間である平成１７年８月１２日付けで手続補正書が提出されたものであるところ、その請求項１に係る発明は、平成１７年８月１２日付けの手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）。
「【請求項１】大仕掛のプラズマを生成するためのプラズマ発生装置のためのアンテナ装置において、
　高周波電源と、
　該高周波電源から高周波電力を供給される第１のアンテナと、
　前記高周波電源から高周波電力を供給されて、前記第１のアンテナの外側に位置され、並列接続された第２のアンテナと、
　前記第１のアンテナに直列接続された第１の可変キャパシタと、
　前記第２のアンテナに直列接続されて、前記第２のアンテナを共振状態になるように維持する第２の可変キャパシタと、
　前記高周波電源と前記第１および第２のアンテナとの間にインピーダンスを整合させるための１つのインピーダンス整合回路とを含むことを特徴とするプラズマ発生装置のためのアンテナ装置」
　
２．引用刊行物
　当審の拒絶の理由に引用された特開平６−２６７９０３号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の記載がある。
（ａ１）「【０００５】本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、高周波誘導方式において被処理体における被処理面付近のプラズマ密度の均一性を向上させてプラズマ処理における均一性、再現性に優れ、またプラズマ密度の調整も可能としたプラズマ装置を提供することをその目的とするものである。」
（ａ２）「【００７１】図８では、リング状のアンテナ５１及び５２を同心状に、好ましくは同一平面上に設け、外側のアンテナ５１の端子５１ａ及び５１ｂとの間には、マッチング回路としてのキャパシター５３を介して第１の高周波電源５４が接続されている。他方、内側のリング状のアンテナ５２の端子５２ａ及び５２ｂとの間には、マッチング回路としてのキャパシター５５を介して第２の高周波電源５６が接続された構成を有している。
【００７２】前記第１および第２の高周波電源５４、５６は、夫々独立した第１および第２の高周波電力を同一周波数（たとえば１３．５６ＭＨｚ）、かつ同位相でそれぞれ外側および内側のリング状アンテナ５１、５２に供給する。そして、アンテナが基本的に図１及び図２と同様の位置に配置される場合には、第１の高周波電力に対して第２の高周波電力が低い位置に選ばれる。
【００７３】これにより、外側のリング状のアンテナ５１には、相対的に大きな高周波電流ｉARFが流れるとともに、内側のリング状のアンテナ５２には相対的に小さな高周波電流ｉBRFが流れる。この場合、アンテナ直下のチャンバ２内空間におけるプラズマ生成領域Ｐが、図２に示した単一のアンテナ２０に同一の高周波電流ｉRFが流れた場合のプラズマ生成領域Ｐ′よりも外側にシフトするので、前記第１実施例と同様の作用でプラズマ密度の均一化を図ることができる。
【００７４】なおこの場合、図８に示すように、外側のリング状のアンテナ５１と内側のリング状のアンテナ５２との間に対応する位置に、被処理体としてのウエハＷが位置するように、各アンテナを配置することが、プラズマ密度を一層均一化するうえで好ましい。また、リング状のアンテナは図８のように２つに限らず、３つ以上であってもよい。
【００７５】さらに誘導部材としてのアンテナをこのように構成することにより、内側のアンテナと外側のアンテナとで高周波電力を独立に設定できるため、プラズマ生成領域をより精細かつ広範囲に制御することができる。なお、高周波電源と両アンテナ５１、５２との間に電力分配回路を設けることで、第１および第２の高周波電源５１、５２を一つの高周波電源で共用化することも可能である。」
　上記（ａ１）及び（ａ２）の記載並びに図面（特に、図８）から、刊行物１には、「高周波誘導プラズマ装置において、同心状及び同一平面上に設けられたリング状の内側アンテナ５２及び外側アンテナ５１、内側及び外側アンテナ用の第１及び第２の独立した高周波電源又は電力分配回路を介した共通の一つの高周波電源を備え、高周波電源と内側及び外側アンテナとの間にキャパシター５３、５５が設けられたことを特徴とするプラズマを生成するためのアンテナ装置。」についての発明が記載されている。
　
３．対比
　本願発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載の発明において高周波電源が一つの場合は、段落【００７５】の記載からみて、２つのアンテナは高周波電源に対して並列に接続されるとともに、キャパシター（５３、５５）は２つのアンテナにそれぞれ直列に接続されるものであることは明らかであり、そして、刊行物１に記載の発明に係る「プラズマを生成するためのプラズマ装置」、「内側アンテナ５２」、「外側アンテナ５１」、及び「キャパシター５３、５５」は、本願発明に係る「大仕掛けのプラズマを生成するためのプラズマ発生装置」、「第１のアンテナ」、「第２のアンテナ」及び「キャパシタ」にそれぞれ実質的に相当するから、結局、両者は、「大仕掛のプラズマを生成するためのプラズマ発生装置のためのアンテナ装置において、高周波電源と、該高周波電源から高周波電力を供給される第１のアンテナと、前記高周波電源から高周波電力を供給されて、前記第１のアンテナの外側に位置され、並列接続された第２のアンテナと、前記第１のアンテナに直列接続された第１のキャパシタと、前記第２のアンテナに直列接続された第２のキャパシタと、からなるプラズマ発生装置のためのアンテナ装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
相違点１；本願発明に係るキャパシタは可変キャパシタであって、第２の可変キャパシタが第２のアンテナを共振状態になるように維持するのに対し、刊行物１に記載のものは、単にキャパシタと規定されているのみで、第２のアンテナを共振状態になるように維持する旨の記載もない点。
相違点２；本願発明では、高周波電源と第１および第２のアンテナとの間にインピーダンスを整合させるための１つのインピーダンス整合回路が設けられているのに対し、刊行物１に記載の発明ではその旨の記載がない点。
　
４．当審の判断
相違点１について；
　刊行物１に記載のキャパシタも、アンテナを共振状態にするものであることは、当該技術分野の当業者において明らかであり、その際、キャパシタとして可変キャパシタを用いるか否かは、当業者が適宜選択しうる事項にすぎない。したがって、相違点１に係る本願発明の構成は、刊行物１に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到することができたものである。
相違点２について；
　通常、高周波電源を用いる機器において、高周波電源と回路との間にインピーダンスマッチングのためのインピーダンス整合回路を設けることは当該技術分野において周知であるから、本願発明の相違点２の構成のように、高周波電源と前記第１および第２のアンテナとの間にインピーダンスを整合させるためのインピーダンス整合回路を設けることは当業者が容易に採用することができたものである。
　
　そして、本願発明の作用効果も刊行物１及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。