【手続補正書】
【提出日】平成22年1月14日(2010.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御システムであって、
光源によって生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、
前記帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、
前記帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラと、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記細かい帯域幅補正アクチュエータ及び前記粗い帯域幅補正アクチュエータの各々は、帯域幅誤差を低減する前記光源の挙動のそれぞれの修正を生成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記粗い及び細かい帯域幅補正アクチュエータの各々は、複数の帯域幅補正アクチュエータを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記粗い帯域幅補正アクチュエータは、低い周波数で発生する大振幅外乱をターゲットにし、前記細かい帯域幅補正アクチュエータは、高い周波数で発生する小振幅外乱をターゲットにする、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記大振幅外乱は、大きいＥ95設定値変化、ガス経年変化効果、及び負荷サイクル設定値変化の長い時間スケール成分の群の１つ又はそれよりも多くを含み、前記小振幅外乱は、レーザシステム出力パルスエネルギ設定値と負荷サイクル設定値変化の高速成分とを含む群の１つ又はそれよりも多くを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
細かいアクチュエータ制御出力が、最小又は最大値に向う傾向があり、
粗いアクチュエータ制御が、前記細かいアクチュエータを中心値に向けて移動して戻すような是正アクションを適用する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項７】
細かいアクチュエータ制御出力が、最小又は最大値に向う傾向があり、
粗いアクチュエータ制御が、前記細かいアクチュエータを中心値に向けて移動して戻すような是正アクションを適用する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記中心値は、制御権限が正及び負の両方向で均衡を保つ名目上の５０％を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記中心値は、制御権限が正及び負の両方向で均衡を保つ名目上の５０％を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御システムであって、
光源によって生成されたレーザ出力光パルスビームパルスのレーザ作動パラメータを測定して、レーザ作動パラメータ測定値を供給するレーザ作動パラメータ測定モジュールと、
前記レーザ作動パラメータ測定値及びレーザ作動パラメータ設定値を受信して、レーザ作動パラメータ誤差信号を供給するレーザ作動パラメータ誤差信号発生器と、
リアルタイム推定フィルタを含み、別のレーザ作動パラメータに対する前記レーザ作動パラメータの感度に従って前記レーザ作動パラメータ誤差信号を修正するレーザ作動パラメータ誤差信号修正器と、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項１１】
前記レーザ作動パラメータ誤差信号修正器は、複数の他のレーザ作動パラメータの各々に対する前記レーザ作動システムパラメータの感度に従って前記レーザ作動パラメータ誤差信号を修正する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記レーザ作動パラメータは、帯域幅（Ｅxx）、帯域幅（ＦＷＸＭ）、シードレーザからのエネルギ（ＥMO）、該シードレーザと増幅器利得媒体の間の差動発射時間（ｄｔＭＯＰＡ）、及び電圧（Ｖ）を含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記他のレーザ作動パラメータは、負荷サイクル（ＤＣ）、レーザシステム出力エネルギ（Ｅsht）、及び電圧（Ｖ）を含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記誤差信号修正器は、再帰型フィルタを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記誤差信号修正器は、ＲＬＳフィルタを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１６】
前記誤差信号修正器は、
2009527124.tif 000001
を実施し、ここで、ｄ［ｎ］は、前記レーザパラメータ誤差信号の現在値であり、ｗ［ｎ］は、前記他のレーザ作動パラメータに対する前記誤差信号の感度の推定値であり、ｕ［ｎ］及びＰ［ｎ］は、併せて該他のレーザ作動パラメータの逆分散の推定値を形成し、λは、０．０から１．０の忘却因子であり、ｎは、サンプル指数である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１７】
線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源フッ素注入制御システムであって、
光源のレーザ作動パラメータを測定するレーザ作動パラメータ測定機構と、
経時的に前記レーザ作動パラメータの値の表示を供給するレーザ作動パラメータ追跡機構と、
第１の比較的一定の定常状態傾向値と限界値の間での前記レーザ作動パラメータの前記値の傾向に基づいてガス充填のための時間を予測するレーザシステムガス補充予測機構と、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項１８】
前記レーザ作動パラメータは、電圧（Ｖ）、差動発射時間（ｄｔＭＯＰＡ）、エネルギ百分率積分、すなわち、ＥXX%での帯域幅、主発振器からのエネルギ（ＥMO）、増幅利得媒体からのエネルギ、又はシャッターでのレーザシステムのエネルギ出力Ｅshtを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2009527124.tif 000002
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2009527124.tif 000003
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2009527124.tif 000004
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2009527124.tif 000005
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2009527124.tif 000006
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2009527124.tif 000007
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2009527124.tif 000008
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2009527124.tif 000009
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１８】
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