【手続補正書】
【提出日】平成22年9月10日(2010.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁放射のビームを操作するためのシステムであって、
第1音響光学偏向器と、
前記第1音響光学偏向器の下流に配置され、前記第1音響光学偏向器から実効的光学離隔距離だけ離隔された第2音響光学偏向器と、
前記第1及び第2音響光学偏向器内に音響波を供給するためのドライバーであって、前記音響波は、前記第1及び第2音響光学偏向器の間の前記実効的光学離隔距離を考慮するために異なるランプ率でチャープされるドライバーと、
を備えるシステム。
【請求項２】
第3音響光学偏向器と、
前記第3音響光学偏向器の下流に配置され、前記第3音響光学偏向器から実効的光学離隔距離だけ離隔された第4音響光学偏向器と
をさらに備え、
前記ドライバーは音響波を前記第3及び第4音響光学偏向器内に供給するように構成され、前記音響波は前記第3及び前記第4音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離を考慮するために異なるランプ率でチャープされる請求項1に記載のシステム。
【請求項３】
前記ドライバーは、電磁放射のビームを空間内の静止した線に集束させる音響波を供給するように構成された請求項2に記載のシステム。
【請求項４】
前記ドライバーは、ランプ率a1を有する音響波を前記第1音響光学偏向器に供給し、ランプ率a2を有する音響波を前記第2音響光学偏向器に供給し、前記ランプ率は、
【数１】
2010503001.tif 000001
によって関係付けられ、dlは前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d2'は前記第2音響光学偏向器から前記焦線までの前記実効的光学離隔距離であり、
前記ドライバーは、ランプ率a3を有する音響波を前記第3音響光学偏向器に供給し、ランプ率a4を有する音響波を前記第4音響光学偏向器に供給し、前記ランプ率は、
【数２】
2010503001.tif 000002
によって関係付けられ、d3は前記第3及び第4音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d4'は前記第4音響光学偏向器から前記焦点までの前記距離であり、請求項2又は3に記載のシステム。
【請求項５】
前記音響光学偏向器は、前記レーザビームの光路内で、
第1音響光学偏向器、
第3音響光学偏向器、
第2音響光学偏向器、
第4音響光学偏向器、
の順序で配置される、請求項2、3又は4に記載のシステム。
【請求項６】
前記ドライバーは、ターゲットをX及び/又はY方向に走査するように前記音響波の周波数を選択するように構成された請求項2ないし6のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項７】
前記ドライバーは、前記第1音響光学偏向器のランプ率a1を
【数３】
2010503001.tif 000003
となるように調整し、前記第2音響光学偏向器のランプ率a2を
【数４】
2010503001.tif 000004
となるように調整することによってδθ/δtの角度走査速度を達成するように前記第1及び第2音響光学偏向器の周波数を選択するように構成され、式中、Vは前記第1及び第2音響光学偏向器内の音の速度であり、λは偏向されるべき前記レーザビームの前記波長であり、d2'は前記第2音響光学偏向器から前記焦線/点までの前記距離であり、d1は前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離である、請求項6に記載のシステム。
【請求項８】
前記ドライバーは、ターゲットを前記X及び/又はY方向に走査するように音響波を供給し、前記走査は、各ミニ走査の各アクティブ期間の間に非アクティブ期間を有する一連の前記ミニ走査から構成され、
選択的に、前記非アクティブ期間は、前記焦点位置を移動させることなく前記音響光学偏向器に供給される前記周波数の絶対値を調節するためのものであり、
選択的に、前記ドライバーは、2次元又は3次元でターゲット上の点を、各ミニ走査の各アクティブ期間の間に非アクティブ期間を有する一連のミニ走査をするように4つの音響波を供給し、
選択的に、前記非アクティブ期間は、前記焦点位置を移動させることなく前記第1、第2、第3及び第4音響光学偏向器に供給される前記周波数の前記絶対値を調整するためのものであり、
選択的に、前記第1及び第2音響光学偏向器に供給される前記周波数の絶対値は、
【数５】
2010503001.tif 000005
に従って変化され、Δf1は前記第1音響光学偏向器内の前記音響波の前記周波数の変化であり、Δf2は前記第2音響光学偏向器内の前記音響波の前記周波数の変化であり、d1は前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d2'は前記第2音響光学偏向器から前記焦点までの前記距離であり、
選択的に、前記第3及び第4音響光学偏向器に供給される前記周波数の前記絶対値は、
【数６】
2010503001.tif 000006
に従って変化され、Δf3は前記第3音響光学偏向器内の前記音響波の前記周波数の変化であり、Δf4は前記第4音響光学偏向器内の前記音響波の前記周波数の変化であり、d3は前記第3及び第4音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d4'は前記第4音響光学偏向器から前記焦点までの前記距離である、請求項6又は7に記載のシステム。
【請求項９】
第1音響光学偏向器、及び当該第1音響光学偏向器の下流の第2音響光学偏向器に、前記電磁放射を通過させるステップを含み、
前記第1及び第2音響光学偏向器は、第1及び第2音響波をそれぞれ含んでおり、
前記第1及び第2音響波は、前記第1及び第2音響光学偏向器の間の実効的光学離隔距離を考慮するために、異なるランプ率でチャープされる、電磁放射のビームを操作する方法。
【請求項１０】
さらに、第3音響光学偏向器、及び当該第3音響光学偏向器の下流の第4音響光学偏向器に、前記電磁放射を通過せるステップを含み、
前記第3及び第4音響光学偏向器は、第3及び第4音響波をそれぞれ含んでおり、
前記第3及び第4音響波は、前記第3及び第4音響光学偏向器の間の実効的光学離隔距離を考慮するために、異なるランプ率でチャープされる、請求項9に記載の方法。
【請求項１１】
前記電磁放射のビームは、空間定留点に焦点が合わせられている、請求項10に記載の方法。
【請求項１２】
前記第1音響波はランプ率a1を有し、前記第2音響波はランプ率a2を有し、前記ランプ率は、
【数７】
2010503001.tif 000007
によって関係付けられ、dlは前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d4'は前記第2音響光学偏向器から前記焦線までの前記実効的光学離隔距離であり、
前記ドライバーは、ランプ率a3を有する音響波を前記第3音響光学偏向器に供給し、ランプ率a4を有する音響波を前記第4音響光学偏向器に供給し、前記ランプ率は、
【数８】
2010503001.tif 000008
によって関係付けられ、d3は前記第3及び第4音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d4'は前記第4音響光学偏向器から前記焦線までの前記実効的光学離隔距離である請求項10又は11に記載の方法。
【請求項１３】
前記電磁放射のビームは、前記音響光学偏向器を、
第1音響光学偏向器、
第3音響光学偏向器、
第2音響光学偏向器、
第4音響光学偏向器
の順序で通過する、請求項10ないし12のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記電磁放射のビームはターゲットをX及び/又はY方向に走査する請求項10ないし13のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記第1及び第2音響波は、前記電磁放射のビームがδθ/δtの角度走査速度を達成できるように構成され、前記第1音響波は、
【数９】
2010503001.tif 000009
で与えられるランプ率a1を有し、前記第2音響波は、
【数１０】
2010503001.tif 000010
で与えられるランプ率a2を有し、但し、Vは第1及び第2音響光学偏向器中の音の速度であり、λは偏向されるべき前記レーザビームの前記波長であり、d2'は前記第2音響光学偏向器から前記焦点までの前記距離であり、d1は前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離である、請求項14に記載の方法。
【請求項１６】
前記電磁放射のビームはターゲットをX及び/又はY方向に走査し、前記走査は、各ミニ走査の間に非アクティブ期間を有する一連のミニ走査から構成され、
選択的に、前記非アクティブ期間は、前記焦点位置を移動させることなく前記音響光学偏向器に供給される周波数の絶対値を調節するためのものであり、
選択的に、前記非アクティブ期間は周波数リセット時間及びAOD充填時間を含み、
選択的に、前記第1及び第2音響波の周波数の前記絶対値は、
【数１１】
2010503001.tif 000011
に従って変化され、ここで、Δf1は前記第1音響光学偏向器内の前記第1音響波の周波数変化であり、Δf2は前記第2音響光学偏向器内の前記第2音響波の周波数の変化であり、d1は前記第1及び第2音響光学偏向器間の前記実効的光学離隔距離であり、d2'は前記第2音響光学偏向器から前記焦線/点までの前記距離である、請求項10又は15に記載の方法。
【請求項１７】
前記電磁放射のビームは、点が2又は3方向に走査されるように四つの音響波を通過し、
前記走査は、各ミニ走査の各アクティブ期間の間の非アクティブ期間を有する一連のミニ走査から構成された請求項10ないし16のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記ビームの入力方向は、負のZ軸によって定義され、
前記第2音響光学偏向器の前記結晶構造は、X軸の周りに2°以下だけ回転されている、請求項1ないし8のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第2音響光学偏向器の前記結晶構造は、Y軸の周りに約3°だけ回転されている、請求項18に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第2音響光学偏向器は、伝播する音響波がその波動ベクトルとポインティングベクトルとの間に約20°の角度を有するように方位されている、請求項18又は19に記載のシステム。