【事件の表示】
　特願２０１４−　５０３３７「光偏向装置，光偏向ミラー及び画像表示装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年１０月　５日出願公開，特開２０１５−１７５８８９，請求項の数（７）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は，平成２６年３月１３日の出願であって，以降の手続は次のとおりである。
平成２９年１１月　１日　拒絶理由通知（同年同月７日発送）
　　　同年１２月２７日　手続補正書・意見書提出
平成３０年　５月１４日　拒絶査定（同年同月２２日送達）
　　　同年　８月１０日　審判請求書・手続補正書提出
平成３１年　２月２７日　拒絶理由通知（同年３月５日発送）
　　　同年　３月２０日　手続補正書提出
２　本願発明
　本願の請求項１〜７に係る発明は，平成３１年３月２０日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜７に記載されている事項により特定されるとおりのものであり，そのうち請求項１及び６に係る発明は，特許請求の範囲の請求項１及び６に記載されている事項により特定される以下のとおりのものである（以下，本願の請求項１〜７に係る発明を，それぞれ「本願発明１」〜「本願発明７」という。）。
「【請求項１】
　反射面を有するミラーと，
　前記ミラーを回転可能に支持するとともに複数の折返部を有して蛇行して形成した一対の蛇行状梁部と，
　前記蛇行状梁部の前記各梁部にそれぞれ設けた複数の圧電部材と，を有し，
　前記複数の圧電部材に電圧波形を印加することにより前記各梁部を変形させ，その変形の累積により前記ミラーを回転駆動させる光偏向装置において，
　所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比がｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記ミラーの周辺の所定範囲の温度変化に対する共振周波数のシフトをΔｆとして，前記駆動周波数ｆｖにｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる電圧調整部を有することを特徴とする光偏向装置。」
「【請求項６】
　光軸と直交する同一面内で互いに直交する２軸を回動させることによって二次元光走査を行うミラーと，
　前記ミラーを回転可能に支持するとともに複数の梁部を折り返すように蛇行状に形成した蛇行状梁部と，
　前記蛇行状梁部の前記各梁部にそれぞれ設けた複数の圧電部材と，を有し，
　前記２軸のうち，少なくとも一方の軸周りの回転駆動に請求項１乃至請求項５の何れか１の請求項に記載の光偏向装置の共振周波数との周波数の相対比が整数倍にならない駆動周波数を有する電圧波形が前記圧電部材に印加されることを特徴とする光偏向ミラー。」
　なお，請求項２〜５の記載は請求項１の記載をより限定したものであり，請求項７には請求項１〜５に係る光偏向装置を備えた画像投影装置が記載されている。
３　原査定の理由の概要
　原査定の理由の概要は次のとおりである。
−−−＜　引用例等一覧　＞−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
１　特開２０１２−１８５３１５号公報
２　特開２０１２−２５２２６５号公報
３　特開２０１２−２４２４６１号公報
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
　引用例１には，「第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形を規定する前記正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，これらの周波数が，光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数（詳しくは，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ，可動部９，トーションバー２ａ，２ｂにより構成される機構の固有振動数。以降，ミラー部揺動固有振動数という）に一致もしくは近接した周波数とならないように選定されている。」との技術思想が記載され，「ミラー部揺動固有振動数（１０２Ｈｚ，２０５Ｈｚ）」に対して，第１駆動電圧及び第２駆動電圧の周波数を６０Ｈｚとすることも記載されており，上記技術思想を具体化するにあたり，周波数を最適化するための調整部を設けることは当業者にとって容易であり，また，使用される温度を想定して周波数の調整を行うことは適宜になし得ることであるから，請求項１〜７に係る発明は，引用例１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである，というものである。
４　引用例に記載された発明
（１）引用例１に記載された発明
ア　本願の出願前に日本国内において頒布され，原査定の理由に引用された文献である引用例１（特開２０１２−１８５３１５号公報）には，図とともに以下の記載がある（下線は当審で付した。以下同様。）。
（ア）
「【００３３】
　［第１実施形態］
　本発明の第１実施形態を図１〜図６を参照して説明する。なお，本実施形態は，前記第１発明の一実施形態である。
【００３４】
　
図１に示すように，本実施形態の光偏向器Ａ１は，入射された光を反射するミラー部１と，ミラー部１が搭載された可動部９と，ミラー部１を可動部９に対して揺動軸Ｘ１の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと，ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動軸Ｘ２の周りに揺動させるための圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂとを備えている。
【００３５】
　ミラー部１は，円板状のミラー部基体１ａと，このミラー部基体１ａ上に光の反射面として形成された金属薄膜１ｂとを備え，ミラー部基体１ａの直径方向の両端から外側へ向かって１対のトーションバー２ａ，２ｂが延設されている。そして，ミラー部１は，これらのトーションバー２ａ，２ｂを介して可動部９に連結されて，該可動部９に搭載されている。
【００３６】
　具体的には，可動部９は，方形枠状に形成されており，ミラー部１の周囲を囲むように設けられている。そして，ミラー部基体１ａから延設されたトーションバー２ａ，２ｂのそれぞれの先端部が，可動部９の内周部に連結されている。これにより，ミラー部１は，トーションバー２ａ，２ｂを介して可動部９に連結されていると共に，トーションバー２ａ，２ｂの捩れによって，該トーションバー２ａ，２ｂの軸心たる揺動軸Ｘ１の周りに揺動可能となっている。
【００３７】
　ミラー部１を可動部９に対して揺動させる圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄは，本実施形態では，２対備えられている。その一方の対の圧電アクチュエータ８ａ，８ｃは，可動部９の内側でトーションバー２ａを挟んで対向するように配置され，他方の対の圧電アクチュエータ８ｂ，８ｄは，可動部９の内側でトーションバー２ｂを挟んで対向するように配置されている。
【００３８】
　以降，
これらの圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄを内側圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄという。また，これらの内側圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄを区別する必要が無いときは，それぞれを総称的に内側圧電アクチュエータ８という。
【００３９】
　各内側圧電アクチュエータ８は，圧電駆動によって屈曲変形するように構成された圧電カンチレバーにより構成されている。そして，一方の対の内側圧電アクチュエータ８ａ，８ｃは，トーションバー２ａと直交する方向（揺動軸Ｘ１と直交する方向）に延在しており，それぞれの先端部がトーションバー２ａに連結されると共に，それぞれの基端部が可動部９の内周部に連結されている。
【００４０】
　同様に，圧電アクチュエータ８ｂ，８ｄは，トーションバー２ｂと直交する方向（揺動軸Ｘ１と直交する方向）に延在しており，それぞれの先端部がトーションバー２ｂに連結されると共に，それぞれの基端部が可動部９の内周部に連結されている。
【００４１】
　
支持基体１１は，方形枠状に形成されており，可動部９の周囲を囲むように設けられている。そして，ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動させる一対の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂが，支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で，可動部９を挟んで揺動軸Ｘ２の方向（揺動軸Ｘ１と直交する方向）に対向するようにして配置されており，これらの圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを介して，可動部９が支持基体１１に支持されている。
【００４２】
　以降，
これらの圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂという。また，これらの外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを区別する必要が無いときは，それぞれを総称的に外側圧電アクチュエータ１０という。
【００４３】
　
各外側圧電アクチュエータ１０は，圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数（図示例では４つ）の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成されている。この場合，各外側圧電アクチュエータ１０を構成する複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）は，支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で，揺動軸Ｘ２と直交する方向（揺動軸Ｘ１と同方向）に延在して，該揺動軸Ｘ２の方向に間隔を存して並ぶように配置されていると共に，そのそれぞれの圧電カンチレバーが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結されている。従って，各外側圧電アクチュエータ１０は，揺動軸Ｘ２と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在している。
【００４４】
　そして，各外側圧電アクチュエータ１０の一端部（最も支持基体１１寄りの圧電カンチレバー３(4)の基端部）が，支持基体１１の内周部に連結されると共に，他端部（最も可動部９寄りの圧電カンチレバー３ｅの先端部）が，可動部９の外周部に連結されている。
【００４５】
　これにより，
可動部９が，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを介して支持基体１１に支持されていると共に，各外側圧電アクチュエータ１０を構成する圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）の屈曲変形によって支持基体１１に対して揺動軸Ｘ２の周りに揺動可能となっている
（イ）
「【００６２】
　次に，本実施形態の光偏向器Ａ１の作動を以下に説明する。
【００６３】
　光偏向器Ａ１は，例えば，電子写真の画像形成装置や，走査型ディスプレイ等の画像表示装置に備えられ，ミラー部１に入射する光を，画像投影面等に対して偏向・走査する。
【００６４】
　・・・（中略）・・・
【００６７】
　一方，ミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動は，本実施形態では，次のように行なわれる。
【００６８】
　本実施形態では，
外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを圧電駆動する第２制御手段２２は，その機能として，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動するための第１駆動電圧を出力する第１駆動電圧出力手段２２ａと，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動するための第２駆動電圧を出力する第２駆動電圧出力手段２２ｂとを備えている。
【００６９】
　そして，第２制御手段２２は，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）のそれぞれの下部電極５と上部電極７と間に，第１駆動電圧を印加することで，各圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動して屈曲変形させる。同時に，第２制御手段２２は，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）のそれぞれの下部電極５と上部電極７と間に，第２駆動電圧を印加することで，各圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動して屈曲変形させる。
【００７０】
　上記第１駆動電圧及び第２駆動電圧は，例えば図４（ａ），（ｂ）にそれぞれ示すように，一定振幅での電圧値の増減を周期的に繰り返す波形の所定周波数の電圧信号である。この場合，これらの第１駆動電圧及び第２駆動電圧の周波数は互いに同じであり，例えば６０Ｈｚである。
【００７１】
　そして，第１駆動電圧は，その電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅をＴ１ａ，電圧値が極大値から次の極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅をＴ１ｂとしたとき（Ｔ１ａ＋Ｔ１ｂは第１駆動電圧の１周期分の時間幅），Ｔ１ａとＴ１ｂとの比率は，Ｔ１ａ，Ｔ１ｂの一方が他方よりも長い時間幅となるように設定されている。
【００７２】
　具体的には，本実施形態では，Ｔ１ａ＞Ｔ１ｂとされると共に，それらの比率は，例えば，Ｔ１ａ：Ｔ１ｂ＝６：４となるように設定されている。
【００７３】
　さらに，第１駆動電圧の立ち上がり期間における波形と，立ち上がり期間における波形とは，それぞれ，互いに異なる周波数の正弦波の半周期分の波形とされている。
【００７４】
　・・・（中略）・・・
【００７７】
　一方，第２駆動電圧は，第１駆動電圧の波形の逆位相の波形の電圧信号とされている。
　・・・（中略）・・・
【００８０】
　補足すると，
第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形を規定する前記正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，これらの周波数が，光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数（詳しくは，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ，可動部９，トーションバー２ａ，２ｂにより構成される機構の固有振動数。以降，ミラー部揺動固有振動数という）に一致もしくは近接した周波数とならないように選定されている。
【００８１】
　具体的には，
本実施形態では，ミラー部１を揺動軸Ｘ２周りに揺動させる機構の機械的な振動の周波数特性は，例えば図６に示すような周波数特性となり，１０２Ｈｚ，２０５Ｈｚ程度の周波数が，比較的大きなゲインを有するミラー部揺動固有振動数となることが実験的に確認された。
【００８２】
　そして，
上記のミラー部揺動固有振動数に対して，正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，本実施形態の例では，それぞれ５０Ｈｚ，７５Ｈｚであるので，ミラー部揺動固有振動数（１０２Ｈｚ，２０５Ｈｚ）に比して小さい周波数となっている。
【００８３】
　・・・（中略）・・・
【００９０】
　加えて，
第１駆動電圧及び第２駆動電圧のそれぞれの立ち上がり期間及び立ち下がり期間の波形が，正弦波の部分波形となっているため，第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形をノコギリ波とした場合に較べて，第１駆動電圧及び第２駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさ（振幅）を，ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分を含めて低減することができる。このため，図４（ｃ）に例示した如く，ミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの偏向角（揺動量）にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ，該ミラー部１の偏向・走査を行なうことができる。
【００９１】
　従って，本実施形態の光偏向器Ａ１を例えば画像表示装置に使用した場合，高品質の精細な画像表示を実現できることとなる。」
（ウ）ここで，図１は以下のものである。
イ　上記各記載から，引用例１には以下の発明が記載されているものと認められる（以下「引用発明」という。）。
「光偏向器Ａ１であって，入射された光を反射するミラー部１と，ミラー部１が搭載された可動部９と，ミラー部１を可動部９に対して揺動軸Ｘ１の周りに揺動させるための内側圧電アクチュエータ８と，ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動軸Ｘ２の周りに揺動させるための各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂとを備え，
　支持基体１１は，方形枠状に形成されており，可動部９の周囲を囲むように設けられ，ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動させる外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂが，支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で，可動部９を挟んで揺動軸Ｘ２の方向（揺動軸Ｘ１と直交する方向）に対向するようにして配置されており，各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを介して，可動部９が支持基体１１に支持されており，
　各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは，圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され，各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを構成する複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）は，支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で，揺動軸Ｘ２と直交する方向（揺動軸Ｘ１と同方向）に延在して，該揺動軸Ｘ２の方向に間隔を存して並ぶように配置されていると共に，そのそれぞれの圧電カンチレバーが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結され，従って，各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは，揺動軸Ｘ２と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在しており，
　外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを圧電駆動する第２制御手段２２は，その機能として，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動するための第１駆動電圧を出力する第１駆動電圧出力手段２２ａと，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動するための第２駆動電圧を出力する第２駆動電圧出力手段２２ｂとを備え，
　第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形を規定する正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，これらの周波数が，光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数（詳しくは，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ，可動部９，トーションバー２ａ，２ｂにより構成される機構の固有振動数。以降，ミラー部揺動固有振動数という）に一致もしくは近接した周波数とならないように選定されており，
　例えば，ミラー部１を揺動軸Ｘ２周りに揺動させる機構の機械的な振動の周波数特性として，１０２Ｈｚ，２０５Ｈｚ程度の周波数が比較的大きなゲインを有するミラー部揺動固有振動数であるのに対して，正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，それぞれ５０Ｈｚ，７５Ｈｚであって，ミラー部揺動固有振動数（１０２Ｈｚ，２０５Ｈｚ）に比して小さい周波数となっており，
　第１駆動電圧及び第２駆動電圧のそれぞれの立ち上がり期間及び立ち下がり期間の波形が，正弦波の部分波形となっているため，第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形をノコギリ波とした場合に較べて，第１駆動電圧及び第２駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさ（振幅）を，ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分を含めて低減することができ，ミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの偏向角（揺動量）にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ，該ミラー部１の偏向・走査を行なうことができる，
光偏向器Ａ１。」
（２）引用例２に記載された事項
ア　本願の出願前に日本国内において頒布され，原査定の理由に引用された文献である引用例２（特開２０１２−２５２２６５号公報）には，図とともに以下の記載がある。
「【００５１】
−光走査装置の動作−
　本発明の実施の形態に係る
光走査装置１は，画像信号に応じて輝度が変調され，光源５から出射されたレーザ光Ｌを，走査部１１において反射して２軸方向に走査し，スクリーン等に画像を表示できる
【００５２】
　
走査部１１は，圧電モノモルフ１４ａ〜１４ｄの駆動部，コイル２５に駆動信号が印加されることにより，Ｘ軸方向（水平方向）及びＹ軸（垂直方向）に揺動し，２軸方向の走査を行う
【００５３】
　例えば，駆動部となる圧電モノモルフ１４ａ，１４ｂは，導線２３ａ，２３ｂを介して，例えば約５〜２０Ｖ程度の交流電圧を印加されることにより，アーム部１３ａ，１３ｂを駆動する。検出部となる圧電モノモルフ１４ｃ，１４ｄは，アーム部１３ａ，１３ｂの駆動による応力歪みが生じ，この応力歪みに生じた電圧を発生する。
【００５４】
　圧電モノモルフ１４ｃ，１４ｄにそれぞれ生じた電圧に応じて，圧電モノモルフ１４ｃ，１４ｄにそれぞれ生じた電圧の，それぞれ１８０°反転した逆位相となるような駆動信号を圧電モノモルフ１４ａ，１４ｂにそれぞれ出力するフィードバック制御を行うことにより，光走査装置１のＸ軸方向の駆動を，例えば約１０ｋ〜５０ｋＨｚ程度の共振周波数で行うことができる。
【００５５】
　光走査装置１の駆動用，検出用の配線は，ワイヤ１７ａ〜１７ｆを介して行われることができる。Ｙ軸方向駆動時の，駆動用，検出用信号の他，可動支持部１５等の接地も同様に，ワイヤ１７ａ〜１７ｆを介して行われて良い。
【００５６】
　コイル２５に例えば０．１〜１Ａ程度の交流電流が流れることにより，可動支持部１５は，回転軸ＲＹとしてＹ軸方向に揺動する。ワイヤ１７は，細長い金属なのでＸ軸方向の駆動に比べ，ねじればね定数が小さく，共振周波数でなくとも大きな振幅を得ることができる。例えば，約５０〜２００Ｈｚ程度の低い周波数での駆動や，ランプ波形での駆動も可能である。
【００５７】
　更に，磁石２４ａ，２４ｄは密度が高く，Ｙ軸方向の駆動について共振周波数は小さくなる。よって，Ｙ軸方向の駆動について約５０〜２００Ｈｚ程度の低い周波数に設計された寸法とすることも可能であり，この場合，非共振周波数での駆動に比して消費電力を低減させることができる。
【００５８】
　また，
固定周波数で駆動する場合でも，例えば６０Ｈｚで駆動する場合，共振周波数を駆動周波数の整数倍である高次高調波周波数の中間の周波数とすることで，駆動周波数に対する高調波成分による不要振動を抑制することが可能となる。例えば共振周波数を３９０Ｈｚとなるようにワイヤ１７の線径や間隔（ピッチ）を最適化した場合，駆動周波数の高調波成分は３６０Ｈｚと４２０Ｈｚの中間となるので，ランプ波形上に加わる高調波が抑制可能となる
イ　上記記載から，引用例２には以下の技術事項が記載されているといえる。
「Ｘ軸方向（水平方向）及びＹ軸（垂直方向）に揺動し，２軸方向の走査を行う走査部１１を備える光走査装置１において固定周波数で駆動する場合，ワイヤ１７の線径や間隔（ピッチ）を最適化して，共振周波数を駆動周波数の整数倍である高次高調波周波数の中間の周波数とすることで，駆動周波数に対する高調波成分による不要振動を抑制することが可能となること。」
（３）引用例３に記載された事項
ア　本願の出願前に日本国内において頒布された文献である引用例３（特開２０１２−２４２４６１号公報）には，図とともに以下の記載がある。
「【００１１】
　（全体構成の説明）
　図１は，本発明の一実施の形態における光走査装置の構成図である。本発明の光走査装置は，大きくは光源１と，走査手段２から構成される。光源１は，用途に応じて適宜選択されたＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）などの波長の光束を射出するＬＤ（Ｌａｓｅｒ　Ｄｉｏｄｅ），ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）などからなる発光素子で構成されている。この発光素子には，映像信号を生成する映像信号処理回路３と，光源１のビームの強度を変調するための駆動信号生成回路４が接続されている。
【００１２】
　一方，走査手段２は，前述の光源１を直線や曲線，または平面上に走査するための走査素子５と，この走査素子５の駆動を制御するための制御部６とを少なくとも備えている。走査素子５は，例えば一軸や二軸の駆動部を備えたミラーデバイスなどの光学反射素子を選択する。この走査素子５は，駆動させる軸の数に応じた駆動系７と，この駆動系７の動作状態を検出するためのモニタ８を備えている。
【００１３】
　制御部６は，走査素子５の駆動条件を演算し，実際の駆動信号を生成するものであり，演算部９と信号生成回路１０とから構成されている。演算部９では，予めメモリ等に記憶させておいた走査素子５における駆動系７の共振周波数，フレームレートＦｒ，各種定数（ａ，Ｎなど）及び請求項における（数１）〜（数４），または（数５）〜（数８）の関係式とから，駆動系７を実際に駆動させるための駆動条件（周波数，振幅，位相）を演算し，その結果を信号生成回路１０に出力する。本実施例では，走査素子として直交する二軸の駆動部を備えており，これら各駆動部に対応して信号生成回路を二系統（第一の信号生成回路および第二の信号生成回路）有する。
【００１４】
　演算部９に記憶する駆動系７の共振周波数は，モニタ８の出力をもとに適宜記憶と更新を繰り返してもよい。
走査素子５の駆動系７は，周囲温度の変化や光源による加熱，振動などの環境変化や，製造ばらつきによる共振周波数にズレが生じやすい。そのため，モニタ８により駆動系７の実際の共振周波数を常に測定し，その結果を演算部９にフィードバックして駆動条件を適宜更新することにより，環境変化に強く，緻密な軌跡が得られる光走査装置を実現することができる
イ　上記記載から，引用例３には以下の技術事項が記載されているといえる。
「光走査装置の走査手段２が，走査素子５と，この走査素子５の駆動を制御するための制御部６とを少なくとも備え，
　走査素子５は，例えば一軸や二軸の駆動部を備えたミラーデバイスなどの光学反射素子が選択され，駆動させる軸の数に応じた駆動系７と，この駆動系７の動作状態を検出するためのモニタ８を備え，
　制御部６は，走査素子５の駆動条件を演算し，実際の駆動信号を生成するものであり，演算部９と信号生成回路１０とから構成されている。演算部９では，予めメモリ等に記憶させておいた走査素子５における駆動系７の共振周波数，フレームレートＦｒ，各種定数及び各関係式とから，駆動系７を実際に駆動させるための駆動条件（周波数，振幅，位相）を演算し，その結果を信号生成回路１０に出力するものであり，
　走査素子５の駆動系７は，周囲温度の変化や光源による加熱，振動などの環境変化や，製造ばらつきによる共振周波数にズレが生じやすいため，モニタ８により駆動系７の実際の共振周波数を常に測定し，その結果を演算部９にフィードバックして駆動条件を適宜更新することにより，環境変化に強く，緻密な軌跡が得られる光走査装置を実現することができるものであること。」
５　当審の判断
（１）本願発明１について
ア　対比
（ア）引用発明の「入射された光を反射するミラー部１」は，本願発明１の「反射面を有するミラー」に相当する。
（イ）引用発明の「外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ」は，「支持基体１１の内周部と可動部９の外周部との間で，可動部９を挟んで揺動軸Ｘ２の方向（揺動軸Ｘ１と直交する方向）に対向するようにして配置され」，「ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる」ものであって，「揺動軸Ｘ２と直交する方向を振幅方向として蛇行するようにして延在して」いるものであるから，当該「外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ」は，本願発明１の「前記ミラーを回転可能に支持するとともに複数の折返部を有して蛇行して形成した一対の蛇行状梁部」に相当する。
（ウ）引用発明の「圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）」は，本願発明１の「前記蛇行状梁部の前記各梁部にそれぞれ設けた複数の圧電部材」に相当する。
（エ）引用発明の「光偏向器Ａ１であって，入射された光を反射するミラー部１と，ミラー部１が搭載された可動部９と，」「ミラー部１及び可動部９を支持基体１１に対して揺動軸Ｘ２の周りに揺動させるための各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂとを備え」，「各外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは，圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成された複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され」たものは，本願発明１の「前記複数の圧電部材に電圧波形を印加することにより前記各梁部を変形させ，その変形の累積により前記ミラーを回転駆動させる光偏向装置」に相当する。
（オ）本願明細書の，
「　【００３０】
　この時，共振周波数と駆動周波数が相対的に整数倍の関係になっていると，共振による振動成分を反射ミラーの動作成分が強めてしまうことで，光走査の高調波に共振が干渉した波うち現象が生じ，走査均一性が低下することになる。
　【００３１】
　そのため，想定する温度変動と共振周波数の変動範囲に対して，印加する駆動用信号の周波数と共振周波数の相対値が常に整数倍の関係からずれているように調整することで，機械的共振による振動の非共振駆動による光走査への干渉を抑制することができる。」
との記載を参照すると，
　本願発明１における，「所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比がｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記ミラーの周辺の所定範囲の温度変化に対する共振周波数のシフトをΔｆとして，前記駆動周波数ｆｖにｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる電圧調整部」との構成は，「機械的共振による振動の非共振駆動による光走査への干渉を抑制することができる」ようにするための構成であることがわかる。
　よって，引用発明の「外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂを圧電駆動する第２制御手段２２」であって，「その機能として，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動するための第１駆動電圧を出力する第１駆動電圧出力手段２２ａと，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂのそれぞれの奇数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動するための第２駆動電圧を出力する第２駆動電圧出力手段２２ｂとを備え」，
「第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形を規定する前記正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，これらの周波数が，光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数（詳しくは，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ，可動部９，トーションバー２ａ，２ｂにより構成される機構の固有振動数。以降，ミラー部揺動固有振動数という）に一致もしくは近接した周波数とならないように選定されており，」
「第１駆動電圧及び第２駆動電圧のそれぞれの立ち上がり期間及び立ち下がり期間の波形が，正弦波の部分波形となっているため，第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形をノコギリ波とした場合に較べて，第１駆動電圧及び第２駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさ（振幅）を，ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分を含めて低減することができ，ミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの偏向角（揺動量）にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制しつつ，該ミラー部１の偏向・走査を行なうことができる」ものと，
本願発明１の「所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比がｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記ミラーの周辺の所定範囲の温度変化に対する共振周波数のシフトをΔｆとして，前記駆動周波数ｆｖにｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる電圧調整部」とは，
「前記各圧電部材に印加する電圧波形を，機械的共振による振動の非共振駆動による光走査への干渉を抑制することができるように調整する電圧調整部」である点で一致する。
（カ）以上から，両者は以下の点で一致する。
「反射面を有するミラーと，
　前記ミラーを回転可能に支持するとともに複数の折返部を有して蛇行して形成した一対の蛇行状梁部と，
　前記蛇行状梁部の前記各梁部にそれぞれ設けた複数の圧電部材と，を有し，
　前記複数の圧電部材に電圧波形を印加することにより前記各梁部を変形させ，その変形の累積により前記ミラーを回転駆動させる光偏向装置において，
前記各圧電部材に印加する電圧波形を，機械的共振による振動の非共振駆動による光走査への干渉を抑制することができるように調整する電圧調整部を有する光偏向装置。」
（キ）一方，両者は以下の点で相違する。
《相違点》
　本願発明１は，「所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比がｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記ミラーの周辺の所定範囲の温度変化に対する共振周波数のシフトをΔｆとして，前記駆動周波数ｆｖにｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる電圧調整部」を備えるのに対し，引用発明は，「前記各圧電部材に印加する電圧波形を，機械的共振による振動の非共振駆動による光走査への干渉を抑制することができるように調整する電圧調整部」に対応する構成は備えるものの，上記本願発明１に係る構成までは備えない点。
エ　判断
　上記相違点について検討する。
（ア）引用発明においては，「第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形を規定する正弦波Ｓａ，Ｓｂの周波数は，これらの周波数が，光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数（詳しくは，外側圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂ，可動部９，トーションバー２ａ，２ｂにより構成される機構の固有振動数。以降，ミラー部揺動固有振動数という）に一致もしくは近接した周波数とならないように選定されており」，「第１駆動電圧及び第２駆動電圧のそれぞれの立ち上がり期間及び立ち下がり期間の波形が，正弦波の部分波形となっているため，第１駆動電圧及び第２駆動電圧の波形をノコギリ波とした場合に較べて，第１駆動電圧及び第２駆動電圧に含まれる高調波成分の大きさ（振幅）を，ミラー部揺動固有振動数に一致もしくは近い周波数の高調波成分を含めて低減することができ」ることから，「ミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの偏向角（揺動量）にミラー部揺動固有振動数に応じた高周波振動が発生するのを抑制」できるものである。
　しかしながら，引用例１の記載を見ても，「光偏向器Ａ１のミラー部１の揺動軸Ｘ２周りの揺動に関する固有振動数」が温度により変化する旨，及び，当該変化に対応した動作を行う旨の記載はない。
（イ）前記４（２）イのとおり，引用例２には，「Ｘ軸方向（水平方向）及びＹ軸（垂直方向）に揺動し，２軸方向の走査を行う走査部１１を備える光走査装置１において固定周波数で駆動する場合，ワイヤ１７の線径や間隔（ピッチ）を最適化して，共振周波数を駆動周波数の整数倍である高次高調波周波数の中間の周波数とすることで，駆動周波数に対する高調波成分による不要振動を抑制することが可能となること」が記載されているが，共振周波数が温度により変化する旨の記載はない。また，引用例２には，共振周波数を調整して駆動周波数に対する高調波成分による不要振動を抑制することが記載されてはいるものの，駆動周波数を調整することまでは記載されていない。
（ウ）前記４（３）イのとおり，引用例３には，「光走査装置の走査手段２」において「走査素子５の駆動系７は，周囲温度の変化や光源による加熱，振動などの環境変化や，製造ばらつきによる共振周波数にズレが生じやすいため，モニタ８により駆動系７の実際の共振周波数を常に測定し，その結果を演算部９にフィードバックして駆動条件を適宜更新すること」が記載されてはいるが，当該構成は，温度変化等に伴う共振周波数の変化に応じて駆動条件を更新するものであるから，相違点に係る「
所定の温度において
ｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整すること
所定範囲の温度変化
ｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる
（エ）そして，本願発明１は，相違点に係る構成を備えることにより，本願明細書の段落【００６７】に記載されているとおり，「
温度の変動の度に煩雑な調整をすることなく，常に同一設定の駆動周波数広い温度範囲で
外部の温度検出手段を用いるなどして温度のテーブルデータに基づく駆動制御を行うといった複雑な信号処理をすることなく
（オ）よって，本願発明１は，引用発明及び引用例２及び３にそれぞれ記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（２）本願発明２〜５及び本願発明７について
　請求項２〜５の記載は請求項１の記載をより限定したものであり，請求項７には請求項１〜５に係る光偏向装置を備えた画像投影装置が記載されているから，本願発明２〜５及び本願発明７は，いずれも本願発明１に係る発明の発明特定事項の全てを含むものである。
　よって，本願発明２〜５及び本願発明７は，前記（１）と同じ理由により，引用発明及び引用例２及び３にそれぞれ記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（３）本願発明６について
　本願発明６は，「光偏向ミラー」に係る発明であるところ，二次元光走査のために回動させる「２軸のうち，少なくとも一方の軸周りの回転駆動に
請求項１乃至請求項５の何れか１の請求項に記載の光偏向装置の共振周波数との周波数の相対比が整数倍にならない駆動周波数を有する電圧波形が前記圧電部材に印加される
　ここで，「
請求項１乃至請求項５の何れか１の請求項に記載の
駆動周波数を有する電圧波形
前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを
　そして，当該電圧調整部に係る「電圧波形」を印加することは，前記（１）で検討したとおり，引用発明及び引用例２及び３にそれぞれ記載された技術事項に基づいて当業者が容易になし得たこととはいえない。
　よって，本願発明６についても，引用発明及び引用例２及び３にそれぞれ記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（４）小括
　以上のとおりであるから，原査定の理由により，本願を拒絶することはできない。
６　当審より通知した拒絶理由について
（１）当審より通知した拒絶理由の概要
　当審より通知した拒絶理由の概要は，平成３０年８月１０日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載における，「所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比が
ｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記駆動周波数ｆｖにｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２の関係を維持させる
（２）当審拒絶理由についての判断
　平成３１年３月２０日にされた手続補正により，特許請求の範囲の請求項１の該当記載は，「所定の温度において，前記各圧電部材に印加する電圧波形の駆動周波数ｆｖを，ｎを整数として，前記光偏向装置の共振周波数ｆ０との相対比が
ｆ０／ｆｖ＝ｎ＋１／２となるように調整することで，前記ミラーの周辺の所定範囲の温度変化に対する共振周波数のシフトをΔｆとして，前記駆動周波数ｆｖにｎ＜（ｆ０＋Δｆ）／ｆｖ＜ｎ＋１の関係を維持させる
　よって，当審より通知した拒絶理由により，本願を拒絶することはできない。
７　むすび
　以上のとおりであるから，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。