【事件の表示】
　平成　９年特許願第３００２７５号「電子ビームを用いた検査方法及びその装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　５月２１日出願公開、特開平１１−１３２９７５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成９年１０月３１日の出願であって、平成１５年６月１６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月２２日に審判請求がなされるとともに、同年８月２０日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年８月２０日付け手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　平成１５年８月２０日付け手続補正を却下する。
　
[理由]
（１）補正後の請求項１に記載された発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、次のとおりに補正された。
「【請求項１】
　試料に電子ビームを照射させる電子ビーム照射部と、
　前記電子ビーム照射部により試料に電子ビームが照射されて、試料表面に応じて発生した二次電子及び反射電子の一次元像又は二次元像を電子ビーム検出部上に結像させる写像投影光学部と、
　前記写像投影光学部により結像された前記二次電子及び反射電子の一次元像又は二次元像に基づいて検出信号を出力する前記電子ビーム検出部と、
　前記電子ビーム検出部から出力された前記検出信号を与えられて、前記試料表面の一次元又は二次元像を表示する画像表示部と、
　前記電子ビーム照射部から照射された電子ビームの試料への入射角度と、前記二次電子及び反射電子の前記写像投影光学部への取り込み角度を変化させる電子ビーム偏向部と、
　を備え、
　前記電子ビーム照射部から照射される電子ビームの断面形状が、線状、矩形、又は長楕円であり、　
　前記電子ビーム照射部は、１つ又は２つ以上の多極子レンズを含む電子光学レンズ系を有することを特徴とする電子ビーム検査装置。」
　
　本件補正は、補正前の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「電子ビーム照射部」について「１つ又は２つ以上の多極子レンズを含む電子光学レンズ系を有する」との限定を付加するものであって、平成１５年改正前の特許法第１７条の２第４項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願に際して独立して特許を受けることができるものであるか（平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用刊行物記載の発明
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用した特開平７−２４９３９３号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
ア．「【００３８】図４は・・・矩形電子ビームを発生する光学系を示すものである。・・・（中略）・・・
【００４０】ここで提示した矩形陰極及び四極子（多極子）レンズによる電子光学系・・・」
イ．「【００４１】図５は、試料面５１からの二次電子を検出する光学系の基本構成を示すものである。この図に示すように、当該光学系は、試料面５１と矩形陰極光源５２と電界型レンズ５３とスリット５４とから構成され、・・・像面５７で結像したビームはラインセンサ型二次電子検出器５６によって検出される。」
ウ．「【００４８】図８は本発明の一実施例に係るパターン欠陥検査装置の全体図であり、８１は電子光学鏡筒、８２は試料、８３は二次電子、８４は二次電子検出系、８５は矩形ビームの像、８６はラインセンサ型二次電子検出器であり、電子光学鏡筒８１内には例えば図４に示すような光学系が内蔵され、その出力が試料面８２上に当たって矩形ビームの二次電子像８５を形成する。二次電子検出系８４には図５に示すような光学系が内蔵され、例えば４５度の角度から試料８２上の二次電子像８５を入力し、その二次電子強度をラインセンサ型二次電子検出器８６により検出する。」
　
　したがって、これらの記載から、刊行物１には、
　「試料８２に電子ビームを照射させる電子ビーム発生光学系と、
　前記電子ビーム発生光学系により試料８２に電子ビームを照射して、試料面８２から発生した二次電子像８３をラインセンサ型二次電子検出器８６上に結像させる二次電子検出系８４と、
　前記二次電子検出系８４により結像された前記二次電子像８３に基づいて検出信号を出力する前記ラインセンサ型二次電子検出器８６と、
　を備え、
　前記電子ビーム発生光学系から照射される電子ビームの断面形状が矩形であり、
　前記電子ビーム発生光学系は、多極子レンズを含む電子光学系を有する電子ビーム検査装置。」が記載されているものと認められる。（以下、「刊行物１発明」という。）
　
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用した特開平５−１０９３８１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
エ．「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バルク試料を電子線照射したときに発生する反射電子を直接写像する直接写像型反射電子顕微鏡に関する。」
オ．「【０００３】・・・ＬＥＥＭを用いて単色の像を得、それを解析することによって、バルク状試料表面の形状、表面電位（仕事関数）、結晶構造、電子状態、元素分析等の種々の分析を行うことができる。」
カ．「【０００６】
【課題を解決するための手段】・・・本発明の直接写像型反射電子顕微鏡は、電子ビーム源と、・・・試料の前方に配置され、前記電子ビーム源からの一次電子ビームを偏向して試料に垂直に入射させると共に、試料から発生される電子を直進させる第１のウィーンフィルタと、・・・を備えることを特徴とする。」
キ．「【００２０】上記実施例では試料から発生する反射電子をエネルギー分析する場合について説明したが、本発明は二次電子・・・を取り扱う電子顕微鏡にも適用することができるものである。」
　
（３）対比
　本願補正発明と刊行物１発明とを対比する。
　刊行物１発明の「電子ビーム発生光学系」、「二次電子検出系８４」、「ラインセンサ型二次電子検出器８６」、「多極子レンズを含む電子光学系」は、それぞれ本願補正発明の「電子ビーム照射部」、「写像投影光学部」、「電子ビーム検出部」、「１つ又は２つ以上の多極子レンズを含む電子光学レンズ系」に相当し、また、刊行物１発明は、ラインセンサ型二次電子検出器８６上に二次電子像８３の一次元像又は二次元像を結像させ、結像された二次電子像８３の一次元像又は二次元像に基づいてラインセンサ型二次電子検出器８６から検出信号を出力させることは明らかである。
　
　よって、両者は、
　「試料に電子ビームを照射させる電子ビーム照射部と、
　前記電子ビーム照射部により試料に電子ビームが照射されて、試料表面に応じて発生した電子の一次元像又は二次元像を電子ビーム検出部上に結像させる写像投影光学部と、
　前記写像投影光学部により結像された前記電子の一次元像又は二次元像に基づいて検出信号を出力する前記電子ビーム検出部と、
　を備え、
　前記電子ビーム照射部から照射される電子ビームの断面形状が、矩形であり、
　前記電子ビーム照射部は、１つ又は２つ以上の多極子レンズを含む電子光学レンズ系を有する電子ビーム検査装置。」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。
（相違点１）
　本願補正発明は、試料表面に応じて発生した二次電子及び反射電子の像を検出するのに対し、刊行物１発明は、試料表面に応じて発生した二次電子の像を検出する点。
（相違点２）
　本願補正発明は、電子ビーム検出部から出力された検出信号を与えられて、試料表面の一次元又は二次元像を表示する画像表示部を備えているのに対し、刊行物１発明は、このような構成を備えていない点。
（相違点３）
　本願補正発明は、電子ビーム照射部から照射された電子ビームの試料への入射角度と、二次電子及び反射電子の写像投影光学部への取り込み角度を変化させる電子ビーム偏向部を備えているのに対し、刊行物１発明は、このような構成を備えていない点。
　
（４）判断
・相違点１について
　電子ビーム検査装置において、試料に電子ビームを照射して試料表面に応じて発生した二次電子や反射電子などの電子像を検出することは、周知技術（例えば、刊行物１（特に、【請求項３】，【００１８】）、刊行物２（特に、【００２０】）などを参照。）であり、刊行物１発明の電子ビーム検査装置において、上記周知技術を用いて相違点１の構成を得ることは当業者が容易に為し得ることである。
　
・相違点２について
　電子ビーム検査装置において、電子ビーム検出部から出力された検出信号を画像表示部に与え、画像表示部に試料表面の二次元像を表示することは、周知技術（例えば、特開昭５９−１５５９４１号公報（特に、第５頁左上欄７行〜１０行，第６頁左上欄３行〜右上欄１６行，第６図，第７図）などを参照。）であり、刊行物１発明の電子ビーム検査装置において、上記周知技術を用いて相違点２の構成を得ることは当業者が容易に為し得ることである。
　
・相違点３について
　刊行物２には、電子顕微鏡において、ウィーンフィルタ（電子ビーム偏向部に相当）を用いて、電子ビーム源（電子ビーム照射部に相当）から照射された一次電子ビーム（電子ビームに相当）を試料へ垂直に入射し、試料から発生させる反射電子や二次電子を直進させることが記載されており（以下、「刊行物２発明」という。）、また、刊行物２発明も、上記摘記事項エ，オを斟酌すると電子ビーム検査装置ということができ、刊行物１発明と同一の技術分野に属するものであるから、刊行物１発明の電子ビーム検査装置において、上記刊行物２発明を用いて相違点３の構成を得ることは当業者が容易に為し得ることである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も、刊行物１発明，刊行物２発明，及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　したがって、本願補正発明は、刊行物１発明，刊行物２発明，及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際に独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項の規定で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１５年８月２０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１４年１１月５日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】
　試料に電子ビームを照射させる電子ビーム照射部と、
　前記電子ビーム照射部により試料に電子ビームが照射されて、試料表面に応じて発生した二次電子及び反射電子の一次元像又は二次元像を電子ビーム検出部上に結像させる写像投影光学部と、
　前記写像投影光学部により結像された前記二次電子及び反射電子の一次元像又は二次元像に基づいて検出信号を出力する前記電子ビーム検出部と、
　前記電子ビーム検出部から出力された前記検出信号を与えられて、前記試料表面の一次元又は二次元像を表示する画像表示部と、
　前記電子ビーム照射部から照射された電子ビームの試料への入射角度と、前記二次電子及び反射電子の前記写像投影光学部への取り込み角度を変化させる電子ビーム偏向部と、
　を備え、
　前記電子ビーム照射部から照射される電子ビームの断面形状が、線状又は長楕円であることを特徴とする電子ビーム検査装置。」
　
（２）引用刊行物記載の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（３）対比
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると、両者は、前記「２．（３）」に記載したとおりの点で一致し、前記「２．（３）」に記載したとおりの相違点１〜３に加えて、次の点で相違する。
（相違点４）
　本願発明は、電子ビームの断面形状が、線状又は長楕円であるのに対し、刊行物１発明は、矩形である点。
　
（４）判断
　上記相違点について検討すると、相違点１〜３については、前記「２．（４）」に記載したとおりである。
・相違点４について
　刊行物１発明の矩形電子ビームは、図１などをみると細長形状であって、線状又は長楕円ということができ、また、電子ビーム装置において、電子ビームの断面形状を線状又は長楕円とすることは、周知技術（例えば、特開昭６０−２３３８１４号公報（特に、第３図）などを参照。）であり、刊行物１発明の電子ビーム検査装置において、上記周知技術などを用いて相違点４の構成を得ることは当業者が容易に為し得ることである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、刊行物１発明，刊行物２発明，及び上記周知技術から当業者であれば予測できる範囲のものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１発明，刊行物２発明，及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。