【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３２８７２７４号発明「セラミックグリーンシートの製造方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２８７２７４号の請求項１に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３２８７２７４号は、平成９年９月９日に特許出願されたものであって、平成１４年３月１５日にその設定登録がなされ、その後、当審において、以下の手続を経たものである。
　審判請求書　　　　　　　　　　　　　　　平成１６年１２月　３日
　訂正請求書　　　　　　　　　　　　　　　平成１７年　２月１７日
　審判事件答弁書　　　　　　　　　　　　　平成１７年　２月１７日
　口頭審理陳述要領書（請求人）　　　　　　平成１７年　６月２２日
　口頭審理陳述要領書（被請求人）　　　　　平成１７年　６月２２日
　口頭審理（特許庁第１審判廷）　　　　　　平成１７年　６月２２日
　上申書（請求人）　　　　　　　　　　　　平成１７年　７月　６日
　上申書（被請求人）　　　　　　　　　　　平成１７年　７月２６日
　
II．訂正請求について
II−１．訂正事項
　平成１７年１月２８日付け訂正請求は、本件明細書の記載を、その訂正請求書に添付した訂正明細書に記載されるとおりに訂正することを求めるものであって、次の〈イ〉〜〈ヘ〉からなるものである。
　以下、訂正前の明細書を「特許明細書」といい、訂正請求書に添付された明細書を「訂正明細書」という。
〈イ〉特許明細書の請求項１において、
「・・・、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、セラミックグリーンシートの製造方法。」を、
「・・・、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備え、
前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートの製造方法。」に訂正する。
〈ロ〉特許明細書の請求項２の記載を削除する。
〈ハ〉特許明細書の段落０００７における、「・・・高速でかつ高品質で製造できる、セラミックグリーンシートの製造方法を提供しようとすることである。」を「・・・高速でかつ高品質で製造できる、積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートの製造方法を提供しようとすることである。」に訂正する。
〈ニ〉特許明細書の段落０００８における、「・・・セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートを成形することが行なわれる。」を「・・・セラミックスラリーからなる積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを成形することが行なわれる。」に訂正する。
〈ホ〉特許明細書の段落０００９における、「・・・セラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものであることが好ましい。・・・」を「・・・セラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである。・・・」に訂正する。
〈ヘ〉特許明細書の段落００３６における、「・・・小型化を図ることができる。この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法において、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーとして、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものを用いると、このような凝集粒子がセラミックグリーンシート内に混入してセラミックグリーンシートの適正な成形を妨げることを防止できるので、・・・」を「・・・小型化を図ることができる。また、この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法によれば、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーとして、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものを用いるため、このような凝集粒子がセラミックグリーンシート内に混入してセラミックグリーンシートの適正な成形を妨げることを防止できるので、・・・」に訂正する。
　
II−２．訂正の適否の判断
II−２−１．訂正の目的の適否
　上記訂正〈イ〉は、具体的には、特許明細書の請求項１において、
〈イ−１〉セラミックグリンシートの製造方法につき、「各工程を備える、」を「各工程を備え、前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、」と訂正し、また、
〈イ−２〉セラミックグリーンシートの用途につき「積層セラミック電子部品用の」との特定事項を付加するものである。
　そして、上記〈イ−１〉の訂正は、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーが所定の凝集粒子を予め除去したものであることを限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、また、上記〈イ−２〉の訂正は、セラミックグリーンシートの用途を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈ロ〉は、請求項を削除するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈ハ〉〜〈ホ〉の訂正は、請求項１における訂正に応じて、発明の詳細な説明の項の記載をそれに整合させるものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記〈ヘ〉の訂正は、文ないしは句の前後の関係を明確化するものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
II−２−２．新規事項追加の有無
　上記〈イ−１〉の訂正事項は、特許明細書の「この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法において、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものであることが好ましい。」（段落０００９）等の記載から自明なこととして導き出せるものであり、また、上記〈イ−２〉の訂正事項は、特許明細書の「さらには５μｍ以下といった薄いセラミックグリーンシートであっても、・・・可能になり、これを積層セラミック電子部品に適用すれば、特性の安定化、小型化を図ることができる。」（段落００３６）等の記載から自明なこととして導き出せるものであり、したがって、上記〈イ−１〉及び〈イ−２〉の訂正は願書に添付した明細書の記載の範囲内でなされるものであって、新規事項の追加には当たらない。
　上記〈ロ〉〜〈ヘ〉の訂正は、発明の詳細な説明の項の記載を明確化するだけのものであって、願書に添付した明細書の記載の範囲内でなされるものであることは明らかであり、新規事項の追加には当たらない。
II−２−３拡張・変更の存否
　上記〈イ−１〉〜〈ヘ〉の訂正は、単に特許請求の範囲を減縮するか、発明の詳細な説明の項の記載を明確化するだけのものであり、いずれの訂正も、実質上、特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
II−２−４．訂正の結論
　以上のとおり、上記訂正は特許法第１３４条の２第１項ただし書き、同条第５項で準用する特許法第１２６条第３項及び４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．本件発明
　上記訂正請求は上記II．で記載したとおり容認されたものであって、訂正後の本件請求項１に係る発明（以下、必要に応じて、「本件発明」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、
　セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するためのキャリアフィルムを用意し、
　前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、前記キャリアフィルム上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、
各工程を備え、
　前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである、積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートの製造方法。
　
IV．請求人の求めた審決及び主張
　審判請求人は、特許第３２８７２７４号の特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求め、証拠方法として下記の書証をもって以下に示す無効理由により、本件特許は無効にされるべきであると主張する。
（証拠方法）
甲第１号証：特公平６−２２３号公報
甲第２号証：特開平８−２７６４１４号公報
甲第３号証：「染色経済新聞」、平成８年３月２７日、第７頁
甲第４号証：特開平２−１７２５５６号公報
甲第５号証：特開平５−６３３２５号公報
甲第６号証：特開平７−１７７６９号公報
参考資料１：「ＪＩＳ工業用語大辞典【第４版】」、（財）日本規格協会、１９９５年１１月２０日、第１７２６頁
参考資料２：三谷恵敏著、「最近の粘着塗布機設備ニーズ」、コンバーテック５、１９９７．５、株式会社加工技術研究会、第１６〜２１行
（無効理由）　
（１）無効理由１
　本件請求項１及び２に係る発明（訂正後においては本件発明）は、本件出願前に頒布された刊行物である甲第１〜６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。したがって、その特許は特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきである。
　
Ｖ．被請求人の求めた審決及び反論
　被請求人は、本件審判請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とするとの審決を求め、本件発明の特許は、上記無効理由によっては無効とすることができないと主張する。
　
VI．甲号各証の記載事項について
VI−Ａ．甲第１号証（特公平６−２２３号公報）には、第１〜４図が掲載されると共に、以下の事項が記載されている。
（Ａ−１）「【請求項１】バッキングロールの下方にドクターエッジを有するノズルヘッドを配し、前記ノズルヘッドから塗工液を圧力をかけて噴射して、バッキングロールの下周面をノズルヘッドの前方から後方へ走行するウエブに塗工するリップコータ型塗工装置において、
ノズルヘッドの上面には、縦断面円弧型のドクターエッジが設けられ、
ノズルヘッドの内部の幅方向には、第１液溜め室が設けられ、
第１液溜め室とドクターエッジの前方に位置するノズルヘッドの上面との間には、流出路が設けられ、
ノズルヘッドの前部には、バッキングロールの下周面へ向かってウエブ走行用の間隙を残して液溜め壁が立設され、
バッキングロールの下周面、液溜め壁、ドクターエッジ及びノズルヘッドの上面とより第２液溜め室が形成され、
前記第２液溜め室は、流出路の出口より前方に膨まして流出路の容積より大きく形成されているとともに、縦断面円弧型のドクターエッジの刃先に接近するほど容積が、次第に小さくなる
ことを特徴とするリップコータ型塗工装置。」（第１頁左下欄第３行〜右下欄第８行）
（Ａ−２）「［発明の目的］
本発明は、ウエブの塗工層の空気が混入せず、また、均一な塗工ができるリップコータ型塗工装置を提供するものである。」（第２頁左欄第４２〜４５行）
（Ａ−３）「第１液溜め室（２６）の上部には流出路（２８）が幅方向に第１液溜め室（２６）と連続して形成されている。この流出路（２８）は、垂直に上方に伸びて、ドクターエッジ（１８）の前部とノズルヘッド（１４）前端部との間に出口（２８ａ）が設けられている。そして、この出口（２８ａ）の幅方向の長さによりウエブ（Ｆ）の塗工幅が決定される。そのため、蓋体（２２）の幅方向の長さを変化させるとウエブ（Ｆ）の塗工幅が変化する。
（３０）は液溜め壁であって、蓋体（２２）と略同じ幅を有し、蓋体（２２）の前面の上部にボルト（３１）により着脱自在に取付けられている。この液溜め壁（３０）の上端とバッキングロール（１２）の下周面との間には、ウエブ（Ｆ）の走行用の間隙が残されている。」（第３頁左欄第４６行〜右欄第８行）
（Ａ−４）「ウエブ（Ｆ）への塗工液の厚みは、バッキングロール（１２）とドクターエッジ（１８）の間隙と第２液溜め室（３２）の内圧によって決定される。
ウエブ（Ｆ）をバッキングロール（１２）とドクターエッジ（１８）の間隙に走行させる。塗工液は、ポンプ（４６）から第１液溜め室においてノズルヘッド（１４）の幅方向に拡散して流出路（２８）の出口（２８ａ）から第２液溜め室（３２）内部へ均一に噴射され、第２液溜め室（３２）内部を一定の圧力（以下、基準圧力という）で保持する。この基準圧力は、塗工液が第２液溜め室（３２）を満した状態でかつ液溜め壁（３０）とバッキングロール（１２）との間隙からオーバーフローしないように設定しておく。」（第４頁左欄第１８〜２９行）
（Ａ−５）「ウエブ（Ｆ）は塗工液が満された第２液溜め室（３２）を通過してドクターエッジ（１８）まで走行し、ドクターエッジ（１８）の刃先による線圧によって塗工液が塗工される。この場合に、塗工液が狭い流出路（２８）を通過することにより塗工液の圧力が均一化され、また、第２液溜め室（３２）は流出路（２８）の出口（２８ａ）より前方に膨まして流出路（２８）の容積より大きく形成しているため、第２液溜め室（３２）内部を大気の圧力より高い基準圧力に保持し易く、そのため、ウエブ（Ｆ）が液溜め壁（３０）とバッキングロール（１２）との間隙から第２液溜め室（３２）内部に搬入される際に、第２液溜め室（３２）内部に空気が侵入することなく、それにより、塗工層に気泡が生じることがない。
また、ドクターエッジ（１８）はコンマ型であるため、ドクターエッジ（１８）の刃先に接近するほど第２液溜め室（３２）の容積が次第に小さくなっており、それにともなってウエブ（Ｆ）にかかる圧力は次第に高くなり、また、圧力の調整により塗工液を第２液溜め室（３２）外にオーバーフローさせない構造となっている。そのためウエブ（Ｆ）の移動にともなう塗工液の同伴流Ａと流出路（２８）の出口（２８ａ）からの塗工液の噴射流Ｂは同じ方向の旋回流Ｃとなって不安定な流れになることがない。よって、ドクターエッジ（１８）に達する前のウエブ（Ｆ）表面にある塗工液の量が幅方向で変化することがなく、ウエブ（Ｆ）への塗工量が幅方向でムラが発生することがない。」（第４頁左欄第３０行〜右欄第３行）
（Ａ−６）「塗工液供給手段から第１液溜め室へ圧送された塗工液は、狭い流出路を通過することによりその圧力が均一化され、また、第２液溜め室は流出路の出口より前方に膨らませて流出路の容積より大きく形成しているため、第２液溜め室内部を大気の圧力より高い圧力に保持しやすい。」（第５頁左欄第２１〜２６行）
　
VI−Ｂ．甲第２号証（特開平８−２７６４１４号公報）には、図１〜図６が掲載されると共に、以下の事項が記載されている。
（Ｂ−１）「【請求項１】塗布ヘッドを含むセラミック塗料塗布装置であって、
前記塗布ヘッドは、走行する可撓性支持体の一面側に、セラミック塗料を押し出して塗布するものであり、
　前記セラミック塗料は、５ｖｏｌ％〜２０ｖｏｌ％のセラミック粉体を含むセラミック塗料塗布装置。」（第２頁左欄第２〜７行）
（Ｂ−２）「本発明は、積層セラミック電子部品の製造に用いられるセラミック塗料塗布装置に関する。」（第２頁左欄第１９〜２１行）
（Ｂ−３）「【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、塗布形成されたグリーンシートにスジが発生するのを防止し得るセラミック塗料塗布装置を提供することである。
　本発明のもう一つの課題は、塗布形成されたグリーンシートにピンホールが発生するのを防止し得るセラミック塗料塗布装置を提供することである。
　本発明の更にもう一つの課題は、塗布形成されたグリーンシートの幅方向の両側にシート滓が発生するのを防止し得るセラミック塗料塗布装置を提供することである。
　本発明の更にもう一つの課題は、面精度がよく、かつ、厚みバラツキの少ない均一なグリーンシートを得るセラミック塗料塗布装置を提供することである。」旨（第３頁左欄第４〜１７行）
（Ｂ−４）「【実施例】図１は本発明に係るセラミック塗料塗布装置の構成及びそのセラミック塗料塗布装置を用いたグリーンシート形成工程を示す図である。本発明に係るセラミック塗料塗布装置は、塗布ヘッド１０を含んでいる。塗布ヘッド１０は、一方向Ｆ１に走行する可撓性支持体１９の一面側ａにセラミック塗料１７ａを、押し出しによって塗布する。
　図２は塗布ヘッド１０の断面図、図３は図２に示した塗布ヘッドを用いてグリーンシート４３を形成する状態を説明する図である。塗布ヘッド１０は、押し出し式でなる。参照符号４６はセラミック塗料排出用スリット、４７は上流側ノズル、４８は下流側ノズル、４９はセラミック塗料だまり、５３はセラミック塗料だまりへの供給口である。図３において、参照符号Ｆ１は可撓性支持体１９の走行方向を示している。
　塗布ヘッド１０は、一方向に走行する可撓性支持体１９の一面ａ側にセラミック塗料１７ａを塗布するから、可撓性支持体１９の上にグリーンシート４３を形成できる。
　塗布ヘッド１０は、セラミック塗料１７ａを押し出して塗布するから、基本的特性として、ヘッドの幅方向の両側からセラミック塗料１７ａが漏れることがない。」旨（第３頁右欄第２７〜４９行）
（Ｂ−５）「本発明おいて用いられるセラミック材料には、特に制限はなく、誘電体セラミック、圧電セラミック、バリスタセラミック、サーミスタセラミック等、各種のセラミック材料が含まれる。塗料化のための溶剤としては、塩化メチレン、酢酸エチル、アセトン、メチルエチルケトン等を用いることができる。セラミック塗料に用いられるバインダーは、用いられる有機溶剤に溶けるバインダを広く用いることができる。例としては、アクリル、ポリビニルブチラール、エチルセルロース等を挙げることができる。」（第４頁左欄第１６〜２５行）
（Ｂ−６）「図１に示すセラミック塗料塗布装置は、更に、定量ポンプ６及び質量流量計９及を含む。定量ポンプ６及び質量流量計９は、押し出し式塗布ヘッド１０に対する塗料１７ａの供給量を制御する。参照符号７は精密な定量ギヤポンプ、８はフィルタである。定量ギヤポンプ７は定量ポンプ６の量的精度を向上させるために設けられる。フィルタ８は最終的に異物を除去するために設置される。このため、押し出し式塗布ヘッド１０からの塗料１７ａの吐出量が安定し、面精度がよく、かつ、厚みバラツキの少ない均一なグリーンシート４３を得ることができる。１７はセラミック塗料１７ａを収納するタンク、１７ｂは撹拌機である。」旨（第５頁左欄第７〜１８行）
（Ｂ−７）「本発明に係るセラミック塗料塗布装置によれば、塗布形成されたグリーンシートにスジ及びピンホールが発生するのを防止し得ること、及び、グリーンシートの幅方向の両側にシート滓が発生するのを防止し得ることは、前述した通りである。従って、本発明に係るセラミック塗料塗布装置によって製造されたグリーンシートを用いて積層セラミックコンデンサを製造した場合、ショート不良率及び耐電圧不良率が低く、製品歩留の高い状態で、積層セラミックコンデンサを製造することができる。」（第５頁右欄第３〜１２行）
（Ｂ−８）「＜スジの発生防止＞本発明にかかるセラミック塗料塗布装置を用い、セラミック粉体の体積比が２０％であるセラミック塗料により、３μｍ及び１０μｍのグリーンシートを成形した。・・・これに対して、本発明にかかるセラミック塗料塗布装置によって形成された３μｍのグリーンシートの場合、スジが認められず、シート欠陥による印刷不可回数も０回であり、極めて優れたスジ発生防止効果が得られた。」旨（第６頁左欄本文第２〜１５行）
　
VI−Ｃ．甲第３号証（「染色経済新聞」）には、「数値制御塗工を実現　クローズドなエアータイト構造　リップコーター」と題し、表−２及び図−２が掲載されると共に、以下の事項が記載されている。
（Ｃ−１）「リップコーターはコンマコーターの基本性能を継続し、新機能を搭載して新しい操作性を確立したという。別表−２は各種製品別に見た塗工方式の特性表である。」旨（第７頁上から第１段右から第８〜１３行）
（Ｃ−２）「リップコーティングの基本系はリップダイレクト方式であり、必然的に平滑コーティングとなる。リップヘッドは、コンマ形状（コンマコータ）の先端と特殊なキャビテー（リップコーター）を持っている。ＪＴＣ（定量樹脂供給装置）の場合、マニホールドから吐出された樹脂はジェットノズルををへて基材に直接供給される。ノズルは塗面形成のため、ノズル先端形状が五〜一〇ｍｍで、基材に対して平面で連続的な塗面を形成する機能がある。バックアップロールは、ラバー及びスチールの方法がある。・・・バッキングロールがラバーの場合（ノズル先端形状は一定のＲ加工された先端形状であっても微細な塗布面を要求しない限りは大きな問題は無い。）、」旨（第７頁上から第１段右から第３３行〜上から第２段右から第１６行）
（Ｃ−３）「リップは、基材に対する必要な濡れ長さ及び塗布安定の為のバッファーとして、両方の機能を持たせたコンマと共通の先端構造を持っている。この先端形状は、粘性流体の塗膜形成工程で、リブの発生を押さえるために先端エッジ形状等を配慮し、剪断力及びエッジ効果を発揮させる形成となっている。」旨（第７頁上から第５段右から第５〜１６行）
（Ｃ−４）「リップコーターの基本特長は次のとおり。・・・（４）高精度塗工が可能である。（５）プロファイルコントロールが可能である。（６）塗工面が美しい。（７）塗工時のエアーの巻き込みが殆ど無い。（８）比較的低粘度塗工にも対応する。（９）エアータイト構造（クローズドシステム）（１０）速度依存性が殆ど無い。（１１）塗工操作が簡単（１２）精度保持が容易・・・ポンプより供給された樹脂はリップのボトムキャビテーに導入される狭窄空間を通過することで全幅に広げられ、トップキャビテーに導かれる。トップキャビテーでは一定量の樹脂が常にプールされ、基材と一定の接触境界のタイミングが確保されている。ダイヘッドのそれと異なり、この接触タイミングを確保することで塗布工程上で様々な機能が生み出される。（１）安定塗工の確保（２）気泡同伴の防止・・・リップヘッドにおけるトップキャビテーは、これらの問題を解決するために樹脂圧を大気圧より高く維持し、制御する機能及び基材と塗液の接触角度の改善等、塗布状態を直接読み取る為に、塗布工程の様々な問題を解決するためには、なくてはならない空間である。」旨（第７頁上から第４段左から第５行〜第９段右から第８行）
（Ｃ−５）「リップ塗工のオペレーションは、ほぼ完全な数値運転（図−２）を可能としている。」旨（第７頁上から第７段左から第８行〜左から第６行）
（Ｃ−６）「リップコータで処理可能な製品としては、コンマコーターで処理していた殆ど総べての製品（・・・）及びコンマコーターで処理不可能であった高速塗工等。代表製品としては、粘接着樹脂テープ・・・・セラミック塗工・特殊物性の樹脂塗工等、テクニカムテストを通じてその用途は限りなく拡大しているとしている。」旨（第７頁上から第１２段右から第４〜末行）
　
VI−Ｄ．甲第４号証（特開平２−１７２５５６号公報）には、第１図〜第４図が掲載されると共に、以下の事項が記載されている。
（Ｄ−１）「バッキングロールの下方にドクターエッジを有するノズルヘッドを配し、前記ノズルヘッドから塗工液を圧力をかけてかけて噴射してウエブに塗工するリップコータ型塗工装置において、・・・ことを特徴とするリップコータ型塗工装置。」（第１頁左下欄第５〜末行）
（Ｄ−２）「上記により、ドクターエッジ（１８）の刃先が上下にそれぞれ２μｍ〜３μｍの幅で調整ができるため、２μｍより薄い塗工層を形成することができるという効果がある。」（第４頁右下欄第１〜４行）
　
VI−Ｅ．甲第５号証（特開平５−６３３２５号公報）には、以下の事項が記載されている。
（Ｅ−１）「【請求項１】分散セラミック粒子と、マトリックス相セラミック粒子とを混合し、これらをスラリー化し、これからグリーンシートを造り、そのグリーンシートを積層して所定の熱処理温度で焼成して基板を製造する粒子分散セラミック基板の製造方法において、
　上記分散セラミック粒子と上記マトリックス相セラミック粒子とを混合したのち、上記所定の熱処理温度よりも低い温度で焼成した複合体塊を造り、この複合体塊を粉砕して複合体粒子とし、
　この複合体粒子から粒径４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除く分級工程を行い、この分級後の複合体粒子を用いて上記のスラリー化、グリーンシート化を経て積層板をつくり、上記の所定の熱処理温度で焼成することを特徴とする粒子分散セラミック基板の製造方法。」（第２頁左欄第２〜１５行）
（Ｅ−２）「【産業上の利用分野】本発明は、粒子分散セラミック基板の製造方法に係り、特に粒子分散セラミックスを絶縁材料として多層化した、例えば電子計算機の集積回路搭載基板に供せられる粒子分散セラミック基板の製造方法の改善に関するものである。」（第２頁左欄第３５〜３９行）
（Ｅ−３）「ここで、粉砕して得られた複合体粒子から粗大な粒子を取り除く工程は、基板に含まれる空孔を小さくし、かつ少なくする作用を有し、それによって基板の高密度化および高強度化ができる。」（第３頁左欄第３５〜３８行）
（Ｅ−４）「この複合体塊５を、らいかい機を用いて粉砕（ステップ６）し、その粉砕物を３９０メッシュのふるいで約４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除く分級（ステップ７）を行い、平均粒径４μｍの粉末を得る。その粉末粒子は、アルミナ粒子の１部あるいは全部が硼珪酸ガラスで包まれた複合体粒子８となっている。次に、スラリー化するには、重量比で、複合体粒子１００、ブチラール樹脂６（有機バインダ）、可塑剤３、溶剤６０の割合で採取し、これらをボールミルで混合してスラリーを製造する（ステップ９）。
　ついで、それらのスラリーを、ドクターブレード法により、ポリエステルフィルム上に塗布して、厚さ０．２ｍｍのグリーンシートを製造する（ステップ１０）。これらグリーンシートを１０枚づつ積層（ステップ１１）し、１２０℃の加圧プレスで圧着して積層体を形成する。」（第３頁右欄第２５〜４０行）
　
VI−Ｆ．甲第６号証（特開平７−１７７６９号公報）には、以下の事項が記載されている。
（Ｆ−１）「この発明は、グリーンシート成形用セラミック泥漿物及びそれを用いて得られるグリーンシートに関する。」（第２頁左欄下から第３１行〜下から第２９行）
（Ｆ−２）「特に、薄層のグリーンシート（例えば１０μm 以下）を得るために、より微細な粒径のセラミック粉末（例えば粒径が１μm 以下）を用いるのが好ましい。」（第４頁右欄第２３〜２６行）
（Ｆ−３）「セラミック泥漿物の製造
　この変性ポリビニルアセタール樹脂１０重量部を、トルエン３０重量部とメチルエチルケトン１５重量部との混合溶剤に加え攪拌溶解した。この樹脂溶液に、可塑剤としてジブチルフタレート５重量部を加え攪拌溶解した。こうして得られた樹脂溶液に、セラミック粉末としてアルミナ粉末（平均粒径０．３μm ）１００重量部を加え、ボールミルで４８時間混合してアルミナ粉末を分散させたセラミック泥漿物を得た。
グリーンシートの製造
　このセラミック泥漿物を、離型処理したポリエステルフィルム上に約１２μｍ程度に塗布し、常温で３０分間風乾し、さらに熱風乾燥器で６０〜８０℃で１時間乾燥させて有機溶剤を蒸発させて、厚さ８μm の薄層のグリーンシートを得た。」（第５頁右欄第３０〜４４行）
　
VII．当審の判断
VII−１．無効理由１〈その１〉
　甲第１号証には、リップコータ型塗工装置に関する事項が記載されており、その具体的な構成につき検討する。
　甲第１号証には、甲第１号証の前記摘示（Ａ−１）によれば、「バッキングロールの下方にドクターエッジを有するノズルヘッドを配したリップコータ型塗工装置」が記載され、そして、当該ノズルヘッドについては、前記摘示（Ａ−１）及び（Ａ−３）と第２図及び３図の記載によれば、「該ノズルヘッドの上面には、ドクターエッジが設けられ、ノズルヘッドの内部の幅方向には第１液溜め室が設けられ、第１液溜め室の上部には流出路が幅方向に第１液溜め室と連続して形成され、バッキングロールの下周面、液溜め壁、ドクターエッジ及びノズルヘッドの上面とより形成され、かつ、前記流出路が垂直に上方に伸びて形成された流出路の出口に流出路の容積より大きく形成されている第２液溜め室が形成されている」ことが記載されている。
　この場合、該流出路は第１液溜め室よりも狭い断面を有し、該第２液溜め室は流路よりも広い断面を有することは明らかであるし、また、バッキングロールの下周面、液溜め壁、ドクターエッジ及びノズルヘッドの上面とより形成される当該第２液溜め室は、バッキングロールが参画していない作動前の状態ではバッキングロール側に「外部に向く開口」が形成されるといえるものであり、更に、第２図の記載からみて、該ドクターエッジは第２液溜め室の開口の一側縁に沿って形成されているといえるものである。
　次に、当該リップコータ型塗工装置の作動方法についてみると、前記摘示（Ａ−４）〜（Ａ−６）によれば、「ウエブをバッキングロールとドクターエッジの間隙に走行させること（Ａ−４）、第１液溜め室へ圧送された塗工液は、狭い流出路を通過することによりその圧力が均一化されること（Ａ−６）、ウエブは塗工液が満された第２液溜め室を通過してドクターエッジまで走行し、ドクターエッジの刃先による線圧によって塗工液が塗工され、塗工層が形成されること（Ａ−５）」が記載されている。
　この場合、塗工層の形成については、上記の「ウエブは塗工液が満された第２液溜め室を通過してドクターエッジまで走行し、ドクターエッジの刃先による線圧によって塗工液が塗工されること」と第２図の記載からみると、ドクターエッジが下流側になる方向にウエブを第２液溜め室の開口に沿って移動させることによって、ウエブ上に塗工層が成形されることが解る。また、作動時のウエブと第２液溜め室との関係については、前記摘示（Ａ−５）によれば、第２液溜め室内部は大気圧よりも高い基準圧力に保持されるにも拘わらず、塗工液を第２液溜め室外にオーバーフローさせないものであること、しかも、ウエブが液溜め壁とバッキングロールとの間隙から第２液溜め室内部に搬入される際に第２液溜め室内部に空気が侵入させないものであることが示され、このことと第１〜３図の記載を併せてみると、バッキングロール及びその下面のウエブは、第２液溜め室の開口の周縁部に圧接され、そのことにより当該開口が閉じられているものと認められる。この外、作動時の塗工液は、上記したとおり前記流出路の出口に第２液溜め室が形成されているのであるから、第１液溜め室へ圧送され流出路を通過した塗工液は、第２液溜め室に供給されることは明らかである。
　以上のことを本件発明の記載方法に従い整理すると、甲第１号証には、
「圧送される塗工液を溜める第１液溜め室と、前記第１液溜め室に連続しかつ第１液溜め室より狭い断面積を有する流出路と、前記流出路出口に設けられた流出路よりも広い断面を有すると共に外部に向く開口が形成された第２液溜め室とを備え、前記開口の一側縁に沿って縦断面円弧型ドクターエッジが形成されたノズルヘッドを用意し、
　塗工液からなる塗工層をその上で成形するためのウエブを用意し、
　前記第１液溜め室へ圧送された塗工液を、前記流出路を通過させて、第２液溜め室に供給すると共に、前記第２液溜め室の前記開口の周縁部に前記ウエブを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記ウエブを前記開口に沿って移動させることによって、前記ウエブ上に前記塗工液からなる塗工層を成形する、各工程を備える、リップコータ型塗工装置を用いた塗工層の製造方法」に関する発明（以下、必要に応じて、「甲第１号証発明」という）が記載されているということができる。
　そこで、本件発明と甲第１号証発明とを対比する。
　甲第１号証発明の「第１液溜め室」と本件発明の「第１のスラリー室」とは共に第１番目の室であるから、両室を「第１室」ということができるものであり、同様に、「第２液溜め室」及び「第２のスラリー室」を「第２室」ということができる。
　甲第１号証発明の「塗工液」と本件発明の「セラミックスラリー」とは、共に液状物の形態をとるのであるから、双方を「液状物」ということができる。
　甲第１号証発明の「塗工層」と本件発明の「セラミックグリーンシート」とは、共に成形物であって薄層の形状を有することから、双方を「薄層成形物」ということができる。
　甲第１号証発明の「ウエブ」と本件発明の「キャリアフィルム」とは、それらの使用方法からみて、共に液状物ないしは薄層成形物を担持するものであるから、双方を「担持体」ということができる。
　そして、甲第１号証発明の「ノズルヘッド」、「縦断面円弧型ドクターエッジ」及び「流出路」は本件発明の「コータ」、「ドクターエッジ」及び「流路」にそれぞれ相当する。
　よって、両者は、
「圧送される液状物を受ける第１室と、前記第１室に連通しかつ第１室より狭い断面を有する流路と、前記流路に連通しかつ流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２の室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、コータを用意し、
　液状物からなる薄層成形物をその上で成形するための担持体を用意し、
　前記第１室に圧送された液状物を、前記流路を通して、前記第２室まで供給するとともに、前記第２室の前記開口の周縁部に前記担持体を圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記担持体を前記開口に沿って移動させることによって、前記担持体上に前記液状物からなる薄層成形物を成形する、各工程を備える
薄層成形物の製造方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】該液状物が、本件発明では、「セラミックスラリー」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点２】該第１室が、本件発明では、「第１のスラリー室」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点３】該第２室が、本件発明では、「第２のスラリー室」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点４】該流路が、本件発明では、「スラリー流路」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点５】該コータが、本件発明では、「スラリーコータ」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点６】該薄層成形物が、本件発明では、「セラミックグリーンシート」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点７】該担持体が、本件発明では、「キャリアフィルム」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点８】該薄層液状物の厚みが、本件発明では、「５μｍ以下」であるとするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点９】該第１室に圧送される液状物が、本件発明では、「セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである」とするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
【相違点１０】該薄層成形体の用途が、本件発明では、「積層セラミック電子部品用」とするのに対して、甲第１号証発明ではそのことが明示されない。
　以下、上記相違点につき検討する。
【相違点１及び６について】
　甲第１号証発明においては、リップコータ型塗工装置により塗工液から塗工層を成形（ないしは形成）するものの、その塗工層及び塗工層の原料である塗工液の材質については具体的に例示されるものはなく、したがって、塗工層及び塗工液の材質については公知技術に委ねられるものであって、塗工液として用いることができかつそれを塗工層として成形できるものであれば、どのような材質のものでも利用可能であるということができる。
　一方、甲第３号証には、その前記摘示（Ｃ−２）〜（Ｃ−４）及びその図−２の記載によれば、コンマ形状の先端（甲第１号証発明の縦断面円弧型ドクターエッジに相当）、トップキャビテー（甲第１号証発明の第２液溜め室に相当）、狭窄空間（甲第１号証発明の流出路に相当）、ボトムキャビテー（甲第１号証発明の第１液溜め室に相当）から構成されるリップと、基体（甲第１号証発明のウエブに相当）、バックアップロールからなるリップ塗工システム（ないしはリップコータ）において、当該基材に樹脂を供給して塗面を形成する方法が紹介され、かつ、前記摘示（Ｃ−６）及びその表−２の記載よれば、そのようなリップ塗工（ないしはリップコーターによる塗工）方法をセラミック塗工の用途に適用できる旨示され、このように、甲第３号証の記載においては、甲第１号証発明の如きリップコータ塗工装置を用いた塗工方法を、セラミックの塗工に適用できることが教示されるものである。
　そして、セラミックの塗工においては、担持体上にセラミックスラリーを塗布して同担持体上にセラミックグリーンシートを成形することは、本件出願前に周知・慣用の事項〔必要ならば、甲第２号証の前記摘示（Ｂ−４）、特開平３−２７０７６１号公報の第１頁右下欄第１２行〜第２頁左上欄第５行、特開平７−２１１５７７号公報の第２頁右欄第１９〜２２行、特開平９−１２９５０５号公報の第２頁左欄第３９〜４３行、等を参照〕となっている。
　してみれば、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法を、セラミックの塗工に適用することとして、ウエブ上に、セラミックスラリーを適用してセラミックグリーンシートを成形するようになすことは、当業者が困難なく適宜なし得ることに過ぎない。
　そうであれば、甲第１号証発明において、上記相違点１及び６に係る本件特定事項を具備するようにすることは当業者が容易に想到できるものである。
【相違点２〜５について】
　上記相違点１及び６についての箇所で説示したとおり、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとしてセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを成形するようになすことは当業者が困難なく適宜なし得るものである。
　そして、このように甲第１号証発明の塗工液としてセラミックスラリーが用いられることになり、これにより、甲第１号証発明の第１液溜め室、第２液溜め室、流出路、及び、ノズルヘッドでは、セラミックスラリーが扱われることになる。
　そうであれば、甲第１号証発明において、その塗工方法をセラミック塗工に利用した場合には、上記相違点２〜５に係る本件特定事項を具備するようにすることは当業者が容易に想到できるものである。
【相違点７について】
　上記相違点１及び６についての箇所で説示したとおり、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとしてウエブ上にセラミックスラリーを適用してセラミックグリーンシートを成形するようになすことは当業者が困難なく適宜なし得るものである。
　そして、このようにセラミックスラリーを適用してセラミックグリーンシートを成形する場合のウエブとしては、通常、キャリアフィルムが用いられるものである〔必要ならば、特開平３−２７０７６１号公報の第１頁右下欄第１２行〜第２頁左上欄第５行、特開平７−２１１５７７号公報の第２頁右欄第１９〜２２行、特開平９−１２９５０５号公報の第２頁左欄第３９〜４３行、等を参照〕。
　してみれば、甲第１号証発明において、その塗工方法をセラミック塗工に適用した場合においては、そのウエブとしてキャリアフィルムを採択することは当業者にとっては当然のことであり、何等の困難も伴わない。
【相違点８について】
　甲第１号証発明においては、塗工液の厚み、すなわち、そこで成形される塗工層の厚さは、前記摘示（Ａ−４）によれば、バッキングロールとドクターエッジの間隙と第２液溜め室の内圧によって決定されるものであって、その厚みは特定の数値に限定されるものではなく、いうまでもなく、当該間隙及び当該内圧を調整すれば塗工層の厚みは任意に設定できるものである。そのうえ、甲第４号証では、その前記摘示（Ｄ−１）及び（Ｄ−２）によれば、甲第１号証発明のリープコータ型塗工装置と実質的に同じリープコータ型塗工装置により、２μｍより薄い塗工層を形成できることが示され、このように、甲第１号証発明のリープコータ型塗工装置により薄層領域の塗工層を成形できることが教示される。
　そして、甲第２号証においては、その前記摘示（Ｂ−８）によれば、可撓性支持体（甲第１号証発明のウエブに相当）上にセラミック塗料を塗布することにより可撓性支持体の上に３μｍの厚みのセラミックグリーンシートを形成することが示される。
　そうであれば、上記相違点１及び６についての箇所で説示したとおり、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとしてセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを成形するようになした場合において、そのセラミックグリーンシートの厚みを３μｍとなして、相違点８に係る本件特定事項を具備するようにすることは、当業者としては当然のこととしてなし得るものである。
【相違点９について】
　上記相違点１及び６についての箇所で説示したとおり、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとしてセラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形するようになすことは当業者が困難なく適宜なし得るものである。
　そして、当該セラミックスラリーでは液体媒体中にセラミック粉末を含むものであるが、セラミック粉末は液体媒体中では凝集体を形成する傾向を有することはこの分野の技術常識（必要ならば、特開平６−３２５９７１号公報の第２頁左欄第４２〜４７行、特開平３−４０９６３号公報の第１頁右下欄第７行〜第２頁左上欄第３行、特開平７−７６００６号公報の第２頁右欄第１０〜２３行、特開平５−８４０号公報の第２頁左欄第４４行〜右欄第５行、等を参照）となっており、そしてまた、良好な物性のセラミック製品を得るために、セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形する際に、セラミックスラリー中に存在するセラミック粉末の凝集体を予めセラミックスラリー中から除去することは周知の事項（必要ならば、特開昭５５−１３４９９１号公報第１頁左欄第１３行〜右欄第１０行、特開平６−３３３７７６号公報の第２頁左欄第２３行〜右欄第６行）となっている。
　してみれば、甲第１号証発明においてセラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形する場合において、良好な物性のセラミック製品を得るために、セラミックスラリーに生じたセラミック粒子の凝集体をセラミックスラリーから成形前に除去することは当業者が困難なく適宜実施できるものであり、むしろそのようにしないことが不自然でさえある。
　そして、甲第５号証において、「複合体塊５を・・・粉砕・・・し、その粉砕物を３９０メッシュのふるいで約４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除く分級・・・を行い、平均粒径４μｍの粉末を得る。・・・複合体粒子・・・で採取し・・・スラリーを製造する。・・・スラリーを、・・・ポリエステルフィルム上に塗布して、・・・グリーンシートを製造する」〔前記摘示（Ｅ−４）を参照〕及び「粉砕して得られた複合体粒子から粗大な粒子を取り除く工程は、基板に含まれる空孔を小さくし、かつ少なくする作用を有し、それによって基板の高密度化および高強度化ができる」〔前記摘示（Ｅ−３）〕と、セラミックグリーンシートを成形する場合に、最終製品である基板の高密度化及び高強度化を図る目的で、その原料である平均粒径４μｍのセラミック粉末から、約４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除くことが示されるのであるから、セラミックスラリーに生じたセラミック粒子の凝集体を予め除去する上記の場合においては、良好な物性のセラミック製品を得るために、当該セラミック粒子の平均粒径の１０倍以上程度の凝集粒子を除去することは当業者の当然なし得ることに外ならない。
　したがって、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとした場合において、当該相違点９の本件特定事項を具備するようにすることは当業者が困難なく適宜なし得るものである。
【相違点１０について】
　当該分野において、セラミックグリーンシートを積層セラミック電子部品の用途に適用することは、本件出願前の周知・慣用事項〔必要ならば、甲第２号証の前記摘示（Ｂ−７）、甲第５号証の前記摘示（Ｅ−１）及び（Ｅ−２）、等を参照〕に外ならない。
　してみれば、上記相違点１及び６についての箇所で説示したとおり、甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用することとしてウエブ上にセラミックスラリーを適用してセラミックグリーンシートを成形した場合に、そのセラミックグリーンシートを、積層セラミック電子部品の用途に適用して、その発明が当該相違点１０の本件特定事項を具備するようにすることに何等の困難も伴わない。
　
　このように、甲第１号証発明において上記相違点１〜１０に係る特定事項を具備するようにすることは当業者容易に想到できるものであり、また、そのことによって格別顕著な効果を奏したといえるものではない。
　したがって、本件発明は、甲第１〜６号証に記載の発明及び周知・慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
VII−２．無効理由１〈その２〉
　甲第２号証には、セラミック塗料塗布装置に関する事項が記載されており、その具体的な構成につき検討する。
　甲第２号証の前記摘示（Ｂ−１）によれば、当該セラミック塗料塗布装置は、塗布ヘッドを含み、同摘示（Ｂ−１）及び（Ｂ−４）によれば、当該塗布ヘッドは、「一方向に走行する可撓性支持体の一面側に５ｖｏｌ％〜２０ｖｏｌ％のセラミック粉体を含むセラミック塗料を押し出して塗布し、可撓性支持体の上にグリーンシートを形成する」こと、そして、同摘示（Ｂ−８）によれば、当該セラミック塗料塗布装置により「３μｍのグリーンシートを成形した」こと、更に、同摘示（Ｂ−２）及び（Ｂ−７）によれば、「製造されたグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製造すること」が示される。
　してみれば、甲第２号証には、「セラミック塗料塗布装置が塗布ヘッドを含み、当該塗布ヘッドにより、一方向に走行する可撓性支持体の一面側にセラミック粉体を含むセラミック塗料を押し出して、３μｍのグリーンシートを成形ないしは形成する、積層セラミック電子部品用のグリーンシートの製造方法」に関する発明（以下、必要に応じて、「甲第２号証発明」という）が記載されているということができる。
　そこで、本件発明と甲第２号証発明とを対比する。
　甲第２号証発明の「セラミック塗料」は、塗布ヘッドから押し出されることから流動性の性質を示すものであり、また、セラミック粉体を含み、更に、その前記（Ｂ−５）によれば、溶剤とバインダも含むものであり、したがって、このセラミック塗料は、スラリー状態であるということができるものであって、本件発明の「セラミックスラリー」に相当する。
　また、甲第２号証発明の「グリーンシート」は当該セラミック塗料から形成されるものであることから、本件発明の「セラミックグリーンシート」に相当するものである。
　この外、甲第２号証発明の可撓性支持体は、本件発明のキャリアフィルムと同じように、その上にグリーンシートを成形するのであるから、当該可撓性支持体及びキャリアフィルムは、成形支持体であるということができる。
　よって、両者は、
「セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するための成形支持体を用意し、
　前記成形支持体上に前記セラミックスラリーからなる厚みが５μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する、積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートの製造方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点イ】該成形支持体が、本件発明では「キャリアフィルム」であるのに対して、甲第２号証発明では可撓性支持体とされるものの、キャリアフィルムが明示されず、表現上、当該特定事項を具備しない点
【相違点ロ】該セラミックグリーンシートの製造方法において、本件発明では「圧送されるセラミックスラリーを受ける第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連通しかつ第１のスラリー室より狭い断面を有するスラリー流路と、前記スラリー流路に連通しかつスラリー流路より広い断面を有するとともに外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成された、スラリーコータを用意し、前記第１のスラリー室に圧送されたセラミックスラリーを、前記スラリー流路を通して、前記第２のスラリー室まで供給するとともに、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記キャリアフィルムを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記キャリアフィルムを前記開口に沿って移動させることによって、セラミックグリーンシートを成形する、各工程を備え、」との特定事項を有するのに対して、甲第２号証発明では当該塗布ヘッドによりセラミック塗料を一方向に走行する可撓性支持体の一面側に押し出してグリーンシートを成形するものの、そこでの塗布ヘッドに第１スラリー室、スラリー流路、第２スラリー室及びドクターエッジを設けることが示されず、したがって、当該特定事項を具備しない点
【相違点ハ】セラミックグリーンシートの製造方法において、本件発明では「前記第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーは、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものである」という特定事項を有するのに対して、甲第２号証発明では、セラミック粉末の凝集粒子を予め除去することが明示されず、したがって、当該特定事項を具備しない点
　以下、上記相違点につき検討する。
【相違点イについて】
　甲第１号証発明の可撓性支持体（成形支持体）は、上記したとおり、その一側面にセラミックスラリーを押し出してセラミックグリーンシートを成形するものであって、セラミックスラリーないしはセラミックグリーンシートを担持する役割を担うものであるからキャリア体といえるものであり、そして、セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形する当該技術分野においては、そのような可撓性支持体としては、通常、フィルム形状のものが用いられるものである（必要ならば、甲第５号証の前記摘示（Ｅ−４）及び甲第６号証の前記摘示（Ｆ−３）等を参照）。
　してみれば、甲第１号証発明の「可撓性支持体」は、実質上、本件発明の「キャリアフィルム」の形態を含むものであるといえるものである。
　そうであれば、この点は、両者の実質上の相違点とはならない。
【相違点ロについて】
　甲第２号証発明では、上記したとおり、塗布ヘッドにより、一方向に走行する可撓性支持体（キャリアフィルム）の一面側にセラミック粉体を含むセラミック塗料を押し出して、すなわち、加圧下に供給して、３μｍのグリーンシートを成形するものであり、そして、甲第２号証発明では、その前記摘示（Ｂ−３）によれば、面精度がよく、かつ、厚みバラツキの少ない均一なグリーンシートを得ること等をそこでの発明の目的とするものである。
　一方、甲第１号証には、前記VII−１．無効理由１〈その１〉の甲第１号証発明の認定の箇所で説示したとおり、「圧送される塗工液を溜める第１液溜め室と、前記第１液溜め室に連続しかつ第１液溜め室より狭い断面積を有する流出路と、前記流路出口に設けられた流路よりも広い断面を有すると共に外部に向く開口が形成された第２液溜め室とを備え、前記開口の一側縁に沿ってドクターエッジが形成されたノズルヘッドを用意し、
　塗工液からなる塗工層をその上で成形するためのウエブを用意し、
　前記第１液溜め室へ圧送された塗工液を、前記流出路を通過させて、第２液溜め室に供給すると共に、前記第２液溜め室の前記開口の周縁部に前記ウエブを圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記ウエブを前記開口に沿って移動させることによって、前記ウエブ上に前記塗工液からなる塗工層を成形する、各工程を備える、リップコータ型塗工装置を用いた塗工層の製造方法」に関する発明が記載されている。
　そして、この甲第１号証発明の塗工層の製造方法では、その前記摘示（Ａ−５）によれば第２液溜め室の内部は大気の圧力よりも高く保持され、これにより甲第２号証発明と同じように塗液を、加圧下に、ウエブに供給してそこに塗工層を形成するものである。
　更に、甲第３号証においては、その前記摘示（Ｃ−４）及び（Ｃ−６）によれば、甲第１号証発明と同じリップコータ型塗工装置を利用しときには「高精度塗工が可能である、プロファイルコントロールが可能である、塗工面が美しい、塗工時のエアーの巻き込みが殆ど無い」等と、成形物の面精度及び厚み均一性に関し有効であることが示され、そのうえ、前記摘示（Ｃ−６）によれば、甲第１号証発明と同じリップコータ型塗工装置を用いた塗工がセラミック塗工に利用できることが具体的に教示されるものである。
　してみれば、甲第２号証発明において、その塗布ヘッドによるセラミック塗料の押し出し方法に替えて、加圧下において塗工液（セラミック塗料）がウエブ（可撓性支持体）に供給される点で同様な塗工（成形）原理を有し、更に、甲第２号証発明の目的に適う塗工（成形）性能に優れ、そのうえ、セラミック塗工が可能であるところの甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いる塗工方法を、採択してみることは当業者が容易に想到できることである。
　そして、このように、甲第２号証発明において、その押し出し方法に替えて、甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いる塗工方法を採択した場合には、その発明は、「圧送されるセラミックスラリー（セラミック塗料）を溜める第１のスラリー室と、前記第１のスラリー室に連続しかつ第１のスラリー室より狭い断面積を有するスラリー流出路と、前記スラリー流出路出口に設けられた流出路よりも広い断面を有すると共に外部に向く開口が形成された第２のスラリー室とを備え、前記開口の一側縁に沿って縦断面円弧状型ドクターエッジが形成されたノズルヘッドを用意し、
　セラミックスラリーからなるセラミックグリーンシートをその上で成形するための可撓性支持体を用意し、
　前記第１のスラリー室へ圧送されたセラミックスラリーを、前記流出路を通過させて、第２のスラリー室に供給すると共に、前記第２のスラリー室の前記開口の周縁部に前記可撓性支持体を圧接させることによって当該開口を閉じ、その状態で、前記ドクターエッジが下流側になる方向に前記可撓性支持体を前記開口に沿って移動させることによって、前記可撓性支持体上に前記セラミックスラリーからなる厚みが３μｍのセラミックグリーンシートを成形する、各工程を備える、」ことになり、その発明は、必然的に、当該相違点ロに係る本件特定事項を具備することになる。
　したがって、甲第２号証発明において、当該相違点ロに係る本件特定事項を具備するようにすることに別途困難を伴わない。
【相違点ハについて】
　甲第２号証発明に上記相違点ロにかかる特定事項を具備させた場合においては、セラミックスラリー（セラミック塗料）を用いてセラミックグリーンシート（グリーンシート）を成形することになる。
　そして、前記VII−１．の【相違点９について】の箇所で説示したとおり、セラミックスラリーでは液体媒体中にセラミック粉末を含むものであるが、セラミック粉末は液体媒体中では凝集体を形成する傾向を有することはこの分野の技術常識となっており、そしてまた、良好な物性のセラミック製品を得るために、セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形する際に、セラミックスラリー中に存在するセラミック粉末の凝集体を予めセラミックスラリー中から除去することは周知の事項となっている。
　してみれば、甲第２号証発明に上記相違点ロにかかる特定事項を具備させた場合において、セラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを成形する際に、良好な物性のセラミック製品を得るために、セラミックスラリーに生じたセラミック粒子の凝集体をセラミックスラリーから成形前に除去することは当業者が困難なく適宜実施できるものであり、むしろそのようにしないことが不自然でさえある。
　そして、前記VII−１．の【相違点９について】の箇所で説示したとおり甲第５号証で、セラミックグリーンシートを成形する場合に最終製品である基板の高密度化及び高強度化を図る目的で、その原料である平均粒径４μｍのセラミック粉末から、約４０μｍ以上の粗大な粒子を取り除くことが示されるのであるから、セラミックスラリーに生じたセラミック粒子の凝集体を予め除去する上記の場合においては、当該セラミック粒子の平均粒径の１０倍以上程度の凝集粒子を除去することは当業者の当然なし得ることに外ならない。
　したがって、甲第２号証発明に上記相違点ロにかかる特定事項を具備させた場合において、当該相違点ハに係る本件特定事項を具備するようにすることに別途困難を伴わない。
　
　このように、甲第２号証発明において、上記相違点イ〜ハに係る本件特定事項を具備するようにすることは当業者容易に想到できるものであり、また、そのことによって格別顕著な効果を奏したといえるものではない。
　したがって、本件発明は、甲第１〜６号証に記載の発明及び周知・慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
VII−３．本件発明の奏する効果について
　訂正明細書の記載によると、本件発明は、「（１）従来、量産規模での成形が困難とされていた、厚み５μｍ以下といった薄いセラミックグリーンシートであっても、高い品質で、かつ高スピードで成形することが可能になり、これを積層セラミック電子部品に適用すれば、特性の安定化、小型化を図ることができる、（２）この発明に係るセラミックグリーンシートの製造方法によれば、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーとして、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去したものを用いるため、このような凝集粒子がセラミックグリーンシート内に混入してセラミックグリーンシートの適正な成形を妨げることを防止できる」旨（段落００３６）の効果を奏するというものである。
　そこで、その効果の予測性につき検討する。
上記（１）について
　甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用した場合においては、又は、甲第２号証発明において、その押し出し方法に替えて、甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いる塗工方法を採択した場合のいずれにおいても、甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いることになるが、そのようなリップコータ型塗工装置を用いた塗工方法においては、甲第３号証の前記摘示（Ｃ−４）及び（Ｃ−６）によれば、「高精度塗工が可能である、プロファイルコントロールが可能である、塗工面が美しい、塗工時のエアーの巻き込みが殆ど無い、比較的低粘度塗工にも対応する、速度依存性が殆ど無い、塗工操作が簡単、精度保持が容易、コンマコーターで処理不可能であった高速塗工」等の利点を有することが示されるのであり、これによれば高い品質で塗工層を形成することが可能であること、また、高速塗工が可能であることから高い速度で塗工層を形成することが可能であることが容易に予測できるものであり、更に、リップコータ型塗工装置を用いた塗工方法につき記載される甲第４号証の前記摘示（Ｄ−２）によれば、２μｍより薄い塗工層を形成することができることが示されるので、リップコータ型塗工装置を用いた塗工方法でセラミックグリーンシートを成形した場合においては、厚み５μｍ以下といったセラミックグリーンシートが成形できることが、そして、そのような薄いセラミックグリーンシートであっても、上記塗工層の場合と同じように、高い品質で、かつ高スピードで成形することが可能であることが容易に予測できるものであり、更に、それを用いた積層セラミック電子部品では特性の安定化、小型化図ることができることはこれまた容易に予測できるものである。
上記（２）について
　甲第１号証発明のリップコータ塗工装置を利用した塗工方法をセラミック塗工に適用した場合においては、又は、甲第２号証発明において、その押し出し方法に替えて、甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いる塗工方法を採択した場合のいずれにおいても、甲第１号証発明のリップコータ型塗工装置を用いて、セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成形することになるが、その成形は、甲第１号証の前記摘示（Ａ−５）によれば、「ウエブは塗工液が満された第２液溜め室を通過してドクターエッジまで走行し、ドクターエッジの刃先による線圧によって塗工液が塗工される」というものであって、セラミックスラリーを用い場合においてもドクターエッジの刃先による線圧によってキャリアフィルム上に成形されるのであるから、セラミックスラリー中に凝集により生じた過大セラミック粒子が存在すれば、当然のこととして、その線圧がドクターエッジに接するセラミック粒子又はキャリアフィルムに均一に働かず、その結果、その成形作業が適正に行われなくなることは自明なこととして把握できる。
　したがって、第１のスラリー室に圧送されるセラミックスラリーとして、当該セラミックスラリーに含まれるセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子を予め除去した場合には、ドクターエッジに接するセラミックスラリーにはセラミック粉末の平均粒径の１０倍以上の凝集粒子が存在しないことになり、その成形作業が円滑に実施できることは無理なく容易に予測できるものである。
　
VIII．まとめ
　以上のとおり、訂正後の本件請求項１に係る発明についての特許は、本件出願前に頒布された刊行物である甲第１〜６号証に記載の発明及び周知・慣用事項の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、特許法第１２３条第１項第２号の規定により無効とすべきものである。
　また、審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。