【事件の表示】
　特願２０１３−５３３０１５「同軸駆動真空ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　４月１２日国際公開，ＷＯ２０１２／０４８３４６，平成２５年１０月３１日国内公表，特表２０１３−５４０３６１，請求項の数（５）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，２０１１年（平成２３年）１０月１１日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１１年１０月１１日，米国，２０１０年１０月８日（以下，「本願優先日」という。），米国，２０１１年５月２７日，米国）を国際出願日とする出願であって，平成２７年８月２５日付け拒絶理由通知に対して，平成２８年３月１日に意見書が提出されるとともに手続補正がされたが，同年８月２３日付けで拒絶査定（以下，「原査定」という。）がされ，これに対し，同年１２月２７日に拒絶査定不服審判の請求がされると同時に手続補正がされたところ，当審から，平成３０年５月１１日付けで拒絶理由（以下，「当審拒絶理由」という。）が通知され，同年１１月１５日に意見書が提出されるとともに誤訳訂正（以下，「本件訂正」という。）がされたものである。
第２　本願発明
　本願請求項１ないし５に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明５」という。）は，本件訂正で訂正された特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定される発明であり，本願発明１ないし５は以下のとおりである。
「【請求項１】
　同軸駆動スピンドル機構及び少なくとも一つのハーモニックモータ組立部品を含み，前記同軸駆動スピンドル機構が少なくとも二つの駆動軸を含み，前記少なくとも一つのハーモニックモータ組立部品が少なくとも二つの駆動軸と対応する複数のモータ回転子及び複数のモータ固定子を含む駆動システムと，
　前記同軸駆動スピンドル機構に取り付けられた少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームと，を含むロボット式搬送装置において，
　前記少なくとも一つのハーモニックモータ組立部品は，前記同軸駆動スピンドル機構を通して前記少なくとも一つの搬送アームに結合され，前記搬送アームを移動させるために前記同軸駆動スピンドル機構の少なくとも二つの駆動軸を実質的に直接駆動するように構成されており，
　前記同軸駆動スピンドル機構は密閉環境の中にあり，前記複数のモータ固定子は前記密閉環境の外に隔離され，前記同軸駆動スピンドル機構を前記密閉環境内に密閉するすべてのシールは静的シールであり，前記静的シールのすべてによって前記密閉環境の密閉をもたらす各密閉接合部位が静的接合部位であるように構成されている，ロボット式搬送装置。
【請求項２】
　前記少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは，直線状にスライドするエンドエフェクタ配列を有する，請求項１に記載のロボット式搬送装置。
【請求項３】
　前記少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームは，互いに積み重ねられた少なくとも二つのエンドエフェクタと，それぞれのエンドエフェクタが，少なくとも二つのエンドエフェクタの他方とは独立してスライドして取り付けられる基板部材と，を含む，請求項１に記載のロボット式搬送装置。
【請求項４】
　前記ロボット式搬送装置はさらにＺ軸駆動モータを含む，請求項１に記載のロボット式搬送装置。
【請求項５】
　前記駆動システムは，前記密閉環境を保持する内部を有する筐体，駆動軸に対応した前記モータ固定子及び前記モータ回転子，並びに，少なくとも一つの静的隔離バリアを形成する前記静的シールを含み，前記モータ固定子は前記筐体の前記内部の外側の前記筐体内に配置され，前記モータ回転子は前記内部に配置され，前記少なくとも一つの静的隔離バリアは前記内部を閉じる前記筐体内に配置されることで，前記少なくとも一つの静的隔離バリアは，前記モータ固定子は，前記筐体の前記内部で前記密閉環境の外側に配置され，前記筐体の前記内部が前記密閉環境に開かれているように，前記モータ固定子を前記筐体の前記内側で前記密閉環境から遮断するように構成されている，請求項１に記載のロボット式搬送装置。」
第３　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は次のとおりである。
１．（明確性）本件出願は，特許請求の範囲の記載が，特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 
２．（サポート要件）本件出願は，特許請求の範囲の記載が，特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 
３．（進歩性）本願発明１ないし５は，本願優先日前に日本国内又は外国において頒布された以下の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　引用文献１　特開２００４−１４６７１４号公報
　引用文献２　特開平１１−３０７６０９号公報
　引用文献３　特開２００３−１７０３８４号公報
　引用文献４　特表２００４−５００５２１号公報
第４　引用文献，引用発明等
１　引用文献１について
（１）　引用文献１の記載
　当審拒絶理由で引用された引用文献１（特開２００４−１４６７１４号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている（下線は当審で加筆した。以下同じ。）。
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，
半導体ウエハ等の被処理体の搬送機構
イ　「【００２３】
次に，図２〜図６も参照して，上記共通搬送室６内に設けた第２搬送機構１４について説明する。
まず，この
第２搬送機構１４は
共通搬送室６の底板６Ａに形成した取付孔に気密状態で設けた３つの回転軸５０，５２，５４によって動作され
これらの３つの回転軸５０，５２，５４は
各回転中心が同一となるように３軸同軸構造になされており，その中心より外側に向けて最内周回転軸（第１の回転軸）５０，中間回転軸（第３の回転軸）５２，最外周回転軸（第２の回転軸）５４として順次同軸状に構成され
同軸状に隣り合う回転軸５０，５２，５４間及び最外周回転軸５２と底板６Ａの取付孔区画面との間には，それぞれ軸受５６が介設されており，各回転軸５０，５２，５４をそれぞれ個別に回転自在
【００２４】
また，
各回転軸５０，５２，５４の下部は，上記底板６ＡにＯリング等のシール部材５８を介して取付られたケーシング６０により気密に囲まれて
上記各回転軸５０，５２，５４の下部と，ケーシング６０の内壁との間には，ロータとステータとよりなる
駆動モータ６２，６４，６６がそれぞれ設けられており，各回転軸５０，５２，５４を正逆回転し得るようになって
【００２５】
図２乃至図４に戻って，この第２搬送機構１４は，前述したようにウエハを直接的に保持する２つのピック１４Ａ，１４Ｂを有している。具体的には，まず，
この第２搬送機構１４は，略Ｖ字形状に成形された板状のベース部材６８を有しており
【００２６】
そして，図３にも示すように
このベース部材６８の上面の一側には，第１の案内レール７０Ａが直線状に設けられており，この第１の案内レール７０Ａにはこのレールに沿って移動可能に第１の移動体７２Ａが外れないように嵌装されて
そして，
この第１の移動体７２Ａの上面側には，Ｌ字状に成形されて，先端側が上記第１の案内レール７０Ａと略平行になるようになされた第１の保持部材７４Ａが取り付け固定されて
この第１の保持部材７４Ａの先端部に上記一方のピック１４Ａが取り付けられている
【００２７】
また，
上記第１の保持部材７４Ａの基部側には，第１の運動方向変換機構７６Ａが設けられて
上記最内周回転軸（第１回転軸）５０には，その基部側を連結させて第１のアーム７８Ａが取り付けられており，この第１のアーム７８Ａの先端部は上記第１の運動方向変換機構７６Ａに連結されて，この第１のアーム７８Ａの回転運動を上記第１の移動体７２Ａの直線運動に変換するようになっている
【００２８】
このように構成することにより，上記最内周回転軸５０を回転して第１のアーム７８Ａを正逆方向へ旋回することにより，上記第１の運動方向変換機構７６Ａの第１の補助移動体８２Ａが第１の補助案内レール８０Ａ上をスライド移動し，この時，この下部の第１の移動体７２Ａは第１の案内レール７０Ａに沿ってスライド移動するので，第１の保持部材７４Ａの先端に設けたピック１４Ａは，上記第１の案内レール７０Ａに沿って前進及び後退することになる。
ここで他方のピック１４Ｂに対しても，ベース部材６８の下面側（裏面側）に全く同様な構成で取り付けられている。」
ウ　「【００３３】
次に，以上のように構成された
本実施例の動作
まず，図１に示すように，３つの導入ポート１８Ａ〜１８Ｃの内のいずれかの導入ポートに設置されたカセット容器２０内からは，第１の搬送機構２２を用いて未処理の半導体ウエハＷが取り出され，このウエハＷはオリエンタ２６に搬送されてここで位置合わせが行われる。
この位置合わせ後のウエハＷは，再度，第１の搬送機構２２に保持されて，第１及び第２のロードロック室８Ａ，８Ｂの内のいずれか一方のロードロック室へ搬入される。このロードロック室内のウエハＷは，共通搬送室６内に設けた本発明に係る第２の搬送機構１４を用いて予め真空状態になされている共通搬送室６内に取り込まれ，そして，このウエハＷは，４つの処理室４Ａ〜４Ｄの内の所定の処理室内に搬入されてこのウエハＷに対して所定の処理が行われる。このウエハＷを処理室内へ搬入する際には，一般的には，先に処理室内に搬入されて処理済みになっている処理済みウエハと未処理ウエハとの置き換えが行われる。このようにして，ウエハＷは，上記第２の搬送機構１４を用いて必要に応じて順次他の処理室へ搬送され，その都度，所定の処理が行われる。そして，全ての処理が完了したウエハＷは２つのロードロック室８Ａ，８Ｂの内のいずれか一方のロードロック室を介して，元のカセット容器２０内に戻されることになる。
【００３４】
次に，上記
第２の搬送機構１４の動作について
説明する
また，第２の搬送機構１４の特定のピックが特定の方向，例えば特定の処理室やロードロック室に向くように方向付けする場合には，この中間回転軸５２を回転することによってベース部材６８を旋回させて，特定のピック，例えばピック１４Ａをその方向に向ける（図６（Ａ）参照）。この際，両ピック１４Ａ，１４Ｂを，これらの旋回方向以外の方向に対する静止状態を維持するためには，最内周回転軸５０及び最外周回転軸５４も上記中間回転軸５２と同期させて周方向に回転する。
【００３５】
そして，この状態で第１のピック１４Ａを進退させるには，
最内周回転軸５０を正逆回転して第１のアーム７８Ａを正逆方向へ旋回することにより，第１の運動変換機構７６Ａの第１の補助移動体８２Ａが第１の補助案内レール８０Ａ上をスライド移動し，この時，第１の移動体７２Ａは第１の案内レール７０Ａに沿ってスライド移動するので，第１の保持部材７４Ａの先端に設けたピック１４Ａは，第１の案内レール７０Ａに沿って前進及び後退することになる
（２）　引用発明
　上記（１）によれば，引用文献１には，次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「第２搬送機構１４であって，該第２搬送機構１４は，
　共通搬送室６の底板６Ａに形成した取付孔に気密状態で設けた３つの回転軸５０，５２，５４によって動作され，これらの３つの回転軸５０，５２，５４は，各回転中心が同一となるように３軸同軸構造になされており，その中心より外側に向けて最内周回転軸５０，中間回転軸５２，最外周回転軸５４として順次同軸状に構成され，同軸状に隣り合う回転軸５０，５２，５４間及び最外周回転軸５２と底板６Ａの取付孔区画面との間には，それぞれ軸受５６が介設されており，各回転軸５０，５２，５４をそれぞれ個別に回転自在であり，
　各回転軸５０，５２，５４の下部は，底板６ＡにＯリング等のシール部材５８を介して取付られたケーシング６０により気密に囲まれており，上記各回転軸５０，５２，５４の下部と，ケーシング６０の内壁との間には，ロータとステータとよりなる駆動モータ６２，６４，６６がそれぞれ設けられ，各回転軸５０，５２，５４を正逆回転し得るようになっており，
　この第２搬送機構１４は，略Ｖ字形状に成形された板状のベース部材６８を有しており，このベース部材６８の上面の一側には，第１の案内レール７０Ａが直線状に設けられており，この第１の案内レール７０Ａにはこのレールに沿って移動可能に第１の移動体７２Ａが外れないように嵌装されており，この第１の移動体７２Ａの上面側には，Ｌ字状に成形されて，先端側が上記第１の案内レール７０Ａと略平行になるようになされた第１の保持部材７４Ａが取り付け固定されており，この第１の保持部材７４Ａの先端部に上記一方のピック１４Ａが取り付けられており，
　上記第１の保持部材７４Ａの基部側には，第１の運動方向変換機構７６Ａが設けられており，上記最内周回転軸５０には，その基部側を連結させて第１のアーム７８Ａが取り付けられており，この第１のアーム７８Ａの先端部は上記第１の運動方向変換機構７６Ａに連結されて，この第１のアーム７８Ａの回転運動を上記第１の移動体７２Ａの直線運動に変換するようになっており，
　最内周回転軸５０を正逆回転して第１のアーム７８Ａを正逆方向へ旋回することにより，第１の運動変換機構７６Ａの第１の補助移動体８２Ａが第１の補助案内レール８０Ａ上をスライド移動することにより，第１の移動体７２Ａは第１の案内レール７０Ａに沿ってスライド移動するので，第１の保持部材７４Ａの先端に設けたピック１４Ａは，第１の案内レール７０Ａに沿って前進及び後退する，
　第２搬送機構１４。」
２　引用文献２について
　当審拒絶理由で引用された引用文献２（特開平１１−３０７６０９号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体ウェハまたは液晶基板等の製造プロセスに使用される
搬送用アームロボットのアーム駆動装置
「【０００２】
【従来の技術】従来より半導体チップの製造工程における回路形成の最も一般的な方法としては円形平板形状の半導体ウェハの表面に成膜，エッチング，不純物拡散等，種々の処理を繰り返し施す方法である。
【０００３】また図５は上記のウェハ表面処理を行う装置として利用されるクラスタツール１の一例を示す上面図である。この図において，各ウェハ処理を行うための仕切り部屋（以下チャンバという）であるプロセスチャンバ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄおよび処理前のウェハと処理後のウェハをそれぞれ外部と受け渡しするための２つのカセットモジュールチャンバ３ａ，３ｂが，中央に搬送用アームロボット４を設置した搬送領域５を囲むようにして設置されている。そしてこの場合使用される搬送用アームロボット４は，アーム駆動装置６の上部に並設された２つのアーム７，７’が半径方向（図中矢印Ｒｅの方向，以下Ｒｅ方向という。但し，図示の矢印方向はあくまで一例であり，Ｒｅ方向は矢印以外の他の径方向全てを含む。）に伸縮する運動，および公転軸（図中矢印θ方向の回転軸，以下θ軸という）回りの運動，および鉛直方向（図面直交方向，以下上下方向という）の運動を行ってウェハ８（図中破線部）を搬送する構成となる。またこのようなアームが２つ並設するデュアルアーム型は各チャンバに対しての効率的な入れ換えを行うものとなる。
【０００４】ここでクラスタツール１内の搬送領域５およびプロセスチャンバ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ等の作業領域においては，気体によるウェハ表面の汚染（変質）の防止および防塵を目的として真空の状態に維持され，開閉可能であり高気密性を有するゲートバルブ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄにより外気と隔離された密閉構造となる。
【０００５】しかし，その中で作動させる
搬送用アームロボット４の駆動源となるモータは非常に高い発塵性を有し，また内部のコイルの放熱の問題もあるために大気中で作動させることが前提となっており，そのため該モータを設置するアーム駆動装置６の内部は前記真空状態にある外部と摺接部を介してシール（気密，密閉）することが重要なポイントとなる
【０００６】図６は上記問題に対応して構成された従来のアーム駆動装置の側断面図である。
この図において，２つのモータ１０，１０’（以下アーム制御モータという）は，減速機（ハーモニックドライバ）３２，３２’を介して，それぞれの出力軸１１，１１’に軸設される不図示の搬送用アームを駆動するアーム駆動手段であり，１本の該出力軸の軸回転（図中矢印Ｒｒ）により１つのアームのＲｅ方向の伸縮運動の制御を行う
【０００７】・・・
【０００８】前述したようにモータを設置するアーム駆動装置６の内部と真空状態にある外部とをシールする必要があるため，モータ１０，１０’の出力軸１１，１１’と内ケース１２との間における回転摺接部には径の小さい磁性流体シール１９，１９’が，また内ケース１２と中ケース１４との間における回転摺接部には径の大きい磁性流体シール２０が挿設され，また中ケース１４と外ケース１５との間における滑動摺接部にはベローズ２１が張設されている。
【０００９】ここで磁性流体シールとは磁性流体を回転軸周りに磁化固着させることにより回転摺接部分に気密膜を形成させる軸受けシールであり，ベローズとはそれが張設された２つの滑動摺接部材間で伸縮自在となるジャバラ型の気密シールである。
【００１０】そして従来のアーム駆動装置の構成においては前記２つのアーム駆動モータ１０，１０’とθ軸モータ１３の３つのモータ，および公転回転を行う内ケース１２，とそれらを一体に内設する中ケース１４，そしてそれら各々の部材間の回転摺接部をシールする磁性流体シール１９，１９’，２０，を一体に構成した３軸磁性流体シールユニット２２の完成品が市販されており，それを購入してアーム駆動装置６に組み込む構成となっていた。」
３　引用文献３について
　当審拒絶理由で引用された引用文献３（特開２００３−１７０３８４号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は，平板状物を搬送するスカラ型ロボットに関し，特には，半導体ウエハ，液晶表示板用透明基板，プリント配線基板等の平板状物の移送，運搬に用いられるロボットに関するものである
「【００１５】駆動手段に使用するモータは，制御装置による回転角度制御ができるモータであれば，サーボモータ，ステッピングモータ，ダイレクトドライブモータ等，公知のいずれのモータであってもよい。ここで，回転角度の測定手段として通常，エンコーダが用いられるが，ステッピングモータの場合は，必要がなければ用いなくてもよい。
【００１６】
モータの回転速度を下げるための減速機構としては
偏芯遊星歯車型減速機（商品名ハーモニックドライブ等）
等公知の技術を用いることができる
４　引用文献４について
　当審拒絶理由で引用された引用文献４（特表２００４−５００５２１号公報）には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００４】
【発明の概要】
本発明は，
半導体製造自動化に使用するシールアセンブリに属し，より詳細にはロボット駆動機構がベローズ，リップシール，ラビリンスシール，又は磁性流体タイプシールを使用することなく流体，気体，及び汚染物質からシールし且つ隔離することを可能とする改良に関する
「【０００７】
【好適な実施例の詳細な説明】
図１は，基板搬送装置１０の斜視図を示している。基板搬送装置１０は，駆動ハウジング１４と，駆動シャフト２２と，駆動アーム２６及びマウンティングフランジ１８とを含んでいる。マウンティングフランジ１８は，作業表面１３に固定されている。流体，腐食性液体及び腐食性気体等の汚染物質は，作業表面１３とマウンティングフランジ１８の側面に限定され，駆動アーム２６は，クランピング，ガスケット，Ｏリングの何れかによってマウンティングフランジ１８を作業表面１３に静的にシーリングすることによって動作する。作業表面１３は，流体，腐食性液体及び腐食性気体等の汚染物質に駆動ハウジング１４の外側が曝されることを防止する障壁として作用している。駆動アーム２６は，基板３２を搬送する際に真空グリップが利用され得る又は利用され得ないエンドエファクタ２８を含んでいる。駆動シャフト２２は，駆動ハウジング１４に対して垂直方向１６又は回転方向１２又はその両方向に移動し得る。
シールアセンブリ３４は，流体，腐食性液体及び腐食性気体等の汚染物質が駆動アーム２６を動作する作業表面１３及びマウンティングフランジ１８の側面から駆動アーム２６が駆動するためのロボット駆動機構が存在する駆動ハウジング１４の内部に通過することを防止する
【００１０】
下部シールギャップ８８は，下部シーリング表面７６と下部台座表面７８との間の空間である。上部シールギャップ９０は，上部台座表面７４と上部シーリング表面７２との間の空間である。下部シーリングギャップ８８と上部シーリングギャップ９０の好ましい総計値は，シールリング５４がマウンティングフランジ１８中で浮上する略０．０２５４ｍｍ（０．００１インチ）から０．１２７ｍｍ（０．００５インチ）の間に維持され，その結果シール５４はシャフト２２と実質的に同軸に位置する。しかしながら，他の距離が提供され得，且つ企図された目的を作用する範囲が使用可能である。この特性は，調整不良，フランジ１８に対するシャフト２２の偏心及び撓みを補正する。変形実施例として，下部シーリングギャップ８８と上部シーリングギャップ９０は，フランジ１８に対してゼロ又はより少なくして有効な
固定シール５４
第５　対比・判断
１　本願発明１について
（１）　対比
　本願発明１と引用発明とを対比する。
ア　引用発明の「３つの回転軸５０，５２，５４」は，「各回転中心が同一となるように３軸同軸構造になされており，その中心より外側に向けて最内周回転軸５０，中間回転軸５２，最外周回転軸５４として順次同軸状に構成され」ているから，「同軸駆動スピンドル機構」ということができる。
イ　引用発明の「駆動モータ６２，６４，６６」は，「ロータとステータ」からなり，「各回転軸５０，５２，５４の下部と，ケーシング６０の内壁との間に」「それぞれ設けられ，各回転軸５０，５２，５４を正逆回転し得るようになって」いる。そうすると，本願発明１の「ハーモニックモータ組立部品」とは，「少なくとも一つのモータ組立部品が少なくとも二つの駆動軸と対応する複数のモータ回転子及び複数のモータ固定子を含む」点で共通する。
ウ　引用発明の「３つの回転軸５０，５２，５４」（同軸駆動スピンドル機構）と「駆動モータ６２，６４，６６」は，合わせて「駆動システム」ということができる。
エ　引用発明は，「略Ｖ字形状に成形された板状のベース部材６８を有しており，このベース部材６８の上面の一側には，第１の案内レール７０Ａが直線状に設けられており，この第１の案内レール７０Ａにはこのレールに沿って移動可能に第１の移動体７２Ａが外れないように嵌装されており，この第１の移動体７２Ａの上面側には，Ｌ字状に成形されて，先端側が上記第１の案内レール７０Ａと略平行になるようになされた第１の保持部材７４Ａが取り付け固定されており，この第１の保持部材７４Ａの先端部に上記一方のピック１４Ａが取り付けられており」，「上記第１の保持部材７４Ａの基部側には，第１の運動方向変換機構７６Ａが設けられており，上記最内周回転軸５０には，その基部側を連結させて第１のアーム７８Ａが取り付けられており，この第１のアーム７８Ａの先端部は上記第１の運動方向変換機構７６Ａに連結されて，この第１のアーム７８Ａの回転運動を上記第１の移動体７２Ａの直線運動に変換するようになって」いる。そうすると，引用発明は，「同軸駆動スピンドル機構に取り付けられた少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アーム」を備えているということができ，また，「モータ組立部品」は，「同軸駆動スピンドル機構を通して前記少なくとも一つの搬送アームに結合され，前記搬送アームを移動させるために前記同軸駆動スピンドル機構の少なくとも二つの駆動軸を実質的に直接駆動するように構成されて」いるということができる。
オ　引用発明の「各回転軸５０，５２，５４」（同軸駆動スピンドル機構）の「下部は，底板６ＡにＯリング等のシール部材５８を介して取付られたケーシング６０により気密に囲まれて」いるから，引用発明の「各回転軸５０，５２，５４」（同軸駆動スピンドル機構）は，「密閉環境の中」にあるといえる。
カ　引用発明の「第２搬送機構１４」は，「ロボット式搬送装置」といえる。
　したがって，本願発明１と引用発明とは，以下の一致点及び相違点を有する。
（一致点）
「同軸駆動スピンドル機構及び少なくとも一つのモータ組立部品を含み，前記同軸駆動スピンドル機構が少なくとも二つの駆動軸を含み，前記少なくとも一つのモータ組立部品が少なくとも二つの駆動軸と対応する複数のモータ回転子及び複数のモータ固定子を含む駆動システムと，
　前記同軸駆動スピンドル機構に取り付けられた少なくとも一つの直線状にスライドする搬送アームと，を含むロボット式搬送装置において，
　前記少なくとも一つのモータ組立部品は，前記同軸駆動スピンドル機構を通して前記少なくとも一つの搬送アームに結合され，前記搬送アームを移動させるために前記同軸駆動スピンドル機構の少なくとも二つの駆動軸を実質的に直接駆動するように構成されており，
　前記同軸駆動スピンドル機構は密閉環境の中にある，ロボット式搬送装置。」
（相違点）
（相違点１）
　「モータ組立部品」について，本願発明１は，「ハーモニックモータ組立部品」であるのに対し，引用発明の「駆動モータ６２，６４，６６」は，「ロータ（モータ回転子）とステータ（モータ固定子）」とよりなるものの，「ハーモニックモータ組立部品」ではない点。
（相違点２）
　本願発明１の「複数のモータ固定子」は「前記密閉環境の外に隔離され」ており，「前記同軸駆動スピンドル機構を前記密閉環境内に密閉するすべてのシールは静的シールであり，前記静的シールのすべてによって前記密閉環境の密閉をもたらす各密閉接合部位が静的接合部位であるように構成されている」のに対し，引用発明の「駆動モータ６２，６４，６６」の「ステータ」（モータ固定子）は，「気密に囲まれて」おり，「前記３つの回転軸５０，５２，５４（同軸駆動スピンドル機構）を前記密閉環境内に密閉する」ものの，「密閉するすべてのシールは静的シールであり，前記静的シールのすべてによって前記密閉環境の密閉をもたらす各密閉接合部位が静的接合部位であるように構成されている」か否か不明である点。
（２）　相違点についての判断
　まず，（相違点２）について検討するに，引用発明では，「駆動モータ６２，６４，６６」の「ステータ」（モータ固定子）は，「気密に囲まれて」いるところ，本願発明１のように，「密閉環境の外に隔離」するように構成する動機付けはないし，引用文献１ないし４の記載をみても，そのような構成とする記載や示唆もない。
　そうすると，引用発明において，仮に，（相違点１）に係る構成である「ハーモニックモータ組立部品」を採用することが可能であったとしても，その「ロータ（モータ回転子）とステータ（モータ固定子）」のうち，「ステータ」（モータ固定子）は，「気密に囲まれて」いるように構成されるにとどまり，「ステータ」（モータ固定子）を「密閉環境の外に隔離」するように構成することは，当業者であっても容易に想到することはできない。
（３）　まとめ
　したがって，本願発明１は，当業者であっても，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２　本願発明２ないし５について
　本願発明２ないし５は，本願発明１と同一の構成を備えるものであるから，上記１と同じ理由により，当業者であっても，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第６　当審拒絶理由について
１　明確性（特許法第３６条第６項第２号）について
　当審では，請求項１ないし５の記載は不明であるから，当該請求項に係る発明は明確でなく，本願は特許法第３６条第６項第２号の規定を満たしていないとの拒絶の理由を通知しているが，本件訂正によってこの拒絶の理由は解消した。
２　サポート要件（特許法第３６条第６項第１号）について
　当審では，請求項１ないし５の記載は発明の詳細な説明に記載したものではないから，本願は特許法第３６条第６項第１号の規定を満たしていないとの拒絶の理由を通知しているが，本件訂正によってこの拒絶の理由は解消した。
３　進歩性（特許法第２９条第２項）について
　当審では，本願発明１ないし５は，本願優先日前に頒布された引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，本願優先日前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないとの拒絶の理由を通知しているが，上記第４及び第５のとおり，本件訂正によってこの拒絶の理由は解消した。
第７　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は，審判請求と同時にした補正の前の請求項１ないし１１，１７ないし２１に係る発明は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　しかしながら，同補正によって，当該補正前の請求項１ないし１１，１７ないし２１は削除された。
　したがって，原査定を維持することはできない。
第８　むすび
　以上のとおり，本願は，明確性及びサポート要件を満たしている。また，本願発明１ないし５は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　そして，原査定の対象であった請求項は，審判請求と同時にした補正により削除されたから，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。