【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３６１５５９２号発明「研磨装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯  
　本件特許第３６１５５９２号の請求項１乃至２に係る発明についての出願は、平成７年７月１１日に出願され、平成１６年１１月１２日にその発明について特許権の設定登録がされたものである。 
　これに対して、平成１７年４月２０日に審判請求人・久保富美夫により無効審判の請求がなされたところ、平成１７年７月１５日付けで被請求人・不二越機械工業株式会社より審判答弁書の提出がなされ、平成１７年８月２３日付けで請求人より審判事件弁駁書の提出がなされたものである。  
 　  
II．本件発明  
　本件特許の請求項１乃至２に係る発明（以下、「本件発明１」乃至「本件発明２」という。）は、後記VI．２に示すとおり、本件特許請求の範囲の記載に不備はないから、願書に添付された明細書及び図面（以下、「本件特許明細書」という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
「【請求項１】　ワークを保持する保持部と、表面に研磨面が形成された定盤と、前記保持部と定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置において、
　前記保持部が、
　下方に向けて開放する凹部を備えるヘッド部材と、
　該ヘッド部材の凹部内側に配された保持部材と、
　外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、内側部が前記保持部材に固定され、該保持部材を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する弾性部材と、
　前記ヘッド部材の内部を前記保持部材および前記弾性部材によって画成して設けられる第１圧力室と、
　弾性のある薄膜からなり、前記保持部材の外面側に外周部で固定され、外側面でワークに当接して該ワークを前記定盤の研磨面へ押圧可能に設けられた弾性薄膜と、
　前記保持部材の外側面および前記弾性薄膜の内側面によって画成される第２圧力室とを備え、
　前記第１圧力室へは第１流体供給手段によって所定圧力の流体が供給され、前記第２圧力室へは第２流体供給手段によって所定圧力の流体が供給されることを特徴とする研磨装置。
　【請求項２】　前記第１流体供給手段には第１圧力室へ供給される流体の圧力を調整する第１圧力調整装置が備えられ、前記第２流体供給手段には第２圧力室へ供給される流体の圧力を調整する第２圧力調整装置が備えられていることを特徴とする請求項１または２記載の研磨装置。」
 
III．請求人の主張の概要 
 　請求人は、下記甲第１号証を提出し、
（１）本件特許の請求項１乃至２に係る発明は、本件特許出願の日前の他の特許出願であって本件出願後に出願公開がされた特願平７−４３２１８号の願書に最初に添付された明細書及び図面（甲第１号証）に記載された発明と同一であるので特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものである（以下、「無効理由１」という。）。
（２）本件特許の請求項１は、特許を受けようとする発明が明確でなく、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない（以下、「無効理由２」という。）。
（３）本件特許の請求項１は、発明を特定するために必要と認める事項のすべてを記載したものではなく、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない（以下、「無効理由３」という。）。
と主張している。  
［甲号各証］ 
　甲第１号証：特願平７−４３２１８号の願書に最初に添付された明細書及　　　　　　び図面（特開平８−３９４２２号公報を援用）
　
IV．被請求人の主張の概要 
　被請求人は、上記請求人の主張に対して、審判答弁書において、
（１）本件特許の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一ではない、
（２）本件特許の請求項１に係る発明は明確である、
（３）本件特許の請求項１には発明を特定するために必要と認める事項のすべてが記載されている、
と反論している。 
 　 
Ｖ．甲第１号証の記載内容及び先願発明 
　請求人の提出した甲第１号証には、以下の技術的事項が記載されている。
　
（イ）「【請求項１】　基板の作動面を研磨するための装置であって、
　研磨パッドと、
　キャリアであって、その中に前記基板を受容しその基板を前記研磨パッドに対して位置決めするための基板受容部を有するキャリアとを備え、
　前記基板キャリアが、前記基板の異なった別々の部分において、前記基板と前記研磨パッドとの間に、異なった負荷圧力与えるための、差別的バイアシング（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｂｉａｓｉｎｇ）部材を含む、
　装置。
【請求項２】　前記差別的バイアシング部材が、その中にチャンバを含み、そのチャンバが、前記基板の異なった別々の部分に異なった負荷圧力を供給するために、加圧できる、請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】　前記チャンバが、前記基板受容部の内側の末端部を形成する下部適合壁を有する囲われた空洞を含む、請求項１記載の研磨装置。
【請求項４】　前記下部適合壁が、可変厚さを有する、請求項３記載の研磨装置。」（【特許請求の範囲】の【請求項１】〜【請求項４】）
 　  
（ロ）「【産業上の利用分野】本発明は、半導体処理の分野に関する。特に本発明は、一様性の高いまたコストが低減された、基板を化学的機械的に研磨するための方法及び装置に関する。本発明は、基板上の異なった場所から材料を除去する速さの一様性を改善するための装置を提供し、それによって最終的に基板から回収される有用なダイの数を増す。更に、本発明は単一の研摩パッド上で多基板を同時に研摩する為の装置と方法を提供し、それによって化学的機械的研摩装置の生産性を上げる。」（段落【０００１】） 　  
　
（ハ）「本発明は、改善された一様性と歩留まりをもって大きな研摩パッド上で基板を研摩するための多数の実施例を提供する。ここで述べる本発明の各実施例においては、基板１２は、図１の研摩装置１０のような研摩装置上で、研摩パッド２２に押し付けられ、好ましくは制御された回転をもって軌道路（ｏｒｂｉｔａｌ　ｐａｔｈ）を運動をする。研摩パッド２２は回転運動をするのが好ましいが、基板１２がそれに対して運動させられている間静止状態に維持されてもよい。
　図１及び２に示される本発明の実施例においては、基板キャリア２４が基板１２を受容しまた基板１２を回転研摩パッド２２上に位置決めするように提供されている。キャリア２４はトランスファ−ケ−ス５４に連結されており、そのトランスファケ−スは、キャリア２４とその中に受容されている基板１２とを研摩パッド２２上で軌道路に沿って動かし、また研摩装置１０のベ−ス１４のような固定点に関してキャリア２４及び基板１２の回転方向を同時に制御するように形成されている。キャリア２４は、基板１２のエッジに隣接してかけられている基板上の負荷と比べて基板１２の中心部に選択的に差別的に負荷をかけるように形成されている。基板１２の中心部に差別的に負荷をかけることによって、基板１２の中心部における材料除去率は、基板１２のエッジに隣接した部分の材料除去率と合致するように調整される。」（段落【００１２】〜【００１３】）  
 　 
（ニ）「図１には、ここで説明する本発明の何れの実施例を用いて基板１２を研摩するためにも有用な研摩装置１０が示されている。本装置１０は、ここで説明する本発明の各実施例にとって有用であるが、図解を容易にするために、キャリア２４と研摩パッド２２と関連づけて描かれている。本研摩装置１０は一般的に、回転可能なプラテン１６及びその上の研摩パッド２２を支えるベ−ス１４と、基板１２を受容し、基板１２を研摩パッド２２上に位置決めするキャリア２４と、研摩パッド２２に関して基板１２に負荷をかけまた運動させるようにキャリア２４に接続されたトランスファ−ケ−ス５４とを含む。研摩パッド２２を回転させたい場合は、図示しないモ−タ及び歯車組立体がベ−ス１４の下側に配設され、プラテン１６の下側の中心に接続されプラテン１６を回転させる。プラテン１６は、軸受でベ−ス１４から支持されてもいいし、或いはモ−タと歯車組立体がプラテン１６を回転すると同時に支持してもよい。研摩パッド２２は、プラテン１６の上面に置かれており、それによりモ−タと歯車組立体によって回転させられる。」（段落【００１７】）
  
（ホ）「キャリアの上部バイアシング部分１０２は、研摩パッド２２に対して基板１２に負荷をかけるために与えられる一次的圧力を制御するように形成されている。一次的負荷圧力を制御するために、キャリア２４の上部バイアシング部分１０２は、研摩パッド２２に対して基板１２に負荷をかけるように選択的に加圧される空洞１１２として形成されている。空洞１１２は、その上端を形成しているキャリアプレ−ト８０と、下部本体部分の上面と、キャリアプレ−ト８０から下方向に伸延し下部本体部分１０４で終わるベロ−ズ１１０とによって画成されている。ベロ−ズ１１０は、キャリア２４の実質的な捩じれを防止するのに十分な剛性を与えるおよそ１０００分の８インチの厚さのステンレス鋼で製作するのが好ましい。ベロ−ズ１１０は、空洞１１４の外壁として働き、またそれはキャリアプレ−ト８０から基板１２へ回転運動を伝える働きもする。」（段落【００３２】）
　  
（ヘ）「キャリア２４の下部本体部分１０４は、基板１２の異なる場所における基板１２と研摩パッド２２との間の負荷圧力を微妙に調整するのに使われる。下部本体部分１０４は、一般的には正しい（ｒｉｇｈｔ）円形の中空部材であり、スリ−ブ部分１３０内に受容されており、またベロ−ズ１１０の下端部と下部本体部分１０４との間の接続を形成している一般的に円形の上部壁１３８を有する。外部円形壁１４０が、円形部材１３２から下方に伸延しており、下部輪郭壁１４２で終わっている。円形部材１３２と外部壁１４０と下部輪郭壁１４２がチャンバ−１４４の外部境界を形成している。下部輪郭壁１４２は、ほぼ平坦な外側表面１５２と輪郭のついた内側表面とを有する。好ましくは、下部輪郭壁１４２の内側表面の輪郭は、壁１４２の外周からその半径のおよそ三分の一の位置まで広がっている第一のテ−パ−付き部分１４６と、テ−パ−付き部分１４６のどの部分よりも薄い、壁１４２の中心部における一定厚さの薄膜１５０を形成する平坦部分１４８とを含む。壁１４２の外側或いは下部の表面１５２は平坦であり、それはその上にフィルム１５４、好ましくは閉じたセル（ｃｌｏｓｅｄ　ｃｅｌｌ）のフィルムの層を受容しているのが好ましい。スリ−ブ１３０の下端部は、壁１４２の外側面１５２及びその上のフィルム１５４を越えて下側に伸延しており、壁１４２と一緒になって、下部基板受容凹み２８を形成している。」（段落【００３３】）  
　
（ト）「スリ−ブ部分１３０は、その中に内部バイアシング部分３０の部品を受容し、これらの部品及び基板１２を軌道路内で案内するように形成されている。スリ−ブ部分１３０は、上部の一般的に正しい環状（ｒｉｇｈｔ　ａｎｎｕｌａｒ）部材１３２であって、その上端部においてキャリアプレ−ト８０の下端部に接続されている部材と、下部の一般的に正しい環状リング１３４とを含む。その円環リング１３４は、環状部材１３２の下側に接続され、環状部材１３２とリング１３４との接続部に配設された円形のリ−フ（ｌｅａｆ）バネ１２８によって下方向に押し付けられ研摩パッド２２に係合することができるようになっている。スリ−ブ部分１３０は、強い実質的に剛性のある部材を提供し、その部材はその中に下部本体部分１０４を受容し、軌道路を通してその下部本体部分１０４を案内する。」（段落【００３４】）
　  
（チ）「基板１２と研摩パッド２２との間に負荷圧力を与えるために、空洞１１２及びチャンバ−１４４に、加圧状態で流体を供給しなければならない。さらに、空洞１１２に供給される流体は、チャンバ−１４４に供給される流体とは違った圧力に独立して維持できなければならない。それらの流体を供給するために、駆動軸５６はその中を長手方向に伸延する一対の流路１６０、１６２を含む。同様に、第二の軸６４は、その中を長手方向に伸延する一対の流路１６０’，１６２’を含む。回転ユニオン１６４が、駆動軸５４の上端部に備えられ、流路１６０、１６２に流体を供給する。回転ユニオンはまた、クロスア−ム６０の、駆動軸５４と第二の軸６４との双方への接続部にも置かれており、またクロスア−ム６０は一対の貫通する通路（図示せず）を含み、その通路は回転ユニオンと連携して、流体を流路１６０から流路１６０’に、また流路１６２から流路１６２’に流す。流路１６０’は流体を加圧状態で供給し、空洞１１２を選択的に加圧する。ホ−ス１２４が、流路１６２’の下部端末部に回転フィッティングで接続されており、流路１６２’から下部本体部分にある開口１２６に延びており、流体を下部本体部分１０４のチャンバ−１４４に供給するようになっている。」（段落【００３５】）  
 　  
（リ）「研摩パッド２２に対して基板１２に負荷をかけるために、ベロ−ズの空洞１１２及びチャンバ−１４４に流体が加圧状態で供給される。ベロ−ズの空洞１１２に流体によって与えられる圧力は、キャリア２４に対して負荷をかける部品の重量及びキャリア２４それ自身の重量と一緒になって、研摩パッド２２に対する基板１２の一次的負荷圧力０．３から０．７ｋｇ／ｃｍ2 を創り出す。もし基板１２が研摩される際エッジ部分の過剰研摩が生じないならば、チャンバ−１４４は大気圧に保たれる。しかしながら、基板１２のエッジ部分に過剰研摩が生じるならば、基板１２の中心部を下方向に研摩パッド２２に対して付加的に差別的に押し付けるに十分な距離だけ、輪郭のついた下部壁１４４特にその中心部の平坦部分１４８を外側にたわませるに十分な圧力でチャンバ−１４４が加圧される。チャンバ−１４４に供給される圧力は、基板１２のエッジにおける研摩率を均一化するために、基板１２の中心部の研摩率を増やすように、平坦部分１４８のたわみを制御するために変えてもよい。与えられた半導体研摩操作に対して望ましいたわみ量は、一旦研摩とエッジ部の過剰研摩の履歴が確立されると、製造中に定められるであろう。」（段落【００３６】）  
　
（ヌ）図２の記載によれば、ベロ−ズ１１０は、上端部がキャリアプレ−ト８０に固定され、下端部が下部本体部分１０４に固定されることが看取できる。
 　 
　上記記載事項及び図面の記載からみて、甲第１号証には次の発明（以下、「先願発明」という。）が記載されていると認められる。  
［先願発明］ 
　基板１２を保持するキャリア２４と、上面に研磨パッド２２が置かれたプラテン１６と、前記キャリア２４とプラテン１６とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置１０において、
　前記キャリア２４が、
　キャリアプレート８０と、環状部材１３２及び環状リング１３４よりなるスリーブ部分１３０とから構成されるヘッド部材と、
　該スリーブ部分１３０内に受容される下部本体部分１０４と、
　上端部がキャリアプレ−ト８０に固定され、下端部が下部本体部分１０４に固定されるベロ−ズ１１０と、
　上記ヘッド部材の内部を、キャリアプレ−ト８０と、下部本体部分１０４の上面と、ベロ−ズ１１０とによって画成して設けられる空洞１１２と、
　下部本体部分１０４の外部円形壁１４０に設けられた下部輪郭壁１４２であって、下部輪郭壁１４２の内側表面の輪郭は、下部輪郭壁１４２の外周からその半径のおよそ三分の一の位置まで広がっている第一のテ−パ−付き部分１４６と、テ−パ−付き部分１４６のどの部分よりも薄い、下部輪郭壁壁１４２の中心部における一定厚さの薄膜１５０を形成する平坦部分１４８とを含み、その外側面で基板１２に当接して基板１２をプラテン１６の研磨パッドに対して押圧可能に設けられた下部輪郭壁１４２と、
　下部本体部分１０４の外部円形壁１４０及び下部輪郭壁１４２の内側面によって画成されるチャンバー１４４とを備え、
　前記空洞１１２へは流路１６０’によって所定圧力の流体が供給され、前記チャンバー１４４へは流路１６２’によって所定圧力の流体が供給される研磨装置１０。 
 　 
VI．当審の判断  
１．無効理由１について
１−１　本件発明１について  
　本件発明１と先願発明とを対比すると、先願発明における「基板１２」は、本件発明１における「ワーク」に相当し、以下同様に、「キャリア２４」は「保持部」に、「上面に研磨パッド２２が置かれたプラテン１６」は「表面に研磨面が形成された定盤」に、「キャリアプレート８０と、環状部材１３２及び環状リング１３４よりなるスリーブ部分１３０とから構成されるヘッド部材」は「下方に向けて開放する凹部を備えるヘッド部材」に、「下部本体部分１０４」は「保持部材」に、それぞれ相当することが明らかである。 
　そして、先願発明における「ベロ−ズ１１０」は、一端部がヘッド部材の壁部に固定されると共に、他端部が下部本体部分１０４に固定され、下部本体部分１０４を上下方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持するという限りにおいて、本件発明１における「弾性部材」と共通しており、先願発明における「空洞１１２」は、ヘッド部材の内部を前記下部本体部分１０４とベロ−ズ１１０によって画成して設けられるという限りにおいて「第１圧力室」と共通している。
　また、先願発明における「下部輪郭壁１４２」は、弾性のある薄膜からなり、その外側面で基板１２（ワーク）に当接して基板１２をプラテン１６（定盤）の研磨面に対して押圧可能に設けられているという限りにおいて本件発明１における「弾性薄膜」と共通しており、先願発明における「チャンバー１４４」は、下部本体部分１０４の外側面及び下部輪郭壁１４２の内側面によって画成されるという限りにおいて本件発明１における「第２圧力室」と共通している。
　さらに、先願発明における「流路１６０’」及び「流路１６２’」は、「空洞１１２」及び「チャンバー１４４」に所定圧力の流体を供給するものであるから、それぞれ「第１流体供給手段」及び「第２流体供給手段」ということができる。  
 　したがって、本件発明１と先願発明とは、
 「ワークを保持する保持部と、表面に研磨面が形成された定盤と、前記保持部と定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置において、
　前記保持部が、
　下方に向けて開放する凹部を備えるヘッド部材と、
　該ヘッド部材の凹部内側に配された保持部材と、
　一端部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、他端部が前記保持部材に固定され、該保持部材を上下方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する弾性部材と、
　前記ヘッド部材の内部を前記保持部材および前記弾性部材によって画成して設けられる第１圧力室と、
　弾性のある薄膜からなり、外側面でワークに当接して該ワークを前記定盤の研磨面へ押圧可能に設けられた弾性薄膜と、
　前記保持部材の外側面および前記弾性薄膜の内側面によって画成される第２圧力室とを備え、
　前記第１圧力室へは第１流体供給手段によって所定圧力の流体が供給され、前記第２圧力室へは第２流体供給手段によって所定圧力の流体が供給される研磨装置。」
である点で一致し、以下の点で相違している。 
 ［相違点１］  
 　弾性部材が、本件発明１では、「外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、内側部が前記保持部材に固定され、該保持部材を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する」ものであるのに対し、先願発明では、上端部がキャリアプレ−ト８０に固定され、下端部が下部本体部分１０４に固定されるベロ−ズ１１０であって、下部本体部分１０４は上下方向への移動は許容されるものの水平方向へ移動できるか否か明らかでない点。 
 ［相違点２］ 
 　弾性薄膜が、本件発明１では、「前記保持部材の外面側に外周部で固定され」るのに対して、先願発明では、下部本体部分１０４の外部円形壁１４０に設けられた下部輪郭壁１４２であって、下部輪郭壁１４２の内側表面の輪郭は、下部輪郭壁１４２の外周からその半径のおよそ三分の一の位置まで広がっている第一のテ−パ−付き部分１４６と、テ−パ−付き部分１４６のどの部分よりも薄い、下部輪郭壁壁１４２の中心部における一定厚さの薄膜１５０を形成する平坦部分１４８とを含むものである点。
　
　上記相違点について検討する。
［相違点１について］ 
　先願発明において、「ベローズ１１０」は、上端部がヘッド部材の壁部に固定されると共に、下端部が下部本体部分１０４に固定されており、前記下部本体部分１０４は、ベロース１１０により負荷圧力を与えられて上下方向へ移動されるものである。そして、下部本体部分１０４について、甲第１号証には、「下部本体部分１０４は、一般的には正しい（ｒｉｇｈｔ）円形の中空部材であり、スリ−ブ部分１３０内に受容されており、」と記載されているだけであり（上記摘記事項（ヘ）参照）、水平方向への移動ができることについて何ら記載されていない。また、甲第１号証の図２の記載をみても、下部本体部分１０４を水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持することについて記載されているとすることができない。
　一方、本件発明１においては、保持部材を吊持する弾性部材は、外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、内側部が前記保持部材に固定され、該保持部材を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持するものであって、本件発明１は上記特定事項を具備することにより、「ウェーハが研磨される際に発生する水平方向（特に径方向）への作用力を吸収することができる」（本件特許明細書段落【００１２】参照）という作用効果を奏するものと認められる。
　してみると、上記相違点１が、課題解決のための具体化手段における微差とすることはできない。
　
［相違点２について］ 
　先願発明において、下部輪郭壁１４２は、下部輪郭壁１４２の外周からその半径のおよそ三分の一の位置まで広がっている第一のテ−パ−付き部分１４６と、テ−パ−付き部分１４６のどの部分よりも薄い一定厚さの薄膜１５０を形成する平坦部分１４８とから構成されている。また、甲第１号証の図２の記載からみて、下部輪郭壁１４２のテ−パ−付き部分１４６は、外部円形壁１４０下端に一体的に形成されていると認められ、本件発明１における「保持部材の外面側に外周部で固定され」る弾性薄膜とは、その形状及び配置手段において相違している。
　そして、本件発明１においては、上記相違点２に係る構成を具備することにより、「第２圧力室３２へ第２流体供給手段によって所定圧力の流体を供給することで、弾性薄膜３０を介して、より直接的に流体圧による等圧力を作用させ、ウェーハ２４の全面を研磨面へ均等に押圧できる。」（本件特許明細書段落【００１７】参照）という作用効果を奏するものと認められ、上記相違点２が、課題解決のための具体化手段における微差とすることはできない。
　
　したがって、本件発明１は先願発明と同一であるとすることはできない。
　よって、本件請求項１に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものではない。
　
　なお、請求人は審判事件弁駁書において、「被請求人は、弾性部材１４の外側部が固定されるヘッド部材の壁部は、ヘッド部材１０を構成する平板壁部１０ｂ側でもよいと主張するのであるから、外側部と上端部は同意語であり、よって弾性部材の他端の内側部と下端部とも同意語であり、構成要件の文節Ｆは甲第一号証に記載されたものである。」（第２頁第５〜８行）と主張しているが、上述のとおり、本件発明１における「弾性部材」は、「外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、内側部が前記保持部材に固定され」ることにより「該保持部材を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持する」ものであるから、弾性部材１４の外側部が平板壁部１０ｂ側に固定されていてもよいとの主張をもって、外側部と上端部、及び、他端の内側部と下端部とが同意語であるとすることはできない。
　また、請求人は、「弾性薄膜」に関して、「被請求人は、本件特許の請求項１の記載を甲第一号証に記載されるボックス構造のものが除かれるように記載すべきである。」（第３頁第１０〜１１行）とも主張しているが、本件発明１において、「弾性薄膜」は、「保持部材の外面側に外周部で固定され」とされており、保持部材とは別部材として特定されているから、外部円形壁１４０下端に一体的に形成されている先願発明の下部輪郭壁１４２のテ−パ−付き部分１４６とは形状及び配置手段において相違していることも上述のとおりである。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
１−２　本件発明２について  
　本件発明２は、本件発明１を引用する発明であって、本件発明１の発明特定事項をすべて含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当するものである。  
　そして、本件発明１は、上記１−１に示した理由により、先願発明と同一であるとすることはできないから、本件発明２も、同様の理由により、先願発明と同一であるとすることはできない。  
　よって、本件請求項２に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものではない。
 　 
２．無効理由２について 
２−１　無効理由２の概要
　請求人は、本件特許の請求項１に係る発明は、下記（１）、（２）の点で特許を受けようとする発明が明確でないから特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないと主張している。
（１）請求項１における「外側部が前記ヘッド部材の壁部に固定されると共に、」において、ヘッド部材の「壁部」の意味が、ヘッド部材１０を構成する平板壁部１０ｂ側か筒状側壁部１０ｃ側か、それとも、平板壁部１０ｂ側と筒状側壁部１０ｃ側のいずれ側であってもよいか不明りょうである。
（２）請求項１における「該ヘッド部材の凹部内側に配された保持部材と、」において、保持部材はヘッド部材の凹部内側に配されるとされているが、図１では保持部材の底部面はヘッド部材の凹部を構成する筒状側壁部１０ｃの底部よりはみ出した外側にあり、「内側」の意味が、前記筒状側壁部１０ｃの底部位置との関係で不明りょうである。
　
２−２　当審の判断
［（１）の点について］
　本件特許明細書には、弾性部材をヘッド部材に固定することについて、「１４は弾性部材の一態様である板状の弾性部材であり、例えば硬質のゴム板材（本実施例では布入りニトリルゴム）によってドーナツ状に形成されている。外側部１４ａがヘッド部材１０の内底面に固定されると共に内側部１４ｂが保持プレート１２に固定されている。これにより、板状の弾性部材１４は、保持プレート１２を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持している。」（段落【００１１】）と記載されている。
　上記記載によれば、本件発明１における弾性部材の「外側部」は、保持プレート１２を上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持できるようにヘッド部材１０の内底面（壁部）に固定されるものであればよいものである。また、図１に、外側部１４ａを筒状側壁部１０ｃの内底面１０ａにリング１６により固定することが記載されているが、当該記載事項は、弾性部材をヘッド部材に固定するための一実施例として示されたものにすぎない。
　したがって、請求項１に、「壁部」が、ヘッド部材１０を構成する平板壁部１０ｂ側及び筒状側壁部１０ｃ側のいずれか又は両方であるかが特定されていないことをもって特許を受けようとする発明が明確でないとすることはできない。
　
［（２）の点について］
　本件請求項１及び本件特許明細書の記載からみて、本件発明１においては、保持部材は、ヘッド部材の凹部の内部で、弾性部材により上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持されていればよいものである。そして、本件請求項１における「ヘッド部材の凹部内側に配された」は、図１に記載された形態を含めて、保持部材がヘッド部材の凹部の内部に配されたことを意味するものと解される。また、保持部材が弾性部材により上下方向及び水平方向への移動を微小範囲内で許容可能に吊持される場合には、保持部材の底部がヘッド部材の凹部を構成する筒状側壁部１０ｃの底部からはみ出ることが当然あり得ることも自明の事項である。
　してみると、図１において保持部材の底部がヘッド部材の凹部を構成する筒状側壁部１０ｃの底部よりはみ出していることをもって前記「ヘッド部材の凹部内側に配された保持部材」の記載が不明りょうであるとすることはできない。
　
　よって、本件特許の請求項１の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないとすることはできない。
　
３．無効理由３について 
３−１　無効理由３の概要
　請求人は、本件特許の請求項１に係る発明は、下記（１）〜（３）の研磨装置の保持部材に必須の事項が記載されていないから、発明を特定するために必要と認める事項のすべてを記載したものではなく、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていないと主張している。　
（１）ワーク（ウエーハ）の水平方向の飛び出し防止手段の環状テンプレート４０、及びそれを弾性薄膜３０の外側面に装着すること。
（２）環状テンプレート４０と弾性薄膜３０で形成されるウエーハ保持空間部とヘッド部材を構成する筒状側壁部１０ｃの底部との位置関係。
（３）保持プレートの水平方向の移動を微少範囲で許容するため、保持部材の外周面と筒状側壁部１０ｃの内周面の双方に当接するようリング状の弾性部材２６を設けること。　
　
３−２　当審の判断
　特許法第３６条第５項についての違反は、特許法第１２３条に規定する、特許を無効にすることについて審判を請求することができる場合に該当しない。
　よって、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていないとの理由により本件請求項１に係る特許を無効にすることはできない。
　
　なお、上記請求人の主張について付言するに、本件特許明細書における、発明が解決しようとする課題、課題を解決するための手段及び発明の効果の記載からみて、本件発明１は、請求項１に記載された発明特定事項を具備することにより、「ワーク全面を研磨面へ均等に押圧することによってワーク全面を均一に研磨し、ワーク外周のダレを防止すると共に、ワーク表面の平坦度を向上できる」という目的を達成し本件特許明細書に記載された効果を奏するものと認めることができる。
　したがって、上記（１）〜（３）に挙げた事項は、いずれも本件発明１における必須の特定事項とは認めることができない。　
　
VII．むすび  
　以上のとおりであるから、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件発明１乃至２についての特許を無効とすることができない。  
　よって、結論のとおり審決する。