【事件の表示】
　平成　４年特許願第３４３２１５号「マグネトロンスパッタリング用セラミックスターゲット」拒絶査定不服審判事件〔平成　６年　６月２１日出願公開、特開平　６−１７２９９１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
一　本願は、平成４年１２月１日（受付日）の出願であって、拒絶査定後以下の手続きがなされた。
　審判請求　　　　　　　　　　　　平成１４年１０月１０日
　手続補正書提出（請求の理由）　　平成１４年１１月１５日
　　
二　本願発明について
　本願の請求項１に係る発明は、原審の平成１４年６月２０日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
　
「セラミックスターゲットの非エロージョン部分の厚さがエロージョン部分の厚さの１／３以上４／５未満の範囲にあり、かつ非エロージョン部分の境界部分からエロージョン部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部とそれにひきつづく平坦部よりなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用セラミックスターゲット。」（以下、「本願発明」という。）
　
三　刊行物の記載
　原審の平成１４年５月２日付け（第２回）拒絶理由通知書で引用された本願出願日前に頒布された刊行物である引用例１（特開平１−２９０７６４号公報）には、以下のとおり記載されている。
　
「酸化インジウム−酸化スズを含有する透明導電膜用スパッタリングターゲットにおいて、重量の８０％以上がスパッタリング時のエロージョンエリア内に存在する形状であることを特徴とする透明導電膜用スパッタリングターゲット」（特許請求の範囲、（以下、「引用例１の記載１」という。））
　
「しかしながらスパッタリング法は、マグネットによってプラズマを制御しながらターゲットをスパッタするために、従来の平板形状を有するＩＴＯターゲットではマグネットの形状にエロージョンされてしまい、ターゲットの利用効率が２０〜４０％と低くなるという問題点がある。」（１頁右下欄下から４行〜２頁左上欄２行（以下、「引用例１の記載２」という。））
　
「本発明の目的は、利用効率の優れたＩＴＯスパッタリングターゲットを提供することにある。」（２頁左上欄９−１０行（以下、「引用例１の記載３」という。））
　
「また、その形状はターゲット重量の８０％以上がスパッタリング時のエロージョンエリア内に存在するものであれば特に限定はしない。例えば、第１図に示すようにターゲット断面が四角形、蒲鉾型である環状のもの、第２図に示すようにスパッタリング時にエロージョンを受ける度合いに応じて肉厚が厚くなっている環状あるいは平面状のものなどを例示する」（２頁右上欄下から６行〜左下欄２行（以下、「引用例１の記載４」という。））
　
　引用例１の第２図の上右図、第４図Ｂ右図には、ターゲットの形状として、その上面部が平坦に図示されている。
　
　引用例１の第２図下右図には、
　（１）肉厚が厚くなっている部分、
　（２）肉厚が薄くなっている部分、
　（３）薄くなっている部分から厚くなっている部分にかけて、肉厚が厚く　　なって変化している部分
からなる形状が図示されている。
　
　上記拒絶理由通知書で引用された本願出願日前に頒布された刊行物である引用例２（特開昭６０−３９１５８号公報）の第１図、第４図、第７図、第８図には、「ターゲットのプラズマの収束部分に対応した部分」（特許請求の範囲）の上面部が平坦に図示されている。
　
四　引用発明の認定
　引用例１の記載４には、「また、その形状はターゲット重量の８０％以上がスパッタリング時のエロージョンエリア内に存在するものであれば特に限定はしない。例えば、・・・第２図に示すようにスパッタリング時にエロージョンを受ける度合いに応じて肉厚が厚くなっている環状あるいは平面状のものなどを例示する」（２頁右上欄下から６行〜左下欄２行）と記載され、例示として第２図下右図には、
　（１）肉厚が厚くなっている部分、
　（２）肉厚が薄くなっている部分、
　（３）薄くなっている部分から厚くなっている部分にかけて、肉厚が厚く　　なって変化している部分
からなる形状が示されている。
　
　従って、引用例１の記載１のターゲットは、
（１’）エロージョンを受ける度合いが大で、肉厚が厚くなっている部分（以下、「ターゲットのエロージョンエリア内部分」という。）、
（２’）エロージョンを受ける度合いはほとんどなく、肉厚が薄くなっている部分（以下、「ターゲットの非エロージョンエリア内部分」という。）、
（３’）上記「ターゲットの非エロージョンエリア内部分」から、「ターゲットのエロージョンエリア内部分」にかけて肉厚が厚くなって変化している部分、
からなるものと認める。
　
　上記（１’）、（２’）から、引用例１の「ターゲットの非エロージョンエリア内部分」の厚さが「ターゲットのエロージョンエリア内部分」の厚さ未満の範囲にあると言える。
　
　上記（３’）の肉厚が厚くなって変化している部分は、第２図下右図のように、次第に厚さが大きくなっているから「ターゲットの非エロージョンエリア内部分」から「エロージョンエリア内部分」にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部と言える。
　
　「引用例１の記載２」のとおり、引用例１記載の発明は、「スパッタリング法は、マグネットによってプラズマを制御しながらターゲットをスパッタするために、従来の平板形状を有するＩＴＯターゲットではマグネットの形状にエロージョンされてしまい、ターゲットの利用効率が２０〜４０％と低くなるという問題点」を解決するものである。
　従って、引用例１の記載１のターゲットは「マグネットによってプラズマを制御しながらターゲットをスパッタするため」のターゲットである。
　
　上記引用例１の記載から、引用例１には、以下の発明が記載されている。
　
「酸化インジウム−酸化スズを含有する透明導電膜用スパッタリングターゲットにおいて、ターゲットの非エロージョンエリア内部分の厚さは、ターゲットのエロージョンエリア内部分の厚さ未満の範囲にあり、かつターゲットの非エロージョンエリア内部分からエロージョンエリア内部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部とそれにひきつづく部分よりなることを特徴とするマグネットによってプラズマを制御しながらターゲットをスパッタするためのターゲット。」（以下、「引用発明」という。）
　
五　引用発明と本願発明との一致点、相違点
　引用発明の「酸化インジウム−酸化スズを含有する透明導電膜用スパッタ　　リングターゲット」、
　「ターゲットの非エロージョンエリア内部分」、
　「ターゲットのエロージョンエリア内部分」、
　「マグネットによってプラズマを制御しながらターゲットをスパッタする　　ためのターゲット」は、それぞれ
　本願発明の「セラミックスターゲット」、
　「非エロージョン部分」、
　「エロージョン部分」、
　「マグネトロンスパッタリング用セラミックスターゲット」
に相当する。
　
　また、本願発明の詳細な説明には、
「【０００９】図１は本発明に係るセラミックス系マグネトロンターゲットの一例を断面で示す説明図であり、この図１において、１はエロージョン領域、２は非エロージョン領域、３はこれらエロージョン領域１と非エロージョン領域２との境界部分の傾斜部を示す。」
という記載があるから、
本願発明の「非エロージョン部分の境界部分からエロージョン部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部」とは、「非エロージョン部分からエロージョン部分にかけての境界部分が、次第に厚さが大きくなる傾斜部」の意味と解することができる。
　従って、引用発明の「ターゲットの非エロージョンエリア内部分からエロージョンエリア内部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部」は、上記本願発明の「傾斜部」に相当する。
　
　従って、引用発明と本願発明は以下の点で一致し、以下の点で相違する。
（一致点）
「セラミックスターゲットの非エロージョン部分の厚さがエロージョン部分の厚さ未満の範囲にあり、かつ非エロージョン部分の境界部分からエロージョン部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部とそれにひきつづく部分よりなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用セラミックスターゲット。」
　
（相違点）
１　本願発明は「非エロージョン部分の厚さがエロージョン部分の厚さの１／３以上４／５未満の範囲」という構成を備えているのに対して、
　引用発明は、上記の内「１／３以上４／５未満」という構成を備えていない点。（以下、「相違点１」という。）
　
２　本願発明は「非エロージョン部分の境界部分からエロージョン部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部とそれにひきつづく平坦部」という構成を備えているのに対して、
　引用発明は、上記の内「平坦部」という構成を備えていない点。（以下、「相違点２」という。）
　
六　相違点について検討
　相違点１について
　一般的にターゲットはボンディング時等において割れやすく（本願明細書従来の技術の段落０００４−５、月刊「ＩＯＮＩＣＳ−アイオニクス−」１９８９年１０月号「焼結体ターゲット」別刷（以下、「参考文献」という。）　１２頁右欄５行〜下から７行　参照）、引用発明においても、厚さの薄い非エロージョン部分は割れやすいから、割れない厚さにすることは、当然である。
　
　本願発明においては、「非エローッジョン領域の厚さを薄くしすぎると割れ易く」（段落０００８）なるから、非エロージョン部分の厚さがエロージョン部分の厚さの１／３以上４／５未満の範囲にしたが、以下の理由で、まず前記数値１／３は臨界的意義がない。
　
（ア）上記数値の臨界的意義の根拠としては、本願明細書段落００１２に、実施した材料（Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系）と、非エロージョン部とエロージョン部の厚さの比だけの簡単な記載があるだけで、厚さ、幅等の具体的寸法の記載がない。
　これらの具体的寸法を無視して、単に比だけの、前記数値１／３を境にして、「非エロージョン領域の厚さはエロージョン領域の肉厚部の厚さの１／３以上ないとボンディング時にターゲットの破壊確率が激増する」（段落０００８）とか、「１／３ではターゲットの割れは発生」しない（段落００１２）とか一概には言えない。
　
　また、本願では、（Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系）のセラミックスターゲットだけを実験しており、他の材料、組成、製造方法（常圧焼結法、ホットプレス等）、製造条件等によっては、セラミックスターゲットの内には、熱的・機械的強度のより小さい材料がある可能性もあるから（上記参考文献の記載参照）、単に比だけの、前記数値１／３を境にして、１／３以上ないと破壊確率が激増するとか、１／３では割れは発生しないとか一概には言えない。
　
（イ）審判請求の理由で、テスト１、２のグラフ及びターゲットサイズ、厚さのデータを示しているが、当初の明細書に記載されておらず、採用できない。
　仮に、採用したとしても、限られた材料、サイズ等についてのデータにすぎず、これ以外の実施条件においては、上記（ア）で指摘したとおり、どうなるか一概には言えない。
　
　次に、相違点１の「４／５未満」については、本願明細書に「また、非エロージョン領域の厚さが厚すぎると、コストメリットが無くなってしまうため、少なくとも２０％の厚さの減少がなければコスト削減効果が望めない。従って、本発明のセラミックスターゲットでは非エロージョン領域の厚さを１／３以上４／５未満に限定する。」（段落０００８）と記載されている。
　しかしながら、単にコストとの関係で決めただけで、４／５を境に予測外の飛躍的効果が生じるものでもなく、臨界的意義がない。
　
　そして、引用発明の目的は、「利用効率の優れたＩＴＯスパッタリングターゲットを提供することに」あり（２頁左上欄９−１０行）、そのために、「非エロージョンエリア内部分の厚さは、ターゲットのエロージョンエリア内部分の厚さ未満の範囲」の内、利用効率（コスト削減効果）の優れた、４／５未満も含む適当な厚さにすることは、当業者であれば当然考慮することである。
　引用発明では、特に「４／５未満に限定する」ことはあり得ないと言える記載も技術的理由もない。
　
　従って、相違点１の「１／３以上４／５未満」という数値には、当業者の予測を超えた臨界的意義がなく、引用発明において、当業者であれば、実験等を行うことにより、適宜決定し得たことである。
　
　相違点２について
　引用例１の第２図の上右図、第４図Ｂ右図には、ターゲットの形状として、その上面部が平坦に図示されている。
　
　先の原審の引用例２の第１図、第４図、第７図、第８図には、「ターゲットのプラズマの収束部分に対応した部分」（特許請求の範囲）の上面部が平坦に図示されている。
　
　本願発明は、引用発明の「ターゲットの非エロージョンエリア内部分からエロージョンエリア内部分にかけて次第に厚さが大きくなる傾斜部とそれにひきつづく部分」において、上記引用例１、２の図のように、それにひきつづく部分の上面を、単に平坦にし、平坦部としたにすぎず、当業者であれば適宜設計する事項にすぎない。
　
　よって、本願発明は、引用例１、２に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
七　むすび
　以上のとおりであるから、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。