【事件の表示】
　特願２０００−３５９９５９「ハーフトーン型位相シフトマスクブランク及びハーフトーン型位相シフトマスク」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　５月２９日出願公開、特開２００１−１４７５１６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１２年１１月２７日に、特願平９−１７１３２２（平成９年６月２７日出願）の分割出願として出願され、平成１５年６月６日付けで拒絶査定がなされ、平成１５年７月３１日付けで審判請求がなされたものである。
　本願の請求項１に係る発明は、平成１５年２月１７日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
「透明基板と、この透明基板上に形成されたハーフトーン材料膜と、このハーフトーン材料膜上に形成された金属膜を有するハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおいて、前記金属膜を互いに異なる材料からなる複数の層で構成するとともに、前記ハーフトーン材料膜と接する層を窒素を含有する材料で構成したことを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクブランク。」
　
２．本願の出願日の遡及について
　本願は平成１４年１１月２０日付けの原審の拒絶理由通知において、「原出願の当初明細書には、単に、ハーフトーン材料膜上の金属膜が窒素を含有する構成が示されているとは認められない。」とされ、「適法な分割出願とは認められないから、出願日は遡及しない。」とされた。
　この点について検討する。
　原出願の出願当初の明細書の【発明が解決しようとする課題】の欄の【００１６】および【００１７】段落には、
「【００１６】さらに、ハーフトーン材料膜２とＣｒ金属膜６との密着強度が十分でなく、膜剥離が発生してしまうといった問題もある。
【００１７】本発明は、前述した従来の問題点に鑑みてなされたもので、高精度のパターニングが可能で、かつ、耐酸性及び信頼性の高いハーフトーン型位相シフトマスク及びハーフトーン型位相シフトマスクブランクを提供することを解決すべき課題とする。」
と記載されており、原出願には、ハーフトーン材料膜とＣｒ金属膜６との密着強度の改善をも目的としている旨の記載がある。
　そして同明細書の【００４２】および【００４３】段落には、
「【００４２】また、前記請求項３乃至請求項７によれば、ハーフトーン材料膜上に形成される金属膜は、透明基板側から窒素を含む第１金属膜、炭素を含む第２金属膜によって構成される。
【００４３】このような構成とすることによって、第１金属膜の結晶粒が密になるのでハーフトーン材料膜との密着強度が大きくなると共に、かつ、金属膜の反りが防止される。」
と記載されている。
　これより、原出願の出願当初の明細書には、その【請求項３】に係る構成「金属膜の透明基板側を少なくとも窒素を含有する材料で構成したこと」により「ハーフトーン材料膜との密着強度が大きくなる」とした発明が記載されているので、本願は適法な分割出願と認め、原出願の出願日である平成９年６月２７日を本願の遡及する出願日（以下、「遡及出願日」という。）とする。
　
３．刊行物
　本願の遡及出願日より前に頒布され、原査定に引用された特開平８−３３４８８５号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、ハーフトーン型位相シフトマスクに関する発明が記載され、【００１４】段落には、
「半透明位相シフト膜としては、例えばＭｏ・Ｓｉ系の材料、より具体的には、例えば化学記号ＭｏＳｉＯXＮY（Ｘ，Ｙは整数）で表される材料を用いることができる。また、ハーフトーン材料膜がＭｏ・Ｓｉ系材料で形成されるとすれば、遮光膜としては、例えば、Ｃｒ（クロム）、ＣｒＯ（酸化クロム）、ＣｒＮ（窒化クロム）、ＣｒＯＮ（窒化酸化クロム）、ＣｒＯＣＮ又はこれらを積層した複合膜を採用できる。複合膜を採用する場合は、例えば、図１０及び図１１に示すような２層構造又は図１２に示すような３層構造とすることができる。」
と記載されると共に、【００１７】段落には【実施例】として以下の記載がある。
「図１は本発明に係るハーフトーン型位相シフトマスクの一実施例、特に、いわゆるレチクルマスクを示している。また、図２は図１におけるマスクの断面構造を示している。この位相シフトマスクは、図２に示すように、石英からなる透明基板１の上にＭｏＳｉＯｘＮｙの半透明位相シフト膜２ａを積層し、さらに半透明位相シフト膜２ａの上にＣｒ、ＣｒＯ、ＣｒＮ、ＣｒＯＣＮ、またはこれらを積層した遮光膜１１ｂを積層することによって形成される。」
　そして、パターン作成前のものについては「ハーフトーン型位相シフトマスクブランク」と言えるので、引用刊行物には、
「透明基板と、この透明基板上に形成された半透明位相シフト膜と、この半透明位相シフト膜上にＣｒ、ＣｒＯ、ＣｒＮ、ＣｒＯＣＮのうちの複数を積層した膜を有するハーフトーン型位相シフトマスクブランク」
の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを比較すると、引用発明における「半透明位相シフト膜」は本願発明における「ハーフトーン材料膜」に相当し、また、引用発明における「Ｃｒ、ＣｒＯ、ＣｒＮ、ＣｒＯＣＮのうちの複数を積層した膜」は本願発明における「異なる材料からなる複数の層で構成」された「金属膜」に相当することから、両者は、
「透明基板と、この透明基板上に形成されたハーフトーン材料膜と、このハーフトーン材料膜上に形成された金属膜を有するハーフトーン型位相シフトマスクブランクにおいて、前記金属膜を互いに異なる材料からなる複数の層で構成することを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクブランク。」
で一致し、本願発明が
「ハーフトーン材料膜と接する層を窒素を含有する材料で構成」
するのに対し、引用発明にはそのような構成が明示されていない点で相違する。
　
５．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　引用発明は「Ｃｒ、ＣｒＯ、ＣｒＮ、ＣｒＯＣＮのうちの複数を積層」した構成を有するものであり、何をどのような順で積層するかについての限定はない。
　また、引用刊行物には、「複合膜を採用する場合は、例えば、図１０及び図１１に示すような２層構造又は図１２に示すような３層構造とすることができる。」と記載されているが、「例えば」とされているように例示であり、それ以外の構造を排除しているものではない。
　一方、請求人は、請求理由において、引用刊行物における複合膜は、図１０、図１１、図１２から明らかなように、ハーフトーン材料膜と接する層がＣｒからなる層であり、窒素を含有する材料ではないので、本願発明の特徴的構成が示されていない、との主張をおこなった。
　しかしながら、図１０ないし図１２は例示であり、他の構成を排除したものではなく、どのようか積層構造とするかは発明の実施に当たって当業者が適宜決定することができ、例えば、「位相シフトマスクブランク」に関する発明が記載されている周知例（特開平６−９５３５８号公報）において、「透明ガラス基板上に設けた各層の材質が全く異なるため、膜の密着性が悪く、洗浄等により膜剥れを起こす問題があった。」（【０００４】段落）との記載があることから、位相シフトマスクでの各層間での密着性に関する問題点は従来周知の技術課題であり、引用刊行物に記載の実施例において、ＭｏＳｉＯXＮYで構成された半透明位相シフト膜上に、窒素を含有する材料を積層することは当業者が容易に想到することできる。
　また、引用発明における実施例として「ＣｒＮ」と「ＣｒＯＣＮ」を選択することも開示されていると言え、その場合には、本願発明における「ハーフトーン材料膜」に相当する「半透明位相シフト膜」に接する層は窒素を含有する材料で構成されることになる。
　以上より、引用発明において半透明位相シフト膜に接する層を窒素を含有する材料で構成することは当業者が容易に行うことができたものであり、本願発明の作用効果も引用刊行物の記載から当業者が予測できる範囲のものである。
　
６．むすび
　したがって、本願発明は、引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。