【事件の表示】
　特許第３４６５２３８号「高液相線粘度ガラスおよびそれを用いた基板」の請求項１〜１３に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４６５２３８号の請求項１〜８に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３４６５２３８号は、パリ条約による優先権の主張を伴って平成６年１月２４日（優先日：平成５年１月２２日、平成５年１１月２２日）に出願され、平成１５年８月２９日に特許の設定登録がなされたものであって、その特許につき、日本電気硝子株式会社（以下、「異議申立人」という）より特許異議の申立がなされ、これに基づき平成１６年８月２６日付けで取消理由を通知したところ、権利者より平成１７年３月３日付けで訂正請求書が提出され、再度、取消理由を通知したところ、権利者より、平成１７年１１月２２日付けで訂正請求が提出され、先の訂正請求が取下げられたものである。
　
II．訂正の適否
II−１．訂正事項
　平成１７年１１月２２日付け訂正請求は、本件明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおりに訂正するものであって、次の〈イ〉〜〈ホ〉からなるものである。
　以下、訂正前の明細書を「特許明細書」といい、訂正請求書に添付された訂正明細書を「本件明細書」という。
〈イ〉特許明細書の請求項１における、
「６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すガラスであって、該ガラスが、アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６５−６９％のＳｉＯ２、１０−１２％のＡｌ２Ｏ３、７−１０％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１−５％のＭｇＯ、３−９％のＣａＯ、１−３％のＳｒＯ、２−５％のＢａＯ、および１１−１８％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１であり、液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいことを特徴とするガラス。」を、
「アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１である組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいことを特徴とするガラス。」に訂正する。
〈ロ〉特許明細書の請求項７における、
「前記ガラスが、６５−６９％のＳｉＯ２、１０−１２％のＡｌ２Ｏ３、７−１０％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１−５％のＭｇＯ、３−９％のＣａＯ、１−３％のＳｒＯ、２−５％のＢａＯ、および１１−１６％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になることを特徴とする請求項６記載の基板。」を、
「アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になる組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、標準液相線法により測定した液相線温度を用いてファルチャーの式で計算した液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいフラットで透明なガラスから成るフラットパネルディスプレー用の基板。」に訂正する。
〈ハ〉特許明細書の請求項６、８及び１１〜１３を削除する。
〈ニ〉特許明細書の請求項７、９及び１０の請求項番号を、それぞれ、６、７及び８に訂正し、特許明細書の請求項９における「・・・請求項７記載の基板。」を「・・・請求項６記載の基板。」に訂正し、また、特許明細書の請求項１０における「・・・請求項６−９のいずれか１項記載の基板。」を「・・・請求項６または７項記載の基板。」に訂正する。
〈ホ〉特許明細書の段落００５１における、
「実施例１６、２１、２２、２５、２６および２７は好ましい組成を構成し、化学特性、物理特性、および溶融特性の全体的な組合せに基づいて、実施例２１が最も好ましいものである。」を、
「実施例１６、２１、２２、２５、２６および２７は明らかに本件特許請求の範囲に入る好ましい組成を構成し、化学特性、物理特性、および溶融特性の全体的な組合せに基づいて、実施例２１が最も好ましいものである。その他の実施例はデータが完備されていないだけのものを含めて参考例とする。」に訂正する。
　
II−２．訂正の適否の判断
　上記〈イ〉の訂正は、特許明細書における請求項１において、具体的には、
〈イ−１〉ガラスの組成につき、「アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６５−６９％のＳｉＯ２、１０−１２％のＡｌ２Ｏ３、７−１０％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１−５％のＭｇＯ、３−９％のＣａＯ、１−３％のＳｒＯ、２−５％のＢａＯ、および１１−１８％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１であり、」を「アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１である組成範囲を有し、」に訂正し、また、
〈イ−２〉ガラスにつき、その組成に関する記載と物性に関する記載とを表現上分けて記載することとするものである。
　上記〈ロ〉の訂正は、特許明細書における請求項７において、具体的には、
〈ロ−１〉ガラスの組成につき、「前記ガラスが、６５−６９％のＳｉＯ２、１０−１２％のＡｌ２Ｏ３、７−１０％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１−５％のＭｇＯ、３−９％のＣａＯ、１−３％のＳｒＯ、２−５％のＢａＯ、および１１−１６％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になる」を「アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になる組成範囲を有し、」に訂正し、また、
〈ロ−２〉請求項６を引用して記載していたものを独立形式の表現方法に改め、かつ、ガラスにつき、その組成に関する記載と物性に関する記載とを表現上分けて記載することとするものである。
　上記〈ハ〉〜〈ホ〉の訂正は、上記したとおりである。
II−２−１．訂正の目的の適否
　上記〈イ−１〉の訂正は、ガラスの組成を限定するものであり特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈イ−２〉の訂正は、ガラスの組成と物性に関する記載とが混在して記載されていたところ、これを表現上分けて記載するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記〈ロ−１〉の訂正は、ガラスの組成を限定するものであり特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈ロ−２〉の訂正は、引用形式の記載を独立形式に改めるものであり、また、ガラスの組成と物性に関する記載とを分けて記載することとしたものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記〈ハ〉の訂正は、請求項を削除するものであり特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈ニ〉の訂正は、上記〈ハ〉の訂正に伴い、不揃い又は不明瞭となった記載を明瞭化するものであり明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　上記〈ホ〉の訂正は、発明の詳細な説明に記載される具体例の中の、実施例に該当するものを明確にするものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
II−２−２．新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記〈イ−１〉及び〈ロ−１〉の訂正により訂正する事項は、特許明細書の段落００２４又は段落００１８の記載と、特許明細書の段落００４０、００４１、００４５及び００４６における実施例１６、２１、２２及び２５〜２７の記載から自明なこととして導き出すことができるものである。
　上記〈イ−２〉及び〈ロ−２〉の訂正により訂正する事項は、特許明細書の請求項１又は６の記載の範囲（引用する請求項の記載内容を含む）内でなされるものであって特許明細書の記載から自明なこととして導き出すことができるものである。
　上記〈ハ〉の訂正は請求項を削除するだけのものであり、そして、上記〈ニ〉の訂正は当該請求項の削除に伴い不揃い又は不明瞭となった記載を明確化するだけのものであるから、いずれも、特許明細書の記載から自明なこととして導き出すことができるものである。
　上記〈ホ〉の訂正は、特許明細書の請求項の記載から自明なこととして導き出されるものである。
　そして、上記〈イ−１〉〜〈ホ〉の訂正は、発明の目的の範囲内でなされるものでもあり、又は、単に明細書の記載を明確化するだけのものであって、何れの訂正も実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものには該当しない。
II−２−３．訂正の適否の結論
　よって、上記訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．本件発明
　特許明細書についての訂正請求は前記したとおり容認されたものであり、したがって、訂正後の本件特許第３４６５２３８号の請求項１〜８に係る発明（以下、必要に応じて、それぞれ、「本件発明１」〜「本件発明８」という）は、本件明細書の特許請求の範囲に記載される次のとおりのものである。
【請求項１】アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１である組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいことを特徴とするガラス。
【請求項２】前記ガラスが、１６７５℃より低い温度で約２０Ｐａ．ｓ（２００ ポアズ）の溶融粘度を示すことを特徴とする請求項１記載のガラス。
【請求項３】前記ガラスの液相線温度が１１２５℃以下であることを特徴とする請求項１記載のガラス。
【請求項４】請求項１から３いずれか１項記載のガラスを用いたフラットパネルディスプレー用の基板。
【請求項５】「チップ−オン−ガラス」技術を利用してシリコンチップをガラス上に直接搭載できることを特徴とする、請求項１から３いずれか１項記載のガラスを用いたフラットパネルディスプレー用の基板。
【請求項６】アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、０−３％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になる組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、標準液相線法により測定した液相線温度を用いてファルチャーの式で計算した液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいフラットで透明なガラスから成るフラットパネルディスプレー用の基板。
【請求項７】前記ガラスの液相線温度が１１２５℃以下であることを特徴とする請求項６記載の基板。
【請求項８】前記ガラスが、１６７５℃より低い温度で約２０Ｐａ．ｓ（２００ポアズ）の溶融粘度を示すことを特徴とする請求項６または７項記載の
基板。
　
IV．特許異議申立及び取消理由の概要
IV−１．特許異議申立
　異議申立人は、特許異議申立書において、以下の証拠を提示し、次のように主張する。
【理由−１】特許明細書の請求項１〜１３に係る発明（訂正後の本件発明１〜８）は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
【理由−２】特許明細書の請求項６及び１１〜１３に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。
　したがって、特許明細書の請求項１〜１３に係る発明の特許は取り消されるべきものである。
甲第１号証：特開平４−１６００３０号公報
甲第２号証：特開平１−１６０８４４号公報
甲第３号証：米国特許第５１１６７８７号明細書
（翻訳文として対応日本公報である特開平５−１９３９８０号公報添付）
参考資料１：平成１５年１２月２２日、日本電気硝子株式会社、技術部第一グループ　三和晋吉作成による「実験成績証明書」
参考資料２：特開平６−２６３４７３号公報（本件の公開公報）
IV−２．平成１６年８月２６日付け取消理由通知の取消理由
　上記取消理由通知の取消理由は、異議申立の上記理由−１及び理由−２に加え、本件明細書の請求項１〜１３に係る発明の特許は特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり（その他の取消理由）、したがって、特許明細書の請求項１〜１３に係る発明の特許は取り消されるべきものである、というものである。
　
Ｖ．証拠の記載内容
Ｖ−Ａ．甲第１号証（特開平４−１６００３０号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ａ−１）「（１）ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、およびＢａＯを合量で９５モル％以上含有し、モル％表示による各成分の含有量が、
　ＳｉＯ２　　　　　　　　　　　　　　　　６２％以上６８％以下
　Ｂ２Ｏ３　　　　　　　　　　　　　　　　　８％以上１２％未満
　Ａｌ２Ｏ３　　　　　　　　　　　　　　　　９％以上１３％以下
　ＭｇＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　１％以上５％以下
　ＣａＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　３％以上７％以下
　ＳｒＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　１％以上３％未満
　ＢａＯ　　　　　　　　　　　　　　　　　１％以上３％未満
　ＳｒＯ＋ＢａＯ　　　　　　　　　　　　　２％以上５％以下
であることを特徴とする液晶ディスプレイ基板用ガラス。」（第１頁左下欄第５〜１８行、特許請求の範囲第１項）
（Ａ−２）「したがって本発明の目的は、Ｐ−Ｓｉの線膨張係数と近似する線膨張係数を有し、かつ、Ｐ−ＳｉＴＦＴ形の液晶ディスプレイの基板として使用可能な歪点、Ｐ−ＳｉＴＦＴの成形過程で多用される弗酸および硝酸に対する良好な耐性、実用的な溶融性、および実用的な成形性を有し、Ｐ−ＳｉＴＦＴ形の汎用液晶ディスプレイの基板として好適な、液晶ディスプレイ基板用ガラスを提供することにある。」（第２頁左下欄第９〜１７行）
（Ａ−３）「ガラスの成分およびその含有量、ならびに各成分の合量を上述のように規定することにより、Ｐ−Ｓｉの線膨張係数と近似する線膨張係数を有し、かつＰ−ＳｉＴＦＴ形の液晶ディスプレイの基板として使用可能な歪点を有するガラス、すなわち、１００〜３００℃における平均線膨張係数が３４×１０−７〜３９×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１で、歪点が６３０℃以上であるガラスを得ることができる。そしてこのガラスは、溶融性および成形性にも優れたガラスである。」（第３頁右上欄第１７行〜左下欄第６行）
（Ａ−４）「以下、本発明の実施例について説明する。
　実施例１
　〈中　略〉
　得られたガラスの１００〜３００℃における平均線膨張係数（以下、α１００〜３００という）、歪点、および１５００℃における粘度を表−１に示す。
　また、得られたガラスの耐弗酸性および耐硝酸性を以下の要領で評価した。
・耐弗酸性
　得られたガラスを研磨して得た試料を２５℃の５％ＨＦ水溶液に３時間浸漬し、乾燥後、試料の重量減を単位面積、単位時間当りの量に換算して、その耐弗酸性を評価した。
・耐硝酸性
　耐弗酸性の評価の場合と同様にして得た試料を８０℃の３０％ＨＮＯ３水溶液に３時間浸漬し、乾燥後、試料の重量減を単位面積、単位時間当りの量に換算して、その耐硝酸性を評価した。
　さらに、得られたガラス約１００ｇを容量１００ｃｃの白金坩堝に入れ、この白金製坩堝に白金製の蓋をして１１００℃で２４時間放置し、放置後のガラス内部における結晶（失透）発生の有無を顕微鏡観察して、その耐失透性を評価した。この顕微鏡観察結果も表−１に示す。
　実施例２〜５
　〈中　略〉
　得られた各ガラスのα１００〜３００、歪点、および１５００℃における粘度を表−１に示す。
　また得られたガラスの耐弗酸性および耐硝酸性を実施例１と同様にして評価した。このときの各換算値も表−１に示す。
　さらに、得られた各ガラスの耐失透性を実施例１と同様にして評価した。このときの各顕微鏡観察結果も表−１に示す。」（第４頁左上欄第１９行〜右下欄第９行）
（Ａ−５）「表−１
実施例１
組成（モル％）
　ＳｉＯ２６４．７、Ｂ２Ｏ３１０．９、Ａｌ２Ｏ３１１．４、ＭｇＯ２．７、ＣａＯ５．７、ＳｒＯ１．９、ＢａＯ２．３、ＳｒＯ＋ＢａＯ４．２、Ａｓ２Ｏ３０．４
α１００〜３００（×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１）：３７、歪点（℃）：６５５、１５００℃における粘度（ポイズ）：＜１０３、耐弗酸性（ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：９、耐硝酸性（×１０−２ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：７、耐失透性：内部失透なし
実施例２
組成（モル％）
　ＳｉＯ２６３．９、Ｂ２Ｏ３１０．０、Ａｌ２Ｏ３１１．５、ＭｇＯ２．２、ＣａＯ５．３、ＳｒＯ２．６、ＢａＯ２．３、ＳｒＯ＋ＢａＯ４．９、ＺｎＯ１．７、Ａｓ２Ｏ３０．４、Ｓｂ２Ｏ３０．１
α１００〜３００（×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１）：３９、歪点（℃）：６４０、１５００℃における粘度（ポイズ）：＜１０３、耐弗酸性（ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：１０、耐硝酸性（×１０−２ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：１２、耐失透性：内部失透なし
実施例３
組成（モル％）
　ＳｉＯ２６６．９、Ｂ２Ｏ３９．４、Ａｌ２Ｏ３１０．０、ＭｇＯ３．１、ＣａＯ５．３、ＳｒＯ２．４、ＢａＯ２．４、ＳｒＯ＋ＢａＯ４．８、ＰｂＯ０．５、Ａｓ２Ｏ３０．５
α１００〜３００（×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１）：３７、歪点（℃）：６３５、１５００℃における粘度（ポイズ）：＜１０３、耐弗酸性（ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：９、耐硝酸性（×１０−２ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：１０、耐失透性：内部失透なし」旨（第５頁下段）
実施例４
組成（モル％）
　ＳｉＯ２６４．６、Ｂ２Ｏ３１１．０、Ａｌ２Ｏ３１１．８、ＭｇＯ２．２、ＣａＯ５．３、ＳｒＯ２．４、ＢａＯ１．６、ＳｒＯ＋ＢａＯ４．０、Ｌａ２Ｏ３０．４、Ａｓ２Ｏ３０．７
α１００〜３００（×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１）：３８、歪点（℃）：６６０、１５００℃における粘度（ポイズ）：＜１０３、耐弗酸性（ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：９、耐硝酸性（×１０−２ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：８、耐失透性：内部失透なし
実施例５
組成（モル％）
　ＳｉＯ２６５．８、Ｂ２Ｏ３１０．７、Ａｌ２Ｏ３９．９、ＭｇＯ３．９、ＣａＯ４．０、ＳｒＯ２．３、ＢａＯ２．４、ＳｒＯ＋ＢａＯ４．７、ＺｒＯ２０．５、Ａｓ２Ｏ３０．５
α１００〜３００（×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１）：３６、歪点（℃）：６５０、１５００℃における粘度（ポイズ）：＜１０３、耐弗酸性（ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：７、耐硝酸性（×１０−２ｍｇ／ｃｍ２・ｈｒ）：４、耐失透性：内部失透なし」旨（第５頁下段）
　
Ｖ−Ｂ．甲第２号証（特開平１−１６０８４４号公報）には、以下のことが記載されている。
（Ｂ−１）「（１）カチオン百分率で、約５２−５８％のＳｉＯ２、１２．５−１８％のＡｌ２Ｏ３、２０−２３％のＢ２Ｏ３、０−４％のＭｇＯ、０−６％のＣａＯ、０−６％のＳｒＯ、１−９％のＢａＯ、８−１２％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ、０−３％のＺｎＯ、及び０−１％の清澄剤から実質的になることを特徴とするガラス組成物。
（２）６２５℃を超える歪点、２５〜３００℃の範囲において約２０〜６０×１０−７／℃の範囲にある熱膨張の平均直線係数、約１０５０℃を超えない内部液相線温度、及び５％ＨＣｌ中９５℃で２４時間の期間に約１０ｍｇ／ｃｍ２を超えない重量損失を示す十分な化学的耐久性を有する特許請求の範囲第１項記載のガラス。
（３）〈中　略〉
（４）６３０℃を超える歪点、約３８〜４３×１０−７／℃の範囲にある熱膨張係数、約１０４２℃以下の液相線温度、及び液相時の粘度が１．３×１０５ポイズを超える特許請求の範囲第３項記載のガラス。」（第１頁左下欄第５行〜右下欄第７行、特許請求の範囲第１〜４項）
（Ｂ−２）「薄膜トランジスタ配列技術に用いられるＬＣＤ表示装置用に使用され、単一のガラスに併有されなければならないガラスの種々の要件は、以下のように要約される。
　〈中　略〉
（４）ガラスは高品質シートの形に低コストで製造可能でなければならず、従って、必要な表面仕上げを達成するために、広範囲に亙る研削及び艶出しが必要であってはならない。
　この最後の要件は、オーバーフローダウンドローシート製造工程等のような本質的に仕上られたガラスシートを製造可能なシートガラス製造工程が使用されなければならないということを意味する。このことは、逆にガラスが液相線において高粘度であることが要求され、安定な長期間のオーバーフローダウンドローシートを形成するための最小液相線粘度は現在、約３×１０５ポイズであるべきであると考えられている。
　現在、液晶表示装置の製造に使用されている市販のガラスは、コーニングコード７０５９である。・・・膨張率を有し、液相線温度において１０６ポイズを幾分超える粘度を示すものである。このガラスの高液相線粘度は、オーバーフローダウンドローシート処理によるそれからのガラスシートの製造を容易にする。」（第３頁右上欄第８行〜右下欄第５行）
（Ｂ−３）「組成物のこの範囲内においては、歪点が約６３０℃を超え、熱膨張係数が３８−４３×１０−７／℃の間にあり、液相線温度が１０２０℃より下であり、且つ、液相線における粘度が１０６ポイズを超え、更に優れた化学的耐久性を示すガラスが容易に提供される。」（第７頁右下欄第１４〜末行）
　
Ｖ−Ｃ．甲第３号証（米国特許５１１６７８７号明細書）には、以下のことが記載されている。
（Ｃ−１）「１．多結晶質シリコン薄膜トランジスタを帯びる透明ガラス基体を含むフラットパネル表示装置において、前記ガラスが、６５５℃より高い歪み点、１０７５℃より低い液相温度、白金および高温耐火性セラミック材料に接触したときの失透に対する長期安定性、および１．５×１０５ポアズより大きい液相粘度を示し、実質的にアルカリ金属酸化物とＭｇＯを含まず、酸化物基準のモルパーセントで表わして、
ＳｉＯ２　６３−６８　　　　　ＢａＯ　４．５−１０
Ａｌ２Ｏ３　７．５−１１　　　ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ　１４−２６
ＣａＯ　９．５−１６　　　　Ｂ２Ｏ３　１−７
ＳｒＯ　０−５
から実質的になる、フラットパネル表示装置。」旨（第８欄第６〜２２行、クレーム１）
　
VI．当審の判断
VI−１．理由−１について
VI−１−１．本件発明１
　訂正後の本件請求項１及び本件明細書の記載（特に、段落０００２〜００１７の記載）によれば、本件発明１は、ガラスの組成として、「酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１−６８．５％のＳｉＯ２、１０．７−１１．５％のＡｌ２Ｏ３、７．０３−９．７％のＢ２Ｏ３、１．２−４．７９％のＭｇＯ、４．８５−５．２％のＣａＯ、１．２−２．４２％のＳｒＯ、２．４２−４．５％のＢａＯ、および１１．８−１５．３４％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」との構成（以下、必要に応じて、「本件特定ガラス組成」という）を備え、かつ、ガラスの物性として「６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きい」（以下、必要に応じて、「本件特定ガラス物性」という）との構成を一体に備えることにより、その余の構成と相俟って、液晶ディスプレーの基板、ないしは、フラットパネルディスプレーの基板に用いたときに有用な効果を奏するというものである。
　これに対して、甲第１号証には、その前記摘示（Ａ−１）〜（Ａ−４）によれば、「モル表示でＳｉＯ２が６２％以上６８％以下、Ｂ２Ｏ３が８％以上１２％未満、Ａｌ２Ｏ３が９％以上１３％以下、ＭｇＯが１％以上５％以下、ＣａＯが３％以上７％以下、ＳｒＯが１％以上３％未満、及び、ＢａＯが１％以上３％未満の組成であって、１００〜３００℃における平均線膨張係数が３４×１０−７〜３９×１０−７ｄｅｇ−１・ｃｍ−１で歪点が６３０℃以上であり、かつ、Ｐ−ＳｉＴＦＴの成形過程で多用される弗酸および硝酸に対する良好な耐性、実用的な溶融性、実用的な成形性、及び耐失透性を有するガラス」に関する発明（以下、必要に応じて、「甲第１号証発明」という）が記載されるものの、そこでは、上記「本件特定ガラス組成」を備えたガラスが具体的に示されないばかりか、上記「本件特定ガラス物性」の４つの物性の全てを同時に備えたガラスが具体的に示されないものである。
　ちなみに、甲第１号証発明につき、その実施例１〜５の記載〔前記摘示（Ａ−５）参照〕をみても、その実施例１ではＳｉＯ２６４．７モル％、Ｂ２Ｏ３１０．９モル％及びＣａＯ５．７モル％である点で、同実施例２ではＳｉＯ２６３．９モル％、Ｂ２Ｏ３１０．０モル％、ＣａＯ５．３モル％、ＳｒＯ２．６モル％及びＢａＯ２．３モル％である点で、同実施例３ではＡｌ２Ｏ３１０．０モル％、ＣａＯ５．３モル％及びＢａＯ２．４モル％である点で、同実施例４ではＳｉＯ２６４．６モル％、Ｂ２Ｏ３１１．０モル％、Ａｌ２Ｏ３１１．８モル％、ＣａＯ５．３モル％及びＢａＯ１．６モル％である点で、更に、同実施例５ではＳｉＯ２６５．８モル％、Ｂ２Ｏ３１０．７モル％、Ａｌ２Ｏ３９．９モル％、ＣａＯ４．０モル％及びＢａＯ２．４モル％である点で、上記の「本件特定ガラス組成」を満たし得ないものである。
　また、甲第１号証発明の実施例１〜５に記載のガラスは、平成１２年１１月２２日提出の意見書によれば、５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の重量損失が実施例１では３．０９±１．４ｍｇ／ｃｍ２である点で、また、液相線温度での粘度が同実施例２では１１７，０００±１１２，０００ポアズであり、同実施例３では３００，０００±４９，５００ポアズであり、同実施例４では２１３，０００±１２７，０００ポアズでありそして同実施例５では２４，３００±１，９５０ポアズである点で、上記の「本件特定ガラス物性」の４つの物性を同時に満たし得ないものである。
　そして、甲第１号証発明では、ガラスの線膨張係数、歪点、弗酸および硝酸に対する良好な耐性、耐失透性につき配慮しているとしても、そのガラスにつき上記の「本件特定ガラス物性」の物性を同時に実現するところの技術的手段、すなわち、「６５０℃より高い歪点、０℃−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きい」とする物性を同時に実現するところの技術的手段が具体的に教示されない。
　そうであれば、甲第１号証発明のガラスにおいて「本件特定ガラス組成」を採択し且つ「本件特定ガラス物性」を採択して本件発明１の構成のようにすることが当業者といえども容易になし得るとはいえない。
　次に、甲第２及び３号証の記載を順次みる。
　甲第２号証には、その（Ｂ−１）及び（Ｂ−２）によれば、ＬＣＤ表示装置用に使用されるガラスにつき、「６３０℃を超える歪点、約３８〜４３×１０−７／℃の範囲にある熱膨張係数、５％ＨＣｌ中９５℃で２４時間の期間に約１０ｍｇ／ｃｍ２を超えない重量損失及び液相時の粘度が１．３×１０５ポイズを超える」ものを提供することが記載され、そして、ガラスにつき示されるそこでの実施例及び従来例をみると、熱膨脹率が実質上３２−４０×１０−７／℃の例、液相線粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きい例、又は、５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の重量損失が２ｍｇ／ｃｍ２を未満の例がいくつか散見される。しかし、甲第２号証においては、「本件特定ガラス物性」の４つの物性を同時に満たす例が示されるものではなく、また、他に、「本件特定ガラス物性」を実現するところの技術的手段が教示されるものでもない。そうであれば、甲第２号証の記載をみても、甲第１号証発明において、「本件特定ガラス組成」を採択し且つ「本件特定ガラス物性」を採択して本件発明１の構成のようにすることが当業者の容易になし得るものではない。
　甲第３号証には、フラットパネル表示装置に用いるガラス基体につき記載され、ガラスにつき示されるその実施例及び従来例では、歪点が６５０℃より高い例、熱膨脹率が実質上３２−４０×１０−７／℃の例、液相線粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きい例、又は、５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の重量損失が２ｍｇ／ｃｍ２を未満の例がいくつか散見される。しかし、甲第３号証においては、「本件特定ガラス物性」の４つの物性を同時に満たす例が示されるものではなく、また、他に、「本件特定ガラス物性」を実現するところの技術的手段が教示されるものでもない。そうであれば、甲第３号証の記載をみても、甲第１号証発明において、「本件特定ガラス組成」を採択し且つ「本件特定ガラス物性」を採択して本件発明１の構成のようにすることが当業者の容易になし得るものではない。
　以上のとおり、甲第１号証発明に甲第２号証及び甲第３号証の記載を併せてみても、本件発明１の構成のようにするところの技術的手段が示されず、したがって、本件発明１は甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるとすることができない。
　
VI−１−２．本件発明２〜８
　本件発明２〜５は、本件請求項１を直接又は間接的に引用するものであって本件発明１の構成の全て具備するものであり、また、本件発明６〜８はそのガラスに関し上記「本件特定ガラス組成」及び「本件特定ガラス物性」に関する構成を実質上全て具備するものである。
　したがって、VI−１−１．で説示した理由と同じ理由により、本件発明２〜８は甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるとすることができない。
　
VI−２．理由−２について
　ここでの異議申立人の主張は、特許明細書の請求項６及び１１〜１３に係る発明が発明の詳細な説明の項に記載したものであるとはいえないというものである。
　しかし、前記訂正請求により、特許明細書の請求項６及び１１〜１３は削除され、その結果、取り消すべき請求項がもはや存在しないことになったものであるから、この理由についてはこれ以上審及しない。
　
VI−２．取消理由通知のその他の取消理由
　平成１６年８月２６日付け取消理由通知のその他の取消理由は、具体的には、特許明細書の本件請求項１〜１３に係る発明は、実施例に記載されるガラス以外のガラスを用いる態様を含み、その態様を含む本件請求項１〜１３に係る発明については、発明の詳細な説明の項に当業者が容易にその実施をすることができる程度に発明が記載されていないというものである。
　しかし、前記訂正請求により、請求項１〜８に係る発明のガラスが、実質上、実施例の範囲のものに限定されたものであり、その結果、当該取消理由通知で根拠とした事実がもはや存在しないことになったものであるから、この理由についてはこれ以上審及しない。
　
VII.　まとめ
　特許異議申立の理由及び証拠によっては、訂正後の本件請求項１〜８に係る発明の特許を取り消すことができない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１１月２４日（２００５．１１．２４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
高液相線粘度ガラスおよびそれを用いた基板
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
ア
６６．１
６８．５
１０．７
１１．５
７．０３
９．７
１．２
４．７９
４．８５
５．２
１．２
２．４２
２．４２
４．５
１１．８
１５．３４
る組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、
　【請求項２】前記ガラスが、１６７５℃より低い温度で約２０Ｐａ．ｓ（２００ポアズ）の溶融粘度を示すことを特徴とする請求項１記載のガラス。
　【請求項３】前記ガラスの液相線温度が１１２５℃以下であることを特徴とする請求項１記載のガラス。
　【請求項４】請求項１から３いずれか１項記載のガラスを用いたフラットパネルディスプレー用の基板。
　【請求項５】「チップ−オン−ガラス」技術を利用してシリコンチップをガラス上に直接搭載できることを特徴とする、請求項１から３いずれか１項記載のガラスを用いたフラットパネルディスプレー用の基板。
　【請求項６】
アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６６．１
６８．５
１０．７
１１．５
７．０３
９．７
１．２
４．７９
４．８５
５．２
１．２
２．４２
２．４２
４．５
１１．８
１５．３４
組成範囲を有し、６５０℃より高い歪点、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、および５重量％のＨＣｌ水溶液への２４時間に亘る浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失を示すと共に、標準液相線法により測定した液相線温度を用いてファルチャーの式で計算した液相線温度での粘度が６０，０００Ｐａ．ｓ（６００，０００ポアズ）より大きいフラットで透明なガラスから成るフラットパネルディススプレー用
　【請求項
７
６
　【請求項
８
または７
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は液相線温度で高粘度を示すガラス組成物の製造に関するものである。さらに詳しくは、本発明は、フラットパネルディスプレーの基板に用いるのに特に適する化学特性および物理特性を示すガラスに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　液晶ディスプレー（ＬＣＤ）は照明の外部光源に依存する受動的なディスプレーである。液晶ディスプレーは、セグメントタイプのディスプレーとして、または２つの基本構造からなるものとして製造される。２つのマトリックスタイプの基板のニーズ（透明であることとディスプレーの処理中に露出される化学条件に耐えられること以外）は異なる。第１のタイプは、液晶材料の限界特性に依存する固有マトリックスアドレスタイプ（ｉｎｔｒｉｎｓｉｃ　ｍａｔｒｉｘ　ａｄｄｒｅｓｓｅｄ）である。第２のタイプは、外部マトリックス（ｅｘｔｒｉｎｓｉｃ　ｍａｔｒｉｘ　ａｄｄｒｅｓｓｅｄ）または活性マトリックス（ＡＭ）アドレスタイプ（ａｃｔｉｖｅ　ｍａｔｒｉｘ　ａｄｄｒｅｓｓｅｄ）であり、ダイオード、金属−絶縁体−金属（ＭＩＭ）デバイス、または薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の配列が各ピクセルに電気スイッチを提供している。どちらの場合においても、２枚のガラスシートがディスプレーの構造を形成している。２枚のシート間の間隔は、約５−１０μｍの臨界ギャップ寸法である。
　【０００３】
　固有アドレスタイプのＬＣＤ（ｉｎｔｒｉｎｓｉｃａｌｌｙ　ａｄｄｒｅｓｓｅｄ　ＬＣＤｓ）は、３５０℃以下の温度での薄膜蒸着技術と、続いての写真平板パターニング（ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ）を用いて製造する。結果として、基板の必要条件は、セグメントタイプのディスプレーとしばしば同じである。障壁層を有するソーダ石灰石英ガラスは、ほとんどのニーズに適することが分かった。固有アドレスタイプのＬＣＤの高性能バージョンの、スーパーツイストネマティック（ＳＴＮ）タイプには、ギャップ寸法を一定に保持する目的のために極めて精密な平面度を必要とするさらなる要件が加わる。この要件のために、それらのディスプレーに使用するソーダ石灰石英ガラスは、研磨しなければならないか、または研磨なく使用できるコード７０５９として（ニューヨーク州、コーニングのコーニング社により）市販されている、精密成形されたバリウムアルミノホウケイ酸塩ガラスでなければならない。
　【０００４】
　外部アドレスタイプのＬＣＤ（ｅｘｔｒｉｎｓｅｃａｌｌｙ　ａｄｄｒｅｓｓｅｄ　ＬＣＤＳ）はさらに、２つの範疇、すなわち、１つはＭＩＭまたは非晶質ケイ素（ａ−Ｓｉ）デバイスに基づくＬＣＤ、もう１つは多結晶性ケイ素（ｐｏｌｙ−Ｓｉ）デバイスに細分できる。ＭＩＭまたはａ−Ｓｉタイプの基板の必要条件は、ＳＴＮ用途に類似している。コーニングコード７０５９シートガラスは、非常に低いナトリウム含有量、すなわち、０．１重量％未満のＮａ２Ｏ、寸法精密性、および商業的有効性のために好ましい基板である。しかしながら、ｐｏｌｙ−Ｓｉから形成したデバイスは、ａ−Ｓｉ　ＴＦＴを用いたデバイスよりも高い温度で加工される。６００°−８００℃（ガラスの歪点より２５℃低いとみなす）の使用温度に耐えられる基板が求められる。必要とされる実際の温度は、ＴＦＴの製造に用いられる個々の工程により決まる。蒸着ゲート誘電体を有するそれらのＴＦＴは６００°−６５０℃を必要とし、一方熱酸化物を有するＴＦＴは約８００℃を必要とする。ａ−Ｓｉおよびｐｏｌｙ−Ｓｉ工程の両方が、連続の写真平板パターンの正確なアラインメントを必要とし、それは、基板の熱収縮が低く保持されることを必要とするからである。それらの温度により、処理中のシートの熱変形を避けるために、ソーダ石灰石英ガラスおよびコーニングコード７０５９ガラスより高い歪点を示すガラスの使用が必要となってきた。理解されるように、歪点が低ければ低いほど、この寸法変化は大きくなる。このようにして、６００℃より高い温度、好ましくは６５０℃より高い温度でのデバイス処理中に、熱変形が最少とされるように、高い歪点を示すガラスを開発する多くの研究が行なわれている。
　【０００５】
　米国特許第４，８２４，８０８号（ダンボー、Ｊｒ．）は、ＬＣＤの基板のニーズを完全に満たすためにガラスが有していなければならないと考えられる４つの特性を記載している。
　【０００６】
　第１に、ガラスは、基板からのアルカリ金属がトランジスターマトリックス中に移行するようなことを避けるために、意図的に加えられるアルカリ金属酸化物を実質的に含んではならない。
　【０００７】
　第２に、ガラス基板は、ＴＦＴマトリックス蒸着工程（ＴＦＴ　ｍａｔｒｉｘ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ）中に用いられる試薬に耐えられるように、十分な化学的耐久性を有していなければならない。
　【０００８】
　第３に、ＴＦＴ配列に示されるガラスとケイ素の間の膨脹の不整合は、基板の処理温度が上がっても、比較的低含有量に保持されなければならない。
　【０００９】
　第４に、ガラスは、低コストで高品質の薄いシート状に製造できるようでなければならない、すなわち、必要な表面仕上げを確保するために大規模なすりおよび研磨を必要としてはならない。
　【００１０】
　米国特許第３，３３８，６９６号（ドカーティー）および米国特許第３，６８２，６０９号（ドカーティー）に記載のオーバーフローダウンドロー（ｏｖｅｒｆｌｏｗ　ｄｏｗｎｄｒａｗ）シート製造工程のような、実質的に仕上げを施したガラスシートを製造できるシートガラス製造工程を必要とするので、この最後の必要条件を満たすのは最も困難である。その工程には、液相線温度での非常に高い粘度と、溶融温度と形成温度での失透に対する、例えば３０日の長期安定性を示すガラスを必要とする。
　【００１１】
　前出のコーニングコード７０５９は、ＬＣＤの製造に現在用いられている。そのガラスは、重量パーセントで、約５０％のＳｉＯ２、約１５％のＢ２Ｏ３、約１０％のＡｌ２Ｏ３、および約２４％のＢａＯから実質的になり、名目上アルカリ金属酸化物を含まず、約４６×１０−７／℃の線熱膨脹係数（２５°−３００℃）および液相線温度での６００，０００ポアズ（６×１０４Ｐａ・ｓ）を超える粘度を示す。ガラスの高液相線粘度（ｈｉｇｈ　ｌｉｑｕｉｄｕｓ　ｖｉｓｃｏｓｉｔｙ）により、オーバーフローダウンドローシート処理技術によりそのガラスをシートに引くことができるが、比較的低い歪点（〜５９３℃）は、ａ−Ｓｉデバイスのみを処理するのに適しており、ｐｏｌｙ−Ｓｉデバイスには適していない。
　【００１２】
　前出の米国特許第４，８２４，８０８号のガラスは、ｐｏｌｙ−Ｓｉデバイスの製造に使用するための必要条件を満たすように設計されており、この必要条件には、オーバーフローダウンドローシート処理技術によりシートに形成できること、およびケイ素の線熱膨張係数によく整合するような、約３６．５×１０−７／℃（２５°−３００℃）という低い線熱膨張係数を有することが含まれ、これにより、シリコンチップを直接ガラスにシールできるが、そのガラスの歪点は６５０℃より低い。
　【００１３】
　米国特許第４，４０９，３３７号（ダンボー、Ｊｒ．）のガラスはまた、ＬＣＤ基板のために考えられたが、失透に対する長期安定性は、オーバーフローダウンドローシート処理技術に使用するには不十分であると思われた。
　【００１４】
　米国特許第５，１１６，７８７号（ダンボー、Ｊｒ．）のガラスは、実質的にアルカリ金属酸化物とＭｇＯを含まず、６５５℃以上の歪点と液相線温度で１．５×１０５ポアズ（１．５×１０４Ｐａ・ｓ）より大きな粘度を示す。このガラスはオーバーフローダウンドローシート処理技術用に設計されているけれども、失透に対する長期安定性は、その工程に用いたときに最低限度のものであることが分かり、製造中にガラスにいくらかの結晶が形成された。また、線熱膨張係数（２５°−３００℃）は一般的に４０代後半から５０代前半×１０−７／℃の範囲にあり、ケイ素の線熱膨張係数（〜３５×１０−７／℃）と整合させるには高過ぎる。
　【００１５】
　米国特許第５，１１６，７８８号（ダンボー、Ｊｒ．）は、高歪点、すなわち６７５℃より高い歪点を示すが、液相線温度において、オーバーフローダウンドローシート処理技術を用いて形成したときに失透するような比較的低い粘度、すなわち、２０，０００−２００，０００ポアズ（２，０００−２０，０００Ｐａ・ｓ）を有する他のガラスを開示している。
　【００１６】
　最後に、米国特許第５，１１６，７８９号（ダンボー、Ｊｒ．）は、６７５℃より高い歪点を示すが、高すぎてケイ素との高温整合を達成できない、４５−６２×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数（２５°−３００℃）を示す他のガラス組成について記載している。
　【００１７】
　【発明が解決しようとする課題】
「チップ−オン−ガラス」（ＣＯＧ）と呼ばれる液晶技術における最近の進歩により、熱膨脹においてケイ素とよく整合する基板ガラスに対応するニーズがさらに強調されてきた。したがって、最初のＬＣＤデバイスでは、ドライバーチップを基板ガラス上には搭載していない。代わりに、シリコンチップを離して搭載し、コンプライアント（ｃｏｍｐｌｉａｎｔ）または柔軟な配線でＬＣＤ基板回路部品に接続していた。ＬＣＤデバイス技術が改良されデバイスが大きくなったので、コストと不確かな信頼性のために、これらの柔軟な取付物が受け入れられなくなった。この状況により、シリコンチップのテープ自動接着（Ｔａｐｅ　Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｂｏｎｄｉｎｇ：ＴＡＢ）へと導かれた。この工程においては、シリコンチップとチップへの電気接続手段を担体テープ上に搭載し、その副集成部品をＬＣＤ基板に直接搭載し、その後ＬＣＤ回路部品への接続を完了させた。ＴＡＢはコストを減少させると共に、信頼性を改善し、約２００μｍのピッチまで導体の許容密度を増大せしめた。これらは全て重要な要素である。しかしながら、ＣＯＧはさらに上記３つの要素に関してＴＡＢを上回る改良を提供する。このように、ＬＣＤデバイスのサイズと品質の要件が増加するので、集積回路シリコンチップの使用に依存するそれらのデバイスのためにＣＯＧが必要とされる。このために、基体ガラスは、ケイ素の線熱膨脹係数とよく整合する線熱膨脹係数を示さなければならない。すなわち、そのガラスは、３２−４６×１０−７／℃、最も好ましくは３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数（０°−３００℃）を示さなければならない。
　【００１８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、０°−３００℃の温度範囲に亘る３２−４０×１０−７／℃の範囲の線熱膨脹係数、６５０℃より高い歪点、１２００℃以下の液相線温度、約２００，０００ポアズ（２０，０００Ｐａ・ｓ）より大きい液相線粘度、９５℃での５重量％のＨＣｌ水溶液中への２４時間の浸漬後の２ｍｇ／ｃｍ２未満の重量損失、溶融温度と形成温度での失透に対する長期安定性、および１６７５℃未満での約２００ポアズ（２０Ｐａ・ｓ）の溶融粘度を示すガラスの発見に基づくものであり、このガラスは実質的にアルカリ金属酸化物を含まず、酸化物基準のモルパーセントで表して、６４−７０％のＳｉＯ２、９．５−１４％のＡｌ２Ｏ３、５−１０％のＢ２Ｏ３、０−５％のＴｉＯ２、０−５％のＴａ２Ｏ５、０−５％のＮｂ２Ｏ５、０−３％のＹ２Ｏ３、０−５％のＭｇＯ、３−１３％のＣａＯ、０−５．５％のＳｒＯ、２−７％のＢａＯ、および１０−２０％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になる。ガラスの電気特性に有害な影響があるため、アルカリ金属酸化物は最も好ましくは本発明のガラス中にまったく含まない。
　【００１９】
　ＬＣＤ基板ガラスをｐｏｌｙ−Ｓｉデバイスに用いるために望ましい特性を示すガラスを確保するために、それらガラスの組成の範囲への執着が、極めて重要であることが分かった。説明すると：
　ＳｉＯ２の含有量が６４％より低い場合、歪点が低すぎて、酸の攻撃に対するガラスの耐性が不十分となる。一方で、ＳｉＯ２の濃度が７０％を超える場合、ガラスは通例のガラス溶融温度で溶融するのが困難となる。
　【００２０】
　Ａｌ２Ｏ３の含有量は、最小液相線温度を得るのに重要である。すなわち、Ａｌ２Ｏ３の濃度が９．５％より低くなるかまたは１４％を超える場合、液相線温度は１２００℃を超え得る。
　【００２１】
　Ｂ２Ｏ３は、ガラスの粘度特性を改良する傾向があり、Ｂ２Ｏ３の含有量が５％未満である場合、液相線温度は高すぎてしまう。１０％より高いＢ２Ｏ３の含有量では、酸の攻撃に対する耐性が犠牲になり、歪点が低すぎてしまう。
　【００２２】
　アルカリ土類金属酸化物はガラスの溶融特性と物理特性を修正する。しかしながら、その合計が２０％を超えると、線熱膨脹係数が高すぎてしまう。ＳｒＯとＢａＯは、ＭｇＯまたはＣａＯよりも熱膨脹を上昇せしめる。それゆえ、個々に７％を超えない。ＣａＯはまた、ＳｒＯまたはＢａＯより鈍い割合で、熱膨脹を上昇せしめるので、その合計は、１３％を超えるべきではない。ＭｇＯは、少ない添加量で液相線温度に有益な効果を及ぼすが、５％より大きな濃度では、液相線温度は上昇するように思われる。
　【００２３】
　ガラスの熱膨張係数を低下せしめるのにＴｉＯ２を含有することが有用である。Ｔａ２Ｏ５の存在は、ガラスの熱膨張係数を低下せしめるだけでなく、その化学的耐久性を著しく改良する。Ｎｂ２Ｏ５とＹ２Ｏ３は、ガラスの熱膨張係数を減少せしめ、その液相線温度を低下せしめるように思われる。
　【００２４】
　好ましいガラスにおいて、Ａｌ２Ｏ３の含有量は、Ｂ２Ｏ３の含有量を超え、最も好ましいガラスにおいては、組成は、モルパーセントで表して、６５−６９％のＳｉＯ２、１０−１２％のＡｌ２Ｏ３、７−１０％のＢ２Ｏ３、０−３％のＴｉＯ２、０−３％のＴａ２Ｏ５、１−５％のＭｇＯ、３−９％のＣａＯ、１−３％のＳｒＯ、２−５％のＢａＯ、および１１−１６％のＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯから実質的になり、比率Ａｌ２Ｏ３：Ｂ２Ｏ３＞１である。そのガラスは、３２−４０×１０−７／℃の線熱膨張（０°−３００℃）、１１２５℃以下の液相線温度、およびその液相線温度での６００，０００ポアズ（６０，０００Ｐａ・ｓ）より大きい粘度を示す。
　【００２５】
　【実施例】
　以下、実施例を参照しながら本発明を詳細に説明する。
　【００２６】
　表Ｉは、本発明の組成パラメータを説明する、酸化物基準の重量部で表した多くのガラス組成を記載している。個々の成分の合計が１００に近いので、全ての目的に関して、記載した値は重量パーセントを示すものと考えてさしつかえない。実際のバッチ成分は、酸化物、または他のバッチ成分とともに溶融されたときに、適切な比率で所望の酸化物に転化される他の化合物のいずれの材料からなっていてもよい。例えば、ＳｒＣＯ３およびＣａＣＯ３は、それぞれＳｒＯとＣａＯの供給源を提供し得る。
　【００２７】
　バッチ成分を配合し、均質な溶融物の製造を補助するためにともに完全にタンブル混合し、白金るつぼに装填した。蓋を乗せた後、るつぼを１６００°−１６５０℃の温度で運転している炉に移した。不純物と脈理のないガラスの製造を確実にするために、２段階溶融方法を用いた。第１の段階において、バッチを約１６時間に亘り溶融し、撹拌し、次いで微細な流れとして水浴中に注ぎ入れた。この工程は、ガラス業界において「ドリゲージング」と称する。第２の工程において、ドリゲージングから細かく粉砕したガラス粒子を約４時間に亘り１６００°−１６５０℃で再溶融し、この溶融物を両方向（時計回りと反時計回り）に撹拌し、その後溶融物をスチール板上に注いで、約１８”×６”×０．５”（〜４５．７×１５．２×１．３ｃｍ）の寸法を有するガラススラブを作成し、それらのスラブを約７３０℃で運転しているアニーラーにただちに移した。
　【００２８】
　上述した記載は実験室の溶融方法を示したものであるが、本発明のガラスは、大規模の、商業的なガラス溶融装置および成形装置を用いて、溶融および成形でせきることを理解しなければならない。このように、このガラスは、オーバーフローダウンドローシート処理技術を用いて薄いシートに引けるように特別に設計したものである。ここに記載した実験のガラスに関して、それぞれ約０−１％および０−０．５％のヒ素および／またはアンチモンを各バッチに加えて、清澄剤としての通常の機能を果たせしめた。ガラス中に残っている少量の残留物は、ガラスの特性には実質的に影響しない。
　【００２９】
　表Ｉはまた、ガラス業界に慣例の技術により、ガラスについて測定したいくつかの化学特性と物理特性も列記している。このようにして、×１０−７／℃で示した、０°−３００℃の温度範囲に亘る線熱膨張係数（Ｅｘｐ．）、および℃で示した、軟化点（Ｓ．Ｐ．）、アニール点（Ａ．Ｐ．）、および歪点（Ｓｔ．Ｐ．）を、繊維伸び率（ｆｉｂｅｒ　ｅｌｏｎｇａｔｉｏｎ）により測定した。ＨＣｌ中の耐久性（Ｄｒｕ．）は、５重量％のＨＣｌ水溶液の浴中に９５℃で２４時間に亘り浸漬した後の重量損失（ｍｇ／ｃｍ２）を測定することにより求めた。
　【００３０】
　ガラスの液相線温度を２つの異なる方法により測定した。標準液相法（ｓｔａｎｄａｒｄ　ｌｉｑｕｉｄｕｓ　ｍｅｔｈｏｄ；Ｌｉｑ．）は、粉砕したガラス粒子を白金ボートに置き、このボートを温度勾配の領域を有する炉中に置き、このボートを適切な温度領域で２４時間に亘り加熱し、結晶がガラスの内部で現れる最高温度を顕微鏡検査により測定することにより構成されている。「メルトバック液相線（ｍｅｌｔｂａｃｋ　ｌｉｑｕｉｄｕｓ）」（Ｍ．Ｌｉｑ．）と呼ばれる第２の方法は、２４時間に亘り１０００℃の温度に保持することにより予備結晶化せしめられたガラス試料を白金ボート中に置き、このボートを勾配炉中の適温領域で２４時間に亘り加熱し、次いで顕微鏡検査によりガラスの内部に結晶が観察されない最低温度を測定することからなる。一般的に、これらの２つの技術により測定した液相線温度は、５０℃より大きくは異ならず、「メルトバック液相線」は典型的に標準液相線温度より高い。
　【００３１】
　表ＩＡは、酸化物基準のモルパーセントで示した表Ｉと同一のガラス組成を列挙し、その中で、清澄剤の含有量は、最終ガラス中での存在が小さく、ガラスの全体的な特性には実質的な影響を及ぼさないので、省略した。
　【００３２】
　【表１】
　【００３３】
　【表２】
　【００３４】
　【表３】
　【００３５】
実施例５は、高含有量のＣａＯおよび低含有量のＳｉＯ２を有するガラスがいかに高熱膨脹係数となり得るかを示している。
　【００３６】
　表ＩＩはまた、再度酸化物基準の重量部で示した、より深く特徴付けられたガラス組成の第２の群を記載している。ここでも、個々の成分の合計が１００に近いので、全ての目的に関して、列挙した値は重量パーセントを示すものと考えてさしつかえない。そして、表Ｉに記載した組成と同様に、実際のバッチ成分は、酸化物、またはともに溶融せしめられたときに、適切な比率で所望の酸化物に転化される他の化合物のいずれの材料からなっていてもよい。
　【００３７】
　バッチ成分を配合し、ともに混合し、溶融して、表Ｉのガラスに概説した実験方法によりガラススラブに造型した。
　【００３８】
　表ＩＩはまた、表Ｉのガラスには行なわなかった２つの追加の測定値とともにいくつかのガラスに行なった化学特性と物理特性の測定値を列挙している。第１には、溶融温度［℃で示したＭｅｌｔ］（ガラスの溶融物が２００ポアズ［２０Ｐａ・ｓ］の粘度を示した温度と定義した）を加え、これは高温粘度データに適合したファルチャーの式（Ｆｕｌｃｈｅｒ　ｅｑｕａｔｉｏｎ）を用いて計算した。第２には、ファルチャーの式の係数を用いて計算した、×１００，０００ポアズ（１０，０００Ｐａ・ｓ）で表した液相線粘度（Ｖｉｓｃ）を加えた。記載した液相線温度は、標準液相線法（Ｌｉｑ）により測定した。最後に、表Ｉのガラス組成と同様に、ガラスの清澄は、ガラスバッチ中にヒ素および／またはアンチモンを含有せしめることにより行なった。
　【００３９】
　表ＩＩＡは酸化物基準のモルパーセントで表した表ＩＩと同一のガラス組成を列挙しており、その中で、清澄剤による少量の残留物はガラスの全体的な特性には実質的に影響しないので、清澄剤の濃度は省略した。実施例１６は実施例６の実験再溶融物である。
　【００４０】
　【表４】
　【００４１】
　【表５】
　【００４２】
　【表６】
　【００４３】
　【表７】
　【００４４】
　【表８】
　【００４５】
　【表９】
　【００４６】
　【表１０】
　【００４７】
　【表１１】
　【００４８】
　【表１２】
　【００４９】
　【表１３】
　【００５０】
　実施例２８−３１は、本発明の範囲に近いが、いくぶん外れている組成を有するガラスを例示している。したがって、実施例２８ではＳｉＯ２とＢａＯの濃度は高すぎる。実施例２９ではＳｉＯ２の含有量は低く、ＭｇＯの含有量は高すぎる。実施例３０ではＳｉＯ２の含有量は低すぎる。実施例３１ではＳｉＯ２の量は低すぎ、ＣａＯの量は高すぎる。
　【００５１】
　実施例１６、２１、２２、２５、２６および２７は
明らかに本件特許請求の範囲に入る
その他の実施例はデータが完備されていないだけのものも含めて参考例とする。