【事件の表示】
　特願２００４−３０２４０９「真空処理装置及び基板の搬送処理方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　４月１４日出願公開、特開２００５−１０１６２５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯、本願発明
　本願は，平成１６年２月２０日に出願した特願２００４−４３７５８号（以下「１代前出願」という。）の一部を、平成１６年１０月１８日に、特許法第４４条の規定による新たな特許出願としたものである。
　また、１代前出願は、特願２００３−１１４５３８号（以下「２代前出願」という。）の一部を特許法第４４条の規定による新たな特許出願としたものである。
　以下、同様に、特願２００２−３２０９７９号（３代前出願）、特願２００２−４０５８０号（４代前出願）、特願２０００−３３８１７７号（５代前出願）、特願平１１−１２６３号（６代前出願）、特願平９−３２９８７３号（７代前出願）、特願平８−３３５３２９号（８代前出願）、特願平２−２２５３２１号（９代前出願）とさかのぼり、９代前出願は平成２年８月２９日の出願である。
　本願の請求項１ないし２に係る発明は，特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された次のとおりである。なお、平成１８年３月９日付けで補正された審判請求書の「請求の理由」の記載にあわせて分節し、請求人が自認する誤記は訂正した。
　
【請求項１】
（Ａ）被処理基板を一枚毎真空処理する複数の真空処理室と、
（Ｂ）ロボットにより供給され被処理基板もしくは処理済基板を複数枚収納できるカセットを、大気雰囲気で載置し得る実質的に水平な同一高さ面に配置された複数のカセット台と、
（Ｃ）前記複数のカセット台のいずれかのカセット内のいずれの場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取れるよう上下動可能に構成された大気搬送手段と、
（Ｄ）大気雰囲気もしくは真空雰囲気に切り替え可能な室と、
（Ｅ）前記切り替え可能な室と前記複数の真空処理室のいずれかとの間で前記基板を搬送できるように構成された真空搬送装置と、
（Ｆ）前記カセットに付与された生産情報を自ら認識するか上位の制御装置から送られる情報に基づくかあるいは入力された命令を受けて、前記大気搬送装置及び前記真空搬送装置により、前記複数のカセット台のいずれかに前記ロボットにより供給されたカセット内の任意の場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取り前記切り替え可能な室を介して前記いずれかの真空処理室へ搬入し、前記真空処理室で前記被処理基板を一枚毎処理し、前記処理された処理済基板を前記切り替え可能な室を介して搬送し元のカセットの元の位置に一枚毎回収するとともに、処理の完了した前記カセットを回収し前記ロボットにより供給された別の未処理の基板を収納したカセットと交換するように制御する制御手段とを具備し、
（Ｇ）前記制御手段を用い、前記ロボットにより供給されたカセット内の前記被処理基板を前記いずれかの真空処理室で一枚毎処理することにより、装置を連続的に稼動可能に構成した
（Ｈ）ことを特徴とする真空処理装置。
　
【請求項２】
（Ａ）被処理基板を一枚毎真空処理する複数の真空処理室と、
（Ｂ）ロボットにより供給され被処理基板もしくは処理済基板を複数枚収納できるカセットを大気雰囲気で載置し得る実質的に水平な同一高さ面に配置された複数のカセット台と、
（Ｃ）前記複数のカセット台のいずれかのカセット内のいずれの場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取れるよう上下動可能に構成された大気搬送手段、
（Ｄ）大気雰囲気もしくは真空雰囲気に切り替え可能な室と、
（Ｅ）前記切り替え可能な室と前記複数の真空処理室のいずれかとの間で前記基板を搬送できるように構成された真空搬送装置と、
（Ｆ）制御手段とを備えた
（Ｉ）真空処理装置における基板の搬送処理方法であって、
（Ｋ）前記カセットに付与された生産情報を自ら認識するか上位の制御装置から送られる情報に基づくかあるいは入力された命令を受けて、前記大気搬送手段の上下動作により、前記複数のカセット台のいずれかに前記ロボットにより供給された被処理基板を収納したカセット内の任意の場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取り、
（Ｌ）前記被処理基板を前記切り替え可能な室を介して前記いずれかの真空処理室へ搬入し、前記被処理基板を前記いずれかの真空処理室で一枚毎処理し、
（Ｍ）前記処理された処理済基板を、大気雰囲気に搬出し、
（Ｎ）元のカセットの元の位置に一枚毎回収するとともに、処理の完了した前記カセットを回収し前記ロボットにより供給された別の未処理の基板を収納したカセットと交換することにより、装置を連続的に稼動可能させる
（Ｉ‘）ことを特徴とする基板の搬送処理方法。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．原審の拒絶理由、請求人の主張
　原審の拒絶理由の概要は以下のとおりである。
　本願の請求項１ないし２に係る発明は、特許第３４２４７５０号として設定登録された５代前出願の請求項１ないし２に係る発明と実質的に同一であるから、本願は、特許法第４４条の規定による適法な分割出願ではなく、出願日は現実の出願日である平成１６年１０月１８日となる。してみると、本願の請求項１ないし２に係る発明は、９代前出願の公開公報である特開平４−１０８５３１号公報記載の発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない（新規性違反）。
　これに対して、請求人は、本願の請求項１ないし２に係る発明と、５代前出願の請求項１ないし２に係る発明とは同一でなく、適法な分割出願であるから、本願の出願日は９代前出願の出願日である平成２年８月２９日となり、平成４年４月９日に頒布された９代前出願の公開公報は、公知刊行物とはならない旨、主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．分割の適法性の判断
　特許第３４２４７５０号として設定登録された５代前出願の請求項１ないし２に係る発明は、以下のとおりである。本願発明と同様、審判請求書の「請求の理由」の記載にあわせて分節した。
　
【請求項１】
（ｂ）複数の基板を収納するカセットを大気雰囲気に載置する複数のカセット台と、
（ｃ）大気雰囲気で動作し上下動可能な大気搬送装置と、
（ａ）基板を一枚毎処理する複数の真空処理室と、
（ｅ）搬送室と、
（ｄ）該搬送室を介して未処理基板を前記複数の真空処理室のいずれかへ搬入するためのロードロック室と、処理済基板を前記いずれかの真空処理室から前記搬送室を介して搬出するためのアンロードロック室とを備えた
（ｉ）真空処理装置における基板の処理方法であって、
（ｊ）前記大気搬送装置の前側の所定位置にある実質的に水平な同一面上にある前記複数のカセット台に、前記未処理基板を収納した前記カセットを載置し、
（ｋ）前記大気搬送装置の上下動作により、前記未処理基板を実質的に水平な同一面上にあるいずれかのカセット内の任意の場所から前記ロードロック室へ一枚毎搬送し、
（ｌ）前記ロードロック室から前記搬送室を介して前記いずれかの真空処理室へ前記未処理基板を一枚毎搬入して処理し、
（ｍ）前記いずれかの真空処理室で処理済の基板を一枚毎前記搬送室を介して前記アンロードロック室ヘ搬出し、
（ｎ）前記大気搬送装置により、前記アンロードロック室から前記処理済基板を元の
カセットの元の位置に一枚毎回収し、前記処理済基板が全て回収されたカセットを前記カセット台から搬出し、該カセット台に未処理基板を収納した別のカセットを載置してカセット交換を行い、その間にも、他のカセット台に載置された他のカセット内の任意の場所から前記ロードロック室またはアンロードロック室との間で基板を一枚毎搬送、回収し、前記複数の真空処理室において基板の処理を続行する
（ｉ‘）ことを特徴とする真空処理装置における基板の処理方法。
　
【請求項２】
（ｂ１）複数の基板を収納するカセットを大気雰囲気に載置する複数のカセット台と、
（ｃ１）大気雰囲気で動作する大気搬送装置と、
（ａ）基板を一枚毎処理する複数の真空処理室と、
（ｅ）搬送室と、
（ｄ）該搬送室を介して未処理基板を前記いずれかの真空処理室へ搬入するためのロードロック室と、処理済基板を前記いずれかの真空処理室から前記搬送室を介して搬出するためのアンロードロック室とを備えた真空処理装置において、
（ｂ２）前記複数のカセット台は、前記大気搬送装置の前側の所定位置にある実質的に水平な同一面上に設けられており、
（ｃ２）前記大気搬送装置は、上下動可能に構成されており、
（ｈ）前記真空処理装置は、
（ｆ）前記未処理基板を前記実質的に水平な同一面上にあるいずれかのカセット内の任意の場所から前記ロードロック室へ一枚毎搬送し、前記アンロードロック室から前記処理済基板を元のカセットの元の位置に一枚毎回収するように構成され、かつ、前記処理済基板が全て回収されたカセットが前記カセット台から搬出され、該カセット台に未処理基板を収納した別のカセットが載置されてカセット交換が行われている間にも、他のカセット台に載置された他のカセット内の任意の場所から前記ロードロック室またはアンロードロック室との間で基板を一枚毎搬送、回収するように制御する手段を備えており、
（ｇ）前記カセット交換が行われている間にも前記複数の真空処理室において基板処理の続行を可能にした
（ｈ）ことを特徴とする真空処理装置。
　
　本願の請求項１に係る発明（装置発明）と、５代前出願の請求項２に係る発明（装置発明）とを対比すると、審判請求書の「請求の理由」の表１にもみられるごとく、分節の際に付したアルファベットの大文字部の事項と小文字部の事項が略対応している。
　両発明を対比すると、以下の点で、一応相違するが、その余の点では、実質的に一致している。なお、かかる相違点については、請求人も「請求の理由」において、事項（Ｂ）、（Ｆ）、（Ｇ）と、（ｂ１）（ｂ２）、（ｆ）、（ｇ）の相違として、主張しているところである。
　５代前出願の請求項２に係る発明は、本願の請求項１に係る発明が有する
（相違点１）カセットへの被処理基板もしくは処理済基板の供給をロボットが行う点
（相違点２）被処理基板の搬送が、カセットに付与された生産情報を自ら認識するか上位の制御装置から送られる情報に基づくかあるいは入力された命令を受けてなされる点
を有していない。
　
　相違点１について検討する。
　５代前出願の請求項２に係る発明においても、カセットへ基板の供給を行う必要があることは明らかであるところ、基板の供給をロボットが行う点は、周知である（必要なら、特開平２−１５２２５１号公報の「移送ロボット１４」）。すなわち、この点は、単なる周知技術の付加にすぎない。
　相違点２について検討する。
　５代前出願の請求項２に係る発明においても、（ｆ）末尾の記載事項にみられるごとく「制御する手段」を有している。制御を行うためには、何らかの指示が必要であることは当然であるから、「上位の制御装置から送られる情報に基づく」か「入力された命令を受けて」制御しているものと推認される。すなわち、相違点２で「有していない」とする点を、実質的には有している。
　そして、これらによる効果も、「基板処理の続行を可能」（特許公報の段落【０００９】）という５代前出願の請求項２に係る発明が有する効果が、ロボットの利用等により「装置を連続的に稼働可能にできるという効果がより確実」（「請求の理由」）になるにすぎず、格別なものではない。
　よって、本願の請求項１に係る発明と、５代前出願の請求項２に係る発明とは、実質的に同一の発明である。
　
　次に、本願の請求項２に係る発明（方法発明）と、５代前出願の請求項１に係る発明（方法発明）とを対比すると、審判請求書の「請求の理由」の表２にもみられるごとく、分節の際に付したアルファベットの大文字部の事項と小文字部の事項が略対応している。
　両発明を対比すると、上記相違点１、相違点２の点で、一応相違するが、その余の点では、実質的に一致している。なお、かかる相違点については、請求人も「請求の理由」において、事項（Ｂ）、（Ｋ）、（Ｎ）と、（ｂ）、（ｋ）、（ｎ）の相違として、主張しているところである。
　よって、上記同様の理由により、本願の請求項２に係る発明と、５代前出願の請求項１に係る発明とは、実質的に同一の発明である。
　
　以上、本願は、特許法第４４条の規定による適法な分割出願ではないから、出願日は現実の出願日である平成１６年１０月１８日となる。
　
４．新規性の判断
　請求人は、分割の適法性については主張しているものの、新規性の判断については主張していない。
　以下、新規性の判断について検討する。
　本願の現実の出願日前に頒布された９代前出願の公開公報である特開平４−１０８５３１号公報には、以下の引用発明１（装置発明）が記載されている。なお、分節した事項の末尾にかっこ書きで根拠となる主な記載箇所を示した。
　
「引用発明１」
（Ａ）被処理基板を一枚毎真空処理する複数の真空処理室と、（３ページ左下欄２０行−右下欄１２行）
（Ｂ）ロボットにより供給され被処理基板もしくは処理済基板を複数枚収納できるカセットを、大気雰囲気で載置し得る実質的に水平な同一高さ面に配置された複数のカセット台と、（３ページ左上欄１０行−右上欄１０行）
（Ｃ）前記複数のカセット台のいずれかのカセット内のいずれの場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取れるよう上下動可能に構成された大気搬送手段と、（３ページ左下欄６行−１１行）
（Ｄ）大気雰囲気もしくは真空雰囲気に切り替え可能な室と、（３ページ左下欄２０行−右下欄１２行）
（Ｅ）前記切り替え可能な室と前記複数の真空処理室のいずれかとの間で前記基板を搬送できるように構成された真空搬送装置と、（３ページ右下欄３−４行）
（Ｆ）前記カセットに付与された生産情報を自ら認識するか上位の制御装置から送られる情報に基づくかあるいは入力された命令を受けて、前記大気搬送装置及び前記真空搬送装置により、前記複数のカセット台のいずれかに前記ロボットにより供給されたカセット内の任意の場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取り前記切り替え可能な室を介して前記いずれかの真空処理室へ搬入し、前記真空処理室で前記被処理基板を一枚毎処理し、前記処理された処理済基板を前記切り替え可能な室を介して搬送し元のカセットの元の位置に一枚毎回収するとともに、処理の完了した前記カセットを回収し前記ロボットにより供給された別の未処理の基板を収納したカセットと交換するように制御する制御手段とを具備し、（３ページ左下欄１行−４ページ左上欄９行）
（Ｇ）前記制御手段を用い、前記ロボットにより供給されたカセット内の前記被処理基板を前記いずれかの真空処理室で一枚毎処理することにより、装置を連続的に稼動可能に構成した（４ページ左上欄９−１８行）
（Ｈ）ことを特徴とする真空処理装置。（３ページ左上欄７−９行）
　
　さらに、同公報には、以下の引用発明２（方法発明）が記載されている。
「引用発明２」
（Ａ）被処理基板を一枚毎真空処理する複数の真空処理室と、（３ページ左下欄２０行−右下欄１２行）
（Ｂ）ロボットにより供給され被処理基板もしくは処理済基板を複数枚収納できるカセットを大気雰囲気で載置し得る実質的に水平な同一高さ面に配置された複数のカセット台と、（３ページ左上欄１０行−右上欄１０行）
（Ｃ）前記複数のカセット台のいずれかのカセット内のいずれの場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取れるよう上下動可能に構成された大気搬送手段、（３ページ左下欄６行−１１行）
（Ｄ）大気雰囲気もしくは真空雰囲気に切り替え可能な室と、（３ページ左下欄２０行−右下欄１２行）
（Ｅ）前記切り替え可能な室と前記複数の真空処理室のいずれかとの間で前記基板を搬送できるように構成された真空搬送装置と、（３ページ右下欄３−４行）
（Ｆ）制御手段とを備えた（３ページ左下欄１行−４ページ左上欄９行）
（Ｉ）真空処理装置における基板の搬送処理方法であって、（３ページ左上欄７−９行）
（Ｋ）前記カセットに付与された生産情報を自ら認識するか上位の制御装置から送られる情報に基づくかあるいは入力された命令を受けて、前記大気搬送手段の上下動作により、前記複数のカセット台のいずれかに前記ロボットにより供給された被処理基板を収納したカセット内の任意の場所からも前記被処理基板を一枚毎抜き取り、（３ページ左下欄１−１１行）
（Ｌ）前記被処理基板を前記切り替え可能な室を介して前記いずれかの真空処理室へ搬入し、前記被処理基板を前記いずれかの真空処理室で一枚毎処理し、（３ページ左下欄２０行−右下欄１２行）
（Ｍ）前記処理された処理済基板を、大気雰囲気に搬出し、（３ページ右下欄５行−４ページ左上欄４行）
（Ｎ）元のカセットの元の位置に一枚毎回収するとともに、処理の完了した前記カセットを回収し前記ロボットにより供給された別の未処理の基板を収納したカセットと交換することにより、装置を連続的に稼動可能させる（４ページ左上欄１−１８行）
（Ｉ‘）ことを特徴とする基板の搬送処理方法。（３ページ左上欄７−９行）
　
　ここで、本願の請求項１に係る発明と引用発明１を比較すると、両者は同一である。また、本願の請求項２に係る発明と引用発明２を比較すると、両者は同一である。
　したがって，本願の請求項１ないし２に係る発明は、出願日前に頒布された刊行物である上記公開公報に記載された発明であるから，特許法第２９条第１項第３号に該当し，特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。