【事件の表示】
　平成　７年特許願第　２８８７７号「静電チャック及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　８月　９日出願公開、特開平　８−２０５５６８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成７年１月２６日の出願であって、平成１６年９月１４日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月１日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１１月２日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年１１月２日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１６年１１月２日付の手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該誘電体がＡｌ２Ｏ３の純度で９９％以上の
多結晶
と補正された。
　上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「誘電体」としての「アルミナセラミックス」について「多結晶」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第３項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−２９１１７５号公報（以下、「引用例」という。）には、図面と共に次の事項が記載されている。
　
・「【０００６】そこで、この樹脂製静電チャックに代わり、近年、耐食性、耐摩耗性、精度等に優れた多結晶セラミックス製静電チャックが使用されるようになってきた。この多結晶セラミックス材料としては、Ａｌ２Ｏ３を主成分としてＴｉＯ２を含有させたもの（特開昭６２−２６４６３８号公報参照）や、本出願人が既に提案したように（特願平２−３３９３２５号参照）、ＣａＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３などの強誘電体セラミックス、さらには窒化アルミニウム質セラミックスが検討されている。」
　
・「【０００９】また、上記各種セラミックスや、窒化アルミニウムなどの多結晶セラミックスでは、高純度化については９９．９％程度が限界であり、２００℃を越す高温では、静電チャック内の不純物がウエハに拡散し易いという不都合があるため、その使用が制限されていた。このような不純物の拡散を防止するためには９９．９９％の純度が要求されるが、上記多結晶セラミックスでは不可能であった。」
　
・「【００１７】図１に斜視図を、図２、図３に断面図を示すように、本発明の静電チャックは、単結晶サファイアから成る板状体１の裏面に内部電極２を備え、接合剤３または、接合剤を用いない高温接合によって、単結晶サファイアまたは各種セラミックスから成るベース板４に固定したものである。・・・」
　
・「【００２１】上記、板状体１を成す単結晶サファイアは、アルミナの単結晶体であるから純度は９９．９９％以上と極めて不純物が少なく、被吸着物６として用いるウェハ等を汚染する恐れはない。また、単結晶サファイアは高温での絶縁性に優れ、ウェハ上の回路に悪影響を及ぼすこともない。」
　
・「【００２３】また、上記内部電極２の材料としては、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、ニッケル（Ｎｉ）などやその混合物が挙げられ、導電体であれば特に材質を選ばない。従来の多結晶セラミックス製静電チャックでは、板状体を成すセラミックスと内部電極を一体焼成する手法が一般的であったが、・・・」
　
　また、図３には、上層に板状体１、中層に内部電極２、下層にベース板４から成る静電チャックが示されている。
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると、引用例には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。
「上層に板状体１、中層に内部電極２、下層にベース板４から成る静電チャックにおいて、該板状体１がアルミナの純度で９９．９９％以上の単結晶サファイアであり、該内部電極２がＰｄとＡｇの混合物であり、該ベース板４が単結晶サファイアである静電チャック。」
　
（３）対比
　そこで、本願補正発明と引用発明とを対比すると、その作用・機能からみて、後者における「板状体１」が前者における「誘電体」に相当し、以下同様に、「内部電極２」が「電極」に、「ベース板４」が「基盤」に、「アルミナ」が「Ａｌ２Ｏ３」に、「９９．９９％以上」が「９９％以上」に、「単結晶サファイア」が「アルミナセラミックス」に、それぞれ相当している。
　また、後者の「単結晶サファイア」と前者の「多結晶アルミナセラミックス」とは、「アルミナセラミックス」との概念で共通し、後者の「ＰｄとＡｇの混合物」と前者の「Ｐｄを６０〜１００ｗｔ％、Ａｇを４０−０ｗｔ％含んでなる導体」とは、「ＰｄとＡｇからなる導体」との概念で共通している。
　したがって、両者は、
「上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該誘電体がＡｌ２Ｏ３の純度で９９％以上のアルミナセラミックスであり、該電極がＰｄとＡｇからなる導体であり、該基盤がアルミナセラミックスである静電チャック。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　誘電体としてのアルミナセラミックスに関し、本願補正発明は、「多結晶」としているのに対し、引用発明は、「単結晶」である点。
［相違点２］
　電極をなすＰｄとＡｇからなる導体に関し、本願補正発明は、「Ｐｄを６０〜１００ｗｔ％、Ａｇを４０−０ｗｔ％含んでなる」としているのに対し、引用発明は、かかる成分比率の限定が付されていない点。
　
（４）判断
・［相違点１］について
　引用発明において、単結晶サファイア（単結晶アルミナセラミックス）を用いた理由は、引用例の段落【０００９】の記載によれば、多結晶アルミナセラミックスでは、高純度化については９９．９％程度が限界であり、静電チャック内の不純物の拡散を防止する９９．９９％以上の純度は不可能であるとされているためである。
　そうすると、引用発明において、その純度が９９．９％程度までで良いのであれば、９９％以上という範囲内で多結晶アルミナセラミックスを用いることも任意であるから、相違点１に係る本願補正発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものというべきである。
　
・［相違点２］について
　相違点２に係る本願補正発明の成分比率（Ｐｄを６０〜１００ｗｔ％、Ａｇを４０−０ｗｔ％）は、本願明細書の段落【００１３】の記載によれば、焼成する際の焼成温度の関係から望ましいものとして定められているものと認められる。
　ところで、引用例の段落【００２３】の記載によれば、静電チャックにおいて内部電極を焼成することは従来から行われていたことである。
　そうすると、引用発明において、ＰｄとＡｇからなる導体としての内部電極を、焼成による形成を前提として、上記の成分比率とすることは、当業者が適宜選定し得る設計的事項にすぎない。
　
　そして、本願補正発明の全体構成により奏される作用効果も、引用発明から当業者が予測できる範囲内のものである。
　したがって、本願補正発明は、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下を免れない。
　
３．本願発明について
　平成１６年１１月２日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、平成８年３月７日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「上層に誘電体、中層に電極、下層に基盤から成る静電チャックにおいて、該誘電体がＡｌ２Ｏ３の純度で９９％以上のアルミナセラミックスであり、該電極がＰｄを６０〜１００ｗｔ％、Ａｇを４０−０ｗｔ％含んでなる導体であり、該基盤がアルミナセラミックスであることを特徴とする静電チャック。」
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、及び、その記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記「２．（１）」で検討した本願補正発明から「誘電体」としての「アルミナセラミックス」に係る「多結晶」との限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）及び（４）」に記載したとおり、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。