【事件の表示】
　平成　５年特許願第３３８６２６号「ウエハ表面保護シートおよびその利用方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　８月　４日出願公開、特開平　７−２０１７８７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成５年１２月２８日に特許出願としたものであって、その請求項１ないし２に係る発明は、平成１４年１１月１８日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添付された図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
「　【請求項１】　加熱収縮率が１０％以上の熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、
（ｉ）少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、（ｉｉ）アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも１種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ表面保護シート。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．刊行物記載の発明（事項）
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６４−６１２０８号公報（以下、「刊行物１」という。）、及び特開昭６３−２９６２２２号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
（１−イ）「特許請求の範囲
１）素子小片状に切断分離する前のウエハの裏面にダイシングシートを付着すると共に、当該ウエハの表面に、放射線架橋性の粘着剤で、熱収縮性プラスチックフィルムから成る保護フィルムを付着した後、
　前記ウエハを当該保護フィルムと共にチップ状に切断し、その後、当該保護フィルムに放射線を照射すると共に、当該保護フィルムを加熱し収縮させてウエハ表面から剥離したことを特徴とするウエハ切断方法。
・・・（中略）・・・
４）前記保護フィルムは、片面に前記放射線架橋性の粘着剤からなる粘着剤層が形成された粘着シートであることを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項のいずれかに記載のウエハ切断方法。」（第１頁左欄第４行〜同頁右欄第６行）。
（１−ロ）「
発明の技術分野
（１−ハ）「本発明で用いられる保護フィルム６は、基材１０として熱収縮性プラスチックフィルムが用いられ、片面に粘着剤１２が塗布された粘着フィルムが作業性上好ましい・・・（中略）・・・
　基材１０を構成する熱収縮性プラスチックフィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、あるいはポリ塩化ビニル、ポリエステル等の透明で十分に延伸加工を行ったフィルムが良い。」（第３頁左上欄第３〜１９行）
（１−ニ）「粘着剤１２としては、本発明では、放射線架橋性の粘結剤が用いられる。放射線架橋性の粘着剤としては、通常の粘着剤に放射線重合化合物を含んだものが用いられる。
・・・（中略）・・・
　また放射線重合性化合物としては、たとえば、特開昭６０−１９６，９５６号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示されているような光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が広く用いられ、」（第３頁右上欄第６行〜同頁左下欄第１５行）
（１−ニ）「本発明では、第１図に示すように、ウエハ２を保護フィルム６と共に素子小片状に切断（ダイシング）した後に、第２図に示すように、ＵＶ等の放射線を照射する装置１８により保護フィルム６側に放射線を照射する。これによって、粘着剤１２に含まれる放射線重合性化合物が重合硬化し、粘着剤１２の有する接着力は大きく低下することになる。
・・・（中略）・・・
　次に本発明では、保護フィルム６を周囲から加熱する。加熱手段としては、ダイシングシート４仝体を加熱炉中に入れること等が考えられる。加熱温度は、基材１０の材質により定まり、この基材１０が熱収縮する温度以上であれば良い。ただし、ウエハチップ２ａに悪影響を及ぼさない範囲で加熱する。具体的には、１００℃以上で３０秒以上の加熱が好ましい。
　このような加熱により、各ウエハチップ２ａの表面に付着された保護フィルム６は、第３図に示すように、ロール状ないしダンゴ状に熱収縮することになる。これによって、保護フィルム６のウエハチップ２ａ表面からの剥離が非常に容易となり、表面に形成された回路面に接触することなく保護フィルム６の剥離が可能となり、その作業の自動化も図れる。」（第６頁右下欄第２０行〜第７頁右上欄第９行）
　上記摘記事項及び図面の記載からみて、刊行物１には、
「十分に延伸加工を行った熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物を含む粘着剤層が設けられてなる保護シート。」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。） が記載されていると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２
（２−イ）「２．特許請求の範囲
１）基材の一面上に、（ｉ）少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、（ｉｉ）アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも１種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ研摩用保護シート。」（第１頁左欄第５〜１２行）
（２−ロ）「
発明の技術分野
（２−ハ）「このようにしてウエハ裏面の研摩処理が終了した後、保護シートはウエハ表面から剥離されるが、この際どうしてもパターンが形成されたウエハ表面にアクリル系などの粘着剤が付着してしまうことがあった。このため、ウエハ表面に付着した粘着剤を除去する必要があった。
・・・（中略）・・・たとえば特開昭６０−１８９９３８号公報には、ウエハ研摩用保護シートとして、光透過性基材の表面に、光照射により硬化し三次元網状化する性質を有する感圧性接着剤層を設けてなる接着フィルムが開示されている。
　ところがこのような接着フィルムを用いても、完全にはウエハ面への粘着剤の付着を防止することはできないという問題点があった。」（第２頁右上欄第１６行〜同頁右下欄第２行）
（２−ニ）「本発明に係るウエハ研磨用保護シートは、・・・基材２としては、耐水性および耐熱性に優れているものが適し、特に合成樹脂フィルムが適する。」（第３頁右下欄第１７〜２０行）
　上記の摘記事項及び図面の記載からみて、刊行物２には、
「合成樹脂フィルムの一面上に、（ｉ）少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、（ｉｉ）アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも１種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ研磨用保護シート。」の事項が記載されていると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比
　本願発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「ウエハ保護シート」は、ゴミや切断屑等がウエハ表面の回路面に付着するのを有効に防止しうるものであること（前記２．（１−ロ）参照。）から、前者の「ウエハ表面保護シート」に相当することは明らかである。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。 
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［一致点］
「熱収縮性プラスチックフィルムの一面上に、粘着剤層が設けられてなるウエハ表面保護シート。」
［相違点１］
　本願発明では、熱収縮性プラスチックフィルムの加熱収縮率が１０％以上であるのに対して、
　刊行物１記載の発明では、熱収縮性プラスチックフィルムが十分に延伸加工を行ったフィルムであるものの、その加熱収縮率が不明である点。
［相違点２］
　本願発明では、粘着剤層が（ｉ）少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、（ｉｉ）アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも１種の室温で液状の界面活性剤とを含むのに対して、
　刊行物１記載の発明では、粘着剤層が光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物を含む点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．当審の判断
　上記相違点について、以下検討する。
　相違点１については、
　本願発明においては、熱収縮性プラスチックフィルムは、十分に延伸加工を行って、加熱収縮率を１０％以上としたものである（本願明細書の段落【００２１】〜【００２２】参照。）。
　他方、刊行物１には、熱収縮性プラスチックフィルムは、加熱収縮率については不明であるものの、十分に延伸加工を行ったフィルムが良いことが記載されている（前記２．（１−ハ）参照。）。
　そして、加熱収縮率の数値が大きいほど収縮して剥離が容易となることは自明な事項であり、刊行物１記載の発明においても、剥離が容易となるように熱収縮性をより確実にするために加熱収縮率を１０％以上とすることは、その数値に臨界的意義を認めることはできないことから、当業者であれば容易に想到し得る設計的事項にすぎないものである。
　相違点２については、
　刊行物２に記載の「合成樹脂フィルム」、及び「ウエハ研磨用保護シート」は、それぞれ「プラスチックフィルム」、及び「ウエハ表面保護シート」といいかえることができる。　そうすると、刊行物２には、「プラスチックフィルムの一面上に、（ｉ）少なくともカルボキシル基の一部が部分中和されたカルボキシル基含有親水性重合体の部分架橋物と、（ｉｉ）アニオン性界面活性剤およびカチオン性界面活性剤からなる群から選択される少なくとも１種の室温で液状の界面活性剤とを含む粘着剤層が設けられてなるウエハ表面保護シート。」の事項が記載されているということができる（以下、「刊行物２記載の事項」という。）。
　そして、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の事項とは、ウエハを加工する際に、ウエハ表面を保護する粘着剤層が設けられてなるフィルム又はシートである点で技術分野が共通しており、しかも、刊行物２には、「光照射により硬化し三次元網状化する性質を有する感圧性接着剤層を設けてなる接着フィルムを用いても、完全にはウエハ面への粘着剤の付着を防止することはできないという問題点があった。」ことが記載されている（上記２．（２−ハ）参照。）。
　してみると、粘着剤層に光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合層を少なくとも２個以上有する低分子量化合物を含む刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を適用して、刊行物１記載の発明の粘着剤層を、刊行物２記載の事項のものに代えることにより本願発明の相違点２に係る構成とすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項に基づいて当業者が容易になし得たことである。
　また、本願発明の奏する効果も、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項から当業者が十分予測できる程度のものであって格別なものでもない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２に係る発明について判断するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。