【事件の表示】
　平成　９年特許願第２１９７４６号「遠隔操作禁止方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　６月２６日出願公開、特開平１０−１７２９０３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成９年８月１日（優先日、平成８年１０月９日）の出願であって、平成１５年９月１日付で拒絶査定がなされ、同年１０月３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１０月２４日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年１０月２４日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年１０月２４日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
［理由］
（１）　補正後の本願発明
　本件補正により、補正前の特許請求の範囲の請求項８を請求項９として、
「１台あるいは複数台の半導体露光装置を遠隔操作可能な遠隔操作装置から遠隔操作される半導体露光装置であって、該半導体露光装置が備える危険防止機能の解除操作に連動して該半導体露光装置が個別に該遠隔操作装置からの遠隔操作を禁止する遠隔操作禁止手段を有することを特徴とする半導体露光装置。」
と補正された。
　上記補正は、補正前の請求項８に記載した発明を特定するために必要な事項である「前記半導体露光装置が個別に前記遠隔操作装置からの遠隔操作を禁止する遠隔操作禁止手段」を「該半導体露光装置が備える危険防止機能の解除操作に連動して該半導体露光装置が個別に該遠隔操作装置からの遠隔操作を禁止する遠隔操作禁止手段」と限定するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項９に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
（２）−１　引用例の記載内容　
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平４−３０５９１３号公報（以下、引用例１という。）の【０００２】段落には、
　記載ａ
「【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスや液晶デバイスの製造工程には、通常リソグラフィと呼ばれる工程が含まれている。」
と記載され、
　また、【００１２】ないし【００１４】段落には、
　記載ｂ
「【００１２】
【課題を解決する為の手段】
　上記目的を達成するために、本発明においては複数台の露光装置（ステッパーやアライナー）と、これらの統括制御を専ら生産管理上の要求に基づいて実行するプロセス管理装置（ホストコンピュータＨ・ＣＯＭ）とを備えたリソグラフィ・システムにおいて、以下の手段を設けた。
【００１３】
　複数台の露光装置（ＥＸＰ1、ＥＸＰ2…ＥＸＰｎ）の夫々に設定された稼動条件に応じて変化し得る各露光装置毎の固有の装置情報、もしくは各露光装置で処理された基板（ウェハ）の加工状態（線幅均一性、重ね合せ精度等）を計測、又は評価した情報を、プロセス管理装置（ホストコンピュータＨ・ＣＯＭ）による制御とは無関係に独立に収集する情報収集装置（イーサネットＬＡＮ、ＬＡＮアダプター、マシン・コントローラ、マスタ・データ・プロセッサ、計測器）と、その収集された各種情報に基づいて、プロセス管理装置によって設定された稼動条件が安定に維持されるように、各露光装置毎に設定された動作パラメータの一部を、プロセス管理装置の制御とは独立して修正、もしくは補正するシステム・オブザーバ装置（集中情報サーバ、マシン・コントローラ）とを設けるようにした。
【００１４】
【作用】本発明では、プロセス管理装置としてのホストコンピュータＨ・ＣＯＭによる従来通りのリソグラフィ工程管理はそのまま実行しつつ、リソグラフィ工程内の各露光装置（ステッパーやアライナー）の固有の動作状態を統括的にモニターし、必要に応じて各ステッパー、又アライナ）内に設定されたパラメータを、ホストコンピュータによる制御とは独立して修正、又は補正できる様にした。」
と記載されている。
　
（２）−２　引用例１の記載の発明
　上記記載ｂによれば、引用例１には、
「複数台の露光装置をプロセス管理装置により制御し、各露光装置は、前記プロセス管理装置による制御とは独立して修正、又は補正できるようにした露光装置。」
の発明が記載されている。
　
（３）対比
　そこで、本願補正発明と引用例１に記載された発明とを比較する。
　
　引用例１に記載された「露光装置」は、上記記載ａを参照すると、本願補正発明の「半導体露光装置」に相当する。
　引用例１に記載された、「プロセス管理装置」は、複数台の露光装置を遠隔制御することが明らかであり、引用例１に記載された、「プロセス管理装置」は、本願補正発明の「遠隔操作可能な遠隔操作装置」に相当する。
　そうすると、両者は、
「１台あるいは複数台の半導体露光装置を遠隔操作可能な遠隔操作装置から遠隔操作される半導体露光装置。」
において一致し、次の点で相違する。
　
　相違点
　本願補正発明が、「半導体露光装置が備える危険防止機能の解除操作に連動して該半導体露光装置が個別に該遠隔操作装置からの遠隔操作を禁止する遠隔操作禁止手段」を有するのに対し、引用例１に記載された発明は、本願補正発明の上記遠隔操作禁止手段を有していない点で相違（以下、「相違点１」という。）する。
　
（４）判断
　相違点１について検討する。
　本願補正発明の「危険防止機能」に関して、本願の発明の詳細な説明には、「温調チャンバーの扉のロック解除などの危険防止機能の解除」（【００２６】段落）、「危険防止機能とは、例えば温度調節チャンバーの扉のロックの解除に連動した半導体露光装置の自動停止機能」（【００２６】段落）が例示されている。
　一方、当該技術分野において、半導体露光装置の扉を不用意に開けることを防止するため前記扉にロック手段を設けること、即ち危険防止機能を設けることは周知手段（例えば、特開平７−１３０６０７号公報（【００１５】段落）及び特開平８−１６７５６１号公報（【０００２】段落）等参照）である。
　また、一般に、危険防止のため、装置の扉を開けたときに、前記扉の開動作に連動して当該装置の作動を禁止させることも周知手段（例えば、実願平２−１１８７４４号（実開平４−７４８９９号）のマイクロフィルム（第２頁第１１行ないし同頁第１５行）及び実願平２−７８２４５号（実開平４−３６５００号）のマイクロフィルム（第１０頁第８行ないし第１１頁第４行）等参照）である。
　したがって、引用例１記載の発明及び上記二つの周知手段に基づいて相違点１に係る本願補正発明の構成、即ち扉のロックなどのような危険防止機能の解除操作に連動して半導体露光装置の作動を停止させること（引用例１記載の発明でいえば半導体露光装置への遠隔操作を禁止すること）は当業者が容易に想到することができたものである。
　
　そして、本願補正発明の作用効果は、引用例１記載の発明及び周知手段から当業者が予測できる範囲のものである。
　
　したがって、本願補正発明は、引用例１記載の発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１５年１０月２４日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項８に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、平成１５年５月９日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項８に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「１台あるいは複数台の半導体露光装置を遠隔操作可能な遠隔操作装置から遠隔操作される半導体露光装置であって、前記半導体露光装置が個別に前記遠隔操作装置からの遠隔操作を禁止する遠隔操作禁止手段を有することを特徴とする半導体露光装置。」
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例１及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断      
　本願発明は、前記「２．」で検討した本願補正発明から、「該半導体露光装置が備える危険防止機能の解除操作に連動して」との発明特定事項の限定を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに上記発明の発明特定事項を限定したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例１記載の発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用例１記載の発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１記載の発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
よって、結論のとおり審決する。