【手続補正書】
【提出日】平成21年11月18日(2009.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接触電極と複数の電気接点との間の相対位置を維持するように動作する試験システムであって、
前記複数の電気接点を有するデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントの少なくとも１つの箇所に結合され、３次元座標系の少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するように構成された少なくとも１つのセンサと、
前記少なくとも１つのセンサから情報を受信するように構成され、かつ、前記情報に基づいて作動力を決定するように構成された、前記第１コンポーネントに結合された制御シ
ステムと
を備え、
前記作動力はシステムに対する動き擾乱を補償するように前記第１コンポーネントに作用することを特徴とするシステム。
【請求項２】
複数のパッドに対する複数の接触電極の位置決めを維持する方法であって、
前記複数の接触電極に結合されるデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した少なくとも１つのセンサを使用して３次元座標系の少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するステップと、
前記第１コンポーネントに結合された制御システムを使用して作動力を決定するステップであって、制御システムは、前記少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づいて作動力を決定するように構成され、システムに対する動き擾乱を補償するように前記作動力が前記第１コンポーネントに作用する、作動力を決定するステップと、
を備えることを特徴とする方法。
【請求項３】
複数のパッドに対して複数の接触電極の位置決めを維持する方法を実行させる、実行可能コンピュータ命令を提供する機械可読媒体であって、データ処理システムによって実行されると、前記方法は前記システムをして、
前記複数の接触電極に結合されるデバイスを保持するように構成された第１コンポーネントに結合した少なくとも１つのセンサを使用して３次元座標系の少なくとも１つの軸に
沿って少なくとも１つのパラメータを測定させ、
前記第１コンポーネントに結合された制御システムを使用して作動力を決定させ、
前記制御システムは、前記少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づいて作動力を決定するように構成され、システムに対する動き擾乱を補償するように前記作動力が前記第１コンポーネントに作用することを特徴とする機械可読媒体。
【請求項４】
第１コンポーネントと第２コンポーネントの間に相対的な位置を維持するために動作可能なシステムであって、
前記第１コンポーネントに結合されたＸ−Ｙ軸移動機構に接続されている位置コントローラと、
前記第１コンポーネントまたは前記第１コンポーネントを支持するフレームに結合され、３次元座標システムのうち少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するように構成された、少なくとも１つのセンサと、
前記第１のコンポーネントに結合され、少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づき作動力を決定するように構成された制御システムと、
を備え、
前記作動力は前記第１コンポーネントに作用して繰り返し前記システムへの振動の影響を補償し、前記制御システムは加速度または速度の少なくとも１つに基づき前記作動力を決定し、前記第１コンポーネントは前記第１コンポーネントを移動させるために結合されたＸ−Ｙ軸移動機構を制御する前記位置コントローラのにより低摩擦で移動され、前記作動力は前記Ｘ−Ｙ移動機構を使用して提供されることを特徴とするシステム。
【請求項５】
第１コンポーネントと第２コンポーネントの間に相対的な位置を維持する方法であって、
位置コントローラに結合されたＸ−Ｙ軸移動機構により前記第１コンポーネントを移動させることによって前記第１コンポーネントの位置決めするステップと、
前記第１コンポーネントまたは前記第１コンポーネントを支持するフレームに結合された少なくとも１つのセンサを用いて、３次元座標システムのうち少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するステップと、
前記第１のコンポーネントに結合された制御システムを用いて作動力を決定するステップと、
から構成され、
前記制御システムは少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づき作動力を決定するように構成され、前記作動力は前記第１コンポーネントに作用して、繰り返し前記システムへの振動の影響を補償し、前記制御システムは加速度または速度の少なくとも１つに基づき前記作動力を決定し、前記第１コンポーネントは、前記第１コンポーネントを移動させるために結合されたＸ−Ｙ軸移動機構を制御する前記位置コントローラのにより低摩擦で移動され、前記作動力は前記Ｘ−Ｙ移動機構を使用して提供されることを特徴とする方法。
【請求項６】
実行可能なコンピュータプログラムによって暗号化されたコンピュータ可読媒体であって、前記プログラムがデータ処理システムによって実行されると、前記データ処理システムをして第１コンポーネントと第２コンポーネントの間に相対的な位置を維持する方法を実行し、その方法は
位置コントローラに結合されたＸ−Ｙ軸移動機構によって前記第１コンポーネントを移動させることによって前記第１コンポーネントの位置決めするステップと、
前記第１コンポーネントまたは前記第１コンポーネントを支持するフレームに結合された少なくとも１つのセンサを用いて、３次元座標システムのうち少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するステップと、
前記第１のコンポーネントに結合された制御システムを用いて作動力を決定するステップと、
から構成され、
前記制御システムは少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づき作動力を決定するように構成され、前記作動力は前記第１コンポーネントに作用して、繰り返し前記システムへの振動の影響を補償し、前記制御システムは加速度または速度の少なくとも１つに基づき前記作動力を決定し、前記第１コンポーネントは、前記第１コンポーネントを移動させるために結合されたＸ−Ｙ軸移動機構を制御する前記位置コントローラのにより低摩擦で移動され、前記作動力は前記Ｘ−Ｙ移動機構を使用して提供されることを特徴とするコンピュータ可読媒体。
【請求項７】
第１コンポーネントと第２コンポーネントの間に相対的な位置を維持する動作可能なシステムであって、
前記第１コンポーネントに結合されるＸ−Ｙ軸移動機構に接続された位置コントローラと、
前記第１コンポーネントまたは前記第１コンポーネントを支持するフレームに結合され、３次元座標システムのうち少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するように構成された、少なくとも１つのセンサと、
前記第１のコンポーネントに結合され、少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づき作動力を決定するように構成された制御システムと、
を備え、
前記作動力は前記第１コンポーネントに作用して繰り返し前記システムへの振動の影響を補償し、前記制御システムは加速度または速度の少なくとも１つに基づき前記作動力を決定し、前記第１コンポーネントは、前記第１コンポーネントを位置決めするために前記第１コンポーネントを移動させるように結合されたＸ−Ｙ軸移動機構を制御する前記位置コントローラによって空気ベアリング上で移動され、前記作動力は前記Ｘ−Ｙ移動機構を使用して提供されることを特徴とするシステム。
【請求項８】
第１コンポーネントと第２コンポーネントの間に相対的な位置を維持する方法であって、
位置コントローラに結合されるＸ−Ｙ軸移動機構によって前記第１コンポーネントを動かすことによって前記第１コンポーネントを位置決めするステップと、
前記第１コンポーネントまたは前記第１コンポーネントを支持するフレームに結合され、３次元座標システムのうち少なくとも１つの軸に沿って少なくとも１つのパラメータを測定するステップと、
前記第１のコンポーネントに結合され、少なくとも１つのセンサから情報を受信し、前記情報に基づき作動力を決定するステップと、
を備え、前記作動力は前記第１コンポーネントに作用して繰り返し前記システムへの振動の影響を補償し、前記制御システムは加速度または速度の少なくとも１つに基づき前記作動力を決定し、前記第１コンポーネントは、前記第１コンポーネントを位置決めするために前記第１コンポーネントを移動させるように結合されたＸ−Ｙ軸移動機構を制御する前記位置コントローラによって空気ベアリング上で移動され、前記作動力は前記Ｘ−Ｙ移動機構を使用して提供されることを特徴とする方法。