【手続補正書】
【提出日】平成22年9月7日(2010.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピースを乾燥する装置であって、
チャンバを有し、前記チャンバは、その第１部分に流体を収容し、その第２部分に乾燥領域を収容し、
更に、複数のワークピースが流体中に配置されている間、前記複数のワークピースを支持するように構成されたウェット移送アームと、
前記ウェット移送アームを流体と乾燥領域の界面に向かって上昇させるときに、前記複数のワークピースを前記ウェット移送アームから受取るように構成されたドライ移送アームと、を有し、
前記ドライ移送アーム及び前記ウェット移送アームは、共通の駆動機構に連結され、
第１ベローズの作動により、前記ドライ移送アームの第１延長部及び第２延長部の下部を互いに遠ざける、装置。
【請求項２】
前記ドライ移送アーム及び前記ウェット移送アームは、前記複数のワークピースを垂直方向に支持する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
第２ベローズの作動により、前記ドライ移送アームの第１延長部及び第２延長部の下部を互いに近づける、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記ドライ移送アームの第１延長部及び第２延長部の下部に沿って、櫛状支持部が構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記ドライ移送アームは、
第１ベローズ及び第２ベローズの両方に移動可能に取付けられ、前記第１ベローズ及び前記第２ベローズから延びる第１延長部及び第２延長部を有するベローズクランクと、
前記第１延長部及び前記第２延長部にそれぞれ枢動可能に取付けられた第１トルクロッド及び第２トルクロッドと、を有し、
前記第１トルクロッド及び第２トルクロッドは、それに対応する第１延長アーム及び第２延長アームを支持し、
前記第１ベローズの伸長により、前記ベローズクランクの第１延長部及び第２延長部が第１トルクロッド及び第２トルクロッドに回転運動を付与し、それにより、前記第１延長アーム及び前記第２延長アームの下部が互いに遠ざかる、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１延長部及び前記第２延長部の表面は、孔あきである、請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記共通の駆動機構は、第１モータ及び第２モータを有し、前記第１モータは、前記ウェット移送アーム及び前記ドライ移送アームの両方を駆動するように構成され、前記第２モータは、ウェット移送アームとドライ移送アームの間の分離量を制御するように構成され、
前記共通の駆動機構は、同心のチューブを有し、前記同心のチューブの一方は、ウェット移送アームに連結され、前記同心のチューブの他方は、ドライ移送アームに連結される、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記ワークピースに接触する前記ドライ移送アーム及び前記ウェット移送アームの構成要素は、ポリエーテルエーテルケトンから構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記ウェット移送アームは、第１部分及び第２部分に分離し、前記第１部分は、流体内に留まり且つ前記第２部分から分離し、前記第２部分は、前記複数のワークピースを支持し、
前記複数のワークピースを前記チャンバの乾燥領域内に移動させるとき、前記ドライ移送アームは、前記複数のワークピースを整列させる、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
ワークピースを乾燥する方法であって、
複数のワークピースを第１移送アームの上に配置する段階と、
前記第１移送アームを流体のタンクの下部の中に下降させる段階と、
前記第１移送アームを前記タンクの下部から、流体と空気の界面に上昇させる段階と、
前記第１移送アームを上昇させる間、流体と空気の界面よりも上方に位置する第２移送アームの１対の延長部の間の隙間を広げる段階と、
前記ワークピースを前記１対の延長部の下部よりも上方に上昇させた後、前記１対の延長部の間の隙間を部分的に閉じる段階と、
前記第２移送アームを、前記第１移送アームよりも高速で上昇させ、前記複数のワークピースを前記第１移送アームから持上げる段階と、を有し、
前記第２の移送アーム及びその１対の延長部は、ドライのままである、方法。
【請求項１１】
流体と空気の界面よりも上方に位置する前記第２移送アームの１対の延長部の間の隙間を広げる前記段階は、第１ベローズを伸長させる段階を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記ワークピースを前記１対の延長部の下部よりも上方に上昇させた後、前記１対の延長部の間の隙間を部分的に閉じる前記段階は、第２ベローズを伸長させる段階を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
更に、前記複数のワークピースを持上げた後、前記第２移送アームの上昇を休止させる段階と、
前記複数のワークピースを水平方向搬送ユニットに搬送する段階と、を有する請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記１対の延長部の間の隙間を部分的に閉じる前記段階は、前記ワークピースの中心線が前記１対の延長部の下部よりも上になった後に行われる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
ワークピースを乾燥する方法であって、
流体と空気の界面よりも部分的に上にある状態で第１の移送アームに支持された複数の沈められたワークピースを上昇させる段階と、
前記上昇させる段階の間、部分的に沈められている複数のワークピースを、流体と空気の前記界面よりも上に位置する第２の移送アームによって捕捉する段階と、を有する方法。
【請求項１６】
前記捕捉する段階の間、前記第１の移送アームは、沈められたままである、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記捕捉する段階の間、前記第１の移送アームは、前記第２の移送アームが上昇する速度よりも遅い速度で上昇する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
更に、前記第２の移送アームの１対の延長部の間の隙間を広げる段階と、
前記捕捉する段階の前、前記１対の延長部の間の隙間を部分的に閉じる段階と、を有する請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記部分的に閉じる段階は、前記ワークピースの中心線が前記１対の延長部の下部よりも上になった後に行われる、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記ワークピースは、円形であり、
前記捕捉する段階の間、前記ワークピースは、前記第２の移送アームによって前記ワークピースの中心線よりも下の２箇所で支持される、請求項１５に記載の方法。
【請求項２１】
前記第２の移送アームは、流体と空気の前記界面よりも上に位置したままである、請求項１５に記載の方法。
【請求項２２】
更に、前記捕捉する段階の後、前記第２の移送アームの移動を流体と空気の前記界面よりも上で停止させる段階を有する、請求項１５に記載の方法。
【請求項２３】
基板を乾燥する方法であって、
流体の中に沈められ且つ第１の移送アームによって支持された複数の基板を上昇させる段階と、
前記複数の基板を、前記第１の移送アームから第２の移送アームに搬送する段階と、を有し、前記搬送する段階は、前記第１の移送アームを上昇させるときに行われ、前記第２の移送アームは、流体と空気の界面よりも上にあるままであり
更に、前記搬送する段階の間、前記複数の基板を、前記基板の中心線よりも下で且つ前記基板の外縁に沿って捕捉する段階を有する、方法。
【請求項２４】
前記基板は、円形であり、前記第１の移送アーム及び前記第２の移送アームによって垂直方向に支持される、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記搬送する段階の間、前記第１の移送アームは、流体の中に沈められたままである、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記捕捉する段階の間、前記第１の移送アームは、前記第２の移送アームが上昇する速度よりも遅い速度で上昇する、請求項２３に記載の方法。