【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年6月24日(2010.6.24)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理システムに設置されているロボットの運動を較正するための方法であって、
前記ロボットによって取り戻し可能な位置において、半導体処理システムに較正ウェーハを位置決めするステップと、
カメラをロボット上に位置決めするステップと、
前記カメラで前記較正ウェーハを見るステップと、
前記較正ウェーハの画像と決められた位置の画像との間の相対的距離を判断するステップとを備え、
前記決められた位置は、前記較正ウェーハが前記ロボットによって置かれた位置に対応するターゲットの位置である方法。
【請求項２】
前記判断するステップがさらに、前記較正ウェーハの前記画像をモニタに表示されている目印と比較する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記判断するステップがさらに、前記較正ウェーハの前記画像を前記コントローラに記憶されている基準画像と比較する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
半導体処理システムに設置されているロボットの運動を較正するための方法であって、
ロボットによってサポートされている較正ウェーハを、半導体処理システム内の基準位置に移動させるステップと、
ロボットのエンドエフェクタ上にサポートされているプレートに搭載されているカメラを、前記半導体処理システム内を通って移動させることによって、前記較正ウェーハを見て、ウェーハの位置データを得るステップと、
前記ウェーハの位置データを利用して前記基準位置を補正するステップとを備え、
前記較正ウェーハを見てウェーハの位置データを得る前記ステップは、さらに、前記較正ウェーハを支持している表面を、前記較正ウェーハを介して見ることを含む、方法。
【請求項５】
前記ウェーハの位置データを利用する前記ステップがさらに、
前記較正ウェーハの画像をモニタに表示する工程と、
前記較正ウェーハの前記画像を前記モニタに表示されている基準画像と比較する工程と、
補正距離を判断する工程と、を備える、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ウェーハの位置データを利用する前記ステップがさらに、
前記較正ウェーハの画像データを基準データと比較する工程と、
補正距離を判断する工程と、を備える、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記較正ウェーハを見てウェーハの位置データを得る前記ステップがさらに、前記較正ウェーハの位置のインジケータを見る工程を備える、請求項４に記載の方法。
【請求項８】
半導体処理システムに設置されているロボットの運動を較正するための方法であって、
ロボット上に設置されているカメラを半導体処理システム内の決められた位置に移動させるステップと、
前記カメラによって基板サポートの１つ以上の画像を取り込むステップと、
前記取り込まれた画像から前記基板サポートに基板を転送するために、前記ロボットが移動するための所定のルートを判断するステップと、
前記ルートに沿って前記基板サポートに較正ウェーハを転送するステップと、
前記基板サポート上に設置されている前記較正ウェーハを前記カメラによって見るステップと、
前記較正ウェーハの１つ以上の画像を前記カメラによって取り込むステップと、
前記基板サポート上の前記基板を所定の位置に置くために、前記ロボットが移動するための補正ルートを判断するステップとを備え、
前記ウェーハの１つ以上の画像を前記カメラによって取り込む前記ステップは、さらに、前記ウェーハを介して見た前記基板サポートの１つ以上の画像を取り込むことを含む、方法。
【請求項９】
前記ウェーハの１つ以上の画像を前記カメラによって取り込む前記ステップがさらに、ウェーハ位置のインジケータの１つ以上の画像を取り込む工程を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記カメラによって取り込まれた画像を送信するステップと、
前記取り込まれた画像を遠隔的に受け取るステップと、をさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記移動させるステップがさらに、保存されているロボットの運動ルーチンを利用して半導体処理システムにウェーハを位置決めする工程を備え、
前記見るステップがさらに、前記較正ウェーハをカメラで見る工程を備え、
前記ウェーハの位置データを利用して前記基準位置を補正するステップがさらに、前記ウェーハの画像データを利用して前記保存されているロボットの運動ルーチンを更新する工程を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記カメラによって取り込まれた画像を送信するステップと、
前記取り込まれた画像を遠隔的に受け取るステップと、をさらに備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ウェーハを前記カメラで見る前記ステップがさらに、ウェーハ位置のインジケータの１つ以上の画像を取り込む工程を備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
ウェーハ位置の前記インジケータの１つ以上の画像を取り込む前記ステップがさらに、前記較正ウェーハの幾何または視覚的特徴のうちの少なくとも１つを識別する工程を備える、請求項１３に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００４】
[0004]これは、基板の置き間違いや位置ずれがコスト的なダメージおよび／または予定外のシステムメンテナンスをもたらす半導体処理システムにおいてとりわけ重要である。ずれている基板はしばしばダメージを受け、他の基板や機器にダメージを与え、またはずれによってうまく処理されず、廃棄されてしまうこともある。例えば、半導体処理システムのロボットのエンドエフェクタ上に設置されている基板は、ロボットに固定されている基板の移動時にずれた基板に接触する可能性がある。基板が相互に接触すると、両基板のうちの一方がダメージを受けることがある。さらに、基板の一方または両方が取り除かれると、システムは、更なる処理が生じる前に基板の除去についてシャットダウンしなければならない。取り除かれた基板の取り戻しは、真空下でシステム動作の内部部分にアクセスする必要があり、生産時間のうちの数時間は、被害チャンバ内の真空環境の汚染除去および再確立に費やされることになる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
[0050]図３Ａ〜図３Ｂは、電源１３８のバッテリ寿命を延ばすように適合されているドッキングステーション１７２の一実施形態を描いている。ドッキングステーション１７２は、使用中でない場合はカメラアセンブリ１０００をサポートするように適合されている一方で、一般的にクレードル３０２と充電機構３２０とを含んでいる。クレードル３０２は、その上のカメラアセンブリ１００をサポートするように構成されている。クレードル３０２の幾何は配置プレート１０６用に選択された構成にかなり左右されるために、クレードル３０２はカメラアセンブリ１００をしっかりと保持する多数のバリエーションで構成可能である一方で、インタフェースロボット１８２のエンドエフェクタ１９８が、カメラアセンブリ１００を置いて、そこからこれを取り戻すことができるようにする。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
[0052]サポート部分３０６は、使用中でないカメラアセンブリ１００をサポートするように間隔をあけて搭載部分３０４から延びている第１のアーム３１０と第２のアーム３１２とを含んでいる。アーム３１０および３１２は間隔をあけられており、ロボット１８２のエンドエフェクタ１９８がその間を通過できるようにし、それによってエンドエフェクタ１９８は、クレードル３０２に接触せずにカメラアセンブリ１００を置いて、かつサポート部分３０６のアーム３１０および３１２からこれを取り戻すことができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
[0055]近接センサやリミットセンサなどのセンサ３３０が、カメラアセンブリ１００の存在を検出するクレードル３０２に結合されている。カメラアセンブリ１００が検出されると、アクチュエータ３２６は、カメラアセンブリ１００上に設置されている１対の導電性コンタクトパッド３２２に接触しているコンタクトピン３２２を移動させる。コンタクトパッド３２２は電源１３８のそれぞれのポールに結合されているため、コンタクトピン３２２を介して電源１３８を充電器３２４に電気的に結合させて、非使用時に電源１３８を再充電する。電源１３８が完全に充電されると、つまりコントローラ１４０がロボット１８２に、カメラアセンブリ１００の取り戻しを命じると、アクチュエータ３２６はカメラアセンブリ１００のないピン３２２を持ち上げて、ロボット１８２が、ピン３２２に接触せずにドッキングステーション１７２からカメラアセンブリ１００を持ち上げることを可能にする。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
[0059]図４は、決められた位置にエンドエフェクタを置くロボットの基準座標を見つけるために利用可能な較正手順４００の一実施形態を描いているフローチャートである。このような場所は、基板がシステム１９０のロボットによって置かれたり取り戻されたりする任意の位置を含んでいるが、これらに限定されない。手順４００は、転送ロボット１９８のエンドエフェクタ１９８を処理チャンバ１９４のうちの１つの基板サポート１８６と整列させるものとして説明されているが、手順４００を任意のシステムロボットの運動範囲内の他の場所で利用して、その場所でのロボットの位置を較正することができる。ステップ４０２において、カメラアセンブリ１００は転送ロボット１９６のエンドエフェクタ１９８上に位置決めされる。このステップは、ロボット１９６から離れた場所からカメラアセンブリ１００を転送することを含んでいる。ステップ４０４において、ロボット１９６は処理チャンバ１９２内の位置にＸ／Ｚ平面においてジョギングされるために、基板サポート１８６の画像１５２はモニタ１４８に表示される。ステップ４０６において、ロボット１９６をＸ／Ｚ平面においてマニュアルでジョギングして、目印２１４を、画像１５２つまりターゲット、例えばポート画像１７０の所定の部分と整列させる。ステップ４０８において、エンドエフェクタ１９８の整列された位置はＸ／Ｚ平面における基準座標として記録される。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６７】
[0081]図１２は、補正データを得て、上記の方法に制限されないが、これを利用して得られた一次位置データの的確さを高めるために利用されている基板サポート１８６上に設置されている較正ウェーハ１２００を有する処理システム１９０の部分的断面図である。基板サポート１８６などの別のオブジェクトに対するエンドエフェクタ１９８の位置に関する較正データが得られた後に、較正ウェーハ１２００はロボット１９６のエンドエフェクタ１９８によって取り戻される。図１２に描かれている実施形態において、カメラアセンブリ１００、または画像データを得るための類似のデバイスが位置データの収集に利用される。一次データが得られたカメラアセンブリ１００の位置はＰ１と称される。較正ウェーハ１２００は、基板保存カセットのうちの１つにおいて、処理システム内にローカルに保存されてもよく、または必要に応じて処理システムに導入されてもよい。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７０】
[0084]較正ウェーハ１２００が基板サポート１８６に位置決めされた後に、カメラアセンブリ１００はロボット１９６によって取り戻されて、較正ウェーハ１２００がその上に据えられている基板サポート１８６上の位置Ｐ１に転送される。カメラアセンブリ１００は、基板サポート１８６上の決められた位置に基板を置くために利用されている基準データの補正を判断するためにコントローラ１４０に提供されているデータを取り込み、送信する。