【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年5月17日(2010.5.17)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【書類名】明細書
【発明の名称】精密に画定された微細電気機械構造体及び関連する製造方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】  微細電気機械構造体を製造する方法であって、
ハンドルウエハ、ハンドルウエハ上に配置される絶縁層及び絶縁層上に配置されるシリコン層を有するシリコン・オン絶縁体（ＳＯＩ）ウエハを用意する工程、
リアクティブ・イオン・エッチングによって前記シリコン層を通る少なくとも１つのトレンチをエッチングする工程、
前記エッチング工程の後にシリコン層に支持基板を接着する接着工程であって、前記支持基板と前記ＳＯＩウエハとの間に少なくとも１つのキャビティが形成されるように、前記シリコン層に接着される支持基板の表面が非平坦である接着工程、
前記接着工程の後で前記ハンドルウエハを取り除く工程、及び
微細電気機械構造体が前記キャビティ上に少なくとも一部が垂下され且つ前記シリコン層を通るようにエッチングされた前記少なくとも１つのトレンチによって少なくとも一部が形成されるシリコン部分を有するように、前記絶縁層を選択的にリアクティブ・イオン・エッチングにより取り除く工程、を含む方法。
【請求項２】  請求項１の方法であって、前記ＳＯＩウエハを接着する前記非平坦な表面によって形成される凹所部分によって分離された複数のメサを有する支持基板を用意する工程を含み、前記接着工程は前記シリコン部分が隣接する凹所部分上へメサ部分から垂下するように前記シリコン層に前記支持基板を接着する工程を含む方法。
【請求項３】  請求項１の方法であって、前記非平坦面によって支持される少なくとも１つの伝導性部材を有する支持基板を提供する工程を含み、前記シリコン部分の少なくとも一部が前記少なくとも１つの伝導性部材に重なるように、前記支持基板に対し前記ＳＯＩウエハが接着される方法。
【請求項４】  前記エッチング工程は、前記絶縁層に到達したときリアクティブ・イオン・エッチングを終結する工程を含む請求項１の方法。
【請求項５】  前記ハンドルウエハを取り除く工程は前記ハンドルウエハをエッチングする工程を含む請求項１の方法。
【請求項６】  微細電気機械構造体を製造する方法であって、
ハンドルウエハ、前記ハンドルウエハ上に配置された絶縁層及び前記絶縁層上に配置されたシリコン層を有するシリコン・オン絶縁体（ＳＯＩ）ウエハを用意する工程、
リアクティブ・イオン・エッチングによって前記シリコン層を通る少なくとも１つのトレンチをエッチングする工程、
前記エッチング工程の後に前記シリコン層に支持基板を接着する接着工程であって、前記シリコン層に接着される支持基板の表面が少なくとも１つの伝導性部材を支持する接着工程、
前記接着工程の後で前記ハンドルウエハを取り除く工程、及び
微細電気機械構造体が少なくとも一部が支持基板によって支持される少なくとも１つの伝導性部材に重なり前記シリコン層を通るようにエッチングされた前記少なくとも１つのトレンチによって少なくとも一部が形成されるシリコン部分を有するように、前記絶縁層を選択的にリアクティブ・イオン・エッチングにより取り除く工程、を有する方法。
【請求項７】  前記接着工程の前に前記支持基板を用意する工程を有し、前記シリコン層に接着される前記支持基板の表面は、前記支持基板とＳＯＩウエハとの間に前記シリコン部材の少なくとも一部が垂下される少なくとも１つのキャビティを形成するように非平坦である請求項６の方法。
【請求項８】  前記支持基板を用意する工程は、前記ＳＯＩウエハを接着する非平坦面によって形成される凹所部分によって分離される複数のメサを有する支持基板を用意する工程を含み、前記接着工程は、前記シリコン部分が隣接する凹所部分上へメサから垂下するように前記支持基板を前記シリコン層に接着する工程を含む請求項７の方法。
【請求項９】  前記エッチング工程は、前記絶縁層に到達したときにリアクティブ・イオン・エッチングを終結する工程を含む請求項６の方法。
【請求項１０】  前記ハンドルウエハを取り除く工程は、前記ハンドルウエハをエッチングする工程を含む請求項６の方法。
【請求項１１】  微細電気機械構造体であって、
メサ及び凹所部分を含む非平坦面を有する支持基板、及び前記支持基板の非平坦面の凹所部分上に垂下されるように前記支持基板の非平坦面のメサに接着される複数のシリコン部分を含み、
前記シリコン部分は、１×１０20原子/ｃｍ3より小さいドーピング密度を有し、前記複数のシリコン部分は、それらの間で一貫した性能を有することを実現するため、寸法差が０．２ミクロンを越えないものである、微細電気機械構造体。
【請求項１２】  前記シリコン部分の少なくとも一部が伝導性部材に重なるように前記支持基板の非平坦面によって支持される複数の伝導性部材を有する請求項１１の微細電気機械構造体。
【請求項１３】  前記シリコン部分はドーピングされない請求項１１の微細電気機械構造体。
【請求項１４】  前記シリコン部分は、ドーピング密度が０と１×１０20原子/ｃｍ3との間になるように密度の小さいドーピングがなされる請求項１１の微細電気機械構造体。
【請求項１５】  前記支持基板はガラスを含む請求項１１の微細電気機械構造体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細電気機械構造体（ＭＥＭＳ）及び関連する製造方法に関し、特に、正確に決められた寸法を有する電気機械的構造体及び関連する製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造技術が急激に進歩することによって、種々の機械的及び／又は電気機械装置の寸法及び重量を低減するために多数の微細電気機械構造体（ＭＥＭＳ）が開発された。例えば、いくつかのジンバル装置は、１つまたは複数のＭＥＭＳを含むジャイロスコープと置換された。これらのジャイロスコープの例としてPaul Greiffに付与された米国特許第5,650,568号がある。この特許によれば、慣性空間の回転速度を検出するためにジンバル振動型ホイールジャイロスコープを開示している。説明されているように、Greiffのジャロスコープは、従来の大きくて重いジンバルの代わりに使用される多数の軽量の小型化されたＭＥＭＳ素子を含む。
【０００３】
機械的及び電気機械的装置のＭＥＭＳを使用する重要な利点は、従来の機械的装置について達成することができる寸法及び重量の低減である。しかしながら、ジンバル装置のような多数の機械的及び電気機械装置は、必要な精度及び正確性で適当に作動するようにするために精密に製造しなければならない移動部品を有する。したがって、半導体技術によって製造されている従来の機械的及び電気機械的部品をＭＥＭＳ素子で置換する能力は、半導体製造技術によって達成することができる精度によって制限される。
【０００４】
大部分のＭＥＭＳの寸法は制限されるが、ＭＥＭＳの配列は、広い領域をカバーするために使用される。例えば、慣性センサは、多数の角度センサ部品を含むが、その各々は、分離したＭＥＭＳ素子を含む。ＭＥＭＳ配列の各部材が同一であることが好ましいが、従来のＭＥＭＳの配列は、寸法及び形状において、大きな部品相互間の変化を有する。ＭＥＭＳ素子によって発生するか、ＭＥＭＳ素子に供給される信号を適当に処理することによって、信号を個々に処理するために各ＭＥＭＳ素子に使用するために別のコンデショニング電子機器を使用しなければならない。明らかなように、各ＭＥＭＳ素子と関連して使用されなければならない特別に設計された電子機器は、その結果形成される配列のコスト及び複雑さを増大させる。
【０００５】
ＭＥＭＳを製造するために種々の半導体製造技術が使用されてきたが、これらに製造手順は、上述した慣性検出用途のような最近の用途によって必要とされる精度を提供する。しかしながら、説明の目的で、Greiffに付与された米国特許第5,650,568号によって説明された製造技術を以下に説明する。この観点において、図１Ａ−１Ｄは、従来のＭＥＭＳ製造技術でＭＥＭＳ素子を製造する一般的な方法を示す。これらの図面に示された方法は、ディゾルブ型ウエハ処理（ＤＷＰ）として知られており、Greiffに付与された米国特許第5,650,568号にさらに詳細に説明されている。
【０００６】
特に、図１Ａを参照すると、シリコン基板１０及びＰＹＲＥＸ（登録商標）ガラスのような絶縁材料で形成された支持基板１２が示されている。一般的なＭＥＭＳ素子において、シリコン基板は、装置の機械的及び／又は電気機械的部材を形成するためにエッチングされる。機械的及び／又は電気機械的部材は、機械的及び／又は電気機械的な部材が自由に動くように支持基板上で支持される。
【０００７】
図１Ａに示すように、支持部材１４は、最初にシリコン基板の内面からエッチングされる。これらの支持部材は、メサとして知られており、水酸化カリウム（ＫＯＨ）等によってフォトレジスト１６の適当にパターン化された層を通じて露出されたシリコン基板の内面の部分をエッチングすることによって形成される。好ましくは、エッチングは、十分な高さのメサ１４が形成されるまで続けられる。
【０００８】
図１Ｂを参照すると、シリコン基板のエッチング処理された内面１８は、その後、ボロン等によってドーピングされ、１または２×１０20原子/cm2のような高いドーピング密度及び所定の深さを有するドーピング領域２０を提供する。したがって、その結果生じるシリコン基板１０は、ドーピング領域２０と、ドーピングされないサクリフィシアル領域２２とを有する。図１Ｃを参照すると、リアクティブ・イオン・エッチング（ＲＩＥ）等によってトレンチが形成され、これは、シリコン基板１０のドーピング領域２０を通って延びている。これらのトレンチは、ＭＥＭＳ素子の機械的及び／又は電気機械的部材の寸法及び形状を形成する。
【０００９】
図１Ａ−図１Ｃに示すように、支持基板１２は、最初にエッチングされ、金属電極２６及び伝導トレース（図示せず）が支持基板の内面に形成される。これらの電極及び伝導トレースは、ＭＥＭＳ素子の機械的及び／又は電気機械部材への電気接続を提供する。
【００１０】
支持基板１２が電極及び伝導トレースを形成するように処理されると、シリコン基板１０及び支持基板１２は、一緒に接着される。図１Ｄを参照すると、シリコン基板及び支持基板は、陽極接着等によってメサ１４の接触面２８で一緒に接着される。最終的な工程として、シリコン基板のドーピングされないサクリフシアル領域２２は、典型的には、エチレンジアミン・ピロカテコール（ＥＤＰ）のようなドーピングに感応性のあるエッチング剤によってエッチングされる。ＥＤＰは、ドーピングされないシリコンを選択的にエッチングするウエットエッチング剤である。このように、エッチング工程の後で、ＭＥＭＳ素子の機械的及び／又は電気機械部材を有するドーピング領域のみが残る。したがって、シリコン基板から外側に延びるメサは、部材が自由に動くことができるように支持基板上に機械的及び／又は電気機械部材を支持している。さらに、支持基板によって形成された電極は、メサと電極との接触を通して機械的及び／又は電気機械的部材への電気接触を提供する。
【００１１】
ＥＤＰは、ドーピングされたシリコンに対してドーピングされないシリコンを選択的にエッチング処理して機械的及び／又は電気機械的部材を形成するが、機械的及び／又は電気機械的部材は、シリコンのドーピング密度をわずかに変化させる非均一な効果によって、ある用途によって要求される公差内で、及び慣性検出の用途におけるミクロンのフラクション内で正確に形成することができない。このように、機械的及び／又は電気機械的な部材は、所望の公差内で繰り返し製造することができず、したがって、ＭＥＭＳ素子の対応する性能は、いくぶん異なる。
【００１２】
上述したように、ＭＥＭＳ素子の配列は、各部材において、別の電子装置を必要とする。なぜならば、各部材の性能は、他の部材の性能とは異なる傾向がある。当業者によって知られているように、ドーピング密度の変化は、その結果生じる機械的及び／又は電気機械的部材のカーリング（curling)のような他の欠点を有する。ＥＤＰによる選択的なエッチングに必要な高いドーピング水準の結果、結晶構造の不完全性が生じ、その結果、機械的及び／又は電気機械的な部材の共振Ｑ及びヤング係数が変化する。最後に、ＥＤＰは、一般に有毒と考慮され、したがって、多数の環境問題が生じ、特別のコストがかかる取り扱い及び廃棄手順が必要になる。
【００１３】
種々のＭＥＭＳ素子が機械的及び／又は電気機械的装置の寸法及び重量を低減するために開発されたが、従来のＭＥＭＳ素子及びそれらの各製造手順は、すべての用途全体を満足させるものではない。特に、ＭＥＭＳ素子の配列に関しては矛盾のない動作を保証するために正確に反復可能な寸法及び形状を有する複数のＭＥＭＳ素子をつくる異なる課題が残っている。さらに、ＭＥＭＳ構造をつくるために使用されるディゾルブ型ウエハ処理技術は、ＥＤＰを用いることが必要であり、これは、ＥＤＰを使用するために続いて行わなければならない特別の取り扱い及び特定の取り扱い及び廃棄手順の結果として製造手順の複雑性をさらに増大させる。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
したがって、正確に繰り返し形成することができるシリコン部分をつくるために、ガラス基板のような支持基板に接着されたシリコン絶縁体（ＳＯＩ）ウエハからＭＥＭＳを製造する方法が提供される。このように、また、長さ及び幅について０．２ミクロンの公差を越えない複数のシリコン部分が支持基板に接着され、同じかまたはほぼ同様の性能を有するＭＥＭＳ構造が提供される。
【００１５】
本発明の方法によれば、ＳＯＩウエハが提供される。ＳＯＩウエハは、ハンドルウエハと、ハンドルウエハに配置された絶縁層と、絶縁層に配置されたシリコン層と、を有する。リアクティブ・イオン・エッチングによってシリコン層を通して少なくとも１つのトレンチがエッチングされる。好ましくは、リアクティブ・イオン・エッチングは、シリコン層を完全に貫通しているが、絶縁層に到達するときに終結する。リアクティブ・イオン・エッチングを用いることによって、０．１ミクロンないし０．２ミクロンの公差内でトレンチを正確に定義することができる。
【００１６】
その後、ガラスプレートからなる支持基板が、シリコン層に接着される。１つの有利な実施形態において、シリコン層に接着される支持基板の表面は、支持基板とＳＯＩウエハとの間に少なくとも１つのキャビティが形成されるように平坦ではない。例えば、支持基板は、ＳＯＩウエハが結合される平坦でない表面によって形成される凹所部分によって分離された複数のメサを含む。１つの実施形態において、シリコン層に接着される支持基板の表面は、シリコン部分と電気的に連通するように、電極または伝導性トレースのような少なくとも１つの伝導部材を支持している。
【００１７】
シリコン層に支持基板を接着した後、ハンドルウエハは、例えばリアクティブ・イオン・エッチングによって取り除かれる。その後、絶縁層は、リアクティブ・イオン・エッチングによって絶縁層を選択的に除去することによって、ＭＥＭＳ構造が形成される。ＳＯＩウエハのシリコン層を通るトレンチのリアクティブ・イオン・エッチングの結果として、ＭＥＭＳ構造のシリコン部分は、１ミクロンの何分の１かで非常に正確で反復可能な寸法及び形状を有する。
【００１８】
シリコン層に接着される支持基板の表面が平坦でない本発明の実施形態において、シリコン部分は、シリコン基板とシリコン層との間に形成されたキャビティ上に少なくとも一部が垂下される。例えば、シリコン層に接着された支持基板の表面が複数のメサを含む実施形態において、ＭＥＭＳ構造のシリコン部分は、隣接する凹所部分状で各メサから垂下されていることが好ましい。
【００１９】
さらに、シリコン層に接着された支持基板の表面が少なくとも１つの伝導性部材を支持する実施形態において、ＭＥＭＳ構造のシリコン部分は、少なくとも一部が少なくとも１つの伝導性部材に重なる。このようにＭＥＭＳ構造のシリコン部分から信号が提供され、それを受けることができる。
【００２０】
ＭＥＭＳ構造の寸法及び形状の双方が正確で反復可能である故に、本発明による複数のＭＥＭＳ素子を有する配列が提供される。配列は、メサ及び凹所部分を有する非平坦面を有するガラスプレートのような支持基板を含む。また、この実施形態のＭＥＭＳ構造は、複数のシリコン部分を含み、このシリコン部分は、シリコン部分が支持基板の非平坦面の凹所部分に垂下されて、複数のＭＥＭＳ素子を形成するように支持基板の非平坦面のメサに接着されている。本発明の製造方法は、ＥＤＰを使用しないので、シリコンの意図されたドーピング密度は、１×１０20原子/ｃｍ3より小さいという程に大きく低減でき、ある場合には、０にまで低減できる。従来のＭＥＭＳ構造に対してドーピング密度を低減することによって、結晶構造の不完全性は低減され、カーリングするシリコン部分の傾向は、低減される。
【００２１】
さらに、本発明のＭＥＭＳ配列のシリコン部分は、ＭＥＭＳ素子の間の一貫した性能を用意にするために０．２ミクロンを越えないほどしか寸法が異ならない。同じか非常に似た作用を行う複数のＭＥＭＳ素子を形成することによって、配列によって得られる測定は、ＭＥＭＳ素子の間の性能の差を補償するために少ない信号処理を必要としなければならない。このように、複雑でコストのかかる電子製品は、ＭＥＭＳ素子の従来の配列に対して相当低減される。
【００２２】
上述したように、本発明のＭＥＭＳ構造は、シリコン部分の少なくとも一部が各伝導部品に重なるように支持基板の非平坦面によって支持された複数の伝導部材を含む。このように、信号は、個々のシリコン部分に伝達され、受けられる。
【００２３】
したがって、本発明の製造方法は、ＭＥＭＳ構造を反復可能な態様で正確に形成することを可能にする。このように、ＭＥＭＳ構造の性能の特徴は、さらに予言できる。さらに、ＭＥＭＳ構造は、部品の各々が同じかまたは同様の態様で他の部品に対して実行する配列に組み込むことができ、それによって、配列の全体的な性能を改良し、ＭＥＭＳ素子の各々とインターフェイスで連結する必要があるコンディショニング電子装置の複雑性を低減する。本発明の製造方法の結果、シリコンは、高いドーピングを必要とせず、高いドーピング密度によって生じるカーリング及び結晶構造の不完全性を避けることができる。さらに、本発明の製造方法は、ＥＤＰではなく、リアクティブ・イオン・エッチングを使用することが好ましく、それによって、ＥＤＰに必要な複雑なハンドリング及び廃棄手順をなくすことによって製造方法を簡単にする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明は、本発明の好ましい実施形態を示す添付図面を参照して詳細に説明される。しかしながら、本発明は、多数の異なる形態で実施され、この明細書で説明した実施形態に制限する意図はない。当業者が本発明の範囲を完全に理解できるように、これらの実施形態が提供される。
【００２５】
本発明の方法は、もし行ったとしてもドーピングはわずかにすることを可能にしながら、機械的及び／又は電気機械的な部材を正確に形成する独得のＭＥＭＳ構造を製造する。複数のＭＥＭＳを有する配列は、個々のＭＥＭＳ素子のごくわずかの寸法及び形状の変化を有する複数のＭＥＭＳ素子を有する配列を形成することができ、それによって、ＭＥＭＳ素子の各々について特別に構成されたコンディショニング電子部品を必要とすることなく非常に信頼性のある態様で配列を作動することができる。
【００２６】
図２Ａ−図２Ｄは、本発明によってＭＥＭＳ構造を製造するために実施される作業の望ましい実施形態を示す。図２Ａ及び図３のブロック６０に示すように、支持基板３０及びシリコン・オン絶縁体（ＳＯＩ）ウエハ３２が提供される。図示するように、ＳＯＩウエハは、ハンドルウエハ３４と、ハンドルウエハ上に配置された絶縁層３６と、絶縁層に配置されたシリコン層３８と、を有する。ハンドルウエハ及び絶縁層は、種々の材料から形成されるが、１つの有利な実施形態のＳＯＩウエハは、シリコンから形成されたハンドルウエハと、シリコンダイオキサイドから形成された絶縁層と、を有する。以下に説明する理由によって、シリコン層の露出層は、平坦であることが好ましい。さらにシリコン層の厚さは、特定の用途によって変化することができる。しかしながら、シリコン層の厚さは、１−３０ミクロンの範囲が好ましい。絶縁層は、種々の厚さを有することができるが、シリコン層に対して非常に薄い。１つの実施形態において、例えば、絶縁層は、約０．３ミクロンの厚さを有する。
【００２７】
支持基板３０は、ガラスプレートのような誘電性材料から形成される。１つの有利な実施形態において、例えば、支持基板は、ＰＹＲＥＸ（登録商標）ガラスから形成される。しかしながら、支持基板は、もし所望ならば、半導体材料を含む他の材料で形成される。図２Ａにおいて示すように、ＳＯＩウエハに面する支持基板の表面３０ａは、非平坦であることが好ましい。さらに詳細には、ＳＯＩウエハに面する支持基板の表面３０ａは、凹所部分４２によって分離されるメサ４０を含むことが好ましい。メサは、種々の態様で形成することができるが、ＳＯＩウエハに面する支持基板の表面に、フォトレジストと称されるフォトレジスト層またはフィルムを配置することによって形成される。フォトレジストは、マスクによって少なくとも一部がカバーされ、フォトレジストの露出部分がなくされる。フォトレジストは、典型的にはＵＶ光源で照射されるが、フォトレジストを適当に露出することができる光源によって照射することができる。
【００２８】
フォトレジストの部分が光に露出された後、フォとーレジストの部分は、ＳＨＩＰＬＥＹの現像濃縮液のような現像溶液にフォトレジストを露出することによって除去される。この技術分野で知られているように、光に露出されるフォトレジストの部分か光に露出されないフォトレジストの部分は、ポジティブかネガティブのフォトレジストを使用するかどうかによって除去することができる。露出される支持基板、すなわち、残りのフォトレジストによってカバーされない支持基板の部分は、例えばリアクティブ・イオン・エッチングによってエッチングされる。エッチング処理は、メサが所望の高さを有するように、メサを包囲する支持基板の部分が除去されるまで連続する。その後、フォトレジストの残りの部分が除去される。
【００２９】
図２Ｂ及び図３のブロック６２を参照すると、メサ４０が形成された後、本発明の方法は、電極及び伝導トレースのような伝導部材４４を形成するためにＳＯＩウエハ３２に面する支持基板の表面３０ａに金属のような伝導性材料を配置する工程を有する。しかしながら、伝導性材料が支持基板の表面上に延びることを防止するために、支持基板の表面は、伝導性材料が配置される凹所領域を形成するために選択的にエッチングされる。図示はしないが、伝導性部材の形成は、典型的には、支持基板の表面にフォトレジストを配置する工程と、伝導性材料が堆積されない支持基板の表面のこれらの領域、すなわち、伝導性材料のないように構成されたこれらの部分のみをカバーするようにフォトレジストのパターン化を含む。換言すれば、エッチングされその後伝導性材料でコートされるべき支持基板の表面の部分は、パタン化されたフォトレジストによってはカバーされず、従って露出される。
【００３０】
さらに、本発明の方法は、予め形成されたパターンを有する凹所領域を形成するためにＢＯＥによって支持基板の露出部分をエッチングする工程を含む。その後、伝導性材料をエッチッングされた凹所に堆積し、電極及び伝導性トレースを形成することができる。この技術分野で知られているように、電極及び伝導性トレースは、チタン、プラチナ、金の複数の堆積層等からなる種々の伝導性材料から形成されるが、スパッタリングのような適当な技術によって堆積することもできる。その後、フォトレジストの残りの部分が除去される。
【００３１】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、一組の傾斜側壁４８の間に延びる接触面４６を有するメサ４０を提供することが多くの場合有利である。これらの傾斜側壁は、接触面への側壁に金属を「ステッピング処理」することによって接触面及び少なくとも一方の側壁の双方に金属を堆積することができる。
【００３２】
メサ４０が任意の幾何学的形状をとり得ることは留意すべきである。例えば、この実施形態において、メサは、台形ピラミッド形状であるが、メサの断面形状は、特定の用途での必要に応じ８角形、円筒形等の他の形状をとることができる。さらに、傾斜側壁は、一組の傾斜側壁であるが、用途によっては、一組の傾斜側壁の一方のみが傾斜するようにしてもよい。図２Ｂ及び図３のブロック６４を参照すると、ＳＯＩウエハ３２のシリコン層３８は、ＭＥＭＳ構造の機械的及び／又は電気機械的な部材を分離するか、形成するためにエッチングされる。この側面において、リアクティブ・イオン・エッチングによって少なくとも１つのトレンチ５０がシリコン層を通してエッチングされる。メサ４０は、支持基板３０の表面３０ａに形成され、シリコン層の表面は、平坦なままである。従って、トレンチをリアクティブ・イオン・エッチングによってエッチングする精度は、非平坦面のリアクティブ・イオン・エッチングに対してさらに改良される。このように、トレンチは、非常に小さい公差内、０．１ないし０．２ミクロンの所望の幅内でエッチングすることができる。
【００３３】
図示はしないが、トレンチ５０は、最初にフォトレジストでシリコン層をコートすることによってエッチング処理することができる。最終的にエッチングする領域を画成するマスクでフォトレジストをカバーした後、フォトレジストの露出部分を消去する。マスクを除去した後、シリコン層の全面がエッチングされる領域を除いてフォトレジストでカバーされるようにフォトレジストの部分が取り除かれる。シリコン層の露出部分は、シリコン層を通してトレンチを形成するためにリアクティブ・イオン・エッチングによってエッチングされる。好ましくは、エッチングは、絶縁層に到達すると終結する。トレンチ部分がエッチングされた後、残りのフォトレジストが取り除かれる。
【００３４】
図２Ｃ及び図３のブロック６６を参照すると、ＳＯＩウエハ３２のシリコン層３８及び支持基板３０の対向面は接触される。この側面において、シリコン層は、支持基板の表面３０ａによって形成されたメサ４０と接触する。ＳＯＩウエハ及び支持基が接着される。好ましい実施形態において、支持基板及びＳＯＩウエハは、陽極接着される。しかしながら、支持基板及びＳＯＩウエハは、接着剤が支持基板及びＳＯＩウエハをしっかりと係合する限り、他の態様で接着することができることを理解すべきである。
【００３５】
ＳＯＩウエハのシリコン層に支持基板を取り付けた後、ハンドルウエハ３４と絶縁層３６が取り除かれる。図３のブロック６８及び７０参照。例えば、シリコンから形成されたハンドルウエハは、典型的にはハンドルウエハをエッチングし、より詳しくはハンドルウエハをリアクティブ・イオン・エッチングすることによって除去される。同様に、絶縁層は、典型的には絶縁層をエッチングすることにより、より詳しくは絶縁層をリアクティブ・イオン・エッチングすることによって除去される。絶縁層が一端取り除かれると、シリコン層を通ってエッチングされたトレンチによって形成されたシリコン層３８の部分は、シリコン層の他の部分から完全に分離される。図２Ｄ参照。一般に、エッチングされたトレンチによって形成されたシリコン層の部分は、以下に説明するようなジャイロスコープの部品のようなＭＥＭＳ構造の部品を形成する。
【００３６】
本発明の実施形態には必ずしも必要ではないが、支持基板３０の非平行な表面３０ａ、さらに詳細には支持基板のメサ４０は、シリコン層３８と支持基板との間に形成されたキャビティ上にシリコン部分を効率的に垂下させる。支持基板とに関する垂下された関係及びハンドルウエハ３４の前の除去と絶縁層３６の前の除去の結果として、シリコン部分は支持基板に対して可動であることが好ましい。さらに、シリコン部分は、支持基板によって支持された１つまたは複数の伝導性部品４４に重なることができる。図示するように、シリコン部分は、いくつかの伝導性部品と接触することができ、ＭＥＭＳ構造に特に適応することが望ましいように他の伝導性部品から間隔を置くことができる。このように、シリコン部分を加熱し、駆動するためにシリコン部分に信号を送ることができる。信号は、センサの用途等においてシリコン部分のたわみまたは他の動きを測定するためにシリコン部分から信号を受けることができる。
【００３７】
上述したように、ＭＥＭＳ構造を製造することによって、ＭＥＭＳ構造は、正確に繰り返し形成することができる。この側面において、各ＭＥＭＳ構造の寸法は、ＳＯＩウエハ３２のシリコン層３８を通ってトレンチ５０のリアクティブ・イオン・エッチングによって課される公差内で形成することができる。例えば、シリコン層を通るトレンチのリアクティブ・イオン・エッチングは、０．１ミクロンないし０．２ミクロンの所定の幅と長さの公差を有する。製造工程の精度と反復性の結果として、ＭＥＭＳ素子の各々の寸法及び形状及び性能特性は、同じか、ほぼ同様である。
【００３８】
このように、複数のＭＥＭＳ素子は、同じ信号コンディショニング電子部品を使用することができ、それによって配列の複雑性及びコストを低減することができる。もし同一ではない場合には、各ＭＥＭＳ素子に関連する信号コンディショニング電子部品は、ＭＥＭＳ素子の小さい性能特徴の差異をわずかに変更することが必要なだけである。いずれの場合にも、信号コンディショニング電子部品の複雑性及びコスト、配列は各ＭＥＭＳ素子について相当異なる信号コンディショニング電子部品を必要とする配列に対して著しく低減される。複数のＭＥＭＳ素子を有する配列の形成を容易にすることによって、各ＭＥＭＳ素子の寸法は、小さいままであり、シリコン部分のカーリングが生じる機会を低減する。
【００３９】
関連する製造方法に加えて、ＭＥＭＳ構造は、同一かほぼ同一のＭＥＭＳ素子の配列を含む本発明の他の実施形態によるＭＥＭＳ構造を提供する。特に、この実施形態のＭＥＭＳ構造は、メサ４０及び凹所部分４２を形成する非平坦な面３０ａを有する支持構造３０を含む。また、ＭＥＭＳ構造は、支持基板の非平坦面のメサに接着された複数のシリコン部分を含む。このように、シリコン部分は、支持基板の非平坦面の凹所部分に垂下され、複数の部品を形成し、その内の１つが図２Ｄに示されている。本発明の独得の製造工程の結果、シリコン部分は、ディゾルブウエハ工程によって製造される従来のシリコン部分が必要とするような大きなドーピングは必要ではない。
【００４０】
対照的に、シリコン部分が有するドーピング密度は、１×１０20原子/ｃｍ3より大幅に小さいものでよい。この点に関し、シリコン部分はドーピングされなくてもよく、あるいはドーピング密度が０〜１×１０20原子/ｃｍ3といった低いドーピングをされてもよい。本発明の製造工程の結果、複数のシリコン部分の各寸法は、１ディメンション毎に１ミクロンを越えないだけ、すなわち、幅または長さにおいて０．５ミクロンを越えないだけの差異を有する。さらに詳細に説明すると、シリコン部分の各寸法は、０．２ミクロンを越えない差異を有し、上述したような部品間の一貫した性能を実現する。
【００４１】
前述したように、ＭＥＭＳ素子は、広範な用途に使用される。このように、本発明のＭＥＭＳ構造は、自動車、航空宇宙及び他の軍事用の偏揺れセンサ及び加速度計を含む慣性センサ配列を含む種々の用途に適している。さらに、本発明のＭＥＭＳ構造は、協働して作動するか、協働しては作動しないスイッチの配列を使用する、位相配列アンテナ用のＲＦスイッチのようなスイッチング用の用途を含む広範な非慣性用途で使用することができる。しかしながら、説明の目的で、特に有利な用途は、後述する慣性センサ配列の部材に使用する本発明のＭＥＭＳ構造である。
【００４２】
慣性センサ配列８０は、複数のＭＥＭＳ素子８２を含み、この内の２つが図４に示されている。特に、慣性センサ配列は、上述したようなメサ及び凹所部分を含むＰＹＲＥＸ（登録商標）ガラスをから形成された支持基板８４を含む。また慣性センサは、シリコン部分が支持基板上に垂下され複数の部品を形成するように支持基板のメサに接着される複数のシリコン部分を含む。この側面において、図示した実施形態の各ＭＥＭＳは、一対のシリコン部分を有し、このシリコン部分は、対応するメサに接着され、基板に対して固定される駆動コム８６を形成する。さらに、図示した実施形態のＭＥＭＳ素子は、他のシリコン部分を含み、この部品は、対応するメサに接着され、基板に対して固定されるピックオフコム８８を形成する。図４は、平面図であるので、メサは図示されないが、メサは、作動コム及びピックオフコムを示す参照符号８６及び８８で示した領域の下になる。
【００４３】
各ＭＥＭＳ素子８２は、シリコンたわみ部分９２によって支持基板８４上に垂下されている一対のプルーフ部分９０を形成するシリコン部分を含む。たわみ部分は、図４の９２ａで図示された部分の下側になるメサによって支持基板の凹所部分上に支持される。駆動コーム８６によってプルーフマス部分が作動され振動され、動くと、プルーフマス部分と支持基板との間の相対容量は、各ＭＥＭＳ素子が出合う偏揺及び加速度を決定するために監視することができる。
【００４４】
本発明によれば、シリコン部分は余りドーピングする必要がない。このように、シリコン部分は、わずかにすなわち、１×１０20原子/ｃｍ3より小さいドーピングをするか、またはドーピングしなくてよい。このように大きなドーピング密度によって生じるカーリング及び結晶構造の不完全性に関する問題は回避される。さらに、本発明の製造方法は、ＥＤＰではなく、リアクティブ・イオン・エッチングを使用し、ＥＤＰの場合に必要な複雑な取り扱い及び廃棄手順を解消することによって製造工程を簡単にすることができる。
【００４５】
また、本発明のこの実施形態による配列８０のＭＥＭＳ素子８２は、反復可能な態様で正確に形成することができる。この側面において、上述したようなシリコン部分の寸法のような配列の各部品のシリコン部分は、同じ型式の他の配列の部材のシリコン部分の対応する寸法に対してその差が０．５ミクロンを越えない、より望ましくは０．２ミクロンを越えないだけしか寸法が異ならないことが好ましい。このように各ＭＥＭＳ素子の性能特性は、さらに予期することが可能である。さらに、ＭＥＭＳ素子が配列に組み込まれるとき、各ＭＥＭＳ素子は、他の部品と同じかほぼ同様の態様で作動し、配列の全体性能を改良し、ＭＥＭＳ素子の各々とインターフェイスを形成する必要があるコンディショニング電子部品の複雑性を低減する。
【００４６】
前述した説明及び関連する図面に存在する利点を有する本発明について当業者は、多数の変形例及び他の実施形態を考えるであろう。本発明は本発明の範囲内にある、前述した特定の実施形態及び変形例及び他の実施形態に制限されないことを理解しうべきである。この明細書で特定の用語を使用したが、それらは一般的な意味であり制限することを目的とするものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１Ａ−図１Ｄは、ＭＥＭＳ素子を形成するために連続した従来のディソルブ型ウエハ処理の断面図である。
【図２】
図２Ａ−図２Ｄは、本発明の１つの有利な実施形態によってＭＥＭＳ素子を形成するために実行される作業を示す連続した断面図である。
【図３】
本発明の１つの実施形態によってＭＥＭＳ素子を製造するために実行される作業のフローチャートである。
【図４】
本発明の１つの実施形態による慣性センサ配列の２つの部品を示すＭＥＭＳの配列の一部の平面図である。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図３】
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