【事件の表示】
　平成　７年特許願第１４６０７７号「試料に対する精密作業を行う装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年１２月２４日出願公開、特開平　８−３３９７７５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年６月１３日の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１３年１１月１６日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）。
　
「【請求項１】下記の要件を備えたことを特徴とする試料に対する精密作業を行う装置、
（Ｙ01）床上に支持された基礎部材の上端部に設けたベースプレートにより支持されるとともに内部に真空の試料収容部が設けられた鏡筒、
（Ｙ02）前記鏡筒に支持されるとともに前記鏡筒の内外を連通させるセンサ挿入孔が形成された挿入孔形成部材、
（Ｙ03）前記ベースプレートに絶縁部材を介して支持され且つ前記挿入孔形成部材の外端部に絶縁材を介して連結された連結部材、
（Ｙ04）前記センサ挿入孔を貫通して内端部にセンサを支持する棒状の高伝熱率のセンサ支持部材と、内部に液状冷媒を収容した冷媒容器と、前記センサ支持部材の熱を冷媒容器内の冷媒に伝達する伝熱手段とを有し、前記連結部材によって前記センサ挿入孔の軸線方向に移動可能に支持された移動部材、
（Ｙ05）前記センサ支持部材が前記センサ挿入孔を貫通する状態で前記センサ挿入孔を外部に対して密封する密封手段。」
　
２．引用例に記載された発明
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開平５−１８７３０号公報（以下、「引用例」という。）には、図面とともに次の記載がある。
　
ア．「【００１５】・・・図１と図２において、１は基板状の試料、２は電子銃、３はエネルギー分散型Ｘ線検出器、４は電子線検出器をそれぞれ示している。試料１はその表面部分に、分析するべき薄膜あるいは厚膜が形成されたものであり、電子銃２は試料１の表面に所定の入射角θｇで電子線（エネルギー粒子）を入射するものであり、エネルギー分散型Ｘ線検出器３は試料１の表面から発生された蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）を検出するものであり・・・【００１７】エネルギー分散型Ｘ線検出器（energy dispersive X-ray detector, EDX）とは、所定のエネルギー粒子によって励起された特性Ｘ線（または蛍光Ｘ線）が検出器に入射された際に、前記Ｘ線のエネルギーに比例した電子、正孔対が生成されることを利用して入射Ｘ線の強度を電気信号に変換して検出できるものである。」
　
イ．「【００２１】図１と図２は本発明装置の要部の配置構成のみを示しているが、図３と図４に本発明装置の概略構成を示し、図５〜図１０に本発明装置の詳細構造を示す。図３と図４において、２０は試料１を収納した真空容器を示し、この真空容器２０は図示略の真空排気装置に接続されて内部を真空排気できるようになっている。この真空容器２０の内上部中央には、板状の試料１を保持するための試料ホルダ２２が設けられ、この試料ホルダ２２の底部に板状の試料１を水平に支持できるようになっている。【００２２】また、真空容器２０の側壁２３に、筒状の支持ポート２５が突設され、この支持ポート２５の先端部にフランジ板２６、２７を介してエネルギー分散型Ｘ線検出器２８が取り付けられている。このエネルギー分散型Ｘ線検出器２８は、液体窒素を貯留するタンク２９と、このタンク２９の底部にＬ字状に突設されたプローブ３０と、プローブ３０の基端部側外周を覆う補助管３１と、この補助管３１に固定されたフランジ板２７とを主体として構成され、フランジ板２７が支持ポート２５側のフランジ２６にボルト止めされて、補助管３１の内部に予備室３２が形成され、この予備室３２はフランジ板２７と２６を介して支持ポート２５側に連通している。また、補助管３１には、真空排気装置３３が接続されていて予備室３２を独自に真空排気できるようになっている。なお、前記プローブ３０はその先端部にＢｅ製または有機薄膜製の窓部３４が取り付けられ、その内部側にＸ線測定用の半導体Ｘ線検出部８やＦＥＴ９などが収納されている。【００２３】前記支持ポート２５の内部にはステンレスなどの金属からなる筒状の蛇腹部材３５が真空容器２０の側壁２３を貫通し、真空容器２０の内部側に突出して設けられ、この蛇腹部材３５の先端にＢｅ製の窓部３６が設けられている。」
　
ウ．「【００２６】・・・図５〜図１０において、図１〜図４に示す構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付してそれらの説明は省略する。・・・【００２７】図３を基に先に説明したプローブ３０の支持構造の部分は、詳細には図８に示す構造になっている。即ち、真空容器２０の支持ポート２５には、調整フランジ６０を介してフランジ板２６、２７が取り付けられ、フランジ板２７の外部にはスライド架台６１が取り付けられ、スライド架台６１の外面側には湾曲した案内レール６２、６２が形成され、これらの案内レール６２の外側にはこれらに沿って移動するスライド基台６３が装着されている。【００２８】前記スライド架台６１の外周部の両側には、図８に示すようなコ字状のスライド片６５が形成され、スライド片６５、６５でフランジ板２７を挟んでスライド架台６１がフランジ板２７に沿って移動自在に係合されている。また、各スライド片６５には、調整ボルト６６が貫通されていて各調整ボルト６６はその先端をフランジ板２７の外周部に当接させて回転自在に設けられている。前記スライド基台６３の案内レール６２側の面には案内レール６２に合致する形状の凹曲面状の案内面６７が形成されていて、スライド基台６３は案内レール６２、６２に沿って移動できるようになっている。なお、前記スライド架台６１に突設された突起部６８には調節ボルト７０が貫通されていて、この調節ボルト７０はその先端をスライド基台６３の側部に当接させて回転自在に設けられている。【００２９】 更に、前記スライド架台６１とスライド基台６３には、これらを貫通して支持ポート２５の内部を通過し、蛇腹部材３５の先端部を貫通して真空容器２０の中央部に延出する保護管７１が取り付けられ、この保護管７１の先端部にＢｅ製の窓部５が装着され、この窓部５の内側にスリット板６が取り付けられている。また、保護管７１は二重構造とされてその内部には冷却水を循環させるための通路７３が形成されている。【００３０】　前記保護管７１は、エネルギー分散型Ｘ線検出器３のプローブ３０を収納できる大きさに形成され、保護管７１の基端部側、即ち、スライド基台６３の外面側にはエネルギー分散型Ｘ線検出器３を固定するための支持架台７７が設けられている。なお、図８では省略されているが、保護管７１の基端部側に真空排気装置３３に接続するための配管接続部が形成されていて、プローブ３０を備えたエネルギー分散型Ｘ線検出器３をフランジ板２７に取り付け、保護管７１の内部にプローブ３０を挿入した場合に、真空排気装置３３により、保護管７１内面とプローブ３０の外面との間の空間と前記した予備室３２とを真空排気できるようになっている。即ち、図３に示すように、保護管７１の内面とプローブ３０の外面とで囲まれる予備室７８と前記予備室３２とにより接続室７９が形成されている。【００３１】なお、支持架台７７は図１０に示すようにスプリング８０を介して移動台８１に支持され、この移動台８１はＸ型の伸縮機構８２を介して架台８３により支持されている。また、伸縮機構８２は調整ボルト８４により上下位置調節自在になっている。」
　
エ．「【００３６】ところで、エネルギー分散型Ｘ線検出器３のプローブ３０の試料１に対する傾斜角度（即ち、特性Ｘ線の取出角度）は以下に説明するように調節することができる。図８に示す調節ボルト７０を回転させると、調節ボルト７０の先端部がスライド基台６３の側面部を押圧するので、スライド基台６３が案内レール６２、６２に沿って移動する。ここでエネルギー分散型Ｘ線検出器３のプローブ３０はスライド架台６３に、支持架台７７によって支持されているのでエネルギー分散型Ｘ線検出器３はスライド架台６３とともに傾斜することになる。これによりプローブ３０の傾斜角度を変えることができ・・・【００３７】なお、エネルギー分散型Ｘ線検出器３の高さ位置調節は、図１０に示す調整ボルト８４を回転させて伸縮機構８２を作動させることによって行なうことができる。【００３８】以上説明したようにエネルギー分散型Ｘ線検出器３のプローブ３０の傾斜角度と上下位置と左右位置の調整ができるが、前記各架台やボルトを設けて図８に示すような複雑な構造を採用してエネルギー分散型Ｘ線検出器３を支持しているのは、エネルギー分散型Ｘ線検出器３は冷却用の液体窒素を封入しているタンク２９を備えて重量が大きく、また、プローブ３０の構造が複雑で装置コストが高いので、このエネルギー分散型Ｘ線検出器３の破損などを防止する目的とプローブ３０の傾斜角度を正確に調節する必要があるためである。」
　
オ．そして、図面の図１０は図３をさらに詳細に示したものであり、図１０にも図３記載のものと同様に液体窒素を貯留するタンク２９を有するエネルギー分散型Ｘ線検出器を支持する構造が示されている。なお、図１０には、スプリング８０によって支持されている部材が図面番号「７５」と表示されているが、対応する明細書の記載内容から、これは「７７」の誤記と認められる。
　
　そうすると、上記イの記載「前記プローブ３０はその先端部にＢｅ製または有機薄膜製の窓部３４が取り付けられ、その内部側にＸ線測定用の半導体Ｘ線検出部８やＦＥＴ９などが収納されている。・・・前記支持ポート２５の内部にはステンレスなどの金属からなる筒状の蛇腹部材３５が真空容器２０の側壁２３を貫通し、真空容器２０の内部側に突出して設けられ、この蛇腹部材３５の先端にＢｅ製の窓部３６が設けられている。」及び上記ウの記載「前記スライド架台６１とスライド基台６３には、これらを貫通して支持ポート２５の内部を通過し、蛇腹部材３５の先端部を貫通して真空容器２０の中央部に延出する保護管７１が取り付けられ、この保護管７１の先端部にＢｅ製の窓部５が装着され、この窓部５の内側にスリット板６が取り付けられている。・・・前記保護管７１は、エネルギー分散型Ｘ線検出器３のプローブ３０を収納できる大きさに形成され」からみて、プローブ３０は、真空容器内部側の先端部に窓部３４が取り付けられその内部側に半導体Ｘ線検出部８が収納されており、支持ポート２５の内部に挿入されて貫通するものであるから、支持ポート２５が、半導体Ｘ線検出部８を挿入する孔となる半導体Ｘ線検出部８挿入孔を形成していることは明らかである。
　
　したがって、上記記載事項ア〜オ及び図１−１０の記載からみて、引用例には次の発明（以下、「引用例に記載された発明」という。）が記載されていると認める。
　
「下記の要件を備えたことを特徴とする表面分析装置、
内部に真空の試料収容部が設けられた側壁２３を有する真空容器２０、
前記側壁２３に支持されるとともに前記側壁２３の内外を連通させる半導体Ｘ線検出部８挿入孔が形成された支持ポート２５、
前記支持ポート２５に連結された、フランジ板２６、２７、スライド架台６１、スライド基台６３、支持架台７７、スプリング８０、移動台８１、伸縮機構８２そして架台８３、
内部に液体窒素を貯留するタンク２９と、前記タンク２９の底部にＬ字状に突設され、前記半導体Ｘ線検出部８挿入孔を貫通して真空容器内部側の先端部に半導体Ｘ線検出部８を支持するプローブ３０。」
　
３．対比
　本願発明と上記引用例に記載された発明とを比較する。
　引用例に記載された発明の「側壁２３を有する真空容器２０」は本願発明の「鏡筒」に相当し、以下同様に「半導体Ｘ線検出部８」は「センサ」に、「支持ポート２５」は「挿入孔形成部材」に、「液体窒素を貯留するタンク２９」は「液状冷媒を収容した冷媒容器」に、「真空容器内部側の先端部」は「内端部」に、「プローブ３０」は「センサ支持部材」に相当する。
　引用例に記載された発明の「表面分析装置」は、試料表面の微小な部分に対して電子線を照射し、その照射によって発生する蛍光Ｘ線等を分析する装置であり、試料に対し精密作業を行うものといえ、本願発明の「試料に対する精密作業を行う装置」に相当する。
　引用例に記載された発明の「フランジ板２６、２７、スライド架台６１、スライド基台６３、支持架台７７、スプリング８０、移動台８１、伸縮機構８２そして架台８３」は、エネルギー分散型Ｘ線検出器の重量を支えるとともに、「支持ポート２５」と、該エネルギー分散型Ｘ線検出器の重量を支持する場所とを連結するので、本願発明の「連結部材」に相当する。
　引用例に記載された発明の「プローブ３０」は棒状であり、液体窒素を貯留するタンク２９の底部とつながっており、該プローブ３０先端の半導体Ｘ線検出部８からの熱を該液体窒素により冷却するための手段でもあるので、本願発明の「伝熱手段」にも相当し、伝熱手段である以上、高伝熱率であることも明らかである。
　引用例に記載された発明の「スライド架台６１、スライド基台６３、移動台８１、伸縮機構８２」は、プローブ３０を含めたエネルギー分散型Ｘ線検出器の傾斜角度と上下位置と左右位置を調整するためのものであるので、連結部材によって移動可能に支持された本願発明の「移動部材」にも相当する。
　そして、引用例に記載された発明の半導体Ｘ線検出部８挿入孔は、プローブ３０が支持ポート２５内を貫通した状態で該プローブ３０の基端部側外周を覆う補助管３１と該補助管３１に固定されかつ支持ポート２５側のフランジ板２６に接続されたフランジ板２７と該支持ポート２５内部に位置する保護管７１とによって密封されているので、引用例に記載された発明の「補助管３１と該補助管３１に固定されかつ支持ポート２５側のフランジ板２６に接続されたフランジ板２７と該支持ポート２５内部に位置する保護管７１」は本願発明の「センサ挿入孔を外部に対して密封する密封手段」に相当する。
　したがって、両者は、
[一致点]
「下記の要件を備えたことを特徴とする試料に対する精密作業を行う装置、
内部に真空の試料収容部が設けられた鏡筒、
前記鏡筒に支持されるとともに前記鏡筒の内外を連通させるセンサ挿入孔が形成された挿入孔形成部材、
前記挿入孔形成部材の外端部に連結された連結部材、
前記センサ挿入孔を貫通して内端部にセンサを支持する棒状の高伝熱率のセンサ支持部材と、内部に液状冷媒を収容した冷媒容器と、前記センサ支持部材の熱を冷媒容器内の冷媒に伝達する伝熱手段とを有し、前記連結部材によって移動可能に支持された移動部材、
前記センサ支持部材が前記センサ挿入孔を貫通する状態で前記センサ挿入孔を外部に対して密封する密封手段。」の点で一致し、次の点で相違する。
　
[相違点]
（ア）本願発明は、鏡筒を支持する「床上に支持された基礎部材の上端部に設けたベースプレート」を備えているのに対し、引用例に記載された発明は鏡筒の支持構造について不明である。
（イ）本願発明は、「ベースプレートに絶縁部材を介して支持され且つ前記挿入孔形成部材の外端部に絶縁材を介して連結された連結部材」を備えているのに対し、引用例に記載された発明の連結部材がベースプレートに連結しているか否か、また、該連結部材がベースプレートや挿入孔形成部材外端部に絶縁部材を介して連結しているか否か明らかでない点。
（ウ）本願発明は、「センサ挿入孔の軸線方向に移動可能に支持された移動部材」を備えているのに対し、引用例に記載された発明の移動部材はセンサ挿入孔の軸線方向に移動可能か否か明らかでない点。
　
４．判断
　相違点（ア）について
　試料に対して精密作業を行う装置を構成する鏡筒を、床上に支持された基礎部材の上端部に設けたベースプレートにより支持することは、例えば、特開平１−２２７４３６号公報（第１図の定盤１１と支持足１２参照。）、実願平１−６７４２９号（実開平３−７２５５号）のマイクロフィルム（第１図の本体架台９とベースプレート５参照。）に記載されているように周知技術である。
　よって、引用例に記載された発明の鏡筒を床上に支持された基礎部材の上端部に設けた前記周知のベースプレートにより支持することにより本願発明のごとく構成することは当業者が適宜なし得ることである。
　
　相違点（イ）について
　上記特開平１−２２７４３６号公報及び実願平１−６７４２９号（実開平３−７２５５号）のマイクロフィルムには、鏡筒と同一のベースプレート上に、該鏡筒の周辺機器を載置することが記載されており、この点も周知技術である。
　すると、引用例に記載された発明においても、連結部材の他方側となる架台８３の下部を、鏡筒を支持するベースプレートに連結することは該周知技術から容易になし得ることである。そして、その際、支持部材を経て侵入するノイズ信号から遮蔽するために、絶縁部材を介して連結することは、例えば、特開平６−１８１０４４号公報に記載されているように周知技術であることから、当業者が通常なし得る設計事項にすぎない。
　
　相違点（ウ）について
　センサを用いて試料に対し精密作業する際、センサを試料に対して所望の位置に配置するために、センサ挿入孔の軸線方向に移動可能に支持された移動部材を設けることは、例えば、特開平５−１５１９２３号公報に記載されているように周知であり、引用例に記載された発明の移動部材に前記周知技術を適用してセンサ挿入孔の軸線方向に移動可能にすることは当業者が適宜なし得ることである。
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用例に記載された発明及び上記周知技術から当業者が予測できる範囲内のものである。
　
　したがって、本願発明は、引用例に記載された発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。