(57)【要約】【課題】半導体試験装置のネストにプリント基板の挿抜する作業中に隣接する他のプリント基板に接触することを防止できるようにする。【解決手段】ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、ガイドレールが開口部外部方向に伸びる機構を備えた半導体試験装置。ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、ガイドレールが開口部外部方向にスライドする機構を備えるようにしてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、
前記ガイドレールが前記開口部外部方向に伸びる機構を備えていることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、
前記ガイドレールが前記開口部外部方向にスライドする機構を備えていることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
プリント基板と、
開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えたネストとを備えた半導体試験装置であって、
前記プリント基板は、前記ガイドレールに案内される辺に、装着方向にスライドするスライドカバーを備えていることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項４】
ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、
前記開口部の一辺の前記ガイドレールに対応する位置に、噛み合わされたヒンジ回転部がプリント基板装着面で回転するためのヒンジ支点部を備えていることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項５】
ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備え、前記開口部の一辺の前記ガイドレールに対応する位置に、噛み合わされたヒンジ回転部がプリント基板装着面で回転するためのヒンジ支点部が形成された半導体試験装置に装着するプリント基板に用いる実装補助部材であって、
前記プリント基板の前記ガイドレールに案内される辺に取り付け可能であり、一端に前記ヒンジ支点部に噛み合わせられる半円状のヒンジ回転部を備えていることを特徴とする実装補助部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置に関し、特に、プリント基板を実装するネストにおいて、プリント基板の挿抜を行なう際に用いる基板挿抜補助機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの試験を行なう半導体試験装置では、テストヘッドやメインフレーム内にバックプレーンと呼ばれる板状部材が固定され、プリント基板のコネクタを、バックプレーン上に設けられたコネクタに差し込むことで、プリント基板が装着される。
【０００３】
図１４は、半導体試験装置のプリント基板挿抜機構の一例を示す構成図である。本図に示すように、テストヘッド１００には、複数のプリント基板１２０を挿抜可能に収納するように開口された角筒状のネスト１３０が設けられている。
【０００４】
図１５は、ネスト１３０の断面を示す図である。図１４、図１５に示すように、ネスト１３０の奥開口にはバックプレーン１３１が設けられている。バックプレーン１３１は、複数のコネクタ１３４を備えており、プリント基板１２０の一端に長手方向に沿って設けられているコネクタ１２１と接続される。プリント基板１２０の他端には、長手方向に沿ってホルダ１２２が設けられている。ネスト１３０の内部両面（図１４、図１５における上下面）には、挿抜されるプリント基板１２０の両側辺を案内するガイドレール１３２が対向するように設けられている。
【０００５】
プリント基板１２０の実装にあたっては、プリント基板１２０の上下辺をネスト１３０のガイドレール１３２に嵌め合わせ、バックプレーン１３１方向に押し込んでいく。また、プリント基板１２０の非実装にあたっては、ネスト１３０の正面から対象とするプリント基板１２０を引き抜いていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５４７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
プリント基板１２０のネスト１３０に対する挿抜作業は人的作業である。半導体試験装置に用いられるプリント基板１２０はある程度の大きさと重さがあり、相応の力を要することになる。
【０００８】
近年、半導体試験装置は多機能化され、実装されるプリント基板１２０の数が増加しており、これに伴い、隣接するプリント基板１２０との距離が狭くなっている。
【０００９】
このため、ネスト１３０の配置状態等によっては挿抜作業が困難となり、図１６に示すように挿抜作業中にプリント基板１２０がぶれて、隣接する他のプリント基板１２０に接触してしまうおそれがある。
【００１０】
そこで、本発明は、プリント基板の挿抜作業中に隣接する他のプリント基板に接触することを防止できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様である半導体試験装置は、ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、前記ガイドレールが前記開口部外部方向に伸びる機構を備えていることを特徴とする。
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様である半導体試験装置は、ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、前記ガイドレールが前記開口部外部方向にスライドする機構を備えていることを特徴とする。
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明の第３の態様である半導体試験装置は、プリント基板と、開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えたネストとを備えた半導体試験装置であって、前記プリント基板は、前記ガイドレールに案内される辺に、装着方向にスライドするスライドカバーを備えていることを特徴とする。
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明の第４の態様である半導体試験装置は、ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備えた半導体試験装置であって、前記開口部の一辺の前記ガイドレールに対応する位置に、噛み合わされたヒンジ回転部がプリント基板装着面で回転するためのヒンジ支点部を備えていることを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の第５の態様である実装補助部材は、ネスト開口部から開口部奥の装着位置までプリント基板を案内する複数のガイドレールを備え、前記開口部の一辺の前記ガイドレールに対応する位置に、噛み合わされたヒンジ回転部がプリント基板装着面で回転するためのヒンジ支点部が形成された半導体試験装置に装着するプリント基板に用いる実装補助部材であって、前記プリント基板の前記ガイドレールに案内される辺に取り付け可能であり、一端に前記ヒンジ支点部に噛み合わせられる半円状のヒンジ回転部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、プリント基板の挿抜作業中に隣接する他のプリント基板に接触することを防止できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施例に係るネストの構成を示す断面図である。
【図２】第１実施例におけるプリント基板の挿抜を説明する図である。
【図３】本発明の第２実施例に係るネストの構成を示す断面図である。
【図４】第２実施例におけるガイドレールのスライド機構について説明する図である。
【図５】本発明の第３実施例に係るプリント基板の構成を示す図である。
【図６】プリント基板を垂直方向に実装する場合を示す図である。
【図７】第４実施例に係るネストの構成を示す断面図である。
【図８】第４実施例に係るプリント基板に関連する構成を示す図である。
【図９】プリント基板に取り付けられた実装補助部材のヒンジ回転部をネストのヒンジ支点部に噛み合わせた様子を示す図である。
【図１０】プリント基板を、ヒンジ支点部を中心に回転させた様子を示す図である。
【図１１】ストッパを解除した様子を示す図である。
【図１２】プリント基板が実装補助部材とガイドレールに沿って移動する様子を示す図である。
【図１３】プリント基板がネストに実装された状態を示す図である。
【図１４】半導体試験装置のプリント基板挿抜機構の一例を示す構成図である。
【図１５】ネストの断面を示す図である。
【図１６】プリント基板の挿抜時にプリント基板が左右にぶれる様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施例）
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施例に係るネスト３０の構成を示す断面図である。本図に示すように、ネスト３０は、複数のコネクタ３４を備えたバックプレーン３１とプリント基板の両側辺を案内するガイドレール３３とを備えている。
【００１９】
第１実施例におけるガイドレール３３は、挿抜方向への伸縮機能を備えている。伸縮機能は、例えば、補助レール３３ａを設けて、補助レール３３ａがガイドレール３３に沿ってスライドする構造によって実現することができる。もちろん、他の構造によって実現するようにしてもよい。補助レール３３ａは、例えば、ガイドレール３３の長さの半分程度まで伸ばすことができるものとする。補助レール３３ａは、着脱可能な構成としてもよい。
【００２０】
プリント基板を装着する場合には、図２（ａ）に示すように、補助レール３３ａを最大限に伸ばした状態にして、プリント基板２０を補助レール３３ａに嵌め込む。このとき、ある程度の力で押しても容易には補助レール３３ａが縮まないようなロック機構を備えることが望ましい。これにより、プリント基板２０を嵌め込む際に、補助レール３３ａが動いてしまうことを防ぐことができる。ロック機構は、係止ピンを用いたり、突起を設けたり、摩擦を利用する等で実現することができる。
【００２１】
そして、プリント基板２０が補助レール３３ａに嵌っている状態で、必要に応じてロック状態を解除してプリント基板２０を押し込んでいく。このとき、ネスト３０の開口部近傍においてプリント基板２０は補助レール３３ａに案内されるため、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。図２（ｂ）は、プリント基板２０が装着された状態を示している。補助レール３３ａは、ガイドレール３３に収まっているため、プリント基板２０の装着状態におけるネスト３０の体積は従来と同様とすることができる。
【００２２】
プリント基板２０を外す場合には、プリント基板２０に合わせて補助レール３３ａも引き出される。このとき、プリント基板２０のみが引き出されないように、プリント基板２０と補助レール３３ａとを固定する係止ピンのようなストッパ機構を備えることが望ましい。
【００２３】
プリント基板２０に合わせて補助レール３３ａも引き出されるため、プリント基板２０が左右にぶれることはなく、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。そして、補助レール３３ａが伸びきると、必要に応じてストッパ機構を解除することにより、プリント基板２０だけが引き出されることになる。このときにプリント基板２０が左右にぶれても隣接する他のプリント基板２０と接触することはない。プリント基板２０の引き出しを完了すると、補助レール３３ａを縮ませることで、ネスト３０の体積を従来と同様とすることができる。
（第２実施例）
【００２４】
図３は、本発明の第２実施例に係るネスト３０の構成を示す断面図である。本図に示すように、ネスト３０は、複数のコネクタ３４を備えたバックプレーン３１とプリント基板の両側辺を案内するガイドレール３５とを備えている。
【００２５】
第２実施例におけるガイドレール３５は、挿抜方向へのスライド機能を備えている。スライド機能は、例えば、図４（ｂ）に示すように、ネストのガイドレール配置面３０ｂにスライド方向を規制するガイド用孔３０ｃを形成し、図４（ａ）に示すように、ガイドレール３５に取り付けられたピン３５ａが、ガイド用孔３０ｃに沿って移動することによって実現することができる。ガイド用孔３０ｃには、ガイドレール３５を最大限に引き出したときに、ある程度の力で押しても容易には移動しないようなロック機構３０ｄを備えることが望ましい。もちろん、スライド機能は他の構造で実現してもよい。
【００２６】
第２実施例においてプリント基板２０を装着する場合は、ガイドレール３５を最大限に引き出した状態にして、プリント基板２０をガイドレール３５に嵌め込む。そして、プリント基板２０がガイドレール３５に嵌っている状態でプリント基板２０を押し込んでいく。このとき、ネスト３０の開口部近傍においてプリント基板２０はガイドレール３５に案内されるため、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。第２実施例においても、プリント基板２０の装着状態におけるネスト３０の体積は従来と同様とすることができる。
【００２７】
プリント基板２０を外す場合には、プリント基板２０に合わせてガイドレール３５も引き出される。このとき、プリント基板２０のみが引き出されないように、プリント基板２０とガイドレール３５とを固定する係止ピンのようなストッパ機構を備えることが望ましい。
【００２８】
プリント基板２０に合わせてガイドレール３５も引き出されため、プリント基板２０が左右にぶれることはなく、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。そして、ガイドレール３５が最大限に引き出された後は、必要に応じてストッパ機構を解除することにより、プリント基板２０だけが引き出されることになる。このときにプリント基板２０が左右にぶれても隣接する他のプリント基板２０と接触することはない。プリント基板２０の引き出しを完了すると、ガイドレール３５を中にスライドさせることで、ネスト３０の体積を従来と同様とすることができる。
（第３実施例）
【００２９】
図５は、本発明の第３実施例に係るプリント基板２０の構成を示す図である。第３実施例では、ネスト３０は、従来のネスト１３０と同様とすることができる。本図に示すように、プリント基板２０は、ガイドレール３３に嵌め込む辺に、挿抜方向にスライドするスライドカバー２１が設けられている。スライドカバー２１には、例えば、スライド方向を規制するガイド用孔２３が形成されており、プリント基板２０に取り付けられたピン２２に沿ってスライドするようになっている。ガイド用孔２３には、スライドカバー２１を最大限に引き出したときに、ある程度の力で押しても容易には移動しないようなロック機構２３ａを備えることが望ましい。もちろん、スライドカバー２１は他の構造で構成してもよい。
【００３０】
第３実施例においてプリント基板２０を装着する場合は、スライドカバー２１を最大限に引き出した状態にして、スライドカバー２１をガイドレール３３に嵌め込む。そして、スライドカバー２１がガイドレール３３に嵌っている状態でプリント基板２０を押し込んでいく。このとき、ネスト３０の開口部近傍においてプリント基板２０は、引き出されたスライドカバー２１がガイドレール３３に案内されるため、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。そして、スライドカバー２１の先端がバックプレーン３１に到達すると、プリント基板２０のみが押し込まれ、コネクタ同士が接続される。
【００３１】
プリント基板２０を外す場合には、プリント基板２０の引き出しに合わせてスライドカバー２１が引き出される。このとき、スライドカバー２１がプリント基板２０と一緒に引き出されないように、スライドカバー２１とガイドレール３３とを固定する係止ピンのようなストッパ機構を備えることが望ましい。
【００３２】
その後、必要に応じてストッパ機構を解除することにより、スライドカバー２１が引き出された状態でプリント基板２０が引き出される。引き出されたスライドカバー２１がガイドレール３３に案内されるため、プリント基板２０が左右にぶれることはなく、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。
（第４実施例）
【００３３】
本発明の第４実施例は、図６に示すように、プリント基板２０を垂直方向にネスト３０に実装する場合に好適な実施例である。
【００３４】
図７は、第４実施例に係るネスト３０の構成を示す断面図である。本図に示すように、ネスト３０の開口部のガイドレール３３近傍にヒンジ支点部３６を形成する。ヒンジ支点部３６は、一方のガイドレール３３近傍に形成すればよい。
【００３５】
図８は、第４実施例に係るプリント基板２０に関連する構成を示す図である。本図に示すようにプリント基板２０のホルダ２８の両端部は、９０度回転可能なようになっており、ストッパ２４として機能するようになっている。なお、ストッパ２４を備えたホルダ２８自身を着脱可能な構成としてもよい。
【００３６】
また、プリント基板２０のガイドレール３３に嵌る辺には、第１実装補助部材４１と、第２実装補助部材４２が取り付けられるようになっている。第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２は、プリント基板２０に対してスライドできるような形状であり、第１実装補助部材４１の一端には、ネスト３０のヒンジ支点部３６に噛み合わせられる半円状のヒンジ回転部４１ａが形成されている。
【００３７】
第４実施例においてプリント基板２０を装着する場合は、図９に示すように、ストッパ２４を伸ばした状態でプリント基板２０に第１実装補助部材４１、第１実装補助部材４２を取り付け、ヒンジ回転部４１ａをネスト３０のヒンジ支点部３６に噛み合わせる。このとき、プリント基板２０は、装着方向に対して９０度傾いていることになる。
【００３８】
そして、図１０に示すように、ヒンジ支点部３６を中心にプリント基板２０を９０度回転させる。このとき、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２とガイドレール３３とが噛み合って段差を生じさせず、プリント基板２０をスムーズにスライドできるように、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２、ガイドレール３３とを形成しておく。
【００３９】
この状態から、図１１に示すようにストッパ２４を折り曲げて、ストップ状態を解除すると、プリント基板２０がガイドレール３３に沿ってネスト３０の内部に入り込んでいく。このとき、図１２に示すように、プリント基板２０は、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２、ガイドレール３３により案内されるため、左右にぶれることはなく、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。
【００４０】
そして、プリント基板２０とネスト３０のコネクタ同士が接続されると、図１３に示すように、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２を取り外すことで、ネスト３０の体積を従来のネスト１３０と同様とすることができる。ストッパ２４は、伸ばした状態、折り曲げた状態のいずれであってもよい。また、ホルダ２８自身を取りはずようにしてもよい。
【００４１】
第４実施例においてプリント基板２０を外す場合は、図１３の状態から、ストッパ２４を折り曲げて、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２をガイドレール３３に噛み合わせる。そして、ホルダ２８を引き上げることで、プリント基板２０を持ち上げていく。このとき、プリント基板２０は、第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２、ガイドレール３３により案内されるため、左右にぶれることはなく、隣接する他のプリント基板２０との接触を防ぐことができる。
【００４２】
プリント基板２０が、図１１に示す状態まで引き上げられると、図１０に示すように、ストッパ２４を伸ばして、図９に示す状態までヒンジ支点部３６を中心にプリント基板２０を回転させてプリント基板２０をネスト３０から取り外す。そして、プリント基板２０から第１実装補助部材４１、第２実装補助部材４２を取り外すことで第４実施例におけるプリント基板２０の取り外し作業が完了する。
【符号の説明】
【００４３】
２０…プリント基板、２１…スライドカバー、２２…ピン、２３…ガイド用孔、２３ａ…ロック機構、２４…ストッパ、２８…ホルダ、３０…ネスト、３０ｂ…ガイドレール配置面、３０ｃ…ガイド用孔、３０ｄ…ロック機構、３１…バックプレーン、３３…ガイドレール、３３ａ…補助レール、３４…コネクタ、３５…ガイドレール、３５ａ…ピン、３６…ヒンジ支点部、４１…第１実装補助部材、４１ａ…ヒンジ回転部、４２…第２実装補助部材、１００…テストヘッド、１２０…プリント基板、１２１…コネクタ、１２２…ホルダ、１３０…ネスト、１３１…バックプレーン、１３２…ガイドレール、１３４…コネクタ
【図１】
2012227212.tif 000003
【図２】
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【図３】
2012227212.tif 000005
【図４】
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【図５】
2012227212.tif 000007
【図６】
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【図７】
2012227212.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2012227212.tif 000017
【図１６】
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