【事件の表示】
　平成１０年特許願第３０２９９４号「マイクロ波プラズマ発生装置及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　５月１２日出願公開、特開２０００−１３３４９４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯 
　本願は、平成１０年１０月２３日の出願であって、平成１６年１０月１日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成１６年１１月１１日に審判請求がなされるとともに、同年１２月１３日付けで手続補正がなされ、その後、当審からの前置審尋に対して平成１８年４月１３日付けで回答書が提出されたものである。
　
２．平成１６年１２月１３日付け手続補正についての補正却下の決定
[補正却下の決定の結論]
　平成１６年１２月１３日付け手続補正を却下する。
[理由]
（１）補正後の本願発明
　平成１６年１２月１３日付け手続補正（以下「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１及び４は、
「【請求項１】外管と内管とを備えた２重管構造の放電管と、該放電管が設けられた同軸型マイクロ波キャビティーとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、前記外管と内管との隙間部の断面積が一定であり、有機ハロゲン化合物および水蒸気が、前記外管と内管との間にのみ供給され、かつ、内管内に供給されず、前記外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。」
「【請求項４】　請求項１から３のいずれかに記載のマイクロ波プラズマ発生装置において、前記内管の内部には、着火電極を有し、マイクロ波放電の着火時のみ駆動させ、キャビティー側から導入するマイクロ波電界によるプラズマ生成を補助することを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。」とそれぞれ補正された。
　そして、請求項１に係る発明については、補正前の発明特定事項に「前記外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないこと」という限定が付加された。
　また、請求項４に係る発明については、補正前の「前記内管には、マイクロ波放電を発生させる着火電極が設けられていること」が「前記内管の内部には、着火電極を有し、マイクロ波放電の着火時のみ駆動させ、キャビティー側から導入するマイクロ波電界によるプラズマ生成を補助すること」と限定された。
　したがって、この補正は、特許請求の範囲を減縮する目的するものに該当する。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１、４に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する特許法第１２６条第５項の規定に適合するか）について検討する。
　
（２）独立特許要件違反その１（進歩性なし）
ア．補正後の本願発明
　請求項１に係る発明は、本件補正後の明細書及び図面の記載からみて、請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである（以下「本願補正発明」という。）。
　
イ．引用刊行物に記載された発明
　本願の出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された特開平３−９５８９９号公報（以下「引用刊行物」という。）には、「マイクロ波プラズマ発生装置」の発明に関して、以下の事項が記載されている。
＜記載事項１＞
「９．請求項１乃至８のいずれかにおいて、前記放電管を同軸二重管構造とし、その内管に試料を、外管にプラズマガスを導入したことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。」（第２ページ左上欄第１４〜１７行）
＜記載事項２＞
「〔実施例〕
以下、図面により本発明の実施例を説明する。
第１図は本発明の一実施例のマイクロ波プラズマ発生装置の平面図とそのＸ−Ｘ線断面図である。第１図において、１０は銅などの導電体から成る偏平導波管で、ａはその短辺の寸法、ｂは長辺の寸法、Ｃは長さ方向の寸法を示し，具体的な数値例を挙げると、使用マイクロ波周波数が２．４５ＧＨｚのとき、ａ，ｂ，ｃはそれぞれ8.4ｍｍ，109.2ｍｍ，　87ｍｍである。マイクロ波電力はこの偏平導波管１０の開口端から導入され、この開口端と向き合う終端側は短絡端となっている。」（第３ページ右下欄第１３行〜第４ページ左上欄第４行）
＜記載事項３＞
「この短絡端より管内寸法にしてマイクロ波の１／４波長だけ離れた位置を中心軸とする円筒状同軸導波管が、その中心軸が電界方向を向くように、偏平導波管１０に結合される。すなわち、銅などから成るドアノブ状などの内導体２０と、同じく銅などから成る外導体５０とで円筒状同軸導波管を構或し、その中心軸が、偏平導波管１０の短絡端より１／４波長離れた（図示ｄ距離）位置にあって電界方向を向くように、配置される。」（第４ページ左上欄第５〜１３行）
＜記載事項４＞
「配置構成を詳述すると、内導体２０は、内径側に円筒状の空胴部２１を有し、下端は偏平導波管１０の底面壁にあけた孔部において偏平導波管１０と結合し上端は開口状態のままとし、外導体５０は、その下端は上記底面壁と対向する上記偏平導波管１０の上面壁にあけた孔部において偏平導波管１０と結合し、上端は、内導体２０の上端より距離ｌだけ上方位置にあって、銅などから成るエンドプレート６０によって短絡する。内導体２０及び外導体５０の偏平導波管１０への結合構造を上記のようにしたことにより、この内導体２０と外導体５０で構成される円筒状同軸導波管は、偏平導波管１０に導入されるマイクロ波のモード変換器として機能する。」（第４ページ左上欄第１３〜同右上欄第７行）
＜記載事項５＞
「そして、石英あるいはセラミックスなどの絶縁性の放電管８０が、同軸導波管と同心状に、後端部は内導体２０の下端から下方に突出し、先端部は内導体２０の開口端を経て、外導体５０のエンドプレート６０にあけた貫通孔〔第２図（ａ），（ｂ）に６２として示す〕を通って上方に突出するように配置される。」（第４ページ右上欄第７〜１３行）
＜記載事項６＞
「ここで、エンドプレート６０は、上記放電管貫通孔６２の周辺部６１の厚さを、貫通孔６２と同心状に、その外側の厚さより薄くしてある。３０はマイクロ波リーク調整系で、円筒状空胴を備えており，放電管８０の後端部を包囲するように内導体２０の下端面の下方に取り付けられる。４０は銅などから成る冷却気体導入系で、放電管８０や内導体２０などを冷却するためのもので、マイクロ波リーク調整系３０の下方に設けられ、冷却剤（空気など）が放電管８０の表面に沿ってラセン状に輸送されるよう、導入パイプ４ｌを介して円周接線方向に冷却剤を導入し、この導入された冷却剤を内導体２０の内径部を経て外導体５０の円筒状空胴部に送り込み、外導体５０の外周壁にあけた複数個（例えば円周をｌ６等分する位置の１６個所）の放出口７０から外部に放出させる。」（第４ページ右上欄第１３行〜同左下欄第９行）
＜記載事項７＞
「なお、第１図実施例は、元素分析用のプラズマ発生装置を例に採っているので、放電管８０を二重管構造とし、内管８１に分析試料を，外管部にプラズマガス（Ｈｅ，Ｎ２，Ａｒなど）を導入する構成としてある。」（第４ページ左下欄第９〜１３行）
＜記載事項８＞
「放電管中に生成したプラズマは安定に軸方向に拡散され、高感度の発光分析や質量分析などが可能となる。」（第４ページ右下欄第１８〜２０行）
＜記載事項９＞
「第４図は本発明において用いる放電管８０の具体的な形状の３例を示す断面図である。（中略）（ｃ）は微量元素分析に用いる一例を示すもので、放電管（外管）８０の後端部の内径中心部に、石英あるいはセラミックスからなる放電管（内管）８２を配置して二重管構造としたものである。８３はこれらの外管８０、内管８２を固定状に支持する放電管支持具で、１１０は導入されるプラズマガスや試料が放電管外に流出するのを防止する“Ｏ”リングである。」（第５ページ右上欄第１７行〜同左下欄第１２行）
　
　第４図（ｃ）に図示された、放電管の内管及び外管は、いずれも直管であり、また、外管と内管との間にプラズマガスが供給され、内管に試料が供給されることを読み取ることができる。
　
　したがって、上記記載事項１乃至９及び第１、４図の記載に基づけば、引用刊行物には、「外管の内径中心部に内管を配置した二重管構造の放電管と、該放電管が配置された、マイクロ波のモード変換器として機能する円筒状同軸導波管とを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、上記外管及び外管の内径中心部に配置した上記内管は、いずれも直管であり、外管と内管との間にプラズマガスが供給され、内管に試料が供給されることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
ウ．対比
　本願補正発明と引用発明とを比較する。
　引用発明の「外管の内径中心部に内管を配置した」、「二重管構造」、「配置された」は、本願補正発明の「外管と内管とを備えた」、「２重管構造」、「設けられた」に、それぞれ相当する。
　また、引用発明の「円筒状同軸導波管」は、マイクロ波のキャビティーを有することは明らかであり、また、引用発明の「円筒状同軸導波管」における「円筒状同軸」は本願補正発明の「同軸」に相当するから、引用発明の「円筒状同軸導波管」は、本願補正発明の「同軸型マイクロ波キャビティー」に相当する。　　　
　したがって、両者は、
「外管と内管とを備えた２重管構造の放電管と、該放電管が設けられた同軸型マイクロ波キャビティーとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置。」の点で一致するが、以下の点で相違する。
[相違点１]
　本願補正発明は、外管と内管との隙間部の断面積が一定であるのに対して、引用発明は、その点の限定がなされていない点。
[相違点２]
　本願補正発明は、有機ハロゲン化合物および水蒸気が、外管と内管との間にのみ供給され、かつ、内管内に供給されないのに対して、引用発明は、外管と内管との間にプラズマガスが供給され、内管に試料が供給される点。
[相違点３]
　本願補正発明は、外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないのに対して、引用発明は、その点の限定がなされていない点。
　
エ．当審の判断
（ア）相違点１
　引用発明は、外管及び外管の内径中心部に配置した上記内管が、いずれも直管であるので、本願補正発明のように、外管と内管との隙間部の断面積が一定であることは明らかであり、相違点１は実質的な相違点ではない。
　
（イ）相違点２
ａ．本願補正発明は、マイクロ波プラズマ発生装置という物の発明である。
　しかしながら、本願補正発明のマイクロ波プラズマ発生装置において、内管内に有機ハロゲン化合物および水蒸気を供給しないために、内管に接続される有機ハロゲン化合物、水蒸気の供給配管等に弁機構を設けるとか、内管自体が、外部から有機ハロゲン化合物および水蒸気が供給されない構造を有する等の、物の発明の構成を限定する事項を本願補正発明は備えているとはいえず、また、同様に有機ハロゲン化合物および水蒸気を、外管と内管との間にのみ供給するために、物の発明の構成を限定する事項を本願補正発明は備えているとはいえない。
　したがって、本願補正発明において「有機ハロゲン化合物および水蒸気が、外管と内管との間にのみ供給され、かつ、内管内に供給されず」は、マイクロ波プラズマ発生装置という物の発明において、外管と内管とを備えた２重管構造の放電管に対して、有機ハロゲン化合物および水蒸気の供給方法を規定したに留まるものというべきである。
ｂ．引用発明は、放電管を構成する外管と内管との間にプラズマガスが供給され、かつ、相違点１で検討したように、本願補正発明と同様に、外管と内管との隙間部の断面積が一定であるので、引用発明の放電管は、本願補正発明のように、有機ハロゲン化合物および水蒸気が、外管と内管との間に供給可能な構造であるといえる。
　また、本願補正発明は、「有機ハロゲン化合物および水蒸気が」「内管内に供給されず」と規定されているが、上記供給がされないようにする具体的な手段が請求項１に記載されていないことに鑑み、本願補正発明がマクロ波プラズマ発生装置という物の発明であるという点を踏まえて上記規定を捉えると、放電管の内管内に有機ハロゲン化合物および水蒸気を内管内に供給されることの有無によって、本願補正発明と引用発明との、物の発明における実質的な差異が生じるとはいえない。
　してみれば、共にマクロ波プラズマ発生装置という物の発明である本願補正発明と引用発明とを比較した場合に、本願補正発明の「有機ハロゲン化合物および水蒸気が、外管と内管との間にのみ供給され、かつ、内管内に供給されず」との限定により実質的な相違が生じるとはいえない。
　
　したがって、上記ａ．及びｂ．の観点から検討した結果を総合すると、相違点２は実質的な相違点ではない。
　
ｃ．プラズマにより分解する物質をプラズマの外側（本願補正発明の「外管と内管と間」に対応する。）から供給し、上記物質をプラズマの中心（本願補正発明の「内管」に対応する。）には供給しないことは周知であり、（たとえば、特開平９−１６６５４７号公報（特に、図５）、原査定の備考欄で引用された特開平１０−２４９１６１号公報、特開平５−８４３２４号公報等参照。）、特に周知例として引用された特開平１０−２４９１６１号公報には、フロン（有機ハロゲン化合物）をプラズマにより分解する際、有機ハロゲン化合物および水蒸気を同一の供給孔から供給し、有機ハロゲン化合物および水蒸気は、プラズマの軸方向の中心には供給しない旨が示唆されている（段落【００４４】、図３）。
　したがって、仮に相違点２が実質的な相違点であるといえるとしても、上記ｃ．の観点から検討してみると、相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用刊行物１に記載された発明及び周知技術に基づいて容易に為しえたものである。
　
（ウ）相違点３
　引用刊行物には、マイクロ波プラズマ発生装置のマイクロ波プラズマを発生させるための電極が記載されていない。すなわち、本願補正発明との関係でいえば、引用刊行物には、放電管の外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極が記載されていないというべきである。
　したがって、相違点３は実質的な相違点ではない。
　
　そして、本願補正発明の効果は、引用刊行物の記載及び周知技術から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　以上のとおり、本願補正発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（３）独立特許要件違反その２（記載不備）
　本件補正で補正された請求項４の記載について検討する。
　請求項４は、請求項１を引用しているので、まず、請求項１の記載についてみると、請求項１には、「前記外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないこと」が記載されている。
　一方、請求項４には、「前記内管の内部には、着火電極を有し」と記載されている。
　そして、本願の図４の実施例を説明した本願明細書段落【００４０】〜【００４６】には、「内管４ｂ内部には、・・・プラズマを着火する着火電極１６が設けられている。」（【００４１】）と記載されており、このプラズマの「着火」はプラズマが発生するきっかけとなる現象、すなわちプラズマを発生するための現象であるということができる。また、上記記載中の「着火電極」は、請求項１に記載された「プラズマを発生するため」以外の目的で用いられると解することは困難であるので、結局、請求項４の「着火電極」が、プラズマを発生するためのものと解するほかない。
　そうすると、引用する請求項１の記載の記載内容まで含めてみると、要するに、請求項４には、請求項１で規定された内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないとされた電極を、有することが実質的に記載されているといえる。
　したがって、請求項４には、矛盾した記載を含む記載がなされていることは明らかである。
　
　よって、請求項４に係る発明が明確であるとはいえない。
　以上のとおり、本願の特許請求の範囲の請求項４の記載が不備であり、請求項４に係る発明が明確であるとはいえず、請求項４に係る発明は、特許法第３６条第６項第２号の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（４）まとめ
　以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１６年１２月１３日付け手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１５年１１月６日付けの手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。（以下「本願発明」という。）
「外管と内管とを備えた２重管構造の放電管と、該放電管が設けられた同軸型マイクロ波キャビティーとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、前記外管と内管との隙間部の断面積が一定であり、有機ハロゲン化合物および水蒸気が、前記外管と内管との間にのみ供給され、かつ、内管内に供給されないことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。」
　
４．引用刊行物に記載された発明
　原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物の記載事項は、前記「２．（２）イ．」に記載したとおりである。
　
５．対比・判断
　本願発明は、前記「２．（２）ア．」で認定した本願補正発明に対して、「前記外管内または内管内にマイクロ波プラズマを発生させるための電極を有しないこと」との限定が省かれたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに上記限定に係る他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「２．（２）エ．」に記載したとおり、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものである。　
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。