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　特願２０１３−２４７０２７「産業用ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年２月２３日出願公開、特開２０１５−３６１８４、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　主な手続の経緯
　本願は、平成２５年１１月２９日（パリ条約による優先権主張　２０１３年８月９日（ＵＳ）アメリカ合衆国）の出願であって、その主な手続の経緯は次のとおりである。
　平成２９年　７月２８日付け：拒絶理由通知書
　平成２９年　９月２７日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成２９年　９月２８日付け：拒絶理由（最後の拒絶理由）通知書
　平成２９年１１月１５日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成２９年１２月　８日付け：平成２９年１１月１５日提出の手続補正
　　　　　　　　　　　　　　　についての補正の却下の決定、
　　　　　　　　　　　　　　　拒絶査定
　平成３０年　３月１２日　　：審判請求書、手続補正書の提出
第２　平成２９年１２月８日付けの補正の却下の決定及び原査定の概要
１．平成２９年１２月８日付けの補正の却下の決定の概要は以下のとおりである。
　平成２９年１１月１５日付けの補正は、特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものであるが、当該補正後の本願請求項１に係る発明は、引用文献１ないし６に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明できたものであり、独立特許要件を満たさないから、平成２９年１１月１５日付けの補正は却下すべきものである。
引用文献等一覧
　１．特開２０１１−２２８６２７号公報
　２．国際公開第２００９／０６６５７３号
　３．特開２００１−３００８８３号公報
　４．特開２００１−００９７６５号公報
　５．特開平１１−１５６７７２号公報
　６．特開２０１３−１５７５６１号公報
２．原査定（平成２９年１２月８日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。
　本願請求項１ないし４に係る発明は、上記引用文献１ないし６に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
第３　本願発明
　本願請求項１ないし４に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１ないし４」という。）は、平成３０年３月１２日提出の手続補正書で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１は以下のとおりの発明である。
【請求項１】
　一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、
　ロボット本体と、前記ロボット本体の外部に配置され前記ロボット本体を昇降させる昇降機構とを備え、
　前記ロボット本体は、前記半導体ウエハが搭載されるハンドと、互いに相対回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記アームを昇降させるアーム昇降機構とを備え、
　複数の前記ＦＯＵＰの配列方向を第１方向とし、上下方向と前記第１方向とに直交する方向を第２方向とし、前記第２方向の一方を第３方向とし、前記第２方向の他方を第４方向とすると、
　上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記アームの基端側の回動中心は、前記本体部の中心よりも前記第３方向側に配置され、
　前記アームが縮んで複数の前記アーム部および前記ハンドが上下方向で重なっている前記産業用ロボットの待機状態において、前記アームの一部は、前記本体部よりも前記第４方向側に配置され、
　前記昇降機構は、前記本体部の、前記第１方向の両側の少なくともいずれか一方、および／または、前記本体部の、前記第４方向側に配置され、
　前記昇降機構は、上下方向へ前記ロボット本体を駆動するための駆動部と、上下方向へ前記ロボット本体を案内するための２本のガイドレールと、２本の前記ガイドレールのそれぞれに係合して上下方向へスライドするガイドブロックと、前記駆動部、前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックが収容される筺体と、前記ガイドブロックに固定される２個の連結部材と、前記連結部材に固定される固定部材とを備え、
　前記筺体は、前記ガイドブロックと前記本体部との間に配置される平板状の前面部を備え、
　２本の前記ガイドレールは、前記第１方向に間隔をあけた状態で配置され、
　２個の前記連結部材は、前記第１方向に間隔をあけた状態で配置され、
　前記前面部には、上下方向に細長いスリット状の２個の貫通孔が、前記連結部材の上下方向への移動が可能となるように、かつ、前記第１方向に間隔をあけた状態で形成され、
　２個の前記連結部材のそれぞれには、前記貫通孔を通過するように２個の前記貫通孔のそれぞれに配置される貫通孔通過部が形成され、
　２個の前記貫通孔通過部の先端面には、前記連結部材と別体で形成されるとともに前記第２方向を厚み方向とする平板状に形成され前記筐体の外部に配置される前記固定部材が固定され、
　前記固定部材には、前記筐体の外部に配置される前記ロボット本体の前記本体部が固定されていることを特徴とする産業用ロボット。
　また、本願発明２ないし４は、概略、本願発明１を減縮した発明である。
第４　引用文献１ないし６の記載事項
１．引用文献１
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、図面とともに次の記載アないしクがある。
ア　段落【００１４】
　基板処理システム１００は、図１および図２に示すように、基板１１０を搬送する基板搬送システム１０と、処理装置２０とを備えている。また、基板処理システム１００は、基板搬送システム１０により処理装置２０に基板１１０を搬送するとともに、処理装置２０により搬送された基板１１０に対して半導体デバイスの製造プロセスにおける処理を行うように構成されている。
イ　段落【００１５】
　基板搬送システム１０は、基板１１０を収容する基板収納装置１１と、基板収納装置１１および処理装置２０の間で基板１１０を搬送する基板搬送ロボット１２とを備えている。・・・
ウ　段落【００１６】
　基板収納装置１１は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）に対応している。・・・また、基板収納装置１１は、平面的に見て異なる位置に配置された４つのカセット１１ａ〜１１ｄを含んでいる。４つのカセット１１ａ〜１１ｄは、Ｙ方向に隣接するように配列されている。・・・
エ　段落【００１７】
　・・・基板搬送ロボット１２は、ベース部材１２１と、支持軸１２２と、第１アーム部１２３と、第２アーム部１２４と、ハンド部１２５と、基板搬送ロボット１２の各部を制御する制御部１２６とを備えている。・・・
オ　段落【００１８】
　支持軸１２２は、ベース部材１２１により支持されている。また、支持軸１２２は、ベース部材１２１の上面に対して垂直方向に延びるように形成されている。また、支持軸１２２の上端部には、第１アーム部１２３の一方端部が接続されている。第１アーム部１２３は、支持軸１２２を回動軸として水平面内で回動可能に構成されている。また、第１アーム部１２３の他方端部には、第２アーム部１２４の一方端部が接続されている。第２アーム部１２４は、第１アーム部１２３に接続された一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成されている。また、第２アーム部１２４の他方端部には、ハンド部１２５が接続されている。ハンド部１２５は、第２アーム部１２４との接続部を回動中心として水平面内で回動可能に構成されている。また、ハンド部１２５は、基板１１０を下方から支持可能に構成されている。・・・
カ　段落【００１９】
　また、基板搬送ロボット１２は、支持軸１２２を上下移動させることによって、第１アーム部１２３、第２アーム部１２４およびハンド部１２５を一体的に上下移動させることが可能に構成されている。これにより、基板搬送ロボット１２は、カセット１１ａ〜１１ｄ内の異なる高さ位置に配置された全ての載置位置に対して基板１１０の搬出入を行うことが可能である。
キ　段落【００２１】
　処理装置２０は、図１および図２に示すように、基板搬送ロボット１２および基板収納装置１１が配置される側（Ｘ２方向側）に背面壁２０１を有している。・・・
ク　段落【００２２】
　・・・基板搬送ロボット１２の最小旋回領域は、図４に示すように、ハンド部１２５により基板１１０を支持した状態で、かつ、第１アーム部１２３、第２アーム部１２４およびハンド部１２５が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、第１アーム部１２３を水平面内で回動する場合に旋回に必要な領域である。・・・
（２）上記記載及び図面から、引用文献１には次の技術的事項が記載されていると認められる。
ア　上下方向とＹ方向とに直交する方向がＸ方向であり、Ｘ方向の内、基板収納装置１１から処理装置２０に向かう方向がＸ１方向であり、処理装置２０から基板収納装置１１に向かう方向がＸ２方向である（特に図１を参照。）。
イ　基板搬送ロボット１２の第１アーム部１２３、第２アーム部１２４及びハンド部１２５が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、第１アーム部１２３及び第２アーム部１２４の一部は、基板搬送ロボット１２のベース部材１２１よりもＸ１方向側に配置されている（特に記載ク及び図４を参照。）。
ウ　基板搬送ロボット１２のベース部材１２１に対する第１アーム部１２３の回動中心Ｃ１は、ベース部材１２１の中心よりもＸ２方向側に配置されている（特に図２を参照。）。
（３）したがって、上記引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「Ｙ方向に隣接するように配列されている複数のカセット１１ａ〜１１ｄを含む基板収納装置１１と処理装置２０の間で基板１１０を搬送するとともに基板処理システム１００の一部を構成する基板搬送ロボット１２において、
　基板搬送ロボット１２は、基板１１０を支持可能に構成されているハンド部１２５と、支持軸１２２を回動軸として水平面内で回動可能に構成されている第１アーム部１２３と、第１アーム部１２３に接続された一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成され、他方端部にはハンド部１２５が接続されている第２アーム部１２４と、第１アーム部１２３の一方端部が回動可能に接続されている支持軸１２２とを備え、支持軸１２２を上下移動させることによって、第１アーム部１２３、第２アーム部１２４及びハンド部１２５を一体的に上下移動させることが可能に構成されており、
　４つのカセット１１ａ〜１１ｄの配列方向をＹ方向であり、上下方向とＹ方向とに直交する方向がＸ方向であり、Ｘ方向の内、基板収納装置１１から処理装置２０に向かう方向がＸ１方向であり、処理装置２０から基板収納装置１１に向かう方向がＸ２方向であり、
　基板搬送ロボット１２のベース部材１２１に対する第１アーム部１２３の回動中心Ｃ１は、ベース部材１２１の中心よりもＸ２方向側に配置され、
　第１アーム部１２３、第２アーム部１２４及びハンド部１２５が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、第１アーム部１２３及び第２アーム部１２４の一部は、基板搬送ロボット１２のベース部材１２１よりもＸ１方向側に配置されている、基板搬送ロボット１２。」
２．引用文献２について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２には、図面とともに次の記載アないしケがある。
ア　段落［０００３］
　筐体内における搬送ロボット８に必要な動作範囲については、平面動作範囲と上下動作範囲、の２つを満たすことが求められる。平面動作範囲は、図１（ａ）のように上から見たときのアーム動作によるハンド１０のアクセス可能範囲である。また、上下動作範囲は、昇降機構により上下したときのハンド１０のアクセス可能範囲である。
イ　段落［０００４］
　上下動作範囲については、これを必要かつ十分に確保する場合、図１（ｂ）のように、胴体１４内に収容されている図示しない昇降機構によってアーム１１を昇降させて上下動作範囲を確保している。・・・
　ここで昇降機構２０の可動範囲を上方に延ばすため、単にボールネジシャフト２３を上方に延長すると、第１アーム１２の最下部が天板１５に接触するため、上記Ｌ３の高さまでハンド１０が下降できなくなる。
　つまり昨今の搬送ロボット８はＬ３の高さにアクセス可能な状態を保ちつつ、Ｌ４よりも高い位置にアクセス可能であれば、筐体のレイアウトを自由にできるため、昇降機構２０の上昇ストロークができる限り大きく、かつＬ３高さにハンド１０が到達できるような上下動作範囲を有することが求められている。
ウ　段落［００１４］
　図４は本発明の搬送ロボット８を示す斜視図である。搬送ロボット８は、垂直面に平面を有する板状のプレート２８と、プレート２８の側面に位置する移動ユニット４８と、ユニットに回転自在に取り付けられたアーム１１と、アーム１１の先端に回転自在に取り付けられたハンド１０と、から概ね構成されている。
エ　段落［００１５］
　胴体１４は、昇降機構２０を備えたプレート２８と、アーム駆動ユニット１８と上下ユニット１９とで構成される移動ユニット４８と、から概ね構成されている。・・・上下ユニット１９とアーム駆動ユニット１８はプレート２８の垂直面に対して上下にスライド昇降が可能に支持されている。
オ　段落［００１７］
　・・・まず、昇降機構について説明する。図５は本発明の搬送ロボット８の胴体１４及び昇降機構２０を説明するための簡単な模式図である。（ａ）が側面図、（ｂ）が正面図である。本発明の搬送ロボット８では、従来の搬送ロボットのように胴体の内部に昇降機構が収容されている構成とは異なり、以下のように、平面視において昇降機構２０を有するプレート２８とシフトした位置にある移動ユニット４８（上下ユニット１９及びアーム駆動ユニット１８）がアーム及びハンド１０を搭載して昇降する。
（２）上記記載及び図面から、引用文献２には次の技術的事項が記載されていると認められる。
「垂直面に平面を有する板状のプレート２８と、プレート２８の側面に位置し、アーム駆動ユニット１８と上下ユニット１９とで構成される移動ユニット４８と、ユニットに回転自在に取り付けられたアーム１１と、アーム１１の先端に回転自在に取り付けられたハンド１０と、から構成されている搬送ロボット８において、
　搬送ロボット８の胴体１４は、昇降機構２０を備えたプレート２８と、移動ユニット４８と、から構成されており、
　搬送ロボット８の胴体１４の内部にはアーム１１を昇降させる機構が収容されておらず、
　昇降機構２０を有するプレート２８とシフトした位置にある移動ユニット４８が、アーム１１及びハンド１０を搭載して上下にスライド昇降可能に支持されている、技術的事項。」
３．引用文献３ないし５について
　原査定の拒絶の理由に周知技術を示す文献として引用された、引用文献３（要約を参照。）、引用文献４（要約を参照。）及び引用文献５（段落【０００９】を参照。）によれば、本願の優先日前には、半導体ウエハ処理用ロボットの技術分野において、テレスコピック式の多段階の昇降機構を設けることは、周知技術であったと認められる。
４．引用文献６について
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用文献６の段落【００１１】ないし段落【００４０】並びに図１及び図２の記載からみて、当該引用文献６には次の技術的事項が記載されていると認められる。
「複数の収納容器（ＦＯＵＰ）２と処理室３の間でウェハ４を搬送するとともに搬送室（ＥＦＥＭ）１の一部を構成する搬送ロボット１０において、
　搬送ロボットにおいて、ハンド２３と、第１アーム部２１及び第２アーム部２２から構成されるアーム部２０と、第１アーム部２１の基端側が回動可能に連結されるアーム駆動部１２と、アーム駆動部１２及びアーム部２０を昇降させる昇降機構とを備える、技術的事項。」
第５　対比・判断
１．本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比する。
　引用発明の「複数のカセット１１ａ〜１１ｄ」は本願発明１の「複数のＦＯＵＰ」に相当する。
　以下同様に、引用発明の「処理装置２０」は本願発明１の「半導体ウエハ処理装置」に、引用発明の「基板１１０」は本願発明１の「半導体ウエハ」に、引用発明の「基板処理システム１００」は本願発明１の「ＥＦＥＭ」に、引用発明の「基板搬送ロボット１２」は本願発明１の「産業用ロボット」及び「ロボット本体」に、引用発明の「ハンド部１２５」は本願発明１の「ハンド」に、引用発明の「第１アーム部１２３」及び「第２アーム部１２４」は本願発明１の「複数のアーム部」に、引用発明の「ベース部材１２１」及び「支持軸１２２」は本願発明１の「本体部」に、それぞれ相当する。
　また、引用発明の「Ｙ方向」は本願発明１の「第１方向」に、引用発明の「Ｘ方向」は本願発明１の「第２方向」に、引用発明の「Ｘ１方向」は本願発明１の「第４方向」に、引用発明の「Ｘ２方向」は本願発明１の「第３方向」に、それぞれ対応する。
　また、引用発明の「支持軸１２２を上下移動させることによって、第１アーム部１２３、第２アーム部１２４及びハンド部１２５を一体的に上下移動させることが可能に構成されて」いる事項は、本願発明１の「前記アームを昇降させるアーム昇降機構」に対応する。
　また、引用発明の「基板搬送ロボット１２のベース部材１２１に対する第１アーム部１２３の回動中心Ｃ１は、ベース部材１２１の中心よりもＸ２方向側に配置され」ている事項は、本願発明１の「上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記アームの基端側の回動中心は、前記本体部の中心よりも前記第３方向側に配置され」ている事項に対応する。
　また、引用発明の「第１アーム部１２３、第２アーム部１２４及びハンド部１２５が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、第１アーム部１２３及び第２アーム部１２４の一部は、基板搬送ロボット１２のベース部材１２１よりもＸ１方向側に配置されている」事項は、本願発明１の「前記アームが縮んで複数の前記アーム部および前記ハンドが上下方向で重なっている前記産業用ロボットの待機状態において、前記アームの一部は、前記本体部よりも前記第４方向側に配置され」ている事項に対応する。
（２）一致点及び相違点
　そうすると、本願発明１と引用発明とは、以下の一致点において一致する。
【一致点】
　一定方向に配列される複数のＦＯＵＰと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにＥＦＥＭの一部を構成する産業用ロボットにおいて、
　前記ロボット本体は、前記半導体ウエハが搭載されるハンドと、互いに相対回動可能に連結される複数のアーム部によって構成され前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記アームを昇降させるアーム昇降機構とを備え、
　複数の前記ＦＯＵＰの配列方向を第１方向とし、上下方向と前記第１方向とに直交する方向を第２方向とし、前記第２方向の一方を第３方向とし、前記第２方向の他方を第４方向とすると、
　上下方向から見たときに、前記本体部に対する前記アームの基端側の回動中心は、前記本体部の中心よりも前記第３方向側に配置され、
　前記アームが縮んで複数の前記アーム部および前記ハンドが上下方向で重なっている前記産業用ロボットの待機状態において、前記アームの一部は、前記本体部よりも前記第４方向側に配置されている、産業用ロボット。
　また、本願発明１と引用発明とは、以下の相違点において互いに相違する。
【相違点】
　本願発明１は「前記ロボット本体の外部に配置され前記ロボット本体を昇降させる昇降機構」を備えるのに対し、引用発明は、基板搬送ロボット１２それ自体を昇降させる昇降機構を備えない点。
（３）判断
　上記相違点について検討する。
　記載カによれば、引用発明の基板搬送ロボット１２は、支持軸１２２の上下移動により異なる高さ位置に位置合わせを行うものであり、引用文献１には、基板搬送ロボット１２の外部に基板搬送ロボット１２自体を昇降させる機構を設けることは、記載も示唆もされていない。
　これに対して、引用文献２には、昇降機構２０により、アーム駆動ユニット１８と上下ユニット１９とで構成される移動ユニット４８を上下方向に昇降させる技術的事項が記載されているが、引用文献２に記載された技術的事項は、搬送ロボット８の内部にアーム昇降機構を設ける構成に換えて、上記昇降機構２０を採用したものである。
　よって、仮に引用発明に対して、引用文献２に記載された技術的事項を適用することが可能であったとしても、その場合は、引用発明の、支持軸１２２を上下移動させる構成に換えて、基板搬送ロボット１２の外部に基板搬送ロボット１２自体を昇降させる機構を設けると考えることが自然であり、ロボット本体を昇降させる昇降機構及びアームを昇降させるアーム昇降機構を共に備える、本願発明１とは異なるものとなる。
　また、上記のとおり、引用文献２に記載された技術的事項は、搬送ロボット８の内部にアーム昇降機構を設ける構成に換えて、上記昇降機構２０を採用したものであるから、仮に引用発明に対して、引用文献２に記載された技術的事項を適用した場合に、アームを昇降させるアーム昇降機構を残置させた上で、ロボット本体を昇降させる昇降機構を新たに設ける構成とすることは、引用文献２の技術的な思想に反するものであり、阻害要因があるともいえる。
　また、引用文献３ないし５にも記載されているとおり、本願の優先日前には、半導体ウエハ処理用ロボットの技術分野において、テレスコピック式の多段階の昇降機構を設けることは、周知技術であったと認められるが、引用発明に対して当該周知技術を適用したとしても、支持軸１２２の上下移動をテレスコピック式の多段階で行うものとなるに過ぎず、基板搬送ロボット１２の外部に基板搬送ロボット１２自体を昇降させる機構を付加的に設ける構成には想到し得ないので、やはり、本願発明１とは異なるものとなる。
　また、引用文献６は、本願の優先日後であって本願の出願前に頒布された刊行物であるが、そもそも、引用発明と同様に、アーム駆動部１２及びアーム部２０を昇降させる昇降機構は記載されているものの、搬送ロボット１０の外部に基板搬送ロボット１２自体を昇降させる機構を設けることは、記載も示唆もされていないから、引用文献２ないし５に加えて、引用文献６に記載された技術的事項をも併せて考慮したとしても、本願の優先権主張が有効であるか否かについて検討するまでもなく、上記相違点が、当業者が容易に想到し得たものであるとは認められない。
　そして、本願発明１は、ロボットを昇降させる昇降機構及びアームを昇降させるアーム昇降機構を共に備える構成とした上で、ロボットを昇降させる昇降機構をロボット本体部の第１方向の両側の少なくともいずれか一方、および／または、第４方向側に配置することにより、ロボット本体を昇降させる昇降機構をロボット本体の外部に配置した場合においても、ＥＦＥＭの小型化が可能となる、という顕著な効果を奏するものであるので、本願発明１は、引用発明及び引用文献２ないし６に記載された技術的事項の寄せ集めであるということもできない。
　したがって、本願発明１は、当業者であっても引用発明及び引用文献２ないし６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２．本願発明２ないし４について
　本願発明２ないし４も、本願発明１と同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２ないし６に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
第６　原査定について
　本願発明１ないし４は「前記ロボット本体の外部に配置され前記ロボット本体を昇降させる昇降機構」及び「前記アームを昇降させるアーム昇降機構」という発明特定事項を有するので、当業者であっても、拒絶査定において引用された引用文献１ないし６に基づいて、容易に発明できたものとはいえないことは、上記「第５　対比・判断」の「１．（３）判断」において指摘してたとおりである。したがって、原査定の理由を維持することはできない。
第７　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。