【手続補正書】
【提出日】平成22年6月18日(2010.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス周波数を有する光パルスの形態で光を放出する光源と、
ある一定の振動周波数で光学要素の振動を励起するための装置に接続された少なくとも１つの光学要素と、
を含み、
前記光学要素の前記振動は、光学結像に関連する該光学要素の少なくとも１つのパラメータの時間周期的な変調をもたらし、
前記振動周波数は、前記光学要素の前記振動励起のための前記装置を用いて、それが前記光源の前記パルス周波数と同期するように設定することができ、
前記光パルスの前記パルス周波数のためのクロック発生器が設けられ、少なくとも１つの周波数逓倍器が、該クロック発生器に接続され、該少なくとも１つの周波数逓倍器の出力が、振動を発生させるための前記装置に接続されている、
ことを特徴とする光学装置であって、
複数の周波数逓倍器及び／又は移相器要素が、前記クロック発生器に接続され、これらの出力が、加算要素に接続され、その出力が、前記振動励起のための前記装置に接続されることを特徴とする前記光学装置。
【請求項２】
前記振動励起のための前記装置、及び前記光学要素は、該光学要素の横方向及び／又は縦方向の振動を励起するように設計されることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記光学要素は、結晶固体、アモルファス固体、液体、又は気体を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記光学要素は、複屈折材料を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項５】
前記光学要素は瞳平面及び／又は視野平面を有し、前記光学要素は、該瞳平面に又は該瞳平面の領域、あるいは該視野平面に又は該視野平面の領域に配置される、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項６】
前記光学要素の弾性振動の前記励起のための前記装置は、ラウドスピーカ、プランジャ型コイル、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、静磁気アクチュエータ、油圧制御アクチュエータ、又は空気圧制御アクチュエータを含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項７】
前記光学要素の前記振動励起のための前記装置は、該光学要素の陰影領域、特に該光学要素の外縁に配置され、あるいは前記光学要素は、該光学要素の前記振動励起のための更に別の装置が配置された中心部の中央孔を有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項８】
前記光源は、ストロボスコープ、レーザ光源、シンクロトロン、断続光源、電子切換可能光源（ランプ、ダイオード）、シャッターを有するＣＷ光源、又はプラズマ源であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項９】
前記光学要素は、平面プレート、特に膜であるか、ミラーであり、または前記光学要素は、反射面を有する液体を含み、あるいは前記光学要素は、レンズ、特に液体レンズであることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１０】
前記光学要素は、個々の光学構成要素のアレイを含み、
前記個々の光学構成要素は、レンズ、ミラー、格子、及び／又は区分及び／又は区画で屈折性を有する平坦で特に平行平面のレンズセグメントを含むことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１１】
前記個々の光学構成要素は、同一又は異なる幾何学形状を有することを特徴とする請求項１０に記載の光学装置。
【請求項１２】
前記個々の光学構成要素は、接続要素を用いて互いに接続され、少なくとも２つの接続要素は、異なる弾性特性を有することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の光学装置。
【請求項１３】
互いに離間し、その間に気体又は液体の隙間が配置された少なくとも２つの光学要素を有することを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１４】
前記２つの光学要素の一方、該２つの光学要素、及び／又は前記気体又は液体の隙間は、励起して振動させることができることを特徴とする請求項１３に記載の光学装置。
【請求項１５】
前記２つの光学要素の第１の光学要素は、電気絶縁方式で具現化され、該２つの光学要素の第２の光学要素は、導電方式で具現化されることを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の光学装置。
【請求項１６】
測定システムと、評価システムと、制御システムとを含む制御ユニットを有することを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１７】
前記測定システムは、前記光学要素の制御パラメータを測定するための１つ又はそれよりも多くの焦点センサ、クロック計時照明を用いる干渉計、偏光測定ユニット、又はマイクロフォン又は加速度センサ構成を含み、及び／又は前記測定システムは、光学装置全体の制御パラメータを測定するための波面センサ、特に、複数の視野点での同期測定に向けて並列で作動する複数の測定チャンネルを有する干渉計を含み、及び／又は前記測定システムは、光学装置全体に対する前記制御パラメータを判断するために複数の視野点での光波場の偏光状態の同期測定に向けて並列で作動する測定チャンネルを有する偏光測定センサを含むことを特徴とする請求項１６に記載の光学装置。
【請求項１８】
前記制御システムは、前記光学要素の前記振動の前記振動周波数を前記光源の前記パルス周波数と同期させるための同期システムを含むことを特徴とする請求項１６又は請求項１７に記載の光学装置。
【請求項１９】
特に、変位可能方式、傾斜可能方式、又は静的変形可能方式で構成された少なくとも１つの更に別の操作可能光学要素を収容することを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２０】
パルス周波数を有する光パルスの形態で光を放出する光源と、
ある一定の振動周波数で光学要素の振動を励起するための装置に接続された少なくとも１つの光学要素と、
を含み、
前記光学要素の前記振動は、光学結像に関連する該光学要素の少なくとも１つのパラメータの時間周期的な変調をもたらし、
前記振動周波数は、前記光学要素の前記振動励起のための前記装置を用いて、それが前記光源の前記パルス周波数と同期するように設定することができ、
前記光パルスの前記パルス周波数のためのクロック発生器が設けられ、少なくとも１つの周波数逓倍器が、該クロック発生器に接続され、該少なくとも１つの周波数逓倍器の出力が、振動を発生させるための前記装置に接続されている、
ことを特徴とする光学装置であって、
前記光学要素は、個々の光学構成要素のアレイを含むことを特徴とする前記光学装置。
【請求項２１】
前記個々の光学構成要素は、レンズ、ミラー、格子、及び／又は区分及び／又は区画で屈折性を有する平坦で特に平行平面のレンズセグメントを含むことを特徴とする請求項２０に記載の光学装置。
【請求項２２】
前記個々の光学構成要素は、接続要素を用いて互いに接続され、少なくとも２つの接続要素は、異なる弾性特性を有することを特徴とする請求項２０又は請求項２１に記載の光学装置。
【請求項２３】
少なくとも１つの移相器要素が、前記クロック発生器に接続され、該少なくとも１つの移相器の出力が、前記振動励起のための前記装置に接続されていることを特徴とする請求項２０から請求項２２のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２４】
前記振動励起のための前記装置、及び前記光学要素は、該光学要素の横方向の振動及び／又は縦方向の振動を励起するように設計されることを特徴とする請求項２０から請求項２３のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２５】
前記光学要素は、結晶固体、アモルファス固体、液体、又は気体を含むことを特徴とする請求項２０から請求項２４のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２６】
前記光学要素は、複屈折材料を含むことを特徴とする請求項２０から請求項２５のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２７】
前記光学要素は瞳平面及び／又は視野平面を有し、前記光学要素は、該瞳平面に又は該瞳平面の領域、あるいは該視野平面に又は該視野平面の領域に配置される、
ことを特徴とする請求項２０から請求項２６のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２８】
前記光学要素の弾性振動の前記励起のための前記装置は、ラウドスピーカ、プランジャ型コイル、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、静磁気アクチュエータ、油圧制御アクチュエータ、又は空気圧制御アクチュエータを含むことを特徴とする請求項２０から請求項２７のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項２９】
測定システムと、評価システムと、制御システムとを含む制御ユニットを有することを特徴とする請求項２０から請求項２８のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項３０】
前記測定システムは、前記光学要素の制御パラメータを測定するための１つ又はそれよりも多くの焦点センサ、クロック計時照明を用いる干渉計、偏光測定ユニット、又はマイクロフォン又は加速度センサ構成を含み、及び／又は前記測定システムは、光学装置全体の制御パラメータを測定するための波面センサ、特に、複数の視野点での同期測定に向けて並列で作動する複数の測定チャンネルを有する干渉計を含み、及び／又は前記測定システムは、光学装置全体に対する前記制御パラメータを判断するために複数の視野点での光波場の偏光状態の同期測定に向けて並列で作動する測定チャンネルを有する偏光測定センサを含むことを特徴とする請求項２９に記載の光学装置。
【請求項３１】
前記制御システムは、前記光学要素の前記振動の前記振動周波数を前記光源の前記パルス周波数と同期させるための同期システムを含むことを特徴とする請求項２９又は請求項３０に記載の光学装置。
【請求項３２】
特に、変位可能方式、傾斜可能方式、又は静的変形可能方式で構成された少なくとも１つの更に別の操作可能光学要素を収容することを特徴とする請求項２０から請求項３１のいずれか１項に記載の光学装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
振動を引き起こされることが可能な光学要素２１７０の使用に依存して、投影露光機械の照明モード及び結像特性の両方は、投影露光機械の結像品質を改善し、発生する結像収差を補正するために、ターゲット方式で動的に影響を受け、かつ変更することができる。特に、光源の光パルスの波面プロフィールの収差を補償するか又は（局所）偏光状態を結像すべき構造体に適応させることにより、結像コントラストを最適化することができる。光学要素２１７０の照明配置内での使用は、例えば、投影対物器械の照明の回転対称モードの発生と、光源の光パルスの干渉特性及び偏光の操作とを可能にする。
本発明は、特定的な実施形態に基づいて説明したが、当業者には、例えば、個々の実施形態の特徴の組合せ及び／又は交換により、多くの変形及び代替実施形態が明らかである。従って、そのような変形及び代替実施形態が本発明によって同時に含まれることは、当業者には説明するまでもない。
本件明細書に開示されている発明には、これらに限定されるものではないが、次のとおりのものが含まれる。
（１）
パルス周波数を有する光パルスの形態で光を放出する光源と、
ある一定の振動周波数で光学要素の振動を励起するための装置に接続された少なくとも１つの光学要素と、
を含み、
前記光学要素の前記振動は、光学結像に関連する該光学要素の少なくとも１つのパラメータの時間周期的な変調をもたらし、
前記振動周波数は、前記光学要素の前記振動励起のための前記装置を用いて、それが前記光源の前記パルス周波数と同期するように設定することができ、
前記光パルスの前記パルス周波数のためのクロック発生器が設けられ、少なくとも１つの周波数逓倍器が、該クロック発生器に接続され、該少なくとも１つの周波数逓倍器の出力が、振動を発生させるための前記装置に接続されている、
ことを特徴とする光学装置。
（２）
前記光学要素の前記振動周波数は、前記光源の前記パルス周波数の整数倍として設定することができることを特徴とする（１）に記載の光学装置。
（３）
前記光学要素の前記振動は、前記パルス周波数の異なる整数倍を有する振動の重ね合わせであることを特徴とする（１）に記載の光学装置。
（４）
前記光学要素の前記振動周波数は、前記光源の前記パルス周波数に対して位相シフトされた方式で設定することができることを特徴とする（１）から（３）のいずれかに記載の光学装置。
（５）
前記パルス周波数の前記異なる整数倍には、それぞれの位相シフトが割り当てられることを特徴とする（３）に記載の光学装置。
（６）
前記位相シフトは、設定することができることを特徴とする（５）に記載の光学装置。
（７）
前記パルス周波数の前記異なる整数倍には、それぞれの振動振幅が割り当てられることを特徴とする（３）、（５）、又は（６）のいずれかに記載の光学装置。
（８）
前記振幅は、設定することができることを特徴とする（７）に記載の光学装置。
（９）
少なくとも１つの移相器要素が、前記クロック発生器に接続され、該少なくとも１つの移相器の出力が、前記振動励起のための前記装置に接続されていることを特徴とする（１）から（８）のいずれかに記載の光学装置。
（１０）
複数の周波数逓倍器及び／又は移相器要素が、前記クロック発生器に接続され、これらの出力が、加算要素に接続され、その出力が、前記振動励起のための前記装置に接続されることを特徴とする（１）から（９）のいずれかに記載の光学装置。
（１１）
前記振動励起のための前記装置、及び前記光学要素は、該光学要素の横方向の振動を励起するように設計されることを特徴とする（１）から（１０）のいずれかに記載の光学装置。
（１２）
前記振動励起のための前記装置、及び前記光学要素は、該光学要素の縦方向の振動を励起するように設計されることを特徴とする（１）から（１１）のいずれかに記載の光学装置。
（１３）
前記光学要素は、結晶固体、アモルファス固体、液体、又は気体を含むことを特徴とする（１）から（１２）のいずれかに記載の光学装置。
（１４）
前記光学要素は、複屈折材料を含むことを特徴とする（１）から（１３）のいずれかに記載の光学装置。
（１５）
前記光学要素は、２つの固体層の間に液体又は気体層を含み、該液体又は気体層は、振動へと励起することができることを特徴とする（１）から（１４）のいずれかに記載の光学装置。
（１６）
前記光学要素は、２つの固体層の間に液体又は気体層を含み、該２つの固体層の少なくとも一方は、励起して振動させることができることを特徴とする（１）から（１４）のいずれかに記載の光学装置。
（１７）
瞳平面を有し、
前記光学要素は、該瞳平面に又は該瞳平面の領域に配置される、
ことを特徴とする（１）から（１６）のいずれかに記載の光学装置。
（１８）
視野平面を有し、
前記光学要素は、該視野平面に又は該視野平面の領域に配置される、
ことを特徴とする（１）から（１６）のいずれかに記載の光学装置。
（１９）
前記光学要素の弾性振動の前記励起のための前記装置は、ラウドスピーカ、プランジャ型コイル、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、静磁気アクチュエータ、油圧制御アクチュエータ、又は空気圧制御アクチュエータを含むことを特徴とする（１）から（１８）のいずれかに記載の光学装置。
（２０）
前記光学要素の前記振動励起のための前記装置は、該光学要素の陰影領域に配置されることを特徴とする（１）から（１９）のいずれかに記載の光学装置。
（２１）
前記光学要素の前記振動励起のための前記装置は、該光学要素の外縁に配置されることを特徴とする（２０）に記載の光学装置。
（２２）
前記光学要素は、該光学要素の前記振動励起のための更に別の装置が配置された中心部の中央孔を有することを特徴とする（２０）に記載の光学装置。
（２３）
前記振動励起のための前記装置を有する前記光学要素は、周囲に対して本質的に振動分離されることを特徴とする（１）から（２２）のいずれかに記載の光学装置。
（２４）
前記光学要素に加えて少なくとも１つの更に別の光学要素を含み、
第１の担持構造体が、該光学要素のために設けられ、第２の担持構造体が、該少なくとも１つの更に別の光学要素のために設けられ、
前記第１及び第２の担持構造体は、該第１の担持構造体から該第２の担持構造体への力伝達が可能ではないような方法で互いに分離される、
ことを特徴とする（２３）に記載の光学装置。
（２５）
前記振動分離は、励起して振動させることができる補償要素を用いて達成されることを特徴とする（２３）に記載の光学装置。
（２６）
前記光源は、ストロボスコープ、レーザ光源、シンクロトロン、断続光源、電子切換可能光源（ランプ、ダイオード）、シャッターを有するＣＷ光源、又はプラズマ源であることを特徴とする（１）から（２５）のいずれかに記載の光学装置。
（２７）
前記光学要素は、平面プレート、特に膜であることを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（２８）
前記光学要素は、ミラーであることを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（２９）
前記光学要素は、反射面を有する液体を含むことを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（３０）
前記光学要素は、レンズであることを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（３１）
前記光学要素は、液体レンズであることを特徴とする（３０）に記載の光学装置。
（３２）
前記光学要素は、個々の光学構成要素のアレイを含むことを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（３３）
前記個々の光学構成要素は、レンズ、ミラー、格子、及び／又は区分及び／又は区画で屈折性を有する平坦で特に平行平面のレンズセグメントを含むことを特徴とする（３２）に記載の光学装置。
（３４）
前記個々の光学構成要素は、同一の幾何学形状を有することを特徴とする（３２）又は（３３）に記載の光学装置。
（３５）
前記個々の光学構成要素は、異なる幾何学形状を有することを特徴とする（３２）又は（３３）に記載の光学装置。
（３６）
前記個々の光学構成要素は、接続要素を用いて互いに接続され、少なくとも２つの接続要素は、異なる弾性特性を有することを特徴とする（３２）から（３５）のいずれかに記載の光学装置。
（３７）
前記光学要素は、光学装置の少なくとも１つの気体充填部分空間として具現化されることを特徴とする（１）から（２６）のいずれかに記載の光学装置。
（３８）
互いに離間し、その間に気体又は液体の隙間が配置された少なくとも２つの光学要素を有することを特徴とする（１）から（３７）のいずれかに記載の光学装置。
（３９）
前記２つの光学要素の一方、該２つの光学要素、及び／又は前記気体又は液体の隙間は、励起して振動させることができることを特徴とする（３８）に記載の光学装置。
（４０）
前記２つの光学要素の第１の光学要素は、電気絶縁方式で具現化され、該２つの光学要素の第２の光学要素は、導電方式で具現化されることを特徴とする（３８）又は（３９）に記載の光学装置。
（４１）
前記光学要素の剛性又は減衰挙動のような前記弾性特性は、局所的に変化することを特徴とする（１）から（４０）のいずれかに記載の光学装置。
（４２）
前記光学要素は、その中心からその縁部に向って局所的に変化する厚みを有することを特徴とする（１）から（４１）のいずれかに記載の光学装置。
（４３）
測定システムと、評価システムと、制御システムとを含む制御ユニットを有することを特徴とする（１）から（４２）のいずれかに記載の光学装置。
（４４）
前記測定システムは、前記光学要素の制御パラメータを測定するための１つ又はそれよりも多くの焦点センサ、クロック計時照明を用いる干渉計、偏光測定ユニット、又はマイクロフォン又は加速度センサ構成を含むことを特徴とする（４３）に記載の光学装置。
（４５）
前記測定システムは、光学装置全体の制御パラメータを測定するための波面センサ、特に、複数の視野点での同期測定に向けて並列で作動する複数の測定チャンネルを有する干渉計を含むことを特徴とする（４３）又は（４４）に記載の光学装置。
（４６）
前記測定システムは、光学装置全体に対する前記制御パラメータを判断するために複数の視野点での光波場の偏光状態の同期測定に向けて並列で作動する測定チャンネルを有する偏光測定センサを含むことを特徴とする（４３）から（４５）のいずれかに記載の光学装置。
（４７）
前記制御システムは、前記光学要素の前記振動の前記振動周波数を前記光源の前記パルス周波数と同期させるための同期システムを含むことを特徴とする（４３）から（４６）のいずれかに記載の光学装置。
（４８）
特に、変位可能方式、傾斜可能方式、又は静的変形可能方式で構成された少なくとも１つの更に別の操作可能光学要素を収容することを特徴とする（１）から（４７）のいずれかに記載の光学装置。
（４９）
（１）から（４８）のいずれかに記載の光学装置、
を含むことを特徴とする投影露光機械。
（５０）
照明システムを有し、光学要素が該照明システム内に配置されていることを特徴とする（４９）に記載の投影露光機械。
（５１）
投影対物器械を有し、光学要素が該投影対物器械内に配置されていることを特徴とする（４９又は（５０）に記載の投影露光機械。
（５２）
パルス周波数を有するパルス光源を有する光学装置、特に投影露光機械の結像挙動を補正又は改善する方法であって、
少なくとも１つの光学要素が、振動周波数で振動するように励起され、
前記光学要素の前記振動は、光学結像に関連する該光学要素の少なくとも１つのパラメータの時間周期的変調をもたらし、
前記光学要素の前記振動の前記振動周波数は、それが光源のパルス周波数と同期するように設定され、
前記光学要素の前記振動周波数は、前記パルス周波数の整数倍として設定される、
ことを特徴とする方法。
（５３）
前記光学要素の前記振動は、前記パルス周波数の異なる整数倍を有する振動の重ね合わせとして励起されることを特徴とする（５２）に記載の方法。
（５４）
前記光学要素の前記振動周波数は、前記光源の前記パルス周波数に対して位相シフトされた方法で設定されることを特徴とする（５２）又は（５３）に記載の方法。
（５５）
前記パルス周波数の前記異なる整数倍には、それぞれの位相シフトが割り当てられることを特徴とする（５３）に記載の方法。
（５６）
前記位相シフトは、設定されることを特徴とする（５５）に記載の方法。
（５７）
前記パルス周波数の前記異なる整数倍には、それぞれの振動振幅が割り当てられることを特徴とする（５３）、（５５）、又は（５６）に記載の方法。
（５８）
前記振動振幅は、設定されることを特徴とする（５７）に記載の方法。
（５９）
クロック信号が、光パルスの前記パルス周波数のためのクロック発生器を用いて発生され、
前記クロック信号は、周波数逓倍器及び少なくとも１つの移相器要素に給送され、その出力信号が、前記光学要素の前記振動励起に用いられる、
ことを特徴とする（５２）から（５８）のいずれかに記載の方法。
（６０）
前記クロック信号は、複数の周波数逓倍器及び移相器要素に給送され、その前記出力信号は、加算要素に給送され、その出力信号が、前記光学要素の前記振動の前記励起に用いられることを特徴とする（５９）に記載の方法。
（６１）
前記光学要素は、横方向に振動するように励起されることを特徴とする（５２）から（６０）のいずれかに記載の方法。
（６２）
前記光学要素は、縦方向に振動するように励起されることを特徴とする（５２）から（６１）のいずれかに記載の方法。
（６３）
前記光学要素は、２つの固体層の間に液体又は気体層を含み、
前記液体又は気体層は、振動するように励起される、
ことを特徴とする（５２）から（６２）のいずれかに記載の方法。
（６４）
前記光学要素は、２つの固体層の間に液体又は気体層を含み、
前記２つの固体層の少なくとも一方は、振動するように励起される、
ことを特徴とする（５２）から（６２）のいずれかに記載の方法。
（６５）
前記光学装置は、互いに離間してその間に気体又は液体の隙間が配置された少なくとも２つの光学要素を有し、
前記２つの光学要素の一方、該２つの光学要素、及び／又は前記気体又は液体の隙間は、振動するように励起される、
ことを特徴とする（５２）から（６４）のいずれかに記載の方法。
（６６）
前記２つの光学要素の第１の光学要素は、電気絶縁方式で具現化され、該２つの光学要素の第２の光学要素は、導電方式で具現化され、
電荷が、前記第１の光学要素に印加される、
ことを特徴とする（６５）に記載の方法。
（６７）
第１の段階が、前記光学装置の視野平面における該光学装置の波面を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された波面を所定の波面と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された波面と該所定の波面の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された波面と該所定の波面の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（６８）
第１の段階が、前記光学装置の視野平面における該光学装置によって発生された光波場の偏光状態を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された偏光状態を所定の偏光状態分布と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された偏光状態と該所定の偏光状態の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された偏光状態と該所定の偏光状態の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（６９）
第１の段階が、視野平面における前記光源の放射光の強度の角度分布を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された角度分布を所定の角度分布と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された角度分布と該所定の角度分布の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された角度分布と該所定の角度分布の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（７０）
第１の段階が、視野平面における前記光源の放射光の強度分布を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された強度分布を所定の強度分布と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された強度分布と該所定の強度分布の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された強度分布と該所定の強度分布の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（７１）
第１の段階が、前記光学装置の出射瞳における前記光源の放射光の強度分布を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された強度分布を所定の強度分布と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された強度分布と該所定の強度分布の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された強度分布と該所定の強度分布の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（７２）
第１の段階が、前記光学装置の出射瞳における前記光源の放射光の偏光状態分布を判断する段階を伴い、第２の段階が、該判断された偏光状態分布を所定の偏光状態分布と比較する段階を伴い、第３の段階が、該判断された偏光状態分布と該所定の偏光状態分布の間の差を判断する段階を伴い、第４の段階が、前記光学要素の前記振動周波数と前記光源の前記パルス周波数との同期時に、該判断された偏光状態分布と該所定の偏光状態分布の間の該差が最小にされるように構成された該光学要素の振動モードを判断する段階を伴い、第５の段階が、該光学要素を励起して該振動モードで振動させる段階を伴うことを特徴とする（５２）から（６６）のいずれかに記載の方法。
（７３）
前記光学要素の振動は、該光学要素の前記振動励起のための装置を用いて励起され、
制御ユニットが、該振動する光学要素の制御パラメータを測定し、評価結果を得るために該制御パラメータを所定の望ましい値と比較し、かつ該評価結果に基づいて該光学要素の前記振動励起に向けて前記装置を調節する、
ことを特徴とする（５２）から（７２）のいずれかに記載の方法。
（７４）
前記制御パラメータは、少なくとも１つの焦点センサを用いて、又はクロック計時照明を備えた干渉計、偏光計を用いて、又はマイクロフォンの構成を用いて測定されることを特徴とする（７３）に記載の方法。