【事件の表示】
　特願２０００−２７４００９「研磨加工方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年３月２６日出願公開、特開２００２−８６３５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１２年９月８日の出願であって、平成１５年１２月１６日付けで拒絶の理由が通知され、平成１６年２月１３日に意見書及び手続補正書が提出されたが、平成１６年９月３０日付けで拒絶査定がされた。
　これに対し、平成１６年１１月４日に審判請求がされ、平成１６年１１月２６日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。
　
２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　本件補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正の内容
　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１とそれに対応する本件補正前の特許請求の範囲の請求項３とを補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。
　
〈補正後〉
「被加工物に対して砥石により表面研削加工を行った後、前記砥石の作用面に超微粒砥粒を電気泳動法により凝集させて半固定砥粒層を形成し、同一加工機械、同一基準面保持のもとで被加工物に対して前記半固定砥粒層により表面研磨加工を行う研磨加工方法であって、前記半固定砥粒層により表面研磨加工を行うときの研磨液として、超微粒砥粒を懸濁させた懸濁液に
塩と
　
〈補正前〉
「被加工物に対して砥石により表面研削加工を行った後、前記砥石の作用面に超微粒砥粒を電気泳動法により凝集させて半固定砥粒層を形成し、同一加工機械、同一基準面保持のもとで被加工物に対して前記半固定砥粒層により表面研磨加工を行う研磨加工方法であって、前記半固定砥粒層により表面研磨加工を行うときの研磨液として、超微粒砥粒を懸濁させた懸濁液に
砥粒の結合度を調整可能な塩とともに
　
（２）補正の目的の適否
　上記補正事項において、補正前の「砥粒の結合度を調整可能な塩」が補正後においては「塩」に変更されている。
　「砥粒の結合度を調整可能な塩」に関し、本願明細書の段落【００１０】には、「凝集する超微粒砥粒の結合度を調節することにより、電気泳動研磨時の研磨力を従来の研磨液の場合よりも大幅に高めることができる。
このような効果が期待できる塩としては
　そうすると、「砥粒の結合度を調整可能な塩」を「塩」に変更する上記補正事項は、「塩」についてその範囲が実質的に拡張されていることとなり、特許請求の範囲の減縮には該当しない。また、上記補正事項が、誤記の訂正及び明りょうでない記載の釈明にも該当しないことは明らかである。
　
（３）むすび
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第４項各号のいずれにも該当しないから、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上述のように却下されたから、本願の請求項１〜３に係る発明は、平成１６年２月１３日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添附した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「媒液に超微粒砥粒を懸濁させた電気泳動研磨用研磨液であって、超微粒砥粒を懸濁させた懸濁液に砥粒の結合度を調整可能な塩とともにｐＨ調節剤を添加したことを特徴とする電気泳動研磨用研磨液。」
　
（２）刊行物記載の発明（事項）
　原査定の拒絶の理由に引用され本願の出願前に国内で頒布された刊行物である、特開平７−２３７０４２号公報（以下、「刊行物１」という。）及び特開２０００−２０８４５６号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（２−１）刊行物１
（イ）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】
　本発明は研磨装置に関し、特に工作機械の主軸に装着した工具により加工槽内の砥粒を混入した電解液に浸漬したワークを、工具とワーク間に電圧を印加して電気泳動現象を発生させてその電解液中でワークを研磨加工する研磨装置に関する。」
（ロ）段落【００１１】
「・・・このような工作機械において、主軸１に装着した工具３と、加工槽５内に貯溜した電解液７の中に浸漬したワーク９との間に電源装置２５から直流電圧が印加され、電気泳動現象を発生させて電解液７の溶液中でワーク９は工具３の回りに吸着した半固定状態の砥粒によって研磨加工される。」
（ハ）段落【００１２】
「・・・また加工槽５内の電解液（溶液）として、カルボキシメチルセルロースナトリウムと略１０μｍの直径を有する砥粒とを水に溶かして得られた高分子電解液を使用する。このカルボキシメチルセルロースナトリウム（ＣＭＣ）はＲ−ＣＯＯＨ- とＮａ+ に解離し、水に溶解し、Ｒ−ＣＯＯＨ- が径の大きな（略１０μｍの直径）砥粒のアルミナ Al2O3の表面に吸着して負に帯電して砥粒は電気二重層を生じる。カルボキシメチルセルロースナトリウムを混入したことにより帯電性が増大し大きな径の砥粒であるアルミナ Al2O3の表面にワークの加工に十分な負電荷が帯電する。砥粒としてダイヤモンドを使用しても同様な効果が得られると考えられる。・・・」
　
　以上の記載事項からみて、刊行物１には次の発明が記載されていると認められる。
「水に径の大きな（略１０μｍの直径）砥粒を懸濁させた、電気泳動現象を発生させた半固定状態の砥粒によって研磨加工を行う電解液であって、径の大きな（略１０μｍの直径）砥粒を懸濁させた懸濁液に、帯電性を増大させるカルボキシメチルセルロースナトリウムを添加した、電気泳動現象を発生させた半固定状態の砥粒によって研磨加工を行う電解液。」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
　
（２−２）刊行物２
（イ）段落【００２０】
「また、上記サンプルはウェーハの表面に設けられた金属領域を含み、 上記方法は、上記研磨用粒子を帯電させるため上記スラリーのｐＨを調整し、帯電させられた上記研磨用粒子を上記金属領域の表面に電気泳動的に引き寄せるため上記金属領域と上記化学機械研磨用スラリーとの間に電界を設定する工程を更に有する。」
（ロ）段落【００７６】
「・・・したがって、スラリーのｐＨは、金属ウェーハの電気化学的溶解が問題となり得るｐＨの範囲を回避すると共に、ゼータ電位の大きさを増大させるよう選択されることが好ましい。酸性スラリーの好ましいｐＨ範囲は、およそｐＨ３からｐＨ７の間に収まる。アルカリ性スラリーの好ましいｐＨは、およそｐＨ７からｐＨ１１の範囲に収まる。好ましくは、スラリーのｐＨは印加電圧Ｖの大きさと組み合わせて選択されるので、電気泳動効果は、金属層の電気化学的溶解を許容可能な低速の範囲に抑えたまま、できる限り大きくなるように選択される。」
（ハ）段落【００７７】
「電気泳動効果に対する別の考察は、スラリー粒子の寸法である。電気泳動効果は、比較的小さい慣性重量を有する小径の粒子の場合により顕著になる。その結果として、スラリー粒子の局部濃度を変更する際に電気泳動効果の相対的な重要度を高めるため、比較的小さい径（例えば、０．５ミクロン径）の研磨用スラリー粒子を使用することが好ましい。」
　
（３）対比
　本願発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「水」が前者の「媒液」に、後者の「電気泳動現象を発生させた半固定状態の砥粒によって研磨加工を行う電解液」が前者の「電気泳動研磨用研磨液」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、後者の「径の大きな（略１０μｍの直径）砥粒」と前者の「超微粒砥粒」とは、「砥粒］の限りで一致し、また、後者の「帯電性を増大させるカルボキシメチルセルロースナトリウム」と前者の「砥粒の結合度を調整可能な塩」とは、「塩」の限りで一致する。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
〈一致点〉
「媒液に砥粒を懸濁させた電気泳動研磨用研磨液であって、砥粒を懸濁させた懸濁液に塩を添加した、電気泳動研磨用研磨液」である点。
〈相違点１〉
　前者は、砥粒が超微粒砥粒であるのに対して、後者は、砥粒が径の大きな（略１０μｍの直径）砥粒である点。
〈相違点２〉
　前者は、塩が砥粒の結合度を調整可能なものであるのに対して、後者は、塩が帯電性を増大させるものである点。
〈相違点３〉
　前者は、懸濁液に、ｐＨ調節剤も添加しているのに対して、後者は、ｐＨ調節剤を添加しているか否かが明らかではない点。
　
（４）当審の判断
　上記相違点について検討する。
　
〈相違点１について〉
　本願発明の「超微粒砥粒」は、本願明細書の段落【００１５】の「また、半固定砥粒層による研磨は従来の遊離砥粒による仕上げ研磨に比べて研磨力が高く、仕上げ研磨の能率を高めることができる。・・・」との記載からみて、仕上げ研磨に用いる砥粒であるものと認められる。
　一方、刊行物１記載の発明の電気泳動研磨用研磨液を用いる研磨は、使用する砥粒が径の大きな（略１０μｍの直径）ものであることから、仕上げ研磨ではなく粗研磨であるとも解し得るが、刊行物２には、大きな電気泳動効果を得るには研磨用スラリー粒子は小径のものの方が良い旨示されている（刊行物２の摘記事項（ハ）を参照）。
　そうすると、刊行物２記載の上記事項も参酌し、刊行物１記載の発明の砥粒を超微粒とすれば、研磨液を仕上げ研磨に使用し得ることは当業者にとって明らかであり、しかも、そのようにすることを妨げる特段の事情を見出せない。
　したがって、刊行物１記載の発明において、相違点１に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
〈相違点２について〉
　本願明細書の段落【００１０】の「凝集する超微粒砥粒の結合度を調節することにより、電気泳動研磨時の研磨力を従来の研磨液の場合よりも大幅に高めることができる。・・・」との記載からみて、本願発明で「砥粒の結合度を調整可能な」塩を添加することの技術的意義は、研磨力の向上にあるということができる。
　一方、刊行物１には、「カルボキシメチルセルロースナトリウムを混入したことにより帯電性が増大し大きな径の砥粒であるアルミナ Al2O3の表面に
ワークの加工に十分な負電荷が帯電
　そうすると、相違点２は実質上の相違点ではない。
　
〈相違点３について〉
　刊行物２には、スラリー中の研磨粒子を電気泳動させる際に大きな電気泳動効果を得るようにスラリーのｐＨを調整することが記載されており（刊行物２の摘記事項（イ）、（ロ）を参照）、当該ｐHを調整する手法としてｐH調整剤を添加することは従来周知の事項である。
　そして、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の事項とが、電気泳動させた研磨粒子によって研磨するという共通した技術分野に属することからして、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の上記事項を組み合わせ、相違点３に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
　そして、本願発明の作用効果は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２、３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。