【事件の表示】
　特願２０００−３２７８４７「ポリッシング装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年６月５日出願公開、特開２００１−１５０３４０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成５年９月２０日に出願した特願平５−２５６５２２号の一部を平成１２年９月２０日に新たな特許出願としたものであって、平成１５年１１月２８日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内である平成１６年２月２日に意見書及び手続補正書が提出され、平成１６年８月３１日付けで拒絶をすべきものであるとの査定がなされた。
　これに対して、平成１６年１０月６日に審判請求がなされ、平成１６年１１月５日に手続補正書が提出された。
　平成１７年１０月２５日付けで、当審より期間を指定して拒絶の理由が通知されたが、その指定期間内に何ら応答はなされなかった。
　
２．本願発明
　本願の請求項１〜１０に係る発明は、平成１６年２月２日付け手続補正書及び平成１６年１１月５日付け手続補正書により補正された明細書、並びに、願書に最初に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「ターンテーブルと、ポリッシング対象物とほぼ同径の下面を有し、該下面にポリッシング対象物を１枚保持するためのトップリング本体とを有し、前記ターンテーブルとトップリング本体との間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧し摺動させることによって該ポリッシング対象物の表面を研磨し平坦且つ鏡面化するポリッシング装置において、
　前記トップリング本体を回転駆動するための駆動装置に連結されたトップリング駆動軸を設け、該トップリング駆動軸の下端面中央部と前記トップリング本体の上面中心部との間に球ベアリングを介装し、前記トップリング本体の前記下面が滑らかに前記ターンテーブル面の動きに追従できるようにし、
　前記トップリング本体は、ポリッシング対象物を真空吸着するための複数の吸引孔を有し、
　前記吸引孔は、前記球ベアリングを迂回するように配置された真空ライン用チューブとチューブ継手を介して、かつ、前記トップリング駆動軸の中に設けられた真空孔を通じて真空源に連通し、
　前記トップリング本体上昇時に該トップリング本体を水平に保つスプリングを設けたことを特徴とするポリッシング装置。」
　
３．刊行物記載の発明（事項）
　当審が平成１７年１０月２５日付けで通知した拒絶の理由に引用され、本願の出願前に国内において頒布された刊行物である特開昭６０−１７７８３３号公報（以下、「刊行物１」という。）、実願平２−４０３５１４号（実開平４−８９６５２号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）、特開平４−１９０６５号公報（以下、「刊行物３」という。）及び特開昭６１−２５７６８号公報（以下、「刊行物４」という。）には、それぞれ以下の発明（事項）が記載されていると認められる。
　
（１）刊行物１記載の発明
「回転中心Ｏで回転するラップ定盤３と、薄板状のワークＷとほぼ同径の下面を有し、該下面にワークＷを１枚保持するためのワークホルダ１０とを有し、前記ラップ定盤３とワークホルダ１０との間にワークＷを介在させて所定の力で押圧し摺動させることによって該ワークＷの表面を研磨し平坦且つ鏡面化する超精密ポリシングマシンにおいて、
　前記ワークホルダ１０を回転駆動するための主軸回転用の駆動モータ１２に連結された主軸１１及び駆動軸２０を設け、
　前記ワークホルダ１０は、ワークＷを真空吸着するための複数の環状吸着溝１９を有し、
　前記環状吸着溝１９は、前記駆動軸２０の中に設けられた負圧通路２３を通じて真空源に連通する、超精密ポリシングマシン。」（実施例及び第１、２図を参照。）
　
（２）刊行物２記載の事項
「ラップ盤としての研磨加工装置において、上軸５及びその下端に固着されたフランジ板５０の下端面中央部と治具３の上面中心部との間に鋼球４を介装し、前記治具３の下面が滑らかに定盤２面の動きに追従できるようにしたこと。」（実施例及び図１、２を参照。）
　
（３）刊行物３記載の事項
「研磨装置において、Ｓｉウエハ３を真空吸着するための複数の小径口２３を有し、前記小径口２３は、球面軸受１３を迂回するように配置された真空ホース１６とその継手を介して、かつ、シャフト１２の中に設けられた真空孔を通じて真空ポンプ１４に連通したこと。」
　なお、真空ホース１６は、シャフト１２中の真空孔に連通されるために、連通用の継手を有していることは、明らかである。（［作用］の項及び第１図を参照。）
 　 
（４）刊行物４記載の事項
「スプライン軸５と押圧板１２及び枠１３とが球面状の凹部と半球体１１との球面軸受により摺動自在に係合している平面研摩装置において、球面状の凹部と半球体とが接するようにスプライン軸５と押圧板１２及び枠１３との間に圧縮ばね１６を設けること。」（［従来技術］の項及び第２図を参照。）
　
４．対比
　本願発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「回転中心Ｏで回転するラップ定盤３」は前者の「ターンテーブル」に相当し、以下同様にして、「薄板状のワークＷ」は「ポリッシング対象物」に、「ワークホルダ１０」は「トップリング本体」に、「超精密ポリシングマシン」は「ポリッシング装置」に、「主軸回転用の駆動モータ１２」は「駆動装置」に、「主軸１１」及び「駆動軸２０」は「トップリング駆動軸」に、「環状吸着溝１９」は「吸引孔」に、「負圧通路２３」は「真空孔」に、それぞれ相当する。
　したがって、両者は、「ターンテーブルと、ポリッシング対象物とほぼ同径の下面を有し、該下面にポリッシング対象物を１枚保持するためのトップリング本体とを有し、前記ターンテーブルとトップリング本体との間にポリッシング対象物を介在させて所定の力で押圧し摺動させることによって該ポリッシング対象物の表面を研磨し平坦且つ鏡面化するポリッシング装置において、前記トップリング本体を回転駆動するための駆動装置に連結されたトップリング駆動軸を設け、前記トップリング本体は、ポリッシング対象物を真空吸着するための複数の吸引孔を有し、前記吸引孔は、前記トップリング駆動軸の中に設けられた真空孔を通じて真空源に連通する、ポリッシング装置」である点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点１〉
　前者は、トップリング駆動軸の下端面中央部とトップリング本体の上面中心部との間に球ベアリングを介装し、前記トップリング本体の前記下面が滑らかにターンテーブル面の動きに追従できるようにしているのに対して、後者は、トップリング駆動軸の下端面中央部とトップリング本体の上面中心部との間に球ベアリングを介装するものではない点。
〈相違点２〉
　前者は、吸引孔が、球ベアリングを迂回するように配置された真空ライン用チューブとチューブ継手を介して真空源に連通するのに対して、後者は、吸引孔が、球ベアリングを迂回するように配置された真空ライン用チューブとチューブ継手を介して真空源に連通するものではない点。
〈相違点３〉
　前者は、トップリング本体上昇時に該トップリング本体を水平に保つスプリングを設けているのに対して、後者は、トップリング本体上昇時に該トップリング本体を水平に保つスプリングを設けていない点。
　
５．当審の判断
　上記相違点について、以下検討する。                                        　
（１）相違点１について
　刊行物２記載の「上軸５及びその下端に固着されたフランジ板５０」、「治具３」、「鋼球４」及び「定盤２」は、本願発明の「トップリング駆動軸」、「トップリング本体」、「球ベアリング」及び「ターンテーブル」に、それぞれ相当する。
　そうすると、刊行物２記載の事項は、「ラップ盤としての研磨加工装置において、トップリング駆動軸の下端面中央部とトップリング本体の上面中心部との間に球ベアリングを介装し、前記トップリング本体の下面が滑らかにターンテーブル面の動きに追従できるようにしたこと。」と言い換えることができ、相違点１に係る本願発明の構成を備えている。
　そして、刊行物１記載の発明のようなポリッシング装置において、トップリング本体の下面が滑らかにターンテーブル面の動きに追従できるようにすることは、自明の課題であって、しかも、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の事項とは、「ポリッシング装置」と「ラップ盤としての研磨加工装置」という技術分野が近接したものであるから、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を組み合わせ、相違点１に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
（２）相違点２について
　刊行物３記載の「研磨装置」、「Ｓｉウエハ３」、「小径口２３」、「球面軸受１３」、「真空ホース１６」と「その継手」、「シャフト１２」及び「真空ポンプ１４」は、本願発明の「ポリッシング装置」、「ポリッシング対象物」、「吸引孔」、「球ベアリング」、「真空ライン用チューブ」と「チューブ継手」、「トップリング駆動軸」及び「真空源」に、それぞれ相当する。
　そうすると、刊行物３記載に事項は、「ポリッシング装置において、ポリッシング対象物を真空吸着するための複数の吸引孔を有し、前記吸引孔は、球ベアリングを迂回するように配置された真空ライン用チューブとチューブ継手を介して、かつ、トップリング駆動軸の中に設けられた真空孔を通じて真空源に連通したこと。」と言い換えることができ、相違点２に係る本願発明の構成を備えている。
　そして、刊行物１記載の発明と刊行物３記載の事項とは、「ポリッシング装置」という技術分野、「ポリッシング対象物を真空吸着するための複数の吸引孔をトップリング駆動軸の中に設けられた真空孔を通じて真空源に連通する」との課題を共通にするものであるから、刊行物１記載の発明に刊行物３記載の事項を組み合わせ、相違点２に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
（３）相違点３について
　刊行物４記載の「スプライン軸５」、「押圧板１２及び枠１３」、「平面研摩装置」及び「圧縮ばね１６」は、本願発明の「トップリング駆動軸」、「トップリング本体」、「ポリッシング装置」及び「スプリング」に、それぞれ相当する。
　そうすると、刊行物４には、「トップリング駆動軸とトップリング本体とが球面状の凹部と半球体１１との球面軸受により摺動自在に係合しているポリッシング装置において、球面状の凹部と半球体とが接するようにトップリング駆動軸とトップリング本体との間にスプリングを設けること」が記載されているといえる。 
　したがって、相違点１で検討した刊行物２記載の事項を刊行物１記載の発明に組み合わせるに際し、トップリング駆動軸の下端面中央部及びトップリング本体の上面中心部がそれぞれ球ベアリングに接するように、トップリング駆動軸とトップリング本体との間にスプリングを設けることすることは、刊行物４記載の事項を併せて採用することにより、当業者が容易に想到することができたことであり、その結果、該スプリングによりトップリング本体上昇時に該トップリング本体が水平に保たれることとなるものである。 
 　よって、相違点３についても格別困難なことではない。
　
　そして、本願発明の作用効果は、刊行物１記載の発明及び刊行物２〜４記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２〜４記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、請求項２〜１０に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。