(57)【要約】【課題】流量計と充填を制御する制御装置の間でノイズなどによって流量を表すパルスが増加あるいは消失すると、制御装置が正確な流量を把握できないので、正確に充填することができない。本発明はこのような課題を解決することを目的にする。【解決手段】パルス信号補正装置を経由して流量計の出力を制御装置に入力する。パルス信号補正装置は流量計の出力と制御装置が受信したパルス数の差分を計算し、この差分に基づいて、次の出力周期で出力パルス数を補正するようにする。制御装置が正確な流量を得ることができるので、正確に充填できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の出力周期の間に出力すべきパルス数を表す設定値が入力され、パルス信号を補正して出力するパルス信号補正装置において、
補正値および前記設定値が入力され、前記設定値が表すパルス数を、前記補正値に基づいて補正したパルス信号を生成して対象物に出力するパルス発生部と、
前記出力期間の間、前記パルス発生部が前記対象物に出力したパルス信号をカウントしてそのカウント値を出力するパルス計数部と、
前記設定値および前記パルス計数部の出力が入力され、前記設定値が表すパルス数と前記パルス計数部の出力の差分を演算し、この差分を前記補正値として前記パルス発生部に出力するパルス数検算部と、
を具備したことを特徴とするパルス信号補正装置。
【請求項２】
１出力期間に補正できる最大パルス数、および／またはパルスを補正するタイミングを設定できるようにしたことを特徴とする請求項１記載のパルス信号補正装置。
【請求項３】
配管に流れる流量を測定し、この測定した流量に基づいてバルブを制御して、被充填容器に所定量の流体を充填する充填装置において、
前記配管に流れる流量を測定する流量計と、
前記配管に配置され、この配管に流れる流量を制御するバルブと、
前記流量計の出力が入力される、請求項１若しくは請求項２記載のパルス信号補正装置と、
前記パルス信号補正装置が出力するパルス信号が入力され、このパルス信号に基づいて前記バルブを制御する制御装置と、
を具備したことを特徴とする充填装置。
【請求項４】
前記パルス信号補正装置は補正したパルス数を前記流量計に出力し、
前記流量計は入力されたパルス数を積算し、この積算値が一定値以上になると、前記制御装置に警報を出力するようにしたことを特徴とする請求項３記載の充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パルス信号が正確に伝送されなかったことを検出して、正確なパルス数になるように補正する装置に関し、特に流量を測定して容器に充填する充填装置に用いて好適なパルス信号補正装置およびそれを用いた充填装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液体の流量を測定して容器に充填する流量充填装置の発明が記載されている。以下、図１１に基づいてこの発明の概要を説明する。
【０００３】
図１１は流量充填装置の構成図である。先端にノズル１２が取り付けられた充填液通路１１をフィラタンク１０に接続し、充填液通路１１に取り付けられた充填バルブ１３を開閉して、図示しない容器に液体を充填する。
【０００４】
充填液通路１１には電磁流量計１４が取り付けられている。電磁流量計１４は、充填液通路１１に流れる液体の流量に応じたパルス信号を出力する。このパルス信号は、制御装置１５内の演算部１５ａに入力される。演算部１５ａは入力されたパルス信号をカウントし、このカウント値が記憶部１５ｂに格納された設定値になると、充填バルブ１３を閉じる。
【０００５】
フィラタンク１０には温度計１６が設置され、その出力信号は演算部１５ａに入力される。フィラタンク１０内の液体は温度によって膨張、収縮するので、温度計１６の出力で流量を補正する。演算部１５ａは、記憶部１５ｂに格納されている膨張／収縮係数を用いて、流量値を補正する。
【０００６】
このような流量充填装置では、電磁流量計１４の誤差等のために、容器への充填量に誤差が発生する場合がある。このため、テスト充填を行って１パルスあたりの流量を求め、この流量を設定部１５ｃに保存しておく。演算部１５ａは、設定部１５ｃから１パルスあたりの流量を読み出し、記憶部１５ｂに格納された設定値を補正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１０５９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような流量充填装置には、次のような課題があった。
充填液の流量を測定する電磁流量計１４と制御装置１５は通常離隔して設置されるので、ケーブルを用いて電磁流量計１４の出力パルス信号を制御装置１５に伝送しなければならない。このため、伝送途中でノイズなどが混入して、電磁流量計１４が出力したパルス数と、制御装置１５が受信するパルス数が異なる場合が発生し、容器への充填量に誤差が発生してしまうという課題があった。
【０００９】
本発明の目的は、制御装置が受信するパルス数を補正することができるパルス信号補正装置およびそれを用いた充填装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
所定の出力周期の間に出力すべきパルス数を表す設定値が入力され、パルス信号を補正して出力するパルス信号補正装置において、
補正値および前記設定値が入力され、前記設定値が表すパルス数を、前記補正値に基づいて補正したパルス信号を生成して対象物に出力するパルス発生部と、
前記出力期間の間、前記パルス発生部が前記対象物に出力したパルス信号をカウントしてそのカウント値を出力するパルス計数部と、
前記設定値および前記パルス計数部の出力が入力され、前記設定値が表すパルス数と前記パルス計数部の出力の差分を演算し、この差分を前記補正値として前記パルス発生部に出力するパルス数検算部と、
を具備したものである。ノイズなどによって増加、消失したパルスを補正することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明において、
１出力期間に補正できる最大パルス数、および／またはパルスを補正するタイミングを設定できるようにしたものである。種々の環境に対応させることができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、
配管に流れる流量を測定し、この測定した流量に基づいてバルブを制御して、被充填容器に所定量の流体を充填する充填装置において、
前記配管に流れる流量を測定する流量計と、
前記配管に配置され、この配管に流れる流量を制御するバルブと、
前記流量計の出力が入力される、請求項１若しくは請求項２記載のパルス信号補正装置と、
前記パルス信号補正装置が出力するパルス信号が入力され、このパルス信号に基づいて前記バルブを制御する制御装置と、
を具備したものである。ノイズなどによってパルスが増加、消失しても、正確に充填することができる。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項３に記載の発明において、
前記パルス信号補正装置は補正したパルス数を前記流量計に出力し、
前記流量計は入力されたパルス数を積算し、この積算値が一定値以上になると、前記制御装置に警報を出力するようにしたものである。トラブルの発生前に不具合を発見することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば以下のような効果がある。
請求項１、２の発明によれば、所定の出力周期に出力するパルス数を表す設定値と対象物に出力したパルス数の差分を演算して補正値として出力し、パルス発生部は前記設定値で表されたパルス数をこの補正値で補正して対象物に出力するようにした。
【００１５】
ノイズなどによって対象物が受信するパルスが増加あるいは消失しても、この増加あるいは消失したパルスを補正することができるので、対象物は正確な数のパルスを受信することができるという効果がある。
【００１６】
また、１出力周期間で補正できる最大パルス数や補正のタイミングを可変できるようにすることにより、環境に応じた補正ができるという効果もある。
【００１７】
請求項３、４の発明によれば、被充填容器に充填する流体の流量を流量計で測定して充填する充填装置において、流量計の出力を請求項１若しくは請求項２のパルス信号補正装置を経由して充填を制御する制御装置に入力するようにした。
【００１８】
制御装置に至る経路の途中でパルスが増加あるいは消失しても、パルス信号補正装置で補正することができるので、制御装置は正確な流量を受信することができる。このため、制御装置は正確な流量を得ることができるので、被充填容器に正確な量を充填することができるという効果がある。
【００１９】
また、補正したパルス数を積算して、この積算値が一定値以上になると制御装置に警報を出力するようにすることにより、補正が行えないようになる前に機器のチェックなどを行うことができるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】パルス発生部２５ａの出力を表す波形図である。
【図３】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図４】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図５】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図６】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図７】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図８】パルス発生部２５ａの出力を表す波形図である。
【図９】パルスの補正手法を説明するための図である。
【図１０】本発明の他の実施例の構成図である。
【図１１】従来の充填装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るパルス信号補正装置を用いた充填装置の一実施例を示した構成図である。
【００２２】
図１において、２０はタンクであり、充填する液体が格納される。２１はタンク２０に取り付けられている配管、２２は液体を充填する被充填容器である。配管２１の途中には、バルブ２３が取り付けられている。バルブ２３が開状態になると、タンク２０中の液体は配管２１を通過して被充填容器２２に充填される。
【００２３】
２４ａは流量センサであり、配管２１の途中に設置される。流量センサ２４ａは、配管２１に流れる液体の流量を検出する。流量センサ２４ａの出力は流量演算部２４ｂに出力される。
【００２４】
流量演算部２４ｂは、流量センサ２４ａの出力から配管２１に流れる液体の流量を演算し、１出力周期（例えば１００ｍＳ）に流れる流量に比例するパルス数を表す設定値を出力する。流量演算部２４ｂの出力は１出力周期に出力するパルス数を表す信号であればよく、アナログ信号あるいはデジタル値であってもよい。この設定値は、出力周期毎に更新される。流量センサ２４ａおよび流量演算部２４ｂで流量計２４を構成している。
【００２５】
２５はパルス信号補正装置であり、パルス発生部２５ａ、パルス計数部２５ｂ、およびパルス数検算部２５ｃで構成される。これらパルス発生部２５ａ、パルス計数部２５ｂ、パルス数検算部２５ｃは、流量演算部２４ｂが出力する設定値の出力周期に同期して動作する。
【００２６】
パルス発生部２５ａには、流量演算部２４ｂの出力である設定値、およびパルス数検算部２５ｃの出力が入力される。パルス発生部２５ａは、パルス数検算部２５ｃの出力に基づいて、入力された設定値が表すパルス数を補正したパルス信号を生成し、パルス信号補正装置２５から離隔して設置されている制御装置２６に、この生成したパルス信号を出力する。
【００２７】
パルス計数部２５ｂには、制御装置２６に入力されるパルス信号が入力される。パルス計数部２５ｂは入力されたパルス信号を前記出力周期の間カウントし、そのカウント値をパルス数検算部２５ｃに出力する。
【００２８】
パルス数検算部２５ｃには、パルス発生部２５ａに入力される設定値、およびパルス計数部２５ｂの出力が入力される。パルス数検算部２５ｃは、入力された設定値が表すパルス数とパルス計数部２５ｂの出力の差分を演算し、その結果を補正値としてパルス発生部２５ａに出力する。
【００２９】
制御装置２６は、パルス信号補正装置２５の出力パルス信号に基づいてバルブ２３の開閉を制御する。制御装置２６は、被充填容器２２が空のときにバルブ２３を開いて液体を被充填容器２２に流入させる。流量計２４はこの液体の流量を計測し、設定値である流量信号を出力する。この設定値は、パルス信号補正装置２５で補正したパルス信号に変換され、制御装置２６に入力される。制御装置２６は、入力されたパルス信号のパルス数が被充填容器２２に充填する充填量になると、バルブ２３を閉じる。制御装置は対象物に相当する。
【００３０】
パルス発生部２５ａが出力するパルス信号の１パルスが表す液体の容量を予め定めておく。このようにすると、制御装置２６は、パルス発生部２５ａが出力するパルス数をカウントするだけで、被充填容器２２に流入した液体の容量を知ることができる。
【００３１】
なお、流量演算部２４ｂと制御装置２６の間には通信路が設置される。流量演算部２４ｂと制御装置２６は、この通信路に流れる通信信号を用いて、通信を行うことができる。
【００３２】
パルス信号補正装置２５と制御装置２６は離隔して配置されるので、パルス信号が制御装置２６に伝送される途中でノイズ等が混入してパルスが増加し、またパルスが消失して、流量演算部２４ｂの出力値が表すパルス数と制御装置２６が受け取るパルス数が異なる場合が発生する。このようなことが発生すると、実際に被充填容器２２に充填された充填量と制御装置２６が認識する充填量が異なり、被充填容器２２に充填される液体の量がばらつくという不具合が発生する。
【００３３】
このため、パルス信号補正装置２５によって制御装置２６に出力するパルス数を補正し、制御装置２６が被充填容器２２に充填された充填量を正確に認識できるようにする。
【００３４】
図２に、パルス発生部２５ａが出力するパルス信号の波形図を示す。パルス発生部２５ａは、各出力周期に一定周期のパルス信号を決められた数だけ出力する。図２では、出力周期１で１０個のパルスを出力し、次の出力周期２で５個のパルスを出力している。このパルス数を積算することにより、被充填容器２２に流入した液体の容量を知ることができる。
【００３５】
次に、図３〜図９に基づいてパルス信号補正装置２５の動作を説明する。なお、図３〜図７、図９において（Ａ）は流量演算部２４ｂの出力、（Ｂ）は制御装置２６が受信するパルス信号の波形図である。なお、（Ａ）は模式図であり、必ずしも流量演算部２４ｂの出力波形を表すものではない。
【００３６】
図３に、ノイズ等によって制御装置２６が受け取るパルス数が増加した場合の例を示す。（Ａ）に示すように、流量演算部２４ｂは出力周期１で１０個のパルスを出力し、次の出力周期２で５個のパルスを出力する。しかし、（Ｂ）の３０に示すように、制御装置２６への伝送途中でノイズが混入し、パルス数が増加したとする。このノイズ混入により、出力周期１の期間に制御装置２６が受け取るパルス数は１１になる。
【００３７】
パルス計数部２５ｂは出力周期１の間（Ｂ）のパルス信号をカウントするので、そのカウント値も１１になる。パルス計数部２５ｂはこのカウント値１１をパルス数検算部２５ｃに出力する。
【００３８】
パルス数検算部２５ｃは、流量演算部２４ｂの出力からパルス数を算出し、このパルス数とパルス計数部２５ｂから入力されたパルス数の差分を演算し、この差分を補正値としてパルス発生部２５ａに出力する。流量演算部２４ｂの出力から算出したパルス数は１０、パルス計数部２５ｂの出力値は１１なので、補正値は−１になる。
【００３９】
パルス発生部２５ａにはパルス数検算部２５ｃの出力である補正値が入力される。パルス発生部２５ａは、この補正値（−１）によって、制御装置２６が受信したパルス数が流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数より１つ多いことを知る。
【００４０】
このパルス数の差を補正するために、次の出力周期である出力周期２で、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数と入力された補正値とを加算したパルス数を有するパルス信号を生成し、制御装置２６に出力する。出力周期２では流量演算部２４ｂが表すパルス数は５なので、４個のパルスを制御装置２６に出力する。すなわち、パルス発生部２５ａは、流量演算部２４ｂが出力する設定値が表すパルス数を、入力された補正値に基づいて補正したパルス信号を生成して制御装置２６に出力する
【００４１】
このように、パルス数検算部２５ｃからの補正値が正値であると、パルス発生部２５ａは次の出力周期で流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数に補正値を加算したパルス数を出力し、負値であると補正値の絶対値だけ減じたパルス数を出力する。
【００４２】
出力周期１だけで見ると流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数と制御装置２６が受信するパルス数は異なっているが、出力周期１と２を合わせるとパルス数は１５となり、両者のパルス数は一致する。従って、制御装置２６は正確な積算流量値を得ることができる。
【００４３】
なお、出力周期２ではパルス数検算部２５ｂが出力するカウント値は４、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は５となるので、パルス数検算部２５ｃの出力値は＋１となる。しかし、パルス発生部２５ａは前回の出力周期１で１パルス補正したことを知っているので、次の出力周期では補正を行わない。
【００４４】
図４に、パルスが消失する例を示す。この例では、出力周期１で制御装置２６が受け取るパルスが１つ消失している。図４（Ｂ）において、３１の点線は消失したパルスを表している。この場合、出力周期１におけるパルス計数部２５ｂのカウント値は９、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は１０となるので、パルス数検算部２５ｃは差分の＋１をパルス発生部２５ａに出力する。パルス発生部２５ａは、この＋１によって次の出力周期２で流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数に１パルス追加したパルス数を、制御装置２６に出力する。３２は追加されたパルスを表す。
【００４５】
この場合も、出力周期１だけでは流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数と制御装置２６が受信するパルス数は異なるが、出力周期１と２を合わせると、両者のパルス数は一致する。
【００４６】
図３、図４ではパルスが追加あるいは消失した次の出力周期で補正するようにしたが、次の周期で補正できない場合は、その次の出力周期以降で補正するようにしてもよい。図５にこのような例を示す。
【００４７】
図５において、出力周期１において、３３に示すように制御装置２６が受信するパルス数が増加するが、次の出力周期である出力周期２ではパルスを補正せずに、その次の出力周期３で補正してもよい。３４の点線は、補正されて除去されたパルスを表している。
【００４８】
図６に、１つの出力周期では補正ができない場合の例を示す。図６において、（Ａ）に示すように、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は、出力周期１〜３でそれぞれ５個、３個、５個である。
【００４９】
（Ｂ）の出力周期１に示すように、ノイズ等によって制御装置２６が受信するパルス数が４増加する。３５は増加したパルスを表す。出力周期１の最後で、パルス発生部２５ａはパルス数検算部２５ｂから（−４）を受け取る。パルス発生部２５ａは、この入力値（−４）によって出力するパルス数を４減じようとするが、次の出力周期２では流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は３なので、出力周期２だけでは補正できない。
【００５０】
このため、出力周期２では流量制御装置２６に出力するパルス数を０とし、出力周期３で更に１つのパルスを減じるようにする。出力周期２、３の点線部は、出力されなかったパルスを表している。
【００５１】
１つの出力周期で補正できるパルス数を制限して、２出力周期以上で補正するようにすることもできる。図７は１出力周期で補正できる最大パルス数を１とした例である。この最大パルス数は、パルス発生部２５ａに設定される。
【００５２】
図７において、（Ａ）に示すように、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は、周期１〜３でそれぞれ５である。（Ｂ）に示すように、出力周期１で制御装置２６が受信するパルス数が２個増加する。３６は増加したパルスを表す。
【００５３】
出力周期１の終わりで、パルス発生部２５はパルス数検算部２５ｃから（−２）を受け取り、これによって２個のパルスを削除して補正しなければならないこと知る。しかし、１出力周期で補正できるパルス数の最大値は１なので、出力周期２、３でそれぞれ１個のパルスを削除するようにする。点線は削除されたパルスを表している。
【００５４】
図８に、パルス発生部２５ａが出力するパルス信号の他の形態を示す。図２〜図７の例では、パルス発生部２５ａは一定周期のパルスを出力するようにしていた。このため、出力するパルス数が少ないとパルスが出力周期の前半に集中し、また１出力周期間に出力できるパルス数に制限があるという欠点がある。
【００５５】
図８では、パルスを出力周期の間に均等に配置する。この場合、パルスの周期は１出力周期間に出力するパルス数によって変化する。出力周期１では１０個のパルスを出力しているが、出力周期２で出力するパルス数は１０個より少ないので、パルスの周期が長くなっている。
【００５６】
図９に、図８の形態のパルス信号で補正を行う例を示す。図９（Ａ）に示すように、流量演算部２４ｂの出力が表すパルス数は、出力周期１で６個、出力周期２で４個である。これらのパルスは均等に配置されるので、出力周期１と２ではパルスの周期が異なっている。
【００５７】
（Ｂ）の３７に示すように、出力周期１で制御装置２６が受け取るパルス数が増加したとする。パルス発生部２５ａはこの増加したパルスを補正するために、出力周期２で３個のパルスを制御装置２６に出力する。出力周期２で出力するパルス数が少ないので、その周期は出力周期１より長くなる。
【００５８】
図１０に、パルス信号補正装置の他の実施例を示す。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００５９】
図１０において、３０は流量計であり、流量センサ２４ａ、および流量演算部３０ａで構成される。流量演算部３０ａには、補正数積算部３０ｂが内蔵される。また、３１はパルス信号補正装置であり、パルス発生部３１ａ、パルス計数部２５ｂ、パルス数検算部２５ｃで構成される。流量演算部３０ａと制御装置２６の間には、通信路が設置されている。
【００６０】
基本的な動作は、図１実施例とほぼ同じである。流量演算部３０ａは流量センサ２４ａが測定した流量に比例するパルス数を表す信号をパルス発生部３１ａに出力する。パルス発生部３１ａは、パルス数検算部２５ｃが出力する補正値を用いて、制御装置２６に出力するパルス数を補正する。
【００６１】
この実施例では、パルス発生部３１ａは補正したパルスの数を補正数積算部３０ｂに出力する。補正数積算部３０ｂは、入力された補正値を積算する。流量演算部３０ａは、補正数積算部３０ｂが積算した積算値を参照して、この積算値が一定以上になると警報信号を制御装置２６に出力する。
【００６２】
正常な使用状態では、パルスの補正頻度は低い。このため、補正が頻繁に行われて補正数積算部３０ｂの積算値が大きくなると、システムのどこかに不具合が発生している可能性が高い。制御装置２６は流量演算部３０ａから警報信号を受け取ると、この警報信号を表示してシステムの検査を促す。このようにすることにより、システムの健全性が保たれる。
【００６３】
なお、図５、図７実施例において、後続するどの出力周期で補正するかを示す補正のタイミングと、１出力周期で補正できる最大パルス数のどちらか、あるいは両方をパルス発生部２５ａ、３１ａに設定できるようにしてもよい。この場合、図示しない入力手段を用いて、補正のタイミング、最大パルス数を設定するようにすればよい。このようにすることにより、状況に応じて最適な補正手法を選択することができる。
【００６４】
また、図１では流量計２４とパルス信号補正装置２５は分かれて配置されるようにしているが、パルス信号補正装置２５を流量計２４の内部に配置するようにしてもよい。
【００６５】
また、これらの実施例では出力周期を１００ｍＳとしたが、この値に限定されることはなく、他の値でもよい。
【００６６】
また、これらの実施例ではパル数数検算部２５ｃが出力する補正値は、流量演算部２４ｂ（３０ａ）の出力が表すパルス数とパルス計数部２５ｂの出力の差分としたが、この値に限定されることはない。要は、増加あるいは消失したパルス数がわかる値であればよい。
【００６７】
また、これらの実施例ではパルス信号補正装置には１出力周期間に出力するパルス数を表す信号を入力するようにしたが、流量演算部がパルス信号を生成し、この生成したパルス信号をパルス信号補正装置に入力するようにしてもよい。
【００６８】
また、図１、図１０実施例では制御装置２６はバルブ２３が開または閉のいずれかになるように制御するようにしたが、開閉の度合いを制御して所定の充填量になるようにしてもよい。
【００６９】
また、被充填容器２２に液体を充填するとして説明したが、気体であってもよい。
【００７０】
また、流量計として電磁流量計を用いたが、他の流量計であってもよい。
【００７１】
また、これらの実施例ではパルス信号補正装置を充填装置に用いたが、他の用途に用いてもよい。さらに、パルス信号補正装置に入力される設定値を流量としたが、流量以外の信号であってもよい。
【符号の説明】
【００７２】
２０  タンク
２１  配管
２２  被充填容器
２３  バルブ
２４、３０  流量計
２４ａ  流量センサ
２４ｂ、３０ａ  流量演算部
２５、３１  パルス信号補正装置
２５ａ、３１ａ  パルス発生部
２５ｂ  パルス計数部
２５ｃ  パルス数検算部
２６  制御装置
３０ｂ  補正数積算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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