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　平成１０年特許願第　　７１７８号「基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　７月３０日出願公開、特開平１１−２０４４１２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願は、平成１０年１月１９日の出願であって、平成１７年８月３１日付けで拒絶の査定がなされ、平成１７年１０月６日付けで審判請求がなされたものであり、その請求項１に係る発明は、平成１７年２月１５日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、次のとおりのものである。（以下、「本件発明」という。）
【請求項１】
「基板を加熱又は冷却する熱プレートと、
　所定の電力供給部から電力が供給され、前記熱プレートを昇温又は／及び降温させる熱源と、
　を備えた熱処理部を複数台搭載した基板処理装置において、
　（Ａ）各熱処理部の熱プレートの温度を個別に検出する温度検出手段と、
　（Ｂ）各熱処理部を立ち上げる際には、所定の立ち上げ順序に従って各熱処理部を順次立ち上げ対象として、〔１〕現在の立ち上げ対象の熱処理部の熱源をフルパワーで駆動するフルパワー駆動用電力を前記電力供給部からその熱処理部の熱源に供給してその熱処理部の立ち上げ制御を開始し、〔２〕前記温度検出手段からの出力データに基づき、現在の立ち上げ対象の熱処理部の熱プレートの温度を監視し、その熱プレートの温度が所定の目標温度に達すると、その熱処理部の制御を立ち上げ制御から定常運転制御に切り換えて、次に立ち上げる熱処理部を立ち上げ対象として前記〔１〕の制御を行うというように、前記〔１〕、〔２〕の制御を繰り返して各熱処理部を順次立ち上げる制御手段と、
　を備え、
　制御手段は、各熱処理部を立ち上げる際の所定の立ち上げ順序を、立ち上げ後の基板の熱処理部を用いる順番に応じて変えることを特徴とする基板処理装置。」
　
２．これに対し、原査定の拒絶の理由に引用した特願平９−２９２６０４号（特開平１１−１２６７４３号）の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書」という。）には、以下の記載がある。
　先願明細書の【特許請求の範囲】には、
「【請求項１】　被処理基板を加熱する複数の加熱手段と、
　これら加熱手段に電力の供給をオン・オフするメインスイッチと、
　前記メインスイッチがオンされたとき、前記各加熱手段に対して電力を時間的にずらしながら供給していく供給手段と
　を具備することを特徴とする処理装置。
【請求項２】　請求項１に記載の処理装置であって、
　前記供給手段が、加熱手段の作動順序に基づいて、電力を供給する手段であることを特徴とする処理装置。
【請求項３】　被処理体を複数の処理ユニットで処理する処理装置において、
　前記処理ユニットのうち少なくとも一つは被処理体を加熱する加熱手段を有し、　前記処理装置に、電力の供給をオン・オフするメインスイッチと、
　メインスイッチがオンされたときに、前記各処理ユニットに対して電力を時間的にずらしながら供給していく供給手段とを具備することを特徴とする処理装置。
【請求項４】　請求項３に記載の処理装置であって、
　前記供給手段が、加熱手段の作動順序に基づいて、電力を供給する手段であることを特徴とする処理装置。
【請求項５】　被処理基板を加熱する複数の加熱手段と、
　前記各加熱手段に対する電力の供給をオン・オフする複数のスイッチと、
　前記各加熱手段の温度を検出する手段と、
　前記検出された温度に基づき、前記各スイッチのオン・オフを制御する手段と、　当該装置の立ち上げ時に、前記各スイッチがオンとなることを規制する規制手段と、
　を具備することを特徴とする処理装置。
【請求項６】　請求項５に記載の処理装置であって、
　前記規制手段が、前記各スイッチに対してオンの規制を時間的にずらしながら解除していくことを特徴とする処理装置。
【請求項７】　請求項５に記載の処理装置であって、
　前記規制手段が、加熱手段の作動順序に基づいて、オンの規制を解除していくことを特徴とする処理装置。」
と記載されている。
　　
　先願明細書の【００２１】、【００２２】段落に、
「【００２１】図１は本発明の一実施形態に係るレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を備えた半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）の塗布現像処理システム１全体を示した平面図である。
【００２２】
　この塗布現像処理システム１では、…カセットステーション１０と、塗布現像工程の中で１枚ずつウエハＷに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置した処理ステーション１１と、…インタフェース部１２とが一体的に接続されている。…」
と記載されている。
　
　先願明細書の【００３５】、【００３６】段落に、
「【００３５】次に、…加熱型処理ユニットの構成および作用を説明する。…
【００３６】
　この加熱型処理ユニットの…開口５６内にヒータ等の加熱器を内蔵した円板状の熱板５６が載置台ＳＰとして設けられる。」
と記載されている。
　
　先願明細書の【００４２】ないし【００６５】段落に、
「【００４２】この熱板５６には電力を供給するための配線（図示省略）が配設されており、この熱板５６ごとにスイッチ（図示省略）が配設され、電力供給のオン・オフはこのスイッチにより熱板５６ごとに行われる。更に、この熱板５６のそれぞれには熱板５６の温度を検出する温度センサ（図示省略）が取り付けられており、後述する制御部を介し、この温度センサにより検出された熱板５６の温度に基づいて上記スイッチのオン・オフが制御されるようになっている。
…
【００４６】これら加熱型処理ユニットＵ１，Ｕ２，…、第一制御部９５、および第二制御部９６には電力が供給されており、この電力の供給のオン・オフの切り換えは図示しないメインスイッチにより行われる。
【００４７】上記処理ユニットＵ１，Ｕ２，…にはそれぞれヒータｈ１，ｈ２，…が組み込まれており、これらヒータｈ１，ｈ２，…のそれぞれと電源９０とはライン９１，９２，…で接続されている。…ライン９１，９２の途中にはリレースイッチＳＲ１，ＳＲ２，…がそれぞれ取り付けられており、それぞれヒータｈ１，ｈ２，…と電源９０との間を開閉する。…　
【００４８】これらゲートＧ１，Ｇ２，…のそれぞれの入力側端子の一方ｂ１，ｂ２，…は第一制御部９５の出力側に接続されている。この第一制御部９５の入力側にはヒータｈ１，ｈ２，…のそれぞれの温度を検出する温度センサＳ１，Ｓ２，…が接続されており、ヒータｈ１，ｈ２，…のそれぞれの温度に基づく信号をゲートＧ１，Ｇ２，…のそれぞれの入力側端子の一方ｂ１，ｂ２，…に入力するようになっている。
【００４９】また、ゲートＧ１，Ｇ２，…のそれぞれの残りの入力側端子ａ１，ａ２，…は第二制御部９６の出力側とそれぞれ接続されている。この第二制御部９６は処理ユニットＵ１，Ｕ２，…の作動時期に関するデータを予め記憶させるようになっており、このデータからヒータｈ１，ｈ２，…への電力供給時期に関する信号を出力し、出力された信号はゲートＧ１，Ｇ２，…のそれぞれの入力側端子ａ１，ａ２，…に入力されるようになっている。
【００５０】第一制御部９５はセンサＳ１，Ｓ２，…を介して各ヒータｈ１，ｈ２，…の温度を検出し、その検出したヒータｈ１，ｈ２，…の温度が予め定めた所定の温度より高いか低いかを判断し、高い場合にのみ、そのヒータに対応するゲートの入力側端子に向けて信号「１」を出力する。
【００５１】また、第二制御部９６は装置立ち上げ時に、ゲートＧ１，Ｇ２，…の入力側端子ａ１，ａ２，…に向けて、互いに時期をずらして、スイッチＯＮを指示する「１」の信号を順次出力する。このように「１」の信号を出力する時期をずらすことによりヒータの立ち上げ時期、即ち、一台のヒータに電流を流し初めてから、このヒータの温度が所定温度に達して第一制御部が作動し電流が断続的に流れるようになるまでの時期を複数のヒータ間で相違させる。
…
【００５４】本実施形態の塗布現像処理システム１のメインスッチをＯＮにして塗布現像システムを立ち上げると、電源９０からこの回路に電流が流れる。同時に、第一制御部９５，第二制御部９６へも別の配線（図示省略）を介して電力が供給される。　このメインスイッチをオンにした時間ｔ1の時点では、ヒータｈ１，ｈ２の温度は環境温度まで下がっているため、センサＳ１，Ｓ２を介して第一制御部９５はヒータｈ１，ｈ２へ電流を流すことが必要であると認識し、ヒータＯＮを指示する「１」の信号をゲートＧ１の入力側端子ｂ１とゲートＧ２の入力側端子ｂ２に向けてそれぞれ出力する。従って、ゲートＧ１，Ｇ２，…の各入力側端子ｂ１，ｂ２，…には装置立ち上げ時からスイッチＯＮを指示する「１」の信号が入力される。
【００５５】一方、第二制御部９６は、メインスイッチをオンすると、ゲートＧ１，Ｇ２，…の入力側端子ａ１，ａ２，…に向けて、互いに異なる時期に、スイッチＯＮを指示する「１」の信号を順次出力する。
【００５６】例えば、最初ゲートＧ１のみに向けてスイッチＯＮを指示する「１」の信号を出力し、次いで所定時間経過後にゲートＧ２に向けてスイッチＯＮを指示する「１」の信号を出力する。
【００５７】そのため、メインスイッチをオンにした時間ｔ1では、ゲートＧ１の入力側端子ａ１，ｂ１には共に信号「１」が入力される。…
　このとき、ゲートＧ１の作動条件が満されているため、ゲートＧ１の出力端子ｇ１からはリレースイッチのＯＮを指示する信号「１」が出力される。…
　出力端子ｇ１と接続されたリレースイッチＳＲ１の入力端子に信号「１」が入力されると、リレースイッチＳＲ１が作動して接点を繋げ、電源９０から電流をヒータｈ１に流す。…
　一方、ゲートＧ２については、時間ｔ1では、入力側端子ａ２には第二制御部９６からの信号「１」の入力はなく、「０」のままである。そして入力側端子ｂ２には第一制御部９５から信号「１」が入力される。…
　このとき、ゲートＧ２の作動条件が満されていないため、ゲートＧ２の出力端子ｇ２からはリレースイッチのＯＮを指示する信号「１」は出力されない。そのため、この出力端子ｇ２と接続されたリレースイッチＳＲ２も作動せず、電源９０からヒータｈ２にも電流は流されない。…時間ｔ1からｔ2までの間はリレースイッチＳＲ１は接点を繋げたままの状態に保たれ、その間ヒータｈ１は加熱を継続するが、時間ｔ2になると、ヒータｈ１の温度は所定の値に達する。ヒータｈ１の温度はセンサＳ１により検出され、第一制御部９５に送られるので、ヒータｈ１の温度が所定の値に達したことを認識した第一制御部９５は、もはや加熱継続の必要なしと判断し、ゲートＧ１の端子ｂ１に向けて信号「１」を出力するのを停止する。
【００５８】一方、ゲートＧ１の端子ａ１は時間ｔ1以後は信号「１」の状態が維持されるため、端子ｂ１へ信号「１」が送信されなくなるとゲートＧ１の作動条件が満されなくなり、ゲートＧ１の出力側端子ｇ１は「０」の状態になる。するとリレスイッチＳＲ１が接点を放してヒータｈ１へ電流が流れなくなる。…
　そして更に時間が経過してヒータｈ１の温度が低下すると、センサＳ１を介して温度低下を認識した第一制御部９５から再び信号「１」がゲートＧ１の端子ｂ１に向けて出力され、ゲートＧ１の作動条件が満されるので、端子ｇ１からリレースイッチＳＲ１に向けて信号「１」が出力され、リレースイッチＳＲ１が接点を繋げてヒータｈ１に電流を流す。…
　以下同様にヒータｈ１の温度変化に基づいてゲートＧ１の端子ｂ１への入力信号が「０」と「１」との間で変化し、これに伴なってヒータｈ１を流れる電流Ｉ1が断続的に変化する。この時間ｔ2以後の電流Ｉ1が断続的に変化する状態がいわゆる安定状態であり、…この間の電力量は時間ｔ1〜ｔ2の電力量より少ない。
【００５９】…ヒータｈ１が安定状態に入る時間ｔ2になると、第二制御部９６からゲートＧ２の端子ａ２に向けて信号「１」が出力される。…ゲートＧ２の端子ｂ２には時間ｔ1以後信号「１」が入力されているので、時間ｔ2でゲートＧ２の端子ａ２に向けて信号「１」が出力されると、ゲートＧ２の作動条件が満たされて出力側端子ｇ２に信号「１」が出力される。…
　ゲートＧ２の出力側端子ｇ２に信号「１」が出力されると、この信号を受けたリレースイッチＳＲ２が作動して…時間ｔ2の部分に示したようにヒータｈ２に電流Ｉ2が流れる。
【００６０】時間ｔ2からヒータｈ２が所定の温度に達する時間ｔ5までの間は第一制御部９５から信号「１」がゲートＧ２の入力側端子ｂ２に向けて出力されたままとなるので…時間ｔ2〜ｔ5の部分に示すように電流Ｉ2は流され続けるが、時間ｔ5になって、ヒータｈ２の温度が所定の温度に達すると、センサ２を介して第一制御部９５が加熱の必要がないと判断し、ゲートＧ２の入力側端子ｂ２に向けて信号「１」を出力するのを停止する。すると、ゲートＧ２の作動条件が満されなくなり、出力側端子ｇ２に信号「０」が出力され、これを受けたリレースイッチＳＲ２が接点を放してヒータｈ２に電流が流れなくなる。…
　その後時間ｔ6になってヒータｈ２の温度が低下すると、センサＳ２を介してその温度低下を認識した第一制御部９５が信号「１」をゲートＧ２の入力側端子ｂ２に向けて出力する。すると、再びゲートＧ２の出力側端子ｇ２には「１」が出力され、これを受けたリレースイッチＳＲ２が再び接点を繋げてヒータｈ２に電流Ｉ2が流れる。…
　以下同様に、ヒータｈ２の温度に応じて第一制御部９５からゲートＧ２の入力側端子ｂ２へ向けて出力される信号が「０」と「１」との間で変化し、これに伴なってヒータｈ２を流れる電流Ｉ2が断続的に変化する。…この時間ｔ5以後の電流Ｉ2が断続的に変化する安定化状態では、…時間ｔ5以後の部分が示すように、この間の電力量は時間ｔ1〜ｔ5の電力量より少ない。
…
【００６２】時間ｔ2〜ｔ5になると、ヒータｈ１に加え、ヒータｈ２にも電流が流れるため総電流は大きくなるが、時間ｔ2以後ではヒータｈ１は安定状態に入り、電流は断続的に流れるためヒータｈ１を流れる分は小さい。従って、時間ｔ2〜ｔ5での総電流はヒータｈ２を立ち上げるのに必要な電流に、ヒータｈ１で必要とされる小さい電流を加えたものであり、２台のヒータｈ１、ｈ２を同じタイミングで立ち上げる場合に比較して小さい電流ですむ。
【００６３】更に時間ｔ5以後では２機のヒータｈ１，ｈ２が共に安定化状態に入るので、必要とされる電流は更に小さくて済む。
【００６４】以下同様に、…複数のヒータ内に流れる電流が同じ時期に集中して大きな電流が回路内に流れることが防止される。
【００６５】このように、本実施形態の塗布現像処理システム１では、…各ヒータｈ１，ｈ２，…について、装置立ち上げ時に、電源が入ったままに保たれる立ち上げ時期が互いに重ならないように制御しているので、装置立ち上げ時の同じ時期に複数のヒータｈ１，ｈ２，…について電源が入ったままに保たれることがなく、そのため、一時に大きな電力が消費されることが防止される。」
と記載されている。
　
　先願明細書の【００７０】段落に、
「…複数の加熱処理ユニットＵ１，Ｕ２…の作動順に従って各ヒータｈ１、ｈ２…の電力供給時期を制御するようにしてもよい。」と記載されている。
　
　先願明細書の【００７２】、【００７３】段落に、
「【００７２】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１記載の本発明によれば、複数の加熱手段について、装置のメインスイッチをオンしたときに、各加熱手段に対して電力を時間的にずらしながら供給するようにしたので、前記各加熱手段に電源が入ったままの状態に保たれる立ち上げ時期が一時に集中することがなくなり、装置立ち上げ時の一時に大電力が消費されることが防止される。
【００７３】請求項２記載の本発明によれば、前記供給手段が、加熱手段の作動順序に基づいて、電力を供給するようにしたので、前記各加熱手段に電源が入ったままの状態に保たれる立ち上げ時期が一時に集中することがなくなり、装置立ち上げ時の一時に大電力が消費されることが防止される。また、作動順序の遅い加熱手段に対し、必要以上に早い時期から電力を供給することがなくなるので、電力消費量を節約することができる。」
と記載されている。
　
　先願明細書の図７には、タイミングチャートが図示され、ヒータｈ１、ｈ２のタイミングチャートを比較してみると、ヒータｈ１の次にヒータｈ２を立ち上げることが示されている。
　
　そして、図７から、ヒータｈ１の次にヒータｈ２を立ち上げることが読み取れ、【００６４】段落に、「以下、同様に、後続のヒータｈ３、ｈ４、…についても互いに立ち上げ時期についても互いに重ならないように電力投入時期を制御するので、複数のヒータ内に流れる電流が同じ時期に集中して大きな電流が回路内に流れることが防止される。」と記載されているから、先願明細書には、ヒータｈ１、ヒータｈ２、…の順番で各ヒータを立ち上げること、すなわち、所定の立ち上げ順序に従って各ヒータを順次立ち上げ対象として電力を供給することが記載されていることは明らかである。
　
　また、【００６７】段落に、「なお、本発明はこの実施形態の内容に限定されるものではない。」と記載され、その実施形態の一つとして、【００７０】段落には、「…複数の加熱処理ユニットＵ１，Ｕ２…の作動順に従って各ヒータｈ１、ｈ２…の電力供給時期を制御するようにしてもよい。」と記載されている。
　そこで、【００７０】段落の記載について検討してみる。
　加熱処理ユニットがウエハを加熱するためのヒータを備えている点、また、加熱処理ユニットはヒータの立ち上げ後に用いられることは明らかである点からみて、上記記載における「複数の加熱処理ユニットＵ１，Ｕ２…の作動順」とは、ウエハを加熱するヒータについて、立ち上げ後のウエハのヒータを用いる順番であることは自明である。
　また、上記記載における「各ヒータｈ１、ｈ２…の電力供給時期」は、各ヒータを立ち上げる際の立ち上げ順序であることは明らかである。
　してみると、【００７０】段落には、各ヒータを立ち上げる際の立ち上げ順序を、立ち上げ後のウエハの加熱処理ユニットを用いる順番に従って制御する点が記載されているといえる。
　
　したがって、先願明細書には、
「ウエハを加熱する熱板と、
　所定の電源から電力が供給され、前記熱板を昇温させるヒータと、
　を備えた加熱型処理ユニットを複数台搭載したウエハの塗布現像処理システムにおいて、
　（Ａ）各加熱型処理ユニットの熱板の温度を個別に検出するセンサと、
　（Ｂ）各加熱型処理ユニットを立ち上げる際には、加熱手段の作動順序に基づいて各加熱型処理ユニットを順次立ち上げ対象として、〔１〕現在の立ち上げ対象の加熱型処理ユニットのヒータを駆動する駆動用電力を前記電源からその加熱型処理ユニットのヒータに供給してその加熱型処理ユニットの立ち上げ制御を開始し、〔２〕前記センサからの信号に基づき、現在の立ち上げ対象の加熱型処理ユニットの熱板の温度を監視し、その熱板の温度が所定の目標温度に達すると、その加熱型処理ユニットの制御を立ち上げ制御から安定状態の制御に切り換えて、次に立ち上げる加熱型処理ユニットを立ち上げ対象として前記〔１〕の制御を行うというように、前記〔１〕、〔２〕の制御を繰り返して各加熱型処理ユニットを順次立ち上げる第１制御部及び第２制御部と、
　を備え、
　第１制御部及び第２制御部は、複数の加熱型処理ユニットの各ヒータを立ち上げる際の立ち上げ順序を、立ち上げ後のウエハの加熱型処理ユニットを用いる順番に従って制御するウエハの塗布現像処理システム」
の発明（以下、「先願発明」という。）が記載されている。
　
３．対比・判断
　本件発明と先願発明とを対比すると、　先願発明の「ウエハ」、「熱板」、「電源」、「ヒータ」、「加熱型処理ユニット」、「ウエハの塗布現像処理システム」、「センサ」、「信号」、「安定状態の制御」及び「第１制御部及び第２制御部」は、本件発明の「基板」、「熱プレート」、「電力供給部」、「熱源」、「熱処理部」、「基板処理装置」、「温度検出手段」、「出力データ」、「定常運転制御」及び「制御手段」にそれぞれ相当する。
　また先願発明の「第１制御部及び第２制御部は、複数の加熱型処理ユニットの各ヒータを立ち上げる際の立ち上げ順序を、立ち上げ後のウエハの加熱型処理ユニットを用いる順番に従って制御するウエハの塗布現像処理システム」と、本件発明の「制御手段は、各熱処理部を立ち上げる際の所定の立ち上げ順序を、立ち上げ後の基板の熱処理部を用いる順番に応じて変えることを特徴とする基板処理装置」とは、共に、「制御手段は、各熱処理部を立ち上げる際の立ち上げ順序を、立ち上げ後の基板の熱処理部を用いる順番に従って調整する基板処理装置」と言い変えることができる。
　　
　そうすると、両者は、
「基板を加熱又は冷却する熱プレートと、
　所定の電力供給部から電力が供給され、前記熱プレートを昇温させる熱源と、
　を備えた熱処理部を複数台搭載した基板処理装置において、
　（Ａ）各熱処理部の熱プレートの温度を個別に検出する温度検出手段と、
　（Ｂ）各熱処理部を立ち上げる際には、所定の立ち上げ順序に従って各熱処理部を順次立ち上げ対象として、〔１〕現在の立ち上げ対象の熱処理部の熱源を駆動する駆動用電力を前記電力供給部からその熱処理部の熱源に供給してその熱処理部の立ち上げ制御を開始し、〔２〕前記温度検出手段からの出力データに基づき、現在の立ち上げ対象の熱処理部の熱プレートの温度を監視し、その熱プレートの温度が所定の目標温度に達すると、その熱処理部の制御を立ち上げ制御から定常運転制御に切り換えて、次に立ち上げる熱処理部を立ち上げ対象として前記〔１〕の制御を行うというように、前記〔１〕、〔２〕の制御を繰り返して各熱処理部を順次立ち上げる制御手段と、
　を備え、
　制御手段は、各熱処理部を立ち上げる際の立ち上げ順序を、立ち上げ後の基板の熱処理部を用いる順番に従って調整する基板処理装置。」
において一致し、以下の点で、一応相違する。
　
　相違点１；熱プレートが、本件発明は、基板を加熱又は冷却するのに対して、先願発明は、基板を加熱する点。
　
　相違点２；熱源について、本件発明は、熱プレートを昇温又は／及び降温させるのに対して、先願発明は、熱プレートを昇温させる点。
　
　相違点３；現在の立ち上げ対象の熱処理部の熱源を駆動する駆動用電力を前記電力供給部からその熱処理部の熱源に供給してその熱処理部の立ち上げ制御を開始する際の駆動用電力が、本件発明は、熱源をフルパワーで駆動するフルパワー駆動用電力であるのに対して、先願発明は、フルパワー駆動用電力とは規定されていない点。
　
　相違点４；各熱処理部を順次立ち上げる制御手段が、本件発明は、立ち上げ順序を、立ち上げ後の基板の熱処理部を用いる順番に応じて変えるのに対し、先願発明では、立ち上げ順序を、立ち上げ後のウエハの加熱型処理ユニットを用いる順番に従って制御する点。
　
　以下相違点について検討する。
　相違点１及び相違点２を合わせて判断する。
　本件発明の「基板を加熱又は冷却する」こと及び「熱プレートを昇温又は／及び降温させる」ことは、「基板を加熱する」ことのみの場合及び「熱プレートを昇温させる」ことのみの場合も規定しているので、相違点１及び相違点２に係る本件発明及び先願の発明特定事項に差異はないので、相違点１及び２は実質的な相違点ではない。
　
　相違点３について検討すると、先願明細書には、ヒータに電流を流してヒータを立ち上げる際に、ヒータをフルパワーで駆動する旨の記載がないが、ヒータを速やかに立ち上げることは当然要求されることにすぎず、本件発明の「立ち上げ対象の熱処理部の熱源をフルパワーで駆動する」構成は、先願発明においても当然考慮している設計事項にすぎない。
　
　相違点４について検討すると、先願発明の「順番に従って制御する」ことは、「順番に応じて変える」ことであり、これらは文言上の相違であるので、相違点４は実質的な相違点ではない。
　
　なお、請求人は、審判請求理由において、先願発明は、作動順序が固定されている旨主張するが、先願明細書の【００４２】段落以下の実施形態、及び【００７０】段落を参照すると、作動順序が固定されていると解することはできず、請求人の主張は受け入れられない。
　
　したがって、相違点１乃至４は、いずれも実質的な相違点ではないので、本件発明は先願明細書に記載された発明と同一である。
　
４．むすび
　したがって、本件発明は、先願明細書に記載された発明と同一であり、しかも、本件発明の発明者が上記先願明細書に記載された発明の発明者と同一であるとも、また、本件の出願時に、その出願人が上記他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、本件発明は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。　
　よって、結論のとおり審決する。