【手続補正書】
【提出日】平成21年11月12日(2009.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設計データ空間における検査データの位置を決定するためのコンピュータ実施方法であって、
ウェハ上のアライメント部位について検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせるステップと、
設計データ空間における前記所定のアライメント部位の位置に基づいて前記設計データ空間における前記ウェハ上の前記アライメント部位の位置を決定するステップと、
前記設計データ空間における前記ウェハ上の前記アライメント部位の前記位置に基づいて前記設計データ空間における前記検査システムにより前記ウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項２】
前記設計データ空間における前記検査データの前記位置と前記設計データ空間における設計データの１つまたは複数の属性と、前記検査データの１つ又は複数の属性とに基づいて、前記ウェハの異なる部分で欠陥を検出する感度を決定するステップをさらに含み、前記検査データの前記１つ又は複数の属性は、欠陥が前記異なる部分において検出された場合、１つ又は複数のイメージ・ノイズ属性、又はその何らかの組合せを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ウェハ上で検出された欠陥をビン範囲に従って分けるコンピュータ実施方法であって、
設計データ空間における前記欠陥の位置に近接する設計データの部分同士を比較するステップと、
前記比較の結果に基づいて前記部分における設計データが少なくとも類似しているかどうかを判定するステップと、
前記欠陥をビン範囲に従ってグループ分けする際に、前記グループのそれぞれにおける前記欠陥の前記位置に近接する前記設計データの部分が少なくとも類似しているようにグループ分けするステップと、
前記ビン範囲によるグループ分けの結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項４】
前記部分の寸法は、少なくとも一部は、前記欠陥を検出するために使用される検査システムにより報告された欠陥の位置、前記検査システムの座標の不正確さ、前記設計データの１つ又は複数の属性、欠陥サイズ、前記検査システムの欠陥サイズ誤差、又はそれらの何らかの組合せに基づいて決定されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
ウェハ上で検出された欠陥の欠陥クリティカル度指数を決定するコンピュータ実施方法であって、
前記欠陥が前記ウェハ上に加工されているデバイスの１つ又は複数の電気的属性を変える確率を、設計データ空間における前記欠陥の前記位置に近接する前記デバイスに対する設計データの１つ又は複数の属性に基づいて決定するステップと、
前記欠陥が１つ又は複数の電気的属性を変える前記確率に基づいて前記欠陥に対する前記欠陥クリティカル度指数を決定するステップと、
前記クリティカル度指数を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項６】
ウェハ上に形成されているメモリ・バンクに対するメモリ修復指数を決定するコンピュ
ータ実施方法であって、
前記メモリ・バンクのアレイ・ブロック領域内に配置されている欠陥に基づいて前記メモリ・バンクを修復するのに必要な冗長行の個数と冗長列の個数を決定するステップと、
前記メモリ・バンクを修復するのに必要な前記冗長行の個数を前記メモリ・バンクの利用可能な冗長行の量と比較するステップと、
前記メモリ・バンクを修復するのに必要な前記冗長列の個数を前記メモリ・バンクの利用可能な冗長列の量と比較するステップと、
前記メモリ修復指数は、前記メモリ・バンクが修復可能であるかどうかを示すものであり、前記冗長行の個数を前記比較した結果と前記冗長列の個数を前記比較した結果とに基づいて前記メモリ・バンクに対する前記メモリ修復指数を決定するステップと、
前記メモリ修復指数を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項７】
ウェハ上で検出された欠陥をビン範囲に従って分けるコンピュータ実施方法であって、
少なくとも類似している設計データに近接して配置されているホット・スポットは互いに相関しているとき、設計データ空間における前記欠陥の位置を設計データにおけるホ
ット・スポットの位置と比較するステップと、
前記欠陥と少なくとも類似している位置を有する前記ホット・スポットとを関連付けるステップと、
前記グループのそれぞれにおける前記欠陥が互いに相関するホット・スポットのみに関連付けられるように前記欠陥をビン範囲に従ってグループ分けするステップと、
前記ビン範囲によるグループ分けの結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項８】
前記グループの前記１つ又は複数に含まれる前記欠陥に関連付けられている前記ホット・スポットと相関する全ホット・スポットの数及び前記グループの前記１つ又は複数に含まれる前記欠陥の数により前記グループの１つ又は複数を優先順位付けするステップをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
ウェハ上で検出された欠陥をビン範囲に従って分けるコンピュータ実施方法であって、
設計データ空間における前記欠陥の位置に近接する設計データの１つ又は複数の属性を比較するステップと、
前記比較の結果に基づいて前記欠陥の前記位置に近接する前記設計データの前記１つ又は複数の属性が少なくとも類似しているかどうかを判定するステップと、
前記欠陥をビン範囲に従ってグループ分けする際に、前記グループのそれぞれにおける前記欠陥の前記位置に近接する前記設計データの前記１つ又は複数の属性が少なくとも類似しているようにグループ分けするステップと、
前記ビン範囲によるグループ分けの結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項１０】
前記１つ又は複数の属性を使用して前記欠陥がランダム欠陥であるか、系統的欠陥であるかを判定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
ウェハ上で検出された欠陥に分類を割り当てるコンピュータ実施方法であって、
設計データ空間における前記欠陥の位置に近接する設計データの部分を異なる設計ベースの分類に対応する設計データと比較することであって、前記異なる設計ベースの分類に対応する前記設計データと前記異なる設計ベースの分類とがデータ構造体に格納される、
前記比較するステップと、
前記比較の結果に基づいて前記部分における前記設計データが前記異なる設計ベースの分類に対応する前記設計データに少なくとも類似しているかどうかを判定するステップと、
前記部分における前記設計データに少なくとも類似している前記設計データに対応する前記設計ベースの分類を前記欠陥に割り当てるステップと、
前記割り当ての結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項１２】
ウェハの検査プロセスを変更する方法であって、
前記設計データにおける注目する１つ又は複数のパターンが印刷される前記ウェハ上の配置をレビューするステップと、
欠陥が前記注目する１つ又は複数のパターンの前記配置のところで検出されるべきであったかどうかを前記レビューした結果に基づいて判定するステップと、
前記注目する１つ又は複数のパターンのうちの少なくともいくつかで配置されている欠陥に対する１つ又は複数の欠陥捕捉率を改善するために前記検査プロセスを変更するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
設計データと欠陥データを表示し、分析するように構成されたシステムであって、
半導体デバイスの設計レイアウトと、前記半導体デバイスの少なくとも一部が形成されるウェハについて取り込まれたインライン検査データと、前記ウェハについて取り込まれた電気的試験データとを表示するように構成されたユーザー・インターフェイスと、
前記ユーザー・インターフェイスを介してユーザーから前記分析を実行する命令を受け取った後、前記設計レイアウト、前記インライン検査データ、前記電気的試験データの１つ又は複数を分析するように構成されたプロセッサと、
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項１４】
ウェハ上で検出された電気的欠陥の根本原因を突き止めるためのコンピュータ実施方法であって、
設計データ空間における前記電気的欠陥の位置を決定するステップと、
前記電気的欠陥の一部の前記位置が１つ又は複数のプロセス条件に対応する空間シグネチャを定めるかどうかを判定するステップと、
前記電気的欠陥の前記部分の前記位置が前記１つ又は複数のプロセス条件に対応する空間シグネチャを定める場合に、前記電気的欠陥の前記部分の前記根本原因を前記１つ又は複数のプロセス条件として識別するステップと、
前記識別した結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項１５】
レビューのためウェハ上で検出された欠陥を選択するコンピュータ実施方法であって、
前記ウェハ上の１つ又は複数の欠陥タイプの位置に関連付けられている、前記ウェハ上の１つ又は複数のゾーンを識別するステップと、
レビュー対象の前記１つ又は複数のゾーンのみにおいて検出された欠陥を選択するステップと、
前記選択の結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。
【請求項１６】
設計データに対する１つ又は複数の歩留まり関係プロセスを評価するコンピュータ実施方法であって、
ルール・チェックを使用して前記設計データにおける潜在的障害を識別するステップと、
前記潜在的障害の１つ又は複数の属性を決定するステップと、
前記１つ又は複数の属性に基づいて前記潜在的障害が検出可能であるかどうかを判定するステップと、
前記１つ又は複数の属性に基づいて複数の異なる検査システムのうちのどれが潜在的障害を検出するのに最も適しているかを判定するステップと、
前記複数の異なる検査システムのうちのどれが前記検出に最も適しているかを前記判定した結果を記憶媒体に格納するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータ実施方法。