【事件の表示】
　特許第４７７６５５１号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第４７７６５５１号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１０，１２〜１４について訂正することを認める。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件審判請求に係る主な経緯は、次のとおりである。
　平成１６年　２月２０日　優先日（以下「本件優先日」という。）
　平成１７年　２月　１日　出願（ＰＣＴ／ＥＰ２００５／０００９４７，特願２００６−５５３４７６。以下、この出願を「本件出願」という。）
　平成２３年　７月　８日　特許登録（特許第４７７６５５１号。以下、この特許を「本件特許」という。）
　平成３０年　７月３０日　本件審判請求
第２　本件審判請求の趣旨
　１　本件審判請求の趣旨は、特許第４７７６５５１号の特許請求の範囲を、本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１０，１２〜１４について訂正することを認める、との審決を求めることである。
　そして、その訂正事項（以下、総称して、「本件訂正」という。）は、次のとおりである（下線は、請求人が付したものである。）。
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１０に「前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータ（３３０）によって加えられる前記力に応じて制御するコントローラ（４０）を有することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。」と記載されているのを、
「
複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、
る投
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１２に「前記少なくとも１つのマニピュレータ（５２６ｂ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つに直接係合することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。」と記載されているのを、
「
複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、
る投
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１３に「前記少なくとも１つのマニピュレータ（１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つを含むホルダ（１２２ａ、１２２ｂ；２２２ａ、２２２ｂ）に係合することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。」と記載されているのを、
「
複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、
る投
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項１４に「前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６、５２６ｂ、５２６ｃ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つを含むホルダ（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）が支持されるフレーム（２４）に係合することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の投射対物レンズ。」とあるのを、
「
複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、
る投
　２　一群の請求項等について
　本件審判請求は、訂正後の請求項１０，１２〜１４（本件訂正前の請求項１０，１２〜１４の引用関係からすれば、これらは、一群の請求項であると判断される。）を一群の請求項として扱ってはいないけれども、別の訂正単位とする求めがなされている（本件審判請求書１４頁）ものである。
　なお、本件審判請求は、本件特許の願書に添付した明細書（以下「本件明細書」という。）を訂正の対象とはしていない。
第３　当審の判断
　訂正事項１〜４について、訂正の適否を検討する。
　１　訂正事項１について
（１）訂正の目的
　訂正事項１は、
　第一に、本件訂正前の請求項１０が「請求項１から８のいずれか一項」を引用していたのを、請求項２から８については引用しないことにし、
　第二に、本件訂正前の請求項１０の記載が請求項１の記載を引用した形式であったものを、請求項１の記載を引用しない形式に訂正し、
　第三に、「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」（引用元である請求項１に記載されている事項である。）を「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　よって、同第一の点は、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的としている。同第二の点は、特許法第１２６条第１項ただし書き第４号のいわゆる引用関係の解消を目的としている。同第三の点は、「前記光学要素の位置変化」を、「前記変形に起因する」もののうち、「前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる」ものに限定したものと解されるから、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的としている。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１２６条第１項ただし書きの規定に適合する。
（２）新規事項追加の有無
　本件明細書の【００３２】には、「傾斜の方向は、図３において矢印３６で示される。傾斜する理由は、力の２フォールド(two-fold)対称性が、取り付けユニット２２ａ、２２ｂ、２２ｃにおける取り付けの３フォールド(three-fold)対称性に整合させることができないためである。適切に選択された４点で取り付ければこの傾斜は起こらないであろう。」と記載されている。
　そして、この記載に接した当業者は、そのメカニズムに照らせば、対称性の具体的な形態（２フォールド、３フォールド）に係わらず、力の対称性と取り付けの対称性との不整合がある場合は、同様に、傾斜が生じることを理解することができると認められる。
　そうすると、訂正事項１は、新規事項を追加するものではないというべきであり、よって、特許法第１２６条第５項の規定に適合する。
（３）特許請求の範囲の拡張又は変更の有無
　訂正事項１は、上記（１）のとおり、「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」を「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　したがって、訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものには該当せず、よって、特許法第１２６条第６項の規定に適合する。
（４）独立特許要件の有無
　後記３で判断する。
　２　訂正事項２〜訂正事項４について
（１）訂正の目的、新規事項追加の有無、特許請求の範囲の拡張又は変更の有無
　訂正事項２は、
　第一に、本件訂正前の請求項１２が「請求項１から１１のいずれか一項」を引用していたのを、請求項２から１１については引用しないことにし、
　第二に、本件訂正前の請求項１２の記載が請求項１の記載を引用した形式であったものを、請求項１の記載を引用しない形式に訂正し、
　第三に、「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」（引用元である請求項１に記載されている事項である。）を「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　訂正事項３は、
　第一に、本件訂正前の請求項１３が「請求項１から１１のいずれか一項」を引用していたのを、請求項２から１１については引用しないことにし、
　第二に、本件訂正前の請求項１３の記載が請求項１の記載を引用した形式であったものを、請求項１の記載を引用しない形式に訂正し、
　第三に、「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」（引用元である請求項１に記載されている事項である。）を「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　訂正事項４は、
　第一に、本件訂正前の請求項１４が「請求項１から１１のいずれか一項」を引用していたのを、請求項２から１１については引用しないことにし、
　第二に、本件訂正前の請求項１４の記載が請求項１の記載を引用した形式であったものを、請求項１の記載を引用しない形式に訂正し、
　第三に、「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」（引用元である請求項１に記載されている事項である。）を「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　そうすると、上記１（１）〜（３）の判断は、訂正事項２〜４についても、同様に成り立つことになる。
　したがって、訂正事項２〜４は、特許法第１２６条第１項ただし書き、同第５項及び同第６項の規定に適合する。
（２）独立特許要件の有無
　後記３で判断する。
　３　独立特許要件の有無
　本件特許については、東京地方裁判所に特許権侵害差止請求事件（平成２９年（ワ）第１４２９７号、以下「本件侵害事件」という。）が係属している。そして、本件侵害事件では、いわゆる無効の抗弁（以下「本件無効抗弁」という。）が、同事件の被告（以下、単に「被告」という。）により提出され、審理されている。そして、本件無効抗弁は、本件特許の請求項１に係る発明について提出されている。
　しかるところ、本件無効抗弁が対象とする請求項は、当審が独立特許要件を判断する対象に関する請求項（すなわち、本件訂正がされた請求項１０，請求項１２，請求項１３及び請求項１４）とは異なっている。しかしながら、本件訂正後の当該各請求項に係る発明は、実質的には、本件特許の請求項１に係る発明を限定したものである。そうすると、本件無効抗弁は、当審が独立特許要件を判断する対象に関する請求項と関連性があるということができる。
　そこで、当審は、以下、本件無効抗弁に係る無効理由を、本件訂正後の請求項１０，請求項１２，請求項１３及び請求項１４に関する限りにおいて検討することとする。
（１）本件無効抗弁に係る無効理由の概要
　ア　上記無効理由は、次のとおりである。
（ア）無効理由１（サポート要件違反）
　本件特許の請求項１の記載は、サポート要件違反である（被告第３準備書面第２頁〜第３頁、被告第４準備書面第２頁〜第５頁）
（イ）無効理由２（実施可能要件違反）
　本件明細書の記載は、本件特許の請求項１に係る発明について、実施可能要件違反である（被告第３準備書面第４頁、被告第４準備書面第５頁〜第６頁）
　
（ウ）無効理由３（乙１に基づく進歩性欠如）
　本件特許の請求項１に係る発明は、乙１発明及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである（被告第３準備書面第４頁〜第１１頁、被告第４準備書面第６頁〜第１３頁）。
（エ）無効理由４（乙９に基づく進歩性欠如）
　本件特許の請求項１に係る発明は、乙９発明及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである（被告第３準備書面第１１頁〜第１７頁、被告第４準備書面第１３頁〜第１５頁）。
（オ）無効理由５（乙６に基づく進歩性欠如）
　本件特許の請求項１に係る発明は、乙６発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものである（被告第４準備書面第１５頁〜第２１頁）。
　イ　本件無効抗弁において提出されている証拠は次のとおりである。
　乙１：特開２００１−２３０１９３号公報
　乙２：特開平１０−３９２０８号公報
　乙３：特開２００４−１２８９５号公報
　乙４：特開平９−１５２５０５号公報
　乙５：米国特許第６３９８３７３号明細書
　乙６：特開平８−８１７８号公報
　乙７：特開平３−２７１７１０号公報
　乙８：特開平５−１９１８１号公報
　乙９：特開２００３−３０２５７８号公報
　乙１０：特開平９−３０４９４０号公報
　乙１１：Ｈｕｇｈ　Ｊ．　Ｒｏｂｅｒｔｓｏｎ，“Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｔｈｉｎ　Ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ　Ａｃｔｉｖｅ　Ｏｐｔｉｃｓ　Ｍｉｒｒｏｒ　Ｃｏｎｃｅｐｔ”，ＮＡＳＡ　ＣＯＮＴＲＡＣＴＯＲ　ＲＥＰＯＲＴ，１９７２年６月
　乙１２：Ｇｏｒａｎ　Ｂ．　Ｓｃｈａｒａｍｅｒ，ｅｔ　ａｌ．，“Ａ　Ｗｏｒｋｓｔａｔｉｏｎ　Ｂａｓｅｄ　Ｓｏｌａｒ／Ｓｔｅｌｌａｒ　Ａｄａｐｔｉｖｅ　Ｏｐｔｉｃｓ　Ｓｙｓｔｅｍ”，Ｐｒｏｃ．ＳＰＩＥ　４００７−１０５，２０００年３月
　乙１３：本件出願に係る意見書
　乙１４：Ｊ．Ｃｈｒｉｓｔｏｐｈｅｒ　Ｌｏｖｅ，ｅｔ　ａｌ．，“Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ　Ｐｈｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ　ｆｏｒ　Ｕｓｅ　ｉｎ　Ｓｏｆｔ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ”，Ｌａｎｇｍｕｉｒ　２００１，２００１年８月２４日
　乙１５：Ｗｉｌｌｉ　Ｕｌｒｉｃｈ，ｅｔ　ａｌ．，“Ｔｈｅ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｄｉｏｐｔｒｉｃ　Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ　Ｌｅｎｓｅｓ　ｆｏｒ　ＤＵＶ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ”，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｆ　ＳＰＩＥ　Ｖｏｌ．４８３２，２００２年
　乙１６：Ｃｈｒｉｓｔｉａｎ　Ｈｏｆｍａｎｎ，　ｅｔ　ａｌ．，“Ｈｉｇｈ−Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ　ｏｆ　ＶＥＢ　Ｃａｒｌ　Ｚｅｉｓｓ　ＪＥＮＡ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｑｕａｓｉ−ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ−ｌｉｍｉｔｅｄ　ｒｅｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｍｉｃｒｏｐａｔｔｅｒｎｓ　ｏｎ　ｗｉｄｅ　ｆｉｅｌｄｓ”，ＪＲ　４，１９８０年４月
　乙１７：廣田義人，“半導体露光装置ステッパーの開発，普及とその要因”，技術と文明，１２巻２号，２００１年９月
（２）本件訂正発明の認定
　本件訂正後の請求項１０，１２，１３及び１４に係る発明（以下、それぞれ、「本件訂正発明１０」，「本件訂正発明１２」，「本件訂正発明１３」及び「本件訂正発明１４」といい、これらを総称して「本件訂正発明」という。）は、本件訂正後の請求項１０，１２，１３及び１４に記載された、次のとおりのものと認める。
　ア　本件訂正発明１０
「複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータ（３３０）によって加えられる前記力に応じて制御するコントローラ（４０）を有することを特徴とする投射対物レンズ。」
　イ　本件訂正発明１２
「複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、前記少なくとも１つのマニピュレータ（５２６ｂ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つに直接係合することを特徴とする投射対物レンズ。」
　ウ　本件訂正発明１３
「複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、前記少なくとも１つのマニピュレータ（１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つを含むホルダ（１２２ａ、１２２ｂ；２２２ａ、２２２ｂ）に係合することを特徴とする投射対物レンズ。」
　エ　本件訂正発明１４
「複数の光学要素と、該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３０；１３０；３３０；４３０；５３０）と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ（１０）であって、前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；１２６ａ、１２６ｂ；２２６ａ、２２６ｂ；３２６ａ、３２６ｂ、３２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６ｂ）を有し、前記少なくとも１つのマニピュレータ（２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；４２６ａ、４２６ｂ、４２６ｃ；５２６、５２６ｂ、５２６ｃ）は、前記複数の光学要素の少なくとも１つを含むホルダ（２２ａ、２２ｂ、２２ｃ）が支持されるフレーム（２４）に係合することを特徴とする投射対物レンズ。」
（３）各証拠の記載事項の認定
　ア　乙１
（ア）本件優先日前に頒布された刊行物である乙１には、次の記載があると認められる（下線は当審が付した。以下、同じ。）。
　ａ　「【特許請求の範囲】」、
「
第１の物体上に形成されたパターンを投影光学系を介して第２の物体上に結像させて露光する投影露光装置の投影光学系の波面測定方法において、該投影光学系を介して該第１物体面上の特定パターンの光強度分布を測定する光強度検出手段と、該光強度検出手段により検出された光強度分布を用いて、投影光学系の波面収差を算出する波面収差演算手段と、露光負荷、又は／及び環境変化などを測定してその値が一定値を超えた場合に投影光学系の波面収差を計測し、光学特性を制御する制御手段とを利用していることを特徴とする波面収差測定方法。
「
前記投影光学系の波面収差を位相回復法を用いて計測している
「
前記波面収差に基づき前記投影光学系の光学特性を制御している
「
請求項１から１３のいずれか１項の波面収差測定方法を利用していることを特徴とする投影露光装置。
　ｂ　「【発明の属する技術分野】」、
「本発明は、マスク上のパターンを投影光学系を介して感光性の基板に転写する、
半導体素子を製造する等のリソグラフィ工程で使用される投影光学系の
投影露光装置
　ｃ　「〈光学特性の制御方法〉」、
「
上記位相回復法により求めた収差は、以下の方法により制御することが可能である
「（ア−４）
縮小投影レンズ１の一部又は全部を加熱、冷却する方法。加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形
を生じさせて球面収差を変化させる。
「
上記（ア−１）〜（ア−７）の方法を用いて球面収差を変化させると、多くの場合、球面収差以外の光学性能も同時に変化してしまうのでそれを制御する必要がある。
これらの場合、縮小投影レンズ内の球面収差の制御に使っていないところの光学部材を移動したり
球面収差以外で制御したい光学性能（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）を制御する
「また、制御する光学性能と制御手段の関係は、近似的に線形結合であるので両者の数は一致する。このようにして、球面収差のみならず、諸収差（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）を制御することが可能となる。また、同様にして波面収差を制御することも可能である。」（【００９１】）
（イ）上記（ア）の各記載によれば、乙１には次の発明（以下「乙１発明」という。）が記載されていると認められる。なお、参考までに、認定に用いた記載箇所を括弧書きで付記してある（以下、同じ）。
「（【請求項１】）第１の物体上に形成されたパターンを投影光学系を介して第２の物体上に結像させて露光する投影露光装置の投影光学系の波面測定方法において、該投影光学系を介して該第１物体面上の特定パターンの光強度分布を測定する光強度検出手段と、該光強度検出手段により検出された光強度分布を用いて、投影光学系の波面収差を算出する波面収差演算手段と、露光負荷、又は／及び環境変化などを測定してその値が一定値を超えた場合に投影光学系の波面収差を計測し、光学特性を制御する制御手段とを利用している波面収差測定方法
（【請求項１４】）を利用している投影露光装置
　の投影光学系であって、
（【請求項２】）前記投影光学系の波面収差を位相回復法を用いて計測しており、
（【請求項３】）前記波面収差に基づき前記投影光学系の光学特性を制御しており、
（【００７８】・【００８５】）上記位相回復法により求めた収差は、縮小投影レンズ１の一部又は全部を加熱、冷却する方法により制御することが可能であり、当該方法は、加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させるものであって、
（【００９０】）上記の方法を用いて球面収差を変化させると、多くの場合、球面収差以外の光学性能も同時に変化してしまうのでそれを制御する必要があり、これらの場合、縮小投影レンズ内の球面収差の制御に使っていないところの光学部材を移動したりして、球面収差以外で制御したい光学性能（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）を制御する、
（【０００１】）半導体素子を製造する等のリソグラフィ工程で使用される投影光学系の
（【請求項１４】）投影露光装置
　の投影光学系。」
　イ　乙２
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙２には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　屈折部材からなり物体面を結像面へ投影する投影光学系に於いて、該投影光学系を構成する光学部材のうち少なくとも１つの光学部材を強制的に変形させ、前記投影光学系全体で発生する収差を補償すること（【請求項１】）、
　ｂ　補償できる収差には、非点収差や球面収差があること（【００１３】）、
　ｃ　外力をかける方法としてアクチュエーターを用いること（【００１５】）、
　ｄ　アクチュエータは、レンズＬの周辺部で均等な位置になるように４箇所に配置することが好ましいこと（【００１５】）。
　ウ　乙３
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙３には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　光学系の収差を補正するための収差補正装置であって、前記収差補正装置が、光学系で使用される光を反射するための変形可能な反射面を有する変形可能ミラーと、変形可能ミラーを変形させるための駆動部とを備えており、駆動部は、圧電素子を含んでいること（【請求項１】・【請求項８】・【００５５】〜【００５８】）、
　ｂ　収差補正装置は、発生する球面収差を打ち消すものであること（【００３１】）。
　エ　乙４
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙４には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　入射光を反射する反射面を有し、該反射面を変形することにより前記入射光に球面収差を与える変形可能ミラーにおいて、前記変形可能ミラーが、表面に前記反射面を有する弾性変形可能な可撓性部材と、前記可撓性部材の下方に設置され、前記可撓性部材の裏面と対向する部分に参照面を有する基板と、前記可撓性部材を前記参照面に吸着させることにより、前記反射面を前記球面収差に対応する形状に変形させる駆動手段と、を有してなること（【請求項１】）、
　ｂ　前記変形可能ミラーは、前記可撓性部材に上部電極が形成されているとともに、前記基板に下部電極が形成されており、前記駆動手段は、前記上部電極と前記下部電極間に電位差を印加して、前記上部電極と前記下部電極間に静電気力を与える電圧印加手段であること（【請求項３】）、
　ｃ　可撓性部材２は周囲から所定の力Ｐで引っ張られ、ジグ１３により基板６の段差部５に形成された接着層１１に所定の力で押圧され、これにより固設されること（【００５３】）。
　オ　乙５
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙５（なお、訳は、乙５の日本語ファミリ文献である特表２００４−５０６２３６号公報のものを参考にした。）には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　変形可能な鏡を調節するためのシステムであって、当該システムは、反応プレート１２０；該反応プレートに連結された複数の空気圧式アクチュエータ１８０；および該空気圧式アクチュエータに第１端部で連結され、かつ該変形可能な鏡の非反射性の側面に第２端部で連結された複数のプッシュプル式湾曲部１６０であって、該複数のプッシュプル式湾曲部は該変形可能な鏡の背面上の様々な位置に配置される、湾曲部、を備え、これにより、該プッシュプル式湾曲部と空気圧式アクチュエータとのそれぞれの対は、該変形可能な鏡の形状を支持しかつ変化させて、複数の光学収差の補正を可能にするように作動されること（第６欄第６６行〜第７欄第１８行）、
　ｂ　鏡１０５は、内側リング１１０に固定された接線湾曲部および軸方向湾曲部の第１セットで支持されること（第３欄第５４行〜第５７行）、
　ｃ　反応プレートの軸方向支持体は、空気圧式アクチュエータ１８０を介して達成されるので、アクチュエータの力設定における力のアンバランスに起因して、鏡１０５のピストン運動および傾きを和らげること（第４欄第１行〜第３行）、
　ｄ　バランスのとれたセット内の空気圧式アクチュエータ１８０の作動は鏡の形状を変えるが、鏡の境界を横切って正味ゼロの力を与える、すなわち、アクチュエータによって鏡の背面まで単に伝達される正味ゼロの力およびモーメントは、ゼロであって、このような作動は、鏡の剛性本体の移動を防止し、そして重要な光学アライアメントを保持すること（第６欄第１４行〜第１９行）、
　ｅ　アクチュエータが動かされる、すなわちバランスがとれていない場合、これは支持アセンブリに対して負荷を伝達する効果を有するので、マウントに対して鏡を動かし、そして光学アライアメントを下げる可能性を有すること（第６欄第１９行〜第２３行）。
　カ　乙６
（ア）本件優先日前に頒布された刊行物である乙６には、次の記載がある。
　ａ　「【特許請求の範囲】」、
「
第１物体のパターンを第２物体上に投影露光する投影光学系と、露光により前記投影光学系に生じる、前記投影光学系の光学特性の非回転対称性を、実質的に補正する補正手段とを有していることを特徴とする投影露光装置。
「
前記補正手段は、前記投影光学系の光学エレメントの面形状を変化させる面形状変更手段を備える
「
前記光学エレメントはミラーを含む
「
前記面形状変更手段は、前記露光により前記光学エレメントに生じた面形状の非回転対称性を補正する
「
前記補正手段は、前記露光により生じる前記投影光学系による前記パターンの結像倍率の非回転対称性を補正し、更に、前記非回転対称性が補正された前記投影光学系の結像倍率を所望の倍率に調整する倍率調整手段を備える
　ｂ　「加熱手段を用いることにより結像位置や
倍率の光軸に関する非回転対称性は補正されるが、この種の光学特性の予め決めた位置や値からのずれは残っている。従って、
倍率のずれについては投影光学系の光学エレメント
を光軸方向に移動して補正する
「一方、非回転対称な形状のみを補正する為には補正手段としてレンズに力学的な力を加えることによっても可能である。例えば図１１に示すようにレンズ４１に対して斜線部４２のような形状の光束が入射する場合、前述の通りｘ方向とｙ方向ではレンズは異なった形状となる。そこで、レンズ内部の屈折率分布の非回転対称性が無視できる場合には、図中矢印７０及び７１で示す方向に力学的な力を加えることにより、レンズ４１の形状を光束が透過する中心部付近でｚ軸に関して略回転対称となるようにしても良い。」（【００７０】）、
「又、
光軸に関して非回転対称な波面収差を補正し、回転対称な波面（収差）を供給する別の手段としては、投影光学系の凹面鏡，凸面鏡，平面鏡の反射面を裏面側から押したり引いたりしてアクチュエーター等で変形させる手段
（イ）上記（ア）の各記載によれば、乙６には次の発明（以下「乙６発明」という。）が記載されていると認められる。
「（【請求項１】）第１物体のパターンを第２物体上に投影露光する投影光学系と、露光により前記投影光学系に生じる、前記投影光学系の光学特性の非回転対称性を、実質的に補正する補正手段とを有している投影露光装置の
　投影光学系であって、
（【請求項２２】）前記補正手段は、前記露光により生じる前記投影光学系による前記パターンの結像倍率の非回転対称性を補正し、更に、前記非回転対称性が補正された前記投影光学系の結像倍率を所望の倍率に調整する倍率調整手段を備えており、
（【請求項１５】前記補正手段は、前記投影光学系の光学エレメントの面形状を変化させる面形状変更手段を備えており、
（【請求項１６】）前記光学エレメントはミラーを含み、
（【請求項１９】）前記面形状変更手段は、前記露光により前記光学エレメントに生じた面形状の非回転対称性を補正するものであり、
（【０１３１】）光軸に関して非回転対称な波面収差を補正し、回転対称な波面（収差）を供給する別の手段としては、投影光学系の凹面鏡，凸面鏡，平面鏡の反射面を裏面側から押したり引いたりしてアクチュエーター等で変形させる手段があり、
（【００５８】）倍率の光軸に関する非回転対称性は補正されるが、この種の光学特性の予め決めた位置や値からのずれは残っているので、倍率のずれについては投影光学系の光学エレメントを光軸方向に移動して補正する、
（【請求項１】）投影露光装置の
　投影光学系。」
　キ　乙７
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙７には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　主鏡と副鏡とを有する反射望遠鏡において、主鏡に取り付けられ、鏡を変形させるアクチュエータと、副鏡を光軸方向に移動させる駆動装置とを備え、主鏡と副鏡との間隔を変化させるとともに、主鏡を変形させるようにした焦点位置移動装置（第１頁左下欄第５行〜第１２行）、
　ｂ　通常、主鏡１と副鏡６ａの形状は、第１のカセグレン焦点１１で収差が最小になるよう決められているため、主鏡１−副鏡６ａ間距離が変化した場合等では収差が発生し、第２のカセグレン焦点１２でシャープ像を結ぶことができないが、本発明では、アクチュエータ５により主鏡１に力を加えて変形させて、この収差を相殺するような形状とし、第２のカセグレン焦点１２においても良好な像が得られるようにすること（第２頁右下欄第１０行〜下から３行）、
　ｃ　収差の大部分は、３次の球面収差なので、３次の球面収差を相殺する変形量のみを主鏡に加えてもよいこと（第３頁右上欄第９行〜第１２行）、
　ｄ　反射望遠鏡に限らず、他の反射結像装置に用いてもよいこと（第３頁左下欄末行〜右下欄第３行）。
　ク　乙８
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙８には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　主反射鏡１の焦点位置を移動させるべく副反射鏡２を移動させた場合等においては、もともとの主反射鏡１の形状と新しい配置における主反射鏡１の理想形状が異なるため、そのままでは新しい焦点位置で球面収差と呼ばれる収差が生ずること（【０００４】）、
　ｂ　このような収差がある場合に、アクチュエータ５によって主反射鏡１を強制的に変形させて収差を矯正しようとすること（【０００４】）。
　ケ　乙９
（ア）本件優先日前に頒布された刊行物である乙９には、次の記載がある。
　ａ　【特許請求の範囲】、
「
光学特性可変光学素子と、光学素子と、固定された画像面を有す光学装置において、光学特性可変光学素子の変化に伴う光学系の結像面の動きを補償するために、光学素子を偏心させて結像面を傾かせ、光学特性可変光学素子の変化に伴う結像面の傾き変化の範囲内に固定された画像面を設定したことを特徴とする光学装置
　ｂ　「【発明の属する技術分野】」、
「本発明は、光学系に関し、特に、可変ミラー等の光学特性可変光学素子を含む光学系に関し、例えば、ビデオプロジェクター、デジタルカメラ、テレビカメラ、内視鏡、望遠鏡、カメラのファインダー等の光学装置に関するものである。」（【０００１】）
　ｃ　「図２は本発明にかかる可変形状鏡４０９の他の実施例を示す概略構成図である。」（【００２５】）、
「本実施例の
可変形状鏡は、薄膜４０９ａと電極４０９ｂとの間に圧電素子４０９ｃが介装されていて、これらが支持台４２３上に設けられている
　ｄ　「すでに、撮像面６１２を角度Ｃだけ傾けて、可変ミラー４０９の変形で生ずる結像面の変化で引き起こされる結像性能の変化を補償することができることを示した。」（【０１９０】）、
「しかしながら、結像面の変化の補償手段は、撮像面６１２の傾斜だけではない。略同様の補償をするのに、図３９の例では、レンズ６０３と６０４を０．０２５ｍｍだけ物体距離∞のときの光軸６１３に対して左に、つまり−Ｚ方向（図４５の座標系では−Ｙ方向）に偏心させてもよい。このようにすれば、結像面は可変ミラー４０９の変形をキャンセルする方向に傾くので、平均して良い解像の光学系が得られる。」（【０１９１】）、
「以上の光学素子を偏心させることは、撮像光学系だけでなく、表示光学系、観察光学系等にも適用できる。」（【０１９７】）、
「また、撮像素子、表示素子、光学素子の偏心は、一つの値に限ることなく、可変ミラーの変形と共にこれらの偏心量を変化させても良い。」（【０１９８】）、
「そのためには、例えば図４４に示す電子撮像系のように、レンズ群６３０をある状態での光軸６１３に対して傾斜あるいはシフトさせた軸６３１に沿って動かすようにしても良い。可変ミラー４０９の変形量に応じてレンズ群６３０が動き、レンズ群６３０の軸６３１に対する偏心が変わる訳である。」（【０１９９】）
　ｅ　「最後に、本発明で用いる用語の定義を述べておく。」（【０３０２】）、
「光学装置とは、光学系あるいは光学素子を含む装置のことである。光学装置単体で機能しなくてもよい。つまり、装置の一部でもよい。」（【０３０３】）、
「光学装置には、撮像装置、観察装置、表示装置、照明装置、信号処理装置等が含まれる。」（【０３０４】）、
「撮像装置の例としては、フィルムカメラ、デジタルカメラ、ロボットの眼、レンズ交換式デジタル一眼レフカメラ、テレビカメラ、動画記録装置、電子動画記録装置、カムコーダ、ＶＴＲカメラ、電子内視鏡等がある。デジカメ、カード型デジカメ、テレビカメラ、ＶＴＲカメラ、動画記録カメラなどはいずれも電子撮像装置の一例である。」（【０３０５】）、
「観察装置の例としては、顕微鏡、望遠鏡、眼鏡、双眼鏡、ルーペ、ファイバースコープ、ファインダー、ビューファインダー等がある。」（【０３０６】）
（イ）上記（ア）の各記載によれば、乙９には次の発明（以下「乙９発明」という。）が記載されていると認められる。
「（【請求項３】）光学特性可変光学素子と、光学素子と、固定された画像面を有する光学装置において、光学特性可変光学素子の変化に伴う光学系の結像面の動きを補償するために、光学素子を偏心させて結像面を傾かせ、光学特性可変光学素子の変化に伴う結像面の傾き変化の範囲内に固定された画像面を設定した光学装置の
　光学系であって、
（【００２６】）光学特性可変光学素子が、可変形状鏡であり、可変形状鏡は、薄膜４０９ａと電極４０９ｂとの間に圧電素子４０９ｃが介装されていて、これらが支持台４２３上に設けられている、
　光学系。」
　コ　乙１０
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１０には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　コリメートミラーの少なくとも一辺の中央部を支持し、該一辺の両端部を強制変位によって撓ませ、該撓みを利用して前記平行光束の歪曲収差を補正するように構成したこと（【請求項１】）、
　ｂ　コリメートミラーの支持は、３点支持、５点支持、７点支持又は（３＋２ｎ）（ｎは整数）支持、他の方式があること（【００２６】・【００３２】）、
　ｃ　図２として次の図。
　サ　乙１１
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１１には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　取付構造、取付パッド及び他のアクチュエータの影響を含む、直径３０インチ、厚さ１／２インチのミラーの静的変位を測定したこと（抄訳第１頁第１３行〜第１５行）、
　ｂ　影響係数は、位相計測干渉計を用いて得られたミラーの干渉図より測定されたものであり、ミラーは、まず、アクティブオプティクス閉ループ制御システムを用いて位置合わせされ、制御システムを停止した後、一点の駆動ポイントに力を加えることにより、ミラーに圧力を加え、６３２８Åの光による縞状の干渉図より、ミラー上の全ての参照ポイントにおける変位を計測したこと（抄訳第１頁下から６行〜下から２行）、
　ｃ　ミラーエッジの周囲で、１２０度の間隔にて配置されたミラーの３つの支点については、参照面からの変位量はゼロであるとし、これら３つの支点が可能な限り等位相となるように、干渉計が傾けて配置されたこと（抄訳第３頁第７行〜第９行）、
　ｄ　図３−３は、様々なアクチュエータ位置で１ポンドの力を加えることで変形したミラーの干渉図であること、
　ｅ　図３−４は、図３−３で１ポンドの力が加えられたアクチュエータの位置を示すものであること。
　シ　乙１２
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１２には、次の事項が記載されていると認められる。
　ａ　バイモルフミラーであって、図４のような１９個の電極（１番が中央、２〜７番が内環、８〜１９が外環）が設けられ、図４のように１２０度の間隔で配置された３本のデルリンピンで保持されたバイモルフミラー（抄訳第１頁の図４）、
　ｂ　バイモルフミラーの各電極からの応答（波面）をＳｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎ波面センサで測定すること（抄訳第２頁の図５）、
　ｃ　内環にある６つの電極による波面は同じであるが、外環の電極による波面は明らかに相違しており、その応答性の相違は、主にチップ／チルトに係るツェルニケ係数の第２項及び第３項にあらわれること（抄訳第２頁第７行〜第１０行、第３頁の図６）、
　ｄ　３本のデルリンの取付ピンの近傍に配置された電極におけるツェルニケ係数の第２項の値は、２倍ほど小さくなっていたこと（抄訳第２頁第１１行〜第１２行）。
　ス　乙１３
　乙１３は、本件出願の審査段階における平成２３年４月５日提出の意見書である。
　セ　乙１４
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１４には、次の事項が記載されていると認められる。
　顕微鏡の光学系を投影露光に適用した例（抄訳第２頁）。
　ソ　乙１５
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１５には、次の事項が記載されていると認められる。
　露光用屈折投影レンズ群が、顕微鏡の分野で集積された経験から影響を受けていること（抄訳第１頁第１０行〜第１１行）。
　タ　乙１６
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１６には、次の事項が記載されていると認められる。
　微細パタンを形成する初期のＵＭ光学レンズ系においては、典型的な顕微鏡対物レンズによる際だった特徴が示されていたこと（抄訳第１頁）。
　チ　乙１７
　本件優先日前に頒布された刊行物である乙１７には、次の事項が記載されていると認められる。
　顕微鏡を投影光学系に置き換えること（第３２頁第１７行）。
（３）無効理由１（サポート要件違反）についての検討
　ア　特許請求の範囲の記載が、サポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。
　イ　これを本件訂正発明について検討する。
　本件明細書の記載（【０００３】・【０００４】・【０００６】・【００１０】）によれば、本件訂正発明の課題は、アクチュエータを使用して光学要素に力を与えて光学要素を曲げることにより所望の補正作用を行う光学系は、空間位置の変化ももたらす力を誘起するので、結像特性の望ましくない損傷が起こることであると認められ、本件訂正発明の目的は、光学要素の故意の変形による、こうした望ましくない結像の損傷を実質的に防止することであると認められる。
　そして、本件訂正発明の課題解決手段は、本件訂正発明の「前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ」を有することであると認められる。
　そこで、上記課題解決手段により、上記課題を解決できると当業者が認識できるかどうかについて検討する。本件訂正発明の課題解決原理は、本件明細書の【００１０】・【００１２】・【００１３】・【００３２】等の記載からみて、少なくとも１つのマニピュレータを使用して、結像特性の損傷をもたらす光学要素の位置変化のうち、力の対称性が取り付けユニットにおける取り付けの対称性に整合されていないことにより生じる位置変化、により引き起こされた作用を補償することであると認められる。そして、この課題解決原理は、定性的観点からは、特段の不合理なく理解できるものであると認められ、さらに、定量的観点からも、光学分野の技術常識に照らせば、理論的、数値計算的に容易に具体化できるものと認められるため、特段の不合理さはない。
　したがって、本件訂正発明の記載は、サポート要件に適合するというべきである。
　ウ　被告の主張について
（ア）被告は、本件特許の請求項１に係る発明が、アクチュエータにより変形される光学要素とは別の光学要素をマニピュレータにより移動させる発明を包含するのであれば、サポート要件違反である旨主張している。（被告第３準備書面第２頁下から５行〜第３頁末行、被告第４準備書面第２頁第４行〜第４頁下から１０行）
　そこで、本件訂正を踏まえて検討する。
　上記イで認定した課題解決原理は、定性的観点からは、アクチュエータにより変形される光学要素とは別の光学要素をマニピュレータにより移動させることによって、ただちに妥当しなくなるものではないということができる。加えて、定量的観点からみても、すなわち、別の光学要素をマニピュレータにより具体的にどのように移動させればよいかについても、上記の課題解決原理に基づく考え方がある以上、この考え方を踏まえ、さらに光学分野の技術常識に基づき、当業者が理論的、数値計算的に容易にこれを定めることができると認められる。そうすると、当該課題解決原理は、被告が主張する形態においても、引き続き妥当するといえる。
　そして、上記の認定・判断は、本件明細書が、次の実施例のみ、すなわち、アクチュエータユニットにより変形されるミラー２０と同一のミラーに対してマニピュレータ２６によりその位置（傾き）が制御される実施例のみ、を開示しているとしても、左右されるものではない。また、上記の認定・判断は、投影対物レンズの技術分野において、結像特性を向上させることが容易ではない（被告第４準備書面第３頁下から６行〜末行）としても、左右されるものではない。
　したがって、被告の上記主張により、本件訂正発明の記載がサポート要件に違反するということはない。
（イ）被告は、本件明細書をみた当業者は、アクチュエータの駆動により結像収差が補正され、それに伴うミラーの傾きをマニピュレータで元に戻す（これにより、結像収差が補正された像のシフトを抑制する）技術思想が開示されていると理解するのが合理的であると主張し、その根拠として、本件明細書には、アクチュエータの駆動により結像収差が補正されることのみが開示されており、マニピュレータにより結像収差を補正することは何も示されていないし、アクチュエータの駆動により結像収差が補正された状態で、マニピュレータにより光学要素が移動されてしまうと、アクチュエータにより補正済みである結像収差が悪化することは明白であるから、あえてマニピュレータにより結像収差を補正する必要は皆無である点を挙げている。（被告第４準備書面第４頁下から９行〜第５頁第１０行）
　被告の上記主張は、本件特許の請求項１の「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化によって引き起こされた作用を補償するため」の「作用」に、結像収差が含まれるのであれば、マニピュレータにより結像収差を補正することがあり得ない以上、当該請求項１の記載はサポート要件違反であるとの趣旨と解される。
　そこで、本件訂正を踏まえて検討する。
　上記イで認定した課題解決原理は、定性的観点からは、上記「補償するための作用」に結像収差が含まれることによって、ただちに妥当しなくなるものではないということができる。加えて、定量的観点からみても、光学分野の技術常識に照らせば、本件訂正発明の「光学要素の位置変化」及びそれ「によって引き起こされた作用」を理論的ないし数値的に得ることは当業者にとって可能であると認められ、また、その作用を補償するために、どの光学要素をどのように位置変化させればよいのかについても、当業者は理論的ないし数値的に得ることができるものと認められる。そうすると、当該課題解決原理は、被告が主張する形態においても、引き続き妥当するといえる。
　そして、上記の認定・判断は、本件明細書が、上記「補償するための作用」として結像収差を明記していないことによって、左右されるものではない。
　したがって、被告の上記主張により、本件訂正発明の記載がサポート要件に違反するということはない。
　エ　無効理由１についての小括
　以上のとおりであるから、無効理由１は、本件訂正発明１０，１２〜１４に対して、理由がない。
（４）無効理由２（実施可能要件違反）についての検討
　ア　上記（３）のとおり、本件訂正発明により、本件訂正発明の課題を解決できることを当業者は認識できる。そして、「少なくとも１つのマニピュレータ」を具体的にどのように移動させればよいのかについては、当業者が設計的に決定することができると認められる。
　したがって、本件明細書は、本件訂正発明について、実施可能要件を満たしているというべきである。
　イ　被告は、投影対物レンズの技術分野において、結像特性に関して非常に厳しい要求が課されており、結像特性を向上させることは容易ではないことにかんがみれば、変形したミラーの傾きを元に戻すという実施例のみが開示されているにすぎない本件明細書をみた当業者としては、当該変形したミラーと異なる光学部材を具体的にどのように動かせば、結像特性を向上させることができるのかを理解できず、当業者に過度の試行錯誤を強いるものであることが明らかである旨主張している。（被告第４準備書面第５頁下から１０行〜第６頁第３行）
　そこで、本件訂正を踏まえて検討すると、上記（３）イのとおり、本件訂正発明の課題解決原理は定性的に理解できるものであるから、本件明細書は、本件訂正発明を実施しようとする当業者に対して、一定の設計の指針を与えているということができる。そして、光学分野においては、理論的・数値計算的に設計が可能であることが技術常識であるから、上記の一定の設計の指針があれば、本件訂正発明を実施するに当たり、当業者に過度の試行錯誤を強いるとまではいえないというべきである。
　したがって、被告の上記主張により、本件明細書の記載が実施可能要件に違反するということはない。
　ウ　無効理由２についての小括
　以上のとおりであるから、無効理由２は、本件訂正発明１０，１２〜１４に対して、理由がない。
（５）無効理由３（乙１に基づく進歩性欠如）についての検討
　ア　本件訂正発明１０について
（ア）乙１発明
　上記（３）ア（イ）で認定した乙１発明を再掲すると以下のとおりである。
「（【請求項１】）第１の物体上に形成されたパターンを投影光学系を介して第２の物体上に結像させて露光する投影露光装置の投影光学系の波面測定方法において、該投影光学系を介して該第１物体面上の特定パターンの光強度分布を測定する光強度検出手段と、該光強度検出手段により検出された光強度分布を用いて、投影光学系の波面収差を算出する波面収差演算手段と、露光負荷、又は／及び環境変化などを測定してその値が一定値を超えた場合に投影光学系の波面収差を計測し、光学特性を制御する制御手段とを利用している波面収差測定方法
（【請求項１４】）を利用している投影露光装置
　の投影光学系であって、
（【請求項２】）前記投影光学系の波面収差を位相回復法を用いて計測しており、
（【請求項３】）前記波面収差に基づき前記投影光学系の光学特性を制御しており、
（【００７８】・【００８５】）上記位相回復法により求めた収差は、縮小投影レンズ１の一部又は全部を加熱、冷却する方法により制御することが可能であり、当該方法は、加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させるものであって、
（【００９０】）上記の方法を用いて球面収差を変化させると、多くの場合、球面収差以外の光学性能も同時に変化してしまうのでそれを制御する必要があり、これらの場合、縮小投影レンズ内の球面収差の制御に使っていないところの光学部材を移動したりして、球面収差以外で制御したい光学性能（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）を制御する、
（【０００１】）半導体素子を製造する等のリソグラフィ工程で使用される投影光学系の
（【請求項１４】）投影露光装置
　の投影光学系。」
（イ）本件訂正発明１０と乙１発明との対比
　ａ　乙１発明の「第１の物体上に形成されたパターンを投影光学系を介して第２の物体上に結像させて露光する投影露光装置」の「半導体素子を製造する等のリソグラフィ工程で使用される投影光学系」は、本件訂正発明１０の「マイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ」に相当する。
　ｂ　乙１発明の上記「投影光学系」が、本件訂正発明１０でいう「複数の光学要素」を備えることは明らかである。
　ｃ　乙１発明は、「上記位相回復法により求めた収差は、縮小投影レンズ１の一部又は全部を加熱、冷却する方法により制御することが可能であり、当該方法は、加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させ」ているから、「該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる」物理的影響を「加える」物理的手段を備えている点で、本件訂正発明１０が「該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ」を備えている点と一致するといえる。
　ｄ　乙１発明は、「加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させる」という「方法を用いて球面収差を変化させると、多くの場合、球面収差以外の光学性能も同時に変化してしまうのでそれを制御する必要があり、これらの場合、縮小投影レンズ内の球面収差の制御に使っていないところの光学部材を移動したりして、球面収差以外で制御したい光学性能（例：球面収差、アス、コマ、倍率、ディストーション等）を制御する」ものである。
　そうすると、乙１発明は、「前記変形に」関連した「作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有」するといえる。
　また、乙１発明は、上記ｃをも踏まえると、「前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を」、「前記少なくとも１つの」物理的手段「によって加えられる」物理的影響「に応じて制御するコントローラを有する」といえる。
（ウ）一致点及び相違点の認定
　上記（イ）によれば、本件訂正発明１０と乙１発明とは、
「複数の光学要素と、
　該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる物理的影響を加える物理的手段と、を有するマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズであって、
　前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有し、
　前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つの物理的手段によって加えられる物理的影響に応じて制御するコントローラを有する
　投射対物レンズ。」
　である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点３−１］
　該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる「物理的影響を加える物理的手段」が、
　本件訂正発明１０では、「機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ」であるのに対し、
　乙１発明では、「加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせ」る手段であって、「機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ」ではない点。
［相違点３−２］
　「前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ」における「前記変形に関連した作用」が、
　本件訂正発明１０では、「前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用」であるのに対し、
　乙１発明では、「加熱、冷却することで縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させる」という「方法を用いて球面収差を変化させると、多くの場合、球面収差以外の光学性能も同時に変化してしまう」という作用である点。
［相違点３−３］
　「前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つの物理的手段によって加えられる物理的影響に応じて制御するコントローラ」の「前記少なくとも１つの物理的手段によって加えられる物理的影響」が、
　本件訂正発明１０では、「前記少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる前記力」であるのに対し、
　乙１発明は、「縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させる」ための「加熱、冷却」である点。
（エ）相違点の判断
　ａ　相違点３−１及び相違点３−３について
　これらの相違点は、要するに、乙１発明が採用している「縮小投影レンズ１内の光学部材の物理的変形を生じさせて球面収差を変化させる」ために「加熱、冷却」している構成につき、これに代えて、アクチュエータにより機械的力を加える構成を採用すれば解消することになる。
　そこで検討すると、光学部材に物理的変形を生じさせて球面収差を変化させるに際して、その物理的変形をアクチュエータにより機械的力を加えることによって得ることは周知技術（乙２・乙３・乙７・乙８）である。そうすると、当業者は、乙１発明において上記周知技術を採用して相違点３−１及び相違点３−３に係る構成に容易に至るというべきである。
　ｂ　相違点３−２について
（ａ）上記（３）で認定した乙１〜乙１２の記載事項からみて、相違点３−２に係る構成のうち、特に「前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合」を開示する証拠は、次のとおり、存在しない。
　なお、乙１３は、本件優先日以後に作成された文書であるし、上記の「対称性」の「不整合」が本件優先日における技術常識であることを示すものでもない。
　乙１〜乙９は、少なくとも、「該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性」がどうなっているのかが不明であるため、上記の「対称性」の「不整合」を開示するとはいえない。
　乙１０は、「該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性」と「前記機械的力の対称性」の双方を開示するけれども、両者の「対称性」の「不整合」を開示しない。
　すなわち、乙１０は、コリメートミラーの支持の仕方を具体的に開示しており、例えば、図２では、「支持部材２１」と、２つの「支持部材２２」のちょうど真ん中を通過する直線からなる対称線を観念することができるから、その対称線についての「取り付けの対称性」を開示する。
　さらに、乙１０は、コリメートミラーに対して強制変位を与える位置を具体的に開示しているところ、例えば、図２でいえば、強制変位を与える箇所が２箇所あり、その対称線が、「支持部材２１」と、２つの「支持部材２２」のちょうど真ん中を通過する直線であることを観念することができるから、その対称線についての「機械的力の対称性」を開示する。
　しかしながら、両者の対称線は同一であるから、両者の「対称性」は「整合」していることになる。乙１０が具体的に開示する他の例も同様である。
　乙１１は、「該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性」を開示するけれども、「前記機械力の対称性」を開示しているとはいえず、よって、両者の「対称性」の「不整合」を開示しているとはいえない。
　すなわち、乙１１は、薄膜ミラーの支持の仕方を具体的に開示しており、その支持の仕方は、１２０度の間隔にて配置された３点支持である（上記（３）サｃ）から、３本の対称線を観念することができ、よって、その対称線についての「取り付けの対称性」を開示する。
　他方、乙１１は、薄膜ミラーに力を加える複数のアクチュエータを開示している（同サｄ）。しかしながら、当該複数のアクチュエータのうち、力を加えるのは一点のみである（同サｂ）から、乙１１が「前記機械的力の対称性」を開示しているとは言い難い。
　よって、乙１１は、両者の「不整合」を開示しているとはいえないことになる。
　乙１２は、「該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性」を開示するけれども、「前記機械力の対称性」を開示しているとはいえず、よって、両者の「不整合」を開示しているとはいえない。
　すなわち、乙１２は、バイモルフミラーを、乙１１と同様に、１２０度の間隔で配置された３本のデルリンピンで保持するものである（上記（３）シａ）から、３本の対称線を観念することができ、よって、その対称線についての「取り付けの対称性」を開示する。
　他方、乙１２は、バイモルフミラーに力を加える１９個の電極を開示している（同シａ）。しかしながら、当該各電極のうち、電圧を印加するのは一つのみである（同シｂ）から、乙１２が「前記機械的力の対称性」を開示しているとは言い難い。
　よって、乙１２は、両者の「不整合」を開示しているとはいえないことになる。
（ｂ）したがって、乙１発明に乙１〜乙１２に記載された事項を適用しても、相違点３−２の構成に至らない。
（ｃ）これに対し、被告は、乙１〜乙８が本件特許の請求項１に係る発明の「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」を開示することや、乙１０〜乙１３からみて、光学部材が変形すれば当該光学部材の位置が変化する（傾きが発生する）ことは当然の事柄であるから、光学部材の変形による作用（例えば収差のずれ）を補償することは、当該変形により光学部材の位置変化による作用を補償することと同義である旨主張している。（被告第４準備書面第６頁第５行〜第１１頁下から７行）
　そこで、本件訂正を踏まえて検討する。
　「前記変形に起因する前記光学要素の位置変化」は、本件訂正により、「前記変形に起因する
、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該
　そうすると、本件訂正後の「前記変形に起因する・・・光学要素の位置変化」との特定事項を、被告が主張するように解する余地、すなわち、「光学要素」が「変形」すれば当該「光学要素」の「位置変化」が当然に生じることが特定されているにすぎないと解する余地は、もはや存しないというべきである。
　したがって、本件訂正発明１０について、被告の主張を採用することはできない。
（ｄ）仮に、乙１０〜乙１２が、上記の「対称性」の「不整合」を開示するものであったとしても、当業者が、乙１発明において、相違点３−２の構成に容易に至ることはない。
　すなわち、当業者が乙１発明に基づいて当該構成に至るためには、乙１発明に乙１０〜乙１２に記載された事項を適用した上で、さらに、乙１０〜乙１２における上記の「対称性」の「不整合」「によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用」を、「少なくとも１つのマニピュレータ」によって「補償する」ことが容易想到であるとの論理構成をとる必要がある。しかしながら、乙１０〜乙１２は、上記の「対称性」の「不整合」「によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用」を「少なくとも１つのマニピュレータ」によって「補償する」ことまでを開示するものではない。そうすると、上記論理構成は、いわゆる容易の容易にほかならず、よって、相違点３−２の容易想到性を根拠付けることはないというべきである。
（ｅ）したがって、当業者が、乙１発明において相違点３−２に係る構成に容易に想到するとはいえない。
　ｃ　本件訂正発明１０についての小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１０は、乙１発明及び乙１〜乙１２に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　イ　本件訂正発明１２〜１４について
　本件訂正発明１２〜１４も、本件訂正発明１０と同様に、［相違点３−２］を有するものである。
　したがって、本件訂正発明１２〜１４は、本件訂正発明１０と同様の理由で、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ウ　無効理由３についての小括
　以上のとおりであるから、無効理由３は、本件訂正発明１０，１２〜１４に対して、理由がない。
（６）無効理由４（乙９に基づく進歩性欠如）についての検討
　ア　本件訂正発明１０について
（ア）乙９発明
　上記（３）ケ（イ）で認定した乙９発明を再掲すると以下のとおりである。
「（【請求項３】）光学特性可変光学素子と、光学素子と、固定された画像面を有する光学装置において、光学特性可変光学素子の変化に伴う光学系の結像面の動きを補償するために、光学素子を偏心させて結像面を傾かせ、光学特性可変光学素子の変化に伴う結像面の傾き変化の範囲内に固定された画像面を設定した光学装置の
　光学系であって、
（【００２６】）光学特性可変光学素子が、可変形状鏡であり、可変形状鏡は、薄膜４０９ａと電極４０９ｂとの間に圧電素子４０９ｃが介装されていて、これらが支持台４２３上に設けられている、
　光学系。」
（イ）本件訂正発明１０と乙９発明との対比
　ａ　乙９発明の「光学系」は、「画像面」ないし「結像面」を有するから、本件訂正発明１０の「複数の光学要素」「を有する」「対物レンズ」に相当することが明らかである。
　ｂ　乙９発明の「可変形状鏡」は、本件訂正発明１０の「変形させ」られる「該複数の光学要素の少なくとも１つ」に相当する。
　また、乙９発明の「可変形状鏡」の「薄膜４０９ａと電極４０９ｂとの間に」「介装されてい」る「圧電素子４０９ａ」は、本件訂正発明１０の「該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ」に相当する。
　ｃ　乙９発明は、「光学特性可変光学素子の変化に伴う光学系の結像面の動きを補償するために、光学素子を偏心させて結像面を傾かせ」るものであるから、「前記変形に」関連した「作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有」するといえる。
　また、乙９発明が、「前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる前記力に応じて制御するコントローラを有する」ことも明らかである。
（ウ）一致点及び相違点の認定
　上記（イ）によれば、本件訂正発明１０と乙９発明とは、
「複数の光学要素と、
　該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータと、
　を有する対物レンズであって、
　前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有し、
　前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる前記力に応じて制御するコントローラを有する
　対物レンズ。」
　である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点４−１］
　「対物レンズ」が、
　本件訂正発明１０では、「マイクロリソグラフィのための投影対物レンズ」であるのに対し、
　乙９発明では、そうではない点。
［相違点４−２］
　「前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ」における「前記変形に関連した作用」が、
　本件訂正発明１０では、「前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用」であるのに対し、
　乙９発明では、「光学特性可変光学素子の変化に伴う光学系の結像面の動き」である点。
（エ）相違点の判断
　ａ　相違点４−１について
　乙９発明は、対物レンズを用いた光学系を開示するといえるところ、マイクロリソグラフィのための投影系も、対物レンズを用いた光学系としてごくありふれたものである（乙１４〜乙１７）。
　よって、乙９発明の「光学系」を、マイクロリソグラフィのための投影対物対物レンズとすることに格別の困難性はないというべきである。
　ｂ　相違点４−２について
　相違点４−２は、無効理由３で検討した相違点３−２と同様であるから、上記（５）ア（エ）ｂと同様の理由により、当業者が容易に想到し得たものではない。
　ｃ　本件訂正発明１０についての小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１０は、乙９発明及び乙１〜乙１２、乙１４〜乙１７に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　イ　本件訂正発明１２〜１４について
　本件訂正発明１２〜１４も、本件訂正発明１０と同様に、［相違点４−２］を有するものである。
　したがって、本件訂正発明１２〜１４は、本件訂正発明１０と同様の理由で、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ウ　無効理由４についての小括
　以上のとおりであるから、無効理由４は、本件訂正発明１０，１２〜１４に対して、理由がない。
（７）無効理由５（乙６に基づく進歩性欠如）についての検討
　ア　本件訂正発明１０について
（ア）乙６発明
　上記（３）カ（イ）で認定した乙６発明を再掲すると以下のとおりである。
「（【請求項１】）第１物体のパターンを第２物体上に投影露光する投影光学系と、露光により前記投影光学系に生じる、前記投影光学系の光学特性の非回転対称性を、実質的に補正する補正手段とを有している投影露光装置の
　投影光学系であって、
（【請求項２２】）前記補正手段は、前記露光により生じる前記投影光学系による前記パターンの結像倍率の非回転対称性を補正し、更に、前記非回転対称性が補正された前記投影光学系の結像倍率を所望の倍率に調整する倍率調整手段を備えており、
（【請求項１５】前記補正手段は、前記投影光学系の光学エレメントの面形状を変化させる面形状変更手段を備えており、
（【請求項１６】）前記光学エレメントはミラーを含み、
（【請求項１９】）前記面形状変更手段は、前記露光により前記光学エレメントに生じた面形状の非回転対称性を補正するものであり、
（【０１３１】）光軸に関して非回転対称な波面収差を補正し、回転対称な波面（収差）を供給する別の手段としては、投影光学系の凹面鏡，凸面鏡，平面鏡の反射面を裏面側から押したり引いたりしてアクチュエーター等で変形させる手段があり、
（【００５８】）倍率の光軸に関する非回転対称性は補正されるが、この種の光学特性の予め決めた位置や値からのずれは残っているので、倍率のずれについては投影光学系の光学エレメントを光軸方向に移動して補正する、
（【請求項１】）投影露光装置の
　投影光学系。」
（イ）本件訂正発明１０と乙６発明との対比
　ａ　乙６発明の「第１物体のパターンを第２物体上に投影露光する投影光学系」が、本件訂正発明１０の「複数の光学要素」「を有するマイクロリソグラフィのための投影対物レンズ」に相当することは明らかである。
　ｂ　乙６発明の「面形状」が「変化させ」られる「ミラーを含」む「光学エレメント」が、本件訂正発明１０の「変形させ」られる「該複数の光学要素の少なくとも１つ」に相当する。
　そして、乙６発明の「光軸に関して非回転対称な波面収差を補正し、回転対称な波面（収差）を供給する別の手段」である「投影光学系の凹面鏡，凸面鏡，平面鏡の反射面を裏面側から押したり引いたりしてアクチュエーター等で変形させる手段」は、本件訂正発明１０の「機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータ」に相当する。
　ｃ　乙６発明は、「倍率の光軸に関する非回転対称性は補正されるが、この種の光学特性の予め決めた位置や値からのずれは残っているので、倍率のずれについては投影光学系の光学エレメントを光軸方向に移動して補正する」ものであるから、「前記変形に」関連した「作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有」するといえる。
　また、乙６発明が、「前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる前記力に応じて制御するコントローラを有する」ことも明らかである。
（ウ）一致点及び相違点の認定
　上記（イ）によれば、本件訂正発明１０と乙６発明とは、
「複数の光学要素と、
　該複数の光学要素の少なくとも１つを変形させることができる機械的力を加える少なくとも１つのアクチュエータと、
　を有するマイクロリソグラフィのための投影対物レンズであって、
　前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータを有し、
　前記複数の光学要素の少なくとも１つの前記位置変化を、前記少なくとも１つのアクチュエータによって加えられる前記力に応じて制御するコントローラを有する
　投射対物レンズ。」
　である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点５−１］
　「前記変形に関連した作用を補償するために、前記複数の光学要素の少なくとも１つを自動的に位置変化させる少なくとも１つのマニピュレータ」における「前記変形に関連した作用」が、
　本件訂正発明１０では、「前記変形に起因する、前記機械的力の対称性と該変形される光学要素の取り付けユニットにおける取り付けの対称性との間の不整合によって引き起こされる該光学要素の位置変化によって引き起こされた作用」であるのに対し、
　乙６発明では、「倍率の光軸に関する非回転対称性は補正されるが、この種の光学特性の予め決めた位置や値からのずれ」である点。
（エ）相違点の判断
　ａ　相違点５−１について
　相違点５−１は、無効理由３で検討した相違点３−２と同様であるから、上記（５）ア（エ）ｂと同様の理由により、当業者が容易に想到し得たものではない。
　ｂ　本件訂正発明１０についての小括
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１０は、乙６発明及び乙１〜乙１２に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　イ　本件訂正発明１２〜１４について
　本件訂正発明１２〜１４も、本件訂正発明１０と同様に、［相違点５−１］を有するものである。
　したがって、本件訂正発明１２〜１４は、本件訂正発明１０と同様の理由で、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ウ　無効理由５についての小括
　以上のとおりであるから、無効理由５は、本件訂正発明１０，１２〜１４に対して、理由がない。
（８）独立特許要件の有無についての小括
　以上のとおり、本件無効抗弁に係る無効理由は、本件訂正の独立特許要件を否定しない。そして、本件訂正につき、他に独立特許要件を否定する理由を発見しない。
　したがって、本件訂正は、独立特許要件を満たしている。
第４　むすび
　このように、本件訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書、第５項、第６項及び第７項の規定に適合する。
　よって、結論のとおり審決する。