【事件の表示】
　特許第３３６６９８６号「洗浄水」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３６６９８６号の訂正後の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第３３６６９８６号の請求項１、２に係る発明についての出願は、平成８年１２月２７日に特許出願され、平成１４年１１月８日にその特許の設定登録がなされたところ、日伸精機株式会社（以下、「申立人」という）より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１６年７月１２日に訂正請求がなされ、その後、申立人に対し審尋がなされ、それに対して回答書がなされ、その後、再度取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１７年８月３１日に、上記平成１６年７月１２日付け訂正請求が取下げられ、新たに同日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を平成１７年８月３１日付け訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
　請求項１の「電気分解」（本件特許掲載公報第１頁第１欄第２行）を、「塩化ナトリウムを含有する水を電気分解すること」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の段落【００１４】中の「電気分解」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第２１行）を、「塩化ナトリウムを含有する水を電気分解すること」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　請求項１の「８．０」（本件特許掲載公報第１頁第１欄第３行）を、「１１．４」と訂正し、また「及び／または」（本件特許掲載公報第１頁第１欄第３行）を「及び」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　明細書中の段落【００１４】中の「８．０」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第２２行）を、「１１．４」と訂正し、また「及び／または」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第２２行）を、「及び」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　請求項２を削除する。
（６）訂正事項ｆ
　明細書中の段落【００１５】の「また、電気分解によって得られる水のｐＨ値が８．０以上１３．０以下（９．０以上を除く)であり、及び／または、酸化還元電位が−１００ｍＶから−１０００ｍＶ（−１５０ｍＶから−８５０ｍＶを除く）であるアルカリ性水において、残留塩素濃度が５ｐｐｍ以下であることを特徴とする亜鉛めっき鋼板製加工品の洗浄水である。」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第２６〜３２行）を削除する。
（７）訂正事項ｇ
　明細書中の段落【０００５】の「なっかった」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第６行）を、「なかった」と訂正する。　　　　　　　　　　　　　（８）訂正事項ｈ
　明細書中の段落【００１８】の「１．２６×１０−２［Ｓ・ｍ２／ｍｏｌ]」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４５行〜第４欄第４３行）を、「１．２６×１０−２［Ｓ・ｍ２／ｍｏｌ]」と訂正する。
（９）訂正事項ｉ
　明細書中の段落【００３３】の「ｋｇ／ｃｍ２」（本件特許掲載公報第４頁第８欄第３５行）を、「ｋｇ／ｃｍ２」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ
　明細書中の段落【００４３】の「請求項２の洗浄水によると、上記請求項１の発明の効果を、亜鉛めっき鋼板製加工品でも得ることが出来る。」（本件特許掲載公報第６頁第１１欄第１５〜１７行）を削除する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）上記訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、電気分解の対象を限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ａは、明細書の「塩化ナトリウムを８０ｐｐｍ添加して」、「実施例２と同じ条件で生成した」との記載（本件特許掲載公報第４頁第７欄第２８行、第５頁第１０欄第１〜２行）からみて、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）上記訂正事項ｃについて
　上記訂正事項ｃは、ｐＨの下限を８．０から１１．４に減縮したものであるから特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ｃは、明細書の「この電解水のｐＨは１１．４」、「実施例２と同じ条件で生成したアルカリ性電解水」との記載（本件特許掲載公報第４頁第７欄第３０行、第５頁第１０欄第１〜２行）からみて願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）上記訂正事項ｅについて
　上記訂正事項ｅは請求項の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、また願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（４）上記訂正事項ｂ、ｄ、ｆ、ｊについて
　上記訂正事項ｂ、ｄ、ｆ、ｊは、特許請求の範囲の減縮を目的とする上記訂正事項ａ、ｃ、ｅの訂正に伴って、減縮された特許請求の範囲と明細書の記載を整合させるためになされた訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正であり、また願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（５）上記訂正事項ｇ、ｈ、ｉについて
　上記訂正事項ｇ、ｈ、ｉは、誤記の訂正を目的とする訂正であり、また願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項、第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．本件発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、認容することができるから、訂正後の本件請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、「本件発明」という）。
「【請求項１】 塩化ナトリウムを含有する水を電気分解することによって得られる水のｐＨ値が１１．４以上１３．０以下であり、及び、酸化還元電位が−１００ｍＶから−１０００ｍＶであるアルカリ性水において、残留塩素濃度が５ｐｐｍ以下であることを特徴とするアルミニウム製加工品の洗浄水。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．特許異議申立てについて
４−１．取消理由通知の概要
　本件取消理由通知の概要は、請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明であるから、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものであって取り消されるべきものであり、また請求項１、２に係る発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって取り消されるべきものであるというものである。
４−２．特許異議申立理由の概要
　申立人は、請求項１に係る発明は甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるから、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものであって取り消されるべきものであり、また請求項１、２に係る発明は甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２に係る発明は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって取り消されるべきものである旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４−３．当審の判断
４−３−１．刊行物の記載内容
（１）刊行物１：：「ＵＬＴＲＡ　ＣＬＥＡＮ　ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ」半導体基盤技術研究会　第８巻第３号　第１６５〜１７０頁、（１９９６年６月１０日）：申立人の提出した甲第１号証
（ａ）「半導体表面ウェットプロセスへの電解イオン水の応用」（表題） 
（ｂ）「３槽式電解槽によって得られた電解水中の金属不純物の分析結果をＴａｂｌｅ１に示す。電解水中の金属不純物濃度はｐｐｔレベルで定量下限値以下であり、入口超純水と同等のクリーン度を示している。」（第１６６頁右欄第９〜１３行） 
（ｃ）「また、電解質を添加する場合には、その濃度をゼロから必要な濃度まで選択可能で、洗浄の目的に応じて電解水のｐＨ、ＯＲＰを広い範囲から容易に選択することが可能なのである。」（第１６６頁右欄第２５〜２８行）
（ｄ）「多層配線プロセスウエハの平坦化のためのＣＭＰ（ケミカルメカニカルポリッシング）後にウエハ表面に大量に残留してしまうシリカ粒子に対して、還元性で弱アルカリ性の電解カソード水が、金属配線にダメージを与えることなく有効に粒子除去を行えることも報告されている。」（第１６８頁第１５〜２０行） 
（ｅ）「Ｆｉｇ５に、熱酸化膜表面のＣＭＰ処理後の付着シリカ粒子を除去した結果を示す。ＣＭＰ処理後の表面には６インチウエハ上に２万個以上の粒子が付着している。電解カソード水（ｐＨ８．７，ＯＲＰ−４９０ｍＶ，室温２５℃）で洗浄することにより、１００個以下に低減することができる。このとき、超純水や、電解アノード水では高い除去効果は得られず、電解をしていないアルカリ溶液（ｐＨ８．７，ＯＲＰ３１０ｍＶ，室温２５℃）では、５００〜６００個程度までしか除去できない。また、電解カソード水を用いて、アルミニウム埋め込み配線のある表面を洗浄した場合、表面荒れもなく、アルミニウム配線抵抗も洗浄前後で３％程度の変化がみられただけで、配線ダメージはほとんどないことが報告されている。」（第１６８頁右欄第１０〜２２行） 
（２）甲第２号証：「Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　洗浄設計」（株）近代編集社　１９８７・春号　ＮＯ．３３　第６２〜６８、４２頁（昭和６２年４月１日） 　 
（ａ）「２．レドックス式洗浄装置の原理　レドックス式洗浄装置では、基本的に水溶液を電気分解することにより酸化還元種を生成し、これを洗浄に用いる。」（第６２頁右欄第１７〜２０行）
（ｂ）「図１の電解槽においてアノードに網状Ｐｔを、カソードにＰｔまたは網目状ガラス質カーボン（ＲＶＣと称す）を用いた。またイオン交換水は抵抗が約１ＭΩ・ｃｍのものを用いた。イオン交換膜としてはＳＯ３−Ｈ＋基を持つカチオン交換膜を用いた。・・・カソードにＰｔを用いたときカソード液ｐＨはガラス電極、ｐＨ試験紙ともに中性を示した。・・・前期と同じ電解条件でカソード材質のみを活性化ＲＶＣに変え、カソード液のｐＨをガラス電極で測定したところ１１〜１２の指示値が得られた。ところがｐＨ試験紙の指示値は７〜８であった。酸化還元電位は−８００〜−９００ｍＶであった。・・・この差異は次のように推察できる。ＮａＯＨなどの塩を添加した場合と異なりカソードで生成されたＯＨ−イオンには対イオンが不足していて電気的に不安定である。ＯＨイオンは器壁などの界面に移行・吸着して安定化すると思われる。ここで用いた電気化学的測定法では界面の電位差を測定している。電位差は界面の変化を反映し、必ずしもバルクの変化と相関づけられない。すなわち、電解純水における測定値は特に界面の変化をきわだたせたと考えられる。」（第６３頁右欄第１１行〜第６４頁左欄第２２行）
（ｃ）「電子工業における精密洗浄の対象として、シリコン、アルミニウムの蒸着膜、およびプリント基板の洗浄などがある。・・・アルミニウム蒸着膜の場合には、オーバーエッチングしないで酸化皮膜を除去することが望まれる。」（第６７頁左欄第３９行〜右欄第４行）
（ｄ）「シリコンの場合と同じ装置を用い、カソード液にアルミニウムの箔を浸漬して電位の経時変化を測定した。図６に結果を示す。電位はマイナス方向にシフトしたこの変化はアルミニウム表面の酸化皮膜が除去されて金属表面が表れたことを示す。・・・電解純水を用いるとアルミニウムの表面が過剰にエッチングされることはなかった。これは、カソード液がアルカリ性に加えて還元性になったことによると推察される。」（第６８頁右欄第１３行〜右欄第３行）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
 ４−３−２．対比・判断
（１）刊行物１を主引例とする対比・判断
　刊行物１の上記（１）（ｅ）には、「ＣＭＰ処理後の表面には６インチウエハ上に２万個以上の粒子が付着している。電解カソード水（ｐＨ８．７，ＯＲＰ−４９０ｍＶ，室温２５℃）で洗浄することにより、１００個以下に低減することができる。電解カソード水を用いて、アルミニウム埋め込み配線のある表面を洗浄した場合、表面荒れもなく、アルミニウム配線抵抗も洗浄前後で３％程度の変化がみられただけで、配線ダメージはほとんどないことが報告されている」ことが記載されている。
　この記載を本件発明の記載ぶりに則って整理すると、刊行物１には「室温２５℃でｐＨ８．７であり、ＯＲＰ−４９０ｍＶである電解カソード水からなる熱酸化膜表面のＣＭＰ処理後のアルミニウム埋め込み配線のある表面の洗浄水」という発明（以下、「刊行物１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件発明と刊行物１発明とを対比すると、刊行物１発明の「熱酸化膜表面のＣＭＰ処理後のアルミニウム埋め込み配線のある表面」は本件発明の「アルミニウム製加工品」に相当するから、両者は「アルミニウム製加工品の洗浄水」という点で一致し、さらにその酸化還元電位の数値範囲は重複するから、両者は次の点で相違していると云える。
相違点（イ）：本件発明では、洗浄水が「塩化ナトリウムを含有する水を電気分解することによって得られる水」であり、「ｐＨ値が１１．４以上１３．０以下」である「アルカリ性水」であるのに対して、刊行物１発明では、ｐＨ８．７である電解カソード水である点
相違点（ロ）：本件発明では、洗浄水の「残留塩素濃度が５ｐｐｍ以下」であるのに対して、刊行物１発明では、その点が不明である点
　これら相違点のうち相違点（イ）について検討すると、刊行物１には「多層配線プロセスウエハの平坦化のためのＣＭＰ（ケミカルメカニカルポリッシング）後にウエハ表面に大量に残留してしまうシリカ粒子に対して、還元性で弱アルカリ性の電解カソード水が、金属配線にダメージを与えることなく有効に粒子除去を行えることも報告されている。」（上記（１）（ｄ））と記載されているとおり、「弱アルカリ性」と記載されているから、刊行物１には、「塩化ナトリウムを含有する水を電気分解することによって得られる水」であり、「ｐＨ値が１１．４以上１３．０以下」である「アルカリ性水」は記載も示唆もされていないと云える。
　また、甲第２号証には、下記（２）で述べるとおり、「塩化ナトリウムを含有する水」を電気分解して得られる「ｐＨ値が１１．４以上１３．０以下」である「アルカリ性水」は記載も示唆もされていないと云える。
　そして、本件発明は、上記相違点の構成により明細書記載の効果を奏するものと云える。
  したがって、本件発明は、刊行物１に記載された発明とすることはできないし、また刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）甲第２号証を主引例とする対比・判断
  甲第２号証の記載を本件発明の記載ぶりに則って整理すると、甲第２号証には、「抵抗が約１ＭΩ・ｃｍのイオン交換水を電気分解することによって得られる水のｐＨが、ガラス電極で測定したところ１１〜１２、ｐＨ試験紙の指示値では７〜８であり、及び酸化還元電位が−８００〜−９００ｍＶであるカソード液からなるアルミニウムの蒸着膜の洗浄水」という発明（以下、「甲２発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件発明と甲２発明とを対比すると、甲２発明の「アルミニウムの蒸着膜」は本件発明の「アルミニウム製加工品」に相当するから、両者は「アルミニウム製加工品の洗浄水」という点で一致し、さらにその酸化還元電位の数値範囲は重複するから、両者は次の点で相違していると云える。
相違点（イ）：本件発明では、洗浄水が「塩化ナトリウムを含有する水を電気分解することによって得られる水」であり、「ｐＨ値が１１．４以上１３．０以下」である「アルカリ性水」であるのに対して、甲２発明では、「抵抗が約１ＭΩ・ｃｍのイオン交換水を電気分解することによって得られる水」であり、「ｐＨが、ガラス電極で測定したところ１１〜１２、ｐＨ試験紙の指示値では７〜８」である点
相違点（ロ）：本件発明では、洗浄水の「残留塩素濃度が５ｐｐｍ以下」であるのに対して、甲２発明では、その点が不明である点
  これら相違点のうち、相違点（イ）について検討すると、甲２発明での、ガラス電極とｐＨ試験紙によるｐＨ測定値の差異については、甲第２号証では、「ＮａＯＨなどの塩を添加した場合と異なりカソードで生成されたＯＨ−イオンには対イオンが不足していて電気的に不安定である。ＯＨイオンは器壁などの界面に移行・吸着して安定化すると思われる。ここで用いた電気化学的測定法では界面の電位差を測定している。電位差は界面の変化を反映し、必ずしもバルクの変化と相関づけられない。すなわち、電解純水における測定値は特に界面の変化をきわだたせたと考えられる。」（上記（２）（ｂ））と、塩を添加していない純水を電気分解していることをその理由としている。
　このように、甲第２号証では、純水である「抵抗が約１ＭΩ・ｃｍのイオン交換水」を電気分解しているのであるから、「塩化ナトリウムを含有する水」を電気分解して得られる「ｐＨ値が１１．４以上１３．０以下」である「アルカリ性水」は記載も示唆もされていないと云える。
  したがって、本件発明は、甲第２号証に記載された発明とすることはできないし、また甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
 また、他に訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
 よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年９月１６日（２００５．９．１６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
洗浄水
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
塩化ナトリウムを含有する水を電気分解すること
１１．４
及び
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、アルミニウム製加工品及び亜鉛めっき鋼板製加工品の洗浄に用いる洗浄水に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の機械部品洗浄においては有機溶剤系洗浄液やフロン等のハロゲン化炭化水素系洗浄液が用いられている。
　【０００３】
　また、水溶性洗浄剤においては、その原料として界面活性剤、ｐＨ調整剤等の化学物質や薬品が配合されている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来の有機溶剤系洗浄剤にあっては、炭化水素系溶剤やアルコール系溶剤を使用する場合には洗浄装置に防爆対策を施す必要があった。
　【０００５】
　また溶剤の引火点を高めるために水を混合した場合には洗浄後のリンス工程が必要であった。さらに洗浄効果を確保するために溶剤と水との混合比率を一定に管理する必要があったが、溶剤が蒸発しやすいために常に混合比率の測定を行い溶剤の追加をしなければなら
なかった
　【０００６】
　またフロン、トリクロロエタン等は地球環境への悪影響が明らかになって以来、その使用の削減、廃止が求められている。代替フロンやハロゲン化炭化水素系洗浄剤は早急な使用廃止は求められていないものの地球大気のオゾン層を破壊することはフロンと同様である。
　【０００７】
　さらに、代替フロンやハロゲン化炭化水素系洗浄剤は、沸点が低く洗浄装置を冷却する必要があったり、価格が高価であった。
　【０００８】
　水溶性洗浄剤を用いる場合には、洗浄液の濡れ性を高くし洗浄効果を向上するために、洗浄剤に界面活性剤等の薬品が配合されていた。これにより洗浄液の表面張力は低下して、濡れ性はよくなるが、液中の界面活性剤を洗い流すリンス工程が必要となる。
　【０００９】
　また水を使用するために、金属部品等の錆びやすい材料の洗浄の場合には洗浄後に防錆剤を塗布する必要がある等の問題点があった。特にアルカリ洗浄剤をアルミニウムや亜鉛の洗浄に使用すると、アルカリ成分で金属表面が腐食され、品質的に重大な欠陥を与えることがあった。
　【００１０】
　あるいは金属の腐食を抑制する方法としては、特開昭５８−３７２００号公報に記載されているように、洗浄液に水素ガスを溶解し、溶存酸素濃度を低下させて防食効果を得る方法が考案されているが、水素ガスの排気や防爆構造等の安全管理の面で問題があった。
　【００１１】
　また、水を電気分解（以下「電解」という）をして得られた水（以下「電解水」という）を洗浄に利用すると、特殊な薬剤を使用せずに高い洗浄効果が得られるために、環境保護の面からも注目されている。これらの内容の従来技術としては、特開平７−７５７８４号公報、及び特開平８−１１６０号公報に記載されている洗浄水の製造方法などがあるが、この方法では電解槽の隔膜にイオン交換膜を使用しているため、電解槽の構造が複雑になり製造が困難であったり、また、中間室には原水以外の別の電解質水溶液を充填する必要がある等の使用上の管理項目があった。
　【００１２】
　また、前記特許公報記載の洗浄水製造方法では、原水としてアノード室及び／またはカソード室に供給する水は電気伝導率が３０００μＳ／ｃｍ以下の水とあるが、これだけ電気伝導度の高い水の中には、塩化ナトリウムで換算すると約１０００ｐｐｍ以上のイオンが溶解していることとなり、このような原水を電気分解すれば、液中の残留塩素濃度が１０ｐｐｍを越える多量の塩素ガスが発生する。洗浄液中に多量の塩素ガスが含まれていると、その酸化力により洗浄した金属表面が腐食され、被洗浄物に錆が発生することがあった。
　【００１３】
　本発明は、地球環境に悪影響を与えず、発火、爆発等の危険性がなく、洗浄後のリンス工程や防錆処理、洗浄液の濃度管理、蒸発防止のための冷却装置が不要であり、アルカリ系洗浄剤で腐食される金属にも使用でき、簡便な電解槽を用いて、塩素ガス等の腐食性物質を多量に含まず、表面張力が低く洗浄効果の高い洗浄水を提供することを目的としている。
　【００１４】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明は
塩化ナトリウムを含有する水を電気分解すること
１１．４
及び
　【００１５】
　【発明の実施の形態】
　この発明の実施形態について以下説明する。先ず、電解に用いる原水に含まれるイオンの濃度と、原水の電気伝導度の関係について説明する。一般に水溶液の電気伝導度κはモル伝導率Ａとモル濃度Ｃを用いて、数１で表される。
　【００１６】
　【数１】
　【００１７】
　この式を用いて塩化ナトリウム水溶液の電気伝導度を各濃度毎に計算すると表１のようになる。但し、塩化ナトリウムのモル伝導率は
１．２６×１０−２［Ｓ・ｍ２／ｍｏｌ］
　【００１８】
　【表１】
　【００１９】
　また、塩化ナトリウム濃度とアルカリ性電解水に発生する残留塩素濃度との関係は、本発明者の実験から、図２の通りである。表１と図２から電気伝導度が２０００μＳ／ｃｍを越える水溶液では、塩化ナトリウム濃度は１０００ｐｐｍ以上であり、この原水を電気分解して得られるアルカリ性電解水の残留塩素濃度は、１２ｐｐｍ以上になっている。
　【００２０】
　次に、電気亜鉛めっき鋼板を洗浄した際の洗浄水に含まれる残留塩素濃度と洗浄後に発生する錆の関係を図３に示す。これによると洗浄水中の残留塩素濃度が１０ｐｐｍ以上になると錆の発生が３０％を越え、製品として品質上の問題が発生する。これが５ｐｐｍ以下であれば錆の発生量は１０％以下、望ましくは、３ｐｐｍ以下であれば、０％となり錆の発生に対する問題は無くなる。
　【００２１】
　以上の結果から、電気伝導度が６００〜８００μＳ／ｃｍを越える原水を使用すると残留塩素濃度が３ｐｐｍを越え、洗浄物の金属表面に錆が発生する様になる。しかし、従来の電解水による洗浄においては、残留塩素濃度に対する検討がなされておらず、単に電解効率を向上させるために原水中に多量の塩類が添加されていた。
　【００２２】
　本発明においては、電解条件の設定を厳密に規定すれば、原水への塩類の添加量を最低限に抑えて、残留塩素濃度を５ｐｐ以下、望ましくは３ｐｐｍ以下にしたアルカリ性電解水を洗浄に用いれば金属表面の錆の発生を抑制出来ることを見出した。
　【００２３】
　【実施例１】
　この発明の第１の実施形態の実施例について以下説明する。ここで用いた洗浄水は、原水（水道水）中に塩化ナトリウムを４００ｐｐｍ添加して、電解電圧６０Ｖで電解して得られたアルカリ性電解水である。この電解水のｐＨは１１．５、酸化還元電位は−８３０ｍＶ、残留塩素濃度は５ｐｐｍであった。また、比較のために、塩化ナトリウムを１０００ｐｐｍ添加して電解電圧３０Ｖで電解して得られたアルカリ性電解水は、ｐＨが１１．４、酸化還元電位が−８２０ｍＶ、残留塩素濃度が１２ｐｐｍであった。
　【００２４】
　上記２種類の洗浄水において、洗浄効果及び洗浄後の防錆効果の比較を行った。洗浄試験に用いた被洗浄物（試験片）は電気亜鉛めっき鋼板（１００ｍｍ×１００ｍｍ）で、プレス工作油（日本工作油株式会社ＰＧ−３０６６）を塗布後、それぞれの洗浄水で洗浄し、自然乾燥した後に高温多湿環境（温度４９℃、湿度９８％）に９６時間放置する湿潤試験で錆の発生を比較した。評価方法は、洗浄性については、墨汁を水道水で２５％に希釈した液に洗浄した試験片を浸漬し、墨汁液をはじかなった面積の割合を％で表記した。また、錆の発生については、湿潤試験後に試験片の表面に発生した錆の面積の割合を％で表記した。
　【００２５】
　洗浄結果及び防錆結果はについては、表２に示す通りである。
　【００２６】
　【表２】
洗浄効果は同等であるが、残留塩素濃度が５ｐｐｍの方が錆の発生が少なかった。（図３参照）
　【００２７】
　【実施例２】
　この発明の第２の実施形態の実施例について以下説明する。脱脂水としては、原水（水道水）中に塩化ナトリウムを８０ｐｐｍ添加して、電解電圧６０Ｖで電解して得られたアルカリ性電解水である。この電解水のｐＨは１１．４、酸化還元電位は−８２５ｍＶ、残留塩素濃度は０．４ｐｐｍであった。
　【００２８】
　この洗浄水を用いて、実施例１と同様の洗浄及び防錆の試験を行った結果、洗浄性は１００％、錆発生面積は０％であった。
　【００２９】
　【実施例３】
　この発明の第３の実施形態の実施例について以下説明する。洗浄水としては、実施例２と同じ条件で生成したアルカリ性電解水を用いる。この洗浄水の２０℃における表面張力は６２．４ｄｙｎ／ｃｍであった。また、比較のために水道水に水酸化ナトリウムを溶解し、ｐＨをアルカリ性電解水と同じ１１．４に調製したアルカリ性溶液を用いる。このアルカリ性溶液の酸化還元電位は４８０ｍＶ、表面張力は７１．８ｄｙｎ／ｃｍであった。この２つの洗浄水で実施例１と同様の洗浄試験を行い、洗浄性を比較したところ、アルカリ性電解水の方は、３０秒間の洗浄で１００％の洗浄性が得られた。水酸化ナトリウム水溶液では３０秒間で８５％の洗浄性であった。
　【００３０】
　また、図４は、液温度に対するアルカリ性電解水の表面張力の変化を測定し、純水の表面張力と比較したものである。アルカリ性電解水の表面張力は純水と比較して約１５％低下していることがわかる。
　【００３１】
　【実施例４】
　この発明の第４の実施形態の実施例について以下説明する。ここでは、金属部品用のアルカリ性電解水自動洗浄装置を使用して洗浄を行った。図１は、この洗浄装置の構造の概要図である。
　【００３２】
　この図において、電解水生成装置１２で、実施例２と同じ条件で生成した２００リットルのアルカリ性電解水を、洗浄水タンク１１に満たし、ヒーター１３と温度制御装置１３１を用いて液温度を６０℃に設定した後に、アルカリ性電解水をポンプ７２によって、６０個のノズル７１から２
ｋｇ／ｃｍ２
　【００３３】
　以上の洗浄方法において、洗浄部の中での約１２秒の洗浄により、従来のトリクロロエタンを使用した洗浄方法と同等の洗浄性が得られた。この際に従来の水系洗浄で行っていたリンス工程は必要としない。また、洗浄後に、被洗浄物を実施例１と同条件の湿潤試験を行ったところトリクロロエタン洗浄では、鋼板切断端面の亜鉛めっきがない部分で赤色錆が約５０％発生していたが、アルカリ性電解水による被洗浄製品では、赤色錆の発生面積は１０％以下であった。また、プレス加工により亜鉛めっきが剥離した部分では、トリクロロエタン洗浄品では、白色錆が発生していたが、アルカリ性電解水では白色錆の発生は見られなかった。
　【００３４】
　上記実施例の洗浄作業を連続して行ったところ、洗浄水に対して１．５％の油分が混入すると洗浄性は３０％に低下した。この洗浄水はノルマルヘキサン値が８６４０ｐｐｍであったが、静電気式油水分離装置を使用して洗浄水中の油分を分離除去したところ、ノルマルヘキサン値が１５２ｐｐｍと処理前の１．８％に減少し、洗浄性は９０％に回復した。このことから、アルカリ性電解水の油水分離性が良好であり、再生利用に適する。
　【００３５】
　【実施例５】
　この発明の第５の実施形態の実施例について以下説明する。洗浄水としては、実施例２と同じ条件で生成したアルカリ性電解水を用いる。被洗浄物は電気亜鉛めっき鋼板（２５９ｍｍ×２５９ｍｍ×ｔ１．２ｍｍ）に耐食性を向上するためにクロメート処理を行い、表面にクロメート皮膜を形成した試料に、プレス工作油（日本工作油株式会社ＰＧ−３０６６）を塗布したものを用いる。これに洗浄水を毎分１０リットルで噴射して２分間洗浄を行い、洗浄後の鋼板表面のクロメート皮膜の溶出率を測定した。比較試験として従来のトリクロロエタン洗浄をした際のクロメート皮膜の溶出率も測定した。
　【００３６】
　クロメート溶出率を測定した結果、アルカリ性電解水のクロメート皮膜溶出率は、全クロメート皮膜量の５．３％であった。トリクロロエタン洗浄の場合は溶出率は、８．１％であり、この結果からアルカリ性電解水による洗浄の方が従来のトリクロロエタン洗浄よりクロメート皮膜の溶出量が少なく、耐食用表面処理に与える悪影響が少ない。
　【００３７】
　【実施例６】
　この発明の第６の実施形態の実施例について以下説明する。洗浄水としては、実施例２と同じ条件で生成したアルカリ性電解水を、それぞれ２０℃、４０℃、５０℃、６０℃に液温調整したものを用い、洗浄水の温度による洗浄効果の比較を行った。また、比較試験として同じ温度にした水道水を用いて同様の洗浄試験を行った。被洗浄物は純アルミニウム板（純度９９．９％、１００ｍｍ×１００ｍｍ×ｔ１．０ｍｍ）で、表面は自然酸化皮膜で覆われているものを用いる。この試料に切削加工油を塗布した後、洗浄効果の差が顕著に表れる様に、噴射による洗浄とせず、洗浄水に試料を３分間浸漬した後に実施例１の評価方法により洗浄性を比較した。
　【００３８】
　洗浄性の結果は液温度２０℃の場合３０％、４０℃の場合５０％、５０℃の場合８５％、６０℃の場合９５％であった。この結果から洗浄水の温度が上昇する程、洗浄効果がより高くなり、洗浄に有効である。また、すべての温度において、水道水よりも洗浄性が高い。さらに、従来の水系アルカリ洗浄剤を使用してアルミニウム板を洗浄した際には、アルカリ成分によりアルミニウムが溶出し、表面に腐食による微細なへこみや穴が生じて被洗浄物の品質の劣化が見られたが、アルカリ性電解水による洗浄では、どの温度でもアルミニウム板表面に腐食は見られなかった。また、上記の試料の洗浄において、実施例５と同様の噴射条件で洗浄水噴射による洗浄を行うと、液温度が２０℃でも１００％の洗浄性が得られた。
　【００３９】
　【実施例７】
　この発明の第６の実施形態の実施例について以下説明する。原水への塩化ナトリウム添加を行わずに電解をして得られたｐＨ１０．５、酸化還元電位−８００ｍＶ、残留塩素濃度０．３ｐｐｍのアルカリ性電解水で、カットしたレタスの洗浄を行い、ガラス製シャーレに入れて常温で放置した。比較試験として、水道水で洗浄したものでも同様の実験を行った。結果は表３の通り、水道水による洗浄と比較して鮮度の維持期間が長かった。また、トマトの洗浄に上記の洗浄水を使用すると、トマトの表面から色素が溶出することが観察でき、洗浄性が高い事が分かる。
　【００４０】
　【表３】
　【００４１】
　【発明の効果】
　以上の説明からも明らかなように、請求項１の洗浄水によると、アルミニウム製加工品を洗浄した際に、錆の発生や金属表面の腐食が抑制され、洗浄後のリンス工程や、防錆剤塗布工程が廃止できる利点がある。有機系溶剤も使用していないため、防爆対策が不要であり、有機溶剤取扱の資格が不要であり、環境や人体への悪影響が無く、無臭で作業環境がよいという利点がある。また低沸点の溶剤を使用するさいに必要な洗浄液の冷却装置も不要である。作業者に対しても残留塩素濃度が低いため手荒れ等の障害が発生しにくくなる。そのほか界面活性剤や防錆剤、アルカリ剤等の有害な物質を含まないため、環境に対する影響が少なく、廃水処理が容易である。油水分離装置による洗浄水中の油分除去も容易であり、洗浄水の再利用も可能で洗浄水消費量が少なくなる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明におけるアルカリ性電解水を用いた洗浄装置の概要図である。
　【図２】原水に対する塩化ナトリウム添加量と、その水を電解して得られるアルカリ性電解水に含まれる残留塩素濃度の関係図である。
　【図３】洗浄水中の残留塩素濃度と、その洗浄洗浄水で電気亜鉛めっき鋼板を洗浄した際の錆の発生頻度の関係図である。
　【図４】アルカリ性電解水と純水の液温度に対する表面張力の関係図である。
　【図５】本発明におけるアルカリ性電解水の製造方法の工程図である。
　【図６】本発明におけるアルカリ性電解水を用いた洗浄装置の工程図である。
　【図７】本発明におけるアルカリ性電解水を用いた洗浄装置に液温調節用のヒーターを取り付けた場合の工程図である。
　【符号の説明】
　　１　電解槽部
　　２　塩類添加装置
　　３　電源装置
　　４　制御装置
　　５　アルカリ性電解水吐出口
　　６　酸性電解水吐出口
　　７　洗浄槽部
　　７１　洗浄水噴射ノズル
　　７２　洗浄水吐出ポンプ
　　８　液切り装置
　　８１　液切り用エアノズル
　　８２　液切り用送風ファン
　　９　乾燥装置
　　９１　温風乾燥用エアノズル
　　９２　温風発生装置
　１０　制御部
　１１　洗浄水タンク
　１１１　洗浄水受け部
　１２　電解水生成装置
　１３　ヒーター
　１３１　液温制御装置
　１４　コンベア
　【数１】
　　κ［μＳ／ｃｍ］＝１０７・Λ［Ｓ・ｍ２／ｍｏｌ］・Ｃ［ｍｏｌ／ｄｍ３］
　【表１】
　【表２】
　【表３】