【手続補正書】
【提出日】平成22年2月17日(2010.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を検査するシステムであって、該システムは、
ａ．透過性放射線の扇形ビームを放出する第１の放射線供給源と、
ｂ．該第１の放射線供給源によって該物体を介して透過された該透過性放射線の強度を測定する検出器素子のセグメント型アレイと、
ｃ．透過性放射線の走査ペンシルビームを放出する第２の放射線供給源と、
ｄ．該物体によって該走査ペンシルビームから散乱された透過性放射線を検出する少なくとも１つの散乱検出器と、
ｅ．プロセッサ、メモリ、およびディスプレイであって、該メモリは、
該散乱検出器からの測定された信号からバックグランド信号を差し引くことであって、該バックグランド信号は、該走査ペンシルビームが該物体を照明していないときに該散乱検出器によって測定されることによって、修正された測定された散乱信号を形成する、ことと、
該修正された測定された散乱信号と、該検出器素子のセグメント型アレイから測定された透過信号とを、該物体を検査する際に使用するために、該ディスプレイに表示することと
を、該プロセッサに行なわせる命令を含む、プロセッサ、メモリ、およびディスプレイと
を備えている、システム。
【請求項２】
前記扇形ビームを放出する前記第１の放射線供給源、および前記走査ペンシルビームを放出する前記第２の放射線供給源は、同一の放射線供給源である、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記少なくとも１つの散乱検出器は、前記走査ペンシルビームからの透過性放射線が優先的に検出されるように、透過性放射線をコリメートする手段を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記少なくとも１つの散乱検出器は実質的に平坦な面を含み、該平坦な面は入射放射線に感応し、該平坦な面は、該面に対する法線によって特徴付けられ、該面に対する法線は、前記物体に対する走査ペンシルビームの入射点に実質的に向けられる、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記散乱検出器の、前記平坦な面以外の少なくとも１つの表面は、前記扇形ビームからの透過性放射線の検出を低減するためにシールドされる、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記扇形ビームに起因する前記散乱検出器からの測定された信号が低減されるように、該扇形ビームと前記少なくとも１つの散乱検出器との間に配置されたバリアをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記バリアは、前記扇形ビームに対して実質的に平行に配置されたカーテンである、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記バリアは、前記扇形ビームに対して実質的に平行に配置されたスインギングシールドである、請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
前記バリアは、前記扇形ビームに対して実質的に垂直に配置されたシールドである、請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記メモリは、前記物体のサイズおよび形状が、前記測定された透過信号の表示において、および前記修正された測定された散乱信号の表示において同様に現れるように、該測定された透過信号および該修正された測定された散乱信号のアスペクト比ならびにサイズを調節することを前記プロセッサに行なわせる命令をさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記検出器素子のセグメント型アレイは、第１のエネルギー範囲における放射線を測定する第１の組の素子と、第２のエネルギー範囲における放射線を測定する第２の組の素子とを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記メモリは、前記第１の組の素子からの測定値および前記第２の組の素子からの測定値を使用して、前記物体の少なくとも１つの部分の有効原子番号を決定することと、該物体の少なくとも１つの部分のイメージを前記ディスプレイに表示して、該部分の該有効原子番号を示すこととを、前記プロセッサに行なわせる命令をさらに含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記検出器素子のセグメント型アレイはコリメータを含み、該検出器のセグメント型アレイから散乱され、前記散乱検出器に入射する扇形ビーム透過性放射線を低減する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
物体を検査するシステムであって、該システムは、
ａ．透過性放射線の扇形ビームを放出する第１の放射線供給源と、
ｂ．該第１の放射線供給源から該物体を介して透過された該透過性放射線の強度を測定する検出器素子のセグメント型アレイであって、該アレイはコリメータを含み、該アレイによって散乱された放射線を遮る、検出器素子のセグメント型アレイと、
ｃ．透過性放射線の走査ペンシルビームを放出する第２の放射線供給源と、
ｄ．該物体によって該走査ペンシルビームから散乱された該透過性放射線を検出する少なくとも１つの散乱検出器であって、該散乱検出器は、該扇形ビームから散乱された放射線を遮る手段をさらに含む、散乱検出器と、
ｅ．プロセッサ、メモリ、およびディスプレイであって、該メモリは、
該散乱検出器からの測定された信号からバックグランド信号を差し引くことであって、該バックグランド信号は、該第２の放射線供給源が該物体を照明していないときに該散乱検出器によって測定されることによって、修正された測定された散乱信号を形成する、ことと、
該修正された測定された散乱信号と、該検出器素子のセグメント型アレイから測定された透過信号とを、該物体を検査する際に使用するために、該ディスプレイに表示することと
を、該プロセッサに行なわせる命令を含む、プロセッサ、メモリ、およびディスプレイと
を備えている、システム。
【請求項１５】
前記扇形ビームを放出する前記第１の放射線供給源、および前記走査ペンシルビームを放出する前記第２の放射線供給源は、同一の放射線供給源である、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記検出器素子のセグメント型アレイは、第１のエネルギー範囲における放射線を測定する第１の組の素子と、第２のエネルギー範囲における放射線を測定する第２の組の素子とを含み、前記メモリは、
前記物体のサイズおよび形状が、前記測定された透過信号の表示において、および前記修正された測定された散乱信号の表示において同様に現れるように、該測定された透過信号および該修正された測定された散乱信号のアスペクト比ならびにサイズを調節することと、
該第１の組の素子からの測定値および該第２の組の素子からの測定値を使用して、該物体の少なくとも１つの部分の有効原子番号を決定することと、
該物体の該少なくとも１つの部分のイメージを該ディスプレイに表示して、該部分の該有効原子番号を示すことと
を前記プロセッサに行なわせる命令をさらに含む、請求項１４に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のさらなる実施形態において、１つ以上の散乱検出器が、１つのエネルギーの範囲内において、散乱された散乱ｘ線を優先的に検出し、１つ以上の散乱検出器が、別のエネルギー範囲においてｘ線を優先的に検出し得る。２組の検出器からの信号は次に組み合わされ得、イメージされた物体の有効原子番号についてさらなる情報を抽出し得る。
例えば、本発明は以下の項目を提供する。
（項目１）
物体を検査するシステムであって、該システムは、
ａ．透過性放射線の扇形ビームを放出する第１の放射線供給源と、
ｂ．該第１の放射線供給源によって該物体を介して伝達された該透過性放射線の強度を測定する検出器素子のセグメント型アレイと、
ｃ．透過性放射線の走査ペンシルビームを放出する第２の放射線供給源と、
ｄ．該物体によって該走査ペンシルビームから散乱された透過性放射線を検出する少なくとも１つの散乱検出器と、
ｅ．プロセッサ、メモリ、およびディスプレイであって、該メモリは、該プロセッサに、
該散乱検出器からの測定された信号からバックグランド信号を差し引くことであって、該バックグランド信号は、該走査ペンシルビームが該物体を照明していないときに該散乱検出器によって測定され、それによって修正された測定された散乱信号を形成する、ことと、
該修正された測定された散乱信号、および該検出器素子のセグメント型アレイから測定された透過信号を、該物体を検査する際に使用するために、該ディスプレイに表示することとを行なわせる命令を含む、プロセッサ、メモリ、およびディスプレイと
を備えている、システム。
（項目２）
上記扇形ビームを放出する上記第１の放射線供給源、および上記走査ペンシルビームを放出する上記第２の放射線供給源は、同一の放射線供給源である、項目１に記載のシステム。
（項目３）
上記少なくとも１つの散乱検出器は、透過性放射線をコリメートする手段を含み、それによって上記走査ペンシルビームからの透過性放射線は優先的に検出される、項目１に記載のシステム。
（項目４）
上記少なくとも１つの散乱検出器は実質的に平坦な面を含み、該平坦な面は入射放射線に感応し、該平坦な面は、該面に対する法線によって特徴付けられ、該面に対する法線は、上記物体に対する走査ペンシルビームの入射点に実質的に向けられる、項目１に記載のシステム。
（項目５）
上記散乱検出器の、上記平坦な面以外の少なくとも１つの表面は、上記扇形ビームからの透過性放射線の検出を低減するためにシールドされる、項目４に記載のシステム。
（項目６）
上記扇形ビームと上記少なくとも１つの散乱検出器との間に配置されたバリアをさらに含み、これによって該扇形ビームに起因する該散乱検出器から測定された信号が低減される、項目１に記載のシステム。
（項目７）
上記バリアは、上記扇形ビームに対して実質的に平行に配置されたカーテンである、項目６に記載のシステム。
（項目８）
上記バリアは、上記扇形ビームに対して実質的に平行に配置されたスインギングシールドである、項目６に記載のシステム。
（項目９）
上記バリアは、上記扇形ビームに対して実質的に垂直に配置されたシールドである、項目６に記載のシステム。
（項目１０）
上記メモリは、上記プロセッサに、上記測定された透過信号および上記修正された測定された散乱信号のアスペクト比ならびにサイズを調節することを行なわせる命令をさらに含み、それによって上記物体の該サイズおよび形状は、該測定された透過信号のディスプレイにおいて、および該修正された測定された散乱信号のディスプレイにおいて同様に現れる、項目１に記載のシステム。
（項目１１）
上記検出器素子のセグメント型アレイは、第１のエネルギー範囲における放射線を測定する第１の組の素子と、第２のエネルギー範囲における放射線を測定する第２の組の素子とを含む、項目１に記載のシステム。
（項目１２）
上記メモリは、上記プロセッサに、上記第１の組の素子からの測定値および上記第２の組の素子からの測定値を使用して、上記物体の少なくとも１つの部分の有効原子番号を決定することと、該物体の少なくとも１つの部分のイメージを上記ディスプレイに表示して、該部分の該有効原子番号を示すこととを行なわせる命令をさらに含む、項目１１に記載のシステム。
（項目１３）
上記検出器素子のセグメント型アレイはコリメータを含み、該検出器のセグメント型アレイから散乱され、上記散乱検出器に入射する扇形ビーム透過性放射線を低減する、項目１に記載のシステム。
（項目１４）
物体を検査するシステムであって、該システムは、
ａ．透過性放射線の扇形ビームを放出する第１の放射線供給源と、
ｂ．該第１の放射線供給源から該物体を介して伝達された該透過性放射線の強度を測定する検出器素子のセグメント型アレイであって、該アレイはコリメータを含み、該アレイによって散乱された放射線を遮る、アレイと、
ｃ．透過性放射線の走査ペンシルビームを放出する第２の放射線供給源と、
ｄ．該物体によって該走査ペンシルビームから散乱された該透過性放射線を検出する少なくとも１つの散乱検出器であって、該散乱検出器は、該扇形ビームから散乱された放射線を遮る手段をさらに含む、散乱検出器と、
ｅ．プロセッサ、メモリ、およびディスプレイであって、該メモリは、該プロセッサに、
該散乱検出器から測定された信号からバックグランド信号を差し引くことであって、該バックグランド信号は、該第２の放射線供給源が該物体を照明していないときに該散乱検出器によって測定され、それによって修正された測定された散乱信号を形成することと、
該修正された測定された散乱信号、および該検出器素子のセグメント型アレイから測定された透過信号を、該物体を検査する際に使用するために、該ディスプレイに表示することとを行なわせる命令を含む、プロセッサ、メモリ、およびディスプレイと
を備えている、システム。
（項目１５）
上記扇形ビームを放出する上記第１の放射線供給源、および上記走査ペンシルビームを放出する上記第２の放射線供給源は、同一の放射線供給源である、項目１４に記載のシステム。
（項目１６）
上記検出器素子のセグメント型アレイは、第１のエネルギー範囲における放射線を測定する第１の組の素子と、第２のエネルギー範囲における放射線を測定する第２の組の素子とを含み、上記メモリは、上記プロセッサに、
上記測定された透過信号および上記修正された測定された散乱信号のアスペクト比ならびにサイズを調節して、それによって上記物体の該サイズおよび形状は、該測定された透過信号のディスプレイにおいて、および該修正された測定された散乱信号のディスプレイにおいて同様に現れる、ことと、
該第１の組の素子からの測定値および該第２の組の素子からの測定値を使用して、該物体の少なくとも１つの部分の有効原子番号を決定することと、
該物体の該少なくとも１つの部分のイメージを該ディスプレイに表示して、該部分の該有効原子番号を示すこととを行なわせる命令をさらに含む、項目１４に記載のシステム。