【事件の表示】
　特願２０１５−　７１３７９「ＳＯ３分析方法および分析装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年１１月１０日出願公開、特開２０１６−１９１６１６、請求項の数（８）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２７年３月３１日の出願であって、平成２９年９月１２日付けで拒絶理由が通知され、同年１１月２７日に意見書が提出されたが、平成３０年４月１３日付けで拒絶査定（原査定）がされ、これに対して、同年８月２１日に拒絶査定不服審判の請求がされると同時に手続補正がされたものである。
　その後、当審において令和元年５月１０付けで拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年６月２１日に意見書及び手続補正書が提出された。
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし８に係る発明（以下それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明８」という。）は、令和元年６月２１日にされた手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定されるとおりのものであり、本願発明１は以下のとおりである。
「　　【請求項１】
　除塵処理、除湿処理、減圧処理のいずれも行わないＳО3およびＣＯ２およびＨ２Ｏを含む排ガスに対し、レーザ光を照射する照射手段と、
　前記排ガスに照射され当該排ガスを透過したレーザ光を受光する受光手段と、
　前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段と、
　前記受光手段からの出力と前記波長制御手段からの参照信号を基に赤外分光法によりＳО3濃度を演算するＳО3濃度演算手段とを備える
ことを特徴とするＳО3分析装置。」
　なお、本願発明２ないし８の概要は以下のとおりである。
　本願発明２ないし７は、本願発明１を減縮した発明である。
　本願発明８は、本願発明１に対応する方法に係る発明であり、本願発明１とカテゴリ表現が異なるだけの発明である。
第３　引用文献の記載事項、引用発明
１　引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開２００１−２８９７８３号公報）には、次の事項が記載されている（下線は当審で付加した。）。
（引１−ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、排ガス中のＳＯ3濃度測定方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガスタービンコンバインドサイクルプラントやボイラ等においては、石炭、オリマルジョン、油等のように硫黄分を含有する燃料を用いる場合がある。このような硫黄分を含有する燃料を燃焼させると排ガス中にＳＯ3が生じ、このＳＯ3は、高温腐食や低温腐食の原因となっている。
【０００３】ガスタービンコンバインドサイクルプラントのガスタービン入口の温度は通常略７００〜９００℃程度の範囲にあり、この温度域においては、ＳＯ3によりＣＯＳＯ4、ＮｉＳＯ4等が生じて、タービンブレードを高温腐食させるという問題がある。
【０００４】このため、従来、このようなガスタービンコンバインドサイクルプラントでは、経験則からタービンブレードの寿命を予測し、定期的にタービンブレードの点検、交換を行っていた。
【０００５】又、ボイラにおいては、ボイラ火炉の出口温度は通常略１５０〜４００℃程度の範囲にあり、この温度域においては、ＳＯ3によりＨ2ＳＯ4が生じて、排ガス煙道、下流のガス空気予熱器や集塵器等を低温腐食させるという問題がある。又、上記したＳＯ3は、煙突から紫煙を発生する原因とされており、この問題に対しても対処する必要がある。
【０００６】上記した問題に対処するべく、従来から排ガス中のＳＯ3を測定する方法が実施されている。
【０００７】従来の排ガス中のＳＯ3を測定する方法は、排ガスをサンプリングし、除塵、除湿等を行った、サンプリングガスを水に通してＳＯ3を水中に溶解させ、その後ＳＯ3が溶解した水を手分析による化学分析を行ってＳＯ3を定量している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の排ガス中のＳＯ3濃度測定方法は、排ガスをサンプリングし手分析によってＳＯ3を定量する方法であるために、測定に３０分〜１時間の測定時間を要し、計測時間に遅れが生じるという問題を有していた。又、サンプリングした排ガスの除塵、除湿等を行っているために、排ガス煙道中の排ガスとは性状が異なった状態で測定されてしまう可能性があるという問題を有していた。
【０００９】このように、従来においては、煙道の排ガス中のＳＯ3を、オンラインで計測できる方法の開発が望まれていたが、このような方法は存在しなかった。
【００１０】本発明は、かかる従来方法のもつ問題点を解決すべくなしたもので、排ガス煙道のＳＯ3濃度をオンラインで測定することができるようにした排ガス中のＳＯ3濃度測定方法及び装置を提供することを目的としている。」
（引１−イ）「【００２１】本発明者らは、ＳＯ3が紫外域の光に吸収スペクトルを持ち、しかもその吸収スペクトルの強度がＳＯ3の濃度に対応することを見出し、この関係を用いることにより、排ガス中のＳＯ3濃度をオンラインで測定できる方法及び装置を完成した。
【００２２】図１は、高温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を測定する方法を実施するための試験計測装置の一例を示したものである。
【００２３】図１に示すように、
試験計測装置１
【００２４】前記吸収セル３は、ＳＯ3の含有濃度を変化させたガスを供給できる濃度調整装置９に、弁１１を備えた供給管１０を介して接続されていると共に、吸収セル３には弁１１を備えた排出管１２が接続されており、吸収セル３の試験空間２のＳＯ3濃度を任意に調整できるようにしている。
【００２５】又、吸収セル３には、温度コントローラ１３が設けられていて試験空間２のＳＯ3ガスの温度を調整できるようになっている。１４は温度モニタ、１５は圧力計である。
【００２６】前記分光器８にはＣＣＤ１６、分光器コントローラ１７が備えられて試験計測部１８が構成されており、試験計測部１８にて計測した吸収スペクトルが演算装置１９に入力されている。演算装置１９には、試験空間２のＳＯ3濃度を種々変化させた場合の吸収スペクトルと、温度コントローラ１３により温度を種々変化させたときの吸収スペクトルが入力されており、更に、ＳＯ3の吸収スペクトル計測時にノイズとなるＳＯ2等の有害ガスの影響を計測したノイズ成分２０が入力されており、
演算装置１９は、ＳＯ
3
濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１を出力する
【００２７】一方、図２〜図４は、高温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を計測するための煙道２２に備える実計測装置２３を示している。
【００２８】実計測装置２３は、前記試験計測装置１と類似した構成を有しており、前記集光光学系４と受光光学系７と同様に対の構成を有して、
煙道２２のガス流路と直交する面において幅方向
に３個の集光光学系４ａと受光光学系７ａを、前後方向
に２個の集光光学系４ｂと受光光学系７ｂを配置している
【００２９】図２中２４は、集光光学系４に接続された電源、
２５は、受光光学系７に光ファイバ２６を介して接続された分光器８と、ＣＣＤ１６と、分光器コントローラ１７とからなる実計測部
【００３０】
２７は、実計測部２５の分光器コントローラ１７に接続された濃度演算装置であり、該濃度演算装置２７には
演算装置１９によって得られた校正特性２１が入力されると共に、煙道２２に設けた温度計２８からの排ガス温度２９が入力されるようになっている
【００３１】図３は、前記煙道２２に備えている
集光光学系４ａ，４ｂ
煙道２２の側壁に管台状に形成した計測口３０のフランジ３１に取り付けられている
集光光学系４ａ，４ｂは、ケーシング３２の内部に、少なくともＳＯ
3
の吸収域をカバーする紫外域の光を投射するキセノンランプ３３、細口３４を有するプレート３５、光をパルス的に投射するためのチョッパー３６、必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ３７、レンズ３８、前記フランジ３１との間に挟持するようにした光学窓３９、光学窓３９の計測口３０側に空気を吹き付けるパージ管４０とを備えている
【００３２】図４は、前記煙道２２に備えている
受光光学系７ａ，７ｂ
煙道２２の側壁に前記計測口３０と対抗するように設けられた計測口４２のフランジ４３に取り付けられている
受光光学系７ａ，７ｂは、前記計測口４２のフランジ４３との間に光学窓４４を挟むようにしたケーシング４５を備えており、該ケーシング４５の内部に、必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ４６と受光部４７とを備えている
【００３３】なお、前記図３の集光光学系４ａ，４ｂ及び図４の受光光学系７ａ，７ｂの構成は、図１の試験計測装置１の構成にも適用することができる。
【００３４】又、図５は、低温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を測定する方法を実施するための試験計測装置４８の一例を示したものである。この
試験計測装置４８は
図１の試験計測装置１と同一
【００３５】又、図６は、
低温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ
3
濃度を測定する
ための煙道２２に備える実計測装置５１
吸収セル３
内のガス中の水分濃度を検出する水分計５２を備えて検出した水分濃度５３を濃度演算装置２７に入力していること以外は図２の実計測装置２３と同一である
【００３６】又、図６では、
対をなして幅方向と前後方向に配置した集光光学系４ａ，４ｂと受光光学系７ａ，７ｂに対して、斜めに交差する方向の集光光学系４ｃと受光光学系７ｃを対で設けた
（引１−ウ）「【００４８】次に、低温腐食が生じる温度域、例えば１５０〜４００℃での排ガス中のＳＯ3濃度を測定する場合の方法について説明する。
【００４９】ボイラのこのような温度条件の排ガスの場合には、通常１２％前後の水分を含有しており、このような排ガスにおいては、排ガス中のＳＯ3は十分な水分に対して飽和雰囲気にあるために反応してＨ2ＳＯ4となる。この点について調査したところ、図１０に示すような愕化学平衡曲線が得られた。化学平衡的には、４００℃以下の低温度は、ＳＯ3と水分が反応して一部のＳＯ3がＨ2ＳＯ4蒸気に変化している。このときの変化域Ｘは、調度ボイラの出口温度域に一致している。
【００５０】まず、図５において、濃度調整装置９により所定濃度のＳＯ3ガスを吸収セル３内に供給して密閉した状態において、集光光学系４から発せられる紫外光を試験空間２に通過させ、ＳＯ3によって光強度が変化した透過光を受光光学系７により取り出し、得られた透過光を試験計測部１８の分光器８で分光することにより、吸収セル３内の光路上に存在するＳＯ3濃度に比例する吸収スペクトルが計測される。
【００５１】このような試験計測を、ＳＯ3濃度を変化させて複数回実施することにより各々の吸収スペクトルを得ると共に、温度コントローラ１３によりガス温度を変化させて複数回実施することにより複数の吸収スペクトルを得、更に、水分付加装置４９により水分濃度を変化させて得た吸収スペクトルを夫々演算装置１９に入力し、更に妨害ガス等によるノイズ成分を求め、上記吸収スペクトルの強度とノイズ成分とを用いてケモメトリックス法により、ＳＯ3濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１を得る。
【００５２】一方、図６に示したように煙道２２に備えた実計測装置２３（当審注：【図６】の記載及び前後の文脈からみて、「実計測装置２３」は「実計測装置５１」の誤記と認める。）の
各集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃから発せられる紫外光を煙道２２内に通過させ、ＳＯ
3
によって光強度が変化した透過光を受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃにより取り出し、得られた透過光を実計測部２５の分光器８で分光することにより、煙道２２内の光路上に存在するＳＯ
3
濃度に比例する実吸収スペクトルを計測し、計測した実吸収スペクトルを濃度演算装置２７に入力する
温度計２８により検出した排ガス温度２９を濃度演算装置２７に入力すると共に、水分計５２により検出した水分濃度５３濃度演算装置２７に入力する
【００５３】濃度演算装置２７には、前記図１（当審注：前後の文脈からみて、「図１」は「図５」の誤記と認める。）の
演算装置１９で得られた校正特性２１が入力されている
濃度演算装置２７は、実吸収スペクトルと、排ガス温度２９と、水分濃度５３とを、前記校正特性２１と照合することにより、排ガス中のＳＯ
3
濃度を高精度に測定することができる
（引１−エ）【図３】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（引１−オ）【図４】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（引１−カ）【図６】
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（２）
ア　（引１−イ）には、集光光学系４ｃ及び受光光学系７ｃの構造に関する詳細な記載はなく、集光光学系４ａ，４ｂ及び受光光学系７ａ，７ｂと異なる構造としなければならない特段の事情があるとも認められないことから、集光光学系４ｃ及び受光光学系７ｃの構造は、それぞれ集光光学系４ａ，４ｂ及び受光光学系７ａ，７ｂと同じ構造であると解するのが相当である。
イ　上記アを踏まえると、上記（引１−ア）ないし（引１−カ）の記載から、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「　低温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を測定するための煙道２２に備える実計測装置５１であって、
　煙道２２のガス流路と直交する面において幅方向に３個の集光光学系４ａと受光光学系７ａを、前後方向に２個の集光光学系４ｂと受光光学系７ｂを配置してあり、
　対をなして幅方向と前後方向に配置した集光光学系４ａ，４ｂと受光光学系７ａ，７ｂに対して、斜めに交差する方向の集光光学系４ｃと受光光学系７ｃを対で設けてあり、
　集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃは、煙道２２の側壁に管台状に形成した計測口３０のフランジ３１に取り付けられていて、ケーシング３２の内部に、少なくともＳＯ3の吸収域をカバーする紫外域の光を投射するキセノンランプ３３、細口３４を有するプレート３５、光をパルス的に投射するためのチョッパー３６、必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ３７、レンズ３８、前記フランジ３１との間に挟持するようにした光学窓３９、光学窓３９の計測口３０側に空気を吹き付けるパージ管４０とを備えており、
　受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃは、煙道２２の側壁に前記計測口３０と対抗するように設けられた計測口４２のフランジ４３に取り付けられていて、前記計測口４２のフランジ４３との間に光学窓４４を挟むようにしたケーシング４５を備えており、該ケーシング４５の内部に、必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ４６と受光部４７とを備えており、
　実計測部２５は、受光光学系７に光ファイバ２６を介して接続された分光器８と、ＣＣＤ１６と、分光器コントローラ１７とからなり、
　濃度演算装置２７は、実計測部２５の分光器コントローラ１７に接続されており、
　該濃度演算装置２７には、試験計測装置４８の演算装置１９で得られたＳＯ3濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１が入力されると共に、煙道２２に設けた温度計２８からの排ガス温度２９が入力されるようになっており、
　煙道２２内のガス中の水分濃度を検出する水分計５２を備えて検出した水分濃度５３を濃度演算装置２７に入力するようになっており、
　各集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃから発せられる紫外光を煙道２２内に通過させ、ＳＯ3によって光強度が変化した透過光を受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃにより取り出し、得られた透過光を実計測部２５の分光器８で分光することにより、煙道２２内の光路上に存在するＳＯ3濃度に比例する実吸収スペクトルを計測し、計測した実吸収スペクトルを濃度演算装置２７に入力し、
　温度計２８により検出した排ガス温度２９を濃度演算装置２７に入力すると共に、水分計５２により検出した水分濃度５３を濃度演算装置２７に入力し、
　濃度演算装置２７は、実吸収スペクトルと、排ガス温度２９と、水分濃度５３とを、校正特性２１と照合することにより、排ガス中のＳＯ3濃度を高精度に測定することができる、
実計測装置５１。」
２　引用文献２について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２（Buzykin O. G.，“Spectroscopic Detection of Sulfer Oxides in the Aircraft Wake”，Journal of Russian Laser Research，米国，Springer，２００５年，Vol.26, No.5，p.402-426）には、次の事項が記載されている（翻訳は、当審で作成したものである。（引２−エ）の「
SO
3
 (sulfur trioxide).
（引２−ア）第４０２頁１〜２行
「SPECTROSCOPIC DETECTION OF SULFUR OXIDES IN THE AIRCRAFT WAKE」
（翻訳：航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出）
（引２−イ）第４０２頁１１〜２４行
「　Abstract
The absorption/emission spectral regions of SO, SO2, SO3, S2O and HSO are analyzed for the range from UV (λ ≧ 0.2 μm)（当審注：原文における「≧」の表記は、「＞」の下に「−」である。） to IR (λ  30 μm) and are compared with the atmospheric transmission spectrum. It is shown that many vibrational bands of the compounds considered fall into atmospheric transmission windows. For the vibrational bands of SO, SO2, SO3, S2O, and HSO molecules there are some gases which hinder the absorption diagnostics of the indicated compounds. These interfering gases are natural components of atmospheric air as well as specific gases of aircraft engine exhaust. It is found that the least influence of the interference takes place in the 2400-2700 cm-1 IR region. The spectroscopic techniques used for the detection of aircraft engine exhaust compounds are briefly reviewed, with much consideration given to SO2. The IR absorption spectra of SO2 and other gases are calculated for the conditions of the aircraft engine nozzle exit. Narrow spectral intervals suitable for SO2 detection in a hot flow are determined. An analysis is made for the detection capabilities of CO2 lasers (including isotope CO2 lasers) and CO lasers (both fundamental band and first-overtone ones) as applied to SO2 detection in aircraft engine exhaust.」
（翻訳：　要約
ＳＯ、ＳＯ
２
、ＳＯ
３
、Ｓ
２
Ｏ及びＨＳＯの吸収／発光スペクトル領域をＵＶ（λ≧0.2μm）からＩＲ（λ＜30μm）の範囲で分析
示された化合物の吸収診断を妨げる
干渉ガスは、航空機エンジンの排気ガスの特定のガスと同様に、大気の天然成分である
干渉の影響が最も少ないのは、2400〜2700 cm
-1
 ＩＲ領域であることが見いだされた
（引２−ウ）第４０３頁１８〜２４行
「　We consider here the following sulfur compounds: SO, SO2, SO3, S2O, and HSO. The main spectroscopic properties of the indicated compounds are reviewed below. Spectral regions of radiation absorption/emission are analyzed for each substance, and interfering gases of atmospheric air and aircraft wake are identified. Also, the spectroscopic schemes used for the detection of aircraft engine exhaust gases are briefly reviewed. Much consideration is given to SO2 detection. IR spectra of SO2 and other exhaust gases are calculated for the engine nozzle exit conditions of a Boeing 707 aircraft. An analysis is made for the detection capabilities of CO2 and CO lasers as applied to SO2 detection in aircraft exhaust flow.」
（翻訳：　ここでは、以下の硫黄化合物を検討する：ＳＯ、ＳＯ２、ＳＯ３、Ｓ２Ｏ及びＨＳＯ。示された化合物の主な分光特性は以下に概説されている。各物質について放射線の吸収／放出のスペクトル領域を分析し、大気中及び航空機の航跡中の干渉ガスを特定する。また、航空機エンジンの排気ガスの検出に使用される分光法を簡単に概説する。ＳＯ２の検出に重点が置かれている。ＳＯ２及び他の排気ガスのＩＲスペクトルが、ボーイング７０７航空機のエンジンノズル出口条件に対して計算される。航空機の排気流中のＳＯ２検出に適用されるＣＯ２及びＣＯレーザーの検出能力について分析を行う。）
（引２−エ）第４０４頁下から６行〜第４０５頁１行
「　
SO
3
 (sulfur trioxide).
（翻訳：　
ＳＯ
３
（三酸化硫黄）。
（引２−オ）第４０５頁１６行〜第４０８頁下から５行
「3. Absorption Bands of Sulfur Oxides and Atmospheric Transmission Spectra
　Figure 1 shows the transmission spectra of the standard atmosphere in a wide wavelength range (from IR to UV). The spectra are calculated using MODTRAN code. It is seen from Fig. 1 that the abrupt decrease in transmission at the beginning of the UV region is caused by strong absorption of radiation by ozone (Hartley bands), oxygen (Schumann.Runge system), and by Rayleigh (molecular) scattering of radiation. In Fig. 2, the transmission in IR bands of the main atmospheric gases is plotted. In Fig. 3, the wavelength regions of electronic absorption bands of SO, SO2, SO3, S2O, and HSO are shown. Figure 5 shows the positions of IR absorption band centers of these molecules. Figure 4 contains more detailed information on absorption cross sections of SO2, SO3, COS, and CS2 in the UV region. From all these figures it is possible to conclude that UV absorption diagnostics of the considered sulfur compounds is possible only at small distances. On the other hand, in visible, IR, and microwave ranges there is a number of transmission windows (as well as microwindows) where the attenuation of radiation in the atmosphere is low and, hence, diagnostics is possible using large distances. From the standpoint of sulfur compound detection the following windows are interesting: 500-600 cm-1 (for SO2 and SO3), 1150-1200 cm-1 (for SO, SO2, and S2O), and 2450-2800 cm-1 (for SO2, SO3, and HSO).
　Let us define the gases that can hinder the absorption diagnostics of sulfur compounds in aircraft wake. Among the atmospheric gases we consider molecules contained in the HITRAN-96 spectroscopic database: H2O, CO2, O3, N2O, CO, CH4, O2, NO, SO2, NO2, NH3, HNO3, OH, HF, HCl, HBr, HI, ClO, OCS, H2CO, HOCl, N2, HCN, CH3Cl, H2O2, C2H2, C2H6, PH3, COF2, SF6, H2S, and HCOOH. Many of these gases are present in significant amounts (above atmospheric) in the exhaust of aircraft engines (e.g., H2O, CO2, CO, NO, NO2, HNO3, OH, H2CO, H2O2, and C2H2). Among volatile organic compounds the following gases are additionally present in the exhausts: ethene (C2H4), propene (C3H6), acetaldehyde (C2H4O), acrolein (C3H4O), benzene (C6H6), toluene (C7H8), etc. Table 5 gives information on interfering gases that hinder detection of sulfur oxides in the IR region within the indicated spectral intervals (±100 cm-1 offset is taken around each central frequency). Figure 6 shows the IR absorption spectra of some organic substances related to aircraft engine exhausts as well as the positions of IR bands of SO, SO2, SO3, S2O, and HSO. From Table 5 and Fig. 6, it follows that minimum influence of interfering gases is observed in the IR region of 2400-2700 cm-1. It should be pointed out that this spectral region overlaps with the lasing range of a first-overtone CO laser [52].」
（翻訳：３．硫黄酸化物の吸収帯と大気透過スペクトル
　図１は、広い波長範囲（ＩＲからＵＶまで）における標準大気の透過スペクトルを示す。スペクトルはMODTRANコードを使用して計算される。図１からわかるように、ＵＶ領域の最初の部分での透過率の急激な減少は、オゾン（ハートレー帯）、酸素（シューマン−ルンゲ系）による放射線の強い吸収、及び放射線のレーリー（分子）散乱に起因する。
図２には、大気中の主要ガスのＩＲバンドにおける透過率がプロットされている
ＳＯ、ＳＯ
２
、ＳＯ
３
、Ｓ
２
Ｏ及びＨＳＯ
図５は、これらの分子のＩＲ吸収帯中心の位置を示す
考察対象の硫黄化合物のＵＶ吸収診断は、短い距離でのみ可能である
ＩＲ域
では、大気中の放射線の減衰が少ない透過窓（同様にマイクロ窓）が多数あり、そのため、長距離を使用した診断が可能である
硫黄化合物検出の観点からは、以下の窓が重要である：500〜600 cm
-1
（ＳＯ
２
及びＳＯ
３
の場合）、1150〜1200 cm
-1
（ＳＯ、ＳＯ
２
及びＳ
２
Ｏの場合）及び2450〜2800 cm
-1
（ＳＯ
２
、ＳＯ
３
及びＨＳＯの場合）
　航空機の航跡中の硫黄化合物の吸収診断を妨げる可能性があるガスを定義しよう。大気ガスの中で、HITRAN-96分光データベースに含まれる分子を検討する：Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、Ｏ３、Ｎ２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ４、Ｏ２、ＮＯ、ＳＯ２、ＮＯ２、ＮＨ３、ＨＮＯ３、ＯＨ、ＨＦ、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＨＩ、ＣｌＯ、ＯＣＳ、Ｈ２ＣＯ、ＨＯＣｌ、Ｎ２、ＨＣＮ、ＣＨ３Ｃｌ、Ｈ２Ｏ２、Ｃ２Ｈ２、Ｃ２Ｈ６、ＰＨ３、ＣＯＦ２、ＳＦ６、Ｈ２Ｓ及びＨＣＯＯＨ。これらのガスの多くは航空機エンジンの排気中にかなりの量（大気中以上）で存在している（例えば、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、ＣＯ、ＮＯ、ＮＯ２、ＨＮＯ３、ＯＨ、Ｈ２ＣＯ、Ｈ２Ｏ２及びＣ２Ｈ２）。揮発性有機化合物の中で、次のガスが排気中にさらに存在する：エテン（Ｃ２Ｈ４）、プロペン（Ｃ３Ｈ６）、アセトアルデヒド（Ｃ２Ｈ４Ｏ）、アクロレイン（Ｃ３Ｈ４Ｏ）、ベンゼン（Ｃ６Ｈ６）、トルエン（Ｃ７Ｈ８）など。表５は、示されたスペクトル間隔内のＩＲ領域内（各中心周波数の周囲で±100 cm-1のオフセットがとられる）における硫黄酸化物の検出を妨げる妨害ガスに関する情報を提供する。図６は、航空機エンジンの排気に関連するいくつかの有機物質のＩＲ吸収スペクトルを、ＳＯ、ＳＯ２、ＳＯ３、Ｓ２Ｏ及びＨＳＯのＩＲバンドの位置とともに示す。表５及び図６から、
干渉ガスの影響が最小限であるのは、2400〜2700 cm
-1
のＩＲ領域で観察される
（引２−カ）第４０６頁下部　Ｆｉｇ．２．
「
Fig. 2. Infrared transmission spectra of standard 1976 US atmosphere. MODTRAN calculations. Horizontal path L = 5 km at altitude H = 12.2 km. No aerosols included. Spectral resolution is 25 cm-1.」
（翻訳（標題のみ）：図２ 1976年の米国標準大気の赤外線透過スペクトル。MODTRAN計算。水平経路Ｌ＝ 5 km、標高Ｈ＝ 12.2 km。エアロゾルは含まない。スペクトル分解能cm-1。）
（引２−キ）第４０８頁上部　Ｆｉｇ．５．
「
Fig. 5. Position of IR bands for SO, SO2, SO3, S2O, and HSO. Transmission spectrum of standard US 1976 atmosphere is shown. No aerosols included. H = 12.2 km and horizontal path L = 5 km.」
（翻訳（図題のみ）：図５　ＳＯ、ＳＯ２、ＳＯ３、Ｓ２Ｏ及びＨＳＯのＩＲバンドの位置。1976年の米国標準大気の透過スペクトルを示す。エアロゾルは含まない。Ｈ＝ 12.2 km、水平経路Ｌ＝ 5 km。）
（引２−ク）第４０９頁　ＴＡＢＬＥ　５．
「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（翻訳（標題のみ）：表5. IR領域における硫黄酸化物の吸収診断を妨げる妨害ガス）
第４　対比・判断
１　本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明とを対比する。
ア
（ア）引用発明は、「低温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を測定するための煙道２２に備える実計測装置５１」であるから、引用発明の「排ガス」に「ＳＯ3」が含まれていることは明らかである。
（イ）引用発明において、「煙道２２」内に「排ガス」が存在していることは明らかである。
（ウ）引用発明の「少なくともＳＯ3の吸収域をカバーする紫外域の光を投射するキセノンランプ３３」「を備え」た「集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃ」と、本願発明１の「レーザ光を照射する照射手段」とは、「光を照射する照射手段」の点で共通する。
（エ）上記（ア）ないし（ウ）を踏まえると、引用発明の「煙道２２の側壁に管台状に形成した計測口３０のフランジ３１に取り付けられていて、」「少なくともＳＯ3の吸収域をカバーする紫外域の光を投射するキセノンランプ３３」「を備え」、「発せられる紫外光を煙道２２内に通過させ」る「集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃ」と、本願発明１の「除塵処理、除湿処理、減圧処理のいずれも行わないＳО3およびＣＯ２およびＨ２Ｏを含む排ガスに対し、レーザ光を照射する照射手段」とは、「ＳО3を含む排ガスに対し、光を照射する照射手段」の点で共通する。
イ
（ア）引用発明の「受光部４７」「を備え」た「受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃ」と、「受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃにより取り出し、得られた透過光を」「分光器８で分光することにより、煙道２２内の光路上に存在するＳＯ3濃度に比例する実吸収スペクトルを計測」する「実計測部２５」とを併せたものと、本願発明１の「レーザ光を受光する受光手段」とは、「光を受光する受光手段」の点で共通する。
（イ）上記（ア）並びにアの（ア）及び（イ）を踏まえると、引用発明の「煙道２２の側壁に前記計測口３０と対抗するように設けられた計測口４２のフランジ４３に取り付けられていて、」「受光部４７」「を備え」、「各集光光学系４ａ，４ｂ，４ｃから発せられる紫外光を煙道２２内に通過させ、ＳＯ3によって光強度が変化した透過光を」「取り出」す「受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃ」と、「受光光学系７ａ，７ｂ，７ｃにより取り出し、得られた透過光を」「分光器８で分光することにより、煙道２２内の光路上に存在するＳＯ3濃度に比例する実吸収スペクトルを計測」する「実計測部２５」とを併せたものと、本願発明１の「前記排ガスに照射され当該排ガスを透過したレーザ光を受光する受光手段」とは、「前記排ガスに照射され当該排ガスを透過した光を受光する受光手段」の点で共通する。
ウ
（ア）引用発明の「必要紫外域の光」が「ＳＯ3の吸収域」を含むことは明らかである。
（イ）上記（ア）及びア（ウ）を踏まえると、引用発明の「キセノンランプ３３」が「投射する」「少なくともＳＯ3の吸収域をカバーする紫外域の光」のうち、「必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ３７」と、本願発明１の「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」とは、「前記照射手段が照射する前記光の波長をＳО3の吸収波長を含む範囲に制限する波長制限手段」の点で共通する。
エ
（ア）上記イ（ア）を踏まえると、引用発明の「濃度演算装置２７に入力」される「実計測部２５」で「計測した実吸収スペクトル」は、本願発明１の「前記受光手段からの出力」に相当する。
（イ）引用発明の「試験計測装置４８の演算装置１９で得られたＳＯ3濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１」と、本願発明１の「前記波長制御手段からの参照信号」とは、「濃度演算に用いる基準データ」の点で共通する。
（ウ）引用発明の「実吸収スペクトルと、排ガス温度２９と、水分濃度５３とを、校正特性２１と照合すること」と、本願発明１の「赤外分光法」とは、「分光法」の点で共通する。
（エ）引用発明の「排ガス中のＳＯ3濃度を高精度に測定することができる」「濃度演算装置２７」は、本願発明１の「ＳО3濃度を演算するＳО3濃度演算手段」に相当する。
（オ）上記（ア）ないし（エ）を踏まえると、引用発明の「実計測部２５」で「計測した実吸収スペクトル」、「温度計２８により検出した排ガス温度２９」、「水分計５２により検出した水分濃度５３」及び「試験計測装置４８の演算装置１９で得られたＳＯ3濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１」が「入力」され、「実吸収スペクトルと、排ガス温度２９と、水分濃度５３とを、校正特性２１と照合することにより、排ガス中のＳＯ3濃度を高精度に測定することができる」「濃度演算装置２７」と、本願発明１の「前記受光手段からの出力と前記波長制御手段からの参照信号を基に赤外分光法によりＳО3濃度を演算するＳО3濃度演算手段」とは、「前記受光手段からの出力と濃度演算に用いる基準データを基に分光法によりＳО3濃度を演算するＳО3濃度演算手段」の点で共通する。
オ　引用発明の「低温腐食が生じる温度域での排ガス中のＳＯ3濃度を測定するための煙道２２に備える実計測装置５１」は、本願発明１の「ＳО3分析装置」に相当する。
（２）よって、本願発明１と引用発明とは、
「　ＳО3を含む排ガスに対し、光を照射する照射手段と、
　前記排ガスに照射され当該排ガスを透過した光を受光する受光手段と、
　前記照射手段が照射する前記光の波長をＳО3の吸収波長を含む範囲に制限する波長制限手段と、
　前記受光手段からの出力と濃度演算に用いる基準データを基に分光法によりＳО3濃度を演算するＳО3濃度演算手段とを備える
ＳО3分析装置。」
の発明である点で一致し、次の５点で相違する。
（相違点１）
　「ＳО3を含む排ガス」が、本願発明１は、「除塵処理、除湿処理、減圧処理のいずれも行わないＳО3およびＣＯ２およびＨ２Ｏを含む排ガス」であるのに対し、引用発明は、「除塵処理、除湿処理、減圧処理のいずれも行わない」ものであること及び「ＣＯ２およびＨ２Ｏを含む」ことは特定されていない点。
（相違点２）
　「照射手段」が「照射」し「受光手段」が「受光する」「光」が、本願発明１においては、「レーザ光」であるのに対して、引用発明においては、「キセノンランプ３３」が「投射する」「光」である点。
（相違点３）
　「前記照射手段が照射する前記光の波長をＳО3の吸収波長を含む範囲に制限する波長制限手段」が、本願発明１においては、「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」であるのに対して、引用発明においては、「必要紫外域の光のみを透過させてノイズを防止するカットオン等のフィルタ３７」である点。
（相違点４）
　「分光法」で用いる「濃度演算に用いる基準データ」が、本願発明１においては、「前記波長制御手段からの参照信号」であるのに対して、引用発明においては、「試験計測装置４８の演算装置１９で得られたＳＯ3濃度と吸収スペクトルとの校正特性２１」である点。
（相違点５）
　「分光法」が、本願発明１においては、「赤外分光法」であるのに対して、引用発明においては、「紫外光」を用いたものである点。
（３）相違点についての判断
ア　事案に鑑み、最初に上記相違点３について検討する。
　引用文献２は、「航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出」に関する文献であり、（引２−イ）ないし（引２−カ）から、以下の（ア）ないし（オ）の事項が読み取れる。
（ア）ＳＯ、ＳＯ２、ＳＯ３、Ｓ２Ｏ及びＨＳＯの吸収／発光スペクトル領域をＵＶ（λ≧0.2μm）からＩＲ（λ＜30μm）の範囲で分析した。・・・（引２−イ）
（イ）図５及び表５から、ＳＯ３には、495、529、1391、2443及び2773cm-1を中心とする吸収帯が存在する。・・・（引２−キ）、（引２−ク）
（ウ）考察対象の硫黄化合物のＵＶ吸収診断は、短い距離でのみ可能であり、ＩＲ域では、大気中の放射線の減衰が少ない透過窓（同様にマイクロ窓）が多数あり、そのため、長距離を使用した診断が可能である。・・・（引２−オ）
（エ）硫黄化合物検出の観点からは、以下の窓が重要である：500〜600 cm-1（ＳＯ２及びＳＯ３の場合）、1150〜1200 cm-1（ＳＯ、ＳＯ２及びＳ２Ｏの場合）及び2450〜2800 cm-1（ＳＯ２、ＳＯ３及びＨＳＯの場合）。・・・（引２−オ）
（オ）考察対象の化合物の吸収診断を妨げる干渉ガスは、航空機エンジンの排気ガスの特定のガスと同様に、大気の天然成分であり、干渉の影響が最も少ないのは、2400〜2700 cm-1 ＩＲ領域である。・・・（引２−イ）、（引２−オ）
　上記（ア）ないし（オ）を総合すると、航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出では、大気中の放射線の減衰の観点から、ＵＶ吸収診断ではなく、長距離を使用した診断が可能であるＩＲ域での吸収診断が適しており、ＳＯ３には、495、529、1391、2443及び2773cm-1（波長3.606、4.093、7.189、18.90及び20.20μm）を中心とする吸収帯が存在するが、検出の観点からは、500〜600 cm-1（波長1.67〜20.0μm）及び2450〜2800 cm-1（波長3.57〜4.08μm）が重要な窓であり、干渉の影響が最も少ないのは、2400〜2700 cm-1 （波長3.70〜4.17μm）ＩＲ領域であるといえる。
　上記のとおり、引用文献２は、航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出のために、大気中の放射線の減少や航空機排ガスによる干渉の影響を考慮して、ＳＯ３の検出に適した窓の１つとして、2450〜2800 cm-1（波長3.57〜4.08μm）を提示し、干渉の影響が最も少ない範囲として2400〜2700 cm-1 （波長3.70〜4.17μm）ＩＲ領域を提示している。
　これに対し、引用発明は、煙道中の排ガス中のＳＯ3濃度を測定するものであり、航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出のように大気中に長距離の光路を設ける必要がなく、航空機排ガスとは干渉ガスの種類も異なるものである。
　そうすると、引用文献２に、航空機航跡中の硫黄酸化物の分光検出において、ＳＯ３の検出に適した窓の１つとして、ＩＲ域である2450〜2800 cm-1（波長3.57〜4.08μm）が提示され、干渉の影響が最も少ない範囲として2400〜2700 cm-1 （波長3.70〜4.17μm）ＩＲ領域が提示されているとしても、用途が異なりＵＶ光が使用可能な引用発明において、直ちにＩＲ域の光を用いる動機付けとなるものではない。
　また、引用文献２には、ＳＯ３の吸収帯の１つとして、2443cm-1（波長4.093μm）を中心とする吸収帯が提示されていることから、仮に、この吸収帯を利用するとしても、本願発明１は、４．０６０〜４．１８２μｍの波長範囲に多数のスペクトルがあり、ＣＯ２やＨ２Ｏの吸収ピークの影響をほとんど受けない領域にもＳＯ３吸収ピークが存在することを見いだして（明細書段落【００２６】）、「４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長」を採用したものであるから、上記相違点３に係る本願発明１の発明特定事項は、引用発明及び引用文献２の記載事項から、当業者が容易に想起し得た事項であるとは認められない。
イ　したがって、その他の相違点について判断するまでもなく、本願発明１は、引用発明及び引用文献２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
２　本願発明２ないし７について
　本願発明２ないし７は、本願発明１の「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」と同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、引用発明及び引用文献２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
３　本願発明８について
　本願発明８は、本願発明１に対応する方法の発明であり、本願発明１の「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」に対応する構成を備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、引用発明及び引用文献２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は、請求項１、２及び９に係る発明は、上記引用文献１及び２に基づいて、請求項３ないし８に係る発明は、上記引用文献１及び２並びに引用文献３（特開２００９−８５８７２号公報）、引用文献４（特開２００３−４２９５０号公報）及び引用文献５（特開２００３−１４６３３号公報）に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　しかしながら、令和元年６月２１日にされた手続補正で補正された請求項１及び８は、それぞれ「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」という事項、「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」に対応する構成を有するものとなっており、上記第４で検討したとおり、本願発明１ないし８は、引用発明及び引用文献２の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　ここで、上記引用文献３及び４は、２波長の励起レーザ光を入射する差周波発生のレーザ光源が周知技術であることを示すために引用された文献であり、本願発明１の「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」という構成を開示するものではない。
　また、上記引用文献５は、紫外線吸収スペクトルから求めたＳО3濃度を計測時のガス圧力を用いて補正する技術が公知であることを示すために引用された文献であり、本願発明１の「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」という構成を開示するものではない。
　そうすると、引用文献３ないし５の記載事項を考慮したとしても、本願発明１ないし８は、引用発明及び引用文献２ないし５の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、原査定を維持することはできない。
第６　当審拒絶理由について
　当審拒絶理由は、特許法第３６条第６項第２号に関するものである。
　当審では、請求項１には、「波長制御手段」を特定する記載として、「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０６０μｍ〜４．１８２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」及び「前記波長制御手段は、前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍに制御する」とあるが、両者の波長範囲が一致していないため、「波長制御手段」がどのような波長範囲に制御するものであるのかが判然としないとの拒絶の理由を通知しているが、令和元年６月２１日にされた手続補正（以下「本件手続補正」という。）において、「前記照射手段が照射する前記レーザ光の波長を４．０９３μｍ〜４．０９８μｍ、４．１０４５μｍ〜４．１０６５μｍ、４．１１０μｍ〜４．１１５μｍ、４．１１７μｍ〜４．１２６μｍ、または４．１３１μｍ〜４．１３２μｍ帯のＳО3の吸収波長に制御する波長制御手段」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
　また、請求項８に対しても同様の拒絶の理由を通知しているが、本件手続補正において請求項８について請求項１と同様の補正がされた結果、この拒絶の理由は解消した。
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明１ないし８は、引用発明及び引用文献２ないし５の記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　そして、当審拒絶理由によっても、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。