【事件の表示】
　特願２０００−５２３５３１「汚染を生じない圧力トランスデューサモジュール」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　６月１０日国際公開、ＷＯ９９／２８７１９、平成１３年１２月１１日国内公表、特表２００１−５２５５３８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１０年１０月１４日（パリ条約による優先権主張平成９年１２月１日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１５年３月３１日付け（発送日平成１５年４月８日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月７日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年８月６日付けで手続補正がなされたものである。
　
第２．平成１５年８月６日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年８月６日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
　１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１１を、補正前の
「【請求項１１】　化学的に腐食性の超高純度の流体が流れる流体回路内に接続される化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュールにおいて、
　ボアとキャビティとが形成された化学的に不活性なハウジングと、
　流体と接触しない圧力センサと、
　着脱可能かつ化学的に不活性な隔離部材と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内の決まった位置で、前記圧力センサを前記隔離部材に固定する手段と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内に設けられ、前記圧力センサと接続する電子回路とを備え、
　前記ボアは、前記ハウジングの少なくとも一部分を通って延在し、前記ボアの入口端部は、前記流体回路に接続され、
　前記キャビティは、該ハウジングの外側表面から前記ボアに向かって延在し、
　前記ハウジングの化学的に不活性な材料は、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、およびＰＥＥＫからなる群より選択される材料であり、
　前記圧力センサは、前記キャビティ内の前記ボアの近傍に設けられて前記流体回路内の圧力を検出し、
　前記隔離部材は、前記ボア内を流れる流体に露呈される第１主面と前記圧力センサと係合する第２主面とを有して、前記キャビティと前記ボアとを分離することにより前記圧力センサと前記ボアとの間の流体の連通を阻止し、
　前記電子回路は、前記ボア内の圧力に比例した電気信号を生成することを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール。」
から、補正後の
「【請求項１１】　化学的に腐食性の超高純度の流体が流れる流体回路内に接続される化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュールにおいて、
　一端部にカバー部材が配設された化学的に不活性な円筒体からなり、前記円筒体の長手方向に沿って延在するボアとキャビティとが形成されたハウジングと、
　流体と接触しない圧力センサと、
　着脱可能かつ化学的に不活性な隔離部材と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内の決まった位置で、前記圧力センサを前記隔離部材に固定する手段と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内に設けられ、前記圧力センサと接続する電子回路とを備え、
　前記円筒体の長手方向に沿って延在するボアは、前記ハウジングの少なくとも一部分を通って延在し、前記ボアの入口端部は、前記流体回路が接続されるフレアを有する圧力継手であり、
　前記キャビティは、該ハウジングの外側表面から前記ボアに向かって延在し、
　前記ハウジングの化学的に不活性な材料は、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、およびＰＥＥＫからなる群より選択される材料であり、
　前記圧力センサは、前記キャビティ内の前記ボアの近傍に設けられて前記流体回路内の圧力を検出し、
　前記隔離部材は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫ、およびサファイアからなる群より選択される材料からなり、前記ボア内を流れる流体に露呈される第１主面と前記圧力センサと係合する第２主面とを有して、前記キャビティと前記ボアとを分離することにより前記圧力センサと前記ボアとの間の流体の連通を阻止し、
　前記電子回路は、前記ボア内の圧力に比例した電気信号を生成することを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール。」
に補正する補正事項を含んでいる。
　上記補正事項は、補正前の請求項１１に記載した発明の特定事項である「ボアとキャビティとが形成され化学的に不活性なハウジング」について、さらに「一端部にカバー部材が配設され」る点、「円筒体からな」る点、及び、「円筒体の長手方向に沿って延在する」点を限定し、同じく特定事項である「ボアの入口端部は、前記流体回路が接続され」について、さらに「フレアを有する圧力継手であ」る点を限定し、同じく特定事項である「隔離部材」について、さらに「ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫ、およびサファイアからなる群より選択される材料からな」る点を限定するものであるから、願書に最初に添付された明細書又は図面に記載した事項の範囲内おいてしたものであって、特許法第１７条の２第３項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする事項に該当する。そこで、上記補正後の請求項１１に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
　
　２．補正後の発明
　補正後の請求項１１に係る発明（以下、「補正後第１１発明」という。）は、補正後の請求項１１に記載された事項（上記「１．補正の内容」参照）により特定されるとおりのものである。
　
　３．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である国際公開第９７／１３１３２号パンフレット（以下、「引用例１」という。）には、概ね以下の事項が図面と共に記載されている。
　（１）「本発明は一般に圧力トランスジューサに関するものである。より詳細には本発明は、化学腐食性の流体流動回路にインライン接続しうる圧力トランスジューサモジュールに関するものであり、ここで使用する圧力センサは非汚染性トランスジューサ本体内の流体流動回路から隔離されている。」（パンフレット1頁第５〜１０行、『This invention relates・・・transducer body』）
　（２）「半導体の製造に際し、これらを製造すべく使用される材料の汚染に対する感受性は半導体製造業者が直面する重大な問題である。各種の加工システムが、これら感受性材料の処理の間に発生する異粒子および蒸気の量を減少させるように設計されている。半導体ウェファーは損傷性微粒子および薬品から隔離することが重要である。」（パンフレット１頁１２〜１９行、『During the production of semiconductors・・・particulate and chemicals』）
　（３）「一般に、処理装置は、この装置を監視し且つ制御する際に使用されるクローズドループフィードバックに接続された監視および検知装置を備える。さらに、これら監視および検知装置は導入されうるあらゆる汚染を排除すべく設計せねばならない。」（パンフレット1頁２６〜３１行、『The processing equipment・・・might be introduced』）
　（４）「半導体ウェファーの処理の間、高度に腐食性の有害薬品が一般に使用される。これらの薬品を使用する場合、処理環境内またはその近傍において極めて苛酷な条件に遭遇しうる。この種の腐食性大気環境は監視および検知装置に対し極めて重大である。さらにこの監視および検知装置は、腐食性大気環境に露呈される結果としてウェファー損傷性微粒子、イオンもしくは蒸気を伝達しうる。」（パンフレット1頁３２行〜２頁３行、『During the processing of・・・atmospheric environment』）
　（５）「したがって、腐食性材料を有する流体流動回路の内部にインラインで設置しうる非汚染性圧力トランスジューサが必要とされ、この圧力トランスジューサは流体流動回路のゲージ圧もしくは絶対圧のいずれかを測定する。さらに微粒子、望ましくないイオンまたは蒸気が流動流路中へ導入されるのを防止する圧力トランスジューサが必要である。」（パンフレット４頁５〜１２行、『Therefore, a need exists・・・the flow circuit』）
　（６）「最初に第１図および第２図を参照する。圧力トランスジューサモジュールは、一般に、参照番号１０により特定される。圧力トランスジューサはベース１２を備えて示され、このベース１２は圧力トランスジューサモジュール１０を処理装置（図示せず）に装着する際に使用される。モジュールは一般にハウジングもしくは本体１４と圧力部品部１６および１８とカバーもしくはキャップ２０とを備える。公知の構造を有する電気コネクタ２２をカバー２０に着脱自在に取り付けることができる。圧力部品部１６および１８はトランスジューサ本体１４に対する入口および出口として作用すると共に公知の構造を有する。当業者は圧力トランスジューサハウジングが各種の形状を有しうることを認識するであろうが、一般に図示した円筒形状が好適である。円筒状の圧力トランスジューサ本体は容易に作成され、流体はトランスジューサ内の円筒状孔部もしくはキャビティを一層容易に流過する。ハウジング１４およびカバー２０は、好ましくは、化学的に不活性な非汚染性ポリマー（たとえばポリテトラフルオロエチレン）で作成される。」（パンフレット８頁１１〜３０行、『Referring first to Figures 1・・・such as polytetrafluoroethylene』）
　（７）「第３図および第４図を参照して、圧力トランスジューサの内部構造を示す。孔部２８はハウジングを貫通延在して導管を形成し、これにより圧力トランスジューサモジュール１０が圧力部品部１６および１８を介し流体流動回路とインライン接続された際に、孔部２８は流体流動回路内の通路として作用する。孔部の開口部の一端部は入口を形成すると共に、孔部の他端部は流体流動回路に対する出口を形成する。流体流動回路内の圧力トランスジューサモジュールの方向は、圧力トランスジューサの効果に影響を与えることなく逆転させることもできる。キャビティ３０は、ハウジング２０の外表面から孔部２８まで全体的に延在する。キャビティ３０および孔部２８が交差するハウジング内の領域の近傍には環状リップ３２を形成する。リップ３２はさらに孔部からキャビティへの開口部を画成する。さらに、以下に説明するように、リップは各種の形状を有することができる。薄い可撓性ポリマーの円盤膜３４をキャビティのリップ３２上に位置せしめる。好適な実施例において、ハウジング１４と可撓性膜３４との両者はテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーから作成される。この種のテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーの一種はイ．アイ．デュポン・ネモアスによりテフロン（商標）のもとに販売されている。」（パンフレット９頁７〜３１行、『Referring to Figures 3 and 4・・・by E.I. duPont Nemours』）
　（８）「さらに第３図および第４図に示すように、圧力センサ４０は可撓性膜３４の頂部に設置される。圧力センサは当業者に知られたキャパシタンス型または圧電式とすることができる。圧力センサのベース３８は膜と直接接触し、さらに接着剤、熱溶着または他の公知の手段により膜に圧力接触させ或いは接着することができる。」（パンフレット１０頁１７〜２４行、『Referring again to Figures 3 and 4・・・by other known means』）
　（９）「再び第４図を参照して、電子回路モジュール４８をセラミック圧力センサ４０の上部に位置せしめ、セラミック圧力センサの導電性表面に電気的に連結する。さらに電子回路モジュール４８を適するリード線（図示せず）によりコネクタ２２の離間接点に接続する（第１図）。」（パンフレット１１頁４〜９行、『Referring again to Figures 4・・・the connector 22(Figure 1)』）
　（１０）「電子回路モジュール４８は流動回路内の圧力に比例した制御信号を発生し、これには部材４２に対し作用する流体圧力によって前記部材４２の変形に基づいてキャパシタンスの変化に関連した圧力センサ４０から受信されるアナログ情報を用いる。電子回路はさらに、サーミスタなどの部品を含ませることにより、流動回路内の温度が変化する際に圧力を調整することもできる。第３図および第４図において、カップ形状のスペーサ部材５０を圧力センサ４０の上部に配置して、圧力センサ４０の上表面に力を加えることによりセンサを膜３４に対し扁平に保持する。さらにスペーサ５０は円形状のフランジ５２（第４図参照）を備え、これは膜３４およびキャビティのリップ３２に対し力を伝達する。ｏ−リング５４をセンサのフランジ５２と膜との間に位置せしめることができ、そのエラストマー特性により力をスペーサ部材５０から膜に対し移動させて膜を環状部およびキャビティリップ３２に対し把持することができる。ネジ付きリング据付５６をハウジングもしくは本体１４のキャビティの内ネジに対し係合関係を有して回転させることにより、スペーサ部材５０を係合させると共にこれを圧力センサ４０および膜３４に対し押圧させる。」（パンフレット１１頁１３〜３５行、『The electronic circuit module 48・・・the pressure sensor 40 and membrane 34』）
　（１１）「使用者は圧力トランスジューサモジュール１０を圧力部品部１６および１８を介し流体流動回路に連結する。流体が流動回路を流過する際、圧力はその関数として圧力センサ４０の薄いセラミックプレート３８を歪め、したがってセラミック圧力センサのキャパシタンスを変化させる。キャパシタンスにおける変化は流動回路内の圧力に関連する。このキャパシタンスの変化は電気回路４８により検出され、次いで圧力に比例したアナログ信号を発生する。ゲージ圧もしくは絶対圧も同等に測定することができる。」（パンフレット１４頁１２〜２２行、『The user couples・・・equally be determined』）
　（１２）「流体流動回路とインライン接続するのに適した化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュールにおいて、
（ａ）  化学的に不活性なハウジングであって、前記ハウジングの少なくとも一部を貫通する孔部を有し、前記孔部の入口端部が流体流動回路にインライン接続され、前記ハウジング内部に形成されて前記ハウジングの外表面から前記ハウジングの前記孔部に向かって延在するキャビティをさらに有するハウジングと、
（ｂ）  前記キャビティと前記孔部とを分離し、第１および第２の対向する主表面を有し、前記第１主表面が前記回路内を流動する流体に露呈され、前記第２主表面が前記流動回路内で圧力を検知するために非流体伝導手段に近接する化学的に不活性な可撓性隔離部材と、
（ｃ）  前記流動回路内で圧力を検知するためのものであって、前記回路内を流動する流体から隔離されている前記非流体伝導手段と、
（ｄ）  前記隔離部材および前記非流体伝導手段を前記ハウジングの前記キャビティ内の固定位置に拘束する手段と、
（ｅ）  前記ハウジングの前記キャビティ内に内蔵されて前記流動回路内で圧力を検知する前記非流体伝導手段に連結され、前記孔部内の圧力に比例した電気信号を発生させる電子回路と、
を備えることを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスジューサモジュール。」（パンフレット１６頁２〜３１行、『A chemically inert pressure transducer module・・・to the pressure within the bore』）
　（１３）図面の図３及び４には、キャビティ３０は円筒体であるハウジング１４の長手方向に沿って延在するように描かれており、孔部２８は円筒体であるハウジング１４の長手方向と交差する方向に沿って延在するように描かれており、圧力センサ４０はキャビティ３０内の孔部２８の近傍に描かれている。
　
　そうすると、
　・上記摘記事項（４）中の記載「半導体ウェファーの処理の間、高度に腐食性の有害薬品が一般に使用される。」から、流体流動回路に化学的に腐食性の高い流体が流されていること、
　・上記摘記事項（６）中の記載「当業者は圧力トランスジューサハウジングが各種の形状を有しうることを認識するであろうが、一般に図示した円筒形状が好適である。」から、ハウジング１４が円筒体として形成されていること、
　・上記摘記事項（１２）中の記載「（ｃ）  前記流動回路内で圧力を検知するためのものであって、前記回路内を流動する流体から隔離されている前記非流体伝導手段」から、非流体伝導手段（圧力センサ４０）は流動回路内の流体と接触していないこと、
　・上記摘記事項（７）中の記載「キャビティ３０は、ハウジング２０の外表面から孔部２８まで全体的に延在する。キャビティ３０および孔部２８が交差するハウジング内の領域の近傍には環状リップ３２を形成する。リップ３２はさらに孔部からキャビティへの開口部を画成する。」及び上記摘記事項（１０）中の記載「第３図および第４図において、カップ形状のスペーサ部材５０を圧力センサ４０の上部に配置して、圧力センサ４０の上表面に力を加えることによりセンサを膜３４に対し扁平に保持する。さらにスペーサ５０は円形状のフランジ５２（第４図参照）を備え、これは膜３４およびキャビティのリップ３２に対し力を伝達する。ｏ−リング５４をセンサのフランジ５２と膜との間に位置せしめることができ、そのエラストマー特性により力をスペーサ部材５０から膜に対し移動させて膜を環状部およびキャビティリップ３２に対し把持することができる。ネジ付きリング据付５６をハウジングもしくは本体１４のキャビティの内ネジに対し係合関係を有して回転させることにより、スペーサ部材５０を係合させると共にこれを圧力センサ４０および膜３４に対し押圧させる。」から、ネジ付きリング据付５６、カップ形状のスペーサ部材５０及びリップ３２が、ハウジング１４のキャビティ３０内の決まった位置で、圧力センサ４０を膜（隔離部材）３４に固定する手段として機能していること、
　・上記摘記事項（６）中の記載「モジュールは一般にハウジングもしくは本体１４と圧力部品部１６・・・と・・・とを備える。・・・圧力部品部１６・・・はトランスジューサ本体１４に対する入口・・・として作用すると共に公知の構造を有する。」及び上記摘記事項（７）中の記載「圧力トランスジューサモジュール１０が圧力部品部１６・・・を介し流体流動回路とインライン接続された際に、孔部２８は流体流動回路内の通路として作用する。孔部の開口部の一端部は入口を形成する」から、孔部２８の開口部には入口端部が形成され、該入力端には孔部２８と流体流動回路を接続する圧力継手として機能している圧力部品部１６が設けられていること、
が、読み取れる。
　したがって、上記摘記事項（１）〜（１３）からみて、引用例１には次のとおりの発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
「化学的に腐食性の高い流体が流れる流体流動回路内に接続される化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュールにおいて、
　一端部にカバー２０が配設された化学的に不活性な円筒体からなり、前記円筒体の長手方向と交差する方向に沿って延在する孔部２８と前記円筒体の長手方向に沿って延在するキャビティ３０とが形成されたハウジング１４と、
　流体と接触しない圧力センサ４０と、
　着脱可能かつ化学的に不活性な可撓性隔離部材３４と、
　前記ハウジング１４の前記キャビティ３０内の決まった位置で、前記圧力センサ４０を前記隔離部材３４に固定する手段と、
　前記ハウジング１４の前記キャビティ３０内に設けられ、前記圧力センサ４０と接続する電子回路（電子回路モジュール４８）とを備え、
　前記円筒体の長手方向と交差する方向に沿って延在する孔部２８は、前記ハウジング１４の少なくとも一部分を通って延在し、前記孔部２８の入口端部は、前記流体流動回路が接続される圧力部品部１６とを備え、
　前記キャビティ３０は、該ハウジング１４の外側表面から前記孔部２８に向かって延在し、
　前記ハウジング１４の化学的に不活性な材料は、テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーであり、
　前記圧力センサ４０は、前記キャビティ３０内の前記孔部２８の近傍に設けられて前記流体流動回路内の圧力を検出し、
　前記隔離部材３４は、テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマー材料からなり、前記孔部２８内を流れる流体に露呈される第１主面と前記圧力センサ２０と係合する第２主面とを有して、前記キャビティ３０と前記孔部２８とを分離することにより前記圧力センサ４０と前記孔部２８との間の流体の連通を阻止し、
　前記電子回路は、前記孔部２８内の圧力に比例した電気信号を生成することを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール。」
　
　４．対比
　補正後第１１発明と引用発明とを対比する。
　（１）引用発明の「流体流動回路」、「化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール」は、それぞれ、補正後第１１発明の「流体回路」、「化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール」に相当する。そして、補正後第１１発明の「化学的に腐食性の超高純度の流体」と、引用発明の「化学的に腐食性の高い流体」とは、共に「化学的に腐食性の流体」である。
　（２）引用発明の「カバー２０」、「孔部２８」、「キャビティ３０」、「ハウジング１４」は、それぞれ、補正後第１１発明の「カバー部材」、「ボア」、「キャビティ」、「ハウジング」に相当し、引用発明の「ハウジング１４」も化学的に不活性な円筒体からなっている。
　（３）引用発明の「圧力センサ４０」、「可撓性隔離部材３４」、「固定する手段」、「電子回路（電子回路モジュール４８）」は、それぞれ、補正後第１１発明の「圧力センサ」、「隔離部材」、「固定する手段」、「電子回路」に相当する。
　（４）引用発明の「入口端部」、「圧力部品部１６」、「第１主面」、「第２主面」は、それぞれ、本願補正発明の「入口端部」、「圧力継手」、「第１主面」、「第２主面」に相当する。そして、引用発明においても、「可撓性隔離部材３４」は、キャビティ３０と孔部２８とを分離することにより圧力センサ４０と孔部２８との間の流体の連通を阻止しており、また、「電子回路（電子回路モジュール４８）」は、孔部２８内の圧力に比例した電気信号を生成するものである。
　（５）補正後第１１発明の隔離部材の材料である「ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫおよびサファイアからなる群より選択されるもの」も、引用発明の「テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマー」も、共に「化学的に不活性な材料」である。
　
　以上（１）〜（５）の考察から、両者は、次の一致点で一致し、相違点１ないし５で相違する。
　【一致点】
「化学的に腐食性の流体が流れる流体回路内に接続される化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュールにおいて、
　一端部にカバー部材が配設された化学的に不活性な円筒体からなり、前記円筒体に沿って延在するボアとキャビティとが形成されたハウジングと、
　流体と接触しない圧力センサと、
　着脱可能かつ化学的に不活性な隔離部材と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内の決まった位置で、前記圧力センサを前記隔離部材に固定する手段と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内に設けられ、前記圧力センサと接続する電子回路とを備え、
　前記円筒体に沿って延在するボアは、前記ハウジングの少なくとも一部分を通って延在し、前記ボアの入口端部は、前記流体回路が接続される圧力継手であり、
　前記キャビティは、該ハウジングの外側表面から前記ボアに向かって延在し、
　前記ハウジングは化学的に不活性な材料であり、
　前記圧力センサは、前記キャビティ内の前記ボアの近傍に設けられて前記流体回路内の圧力を検出し、
　前記隔離部材は、化学的に不活性な材料からなり、前記ボア内を流れる流体に露呈される第１主面と前記圧力センサと係合する第２主面とを有して、前記キャビティと前記ボアとを分離することにより前記圧力センサと前記ボアとの間の流体の連通を阻止し、
　前記電子回路は、前記ボア内の圧力に比例した電気信号を生成することを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール。」
　【相違点】
　相違点１：化学的に腐食性の流体について、補正後第１１発明では、化学的に腐食性の超高純度の流体であるのに対し、引用発明では、化学的に腐食性の高い流体である点。
　相違点２：補正後第１１発明では、ボアは円筒体の長手方向に沿って延在しているのに対し、引用発明では、孔部２８（「ボア」に相当）は円筒体の長手方向と交差する方向に沿って延在している点。
　相違点３：圧力継手について、補正後第１１発明では、フレアを有するのに対し、引用発明では、フレアを有しているかどうか不明である点。
　相違点４：ハウジングは化学的に不活性な材料である点について、補正後第１１発明では、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、およびＰＥＥＫからなる群より選択される材料であるのに対し、引用発明では、テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーである点。
　相違点５：隔離部材は化学的に不活性な材料である点について、補正後第１１発明では、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫおよびサファイアからなる群より選択される材料であるのに対し、引用発明では、テトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーである点。
　
　５．判断
　上記相違点について検討する。
　まず、相違点１については、化学的に腐食性の流体の腐食性の程度については流体回路に流す被処理物に応じて当業者が適宜選定し得る事項にすぎないから、引用発明の化学的に腐食性の高い流体に代えて補正後第１１発明のように化学的に腐食性の超高純度の流体とすることに格別の困難性はない。
　
　次に、相違点２について検討する。原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平７−１９８５１７号公報（以下、「引用例２」という。）には、「【０００６】【実施例】図１に示されている圧力センサ１０は金属製のハウジング又はヘクスポート（hexport)１２を有している。ハウジング１２は、流体入口１４を有し、ハウジング底壁１８の孔１６を介して流体を受容するようにされている。ハウジング１２は全体として円形カップ形状に形成され、圧力応動面２４を有する圧力検出モジュール２２を内部に密に受容するようにされた直立壁部２０を有している。直立壁部２０に隣接する底壁１８からは、選択された高さだけ、環状段状部２６が上方へ延びており、圧力検出モジュール２２が座着するストッパ面として役立っている。圧力応動面２４と底壁１８との間には圧力空洞２８が設けられている。段状部２６に隣接する底壁１８にはＯリング３０が装着されている。Ｏリング３０のボディ部分の高さに対する、底壁１８からの段状部２６の高さは、ハウジング１２内に圧力検出モジュールが組付けられた場合に、Ｏリング３０の圧縮率が選定された固定値に制限されるように選択しておく。」と記載されており、図面の図１には、流体入口１４を有する壁１８及び孔１６からなる流体を受容する空間がハウジング１２の長手方向に沿って描かれている。そうすると、引用例２記載の「流体入口１４を有する壁１８及び孔１６からなる流体を受容する空間」、「ハウジング１２」が、補正後第１１発明の「ボア」、「円筒体」に相当し、引用例２記載の「流体入口１４を有する壁１８及び孔１６からなる流体を受容する空間」も、「ハウジング１２」の長手方向に沿って延在している。そして、引用発明と引用例２に記載されたものとは、共に流体圧力センサである点で技術分野を共通にしている。したがって、引用発明の円筒体の長手方向と交差する方向に延在する孔部２８に代えて引用例２記載の長手方向に沿って延在するものを適用して補正後第１１発明のように構成することは、当業者が容易になし得たものである。
　
　次に、相違点３について検討する。当該技術分野において、圧力導入部、すなわち、流体回路との接続部を、フレアを有する圧力継手とすることは、例えば、特開昭６２−１９７７３１号公報（「フレア式管継手金具１１」参照）、実願昭５９−１４５７６２号（実開昭６１−６１４４２号）のマイクロフィルム（「図示の継手９は中央部に圧力導入孔９ａを貫設し・・・等の金属材料からなるフレア継手の例を示した」（明細書７頁１７〜１９行）参照）に記載されているごとく周知である。したがって、引用発明の圧力部品部１６に前記周知のフレアを有する圧力継手を適用して補正後第１１発明のように構成することは、当業者であれば容易になし得たものである。
　
　次に、相違点４及び５について検討する。例えば、
　・特開平８−２４７８７０号公報（そこには、「【００１７】【実施例】この発明に用いる合成樹脂は、測定流体の圧力の大小に応じて、すなわち圧力計の測定許容圧力に応じて、適当な材料を選択採用すればよく、特に樹脂の種類を限定して採用するものではない。例えば、耐熱性および耐食性の良好な材料として、ポリアセタール（ＰＯＭ、ポリオキシメチレン）、フッ素樹脂またはポリサルホン樹脂等を挙げることができる。【００１８】前記フッ素樹脂の具体例としては、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、四フッ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、三フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ）、エチレン−四フッ化エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、フッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）などを挙げることができる。」と記載されている。）、
　・国際公開第９６／３５９３３号パンフレット（そこには「８．上、中央および下ハウジングボディ、第１および第２ダイアフラム、およびスペーサはそれぞれ、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）、パーフルオロアルコキシ・フルオロカーボン樹脂（ＰＦＡ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）からなるフッ化重合体化合物群から選んだ類似または異なる材料から形成することを特徴とする請求項１に記載のダブルダイアフラム・ゲージ・プロテクタ。」（パンフレット特許請求の範囲の請求項８、『８．A double-diaphragm gauge protector as recited in claim1 wherein the upper, central and lower housing bodies, the first and second diaphragms, and the spacer are each formed from similar or different materials selected from the group of fluoropolymeric compounds consisting of polytetrafluoroethylene(PTFE), fluorinated ethylene-propylene(FEP), ・・・(PFA), ・・・(PCTFE), ・・・(ECTFE), ・・・(ETFE), ・・・(PVDF), ・・・(PVF).』）と記載されている。）、
　・米国特許第５６７２８３２号明細書（１９９７年９月３０日、そこには「使用される圧力センサが、サファイア容量型圧力変換器のタイプのものであれば、可撓性のある膜３８が除去され得ると考えられる。サファイア変換器は不活性であり、腐食性流体にさらされたときの摩耗に対する耐性がある。流体の流れに直接連通するサファイアセンサを持つことで、更に、各変換器の圧力測定が向上する。」（第７欄４６〜５２行、『It is contemplated that the Flexible membrane 38 could be eliminated if the pressure used is of the sapphire capacitive pressure transducer type. A spphire transducer is inert, and is resistant to wear when subjected to caustic fluids. Having a sapphire sencor ・・・further enhances the pressure measurements of each transducer.』）、「前記くぼみ部分は、サファイアで構成することもできる。これによって、流量計の寿命を延ばすことができる。当業者であれば、サファイアが不活性物質であって、腐食性流体の流れによる摩耗に対して高い耐性を有することが諒解されよう。」（第８欄３６〜４０行、『The constriction may be constructed of sapphire, thereby extending the longevity of the flow meter. Those skilled in the art will appreciate that sapphire is an inert substance, highly resistant to wear from caustic flowing fluids.』）と記載されている。）、
にみられるごとく、圧力センサの構成部品に用いる化学的に不活性な材料として、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、サファイアは周知である。したがって、引用発明のハウジングの材料であるテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーに代えて前記周知の化学的に不活性な材料を採用して、相違点４に係る補正後第１１発明のごとくＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、およびＰＥＥＫからなる群より選択される材料とすることは当業者が容易になし得たものであり、また、引用発明の可撓性隔離部材３４の材料であるテトラフルオロエチレンフルオロカーボンポリマーに代えて前記周知の化学的に不活性な材料を採用して、相違点５に係る補正後第１１発明のごとくＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫおよびサファイアからなる群より選択される材料とすることは当業者が容易になし得たものである。
　
　そして、補正後第１１発明の作用効果についても、引用例１、２に記載された事項及び上記周知技術に基づいて当業者が予測できる範囲内のものである。
　したがって、補正後第１１発明は、引用発明及び引用例２に記載された発明並びに上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　６．むすび
　以上のとおりであるから、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３．本願発明
　平成１５年８月６日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし４９に係る発明は、平成１３年１２月２６日付け手続補正書及び平成１５年１月６日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし４９に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、本願の請求項１１に係る発明（以下、「本願第１１発明」という。）は、次のとおりのものである。
「化学的に腐食性の超高純度の流体が流れる流体回路内に接続される化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュールにおいて、
　ボアとキャビティとが形成された化学的に不活性なハウジングと、
　流体と接触しない圧力センサと、
　着脱可能かつ化学的に不活性な隔離部材と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内の決まった位置で、前記圧力センサを前記隔離部材に固定する手段と、
　前記ハウジングの前記キャビティ内に設けられ、前記圧力センサと接続する電子回路とを備え、
　前記ボアは、前記ハウジングの少なくとも一部分を通って延在し、前記ボアの入口端部は、前記流体回路に接続され、
　前記キャビティは、該ハウジングの外側表面から前記ボアに向かって延在し、
　前記ハウジングの化学的に不活性な材料は、ＰＦＡ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、およびＰＥＥＫからなる群より選択される材料であり、
　前記圧力センサは、前記キャビティ内の前記ボアの近傍に設けられて前記流体回路内の圧力を検出し、
　前記隔離部材は、前記ボア内を流れる流体に露呈される第１主面と前記圧力センサと係合する第２主面とを有して、前記キャビティと前記ボアとを分離することにより前記圧力センサと前記ボアとの間の流体の連通を阻止し、
　前記電子回路は、前記ボア内の圧力に比例した電気信号を生成することを特徴とする化学的に不活性な圧力トランスデューサモジュール。」
　
第４．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例１（国際公開第９７／１３１３２号パンフレット）、その記載事項、及び、引用発明は、上記「第２．」の「３．引用例」に記載したとおりである。
　
第５．対比・判断
　本願第１１発明は、上記補正後第１１発明の発明特定事項から、「一端部にカバー部材が配設された化学的に不活性な円筒体からなり、前記円筒体の長手方向に沿って延在するボアとキャビティとが形成されたハウジング」に関して「一端部にカバー部材が配設された」点及び「円筒体からなり」の点及び「前記円筒体の長手方向に沿って延在する」点の事項を省き、「ボアの入口端部は、前記流体回路が接続されるフレアを有する圧力継手であり」に関して「フレアを有する圧力継手であり」の点の事項を省き、「隔離部材は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫ、およびサファイアからなる群より選択される材料からなり」に関して「ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＰＥＥＫ、およびサファイアからなる群より選択される材料からなり」の点の事項を省いたものである。
　そうすると、本願第１１発明の発明特定事項を全て含みさらに他の限定事項を付加したものに相当する補正後第１１発明が、上記「第２．」の「５．判断」で検討したとおり引用発明及び引用例２に記載された発明並びに上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願第１１発明も、同様の理由により、引用発明及び引用例２に記載された発明並びに上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第６．むすび
　以上のとおりであるから、本願第１１発明は、引用発明及び引用例２に記載された発明並びに上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願第１１発明が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項１〜１０、１２〜４９に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。