【事件の表示】
　特許第３３９３９５５号「薄板状ワーク搬送用ハンド」の請求項１〜５に係る発明についての特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３９３９５５号の請求項１〜５に係る発明についての特許を取り消す。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３３９３９５５号の請求項１〜５に係る発明についての出願は、平成７年４月１８日に特許出願され、平成１５年１月３１日にそれらの発明について特許権の設定登録がなされた。
　これに対して、平成１５年１０月７日に申立人東谷満より請求項１〜５に係る発明についての特許に対して特許異議の申立てがなされ、平成１６年４月１３日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年６月２１日に意見書の提出及び訂正請求がなされた。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
〈訂正事項１〉
　設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載される、
「【請求項１】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にし軽量にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
　
「【請求項１】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
〈訂正事項２〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２に記載される、
「【請求項２】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にし軽量にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
　
「【請求項２】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
〈訂正事項３〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項３に記載される、
「【請求項３】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にし軽量にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
　
「【請求項３】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
〈訂正事項４〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４に記載される、
「【請求項４】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にし軽量にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
　
「【請求項４】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にする
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項１〜４の「薄板状ハンドの材質の比重を小にし軽量にする」を「薄板状ハンドの材質の比重を小にする」との訂正は、「薄板状ハンドの材質の比重を小」にすれば、自ずと、薄板状ハンドを「軽量にする」ことになるから、当該訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。また、訂正事項１〜４の「ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、」との事項を追加する訂正は、「薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大に」する手法を特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当する。
　そして、上記の訂正事項は、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１〜５に係る発明（以下それぞれを、「本件発明１」等という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小にすると共に、前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの薄板状ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、
　次に、前記自重による撓み量を小にしたハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。
【請求項２】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小にすると共に、前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの薄板状ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、
　次に、前記自重による撓み量を小にしたハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。
【請求項３】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小にすると共に、前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成された薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの前記Ｕ字状に形成された薄板状ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、
　次に、前記自重による撓み量を小にしたハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。
【請求項４】　薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小にすると共に、前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工歪みのない平面状態に形成することによって、前記薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成された薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの前記Ｕ字状に形成された薄板状ハンドの両先端部の自重による撓み量を小にし、
　次に、前記自重による撓み量を小にしたハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十分に小にする薄板状ワーク搬送用ハンド。
【請求項５】　搬送用ハンドにワーク吸着機構を付設した請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送用ハンド。
　
（２）刊行物記載の発明（事項）及び周知事項
（ｉ）刊行物１記載の発明
　当審が通知した取消しの理由に引用され、本件出願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開平７−９９２２５号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
（イ）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】
　この発明は、半導体製造装置や液晶基板製造装置などの基板処理装置において、半導体ウエハや液晶用ガラス角型基板などの基板（以下、単に「基板」という）を複数の単位処理部の間で搬送する基板搬送装置に関する。」
（ロ）段落【０００４】〜【０００７】
「【発明が解決しようとする課題】
　ところで、近年、基板の大型化に伴って、基板重量の増大によるハンドの撓みが問題となっている。すなわち、大型基板の重力により片持ち状態にあるハンドが下方に撓み、基板を水平状態に保つことができなくなる。そのため、例えば基板を多段状態の収納棚に収納する基板カセットでは、その収納棚ピッチを大きくしなければならず、その結果基板処理装置の大型化を招くといった問題が生じる。
　撓みの解消という観点から考えれば、例えばハンドの厚みを厚くしてハンドを曲げ剛性の大きくするという方法が考えられるが、撓み量は少なくなるが、ハンドの厚みの増大に伴って収納棚ピッチなどを大きくする必要があり、基板処理装置の大型化を防止することができず、しかもハンド自体の重量も増大してしまう。
　さらに、ハンドを横弾性係数の大きな材料（例えば超硬合金）で構成することにより、ハンドの厚みおよび重量を増大させることなく、ハンドの曲げ剛性を高めることが可能であるが、この種の構造材は一般に高価であり、基板搬送装置のコスト増大という問題を引きおこす。」
（ハ）図５から、
「ハンド150a,150bは、その先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていること」が看取し得る。
　上記（イ）〜（ロ）の記載事項からみて、 刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「半導体ウエハや液晶用ガラス角型基板などの大型基板を載置し、水平方向に移動して前記基板を積み降ろしするハンドにおいて、 
　収納棚ピッチを大きくしない多段状態の基板カセットに対して水平方向に接近および離間して、基板を積み降ろしするハンドであって、
　前記ハンドを超硬合金で構成して、ハンドの厚みおよび重量を増大させることなく、ハンドの曲げ剛性を高めること。」
　
（ｉｉ）刊行物２記載の事項
　当審が通知した取消しの理由で引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である「機械エンジニアリング・プロジェクト開発事業報告書　昭和５７年度　生産技術高度化に関する調査研究（機械材料軽量化）」、社団法人日本機械工業連合会、社団法人機械技術協会、昭和５８年７月、第１〜３頁、第２９〜４３頁、第１２７頁（以下、「刊行物２」という。）には、次のとおり記載されている。
（イ）第１頁２２行〜２８行
「産業用ロボット界では，アームの軽量化にＦＲＰを利用することが，一二のメーカーで試みられているが，その効用については賛否半ばしている。
　ここでは塗装ロボットの水平アーム・・・を対象とし，ＦＲＰ・・・による軽量化を検討してみた。ＦＲＰとしてはＣＦＲＰ（カーボン繊維強化プラスチック）がすぐれていることは自明である・・・」
（ロ）第３１頁１５行〜第３２頁１９行
「ロボットアームの軽量化の事例
　・・・材料軽量化に対してはアームを中心に検討が進められているので，以降はロボットアームの軽量化について述べることとする。・・・
　現在ではさらにＦＲＰ，とくにＣＦＲＰを採用する動きが１９８２年あたりから徐々に盛り上がりを見せている。ＣＦＲＰが軽量化に抜群の威力を発揮することは，既に航空機やゴルフクラブのブラックシャフトで実証済みである。・・・
　ＣＦＲＰ化の最大の狙いはアーム軽量化とそれに伴なう駆動用モータの小型化にあり，住友電気工業が試作した６関節のアームを持つ知能ロボットへの採用例を図２．３．３に示す。この事例では，アームの部材のほとんどにアルミ合金の代わりにＣＦＲＰを採用しており，・・・。
　ＣＦＲＰとしてはＰＡＮ系炭素繊維とエポキシ樹脂を組合わせたものを用いている（表２．３．２）同材料は比強度，比弾性率ともアルミや鋼を大きくしのぐ（図２．３．４）。」
　上記（イ）〜（ロ）の記載事項からみて、刊行物２には次の事項（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「ＣＦＲＰが軽量化、比強度の点で優れていること、及び、住友電工がロボットアームに採用したＣＦＲＰは、ＰＡＮ系炭素繊維とエポキシ樹脂を組合わせたものであること。」
　
（ｉｉｉ）刊行物３記載の事項
　当審が通知した取消しの理由で引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開平４−３４５１４８号公報（以下、「刊行物３」という。）には、次のとおり記載されている。
（イ）【特許請求の範囲】
「【請求項１】  炭素繊維を一方向に配向し、上記炭素繊維にマトリックス樹脂を含浸させてプリプレグシートを製作し、 複数の上記プリプレグシートを積層し、 上記プリプレグシートの積層体の少なくとも一方の面に、遮光性及び／又は潤滑性を有する塗料が塗布された樹脂フィルムを積層し、上記積層された樹脂フィルムおよびプリプレグシートを同時に加熱、加圧することを特徴とするカメラ用遮光羽根の製造方法。
【請求項２】  上記積層されたプリプレグシートのうち、表面層のプリプレグシートは、上記炭素繊維がピッチ系炭素繊維であるとともにその配向方向が羽根の長手方向であり、上記表面層間に挟まれる中間層のプリプレグシートは、上記炭素繊維がＰＡＮ系炭素繊維であるとともにその配向方向が羽根の幅方向であることを特徴とする請求項１に記載のカメラ用遮光羽根の製造方法。」
（ロ）段落【００１０】
「中間層となるプリプレグシート３は、弾性に劣るが比重が小さくて安価なＰＡＮ系の炭素繊維７を一方向に揃えて薄板状に並べ、これに表面層の場合と同様に、例えばエポキシ，不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂等からなるマトリックス樹脂８を含浸して、例えば３０μｍの厚さのＢステージ状態のシートとして形成する。中間層の炭素繊維７は羽根の幅方向に配向されて同方向の剛性を強化するものであり、同方向の剛性は同長手方向の剛性に比して、小さくて済むため、ＰＡＮ系の炭素繊維でも十分である。」
　
（ｉｖ）周知事項
　同じく当審が通知した取消しの理由で周知例として引用した特開平４−１６４５９２号公報（以下、「周知例１」という。）、「実用プラスチック事典　材料編」、株式会社産業調査会、初版第１刷１９９３年５月１日、初版第３刷１９９６年４月２０日発行、第５９４〜５９５頁（以下、「周知例２」という。）、特開昭６２−１９９４３９号公報（以下、「周知例３」という。）、特開昭５２−１３７３０４号公報（以下、「周知例４」という。）には、次のとおり記載されている。
（イ）周知例１第４頁左上欄１行〜２行
「上記ロボットアーム１５はＦＲＰ（炭素繊維強化エポキシ複合材料）からなる」
（ロ）周知例１第４頁左上欄１８行〜同頁右上欄３行
「上記ロボットアーム１５の製法は、マンドレル上に、それぞれ繊維角度がα２、β２となるように裁断した半周長さの
プリプレグシートを
巻付けて加圧
（ハ）周知例２第５９５頁左欄１行〜６行
「ゴルフクラブ、釣竿は
プリプレグシートを
まき
締め付け
（ニ）周知例２第５９５頁左欄３７行〜４１行
「ロール、自動車のプロペラシャフト、遠心分離機胴などは連続的に
炭素繊維にエポキシ樹脂を含浸
巻き付けて賦型
（ホ）周知例３第２頁左上欄１８行〜同頁右上欄５行
「このものは、熱硬化性樹脂を母材とし炭素繊維目付が小さく一方向に配向した
プリプレグシート複数枚を
加圧
反りがなく、平面度が優れた
（ヘ）周知例４第２頁左上欄７行〜同頁右上欄２行
「熱硬化性樹脂が含浸せられた無機繊維布帛が，単層，あるいは積層されており・・・本発明に用い得る無機繊維布帛としては，・・・炭素繊維などの無機繊維を製織する。・・・本発明の製法にあつては，
布帛に熱硬化性樹脂を含浸させて，これにホットプレスすると表面精度が１μ〜０．５μ程度まで向上
　以上の記載、特に下線部の記載からみて、
「ＣＦＲＰの成形方法として加圧・圧締成形方法を使用すること、及び、そのことによって加工歪みのない平面状態に形成すること」は、従来周知の事項であると認める（当該事項を、以下「周知事項１」という。）。
　
　同じく当審が通知した取消しの理由で周知例として引用した特開平７−６９４４５号公報（以下、「周知例５」という。）の
「【産業上の利用分野】
　本発明は、基板を任意の方向に傾斜させて搬送する基板搬送装置のアーム機構に関するものである。」（段落【０００１】、）
「アーム機構１３は、薄い板状のアーム２１と、このアーム２１先端側に設けられたガラス基板１１を配置するアームヘッド部２２と、アーム２１をその手前側の下部で支持するアーム支持部２３等とからなる。・・・ディスク２８表面には、その上に配置されるガラス基板１１を吸着するための小さい孔３０がディスク２８周辺側に４か所形成され、これら孔３０に連通するよう細い柔軟なパイプ３１が溝２１ａ内を通って配管され、アーム支持部２３側に設けられた図示しない吸引ポンプに接続されている。・・・」（段落【００１１】）等の記載からみて、
「基板搬送用ハンドに基板吸着機構を付設すること」は、従来周知の事項であると認める（当該事項を、以下「周知事項２」という。）。
　
（３）対比・判断
（ｉ）本件発明４について
　本件発明４と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「半導体ウエハや液晶用ガラス角型基板などの大型基板」が前者の「薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワーク」に、後者の「ハンド」が前者の「薄板状ワーク搬送用ハンド」に、後者の「収納棚ピッチを大きくしない多段状態の基板カセット」が前者の「上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセット」に、それぞれ相当する。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は以下のとおりである。
〈一致点〉「薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであ」る点。
〈相違点１〉前者は、薄板状ハンドが、「前記薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成された」ものであるのに対して、後者は、薄板状ハンドがそのような形状のものであるとは特定していない点。
〈相違点２〉前者は、薄板状ハンドが、「カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小にすると共に、前記熱硬化性部材を加圧・圧締成形方法を使用して加工歪みのない平面状態に形成することによって、薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置しないときの前記薄板状ハンドの両先端部の自重による撓み量を小に」するものであるのに対して、後者は、薄板状ハンドが超硬合金から構成されるものである点。
〈相違点３〉前者は、薄板状ハンドが、「ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、薄板状ハンドの長手方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の前記熱硬化性部材の縦弾性係数よりも大にして、前記長手方向の機械的強度を大にすることによって、前記薄板状ハンドに前記薄板状ワークを載置したときの薄板状ハンド先端の撓み量を十分に小にする」ものであるのに対して、後者は、後者は、薄板状ハンドが超硬合金から構成されるものである点。
　上記相違点１〜３等について検討する。
〈相違点１について〉
　薄板状ワーク搬送技術分野において、薄板状ハンドが前記薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されたものであることは、刊行物１の摘記事項（ハ）にも示されているように、従来周知の事項である。
　したがって、刊行物１記載の発明の薄板状ハンドを、前記薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されたものとすることは、当業者が容易になし得ることである。
〈相違点２について〉
　カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成したＣＦＲＰが軽量化、比強度の点で優れていることは刊行物２に示されている。
　そして、刊行物１には、「ハンドの厚みおよび重量を増大させることなく、ハンドの曲げ剛性を高める」との課題が示唆されており（刊行物１の摘記事項（ロ）を参照）、そうすると、上記課題がある刊行物１記載の発明のハンドに、課題を共通にする上記刊行物２記載の事項を適用して、ハンドの材質をカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成したＣＦＲＰとし、材質の比重を小、すなわち、ハンド先端部の自重による撓み量を小にすることは、当業者が容易に想到し得ることである。そして、ＣＦＲＰの成形方法として加圧・圧締成形方法を使用すること、及び、そのことによって表面精度のよいＣＦＲＰを得ることは、従来周知の事項である（「周知事項１」を参照。）。
　してみると、刊行物１記載の発明の相違点２に係る構成を、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項を組み合わせて本件発明４のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
〈相違点３について〉
　刊行物１記載の発明のハンドのような片持ち構造の部材において、長手方向の強度が幅方向の強度よりもより必要であることは、当業者にとって自明である。
　ところで、刊行物３には、刊行物１発明のハンドと同様に片持ち構造の部材であるカメラ用遮光羽根において、部材長手方向の繊維方向の炭素繊維成分を有する熱硬化性部材と、その長手方向に直交する部材幅方向の繊維方向の炭素繊維成分を有する熱硬化性部材とを積層し加熱加圧して、部材長手方向の剛性を、その長手方向に直交する部材幅方向の剛性に比して大にすることが示されている（刊行物３の摘記事項（イ）、（ロ）を参照）。当該記載事項において、部材長手方向の繊維方向の成分を有する熱硬化性部材を、部材幅方向の繊維方向の成分を有する熱硬化性部材よりも多く使用していることは、長手方向及び幅方向の剛性の関係から明らかである。
　そうすると、刊行物１記載の発明のハンドの材質を、上述したように、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成したＣＦＲＰとするに際して、併せて上記刊行物３記載の事項を適用し、刊行物１記載の発明の相違点３に係る構成を本件発明４のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
〈作用効果について〉
　そして、本件発明４の作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２、３記載の事項及び従来周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
　したがって、本件発明４は、刊行物１記載の発明、刊行物２、３記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（ｉｉ）本件発明１〜３について
　本件発明１〜３は、本件発明４の構成に欠くことができない事項のうち、薄板状ハンドが、「上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、」薄板状ワークを積み降ろしするものであるとの事項、及び／又は、「薄板状ハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成された」ものであるとの事項を削除したものである。
　そうすると、本件発明１〜３も、上記の本件発明４と同様の理由によって、刊行物１記載の発明、刊行物２、３記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（ｉｉｉ）本件発明５について
 　本件発明５は、本件発明１〜４の構成に欠くことができない事項すべてに加えて、さらに「搬送用ハンドにワーク吸着機構を付設した」との事項を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものである。 
 　ところで、上記の追加された事項は、薄板状ワーク搬送用ハンドの技術分野において、従来周知の事項である（上記の周知事項２を参照）。 
　そして、本件発明５の作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２、３記載の事項及び従来周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　したがって、本件発明５は、刊行物１記載の発明、刊行物２、３記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜５は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明１〜５についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する
【異議決定日】
平成１７年４月２０日（２００５．４．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
薄板状ワーク搬送用ハンド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にす
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
　【請求項２】薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にす
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
　【請求項３】薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークの搬送に使用する薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にす
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
　【請求項４】薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを水平方向に移動して前記薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ワーク搬送用ハンドにおいて、
　上下間隔が狭く多数の上下方向に多段に棚を設けた棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ではあるが主として水平面積が大で重量がある薄板状ワークを積み降ろしする薄板状ハンドであって、
　前記薄板状ハンドをカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成して前記薄板状ハンドの材質の比重を小
にす
　次に、前記自重による撓み量を小にした
ハンドの長手方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材を、その長手方向に直交するハンドの幅方向の繊維方向の成分を有する前記熱硬化性部材よりも多く使用して、
　【請求項５】搬送用ハンドにワーク吸着機構を付設した請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送用ハンド。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、自動搬送装置に用いられる搬送用ハンドに関する。例えば、液晶基板やプリント基板等の薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えば、薄板状ワークを棚状のカセットに水平多段に収納し、このカセットから薄板状ワークを１枚ずつ取扱って、カセット位置と各種処理作業位置とに薄板状ワークを搬送し、結果としてカセットに対して薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置として、水平移動部・回転部・昇降部を持ち、また、薄板状ワークを載置するハンドを持ち、マイクロコンピュータにより自動制御される自動搬送装置が使用されている。
　【０００３】
　図７に示されるごとく、薄板状ワーク３０は棚状のカセット４０に所定のピッチＰ１で上下方向に多段に収納される。このカセット４０のピッチＰ１を大きくすると、一定高さのカセットに収納される薄板状ワーク３０の数量が少なくなり、作業能率が低下するため、極力カセット４０のピッチＰ１を小さくすることが嘱望されている。
　【０００４】
　地方、処理作業能率を向上させるため、一枚の薄板状ワーク３０の寸法を大きくする傾向にある。
　【０００５】
　ところで、図６に示されるごとく、従来の搬送用ハンド５０はアルミニウム材あるいはアルミニウム合金材により形成されている。勿論、例えば液晶基板のような薄板状ワーク３０は水平方向に変形しやすいため、薄板状ワーク３０の寸法、特に長手方向の寸法が大きくなるに伴って、アルミニウムよりなる搬送用ハンド５０の長さを長くする必要がある。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来技術において、搬送用ハンド５０を長くすると、搬送用ハンド５０は重力により、例えば図８に示される状態に撓むこととなる。
　【０００７】
　例えば、搬送用ハンド５０の板厚をｔ１，板幅をＢ１、および長さをＬ１としたときのハンド５０の上下方向の撓みをδ１とした場合、搬送用ハンド５０をカセット４０の薄板状ワーク３０間に挿入時の搬送用ハンド５０と上下の薄板状ワーク３０，３０との夫々の間隔を△ｈとし、薄板状ワーク３０の板厚をｔ０および薄板状ワーク３０を収納するカセット４０の上下のピッチをＰ１とすると、
　【０００８】
　　Ｐ１＝ｔ１＋δ１＋２△ｈ＋ｔ０…………（１）
　【０００９】
に制限される。
　すなわち、搬送用ハンド５０を上記寸法とした場合、自重による搬送用ハンド５０の撓み量δ１がカセット４０のピッチＰの基準となるため、カセット４０のピッチを一義的に小さく設定することができなかった。
　【００１０】
　さらに、搬送用ハンド５０は板幅Ｂ１および長さＬ１に対して板厚ｔ１が小さい値であるため、搬送用ハンド５０をアルミニウムで形成すると、応々にして加工歪みが残存して、平面状態を所望の状態に保てないという問題があった。
　【００１１】
　すなわち、搬送用ハンド５０を所望の水平面の状態に保てない場合、即ち、歪んでいる場合、この歪が重力による搬送用ハンドの撓み量δ１に付加されるため、カセットのピッチＰを大きくする要因となっていた。
　【００１２】
　勿論、上記事態を解消するため、製作後に所望の水平面の状態に形成されていない搬送用ハンドを不良品として破棄することが考えられるが、搬送用ハンドの製作費が高価であるため得策でない。
　【００１３】
　本発明の目的は、加工歪のない所望の平面状態とすることができ、かつ重力による撓みの小さい搬送用ハンドを提供することにある。
　【００１４】
　【課題を解決するための手段】
　第１の発明は、薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに適用される。
　その特徴とするところは、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成されたことである。
　【００１５】
　第２の発明は、第１の発明において、棚状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＝ＥＷであることを特徴としている。
　【００１６】
　第３の発明は、第１の発明において、棚状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＞ＥＷであることを特徴としている。
　【００１７】
　第４の発明は、第１の発明において、棚状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＝２．６ＥＷであることを特徴としている。
　【００１８】
　第５の発明は、薄板状ワークを載置する搬送用ハンドを棚状のカセットに対して水平方向に接近および離間して、薄板状ワークを積み、下しする自動搬送装置の先端に取付けられる薄板状ワーク搬送用ハンドに適用される。
　その特徴とするところは、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されたことである。
　【００１９】
　第６の発明は、第５の発明において、柵状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＝ＥＷであることを特徴としている。
　【００２０】
　第７の発明は、第５の発明において、柵状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＞ＥＷであることを特徴としている。
　【００２１】
　第８の発明は、第５の発明において、棚状のカセットに対して接近・離間するハンドの長手方向と、該長手方向と直交するハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬおよびＥＷがＥＬ＝２．６ＥＷであることを特徴としている。
　【００２２】
　【作用】
　本発明においては、薄板状ワーク搬送用ハンドは、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成されているため、加工歪のない所望の平面状態とすることができ、かつ軽量で機械的強度が大であって重力による撓みの小さい搬送用ハンドを確実に実現することができる。
　【００２３】
　勿論、カーボンを含む可撓性繊維質材を重ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定することにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬ，ＥＷを自在に設定することができ、用途に対応させることができる。
　【００２４】
　このため、結果としてカセットの薄板状ワークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセットに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄与することができる。
　【００２５】
　さらに、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することとなる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例えば、液晶基板の場合に特に有効である。
　【００２６】
　この場合、搬送用ハンドは平面中央部が切欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。
　【００２７】
　しかし、本発明に係る搬送用ハンドは、適宜に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成されるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に得られる。
　【００２８】
　勿論、搬送用ハンドは歪のない所望の平面状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
　【００２９】
　【実施例】
　以下、本発明を図示の実施例により詳細に説明する。
　図１は、先端に薄板状ワーク搬送用ハンドを取付けたロボットにより、カセット４０内の薄板状ワーク３０を搬出する状態を説明するための、本発明の対象とする自動搬送装置の概略図である。
　【００３０】
　ロボット１は、例えば、ＰＴＰ制御やＣＰ制御などにより、適宜に制御される。例えば、円筒座標系の、いわゆる水平多関節形のロボットであり、関節腕２の屈伸によりハンド１０を直線Ｘに沿って動かす。また、肩３を昇降することによってハンド１０を直線Ｚと平行に動かす。直線Ｘと直線Ｚは直交している。ロボット１は、肩３（円筒座標の中心）を中心として旋回することによって、肩３とハンド１０との距離を半径とした円周方向に沿ってハンド１０を動かす。
　【００３１】
　カセット４０は、正面からのみ薄板状ワーク３０の出し入れが可能であり、正面はロボット１側に向いており、正面と直線Ｘとは垂直となるように設置し、かつ、各々の薄板状ワーク３０群の中心を結ぶ線Ｚ１は、直線Ｘと直交するように設置するとともに、薄板状ワーク３０とハンド１０とは平行となるように配置されている。
　【００３２】
　ロボット１が適宜に制御されて、ハンド１０がＸ１方向に移動され、ステーションＳＴ１において、カセット４０に多段に収納された薄板状ワーク３０，３０間に挿入される。ついで、ハンド１０が所望量上昇されて、薄板状ワーク３０が搬送用ハンド１０上に載置され、この後、搬送用ハンド１０がＸ２方向に移動される。この後、ロボット１が適宜に制御されて、ハンド１０上に載置された薄板状ワーク３０が所望の処理作業位置（＝ステーションＳＴ２）に搬送される。
　【００３３】
　例えば、処理作業後、ロボット１が適宜に制御されて、ハンド１０に載置された薄板状ワーク３０がカセット４０の所望の位置に搬入されて収納される。すなわち薄板状ワーク３０がＳＴ２からＳＴ１へと搬送される。
　【００３４】
　図２乃至図４は、本発明の第１の実施例を示す図であって、搬送用ハンド１０の詳細図を示している。搬送用ハンド１０は、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により平板状に形成され、かつハンド先端から基部側に、即ち、Ｘ２方向側に平面中央部１０１が切欠かれてＵ字状に形成されている。カーボンを含む可撓性繊維質材としては、カーボン繊維質材が最適であるが、カーボン繊維質材と、合成繊維質材、ガラス繊維質材又は植物繊維質材等との組合せとすることができる。熱硬化性樹脂としては、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂又はフェノール樹脂等が適宜に選定される。
　【００３５】
　図４に示されるごとく、上記カーボンを含む可撓性繊維材質は、繊維方向がＸ方向の材料ＣＦ１と、繊維方向がＹ方向の成分を有する材料ＣＦ２とが適宜に積層されて構成される。カーボンを含む可撓性繊維材質は、繊維方向の機械的強度が大きいため、繊維方向がＸ方向の材料ＣＦ１を上記ＣＦ２よりも多く使用すると、通常Ｘ方向の機械的強度を重視する搬送用ハンドとして好適である。
　【００３６】
　本発明に係る搬送用ハンド１０は、適宜に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成されるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に得られる。この歪のない硬化された平板をＵ字状に切断して搬送用ハンド１０が形成される。このため、結果として歪のない所望の平面状態のＵ字状の搬送用ハンド１０を確実に得ることができる。
　【００３７】
　図２および図３に示されるごとく、搬送用ハンド１０のＹ方向に離間する指部１０２，１０３は夫々同一形状であって、指部１０２，１０３が、夫々例えば肉厚をｔ１，指幅をＢ１／２および長さをＬ１としているが、今仮に、搬送用ハンド１０が肉厚；ｔ１，板幅；Ｂ１および長さ；Ｌ１の単一の平板であるものとし、搬送用ハンド１０の基部がロボット１に確実に支持されているとした場合、単一の平板によりなる搬送用ハンド１０の重力による上下方向の撓みδ２は次式で表わされる。
　【００３８】
　　δ２＝（Ｗ２／Ｅ２）×（Ｌ１／３Ｉ）………（２）
　【００３９】
　ただし、Ｗ２；ハンド１０の長さＬ１に相当する重量
　Ｉ；ハンド１０の断面２次モーメント
　Ｅ２；熱硬化性部材よりなるハンド１０のＸ方向の縦弾性係数
　【００４０】
　一方、上記と同寸法のハンドをアルミニウムにより形成したときの撓みδ１は次式で表わされる
　【００４１】
　　δ１＝（Ｗ１／Ｅ１）×（Ｌ１／３Ｉ）………（３）
　【００４２】
　ただし、Ｗ１；アルミニウムよりなるハンドの長さＬ１に相当する重量
　Ｅ１；アルミニウムよりなるハンドの縦弾性係数
　【００４３】
　上記（２）式および（３）式より下式が成立つ。
　【００４４】
　　δ２＝（Ｗ２／Ｅ２）×（Ｅ１／Ｗ１）×δ１
　　　　＝（Ｅ１／Ｅ２）×（Ｗ２／Ｗ１）×δ１………（４）
　【００４５】
　さらに、夫々のハンドの断面積および長さは同一であるため、熱硬化性部材よりなるハンドの比重をγ２およびアルミニウムよりなるハンドの比重をγ１とすれば（４）式は下式で表わされる。
　【００４６】
　　δ２＝（Ｅ１／Ｅ２）×（γ２／γ１）×δ１………（５）
　【００４７】
　上記熱硬化性部材は複数に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材において、繊維方向の異なる上記ＣＦ１とＣＦ２との夫々の積層数により数値が異なるが、例えば熱硬化性部材よりなるハンドの比重γ２＝１．５および縦弾性係数Ｅ２＝１１０００Ｋｇ／ｍｍ２のものを作成することができる。
　【００４８】
　一方、アルミニウムはγ１＝２．７，Ｅ１＝７５００Ｋｇ／ｍｍ２であるから、上記の夫々の数値を（５）式に代入すれば下式となる。
　【００４９】
　　δ２＝（７５００／１１０００）×（１．５／２．７）×δ１
　　　　＝０．３８δ１………………………………………（６）
　【００５０】
上記のごとく、複数に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材の配置を適宜に選定した熱硬化性部材によりハンド１０を形成すれば、例えば（６）式で表わされるようにアルミニウムにより形成したハンド５０に対して、上下方向の撓み量は約４割に減少されることとなる。
　【００５１】
　なお、上記の計算式においては、搬送用ハンド１０が肉厚；ｔ１，板幅；Ｂ１および長さ；Ｌ１の単一の平板であるとしたが、図２および図３に示されるごとく肉厚；ｔ１，長さ；Ｌ１，および板幅；Ｂ１／２の２個の指部１０２，１０３とした場合、例えば指部１０２の重力による撓みδ３は次式で表わされる。
　【００５２】
　　δ３＝（Ｗ３／Ｅ２）×（Ｌ１／３Ｉ３）………（７）
　【００５３】
　ただし、Ｗ３；指部１０２の長さＬ１に相当する重量
　Ｉ３；指部１０２の断面２次モーメント
　Ｅ２；熱硬化性部材よりなる指部のＸ方向の縦弾性係数
　【００５４】
　ところで（２）式の対象となるハンドの板幅を１／２にしたものが（７）式であり、Ｗ３＝Ｗ２／２およびＩ３＝Ｉ／２の関係にあるため、これらの値を（７）式に代入すると下式となる。
　【００５５】
　　δ３＝（Ｗ２／Ｅ２）×（Ｌ１／３Ｉ）
　【００５６】
　従って、夫々（２）式と（７）式とで表わされる撓みδ２とδ３とは同一であることが判る。
　このため、２個の指部１０２，１０３としても、上記（６）式が成立つ。
　【００５７】
　本発明にかかる搬送用ハンド１０を用いた場合、搬送用ハンド１０の撓みδ２に伴なうカセット４０の上下のピッチＰ２は（１）式と同様に考えて下式で表わされる。なお搬送用ハンド１０をカセット４０に挿入する時の模式拡大図を図５に示す。
　【００５８】
　　Ｐ２＝ｔ１＋０．３８δ１＋２△ｈ＋ｔ０………（８）
　【００５９】
（１）式および（８）式の個々の数値を特定しないとＰ１とＰ２との数値比較をすることができないが、個々の値はミリ単位の値であるため、搬送用ハンドの撓みを従来の約４割に押えられることは、搬送装置としてメリットが大である。
　【００６０】
　勿論、本発明に係る搬送用ハンドは、歪のない所望の平面状態に形成されるため、従来のごとく搬送用ハンドの撓み量に歪み量を付加して考慮しなければならないという事態は皆無となる。
　【００６１】
　さらに、図２に示されるごとく、搬送用ハンドは、平面Ｕ字状部により、Ｙ方向に離間する指部１０２，１０３により安定して薄板状ワーク３０を載置するため、広幅で極端に薄い薄板状ワーク，例えば液晶基板の場合に特に有効である。
　【００６２】
　なお、上記したごとく繊維方向の異なるＣＦ１とＣＦ２とを適宜に選定した熱硬化性部材により搬送用ハンド１０を形成するが、搬送用ハンド１０の長手方向、すなわちＸ方向の縦弾性係数をＥＬ，および幅方向，すなわちＹ方向の縦弾性係数をＥＷとしたとき、表１に示される熱硬化性部材により搬送用ハンドを形成することができる。
　【００６３】
　【表１】
　【００６４】
　表１における番号▲１▼乃至▲３▼の比重；γ２はγ２＝１．５であった。
　従来のアルミニウムの値、すなわちγ１＝２．７およびＥ１＝７５００Ｋｇ／ｍｍ２と表１における番号▲１▼および▲２▼の値を夫々（５）式に代入して、表１における番号▲１▼および▲２▼の夫々の撓みをδ２１およびδ２２とすれば下式が得られる。
　【００６５】
　　δ２１＝０．７３δ１、δ２２＝０．５２δ１
　【００６６】
　なお表１における番号▲３▼の撓み；δ２３は（６）式で表わされるものと同一である。
　　δ２３＝δ２＝０．３８δ１
　【００６７】
　表１における番号▲１▼乃至▲３▼のものを搬送用ハンドとして用いることができるが、縦弾性係数ＥＬが大きいほど、搬送用ハンドの上下方向の撓み量が小さく、カセットに対する薄板状ワークの積み、下し時に有利であり、従って番号▲３▼のものが搬送用ハンドとして最適である。
　【００６８】
　さらに、上記ＥＬとＥＷとに着目した場合、ＥＬ＝ＥＷとすれば幅の広いワークに適用することができる。
　【００６９】
　勿論、本発明の狙いとするワークはＸ方向に長いワークであるからＥＬ＞ＥＷとすれば好適である。
　【００７０】
　さらに、上記した熱硬化性部材により形成される搬送用ハンドにおいて、幅方向の機械的強度がある程度必要であるが、Ｘ方向の機械的強度を極力大きくするよう繰返し搬送用ハンドを作成して、表１における番号▲３▼のものを得た。
　すなわち、ＥＬ＝２．６ＥＷ、ＥＬ＝１１０００Ｋｇ／ｍｍ２のものが搬送用ハンドとして最適である。
　【００７１】
　なお、上記搬送用ハンドのＥＬの最大値は搬送用ハンドの肉厚を大きくしても殆んど変化が見られなかった。
　【００７２】
　さらに、図４（Ａ）において、繊維方向がＹ方向の成分を有する材料ＣＦ２としては、繊維方向がＸ方向の材料ＣＦ１を９０度反転させて使用したり、或いは繊維方向がＸ方向とＹ方向とに格子状に配置した材料とすることができる。
　【００７３】
　さらにまた、上記した熱硬化性部材により形成される搬送用ハンドは、図６に示されるごとく単一の平板とすることができる。
　【００７４】
　さらに、本発明に係る搬送用ハンドに、ワークを載置するハンドの上面に開口する、いわゆるワーク吸着機構を付設すれば、ワークを安定して搬送できることは勿論である。
　【００７５】
　【発明の効果】
　以上の説明で明らかなように、本発明に係る薄板状ワーク搬送用ハンドは、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成されているため、加工歪のない所望の平面状態とすることができ、かつ軽量で機械的強度が大であって重力による撓みの小さい搬送用ハンドを確実に実現することができる。
　【００７６】
　勿論、カーボンを含む可撓性繊維質材を重ね合わす際に、繊維質材の繊維方向を適宜に選定することにより、搬送用ハンドの長手方向と、長手方向と直交する搬送用ハンドの幅方向との夫々の縦弾性係数ＥＬ，ＥＷを自在に設定することができ、用途に対応させることができる。
　このため、結果としてカセットの薄板状ワークの多段積みのピッチを可及的に小さくして、カセットに収納された薄板状ワークの処理作業能率の向上に寄与することができる。
　【００７７】
　さらに、薄板状ワーク搬送用ハンドが、カーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材により形成され、かつハンド先端から基部側に平面中央部が切欠かれてＵ字状に形成されていれば、上記作用・効果に加えて、平面Ｕ字状部が幅方向に離間した位置で薄板状ワークを安定して支持することとなる。このため、薄板状ワークが広幅で極端に薄い、例えば、液晶基板の場合に特に有効である。
　【００７８】
　この場合、搬送用ハンドは平面中央部が切欠かれたＵ字状に形成されるが、従来のごとくアルミニウムによりＵ字状のハンドを形成しようとすると、薄い肉厚で、しかも平面Ｕ字状に切欠かれているため、大半のハンドが歪んで所望の平面状態となし得ない。
　しかし、本発明に係る搬送用ハンドは、適宜に積層されるカーボンを含む可撓性繊維質材と熱硬化性樹脂とからなる熱硬化性部材が、加圧・圧締されて形成されるため、歪のない所望の平面状態のものが確実に得られる。
　【００７９】
　勿論、搬送用ハンドは歪のない所望の平面状態に形成されるため、従来のごとくの搬送時における搬送用ハンドの歪み量の考察は無用となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の対象とする自動搬送装置の概略斜視図
　【図２】
　本発明の実施例を示す斜視図
　【図３】
　図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図
　【図４】
　搬送用ハンド１０の詳細説明図
　【図５】
　図２に示される搬送用ハンド１０をカセット４０に挿入する時の模式拡大図
　【図６】
　従来の搬送用ハンド５０を示す斜視図
　【図７】
　図６に示される搬送用ハンド５０とカセット４０との関係を示す図であって、図３に相当する図
　【図８】
　図６に示される搬送用ハンド５０をカセット４０に挿入する時の模式拡大図
　【符号の説明】
　１　自動搬送装置
　２　ロボット関節腕
　３　ロボット肩
　１０　薄板状ワーク搬送用ハンド
　１０１　搬送用ハンドの先端からの平面中央部のＵ字状の切欠き
　１０２　搬送用ハンドの幅方向の指部
　１０３　搬送用ハンドの幅方向の指部
　３０　薄板状ワーク
　４０　カセット
　ＥＬ　搬送用ハンドの長手方向の縦弾性係数
　ＥＷ　搬送用ハンドの長手方向と直交する幅方向の縦弾性係数