【事件の表示】
　特許第３３６８１９２号「プリント基板検査装置」の請求項１ないし１１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３６８１９２号の請求項１ないし７に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本件特許第３３６８１９２号（以下、「本件特許」という。）は、平成９年１１月１０日の出願であって、平成１４年１１月８日に設定登録（請求項の数：１１）されたものであるが、本件特許の請求項１〜１１の発明に関して、日置電機株式会社より特許異議の申立がされ、平成１６年５月２５日付けで本件特許に対し特許を取り消すとの異議決定がなされ、これに対して東京高等裁判所において決定取消の判決（平成１６年（行ケ）第３０７号、平成１７年３月２９日判決言渡）があった。当審において、あらためて平成１７年５月１６日付けで特許取消理由を通知し、その通知書で指定した期間内の平成１７年７月２６日に訂正請求書が提出された後、さらに当審において、平成１７年８月３１日付けで再度特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１７年１１月１４日に、訂正取下書が提出されると共に新たな訂正請求書が提出されたものである。
　
【２】訂正請求の可否
１．訂正の要旨
　本件特許異議申立てに係る訂正請求における訂正の要旨は、次の（ａ）〜（ｍ）のとおりである。
　（ａ）請求項１ないし４を削除する。
　（ｂ）請求項５を請求項１と訂正し、その記載を以下のとおりに訂正する。
　「【請求項１】接触針をプリント基板へと接触させることによって該プリント基板を検査するための装置であって、該接触針と該プリント基板との距離が、該接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部と
支持部分担持部と
該接触針の該支持部分を、該第二部分駆動部によって駆動される
該
該一対の支持側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである
平行板ばね機構を備える、
プリント基板検査装置。」
　（ｃ）請求項６〜１１を、それぞれ請求項２〜７と訂正し、各請求項中の引用請求項番号を、それぞれ新請求項番号に訂正する。
　（ｄ）明細書の段落【０００２】において「その後、プリント基板を」とあるを、「その後、接触針を」と訂正する。
　（ｅ）明細書の段落【０００５】において、「上記の目的を達成するために、第一の本発明、第二の本発明、そして第三の本発明をなした。以下、それぞれについて説明する。」とあるを「上記の目的を達成するために、本発明をなした。以下に説明する。」と訂正する。
　（ｆ）明細書の段落【０００６】において、「第一の本発明の装置は」とあるを「本発明の第１の特徴は」と訂正する。
　（ｇ）明細書の段落【００１１】において、「第二の本発明の装置は」とあるを「本発明の装置の第２の特徴は」と訂正し、「該接触針の該支持部分」とあるを「該接触針の支持部分」と訂正する。
　（ｈ）明細書の段落【００１２】において、「第二の本発明」とあるを「本発明」と訂正する。
　（ｉ）明細書の段落【００１６】において、「第三の本発明の装置は」とあるを「本発明の装置は第１の特徴及び第２の特徴を組合わせたものであり」と訂正し、「即ち、第三の本発明は」とあるを、「即ち、本発明は」と訂正し、「該支持部分と該支持部分駆動部とを含む第二部分」とあるを、「該支持部分と該支持部分駆動部と支持部分担持部とを含む第二部分」と訂正し、「プリント基板検査装置である。」とあるを、「プリント基板検査装置を提供するものである。」と訂正する。
　（ｊ）明細書の段落【００１７】において、「第三の本発明」とあるを「本発明」と訂正し、「支持部分と支持部分駆動部とを含む」とあるを、「支持部分と支持部分駆動部と支持部分担持部とを含む」と訂正し、「第一の本発明の装置と同様であり」とあるを、「本発明の第１の特徴であり」と訂正し、「効果も第一の本発明の装置」とあるを、「効果は本発明の第１の特徴」と訂正する。
　（ｋ）明細書の段落【００１８】を、
「【００１８】
本発明の装置が備える平行板ばね機構は、接触針の支持部分を、第二部分駆動部によって駆動される支持部分担持部へと接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置される。即ち、本発明の装置の第２の特徴で説明された平行板ばね機構が連結していた支持部分担持部は装置に固定されて動かないものであったが、第１及び第２の特徴の組合わせによる本発明の装置における平行板ばね機構が連結する支持部分担持部は第二部分駆動部によって駆動（Ｚ方向）されるところが異なる。本発明の装置に使用される平行板ばね機構自体は、本発明の装置の第２の特徴で説明された平行板ばね機構と同様のものなので、ここではそれについての説明は省略する。なお、本発明の装置に平行板ばね機構を使用した場合の作用及び効果も本発明の装置の第２の特徴で説明したそれと同様である。」と訂正する。
　（ｌ）明細書の段落【００１９】において、「第三の本発明」とあるを「本発明」と訂正する。
　（ｍ）明細書の段落【００３５】において、「即ち、第一の本発明の装置においては」とあるを「即ち、上記の通り第１及び第２の特徴を組合わせた本発明の装置においては」と訂正し、「図ることができる。第三の本発明の装置においては」とあるを「図ることができる。また，同時に、本発明の装置においては」と訂正する。
　
２．訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更の存否
（１）訂正事項（ａ）について
　訂正事項（ａ）は、請求項１ないし４を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに相当し、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（２）訂正事項（ｂ）について
　訂正事項（ｂ）は、訂正事項（ａ）における請求項１ないし４の削除に伴って、請求項５を請求項１に繰り上げるとともに、新たな請求項１の発明において、「第二部分」が「支持部分担持部」を含むことを限定するものであるが、訂正事項（ｂ）の上記限定事項については、明細書の段落【００２７】に記載されているから、この訂正事項は、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（３）訂正事項（ｃ）について
　訂正事項（ｃ）は、訂正事項（ａ）における請求項１ないし４の削除に伴って、請求項６〜１１をそれぞれ請求項２〜７に繰り上げるとともに、請求項の繰り上げによって生じる引用請求項番号の齟齬を解消しようとするもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものといえ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（４）訂正事項（ｄ）〜（ｍ）について
  上記訂正事項（ｄ）〜（ｍ）は、訂正事項（ａ），（ｂ）の特許請求範囲の訂正によって生じる特許明細書の発明の詳細な説明と特許請求の範囲との齟齬を解消しようとするもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものといえ、上記訂正事項（ａ），（ｂ）と同じく願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
３．訂正請求の認容について
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】本件特許発明の認定
　上記のとおり、平成１７年１１月１４日付けの訂正請求は認められるので、本件特許の請求項１〜７に係る発明は、平成１７年１１月１４日付けの訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める（以下、請求項１〜７に係る発明をそれぞれ「本件発明１」〜「本件発明７」という。）。
  「【請求項１】接触針をプリント基板へと接触させることによって該プリント基板を検査するための装置であって、該接触針と該プリント基板との距離が、該接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部と
支持部分担持部と
該接触針の該支持部分を、該第二部分駆動部によって駆動される
該
該一対の支持側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである
平行板ばね機構を備える、
プリント基板検査装置。
　【請求項２】第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね及び第二の固定側板ばねの曲げばね定数が同じである、請求項
１
　【請求項３】該支持部分駆動部と該第二部分駆動部とのうち、一方が小さな距離を調節する微調節手段であり、他方が大きな距離を調節する粗調節手段である、請求項
１
２
　【請求項４】該支持部分駆動部が微調節手段であり、該第二部分駆動部が粗調節手段である、請求項
３
　【請求項５】該粗調節手段がステッピングモーター又はサーボモーターによって駆動され、該微調節手段がリニアモーター又はソレノイドによって駆動されるものである、請求項
３
４
　【請求項６】該平行板ばね機構が２対の該支持側板ばねと２対の該固定側板ばねとを有し、かつ該運動方向の延長線上から見たときに、互いに隣接する２対の該支持側板ばねが２対の該固定側板ばねに挟まれて配置されているか又は互いに隣接する２対の該固定側板ばねが２対の該支持側板ばねに挟まれて配置されているものである、請求項
１
５
　【請求項７】該第一の支持側板ばねの他端と該第一の固定側板ばねの他端との固定部分と、該第二の支持側板ばねの他端と該第二の固定側板ばねの他端との固定部分と、を部材によって連結しているものである、請求項
１
６
　
【４】引用例の発明
　これに対して、当審における平成１７年８月３１日付けで通知した取消の理由に引用した本件特許の出願前である平成７年８月１８日に日本国内において頒布された特開平７−２１８５４０号公報（以下、「刊行物１」という。）には、「緩衝手段を有する接触針」に関して、図１，２とともに次のような記載がある。
　Ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばコンピュータ、ラジオ、テレビジョン等の電子・電気部品である積層銅貼り板、いわゆるプリント配線板の導通、絶縁、静電気容量など電気的検査や、電気的測定に用いる接触針（コンタクトプローブ）の改良に関する。」
　Ｂ）「【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の特徴は、直棒体のリニアガイドにガイドされて、リニアガイドにそれぞれ平行して摺動する主動ブロックと従動ブロックとの間に、主動ブロックの移動により従動ブロックを移動させる、緩衝手段が設けられており、従動ブロックには、被検査又は測定物に接触するニードル１７が取付けられている点にある。
【０００８】
【作用】主動ブロックを移動させると、緩衝手段を介して従動ブロックが移動するが、両ブロックは直棒体のリニアガイドにガイドされてリニアガイドと平行に移動する。従って従動ブロックに取付けられたニードルもリニアガイドと平行に直線的に移動し、ニードルの先端が振れないで、正確に検査又は測定ポイントに接触する。」
　Ｃ）「【０００９】
【実施例】図１に於いて、１１は断面が四角形の直棒体のリニアガイドで、図外検査又は測定装置のアームに取付けられている。１２は主動ブロックで、リニアガイド１１に摺動自在に嵌め込まれており、一端部にはスプリング取付部１３が突設されている。
【００１０】１４は従動ブロックであって、リニアガイド１１に摺動自在に嵌め込まれている。１５はスプリング取付部で、主動ブロック１１側のスプリング取付部１３と対向して、従動ブロック１４の一端部から突設されている。１６は取付台で、従動ブロック１４の他端部に突設されている。１７は先端が尖った尖塔型のニードルで、ニードル１７の中心軸をリニアガイド１１と平行させて、軸部１８が取付台１６に取付けられている。
【００１１】１９は連結軸で、その両端部を両スプリング取付部１３、１５に移動自在に嵌め込まれ、それぞれナット２０或いは割りピンなどで、抜け止めされている。２１は緩衝手段のコイル状スプリングで、連結軸１９に外嵌されて両スプリング取付部１３、１５の間に張設されている。
【００１２】そこで例えばプリント配線板４のフットプリント５を、この接触針を用いて電気的検査をするとき、まず主動ブロック１２をニードル１７側へ移動させ、ニードル１７をフットプリント５の検査ポイントへ正確に接触させられる。主動ブロック１２移動手段としては、クランク機構、カム機構、ソレノイド等の任意の公知手段を用いることができる。」
　Ｄ）「【００１５】図２はこの発明の接触針を利用したプリント配線板の検査装置を示す。Ｍはステッピングモータ、２２はモータＭで駆動されるクランク機構、２３はクランク機構２２で駆動される駆動ロッドで、その一端部は主動ブロック１２に枢着されている。そして両ブロック１２、１４は、基枠２４の摺動台２５に跨がっている。
【００１６】なおこの検査装置は、接触針が横向きになるよう図外駆動アーム取付けられて、Ｘ−Ｙ方向へ移動する。又接触針には、楔状のブレード２５の先端からニードル１７を突出させており、ニードル１７でフットプリント５を、ブレード２５でランドを検査する。」
　
　上記Ａ）〜Ｄ）の記載と図１，２とからみて、上記刊行物１の接触針は、検査又は測定装置のアームに取付けられた直棒体のリニアガイド１１にガイドされて摺動する主動ブロック１２と従動ブロック１４との間に、主動ブロック１２の移動により従動ブロック１４を移動させる緩衝手段が設けられ、従動ブロック１４には被検査又は測定物に接触するニードル１７が取付けられたものであって、特に図２に示されたものは、ニードル１７とブレード２５を有する接触針をプリント配線板へと接触させることによって該プリント配線板を検査するための検査装置であって（但し、該検査装置がそれだけで独立した検査装置を構成するものでなく、基枠２４を検査装置本体に何らかの方法で固定して用いられるものであることは自明である。）、該検査装置は、接触針の支持部分である従動ブロック１４を、検査装置本体に固定された基枠２４へと該接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるリニアガイド１１と、該従動ブロック１４を該接触針の運動方向へ駆動するための駆動機構（ステッピングモータＭ，クランク機構２２，駆動ロッド２３，主動ブロック１２から構成された機構）とを備え、該接触針と該プリント配線板との距離が、該接触針の支持部分である従動ブロック１４を駆動するための前記駆動機構によって調節されるものと認められる。
　したがって上記刊行物１には、
　「接触針をプリント配線板へと接触させることによって該プリント配線板を検査するための装置であって、該接触針と該プリント配線板との距離が、該接触針の支持部分である従動ブロック１４を駆動するための駆動機構によって調節され、
該接触針の該従動ブロック１４を、基枠２４へと該接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるリニアガイド１１を備える、
プリント配線板検査装置。」の発明（以下、「刊行物１の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
　同じく、当審における平成１７年８月３１日付けで通知した取消の理由に引用した本件特許の出願前である平成２年８月９日に日本国内において頒布された特表平２−５０２４８８号公報（以下、「刊行物２」という。）には、「位置検出プローブ」に関して、第１，２図とともに次のような記載がある（但し、行数を表す数字は余白行も１行とした。）。
　Ｅ）「本発明は、座標測定機械、工作機械あるいは検査ロボットのような位置決め装置において位置検出や測定のために用いられるプローブに関する。」（第２頁左下欄７〜９行）
　Ｆ）「先ず、第１図を参照するに、プローブは上ハウジング１０を有し、この上ハウジング１０が、座標測定機械，検査ロボットあるいは工作機械のクイルないしはスピンドルに挿入されることによって、３方向Ｘ，Ｙ，Ｚに動作可能となる。プローブは、３つのばね平行四辺形構成１２Ｘ，１２Ｙ，１２Ｚを具え、この３つの平行四辺形構成は、相対的に固定のハウジング１０と可動のワークピース−接触スタイラス１４との間で一続きに構成される。スタイラス１４は、ばね平行四辺形の各々によって方向Ｘ，Ｙ，Ｚのそれぞれに並進動作が可能となる。すなわち、ばね平行四辺形１２Ｚにより、平行四辺形１２Ｚと１２Ｙとの間に構成される接続部材１６のＺ軸方向の動きが可能となり、また、ばね平行四辺形１２Ｙにより、下ハウジング１８の接続部材１６に相対したＹ軸方向の動きが可能となり、さらに、ばね平行四辺形１２Ｘにより、スタイラスホルダー２０のハウジング１８に相対したＸ軸方向の動きが可能となる。」（第３頁左上欄２２行〜右上欄１３行）
　Ｇ）「第１図および第２図を参照して、ばね平行四辺形構成１２Ｘについて説明する。インナープレート２２Ｘは、スタイラスホルダ２０を介してスタイラス１４を支持するものであり、下ハウジング１８に固定される１対のアウタープレート２４Ｘに相対してＸ方向に並進可能である。インナープレート２２Ｘは、１対の平行な板ばね２８Ｘによって、中間プレート２６Ｘからつるされている。立代わって、中間プレート２６Ｘは、２対の平行な板ばね３０Ｘを介してアウタープレート２４Ｘに支持されている。このように、ばね平行変辺形［注：平行四辺形の誤記］構成１２Ｘは２つの別個なばね平行四辺形を具え、これらばね平行四辺形は、中間プレート２６Ｘで折り返すようにして一続きに接続される。ばね平行四辺形が１つの場合には下ハウジング１８に相対したスタイラス１４の動きが弧状になるのに対し、この折り返し構成によれば、ハウジング１８に相対したスタイラス１４の純粋なＸ軸方向の並進動作が可能となる。」（第３頁右上欄２０行〜左下欄１１行）
　Ｈ）「第３図は、トリガセンサ４０とこれに対応する信号調整回路４２を、座標測定機械あるいは工作機械のコンピュータ数値制御部と共に示している。従来と同様に、制御部５４はプログラムを実行して上記機械をＸ，ＹおよびＺ方向に駆動し、プローブのスタイラス１４を測定すべき様々な点でワークピースに接触させる。」（第４頁左下欄１６〜２１行）
　Ｉ）「以上の説明は、３軸Ｘ，Ｙ，Ｚ方向にふれることができるプローブに関したものであったが、本発明は、１軸あるいは２軸方向にのみふれることができるプローブにも適用され得るということが理解されよう。」（第５頁右下欄９〜１２行）
　
　上記Ｆ）〜Ｉ）の記載と第１，２図とからみて、上記刊行物２の位置検出プローブは、接触針であるスタイラス１４をワークピースへと接触させることによって該ワークピースを測定するための装置であって、スタイラス１４を支持するインナープレート２２Ｘを、該装置の下ハウジング１８へと固定されたアウタープレート２４Ｘへと該スタイラス１４の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるばね平行四辺形構成１２Ｘを具えているものと認められ、該ばね平行四辺形構成１２Ｘは、その運動方向に離れたインナープレート２２Ｘの２点に、主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対（運動方向について前後一対）の板ばね２８Ｘと、同じく運動方向に離れたアウタープレート２４Ｘの２点に、主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ板ばね２８Ｘが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対（運動方向について前後一対）の板ばね３０Ｘとを有しており、該一対の板ばね２８Ｘのうち運動方向について一方の側に位置する第一の板ばね２８Ｘの他端と、一対の板ばね３０Ｘのうち該一方の側に位置する第一の板ばね３０Ｘの他端とを固定し、一対の板ばね２８Ｘのうち運動方向について他方の側に位置する第二の板ばね２８Ｘの他端と、一対の板ばね３０Ｘのうち該他方の側に位置する第二の板ばね３０Ｘの他端とを固定した平行板ばね機構であるものと認められる。
　そして、接触針であるスタイラス１４を支持する「インナープレート２２Ｘ」は、接触針の「支持部分」ということができるとともに、該インナープレート２２Ｘを中間プレート２６と板ばね２８Ｘ，３０Ｘを介して担持している「アウタープレート２４Ｘ」は、支持部分を担持する「支持部分担持部」ということができ、さらに、インナープレート２２Ｘに取り付けられた「板ばね２８Ｘ」は「支持側板ばね」、アウタープレート２４Ｘに取り付けられた「板ばね３０Ｘ」は「固定側板ばね」ということができるから、上記刊行物２には、
　「接触針をワークピースへと接触させることによって該ワークピースを測定するための装置であって、
該接触針の支持部分を、該装置へと固定された支持部分担持部へと該接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置される平行板ばね機構であって、該運動方向に離れた、該支持部分の２点に、当該支持側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対の支持側板ばねと、該運動方向に離れた、該支持部分担持部の２点に、当該固定側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ該支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対の固定側板ばねと、を有し、
該一対の支持側板ばねのうち一方の側に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該一方の側に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち他方の側に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該他方の側に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである平行板ばね機構を備える、
測定装置。」
　の発明が記載されているものと認める。
　
　同じく、当審における平成１７年８月３１日付けで通知した取消の理由に引用した本件特許の出願前である昭和６４年１月２７日に日本国内において頒布された特開昭６４−２６１０５号公報（以下、「刊行物３」という。）には、「面形状測定装置」に関して、第１〜１３図とともに次のような記載がある。
　Ｊ）「本発明は、面形状測定装置に関し、特に非球面レンズ等の非球面形状を高速且つ高精度に測定する面形状測定装置に関する。
　とりわけ、本発明は光プローブ等の非接触プローブを被検面に投射して被検面からの反射光の検知センサ上への投射状態にもとづいて被検面の形状を測定する際に好適である。」（第１頁左下欄１４〜２０行）
　Ｋ）「定盤１に固着された粗動ガイド１０と粗動スライド１１との間は、空気静圧案内方式で構成される。粗動ガイド１０に固着された粗動モータ１２と粗動スライド１１とは、回転直進変換機構であるところのボールネジまたは台形ねじ等によるねじ１２′により連結される。粗動スライド１１に固着された粗動格子スケール１３と粗動ガイド１０に固着された格子ピツチ読取装置１４とにより、粗動スライド１１の移動量を測定する。
　粗動スライド１１に固着された微動ガイド１５と微動スライド１６との間は空気静圧案内方式で構成される。リニアモータで構成される微動モータ１７は粗動スライド１１に固着され、そのスライド部を微動ガイド１５を嵌通させて微動スライド１６に固着する。
　オートフオーカス顕微鏡２０が微動スライド１６に固着され、オートフオーカス顕微鏡２０に固着された微動格子スケール１８と、粗動スライド１１に固着された格子ピツチ読取装置１９とにより、オートフオーカス顕微鏡２０の移動量を測定する。」（第２頁右下欄６行〜第３頁左上欄５行）
　Ｌ）「第２図に示すオートフオーカス顕微鏡２０では、合焦状態判別光学系４２により被測定物３０の対物レンズ４１に対する合焦状態を検出し、その合焦状態により微動モータ１７を駆動し、オートフオーカス顕微鏡２０を移動せしめることにより、常時、被測定物３０の表面と対物レンズ４１の光軸とが交わる点、即ち被測定点に対物レンズ４１の焦点位置をロツクする様なオートフオーカシング機構を備える。」（第３頁左上欄１４行〜右上欄２行）
　Ｍ）「格子ピツチ読取装置１９の出力信号は、微動スライド移動量検出器５３に入力され微動スライド１６の移動量として信号処理される。さらに、微動スライド１６の移動量はサーボドライバ５２および制御コンピユータ６０に入力される。このとき、微動スライド１６，微動格子スケール１８，格子ピツチ読取装置１９，微動スライド移動量検出器５３，サーボドライバ５２，微動モータ１７によりオートフオーカス顕微鏡２０の位置決めサーボ機構ループが形成される。
　制御コンピユータ６０からの指令により、粗動モータドライバ５４が駆動され、粗動モータドライバ５４に接続された粗動モータ１２が回転することにより、ねじ１２′により連結された粗動スライド１１が移動する。
　粗動ガイド１０に固着された格子ピツチ読取装置１４の、粗動格子スケール１３の目盛を読取った出力信号は粗動スライド移動量検出器５５に入力され、粗動スライド１１の移動量として信号処理され制御コンピユータ６０に入力される。」（第４頁左上欄１４行〜右上欄１３行）
　Ｎ）「まず、微動ガイド１５と微動スライド１６との間に設けられた不図示の近接センサの動作位置に微動スライド１６をおき、微動スライド移動量検出器５３の出力を０にリセツトする。また、第１図に示す粗動ガイド１０と粗動スライド１１との間に設けられた不図示の近接センサの動作位置に粗動スライド１１をおき、この状態での対物レンズ４１の焦点位置と旋回軸２１との距離が微動スライド移動量検出器５３の出力と粗動スライド移動量検出器５５の出力との和に等しくなるように粗動スライド移動量検出器５５の出力をプリセツトする。つまり、対物レンズ４１の焦点位置が旋回軸２１と一致する状態における微動スライド移動量検出器５３の出力と粗動スライド移動量検出器５５の出力との和が０となるようにキヤリブレーシヨンされたことになる。
　次に被測定物３０の軸、即ちレンズの光軸と割出軸２２が一致するように、被測定物３０を不図示のチヤツク機構により割出軸２２に固着する。
　次に微動スライド移動量検出器５３の出力と、粗動スライド移動量検出器５５の出力との和が被測定物３０の曲率半径Ｒ（設計値）となるように、粗動スライド１１および微動スライド１６を駆動する。このとき微動スライド１６は位置決めサーボ機構で駆動されているものとする。次に、Ｒ合せスライド７を駆動し、第４，５図［注：第４図の誤り］に示されるオートフオーカス顕微鏡２０の合焦状態検出可能領域まで、オートフオーカス顕微鏡２０に被測定物３０の被測定面を接近させる。この状態において、位置決めサーボ機構ループからオートフオーカシングサーボ機構ループへの切替えを行う。これにより、被測定点が対物レンズ４１の略焦点位置にロツクされたことになる。ここで微動スライド移動量検出器５３の出力と粗動スライド移動量検出器５５の出力との和が被測定物３０の曲率半径ＲとなるようにＲ合せスライド７を微調整駆動する。」（第５頁左上欄１０行〜左下欄４行）
　
　上記Ｊ）〜Ｎ）の記載と第１，３図とからみて、上記刊行物３の面形状測定装置は、オートフオーカス顕微鏡２０の対物レンズ４１から光プローブを被測定物３０の被検面に照射し、対物レンズ４１の焦点位置が被測定物３０の被検面に常時一致するようにオートフオーカス顕微鏡２０を微動させて該被検面の面形状を測定する測定装置であって、対物レンズ４１の焦点位置と該被検面との距離が、該オートフオーカス顕微鏡２０を支持する微動スライド１６を駆動するための微動モータ１７と、粗動スライド１１（該粗動スライド１１が、微動スライド１６，微動ガイド１５の保持部分，微動モータ１７を含んでいることは、第１図から明らかである。）を駆動するための粗動モータ１２とによって調節されるようになっており、該微動ガイド１５は、オートフオーカス顕微鏡２０を支持する微動スライド１６を粗動モータ１２によって駆動される粗動スライド１１へと該オートフオーカス顕微鏡２０の運動方向に沿ってスライド可能に担持するためのガイド機構として配置されているものと認められる。
　そして、上記「オートフオーカス顕微鏡２０」は、対物レンズ４１の焦点位置が接触式プローブの先端位置に対応する非接触式の「プローブ装置」ということができるとともに、それを支持する「微動スライド１６」はその「支持部分」ということができ、また、微動スライド１６を駆動するための「微動モータ１７」、微動スライド１６をスライド可能に担持する「微動ガイド１５の保持部分」は、それぞれ「支持部分駆動部」、「支持部分担持部」ということができる。さらに、これら微動スライド１６，微動モータ１７，微動ガイド１５の保持部分を含む「粗動スライド１１」、及びそれを駆動するための「粗動モータ１２」は、それぞれ、支持部分，支持部分駆動部，支持部分担持部を含む「第二部分」、及び「第二部分駆動部」ということができる。
　したがって、上記刊行物３には、
　「プローブ装置の焦点位置を被測定物の被検面に一致させることによって該被検面の面形状を測定するための装置であって、該プローブ装置と該被検面との距離が、該プローブ装置の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部と支持部分担持部とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部と、によって調節され、
該プローブ装置の支持部分を、該第二部分駆動部によって駆動される該第二部分へと該プローブ装置の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるガイド機構を備える、
測定装置。」
　の発明が記載されているものと認める。
　
【５】発明の対比・当審の判断
１．本件発明１と刊行物１の発明との対比
　本件発明１と刊行物１の発明とを対比すれば、刊行物１の発明の「プリント配線板」は本件発明１の「プリント基板」に相当しており、同様に、接触針を支持する部材である「従動ブロック１４」は「支持部分」に、従動ブロック１４を接触針の運動方向へ駆動するための「駆動機構」は「駆動部」に、従動ブロック１４を担持する「基枠２４」は「支持部分担持部」に、それぞれ相当している。
　また、刊行物１の発明の「リニアガイド１１」は、支持部分（従動ブロック１４）をスライド可能に担持する「ガイド機構」である限りにおいて本件発明１の「平行板ばね機構」に対応している。
　したがって、本件発明１は刊行物１の発明と、
　「接触針をプリント基板へと接触させることによって該プリント基板を検査するための装置であって、該接触針と該プリント基板との距離が、該接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部によって調節され、
該接触針の該支持部分を、支持部分担持部へと該接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるガイド機構を備える、
プリント基板検査装置。」
　で一致し、以下の相違点で相違しているものと認める。
＜相違点＞
　１）本件発明１のガイド機構は、運動方向に離れた支持部分の２点に、当該支持側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対の支持側板ばねと、該運動方向に離れた支持部分担持部の２点に、当該固定側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ該支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対の固定側板ばねとを有し、該一対の支持側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端とを固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端とを固定した平行板ばね機構であるのに対し、刊行物１の発明のガイド機構はリニアガイド１１である点。
　２）本件発明１では、接触針とプリント基板との距離が、接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、支持部分と支持部分駆動部と支持部分担持部とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部とによって調節され、ガイド機構である平行板ばね機構は、接触針の支持部分を、第二部分駆動部によって駆動される支持部分担持部へと接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるのに対し、刊行物１の発明では、接触針とプリント配線板との距離が、接触針の支持部分（従動ブロック１４）を駆動するための支持部分駆動部（駆動機構）によって調節されるとともに、ガイド機構（リニアガイド１１）が、接触針の支持部分（従動ブロック１４）を、支持部分担持部（基枠２４）へと接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されようになってはいるものの、それが更に支持部分（従動ブロック１４）と支持部分駆動部（駆動機構）と支持部分担持部（基枠２４）とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部によって調節されるようになっているか否かについては明らかでない点。
　
２．相違点の検討
（１）相違点１）に関して
　上記刊行物２には、接触針をワークピースへと接触させることによって該ワークピースを測定する測定装置において、
「接触針の支持部分を、該装置へと固定された支持部分担持部へと該接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置される平行板ばね機構であって、該運動方向に離れた、該支持部分の２点に、当該支持側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対の支持側板ばねと、該運動方向に離れた、該支持部分担持部の２点に、当該固定側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ該支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対の固定側板ばねと、を有し、
該一対の支持側板ばねのうち一方の側に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該一方の側に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち他方の側に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該他方の側に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである平行板ばね機構」を、接触針の支持部分（インナープレート２２Ｘ）を支持部分担持部（アウタープレート２４Ｘ）へスライド可能に担持するためのガイド機構として備える発明が記載されている。
　刊行物２の発明は、接触針がワークピースに接触することにより、該接触針の支持部分（インナープレート２２Ｘ）が支持部分担持部（アウタープレート２４Ｘ）に対してスライドする部分のガイド機構として、該平行板ばね機構を用いており、支持部分を駆動する駆動部によって、該接触針の支持部分が支持部分担持部に対してスライドする部分のガイド機構として、これを用いているものではないが、平行板ばね機構を、このような接触針の支持部分が駆動部により支持部分担持部に対してスライドする部分のガイド機構として用いること自体は従来周知の技術（例えば、当審における平成１７年５月１６日付けの取消理由に引用した特開平８−３２２２３５号公報、或いは特開昭６０−１１９４０２号公報、特開昭６１−５００４８号公報を参照されたい。）であるから、上記刊行物２の発明の平行板ばね機構を、刊行物１の発明における、接触針の支持部分（従動ブロック１４）が駆動部（駆動機構）によってスライドする部分のガイド機構として適用することには格別な困難性が認められない。
　したがって、刊行物１の発明のガイド機構として、リニアガイド１１に代えて上記刊行物２の発明の平行板ばね機構を用いることは、当業者が容易に行い得たものである。またその場合、刊行物１の発明の接触針は、支持部分である従動ブロック１４の一端に設けられているから、各一対の支持側板ばね，固定側板ばねのうち、接触針に近い方が第一の板ばねとなり、遠い方が第二の板ばねとなることは当然である。
　してみれば、刊行物１の発明で、ガイド機構として、運動方向に離れた、該支持部分の２点に、当該支持側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対の支持側板ばねと、該運動方向に離れた、該支持部分担持部の２点に、当該固定側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ該支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対の固定側板ばねと、を有し、該一対の支持側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである平行板ばね機構を用いることは、刊行物１の発明に上記刊行物２の発明を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
　（特許権者は、平成１７年１１月１４日付けの特許異議意見書の第８頁１〜１０行で、「本発明は、ばね平行四辺形（平行板ばね機構）のスタイラス（接触針）を取り付けたインナープレート（支持部分）が、並進運動（相対偏倚）の際、刊行物１の従動ブロックのように摺動することがないから、機械的強度を維持するために質量を増す必要がない点に着目して、スタイラス（接触針）を取り付けたインナープレート（支持部分）のみを〈リニアガイドを用いることなく〉独立で駆動させて、よって、被検査面に接触針が接触する際の衝撃を少なくしようとするものである。」（但し、〈〉内は当審で付加。）として、刊行物２には、上述した本発明の目的及び技術思想がない、と主張しているが、このような目的及び技術思想は、上述した従来周知の技術のように、平行板ばね機構を接触針の支持部分が駆動部により支持部分担持部に対してスライドする部分のガイド機構として用いることにより、すでに達成されている目的及び技術思想にすぎない。）
（２）相違点２）に関して
　上記刊行物３には、プローブ装置の焦点位置を被測定物の被検面に一致させることによって該被検面の面形状を測定するための測定装置において、
「プローブ装置と該被検面との距離が、該プローブ装置の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部と支持部分担持部とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部と、によって調節され、
該プローブ装置の支持部分を、該第二部分駆動部によって駆動される該第二部分へと該プローブ装置の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるガイド機構を備える」発明が記載されている。
　そして上記刊行物３の発明は刊行物１の発明と極めて類似する技術分野に属するから、上記刊行物３の発明を刊行物１の発明に適用することには格別な困難性が認められない。
　してみれば、刊行物１の発明で、接触針とプリント基板との距離を、接触針の支持部分である従動ブロック１４を駆動するための駆動機構（支持部分駆動部）ばかりでなく、支持部分である従動ブロック１４と支持部分駆動部である駆動機構と支持部分担持部である基枠２４とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部とによっても調節されるようにして、ガイド機構を、接触針の支持部分である従動ブロック１４を該第二部分駆動部によって駆動される基枠２４（支持部分担持部）へと接触針の運動方向に沿ってスライド可能に担持するために配置されるように構成することは、刊行物１の発明に上記刊行物３の発明を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
　（特許権者は、平成１７年１１月１４日付けの特許異議意見書の第８頁１１〜１３行で、「刊行物３の開示内容は、非接触プローブを有する面形状測定装置であるから、接触針をプリント基板へと接触させる本発明とはその駆動機構が異なる。」と主張しているが、上記刊行物３のオートフオーカス顕微鏡２０の対物レンズ４１の焦点位置は、接触プローブの接触部に相当しているから、特許権者の上記主張には理由がない。またさらに付け加えるならば、接触プローブを粗動部と微動部を備えた移動機構によって移動させることも、（１）で引用した上記特開昭６０−１１９４０２号公報にみられるように、従来普通に行われている技術事項である。）
　
３．本件発明２に関して
　本件発明２は、本件発明１において、第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね及び第二の固定側板ばねの曲げばね定数を同じにしたものであるが、平行板ばね機構を用いた移動機構において、各板ばねの曲げばね定数を同じにすることは周知技術（例えば、実願昭５３−９６８６０号（実開昭５５−２６１０４号）のマイクロフィルムの第５頁３〜９行を参照。）である。
　
４．本件発明３、４に関して
　本件発明３は、本件発明１又は２において、支持部分駆動部と第二部分駆動部のうち、一方が小さな距離を調節する微調節手段であり、他方が大きな距離を調節する粗調節手段であるようにしたものであり、本件発明４は、本件発明３において、支持部分駆動部が微調節手段であり、第二部分駆動部が粗調節手段であるようにしたものであるが、プローブと対象物との距離を、該プローブの支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部とによって調節し、支持部分を担持する支持部分担持部を該第二部分駆動部によって駆動するようにしたものにおいて、支持部分駆動部を微調節手段とし、第二部分駆動部を粗調節手段とすることは、上記刊行物３の発明にもみられるように周知技術である。
　
５．本件発明５に関して
　本件発明５は、本件発明３又は４において、粗調節手段がステッピングモーター又はサーボモーターによって駆動され、微調節手段がリニアモーター又はソレノイドによって駆動されるようにしたものであるが、粗調節手段や微調節手段をどのようなモーターで駆動するかは当業者が適宜選択する設計事項である（粗調節手段がステッピングモーターによって駆動され、微調節手段が電磁方式即ちリニアモーターによって駆動されている例として、例えば特開平５−１５０００４号公報を参照されたい。ちなみに、上記刊行物３の発明でも微動モータ１７はリニアモータで構成されている。）。
　
６．本件発明６に関して
　本件発明６は、本件発明１乃至５のいずれかにおいて、平行板ばね機構が２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとを有し、かつ該運動方向の延長線上から見たときに、互いに隣接する２対の支持側板ばねが２対の固定側板ばねに挟まれて配置されているか又は互いに隣接する２対の該固定側板ばねが２対の該支持側板ばねに挟まれて配置されているようにしたものであるが、平行板ばね機構を用いた移動機構において各板ばねをこのような構造のものとすることは、「３．」で引用した上記マイクロフィルムにもみられるように、これまた周知技術である。
　
７．本件発明７に関して
　本件発明７は、本件発明１乃至６のいずれかにおいて、第一の支持側板ばねの他端と第一の固定側板ばねの他端との固定部分と、第二の支持側板ばねの他端と第二の固定側板ばねの他端との固定部分と、を部材によって連結するようにしたものであるが、平行板ばね機構を用いた移動機構において、各板ばねをこのように連結することは上記刊行物２の発明や「３．」で引用した上記マイクロフィルムでも行われている。
　
　そして、本件発明１〜７が奏する作用効果は、上記刊行物１〜３に記載された発明と上記各周知技術から予測される程度以上のものではない。
　したがって、本件発明１〜７は、上記刊行物１〜３に記載された発明と上記各周知技術とに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
【６】むすび
　以上のとおりであって、本件の請求項１〜７に係る発明は、上記刊行物１〜３に記載された発明と、上記各周知技術とに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１〜７に係る発明についての特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項１〜７に係る発明についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１２月２２日（２００５．１２．２２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
プリント基板検査装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】接触針をプリント基板へと接触させることによって該プリント基板を検査するための装置であって、該接触針と該プリント基板との距離が、該接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、該支持部分と該支持部分駆動部と
支持部分担持部と
該接触針の該支持部分を、該第二部分駆動部によって駆動される
該
該一対の支持側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして該一対の支持側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、該一対の固定側板ばねのうち該接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定したものである平行板ばね機構を備える、
プリント基板検査装置。
　【請求項２】第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね及び第二の固定側板ばねの曲げばね定数が同じである、請求項
１
　【請求項３】該支持部分駆動部と該第二部分駆動部とのうち、一方が小さな距離を調節する微調節手段であり、他方が大きな距離を調節する粗調節手段である、請求項
１
２
　【請求項４】該支持部分駆動部が微調節手段であり、該第二部分駆動部が粗調節手段である、請求項
３
　【請求項５】該粗調節手段がステッピングモーター又はサーボモーターによって駆動され、該微調節手段がリニアモーター又はソレノイドによって駆動されるものである、請求項
３
４
　【請求項６】該平行板ばね機構が２対の該支持側板ばねと２対の該固定側板ばねとを有し、かつ該運動方向の延長線上から見たときに、互いに隣接する２対の該支持側板ばねが２対の該固定側板ばねに挟まれて配置されているか又は互いに隣接する２対の該固定側板ばねが２対の該支持側板ばねに挟まれて配置されているものである、請求項
１
５
　【請求項７】該第一の支持側板ばねの他端と該第一の固定側板ばねの他端との固定部分と、該第二の支持側板ばねの他端と該第二の固定側板ばねの他端との固定部分と、を部材によって連結しているものである、請求項
１
６
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、プリント基板の検査装置に関し、より詳細には検査時間が短くかつ検査に伴うプリント基板への損傷を著しく低減することができるプリント基板の検査装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　電子機器等の電気回路を形成するためにプリント基板が多用されている。プリント基板は、絶縁体の基板上に金属によって形成された導体部分によって電気回路を形成するものであり、近年の、電子機器の小型化及び集積化の要求に対応して微細かつ精密な構造が求められるようになってきている。プリント基板は写真技術やエッチング技術等を用いて形成されるが、形成されたプリント基板の健全性を検査するために、接触針をプリント基板の各部に接触させて電気的特性（抵抗、絶縁、導通、及び静電容量等）を調査することが多用されている。この方法は接触針をプリント基板の各検査位置に接触させる必要があるので、接触針をプリント基板に対して平行方向（以後、「ＸＹ方向」という。）の所定位置に正確に移動させ、その後、
接触針
　【０００３】
　この接触針の動きのうち、Ｚ方向への動きは検査位置１個に対して１往復（接触針がプリント基板に当接して、検査を行った後、接触針がプリント基板から離れてＸＹ方向に移動可能となる位置まで戻るため１往復する。）することが必要であり、このＺ方向への移動時間が全体検査時間の中の大きな割合を占めていた。特に、近年の高集積化されたプリント基板では、検査位置が数千乃至数万にものぼり、検査時間の増加が顕著になってきている。さらに、接触針がプリント基板に接触する際、大きな衝撃をプリント基板に与えると衝撃によってプリント基板が損傷したり、衝撃が破損原因になることもあった。なお、この衝撃は、検査を迅速に行うために接触針のＺ方向への速度を増加させると増大する。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　以上のように、従来から行われてきている接触針によるプリント基板の検査は、検査時間が長くかつプリント基板への衝撃が大きいという問題があった。従って、本発明においては、検査時間が短くかつプリント基板への衝撃が小さいプリント基板検査装置を提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するために、
本
に
　【０００６】
　
本発明の１の特徴は
　【０００７】
　本装置においては、接触針とプリント基板との距離が、接触針の支持部分を駆動するための支持部分駆動部と、支持部分と支持部分駆動部とを含む第二部分を駆動するための第二部分駆動部と、によって調節される。プリント基板上の検査位置のＺ方向への分布はプリント基板のそりによって主として生じるが、通常それほど大きくない。従って、１個の検査位置の検査が終了する度に接触針を元の位置に必ずしも戻す必要はなく、個々の検査位置のＺ方向への分布が十分吸収できるだけのＺ方向の移動を行えば足りる。即ち、２個の別個の駆動部（支持部分駆動部と第二部分駆動部）のうち、いずれか一方が検査位置のＺ方向への分布を吸収できるような変位を有し、他方がほぼ一定量のＺ方向への移動を行うようにする。個々の検査位置に対しては通常該一方の駆動部のみでＺ方向へと接触針を移動させる。こうすることによって、個々の検査位置に対しての、接触針のＺ方向への移動量が小さくなるので、接触針をＺ方向へと移動させるための時間を大幅に短縮することができる。
　【０００８】
　支持部分駆動部と第二部分駆動部とのうち、一方が小さな距離を調節する微調節手段であり、他方が大きな距離を調節する粗調節手段であるようにしてもよい。微調節手段が、個々の検査位置のＺ方向への分布を吸収することができる小さな変位を有し、粗調節手段が検査開始時及び終了時に一定の距離だけ接触針をＺ方向へと移動させるようにすれば、個々の検査位置に対して接触針の必要移動量を大幅に減少させるので、検査時間を大幅に減少させることができる。なお、検査が進行している部分の、プリント基板のそり等の外形に合わせて、粗調節手段によって接触針とプリント基板との距離を調節してやれば、さらに微調節手段の変位を小さくすることができるので、一層、検査時間を減少させることができる。
　【０００９】
　支持部分駆動部が微調節手段であり、第二部分駆動部が粗調節手段であるようにしてもよい。こうすることで、個々の検査位置に対してＺ方向へと移動する部分即ち微調節手段によって移動される部分が、接触針及び支持部分によって構成される小型かつ軽量なものとなるので、個々の検査位置に対する移動部分の慣性質量を減少させ、敏速な移動を可能ならしめ検査時間を短縮することができると共に、プリント基板への接触時における衝撃を低減することができる（プリント基板が受ける衝撃は、衝突するものの質量に比例する）。
　【００１０】
　支持部分駆動部と第二部分駆動部とはいかなる方法によって駆動されてもよく、例えば、油圧シリンダー、空気シリンダー、モーター、及びソレノイド等を用いることができるが、正確性や管理の容易性等を考慮するとモーターを用いることが好ましい。さらに、ステッピングモーター又はサーボモーターによって粗調節手段を駆動し、リニアモーター又はソレノイドによって微調節手段を駆動することが好ましい。ステッピングモーター等は一定の変位を正確に発生させ、リニアモーター等は円滑かつ柔らかい動きを行うことができるからである。
　【００１１】
　
本
の第２の特徴
本
支持部分
　【００１２】
　従来のプリント基板検査装置における接触針の支持部分を接触針の運動方向に沿ってスライド可能に把持するためにはリニアガイドと呼ばれる、レールとこれに嵌合するレール受けとからなるものを使用していた。即ち、該支持部分に通常、レール受けを取り付け、支持部分担持部にレールを敷設し、そして該レール受けと該レールとを摺動可能に嵌合させることで、該支持部分を該レールに沿って移動できるようにしていた。しかし、このリニアガイドを使用すると、リニアガイドの自重が大きいために接触針に付随して移動する部分の質量が大きくなり、接触針がプリント基板に衝突する際の衝撃が大きくなる問題に加え、敏速な移動ができなくなる問題があった。このため、
本
　【００１３】
　該平行板ばね機構は、接触針の運動方向に離れた、接触針の支持部分の２点に、当該支持側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにその一端が取り付けられた一対の支持側板ばねと、該運動方向に離れた、支持部分把持部の２点に、当該固定側板ばねの主表面が互いに平行になるようにかつ該運動方向に対して垂直になるようにかつ支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるようにその一端が取り付けられた一対の固定側板ばねと、を有する。従って、接触針の運動方向に対して垂直方向から支持部分と支持部分担持部とを見ると、互いに平行又は一直線になった支持部分と支持部分担持部とが存在し、支持部分には２枚の支持側板ばねが取り付けられており、支持部分担持部には２枚の固定側板ばねが取り付けられており、そして２枚の支持側板ばねと２枚の固定側板ばねとの合計４枚の板ばねが平行（重なっている場合も含む。）になっている（馬等の動物が立ったときの４本の脚の配置に類似している。）。そして、一対の支持側板ばねのうち接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばねの他端と、一対の固定側板ばねのうち接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばねの他端と、を固定し、そして一対の支持側板ばねのうち接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばねの他端と、一対の固定側板ばねのうち接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばねの他端と、を固定している（前記の例にたとえると馬の前足同志を縛り、そして後足同志を縛った状態になる。）。このため接触針の運動方向に対して垂直方向から見た場合、力が加わらない中立の位置では、第一の支持側板ばねと第一の固定側板ばねとは互いに重なり合うように配置され、また同様に第二の支持側板ばねと第二の固定側板ばねとは互いに重なり合うように配置される。一方、力が加わり支持部分が移動すると、同方向から見ると第一の支持側板ばねと第一の固定側板ばねとはアルファベットの「Ｖ」の形を形成し、また同様に第二の支持側板ばねと第二の固定側板ばねとはアルファベットの「Ｖ」の形を形成する。このとき第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね、そして第二の固定側板ばねの曲げばね定数が同じであれば、支持部分が支持部分担持部に対して平行に移動するので好ましい。
　【００１４】
　平行板ばね機構が２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとを有し、かつ接触針の運動方向の延長線上から見たときに、互いに隣接する２対の支持側板ばねが２対の固定側板ばねに挟まれて配置されているか又は互いに隣接する２対の固定側板ばねが２対の支持側板ばねに挟まれて配置されるようにしてもよい。こうすると、１対の支持側板ばねと１対の固定側板ばねとによって構成された平行板ばね機構を使用した場合では、支持部分に力が加わって移動した場合（支持側板ばねと固定側板ばねとが開いて「Ｖ」形を形成した場合）、接触針の運動方向に対して垂直方向へも支持部分が移動する傾向が生じるが、２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとを使用し、２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとのいずれかの２対（隣接させて配置する）を他の１対と他の１対との間に挟み込むようにすれば、該運動方向に対して垂直方向への、支持部分の移動を防止することができる。なお、この場合、２枚の第一の支持側板ばねの２個の他端と２枚の第一の固定側板ばねの２個の他端との４個の他端を一体として連結固定し、そして２枚の第二の支持側板ばねの２個の他端と２枚の第二の固定側板ばねの２個の他端との４個の他端を一体として連結固定してもよく、そうすればさらに該運動方向に対して垂直方向への、支持部分の移動を防止することができる。
　【００１５】
　第一の支持側板ばねの他端と第一の固定側板ばねの他端との固定部分（第一の固定部分という。）と、第二の支持側板ばねの他端と第二の固定側板ばねの他端との第二の固定部分（第二の固定部分という。）と、を部材によって連結してもよい。こうすれば、支持部分が移動した際に、第一の支持側板ばねと第二の支持側板ばねとに加わる力を該部材が受け、支持部分のＸＹ方向（特に、第一の固定部分や第二の固定部分への方向又はその方向とは逆方向）への動きを減少するように該部材が動き、接触針を極めて正確にプリント基板に接触させることができるので好ましい。特に、第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね、そして第二の固定側板ばねを同じ曲げ弾性にすると、支持部分のＸＹ方向への動きをちょうど相殺することができるので、極めて正確な検査を行うことができる。
　【００１６】
　
本
は第１の特徴及び第２の特徴を組合わせたものであり
本
支持部分担持部と
該
を提供するもの
　【００１７】
　
本
支持部分担持部と
本発明の第１の特徴
は本発明の第１の特徴
　【００１８】
　
本
本
第２の特徴で説明された
第１及び第２の特徴の組合わせによる本
本
第２の特徴で説明
本
本
第２の特徴で説明した
　【００１９】
　
本
　【００２０】
　支持部分駆動部と第二部分駆動部とのうち、一方が小さな距離を調節する微調節手段であり、他方が大きな距離を調節する粗調節手段であるようにしてもよい。微調節手段が、個々の検査位置のＺ方向への分布を吸収することができる小さな変位を有し、粗調節手段が検査開始時及び終了時に一定の距離だけ接触針をＺ方向へと移動させるようにすれば、個々の検査位置に対して接触針の必要移動量を大幅に減少させるので、検査時間を大幅に減少させることができる。なお、検査が進行している部分の、プリント基板のそり等の外形に合わせて、粗調節手段によって接触針とプリント基板との距離を調節してやれば、さらに微調節手段の変位を小さくすることができるので、一層、検査時間を減少させることができる。
　【００２１】
　支持部分駆動部が微調節手段であり、第二部分駆動部が粗調節手段であるようにしてもよい。こうすることで、個々の検査位置に対してＺ方向へと移動する部分即ち微調節手段によって移動される部分が、接触針及び支持部分によって構成される小型かつ軽量なものとなるので、個々の検査位置に対する移動部分の慣性質量を減少させ、敏速な移動を可能ならしめ検査時間を短縮することができると共に、プリント基板への接触時における衝撃を低減することができる（プリント基板が受ける衝撃は、衝突するものの質量に比例する）。
　【００２２】
　支持部分駆動部と第二部分駆動部とはいかなる方法によって駆動されてもよく、例えば、油圧シリンダー、空気シリンダー、モーター、及びソレノイド等を用いることができるが、正確性や管理の容易性等を考慮するとモーターを用いることが好ましい。さらに、ステッピングモーター又はサーボモーターによって粗調節手段を駆動し、リニアモーター又はソレノイドによって微調節手段を駆動することが好ましい。ステッピングモーター等は一定の変位を正確に発生させ、リニアモーター等は円滑かつ柔らかい動きを行うことができるからである。
　【００２３】
　平行板ばね機構が２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとを有し、かつ接触針の運動方向の延長線上から見たときに、互いに隣接する２対の支持側板ばねが２対の固定側板ばねに挟まれて配置されているか又は互いに隣接する２対の固定側板ばねが２対の支持側板ばねに挟まれて配置されるようにしてもよい。こうすると、１対の支持側板ばねと１対の固定側板ばねとによって構成された平行板ばね機構を使用した場合では、支持部分に力が加わって移動した場合（支持側板ばねと固定側板ばねとが開いて「Ｖ」形を形成した場合）、接触針の運動方向に対して垂直方向へも支持部分が移動する傾向が生じるが、２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとを使用し、２対の支持側板ばねと２対の固定側板ばねとのいずれかの２対（隣接させて配置する）を他の１対と他の１対との間に挟み込むようにすれば、該運動方向に対して垂直方向への、支持部分の移動を防止することができる。なお、この場合、２枚の第一の支持側板ばねの２個の他端と２枚の第一の固定側板ばねの２個の他端との４個の他端を一体として連結固定し、そして２枚の第二の支持側板ばねの２個の他端と２枚の第二の固定側板ばねの２個の他端との４個の他端を一体として連結固定してもよく、そうすればさらに該運動方向に対して垂直方向への、支持部分の移動を防止することができる。
　【００２４】
　第一の支持側板ばねの他端と第一の固定側板ばねの他端との固定部分（第一の固定部分という。）と、第二の支持側板ばねの他端と第二の固定側板ばねの他端との第二の固定部分（第二の固定部分という。）と、を部材によって連結してもよい。こうすれば、支持部分が移動した際に、第一の支持側板ばねと第二の支持側板ばねとに加わる力を該部材が受け、支持部分のＸＹ方向（特に、第一の固定部分や第二の固定部分への方向又はその方向とは逆方向）への動きを減少するように該部材が動き、接触針を極めて正確にプリント基板に接触させることができるので好ましい。特に、第一の支持側板ばね、第一の固定側板ばね、第二の支持側板ばね、そして第二の固定側板ばねを同じ曲げ弾性にすると、支持部分のＸＹ方向への動きをちょうど相殺することができるので、極めて正確な検査を行うことができる。
　【００２５】
　【発明の実施の形態】
　本発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。
　【００２６】
　図１は、本発明のプリント基板検査装置の一例の一部を示す斜視図である。図１に一部が示されたプリント基板検査装置は、接触針のＺ方向への移動を２個の別個の駆動部を用いて行い、接触針の支持部分を支持部分担持部へとスライド可能に担持するために平行板ばね機構を使用している。図１を参照して、プリント基板（図示せず）へ接触させて検査を行う接触針１が支持部分３の一端に取り付けられ支持されている。センサー用リフレクター５の下側に隠れているが、支持部分３の他端がリニアモーター７の駆動軸へと取り付けられている。即ち、本実施例の場合はリニアモーター７が支持部分駆動部として取り付けられている。
　【００２７】
　支持部分３を両側から挟むように支持部分担持部１１が設けられ、支持部分３と支持部分担持部１１とは平行板ばね機構１３を介して取り付けられている。このため、支持部分３は支持部分担持部１１へ接触針１の運動方向に沿ってスライド可能に担持されている。従って、リニアモーター７が支持部分３を移動させることによって接触針をＺ方向に移動させることができる。さらに、支持部分３を担持した支持部分担持部１１とリニアモーター７（支持部分駆動部）とが移動台９へと取り付けられている。従って、移動台９を移動させれば、それに伴って接触針１、支持部分３、支持部分担持部１１、平行板ばね機構１３、センサー用リフレクター５、そしてリニアモーター７の全て（第二部分）が移動する。一方、移動台９の下側には固定台１５が設置されており、固定台１５と移動台９とはリニアガイドによって一定方向へスライド可能に取り付けられている。このリニアガイドは、固定台１５の所定位置に敷設されたレール１７と、レール１７にスライド可能に嵌合する、移動台９の下面部分１９と、から構成されている。このため、移動台９は、レール１７に沿ってスライド移動することができる。
　【００２８】
　固定台１５の立ち上がり部分１５ａにはステッピングモーター２１（第二部分駆動部）が取り付けられ、ステッピングモーター２１の駆動軸２１ａは立ち上がり部分１５ａを貫通しており、駆動軸２１ａの先端にはプーリー２３が取り付けられている。プーリー２３と自由に回転しうるプーリー２５（アイドラー）との間にはベルト２７が取り付けられており、ステッピングモーター２１の駆動軸２１ａの回転に伴ってベルト２７及びプーリー２５が運動する。ベルト２７の所定位置には、棒状部材２９の一端が固定的に取り付けられている。棒状部材２９の他端は移動台９へ取り付けられており、このためステッピングモーター２１の駆動軸２１ａが回転すると、プーリー２３、ベルト２７、そして棒状部材２９を介して移動台９が移動する。即ち、本実施例の装置では、接触針１とプリント基板（図示せず）との間の距離を調節するための、接触針１のＺ方向への動きは、リニアモーター７（支持部分駆動部）とステッピングモーター２１（第二部分駆動部）とによって行われる。
　【００２９】
　図２は、図１に示された装置に使用されている平行板ばね機構１３を示す斜視図である。図２を参照して、平行板ばね機構１３は、２対の支持側板ばね５１、５３、５５、５７（支持側板ばね５１と５３とで一対をなし、支持側板ばね５５と５７とで一対をなす。）と、２対の固定側板ばね６１、６３、６５、６７（固定側板ばね６１と６３とで一対をなし、固定側板ばね６５と６７とで一対をなす。）と、を有する。１対の支持側板ばね５１、５３は、接触針の運動方向に離れた、支持部分の２点にその一端５１ａ、５３ａが取り付けられる。また、取り付けは、１対の支持側板ばね５１、５３の主表面が互いに平行になるように、かつ接触針の運動方向に対して垂直になるように行われる。一方、１対の固定側板ばね６１、６３は、接触針の運動方向に離れた、支持部分担持部の２点にその一端６１ａ、６３ａが取り付けられる。また、取り付けは、１対の支持側板ばね６１、６３の主表面が互いに平行になるように、かつ接触針の運動方向に対して垂直になるように、かつ支持側板ばねが伸びる方向と同方向に伸びるように行われる。一対の支持側板ばね５１、５３のうち接触針に近い方に位置する第一の支持側板ばね５１の他端５１ｂと、一対の固定側板ばね６１、６３のうち接触針に近い方に位置する第一の固定側板ばね６１の他端６１ｂと、が固定されており、さらに一対の支持側板ばね５１、５３のうち接触針から遠い方に位置する第二の支持側板ばね５３の他端５３ｂと、一対の固定側板ばね６１、６３のうち接触針から遠い方に位置する第二の固定側板ばね６３の他端６３ｂと、が固定された状態になっている。また、第一の支持側板ばね５１の他端５１ｂと第一の固定側板ばね６１の他端６１ｂとの固定部分と、第二の支持側板ばね５３の他端５３ｂと第二の固定側板ばね６３の他端６３ｂとの固定部分と、を部材７１によって連結している。
　【００３０】
　他方の一対の支持側板ばね５５、５７と他方の一対の固定側板ばね６５、６７とは、一対の支持側板ばね５１、５３と一対の固定側板ばね６１、６３とによって形成される平行板ばね機構と同様な平行板ばね機構を形成するので、ここでは説明を省略する。なお、本実施例の場合、平行板ばね機構１３が２対の支持側板ばね５１、５３、５５、５７と２対の固定側板ばね６１、６３、６５、６７とを有し、かつ接触針の運動方向の延長線（即ち、支持側板ばね５１、５３、５５、５７と固定側板ばね６１、６３、６５、６７との主表面に対して垂直な線の延長線）上から見たときに、互いに隣接する２対の支持側板ばね５１、５５が２対の固定側板ばね６１、６５に挟まれて配置されている（逆方向から見れば、互いに隣接する２対の支持側板ばね５３、５７が２対の固定側板ばね６３、６７に挟まれて配置されている）。
　【００３１】
　図３乃至５は、移動台９、それに取り付けられたリニアモーター７、支持部分３、支持部分担持部１１、平行板ばね機構１３、センサー用リフレクター５、そして接触針１によって構成される第二部分を示すためのそれぞれ上面図、右側面図、及び正面図である。図３乃至５を参照して、移動台９の上面にリニアモーター７と支持部分担持部１１の一端が取り付けられている。リニアモーター７の駆動軸３３は、センサー部３５を介してばね３１の一端に連結されている。ばね３１の他端は支持部分３へと連結されている。なお、支持部分３の上面部分の大部分がセンサー用リフレクター５によって隠されており、また支持部分３は支持部分担持部１１に挟まれるようになっているので支持部分３の側面部分は見えない（実際には、支持部分３はばね３１の他端から接触針１まで連続している。）。支持部分３は支持部分担持部１１に平行板ばね機構１３を介して担持されており、リニアモーター７によって（ばね３１を介して）支持部分担持部１１に対して容易にスライド移動することができる。
　【００３２】
　図６は、図１に示した装置を使用してプリント基板を検査する際の、接触針１の運動を示す説明図である。図６は、プリント基板８１を鉛直方向に立てた状態を鉛直上方向から見たところを示している。従って、プリント基板８１の主表面は本図面に対して垂直方向に伸びている。プリント基板図６を参照して、プリント基板８１がそり８３を有しているので、検査面８１ａは凸面を形成している。検査面８１ａに接触して検査する接触針１が、支持部分３に支持されて位置Ａに静止している。なお、本図においては、図示及び理解を容易にするために、接触針１と支持部分３以外の部分は省略している。位置Ａは検査開始前の始点を示しており、検査を開始すると、ステッピングモーター２１（第二部分駆動部）が移動台９をプリント基板８１側へ（Ｚ方向へ）移動させる。これによって接触針１が位置Ｂへと到達する。接触針１が位置Ｂへと到達した後、プリント基板８１の各検査位置へ接触針１が接触することによる検査が始められる。位置Ｂから、ＸＹ方向に接触針１を移動させて検査位置の前面部分（位置Ｃ）へと位置させる。その後、リニアモーター７（支持部分駆動部）が支持部分３をプリント基板８１側へ（Ｚ方向へ）移動させ、接触針１をプリント基板８１へ接触させて検査を行う（位置Ｄ）。検査完了後、リニアモーター７（支持部分駆動部）が支持部分３をプリント基板８１から離れる方向へ（Ｚ方向へ）移動させ、接触針１を位置Ｃへと戻す。接触針１は、次の検査位置に向けてＸＹ方向に移動し、そこでＺ方向に移動してプリント基板８１に接触し、そこで検査を行い、そしてプリント基板８１から離れる動作を繰り返して、プリント基板８１全部の検査位置を検査する。図６の位置Ｅ、位置Ｆ、そして位置Ｇは、接触針１の検査を行う位置を示しており、検査は位置Ｄ、位置Ｅ、位置Ｆ、位置Ｇの順番で行われ、これら全ての位置で検査が完了しリニアモーター７（支持部分駆動部）が支持部分３をプリント基板８１から離れる方向へ（Ｚ方向へ）移動させた位置を示したものが位置Ｈである。位置Ｈからは、ステッピングモーター２１（第二部分駆動部）が移動台９をプリント基板８１から遠ざかる方向へ（Ｚ方向へ）移動させ、これによって接触針１が位置Ｊへと到達し、全ての検査工程が完了する。
　【００３３】
　このように動作するので、各検査位置に対して接触針１がＺ方向に移動する距離は、図中の線Ｐ（リニアモーター７（支持部分駆動部）が支持部分３をプリント基板８１から離れる方向へ移動させた場合の接触針１の針先位置）からプリント基板８１の検査面８１ａまでで足りる。このため接触針１のＺ方向への運動を単一の駆動部によって行っていた従来装置では、図中の線Ｑからプリント基板８１の検査面８１ａまで各検査位置に対して移動することが必要であったので、線Ｐと線Ｑとの間の距離即ちステッピングモーター２１（第二部分駆動部）が移動台９を移動させる距離分だけ本発明の装置の方が接触針１の移動距離が小さくなるので検査時間の短縮を図ることができる。各検査位置に対する接触針１の移動距離を小さくするには、線Ｐを検査面８１ａに近くすればよいが、プリント基板８１のそり８３を考慮すれば各検査位置に対する移動距離がそり８３よりも大きくなければならない。
　【００３４】
　上記のように、線Ｐを直線とする場合（ステッピングモーター２１（第二部分駆動部）が移動台９を移動させる距離が一定である場合）では、各検査位置に対する接触針１の移動距離は、プリント基板８１のそり８３よりも小さくすることはできず、短縮の限界があった。そこで線Ｐを検査面８１ａの形状に合わせた線（曲線や折れ曲がった直線等）とすることで該移動距離を限りなく小さくすることができ、更なる検査時間の短縮を図ることができる。即ち、ステッピングモーター２１（第二部分駆動部）による移動台９の移動距離を検査面８１ａの形状に合わせて変化させればよく、好ましくは、線Ｐが検査面８１ａと平行になるようにして検査面８１ａにできる限り接近させるようにすれば、該移動距離を極めて小さくできる。
　【００３５】
　【発明の効果】
　本発明は、以上のように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
即ち、上記の通り第１及び第２の特徴を組合わせた
また、同時に、
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例のプリント基板検査装置の一部を示す斜視図である。
　【図２】
　本発明の一実施例の図１に示された装置に使用されている平行板ばね機構を示す斜視図である。
　【図３】
　本発明の一実施例の第二部分を示す上面図である。
　【図４】
　本発明の一実施例の第二部分を示す右側面図である。
　【図５】
　本発明の一実施例の第二部分を示す正面図である。
　【図６】
　本発明の一実施例の接触針の運動を示す説明図である。
　【符号の説明】
　　１　接触針
　　３　支持部分
　　５　センサー用リフレクター
　　７　リニアモーター
　　９　移動台
　１１　支持部分担持部
　１３　平行板ばね機構
　１５　固定台
　１５ａ　立ち上がり部分
　１７　レール
　１９　下面部分
　２１　ステッピングモーター
　２１ａ　ステッピングモーターの駆動軸
　２３　ステッピングモーターの駆動軸に取り付けられているプーリー
　２５　プーリー（アイドラー）
　２７　ベルト
　２９　棒状部材
　３１　ばね
　３３　リニアモーターの駆動軸
　３５　センサー部
　５１、５３、５５、５７　支持側板ばね
　５１ａ、５３ａ、５５ａ、５７ａ　支持側板ばねの一端
　５１ｂ、５３ｂ、５５ｂ、５７ｂ　支持側板ばねの他端
　６１、６３、６５、６７　固定側板ばね
　６１ａ、６３ａ、６５ａ、６７ａ　固定側板ばねの一端
　６１ｂ、６３ｂ、６５ｂ、６７ｂ　固定側板ばねの他端
　７１　部材
　８１　プリント基板
　８１ａ　検査面
　８３　そり