【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年10月19日(2010.10.19)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性電極サポートフレームを有し、かつイオンビームを発生するように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極コンポーネントであって、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された導電性挿入部材を備えており、前記挿入部材が開口部を画成する電極本体部を備えており、前記挿入部材が更に、前記イオン注入器のサポートフレームと係合し、かつ前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に前記開口部を整列させるように位置決めされた複数の整列ピンを備えており、前記電極本体部が前記開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされており、前記挿入部材が更に複数の保有フランジを備え、前記複数の保有フランジは、前記イオン注入器のサポートフレームと係合し前記イオン注入器のサポートフレーム内の前記整列位置に前記電極本体部を保有するように適合され、また前記サポートフレームに電気的に結合される、
イオン注入電極コンポーネント。
【請求項２】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームと係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形ピン本体部を有する、請求項１に記載のコンポーネント。
【請求項３】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームと係合するように適合された外部表面を画成するピン本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項１に記載のコンポーネント。
【請求項４】
前記整列ピン、保有フランジおよび前記電極本体部が一体的に形成されて、前記挿入部材が単一部材である、請求項１に記載のコンポーネント。
【請求項５】
前記サポートフレームが平面部を有しており、前記挿入部材が平面部を有しており、前記挿入部材の平面部が、前記整列および保有位置で前記サポートフレームの平面部と向き合って係合されて位置決めされる、請求項１に記載のコンポーネント。
【請求項６】
イオンビームを発生させるように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極であって、
第１および第２の整列表面を有する開口部を画成する導電性電極サポートフレームであって、前記第１の整列表面が溝状である導電性電極サポートフレームと、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された導電性挿入部材と、を備えており、前記挿入部材が開口部を画成し、かつ前記サポートフレームの開口部に挿入されるように適合された電極本体部を備えており、前記挿入部材が更に、前記イオン注入器のサポートフレームの溝状の第１の整列表面と係合するように位置決めされた第１の整列ピンと、前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に前記開口部を整列させる前記イオン注入器のサポートフレームの第２の整列表面に係合するように位置決めされた第２の整列ピンと、を備えており、前記電極本体部が前記開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされており、前記挿入部材が更に複数の保有フランジを備え、前記複数の保有フランジは、前記イオン注入器のサポートフレームと係合し前記イオン注入器のサポートフレーム内の前記整列位置に前記電極本体部を保有するように適合され、また前記サポートフレームと電気的に結合される、イオン注入電極。
【請求項７】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームと係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形本体部を有する、請求項６に記載の電極。
【請求項８】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームと係合するように適合された外部表面を画成する本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項６に記載の電極。
【請求項９】
前記整列ピン、保有フランジおよび前記電極本体部が一体的に形成されて、前記挿入部材が単一部材である、請求項６に記載の電極。
【請求項１０】
前記サポートフレームが平面部を有し、前記挿入部材が平面部を有し、前記挿入部材の平面部が、前記整列および保有位置で前記サポートフレームの平面部と向き合って係合するように位置決めされている、請求項６に記載の電極。
【請求項１１】
前記挿入部材と前記サポートフレーム間に位置決めされ、前記整列および保有位置で前記挿入部材を付勢するスプリングを更に備える、請求項６に記載の電極。
【請求項１２】
イオンビームを発生するように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極の組み立て方法であって、
第１および第２の整列表面を有する開口部を画成する導電性電極サポートフレームに導電性挿入部材を挿入するステップであって、前記第１の整列表面が溝状であり、前記挿入部材が開口部を画成する電極本体部を備えるステップと、
前記挿入部材の第１の整列ピンを前記イオン注入器のサポートフレームの溝状の第１の整列表面と係合させるステップと、
前記挿入部材の第２の整列ピンを前記イオン注入器のサポートフレームの第２の整列表面と係合させて、前記挿入部材の開口部を、前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に整列させるステップであって、前記電極本体部が前記開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされているステップと、
前記サポートフレームに電気的に結合された前記挿入部材の複数の保有フランジを前記イオン注入器のサポートフレームに係合して、前記電極本体部を前記イオン注入器のサポートフレームに対する前記整列位置に保有するステップと、
を備える方法。
【請求項１３】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームの整列表面と係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形本体部を有する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームの整列表面と係合するように適合された外部表面を画成する本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記整列ピン、保有フランジおよび電極本体部が一体的に形成され、前記挿入部材が単一部材である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記挿入するステップが、挿入部材の平面部をサポートフレームの平面部と向き合って係合させる工程を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記挿入部材と前記サポートフレーム間の、前記整列および保有位置で前記挿入部材を付勢するスプリングを位置決めするステップを更に備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
導電性電極サポートフレームを有し、かつイオンビームを発生させるように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン抽出電極コンポーネントであって、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された単一の導電性挿入部材を備えており、前記挿入部材が開口部を画成する一体型電極本体部を備えており、前記挿入部材が更に複数の一体型整列ピンを備えており、各整列ピンが、前記イオン注入器のサポートフレームと係合し、かつ前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に前記開口部を整列させるように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形ピン本体を有しており、前記電極本体部が前記開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされており、各整列ピンが更に、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成し、前記保有フランジは、前記イオン注入器のサポートフレームと係合し前記イオン注入器のサポートフレーム内の前記整列位置で前記電極本体部を保有するように適合され、また前記サポートフレームに電気的に結合され、前記サポートフレームが平面部を有し、前記挿入部材が平面部を有し、前記挿入部材の平面部が、前記整列および保有位置で前記サポートフレームの平面部と向き合って係合されるように位置決めされている、イオン抽出電極コンポーネント。
【請求項１９】
整列ピンおよび保有フランジを有する導電性電極サポートフレームを有し、かつイオンビームを発生させるように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極コンポーネントであって、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された導電性挿入部材を備えており、前記挿入部材が開口部を画成する電極本体部を備えており、前記挿入部材が複数の整列スロットを画成し、各整列スロットが、サポートフレームの整列ピンによって係合されて、前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置で前記挿入部材の開口部を整列させるように適合された整列表面を画成するベース表面を有しており、前記電極本体部が前記挿入部材の開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされており、前記挿入部材が更に複数の保有表面を備えており、各保有表面が、前記イオン注入器のサポートフレーム内の前記整列位置に前記電極本体部を保有し、かつ前記サポートフレームに電気的に結合された前記イオン注入器のサポートフレームの保有フランジによって係合されるように適合されている、コンポーネント。
【請求項２０】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材の整列スロットのベース表面と係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形ピン本体部を有する、請求項１９に記載のコンポーネント。
【請求項２１】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材の整列スロットのベース表面と係合するように適合された外部表面を画成するピン本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項１９に記載のコンポーネント。
【請求項２２】
前記コンポーネントがグラファイトから作られる、請求項１９に記載のコンポーネント。
【請求項２３】
前記サポートフレームが平面部を有し、前記挿入部材が平面部を有し、前記挿入部材の平面部が、前記整列および保有位置で前記サポートフレーム平面部と向き合って係合されるように位置決めされている、請求項１９に記載のコンポーネント。
【請求項２４】
イオンビームを発生させるように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極であって、
開口部を画成する導電性電極サポートフレームと、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された導電性挿入部材であって、開口部を画成し、かつ前記サポートフレームの開口部に挿入されるように適合された電極本体部と、更にその前記第１の整列表面が溝状である第１および第２の整列表面とを備える挿入部材と、
を備え、
前記サポートフレームが更に、前記イオン注入挿入部材の溝状の第１の整列表面と係合するように位置決めされた第１の整列ピンと、前記イオン注入器の挿入部材の第２の整列表面と係合して前記挿入部材の開口部を前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に整列させるように位置決めされた第２の整列ピンとを備えており、前記電極本体部が前記開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされており、前記サポートフレームが更に複数の保有フランジを備え、前記複数の保有フランジは、前記挿入部材と係合し前記イオン注入器のサポートフレーム内の前記整列位置に前記電極本体を保有するように適合され、また前記サポートフレームに電気的に結合される、イオン注入電極。
【請求項２５】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材と係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形本体部を有する、請求項２４に記載の電極。
【請求項２６】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材と係合するように適合された外部表面を画成する本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項２４に記載の電極。
【請求項２７】
前記整列ピン、保有フランジおよび前記サポートフレームが一体的に形成されて、前記サポートフレームが単一部材である、請求項２４に記載の電極。
【請求項２８】
前記サポートフレームが平面部を有しており、前記挿入部材が平面部を有しており、前記挿入部材の平面部が、前記整列および保有位置に前記サポートフレームの平面部と向き合って係合するように位置決めされている、請求項２４に記載の電極。
【請求項２９】
前記挿入部材と前記サポートフレーム間に位置決めされた、前記整列および保有位置で前記挿入部材を付勢するスプリングを更に備える、請求項２４に記載の電極。
【請求項３０】
イオンビームを発生するように適合されたイオン注入器で使用するためのイオン注入電極の組み立て方法であって、
開口部を有する導電性電極サポートフレームに導電性挿入部材を挿入するステップであって、前記挿入部材が開口部を画成する電極本体部を備えるステップと、
前記挿入部材の第１の溝状整列表面を前記サポートフレームの第１の整列ピンに係合するステップと、
前記挿入部材の第２の整列表面を前記サポートフレームの第２の整列ピンに係合させて、前記挿入部材の開口部を、前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に整列させるステップであって、前記電極本体部が、前記挿入部材の開口部を通過する前記イオンビームを受け取るように位置決めされているステップと、
前記サポートフレームに電気的に結合された前記サポートフレームの複数の保有フランジを前記イオン注入器の挿入部材に係合して前記電極本体部を前記イオン注入器のサポートフレームに対する前記整列位置に保有するステップと、
を備える方法。
【請求項３１】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材の整列表面と係合するように適合された円筒形外部表面を画成する円筒形本体部を有する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
各整列ピンが、前記イオン注入器の挿入部材の整列表面と係合するように適合された外部表面を画成する本体部と、前記ピン本体部の幅よりも広い幅を有する保有キャップとを有しており、各整列ピンの保有キャップが保有フランジを画成する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３３】
前記整列ピン、保有フランジおよび前記電極本体部が一体的に形成され、前記サポートフレームが単一部材である、請求項３０に記載の方法。
【請求項３４】
前記挿入するステップが、サポートフレームの平面部と向き合って挿入部材の平面部を係合させる工程を含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３５】
前記挿入部材と前記サポートフレーム間の、前記挿入部材を前記整列および保有位置で付勢するためのスプリングを位置決めするステップを更に備える、請求項３０に記載の方法。
【請求項３６】
円形整列ピンを有する導電性電極サポートフレームを有しており、かつイオンビームを発生するように適合されたイオン注入器において使用するためのイオン抽出電極コンポーネントであって、
前記イオン注入器のサポートフレームに挿入されるように適合された単一の導電性挿入部材を備えており、前記挿入部材が開口部を画成する一体型電極本体部を備えており、前記挿入部材が更に複数の矩形整列スロットを画成し、各整列スロットが、サポートフレームの整列ピンによって係合され、前記挿入部材の開口部を、前記イオン注入器のサポートフレームに対する整列位置に整列させるように適合された整列表面を画成するベース表面を有しており、ベース整列表面が溝状である、コンポーネント。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
[00025]電極２１と同様に、運動学的整列ピン２９ｃ、２９ｄの保有溝はサポートフレームコンポーネント２３ａの舌部４９ｃ、４９ｄ（図３）を受け取り、図２のｚ方向で、挿入部材プレート部３３ｂをサポートフレームコンポーネント２３ａに固定する。しかしながら、ピン５１などの追加ピンを使用せずに、挿入部材プレート部３３ｂは、サポートフレームコンポーネント２３ａの舌部４９ｅを受け取り、図２のｚ方向で挿入部材プレート部３３ｂをサポートフレームコンポーネント２３ａに更に固定するための保有タブ６９を有する。挿入部材コンポーネント２３ｂは、サポートフレームコンポーネント２３ａと係合して、運動学的係合位置からの挿入部材コンポーネント２３ｂの偶発的な変位を防ぐためのスプリング６１ｂ（図２、３）を有する。図５で最もよく分かるように、スプリング６１ｂは、挿入部材２３ａの開口部７０に受け取られ、保有位置の挿入部材コンポーネント２３ｂを付勢するようにスプリング６１ｂを位置決めする端を有する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
[00027]図示された実施形態において、サポートフレームコンポーネント２１ａ、２３ａおよび挿入部材コンポーネント２１ｂ、２３ｂは各々、一体型の単一部材コンポーネントとして製作される。従って、例えば、挿入部材コンポーネント２３ｂの運動学的整列ピン２９ｃ、２９ｄと挿入部材プレート部３３ｂと抽出電極本体部３ｂは、単一部材に一体的に製作される。各コンポーネントは金型の鋳造チャンバとして製作されて、最終寸法に加工されてもよく、または別々のパーツとして製作されて、所望のコンポーネントに溶接、ロウ付けまたは他の方法で組み合わされてもよい。各コンポーネントはまた共に締結された別々のパーツから製作されてもよいことが認識される。しかしながら、各コンポーネントの一体型の単一構築は、適切な場所に運動学的表面を配置することを容易にすることがあると思われる。