【事件の表示】
　平成　８年特許願第　２７０５６号「プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　８月２６日出願公開、特開平　９−２２３６８５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年２月１４日の出願であって、平成１６年１１月２５日付で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１７年１月４日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１月２８日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１７年１月２８日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１７年１月２８日付の手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「処理チャンバ内に配設された被処理基板に対し、所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、前記被処理基板主面の中心軸の垂直延長線上に設けた排気孔および該排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備するとともに、前記被処理基板周縁部に排気開口および該排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備し、前記排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度と、前記排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度とを個別に制御し、前記排気孔からの排気量と、前記排気開口からの排気量とを、個別に制御することを特徴とするプラズマ処理装置。」
と補正された。
　上記補正において、補正前の請求項１の「被処理基板主面」の後に「の中心軸」を付加して「被処理基板主面の中心軸の垂直延長線上」に限定する補正は、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６１−１７４３８８号公報（以下、「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
（ａ）「チヤンバ内に一対の上部電極と下部電極とを対向配置させ、・・・とするエツチング装置。」（特許請求の範囲）
（ｂ）「ウエーハ４は下部電極３上に搬送され、・・・プラズマ化したガスによりエツチングされる。前記上部電極２にはガス排気口２ａ及びガス導入口２ｂがそれぞれ多数設けられ、前記下部電極３にはガス排気口３ａが多数設けられている。そこで、チヤンバ１内は前記ガス排気口２ａ、３ａにより、前記ガス排気口２ａ、３ａがそれぞれコンダクタンス可変バルブ５、６により排気量が制御されて排気される。」（第２頁左上欄第８〜１９行）
（ｃ）「第２図は前記上部電極２に設けたガス排気口２ａ及びガス導入口２ｂの配置を示す。ここで、ガス排気口２ａは黒丸、ガス導入口２ｂは白丸で示した。・・・同図（ｂ）は同心円状にガス排気口２ａとガス導入口２ｂを交互に配置してなる。」（第２頁右上欄第３〜９行）
（ｄ）エツチング装置の一実施例を示す断面図である第１図には、上部電極２に設けられたガス排気口２ａはそれぞれ対応するコンダクタンス可変バルブ５を介して排気されていること、及び、ガス排気口３ａが下部電極３のウエーハ４の外周部に設けられていることが示されている。第２図（ｂ）には、上部電極のガス排気口２ａとガス導入口２ｂの配置図の一実施例として、上部電極２に同心円状に交互に配置されたガス排気口２ａとガス導入口２ｂのうち同心円の中央にはガス排気口２ａが設けられていることが示されている（第１図、第２図（ｂ）参照）。
　
（３）対比・判断
　上記摘記事項（ａ）〜（ｄ）を参酌すると、引用例には、以下の発明が記載されていることになる。
「チヤンバ内の下部電極３上に搬送されたウエーハ４に対し、プラズマ化したガスによりエツチングするエツチング装置であって、上部電極２に同心円状に交互に配置されたガス排気口２ａとガス導入口２ｂのうち同心円の中央に設けたガス排気口２ａおよびガス排気口２ａに対応するコンダクタンス可変バルブ５を具備するとともに、ウエーハ４の外周部にガス排気口３ａおよびコンダクタンス可変バルブ６を具備し、ガス排気口２ａ、３ａがそれぞれコンダクタンス可変バルブ５、６により排気量が制御されるエツチング装置」（以下、「引用例記載の発明」という。）
　そこで、本願補正発明と引用例記載の発明とを比較すると、引用例記載の発明の「チヤンバ内の下部電極３上に搬送」は、本願補正発明の「処理チャンバ内に配設」に相当し、以下同様に、「ウエーハ４」は「被処理基板」に、「プラズマ化したガスによりエツチング」は「所定のプラズマ処理」に、「エツチング装置」は「プラズマ処理装置」に、「ガス排気口２ａ」は「排気孔」に、「ガス排気口２ａに対応するコンダクタンス可変バルブ５」は「排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブ」に、「ウエーハ４の外周部」は「被処理基板周縁部」に、「ガス排気口３ａ」は「排気開口」に、「コンダクタンス可変バルブ６」は「排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブ」に、それぞれ相当する。
　また、それぞれコンダクタンス可変バルブ５、６により排気量が制御されることは、コンダクタンス可変バルブ５とコンダクタンス可変バルブ６が個別に制御されることであり、第２図（ｂ）の同心円の中央に設けたガス排気口２ａに対応するコンダクタンス可変バルブ５は、コンダクタンス可変バルブ６と個別に制御されるコンダクタンス可変バルブ５の１つであるから、「ガス排気口２ａ、３ａがそれぞれコンダクタンス可変バルブ５、６により排気量が制御」は「排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度と、排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度とを個別に制御し、排気孔からの排気量と、排気開口からの排気量とを、個別に制御」に相当するから、両者は、
「処理チャンバ内に配設された被処理基板に対し、所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、排気孔および該排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備するとともに、前記被処理基板周縁部に排気開口および該排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備し、前記排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度と、前記排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度とを個別に制御し、前記排気孔からの排気量と、前記排気開口からの排気量とを、個別に制御するプラズマ処理装置。」
の点で一致し、以下の点で一応相違している。
　「排気孔」について、本願補正発明では、「被処理基板主面の中心軸の垂直延長線上に設け」ているのに対して、引用例記載の発明では、この点について明記されていない点。
　上記相違点について検討すると、上部電極に孔を同心円状に配置した場合に、同心円の中央と、上部電極に対向して配設された被処理基板主面の中心軸とを被処理基板主面の垂直延長線上で一致させることは通常のことであるから、引用例記載の発明の「同心円の中央に設けたガス排気口」は被処理基板主面の中心軸の垂直延長線上に設けているといえる。
　したがって、本願補正発明は、引用例に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１７年１月２８日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜６に係る発明は、平成１６年１１月４日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「処理チャンバ内に配設された被処理基板に対し、所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、前記被処理基板主面の垂直延長線上に設けた排気孔および該排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備するとともに、前記被処理基板周縁部に排気開口および該排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブを具備し、前記排気孔の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度と、前記排気開口の排気量を制御するコンダクタンスバルブの開度とを個別に制御し、前記排気孔からの排気量と、前記排気開口からの排気量とを、個別に制御することを特徴とするプラズマ処理装置。」
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、および、その記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「被処理基板主面の垂直延長線上」の限定事項である被処理基板主面「の中心軸」との構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）」に記載したとおり、引用例に記載された発明であるから、本願発明も、同様の理由により、引用例に記載された発明である。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものであり、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。