【事件の表示】
　特願２０１６−５３０００５「光学式慣性センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　６月１８日国際公開、ＷＯ２０１５／０８８７３８、平成２９年　２月　２日国内公表、特表２０１７−５０４００４、請求項の数（２３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１４年（平成２６年）１１月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１３年１２月１３日（以下「優先日」という。）、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２９年　３月１０日付け：拒絶理由通知書（以下「拒絶理由１」とい
　　　　　　　　　　　　　　う。発送日：同年同月１４日）
平成２９年　６月１４日　　：意見書、手続補正書の提出
平成２９年１０月１２日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。送達日：
　　　　　　　　　　　　　　同年同月１７日）
平成３０年　２月１９日　　：審判請求書、手続補正書の提出
平成３０年１１月１３日付け：拒絶理由通知書（以下「当審拒絶理由」とい
　　　　　　　　　　　　　　う。発送日：同年同月２０日）
平成３１年　２月１９日　　：意見書、手続補正書の提出
第２　原査定の概要
　原査定の概要は次のとおりである。
４．（進歩性）本願の下記の請求項に係る発明は、本願の優先日前に日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、本願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
・請求項　２２，２３
・引用文献等　１，５
＜審査を行っていない請求項＞
　平成２９年　６月１４日付け手続補正書による補正後の請求項（　１−２１　）に係る発明は、「レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は試験質量に取り付けられている」構成について、先の拒絶理由通知の際に審査対象としていないため、当該請求項に係る発明については審査を行っていない。
　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
１.特開平０６−０５０９８４号公報
２.米国特許第６８０７３３１号明細書
３.特表２００５−５２４０７７号公報（周知技術を示す文献）
４.特表２０１２−５２８３３５号公報
５.特表２００８−５３４９７９号公報（周知技術を示す文献）
第３　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は次のとおりである。
１．（明確性）本願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
・請求項　１〜２３
ア　請求項１、２２には「微少電気機械システム（ＭＥＭＳ）」と記載されているが、何が「微少」なのか、明確でない。
イ　請求項１の記載では、「フレーム」と「試験質量」との関係が明確でない。
　請求項２０、２２の記載においても同様である。
ウ　請求項１の「前記第１または第２の導波路は前記ＭＥＭＳ装置の、フレームに対する試験質量の慣性変化に応じて可動である」という記載は、発明の詳細な説明に照らして明確でない。
　請求項２０の「前記第１または第２の導波路は前記装置の、フレームに対する試験質量の慣性変化に応じて可動である」、請求項２２の「前記第１または第２の導波路は前記計算デバイスの、フレームに対する試験質量の慣性変化に応じて可動である」という記載においても同様である。
エ　請求項３の「前記第２の導波路は、対応する複数の端面の一つであり、対応する複数の導波路は前記第１の導波路の端面との光学的結合を介して、前記光ビームの一部を受け取るように構成されている」という記載は、以下の点で明確でない。
（ア）「前記第２の導波路は、対応する複数の端面の一つであり」とあるが、「導波路」と「端面」とは、「・・・導波路は・・・端面・・・であり」という関係にはない。
（イ）「対応する複数の導波路」の「導波路」は、「第１の導波路」なのか「第２の導波路」なのかが明確でない。
（ウ）「対応する複数の導波路は前記第１の導波路の端面との光学的結合を介して、前記光ビームの一部を受け取る」とあるが、「・・・導波路」は、「光学的結合」をするにあたって、「・・・導波路の端面」と対応する関係にはない。
オ　上記エの（イ）の点は、請求項４、５、６、７、８、９の記載においても同様である。
カ　請求項４は「ＭＥＭＳ装置」の発明（物の発明）でありながら、「・・・するステップはさらに、・・・するステップをさらに含む、」と、方法の発明のような記載になっており、請求項４の上記記載により、「ＭＥＭＳ装置」の構成がどのように特定されるのか、明確でない。
キ　請求項１０には「・・・第１の試験質量をさらに有し、」と記載されているが、間接的に引用する請求項１の「試験質量」と、「第１の試験質量」との関係が明確でない。
ク　上記キのように「試験質量」と「第１の試験質量」との関係が明確でないため、請求項１０の「第１の試験質量」という記載以降の、請求項１０、１１、１２の「前記試験質量」という記載は、「第１の試験質量」を指すのか、あるいは、これとは別の「試験質量」を指すのか、明確でない。
ケ　請求項１４の「前記光ビーム」という記載が、「第１の導波路」が出力する「光ビーム」を指すのか、「第３の導波路」が出力する「第２の光ビーム」を指すのか、明確でない。
コ　請求項１０に従属する請求項１５では、「前記第２の試験質量の動きにより、前記第１の導波路と第２の導波路の端面同士のアライメントが変化」し、かつ、「前記（第１の）試験質量の動きにより、前記第１の導波路と第２の導波路の端面同士のアライメントが変化する」ことになり、両者の関係が明確でない。
サ　請求項１６の「前記試験質量」という記載は、「第１の試験質量」を指すのか、「第２の試験質量」を指すのか、明確でない。
シ　請求項１８には「前記第１の試験質量は前記第２の試験質量上に配置されている」と記載されているが、請求項１８が引用する請求項１７では「前記フレームの外部回転により前記第２の試験質量が動く」とされており、両者の関係が明確でない。
ス　請求項２０には「光源発生ユニット」と記載されているが、「光源」と「発生」の関係が明確でない。
セ　請求項２０の「前記第１の導波路は第２の導波路の端面に光学的に結合され、前記第２の導波路に前記光ビームの少なくとも一部を伝送させる導波路を有し」という記載は、以下の点で明確でない。
（ア）「第２の導波路の端面に光学的に結合され」るのは何なのか、明確でない。
（イ）単に「光学的に結合され」ると特定するだけでは、「前記第１の導波路は第２の導波路の端面に光学的に結合され、前記第２の導波路に前記光ビームの少なくとも一部を伝送させる導波路を有」することが、「前記第１または第２の導波路は前記装置の・・・慣性変化に応じて可動である・・・前記装置の検出モジュールが、前記装置の慣性変化に応じて、前記第２の導波路により伝送される前記光ビームの一部の光強度の変化を検出する・・・前記変化は前記第２または第１の導波路に対する前記第１または第２の導波路の動きにより生じ、前記変化は前記装置の慣性変化の尺度を示す」ということに、技術的にどのように関係するのか、明確でない。
ソ　請求項２２の「前記光ビームの位置の光強度の変化」という記載の意味が明確でない。
　よって、請求項１〜２３に係る発明は明確でない。
第４　本願発明
　本願の請求項１−２３に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明２３」という。）は、平成３１年２月１９日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）で補正された特許請求の範囲の請求項１−２３に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１、２０、２２は以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置であって、
　光ビームを発生するように構成されたレーザ装置と、
　前記光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路と、
　前記第１の導波路と端面同士が実質的にアライメントされた第２の導波路であって、前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された第２の導波路と、
　前記光ビームの一部の光強度の変化を検出するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器とを有し、
　前記第１または第２の導波路は前記ＭＥＭＳ装置の慣性変化に応じて可動であるように構成され、
　前記検出器は、前記第１または第２の導波路の動きにより、前記慣性変化の尺度を示す、前記光ビームの一部の光強度に対応する変化を決定し、
　試験質量がフレームに対して少なくとも一方向で可動であり、
　前記レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている、
ＭＥＭＳ装置。」
「【請求項２０】
　装置における慣性変化を検出する方法であって、
　装置の光ビームを発生する光源が、第１の導波路に光ビームを供給するステップであって、前記第１の導波路と第２の導波路とは端面同士が実質的にアライメントされ、前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記第２の導波路に前記光ビームの少なくとも一部を伝送させ、前記第１または第２の導波路は前記装置の慣性変化に応じて可動であるステップと、
　前記装置の検出モジュールが、前記装置の慣性変化に応じて、前記第２の導波路により伝送される前記光ビームの一部の光強度の変化を検出するステップであって、前記変化は前記第２または第１の導波路に対する前記第１または第２の導波路の動きにより生じ、前記変化は前記装置の慣性変化の尺度を示す、ステップとを含み、
　試験質量がフレームに対して少なくとも一方向で可動であり、
　前記光ビームを発生する光源または前記検出モジュールのうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている、
方法。」
「【請求項２２】
　計算デバイスであって、
　プロセッサと、
　前記プロセッサに結合した微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置とを有し、
　前記ＭＥＭＳ装置は、
　光ビームを発生するように構成されたレーザ装置と、
　前記光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路と、
　前記第１の導波路と端面同士が実質的にアライメントされた第２の導波路であって、前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された第２の導波路と、
　前記光ビームの一部の光強度の変化を検出し、前記プロセッサに光強度の尺度を示す信号を出力するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器とを有し、
　前記第１または第２の導波路は前記計算デバイスの慣性変化に応じて可動であるように構成され、
　前記検出器は、前記第１のまたは第２の導波路の動きにより、前記光ビームの一部の光強度の変化を決定し、
　前記プロセッサは、前記信号に基づき前記計算デバイスの慣性変化を決定するように構成され、
　試験質量がフレームに対して少なくとも一方向で可動であり、
　前記レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている、
計算デバイス。」
　なお、本願発明２−１９は、本願発明１を減縮した発明であり、
　本願発明２１は、本願発明２０を減縮した発明であり、
　本願発明２３は、本願発明２２を減縮した発明である。
第５　引用文献、引用発明等
１．引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由において引用された特開平０６−０５０９８４号公報（引用文献１）には、図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審による。以下同様。）
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、本請求項１の上位概念に記載されている通りの加速度センサに関するものである。このような特徴を有する加速度センサは、例えば、米国特許第３，７８９，６７４号から公知である。特に、本発明は、例えば、
シリコン−マイクロ機器として仕上げられており、しかも然るべく運動する測定すべき加速度に反応することが出来るように、１本又は複数本のウエブにより支持されているプレート状の地震性質量で構成される加速度センサ
「【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の解決策として、実現可能な
加速度センサ
は、
プレート状の地震性質量、光源から光を供給される、
光波導管トラックのフォームの最初の光波導管並びに、
波導管トラックの形状のその他の少なくとも１本の波導管を包括しており、
最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線を受け取り、更に、
１又は複数本のフォトデテクタへ引き渡す働きをする
最初の光波導管の場合、
レーザーダイオードのような光を供給可能である
「【００１３】割り当てられた受信信号のある、なしに基づいて地震性質量の回折について逆推論することは、並置されている発信−又は光受信波導管もしくは、発信−又は受信オプティカルファイバーを利用することにより可能となる。本発明に記載されている通りの光学的な解決策によると、そのほかにさまざまな方向からの加速度を測定するための簡単な配置を提供可能である。（シリコン−フレームによって固定されている面と平行な）１レベルにおいて、２方向への加速度の受取りを可能とする、例えば、それぞれ個々に狭く、しかも、深さの深い２個の地震性質量を使って作業する方法以外に、請求項６に従う下記解決策は複数の方向から掛けられる加速度のためのコンパクトなセンサを提供するために優先的に取り扱われる。」
「【００２１】
別のオプティカルファイバー６は、（
光源から）オプティカルファイバー４によって案内される光線の束のための受取りファイバーとして使われ
この受取り用のオプティカルファイバー４に
光検波装置
が接続されており、
加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異をオプティカルファイバー４で把握する
ファイバーの両端が十分密に配列されていると、約１．５倍の振動振幅までの光の伝達は十分線形である
ファイバーの加速度に関して条件をつけられた移動は、簡単にぴったりと向かい合うことの出来るファイバー間で伝達される光を変化させることにより突き止められ
「【００２３】・・・（前略）・・・最初の実施例の場合と同様に、
運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度を変更することにより地震性質量の回折を
確認することが出来
「【００２５】その他の実施例は図４中に示されており、そこでは、更に小型化することが出来、
オプティカルファイバーを完全に省略している
場合、地震性質量２は、フレーム１と結ばれている１本だけのウエブ３に支持され
最初の光波導管７中へ
光源から光が供給され、又、第２の光波導管８により受け取られた光は、引き続いて、
光電気の検波ユニットへ引き渡され
【００２６】図１ないし図３とは異なり、センサがウエファーにより固定されているレベルを通る方向への加速度を実現しなければならないとすると、このために使われるのは、
幅が非常に狭く、
深さ
に大きな厚みを有する
１本のウエブを使用する
２方向において加速度を測定することが出来る
【図４】
　【００２５】の記載及び図４より、
光源はフレーム１の外側に配置され、検波ユニットはフレーム１の外側に配置され
（２）したがって、上記引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「シリコン−マイクロ機器として仕上げられており、しかも然るべく運動する測定すべき加速度に反応することが出来るように、１本又は複数本のウエブにより支持されているプレート状の地震性質量で構成される加速度センサ（【０００１】より。以下同様。）において、
　加速度センサは、プレート状の地震性質量、光源から光を供給される、光波導管トラックのフォームの最初の光波導管並びに、最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線を受け取り、更に、１又は複数本のフォトデテクタへ引き渡す働きをする、波導管トラックの形状のその他の少なくとも１本の波導管を包括しており、
　最初の光波導管の場合、レーザーダイオードのような光を供給可能であり（【０００８】）、
　別のオプティカルファイバー６は、（光源から）オプティカルファイバー４によって案内される光線の束のための受取りファイバーとして使われ、この受取り用のオプティカルファイバー４に光検波装置が接続されており、加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異をオプティカルファイバー４で把握し、ファイバーの両端が十分密に配列されていると、約１．５倍の振動振幅までの光の伝達は十分線形であり、ファイバーの加速度に関して条件をつけられた移動は、簡単にぴったりと向かい合うことの出来るファイバー間で伝達される光を変化させることにより突き止められ（【００２１】）、
　運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度を変更することにより地震性質量の回折を確認することが出来（【００２３】）、
　オプティカルファイバーを完全に省略している場合、最初の光波導管７中へ光源から光が供給され、又、第２の光波導管８により受け取られた光は、引き続いて、光電気の検波ユニットへ引き渡され（【００２５】）、
　光源はフレーム１の外側に配置され、検波ユニットはフレーム１の外側に配置され（【００２５】、図４）、
　地震性質量２は、フレーム１と結ばれている１本だけのウエブ３に支持され（【００２５】）、
　幅が非常に狭く、深さに大きな厚みを有する１本のウエブを使用し、２方向において加速度を測定することが出来る（【００２６】）、
　加速度センサ（【０００１】）。」
２．引用文献２について
（１）拒絶理由１において引用された米国特許第６８０７３３１号明細書（引用文献２）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「FIG. 1 is a schematic representation of an optical switch that has a thermal compensation flexure which compensates for thermal distortion. In FIG. 1, 
the optical switch
switching the incoming light (A) to any of the output channels B, C, D by moving the position of the suspended structure 10 relative to fixed structures 14, 15
the suspended structure 10 is positioned such that an incoming optical signal from input port (A) passes through waveguide 16 on fixed structure 14 to the middle waveguide 20 on suspended structure 10, and then to the middle waveguide 17 on fixed structure 15 to output port (C)
if the suspended structure 10 were moved
downward
relative to fixed structures 14, 15, the incoming optical signal from input port (A) would pass through waveguide 16 on fixed structure 14 to the upper waveguide 20 on suspended structure 10, and then to the upper waveguide 17 on fixed structure 15 to output port (B)
if the suspended structure 10 were moved upward relative to fixed structures 14, 15, the incoming optical signal from input port (A) would pass through waveguide 16 on fixed structure 14 to the lower waveguide 20 on suspended structure 10, and then to the lower waveguide 17 on fixed structure 15 to output port (D)
光スイッチ
固定構造体１４、１５に対して懸架構造１０の位置を移動させることにより、入射光(Ａ)を出力チャンネルＢ、Ｃ、Ｄのいずれかに切り換える
懸架構造１０は、入力ポート(Ａ)からの入射光信号が固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の中間導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｃ)につながる中間導波路１７へ通過するように配置される
懸垂構造１０が固定構造体１４、１５に対して
下向きに
移動されたならば、入力ポート(Ａ)からの入射光信号は固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の上側導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｂ)につながる上側導波路１７へ通過する
懸垂構造１０が固定構造体１４、１５に対して上向きに移動される場合、入力ポート(Ａ)からの入射光信号は固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の下側導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｄ)につながる下側導波路１７へ通過する
（２）したがって、上記引用文献２には次の技術（以下「引用文献２に記載された技術」という。）が記載されていると認められる。
「固定構造体１４、１５に対して懸架構造１０の位置を移動させることにより、入射光(Ａ)を出力チャンネルＢ、Ｃ、Ｄのいずれかに切り換える光スイッチであって、
　懸架構造１０は、入力ポート(Ａ)からの入射光信号が固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の中間導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｃ)につながる中間導波路１７へ通過するように配置されるが、
　懸垂構造１０が固定構造体１４、１５に対して下向きに移動されたならば、入力ポート(Ａ)からの入射光信号は固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の上側導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｂ)につながる上側導波路１７へ通過し、
　懸垂構造１０が固定構造体１４、１５に対して上向きに移動される場合、入力ポート(Ａ)からの入射光信号は固定構造体１４の導波路１６を通って懸架構造１０の下側導波路２０へ、そして固定構造体１５の出力ポート(Ｄ)につながる下側導波路１７へ通過する、光スイッチ。」
３．引用文献３について
　拒絶理由１において周知技術を示す文献として引用された特表２００５−５２４０７７号公報（引用文献３）には、【０００２】−【０００３】の記載より、概略、ＭＥＭＳデバイスをセンサ及びアクチュエータとして使用し、回転の角速度を測定するために振動しているエレメントの動作を使用して、ジャイロスコープにおいて使用する技術が記載されていると認められる。
４．引用文献４について
（１）拒絶理由１において引用された特表２０１２−５２８３３５号公報（引用文献４）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００１８】
  幾つかの態様では、駆動コム40A〜Bおよび検出コム50A〜Bが互いと同じ寸法を有し、ジャイロスコープ10が三回対称ジャイロスコープ（3FSG）であってもよい。すなわち、ジャイロスコープ10は、X軸と平行な中心線についての、Y軸と平行な中心線についての、およびジャイロスコープ10の対角線についての、3つの幾何学的対称性を有する。そのような対称性は、前記ジャイロスコープ10の駆動モードおよび検出モードの適合に役立つ。駆動コム40A〜Bは、バネ-質量-ダンパシステムの（例えばX方向での）作動のために使用される。
回転速度が（例えばZ方向に）加えられると、外積方向（例えばY方向）のコリオリの力を検出する
「【００２０】
  図1Bは、本発明の
MEMSジャイロスコープ10'
ジャイロスコープ10'を
基板に対して固定する
ために4つのアンカー30A'〜30D'が使用され
外側プルーフマス
20A'を支持するために外側サスペンション60A'が面外に
延び
内側サスペンション60B'が前記外側プルーフマス20A'から面外に延び
内側サスペンション60B'の上端に載置され
内側プルーフマス20B'
外側プルーフマス20A'が駆動モード（X軸）で振動し得、一方、内側プルーフマス20B'が検出モード（Y軸）で振動し得
（２）したがって、上記引用文献４には次の技術（以下「引用文献４に記載された技術」という。）が記載されていると認められる。
「ジャイロスコープ10'を基板に対して固定するために4つのアンカー30A'〜30D'が使用され、外側プルーフマス20A'を支持するために外側サスペンション60A'が面外に延び、内側サスペンション60B'が前記外側プルーフマス20A'から面外に延び、内側プルーフマス20B'が内側サスペンション60B'の上端に載置され、外側プルーフマス20A'が駆動モード（X軸）で振動し得、一方、内側プルーフマス20B'が検出モード（Y軸）で振動し得（【００２０】）、
　回転速度が（例えばZ方向に）加えられると、外積方向（例えばY方向）のコリオリの力を検出する（【００１８】）、
　MEMSジャイロスコープ10'（【００２０】）。」
５．引用文献５について
　原査定の拒絶の理由において周知技術を示す文献として引用された特表２００８−５３４９７９号公報（引用文献５）には、【０００１】−【０００３】の記載より、概略、加速度センサーを有する小型携帯電子デバイスが記載されていると認められる。
第６　対比・判断
１．本願発明２２について
（１）対比
　本願発明２２と引用発明とを対比すると、次のことがいえる。
ア　引用発明における「シリコン−マイクロ機器として仕上げられて」いる「加速度センサ」は、本願発明２２における、「プロセッサと、前記プロセッサに結合した微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置とを有」する「計算デバイス」と、「微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置を有するデバイス」である点で共通する。
イ　引用発明における、「光源から光を供給され」、その光を「その他の少なくとも１本の波導管」へ「案内」する「最初の光波導管」は、「レーザーダイオード」から「光を供給可能であ」るから、引用発明における「レーザーダイオード」は、本願発明２２の「光ビームを発生するように構成されたレーザ装置」に相当し、引用発明における、「レーザーダイオード」から「光を供給され」、その光を「その他の少なくとも１本の波導管」へ「案内」する「最初の光波導管」は、本願発明２２の「前記光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路」に相当する。
ウ　引用発明における、「最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線を受け取」る「その他の少なくとも１本の波導管」は、上記イを踏まえると、本願発明２２の「前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された第２の導波路」に相当する。
エ　引用発明は、「オプティカルファイバー」を用いる場合において、「オプティカルファイバー４」と「受取り用の」「別のオプティカルファイバー６」と「の両端が十分密に配列されていると」、「ファイバーの加速度に関して条件をつけられた移動は、簡単にぴったりと向かい合うことの出来るファイバー間で伝達される光を変化させることにより突き止められ」、「加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異を」「把握」できるものである。
　そして、このことは、「オプティカルファイバー」を「光波導管」で置き換えて、「最初の光波導管７中へ光源から光が供給され、又、第２の光波導管８により受け取られた光は、引き続いて、光電気の検波ユニットへ引き渡される」場合においても同様のことがいえることは明らかである。
　そうすると、引用発明においては、「最初の光波導管」と、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管」と「の両端が十分密に配列されていると」、「光波導管」「の加速度に関して条件をつけられた移動は、簡単にぴったりと向かい合うことの出来る」「光波導管」「間で伝達される光を変化させることにより突き止められ」、「加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異を」「把握」できる、ということができる。
オ　上記エに記載した点について、引用発明における、「最初の光波導管」と、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管」と「の両端が十分密に配列され」、両「光波導管」が「ぴったりと向かい合う」ことは、上記イ、ウを踏まえると、本願発明２２における、「第２の導波路」が「前記第１の導波路と端面同士が実質的にアライメントされ」ていることに相当する。
　また、引用発明における、「最初の光波導管」から「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管」へ、「光」が、「ぴったりと向かい合うことの出来る」「光波導管」「間で伝達される」ことは、上記イ、ウを踏まえると、本願発明２２における、「第２の導波路」が、「前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取る」ことに相当する。
カ　引用発明では、「第２の光波導管８により受け取られた光は、引き続いて、光電気の検波ユニットへ引き渡される」から、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管８により受け取られた光」が「引き渡される」「検波ユニット」は、上記ウを踏まえると、本願発明２２における「前記第２の導波路に結合した検出器」に相当する。
キ　上記ウ、エ、カ、及び引用発明における「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度を変更することにより地震性質量の回折を確認することが出来」る点を踏まえると、引用発明では、「その他の少なくとも１本の波導管」が、「最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線を受け取」ると、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管８により受け取られた光」が「引き渡される」「検波ユニット」は、「加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異を」「把握」し、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」「により地震性質量の回折を確認する」ものであるといえる。
　ここでの、引用発明における「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」は、本願発明２２における「光強度の尺度」に相当し、引用発明における「検波ユニット」が、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」についての「光の伝達の差異」を「把握」することは、上記ウ、カを踏まえると、本願発明２２における、「検出器」が「前記光ビームの一部の光強度の変化を検出」することに相当する。
　また、引用発明は「加速度センサ」であるから、その「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」を、何らかの信号として外部に出力していることは明らかである。
ク　上記カ、キをまとめると、引用発明における、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管８により受け取られた光」が「引き渡され」、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」についての「光の伝達の差異」を「把握」し、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」を外部に出力する「検波ユニット」は、本願発明２２における、「前記光ビームの一部の光強度の変化を検出し、前記プロセッサに光強度の尺度を示す信号を出力するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器」と、「前記光ビームの一部の光強度の変化を検出し、光強度の尺度を示す信号を出力するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器」である点で共通する。
ケ　引用発明は、「加速度センサ」が「運動する測定すべき加速度に反応する」「地震性質量で構成され」、「最初の光波導管を通って案内され」た「光線」が、「地震性質量の運動と関係して回折され」るものであるから、「最初の光波導管」は、「加速度センサ」の「加速度に反応する」「地震性質量」とともに「運動」するものであるといえる。
　このことは、上記ア、イを踏まえると、本願発明２２における「前記第１または第２の導波路は前記計算デバイスの慣性変化に応じて可動であるように構成され」ることと、「前記第１または第２の導波路は前記デバイスの慣性変化に応じて可動であるように構成され」る点で共通する。
コ　上記キに記載したように、引用発明では、「その他の少なくとも１本の波導管」が、「最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線を受け取」ると、「その他の少なくとも１本の波導管」である「第２の光波導管８により受け取られた光」が「引き渡される」「検波ユニット」は、「加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異を」「把握」し、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」「により地震性質量の回折を確認する」ものである。
　また、上記ケに記載したように、引用発明における「最初の光波導管」は、「加速度センサ」の「加速度に反応する」「地震性質量」とともに「運動」するものである。
　そうすると、引用発明における、「加速度センサ」の「加速度に反応する」「地震性質量」とともに「運動」する「最初の光波導管を通って案内され、そのうえ、地震性質量の運動と関係して回折された光線」が「引き渡される」「検波ユニット」が、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」についての「光の伝達の差異」を「把握」することは、上記イ、カ、キを踏まえると、本願発明２２における、「前記検出器は、前記第１のまたは第２の導波路の動きにより、前記光ビームの一部の光強度の変化を決定」することに相当する。
サ　引用発明における「地震性質量２」、「フレーム１」は、それぞれ、本願発明２２の「試験質量」、「フレーム」に相当する。
　また、引用発明では、「地震性質量２は、フレーム１と結ばれている１本だけのウエブ３に支持され」、「２方向において加速度を測定することが出来る」から、「地震性質量２」が「フレーム１」に対して「２方向において加速度」を受ける、すなわち「２方向において」可動であることは明らかである。
　そうすると、引用発明における、「地震性質量２」が「フレーム１」に対して「２方向において」可動であることは、本願発明２２における「試験質量がフレームに対して少なくとも一方向で可動であ」ることに相当する。
　したがって、本願発明２２と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
（一致点）
「デバイスであって、
　微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置を有し、
　前記ＭＥＭＳ装置は、
　光ビームを発生するように構成されたレーザ装置と、
　前記光ビームを受け取り出力するように構成された第１の導波路と、
　前記第１の導波路と端面同士が実質的にアライメントされた第２の導波路であって、前記実質的にアライメントされた端面を通した光学的結合により前記第１の導波路から前記光ビームの少なくとも一部を受け取るように構成された第２の導波路と、
　前記光ビームの一部の光強度の変化を検出し、光強度の尺度を示す信号を出力するように構成された、前記第２の導波路に結合した検出器とを有し、
　前記第１または第２の導波路は前記デバイスの慣性変化に応じて可動であるように構成され、
　前記検出器は、前記第１のまたは第２の導波路の動きにより、前記光ビームの一部の光強度の変化を決定し、
　試験質量がフレームに対して少なくとも一方向で可動である、
デバイス。」
（相違点）
（相違点１）
　本願発明２２では、「計算デバイス」が「プロセッサ」を有し、
　検出器が光強度の尺度を示す信号を「前記プロセッサに」出力し、
　「前記プロセッサは、前記信号に基づき前記計算デバイスの慣性変化を決定するように構成され」ているのに対して、
　引用発明では、「加速度センサ」が、「加速度を制限された、地震性質量２が回折する場合、光の伝達の差異を」「把握」し、「運動振幅と依存関係にある線形の変更を示す検波された光線の強度」「により地震性質量の回折を確認する」ものの、「加速度を測定する」ことを、具体的にどのような構成において計算するのか、明記されていない点。
（相違点２）
　本願発明２２では、「前記レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている」のに対して、
　引用発明では、「光源はフレーム１の外側に配置され、検波ユニットはフレーム１の外側に配置され」ている点。
（２）相違点についての判断
　事案に鑑み、相違点２について先に検討する。
ア　引用発明は「光源はフレーム１の外側に配置され、検波ユニットはフレーム１の外側に配置され」るものであって、光源または検波ユニットを地震性質量に取り付ける動機づけを見出すことはできない。
イ　引用文献２に記載された技術は、懸垂構造１０の固定構造体１４、１５に対する移動に応答して、入力ポート(Ａ)からの入射光信号の通過経路を、懸架構造１０の上側、中間、下側導波路２０、固定構造体１５の上側、中間、下側導波路１７、出力ポートＢ、Ｃ、Ｄ間で切り換える光スイッチに関するものであるが、ＦＩＧ．１からも明らかなように、入射光を出射する光源は、固定構造体１４のさらに上流に配置され、出力ポートＢ、Ｃ、Ｄから出力される光を検出する検波ユニットは、固定構造体１５のさらに下流に配置されている。
　よって、引用文献２に記載された技術からは、光源、検波ユニットを懸架構造１０に取り付ける構成を採用する動機づけを見出すことはできない。
　したがって、引用文献２に記載された技術は、引用発明において、光源または検波ユニットを地震性質量に取り付けることを動機づけるものではない。
ウ　引用文献４に記載された技術は、MEMSジャイロスコープに関するものであるが、振動の検出に、光導波路の端面間の光学的結合を用いるものではなく、相違点２に係る本願発明２２の構成を動機づけるものではない。
エ　相違点２に係る本願発明２２の構成は、引用文献３、５にも記載されておらず、また、本願の優先日前において周知技術であるともいえない。
（３）したがって、相違点１について判断するまでもなく、本願発明２２は、当業者であっても引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２．本願発明２３について
　本願発明２３は、本願発明２２を減縮した発明であり、相違点２に係る本願発明２２の構成と同一の構成を備えるものである。
　したがって、本願発明２２と同じ理由により、本願発明２３は、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
３．本願発明１について
　本願発明１は、本願発明２２に対応するＭＥＭＳ装置の発明であり、本願発明２２の上記相違点２に係る構成と同じ「前記レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている」という構成を備えるものである。
　したがって、本願発明２２と同じ理由により、本願発明１は、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
４．本願発明２−１９について
　本願発明２−１９は、本願発明１を減縮した発明であり、本願発明１の「前記レーザ装置または検出器のうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
５．本願発明２０について
　本願発明２０は、本願発明２２に対応する方法の発明であり、本願発明２２の上記相違点２に係る構成に対応する、「前記光ビームを発生する光源または前記検出モジュールのうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている」という構成を備えるものである。
　したがって、本願発明２２と同様の理由により、本願発明２０は、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
６．本願発明２１について
　本願発明２１は、本願発明２０を減縮した発明であり、本願発明２０の「前記光ビームを発生する光源または前記検出モジュールのうちいずれか一方は前記試験質量に取り付けられている」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明２０と同じ理由により、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第７　原査定についての判断
　以上のとおりであって、本願発明１−２３は、当業者であっても、引用文献１−５に基づいて容易に発明できたものとはいえない。したがって、原査定の理由を維持することはできない。
第８　当審拒絶理由についての判断
　本件補正により、特許請求の範囲が補正され、特許法第３６条第６項第２号に係る当審拒絶理由は解消した。
第９　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。