【事件の表示】
　平成　８年特許願第３０２８０７号「パターン検査方法及びパターン検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　５月２９日出願公開、特開平１０−１４１９３０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
  本願は、平成８年１１月１４日の出願であって、平成１５年１２月１８日付け（発送日；同月２４日）で拒絶査定がなされ、これに対して、平成１６年１月２３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年２月２３日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年２月２３日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１６年２月２３日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正の内容
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲、
「【請求項１】　被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから作成した第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第２のマスタパターンを作成すると共に、前記第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第３のマスタパターンを作成し、
　被測定パターンと第２のマスタパターンの論理積をとると共に被測定パターンと第３のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出し、
　この欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第１のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査することを特徴とするパターン検査方法。
【請求項２】　被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから作成した第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第２のマスタパターンを作成すると共に、前記第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第３のマスタパターンを作成するマスタパターン作成手段と、
　被測定パターンと第２のマスタパターンの論理積をとると共に被測定パターンと第３のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥を検出して、この欠陥の位置を示すアドレス情報を出力する第１の画像処理手段と、
　このアドレス情報により欠陥を含む所定の領域について、被測定パターンと第１のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査する第２の画像処理手段とを有することを特徴とするパターン検査装置。」
　を、
「【請求項１】　被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから作成した第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第２のマスタパターンを作成すると共に、前記第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第３のマスタパターンを作成し、
　
前記
前記
前記
前記
前記
の候補
　この欠陥
の候補を含む所定の大きさの
前記
前記
前記
【請求項２】　被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから作成した第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第２のマスタパターンを作成すると共に、前記第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第３のマスタパターンを作成するマスタパターン作成手段と、
　
前記
前記
前記
前記
の候補
の候補
　このアドレス情報により
前記欠陥の候補を含む所定の大きさの
前記
前記
前記
　と補正する内容を含むものである。
　なお、アンダーラインは、補正個所を示すために付したものである。
　
（２）補正の目的の適合性
　上記補正の目的の適合性について検討する。
　補正後の請求項１は、補正前の請求項１に記載された発明について、発明を特定するために必要な事項である「被測定パターンの欠陥の検出」に関して「被測定パターンの欠陥の候補を検出」との限定を付加したものであり、また、補正後の請求項２についても、同様の限定を付加したものである。
　したがって、上記手続補正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められ、特許法等の一部を改正する法律（平成１５年法律第４７号）附則第２条第７項の規定によりなお従前の例によるものとされた同法［第１条の規定］による改正前の特許法第１７条の２第４項第２号の規定に該当するものである。
　
（３）独立特許要件
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について、以下検討する。
　
（３−１）引用刊行物 
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に頒布された刊行物である特開昭６２−２６２１９２号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
１ａ．「１）良品サンプルの撮像画像にもとづき基準パタンを記憶手段上で作成して保存しておき、被検体を撮像して得られる被検体パタンと前記基準パタンとを記憶手段上で重ね合わせて両パタンの不一致部分を検出し、該不一致部分の大きさが指定値内であれば被検体を良品と認識してなるマーク検査方法。
２）基準パタンとして、良品判定基準の許容範囲内で、基準パタンの境界線が外方へ拡張された上限基準パタンと、内方へ縮小された下限基準パタンの２つを用いてなる前記特許請求の範囲第１項記載のマーク検査方法。」（１頁「特許請求の範囲」）
１ｂ．「本発明は電子部品やプリント基板等の表面に、捺印又は印刷された文字やマーク等の仕上がり状態の良否の判定を、自動的且つ高速に行えるマーク検査方法に関する。」（１頁右下欄１３行〜１６行）
１ｃ．「一般に良品の判定基準には幅があり、この欠陥部分のなかには実使用時において問題がなく良品範囲内の形状誤差として許容できるものもあることから、検出したそれぞれの不一致部分はその不一致部分がはたして許容範囲を超えるものであるか否かを判定される必要がある。この判定は、予め最大許容誤差を登録しておき、この値を基準にしてその都度演算処理して行うことも可能であるが、この方法では不一致部分が多いと処理に時間を要することとなる。本実施例では、この事態を回避する手段として基準パタンを２つ用いる方法を新たに考え出した。これは、第５図に示す如く予め基準パタン１にもとづいて良品判定基準の許容範囲内で基準パタン１の外形線が外方へ拡張された上限基準パタン１３を作成し、更に該上限基準パタン１３を反転して反転上限基準パタン１４を形成して記憶手段に格納保存する。また他方、内方へ縮小された下限基準パタン１５も形成して前記記憶手段と別の記憶手段に格納し、２つの基準パタンを別々の記憶手段上に用意するものである。そして、この２つの基準パタンを用いて被検体パタンの欠陥部分を検出するわけであるが、例えば被検体パタンに・・・パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２、パタンにじみＰ３、パタンのガタツキＰ４，Ｐ５を有するものを用いたとすると以下の処理手順を辿ることになる。先ず被検体パタン１６を反転して反転被検体パタン１７を作り、・・・下限基準パタン１５と反転被検体パタン１７を重合して論理積をとる。これによって欠損パタン１９が作成され、パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２の検出が可能となる。・・・反転上限基準パタン１４と被検体パタンを重合して論理積をとれば、はみ出しパタン２１が作成されパタンにじみＰ３の検出が可能となる。そして実使用時及び製品取引時にほとんど問題とならないパタンのわずかなガタツキＰ４，Ｐ５は、下限基準パタン１５の外形線と反転上限基準パタン１４の内形線間に包含されることによって許容範囲内の形状誤差とみなされ、欠陥部分としては検出されないことになる。このように・・・２組の論理積をとるだけで、一定の幅をもった良品判断が簡単にできるので、・・・検査処理の高速化がはかれる。」（４頁左上欄９行〜左下欄１４行）
１ｄ．「またもう一つの方法は良品サンプルが１個しかない場合に採用されるものであり、１個の良品サンプルの２値化像に予め登録された形状変動許容値分を加減することにより反転上限基準パタン１４と下限基準パタン１５を形成するものである。そしてこのようにして作成した反転上限基準パタン１４の内形線と下限基準パタン１５の外形線との間に被検体パターン１６の外形線が完全に納まっていれば、基本的には当該被検体は良品であると判断することとしている。」（４頁右下欄９行〜１８行）
　
（３−２）対比・判断
　上記（３−１）の「１ａ．」乃至「１ｄ．」の記載から、引用刊行物には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
「良品サンプルの撮像画像にもとづき基準パタン１を作成し、基準パタン１にもとづいて、良品判定基準の許容範囲内で基準パタン１の境界線が外方へ拡張された上限基準パタン１３、上限基準パタン１３を反転した反転上限基準パタン１４、良品判定基準の許容範囲内で基準パタン１の境界線が内方へ縮小された下限基準パタン１５を作成し、下限基準パタン１５と反転被検体パタン１７との論理積をとることにより、パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２を検出し、反転上限基準パタン１４と被検体パタンとの論理積をとることにより、パタンにじみＰ３を検出し、上記論理積をとることにより、反転上限基準パタン１４の内形線と下限基準パタン１５の外形線との間に被検体パターン１６の外形線が包含されていれば、許容範囲内の形状誤差とみなして欠陥部分としては検出しないことにより、当該被検体は良品であると判断してなるマーク検査方法。」
　
　本願補正発明（前者）と上記引用発明（後者）とを対比する。
・後者の「基準パタン１」、「被検体パタン」は、前者の「第１のマスタパターン」、「被測定パターン」に相当する。
・後者の「上限基準パタン１３」は、良品判定基準の許容範囲内で基準パタン１の境界線が外方へ拡張されたものであり、被検体パタンのパタンにじみＰ３を検出するためのものであるから、前者の、第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して作成された、被測定パターンの突起又は短絡検出を行うための「第３のマスタパターン」に相当する。
・後者の「下限基準パタン１５」は、良品判定基準の許容範囲内で基準パタン１の境界線が内方へ縮小されたものであり、被検体パタンのパタン欠けＰ１、パタン切れＰ２を検出するものであるから、前者の、第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して作成された、被測定パターンの欠損又は断線検出を行うための「第２のマスタパターン」に相当する。
・後者の、「上限基準パタン１３を反転した反転上限基準パタン１４と被検体パタンとの論理積をとることにより、パタンにじみＰ３を検出し、下限基準パタン１５と反転被検体パタン１７との論理積をとることにより、パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２を検出し、上記論理積をとることにより、反転上限基準パタン１４の内形線と下限基準パタン１５の外形線との間に被検体パターン１６の外形線が包含されていれば、許容範囲内の形状誤差とみなして欠陥部分としては検出しないことにより、当該被検体は良品であると判断してなるマーク検査方法」と、前者の、「被測定パターンと第２のマスタパターンの論理積をとると共に前記被測定パターンと第３のマスタパターンの論理積をとることにより、前記被測定パターンの欠陥の候補を検出し、この欠陥の候補を含む所定の大きさの領域について、前記被測定パターンと前記第１のマスタパターンの誤差を求め、前記被測定パターンを検査することを特徴とするパターン検査方法」とは、後者の「反転」が論理演算上の「補集合の形成」を意味すること、また、前者も被測定パターンの欠陥の候補を検出する工程で、許容範囲内の形状誤差であれば、良品と判定されるものと解されることから、上記相当関係も勘案すれば、ともに、「被測定パターンと第２のマスタパターンとの論理演算を行うと共に前記被測定パターンと第３のマスタパターンの論理演算を行うことにより、前記被測定パターンの欠陥を検出し、許容範囲内の形状誤差の場合には、良品と判定することを特徴とするパターン検査方法」である点で共通する。
　
　したがって、両者は、
「基準となる第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に縮小して、欠損又は断線検出用の第２のマスタパターンを作成すると共に、前記第１のマスタパターンをその中心線と直角の方向に拡大して突起又は短絡検出用の第３のマスタパターンを作成し、
　被測定パターンと第２のマスタパターンとの論理演算を行うと共に前記被測定パターンと第３のマスタパターンの論理演算を行うことにより、前記被測定パターンの欠陥を検出し、
　許容範囲内の形状誤差の場合には、良品と判定することを特徴とするパターン検査方法。」
　の点の構成で一致し、以下の点で相違する。
［相違点１］
　前者が、被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから第１のマスタパターンを作成しているのに対し、後者は、良品サンプルの撮像画像にもとづき基準パタン１を作成している点。
［相違点２］
　前者が、被測定パターンと第２のマスタパターンの論理積をとると共に被測定パターンと第３のマスタパターンの論理積をとることにより、被測定パターンの欠陥の候補を検出しているのに対し、後者は、下限基準パタン１５と反転被検体パタン１７との論理積をとることにより、パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２を検出し、反転上限基準パタン１４と被検体パタンとの論理積をとることにより、パタンにじみＰ３を検出している点。
［相違点３］
　前者が、被測定パターンの欠陥の候補を検出し、欠陥の候補を含む所定の大きさの領域について、被測定パターンと前記第１のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査しているのに対し、後者には、この点が記載されていない点。
　
　そこで、上記各相違点について検討する。
［相違点１］について
　配線パターン等の被測定パターンを基準パターンと比較して欠陥を検出するパターンの検査方法において、基準パターンを得るのに、良品サンプルを読み取って作成したり、設計時のＣＡＤデータから作成したりすることは、ともに周知の手法であり（例えば、特開平７−２４３９８４号公報には、明細書の【０００２】段落に、【従来の技術】として、「プリント配線板の配線パターン等の外観検査を行なうための方法として、比較法（パターンマッチング法）がある。比較法は、検査対象物の画像パターンを基準画像パターンと比較し、差異のある部分を欠陥と判定するものである。この比較法において必要となる基準画像パターンを得る方法としては、欠陥のない対象物のパターンを読み取って基準画像パターンとするものと、オリジナルパターン設計の段階で使用されるＣＡＤ（計算機援用設計システム）によって作成された設計データから基準画像パターンを得るものとがある。このうち、設計データから基準画像パターンを得る方法は、欠陥のない検査対象物を必要とせず、設計通りにパターンが形成されているか否かが検査されるという点において検査本来の目的に合致したものである。」との記載がある。）、後者のように良品サンプルの撮像画像にもとづき基準パタン１を作成することに代えて、前者のように被測定パターンの設計時のＣＡＤデータから第１のマスタパターンを作成するようにすることは、上記のような周知の事項を勘案すれば、当業者が格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
［相違点２］について
  後者も、上限基準パタンと被検体パタンとの論理演算により、パタンにじみＰ３を検出し、下限基準パタンと被検体パタンとの論理演算により、パタン欠けＰ１、パタン切れＰ２を検出するものであり、前者と同様の検出結果を得るものである。そして、同一の演算結果を得るための論理演算式として種々のものが想定されるところ、前者の論理演算式を採用した点に格別のものも特に認められないから、この点は当業者が格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
［相違点３］について
　被検査パターンについて、先ず欠陥候補部分を抽出し、その抽出された欠陥候補部分について詳細に欠陥判定を行うことは、従来周知の検査手法であり（特開昭６１−２４５００７号公報参照。）、また、被測定パターンと前記第１のマスタパターンの誤差を求め、被測定パターンを検査する点にも格別の特徴は認められないから、上記のような従来周知の事項を引用発明に適用して相違点２に係る構成とすることは、当業者が格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
　
　そして、本願補正発明による効果も、引用刊行物の記載及び周知事項から当業者が予測しうる範囲内のものにすぎない。
  したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
  以上のとおり、本件手続補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１６年２月２３日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１及び２に係る発明は、平成１５年６月９日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項によって特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１及び２に係る発明は、「２．（１）」の補正前の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものである。
　
４．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された引用刊行物及びその記載事項は、前記「２．（３−１）」に記載したとおりのものである。
　
５．対比・判断
  本願の請求項１に係る発明は、前記「２．」で検討した本願補正発明から、発明を特定するために必要な事項についての上記限定を省いたものである。
　そうすると、請求項１に係る発明の構成要件を全て含み、更に他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３−２）」に記載したとおり、引用発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明も、同様の理由により、引用発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明が特許を受けることができないものであるから、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。