(57)【要約】【課題】ボール挿入孔の開口形状を丸形開口から例えば八角形開口や六角形開口のような多角形状に変更して開口面積を大きくし、かつ辺接触から２点接触に変更することにより、ボール搭載率を向上させるようにしたボール搭載マスクを得る。【解決手段】搭載される導電性ボール６の直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔４が多数形成されたものであって、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、多角形開口である。【選択図】図２
2012227466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、多角形開口であることを特徴とするボール搭載マスク。
【請求項２】
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、八角形開口であることを特徴とするボール搭載マスク。
【請求項３】
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、六角形開口であることを特徴とするボール搭載マスク。
【請求項４】
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、四角形開口であることを特徴とするボール搭載マスク。
【請求項５】
搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたボール搭載マスクであって、
前記搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、三角形開口であることを特徴とするボール搭載マスク。
【請求項６】
ボール挿入孔の上面側開口部周縁に、Ｒ形状加工が施されたボール案内部を形成したことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のボール搭載マスク。
【請求項７】
ボール挿入孔の下面側開口部周縁又はボール搭載マスクの下面側に、樹脂、めっき、ハーフエッチングによりフラックスを逃げるための突起又はドット又はリブを形成したことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載のボール搭載マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ボール挿入孔の開口形状を従来広く用いられている丸形開口から例えば八角形開口や六角形開口のような多角形状にしたボール搭載マスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の基板の所定位置に導電性ボールを振り分けて配列するボール搭載マスクにおいては、ボール挿入孔の開口形状はその殆どが丸形開口となっている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３３５８２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のボール搭載マスクのボール挿入孔の開口形状が丸形開口であるため、図１２に示すように、導電性ボール６の円弧状の辺と丸形開口４ｄの円弧状の辺が辺同士で接触することになる。したがって、導電性ボールが傷付き易く、また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触するため未搭載箇所が発生し、搭載率が低下するという問題があった。
また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題があった。
【０００５】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ボール挿入孔の開口形状を従来広く用いられている丸形開口から例えば八角形開口や六角形開口のような多角形状に変更して開口面積を大きくし、かつ辺接触から２点接触に変更することにより、ボール搭載率を向上させるようにしたボール搭載マスクを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係るボール搭載マスクにおいては、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔が多数形成されたものであって、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、多角形開口である。
【０００７】
また、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、八角形開口である。
【０００８】
また、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、六角形開口である。
【０００９】
また、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、四角形開口である。
【００１０】
また、搭載される導電性ボールの直径よりも若干大きい所定の開口寸法を有するボール挿入孔は、三角形開口である。
【００１１】
また、ボール挿入孔の上面側開口部周縁に、Ｒ形状加工が施されたボール案内部を形成したものである。
【００１２】
また、ボール挿入孔の下面側開口部周縁又はボール搭載マスクの下面側に、樹脂、めっき、ハーフエッチングによりフラックスを逃げるための突起又はドット又はリブを形成したものである。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、ボール挿入孔を多角形開口としたので、丸形開口に比べて開口面積が大きくなり、辺接触から２点接触にしたので、導電性ボールの傷付きが少なくなる。また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触しないため未搭載箇所の発生が少なくなり、搭載率が向上するという効果が期待できる。また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題も解決することができる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の実施例１におけるボール搭載マスクを版枠に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図２】この発明の実施例１におけるボール搭載マスク及びボール挿入孔の八角形開口を拡大して示す斜視図である。
【図３】この発明の実施例１におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の八角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。
【図４】四角から隅角部を切り取って八角形開口のボール挿入孔を形成する様子を示す平面図である。
【図５】千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の四角形開口へ変更した場合の課題を示す平面図である。
【図６】この発明の実施例１による千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の八角形開口へ変更して課題を解決した様子を示す平面図である。
【図７】この発明の実施例２におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の四角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。
【図８】この発明の実施例３におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の六角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。
【図９】三角から角部を取って六角形開口のボール挿入孔を形成する様子を示す平面図である。
【図１０】この発明の実施例４におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の三角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。
【図１１】図１１はこの発明の実施例６におけるボール搭載マスクのボール挿入孔を示す拡大断面図である。
【図１２】従来のボール搭載マスクのボール挿入孔の丸形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施例１．
図１はこの発明の実施例１におけるボール搭載マスクを版枠に取り付けた状態を示す斜視図、図２はボール搭載マスク及びボール挿入孔の八角形開口を拡大して示す斜視図、図３はボール搭載マスクのボール挿入孔の八角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図、図４は四角から隅角部を切り取って八角形開口のボール挿入孔を形成する様子を示す平面図、図５は千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の四角形開口へ変更した場合の課題を示す平面図、図６は千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の八角形開口へ変更して課題を解決した様子を示す平面図である。
【００１６】
図１において、１はアルミニウム材料等で四角形の枠状に構成された版枠、２は版枠１の内側に張設されたメッシュ（紗）からなるスクリーン、３はスクリーン２の中央開口部に接着固定されたボール搭載マスクである。このボール搭載マスク３は、金属からなり、周縁部が接着剤によりスクリーン２に対して接着されている。ボール搭載マスク３には、八角形開口のボール挿入孔４が多数形成されたボール挿入孔集合体５が複数個形成されており、ここでは４個のボール挿入孔集合体５の例を示している。このボール搭載マスク３は、半導体ウエハ等の基板（図示せず）に対して使用され、基板には多数の電極が設けられており、ボール搭載マスク３の各ボール挿入孔４は基板の各電極に対応している。
【００１７】
この発明によるボール搭載マスク３は、図２に示すような構造をしている。すなわち、半導体ウエハ等の基板上の所定位置に重ねて配置されるボール搭載マスク３のボール挿入孔４は、客先から指定される所定の開口寸法を有しているが、従来の丸形開口ではなく、搭載される導電性ボール６の直径よりも若干大きい正八角形開口に形成されている。このようにボール挿入孔４を正八角形開口としたので、ボール搭載マスク３に搭載された導電性ボール６は、図３に示すように、ボール挿入孔４の正八角形開口の互いに隣接する２辺の離れた２箇所で点接触することになる。ここで、ボール挿入孔４を正八角形開口にしたことにより、導電性ボールが引っ掛かることがなくなるので、搭載率が向上するという効果がある。なお、図４に示すように、正四角から隅角部を切り取って正八角形開口のボール挿入孔４を形成するようにしている。したがって、丸形開口に比べて開口面積が大きくなり、しかも辺接触から２点接触にしたので、導電性ボールの傷付きが少なくなる。また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触しないため、導電性ボールが引っ掛かることがなくなるので、未搭載箇所の発生が少なくなり、搭載率が向上するという効果が期待できる。また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題も解決することができる。また、ボール挿入孔４を正八角形開口としたので、次のような利点がある。例えば、図５（ａ）（ｂ）に示すように、千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の四角形開口へ変更した場合は、開口接触が発生するという課題が考えられるが、図６（ａ）（ｂ）に示すように、千鳥配列の丸形開口から千鳥配列の八角形開口へ変更した場合は、開口接触が発生しないので、開口接触が発生するという課題を解決することができる。
【００１８】
実施例２．
図７はこの発明の実施例２におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の四角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。上記実施例１では、四角から隅角部を切り取ることにより、正八角形開口のボール挿入孔４を形成するようにしているが、この実施例２においては、図７に示すように、基本となる正四角形開口のボール挿入孔４ａとしている。
このような正四角形開口の場合でも、丸形開口に比べて開口面積が大きくなり、しかも辺接触から２点接触にしたので、導電性ボールの傷付きが少なくなる。また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触しないため、導電性ボールが引っ掛かることがなくなるので、未搭載箇所の発生が少なくなり、搭載率が向上するという効果が期待できる。また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題も解決することができる。
【００１９】
実施例３．
図８はボール搭載マスクのボール挿入孔の六角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図、図９は三角から角部を切り取って六角形開口のボール挿入孔を形成する様子を示す平面図である。
この実施例３においては、ボール搭載マスク３のボール挿入孔４ｂの開口形状を、正六角形開口に形成している。このようにボール挿入孔４ｂを正六角形開口としたので、ボール搭載マスク３に搭載された導電性ボール６は、図８に示すように、ボール挿入孔４ｂの正六角形開口の互いに隣接する２辺の離れた２箇所で点接触することになる。なお、図９に示すように、正三角から角部を切り取って正六角形開口のボール挿入孔４ｂを形成するようにしている。したがって、丸形開口に比べて開口面積が大きくなり、しかも辺接触から２点接触にしたので、導電性ボールの傷付きが少なくなる。また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触しないため、導電性ボールが引っ掛かることがなくなるので、未搭載箇所の発生が少なくなり、搭載率が向上するという効果が期待できる。また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題も解決することができる。
【００２０】
実施例４．
図１０はこの発明の実施例４におけるボール搭載マスクのボール挿入孔の三角形開口とそこを通過する導電性ボールとの関係を示す拡大平面図である。上記実施例３では、三角から角部を切り取ることにより、正六角形開口のボール挿入孔４ｂを形成するようにしているが、この実施例４においては、図１０に示すように、基本となる正三角形開口のボール挿入孔４ｃとしている。
このような正三角形開口の場合でも、丸形開口に比べて開口面積が大きくなり、しかも辺接触から２点接触にしたので、導電性ボールの傷付きが少なくなる。また、導電性ボールを搭載する際、辺同士が接触しないため、導電性ボールが引っ掛かることがなくなるので、未搭載箇所の発生が少なくなり、搭載率が向上するという効果が期待できる。また、導電性ボール搭載後、基板からマスクを離す際に導電性ボールがマスクの開口周壁面へ接触し、導電性ボールが基板から離れてしまうという問題も解決することができる。
【００２１】
実施例５．
上記実施例１〜４では、ボール挿入孔をそれぞれ正八角形開口４、正四角形開口４ａ、正六角形開口４ｂ、正三角形開口４ｃとしているが、一つのボール搭載マスク３に複数のボール挿入孔４〜４ｃを適宜混在させて配置しても良い。
【００２２】
実施例６．
図１１はこの発明の実施例６におけるボール搭載マスクのボール挿入孔を示す拡大断面図である。このボール搭載マスク３は、八角形開口又は四角形開口又は六角形開口又は三角形開口のボール挿入孔４〜４ｃの上面側開口部周縁には、めっきのサイドスプレット現象によるＲ形状加工が施されたボール案内部７が形成されている。また、ボール挿入孔４〜４ｃの下面側開口部周縁又はボール搭載マスク３の下面側には、樹脂、めっき、ハーフエッチング等によりフラックスを逃げるための突起又はドット又はリブ８が形成されている。
【符号の説明】
【００２３】
１  版枠
２  スクリーン
３  ボール搭載マスク
４  正八角形開口のボール挿入孔
４ａ  正四角形開口のボール挿入孔
４ｂ  正六角形開口のボール挿入孔
４ｃ  正三角形開口のボール挿入孔
５  ボール挿入孔集合体
６  導電性ボール
７  Ｒ形状のボール案内部
８  突起又はドット又はリブ
【図１】
2012227466.tif 000003
【図２】
2012227466.tif 000004
【図３】
2012227466.tif 000005
【図４】
2012227466.tif 000006
【図５】
2012227466.tif 000007
【図６】
2012227466.tif 000008
【図７】
2012227466.tif 000009
【図８】
2012227466.tif 000010
【図９】
2012227466.tif 000011
【図１０】
2012227466.tif 000012
【図１１】
2012227466.tif 000013
【図１２】
2012227466.tif 000014