【事件の表示】
　特許第３３２５１６７号「改良された圧力スイング吸着方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３２５１６７号の訂正後の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
 １．手続の経緯
　特許第３３２５１６７号の請求項１ないし請求項３に係る発明は、平成７年１０月６日（パリ条約による優先権主張１９９４年１０月７日、米国）に特許出願され、平成１４年７月５日にその特許権の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし請求項３に係る特許について特許異議申立人　住友精化株式会社（以下、「申立人」という。）より特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、訂正請求がなされ（この訂正請求は、後日取り下げられた。）、再度取消理由が通知され、その指定期間内である平成１７年９月９日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　
２−１．訂正の内容
　平成１７年９月９日付け訂正請求は、願書に添付された明細書（以下、「特許明細書」という。）を訂正請求書に添付された明細書（以下、「訂正明細書」という。）のとおりに訂正することを求めるもので、その内容は以下のとおりである。
　
訂正事項ａ：
　特許明細書の特許請求の範囲請求項１の記載について、
「少なくとも一種の優先吸着し得ない第一ガスと一種又はそれ以上の選択的に吸着し得る第二ガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するに際し、該ガス混合物を高い圧力で該第二ガスを選択的に吸着することができる少なくとも１つの吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通すことを含む圧力スイング吸着方法において、
（１）該第一ガスを加圧下で該吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で該吸着床ユニットの上流端に供給して該床ユニットの加圧を促進する工程；
（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出する工程；
（３）該吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出し、ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該吸着床ユニットを部分再加圧し、ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の第一吸着床ユニットの下流端に再供給し、第二吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第一吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第一吸着床ユニットを部分再加圧する工程を含み、それにより該均圧ユニットの降圧が、該吸着床ユニットのパージ、洗浄及び部分再加圧と同時に起こる圧力スイング吸着方法。」とあるのを、
「少なくとも一種の優先吸着し得ない第一ガスと一種又はそれ以上の選択的に吸着し得る第二ガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するに際し、該ガス混合物を高い圧力で該第二ガスを選択的に吸着することができる吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、
（１）該第一ガスを加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（３）該第一吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、
（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し、
（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。」と訂正する。
　
訂正事項ｂ：
　特許明細書の特許請求の範囲請求項２を削除する。
　
訂正事項ｃ：
　特許明細書の特許請求の範囲請求項３の記載について、
「酸素と窒素とを含有する空気から酸素を分離するに際し、空気を高い圧力で窒素を選択的に吸着することができる少なくとも１つの吸着床ユニットに供給し、酸素を吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通すことを含む圧力スイング吸着方法において、
（１）酸素を加圧下で該吸着床ユニットの下流端に供給しながら空気を加圧下で該吸着床ユニットの上流端に供給して該床ユニットの加圧を促進する工程；
（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該吸着床ユニットからの吸着されない酸素を該レセプタータンクに排出する工程；
（３）該吸着床ユニットへの空気の供給を止めかつ該ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出し、ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該吸着床ユニットを部分再加圧し、ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の第一吸着床ユニットの下流端に再供給し、第二吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第一吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第一吸着床ユニットを部分再加圧する工程を含み、それにより該均圧ユニットの降圧が、該吸着床ユニットのパージ、洗浄及び部分再加圧と同時に起こる圧力スイング吸着方法。」とあるのを、
「酸素と窒素とを含有する空気から酸素を分離するに際し、空気を高い圧力で窒素を選択的に吸着することができる吸着床ユニットに供給し、酸素を吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、
（１）酸素を加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら空気を加圧下で該第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない酸素を該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（３）該第一吸着床ユニットへの空気の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、
（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し、
（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。」と訂正したうえで、訂正明細書の特許請求の範囲請求項２とする。
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　
２−２−１．訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、特許明細書の特許の範囲請求項１の記載について、下記の訂正事項を含むものである。
　
訂正事項ａ−１：
「該第二ガスを選択的に吸着することができる少なくとも１つの吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通すことを含む圧力スイング吸着方法において、（１）・・・（２）・・・（３）・・・圧力スイング吸着方法」との記載を、
「該第二ガスを選択的に吸着することができる吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、（１）・・・（２）・・・（３）・・・からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、圧力スイング吸着方法」と訂正する。
　
訂正事項ａ−２：
「（１）該第一ガスを加圧下で該吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で該吸着床ユニットの上流端に供給して該床ユニットの加圧を促進する工程」との記載を、
「（１）該第一ガスを加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程」と訂正する。
　
訂正事項ａ−３：
「（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出する工程」との記載を、
「（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程」と訂正する。
　
訂正事項ａ−４：
「（３）該吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出し、ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・」との記載を、
「（３）該第一吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・、上記工程」と訂正する。
　
訂正事項ａ−５：
「ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該吸着床ユニットを部分再加圧し」との記載を、
「ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し」と訂正する。
　
訂正事項ａ−６：
「ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の第一吸着床ユニットの下流端に再供給し、第二吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第一吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第一吸着床ユニットを部分再加圧する工程を含み、それにより該均圧ユニットの降圧が、該吸着床ユニットのパージ、洗浄及び部分再加圧と同時に起こる」との記載を、
「ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する」と訂正する。
　
　上記訂正事項ａ−１は、特許明細書の特許請求の範囲請求項１に記載の「少なくとも１つの吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通すことを含む圧力スイング吸着方法」を、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いるものであって「第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す」ものに限定すると共に、「（１）・・・（２）・・・（３）・・・からなるサイクルを・・・繰り返す」と（１）、（２）及び（３）工程以外の工程を含まないものに限定するものであるから、上記訂正事項ａ−１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当する。
　また、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いるとの事項は、特許明細書の発明の詳細な説明【００２０】〜【００２４】及び【００２６】並びに図面【図１】、【図２】、【図４】及び【図５】に「床Ａ」、「床Ｂ」と記載されるように、２種の吸着床を用いることは特許明細書及び図面に記載される事項であるので、特許明細書及び図面に記載される事項である。
　また、「第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す」との事項は、特許明細書の発明の詳細な説明【００２２】及び【００２３】並びに図面【図１】及び【図５】に記載される工程Ｉ、工程ＩＩ及び工程ＩＩＩが、それぞれ、（１）、（２）及び（３）工程に相当し、且つ、特許明細書の発明の詳細な説明【００２３】及び【００２４】並びに図面【図１】及び【図５】に記載される工程ＩＶ、工程Ｖ及び工程ＶＩが、上記の工程Ｉ、工程ＩＩ及び工程ＩＩＩで「床Ａ」と「床Ｂ」を交換した工程にそれぞれ相当するものであることからいって、特許明細書及び図面に記載される事項である。
　また、（１）、（２）及び（３）工程以外の工程を含まないとの事項は、特許明細書の発明の詳細な説明【００２０】〜【００２４】及び【００２６】並びに図面【図１】、【図２】、【図４】及び【図５】には、上記の工程Ｉ、工程ＩＩ及び工程ＩＩＩ並びに上記の工程ＩＶ、工程Ｖ及び工程ＶＩ以外のの工程については記載がないことからいって、自明の事項である。
　してみれば、上記訂正事項ａ−１は、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正である。
　加えて、上記訂正事項ａ−１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　上記訂正事項ａ−２は、特許明細書の特許請求の範囲請求項１に記載の「（１）該第一ガスを加圧下で該吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で該吸着床ユニットの上流端に供給して該床ユニットの加圧を促進する工程」について、上記訂正事項ａ−１で、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いる圧力スイング吸着方法に限定したことに伴い、「第一ガスを加圧下で吸着床ユニットの下流端に供給しながらガス混合物を加圧下で吸着床ユニットの上流端に供給して床ユニットの加圧を促進する」との操作が、第一吸着床ユニットに対する操作であることを明確にしたうえで、第二吸着床ユニットに対しては「排気する」との操作を行うものに限定する訂正であるから、上記訂正事項ａ−２は、明りょうでない記載の釈明を目的とし、且つ、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当する。
　また、（１）工程が、特許明細書の発明の詳細な説明【００２２】の工程Ｉ、或いは、特許明細書の発明の詳細な説明【００２３】の工程ＩＶに相当することに加え、前記【００２２】の「工程Ｉ：・・・他の床Ｂは、排気を受けている」との記載及び前記【００２３】の「工程ＩＶ：・・・床Ａを向流に排気し・・・」との記載からいって、上記訂正事項ａ−２は、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正である。
　加えて、上記訂正事項ａ−２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　上記訂正事項ａ−３は、特許明細書の特許請求の範囲請求項１に記載の「（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出する工程」について、上記訂正事項ａ−１で、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いる圧力スイング吸着方法に限定したことに伴い、「第一ガスの供給を止め、加圧されたガス混合物の供給を続けてユニット内に高い吸着圧を発現させ；吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスをレセプタータンクに排出する」との操作が、第一吸着床ユニットに対する操作であることを明確にしたうえで、第二吸着床ユニットに対しては「排気する」との操作を行うものに限定する訂正であるから、上記訂正事項ａ−２は、明りょうでない記載の釈明を目的とし、且つ、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当する。
　また、（２）工程が、特許明細書の発明の詳細な説明【００２２】の工程ＩＩ、或いは、特許明細書の発明の詳細な説明【００２４】の工程Ｖに相当することに加え、前記【００２２】の「工程ＩＩ：・・・床Ａについての原料加圧及びメーク生成物工程（工程２）の間、床Ｂは、バルブ３６を経て排気を受けている」との記載及び前記【００２４】の「工程Ｖ：・・・床Ａは更に排気を受け、・・・」との記載からいって、上記訂正事項ａ−３は、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正である。
　加えて、上記訂正事項ａ−３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　上記訂正事項ａ−４は、特許明細書の特許請求の範囲請求項１に記載の「（３）該吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出し、ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・」について、「（３）該第一吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・、上記工程」と、一の工程であること及び斯かる工程における場合分けであることを明確にし、且つ、上記訂正事項ａ−１で、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いる圧力スイング吸着方法に限定したことに伴い、「吸着床ユニットへのガス混合物の供給を止めかつユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出」するとの操作が、上記訂正事項ａ−２及び上記訂正事項ａ−３と同じく、第一吸着床ユニットに対する操作であることを明確にするものであるから、上記訂正事項ａ−４は、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当する。
　また、上記訂正事項ａ−４は、新規事項を追加するものではなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　上記訂正事項ａ−５は、上記訂正事項ａ−４で明確にした「（３）・・・、上記工程」における「（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合」に関し、「ボイドガスを吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ吸着床ユニットを部分再加圧」との操作が行われる「吸着床ユニット」を「工程（１）の前の吸着床ユニット」から「第二吸着床ユニット」に改める訂正事項といえる。
　斯かる訂正事項は、上記訂正事項ａ−１で圧力スイング吸着方法を第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを用いるものであって第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返すものに限定したことに伴い、「工程（１）の前の吸着床ユニット」で示すところのものが「第二吸着床ユニット」のみになったことに因るものであるから、上記訂正事項ａ−５は、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当する。
　また、（３）工程が、特許明細書の発明の詳細な説明【００２３】の工程ＩＩＩ、或いは、特許明細書の発明の詳細な説明【００２４】の工程ＶＩに相当することに加え、前記【００２３】の「工程ＩＩＩ：・・・床Ａからボイドガスを回収し、それを床Ｂに向けて床Ｂを部分加圧し（床Ｂについての均圧上昇）、かつ還流ガスとして床Ｂにおける窒素波頭を床Ｂの供給端の方向に押す。この時間の間、バルブ３６を依然開放し、こうして床Ｂは、均圧上昇及び排気を同時に受ける。本発明の別の変法は、均圧降下ボイドガスを、床Ｂに供給するために別の貯蔵タンクに捕集する」との記載、前記【００２４】の「工程ＶＩ：・・・・・・床Ｂは、・・・第二貯蔵タンクに接続するバルブ２を経る降圧を受け、これは立ち代わって床Ａに昇圧パージを供する。この時間の間、バルブ３４は、依然開放された位置にあり、床Ａに均圧上昇及び排気を同時に受けさせる」との記載及び特許明細書の発明の詳細な説明【００２６】の「図４及び５は、生成物貯蔵容器１８及び均圧タンク２０を使用する２床プロセスを作動させるための別の系を示す。バルブの開閉を含む種々の工程を実施することは、図２について上に挙げた記述と同様である」との記載並びに図面【図４】、【図５】及び【図２】から、２種の吸着床ユニットを用いるものであってこれを交換して繰り返すものにおいては、「床Ａ」に対する「床Ｂ」対して、或いは、「床Ｂ」に対する「床Ａ」に対して、「ボイドガスを吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ吸着床ユニットを部分再加圧」との操作が行われるていることは把握される事項であるので、上記訂正事項ａ−５は、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正である。
　加えて、上記訂正事項ａ−５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　上記訂正事項ａ−６は、上記訂正事項ａ−４で明確にした「（３）・・・、上記工程」における「（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床に排出する場合」に関する記載事項について、誤記を訂正し、冗長な記載を明りょうにする訂正であるから、上記訂正事項ａ−６は、誤記の訂正を目的とした訂正に該当し、且つ、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当する。
　また、（３）工程が、特許明細書の発明の詳細な説明【００２３】の工程ＩＩＩ、或いは、特許明細書の発明の詳細な説明【００２４】の工程ＶＩに相当することに加え、前記【００２３】の「工程ＩＩＩ：並流降圧。本発明の一変法では、バルブ３３を閉止し、かつバルブ４を開放して床Ａからボイドガスを回収し、それを床Ｂに向けて床Ｂを部分加圧し（床Ｂについての均圧上昇）、かつ還流ガスとして床Ｂにおける窒素波頭を床Ｂの供給端の方向に押す。この時間の間、バルブ３６を依然開放し、こうして床Ｂは、均圧上昇及び排気を同時に受ける」との記載及び前記【００２４】の「工程ＶＩ：・・・床Ｂは、床Ａ・・・に接続するバルブ２を経る降圧を受け、これは立ち代わって床Ａに昇圧パージを供する。この時間の間、バルブ３４は、依然開放された位置にあり、床Ａに均圧上昇及び排気を同時に受けさせる」との記載並びに図面【図１】及び【図２】からいって、上記訂正事項ａ−６は、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正である。
　加えて、上記訂正事項ａ−６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
２−２−２．訂正事項ｂについて
　訂正事項ｂは、特許明細書の特許請求の範囲請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲を減縮を目的とした訂正であり、新規事項を追加するものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
２−２−３．訂正事項ｃについて
　上記訂正事項ｃは、特許明細書の特許請求の範囲請求項３の記載について、下記の訂正事項を含むものである。
　
訂正事項ｃ−１：
請求項の項番を「２」へ繰り上げる。
　
訂正事項ｃ−２：
「窒素を選択的に吸着することができる少なくとも１つの吸着床ユニットに供給し、酸素を吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通すことを含む圧力スイング吸着方法において、（１）・・・（２）・・・（３）・・・圧力スイング吸着方法」との記載を、
「窒素を選択的に吸着することができる吸着床ユニットに供給し、酸素を吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、（１）・・・（２）・・・（３）・・・からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、圧力スイング吸着方法。」と訂正する。
　
訂正事項ｃ−３：
「（１）酸素を加圧下で該吸着床ユニットの下流端に供給しながら空気を加圧下で該吸着床ユニットの上流端に供給して該床ユニットの加圧を促進する工程」との記載を、
「（１）酸素を加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら空気を加圧下で該第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程」と訂正する。
　
訂正事項ｃ−４：
「（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該吸着床ユニットからの吸着されない酸素を該レセプタータンクに排出する工程」との記載を、「（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない酸素を該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程」と訂正する。
　
訂正事項ｃ−５：
「（３）該吸着床ユニットへの空気の供給を止めかつ該ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出し、ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・」との記載を、
「（３）該第一吸着床ユニットへの空気の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、・・・、（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、・・・、上記工程」と訂正する。
　
訂正事項ｃ−６：
「ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該吸着床ユニットを部分再加圧し」との記載を、
「ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し」と訂正する。
　
訂正事項ｃ−７：
「ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを工程（１）の前の第一吸着床ユニットの下流端に再供給し、第二吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第一吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第一吸着床ユニットを部分再加圧する工程を含み、それにより該均圧ユニットの降圧が、該吸着床ユニットのパージ、洗浄及び部分再加圧と同時に起こる」との記載を、
「ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する」と訂正する。
　
　上記訂正事項ｃ−１は、上記訂正事項ｂで特許明細書の特許請求の範囲請求項２を削除したことに伴い、請求項の項番を繰り上げるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正であり、新規事項を追加するものではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　上記訂正事項ｃ−２、訂正事項ｃ−３、訂正事項ｃ−４、訂正事項ｃ−５、訂正事項ｃ−６及び訂正事項ｃ−７は、特許明細書の特許の範囲請求項１の記載についての訂正事項ａ−１、訂正事項ａ−２、訂正事項ａ−３、訂正事項ａ−４、訂正事項ａ−５及び訂正事項ａ−６と、それぞれ、同様の訂正を特許明細書の特許の範囲請求項３の記載について行うものといえる。
　してみれば、上記訂正事項ｃ−２、訂正事項ｃ−３、訂正事項ｃ−４、訂正事項ｃ−５、訂正事項ｃ−６及び訂正事項ｃ−７は、訂正事項ａ−１、訂正事項ａ−２、訂正事項ａ−３、訂正事項ａ−４、訂正事項ａ−５及び訂正事項ａ−６について述べた理由と同様の理由により、特許法第１２０条の４第２項ただし書きに掲げる目的に相当する訂正であり、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内でした訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
　
２−３．訂正の適否についてのまとめ
　したがって、平成１７年９月９日付け訂正請求で求めた訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．本件発明
　本件明細書は、上記のとおり訂正請求がなされ、その請求どおり訂正が認められたものであるから、訂正後の特許第３３２５１６７号の請求項１及び請求項２に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」、「本件発明２」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲請求項１及び請求項２に記載される次のとおりのものである。
【請求項１】　少なくとも一種の優先吸着し得ない第一ガスと一種又はそれ以上の選択的に吸着し得る第二ガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するに際し、該ガス混合物を高い圧力で該第二ガスを選択的に吸着することができる１つの吸着床ユニットに供給し、第一ガスを吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、
（１）該第一ガスを加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら該ガス混合物を加圧下で第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない第一ガスを該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（３）該第一吸着床ユニットへの該ガス混合物の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、
（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し、
（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。
【請求項２】　酸素と窒素とを含有する空気から酸素を分離するに際し、空気を高い圧力で窒素を選択的に吸着することができる吸着床ユニットに供給し、酸素を吸着床ユニットを通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、
（１）酸素を加圧下で第一吸着床ユニットの下流端に供給しながら空気を加圧下で該第一吸着床ユニットの上流端に供給して該第一吸着床ユニットの加圧を促進すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該第一吸着床ユニット内に高い吸着圧を発現させ；該第一吸着床ユニットからの吸着されない酸素を該レセプタータンクに排出すると共に第二吸着床ユニットを排気する工程；
（３）該第一吸着床ユニットへの空気の供給を止めかつ該第一吸着床ユニットの下流端からボイドガスを均圧タンクか又は第二吸着床ユニットのいずれかからなり得る均圧ユニットに排出する工程であって、
（ｉ）ボイドガスを均圧タンクに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、均圧タンクを降圧して低い圧力にすると同時に該第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ該第二吸着床ユニットを部分再加圧し、
（ｉｉ）ボイドガスを第二吸着床ユニットに排出する場合には、ボイドガスを第二吸着床ユニットの下流端に再供給し、第一吸着床ユニットを降圧して低い圧力にすると同時に第二吸着床ユニットを向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧する、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。
　
４．特許異議申立の概要
　申立人は、証拠として下記の甲第１号証及び甲第２号証を提示し、以下のように主張をする。
　特許明細書の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得たものであるから、特許明細書の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものであるか特許法第２９条第２項に違反してされたものである。
　同様に、特許明細書の請求項２に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものであるか特許法第２９条第２項に違反してされたものである。
　同様に、特許明細書の請求項３に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものであるか特許法第２９条第２項に違反してされたものである。
　
甲第１号証：特開平１−２３６９１４号公報
甲第２号証：実験成績証明書
　
５．証拠に記載される事項
　
５−１．甲第１号証
　甲第１号証には、以下の事項が記載され、図−１には、低圧法の装置のガス流れ図が、図−３（その１）及び図−３（その２）には、低圧法の装置のガス流れに相当する操作工程が図示される。
(5-1-1)「窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスより、プレッシャースイング法により酸素を濃縮する方法において・・・Ａ，Ｂ２槽の吸着槽とその出口側に２槽共有の濃縮酸素ガス溜め槽を設け、前記混合ガスをＡ槽に・・・吸着させ、Ｂ槽を・・・までに減圧脱着させるに際し、（１）（原文は、「○」の中に「１」。以下、（６）まで同様）　Ａ槽の入口端より混合ガスを導入して窒素ガスを選択吸着させながら出口端より濃縮された酸素を濃縮酸素ガス溜めに蓄える吸着工程、　（２）　Ｂ槽の入口端より真空ポンプにて窒素ガスを減圧脱着する脱着工程、　（３）　減圧脱着を続けるＢ槽の出口端へ濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部を逆流させる洗浄工程、　（４）　Ａ槽への混合ガスの導入を停止して出口端より槽内の残ガスの一部を減圧脱着を続けるＢ槽の出口端に導入してガスを回収する回収工程、　（５）　Ａ槽の出口端より槽内の残ガスを減圧脱着したＢ槽の入口端に導入してガスを回収すると共にＢ槽の出口端へ濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部を逆流させる蓄圧工程、　（６）　濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部をＢ槽出口端に逆流させながら入口端に混合ガスを導入する昇圧工程、　以上の６工程を逐次Ａ、Ｂ各槽交互にくりかえすことを特徴とする濃縮酸素回収方法」（第１頁左欄５行−右欄１６行）
(5-1-2)「
工程−１
工程−２
工程−３
工程−４
工程−５
　
５−２．甲第２号証
　甲第２号証には、以下の事項が記載される。
(5-2-1)「（４）実験結果　実験結果を下記表４に掲載する。同表から分かるように、本件特許方法と甲第１号証の方法とを比較した場合、操作条件が同じである限り、単位時間当たりの製品ガス（酸素ガス）発生量及び収率ともに、甲第１号証の方法の方が大きく優れていることが判明した。」（第４頁１−５行）
　
６．当審の判断
　
６−１．本件発明１について
　甲第１号証には、上記摘示箇所(5-1-1)及び(5-1-2)並びに図−１、図−３（その１）及び図−３（その２）によれば、以下の酸素を濃縮する方法が記載されるといえる。
「窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスより、プレッシャースイング法により酸素ガスを濃縮する方法であり、混合ガスを昇圧し吸着槽に導入し、窒素ガスを吸着除去して濃縮された酸素ガスを濃縮酸素ガス溜め槽に蓄える、酸素を濃縮する方法であって、
工程−１
工程−２
工程−３
工程−４
工程−５
　以上５工程を、逐次吸着槽Ａ，Ｂ各槽を交互に繰り返す酸素を濃縮する方法」
　
　ここにおいて、上記の酸素を濃縮する方法で「逐次吸着槽Ａ，Ｂ各槽を交互に繰り返す」がゆえに「工程−１」の前工程に当たる「工程−５」を、「交互」ゆえに「吸着槽Ａ」、「吸着槽Ｂ」を入れ替えたうえで「工程−１」前段に置き、また、２槽の吸着槽を区別する「吸着槽Ａ」及び「吸着槽Ｂ」との語を同様に単に２槽の吸着槽を区別する「第一吸着槽」及び「第二吸着槽」との語に置き換えて、上記の酸素を濃縮する方法を、本件発明１に沿って整理してみると、甲第１号証には、下記の発明（以下、「甲第１発明」）が記載されているといえる。
「酸素ガスと窒素ガスを主成分とする混合物ガスから酸素ガスを濃縮するに際し、混合ガスを昇圧して、窒素ガスを吸着除去することができる吸着槽に導入し、酸素ガスを吸着槽を通過させて濃縮酸素ガス溜め槽に通すプレッシャースイング法による酸素ガスを濃縮する方法において、
工程−５
工程−１
工程−２
工程−３
工程−４
　以上の５工程を、第一吸着槽と第二吸着槽とを交換して繰り返す、プレッシャースイング法による酸素ガスを濃縮する方法」
　
　ここで、本件発明１と甲第１発明を対比すると、甲第１発明の「酸素ガス」、「窒素ガス」は、それぞれ、本件発明１の「一種の優先吸着し得ない第一ガス」、「一種の選択的に吸着し得る第二ガス」の具体的な例に相当し、甲第１発明の「混合物ガス」、「残留ガス」は、それぞれ、本件発明１の「ガス混合物」、「ボイドガス」に相当する。
　また、甲第１発明の「濃縮酸素ガス溜め槽」、「プレッシャースイング法による酸素ガスを濃縮する方法」は、それぞれ、本件発明１の「レセプタータンク」、「圧力スイング吸着方法」に相当する。
　また、甲第１発明の「吸着槽」の床ユニット型のものが、本件発明の「吸着床ユニット」に相当するといえ、甲第１発明の「入口端」、「出口端」は、それぞれ、本件発明１の「上流端」、「下流端」に相当する。
　また、甲第１発明の「
工程−５
工程−１
工程−５
工程−１
　また、甲第１発明の「
工程−３
　以上のとおりであるから、本件発明１と甲第１発明は、以下の点で一致し、以下の相違点１〜３の点で相違する。
一致点：
　一種の優先吸着し得ない第一ガスと一種の選択的に吸着し得る第二ガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するに際し、ガス混合物を高い圧力で第二ガスを選択的に吸着することができる吸着槽に供給し、第一ガスを吸着槽を通過させてレセプタータンクに通す圧力スイング吸着方法において、
（１）第一ガスを加圧下で第一吸着槽の下流端に供給しながらガス混合物を加圧下で第一吸着槽の上流端に供給して第一吸着槽の加圧を促進すると共に第二吸着槽を排気する工程；
（２）第一ガスの供給を止め、加圧されたガス混合物の供給を続けて第一吸着槽内に高い吸着圧を発現させ；第一吸着槽からの吸着されない第一ガスをレセプタータンクに排出すると共に第二吸着槽を排気する工程；
（３）第一吸着槽へのガス混合物の供給を止めかつ第一吸着槽の下流端からボイドガスを第二吸着槽に排出する工程であって、
　ボイドガスを第二吸着床槽の下流端に再供給し、第一吸着槽を降圧して低い圧力にする、上記工程；
を含むサイクルを、第一吸着槽と第二吸着槽とを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。
相違点１：
　本件発明１は、（１）工程、（２）工程及び（３）工程からなるサイクルを繰り返すものであるのに対し、甲第１発明は、（２）工程と（３）工程の間に、「工程−２　上流端より排気を続ける第二吸着槽の下流端に、第一ガスを供給し、第二吸着槽を洗浄する工程」を含み、（３）工程の次工程に、「工程−４　第一吸着槽の下流端からボイドガスを、第二吸着床槽の上流端に供給すると共に、第一ガスを加圧下で第二吸着槽の下流端に供給し第二吸着槽を加圧する工程」を含むものであって、（１）工程、（２）工程、工程−２、（３）工程及び工程−４からなるサイクルを繰り返すものである点
相違点２：
　本件発明１は、（３）工程で、第一吸着槽を降圧して低い圧力にすると同時に「第二吸着槽を向流にパージ及び洗浄しかつ第二吸着床ユニットを部分再加圧」するのに対し、甲第１発明は、第二吸着槽における斯かる事項について記載がなく、不明である点
相違点３：
　本件発明１は、吸着槽が「吸着床ユニット」と床ユニット型のものに限定されているのに対し、甲第１発明は、斯かる限定がない点
　
　したがって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとはいえないから、訂正明細書の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものではない。
　
　次いで、相違点について検討する。
　まず、相違点１について検討するに、相違点１は、本件発明１では、甲第１発明における「工程−２」及び「工程−４」が省かれている点といえるが、斯かる点を技術的な観点から見ると、上記摘示箇所(5-1-2)に「
工程−２
工程−３
工程−４
　してみれば、相違点１は、斯かる技術的な意図の相違に基づき工程を省くことができたものといえるから、酸素ガスによる洗浄を意図する甲第１発明より、当業者が容易に想到し得た事項とはいえないものである。
　これに対して、申立人は、甲第２号証として実験成績証明書を提示し、「本件特許方法より甲第１号証の方法の方が、酸素ガス発生量及び収率ともに優れている」旨主張するが、方法の発明における工程の簡素化は、それをして一の効果として認められ、また、両者を比較した際の結果としての酸素ガス発生量及び収率の優位さが、洗浄に用いるガスを変更して工程を省くことの示唆とはなり得ないことを鑑みれば、前記申立人の主張を採用したとしても、相違点１が、当業者が容易に想到し得た事項とはいうことはできない。
　
　したがって、相違点２及び相違点３について検討するまでもなく、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得たものとはいえない。
　よって、訂正明細書の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項に違反してされたものではない。
　
６−２．本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１において、第一ガスを酸素に、第二ガスを窒素に、ガス混合物を空気に、限定したものであるといえ、斯かる事項については、甲第１号証に記載されているといえる。
　しかしながら、本件発明２と甲第１号証に記載された発明を対比すると、本件発明２と甲第１号証に記載された発明は、上述の相違点１〜３と同様の相違点を有するので、本件発明２は甲第１号証に記載された発明ではなく、また、本件発明１における理由と同様の理由により、本件発明２は甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得たものではない。
　よって、訂正明細書の請求項２に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号に違反してされたものではなく、特許法第２９条第２項に違反してされたものではない。
　
６−３．明細書の記載要件について
　取消理由通知で指摘した特許明細書における記載要件の不備は、平成１７年９月９日付け訂正請求で求めた訂正が認められたことにより、解消した。
　
７．まとめ
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては訂正明細書の請求項１及び請求項２に係る特許は取り消すことはできない。
　また、他に訂正明細書の請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年９月１４日（２００５．９．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
改良された圧力スイング吸着方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】少なくとも一種の優先吸着し得ない第一ガスと一種又はそれ以上の選択的に吸着し得る第二ガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するに際し、該ガス混合物を高い圧力で該第二ガスを選択的に吸着することができ
る吸
す圧
　（１）該第一ガスを加圧下で
第一
第一
第一吸着
と共に第二吸着床ユニットを排気する
　（２）該第一ガスの供給を止め、該加圧されたガス混合物の供給を続けて該
第一吸着床
第一
と共に該第二吸着床ユニットを排気する
　（３）該
第一
第一吸着床
する工程であって、
　
（ｉ）
を第二吸
第二
第二
　
（ｉｉ）
を第二
一
二
二
、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。
　【請求項２】酸素と窒素とを含有する空気から酸素を分離するに際し、空気を高い圧力で窒素を選択的に吸着することができ
る吸
す圧
　（１）酸素を加圧下で
第一
第一
第一吸着
と共に第二吸着床ユニットを排気する
　（２）酸素の供給を止め、加圧された空気の供給を続けて該
第一吸着床
第一
と共に該第二吸着床ユニットを排気する
　（３）該
第一
第一吸着床
する工程であって、
　
（ｉ）
を第二吸
第二
第二
　
（ｉｉ）
を第二
一
二
二
、上記工程；
からなるサイクルを、第一吸着床ユニットと第二吸着床ユニットとを交換して繰り返す、
圧力スイング吸着方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、酸素及びその他の選択的に吸着し得るガス状成分を含有する空気のような混成ガスから酸素ガスのような第一ガスを分離することに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ＰＳＡプロセスは、選択的に吸着し得るガスと優先吸着し得ないガスとの混合物からのこれらのガスが、ゼオライトのような慣用の吸着床物質上に吸着する差異に基づく。既知のプロセスでは、２又は３床ユニット系は、その各々が水及び二酸化炭素を除去するための下部床層及び中を通過させるガス混合物の供給から選択的に吸着し得るガスを吸着するための上部或は下流床層を収容し得、それの吸着床ユニット、或は第一のかかる床ユニットを加圧して高い圧力値にして水及び二酸化炭素の選択的除去並びに一種のガスの選択的吸着を引き起こし、他方、加圧された選択的に吸着し得ないガスは、影響を受けないで通過して受け入れユニットに行く。該受け入れユニットは、系の第二床ユニットになり得る。そのような場合、第二床ユニットは、次のサイクルにおいてオンストリームになるに先立って吸着されないガスによって加圧されるようになる。２床系の次の床ユニット、すなわち第三床ユニット或は第一床ユニットは、均圧タンクから或は吸着されない濃厚ガスを生産した後に降圧されている床ユニットからパージされる中圧の廃ガス又はボイドガスの供給を通すことによる逆流或は向流排気によって洗浄されている。これは、後の再加圧及び濃厚ガス生産のために床ユニットを洗浄する。定められた期間の後に、第二床ユニットは逐次使用にもたらされ、第一床ユニットは排気され、第二床ユニットは再加圧される。
　【０００３】
　基本のＰＳＡサイクルの改良及び変更が多数研究されかつ空気から酸素を生産するような商業プロセスに適用されてきたが、そのような系は、極低温蒸留を用いた別法に比べた場合、一般に大きなプラント用の高純度酸素生産について非効率でありかつ不経済である。従って、本発明の目的は、空気から大容量の高純度酸素を、少ない動力要求量で生産するための極めて効率的なＰＳＡプロセスを提供するにある。
　【０００４】
　元のＰＳＡプロセスは、Ｓｋａｒｓｔｒｏｍ、米国特許第２，９４４，６２７号によって開発され、下記の４つの基本的な工程を含むサイクルからなる：（１）吸着、（２）降圧、（３）パージ、及び（４）再加圧。Ｓｋａｒｓｔｒｏｍのいくつかの変更が発展した。そのような系の一つは、Ｗａｇｎｅｒの米国特許第３，４３０，４１８号に記載されており、同特許においては、生成物を連続して生産するのに、少なくとも４つの床が必要とされる。４つの床を備えることは、それより数が少ない場合に比べて、費用が余分にかかりかつ複雑になるため、Ｗａｇｎｅｒ系は、一般的に経済的に実施し得ない。
　【０００５】
　Ｂａｔｔａは、米国特許第３，６３６，６７９号において、圧縮空気及び生成物酸素（均圧降下工程を通過する別の床から得られる）を、同時に同じ吸着剤床の反対端に導入する系を記載した。２床系を使用することによって更に装置費の節約を図る別のプロセスが、ＭｃＣｏｍｂｓにより米国特許第３，７３８，０８７号に記載されており、同特許においては、原料空気を部分再加圧された吸着剤床に導入することによる昇床圧吸着工程が採用されている。ＭｃＣｏｍｂｓの研究の後に、Ｅｔｅｖｅ等の米国特許第５，２２３，００４号は、下記の工程を利用するＰＳＡプロセスを記載した：（１）サイクルの低圧レベルから出発して中間圧レベルにする向流生成物加圧、（２）中間圧レベルから、放出しないで並流供給加圧して吸着圧にまでする、（３）空気を入れかつ酸素を並流に放出させる生産工程、（４）空気を入れるのを止めて、並流に部分降圧することによって酸素を放出させる工程、及び（５）向流に降圧してサイクルの低圧レベルにする脱着工程。
　【０００６】
　元のＰＳＡサイクルのそれ以上の変更は、多数文献に見出すことができる。例えば、米国特許第４，１９４，８９１号、同第４，１９４，８９２号及び同第５，１２２，１６４号は、粒径の一層小さい吸着剤を使用して拡散抵抗を減小させた短い床サイクル時間を用いるＰＳＡサイクルを記載し；Ｄｏｓｈｉ等は、３つ又はそれ以上の床を利用し、ボイドガスを床再生する前にタンクに移し、後に再加圧のために用いるＰＳＡプロセスを開示している。加えて、タンク均圧を加入した２床ＰＳＡプロセスのプロセス改良が、米国特許第３，７８８，０３６号及び同第３，１４２，５４７号に開示されており、それらの特許では、保存されたガスが別の床用のパージガスとして使用される。
　【０００７】
　一層最近になって、タガワ等の米国特許第４，７８１，７３５号は、３つの吸着剤床を使用して酸素を生産し、一床の供給端を別の床の供給端に接続する（底部−底部均圧）ことによって高い酸素回収率を達成し、均圧時間のすべて或は一部について、頂部−頂部均圧を、底部−底部均圧と同時に行うＰＳＡプロセスを開示している。加えて、Ｋｕｍａｒ等の米国特許第５，３２８，５０３号は、初期降圧工程を用いてパージガスを供した後に、随意の床−床加圧される均圧工程を用いるＰＳＡプロセスを記載している。この特許に従えば、少なくとも２つの吸着剤床が採用され、生成物と供給ガスとが組み合わされて、吸着剤床を再加圧するために使用される。
　【０００８】
　Ｓｕｈ及びＷａｎｋａｔ（ＡＩＣＨＥ　Ｊ．３５巻、５２３頁、１９８９）は、ＰＳＡプロセスにおいて並流−向流降圧工程を組み合わせて使用することを開示している。彼らは、空気から酸素を生産することについて、向流降圧工程を加えることは役に立たないことを開示している。Ｌｉｏｗ及びＫｅｎｎｙ（ＡＩＣＨＥ　Ｊ．３６巻、５３頁、１９９０）は、空気からの酸素生産についてコンピューターシミュレーションによる「バックフィルサイクル」を開示している。彼らは、向流（供給方向に関して）生成物再加圧工程が、冨化酸素生成物を生成するサイクルに入れる場合に、有利であることを開示している。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の目的は、吸着剤を一層効率的な方法（一層小さい床サイズファクター）で用い、かつ従来技術を使用する他のプロセスに比べて要するエネルギーが少なくてガス混合物から高純度ガスを生産する、空気のようなガス混合物から酸素のような濃厚ガスを生産する一層効率的な圧力スイング吸着（ＰＳＡ）プロセスを提供するにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、酸素のような第一ガスと、一層優先的に吸着し得るガスを含む一種又はそれ以上の他のガスとを含有するガス混合物から第一ガスを分離するための改良されたＰＳＡプロセスに関する。それは、ＰＳＡ床を同時に均圧及び排気した後に、同時に供給及び生成物ガス再加圧する新規な工程を含む。これは、真空或は減圧用ブロワーを１００％利用し、かつ動力使用を約１５％低減させる総括的に一層速くかつ一層効率的なサイクルを生じる。
　【００１１】
　発明の要点は、ＰＳＡサイクルの種々の工程を重ねさせて全サイクル時間を短縮させ、こうして生産性を向上させることを含む。他の重要なパラメーターは、作業条件（高圧、低圧、均圧降下工程の終りにおける圧力、及び生成物加圧工程において使用する高純度生成物の量）、各々の工程について割り当てる時間、サイクルの各々の工程を実施する順序の選定、並びに還流及び均圧上昇させるのに要求されるガスを供するのに均圧降下ガスを使用することを含む。サイクルにおける特有の工程は、同時に均圧上昇工程を受ける床を排気し、その間他の床は均圧降下工程を受けている工程である。この工程について割り当てる時間は、この工程の終りにおいて、前者の床はパージされかつまた部分加圧され終っているように選ばなければならない。サイクルにおける次の工程は、該床の反対端において同時に生成物及び供給加圧した後に、供給加圧して所望の吸着圧力にすることである。発明のその他のキーとなる特徴は、下記の通りである：（ａ）同時の供給及び生成物加圧の工程において要求される生成物ガスは、通常、生成物タンクから、或は生産工程における別の床から来、（ｂ）並流降圧或は均圧降下ガスは、別の床の下流端か或は第二貯蔵タンクのいずれかに行く。後者の場合、ＰＳＡプロセスを制御する際に更に融通性を加える床−床連絡を必要としない。
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　本発明の新規な方法は、ＰＳＡサイクルに新規な作業工程のシーケンスを加入するもので、回転機（例えば、圧縮機及び真空ポンプ）についての無負荷時間を最少にし、生成物回収率を高め、床サイズファクター（ＢＳＦ）が従来技術のＰＳＡサイクルに匹敵し得る又はそれより小さくかつ動力消費量が従来知られているＰＳＡサイクルに比べて５〜２０％少ない。本ＰＳＡサイクルにおける作業工程は、下記の通りである：（Ｉ）供給ガス混合物（例えば空気）及び濃厚にされたガス生成物（例えば酸素）を床の反対端に同時に導入して中間圧レベルに部分再加圧する。この工程では、生成物ガスは、通常、生成物タンクから、或は生産工程における別の床から来る。
　（ＩＩａ）工程２の第一部において、中間圧レベルから吸着圧への供給加圧（並流）。
　【００１３】
　（ＩＩｂ）工程２の第二部である吸着及び総（ｇｒｏｓｓ）生成物生産。
　（ＩＩＩ）ガスを直接或は間接に、すなわち均圧タンクを通して同時に加圧及び排気されている別の床に移す並流降圧。間接様式では、並流降圧ガスは第二貯蔵タンクに行く。この場合には、床−床連絡を必要としない。
　（ＩＶ）廃棄に排気或は降圧する（向流）、その間他の床は、２床ＰＳＡプロセスについて同時の供給及び生成物加圧を受けている。
　（Ｖ）更に廃棄に排気或は降圧する。この工程は、第一床についての前の工程と同じである。しかし、他の床工程は、吸着及び総生成物生産を受けている（図１参照）。
　（ＶＩ）同時に加圧（向流）及び排気する、この場合、還流ガスは、並流降圧を受ける別の床によって（工程３）或は並流降圧ガスを捕獲するのに使用した第二貯蔵タンクから供給する。
　【００１４】
　上記の工程を、２床ＰＳＡプロセスについて図１に概略的に示す。このサイクルについて、５点に留意すべきである：（ａ）床−床均圧工程をパージ工程に重ね、均圧上昇を受ける床もまた同時に排気しており、（ｂ）床を再生する間パージするのに要する還流ガスのすべてを、並流降圧（均圧降下）工程の間に別の床から得られるボイドガスによって供給し、（ｃ）生成物及び供給加圧工程を重ねた後に、供給加圧単独で吸着圧にすることを用いて一層大きな生成物流量を達成し、（ｄ）個々の工程を重ねることによる全サイクル時間の短縮は、床サイズファクター（ＢＳＦ）を低減させることになり、及び（ｅ）真空ポンプについての無負荷時間が存在しない（図１参照）、すなわち、真空ポンプを１００％利用する。
　【００１５】
　本発明の新規なサイクルでは、均圧降下ガスは、均圧上昇及び排気を同時に受けている別の床が必要とするガスのすべてを供する。これより、この工程は、均圧工程をパージ工程と重ね、それにより従来技術のＰＳＡサイクルにおいて使用される慣用のパージ工程及び均圧工程を改良する。加えて、窒素波頭を床の外に押し出すのに必要な還流ガスのすべてを、均圧降下工程を経る他の床によって供する。この作業様式では、パージング及び均圧上昇を組み合わせた工程について、純度の一層低いガスを使用する。サイクルにおける次の工程（生成物加圧、向流に）は、通常生成物タンクからの高純度生成物ガスを使用してカラムの生成物端を加圧し、他方、供給ガスを同時に床の他方の端に供給する。個々の工程が重なることは、酸素の生産速度の大きな一層速いＰＳＡサイクル（一層小さいＢＳＦ）を生じる。加えて、このサイクルは慣用のパージ工程を使用しないので、生成物ガスは、どれも吸着剤床をパージするために消費されない。また、同時の排気及び均圧上昇の間、工程の終りにおける床圧力は、前の工程（排気工程）の圧力よりも高くなければならない。これより、流入するガスの流量及びこの工程について割り当てる時間は共に、この工程の終りに、床がパージされかつ部分加圧されてしまっているように注意深く選ばなければならない。
　【００１６】
　これより、発明は、ＰＳＡサイクルにおいて種々の工程を重ねさせて全サイクル時間を短縮させ、これより生産性、作業条件（高圧、低圧、均圧降下工程の終りにおける圧力、及び図１の工程１において使用する高純度生成物の量）、各々の工程について割り当てる時間、サイクルの各々の工程を実施する順序の選定、並びに還流及び均圧上昇について要求されるガスを供するのに均圧降下ガスを使用することを向上させることからなる。サイクルにおける特有の工程は、工程ＩＩＩであり（図１参照）、同工程では、均圧降下工程を受ける床を、同時に加圧及び排気されている別の床に開放する。この工程について割り当てる時間は、この工程の終りに、第二床がパージされかつ部分加圧されてしまっているように選ばなければならない。サイクルにおける次の工程は、第二床の反対端において同時に生成物及び供給加圧した後に、供給加圧して吸着圧にする、工程ＩＩＡ、図３である。
　【００１７】
　本発明を生成物Ｏ２について実施するには、例えば下記の工程を実施することができる：（Ｉ）原料及び生成物を共に、部分加圧するために床の反対端に導入する中間圧レベルは、０．５〜１．２ａｔｍ（１．０ａｔｍ＝１４．６９６ｐｓｉ）の間で選び、好ましくは約０．９ａｔｍにし、高い圧力レベルは、１．２〜２．０ａｔｍの間で選び、好ましくは約１．４２ａｔｍにする。低い圧力レベルは、０．３０〜０．４５ａｔｍの間で選び、好ましくは約０．３５ａｔｍにする。
　（ＩＩ）生産工程の間の圧力は、約０．９ａｔｍの中間圧レベル（同時の生成物及び供給工程の終りにおける圧力）から約１．４２ａｔｍの吸着圧に上昇していることができる。別法として、同時の生成物及び供給加圧の後に、解放しない供給加圧が行われて吸着圧に達し、次いで制御バルブが開放して生成物を生成する。この後者の場合、生産工程の間の圧力は、一定の圧力である。
　【００１８】
　（ＩＩＩ）原料流入を停止し、カラムを並流に降圧して吸着剤上に共吸着した（ｃｏ−ａｄｓｏｒｂｅｄ）ボイドガス及び軽質成分を回収する。この工程の間の圧力は、約１．４２ａｔｍの吸着圧から約１．１０ａｔｍに低下する。この工程において捕集されるガスを、本明細書以降「ボイドガス」と呼ぶ。このガスは、第二貯蔵容器（均圧タンク）に貯蔵することができ或は均圧上昇及び排気工程を同時に受ける別の床の生成物端に直接供給することができる。後者の場合、この工程の終りに、床はパージされかつ部分加圧されてしまっている。これより、ボイドガスの内のいくらかは、窒素（重質成分）波頭を供給端より床の外に移動させるための還流ガスとして使用し、他方、残りのボイドガスは、部分生成物加圧用に使用するので、この工程について割り当てる時間は、非常に重要である。この工程の間の圧力は、約０．３５ａｔｍから約０．６０ａｔｍに上昇する。
　【００１９】
　（ＩＶ）及び（Ｖ）向流に降圧して約０．３５ａｔｍの低い圧力レベルにすることによる脱着段階。
　（ＶＩ）この床が依然排気を受けている間に、加圧の第一部分が行われる。この工程について必要とされるガスは、均圧降下工程を受ける別の床から、或は均圧降下工程の間に別の床から得られるボイドガスを貯蔵するために使用した第二タンクから得られる。この工程の間、ボイドガスを受け入れる床の圧力は、約０．３５ａｔｍから約０．６０ａｔｍに上昇する。
　【００２０】
　発明の基本的な特徴を、図１に示す２床ＰＳＡプロセスＡ及びＢの運転を記載することによって、例示する。しかし、１、或は２床より多く、及びその他の作業条件（例えば、その他の圧力範囲）を、本発明に従って採用することができることは理解すべきである。図２は、図１の２つの吸着床Ａ及びＢ、原料圧縮機又はブロワー１１、真空ポンプ１３、生成物貯蔵タンク１８並びに相互に連絡する管路及びバルブからなる２床ＰＳＡプロセスの略図である。図３は、サイクルの種々の工程を実施する間の圧力の発生を示し、サイクルは、図１における工程６の後に始まる。図１、２及び３を参照すると、ＰＳＡプロセスを、完全なサイクルについて開示する。図２のＰＳＡプロセスは、吸着剤を充填した２つの床（Ａ及びＢ）からなり、各々は、入口バルブ３３或は３５、及び出口バルブ３４或は３６を有する。原料入口バルブ３３及び３５を、ブロワー機或は圧縮機１１を通して空気供給導管１０に接続し、それに対し、排気出口バルブ３４及び３６を、真空ポンプ１３を組み入れた真空排気導管１２に接続する。床出口導管１４及び１５は、バルブ５及び６を経て生産導管１６に連絡し、生産導管１６は、制御バルブ１７を通して生成物貯蔵タンク１８に接続する。バルブ１０Ａ及び１２Ａは、パージガス工程をサイクルに入れるならば、２つの床を連絡させることができる。例えば、バルブ１２Ａは、開放する場合、床Ａからの生成物ガスの一部を床Ｂへのパージ流を供給させることができる。同様に、バルブ１０Ａは、開放する場合、床Ｂからの生成物ガスの一部を床Ａへのパージ流を供給させることができる。出口導管１４及び１５を、バルブ２及び４によって互いに連絡させる。線図におけるバルブは、すべてコンピューターシステム及びプログラム論理によって電子的に作動される。導管１９は、生成物貯蔵タンクに接続され、生成物ガスをバルブ８及び９を経て供給して、床Ｂ及びＡをそれぞれ生成物加圧する。
　【００２１】
　図１及び２を参照すると、２床系についての新規なＶＰＳＡ　Ｏ２プロセスを、今記載してサイクルの各々の工程についてのバルブの開閉を例示する。バルブは、各々の工程において示すものの外は、すべて閉止される。本例では、サイクル時間は、約６０秒であり、圧力は、０．３５ａｔｍの低い圧力〜２．０ａｔｍの高い圧力の範囲である。
　【００２２】
工程Ｉ：管路１０を通して原料（空気）を及びタンク１８から生成物（酸素）を、同時に床の反対端に導入する。床Ａの場合、バルブ３３及び９を開放して原料及び生成物ガスをそれぞれ床に入れさせる。この時間の間、バルブ３６を開放し、他の床Ｂは、排気を受けている。
工程ＩＩ：原料加圧及び総生成物メーク工程では、バルブ３３及び５が開放し、床Ａが更に原料加圧を受ける。制御バルブ１７プログラム論理は、このバルブを開放して生成物ガスを床Ａから生成物タンクに入れさせる場合を示す。例えば、メーク生成物工程の間、一定の圧力を必要とするなら、その場合、床Ａが予定の圧力レベルに達した時に、バルブ１７だけが開放して生成物ガスを生成物タンク１８に入れさせる。床Ａについての原料加圧及びメーク生成物工程（工程２）の間、床Ｂは、バルブ３６を経て排気を受けている。
　【００２３】
工程ＩＩＩ：並流降圧。本発明の一変法では、バルブ３３を閉止し、かつバルブ４を開放して床Ａからボイドガスを回収し、それを床Ｂに向けて床Ｂを部分加圧し（床Ｂについての均圧上昇）、かつ還流ガスとして床Ｂにおける窒素波頭を床Ｂの供給端の方向に押す。この時間の間、バルブ３６を依然開放し、こうして床Ｂは、均圧上昇及び排気を同時に受ける。本発明の別の変法は、均圧降下ボイドガスを、床Ｂに供給するために別の貯蔵タンクに捕集する。この後者の場合、床−床連絡は必要でない。
工程ＩＶ：バルブ３４を今開放して床Ａを向流に排気し、かつ床Ｂが、反対端から同時の原料及び生成物加圧を受けるように、バルブ３５及び８を開放する。
　【００２４】
工程Ｖ：バルブ３４を依然開放して床Ａは更に排気を受け、他方、バルブ３５及び６を開放し、それで床Ｂを原料で加圧して吸着圧にする。制御バルブ１７論理は、床Ｂからの生成物ガスが生成物タンク１８に入る時を決める。
工程ＶＩ：バルブ３５を閉止し、床Ｂは、床Ａ或は第二貯蔵タンクに接続するバルブ２を経る降圧を受け、これは立ち代わって床Ａに昇圧パージを供する。この時間の間、バルブ３４は、依然開放された位置にあり、床Ａに均圧上昇及び排気を同時に受けさせる。
　【００２５】
　図１及び２に関係して上記したサイクルに基づいて、いくつかの変更を行ってこれらの工程の適用或は一般的な機能から逸脱しないで工程の内の一つ又はそれ以上を変更することができる。例えば、向流降圧工程ＩＶを、空気に、床内の圧力が低下して１．０ａｔｍになり、次いで排気が始まるまで開放することによって先行させることができる。図１の工程を利用する図２の２床プロセスは、図８に示す標準のプロセスに比べて、一層小さい床サイズ及び一層少ない動力消費量で、匹敵し得る酸素純度及び回収率を生じることができる。また、このプロセスでは、真空ポンプは、サイクルの各々の工程の間一方又は他方の床により連続して使用される。達成される床サイズの減小及び動力の低減は、約５〜２０％の範囲である。
　【００２６】
　図４及び５は、生成物貯蔵容器１８及び均圧タンク２０を使用する２床プロセスを作動させるための別の系を示す。バルブの開閉を含む種々の工程を実施することは、図２について上に挙げた記述と同様である。しかし、２つの貯蔵容器を使用することは、プロセスにおいて一層大きな融通性を可能にする。例えば、図５に示すサイクルにおける個々の工程は、固定した期間を占める必要はない。これより、圧力及び組成のような物理的変数を、各々の工程について割り当てる時間決めるのに容易に用い、それによりプロセスを温度、圧力及び変動する生成物需要の変化について調整することができる。床−床ガス移送を必要としないので、それで各々の床を独立にランさせ、プロセスを単一床ユニットの集合と見なすことが可能である。しかし、圧縮機及び真空ポンプの適したサイジング及び配分について、各々の床の総括サイクルと他の床のサイクルとを合わせることが必要である。
　【００２７】
　本発明の装置は、浅い皿形ヘッドを頂部及び底部に有する円筒形吸着剤床、並びに軸方向のガス流れを利用するのが好ましいが、その他の床構造を用いることができる。例えば、圧力損失の減少を、付随する動力消費量の低減と共に達成するのに、ラジアル床を使用してもよい。加えて、異なる吸着剤を床内の種々の位置に充填した層をなした床を使用することができる。例えば、供給流から水及び二酸化炭素を除くために、床の供給端に活性アルミナを置くことができ、かつ空気を酸素冨化生成物に分離するのを行うために、活性アルミナの上部上にＬｉ−Ｘゼオライトを置くことができる。図４及び５の２床系及びプロセスは、図１、２及び３の系及びプロセスがもたらすのに匹敵し得る改良を、生成物回収率のわずかな改良と共にもたらす。
　【００２８】
　図面の図６及び７は、生成物タンク１８及び均圧タンク２０を使用する単一床プロセスを用いることを例示する。図６のプロセスは、高い機械利用率を有するために、図７に例示する加圧及び排気工程を実施するのに、単一の圧縮機／ブロワー１１を使用することを示す。図６及び７を参照しながら、サイクルにおける工程を簡潔に説明する。
　【００２９】
　サイクルが、同時の供給及び生成物加圧から始まる（図６及び７を参照）と仮定すると、バルブ９、１０及び３３が開放され、その他のバルブは閉止される。バルブ１７は、差圧チェックバルブであり、これは、吸着剤容器Ｃ内の圧力が、生成物タンク１８内の圧力よりも大きくなる場合だけに開放する。ある時間した後に、バルブ９は閉止し、工程２が始まる。工程２の間、供給加圧がバルブ１０及び３３を経て続き、差圧チェックバルブ１７が開放して生成物ガスが生成物貯蔵タンク１８に入る。工程２の終りに、バルブ３３が閉止され、かつバルブ３６が開放されて圧縮機１１を無負荷にする。この時間の間、床は、並流降圧を受け、バルブ４が開放された位置にあってボイドガスを均圧タンク２０の中に集める。吸着剤床Ｃの圧力が生成物タンク（１８）の圧力よりも低く下がるので、チェックバルブ１７は、並流降圧工程（工程ＩＩＩ）の間閉止された位置になることに留意すること。工程ＩＩＩの実施の間、バルブ９、１０及び３３は、閉止された位置にある。工程ＩＩＩの停止時に、バルブ１２及び３４が開放された位置にあり、バルブ４、９、１０、１７、３３及び３６は閉止される。この工程（工程ＩＶ）の間、吸着剤床Ｃ内のガスは、バルブ３４より去り、圧縮機の入口より入る。
　【００３０】
　図７に例示する次の工程（工程Ｖ）は、丁度工程ＩＶ（排気工程）の継続である。最終工程（工程ＶＩ）を実施するに、バルブ１２及び２４は、依然開放位置にある。この工程の間、バルブ４が開放され、均圧タンク２０からのガスが還流ガスとなって吸着されたガスを脱着しかつ床Ｃを部分加圧する。単一床プロセスを一例だけ記載したが、単一床プロセスのその他の変更態様は、発明の基本的な特徴から逸脱しないで、容易に得ることができる。
　【００３１】
　図８は、従来技術のサイクルを使用する慣用のＰＳＡプロセスを例示するもので、サイクル時間は、本発明に比べて約１０〜２０％長い。この図において、記号は下記の意味を有する：ＡＤ＝吸着及び総生成物生産、ＰＧ＝パージ、ＥＱ＝均圧、及びＥＶ＝排気。従来技術の慣用のサイクルは、本発明のサイクルに比べて動力を一層多く消費することに留意すべきである。本プロセス（図１）は、同じ吸着剤を使用する従来技術のサイクル（図８）に比べて有意の動力消費量の低減（１５％より大きい）をもたらす。標準の均圧サイクル（図８）に勝る本発明のサイクル（図１）の利点は、真空ポンプの１００％利用率を可能にすることである。
　【００３２】
　新規なサイクルを、ＶＰＳＡ　Ｏ２プロセスに関し、発明の特定の実施態様を示して説明してきたが、その他の実施態様は、開示した特徴の変更態様と共に、本発明の範囲内であると意図する。例えば、新規なサイクルは、大気圧を通る（ｔｒａｎｓａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ）真空圧力スイング吸着（ＶＰＳＡ）サイクルに限定されず、過圧或は減圧スイング吸着サイクルもまた使用してよい。これより、「加圧した」、「高圧」、「中圧」、「降圧」、等なる用語は、本明細書中及び特許請求の範囲において、負並びに正の圧力を含む相対的な用語として用いる。これより、小さい真空圧下のガスは、高い真空又は負圧下のガスに比べて、「加圧され」或は「高圧」である。また、新規なサイクルは、その他の混合物分離、例えば埋立てガスからのＮ２／ＣＨ４分離、及びその他のガス混合物、例えば水素を優先的に吸着されない生成物成分としてかつ種々の不純物を選択的に吸着し得る成分として含有する原料において用いることができる。これらは、軽質炭化水素、ＣＯ、ＣＯ２、ＮＨ３、Ｈ２Ｓ、アルゴン及び水を含む。これらの吸着可能な成分の内の少なくとも一種を含有する水素冨化原料ガスは、下記を含む：接触リホーマーオフガス、メタノール合成ループパージ、解離されたアンモア及び脱メタン化装置オーバーヘッドガス、スチームリホームされた炭化水素、アンモア合成ループパージガス、電解水素及び水銀セル水素。発明は、また、窒素或はヘリウムが主成分であるガス混合物から前述した吸着質（ａｄｓｏｒｂａｂｌｅｓ）の内のいずれか又はすべてを分離するのに有用である。
　【００３３】
　要するに、本発明が、一工程で吸着床を同時に均圧及び排気した後に、別の工程で吸着床を同時に生成物及び供給加圧することの新規な工程を含み、真空ブロワーを全時間利用し、かつ動力消費量を約１５％減少させる総括的に一層速くかつ一層効率的なプロセスを生じる、ガス混合物から濃厚なガスを製造する新規な真空圧力スイング吸着プロセスを提供することは、当業者にとり明らかであると思う。本発明の新規なプロセスは、過圧、大気圧を通る或は減圧の圧力レベルで行うことができ、ＰＳＡプロセス系を用いるガスの分離に一般的に適用する。
　【００３４】
　前記の記載が発明の例示にすぎないことは理解されるべきである。当業者ならば、種々の変法、変更態様、及びその他のプロセス条件（例えば、作業圧力範囲）を、発明から逸脱しないで工夫することができる。よって、本発明は、特許請求の範囲内に入るそのような変法、変更態様、及び変化をすべて包含することを意図する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施態様に従うデュアル吸着カラムサイクルの工程を例示する。
　【図２】
　図１のデュアル元床サイクルについてのフローシートである。
　【図３】
　完全なサイクルの異なる工程の間床における圧力の発生を例示する時間／圧力のグラフである。
　【図４】
　発明の別の実施態様に従う、床対床連絡を持たないデュアル床サイクルについてのフローシートである。
　【図５】
　図４によって例示する系のサイクルにおける工程を例示する。
　【図６】
　発明の別の実施態様に従う、単一床プロセスについてのフローシート及びカラムサイクルを例示する。
　【図７】
　発明の別の実施態様に従う、単一床プロセスについてのフローシート及びカラムサイクルを例示する。
　【図８】
　比較のために、標準の従来技術の吸着カラムサイクルの工程を例示する。