【事件の表示】
　平成　５年特許願第　５６７００号「荷電ビーム装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　６年　９月２２日出願公開、特開平　６−２６７４８６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯／本願発明
  本願は、平成５年３月１７日の出願であって、特許請求の範囲の請求項１乃至８に係る発明は、平成１２年３月７日付け、及び、平成１５年１２月２２日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至８に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項２に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「【請求項２】　電子ビームを放射する電子銃と該電子ビームを集束させる電子レンズと該電子ビームの断面形状を整える絞りと基板を載置するＸ−Ｙステージとを真空槽内に配置し、前記真空槽内で使用する線体を有する荷電ビーム装置において、前記真空槽内で使用する線体は非磁性導電性芯線と、この芯線を被覆する絶縁被覆材として弗素樹脂である有機物絶縁被覆材と、この被覆材に外装して前記芯線をシールドする非磁性導電材シールドとから構成し、前記非磁性導電材シールドは、少なくとも弗素元素もしくは酸素元素を含む反応性ガスに対する耐食性を有することを特徴とする荷電ビーム装置。」
　なお、平成１４年１１月５日付けの手続補正は、原審において補正却下の決定がなされ、既に確定している。
　
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された本願出願前に頒布された刊行物である実願昭５８−２１１００号（実開昭５９−１２８１６０号）のマイクロフィルム（以下、「引用刊行物」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
１ａ．「（１）電子銃から発射された電子ビームを集束加速して試料上に照射し、該試料に所望のパターンを描画する電子ビーム描画装置において、前記電子ビームに直接晒されるか或いは見通される部分に設けられた信号伝達用のケーブルを、導電体の外側を絶縁物で被覆しさらにその外側に導電体膜をコーテイングしてなるもので形成し、かつ上記導電体膜を接地してなることを特徴とする電子ビーム描画装置。」（明細書１ページ、「実用新案登録請求の範囲」）
１ｂ．「本考案は、Ｘ方向及びＹ方向へ移動可能なステージ上に保持された試料に電子ビームを照射して該試料に所望のパターンを描画する電子ビーム描画装置に係わり、特に電気部品間の信号伝達用ケーブルの改良をはかつた電子ビーム描画装置に関する。」（明細書１ページ２０行〜２頁５行）
１ｃ．「近時、半導体ウエハやマスク等の試料に微細なパターンを形成するものとして各種の電子ビーム描画装置が研究開発されているが、この種の装置は一般に電子光学鏡筒及び試料室から構成される。電子光学鏡筒はその内部が真空に保持されており、電子銃から発射された電子ビームを静電的或いは磁気的にコントロールする部分であつて、電子ビームを偏向させるために複数の偏向電極が配置されている。」（明細書２ページ７行〜１５行）
１ｄ．「信号伝達用のケーブル３１は所謂シールド線に類似したものである。ただし、一般のノイズ防止のために使用されているシールド線は、外側の伝導体が金属のアミメ構造になつており、・・・本考案においては、外側の導電体膜を緻密な膜構造にした。即ち、ケーブル３１は・・・第５図に示すように・・・導電体３４の外側を絶縁膜３５で被覆しさらにその外側を金属の緻密な導電体膜３６で被覆して形成する。・・・導電体膜３６の形成法としては蒸着或いはスパツタ蒸着等があり、導電体膜３６としてはインジウムや金或いは銀等から適宜選択し、・・・被覆する。」（明細書７ページ３行〜２０行）
１ｅ．「なお、前記説明は電子ビーム鏡筒内の配線についてであるが、電子ビーム描画装置の他の部分例えば、試料室内における移動ステージと固定壁との間の配線・・・にも使用可能である。」（明細書８ページ５行〜１０行）
　
３．対比・判断
　引用刊行物には、上記「２．」の「１ａ．」乃至「１ｅ．」の記載から、以下の発明（以下、「引用刊行物記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
「電子ビームを発射する電子銃と、電子銃から発射された電子ビームを静電的或いは磁気的にコントロールする電子光学鏡筒と、試料を保持しＸ方向及びＹ方向へ移動可能なステージと、内部に配線された信号伝達用ケーブル３１と、を備えた電子ビーム描画装置において、信号伝達用ケーブル３１は、導電体３４の外側を絶縁膜３５で被覆しさらにその外側をインジウムや金或いは銀等から適宜選択された金属の緻密な導電体膜３６で被覆して形成されていることを特徴とする電子ビーム描画装置。」
　本願発明（前者）と引用刊行物記載の発明（後者）とを対比する。
　後者の、「電子ビームを発射する電子銃」、「電子銃から発射された電子ビームを静電的或いは磁気的にコントロールする電子光学鏡筒」、「試料」、「試料を保持しＸ方向及びＹ方向へ移動可能なステージ」、「電子ビーム描画装置」は、それぞれ、前者の、「電子ビームを放射する電子銃」、「電子ビームを集束させる電子レンズ」、「基板」、「基板を戴置するＸ−Ｙステージ」、「荷電ビーム装置」に相当する。
　また、電子ビーム露光装置において、絞りを設けること、及び、電子銃からステージに至る部分を真空槽内に配置することは、従来から普通に用いられているところであり（例えば、特開昭６１−５９８２６号公報参照。）、明示されてはいないものの、後者も、同様の構成を有しているものと解される。これより、後者の「内部に配線された信号伝達用ケーブル３１」は、真空槽内に配線されることになるから、前者の「真空槽内で使用する線体」に相当する。
　次に、後者の「信号伝達用ケーブル３１」に関する「導電体３４の外側を絶縁膜３５で被覆しさらにその外側をインジウムや金或いは銀等から適宜選択された金属の緻密な導電体膜３６で被覆」した点の構成と、前者の「線体」に関する「非磁性導電性芯線と、この芯線を被覆する絶縁被覆材として弗素樹脂である有機物絶縁被覆材と、この被覆材に外装して前記芯線をシールドする非磁性導電材シールドとから構成」した点とを対比する。
（１）信号伝送ケーブルの芯線は、通常、非磁性金属である銅やアルミニウムが使用されており（例えば、実願平１−１５４１７号（実開平２−１０６６２６号）のマイクロフィルム参照。）、後者の「信号伝達用ケーブル３１」を構成する「導電体３４」も同様の材料からなるものと解されるから、後者の「導電体３４」は、前者の「非磁性導電性芯線」に相当する。
（２）後者の「絶縁膜３５」と、前者の「芯線を被覆する絶縁被覆材として弗素樹脂である有機物絶縁被覆材」とは、ともに、「芯線を被覆する絶縁被覆材」である点で共通する。
（３）後者の「絶縁膜３５の外側を被覆するインジウムや金或いは銀等から適宜選択された金属の緻密な導電体膜３６」は、上記「２．」の「１ｄ．」の記載から明らかなように、これによりシールド機能を持たせるものであるから、前者の「（絶縁性）被覆材に外装して前記芯線をシールドする非磁性導電材シールド」に相当する。
　以上より、両者は、
「電子ビームを放射する電子銃と該電子ビームを集束させる電子レンズと該電子ビームの断面形状を整える絞りと基板を載置するＸ−Ｙステージとを真空槽内に配置し、前記真空槽内で使用する線体を有する荷電ビーム装置において、前記真空槽内で使用する線体は非磁性導電性芯線と、この芯線を被覆する絶縁被覆材と、この被覆材に外装して前記芯線をシールドする非磁性導電材シールドとから構成したことを特徴とする荷電ビーム装置。」の点の構成で一致し、次の点で相違する。
［相違点１］
　絶縁被覆材として、前者が、「弗素樹脂である有機物絶縁被覆材」を用いているのに対し、後者にはこの点の記載がない点。
［相違点２］
　前者の「非磁性導電材シールド」が、少なくとも弗素元素もしくは酸素元素を含む反応性ガスに対する耐食性を有するのに対し、後者の「導電体膜３６」は、その材質として「金」を選択し得る点は示されているものの、少なくとも弗素元素もしくは酸素元素を含む反応性ガスに対する耐食性を有することについては記載されていない点。
　
　上記各相違点について検討する。
［相違点１］について
　芯線の絶縁被覆に弗素樹脂を用いることは従来周知であり（例えば、実願平１−１２８６９２号（実開平３−６８３１４号）のマイクロフィルム参照。）、引用刊行物記載の発明の絶縁被覆にこのような従来周知の事項を適用し、本願発明のように構成する点に格別の困難性は認められない。
［相違点２］について
　本願発明において、非磁性導電材シールドを少なくとも弗素元素もしくは酸素元素を含む反応性ガスに対する耐食性を有するようにした点に関して、平成１５年１２月２２日付け補正書により補正された本願明細書には「【０００９】・・・コンタミネーションがよく付着する偏向電極は通常、表面の酸化を防ぐために予め金めっき等がされている、複数の電極を電気的に絶縁する絶縁体には真空中でのアウトガス（out　gas）量をできるだけ抑えるために高純度Ａｌ2 Ｏ3が使われている等、上記弗素元素や酸素元素を含むガスにさらされても問題ない。ところが電極に電圧を供給する同軸ケーブルには、一般の銅網線、銅の銀めっき網線のシールド線で被覆された同軸ケーブル線が使われている。ところが組立精度の極めて高い偏向電極体からの同軸ケーブルを取りはずすことによる組立精度劣化を避けるためにはどうしても同軸ケーブルを付けたままで洗浄せざるをえず、この結果、同軸ケーブルが腐食し、その電気特性が低下するという問題が発生していた。
【００１０】本発明の目的は、上記弗素元素や酸素元素を含むガスに部品をさらして、コンタミネーションを除去する際に腐食されて電気特性の低下等を引き起こさない信号又は電力供給のための導線を用いた荷電ビーム装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、荷電ビーム装置の真空槽内にある信号又は電力供給のための導線を非磁性導電性芯線と、絶縁被覆材と、非磁性導電体とで構成し、この非磁性導電体は、少なくとも弗素元素や酸素元素を含む反応性ガスに対して耐食性のある材料でコートされていることにある。」等、記載されている。
　他方、荷電ビーム装置内の汚れ（コンタミネーション）がチャージアップされ、これによりビームドリフト等が生ずること、及び、このようなコンタミネーションを除去するために酸素元素や弗素元素を含む反応性ガスを用いることは従来周知である（例えば、特開昭６１−５９８２６号公報、特開昭６３−３０８８５６号公報、特開平４−１１２４４１号公報、特開平４−９４５２４号公報等参照。）。
　そして、上記周知例として例示した特開平４−９４５２４号公報の３頁左上欄１行〜４行の「鏡筒部内の真空内部品は概ね安定な金属によって構成されており、洗浄ガスはこれら金属物質とは化学的な作用を殆ど生じない。」との記載等からみて、荷電ビーム装置において、反応性ガスによる洗浄の際、反応性ガスによる部品の損傷を防止するために、反応性ガスに晒される部品の材質を選択する必要性が示唆されているものと認められる。
　そうすると、本願発明のような同軸ケーブルが反応性ガスに晒される場合に、同軸ケーブルの外面を反応ガスに耐食性を有する材質とすることは、上記のような周知の事項を勘案すれば、当業者が格別の格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
　そして、本願発明による効果も、引用刊行物の記載及び周知事項から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　以上より、本願発明は、引用刊行物に記載された発明及び周知事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、請求項２に係る発明（本願発明）は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、請求項２に係る発明が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。