【事件の表示】
　特願２０１３−２３９７５７「クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　５月２８日出願公開、特開２０１５−　９８８４４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２５年１１月２０日の出願であって、平成２８年１１月２２日付けの拒絶理由の通知に対し、平成２９年１月２５日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、平成２９年６月８日付けで拒絶査定がなされ、これに対して平成２９年９月１１日に審判の請求がなされるとともに手続補正がなされ、その後、当審において、平成３０年８月１５日付けで拒絶理由が通知され、平成３０年１０月１９日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされたものである。
第２　本願発明
　本願の請求項に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機と、前記低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネルと、前記高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネルと、を備える少なくとも１つのクライオポンプと、
　前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備え、前記圧縮機本体の運転周波数が可変である圧縮機ユニットと、を備え、
　前記作動ガスは、ヘリウムガスであり、
　前記圧縮機ユニットは、前記圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転され、前記低温クライオパネルは、１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され、前記ＧＭ冷凍機は前記低温冷却ステージでの冷凍効率が、前記温度領域のある冷却温度につき前記範囲から選択された圧力比で最大化されることを特徴とするクライオポンプシステム。」
第３　拒絶の理由
　平成３０年８月１５日付けで当審が通知した拒絶理由（以下、「当審拒絶理由」という。）のうちの理由Ａは、次のとおりのものである。
　本願発明は、本願の出願前に日本国内または外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、以下の引用例１に記載された発明及び周知技術に基いて、引用例１に記載された発明及び引用例２に記載された技術若しくは引用例３に記載された技術に基いて、引用例２に記載された発明及び引用例１に記載された技術に基いて、又は引用例３に記載された発明及び引用例１に記載された技術に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
引用例１．特開２００５−２８３０２６号公報 
引用例２．国際公開第２０１０／０３８４１５号 
引用例３．特開２００９−２７５５７９号公報 
引用例４．特開２００２−２４３２９４号公報（周知引例として）
第４　引用例の記載及び引用発明
１．引用例１の記載及び引用発明１
（１）引用例１には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付加した。）。
　ア．「【０００５】
　
このような蓄冷式冷凍機の代表的なものとしては、
ＧＭ冷凍機
がある。
・・・（中略）・・・
【００１０】
　
このような蓄冷式冷凍機における膨張は基本的にはサイモン膨張であり、冷凍部低温端での寒冷発生量（以下では冷凍能力と表現する）は原理的に、膨張前後の圧力差と膨張容積に比例し、冷凍効率（＝冷凍能力／消費電力）は膨張前後の圧力比に反比例する
　イ．「【発明が解決しようとする課題】
・・・（中略）・・・
【００２６】
　従って
この種の冷凍機の冷凍効率（ηとする）の低下を抑えるためには、原理的には、膨張前後の圧力比を小さくすることが必要で、いま、圧縮機から供給される膨張前の高圧側圧力をＰｈ、膨張後の低圧側圧力をＰｌとすると、膨張前後の圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）は出来るだけ小さくする必要がある。
【００２７】
　一方、
この種の冷凍機の冷凍能力（Ｑとする）を向上させるには、理想気体の場合、原理的には冷凍能力Ｑは冷媒の膨張仕事に等しく、膨張前の高圧側圧力をＰｈ、膨張後の低圧側圧力をＰｌとすると、冷凍能力Ｑは膨張容積Ｖと膨張前後の圧力差（Ｐｈ―Ｐｌ）との積、すなわちＱ＝Ｖ（Ｐｈ―Ｐｌ）となるので、この冷凍能力であるＱ＝Ｖ（Ｐｈ―Ｐｌ）を増加させるには、膨張容積Ｖを一定とした場合、膨張前後の圧力差（Ｐｈ―Ｐｌ）を大きくする必要がある。
・・・（中略）・・・
【００３２】
　
本発明は
ＧＭ冷凍機などの蓄冷式冷凍機において、冷凍能力と冷凍効率とを同時に向上させることを技術的課題とするものである。
　ウ．「【００５３】
　前記圧力振動装置１１は、ＧＭ型パルス管冷凍機１０内に充填してある
ヘリウムなどの冷媒
　エ．「【０１３９】
　
以上では蓄冷式冷凍機の例としてＧＭ型パルス管冷凍機で説明したが、
ＧＭ冷凍機であっても、本実施形態は適用される。
　オ．「【０１４０】
　ＧＭ冷凍機における実施形態について以下に図７、図８の基づき説明する。
【０１４１】
　図７に、
２段膨張する構成にあるＧＭ冷凍機
【０１４２】
　本実施形態における
ＧＭ冷凍機３０は、圧力振動装置１１と、冷凍部３１
を持つ。
　カ．「【０１４３】
　　
圧力振動装置１１は、
圧縮部２１
を有する。
　キ．「【０１４４】
　
冷凍部３１は、１段目シリンダ４１、２段目シリンダ４２、１段目ディスプレーサピストン４３、２段目ディスプレーサピストン４４、及び駆動機構４８を備える。
　・・・（中略）・・・
【０１５１】
　
１段目シリンダ４１の
前端面側（即ち、第１膨張空間３５の外周側）には第１コールドステージ３３が、２段目シリンダ４２の前端面側（即ち、第２膨張空間３６の外周側）には第２コールドステージ３４が、それぞれ取り付けられている。
　ク．「【０１５５】
　この構成において、
圧縮部２１から供給された冷媒
【０１５６】
　またこの構成において、
圧縮部２１から冷凍部３１に供給される冷媒
【０１５７】
　以下に図７、及び図８によって本実施形態の作動について説明する。
【０１５８】
　
図７、及び図８に示すこのＧＭ冷凍機３０における、圧縮部２１から冷凍部３１に供給される高圧側圧力Ｐｈと、冷凍部３１から圧縮部に回収される低圧側圧力Ｐｌの圧力は、
高圧側圧力Ｐｈを
３ＭＰａとし、低圧側圧力Ｐｌを
１．５ＭＰａとする。
【０１５９】
　図８において、高圧弁２２、低圧弁２３ごとに描画された太実線はその開状態を示し、同細実線はその閉状態を示すものとする。
【０１６０】
　図８に基づいて、本実施形態におけるＧＭ冷凍機３０の１サイクル内の動作と圧力状態を説明する。
【０１６１】
　なお図８では、当該ＧＭ冷凍機３０の1サイクル内の動作は、以下に説明する４つの段階（第１段階Ａ、第２段階Ｂ、第３段Ｃ、第４段階Ｄ）からなり、各段階は、高圧弁２２、低圧弁２３の開閉状態及び、１段目ディスプレーサピストン４３、２段目ディスプレーサピストン４４の第１膨張空間３５、第２膨張空間３６での変位状態に対応して区分される。
　・・・（中略）・・・
【０１７０】
　以上のように本実施形態では、高圧側圧力Ｐｈを３ＭＰａとし、低圧側圧力Ｐｌを１．５ＭＰａとして、第１段階Ａから第４段階Ｄまでの一連の動作を１サイクルとし、これを繰り返すことによりＧＭ冷凍機３０の低温熱交換器３３，３４において極低温を発生するものである。」
　ケ．「【０１７１】
　従って、例えば、この実施形態における冷凍能力に比例する圧力差（Ｐｈ−Ｐｌ）（高圧側圧力Ｐｈ：３ＭＰａ、低圧側圧力Ｐｌ：１．５ＭＰａ）を、特許文献２と同じ１．５ＭＰａ(高圧側圧力Ｐｈ：２ＭＰａ、低圧側圧力Ｐｌ：０．５ＭＰａ)とした時の圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）を比較すると、特許文献２では圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）は４となるのに対し、実施形態の例では圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）は２となって、圧力比が下がった分だけ冷凍効率が向上する。
【０１７２】
　すなわち既述したように蓄冷型冷凍機の理想状態における冷凍能力は、膨張容積Ｖと膨張前後の圧力差（Ｐｈ―Ｐｌ）との積で表わされるが、本実施形態におけるＧＭ冷凍機も、特許文献２に代表されるような従来の膨張前の高圧側圧力Ｐｈが２ＭＰａ前後であったのに対し、この膨張前の高圧側圧力Ｐｈを２．８ＭＰａ以上に設定することにより、差圧（Ｐｈ―Ｐｌ）を同じとすれば、圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）は小さくなり冷凍効率は向上するし、また、圧力比（Ｐｈ／Ｐｌ）を同じとすれば、膨張前後の圧力差（Ｐｈ―Ｐｌ）が大きくとれ、冷凍能力を向上させることができる。」
　そして、記載ウ及びエからみて、次の事項が理解できる。
　コ．
ＧＭ冷凍機において、冷媒は、ヘリウムである。
（２）そうすると、これらの事項からみて、本願の請求項１の記載に倣って整理すれば、引用例１には次の発明（以下、「引用発明１」という。）及び技術が記載されていると認められる。
「１段目シリンダ、２段目シリンダ、１段目ディスプレーサピストン、２段目ディスプレーサピストン及び駆動機構を備え、１段目シリンダの前端面側（即ち、第１膨張空間の外周側）には第１コールドステージが、２段目シリンダの前端面側（即ち、第２膨張空間の外周側）には第２コールドステージが、それぞれ取り付けられている冷凍部と、
　冷凍部に冷媒を供給する圧縮部を有する圧力振動装置と、を持ち、
　前記冷媒は、ヘリウムであり、
　圧縮部から冷凍部に供給される高圧側圧力Ｐｈを３ＭＰａとし、冷凍部から圧縮部に回収される低圧側圧力Ｐｌの圧力を１．５ＭＰａとした、２段膨張する構成にあるＧＭ冷凍機。」
２．引用例２の記載及び引用発明２
（１）引用例２には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付加した。）。
　ア．「［0018］　上記の課題を鑑み、本発明は、冷却ステージ部を有する複数の真空排気ポンプが圧縮機に繋がれて動作する真空排気システムにおいて、エネルギー消費の少ない真空排気技術の提供を目的とする。」
　イ．「［0030］　本発明によれば、冷却ステージ部を有する複数の真空排気ポンプが圧縮機に繋がれて動作する真空排気システムにおいて、エネルギー消費の少ない真空排気技術の提供が可能になる。」
　ウ．「［0037］　以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。まず、本実施形態の真空排気システムで使用する、冷却ステージを有する真空排気ポンプについて説明する。真空排気ポンプの一例としてのクライオポンプの原理について説明する。
［0038］　
クライオポンプを用いた真空排気システムは、極低温を発生させる冷凍機を搭載したクライオポンプと、その冷凍機に圧縮したヘリウム等のガスを供給する圧縮機とを備えている。
［0039］　
冷凍機の構成は、例えば特開平７−３５０７０公報の図９に示されている。図１１は前記公報の図９に開示された、冷凍機の構成を示す図である。図１１は、ポンプ容器内に配置される冷凍機のシリンダの内部構造と、高圧側バルブおよび低圧側バルブを示す。
［0049］　上記のごとく、工程（１）〜（４）を繰り返すことにより冷却が行われる。上記のサイクルが基本的な冷却サイクルである。上記の基本的な冷却サイクルでは、ディスプレーサ７２が上死点の位置にある時に高圧側バルブ８４を閉じて低圧側バルブ８２を開き、ディスプレーサ７２が下死点の位置にある時に低圧側バルブ８２を閉じて高圧側バルブ８４を開くように、各バルブの開閉動作が制御される。従って、ディスプレーサ７２が上死点または下死点に達したときに、各バルブの開閉タイミングが制御され、ガスの流れの方向が逆転される。」
　エ．「［0050］　図１は、本実施形態の真空排気システムで使用する真空排気ポンプの一例を示す構成図である。具体的には、図１に示す真空排気ポンプは、二段の冷却ステージを有する冷凍機を搭載したクライオポンプである。図１において、
１はクライオポンプ本体、２は二段式冷凍機、３は圧縮機、
［0051］　
クライオポンプ１に設けられている二段式冷凍機２は、第一冷却ステージ６と、
第二冷却ステージ７とを備えている。第二冷却ステージ７には、第二冷却ステージ７によって極低温に冷却されるクライオパネル８が接続されている。
第一冷却ステージ６によって極低温に冷却されるルーバ１０が設けられている。
［0052］　二段式冷凍機２の第一冷却ステージ６には、第一冷却ステージ６を加熱するための加熱手段である電気ヒータ１２と、第一冷却ステージ６の温度を測定する温度センサ（第一温度センサ）１３が設けられている。また、第二冷却ステージ７には、第二冷却ステージの温度を測定するための温度センサ（第二温度センサ）１４が設けられている。
［0053］　二段式冷凍機２は、
高圧のヘリウム等のガスが圧縮機３から冷凍機２に供給される流路である高圧配管１５ａ
低圧のヘリウム等のガスが冷凍機２から圧縮機３に還流する流路である低圧配管１５ｂ
圧縮機３で圧縮された高圧のガスは、高圧配管１５ａを通って二段式冷凍機２に供給される。そして、高圧のガスは、第一膨張室と第二膨張室
で断熱膨張し、
低圧配管１５ｂを通って圧縮機３に還流される。
　オ．「［0058］　また
、第二温度設定・制御器１７には、第二冷却ステージ７の目標温度範囲が設定される。
［0059］　そこで、
目標温度範囲は、例えば、１０から１２Ｋの温度範囲に設定する。
　カ．「［0118］　次に、本発明の第二の実施形態である複数の２段の冷却ステージを有する真空排気ポンプを一台の圧縮機で運転する場合について、図８に基づいて説明する。ここで、
２段の冷却ステージを有する真空排気ポンプとしては、クライオポンプを使用している。
［0119］　図８において、
１ａ乃至１ｅはクライオポンプ、２ａ乃至２ｅは冷凍機、３は圧縮機、１５ａ及び１５ｂはそれぞれ高圧配管及び低圧配管、
３２及び３３はそれぞれ高圧配管用及び低圧配管用の圧力計、３４は圧力計３２からの圧力と圧力計３３からの圧力との差を求め、圧縮機３の駆動周波数を制御する周波数制御部
［0121］　本実施形態においても、第一の実施形態と同様に図７に示す制御をすることで、起動運転又は再生運転していないクライオポンプが繋がれている真空室では通常のプロセスを行いつつ、起動運転及び再生運転しているクライオポンプを通常運転の状態に迅速に復帰させることが出来る。」
　そして、記載ウ及び図１１の記載からみて、次の事項が理解できる。
　キ．
二段式冷凍機は、ＧＭ冷凍機である。
（２）そうすると、これらの事項からみて、本願の請求項１の記載に倣って整理すれば、引用例２には次の発明（以下、「引用発明２」という。）及び技術が記載されていると認められる。
「第一冷却ステージと第二冷却ステージとを備えているＧＭ冷凍機と、第一冷却ステージによって極低温に冷却されるルーバと、第二冷却ステージによって極低温に冷却されるクライオパネルと、が設けられるクライオポンプと、 
　その冷凍機に圧縮したヘリウムを供給する圧縮機と、
　圧縮機で圧縮された高圧のガスがＧＭ冷凍機に供給される高圧配管用の圧力計からの圧力とＧＭ冷凍機の第一膨張室と第二膨張室で断熱膨張したガスが圧縮機に還流される低圧配管用の圧力計からの圧力との差を求め、圧縮機の駆動周波数を制御する周波数制御部と、を備え、
　第２冷却ステージの目標温度範囲が１０から１２Ｋの温度範囲に設定される、クライオポンプを用いた真空排気システム。」
３．引用例３の記載及び引用発明３
（１）引用例３には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付加した。）。
　ア．「【請求項１】
  内部に吸入した作動気体を膨張させて吐出する熱サイクルによって寒冷を発生する冷凍機と、
該冷凍機に熱的に接続されて目標温度へと冷却されるクライオパネル
  前記制御部は、前記周波数指令値に対応する冷凍能力を前記冷凍機が出力しているか否かを作動気体の流量に基づいて推定することを特徴とするクライオポンプ。
・・・（中略）・・・
【請求項３】
  前記冷凍機から吐出された作動気体を高圧に圧縮して前記冷凍機に送出する圧縮サイクルを実行する圧縮機をさらに備え、
  前記制御部は、前記冷凍機から吐出された作動気体圧と前記冷凍機に送出される作動気体圧との差圧が一定となるように前記圧縮サイクルの周波数を制御し、前記熱サイクルの周波数指令値に対応する冷凍能力を前記冷凍機が出力しているか否かを前記圧縮サイクルの周波数に基づいて推定することを特徴とする請求項１に記載のクライオポンプ。」
　イ．「【００２５】
　
クライオポンプ１０は、第１の冷却温度レベルに冷却される第１のクライオパネルと、第１の冷却温度レベルよりも低温の第２の冷却温度レベルに冷却される第２のクライオパネルと、を備える。
【００２６】
　図１に示される
クライオポンプ１０は、冷凍機１２とパネル構造体１４と熱シールド１６とを備える。パネル構造体１４は複数のクライオパネルを含み、これらのパネルは冷凍機１２により冷却される。
【００２７】
　クライオポンプ１０は、いわゆる縦型のクライオポンプである。縦型のクライオポンプとは、熱シールド１６の軸方向に沿って冷凍機１２が挿入されて配置されているクライオポンプである。なお、本発明はいわゆる横型のクライオポンプにも同様に適用することができる。横型のクライオポンプとは、熱シールド１６の軸方向に交差する方向（通常は直交方向）に冷凍機の第２段の冷却ステージが挿入され配置されているクライオポンプである。」
　ウ．「【００２８】
　
冷凍機１２は、ギフォード・マクマホン式冷凍機（いわゆるＧＭ冷凍機）である。
【００３０】
　
第１冷却ステージ２２は、第１段シリンダ１８の第２段シリンダ２０側の端部
に設けられている。また、第２冷却ステージ２４は第２段シリンダ２０の末端に設けられている。
　エ．「【００３２】
　冷凍機１２は、圧縮機４０から供給される高圧の
作動気体（例えばヘリウム
【００３３】
　具体的には、まず圧縮機４０から高圧配管４２を通じて冷凍機１２に高圧の作動気体が供給される。このとき、冷凍機用モータ２６は、高圧配管４２と冷凍機１２の内部空間とを連通する状態にモータ用ハウジング２７内部の可動バルブを駆動する。冷凍機１２の内部空間が高圧の作動気体で満たされると、冷凍機用モータ２６により可動バルブが切り替えられて冷凍機１２の内部空間が低圧配管４４に連通される。これにより作動気体は膨張して圧縮機４０へと回収される。可動バルブの動作に同期して、第１段ディスプレーサ及び第２段ディスプレーサのそれぞれが第１段シリンダ１８及び第２段シリンダ２０の内部を往復動する。このような熱サイクルを繰り返すことで冷凍機１２は第１冷却ステージ２２及び第２冷却ステージ２４に寒冷を発生させる。また、
圧縮機４０においては、冷凍機１２から吐出された作動気体を高圧に圧縮して冷凍機１２に送出する圧縮サイクルが繰り返される。
　オ．「【００３５】
　
冷凍機１２の第１冷却ステージ２２には熱シールド１６が熱的に接続された状態で固定され、冷凍機１２の第２冷却ステージ２４にはパネル構造体１４が熱的に接続された状態で固定されている。
・・・（中略）・・・
【００４０】
　また熱シールド１６の開口部３１にはバッフル３２が設けられている。バッフル３２は、パネル構造体１４とは熱シールド１６の中心軸方向に間隔をおいて設けられている。バッフル３２は、熱シールド１６の開口部３１側の端部に取り付けられており、熱シールド１６と同程度の温度に冷却される。バッフル３２は、真空チャンバ８０側から見たときに例えば同心円状に形成されていてもよいし、あるいは格子状等他の形状に形成されていてもよい。なお、バッフル３２と真空チャンバ８０との間にはゲートバルブ（図示せず）が設けられている。このゲートバルブは例えばクライオポンプ１０を再生するときに閉とされ、クライオポンプ１０により真空チャンバ８０を排気するときに開とされる。」
　カ．「【００４３】
　図２は、本実施形態に係るクライオポンプ１０に関する制御ブロック図である。
クライオポンプ１０に付随して、クライオポンプ１０及び圧縮機４０を制御するためのクライオポンプコントローラ（以下ではＣＰコントローラとも称する）１００が設けられている。
　キ．「【００４４】
　なお図１及び図２においては、
クライオポンプ１０及び圧縮機４０をそれぞれ１台ずつ備える真空排気システムが示されているが、本実施形態においてはクライオポンプ１０及び圧縮機４０をそれぞれ複数台備える真空排気システムを構成してもよい。
　ク．「【００５３】
　また、
ＣＰコントローラ１００は、圧縮機４０の出入口間の差圧
を目標圧に維持するように圧縮機４０で実行される圧縮サイクルの周波数を制御する。
ＣＰコントローラ１００は、圧縮機差圧を目標値に一致させるように圧縮機用モータ６０の運転周波数
を決定して圧縮機用周波数変換器５６にモータ運転周波数の指令値を出力する。
【００５４】
　このような差圧一定制御により、更なる消費電力の低減が実現される。クライオポンプ１０及び冷凍機１２への熱負荷が小さい場合には、上述のクライオパネル温度制御により冷凍機１２での熱サイクル周波数は小さくなる。そうすると、冷凍機１２で必要とされる作動気体流量は小さくなるから、圧縮機４０の出入口間差圧は拡大しようとする。しかし、本実施形態では圧縮機差圧を一定にするように圧縮機用モータ６０の運転周波数が制御され圧縮サイクル周波数が調整される。よって、この場合、圧縮機用モータ６０の運転周波数は小さくなる。したがって、典型的なクライオポンプのように圧縮サイクルを常に一定とする場合に比べて、消費電力を低減することができる。」
　ケ．「【００５８】
　温度による診断処理は単純な制御アルゴリズムにより実現することができるという利点がある。しかし、正常時の第２段クライオパネル及び第２冷却ステージ２４の温度は比較的狭い範囲に保つことが必要とされるため、クライオパネル温度が判定基準温度に到達してからごく短時間のうちにプロセス限界温度にまで到達してしまうおそれがある。例えば、
正常時において第２段クライオパネル温度は例えば１０Ｋ乃至１５Ｋ程度とされ、
　コ．「【００７３】
　以上の構成のクライオポンプ１０による動作を以下に説明する。クライオポンプ１０の作動に際しては、まずその作動前に他の適当な粗引きポンプを用いて真空チャンバ８０内部を１Ｐａ程度にまで粗引きする。その後クライオポンプ１０を作動させる。冷凍機１２の駆動により第１冷却ステージ２２及び第２冷却ステージ２４が冷却され、これらに熱的に接続されている熱シールド１６、バッフル３２、パネル構造体１４も冷却される。
【００７４】
　
冷却されたバッフル３２は、真空チャンバ８０からクライオポンプ１０内部へ向かって飛来する気体分子を冷却し、その冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体（例えば水分など）を表面に凝縮させて排気する。
進入した気体分子のうちパネル構造体１４の冷却温度で蒸気圧が充分に低くなる気体（例えばアルゴンなど）は、パネル構造体１４の表面に凝縮されて排気される。
　そして、記載ア、イ、オ及びコ並びに図１の記載からみて、次の事項が理解できる。
　サ．
第１のクライオパネルは、第１冷却ステージに熱的に接続され、第１のクライオパネルよりも低温に冷却される第２のクライオパネルは、第２冷却ステージに熱的に接続される。
（２）そうすると、これらの事項からみて、本願の請求項１の記載に倣って整理すれば、引用例３には次の発明（以下、「引用発明３」という。）及び技術が記載されていると認められる。
「第１冷却ステージが第１段シリンダの第２段シリンダ側の端部に設けられ、第２冷却ステージが第２段シリンダの末端に設けられた２段式のＧＭ冷凍機と、第１冷却ステージに熱的に接続された第１のクライオパネルと、第２冷却ステージに熱的に接続され、第１のクライオパネルよりも低温に冷却される第２のクライオパネルと、を備えるクライオポンプ１０と、
　冷凍機から吐出された作動気体を高圧に圧縮して冷凍機に送出する圧縮サイクルを実行する圧縮機と、
　圧縮機の出入口間の差圧を目標圧に維持するように圧縮サイクルの周波数を制御するＣＰコントローラと、を備え、
　作動気体がヘリウムであり、
　第２段クライオパネル温度は１０Ｋ乃至１５Ｋ程度とされた真空排気システム。」
４．引用例４の記載
（１）引用例４には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付加した。）。
　ア．「【０００３】多段蓄冷器式冷凍機を用いた
クライオポンプは、
コンプレッサ３１と、このコンプレッサ３１ヘガス配管３２により接続された
ＧＭ（ギフォード・マクマホン）冷凍機２０とからなり、
【０００４】
冷凍機２０は、第１段冷却ステージ２１に第１段クライオパネル２３を取付け、第２段冷却ステージ２２に第２段クライオパネル２４を取り付けている。
・・・（中略）・・・
【０００６】このような原理のクライオポンプに対して様々な改良が加えられ、第１段冷却ステージ２１を５０Ｋ程度、第２段冷却ステージ２２を４Ｋ程度まで冷却可能として、第２段クライオパネル２４上の吸着剤２５を不要としたクライオポンプも提供されている。」
　イ．「【０００７】次に、図６を参照して、多段蓄冷器式冷凍機の概略を説明する。ここでは
２段ＧＭ冷凍機
【０００８】第１段シリンダ４１の内壁と第１段ディスプレーサ４３の外壁との間には第１段シ一ル４６が設けられ、第２段シリンダ４２の内壁と第２段ディスプレーサ４４の外壁との間には第２段シール４７が設けられている。詳しい構造は図示を省略するが、第１段ディスプレーサ４３内には第１段蓄冷器４８が充填され、第２段ディスプレーサ４４内には第２段蓄冷器４９が充填されている。
第１段シリンダ４１の低温側の端部の外周面には第１段冷却ステージ５１が配設され、第２段シリンダ４２の低温側の端部の外周面にはこれを覆うように第２段冷却ステージ５２が配設されている。
【０００９】第１段シリンダ４１の低温側の端部内には、第１段ディスプレーサ４３の往復運動により容積が変化する第１段膨張室５３が形成され、第２段シリンダ４２の低温側の端部内には、第２段ディスプレーサ４４の往復運動により容積が変化する第２段膨張室５４が形成されている。」
　ウ．「【００１０】この
冷凍機には、作動ガスとしてのへリウムガスを圧縮するコンプレッサ６１（図５のコンプレッサ３１に対応）を含む冷媒回路が接続される。
　エ．「【００２１】例えば、
クライオポンプ用の２段ＧＭ冷凍機の場合、冷却ステージの冷凍温度は、通常運転において
第２段冷却ステージ温度は１０〜１２Ｋが要求される。
　オ．「【００３５】
【発明の実施の形態】図１を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、クライオポンプに使用されている２段ＧＭ冷凍機における第１段ディスプレーサ４３と第２段ディスプレーサ４４との間の作動ガスの流れを、図７あるいは図８と同じ部分について示した図である。それ故、図７、図８と同じ部分には同一番号を付している。」
（２）そうすると、これらの事項からみて、本願の請求項１の記載に倣って整理すれば、引用例４には次の技術が記載されていると認められる。
「第１段シリンダの低温側の端部の外周面には第１段冷却ステージが配設され、第２段シリンダの低温側の端部の外周面には第２段冷却ステージが配設された２段ＧＭ冷凍機と、第１段冷却ステージに取り付けられた第１段クライオパネルと、第２段冷却ステージに取り付けられた第２段クライオパネルと、作動ガスを圧縮するコンプレッサと、備え、
　作動ガスは、ヘリウムガスであり、
　第２段冷却ステージ温度は１０〜１２Ｋが要求されるクライオポンプ。」
第５　対比・判断
１．引用発明１を主発明とする特許法第２９条第２項について
（１）対比
　本願発明と引用発明１を対比する。
　ア．引用発明１の「第１コールドステージ」、「第２コールドステージ」及び「冷媒」は、それぞれ、本願発明の「高温冷却ステージ」、「低温冷却ステージ」及び「作動ガス」に相当する。そして、本願の請求項１の記載からみて、本願発明において、ＧＭ冷凍機は、該ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備える圧縮機ユニットを含まない。
　そうすると、引用発明１の「１段目シリンダ、２段目シリンダ、１段目ディスプレーサピストン、２段目ディスプレーサピストン及び駆動機構を備え、１段目シリンダの前端面側（即ち、第１膨張空間の外周側）には第１コールドステージが、２段目シリンダの前端面側（即ち、第２膨張空間の外周側）には第２コールドステージが、それぞれ取り付けられている冷凍部」は、本願発明の「低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機」に相当する。そして、引用発明１の「冷凍部に冷媒を供給する圧縮部」は、本願発明の「前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体」に相当し、引用発明１の「冷凍部に冷媒を供給する圧縮部を有する圧力振動装置」は、本願発明の「前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備え、前記圧縮機本体の運転周波数が可変である圧縮機ユニット」と、「ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備える圧縮機ユニット」である点で一致する。
　イ．引用発明１の「前記冷媒は、ヘリウムであ」ることは、本願発明の「前記作動ガスは、ヘリウムであ」ることに相当する。
　ウ．引用発明１の「圧縮部から冷凍部に供給される高圧側圧力Ｐｈ」及び「冷凍部から圧縮部に回収される低圧側圧力Ｐｌ」は、それぞれ、本願発明の「前記圧縮機本体の高圧」及び「前記圧縮機本体の」「低圧」に相当する。そして、引用発明１は、前記高圧側圧力Ｐｈを３ＭＰａ、前記低圧側圧力Ｐｌの圧力を１．５ＭＰａとしており、前記高圧側圧力Ｐｈと前記低圧側圧力Ｐｌとの圧力比が２となるから、引用発明１の「圧縮部から冷凍部に供給される高圧側圧力Ｐｈを３ＭＰａとし、冷凍部から圧縮部に回収される低圧側圧力Ｐｌの圧力を１．５ＭＰａとした」ことは、本願発明の「前記圧縮機ユニットは、前記圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転され」ることに相当する。
　エ．引用発明１の「２段膨張する構成にあるＧＭ冷凍機」は、冷凍部と圧縮振動装置とを持つものであるから、本願発明の「クライオポンプシステム」と、少なくとも「ＧＭ冷凍機と、圧縮ユニットと、を備えるシステム」である点で一致する。
　オ．以上のことから、本願発明と引用発明１との一致点及び相違点は、以下のとおりと認められる。
【一致点】
「低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機と、
　前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備える圧縮機ユニットと、を備え、
　前記作動ガスは、ヘリウムガスであり、
　前記圧縮機ユニットは、前記圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転されるシステム。」
【相違点１】
　本願発明は、システムがクライオポンプシステムであって、ＧＭ冷凍機と、該ＧＭ冷凍機の低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネルと、該ＧＭ冷凍機の高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネルと、によって少なくとも１つのクライオポンプを構成し、前記低温クライオパネルが１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され、前記ＧＭ冷凍機が、前記低温冷却ステージでの冷凍効率が前記温度領域のある冷却温度につき１．９から２．１の範囲から選択された圧力比で最大化されるのに対し、
　引用発明１は、システムがクライオポンプシステムではなく、低温冷却ステージ（第２コールドステージ）の温度領域が特定されておらず、圧力比が２である点。
【相違点２】
　本願発明は、圧縮機本体の運転周波数が可変であるのに対し、引用発明１は、圧縮機本体（圧縮部）の運転周波数が可変であるか否か不明である点。
（２）判断
　ア．相違点１について検討する。
　低温冷却ステージと高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機を、該低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネルと該高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネルとを備える少なくとも１つのクライオポンプシステムに用いることは、例えば引用例２〜４に記載されているように周知であり、クライオポンプシステムにおいて低温クライオパネルが冷却される温度領域として、１０Ｋから１２Ｋも、例えば引用例２〜４に記載されているように特別なものではない。
　引用例１の記載、特に記載ア、イ及びケを参照すると、引用例１には、ＧＭ冷凍機において，冷凍能力と冷凍効率とを同時に向上させるという技術的課題が記載され、当該課題を解決するために、圧縮機本体の高圧（圧縮部から冷凍部に供給される高圧側圧力Ｐｈ）を高く設定することにより、所望の冷凍能力を得るために必要な、前記高圧と圧縮機本体の低圧（冷凍部から圧縮部に回収される低圧側圧力Ｐｌ）との圧力差を確保しつつ、前記高圧と前記低圧との圧力比を小さくして冷凍効率を向上させることが記載されている。そうすると、引用発明１において、圧縮機ユニット（圧縮振動装置）を前記圧力比が第１の所定値以下で運転し、冷凍効率を向上させることは、当業者が容易に想到し得る事項である。また、冷凍効率を向上させつつ、所望の冷凍能力を得るために必要な前記圧力差を確保するためには、前記高圧を高く設定することとなるが、圧縮機本体（圧縮部）の能力やＧＭ冷凍機（冷凍部）や前記圧縮機本体等の機械的強度により、前記高圧を高く設定していくことには限度があることは、当業者にとって明らかであるから、前記圧縮機本体の能力や前記ＧＭ冷凍機や前記圧縮機本体等の機械的強度を考慮して、前記圧縮機ユニットを前記圧力比が第１の所定値より小さい第２の所定値以上で運転することも、当業者が容易に想到し得る事項である。そして、前記のとおり、引用発明１は、冷凍効率を向上させることを解決すべき課題の一つとしているから、引用発明１において、前記圧縮機ユニットを、前記第２の所定値以上かつ前記第１の所定値以下の範囲内であって冷凍効率が最高となる圧力比で運転するようにすることは、当業者が容易に想到し得る事項である。そして、引用例１の記載ア（前記「第４　１（１）」参照）からみて、引用例１に記載された「冷凍効率」は、本願発明の「低温冷却ステージでの冷凍効率」に相当するものである。
　更に、引用発明１において、前記圧力比を具体的に定めるにあたり、前記範囲を、引用例１に実施形態として記載された前記高圧を３ＭＰａ、前記低圧を１．５ＭＰａ、すなわち前記圧力比２を含む範囲とし、当該範囲内で冷凍効率が最大値となる圧力比とすることは、当業者が通常発揮し得る創作力の範囲内のものである。
　一方、本願発明において、前記圧力比の範囲を１．９から２．１の範囲とすることに、臨界的な意義は見いだせない。
　そうすると、引用発明１において、相違点１に係る本願発明１を特定する事項を備えるようにすることは、前記周知技術に基いて、当業者が容易になし得る事項である。
　イ．相違点２について検討する。
　ＧＭ冷凍機に作動ガスを供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体の運転周波数を可変とすることは、例えば引用例２及び３に記載されているように周知である。
　そうすると、引用発明１において、相違点２に係る本願発明１を特定する事項を備えるようにすることは、当業者が容易になし得る事項である。
　ウ．本願発明の奏する効果に、引用例１に記載された事項及び前記周知技術に基いて、当業者が容易に想到し得る範囲を越えるものは見いだせない。
　エ．したがって、本願発明は、引用発明１及び前記周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
２．引用発明２を主発明とする特許法第２９条第２項について
（１）対比
　本願発明と引用発明２を対比する。
　ア．引用発明２の「第一冷却ステージ」及び「第二冷却ステージ」は、それぞれ、本願発明の「高温冷却ステージ」及び「低温冷却ステージ」に相当するから、引用発明２の「第一冷却ステージと第二冷却ステージとを備えているＧＭ冷凍機」は、本願発明の「低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機」に相当する。
　そして、引用発明２の「ルーバ」及び「クライオパネル」は、それぞれ，本願発明の「高温クライオパネル」及び「低温クライオパネル」に相当するから、引用発明２の「第一冷却ステージによって極低温に冷却されるルーバ」及び「第二冷却ステージによって極低温に冷却されるクライオパネル」は、それぞれ，本願発明の「前記高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネル」及び「前記低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネル」に相当する。
　そうすると、引用発明２の「第一冷却ステージと第二冷却ステージとを備えているＧＭ冷凍機と、第一冷却ステージによって極低温に冷却されるルーバと、第二冷却ステージによって極低温に冷却されるクライオパネルと、が設けられるクライオポンプ」は、本願発明の「低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機と、前記低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネルと、前記高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネルと、を備える少なくとも１つのクライオポンプ」に相当する。
　イ．引用発明２の「その冷凍機に圧縮したヘリウムを供給する圧縮機」は、本願発明の「前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体」に相当し、引用発明２の「圧縮機の駆動周波数」は、本願発明の「圧縮機本体の運転周波数」に相当する。
　そして、引用発明２は、「圧縮機で圧縮された高圧のガスがＧＭ冷凍機に供給される高圧配管用の圧力計からの圧力とＧＭ冷凍機の第一膨張室と第二膨張室で断熱膨張したガスが圧縮機に還流される低圧配管用の圧力計からの圧力との差を求め、圧縮機の駆動周波数を制御する周波数制御部」を備えており、圧縮機の駆動周波数が前記高圧配管用の圧力計からの圧力と前記低圧配管用の圧力計からの圧力との差に基づいて制御されるから、引用発明２の「その冷凍機に圧縮したヘリウムを供給する圧縮機」と「圧縮機で圧縮された高圧のガスがＧＭ冷凍機に供給される高圧配管用の圧力計からの圧力とＧＭ冷凍機の第一膨張室と第二膨張室で断熱膨張したガスが圧縮機に還流される低圧配管用の圧力計からの圧力との差を求め、圧縮機の駆動周波数を制御する周波数制御部」は、合わせて、本願発明の「前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備え、前記圧縮機本体の運転周波数が可変である圧縮機ユニット」に相当する。
　ウ．引用発明２は、圧縮機がヘリウムをＧＭ冷凍機に供給するから、本願発明の「前記作動ガスは、ヘリウムガスであ」ることに相当する事項を備えている。
　エ．引用発明２は、クライオパネルが第二冷却ステージによって冷却されており、該クライオパネルの温度は該第二冷却ステージの温度に等しいといえるから、引用発明２の「第２冷却ステージの目標温度範囲が１０から１２Ｋの温度範囲に設定される」ことは、本願発明の「前記低温クライオパネルは、１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され」ることに相当する。
　オ．引用発明２の「クライオポンプを用いた真空排気システム」は、本願発明の「クライオポンプシステム」に相当する。
　カ．以上のことから、本願発明と引用発明２との一致点及び相違点は、以下のとおりと認められる。
【一致点】
　低温冷却ステージ及び高温冷却ステージを備えるＧＭ冷凍機と、前記低温冷却ステージにより冷却される低温クライオパネルと、前記高温冷却ステージにより冷却される高温クライオパネルと、を備える少なくとも１つのクライオポンプと、
　前記ＧＭ冷凍機に供給される作動ガスを圧縮する圧縮機本体を備え、前記圧縮機本体の運転周波数が可変である圧縮機ユニットと、を備え、
　前記作動ガスは、ヘリウムガスであり、
　前記低温クライオパネルは、１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され、るクライオポンプシステム。
【相違点３】
　本願発明は、圧縮機ユニットが、圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転され、ＧＭ冷凍機が、低温冷却ステージでの冷凍効率が１０Ｋから１２Ｋの温度領域のある冷却温度につき前記範囲から選択された圧力比で最大化されるのに対し、
　引用発明２は、圧縮機本体（圧縮機）の高圧（圧縮機で圧縮された高圧のガスが二段式冷凍機に供給される高圧配管用の圧力計からの圧力）と低圧（二段式冷凍機の第一膨張室と第二膨張室で断熱膨張したガスが圧縮機に還流される低圧配管用の圧力計からの圧力）との差を求め、前記圧縮機本体の運転周波数（駆動周波数）を制御するものであるが、圧縮機ユニット（圧縮機及び周波数制御部）圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比がどの程度で運転されるのか不明である点。
（２）判断
　ア．相違点３について検討する。
　引用例２の記載ア及びイ（前記「第４　２（１）」参照）からみて、引用発明２は、エネルギー消費の少ない真空排気技術の提供を解決すべき課題としている。そして、引用例１に記載された技術は、前記「１（２）」において述べたとおり、冷凍効率を向上させることを解決すべき課題の一つとしているから、引用発明２と引用例１に記載された技術は、同一又は類似した課題を有するものであって、前者に後者を適用することは、当業者にとって容易である。
　そして、前記「１（２）」において検討した理由と同様の理由により、引用発明２に引用例１に記載された技術を適用するにあたり、圧縮機ユニットを、所定の範囲内であって冷凍効率が最高となる、圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比で運転するようにすることは、当業者が容易に想到し得る事項である。
　そして、前記所定の範囲を具体的に定めるにあたり、引用例１に実施形態として記載された前記圧力比２を含む範囲とすることは、当業者が通常発揮し得る創作力の範囲内のものである。
　そうすると、引用発明２において、相違点３に係る本願発明１を特定する事項を備えるようにすることは、引用例１に記載された技術に基いて、当業者が容易になし得る事項である。
　ウ．本願発明の奏する効果に、引用例１及び２に記載された事項に基いて、当業者が容易に想到し得る範囲を越えるものは見いだせない。
　エ．したがって、本願発明は、引用発明２及び引用例１に記載された技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
３．請求人の主張
（１）請求人は、平成３０年１０月１９日付けの意見書において、「請求項１に係る発明は、『前記圧縮機ユニットは、前記圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転され、前記低温クライオパネルは、１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され、前記ＧＭ冷凍機は前記低温冷却ステージでの冷凍効率が、前記温度領域のある冷却温度につき前記範囲から選択された圧力比で最大化される』との構成を有するのに対し、引用文献１（当審注：本審決における引用例１）に記載された発明は、このような構成を備えない点で、両者は相違します。
　とくに、『前記ＧＭ冷凍機は前記低温冷却ステージでの冷凍効率が、前記温度領域のある冷却温度につき前記範囲から選択された圧力比で最大化される』ことに相当する事項は、引用文献１に開示は無く、これを示唆する記載もありません。」と主張している（「【意見の内容】３−２（ｃ）」参照）。
　請求人の当該主張について検討する。本願の発明の詳細な説明（特に段落００４２〜００５０参照）には、ある実施形態に関して、低温冷却ステージの冷凍効率は、圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比のある圧力比において最大値をとること（段落００４４）、例えばヘリウムである作動ガスの温度が約８Ｋから約２０Ｋである場合、前記冷凍効率を最大化する前記圧力比が存在すること（段落００４４）、前記作動ガスの温度が約９Ｋから約１５Ｋである場合、前記冷凍効率は、約１．６から約２．５の圧力比範囲の中で最大値をとること（段落００４５〜００４６）、及び前記作動ガスの温度が１１Ｋである場合、前記冷凍効率は、前記圧力比が約１．９であるとき最大値の約０．０２８となること（段落００４４）が記載され、更に「好ましくは、圧縮機ユニット５０は、約１．９から約２．１の圧力比範囲から選択される圧力比Ｐｒで運転されてもよい。この場合、冷凍機１２の第２ステージ１６は約１０Ｋから約１２Ｋの温度領域に冷却されてもよい。」（段落００４７）と記載されているが、低温冷却ステージが約１０Ｋから約１２Ｋの温度領域に冷却される場合、前記冷凍効率が約１．９から約２．１の圧力比範囲の中で最大値をとるとは記載されていない。
　更に、本願の図３の記載を参照すると、前記作動ガスの温度が１２Ｋである場合、前記冷凍効率は、前記作動ガスの温度が１１Ｋである場合に前記冷凍効率が最大値をとる前記圧力比（約１．９）よりも低い、前記圧力比１．８付近で最大値をとること、及び前記作動ガスの温度が１０Ｋである場合、前記冷凍効率は、前記作動ガスの温度が１１Ｋである場合に前記冷凍効率が最大値をとる前記圧力比（約１．９）よりも高い、前記圧力比２．２付近で最大値をとることが看取できる。
　そうすると、本願の請求項１に記載された「前記圧縮機ユニットは、前記圧縮機本体の高圧と低圧との圧力比が１．９から２．１の範囲で運転され、前記低温クライオパネルは、１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却され、前記ＧＭ冷凍機は前記低温冷却ステージでの冷凍効率が、前記温度領域のある冷却温度につき前記範囲から選択された圧力比で最大化される」との事項は、前記低温クライオパネルが１０Ｋから１２Ｋの温度領域に冷却される場合、前記冷凍効率は、１．９から２．１の範囲内のある圧力比において、１．９から２．１の範囲を超えた前記圧力比の範囲（例えば図３に記載された、１．４から４．０の範囲）における前記冷凍効率の最大値をとると解すべきものではなく、前記低温クライオパネルを１０Ｋから１２Ｋの温度領域のある冷却温度に冷却するとともに、１．９から２．１の前記圧力比の範囲の中で、当該冷却温度での前記冷凍効率が最大値となる圧力比で前記圧縮機ユニットを運転する（すなわち、１．９から２．１の範囲を超えた前記圧力比の範囲において前記冷凍効率が最大値をとる圧力比が１．９から２．１の範囲の外にある場合を含む）と解すべきものである。
　前記低温クライオパネルを１０Ｋから１２Ｋの温度領域のある冷却温度に冷却するとともに、１．９から２．１の前記圧力比の範囲の中で、当該冷却温度での前記冷凍効率が最大値となる圧力比で前記圧縮機ユニットを運転することは、前記「１（２）」及び「２（２）」で検討したとおり、引用発明１及び周知技術に基いて、又は引用発明２及び引用例１に記載された技術に基いて、当業者が容易に想到し得る事項である。
　したがって、請求人の前記主張は、これを認めることができない。
（２）請求人は、前記意見書において、「引用文献１は、請求項１に係る発明の契機となった作動ガス（ヘリウムガス）を実在気体として考察することを提示しておりません。
　さらに、請求項１に係る発明の作用効果、すなわち、ＧＭ冷凍機を１０Ｋから１２Ｋの温度領域において最大の又はそれに近い冷凍効率εで運転することができ、それにより、クライオポンプシステムの省エネルギー性能を向上することができることについても、引用文献１には記載されておりません。」と主張している（「【意見の内容】３−２（ｄ）」参照）。
　確かに、引用例１には、作動ガスを実在気体として考察する旨の記載はない。しかしながら、前記「第４　１（１）」において検討したとおり、引用例１には、作動ガス（冷媒）をヘリウムガスとすることは記載されているといえ、作動ガスはヘリウムガスであるである点において、引用発明１と本願発明との間に違いはない。
　そして、請求人が本願発明に係る効果と主張する、ＧＭ冷凍機を１０Ｋから１２Ｋの温度領域において最大の又はそれに近い冷凍効率εで運転することができるという点は、前記「（１）」で検討したのと同様の理由により、前記圧力比を１．９から２．１の範囲とした場合における当該範囲内での最大の又はそれに近い前記冷凍効率で運転することができると解すべきものであって、引用例１に記載された事項及び周知技術に基いて、又は引用例１及び２に記載された事項に基いて、当業者が容易に想到し得る事項である。更に、ＧＭ冷凍機の冷凍効率が高くなれば、当該ＧＭ冷凍機を用いたクライオポンプシステムの省エネルギー性能が向上することは、当業者が当然に想到し得る事項である。
　したがって、請求人の前記主張も、本願発明の特許性に関する判断を異ならせるものではない。
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。