【事件の表示】
　平成　８年特許願第　　　９９２号「位置決め装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　７月２９日出願公開、特開平　９−１９２９５６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯 ・本願発明
　本願は、平成８年１月８日の出願であって、その請求項１に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。（以下「本願発明」という。） 
　「軸線方向に相対移動可能に装着されたベースおよびテーブルと，ベース側に回転可能に装着された送りねじ軸とこの送りねじ軸に螺合可能としてテーブル側に装着されたナット部材とを含み送りねじ軸の回転によってベースに対してテーブルを軸線方向に粗動調整する粗動調整手段と，粗動調整終了後にピエゾアクチュエータの伸縮を利用してベースに対して当該テーブルを軸線方向に微動調整する微動調整手段と，テーブルのベースに対する粗動調整量および微動調整量を検出可能な変位検出手段とを具備してなる位置決め装置において、
　前記微動調整手段を構成する前記ピエゾアクチュエータの基端部を前記ベースと前記軸線方向に相対移動不能かつその先端部を前記ベースに前記軸線方向に相対変位可能に取付け、
　前記送りねじ軸の先端部と前記ピエゾアクチュエータの先端部とを相対回転可能にベアリングを介して連結するとともに両先端部の前記軸線方向の相対位置を一定に保持可能に形成されたカップリングと、このカップリングによる両先端部の相対回転を妨げることなく前記送りねじ軸の先端部をピエゾアクチュエータの先端部に向けてかつ両先端部の前記軸線方向の相対位置を一定に保持させるために前記送りねじ軸の先端部をピエゾアクチュエータの先端部に向けて付勢する付勢手段と、前記送りねじ軸に回転力を付与するモータの軸と前記送りねじ軸の基端部との間に装着されるとともに前記軸線方向に離隔されかつ周方向に位置ずれされた複数の切欠溝を有する筒体を含み回転力を伝達可能で前記ピエゾアクチュエータから発生された伸縮力で前記軸線方向に伸縮可能な切欠溝付筒体型のカップリングから形成され，前記送りねじ軸の前記ナット部材と螺合する部位がピエゾアクチュエータの軸線方向の伸縮に応動して前記ベースに対しかつ軸線方向にピエゾアクチュエータの伸縮量だけ変位することを許容する応動変位許容手段とを設け、
　粗動調整変位検出手段と微動調整変位検出手段とを兼用する１台の変位検出手段を形成するメインスケールおよびインデックススケール並びにピエゾアクチュエータを前記テーブルと前記ベースとの上下方向空間内に収容させるとともに、応動変位許容手段を形成する複数切欠溝付筒体型カップリングの寸法を短縮する方向に予めピエゾアクチュエータにバイアス電圧を常時印加した伸長状態としておくことでピエゾアクチュエータを前記テーブルの粗動調整終了位置を中心としてＸ方向に微調整可能に形成し、
　ピエゾアクチュエータの伸縮量を前記送りねじ軸と螺合する前記ナット部材の前記ベースに対する前記軸線方向の変位量に変換しつつ前記テーブルの微動調整を可能に構成した、ことを特徴とする位置決め装置。 」
　
２　引用刊行物記載の発明
２−１　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である昭和５９年４月９日に頒布された「特開昭５９−６１９３７号公報 」（以下「引用例１」という。）には、次のように記載されている（なお、一部の用語の表記については、一般的に使用されているものに修正して記載した。）。
（ア）「第１図ないし第３図は本発明の送り装置を例えばＸテーブルに適用した実施例であり、送り台（テーブル）を直線一方向（Ｘ方向）にのみ粗動、微動できるようにしたものである。即ち、これらの図において１は３つのブロック２、３、４を枠状に一体組立したハウジングであり、その中の１つのブロック４内に送り台５を図示左右方向（Ｘ方向）に往復移動できるように内装している。そして、ブロック３、４にわたってＸ方向に送りねじ６を延在させてこれを軸受７にて軸転および軸移動可能に支持し、かつそのねじ部を送り台５の一部に設けたナツト部８に螺合させている。・・・また、前記送り台５の上部は支柱１１をブロック４上に突出して試料ステージ１２を形成しているが、本例ではその一部にミラー１３を固設している。」（２頁右上欄８行〜左下欄６行）、
（イ）「前記送りねじ６の基端（左端）はブロック２内に突出位置されており、この基端はブロック２の外側に同軸配置したモータ１４の駆動軸１５に弾性カップリング１６を介して連結している。この弾性カップリング１６は、送りねじ６と駆動軸１５に夫々一体的に取着される一対のボス１７、１８を弾性板１９にて連結したもので、両ボス１７、１８を回転方向には一体化するも軸方向には変位させることができる。また、前記送りねじ６の先端はブロック４の右端に位置されており、このブロック４上に一端を固定されて水平方向に微少揺動される弾性レバー２０の内側凹部２０ａに衝接している。この弾性レバー２０は第１図の時計方向へ復帰習性を有し、その先端外側には微少変位手段２１を設けている。この微少変位手段２１は固定ソレノイド２２と、このソレノイド２２内で移動される可動鉄心２３とを有し、可動鉄心２３を前記弾性レバー２０に固着している。更に、前記送りねじ６の中間部にはラジアル軸受２４を取着し、ブロック３の一壁との間に圧縮スプリング２５を介装して送りねじ６を先端方向（図示右方向）に付勢している。」（２頁左下欄７行〜右下欄８行）、
（ウ）「前記モータ１４とソレノイド２２は制御回路２６に電気的に接続し、また前記ミラー１３の光反射を利用する公知の測長機２７をこの制御回路２６に接続する。」（２頁右下欄９〜１２行）、
（エ）「モータ１４を駆動することにより、駆動軸１５は弾性カップリング１６を介して送りねじ６を軸転し、このねじ部に螺合した送り台５を送りねじの軸方向に移動させる。これにより、送り台５は粗動的に位置決めが行なわれる。・・・ラジアル軸受２４における圧縮スプリング２５の付勢力によって送りねじ６は先端方向に付勢されまた送りナット８は、一定の余圧を加えられたダブルナットでバックラッシュ零とされているため、送りねじ６の正逆転に対するバックラッシュは生じない。」（２頁右下欄１５行〜３頁左上欄５行）、
（オ）「粗動位置決め後は、ソレノイド２２への通電量を調整することにより可動鉄心２３のソレノイド２２に対する軸位置を変化調整でき、これに応じて弾性レバー２０を微少量揺動位置変化させる。このため、弾性レバー２０にその先端を衝接させている送りねじ６は弾性カップリング１６の弾性板１９を軸方向に変形させながら弾性レバー２０と一体的に軸動され、更にこれに螺合している送り台５を一体に移動させる。これにより、送りねじ６と共に送り台５の軸位置を微小変化させて微動位置決めを行なうことができるのである。」（３頁左上欄６〜１６行）、
（カ）「なお本実施例の微動送りには、ソレノイドを使用しているが、微少変位を与える手段として、印加電圧で微少変位する圧電素子を使用しても良く、・・・かかる実施例を第４図に示す、同図において、２８は送りねじ、２９はレバー、３０は板ばね支点、３１はたとえばピエゾスタック素子などの圧電素子、３２は印加電圧源を示す。」（３頁左上欄１７行〜右上欄８行）、
（キ）「本例にあっては・・・ミラー１３の移動量、つまり送り台５の移動量を検出することができ、したがって予め所望の移動量を制御回路２６に入力しておけば制御回路はモータ１４、ソレノイド２２への各通電量を前記検出値に基づいて自動的に制御し、位置決定を自動的に行なうことができる。」（３頁右上欄２０行〜左下欄６行）、
（ク）「本実施例では粗動時には送り台５のみを移動させ、微動時には送り台５と送りねじ６を移動させるので、移動対象物の質量を軽減でき、高速かつ高精度の位置決定を可能にする。」（３頁左下欄７〜１０行）
　
　上記記載において、上記送り装置が、送り台５の位置決めに用いられるものであることは明らかであり、弾性カップリング１６は、圧電素子３１の微少変位に応動してハウジング１の変位を許容するものと認められる（上記記載（オ））から、上記記載および図１〜図４の記載（なお、図４において、圧電素子には、符号「３２」が付されているが、符号「３１」の誤記と認められる。上記（カ）参照。また、レバー２９には、第１図に示された弾性レバー２０の内側凹部２０ａと同様に、内側凹部が形成されていることが認められる。）を総合すると、引用例１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
　「軸方向に相対移動可能に装着されたハウジング１および送り台５と、ハウジング１側に回転可能に装着された送りねじ６とこの送りねじ６に螺合可能として送り台５側に装着されたナット部８とを含み送りねじ６の回転によってハウジング１に対して送り台５を軸線方向に粗動調整する粗動調整手段と、粗動調整終了後に圧電素子３１の微少変位を利用してハウジング１に対して当該送り台５を軸方向に微動調整する微動調整手段と、送り台５のハウジング１に対する粗動調整量および微動調整量を検出可能な測長機２７とを具備してなる位置決め装置において、
　前記微動調整手段を構成する前記圧電素子３１の基端部を前記ハウジング１と前記軸方向に相対移動不能かつその先端部を前記ハウジング１に前記軸方向に相対変位可能に取付け、
　前記送りねじ６の先端部と前記圧電素子３１の先端部とを相対回転可能に、送りねじ６の先端部をレバー２９の内側凹部に挿入支持して連結するとともに両先端部の前記軸方向の相対位置を一定に保持可能に形成されたレバー２９と、このレバー２９による両先端部の相対回転を妨げることなく前記送りねじ６の先端部を圧電素子３１の先端部に向けてかつ両先端部の前記軸方向の相対位置を一定に保持させるために前記送りねじ６の先端部を圧電素子３１の先端部に向けて付勢する圧縮スプリング２５と、前記送りねじ６に回転力を付与するモータ１４の軸と前記送りねじ６の基端部との間に装着されるとともに回転力を伝達可能で前記圧電素子３１から発生された微少変位力で前記軸方向に伸縮可能な弾性カップリング１６から形成され、前記送りねじ６の前記ナット部８と螺合する部位が圧電素子３１の軸方向の微少変位に応動して前記ハウジング１に対しかつ軸方向に圧電素子３１の微少変位量だけ変位することを許容する応動変位許容手段とを設け、
　粗動調整変位検出手段と微動調整変位検出手段とを兼用する１台の変位検出手段を形成する、送り台５上のミラー１３の光反射を利用する測長機２７をハウジング１側に、圧電素子３１はハウジング１の端部に設け、
　圧電素子３１の微少変位量を前記送りねじ６と螺合する前記ナット部８の前記ハウジング１に対する前記軸方向の変位量に変換しつつ前記送り台５の微動調整を可能に構成した、位置決め装置。」
　
２−２　同じく、本願の出願の日前である平成１年７月１４日に頒布された「特開平１−１７７９３８号公報 」（以下「引用例２」という。）には、次のように記載されている
（ア）「第１図は本発明の一実施例における精密位置決め装置を示す側面図、第２図は同要部斜視図であり、１は本体、２は送りネジ、３はパルスモータ、５は支持部材、６はテーブルであり、・・・１０，１１は本体１に設けられ送りネジ２をスライド可能にするためのベアリング、１２はパルスモータ３の回転を送りネジ２に伝える可撓性軸継手、１３は送りネジ２自体を移動させる微少移動機構であり、第２図に示すように１４は圧電素子、１５は圧電素子１４の先端に設けられたスチールボール、１６はリング１７及びストップリング１８を介して圧電素子１４を送りネジ２の軸方向に予圧するスプリング、１９は送りネジ２の軸方向に対する圧電素子１４の形状の変化をバックラッシ無しに送りネジ２へ伝えるための組み合わせベアリングである。」（２頁右上欄１４行〜左下欄１１行）、
（イ）「先ずパルスモータ３により、可撓性軸継手１２を介して送りネジ２が回転する。それに伴って支持部材５が矢印Ｂ方向に移動する為、支持部材５上に設けられたテーブル６が矢印Ｂ方向に移動する。
　この時テーブル６は位置決めしようとする目標位置に停止しない場合が出てくる為、送りネジ２端部に設けられた微少移動機構１３の一部である圧電素子１４に電圧を加えることにより、送りネジ２の軸方向に圧電素子１４の形状が変化しスチールボール１５を介して送りネジ２自体が矢印Ｃ方向に移動し、それに伴ってテーブル６が目標位置迄移動する。」（２頁左下欄１４行〜右下欄６行）
　
　上記記載（イ）からすると、圧電素子１４の形状の変化により、スチールボール１５を介して送りネジ２自体が矢印Ｃ方向に移動することが認められるところ、この移動は、スチールボール１５と送りネジ２とが相対位置を一定に保っていることで可能になると解される。また、このことは、第２図からも看取できる。さらに、第１図には、微少移動機構１３が、テーブル１６と本体１との上下方向空間内に配置されることが示されている。これらを含めて上記記載および第１〜第２図の記載を総合すると、引用例２には、次の発明が記載されているものと認められる。
　「送りネジ２の先端部と圧電素子１４の先端部とを相対回転可能に組み合わせベアリング１９を介して連結するとともに両先端部の軸方向の相対位置を一定に保持可能に形成する軸継手。」（以下、「引用発明２−１」という。）
「圧電素子１４をテーブル６と本体１との上下方向空間内に収容させる」こと（以下、「引用発明２−２」という。）
　
３　対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、後者における「軸方向」は、前者における「軸線方向」に相当する。また、後者における「ハウジング１」、「送り台５」、「送りねじ６」、「ナット部８」、「圧電素子３１」、「モータ１４」、「圧縮スプリング２５」は、それぞれ、その機能から見て、前者における「ベース」、「テーブル」、「送りねじ軸」、「ナット部材」、「ピエゾアクチュエータ」、「モータ」、「付勢手段」に相当する。また、後者における「微少変位」は、「圧電素子３１」に電圧を印可することによって生じるのであり、そうであれば、変化量を調整できることは明らかであるから、前者における「伸縮」に相当する。
　後者における「測長機２７」は、送り台５（テーブル）のハウジング１（ベース）に対する粗動調整量および微動調整量を検出する変位検出手段である限りにおいて、前者における「変位検出手段」と共通し、後者における「レバー２９」は、送りねじ６（送りねじ軸）の先端部と圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）の先端部とを相対回転可能に連結するとともに、両先端部の前記軸方向（軸線方向）の相対位置を一定に保持可能に形成された第１の連結部材である限りにおいて、前者における「カップリング」と共通する。
　後者における「弾性カップリング１６」は、送りねじ６（送りねじ軸）に回転力を付与するモータ１４（モータ）の軸と前記送りねじ６（送りねじ軸）の基端部との間に装着されるとともに回転力を伝達可能で、圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）から発生された微少変位（伸縮）力で前記軸方向（軸線方向）に伸縮可能な第２の連結部材であり、前記送りねじ６（送りねじ軸）の前記ナット部８（ナット部材）と螺合する部位が圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）の軸方向（軸線方向）の微少変位（伸縮）に応動して前記ハウジング１（ベース）に対しかつ軸方向（軸線方向）に圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）の微少変位（伸縮）量だけ変位することを許容する応動変位許容手段である限りにおいて、前者における「切欠溝付筒体型のカップリング」と共通する。
　また、後者において、「圧電素子３１の微少変位量を前記送りねじ６と螺合する前記ナット部８の前記ハウジング１に対する前記軸方向の変位量に変換しつつ前記送り台５の微動調整を可能に構成」することは、前者において、「ピエゾアクチュエータの伸縮量を前記送りねじ軸と螺合する前記ナット部材の前記ベースに対する前記軸線方向の変位量に変換しつつ前記テーブルの微動調整を可能に構成」することに他ならない。
　
　そうすると、本願発明と引用発明１とは、以下の一致点、相違点を有していると認められる。
（一致点）
「軸線方向に相対移動可能に装着されたベースおよびテーブルと、ベース側に回転可能に装着された送りねじ軸とこの送りねじ軸に螺合可能としてテーブル側に装着されたナット部材とを含み送りねじ軸の回転によってベースに対してテーブルを軸線方向に粗動調整する粗動調整手段と、粗動調整終了後にピエゾアクチュエータの伸縮を利用してベースに対して当該テーブルを軸線方向に微動調整する微動調整手段と、テーブルのベースに対する粗動調整量および微動調整量を検出可能な変位検出手段とを具備してなる位置決め装置において、
　前記微動調整手段を構成する前記ピエゾアクチュエータの基端部を前記ベースと前記軸線方向に相対移動不能かつその先端部を前記ベースに前記軸線方向に相対変位可能に取付け、
　前記送りねじ軸の先端部と前記ピエゾアクチュエータの先端部とを相対回転可能に連結するとともに両先端部の前記軸線方向の相対位置を一定に保持可能に形成された第１の連結手段と、この連結手段による両先端部の相対回転を妨げることなく前記送りねじ軸の先端部をピエゾアクチュエータの先端部に向けてかつ両先端部の前記軸線方向の相対位置を一定に保持させるために前記送りねじ軸の先端部をピエゾアクチュエータの先端部に向けて付勢する付勢手段と、前記送りねじ軸に回転力を付与するモータの軸と前記送りねじ軸の基端部との間に装着されるとともに回転力を伝達可能で前記ピエゾアクチュエータから発生された伸縮力で前記軸線方向に伸縮可能な第２の連結手段から形成され、前記送りねじ軸の前記ナット部材と螺合する部位がピエゾアクチュエータの軸線方向の伸縮に応動して前記ベースに対しかつ軸線方向にピエゾアクチュエータの伸縮量だけ変位することを許容する応動変位許容手段とを設け、
　粗動調整変位検出手段と微動調整変位検出手段とを兼用する１台の変位検出手段を設け、
　ピエゾアクチュエータの伸縮量を前記送りねじ軸と螺合する前記ナット部材の前記ベースに対する前記軸線方向の変位量に変換しつつ前記テーブルの微動調整を可能に構成した、ことを特徴とする位置決め装置。」
（相違点）
相違点１；第１の連結装置として、本願発明においては、送りねじ軸の先端部をベアリングによって相対回転可能とするカップリングを用いているのに対し、引用発明１においては、送りねじ軸（送りねじ６）の先端部をその内側凹部に挿入支持することにより相対回転可能とするレバー２９を用いている点、
相違点２；第２の連結装置として、本願発明においては、前記軸線方向に離隔されかつ周方向に位置ずれされた複数の切欠溝を有する筒体を含んだ切欠溝付筒体型のカップリングを用いているのに対し、引用発明１においては、弾性カップリング１６を用いている点
相違点３；本願発明においては、変位検出手段として、メインスケールおよびインデックススケールを用い、これら並びにピエゾアクチュエータをテーブルとベースとの上下方向空間内に収容させているのに対し、引用発明においては、送り台５上のミラー１３の光反射を利用する測長機２７を用い、測長機２７は、ハウジング１側に、圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）は、ハウジング１の端部に設けている点、
相違点４；ピエゾアクチュエータにより微動調整するための作動態様が、本願発明においては、複数切欠溝付筒体型カップリングの寸法を短縮する方向に予めピエゾアクチュエータにバイアス電圧を常時印加した伸長状態としておくことでピエゾアクチュエータを前記テーブルの粗動調整終了位置を中心としてＸ方向に微調整可能に形成しているのに対し、引用発明１においては、そのように形成していない点。
　
４　当審の判断
　上記相違点について検討する。
　まず、相違点１についてみると、引用発明２における「送りネジ２」は、本願発明における「送りねじ軸」に、また、「圧電素子１４」は、「ピエゾアクチュエータ」に、「組み合わせベアリング１９」は、「ベアリング」に、それぞれ、その機能、構造から見て相当しており、また、「軸継手」は、「カップリング」とも称するものであるから、引用発明２は、「送りねじ軸の先端部とピエゾアクチュエータの先端部とを相対回転可能にベアリングを介して連結するとともに両先端部の軸線方向の相対位置を一定に保持可能に形成するカップリング」を開示するものであるところ、このカップリングは、引用発明１における「送りねじ６（送りねじ軸）の先端部をその内側凹部に挿入支持することにより相対回転可能とするレバー２９」とは、その機能を同じくするものであるから、引用発明１において、レバー２９に代え、引用発明２のカップリングを用いることは、当業者ならば容易に想到できることというべきである。
　
　次に、相違点２についてみると、「軸線方向に離隔されかつ周方向に位置ずれされた複数の切欠溝を有する筒体を含んだ切欠溝付筒体型のカップリング」は、本願出願前周知のものと認められる（例えば、特開昭５０−３７９４４号公報（溝孔２２、２４等）、特開昭６０−４３０３０号公報（スリット４、５）を参照。）。これらは、回転力を伝達し、軸線方向において弾力性を有するもので、引用発明１の弾性カップリング１６に求められる機能を全て備えたものであるから、引用発明１の弾性カップリング１６に代えて、かかる周知のカップリングを用いることは当業者ならば容易に想到できることというべきである。
　
　次に、相違点３についてみると、本願発明における「メインスケールおよびインデックススケール」が、どのような形状、構造を有し、変位検出をどのようにして行うものであるのかについて、本願請求項１に具体的な規定はなく、これらがいかなるものであるのかは明らかでないものの、本願明細書の段落【００４７】の記載からすると、これらは、出願人によって提案されたものであり（特願平６−２５０３１８号）、対応する公開公報（特開平７−２８６８１６号公報）によると、変位検出手段として本願出願前公知のものと認められる。そうであれば、引用発明１の変位検出手段として、かかる公知の変位検出手段を採用することは、当業者が容易に想到できることであるというべきであり、また、上記「メインスケールおよびインデックススケール」は、相対変位可能に設けられるものであるから（上記公報段落【０００１】）、これらを引用発明１の変位検出手段として用いる場合には、相対変位する送り台５（テーブル）とハウジング１（ベース）との上下方向空間内に収容することは、当業者ならば当然に選択することというべきである。
　また、引用発明２−２において、「圧電素子１４」は、本願発明における「ピエゾアクチュエータ」に、「テーブル６」は、「テーブル」に、「本体１」は、「ベース」に、それぞれ相当するから、引用発明２−２は、「ピエゾアクチュエータをテーブルとベースとの上下方向空間内に収容させる」ことを開示するものである。引用発明１において、圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）は、送りねじ６（送りねじ軸）の軸方向（軸線方向）に位置するものであり、送りねじ６（送りねじ軸）は、送り台５（テーブル）の下方に位置するのであるから、引用発明１において、圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）を、送り台５（テーブル）とハウジング１（ベース）との上下方向空間内に収容させることも、送り台５（テーブル）とハウジング１（ベース）の形状、構造に応じて、当業者ならば適宜設計変更し得ることというべきである。
　
　最後に、相違点４についてみると、微動調整手段を予め伸長状態としておき、粗動調整終了位置を中心としてＸ方向に微調整可能に形成することは、この種の位置決め装置において、本願出願前周知のことと認められる（例えば、特開平２−７３４１１号公報（３頁左上欄２〜９行）、特開平４−１３４５０４号公報（４頁右上欄１７〜１８行）を参照。）。そうすると、引用発明１において、「圧電素子３１（ピエゾアクチュエータ）を微調整するための作動態様」として、上記周知技術を採用すること（その結果、「複数切欠溝付筒体型カップリングの寸法を短縮する方向に予めピエゾアクチュエータにバイアス電圧を常時印加した伸長状態としておくこと」となり、「ピエゾアクチュエータを前記テーブルの粗動調整終了位置を中心としてＸ方向に微調整可能に形成」できるようになる。）は、当業者であれば容易に想到できることというべきである。
　
　以上のとおり、上記相違点１〜４に係る本願発明の構成とすることは、いずれも、当業者が容易に想到できることであり、本願発明により奏される作用効果（本願明細書段落【００８４】〜【００８５】）も、引用発明１、２−１、２−２および周知技術から当業者が容易に予測できるものと認められる。
　
５　むすび
　したがって、本願発明は、引用発明１、２−１、２−２および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。