【手続補正書】
【提出日】平成22年6月18日(2010.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉された内部環境を画定する保管庫ハウジングと、
保管庫ハウジング内で使用するための複数のレチクルポッドと、
パージ・ガス源に連通することができるガス送出システムと
を備え、
保管庫ハウジングは、密閉された内部環境内に複数のレチクル保管容器を備え、
各レチクル保管容器は複数のレチクル・ポッドのうちの１つを受け入れるための棚として構成され、各棚は、上面と、上面側において上方に配向されたパージ出口とを有し、各レチクル・ポッドは、レチクルを保持するための構造を有するエンクロージャを備え、レチクルポッドはドアおよびシェルを有し、シェルは、底面開口と、底面開口においてシェルとシール係合するためのドアとを有し、各レチクルポッドは、シェルにラッチ掛けされたドアにより閉鎖することができ、各レチクルポッドはドアのラッチ係合を解除することによって開放可能であり、ドアはパージ入口およびパージ出口を有し、
各レチクル保管容器は、ガス送出システムに接続されるパージ出口であって、複数のレチクルポッドのうちの１つのパージ入口に対して、レチクルポッドが保管容器上にあるときにレチクルポッドが閉じられた状態で、前記保管容器の所定の位置において接続するためのパージ出口を有し、
レチクルポッドが閉じられて保管容器上に配置されている間、保管容器に配置されたレチクルポッドのパージ出口から空所を通って保管庫ハウジングの密閉された内部環境への排気を可能にするために、各レチクル保管容器は空所を棚に有する、レチクル・ハンドリング・システム。
【請求項２】
密閉された内部環境には空気が含まれ、ガス送出システムは、少なくとも清浄乾燥空気である空気を送出する、請求項１に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項３】
各レチクル・ポッドは、少なくとも清浄乾燥空気である空気に暴露されるときに再生される水分吸収フィルタを内部に有する、請求項２に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項４】
各レチクル・ポッドは、個々のレチクル・ポッドのパージ出口に配置される水分吸収フィルタを有し、レチクル・ポッドのパージ出口を出る清浄乾燥空気はすべて水分吸収フィルタを通って排出される、請求項３に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項５】
複数のレチクル保管容器はそれぞれ、上面と、上面において上方に配向されたパージ出口とを有する棚として構成される、請求項１に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項６】
複数のレチクル・ポッドのそれぞれに設けられるパージ出口の形状が矩形であり、各空所の形状は各レチクル・ポッドのパージ出口の形状に対応する、請求項５に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項７】
複数のレチクル保管容器は垂直軸を中心に旋回可能である、請求項５に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項８】
レチクル・ポッドをレチクル保管容器上に配置し、またそこから取り出すために個別に把持するためのロボット・グリッピング・デバイスをさらに備え、ロボット・グリッピング・デバイスは、レチクル保管容器におけるパージ流を確認するための空気流センサをさらに備える、請求項１に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項９】
空気流センサは、レチクル保管容器上にレチクル・ポッドが配置される前にレチクル保管容器パージ出口から出る内部環境内の空気流を検出するために配置される、請求項８に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項１０】
密閉された内部環境を画定する保管庫ハウジングと、
パージ・ガス源に連通可能なガス送出システムと、
密閉された内部環境内に複数のレチクル保管容器を備える保管庫ハウジングであって、各レチクル保管容器はレチクル・ポッドを受け入れるように構成され、各レチクル・ポッドはパージ入口とパージ出口とを有し、各レチクル保管容器は、ガス送出システムに接続されるパージ出口であって、前記保管容器の所定の位置においてレチクルのパージ入口に接続するためのパージ出口を有する、保管庫ハウジングと、
レチクル・ポッドを、レチクル保管容器上に配置し、またそこから取り出すために個別に把持するためのロボット・グリッピング・デバイスであって、ロボット・グリッピング・デバイスは、レチクル保管容器において内部環境内のパージ流を確認するための、内部環境において移動可能な空気流センサをさらに備える、ロボット・グリッピング・デバイスと
を備えるレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項１１】
各レチクル保管容器は、レチクル・ポッドがレチクル保管容器上に配置される位置よりも下方に、保管庫ハウジングの密閉された内部環境へのパージ出口の排気を可能にするための空所を有する、請求項１０に記載のレチクル・ハンドリング・システム。
【請求項１２】
複数のレチクル上の低湿度環境を維持するための方法であって、
使用中でないとき、または処理ツールもしくは検査ツール内にない場合に、複数のレチクル・ポッド内にレチクルを保管するステップであって、レチクル・ポッドは各々、パージ入口と、パージ出口と、湿分ゲッタと、シェルと、レチクル・ポッドを閉じるために密閉可能にシェルにラッチ掛けできるドアを有し、湿分ゲッタは、レチクル・ポッドを清浄乾燥空気を用いてパージするときに再生可能である、ステップと、
レチクル・ポッドをレチクル・ポッド・ストッカ内に保管するステップであって、レチクル・ポッド・ストッカは、開放された内部と、複数のレチクル・ポッド容器を有し、複数のレチクル・ポッド・容器はそれぞれレチクルポッドを受け入れるためのものである、ステップと、
レチクル・ポッドがレチクル・ポッド・ストッカ内にあるときに、少なくとも清浄乾燥
空気を用いてレチクル・ポッドをほとんど常にパージするステップであって、同ステップは、各レチクルポッド用の各容器において、個々の閉鎖されたレチクル・ポッドのすぐ上に配置された複数のラインからの、個々の閉じられたレチクル・ポッドの外部に向けられて該外部に作用し、それにより閉じられたレチクル・ポッドを清浄乾燥空気で洗浄する清浄乾燥空気の個別の第１の流れと、各レチクル・ポッドの内部への清浄乾燥空気の第２の流れとを生成し、第２の流れは、各レチクルポッドの底部開口を介して、閉じられたレチクル・ポッドのそれぞれを出る、ステップと
を含む方法。
【請求項１３】
各レチクルがレチクル・ポッドのうちの１つの内部にないときにレチクルを密閉エンクロージャ内に維持し、各レチクルがこのような密閉エンクロージャ内にあってレチクル・ポッド内にないときに、清浄乾燥空気を用いてレチクルをほとんど常に洗浄するステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
各レチクル・ポッドがレチクル・ポッド・ストッカ内にあるときに、少なくともＣＤＡを用いて各レチクル・ポッドを実質的に常にパージするステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
ゲッタは、各レチクル・ポッドのパージ出口に配置されるフィルタを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
レチクル・ポッド・ストッカは複数のレチクル保管容器を有し、保管容器はそれぞれ、保管容器上に配置されるレチクル・ポッドのうちの１つに接続するためのパージ出口を有し、ロボット・グリッパは、保管容器上に配置して、またこれから取り外すために個別に各レチクル・ポッドを掴み、グリッピング・デバイスは、開放された内部において動くことができる、開放された内部における空気流を検知するための空気流センサを有し、前記方法はさらに、開放された内部にあるレチクル保管容器における清浄乾燥空気の流れを検知するステップを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
複数のレチクル保管容器を有するレチクル・ポッド・ストッカ内の流れを確認するための方法であって、複数のレチクル保管容器は、保管容器上に配置されるレチクル・ポッドに接続するための対応するパージ出口を有し、前記方法は、空気流を測定することができる空気流センサを有するレチクル・ポッド・ロボット・グリッパを、開放された内部における空気流を確認するためにパージ出口のうちの１つの近くに配置するステップを含む方法。
【請求項１８】
レチクル・ポッド・ストッカであって、
密閉された内部環境を画定する密閉されたハウジングと、
レチクル・ポッド・ストッカに接続された少なくとも清浄乾燥空気の供給源と、
閉じられたレチクル・ポッドを各々受け入れるための複数の容器であって、各容器は、上方に延びる開口したパージ出口を有し、各パージ出口は少なくとも清浄乾燥空気の供給源に接続され、それによってパージ流が各開口したパージ出口において上方に排出され、各容器はさらに、容器の１つに配置された閉じられたレチクル・ポッドの外面に個別に作用するために、各容器において下方に排気するパージラインを有する、容器と、
各容器は、容器上に配置されたパージ可能なレチクル・ポッド上の入口と係合する開放されたパージ出口を有し、パージ可能なレチクル・ポッドを受け入れるように構成されることと、
レチクル・ポッドが容器上に配置されているときには、対応するパージ出口からレチクル・ポッド内にパージ流が注入され、レチクル・ポッドが容器上に配置されていないときには、パージ出口からハウジングの密閉された内部環境内に出る、レチクル・ポッド・ストッカ。
【請求項１９】
レチクル・ポッドを容器に配置して、また容器から取り出すためのロボット・グリッパをさらに備え、ロボット・グリッパは、個々の容器における開放された内部の空気流を確認するために、開放された内部を移動可能であり、かつ開放された内部の複数の位置において空気流を測定することができる空気流センサを備える、請求項１８に記載のレチクル・ポッド・ストッカ。
【請求項２０】
各容器は一対のパージ出口を有し、各パージ出口は容器内の空所の反対側にあり、閉じられたレチクル・ポッドは２つのパージ入口の中間に位置する出口フィルタを有し、少なくとも清浄乾燥空気流をレチクル・ポッド内に注入するために、２つのパージ入口は２つのパージ出口と係合し、少なくとも清浄乾燥空気流は、容器内の空所においてレチクル・ポッドからストッカの密閉された内部環境へと排出される、請求項１８に記載のレチクル・ポッド・ストッカ。
【請求項２１】
開放された内部を有し、かつ開放された内部に複数のレチクル保管容器を有するレチクル・ポッド・ストッカ内において流れを確認するための方法であって、該方法は、開放された内部における空気流を確認するために、空気流を測定可能であり、かつ開放された内部において移動可能な空気流センサを容器の１つの近くに位置決めするステップを含む方法。