(57)【要約】【課題】【発明が解決しようとする課題】本発明は、ウエハなどのワークをブレーキングにより個片化する加工工程において、個片化されたワークを（チップ）の位置ずれや飛散をさせることなく寸法精度よく得るための固定用粘着シートに関するもので、ワークを研削、研磨などの前工程から一貫で固定し加工できる板状材料の製造方法に関するものである。【解決手段】すなわち本発明は、加工対象物（以下ワークと称す）を固定する固定用粘着シートであって、該粘着シートの粘着剤が紫外線硬化型であり、当該ワークに粘着シートを貼り合わせて紫外線照射により粘着シートの粘着剤を硬化させた後にブレーキングによりワークを個片化する工程に使用する固定用粘着シートである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物（以下ワークと称す）を固定する固定用粘着シートであって、該粘着シートの粘着剤が紫外線硬化型であり、アクリル系ポリマー１００質量部と、不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物２０〜２００質量部を含有し、前記紫外線硬化型粘着剤層の、紫外線硬化後における貯蔵弾性率が１×１０７Ｐａ以上であり、前記不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物の内、２０〜８０質量％が、不飽和結合を４個以上有する紫外線重合性化合物である、当該ワークに粘着シートを貼り合わせて紫外線照射により粘着シートの粘着剤を硬化させた後にブレーキングによりワークを個片化する工程に使用する固定用粘着シート。
【請求項２】
請求項１に記載のワークがウエハであり、ウエハに請求項１に記載の粘着シートを貼り合わせて裏面を研削加工し、紫外線照射により粘着シートの粘着剤を硬化させた後にブレーキングによりワークを個片化することを特徴とする板状材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハなどのワークをブレーキングにより個片化する加工工程において、個片化されたワークを（チップ）の位置ずれや飛散をさせることなく寸法精度よく得るための加工用粘着シートに関するもので、また、ワークを研削、研磨などの前工程から一貫で固定し加工できる板状材料の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来サファイアウエハなどの板状材料の加工は、所望の表面加工を施した後に砥石などで厚みを低減し、実装に適する厚みに加工し、機械的加工やレーザー加工、それらの複合的な加工によりチップ状に個片化する工法が取られてきた。しかしながら、昨今のウエハの仕上がり厚みの薄化やウエハの薄肉化によるウエハの反りの顕在化などからワークの固定方法が種々検討されている。
【０００３】
ウエハの加工については、セラミックスやサファイア、ガラスなどの基板（サブストレート）にワックスや接着剤で固定して研削、研磨を行う方法が知られている（特許文献１）。しかし、洗浄に労力がかかる上、環境負荷も大きく、次工程への移行の際に薄化したウエハを基板から剥がす際や搬送の際にウエハが破損する可能性があった。そこで、ウエハの研削、研磨からチップ状へ個片化する分割工程までワークを固定する方法として粘着シートによる固定が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許文献１  特許２７６７１９６（日化精工）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ウエハなどのワークをブレーキングにより個片化する加工工程において、個片化されたワークを飛散させることなく寸法精度よく得るための加工用粘着シート及び、ワークを研削、研磨などの前工程から一環で固定し加工できる方法に関するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者らは鋭意検討した結果、ウエハなどのワークの加工において、研削、研磨などの方法により薄化する工程に使用する加工用粘着シート、飛散なく精度よくチップ状に個片化する分割工程におけるワークの固定方法を開発するに至った。
【０００７】
すなわち本発明は、加工対象物（以下ワークと称す）を固定する固定用粘着シートであって、該粘着シートの粘着剤が紫外線硬化型であり、アクリル系ポリマー１００質量部と、不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物２０〜２００質量部を含有し、前記紫外線硬化型粘着剤層の、紫外線硬化後における貯蔵弾性率が１×１０７Ｐａ以上であり、前記不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物の内、２０〜８０質量％が、不飽和結合を４個以上有する紫外線重合性化合物である、当該ワークに粘着シートを貼り合わせて紫外線照射により粘着シートの粘着剤を硬化させた後にブレーキングによりワークを個片化する工程に使用する固定用粘着シートである。
【０００８】
他の発明は、ウエハなどのワークに粘着シートを貼り合わせて裏面を研削加工し、外線照射により粘着シートの粘着剤を硬化させた後にブレーキングによりワークを個片化することを特徴とする板状材料の製造方法についてである。
【０００９】
粘着シートに用いられる紫外線硬化型粘着剤層は、アクリル系ポリマー１００質量部と不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物２０〜２００質量部と、を含有する。
【００１０】
そして、紫外線硬化型粘着剤層は、紫外線硬化後に、１×１０７Ｐａ以上の貯蔵弾性率（Ｅ’）を有する。貯蔵弾性率（Ｅ’）が１×１０７Ｐａ未満では、ブレーキングによりワークを分割した際に個片化されたチップとチップの間に糊残りが発生することがある。
【００１１】
ここで、貯蔵弾性率（Ｅ’）は以下の手法により決定される値である。まず、紫外線硬化型粘着剤を厚さ０．０３ｍｍで剥離フィルム上に形成し、もう一方を剥離フィルムで保護したサンプルを作製する。これを８０Ｗ／Ｇｍの高圧水銀灯下に置き、積算光量が１５０ｍＪ／ｃｍ２となるまで紫外線を照射し、硬化後のサンプルを幅３ｍｍで切り出し測定試料としたのち粘弾性測定装置（ＳＲＡ３、ティ・エイ・インスツルメント社製）を用いて、ひずみ：０．１％、測定温度：２５℃で測定して得られるグラフより、１．０Ｈｚの値を読み取って貯蔵弾性率（Ｅ’）とする。
【００１２】
＜アクリル系ポリマー＞
アクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸エステル単位、カルボキシル基含有単量体単位、及びヒドロキシル基含有単量体単位を有するビニル重合体である。アクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸エステル単位、カルボキシル基含有単量体単位、及びヒドロキシル基含有単量体単位以外のビニル化合物由来の単量体単位を有してもよい。
【００１３】
（メタ）アクリル酸エステルは特に限定されず、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及びベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基は直鎖構造であってもよく、枝分かれ構造や二重結合やエーテル結合等を有してもよい。
【００１４】
アルキル基に枝分かれ構造を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えばイソプロピル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、及び２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１５】
カルボキシル基含有単量体は、カルボキシル基を有するビニル化合物である点以外は特に限定されず、例えば（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、フマール酸、アクリルアミドＮ−グリコール酸、及びケイ皮酸等の不飽和カルボン酸が挙げられる。
【００１６】
ヒドロキシル基含有単量体はヒドロキシル基を有するビニル化合物であれば特に限定されず、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、及びポリビニルアルコール等が挙げられる。
【００１７】
アクリル系ポリマーは上記の単量体以外に、エポキシ基、アミド基、アミノ基、メチロール基、スルホン酸基、スルファミン酸基、及び（亜）リン酸エステル基からなる群のうちの１種以上の官能基を有するビニル化合物（以下、「官能基含有単量体」という）に由来する単量体単位を含んでもよい。
【００１８】
エポキシ基を有する官能基含有単量体としては、例えばアリルグリシジルエーテル及び(メタ）アクリル酸グリシジルエーテル等が挙げられる。
【００１９】
アミド基を有する官能基含有単量体としては、例えば（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００２０】
アミノ基を有する官能基含有単量体としては、例えばＮ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００２１】
メチロール基を有する官能基含有単量体としては、例えばＮ−メチロールアクリルアミド等が挙げられる。
【００２２】
アクリル系ポリマーは、例えばエチレン、スチレン、ビニルトルエン、酢酸アリル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、バーサテイク酸ビニル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、（メタ）アクリロニトリル、又はビニルイソブチルエーテル等のビニル化合物等に由来する単量体単位を有してもよい。
【００２３】
アクリル系ポリマー１００質量部中のカルボキシル基含有単量体単位の含有量は０．３〜１５質量部が好ましい。アクリル系ポリマー１００質量部中のカルボキシル基含有単量体単位の含有量がこの範囲だと、ガラス転移温度（Ｔｇ）が−４０〜−１０℃の範囲となり、常温で適度な粘度となるため好ましい。
【００２４】
アクリル系ポリマー１００質量部中のヒドロキシル基含有単量体単位の含有量は０．３〜１５質量部が好ましい。アクリル系ポリマー１００質量部中のヒドロキシル基含有単量体単位の含有量がこの範囲だと、ガラス転移温度（Ｔｇ）が−４０〜−１０℃の範囲となり、常温で適度な粘度となるため好ましい。
【００２５】
上記のようなアクリル系ポリマーは、架橋剤を使用することにより接着力と凝集力とを任意の値に設定することができる。このような架橋剤としては、多価イソシアネート化合物、多価エポキシ化合物、多価アジリジン化合物、キレート化合物等がある。
【００２６】
多価イソシアネート化合物としては、例えば、芳香族系イソシアネート、脂環族系イソシアネート、及び脂肪族系イソシアネート等が挙げられ、具体的にはトリレンジイソシアネート、４，４−ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、メチレンビス（４−シクロヘキシルイソシアネート）、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、およびこれらのアダクトタイプのもの等が用いられる。
【００２７】
多価エポキシ化合物としては、具体的にはエチレングリコールジグリシジルエーテル、テレフタル酸ジグリシジルエステル等が用いられる。
【００２８】
多価アジリジン化合物としては、具体的にはトリス−２，４，６−（１−アジリジニル）−１，３，５−トリアジン、トリス〔１−（２−メチル）−アジリジニル〕ホスフィンオキシド、ヘキサ〔１−（２−メチル）−アジリジニル〕トリホスファトリアジン等が用いられる。
【００２９】
キレート化合物としては、具体的にはエチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムトリス（エチルアセトアセテート）等が用いられる。
【００３０】
上記架橋剤の添加量はアクリル系ポリマー１００質量部に対して０．０１〜２０質量部である。架橋剤添加量が少ないと粘着剤の凝集力が得られず紫外線照射前の粘着力が高くなりすぎて取り扱いがしにくくなる場合がある。架橋剤添加量が過剰だと粘着剤が硬くなり、ワークになじみにくくなることがある。
【００３１】
＜不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物＞
また紫外線硬化型粘着剤層に用いられる紫外線重合性化合物としては、光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が広く用いられ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられる。
【００３２】
さらに紫外線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレートを用いることもできる。ウレタンアクリレートは、アルコール性のＯＨ基を有する化合物に、多価イソシアネート化合物を反応させてイソシアネート末端とし、このイソシアネート末端をヒドロキシル基を有する（メタ）アクリレートと反応させて（メタ）アクロイル基末端とすることにより得られる。
【００３３】
アルコール性のＯＨ基を有する化合物としては、例えばポリプロピレンオキサイドやポリエチレングリコール等のポリエーテル型のポリオール化合物、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル型のポリオール化合物、グリセリンまたはペンタエリスリトール等の多価アルコール等が挙げられる。
【００３４】
多価イソシアネート化合物としては、例えば２，４−トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイソシアネート、１，４−キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４−ジイソシアネート等が挙げられる。
【００３５】
ヒドロキシル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリビニルアルコール等が挙げられる。
【００３６】
紫外線重合性化合物としてウレタンアクリレートのオリゴマーを用いる場合、数平均分子量が５００〜３００００のものが好ましく、１０００〜１００００のものがより好ましい。この範囲内であれば、加工中にワークを保持するだけの十分な粘着力が得られると共に、粘着シートをワークから剥離した際の糊残りがしにくいため好ましい。ウレタンアクリレートオリゴマーの数平均分子量があまりに高すぎると、被着体であるワークへのなじみ性が悪く粘着力が不足する場合があり、ウレタンアクリレートオリゴマーの数平均分子量があまりに低すぎると粘着シートをワークから剥離した際に、ワーク上に形成された凹凸部などに糊残りが発生する場合がある。なお数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によりポリスチレン換算の数平均分子量として測定した値である。
【００３７】
さらに本発明においては、複数の紫外線重合性化合物を組み合わせて使用することが好ましい。たとえば、不飽和結合を２個以上有する紫外線重合性化合物の内、２０〜８０質量％、好ましくは６０〜７５質量％が不飽和結合を４個以上、好ましくは６個以上有する紫外線重合性化合物であることが望ましい。不飽和結合を４個以上有する紫外線重合性化合物の具体的な例としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、１，６−ビス（グリセリルウレタン）ヘキサン−テトラメタクリレート等の不飽和結合を４個有する紫外線重合性化合物、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、１，６−ビス（ペンタエリスリトールウレタン）ヘキサン−ヘキサアクリレート、ビス（ペンタエリスリトールウレタン）イソホロン−ヘキサアクリレート、ビス（ペンタエリスリトールウレタン）トルエン−ヘキサアクリレート等の不飽和結合を６個有する紫外線重合性化合物があげられる。このような不飽和結合を４個以上有する紫外線重合性化合物を２０〜８０質量％用いることにより、紫外線照射により充分に硬化するとともに、紫外線照射前の粘着剤としての凝集力低下を抑制できる。
【００３８】
＜配合量＞
アクリル系ポリマーと紫外線重合性化合物との配合比は、アクリル系ポリマー１００質量部に対して紫外線重合性化合物は２０〜２００質量部、好ましくは５０〜１７５質量部の範囲の量で用いられることが望ましい。この場合には、得られる粘着シートは初期の粘着力が大きくなり、加工中にワークを保持するだけの十分な粘着力が得られると共に、紫外線照射後には粘着力は大きく低下するため、容易にワークから粘着シートを剥離することができる。
【００３９】
紫外線重合性化合物の割合が２０質量部未満では、紫外線照射後に粘着シートが被着体と容易に剥離せずに分割されたチップの剥離に手間取る場合がある。一方、２００質量部を超えて過剰に配合すると紫外線照射後に粘着剤が硬くなりすぎて分割加工時にチップのずれや飛散が生じることがある。
【００４０】
＜その他の成分＞
さらに上記の紫外線硬化型粘着剤層中に、ＵＶ照射用の場合には、紫外線硬化反応開始剤を混入することにより、紫外線照射による重合硬化時間ならびに紫外線照射量を少なくすることができる。
【００４１】
このような紫外線硬化反応開始剤としては、具体的には、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ベンゾフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド、２−エチルヘキシル−４−ジメチルアミノベンゾエート、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］−フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等の化合物が挙げられる。
【００４２】
紫外線硬化反応開始剤は、前述した化合物を単独で用いるほか、任意の割合で２種類以上の化合物を混合して用いてもよい。
【００４３】
紫外線硬化型粘着剤層中には、発明の効果を阻害しない範囲で他の素材を配合することができる。例えば、熱重合禁止剤、軟化剤、老化防止剤、充填剤、紫外線吸収剤、及び光安定剤等の各種添加剤を必要に応じて添加してもよい。
【００４４】
粘着シートの製造方法としては、基材上に粘着剤層を積層して粘着シートとする方法があり、粘着剤を塗布する方法、印刷する方法がある。粘着剤を塗布する方法としては、例えばグラビアコーター、コンマコーター、バーコーター、ナイフコーター、ダイコーター又はロールコーター等のコーターで基材上に粘着剤を直接又は間接的に塗布する方法がある。印刷する方法としては、凸板印刷、凹板印刷、平板印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷又はスクリーン印刷がある。
【実施例】
【００４５】
本発明に係わる実施例及び加工方法について詳細に説明する。
【００４６】
＜使用材料＞  （１）アクリル系ポリマー
［アクリル系ポリマーＡ］
ブチルアクリレート７４質量部、メチルメタクリレート２０質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート１質量部、及びアクリル酸５質量部を共重合したもの。ガラス転移温度Ｔｇ＝−２８．８℃、合成品。
【００４７】
［アクリル系ポリマーＢ］
ブチルアクリレート５０質量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート４５質量部、アクリル酸５質量部を共重合したもの。ガラス転移温度Ｔｇ＝−３３℃、合成品。
【００４８】
＜使用材料＞  （２）紫外線重合性化合物
［紫外線重合性化合物Ａ］
ポリ（プロピレンオキサイド）ジオールの末端にヘキサメチレンジイソシアネートを反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更に２−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させてなり、数平均分子量（Ｍｎ）が３，４００、ビニル基数は１分子あたり２個であるウレタンアクリレートのオリゴマー（ＤＩＣ製）。
【００４９】
［紫外線重合性化合物Ｂ］
ポリ（プロピレンオキサイド）ジオールの末端にイソホロンジイソシアネートを反応させてなる末端イソシアネートオリゴマに、更にペンタエリスリトールトリアクリレートを反応させてなり、数平均分子量（Ｍｎ）が１１００で、ビニル基数は１分子あたり６個であるウレタンアクリレートのオリゴマー（ＤＩＣ製）。
【００５０】
［紫外線重合性化合物Ｃ］
ペンタエリスリトールのＯＨ末端にヘキサメチレンジイソシアネートを反応させてなる末端イソシアネート化合物に、更に２−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させてなるウレタンアクリレート（合成品）。分子量１２７０、ビニル基数は１分子あたり４個。
【００５１】
＜使用材料＞  （３）架橋剤
トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネート付加物の合成品イソシアネート、市販品。
【００５２】
＜使用材料＞  （４）紫外線硬化反応開始剤
１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン系光重合開始剤（ＢＡＳＦジャパン製）。
【００５３】
＜使用材料＞  （５）基材フィルム
［基材フィルムＡ］
ポリエチレンテレフタレート  １００μｍ
【００５４】
［基材フィルムＢ］
エチレンとプロピレンと１−ブテンの共重合体  ８０μｍ
【００５５】
＜実施例１＞
アクリル系ポリマーＡ１００質量部と、紫外線重合性化合物１００質量部（紫外線重合性化合物Ａ３０質量部、紫外線重合性化合物Ｂ７０質量部、不飽和結合を４個以上有する紫外線重合性化合物の比率：７０質量％）、架橋剤１０質量部、紫外線硬化反応開始剤５質量部とを混合して紫外線硬化型粘着剤を調製した。この紫外線硬化型粘着剤を用いて、前述の方法で貯蔵弾性率（Ｅ’）を評価した。結果を表１に示す。
【００５６】
【表１】
2012227232.tif 000002
【００５７】
（評価方法）
（１）貯蔵弾性率（Ｅ’）
紫外線硬化型粘着剤を厚さ０．０３ｍｍで剥離フィルム上に形成し、もう一方を剥離フィルムで保護したサンプルを作製する。これを８０Ｗ／Ｇｍの高圧水銀灯下に置き、積算光量が１５０ｍＪ／ｃｍ２となるまで紫外線を照射し、硬化後のサンプルを幅３ｍｍで切り出し測定試料としたのち粘弾性測定装置（ＳＲＡ３、ティ・エイ・インスツルメント社製）を用いて、ひずみ：０．１％、測定温度：２５℃で測定して得られるグラフより、１．０Ｈｚの値を読み取って貯蔵弾性率（Ｅ’）とした。
【００５８】
（研削性評価）
４ｉｎｃｈのサファイアウエハに粘着シートを貼り合せ、研削装置を用いて８０μｍ厚まで研削した。この評価を３回繰り返して行い、割れの発生有無を確認した。なお、この時粘着シートはダイシングフレームにて固定した。
○：割れ発生なし
×：割れ発生あり
【００５９】
（分割性評価１）
【００６０】
で得られた８０μｍまで研削したウエハを粘着シートに貼ったままの状態で、１ｍｍ角にステルスダイシング（浜松ホトニクス社登録商標）を行った後、分割装置を用いて１ｍｍ角に分断し、分割性の確認を行った。この時規定の寸法形状に分割できなかったチップ（異常チップ）の数をカウントし以下の基準で評価した。なお、前記研削性評価で割れが発生したウエハについては、割れにかかるチップを除いたチップサイズを総数として、以後に記載の実験を行った。
◎：全て分割できたもの（異常チップ  ０個）
○：異常チップ  １〜３個
△：異常チップ  ４〜１０個
×：異常チップ  １０個以上
【００６１】
（分割性評価２）
【００６２】
の実験において、ウエハを１ｍｍ角のチップに分割した際にチップの位置ずれや飛散が発生した数を確認し、以下の基準で評価した。
◎：０個
○：１〜３個
△：４〜１０個
×：１０個以上
【００６３】
１ｍｍ角に分割したチップ１００個を抜き取り、テープ貼り合せ面及び側面の観察を行い糊残りの有無を確認した。糊残り発生チップ数を以下の基準で評価した。
◎：０個
○：１〜３個
△：４〜１０個
×：１０個以上
【００６４】
＜実施例２〜１４、比較例１〜８＞
アクリル系ポリマー、紫外線重合性化合物を表１に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表１に示す。