【事件の表示】
　平成６年特許願第３１８０４８号「高速フィルム測定装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔平成７年９月５日出願公開、特開平７−２３４１０９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び本願発明
　　本願は、平成６年１２月２１日（優先権主張１９９３年１２月２１日、米国）の出願であって、拒絶査定が平成１５年１２月３日付けでされ、同年同月９日に発送されたところ、この拒絶査定に対する審判が平成１６年３月８日に請求されたものであり、その請求項１〜１１に係る発明は、平成１５年１０月１日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された事項により特定されるとおりものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）は以下のとおりのものである。
「高速かつ高精度のフィルム厚さ測定装置であって、フィルムに吸収され得る可干渉単色光エネルギを発する光エネルギ源、光エネルギ源と協働し、光エネルギを空気中のみを通過する参照光と空気中およびフィルムを通過する測定光とに分割する光分割手段、検出された参照光の光度と検出された測定光の光度とを求める検出手段、および検出手段と協働し、参照光の光度と測定光の光度とを比較することにより、フィルム厚さに比例する吸収値を求める比較測定手段、を有する装置。」
　
　
２．引用刊行物
　　原査定の拒絶の理由として平成１５年３月２５日付けの拒絶理由通知書において引用され、本願の優先権主張の日前の昭和５９年３月１９日に頒布された刊行物である特開昭５９−４８６０５号公報（以下「引用刊行物」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
　
（１）「本発明は、透明基板にデポジツトされた物質の薄膜の厚みを測定するための光電デバイスに係る。」（明細書第１頁右下欄第１０〜１２行）
　
（２）「デバイスは物質による光線の吸収に基くものであり以下の吸光法則が存在する物質に適用される。
Iｔ=Iｔ０exp(-ae)（ランバート−ベールの法則）
〔式中、Iｔ０はサンプルに垂直な入射光の強度、Iｔは透過光の強度、eはサンプルの厚み、aはサンプルの吸収係数を示す。〕
この場合厚みeは1/aLog(Iｔ０/Iｔ)に等しい。」（第１頁右下欄第１３行〜第２頁左上欄第７行）
　
（３）「第１図に於いて符号１はヘリウム−ネオンレーザーの如き単色光源を示す。光ビームの幅はエキスパンダ２を用いて調整される。例えば半反射性の薄いガラス板から成るスプリツタ３は光ビームを２部に分割する。強度I0の第１部分の光ビームが第１の直線形光電変換器４に送られる。該変換器は例えばホトダイオードから成る。該変換器は出力に電気信号i0=S2I0 を送出する。式中、S2 は比例係数である。」（第２頁右上欄第１８行〜同頁左下欄第８行）
　
（４）「強度I2 の第２部分の光ビームはサンプルを通過する。該サンプルは透明基板４B上に膜４Aを有しており、この膜の厚みの測定がデバイスの目的である。サンプルから出た強度Iｔの光ビームは変換器４と同種の第２の直線形光電変換器５に送られる。該変換器は出力に電気信号it =S1It を供給する。式中、S1は比例係数である。」（第２頁左下欄第９〜１５行）
　
（５）「第２図は本発明の測定デバイスの一部を成す電子回路のブロック図を示す。信号i0とitとは加算定数を除いた入力信号の対数を与える演算増幅器（夫々１１，１２）で受信される。増幅器１１、１２の出力信号V1，V2は次式で示される。
　V1=K1Log(S1 It/ir)+A1　V2=K2Log(S2 I0/ir)+A2〔式中、K1，K2は、増幅器１１，１２が等しいとき同じ値Kに等しい比例係数であり、irは増幅器１１，１２に与えられる共通基準電流であり、A1，A2は２つの増幅器１１，１２のオフセツト値である。〕」（第２頁左下欄第１６行〜同頁右下欄第１１行）
　
（６）「対数増幅器１１，１２の出力は減算回路１３に送られる。該回路は出力から信号
　Vs=V1-V2=K Log(S2 I0/S1 It)+A1-A2=K LogI0/It+A
を送出する。式中、Aは別の定数である。」（第２頁右下欄第１５行〜第３頁左上欄第１行）
　
（７）「本発明は、形成された膜が光線を透過するものである限り、デポジツトによるかエツチングによるかを問わずいかなる種類の膜の厚みをも調整するために使用され得る。」（第４頁左上欄第９〜１２行）
　
　
３． 対比・判断 
（１） 引用刊行物記載の発明
　　上記２．の摘記事項（１）及び（２）により、引用刊行物には、「透明基板にデポジツトされた物質の薄膜の厚みを測定するため」、「吸光法則」により「サンプルの厚み」を「1/aLog(Iｔ０/Iｔ)」として求める「光電デバイス」（「Iｔ０はサンプルに垂直な入射光の強度、Iｔは透過光の強度、...、aはサンプルの吸収係数を示す。」）が記載されている。
　　同摘記事項（３）により、引用刊行物には、「ヘリウム−ネオンレーザーの如き単色光源」からの「光ビーム」を「半反射性の薄いガラス板から成るスプリツタ３」により「２部に分割」し、「強度I0の第１部分の光ビームが第１の直線形光電変換器４」により「電気信号i0=S2I0 」として出力されること（「S2 は比例係数」）が記載されている。
　　同摘記事項（４）により、引用刊行物には、「強度I2 の第２部分の光ビームはサンプルを通過」し、「サンプルから出た強度Iｔの光ビームは変換器４と同種の第２の直線形光電変換器５」により、「電気信号it =S1It 」として出力されること（「S1は比例係数」）が記載されている。
　　同摘記事項（５）及び（６）により、引用刊行物には、「信号i0とitとは...入力信号の対数を与える演算増幅器（夫々１１、１２）で受信され」、「対数増幅器１１、１２の出力は減算回路１３に送られ」、「Vs=...=K LogI0/It+Aを送出する。式中、Aは別の定数である。」ことが記載されている。
　　してみれば、引用刊行物には、
「透明基板にデポジツトされた物質の薄膜の厚みを測定するため、吸光法則によりサンプルの厚みを1/aLog(Iｔ０/Iｔ)として求める光電デバイス（Iｔ０はサンプルに垂直な入射光の強度、Iｔは透過光の強度、aはサンプルの吸収係数）において、ヘリウム−ネオンレーザーの如き単色光源からの光ビームを半反射性の薄いガラス板から成るスプリツタ３により２部に分割し、強度I0の第１部分の光ビームが第１の直線形光電変換器４により電気信号i0=S2I0 として出力され、強度I2 の第２部分の光ビームはサンプルを通過し、サンプルから出た強度Iｔの光ビームは変換器４と同種の第２の直線形光電変換器５により電気信号it =S1It として出力され、信号i0とitとは入力信号の対数を与える演算増幅器１１、１２で受信され、対数増幅器１１、１２の出力は減算回路１３に送られ、Vs=K LogI0/It+Aを送出する（S1　、S2 は比例係数、Aは別の定数）」発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
（２）本願発明１と引用発明との対比
　　本願発明１（以下、「前者」という。）と引用発明（以下、「後者」という。）を対比する。
　ア　後者の「物質の薄膜の厚みを測定するため、吸光法則によりサンプルの厚みを1/aLog(Iｔ０/Iｔ)として求める光電デバイス（Iｔ０はサンプルに垂直な入射光の強度、Iｔは透過光の強度、aはサンプルの吸収係数）」は、前者の「厚さ測定装置」に相当する。
　イ　後者の「ヘリウム−ネオンレーザーの如き単色光源」は、レーザ光が一般に可干渉性を帯有していることを考慮すれば、前者の「可干渉単色光エネルギを発する光エネルギ源」に相当し、後者は、「吸光法則によりサンプルの厚みを...求める」ものであるから、後者の光源もサンプルに吸収され得る波長の光を発することは、その測定原理からして自明である。したがって、前者と後者とは、サンプルに吸収され得る可干渉単色光を発する光エネルギ源を備えている点で共通する。
　ウ　後者の「半反射性の薄いガラス板から成るスプリツタ３」は、光ビームを「サンプルを通過」せず、空気中のみを通過する「強度I0の第１部分の光ビーム」と「サンプルを通過」する「強度I2 の第２部分の光ビーム」の「２部に分割」するから、前者と後者とは、「光エネルギ源と協働し、光エネルギを空気中のみを通過する参照光と空気中およびサンプルを通過する測定光とに分割する光分割手段」を有している点において共通する。
　エ　後者の「第１の直線形光電変換器４」及び「第２の直線形光電変換器５」は、それぞれ「強度I0の第１部分の光ビーム」を「電気信号i0=S2I0 」として出力」し、「サンプルから出た強度Iｔの光ビーム」を「電気信号it =S1It として出力」し、これらの電気信号には参照光光度I0 や測定光光度Itが含まれているから、前者の「検出された参照光の光度と検出された測定光の光度とを求める検出手段」に相当する。
　オ　後者の「対数増幅器１１、１２」及び「減算回路１３」により、「Vs=K LogI0/It+A」が出力され、この信号には参照光光度I0 と測定光光度It  との比を含む成分が存在し、「吸光法則」によればこの成分がサンプルの厚みに比例するのであるから、前者と後者とは、「検出手段と協働し、参照光の光度と測定光の光度とを比較することにより、サンプルの厚さに比例する吸収値を求める比較測定手段」を有している点で共通する。
　以上ア〜オより、両者は、
「サンプル厚さ測定装置であって、サンプルに吸収され得る可干渉単色光エネルギを発する光エネルギ源、光エネルギ源と協働し、光エネルギを空気中のみを通過する参照光と空気中およびサンプルを通過する測定光とに分割する光分割手段、検出された参照光の光度と検出された測定光の光度とを求める検出手段、および検出手段と協働し、参照光の光度と測定光の光度とを比較することにより、サンプル厚さに比例する吸収値を求める比較測定手段、を有する装置。」
である点で一致し、以下の相違点Ａ及びＢにおいて相違する。
　［相違点Ａ］
　　測定対象が、前者では、「フィルム」であるのに対して、後者では「透明基板にデポジツトされた物質の薄膜」である点。
　［相違点Ｂ］
　　「厚さ測定装置」に関し、前者では、「高速かつ高精度」という特徴を備えているのに対して、後者では、そのような特徴の明示がない点。
　
（３）判断
　［相違点Ａ］について
　　照射した光の吸収量に基づいてフィルムの厚さを測定することは、例えば特開昭５８−１０３６０４号公報に記載されているように周知であり、測定対象を「フィルム」として引用発明を適用し、相違点Ａに係る構成を得ることに当業者ならば格別の困難性はない。
　［相違点Ｂ］について
　　フィルムの厚さ測定をフィルムの生産速度が高速化するのに合わせてオンライン化し、高感度かつ高精度に測定できるよう構成することは、同じく特開昭５８−１０３６０４号公報に記載されているように周知であり（同公報明細書第２頁右上欄第１３行〜同頁左下欄第１行、同第４頁左下欄第１〜７行を参照）、フィルム厚さ測定装置が「高速かつ高精度」の特徴を備えることは格別のものではない。
　　よって、上記相違点Ａ及びＢは格別のものではなく、引用発明及び周知事項に基づいて本願発明１のごとく構成することは当業者が容易に為し得たものである。
　　そして、本願発明１の奏する効果は、引用刊行物に記載された事項及び周知事項に基づいて当業者が予測できる範囲内のものである。
　
　
４．むすび
　　以上のとおり、本願発明１は、引用発明及び周知事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　したがって、本願発明１が特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　　よって、結論のとおり審決する。