【手続補正書】
【提出日】平成22年3月25日(2010.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学元素の周期系の亜族の金属またはその合金、好ましくはＣｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａと、Ｃ，Ｓｉ，ＢおよびＳの群に属する単一のメタロイドとからなる多相のコンポーネント摩耗防護層であって、
ｉ）前記コンポーネント摩耗防護層は実質的に前記金属と前記メタロイドと前記メタロイドの化合物からなっており、
ｉｉ）前記コンポーネント摩耗防護層は実質的に水素を含んでおらず、
ｉｉｉ）前記コンポーネント摩耗防護層は工作物表面またはコンポーネント表面に場合により存在する付着層を除いて、金属からなる明確な層を実質的に有しておらず、
ｉｖ）前記コンポーネント摩耗防護層はメタロイドからなる連続する層を実質的に有していないコンポーネント摩耗防護層。
【請求項２】
金属の濃度の合計に対するメタロイドの濃度の比率は層表面から工作物表面またはコンポーネント表面に向かって周期的に変化することを特徴とする、請求項１に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項３】
ｉ）メタロイドとして炭素が使用され、
ｉｉ）金属としてＣｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｎｂ，ＭｏまたはＴａが使用され、
ｉｉｉ）炭素濃度は２０〜８５％、好ましくは４０〜７０％であることを特徴とする、請求項１または２に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項４】
前記層は追加的に窒素を含んでいることを特徴とする、請求項３に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項５】
窒素濃度は炭素濃度を上回っていないことを特徴とする、請求項４に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項６】
金属に対するメタロイドの濃度の比率が層表面から工作物表面またはコンポーネント表面に向かって変化する周期は５ｎｍを上回っておらず、好ましくは２ｎｍを上回っていないことを特徴とする、請求項２から５のいずれか１項に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項７】
ｉ）多層に構成されており、
ｉｉ）個々の層は実質的に金属とメタロイドの化合物の粒度の点でのみ区別されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の多相のコンポーネント摩耗防護層。
【請求項８】
ＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法であって、
ｉ）金属蒸気を生成するために少なくとも１つの物理的な蒸発源を使用し、
ｉｉ）メタロイド蒸気を生成するために少なくとも１つの物理的な蒸発源を使用し、
ｉｉｉ）金属蒸気とメタロイド蒸気が反応して化合物となるように工作物表面に当たることを特徴とするＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項９】
金属蒸気は化学元素の周期系の亜族の金属、好ましくはＣｒ，Ｗ，Ｔｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ、またはこれらの金属が主合金成分を形成する合金であり、メタロイド蒸気は元素Ｃ，Ｓｉ，ＢおよびＳ、好ましくはＣの蒸気であることを特徴とする、請求項８に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１０】
ｉ）メタロイド蒸気は炭素であり、
ｉｉ）工作物およびコンポーネント表面に当たる炭素のモル流と金属のモル流との比率の時間的平均は０．２よりも大きくて４．５よりも小さく、好ましくは０．４よりも大きくて２．５よりも小さいことを特徴とする、請求項９に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１１】
ｉ）工作物およびコンポーネント表面に当たる金属蒸気のモル流とメタロイド蒸気のモル流との比率は時間周期Δｔで周期的に変化し、
ｉｉ）時間周期Δｔは単位ｍ／ｓｅｃで表したコーティング率の５×１０−９倍よりも小さく、好ましくは２×１０−９倍よりも小さいことを特徴とする、請求項８から１０のいずれか１項に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１２】
両方の物理的な蒸発源のうちの一方として陰極アーク式蒸発器が用いられることを特徴とする、請求項８から１１のいずれか１項に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１３】
窒素を含有する雰囲気のなかでコーティングが行われることを特徴とする、請求項８から１２のいずれか１項に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１４】
水素または水素を含有する化合物を実質的に含まない雰囲気のなかでコーティングが行われることを特徴とする、請求項８から１３のいずれか１項に記載のＰＶＤコンポーネント摩耗防護コーティング法。
【請求項１５】
真空室（１）と、物理的な蒸発源（３），（４），（５）および（６）と、回転装置（７）と、コンポーネント回転支持体（９）とで構成される、コンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置であって、
ｉ）前記装置は少なくとも２つの物理的な蒸発源を含んでおり、
ｉｉ）少なくとも２つの物理的な前記蒸発源には物理的プロセスによって蒸気相へと移されるべき異なる材料が装填されており、
ｉｉｉ）少なくとも１つの物理的な蒸発源は炭素蒸気、硫黄蒸気、珪素蒸気、または硼素蒸気の生成に適しており、
ｉｖ）それぞれ２つの物理的な蒸発源と前記回転装置はすべてのコンポーネントが両方の物理的な蒸発源に周期的に曝露されるように配置されており、
ｖ）前記コンポーネント支持体が再び同じ位置に達するまでの時間周期Δｔは単位ｍ／ｓｅｃで表した逆コーティング率の５×１０−９倍よりも小さく、好ましくは２×１０−９倍よりも小さいことを特徴とする、コンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項１６】
前記回転装置の回転速度は少なくとも１０回転／分であり、好ましくは少なくとも５０回転／分であることを特徴とする、請求項１５に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項１７】
前記回転装置の回転速度は単位ｍ／ｓｅｃで表した逆コーティング率の５×１０−９倍であり、好ましくは２×１０−９倍であることを特徴とする、請求項１５に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項１８】
ｉ）それぞれ両方の物理的な蒸発源のターゲットプレート（３０）の回転方向に対して横向きの平均間隔は、それぞれ両方の物理的な蒸発源のターゲットプレート（３２）の平均直径よりも短く、
ｉｉ）それぞれ両方の物理的な蒸発源のターゲットプレート（３０）の回転方向に対して横向きの平均間隔は、それぞれ両方の物理的な蒸発源のターゲットプレート（３１）の表面からコンポーネント支持体（９）までの平均間隔よりも短いことを特徴とする、請求項１５から１７のいずれか１項に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項１９】
それぞれ両方の物理的な蒸発源の蒸発材料プレート（３０）の回転方向に対して横向きの平均間隔は１５０ｍｍよりも短いことを特徴とする、請求項１５から１８のいずれか１項に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項２０】
それぞれ両方の物理的な蒸発装置のうちの一方の中心から他方の物理的な蒸発装置の中心まで達するためにコンポーネント支持体が必要とする時間は６秒よりも短く、好ましくは１秒よりも短いことを特徴とする、請求項１５に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項２１】
それぞれ両方の物理的な蒸発装置は陰極アーク式蒸発器であることを特徴とする、請求項１５に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。
【請求項２２】
ｉ）陰極アーク式蒸発器は炭素について磁気的な陰極足点案内部を有しており、
ｉｉ）磁気的な陰極足点案内部は陰極足点が回転運動（２１）に対して横向きに時間周期δｔで振動性運動を行うように構成されており、
ｉｉｉ）陰極足点の振動性運動の時間周期δｔはコンポーネント支持体が再び同じ位置に達する時間周期Δｔの少なくとも１０〜１００倍であることを特徴とする、請求項２１に記載のコンポーネント摩耗防護コーティング法を実施する装置。