【手続補正書】
【提出日】平成21年12月16日(2009.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子状物質が付着した基板の表面を洗浄するための方法であって、
結合要素を混入された液体を前記表面に衝突させる工程と、
前記結合要素に十分なドラッグ力を付与して、前記液体内で移動させると共に前記ドラッグ力の内のある量を前記粒子状物質に与えさせる工程と、
を備え、
前記ドラッグ力の量は、前記粒子状物質を前記基板に対して移動させるのに十分な大きさである、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記付与工程は、さらに、前記結合要素および前記液体に相対的な運動量を提供して、前記結合要素が前記粒子状物質と接触することを促進し、前記粒子状物質を前記基板に対して移動させる工程を備える、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、
前記付与工程は、さらに、前記液体の噴流を前記表面にわたって走査する工程を備える、方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、
前記付与工程は、さらに、前記液体が、前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するように、噴流を走査する工程を備える、方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、
前記付与工程は、さらに、前記液体が、前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するように、第１の方向に沿って噴流を走査しつつ、前記噴流に対して横向きに広がる平面に沿って、前記噴流と前記表面との間の相対移動を行う工程を備える、方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、
前記衝突工程は、さらに、前記液体が前記表面に衝突するように、軌道に沿って噴流を方向付けると共に、前記軌道と前記表面の法線との間の様々な角度を実現する工程を備え、前記法線は、前記表面と直交して広がる平面内に存在し、前記軌道は、前記平面に対する様々な角度で配置される、方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法であって、さらに、
前記表面上で前記液体の泡を生成する工程を備える、方法。
【請求項８】
請求項１に記載の方法であって、
前記衝突工程は、さらに、
前記表面上で前記液体の噴流を方向付ける工程と、
前記噴流を停止する工程と、前記表面上で前記液体から泡を生成する工程と、
を備える、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の方法であって、
前記衝突工程は、さらに、
前記表面上で前記液体の噴流を方向付ける工程と、
前記噴流を停止する工程と、
前記表面上で前記液体の泡を生成する工程と、
前記泡を流体に曝して前記表面から前記泡を除去する工程と、
前記流体を真空に曝して、ある量の前記流体を除去する工程と、
を備える、方法。
【請求項１０】
粒子状物質が付着した基板の表面を洗浄するための方法であって、
前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するように、結合要素を混入された液体の噴流を、第１の方向に沿って走査しつつ、前記法線に対して横向きに広がる平面に沿って、前記噴流と前記表面との間の相対移動を行うことで、前記結合要素に十分なドラッグ力を与えて、前記液体内で移動させて前記ドラッグ力の内のある量を前記粒子状物質に与えさせる工程を備え、前記ドラッグ力の量は、前記粒子状物質を前記基板に対して移動させるのに十分な大きさである、方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、
前記法線は、前記表面と直交して広がる平面内に存在し、前記走査する工程は、さらに、前記平面に対して様々な角度で軌道を方向付ける工程を備える、方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の方法であって、さらに、
前記表面上で前記液体の泡を生成する工程を備える、方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の方法であって、さらに、
前記噴流を停止する工程と、
前記表面上で前記液体の泡を生成する工程と、
を備える、方法。
【請求項１４】
請求項１０に記載の方法であって、さらに、
前記噴流を停止する工程と、
前記表面上で前記液体の泡を生成する工程と、
前記泡を流体に曝して前記表面から前記泡を除去する工程と、
前記流体を真空に曝して、ある量の前記流体を除去する工程と、
を備える、方法。
【請求項１５】
基板の表面から粒子状物質を除去するための処理領域を有するシステムであって、
流体供給サブシステムと、
前記基板を支持するためのキャリアと、
噴射サブシステムと、
前記流体供給サブシステム、前記キャリアサブシステム、および、前記噴射サブシステム、とデータ通信を行うプロセッサと、
前記プロセッサとデータ通信するメモリと、
を備え、
前記メモリは、前記プロセッサによって実行されるコンピュータ読み取り可能な命令を格納しており、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、結合要素を混入された液体の噴流に十分なドラッグ力を付与しつつ前記表面に衝突させることで、前記結合要素が前記液体内で移動して前記ドラッグ力の内のある量を前記粒子状物質に与えるようにして、それにより前記粒子状物質を前記基板に対して移動させるように、前記流体供給サブシステムと前記噴射サブシステムとを制御するコードを備える、システム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のシステムであって、さらに、
ポンプシステムを備え、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、さらに、前記液体の前記噴流を前記表面にわたって走査するように、前記噴射サブシステムの動作を制御するコードを備える、システム。
【請求項１７】
請求項１５に記載のシステムであって、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、さらに、前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するよう前記噴流を走査するように、前記噴射サブシステムの動作を制御するコードを備える、システム。
【請求項１８】
請求項１５に記載のシステムであって、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、さらに、前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するよう前記噴流を第１の方向に沿って走査しつつ、前記噴流に対して横向きに広がる平面に沿って、前記噴流と前記表面との間の相対移動を行うように、前記噴射サブシステムおよび前記キャリアサブシステムの動作を制御するコードを備える、システム。
【請求項１９】
請求項１５に記載のシステムであって、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、さらに、前記表面の法線を基準とした様々な角度で前記表面に衝突するよう前記噴流を第１の方向に沿って走査しつつ、前記噴流に対して横向きに広がる平面に沿って、前記噴流と前記表面との間の相対移動を行うように、前記噴射サブシステムの動作を制御するコードを備える、システム。
【請求項２０】
請求項１５に記載のシステムであって、
前記コンピュータ読み取り可能な命令は、さらに、前記表面に衝突するよう前記噴流を軌道に沿って方向付けつつ、前記軌道と前記表面の法線との間の様々な角度を実現するように、前記噴射サブシステムの動作を制御するコードを備え、
前記法線は、前記表面と直交して広がる平面内に存在し、
前記制御するコードは、さらに、前記噴射サブシステムに、前記軌道と前記平面との間の角度を変更させる命令を備える、システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
容器４２、４４、および、４６は、管路５９を介して流体連通する壁面供給部５８から、適切な薬剤を供給される。壁面供給部５８は、クリーンルームすなわち壁１２の外側に配置された適切な薬剤の貯蔵タンク（図示せず）と流体連通しており、バルブ６２、６４、および、６６を通して容器４２、４４、および、４６と流体連通する貯蔵タンク（図示せず）には、薬剤が選択的に収容される。３つの容器４２、４４、および、４６、ならびに、３つのバルブ６２、６４、および、６６だけが図示されているが、システム１０で実行される処理で利用する多くの薬剤の制御を容易にするために、さらなる容器およびバルブを備えてもよい。そのために利用できる薬剤の例としては、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、二酸化炭素（ＣＯ2）、窒素（Ｎ2）、エチルグリコール、脱イオン水（ＤＩＷ）、アンモニア（ＮＨ3）、フッ化水素（ＨＦ）、アルゴン（Ａｒ）、酸素（Ｏ2）、過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）、水素（Ｈ2）、塩酸（ＨＣｌ）、オゾン（Ｏ3）、水酸化アンモニウム（ＮＨ4ＯＨ）、および／または、それらの組み合わせ（例えば、ＳＣ−１溶液と呼ばれる消泡剤（ＮＨ4ＯＨ／Ｈ2Ｏ2／Ｈ2Ｏ）などが挙げられる。図示されていないが、システム１０は、完全に取り囲まれてチャンバ６７を規定してよい。システム１０内の圧力を制御するために、チャンバ６７に対して、ポンプ６８が流体連通されてよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
図１および２を参照すると、基板は、キャリアローラ７０によって処理領域２２内に支持されてよい。ウエハを移動させるための他の適切な技術としては、保持突起（図示せず）、移動キャリアトレイ（図示せず）、ロボット技術、および、軌道などが挙げられる。この例では、処理領域２４および２６への基板１１の移動は、ロボット７２およびキャリアサブシステムによって実現される。キャリアサブシステムは、一対の離間したレール７６の両端の間を往復動して基板１１を処理領域２４および２６に選択的に配置するように設けられた可動ステージ７４を備える。そのために、可動ステージ７４には、モータ７８が結合されており、適切な機構（例えば、ウォームギア、または、直接駆動ギアなど）を用いて、必要な運動を提供する。ロボット７２は、基板１１を持ち上げて、ローラキャリア７０と可動ステージ７４との間で移動させるための一対の操作アーム８０を備えており、モータ７８の出力により軌道８２に沿って処理領域２２および２４の間で往復動するよう取り付けられている。ロボット７２の反対側には、ロボット７２と同じ設計のさらなるロボット８４が配置されてよい。ロボット８４は、処理領域２６に存在する時に、基板１１を可動ステージ７４から取り除くよう動作する。様々なサブシステムの動作は、プロセッサ８６が、プロセッサ８６とデータ通信するメモリ８８に格納されたコンピュータ読み取り可能な命令に基づいて動作することによって制御される。システム１０は、さらに、ローカルエリア・ネットワーク、メトロポリタンエリア・ネットワーク、および／または、広域ネットワークに接続されてもよい。具体的には、プロセッサ８６は、ＬＡＳ３２、３４、および、３６、ＭＦＣ５２、５４、および、５６、モータ７８、ロボット８０および８４、ならびに、ポンプ６８、とデータ通信して、それらの動作を制御する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
脂肪族酸とは、基本的に、炭素原子が開鎖を形成している有機化合物によって規定される任意の酸を示すことを理解されたい。脂肪酸は、懸濁液９０内の結合要素９４として利用可能な脂肪族酸の一例である。結合要素９４として利用可能な脂肪酸の例としては、特に、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ガドレイン酸、エルカ酸、酪酸、カプロン酸、カプリル酸、ミリスチン酸、マルガリン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、ネルボン酸、パリナリン酸、ティムノドン酸、ブラシジン酸、クルパノドン酸、リグノセリン酸、セロチン酸、および、それらの混合物が挙げられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図１４を参照すると、別の実施形態において、懸濁液１９０は、さらなる成分、すなわち、液体領域１９２に混入された不混和成分１１１を含んでよい。不混和成分は、気相の材料、液相の材料、固相の材料、または、それらの組み合わせを含んでよい。この例では、不混和成分１１１は、完全に、懸濁液１９０の液体領域１９２全体にわたって分散された複数の離間したガスポケットからなる領域である。不混和成分は、懸濁液１９０の体積の５％ないし９９．９％を構成する。あるいは、不混和成分は、懸濁液１９０全体の重量の５０％ないし９５％を構成してもよい。気相の不混和成分１１１の一例は、以下のガスから形成されてよい：窒素Ｎ2、アルゴンＡｒ、酸素Ｏ2、オゾンＯ3、過酸化水素Ｈ2Ｏ2、空気、水素Ｈ2、アンモニウムＮＨ3、フッ化水素酸ＨＦ。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
図３および１３を参照すると、懸濁液１９０は、汚染物質９６の除去に関して、懸濁液９０と実質的に同様の機能を有しており、結合要素１９４は、結合要素９４と実質的に同様であり、液体領域１９２は、液体領域９２と実質的に同様である。ただし、懸濁液１９０では、不混和成分１１１が、結合要素１９４を汚染物質９６に接触または近接させることを促進すると考えられる。そのために、汚染物質９６に近接または接触した領域の内の１または複数が、汚染物質９６と、１または複数の不混和成分１１１との間に配置される。表面張力を有するため、不混和成分１１１は、液体領域１９２における力に応じて結合要素１９４に作用する力（Ｆ）が、結合要素１９４に掛かるようにする。その力（Ｆ）は、結合要素１９４を表面９８ひいては汚染物質９６に向かって移動させる。結合要素１９４と汚染物質９６との間の結合が、結合要素９４と汚染物質９６とに関して上述した任意の態様で起こってよい。