【事件の表示】
　平成１１年特許願第　　６７１０号「ウエハの処理方法及びウエハキャリアケース」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　７月２８日出願公開、特開２０００−２０８６００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１１年１月１３日の出願であって、同１５年１２月８日付けで拒絶の理由が通知され、同１６年２月１６日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１６年６月１６日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１６年７月２２日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、同日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［理由］
１．補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正をするものであって、特許請求の範囲の請求項５について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−１　補正前の請求項５
「　【請求項５】　複数のウエハを収納するキャリアを入れるウエハキャリアケースにおいて、
　前記ウエハキャリアケースの底部に、前記ウエハと直交する方向に延在して設けられ、且つ、前記直交する方向に傾きを持った３本の台座を備え、
　前記３本の台座のうち、少なくとも２本の台座はそれぞれ、前記ウエハの周縁部の曲線に合致して当接する距離に中央の台座から離間して配置され、且つ、前記中央の台座の高さは前記両端の台座の高さよりも低くなっていることを特徴としたウエハキャリアケース。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１−２　補正後の請求項５
「　【請求項５】　複数のウエハを収納するキャリアを入れるウエハキャリアケースにおいて、
　前記ウエハキャリアケースの底部に、前記ウエハと直交する方向に延在して設けられ、且つ、前記直交する方向に傾きを持った３本の台座を備え、
　前記３本の台座のう
ち、２
おり、前記３本の台座の低い方の端部の高さが少なくとも１０ｍｍである
する
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．補正の適否
　上記補正は、請求項５に記載した発明を特定するために必要な事項である、ウエハの周縁部の曲線に合致して当接する距離に中央の台座から離間して配置される台座の数について「２本」と限定し、また、台座の低い方の端部の高さについて「該３本の台座の低い方の端部の高さが少なくとも１０ｍｍである」と限定するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項５に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−１　本件補正発明
　本件補正発明は、本件補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、前記１−２に示す特許請求の範囲の請求項５に記載された事項により特定されるとおりの「ウエハキャリアケース」であると認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−２　引用刊行物記載の発明（事項）
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平６−６９３２５号公報（以下、「刊行物１」という。）及び実願昭６２−５０６３９号（実開昭６３−１５７９４１号のマイクロフィルム号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（１）刊行物１
（１−ア）段落【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、ウエハカセット内に収納された多数の各ウエハの縁近傍の一部に付された符号を容易に読取るウエハ符号読取用治具に関し、例えば、ウエハの出荷の際にこのウエハの符号を読み取るのに好適なウエハ符号読取用治具に関する。」
（１−イ）段落【０００４】，【０００５】
「【発明が解決しようとする課題】ウエハを出荷する際は、ロット識別番号、ウエハ番号を確認するために、ウエハを一枚ずつピンセットで取り出し、ウエハの符号を確認する作業が行われている。又、種々の検査工程において、ウエハカセット内に収納された多数のウエハの中からそのオリフラの近傍に付された符号を頼りに、予め定められた特定のウエハを抜き取って検査を行う必要を生じる場合がある。この場合は、ウエハカセット内に収納された多数枚のウエハを一枚ずつ抜き取ってその符号を確認している。
　しかし、このように多数枚のウエハを一枚ずつ抜き取ってその符号を確認するのは非効率的であり、ウエハを汚したり傷つけてしまう恐れもある。本発明は、上記事情に鑑み、ウエハに直接触れることなくウエハカセット内に収納されたウエハの符号を同時に視認することのできるウエハ符号読取用治具を提供することを目的とする。」
（１−ウ）段落【０００９】
「・・・図２は、本発明のウエハ符号読取用治具の一実施例を表わした斜視図である。このウエハ符号読取用治具２０の基台２２の上面２２ａの中央部分には、ウエハ押上部材２４が固定されており、このウエハ押上部材２４の上面２４ａは、基台２２の上面２２ａに対して傾斜している。また、ウエハ押上部材２４を挟んだ両側には２枚のサイド板２６、２８が固定されており、このサイド板２６、２８の間にウエハカセット１４が入り込むことによりウエハカセット１４の位置決めが行われる。」
（１−エ）段落【００１０】
「尚、ウエハ１０を傷つけないように、上面２４ａにはゴム等が貼られたり、またウエハ押上部材２４をゴム製としてもよい。また、上面２４ａを階段状に形成し、各段に一枚のウエハを乗せるようすると、ウエハは安定する。また、このウエハ符号読取用治具２０の材料、特にウエハ押上部材２４の材料は、埃の発生が少ないものであることが好ましい。」
（１−オ）段落【００１２】
「ウエハ１０が収納されたウエハカセット１４は、基台２２のサイド板２６、２８の間の上面２２ａに搭載される。この際、各ウエハ１０の底部がウエハ押上部材２４の上面２４ａに当接するため、図３に示すように、その重なりが順にずれ、これにより各ウエハ１０に付された符号１２が同時に一方向から視認される。従って、ウエハを出荷する際に、本実施例のウエハ符号読取用治具２０を使用することにより、ウエハに直接触れることなく、ロットＩＤ、ウエハ番号を確認できる。」
（１−カ）段落【００１３】
「【発明の効果】以上説明したように、本発明のウエハ符号読取用治具では、高さが一方向に漸増するウエハ押上部材が基台に固定され、このウエハ押上部材によりウエハが押し上げられるため、このウエハの重なりが順にずれる。このため、ウエハに直接触れることなくウエハの符号が容易に視認される。」
（１−キ）図３
　ウエハ符号読取用治具の基台２２の上面２２ａに１本のウエハ押上部材２４がウエハと直行する方向に延在して設けられていること、及びウエハ押上部材２４の低い方の端部がある高さを有していることが看取される。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項及び第１〜３図の記載からみて、刊行物１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「複数のウエハを収納するウエハカセットを載置するウエハ符号読取用治具において、
　前記ウエハ符号読取用治具の基台２２の上面２２ａに、前記ウエハと直交する方向に延在して設けられ、且つ、前記直交する方向に傾きを持った１本のウエハ押上部材２４を備え、
　前記ウエハ押上部材２４の低い方の端部がある高さを有しているウエハ符号読取用治具。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（２）刊行物２
（２−ア）第１頁第１１〜１３行
「〔産業上の利用分野〕
　本考案は収納ケースに関し、特にウェハーケースに関する。」
（２−イ）第２頁第３〜１１行
「〔考案が解決しようとする問題点〕
　・・・従来のウェハーケースは、ケース内に入れてあるウェハーを、ピンセットで１枚ずつ取り出すときに、ウェハー同士の間隔が広くなく、ウェハーが近接しているため、両隣のウェハーが邪魔になり、取り出しにくい、とかウェハーを傷つけたり、ウェハーを破損したりして、目的のウェハーだけでなく隣接のウェハーをも使用不能となってしまうという欠点がある。」
（２−ウ）第２頁第５〜１１行
「第１図は本考案ウェハーケース一例の断面図である。ケース底面１には、区切り２ごとに、ピンセット４ではさめるだけの寸法の段差５がついている。
　ピンセット４で上方にあるウェハー３から下方にあるウェハー６に向かって順番に１枚ずつ取り出していく。」
（２−エ）第２頁第１２行〜第３頁第１行
「〔考案の効果〕
　以上説明したように本考案は、取り出したいウェハー上端の一段分下に隣のウェハー上端が位置することになり、ピンセットではさむ寸法分のウェハーが上方に突き出しているのでピンセットではさみ易く、容易にウェハーを取り出せる、という効果がある。
　そのため、ウェハーを取り出すときに取り出し易く、隣接のウェハーや目的のウェハーを傷つけたり、破損することがなく、」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　上記記載事項から、刊行物２には、次の事項（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
「ウェハーケース底面に段差を設け、隣り合うウエハの上端部に高低差を作ることによりウェハーを傷つけることなく容易に取り出せること。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−３　対比
　本件補正発明と引用発明とを対比すると、後者の「ウエハカセット」及び「ウエハ押上部材２４」は、それぞれ、前者の「キャリア」及び「台座」に、相当することは明らかである。
　また、後者の「ウエハ符号読取用治具の基台」は、その上面にキャリア（ウエハカセット）を載置するものであるから、「キャリアを載置する物」である限りにおいて、前者の「ウエハキャリアケース」と共通しており、後者の「台座（ウエハ押上部材２４）の低い方の端部の高さがある高さを有している」ことは、その限りにおいて、前者の「台座の低い方の端部の高さが少なくとも１０ｍｍである」ことと共通している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
「複数のウエハを収納するキャリアを載置する物において、
　前記載置する物の上面に、前記ウエハと直交する方向に延在して設けられ、且つ、前記直交する方向に傾きを持った台座を備え、
　前記台座の低い方の端部の高さがある高さを有しているキャリアを載置する物。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点１］
　ウエハを収納するキャリアを載置する物が、
　本件補正発明では、ウエハキャリアケースであるのに対して、
　引用発明では、ウエハ符号読取用治具の基台である点。
［相違点２］
　本件補正発明では、台座の数が３本であって、そのうち２本の台座はそれぞれ、ウエハの周縁部の曲線に合致して当接する距離に中央の台座から離間して配置され、前記中央の台座の高さは前記両端の台座の高さよりも低くなっており、前記３本の台座の低い方の端部の高さが少なくとも１０ｍｍであるのに対して、
　引用発明では、台座の数が１本であって、前記台座の低い方の端部の高さについては不明である点。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２−４　相違点についての判断
［相違点１について］
　本件補正発明において、ウエハキャリアケースの底面に傾きを持った台座を備えることの技術的意義は、ウエハを段状に整列させ、隣り合うウエハの上端部に高低差を作ることができ、この高低差を利用してウエハを治具によって取り出すときに異物を付着させたり、傷をつけたりすることを防止できることと認められる（段落【００２１】，【００３９】参照。）。
　また、本件補正発明においては、高低差を利用してウエハを治具によって取り出すことについて明確に特定されていないが、ケース内にウエハを段状に収納することにより治具でウエハを取り出し易くし、そのときに傷つけたりすることがないようにすることは、刊行物２に記載されており（上記刊行物２記載の事項参照。）、引用発明を高低差を利用してウエハを取り出すために用いることには困難性は見当らない。
　ところで、引用発明においては、複数のウエハを収納するキャリアを載置する物を基台としてその上面にキャリアを載置しているが、高低差を利用してウエハを傷つけたり異物を付着させたりしないよう取り出すためには、傾きを持った台座を備えた基台の上面にキャリアを載置することによって、隣り合うウエハの上端部に高低差を作ることができればよいのであって、ウエハを収納したキャリアを載置する物を、周りを囲まれたケースとする必然性は認められない。
　他方、ウエハを収納したキャリアを中に入れて保管、移動する場合に使用されるウエハキャリアケースは従来周知のものである（必要であれば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平１−２５６１４４号公報の第５図参照。）。
　そうすると、キャリアを載置する物を、基台とするかウエハキャリアケースとするかは、当業者が必要に応じて適宜なし得る設計上の選択的事項にすぎないことである。
　してみると、引用発明に刊行物２記載の事項及び上記周知の事項を適用することにより相違点１に係る本件補正発明の特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
［相違点２について］
　本件補正発明において、台座の数が３本であって、そのうち２本の台座はそれぞれ、ウエハの周縁部の曲線に合致して当接する距離に中央の台座から離間して配置され、前記中央の台座の高さは前記両端の台座の高さよりも低くなっており、前記３本の台座の低い方の端部の高さが少なくとも１０ｍｍであることの技術的意義は、ウエハをオリフラの位置に関係な安定して保持することができると共に、ウエハの落下によるウエハと台座９との衝撃を小さくしてウエハからの微少異物の発生を低減することができ、また、落下した異物が再付着しないようにしたことと認められる（段落【００２５】，【００２６】，【００３５】，【００１９】参照。）。
　ところで、半導体ウエハ処理装置の分野において、ウエハを下方より支持する際に、ウエハの周縁部の曲線に合致するように配置された複数の支持部材にウエハを安定して支持させることは、例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平１０−１２７０３号公報の段落【００５５】〜【００６２】及び図５、特開平７−３３５７１９号公報の段落【００５９】〜【００６２】及び図６，７等に記載されているように従来周知の事項であって、支持部材を複数とすることにより衝撃を分散・緩和することができるとすることは自明である。そして、刊行物１には、ウエハの台座としての押上部材にウエハを当接させて支持するときにウエハの損傷を防止すること、及び前記押上部材として異物である埃の発生が少ないものが好ましいことが示されている。（上記記載事項（１−エ）参照。）
　そうすると、引用発明に前記周知の事項を採用することは当業者であれば容易になし得たことであり、その際に、引用発明の台座の低い方の端部の高さを、少なくとも１０ｍｍとする程度のことは当業者であれば適宜なし得た設計的事項にすぎないというべきである。
　してみると、引用発明に前記周知の事項を適用することにより相違点２に係る本件補正発明の特定事項とすることは当業者が容易に想到し得たものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　そして、本件補正発明によってもたらされる効果も、引用発明、刊行物２記載の事項及び前記各周知の事項から当業者であれば十分予測できるものであって格別なものとはいえない。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　したがって、本件補正発明は、引用発明、刊行物２記載の事項及び前記各周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
第３　本願発明について
１．本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項５に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１６年２月１６日付けの手続補正書により補正がされた明細書の特許請求の範囲の請求項５記載された事項により特定される前記第２の１−１に示したとおりのものと認められる。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、また、本件出願前に日本国内で頒布された刊行物及びその記載内容は、前記第２の２−２に示したとおりである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
３．対比・判断
　本願発明は、前記第２の２．で検討したように、本件補正発明の特定事項から前記限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２−４に記載したとおり、引用発明、刊行物２記載の事項及び前記各周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明、刊行物２記載の事項及び前記各周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本件出願は拒絶するべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。