【事件の表示】
　特許第３４３２１３６号「オゾン、水素発生方法及び発生装置」の請求項１ないし１１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４３２１３６号の請求項１ないし１１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３４３２１３６号の手続きの経緯は次のとおりである。
　特許出願　　　　　　　　　　　平成１０年　５月２０日
　設定登録　　　　　　　　　　　平成１５年　５月２３日
　特許公報発行　　　　　　　　　平成１５年　８月　４日
　特許異議申立　　　　　　　　　平成１５年１２月２４日
　取消理由通知　　　　　　　　　平成１７年　４月１８日付け
　訂正請求　　　　　　　　　　　平成１７年　６月２７日
　特許異議意見書　　　　　　　　平成１７年　６月２７日
　審尋（対特許異議申立人）　　　平成１７年　７月　７日付け
　回答書（特許異議申立人）　　　平成１７年　９月１４日
　取消理由通知の手交　　　　　　平成１８年　１月１３日
　訂正請求（平成１７年６月２７日付け）取り下げ
　　　　　　　　　　　　　　　　平成１８年　１月１３日
　訂正請求　　　　　　　　　　　平成１８年　１月１３日
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の要旨
（１）訂正事項イ：明細書の特許請求の範囲の
「【請求項１】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が２．０ｋｇ／ｃｍ２以内になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御することを特徴とするオゾン、水素発生方法。」を、
「【請求項１】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御することを特徴とするオゾン、水素発生方法。」と訂正する。
（２）訂正事項ロ：明細書の特許請求の範囲の
「【請求項４】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が２．０ｋｇ／ｃｍ２以内になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御するための手段を設けたことを特徴とするオゾン、水素発生装置。」を、
「【請求項４】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御するための手段を設けたことを特徴とするオゾン、水素発生装置。」と訂正する。
（３）訂正事項ハ：明細書の特許請求の範囲の
「【請求項５】　前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４記載のオゾン、水素発生方法。」を、
「【請求項５】　前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４記載のオゾン、水素発生装置。」と訂正する。
（４）訂正事項ニ：明細書の段落【０００９】の「・・・において、」と「常に・・・」の間に、
「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、」を挿入する。
（５）訂正事項ホ：明細書の段落【００１０】の「・・・において、」と「常に・・・」の間に、
「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、」を挿入する。
（６）訂正事項ヘ：明細書の段落【０００９】の
「２．０ｋｇ／ｃｍ２以内」を、
「１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２」と訂正する。
（７）訂正事項ト：明細書の段落【００１０】の
「２．０ｋｇ／ｃｍ２以内」を、
「１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２」と訂正する。
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項イ、ロは、特許請求の範囲の請求項１、４における「陽極側の圧力、及び又は、陰極側の圧力を制御するための手段」をより明確にするために、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、」の語句を付加して限定すると共に、圧力差の数値「２．０ｋｇ／ｃｍ２以内」を「１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　これらの訂正は、願書に添付した明細書の段落【００２７】の「発生したオゾン及び水素ガスは、各々ガス分離塔４，５により分離されオゾンガス導管１１と水素ガス導管１７に各々導かれる。オゾンガスは自動圧力調整機構１０にて圧力調整されている。」、段落【００２８】の「水素ガスはオゾンガスと同様に、自動圧力調整機構１６にて圧力調整されている。」、段落【００３６】の「陽極陰極とも大気解放下にて電解を行った所、オゾンガス中の水素濃度は３４０ｐｐｍであり、水素ガス中の酸素濃度は８ｐｐｍであった。陰極側はそのままにして陽極側の圧力を上昇させた所、１ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は１．２ｐｐｍに、又酸素濃度は２０ｐｐｍとなった。」等の記載に基づくものであるから、訂正事項イ、ロは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ハは、特許請求の範囲の請求項４の記載が「・・・オゾン・水素発生装置。」であることや、「オゾン・水素発生方法」について、同請求項５と同様の特定事項が記載された同請求項３が存在すること等からみて、明らかな誤記と認められる同請求項５の「・・・請求項４記載のオゾン・水素発生方法。」を「・・・請求項４記載のオゾン・水素発生装置。」と訂正するものであるから、誤記の訂正を目的とするものであり、しかも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ニ〜トは、上記訂正事項イ、ロにより特許請求の範囲の記載を訂正することに伴い、これに整合するように、発明の詳細な説明の記載を訂正するものであるから、明りようでない記載の釈明を目的とするものであり、しかも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
２−３．訂正の適否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
３−１．申立ての理由及び当審の取消理由の概要
　特許異議申立人株式会社ディスクは、証拠方法として甲第１〜８号証を提出し、本件請求項１、４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、本件請求項１、４に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであり（申立て理由１）、本件請求項１〜１１に係る発明は、甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１〜１１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり（申立て理由２）、また、本件特許明細書には記載不備が存在するから、本件請求項１〜１１に係る発明の特許は、特許法第３６条第４項、第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである（申立て理由３）、と主張している。
　当審において通知した平成１７年４月１８日付けの取消理由は、申立て理由１、２と同趣旨のものである（以下、「取消理由１、２」という）。
　
３−２．本件発明
　上記２．で述べたとおり訂正が認められるから、本件請求項１〜１１に係る発明は、平成１８年１月１３日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された次のとおりのものと認める（以下、「本件発明１〜１１」という）。
「【請求項１】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御することを特徴とするオゾン、水素発生方法。
　【請求項２】　前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項１記載のオゾン、水素発生方法。
　【請求項３】　前記固体電解質はパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン、水素発生方法。
　【請求項４】　その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御するための手段を設けたことを特徴とするオゾン、水素発生装置。
　【請求項５】　前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項６】　前記陽イオン交換膜は、パーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４又は５記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項７】　電解により発生させる前記オゾンガスの導管にオゾンガスを吸着し、及び／又は、濃縮する事の出来る装置を設け、装置に付帯する冷却、加温機構を操作する事によりオゾンガスの濃度、及び／又は、容量を制御する機構を付加した事を特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項８】　電解により発生させる前記水素ガスの導管に水素ガスを吸着し、及び／又は、濃縮する事の出来る装置を設け、装置に付帯する冷却、加温機構を操作する事により水素ガスの濃度、及び／又は、容量を制御する機構を付加した事を特徴とする請求項４ないし７のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項９】　オゾンガス側、及び／又は水素ガス側に各々圧力を検出する機構を備え、その信号を制御機構に送り込み、設定された範囲に制御するように圧力コントローラー、及び又は電解電流を制御して該範囲内に制御する事を特徴とする請求項４ないし８のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項１０】　前記圧力を検出する機構を備え、その信号を制御機構に送り込み、前もって設定された範囲を超えたときには、瞬時にガスを放出する事が出来る機能を有する事を特徴とする請求項４ないし９のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項１１】　前記固体電解質はパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４ないし１０のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　
３−３．引用した刊行物とその主な記載事項
（１）刊行物１：実願平１−１４２３０３号（実開平３−８１３６１号）のマイクロフィルム（特許異議申立人が提出した甲第１号証）
（１ａ）【実用新案登録請求の範囲】：
「イオン交換樹脂膜の両面に触媒電極を配し、陽極側に原料水を供給しながら両電極間に直流電圧を印加してオゾンを製造するための水電解セルを主たる構成部品とする水電解システムにおいて、セルの陽極側出口より高い位置に陽極気液分離室を設け、該陽極気液分離室と前記水電解セルのそれぞれ出入口を互いにつないで循環水路を形成し、この系内の水流方向を一定に保持するためのチェックバルブと、水を供給するとき以外は循環水路の系内と系外とが圧力的に遮断できる手段としての電磁弁を備えた水電解式オゾン発生機。」
（１ｂ）第３頁第１５行〜第４頁第１９行：
「水電解によってオゾンを製造するには、・・・水電解セルが使用される。・・・水電解セルには固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜４を用い、この膜の両側に・・・陽極触媒電極５と陰極触媒電極５’を配置し、・・・直流電圧を引加する。・・・陽極においては、・・・オゾンと酸素の混合ガスが発生する。・・・陽極側で生成した水素イオンは、固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜内を容易に移動する性質があるから陰極側に到達し、・・・水素となる。」
（１ｃ）第５頁第１５行〜第７頁２行：
「水電解セルを用いて構成される従来型オゾン発生機のシステムの概略を第４図に示す。・・・セルの陽極側入口は、原料水を強制的にセル内に供給するための水流ポンプ１３’の出口とつながり、また、セルの出口は陽極気液分離室１４’とつながっている。・・・陽極気液分離室１４’下部の水出口は水流ポンプ１３’の入口とつながっており、一つの循環水路が形成されている。水を供給する手段として水流ポンプ１３’を用いる理由は、・・・圧力損失に打ち勝つだけの水圧をこのポンプによって発生しようとするものである。・・・陰極側においては、陽極と異なり原料水を供給する必要はないから、加圧状態で強制的に通水されるための水流ポンプなどは使用しなくともよい。」
（１ｄ）第１１頁第２行〜第１２頁第５行：
「本考案のオゾン発生機のシステムにおいて、原料水は水流ポンプ１３と電磁弁１９を用いて陽極気液分離室１４内に供給される。・・・水が減れば水流ポンプ１３を自動的に運転すると共に電磁弁１９および１９’を開放し水を供給する。電磁弁１９’が開放されると気液分離室１４内は大気圧になるため、給水用の水流ポンプ１３の吐出圧力は小さくてもよい。・・・水流ポンプの吐出圧力の能力とは関係なく、オゾンガスの放出圧力を任意に高めることができる。すなわち、電磁弁１９が閉鎖され循環水路の系内が、系外に設けた水流ポンプ１３と遮断されている状態のときは、ポンプの加圧能力に関係なく加圧できる。なお、陰極側の構成と作用等については従来のシステムと全く同じである」
（１ｅ）第１２頁第８行〜第１３頁第６行：
「本考案の一実施例として、第２図に示すシステムを採用してオゾン発生機を構成し、・・・水電解した。・・・水位差Ｈを２００ｍｍ、ΔＨ（後者の「Ｈ」は、「ΔＨ」の誤記と認める）を１０ｍｍとした。この程度の大きさのセルでは水位差Ｈを１００ｍｍ以下にすると原料水がほとんど循環しなくなることが分かった。逆に、水位差Ｈが高い程循環しやすかったが装置が大型化するため、循環状態が悪くならない程度の水位差を採用するのが望ましい。さて、実施例の使用条件として、水深３ｍのタンクの底に多孔質の散気管を配置し、これにオゾンガスを導入し水中へ曝気した。散気管で生じる圧力損失は使用する散気管の種類（孔径）やガス流量によって異なるが、水柱換算で概ね１〜７ｍ程度の範囲であった。従って、その合計として、およそ１気圧（ゲージ圧）程度までの実用上十分な放出圧力について実験したが原理上はこれ以上の加圧も可能である。」
（２）刊行物２：特開平４−１１９９０３号公報（同甲第２号証）
（２ａ）第３頁左上欄６行〜第１０行：
「本発明で使用する電解槽の構造は、固体電解質として好ましくはパーフルオロカーボンスルホン酸系のイオン交換膜を使用し、該イオン交換膜の両面に陽極及び陰極を被覆したいわゆるＳＰＥ型電解槽とし、」
（２ｂ）第３頁右下１０行〜第１３行：
「本発明では前記イオン交換塔と電解槽の間に電磁弁を設置するが、該電磁弁は電解槽からの発生ガスや電解液の逆流を防いで陽極室を加圧するとともに、」
（３）刊行物３：特開平８−１８８８９５号公報（同甲第３号証）
（３ａ）【特許請求の範囲】：
「【請求項１】　その両側にそれぞれ陽極及び陰極を密着配置させたパーフルオロカーボン系イオン交換膜を固体電解質とした水電解セルに脱イオン水を供給して電解する水電解方法において、前記イオン交換膜のイオン交換基の一部又は全部がリン酸基であることを特徴とする水電解方法。
　【請求項２】　陽極物質が酸化鉛又は白金であり、陽極生成物がオゾンと酸素の混合物である請求項１に記載の水電解方法。
　【請求項３】　イオン交換膜がパーフルオロカーボンスルホン酸系陽イオン交換膜又はパーフルオロカーボンカルボン酸系陽イオン交換膜を変性して製造した膜である請求項１に記載の水電解方法。」
（３ｂ）段落【００１３】〜【００１４】：
「陽極物質としては、・・・オゾン発生を意図する場合にはα−又はβ−二酸化鉛あるいは白金等が好ましく使用される。・・・
　これらの陽極物質は、チタンやタンタル等の弁金属から成る粉末あるいは繊維焼結体等の集電体（基体）上に、必要に応じて該集電体の酸化を防止しかつ電導性を保持するための貴金属や金属酸化物を含む下地層を介して、担持させる。・・・陰極物質も・・・水素発生を伴う場合には過電圧の小さい触媒、即ちルテニウムや白金等の貴金属又はその酸化物を好ましく使用でき、陽極物質と同様にして担持できる。」
（３ｃ）段落【００１７】：
「セル内の圧力は１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とすることが、又陽陰極室間の差圧は０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とすることが望ましい。５ｋｇｆ／ｃｍ２を越えるとガスの混入及び膜の強度低下の可能性が生じる。本発明で使用するリン酸型イオン交換膜の電導度は従来のスルホン酸型イオン交換膜より小さいため、エネルギ原単位の低減が期待され、更に特にオゾン発生の場合、オゾン発生効率が高温下でも低下せず温度変動を考慮することなく高い発生効率でオゾンを得ることができる。」
（３ｄ）段落【００１８】〜【００２０】：
「水電解方法で使用可能な水電解セルの一例を説明する。図１は、本発明方法で使用可能な水電解セルの概略断面図である。電解オゾン発生装置である電解セル１は、固体電解質であるパーフルオロカーボン系リン酸型陽イオン交換膜２により陽極室３と陰極室４とに区画されている。前記イオン交換膜２の陽極室側及び陰極室側には、それぞれ陽極物質５を被覆した陽極集電体６及び陰極物質７を被覆した陰極集電体８が密着し、ゼロギャップタイプの構造を形成している。
　前記陽極集電体６及び陰極集電体８には、それぞれ多孔性の陽極給電体９及び陰極給電体１０が接続され、両給電体から両極へ通電される。両給電体と前記イオン交換膜２の間の前記電極物質及び両集電体の周囲には、１対の額縁状ガスケット１１が配設され、セル内を密閉状態に維持している。１２は陽極液供給口、１３は陰極液供給口、１４は陽極液及びガス排出口、１５は陰極液及びガス排出口である。
　このような構成から成る電解セル１の陽極室３及び陰極室４にイオン交換水や蒸留水等の純水を入れ、両極間に通電すると、陽極物質５表面で水が分解されて酸素及びオゾンが発生し、前記陽極液及びガス排出口１４からセル外に取り出される。この際にオゾン発生に伴って熱が生じ電解液が加熱されて昇温するが、イオン交換膜２が温度変動に対してオゾン発生効率の変動が殆どないリン酸型イオン交換膜であるため、冷却等の付帯設備を必要とすることなく、常に安定した高効率でオゾン発生を行なうことができる。」
（３ｅ）段落【００２４】〜【００２５】：
「【実施例２】陽極触媒として酸化イリジウム−酸化ルテニウムを、陰極触媒として酸化ルテニウムを使用したこと以外は実施例１と同一条件で水電解によるオゾン生成を行ない、その際の電流密度のセル電圧依存性を測定したところ、図４の実線で示すとおりであった。
【比較例２】リン酸への変性を行なっていないナフィオン１１７パーフルオロスルホン酸系陽イオン交換膜を固体電解質として使用したこと以外は実施例２と同一条件で電流密度のセル電圧依存性を測定したところ、図４の点線で示すとおりであった。図４から、実施例２のリン酸型イオン交換膜を使用するオゾン発生用電解セルと比較例１のスルホン酸型イオン交換膜を使用する電解セルとでは前者の方が２００Ａ／ｄｍ２において、１００ｍＶのセル電圧の低減があったことが分かる。なお陽極酸素ガス中への陰極水素ガス混入率は、実施例２及び比較例２とも０．０１％以下であった。」
（４）刊行物４：特公昭６１−１５１５９号公報（同甲第４号証）
（４ａ）【特許請求の範囲】：
「フイルタープレス型電解槽に液を供給するにあたり、入口ヘツダー内圧と出口ヘツダー内圧との差を２０００ｍｍ水柱以上とすることを特徴とする電解槽の給液方法。」
（４ｂ）第２頁左欄第４〜８行：「本発明は、上記の如く、入口ヘツダー内圧（Ｐ１）及び出口ヘツダー内圧（Ｐ２）間の圧力差（Ｐ１−Ｐ２＝△Ｐ）をコントロールするだけで容易に各単位電槽にほぼ等量の溶液を供給し得る点で極めて有効である。」
（５）刊行物５：特開平９−１４２８０７号公報（同甲第５号証）
（５ａ）【特許請求の範囲】：
「【請求項１】　酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンを排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置において、
反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させる脱着量制御装置と、脱着したオゾンをキャリアガスと共に貯蔵するオゾンタンクと、オゾンタンクに希釈ガスを供給する希釈ガスラインと、希釈ガスラインの流量を制御してオゾンタンク内のオゾン濃度を制御する希釈制御装置と、を備えた、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置。
【請求項２】　更に、反応器にオゾンガスを供給するオゾン供給ラインの流量を制御する流量調節弁を備える、ことを特徴とする請求項１に記載のオゾン濃縮貯蔵装置。
【請求項３】　酸素からオゾンを発生させるオゾン発生器と、発生したオゾンを吸着剤に吸着させるオゾン吸着器と、オゾン吸着器にキャリアガスを供給して脱着したオゾンをキャリアガスと共に排出するオゾン排出ラインと、を備えたオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法において、
反応器で必要とするオゾン量をオゾン吸着器で脱着させ、脱着したオゾンをキャリアガスと共にオゾンタンクに貯蔵し、オゾンタンクに希釈ガスを供給して所望のオゾン濃度に制御する、ことを特徴とするオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法。
【請求項４】　所望のオゾン濃度と流量から必要とするオゾン量を算出し、該オゾン量を脱着するようにオゾン吸着器の温度と圧力を制御する、ことを特徴とする請求項３に記載のオゾン濃縮貯蔵装置の制御方法。」
（６）刊行物６：特公平４−４４６０４号公報（同甲第６号証）
（６ａ）第２頁３欄１８行〜２８行：
「金属水素化物を材質とする水素吸蔵用合金の粉体を利用した水素精製方法若しくはその装置については、近年、かなりの文献が公開されているが、そのほとんどは水素吸蔵用合金を充填した精製容器を設置し、不純ガスを含む原料水素ガスを容器に通して、冷却装置により水素ガスを上記合金に吸蔵せしめ、容器の気相内に残留する不純ガス分をパージしたのち、合金を加熱操作して水素ガスを放出し、精製水素ガスを得るものであり、実際には斯かる操作を複数の容器間で切換運転して行なう。」
（７）刊行物７：実願平１−１３４３８３号（実開平３−７４６６９号）のマイクロフィルム（同甲第７号証）
（７ａ）【実用新案登録請求の範囲】：
「固体高分子電界質セルの陽極室と水タンクとを給水流路・陽極側流路で接続すると共に、前記固体高分子電解質セルの陰極室に水素ガス回収用の気液分離器を設けた水素ガス発生装置において、前記気液分離器に接続された水素ガス流路に圧力信号発信器を設け、この圧力信号発振器よりの信号を受け、直流電流を発信するよう比例制御する制御回路を設け、前記直流電流を前記固体高分子電解質セルへ送ることを特徴とする水素ガス発生装置。」
（７ｂ）第１頁第１７行〜１８行：
「固体高分子電解質を用いた水電解による水素ガス発生装置に関する。」　
（７ｃ）第５頁第７行〜１３行：
「本考案によれば、圧力信号発信器によって、直流電源の電流値を比例制御しているので、水素ガスは安定して供給され、また、使用する量も自由に設定できる。そして、直流電源やＳＰＥ膜に対しても、電流のオン・オフでなく、電流比例制御なので、負担が少く、水素ガス発生装置の寿命が長くなる。」
（７ｄ）図面の簡単な説明：
「第１図は、本考案の一実施例の構成を示すブロック図、第２図は固体高分子電解質セルの概略図、第３図は従来例を示すブロック図である。
　　１……固体高分子電解質セル、９……圧力信号発信器、１４……制御回路。」
（８）刊行物８：実願平２−１０６５４５号（実開平４−６４５６９号）のマイクロフィルム（同甲第８号証）
（８ａ）第２頁第１２〜１３行：
「本考案は、固体高分子電解質セルを用いた水素・酸素ガス発生装置に関する」
（８ｂ）第１３頁第１１〜２０行：
「酸素ガス取出し流路２５には、順次、酸素ガス乾燥管３０、圧力スイッチ３１、異常ガス圧発生時に酸素ガスを系外に放出させる破壊板３２、調圧器３３、圧力計３４、ストップバルブ３５が設けられている。また水素・水分離用リザーバ１４の上部に連なる水素ガス取出し流路２４にも、同様に、順次、水素ガス乾燥管３６、圧力スイッチ３７、異常ガス圧発生時に水素ガスを系外に放出させる破壊板３８、調圧器３９、圧力計４０、ストップバルブ４１が設けられている。」
　
３−４．当審の判断
３−４−１．申立て理由１、２（取消理由１、２）について
（Ｉ）本件発明１について
（ＩＡ）刊行物１を主引例として
（ＩＡ−１）刊行物１記載の発明
（ア）刊行物１の上記（１ａ）には、「イオン交換樹脂膜の両面に触媒電極を配し、陽極側に原料水を供給しながら両電極間に直流電圧を印加してオゾンを製造するための水電解セルを主たる構成部品とする水電解システムにおいて、セルの陽極側出口より高い位置に陽極気液分離室を設け、該陽極気液分離室と前記水電解セルのそれぞれ出入口を互いにつないで循環水路を形成し、この系内の水流方向を一定に保持するためのチェックバルブと、水を供給するとき以外は循環水路の系内と系外とが圧力的に遮断できる手段としての電磁弁を備えた水電解式オゾン発生機。」と記載されている。
（イ）該水電解式オゾン発生機における水電解セルの使用に関し、上記（１ｂ）には、「水電解によってオゾンを製造するには、・・・水電解セルが使用される。・・・水電解セルには固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜４を用い、この膜の両側に・・・陽極触媒電極５と陰極触媒電極５’を配置し、・・・直流電圧を引加する。・・・陽極においては、・・・オゾンと酸素の混合ガスが発生する。・・・陽極側で生成した水素イオンは、固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜内を容易に移動する性質があるから陰極側に到達し、・・・水素となる」と記載されているから、「固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜の両側にそれぞれ陽極触媒電極と陰極触媒電極を配置し、陽極側よりオゾンと酸素の混合ガスを、陰極側より水素ガスを発生させる水電解式オゾン発生機を使用した、オゾン、水素発生方法」も記載されていると云える。
（ウ）陽極側で発生したオゾンガスの放出圧力に関して、上記（１ｄ）（１ｅ）には、それぞれ、「水が減れば水流ポンプ１３を自動的に運転すると共に電磁弁１９および１９’を開放し水を供給する。電磁弁１９’が開放されると気液分離室１４内は大気圧になる・・・電磁弁１９が閉鎖され循環水路の系内が、系外に設けた水流ポンプ１３と遮断されている状態のときは、ポンプの加圧能力に関係なく加圧できる」、「実施例の使用条件として、水深３ｍのタンクの底に多孔質の散気管を配置し、これにオゾンガスを導入し水中へ曝気した。散気管で生じる圧力損失は使用する散気管の種類（孔径）やガス流量によって異なるが、水柱換算で概ね１〜７ｍ程度の範囲であった。従って、その合計として、およそ１気圧（ゲージ圧）程度までの実用上十分な放出圧力について実験したが原理上はこれ以上の加圧も可能である」と記載されているから、電磁弁１９及び１９’が開放され、水が気液分離室内に供給されるとき、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となるが、電磁弁が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているとき、オゾンガスの放出圧力は１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧できると云える。
　これら（ア）〜（ウ）の事項を整理すると、刊行物１には、
「固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜の両側にそれぞれ陽極触媒電極と陰極触媒電極を配置し、陽極側に原料水を供給しながら両電極間に直流電圧を印加して陽極側よりオゾンと酸素の混合ガスを、陰極側より水素ガスを発生させる水電解式オゾン発生機において、セルの陽極側出口より高い位置に陽極気液分離室を設け、該陽極気液分離室と前記水電解セルのそれぞれ出入口を互いにつないで循環水路を形成し、この系内の水流方向を一定に保持するためのチェックバルブと、水を供給するとき以外は循環水路の系内と系外とが圧力的に遮断できる手段としての電磁弁を備えた水電解式オゾン発生機を用い、電磁弁１９，１９’が開放され水が気液分離室内に供給されるとき、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となるが、電磁弁１９及び１９’が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているとき、オゾンガスの放出圧力は１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧される、オゾン、水素発生方法。」という発明（以下、「刊行物１発明」という）が記載されていると認められる。
　
（ＩＡ−２）本件発明１と刊行物１発明との対比
　本件発明１と刊行物１発明を対比すると、刊行物１発明における「陽極触媒」、「陰極触媒」、「水電解式オゾン発生機」は、本件発明１における「陽極物質」、「陰極物質」、「電解ガス発生装置」に相当するから、両者は、
「その両側にそれぞれ陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、圧力が調整される、オゾン、水素発生方法。」である点で一致するが、少くとも次の点で相違する。
相違点：圧力の調整に関し、本件発明１では、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御する」のに対し、刊行物１発明では、「電磁弁１９，１９’が開放され水が気液分離室内に供給されるとき、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となるが、電磁弁１９及び１９’が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているとき、オゾンガスの放出圧力は１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧される」点。
　
（ＩＡ−３）相違点についての検討
　陽極側と陰極側の圧力の差について検討するに、本件発明１において、「常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に」するのは、本件明細書の次の（ａ）〜（ｄ）の記載からみて、イオン交換膜が損傷しない範囲で、オゾンガス中の水素ガス濃度を０．７〜１．２ｐｐｍ程度の低濃度とする等の理由のためと認められる。
（ａ）段落【０００８】：「【発明が解決しようとする課題】本発明は、・・・オゾンガス中のコンタミネーション、特に水素ガスの濃度を最小にし、安全で高純度なオゾンガス、及び水素ガスを発生する電解オゾン、水素発生装置及び発生方法を提供する事を目的とする。」
（ｂ）段落【００１４】：「陽極側の圧力を陰極側の圧力に対し高くしてオゾンガス中の水素濃度を確認したところ圧力と共に減少した。このことよりオゾンガス中の水素ガス濃度を減少させることは可能となった。」
（ｃ）段落【００１６】：「ガス発生装置におけるオゾンガス中の水素濃度は、前記の通り水素濃度を低くするだけであれば陽極室陰極室間の差圧を大きくすればいいが、水素ガス中の酸素ガス濃度、及び、発生部の構造上からの制限よりその差圧は制限を受ける。・・・イオン交換膜はシールのためにＯリング等で押さえられており、差圧がかかることにより該シールの近傍で切れてしまう恐れがある。従って該差圧は２．０ｋｇ／ｃｍ２以内であり、１．５ｋｇ／ｃｍ２以内である方が望ましい。」
（ｄ）段落【００３６】〜【００３７】：「陽極陰極とも大気解放下にて電解を行った所、オゾンガス中の水素濃度は３４０ｐｐｍであり、水素ガス中の酸素濃度は８ｐｐｍであった。陰極側はそのままにして陽極側の圧力を上昇させた所、１ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は１．２ｐｐｍに、又酸素濃度は２０ｐｐｍとなった。
　更に、１．５ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．８ｐｐｍに、又、酸素濃度は２７ｐｐｍになり２．０ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．７ｐｐｍに、酸素濃度は３０ｐｐｍになったが、２．５ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．７ｐｐｍのままで、酸素濃度は６０ｐｐｍと急上昇した。」
　これに対し、刊行物１発明は、上記（ウ）のとおり、タンクの底に配置された多孔質の散気管からその部分の圧力損失等に打ち勝ってオゾンガスを曝気できるように、その放出圧力を１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧できるようにするもので、その際、陽極側は、それに見合った圧力になり、一方、陰極側の圧力は、上記（１ｃ）の「従来型オゾン発生機のシステム」に関する「陰極側においては、陽極と異なり原料水を供給する必要はないから、加圧状態で強制的に通水されるための水流ポンプなどは使用しなくともよい。」、及び、上記（１ｄ）の「本考案のオゾン発生機のシステム」に関する「陰極側の構成と作用等については従来のシステムと全く同じである」等の記載からみて、ほぼ大気圧であると認められることから、電磁弁１９及び１９’が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているときには、本件発明１と刊行物１発明は、『陽極側と陰極側の圧力の差』の点で重複し得ると云える。
　しかしながら、刊行物１発明は、気液分離室内に原料水を供給する操作を必然的に含み、その際には、電磁弁１９，１９’を開放して、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となり、『陽極側と陰極側の圧力の差』は、陽極側と陰極側との水位差Ｈであって、上記（１ｅ）の「水位差Ｈを２００ｍｍ・・・とした。この程度の大きさのセルでは水位差Ｈを１００ｍｍ以下にすると原料水がほとんど循環しなくなることが分かった。逆に、水位差Ｈが高い程循環しやすかったが装置が大型化するため、循環状態が悪くならない程度の水位差を採用するのが望ましい」という記載からみて、水位差２００ｍｍ程度に相当する０．０２ｋｇ／ｃｍ２程度になると認められる。してみれば、刊行物１発明は、本件発明１における「常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に」するという特定事項を満足するものとは云えない。
　しかも、刊行物１には、イオン交換膜が損傷しない範囲で、オゾンガス中の水素ガス濃度を０．７〜１．２ｐｐｍ程度の低濃度とするために陽極側と陰極側の圧力の差を設定することについて全く教示するところがないし、また、刊行物１発明は、前示のとおり、『陽極側と陰極側の圧力の差』が０．０２ｋｇ／ｃｍ２程度となる原料水供給操作を必然的に含むから、刊行物１発明に対し他の発明を適用したとしても、本件発明１における前示の特定事項が構成されるとは云えない。
　以上のとおりであるから、本件発明１は、刊行物１に記載された発明とは云えないし、また、刊行物１記載の発明に他の発明を適用することによって当業者が容易に発明をすることができたものとも云えない。
　
（ＩＢ）刊行物３を主引例として
（ＩＢ−１）刊行物３に記載された発明
（ア）刊行物３の上記（３ａ）の請求項１には、「その両側にそれぞれ陽極及び陰極を密着配置させたパーフルオロカーボン系イオン交換膜を固体電解質とした水電解セルに脱イオン水を供給して電解する水電解方法において、前記イオン交換膜のイオン交換基の一部又は全部がリン酸基であることを特徴とする水電解方法。」と記載され、また、該水電解方法に用いる水電解セルに関して、上記（３ｄ）には、「電解オゾン発生装置である電解セル１は、固体電解質であるパーフルオロカーボン系リン酸型陽イオン交換膜２により陽極室３と陰極室４とに区画されている。前記イオン交換膜２の陽極室側及び陰極室側には、それぞれ陽極物質５を被覆した陽極集電体６及び陰極物質７を被覆した陰極集電体８が密着し、ゼロギャップタイプの構造を形成している。・・・電解セル１の陽極室３及び陰極室４にイオン交換水や蒸留水等の純水を入れ、両極間に通電すると、陽極物質５表面で水が分解され・・・」と記載されているから、該水電解セルは、「その両側にそれぞれ陽極物質、及び、陰極物質を密着配置し、その間に固体電解質としてのパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を配置し、陽極室及び陰極室に純水を入れて電解を行う電解オゾン発生装置」と云える。
（イ）該水電解方法乃至該電解オゾン発生装置により発生するガスに関して、上記（３ａ）の請求項２には、「陽極生成物がオゾンと酸素の混合物である」と、上記（３ｂ）には、「陽極物質としては、・・・オゾン発生を意図する場合にはα−又はβ−二酸化鉛あるいは白金等が好ましく使用される。・・・陰極物質も・・・水素発生を伴う場合には過電圧の小さい触媒・・・を好ましく使用でき、・・・」と、それぞれ記載されているから、該電解オゾン発生装置は、「陽極側からオゾンガスと酸素ガス、陰極側から水素ガスを発生させる電解ガス発生装置」と云えるし、また、該水電解方法は、「オゾン、水素発生方法」と言い換えることができる。
（ウ）該電解オゾン発生装置における陽極物質、陰極物質に関して、上記（３ｂ）には、「陽極物質は、チタンやタンタル等の弁金属から成る粉末あるいは繊維焼結体等の集電体（基体）上に、・・・担持させる。・・・陰極物質も・・・陽極物質と同様にして担持できる。」と記載され、陽極物質、陰極物質は、粉末あるいは繊維焼結体等の多孔質の基体に担持されたものであり、また、イオン乃至発生ガスを通過させるものであるから、多孔質のものと云える。
（エ）該水電解セル内の圧力に関し、上記（３ｃ）には、「セル内の圧力は１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とすることが、又陽陰極室間の差圧は０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とすることが望ましい。」と記載されているから、該水電解方法は、「陽極室及び陰極室の圧力を１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２、両室間の差圧を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とする」ものと云える。
　以上の（ア）〜（エ）の事項を考慮すると、刊行物３には、次の「オゾン・水素発生方法」の発明（以下、「刊行物３発明」という）が記載されていると認められる。
刊行物３発明：「その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、多孔質の陰極物質を密着配置し、その間に固体電解質としてのパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を配置し、陽極室及び陰極室に純水を入れて電解を行うことにより陽極側からオゾンガスと酸素ガスを、また、陰極側から水素ガスを発生させる電解ガス発生装置において、陽極室及び陰極室の圧力を１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２、両室間の差圧を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とするオゾン、水素発生方法。」
　
（ＩＢ−２）本件発明１と刊行物３発明との対比
　本件発明１と刊行物３発明を対比すると、刊行物３発明における「陽極室」、「陰極室」は、それぞれ、本件発明１における「陽極側」、「陰極側」に相当するから、両者は、
「その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、陽極側と陰極側の圧力を調整するオゾン、水素発生方法」である点で一致するが、次の点で相違する。
相違点：陽極側と陰極側の圧力の調整に関し、本件発明１では、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御する」のに対し、刊行物３発明では、「陽極側及び陰極側の圧力を１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２、陽極側と陰極側の圧力の差を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とする」点。
　
（ＩＢ−３）相違点についての判断
　本件発明１において、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に」するのは、前示のとおり、イオン交換膜が損傷しない範囲で、オゾンガス中の水素ガス濃度を０．７〜１．２ｐｐｍ程度の低濃度とする等の理由のためと認められる。
　これに対し、刊行物３の上記（３ｃ）、（３ｅ）には、それぞれ、「陽陰極室間の差圧は０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とすることが望ましい。５ｋｇｆ／ｃｍ２を越えるとガスの混入及び膜の強度低下の可能性が生じる」、「陽極酸素ガス中への陰極水素ガス混入率は、実施例２及び比較例２とも０．０１％以下であった。」と記載されており、これらの記載からみて、刊行物３発明は、陰極側で生じた水素ガスが陽極側のオゾンガスに混入する濃度が０．０１％以下（１００ｐｐｍ以下）と低濃度となり、かつ、イオン交換膜が損傷する可能性を小さくするために、『陽極側と陰極側の圧力の差』を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とするものと云える。
　しかしながら、刊行物３発明は、陽陰極室間の差圧が５ｋｇｆ／ｃｍ２を越えなければ、オゾンガス中の水素ガス濃度が０．０１％以下（１００ｐｐｍ以下）という目標の低濃度が得られるというもので、本件発明１とは、目標とする低濃度のレベルが２桁程度も相違するし、また、刊行物３には、陽陰極室間の差圧が５ｋｇｆ／ｃｍ２以下である場合における『陽極側と陰極側の圧力の差』の大きさとオゾンガス中の水素ガス濃度との関係について教示するところもない。しかも、そのような圧力の調整を、本件発明１のように、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって」行うことも記載されていない。
　また、刊行物１、２、４〜８にも、水電解セルにおける『陽極側と陰極側の圧力の差』に関し、本件発明１の特定事項のように「常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に」することは、全く記載されていないし、まして、そのような『陽極側と陰極側の圧力の差』とオゾンガス中の水素ガス濃度との関係について教示するところもないから、刊行物１、２、４〜８の記載事項に基づいて、本件発明１の前示の特定事項を当業者が容易に想到し得たとは云えない。
　そして、本件発明１は、前示の特定事項を具備することにより、オゾンガス中の水素ガス濃度を０．７〜１．２ｐｐｍ程度の低濃度とすることができる等の刊行物１〜８の記載からは予期できない顕著な効果を奏するものと認められる。
　よって、本件発明１は、刊行物３記載の発明に、刊行物１、２、４〜８に記載された発明を適用することよって当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　
（ＩＣ）本件発明１についてのまとめ
　本件発明１は、上記（ＩＡ）（ＩＢ）のとおりであるから、刊行物１に記載された発明とは云えないし、また、刊行物１〜８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとも云えない。
　
（ＩＩ）本件発明２乃至３について
　本件発明２乃至３は、本件発明１を引用してさらに限定したものに相当するから、本件発明１と同様の理由で、刊行物１〜８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　
（ＩＩＩ）本件発明４について
（ＩＩＩＡ）刊行物１を主引例として
（ＩＩＩＡ−１）刊行物１に記載された発明
　刊行物１には、刊行物１発明の「オゾン・水素発生方法」を実施する「水電解式オゾン発生機」の発明も記載されていると云えるから、刊行物１には、次の「水電解式オゾン発生機」の発明（以下、「刊行物１α発明」という）も記載されていると認められる。
刊行物１α発明：「固体電解質として機能するイオン交換樹脂膜の両側にそれぞれ陽極触媒電極と陰極触媒電極を配置し、陽極側に原料水を供給しながら両電極間に直流電圧を印加して陽極側よりオゾンと酸素の混合ガスを、陰極側より水素ガスを発生させる水電解式オゾン発生機において、セルの陽極側出口より高い位置に陽極気液分離室を設け、該陽極気液分離室と前記水電解セルのそれぞれ出入口を互いにつないで循環水路を形成し、この系内の水流方向を一定に保持するためのチェックバルブと、水を供給するとき以外は循環水路の系内と系外とが圧力的に遮断できる手段としての電磁弁を備え、電磁弁１９，１９’が開放され水が気液分離室内に供給されるとき、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となるが、電磁弁１９及び１９’が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているとき、オゾンガスの放出圧力は１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧される、水電解式オゾン発生機。」
　
（ＩＩＩＡ−２）本件発明４と刊行物１α発明との対比
　本件発明４と刊行物１α発明を対比すると、刊行物１α発明における「陽極触媒」、「陰極触媒」、「水電解式オゾン発生機」は、本件発明４における「陽極物質」、「陰極物質」、「電解ガス発生装置」乃至「オゾン、水素発生装置」に相当するから、両者は、
「その両側にそれぞれ陽極物質、及び、陰極物質を配置させたイオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、圧力が調整される、オゾン、水素発生装置。」である点で一致するが、少くとも次の点で相違する。
相違点：圧力の調整に関し、本件発明４では、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が１〜２．０ｋｇ／ｃｍ２になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御する」のに対し、刊行物１α発明は、「電磁弁１９，１９’が開放され水が気液分離室内に供給されるとき、オゾンガスを含む気液分離室内は大気圧となるが、電磁弁１９及び１９’が閉鎖され、循環水路の系内が系外から遮断されているとき、オゾンガスの放出圧力は１気圧（ゲージ圧）程度、又は、それ以上に加圧される」点。
　
（ＩＩＩＡ−３）相違点についての判断
　この相違点は、上記（ＩＡ−２）で述べたと同じものであるから、本件発明４は、上記（ＩＡ−３）で本件発明１について述べたと同様の理由で、刊行物１に記載された発明とは云えないし、また、刊行物１記載の発明に他の発明を適用することによって当業者が容易に発明をすることができるものとも云えない。
　
（ＩＩＩＢ）刊行物３を主引例として
（ＩＩＩＢ−１）刊行物３に記載された発明
　刊行物３には、刊行物３発明の「オゾン・水素発生方法」を実施する「電解ガス発生装置」の発明も記載されていると云えるから、刊行物１には、次の「電解ガス発生装置」の発明（以下、「刊行物３α発明」という）も記載されていると認められる。
刊行物３α発明：「その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、多孔質の陰極物質を密着配置し、その間に固体電解質としてのパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を配置し、陽極室及び陰極室に純水を入れて電解を行うことにより陽極側からオゾンガスと酸素ガスを、また、陰極側から水素ガスを発生させる電解ガス発生装置において、陽極室及び陰極室の圧力を１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２、両室間の差圧を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とする電解ガス発生装置。」
　
（ＩＩＩＢ−２）本件発明４と刊行物３α発明との対比
　本件発明４と刊行物３α発明を対比すると、刊行物３α発明における「陽極室」、「陰極室」は、それぞれ、本件発明４における「陽極側」、「陰極側」に相当するから、両者は、
「その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、陽極側の圧力及び陰極側の圧力を調整するオゾン、水素発生装置。」である点で一致するが、少くとも次の点で相違する。
相違点：陽極側の圧力及び陰極側の圧力を調整するため、本件発明４では、「ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より大きく且つ、その差が２．０ｋｇ／ｃｍ２以内になる様に、陽極側の圧力、及び／又は、陰極側の圧力を制御する」のに対し、刊行物３発明では、「陽極側及び陰極側の圧力を１〜５ｋｇｆ／ｃｍ２、陽極側と陰極側の圧力の差を０〜５ｋｇｆ／ｃｍ２とする」点。
　
（ＩＩＩＢ−３）相違点についての判断
　この相違点は、上記（ＩＢ−２）で述べたと同じものであるから、本件発明４は、上記（ＩＢ−３）で本件発明１について述べたと同様の理由で、刊行物３記載の発明に、刊行物１、２、４〜８に記載された発明を適用することによって当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　
（ＩＩＩＣ）本件発明４についてのまとめ
　本件発明４は、上記（ＩＩＩＡ）（ＩＩＩＢ）のとおりであるから、刊行物１に記載された発明とは云えないし、また、刊行物１〜８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとも云えない。
　
（ＩＶ）本件発明５乃至１１について
　本件発明５乃至１１は、本件発明４を引用してさらに限定したものに相当するから、本件発明４と同様の理由で、刊行物１〜８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは云えない。
　
３−４−２．申立て３について
（Ｉ）申立て理由３の概要
　申立て理由３は、要するところ、請求項２、５には、「・・・水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜・・・」が記載されているが、実施例においては、「パーフルオロカーボンスルフォン酸系の陽イオン交換膜を固体電解質として用い」（段落【００３５】）と記載されているのみであって、「水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜」である点を裏付ける記載は一切なく、不明瞭である、というものである。
　
（ＩＩ）当審の判断
　本件明細書の段落【００１４】には、「パーフルオロカーボンスルフォン酸系陽イオン交換膜には非常に細かい穴があいており、又、厚みが１００ミクロン程度と薄いので酸素ガスは水素ガス側へ拡散する事は殆ど無いが、水素ガスは分子が非常に小さいためオゾンガス側へと拡散する。」と記載されており、この記載に照らせば、前記実施例のパーフルオロカーボンスルフォン酸系の陽イオン交換膜は、「酸素ガスは水素ガス側へ拡散する事は殆ど無いが、水素ガスは分子が非常に小さいためオゾンガス側へと拡散する」ものといえるから、「水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜」であることは明らかである。
　よって、本件明細書には、申立て理由３において指摘されたような記載不備が存在するとは云えない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件発明１〜１１に係る特許を取り消すことはできない。 
　また、他に本件発明１〜１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１８年１月１８日（２００６．１．１８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
オゾン、水素発生方法及び発生装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、
ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、
１〜
２に
　【請求項２】前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項１記載のオゾン、水素発生方法。
　【請求項３】前記固体電解質はパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン、水素発生方法。
　【請求項４】その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、
ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、
１〜
２に
　【請求項５】前記固体電解質は、水素ガスを拡散させ酸素ガスを拡散させにくい細孔を有する陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４記載のオゾン、水素発生
装置
　【請求項６】前記陽イオン交換膜は、パーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４又は５記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項７】電解により発生させる前記オゾンガスの導管にオゾンガスを吸着し、及び／又は、濃縮する事の出来る装置を設け、装置に付帯する冷却、加温機構を操作する事によりオゾンガスの濃度、及び／又は、容量を制御する機構を付加した事を特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項８】電解により発生させる前記水素ガスの導管に水素ガスを吸着し、及び／又は、濃縮する事の出来る装置を設け、装置に付帯する冷却、加温機構を操作する事により水素ガスの濃度、及び／又は、容量を制御する機構を付加した事を特徴とする請求項４ないし７のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項９】オゾンガス側、及び／又は水素ガス側に各々圧力を検出する機構を備え、その信号を制御機構に送り込み、設定された範囲に制御するように圧力コントローラー、及び又は電解電流を制御して該範囲内に制御する事を特徴とする請求項４ないし８のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項１０】前記圧力を検出する機構を備え、その信号を制御機構に送り込み、前もって設定された範囲を超えたときには、瞬時にガスを放出する事が出来る機能を有する事を特徴とする請求項４ないし９のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
　【請求項１１】前記固体電解質はパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜であることを特徴とする請求項４ないし１０のいずれか１項記載のオゾン、水素発生装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた例えばパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置に関し、より詳細には該ガス発生装置を常に陽極側の圧力が陰極側の圧力より適正に大きくなるように自動的に制御する事によりオゾン酸素ガス中の水素ガス濃度の非常に少ない、簡易で、尚かつ高純度なガスの発生装置に関する。
　【０００２】
　【発明の背景】水を電解する事によりオゾンガスを生成する工夫は古く、１００年以上昔より行われている。古くは、高電気陰性度の陰イオンを含む液を電解してオゾンを生成する溶液電解法であったが、近年では、高分子固体電解質の発達に連れ、高分子固体電解質を用いた水電解によるオゾン発生装置が製され、市販されるようになった。
　【０００３】パーフルオロカーボンスルフォン酸系陽イオン交換膜を固体電解質とし、その両側に陽極、陰極を密着させたいわゆるゼロギャップ方式の水電解は、構造が簡単で取り扱いが容易であり、腐食性もオゾンガス以外は無い為近年の水電解法オゾン発生の殆どを占めるようになった。
　【０００４】オゾンガス濃度は２０％前後で、その他は飽和水蒸気を含んだ酸素ガスであり、殆ど不純物を含まないオゾン、酸素の混合ガスである。
　【０００５】従って、殺菌の分野や最近では半導体の湿式洗浄の分野にもオゾンの利用が広まっている。酸素を原料とし、高周波高電圧をかけることによってオゾンを生成する無声放電法に比べ、消費電力が多少大きくなる欠点はあるが、オゾンガス濃度が高いため超純水への溶解度が高く、高純度で高濃度のオゾン添加超純水を簡単に製造出来る利点があった。
　【０００６】しかしながら半導体の密度が高くなればなるほど微細化が要求され、洗浄の正確さが近年特に要求されてきた。
　【０００７】電解によるオゾン発生では、今まで陰極側で発生した水素ガスが拡散して陽極側のオゾンガスに混入し、１００〜８００ｐｐｍの水素コンタミが生成して、オゾンに依る洗浄に於いての問題が生じてきた。他の不純物はあるがオゾンガス中の水素ガス濃度を極端に減少させる事が要請されている。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述の従来技術の問題点を解消し、オゾンガス中のコンタミネーション、特に水素ガスの濃度を最小にし、安全で高純度なオゾンガス、及び水素ガスを発生する電解オゾン、水素発生装置及び発生方法を提供する事を目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】本発明のオゾン、水素発生方法は、その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を配置させ、その間に固体電解質を配置し、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、
ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、
１〜
２に
　【００１０】本発明のオゾン、水素発生装置は、その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させた陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガスと酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを製造する電解ガス発生装置において、
ガス分離塔出口のガス導管に配置した自動圧力調整機構によって、
１〜
２に
　【００１１】以下本発明を詳細に説明する。
　【００１２】例えば、固体電解質としてパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を使用してその両側に陽極物質と陰極物質を密着配置し、水電解を行うと陰極で発生する水素ガスが拡散し、通常１００〜８００ｐｐｍの水素ガスがオゾンガス中に混入するのが現状であった。
　【００１３】本発明は、固体電解質として例えばパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を使用してその両側に陽極物質と陰極物質を密着配置し、水電解を行い陽極よりオゾンガスと酸素ガスを、陰極より水素ガスを生成する装置にて、常に陽極側の圧力を陰極側の圧力より大きくし且つ、その差が２．０ｋｇ／ｃｍ２以内になる様に、陽極側と陰極側の圧力を制御する事により、オゾンガス中の水素濃度を極端に減少させ、又、水素ガス中の酸素濃度を限度内に抑えることが可能となった。
　【００１４】パーフルオロカーボンスルフォン酸系陽イオン交換膜には非常に細かい穴があいており、又、厚みが１００ミクロン程度と薄いので酸素ガスは水素ガス側へ拡散する事は殆ど無いが、水素ガスは分子が非常に小さいためオゾンガス側へと拡散する。陽極室に白金又はカーボンを配置し、拡散した水素ガスを周囲のオゾン、酸素ガスと反応させ水にかえる事により水素ガスの減少を図ったが、白金は全く効果が無く、カーボンではカーボン上で激しく反応しカーボン自体が炎を出して燃えてしまい使用できず水素ガスの減少は図れなかった。次に陽極側の圧力を陰極側の圧力に対し高くしてオゾンガス中の水素濃度を確認したところ圧力と共に減少した。このことよりオゾンガス中の水素ガス濃度を減少させることは可能となった。
　【００１５】次に本発明に係わるガス発生装置に関する詳細の条件について説明する。
　【００１６】ガス発生装置におけるオゾンガス中の水素濃度は、前記の通り水素濃度を低くするだけであれば陽極室陰極室間の差圧を大きくすればいいが、水素ガス中の酸素ガス濃度、及び、発生部の構造上からの制限よりその差圧は制限を受ける。電解オゾンの陰極は密に構成されており、固体電解質であるイオン交換膜を傷つけずに抑えることは可能であり、陽極陰極間の差圧を大きくとれるが、イオン交換膜はシールのためにＯリング等で押さえられており、差圧がかかることにより該シールの近傍で切れてしまう恐れがある。従って該差圧は２．０ｋｇ／ｃｍ２以内であり、１．５ｋｇ／ｃｍ２以内である方が望ましい。
　【００１７】該差圧が無いときに４００ｐｐｍだったオゾンガス中の水素ガス濃度は差圧を１．５ｋｇ／ｃｍ２ｇにすると１ｐｐｍとなり半導体の洗浄に十分使用できる値となった。一方、水素ガス中の酸素ガス濃度は該差圧がないときに３ｐｐｍだったものが３０ｐｐｍまで上昇したが使用には差し支えなかった。
　【００１８】又、上記オゾンガスと水素ガスの圧力を一定にさせる操作はバルブやオリフィスを操作して手動にて制御することは可能ではあるが、発生ガス量によって圧力が変動し手動で行うことは非常に手間がかかること、又、バルブやオリフィスの狭くなった所に水等が溜まり圧力を変動させてしまう等の問題点があった。この様な問題を解決すべくガス発生が多くなった時にはオリフィスを開け、少なくなった時にはオリフィスを狭めて常にガス圧力を一定にする自動的な操作機構を具備して、常に安全に、しかも容易に高純度なオゾンガス、及び水素ガスを生成する事が望ましい。
　【００１９】半導体における湿式洗浄では常にオゾン水が供給されるわけではなく、タクトの動作と共にオゾン水の供給、停止が定期的に繰り返される。水電解でのオゾン発生では頻繁な運転、停止の繰り返しがオゾン発生の寿命に大きく影響するため、この様な頻繁な運転停止ではオゾン発生は停止にせず、オゾン水を供給しない時にはオゾン水をドレンに捨てている。この様な無駄を避け、オゾン水製造に一番大きく影響を及ぼすオゾンガス濃度を高く保つには、連続的にガス発生器を運転し、ガス発生部より導かれる導管にオゾンガスを吸着し濃縮する装置を設け、定期的に吸脱着を繰り返すことにより、高濃度で経済的なオゾン水の供給が可能となる。
　【００２０】また、水素ガスについても上記オゾンガスと同様、ガス発生は連続的に行い必要な時にのみ水素ガスを供給して半導体の洗浄に使用する事で経済的な必要最小限の装置を提供する事が出来る。
　【００２１】一般的にはオゾンガスの濃縮はシリカゲルが用いられ、水素ガスはいわゆる水素貯蔵合金が用いられ、共に冷却することにより貯蔵し、加熱する事により脱着する機構となっている。
　【００２２】前記したように少なくともオゾンガスに圧力をかける事により従来からあった水素ガスコンタミを解消する事が可能にはなるが、自動的に制御されているとは言えガスに圧力をかける為危険性が増大する。
　【００２３】従って、オゾンガス側、及び出来れば水素ガス側にも圧力を検出出来る機構を備え、設定値を越した時にはガス発生を停止し、純水の供給を停止するか、瞬時にガスを放出する事が出来る機構にする事が望ましい。
　【００２４】更には、発生部のシール部や配管の接続部からのガスのリークを避ける為に、又、ガスの法的規制を避けるためにも、ガスの圧力は１０ｋｇ／ｃｍ２以内になるように、望むらくは７ｋｇ／ｃｍ２以下に制御せる機構を具備するのが望ましい。
　【００２５】次に添付図面に基づいて本発明に係わる電解によるオゾンガス、酸素ガス、及び、水素ガスの発生装置の一例を示す。
　【００２６】図１は、本発明に係わる電解ガス発生装置のフロー図である。オゾンガス、水素ガスの発生部１には純水３が供給され、電源２が接続されており、電源２からの電流によってガスが発生する。
　【００２７】発生したオゾン及び水素ガスは、各々ガス分離塔４，５により分離されオゾンガス導管１１と水素ガス導管１７に各々導かれる。オゾンガスは自動圧力調整機構１０にて圧力調整されている。
　【００２８】又、水素ガスはオゾンガスと同様に、自動圧力調整機構１６にて圧力調整されている。
　【００２９】図２、本発明に係わる濃縮装置等を含んだ電解ガス発生装置のフロー図である。
　【００３０】オゾンガス、水素ガスの発生部１には純水３が供給され、電源２が接続されており、電源２からの電流によってガスが発生する。発生したオゾン及び水素ガスは、各々ガス分離塔４，５により分離されオゾンガス導管１１と水素ガス導管１７に各々導かれる。オゾンガスは自動圧力調整機構１０にて圧力調整されており、オゾンガス濃縮装置８にて濃縮され付属した冷却装置９にて加熱される事により高濃度のオゾンガスが放出される。更に安全のため圧力検知器７にて圧力を検出し、制御部６にて圧力が異常に高い時はガス発生を停止する。
　【００３１】又、水素ガスはオゾンガスと同様に、自動圧力調整機構１６にて圧力調整されて、水素吸蔵装置１４にて吸蔵され付属した冷却装置１５にて加熱される事により水素ガスが放出される。更に安全のため圧力検知器１２にて圧力を検出し、制御部１３にて圧力が異常に高い時はガス発生を停止する。
　【００３２】図３は、従来の電解ガス発生装置のフロー図である。
　【００３３】オゾンガス、水素ガスの発生部１には純水３が供給され、電源２が接続されており、電源２からの電流によってガスが発生する。発生したオゾン及び水素ガスは、各々ガス分離塔４，５により分離されオゾンガス導管１１と水素ガス導管１７に各々導かれる。
　【００３４】
　【実施例】次に、本発明に係わるオゾン水素ガス発生装置の実施例を記載するが、該実施例は本発明を限定するものではない。
　【００３５】（実施例１）パーフルオロカーボンスルフォン酸系の陽イオン交換膜を固体電解質として用い、陽極と陰極を密着配置した水電解装置を使用して圧力によるガスコンタミネーションの確認を行った。
　【００３６】陽極陰極とも大気解放下にて電解を行った所、オゾンガス中の水素濃度は３４０ｐｐｍであり、水素ガス中の酸素濃度は８ｐｐｍであった。陰極側はそのままにして陽極側の圧力を上昇させた所、１ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は１．２ｐｐｍに、又酸素濃度は２０ｐｐｍとなった。
　【００３７】更に、１．５ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．８ｐｐｍに、又、酸素濃度は２７ｐｐｍになり２．０ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．７ｐｐｍに、酸素濃度は３０ｐｐｍになったが、２．５ｋｇ／ｃｍ２では水素濃度は０．７ｐｐｍのままで、酸素濃度は６０ｐｐｍと急上昇した。
　【００３８】一方、逆に陽極側はそのままにして陰極側の圧力を上昇させた所、０．２ｋｇ／ｃｍ２で水素濃度は８００ｐｐｍとなり、酸素濃度は８ｐｐｍのままであった。
　【００３９】更に、陽極側のオゾンガス濃度についても同時に測定したところ、陽極側、陰極側共に大気解放の時には２０％であった。陽極側に圧力をかけると圧力に関係なく２０％のままであった。しかしながら、陰極側に圧力をかけたところ、０．２ｋｇ／ｃｍ２で１０％に減少した。
　【００４０】このことより、半導体における洗浄に使用できる値は、陽極側に圧力をかけ、最大で２．０ｋｇ／ｃｍ２とする事が考えられる。
　【００４１】（実施例２）オゾン、及び水素ガスの発生装置は実施例１のものを使い、オゾンガス導管の途中にオゾン濃縮装置を取り付けオゾンの吸脱着におけるオゾンガス濃度の変化を確認した。
　【００４２】オゾン濃縮装置を取り付けていないときのオゾンガス濃度は、２０ｗｔ％で一定であった。しかしながら発生装置を停止すると時間と共に減少し、４０分で殆どゼロとなった。又、再度電解を開始するとオゾンガス濃度は増加したが、２０ｗｔ％になるのに１０分を要した。
　【００４３】一方、オゾン濃縮装置を取り付けて吸脱着したときのオゾンガス濃度を測定した。温度を−３５度にすると、オゾン吸着が始まり、オゾンガス濃度は１５ｗｔ％となり１０分間一定であった。
　【００４４】次に温度を０度にしたところオゾン脱着が始まり、オゾンガス濃度は増加し、２５ｗｔ％で一定となった。
　【００４５】濃縮装置を具備する事で、ガス発生装置を停止しなくてもオゾンガス濃度の変動範囲を一定に保つことが可能となった。
　【００４６】
　【発明の効果】本発明では、オゾンガス中の水素ガス濃度が減少し、又、水素ガス中の酸素濃度もさほど上昇しないため半導体の洗浄に使用できる。
　【００４７】又、自動的に圧力をコントロールする事により安全で手間無く高純度のガスを得ることが出来る。
　【００４８】更に、ガスの導管に貯蔵装置を取り付けることによりオゾン水素ガス発生装置の寿命は延び、高濃度のオゾン水、水素水を簡単に製造する事が可能となった。
【図面の簡単な説明】
　【図１】実施例１に係るオゾン、水素発生装置におけるフロー図である。
　【図２】実施例２に係るオゾン、水素発生装置におけるフロー図である。
　【図３】従来例に係るオゾン、水素発生装置におけるフロー図である。
　【符号の説明】
　１　オゾンガス、水素ガス発生部、２　電源、３　純水、４　ガス分離塔、５　ガス分離塔、６　制御部、７　圧力検知器、８　オゾンガス濃縮装置、９　冷却装置、１０　自動圧力調整機構、１１　オゾンガス導管、１２　圧力検知器、１３　制御部、１４　水素吸蔵装置、１５　冷却装置、１６　自動圧力調整機構、１７　水素ガス導管。