【手続補正書】
【提出日】平成21年12月18日(2009.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に圧力の高い領域と相対的に圧力の低い領域との間でイオンを輸送するためのイオン移送装置であって、
前記装置は、
長手方向軸を持つイオン移送チャネルを構成している電極集合体であって、前記電極集合体は、長手方向軸に沿って第１の距離Ｄ１に亘って延びる第１の複数の電極と、前記第１複数電極と交互に並んだ、長手方向軸に沿って第２の距離Ｄ２＞Ｄ１に亘って延びる第２の複数の電極とを含んでいる、前記電極集合体と、
第１の極性のＤＣ電圧＋Ｖ１を前記第１複数電極に印加し、前記電極集合体の長手方向の平均電圧分布に対して第２の極性のＤＣ電圧−Ｖ２（｜Ｖ１｜＞｜Ｖ２｜）を、前記第２複数電極に印加するための手段と
を含み、
前記第１複数電極中の連続する電極間の周期Ｈは、前記イオン移送チャネル内において速度Ｓを持つイオンが、前記イオン移送チャネル内で、電磁スペクトルの高周波領域にある効果的な振動数νｅｆｆ（νｅｆｆ＝Ｓ／Ｈ）を受けるよう選ぶことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のイオン移送装置であって、前記幅Ｄ１は、前記第１複数電極中の連続する電極間の間隔Ｈのおよそ２０〜２５％であることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項３】
請求項２に記載のイオン移送装置であって、｜Ｖ１｜／｜Ｖ２｜は、−Ｈ／Ｄｌ＋Ｈにほぼ等しいことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記第１複数電極の隣接する電極間の周期Ｈは、前記ＤＣ電極集合体のほぼ全長に亘って一定であることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記第１複数電極の隣接する電極間の周期Ｈは、前記周期電極集合体の長手方向に沿って、連続的または段階的に変化することを特徴とするイオン移送装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記第１複数電極中の各電極は、間隙または絶縁層により、前後にある前記第２複数電極の電極と隔てられていることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記電極集合体を少なくとも部分的に取り囲む筐体を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項８】
請求項７に記載のイオン移送装置であって、前記筐体は、その中に１つ以上のオリフィスを含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項９】
請求項８に記載のイオン移送装置であって、その中の各オリフィスからガスを排出するよう、前記筐体を取り囲む領域をポンピングするためのポンピング手段を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１０】
請求項７に記載のイオン移送装置であって、前記筐体は気密性であることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のイオン移送装置であって、前記イオン移送チャネル内からガスを吸引するよう、前記気密性筐体を排気するためのポンピング手段を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１２】
請求項８または１０に記載のイオン移送装置であって、前記イオン移送チャネルにガスを加えるための、埋め戻しガス供給源を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載のイオン移送装置であって、大気圧のイオン源から前記イオン移送チャネルの長手方向軸に向けてイオンを収束するための、空力、および／または、電気レンズを、前記電極集合体の上流に更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載のイオン移送装置であって、前記レンズは、湾曲した筐体を備えていることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１５】
請求項１３または１４に記載のイオン移送装置であって、前記レンズは、複数の独立した環形レンズ電極から成り、前記電極集合体に近いレンズ電極は、前記電極集合体から遠いレンズ電極より小さい開口部を備えていることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載のイオン移送装置であって、前記電極集合体に近い前記レンズ電極の開口部の半径は、前記電極集合体によって構成されている前記イオン移送チャネルの半径よりも小さいことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１７】
請求項１４から１７のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記イオンファンネルは、第１真空チャンバ内に置かれており、前記電極集合体は、第２の、異なる真空チャンバ内に置かれていることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１８】
請求項１３から１８のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記空力、および／または、電気レンズへ正味負電位を印加するための手段を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項１９】
請求項１３から１９のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記空力、および／または、電気レンズは、ジェットセパレータを更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項２０】
請求項１３から１９のいずれかに記載のイオン移送装置であって、前記空力、および／または、電気レンズは、ベンチュリ装置を更に含むことを特徴とするイオン移送装置。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれかに記載のイオン移送装置であって、さらなるＲＦ電圧を前記電極集合体に印加し、イオン移送チャネル内に前記効果的な振動数νｅｆｆから独立した周波数の収束電界を与えることを特徴とするイオン移送装置。
【請求項２２】
相対的に圧力の高い領域と相対的に圧力の低い領域との間でイオンを移送する方法であって、
前記方法は、
長手方向にイオン移送チャネルを構成しているＤＣ電極集合体を形成するよう、長手方向に第１の幅Ｄ１を持つ第１組の電極と、長手方向に第２の幅Ｄ２（Ｄ１＜Ｄ２）を持つ第２組の電極とを、交互に配置する工程と、
第１のＤＣ電圧Ｖ１を前記第１組電極に印加する工程と、
前記ＤＣ電極集合体の長手方向の平均電圧分布に対して反対極性の、第２のＤＣ電圧Ｖ２（｜Ｖ１｜＞｜Ｖ２｜）を、前記第２組電極に印加する工程と
を含み、
前記幅Ｄ１およびＤ２、電圧Ｖ１およびＶ２は、相対的に電界の高い領域と相対的に電界の低い領域とが、前記イオン移送チャネル内に連続的に交互に並んで発生するように選び、それぞれの高電界領域は、長手方向に、それぞれの低電界領域よりも短く、  前記第１複数電極中の連続する電極間の周期Ｈは、前記イオン移送チャネル内において速度Ｓを持つイオンが、前記イオン移送チャネル内で、電磁スペクトルの高周波領域にある効果的な振動数νｅｆｆ（νｅｆｆ＝Ｓ／Ｈ）を受けるよう選ばれる、
ことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の方法であって、前記電極集合体の付近をポンピングする工程を更に含むことを特徴とする方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の方法であって、前記ポンピング工程は、前記電極集合体の付近を約６００ｍｂａｒ（６００ｈＰａ）以下までポンピングする工程を含むことを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項２２、２３、または２４に記載の方法であって、イオン源から前記電極集合体の入り口へ、イオンを漏斗状に吸い込む（ファンネリング：funnelling）する工程を更に含むことを特徴とする方法。
【請求項２６】
請求項１から２０のいずれかに記載の方法であって、さらなるＲＦ電圧を前記電極集合体に印加し、イオン移送チャネル内に前記効果的な振動数νｅｆｆから独立した周波数の収束電界を与えることを特徴とする方法。