【手続補正書】
【提出日】平成22年3月3日(2010.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスボート（１６）に位置決めされるパッケージ状の背中合わせウエハバッチ（ＢＴＢウエハバッチ）（１４）が、ソーラウエハのような、一方の面にドーピングされる、並んで配置された所定の偶数枚のウエハ（１）から構成され、ドーピングされない面のそれぞれは、隣接する前記ウエハ（１）のドーピングされない面に一致するように当接されており；
所定の偶数枚の前記ウエハ（１）の最初の半数分及び残りの半数分が、それぞれキャリア（２）によって待機位置に置かれ；
前記キャリア（２）は、上に向く複数のスタックスロットを備えて水平面内にクランプされており；
所定の偶数枚の前記ウエハ（１）の前記最初の半数分及び前記残りの半数分は、垂直に移動可能でそれぞれ前記キャリア（２）の下に位置し且つ連続して連結持ち上げ位置に位置決めされた持ち上げ櫛状具（５ａ，５ｂ）によってそれぞれ第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）の形態で連続して前記キャリア（２）から転出され；
相互に連係する前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）を構成する複数枚の前記ウエハ（１）のドーピングがされない面のそれぞれを同時に一致するように相互に当接させることにより、前記第１のウエハスタック（９）及び前記第２のウエハスタック（１３）の複数枚の前記ウエハ（１）がそれぞれ互いに対して１８０°オフセットされ且つ互いに対して整列され且つ前記第２のウエハスタック（１３）は前記パッケージ状の背中合わせウエハバッチ（ＢＴＢウエハバッチ）（１４）を作るためにポジティブ・ロックで前記第１のウエハスタック（９）と相互に連係され；
前記背中合わせウエハバッチ（１４）が、ポジティブ・ロックの形態で、移動グリッパ（１５）によってピックアップされて前記プロセスボート（１６）の挿入位置に置かれるパッケージ状の背中合わせウエハバッチの形成方法において；
形成されるべき前記背中合わせウエハバッチ（１４）のための所定の偶数枚の前記ウエハ（１）の前記最初の半数分及び前記残りの半数分が、１つだけの前記キャリア（２）の複数のスタックスロット内に並んで配置され；
複数枚の前記ウエハ（１）が、前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）の形態で転出され；
前記第１のウエハスタック（９）が、連係する前記持ち上げ櫛状具（５ａ）によって、前記連結持ち上げ位置以外の持ち上げ位置に持ち上げられ、水平方向に移動させるためにその位置から複数の誘導性感応近接スイッチにより制御される背中合わせ用モジュール（７）のマルチ真空グリッパ（６）によってピックアップされ、前記マルチ真空グリッパ（６）は前記待機位置における位置に対して１８０°まで回転され、続けて、前記マルチ真空グリッパ（６）を前記連結持ち上げ位置内の回転された位置で水平に移動することで位置決めされ；
次に前記第２のウエハスタック（１３）が、連係する前記持ち上げ櫛状具（５ｂ）によって、前記連結持ち上げ位置に持ち上げられ、前記第２のウエハスタック（１３）が前記第１のウエハスタック（９）と一緒に組み合わされ、前記第２のウエハスタック（１３）の複数枚の前記ウエハ（１）のそれぞれが、サーボ制御された動作経路に沿って、前記連結持ち上げ位置からポジティブ・ロックされたカバーに位置決めされた前記第１のウエハスタック（９）の複数枚の前記ウエハ（１）を過ぎて動かされ、続けて、前記第１のウエハスタック（９）の複数枚の前記ウエハ（１）が前記第２のウエハスタック（１３）の複数枚の前記ウエハ（１）とともに前記第２のウエハスタック（１３）と連係する前記持ち上げ櫛状具（５ｂ）に背中合わせに置かれることを特徴とするパッケージ状の背中合わせウエハバッチの形成方法。
【請求項２】
プロセスボート（１６）に位置決めされるパッケージ状の背中合わせウエハバッチ（ＢＴＢウエハバッチ）（１４）が、ソーラウエハのような、一方の面にドーピングされる、並んで配置された所定の偶数枚のウエハ（１）から構成され、ドーピングされない面のそれぞれは、隣接する前記ウエハ（１）のドーピングされない面に一致するように当接されており；
一方の面がドーピングされる所定の偶数枚の前記ウエハ（１）が、キャリア（２）の複数のスタックスロット内に並んで配置され；
前記キャリア（２）が、上に向く複数のスタックスロットを備えて水平面内にクランプされており、形成される前記背中合わせウエハバッチ（１４）のための所定の偶数枚の前記ウエハ（１）の半数分が前記キャリア（２）から動かされ且つ第１のウエハスタック（９）の形態で移送機構（１５）によって前記プロセスボート（１６）に移され前記スタックスロット内の挿入位置に位置決めされ、続けて、形成される前記背中合わせウエハバッチ（１４）のための所定の偶数枚の前記ウエハ（１）の残りの半数分が前記キャリア（２）から動かされ且つ第２のウエハスタック（１３）の形態で前記移送機構（１５）によって前記プロセスボート（１６）に移され、前記第２のウエハスタック（１３）の複数枚の前記ウエハ（１）は、前記プロセスボート（１６）の前記挿入位置にある前記第１のウエハスタック（９）を構成する複数枚の前記ウエハ（１）の位置に対して１８０°オフセットされて、前記プロセスボート（１６）内の前記第１のウエハスタック（９）の前記挿入位置と一直線上の複数枚の前記ウエハ（１）の上に位置決めされ、前記挿入位置から少なくとも前記ウエハの厚さ分の距離だけオフセットされ、続けて、相互に連係する前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）を構成する複数枚の前記ウエハ（１）のドーピングがされない面のそれぞれを同時に一致するように相互に当接させることにより、前記プロセスボート（１６）の前記挿入位置内の前記第１のウエハスタック（９）と一緒に組み合わされるパッケージ状の背中合わせウエハバッチの形成方法において；
背中合わせ用モジュール（７）のマルチ真空グリッパ（１５）が、前記背中合わせウエハバッチ（１４）を形成する前記第１及び第２の半数分の偶数枚の前記ウエハ（１）を、それぞれ前記第１及び第２のウエハスタックの形態で連続して前記キャリア（２）からストレートに取り出し、連続してサーボ制御によって前記プロセスボート（１６）の前記挿入位置へ移動する移送機構として使用され；
前記マルチ真空グリッパ（１５）によって前記キャリア（２）から取り出された前記第２のウエハスタック（１３）が、すでに前記プロセスボート（１６）の前記挿入位置にある前記第１のウエハスタック（９）の位置に対して１８０°オフセットされた前記プロセスボートの（１６）の位置への移動中に前記マルチ真空グリッパ（１５）の回転によって回転されることを特徴とするパッケージ状の背中合わせのウエハバッチの形成方法。
【請求項３】
拡散炉内でのドーピングの前に複数のウエハバッチ（１４）を、複数の挿入位置（１７）を有するプロセスボート（１６）に積み込むためのハンドリングシステムであって、
自動移送システムにより、所定の偶数枚のウエハ（１）が取り付けられたキャリア（２）が複数のウエハスタック（９及び１３）を形成するための待機位置に水平移送平面に沿って動かされ；
クランプモジュール（３）によって、前記キャリア（２）の複数のスタックスロット内に置かれた複数枚の前記ウエハ（１）のそれぞれの中心が、垂直に可動する第１及び第２の垂直軸モジュールの複数の持ち上げ櫛状具（５ａ；５ｂ）の複数の櫛ホールと正確に整列するように、前記キャリアが前記待機位置にある上向きの前記スタックスロットを備えてクランプされ；
前記第１及び第２の垂直軸モジュールのそれぞれは前記待機位置にある前記クランプモジュール（３）の下に固定配置されており；
前記クランプモジュール（３）によって保持された前記キャリア（２）内の所定の複数枚の前記ウエハからなる前記第１の半数分が、第１のウエハスタック（９）として第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）によって第１の持ち上げ位置に向かって上方に動かされ且つ回転機構によって前記第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）内の前記待機位置に対して１８０°オフセットされた位置に置かれ、また、前記キャリア（２）の前記スタックスロットに置かれた複数枚の前記ウエハ（１）の第２の半数部が、第２の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ｂ）によって第２の持ち上げ位置に持ち上げられた後に前記持ち上げ櫛状具（５ａ）が再び下げられ、続けて、第２のウエハスタック（１３）が回転させられずに前記第１のウエハスタック（９）の上の前記第１の持ち上げ位置に動かされて；
前記第１のウエハスタック（９）が前記第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）によって持ち上げられ、前記第２のウエハスタック（１３）に挿入され、前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）の複数枚の前記ウエハ（１）が背中合わせに一緒に置かれ、前記第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）内で二重にドーピングされた表面を有するパッケージ状の背中合わせウエハバッチ（１４）を形成し；
移送グリッパ（１５）により、形成された背中合わせのウエハバッチ（１４）が前記第１の持ち上げ位置から前記プロセスボート（１６）まで動かされ且つ前記複数の挿入位置の一つに置かれているハンドリングシステムにおいて、
複数の真空グリップ櫛状具（１０）を有するマルチ真空グリッパ（６）を有する背中合わせ用モジュール（７）はクランプモジュール（３）の上に配置され、Ｘ−Ｙ−Ｚ及びＲ方向に動くことが可能であり、垂直に配向された軸がサーボモータ（１１）によって下流のプレイフリー・ギア（１２）及びセンタリング・モジュールを介して回転させられ；
前記キャリア（２）から前記第１または第２の持ち上げ位置に持ち上げられた前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）は、前記第１及び第２のウエハスタック（９及び１３）において互いに正確な距離で複数枚の前記ウエハ（１）に対して面の端部で整列され；
前記第１のウエハスタック（９）は複数の誘導性感応近接スイッチにより制御される前記背中合わせモジュール（７）の前記マルチ真空グリッパ（６）によって前記第１の持ち上げ位置からピックアップされ、１８０°まで回転され、前記第１の垂直駆動モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）に対するいかなる相対的な動きもなく、前記第１の持ち上げ位置内で１８０°オフセットした位置に再び配置され且つ前記第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）は、第２の持ち上げ位置に動かされた第２のウエハスタック（１３）がマルチ真空グリッパ（６）によってピックアップされ、回転されずに第１のウエハスタック（９）の上の第１の持ち上げ位置に動かされた後に再び下げられ；
前記第１の垂直軸モジュールの前記持ち上げ櫛状具（５ａ）によって持ち上げられた前記第１のウエハスタック（９）の複数枚の前記ウエハ（１）は、前記第２のウエハスタック（１３）と関連する複数枚の前記ウエハ（１）を通り過ぎてサーボ制御された動作経路に沿って動かされ、前記第１のウエハスタック（９）の複数枚の前記ウエハ（１）と共に前記第２のウエハスタック（１３）の複数枚の前記ウエハ（１）は、前記第１の垂直軸モジュールの上昇させた前記持ち上げ櫛状具（５ａ）内で背中合わせに置かれていることを特徴とするハンドリングシステム。
【請求項４】
前記背中合わせ用モジュール（７）の前記マルチ真空グリッパ（６）は、その垂直軸上に接続された上部パート（１８）と複数の前記真空グリップ櫛状具（１０）を支持する底部パート（１９）とを具備しており、前記上部パート（１８）と前記底部パート（１９）は、２つのボールスクリューガイド部材（２０）を介して接続され、作動中はこれらにより正確な整列が維持され、前記マルチ真空グリッパ（６）の前記上部パート（１８）には、２つの誘導性センサ（２１）が備えられ、これにより、前記マルチ真空グリッパ（６）の下降による複数の前記真空グリップ櫛状具（１０）の底部（２２）と前記キャリア（２）内に置かれた複数枚の前記ウエハ（１）の上方前面との接触が検知され、前記マルチ真空グリッパ（６）の更なる下降が最小の遅延で阻止される請求項３に記載のハンドリングシステム。
【請求項５】
前記マルチ真空グリッパ（６）が、それぞれ５０の櫛壁（２３）を有する２つの真空グリップ櫛状具（１０）からなり；
合計で５０のソーラウエハ（１）がグリップされることを特徴とする請求項３または４のいずれか１項に記載のハンドリングシステム。
【請求項６】
前記真空グリップ櫛状具（１０）のそれぞれの前記複数の受入スロット（２４）を形成し、複数枚の前記ウエハ（１）の各側面（２５）と係合する、前記マルチ真空グリッパ（６）の前記複数の真空グリップ櫛状具（１０）の複数の前記櫛壁（２３）は、それぞれ互いに平行且つ水平に延びる複数のフィン（２７）を有するフレーム状ベゼル（２６）の形状に形作られており；
複数の前記櫛壁の２つの前記櫛壁間にそれぞれ形成された１個の真空スロット（２８）は、前記櫛壁（２３）に角度をもって配向され；
組合わされる前記ウエハ（１）の側面（２５）の１つと係合する各櫛壁（２３）の支持表面が、前記複数のフィン（２７）の前記フレーム状ベゼル（２６）の外面（２９）と、前記フレーム状ベゼル（２６）の前記外面（２９）が位置する同じ垂直面内に存在する前記複数のフィン（２７）の複数の前方端部（３０）とにより形成され、これにより、前記ウエハ（１）の単位面積あたりの接触圧力が最小になる請求項５に記載のハンドリングシステム。