【事件の表示】
　特許第３２７５９６５号「インクジェット式記録ヘッドの駆動方法」の請求項１ないし２９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２７５９６５号の請求項４、７、９、２３、２４に係る特許を取り消す。
　同請求項５、６、８、１ないし３、１０ないし２２に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本決定に至るまでの主だった経緯を箇条書きにすると次のとおりである。
平成１０年４月３日　セイコーエプソン株式会社（特許権者）より特願平１０−９１７９２号出願
同年９月４日　同じく特願平１０−２５１０９８号出願
平成１１年３月３０日　同じく、上記２出願に基づく優先権を主張して本件出願
平成１４年２月８日　特許第３２７５９６５号として設定登録（請求項１〜請求項２９）
同年１０月２２日　特許異議申立人東芝テック株式会社（以下「東芝テック」という。）より、請求項１〜５、請求項７〜１１、請求項１６〜請求項２８に係る特許に対して特許異議申立
同日　特許異議申立人松井弘三（以下「松井」という。）より、請求項１〜請求項９、請求項１１〜請求項２２、請求項２４〜請求項２９に係る特許に対して特許異議申立
同日　特許異議申立人山口雅行（以下「山口」という。）より請求項１、請求項２、請求項９〜請求項１３、請求項１８、請求項２２、請求項２３に係る特許に対して特許異議申立
平成１５年１月７日付けで、当審において取消理由通知
同年３月１８日　特許権者より、特許異議意見書及び訂正請求書提出
　
第２　訂正の可否の判断
１．訂正の内容
［訂正事項１−１］訂正前の請求項４，請求項５、請求項１６、請求項１７及び請求項２３を削除し、訂正前の請求項６〜１５を請求項４〜１３に、訂正前の請求項１８〜２２を請求項１４〜１８に、訂正前の請求項２４〜２９を請求項１９〜２４にそれぞれ訂正する。
［訂正事項１−２］訂正後の請求項５〜９，１１，１２，１４〜１８，１９〜２２における、請求項引用部分を次のとおり訂正する。
請求項５（訂正前請求項７）：「請求項５又は６において」を「請求項４において」と訂正する。
請求項６（訂正前請求項８）：「請求項５又は６において」を「請求項４又は５において」と訂正する。
請求項７（訂正前請求項９）：「請求項１〜８の何れかにおいて」を「請求項１〜６の何れかにおいて」と訂正する。
請求項８（訂正前請求項１０）：「請求項１〜９の何れかにおいて」を「請求項１〜７の何れかにおいて」と訂正する。
請求項９（訂正前請求項１１）：「請求項１〜１０の何れかにおいて」を「請求項１〜８の何れかにおいて」と訂正する。
請求項１１（訂正前請求項１３）：「請求項１２において」を「請求項１０において」と訂正する。
請求項１２（訂正前請求項１４）：「請求項１２又は１３において」を「請求項１０又は１１において」と訂正する。
請求項１４（訂正前請求項１８）：「請求項１２〜１７の何れかにおいて」を「請求項１０〜１３の何れかにおいて」と訂正する。
請求項１５（訂正前請求項１９）：「請求項１８において」を「請求項１４において」と訂正する。
請求項１６（訂正前請求項２０）：「請求項１８又は１９において」を「請求項１４又は１５において」と訂正する。
請求項１７（訂正前請求項２１）：「請求項１８〜２０の何れかにおいて」を「請求項１４〜１６の何れかにおいて」と訂正する。
請求項１８（訂正前請求項２２）：「請求項１２〜２１の何れかにおいて」を「請求項１０〜１７の何れかにおいて」と訂正する。
請求項１９（訂正前請求項２４）：「請求項１２〜２３の何れかにおいて」を「請求項１０〜１８の何れかにおいて」と訂正する。
請求項２０（訂正前請求項２５）：「請求項１２〜２４の何れかにおいて」を「請求項１０〜１９の何れかにおいて」と訂正する。
請求項２１（訂正前請求項２６）：「請求項１２〜２５の何れかにおいて」を「請求項１０〜２０の何れかにおいて」と訂正する。
請求項２２（訂正前請求項２７）：「請求項１２〜２６の何れかにおいて」を「請求項１０〜２１の何れかにおいて」と訂正する。
［訂正事項１−３］明細書の段落【００１７】〜【００２０】，【００４１】〜【００４４】，【００５５】及び【００５６】を削除する。
［訂正事項１−４］明細書の段落【００２１】及び【００２２】の「第６の態様」を「第４の態様」と、【００２３】の「第７の態様は、第５又は第６の態様において」を「第５の態様は請求項４の態様において」と、【００２４】の「第７の態様」を「第５の態様」と、【００２５】の「第８の態様は、第５又は第６の態様において」を「第６の態様は、請求項４又は５において」と、【００２６】の「第８の態様」を「第６の態様」と、【００２７】の「第９の態様は、第１〜８の何れかの態様において」を「第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において」と、【００２８】の「第９の態様」を「第７の態様」と、【００２９】の「第１０の態様は、第１〜９の何れかの態様において」を「第８の態様は、第１〜７の何れかの態様において」と、【００３０】の「第１０の態様」を「第８の態様」と、【００３１】の「第１１の態様は、第１〜１０の何れかの態様において」を「第９の態様は、第１〜８の何れかの態様において」と、【００３２】の「第１１の態様」を「第９の態様」と、【００３３】及び【００３４】の「第１２の態様」を「第１０の態様」と、【００３５】の「第１３の態様は、第１２の態様において」を「第１１の態様は、第１０の態様において」と、【００３６】の「第１３の態様」を「第１１の態様」と、【００３７】の「第１４の態様は、第１２又は１３の何れかの態様において」を「第１２の態様は、請求項１０又は１１において」と、【００３８】の「第１４の態様」を「第１２の態様」と、【００３９】及び【００４０】の「第１５の態様」を「第１３の態様」と、【００４５】の「第１８の態様は、第１２〜１７の何れかの態様において」を「第１４の態様は、第１０〜１３の何れかの態様において」と、【００４６】の「第１８の態様」を「第１４の態様」と、【００４７】の「第１９の態様は、第１８の態様において」を「第１５の態様は、第１４の態様において」と、【００４８】の「第１９の態様」を「第１５の態様」と、【００４９】の「第２０の態様は、第１８又は１９の態様において」を「第１６の態様は、請求項１４又は１５において」と、【００５０】の「第２０の態様」を「第１６の態様」と、【００５１】の「第２１の態様は、第１８〜２０の何れかの態様において」を「第１７の態様は、第１４〜１６の何れかの態様において」と、【００５２】の「第２１の態様」を「第１７の態様」と、【００５３】の「第２２の態様は、第１２〜２１の何れかの態様において」を「第１８の態様は、第１０〜１７の何れかの態様において」と、【００５４】の「第２２の態様」を「第１８の態様」と、【００５７】の「第２４の態様は、第１２〜２３の何れかの態様において」を「第１９の態様は、第１０〜１８の何れかの態様において」と、【００５８】の「第２４の態様」を「第１９の態様」と、【００５９】の「第２５の態様は、第１２〜２４の何れかの態様において」を「第２０の態様は、第１０〜１９の何れかの態様において」と、【００６０】の「第２５の態様」を「第２０の態様」と、【００６１】の「第２６の態様は、第１２〜２５の何れかの態様において」を「第２１の態様は、第１０〜２０の何れかの態様において」と、【００６２】の「第２６の態様」を「第２１の態様」と、【００６３】の「第２７の態様は、第１２〜２６の何れかの態様において」を「第２２の態様は、第１０〜２１の何れかの態様において」と、【００６４】の「第２７の態様」、「第２８の態様」（２箇所）及び「第２９の態様」（２箇所）を「第２２の態様」、「第２３の態様」（２箇所）及び「第２４の態様」（２箇所）と、それぞれ訂正する。
［訂正事項２−１］訂正前請求項１及び請求項１２記載の「吐出され始めたインクの後端部の当該ノズル開口での速度が零になるまでに」を、（請求項１２を請求項１０と改めた上で）「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」と訂正する。
［訂正事項２−２］明細書段落【００１１】及び段落【００３３】中の「吐出され始めたインクの後端部の当該ノズル開口での速度が零になるまでに」を、「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」と訂正する。
［訂正事項３−１］訂正前請求項３及び請求項１４記載の「膨張工程での膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下」を、（請求項１４を請求項１２と改めた上で）「膨張工程での電圧印加期間である膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下」と訂正する。
［訂正事項３−２］明細書の段落【００１５】及び段落【００３７】中の「膨張工程での膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下」を、「膨張工程での電圧印加期間である膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下」と訂正する。
［訂正事項４−１］訂正前請求項６記載の「収縮状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」及び「前記Ｔｃの１／４以下の期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」を、（請求項６を請求項４と改めた上で）「収縮状態の電圧印加状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」及び「前記Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」とそれぞれ訂正する。
［訂正事項４−２］明細書の段落【００２１】中の「収縮状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」及び「前記Ｔｃの１／４以下の期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」を、「収縮状態の電圧印加状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」及び「前記Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」とそれぞれ訂正する。
［訂正事項５−１］訂正前請求項７記載の「収縮状態の保持期間が３マイクロ秒以下」を、（請求項７を請求項５と改めた上で）「収縮状態の電圧印加状態の保持期間が３マイクロ秒以下」と訂正する。
［訂正事項５−２］明細書の段落【００２３】中の「収縮状態の保持期間が３マイクロ秒以下」を、「収縮状態の電圧印加状態の保持期間が３マイクロ秒以下」と訂正する。
［訂正事項６−１］訂正前請求項８記載の「収縮状態の保持期間が１マイクロ秒以下」を、（請求項８を請求項６と改めた上で）「収縮状態の電圧印加状態の保持期間が１マイクロ秒以下」と訂正する。
［訂正事項６−２］明細書の段落【００２５】中の「収縮状態の保持期間が１マイクロ秒以下」を、「収縮状態の電圧印加状態の保持期間が１マイクロ秒以下」と訂正する。
［訂正事項７−１］訂正前請求項１５記載の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の期間で前記圧力発生室を膨張させる第１の膨張工程」及び「吐出され始めたインクが吐出され終わらないうちに」を、（請求項１５を請求項１３と改めた上で）「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる第１の膨張工程」及び「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」とそれぞれ訂正する。
［訂正事項７−２］明細書の段落【００３９】中の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の期間で前記圧力発生室を膨張させる第１の膨張工程」及び「吐出され始めたインクが吐出され終わらないうちに」を、「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる第１の膨張工程」と訂正する。
［訂正事項８−１］訂正前請求項２０記載の「第２の膨張工程での膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期の１／２以下」を、（請求項２０を請求項１６と改めた上で）「第２の膨張工程での膨張期間の電圧印加期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期の１／２以下」と訂正する。
［訂正事項８−２］明細書の段落【００４９】中の「第２の膨張工程での膨張期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期の１／２以下」を、「第２の膨張工程での膨張期間の電圧印加期間が、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期の１／２以下」と訂正する。
［訂正事項９−１］訂正前請求項２６記載の「第１の収縮工程での収縮期間及び前記第２の収縮工程での収縮期間」を、（請求項２６を請求項２１と改めた上で）「第１の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間及び前記第２の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間」と訂正する。
［訂正事項９−２］明細書の段落【００６１】中の「第１の収縮工程での収縮期間及び前記第２の収縮工程での収縮期間」を、「第１の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間及び前記第２の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間」と訂正する。
［訂正事項１０−１］訂正前請求項２７記載の「第２の収縮工程での収縮期間」を、（請求項２７を請求項２２と改めた上で）「第２の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間」と訂正する。
［訂正事項１０−２］明細書の段落【００６３】中の「第２の収縮工程での収縮期間」を、「第２の収縮工程での電圧印加期間である収縮期間」と訂正する。
［訂正事項１１−１］訂正前請求項２８記載の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の周期で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」を、（請求項２８を請求項２３と改めた上で）「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」と訂正する。
［訂正事項１１−２］明細書の段落【００６４】中の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の周期で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」を、「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」と訂正する。
［訂正事項１２］訂正前請求項２９記載の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」を、（請求項２９を請求項２４と改めた上で）「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程」と訂正する。
　
２．訂正の目的
（１）訂正事項１−１は、請求項４，請求項５、請求項１６、請求項１７及び請求項２３を削除するとともに、残存する請求項番号を書き換えたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正と認める。訂正事項１−２（請求項６の被引用請求項を除く。）はこれに付随して引用請求番号を整理することを目的としたものである。請求項６の被引用請求項については、訂正前には請求項５又は６を択一的に引用していたところ、訂正前請求項５は削除されたから、訂正前請求項６に対応する請求項４だけを引用すべきところ、請求項４又は５を択一的に引用することが適切とはいえない。しかし、訂正後の請求項５，６の限定事項は「前記保持工程での前記収縮状態の電圧印加状態の保持期間」につき、請求項５では「３マイクロ秒以下」と、請求項６では「１マイクロ秒以下」と限定するものであるから、訂正後の請求項６において請求項４を引用した部分も、請求項５を引用した部分も「前記保持工程での前記収縮状態の電圧印加状態の保持期間が１マイクロ秒以下」であることには変わりがない。すなわち、形式的には被引用請求項を増加しているが、実質的には請求項４だけを引用したのと異ならないから、訂正を拒絶するほどの重大な違法には当たらない。
　訂正事項１−３及び１−４は、特許請求の範囲の訂正である訂正事項１−１及び１−２と整合をとるため、明細書の発明の詳細な説明に同様の訂正を施すものである。
　したがって、訂正事項１−１〜１−４全体として、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正と認める。
　
（２）訂正事項２−１における訂正前の記載である「吐出され始めたインクの後端部の当該ノズル開口での速度が零になるまでに」は、「インクの後端部」の意味自体不明りょうであること並びに同用語及び「ノズル開口」がどちらも位置の限定であることから、「インクの後端部の当該ノズル開口での速度」の意味が明りょうでない。これを「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。また、「且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」との限定を追加することは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正と認める。
　訂正事項２−２は訂正事項２−１との整合を図るものであるから、訂正事項２−１及び訂正事項２−２全体が、明りょうでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正と認める。
　
（３）訂正事項１１−１及び訂正事項１１−２における訂正前の「１／４以下の周期」との記載が、「１／４以下の期間」の誤記であることは自明である。したがって、「周期」を「期間」と訂正すること自体は、誤記の訂正を目的とするものと認める。その「期間」を「電圧印加期間」とすることの是非は別途（５）で論ずる。
　
（４）訂正事項７−１及び訂正事項７−２のうち、「吐出され始めたインクが吐出され終わらないうちに」を「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」と訂正することは、訂正前の「吐出され終わらないうちに」との記載が明りょうでないため、これを「ノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間」と明りょうにするとともに、そのために「収縮状態の電圧印加状態」の期間を「前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」を具備する旨限定するものであるから、明りょうでない記載の釈明及び特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認める。
　
（５）残余の訂正事項はすべて、「膨張期間」、「保持期間」又は「収縮期間」の「期間」という用語について、膨張工程、保持工程又は収縮工程の電圧印加期間または電圧印加状態の期間である旨訂正するとの趣旨である。例えば、訂正前の請求項１には「圧力発生室を収縮させて収縮状態として」と記載があり、これを引用する請求項５には「収縮状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」と記載があり、これを文言どおり解釈すれば、「ヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間」とは、圧力発生室の収縮状態が保持される期間であることになる。しかし、印加電圧と圧力発生室の状態が完全に１対１に対応することはなく、願書に添付した明細書（以下「特許明細書」という。）には、「ノズル開口１３のメニスカスを圧力発生室２側に最大限引き込む準備の膨張工程ｂを有し、この工程では、両電極間に印加していた電圧を最低電圧ＶLまで下げている。続いて、この状態を保持してインク滴の吐出のタイミングを図る第２のホールド工程ｃと、インク滴を吐出させるために再び電圧を最高電圧ＶHまで印加して圧力発生室２を収縮させる第１の収縮工程ｄとを有する。」（段落【００９２】）との記載があり、同記載の「第２のホールド工程ｃ」が訂正前請求項５記載の「保持工程」に当たることは明らかであって、同記載添付の【図４】からは、その期間が電圧印加状態を保持する期間とされていることが明らかである。また、「保持期間」のみならず、「膨張期間」や「収縮期間」も含めて、「期間」との用語はすべて電圧印加に関する期間であると解してこそ、訂正前の各請求項記載の発明を明確に理解できるものである。
　そうであれば、訂正前の各請求項の「期間」についての記載は、電圧印加に関する期間であることを、圧力発生室の状態の期間であると誤記したものであるか、誤記でないとしても、圧力発生室の状態の期間であると誤認させかねないものである。残余の訂正事項はすべて、「期間」の意味を、正しく電圧印加に関する期間である旨規定するものであるから、誤記の訂正又は明りょうでない記載の釈明を目的とするものと認める。
　
（６）したがって、訂正事項はすべて、特許法１２０条の４第２項１号〜３号のいずれかに該当するものであるから、本件訂正は同条同項の規定に適合する。
　
３．新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更について
　訂正事項１−１〜１−４に何の問題もないことは自明である。
　訂正事項２−１及び訂正事項２−２、並びに訂正事項７−１及び訂正事項７−２のうち「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」は、特許明細書の段落【００９５】及び段落【００９７】に記載されており、特許明細書では「吐出され始めたインクの後端部の当該ノズル開口での速度が零になるまでに」と「ノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間」が実質的に相違しないものとして記載されている。
　訂正事項３−１及び訂正事項３−２は、特許明細書の段落【００９６】に記載されている。
　特許明細書記載の「期間」が、電圧印加に関する期間であると解すべきであることは、２．（５）で述べたとおりである。
　したがって、本件訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものである。
　
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法１２０条の４第３項で準用する同法１２６条２項及び３項の規定に適合する。
　
４．訂正の可否の判断の結論
　よって、平成１５年３月１８日付け訂正請求書による訂正を認める。
　
第３　特許異議申立理由の概要
　訂正が認められるため、訂正前後の請求項番号は一致しないが、ここでは、訂正前の各請求項に係る特許に対しての主張として、そのまま訂正前の請求項番号で記す。
　以下、特許異議申立人をその名称で示し、それぞれの提出した証拠を「東芝テック甲１」などと略称することがある。
　
１．東芝テックの特許異議申立理由
理由１：請求項１に係る発明についての明細書の記載は特許法３６条４項に規定する要件を満たしていない。請求項１、これを引用する請求項２，３，５，９〜１１、及び請求項５を引用する請求項７，８に係る特許は、特許法１１３条４号の規定により取り消されるべきである。東芝テックは、予備的に、この記載不備が存在しない場合には、請求項１に係る発明は特願平８−３１６０８２号（特開平１０−１５７１００号公報（東芝テック甲１、山口甲２）。以下この出願を「先願」といい、公開公報を「先願明細書」という。）に記載された発明と同一であるから、請求項１の特許は特許法２９条の２の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである、と主張している。
理由２：請求項４の記載は特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない。請求項４、これを引用する請求項５，９〜１１、及び請求項５を引用する請求項７，８に係る特許は、特許法１１３条４号の規定により取り消されるべきである。
理由３：請求項１６及び請求項１７の記載は特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない。請求項１６，１７、これらを引用する請求項１８，２２〜２７、及び請求項１８を引用する請求項１９〜２１に係る特許は、特許法１１３条４号の規定により取り消されるべきである。
理由４：請求項４及び請求項２８に係る発明は、先願明細書に記載された発明と同一であるから、これら発明の特許は特許法２９条の２の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
　
２．松井の特許異議申立理由
理由５：請求項１〜４，９，１２〜１５，２２，２６〜２９に係る発明は、特開昭６３−７１３５５号公報（松井甲１、以下「引用例２」という。）、特開昭６４−９７４５号公報（松井甲２）又は特開平２−１９２９４７号公報（松井甲３、以下「引用例１」という。）に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、請求項１８〜２１に係る発明はこれら発明及び特開平４−６４４４６号公報（松井甲５）記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由６：請求項５，６，１１，１６，１７，２４，２５に係る発明は、引用例１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由７：請求項７，８に係る発明は、引用例１及び特開昭５９−１３３０６７号公報（松井甲４）記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
　
３．山口の特許異議申立理由
理由８：請求項１，２，９，１１に係る発明は特開平１０−８１０１２号公報（山口甲１）記載の発明と同一であるか、同発明に基づいて当業者が容易に容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法２９条１項又は２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由９：請求項１，２，９，１２，１３，１８，２２，２３に係る発明は先願明細書（山口甲２、東芝テック甲１）に記載された発明と同一であるから、これら発明の特許は特許法２９条の２の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由１０：請求項１０に係る発明は山口甲１及び国際公開パンフレットＷＯ９７／３７８５２号（山口甲４）記載の発明に基づいて当業者が容易に容易に発明をすることができたものであるから、請求項１０の特許は特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由１１：請求項１２，１３，１８に係る発明は山口甲１及び特開平９−２５４３８１号公報（山口甲５）記載の発明に基づいて当業者が容易に容易に発明をすることができたものであるから、請求項１２，１３，１８の特許は特許法２９条２項の規定に違反してされたものであり、同法１１３条２号の規定により取り消されるべきである。
理由１２：請求項１，１２の特許は、特許法３６条４項及び６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされた特許であるから、特許法１１３条４号の規定により取り消されるべきである。
　
第４　特許異議申立についての当審の判断
１．本件の特許請求の範囲の記載及び本件発明の認定
　訂正が認められるから、本件の特許請求の範囲は、訂正請求書に添付の訂正明細書に記載された特許請求の範囲であり、それは次のとおり記載されている（下線部が訂正箇所）。特許異議申立理由には請求項の記載不備も含まれているが、ここではその特許請求の範囲の【請求項１】から【請求項２４】に記載された事項により特定される発明を、「本件発明１」〜「本件発明２４」という。
【請求項１】　ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて収縮状態として前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげて前記ノズル開口からインクを吐出させ始める収縮工程と、
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
【請求項２】　請求項１において、前記収縮工程の後、前記膨張工程での膨張の開始は、吐出され始めたインク滴の先端がメニスカスに形成され始めた時点以降であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
【請求項３】　請求項１又は２において、前記膨張工程での
電圧印加期間である
【請求項
４
の電圧印加状態を
電圧印加期間
【請求項
５
４
電圧印加状態の
【請求項
６
４
５
電圧印加状態の
【請求項
７
６
【請求項
８
７
【請求項
９
８
【請求項
１０
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
【請求項
１１
１０
【請求項
１２
１０
１１
電圧印加期間である
【請求項
１３
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
電圧印加期間
【請求項
１４
１０
１３
【請求項
１５
１４
【請求項
１６
１４
１５
の電圧印加期間
【請求項
１７
１４
１６
【請求項
１８
１０
１７
【請求項
１９
１０
１８
【請求項
２０
１０
１９
【請求項
２１
１０
２０
電圧印加期間である
電圧印加期間である
【請求項
２２
１０
２１
電圧印加期間である
【請求項
２３
電圧印加期間
【請求項
２４
電圧印加期間
　
　なお、訂正前後の請求項の対応関係を整理すると次表のとおりである。
　 訂正前　　　　　訂正後　　　　　　訂正前　　　　　　訂正後　　　
　請求項１　　　　請求項１　　　　　請求項１６　　　　（削除）
　請求項２　　　　請求項２　　　　　請求項１７　　　　（削除）
　請求項３　　　　請求項３　　　　　請求項１８　　　　請求項１４
　請求項４　　　　（削除）　　　　　請求項１９　　　　請求項１５
　請求項５　　　　（削除）　　　　　請求項２０　　　　請求項１６
　請求項６　　　　請求項４　　　　　請求項２１　　　　請求項１７
　請求項７　　　　請求項５　　　　　請求項２２　　　　請求項１８
　請求項８　　　　請求項６　　　　　請求項２３　　　　（削除）
　請求項９　　　　請求項７　　　　　請求項２４　　　　請求項１９
　請求項１０　      　請求項８　　　　　請求項２５　　　　請求項２０
　請求項１１　      　請求項９　　　　　請求項２６　　　　請求項２１
　請求項１２　      　請求項１０　　　　請求項２７　　　　請求項２２
　請求項１３　      　請求項１１　　　　請求項２８　　　　請求項２３
　請求項１４　      　請求項１２　　　　請求項２９　　　　請求項２４
　請求項１５　      　請求項１３
　
２．請求項４（訂正前請求項６）に係る特許について
　取消理由に引用した特開平２−１９２９４７号公報（松井甲３、引用例１）には、次のア〜ウの記載又は図示がある。
　ア．「インク加圧室と、このインク加圧室に連通するインクノズルと、前記インク加圧室の外側に配置され、かつ電圧パルスの印加により変形して前記インク加圧室の容積を変化させる電気機械変換素子とを備え、この電気機械変換素子の変形の際に生じる圧力波により・・・前記インクノズルから吐出させるオンデマンド型インクジェット記録ヘッドにおいて、
　インク不吐出時には前記電気機械変換素子に予め電圧Ｖ１を印加して前記インク加圧室の容積を減少させておき、印字に当たっては前記インク加圧室の容積が急激に変化しないようにｔ１なる立ち下がり時間を経て前記電圧Ｖ１を除荷したままｔ２なる時間を保持し、その後ｔ３なる立ち上がり時間を経て前記電圧Ｖ１より高い電圧Ｖ２を印加したままｔ４なる時間を保持することにより前記インク加圧室の容積を急激に減少させて前記インクノズルからインクを吐出させ、更にｔ５なる立ち下がり時間を経て前記電圧Ｖ１よりも低い電圧Ｖ３を印加したままｔ６なる時間を保持し、その後ｔ７なる立ち上がり時間を経て前記電圧Ｖ１に復帰する電圧パルス波形を前記電気機械変換素子に印加することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの駆動方法。」（１頁右下欄５行〜２頁左上欄１０行）
　イ．「インク体積速度の固有振動周期は、・・・１２０〜１３５μｓｅｃと求められた。」（８頁右上欄４〜８行）
　ウ．９頁右上欄表２には、「電圧波形パターン２」として、ｔ１〜ｔ５及びＶ１〜Ｖ３がそれぞれ、ｔ１＝７５（単位は明らかにμｓｅｃ。以下省略。）、ｔ２＝１０、ｔ３＝８、ｔ４＝５０、ｔ５＝８、ｔ６＝２０、ｔ７＝８及びＶ１＝１００、Ｖ２＝１５０、Ｖ３＝５０とした例が示されており、同例ではサテライトの発生及びインク柱の曲がりについて「○」の評価が与えられている。
　記載アの「インク加圧室」及び「インクノズル」は本件発明４の「圧力発生室」及び「ノズル」にそれぞれ相当し、「インク加圧室」が「インクノズル」と反対側でリザーバに連通していることは技術常識に属する。
　引用例１の上記記載及び第９図によれば、「ｔ３なる立ち上がり時間」、「電圧Ｖ２を印加したままｔ４なる時間を保持」及び「ｔ５なる立ち下がり時間」が、本件発明４の「収縮工程」、「保持工程」及び「膨張工程」にそれぞれ相当する。そして、記載イの「インク体積速度の固有振動周期」と本件発明４の「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期」に相違はなく、これをＴｃとしたとき、記載イによればＴｃの最小値は１２０〜１３５μｓｅｃであり、記載ウによればｔ４＝５０μｓｅｃ，ｔ５＝８μｓｅｃであるから、ｔ４≦Ｔｃ／２かつｔ５≦Ｔｃ／４である。
　したがって、本件発明４と引用例１記載の発明とは「ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて収縮状態として前記ノズル開口からインクを吐出させ始める収縮工程と、この収縮状態の電圧印加状態を前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、前記Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程とを具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」である点で一致し、両者に相違点はない。
　すなわち、請求項４の特許は特許法２９条１項３号の規定に違反してされた特許である。
　
３．請求項７（訂正前請求項９）に係る特許について
　本件発明７のうち、請求項４を引用するものは、本件発明４に「前記収縮工程の前に、前記圧力発生室を膨張させてインク吐出の準備を行う準備工程を具備する」との限定を加えたものである。
　引用例１記載の発明では、予め電圧Ｖ１を印加して前記インク加圧室の容積を減少させておき、ｔ１なる立ち下がり時間を経て電圧を除荷するのであるから、ｔ１期間に予め減少しておいたインク加圧室の容積は元に復帰、すなわち、除荷前と比較すればインク加圧室は膨張する。したがって、このｔ１期間は本件発明７の準備工程に相当するから、上記限定があっても、本件発明７と引用例１記載の発明には相違点はない。
　すなわち、請求項７の特許は特許法２９条１項３号の規定に違反してされた特許である。
　
４．請求項９（訂正前請求項１１）に係る特許について
　本件発明９のうち、請求項４を引用するものは、本件発明４に「前記収縮工程の収縮の変化量より、前記膨張工程の膨張の変化量の方が小さい」との限定を加えたものである。
　引用例１記載の発明では、収縮工程において電圧が０からＶ２に変化し、膨張工程では電圧がＶ２からＶ３に変化し、０＜Ｖ３＜Ｖ２である（第９図）から、（Ｖ２−Ｖ３）＜（Ｖ２−０）であり、膨張工程の膨張の変化量は収縮工程の収縮の変化量より小さい。すなわち、請求項９の限定事項は引用例１記載の発明に備わっているから、同限定があっても、本件発明９と引用例１記載の発明には相違点はない。
　したがって、請求項９の特許は特許法２９条１項３号の規定に違反してされた特許である。
　
５．請求項２３（訂正前請求項２８）に係る特許について
（１）引用例１において、ｔ３の期間の収縮工程において「ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげる」ことは明らかであり、引用例１の「時間ｔ４を経過した後、立ち下がり時間ｔ５を経て前記電圧Ｖ１よりも低い電圧Ｖ３に立ち下げることとする。この電圧Ｖ３は、インクノズル１４′内のメニスカスを瞬間的に後退させて吐出インク滴もしくはインク柱を作為的に切断」（８頁右下欄９〜１４行）との記載からみて、時間ｔ５（膨張工程）の開始時点においてインク柱は切断されておらず、他方本件発明２３において「前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に開始され」とは、膨張工程の開始時においてメニスカスの中央領域がもりあがっておればよく、もりあげられつつある状態とは解することができないから、引用例１でも「前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に」膨張工程が開始されていると認める。また、ｔ５が「ヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間」であることは、２．で述べたとおりである。
　したがって、本件発明２３と引用例１記載の発明とは、「ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげる収縮工程と、前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に開始され、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程とを具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」である点で一致し、両者に相違点はない。
　すなわち、請求項２３の特許は特許法２９条１項３号の規定に違反してされた特許である。
　
（２）取消理由に引用した特開昭６３−７１３５５号公報（松井甲１、引用例２）には、次のエ，オの記載が図示とともにある。
　エ．「一方にインク液滴を噴出するノズル（３）と他方にインク収容部（４）に連通しているインク室（２）を、前記インク収容部（４）からのインクで満たし、インク室（２）はその壁面の少なくとも一部を電気機械変換手段（１）により変形して内部容積を膨張、収縮せしめるように構成されてなるインクジエツトヘツドにおいて、
前記インク液滴の粘度を１０〜３０ＣＰに設定すると共に、先ず前記電気機械変換手段（１）により前記インク室（２）の内部容積を膨張せしめることにより前記ノズル（３）の先端部のインクを吸引し、、（ママ）次に前記インク室（２）を収縮せしめることによりインク液滴を前記ノズル（３）から噴射せしめた後、再びインク室（２）を膨張せしめることにより前記噴射されたインク液滴の尾部を前記ノズル（３）側に吸収するようにしたことを特徴とするインクジエツトヘツドの駆動方法。」（１頁左下欄５行〜右下欄２行）
　オ．「第１図に示すように、先ず前記圧電素子１に対してタイムｔ１２で電圧＋Ｖを零電位に変化させて前記インク室２の内部容積を膨張せしめることにより前記ノズル３の先端部のインクを吸引し、、（ママ）次にタイムｔ１３にて電圧を復旧させて前記インク室２を収縮せしめることによりインク液滴を前記ノズル３から噴射せしめた後、再びタイムｔ１４にてインク室２を膨張せしめることにより前記噴射されたインク液滴の尾部を第２図（ｄ）に示すように、前記ノズル２側に吸収する」（３頁右上欄１５行〜左下欄５行）
　引用例２記載の駆動方法が「ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法」であることはいうまでもない。
　引用例２記載の「タイムｔ１３にて電圧を復旧させて前記インク室２を収縮せしめることによりインク液滴を前記ノズル３から噴射せしめ」る工程が本件発明２３の「前記圧力発生室を収縮させて前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげる収縮工程」に、同じく「再びインク室（２）を膨張せしめることにより前記噴射されたインク液滴の尾部を前記ノズル（３）側に吸収する」工程が本件発明２３の「膨張工程」にそれぞれ相当する。本件発明２３の「収縮工程」に相当するものは上記のとおり、「タイムｔ１３にて電圧を復旧させ」る工程であるが、それに要する期間は第１図にみられるとおり極めて短時間であるから、「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下」である。また、本件発明２３において「前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に開始され」とは、膨張工程の開始時においてメニスカスの中央領域がもりあがっておればよく、もりあげられつつある状態とは解することができず、引用例２でも「前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に」膨張工程が開始されていると認める。
　したがって、本件発明２３と引用例２記載の発明とは「ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげる収縮工程と、前記収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に開始され、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程とを具備することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」である点で一致し、両者に相違点はない。
　すなわち、請求項２３の特許は特許法２９条１項３号の規定に違反してされた特許である。
　
６．請求項２４に係る特許について
　引用例２記載の「タイムｔ１３にて電圧を復旧させて前記インク室２を収縮せしめることによりインク液滴を前記ノズル３から噴射せしめ」る工程が本件発明２４の「第１の収縮工程」に、同じく第１図ｔ１５における復旧工程が「第２の収縮工程」に時間順序的に相当する。
　したがって、本件発明２４と引用例２記載の発明とは「ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげる第１の収縮工程と、前記第１の収縮工程によってメニスカスの中央領域がもりあげられている間に開始され、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下の電圧印加期間で前記圧力発生室を膨張させる膨張工程と、前記圧力発生室を再び収縮させる第２の収縮工程とを具備するインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。」である点で一致し、「第２の収縮工程」が「前記第１の膨張工程によるメニスカスの外縁部の後退の程度を低減させる」ものであるかどうかの点で相違する。
　引用例２の第２図（ｄ）には、膨張工程によりインク滴が切断された様子が図示されており、同図にはメニスカスの外縁部が中心部に比して後退した様子が図示されており、第２図（ｅ）には外縁部が後退していない様子が図示されている。そうであれば、引用例２記載の第１図における復旧工程は「第１の膨張工程によるメニスカスの外縁部の後退の程度を低減させる」ものと解するのが自然であり、そのように解することができないとしても、第２図（ｄ）から第２図（ｅ）に至ることができるように、そのタイミングを調節し、上記相違点に係る本件発明２４の構成に至ることは当業者であれば容易である。
　すなわち、請求項２４の特許は特許法２９条１項３号又は２項の規定に違反してされた特許である。
　
７．特許異議申立理由についての判断
（１）理由１について
　東芝テックの主張は、請求項１記載の「メニスカスの外縁部を引き込ませる」作用を実現するための具体的手段が、理由１の対象となる請求項の発明を実施可能な程度に、特許明細書に記載されていないというものである。
　検討するに、訂正明細書には、
「メニスカスの外縁部２０１ｂは、第１の膨張工程ｆによって引き込まれ、中心部２０１ａだけが第１の膨張工程ｆによって引き込まれることなくインク滴として吐出することになり、結果的に、径がノズル径よりも小さいインク滴を、・・・吐出させることができる。」（段落【００９３】）、
「この現象は急峻な第１の膨張工程ｆでメニスカスの高次の振動を起こしてみられる現象である。つまり、これは中心部２０１ａの速度をあまり変えることなく、外縁部２０１ｂの速度をインク滴吐出方向とは反対の方向へ大きく変える振動モードであり、３次振動モードと呼ばれる。」（段落【００９４】）、
「第１の膨張工程ｆを実行する駆動信号の印加のタイミングは、第３のホールド工程ｅの時間で決定されるが、・・・ノズル開口１３から突出しようとするインク滴２０２がメニスカスに形成し始め、その先端が現れてから、図５（ｂ）のように、インク滴２０２がメニスカスから長く延びている段階で、ノズル表面近傍２０２ａの吐出速度の平均が略零になるまでの間に印加すれば、インク滴を小さくする効果が得られる。」（段落【００９５】）、
「このように小さな体積のインク滴を吐出するための条件は、吐出されるインク滴の体積を微小化可能なタイミングで第１の膨張工程ｆを実行し、この第１の膨張工程ｆでの膨張期間Ｔ１をヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下とすることが好ましい。」（段落【００９６】）、
「第３のホールド工程ｅの期間Ｔ２は、ヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下とすることが望ましい。具体的には、第３のホールド工程ｅの時間を３マイクロ秒以下、さらに好適には１マイクロ秒以下、すなわち、略零とする。これより安定して微小ドットを吐出することができる。」（段落【００９７】）及び
「このように小さな体積のインク滴を吐出するための条件は、第１の収縮工程ｄの収縮速度及び変化量と、第１の膨張工程ｆの膨張速度及び変化量とに関係する。第１の収縮工程ｄの速度より第１の膨張工程ｆの速度の方が大きい方が好ましい。第１の膨張工程ｆの変化量は、第１の収縮工程ｄの変化量と同等又は小さくすればよい。（段落【００９８】）
との各記載があり、第１の膨張工程ｆでメニスカスの高次の振動（３次振動モード）を生起させること、そのための条件として、「インク滴２０２がメニスカスから長く延びている段階で、ノズル表面近傍２０２ａの吐出速度の平均が略零になるまでの間に」「第１の膨張工程ｆを実行する駆動信号」を印加すること、「第１の膨張工程ｆでの膨張期間Ｔ１をヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下とすること」及び「第３のホールド工程ｅの期間Ｔ２は、ヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下とすること」が明確に記載されているから、当業者が実施するに困難性があると認めることはできない。
　したがって、理由１には理由がない。
　予備的主張については、山口の主張する理由９とあわせて、後記（８）で検討する。
　
（３）理由２〜４について
　理由２のうち請求項４，５についての主張、及び理由３のうち請求項１６，１７についての主張は、削除された請求項を対象としての主張であるから検討の必要がない。理由２，３のうち、その余の請求項についての主張は、削除された請求項を引用していることが原因となっての記載不備の主張であるから、これも検討の必要がない。
　理由４は、取り消すべく判断した請求項を対象としての主張であるから検討の必要がない。
　
（４）理由５について
　松井異議のうち、独立形式で記載された請求項についてまず検討する（削除又は、取り消すべく判断済みの請求項を除く。）。
　理由５のうち、独立形式のものは請求項１，１０，１３である。これら請求項は共通して「収縮工程」又は「第１の収縮工程」に引き続いて、「収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」を要件としている。
　ところが、保持工程の終了時期、すなわち引き続く「膨張工程」又は「第１の膨張工程」の開始時期と「ノズル表面近傍の吐出速度の平均」との関係について、引用例２には何も記載されていない（２．で述べたように、メニスカスの中央領域がもりあがっているが、ノズル表面近傍の吐出速度がどうなっているかはわからない。）。甲第２号証（特開昭６４−９７４５号公報）には「インクが吐出中の時間ｔ３において再び第２の駆動パルスIIを印加する」（３頁右上欄５〜７行）とあるけれども、「吐出中」が「ノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間」を意味するとまでは認めることができない。甲第３号証（特開平２−１９２９４７号公報）には「インク体積速度の固有振動周期は、・・・１２０〜１３５μｓｅｃと求められた。」（８頁右上欄５〜８行）とあり、９頁右上欄の表２には「電圧波形パターン２」として、保持工程期間に相当するｔ４が５０μｓｅｃであることが記載されているから、保持工程期間が「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間」の点では一致するとはいえるものの、ノズル表面近傍のインクの挙動は単純ではないから、保持工程終了時期が「ノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまで」とまでは認めることができない。
　加えて、請求項１，１０は、「膨張工程」又は「第１の膨張工程」が「メニスカスの外縁部を引き込ませる」工程である旨限定しているところ、松井甲１〜甲３記載の「膨張工程」又は「第１の膨張工程」がメニスカスの外縁部を引き込ませる工程かどうかも明らかでない。なぜなら、例えば引用例２第２図（ｄ）ではメニスカスの外縁部が引き込んでいるが、ｔ１３時点での同図（ｃ）でも引き込まれているから、「膨張工程」又は「第１の膨張工程」によって外縁部が引き込まれたとは限らないからである。
　そして、これら松井甲１〜甲３に記載のない構成は、（２）でも述べたように、メニスカスの高次の振動（３次振動モード）を生起させる条件でもあるのだから、何の証拠もなく、当業者にとって想到容易ということはできない。
　残余の請求項についての主張は、請求項１，１０，１３に係る発明の進歩性欠如を前提とする主張であるから、当然理由がない。
　
（５）理由６について
　訂正前請求項５，６，１１，１６，１７についての主張は検討の必要がない。訂正前請求項２４，２５は、それぞれ請求項１９，２０と項番が変更され、請求項１０〜１８又は請求項１０〜１９を引用している。引用される請求項のうち、独立形式で記載されたものは、請求項１０，１３のみであり、残りの請求項及び請求項１９，２０は請求項１０又は請求項１３に何らかの限定を加えたものである。
　本件発明１０，１３が引用例１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明できたといえないことは（４）で述べたとおりであるから、本件発明１９，２０も引用例１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明できたとはいえない。
　
（６）理由７について
　松井は、特開昭５９−１３３０６７号公報（松井甲４）に保持期間をゼロにすることが記載されていると主張している。しかし、保持工程とは有限の保持期間を有してこそ保持工程といえるのであって、請求項５（訂正前請求項７）の「電圧印加状態の保持期間が３マイクロ秒以下」及び請求項６（訂正前請求項８）の「電圧印加状態の保持期間が１マイクロ秒以下」との限定についても、保持期間がゼロを含むと解することはできない。
　そればかりか、請求項５，６は請求項４を引用するから、膨張工程の電圧印加期間はヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下であるが、松井甲４の膨脹期間とＴｃの関係は不明である。そして、保持工程、膨張工程がそれぞれ他の工程とは無関係にその期間を設定できると解すべき理由はない。上記文献から、保持期間を著しく短縮することが把握できるとしても、膨張工程の期間をＴｃの１／４以下とした際に、保持期間を３マイクロ秒以下又は１マイクロ秒以下とすることが直ちに想到容易ということはできない。
　したがって、本件発明５，６が引用例１及び特開昭５９−１３３０６７号公報記載の発明に基づいて当業者が容易に発明できたとはいえない。
　
（７）理由８について
　請求項７，９（訂正前請求項９，１１）については検討の必要がない。
　（４）で述べたとおり、本件発明１，２は「収縮工程」に引き続いて、「収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」を要件としている。
　ところが、保持工程の終了時期、すなわち引き続く「膨張工程」の開始時期と「ノズル表面近傍の吐出速度の平均」との関係について、特開平１０−８１０１２号公報（山口甲１）には何も記載されていない（メニスカスの中央領域はもりあがっているが、ノズル表面近傍の吐出速度がどうなっているかはわからない。）だけでなく、保持期間（同文献【図４】のＰ１５の期間）が「圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下」であるかどうかもわからない。
　そうである以上、本件発明１，２が山口甲１記載の発明であるとも、山口甲１記載の発明に基づいて当業者が容易に容易に発明をすることができたともいうことができない。
　
（８）理由９（理由１の予備的主張を含む）について
　訂正前請求項９，２３についての主張は検討する必要がない。残る請求項は請求項１，２，１０，１１，１４，１８（訂正前請求項１，２，１２，１３，１８，２２）である。このうち独立形式で記載された請求項は請求項１，１０のみであり、その余の請求項は請求項１又は請求項１０に何らかの限定を加えたものである。
　そこで、本件発明１，１０についてまず検討する。
　特開平１０−１５７１００号公報（東芝テック甲１，山口甲２，先願明細書）に記載の発明が、「収縮工程」若しくは「第１の収縮工程」、「収縮状態の電圧印加状態を保持する保持工程」、「膨張工程」及び「第２の収縮工程」をこの順に具備する「インクジェット式記録ヘッドの駆動方法」であることは認める。また、【図４】及び【図５】から、ｔ１からｔ４までがほぼヘルムホルツ振動周期Ｔｃに当たり、パルスＰ２において電圧がＶ２に保持されている期間（本件発明１，１０の保持工程の期間に相当する。）がＴｃの１／２以下であることも認めることができる。
　しかし、保持工程の期間が「ノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間」であるかどうか、及び保持工程終了時（膨張工程開始時）に「メニスカスの外縁部を引き込ませる」かどうかは、先願明細書の記載からはわからない。
　したがって、本件発明１，１０が先願明細書に記載された発明であると認めることはできず、請求項１，１０を引用するその余の請求項に係る発明も同様である。
　
（９）理由１０について
　山口の主張は、理由８が成立することを前提として、訂正前請求項１０（訂正後は請求項８）の限定事項が国際公開パンフレットＷＯ９７／３７８５２号（山口甲４）に記載されているとして、訂正前請求項１０に係る発明のうち訂正前請求項１，２，９（訂正後は１，２，７）を引用するものに進歩性がないとの主張である。
　しかし、山口が前提とする理由８が成立しないことは既に述べたとおりである。そればかりか、山口は山口甲４【図３】のＳ１１とＳ１３の波形を比較し、前者が「膨張工程」に、後者が「収縮工程」に当たると主張している。しかし、本件発明１０では、収縮工程、保持工程、膨張工程の順である（膨張工程が保持工程の後であることは直接明記はないが、「収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程」（【請求項１】）との文言から、収縮工程と保持工程が連続することが把握でき、「前記収縮工程によって中央領域がもりあげられたメニスカスの外縁部を引き込ませる膨張工程」（【請求項１】）との文言から、膨張工程が収縮工程の後と認定できるから、膨張工程は保持工程の後でなければならない。）。したがって、山口甲４に請求項８（訂正前請求項１０）の限定事項が記載されている旨の主張も誤りである。
　結局、理由１０も誤りというよりない。
　
（１０）理由１１について
　請求項１０，１１，１４（訂正前請求項１２，１３，１８）のうち、独立形式で記載された請求項は請求項１０（訂正前請求項１２）だけである。
　本件発明１０が、保持期間につき「収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間」と限定しており、この限定は（７）で述べた本件発明１，２の限定と異ならず、山口甲１に同限定が記載されていないことは（７）で述べたとおりである。
　山口甲５は「第２の収縮工程」、「第２の膨張工程」を設けることの容易性を立証するために提出された文献であって、上記保持期間の限定とは何の関係もない。
　したがって、理由１１により本件発明１０に進歩性がないということはできず、それを引用する本件発明１１，１４も同様である。
　
（１１）理由１２について
　山口の主張は、訂正前請求項１，１２に記載の「インクの後端部」が何を意味するか不明であり、液滴は内部に速度分布を有するところ、速度の測定方法が規定されていないから訂正前請求項１，１２に係る発明の外延が不明確というものである。
　なるほど、山口の主張には頷ける部分があるが、訂正により「吐出され始めたインクの後端部の当該ノズル開口での速度が零になるまでに」との記載は「この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、」と訂正され、「インクの後端部」が不明確であることは解消された。また、速度については「ノズル表面近傍の吐出速度の平均」に訂正され、局所的な吐出速度を測定するのであれば位置を違えた複数の測定値の平均であるし、平均的な吐出速度を直接測定するのであればその測定値を意味するから、速度分布があることや速度の測定方法が規定されていないことは「吐出速度の平均」が不明確である理由にはならない。
　したがって、理由１２には理由がない。
　
第５　むすび
　以上のとおり、請求項４，７，９，２３，２４の特許は、特許法２９条１項又は２項の規定に違反してされた特許であるから、これら特許は同法（平成１５年改正前）１１３条２号の規定により取り消されなければならない。
　また、その余の請求項に係る特許については、特許異議申立人の主張する理由によっては取り消すことができない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年７月１２日（２００５．７．１２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式記録ヘッドの駆動方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて収縮状態として前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげて前記ノズル開口からインクを吐出させ始める収縮工程と、
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
　【請求項２】請求項１において、前記収縮工程の後、前記膨張工程での膨張の開始は、吐出され始めたインク滴の先端がメニスカスに形成され始めた時点以降であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法。
　【請求項３】請求項１又は２において、前記膨張工程での
電圧印加期間である
　【請求項
４
の電圧印加状態を
電圧印加期間
　【請求項
５
４
電圧印加状態の
　【請求項
６
４
５
電圧印加状態の
　【請求項
７
６
　【請求項
８
７
　【請求項
９
８
　【請求項
１０
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
　【請求項
１１
１０
　【請求項
１２
１０
１１
電圧印加期間である
　【請求項
１３
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
電圧印加期間
　【請求項
１４
１０
１３
　【請求項
１５
１４
　【請求項
１６
１４
１５
の電圧印加期間
　【請求項
１７
１４
１６
　【請求項
１８
１０
１７
　【請求項
１９
１０
１８
　【請求項
２０
１０
１９
　【請求項
２１
１０
２０
電圧印加期間である
電圧印加期間である
　【請求項
２２
１０
２１
電圧印加期間である
　【請求項
２３
電圧印加期間
　【請求項
２４
電圧印加期間
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面の圧電体層を形成して、圧電体層の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて、圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子が軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
　【０００３】
　前者は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を変化させることができて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
　【０００４】
　これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作り付けることができるという利点を有する。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、たわみモードの圧電アクチュエータは、縦振動モードの圧電アクチュエータと比較して大きな変位面積を必要として圧力発生室の容積が大きくなり、吐出するインク滴のインク量も多くなるため、グラフィック印刷等のように微小サイズのドット形成が困難であるという不都合を抱えている。
　【０００６】
　一方、このような問題を解消するために、たわみ変位型圧電アクチュエータの変位を小さくしてインク量を少なくすると、吐出圧が低いために速度が低下して記録媒体への着弾位置に誤差が生じ、特に、グラフィック印刷のように正確なドット印刷が求められる印刷においては印刷品質の低下が目立つという問題がある。
　【０００７】
　そこで、インク噴出後に圧力発生室を収縮せしめることによりインク滴をノズル開口から噴出せしめた後、再び、圧力発生室を膨張せしめることにより、インク滴の尾部を吸収して、二次的なインク滴を除去する駆動方法が提案されているが（特開昭６３−７１３５５号公報）、インク滴自体を微小化するものではない。
　【０００８】
　また、圧力発生室を膨張させた後、第１の変化速度で収縮させ、続いて第１の変化速度より大きい第２の変化速度で収縮させることにより、インク滴の先頭と後尾の長さもしくは時間差を可及的に小さくして球状のドットを形成する方法も提案されている（特開平７−７６０８７号公報）。
　【０００９】
　しかしながら、近年の高精細画質の印刷の要望から、さらにできるだけ小さいインク滴を吐出することが望まれる一方、高速印刷のために大きな体積のインク滴も吐出できることが望まれ、しかも、高速で安定した駆動が要望される。
　【００１０】
　本発明はこのような事情に鑑み、インク滴の飛行速度を低下させることなく、インク滴を構成するインク量を可及的に少なくしてグラフィック印刷に適したドットを形成することができるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法を提供することを課題とする。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口及びリザーバに連通する圧力発生室に付設された圧電素子を駆動することにより前記圧力発生室を膨張又は収縮させて前記ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法において、前記圧力発生室を収縮させて収縮状態として前記ノズル開口のメニスカスの中央領域をもりあげて前記ノズル開口からインクを吐出させ始める収縮工程と、
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
　【００１２】
　かかる第１の態様では、収縮工程での圧力発生室の収縮により吐出され始めたインク滴が吐出され終わらないうちに、圧力発生室の膨張が開始され、それまでに吐出されかけたインク滴のみが吐出され、膨張を開始するタイミングでインク滴の体積を制御できる。
　【００１３】
　本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記収縮工程の後、前記膨張工程での膨張の開始は、吐出され始めたインク滴の先端がメニスカスに形成され始めた時点以降であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの駆動方法にある。
　【００１４】
　かかる第２の態様では、膨張工程で圧力発生室の膨張が開始した時点で、インク滴の先端の部分が吐出する。
　【００１５】
　本発明の第３の態様は、請求項１又は２において、前記膨張工程での
電圧印加期間である
　【００１６】
　かかる第３の態様では、インク滴吐出後のメニスカスの引き込みを特に有効的に抑えることができる。
　【００１７】
　【００１８】
　【００１９】
　【００２０】
　【００２１】
　本発明の第
４
の電圧印加状態を
電圧印加期間
　【００２２】
　かかる第
４
　【００２３】
　本発明の第
５
４
電圧印加状態の
　【００２４】
　かかる第
５
　【００２５】
　本発明の第
６
４
５
電圧印加状態の
　【００２６】
　かかる第
６
　【００２７】
　本発明の第
７
６
　【００２８】
　かかる第
７
　【００２９】
　本発明の第
８
７
　【００３０】
　かかる第
８
　【００３１】
　本発明の第
９
８
　【００３２】
　かかる第
９
　【００３３】
　本発明の第
１０
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
　【００３４】
　かかる第
１０
　【００３５】
　本発明の第
１１
１０
　【００３６】
　かかる第
１１
　【００３７】
　本発明の第
１２
１０
１１
電圧印加期間である
　【００３８】
　かかる第
１２
　【００３９】
　本発明の第
１３
この収縮状態の電圧印加状態をノズル表面近傍の吐出速度の平均が略零になるまでの間で且つ前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下の期間保持する保持工程と、
電圧印加期間
　【００４０】
　かかる第
１３
　【００４１】
　【００４２】
　【００４３】
　【００４４】
　【００４５】
　本発明の第
１４
１０
１３
　【００４６】
　かかる第
１４
　【００４７】
　本発明の第
１５
１４
　【００４８】
　かかる第
１５
　【００４９】
　本発明の第
１６
１４
１５
の電圧印加期間
　【００５０】
　かかる第
１６
　【００５１】
　本発明の第
１７
１４
１６
　【００５２】
　かかる第
１７
　【００５３】
　本発明の第
１８
１０
１７
　【００５４】
　かかる第
１８
　【００５５】
　【００５６】
　【００５７】
　本発明の第
１９
１０
１８
　【００５８】
　かかる第
１９
　【００５９】
　本発明の第
２０
１０
１９
　【００６０】
　かかる第
２０
　【００６１】
　本発明の第
２１
１０
２０
電圧印加期間である
電圧印加期間である
　【００６２】
　かかる第
２１
　【００６３】
　本発明の第
２２
１０
２１
電圧印加期間である
　【００６４】
　かかる第
２２
　本発明の第
２３
電圧印加期間
　かかる第
２３
　本発明の第
２４
電圧印加期間
　かかる第
２４
　【００６５】
　【発明の実施の形態】
　以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
　【００６６】
（実施形態１）
　図１には、本実施形態のインクジェット式記録装置の概略構成を示す。図１に示すように、インクジェット式記録装置は、プリンタコントローラ１０１とプリントエンジン１０２とから概略構成してある。
　【００６７】
　プリンタコントローラ１０１は、外部インターフェース１０３（以下、外部Ｉ／Ｆ１０３という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ１０４と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ１０５と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御部１０６と、クロック信号を発生する発振回路１０７と、インクジェット式記録ヘッド１０８へ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路１０９と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等をプリントエンジン１０２に送信する内部インターフェース１１０（以下、内部Ｉ／Ｆ１１０という）とを備えている。
　【００６８】
　外部Ｉ／Ｆ１０３は、例えば、キャラクタコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピュータ等から受信する。また、この外部Ｉ／Ｆ１０３を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、ホストコンピュータ等に対して出力される。
　【００６９】
　ＲＡＭ１０４は、受信バッファ１１１、中間バッファ１１２、出力バッファ１１３及び図示しないワークメモリとして機能する。そして、受信バッファ１１１は外部Ｉ／Ｆ１０３によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファ１１２は制御部１０６が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファ１１３はドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印字データによって構成してある。なお、後述するように、本実施形態における印字データは４ビットの信号により構成してある。
　【００７０】
　また、ＲＯＭ１０５には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。
　【００７１】
　制御部１０６は、受信バッファ１１１内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファ１１２に記憶させる。また、中間バッファ１１２から読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ１０５に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御部１０６は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファ１１３に記憶させる。
　【００７２】
　そして、インクジェット式記録ヘッド１０８の１行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ１１０を通じてインクジェット式記録ヘッド１０８に出力される。また、出力バッファ１１３から１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファ１１２から消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。
　【００７３】
　プリントエンジン１０２は、インクジェット式記録ヘッド１０８と、紙送り機構１１４と、キャリッジ機構１１５とを含んで構成してある。
　【００７４】
　紙送り機構１１４は、紙送りモータと紙送りローラ等から構成してあり、記録紙等の印刷記憶媒体をインクジェット式記録ヘッド１０８の記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構１１４は、印刷記憶媒体を副走査方向に相対移動させる。
　【００７５】
　キャリッジ機構１１５は、インクジェット式記録ヘッド１０８を搭載可能なキャリッジと、このキャリッジを主走査方向に沿って走行させるキャリッジ駆動部とから構成してあり、キャリッジを走行させることによりインクジェット式記録ヘッド１０８を主走査方向に移動させる。なお、キャリッジ駆動部は、タイミングベルトを用いたもの等、キャリッジを走行させ得る機構であれば任意の構成を採り得る。
　【００７６】
　インクジェット式記録ヘッド１０８は、副走査方向に沿って多数のノズル開口を有し、ドットパターンデータ等によって規定されるタイミングで各ノズル開口からインク滴を吐出する。
　【００７７】
　以下、かかるインクジェット式記録ヘッド１０８について詳細に説明する。まず、要部断面を示す図３を参照して、インクジェット式記録ヘッド１０８の機械的構成について説明する。
　【００７８】
　図示するように、圧力発生室を形成する基板となるスペーサ１は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板で、圧力発生室２となる貫通孔を形成して構成される。
　【００７９】
　スペーサ１の一方面は、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる弾性板３により封止され、弾性板３の表面には下電極４が形成されている。また、下電極４の上には、圧力発生室２毎に独立して圧電体層５が固定されている。この圧電体層５は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付したり、圧電材料をスパッタリングする等の方法により形成される。さらに、各圧電体層５の表面には、それぞれ上電極６が形成されている。従って、下電極４と、各圧力発生室２毎に設けられた圧電体層５上の上電極６との間に、印刷データに基づいて電圧を印加することにより、各圧電体層５は弾性板３と共にたわみ変形する。
　【００８０】
　スペーサ１の他方面は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなるインク供給口形成基板７により封止されている。インク供給口形成基板７は、ノズルプレートのノズル開口と圧力発生室２とを接続するノズル連通孔８と、後述するリザーバ１１と圧力発生室２とを接続するインク供給口９を穿設して構成されている。
　【００８１】
　一方、リザーバ形成基板１０は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンクからインクの供給を受けて圧力発生室２にインクを供給するリザーバ１１と、圧力発生室２と後述するノズル開口１３とを連通するノズル連通孔１２とを有する。リザーバ形成基板１０のスペーサ１の反対側は、圧力発生室２と同一の配列ピッチでノズル開口１３が形成されたノズルプレート１４により封止されている。
　【００８２】
　ここで、上述したセラミックス製の各部材は積層された後焼結されて一体的に形成されており、リザーバ形成基板１０及びノズルプレート１４は、接着剤層１５及び１６を介して固着されている。なお、リザーバ形成基板１０及びノズルプレート１４もセラミックスとして一体的に形成することもできる。
　【００８３】
　このように形成されたインクジェット式記録ヘッド１０８は、各圧力発生室１２に対向してたわみ振動モードの圧電素子１８を有する。また、この圧電素子１８には、図示しないフレキシブルケーブルを介して電気信号、例えば、後述する駆動信号（ＣＯＭ）や印字データ（ＳＩ）等を供給する。
　【００８４】
　そして、このような構成を有するインクジェット式記録ヘッド１０８では、充電されることにより圧電素子１８は下に凸にたわみ変形して圧力発生室２が収縮する。この収縮に伴って圧力発生室２におけるインク圧力が高くなる。一方、放電することにより圧電素子１８のたわみ変形が引き戻され、収縮した圧力発生室２が膨張する。この膨張に伴ってリザーバ１１のインクがインク供給口９を通って圧力発生室３１内に流入する。このように、圧電素子１８を充放電させることにより圧力発生室２の容積が変化するので、各圧電素子１８に対して充放電を制御することにより、所望のノズル開口１３から所望の大きさのインク滴を吐出させることができる。
　【００８５】
　次に、このインクジェット式記録ヘッド１０８の電気的構成について説明する。
　【００８６】
　このインクジェット式記録ヘッド１０８は、図１に示すように、シフトレジスタ１４１、ラッチ回路１４２、レベルシフタ１４３、スイッチ１４４及び圧電素子１８等を備えている。さらに、図２に示すように、これらのシフトレジスタ１４１、ラッチ回路１４２、レベルシフタ１４３、スイッチ１４４及び圧電素子１８は、それぞれ、インクジェット式記録ヘッド１０８の各ノズル開口１３毎に設けたシフトレジスタ素子１４１Ａ〜１４１Ｎ、ラッチ素子１４２Ａ〜１４２Ｎ、レベルシフタ素子１４３Ａ〜１４３Ｎ、スイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎ、圧電素子１８Ａ〜１８Ｎから構成してあり、シフトレジスタ１４１、ラッチ回路１４２、レベルシフタ１４３、スイッチ１４４、圧電素子１８の順で電気的に接続してある。
　【００８７】
　なお、これらのシフトレジスタ１４１、ラッチ回路１４２、レベルシフタ１４３及びスイッチ１４４は、駆動信号発生回路１０９が発生した駆動信号から駆動パルスを生成する。ここで、駆動パルスとは実際に圧電素子１８に印加される印加パルスのことであり、そして、駆動信号とは駆動パルスを生成するために必要な元波形により構成される一連のパルス信号（元駆動パルス）のことである。また、スイッチ１４４はスイッチ手段としても機能する。
　【００８８】
　このような電気的構成を有するプリントヘッド１０８では、図４（ａ）に示すように、発振回路１０７からのクロック信号（ＣＫ）に同期して、ドットパターンデータを構成する印字データ（ＳＩ）が出力バッファ１１３からシフトレジスタ１４１へシリアル伝送され、順次セットされる。この場合、まず、全ノズル開口１３の印字データにおける最上位ビットのデータがシリアル伝送され、この最上位ビットのデータシリアル伝送が終了したならば、上位から２番目のビットのデータがシリアル伝送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル伝送される。
　【００８９】
　そして、当該ビットの印字データが全ノズル分シフトレジスタ素子１４１Ａ〜１４１Ｎにセットされたならば、制御部１０６は、所定のタイミングでラッチ回路１４２へラッチ信号（ＬＡＴ）を出力させる。このラッチ信号により、ラッチ回路１４２は、シフトレジスタ１４１にセットされた印字データをラッチする。このラッチ回路１４２がラッチした印字データ（ＬＡＴｏｕｔ）は、電圧増幅器であるレベルシフタ１４３に印加される。このレベルシフタ１４３は、印字データが例えば「１」の場合に、スイッチ１４４が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトまでこの印字データを昇圧する。そして、この昇圧された印字データはスイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎに印加され、スイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎは、当該印字データにより接続状態になる。
　【００９０】
　そして、各スイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎには、駆動信号発生回路１０９が発生した基本駆動信号（ＣＯＭ）も印加されており、スイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎが接続状態になると、このスイッチ素子１４４Ａ〜１４４Ｎに接続された圧電素子１８Ａ〜１８Ｎに駆動信号が印加される。
　【００９１】
　このように、例示したインクジェット式記録ヘッド１０８では、印字データによって圧電素子１８に駆動信号を印加するか否かを制御することができる。例えば、印字データが「１」の期間においてはラッチ信号（ＬＡＴ）によりスイッチ１４４が接続状態となるので、駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）を圧電素子１８に供給することができ、この供給された駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）により圧電素子１８が変位（変形）する。また、印字データが「０」の期間においてはスイッチ１４４が非接続状態となるので、圧電素子１８への駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）の供給は遮断される。なお、この印字データが「０」の期間において、各圧電素子１８は直前の電荷を保持するので、直前の変位状態が維持される。
　【００９２】
　図４（ｂ）に詳細を示す駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）の波形の一例は、より少ない体積のインク滴を吐出させるのに適した駆動波形である。図４に示すように、この駆動信号は、圧力発生室２が最も収縮した状態を保持する第１のホールド工程ａを有し、下電極４と上電極６との間の電圧を最高電圧ＶＨ、例えば、３０Ｖ程度に維持して電界を印加する。次いで、ノズル開口１３のメニスカスを圧力発生室２側に最大限引き込む準備の膨張工程ｂを有し、この工程では、両電極間に印加していた電圧を最低電圧ＶＬまで下げている。続いて、この状態を保持してインク滴の吐出のタイミングを図る第２のホールド工程ｃと、インク滴を吐出させるために再び電圧を最高電圧ＶＨまで印加して圧力発生室２を収縮させる第１の収縮工程ｄとを有する。
　【００９３】
　そして、この収縮工程ｄの直後に第３のホールド工程ｅを略零として、第１の膨張工程ｆを有する。この第１の膨張工程ｆは、第１の収縮工程ｄでメニスカスの中央領域がもりあがっている間、特にインク滴先端の形状が形成され始める時点で行われる。これにより、メニスカスの外縁部２０１ｂは、第１の膨張工程ｆによって引き込まれ、中心部２０１ａだけが第１の膨張工程ｆによって引き込まれることなくインク滴として吐出することになり、結果的に、径がノズル径よりも小さいインク滴を、時間の経過に伴って図５（ａ１）〜（ａ３）に示すように、吐出させることができる。
　【００９４】
　この現象は急峻な第１の膨張工程ｆでメニスカスの高次の振動を起こしてみられる現象である。つまり、これは中心部２０１ａの速度をあまり変えることなく、外縁部２０１ｂの速度をインク滴吐出方向とは反対の方向へ大きく変える振動モードであり、３次振動モードと呼ばれる。
　【００９５】
　ここで、第１の膨張工程ｆを実行する駆動信号の印加のタイミングは、第３のホールド工程ｅの時間で決定されるが、第１の収縮工程ｄで、インク滴の吐出準備、すなわち、図５（ａ１）に示すように、ノズル開口１３から突出しようとするインク滴２０２がメニスカスに形成し始め、その先端が現れてから、図５（ｂ）のように、インク滴２０２がメニスカスから長く延びている段階で、ノズル表面近傍２０２ａの吐出速度の平均が略零になるまでの間に印加すれば、インク滴を小さくする効果が得られる。
　【００９６】
　また、このように小さな体積のインク滴を吐出するための条件は、吐出されるインク滴の体積を微小化可能なタイミングで第１の膨張工程ｆを実行し、この第１の膨張工程ｆでの膨張期間Ｔ１をヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／４以下とすることが好ましい。
　【００９７】
　ここで、第３のホールド工程ｅの期間Ｔ２は、ヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下とすることが望ましい。具体的には、第３のホールド工程ｅの時間を３マイクロ秒以下、さらに好適には１マイクロ秒以下、すなわち、略零とする。これより安定して微小ドットを吐出することができる。
　【００９８】
　また、このように小さな体積のインク滴を吐出するための条件は、第１の収縮工程ｄの収縮速度及び変化量と、第１の膨張工程ｆの膨張速度及び変化量とに関係する。第１の収縮工程ｄの速度より第１の膨張工程ｆの速度の方が大きい方が好ましい。第１の膨張工程ｆの変化量は、第１の収縮工程ｄの変化量と同等又は小さくすればよい。
　【００９９】
　また、第１の膨張工程ｆの後は、第４のホールド工程ｇと、第１の収縮工程ｄより小さい変化量、すなわち、中間電圧ＶＭから最高電圧ＶＨまで変化させる第２の収縮工程ｈとを有する。これにより、インク滴吐出後のメニスカスの大きな振動の減衰を調整している（メニスカスの外縁部の後退を抑えている）。なお、このようにメニスカスの振動を抑える収縮工程は、図６に示すように、二段階の収縮、すなわち、第４のホールド工程ｇの後、ホールド工程ｌを介して第２の収縮工程ｈ及び第３の収縮工程ｍを実行するようにしてもよい。勿論、このような振動を抑える工程は必ずしも設ける必要はない。
　【０１００】
　以上の駆動信号によると、非常に小さな体積のインク滴が吐出でき、その体積は、第１の膨張工程ｆを実行するタイミング及びその変化量等で決定される。
　【０１０１】
　また、このような駆動方法は、駆動信号の波形の種類を制限するものではなく、図示した台形波形の他、矩形の波形などでもよい。また、図４（ｂ）に示したのは、本発明の第１の膨張工程ｆがない状態であっても比較的小さなインク滴を吐出することができる波形に採用したものであるが、勿論、このような駆動信号の種類にも限定されない。
　【０１０２】
（実施形態２）
　図７は、実施形態２にかかる駆動信号の波形である。
　【０１０３】
　実施形態２の駆動信号の波形は、実施形態１の駆動信号の波形（図４（ｂ））と比較して大きな体積のインク滴を吐出するための駆動信号であり、図７は、第１のホールド工程ａ１での圧力発生室２の収縮した状態が図４（ｂ）の場合と比較して小さいものである。従って、準備の膨張工程ｂ１でのノズル開口１３のメニスカスの引き込み量が図４（ｂ）の場合と比較して小さく、第１の収縮工程ｄで吐出されるインク滴の体積が図４（ｂ）の場合と比較してやや大きい。また、図８は、図４（ｂ）の第１のホールド工程ａ及び準備の膨張工程ｂを省略して、さらに大きなインク滴を吐出するものである。
　【０１０４】
　しかしながら、何れも、第１の収縮工程ｄの後、第３のホールド工程ｅを介して第１の膨張工程ｆを有するものであり、これにより、これを実行しない状態よりは小さな体積のインク滴を高速で吐出することができる。
　【０１０５】
（実施形態３）
　図９は、実施形態３にかかる駆動信号の波形である。
　【０１０６】
　図９に示すように、実施形態３の駆動信号の波形の一例は、実施形態１と同様、より少ないインク滴を吐出させるのに適した駆動波形であり、第１のホールド工程ａの前に、さらに、準備のホールド工程ａ０と準備の収縮工程ｄ０とを有する。詳しく説明すると、本実施形態の駆動信号は、下電極４と上電極６との間の電圧を、印字状態に入る前に０Ｖから第２中間電圧ＶＭ２、例えば、１５Ｖ程度にゆっくり立ち上げて維持して電界を印加して、圧力発生室２が最も収縮した状態と最も膨張した状態の略中間を保持する準備のホールド工程ａ０を有する。なお、この駆動信号は、この第２中間電圧ＶＭ２から始まり、後述するように印字中、必要に応じて所定の電圧を印加し、印字終了後に第２中間電圧ＶＭ２から０Ｖに電圧を下げる。
　【０１０７】
　次に、駆動波形は、両電極間の電圧を最高電圧ＶＨ、例えば、３０Ｖ程度に上げる準備の収縮工程ｄ０を経て、圧力発生室２が最も収縮した状態を保持する第１のホールド工程ａを有する。
　【０１０８】
　次いで、駆動波形は、両電極間の電圧を最低電圧ＶＬに下げて、ノズル開口１３のメニスカスを圧力発生室２側に最大限引き込むインク吐出の準備の膨張工程ｂを有する。続いて、この状態を保持してインク滴の吐出のタイミングを図る第２のホールド工程ｃと、両電極間の電圧を第１中間電圧ＶＭ１、例えば２５Ｖ程度に上げて、圧力発生室２を収縮させ、インク滴を吐出させる第１の収縮工程ｄ１とを有する。ここで、第１中間電圧ＶＭ１は、第２中間電圧ＶＭ２と最高電圧ＶＨの間の電圧である。
　【０１０９】
　そして、駆動波形は、その後、実施形態１と同様に、この第１の収縮工程ｄ１の直後に第３のホールド工程ｅを略零として、第１の膨張工程ｆを有する。これにより、第１の収縮工程ｄ１によってメニスカスの外縁部２０１ｂ（図５参照）は、第２の膨張工程ｈにより引き込まれ、中心部２０１ａだけが第２の膨張工程ｈに引き込まれることなくインク滴として吐出することになり、結果的に、径がノズル径よりも小さいインク滴を吐出させることができる。
　【０１１０】
　また、このように小さな体積のインク滴を吐出するための条件は、実施形態１で説明した通りである。なお、第１の膨張工程ｆの変化量は、第１の収縮工程ｄ１の変化量と同等又は小さくすればよいので、本実施形態では、第１の膨張工程ｆで、両電極間の電圧を第２中間電圧ＶＭ２と最低電圧ＶＬの間の第３中間電圧ＶＭ３、例えば５Ｖ程度に下げて、圧力発生室２を膨張させるようにした。
　【０１１１】
　さらに、本実施形態の駆動波形は、第１の膨張工程ｆの後に、第４のホールド工程ｇを略零として、第１の収縮工程ｄ１より変化量の小さい第２の収縮工程ｈを有する。本実施形態では、これにより、インク滴吐出後のメニスカスの大きな引き込みを防止し、これに続く振動を減衰している。第２の収縮工程ｈの収縮期間Ｔ３は、圧力発生室２のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／３以下で行うと効果が大きい。また、第１の収縮工程ｄ１が開始されてから第２の収縮工程ｈが開始されるまでの期間は、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃ以下であるのが好ましく、さらに好ましくは１／４から３／４の間である。
　【０１１２】
　第２の収縮工程ｈの後は、第５のホールド工程ｉと、第２の膨張工程ｊを有し、さらにインク滴吐出後のメニスカスの大きな振動を減衰している。第２の膨張工程ｊの膨張期間Ｔ４は、圧力発生室２のヘルムホルツ振動周期Ｔｃの１／２以下とするのが好ましい。また、第１の収縮工程ｄ１が開始された後、第２の膨張工程ｊが開始されるまでの期間は、前記圧力発生室のヘルムホルツ振動周期Ｔｃ以下であるのが好ましい。
　【０１１３】
　以上説明した駆動波形によっても、実施形態１と同様に、非常に小さな体積のインク滴が吐出できる。また、インク滴吐出後のメニスカスの大きな引き込みを防止し、これに続く振動を減衰することができる。
　【０１１４】
（実施形態４）
　図１０は、実施形態４に係る駆動信号の波形である。この場合は、実施形態３と比較して大きな体積のインク滴を吐出することができる。
　【０１１５】
　この駆動信号は、準備のホールド工程ａ０の後の準備の収縮工程ｄ０と第１のホールド工程ａを省略して、ノズル開口１３のメニスカスを圧力発生室２側に引き込むインク吐出の準備の膨張工程ｂ１を実行する。準備の膨張工程ｂ１の引き込み量は実施形態３の場合よりも小さくなり、第２のホールド工程ｃ１の後、第１の収縮工程ｄ２によってインク滴が吐出される。以後の工程は実施形態３と同様であり、第１の膨張工程ｆの後に、保持期間が略零の第４のホールド工程ｇ及び第１の収縮工程ｄ２より変化量の小さい第２の収縮工程ｈを有する。
　【０１１６】
　この実施形態でも、比較的小さな体積のインク滴を高速で吐出することができると共に、インク吐出後の大きなメニスカスの振動を防止することができることにかわりはない。
　【０１１７】
（実施形態５）
　図１１は、実施形態５に係る駆動信号の波形である。
　【０１１８】
　この駆動波形は、第４のホールド工程ｇまでは実施形態３と同様であるが、第２の収縮工程ｈ１の後の第５のホールド工程ｉと第２の膨張工程ｊを省略したものである。
　【０１１９】
　この実施形態では、比較的小さな体積のインク滴を高速で吐出することができると共に、インク吐出後のメニスカスの引き込みを抑えることができる。なお、本実施形態は、実施形態３に比べ駆動波形のカーブが少なく、始点から終点までの時間も短いが、インク粘度が高い場合には、この波形で振動抑えも十分である。
　【０１２０】
（実施形態６）
　図１２は、実施形態６に係る駆動信号の波形である。
　【０１２１】
　この駆動波形は、実施形態３における準備の収縮工程ｄ０、第１のホールド工程ａ、第２の収縮工程ｈ２の後の第５のホールド工程ｉ及び、第２の膨張工程ｊを省略し、さらに第３のホールド工程ｅ１における電圧を小さくすることにより、第１の収縮工程ｄ２での圧力発生室２の収縮量を実施形態３よりも小さくしたものである。
　【０１２２】
　この実施形態では、圧電素子の両電極間に印加する最大電圧が、前述の第２中間電圧ＶＭ２に設定されているため、両電極間に印加する電圧を、前述の最高電圧ＶＨまで上げる必要がなくなるという利点を有する。
　【０１２３】
（実施形態７）
　図１３は、実施形態７に係る駆動信号の波形である。
　【０１２４】
　この駆動波形は、実施形態３における準備の収縮工程ｄ０と第１のホールド工程ａを省略し、さらに第１の収縮工程ｄ３の後の第３のホールド工程ｅ２における電圧を小さくすることにより、第１の膨張工程ｆ２での圧力発生室２の膨張量を実施形態３よりも小さくしたものである。
　【０１２５】
　この実施形態では、第２の収縮工程ｈ３の後の第５のホールド工程ｉの保持電圧が、第１の収縮工程ｄ３の後の第３のホールド工程ｅ２での保持電圧より大きいため、より強い振動抑制効果が得られる。
　【０１２６】
（実施形態８）
　図１４は、実施形態８に係る駆動信号の波形である。
　【０１２７】
　この駆動波形は、実施形態３における準備の収縮工程ｄ０、第１のホールド工程ａ、準備の膨張工程ｂ、第２のホールド工程ｃを省略し、さらに第４のホールド工程ｇ１において両電極間に印加する電圧を第２中間電圧ＶＭ２より大きい第４中間電圧ＶＭ４と大きくすることにより、第１の膨張工程ｆ３での圧力発生室２の膨張量を実施形態３よりも小さくしたものである。
　【０１２８】
　また、第２の収縮工程ｈ４の後の第５のホールド工程ｉの保持電圧を第４中間電圧ＶＭ４より大きいが、第１中間電圧ＶＭ１より小さい第５中間電圧ＶＭ５としたものである。
　【０１２９】
　この実施形態では、最低電圧が上述した第２中間電圧ＶＭ２に設定されているため、吐出されるインク滴は、上述の実施形態よりも大きくなるが、サテライトインク滴が小さいという利点を有する。
　【０１３０】
（他の実施形態）
　以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の駆動方法を実現できるインクジェット式記録ヘッドの構成は、特に限定されるものではない。例えば、セラミック基板の代わりに、シリコン基板に薄膜プロセスで圧電アクチュエータを形成すると共に異方性エッチングにより圧力発生室を形成したインクジェット式記録ヘッドにも適用できるし、また、ノズル開口の位置、リザーバの位置などのインク供給の構造なども特に限定されない。また、たわみ変形型圧電アクチュエータによるインクジェット式記録ヘッドに限定されず、縦変位型インクジェット式記録ヘッドの駆動にも適用できる。
　【０１３１】
　図１５には、縦振動型圧電アクチュエータを有するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す。図示するように、スペーサ２１には、圧力発生室２２が形成され、スペーサ２１の両側は、ノズル開口２３を有するノズルプレート２４と、弾性板２５とにより封止されている。また、スペーサ２１には、圧力発生室２２にインク供給口２６を介して連通するリザーバ２７が形成されており、リザーバ２７には、図示しないインクタンクが接続される。
　【０１３２】
　一方、弾性板２５の圧力発生室２２とは反対側には、圧電素子２８の先端が当接している。圧電素子２８は、圧電材料２９と、電極形成材料３０及び３１とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層構造になるように構成され、振動に寄与しない不活性領域が固定基板３２に固着されている。なお、固定基板３２と、弾性板２５、スペーサ２１及びノズルプレート２４とは、基台３３を介して一体的に固定されている。
　【０１３３】
　このように構成されたインクジェット式記録ヘッドは、圧電素子２８の電極形成材料３０及び３１に電圧が印加されると、圧電素子２８がノズルプレート２４側に伸張するから、弾性板２５が変位し、圧力発生室２２の容積が圧縮される。従って、例えば、予め電圧を除去した状態から電圧を３０Ｖ程度印加し、その電圧を下げることによって圧電素子２８を収縮させてインクをリザーバ２７からインク供給口２６を介して圧力発生室２２に流れ込ませることができる。また、その後、電圧を印加することにより、圧電素子２８を伸張させて弾性板２５により圧力発生室２２を収縮させ、ノズル開口２３からインク滴を吐出させることができる。
　【０１３４】
　よって、かかるインクジェット式記録ヘッドを駆動する場合でも、上述した駆動方法を用いることにより、速度を低下させることなく、比較的小さな体積のインク滴を吐出することができる。
　【０１３５】
　また、以上説明したインクジェット式記録ヘッドでは、電圧を印加することにより、圧力発生室を収縮させるものを例示したが、電圧を印加することにより、圧力発生室を膨張させるインクジェット式記録ヘッドの駆動方法にも本発明の駆動方法を適用することができる。
　【０１３６】
　このような構造のインクジェット式記録ヘッドの一例を図１６に示す。図１６のインクジェット式記録ヘッドは、図１５の圧電素子２８の代わりに圧電素子２８Ａを有する以外は同様な構造を有する。圧電素子２８Ａは、圧電体材料２９Ａの中に電極形成材料３０Ａ及び３１Ａを交互に縦に配置して積層したものである。従って、両電極型性材料３０Ａ及び３１Ａに電圧を印加すると圧電素子２８Ａが収縮して圧力発生室２２が膨張し、この状態から電圧の印加を解除すると圧力発生室２２が収縮し、ノズル開口２３からインク滴を吐出させることができる。上述した駆動方法の収縮及び膨張の際の電圧の印加及び解除を逆に行うことにより、同様な駆動方法を実施できる。
　【０１３７】
　図１７〜図２５には、かかるインクジェット式記録ヘッドでの駆動信号の例を示す。図１７〜図２５の各駆動信号は、図４（ｂ）及び図７〜図１４の各駆動信号に対応し、同様の作用を有する工程には同じ符号を付して説明は省略する。この場合に異なるのは、例えば、準備の膨張工程ｄ０及び第１の膨張工程ｆでは、上述した場合と異なって電圧を印加し、逆に、例えば、第１の収縮工程ｄでは、電圧の印加を解除するという点であり、作用効果は上述した場合と同様である。
　【０１３８】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明においては、圧力発生室を収縮させてノズル開口からインクを吐出させる第１の収縮工程と、吐出されたインクの後端部のノズル開口近傍での速度が略零になるまでに圧力発生室を膨張させる第１の膨張工程とを有することにより、第１の収縮工程での圧力発生室の収縮により吐出されはじめたインク滴が吐出され終わらないうちに、圧力発生室の膨張が開始され、それまでに吐出されかけたインク滴のみが吐出される。したがって、インク滴の飛行速度を低下させることなく、インク滴を構成するインク量を可及的に少なくしてグラフィック印刷に適したドットを形成することができ、また、大きな体積のインク滴も容易に吐出することができるという効果を奏する。
　【０１３９】
　また、第１の膨張工程の後に、再び圧力発生室を収縮させる第２の収縮工程を具備するようにすれば、インク滴吐出後のメニスカスの振動を抑えて次のインク吐出に備えることができ高速安定印刷を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示すブロック図である。
　【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの回路構成を示す回路図である。
　【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
　【図４】本発明の実施形態１に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図５】ノズル開口から吐出されるインク滴の形状を示す図である。
　【図６】本発明の実施形態１に係る駆動信号の波形の他の例を示す図である。
　【図７】本発明の実施形態２に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図８】本発明の実施形態２に係る駆動信号の波形の変形例を示す図である。
　【図９】本発明の実施形態３に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１０】本発明の実施形態４に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１１】本発明の実施形態５に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１２】本発明の実施形態６に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１３】本発明の実施形態７に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１４】本発明の実施形態８に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１５】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの例を示す断面図である。
　【図１６】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの例を示す断面図である。
　【図１７】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１８】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図１９】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２０】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２１】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２２】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２３】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２４】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【図２５】本発明の他の実施形態に係る駆動信号の波形の一例を示す図である。
　【符号の説明】
　１　スペーサ
　２　圧力発生室
　３　弾性板
　５　圧電体層
　７　インク供給口形成基板
　１１　リザーバ
　１３　ノズル開口