【手続補正書】
【提出日】平成22年9月7日(2010.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学反応物原料容器であって、
入口及び出口を含み、固体又は液体化学反応物を収容するようになっている内部チャンバを画定する容器本体であって、前記チャンバは、前記化学反応物を収容するように構成される迂曲経路を含み、該迂曲経路は、前記入口から前記出口まで延びる、容器本体と、
前記容器本体内にあり、該容器本体の外側から前記チャンバまで延びる通路と、
前記容器本体の表面に直接取り付けられ、前記通路を通る流れを調整するように構成される弁と、
を備える、化学反応物原料容器。
【請求項２】
前記弁は、該弁と前記容器本体の前記表面との間で配管を用いずに前記容器本体の前記表面に接続される、請求項１に記載の容器。
【請求項３】
前記弁は、前記容器本体と少なくとも部分的に一体形成される、請求項１に記載の容器。
【請求項４】
前記弁は、
前記容器本体に備え付けられるか又は該容器本体と一体形成される弁ポーティングブロックであって、弁座を画定し、前記通路を画定して前記弁座と流体連通する内部ガス流導管を含む、弁ポーティングブロックと、
前記弁座を通るガス流を遮断するようになっている可動フローリストリクタと、
を備える、請求項１に記載の容器。
【請求項５】
前記容器本体は、
コンテナ本体と、
前記コンテナ本体と係合して該コンテナ本体との間に前記チャンバを画定するようになっており、前記通路が内部にあり、前記弁が直接取り付けられる容器蓋と、
を備える、請求項１に記載の容器。
【請求項６】
前記チャンバ内に蛇行インサートをさらに備え、該蛇行インサートは、前記迂曲経路を画定する、請求項１に記載の容器。
【請求項７】
前記チャンバ内にトレーのスタックをさらに備え、該トレーは、前記迂曲経路の少なくとも一部を含む螺旋状ガス流路を共同で画定する、請求項１に記載の容器。
【請求項８】
前記迂曲経路は、前記コンテナ本体又は前記容器蓋に加工される、請求項１に記載の容器。
【請求項９】
基板の蒸気処理のための気相反応器のガス送出システムであって、
基板を処理する気相反応チャンバと、
固体又は液体化学反応物を収容するようになっている容器と、
前記容器の概ね平坦な表面に接続される入口弁と、
前記容器の前記概ね平坦な表面に接続される出口弁と、
前記入口弁から前記出口弁まで前記容器を通るガス流路であって、前記容器内に収容されている固体又は液体化学反応物と接触するようにガスを搬送するように構成されるガス流路と、
前記出口弁の下流に少なくとも１つの弁を含み、前記出口弁と前記反応チャンバとの間に流体的に介装される複数のガスパネル弁と、
を備え、前記ガスパネル弁は、前記容器の前記平坦な表面と概ね平行な平面に沿ってそれぞれが位置決めされ、該平面は、前記容器の前記平坦な表面からの距離が約１０．０ｃｍ以下である、基板の蒸気処理のための気相反応器のガス送出システム。
【請求項１０】
前記容器の前記平坦な表面に接続されて前記平面に沿って位置決めされ、前記ガス流路と流体連通するベント弁と、
前記反応チャンバの下流の蒸気排出部品と、
ガス流を前記ガスパネル弁にも前記反応チャンバにも流さずに前記ベント弁から前記排出部品に送出する１つ又は複数の導管と、
をさらに備える、請求項９に記載のガス送出システム。
【請求項１１】
化学反応物原料容器であって、
固体又は液体化学反応物を収容するようになっている内部チャンバを画定するコンテナであって、該コンテナの壁が該コンテナの外側から前記チャンバまで延びる通路を有する、コンテナと、
前記壁に取り付けられ、前記通路を通して前記チャンバに出入りするガス流を調整するようになっている弁と、
前記壁にあり、粒子状物質が前記通路を通って流れるのを防止するようになっているフィルタと、
を備える、化学反応物原料容器。
【請求項１２】
前記弁は、前記壁と少なくとも部分的に一体形成される、請求項１１に記載の容器。
【請求項１３】
前記コンテナは、コンテナ本体、及び該コンテナ本体との間に前記チャンバを画定するように前記本体と係合するようになっている蓋を含み、前記壁は、該蓋の一部を含む、請求項１１に記載の容器。
【請求項１４】
前記蓋の内面が、前記フィルタを受け入れる凹部を含み、前記通路は、該凹部内で終端する一端及び前記弁と流体連通する別端を有し、前記フィルタは、
内側に開口を画定する内側環状壁を有し、前記凹部内に位置決めされるフランジと、
前記フランジの前記開口を実質的に満たすフィルタ材料と、
を備え、前記チャンバ内のガスが、前記フィルタ材料及び前記フランジの前記開口を通って流れなければ前記通路を通って流れることができない、請求項１３に記載の容器。
【請求項１５】
基板の蒸気処理のための気相反応器のガス送出システムであって、
基板を処理する気相反応チャンバと、
固体又は液体化学反応物を収容するようになっている容器と、
前記容器に接続される出口弁と、
前記出口弁から前記反応チャンバに反応物ガス流を送出するガス送出システムと、
前記反応チャンバの下流の蒸気排出部品と、
前記容器に接続されるベント弁と、
ガス流を前記ガス送出システムにも前記反応チャンバにも流さずに前記ベント弁から前記排出部品に送出する１つ又は複数の導管と、
を備える、基板の蒸気処理のための気相反応器のガス送出システム。
【請求項１６】
前記ベント弁は、前記容器の壁に直接接続される、請求項１５に記載のガス送出システム。
【請求項１７】
前記容器の前記壁は、該容器の外部から該容器の内部チャンバまで延びる通路を有し、該内部チャンバは、前記固体又は液体化学反応物を収容するように構成され、前記ベント弁は、前記通路を通るガス流を調整するように構成され、前記システムは、前記壁にフィルタをさらに備え、該フィルタは、粒子状物質が前記通路を通って流れるのを防止するようになっている、請求項１５に記載のガス送出システム。
【請求項１８】
化学反応物原料容器を基板の蒸気処理のための気相反応器のガスインタフェースアセンブリに接続する装置であって、
固体又は液体化学反応物を収容するようになっているチャンバを有し、該チャンバと流体連通する入口及び出口を含む容器と、
気相反応器のガスインタフェースアセンブリであって、前記容器チャンバの前記出口に接続するようになっているガス入口を有するガスインタフェースアセンブリと、
前記容器を前記ガスインタフェースアセンブリに接続する接続アセンブリであって、
前記容器の１つ又は複数のトラック係合部材と可動係合するようになっている１つ又は複数の細長いトラックを含むトラック部品、及び
前記トラック部品を下降位置と上昇位置との間で鉛直方向に移動させるように構成されるリフトアセンブリ
を備える、接続アセンブリと、
を備え、
前記容器の前記１つ又は複数のトラック係合部材が前記トラック部品の前記１つ又は複数のトラックと係合して、前記リフトアセンブリが前記トラック部品を前記上昇位置に移動させると、前記容器の前記出口は、前記ガスインタフェースアセンブリの前記ガス入口と実質的に直接流体連通するように位置決めされる、化学反応物原料容器を基板の蒸気処理のための気相反応器のガスインタフェースアセンブリに接続する装置。
【請求項１９】
前記１つ又は複数のトラック係合部材は、整列したローラを備え、前記１つ又は複数のトラックは、前記ローラを受け入れるように構成される、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記１つ又は複数のトラック係合部材は、舌部を備え、前記１つ又は複数のトラックは、前記舌部を摺動可能に受け入れるように構成される、請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】
前記ガスインタフェースアセンブリは、前記容器と、該容器及び前記ガスインタフェースアセンブリの複数の弁とを加熱するようになっているヒータプレートを含む、請求項１８に記載の装置。
【請求項２２】
前記容器の前記入口を通るガス流を調整するようになっている入口弁と、
前記容器の前記出口を通るガス流を調整するようになっている出口弁と、
をさらに備え、前記入口弁及び前記出口弁は、前記容器の表面に直接取り付けられる、請求項１８に記載の装置。
【請求項２３】
前記入口弁及び前記出口弁は、前記容器と少なくとも部分的に一体形成される、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記容器は、コンテナ本体と、該コンテナ本体と係合して該コンテナ本体との間に前記チャンバを画定するようになっている蓋とを備え、前記容器の前記入口及び前記容器の前記出口は、前記蓋に画定され、前記入口弁及び前記出口弁は、前記蓋に取り付けられる、請求項２２に記載の装置。