【事件の表示】
　特願２０１４−　　２００３「ベルヌーイハンド及び半導体製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　９月１８日出願公開、特開２０１４−１７０９２３、請求項の数（３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は，平成２６年１月８日の出願（国内優先権主張　平成２５年２月５日，以下，「本願優先日」という。）であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２９年　６月１４日　拒絶理由通知
平成２９年　８月　８日　意見書・手続補正
平成２９年　８月２３日　拒絶査定（以下，「原査定」という。）
平成２９年１１月２９日　審判請求・手続補正
平成３０年　９月１２日　拒絶理由通知（以下，「当審拒絶理由」という。）
平成３０年１１月１６日　意見書・手続補正（以下，「当審補正」という。）
　
第２　原査定の概要
　原査定の概要は次のとおりである。
　本願請求項１−３に係る発明は，以下の引用文献３及び４に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
３．特開２００４−１４００５８号公報
４．特表２００５−５３６８８９号公報
　
第３　当審拒絶理由の概要
　当審拒絶理由の概要は次のとおりである。
　本願請求項１−３に係る発明は，以下の引用文献１及び２に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，本願優先日前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞ 
１．特開２００９−１７７０３２号公報 
２．特開２０１１−１９９２２９号公報 
第４　本願発明
　本願の請求項１ないし３に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明３」という。）は，当審補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定される次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】
　a) 円板状のワークの中心を覆うように形成された保持面を有する平板状の本体と，
　b) 前記保持面に設けられたベルヌーイ吸着部と，
　c) 前記保持面上であって，前記ワークを前記ベルヌーイ吸着部で上方から吸着したときに該ワークの周縁の少なくとも３点において該周縁に当接するような位置に設けられた，前記保持面から前記ワークに向かって外方に傾斜する形状を有する複数の傾斜部であって，少なくとも１つが前記保持面に固定された固定傾斜部である，複数の傾斜部と，
　d) 前記ベルヌーイ吸着部によって前記ワークを吸着した状態で，前記複数の傾斜部のうちの，前記固定傾斜部以外の少なくとも１つの傾斜部を，前記固定傾斜部に近接する方向又は離間する方向に移動させる傾斜部移動機構と
　を備えることを特徴とするベルヌーイハンド。
【請求項２】
　前記傾斜部が滑らかに傾斜する形状を有することを特徴とする請求項１に記載のベルヌーイハンド。
【請求項３】
　請求項１または２に記載のベルヌーイハンドと，
　e) 前記ベルヌーイハンドの前記保持面を下側に向けて前記ワークの中心を上から覆うように該ワークを保持させるハンド移動機構と
　を備えた半導体製造装置。」
　
第５　引用文献及び引用発明
１　引用文献１について
（１）引用文献１
　当審拒絶理由に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審で付加した。以下同じ。）
「【０００１】
　本発明は，半導体ウェーハなどのウェーハの搬送装置および加工装置に関する。」
「【００２８】
［３］搬送装置
　次に，図２および図３を参照して，本発明に係る本実施形態の
搬送装置６０
　搬送装置６０は，チャックテーブル２０側に面した側面６１ａが鉛直面であるボード６１を備えている。ボード６１の側面６１ａには，Ｙ軸方向に延びる一対の平行なガイドレール６２が固定されており，このガイドレール６２にスライダ６３が摺動自在に取り付けられている。
このスライダ６３は，モータ６４でボールねじ６５を作動させる搬送機構６６によってＹ軸方向に移動させられる。
【００２９】
　
スライダ６３の中心には，スライダ６３からＸ方向手前側に延び，先端がＺ方向下方に屈曲しているＬ字状のアーム６７が固定されている。このアーム６７の先端には，リフタ６８が昇降可能に装着されている。このリフタ６８の下端には，搬送パッド７０が設けられている。
【００３０】
　図３は，搬送パッド７０を示す図であり，（ａ）は斜視図，（ｂ）は搬送パッド７０にウェーハ１を保持する様子を示す図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図３に示すように，
搬送パッド７０は，円盤状のベース７１と，ベース７１の下面側にウェーハ１を吸引する複数（図では３つ）の非接触吸引保持手段７２と，
非接触吸引保持手段７２は，ベース７１の中心の周囲に，周方向に等間隔をおいて配設されている。
ウェーハ１は，非接触吸引保持手段７２の下面に発生する負圧によって非接触吸引保持手段７２に吸引される。
「【００３８】
［４］他の実施形態
　上記実施形態の搬送装置６０では，ウェーハ１の垂直方向および水平方向の移動を規制する手段を別個に設けていたが，ウェーハ１の，垂直方向および水平方向の移動を規制する手段を一体に形成してもよい。この形態について図４を参照して説明する。なお，上記
実施形態の搬送装置６０と同一構成要素には同一の符合を付しており
【００３９】
　図４は，搬送パッド８０を示す図であり，（ａ）は斜視図，（ｂ）は搬送パッド８０が備える支持パッド８２の側面図，（ｃ）は搬送パッド８０にウェーハ１を保持する様子を示す図４（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図４に示すように，
搬送パッド８０は，ベース８１と，ウェーハ１を吸引する複数（図では３つ）の非接触吸引保持手段７２と，非接触吸引保持手段７２に保持されたウェーハ１の移動を規制する移動規制パッド８２とから構成されている。
【００４０】
　ベース８１には，上記実施形態と同様に
複数（図では６つ）の移動規制パッド取付孔８１ａが周方向等間隔に形成されている。
移動規制パッド８２は，ボルト８３を介して移動規制パッド取付孔８１ａに沿って移動自在とされており，ボルト８３を締結することで移動規制パッド取付孔８１ａの任意の位置に固定される。移動規制パッド８１の取り付け位置は，ウェーハ１の径に合わせて適宜調整される。移動規制パッド８２の一側面８２ｂには，ウェーハ１表面１ａを接触させる垂直方向接触面８５
が形成されている。
水平面と垂直方向接触面８５がなす角θ２が２．５〜５度，
設定される。
（２）引用発明
　前記（１）より，引用文献１には次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「アームの先端に設けられた搬送パッドであって，
　搬送パッドは，円盤状のベースと，ベースの下側面にウェーハを吸引する３つの非接触吸引保持手段と，非接触吸引保持手段に保持されたウェーハの移動を規制する移動規制パッドとから構成され，
　移動規制パッドは，６つの移動規制パッド取付孔に沿って移動自在とされており，ボルトを締結することで移動規制パッド取付孔の任意の位置に固定され，移動規制パッドにはウェーハ表面を接触させる垂直方向接触面が形成され，水平面と垂直方向接触面がなす角が２．５〜５度に設定されたもの。」
　
２　引用文献２の記載
　当審拒絶理由に引用された引用文献２には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【技術分野】
【０００１】
　この発明は，ウエハ保持装置に関し，特に，半導体ウエハを把持するウエハ保持装置に関する。」
「【００２４】
　図１に示すように，
ウエハ保持装置１００は
スライドアーム３０とを備えている。このスライドアーム３０は，図２および図３に示すように，ウエハ１２０（１３０）の直径（ｄ１またはｄ２）の大きさに応じて，前方ウエハ把持部２２に近づく前方向（矢印Ｙ１方向，図３参照）および前方ウエハ把持部２２から離間する後ろ方向（矢印Ｙ２方向，図２参照）にスライド可能に構成されている。
「【００３５】
　また，図１に示すように，前方ウエハ支持部２３は，ウエハ１２０（１３０）の外周部の下側角部と摺動可能に当接して，ウエハ１２０（１３０）を支持することが可能な傾斜した支持面を有するように構成されている。」
「【００４３】
　また，
スライドアーム３０の把持アーム部３１には，一対の後方ウエハ載置部４０が設けられている。一対の後方ウエハ載置部４０は，スライドアーム３０のスライド移動に伴って，前後方向（Ｙ方向）に移動するように構成されている。一対の後方ウエハ載置部４０は，
前方ウエハ載置部２１と対向するように水平面に対して所定の角度で傾斜した後方ウエハ支持部４１を有している。
「【００７６】
　また，上記一実施形態では，ウエハ保持装置１００を，異なる直径を有する２種類のウエハ１２０および１３０を把持可能に構成した例を示したが，本発明はこれに限られない。本発明では，ウエハ保持装置を，異なる直径を有する３種類以上の半導体ウエハを把持可能なように構成してもよい。
【００７７】
　また，上記一実施形態では，
スライドアーム３０を前後方向（Ｙ方向）にスライド移動させる際に，使用者がスライドアーム３０をスライド移動させるように構成した例を示したが，本発明はこれに限られない。本発明では，スライドアームを前後方向にスライド移動させるために，エアシリンダやリニアモータなどのアクチュエータを用いてもよい。
【００７８】
　また，上記一実施形態では，
スライドアーム３０を前方位置Ｐまたは後方位置Ｑに配置した場合に，ネジ部材３６を用いてスライドアーム３０を固定するように構成した例を示したが，本発明はこれに限られない。本発明では，スライドアームを半導体ウエハの直径に対応した所定のスライド位置（前方位置および後方位置）に配置した際に，機械式，空圧式または電磁式のロック機構などによってスライドアームを固定するように構成してもよい。
３　引用文献３の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，ウエハ搬送装置およびウエハ処理装置に関し，詳しくは，検査ステージ等のウエハ処理ステージに対してウエハのアライメントを行うステージ等を特別に設けなくても，
ウエハの位置決めができるようなウエハ搬送装置
「【０００８】
【実施例】
図１は，この発明のウエハ搬送装置の一実施例の斜視図であり，図２は，そのウエハ保持ハンドの説明図，図３は，非接触吸引ヘッドの説明図，図４は，そのＶノッチ位置決め機構の各位置決め部材の説明図，そして図５は，図１に示すウエハ搬送装置を用いたミニエンシステムのウエハ検査装置の説明図である。
なお，各図において，同一の構成要素は同一の符号で示し，重複説明を割愛する。
図１において，１０は，
ウエハ搬送装置であって，ウエハをカセットから検査ステージへあるいはその逆にハンドリングするハンドリングアーム２を有している
ハンドリングアーム２は，ウエハ保持ハンド２０を先端側に有し
ウエハ保持ハンド２０は，ウエハ１（図２参照）を吸引して非接触状態で保持する。これは，厚さ５ｍｍ程度のＹ字型の板状部材であって，
チャック部２１と，チャック部２１に結合する３本のエアー供給管２３ａ，２３ｂ，２３ｃとを有している。
【０００９】
チャック部２１には，図２に示すように，ウエハ中心位置決め機構３と３個の非接触吸引ヘッド２２とが設けられている。
チャック部２１の３個の非接触吸引ヘッド２２は，図２においては，Ｙ字型の分かれ目の位置と先端側とに分散して配置され，
なお，ウエハ搬送装置１０には，ハンドリングアーム２を回動させるためにモータ等による回転機構７が設けられているが，これは，ウエハを回転させる機構ではなく，その回転摺動部は，露出せずにカバーされていて，例えば，装置内部にダウンフローのエアーが流されることにより，回転摺動部からはほとんど塵埃，金属粒子等がウエハ１側には飛散しない構造になっている。
【００１０】
ウエハ中心位置決め機構３は，ウエハ１の円周の３点に対応して，Ｙ字型の先端側の位置に固定ピン台座３１，３２が設けられ，Ｙ字型の分かれ目の位置に設けられた非接触吸引ヘッド２２の近傍に角度検出押圧ピン台座３３が設けられている。
これにより，角度検出押圧ピン台座３３は，固定ピン台座３１，３２と対向する位置に配置され，ウエハ１の中心方向に移動する
「【００１５】
図４は，ウエハ中心位置決め機構３の説明図であって，図４（ａ）は，角度検出押圧ピン台座３３と，押圧ピン３３ａ，ノッチ検出ピン３３ｂの説明図である。
角度検出押圧ピン台座３３の押圧ピン３３ａの根本には，下向きに傾斜した面３５を有する突出部３３ｅが設けられていて，ウエハ１の浮上吸引が停止したときには，突出部３３ｅの傾斜面３５にウエハ１のエッジが当接されてウエハ１が保持される。
図４（ｂ）は，固定ピン台座３１，３２と固定ピン３１ａ（３２ａ）の説明図である。
固定ピン台座３１，３２は，同一構造をしていて，それぞれ固定ピン３１ａ（３２ａ）の根本には，下向きに傾斜した面３４を有する突出部３１ｂ（３２ｂ）が設けられている。ウエハ１の浮上吸引が停止したときには，この突出部３１ｂ（３２ｂ）の傾斜面３４にウエハ１のエッジが当接されてウエハ１が保持される。
４　引用文献４の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【００１５】
　図６〜１１は，本発明の特徴を有する実施の形態に係るエンドイフェクタ１００を示す図である。図示した実施の形態に係るエンドイフェクタ１００は，ベルヌーイ型のエンドイフェクタである。図６に示したように，
エンドイフェクタ１００は，上プレート１３２及び下プレート１３０を含む細長いアーム部１０４と，ほぼディスク形をしたヘッド部１０８とで構成されている。
ウェーハの処理環境内で半導体ウェーハを搬送するために，エンドイフェクタ１００を所定の手順で移動させる
　
第６　対比及び判断
１　本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明との対比
　ア　引用発明の「円盤状のベース」は，「ベースの下側面にウェーハを吸引する」もので「ウェーハ」は「平板状のワーク」といえるから，本願発明１の「円板状のワークの中心を覆うように形成された保持面を有する平板状の本体」に相当する。
　イ　引用発明の「ベースの下側面にウェーハを吸引する３つの非接触吸引保持手段」は，本願発明１の「前記保持面に設けられたベルヌーイ吸着部」に相当する。
　ウ　引用発明の「移動規制パッド」は「６つの移動規制パッド取付孔に沿って移動自在とされており」，「ウェーハ表面を接触させる垂直方向接触面が形成され，水平面と垂直方向接触面がなす角が２．５〜５度に設定されたもの」であるから，本願発明１の「前記保持面上であって，前記ワークを前記ベルヌーイ吸着部で上方から吸着したときに該ワークの周縁の少なくとも３点において該周縁に当接するような位置に設けられた，前記保持面から前記ワークに向かって外方に傾斜する形状を有する複数の傾斜部である」「複数の傾斜部」に相当する。
　エ　引用発明は「アームの先端に設けられた搬送パッド」であり「ウェーハを吸引」するから，本願発明１の「ベルヌーイハンド」に相当する。
　オ　すると，本願発明１と引用発明とは，下記カの点で一致し，下記クの点で相違する。
　カ　一致点
「a) 円板状のワークの中心を覆うように形成された保持面を有する平板状の本体と，
　b) 前記保持面に設けられたベルヌーイ吸着部と，
　c) 前記保持面上であって，前記ワークを前記ベルヌーイ吸着部で上方から吸着したときに該ワークの周縁の少なくとも３点において該周縁に当接するような位置に設けられた，前記保持面から前記ワークに向かって外方に傾斜する形状を有する複数の傾斜部である複数の傾斜部と，
　を備えることを特徴とするベルヌーイハンド。」
　キ　相違点
（ア）相違点１
　本願発明１では「複数の傾斜部」が「少なくとも１つが前記保持面に固定された固定傾斜部である」のに対し，引用発明では「搬送パッド」は「６つの移動規制パッド取付孔に沿って移動自在とされており」「固定された固定傾斜部」が無い点。
（イ）相違点２
　本願発明１では「前記ベルヌーイ吸着部によって前記ワークを吸着した状態で，前記複数の傾斜部のうちの，前記固定傾斜部以外の少なくとも１つの傾斜部を，前記固定傾斜部に近接する方向又は離間する方向に移動させる傾斜部移動機構」を備えるのに対し，引用発明ではこの「傾斜部移動機構」を備えない点。
（２）判断
　ア　相違点２について検討する。
　相違点２に係る構成について，何れの引用文献にも記載も示唆もない。
　引用発明では「移動規制パッド」は「移動自在とされて」いるが，これは「移動規制パッドの取付位置は，ウェーハの径に合わせて適宜調整される」（前記第５の１（１）【００４０】）ためであり，すなわち，ウェーハの径が変わったときだけそれに合わせて「適宜調整」するために「移動自在とされて」いるのであるから，ウェーハの径が変わらないのに「ウェーハ」すなわち「ワーク」を「吸着した状態で」傾斜部を移動させるようにする動機づけがない。
　イ　本願発明１は，相違点２に係る構成を有することにより，「傾斜部４１の位置を調整することにより，本体１０の保持面と半導体基板６０の上面の間の距離を調整することができる。これにより，前述した圧力差（ベルヌーイ効果により生じる負圧と大気圧の差）や半導体基板の重量等を考慮して，前記距離を，半導体基板６０を安定的に保持するために最適なものにすることができる」（本願明細書段落００２３）という格別の有利な効果を奏する。
　ウ　したがって，他の相違点について検討するまでもなく，本願発明１は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（３）まとめ
　よって，本願発明１は，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
２　本願発明２及び３について
　本願発明２及び３は，本願発明１を引用するものであり，本願発明１の発明特定事項をすべて備え，さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから，前記１と同様の理由により，引用文献１ないし４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　
第７　原査定についての判断
　前記第６のとおり，本願発明１ないし３は，引用文献３及び４に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明できたものではない。したがって，原査定を維持することはできない。
　
第８　むすび
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。