【手続補正書】
【提出日】平成22年10月1日(2010.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸を規定する円筒面セグメントを含むクレードルであって、前記円筒面セグメントは、基板の前面上のマイクレンズアレイが軸に面するように基板の裏面上に層を保持するべく構成される、クレードルと、
走査ミラーと、
パルスレーザビームを走査ミラーに衝突させるように構成されるパルスレーザであって、前記走査ミラーが、該ミラーに衝突するパルスレーザビームを、基板の前面のマイクロレンズアレイを通過して基板の裏面上の層へと至ることにより開口を形成するように、軸から円筒面セグメントに沿って周方向に走査するべく、クレードルに対して方向付けられる、パルスレーザと、
前記円筒面セグメントに沿って周方向に走査されるパルスレーザビームを軸方向に並進させるためにクレードル及び／又は走査ミラーを互いに対して軸方向に直線的に並進させるように構成されるリニアトランスレータと
を備える、前面にマイクロレンズアレイを含む基板の裏面上の層に開口を形成する装置。
【請求項２】
前記走査ミラーは、前記円筒面セグメントの軸と平行な回転軸を中心に回転するように構成される回転ポリゴンミラーを備える請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記回転ポリゴンミラーは、パルスレーザビームが円筒面セグメントの軸でミラーの多角形面と衝突するように前記円筒面セグメントの軸に対して位置決めされる請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記走査ミラーは、前記パルスレーザビームを軸から前記円筒面セグメントに沿って周方向に且つ円筒面セグメントに対して垂直に走査するようにクレードルに対して方向付けられる請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記走査ミラーは、パルスレーザビームを、約０．０１°未満の円筒面セグメントに対する垂線からの偏位を伴って、軸から円筒面セグメントに沿って周方向に走査するように、クレードルに対して方向付けられる請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記パルスレーザからのパルスレーザビームを回転ポリゴンミラーに衝突させるように構成される可動ミラーを更に備え、前記可動ミラーは、前記回転ポリゴンミラー及び／又は回転軸を中心とする回転ポリゴンミラーの回転における不完全性を少なくとも部分的に補償するように構成される請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記可動ミラーが高速操向ミラーを備える請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記リニアトランスレータは、前記走査ミラーをクレードルに対して軸方向に並進させるように構成されるスクリュードライブを備える請求項１に記載の装置。
【請求項９】
円筒面セグメントは、
穿孔を含む硬質支持層と、
前記硬質支持層と軸との間にある硬質支持層上の柔軟な多孔質バッファ層と、
柔軟な多孔質バッファ層と軸との間にある柔軟な多孔質バッファ層上の柔軟な多孔質支持層と
を備える請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
柔軟な多孔質支持層が基板の裏面を支持するように構成され、前記クレードルは、基板の裏面を柔軟な多孔質支持層上に保持するため、柔軟な多孔質支持層の穿孔と、柔軟な多孔質バッファ層と、硬質支持層とを通じて真空引きするように構成される真空プレナムを更に備える請求項７に記載の装置。
【請求項１１】
前記円筒面セグメントは、
有孔メタルシートと、
前記有孔メタルシートと軸との間にある有孔メタルシート上の発泡層と、
前記発泡層と軸との間にある発泡層上の柔軟なスクリーンと
を備える請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
柔軟なスクリーンが基板の裏面を支持するように構成され、前記クレードルは、前記基板の裏面を柔軟なスクリーン上に保持するため、柔軟なスクリーンと、発泡層と、有孔メタルシートの穿孔とを通じて真空引きするように構成される真空プレナムを更に備える請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記パルスレーザのパルシングと、前記走査ミラーの走査と、トランスレータの並進とを同時に制御するように構成されるコントローラを更に備える請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記パルスレーザのパルシングと、回転ポリゴンミラーの走査と、高速操向ミラーの動作と、トランスレータの並進とを同時に制御するように構成されるコントローラを更に備える請求項７に記載の装置。
【請求項１５】
マイクロレンズがそのベースで約１００μｍ未満のサイズであり、パルスレーザビームが円筒面セグメントで約１ｍｍの直径である請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
パルスレーザ、走査ミラー及びリニアトランスレータは、円筒面セグメントに対するパルスレーザビームの衝突領域を周方向及び軸方向で重ね合わせるように構成される請求項１に記載の装置。
【請求項１７】
前面にマイクロレンズアレイを含み且つ裏面に層を含む基板が可視光用途のために構成され、パルスレーザが可視光よりも長い波長を有するパルスレーザである請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前面にマイクロレンズアレイを含み且つ裏面に層を含む基板が可視光用途のために構成され、パルスレーザがパルス赤外線レーザである請求項１に記載の装置。
【請求項１９】
基板の前面上のマイクレンズアレイが軸に面するように、軸を規定する円筒面セグメントへと基板を湾曲させるステップと、
パルスレーザビームを、基板の前面のマイクロレンズアレイを通過して基板の裏面上の層へと至ることにより開口を形成するように、軸から円筒面セグメントに沿って周方向に走査すると同時に、基板及び／又は走査されるパルスレーザビームを互いに対して軸方向に並進させるステップと
を含む、前面にマイクロレンズアレイを含む基板の裏面上の層に開口を形成する方法。
【請求項２０】
パルスレーザビームを軸から円筒面セグメントに沿って周方向に走査することは、円筒面セグメントの軸と平行な回転軸を中心にポリゴンミラーを回転させることを含む請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
パルスレーザビームが円筒面セグメントの軸でミラーの多角形面に衝突するように円筒面セグメントの軸に対してポリゴンミラーを位置決めすることを更に含む請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
パルスレーザビームを軸から周方向に走査することは、約０．０１°未満の円筒面セグメントに対する垂線からの偏位を伴って行われる請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
ポリゴンミラー及び／又は回転軸を中心とする回転ポリゴンミラーの回転における不完全性を少なくとも部分的に補償することを更に含む請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
少なくとも部分的に補償することが高速操向ミラーによって行なわれる請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
同時に並進させることは、走査されるパルスレーザビームをクレードルに対して軸方向に並進させることを含む請求項１９に記載の方法。
【請求項２６】
パルスレーザのパルシングと、前記パルスレーザビームの走査と、基板及び／又は走査されるパルスレーザビームの互いに対する軸方向の並進とを同時に制御することを更に含む請求項１９に記載の方法。
【請求項２７】
パルスレーザのパルシングと、パルスレーザビームの走査と、不完全性の少なくとも部分的な補償と、基板及び／又は走査されるパルスレーザビームの互いに対する軸方向の並進とを同時に制御することを更に含む請求項２３に記載の方法。
【請求項２８】
マイクロレンズがそのベースで約１００μｍ未満のサイズであり、パルスレーザビームが円筒面セグメントで約１ｍｍの直径である請求項１９に記載の方法。
【請求項２９】
パルスレーザビーム、走査及び同時並進は、円筒面セグメントに対するパルスレーザビームの衝突領域を周方向及び軸方向で重ね合わせるように制御される請求項１９に記載の方法。
【請求項３０】
軸を規定する円筒面セグメントを備え、ここで、前記円筒面セグメントは、基板の前面上のマイクレンズアレイが軸に面するように基板の裏面を保持するように構成されることを特徴とする、層に開口を形成しつつ、裏面に層を含み且つ前面にマイクロレンズアレイを含む基板を保持するクレードル。
【請求項３１】
円筒面セグメントは、
穿孔を含む硬質支持層と、
前記硬質支持層と軸との間にある硬質支持層上の柔軟な多孔質バッファ層と、
前記柔軟な多孔質バッファ層と軸との間にある柔軟な多孔質バッファ層上の柔軟な多孔質支持層と
を備える請求項３０に記載のクレードル。
【請求項３２】
前記柔軟な多孔質支持層が基板の裏面を支持するように構成され、クレードルは、基板の裏面を柔軟な多孔質支持層上に保持するため、柔軟な多孔質支持層の穿孔と、柔軟な多孔質バッファ層と、硬質支持層とを通じて真空引きするように構成される真空プレナムを更に備える請求項３１に記載のクレードル。
【請求項３３】
円筒面セグメントは、
有孔メタルシートと、
前記有孔メタルシートと軸との間にある有孔メタルシート上の発泡層と、
前記発泡層と軸との間にある発泡層上の柔軟なスクリーンと
を備える請求項３０に記載のクレードル。
【請求項３４】
前記柔軟なスクリーンが基板の裏面を支持するように構成され、クレードルは、基板の裏面を柔軟なスクリーン上に保持するため、柔軟なスクリーンと、発泡層と、有孔メタルシートの穿孔とを通じて真空引きするように構成される真空プレナムを更に備える請求項３３に記載のクレードル。
【請求項３５】
基板と、
少なくとも３０”にわたって基板の少なくとも１つの方向に沿って延びる基板の第１の面上のマイクロレンズの配列であって、配列中のマイクロレンズが約１００μｍ未満のサイズの少なくとも１つのベース寸法を含む、マイクロレンズの配列と、
少なくとも３０”にわたって基板の少なくとも１つの方向に沿って延びる開口の配列を含む基板の第２の面上の層であって、それぞれの開口が約０．０１°未満の位置合わせからの偏位を伴ってそれぞれのマイクロレンズと位置合わせされる、層と
を備える、マイクロレンズアレイ製品。
【請求項３６】
請求項１〜１８に記載のいずれかの装置を用いて生産されたマイクロレンズアレイ製品。
【請求項３７】
請求項１９〜２９に記載のいずれかの方法を用いて生産されたマイクロレンズアレイ製品。
【請求項３８】
請求項３０〜３４に記載のいずれかの装置を用いて生産されたマイクロレンズアレイ製品。