【手続補正書】
【提出日】平成22年10月27日(2010.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理システムに対して一連の保守作業を実施するロボット装置であって、該プラズマ処理システムは真空共立型ゲートバルブを含んでおり、本ロボット装置は、
本ロボット装置が前記一連の保守作業を実施するとき前記真空共立型ゲートバルブに関して前記プラズマ処理システムの外部に残るプラットホームと、
前記プラットホームと結合されており、前記保守作業を実行するように設計されているロボットアームと、
を含んで構成され、前記保守作業は少なくとも前記プラズマ処理システムから副生成物を取り除くことを含んでおり、前記ロボットアームは前記プラズマ処理システムから前記副生成物を取り除くために該副生成物を捕集する少なくとも１つのツールを含んでおり、本ロボット装置が前記保守作業を実施するとき前記ロボットアームは前記真空共立型ゲートバルブを通過する位置に存在し、本ロボット装置は、
前記真空共立型ゲートバルブとドッキングするように設計されている真空チャンバをさらに含んで構成されていることを特徴とする装置。
【請求項２】
ツールは副生成物を捕獲する真空捕獲機構を含むことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
真空共立型ゲートバルブはダブル真空共立型ゲートバルブであることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項４】
真空チャンバはロボットアームをプラズマ処理システムにまで延長させるように設計された真空ゲートバルブを含んでいることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項５】
ロボットアームは、プラズマ処理システムの下方部材から上昇している該プラズマ処理システムの上方部材で一連の保守作業を実施するように設計されていることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項６】
プラットホームは本ロボット装置をプラズマ処理システムまで搬送する移動式プラットホームであることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項７】
ロボットアームは所与の重量および形状条件の消耗部品を除去するように設計されていることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項８】
ロボットアームは特定トルク要件に従ってプラズマ処理システムでボルトの締め付けと部品の取り外しのうちの少なくとも一方を実施するために少なくとも１つの別ツールをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項９】
プラットホームに支持され、プログラムされた浸漬処理を実施するように設計された保存容器をさらに含んでいることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１０】
複数のプラズマチャンバ表面と真空共立型ゲートバルブとを含んだプラズマ処理システム用のロボット装置であって、
本ロボット装置を前記プラズマ処理システムにまで搬送するように設計されており、本ロボット装置が該プラズマ処理システムを清浄処理するとき前記真空共立型ゲートバルブに関して該プラズマ処理システムの外部に残る移動式プラットホームと、
前記移動式プラットホームと結合されており、前記複数のプラズマチャンバ表面から副生成物を除去するように設計された連接アームと、
を含んで構成されており、前記プラズマチャンバ表面は前記プラズマ処理システムのプラズマチャンバの内壁の一部であり、前記連接アームは前記プラズマ処理システムから前記副生成物を除去するために該副生成物を捕集する少なくとも１つのツールを含んでおり、前記連接アームは本ロボット装置が前記プラズマ処理システムを清浄処理するとき前記真空共立型ゲートバルブを通過する位置に存在し、本ロボット装置は、
前記移動式プラットホームと結合されており、一連の清浄作業を実施させるように設計されたコンピュータと、
前記移動式プラットホームの少なくとも一部を収納し、前記真空共立型ゲートバルブに本ロボット装置をドッキングするように設計された真空チャンバと、
をさらに含んで構成されていることを特徴とする装置。
【請求項１１】
ツールは副生成物を捕獲する少なくとも１つの真空捕獲機構を含むことを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
真空チャンバはプラズマチャンバ表面を連接アームに対して露出するように設計されている真空ゲートバルブを含んでいることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１３】
連接アームは特定トルク要件に従ってプラズマ処理システムでボルトの締め付けと部品の取り外しのうちの少なくとも一方を実施するために少なくとも１つの別ツールをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１４】
連接アームは、プラズマ処理システムの下方部材から上昇している該プラズマ処理システムの上方部材で副生成物を除去するように設計されていることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１５】
連接アームにアクセス可能であり、汚染されたプラズマチャンバ部品と、クリーンな状態のプラズマチャンバ部品とを保存して交換する容器をさらに含んでいることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１６】
複数のプラズマチャンバ表面と真空共立型ゲートバルブとを含んだプラズマ処理システムの清浄処理用のロボット装置であって、
前記プラズマ処理システムと結合され、前記プラズマ処理システムのプラズマチャンバの内壁の少なくとも一部である前記複数のプラズマチャンバ表面を清浄処理するように設計されており、前記プラズマ処理システムから副生成物を除去するために副生成物を捕集するための少なくとも１つのツールを含んだ連接アームと、
前記プラズマ処理システムと結合されており、副生成物を除去すべく一連の清浄作業を実施させるように設計されているコンピュータと、
前記連接アームの少なくとも一部を収納し、本ロボット装置を前記真空共立型ゲートバルブとドッキングさせるように設計されている真空チャンバと、
を含んで構成されていることを特徴とする装置。
【請求項１７】
ツールは副生成物を捕獲する少なくとも１つの真空捕獲機構を含むことを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項１８】
真空チャンバは連接アームに対してプラズマチャンバ表面を露出させるように設計された真空ゲートバルブを含んでいることを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項１９】
連接アームは特定トルク要件に従ってプラズマ処理システムでボルトの締め付けと部品の取り外しのうちの少なくとも一方を実施するために少なくとも１つの別ツールをさらに含むことを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項２０】
連接アームにアクセス可能であり、汚染されたプラズマチャンバ部品とクリーンな状態のプラズマチャンバ部品とを保存して交換するための容器を含んでいることを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項２１】
プラズマ処理システムを対象とした保守作業を実施する方法であって、該プラズマ処理システムは少なくとも１つのプラズマチャンバを含んでおり、該プラズマチャンバは少なくとも上方部品と下方部品とを含んでおり、該上方部品は該下方部品の上方に配置されており、本方法は、
前記下方部品から前記上方部品を持ち上げるための上昇機構を制御するロボット装置を使用するステップと、
前記ロボット装置の第１部材を前記上方部品内に延伸させ、第１セットの保守作業手順に従って第１セットの保守作業を実行するステップと、
前記ロボット装置の第２部材を前記下方部品内に延伸させ、第２セットの保守作業手順に従って第２セットの保守作業を実行するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項２２】
第１セットの保守作業は、クリーニングパッドを使用して上方部品の少なくとも内壁のセットを少なくとも洗浄処理するステップを含んでおり、本方法は、前記クリーニングパッドと前記上方部品の前記セットの内壁の表面との間の測定摩擦力が特定値未満となったとき前記洗浄処理を停止させるステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２３】
第１セットの保守作業は上方部品内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも取り外すステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２４】
第１セットの保守作業は上方部品内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも交換するステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２５】
第１セットの保守作業は上方部品内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも整合させるステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２６】
第１セットの保守作業は上方部品内部でプログラムされた浸漬処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２７】
第１セットの保守作業は上方部品内部でブラシによる研磨処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２８】
第１セットの保守作業は上方部品内部で粒子を除去するために粒子除去真空処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項２９】
重量及び形状の制約のセットを決定するステップをさらに含んでおり、第１セットの保守作業は、前記重量及び形状の制約のセットに従って、上方部品内部から消耗構造物を少なくとも取り外すステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項３０】
トルク条件のセットを決定するステップをさらに含んでおり、第１セットの保守作業は、前記トルク条件のセットに従って、上方部品内部で部品ボルトのセットを少なくとも締め付けるステップを含んでいることを特徴とする請求項２１記載の方法。
【請求項３１】
プラズマ処理システムを対象とした保守作業を実施する方法であって、該プラズマ処理システムは少なくとも１つのプラズマチャンバを含んでおり、本方法は、
ロボット装置の第１部材を前記プラズマチャンバ内に延伸させるステップと、
該延伸ステップ後に、前記プラズマ処理システムが基板を処理しているときに保守作業手順のセットに従って保守作業のセットを実行するステップと、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項３２】
保守作業のセットは、プラズマチャンバの少なくとも内壁のセットを少なくとも洗浄処理するステップを含んでおり、本方法は、前記プラズマチャンバの前記内壁のセットの表面の色彩が基準サンプル色と合致したとき前記洗浄処理を停止させるステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３３】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも取り外すステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３４】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも交換するステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３５】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部のプラズマチャンバ部品を少なくとも整合させるステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３６】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部でプログラムされた浸漬処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３７】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部でブラシによる研磨処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３８】
保守作業のセットはプラズマチャンバ内部で粒子を除去するために粒子除去真空処理を実行するステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項３９】
重量及び形状の制約のセットを決定するステップをさらに含んでおり、保守作業のセットは、前記重量及び形状の制約のセットに従って、プラズマチャンバ内部から消耗構造物を少なくとも取り外すステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。
【請求項４０】
トルク条件のセットを決定するステップをさらに含んでおり、保守作業のセットは、前記トルク条件のセットに従って、プラズマチャンバ内部で部品ボルトのセットを少なくとも締め付けるステップを含んでいることを特徴とする請求項３１記載の方法。