【手続補正書】
【提出日】平成21年11月27日(2009.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブ接触先端部を有するプローブ接触子基板と、
プローブカード配線板と、
前記プローブ接触子基板及び前記プローブカード配線板の間に配置されこれらと電気的に結合されたインターポーザと、
前記プローブ接触子基板を実質的にそのＸ軸、そのＹ軸及びそのＺ軸と横俯角、縦俯角及び偏揺角とに沿って調整するための支持構造体であって、固定されるまで調整可能である支持構造体と、
前記支持構造体の端部を固定位置で固定するためのロック部と、
を備えることを特徴とするプローブカード組立体。
【請求項２】
複数のプローブ接触先端部を有するプローブ接触子基板と、
プローブカード配線板と、
前記プローブ接触子基板及び前記プローブカード配線板の間に配置されこれらと電気的に結合されたインターポーザと、
前記プローブ接触子基板を実質的にそのＸ軸、そのＹ軸及びそのＺ軸と横俯角、縦俯角及び偏揺角とに沿って調整するための支持柱であって、当該支持柱が固定されるまで調整可能である支持柱と、
前記支持柱の端部を固定位置でしっかりと固定するためのロック部と、を備え、
前記固定位置が、複数のプローブ接触先端部の面が所定の基準面に実質的に平行である位置であることを特徴とするプローブカード組立体。
【請求項３】
複数のプローブ接触先端部を有するプローブ接触基板を準備する工程と、
前記プローブ接触基板のための支持構造体を垂直に調整し、複数の前記プローブ接触先端部の面を基準面に実質的に平行にする工程と、
前記支持構造体をロック部にしっかりと固定する工程と、
を備えることを特徴とするプローブカード組立体を組み立てる方法。
【請求項４】
プローブカード配線板を設ける工程と、
基準面を決定する工程と、
複数のプローブ接触先端部を有するプローブ接触子基板を設ける工程と、
前記プローブ接触子基板を実質的に垂直に調整するための複数の支持柱を設ける工程と、
複数の前記プローブ接触先端部の面が前記基準面と実質的に平行になるまで、前記複数の支持柱を垂直に調整する工程と、
前記支持柱を固定位置に固定する工程と、
を備えるプローブカードを組み立てる方法。
【請求項５】
第１の複数のプローブ接触先端部を有する第１のプローブ接触子基板及び第２の複数のプローブ接触先端部を有する第２のプローブ接触子基板と、
プローブカード配線基板と、
第１のプローブ接触子基板及び前記プローブカード配線板の間に配置されこれらと電気的に結合されたインターポーザと、
前記プローブカード配線板及び前記第１及び第２のプローブカード接触子基板の間に配置されたサブ取付部と、
前記第１のプローブ接触子基板を調整するための第１の支持柱であって、固定されるまでそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って調整可能かつ横俯角、縦俯角及び偏揺角で調整可能である第１の支持柱と、
前記サブ取付部に結合され、前記第１の支持柱を固定位置にしっかりと固定するための第１のロック部であって、前記固定位置が前記第１の複数のプローブ接触先端部の面が前記第２の複数のプローブ接触先端部の面と同一面上にある位置である第１のロック部と、
前記サブ取付部を実質的に垂直に調整するための第２の支持柱であって、当該第２の支持柱が固定されるまで垂直に調整可能である第２の支持柱と、
取付構造体に結合され、前記第２の支持柱の端部を固定位置に固定するための第２のロック部であって、前記固定位置が前記第１の複数のプローブ接触先端部が所定の基準面と実質的に平行である面の位置である第２のロック部と、
を備えることを特徴とするプローブカード組立体。
【請求項６】
第１の複数のプローブ接触先端部を有する第１のプローブ接触子基板及び第２の複数のプローブ接触先端部を有する第２のプローブ接触子基板と、
プローブカード配線基板と、
第１のプローブ接触子基板及び前記プローブカード配線板の間に配置されこれらと電気的に結合されたインターポーザと、
前記第１のプローブ接触子基板を調整するための第１の支持構造体であって、固定されるまでそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って調整可能かつ横俯角、縦俯角及び偏揺角で調整可能である第１の支持構造体と、
前記サブ取付部に結合され、前記第１の支持構造体を固定位置に固定するための第１のロック部と、
を備えることを特徴とするプローブカード組立体。
【請求項７】
複数のプローブ接触子を複数のプローブ接触子基板に結合する工程と、
複数の前記プローブ接触子基板の複数の支持構造体を調節することによって複数の前記プローブ接触子を同一面とする工程と、
複数の前記支持構造体を複数のロック部にしっかりと固定する工程と、
を備えることを特徴とするプローブカード組立体を組み立てる方法。
【請求項８】
サブ取付部であってそこに複数のロック部を有するサブ取付部を位置合わせし、前記サブ取付部がそこに複数の基準マークを有するガラスマスクに位置合わせされる工程と、
第１のプローブ接触子基板の第１の接触先端部を前記ガラスマスクにおける前記複数の基準マークの第１のパターンに位置合わせする工程と、
前記第１のプローブ接触子基板の第１の複数の支持柱を前記複数のロック部の少なくとも第１の位置にしっかりと固定する工程と、
第２のプローブ接触子基板の第２の接触先端部を前記ガラスマスクにおける前記複数の基準マークの第２のパターンに位置合わせする工程と、
前記第２のプローブ接触子基板における第２の複数の支持柱を前記複数のロック部の少なくとも第２の位置にしっかりと固定する工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードを組み立てる方法。
【請求項９】
前記固定位置が、前記複数のプローブ接触先端部の面が所定の基準面と実質的に平行な位置であることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項１０】
前記基準面が、前記プローブカード配線板の面であることを特徴とする請求項９に記載のプローブカード組立体。
【請求項１１】
前記基準面が、複数の基準点により決定されることを特徴とする請求項９に記載のプローブカード組立体。
【請求項１２】
前記支持構造体が、可撓性領域を有し、前記ロック部に対する前記プローブ接触子基板の角度不一致を調整することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項１３】
前記可撓性領域が、前記支持構造体の薄肉部分であることを特徴とする請求項１２に記載のプローブカード組立体。
【請求項１４】
前記可撓性領域が、スプリング素子であることを特徴とする請求項１２に記載のプローブカード組立体。
【請求項１５】
前記ロック部が、位置決めネジのロック環管部であることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項１６】
前記位置決めネジのロック環管部が、位置決めネジを収容する開口部を有する支持環管部を有し、
前記支持構造体の垂直位置をしっかりと固定することを特徴とする請求項１５に記載のプローブカード組立体。
【請求項１７】
前記ロック部が、コレットを有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項１８】
前記ロック部が、接着性固着されたロック環管部であることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項１９】
前記支持構造体が、前記プローブ接触子基板に結合されることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項２０】
前記支持構造体及び前記ロック部が、前記支持構造体が前記ロック部にしっかりと固定された後に当該プローブカード組立体から取外し可能であることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項２１】
前記ロック部が、前記プローブカード配線板に結合されることを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項２２】
前記支持構造体が、前記プローブ接触子基板と接触することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項２３】
前記プローブ接触子基板に結合された支持フレームをさらに有し、
前記支持構造体が、前記支持フレームと接触することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード組立体。
【請求項２４】
前記支持構造体が、前記支持フレームと接触することを特徴とする請求項２３に記載のプローブカード組立体。
【請求項２５】
前記基準面が、前記プローブカード配線板の面であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項２６】
前記基準面が、複数の取付点により決定されることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項２７】
前記支持柱が、可撓性領域を有し、前記プローブ接触子基板の角度ズレを調整することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項２８】
前記可撓性領域が、前記支持柱の薄肉部分であることを特徴とする請求項２７に記載のプローブカード組立体。
【請求項２９】
前記可撓性領域が、スプリング素子であることを特徴等する請求項２７に記載のプローブカード組立体。
【請求項３０】
前記ロック部が、位置決めネジのロック環管部であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３１】
前記位置決めネジ部のロック環管部が、位置決めネジを収容する開口部を有する支持環管部を有し、
前記支持柱の垂直位置をしっかりと固定することを特徴とする請求項３０に記載のプローブカード組立体。
【請求項３２】
前記ロック部が、コレットを有することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３３】
前記ロック部が、接着性固着されたロック環管部であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３４】
前記支持柱が、前記プローブ接触子基板に結合されることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３５】
前記支持柱及び前記ロック部が、前記支持柱が前記ロック部にしっかりと固定された後に当該プローブカード組立体から取外し可能であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３６】
前記支持柱が、前記プローブ接触子基板と接触することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３７】
前記プローブ接触子基板に結合される支持フレームをさらに有し、
前記支持柱が、前記支持フレームと接触することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項３８】
前記支持構造体が、前記支持フレームに結合されることを特徴とする請求項３７に記載のプローブカード組立体。
【請求項３９】
前記取付構造体が、前記プローブカード配線板に結合された補強部であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項４０】
前記取付構造体が、前記プローブカード配線板であることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード組立体。
【請求項４１】
複数の前記支持柱を固定する工程が、前記支持柱をロック部に固定する工程を備えることを特徴とする請求項４に記載のプローブカード組立体を組み立てる方法。
【請求項４２】
前記ロック部が、前記プローブカード配線板に結合されることを特徴とする請求項４２に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４３】
前記ロック部が、補強部に結合され、
前記補強部が、前記プローブカード配線板に結合されていることを特徴とする請求項４２に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４４】
前記ロック部が、コレットを有することを特徴とする請求項４２に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４５】
前記垂直に調整する工程が、マイクロメータポジショナを用いて果たされることを特徴とする請求項４に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４６】
前記固定する工程が、前記支持柱に接着剤を塗布する工程を有することを特徴とする請求項４に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４７】
前記固定する工程が、前記支持柱に位置決めネジを付ける工程を有することを特徴とする請求項４に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４８】
前記支持柱を前記プローブ接触子基板に取外し可能に結合する工程をさらに有することを特徴とする請求項４に記載のプローブカードを組み立てる方法。
【請求項４９】
前記第１のロック部が、前記第１の支持柱を固定位置にしっかりと固定する前に、前記第１の支持柱をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って移動しかつ横俯角、縦俯角及び偏揺角で移動することを可能とすることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項５０】
前記第１のロック部が、前記第１の支持柱をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って約５０μｍ移動すること可能とすることを特徴とする請求項４９に記載のプローブカード組立体。
【請求項５１】
前記第１のロック部が、前記第１の支持柱をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って約１００μｍ移動すること可能とすることを特徴とする請求項４９に記載のプローブカード組立体。
【請求項５２】
前記第１のロック部が、前記第１の支持柱を縦俯角または横俯角で約１００秒傾けることを可能とすることを特徴とする請求項４９に記載のプローブカード組立体。
【請求項５３】
前記第１のロック部が、前記第１の支持柱を縦俯角または横俯角で約５０秒傾けることを可能とすることを特徴とする請求項４９に記載のプローブカード組立体。
【請求項５４】
前記基準面が、前記プローブカード配線板の面であることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項５５】
前記基準面が、複数の基準点により決定される面であることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項５６】
前記第２の支持柱が、前記サブ取付部の前記基準面に関する角度ズレを調整する可撓性領域を有することを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項５７】
前記可撓性領域が、前記支持構造体の薄肉部分であることを特徴とする請求項５６に記載のプローブカード組立体。
【請求項５８】
前記可撓性領域が、スプリング素子であることを特徴とする請求項５６に記載のプローブカード組立体。
【請求項５９】
前記第１のロック部が、位置決めネジのロック環管部であることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６０】
前記位置決めネジのロック環管部が、位置決めネジを収容する開口部を有する支持環管部を有し、
前記支持柱の垂直位置をしっかりと固定することを特徴とする請求項５９に記載のプローブカード組立体。
【請求項６１】
前記ロック部が、コレットを有することを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６２】
前記第１のロック部が、接着性固着されたロック環管部であることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６３】
前記第１の支持柱が、前記プローブ接触子基板に結合されることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６４】
前記第１の支持柱及び前記第１のロック部が、前記第１の支持柱が前記第１のロック部にしっかりと固定された後に当該プローブカード組立体から取外し可能であることを特徴とする請求項５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６５】
前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体を固定位置にしっかりと固定する前に、前記第１の支持構造体をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って移動しかつ横俯角、縦俯角及び偏揺角で移動することを可能とすることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項６６】
前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って約５０μｍ移動すること可能とすることを特徴とする請求項６５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６７】
前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体をそのｘ軸、そのｙ軸及びそのｚ軸に沿って約１００μｍ移動すること可能とすることを特徴とする請求項６５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６８】
前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体を縦俯角または横俯角で約１００秒傾けることを可能とすることを特徴とする請求項６５に記載のプローブカード組立体。
【請求項６９】
前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体を縦俯角または横俯角で約５０秒傾けることを可能とすることを特徴とする請求項６５に記載のプローブカード組立体。
【請求項７０】
前記固定位置が、前記第１の複数のプローブ接触先端部の面が前記第２の複数のプローブ接触先端部の面と実質的に同一面上である位置にあり、
前記第１の複数のプローブ接触先端部の面が、基準面と実質的に平行であることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項７１】
前記基準面が、前記プローブカード配線板の面であることを特徴とする請求項７０に記載のプローブカード組立体。
【請求項７２】
前記基準面が、複数の基準点により決定される面であることを特徴とする請求項７０に記載のプローブカード組立体。
【請求項７３】
サブ取付部をさらに有し、
前記第１のロック部が、前記サブ取付部に取り外し可能に結合されていることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項７４】
前記サブ取付部を実質的に垂直に調整するための第２の支持構造体をさらに有し、
前記第２の支持構造体が、前記サブ取付部の基準面に関する角度ズレを調整する可撓性領域を有することを特徴とする請求項７３に記載のプローブカード組立体。
【請求項７５】
前記可撓性領域が、前記支持構造体の薄肉部分であることを特徴とする請求項７４に記載のプローブカード組立体。
【請求項７６】
前記可撓性領域が、スプリング素子であることを特徴とする請求項７４に記載のプローブカード組立体。
【請求項７７】
前記第１のロック部が、位置決めネジのロック環管部であることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項７８】
前記位置決めネジのロック環管部が、位置決めネジを収容する開口部を有する支持環管部を有し、
前記支持構造体の垂直位置をしっかりと固定することを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項７９】
前記ロック部が、コレットを有することを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８０】
前記第１のロック部が、接着性固着されたロック環管部であることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８１】
前記第１の支持構造体が、前記プローブ接触子基板に結合されることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８２】
前記第１の支持構造体及び前記第１のロック部が、前記第１の支持構造体が前記第１のロック部にしっかりと固定された後に当該プローブカード組立体から取外し可能であることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８３】
前記第１のロック部が、前記プローブカード配線板に取外し可能に結合されていることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８４】
前記プローブカード配線板に結合される補強部をさらに有することを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。
【請求項８５】
第１のロック部が、前記補強部に取り外し可能に結合されていることを特徴とする請求項８４に記載のプローブカード組立体。
【請求項８６】
前記固定位置が、前記第１の複数のプローブ接触先端部の面が前記第２の複数のプローブ接触先端部の面と実質的に同一面上である位置であることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード組立体。