【手続補正書】
【提出日】平成20年12月13日(2008.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
したがって、改善されたボンディングツールを提供することにより、結果として改善さ
れたボンディング動作を提供することが望まれる。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
【特許文献１】米国特許第５，４８６，７２１号明細書
【特許文献２】米国特許第４，０４９，５０６号明細書
【特許文献３】米国特許第３，６１３，７６６号明細書
【特許文献４】米国特許第４，５１３，１９０号明細書
【特許文献５】米国特許第５，９３１，３６８号明細書
【特許文献６】米国特許第５，４２１，５０３号明細書
【特許文献７】米国特許第５，４９５，９７６号明細書
【特許文献８】米国特許第５，８７１，１４１号明細書
【特許文献９】米国特許第５，８９０，６４３号明細書
【特許文献１０】米国特許第５，９３１，３６８号明細書
【特許文献１１】米国特許第６，０７３，８２７号明細書
【特許文献１２】米国特許第６，１７１，４５６号明細書
【特許文献１３】米国特許第６，７１５，６５８号明細書
【特許文献１４】米国特許第６，７２９，５２７号明細書
【特許文献１５】米国特許第６，９１０，６１２号明細書
【特許文献１６】米国特許第７，００４，３６９号明細書
【特許文献１７】米国特許第７，０７７，３０４号明細書
【特許文献１８】米国特許第７，２４９，７０２号明細書
【特許文献１９】米国特許第７，３２０，４２５号明細書
【特許文献２０】欧州特許出願公開第０１１６０１０号明細書
【特許文献２１】国際公開第０２／０６０６３２号パンフレット
【非特許文献１】Ｐｈａｓｅ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎｓ  ｉｎ  Ｍｅｔａｌｓ  ａｎｄ  Ａｌｌｏｙｓ；Ｄ．Ａ．Ｐｏｒｔｅｒ，Ｋ．Ｅ．Ｅａｓｔｅｒｌｉｎｇ；Ｃｈａｐｍａｎ  &  Ｈａｌｌ，Ｌｏｎｄｏｎ；１９９１（ｆｉｒｓｔ  ｅｄｉｔｉｏｎ  １９８１）；  Ｐ．１２８．
【非特許文献２】Ｒｅｄｏｘ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  Ｔｕｎｇｓｔａｔｅｄ  Ｚｉｒｃｏｎｉａ  Ｃａｔａｌｙｓｔｓ：Ｒｅｌｅｖａｎｃｅ  ｏｆ  ｔｈｅ  Ａｃｔｉｖａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｎ−ａｌｋａｎｅｓ；Ｓｔｅｆａｎ  Ｋｕｂａ，Ｐａｔｒｉｃｉａ  Ｃｏｎｃｅｐｃｉｏｎ  Ｈｅｙｄｏｒｎ，Ｒｏｂｅｒｔ  Ｋ．Ｇｒａｓｓｅｌｌｉ，Ｂｒｕｃｅ  Ｃ．Ｇａｔｅｓ，Ｍｉｃｈｅｌ  Ｃｈｅ，ａｎｄ  Ｈｅｌｍｕｔ  Ｋｎｏｚｉｎｇｅｒ；Ｐｈｙｓ．Ｃｈｅｍ．Ｃｈｅｍ．Ｐｈｙｓ．，２００１，３，ｐｐ．１４６−１５４
【非特許文献３】Ｓｔａｔｉｃ  Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  Ｍｏｄｅｌ  ｆｏｒ  Ｍｅｔａｌｌｉｃ  Ｒｏｕｇｈ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ；Ｗ．Ｒ．Ｃｈａｎｇ，Ｉ．Ｅｔｓｉｏｎ，Ｄ．Ｂ．Ｂｏｇｙ；Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ；Ｊａｎｕａｒｙ  １９８８，Ｖｏｌ．１１０；Ｐ．５７−６３
【非特許文献４】Ａｄｈｅｓｉｏｎ  Ｍｏｄｅｌ  ｆｏｒ  Ｍｅｔａｌｌｉｃ  Ｒｏｕｇｈ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ；Ｗ．Ｒ．Ｃｈａｎｇ，Ｉ．Ｅｔｓｉｏｎ，Ｄ．Ｂ．Ｂｏｇｙ；Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ；Ｖｏｌ．１１０；Ｊａｎｕａｒｙ  １９８８；Ｐ．５０−５５．
【非特許文献５】Ａ  Ｓｔａｔｉｃ  Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｍｏｄｅｌ  ｆｏｒ  Ｅｌａｓｔｉｃ−Ｐｌａｓｔｉｃ  Ｃｏｎｔａｃｔｉｎｇ  Ｒｏｕｇｈ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ；Ｌｉｏｒ  Ｋｏｇｕｔ，Ｉｚｈａｋ  Ｅｔｓｉｏｎ；Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｆ  ｔｈｅ  ＡＳＭＥ，Ｖｏｌ．１２６，Ｊａｎｕａｒｙ  ２００４；ｐｐ．３４−４０
【非特許文献６】Ａｎ  Ｉｍｐｒｏｖｅｄ  Ｅｌａｓｔｉｃ−Ｐｌａｓｔｉｃ  Ｍｏｄｅｌ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  Ｃｏｎｔａｃｔ  ｏｆ  Ｒｏｕｇｈ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ；Ｌｉｏｒ  Ｋｏｇｕｔ，Ｉｚｈａｋ  Ｅｔｓｉｏｎ；３ｒｄ  ＡＩＭＥＴＡ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｒｉｂｏｌｏｇｙ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ，Ｓａｌｅｒｎｏ  Ｉｔａｌｙ，１８−２０  Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ  ２００２．
【非特許文献７】Ｇｒａｉｎｓ，Ｇｒｏｗｔｈ，ａｎｄ  Ｇｒｏｏｖｉｎｇ；Ｍ．Ｊ．Ｒｏｓｔ，Ｄ．Ａ．Ｑｕｉｓｔ，ａｎｄ  Ｊ．Ｗ．Ｍ．Ｆｒｅｎｋｅｎ；Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｒｅｖｉｅｗ  Ｌｅｔｔｅｒｓ；Ｖｏｌｕｍｅ  ９１，Ｎｏ．２；Ｔｈｅ  Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｓｏｃｉｅｔｙ；２００３；ｐｐ．０２６１０１−１  ｔｈｒｏｕｇｈ  ０２６１０１−４．
【非特許文献８】Ｏｖｅｒｃｏｍｉｎｇ  ＮｉＰｄ  Ｐａｃｋａｇｅｓ  ｉｎ  Ｗｉｒｅ  Ｂｏｎｄｉｎｇ  Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｎｅｗ  Ｃａｐｉｌｌａｒｙ  Ｆｅａｔｕｒｅｓ；Ａｌｏｎ  Ｍｅｎａｃｈｅ；Ｋｕｌｉｃｋｅ  &  Ｓｏｆｆａ  Ｂｏｎｄｉｎｇ  Ｔｏｏｌｓ；ＩＳＴＣ  Ｓｅｍｉｃｏｎ  Ｃｈｉｎａ，  Ｍａｒｃｈ  ２００７；ｐｐ  １−７．
【非特許文献９】Ｃｏｎｔａｃｔ  ｏｆ  Ｎｏｍｉｎａｌｌｙ  Ｆｌａｔ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ；Ｇｒｅｅｎｗｏｏｄ，Ｊ．Ａ．&  Ｗｉｌｌｉａｍｓｏｎ，Ｊ．Ｐ．Ｂ．，Ｂｕｒｎｄｙ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ，  Ｎｏｒｗａｌｋ  Ｃｏｎｎｅｃｔｉｃｕｔ  Ｕ．Ｓ．Ａ．；ＰＰ．３００−３１９；１９６６．
【非特許文献１０】Ａ  Ｎｅｗ  Ｂｏｎｄｉｎｇ−Ｔｏｏｌ  Ｓｏｌｕｔｉｏｎ  ｔｏ  Ｉｍｐｒｏｖｅ  Ｓｔｉｔｃｈ  Ｂｏｎｄａｂｉｌｉｔｙ；Ｋ．Ｓ．Ｇｏｈ，Ｚ．Ｗ．Ｚｈｏｎｇ；Ｓｃｉｅｎｃｅ  Ｄｉｒｅｃｔ；Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  ８４；Ｎｏｖｅｍｂｅｒ  １０，２００６；ｐｐ．１７３−１７９
【非特許文献１１】Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｓｅａｒｃｈ  Ｒｅｐｏｒｔ  Ｄａｔｅｄ  Ｆｅｂｒｕａｒｙ  ２８，２００８，Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｎｏ．ＰＣＴ／ＵＳ２００７／０７１５９５
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図１３Ａ〜１３Ｂは、形態Ａ（図１３Ａ）および形態Ｂ（図１３Ｂ）を有するボンディングツールの先端部の一部の写真である。図１３Ｃは、形態Ａ（グラフ左側）、形態Ｂ（グラフ中央）、および従来の研磨仕上げのキャピラリー（グラフ右側）のステッチプル値の比較である。図１３Ｃから明らかなように、表面粗度および凹凸密度が高いほどステッチプル値は高い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
本発明により形成されたボンディングツールの寿命の延長に関し、図１４Ａ〜１４Ｂを提供する。図１４Ａは様々なキャピラリー・ボンディング・ツールの寿命試験結果を示す表である。左列は本発明による３つのキャピラリーの結果であり、中央列（従来のマット仕上げ）は従来の４つのマット仕上げキャピラリーの結果であり、右列（従来の研磨仕上げ）は従来の３つの研磨仕上げキャピラリーの結果である。前記実験結果の最大数は１，０００，０００であり、前記ツールが１，０００，０００接合に到達した場合、前記実験を終了した。前記左列で寿命は１，０００、１，０００、６００であった（１，０００動作または１，０００接合単位であるので、これは１，０００，０００、１，０００，０００、６００，０００動作に等しい）。中央列で寿命は６００、３００、３００、１００であった。右列で寿命は９００、５００、４００であった。従って、左列は本発明によるキャピラリーの寿命が長いことを示している。図１４Ｂは図１４Ａの結果を棒グラフにしたものである。