【事件の表示】
　平成　９年特許願第１０１７８７号「ディスク原盤露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１１月　４日出願公開、特開平１０−２９３９２８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本件審判の請求に係る特許出願（以下「本願」という。）は、平成９年４月１８日に出願されたものであって、平成１６年６月２４日付けで拒絶査定がなされたところ、平成１６年７月２９日付けで特許法第１２１条第１項の審判請求がなされたものである。そして、本願請求項１に係る発明は、平成１５年３月１１日付け手続補正書によって補正された明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認められるところ、そのうち請求項１に係る発明は次のとおりのものである。
　「【請求項１】ディスク原盤を支持するターンテーブルが搭載されており、装置本体に固定されている移動手段によって、ディスク原盤の直径方向に移動する移動ステージと、
移動ステージの移動方向に微小移動可能なように、微小移動手段を介して装置本体に固定されているヘッドとを有し、
該ヘッドより照射するレーザ光を該ディスク原盤の周回方向にトラッキングすることにより露光処理を行う原盤露光装置であって、
　該ディスク原盤の直径方向における該ターンテーブルの装置本体に対する位置を測定する光路を備えた第一の測長計と、該ディスク原盤の直径方向における該ヘッドの装置本体に対する位置を測定する光路を備えた第二の測長計とを、一体として装置本体に固定するレーザ測長計を有し、
　該第一の測長計の測定結果と、該第二の測長計の測定結果との第一の差分値を算出することにより、ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置を計測する計測手段と、
　該レーザ測長計で計測した該ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置と、該ターンテーブルに支持されたディスク原盤上における該ヘッドの照射位置の目標値との第二の差分値を算出する手段と、
　該第二の差分値に基づいて該微小移動手段を用いて該ヘッドの位置を補正する手段と、
を具備することを特徴とする原盤露光装置。」（以下「本願発明」という。）
　
　
２．刊行物及びその記載
　原査定の拒絶の理由で引用された刊行物である特開平５−３２５２６８号公報（以下、「刊行物１」という。）は、光ディスク原盤の露光装置であって、図面とともに具体的に以下の記載がある。（なお、下線は当審で付与した。）
　(2-1)「【０００１】【産業上の利用分野】本発明は、例えば
光ディスク原盤の上方に露光用レーザ素子を移動させて光ディスク原盤を露光処理するに適用される露光装置に関する。
　【０００２】【従来の技術】かかる
露光装置は、光デスク原盤を回転テーブル上に載置して所定回転数で回転させ、かつ光ディスク原盤の上方に露光用レーザ素子を配置して光ディスク原盤の半径方向（ラジアル方向）にスライド移動させる。
　【０００３】このような状態に、露光用レーザ素子からはレーザ光が光ディスク原盤上に対して照射される。このレーザ光照射は、図１４に示すように光ディスク原盤１に対してスパイラル状又は図１５に示すように同心円状に照射され、光ディスク原盤１に対して露光・現像が行われる。これにより、光ディスク原盤１上には図１６に示すような複数のピット２を配列したピット・トラックが創成される。」
　(2-2)「【００１８】
図１は光ディスク原盤露光装置の構成図である。回転機構１０は、回転用モータ１１の回転軸にスピンドル１２が連結され、このスピンドル１２の他端に回転テーブル１３が接続されたものとなっている。この回転テーブル１３上には光ディスク原盤１が載置されている
　【００１９】この
回転テーブル１３の上方には粗動機構２０が設けられている。この粗動機構２０は摩擦駆動によるもので、スライダ２１にスライド移動体２２がスライド自在に設けられ、このスライド移動体２２にラック２３が設けられている。このスライド移動体２２は光ディスク原盤１の半径方向と一致して配置されている。又、粗動用モータ２４が設けられ、この粗動用モータ２４の回転軸にピニオン２５が連結されている。このピニオン２５はラック２３に対して螺合している。粗動用モータ２４には粗動用ドライバ２６が接続され、回転駆動するものとなっている。
　【００２０】
スライド移動体２２には図２に示すように微動素子としての圧電素子３０が設けられ、この圧電素子３０に露光用レーザ素子３１、例えば半導体レーザが設けられている。この露光用レーザ素子３１は露光用レーザの放射方向が下方、つまり光ディスク原盤１に向けて放射するものである。圧電素子３０には微動用ドライバ３２が接続され、この微動用ドライバ３２から電圧信号が印加されて微小変位するものとなっている。
　【００２１】又、
露光用レーザ素子３１にはミラー４０が設けられ、このミラー４０の対向位置には微動フィードバック用レーザ干渉測長器４１が配置されている。このレーザ干渉測長器４１は、レーザをミラー４０に照射し、その反射レーザを受光して放射レーザとによる干渉光を生じさせ、この干渉光の光強度に応じた電気信号、つまり露光用レーザ素子３１のスライド移動の位置信号を出力する機能を有している。
　【００２２】前記
スピンドル１２に対し、各変位計５０、５１がスピンドル１２の軸方向に配置されている。これら変位計５０、５１はスピンドル１２の軸振れを検出するためのもので、それぞれスピンドル１２との間隔を検出している。
　(2-3)「【００２３】一方、コンピュータ５２が設けられ、このコンピュータ５２には粗動用ドライバ２６、微動用ドライバ３２、Ａ／Ｄ変換器５３及びレーザ干渉測長器４１が接続されている。
　【００２４】この
コンピュータ５２は、粗動用ドライバ２６及び微動用ドライバ３２に対して動作指令を発し、粗動機構２０と圧電素子３０とを連動させて露光用レーザ素子３１を光ディスク原盤１の半径方向（イ）にスライド移動させる機能を有するもので、露光用レーザ素子３１のスライド移動位置はレーザ干渉測長器４１からフィードバックされる位置信号を取り込んで位置制御している
　【００２５】具体的には、コンピュータ５２は、Ａ／Ｄ変換器５３を介して圧電素子３０への印加電圧を取り込み、この印加電圧が所定の印加電圧となったとき、つまり圧電素子３０が一定の長さΔｘだけ伸びたときに、粗動機構２０を距離Δｘだけ前進させる指令を粗動用トライバ２６に発し、これと共に圧電素子３０をΔｘだけ縮める指令を微動用トライバ３２に発する機能を有している。
　【００２６】又、コンピュータ５２は、圧電素子３０への印加電圧を取り込み、この印加電圧が零となったとき、粗動機構２０を距離Δｘだけ後退させる指令を粗動用トライバ２６に発し、これと共に圧電素子３０をΔｘだけ伸ばす指令を微動用トライバ３２に発する機能を有している。
　【００２７】さらに、
コンピュータ５２は、各変位計５０、５１からの変位検出信号を取り込み、スピンドル１２の振れによる光ディスク原盤１上におけるディスクラジアル方向露光誤差ΔＥを求め、この露光誤差ΔＥに応じて圧電素子３０の微小変位を補正する照射誤差補正手段としての機能を有している
　ここで、ディスクラジアル方向露光誤差ΔＥは、図３に示すスピンドル１２の振れを模式図により参照して求めると、
　【００２８】　　　　　【数１】　・・・（略）・・・　
となる。次に上記の如く構成された装置の作用について説明する。回転用モータ１１は回転駆動し、この回転力がスピンドル１２を介して回転テーブル１３に伝達され、回転テーブル１３は回転する。」
　(2-4)「【００２９】一方、コンピュータ５２は、微動用ドライバ３２に対してステップ状に電圧レベルが高くなる指令を発する。この指令を受けて微動用ドライバ３２は圧電素子３０に対してステップ状に電圧レベルが高くなる電圧を印加する。」
　(2-5)「【００３２】これ以後、圧電素子３０の微動変位及び粗動機構２０の粗動移動が連動して行われ、露光用レーザ素子３１は光ディスク原盤１の半径方向にスライド移動する。」
　
　以上の記載事項を、図面とともに整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されているものと認める。
  「回転機構１０は、回転用モータ１１の回転軸にスピンドル１２を連結し、このスピンドル１２の他端には光ディスク原盤１が載置された回転テーブル１３を接続し、
　回転テーブル１３の上方には粗動機構２０が設けられ、この粗動機構２０は、スライダ２１に、光ディスク原盤１の半径方向と一致してラック２３を設けたスライド移動体２２を有し、粗動用ドライバ２６に接続され回転駆動する粗動用モータ２４の回転軸に設けたピニオン２５のラック２３に対する螺合により移動し、
　スライド移動体２２には微動素子として微動用ドライバ３２からの電圧信号が印加されて微小変位する圧電素子３０と、露光用半導体レーザ素子３１が設けられ放射方向は下方で光ディスク原盤１に向けて放射し、
　スピンドル１２には、軸方向に、軸振れを検出する各変位計５０、５１が配置されてなる光ディスク原盤露光装置の構成であって、
　コンピュータ５２は、粗動用ドライバ２６及び微動用ドライバ３２に対して動作指令を発し、粗動機構２０と圧電素子３０とを連動させて露光用レーザ素子３１を光ディスク原盤１の半径方向（イ）にスライド移動させるものであって、露光用レーザ素子３１のスライド移動位置はレーザ干渉測長器４１からフィードバックされる位置信号を取り込んで位置制御し、各変位計５０、５１からの変位検出信号を取り込み、スピンドル１２の振れによる光ディスク原盤１上におけるディスクラジアル方向露光誤差ΔＥを求め、この露光誤差ΔＥに応じて圧電素子３０の微小変位を補正する照射誤差補正手段の機能を有している光ディスク原盤露光装置。」（以下「刊行物１発明」という。）
　
　また、原査定の拒絶の理由で引用された刊行物である特開平４−１９４６号公報（以下「刊行物２」という。）は、光ディスク原盤露光装置であって、具体的に、以下の記載がある。
　(2-6)「（発明の構成）上記目的を達成するため本発明は、原盤を支持するターンテーブルを支持する手段と原盤にレーザ光を照射する光学系支持手段の
少なくともいずれか一方を駆動させる
　(2-7)「前記ターンテーブル支持手段と、前記光学系支持手段に夫々設けた前記半径方向への移動速度を検出する検出手段と、各検出手段による検出値に基づいて得られた各速度間に差があるときに該速度差が０となるように前記駆動系を制御する制御部とを備えたことを特徴としている。
　また、本発明は前記光ディスク原盤露光装置において、前記制御部は、前記各検出手段による検出値に基づいて得られた速度差が所定の許容値を越える場合には前記光学系による露光動作を停止するとともに、表示部に速度差のレベルを表示することを特徴としている。
　以下、添付図面に示した好適な実施例に基づいて本発明の詳細な説明する。
　第１図は本発明の一実施例の光ディスク原盤露光装置の要部構成説明図であり、露光光学系を含む光学台１には対物レンズ駆動用アクチュエータ２が搭載されるとともに、対物レンズと対向配置されたターンテーブル４上にはフォトレジスト基板（ガラス原盤）３が同軸状に位置決めされている。アクチュエータ２先端の対物レンズは、フォトレジスト基板３上で同一焦点位置を保持するようにフォーカスサーボされる。光学台ｌまたはターンテーブル４のいずれか一方を基板の半径方向へ移動させることによって、対物レンズから照射されるレーザビームによって基板３上にスパイラル状または同心円状の露光潜像を形成するのであるが、この実施例では光学台１を固定側とするとともに、ターンテーブル４側を径方向へ移動可能に構成した例を示す。
　ターンテーブル４は、エアスライダー６上に固定された可動テーブル５によって回転自在に軸支される。可動テーブル５の下面から伸びたナット５ａのねじ穴内には、カップリング８を介してモータ（駆動系）９の出力軸に連結したスパイラルシャフト７が螺合し、スパイラルシャフト７の正逆両方向への回転によって可動テーブル５はエアスライダー６によって案内されながら矢印Ａで示す半径方向へ移動する。
　光学台１の適所、例えば図示した端面には光学台１の移動方向Ａへの振動を検出するための振動検出手段としての振動加速度ピックアップ（加速度センサ）１０を配置するとともに、可動テーブル５の適所、例えば図示した移動方向端面にも可動テーブル５の移動方向Ａへの振動を検出するための振動加速度ピックアップ１１を配置する。
　各振動加速度ピックアップ１０，１１からの検知信号はそれぞれアンプ１２，１３に人力される。本発明においては、各アンプＩ２，１３からの出力差がゼロとなるようにモータ９の回転速度を自動制御することによって固定系と可動系の振動に起因したピッチむらを解消して信号レベル変動をなくすることを特徴とする。
　同図に示したブロック図において、各アンプＩ２，１３からの各出力の差が加速度差を検出する第１の差動アンプ１４に入力されると、差動アンプ１４は演算フィードバック回路１５に差信号（加速度差）を出力する。演算フィードバック回路１５は、例えば入力された加速度差を時間で積分して相対速度差を算出し、この値を第２の差動アンプ１６の一方の入力端に出力する。第２の差動アンプ１６は、モータ駆動指令回路１７から出力される可動テーブル５の基準速度信号を他方の入力とし、両入力信号を比較した比較値をモータドライバ回路Ｉ８に出力する。モータドライバ回路（制御手段）１８では、入力された速度差の値に応じて回転速度を微調整するための制御を行ない、制御信号をモータ９に出力する。例えば、速度差がプラスならば回転数を下げ、マイナスの場合には回転数を上げる等の制御を行なう。
　さらに、各加速度ピックアップＩＯ，１１からの出力差が、物体の衝突、接触等の外構に起因して所定の許容値を越えて増大した場合には、露光動作を停止するとともに、速度差の出力レベルを表示部にモニタ表示するように制御してもよい。
　このように構成することによって、不良となることが明らかな原盤の露光工程を中止して装置の稼動率を高めるとともに、不良判断を行なうことが可能となる。また、速度差の出力レベルをモニタ表示することによって、光学台１側、ターンテーブル４側のいずれかに異常が発生したことを知ることができる。さらに、スパイラルシャフト７等の送り機構の劣化等に起因した振動の増大もモニターすることができるため、メンテ時期の到来を容易に判断することができる。」（第２頁左下欄第４行〜第３頁右上欄第２２行目）
　(2-8)「以上のように本発明においては異なった支持手段によって支持された光学台ｌと、ターンテーブル４が夫々ピッチ方向へ振動した場合に生じる両者の微小な位置変動を、可動側の送り機構を構成するモータを制御することによって修正するようにしたため、振動がある場合においてもピッチむらを抑えて、フォトレジスト基板露光時における信号レベルの変動をなくすることができる。
　振動検出手段としては上記実施例で用いた加速度センサ以外にも種々のものを使用可能である。例えば、格別の基準台を基準として用いる干渉計、レーザ測長器等の微小変位測定手段を用いることも可能である。なお、測長器等においては、可動側の支持台のＤＣ的な変位を除去するための回路の付加が必要となる。」（第２頁左下欄第１行〜第１５行目）
　
　
　３．対比・判断
　(3-1)本願発明と刊行物１発明とを対比すると、
　 (i)刊行物１発明の「回転テーブル１３の上方には粗動機構２０が設けられ、この粗動機構２０は、スライダ２１に、光ディスク原盤１の半径方向と一致してラック２３を設けたスライド移動体２２を有し、粗動用ドライバ２６に接続され回転駆動する粗動用モータ２４の回転軸に設けたピニオン２５のラック２３に対する螺合により移動」であるが、粗動用モータ２４は装置本体に固定されている移動手段であり、粗動機構は２０は光ディスク原盤の直径方向へ移動する移動ステージであるから、これは本願発明の「装置本体に固定されている移動手段によって、ディスク原盤の直径方向に移動する移動ステージ」に相当する。
　(ii)刊行物１発明の「スライド移動体２２には微動素子として微動用ドライバ３２からの電圧信号が印加されて微小変位する圧電素子３０」及び、微小変位する圧電素子３０を介して「露光用半導体レーザ素子３１が設けられ放射方向は下方で光ディスク原盤１に向けて放射」であるが、この露光用半導体レーザは本願発明での「ヘッド」に相当し、この露光用半導体レーザの微少移動調整をしていく構成であるから、これは本願発明の「移動ステージの移動方向に微小移動可能なように、微小移動手段を介して固定されているヘッド」及び「微小移動手段を介して固定されているヘッド」に各々相当する。
　 (iii)刊行物１発明の「光ディスク原盤露光装置」であるが、露光機能をもつ構成上、本願発明の「ヘッドより照射するレーザ光を該ディスク原盤の周回方向にトラッキングすることにより露光処理を行う原盤露光装置」に相当する。
　 (iv)刊行物１発明の「スピンドル１２には、軸方向に、軸振れを検出する各変位計５０、５１が配置」であるが、実施の形態としては具体的に「各変位計５０、５１からの変位検出信号を取り込み、スピンドル１２の振れによる
光ディスク原盤１上におけるディスクラジアル方向露光誤差ΔＥを求め
　 (v)刊行物１発明の「コンピュータ５２は、粗動用ドライバ２６及び微動用ドライバ３２に対して動作指令を発し、粗動機構２０と圧電素子３０とを連動させて露光用レーザ素子３１を光ディスク原盤１の半径方向（イ）にスライド移動させるものであって、露光用レーザ素子３１のスライド移動位置はレーザ干渉測長器４１からフィードバックされる位置信号を取り込んで位置制御し、各変位計５０、５１からの変位検出信号を取り込み、スピンドル１２の振れによる光ディスク原盤１上におけるディスクラジアル方向露光誤差ΔＥを求め、この露光誤差ΔＥに応じて圧電素子３０の微小変位を補正する照射誤差補正手段の機能」であるが、実施の形態として、具体的に「レーザ干渉測長器４１は、レーザをミラー４０に照射し、その反射レーザを受光して・・・（中略）・・・露光用レーザ素子３１のスライド移動の位置信号を出力する機能を有している。」（上記(2-3)の段落【００２１】）というもので、レーザ干渉測長器４１は位置を計測している。また、変位計５０、５１であるが、「スピンドル１２に対し、各変位計５０、５１がスピンドル１２の軸方向に配置されている。これら変位計５０、５１はスピンドル１２の軸振れを検出するためのもので、それぞれスピンドル１２との間隔を検出している。」（上記(2-3)の段落【００２２】）というものであれば、スピンドル１２の軸振れとは位置の要素であるから、このものも位置を計測している。
　そして、レーザ干渉測長器４１と変位計５０、５１の各信号を入力して、コンピュータ５２では、「粗動用ドライバ２６及び微動用ドライバ３２に対して動作指令を発し、粗動機構２０と圧電素子３０とを連動させて露光用レーザ素子３１を光ディスク原盤１の半径方向（イ）にスライド移動させる機能を有するもので、露光用レーザ素子３１のスライド移動位置はレーザ干渉測長器４１からフィードバックされる位置信号を取り込んで位置制御している」（上記(2-3)の段落【００２４】）と、位置制御にかかる記載がある。
　このように、露光していくに際して回転テーブルに対して粗動機構２０及び回転機構１０により、両者からの測定値に基づき原盤露光装置を制御していくのであるから（上記(i)〜(iv)参照）、当然のことながらそこにおいては照射目標値を基準にして露光制御しているものと認められ、これは本願発明の「第一の測長計の測定結果と、該第二の測長計の測定結果とにより、ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置を計測する計測手段と、
　該レーザ測長計で計測した該ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置と、該ターンテーブルに支持されたディスク原盤上における該ヘッドの照射位置の目標値と、
　に基づいて該微小移動手段を用いて該ヘッドの位置を補正する手段と、
を具備」に相当する。
　
　(3-2)したがって、本願発明と刊行物１発明との〔一致点〕及び〔相違点〕は以下のように認める。
　〔一致点〕　
　「装置本体に固定されている移動手段によって、ディスク原盤の直径方向に移動する移動ステージと、
移動ステージの移動方向に微小移動可能なように、微小移動手段を介して固定されているヘッドとを有し、
該ヘッドより照射するレーザ光を該ディスク原盤の周回方向にトラッキングすることにより露光処理を行う原盤露光装置であって、
　該ディスク原盤の直径方向における該ターンテーブルの装置本体に対する位置を測定する光路を備えた第一の測長計と、該ディスク原盤の直径方向における該ヘッドの装置本体に対する位置を測定する光路を備えた第二の測長計とを、装置本体に固定するレーザ測長計を有し、
　該第一の測長計の測定結果と、該第二の測長計の測定結果とにより、ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置を計測する計測手段と、
　該レーザ測長計で計測した該ターンテーブルに対する該ヘッドの相対位置と、該ターンテーブルに支持されたディスク原盤上における該ヘッドの照射位置の目標値と、
　に基づいて該微小移動手段を用いて該ヘッドの位置を補正する手段と、
を具備することを特徴とする原盤露光装置。」
　
　〔相違点〕
　(a)移動ステージであるが、本願発明は「ディスク原盤を支持するターンテーブルが搭載されており、」と、ターンテーブルが移動する構成であるが、刊行物１発明での移動構成のものは、露光用レーザ素子がスライド移動体により移動するものである点。
　(b)ヘッドであるが、本願発明は「（微小移動手段を介して）装置本体に（固定されている）」というものであるが、刊行物１発明のものはヘッドは微少移動手段を介して粗動機構と共に可動状態にある点。
　(c)測長計であるが、本願発明は、第一の測長計と第二の測長計とを「一体として（装置本体に固定）」しているが、刊行物１発明のものは一体構成になっていない点。
　(d)各測長計の結果に基づくヘッド位置の補正であるが、本願発明は「（第一の測長計の測定結果と、該第二の測長計の測定結果と）の第一の差分値を算出すること」「（ターンテーブルに支持されたディスク原盤上における該ヘッドの照射位置の目標値と）の第二の差分値を算出する手段と」に基づいてのものであるが、刊行物１発明のものはこのような算出方法に基づきディスクに対する露光用レーザ素子の位置を算出するものではない点。
　
　〔判断〕
　上記相違点(a)〜(c)は、要するに、本願発明のものは「ディスク原盤を支持するターンテーブル」及び「原盤露光するレーザを保持するヘッド」が装置本体に対して移動可能とすることを前提としているもので、各「測長計」もこの移動するターンテーブルの位置を測長している点にある。他方、刊行物発明ではディスク原盤を支持するターンテーブルが固定で、原盤露光するレーザを保持するヘッドを有した粗動機構が可動状態にある。
　しかしながら、上記相違点(a)(b)に関しては、刊行物２に記載がある。即ち、上記摘記事項(2-6)の『
少なくともいずれか一方を駆動させる
　
　相違点(c)であるが、光路による複数の測長計を一体として設けることは周知であるから（一例：特開平８−１５７１１８号公報参照）、刊行物１発明のものにおいても、第一、第二の測長計を一体として設けることは当業者が必要に応じて適宜なし得るものである。
　なお、本願発明のものにおいては第一及び第二の測長計の装置本体への一体化構成に関しては、各測長計からの測定結果と算出手段との間に例えば演算が容易等の記載事項は把握できないもので、一体化したことに特段の技術的な意義は認められない。
　
　相違点(d)であるが、刊行物１発明には明確な記載はないが、ヘッドより照射するレーザ光をディスク原盤の周方向にトラッキングしながら露光処理を行う原盤露光装置である以上、ディスク原盤におけるヘッドの照射位置に関して目標値をもって駆動していることは自明である。そして、可動部分に対する測定が複数あれば、測定値はすべて、目標値に対する調整値にあたる。各測定値間での差分値を算出、さらにその値と照射目標値との差分値を算出してヘッドの位置補正を行うことは、想定できる算出手法からの適宜選択し得る範囲内のものである。このことは、例えば、刊行物２においても、検出値の差分を演算し、その差分を基準値と比較していく回路構成からも確認できる。
　よって、上記相違点(d)の構成は当業者が必要に応じて適宜なし得るものである。
　
　なお、本願発明のものにおいては、レーザ光をディスク原盤の周方向にトラッキングしながら露光処理を行う原盤露光装置において上記のような演算手法を採用したことによる特段の作用効果は見出せない。
　
　したがって、本願発明は、刊行物１発明のものにおいて、刊行物２及び周知構成を勘案して、当業者が容易に想到できたものである。
　
　
　４．むすび
　以上のとおりであって、本願発明は、上記刊行物１，２に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。