【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年9月29日(2010.9.29)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第1の時間の間に、電気回路の少なくとも一部から反射した光を検出することにより取得した第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する工程と、
第２の時間の間に、前記電気回路の少なくとも一部から蛍光により発光した光を検出することにより取得した第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する工程と、
前記第１の画像と、前記第２の画像と、前記電気回路に対応する基準画像とに基づいて、前記電気回路に含まれる欠陥を特定する工程と、からなることを特徴とする電気回路検査方法。
【請求項２】
前記第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、前記第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程により欠陥を含む可能性があるとして特定された前記電気回路の領域のみに対して実行されることを特徴とする請求項1に記載の電気回路検査方法。
【請求項３】
前記第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、反射光を使用して前記電気回路を走査する工程からなることを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項４】
前記第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、４２０ｎｍ未満の波長を有する光で前記電気回路の一部を照射する工程からなることを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項５】
前記４２０ｎｍ未満の波長を有する光で前記電気回路の一部を照射する工程は、リング状に配置された複数のＬＥＤから光を提供する工程からなり、前記ＬＥＤは、青、紫、および紫外スペクトルのうちの少なくとも１つのスペクトルに属する光を発光する請求項４に記載の電気回路検査方法。
【請求項６】
前記第１の画像の検査結果から、欠陥候補位置を決定する工程と、
概ね前記欠陥候補位置における前記第２の画像を取得する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項７】
前記第１の画像の検査結果から、欠陥候補位置を判定する工程と、
前記欠陥候補位置に対応する前記第２の画像の一部を前記基準画像と比較する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項８】
前記比較工程が、
前記第２の画像から第１の輪郭を抽出する工程と、
前記第１の輪郭を前記基準画像から得られた第２の輪郭と比較する工程と、
からなることを特徴とする請求項７に記載の電気回路検査方法。
【請求項９】
前記電気回路上の欠陥、および誤検出であると最終的に決定されていない欠陥候補の少なくともいずれか一方の高品質反射画像を取得する工程と、
より詳細な欠陥判定を行うために、前記高品質反射画像を評価する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項１０】
実際の欠陥であると判定された欠陥候補の少なくとも１つを修復する工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項１１】
前記第２の画像の解像度が前記第１の画像の解像度よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項１２】
前記第１の時間と前記第２の時間とは、時間的に離間していることを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項１３】
前記第２の時間は、前記第１の時間より時間的に後となることを特徴とする請求項１２に記載の電気回路検査方法。
【請求項１４】
前記第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、前記電気回路を走査する工程と、前記第１の画像としての反射画像を取得する工程とからなり、前記第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、前記走査工程の後で、前記第２の画像としての少なくとも１つの蛍光画像を取得する工程とからなることを特徴とする請求項１３に記載の電気回路検査方法。
【請求項１５】
前記第１の時間および前記第２の時間は、前記走査工程の間同一時間帯にないことを特徴とする請求項１に記載の電気回路検査方法。
【請求項１６】
電気回路の少なくとも一部から反射した光を検出することにより取得した第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査するように作動する反射光検査手段と、
前記電気回路の少なくとも一部から蛍光により発光した光を検査することにより取得した第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査するように作動する蛍光検査手段と、
前記第１の画像と、前記第２の画像と、前記電気回路に対応した基準画像とに基づいて、前記電気回路の欠陥を特定するように作動する欠陥特定器と、
を備えたことを特徴とする電気回路検査装置。
【請求項１７】
前記蛍光検査手段は、前記反射光検査手段により欠陥を含む可能性があるとして特定された前記電気回路上の領域のみに対して作動することを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項１８】
前記反射光検査手段が、反射光を使用して前記電気回路を走査するよう作動するスキャナを備えることを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項１９】
前記蛍光検査手段は、前記電気回路の一部を照射するように作動し、４２０ｎｍ未満の波長の光で画像を取得する照射体を備えたことを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２０】
前記照射体は、リング形状に配置された複数のＬＥＤを備え、画像を取得する前記電気回路の被照射部分を照射することを特徴とする請求項１９に記載の電気回路検査装置。
【請求項２１】
前記ＬＥＤを覆うローパスフィルタを更に備え、前記ローパスフィルタは前記被照射部分の画像の取得を可能とする開口部を備え、前記画像は前記ローパスフィルタによりフィルタ処理されないことを特徴とする請求項２０に記載の電気回路検査装置。
【請求項２２】
前記第１の画像の検査結果から欠陥候補位置を判定するように作動する欠陥位置判定器と、
概ね前記欠陥候補位置において、前記第２の画像を取得するように作動する画像取得器と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２３】
前記第１の画像の検査結果から、欠陥候補位置を判定するように作動する欠陥位置判定器と、
前記欠陥候補位置に対応する前記第２の画像の一部を、前記基準画像と比較するように作動する画像比較器と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２４】
前記画像比較器が、
前記第２の画像から第１の輪郭を抽出するように作動する輪郭抽出器と、
前記第１の輪郭を、前記基準画像から得られた第２の輪郭と比較するように作動する輪郭比較器と、
を備えたことを特徴とする請求項２３に記載の電気回路検査装置。
【請求項２５】
前記電気回路上の欠陥、および誤検出であると最終的に決定されていない欠陥候補の少なくともいずれか一方の高品質反射画像を取得するように作動する反射画像取得器と、
より詳細な欠陥判定を行うために、前記高品質反射画像を評価するように作動する画像評価器と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２６】
前記第２の画像の解像度が前記第１の画像の解像度よりも高いことを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２７】
前記蛍光検査手段が、前記反射光検査手段の動作の後で作動することを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２８】
前記反射光検査手段が、電気回路を走査している間に、前記第１の画像としての、少なくとも１つの反射画像を取得するように作動し、前記蛍光検査手段が前記走査の後に、前記第２の画像としての、少なくとも一度蛍光画像を取得するように作動することを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項２９】
前記反射光検査手段が、電気回路を走査している間に、前記第１の画像としての、少なくとも１つの反射画像を取得するように作動し、前記蛍光検査手段が、前記走査の間に、前記第２の画像としての、少なくとも一度蛍光画像を取得するように作動することを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項３０】
前記第１の画像としての、前記少なくとも１つの反射画像、および、前記第２の画像としての、前記少なくとも１つの蛍光画像が、走査中の同一時間帯にない時間に取得されることを特徴とする請求項１６に記載の電気回路検査装置。
【請求項３１】
基板上に電気回路を形成する工程と、
第1の時間の間に、電気回路の少なくとも一部から反射した光を検出することにより取得した第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する工程と、
第２の時間の間に、前記電気回路の少なくとも一部から蛍光により発光した光を検査することにより取得した第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する工程と、
前記第１の画像と、前記第２の画像と、前記電気回路に対応する基準画像とに基づいて、前記電気回路に含まれる欠陥を特定する工程と、
欠陥が含まれると特定された電気回路を廃棄する工程とからなることを特徴とする電気回路組立方法。
【請求項３２】
前記第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、前記第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程により欠陥を含む可能性があるとして特定された前記電気回路の領域のみに対して実行されることを特徴とする請求項３1に記載の電気回路組立方法。
【請求項３３】
前記第１の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、反射光を使用して前記電気回路を走査する工程からなることを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項３４】
前記第２の画像に基づいて前記電気回路の少なくとも一部を検査する前記工程は、４２０ｎｍ未満の波長を有する光で前記電気回路の一部を照射する工程からなることを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項３５】
前記第１の画像の検査結果から、欠陥候補位置を決定する工程と、
概ね前記欠陥候補位置における前記第２の画像を取得する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項３６】
前記第１の画像の検査結果から、欠陥候補位置を判定する工程と、
前記欠陥候補位置に対応する前記第２の画像の一部を前記基準画像と比較する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項３７】
前記比較工程が、
前記第２の画像から第１の輪郭を抽出する工程と、
前記第１の輪郭を前記基準画像から得られた第２の輪郭と比較する工程と、
からなることを特徴とする請求項３６に記載の電気回路組立方法。
【請求項３８】
前記電気回路上の欠陥、および誤検出であると最終的に決定されていない欠陥候補の少なくともいずれか一方の高品質反射画像を取得する工程と、
より詳細な欠陥判定を行うために、前記高品質反射画像を評価する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項３９】
実際の欠陥であると判定された欠陥候補の少なくとも１つを修復する工程を更に有することを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項４０】
前記第２の画像の解像度が前記第１の画像の解像度よりも高いことを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項４１】
前記第２の時間は、前記第１の時間より時間的に後となることを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。
【請求項４２】
前記第１の時間および前記第２の時間は、前記走査工程の間同一時間帯にないことを特徴とする請求項３１に記載の電気回路組立方法。