【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年3月31日(2010.3.31)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板とコリオリ要素（２ａ，２ｂ）とを有する回転速度センサであって、前記コリオリ要素（２ａ，２ｂ）は、基板の表面上に設けられており、前記コリオリ要素（２ａ，２ｂ）は、第１の軸（Ｘ）に対して平行に振動するように励振することができ、前記コリオリ要素（２ａ，２ｂ）は、コリオリ力に基づいて、前記第１の軸（Ｘ）に対してほぼ垂直方向の第２の軸（Ｙ）での偏移を検出し、前記第１の軸（Ｘ）及び前記第２の軸（Ｙ）は、前記基板の表面に対して平行に設けられている回転速度センサにおいて、
基板とコリオリ要素（２ａ，２ｂ）との動的な力作用を伝達する力伝達手段（１９，２０）が設けられており、力伝達手段（１９，２０）として、第１のサブストラクチュア（１９）と第２のサブストラクチュア（２０）を有する補償構造が設けられており、各サブストラクチュアに、少なくとも１つの、コリオリ要素（２ａ，２ｂ）の切り抜き（６０）が設けられており、前記切り抜き（６０）は、第１の切り抜き領域内で、第２の軸（Ｙ）の方向に、第２の切り抜き領域内よりも大きく拡がっていることを特徴とする回転速度センサ。
【請求項２】
力伝達手段（１９，２０）は、基板とコリオリ要素（２ａ，２ｂ）との動的な力作用だけを伝達するように設けられている請求項１記載の回転速度センサ。
【請求項３】
力伝達手段（１９，２０）は、動的な力作用に対して付加的に、基板とコリオリ要素（２ａ，２ｂ）との静的な力作用も伝達するように設けられている
請求項１記載の回転速度センサ。
【請求項４】
力伝達手段（１９，２０）は、静的な力作用が、基板の表面上にほぼ垂直方向の第３の軸（Ｚ）に関するトルクに相応するように設けられている請求項３記載の回転速度センサ。
【請求項５】
相互に対称的に設けられた２つのコリオリ要素（２ａ，２ｂ）が設けられており、該各コリオリ要素（２ａ，２ｂ）間に機械的に設けられた結合部が設けられている請求項１から４迄の何れか１記載の回転速度センサ。
【請求項６】
２つ又は２つ以下の制御量に依存して、動的及び／又は静的な力作用が形成される請求項１から５迄の何れか１記載の回転速度センサ。
【請求項７】
制御量は、直流電圧である請求項６記載の回転速度センサ。
【請求項８】
第１のサブストラクチュアと第２のサブストラクチュア（１９，２０）は、相互に非対称に設けられている請求項１から７迄の何れか１記載の回転速度センサ。
【請求項９】
駆動手段（１２ａ，１３ａ，１２ｂ，１３ｂ）が設けられており、該駆動手段により、コリオリ要素（２ａ，２ｂ）は、第１の軸（Ｘ）に対して平行に振動するように励振可能であり、検出手段（１５ａ，１６ａ，１５ｂ，１６ｂ，１７）が設けられており、該検出手段により、コリオリ要素（２ａ，２ｂ）が、コリオリ力に基づく第２の軸（Ｙ）方向への偏移を検出する請求項１から８迄の何れか１記載の回転速度センサ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
補償構造体の各サブストラクチュア１９、２０は本発明では殊に第５の電極及び第６の電極を有するコンデンサ装置として設けられている。コリオリ要素２ａから、適切な領域６０を切り抜き、これは以下で切り抜き６０とも称す。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
本発明によると、回転速度センサの全ての実施例で、各切り抜き６０が、第２の軸ｙ方向での第１の切り抜き領域６５内に、第２の切り抜き領域６６内よりも大きな拡がりを有するように設けられている。切り抜き領域６５，６６は、本発明によると、各々例えば矩形に設けられており、その際、殊に、切り抜き領域６５，６６の矩形の一方の側が同じ長さに設けられており、切り抜き領域６５，６６の矩形の他方の側が異なった長さに設けられている。切り抜き領域６５，６６は、本発明によると、殊に、第２の切り抜き領域６５，６６の同じ長さの側が平行であって、殊に、第１の軸Ｘに沿って延びており、並びに、第１の軸Ｘの方向に相互に「当接」されており、即ち、Ｘ軸の方向に、相互に境界を接して設けられていて、一緒に切り抜き６０を形成するようにされている。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
更に、本発明の全ての実施例では、切り抜き６０の側壁は、静電補償構造体１９，２０の各々第６の電極１９ｂ，２０ｂを形成する。切り抜き６０の第１の切り抜き領域６５及び第２の切り抜き領域６６に相応して、第６の電極１９ｂ，２０ｂが各切り抜きの各々内に分岐されて第１の部分電極６７及び第２の部分電極６８である。この際、第１の部分電極６７は、第１の切り抜き領域６５の側壁として設けられており、第２の部分電極６８が第２の切り抜き領域６６の側壁として設けられている。本発明によると、切り抜き領域６５，６６は、第１の軸の方向に相互に続いており、第２の軸Ｙの方向での異なった拡がりに基づいて、第１の軸Ｘに対して平行な一方の側に、共通の側壁６９が形成され、他方の側に、段のある側壁７０が形成される。切り抜き６０には、第５の電極として、基板に機械的に固定して取り付けられた対向電極（平板乃至プレート状コンデンサ構造体）１９ａ，２０ａが設けられている。第５の電極１９ａ，２０ａは、本発明によると、例えば、基板から切り抜き６０突入した、殊に矩形状横断面の板として設けられている。第５の電極１９ａ及び同様に第５の電極２０ａは、本発明によると、殊に、回転速度センサの可動構造体の下側の導体路を介して、各々相互に電気的に接続されており（その際、第５の電極１９ａは、第５の電極２０ａから電気的に絶縁して設けられている）、しかし、基板に対しては電気的に絶縁して構成されており、その結果、この電極１９ａ，２０ａには、外側から所望の電位を可動センサ構造体に印加することができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
本発明によると、切り抜き領域６５，６６を切り抜き６０となるように相互に境を接して設ける複数の装置手段が設けられており、即ち、第１の手段は、第１の切り抜き領域６５が、第１の軸Ｘの正の方向で第２の切り抜き領域６６に続き、その際、共通の側壁６９が正のＹ軸側に設けられる。第１の手段は、図３ｂでは、参照番号２１０で示されている。第２の手段は、第１の切り抜き領域６５が第１の軸Ｘの正の方向で第２の切り抜き領域６６に続き、その際、共通の側壁６９は、負のＹ軸の側に設けられている。第２の手段は、図３ｂには、参照番号２２０で示されている。第３の手段は、第１の切り抜き領域６５が、第１の軸Ｘの正の方向で第２の切り抜き領域６６に先行しており、その際、共通の側壁６９は、負のＹ軸側に設けられている。第３の手段は、図３ｂには、参照番号２３０で示されている。第４の手段は、第１の切り抜き領域６５が第１の軸Ｘの正の方向で第２の切り抜き領域６５に先行しており、その際、共通の側壁６９は、正のＹ軸の側に設けられている。第４の手段は、図３ｂに参照番号２４０で示されている。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
更に、本発明の全ての実施例で、第５の電極１９ａ，２０ａが第１の切り抜き領域６５内に非対称に設けられているように、固定の第５の電極（１９ａ，２０ａ）は、取り出し領域内に非対称に設けられている。つまり、第５の電極１９ａ，２０ａは、第１の切り抜き領域６５内に第２の軸Ｙに関して第１の切り抜き領域６５の両側壁６９，７０の一方の近傍に設けられている。第２の切り抜き領域に関して、第５の電極１９ａ，２０ａは、第２の切り抜き領域６６に対してほぼ対称に設けられている。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
切り抜き領域６５，６６は、第１の実施例では、第１の構成手段によるコリオリ要素２ａの第１の面６１の第１の補償構造体１９用に設けられており、第２の構成手段によるコリオリ要素２ａの第１の面６１の補償構造体２０用に設けられている。第１の実施例では、更に、切り抜き領域６５，６６は、第３の構成手段によるコリオリ要素２ａの第２の面６２の第１の補償構造体１９用に設けられており、第４の構成手段によるコリオリ要素２ａの第２の面６２の第２の補償構造体２０用に設けられている。そうすることによって、コリオリ要素２ａの静止位置では、外部クォードレチャ補償電圧（直流電圧）が、第５及び第６の電極１９ａ，２０ａ，１９ｂ，２０ｂ間に印加された場合、静的な力がコリオリ要素２ａにｙ方向に加わる。この力の大きさは、本発明によると、第５及び第６の電極間の直流電圧を介して殊に連続的に変えられる。この力の方向は、装置構成を非対称にすることによって設定される。この静的な力は、既に僅かながら静的なクォードレチャ補償を生じている。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
しかし、本発明の核心的な技術思想は、機械的な非対称性に基づいて補償構造体内に生じる、付加的な動的なクォードレチャ補償効果にある。センサ素子が、振幅Ｘ０の１次振動で動く際（図３ｂ及び３ｃに示されている）、コリオリ要素２ａの切り抜き６０の第５の電極１９ａ，２０ａと第１乃至第２の切り抜き領域６５，６６との間の移動面積が変化する。その結果、同様に、周期的に変化する合成力がｙ方向に生じ、つまり、図３ｂ及び３ｃに示された長い矢印（上述の短い矢印とは異なった）によって示されている。従って、切り抜き領域６５，６６の第１の構成手段では、第１の補償構造体１９では、第１の側６１に示されているように、コリオリ要素が正のＸ軸で偏移する際、動的な力が正のＹ軸（左側）に形成され、コリオリ要素２ａが負のＸ軸で偏移する際、動的な力が負のＹ軸（右側）に生じる。切り抜き領域６５，６６の第２の装置構成手段では、第２の補償構造体２０では第２の側６１に示されているように、コリオリ要素２ａが正のＸ軸に偏移する際、動的な力が負のＹ軸（右側）に生じ、コリオリ要素２ａが負のＸ軸に偏移する際、動的な力が正のＹ軸（左側）に生じる。切り抜き領域６５，６６の第３の装置構成手段では、第１の補償構造体１９では、第２の側６２に示されているように、コリオリ要素が正のＸ軸に偏移する際、動的な力が正のＹ方向（左側）に生じ、コリオリ要素２ａが負のＸ軸に偏移する際、動的な力が負のＹ軸（右側）に生じる。切り抜き領域６５，６６の第４の装置構成手段では、第２の補償構造体２０では第２の側６２に示されているように、コリオリ要素２ａが正のＸ軸に偏移する際、動的な力が負のＹ軸（右側）に生じ、コリオリ要素２ａが負のＸ軸に偏移する際、動的な力が正のＹ軸（左側）に生じる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
図５の第２の実施例は、第１及び第２のサブストラクチュア１９，２０の幾何学的な装置構成によって区別される。図５では、簡単化のために、本発明の回転速度センサの第１の部分構造体５０ａだけが示されている。コリオリ要素２ａの第１の側６１には、左側部分（正のＹ軸方向）に幾つかのサブストラクチュア１９が設けられており、右側部分には、幾つかの第２のサブストラクチュア２０が設けられている。コリオリ要素２ａの第２の側６２には、左側部分（正のＹ軸方向）に、幾つかの第１のサブストラクチュア１９が設けられており、右側部分には、幾つかの第２のサブストラクチュア２０が設けられている。第２の実施例では、第１のサブストラクチュア１９は、第１の側６１にも第２の側６２にも第３の装置構成手段２３０によって設けられている。第２の実施例では、第２のサブストラクチュア２０は、第１の側６１にも第２の側６２にも第２の装置構成手段によって設けられている。相応して、動的及び静的な力作用は、再び長い矢印と短い矢印によって図５に示されており、図３で説明した、切り抜き領域６５，６６の第２乃至第３の装置構成手段２２０，２３０に相応する。第１の実施例に関して変更した、切り抜き領域６５，６６の装置構成によって、センサの休止状態で、即ち、コリオリ要素のＸ方向での偏移なしに、合成トルクがセンサ構造体に作用するようになる（図５の短い矢印）。従って、この装置構成では、静的なクォードレチャ補償は作用しない。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６８】
第４の実施例による図８の本発明の回転速度センサ、乃至、図９の詳細部分は、コリオリ要素２ａ乃至２ｂ内の補償構造体１９，２０の切り抜き領域６５，６６の配向によって区別される。ここでも、第１のサブストラクチュア１９乃至第２のサブストラクチュア２０は、各々部分構造体５０ａ，５０ｂ（左側乃至右側）の一方だけに配置されている。第１のサブストラクチュア１９は、第１の側６１及び第２の側６２に対して同じように設けられている。第２のサブストラクチュア２０は、第１の側６１及び第２の側６２に対して同様に同じに設けられている。第１のサブストラクチュア１９に対しては、切り抜き領域６５，６６の第３の装置構成手段２３０が設けられている。第２のサブストラクチュア２０に対しては、切り抜き領域６５，６６の第４の装置構成手段２４０が設けられている。この変更された配向によって、センサ休止状態で、合成トルクがセンサ構造体に作用しないようになる（図８及び９の短い矢印）。従って、この装置構成では、静的なクォードレチャ補償は行われない。