【事件の表示】
　平成　８年特許願第３４８１４５号「搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　７月　７日出願公開、特開平１０−１８１８７９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　
　本願は、平成８年１２月２６日の出願であって、平成１６年３月８日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年４月１４日付けで審判請求がなされるとともに、同年５月１１日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年５月１１日付け手続補正についての補正却下の決定
　
［補正却下の決定の結論］
　平成１６年５月１１日付け手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の請求項１に記載された発明
　
　平成１６年５月１１日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、次のとおりに補正された。
　
「　【請求項１】　ロボットアームなどの移動部材に装着される搬送ヘッドの先端に、板状のワークを保持する環状の平坦な保持面と、この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部と、この気体吐出部と前記保持面とを流線形状に結ぶ気体案内面とを形成し、
　前記保持面の内側に形成される凹部内に突出する頭部が設けられたノズルを前記搬送ヘッドに設け、
　前記搬送ヘッドに形成された空気通路から供給される空気が入り込むエアーポケットを前記頭部に形成し、
　前記頭部と前記気体吐出部との間に、前記エアーポケットから前記気体吐出部を経て前記気体案内面に向けて空気を吐出するスリットを形成し、
　前記気体吐出部から前記気体案内面を経て前記保持面にまで付着された状態で流れる気体により前記保持面において形成される負圧によって前記ワークを保持するようにしたことを特徴とする搬送装置。」
　
　上記補正は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項について、「前記気体案内面に沿って空気を供給するノズルを前記気体吐出部に設け」を「前記保持面の内側に形成される凹部内に突出する頭部が設けられたノズルを前記搬送ヘッドに設け」に、「前記ノズルに前記搬送ヘッドに形成された空気通路から供給されて入り込んだ圧縮空気を前記気体案内面に向けて吐出するエアーポケットを前記ノズルに形成し」を「前記搬送ヘッドに形成された空気通路から供給される空気が入り込むエアーポケットを前記頭部に形成し」に、「前記エアーポケットから前記気体案内面を経て前記保持面にまで付着された状態で流れる気体により前記保持面において形成される負圧により」を「前記気体吐出部から前記気体案内面を経て前記保持面にまで付着された状態で流れる気体により前記保持面において形成される負圧によって」に、それぞれ変更するとともに、「前記頭部と前記気体吐出部との間に、前記エアーポケットから前記気体吐出部を経て前記気体案内面に向けて空気を吐出するスリットを形成し」との限定を付加するものであり、この補正に係る事項は新規事項を含むものとは認められず、特許法第１７条の２第４項に規定する特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用刊行物とその記載事項
　
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に日本国内において頒布された刊行物である「特開昭６２−９２３３７号公報」（以下、「引用例」という。）には、「ウエハ保持装置」に関し、第１〜３図とともに次の事項が記載されている。
　
（ア）「第３図により本実施例の保持原理を説明する。不完全チップ部ａ，ｂ，ｃ，ｄの位置にレバー１２によりピン４を位置決めする。次にウエハ１が乗っている図示されていないウエハチヤツク等を上方、あるいはウエハ保持装置全体を下方に移動し、ピン４のストツパー５が装置本体２に突き当たるまでピン４をウエハ１に押しつける。この時ピン４の先端のゴム部材３は接触部が非チツプ領域ａ，ｂ，ｃ，ｄより十分小さく、又十分な弾性を有してウエハ１に傷等をつけず、更に十分な摩擦係数を有してウエハ１の横ずれを防止するようにしてある。動作完了後エアー注入口１５から十分なエア供給を行なうとエアは図の矢印方向即ち円形の装置本体２の略半径方向に流れ装置本体２とウエハ１との間の空間が大気圧より負圧になる、いわゆるベルヌーイの原理によりウエハ１はピン４を押しつける方向に力が働き、ウエハ１がこの装置に吸着された事になる。装置本体２の吸着部を図のように円錐形にし、空いた空間にバツフアプレート１０をつけているので噴出空気が直接ウエハに当たって生じる反発力を最小限にできる。この後装置本体２を必要な場所に移動する事によりウエハ１の搬送が可能である。」（第２頁左下欄第７行〜右下欄第９行）
　
　引用例に記載のものにおいて、ウエハ保持装置本体２は、必要な場所に移動することでウエハ１の搬送を可能とするものであるから、ロボットアームなどの移動部材に装着されるものであることは明らかである。また、上記記載事項（ア）及び第３図の記載に照らせば、ウエハ保持装置本体２の先端には、ウエハ１を保持する円錐形の吸着部とともに気体吐出部が形成されること、バツフアプレート１０と当該気体吐出部との間に、ウエハ保持装置本体２に形成されたエア通路から供給されるエアを吐出するスリットが形成されることは、それぞれ明らかである。
　
　したがって、上記記載事項（ア）及び第１〜３図の記載を総合すると、引用例には、
　
「ロボットアームなどの移動部材に装着されるウエハ保持装置本体２の先端に、ウエハ１を保持する円錐形の吸着部と気体吐出部とを形成し、
　前記ウエハ保持装置本体２の先端に形成される凹部内に突出するバツフアプレート１０を前記ウエハ保持装置本体２に設け、
　前記ウエハ保持装置本体２にエア通路を形成し、
　前記バツフアプレート１０と前記気体吐出部との間に、前記エア通路から前記気体吐出部に向けてエアを吐出するスリットを形成し、
　前記気体吐出部から前記吸着部にまで付着された状態で流れるエアにより前記吸着部において形成される負圧によって前記ウエハ１を保持するようにした搬送装置。」
の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
（３）対比
　
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「ウエハ保持装置本体２」、「ウエハ１」、「吸着部」、「バツフアプレート１０」、「エア通路」、「エア」は、それぞれ本願補正発明の「搬送ヘッド」、「板状のワーク」、「保持面」、「頭部が設けられたノズル」又は「頭部」、「空気通路」、「空気」又は「気体」に相当する。
　
　また、引用発明の「ウエハ保持装置本体２の先端に形成される凹部」は、搬送ヘッドの先端に形成される点で、本願補正発明の「保持面の内側に形成される凹部」と、引用発明の「前記エア通路から前記気体吐出部に向けてエアを吐出するスリット」は、空気通路から気体吐出部に向けて空気を吐出する点で、本願補正発明の「前記エアーポケットから前記気体吐出部を経て前記気体案内面に向けて空気を吐出するスリット」とそれぞれ共通する。
　
　そうすると、本願補正発明と引用発明とは、
　
「ロボットアームなどの移動部材に装着される搬送ヘッドの先端に、板状のワークを保持する保持面と気体吐出部とを形成し、
　前記搬送ヘッドの先端に形成される凹部内に突出する頭部が設けられたノズルを前記搬送ヘッドに設け、
　前記搬送ヘッドに空気通路を形成し、
　前記頭部と前記気体吐出部との間に、前記空気通路から前記気体吐出部に向けて空気を吐出するスリットを形成し、
　前記気体吐出部から前記保持面にまで付着された状態で流れる気体により前記保持面において形成される負圧によって前記ワークを保持するようにした搬送装置。」
　
である点で一致し、次の点で相違する。
　
［相違点１］
　本願補正発明では、搬送ヘッドの先端に、環状の平坦な保持面と、この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部と、この気体吐出部と前記保持面とを流線形状に結ぶ気体案内面とを形成したのに対して、引用発明では、ウエハ保持装置本体２の先端に、ウエハ１を保持する吸着部と気体吐出部とを形成したものの、吸着部は環状の平坦なものではなく、吸着部と気体吐出部との位置関係、及び、気体案内面に相当する構成を有するのかが明らかではない点。
　
［相違点２］
　本願補正発明では、ノズルに設けられた頭部が突出する凹部は、保持面の内側に形成されるのに対して、引用発明では、バツフアプレート１０が突出する凹部は、ウエハ保持装置本体２の先端に形成されるものの、当該凹部と吸着面との位置関係は明らかではない点。
　
［相違点３］
　本願補正発明では、搬送ヘッドに形成された空気通路から供給される空気が入り込むエアーポケットを頭部に形成したのに対して、引用発明ではそのような構成を有するのかが明らかではない点。
　
［相違点４］
　本願補正発明では、空気又は気体は、スリットを介してエアーポケットから気体吐出部を経て気体案内面に向けて吐出され、気体吐出部から気体案内面を経て保持面にまで付着された状態で流れるのに対して、引用発明では、エアは、スリットを介してエア通路から気体吐出部に向けて吐出され、気体吐出部から吸着部にまで付着された状態で流れるものの、エアーポケットから気体案内面に向けて吐出され、気体案内面を経て付着された状態で流れるのかが明らかではない点。
　
（４）判断
　
　上記相違点について、以下で検討する。
　
［相違点１］について
　一般に、ベルヌーイの原理を用いた吸着装置（ベルヌーイチャック）の分野において、当該装置の先端に、環状の平坦な保持面、保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部、及び、気体吐出部と保持面とを結ぶ気体案内面を形成した点は従来周知の事項（例えば、米国特許第３４３８６６８号明細書の第３，４図、又は、実願平２−７８９８９号（実開平４−８８８４７号）のマイクロフィルムの第５図参照。環状の平坦な保持面に関して、特開昭５２−１４１９５５号公報の第２図、特開平７−７０７０号公報の図１も参照。）であり、気体案内面の形状を流線形状とすることは、気体を案内するという機能からみて、当業者が容易に想到し得た事項に過ぎないものである。してみれば、引用発明のウエハ保持装置本体２の先端を上記周知技術のごとく形成して、上記相違点１でいう本願補正発明の構成をなすことは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
［相違点２］について
　上記のとおり、環状の平坦な保持面、保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部、及び、気体吐出部と保持面とを結ぶ気体案内面を形成した点が従来周知の事項であることに照らせば、引用発明に上記周知技術を適用して、バツフアプレート１０が突出する凹部を吸着面の内側に形成することは、当業者が容易に想到し得た事項である。してみれば、上記相違点２に係る本願補正発明の構成に格別の困難性は認められない。
　
［相違点３］について
　一般に、ベルヌーイチャックに空気通路から供給される空気が入り込むエアーポケットを設けることは、従来周知の事項（例えば、特開昭５２−１４１９５５号公報の自由スペース１７、米国特許第３４３８６６８号明細書のpick-up deviceの表面とplate23で囲まれる空間、又は、特開平７−７０７０号公報の環状空間５４を参照。）であるから、引用発明に上記周知技術を適用して、バツフアプレート１０にエアーポケットを形成することは、当業者が容易に想到し得た事項である。してみれば、上記相違点３に係る本願補正発明の構成に格別の困難性は認められない。
　
［相違点４］について
　上記のとおり、エアーポケット及び気体案内面を設けた点が従来周知の事項であることに照らせば、引用発明に上記周知技術を適用して、上記相違点４でいう本願補正発明の構成をなすことは、当業者ならば容易に想到し得たことである。
　
　そして、本願補正発明の奏する効果についてみても、引用発明及び上記周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであるから、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　
（１）本願発明
　
　本件補正は上記２．のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１４年５月３０日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものであると認められる（なお、平成１５年８月１２日付け手続補正は、平成１６年３月８日付けで却下された。）。
　
「 【請求項１】　ロボットアームなどの移動部材に装着される搬送ヘッドの先端に、板状のワークを保持する環状の平坦な保持面と、この保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部と、この気体吐出部と前記保持面とを流線形状に結ぶ気体案内面とを形成し、
　前記気体案内面に沿って空気を供給するノズルを前記気体吐出部に設け、前記ノズルに前記搬送ヘッドに形成された空気通路から供給されて入り込んだ圧縮空気を前記気体案内面に向けて吐出するエアーポケットを前記ノズルに形成し、
　前記エアーポケットから前記気体案内面を経て前記保持面にまで付着された状態で流れる気体により前記保持面において形成される負圧により前記ワークを保持するようにしたことを特徴とする搬送装置。」
　
（２）引用刊行物とその記載事項
　
　原査定の拒絶の理由に引用した刊行物、及びその記載事項は上記２．（２）に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　
　本件補正が、上記２．（１）に記載したとおり、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項に関して、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当することに照らせば、本願発明は、実質的に、上記２．で検討した本願補正発明からその構成要件の一部を省いたものに相当するものと認められる。
　
　そうすると、実質的に、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記２．（４）に記載したとおり、引用発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本願の請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。