【事件の表示】
　特許第３４１０９０２号「レンズ面偏心測定方法およびレンズ面偏心測定装置」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１０９０２号の請求項３ないし４、６に係る特許を取り消す。
　同請求項１ないし２、５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４１０９０２号の請求項１ないし６に係る発明についての出願は平成８年６月５日に特許出願され、平成１５年３月２０日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、異議申立人溝呂木寛により特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１７年６月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は以下のａ−ｊのとおりである。　
ア．訂正事項ａ
　訂正前の請求項１で、
　「【請求項１】１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性の照射光束を照射し、上記被検レンズ面からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させ、上記各像の重心位置座標と被検レンズ系のデータとを用いて所定の演算を行ない、上記所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求めることを特徴とするレンズ面偏心測定方法。」
　とあるのを、
　「【請求項１】１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、定位置に態位を調整されて保持された上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射し、上記被検レンズ面からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させ、上記各像の重心位置座標と被検レンズ系のデータとを用いて所定の演算を行ない、上記所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求めることを特徴とするレンズ面偏心測定方法。」
　と訂正する。
　
イ．訂正事項ｂ
　訂正前の請求項３で、
　「【請求項３】１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であって、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させて、上記被検レンズ系を保持する保持手段と、照明用光源と、上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系と、上記中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの反射光束を結像させる結像光学系と、この結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面からの反射光の結像の重心位置を検出する重心位置検出手段と、この重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段とを有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置。」
　とあるのを、
　「【請求項３】１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であって、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように態位を調整し、上記被検レンズ系を、調整された態位に保持する保持手段と、照明用光源と、上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系と、上記中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの反射光束を結像させる結像光学系と、この結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面からの反射光の結像の重心位置を検出する重心位置検出手段と、この重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段とを有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置。」
　と訂正するものである。
　
ハ．訂正事項ｃ
　訂正前の明細書段落【０００９】で、
　「【０００９】……集束性もしくは発散性の照射光束を照射する。……」とあるのを、　「【０００９】……集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射する。被検レンズは、定位置に態位を調整されて保持されて照射光束を照射される。……」と訂正する。
　
ニ．訂正事項ｄ
　訂正前の明細書段落【００１４】で、
　「【００１４】……、曲率中心Ｓ2’Ｓ4’の基準光軸２からの「ずれ量」、……」とあるのを、
　「【００１４】……、曲率中心Ｓ2’，Ｓ4’の基準光軸２からの「ずれ量」、……」と訂正する。
　
ホ．訂正事項ｅ
　訂正前の明細書段落【００２０】で、
　「【００２０】……、近軸曲率中心と基準光路とを含む面が……」とあるのを、
　「【００２０】……、近軸曲率中心と基準光軸とを含む面が……」と訂正する。
　
ヘ．訂正事項ｆ
　訂正前の明細書段落【００２１】で、
　「【００２１】「保持手段」は、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させて、被検レンズ系を保持する手段である。……」とあるのを、
　「【００２１】「保持手段」は、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように態位を調整し、被検レンズ系を、調整された態位に保持する手段である。……」と訂正する。
　
ト．訂正事項ｇ
　訂正前の明細書段落【００２２】で、
　「【００２２】……光束を集束性もしくは発散性の照射光束として、……」とあるのを、　「【００２２】……光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として、……」と訂正する。
　
チ．訂正事項ｈ
　訂正前の明細書段落【００４９】で、
　「【００４９】……。図２（ａ）のおける座標系の原点Ｏは、……」とあるのを、
　「【００４９】……。図２（ａ）における座標系の原点Ｏは、……」と訂正する。
　
リ．訂正事項ｉ
　訂正前の明細書段落【００５４】で、
　「【００５４】……、座標：ｒ1，Δｒ1’とφ1’により座標：ｒ1’が定まる。……」とあるのを、
　「【００５４】……、座標：ｒ1，Δｒ1とφ1’により座標：ｒ1’が定まる。……」
と訂正する。
　
ヌ．訂正事項ｊ
　訂正前の明細書段落【００７２】で、
　「【００７２】……前記ｒi，ｒi’φiを決定し、……」とあるのを、
　「【００７２】……前記ｒi，ｒi’，φiを決定し、……」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項ａについて
　訂正事項ａは、訂正前の請求項１で「、上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性の照射光束を照射し、」と記載していたのを、「、定位置に態位を調整されて保持された上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射し、」と訂正するものである。
　「定位置に態位を調整されて保持された」という追加事項について検討すると、照射光束を照射する際に、被検レンズ系は、定位置に態位を調整されて保持されたものであることは、訂正前の明細書の段落に「【００３４】保持手段の調整機構３Ｂにより保持部３Ａの態位を調整することにより、保持部の中心軸をレンズ１１の光軸と合致させる。この状態で上記照射を行なえば、照射光束は、被検レンズ系１の基準光軸方向から照射されることになる。」と記載されているとおりである。
　また、被検レンズ面へ照射する光束の数について、「単一の照射光束」であると限定記載した点について検討すると、訂正前の明細書に「【００３３】「照明用光源」であるレーザ光源４から放射された照射光束は、……レンズ５で絞られた後に発散性の光束となり、……、レンズ８により平行光束に戻され……、レンズ１１により集束性の光束となって被検レンズ系１を照射する。……」と記載しており、この記載は、図１，４の図示と相俟って、レーザ光源４からの照射光束は単一であり、それが、レンズ５，８，１１を経て被検レンズを単一の集束性の照射光束として照射する記載と認められ、また、発散性の照射光束を被検レンズに照射する場合については、訂正前の段落【００６７】に記載されており、その場合は、発散性の単一照射光束を照射することになることも明らかであるから、「単一の照射光束」に係る事項は、訂正前の明細書に記載されている。
　したがって、この訂正内容は、訂正前の明細書に実質上記載されていたものであることが明らかであり、訂正事項ａは、特許請求の範囲を減縮する、乃至は、明りょうでない記載の釈明をすることを目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　
　訂正事項ｂについて
　訂正事項ｂは、訂正前の請求項３で「被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させて、上記被検レンズ系を保持する保持手段」、「照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系」と記載していたのを、それぞれ、「被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように態位を調整し、上記被検レンズ系を、調整された態位に保持する保持手段」、「照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系」と訂正するものである。
　「保持手段」についての訂正、つまり、「合致させるように態位を調整し、……、調整された態位に保持する」について検討すると、態位を調整し、調整された態位に保持する保持手段は、前記「訂正事項（ａ）について」で記載したように、訂正前の明細書の段落【００３４】に記載されているとおりである。
　また、「単一の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系」についての訂正について検討すると、この訂正に係る内容は、前記「訂正事項（ａ）について」で記載したように、訂正前の明細書の段落【００３３】、【００６７】に実質的に記載されていた事項である。
　したがって、この訂正内容は、訂正前の明細書に実質上記載されていたものであることが明らかであり、訂正事項ｂは、特許請求の範囲を減縮する、乃至は、明りょうでない記載の釈明をすることを目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　
　訂正事項ｃ，ｆ，ｇについて
　請求項１，３の訂正と整合をとるための訂正であり、不明りょうな記載の釈明を目的とするものである。
　
　訂正事項ｄ，ｅ，ｈ，ｉ，ｊについて
　いずれも、誤記の訂正をするものである。
　
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、平成１５年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについて
（１）申立ての理由の概要（特許法第２９条第２項違反）
　特許異議申立人溝呂木寛は、下記の甲第１，２号証を提出し、請求項１ないし６に係る発明の特許は、甲第１，２号証により、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨、主張している。
甲第１号証：特開平６−２５８１８１号公報（以下で、「刊行物１」という）
甲第２号証：特開昭５８−２００１２５号公報（以下で、「刊行物２」という）
　
（２）本件請求項１ないし６に係る発明
　上記２．で示したように、上記訂正が認められるから、本件請求項１，３に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１，３に記載された事項により特定されるとおりのものである。（前記２．（１）における訂正事項ａ，ｂを参照）
　そして、本件請求項２，４−６に係る発明は、次のものである。
　「【請求項２】請求項１記載のレンズ面偏心測定方法において、被検レンズ面が２面以上あるとき、照射光束の照射側から順次、各被検レンズ面の偏心量および偏心方向を測定することを特徴とするレンズ面偏心測定方法。」、
　「【請求項４】請求項３記載のレンズ面偏心測定装置において、重心位置検出手段は、単一の撮像手段および、この撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する単一の画像処理装置と、照射用光学系による集束性もしくは発散性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向に変位・調整する集光点位置調整手段と、により構成されることを特徴とするレンズ面偏心測定装置。」、
　「【請求項５】請求項３記載のレンズ面偏心測定装置において、重心位置検出手段は、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段と、により構成されることを特徴とするレンズ面偏心測定装置。」、
　「【請求項６】請求項３または４または５記載のレンズ面偏心測定装置において、演算手段が、重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により求めた各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により、最適基準光軸を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求める演算機能を有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置。」
　
（３）刊行物
　当審の取消の理由の通知で引用した刊行物は、刊行物１，２である。
　
　刊行物１には、
　「【０００２】【従来の技術】従来、多くのレンズ面をもつ被検レンズの組み立て中もしくは組み立て後に、各レンズ面の偏心を測定する偏心測定装置としては実開平１−７５４１号公報に開示されたものが知られている。図８は、上記偏心測定装置を示し、５１は光源、５２はコンデンサーレンズ、５３は指標、５４は半透鏡、５５はコリメートレンズ、５６はビームスプリッタ、５７，５８，５９はミラー、６０，６１は対物レンズ、６２は２次元センサー、６３はＡ／Ｄ変換器、６４はマイクロコンピューター、６５は回転ステージの駆動部、６６は回転ステージの保持部であり、被検レンズ６７は、回転ステージの保持部６６に保持されるようになっている。」、
　「【０００３】光源５１を点灯すると、光源５１からの光はコンデンサーレンズ５２により集光されて指標５３を照明する。照明された指標５３からの光は半透鏡５４を透過してコリメートレンズ５５により平行光束化され、この平行光束はビームスプリッタ５６により２光束に分割される。分割された光束の一方は、回転ステージの保持部６６に保持された被検レンズ６７の表面側に到る行路を進むが、この行路には前記対物レンズ６０が光軸方向へ可動に配備されている。」、
　「【０００４】また、ビームスプリッタ５６により分割された他方の光束は、行路形成部材を構成するミラー５７，５８，５９により形成された行路を進み、被検レンズ６７の裏面に到るが、こちらの行路に前記対物レンズ６１が光軸方向へ可動に配備されている。また、被検レンズ６７は、その表面側から裏面側へ向かって、複数のレンズ面６７ａ，６７ｂ，・・・６７ｍを有している。」、
　「【０００５】次に、上記偏心測定装置の作用を説明する。まず、対物レンズ６０の位置を調整し、指標５３の像が、被検レンズ面６７ａの曲率中心Ｐに投影されるようにする。このとき、レンズ面６７ａに偏心がなければ曲率中心点Ｐは光軸上に位置するが、レンズの偏心により実際には光軸からずれた位置になる。そして、レンズ面６７ａによる反射光は、対物レンズ６０、ビームスプリッタ５６、コリメートレンズ５５を逆進して半透鏡５４により反射され、２次元センサー６２上に指標５３の反射像Ｐ1 を結像する。
　「【０００６】また、対物レンズ６１の位置を光軸上で調整して、指標５３の像が上記曲率中心Ｐの極近傍の位置、即ち上記曲率中心点Ｐが本来位置すべき位置に投影されるようにする。このとき入射光束はレンズ面６７ｍ〜６７ｂの屈折によりレンズ面６７ａの裏側の曲率中心Ｐに投影される。そして、反射光は入射行路を逆に進んで半透鏡５４により反射され、２次元センサー６２上に指標５３の反射像Ｐ2 を結像する。
　「【０００７】図９は、２次元センサー６２の受光面６２ａに結像した反射像Ｐ1 ，Ｐ2 を示し、この状態において２次元センサー６２の出力は、Ａ／Ｄ変換器６３によりデジタル化されてマイクロコンピュータ６４に取り込まれる。このデータは反射像Ｐ1 ，Ｐ2 の座標データである。続いて、回転ステージの駆動部６５により保持部６６を回転させる。回転に伴い、２次元センサー６２上の反射像Ｐ1 ，Ｐ2 は、図９に示すようにそれぞれ０1 ，０2 を中心とする円を描いて回転する。」、
　「【０００８】この円の回転半径はレンズ面６７ａの偏心量と比例関係にあり、その比例定数はコリメートレンズ５５と対物レンズ６０または６１とによる光学系の倍率から決まる。また、点０1 と反射像Ｐ1 とのなす直線の方向により偏心がどの方向に起こっているかを知ることができる。」、
　「【０００９】マイクロコンピュータ６４は、回転ステージにより被検レンズ６７を回転させながら反射像Ｐ1 ，Ｐ2 の座標データを取り込み、そのデータに基づき所定の演算を行って上記回転半径を算出し、その値に基づき被検レンズ６７のレンズ面６７ａの偏心量を算出する。このようにして、順次被検レンズ６７のレンズ面６７ａ，６７ｂ，６７ｃ・・・６７ｍの偏心を算出する。そして、各レンズ面の偏心量は、それぞれの表裏の偏心量データの平均値として求める。以上により、被検レンズ６７の各面の偏心の状態を表裏両側から測定することができる。」、
　「【００２７】【実施例３】図５は、本発明の実施例３を概略的に示す構成図である。本実施例の偏心測定装置は、光源１と、光源１からの光束を平行にするコリメートレンズ２と、コリメートレンズ２からの光束を被検レンズ６に投射する対物レンズ３０と、コリメートレンズ２と対物レンズ３０との間に配置され被検レンズ６で反射した光を光源１側とは別の光路に変換する第１のビームスプリッタ３１と、第１のビームスプリッタ３１で光路変換した光を２分割する第２の対物レンズ３２と、２分された一方の光を集光する第１の集光レンズ３３ａと、第１の集光レンズ３３ａで集光した点像Ｐの中心座標を検出する第１の光位置検出素子３４ａと、上記第２の集光レンズ３２で２分された他方の光を反射させる反射ミラー３５と、反射ミラー３５からの光を集光する第２の集光レンズ３３ｂと、第２の集光レンズ３３ｂで集光した点像Ｐの中心座標を検出する第２の光位置検出素子３４ｂと、前記第１の光位置検出素子３４ａと第２の光位置検出素子３４ｂからの信号により被検レンズ６の偏心を算出する演算部３６とからなっている。」、
　「【００２８】上記対物レンズ３０は、１つの対物レンズを図６に示すように光軸を中心とする円柱面で分割して形成した円柱状の第１の対物レンズ３０ａと円環状の第２の対物レンズ３０ｂとから構成されている。」、
　「【００２９】第１，第２の対物レンズ３０ａ，３０ｂは、それぞれ光軸方向に移動可能に設けられており、第１の対物レンズ３０ａが被検レンズ６の第１面６ａの中心部６ｇに、第２の対物レンズ３０ｂが上記第１面６ａの周辺部６ｈにそれぞれコリメートレンズ２からの光束を投射し得るようになっている。」、
　「【００３０】上記第２のビームスプリッタ３２と第１の集光レンズ３３ａの間および上記反射ミラー３５と第２の集光レンズ３３ｂの間には、被検レンズ６の周辺部６ｈによる反射光を遮断する第１の遮光板３７ａおよび被検レンズ６の中心部６ｇによる反射光を遮断する遮光板３７ｂが配置されている。図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、第１の遮光板３７ａおよび第２の遮光板３７ｂを示す斜視図である。なお、被検レンズ６は、第１面６ａの中心部６ｇの曲率半径と周辺部６７の曲率半径が異なる片面非被検レンズであり、球面側６ｂを下にして回転スピンドル２４の上に保持されている。」、
　「【００３１】次に、本実施例の偏心測定装置の作用を説明する。光源１からの光は、コリメートレンズ２の第１のビームスプリッタ３１を透過して、第１の対物レンズ３０ａ、第２の対物レンズ３０ｂに入射する。第１の対物レンズ３０ａは、その焦点位置が被検レンズ６の第１面６ａの中心部６ｇの曲率中心に合致するよう配置され、中心部６ｇに垂直に投射する。一方、第２の対物レンズ３０ｂは、その焦点位置が被検レンズ６の第１面６ａの周辺部６１ｈの曲率中心に合致するよう配置され、周辺部６ｈに垂直に光を投射する。」、
　「【００３２】投射された光は、第１面の中心部６ｇ、周辺部６ｈで反射し、それぞれの反射光は、入射光路とは逆進して第１のビームスプリッタ３１で反射して光路変化された後、第２のビームスプリッタ３２で２分される。第２のビームスプリッタ３２を透過した光は、その周辺部が遮光板３７ａで遮断され、前記中心部６ｇでの反射光のみが第１の集光レンズ３３ａで集光されて点像Ｐが形成され、第１の光位置検出素子３４ａでその点像Ｐの中心座標が検出される。一方、第２のビームスプリッタ４０で第１のビームスプリッタ３２側とは別の光路に反射された光は、反射ミラー４１で再度反射されて光路変換され、その中心部が遮光板３７ｂで遮断されることにより、前記周辺部６ｈでの反射光のみが第２の集光レンズ３３ｂで集光されて点像Ｐが形成され、第２の光位置検出素子３４ｂでその点像Ｐの中心座標が検出される。」、
　「【００３３】かかる状態において、被検レンズ６を回転スピンドル２４により回転させると、被検レンズ６の第１面６ａの中心部６ｇならびに周辺部６ｈが回転スピンドル２４の回転軸に対して偏心している場合、第１の光位置検出素子３４ａ、第２の光位置検出素子３４ｂ上のそれぞの点像Ｐはある大きさの半径をもって回転する。この回転半径を演算部３６で求めることにより、被検レンズ６の第１面６ａの中心部６ｇ、周辺部６ｈの偏心状態が求められる。さらに、中心部６ｇを基準として、周辺部６ｈの偏心を演算により求めることにより、非球面の偏心が求められる。このように、本実施例によれば、被検レンズ６である非球面レンズの非球面軸の偏心が短時間に測定することができる。」、
　が記載されている。　
　
　刊行物２には、
　「本発明は、偏心量を表示すべき特定の基準軸に対するレンズ系の偏心量測定方法に関するものである。組み立てられたレンズ系内の個々のレンズ面の偏心量を、定量的に測定する方法として従来から行われている方法は、オートコリメーション反射方式が一般的である。このオートメーション反射方式とは、第１図に示すようにレンズ系を構成する各レンズ面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，…のうち、測定をしようとする面である例えば面Ｓ１の見かけの曲率中心、即ち被測定面と観察系との間に存在する別の面によって生ずる被測定面の虚像の曲率中心の位置Ａに、オートコリメーションによって指標Ｉによる指標像Ｉ１を投影し、面Ｓ１による等倍の反射像Ｉ２をＡと同じ位置に生じさせる方式である。このとき、測定の基準軸Ｂに関して全ての面に偏心がなければ、この基準軸Ｂ上に指標像Ｉ１の反射像Ｉ２が形成されるが、若し何れかの面に偏心が存在すれば、基準軸Ｂと直交し紙面に平行なＹ方向にΔｙ、或いは紙面と直交するＺ方向にΔｚだけふれた位置に反射像Ｉ２が形成される。このふれ量Δｙ及びΔｚ（以下略してΔとする）は個々の面の偏心量εに比例するので、各面についてその見かけの曲率中心位置に投影した指標像Ｉ１のこのようなふれ量Δの測定値を得れば、計算によってこの測定基準軸Ｂに対する各面の偏心量εを求めることができる。」（第１頁右下欄第７行−第２頁左上欄第１３行）、
　「このときの偏心量εとは、何か或る基準の直線に対する被測定レンズ系Ｌ内の個々の球面の曲率中心のずれ量を意味する。このための基準直線として、前記レンズ回転方式の場合には被測定レンズ系Ｌを回転する回転軸Ｂが、そして前記レンズ静止方式の場合にはイメージローテータ８によって発生された直線が使われている。しかし、この基準直線は一般に被測定レンズ系Ｌと無関係に設定されたものであって、その設定の仕方によっては、被測定レンズ系Ｌの偏心が少ないにも拘らず、一見大きな偏心量εを有するように見えることもある。……。例えば、第３図に示すように本来Ｂ’であるべき筈の基準軸を取付け方によってＢとすると、正しくは各レンズ面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，…の偏心量がＥ１，Ｅ２，Ｅ３，…であるのに、偏心量がｅ１，ｅ２，ｅ３，…のように測定されてしまうことになる。このような問題に対する従来の対策としては、一旦得られた偏心量εに対して、例えば最小自乗法を用いて偏心量εが平均的に最も小さくなるような直線を新たに計算して求める方法や、……といった方法が採られている。」（第２頁右上欄第１６行−同頁右下欄第３行）、
　「第４図において、Ｌｘは被測定レンズ系である例えば写真レンズであって、個々に偏心量を測定すべき複数個のレンズを有し、この写真レンズＬｘはカメラのレンズマウント部と同じ構造を持つレンズマウント機構１０に装着する。この写真レンズＬｘの偏心状態を表すために実用的な基準は、基準軸Ｂ’であり、この基準軸Ｂ’はレンズマウント機構１０の中心軸、即ちレンズマウント機構１０に写真レンズＬｘが突き当るフランジ面１１に垂直で、かつこのフランジ面１１に直交する平面内で写真レンズＬｘの位置を規制する円筒面１２の中心を通る線である。」（第３頁左上欄第７−１８行）、
　「いま、写真レンズＬｘ内の第ｉ番目の面Ｓｉによる反射像Ｉ２のふれ量ΔをＹ−Ｚ直交座標系で｛Δ（ｙｉ），Δ（ｚｉ）｝とし、前記第ｉ番目の面の偏心量εを｛ε（ｙｉ），ε（ｚｉ）｝とすると、これらの間には、Δ（ｙｉ）＝ａ（ｉ１）ε（ｙ１）＋ａ（ｉ２）ε（ｙ２）＋……＋ａ（ｉｉ）ｅ（ｙｉ）、　Δ（ｚｉ）＝ａ（ｉ１）ε（ｚ１）＋ａ（ｉ２）ε（ｚ２）＋……＋ａ（ｉｉ）ｅ（ｚｉ）なる関係が存在することが知られている。ここで、ａ（ｉ１），ａ（ｉ２），…等は光学系のデータから予め計算しておくことのできる定数である。」（第３頁左下欄第６−１７行）、
　が記載され、第３頁左下欄第１８行−第４頁左上欄第８行に、Δ（ｙ１），Δ（ｙ２），……，Δ（ｙｎ），Δ（ｚ１），Δ（ｚ２），……，Δ（ｚｎ）に係る各式からなる連立方程式を解くことにより、測定基準軸Ｂに対する各面の偏心量｛ε（ｙ１），ε（ｚ１）｝，｛ε（ｙ２），ε（ｚ２）｝，……，｛ε（ｙｎ），ε（ｚｎ）｝を知ることができる旨、記載されている。
　
（４）刊行物１に記載の発明
　刊行物１の段落【０００２】−【０００９】及び図８には、従来周知の偏心測定方法（以下で、「従来周知発明Ａ」という）、乃至は、従来周知の偏心測定装置の発明（以下で、「従来周知発明Ｂ」という）が記載されている。
　従来周知発明Ａは、次のアないしケの事項からなるものである。
ア．３以上のレンズ面６７ａ，６７ｂ，・・・６７ｍを有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法である。
　
イ．レンズ面６７ａ，６７ｂ，・・・６７ｍからなるレンズ６７を基準と決めた基準光軸の回りに回転させるべく、レンズ保持部６６に被検レンズ系が態位を調整されて保持される、つまり、基準光軸に対して態位を調整された被検レンズ系、である。
　
ウ．被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面の表（おもて）面側に、集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射する。（「【０００２】……分割された光束の一方は、回転ステージの保持部６６に保持された被検レンズ６７の表面側に到る行路を進むが、この行路には前記対物レンズ６０が光軸方向へ可動に配備されている。」を参照）
　
エ．被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面の裏面側にも、集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射する。（「【０００４】また、ビームスプリッタ５６により分割された他方の光束は、行路形成部材を構成するミラー５７，５８，５９により形成された行路を進み、被検レンズ６７の裏面に到るが、こちらの行路に前記対物レンズ６１が光軸方向へ可動に配備されている。……」を参照）
　
オ．上記被検レンズ面の表（おもて）面側からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させる。（「【０００５】……、対物レンズ６０の位置を調整し、指標５３の像が、被検レンズ面６７ａの曲率中心Ｐに投影されるようにする。このとき、レンズ面６７ａに偏心がなければ曲率中心点Ｐは光軸上に位置するが、レンズの偏心により実際には光軸からずれた位置になる。そして、レンズ面６７ａによる反射光は、対物レンズ６０、……を逆進して半透鏡５４により反射され、２次元センサー６２上に指標５３の反射像Ｐ1 を結像する。」を参照）、
　
カ．上記被検レンズ面の裏面側からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させる。
　
キ．表（おもて）面側からの各像の位置座標を用いて、演算を行い、所望の被検レンズ面の、表面側からの照射をした場合の、偏心量および偏心方向を求める。（「【０００８】この円の回転半径はレンズ面６７ａの偏心量と比例関係にあり、その比例定数はコリメートレンズ５５と対物レンズ６０または６１とによる光学系の倍率から決まる。また、点０1 と反射像Ｐ1 とのなす直線の方向により偏心がどの方向に起こっているかを知ることができる。」、「【０００９】マイクロコンピュータ６４は、回転ステージにより被検レンズ６７を回転させながら反射像Ｐ1 ，Ｐ2 の座標データを取り込み、そのデータに基づき所定の演算を行って上記回転半径を算出し、その値に基づき被検レンズ６７のレンズ面６７ａの偏心量を算出する。……」を参照）
　
ク．裏面側からの各像の位置座標を用いて、演算を行い、所望の被検レンズ面の、裏面側からの照射をした場合の、偏心量および偏心方向を求める。
　
ケ．表面側からの照射をした場合の偏心量と、裏面側からの照射をした場合の偏心量の平均値を、所望の被検レンズ面の偏心量とする。
　
　整理記載すると、従来周知発明Ａは、
　３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、態位を基準光軸に対して調整して保持された上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面の表（おもて）面側に、集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射し、上記被検レンズ面の表（おもて）面側からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させ、表（おもて）面側からの各像の位置座標を用いて、演算を行い、所望の被検レンズ面の、表（おもて）面側からの照射をした場合の、偏心量および偏心方向を求める方法であって、さらに、エ、カ、ク、ケの構成を含む方法、
　である。
　
　また、従来周知発明Ｂは，次のア’ないしケ’の事項からなるものである。
ア’．３以上のレンズ面６７ａ，６７ｂ，・・・６７ｍを有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置である。
イ’．レンズ面６７ａ，６７ｂ，・・・６７ｍからなるレンズ６７を基準と決めた基準光軸の回りに回転させるべく、まず、レンズ保持部に態位を調整して保持し、しかる後レンズ６６を保持部ごと回転させるようになっている保持手段を有する、つまり、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように態位を調整し、上記被検レンズ系を保持する保持手段を有する。
ウ’．照明用光源と、上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として被検レンズ系の所望の被検レンズ面の表（おもて）面側に照射する照射用光学系を有する。
エ’．被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面の裏面側にも、集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射する照射用光学系も有する。
オ’．中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面の表（おもて）面側からの反射光束を結像させる結像光学系を有する。
カ’．中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面の裏面側からの反射光束を結像させる結像光学系も有する。　
キ’．結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面の表（おもて）面側からの反射光の結像の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段による検出結果に基づき、所定の演算により各被検レンズ面の表（おもて）面側からみた場合の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段を有する。
ク’．結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面の裏面側からの反射光の結像の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段による検出結果に基づき、所定の演算により各被検レンズ面の裏面側からみた場合の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段を有する。
ケ’．表面側からの照射をした場合の偏心量と、裏面側からの照射をした場合の偏心量の平均値を、所望の被検レンズ面の平均値偏心量として演算する演算手段を有する。
　
　整理記載すると、従来周知発明Ｂは、
　３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であって、被検レンズ系の基準光軸を回転中心軸に実質的に合致させるように態位を基準光軸に対して調整するための、被検レンズ系を保持する保持手段と、照明用光源と、上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として被検レンズ系に各被検レンズの表（おもて）面側から照射する照射用光学系と、上記中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの表（おもて）面側からの反射光束を結像させる結像光学系と、この結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面の表（おもて）面側からの反射光の結像の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段による検出結果に基づき、所定の演算により各被検レンズ面の表（おもて）面側に照射光を照射した場合の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段とを有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置であって、さらに、前記エ’、カ’、ク’、ケ’の構成を含んでなる装置、
　である。
　
（５）対比・検討
（５）−１　本件請求項１について
　本件請求項１に係る発明と従来周知発明Ａを対比すると、本件請求項１に係る発明は、それに係る図１でみて、各被検レンズ面の表（おもて）面側に照射光束を照射し、表（おもて）面側からの反射光の結像を用いて、各被検レンズ面の偏心量と、偏心方向を求めているものを含み、その場合殊更、「表（おもて）面側」という記載をしていないから、従来周知発明Ａについても「表（おもて）面側」の場合は、その表記を省くとすると、
　両者は
　３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、態位を調整された上記被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性で、単一の照射光束を照射し、上記被検レンズ面からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させ、上記各像の位置座標を用いて所定の演算を行ない、上記所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求めることを特徴とするレンズ面偏心測定方法、
　である点で、一致し、次の点で相違する。
　
　相違点１
　本件請求項１に係る発明は、１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、非球面の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求めるために、所望の被検レンズ面に単一の照射光束を照射し、該被検レンズ面からの反射光束を、結像光学系により、非検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させるのに対し、従来周知発明Ａは、被検レンズ系が非球面のレンズ面を含むことについて記載がなく、非球面のレンズ面の偏心量および偏心方向の求め方についても記載がない点。
　
　相違点２
　本件請求項１に係る発明は、定位置に態位を調整された被検レンズ系の基準光軸方向から、単一の照射光束を照射するのに対して、従来周知発明Ａは、態位を基準光軸に対して調整された被検レンズ系の基準光軸方向から、単一の照射光束を照射するものであるが、「定位置に」との記載がない点。　　
　相違点３
　本件請求項１に係る発明は、結像の重心位置座標を検出するものであるのに、従来周知発明Ａは、結像の位置を検出することしか記載されていない点。
　
　相違点４
　本件請求項１に係る発明は、被検レンズ系のデータを用いて所定の演算を行ない、所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求める方法であるのに、従来周知発明Ａは、偏心量および偏心方向を求めるのに、被検レンズ系のデータを用いて演算することについて記載がない点。
　
　相違点５
　本件請求項１に係る発明に対して、従来周知発明Ａは、エ、カ、ク、ケという構成を余分に含んでいる点。
　
　前記相違点について検討すると、
　相違点１について
　刊行物１には、段落【００２７】−【００３３】の【実施例３】（図５参照）において、１枚の非球面レンズについて、その非球面レンズ面に２つの照射光束（つまり、第１の円柱状の対物レンズ３０ａからの単一の照射光束と、第２の円環状の対物レンズ３０ｂからの単一の照射光束）を照射し、それらからの各反射光束を、結像光学系により、近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させて、該非球面レンズ面の偏心量および偏心方向を求めるものが記載されているものの、これは、非球面レンズ面に照射する光束が、単一光束ではなく、２光束であり、３以上のレンズ面からなる被検レンズ系においての非球面レンズ面の測定でもない。そして刊行物１には、分割レンズを用いて２光束を照射するようにしたのは、単一光束を照射する場合よりも、測定時間の短縮ができるから優れていると説明しているものの、非球面レンズ面に単一光束を照射する場合は、どのような光学系を用いどのような方法手順で非球面レンズ面の偏心量および偏心方向を測定すればよいのか、結局は開示していない。
　すなわち、従来周知発明Ａは、３以上のレンズ面に順次単一の光束を照射するものであり、刊行物１の【実施例３】（図５参照）に記載のものは、１枚の非球面レンズの非球面レンズ面に２光束を照射するものであり、これら光束数の違うもの同志を組み合わせて、しかも、「非検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させる」という構成を採用することは、当業者と雖も容易に想到できるものではない。　
　そして相違点１に係る前記技術的構成が当業者が容易に想到できないものであるから、その余の相違点２−５について論ずるまでもなく、本件請求項１に係る発明は、当業者が容易に発明できたものではない。
　
（５）−２　本件請求項２について
　本件請求項１を引用したものであり、被検レンズ面が２面以上あるとき、照射光束の照射側から順次、各被検レンズ面の偏心量および偏心方向を測定するとの限定を追加したものであるから、本件請求項２に係る発明は、本件請求項１に係る発明と同様に、当業者が容易に発明できたものではない。
　
（５）−３　本件請求項３について
　本件請求項３に係る発明と従来周知発明Ｂを対比すると、従来周知発明Ｂにおいても、前記「（５）−１　本件請求項１について」で、記載したと同様に「表（おもて）面側」という表記を省いて記載すると、両者は、
　３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であって、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように態位を調整し、上記被検レンズ系を保持する保持手段と、照明用光源と、上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性で、単一の照射光束として被検レンズ系に照射する照射用光学系と、上記中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの反射光束を結像させる結像光学系と、この結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面からの反射光の結像の位置を検出する位置検出手段と、この位置検出手段による検出結果に基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段とを有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置
 である点で一致し、次の点で相違する。
　
　相違点１’
　本件請求項３に係る発明は、１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であるのに対し、従来周知発明Ｂは、３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置である点。
　
　相違点２’
　本件請求項３に係る発明は、「被検レンズ系を、調整された態位に保持する保持手段」を具備するのに対し、従来周知発明Ｂは、「被検レンズ系を、基準光軸に対して調整された態位に保持する保持手段」を具備するものであり、「基準光軸に対して」という記載が余分である点。
　
　相違点３’
　本件請求項３に係る発明は、結像の重心位置検出手段を有するものであるのに、従来周知発明Ｂは、結像の位置を検出する手段しか記載されていな点。
　
　相違点４’
　本件請求項３に係る発明は、重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算するのものであるのに、従来周知発明Ｂは、位置検出手段による検出結果に基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算することは記載されているが、その際、被検レンズ系のデータに基づいて演算することは、記載されていない点。
　
　相違点５’
　本件請求項３に係る発明に対して、従来周知発明Ｂは、前記エ’、カ’、ク’、ケ’の構成を余分に含んでなる発明である点。　
　
　前記相違点について検討すると、
　相違点１’について
　光学装置の産業分野において「１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有するレンズ系」は、従来周知であり（例：特開平６−２８９２９６号公報の明細書段落【００５３】を参照）、偏心測定装置において、この従来周知のレンズ系の各レンズ面の偏心量や偏心の方向も測定できれば好ましいことは、当業者であれば、当然に考えることである。相違点１’は、単なる測定対象のレンズ系についての限定に過ぎず、相違点１’は、偏心測定装置自体の構成上の差異とは認められない。
　
　相違点２’について
　本件請求項３は、単に、「調整された態位に保持する保持手段」と記載するのみで、基準光軸に対して調整された態位に保持する保持手段という記載はないが、単なる表現上の差異であって、実質上の差異ではない。
　なお、請求人は、意見書で、被検レンズ系を「調整された態位に保持する」というのは、偏心量・偏心方向の測定時に被検レンズ系を回転させない、という意味の記載であると主張しているが、この主張に根拠はない。
　またもし、意見書の主張どおりに被検レンズ系を回転させない、という意味であったとしても、受光面上における座標系の原点を、被検レンズ系を回転（自転）させて、その際に被検レンズ面からの反射に係るスポット像が回転して生ずる円を知ることで円中心たる原点を決定し、次いで、被検レンズ系の回転を所定の角度位置で止めて、当該被検レンズ面の偏心量・偏心方向を測定するといったことは、当業者が必要に応じて適宜採用する程度の被検レンズ系を保持する保持手段の動作のさせ方に過ぎない。そして、本件明細書は、段落【００４９】で、座標系の原点Ｏは測定により予め決定されていると記載しているだけであり、どのような測定で予め決定するのか明示記載がないものであり、原点の決定の仕方として本件明細書で唯一明らかなのは、段落【００７６】に記載の「保持した被検レンズ系を保持手段の中心軸の回りに回転」させることによる原点の決定の仕方だけである。
　
　相違点３’について
　被検レンズ面の偏心量・偏心の方向を測定する装置において、レンズ偏心に係る結像が１点に集束せず、広がりをもつことは当然にあることであり、その場合は、点像の重心位置や中心位置を検出して、これを結像の位置として、偏心量の演算に用いることが従来周知である（例として、特開平５−３１２６７０号公報の明細書段落【０００９】、刊行物１の段落【００２２】、および特開平３−１０７７３９号公報の第６頁左上欄第９−１４行の記載を参照）から、従来周知発明Ｂにおいて、結像位置として結像の重心位置を採用することは、当業者が普通に採用する事項である。
　
　相違点４’について
　刊行物２の第３頁左下欄第６−１７行に記載の、偏心量を計算するための式には、ａ（ｉ，１），ａ（ｉ，２），ａ（ｉ，３），……という光学系のデータから予め決定しておくべき定数が含まれている。被検レンズ系において、ある被検レンズ面越しに次の被検レンズ面の偏心量の検査をする場合に、越される被検レンズ面は、測定のための光学系の一部を構成するので、この越される被検レンズ面のデータは、前記定数ａ（ｉ，１），ａ（ｉ、２），ａ（ｉ，３），……のうちで所要のものを決定するのに必要なデータと認められる。
　したがって、従来周知発明Ｂにおいても、被検レンズのデータに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算するように構成することは、当業者が当然に採用することである。
　
　相違点５’
　被検レンズ系の測定において、各レンズ面の表面側からだけの測定で得た偏心量を各レンズ面の偏心量としたり、または、表面側から測定した偏心量と裏面側から測定した偏心量の平均値を各レンズの偏心量としたりすることは従来周知であり、いずれを採用してもよいものである［例として、実願昭６３−８６７１４号（実開平２−７５４１号）のマイクロフィルムを参照］から、従来周知発明Ｂにおいて、エ’、カ’、ク’、ケ’の構成は、省略可能な余分の構成であることが明らかである。
　
　そして、相違点１’−５’を総合的に判断しても、本件請求項３で、非球面レンズの偏心量・偏心の方向の測定のための装置と記載しているものの、それを行うための格別な装置構成が請求項３になんら記載されているわけではなく、記載されているのは、球面レンズのみからなるレンズ系の偏心量・偏心の方向の測定ができる装置構成に過ぎず、本件請求項３に係る発明の技術構成全体は当業者が容易に発明できたものであり、それによる効果も予想範囲内のものである。
　
（５）−４　本件請求項４について
　本件請求項４は、本件請求項３の発明に、「重心位置検出手段は、単一の撮像手段および、この撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する単一の画像処理装置」で構成されるという限定と、「照射用光学系による集束性もしくは発散性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向に変位・調整する集光点位置調整手段」という構成の付加をしたものである。
　これについて検討すると、結像した像の重心位置検出をする重心位置検出手段を有することは、前記（５）−３での「相違点３’について」で記載したとおり当業者が普通に採用する程度の事項であり、撮像手段が単一であることは、従来周知技術Ｂに係る刊行物１の図８に示されていることであり、重心を検出する画像処理装置の個数を単一とすることは、普通の技術構成に過ぎない。
　また、従来周知技術Ｂに係る刊行物１の段落【０００２】に「……、回転ステージの保持部６６に保持された被検レンズ６７の表面側に到る行路を進むが、この行路には前記対物レンズ６０が光軸方向へ可動に配備されている。」、段落【０００５】に「……。まず、対物レンズ６０の位置を調整し、指標５３の像が、被検レンズ面６７ａの曲率中心Ｐに投影されるようにする。……」と記載があり、被検レンズ面６７ａの次に、被検レンズ面６７ｂに光束を照射する際は、対物レンズ６０の位置を基準光軸方向にずらせて調整することが明らかであるから、「照射用光学系による集束性もしくは発散性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向に変位・調整する集光点位置調整手段」という構成は、従来周知発明Ｂで採用している技術事項に過ぎない。
　すなわち、本件請求項４での前記限定や前記付加内容は、従来周知の技術事項に過ぎず、本件請求項４に係る発明は、本件請求項３と同様に当業者が容易に発明できたものである。
　
（５）−５　請求項５について
　請求項５に係る発明と従来周知発明を対比すると、両者は、前記相違点１’−５’で相違する外にさらに次の点で相違する。
　
　相違点６’
　請求項５に係る発明は、「重心位置検出手段は、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段と、により構成される」ものであるのに対し、従来周知発明Ｂは、それについて記載がない点。
　
　前記相違点６’について検討すると、
　刊行物１の実施例３に係る明細書段落【００３２】は、非球面レンズ面に２光束を投射したものについて「……投射された光は、第１面の中心部６ｇ、周辺部６ｈで反射し、……、前記中心部６ｇでの反射光のみが第１の集光レンズ３３ａで集光されて点像Ｐが形成され、第１の光位置検出素子３４ａでその点像Ｐの中心座標が検出される。一方、……別の光路に反射された光は、……、前記周辺部６ｈでの反射光のみが第２の集光レンズ３３ｂで集光されて点像Ｐが形成され、第２の光位置検出素子３４ｂでその点像Ｐの中心座標が検出される。」と光位置検出素子３４ａ，３４ｂの併用が記載されており、光位置検出素子３４ａに至る光路と、光検出素子３４ｂに至る光路に分割しているものの、この実施例３は、２光束を投射したものにおいて、中心部からの反射光の結像と、周辺部からの反射光の結像を別々の光位置検出素子３４ａ、３４ｂに得る必要があるという事情からの工夫であり、中心部６ｇからの反射光の結像は、結像に至る光路中で、周辺部の光路を遮蔽する遮光板３７ａを用いて得るようにし、周辺部からの反射光の結像は、中心部の光路を遮蔽する遮光板３７ｂを用いて得るようにしているものである。
　ところで、刊行物１には、従来周知発明Ｂの場合も含めて、単一の照射光束を照射した場合に、反射光の光路を分割することについて記載がなく、分割するという発想が生じない。当然に、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に撮像手段を設けるという発想も生じない。
　そして「重心位置検出手段は、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段と、により構成される」ようにしたから、本件明細書段落【００７１】で記載の被検レンズ面への照射及び被検レンズ面からの反射光の集光に用いる対物レンズ（レンズ１１）を光軸方向へ移動させる必要はないという顕著な効果が生じるものと求められる。
　
　したがって、本件請求項５は、当業者が容易に発明できたものとは、認められない。
　
（５）−６　請求項６について
　請求項６は、請求項３を択一的に引用するものを含み、前記相違点１’−５’以外にさらに次の点で相違する。
　
　相違点７’
　請求項６は、「各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により、最適基準光軸を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求める演算機能を有する」を有する装置であるのに、従来周知発明Ｂはそれについて、記載がない点。
　
　前記相違点７’について検討すると、
　各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により、最適基準光軸を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求めることが刊行物２の第２頁左下欄第７−２０行の記載により従来周知であるから、従来周知発明Ｂにおいて、そのような構成を採用することは、当業者が容易に想到できた事項である。
　
　そして、相違点１’−５’，７’を総合的に判断しても、本件請求項６に係る発明は当業者が容易に発明できたものであり、それによる効果も予想範囲内のものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、請求項３，４，６に係る発明は、上記刊行物１，２に記載された発明及び従来周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項３，４，６に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、平成１５年改正前の特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　また、請求項１，２，５に係る発明の特許については、他に取消の理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年８月２日（２００５．８．２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
レンズ面偏心測定方法およびレンズ面偏心測定装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法であって、
　
定位置に態位を調整されて保持された
で、単一
　上記被検レンズ面からの反射光束を、上記基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、上記被検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させ、
　上記各像の重心位置座標と被検レンズ系のデータとを用いて所定の演算を行ない、上記所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求めることを特徴とするレンズ面偏心測定方法。
　【請求項２】
　請求項１記載のレンズ面偏心測定方法において、
　被検レンズ面が２面以上あるとき、照射光束の照射側から順次、各被検レンズ面の偏心量および偏心方向を測定することを特徴とするレンズ面偏心測定方法。
　【請求項３】
　１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置であって、
　被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させるように
態位を調整し、
、調整された態位に
　照明用光源と、
　上記保持手段の中心軸に光軸を合致させ、上記照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性
で、単一
　上記中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの反射光束を結像させる結像光学系と、
　この結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面からの反射光の結像の重心位置を検出する重心位置検出手段と、
　この重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算する演算手段とを有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置。
　【請求項４】
　請求項３記載のレンズ面偏心測定装置において、
　重心位置検出手段は、単一の撮像手段および、この撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する単一の画像処理装置と、照射用光学系による集束性もしくは発散性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向に変位・調整する集光点位置調整手段と、により構成されることを特徴とするレンズ面偏心測定装置。
　【請求項５】
　請求項３記載のレンズ面偏心測定装置において、重心位置検出手段は、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段と、により構成されることを特徴とするレンズ面偏心測定装置。
　【請求項６】
　請求項３または４または５記載のレンズ面偏心測定装置において、演算手段が、重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により求めた各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により、最適基準光軸を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求める演算機能を有することを特徴とするレンズ面偏心測定装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明はレンズ面偏心測定方法およびレンズ面偏心測定装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　２枚以上のレンズで構成されるレンズ系における各レンズ面の偏心の測定に関しては従来から、特開平２−９９８４１号公報や特開平３−１０７７３９号公報記載の技術が知られている。しかし、これら公報に記載された技術では偏心測定の対象となる「被検レンズ面」は球面であり、被検レンズ面の曲率中心位置から偏心を求めている。
　【０００３】
　レンズ系中に非球面が含まれる場合、被検レンズ面が非球面であると、被検レンズ面の偏心は近軸曲率中心の位置のみでは完全に特定できず、非球面軸の傾きをも知る必要があり、上記公報記載の技術では非球面の偏心を測定することが困難であった。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事情に鑑み、２枚以上のレンズで構成されて非球面を含むレンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを測定するレンズ面偏心測定方法の実現を課題とする。
　【０００５】
　この発明の別の課題は、上記方法を実現するためのレンズ面偏心測定装置の実現にある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　この発明の「レンズ面偏心測定方法」は、１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める方法である。
　【０００７】
　この発明における「被検レンズ系」は２枚以上のレンズにより構成される。従って、レンズ系に含まれるレンズ面の最小数は、２枚のレンズを接合した場合の３面である。そして、被検レンズ系の有するレンズ面中に少なくとも１面の非球面が含まれるのである。
　【０００８】
「被検レンズ系」は、鏡筒に対して組付けられてレンズユニット（例えばズームレンズ等）を構成している場合もあるし、例えば上記ズームレンズを構成するために、鏡筒に途中まで組付けられ「ズームレンズ系の一部をなすレンズ系」であってもよい。
　【０００９】
　請求項１記載の発明は、以下の如き特徴を有している。
　被検レンズ系の基準光軸方向から、所望の被検レンズ面に集束性もしくは発散性
で、単一
被検レンズは、定位置に態位を調整されて保持されて照射光束を照射される。
　上記被検レンズ面からの反射光束を、基準光軸に実質的に光軸を合致させた結像光学系により、被検レンズ面の曲率中心、または近軸曲率中心及び非球面軸から所定距離の位置にある非球面部分の曲率中心の各近傍位置を物点とする像として、撮像手段の受光面上に結像させる。
　上記各像の重心位置座標と被検レンズ系のデータとを用いて所定の演算を行ない、所望の被検レンズ面の偏心量および偏心方向を求める。
　【００１０】
「被検レンズ面」は、被検レンズ系の有するレンズ面の内で偏心測定の対象となるレンズ面である。被検レンズ面は所望のレンズ面であるから、被検レンズ系における任意のレンズ面を被検レンズ面とすることができ、勿論、被検レンズ系の有する全てのレンズ面を被検レンズ面とすることができる。
　【００１１】
　被検レンズ面が２以上あるときには、照射光束の照射側から順次、各被検レンズ面の偏心量および偏心方向を測定することができる（請求項２）。
　【００１２】
「基準光軸」は、被検レンズ系における設計上の光軸を言うが、具体的には被検レンズ系を保持する鏡筒の中心軸と考えても良い。
　【００１３】
　上記のように、偏心測定の対象は被検レンズ面の「偏心量と偏心方向」とである。ここで、これら偏心量と偏心方向とを図４を参照して説明する。
　図４において、符号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４は、被検レンズ系１におけるレンズ面を示す。レンズ面Ｓ１〜Ｓ４のそれぞれが「被検レンズ面」であるとする。また、レンズ面Ｓ１，Ｓ３は「非球面」で、レンズ面Ｓ２，Ｓ４は「球面」であるとする。画線２は「基準光軸」を示している。
　【００１４】
　先ず、球面であるレンズ面Ｓ２，Ｓ４に就いて見ると、図中、符号Ｓ２’，Ｓ４’はそれぞれ、レンズ面Ｓ２，Ｓ４の「曲率中心」を示す。レンズ面Ｓ２，Ｓ４は球面であるので、この場合の偏心量は、曲率中心
Ｓ２’，Ｓ４’
　即ち、レンズ面Ｓ２，Ｓ４に就いては、σ２，σ４が「偏心量」である。
　【００１５】
　基準光軸２と曲率中心Ｓ２’とを含む平面が基準光軸２に直交する面内でどの方向に向いているかがレンズ面Ｓ２の「偏心方向」を与え、曲率中心Ｓ４’と基準光軸２とを含む平面が基準光軸２に直交する面内でどの方向に向いているかがレンズ面Ｓ４の「偏心方向」を与える。
　【００１６】
　次に、非球面であるレンズ面Ｓ１，Ｓ３の場合を説明する。
　周知の如く、非球面は一般に、非球面軸に合致させてＹ軸を取り、Ｙ軸に直交させてｈ軸を取るとき、
　　Ｙ＝ｆ（ｈ）＝（ｈ２／Ｒ）／［１＋√｛１−（Ｋ＋１）（ｈ２／Ｒ２）｝＋Ａｈ２＋Ｂｈ４＋Ｃｈ６＋…
で表わされる曲線をＹ軸の回りに回転させて得られる曲面であり、Ｒ，Ｋ，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，‥により特定される。非球面軸は従って非球面における回転対称軸である。上記「Ｒ」は非球面における非球面軸近傍の曲率半径即ち「近軸曲率半径」であり、この近軸曲率半径を持つ非球面部分を「近軸球面部分」、その曲率中心を「近軸曲率中心」と言う。非球面形状と上記Ｙ，ｈ座標軸の関係を説明図として図５に示す。図５において、符号Ｓ’が近軸曲率中心を示す。
　【００１７】
　図４に戻ると、図中における符号Ｓ１’，Ｓ３’はそれぞれ、レンズ面Ｓ１，Ｓ３の近軸曲率中心を示し、直線Ｓ１”，直線Ｓ３”がそれぞれ、レンズ面Ｓ１，Ｓ３の非球面軸を示す。
　【００１８】
　非球面であるレンズ面Ｓ１の偏心量は、近軸曲率中心Ｓ１’と基準光軸２とのずれ量：σ１と、非球面軸Ｓ１”と基準光軸２との成す角：ε１とにより定まる。同様にレンズ面Ｓ３の偏心量は図中の距離：σ３、角：ε３とにより定まる。上記σ１，σ３を「シフト偏心量」、ε１，ε３を「ティルト偏心量」と呼ぶ。
　【００１９】
　上記説明は、被検レンズ面の面数が４面以外の場合に容易に一般化される。
　従って、被検レンズ面が球面であるときには、偏心量は「曲率中心と基準光軸とのずれ量」であり、被検レンズ面が非球面であるときには「シフト偏心量とティルト偏心量」の２つの量で偏心量が定まる。
　【００２０】
　偏心方向は被検レンズ面が非球面の場合も、近軸曲率中心と
基準光軸
　この発明のレンズ面偏心測定装置は、上記請求項１記載の方法を実施するための装置、即ち「１以上の非球面を含む３以上のレンズ面を有する被検レンズ系における１以上の所望の被検レンズ面の偏心量と偏心方向を求める装置」であって、保持手段と、照明用光源と、照射用光学系と、結像光学系と、重心位置検出手段と、演算手段とを有する。
　【００２１】
「保持手段」は、被検レンズ系の基準光軸を中心軸に実質的に合致させ
るように態位を調整し、被検レンズ系を、調整された態位に
「照明用光源」は照明用の光を放射する光源であり、ＬＤやＬＥＤ、さらにはガスレーザや固体レーザ等の各種レーザ光源を好適に用いることができる。
　【００２２】
「照射用光学系」は、保持手段の中心軸に光軸を合致させ、照明用光源からの光束を集束性もしくは発散性
で、単一
「結像光学系」は、保持手段の中心軸と実質的に合致した光軸を持ち、所望の被検レンズ面からの反射光束を結像させる光学系である。結像光学系は、上記照射用光学系と、光学系の一部を共用することができる。
　【００２３】
「重心位置検出手段」は、結像光学系による結像状態に基づき、所望の被検レンズ面からの反射光の結像の重心位置を検出する手段である。
「演算手段」は、重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により各被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを演算する手段であり、具体的には、パーソナルコンピュータやマイクロコンピュータ、あるいは専用のＣＰＵを用いることができる。
　【００２４】
　上記「重心位置検出手段」は、単一の撮像手段および、この撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する単一の画像処理装置と、照射用光学系による集束性もしくは発散性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向に変位・調整する集光点位置調整手段とにより構成されることができる（請求項４）。
　【００２５】
　また、上記「重心位置検出手段」を、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段とにより構成することもできる（請求項５）。
　【００２６】
　前述のように、被検レンズ系の基準光軸は「被検レンズ系を保持する鏡筒の中心軸」と考えても良く、保持手段は、その中心軸を基準光軸と実質的に合致させて保持するので、上記請求項３〜５記載の発明で測定される偏心量は、実際には保持手段の中心軸に対する偏心量であり、もし、被検レンズ系の「設計上の光軸としての基準光軸」が、保持手段の中心軸と合致しない場合には、測定される偏心量には誤差が含まれることになる。
　【００２７】
　このような場合には、演算手段が「重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により求めた各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により、最適基準光軸を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求める演算機能を有する」ようにすることにより、被検レンズ系の設計上の光軸により近い「最適基準光軸」を基準として、より正確な偏心量を測定することができる（請求項６）。
　【００２８】
　なお、前述の如く演算手段における演算には、被検レンズ系のデータ（各レンズ面の曲率半径や非球面形状、面間隔、レンズ材質の屈折率等）が用いられるから、このようなデータ（設計上の値）が既知であることが前提であり、また、偏心量は微小量である。
　【００２９】
　【発明の実施の形態】
　図１は請求項３，４記載の発明の実施の１形態を示している。
　被検レンズ系１は複数のレンズを有する。被検レンズ系は、レンズ系として構成される途上において、全レンズの内の一部のレンズ（複数のレンズ）を組付けた、組付け途上にあるレンズ系（組付け中のレンズ系）でもよいし、既に組付けが終了したレンズ系（完成レンズ系）でもよい。
　【００３０】
「組付け中のレンズ系」を被検レンズ系としてレンズ面偏心測定を行なう場合には、測定結果に基づき各レンズの組付けを調整することができる。また「完成レンズ系」を被検レンズ系として、全レンズ面の偏心測定を行なえば、完成レンズ系が実際に製品としての規格に適合しているか否かを知ることができる。
　【００３１】
　被検レンズ系１は「保持手段」の保持部３Ａに保持される。保持手段は保持部３Ａと調整機構３Ｂとにより構成される。調整機構３Ｂは、図面に直交する平面内で互いに直交する２方向に移動可能なステージと、保持部３Ａの中心軸（保持手段の中心軸）の向きを調整する傾斜機構とを組み合わせて構成されている。
　【００３２】
　保持部３Ａは、被検レンズ系１の基準光軸（ここでは鏡筒の中心軸であるとする）を前記中心軸に合致させて保持する。
　【００３３】
「照明用光源」であるレーザ光源４から放射された照射光束は、顕微鏡の対物レンズと同様に作用するレンズ５で絞られた後に発散性の光束となり、偏光ビームスプリッタ６と１／４波長板７とを透過し、レンズ８により平行光束に戻され、ミラー９，１０により折り返され、レンズ１１により集束性の光束となって被検レンズ系１を照射する。従って、レンズ５、偏光ビームスプリッタ６、１／４波長板７、レンズ８、ミラー９，１０およびレンズ１１は「照射用光学系」を構成する。勿論、レンズ５，８，１１は「光軸合わせ」されている。
　【００３４】
　保持手段の調整機構３Ｂにより保持部３Ａの態位を調整することにより、保持部の中心軸をレンズ１１の光軸と合致させる。この状態で上記照射を行なえば、照射光束は、被検レンズ系１の基準光軸方向から照射されることになる。
　【００３５】
　レンズ１１は、ステッピングモータ１４により移動されるステージ１２に搭載され、光軸方向へ移動可能になっている。また、ステージ１２の基準位置は原点センサ１３により検出されるようになっている。従って、レンズ１１の位置は、原点センサ１３により設定される「原点位置」と、ステッピングモータに印加されるパルスの「極性とパルス数」とにより決定される。
　【００３６】
　このように、レンズ１１を、その光軸方向へ変位させることにより、集束性の照射光束の集光点位置を基準光軸方向へ変位させることができる。
　【００３７】
　被検レンズ系１のレンズ面で反射された光束は、対物レンズ１１、ミラー１０，９、レンズ８、１／４波長板７と逆進し、偏光ビームスプリッタ６により反射され、さらにミラー１５で反射されたのち、レチクル１６、顕微鏡対物レンズ１７およびフィールドレンズ１８を介してＣＣＤカメラ１９に到る。
　【００３８】
　レチクル１６は、レンズ１１による照射光束の集光点位置と略共役な位置（レンズ８の焦点位置）に配備されている。上記レンズ１１、ミラー１０，９、レンズ８、１／４波長板７、偏光ビームスプリッタ６、ミラー１５およびレチクル１６は「結像光学系」を構成する。
　【００３９】
　レチクル１６は結像光学系の光軸に略直交するように配備されており、レチクル１６上の結像状態は、顕微鏡対物レンズ１７とフィールドレンズ１８とにより拡大されてＣＣＤカメラ１９の受光面上に結像される。レチクル１６と顕微鏡対物レンズ１７、フィールドレンズ１８およびＣＣＤカメラ１９は、請求項４記載の発明における単一の「撮像手段」を構成する。ＣＣＤカメラ１９の受光面は「撮像手段の受光面」である。
　【００４０】
　ＣＣＤカメラ１９の出力は画像処理装置２０に送られ、画像処理装置２０は、ＣＣＤカメラ１９の受光面上の結像の重心を検出する。画像処理装置２０への入力状態はモニタ２１により観察される。
　【００４１】
　図１において符号２２で示すコンピュータは「演算手段」であり、画像処理装置２０からの入力を受けて「偏心量と偏心方向の演算」を行なう。コンピュータ２２はまた、原点センサ１３とステッピングモータ１４とを制御する。
　【００４２】
　従って、前述のステージ１２、原点センサ１３とステッピングモータ１４およびコンピュータ２２は、請求項４記載の発明における「集光点位置調整手段」を構成し、この集光点位置調整手段と、上記「撮像手段」と画像処理装置２０（および所望によりモニタ２１）とは、請求項４記載の発明における「重心位置検出手段」を構成する。
　【００４３】
　以下、説明の具体性のため、被検レンズ系１は、「所望の被検レンズ面」として、図４に示したレンズ面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４を含むものとし、これら被検レンズ面の偏心量と偏心方向とを上記順序で測定する場合を説明する（請求項２）。また、被検レンズ面Ｓ１は、以下の説明で「被検レンズ系における第１面」であるとする。
　【００４４】
　上記の如く、先ず最初に被検レンズ面Ｓ１の偏心量と偏心方向が測定される。
　【００４５】
　測定は以下の手順で行なわれる。図１に示すように、被検レンズ系１を「保持手段」の保持部３Ａに保持させ、調整機構３Ｂにより被検レンズ系１の保持態位を調整して、基準光軸（さしあたっては被検レンズ系の鏡筒の中心軸）を照射用光学系の光軸と合致させる。これにより基準光軸はまた結像光学系の光軸と合致する。
　レンズ１１は原点位置にある。
　【００４６】
　コンピュータ２２には、被検レンズ系１に関するデータが予め、或いは測定に際して入力されている。コンピュータ２２にはまた測定に必要な手順と演算とを定めたプログラムが記憶されている。
　【００４７】
　被検レンズ系１を保持手段に適正に保持させて測定準備が整ったら、レーザ光源４を発光させる。発せられた光束は照射用光学系により集束性の照射光束となって被検レンズ系１に照射される。
　コンピュータ２２はステッピングモータ１４を制御してレンズ１１を光軸方向へ変位させ、照射光束の集光点位置が、被検レンズ面Ｓ１の設計上の近軸曲率中心（図１における点Ｓ１’であるが、設計上の位置であるので、基準光軸２上に想定される）に合致するようにレンズ１１の位置を定める。この位置設定のために、コンピュータ２２は、被検レンズ系のデータに基づき、レンズ１１の変位量を演算する。
　【００４８】
　被検レンズ面Ｓ１により反射された照射光束は、結像光学系の作用によりレチクル１６上に結像し、結像の状態はＣＣＤカメラ１９の受光面上に拡大されて結像される。ＣＣＤカメラ１９の受光面上の結像状態は「中央にスポット状部分」を持つ。このスポット状部分は、被検レンズ面Ｓ１による反射光束の「発散の起点」を物点とする（結像光学系と顕微鏡対物レンズ１７とフィールドレンズ１８とによる）像である。
　【００４９】
　画像処理装置２０は、上記スポット状部分の中心座標を「結像の重心位置」として求める。図２（ａ）はこの状態を示す。図２（ａ）において、点Ｐ１は、上記スポット状部分の中心位置であり、この中心位置Ｐ１の座標：ｒ１，φ１を求めるのである。
図２（ａ）における
　【００５０】
　被検レンズ面Ｓ１の近軸曲率中心Ｓ１’が基準光軸上に位置していれば、座標：ｒ１＝０で、φ１も当然にゼロである。座標：ｒ１が有限であれば、φ１も有限となり、このときのφ１により「偏心方向」が決定される。
　【００５１】
　座標：ｒ１が０でないとき、近軸曲率中心Ｓ１’は基準光軸２上にない。このとき上記スポット状部分の物点は、被検レンズ面Ｓ１に依る反射光束の発散の起点であり、設計上の近軸曲率中心位置から「現実の近軸曲率中心位置と基準光軸２とのずれ量：σ１の２倍」だけ基準光軸２から離れている。
　【００５２】
　従って、結像光学系と顕微鏡対物レンズ１７およびフィールドレンズ１８との合成系の結像倍率をｍ（測定装置における定数として定まる）とすれば、ｒ１＝ｍ・２σ１である。コンピュータ２２は演算：ｒ１／２ｍを行なって、シフト偏心量：σ１を算出する。
　【００５３】
　コンピュータ２２は続いてステッピングモータ１４を制御してレンズ１１を変位させ、照射光束の集光点位置を基準光軸方向にΔＲ１だけ変位させる。
　被検レンズ面Ｓ１に偏心が無ければ、このときＣＣＤカメラ１９の受光面における結像の重心位置は結像光学系の光軸位置（図２（ａ）の原点Ｏ）と合致し、このときの結像光束の物点は、被検レンズ面Ｓ１の非球面形状：ｆ１（ｈ）において、関係式：ΔＲ１＝｛ｈ１／ｆ１’（ｈ１）｝＋ｆ１（ｈ１）−Ｒ１を満足する距離：ｈ１だけ、非球面軸Ｓ１”から離れた非球面部分の曲率中心である。「Ｒ１」は被検レンズ面Ｓ１の近軸曲率半径、ｆ１’（ｈ１）は非球面式：ｆ１（ｈ）の微分係数である。変位量：ΔＲ１はコンピュータ２２が被検レンズ系のデータに基づき算出する。
　【００５４】
　この曲率中心が基準光軸からずれていると、ＣＣＤカメラ１９の受光面上の結像の重心位置は図２（ｂ）のＰ１’の如きものとなり、座標：ｒ１，
Δｒ１
　【００５５】
　そこで、コンピュータ２２は演算：
　　Ｕ１＝（ｒ１／２ｍ）−（ｒ１’／２ｍ），
　　ε１＝ｓｉｎ−１（Ｕ１／ΔＲ１）
を実行し、これにより被検レンズ面Ｓ１に対するシフト偏心量：σ１とティルト偏心量：ε１、偏心方向：φ１が決定される。
　【００５６】
　続いて、被検レンズ面Ｓ２の偏心測定が行なわれる。
　被検レンズ面Ｓ２は「球面」であるので、曲率中心Ｓ２’の偏心量：σ２と偏心方向：φ２を求めるのみで良い。
　被検レンズ面Ｓ２の偏心を測定するため、コンピュータ２２はステッピングモータ１４を制御してレンズ１１を変位させ、照射光束の集光点位置を、曲率中心Ｓ２’の設計上の位置（基準光軸２上の位置）に移動させる。
　【００５７】
　このために、被検レンズ系１のデータを用いる光線追跡により、照射光束が曲率中心Ｓ２’の設計上の位置に集光するときのレンズ１１の位置がコンピュータ２２で計算され、計算されたレンズ１１の位置を実現するように、コンピュータ２２がステッピングモータ１４を制御する。
　【００５８】
　この状態が実現されると、ＣＣＤカメラの受光面上における結像の重心位置の結像光学系光軸からの距離：ｒ２とその偏角としての偏心方向：φ２が求まる。
　【００５９】
　被検レンズ面Ｓ２の偏心量：σ２は、倍率：ｍ２を用いて「ｒ２／ｍ２」で与えられる。倍率ｍ２は「被検レンズ面Ｓ２とＣＣＤカメラ１９の受光面との間にあるレンズの合成系」による倍率であり、先に被検レンズ面Ｓ１のシフト変位量を求めたときの倍率：ｍとは異なる。
　【００６０】
　即ち、被検レンズ面Ｓ１は、照射光束の入射側から見て第１面であるので、被検レンズ面Ｓ１による反射光束の結像は、被検レンズ系のレンズ面の屈折の影響を受けない。しかるに、被検レンズ面Ｓ２による反射光束は、被検レンズ面Ｓ２よりも入射側にある屈折面Ｓ１により屈折され、被検レンズ系１から射出するので、被検レンズ面Ｓ２よりも照射光束の入射側にある「被検レンズ系部分」が反射光束の結像倍率：ｍ２に影響するのである。倍率：ｍ２も、コンピュータ２２が被検レンズ系１のデータに基づき算出する。
　【００６１】
　次に、被検レンズ面Ｓ３の偏心の測定が行なわれる。被検レンズ面Ｓ３は非球面であるので、シフト偏心量とティルト偏心量と偏心方向の測定が行なわれる。偏心測定の手順は、被検レンズ面Ｓ１の偏心測定の手順と同様である。即ち、まず照射光束が、近軸曲率中心Ｓ３’の設計上の位置に集光するようにレンズ１１の位置を調整する（レンズ１１の変位量は、被検レンズ系１のデータに基づきコンピュータ２２が算出する）。そして、ＣＣＤカメラ１９上の結像の重心位置の座標：ｒ３と偏角：φ３が画像処理装置２０により求められる。
　【００６２】
　倍率：ｍ３（被検レンズ面Ｓ３とＣＣＤカメラ１９の受光面との間にあるレンズによる合成系の結像倍率でコンピュータ２２が算出する）により、シフト偏心量：σ３＝ｒ３／ｍ３が求められ、これにより、シフト偏心量：σ３と偏心方向：φ３が知られる。
　【００６３】
　続いて、被検レンズ面Ｓ３の非球面形状：ｆ３（ｈ）において、関係式：
　　ΔＲ３＝｛ｈ３／ｆ３’（ｈ３）｝＋ｆ３（ｈ３）−Ｒ３
を満足する距離：ｈ３だけ、非球面軸Ｓ３”から離れた非球面部分の曲率中心（の設計上の位置）に照射光束の集光位置を変位させる。このときの、集光位置の変位量はΔＲ３であり、この変位を実現するためのレンズ１１の変位量は、被検レンズ系１のデータからコンピュータ２２により計算される。
　【００６４】
　このときのＣＣＤカメラ１９の受光面上のスポット像の重心位置をｒ３’とすると、上記非球面部分の曲率中心の基準光軸２からのずれ量は「ｒ３’／２ｍ３」である。
　【００６５】
　コンピュータ２２は演算：
　　Ｕ３＝（ｒ３／２ｍ３）−（ｒ３’／２ｍ３），
　　ε３＝ｓｉｎ−１（Ｕ３／ΔＲ３）
を行ない、ティルト偏心量：ε３を算出する。
　【００６６】
　最後に被検レンズ面Ｓ４の偏心測定が行なわれる。被検レンズ面Ｓ４は球面であるので、測定の手順は被検レンズ面Ｓ２の偏心測定の場合と同様であり、ＣＣＤカメラ１９の受光面上の結像の重心位置：ｒ４から偏心量：σ４を求めるときの倍率：ｍ４は、被検レンズ面Ｓ４とＣＣＤカメラ１９の受光面の間にあるレンズの合成系による結像倍率（コンピュータ２２が算出することは言うまでもない）であり、偏心量：σ４＝ｒ４／ｍ４により偏心方向は重心位置の偏角：φ４により決定される。
　このようにして、被検レンズ面Ｓ１〜Ｓ４に対する偏心測定が完了する。
　上の説明では、被検レンズ面Ｓ１〜Ｓ４の個々に対し、画像処理装置によりｒｉ（ｉ＝１〜４）等が決定されるたびに演算：ｒｉ／ｍｉ等を行なったが、演算に必要なｒｉ等の測定を全ての被検レンズ面に対して行なったのち、ｒｉ等に対する演算を一括して行なうようにしてもよい。
　【００６７】
　図４に示されているように、被検レンズ面Ｓ３は、照射光束の照射される側に向かって凹面であり、その近軸曲率中心Ｓ３’は、被検レンズ面Ｓ３への照射光束の入射側にある。従って、この場合、被検レンズ面Ｓ３への照射光束は発散性の光束である。このことから、偏心測定の対象となる全ての被検レンズ面が、照射光束の入射則に凹面を向けているような場合には、照射光学系から、上に説明した場合のような集束性の照射光束ではなく、発散性の照射光束を照射するようにすることも可能であることが容易に理解されるであろう。
　【００６８】
　図３は、請求項５記載の発明の実施の１形態を説明するための図である。繁雑を避けるため、混同の虞れがないと思われるものに就いては、図１におけると同一の符号を付してある。
　【００６９】
　この実施の形態においては、「重心位置検出手段」が、結像光学系の像側光路を複数に分割する光路分割手段として半透鏡１５’，１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，‥と、分割された個々の光路上に１つずつ、所定の位置に設けられた撮像手段１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，‥と、各撮像手段の受光面上に結像した像の重心を検出する画像処理手段２０，２１により構成される。
　【００７０】
　レチクル１６、顕微鏡対物レンズ１７、フィールドレンズ１８、ＣＣＤカメラ１９は上記撮像手段１６Ａ，１６Ｂ，‥とともに一つの撮像手段を構成する。
　個々の撮像手段１６Ａ，１６Ｂ，‥はそれぞれがレチクル、顕微鏡対物レンズ、フィールドレンズ、ＣＣＤカメラにより構成され、各撮像手段のＣＣＤカメラの出力は、図示されない「入力切り換え手段」を介して画像処理装置２０に入力できるようになっている。このようにする場合のほか、各撮像手段に個別的に画像処理装置を配備し、各画像処理装置の出力がコンピュータ２２に入力されるようにしてもよい。
　【００７１】
　各撮像手段は、被検レンズ系からの反射光束において、前記曲率中心や近軸曲率中心、さらには近軸曲率中心からΔＲｉだけ離れた位置を物点とするスポット状の結像が得られる位置（予め被検レンズ系１のデータにより算出・決定されている）に受光面を有している。即ち、撮像手段は、被検レンズ面が球面である場合に一つ、被検レンズ面が非球面である場合に２つ必要であり、図４に示したような場合には全部で６個必要になる。この場合、レンズ１１を光軸方向へ移動させる必要はない。
　【００７２】
　この実施の形態では、各撮像手段の出力により前記
ｒｉ，ｒｉ’，φｉ
　【００７３】
　上に説明した各実施の形態において、被検レンズ系の基準光軸を被検レンズ系１の鏡筒の中心軸と考え、これを保持手段の中心軸に合致させて測定を行なったが、被検レンズ系の基準光軸は本来的には設計上の光軸であり、必ずしも鏡筒の中心軸と合致するとは限らない。
　【００７４】
　このような場合、本来の基準光軸と鏡筒の中心軸（保持手段の中心軸）とのずれに応じ、測定偏心量に誤差が生じることになる。
　この誤差を有効に軽減させるには請求項６記載の発明のように、「演算手段」が、重心位置検出手段による検出結果と、被検レンズのデータとに基づき、所定の演算により、上記各形態の如くして求めた各被検レンズ面の偏心量の最小２乗平均により「最適基準光軸」を求め、この最適基準光軸に基づき、偏心量を求める演算機能を有するようにすればよい。
　【００７５】
　即ち、例えば、前述の偏心量：σ１ないしσ４に基づき、Σ（σｉ−δ）２を最小にするようなε０を求め、σｉ等の代わりに（σｉ−δ０）を用いて演算をやりなおすのである。このようにして、精度良く偏心測定を行なうことができる。
　【００７６】
　また保持手段に回転機構を設け、保持した被検レンズ系を保持手段の中心軸の回りに回転し、このときの撮像手段の受光面上におけるスポット状の像の中心の回転半径として前記ｒｉ等を求めるようにしてもよい。
　【００７７】
　【発明の効果】
　以上に説明したように、この発明によれば新規なレンズ面偏心測定方法および装置を実現できる。この発明では、３以上のレンズ面を有し、非球面を含むレンズ系における所望の被検レンズ面の偏心測定を簡易且つ精度良く行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明のレンズ面偏心測定装置の実施の１形態を説明するための図である。
　【図２】
　上記実施の形態における偏心測定を説明するための図である。
　【図３】
　この発明のレンズ面偏心測定装置の実施の別形態を説明するための図である。
　【図４】
　被検レンズ系における被検レンズ面の偏心を説明するための図である。
　【図５】非球面形状を説明するための図である。
　【符号の説明】
　１　被検レンズ系
　３Ａ，３Ｂ　保持手段
　４　照明用光源
　５，６，７，８，９，１０，１１　照射用光学系
　６，７，８，９，１０，１５　結像光学系
　１６，１７，１８，１９　撮像手段
　１９　画像処理装置
　２２　演算手段