【手続補正書】
【提出日】平成22年1月5日(2010.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立体顕微鏡の物体平面に配置可能な物体を結像するための立体顕微鏡であって、前記立体顕微鏡は、少なくとも一対の結像ビーム経路を形成し、かつ、
ミラー面を有する少なくとも１つの偏向素子と、
いくつかの光学素子を有する結像システムとを含み、
前記いくつかの光学素子は、複数のレンズを含むと共に、前記結像ビーム経路の瞳面が前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面と交差するか、あるいは前記ミラー面からある距離だけ離間するように構成され、前記距離は、前記複数のレンズの前記結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の１．５倍未満であることを特徴とする立体顕微鏡。
【請求項２】
前記距離は、前記複数のレンズの前記結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の１．０倍未満である、請求項１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３】
前記距離は、前記複数のレンズの前記結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の０．５倍未満である、請求項１に記載の立体顕微鏡。
【請求項４】
前記偏向素子の前記ミラー面と前記立体顕微鏡の前記物体平面との間の前記結像ビーム経路には、光学有効素子（optically effective element）が存在しない、請求項１に記載の立体顕微鏡。
【請求項５】
前記結像システムの前記いくつかの光学素子は、前記少なくとも１つの偏向素子を含み、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記少なくとも一対の結像ビーム経路を偏向させるように構成されている、請求項４に記載の立体顕微鏡。
【請求項６】
前記結像ビーム経路のビーム束は、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面上においてある距離だけ互いに離間したビーム断面部をそれぞれ規定している、請求項５に記載の立体顕微鏡。
【請求項７】
前記立体顕微鏡は、前記結像ビーム経路の前記ビーム断面部間の領域において前記少なくとも１つの偏向素子を横切る少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、請求項６に記載の立体顕微鏡。
【請求項８】
前記立体顕微鏡は、前記結像ビーム経路の前記ビーム断面部間の領域において前記少なくとも１つの偏向素子を横切るパイプをさらに含み、前記副ビーム経路は、前記パイプにおいて導かれる、請求項７に記載の立体顕微鏡。
【請求項９】
前記少なくとも１つの偏向素子は、前記少なくとも１つの副ビーム経路及び／又は前記パイプによって横切られる切欠部を前記結像ビーム経路の前記ビーム断面部間の領域において含む、請求項７に記載の立体顕微鏡。
【請求項１０】
前記結像ビーム経路は、第１の波長範囲のビームを結像するように構成され、
前記少なくとも１つの偏向素子は、前記結像ビーム経路の前記ビーム断面部間の領域において、前記ビーム断面部の領域における前記第１の波長範囲のビームに対する前記少なくとも１つの偏向素子の反射率よりも小さい反射率を前記第１の波長範囲のビームに対して有する、請求項７に記載の立体顕微鏡。
【請求項１１】
前記結像ビーム経路は、第１の波長範囲のビームを結像するように構成され、前記副ビーム経路は、前記第１の波長範囲とは異なる第２の波長範囲のビームを結像するように構成され、
前記少なくとも１つの偏向素子は、前記結像ビーム経路の少なくとも前記ビーム断面部の領域において、前記第２の波長範囲のビームに対する反射率よりも高い反射率を前記第１の波長範囲のビームに対して有する、請求項７に記載の立体顕微鏡。
【請求項１２】
前記立体顕微鏡は、少なくとも１つの副ビーム経路をさらに形成し、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記少なくとも１つの副ビーム経路を偏向させるように構成されている、請求項４に記載の立体顕微鏡。
【請求項１３】
前記結像ビーム経路のビーム束は、前記瞳面において互いにある距離だけ離間したビーム断面部をそれぞれ規定し、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記結像ビーム経路の前記ビーム断面部間の領域に配置されている、請求項１２に記載の立体顕微鏡。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面の前記結像ビーム経路に沿った射影の直径は、前記ビーム断面部の前記距離よりも小さいか、又はこれに等しい、請求項１３に記載の立体顕微鏡。
【請求項１５】
前記ビーム断面部には、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面が存在しない、請求項１３に記載の立体顕微鏡。
【請求項１６】
前記結像ビーム経路は、第１の波長範囲のビームを結像するように構成され、前記副ビーム経路は、前記第１の波長範囲とは異なる第２の波長範囲のビームを結像するように構成され、
前記結像ビーム経路のビーム束は、前記瞳面において互いにある距離だけ離間したビーム断面部をそれぞれ規定し、
前記少なくとも１つの偏向素子は、前記結像ビーム経路の少なくとも前記ビーム断面部の外側の領域において、前記第１の波長範囲のビームに対する反射率よりも高い反射率を前記第２の波長範囲のビームに対して有する、請求項１２に記載の立体顕微鏡。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、物体平面を照射するためのビーム源と照射光学系とを有する照射システム、及び、赤外線結像光学系を有する赤外線観察システム、及び、結像光学系を有する観察システム、及び、ビーム誘導システムを有するレーザのうちの少なくとも１つをさらに含む、請求項７に記載の実体顕微鏡。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、前記物体平面を照射するためのビーム源と照射光学系とを有する照射システム、赤外線結像光学系を有する赤外線観察システム、結像光学系を有する観察システム、及び、ビーム誘導システムを有するレーザのうちの少なくとも１つをさらに含む、請求項１２に記載の実体顕微鏡。
【請求項１９】
前記結像システムは、第１のサブシステムを含み、前記第１のサブシステムの光学素子は、前記少なくとも一対のビーム経路の両方の結像ビーム経路によって共通に横切られる複数のレンズを含み、前記結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置された前記レンズは、前記第１のサブシステムのレンズである、請求項１に記載の立体顕微鏡。
【請求項２０】
前記第１のサブシステムの前記複数のレンズは、１つの共通の光軸に沿って配置され、前記第１のサブシステムの少なくとも２つのレンズは、前記物体平面の前記立体顕微鏡からの距離及び結像倍率のうちの少なくとも１つを変更するために、前記光軸に沿って互いに対して変位可能である、請求項１９に記載の立体顕微鏡。
【請求項２１】
前記第１のサブシステムの前記光学素子は、前記立体顕微鏡の前記物体平面が、前記第１のサブシステムの一対のレンズ間に配置される中間像に結像されるように構成されている、請求項１９に記載の立体顕微鏡。
【請求項２２】
前記結像システムは、第２のサブシステムを含み、前記第２のサブシステムの光学素子は、前記少なくとも一対の結像ビーム経路のうちの１つの結像ビーム経路によってのみそれぞれ横切られる複数のレンズを含む、請求項１９に記載の立体顕微鏡。
【請求項２３】
前記少なくとも一対の結像ビーム経路のうちの第１の対の結像ビーム経路によって横切られ、かつ、前記少なくとも一対の結像ビーム経路のうちの第２の対の結像ビーム経路が反射される少なくとも１つの部分的に透明なミラー面を有するビームスプリッタ装置をさらに含む、請求項２２に記載の立体顕微鏡。
【請求項２４】
前記第２のサブシステムの少なくとも２つのレンズは、結像倍率を変更するために、前記光軸に沿って互いに対して変位可能である、請求項２２に記載の立体顕微鏡。
【請求項２５】
前記第２のサブシステムは、少なくとも一対の接眼レンズを含む、請求項２２に記載の立体顕微鏡。
【請求項２６】
前記第２のサブシステムは、少なくとも一対のカメラを含む、請求項２２に記載の立体顕微鏡。
【請求項２７】
前記結像システムによって導かれる、前記物体側の前記ビーム束のうちの一対の部分ビーム束を選択するためのセレクタ装置をさらに含み、
前記セレクタ装置は、前記２つの部分ビーム束のうちの少なくとも一方のビーム断面を前記物体側の前記ビーム束のビーム断面に対して変位させるように構成されている、請求項５に記載の立体顕微鏡。
【請求項２８】
前記セレクタ装置は、前記少なくとも１つのミラー面に隣接して配置され、前記物体側の前記ビーム束の前記ビーム断面に配置された、前記第１の部分ビーム束又は前記第２の部分ビーム束を選択的に透過させる切替可能な開口を含む、請求項２７に記載の立体顕微鏡。
【請求項２９】
前記セレクタ装置は、前記少なくとも１つの偏向素子に一体化され、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は切替可能である、請求項２７に記載の立体顕微鏡。
【請求項３０】
前記切替可能なミラー面は、ビームを反射する状態から該ビームを反射しない状態に切替可能な、別々に切り替えが可能な複数のミラー素子を含む、請求項２９に記載の立体顕微鏡。
【請求項３１】
立体顕微鏡の物体平面に配置可能な物体を結像するための立体顕微鏡であって、前記立体顕微鏡は、少なくとも一対の結像ビーム経路を形成し、かつ、
いくつかの光学素子を有する結像システムを含み、
前記いくつかの光学素子は、複数のレンズと、前記少なくとも一対の結像ビーム経路を偏向させるための複数の偏向素子とを含み、前記偏向素子は、少なくとも１つのミラー面をそれぞれ含み、
前記少なくとも一対の結像ビーム経路は、第１のミラー面、第２のミラー面、第３のミラー面及び第４のミラー面によって順次反射され、
前記第１のミラー面及び前記第４のミラー面は、互いに対して７０度〜１１０度の角度を有し、前記第２のミラー面及び前記第３のミラー面は、互いに対して７０度〜１１０度の角度を有し、
前記複数のレンズは、前記立体顕微鏡の前記物体平面が、前記第１のミラー面と前記第４のミラー面との間において前記結像システムのビーム経路に配置される中間像に結像されるように構成されていることを特徴とする立体顕微鏡。
【請求項３２】
前記第１のミラー面及び前記第４のミラー面は、互いに対して９０度の角度を有し、前記第２のミラー面及び前記第３のミラー面は、互いに対して９０度の角度を有する、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３３】
前記第１のミラー面及び前記第２のミラー面は、互いに対して４０度〜８０度の角度を有する、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３４】
前記第１のミラー面及び前記第２のミラー面は、互いに対して６０度の角度を有する、請求項３３に記載の立体顕微鏡。
【請求項３５】
前記第２のミラー面と前記第３のミラー面との間の前記ビーム経路には、レンズが存在しない、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３６】
前記中間像は、前記第３のミラー面と前記第４のミラー面との間の前記ビーム経路に配置されている、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３７】
前記結像システムの複数のレンズが、前記第１のミラー面と前記中間像との間に配置され、前記複数のレンズは、前記少なくとも一対のビーム経路の両方の結像ビーム経路によって共通に横切られる、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項３８】
前記複数のレンズは、１つの共通の光軸に沿って配置され、少なくとも２つのレンズが、前記物体平面の前記立体顕微鏡からの距離及び結像倍率を変更するために、前記共通の光軸に沿って互いに対して変位可能である、請求項３７に記載の立体顕微鏡。
【請求項３９】
前記第１のミラー面、前記第２のミラー面、前記第３のミラー面及び前記第４のミラー面は、これらが前記結像ビーム経路に対してポロシステムII型（a Porro-system of the second kind）を形成するように配置されている、請求項３１に記載の立体顕微鏡。
【請求項４０】
顕微鏡の物体平面に配置可能な物体を結像する顕微鏡であって、前記顕微鏡は、少なくとも１つの結像ビーム経路を形成し、かつ、
ミラー面を有する少なくとも１つの偏向素子と、
いくつかの光学素子を有する結像システムとを含み、
前記いくつかの光学素子は、複数のレンズを含み、前記いくつかの光学素子は、前記少なくとも１つの結像ビーム経路の瞳によって規定された平面が、前記ミラー面に隣接して配置され、かつ、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面と交差するか、もしくは前記ミラー面から距離をあけて配置されるように構成され、前記距離は、前記複数のレンズのうちの前記少なくとも１つの結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の１．５倍未満であることを特徴とする顕微鏡。
【請求項４１】
前記距離は、前記複数のレンズのうちの前記少なくとも１つの結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の１．０倍未満である、請求項４０に記載の顕微鏡。
【請求項４２】
前記距離は、前記複数のレンズのうちの前記少なくとも１つの結像ビーム経路に沿って前記ミラー面に最も近接して配置されたレンズの直径の０．５倍未満である、請求項４０に記載の顕微鏡。
【請求項４３】
前記偏向素子の前記ミラー面と前記顕微鏡の前記物体平面との間の前記少なくとも１つの結像ビーム経路には、光学有効素子が存在しない、請求項４０に記載の顕微鏡。
【請求項４４】
前記結像システムの前記いくつかの光学素子は、前記少なくとも１つの偏向素子をさらに含み、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記少なくとも１つの結像ビーム経路を偏向させるように構成されている、請求項４０に記載の顕微鏡。
【請求項４５】
前記顕微鏡は、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面に隣接して配置されているか、又は、前記少なくとも１つの結像ビーム経路の最大ビーム断面部の外側の領域において該ミラー面を横切る、少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、請求項４４に記載の顕微鏡。
【請求項４６】
前記顕微鏡は、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面に隣接して配置されているか、又は、前記少なくとも１つの結像ビーム経路の最大断面部の外側の領域において該ミラー面を横切る少なくとも１つのパイプを含む、請求項４４に記載の顕微鏡。
【請求項４７】
副ビーム経路が、前記パイプ（７２４）において導かれる、請求項４６に記載の顕微鏡。
【請求項４８】
前記顕微鏡は、少なくとも１つの副ビーム経路をさらに形成し、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記少なくとも１つの副ビーム経路を偏向させるように構成されている、請求項４０に記載の顕微鏡。
【請求項４９】
前記少なくとも１つの結像ビーム経路のビーム束は、前記瞳によって規定された前記平面において断面部を規定し、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面は、前記少なくとも１つの結像ビーム経路のこのビーム断面部に隣接して配置され、前記ビーム断面部には、前記少なくとも１つの偏向素子の前記ミラー面が存在しない、請求項４８に記載の顕微鏡。
【請求項５０】
それぞれ、前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、前記物体平面（７０１）を照射するためのビーム源と照射光学系とを有する照射システム、及び、赤外線結像光学系を有する赤外線観察システム、及び、ビーム誘導システムを有するレーザのうちの少なくとも１つをさらに含む、請求項４５に記載の顕微鏡。
【請求項５１】
前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する結像光学系を有する観察システムをさらに含む、請求項４５に記載の顕微鏡。
【請求項５２】
前記複数のレンズは、１つの共通の光軸に沿って配置され、２つのレンズが、前記光軸に沿って互いに対して変位可能である、請求項４３に記載の顕微鏡。
【請求項５３】
前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、前記ビーム源及び照射光学系、及び、前記赤外線結像光学系を有する前記赤外線観察システム、及び、前記ビーム誘導システムを有する前記レーザ、及び、前記結像光学系のうちの少なくとも１つに対して少なくとも３つの自由度を有する特殊なロボット式取付台をさらに含む、請求項１７に記載の顕微鏡。
【請求項５４】
前記少なくとも１つの副ビーム経路を形成する、前記ビーム源及び照射光学系、及び、前記赤外線結像光学系を有する前記赤外線観察システム、及び、前記ビーム誘導システムを有する前記レーザ、及び、前記結像光学系のうち少なくとも１つに対して少なくとも３つの自由度を有する特殊なロボット式取付台をさらに含む、請求項１８に記載の顕微鏡。
【請求項５５】
少なくとも３つの自由度を有する特殊なロボット式取付台を含む、請求項１に記載の顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
一実施の形態によれば、前記第１のミラー面及び前記第２のミラー面は、互いに対して４０度〜８０度、好ましくは、６０度の角度を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
さらに、第１のミラー面３及び第２のミラー面９は、互いに対して６０度の角度を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
しかし、本発明は、６０度の角度に限定されるものでない。実際、第１のミラー面３及び第２のミラー面９は、互いに対して４０度〜８０度の角度を有し得る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
第１のミラー面３及び第４のミラー面１２、及び／又は、第２のミラー面９及び第３のミラー面１０が互いに対して９０度とは異なる角度を有する場合、及び／又は、第１のミラー面３及び第２のミラー面９が互いに対して６０度とは異なる角度を有する場合、さらなる像の回転が生じる可能性がある。このような像の回転は、例えば、必要に応じて、これに対応して調整されたミラー又はプリズム（特に図示せず）を用いて、それぞれ、デジタル式に及び／又は光学的に分析を行なうことにより、補正することができる。第１、第２、第３及び第４のミラー面３、９、１０、１２を、それぞれ、上記補正に直接用いてもよい。