【事件の表示】
　平成　７年特許願第１９６６７６号「走査型寸法測定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　２月１４日出願公開、特開平　９−　４２９２８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本願は、平成７年８月１日の出願であって、平成１５年１０月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１２月３日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１２月２２日付けで手続補正がなされたものである。
　
【２】平成１５年１２月２２日付け手続補正について
２−１．補正の内容
本件補正は、次のような内容である。
補正１．特許請求の範囲の請求項１を削除する。
補正２．特許請求の範囲の請求項２〜８を、それぞれ次のように補正する。
イ．「　【請求項１】　レーザービーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向するガルバノミラーと、このガルバノミラーからのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記ガルバノミラーと前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーは、半導体基板に、可動板とこの可動板を前記半導体基板に対し揺動自在に軸支するトーションバーとを一体に形成したものであって、前記可動板の周縁部に駆動コイルを設け、前記可動板上にミラーを設け、前記駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設けて、前記駆動コイルに電流を流すことにより前記ミラーを駆動するものであり、かつ前記可動板の変位角を検出する変位角検出手段を備え、この変位角検出手段の出力を前記駆動コイルにフイードバックして前記可動板の変位角を制御することを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ロ．「【請求項２】　請求項１記載の走査型寸法測定装置において、
前記可動板の揺動空間を、上下のガラス基板及び周囲の半導体基板とによって密閉し、この密閉空間を真空状態としたことを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ハ．「【請求項３】　請求項１記載の走査型寸法測定装置において、
　前記可動板の揺動空間を、上下のガラス基板及び周囲の半導体基板とによって密閉し、この密閉空間に不活性ガスを封入したことを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ニ．「【請求項４】　請求項２または３記載の走査型寸法測定装置において、
　前記上下のガラス基板に凹部を形成したことを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ホ．「【請求項５】　請求項１ないし４のいずれかに記載の走査型寸法測定装置において、
　前記光入射位置検出手段は、検出位置毎の誤差を予め測定してメモリに入れておき、寸法測定時にこのメモリ内容により測定値を補正することを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ヘ．「【請求項６】　請求項１ないし５のいずれかに記載の走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーで偏向されたレーザービームを並行光線とするコリメーターレンズを備えたことを特徴とする走査型寸法測定装置。」
ト．「【請求項７】　請求項１ないし６のいずれか記載の走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーは２次元偏向のできる２次元ガルバノミラーであり、前記光入射位置検出手段は２次元の光入射位置検知のできる２次元光検出手段であることを特徴とする走査型寸法測定装置。」
補正３．詳細な説明中、段落番号【０００９】を次のように補正する。
「【０００９】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明では、前記第１の目的を達成するため、走査型寸法測定装置を次の（１）〜（６）のとおりに構成し、前記第１，第２の目的を達成するため、走査型寸法測定装置を次の（７）のとおりに構成する。
　（１）レーザービーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向するガルバノミラーと、このガルバノミラーからのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記ガルバノミラーと前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーは、半導体基板に、可動板とこの可動板を前記半導体基板に対し揺動自在に軸支するトーションバーとを一体に形成したものであって、前記可動板の周縁部に駆動コイルを設け、前記可動板上にミラーを設け、前記駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設けて、前記駆動コイルに電流を流すことにより前記ミラーを駆動するものであり、かつ前記可動板の変位角を検出する変位角検出手段を備え、この変位角検出手段の出力を前記駆動コイルにフイードバックして前記可動板の変位角を制御することを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（２）前記（１）記載の走査型寸法測定装置において、
　前記可動板の揺動空間を、上下のガラス基板及び周囲の半導体基板とによって密閉し、この密閉空間を真空状態としたことを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（３）前記（１）記載の走査型寸法測定装置において、
　前記可動板の揺動空間を、上下のガラス基板及び周囲の半導体基板とによって密閉し、この密閉空間に不活性ガスを封入したことを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（４）前記（２）または（３）記載の走査型寸法測定装置において、
　前記上下のガラス基板に凹部を形成したことを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（５）前記（１）ないし（４）のいずれかに記載の走査型寸法測定装置において、
　前記光入射位置検出手段は、検出位置毎の誤差を予め測定してメモリに入れておき、寸法測定時にこのメモリ内容により測定値を補正することを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（６）前記（１）ないし（５）のいずれかに記載の走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーで偏向されたレーザービームを並行光線とするコリメーターレンズを備えたことを特徴とする走査型寸法測定装置。
　（７）前記（１）ないし（６）のいずれか記載の走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーは２次元偏向のできる２次元ガルバノミラーであり、前記光入射位置検出手段は２次元の光入射位置検知のできる２次元光検出手段であることを特徴とする走査型寸法測定装置。」
　
２．補正に対する判断
（新規事項の有無について）
　補正２．イ〜トの内容、及びそれに伴う詳細な説明中の補正３．の内容が、願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された範囲内のものであることは明らかである。
（補正の目的について）
２−１．補正１．
　補正１．は請求項の削除を目的とするものに該当する。
２−２．補正２．イ．
　補正２．イ．は、補正前の請求項２の記載形式を独立形式に変更して請求項１としたものであって、補正１．に伴い生じる明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
２−３．補正２．ロ．
　補正２．ロ．は、補正前の請求項３を請求項２とする補正であって、補正１．に伴い生じる明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
２−４．補正２．ハ．〜ト．
　補正２．ロ．に対する判断と同様である。
２−５．補正３．
　補正３．は、補正１．及び補正２．イ．〜ト．により補正された請求項の記載と詳細な説明中の記載とを整合させるための補正であって、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　したがって、本件補正は特許法第１７条の２第３項、及び同条第４項第１号、第４号の規定に適合する故、当該補正を認める。
　
【３】本願発明
　本願の請求項１〜７に係る発明は、平成１５年１２月２２日付けの手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１には次のとおりに記載されている。
「【請求項１】　レーザービーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向するガルバノミラーと、このガルバノミラーからのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記ガルバノミラーと前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置において、
　前記ガルバノミラーは、半導体基板に、可動板とこの可動板を前記半導体基板に対し揺動自在に軸支するトーションバーとを一体に形成したものであって、前記可動板の周縁部に駆動コイルを設け、前記可動板上にミラーを設け、前記駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設けて、前記駆動コイルに電流を流すことにより前記ミラーを駆動するものであり、かつ前記可動板の変位角を検出する変位角検出手段を備え、この変位角検出手段の出力を前記駆動コイルにフイードバックして前記可動板の変位角を制御することを特徴とする走査型寸法測定装置。」（以下、「本願発明」という。）。
　
【４】刊行物
４−１．刊行物１
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用された特開平５−２４０６１８号公報（以下、「刊行物１」という）は、「測長装置」（発明の名称）に関し、図面とともに以下の記載がある。
ａ．「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポリゴンミラーは、正多角形状の外周面にミラー面を形成したものであり、直流サーボモータ等のモータによって一定角速度で回転させられている。このため、光ビーム走査機構ではポリゴンミラーとモータが必要不可欠となり、光ビーム走査機構の小型化を図るのが困難となり、測長装置自体の小型化も困難であった。」
ｂ．「【０００６】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型かつ安価で、しかも、１つの光スキャナによって１軸ないし２軸方向における被測定物の寸法を測定することができる測長装置を提供することにある。」
　前記記載ａ．ｂ．から、刊行物１に記載のものは、本願発明と同様、小型かつ安価な測長装置を提供することを目的とするものであることが読みとれる。
ｃ．「【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の測長装置は、被測定物の方向に向けて出射させた光を走査し、被測定物によって遮られることなく通過した光を受光素子で検出することにより被測定物の径や幅、高さ等の寸法を測定する測長装置であって、少なくとも１つの弾性変形モードを有する弾性変形部と、弾性変形部の一端に設けられた振動入力部と、弾性変形部の他端に設けられた光ビーム反射用のスキャン部とを有し、振動入力部に印加された振動を弾性変形部で所定の弾性変形モードに変換してスキャン部を少なくとも１方向に回動させるようにした光スキャナと、前記光スキャナの振動入力部に振動を付与する振動子と、前記光スキャナに向けて光を出射する発光素子と、前記光スキャナの走査線上に配置された受光素子とから構成されていることを特徴としている。」
　前記記載ｃ．から、
・発光素子と、発光素子からの光を受けて走査する光スキャナと、この光スキャナの走査線上に配置された受光素子とを有する測長装置、が読みとれる。
ｄ．「【００１１】・・・光ビーム走査器５は、光ビームαを出射する投光器１０と、投光器１０から出射された光ビームαを２方向へ走査させるための光スキャナ１１と、光スキャナ１１を駆動するための圧電振動子や磁歪振動子等の振動子１２とからなっており、ケース１３には光スキャナ１１によって走査された光ビームαを出射させるための光走査窓１４が開口されている。投光器１０は、半導体レーザ素子や発光ダイオード等の発光素子１５と、発光素子１５から出射された光を集光あるいはコリメートする光学素子１６（例えば、レンズやレンズ系）と、発光素子１５を発光させるための発光素子駆動回路（図示せず）から構成されており、・・・」
　前記記載ｄ．から、
・半導体レーザ素子１５と、この半導体レーザ素子１５から出射された光ビームαを走査する光スキャナ１１、が読みとれる。
ｅ．「【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例による測長装置Ａを示す一部破断した斜視図である。この測長装置Ａにあっては、光出射部１と受光部２の間に、被測定物３を通過もしくは位置させるための計測用空間４が設けられている。光出射部１内には、出射角度を連続的に変化させることにより光ビームαを上下方向及び左右方向に走査させながら出射する光ビーム走査器５と、光ビーム走査器５から出射された光ビームαを水平な光ビームαに変換するためのコリメートレンズ等の光学素子６が納められている。・・・受光部２には、光出射部１の光出射窓７に対向させて同じく十文字状をした光入射窓８が開口されており、受光部２内には光入射窓８に臨ませてＣＣＤ（電荷結合素子）や２次元ＰＤ（発光ダイオード）アレイ等の２軸方向の検出が可能な２次元型の受光素子９が配置されている。」
ｆ．「【００１９】・・・また、受光素子９も上下方向の受光位置のみを検出できればよいので、２次元型の素子を用いることは差し支えないが、１軸方向の受光位置のみを検出可能な１次元型の受光素子９を用いることによりコストを安価にできると共に検出回路等も簡単にすることができる。」
　前記記載ｆ．から、
・受光位置を検出する１次元型の受光素子９、が読みとれる。
　また、前記記載ｅ．から、
・光出射部１と受光部２の間に被測定物３を配置すること、が読みとれるが、該光出射部１には光ビーム走査器５が治められていること（記載ｅ．）、光ビーム走査器５は、光スキャナ１１を有すること（記載ｄ．）、受光部２内には受光素子９が配置されていること（記載ｅ．）、がそれぞれ読みとれるから、これらの記載を合わせると、
・光スキャナ１１と受光位置を検出する１次元型の受光素子９との間に被測定物３を配置すること、が読みとれる。
ｇ．「【００１６】いま、光ビームαを上下方向にのみ走査させていると、計測用空間４にある被測定物３の上下寸法に応じて光ビームαが遮断され、受光素子９に被測定物３の影が生じ、被測定物３外を通った光ビームαのみが光入射窓８から受光素子９に達する。したがって、受光素子９により被測定物３で遮光された領域の上下方向の長さを求めることにより被測定物３の上下方向の寸法（径や高さ等）を計測することができる。
【００１７】また、光ビームαを左右方向にのみ走査させていると、計測用空間４にある被測定物３の左右寸法に応じて光ビームαが遮断され、被測定物３外を通った光ビームαのみが受光素子９に達する。したがって、受光素子９により被測定物３で遮光された領域（影）の左右方向の長さを求めることにより被測定物３の左右方向の寸法（幅や長さ等）を計測することができる。」
　前記記載ｃ．ｇ．から、
・刊行物１に記載された測長装置は、被測定物３の寸法を測定する走査型寸法測定装置であると言うことができる。
　以上をまとめると、刊行物１には次の発明が記載されているものと認められる。
　
（刊行物１に記載された発明）
　半導体レーザ素子１５と、この半導体レーザ素子１５から出射された光ビームαを受けて走査する光スキャナ１１と、この光スキャナ１１の走査線上に配置された受光位置を検出する１次元型の受光素子９とを備え、前記光スキャナ１１と前記１次元型の受光素子９との間に被測定物３を配置しこの被測定物３の寸法を測定する走査型寸法測定装置（以下、「刊行物１に記載された発明」という。）。
　
４−２．刊行物２
　同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−１７５００５号公報（平成７年７月１４日発行、以下、「刊行物２」という）は、ガルバノミラーに関し、図面と共に以下の記載がある。
ｈ．「【特許請求の範囲】
【請求項１】半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成としたことを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。」
ｉ．「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばレーザ光のスキャニングシステム等に適用するガルバノミラーに関し、特に、その小型化を実現したプレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法に関する。」
ｊ．「【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１及び図２に第１の発明に係るガルバノミラーの第１実施例である１軸の場合の構成を示す。図１及び図２において、ガルバノミラー１は、半導体基板であるシリコン基板２の上下面に、それぞれ例えばホウケイ酸ガラス等からなる上側及び下側絶縁基板としての上側及び下側ガラス基板３，４を陽極接合した３層構造となっている。・・・」
ｋ．「【００１５】前記シリコン基板２には、平板状の可動板５と、この可動板５の中心位置でシリコン基板２に対して基板上下方向に揺動可能に可動板５を軸支するトーションバー６，６とが異方性エッチングによって一体形成されている。従って、可動板５及びトーションバー６もシリコン基板と同一材料からなっている。前記可動板５の上面周縁部には、通電により磁界を発生する銅薄膜からなる平面コイル７が絶縁被膜で覆われて設けられている。・・・また、可動板５の平面コイル７で囲まれる上面中央部には、反射鏡としての全反射ミラー８がアルミニウム蒸着により形成されている。・・・」
ｌ．「【００１６】上側及び下側ガラス基板３の図中左右側には、前記トーションバー６，６の軸方向と平行な可動板５の対辺の平面コイル７部分に磁界を作用させる互いに対をなす円形状の永久磁石１０Ａ，１０Ｂと１１Ａ，１１Ｂが設けられている。」
　前記記載ｈ．〜ｌ．から、
・シリコン基板２に平板状の可動板５とこの可動板５を前記シリコン基板２に対し揺動可能に軸支するトーションバー６，６とを一体形成したものであって、前記可動板５の上面周縁部に平面コイル７を設け、前記可動板５の上面中央部に全反射ミラー８を設け、前記平面コイル７部分に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石１０Ａ，１０Ｂと１１Ａ，１１Ｂを設けたガルバノミラー１、が読みとれる。
ｍ．「【００１７】次に動作を説明する。例えば、図３に示すように、一方の電極端子９を＋極、他方の電極端子９を−極として平面コイル７に電流を流す。可動板５の両側では、永久磁石１０Ａと１０Ｂ、１１Ａと１１Ｂによって、図２の矢印で示すように上下の磁石間で可動板５の平面に沿って平面コイル７を横切るような方向に磁界が形成されており、この磁界中の平面コイル７に電流が流れると、平面コイル７の電流密度と磁束密度に応じて平面コイル７、言い換えれば可動板５の両端に、電流・磁束密度・力のフレミングの左手の法則に従った方向（図３に示す）に磁気力Ｆが作用し、・・・」
　前記記載ｍ．から、
・永久磁石１０Ａと１０Ｂ、１１Ａと１１Ｂは、平面コイル７に電流を流すことにより可動板５、そしてその上面中央部に設けられた全反射ミラー８を駆動するものであること、が読みとれる。
　以上のことを勘案すると、刊行物２には次の発明が記載されているものと認められる。
　
（刊行物２に記載された発明）
　シリコン基板２に平板状の可動板５とこの可動板５を前記シリコン基板２に対し揺動可能に軸支するトーションバー６，６とを一体形成したものであって、前記可動板５の上面周縁部に平面コイル７を設け、前記可動板５の上面中央部に全反射ミラー８を設け、前記平面コイル７部分に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石１０Ａ，１０Ｂと１１Ａ，１１Ｂを設けて、前記平面コイル７に電流を流すことにより全反射ミラー８を駆動するものであるガルバノミラー１（以下、「刊行物２に記載された発明」という。）。
　
【５】対比・当審の判断
　本願発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１に記載された発明における
「半導体レーザ素子１５」、「出射された光ビームα」、「走査する」、「走査線上に配置された受光位置を検出する」、「１次元型の受光素子９」、「被測定物３」
は、それぞれ、本願発明における、
「レーザービーム発生手段」、「レーザービーム」、「偏向する」、「レーザービームを受けてその入射位置を検出する」、「光入射位置検出手段」、「被測定物」
に相当する。
　そして、本願発明における「ガルバノミラー」も、刊行物１に記載された発明における「光スキャナ１１」も、共に「光走査手段」と言えるから、両者は、
（一致点）
　レーザービーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向する光走査手段と、この光走査手段からのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記光走査手段と前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置、
で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
相違点１：光走査手段について、
　本願発明は、ガルバノミラーであり、該ガルバノミラーは、半導体基板に、可動板とこの可動板を前記半導体基板に対し揺動自在に軸支するトーションバーとを一体に形成したものであって、前記可動板の周縁部に駆動コイルを設け、前記可動板上にミラーを設け、前記駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設けて、前記駆動コイルに電流を流すことにより前記ミラーを駆動するものであるのに対し、刊行物１に記載された発明では、光スキャナである点。
　
相違点２：フィードバックについて、
　本願発明は、可動板の変位角を検出する変位角検出手段を備え、この変位角検出手段の出力を前記駆動コイルにフイードバックして前記可動板の変位角を制御する構成を有するのに対し、刊行物１に記載された発明では、このような構成を有しない点。
　
　前記相違点について検討する。
相違点１について、
　刊行物２には、次の発明が記載されている。
　シリコン基板２（本願発明の半導体基板に相当）に、平板状の可動板５（可動板に相当）とこの可動板５を前記シリコン基板２に対し揺動可能（揺動自在に相当）に軸支するトーションバー６，６（トーションバーに相当）とを一体形成したものであって、前記可動板５の上面周縁部（周縁部に相当）に平面コイル７（駆動コイルに相当）を設け、前記可動板５の上面中央部（可動板上に相当）に全反射ミラー８（ミラーに相当）を設け、前記平面コイル７部分に磁界（静磁界に相当）を作用させる（与えるに相当）互いに対をなす永久磁石１０Ａ，１０Ｂと１１Ａ，１１Ｂ（磁界発生手段に相当）を設けて、前記平面コイル７に電流を流すことにより全反射ミラー８を駆動するものであるガルバノミラー１（ガルバノミラーに相当）。
　ガルバノミラーは光スキャナとして広く一般に用いられており、被測定物を光走査して被測定物の寸法を測定する技術分野においても、普通に採用されている光走査手段である（例えば、実願昭６０−９２１８１号（実開昭６１−１５７３２号）のマイクロフィルム参照）。
　そうしてみると、刊行物１に記載された発明において、光走査手段として周知のガルバノミラーを用いるという着想は、当業者が容易に想到し得るところと言え、その際、ガルバノミラーの具体的構成として刊行物２に記載された構成のものを採用することに格別の困難性を見いだすことはできない。
　
相違点２について、
　偏向ミラーの位置決めのために、ミラーの回転位置を計測して駆動回路にフィードバックすることは周知の構成であり（例えば、特開昭６３−１８３４１７号公報参照）、その際、ミラーの変位信号を駆動回路にフィードバックすることも普通に行われているフィードバック構成である（例えば、特開平３−２４５３７８号公報参照）。
　そうすると、刊行物１に記載された発明において、ミラーの回転位置（すなわち可動板の変位角）を検出する回転位置検出手段を備え、該回転位置検出手段の出力をミラーの駆動コイルにフィードバックする構成を採用して相違点２の構成とすることは、当業者が容易に想到し得るところと言える。
　そして、本願発明の効果も、当業者が刊行物１乃至刊行物２に記載された発明及び周知事項から当業者が容易に予測できる範囲のものである。
　
【６】むすび
　したがって本願の請求項１に係る発明は、前記刊行物１乃至刊行物２に記載された発明及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることが出来ない。
　前記のとおり、本願の請求項１に係る発明が特許を受けることができないものであるから、本願の請求項２乃至７に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。