【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年7月14日(2010.7.14)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳＯ5対ＳＯ4の最低重量比が１．０：１を超えるペルオキシモノ硫酸水素カリウムの溶液を含むことを特徴とする組成物。
【請求項２】
ＳＯ5対ＳＯ4の最低比が１．２：１を超えることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
ＳＯ5対ＳＯ4の最低比が１．３：１を超えることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記ペルオキシモノ硫酸水素カリウムの溶液が、２０℃から４０℃の温度で、１．５５から３．３６に等しい活性酸素含量を有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
前記活性酸素含量が、２０から４０℃の温度で、１．７３から３．１１に等しいことを特徴とする請求項４に記載の組成物。
【請求項６】
塩酸以外の鉱酸、Ｃ1〜Ｃ4有機酸、界面活性剤、前記組成物を安定化する安定剤としてのフェノールスルホン酸ナトリウム、およびエッチレート修正剤としての窒素含有複素環式アゾールよりなる群から選択される補助剤をさらに含むことを特徴とする請求項１または４に記載の組成物。
【請求項７】
印刷配線基板の製造に用いるマイクロエッチ濃縮液の調製のための請求項１または４に記載の組成物の使用。
【請求項８】
化学機械研磨スラリーの成分としての請求項１または４に記載の組成物の使用。
【請求項９】
ａ）固体２ＫＨＳＯ5・ＫＨＳＯ4・Ｋ2ＳＯ4を、その固体を完全に溶解するには不十分な量の水と混合する工程と、ｂ）混合して平衡化したスラリーを形成する工程と、ｃ）未溶解の固体を分離して溶液を得る工程とを含むことを特徴とする請求項１または４に記載のペルオキシモノ硫酸水素カリウム溶液の調製方法。
【請求項１０】
少なくとも５２ｇの塩を１００ｇの水と２０℃で混合することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記水が脱イオン水であることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
未溶解固体の分離後、塩酸以外の鉱酸、Ｃ1〜Ｃ4有機酸、界面活性剤、前記組成物を安定化する安定剤としてのフェノールスルホン酸ナトリウム、およびエッチレート修正剤としての窒素含有複素環式アゾールよりなる群から選択される補助剤を添加する工程をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
改良された表面マイクロエッチング方法であって、前記改良点が、エッチされる表面を、１．０：１を超えるＳＯ5対ＳＯ4の最低重量比を有するペルオキシモノ硫酸水素カリウムの溶液と接触させる工程を含むことを特徴とする方法。
【請求項１４】
前記溶液が、１．５：１を超えるＳＯ5対ＳＯ4の最低重量比を有することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
エッチングされる前記表面が金属であることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
エッチングされる前記表面が金属コートされた半導体または印刷配線基板であることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
エッチングされる前記表面が銅または銅合金によりクラッディングされていることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記溶液の銅充填容量が溶液１ｋｇ当たり少なくとも銅１５ｇであることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
本発明は、不活性塩含量の少ないペルオキシモノ硫酸水素カリウムの高強度溶液、その調製方法、および印刷配線基板および半導体の製造におけるその使用に関する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
マイクロエッチングプロセスには、印刷配線基板を、モノ過硫酸水素カリウム（一般的に浴として）と接触させ、銅でクラッディングされた印刷配線基板をマイクロエッチングおよびクリーニングし、望ましくない残渣と共に溶液を除去することが含まれる。マイクロエッチング浴を用いると、銅をエッチングし、ＫＨＳＯ5活性成分が消費される。同時に、ＫＨＳＯ5は、活性酸素が消費されるにつれて、硫酸塩を形成し、モノ過硫酸カリウムに存在する硫酸カリウムから形成された硫酸塩の濃度を増すことになる。従って、浴中の硫酸銅濃度が増大し、最終的には、浴を交換しなければならず、そうしないと、基板のステイニングが生じ、品質が下がる。追加のモノ過硫酸カリウムを添加して、活性酸素の減少を補っても、硫酸塩が増加して浴の耐用年数が限られてしまう。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
市販の従来技術のモノ過硫酸カリウム製品は、一般的に、約４．７％の活性酸素を含有している。市販のモノ過硫酸カリウムは、通常、炭酸マグネシウムおよび少量のプロセス不純物のような固結防止剤を含有している。三重塩モノ過硫酸カリウムは、本願特許出願人より入手可能なオキソン（ＯＸＯＮＥ）モノ過硫酸塩化合物中の活性成分として市販されている。オキソン（ＯＸＯＮＥ）は、多数の用途のある安定な固体の水溶性非塩素含有酸化剤である。モノ過硫酸カリウムは、一般的に、水に完全に溶解しており、新たに調製された溶液として用いられたり、あるいは元の顆粒形態で用いられる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
水１００ｇ当たりに用いるモノ過硫酸カリウムの量は、溶けない残渣がスラリーおよび用いたろ液から分離される温度により異なる。モノ過硫酸カリウムの最大量は、溶けない沈殿物を除去した後、モノ過硫酸カリウムの少なくとも９９％の活性酸素含量が溶液に保持されるものである。水１００ｇ当たり用いるモノ過硫酸カリウムの最低量は、同じ温度で完全溶液にある活性酸素の１．５倍を含有するろ液を与えるモノ過硫酸カリウムの量より少ない。モノ過硫酸カリウム対水の比率のこの範囲だと、活性酸素レベルが、下記の表３に示す０℃〜約４０℃の温度範囲にわたってモノ過硫酸カリウムの完全溶液の活性酸素含量の約１．５倍（１：５：１）から５．５倍（５：５：１）の溶液が得られる。０℃以下および４０℃を超える温度での本発明の高強度溶液の調製は、商用には実際的ではないと考えられる。表３のデータには、本発明の組成物を得るために水１００ｇと共に用いられる最低および最大量のモノ過硫酸カリウムについての情報がある。最低量は、特定の温度で、モノ過硫酸カリウムの完全溶液の活性酸素含量の１．５倍の組成物を与えるのに、水１００ｇと共に用いられるモノ過硫酸カリウムのグラムを表している。最大量は、特定の温度で、モノ過硫酸カリウムの完全溶液の活性酸素含量の５．５倍までの組成物を与えるのに、水１００ｇと共に用いられるモノ過硫酸カリウムのグラムを表している。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
本発明の高強度ペルオキシモノ硫酸水素カリウム溶液は、従来技術の完全溶液に匹敵する安定性を有している。下記の表２に、実施例１のろ液の活性酸素対周囲温度および３５℃での時間の安定性を示す。硫酸塩が除去された本発明の濃縮溶液は、従来技術の完全溶液と同じ程度安定である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
本発明の高強度溶液は、従来技術の完全溶液よりも高濃度のＳＯ5／ＳＯ4重量比を有している。この比率は、未溶解硫酸塩が除去された後、補助剤を添加する前に測定または計算される。希釈はこの比率には影響しない。固体のモノ過硫酸カリウムと従来技術の市販のモノ過硫酸カリウムから調製された全完全溶液のＳＯ5／ＳＯ4重量比は約０．９：１．０である。これは、不純物および添加物の存在および製造プロセスの変化のために、計算された理論値よりも僅かに低い。本発明の高強度溶液においては、未溶解硫酸塩が除去されるため、ＳＯ5／ＳＯ4重量比は、０℃での最低モノ過硫酸カリウムレベル約１．０：１から、４０℃での最大モノ過硫酸カリウムレベル約１．６：１まで大幅に増大する。ＳＯ5／ＳＯ4重量比を表４に示す。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
（装置および材料）
実施例で用いるオキソン（ＯＸＯＮＥ）モノ過硫酸塩化合物は、本願特許出願人より入手可能である。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
（試験方法）
（活性酸素測定）
全ての実施例において、活性酸素濃度は重量％で表してあり、「オキソン（ＯＸＯＮＥ）モノ過硫酸塩化合物技術情報」会報（Ｎｏ．Ｈ−４２４３４−５、２０００年４月、本願特許出願人により発行）に記載された標準ヨウ素滴定により求めてある。簡単に述べると、分析する溶液の秤量した一定分量を、冷脱イオン水で希釈し、酸性化し、ヨウ化カリウムで処理し、澱粉指示薬により目視される終点まで標準０．１Ｎチオ硫酸ナトリウム試薬で滴定する。活性酸素（ＡＯ）含量は、次式により計算する。
％ＡＯ＝０．８（滴定液の容積、ｍＬ）（滴定液の規定濃度）／（試料重量、ｇ）。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
（実施例２〜１１）
これらの実施例では、様々な有用な濃度および広い温度範囲にわたる本発明の高強度ペルオキシモノ硫酸水素カリウム溶液の調製を例証した。表３に示した秤量した量のオキソン（ＯＸＯＮＥ）商標のモノ過硫酸カリウム（固体として４．５２％活性酸素）を脱イオン水１００グラムでスラリー化した。スラリーは、表３に示した恒温（水浴）でスラリー化した。各スラリーを所定の温度で少なくとも３時間、２４時間未満平衡させた。各スラリーを実施例１に記載したようにしてろ過したところ、いずれの場合も透明なろ液が得られた。このようにして得られた高強度溶液を表３に示すようにして分析した。