【事件の表示】
　平成９年特許願第２９９２３０号「薄板状部材研磨装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年５月１８日出願公開、特開平１１−１２９１５１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年１０月３０日の出願であって、その請求項１及び請求項２に係る発明は、平成１６年１１月１１日付け全文補正書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２にそれぞれ記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「薄板状部材を載置可能な回転盤と、該回転盤を回転させる回転機構と、該回転盤の上方にて研磨テープを連続移送させると共に該研磨テープを折返案内して形成された研磨部をもつテープ移送機構と、該テープ移送機構を前後移動させる移動機構と、該テープ移送機構を上下動作させる上下動機構とを備えてなり、上記研磨テープからなる研磨部は研磨圧力を受ける受圧ロールにより形成され、該受圧ロールの回転軸線は上記回転盤の半径方向に配置され、該受圧ロールの回転軸線の傾動動作を許容すると共に受圧ロールの回転軸線の内方位置及び外方位置の研磨圧力を調節可能な研磨圧調節機構が設けられ、かつ、上記テープ移送機構が設けられる保持部材を前後方向に傾斜調節可能な傾斜調節機構が設けられ、更に、上記回転盤上の薄板状部材の表面を清掃可能な清掃機構が設けられ、該清掃機構は、薄板状部材の表面を清掃可能な清掃ブラシと、該清掃ブラシを回転させるブラシ回転機構と、該清掃ブラシを昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構とからなり、更に、上記研磨圧調節機構は、上記受圧ロールの回転軸線の内方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダ及び該受圧ロールの回転軸線の外方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダからなることを特徴とする薄板状部材研磨装置。」
　
２．当審が通知した拒絶の理由の概要
　平成１６年９月９日付けで当審が通知した拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
　
（１）請求項１に係る発明は明確ではないから、本願の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満足しない。
　なお、上記の拒絶理由は、平成１６年１１月１１日付け全文補正書による補正により解消している。
　
（２）本願の請求項１及び請求項２に係る発明は、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開昭６３−２００９５８号公報（以下、「引用例１」という。）、特開平４−１３５６３号公報（以下、「引用例２」という。）及び特開昭６４−３４６５５号公報（以下、「引用例３」という。）記載の発明（事項）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
３．引用例１〜３記載の発明（事項）及び周知事項
（１）引用例１記載の発明
　引用例１には、以下の事項が記載されている。
（１−イ）第２頁左上欄第１２行−同頁右下欄第６行
「第１図乃至第６図は本発明の実施例を示し、１はワーク駆動部であって、機台２の中央部に回転軸３を設け、回転軸３に板状のワークＷ、この場合薄円板状のスタンパを載置可能な回転板４を取付け、回転軸３を回転させる回転機構（図示省略）を設けたものである。
　５はテープ保持部であって、機台２に・・・ガイド軸７を上下２段に回転板４の半径方向に横設し、ガイド軸７にスライド台８をベアリング９により摺動可能に設け、かつガイド軸７に連結台１０を図外のベアリングにより摺動可能に設け、機台２にブラケット１１により移動用シリンダ１２を取付け、移動用シリンダ１２のロッドをブラケット１３を介して連結台１０に連結し、前記スライド台８に取付部材１４を支点軸１５により装着し、取付部材１４を調節長穴１６、調節ボルト１７及びナット１８により前後傾動可能に設け、取付部材１４に取付台１９をガイド軸２０により上下動可能に設け、取付台１９を上下動させる上下動シリンダ２１を設け、・・・保持枠３２に中央部にはゴム等の弾性材３３を被覆したローラ状の押圧体３４、両側部には案内ローラ３５を設け、保持台２３に取付ベース３６を取付け、取付ベース３６の両側位置にラッピングテープＴを巻付けた供給リール３７及び巻取リール３８を設け、ラッピングテープＴを供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８に掛渡し、ラッピングテープＴを低速走行可能に構成したものである。
　３９は振動機構であって、スライド台８に振動用モータ４０を取付け、振動用モータ４０の主軸４１に連結片４２を取付け、連結片４２に主軸４１の軸線に対し偏心するカムローラ４３を取付け、前記連結台１０にカムローラ４３に係合する凹溝４４を有するガイド片４５を取付けて構成したものである。」
（１−ロ）第２頁右下欄第１０行−第３頁左上欄第８行
「この実施例は上記構成であるから、薄円板状のワークＷを回転板４上に人為的又は自動的に載置し、回転板４を図外の回転機構により回転し、ラッピングテープＴを低速走行し、移動用シリンダ１２により連結台１０、ガイド片４５及びカムローラ４３、振動用モータ４０を経る力によりスライド台８を前進し、テープ保持部５の上下用シリンダ２１により取付台１９を下降し、押圧体３４によりラッピングテープＴをワークＷに押圧し、振動機構３９の振動用モータ４０により連結片４２を回転し、カムローラ４３と凹溝４４との偏心係合作用によりスライド台８を振動し、取付部材１４を介してラッピングテープＴを走行方向と交差する方向に振動すると、ワークＷはワークＷの回転、ラッピングテープＴの走行及び振動の複合作用でラッピングされる。」
（１−ハ）第３頁右上欄１行−３行
「この場合取付部材１４は前後傾動可能なため、ラッピングテープＴとワークＷとの傾き圧接状態を適正にできる。」
（１−ニ）第３図及び第４図から、
「ローラ状の押圧体３４の回転軸線は、回転板４の半径方向に配置されていること」、及び、「テープ保持部５は、移動用シリンダ１２により回転板４に向かって前後方向に移動していること」が看取でき、
　また、第２図及び第５図から、 
「ラッピングテープＴは、回転板４の上方で連続移送されていること」が看取できる。
　
　以上の記載事項からみて、引用例１には次の発明が記載されていると認められる。
「薄円板状のスタンパＷを載置可能な回転板４と、該回転板４を回転させる回転機構と、該回転板４の上方にてラッピングテープＴを連続移送させると共に該ラッピングテープＴを案内して形成された研磨部をもつ、供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８と、該供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８を前後移動させる、ガイド軸７、スライド台８、ベアリング９及び移動用シリンダ１２と、該供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８を上下動作させる、ガイド軸２０及び上下動シリンダ２１とを備えてなり、上記ラッピングテープＴからなる研磨部は研磨圧力を受けるローラ状の押圧体３４により形成され、該ローラ状の押圧体３４の回転軸線は上記回転板４の半径方向に配置され、かつ、上記供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８が設けられる保持台２３を取付台１９を介して設ける取付部材１４を前後傾動可能とする、支点軸１５、調節長穴１６、調節ボルト１７及びナット１８が設けられる、薄円板状のスタンパＷの研磨装置。」（以下、「引用例１記載の発明」という。）
　
（２）引用例２記載の事項
　引用例２には、以下の事項が記載されている。
（２−イ）第３頁右上欄第９行−第３頁左下欄第３行
「第１図に示すテープ研磨装置はテープ加圧制御機構に特徴があり、加圧制御機構は回転テーブル２に固定され回転している被加工物１にラッピングテープ３の砥粒保持面を押圧するコンタクトローラ４とこのコンタクトローラ４のセンタ軸４０の内周軸端４１および外周軸端４２に各々接続している２組の加圧シリンダ５１，５２と、加圧シリンダ５１，５２に圧縮空気を送るコンプレッサ６１，６２と、挿入された空気の圧力を測定する圧力センサ７１，７２と、圧力センサ７１，７２からの内周圧力信号ｃ、外周圧力信号ｄをモニタし、予め設定された圧力になるようコンプレッサ６１，６２を作動させる内周圧力制御信号ｅ，外周圧力制御信号ｆを出力する圧力コントローラ８とで構成されている。」
　引用例２には、コンタクトローラ４のセンタ軸４０の傾動動作について記載されていないが、センタ軸４０の内外で加圧力を変えて加圧するものであるから、コンタクトローラ４０のセンタ軸４０がある程度の傾動動作を許容されることは、当業者にとって自明である。 
　
 　以上の記載事項及び図面からみて、引用例２には次の事項が記載されていると認められる。
「薄板状の被加工物１をラッピングテープ３でラッピングする装置において、ラッピング部がコンタクトローラ４により形成され、コンタクトローラ４のセンタ軸４０の傾動動作を許容すると共に、上記センタ軸４０の内周軸端４１を保持し圧力制御可能な加圧シリンダ５１と、上記センタ軸４０の外周軸端４２を保持し圧力制御可能な加圧シリンダ５２が設けられていること。」（以下、「引用例２記載の事項」という。）
　
（３）引用例３記載の事項
　引用例３には、以下の事項が記載されている。
（３−イ）第２頁左上欄第６行−第９行
「本発明は、・・・磁気デイスク用下地基板のような円板上に高精度な微細溝を形成するに好適な、円板加工方法およびその装置に関するものである。」
（３−ロ）第３頁左下欄第１７行−第３頁右下欄第７行
「この装置は、被加工物である円板１を回転自在に支持することができる円板支持具１７と、円板１の両面へ同時に、第１のポリシングテープ２を所定の加圧力で押圧することができるようにした１組のコンタクトローラＣ、第１のポリシングテープ２を巻取るためのテープ巻取りモータ７・・・を有し」
（３−ハ）第４頁右上欄第２０行−左下欄第６行
「円板洗浄手段１４は、円板１の両面を同時に洗浄する回転スクラバ１３（ブラシもしくはスポンジ製）と、これら回転スクラバ１３に回転を与えるスクラバ駆動モータ２１と、回転スクラバ１３を破線位置と実線位置との間で往復させることができるエアシリンダ（図示せず）と、液槽２２とからなっている。」
（３−ニ）第４頁右下欄４行−１９行
「この間、円板駆動モータ１２によって、円板１の回転数が、この円板１と第１のポリシングテープ２との相対速度が設定第１の相対速度になるように調整されている。このようにして加工が進行する間、供給部１５から円板１へ加工液が連続的に供給される。そして、第１の加工ヘッド１０が設定往復回数だけ往復動すると、この加工ヘッド１０は後退（第１図において右側へ移動）し、加工液の供給が停止する。
　破線位置にあった回転スクラバ１３が実線位置まで上昇し、スクラバ駆動モータ２１によって、この回転スクラバ１３が回転する。円板１も回転し、供給部１５から洗浄液が供給され、円板１が洗浄される。この洗浄が終了すると、回転スクラバ１３が波線位置まで下降し、洗浄液の供給が停止する。」
（３−ホ）第３図から、上記３−ニに記載の
「破線位置が回転スクラバ１３の洗浄待避位置を、実線位置が回転スクラバ１３の洗浄実行位置をそれぞれ示していること」が看取できる。
　
　以上の記載事項からみて、引用例３には次の事項が記載されていると認められる。
「被加工物である円板１を第１のポリシングテープ２でポリシングする装置において、円板支持具１７上の円板１の表面を洗浄するブラシ製の回転スクラバ１３と、該回転スクラバ１３を回転するスクラバ駆動モータ２１と、該回転スクラバ１３を洗浄待避位置と洗浄実行位置との間を移動させるエアシリンダとを有する円板洗浄手段１４が設けられていること。」（以下、「引用例３記載の事項」という。）
　
（４）周知事項
（４−イ）実願平３−６６２８６号（実開平５−１１４４０号）のＣＤ−ＲＯＭ
「【００１３】
　基板Ｗの上方に位置させて、揺動アーム２の先端側に、前記第１の回転軸芯Ｐ１と平行な第２の回転軸芯Ｐ２周りで回転可能に洗浄ブラシ３が取り付けられるとともに、洗浄ブラシ３と、揺動アーム２に設けた第１の電動モータ４とが第１のベルト式伝動機構５を介して連動連結されている。
【００１４】
　揺動アーム２を一体的に設けたアーム支軸６が、基台７に昇降および回転可能に設けられるとともに、アーム支軸６と第２の電動モータ８とが第２のベルト式伝動機構９を介して連動連結され、洗浄ブラシ３を、待機位置Ａ、基板Ｗを回転する第１の回転軸芯Ｐ１に相当する中心位置Ｂ、および、基板Ｗの外周縁位置Ｃにわたって駆動変位できるように構成されている。」
（４−ロ）特開平５−２１７９７４号公報
「【００１３】
　図１は、請求項１に係る発明の角型基板洗浄装置の実施例を示す一部省略側面図であり、この図において、１は基板保持手段を示し、角型基板Ｗを水平姿勢に載置して鉛直方向の第１の回転軸芯Ｐ１周りで回転するように構成されている。
【００１４】
　角型基板Ｗの上方に位置させて、揺動アーム２の先端側に、前記第１の回転軸芯Ｐ１と平行な第２の回転軸芯Ｐ２周りで回転可能に洗浄ブラシ３が取り付けられるとともに、洗浄ブラシ３と、揺動アーム２に設けた第１の電動モータ４とが第１のベルト式伝動機構５を介して連動連結されている。
・・・
【００１６】
　揺動アーム２を一体的に設けたアーム支軸６が、基台７に昇降および回転可能に設けられるとともに、アーム支軸６と第２の電動モータ８とが第２のベルト式伝動機構９を介して連動連結され、洗浄ブラシ３を、待機位置Ａ、角型基板Ｗを回転する第１の回転軸芯Ｐ１に相当する回転中心位置Ｂ、および、角型基板Ｗの回転軌跡外の外方側位置Ｃにわたって駆動変位できるように洗浄ブラシ変位手段が構成されている。」
　
　以上の記載事項及び図面からみて、次の事項が本願の出願前に周知であったと認められる。
「回転盤上の基板の表面を清掃可能な清掃機構を、基板の表面を清掃可能な清掃ブラシと、該清掃ブラシを回転させるブラシ回転機構と、該清掃ブラシを清掃待避位置と清掃実行位置との間で移動させるために昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構とで構成すること。」（以下、「周知事項」という。）
　
４．対比
　本願発明と引用例１記載の発明とを対比すると、後者の「薄円板状のスタンパＷ」が前者の「薄板状部材」に、後者の「回転板４」が前者の「回転盤」に、後者の「ラッピングテープＴ」が前者の「研磨テープ」に、後者の「供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８」が前者の「テープ移送機構」に、後者の「供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８を前後移動させる、ガイド軸７、スライド台８、ベアリング９及び移動用シリンダ１２」が前者の「テープ移送機構を前後移動させる移動機構」に、後者の「供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８を上下動作させる、ガイド軸２０及び上下動シリンダ２１」が前者の「テープ移送機構を上下動作させる上下動機構」に、後者の「ローラ状の押圧体３４」が前者の「受圧ロール」に、後者の「供給リール３７、案内リール３５、押圧体３４、案内ローラ３５及び巻取リール３８が設けられる保持台２３を取付台１９を介して設ける取付部材１４を前後傾動可能とする、支点軸１５、調節長穴１６、調節ボルト１７及びナット１８」が前者の「テープ移送機構が設けられる保持部材を前後方向に傾斜調節可能な傾斜調節機構」に、それぞれ相当することは、それらの構造、機能からみて明らかである。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
〈一致点〉
「薄板状部材を載置可能な回転盤と、該回転盤を回転させる回転機構と、該回転盤の上方にて研磨テープを連続移送させると共に該研磨テープを案内して形成された研磨部をもつテープ移送機構と、該テープ移送機構を前後移動させる移動機構と、該テープ移送機構を上下動作させる上下動機構とを備えてなり、上記研磨テープからなる研磨部は研磨圧力を受ける受圧ロールにより形成され、該受圧ロールの回転軸線は上記回転盤の半径方向に配置され、かつ、上記テープ移送機構が設けられる保持部材を前後方向に傾斜調節可能な傾斜調節機構が設けられる、薄板状部材研磨装置」である点。
〈相違点１〉前者は、研磨テープを研磨部に折返案内するのに対して、後者は、研磨テープを研磨部に案内するものの、折返案内するものではない点。
〈相違点２〉前者は、受圧ロールの回転軸線の内方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダ及び該受圧ロールの回転軸線の外方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダからなり、受圧ロールの回転軸線の傾動動作を許容すると共に受圧ロールの回転軸線の内方位置及び外方位置の研磨圧力を調節可能な研磨圧調節機構が設けられているのに対して、後者は、そのような研磨圧調節機構が設けられていない点。
〈相違点３〉前者は、薄板状部材の表面を清掃可能な清掃ブラシと、該清掃ブラシを回転させるブラシ回転機構と、該清掃ブラシを昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構とからなり、回転盤上の薄板状部材の表面を清掃可能な清掃機構が設けられているのに対して、後者は、そのような清掃機構が設けられていない点。
　
５．当審の判断
（１）相違点１について
　研磨テープを研磨部に折返案内するテープ移送機構は、本願明細書の段落【０００３】に、「従来この種の研磨装置として、例えば特公平７−１００２９４号公報、特開平４−８４６８号公報、特開平３−２５６６６０号公報の如く、薄板状部材を載置可能な回転盤と、回転盤を回転させる回転機構と、該回転盤の上方にて研磨テープを連続移送させると共に該研磨テープを折返案内して形成された研磨部をもつテープ移送機構とを備えてなる構造のものが知られている。」と記載されているように、従来周知の事項である。
　したがって、引用例１記載の発明において、上記従来周知の事項を組み合わせて、相違点１に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
（２）相違点２について
　引用例２には、上記３．（２）で示したとおりの事項が記載されており、その内の「薄板状の被加工物１」は、その技術的意義からみて、本願発明の「薄板状部材」に相当し、以下同様に、「ラッピングテープ３」は「研磨テープ」に、「ラッピング」は「研磨」に、「センタ軸４０」は「回転軸線」に、「コンタクトローラ４」は「受圧ロール」に、「内周軸端４１を保持し圧力制御可能な加圧シリンダ５１」は「内方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダ」に、「外周軸端４２を保持し圧力制御可能な加圧シリンダ５２」は「外方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダ」に、それぞれ相当する。
　したがって、引用例２には、研磨テープによる研磨装置において、相違点２に係る「受圧ロールの回転軸線の傾動動作を許容すると共に受圧ロールの回転軸線の内方位置及び外方位置の研磨圧力を調節可能な研磨圧調節機構が設けられ、研磨圧調節機構は、上記受圧ロールの回転軸線の内方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダ及び該受圧ロールの回転軸線の外方位置を保持する圧力制御可能な圧力制御用シリンダからなる」との事項が示されているということができる。
　そして、引用例１記載の発明と引用例２記載の事項とは、「研磨テープによる研磨装置」という共通の技術分野に属し、研磨部を形成する受圧ロールの回転軸線が回転盤の半径方向に配置されているという共通の構成を有するものであるから、引用例１記載の発明において、引用例２記載の事項における研磨圧調節機構を採用することは、当業者が容易になし得るものである。
　
（３）相違点３について
　本願明細書の段落【００１３】には、清掃ブラシを昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構について、「５６は清掃機構であって、薄板状部材Ｗの表面を清掃可能な清掃ブラシ５７と、清掃ブラシ５７を回転させるブラシ回転機構５８と、清掃ブラシ５７を昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構５９とからなり、この場合、上記機台３に旋回軸６０を軸受６１により旋回自在に縦設し、旋回軸６０にブラケット６１を立設し、ブラケット６１に摺動部６２により旋回板６３を上下動自在に取付け、機台３に旋回軸６０を旋回動作させる旋回用アクチュエータ６４を取付け、ブラケット６１に旋回板６３を上下動作させる昇降用シリンダ６５を取付け、旋回板６３にブラケット６６を取付けると共に旋回板６３にブラシ軸６７を軸受６８により縦設し、ブラケット６６にブラシ回転用モータ６９を取付け、ブラシ回転用モータ６９によりベルト７０を介してブラシ軸６７を回転させ、清掃ブラシ５７を回転させるように構成し、しかして、
研磨加工完了の後において、旋回用アクチュエータ６４により旋回板６３は側方待機位置から薄板状部材Ｗの上方位置へと旋回し、昇降用シリンダ６５により清掃ブラシ５７が下降して薄板状部材Ｗの表面に接触し、薄板状部材Ｗの表面に付着残存する研磨粒子滓を清掃ブラシ５７の回転接触により清掃し、清掃後において、清掃ブラシ５４は待機位置に戻旋回するように構成している。
　上記の記載、特に下線部の記載からみると、本願発明における「清掃ブラシを昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構」の技術的意義は、清掃ブラシを清掃待機位置と清掃実行位置との間で移動させることにあるということができる。
　一方、引用例３には、上記３．（３）で示したとおりの事項が記載されており、その内の「円板支持具１７」は、本願発明の「回転盤」に相当し、以下同様に、「ポリシングテープ２」は「研磨テープ」に、「ポリシング」は「研磨」に、「ブラシ製の回転スクラバ１３」は「清掃ブラシ」に、「スクラバ駆動モータ２１」は「ブラシ回転機構」に、「円板洗浄手段１４」は「清掃機構」にそれぞれ相当する。 
　したがって、引用例３には、研磨テープによる研磨装置において、薄板状部材の表面を清掃可能な清掃ブラシと、該清掃ブラシを回転させるブラシ回転機構と、該清掃ブラシを清掃待機位置と清掃実行位置との間で移動させる機構とを設けることが記載されているということができる。
　ところで、回転可能な清掃ブラシを清掃待避位置と清掃実行位置との間で移動させる機構を、該清掃ブラシを昇降及び旋回動作させる昇降旋回機構で構成することは、上記３．（４）に示したように従来周知の事項である。
　そして、引用例１記載の発明は、薄板状部材を研磨テープで研磨するから、研磨滓が発生し、当該研磨滓を清掃するという課題を当然に有している。
　そうすると、引用例１記載の発明において、当該課題の解決手段である引用例３記載の事項及び３．（４）に示した周知事項を併せて組み合わせ、相違点３に係る構成を本願発明のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　
（４）本願発明の作用効果について
　そして、本願発明の作用効果は、引用例１〜３記載の発明（事項）及び上記周知事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１〜３記載の発明（事項）及び上記周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。