【手続補正書】
【提出日】平成22年10月29日(2010.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光放射を使用して、測定される対象の表面を決定する測定デバイスにおいて、
前記測定デバイスは、
光源（１０４）と、
前記光源（１０４）の光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている光放射処理ユニット（１１２）と、
前記光放射処理ユニット（１１２）がこの検出器（１０８）に光放射を向けるように構成され、前記光放射処理ユニット（１１２）が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からの光放射を受けるように構成されている検出器（１０８）と、
前記検出器（１０８）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、前記測定される表面（１１６）の位置を決定するように構成されている信号処理ユニット（１２４）とを具備することを特徴とする測定デバイス。
【請求項２】
前記測定デバイスは、少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）を具備し、前記少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項３】
前記光放射処理ユニット（１１２）は、前記測定される対象（１１４）に光放射を向ける第１の光放射処理部（１０６）と、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記検出器（１０８）に向ける第２の光放射処理部（１１０）とを備えていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項４】
前記光放射処理ユニット（１１２）は、第１の光放射処理部（１０６）と、第２の光放射処理部（１１０）と、反射器（３００）と、方向ビームスプリッター（３０２）とを備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）に光放射を向けるように構成されており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記反射器（３００）に向けるように構成されており、前記反射器（３００）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記第２の光放射処理部（１１０）を通して、前記測定される対象（１１４）に再度反射するように構成されており、前記第２の光放射処理部（１１０）は、光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合う一方で、１つの波長の焦点が前記測定される表面（１１６）に合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記光放射の異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記光源（１０４）の方に向けるように構成されており、
前記方向ビームスプリッター（３０２）は、前記光源（１０４）の方に向けられた光放射の少なくとも一部を前記検出器（１０８）に向けるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項５】
ビームスプリッター（３０２）は、偏光子として作動するように構成されていることを特徴とする請求項２記載の測定デバイス。
【請求項６】
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去するように構成されている第２の分散コンポーネント（５００）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、分散していない形態の光放射の焦点を前記検出器（１０８）に合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えていることを特徴とする請求項３記載の測定デバイス。
【請求項７】
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、分散した形態の光放射の焦点を前記検出器（１０８）に合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えていることを特徴とする請求項３記載の測定デバイス。
【請求項８】
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去し、前記反射器（３００）から反射された放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている第２の分散コンポーネント（５００）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記反射器（３００）から反射された、軸でない方向に分散された光放射の焦点を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去するように構成されており、
前記方向ビームスプリッター（３０２）は、分散していない光放射を前記検出器（１０８）に向けるように構成されている請求項４記載の測定デバイス。
【請求項９】
前記検出器（１０８）は、線検出器であり、分散していない光放射の異なる波長がそのエレメントのそれぞれに向けられることを特徴とする請求項４記載の測定デバイス。
【請求項１０】
前記測定デバイスは、基準ビームスプリッター（３０２、６００）と基準検出器（６０２）とを具備し、
前記基準ビームスプリッター（３０２、６００）は、受けた光放射に対応する電気信号を前記信号処理ユニット１２４に供給するように構成されている前記基準検出器（６０２）に対して、前記光源（１０４）により前記測定される対象（１１４）に放射された光放射の一部を向けるように構成されており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記基準検出器（６０２）により検出された波長の強度により、前記検出器（１０８）により検出された波長の強度を正規化するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項１１】
前記方向ビームスプリッター（３０２）は、基準ビームスプリッターとして作動するように構成されていることを特徴とする請求項１０記載の測定デバイス。
【請求項１２】
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記光源（１０４）を変調し、検出された光放射に対応する、前記検出器（１０８）から到来する信号を復調するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項１３】
前記検出器（１０８）は、第１の検出器部（８０２）と、第２の検出器部（８０４）と、検出器ビームスプリッター（８００）と、第１のフィルタ（８０６）と、第２のフィルタ（８０８）とを備えており、
前記第１のフィルタ（８０６）の応答は、測定帯域上で前記第２のフィルタ（８０８）の応答と異なるように構成されており、
前記検出器ビームスプリッター（８００）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射の一部を、前記第１のフィルタ（８０６）を通して前記第１の検出器部（８０２）に向け、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射の一部を、前記第２のフィルタ（８０８）を通して前記第２の検出器部（８０４）に向けるように、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を分配するように構成されており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記第１の検出器部（８０２）と前記第２の検出器部（８０４）とにより検出された光放射の比率から、最も高い強度を有する波長を決定するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の測定デバイス。
【請求項１４】
測定される対象の厚みを測定する測定デバイスにおいて、
前記測定デバイスは、第１の表面を測定するために、
光源（１０４）と、
前記光源（１０４）の光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている光放射処理ユニット（１１２）と、
前記光放射処理ユニット（１１２）がこの検出器（１０８）に光放射を向けるように構成され、前記光放射処理ユニット（１１２）が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からの光放射を受けるように構成されている検出器（１０８）と、
前記検出器（１０８）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、前記測定される表面（１１６）の位置を決定するように構成されている信号処理ユニット（１２４）とを具備しており、
前記測定デバイスは、前記測定される対象（１１４）の第２の側を測定するために、
第２の側の光源（１０４Ｂ）と、
前記光源（１０４Ｂ）の光放射の異なる波長の焦点が、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている第２の側の光放射処理ユニット（１１２Ｂ）と、
前記第２の側の光放射処理ユニット（１１２Ｂ）がこの第２の側の検出器（１０８Ｂ）に光放射を向けるように構成され、前記第２の側の光放射処理ユニット（１１２Ｂ）が、前記測定される表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からのものを受けるように構成されている第２の側の検出器（１０８Ｂ）とを具備しており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記第２の側の検出器（１０８Ｂ）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の位置を決定するように構成されており、
前記信号処理（１２４）は、前記決定される表面（１１６、１１６Ｂ）の位置により、前記測定される対象（１１４）の厚みを測定するように構成されていることを特徴とする測定デバイス。
【請求項１５】
前記測定デバイスは、少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）を具備し、前記少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させるように構成されており、前記測定デバイスは、少なくとも１つの第２の側の偏光子（１２０Ｂ、１２２Ｂ、３０２Ｂ）を具備し、前記少なくとも１つの第２の側の偏光子（１２０Ｂ、１２２Ｂ、３０２Ｂ）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）に垂直な方向に偏光させるように構成されていることを特徴とする請求項１４記載の測定デバイス。
【請求項１６】
光放射により、測定される対象の表面を決定する方法において、
光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１３００）ことと、
前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１３０４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１３０６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の位置を決定することとにより特徴付けられる方法。
【請求項１７】
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させる（１３０２）ことにより特徴付けられる請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記測定される対象（１１４）に向けられる光放射を、軸でない方向に色彩的に分散させることと、
前記軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせる一方で、１つの波長の焦点が前記測定される表面（１１６）に合うこととにより特徴付けられる請求項１６記載の方法。
【請求項１９】
前記受けた光放射から分散を除去することと、
分散していない光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定することとにより特徴付けられる請求項１７記載の方法。
【請求項２０】
前記受けた分散された光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定することにより特徴付けられる請求項１７記載の方法。
【請求項２１】
光放射が、前記測定される対象（１１４）から前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向に反射され、向けるのに使用されるように、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される対象（１１４）に再度反射することと、
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を受けるために向けることとにより特徴付けられる請求項１６記載の方法。
【請求項２２】
前記測定される対象（１１４）に対して光源（１０４）により放射された光放射の一部を基準検出器（６０２）に向けることと、
前記基準検出器（６０２）により受けられた光放射に対応する電気信号を信号処理ユニット（１２４）に供給することと、
前記信号処理ユニット（１２４）において、前記基準検出器（６０２）により検出された波長の強度により、検出器（１０８）により検出された波長の強度を正規化することとにより特徴付けられる請求項１６記載の方法。
【請求項２３】
光源（１０４）により放射された光放射を変調し、それに応じて、検出された信号を復調することにより特徴付けられる請求項１６記載の方法。
【請求項２４】
光放射により、測定される対象の厚みを測定する方法において、
光放射の異なる波長が、前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに向けられるように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１４００）ことと、
前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１４０４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１４０６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される第１の表面（１１６）の位置を決定する（１４０８）ことと、
光放射の異なる波長が、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向において、異なる高さに向けられるように、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１４１０）ことと、
前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１４１４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１４１６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の位置を決定する（１４１８）ことと、
前記決定された表面（１１６、１１６Ｂ）の位置を使用して、前記測定される対象（１１４）の厚みを決定する（１４２０）こととにより特徴付けられる方法。
【請求項２５】
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）に垂直な方向に偏光させる（１４１２）ことと、
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させることとにより特徴付けられる請求項２４記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図６はまた、測定される対象１１４の色を、または一般に、測定される対象１１４の反射応答を補償することが可能である実施形態を示す。光ユニット６０４は、源１０４により生成された、分散していない形態の光放射を、測定される対象１１４に向けてもよく、そこから反射された光放射は、検出器を備える別の光ユニット６０６により受けることができる。光ユニット６０６は、信号処理ユニット１２４が測定してもよい、反射された放射のスペクトルを形成してもよい。光ユニット６０６は、測定値の電気信号を信号処理ユニット１２４に供給してもよく、ユニット１２４は、基準検出器６０２の測定結果および光ユニット６０６の測定結果のうちの少なくとも１つにより、検出器１０８により取得された測定結果を正規化してもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図８は、２つの検出部による検出を示す。検出器１０８は、検出器ビームスプリッター８００を備えていてもよく、検出器ビームスプリッター８００は、測定される対象１１４から受けた光放射を、既知の比率で２つの検出部８０２および８０４に分配する。フィルタ８０６、８０８が、検出部８０２、８０４の前に位置して、図９中で示すように検出器に到来する放射をフィルタリングする。解決方法はまた、基準検出器６０２に適用できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図９は、波長に対するフィルタの透過曲線を示す。縦軸は強度Ｉを示し、横軸は波長λを示す。曲線９００は、波長に対するフィルタ８０６の応答を示し、曲線９０２は、波長に対するフィルタ８０８の応答を示す。フィルタ８０６は、長い波長よりも短い波長を少なく通過させてもよく、逆に、フィルタ８０８は、短い波長よりも長い波長を少なく通過させてもよく、曲線は直線であってもよい。フィルタ８０６の応答は、一般に、測定に使用される帯域上で、フィルタ８０８の応答と異なっている。各波長に対して両方の検出器により検出された光パワー（すなわち強度）が合計され、検出された光パワーにおける差により除算されるとき、測定される対象１１４の表面１１６から反射される波長は、このように形成される相対強度の中で最も大きい相対強度におけるものである。例えば、数学的に式Ｐrel＝（ＰdetA−ＰdetB）／（ＰdetA＋ＰdetB）を作成できる。ここで、Ｐrelは相対強度（すなわちパワー）を指し、ＰdetAは、検出器８０２により検出されたパワーを指し、ＰdetBは、検出器８０４により検出されたパワーを指す。より簡単な方法において、相対強度は、各検出器により検出されたパワーを除算することにより形成できる。すなわち、Ｐrel＝ＰdetA／ＰdetBである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
添付図面にしたがう例を参照して本発明を上述しているが、本発明がそれらに限定されないことは明らかであり、本発明は、特許請求の範囲内で、多くの方法で修正してもよい。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］光放射を使用して、測定される対象の表面を決定する測定デバイスにおいて、
前記測定デバイスは、
光源（１０４）と、
前記光源（１０４）の光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている光放射処理ユニット（１１２）と、
前記光放射処理ユニット（１１２）がこの検出器（１０８）に光放射を向けるように構成され、前記光放射処理ユニット（１１２）が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からのものを受けるように構成されている検出器（１０８）と、
前記検出器（１１２）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、前記測定される表面（１１６）の位置を決定するように構成されている信号処理ユニット（１２４）とを具備することを特徴とする測定デバイス。
［２］前記測定デバイスは、少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）を具備し、前記少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させるように構成されていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［３］前記光放射処理ユニット（１１２）は、前記測定される対象（１１４）に光放射を向ける第１の光放射処理部（１０６）と、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記検出器（１０８）に向ける第２の光放射処理部（１１０）とを備えていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［４］前記光放射処理ユニット（１１２）は、第１の光放射処理部（１０６）と、第２の光放射処理部（１１０）と、反射器（３００）と、方向ビームスプリッター（３０２）とを備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）に光放射を向けるように構成されており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記反射器（３００）に向けるように構成されており、前記反射器（３００）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記第２の光放射処理部（１１０）を通して、前記測定される対象（１１４）に再度反射するように構成されており、前記第２の光放射処理部（１１０）は、光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合う一方で、１つの波長の焦点が前記測定される表面（１１６）に合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記光放射の異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を前記光源（１０４）の方に向けるように構成されており、
前記方向ビームスプリッター（３０２）は、前記光源（１０４）の方に向けられた光放射の少なくとも一部を前記検出器（１０８）に向けるように構成されていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［５］ビームスプリッター（３０２）は、偏光子として作動するように構成されていることを特徴とする上記［２］記載の測定デバイス。
［６］前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去するように構成されている第２の分散コンポーネント（５００）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、分散していない形態の光放射の焦点を前記検出器（１０８）に合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えていることを特徴とする上記［３］記載の測定デバイス。
［７］前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、分散した形態の光放射の焦点を前記検出器（１０８）に合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えていることを特徴とする上記［３］記載の測定デバイス。
［８］前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象に向けられた光放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている分散コンポーネント（４００）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、軸でない方向に分散された光放射の波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第１の集束コンポーネント（４０８）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去し、前記反射器（３００）から反射された放射を軸でない方向に色彩的に分散させるように構成されている第２の分散コンポーネント（５００）を備えており、
前記第２の光放射処理部（１１０）は、前記反射器（３００）から反射された、軸でない方向に分散された光放射の焦点を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせるように構成されている第２の集束コンポーネント（５０８）を備えており、
前記第１の光放射処理部（１０６）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射から分散を除去するように構成されており、
前記方向ビームスプリッター（３０２）は、分散していない光放射を前記検出器（１０８）に向けるように構成されている上記［４］記載の測定デバイス。
［９］前記検出器（１０８）は、線検出器であり、分散していない光放射の異なる波長がそのエレメントのそれぞれに向けられることを特徴とする上記［４］記載の測定デバイス。
［１０］前記測定デバイスは、基準ビームスプリッター（３０２、６００）と基準検出器（６０２）とを具備し、
前記基準ビームスプリッター（３０２、６００）は、受けた光放射に対応する電気信号を前記信号処理ユニット１２４に供給するように構成されている前記基準検出器（６０２）に対して、前記光源（１０４）により前記測定される対象（１１４）に放射された光放射の一部を向けるように構成されており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記基準検出器（６０２）により検出された波長の強度により、前記検出器（１０８）により検出された波長の強度を正規化するように構成されていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［１１］前記方向ビームスプリッター（３０２）は、基準ビームスプリッターとして作動するように構成されていることを特徴とする上記［１０］記載の測定デバイス。
［１２］前記信号処理ユニット（１２４）は、前記光源（１０４）を変調し、検出された光放射に対応する、前記検出器（１０８）から到来する信号を復調するように構成されていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［１３］前記検出器（１０８）は、第１の検出器部（８０２）と、第２の検出器部（８０４）と、検出器ビームスプリッター（８００）と、第１のフィルタ（８０６）と、第２のフィルタ（８０８）とを備えており、
前記第１のフィルタ（８０６）の応答は、測定帯域上で前記第２のフィルタ（８０８）の応答と異なるように構成されており、
前記検出器ビームスプリッター（８００）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射の一部を、前記第１のフィルタ（８０６）を通して前記第１の検出器部（８０２）に向け、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射の一部を、前記第２のフィルタ（８０８）を通して前記第２の検出器部（８０４）に向けるように、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を分配するように構成されており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記第１の検出器部（８０２）と前記第２の検出器部（８０４）とにより検出された光放射の比率から、最も高い強度を有する波長を決定するように構成されていることを特徴とする上記［１］記載の測定デバイス。
［１４］測定される対象の厚みを測定する測定デバイスにおいて、
前記測定デバイスは、第１の表面を測定するために、
光源（１０４）と、
前記光源（１０４）の光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている光放射処理ユニット（１１２）と、
前記光放射処理ユニット（１１２）がこの検出器（１０８）に光放射を向けるように構成され、前記光放射処理ユニット（１１２）が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からのものを受けるように構成されている検出器（１０８）と、
前記検出器（１１２）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、前記測定される表面（１１６）の位置を決定するように構成されている信号処理ユニット（１２４）とを具備しており、
前記測定デバイスは、前記測定される対象（１１４）の第２の側を測定するために、
第２の側の光源（１０４Ｂ）と、
前記光源（１０４Ｂ）の光放射の異なる波長の焦点が、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向けるように構成されている第２の側の光放射処理ユニットと、
前記光放射処理ユニット（１１２Ｂ）がこの第２の側の検出器（１０８Ｂ）に光放射を向けるように構成され、前記光放射処理ユニット（１１２Ｂ）が、前記測定される表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも、前記測定される対象（１１４）からのものを受けるように構成されている第２の側の検出器（１０８Ｂ）とを具備しており、
前記信号処理ユニット（１２４）は、前記第２の側の検出器（１１６Ｂ）により提供される信号に基づいて、検出された光放射から、前記光放射の強度が最も高い波長を決定し、前記決定された波長を使用して、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の位置を決定するように構成されており、
前記信号処理（１２４）は、前記決定される表面（１１６、１１６Ｂ）の位置により、前記測定される対象（１１４）の厚みを測定するように構成されていることを特徴とする測定デバイス。
［１５］前記測定デバイスは、少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）を具備し、前記少なくとも１つの偏光子（１２０、１２２、３０２）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させるように構成されており、前記測定デバイスは、少なくとも１つの第２の側の偏光子（１２０Ｂ、１２２Ｂ、３０２Ｂ）を具備し、前記少なくとも１つの第２の側の偏光子（１２０、１２２、３０２）は、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第２の表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させるように構成されていることを特徴とする上記［１４］記載の測定デバイス。
［１６］光放射により、測定される対象の表面を決定する方法において、
光放射の異なる波長の焦点が、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに合うように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１３００）ことと、
前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１３０４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１３０６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の位置を決定することとにより特徴付けられる方法。
［１７］前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させる（１３０２）ことにより特徴付けられる上記［１６］記載の方法。
［１８］前記測定される対象（１１４）に向けられる光放射を、軸でない方向に色彩的に分散させることと、
前記軸でない方向に分散された光放射の異なる波長の焦点を、前記測定される対象（１１４）の表面（１１６）の法線（１１８）の方向における異なる高さに合わせる一方で、１つの波長の焦点が前記測定される表面（１１６）に合うこととにより特徴付けられる上記［１６］記載の方法。
［１９］前記受けた光放射から分散を除去することと、
分散していない光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定することとにより特徴付けられる上記［１７］記載の方法。
［２０］前記受けた分散された光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定することにより特徴付けられる上記［１７］記載の方法。
［２１］光放射が、前記測定される対象（１１４）から前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向に反射され、向けるのに使用されるように、前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される対象（１１４）に再度反射することと、
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を受けるために向けることとにより特徴付けられる上記［１６］記載の方法。
［２２］前記測定される対象（１１４）に対して光源（１０４）により放射された光放射の一部を基準検出器（６０２）に向けることと、
前記基準検出器（６０２）により受けられた光放射に対応する電気信号を信号処理ユニット（１２４）に供給することと、
前記信号処理ユニット（１２４）において、前記基準検出器（６０２）により検出された波長の強度により、検出器（１０８）により検出された波長の強度を正規化することとにより特徴付けられる上記［１６］記載の方法。
［２３］光源（１０４）により放射された光放射を変調し、それに応じて、検出された信号を復調することにより特徴付けられる上記［１６］記載の方法。
［２４］光放射により、測定される対象の厚みを測定する方法において、
光放射の異なる波長が、前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）の方向において、異なる高さに向けられるように、前記測定される表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１４００）ことと、
前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１４０４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１４０６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される第１の表面（１１６）の位置を決定する（１４０８）ことと、
光放射の異なる波長が、測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）の方向において、異なる高さに向けられるように、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）とは異なる方向から、前記異なる波長を前記測定される対象（１１４）に向ける（１４１０）ことと、
前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）とは異なる鏡面反射の方向から少なくとも光放射を受ける（１４１４）ことと、
前記受けた光放射から、前記受けた光放射の強度が最も高い波長を決定する（１４１６）ことと、
前記決定された波長により、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の位置を決定する（１４１８）ことと、
前記決定された表面（１１６、１１６Ｂ）の位置を使用して、前記測定される対象（１１４）の厚みを決定する（１４２０）こととにより特徴付けられる方法。
［２５］前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第２の表面（１１６Ｂ）の法線（１１８Ｂ）に垂直な方向に偏光させる（１４１２）ことと、
前記測定される対象（１１４）から反射された光放射を、前記測定される第１の表面（１１６）の法線（１１８）に垂直な方向に偏光させることとにより特徴付けられる上記［２４］記載の方法。