【手続補正書】
【提出日】平成22年2月12日(2010.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電型の半導体基板に形成された分離構造であって、前記基板はエピタキシャル層を備えてはおらず、前記構造は、
前記基板に埋没した、前記第１の導電型とは反対の第２の導電型のフロア分離領域と、
前記基板の表面から下向きに延びる環状の誘電体が充填されたトレンチとを備え、前記トレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置しており、前記構造はさらに、
前記フロア分離領域と重なるように前記誘電体が充填されたトレンチの底部から少なくとも前記フロア分離領域まで下向きに延びる前記第２の導電型の環状側壁領域を備え、前記フロア分離領域、誘電体が充填されたトレンチ、および環状側壁領域はともに、前記基板の分離されたポケットを囲む、分離構造。
【請求項２】
前記分離されたポケットに位置する第２の誘電体が充填されたトレンチをさらに備え、前記第２の誘電体が充填されたトレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置している、請求項１に記載の分離構造。
【請求項３】
前記フロア分離領域から横方向に間隔があいた前記第２の導電型の第２のフロア分離領域と、
前記基板の前記表面から下向きに延びる第２の環状の誘電体が充填されたトレンチとをさらに備え、前記第２の環状の誘電体が充填されたトレンチの底部は、前記第２のフロア分離領域の上に位置しており、前記構造はさらに、
前記第２のフロア分離領域と重なるように前記第２の誘電体が充填されたトレンチの底部から少なくとも前記第２のフロア分離領域まで下向きに延びる前記第２の導電型の第２の環状側壁領域を備え、前記第２のフロア分離領域、第２の誘電体が充填されたトレンチ、および第２の環状側壁領域はともに、前記基板の第２の分離されたポケットを囲み、前記構造はさらに、
前記フロア分離領域と前記第２のフロア分離領域との間に横方向に位置する前記第１の導電型の領域を備え、前記第１の導電型の前記領域のドーピング濃度は、前記基板のドーピング濃度よりも大きい、請求項１に記載の分離構造。
【請求項４】
第１の導電型の半導体基板に形成された分離構造であって、前記基板はエピタキシャル層を備えてはおらず、前記構造は、
前記基板に埋没した、前記第１の導電型とは反対の第２の導電型のフロア分離領域と、
前記基板の表面から下向きに延びる環状トレンチとを備え、前記環状トレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置しており、前記環状トレンチの壁は誘電材料で裏打ちされ、前記環状トレンチは導電性材料を含み、前記構造はさらに、
前記フロア分離領域と重なるように前記環状トレンチの底部から少なくとも前記フロア分離領域まで下向きに延びる前記第２の導電型の環状側壁領域を備え、前記環状側壁領域は、前記環状トレンチにおける前記導電性材料と電気的に接触しており、前記環状トレンチ、前記環状側壁領域および前記フロア分離領域はともに、前記基板の分離されたポケットを囲む、分離構造。
【請求項５】
前記分離されたポケットに位置する誘電体が充填されたトレンチをさらに備え、前記誘電体が充填されたトレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置している、請求項４に記載の分離構造。
【請求項６】
前記フロア分離領域から横方向に間隔があいた前記第２の導電型の第２のフロア分離領域と、
前記基板の前記表面から下向きに延びる第２の環状トレンチとをさらに備え、前記第２の環状トレンチの底部は、前記第２のフロア分離領域の上に位置しており、前記第２の環状トレンチの壁は前記誘電材料で裏打ちされ、前記第２の環状トレンチは前記導電性材料を含み、前記構造はさらに、
前記第２のフロア分離領域と重なるように前記第２の環状トレンチの底部から少なくとも前記第２のフロア分離領域まで下向きに延びる前記第２の導電型の第２の環状側壁領域を備え、前記第２の環状側壁領域は、前記第２の環状トレンチにおける前記導電性材料と電気的に接触しており、前記第２の環状トレンチ、前記第２の環状側壁領域および前記第２のフロア分離領域はともに、前記基板の第２の分離されたポケットを囲み、前記構造はさらに、
前記フロア分離領域と前記第２のフロア分離領域との間に横方向に位置する前記第１の導電型の領域を備え、前記第１の導電型の前記領域のドーピング濃度は、前記基板のドーピング濃度よりも大きい、請求項４に記載の分離構造。
【請求項７】
前記フロア分離領域から横方向に間隔があいた前記第２の導電型の第２のフロア分離領域と、
前記基板の前記表面から下向きに延びる第２の環状トレンチとをさらに備え、前記第２の環状トレンチの底部は、前記第２のフロア分離領域の上に位置しており、前記第２の環状トレンチの壁は前記誘電材料で裏打ちされ、前記第２の環状トレンチは前記導電性材料を含み、前記構造はさらに、
前記第２のフロア分離領域と重なるように前記第２の環状トレンチの底部から少なくとも前記第２のフロア分離領域まで下向きに延びる前記第２の導電型の第２の環状側壁領域を備え、前記第２の環状側壁領域は、前記第２の環状トレンチにおける前記導電性材料と電気的に接触しており、前記第２の環状トレンチ、前記第２の環状側壁領域および前記第２のフロア分離領域はともに、前記基板の第２の分離されたポケットを囲み、前記構造はさらに、
前記基板の前記表面からフロア分離領域と前記第２のフロア分離領域との間に下向きに
延びる誘電体が充填されたトレンチを備える、請求項４に記載の分離構造。
【請求項８】
第１の導電型の半導体基板に分離構造を形成する方法であって、前記基板は上面を有し、前記方法は、
前記第１の導電型とは反対の第２の導電型のドーパントを注入して、フロア分離領域を形成するステップを備え、前記ドーパントは、前記フロア分離領域の上部接合部が前記基板の前記上面の下に位置するように十分なエネルギで注入され、前記方法はさらに、
前記基板の前記上面の上にマスク層を形成するステップと、
前記マスク層に開口を形成するステップと、
前記マスク層の前記開口を通して前記基板をエッチングして、前記基板に環状トレンチを形成するステップとを備え、前記環状トレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置しており、前記方法はさらに、
前記トレンチの前記底部を通して前記第２の導電型のドーパントを注入して、側壁分離領域を形成するステップを備え、前記側壁領域は、少なくとも前記フロア分離領域まで下向きに延びており、前記方法はさらに、
前記基板の分離されたポケットを形成するように前記環状トレンチを誘電材料で充填するステップを備える、方法。
【請求項９】
前記基板の前記上面を平坦化するステップをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記分離されたポケットのエリアの上の前記マスク層に第２の開口を形成するステップと、
前記マスク層の前記第２の開口を通して前記基板をエッチングして、第２のトレンチを形成するステップとを備え、前記第２のトレンチは、前記フロア分離領域の上に底部を有し、前記方法はさらに、
前記第２のトレンチに第２のマスク層を形成するステップと、
第２の導電型の前記ドーパントの注入中、前記第２のマスク層が前記第２のトレンチに留まることができるようにするステップと、
前記第２のトレンチから前記第２のマスク層を除去するステップと、
前記第２のトレンチを前記誘電材料で充填するステップとを備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
第１の導電型の半導体基板に分離構造を形成する方法であって、前記基板は上面を有し、エピタキシャル層を備えてはおらず、前記方法は、
前記第１の導電型とは反対の第２の導電型のドーパントを注入して、フロア分離領域を形成するステップを備え、前記ドーパントは、前記フロア分離領域の上部接合部が前記基板の前記上面の下に位置するように十分なエネルギで注入され、前記方法はさらに、
前記基板の前記上面の上にマスク層を形成するステップと、
前記マスク層に開口を形成するステップと、
前記マスク層の前記開口を通して前記基板をエッチングして、前記基板に環状トレンチを形成するステップとを備え、前記環状トレンチは側壁と底部とを有し、前記環状トレンチの前記底部は、前記フロア分離領域に位置しており、前記フロア分離領域および前記環状トレンチはともに、前記基板の分離されたポケットを形成し、前記方法はさらに、
前記環状トレンチの前記底部および側壁上に誘電体層を形成するステップと、
前記環状トレンチの前記側壁上に前記誘電体層を残しながら前記環状トレンチの前記底部から前記誘電体層を除去するステップと、
前記環状トレンチに導電性材料を導入するステップとを備え、前記導電性材料は、前記フロア分離領域と電気的に接触している、方法。
【請求項１２】
前記マスク層に第２の開口を形成するステップを備え、前記第２の開口は、前記分離されたポケットのエリアの上に位置しており、前記方法はさらに、
前記マスク層の前記第２の開口を通して前記基板をエッチングして、前記基板に第２のトレンチを形成するステップを備え、前記第２のトレンチの底部は、前記フロア分離領域の上に位置しており、前記方法はさらに、
前記第２のトレンチを誘電材料で充填するステップを備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記トレンチの前記底部および側壁上に誘電体層を形成するステップは、前記第２のトレンチを誘電材料で充填するステップを備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記基板の前記上面を平坦化するステップを備える、請求項１１に記載の方法。