【手続補正書】
【提出日】平成22年3月16日(2010.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドを有するテンプレートを用いて、モーション・ステージに配置される基板をパターニングする方法であって、
前記基板と前記モールドとの間に成形性材料を位置決めするステップと、
前記成形性材料と、前記モールドまたは前記基板のどちらか一方との間の毛管作用により、前記モールドと前記基板の間を定められた容積分を前記成形性材料で充填するステップと、
前記モーション・ステージとモールドのうち少なくとも１つに誘引力を与えて、前記毛管作用に関連した前記モールド上の引張力を相殺するステップと、
から成ることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記成形性材料を位置決めするステップは、前記モールド上に前記成形性材料を配設するステップと、前記モールドを前記基板と重なり合わせるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記成形性材料を位置決めするステップは、前記基板上に前記成形性材料を配設するステップと、前記モールドを前記基板と重なり合わせるステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記基板の双方との前記成形性材料の毛管作用によって前記容積を充填するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記容積を充填するステップは、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように、前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記成形性材料との間に押圧力が生じるのを極力無くすように前記距離の変化を最小にし、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含む一方、前記モールドを用いた前記成形性材料の前記毛管作用によって前記領域の外側で前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記テンプレートは第１と第２のモールドをさらに含み、前記第１のモールドは前記基板の第１領域に向き合うように配置され、前記第２のモールドは前記基板の第２領域に向き合うように配置され、前記成形性材料は前記第１領域の副部分と前記第２の副部分に配置され、前記容積を充填するステップは、前記モールドを用いた前記成形性材料の前記毛管作用によって、前記第１領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップおよび前記第２領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記基板は複数の離間されたモールドをさらに有し、その第１のサブセットは前記基板の第１の領域に向き合うように配設され、残りのモールドは前記基板の第２の領域に向き合うように配設され、前記成形性材料は前記第１の領域内に配設され、かつ前記第２の領域には存在しないことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１のサブセットは１つのモールドを備えることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
モールドを有するテンプレートを用いて、モーション・ステージに配置される基板をパターニングする方法であって、
前記基板と前記モールドとの間に成形性材料を位置決めするステップと、
前記成形性材料と前記モールドとの間に距離を確立して、前記モールドと前記基板の間の毛管作用によって前記モールドと前記基板間に定められた容積分を前記成形性材料で充填するのを容易にし、第１と第２の副部分を有する前記成形性材料の連続層を形成するステップと、
前記モーション・ステージとモールドのうち少なくとも１つに誘引力を与えて、前記毛管作用に関連した前記モールド上の引張力を相殺するステップと、
から成り、
前記第１の副部分は第１の厚さを有し、前記第２の副部分は前記第１の厚さとは異なる第２の厚さを有し、前記第１および第２の厚さはゼロより大きいことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記成形性材料と前記モールドとの間に距離を確立するステップは、所定の変化範囲内での距離変化を最小にするステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記成形性材料と前記モールドとの間に距離を確立するステップは、前記距離を前記所定の変化範囲内に維持することによって、前記モールドと前記成形性材料との間に押圧力が生じるのを極力無くすようにことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含む一方、、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることによって前記領域の外側での前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１７】
前記テンプレートは第１と第２のモールドをさらに含み、前記第１のモールドは前記基板の第１領域に向き合うように配置され、前記第２のモールドは前記基板の第２領域に向き合うように配置され、前記成形性材料は前記第１領域の副部分と前記第２の副部分に配置され、前記容積を充填するステップは、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることにより、前記第１領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップと、前記第２領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１８】
前記テンプレートは複数の離間されたモールドをさらに有し、その第１のサブセットは前記基板の第１の領域に向き合うように配設され、残りのモールドは前記基板の第２の領域に向き合うように配設され、前記成形性材料は前記第１の領域内に配設され、かつ前記第２の領域には存在しないことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
モールドを有するテンプレートを用いて、モーション・ステージに配置される基板をパターニングする方法であって、
前記基板上に成形性材料を形成するステップと、
前記成形性材料に向かい合うモールドを有する前記テンプレートを前記成形性材料に重なり合うように配置するステップと、
前記成形性材料の副部分を、前記成形性材料と前記モールドと前記基板の間の毛管作用によって運前記基板から離れた方向へ移動させ、前記モールドのある領域を濡らしてその形に合わせるようにし、第１と第２の副部分を有する前記成形性材料の連続層を形成するステップと、
前記モーション・ステージとモールドのうち少なくとも１つに誘引力を与えて、前記毛管作用に関連した前記モールド上の引張力を相殺するステップと、
から成り、
前記第１の副部分は第１の厚さを有し、前記第２の副部分は前記第１の厚さとは異なる第２の厚さを有し、前記第１および第２の厚さはゼロより大きいことを特徴とする方法。
【請求項２０】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記基板の双方との前記成形性材料の毛管作用によって、前記モールドと前記基板に定められた前記容積を充填するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記容積を充填するステップは、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように、前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記成形性材料との間に押圧力が生じるのを極力無くすように、前記距離の変化を最小にして、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
成形性材料を形成するステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含む一方、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることによって前記領域の外側で前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２２記載の方法。
【請求項２４】
前記テンプレートは第１と第２のモールドをさらに含み、前記第１のモールドは前記基板の第１領域に向き合うように配置され、前記第２のモールドは前記基板の第２領域に向き合うように配置され、前記成形性材料は前記第１領域の副部分と前記第２の副部分に配置され、前記容積を充填するステップは、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることにより、前記第１領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップおよび前記第２領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２３記載の方法。
【請求項２５】
前記テンプレートは複数の離間されたモールドをさらに有し、その第１のサブセットは前記基板の第１の領域に向き合うように配設され、残りのモールドは前記基板の第２の領域に向き合うように配設され、前記成形性材料は前記第１の領域内に配設され、かつ前記第２の領域には存在しないことを特徴とする請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記第１のサブセットは１つのモールドを備えることを特徴とする請求項２５記載の方法。
【請求項２７】
前記成形性材料を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項２８】
前記成形性材料を固化させるステップは、前記成形性材料を化学線に曝露させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記化学線は紫外線から成ることを特徴とする請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記誘引力を与えるステップは、前記成形性材料の厚さ均一性を最大化するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３１】
前記誘引力を与えるステップは、前記成形性材料の厚さ均一性を最大化するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項３２】
前記成形性材料を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項３３】
前記成形性材料を固化させるステップは、前記成形性材料を化学線に曝露させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記成形性材料を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１９記載の方法。
【請求項３５】
前記成形性材料を固化させるステップは、前記成形性材料を化学線に曝露させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記成形性材料を固化させるステップの前に前記誘引力を与えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項２７記載の方法。
【請求項３７】
前記位置決めするステップは、前記基板上に前記成形性材料の複数の液滴を位置決めするステップをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３８】
前記成形性材料の前記複数の液滴を前記モールドに接触させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３７記載の方法。
【請求項３９】
前記成形性材料を固化させるステップの前に前記誘引力を与えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３２記載の方法。
【請求項４０】
前記位置決めするステップは、前記基板上に前記成形性材料の複数の液滴を位置決めするステップをさらに含むことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項４１】
前記成形性材料の前記複数の液滴を前記モールドに接触させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項４０記載の方法。
【請求項４２】
前記成形性材料を固化するステップの前に、前記誘引力を与えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３４記載の方法。
【請求項４３】
前記位置決めするステップは、前記基板上に前記成形性材料の複数の液滴を位置決めするステップをさらに含むことを特徴とする請求項１９記載の方法。
【請求項４４】
前記成形性材料の前記複数の液滴を前記モールドに接触させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項４３記載の方法。
【請求項４５】
モールドを有するテンプレートを用いて、モーション・ステージに配置される基板をパターニングする方法であって、
前記基板と前記モールドとの間に成形性材料を位置決めするステップと、
前記成形性材料と前記モールドと前記基板との間の毛管作用によって、前記モールドと前記基板の間を定められた容積分を、前記成形性材料で充填するステップと、
前記モーション・ステージとモールドのうち少なくとも１つに誘引力を与えて、前記毛管作用に関連した前記モールド上の引張力を相殺するステップと、
から成ることを特徴とする方法。
【請求項４６】
前記成形性材料を位置決めするステップは、前記モールド上に前記成形性材料を配設するステップと、前記モールドを前記基板と重なり合わせるステップをさらに含むとを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４７】
前記成形性材料を位置決めするステップは、前記基板上に前記成形性材料を配設するステップと、前記モールドを前記基板と重なり合わせるステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４８】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記基板の双方との前記成形性材料の毛管作用によって前記容積を充填するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項４９】
前記容積を充填するステップは、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように、前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項５０】
前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記成形性材料との間に押圧力が生じるのを極力無くすように前記距離の変化を最小にし、前記テンプレートの副部分が前記成形性材料と接触できるように前記テンプレートと前記成形性材料との間の距離を確立するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項５１】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項５２】
前記成形性材料を位置決めするステップは、ある領域の副部分上に前記成形性材料を堆積させるステップをさらに含み、前記容積を充填するステップは、前記モールドと前記副部分の外側の前記領域のいくつかのエリアの両方を前記成形性材料で濡らすステップをさらに含む一方、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることによって前記領域の外側での前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５３】
前記テンプレートは第１と第２のモールドをさらに含み、前記第１のモールドは前記基板の第１領域に向き合うように配置され、前記第２のモールドは前記基板の第２領域に向き合うように配置され、前記成形性材料は前記第１領域の副部分と前記第２の副部分に配置され、前記容積を充填するステップは、前記モールドによる前記成形性材料の前記毛管作用を用いることにより前記第１領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップ、および前記第２領域の外側の前記副部分における前記成形性材料の動きを制限するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５４】
前記成形性材料を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５５】
前記成形性材料を固化させるステップは、前記成形性材料を化学線に曝露させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項５４に記載の方法。
【請求項５６】
前記化学線は紫外線から成ることを特徴とする請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
前記テンプレートは複数の離間されたモールドをさらに有し、その第１のサブセットは前記基板の第１の領域に向き合うように配設され、残りのモールドは前記基板の第２の領域に向き合うように配設され、前記成形性材料は前記第１の領域内に配設され、かつ前記第２の領域には存在しないことを特徴とする請求項４５に記載の方法。
【請求項５８】
前記第１のサブセットは１つのモールドを備えることを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５９】
前記誘引力を与えるステップは、前記成形性材料の厚さ均一性を最大化するステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項６０】
前記成形性材料を固化させるステップの前に前記誘引力を与えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項５４記載の方法。
【請求項６１】
前記位置決めするステップは前記基板上に前記成形性材料の複数の液滴を位置決めするステップをさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項６２】
前記成形性材料の前記複数の液滴を前記モールドに接触させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項６１記載の方法。