【誤訳訂正書】
【提出日】平成22年7月2日(2010.7.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバの窓の外に位置するように配設される、真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルであって、
複数の旋回を有し該複数の旋回のうちの少なくとも１つが端部間にコイル周方向の間隙を有する平面状旋回である少なくとも１つの巻線と、
巻線の平面状旋回の軸線方向に間隔をおき、且つ、前記少なくとも１つの巻線の平面状旋回のコイル周方向の間隙を横断するように重ねられ、平面状旋回と同一方向に電流が流れるように該平面状旋回に接続された積重ねセグメントと、を備える真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２】
請求項１に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントは、終端キャパシタを介して接地するため又はＲＦ供給源の端子に接続するための第１端子と、平面状旋回に接続された第２端子とを有する真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項３】
請求項２に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントの第２端子は、該第２端子と位置合わせされた平面状旋回の部分に接続されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項４】
請求項２に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントの第２端子は、第１端子と第２端子との間において積重ねセグメントが重なる平面状旋回の部分に接続されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項５】
請求項４に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントの第２端子は、ループを有するストラップを介して平面状旋回に接続されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントは前記巻線から前記コイル周方向の間隙に対応するプラズマの個別の領域までの誘導結合を増大するように配置されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項７】
真空チャンバの窓の外に位置するように配設される、真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルであって、
励起用の第１，第２端子がそれぞれ設けられた第１，第２端部を同一平面に有する少なくとも１つの巻線を備え、さらに
（ａ）巻線の第１端子にその一端部を接続された第１金属接続構造と、
（ｂ）巻線の第２端子にその一端部を接続された第２金属接続構造とを備え、
第１，第２金属接続構造が、それぞれ第１，第２端子からその終端までの間で鋭い屈曲部を有することなく緩やか、且つ、滑らかに延び、第１，第２金属接続構造の前記終端が第１，第２端子の何れにも接続されていない真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項８】
請求項７に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
第１，第２金属接続構造における巻線の第１，第２端子に接続された端部が、巻線の第１，第２端部と同一平面にある真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項９】
請求項７または８に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
巻線は、端部間にコイル周方向の間隙を有する少なくとも１つの平面状旋回と、平面状旋回の軸線方向に間隔をおき、且つ、前記巻線の平面状旋回のコイル周方向の間隙を横断するように重ねられた積重ねセグメントとを含み、
平面状旋回と積重ねセグメントとは、急な湾曲部を有することなく緩やか、且つ、滑らかに延びる第３金属接続構造によって接続されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１０】
真空チャンバの窓の外に位置するように配設される、真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルであって、
複数の旋回を有し該複数の旋回のうちの少なくとも１つが端部間にコイル周方向の間隙を有する平面状旋回である少なくとも１つの巻線と、
巻線の平面状旋回の軸線方向に間隔をおき、且つ、前記少なくとも１つの巻線の平面状旋回のコイル周方向の間隙を横断するように重ねられた積重ねセグメントと、
巻線の平面状旋回の所定部分と積重ねセグメントの端部との間に接続され、急な湾曲部を有することなく緩やか、且つ、滑らかに延びるように配設された金属接続構造とを備える真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１１】
請求項１０に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
巻線の平面状旋回の所定部分は、該平面状旋回の端部である真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントは、平面状旋回の間隙の両側方向に延びている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１３】
請求項１０〜１２の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
金属接続構造は、平面状旋回の間隙から離れてループを描いている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１４】
請求項１０〜１２の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
金属接続構造は、積重ねセグメントの端部から離れて延びる部分と、平面状旋回の第１の部分にループして戻る部分を有している真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１５】
請求項１０〜１４の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
金属接続構造は、平面状旋回および積重ねセグメントと平行に延びる部分を有している真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１６】
真空チャンバの窓の外に位置するように配設される、真空プラズマ処理装置用ＲＦプラズマ励起コイルであって、
複数の旋回を有し該複数の旋回のうちの少なくとも１つが端部間にコイル周方向の間隙を有する平面状旋回である少なくとも１つの巻線と、
巻線の平面状旋回の軸線方向に間隔をおき、且つ、前記少なくとも１つの巻線の平面状旋回のコイル周方向の間隙を横断するように重ねられ、平面状旋回と同一方向に電流が流れるように該平面状旋回に接続され、各端部が前記少なくとも１つの巻線の平面状旋回のコイル周方向の間隙の両側にある積重ねセグメントとを備える真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１７】
請求項１６に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントの各端部のコイル中心から見た場合における角度位置が、前記コイル周方向の間隙の中央に対し、ほぼ等しくなるように配設されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１８】
請求項１６に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントは、一方の端部のコイル中心から見た場合における前記コイル周方向の間隙の中央に対する角度位置が、他方の端部のコイル中心から見た場合における前記コイル周方向の間隙の中央に対する角度位置より大きくなるように配設されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項１９】
請求項１６〜１８の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントは、平面状旋回を流れる電流と同一方向に積重ねセグメント内に電流が流れるように該平面状旋回に接続されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２０】
請求項１９に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
積重ねセグメントと平面状旋回との接続が、急な湾曲部を有することなく緩やか、且つ、滑らかに延びる接続構造によって提供されている真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２１】
請求項２０に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
接続構造は、積重ねセグメントを流れる電流と反対の方向に電流が流れる部分を有する真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２２】
請求項２０または２１に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
接続構造は、積重ねセグメントを流れる電流と反対の方向に電流が流れる部分と、積重ねセグメントを流れる電流と同じ方向に電流が流れる部分とを有する真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２３】
請求項１０に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルにおいて、
接続構造は、積重ねセグメントを流れる電流と同じ方向に電流が流れる部分を有する真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイル。
【請求項２４】
真空プラズマ処理装置であって、
請求項１〜２３の何れか１項に記載の真空プラズマ処理装置用のＲＦプラズマ励起コイルを含み、該コイルが真空チャンバ外で、且つ、窓に近接して配置されている真空プラズマ処理装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
本発明の一態様によれば、処理装置の真空チャンバの窓の上方に位置するように配設された、真空プラズマ加工物処理装置多重旋回プラズマ励起コイルは、少なくとも１つの実質的に平面の旋回とその平面旋回の一部分を積み重ねたセグメントを有する。この積重ねセグメントは、平面旋回巻線とチャンバ内部の屋根との間の間隔（通常は窓の厚さ）と異なる距離だけ、平面旋回から間隔を空けられていると共に、平面旋回と直列に接続されており、その結果、平面旋回と積重ねセグメントを通過して同一の電流が同一方向に流れる。積重ねセグメントの使用は、主として、プラズマの個別領域への誘導ＲＦ結合を増加させて、周方向のプラズマ均一性を向上させ、かつチャンバとコイルが完全に対称でないことによる周方向の非対称を補正するためである。積重ねセグメントの位置、積重ねセグメントの弧の長さ、および積重ねセグメントと平面旋回との間の間隔は、それぞれのチャンバおよび／またはコイル構成に対して選択することによって、個々のプラズマ領域へのＲＦ結合を最適化するのが好ましい。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
積重ねセグメント１１３は、積重ねセグメントと位置合わせされたプラズマ領域への誘導ＲＦ結合を増大させ、周方向プラズマ均一性を改善し、例えば旋回１０３の両端部間の間隙内でチャンバとコイルが完全に対称でないことによる、周方向の非対称性を補正する。積重ねセグメント１１５の位置、端子１２５と１２７の間の積重ねセグメントの弧の長さ、および積重ねセグメント１１５と平面形旋回１０３の間隔は、各チャンバ構成に対して、個々のプラズマ領域へのＲＦ結合を最適化するように選択するのが好ましい。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
図７に示すように、コイル端子１１１および１２７は、それぞれ金属ストラップ１２８および１８０によって、コイル２４上のハウジング内に位置するキャパシタ１２９を介して接地され、およびコイル２４上のハウジング内に位置するマッチング・ネットワーク２８の出力端子に接続されている。ストラップ１２８は端子１２７とキャパシタ１２９の間で円滑、かつゆるやかに（急な湾曲部なしに）接続され、これにより前記と同じ利点の多くが提供される。ストラップ１８０の両端は、前記と同様の結果を得るために、ストラップ１２８と端子１２７とを接続するのと同様の方法で、端子１１１およびマッチング・ネットワーク２８の出力端子に接続されている。