【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５８１５８２６号発明「粒子分光計のための分析装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第５８１５８２６号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−５、７、８〕、〔９−１６、１８〕について訂正することを認める。
　特許第５８１５８２６号の請求項〔１−３、５、８〕、〔９−１３、１５、１６〕に係る特許についての本件審判の請求は、成り立たない。
　特許第５８１５８２６号の請求項４、７、１４、１８についての本件審判請求を却下する。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本件特許は、ヴィゲー・シエンタ・アーベーにより出願された、２０１２年３月６日を国際出願日とする出願である特願２０１４−５６０８８８号の一部を、平成２６年１０月７日に新たな出願とした特願２０１４−２０６１８５号に係り、平成２７年７月２日付けの手続補正によって補正された願書に添付された明細書、特許請求の範囲及び図面の内容について、特許第５８１５８２６号として平成２７年１０月２日に設定登録されたものである。（ヴィゲー・シエンタ・アーベーは、特許権設定登録後に、シエンタ・オミクロン・アーベー（以下「被請求人」という。）に表示変更登録された。） 
　平成２８年４月１日に無効審判が請求され、平成２８年８月１２日付けで訂正請求がされ、平成２９年２月２０日付けで、「特許第５８１５８２６号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。特許第５８１５８２６号の請求項〔１〜５、７、８〕、〔９〜１６、１８〕に係る発明についての本件審判の請求は、成り立たない。特許第５８１５８２６号の請求項６、１７についての本件審判請求を却下する。」旨の審決がされ、その後確定した。 
　本件特許無効審判事件は、請求人　エム・ベー・サイエンティフィック・アクチボラゲット（以下「請求人」という。）が、「特許第５８１５８２６号の特許請求の範囲の請求項１ないし５、７ないし１６、１８に記載された発明に係る特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」として、平成２９年６月２６日に請求したものであって、当該審判請求後の手続の経緯の概要は、以下のとおりである。  
  
平成２９年　８月　９日　審判請求書手続補正書（方式）  
平成２９年１２月１５日　審判事件答弁書提出　　　　　　　　　　　　　平成３０年　１月２５日　審理事項通知書　　　　　　　　　　　　　　　平成３０年　３月　１日　口頭審理陳述要領書提出（被請求人）　　　　　平成３０年　３月　２日　口頭審理陳述要領書提出（請求人）　　　　　　平成３０年　３月１２日　審尋　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成３０年　３月１３日　回答書提出（請求人）　　　　　　　　　　　　平成３０年　３月１４日　回答書提出（被請求人）　　　　　　　　　　　平成３０年　３月１６日　口頭審理
平成３０年　３月３０日　審決の予告
平成３０年　７月　６日　訂正請求書、上申書（被請求人）
平成３０年　７月２０日　証拠説明書（被請求人）
平成３０年　９月１４日　弁駁書（請求人）　 
第２　訂正請求について
１　訂正事項
　平成３０年７月６日付け訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）は、以下のとおりである。
（１）訂正事項１
　請求項１の「測定領域（３）の入口（８）」との記載を、「測定領域（３）の入射スリット（８）」に訂正する。これに伴い、請求項１の「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との記載を、「前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」に訂正する。　
（２）訂正事項２
　請求項１の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載を、「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」に訂正する。
（３）訂正事項３
　請求項１の「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との記載を、「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」に訂正する。ここで、訂正後の「前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）」との記載に係る訂正は、訂正事項１に係るものである。
（４）訂正事項４
　請求項１の「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップ」との記載を、「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するステップ」に訂正する。
（５）訂正事項５
　請求項４を請求項１に組み込む訂正をする。
　具体的には、請求項４の記載内容である「前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの前記一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用する」との記載を請求項１に追加する。  
（６）訂正事項６
　請求項４を削除する。
（７）訂正事項７
　請求項５の「請求項１〜４の何れか一項に記載の方法」との記載を、「請求項１〜３の何れか一項に記載の方法」に訂正する。
（８）訂正事項８
　請求項７を削除する。
（９）訂正事項９
　請求項８の「請求項１〜５及び７の何れか一項に記載の方法」との記載を、「請求項１〜３及び５の何れか一項に記載の方法」に訂正する。
（１０）訂正事項１０
　請求項９の「入口（８）」との記載を、「入射スリット（８）」に訂正する。これに伴い、請求項９の「前記入口（８）」との記載を、「前記入射スリット（８）」に訂正する。また、「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との記載を、「前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」に訂正する。
（１１）訂正事項１１
　請求項９の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載を、「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」に訂正する。
（１２）訂正事項１２
　請求項９の「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との記載を、「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」に訂正する。ここで、訂正後の「前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）」との記載に係る訂正は、訂正事項１０に係るものである。
（１３）訂正事項１３
　請求項９の「制御ユニット（３５）」との記載を、「制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）」に訂正する。
（１４）訂正事項１４
　請求項１４を請求項９に組み込む訂正をする。
　具体的には、請求項１４の記載内容である「前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される」との記載を請求項９に追加する。
（１５）訂正事項１５
　請求項１４を削除する。
（１６）訂正事項１６
　請求項１５の「請求項９〜１４の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」との記載を、「請求項９〜１３の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」に訂正する。
（１７）訂正事項１７
　請求項１７の「請求項９〜１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」との記載を、「請求項９〜１３及び１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」に訂正する。
（１８）訂正事項１８
　請求項１８を削除する。
２　訂正請求についての当審の判断
（１）一群の請求項についての説明
　本件訂正前の請求項１〜５、７、及び８について、請求項２〜５、７、及び８は、それぞれ請求項１の記載を直接的又は間接的に引用しているため、訂正事項１〜４により記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。
　したがって、当該請求項１〜５、７、及び８は、特許法第１３４条の２第３項に規定する一群の請求項である。
　訂正前の請求項９〜１６及び１８について、請求項１０〜１６及び１８は、それぞれ請求項９の記載を直接的又は間接的に引用しているため、訂正事項１０〜１４により記載が訂正される請求項９に連動して訂正されるものである。
　したがって、当該請求項９〜１６及び１８は、特許法第１３４条の２第３項に規定する一群の請求項である。
　　　　　　　　　　　　
（２）訂正事項１
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項１に係る発明は、訂正前の請求項１に係る発明の「測定領域（３）の入口（８）」を下位概念である「測定領域（３）の入射スリット（８）」に特定し、限定するものである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項２、３、５、及び８は、訂正後の請求項１の「測定領域（３）の入射スリット（８）」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項１に係る発明の「測定領域（３）の入口（８）」を下位概念である「入射スリット」に、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　明細書の段落【０００７】、明細書の段落【００５８】、図４には、測定領域５の入口が入射スリット８であることが記載されている。訂正事項１は、これらの記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１は、訂正前の請求項１の記載を引用する訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１は、訂正前の請求項２〜５、７、及び８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（３）訂正事項２
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項１に係る発明は、「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載により、訂正前の請求項１に係る発明の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）」との発明特定事項について、当該「所定の部分（Ａ、Ｂ）」が、選択された部分であることを、限定するものである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項２、３、５、及び８は、訂正後の請求項１の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項１に係る発明の「所定の部分（Ａ、Ｂ）」が、選択された部分であることを、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　明細書の段落【００３２】には、「少なくとも第２の偏向器は、第１の偏向器の下流に、レンズシステムの光学軸に沿つて第１の偏向器から離間して配置される。上記の議論から理解されるように、第１及び少なくとも第２の偏向器を組み合わせた効果は、ビームのどの部分がどの方向で測定領域に入射するかを制御することである。この制御によって、ビームの選択された部分が、レンズ軸（即ち、レンズシステムの光学軸）の方向に沿って測定領域に入射することができるようになる。」と記載されている。訂正事項２は、この記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項２は、訂正前の請求項１の記載を引用する訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項２は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１は、訂正前の請求項２〜５、７、及び８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（４）訂正事項３
ア　訂正の目的
  訂正事項３は、訂正後の請求項１の「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」との記載により、訂正前の請求項１に係る発明の「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との発明特定事項について、粒子ビームを偏向させるにあたり当該偏向をどのように制御するかを、限定するものである。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項２、３、５、及び８は、訂正後の請求項１の「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項１に係る発明において粒子ビームを偏向させるにあたり当該偏向をどのように制御するかを、限定するものである。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　゛
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正前の請求項７には、「前記粒子の前記角度分布の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップをさらに備える」と記載されている。訂正事項３は、この記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項３は、訂正前の請求項１の記載を引用する訂正前の請求項２〜５、及び８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項３は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項２〜５、及び８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１は、訂正前の請求項２〜５、及び８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（５）訂正事項４
ア　訂正の目的
　訂正事項４は、訂正後の請求項１の「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するステップ」との記載により、訂正前の請求項１の「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップ」との発明特定事項を、限定するものである。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項２、３、５、及び８は、訂正後の請求項１の「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するステップ」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項１の「前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップ」との発明特定事項を限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲
内の訂正であること
　明細書の段落【００３２】には、「少なくとも第２の偏向器は、第１の偏向器の下流に、レンズシステムの光学軸に沿って第１の偏向器から離間して配置される。上記の議論から理解されるように、第１及び少なくとも第２の偏向器を組み合わせた効果は、ビームのどの部分がどの方向で測定領域に入射するかを制御することである。」と記載されている。訂正事項４は、この記載に基づくものである。また、請求項１では訂正前の請求項７に基づき訂正事項３により入射する方向が「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向」であることが特定されているので、入射する方向は訂正事項３に合わせて特定した。
　したがって、訂正事項４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項３は、訂正前の請求項１の記載を引用する訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項３は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項２〜５、７、及び８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１は、訂正前の請求項２〜５、７、及び８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（６）訂正事項５
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項１に係る発明は、「前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用する」との記載により、訂正前の請求項１に係る発明におけるレンズと偏向との位置関係を、限定するものである。
　したがって、訂正事項５は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項２、３、５、及び８は、訂正後の請求項１の「前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用する」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項１に係る発明におけるレンズと偏向との位置関係を、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項５は、訂正前の請求項４に記載された事項に基づくものである。
　したがって、訂正事項５は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項５は、訂正前の請求項１の記載を引用する訂正前の請求項２、３、５、７、及び８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項３は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項２、３、５、７、及び８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１は、訂正前の請求項２、３、５、７、及び８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（７）訂正事項６
ア　訂正の目的
　訂正事項６は、訂正前の請求項４の記載を削除するものである。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項６は、訂正前の請求項４の記載を削除するものである。
　したがって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（８）訂正事項７
ア　訂正の目的
　訂正事項７は、訂正事項５及び訂正事項６に伴い、請求項５の引用関係を修正するものである。
　したがって、訂正事項７は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項７は、訂正事項５及び訂正事項６に伴い、訂正前の請求項５が従属する請求項を「請求項１〜４の何れか一項に記載の方法」から「請求項１〜３の何れか一項に記載の方法」にするものである。
　したがって、訂正事項７は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項７は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（９）訂正事項８
ア　訂正の目的
　訂正事項８は、訂正前の請求項７の記載を削除するものである。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項８は、訂正前の請求項７の記載を削除するものである。
　したがって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（１０）訂正事項９
ア　訂正の目的
　訂正事項９は、訂正事項６及び訂正事項８に伴い、請求項８の引用関係を修正するものである。
　したがって、訂正事項９は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項９は、訂正事項６及び訂正事項８に伴い、訂正前の請求項８が従属する請求項を「請求項１〜５及び７の何れか一項に記載の方法」から「請求項１〜３及び５の何れか一項に記載の方法」にするものである。
　したがって、訂正事項９は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項９は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（１１）訂正事項１０
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項９に係る発明は、訂正前の請求項９に係る発明の「入口（８）」を下位概念である「入射スリット（８）」に特定し、限定するものである。
　したがって、訂正事項１０は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項１０〜１３、１５、及び１６は、訂正後の請求項９の「入射スリット（８）」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項９に係る発明の「入口（８）」を下位概念である「入射スリット」に、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　明細書の段落【０００７】、明細書の段落【００５８】、図４には、測定領域５の入口が入射スリット８であることが記載されている。訂正事項１０は、これらの記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項１０は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１０は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１０は、訂正前の請求項９の記載を引用する訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１０は、訂正前の請求項１の記載以外に、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１０は、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（１２）訂正事項１１
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項９に係る発明は、「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載により、訂正前の請求項９に係る発明の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）」との発明特定事項について、当該「所定の部分（Ａ、Ｂ）」が、選択された部分であることを、限定するものである。
　したがって、訂正事項１１は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項１０〜１３、１５、及び１６は、訂正後の請求項９の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項９に係る発明の「所定の部分（Ａ、Ｂ）」が、選択された部分であることを、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　明細書の段落【００３２】には、「少なくとも第２の偏向器は、第１の偏向器の下流に、レンズシステムの光学軸に沿って第１の偏向器から離間して配置される。上記の議論から理解されるように、第１及び少なくとも第２の偏向器を組み合わせた効果は、ビームのどの部分がどの方向で測定領域に入射するかを制御することである。この制御によって、ビームの選択された部分が、レンズ軸（即ち、レンズシステムの光学軸）の方向に沿って測定領域に入射することができるようになる。」と記載されている。訂正事項１１は、この記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項１１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１１は、訂正前の請求項９の記載を引用する訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１１は、訂正前の請求項９の記載以外に、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１１は、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（１３）訂正事項１２
ア　訂正の目的
　訂正事項１２は、訂正後の請求項９の「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」との記載により、訂正前の請求項９に係る発明の「前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように」との発明特定事項について、粒子ビームを偏向させるにあたり当該偏向をどのように制御するかを、限定するものである。
　したがって、訂正事項１２は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項１０〜１３、１５、及び１６は、訂正後の請求項９の「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項９に係る発明において粒子ビームを偏向させるにあたり当該偏向をどのように制御するかを、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正前の請求項１８には、「前記制御ユニット（３５）は、前記粒子の前記角度分布（３９）の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である」と記載されている。訂正事項１２は、この記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項１２は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１２は、訂正前の請求項９の記載を引用する訂正前の請求項１０〜１６の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１２は、訂正前の請求項９の記載以外に、訂正前の請求項１０〜１６の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１２は、訂正前の請求項１０〜１６との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（１４）訂正事項１３
ア　訂正の目的
　訂正事項１３は、訂正後の請求項９の「制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）」との記載により、訂正前の請求項９の「制御ユニット（３５）」との発明特定事項を、限定するものである。
　したがって、訂正事項１３は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項１０〜１３、１５、及び１６は、訂正後の請求項９の「制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項９の「制御ユニット（３）」との発明特定事項を、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　明細書の段落【００３２】には、「少なくとも第２の偏向器は、第１の偏向器の下流に、レンズシステムの光学軸に沿って第１の偏向器から離間して配置される。上記の議論から理解されるように、第１及び少なくとも第２の偏向器を組み合わせた効果は、ビームのどの部分がどの方向で測定領域に入射するかを制御することである。」と記載されている。訂正事項１３は、この記載に基づくものである。また、請求項９では訂正前の請求項１８に基づき訂正事項１２により入射する方向が「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向」であることが特定されているので、入射する方向は訂正事項１２に合わせて特定した。
　したがって、訂正事項１３は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１３は、訂正前の請求項９の記載を引用する訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１３は、訂正前の請求項９の記載以外に、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１１は、訂正前の請求項１０〜１６、及び１８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（１５）訂正事項１４
ア　訂正の目的
　訂正後の請求項９に係る発明は、「前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（L１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ、 ／３３Ｃ 、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される」との記載により、訂正前の請求項９に係る発明におけるレンズと偏向器との位置関係を、限定するものである。
　したがって、訂正事項１４は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　同様に、訂正後の請求項１０〜１３、１５、及び１６は、訂正後の請求項９の「前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される」との記載を引用するものであるため、訂正前の請求項９に係る発明におけるレンズと偏向器との位置関係を、限定するものである。
　したがって、これらの訂正も、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１４は、訂正前の請求項１４に記載された事項に基づくものである。
　したがって、訂正事項１４は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
　また、訂正事項１４は、訂正前の請求項９の記載を引用する訂正前の請求項１０〜１３、１５、１６、及び１８の記載についても実質的に訂正するものであるが、訂正事項１４は、訂正前の請求項９の記載以外に、訂正前の請求項１０〜１３、１５、１６、及び１８の記載について何ら訂正するものではなく、訂正事項１１は、訂正前の請求項１０〜１３、１５、１６、及び１８との関係で、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
（１６）訂正事項１５
ア　訂正の目的
　訂正事項１５は、訂正前の請求項１４の記載を削除するものである。
　したがって、訂正事項１５は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１５は、訂正前の請求項１４の記載を削除するものである。
　したがって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（１７）訂正事項１６
ア　訂正の目的
　訂正事項１６は、訂正事項１４及び訂正事項１５に伴い、請求項１５の引用関係を修正するものである。
　したがって、訂正事項１６は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１６は、訂正事項１４及び訂正事項１５に伴い、訂正前の請求項１５が従属する請求項を「請求項９〜１４の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」から「請求項９〜１３の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」にするものである。
　したがって、訂正事項１６は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（１８）訂正事項１７
ア　訂正の目的
　訂正事項１７は、訂正事項１４及び訂正事項１５に伴い、請求項１６の引用関係を修正するものである。
　したがって、訂正事項１７は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１７は、訂正事項１４及び訂正事項１５に伴い、訂正前の請求項１６が従属する請求項を「請求項９〜１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」から「請求項９〜１３及び１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計」に改めるだけのものである。
　したがって、訂正事項１７は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１７は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
（１９）訂正事項１８
ア　訂正の目的
　訂正事項１８は、訂正前の請求項１８の記載を削除するものである。
　したがって、訂正事項１８は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であること
　訂正事項１８は、訂正前の請求項１８の記載を削除するものである。
　したがって、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であるため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。
ウ　実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないこと
　上記アで検討したとおり、訂正事項１８は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないため、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。
３　むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とし、特許法第１３４条の２第３項、並びに、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するから、訂正後の請求項〔１−３、５、８〕、〔９−１３、１５、１６〕について訂正を認める。
第３　本件特許発明 
　特許５８１５８２６号の請求項１ないし３、５、８ないし１３、１５、１６に係る発明（以下「本件特許発明１」ないし「本件特許発明３」、「本件特許発明５」、「本件特許発明８」ないし「本件特許発明１３」、「本件特許発明１５」、「本件特許発明１６」という。）は、特許請求の範囲に記載された次のとおりである。 
  
 ＜本件特許発明＞ 
 「【請求項１】 
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）によって前記粒子放出試料（１１）と測定領域（３）の入射スリット（８）との間で粒子を輸送するステップと、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップと、
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、
　前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップと、
　前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するステップと、
をさらに備え、
　前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用することを特徴とする方法。
【請求項２】 
　前記粒子ビームの一回目の偏向は、第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）によって実現され、前記粒子ビームの少なくとも二回目の偏向は、少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）によって実現され、前記第２の偏向器は、前記第１の偏向器の下流に前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項１に記載の方法。 
【請求項３】 
　前記粒子ビームは、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及び前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回偏向される、請求項１又は２に記載の方法。 
【請求項４】（削除） 
【請求項５】 
　前記粒子ビームの少なくとも一つの偏向は、偏向器パッケージ（２９）によって実現され、前記偏向器パッケージ（２９）は本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備え、前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）はそれぞれの座標方向（ｘ、ｙ）における偏向器の役割を果たし、 
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の一方（３３Ａ／３３Ｃ）の間に第１の偏向器電圧（Ｖｘ）を印加するステップと、 
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の他方（３３Ｂ／３３Ｄ）の間に第２の偏向器電圧（Ｖｙ）を印加するステップと、 
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）に四極対称の電圧（±Ｖｑ）を印加し、前記偏向器電圧（Ｖｘ、Ｖｙ）に重畳させるステップと、をさらに備える 
 、請求項１〜３の何れか一項に記載の方法。 
【請求項６】（削除） 
【請求項７】（削除） 
【請求項８】 
　前記少なくとも一つのパラメーターは、 
　前記荷電粒子のエネルギー、 
　前記荷電粒子の開始方向、 
　前記荷電粒子の開始位置、及び 
　前記荷電粒子のスピン、 
のうち少なくとも一つに関する、請求項１〜３及び５の何れか一項に記載の方法。 
【請求項９】 
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料（１１）を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計であって、 
　測定領域（３）であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入射スリット（８）を有する測定領域（３）と、 
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入射スリットとの間で前記粒子を輸送するためのレンズシステム（１３）であって、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）と、 
　前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を備える偏向装置（３１）と、 
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置（９）と、を備え、前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、 
　前記検出装置（９）は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、 
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）をさらに備え、 
　前記光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）をさらに備え、
　前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ　３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置されることを特徴とする半球状偏向器型の光電子分光計。
【請求項１０】 
　前記第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、前記第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）の下流に、前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項９に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１１】 
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及びレンズシステム（１３）の光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である、請求項９又は１０に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１２】 
　前記偏向装置（３１）は、本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備える少なくとも一つの偏向器パッケージ（２９）を備え、前記偏向器パッケージ（２９）の前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）は前記第１座標方向（ｘ）及び前記第２座標方向（ｙ）のそれぞれの座標方向における偏向器の役割を果たす、請求項１１に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１３】 
　前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）のそれぞれに個別の電圧を印加するように構成された制御ユニット（３５）をさらに備える、請求項１２に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１４】（削除） 
【請求項１５】 
　前記偏向装置（３１）のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、レンズ装置（１３）の同じレンズ要素（Ｌ２）内に配置される、請求項９〜１３の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１６】 
　前記偏向装置（３１）は、前記レンズシステム（１３）の一体部品を形成する、請求項９〜１３及び１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。 
【請求項１７】（削除） 
【請求項１８】（削除） 」 
  
第４　請求人の主張の概要 
　請求人は、特許５８１５８２６号の特許請求の範囲の請求項１〜５、７〜１６及び１８に記載された発明についての特許を無効とする、審判請求費用は被請求人の負担とする、との審決を求めている。 
  
　その無効理由の概要と証拠方法は、次のとおりである。 
１　第１の根拠（新規性）：無効理由１  
　請求項１、２、７、８、９、１０及び１８に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない（特許法第１２３条第１項第２号）。  
  
２　第２の根拠（進歩性）：無効理由２  
　請求項３、４、１１、１２、１３、１４、１５及び１６に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（特許法第１２３条第１項第２号）。　請求項５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（特許法第１２３条第１項第２号）。 
  
３　第３の根拠（進歩性）：無効理由３  
　請求項１、２、７、８、９、１０及び１８に係る発明は、甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（特許法第１２３条第１項第２号）。  
　請求項３、４、１１、１２、１３、１４、１５及び１６に係る発明は、甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、  
　請求項５に係る発明は、甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（特許法第１２３条第１項第２号）。  
  
４　本件訂正前の請求項１についての無効理由１、３に関する主張の抜粋
（１）「この本件特許明細書の記載を参酌すると、特許権者が自認する従来技術と本件特許発明との差は「第２の偏向器を設けて、粒子ビームの２回目の偏向を行う」ことのみであると解すべきである。しかも、第２の偏向器の構成は、本件特許明細書の背景技術に記載のもの（図１参照）の通りに考案され設計されているとのことなので、当然ながら、その構成も制御方法も、従来技術のものと同一のはずであって、何ら新規なものではないはずである。そして、特許権者が自認する従来技術には、後述する各甲号証中に記載の先行技術が含まれていることは明白である。」（審判請求書手続補正書（方式）第１７頁第２３行〜第１８頁第４行） 
  
（２）「甲第２号証に記載された本件特許発明の優先日当時の技術常識に基づく甲第１号証の記載内容の解釈 
　甲第１号証には、「Ｓｃｉｅｎｔａ電子スペクトロメータ」及びそれを用いてサンプルから放出される光電子の測定を行う方法が記載されている。 
　甲第１号証には、「Ｓｉｅｎｔａ電子スペクトロメータ」として、ＳＥＳ２００が記載されている。 
　このことに照らせば、甲第１号証における「Ｓｉｅｎｔａ電子スペクトロメータ」とは「ＳＥＳ２００」を意味しているというべきものである。」（審判請求書手続補正書（方式）第３４頁第１１行〜第１８行） 
  
（３）「請求人としては、ＳＥＳ２００の第１の偏向器と第２の偏向器の双方がＹ方向に偏向が可能である以上、甲第２号証には、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う」（請求項１参照）との発明特定事項、及び「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」（請求項９参照）との発明特定事項が開示されていると思料いたします。」（請求人の口頭審理陳述要領書第５頁第９行〜第１６行） 
  
（４）「確かに、本件特許の明細書（段落【００６１】）には、「図９Ａ〜９Ｃも、放出された粒子の角度分布の選択された部分Ａ、Ｂが、たとえ試料１１からの取り出し角θｘ、θｙがどんなものであっても、本明細書に記載された発明の構想を用いて、選択された部分がレンズ装置の光学軸１５に対して実質的に平行な方向において測定領域３の入口８に入射するように偏向されることができる方法を図解する。」との記載があります。 
　しかしながら、請求項１及び請求項９に文言上記載されているのは、［丸１］（当審注：丸付数字は、便宜上［丸　］中に数字を表記した。以下同じ。）「角度部分の所定の部分」に属する「前記粒子」が「前記測定領域の前記入口を通過する」ことのみであり、［丸２］「所定の部分」は「角度分布」のどの部分からも選択可能であることに関しては、本件特許の明細書に記載はあるものの、請求項１及び請求項９の記載には反映されておりません。」（請求人の口頭審理陳述要領書第７頁第２３行〜第８頁第６行） 
  
（５）「甲５−１発明はＳＥＳ２００２に関するものですが、甲第１号証には、ＳＥＳ２００２について言及されております（例えば、第４８４頁左欄第２行〜第９行）。このような甲第１号証中における示唆に鑑みれば、甲第１号証に記載された甲１−１発明に甲５−１発明を組み合わせることについて、動機付けが存するものと思料いたします。」（請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第２１行〜第２５行） 
（６）「ＳＥＳ２００においては、分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下のウインドウ内の光電子が分析器の入射スリットを通過します（例えば、甲第１号証の第４８３頁第１５行〜第２８行）。この「１４°以下のウインドウ内の光電子」が「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度部分の選択された所定の部分」に相当します。」（弁駁書第４頁第１２行〜第１６行）
（７）「ＳＥＳ２００においては、サンプルから様々なθｘで放出される光電子のうち、上記の角度ウインドウの範囲内の光電子のみが入射スリットを通過するように制御が行われております（例えば、甲第１号証の第４８３頁第１５行〜第２８行）。そのため、ＳＥＳ２００は、「前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステムの前記光学軸と実質的に平行な方向に前記測定領域に入射するかを制御するステップ」との特徴を具備していることは明らかです。」（弁駁書第６頁第１２行〜第１７行）
５　本件訂正前の請求項４についての無効理由２、３に関する主張の抜粋
　「甲３−１発明の「レンズアセンブリ」は、本件特許発明４の「レンズシステム」に相当する。甲３−１発明の「第１レンズ部品及び第２レンズ部品」は、本件特許発明４の「少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）」に相当する。甲３−１発明の「第４レンズ部品、第５レンズ部品及び第６レンズ部品」は、本件特許発明４の「少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）」に相当する。
　したがって、甲３−１発明は、構成要素４Ａに相当する構成、すなわち甲１−１発明と本件特許発明４との相違点に係る構成を具備しており、甲１−１発明に甲３−１発明を組み合わせることにより、本件特許発明４の構成に至る。
　甲１−１発明に甲３−１発明を組み合わせることに動機付けが存することは、上記のとおりである。」（審判請求書手続補正書（方式）第４９頁第２１行〜第５０頁第３行） 
   
６　証拠方法 
　請求人は、審判請求書に添付して甲第１ないし６号証を添付した。 
甲第１号証： 
　Andrea Damascelli　他、「Angle-resolved photoemission studies of the cuprate superconductors」２００３年４月、Review of Modern Physics、Vol.75、pp.471-541  
甲第２号証： 
　Scienta Instrument AB、「Technical Description SES200」、１９９６年５月 
甲第３号証： 
　米国特許第４３５８６８０号明細書 
甲第４号証： 
　特開昭６２−１４３３５４号公報 
甲第５号証： 
　Gammadate Scienta AB、「The Gammadata Scienta SES2002 User's Manual」、２００２年３月 
甲第６号証： 
　特願２０１４−５６０８８８についての平成２９年５月２２日付起案の拒絶理由通知書 
  
第５　被請求人の主張の概要 
１　本件訂正前の請求項１についての無効理由１、３に関する主張の抜粋
（１）「偏向器Ａ９が粒子ビームの偏向を自由に行えない（上記のようにミラーとしてしか機能し得ない）のは、アパーチャスリットにより、粒子の運動の自由度が制限されてしまうためである。」（審判事件答弁書第１８頁第８行〜第１０行） 
  
（２）「構成要件１Ｈの「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御する」との記載は、測定領域への入射時の粒子ビームの位置及び方向（以下、それぞれ「終端位置」及び「終端方向」と称する。）の両方が制御されていることを含意するものである。」（審判事件答弁書第２０頁第１行〜第４行） 
　 
（３）「ＳＥＳ２００の偏向器Ａ９は、粒子ビームが入射スリットを通過する際の位置及び方向（すなわち、粒子ビームの終端位置及び終端方向）の両方を適切に制御することはできない。従って、甲第１号証には、少なくとも本件特許発明１の構成要件１Ｈに対応する構成が記載されていない。 
　以上より、本件特許発明１は、甲第１号証に記載された発明ではない。 
・・・途中省略・・・ 
　請求人は、甲第１号証に記載されたＳＥＳ２００の偏向器Ａ９による偏向が本件特許発明１における二回目の偏向に対応すると主張する。しかしながら、ＳＥＳ２００のレンズシステム内の偏向器と偏向器Ａ９との組合わせは、その間にアパーチャが設けられていることにより、本件特許発明１とは異なり、粒子ビームの少なくとも二回の偏向を制御することにより粒子ビームの終端位置及び終端方向の両方を適切に制御することができない。このため、甲第１号証には、少なくとも本件特許発明１の構成要件１Ｈに対応する構成が記載されていない（構成要件１Ｈが「粒子ビームの終端位置及び終端方向の両方が制御される」ことを含意するものと解釈されるべき理由は、上記のとおりである。）。 
　従って、本件特許発明１は、甲第１号証に記載された発明ではない。」（審判事件答弁書第２１頁第２行〜第１９行） 
  
（４）「この例では、請求項１、９の上記特定における「所定の部分」とは参考図１および参考図２の長方形の枠内の部分です。ｙ方向における粒子ビームの偏向を制御することにより、参考図２に示すように複数の部分について連続的に測定を行うことが可能であり、これらを組み合わせることにより角度分布全体の完全なマップを得ることができます。」（被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第５行〜第９行） 
  
（５）「本件明細書のこうした記載を参酌すれば、当業者であれば、請求項１、９の上記特定は、単に粒子の角度分布のどこかの部分が測定領域の入口を通過しさえすれば直ちに満たされるというものではなく、粒子ビームの偏向を制御することにより、粒子の角度分布のうちどの部分が測定領域の入口を通過するかを選択することが可能であると意味するものとして解釈し得るものと思料いたします。 
　ただし、請求項に係る発明は上述の具現例に限定されるものではありません。」（被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第１０行〜第１７行） 
 
２　本件訂正前の請求項４についての無効理由２、３に関する主張の抜粋
（１）「甲第３号証に記載された発明では、粒子のエネルギー及び当該粒子が検出された位置が検出される。また、サンプル上の特定の一点のみについて、一次元測定が行われる。」（審判事件答弁書第２９頁第２行〜第４行） 
（２）「仮に当業者が「甲１発明Ａにおいて、「８枚の偏光板の組」及び「一つの偏向電極」の前後にレンズを設ける」ことに想到し得たとしても、上記ア（ア）ａ（ａ）に記載したように、ＳＥＳ２００のように第２の偏向よりも前にアパーチャが存在する限り、粒子の角度分布の所定の部分を選択して光学軸１５に平行に入射スリットを通過させることは不可能です。」（上申書第２７頁第１７行〜第２１行）
３　証拠方法 
　被請求人は、上申書に添付して乙第１ないし３号証を添付した。 
乙第１号証： 
　Scienta Omicron AB、「DA30-L Angle Resolved Electron Spectrometer」、２０１８年３月 
乙第２号証： 
　Koichiro Yaji　他、「Spin-dependent quantum interference in photoemission process from spin-orbit coupled states」、Nature Communications、8、14588、(2016)、２０１７年２月２４日 
乙第３号証： 
　Koichiro Yaji　他、「High-resolution three-dimentional spin- and angle-resolved photoelectron spectrometer using vacuum ultraviolet laser light」、REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS、87、053111、(2017)、２０１６年５月１２日
 
第６　無効理由についての当審の判断 
１　各甲号証の記載事項 
（１）甲第１号証には、次の事項が記載されている。なお、訳は請求人による甲第１号証抄訳文を主に採用し、また、下線は当審において付したものである。 
  
ア　「In addition,because over the last two years we have witnessed a dramatic improvement of energy and especially momentum resolution with the introduction of 
the Scienta SES200
（訳：加えて、過去２年の間に我々は
Ｓｃｉｅｎｔａ製のＳＥＳ２００
  
イ　「Futhermore,in contrast to a conventional election analyzer in which the momentum infomation is averaged over all the photoelectrons within the acceptance angle(typically ±１°),
the Scienta system
,the photoelectrons within an angular window of 〜14°along the direction defined by the analyer entrance slit are focused on different X positions on the detector
.It is thus possible to measure multiple energy distribution curves simultaneously for different photoelectron angles,obtaining a 2D snapshot of energy versus momentum
（訳：さらに、運動情報量がアクセプタンス角度（典型的には±１°）範囲内の全ての光電子に亘って平均される従来の電子分析器とは対照的に、
Ｓｃｉｅｎｔａシステム
分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束する
このようにして、運動量に対するエネルギーの２Ｄスナップショットを取得し、異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能である
  
ウ　「
The Scienta SES200 analyzer
 (訳：
Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器
  
エ　図６には、サンプル（Sample）とＳｃｉｅｎｔａ製半球状分析器(Scienta hemispherical analyzer）の入射スリット（Entrance slit）との間に静電レンズ（Electrostatic lens）を備えること、検出器（Detector）には、ＥK−θX平面が設けられていることが見て取れる。  
  
オ　前記アないしエ、及び、甲第１号証にはＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器について記載されていることから、甲第２号証の下記（２）アないしエを考慮すると、甲第１号証には、次の発明が記載されている。 
  
 「異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能である方法であって、 
　サンプルと分析器の入射スリットとの間に静電レンズを備え、分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束し、運動量に対するエネルギーのＥK−θX平面上の２Ｄスナップショットを取得し、異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能となり、 
　長い３番目の要素内に、８枚の偏向板の組が八極対称に配置され、アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極を有し、この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正する方法。」（以下「甲１発明Ａ」という。） 
  
 「異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能である半球状分析器を備えたＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器であって、 
　サンプルと分析器の入射スリットとの間に静電レンズを備え、 
　長い３番目の要素内に、８枚の偏向板の組が八極対称に配置され 
　分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束し、運動量に対するエネルギーのＥK−θX平面上の２Ｄスナップショットを取得し、異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能となり、 
　アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極を有し、この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正する半球状分析器を備えたＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器。」（以下「甲１発明Ｂ」という。） 
  
（２）甲第２号証には、次の事項が記載されている。なお、訳は請求人による甲第２号証抄訳文、被請求人による答弁書、上申書の抄訳を主に採用し、また、下線は当審において付したものである。 
  
ア　「
Inside the long third element a set of eight deflector plates are arranged in an octagonal symmetry.
(訳：
長い３番目の要素内に、８枚の偏向板の組が八極対称に配置され
  
イ　「The 200 mm analyser has 
one deflection electrode sitting between the aperture slit and the entrance slit,
The purpose of this deflector is to be able to correct the direction of the electrons passing the analyser aperture
（訳：この２００ｍｍの分析器は、図１−２．１に示すように、
アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極を有している。この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正し、
  
ウ　「The SCIENTA high-voltage system is designed to be used wherever high voltages with low power and high precision is needed.The system is built from modular units」（１．４章第１行〜第２行） 
（訳：Ｓｃｉｅｎｔａの高電圧システムは、低電力かつ高精度の高電圧が必要とされる場合に使用されることを目的として設計されている。このシステムは、モジューラーユニットにより構成されている。） 
  
エ　「The HV modules are controlled from the PC via high voltage control cards(HVC).」（１．４章第８行） 
（訳：このＨＶモジュールは、コントロールカード（ＨＶＣ）を経由してＰＣにより制御される。） 
オ　「In an ideal situation, these deflections are constant for each pass energy and should never be changed. However,if the lens deflection(see chapter 3.6)is changed significantly,this might influence the analyser deflections a little and a readjustment might be useful.」（３．４．４章第８行〜第１０行） 
（訳：理想的な状況では、これらの偏向は各パスエネルギーに対して一定であり、決して変更すべきではない。しかしながら、レンズ偏向（３．６章参照）が大きく変更された場合には、これらの分析器の偏向に少し影響することがあり、再調整が有益である場合がある。）
カ　「The first deflection electrode is used to compensate for misalignments and parasitic magnetic or electrostatic fields in the electron lens,which may give as result in that the average electron path through the centre of the aperture will not pass through the centre of the slit.The effect of this will be a reduced intensity.By placing an electrode at a normally very low potential between the aperture and the slit it is possible to redirect the electrons to pass through optimally.」（３．４．４．１章第１行〜第６行） 
（訳：第１偏向電極は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用される。このようなミスアライメント及び寄生磁場又は寄生静電場が存在すると、結果として、アパーチャの中心を通る平均的な電子の経路がスリットの中心を通過しないようになる場合ある。これにより生じる影響は、強度の減少である。通常非常に低電位で、アパーチャとスリットとの間に電極を配置することにより、電子の再方向付けを行うことにより最適な形で通過させることが可能になる。）
 
（３）甲第３号証には、次の事項が記載されている。なお、訳は対応する日本国特許出願公報である特開昭５６−１０７４６３号公報の記載を主に採用し、また、下線は当審において付したものである。 
  
ア　「The further deflector plates can comprise, as shown in FIG. 2, 
two opposite plates P３,P３ ' in the same stage as plates P１,P１ ', and two opposite plates P４,P４ ' in the same stage as plates P２,P２ '.
（訳：さらに設けられる偏向プレートは第２図に示すように
プレートＰ１、Ｐ１’と同じ段において２つのプレートＰ３、Ｐ３’、ならびにプレートＰ２、Ｐ２’と同じ段において２つの相対向するプレートＰ４、Ｐ４’を有す
  
イ　「FIG. 4 illustrates diagrammatically the full 
spectrometer
  
（訳：第４図に略示する
スペクトロメータ
  
ウ　図１には、レンズ部品１ｃ、１ｄが、プレートＰ１、Ｐ１’、プレートＰ２、Ｐ２’の上流側に、レンズ部品２ａ、２ｂ、２ｃが、プレートＰ１、Ｐ１’、プレートＰ２、Ｐ２’の下流側に配置されていることが見て取れる。 
  
エ　前記アないしウから、甲第３号証には、次の発明が記載されている。　  
「偏向プレートはプレートＰ１、Ｐ１’と同じ段において２つのプレートＰ３、Ｐ３’、ならびにプレートＰ２、Ｐ２’と同じ段において２つの相対向するプレートＰ４、Ｐ４’を有し、レンズ部品１ｃ、１ｄが、プレートＰ１、Ｐ１’、プレートＰ２、Ｐ２’の上流側に、レンズ部品２ａ、２ｂ、２ｃが、プレートＰ１、Ｐ１’、プレートＰ２、Ｐ２’の下流側に配置されているスペクトロメータ。」（以下「甲３発明」という。） 
  
（４）甲第４号証には、次の事項が記載されている。なお、下線は当審において付したものである。 
  
ア　「第１図は一実施例ブロック構成図で，８重極静電偏向器を駆動する偏向回路の場合である。第１図において，１は直交する２軸の位置信号ｖｘ，ｖｙを発生する位置信号発生回路，２はこの位置信号ｖｘ，ｖｙより両極性を有する
２軸の偏向信号Ｖｘ，−Ｖｘ，Ｖｙ，−Ｖｙを作って出力する偏向信号発生回路，
非点収差補正用電圧信号φｘ，φｙを発生する非点収差補正用電圧源，
８個の電極で構成される８重極静電偏向器
  
 イ　「（ｂ）非点補正がある場合 
 Ｖ１′＝Ｖｘ＋φｘ 
 Ｖ２′＝（Ｖｘ＋Ｖｙ）／√２−φｙ 
 Ｖ３′＝Ｖｙ−φｘ 
 Ｖ４′＝（−Ｖｘ＋Ｖｙ）／√２＋φｙ 
 Ｖ５′＝−Ｖｘ＋φｘ　　　　　　　　　　　 
 Ｖ６′＝（−Ｖｘ−Ｖｙ）／√２−φｙ 
 Ｖ７′＝−Ｖｙ−φｘ 
 Ｖ８′＝（Ｖｘ−Ｖｙ）／√２＋φｙ」（第２頁右下欄第１２行〜第２０行の抜粋） 
  
ウ　前記ア及びイから、甲第４号証には、次の発明が記載されている。 
　 
 「２軸の偏向信号Ｖｘ，−Ｖｘ，Ｖｙ，−Ｖｙを作って出力する偏向信号発生回路，非点収差補正用電圧信号φｘ，φｙを発生する非点収差補正用電圧源，８個の電極で構成される８重極静電偏向器」（以下「甲４発明」という。） 
  
（５）甲第５号証には、次の事項が記載されている。なお、訳は請求人による甲第５号証抄訳文を主に採用し、また、下線は当審において付したものである。 
  
ア　「The hemispherical electron analyser is the part of instrument that performs the actual energy dispersion.The electron trajectories are bent in the radial electrostatic field between two concentric hemispheres with a voltage difference between them.」（１．２章第１行〜第３行） 
（訳：半球状電子分析器は、エネルギー分散を行う装置の一部である。電子の軌道は、二つの同心円状の半球の間に印加された電圧による電場により曲げられる。） 
  
イ　「
The detector system
This makes it possible to determine their energy and one additional parameter,either the position or angular direction
（訳：
検出器システムは、
これは、電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする
  
ウ　「The GAMMADATA SCIENTA high-voltage system is designed to be used wherever high voltages with low power and high precision is needed.The system is built from modular units」（１．４章第１行〜第２行） 
（訳：ＧＡＭＭＡＤＡＴＡ　ＳＣＩＥＮＴＡの高電圧システムは、低電力かつ高精度の高電圧が必要とされる場合に使用されることを目的として設計されている。このシステムは、モジュラーユニットにより構成されている。） 
  
エ　「The HV modules are controlled from the PC via high voltage control cards(DO).」（１．４章第９行） 
（訳：このＨＶモジュールモジュールは、コントロールカード（ＤＯ）を経由してＰＣにより制御される。） 
  
オ　「
By allowing the lens element voltages to vary in a different way with kinetic energy,it is possible to image the emission angle distribution at the lens exit instead of a real image.
 （訳：
レンズ要素の電圧を運動エネルギーとともに異なった方法で変化させることで、実際の像に代えて、レンズ出口における放出角の分布を表示することが可能となる
  
カ　図１．１−１には、レンズ(Lens)内に８枚の偏向板(Deflector plates)を備えることが見て取れ、図１．２−１には、スリット（Slit）とアパーチャー（Aperture）との間に偏向器(Deflectors)を備えること、半球状の分析器が見て取れる。 
  
キ　前記アないしカから、甲第５号証には、次の発明が記載されている。
  
「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする方法であって、 
　レンズ要素の電圧を運動エネルギーとともに異なった方法で変化させることで、実際の像に代えて、レンズ出口における放出角の分布を表示することが可能となり、 
　レンズ内に８枚の偏向板を備え、スリットとアパーチャーとの間に偏向器を備え、偏向を行う方法。」（以下「甲５発明Ａ」という。） 
  
「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする半球状の検出器システムであって、 
　レンズ要素の電圧を運動エネルギーとともに異なった方法で変化させることで、実際の像に代えて、レンズ出口における放出角の分布を表示することが可能となり、 
　レンズ内に８枚の偏向板を備え、スリットとアパーチャーとの間に偏向器を備えた、半球状の検出器システム。」（以下「甲５発明Ｂ」という。）
  
２　判断 
（１）本件特許発明１についての判断 
ア　無効理由１について 
（ア）本件特許発明１と甲１発明Ａとを対比すると、甲１発明Ａの「『サンプルと分析器の入射スリットとの間に静電レンズを備え、』『光電子が』『分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った』」は、本件特許発明１の「前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）によって前記粒子放出試料（１１）と測定領域（３）の入スリット（８）との間で粒子を輸送する」に、相当する。 
  
（イ）甲１発明Ａの「エネルギー」、「ＥK」、「θX」は、本件特許発明１の「荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター」に、甲１発明Ａの「ＥK」は、本件特許発明１の「荷電粒子のエネルギー」に、甲１発明Ａの「θX」は、本件特許発明１の「荷電粒子の開始方向」に、それぞれ相当する。 
　そうすると、甲１発明Ａの「異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能である方法」は、本件特許発明１の「粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法」に、甲１発明Ａの「光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束し、運動量に対するエネルギーのＥK−θX平面上の２Ｄスナップショットを取得し、異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定する」は、本件特許発明１の「前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり」に、それぞれ相当する。 
  
（ウ）甲１発明Ａの「『長い３番目の要素内に、８枚の偏向板の組が八極対称に配置され、』『偏向』させる」ことは、本件特許発明１の『前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向』『において前記粒子ビームを偏向させる』」に、相当する。 
  
（エ）本件特許発明１の「第１座標方向（ｘ、ｙ）」は、座標方向に特段の限定があるわけではない（例えば、ｘ方向のみでもｙ方向のみでもよい、参考までに、被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第５行〜第７行参照。）ことから、甲１発明Ａの「アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極を有し、この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正する」は、本件特許発明１の「『粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向』『において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う』」に、相当する。 
  
（オ）甲１発明Ａの「『分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束』するように、『電子の方向を修正する』」と、本件特許発明１の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御する」は、「『前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の』『『所定の部分（Ａ、Ｂ）が』『前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御する』」の点で一致する。 
（カ）上記（ア）ないし（オ）から、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点及び相違点は、次のとおりである。 
 
（一致点） 
「粒子放出試料から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、 
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸を有するレンズシステムによって前記粒子放出試料と測定領域の入射スリットとの間で粒子を輸送するステップと、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向において前記粒子ビームを偏向させるステップと、 
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、 
　前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップと、 
　前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布の所定の部分が前記測定領域の前記入射スリットを通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップと、 
をさらに備える方法。」
（相違点１Ａ）
　粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分が測定領域の入射スリットを通過するように、粒子ビームの偏向を制御するステップについて、本件特許発明１は、「所定の部分」が「選択された」部分であり、「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御する」のに対して、甲１発明Ａは、本件特許発明１のようなステップかどうか明らかでない点で相違する。
（相違点２Ａ） 
　本件特許発明１は、「粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用するステップ」であるのに対して、甲１発明Ａは、そのような特定がない点で相違する。
 
（キ）上記（カ）で検討したように、本件特許発明１と甲１発明Ａには相違点があるので、本件特許発明１は、甲１発明Ａではない。
イ　無効理由２について 
　本件特許発明１は、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとして、無効事由２を検討する。
　
（ア）一致点、相違点は、上記ア（カ）のとおりである。
（イ）相違点１Ａについて
ａ　甲１発明Ａの「『長い３番目の要素内に、８枚の偏向板の組が八極対称に配置され、』『偏向』させること」を、以下「一回目の偏向」といい、甲１発明Ａの「アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極を有し、この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正」を、以下「二回目の偏向」という。また、以下、「一回目の偏向」を行う偏向器及び「二回目の偏向」を行う偏向器を、それぞれ、「第一偏向器」及び「第二偏向器」という。
ｂ　甲第１号証にはＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器について記載されていることから、Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器が具体的に記載されている甲第２号証を考慮して、甲１発明Ａを認定した。そこで、まず、Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器の二回目の偏向が、なんのために行われているのか検討する。
　甲第２号証の「これらの偏向は各パスエネルギーに対して一定であり、決して変更すべきではない」、「『第１偏向電極は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用される。』『通常非常に低電位で、アパーチャとスリットとの間に電極を配置することにより、電子の再方向付けを行うことにより最適な形で通過させることが可能になる』」（上記１（２）オ、カ参照。）との記載から、Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器の二回目の偏向は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用されていると認められる。
ｃ　次に、甲１発明Ａにおいて、一回目の偏向及び二回目の偏向によって、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の選択された所定の部分がレンズシステムの光学軸と実質的に平行な方向に測定領域の入射スリットを通過できるか検討する。
（ａ）二回目の偏向は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用され（上記ｂ参照。）、甲第１号証及び甲第２号証には、その他の機能についての記載がないことから、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能があるとはいえない。
　そして、甲第２号証には、Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器の一回目の偏向が、何のためになされているかについては記載されていないから、一回目の偏向が、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能があるとはいえないことは明らかである。
　したがって、甲１発明Ａは、一回目の偏向及び二回目の偏向によって、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の選択された所定の部分がレンズシステムの前記光学軸と実質的に平行な方向に前記測定領域の入射スリットを通過できるものとはいえない。
（ｂ）さらに、甲１発明Ａの一回目の偏向が、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能があるとはいえないことは、次の点からも裏付けられる。
　甲１発明Ａの一回目の偏向が、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能があるといえるためには、少なくとも、甲１発明Ａの第一偏向器を測定が実行されている最中に調整することが必要である。しかし、そのようなことはあり得ない。
　すなわち、上記ｂのとおり、Ｓｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器の二回目の偏向は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用されているのであるから、上記補償をするために第二偏向器を調整するタイミングは、測定が実行される前であって、測定が実行されている最中ではないと解される。そして、二回目の偏向による上記補償は、電子の最大数が分析器の入射スリットを通過するとの観点からなされている（甲第２号証の「アパーチャースリットと入射スリットとの間に、一つの偏向電極（審決注：第二偏向器を構成するものである。）を有している。この偏向器の目的は、分析器のアパーチャーを通過する電子の方向を修正し、それらの電子の最大数が分析器の入射スリットを通過するようにすることである。」（上記１（２）イ）との記載を参照。）。そうすると、甲１発明Ａの第一偏向器を測定が実行されている最中に調整することは、二回目の偏向による上記補償の効果を損なうことになるから、あり得ないというべきである。
　このように、甲１発明Ａの一回目の偏向は、測定が実行されている最中は（第一偏向器が調整されることなく）一定となるものと認められる。
　したがって、一回目の偏向においても、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能はない。
（ｃ）以上のとおりであるから、甲１発明Ａは、一回目の偏向及び二回目の偏向によって、「前記粒子の角度分布」「の」「所定の部分」を「選択」するものではない。
（ｄ）仮に、甲１発明Ａの第一偏向器が測定が実行されている最中に調整されたとしても、二回目の偏向による上記補償を損なうことはないとするならば、甲１発明Ａは、一回目の偏向及び二回目の偏向によって、「前記粒子の角度分布」「の」「所定の部分」を「選択」するものといえる余地があることになる。しかし、そうだとしても、以下のとおり、甲１発明Ａは、相違点１Ａの「前記粒子ビーム」を「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように」を満たすことはない。
　すなわち、上記ｂのとおり、二回目の偏向は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用されることから、粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分を選択する機能はない。
　そのような中で、甲１発明Ａの第一偏向器を、測定を実行している最中に調整すると（その結果、一回目の偏向によって所定の部分を選択したことになる。）、光電子は選択された各種角度の方向となるが、測定が実行されている最中の二回目の偏向は引き続き一定である（上記（ｂ）参照。）から、第二偏向器は、前記各種角度のそれぞれの角度に応じて調整されることはない。そうすると、選択された光電子が測定領域の入射スリットを通過する方向は、必ずしも「『光学軸』『と実質的に平行な方向』」にはならない。
　したがって、甲１発明Ａにおいて、第一偏向器が測定が実行されている最中に調整されることがあるとすると、その調整の仕方、すなわち、所定の部分の選択の仕方によって、入射スリットを通過する光電子の方向が様々に変わることになるのであり、よって、入射スリットを通過する光電子の方向は実質的に平行な方向ではない。
ｄ　以上のとおりであるから、相違点１Ａは、甲第１号証及び甲第２号証に開示されていない。そして、甲１発明Ａにおいて相違点１Ａの構成を採用することが容易想到であることを示す他の証拠（特に、甲１発明Ａの第二偏向器が、測定を実行している最中でも調整することが容易想到であることを根拠付ける証拠。）も存在しない。
　したがって、相違点１Ａは、当業者が容易になし得たことではない。
（ウ）相違点２Ａについて
　甲３発明には、相違点２Ａに関する技術事項（上記１（３）エ参照）が記載されていることから、甲３発明を考慮し、甲１発明Ａにおいて、「『サンプルと分析器の入射スリットとの間』の『静電レンズ』」の一つの静電レンズが「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」の後に追加されることを検討する。
　上記（イ）ｂのとおり、甲１発明Ａの第二偏向は、ミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償するために使用するものである。
　また、相違点１Ａにも記載したように、本件発明１では「所定の部分」は「前記偏向」により「選択」されたものであり、「前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム」「の前記光学軸」「と実質的に平行な方向に前記測定領域に入射するかを制御する」ものである。
　そして、甲１発明Ａにおいて、上記(イ)ｃのとおり、選択された光電子が測定領域の入射スリットを通過する方向は、必ずしも「『光学軸』『と実質的に平行な方向』」にはならない。
　そうすると、甲１発明Ａにおいて、選択された光電子が測定領域の入射スリットを通過する方向が、光学軸と実質的に平行な方向にならない場合に、甲１発明Ａの二回目の偏向の後に静電レンズを追加することを想定すると、光学軸と実質的に平行な方向でない光電子を静電レンズで集束することになり、前記補償に影響をおよぼすことになる。
　したがって、甲１発明Ａが考慮したＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器において、「『粒子ビームを形成する粒子の角度分布』『の選択された所定の部分』」とし、アパーチャースリットと入射スリットとの間の一つの偏向電極を有した偏向器に後に静電レンズを追加した場合には、追加された静電レンズによりミスアライメント及び電子レンズにおける寄生磁場又は静電場を補償できなくなるという、二回目の偏向の一つの偏向電極を有した偏向器の機能を損なうという阻害要因が発生する。
　よって、相違点２Ａは、当業者が容易になし得たことではない。
（エ）したがって、 本件特許発明１は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。　
ウ　請求人の主張について 
（１）「請求項１及び請求項９に文言上記載されているのは、［丸１］（当審注：丸付数字は、便宜上［丸　］中に数字を表記した。以下同じ。）「角度部分の所定の部分」に属する「前記粒子」が「前記測定領域の前記入口を通過する」ことのみであり、［丸２］「所定の部分」は「角度分布」のどの部分からも選択可能であることに関しては、本件特許の明細書に記載はあるものの、請求項１及び請求項９の記載には反映されておりません。」（請求人の口頭審理陳述要領書第７頁第２３行〜第８頁第６行） 
　しかしながら、本件訂正により、本件特許発明１及び本件特許発明９において、「所定の部分」は「選択された所定の部分」、「『測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように』『制御する』」は「『粒子ビームのどの部分が』『測定領域（３）に入射するかを制御する』」と訂正されたので、上記主張を採用することはできない。 
（２）「ＳＥＳ２００においては、分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下のウインドウ内の光電子が分析器の入射スリットを通過します（例えば、甲第１号証の第４８３頁第１５行〜第２８行）。この「１４°以下のウインドウ内の光電子」が「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度部分の選択された所定の部分」に相当します。」（弁駁書第４頁第１２行〜第１６行）
　「ＳＥＳ２００においては、サンプルから様々なθｘで放出される光電子のうち、上記の角度ウインドウの範囲内の光電子のみが入射スリットを通過するように制御が行われております（例えば、甲第１号証の第４８３頁第１５行〜第２８行）。そのため、ＳＥＳ２００は、「前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステムの前記光学軸と実質的に平行な方向に前記測定領域に入射するかを制御するステップ」との特徴を具備していることは明らかです。」（弁駁書第６頁第１２行〜第１７行）
　しかしながら、上記１（１）イにも記載したように、甲第１号証の第４８３頁第１５行〜第２８行には、「選択された所定の部分」、「前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステムの前記光学軸と実質的に平行な方向に前記測定領域に入射するかを制御する」ことについては、記載されていない。
　そして、仮に、甲第２号証に記載のＳＥＳ２００が、サンプルの機械的な回転で「所定の部分」を選択しているとしても、本件特許発明１の「所定の部分」は、「前記粒子ビームの前記偏向を制御」して「選択された所定の部分」であるから、ＳＥＳ２００によって選択される「１４°以下のウインドウ内の光電子」が本件特許発明１の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度部分」「の選択された所定の部分」に相当するとはいえない。
　よって、上記主張を採用することはできない。
エ　無効理由３について 
（ア）本件特許発明１と甲５発明Ａとを対比すると、甲５発明Ａの「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする方法」は、本件特許発明１の「粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法」に、甲５発明Ａの「『レンズ要素の電圧を運動エネルギーとともに異なった方法で変化させることで、実際の像に代えて、レンズにおける』『電子』を『放出』する」は、本件特許発明１の「前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）によって前記粒子放出試料（１１）と測定領域（３）の入射スリット（８）との間で粒子を輸送する」に、それぞれ相当する。 
  
（イ）甲５発明Ａの「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向」は、本件特許発明１の「荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター」に、甲５発明Ａの「電子のエネルギー」は、本件特許発明１の「荷電粒子のエネルギー」に、甲５発明Ａの「『電子の』『角度方向』」は、本件特許発明１の「荷電粒子の開始方向」に、それぞれ相当する。
　そうすると、甲５発明Ａの「『電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする半球状の検出器』で検出する」は、本件特許発明１の「前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり」に相当する。 
  
（ウ）甲５発明Ａの「『８枚の偏向板』で『偏向』させる」ことは、本件特許発明１の「『前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向』『において前記粒子ビームを偏向させる』」に相当する。 
  
（エ）本件特許発明１の「第１座標方向（ｘ、ｙ）」は、座標方向に特段の限定があるわけではない（例えば、ｘ方向のみでもｙ方向のみでもよい、参考までに、被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第５行〜第７行参照。）ことから、甲５発明Ａの「『スリットとアパーチャーとの間に偏向器』で『偏向』させる」は、本件特許発明１の「『粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向』『において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う』」に、相当する。 
  
（オ）上記（ア）ないし（エ）から、本件特許発明１と甲５発明Ａとの一致点及び相違点は、次のとおりである。 
  
（一致点） 
 「粒子放出試料から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、 
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸を有するレンズシステムによって前記粒子放出試料と測定領域の入射スリットとの間で粒子を輸送するステップと、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向において前記粒子ビームを偏向させるステップと、 
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、 
　前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップと、 
をさらに備える方法。」 
  
（相違点１Ａ’） 
　本件特許発明１は「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップであって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するステップ」を備えているのに対して、甲５発明Ａはそのような特定がない点で相違する。 
  
（相違点２Ａ’） 
　本件特許発明１は、「粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用するステップ」であるのに対して、甲５発明Ａは、そのような特定がない点で相違する。
（カ）相違点１Ａ’について
ａ　上記ア（オ）に記載したように、甲１発明Ａの「『分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束』するように、『電子の方向を修正する』」と、本件特許発明１の「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御する」は、「『前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の』『所定の部分（Ａ、Ｂ）が』『前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御する』」点と一致する。　そして、甲第５号証は、ＳＥＳ２００２に関するものであり、甲第１号証には、ＳＥＳ２００２について言及されており（例えば、第４８４頁左欄第２行〜第９行）、また、ＳＥＳ２００２はＳＥＳ２００の改良技術であることを考慮すると、甲５発明Ａに甲１発明Ａを適用することは、当業者が容易になし得る事項にすぎない。
ｂ　しかしながら、甲５発明Ａに甲１発明Ａを適用しても、以下のとおり、相違点１Ａ’の構成に至らない。
　すなわち、相違点１Ａ’は相違点１Ａを含むといえるところ、上記イ（イ）のとおり、相違点１Ａは、甲１発明Ａ、甲第１号証及び甲第２号証に開示されていない。
　したがって、相違点１Ａ’は、当業者が容易になし得たことではない。
（キ）相違点２Ａ’について
　甲３発明には、相違点２Ａ’に関する技術事項（上記１（３）エ参照）が記載されていることから、甲３発明を考慮し、甲５発明Ａにおいて、「レンズ要素」の一つのレンズ要素が「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」の後に追加されることを検討する（本件特許発明１は、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとして、無効事由３を検討する。）。
　相違点２Ａ’は相違点２Ａと同様であるから、上記イ（ウ）に記載したことと同様に、相違点２Ａ’は、当業者が容易になし得たことではない。
（ク）したがって、本件特許発明１は、当業者が甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。 
  
（２）本件特許発明２についての判断 
ア　無効理由１について 
　本件特許発明２と甲１発明Ａとを対比すると、甲１発明Ａの「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』」は、本件特許発明２の「第１の偏向器」に、甲１発明Ａの「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」は、本件特許発明２の「『第１の偏向器の下流に前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される』『第２の偏向器』」に、それぞれ相当する。 
　また、本件特許発明２は、本件特許発明１を引用しており、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）アのとおりである。 
　よって、本件特許発明２と甲１発明Ａには相違点があるので、本件特許発明１は、甲１発明Ａではない。
イ  無効理由２について 
　本件特許発明１が、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとし、本件特許発明１を引用している本件特許発明２について、無効事由２を検討する。
　本件特許発明１と甲１発明Ａとの相違点１Ａ、相違点２Ａは、上記（１）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明２は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
ウ　無効理由３について 
　本件特許発明２と甲５発明Ａとを対比すると、甲５発明Ａの「８枚の偏向板」は、本件特許発明２の「第１の偏向器」に、甲５発明Ａの「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」は、本件特許発明２の「『第１の偏向器の下流に前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される』『第２の偏向器』」に、それぞれ相当する。 
　また、本件特許発明２は、本件特許発明１を引用しており、本件特許発明１と甲５発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）エのとおりである。
　そして、本件特許発明１が、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとし、本件特許発明１を引用している本件特許発明２についても、無効事由３を検討する。
　本件特許発明１と甲５発明Ａとの相違点１Ａ’、相違点２Ａ’は、上記（１）エで検討したように、甲５発明Ａと甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明２は、当業者が甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
  
（３）本件特許発明３についての判断 
 ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ａにおいて、「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」も、第１座標方向（ｘ）のみでなく第２座標方向（ｙ）にも偏向させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。  
　しかしながら、本件特許発明３は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）アのとおりであり、本件特許発明１と甲１発明Ａとの相違点１Ａ、相違点２Ａは、上記（１）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明３は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ａにおいて、「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」も、第１座標方向（ｘ）のみでなく第２座標方向（ｙ）にも偏向させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。  
　しかしながら、本件特許発明３は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲５発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）エのとおりであり、本件特許発明１と甲５発明Ａとの相違点１Ａ’、相違点２Ａ’は、上記（１）エで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明３は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
（４）本件特許発明５についての判断 
ア　無効理由２について 
　無効理由２の請求項５に関しては、「請求項５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」というものであるので、甲第３号証に記載された発明も考慮することは、新たな無効理由になるとも考えられるが、一応合わせて検討する。
　甲４発明を考慮すると、甲１発明Ａにおいて、電極に電圧を重畳させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明５は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）アのとおりであり、本件特許発明１と甲１発明Ａとの相違点１Ａ、相違点２Ａは、上記（１）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明５は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第１号証に記載された発明、甲第３号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
　 
イ　無効理由３について 
　無効理由３の請求項５に関しては、「請求項５に係る発明は、甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」というものであるので、甲第３号証に記載された発明も考慮することは、新たな無効理由になるとも考えられるが、一応合わせて検討する。
　甲４発明を考慮すると、甲５発明Ａにおいて、電極に電圧を重畳させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明５は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）エのとおりであり、本件特許発明１と甲１発明Ａとの相違点１Ａ’、相違点２Ａ’は、上記（１）エで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明５は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明、甲第３号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
　 
（５）本件特許発明８についての判断 
ア　無効理由１について 
　本件特許発明８と甲１発明Ａとを対比すると、甲１発明Ａの「ＥK」は、本件発明８の「荷電粒子のエネルギー」に、甲１発明Ａの「θX」は、本件発明２の「荷電粒子の開始方向」に、それぞれ相当する。
　また、本件特許発明８は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲１発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）アのとおりである。 
　よって、本件特許発明８と甲１発明Ａには相違点があるので、本件特許発明１は、甲１発明Ａではない。
イ　無効理由２について 
　本件特許発明１が、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとし、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用する本件特許発明８について、無効事由２を検討する。
　本件特許発明１と甲１発明Ａとの相違点１Ａ、相違点２Ａは、上記（１）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明８は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
ウ　無効理由３について 
　甲５発明Ａには「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする」との特定がなされている。 
　また、本件特許発明８は、本件特許発明１を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明１と甲５発明Ａとの一致点、相違点は、上記（１）エのとおりである。
　そして、本件特許発明１が、本件訂正前の請求項４を一部訂正したものとし、本件特許発明１を引用する本件特許発明８についても、無効事由３を検討する。
　本件特許発明１と甲５発明Ａとの相違点１Ａ’、相違点２Ａ’は、上記（１）エで検討したように、甲１発明Ａと甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明８は、当業者が甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
　  
（６）本件特許発明９についての判断 
ア　無効理由１について 
（ア）本件特許発明９と甲１発明Ｂとを対比すると、甲１発明Ｂの「分析器」は、本件特許発明９の「測定領域（３）」に、甲１発明Ｂの「分析器の入射スリット」は、本件特許発明９の「測定領域（３）であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入射スリット（８）」に、甲１発明Ｂの「サンプルと分析器の入射スリットとの間に静電レンズ」は、本件特許発明９の「前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入射スリットとの間で前記粒子を輸送するためのレンズシステム（１３）であって、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）」に、甲１発明Ｂの「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』」は、本件特許発明９の「『前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向』『において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）」に、甲１発明Ｂの「『光電子』を『異なるＸ位置に集束』させる『検出器』」は、本件特許発明９の「前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置（９）」に、それぞれ相当する。 
  
（イ）甲１発明Ｂの「エネルギー」、「ＥK」、「θX」は、本件特許発明９の「荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター」に、甲１発明Ｂの「ＥK」は、本件特許発明９の「荷電粒子のエネルギー」に、甲１発明Ｂの「θX」は、本件特許発明９の「荷電粒子の開始方向」に、それぞれ相当する。 
　そうすると、甲１発明Ｂの「異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定することが可能である半球状分析器を備えたＳｃｉｅｎｔａ製ＳＥＳ２００分析器」は、本件特許発明９の「粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料（１１）を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計」に、甲１発明Ｂの「光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束し、運動量に対するエネルギーのＥK−θX平面上の２Ｄスナップショットを取得し、異なる光電子角度に対して同時に複数のエネルギー分布曲線を測定する」は、本件特許発明９の「前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、前記検出装置（９）は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり」に、それぞれ相当する。 
  
（ウ）本件特許発明９の「第１座標方向（ｘ、ｙ）」は、座標方向に特段の限定があるわけではない（例えば、ｘ方向のみでもｙ方向のみでもよい、参考までに、被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第５行〜第７行参照。）ことから、甲１発明Ｂの「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」は、本件特許発明９の「『粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向』『において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器』」に、甲１発明Ｂの「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』と『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」は、本件発明９の「偏向装置（３１）」に、それぞれ相当する。 
  
（エ）甲１発明Ｂの「『分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束』するように、『電子の方向を修正する』部分」と、本件特許発明９の「光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）」とは、「『光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の』『所定の部分（Ａ、Ｂ）が』『前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）』」の点で一致する。  
  
（オ）上記（ア）ないし（エ）から、本件特許発明９と甲１発明Ｂは、以下の構成で一致する。 
 
（一致点） 
「粒子放出試料から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計であって、 
　測定領域であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入射スリットを有する測定領域と、 
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入口との間で前記粒子を輸送するためのレンズシステムであって、実質的に一直線の光学軸を有するレンズシステムと、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器を備える偏向装置と、 
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置と、を備え、前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、
　前記検出装置は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記偏向装置は、前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器をさらに備え、 
　前記光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布の所定の部分が前記測定領域の前記入射スリットを通過するように、前記偏向装置が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニットをさらに備える半球状偏向器型の光電子分光計。」 
（相違点１Ｂ）  
　粒子ビームを形成する粒子の角度分布の所定の部分が測定領域の入射スリットを通過するように、偏向装置が粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニットについて、本件特許発明９は、「所定の部分」が「選択された」部分であり、「前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過」し、「前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能」であるのに対して、甲１発明Ｂは、本件特許発明９のようなステップかどうか明らかでない点で相違する。
（相違点２Ｂ） 
　本件特許発明９は、「レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ　３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される」のに対して、甲１発明Ｂは、そのような特定がない点で相違する。
（カ）上記（オ）で検討したように、本件特許発明９と甲１発明Ｂには相違点があるので、本件特許発明９は、甲１発明Ｂではない。
イ　無効理由２について 
　本件特許発明９は、本件訂正前の請求項１４を一部訂正したものとして、無効事由２を検討する。
（ア）一致点、相違点は、上記（オ）のとおりである。
（イ）相違点１Ｂについて
　相違点１Ｂは、相違点１Ａと基本的には同じである。
　そして、上記（１）イ（イ）に記載したことと同様に、相違点１Ｂは、甲第１号証及び甲第２号証に開示されていない。そして、甲１発明Ｂにおいて相違点１Ｂの構成を採用することが容易想到であることを示す他の証拠（特に、甲１発明Ｂの第二偏向器が、測定を実行している最中でも調整することが容易想到であることを根拠付ける証拠。）も存在しない。
　したがって、相違点１Ｂは、当業者が容易になし得たことではない。
（ウ）相違点２Ｂについて
　相違点２Ｂは、相違点２Ａと基本的には同じである。
　甲３発明には、相違点２Ｂに関する技術事項（上記１（３）エ参照）が記載されていることから、甲３発明を考慮し、甲１発明Ｂにおいて、「サンプルと分析器の入射スリットとの間に静電レンズ」の一つの静電レンズが「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『、一つの偏向電極』」の後に追加されることを検討する。
　相違点２Ｂは、相違点２Ａと基本的には同じであるから、上記（１）イ（ウ）に記載したことと同様に、相違点２Ｂは、当業者が容易になし得たことではない。　
（エ）したがって、 本件特許発明９は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
ウ　無効理由３について 
（ア）本件特許発明９と甲５発明Ｂとを対比すると、甲５発明Ｂの「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする半球状の検出器システム」は、本件特許発明９の「粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料（１１）を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計」に、甲５発明Ｂの「半球状の検出器」は、本件特許発明９の「測定領域」に、甲５発明Ｂの「スリット」は、本件特許発明９の「測定領域（３）であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入射スリット（８）」に、甲５発明Ｂの「レンズ要素」は、本件特許発明９の「前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入射スリットとの間で前記粒子を輸送するためのレンズシステム（１３）であって、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）」に、甲５発明Ｂの「８枚の偏向板」は、本件特許発明９の「『前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向』『において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）」に、甲５発明Ｂの「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする半球状の検出器」は、本件特許発明９の「前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置（９）」に、それぞれ相当する。 
  
（イ）甲５発明Ｂの「電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向」は、本件特許発明９の「荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター」に、甲５発明Ｂの「電子のエネルギー」は、本件特許発明９の「荷電粒子のエネルギー」に、甲５発明Ｂの「『電子の』『角度方向』」は、本件特許発明９の「荷電粒子の開始方向」に、それぞれ相当する。
　そうすると、甲５発明Ｂの「『検出器』は、『電子のエネルギー及び追加的な１つのパラメータ、位置又は角度方向の決定を可能とする』」は、本件特許発明９の「前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、前記検出装置（９）は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり」に相当する。 
  
（ウ）本件特許発明９の「第１座標方向（ｘ、ｙ）」は、座標方向に特段の限定があるわけではない（例えば、ｘ方向のみでもｙ方向のみでもよい、参考までに、被請求人の口頭審理陳述要領書第８頁第５行〜第７行参照。）ことから、甲５発明Ｂの「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」は、本件発明９の「『粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向』『において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器』」に、甲１発明Ｂの「『８枚の偏向板』と『スリットとアパーチャーとの間に偏向器』」は、本件特許発明９の「偏向装置（３１）」に、それぞれ相当する。 
  
（エ）上記（ア）ないし（ウ）から、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点及び相違点は、次のとおりである。 
  
（一致点） 
「粒子放出試料から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計であって、 
　測定領域であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入射スリットを有する測定領域と、 
 前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入射スリットとの間で前記粒子を輸送するためのレンズシステムであって、実質的に一直線の光学軸を有するレンズシステムと、 
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器を備える偏向装置と、 
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置と、を備え、前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、
　前記検出装置は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記偏向装置は、前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器をさらに備える半球状偏向器型の光電子分光計。」 
  
（相違点１Ｂ’）
　本件特許発明９は「光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）」を備えているのに対して、甲５発明Ｂはそのような特定がない点で相違する。 
（相違点２Ｂ’） 
　本件特許発明９は、「レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ　３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される」のに対して、甲５発明Ｂは、そのような特定がない点で相違する。
（オ）相違点１Ｂ’について
ａ　上記ア（エ）に記載したように、甲１発明Ｂの「『分析器の入射スリットによって規定される方向に沿った１４°以下の角度ウィンドウ内の光電子が、検出器上の異なるＸ位置に集束』するように、『電子の方向を修正する』部分」と、本件特許発明９の「光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の選択された所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）であって、前記粒子ビームのどの部分が前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に前記測定領域（３）に入射するかを制御するように操作可能な制御ユニット（３５）」とは、「『光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の』『所定の部分（Ａ、Ｂ）が』『前記測定領域（３）の前記入射スリット（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）』」である点と一致する。
　そして、甲第５号証は、ＳＥＳ２００２に関するものであり、甲第１号証には、ＳＥＳ２００２について言及されており（例えば、第４８４頁左欄第２行〜第９行）、また、ＳＥＳ２００２はＳＥＳ２００の改良技術であることを考慮すると、甲５発明Ｂに甲１発明Ｂを適用することは、当業者が容易になし得る事項にすぎない。
ｂ　しかしながら、甲５発明Ｂに甲１発明Ｂを適用しても、以下のとおり、相違点１Ｂ’の構成に至らない。
　すなわち、相違点１Ｂ’は相違点１Ｂを含むといえるところ、上記イ（イ）のとおり、相違点１Ｂは、甲１発明Ｂ、甲第１号証及び甲第２号証に開示されていない。
　したがって、相違点１Ｂ’は、当業者が容易になし得たことではない。
（カ）相違点２Ｂ’について
　甲３発明には、相違点２Ｂ’に関する技術事項（上記１（３）エ参照）が記載されていることから、甲３発明を考慮し、甲５発明Ｂにおいて、「レンズ要素」の一つのレンズ要素が「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」の後に追加されることを検討する。
　相違点２Ｂ’は相違点２Ｂと同様であるから、 上記イ（ウ）に記載したことと同様に、相違点２Ｂ’は、当業者が容易になし得たことではない。
（キ）したがって、本件特許発明９は、当業者が甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
（７）本件特許発明１０についての判断 
ア　無効理由１について 
　本件特許発明１０と甲１発明Ｂとを対比すると、甲１発明Ｂの「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」は、本件特許発明１０の「『第１の偏向器』『の下流に、前記レンズシステム』『の前記光学軸』『に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される』『第２の偏向器』」に、相当する。 
　また、本件特許発明１０は、本件特許発明９を引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりである。 
　よって、本件特許発明１０と甲１発明Ａには相違点があるので、本件特許発明１は、甲１発明Ａではない。
イ  無効理由２について 
　本件特許発明９が、本件訂正前の請求項１４を一部訂正したものとし、本件特許発明９を引用する本件特許発明１０について、無効事由２を検討する。
　本件特許発明１０と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１０は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
ウ　無効理由３について 
　本件特許発明１０と甲５発明Ｂとを対比すると、甲５発明Ｂの「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」は、本件特許発明１０の「『第１の偏向器』『の下流に、前記レンズシステム』『の前記光学軸』『に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される』『第２の偏向器』」に、相当する。 
　また、本件特許発明１０は、本件特許発明９を引用しており、本件特許発明１と甲５発明Ａとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりである。
　そして、本件特許発明９は、本件訂正前の請求項１４を一部訂正したものとし、本件特許発明９を引用する本件特許発明１０についても、無効事由３を検討する。
　本件特許発明１０と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲５発明Ｂと甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１０は、当業者が甲第５号証に記載された発明及び甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものでもない。
  
（８）本件特許発明１１についての判断 
ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ｂにおいて、「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」も、第１座標方向（ｘ）のみでなく第２座標方向（ｙ）にも偏向させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。  
　しかしながら、本件特許発明１１は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりであり、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１１は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ｂにおいて、「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」も、第１座標方向（ｘ）のみでなく第２座標方向（ｙ）にも偏向させるようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。  
　しかしながら、本件特許発明１１は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりであり、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１１は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
（９）本件特許発明１２についての判断 
ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ｂにおいて、「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』」が、第１座標方向（ｘ）及び第２座標方向（ｙ）のそれぞれの座標方向における偏向器の役割を果たすようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１２は、本件特許発明９を間接的に引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりであり、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１２は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ｂにおいて、「８枚の偏向板」は、第１座標方向（ｘ）及び第２座標方向（ｙ）のそれぞれの座標方向における偏向器の役割を果たすようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１２は、本件特許発明９を間接的に引用しており、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりであり、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１２は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
（１０）本件特許発明１３についての判断 
ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ｂにおいて、「８枚の偏向板」に、個別の電圧を印加するようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１３は、本件特許発明９を間接的に引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりであり、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１３は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ｂにおいて、「８枚の偏向板」に、個別の電圧を印加するようになすことは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１３は、本件特許発明９を間接的に引用しており、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりであり、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１２は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
（１１）本件特許発明１５についての判断 
ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ｂにおいて、「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』」及び「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」をレンズ要素内に配置することは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１５は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりであり、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１５は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ｂにおいて、「８枚の偏向板」及び「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」をレンズ要素内に配置することは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１５は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりであり、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１５は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
（１２）本件特許発明１６についての判断 
ア　無効理由２について 
　甲３発明を考慮すると、甲１発明Ｂにおいて、「『八極対称に配置され』た『８枚の偏向板の組』」又は「『アパーチャースリットと入射スリットとの間』の『一つの偏向電極を有し』た『偏向器』」をレンズシステムと一体部品で形成することは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。 
　しかしながら、本件特許発明１６は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）アのとおりであり、本件特許発明９と甲１発明Ｂとの相違点１Ｂ、相違点２Ｂは、上記（６）イで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１６は、当業者が甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
  
イ　無効理由３について 
　甲３発明を考慮すると、甲５発明Ｂにおいて、「８枚の偏向板」又は「『スリットとアパーチャーとの間』の『偏向器』」をレンズシステムと一体部品で形成することは、当業者が適宜なし得る事項にすぎない。
　しかしながら、本件特許発明１６は、本件特許発明９を直接的又は間接的に引用しており、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの一致点、相違点は、上記（６）ウのとおりであり、本件特許発明９と甲５発明Ｂとの相違点１Ｂ’、相違点２Ｂ’は、上記（６）ウで検討したように、甲３発明を考慮しても、当業者が容易になし得たことではない。
　よって、本件特許発明１６は、当業者が甲第５号証に記載された発明、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではない。
３　小括
　本件特許発明１、２、８、９、１０は、特許法第２９条第１項第３号に該当せず、本件特許発明１〜３、５、８〜１３、１５、１６は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものではない。
　したがって、本件特許発明１〜３、５、８〜１３、１５、１６についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当するものではない。
第７　むすび  
　以上のとおり、本件特許発明１〜３、５、８〜１３、１５、１６についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当するものではないから、請求人が主張する無効理由１ないし３によって、本件特許発明１〜３、５、８〜１３、１５、１６についての特許は、無効にすることができない。
　また、本件特許の請求項４、７、１４、１８は、訂正により削除されたので、本件特許発明４、７、１４、１８についての特許に対する無効審判請求は不適法な請求であり、その補正をすることができないものであるから、特許法第１３５条の規定により却下する。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。 
  
　よって、結論のとおり審決する。