(57)【要約】【課題】三面シール部の隙間を小さくすることによって、三面シール部でのシール性の確保が容易である冷却器を提供すること。【解決手段】冷却器１は、冷媒が通過する入口パイプ３０が、天板２０の湾曲部２１と底板１０の湾曲部１１との間に挟まれた状態で接合され、入口パイプ３０と天板２０の湾曲部２１の根元部分２１ａと底板１０の湾曲部１１の根元部分１１ａとの間である三面シール部に、隙間ＳＰ１が形成されるものである。この冷却器１の三面シール部では、入口パイプ３０に形成された突起３１が隙間ＳＰ１に入り込むようになっている。また、三面シール部では、湾曲部１１，２１の根元部分１１ａ，２１ａの外周面に形成された切欠き１１ｂ，２１ｂ、及び湾曲部１１，２１の根元部分１１ａ，２１ａの内周面に形成された切欠き１１ｃ，２１ｃによって、根元部分１１ａ，２１ａが隙間ＳＰ１に入り込むようになっている。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒が通過するパイプが、上側フレームの湾曲部と下側フレームの湾曲部との間に挟まれた状態で接合され、
前記パイプと前記上側フレームの湾曲部の根元部分と前記下側フレームの湾曲部の根元部分との間である三面シール部に、隙間が形成される冷却器において、
前記三面シール部には、前記隙間に入り込む突き出し構造が形成されていることを特徴とする冷却器。
【請求項２】
請求項１に記載された冷却器において、
前記突き出し構造は、前記パイプの外周面に形成された突起であることを特徴とする冷却器。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された冷却器において、
前記突き出し構造は、前記湾曲部の根元部分の外周面に形成された第１切欠き部分によって、前記根元部分が前記隙間に入り込むものであることを特徴とする冷却器。
【請求項４】
請求項３に記載された冷却器において、
前記突き出し構造は、前記湾曲部の根元部分の内周面に所定量離れて形成された複数の第２切欠き部分によって、前記根元部分が前記隙間に入り込むものであることを特徴とする冷却器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷媒が通過するパイプと上側フレームと下側フレームとを備えた冷却器に関し、特に、パイプと上側フレームの湾曲部の根元部分と下側フレームの湾曲部の根元部分との間である三面シール部の隙間を小さくした冷却器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハイブリッド自動車には、直流電力を交流電力に変換するインバータ装置が搭載され、このインバータ装置には、発熱体である半導体素子を冷却する冷却器が搭載されている。この冷却器は、例えば、下記特許文献１に記載されていて、箱体を構成する上側フレームとしての天板及び下側フレームとしての底板と、この箱体の中に設置される放熱フィンと、箱体の中へ冷媒を流入する入口パイプと、箱体の外へ冷媒を流出する出口パイプとを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２８８４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、冷却器において、図１０に示したように、各パイプ１３０（１４０）と天板１２０の湾曲部１２１の根元部分１２１ａと底板１１０の湾曲部１１１の根元部分１１１ａとの間である三面シール部が形成された部分があり、このような冷却器は、以下のように製造される。先ず、アルミニウム等の表面にロウ材がクラッドされている平板（クラッド材）を用意する。そして、この平板から、プレス成型により各パイプ１３０（１４０）を組付けるための湾曲部１２１，１１１の形成を含め、天板１２０及び底板１１０を製造する。次いで、各パイプ１３０（１４０）が天板１２０の湾曲部１２１と底板１１０の湾曲部１１１との間に挟まれた状態で、天板１２０と底板１１０とを組付ける。こうして、天板１２０と底板１１０との接合部分、天板１２０の湾曲部１２１と各パイプ１３０（１４０）との接合部分、底板１１０の湾曲部１１１と各パイプ１３０（１４０）との接合部分に、ロウ材が介装される。続いて、天板１２０と底板１１０とをずれないように仮固定し、この冷却器アッシー（天板１２０、底板１１０、各パイプ１３０（１４０））を加熱して、ロウ付けにより一体化する。その後、冷却時にロウ材が硬化して、冷却器アッシーが完全に一体化し、冷却器が製造される。
【０００５】
上述したように製造される冷却器において、各接合部分のシール性はロウ付けによって確保される。しかし、図１０に示したように、三面シール部にはその他の接合部分に比べて大きな隙間ＳＰ３が発生する。このため、従来においては、三面シール部に介装されるロウ材の量を増やすことにより、三面シール部が隙間なく接合できるようにしていた。しかし、この場合では、三面シール部となる部分にのみ予めロウ材の量を増やす工程が加わるため、ロウ材をクラッドする工程が煩雑になるとともに、ロウ材によって三面シール部の隙間を適切に埋めることが難しかった。なお、仮に、接合部分全体に介装するロウ材の量を増やす場合には、三面シール部以外の接合部分でロウ材が厚くなりすぎて、ロウ材の無駄が生じるとともに、接合強度に影響が出るおそれがあった。
【０００６】
本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、三面シール部の隙間を小さくすることによって三面シール部でのシール性の確保が容易である冷却器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した課題を達成するために、本発明の冷却器は、以下の構成を有する。
（１）冷媒が通過するパイプが、上側フレームの湾曲部と下側フレームの湾曲部との間に挟まれた状態で接合され、前記パイプと前記上側フレームの湾曲部の根元部分と前記下側フレームの湾曲部の根元部分との間である三面シール部に、隙間が形成される冷却器において、前記三面シール部には、前記隙間に入り込む突き出し構造が形成されていることを特徴とする。
（２）（１）に記載する冷却器において、前記突き出し構造は、前記パイプの外周面に形成された突起であることを特徴とする。
（３）（１）又は（２）に記載する冷却器において、前記突き出し構造は、前記湾曲部の根元部分の外周面に形成された第１切欠き部分によって、前記根元部分が前記隙間に入り込むものであることを特徴とする。
（４）（３）に記載する冷却器において、前記突き出し構造は、前記湾曲部の根元部分の内周面に所定量離れて形成された複数の第２切欠き部分によって、前記根元部分が前記隙間に入り込むものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
上記した冷却器の作用及び効果について説明する。
（１）本発明の冷却器によれば、パイプと上側フレームの湾曲部の根元部分と下側フレームの湾曲部の根元部分との間である三面シール部に、隙間に入り込む突き出し構造が形成される。このため、三面シール部の隙間を小さくすることができ、ロウ付けによる三面シール部でのシール性の確保が容易である。
（２）突き出し構造はパイプの外周面に形成される突起であるため、例えばプレス加工、転造、切削、鋳造、溶接、接着等によって、この突き出し構造を容易に形成することができる。
（３）湾曲部の根元部分の外周面に第１切欠き部分が形成されている場合、湾曲部を形成する際に、第１切欠き部分の閉じる動作によって、根元部分の外周面側に作用する圧縮力を軽減でき、根元部分の曲がり具合（曲率）を大きくすることができる。このように、第１切欠き部分を形成することによって、根元部分が三面シール部の隙間に入り込む突き出し構造になり、突き出し構造を容易に形成することができる。
（４）上記した第１切欠き部分に加えて、湾曲部の根元部分の内周面に所定量離れて複数の第２切欠き部分が形成されている場合、湾曲部を形成する際に、第２切欠き部分の開く動作によって、根元部分が薄くなるように伸びることを防止でき、根元部分の曲がり具合（曲率）を更に大きくすることができる。このように、第２切欠き部分を形成することによって、根元部分が更に三面シール部の隙間に入り込む突き出し構造になり、突き出し構造を容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】冷却器と基板と半導体素子とを示した概略図である。
【図２】底板の製造工程を示した説明図である。
【図３】天板の製造工程を示した説明図である。
【図４】入口パイプの外周面に突起を形成する状態を示した説明図である。
【図５】天板の湾曲部の根元部分における曲率半径を小さくする工程を示した説明図である。
【図６】湾曲部の根元部分に形成した切欠きの機能を示した説明図である。
【図７】図１に示したＸ−Ｘ断面図である。
【図８】第２実施形態における天板の湾曲部を示した図５相当の説明図である。
【図９】第３実施形態における三面シール部を示した図７相当の断面図である。
【図１０】従来の冷却器における三面シール部を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係る冷却器について、図面を参照しながら以下に、第１実施形態を説明する。図１は、冷却器１と基板２と半導体素子３とを示した概略図である。冷却器１は、発熱体である半導体素子３を冷却するためのものである。基板２は、例えば、絶縁性を有する窒化アルミニウムと、この窒化アルミニウムの両面に接合されているアルミ層とを有するものである。半導体素子３は、例えば、ＩＧＢＴやダイオード等であり、基板２の上側のアルミ層に半田付けによって接合されている。
【００１１】
冷却器１は、図１に示したように、下側フレームとしての底板１０と、上側フレームとしての天板２０と、冷媒が流入するための入口パイプ３０と、冷媒が流出する出口パイプ４０と、図示しない放熱フィンとを備えている。この冷却器１は、底板１０と天板２０とで箱体が構成され、この箱体の中に放熱フィンが配置されるようになっている。入口パイプ３０は、円筒形状であり、底板１０の入口湾曲部１１と天板２０の入口湾曲部２１との間に挟まれた状態で組付けられている。出口パイプ４０は、円筒形状であり、底板１０の出口湾曲部１２（図２参照）と天板２０の出口湾曲部２２との間に挟まれた状態で組付けられている。
【００１２】
上述した冷却器１の製造工程について説明する。先ず、底板１０は、図２に示したように、プレス加工で製造される。即ち、図２（Ａ）に示したように、適当な大きさの平板１０Ａを用意する。この平板１０Ａは、例えば熱伝導率の良いアルミニウム等の表面にロウ材がクラッドされているクラッド材である。次いで、図２（Ｂ）に示したように、平板１０Ａに対して１回又は２回のプレス加工により、中央に放熱フィンを配置するための凹部１３を形成して、周縁部にフランジ１４を形成するとともに、フランジ１４に入口湾曲部１１と出口湾曲部１２とを形成する。入口湾曲部１１，出口湾曲部１２の断面は、それぞれ入口パイプ３０，出口パイプ４０の下側の外周面に沿うように半円状に形成されている。なお、入口湾曲部１１，出口湾曲部１２の板厚は、２ｍｍ程度である。最後に、図２（Ｂ）の仮想線で示した部分を打ち抜くことにより、図２（Ｃ）で示した底板１０が製造される。
【００１３】
また、天板２０は、図３に示したように、プレス加工で製造される。即ち、図３（Ａ）に示したように、適当な大きさの平板２０Ａを用意する。この平板２０Ａは、例えば熱伝導率の良いアルミニウム等の表面にロウ材がクラッドされているクラッド材である。次いで、図３（Ｂ）に示したように、平板２０Ａに対して１回又は２回のプレス加工により、周縁部に入口湾曲部２１と出口湾曲部２２とを形成する。入口湾曲部２１，出口湾曲部２２の断面は、それぞれ入口パイプ３０，出口パイプ４０の上側の外周面に沿うように断面が半円状に形成されている。なお、入口湾曲部２１，出口湾曲部２２の板厚は、０．８ｍｍ程度である。最後に、図３（Ｃ）の仮想線で示した部分を打ち抜くことにより、図３（Ｃ）で示した天板２０が製造される。
【００１４】
こうして、底板１０及び天板２０が製造された後、底板１０，天板２０，入口パイプ３０，出口パイプ４０，放熱フィンをロウ付けにより一体化する。即ち、先ず、底板１０の凹部１３に放熱フィンを配置し、底板１０のフランジ１４と天板２０の周縁部とを重ね合わす。更に、底板１０の入口湾曲部１１と天板２０の入口湾曲部２１との間に入口パイプ３０を挟み、且つ底板１０の出口湾曲部１２と天板２０の出口湾曲部２２との間に出口パイプ４０を挟む。
【００１５】
こうして、放熱フィンの頂部と天板２０の下面、放熱フィンの底部と底板１０の凹部１３の上面、底板１０のフランジ１４と天板２０の周縁部、各パイプ３０，４０の下方部と底板１０の各湾曲部１１，１２の中央部分との間、各パイプ３０，４０の上方部と天板２０の各湾曲部２１，２２の中央部分との間、入口パイプ３０の左方部３０ａ及び右方部３０ｂと底板１０の入口湾曲部１１の根元部分１１ａと天板２０の入口湾曲部２１の根元部分２１ａとの間（以下、「入口側三面シール部」と呼ぶ）（図７参照）、及び出口パイプ４０の左方部及び右方部と底板１０の出口湾曲部１２の根元部分と天板２０の出口湾曲部２２の根元部分との間（以下、「出口側三面シール部」と呼ぶ）に、ロウ材（図示省略）が介装されることになる。
【００１６】
その後、底板１０と天板２０とをずれないように上下方向に押圧し、上記した接合部分に適当な荷重（圧力）を加えて、仮固定する。そして、これら冷却器アッシーを真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気の炉内で、６００度まで加熱し、ロウ付けにより一体化（接合）する。その後、冷却時にロウ材が硬化して、冷却器アッシーが完全に一体化し、図１に示した冷却器１が製造される。
【００１７】
ところで、上述したように製造される冷却器において、従来の三面シール部では、図１０に示したように、その他の接合部分に比べて大きな隙間ＳＰ３が発生する。これは、各パイプ１３０（１４０）の断面が円形であるためである。更に、底板１１０，天板１２０の湾曲部１１１，１２１の中央部分を断面が半円形になるように形成するため、底板１１０，天板１２０の湾曲部１１１，１２１の根元部分１１１ａ、１２１ａが急に曲がり難くて、これら根元部分１１１ａ，１２１ａの曲率半径が大きいためである。なお、従来の底板１１０，天板１２０の湾曲部１１１，１２１の根元部分１１１ａ，１２１ａの曲率半径Ｒは、０．５〜１．０ｍｍ程度であった。
【００１８】
そこで、この実施形態では、入口側三面シール部及び出口側三面シール部の隙間ＳＰ１（図７参照）を小さくするため、図４に示した塑性加工が入口パイプ３０，出口パイプ４０に予め施されるとともに、上述した製造工程の際に、図５に示したプレス加工が平板１０Ａ，２０Ａ（底板１０，天板２０の素材）に施されるようになっている。以下、図４に示した塑性加工及び図５に示したプレス加工について、説明する。
【００１９】
図４は、入口パイプ３０に突起３１を形成する工程を示した図である。入口パイプ３０は、その内径が１０〜２０ｍｍ程度のものであり、図４に示したように、上型５０と下型６０とに挟まれることによって、塑性加工される。上型５０及び下型６０は、断面が半円状の穴部５１，６１を有し、この穴部５１，６１の曲率は、入口パイプ３０の曲率より大きくなっている。また、上型５０及び下型６０の穴部５１，６１の角部分５２，６２は、入口パイプ３０の左方部３０ａ及び右方部３０ｂを塑性変形させることができるように、切り欠かれている。このように上型５０及び下型６０が形成されているため、入口パイプ３０が上型５０と下型６０とによって挟まれるとき、入口パイプ３０の左方部３０ａ及び右方部３０ｂの外周面に、径外方向に突出する突起３１が形成される。なお、出口パイプ４０にも同様に突起を形成するため、出口パイプ４０の塑性加工については、その説明を省略する。
【００２０】
図５は、天板２０の入口湾曲部２１（以下、「湾曲部２１」と適宜省略する）の根元部分２１ａにおける曲率半径を小さくする（曲率を大きくする）工程を示した説明図である。先ず、図５（Ａ）に示したように、天板２０の素材である平板２０Ａに対して、湾曲部２１の根元部分２１ａとなる部位であり且つ外周面側となる部位に、二個の切欠き２１ｂ（第１切欠き部分）を形成し、湾曲部２１の根元部分２１ａとなる部位で且つ内周面側となる部位に、四個の切欠き２１ｃ（第２切欠き部分）を形成する。切欠き２１ｃは、一個の切欠き２１ｂに対して反対側の面に二個形成される。次いで、図６（Ｂ）に示したように、切欠き２１ｂ，２１ｃが形成された平板２０Ａに対して、上述したように１回又は２回のプレス加工を行い（図３（Ｂ）参照）、湾曲部２１を形成する。続いて、図６（Ｃ）に示したように、金型７０を用いて湾曲部２１に対して４回又は５回のプレス加工を行い、湾曲部２１の根元部分２１ａを押圧する。金型７０は、断面が半円状の穴部７１を有し、この穴部の端部分７２で湾曲部２１の根元部分２１ａを押圧するようになっている。
【００２１】
ここで、切欠き２１ｂの機能について、図６（Ａ）（Ｂ）を用いて説明する。切欠き２１ｂは、湾曲部２１を形成する際に、根元部分２１ａの外周面側に作用する圧縮力を軽減するものである。即ち、図６（Ａ）に示したように、切欠き２１ｂが形成されていない場合には、湾曲部２１を形成する際に、根元部分２１ａの内周面に作用する圧縮力によって、根元部分２１ａの曲げ変形が阻害される。しかし、図６（Ｂ）に示したように、切欠き２１ｂが形成されている場合には、湾曲部２１を形成する際に、切欠き２１ｂの閉じる動作によって、根元部分２１ａの曲がり具合（曲率）を大きくすることができる。この切欠き２１ｂは、閉じる動作によって機能を発揮するため、図５（Ａ）に示したように、切欠き幅が広く設定されている。
【００２２】
また、切欠き２１ｃの機能について、図６（Ｂ）（Ｃ）を用いて説明する。切欠き２１ｃは、湾曲部２１を形成する際に、根元部分２１ａの板厚の減少を防止するものである。即ち、図６（Ｂ）に示したように、切欠き２１ｂのみが形成され且つ切欠き２１ｃが形成されていない場合には、湾曲部２１を形成する際に、根元部分２１ａの内周面側に作用する引張力によって、根元部分２１ａは板厚Ｙが薄くなるように伸び、根元部分２１ａの内周面側が切欠き２１ｂ側（図６（Ｂ）の上側）に引っ張られる。しかし、図６（Ｃ）に示したように、切欠き２１ｂ及び切欠き２１ｃが形成されている場合には、湾曲部２１を形成する際に、切欠き２１ｃの開く動作によって、根元部分２１ａの内周面側が切欠き２１ｂ側と反対側（図６（Ｃ）の下側）に突き出し、根元部分２１ａの曲がり具合（曲率）を更に大きくすることができる。この切欠き２１ｃは、開く動作によって機能を発揮するため、図５（Ａ）に示したように、切欠き幅が狭く設定されている。
【００２３】
こうして、切欠き２１ｂの閉じる動作及び切欠き２１ｃの開く動作と、図５（Ｃ）に示したプレス加工とによって、天板２０の入口湾曲部２１の根元部分２１ｂにおける曲率半径を、従来の根元部分における曲率半径である０．５ｍｍより、小さくすることができる。なお、天板２０の出口湾曲部２２の根元部分、底板１０の入口湾曲部１１の根元部分１１ａ、底板１０の出口湾曲部１２の根元部分も上述したように形成するため、各湾曲部２２，１１，１２の根元部分（１１ａ）については、対応する符号を付して説明を省略する。
【００２４】
この実施形態では、上述したように、各パイプ３０，４０の突起３１、底板１０及び天板２０の各湾曲部１１，１２、２１、２２を形成した後、底板１０，天板２０，入口パイプ３０，出口パイプ４０，放熱フィンをロウ付けにより一体化する。こうして、図１に示した冷却器１が製造されている。ここで、図７は、図１のＡ−Ａ断面図である。図７に示したように、入口パイプ３０の左方部３０ａ及び右方部３０ｂに形成された突起３１が、入口側三面シール部の隙間ＳＰ１に入り込む突き出し構造である。また、上述したように形成された底板１０の入口湾曲部１１の根元部分１１ａ、及び天板２０の入口湾曲部２１の根元部分２１ａが、入口側三面シール部の隙間ＳＰ１に入り込む突き出し構造である。なお、出口側三面シール部においても、同様に突き出し構造が形成されているため、その説明を省略する。
【００２５】
この実施形態の作用効果について説明する。
冷却器１によれば、入口側三面シール部に、隙間ＳＰ１に入り込む突き出し構造が形成されている。即ち、図７に示したように、入口パイプ３０の左方部３０ａ及び右方部３０ｂに形成された突起３１が隙間ＳＰ１に入り込み、底板１０の入口湾曲部１１の根元部分１１ａは曲率半径が小さくなることよって隙間ＳＰ１に入り込み、天板２０の入口湾曲部２１の根元部分２１ａは曲率半径が小さくなることによって隙間ＳＰ１に入り込む。このため、入口側三面シール部の隙間ＳＰ１を小さくすることができ、ロウ付けによる入口側三面シール部でのシール性の確保が容易である。即ち、従来のように三面シール部の隙間ＳＰ３（図１０参照）にのみ予めロウ材の量を増やす工程が必要なく、ロウ材をクラッドする工程の煩雑化を防止できるとともに、ロウ材の無駄を防止できる。なお、出口側三面シール部の作用効果は、入口側三面シール部の作用効果と同様であるため、その説明を省略する。
【００２６】
次に、第２実施形態について図８を用いて説明する。図８は、天板２０の湾曲部２１の根元部分２１ａにおける曲率半径を小さくする工程を示した説明図である。先ず、図８（Ａ）に示したように、天板２０の素材である平板２０Ａに対して、湾曲部２１の根元部分２１ａとなる部位であり且つ外周面側となる部位に、二個の切欠き２１ｂを形成する。そして、この第２実施形態においては、湾曲部２１の根元部分２１ａとなる部位で且つ内周面側となる部位に、第１実施形態の切欠き２１ｃに換えて、二個の突起２１ｄを形成する。切欠き２１ｃと突起２１ｄは、それぞれ反対側の面に形成されている。この突起２１ｄは、平板２０Ａに対して、塑性変形等により一体に形成しても良く、また溶接、接着等により別体で形成しても良い。次いで、図８（Ｂ）に示したように、プレス加工を行い、入口湾曲部２１を形成する。続いて、図８（Ｃ）に示したように、金型７０を用いて入口湾曲部２１に対して４回又は５回のプレス加工を行い、湾曲部２１の根元部分２１ａを押圧する。
【００２７】
この第２実施形態における突起２１ｄは、湾曲部２１を形成する際に、根元部分２１ａの板厚の減少を防止するとともに、三面シール部の隙間ＳＰ１（図７参照）に入り込むためのものである。第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様であるため、対応する部位に同一符号を付して、その説明を省略する。また、第２実施形態の作用効果は、第１実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００２８】
続いて、第３実施形態について図９を用いて説明する。図９は、入口側三面シール部を示した断面図である。入口パイプ８０の断面は、矩形形状になっている。このため、底板１０の入口湾曲部１１の断面は、入口パイプ８０の上側の外周面に沿うように断面がＬ字状に形成され、天板２０の入口湾曲部２１の断面は、入口パイプ８０の下側の外周面に沿うように断面がＬ字状に形成されている。そして、この第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、底板１０の入口湾曲部１１の根元部分１１ａが、入口側三面シール部の隙間ＳＰ２に入り込むように形成され、天板２０の入口湾曲部２１の根元部分２１ａが、入口側三面シール部の隙間ＳＰ２に入り込むように形成されている。第３実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様であるため、対応する部位に同一符号を付して、その説明を省略する。また、第３実施形態の作用効果は、第１実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００２９】
以上、本発明に係る冷却器において、本発明はこれに限定されることはなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、第１実施形態において、塑性加工により、入口パイプ３０に突起３１を形成したが、突起３１を形成する方法は、塑性加工に限定されるものではなく、例えば転造、切削、鋳造、溶接、接着等により突起を形成しても良い。
【００３０】
また、第１実施形態において、第１切欠き部分としての切欠き２１ｂ及び第２切欠き部分としての切欠き２１ｃの断面は、三角形であるが、第１，第２切欠き部分の断面形状は三角形に限定されるものではなく、例えば四角形、台形であっても良い。なお、第１，第２切欠き部分の断面形状が四角形、台形である場合には、湾曲部２１の根元部分２１ａが薄肉状であることを意味する。
また、第１実施形態において、一つの根元部分２１ａに一つの切欠き２１ｂを形成したが、切欠き２１ｂの数は適宜変更可能である。また、一つの根元部分２１ａに二つの切欠き２１ｃを形成したが、切欠き２１ｃの数は、二個以上であれば良く、適宜変更可能である。
また、第１実施形態及び第２実施形態において、入口パイプ３０、底板１０の湾曲部１１の根元部分１１ａ、天板２０の湾曲部２１の根元部分２１ａの全ての部位に突き出し構造を形成したが、入口パイプ３０、底板１０の湾曲部１１の根元部分１１ａ、天板２０の湾曲部２１の根元部分２１ａの少なくとも一つの部位に突き出し構造を形成しても良い。
【符号の説明】
【００３１】
１                冷却器
２                基板
３                半導体素子
１０，２０        底板，天板
１１，２１        湾曲部
１１ａ，２１ａ    根元部分
２１ｂ            切欠き
２１ｃ            切欠き
２１ｄ            突起
３０，４０        入口パイプ，出口パイプ
３０ａ，３０ｂ    左方部，右方部
３１              突起
５０，６０        上型，下型
７０              金型
８０              入口パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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