(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構造で、ウェーハの芯出しを精度良く行うことができる低コストの芯出し装置、及びそれを用いた面取り装置を提供する。【解決手段】位置決めカップ１３がウェーハＷを支持した支持具１４に対して相対的に上方に移動することで、ウェーハＷを位置決めカップ１３のテーパー面１１で支持し、ウェーハＷを支持した時に、振動子１２により印加された振動で、ウェーハＷが前記テーパー面１１を滑って位置決めされ、位置決めカップ１３が支持具１４に対して相対的に下方に移動することで、位置決めされたウェーハＷを支持具１４で支持することによりウェーハＷの芯出しを行うものであるウェーハＷの芯出し装置１０。【選択図】図１
2012089711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを支持具で支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う芯出し装置であって、
該芯出し装置は、少なくとも、前記支持具と同軸に配置され、上開きのテーパー面を有し、前記ウェーハの周縁部を下方から前記テーパー面で支持して位置決めをする位置決めカップと、該位置決めカップに振動を印加する振動子とを具備し、前記位置決めカップは、前記支持具に対して相対的に上下動するものであり、前記位置決めカップが前記ウェーハを支持した支持具に対して相対的に上方に移動することで、前記ウェーハを前記位置決めカップのテーパー面で支持し、前記ウェーハを支持した時に、前記振動子により印加された振動で、前記ウェーハが前記テーパー面を滑って位置決めされ、前記位置決めカップが前記支持具に対して相対的に下方に移動することで、前記位置決めされたウェーハを前記支持具で支持することにより前記ウェーハの芯出しを行うものであることを特徴とするウェーハの芯出し装置。
【請求項２】
前記芯出し装置は、前記位置決めカップを上下動させる上下動機構を具備し、該上下動機構により前記位置決めカップを上下動させることにより、前記位置決めカップが前記支持具に対して相対的に上下動するものであることを特徴とする請求項１に記載のウェーハの芯出し装置。
【請求項３】
前記位置決めカップの上開きのテーパー面は、前記位置決めカップの中心軸に対して２０±１０度以内で傾斜しているものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハの芯出し装置。
【請求項４】
前記位置決めカップの上開きのテーパー面の材質が、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトンのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のウェーハの芯出し装置。
【請求項５】
ウェーハの外周部を研削して面取りを行う面取り装置であって、少なくとも、前記ウェーハを支持して吸着保持する支持具と、該支持具で前記ウェーハを支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のウェーハの芯出し装置と、前記支持具に吸着保持されたウェーハの外周部を研削して面取りする円形のグラインダーとを具備するものであることを特徴とする面取り装置。
【請求項６】
ウェーハを支持具で支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う芯出し方法であって、
少なくとも、前記支持具と同軸に配置され、上開きのテーパー面を有し、前記ウェーハの周縁部を下方から前記テーパー面で支持して位置決めをする位置決めカップと、該位置決めカップに振動を印加する振動子とを具備し、前記位置決めカップは、前記支持具に対して相対的に上下動するものである芯出し装置を用いて、
前記位置決めカップを前記ウェーハを支持した支持具に対して相対的に上方に移動させて、前記ウェーハを前記位置決めカップのテーパー面で支持し、前記ウェーハを支持した時に、前記振動子により印加された振動で、前記ウェーハが前記テーパー面を滑って位置決めされ、その後、前記位置決めカップを前記支持具に対して相対的に下方に移動させることで、前記位置決めされたウェーハを前記支持具で支持することにより前記ウェーハの芯出しを行うことを特徴とするウェーハの芯出し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば面取り工程を行う際に、ウェーハの芯出しを行うために用いられるウェーハの芯出し装置及びそれを具備する面取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの製造では、まず、チョクラルスキー法（ＣＺ法）や浮遊帯域溶融法（ＦＺ法）等により半導体インゴットを育成し、この育成した円柱状のインゴットをウエーハの形状にスライスする。次いで、ウエーハの外周の欠けを防止するための面取り工程、厚さのばらつきをなくすためのラッピング工程、加工歪みや汚染物を除去するためのエッチング工程、ウエーハ主表面を鏡面化する研磨工程等が順次行われる。
【０００３】
このようなウェーハの加工において、面取り工程では、ウェーハを吸着保持した状態で回転させながら、外周部を研削する。このため、ウェーハの中心位置を正確に保持していないと、過剰に面取りされる部分や、面取りされずに残ってしまう部分（面取り残り）が生じ、ウェーハの品質や歩留まりに影響してしまう。
【０００４】
特に、ＧａＡｓ基板上に発光層となるＡｌＧａＩｎＰ（アルミニウムガリウムインジウムリン）エピタキシャル層をＭＯＶＰＥ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｖａｐｏｒ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法により成長させた後、ＶＰＥ（Ｖａｐｏｒ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法を用いて発光波長に対し透明であるＧａＰ厚膜電流拡散層を成長させたウェーハの外周部は、正常な電気特性が得られないため、当該外周部を面取り装置にて正確に研削（品種により面取り幅１ｍｍ〜３ｍｍ）する必要がある。
【０００５】
このようなウェーハを面取りするために、その中心位置を正確に保持する際には、目視でピンセットによりウェーハの芯出し（センター出し）を手動で行うか、この発展型として、光学的センサーによりウェーハの位置を検知し、ロボット機構によりウェーハの芯出しを実施していた（特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、手動による方法では、精度が低く、不良部の取り残し及び良品部の削り過ぎ（ロス）が発生し、また、光学的センサー及びロボット機構によるセンター出しは、当該装置のためのコストが高額であり、さらには、水がかかってしまう環境のため光学的センサーに検知ミスが発生する等の故障・トラブルが発生していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１０４３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、簡易な構造で、ウェーハの芯出しを精度良く行うことができる低コストの芯出し装置、それを具備する面取り装置及び芯出し方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハを支持具で支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う芯出し装置であって、該芯出し装置は、少なくとも、前記支持具と同軸に配置され、上開きのテーパー面を有し、前記ウェーハの周縁部を下方から前記テーパー面で支持して位置決めをする位置決めカップと、該位置決めカップに振動を印加する振動子とを具備し、前記位置決めカップは、前記支持具に対して相対的に上下動するものであり、前記位置決めカップが前記ウェーハを支持した支持具に対して相対的に上方に移動することで、前記ウェーハを前記位置決めカップのテーパー面で支持し、前記ウェーハを支持した時に、前記振動子により印加された振動で、前記ウェーハが前記テーパー面を滑って位置決めされ、前記位置決めカップが前記支持具に対して相対的に下方に移動することで、前記位置決めされたウェーハを前記支持具で支持することにより前記ウェーハの芯出しを行うものであることを特徴とするウェーハの芯出し装置を提供する。
【００１０】
このような装置であれば、ウェーハを支持具と同軸に配置された位置決めカップのテーパー面で支持する際に、振動子により印加された振動で、ウェーハとテーパー面との摩擦が小さいため、ウェーハがテーパー面を良好に滑って、精度良く位置決めされる。そして、位置決めされたウェーハを位置決めカップと同軸に配置された支持具で支持するのみで芯出しを容易に精度良く実施できる。また、位置決めカップと支持具を同軸に配置し、相対的に上下動するのみで芯出しできるので、簡易な構造でセンサーの故障等のトラブルが少なく、迅速な芯出しが可能で、低コストの装置となる。
【００１１】
このとき、前記芯出し装置は、前記位置決めカップを上下動させる上下動機構を具備し、該上下動機構により前記位置決めカップを上下動させることにより、前記位置決めカップが前記支持具に対して相対的に上下動するものであることが好ましい。
このように、本発明の芯出し装置は、位置決めカップを上下動させる上下動機構を具備し、該上下動機構により位置決めカップを上下動させることにより、位置決めカップが支持具に対して相対的に上下動するものであれば、支持具に対する位置決めカップの相対的な上下動の動作の自由度が向上するとともに、支持具等の他の装置に新たな機構を設けることなく、本発明の芯出し装置を適用することができ、既存の装置に装着するのも容易となり、低コストで、効率の良い装置となる。
【００１２】
このとき、前記位置決めカップの上開きのテーパー面は、前記位置決めカップの中心軸に対して２０±１０度以内で傾斜しているものであることが好ましい。
このように、位置決めカップの上開きのテーパー面は、位置決めカップの中心軸に対して２０±１０度以内で傾斜しているものであれば、ウェーハの滑りがより良好で、確実に位置決めでき、より精度良く芯出しできる装置となる。
【００１３】
このとき、前記位置決めカップの上開きのテーパー面の材質が、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトンのいずれかであることが好ましい。
このように、位置決めカップの上開きのテーパー面の材質が、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトンのいずれかであれば、摩擦が少なく、ウェーハが傷つきにくい材質であるため、より良好な位置決め、芯出しを行うことができる装置となる。
【００１４】
また、本発明は、ウェーハの外周部を研削して面取りを行う面取り装置であって、少なくとも、前記ウェーハを支持して吸着保持する支持具と、該支持具で前記ウェーハを支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う本発明のウェーハの芯出し装置と、前記支持具に吸着保持されたウェーハの外周部を研削して面取りする円形のグラインダーとを具備するものであることを特徴とする面取り装置を提供する。
このような、本発明のウェーハの芯出し装置を具備する面取り装置であれば、低コストで、正確なウェーハの芯出しを迅速に行うことができるため、精度の良い面取りを効率的に行うことができる低コストの面取り装置となる。
【００１５】
また、本発明は、ウェーハを支持具で支持する際に前記ウェーハの芯出しを行う芯出し方法であって、少なくとも、前記支持具と同軸に配置され、上開きのテーパー面を有し、前記ウェーハの周縁部を下方から前記テーパー面で支持して位置決めをする位置決めカップと、該位置決めカップに振動を印加する振動子とを具備し、前記位置決めカップは、前記支持具に対して相対的に上下動するものである芯出し装置を用いて、前記位置決めカップを前記ウェーハを支持した支持具に対して相対的に上方に移動させて、前記ウェーハを前記位置決めカップのテーパー面で支持し、前記ウェーハを支持した時に、前記振動子により印加された振動で、前記ウェーハが前記テーパー面を滑って位置決めされ、その後、前記位置決めカップを前記支持具に対して相対的に下方に移動させることで、前記位置決めされたウェーハを前記支持具で支持することにより前記ウェーハの芯出しを行うことを特徴とするウェーハの芯出し方法を提供する。
【００１６】
このような方法であれば、ウェーハを支持具と同軸に配置された位置決めカップのテーパー面で支持する際に、振動子により印加された振動で、ウェーハとテーパー面との摩擦が小さいため、ウェーハがテーパー面を良好に滑って、精度良く位置決めされる。そして、位置決めされたウェーハを位置決めカップと同軸に配置された支持具で支持するのみで芯出しを容易に精度良く実施できる。また、位置決めカップと支持具を同軸に配置し、相対的に上下動するのみで芯出しできるので、簡易な構造でセンサーの故障等のトラブルが少なく、低コストで、迅速な芯出しが可能である。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明によれば、簡易な構造で、精度の良い芯出しを迅速に行うことができ、例えばウェーハの面取り工程で用いることで、高精度の芯出しにより良好な面取りを行って、歩留まりを向上させることができるウェーハの芯出し装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のウェーハの芯出し装置により芯出しを行うフロー図である。
【図２】本発明のウェーハの芯出し装置及びこれを具備した面取り装置を示す概略図である。
【図３】実施例、比較例において芯出し、面取りを行ったウェーハの面取り幅を測定した結果を示すグラフである。
【図４】面取り前のウェーハ面内において、電気特性が不良な歩留まり低下部と、電気特性が良好な歩留まり良好部を示す（ａ）側面図と（ｂ）平面図、及び、（ｃ）ウェーハ面内での各領域における電気的特性による歩留まりを示すグラフである。
【図５】従来の手動によるウェーハの芯出しを行った後に面取りをした場合の面取り前後のウェーハの輪郭を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図４は、面取り前のＧａＡｓウェーハ面内において、電気特性が不良な歩留まり低下部と、電気特性が良好な歩留まり良好部を示す（ａ）側面図と（ｂ）平面図、及び、（ｃ）ウェーハ面内での各領域における電気的特性による歩留まりを示すグラフである。図５は、従来の手動によるウェーハの芯出しを行った後に面取りをした場合の面取り前後のウェーハの輪郭を示す説明図である。
【００２０】
ＧａＡｓウェーハの面取り工程は、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すような電気的特性が不良なウェーハ周縁部の歩留まり低下部を研削して、歩留まり良好部をできるだけ残すように行われる。しかし、従来、手動ではウェーハの正確な芯出しを行うのは困難で、保持した中心位置がずれた状態で面取りを行うと、図５に示すように、過剰な研削部分と、歩留まり低下部が完全に取りきれていない面取り残りが生じて、歩留まりの悪化の原因となっていた。また、面取り残りを無くすために、面取りの幅をより広くする必要があり、電気的特性が良好な部分まで多めに研削されて、さらに歩留まりが悪化していた。
また、センサー等を用いた芯出しは、装置コストの増加、センサー検知の不良等の問題があった。
【００２１】
このような問題に対して、本発明者らは、鋭意検討した結果、以下のような本発明の芯出し装置を見出して、本発明を完成させた。
【００２２】
以下、本発明について、実施態様の一例として、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１は、本発明のウェーハの芯出し装置による芯出しのフロー図である。図２は、本発明のウェーハの芯出し装置の実施態様の一例を示す概略図である。
【００２３】
図１，２に示す本発明のウェーハの芯出し装置１０は、ウェーハＷを支持具１４で支持する際にウェーハＷの芯出しを行う芯出し装置１０であって、該芯出し装置１０は、支持具１４と同軸に配置され、上開きのテーパー面１１を有し、ウェーハＷの周縁部を下方からテーパー面１１で支持して位置決めをする位置決めカップ１３と、該位置決めカップ１３に振動を印加する振動子１２とを具備し、位置決めカップ１３は、支持具１４に対して相対的に上下動するものである。
【００２４】
そして、図１（ａ）（ｂ）に示すように、位置決めカップ１３がウェーハＷを支持した支持具１４に対して相対的に上方に移動することで、ウェーハＷの周縁部を下方から位置決めカップ１３のテーパー面１１で支持し、ウェーハＷを支持した時に、振動子１２により印加された振動で、ウェーハＷがテーパー面１１を滑って水平状態で位置決めされる。その後、図１（ｃ）に示すように、位置決めカップ１３が支持具１４に対して相対的に下方に移動することで、位置決めカップ１３及び支持具１４に対して同軸に位置決めされたウェーハＷを支持具１４で支持することによりウェーハＷの芯出しを行うことができるものである。
【００２５】
このように、テーパー面１１は、振動子１２により印加される振動で摩擦が小さくなっているため、ウェーハＷがテーパー面１１で支持された時に、滑りやすく、位置決めカップ１３の中心軸とウェーハＷの中心が一致するように位置決めされる。そして、位置決めカップ１３を相対的に下方に移動させることで、同軸に配置されている支持具１４により位置決めされたウェーハＷを支持することができ、単純な動きで、精度良くウェーハＷの芯出しを行うことができる。また、振動子による振動と、相対的に上下動するのみで芯出しが可能な装置１０であるため、簡易な構造で、正確な芯出しを行うことができる低コストな装置となる。しかも、センサーの故障等の障害が発生する恐れもほとんど無い。
【００２６】
このような位置決めカップ１３の形状としては、上開きのテーパー面１１を有すれば、特に限定されず、例えば、図２に示すように漏斗状であれば、位置決めするウェーハＷの周縁部が、どの位置に接触しても、支持、位置決めを良好に行うことができる。
この場合、本発明において、位置決めカップ１３のテーパー面１１の上端における内径が、芯出しを行うウェーハＷの直径より大きく、かつ、テーパー面１１の下端における内径が、芯出しを行うウェーハＷの直径より小さければ良い。
【００２７】
また、位置決めカップ１３の上開きのテーパー面１１は、図１（ａ）に示す位置決めカップ１３の中心軸に対して２０±１０度以内で傾斜しているものであることが好ましい。
このような傾斜角度であれば、テーパー面１１上でのウェーハＷの滑りも良好で、正確な位置決めが容易である。
【００２８】
また、位置決めカップ１３の上開きのテーパー面１１の材質が、フッ素樹脂（例えば、テフロン（登録商標））、ポリイミド樹脂（例えば、ベスペル（登録商標））及びポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ材）のいずれかであることが好ましい。
これらの材質は、ウェーハＷが滑りやすく、傷つきにくいため、本発明の装置１０のテーパー面１１の材質として好ましい。この場合、位置決めカップ１３自体が、これらの材質で形成されていてもよいし、金属等の硬質材で外形体を形成し、その表面に上記フッ素樹脂等を貼り付けたものとしてもよい。少なくともウェーハと接触する部分の表面が、フッ素樹脂等であればよい。
【００２９】
振動子１２としては、位置決めカップ１３に振動を印加可能なものであれば、特に限定されず、例えば、バイブレーターや、携帯電話で使用されているものと同様な振動子を用いることができる。
また、振動子１２を動作させるタイミングとしては、例えば、ウェーハが支持具１４から離れた直後から、再び支持具１４に支持させる前までの間に動作させれば、ウェーハ裏面の擦れ傷防止に有利である。
【００３０】
また、図１に示すように、芯出し装置１０は、位置決めカップ１３を上下動させる上下動機構１５を具備し、該上下動機構１５により位置決めカップ１３を上下動させることにより、位置決めカップ１３が支持具１４に対して相対的に上下動するものであることが好ましい。
このような上下動機構１５を具備することで、支持具１４を有する既存の他の装置に新たな機構等を設けることなく本発明の装置１０を装着して、ウェーハＷの芯出しを行うことができる。従って、より低コストでウェーハＷの芯出しを効率的に行うことができる装置となる。
ただしこの場合、支持具１４と位置決めカップ１３との上下動はあくまで相対的なものでよく、支持具１４だけが上下動機構を有し、相対的に支持具１４と位置決めカップ１３とが上下動してもよいし、支持具１４と位置決めカップ１３の両方ともが上下動機構を有してもよい。
【００３１】
このような本発明の装置１０による芯出しを行う場合には、本発明の芯出し方法で芯出しを行うことができ、例えば、面取り工程において、図２に示すように、面取り装置２０の支持具１４（ステージ）によるウェーハＷの支持、吸着保持の際に用いることができる。本発明の装置１０により図１（ａ）−（ｃ）のように芯出しを行った後に、支持具１４で芯出ししたウェーハＷを吸着保持し、面取り装置２０のグラインダー２１を回転させながら水平移動させて、同様に回転させたウェーハＷの外周部に接触させることで、ウェーハＷの面取りを行うことができる。
【００３２】
以上のような本発明の装置であれば、正確な芯出しが可能であるため、特に、１〜３ｍｍのわずかな面取り幅で面取りを行うような場合に好適であり、さらに、面取り残り等もほとんど生じないため面取り幅も必要最小限に設定でき、歩留まりが向上する。
【００３３】
また、本発明の装置は、センサー及びロボット機構による芯出しを行う装置の一般的な価格に対し、１／２０〜１／５程度の費用で作製可能であり、１／１０程度以下の価格とすることも可能で、きわめて低コストである。また、芯出し工程にかかる時間も、センサー及びロボット機構による芯出しを行う装置での芯出しは５回平均で８．７秒なのに対し、本発明の装置は５回平均で５．８秒である。従って、芯出し工程の時間を、従来の装置に比べて約６６．７％に短縮できる。
【００３４】
なお、本発明のウェーハの芯出し装置は、上記例示した面取り装置にのみ適用されるものではない。ウェーハを支持具で支持する時に、芯出しが必要となる装置であれば、いずれの装置であっても適用可能である。
また、本発明の芯出し装置で芯出しが可能なウェーハとしては、特に限定されず、上記したＧａＡｓウェーハ以外にも、ＧａＰウェーハ、Ｓｉウェーハ等の芯出しに用いることができ、また、ウェーハの形状としても、円形のウェーハのみならず、例えば図２のような漏斗状の位置決めカップの場合には、矩形のウェーハの芯出しも可能である。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
図１，２に示す本発明の装置を用いて、芯出しを行って、その後ウェーハの面取り工程を行った。芯出し装置は、吸着機構及び回転機構を有した直径３０ｍｍのウェーハ吸着ステージと同軸に本発明の装置の位置決めカップを配置し、図２のように取り付けた。この位置決めカップは、フッ素樹脂製のもので、上開きのテーパー面は位置決めカップの中心軸に対して２０度傾斜しているものを用いた。
【００３６】
芯出し工程において、まず、ウェーハ吸着ステージの上面が位置決めカップのテーパー面上端より上の位置になるように、上下動機構により位置決めカップを下降させた。
そして、ステージ上に直径２インチ（５０ｍｍ）のＧａＡｓウェーハを載置した（図１（ａ））。
【００３７】
次に、位置決めカップを徐々に上昇させて、位置決めカップのテーパー面でウェーハを支持させた（図１（ｂ））。ウェーハがステージから離れた直後に振動子（バイブレーター）を動作させて、位置決めカップに振動を印加させ、ウェーハが振動により素早く位置決めされた。
次に、振動子を停止させて、位置決めカップを下降させ、ウェーハをステージ上に載せた。そして、ステージの吸着機構を動作させてウェーハを吸着保持して、芯出しを完了させた。
【００３８】
上記芯出し後に面取り工程を行って、当該面取りしたウェーハの面取り幅を測定した結果を、図３に示す。
なお、実施例での面取り幅は、従来に比べて少ない面取り幅２．３ｍｍを目標に設定して面取りを行った。
【００３９】
（比較例）
実施例と同様に、ただし、芯出しは目視でピンセットを用いて手動で行った。また、面取り幅は、従来から行われていた面取り幅と同じ２．５ｍｍを目標に面取りを行った。
面取りしたウェーハの面取り幅を測定した結果を、図３に示す。
【００４０】
図３に示すように、比較例の手動芯出しによる面取りでは、面取り幅の精度が悪く、良品部分の過剰な研削やウェーハ外周部の電気特性の不良部分の面取り残りが発生しており、面取り幅のバラツキが大きかった。実施例で本発明の芯出し装置を用いた場合は、不良領域の面取り残りが無くなることにより歩留りが４．８５％向上し、また、目標の面取り幅を小さくして外周不良部領域ギリギリまでに設定したことにより歩留まりが３．４８％向上して、実施例では、合計８．３３％の歩留り向上となった。
【００４１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００４２】
１０…芯出し装置、  １１…テーパー面、  １２…振動子、
１３…位置決めカップ、  １４…支持具、  １５…上下動機構、
２０…面取り装置、  ２１…グラインダー、  Ｗ…ウェーハ。
【図１】
2012089711.tif 000003
【図２】
2012089711.tif 000004
【図３】
2012089711.tif 000005
【図４】
2012089711.tif 000006
【図５】
2012089711.tif 000007