(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルを所定の設置位置に容易にかつ精度よく位置調節することができる樹脂フィルムの表面処理装置を提供する。【解決手段】電極たる一対の回転ロール２１，３１には、遮蔽板４１，３８をそれぞれ相対回転可能に設ける。遮蔽板４１には、基準部材６１，６３を設け、遮蔽板３８には、基準部材６２，６４を設ける。ノズル３６；３７が基準部５１ａ，５２ａ；５３ａ，５４ａにそれぞれ接触したときのノズル３６；３７の上下方向の位置を基準位置とする。ノズル３６，３７をシリンダ機構５１のロッド５１ｂによって上下方向へ移動可能に支持させる。シリンダ機構５１は、ノズル３６，３７を所定の設置位置に支持する。各シリンダ機構のロッドとノズル３６，３７との各間には、ノズル３６，３７を基準位置から設置位置まで位置調節する位置調節機構７０Ａ，７０Ｂをそれぞれ設ける。【選択図】図１
2012201777.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂フィルムの表面を処理する樹脂フィルムの表面処理装置であって、
対向面間に放電が行われる処理空間が形成され、この処理空間内を前記樹脂フィルムが移送される一対の電極と、
プロセスガスを吹き出す吹き出し口を有し、この吹き出し口を前記処理空間に臨ませた状態で前記一対の電極の対向方向と直交する直交方向へ移動可能に配置されたノズルと、
前記直交方向へ移動可能に配置された支持部材を有し、この支持部材を前記直交方向へ移動不能に支持する支持手段と、
前記ノズルと前記支持部材との間に設けられ、前記ノズルを前記支持部材に対して前記直交方向へ位置調節可能に連結する位置調節手段とを備え、
前記一対の電極の少なくとも一方には、前記支持部材が前記処理空間に接近移動して所定の基準位置に達したときに前記ノズルに接触する基準部が設けられ、
前記ノズルは、前記基準部に接触した後、前記位置調節手段により前記基準部から前記直交方向へ所定距離だけ離間した所定の設置位置に位置調節されることを特徴とする樹脂フィルムの表面処理装置。
【請求項２】
前記一対の電極が、互いに平行に配置され、かつそれぞれの軸線を中心として回転駆動される一対のロール電極であり、前記直交方向が前記一対のロール電極の各軸線を含む平面と直交する方向とされ、前記一対のロール電極間の空間のうち、最も狭くなった部分及びその部分に対して前記直交方向に近接した部分が前記処理空間とされ、この処理空間に臨む前記一対のロール電極の外周面に前記樹脂フィルムが巻回され、前記一対のロール電極が回転駆動されることにより、前記樹脂フィルムが前記ロール電極の外周面に接触した状態を維持しつつ前記処理空間内を移送されることを特徴とする請求項１に記載の樹脂フィルムの表面処理装置。
【請求項３】
前記ロール電極が、前記樹脂フィルムが巻回される断面円形のロール部、及びこのロール部より小径に形成され、前記ロール部の両端部にそれぞれの軸線を前記ロール部の軸線と一致させて設けられた一対の軸部を有し、前記一対の軸部の少なくとも一方に基準部材が回転可能に設けられ、この基準部材に前記基準部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の樹脂フィルムの表面処理装置。
【請求項４】
前記基準部が、前記ロール電極の軸線を中心とする円弧面からなる凸曲面によって構成され、前記ノズルの前記基準部に押し付けられる部分には、前記基準部を構成する凸曲面に面接触する凹曲面からなる当接部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の樹脂フィルムの表面処理装置。
【請求項５】
前記基準部を構成する円弧面が、前記基準部材が設けられた前記ロール電極の外径より大径であることを特徴とする請求項４に記載の樹脂フィルムの表面処理装置。
【請求項６】
前記支持手段が、前記支持部材を前記直交方向へ移動させる移動機構を有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の樹脂フィルムの表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂フィルムの表面を処理して樹脂フィルムの接着剤に対する接着性を向上させる樹脂フィルムの表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
まず、この発明に係る表面処理装置の適用対象たる樹脂フィルムについて説明すると、そのような樹脂フィルムは、例えば液晶表示の偏光板に用いられている。図１１に偏光板の一例が示されている。この偏光板１は、偏光フィルム２と、この偏光フィルム２の両面に積層された一対の保護フィルム（樹脂フィルム）３，３とを有している。一対の保護フィルム３，３は、偏光フィルム２の両面にそれぞれ接着剤４を介して接着されている。
【０００３】
偏光フィルム２は、例えばポリビニルアルコールを主成分とする樹脂によって構成されている。一方、保護フィルム３は、例えばトリアセテートセルロースを主成分とする樹脂によって構成されている。また、接着剤４としては、ポリビニルアルコール系接着剤やポリエーテル系接着剤等の水系接着剤が用いられている。
【０００４】
偏光フィルム２は、水系接着剤４との接着性が良好である。一方、保護フィルム３は、水系接着剤４との接着性が悪い。そこで、保護フィルム３を偏光フィルム２に接着するに際しては、保護フィルム３の表面（接着面）３ａを予め処理し、接着剤４対する接着性を向上させている。
【０００５】
保護フィルム３等の樹脂フィルムの表面を処理して、接着剤４に対する接着性を向上させるための表面処理装置が特許文献１に開示されている。この表面処理装置は、一対のロール電極（電極）及びノズルを有している。一対のロール電極は、それぞれの軸線を水平方向に向けた状態で互いに平行に配置されている。一対のロール電極の外周面間のうち、最も接近した部位及びその上下方向の近傍部分が処理空間とされている。この処理空間に臨む一対のロール電極の外周面間において放電が行われる。また、処理空間には、処理されるべき樹脂フィルムが各ロール電極に巻回された状態で通されており、各ロールが回転駆動されることによって樹脂フィルムが処理空間内を移送される。
【０００６】
一方、ノズルは、処理空間に臨んで配置されており、重合性モノマーの蒸気及び窒素ガス等の不活性ガスを含むプロセスガスを処理空間に吹き出す。これによって、処理空間内がプロセスガスの雰囲気になる。そして、その雰囲気中で放電が行われることにより、樹脂フィルムの表面が処理され、その接着性が向上される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第ＷＯ２０１０／０７３６２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記構成の表面処理装置においては、保守点検の度に、ノズルが処理空間及び一対の電極から離間移動させられた後、元の位置に戻される。ここで、ノズルの位置、特に一対のロール電極の軸線を含む平面と直交する方向におけるノズルの位置は、処理空間の上下の範囲を区画するものでもあるので、高い正確性が要求される。このため、ノズルの位置決めに多大の手間を要するという問題があった。そこで、ノズルの位置を正確に、しかも容易に決めることができる表面処理装置の開発が要望されていた。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、上記要望に応えるためのものであり、樹脂フィルムの表面を処理する樹脂フィルムの表面処理装置であって、対向面間に放電が行われる処理空間が形成され、この処理空間内を前記樹脂フィルムが移送される一対の電極と、プロセスガスを吹き出す吹き出し口を有し、この吹き出し口を前記処理空間に臨ませた状態で前記一対の電極の対向方向と直交する直交方向へ移動可能に配置されたノズルと、前記直交方向へ移動可能に配置された支持部材を有し、この支持部材を前記直交方向へ移動不能に支持する支持手段と、前記ノズルと前記支持部材との間に設けられ、前記ノズルを前記支持部材に対して前記直交方向へ位置調節可能に連結する位置調節手段とを備え、前記一対の電極の少なくとも一方には、前記支持部材が前記処理空間に接近移動して所定の基準位置に達したときに前記ノズルに接触する基準部が設けられ、前記ノズルは、前記基準部に接触した後、前記位置調節手段により前記基準部から前記直交方向へ所定距離だけ離間した所定の設置位置に位置調節されることを特徴としている。
この場合、前記一対の電極が、互いに平行に配置され、かつそれぞれの軸線を中心として回転駆動される一対のロール電極であり、前記直交方向が前記一対のロール電極の各軸線を含む平面と直交する方向とされ、前記一対のロール電極間の空間のうち、最も狭くなった部分及びその部分に対して前記直交方向に近接した部分が前記処理空間とされ、この処理空間に臨む前記一対のロール電極の外周面に前記樹脂フィルムが巻回され、前記一対のロール電極が回転駆動されることにより、前記樹脂フィルムが前記ロール電極の外周面に接触した状態を維持しつつ前記処理空間内を移送されることが望ましい。
前記ロール電極が、前記樹脂フィルムが巻回される断面円形のロール部、及びこのロール部より小径に形成され、前記ロール部の両端部にそれぞれの軸線を前記ロール部の軸線と一致させて設けられた一対の軸部を有し、前記一対の軸部の少なくとも一方に基準部材が回転可能に設けられ、この基準部材に前記基準部が設けられていることが望ましい。
前記基準部が、前記ロール電極の軸線を中心とする円弧面からなる凸曲面によって構成され、前記ノズルの前記基準部に押し付けられる部分には、前記基準部を構成する凸曲面に面接触する凹曲面からなる当接部が形成されていることが望ましい。
前記基準部を構成する円弧面が、前記基準部材が設けられた前記ロール電極の外径より大径であることが望ましい。
前記支持手段が、前記支持部材を前記直交方向へ移動させる移動機構を有していることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
上記特徴構成を有するこの発明によれば、ノズルを基準部に接触させた後、ノズルを位置調節手段によって基準部から予め定められた距離だけ移動させることにより、ノズルを所定の設置位置に位置させることができる。したがって、ノズルの位置を精度良く、しかも容易に定めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、この発明の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】図２は、同実施の形態を保守点検時の状態で示す正面図である。
【図３】図３は、同実施の形態の一部を省略して示す正面図である。
【図４】図４は、同実施の形態の一部をさらに省略して示す正面図である。
【図５】図５は、図３のＸ−Ｘ線に沿う拡大断面図である。
【図６】図６は、カバー及びノズルを取り外してロールから上方へ移動させた状態で示す図５と同様の断面図である。
【図７】図７は、図１のＸ―Ｘ線に沿う一部省略拡大断面図である。
【図８】図８は、同実施の形態の要部を示す正面図である。
【図９】図９は、図８のＸ矢視図である。
【図１０】図１０は、図８のＹ矢視図である。
【図１１】この発明に係る表面処理装置によって処理された樹脂フィルムが用いられた偏光板の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、この発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
図１〜図１１は、この発明の一実施の形態を示す。この実施の形態の樹脂フィルムの表面処理装置１０は、例えば図１１に示す偏光板１の保護フィルム３のような樹脂フィルム、つまりトリアセテートセルロースを主成分とする樹脂フィルム等の樹脂フィルムＦの表面を、ポリビニルアルコール系接着剤やポリエーテル系接着剤等の水系接着剤に対する接着性を向上させるためのものであり、凝縮部２０及びプラズマ処理部３０を有している。
【００１３】
凝縮部２０は、重合性モノマーの蒸気を含むガスを樹脂フィルムＦの表面に凝縮させて付着させるためのものであり、図１〜図５に示すように、回転ロール（ロール電極）２１を有している。回転ロール２１は、筒部２１ａ及び端板２１ｂを主な構成要素としている。筒部２１ａは、金属製又は樹脂製である断面円形の筒体からなるものであり、その全長にわたって一定の内外径を有している。筒部２１ａは、その軸線を水平方向に向けて配置されている。筒部２１ａの外周面には、金属製の円筒２２が嵌合固定されている。円筒２２は、筒部２１ａより短くなっており、円筒２２の両端面は、筒部２１ａの両端面に対して同一距離だけ内側（中央側）に離間させられている。円筒２２の外周面には、誘電体からなる誘電層（図示せず）が設けられている。端板２１ｂは、金属又は樹脂からなるものであり、円板状をなし、筒部２１ａの両端開口部に嵌合固定されている。端板２１ｂの外側の端面は、筒部２１ａの端面と同一平面上に配置されている。
【００１４】
端板２１ｂの外側の端面の中央部には、軸部２１ｃが形成されている。この軸部２１ｃは、その軸線を筒部２１ａの軸線と一致させて配置されている。軸部２１ｂは、電動モータその他の回転駆動源（図示せず）によって回転駆動される。それにより、回転ロール２１が図１及び図２において時計方向へ回転駆動される。回転ロール２１は、上記の構造のものに限定されるものではなく、例えば全体を中実な構造にしてもよい。
【００１５】
円筒２２の外周面のうちの上部には、この表面処理装置１０によって処理されるべき樹脂フィルムＦが巻回されている。この場合、樹脂フィルムＦは、処理すべき面、つまり接着性を向上させるべき面を円筒２２の径方向外側に向けて巻回される。樹脂フィルムＦの幅（図３において左右方向の長さ）は、円筒２２の長さより短くなっている。樹脂フィルムＦの両端は、円筒２２の両端面から互いに同一距離だけ内側に離間させられている。樹脂フィルムＦの両端部は、筒部２１ａの両端部から互いに異なる距離だけ離間させてもよい。なお、回転ロール２１が図２の時計方向へ回転駆動されると、円筒２２の外周面と樹脂フィルムＦとの間に発生する摩擦抵抗によって樹脂フィルムＦが同方向へ移送される。
【００１６】
筒部２１ａの上側には、樹脂その他の材料からなるカバー２３が配置されている。カバー２３は、断面略四半分の円筒状に形成されており、筒部２１ａと平行に、しかも周方向の中央部が筒部２１ａの真上に位置するように配置されている。したがって、カバー２３の周方向の半分が、筒部２１ａの真上の箇所から筒部２ａ回転方向後方に位置し、他の半分が筒部２１ａの回転方向前方に位置している。カバー２３は、必ずしもこのように配置する必要が無く、筒部２１ａの回転方向後方側の部分と前方側の部分との周方向の長さが互いに異なる長さになるように配置してもよい。
【００１７】
筒部２１ａの外周面と対向するカバー２３の内面は、筒部２１ａの軸線を曲率中心とする円弧面によって構成されている。しかも、カバー２３の内面を構成する円弧面の曲率半径は、円筒２２の半径より大径になっている。したがって、カバー２３の内面は、筒部２１ａから径方向外側に離間させられているのみならず、円筒２２の半径とカバー２３の内面の曲率半径との差の分だけ円筒２２の外周面から径方向外側（図４において上側）へ離間させられている。
【００１８】
カバー２３は、筒部２１ａの全長と同一の長さを有している。カバー２３は、その長手方向（筒部２１ａの軸線方向）の両端面が筒部２１ａの両端面と同一平面上に位置するように配置されている。カバー２３の両端面は、必ずしも筒部２１ａの両端面と同一平面上に位置させる必要がなく、筒部２１ａの両端面に対して筒部２１ａの軸線方向外側に位置させてもよい。
【００１９】
カバー２３が筒部２１ａ及び円筒２２の上側に離間して配置されることにより、筒部２１ａの両端部外周面及び円筒２２の外周面の各上部とカバー２３との間には、筒部２１ａの外周面に沿って延びる断面円弧状の空間が形成されている。この空間が凝縮空間２４である。凝縮空間２４の周方向の両端部は、筒部２１ａ及びカバー２３の周方向の両端部において外部に開放され、軸線方向の両端部は、筒部２１ａ及びカバー２３の軸線方向の両端部において外部に開放されている。
【００２０】
カバー２３は、回転ロール２１に対して上下方向へ移動可能に配置されており、シリンダ機構等の移動手段（図示せず）によって上下方向へ移動可能に支持されている。そして、シリンダ機構のロッドを適宜に進退移動させることにより、所望の位置に移動させられるようになっている。
【００２１】
カバー２３には、ノズル部２５が一体に設けられている。ノズル部２５は、カバー２３の周方向の中央部に配置されている。ノズル部２５は、カバー２３の長手方向に沿って延びている。つまり、筒部２１ａの軸線と平行に延びている。ノズル部２５の長さは、カバー２３と同一長さに設定されている。ノズル部２５は、筒部２１ａの軸線方向にはカバー２３と同一位置に配置されている。したがって、ノズル部２５の長手方向の両端面は、カバー２３の長手方向の両端面と同一位置に位置させられている。
【００２２】
カバー２３の周方向の中央部は、ノズル部２５の一部として兼用されており、当該中央部の凝縮空間２４に臨む内面には、ノズル部２５の吹き出し口２５ａが形成されている。吹き出し口２５ａは、筒部２１ａの軸線と平行に延びている。吹き出し口２３の長さは、ノズル部２５の長さよりは短いが、樹脂フィルムＦの幅より所定の長さだけ長く設定されている。しかも、吹き出し口２５ａは、筒部２１ａの軸線方向には樹脂フィルムＦと同一位置に配置されている。したがって、吹き出し口２５ａの長手方向の両端部は、樹脂フィルムＦの幅方向の両端部に対して筒部２１ａの軸線方向へそれぞれ同一距離だけ外側に位置させられている。
【００２３】
ノズル部２５には、重合性モノマーの蒸気を含むガス（以下、モノマーガスという。）がモノマーガス供給源（図示せず）から供給される。重合性モノマーは、不飽和結合及び所定の官能基を有することが望ましく、親水性を有するものであることがより望ましい。そのような重合性モノマーとしては、例えばアクリル酸（ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯＨ；図にはＡＡと表記）がある。また、モノマー供給源から供給されるモノマーガスは、重合性モノマーの蒸気だけで構成してもよく、重合性モノマーの蒸気に窒素ガス（Ｎ２）、アルゴンガス（Ａｒ）、ヘリウムガス（Ｈｅ）等の不活性ガスを混合させてもよい。この実施の形態では、アクリル酸（ＡＡ）の蒸気に窒素ガスを混合したガスが、モノマーガスとして採用されている。
【００２４】
ノズル部２５に供給されたモノマーガスは、ノズル部２５の内部に設けられた整流路（図示せず）において筒部２１ａの軸線方向におけるノズル部２５内の各部の流量が均一になるように整流される。整流されたモノマーガスは、吹き出し通路２５ｂを通って吹き出し口２５ａに送られる。そして、吹き出し口２５ａから凝縮空間２４内に吹き出される。この場合、モノマーガスは、筒部２１ａの径方向内側に向かって吹き出され、樹脂フィルムＦに吹き付けられる。そして、重合性モノマーの蒸気の一部が、樹脂フィルムＦ上において凝縮して樹脂フィルムＦに付着する。
【００２５】
凝縮空間２４内に吹き出したモノマーガス（樹脂フィルムに付着した重合性モノマーを除く）は、凝縮空間２４内を筒部２１ａ及び円筒２２の各外周面、樹脂フィルムＦの表面並びにカバー２３の内面に沿って流れる。そして、凝縮空間２４の周方向の両端部から外部に流出する。勿論、モノマーガスは、凝縮空間２４の軸線方向の両端部からも外部へ流出しようとする。しかし、凝縮空間２４の軸線方向における両端部は、左右の遮蔽機構４０，４０によって外部との間がほとんど遮断されている。したがって、モノマーガスが凝縮空間２４の軸線方向の両端部から流出することはほとんどない。
【００２６】
二つの遮蔽機構４０，４０は、図３に示すように、左右対称に形成されている。そこで、図３の左側に配置された遮蔽機構４０だけを説明することとし、右側の遮蔽機構については、左側の遮蔽機構４０と同様な部分に同一符号を付してその説明を省略する。
【００２７】
遮蔽機構４０は、遮蔽板４１を有している。遮蔽板４１は、円板からなるものであり、その中央部には、支持孔４１ａが貫通状態で形成されている。この支持孔４１ａには、ロール２１の軸部２１ｃが挿通されている。そして、遮蔽板４１は、軸部２１ｃに軸受４２を介して回転可能に支持されている。
【００２８】
遮蔽板４１は、筒部２１ａ及び端板２１ｂの端面（ロール部の端面）に対して接触することなく、筒部２１ａの軸線方向へ所定の距離だけ離間させられている。したがって、遮蔽板４１は、ロール２１が回転したとき、ロール２１と一緒に回転することがなく、ロール２１に対して停止状態を維持することができる。
【００２９】
遮蔽板４１の外周面の半径は、カバー２３の内面の曲率半径と同じ大きさに設定されている。カバー２３の曲率半径は、必ずしもそのような大きさにする必要がなく、カバー２３の内面の曲率半径より小さくしてもよく、逆に大きくしてもよい。遮蔽板４１の外周面の半径をカバー２３の曲率半径より小さくする場合には、筒部２１ａの半径より大きくすることが望ましい。逆に、遮蔽板４１の外周面の半径をカバー２３の曲率半径より大きくする場合には、カバー２３の外面の曲率半径より小さくすることが望ましい。つまり、遮蔽板４１の外周面の半径は、筒部２１ａの外周面の半径とカバー２３の外面の曲率半径と間の寸法に定めることが望ましい。
【００３０】
遮蔽板４１の外周面の曲率半径がカバー２３の内面の曲率半径とほぼ同一であるので、遮蔽板４１と筒部２１ａ及び端板２１ｂの各端面との間、及び遮蔽板４１とカバー２３の端面の小径側の端縁との間には、筒部２１ａの軸線を中心として環状に延びる隙間４３が形成されている。この隙間４３は、凝縮空間２４に連通している。したがって、筒部２１ａの軸線方向における凝縮空間２４の両端部に存在するモノマーガスは、隙間４３に入り込む。隙間４３に入り込んだモノマーガスは、遮蔽板４１に突き当たって同方向への流れが止められる。そして、モノマーガスの一部は、隙間４３内を遮蔽板４１に沿ってその径方向外側（上側）へ向かって流れようとし、残りの一部は遮蔽板４１に沿ってその径方向内側（下側）へ向かって流れようとする。
【００３１】
図３及び図５に示すように、筒部２１ａの軸線方向におけるノズル部２５の両端面には、受け部材４４がボルト等の固定手段（図示せず）によってそれぞれ固定されている。受け部材４４は、筒部２１ａの軸線を中心として円弧状に延びており、カバー２３とほぼ同一の周方向長さを有している。しかも、受け部材４４は、カバー２３と周方向においてほぼ同一位置に配置されている。したがって、受け部材４４の周方向の両端面は、カバー２３の周方向の両端面とほぼ同一位置に位置させられている。受け部材４４は、ノズル部２５に一体に設けてもよい。つまり、受け部材４４は、ノズル部２５を介してカバー２３に一体に設けてもよい。あるいは、受け部材４４をカバー２３の端部に直接一体に設けてもよい。
【００３２】
受け部材４４は、カバー２３及びノズル部２５の端面に押圧接触させられており、受け部材４４とカバー２３及びのズル部２５との間は、気密に封止されている。受け部材４４の内面、つまり筒部２１ａの径方向内側を向く受け部材４４の面は、筒部２１ａの軸線を中心とする円弧面によって構成されている。この円弧面の曲率半径は、遮蔽板４１の外周面の曲率半径と同一に設定されている。
【００３３】
受け部材４４は、遮蔽板４１の外周面の上部に載置されている。ここで、受け部材４４の内面の曲率半径が遮蔽板４１の外周面の半径と同一に設定されているから、受け部材４４の内面は、その周方向の全長にわたって遮蔽板４１の外周面に接触させられている。受け部材４４の内面と遮蔽板４１の外周面との間は、Ｏリング等のシール部材４５によって気密に封止されている。
【００３４】
受け部材４４とカバー２３及びノズル２５の端面との間が気密に封止されるとともに、受け部材４４の内面と遮蔽板４１の外周面との間が気密に封止されることにより、隙間４３のうちの上側の開放部が閉じられている。したがって、仮にモノマーガスが筒部２１ａの軸線方向における凝縮空間２４の端部から隙間４３に流入したとしても、そのモノマーガスが隙間４３の上部から外部に流出することはない。
【００３５】
端板２１ｂの遮蔽板４１と対向する端面には、凹部４６が形成されている。凹部４６は、筒部２１ａの軸線を中心として環状に延びている。一方、端板２１ｂと対向する遮蔽板４１の端面には、凸部４７が形成されている。凸部４７は、筒部２１ａの軸線を中心として環状に延びている。しかも、凸部４７は、回転ロール２１が回転したときに凸部４７の外面が凹部４６の内面に接触することがないよう、凹部４６に隙間をもって挿入されている。ただし、凸部４７の外面と凹部４６の内面との間の隙間の大きさは、それらが接触することを防止することができる範囲において可及的に小さな寸法に抑えられている。この結果、凹部４６の内面と凸部４７の外面との間にいわゆるラビリンス通路が形成される。このラビリンス通路は、遮蔽板４１の径方向外側から内側（上側から下側）へ向かって流れるモノマーガスに対して一種の抵抗となる。したがって、凝縮空間２４から隙間４３に入り込んだモノマーガスは、遮蔽板４１の径方向内側（下側）へ向かって流れることがほとんどない。なお、この実施の形態においては、凹部４６及び凸部４７がそれぞれ２個形成されているが、１個だけ形成してもよく、３個以上形成してもよい。
【００３６】
このように、筒部２１ａの軸線方向おける凝縮空間２４の両端部は、外部との間が遮蔽機構４０によってほとんど遮断されている。したがって、吹き出し口２５ａから凝縮空間２４内に吹き出されたモノマーガスは、筒部２１ａ及び円筒２２の各外周面、樹脂フィルムＦの表面並びにカバー２３の内面に沿って周方向へ流れるだけであり、筒部２１ａの軸線方向へ流れることがない。よって、凝縮空間２４内のモノマーガスの密度が、凝縮空間２４の両端部で低くなることがなく、凝縮空間２４の全長にわたってほぼ一定になる。この結果、凝縮して樹脂フィルム付着するモノマーガスの付着量を、樹脂フィルムの幅方向の各部において一定にすることができる。
【００３７】
また、凝縮部２０の保守点検の際には、図６に示すように、カバー２３及びノズル部２５が回転ロール２１から上方へ移動させられる。このとき、遮蔽板４１が回転ロール２１に取り付けられているから、遮蔽板４１がカバー２３と一緒に移動することがない。したがって、カバー２３を上方へ移動させた後、遮蔽板４１をカバー２３から取り外すという手間を省くことができる。また、凝縮部２０の保守点検後にカバー２３を元の位置に戻す際には、カバー２３を遮蔽板４１，４１に受け部材４４，４４を介して載置するだけでよく、遮蔽板４１をカバー２３に取り付ける必要がない。よって、凝縮部２０の保守点検に要する手間を大幅に軽減することができる。
【００３８】
さらに、カバー２３が遮蔽板４１に受け部材４４を介して接し、しかも遮蔽板４１が回転ロール２１に設けられているから、カバー２３及び遮蔽板４１の位置が、回転ロール２１を基準として決定される。したがって、カバー２３及びノズル部２５を回転ロール２１に対して容易にかつ精度良く位置決めすることができる。よって、凝縮空間２４の間隔の精度、つまり筒部２１ａ及び２２の各外周面とカバー２３の内面との間隔の精度、及び筒部２１ａの径方向における吹き出し口２５ａの位置精度を向上させることができる。
【００３９】
次に、プラズマ処理部３０について説明する。図１〜図４に示すように、プラズマ処理部３０は、上記凝縮部２０の回転ロール２１と対をなす回転ロール（ロール電極）３１を有している。回転ロール３１は、後述する点を除き、回転ロール２１と同様に構成されており、回転ロール２１の筒部２１ａ、端板２１ｂ、軸部２１ｃ及び円筒２２にそれぞれ対応する筒部３１ａ、端板３１ｂ、軸部３１ｃ及び円筒（図示せず）を有している。勿論、回転ロール３１の円筒（以下、説明の便宜上、符号３２を付すものとする。）の外周面にも、誘電層が設けられている。また、回転ロール３１は、軸部３１ｃが回転駆動されることにより、回転ロール２１と同方向へ回転させられる。なお、筒部２１ａ，３１ａが金属で形成される場合には、回転ロール２１の円筒２２及び回転ロール３１の円筒３２を省略してもよい。その場合には、筒部２１ａ，３１ａの外周面に誘電層が設けられ、その上に樹脂フィルムＦが巻回される。
【００４０】
回転ロール３１は、回転ロール２１と平行に配置されている。したがって、回転ロール２１と回転ロール３１との間隔は、それらの軸線を含む平面上において最も狭くなっている。その最狭部の間隔（この実施の形態の場合、回転ロール２１の筒部２２と回転ロール３１の筒部３２との間の最狭部の間隔）は、通常０．５〜数ｍｍに設定される。最狭部及びそこから上下方向（回転ロール２１，３１の軸線を含む平面と直交する方向）へ所定の距離だけ離間した範囲が処理空間３３になっている。回転ロール２１，３１は、それらの軸線方向において同一位置に配置されている。したがって、処理空間３３は、回転ロール２１，３１の全長にわたって形成されている。
【００４１】
樹脂フィルムＦは、処理空間３３内を２回にわたって通過する。すなわち、樹脂フィルムＦは、凝縮部２０において重合性モノマーが付着された後、ロール２１に巻回された状態で、つまりロール２１の円筒２２の外周面に接触した状態で処理空間３２内を上側から下側へ通過する。その後、樹脂フィルムＦは、二つのアイドルロール３４，３５を通過した後、ロール３１の円筒の外周面に巻回された状態で処理空間３３を下側から上側へ通過する。なお、回転ロール３１の円筒に対する樹脂フィルムＦの巻回位置は、円筒２２に対する樹脂フィルムＦの巻回位置と図１において左右対称な位置になっている。
【００４２】
回転ロール３１の軸部３１ｃには、遮蔽板（遮蔽部材）３８が軸受３９を介して回転可能に設けられている。この遮蔽板３８は、回転ロール２１に設けられた遮蔽板４１と同一形状、同一寸法を有している。したがって、遮蔽板３８の回転ロール３１と対向する端面には、遮蔽板４１の凸部４７に対応した凸部３８ａが形成されている。勿論、これに対応して回転ロール３１の遮蔽板３８と対向する端面には、凹部４６に対応する凹部３１ｄが形成されている。遮蔽板３８は、回転ロール２１，３１の軸線方向においては遮蔽板４１と同一位置に配置されている。
【００４３】
処理空間３３の上側（回転ロール２１，３１の軸線を含む平面と直交する方向において処理空間３３から一方向へ離間する側）には、ノズル３６が配置されている。ノズル３６は、筒部２１ａ，３１ａと同一の長さを有しており、筒部２１ａ，３１ａと平行に、かつ筒部２１ａ，３１ａの軸線方向には筒部２１ａ，３１ａと同一位置に配置されている。したがって、ノズル３６の長手方向の両端面は、筒部２１ａ，２３１ａの両端面と同一位置に位置させられている。ノズル３６の処理空間３３に臨む下面には、ノズル３６の長手方向に延びる吹き出し口３６ａが形成されている。吹き出し口３６ａの長さは、樹脂フィルムＦの幅より長くなっており、吹き出し口３６ａの長手方向の両端部は、円筒２２，３２に巻回された樹脂フィルムＦの幅方向の両端部に対し筒部２１ａ，３１ａの軸線方向へ互いに同一距離だけ外側に位置させられている。
【００４４】
ノズル３６には、不活性ガス供給源（図示せず）から不活性ガス（プロセスガス）が供給される。不活性ガスとしては、窒素、アルゴン、ヘリウム等があるが、この実施の形態では、窒素が採用されている。ノズル３６に供給された不活性ガスは、ノズル３３の内部に設けられた整流路において整流された後、ノズル３６に設けられた通路３６ｂを通って吹き出し口３６ａから処理空間３３内にその上側から吹き出される。
【００４５】
処理空間３３の下側（回転ロール２１，３１の軸線を含む平面と直交する方向において処理空間３３から他方向へ離間する側）には、ノズル３７が配置されている。ノズル３７は、ノズル３６と上下の向きが逆になっている点を除き、ノズル３６と同一形状、同一寸法を有している。したがって、ノズル３７は、ノズル３６の吹き出し口３６ａ、通路３６ｂ及び整流路に対応する吹き出し口３７ａ、通路３７ｂ及び整流路を有している。ノズル３７は、処理空間３３を間にしてノズル３６と上下対称に配置されている。したがって、ノズル３７は、処理空間３３内に不活性ガスを下方から吹き出す。このように、処理空間３３にその上側及び下側から不活性ガスがそれぞれ吹き込まれることにより、処理空間３３の内部が、ほぼ大気圧である不活性ガスの雰囲気とされている。
【００４６】
回転ロール２１，３１のうちの一方の回転ロール２１の円筒２２には、電源Ｖの高圧端子が接続されている。他方のロール３１の円筒３２は、接地されている。勿論、円筒２２を接地し、回転ロール３１の円筒３２に電源Ｖの高圧端子を接続してもよい。電源Ｖからの電圧供給により、円筒２２，３２間に電界が形成され、処理空間３３がほぼ大気圧の放電空間になる。電源Ｖからの供給電圧及び円筒２２，３２間の電界は、例えばパルス状になっている。パルスの立ち上がり時間及び立ち下がり時間は、１０μｓ以下であることが望ましく、電界強度は、１０〜１０００ＫＶ／ｃｍであることが望ましく、周波数は、０．５〜１００ｋＨｚであることが望ましい。印加電圧及び電界は、パルス状の間欠波に限られず、正弦波等の連続波であってもよい。
【００４７】
電源Ｖからの電圧供給により、回転ロール２１，３１の円筒２２，３２間において放電が行われる。この放電により、処理空間３３内の窒素ガスがプラズマ化されるとともに、樹脂フィルムＦに付着した重合性モノマーが活性化され、二重結合の開裂、重合等が発生する。また、樹脂フィルムＦへの窒素ガスの接触や、窒素ガスからの紫外線（３３７ｎｍ）の照射により、樹脂フィルムＦの表面の分子のＣ−Ｃ、Ｃ−Ｏ、Ｃ−Ｈ等の結合が切断される。この結合切断部にアクリル酸等の重合性モノマーの重合物が結合（グラフト結合）し、あるいは重合性モノマーから分解したＣＯＯＨ基等が結合すると考えられる。これにより、樹脂フィルムＦの表面に接着性促進層が形成され、樹脂フィルムＦの水系接着剤に対する接着性が向上する。
【００４８】
図１及び図２に示すように、上側に配置されたノズル３６は、その長手方向の両端部が一対の第１支持機構（支持手段）５０Ａ，５０Ａによってそれぞれ上下方向へ移動可能に支持されている。下側に配置されたノズル３７は、その長手方向の両端部が一対の第２支持機構（支持手段）５０Ｂ，５０Ｂによってそれぞれ上下方向へ移動可能に支持されている。一対の第１支持機構５０Ａ，５０Ａは、左右対称に配置されている。同様に、一対の第２支持機構５０Ｂ，５０Ｂは、左右対称に配置されている。また、第１支持機構５０Ａと第２支持機構５０Ｂとは、第１支持機構５０Ａがノズル３６をその吹き出し口３６ａが下方を向くようにして支持しているのに対し、第２支持機構５０Ｂがノズル３７をその吹き出し口３７ａが上方を向くように支持している点を除き、同様の構造を有している。そこで、一対の第１支持機構５０Ａ，５０Ａのうちの図１及び図２において左側に配置された第１支持機構５０Ａについてのみ説明することとし、右側に配置された支持機構５０Ａ及び一対の第２支持機構５０Ｂ，５Ｂについては、第１支持機構５０Ａと同様な構成部分に同一符号を付してその説明を省略する。
【００４９】
第１支持機構５０Ａは、油圧シリンダ機構や機械式のシリンダ機構等のシリンダ機構（移動機構）５１している。シリンダ機構５１は、シリンダ５１ａ及びロッド（支持部材）５１ｂを有している。シリンダ５１ａは、その軸線を上下方向に向けた状態で床等の固定系に設けられている。勿論、この固定系には、回転ロール２１，３１が回転可能に支持されている。ロッド５１ｂは、シリンダ５１ａに上下方向へ移動可能に設けられている。ロッド５１ｂの上端部は、シリンダ５１ａから上方へ突出させられている。ロッド５１ｂは、シリンダ５１ａに内蔵された油圧機構や機械式の移動機構により、シリンダ５１ａに対して上下方向へ移動させられるとともに、所望の位置に停止させられる。
【００５０】
図１、図２及び図７〜図１０に示すように、ロッド５１ｂの上端部には、可動部材５２が上下方向へ移動可能に設けられている。可動部材５２は、その下面から上方に延びる止まり孔５２ａが形成されている。この止まり孔５２ａには、ロッド５１ｂの上端部が上下方向へ移動可能に嵌合されている。これにより、可動部材５２がロッド５１ｂの上端部に上下方向へ移動可能に設けられている。可動部材５２は、後述する位置調節機構６０によってロッド５１ｂに対する上下方向の位置が調整された後、ボルト５７を締め付けることによってロッド５１ｂに固定されている。
【００５１】
一方、ノズル３７の図７における左端面には、中間部材５３の基端部（図７において右端部）がボルト等の固定手段（図示せず）によって固定されている。この中間部材５３の左端面（ノズル３７と逆側に位置する端面）には、連結部材５４の一端部（図９において下端部）がボルト等の固定手段（図示せず）によって固定されている。
【００５２】
図８〜図１０に示すように、連結部材５４の他端部の上下の端部には、略三角形の係合突出部５４ａ，５４ａがそれぞれ形成されている。下側の係合突出部５４ａは、可動部材５２の下端部に形成された係合凹部５２ｂの下端部に上下方向へ着脱可能に、かつ左右方向へ位置調節可能に係合されている。上側の係合突出部５４ａは、係合凹部５２ａの上端開放部から上方に向かって露出させられている。
【００５３】
可動部材５２の上面には、固定部材５５が設けられている。この固定部材５５の一端部は、可動部材５２の上面に接している。固定部材５５の他端部の下面には、係合突出部５４ａとほぼ同一角度で傾斜した傾斜面５５ａが形成されている。この傾斜面５５は、係合突出部５４ａの上面に接している。固定部材５５には、その中間部を上下方向に貫通するボルト５６が設けられている。このボルト５６の下端部は、可動部材５２に螺合されている。したがって、ボルト５６を締め付けると、固定部材５５の傾斜面５５ａが上側の係合突出部５４ａを下方及び図８の左方へ押す。その結果、下側の係合突出部５４ａが係合凹部５２ｂの下側の側面に押し付けられるとともに、連結部材５４の他端面（図８において左端面）が係合凹部５２ａの底面に押し付けられる。これにより、連結部材５４が可動部材５２に着脱可能に固定され、ひいては、ノズル３６が可動部材５４に着脱可能に固定されている。この結果、ノズル３６が、中間部材５３、連結部材５４及び可動部材５２を介してロッド５１ｂに上下方向へ移動可能に支持されている。なお、可動部材５２と連結部材５４とを着脱可能にする必要がないときには、それらを一体に形成してもよい。さらに、中間部材５３、連結部材５４及び可動部材５２をノズル３６に一体に形成してもよい。その場合には、ノズル３６がロッド５１ｂによって直接支持される。
【００５４】
ノズル３６の上下方向（回転ロール２１，３１の軸線を含む平面と直交する直交方向）の位置は、高精度に定める必要がある。そこで、この表面処理装置１においては、基準部材６１〜６４及び位置調節手段７０Ａ，７０Ｂが用いられている。
【００５５】
図１に示すように、基準部材６１は、遮蔽板４１の回転ロール２１側と逆側を向く端面にボルト等の固定手段（図示せず）によって押圧固定されている。基準部材６１は、水平な下端面が処理空間３３のうちの最も狭くなった部位に位置するように、つまり回転ロール２１，３１の軸線を含む平面上に位置するように配置されている。また、基準部材６１を回転ロール２１の軸線方向から見たとき、基準部材６１の一部が遮蔽板４１の外周面から処理空間３３側に突出するように配置されている。基準部材６１の遮蔽板４１から突出した部分の外面が基準部６１ａとされている。基準部６１ａは、回転ロール２１の軸線を中心とする円弧面によって構成されている。したがって、基準部６１ａの遮蔽板４１からの突出量は、いずれの箇所においても同一であり、通常１〜５ｍｍ程度に設定される。
【００５６】
基準部材６２は、遮蔽板３８に固定されている。基準部材６２は、基準部材６１と図１において左右対称な形状を有しており、処理空間３３を間にして基準部材６１と対称に配置されている。したがって、基準部材６２は、基準部材６１の基準部６１ａに対応する基準部６２ａを有しており、基準部６２ａは、処理空間３３を間にして基準部６１ａと対称に配置されている。基準部材６３，６４は、遮蔽板４１，３８にそれぞれ固定されている。しかも、基準部材６３，６４は、基準部材６１，６２と上下対称な形状を有しており、各上端面を基準部材６１，６２の下端面にそれぞれ接触させた状態で上下に対称に配置されている。したがって、基準部材６３，６４もそれぞれ基準部６３ａ，６４ａを有している。勿論、基準部６３ａは基準部６１ａと上下対称であり、基準部６４ａは基準部６２ａと上下対称である。
【００５７】
ノズル３６の下端部の回転ロール２１側及び回転ロール３１側の両側部には、当接部３６ｄ，３６ｅがそれぞれ形成されている。一方の当接部３６ｄは、回転ロール２１の軸線を中心とする円弧面によって構成されている。他方の当接部３６ｅは、回転ロール３１の軸線を中心とする円弧面によって構成されている。しかも、当接部３６ｄ，３６ｅを構成する円弧面の曲率半径は、基準部６１ａ，６２ａの曲率半径と同一に設定されている。したがって、ノズル３６を下方へ適宜の位置まで移動させると、当接部３６ｄ，３６ｅが基準部６１ａ，６２ａに面接触する。このときのノズル３６の位置が基準位置である。
【００５８】
ノズル３７の上端部の回転ロール２１側及び回転ロール３１側の両側部には、当接部３７ｄ，３７ｅがそれぞれ形成されている。一方の当接部３７ｄは、回転ロール２１の軸線を中心とする円弧面によって構成されている。他方の当接部３７ｅは、回転ロール３１の軸線を中心とする円弧面によって構成されている。しかも、当接部３７ｄ，３７ｅを構成する円弧面の曲率半径は、基準部６３ａ，６４ａの曲率半径と同一に設定されている。したがって、ノズル３７を上方へ適宜の位置まで移動させると、当接部３６ｄ，３７ｅが基準部６３ａ，６４ａに面接触する。このときのノズル３７の位置が基準位置である。勿論、ノズル３７の基準位置は、回転ロール２１，３１の軸線を含む平面に関してノズル３６の基準位置と上下対称な位置である。
【００５９】
ノズル３６は、第１支持機構５０Ａのロッド５１ｂと可動部材５２との間に設けられた位置調節手段７０Ａによって基準位置から予め設定された設置位置まで上方へ移動させられる。ノズル３７は、第２支持機構５０Ｂのロッド５１ｂと可動部材５２との間に設けられた位置調節手段７０Ｂによって予め設定された設置位置まで下方へ移動させられる。ノズル３７の設置位置は、回転ロール２１，３１の軸線を含む平面に関してノズル３６の設置位置と上下対称な位置である。
【００６０】
位置調節手段７０Ａは、第１及び第２調節ねじ７１，７２を有している。第１及び第２調節ねじ７１は、それぞれの軸線方向を上下方向に向けた状態で配置されている。第１調節ねじ７１は、可動部材５２に螺合されている。しかも、第１調節ねじ７１は、止まり孔５２ａの底面から下方に突出し、ロッド５１ｂの上面に押し付けられている。したがって、第１調節ねじ７１を正逆方向へ回転させると、可動部材５２が第１調節ねじ７１の回転量に対応した距離だけ上下方向移動する。つまり、可動部材５２が上下方向へ位置調節さる。その結果、可動部材５２に連結部材５４及び中間部材５３を介して固定されたノズル３６が上下方向へ位置調節される。
【００６１】
第２調節ねじ７２は、その軸線をロッド５１ｂの軸線と一致させて配置されている。第２調節ねじ７２の頭部７２ａは、可動部材５２の上面に形成された座繰り孔５２ｃの底面に押し付けられている。第２調節ねじ７２のねじ部７２ｂは、座繰り孔７２の底面から止まり孔５２ａの底面までの間の可動部材５２を上下方向へ移動可能に貫通し、ロッド５１ｂの上端部に螺合されている。したがって、第１調節ねじ７２で可動部材５２を上下方向に位置調節した後、第２調節ねじ７２を締め付けると、第１調節ねじ７１がロッド５１ｂの上面に押し付けられ、可動部材５２がロッド５１ｂに位置固定される。これにより、ノズル３６が位置固定される。
【００６２】
位置調節手段７０Ｂは、第１位置調節手段７０Ａと同一の構成を有している。つまり、第１及び第２調節ねじ７１，７２を有している。ただし、位置調節手段７０Ｂは、ノズル３７を基準位置から設置位置に位置調節する方法が、ノズル３６を第１位置調節手段７０Ａによって基準位置から設置位置まで位置調節する方法が異なっている。
【００６３】
すなわち、位置調節手段７０Ａは、可動部材５２を基準位置から上方へ移動させてその位置を調節するのに対し、位置調節手段７０Ｂは、可動部材５２を基準位置から下方へ移動させてその位置を調節する。位置調節手段７０Ｂによって可動部材５２を下方へ位置調節する際には、第１調節ねじ７１を可動部材５２に対して上方へ移動するように回転させる。すると、可動部材５２が第１調節ねじ７１の回転量に対応する距離だけロッド５１ｂに対して下方へ移動する。つまり、可動部材５２が下方へ位置調節される。その後、第２調節ねじ７２を締め付けることにより、可動部材５２をロッド５１ｂに位置固定することができる。
【００６４】
図８〜図１０に示すように、可動部材５２と連結部材５４との間には、連結部材５４を可動部材５４に対してノズル３６（ノズル３７）の長手方向へ位置調節するための第３位置調節手段８０が設けられている。
【００６５】
第３位置調節手段８０は、固定部材８１と第１及び第２調節ねじ８２，８３を有している。固定部材８１は、その基端部（図８において下端部）が可動部材５２にボルト８４によって固定されている。固定部材８１の先端部（図８において上端部）は、ノズル３６（３７）の長手方向を向く連結部材５４の側面と対向している。
【００６６】
第１及び第２調節ねじ８２は、長手方向をノズル３６（３７）の長手方向に向けて配置されている。第１調節ねじ８２は、固定部材８１に螺合されており、先端部は連結部材５４に押し付けられている。したがって、第１調節ねじ８２を連結部材５４に向かって移動するように回転させると、連結部材５４が固定部材８１から離間するように移動する。一方、第２調節ねじ８３は、その頭部が可動部材５２に当接されるとともに、ねじ部が連結部材５４に螺合されている。したがって、第２調節ねじ８３を連結部材５４側へ移動するように回転させると、連結部材５４が固定部材８１に接近するように移動する。このように、第１及び第２調節ねじ８２，８３を適宜に回転させることにより、ノズル３６（３７）の長手方向における連結部材５４の位置を調節するとともに、その調節位置に位置固定することができ、ひいては、ノズル３６（３７）をその長手方向へ位置調節することができるとともに、位置固定することができる。
【００６７】
上記構成の表面処理装置１０において、いま、ノズル３６，３７が設置位置に位置しているものとする。表面処理装置１０の保守点検の際には、図２に示すように、第１支持機構５０Ａのロッド５１ｂによってノズル３６を上方へ移動させるとともに、第２支持機構５０Ｂのロッド５１ｂによってノズル３７を下方へ移動させる。保守点検後、ノズル３６，３７を元の位置に戻す。
【００６８】
ノズル３６を元の位置に戻す際には、第１支持機構５０Ａのロッド５１ｂを下方へ移動させ、可動部材５２及びノズル３６を下方へ移動させる。そして、ノズル３６の当接部３６ｄ，３６ｅを基準部材６１，６２の基準部６１ａ，６２ａにそれぞれ接触させる。その後、ボルト５７を緩め、中間部材５２をロッド５１ｂに対して上下方向へ移動可能にする。また、第２調節ねじ７２の頭部を中間部材５２の上面から上方へ移動させ、それによって可動部材５２を上方へ移動可能な状態にする。その後、第１調節ねじ７１を下方へ移動するように回転させる。すると、第１調節ねじ７１の下端面が可動部材５２の上面に突き当たっているので、可動部材５２及びノズル３６が上方へ移動する。第１調節ねじ７１を所定の回転数だけ回転させると、ノズル３６が基準位置から設置位置まで移動する。ノズル３６を基準位置から設置位置まで移動させるのに必要な第１調節ねじ７１の回転数は、第１調節ねじ７１のピッチによって定まる値であり、予め定められている。次に、第２調節ねじ７２を締め付けて、その頭部を可動部材５２の上面に押し付ける。それにより、可動部材５２及びノズル３６を仮固定する。その後、ボルト５７を締め付けることにより、可動部材５２をロッド５１ｂに固定し、ノズル３６を設置位置に固定する。ノズル３６は、中間部材５３、連結部材５４及び可動部材５２を介してロッド５１ｂに位置固定状態で支持される。
【００６９】
ノズル３７を元の位置に戻す際には、第２支持機構５０Ｂのロッド５１ｂを上方へ移動させ、可動部材５２及びノズル３７を上方へ移動させる。そして、ノズル３７の当接部３７ｄ，３７ｅを基準部材６３，６４の基準部６３ａ，６４ａにそれぞれ接触させる。その後、ボルト５７緩め、可動部材５２をロッド５１ｂに対して上下方向へ移動可能にする。その後、第１調節ねじ７１を上方へ移動するように回転させる。すると、第１調節ねじ７１の下端面が可動部材５２の上面に突き当たっているので、可動部材５２及びノズル３６が第１調節ねじ７１の上方へ移動に伴って下方へ移動する。第１調節ねじ７１を所定の回転数だけ回転させると、ノズル３７が基準位置から設置位置まで移動する。ノズル３７を基準位置から設置位置まで移動させるのに必要な第１調節ねじ７１の回転数は、予め定められている。次に、第２調節ねじ７２を締め付けて、その頭部を可動部材５２の上面に押し付ける。それにより、可動部材５２及びノズル３７を仮固定する。その後、ボルト５７を締め付けることにより、可動部材５２をロッド５１ｂに固定し、ノズル３７を設置位置に固定する。ノズル３７は、中間部材５３、連結部材５４及び可動部材５２を介してロッド５１ｂに位置固定状態で支持される。
【００７０】
このように、ノズル３６，３７の設置位置への位置決めは、ノズル３６；３７を基準部６１ａ，６２ａ；６３ａ，６４ａに接触させた後、第１及び第２位置調節機構７０Ａ，７０Ｂの第１調節ねじ７１を予め定められた所定の回転数だけ回転させるだけでよい。したがって、ノズル３６，３７の位置決めを容易にかつ精度良く行うことができる。
【００７１】
なお、この発明は、上記の実施の形態に限定されるものでなく、各種の変形例を採用することができる。
例えば、上記の実施の形態においては、樹脂フィルムＦに重合性モノマーの蒸気を凝縮して付着させた後、その樹脂フィルムＦを処理空間３３内に通すようにしているが、必ずしも樹脂フィルムＦを処理空間３３に通す前に樹脂フィルムに重合性モノマーを付着させる必要はない。例えば上記特許文献１に記載されているように、プロセスガスとして重合性モノマーの蒸気に窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを混合したものを用い、このプロセスガスをノズル３６，３７から処理空間３３に吹き出させてもよい。その場合には、上記実施の形態の凝縮部２０が不要になる。
また、上記の実施の形態においては、一対の電極として二つの回転ロール（ロール電極）２１，３１を用いているが、回転ロール２１，３１の少なくとも一方については、回転することのない固定された電極としてもよい。
また、上記の実施の形態においては、第１調節ねじ７１でノズル３６，３７の位置を調節した後、第２調節ねじ７２でノズル３６，３７を仮固定しているが、第１調節ねじ７１による位置調節後、第２調節ねじ７２でノズル３６，３７を仮固定することなく、ボルト３７によってロッド５１ｂに直ちに固定してもよい。これとは逆に、第２調節ねじ７２によって可動部材５２をロッド５１ｂに強固に固定することができるのであれば、ボルト３７による固定は不要である。
さらに、上記の実施の形態においては、ノズル３６に対して二つの基準部６１ａ，６２ａが用いられているが、いずれか一方の基準部だけを用いてもよい。これは、ノズル３７に対する二つの基準部６３ａ，６４ａについても同様である。また、遮蔽板４１，３８に基準部材６１〜６４を設け、各基準部材６１〜６４に基準部６１ａ〜６４ａを設けているが、遮蔽板４１，３８に基準部６１ａ〜６４ａに相当する基準部をそれぞれ直接設けてもよい。
さらにまた、上記の実施の形態においては、ノズル３６；３７を基準部６１ａ，６２ａ；６３ａ，６４ａから離間させ、あるいは基準部６１ａ，６２ａ；６３ａ，６４ａに載置する際に、ノズル３６をシリンダ機構５１によって上下させているが、ノズル３６は人手によって上下させてもよい。その場合には、シリンダ機構のロッドに代えて、可動部材５２を上下方向へ移動可能に支持する単なる支持部材を固定系に設ければよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
この発明は、例えば水系接着剤に対する接着性が低い樹脂フィルムの表面を接着性が良好になるように処理する表面処理装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００７３】
Ｆ    樹脂フィルム
１０    樹脂フィルムの表面処理装置
２１    回転ロール（ロール電極）
２１ａ    筒部
２１ｂ    端板
２１ｃ    軸部
３１    回転ロール（ロール電極）
３１ａ    筒部
３１ｂ    端板
３１ｃ    軸部
３３    処理空間
３６    ノズル
３６ａ    吹き出し口
３６ｄ    当接部
３６ｅ    当接部
３７    ノズル
３７ａ    吹き出し口
３７ａ    当接部
３７ｂ    当接部
５０Ａ    第１支持機構（支持手段）
５０Ｂ    第２支持機構（支持手段）
５１    シリンダ機構（移動手段）
５１ｂ    ロッド（支持部材）
６１    基準部材
６１ａ    基準部
６２    基準部材
６２ａ    基準部
６３    基準部材
６３ａ    基準部
６４    基準部材
６４ａ    基準部
７０Ａ    位置調節手段
７０Ｂ    位置調節手段
【図１】
2012201777.tif 000003
【図２】
2012201777.tif 000004
【図３】
2012201777.tif 000005
【図４】
2012201777.tif 000006
【図５】
2012201777.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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