(57)【要約】【課題】設置後の太陽電池パネルの中から不良パネルを容易に検出できる太陽電池アレイの検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。【解決手段】少なくとも２つ以上の太陽電池パネル１の出力を並列に接続した太陽電池ストリング３０を少なくとも１つ以上直列に接続した太陽電池アレイ４０の検査装置１００であって、太陽電池アレイ４０の出力端に接続される電圧測定装置１０１と、太陽電池パネル１の受光面に特定光を照射する光照射装置と、を備え、光照射装置により太陽電池パネル１毎に太陽電池パネル１に特定光を照射して、電圧測定装置１０１で電圧変化を測定することを特徴とする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続した太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続した太陽電池アレイの検査装置であって、
前記太陽電池アレイの出力端に接続される電圧測定装置と、
前記太陽電池パネルの受光面に特定光を照射する光照射装置と、を備え、
該光照射装置により前記太陽電池パネル毎に前記特定光を照射して、前記電圧測定装置で電圧変化を測定することを特徴とする太陽電池アレイの検査装置。
【請求項２】
前記特定光を照射しない間の環境日照条件として、前記太陽電池パネルの開放電圧が該太陽電池パネルの公称開放電圧の９０％以下となるような日射強度であることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池アレイの検査装置。
【請求項３】
前記特定光は、パルス光であって、
該パルス光は、そのパルス幅が１ｍｓｅｃから１０ｍｓｅｃであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の太陽電池アレイの検査装置。
【請求項４】
前記電圧測定装置は、前記特定光が照射された前記太陽電池パネルの電圧を測定する電圧測定手段と、該電圧測定手段に測定された前記電圧が所定の閾値以上になった際にトリガー信号を出力するトリガー出力手段と、該トリガー手段から出力された前記トリガー信号によって作動する可視および／または可聴を出力する出力手段と、を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の太陽電池アレイの検査装置。
【請求項５】
前記光照射装置は、前記太陽電池アレイの前記太陽電池パネルの個々に対して、照射パターンの設定制御が可能な照射制御手段を有し、
前記電圧測定装置は、前記特定光が照射された前記太陽電池パネルの電圧を測定する電圧測定手段と、該電圧測定手段に測定された前記電圧が所定の閾値以上になった際に該電圧を２値化して２値化出力する２値化復合手段と、該２値化復合手段から出力された前記２値化出力によって記録する記録手段と、を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の太陽電池アレイの検査装置。
【請求項６】
前記光照射装置は、前記太陽電池パネルの受光面の少なくとも一部を覆うことが可能なカバーを備えることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の太陽電池アレイの検査装置。
【請求項７】
少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続した太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続して、
前記太陽電池アレイの出力端に電圧測定装置を接続して、
前記太陽電池パネル毎に光照射装置から前記太陽電池パネルの受光面に特定光を照射して、該太陽電池パネルの不良の有無を検査することを特徴とする太陽電池アレイの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池パネルを設置した後の太陽電池パネルの不良の有無の検査方法としては、電圧と電流とをストリング毎に測定して、ストリング毎の不良の有無を判定する。その後、不良があった場合には、不良が検出されたストリングを構成している太陽電池パネルの結線を外して、太陽電池パネルを１枚毎に検査していた。
【０００３】
このような太陽電池モジュールの不良の有無の検査方法では、時間と労力とを要することから、特許文献１には、太陽電池素子毎にプローブを挿入して、パルス光または連続光を照射することによってアレー状に組立てた太陽電池パネルの不良の有無の検査を行うことが開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、設置された発電中の太陽電池アレイについて、太陽電池アレイを構成している太陽電池モジュールの表面温度分布を計測することにより、太陽電池アレイの不良の有無の検査を行うことが開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献３には、太陽電池モジュールを直列に接続したストリングに信号発生器と波形観測装置とを接続して、信号発生器により発信される信号と、波形観測装置により観測される信号との応答時間差を用いて、太陽電池アレイの不良の有無の検査を行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５９−２０８７０号公報
【特許文献２】特開２００２−３２９８７９号公報
【特許文献３】特開２００９−２１３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に開示されている発明は、太陽電池パネルの製造時に不良の有無の検査を行う方法であり、太陽電池パネル設置後に不良の有無の検査を行うことについては想定されていない。仮に、特許文献１に開示されている発明の方法を太陽電池パネル設置後に適用する場合には、一旦、太陽電池パネルの結線を取り外して、太陽電池素子の１枚毎にプローブを挿入して不良の有無の検査を行う必要があるため時間と労力とを要するという問題がある。
【０００８】
また、特許文献２に開示されている発明では、太陽電池モジュールに太陽光が照射しているため温度測定しようとする太陽電池モジュールの表面温度が上昇していたり、周囲物の輻射による影響を受けるため、発電による太陽電池モジュール表面の温度上昇と区別した判別が困難であるという問題があった。
【０００９】
さらに、特許文献３に開示されている発明では、太陽電池モジュールを同数接続した太陽電池アレイであっても太陽電池アレイ毎に個体差があるため、ストリングの信号発生器からの距離と信号の応答時間とを測定して不良なストリングを判定する際には、ストリング長の差によって不良な太陽電池モジュールの位置を誤る恐れがあった。
また、特許文献３に開示されている発明は、太陽電池モジュールを直列に接続する必要があるため、太陽電池モジュールを並列に接続した場合には、不良の有無の検査を行うことができないという問題があった。
【００１０】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであって、設置後の太陽電池パネルの中から不良パネルを容易に検出できる太陽電池アレイの検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続した太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続した太陽電池アレイの検査装置であって、前記太陽電池アレイの出力端に接続される電圧測定装置と、前記太陽電池パネルの受光面に特定光を照射する光照射装置と、を備え、該光照射装置により前記太陽電池パネル毎に光を照射して、前記電圧測定装置で電圧変化を測定することを特徴とする。
【００１２】
太陽電池ストリングは、少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続し、その太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続した太陽電池アレイを用いる。個々の太陽電池パネルの配線を外すことなく、この太陽電池アレイを構成している第１列目の太陽電池ストリングの入力端と最終列目の太陽電池ストリングの出力端、すなわち、この太陽電池アレイの出力端には、オシロスコープなどの電圧測定装置を接続して、光照射装置により太陽電池パネル毎に太陽電池パネルの受光面に特定光を照射することとした。これにより、全ての太陽電池パネルが正常である場合には、太陽電池パネルに特定光を照射する毎に電圧測定装置によって測定される電圧が上昇する。また、各々の太陽電池パネルおよび太陽電池ストリングを接続する配線が不良（断線等）の場合には、太陽電池パネル毎に特定光を照射しても電圧測定装置によって測定される電圧に変化が生じない。さらに、正常の太陽電池パネルに光を照射した際には電圧が上昇するが、太陽電池パネルが不良（断線等）の場合には電圧に変化が生じないこととなる。そのため、設置状態の太陽電池アレイのまま、配線や太陽電池パネルを架台から取り外すことなく各太陽電池パネルの不良の有無を検査することができる。したがって、従来に比べて、太陽電池パネルの不良の有無を検査するための時間と労力とを低減するとともに、検査作業に伴う感電等の事故の発生を低減することができる。
【００１３】
また、太陽電池パネル毎に特定光を直接照射して太陽電池パネル毎の不良の有無を検査するため、太陽電池ストリング長に個体差がある場合でも不良な太陽電池パネルを特定することができる。
【００１４】
さらに、第１列の太陽電池ストリングの入力端と、最終列の太陽電池ストリングの出力端、すなわち、太陽電池アレイの出力端に電圧測定装置を接続して、太陽電池パネル毎に太陽電池パネルの受光面に特定光を照射することとしたので、直列・並列接続を含んだ太陽電池アレイであっても不良な太陽電池パネルを特定することができる。そのため、従来に比べてより多くの太陽電池パネルを検査することができる。したがって、太陽電池パネルの不良の有無を検査するための時間を短縮ことができる。
【００１５】
本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、前記特定光を照射しない間の環境日照条件として、前記太陽電池パネルの開放電圧が該太陽電池パネルの公称開放電圧の９０％以下となるような日射強度であることを特徴とする。
【００１６】
環境光が照射されて太陽電池パネルが発電している状態でも、特定光を照射する検査実施が可能であり、さらに特定光が照射されていない環境日照条件での太陽電池パネル電圧が、公称開放電圧の９０％以下となるような日射強度の環境下で検査を実施することとした。これにより、朝夕や曇天の環境下で、太陽電池パネルの周囲の環境光と光照射装置から照射される特定光との強度差を大きく維持しながら、実用的な太陽電池パネルの不良の有無を検査することができる。
【００１７】
本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、前記特定光は、パルス光であって、該パルス光は、そのパルス幅が１ｍｓｅｃから１０ｍｓｅｃであることを特徴とする。
【００１８】
太陽電池パネルに照射する特定光の照射時間が長くなると、太陽電池パネルの温度が上昇して出力が低下する。そのため、電圧上昇量が減少して環境光との強度差が小さくなるので、特定光の照射強度の増加が必要になり、簡易で安定した測定が困難になる。
【００１９】
そこで、照射する特定光には、パルス幅が１ｍｓｅｃから１０ｍｓｅｃのパルス光を用いることとした。そのため、太陽電池パネルを発電させるのに十分な照射強度を維持しつつ、太陽電池パネルの温度上昇を抑制することができる。したがって、輻射熱などによる影響を抑制しつつ太陽電池パネルの不良の有無を検査することができる。
【００２０】
本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、前記電圧測定装置は、前記特定光が照射された前記太陽電池パネルの電圧を測定する電圧測定手段と、該電圧測定手段に測定された前記電圧が所定の閾値以上になった際にトリガー信号を出力するトリガー出力手段と、該トリガー手段から出力された前記トリガー信号によって作動する可視および／または可聴を出力する出力手段と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
電圧測定装置には、太陽電池パネルの電圧を測定する電圧測定手段と、計測した電圧が所定の閾値以上になった際にトリガー信号を出力するトリガー出力手段と、トリガー出力手段から出力されたトリガー信号によって作動する可視および／または可聴を出力する出力手段とを設けることとした。そのため、広い設置面に数多く設置された太陽電池アレイに対して、光照射装置から特定光が照射された太陽電池パネルの電圧が所定の閾値以上になった際に、可視および／または可聴の出力手段を作動させることができ、電圧測定手段を常時監視する必要がなくなる。したがって、検査時は特定光を照射する人員を除いて削減することができる。
【００２２】
本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、前記光照射装置は、前記太陽電池アレイの前記太陽電池パネルの個々に対して、照射パターンの設定制御が可能な照射制御手段を有し、前記電圧測定装置は、前記特定光が照射された前記太陽電池パネルの電圧を測定する電圧測定手段と、該電圧測定手段に測定された前記電圧が所定の閾値以上になった際に該電圧を２値化して２値化出力する２値化復合手段と、該２値化復合手段から出力された前記２値化出力によって記録する記録手段と、を備えることを特徴とする。
【００２３】
光照射装置は、特定光の照射パターンの設定が可能な照射制御手段により、照射する特定光に特有のパターンを保有できるようにした。また、電圧測定装置は、特定光の照射パターンに合わせて太陽電池パネルの電圧変化を測定する電圧測定手段と、測定された電圧が所定の閾値以上になった際に２値化して出力する２値化復合手段と、２値化復合手段から出力された結果に基づいて記録する記録手段とを用いることとした。そのため、電圧測定手段が測定した電圧変化パターン値と、特定光の照射パターンとの結びつけ、すなわち検査対象の太陽光パネルとの結びつけが容易となる。これにより、多数の太陽電池パネルを検査する際に、不良な太陽電池パネルの特定と記録が容易になる。したがって、不良な太陽電池パネルと正常な太陽電池パネルとの取り間違えを防止して、検査作業時間を短縮することができる。
【００２４】
本発明の太陽電池アレイの検査装置によれば、前記光照射装置は、前記太陽電池パネルの受光面の少なくとも一部を覆うことが可能なカバーを備えることを特徴とする。
【００２５】
光照射装置には、太陽電池パネルの受光面の一部を覆うことが可能なカバーを設けることとした。そのため、光照射装置が特定光を照射する際に、カバーにより環境日射による環境光を遮り太陽電池パネルの出力電圧は低くなるので、環境光との強度差が大きくなるので好ましい。このカバーは、太陽電池パネルの受光面の好ましくは５％以上、更に好ましくは１０％以上であれば、環境光による太陽電池パネルの出力電圧の低下は十分に効果がある。さらに、隣接する太陽電池パネルに光が照射されることを防止することができる。したがって、照射する太陽電池パネル以外の誤作動を防止することができる。
【００２６】
本発明の太陽電池アレイの検査方法によれば、少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続した太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続して、前記太陽電池アレイの出力端に電圧測定装置を接続して、前記太陽電池パネル毎に光照射装置から前記太陽電池パネルの受光面に特定光を照射して、該太陽電池パネルの不良の有無を検査することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
太陽電池ストリングは、少なくとも２つ以上の太陽電池パネルの出力を並列に接続し、その太陽電池ストリングを少なくとも１つ以上直列に接続した太陽電池アレイを用いる。この太陽電池アレイを構成している第１列目の太陽電池ストリングの入力端と最終列目の太陽電池ストリングの出力端、すなわち、太陽電池アレイの出力端には、電圧測定装置を接続して、光照射装置により太陽電池パネル毎に太陽電池パネルの受光面に特定光を照射することとした。これにより、全ての太陽電池パネルが正常である場合には、太陽電池パネルに特定光を照射する毎に各々電圧が上昇する。また、各々の太陽電池パネルもしくは太陽電池ストリングを接続する配線が不良（断線等）の場合には、太陽電池パネル毎に特定光を照射しても電圧測定装置によって測定される電圧に変化が生じない。さらに、正常の太陽電池パネルに特定光を照射した際には電圧が上昇するが、太陽電池パネルが不良（断線等）の場合には電圧に変化が生じないこととなる。そのため、太陽電池パネルを設置状態の太陽電池アレイのまま、配線や太陽電池パネルを架台から取り外すことなく太陽電池パネルの不良の有無を検査することができる。したがって、従来に比べて、太陽電池パネルの不良の有無を検査するための時間と労力とを低減するとともに、検査作業に伴う感電等の事故の発生を低減することができる。
【００２８】
また、太陽電池パネル毎に特定光を照射して太陽電池パネルの不良の有無を検査するため、環境光がある日照条件の下でも検査が可能であり、さらに太陽電池ストリング長に個体差がある場合でも、不良な太陽電池パネルを特定することができる。
【００２９】
さらに、第１列の太陽電池ストリングの入力端と、最終列の太陽電池ストリングの出力端、すなわち、太陽電池アレイの出力端に電圧測定装置を接続して、太陽電池パネル毎に太陽電池パネルの受光面に特定光を照射することとしたので、直列・並列接続を含んだ太陽電池アレイであっても不良な太陽電池パネルを特定することができる。そのため、従来に比べてより多くの太陽電池パネルを検査することができる。したがって、太陽電池パネルの不良の有無を検査するための時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る太陽電池セルの構成を説明する模式図である。
【図２】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの製造工程を説明する模式図の一部である。
【図３】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの製造工程を説明する模式図の一部である。
【図４】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの製造工程を説明する模式図の一部である。
【図５】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの製造工程を説明する模式図の一部である。
【図６】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの製造工程を説明する模式図の一部である。
【図７】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの検査装置の概略を説明する概略構成図である。
【図８】キセノンアークランプ光と太陽光との関係を示すグラフである。
【図９】キセノンアークランプ光照射時と非照射時の電圧の変化を示すグラフである。
【図１０】光の照射強度別の太陽電池パネルの電圧と電流との特性を示すグラフである。
【図１１】図７に示した検査装置を構成している配線ケーブルが断線している場合を説明する概略構成図である。
【図１２】図７に示した検査装置を構成している一部の太陽電池パネルが不良の場合を説明する概略構成図である。
【図１３】図１２に示した各太陽電池パネルの電圧上昇の有無と異常の有無とを示す図表である。
【図１４】第１実施形態の係る太陽電池パネルの検査装置の変形例１を示す概略構成図である。
【図１５】第１実施形態の係る太陽電池パネルの検査装置の変形例２を示す概略構成図である。
【図１６】第２実施形態に係る太陽電池パネルの検査装置の概略を説明する概略構成図である。
【図１７】第２実施形態に係る電圧測定装置の動作状況を示し、（Ａ）は、光照射時間の電圧の変化であり、（Ｂ）は、トリガー装置の作動状況であり、（Ｃ）は、音響表示装置の作動状態である。
【図１８】第３実施形態に係る太陽電池パネルの検査装置の概略を説明する概略構成図である。
【図１９】第３実施形態に係る光照射装置と電圧測定装置との動作状況であり、（Ａ）は、光照射装置の稼働状況であり、（Ｂ）は、光照射時間の電圧の変化であり、（Ｃ）は、２値符号後結果である。
【図２０】第４実施形態に係る太陽電池アレイの検査装置の光照射装置に設けられる光漏れカバーの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態に係る太陽電池アレイの検査装置及びこれを用いた検査方法ついて図１から図１３を参照して説明する。
図１は、本実施形態の太陽電池アレイを構成している太陽電池セルの構成を説明する模式図である。図２から図６には、図１に示す太陽電池セルをモジュール化する製造工程を表す概略図を示す。
【００３２】
本実施形態で説明する太陽電池パネル（モジュール）は、光電変換層４を形成したタンデム型シリコン系の太陽電池モジュールであり、図示しない接着充填シート（ＥＶＡ）とバックシート（ＰＥＴ／ＡＬ／ＰＥＴ構造）で密閉処理を施し、太陽電池パネルの周囲に図示しないガスケットを介して、アルミフレーム枠が取付けられたものである。
【００３３】
図１に示すように、光電変換装置５は、基板６、透明電極層７、光電変換層４としての第１セル層９１（非晶質シリコン系）及び第２セル層９２（結晶質シリコン系）、中間コンタクト層９３、及び裏面電極層８を備えている。なお、ここで、シリコン系とは、シリコン（Ｓｉ）やシリコンカーバイト（ＳｉＣ）やシリコンゲルマニウム（ＳｉＧｅ）を含む総称である。また、結晶質シリコン系とは、非晶質シリコン系以外のシリコン系を意味するものであり、微結晶シリコンや多結晶シリコンも含まれる。
【００３４】
（１）図２（ａ）：
基板６としてソーダフロートガラス基板（例えば１．４ｍ×１．１ｍ×板厚：３．０ｍｍ〜４．５ｍｍ）を使用する。基板６端面は、熱応力や衝撃などによる破損防止にコーナー面取りやＲ面取り加工されていることが望ましい。
【００３５】
（２）図２（ｂ）：
透明電極層７として酸化錫膜（ＳｎＯ２）を主成分とする透明電極膜を膜厚約５００ｎｍ〜８００ｎｍ、熱ＣＶＤ装置（図示せず）にて約５００℃で製膜処理する。この際、透明電極膜の表面は、適当な凹凸のあるテクスチャー膜（図示せず）を形成しても良い。アルカリバリア膜は、酸化シリコン膜（ＳｉＯ２）を約５０ｎｍ〜１５０ｎｍ、熱ＣＤＶ装置にて約５００℃で製膜（図示せず）を形成しても良い。
【００３６】
（３）図２（ｃ）：
その後、基板６をＸ−Ｙテーブル（図示せず）に設置して、ＹＡＧレーザーの第１高調波（１０６４ｎｍ）を、図の矢印に示すように、透明電極膜の膜面側から照射する。加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極膜を発電セルの直列接続方向に対して垂直な方向へ、基板６とレーザー光を相対移動して、溝１０を形成するように幅約６ｍｍから１５ｍｍの所定幅の短冊状にレーザーエッチングする。
【００３７】
（４）図２（ｄ）：
第１セル層９１として、非晶質シリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層及びｎ層を、プラズマＣＶＤ装置（図示せず）により製膜する。ＳｉＨ４ガス及びＨ２ガスを主原料にして、減圧雰囲気：３０Ｐａ以上１０００Ｐａ以下、基板温度：約２００℃にて、透明電極層７上に太陽光の入射する側から非晶質シリコンｐ層、非晶質シリコンｉ層、非晶質シリコンｎ層の順で製膜する。非晶質シリコンｐ層は、非晶質のＢドープシリコンを主とし、膜厚１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下である。非晶質シリコンｉ層は、膜厚２００ｎｍ以上３５０ｎｍ以下である。非晶質シリコンｎ層は、非晶質シリコンに微結晶シリコンを含有するＰドープシリコンを主とし、膜厚３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。非晶質シリコンｐ層と非晶質シリコンｉ層の間には、界面特性の向上のためにバッファー層を設けても良い。
【００３８】
次に、第１セル層９１の上に、プラズマＣＶＤ装置により、減圧雰囲気：３０００Ｐａ以下、基板温度：約２００℃、プラズマ発生周波数：４０ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下にて、第２セル層９２としての結晶質シリコンｐ層、結晶質シリコンｉ層、及び、結晶質シリコンｎ層を順次製膜する。結晶質シリコンｐ層は、Ｂドープした微結晶シリコンを主とし、膜厚１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。結晶質シリコンｉ層は、微結晶シリコンを主とし、膜厚は１．２μｍ以上３．０μｍ以下である。結晶質シリコンｎ層は、Ｐドープした微結晶シリコンを主とし、膜厚２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。結晶質シリコンｎ層は、アモルファスｎ層であっても良い。
【００３９】
微結晶シリコンを主とするｉ層膜をプラズマＣＶＤ法で形成するにあたり、プラズマ放電電極と基板６の表面との距離ｄは、３ｍｍ以上１０ｍｍ以下にすることが好ましい。３ｍｍより小さい場合、大型基板に対応する製膜室内の各構成機器精度から距離ｄを一定に保つことが難しくなるとともに、近過ぎて放電が不安定になる恐れがある。１０ｍｍより大きい場合、十分な製膜速度（１ｎｍ／ｓ以上）を得難くなるとともに、プラズマの均一性が低下しイオン衝撃により膜質が低下する。
【００４０】
第１セル層９１と第２セル層９２との間に、接触性を改善するとともに電流整合性を取るために半反射膜となる中間コンタクト層９３を設ける。中間コンタクト層９３として、膜厚：２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下のＺｎＯ（ＧａまたはＡＬドープＺｎＯ）膜を、ターゲット：ＧａドープＺｎＯ焼結体を用いてスパッタリング装置（図示せず）により製膜する。また、中間コンタクト層９３を設けない場合もある。
【００４１】
（５）図２（ｅ）
基板６をＸ−Ｙテーブルに設置して、レーザーダイオード励起ＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）を、図の矢印に示すように、光電変換層４の膜面側から照射する。パルス発振：１０ｋＨｚから２０ｋＨｚとして、加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極層７のレーザーエッチングラインの約１００μｍから１５０μｍの横側を、溝１１を形成するようにレーザーエッチングする。またこのレーザーは基板６側から照射しても良く、この場合は、光電変換層４の非晶質シリコン系の第１セル層９１で吸収されたエネルギーにより発生する高い蒸気圧を利用して光電変換層４をエッチングできるので、更に安定したレーザーエッチング加工を行うことが可能となる。レーザーエッチングラインの位置は、前工程でのエッチングラインと交差しないように位置決め交差を考慮して選定する。
【００４２】
（６）図３（ａ）
裏面電極層８としてＡｇ膜／Ｔｉ膜を、スパッタリング装置により、減圧雰囲気、製膜温度：１５０℃から２００℃にて製膜する。本実施形態では、Ａｇ膜：１５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下、これを保護するものとして防食効果の高いＴｉ膜：１０ｎｍ以上２０ｎｍ以下を、この順に積層する。あるいは、裏面電極層８を２５ｎｍから１００ｎｍの膜厚を有するＡｇ膜と、１５ｎｍから５００ｎｍの膜厚を有するＡｌ膜との積層構造としても良い。また、６００ｎｍ以上の長波長側反射光が必要なものにおいては、約１００ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の膜厚を有するＣｕ膜と、約５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下の膜厚を有するＴｉ膜との積層構造としても良い。結晶質シリコンｎ層と裏面電極層８との接触抵抗低減と光反射向上を目的に、光電変換層４と裏面電極層８との間に、スパッタリング装置により、膜厚：５０ｎｍ以上１００ｎｍ以下のＺｎＯ（ＧａまたはＡＬドープＺｎＯ）膜を製膜して設けても良い。
【００４３】
（７）図３（ｂ）
基板６をＸ−Ｙテーブルに設置して、レーザーダイオード励起ＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）を、図の矢印に示すように、基板６側から照射する。レーザー光が光電変換層４で吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層８が爆裂して除去される。パルス発振：１ｋＨｚ以上５０ｋＨｚ以下として加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、透明電極層７のレーザーエッチングラインの２５０μｍから４００μｍの横側を、溝１２を形成するようにレーザーエッチングする。
【００４４】
（８）図３（ｃ）と図４（ａ）
発電領域を区分して、基板６端周辺の膜端部においてレーザーエッチングによる直列接続部分が短絡し易い影響を除去する。基板６をＸ−Ｙテーブルに設置して、レーザーダイオード励起ＹＡＧレーザーの第２高調波（５３２ｎｍ）を、基板６側から照射する。レーザー光が透明電極層７と光電変換層４で吸収され、このとき発生する高いガス蒸気圧を利用して裏面電極層８が爆裂して、裏面電極層８／光電変換層４／透明電極層７が除去される。パルス発振：１ｋＨｚ以上５０ｋＨｚ以下として加工速度に適切となるようにレーザーパワーを調整して、基板６の端部から５ｎｍから２０ｍｍの位置を、図３（ｃ）に示すように、Ｘ方向絶縁溝１６を形成するようにレーザーエッチングする。なお、図３（ｃ）では、光電変換層４が直列に接続された方向に切断したＸ方向断面図となっているため、本来であれば絶縁溝１６位置には、裏面電極層８／光電変換層４／透明電極層７の膜研磨除去をした周囲膜除去領域１４相当領域がある状態（図４（ａ）参照）が表れるべきであるが、基板６の端部への加工の説明の便宜上、この位置にＹ方向断面を表して形成された絶縁溝をＸ方向絶縁溝１６として説明する。このとき、Ｙ方向絶縁溝は、後工程で基板６の周囲膜除去領域１４の膜面研磨除去処理を行うので設ける必要がない。
【００４５】
絶縁溝１６は、基板６の端より５ｎｍから１５ｍｍの位置にてエッチングを終了させることにより太陽電池パネル端部からの太陽電池モジュール２内部へ外部から水分浸入の抑制に、有効な効果を呈するので好ましい。
【００４６】
尚、以上までの工程におけるレーザー光は、ＹＡＧレーザーとしているが、ＹＶＯ４レーザーやファイバーレーザーなどが同様に使用できるものがある。
【００４７】
（９）図４（（ａ）：太陽電池膜面側から見た図、（ｂ）：受光面の基板側から見た図）
後工程のＥＶＡ等を介したバックシート２４（図５参照）との健全な接着・シール面を確保するために、基板６周辺（周囲膜除去領域１４）の積層膜は、段差があるとともに剥離し易いため、この膜を除去して周囲膜除去領域１４を形成する。基板６の端から５〜２０ｍｍで基板６の全周囲にわたり膜を除去するにあたり、Ｘ方向は、前述の図３（ｃ）の工程で設けた絶縁溝１６よりも基板６端側において、Ｙ方向は、基板６端側部付近の溝１０よりも基板６端側において、裏面電極層８／光電変換層４／透明電極層７を、砥石研磨やブラスト研磨などを用いて除去を行う。研磨屑や砥粒は、基板６を洗浄処理して除去する。
【００４８】
（１０）図４（ａ）および図４（ｂ）
直列に並んだ一方端の太陽電池発電セル１５の裏面電極層８と、他方端部の太陽電池発電セル１５に接続した集電用セルの裏面電極層８とから銅箔を用いて集電して太陽電池パネル裏側の端子箱２３（図５（ａ）参照）の部分から電力が取出せるように処理する。集電用銅箔は、各部との短絡を防止するために銅箔幅より広い絶縁シートを配置する。
集電用銅箔などが所定位置に配置された後に、太陽電池モジュール２の全体を覆い、基板６からはみ出さないようにＥＶＡ（エチレン酢酸ビニル共重合体）等による接着充填材シート（図示せず）を配置する。
接着充填材シートの上に、防水効果の高いバックシート２４を設置する。バックシート２４は、本実施形態では防水防湿効果が高いようにＰＥＴシート／ＡＬ箔／ＰＥＴシートの３層構造よりなる。
バックシート２４の端子箱２３の取付け部分には、開口貫通窓を設けて集電用銅箔を取出す。この開口貫通窓部分では、バックシート２４と裏面電極層８との間に絶縁体を複数層設置して外部からの水分などの浸入を抑制する。
バックシート２４までを所定位置に配置したものを、ラミネータ装置（図示せず）により減圧雰囲気で内部の脱気を行い約１５０〜１６０℃でプレスしながら、接着充填材シート（ＥＶＡ）を架橋させて密着し、密封処理をする。
なお、接着充填材シートは、ＥＶＡに限定されるものではなく、ＰＶＢ(ポリビニルブチラール)など類似の機能を保有する接着充填剤を利用することが可能である。この場合は、圧着する手順、温度や時間など条件を適正化して処理を行う。
【００４９】
（１１）図５（ａ）
太陽電池モジュール２（図４参照）の裏側に端子箱２３を接着剤で取付ける。
（１２）図５（ｂ）
銅箔と端子箱２３の出力ケーブルとをハンダ等で接続し、端子箱２３の内部を封止剤（ポッティング剤）で充填して密閉する。これで太陽電池パネル１（図５（ｃ）参照）が完成する。
（１３）図５（ｃ）
図５（ｂ）までの工程で形成された太陽電池パネル１について発電検査ならびに、所定の性能試験を行う。発電検査は、ＡＭ１．５、全天日射基準太陽光（１０００Ｗ／ｍ２）のソーラシミュレータを用いて行う。なお、発電検査は、太陽電池モジュール２が完全に完成した後に行っても良いし、アルミフレーム枠３Ｌ、３Ｓ（図６参照）を取り付ける前に行っても良く、特に限定するものではない。
（１４）図５（ｄ）
発電検査（図５（ｃ））に前後して、外観検査をはじめ所定の性能検査を行う。
【００５０】
（１５）図６
太陽電池モジュール２の周囲において、太陽電池モジュール２へ強度を付加するとともに、取付け座となるアルミフレーム枠３Ｌ、３Ｓを取り付ける。太陽電池モジュール２とアルミフレーム枠３Ｌ、３Ｓとの間にはゴム製のガスケット等を介して、弾力性を保持しながら確実に保持することが好ましい。これで太陽電池パネル１が完成する。
【００５１】
上記の実施形態では、太陽電池としてタンデム型シリコン系太陽電池について説明したが、本発明は、この例に限定されるものではない。例えば、アモルファスシリコン太陽電池、微結晶シリコンをはじめとする結晶質シリコン太陽電池、シリコンゲルマニウム太陽電池、および、結晶系太陽電池、また、上記の各太陽電池から適宜選択して多接合したトリプル型太陽電池などの他の種類の太陽電池にも同様に適用可能である。
更に本発明は、金属基板などのような非透光性基板上に製造された、基板とは反対の側から光が入射するタイプの太陽電池にも同様に適用可能である。
【００５２】
次に、上記のように形成された太陽電池パネル１を複数接続して屋外に設置した太陽電池アレイの検査装置について、図７を用いて説明する。
検査装置１００は、少なくとも２つ以上（例えば、４つ）の太陽電池パネル１の出力を並列に接続している太陽電池ストリング３０を少なくとも１つ以上（例えば、２列）直列に接続している太陽電池アレイ４０と、第１列目の太陽電池ストリング３０の入力端と、第２列目（最終列）の太陽電池ストリング３０の出力端、すなわち、太陽電池アレイ４０の出力端に接続されているオシロスコープ（電圧測定装置）１０１と、太陽電池パネル１の受光面に特定光を照射する光照射装置（図示せず）とを備えている。
【００５３】
太陽電池アレイ４０には、太陽電池パネル１の並列接続が多い接続状態となっているため、直流開閉器１０７において太陽電池アレイ４０の出力電圧を計測しても、１つの太陽電池パネル１の故障の発生を発見し難いので、検査装置１００を用いることが効果的である。
また、太陽電池パネル１には逆流防止ダイオードが設置されていて、太陽電池パネル１を並列接続において、隣接太陽電池パネル１からの発電電流の逆流による太陽電池パネ１ルの破損を抑制している。
【００５４】
太陽電池アレイ４０は、例えば、２直列―４並列、すなわち、４つの太陽電池パネル１を並列に接続している２列の太陽電池ストリング３０が配線ケーブル（配線）１０５を介して直列に接続されて架台（図示せず）に設置されている。
オシロスコープ１０１は、太陽電池アレイ４０の入力端と出力端とに配線ケーブル１０５を介して接続されており、太陽電池アレイ４０が構成している回路内に生じる電圧変化を測定するものである。
【００５５】
太陽電池アレイ４０の入力端と出力端とに接続されている配線ケーブル１０５の端部は、パワーコンディショナ１０６に接続されており、各太陽電池パネル１が発電した直流電流を交流電流へと変換することができるようになっている。
【００５６】
太陽電池アレイ４０とパワーコンディショナ１０６との間を接続している配線ケーブル１０５には、パワーコンディショナ１０６の手前から分岐配線ケーブル１０８を介してオシロスコープ１０１が接続されている。分岐配線ケーブル１０８と配線ケーブル１０５との合流点と、パワーコンディショナ１０６との間の配線ケーブル１０５には、直流開閉器１０７が設けられており、検査装置１００の作動状態に応じてパワーコンディショナ１０６と太陽電池アレイ４０との間を回路の開閉が可能とされている。パワーコンディショナ１０６は太陽電池アレイ４０の出力が最適動作点となるように電圧電流制御を行い、負荷系統（図示せず）へ交流電力を出力する。
【００５７】
一般には、直流開閉器１０７と配線ケーブル１０５とパワーコンディショナ１０６との配線ケーブルを繋ぐように、接続箱（図示せず）として構成されている。
すなわち、オシロスコープ（電圧測定装置）１０１は、各太陽電池パネル１が配線ケーブル１０５で結線されて太陽電池アレイ４０として出力を示す入力端と出力端と接続が可能で、直流開閉器１０７よりパワーコンディショナ１０６と切離せる位置に接続されている。このような箇所としては、例えば上記の接続箱内に分岐配線ケーブル１０８の専用端子を設けることができる。このように専用端子を設けておくと、オシロスコープ（電圧測定装置）１０１を必要時に簡易に接続が可能となる。
【００５８】
上記のように２直列―４並列に各太陽電池パネル１が構成されている太陽電池アレイ４０の検査方法について図７から図１３に基づいて説明する。
図７に示すように、試験装置１００に設けられている直流開閉器１０７を開状態にして、パワーコンディショナ１０６から負荷系統への開路を開放（遮断）しておく。その後、太陽電池パネル１の各々に光照射装置から特定光を順番に照射する。
【００５９】
光照射装置から照射される特定光としては、短いパルス光を照射するキセノンアークランプ光(一般的な写真撮影用ストロボ光源でも可能)を用いる。特定光としてのキセノンアークランプ光は、太陽電池パネル１の受光面全体に向けて照射される。ここで、キセノンアークランプ光と太陽光との関係を図８を用いて説明する。図８の縦軸は、照射強度を示し、横軸は、波長を示している。
【００６０】
図８に示すようにキセノンアークランプ光は、アモルファスシリコン太陽電池の発電領域（アモルファス発電領域）の波長域において太陽光とよく一致した光源となっている。また、アモルファス発電領域と微結晶シリコン太陽電池発電領域（微結晶発電領域）とが重なる波長域においても同様に、キセノンアークランプ光は太陽光とよく一致した光源であることがわかる。そのため、試験装置１００には、アモルファス発電領域および微結晶発電領域の両領域においても太陽光によく一致した光源であるキセノンアークランプ光を用いることとした。
【００６１】
このキセノンアークランプ光を太陽電池パネル１に照射した場合と非照射の場合の電圧の変化を図９に示す。図９は、縦軸に設定開放電圧における太陽電池パネル１の開放電圧比を示し、横軸に経過時間を示している。
ここで、縦軸が示す設定開放電圧に対する太陽電池パネル１の開放電圧比とは、１枚の太陽電池パネル１（または太陽電池モジュール２）の設定開放電圧に対して、検査にあたり特定光照射装置から照射されたキセノンアークランプ光により１枚の太陽電池パネル１が発電する電圧の比のことである。また、太陽電池パネル１の設定開放電圧は、外部負荷回路抵抗を無限大とした電圧であるが、ここではオシロスコープ（電圧測定装置）１０１を接続して計測する電圧は設定開放電圧よりも少し低い電圧を示すことになり、単に開放電圧として示している。
【００６２】
光照射装置から短いパルスのキセノンアークランプ光を照射することによって、太陽電池パネル１には、環境光よりも強度の高い光を照射することができる。そのため、太陽電池パネル１が正常（異常が検出されない）な場合には、キセノンアークランプ光の照射により太陽電池パネル１が生じる電圧値は、太陽電池パネル１の公称開放電圧値（設定開放電圧値）の近傍まで上昇する。したがって、この場合、太陽電池パネル１の開放電圧比は、図９の特定光照射時に示すように約１を示す。
太陽電池パネル１にキセノンアークランプ光により照射がされずに環境光のみの場合には、設定開放電圧に対する太陽電池パネル１の開放電圧比は、約０．２を示す。
【００６３】
検査は、日照があり太陽電池パネル１が発電可能な環境のもとで実施可能である。しかし、検査を実施する環境光の日射条件としては、太陽電池パネル１の周囲の環境光とキセノンアークランプ光により照射する特定光との強度差が大きくなることが好ましい。そのため、日射強度が低い朝、または、夕方や、雲天がより好適である。
【００６４】
図１０には、ソーラシミュレータによる太陽電池パネル１の照射強度別の電圧と電流との関係を表すグラフが示されている。図１０において、縦軸は電流を示し、横軸は電圧を示す。
環境光の日射強度が低い条件を選定することで、オシロスコープ１０１が検出する電圧は、太陽電池パネル１の設定開放電圧（公称開放電圧）の約９０％以下になるようにして、検査を実施する。
【００６５】
ここで、光照射装置が照射するキセノンアークランプ光の照射時間は、電圧変化を確認できればよく、好適には、パルス幅が１ｍｓｅｃから１０ｍｓｅｃが好ましい。これにより、特定光の光照射時間が長くなった場合に太陽電池パネル１の温度が上昇して出力が低下する。そのため、特定光照射時の電圧上昇量が減少して環境光との強度差が小さくなるので、特定光の照射強度の増加が必要になり、さらに太陽電池パネル１の温度が上昇することにより、電圧値の上昇の検出が困難になることを防止することができる。
【００６６】
検査は、上述した検査装置１００の光照射装置から各太陽電池パネル１に順番にキセノンアークランプ光を照射した際に、オシロスコープ１０１により検出される電圧が上昇した場合には、キセノンアークランプ光が照射された太陽電池パネル１は、正常（問題がない）と判断される。
【００６７】
次に、図１１に示すように、複数の太陽電池パネル１を接続している配線ケーブル１０５の一部に断線等の不良がある場合の検査方法について説明する。ここでは、例えば、２つの太陽電池ストリング３０間を接続している配線ケーブル１０５に断線がある場合について説明する。
【００６８】
まず、環境光のもとオシロスコープ１０１の電圧がゼロもしくはゼロに近い場合は、配線ケーブル１０５の不良としての確認を進める。光照射装置から各太陽電池パネル１に順番にキセノンアークランプ光を照射する。配線ケーブル１０５が断線している場合には、いずれの太陽電池パネル１に照射した際であっても、オシロスコープ１０１が電圧の変化を示さない。これにより、配線ケーブル１０５の不良を検出することができる。
【００６９】
なお、配線ケーブル１０５が不良の場合には、各太陽電池パネル１の異常の有無については不明である。そのため、配線ケーブル１０５を修復後、再度、各太陽電池パネル１の検査方法を実施する必要がある。
【００７０】
次に、太陽電池パネル１自体に断線等の不良がある場合の検査方法について、図１２を用いて説明する。また、図１３には、図１２に示した各太陽電池パネルの電圧上昇の有無および異常検査結果を示す表を示している。
ここでは、例えば、太陽電池パネル１ｂが断線しているものとして説明する。
【００７１】
光照射装置から各太陽電池パネル１に順番にキセノンアークランプ光を照射する。図１２に示すように、（１）：太陽電池パネル１ａ、（３）：太陽電池パネル１ｃ、（４）：太陽電池パネル１ｄ、（５）：太陽電池パネル１ｅ、（６）太陽電池パネル１ｆ、（７）太陽電池パネル１ｇ、（８）太陽電池パネル１ｈにキセノンアークランプ光を照射した際には、オシロスコープ１０１が電圧の変化を示すが、（２）：太陽電池パネル１ｂにキセノンアークランプ光を照射した際には、オシロスコープ１０１が電圧の変化を示さない。これによって、図１３に示すように、太陽電池パネル１ｂが不良であることを検出することができる。
【００７２】
以上述べたように、本実施形態に係る太陽電池アレイ４０の検査装置１００およびこの検査方法によれば、以下の効果を奏する。
太陽電池ストリング３０は、４つ（少なくとも２つ以上）の太陽電池パネル１の出力を並列に接続し、その太陽電池ストリング３０を１つ（少なくとも１つ以上）直列に接続した太陽電池アレイ４０を対象に本検査方法を用いる。この太陽電池アレイ４０を構成している第１列目の太陽電池ストリング３０の入力端と第２列目（最終列目）の太陽電池ストリング３０の出力端、すなわち、太陽電池アレイ４０の出力端には、オシロスコープ（電圧測定装置）１０１を接続して、光照射装置（図示せず）により太陽電池パネル１毎に特定光としてキセノンアークランプ光（光）を太陽電池パネル１の受光面に照射することとした。これにより、全ての太陽電池パネル１が正常である場合には、太陽電池パネル１毎にオシロスコープ（電圧測定装置）１０１において測定される電圧が各々上昇する。また、各々の太陽電池パネル１を接続しているケーブル配線（配線）１０５が不良（断線）の場合には、太陽電池パネル１毎にキセノンアークランプ光を照射してもオシロスコープ１０１によって測定される電圧に変化が生じない。さらに、正常の太陽電池パネル１にキセノンアークランプ光を照射した際には電圧が上昇するが、太陽電池パネル１が不良（断線）の場合にはオシロスコープ１０１によって測定される電圧に変化が生じないこととなる。そのため、設置状態の太陽電池アレイ４０のまま、ケーブル配線１０５や太陽電池パネル１を架台（図示せず）から取り外すことなく太陽電池パネル１の不良の有無を検査することができる。したがって、従来に比べて、太陽電池パネル１の不良の有無を検査するための時間と労力とを低減することができる。
【００７３】
また、太陽電池パネル１毎にキセノンアークランプ光を照射して太陽電池パネル１の不良の有無を検査するため、太陽電池ストリング３０長に個体差がある場合でも、不良な太陽電池パネル１を特定することができる。
【００７４】
さらに、第１列の太陽電池ストリング３０の入力端と、第２列目の太陽電池ストリング３０の出力端とにオシロスコープ１０１を接続して、太陽電池パネル１毎にキセノンアークランプ光を照射することとしたので、直列・並列接続を含んだ太陽電池アレイ４０であっても不良な太陽電池パネル１を特定することができる。そのため、従来に比べてより多くの太陽電池パネル１を検査することができる。したがって、太陽電池パネル１の不良の有無を検査するための時間を短縮し、かつ、検査作業に伴う感電等の事故の発生を低減することができる。
【００７５】
環境光の日射強度が低い条件を選定することで、オシロスコープ１０１が検出する電圧は、太陽電池パネル１が発電する電圧が設定開放電圧（公称開放電圧）の９０％以下となるようにして、環境光よりも強度の高い照射強度のキセノンアークランプ光を用いて検査を実施することとした。これにより、太陽電池パネル１の周囲の環境光と光照射装置から照射されるキセノンアークランプ光の特定光との強度差を大きく維持しながら、太陽電池パネル１の不良の有無を検査することができる。
【００７６】
特定光には、パルス幅が１ｍｓｅｃから１０ｍｓｅｃのパルス光のキセノンアークランプ光を用いることとした。そのため、太陽電池パネル１を発電させるのに十分な照射強度を維持しつつ、太陽電池パネル１の温度上昇を抑制することができる。したがって、輻射熱などによる影響を抑制しつつ太陽電池パネル１の不良を検出することができる。
【００７７】
本実施形態は、検査装置の変形例として、図１４に示すように太陽電池パネル１にバイパスダイオードが設けられていても良い。図１４には、第１実施形態の検査装置の変形例１が示されている。
例えば、太陽電池パネル１ｈに並列になるように太陽電池パネル１ｈの入力端および出力端にバイパスダイオード１０９を接続する。このように、バイパスダイオード１０９を設けることによって、環境光が照射されない夜間であっても、バイパスダイオード１０９を介して電流が流れるために検査を実施することができる。
【００７８】
なお、本実施形態の検査装置は、図１５に示す変形例２のように逆流防止ダイオードとの間に太陽電池モジュールと並列になるようバイパスダイオード１０９を接続しても同様に環境光が照射されない夜間であっても検査を実施することが可能となる。
【００７９】
〔第２実施形態〕
本実施形態は、第１実施形態と基本的に同様であるが、第１実施形態とは、電圧測定装置として、オシロスコープとトリガー装置と音響表示装置とが設けられる点で異なっている。よって、本実施形態においては、この異なっている部分を説明し、その他の重複する構成要素、検査方法については、同一の符号を付してその重複した説明を省略する。
【００８０】
図１６には、本実施形態の計測装置の概略構成図が示されている。また、図１７には、電圧測定装置の動作状況を示し、（Ａ）には、光照射時間の電圧の変化と、（Ｂ）には、トリガー装置の作動状況と、（Ｃ）には、音響表示装置の作動状態とが示されている。
電圧測定装置１１１は、キセノンアークランプ光（特定光）が照射された各太陽電池パネル１の電圧を測定するオシロスコープ（電圧測定手段）１０１と、オシロスコープ１０１により測定された電圧が所定の閾値以上になった際にトリガー信号を出力するトリガー装置（トリガー出力手段）１１２と、トリガー装置１１２から出力されたトリガー信号によって作動する音響表示装置（可視および／または可聴を出力する出力手段）１１３とを備えている。
【００８１】
オシロスコープ１０１は、太陽電池アレイ４０とパワーコンディショナ１０６との間を接続している配線ケーブル１０５から分岐配線ケーブル１０８を介して接続されている。
【００８２】
トリガー装置１１２は、配線ケーブル１０５とオシロスコープ１０１との間を接続している分岐配線ケーブル１０８から分岐して接続されている。トリガー装置１１２は、オシロスコープ１０１が計測した電圧値が所定の閾値を超えた際にトリガー信号を出力する。ここでは環境光の影響を抑制するために、設定電圧に対する太陽電池パネル１の開放電圧比（開放電圧比と略称する）が所定の閾値を超えるかどうかを判断する。
【００８３】
音響表示装置１１３は、トリガー装置１１２から出力されたトリガー信号によって音を出力するものである。音響表示装置１１３によって音を出力することによって、オシロスコープ１０１を常時監視していなくても、光照射装置で太陽電池パネル１にキセノンアークランプ光を照射する作業を実施しながら、オシロスコープ１０１で計測した電圧変動を確認することができる。
【００８４】
本実施形態の検査装置１１０を用いた検査方法は、光照射装置（図示せず）からキセノンアークランプ光を太陽電池パネル１に順番に照射する。キセノンアークランプ光を太陽電池パネル１に照射した際に、太陽電池アレイ４０または検査装置１１０が正常である場合には、オシロスコープ１０１によって検知される電圧による開放電圧比は、図１７（Ａ）に示すように閾値を超える。このように検知された電圧が閾値を超えることによって、トリガー装置１１２が図１７（Ｂ）に示すように動作（ＯＮ状態）する。トリガー装置１１２が動作することによって、音響表示装置１１３が動作（ＯＮ状態）して、所定の時間（例えば数秒間）に渡り音を出力する。
なお、トリガー装置１１２の動作（ＯＮ状態）時間は、音響表示装置１１３が誤差なく感知・判断できる短い時間で十分であり、たとえば１０ｍ秒〜１００ｍ秒から適宜選定される。
【００８５】
一方、太陽電池アレイ４０または検査装置１１０に異常を有する場合には、電圧による開放電圧比が閾値を超えないため、トリガー装置１１２および音響表示装置１１３が動作しない（ＯＦＦ状態）。そのため、光照射装置（図示せず）からキセノンアークランプ光を太陽電池パネル１に照射しても、音が発生しないために太陽電池アレイ４０または検査装置１１０に異常があることを検知することが可能となる。
【００８６】
以上述べたように、本実施形態に係る太陽電池アレイ４０の検査装置１１０およびこの検査方法によれば、以下の効果を奏する。
電圧測定装置１１１には、太陽電池パネル１の電圧変化を測定するオシロスコープ（電圧測定手段）１０１と、トリガー信号を出力するトリガー装置（トリガー出力手段）１１２と、トリガー装置１１２から出力されたトリガー信号によって作動する音響表示装置（可視および／または可聴を出力する出力手段）１１３とを設けることとした。そのため、光照射装置からキセノンアークランプ光（特定光）が照射された太陽電池パネル１の電圧による開放電圧比が閾値以上になった際に、音響表示装置１１３を作動させることができ、オシロスコープ１０１を常時監視する必要がなくなる。したがって、検査時の人員を削減することができる。
【００８７】
なお、本実施形態では、可視および／または可聴を出力する出力手段を音響表示装置１１３として説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば光出力装置などであっても良い。
【００８８】
〔第３実施形態〕
本実施形態は、第１実施形態と基本的に同様であるが、第１実施形態とは、光照射装置が照射コントローラを有しており、電圧測定装置がオシロスコープと２値化複合装置と記録装置とを備えている点で異なっている。よって、本実施形態においては、この異なっている部分を説明し、その他の重複する構成要素、検査方法については、同一の符号を付してその重複した説明を省略する。
【００８９】
図１８には、本実施形態の計測装置の概略構成図が示されている。なお、図１８では、簡易のため、太陽電池アレイを構成している一部の太陽電池パネルと、光照射装置と、電圧測定装置のみを示している。また、図１９には、光照射装置と電圧測定装置との動作状況を示し、（Ａ）には、光照射装置の稼働状況と、（Ｂ）には、光照射時間の電圧の変化と、（Ｃ）には、２値符号後結果とを示している。
【００９０】
光照射装置１２１は、キセノンアークランプ光（特定光）の照射パターンの設定が可能な照射コントローラ（照射制御手段）１２２を有している。照射パターンは、例えば照射回数と照射周期などを組み合わせて特定のパターンを設定できる。
電圧測定装置１２０は、キセノンアークランプ光が照射された太陽電池パネル１の電圧変化を測定するオシロスコープ（電圧測定手段）１０１と、オシロスコープ１０１が測定した電圧による開放電圧比が閾値以上になった際にその電圧を２値化して２値化出力する２値化複合装置（２値化復合手段）１２３と、２値化複合装置１２３から出力された２値化出力によって作動する記録装置（記録手段）１２４と、を備えている。
【００９１】
本実施形態の検査装置１３０を用いた検査方法は、光照射装置１２１からキセノンアークランプ光を太陽電池パネル１に順番に照射する。各太陽電池パネル１に照射されるキセノンアークランプ光は、符号入力１２５をすることで符号化１２６されて、照射コントローラ１２２によって照射パターンが制御される。
【００９２】
照射コントローラ１２２は、例えば、図１９（Ａ）に示すように、１台目の太陽電池パネル１（または太陽電池モジュール２）にキセノンアークランプ光を１パルス照射し、２台目の太陽電池パネル１（または太陽電池モジュール２）に２パルス照射し、３台目の太陽電池パネル１（または太陽電池モジュール２）に３パルス照射するようにキセノンアークランプ光の照射パターンを制御する。これにより、オシロスコープ１０１によって検出される各電圧変化は、図１９（Ｂ）に示すように、１台目の太陽電池パネル１では、閾値を１回超えることとなり、２台目の太陽電池パネル１では、閾値を２回超えることとなり、３台目の太陽電池パネル１では、閾値を３回超えて検出されることとなる。
【００９３】
このように閾値を超えた電圧信号は、図１９（Ｃ）に示すように、各々２値化複合装置１２３により２値化される。２値化複合装置１２３から出力された２値復号結果によって記録装置１２４が各太陽電池パネル１と結果とを対応させるように記録する。
【００９４】
以上述べたように、本実施形態に係る太陽電池アレイの検査装置１３０およびこの検査方法によれば、以下の効果を奏する。
光照射装置１２１は、キセノンアークランプ光（特定光）の照射パターンの設定が可能な照射コントローラ（照射制御手段）１２２と、電圧測定装置１２０には、太陽電池パネル１の電圧変化を測定するオシロスコープ（電圧測定手段）１０１と、オシロスコープ１０１によって測定された電圧による開放電圧比が閾値以上になった際に２値化して出力する２値化複合装置（２値化復合手段）１２３と、２値化複合装置１２３から出力された結果に基づいて作動する記録装置（記録手段）１２４とを用いることとした。そのため、オシロスコープ１０１が測定した電圧値変化と、キセノンアークランプ光の照射パターンとの結びつけ、すなわち検査対象の太陽電池パネル１との結びつけが容易となる。これにより、多数の太陽電池パネル１を検査する際に、不良な太陽電池パネル１の特定と記録が容易になる。したがって、不良な太陽電池パネル１と正常な太陽電池パネル１との取り間違えを防止して、検査作業時間を短縮することができる。
【００９５】
〔第４実施形態〕
本実施形態は、第１実施形態と基本的に同様であるが、第１実施形態とは、光照射装置に光漏れカバーを設ける点で異なっている。よって、本実施形態においては、この異なっている部分を説明し、その他の重複する構成要素、検査方法については、同一の符号を付してその重複した説明を省略する。
【００９６】
図２０には、光照射装置に設けられる光漏れカバー（カバー）１４０の概略図が示されている。
光漏れカバー１４０は、太陽電池パネル１の一部を覆うことが可能な大きさとされている。光漏れカバー１４０の中心からは、キセノンアークランプ光（特定光）が太陽電池パネル１の受光面全体に照射可能となっている。
【００９７】
以上述べたように、本実施形態に係る太陽電池アレイの検査装置およびこの検査方法によれば、以下の効果を奏する。
光照射装置に太陽電池パネル１の少なくとも一部を覆うことが可能な光漏れカバー（カバー）１４０を設けることとした。そのため、光照射装置がキセノンアークランプ光（特定光）を照射する際に、カバー１４０により環境日射による環境光を遮り太陽電池パネル１の出力電圧は低くなるので、環境光との強度差が大きくなるので好ましい。このカバー１４０は、太陽電池パネル１の受光面の好ましくは５％以上、更に好ましくは１０％以上であれば、環境光による太陽電池パネル１の出力電圧の低下に効果がある。
さらに、カバー１４０により隣接する太陽電池パネル１にキセノンアークランプ光が照射されることを防止することができる。したがって、キセノンアークランプ光を照射する太陽電池パネル１以外の誤作動を防止することができる。
【符号の説明】
【００９８】
１  太陽電池パネル
３０  太陽電池ストリング
４０  太陽電池アレイ
１００  検査装置
１０１  オシロスコープ（電圧測定装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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