(57)【要約】      （修正有）【課題】大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および切断方法を提供する。【解決手段】脆性板２を支持手段２０により支持する第１のステップと、支持手段２０により支持される脆性板２を局所的に加熱すると共に脆性板２の加熱領域を移動させることにより、脆性板２を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共にクラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、第１のステップでは、脆性板表面２ａの切断予定線に引張応力が作用するように、脆性板２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、脆性板２を支持手段２０により支持することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脆性板を支持手段により支持する第１のステップと、前記支持手段により支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、
前記第１のステップでは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を前記支持手段により支持することを特徴とする脆性板の切断方法。
【請求項２】
前記第２のステップでは、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項１に記載の脆性板の切断方法。
【請求項３】
前記支持手段は、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、該ステージの支持面から突出する突起部材とを有し、該突起部材は、前記切断予定線に沿って延びている請求項１に記載の脆性板の切断方法。
【請求項４】
前記突起部材は、前記ステージの支持面の側縁部から突出しており、
前記支持手段は、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材をさらに有する請求項３に記載の脆性板の切断方法。
【請求項５】
前記ステージの支持面と、前記突起部材と、前記脆性板裏面とで囲まれる空間は、前記ステージの支持面に形成される吸着孔を介して負圧源に接続されており、
前記第２のステップでは、前記空間に負圧を生じさせることにより、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項３または４に記載の脆性板の切断方法。
【請求項６】
前記突起部材は導電性を有し、前記ステージは絶縁性を有しており、
前記第２のステップでは、
前記突起部材と、前記突起部材に電気的に接続される電極との間に交流電力を供給することにより、前記突起部材と前記電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
前記支持手段により支持される前記脆性板に対し前記電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させる請求項３〜５のいずれか一項に記載の切断方法。
【請求項７】
前記支持手段は、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材とを有する請求項１に記載の切断方法。
【請求項８】
前記支持手段は、前記脆性板を裏面から支持するステージを有し、該ステージの支持面は、上に凸の湾曲形状に形成されている請求項１に記載の脆性板の切断方法。
【請求項９】
前記支持手段は、前記脆性板を裏面から吸着支持する一対の支持管を有し、各支持管は、前記脆性板裏面の切断予定線と平行に延びており、
前記脆性板は、前記一対の支持管の上に架け渡され、上に凸に湾曲した状態で前記一対の支持管により支持される請求項１に記載の脆性板の切断方法。
【請求項１０】
前記支持手段は、前記脆性板の両縁部を固定する一対の固定部材を有し、
前記脆性板は、下に凸に湾曲した状態で、前記一対の固定部材により支持される請求項１に記載の脆性板の切断方法。
【請求項１１】
前記第２のステップでは、前記支持手段により支持される前記脆性板の一部が元の形状に戻ることにより、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項７〜１０のいずれか一項に記載の脆性板の切断方法。
【請求項１２】
前記第２のステップでは、
前記支持手段により支持される脆性板の両側に配置される２つの電極の間に交流電力を供給することにより、前記２つ電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
前記支持手段により支持される前記脆性板に対し、少なくとも一方の電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させる請求項７〜１１のいずれか一項に記載の脆性板の切断方法。
【請求項１３】
脆性板を支持する支持手段と、前記支持手段により支持される脆性板を局所的に加熱する共に前記脆性板の加熱領域を移動させることより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させるクラック形成手段とを有する脆性板の切断装置において、
前記支持手段は、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を支持することを特徴とする脆性板の切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性板の切断装置および切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
脆性板であるガラス板の切断装置として、ガラス板の表面にスクライブ線（溝線）を形成するホイールカッターと、スクライブ線に沿ってガラス板を分断するブレイクバーとを有する装置が知られている。スクライブ線は、ホイールカッターをガラス板の表面に押し付けながら転動させることで形成される。
【０００３】
スクライブ線の形成後、ガラス板に切り込んでいたホイールカッターをガラス板から退出させると、ホイールカッターによって側方に押しやられていた部分が、元の形状に復帰しようとし、相互に衝突するので、水平クラックが発生する。
【０００４】
そこで、水平クラックの発生を防止するため、ガラス板を下方に向けて湾曲させた状態で、ガラス板の下面にスクライブ線を形成し、その後、ガラス板をさらに湾曲させることで、ガラス板を分断する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この技術によれば、ホイールカッターによって側方に押しやられていた部分が元の形状に復帰するのを低減できるので、水平クラックの発生を低減できるとしている。
【０００５】
近年では、水平クラックの発生を防止するため、スクライブ線を形成することなく、ガラス板を切断する切断装置も開発されている。例えば、ガラス板を局所的に加熱すると共に加熱領域を移動させることにより、ガラス板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共にクラックを伸展させる手段を有する切断装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３１５８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガラス板などの脆性板を板厚方向に貫通するクラックの形成は、脆性板が大面積になるほど、困難である。脆性板が大面積になるほど、脆性板の剛性が高くなるので、また、脆性板と脆性板を支持するステージとの摩擦力が大きくなるので、脆性板が変形し難いためである。この問題は、脆性板の外周部よりも、脆性板の中央部で顕著であり、クラックの伸展が途中で止まることがあった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を解決するため、本発明は、
脆性板を支持手段により支持する第１のステップと、前記支持手段により支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、
前記第１のステップでは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を前記支持手段により支持することを特徴とする脆性板の切断方法を提供する。
【００１０】
また、本発明は、
脆性板を支持する支持手段と、前記支持手段により支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させるクラック形成手段とを有する脆性板の切断装置において、
前記支持手段は、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を支持することを特徴とする脆性板の切断装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および切断方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態における切断装置の斜視図
【図２】第１の実施形態における切断装置の断面図
【図３Ａ】切断装置１０による切断の様子を示す上面図
【図３Ｂ】図３ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図３Ｃ】図３ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図４Ａ】クラック８の形成の様子を示す断面図（１）
【図４Ｂ】クラック８の形成の様子を示す断面図（２）
【図４Ｃ】クラック８の形成の様子を示す断面図（３）
【図５Ａ】第２の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図
【図５Ｂ】図５ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図５Ｃ】図５ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図６Ａ】第３の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図
【図６Ｂ】図６ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図６Ｃ】図６ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図７Ａ】第４の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図
【図７Ｂ】図７ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図７Ｃ】図７ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図８Ａ】第５の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図
【図８Ｂ】図８ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図８Ｃ】図８ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図９Ａ】第６の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図
【図９Ｂ】図９ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図９Ｃ】図９ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【図１０Ａ】第７の実施形態における切断装置による切断の様子を示す下面図
【図１０Ｂ】図１０ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図
【図１０Ｃ】図１０ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、各図面において、同一のまたは対応する構成については同一のまたは対応する符号を付して説明を省略する。
【００１４】
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態における脆性板の切断装置の斜視図である。図２は、第１の実施形態における脆性板の切断装置の断面図である。
【００１５】
本実施形態の切断装置１０は、脆性板であるガラス板２を切断する装置である。なお、脆性板は、ガラス板２に限定されず、例えばシリコン基板、サファイア基板、またはセラミックス基板などであってもよい。
【００１６】
ガラス板２は、曲げ応力の作用していない自然状態で平板形状に成形されている。ガラス板２の成形方法としては、例えばフロート法やフュージョン法などがある。
【００１７】
ガラス板表面２ａの切断予定線４の始点または始点近傍には、切断の起点となる初期クラックが予め形成されていてもよいが、工程数を削減するため、初期クラックはなくても良い。
【００１８】
ここで、「切断予定線」とは、切断箇所となる予定の仮想線のことである。ガラス板表面２ａの切断予定線４の始点および終点は、ガラス板表面２ａの外周と交差している。
【００１９】
ガラス板２のガラスの種類は、特に限定されないが、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス、または石英ガラスなどである。
【００２０】
ガラス板２の大きさは、特に限定されないが、例えばガラス板２が矩形状の場合、ガラス板２の短辺の寸法が２０ｍｍ以上であって良い。
【００２１】
切断装置１０は、ガラス板２を支持する支持手段２０と、支持手段２０により支持されるガラス板２を局所的に加熱すると共にガラス板２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８を形成すると共にクラック８を伸展させるクラック形成手段５０を有する。なお、切断装置１０は、ガラス板表面２ａの損傷を抑えるため、ガラス板表面２ａにスクライブ線（溝線）を形成する手段を有していない。
【００２２】
支持手段２０は、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用するように、ガラス板２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板２を支持する。上記引張応力の作用方向は、ガラス板表面２ａの面内方向で、且つ、切断予定線４と直交する方向であることが好ましい。
【００２３】
例えば、支持手段２０は、図１および図２に示すように、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１と、ステージ２１の支持面２１ａから突出する突起部材２４とを有する。突起部材２４は、切断予定線４に沿って延びている。
【００２４】
ステージ２１の平面形状の支持面２１ａと直交する方向から見て、突起部材２４は、ガラス板２の切断予定線４の全体と重なっている。突起部材２４は、自然状態で平板形状のガラス板２を自重で曲げ変形させる。その結果、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用する。
【００２５】
ステージ２１の支持面２１ａには、複数の吸着孔２３が形成されている。各吸着孔２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐは真空ポンプなどで構成され、負圧源Ｐが作動すると、ステージ２１が、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持する。
【００２６】
ステージ２１の支持面２１ａからは、帯板形状の突起部材２４が突出しており、突起部材２４の左右両側に吸着孔２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ２１に吸引され、固定される。
【００２７】
ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２は、吸着孔２３を介して、負圧源Ｐに接続されている。負圧源Ｐが作動すると、空間Ｓ１、Ｓ２に負圧（大気圧よりも低い圧力）が生じ、突起部材２４の両側において、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように曲げ変形される。
【００２８】
クラック形成手段５０は、支持手段２０により支持されるガラス板２を局所的に加熱すると共にガラス板２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８を形成すると共にクラック８を伸展させる手段である。
【００２９】
クラック形成手段５０は、ガラス板２を局所的に加熱することにより、ガラス板２に熱応力を印加して、クラック８を形成する。ガラス板２の加熱温度は、徐冷点以下の温度に設定される。ガラスは徐冷点を超える温度に加熱されると、熱応力を緩和するように、粘性流動するからである。
【００３０】
例えば、クラック形成手段５０は、図２に示すように、支持手段２０により支持されるガラス板２の両側（表面２ａ側および裏面２ｂ側）に配置される２つの電極５１、２４を有している。本実施形態では、２つの電極５１、２４の一方として、帯板形状の突起部材２４が用いられている。
【００３１】
そのため、突起部材２４は、導電性を有し、例えばアルミニウムや銅などの金属で構成されている。一方、突起部材２４の基端部が埋設されるステージ２１は、絶縁性を有しており、例えばポリテトラフルオロエチレン（商品名、テフロン（登録商標））などの合成樹脂で構成されている。
【００３２】
電極５１は、回路５３を介して、突起部材２４と電気的に接続されている。突起部材２４は、アースされていてよい。回路５３は、電極５１と突起部材２４の間に交流電力（交流電圧）を供給する高周波電源５４、交流電力（交流電圧）の周波数やデューティ比、電圧を変調する変調器５５などで構成される。
【００３３】
高周波電源５４が電極５１と突起部材２４の間に交流電力を供給することにより、電極５１とガラス板表面２ａの間に形成される間隙に放電が生じ、ガラス板表面２ａが局所的に加熱される。放電の安定化のため、電極５１の周辺の雰囲気は、窒素雰囲気やアルゴン雰囲気などの不活性雰囲気であることが好ましい。
【００３４】
また、高周波電源５４が電極５１と突起部材２４の間に交流電力を供給することにより、電極５１と突起部材２４の間に交番電界が形成され、交番電界中に配置されるガラス板２の内部が局所的に誘電加熱される。
【００３５】
このように、突起部材２４と電極５１との間に交流電力を供給することにより、突起部材２４と電極５１の間に配置されるガラス板２を局所的に加熱する。
【００３６】
ガラス板２の加熱範囲を狭窄するため、電極５１はガラス板表面２ａに向けて先細り形状の先端部を有している。同じ理由で、突起部材２４は、ガラス板裏面２ｂに向けて先細り形状の先端部を有している。突起部材２４の最大幅Ｗは、例えば１〜５ｍｍである。
【００３７】
また、クラック形成手段５０は、支持手段２０により支持されるガラス板２に対し電極５１を相対的に移動させることにより、ガラス板２の加熱領域を移動させる移動装置６０を有する。本実施形態の移動装置６０は、電極５１側を移動させるが、支持手段２０側を移動させてもよいし、両側を移動させてもよい。
【００３８】
移動装置６０は、例えば、電極５１を所定方向に案内するガイドレール６２、電極５１を所定方向に移動させる駆動源６４などで構成される。移動装置６０は、電極５１をガラス板表面２ａの切断予定線４に沿って移動させる。
【００３９】
切断装置１０の所定の装置（例えば、負圧源Ｐ、高周波電源５４、駆動源６４）は、切断装置１０の動作を制御する制御装置７０に、信号ラインを介して接続されている。制御装置７０は、ＣＰＵ、記録媒体などを含むコンピュータとして構成されている。制御装置７０は、記録媒体に格納された各種プログラムをＣＰＵに実行させることで、信号ラインを介して接続される装置を制御し、切断装置１０の各種動作を実行させる。
【００４０】
次に、図３Ａ〜図３Ｃを参照して、上記構成の切断装置１０の動作（切断方法）について説明する。
【００４１】
図３Ａは、切断装置１０による切断の様子を示す上面図である。図３Ｂは図３ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図３Ｃは図３ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。図３Ａにおいて、図面を見やすくするため、移動装置６０などの図示を省略する。
【００４２】
最初に、ガラス板２が支持手段２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板２がステージ２１の平面形状の支持面２１ａに載置される。支持面２１ａからは突起部材２４が突出しているので、自然状態で平板形状のガラス板２が自重で曲げ変形され、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ２１に吸引され、固定される。
【００４３】
このとき、ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２に負圧が生じ、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように曲げ変形される。よって、ガラス板表面２ａの切断予定線４により強い引張応力が作用する。
【００４４】
切断予定線４に作用する引張応力は、突起部材２４の突出量Ｈ（図３Ｂ参照）、空間Ｓ１、Ｓ２の気圧、ガラス板２の物性などにて定まり、例えば３０〜３００ＭＰａであり、好ましくは５０〜１５０ＭＰａである。突起部材２４の突出量Ｈは、例えば０．１〜３ｍｍである。
【００４５】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線４の始点と対向する位置に移動される。続いて、電極５１と突起部材２４との間に交流電力が供給され、電極５１と突起部材２４との間に配置されるガラス板２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板２の外周から、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８が形成される。
【００４６】
図４Ａ〜図４Ｃは、クラック８の形成の様子を示す断面図である。図４Ａに示すように、ガラス板表面２ａの切断予定線４には引張応力が生じているので、図４Ｂに示すように、クラックはガラス板２の表面２ａ側から裏面２ｂ側に向けて成長する。図４Ｃに示すように、クラック８がガラス板２を板厚方向に貫通すると、切断予定線４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板２の切断面２ｃ、２ｄ同士がＶ字状に開く。
【００４７】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線４に沿って相対的に移動され、クラック８が切断予定線４に沿って伸展する。
【００４８】
ところで、ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２には負圧が生じているので、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように、ガラス板２に曲げ応力が作用している。
【００４９】
この曲げ応力は、突起部材２４の左右両側で生じており、クラック８の形成前は、互いに均衡を保っているが、クラック８の形成後は、均衡が崩れる。そのため、クラック８の形成後は、図３Ｃに示すように、Ｖ字状に開いた切断面２ｃ、２ｄ同士が離れる。
【００５０】
クラック８が切断予定線４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ２１によるガラス板２の吸引が停止され、ステージ２１からガラス板２が取り外される。このようにして、ガラス板２を切断することができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態によれば、ガラス板２の少なくとも一部が曲げ変形されることにより、ガラス板表面２の切断予定線４に曲げ応力が作用しているので、クラック８の形成時に、ガラス板２の切断面２ｃ、２ｄ同士がＶ字状に開く。そのため、ガラス板２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板２を切断することができる。
【００５２】
また、本実施形態によれば、図４に示すように、空間Ｓ１、Ｓ２に負圧が生じることにより、クラック８の形成時に、ガラス板２が再変形し、Ｖ字状に開いた切断面２ｃ、２ｄ同士が離れる。よって、切断面２ｃ、２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【００５３】
［第２の実施形態］
上記第１の実施形態では、突起部材２４の左右両側に吸着孔２３が配置され、突起部材２４の左右両側において、ガラス板２がステージ２１に吸引され、固定されていた。
【００５４】
これに対し、本実施形態では、突起部材がステージの支持面の縁部から突出しており、突起部材の片側にのみ吸着孔が配置されている。
【００５５】
図５Ａは、第２の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図５Ｂは図５ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図５Ｃは図５ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【００５６】
本実施形態の切断装置１１０は、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用するように、ガラス板１０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板１０２を支持する支持手段１２０と、クラック形成手段１５０を有する。なお、クラック形成手段１５０は、電極として、図３Ａ〜図３Ｃに示す突起部材２４の代わりに、突起部材１２４を有する以外は、第１の実施形態と同様の構成であるので、説明を省略する。
【００５７】
支持手段１２０は、ガラス板１０２を裏面１０２ｂから吸着支持するステージ１２１と、ステージ１２１の支持面１２１ａの側縁部から突出する突起部材１２４とを有する。突起部材１２４は、切断予定線１０４に沿って延びている。
【００５８】
ステージ１２１の平面形状の支持面１２１ａと直交する方向から見て、突起部材１２４は、切断予定線１０４の全体と重なっている。突起部材１２４は、自然状態で平板形状のガラス板１０２を自重で曲げ変形させる。その結果、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用する。
【００５９】
ステージ１２１の支持面１２１ａには、複数の吸着孔１２３が形成されている。各吸着孔１２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ１２１が、ガラス板１０２を裏面１０２ｂから吸着支持する。
【００６０】
ステージ１２１の支持面１２１ａの側縁部からは、帯板形状の突起部材１２４が突出しており、突起部材１２４の片側のみに吸着孔１２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線１０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ１２１に吸引され、固定される。
【００６１】
ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３は、吸着孔１２３を介して、負圧源Ｐに接続されている。負圧源Ｐが作動すると、空間Ｓ３に負圧が生じ、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように曲げ変形される。
【００６２】
また、支持手段１２０は、ガラス板１０２のステージ１２１からはみ出す端部１０２ｅを表面１０２ａ側から裏面１０２ｂ側に向けて押圧する押圧部材１２５を有する。よって、ガラス板１０２の端部１０２ｅにある切断予定線１０４に十分な引張応力を与えることができる。押圧部材１２５は、切断予定線１０４と平行に延びている。
【００６３】
次に、上記構成とした切断装置１１０の動作（切断方法）について、再度図５Ａ〜図５Ｃを参照して説明する。
【００６４】
最初に、ガラス板１０２が支持手段１２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板１０２がステージ１２１の平面形状の支持面１２１ａに載置される。支持面１２１ａからは突起部材１２４が突出しているので、自然状態で平板形状のガラス板１０２が自重で曲げ変形され、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、ガラス板１０２が、ステージ１２１に吸引され、固定される。
【００６５】
このとき、ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３に負圧が生じ、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように曲げ変形される。よって、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４により強い引張応力が作用する。
【００６６】
また、ガラス板１０２のステージ１２１からはみ出す端部１０２ｅが、表面１０２ａ側から裏面１０２ｂ側に向けて押圧部材１２５により押圧されるので、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に十分な引張応力が作用する。
【００６７】
切断予定線１０４に作用する引張応力は、突起部材１２４の突出量Ｈ（図５Ｂ参照）、空間Ｓ３の気圧、押圧部材１２５からガラス板１０２に加わる押圧力、ガラス板１０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。突起部材１２４の突出量Ｈは、例えば０．１〜３ｍｍである。
【００６８】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線１０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、電極５１と突起部材１２４との間に交流電力が供給され、電極５１と突起部材１２４との間に配置されるガラス板１０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板１０２の外周から、ガラス板１０２を板厚方向に貫通するクラック１０８が形成される。
【００６９】
クラック１０８が形成されると、切断予定線１０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板１０２の切断面１０２ｃ、１０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板１０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板１０２を切断することができる。
【００７０】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線１０４に沿って相対的に移動され、クラック１０８が切断予定線１０４に沿って伸展する。
【００７１】
ところで、ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３には負圧が生じており、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように、ガラス板１０２に曲げ応力が作用している。
【００７２】
この曲げ応力は、クラック１０８の形成前は、押圧部材１２５の押圧力と均衡を保っているが、クラック１０８の形成後は、均衡が崩れる。そのため、クラック１０８の形成後は、図５Ｃに示すように、Ｖ字状に開いた切断面１０２ｃ、１０２ｄ同士が離れる。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面１０２ｃ、１０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【００７３】
クラック１０８が切断予定線１０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ１２１によるガラス板１０２の吸引が停止され、ステージ１２１からガラス板１０２が取り外される。このようにして、ガラス板１０２を切断することができる。
【００７４】
［第３の実施形態］
上記第１の実施形態の支持手段２０は、ステージ２１の支持面２１ａから突出する突起部材２４を有していた。
【００７５】
これに対し、本実施形態の支持手段は、突起部材を有していない。
【００７６】
図６Ａは、第３の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図６Ｂは図６ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図６Ｃは図６ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【００７７】
本実施形態の切断装置２１０は、支持手段２２０と、クラック形成手段２５０を有する。
【００７８】
支持手段２２０は、ガラス板表面２０２ａの切断予定線２０４に引張応力が作用するように、ガラス板２０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板２０２を支持する手段である。
【００７９】
本実施形態の支持手段２２０は、ガラス板２０２を裏面２０２ｂから吸着支持するステージ２２１を有する。ステージ２２１の支持面２２１ａには、複数の吸着孔２２３が形成されている。各吸着孔２２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ２２１が、ガラス板２０２を裏面２０２ｂから吸着支持する。
【００８０】
また、支持手段２２０は、ガラス板２０２のステージ２２１からはみ出す端部２０２ｅを表面２０２ａ側から裏面２０２ｂ側に向けて押圧する押圧部材２２５を有する。よって、ガラス板２０２の端部２０２ｅを曲げ変形することができ、端部２０２ｅにある切断予定線２０４に引張応力を与えることができる。
【００８１】
押圧部材２２５は、ガラス板表面２０２ａの切断予定線２０４と平行に延びている。
【００８２】
クラック形成手段２５０は、支持手段２２０により支持されるガラス板２０２を局所的に加熱すると共にガラス板２０２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２０２を板厚方向に貫通するクラック２０８を形成すると共にクラック２０８を伸展させる手段である。
【００８３】
クラック形成手段２５０は、例えば図６Ｃに示すように、支持手段２２０により支持されるガラス板２０２の両側（表面側および裏面側）に配置される２つの電極５１、２５２を有する。針形状の電極５１は、回路５３を介して、帯板形状の電極２５２と電気的に接続されている。
【００８４】
電極２５２は、切断予定線２０４に沿って延びている。電極２５２は、ステージ２２１の平面形状の支持面２２１ａと直交する方向から見て、切断予定線２０４の全体と重なっている。
【００８５】
電極２５２は、絶縁性の支持部材２５６を介して、絶縁性のステージ２２１に固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面２０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
【００８６】
高周波電源５４が２つの電極５１、２５２の間に交流電力（交流電圧）を供給することにより、電極５１とガラス板表面２０２ａの間の間隙に放電が生じ、ガラス板表面２０２ａが局所的に加熱される。また、電極２５２とガラス板裏面２０２ｂの間の間隙に放電が生じ、ガラス板裏面２０２ｂが局所的に加熱される。本実施形態では、ガラス板２０２の表面２０２ａ側と裏面２０２ｂ側の両側に放電が生じるので、加熱効率がよい。
【００８７】
また、高周波電源５４が２つの電極５１、２５２の間に交流電力（交流電圧）を供給することにより、２つの電極５１、２５２の間に交番電界が形成され、交番電界中に配置されるガラス板２０２の内部が局所的に誘電加熱される。
【００８８】
このように、２つの電極５１、２５２との間に交流電力を供給することにより、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板２０２を局所的に加熱する。
【００８９】
ガラス板２の加熱範囲を狭窄するため、針形状の電極５１はガラス板表面２０２ａに向けて先細り形状の先端部を有している。同じ理由で、帯板形状の電極２５２は、ガラス板裏面２０２ｂに向けて先細り形状の先端部を有している。
【００９０】
また、クラック形成手段２５０は、支持手段２２０により支持されるガラス板２に対し、２つの電極５１、２５２のうち少なくとも一方（本実施形態では、電極５１）を相対的に移動させることにより、ガラス板２の加熱領域を移動させる移動装置６０を有する。
【００９１】
次に、上記構成とした切断装置２１０の動作（切断方法）について、再度図６Ａ〜図６Ｃを参照して説明する。
【００９２】
最初に、ガラス板２０２が支持手段２２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板２０２がステージ２２１の平面形状の支持面２２１ａに載置される。続いて、支持面２２１ａに形成される吸着孔２２３に接続される負圧源Ｐが作動し、ガラス板２０２が、ステージ２２１に吸引され、固定される。
【００９３】
次いで、押圧部材２２５がガラス板２０２のステージ２２１からはみ出す端部２０２ｅを表面２０２ａ側から裏面２０２ｂ側に向けて押圧し、端部２０２ｅを曲げ変形させる。その結果、端部２０２ｅにある切断予定線２０４に引張応力が作用する。
【００９４】
切断予定線２０４に作用する引張応力は、押圧部材２２５からガラス板２０２に加わる押圧力、ガラス板２０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。
【００９５】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線２０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板２０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板２０２の外周から、ガラス板２０２を板厚方向に貫通するクラック２０８が形成される。
【００９６】
クラック２０８が形成されると、切断予定線２０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板２０２の切断面２０２ｃ、２０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板２０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板２０２を切断することができる。
【００９７】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線２０４に沿って相対的に移動され、クラック２０８が切断予定線２０４に沿って伸展する。
【００９８】
ところで、ガラス板２０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック２０８の形成前は、ステージ２２１の吸着力や押圧部材２２５の押圧力と均衡を保っているが、クラック２０８の形成後は、均衡が崩れる。
【００９９】
そのため、クラック２０８が形成された切断箇所では、図６Ｃに示すように、ガラス板２０２のステージ２２１により支持される側の部分、および、ガラス板２０２の押圧部材２２５により押圧される側の部分が、それぞれ、平板形状に戻る。加えて、ガラス板２０２の押圧部材２２５により押圧される側の部分が、押圧方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面２０２ｃ、２０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面２０２ｃ、２０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【０１００】
クラック２０８が切断予定線２０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ２２１によるガラス板２０２の吸引が停止され、ステージ２２１からガラス板２０２が取り外される。このようにして、ガラス板２０２を切断することができる。
【０１０１】
［第４の実施形態］
上記第１の実施形態では、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１の支持面２１ａが、平面形状に形成されていた。
【０１０２】
これに対し、本実施形態では、ガラス板を裏面から支持するステージの支持面が、上に凸の湾曲形状に形成されている。
【０１０３】
図７Ａは、第４の実施形態における切断装置による切断の様子を示す平面図である。図７Ｂは図７ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図７Ｃは図７ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【０１０４】
切断装置３１０は、支持手段３２０と、クラック形成手段２５０を有する。なお、クラック形成手段２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１０５】
支持手段３２０は、ガラス板表面３０２ａの切断予定線３０４に引張応力が作用するように、ガラス板３０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板３０２を支持する手段である。
【０１０６】
本実施形態の支持手段３２０は、ガラス板３０２を裏面３０２ｂから吸着支持するステージ３２１を有する。ステージ３２１の支持面３２１ａは、上に凸の湾曲形状に形成されている。
【０１０７】
支持面３２１ａには、複数の吸着孔３２３が形成されている。各吸着孔３２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ３２１が、ガラス板３０２を裏面３０２ｂから吸着支持する。
【０１０８】
支持面３２１ａの上端部には、溝部３２６が設けられており、溝部３２６の左右両側に吸着孔３２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線３０４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ３２１に吸引され、固定される。
【０１０９】
溝部３２６の内底面からは、帯板形状の電極２５２が上方に向けて突出している。電極２５２は、切断予定線３０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視にて、切断予定線３０４の全体と重なっている。
【０１１０】
電極２５２は、絶縁性のステージ３２１に一部が埋設され、固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面３０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
【０１１１】
次に、上記構成とした切断装置３１０の動作（切断方法）について、再度図６Ａ〜図６Ｃを参照して説明する。
【０１１２】
最初に、ガラス板３０２が支持手段３２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板３０２がステージ３２１の支持面３２１ａに載置される。支持面３２１ａは上に凸の湾曲形状に形成されているので、自然状態で平板形状のガラス板３０２が自重で曲げ変形して、ガラス板表面３０２ａの切断予定線３０４に引張応力が作用する。
【０１１３】
続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線３０４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ３２１に吸引され、固定される。負圧源Ｐの作動前に、ガラス板裏面３０２ｂの曲率半径が支持面３２１ａの曲率半径よりも大きい場合、負圧源Ｐの作動によって、ガラス板３０２がさらに曲げ変形される。よって、切断予定線３０４に作用する引張応力が強くなる。
【０１１４】
切断予定線３０４に作用する引張応力は、支持面３２１ａの湾曲形状、ガラス板３０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。
【０１１５】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線３０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板３０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板３０２の外周から、ガラス板３０２を板厚方向に貫通するクラック３０８が形成される。
【０１１６】
クラック３０８が形成されると、切断予定線３０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板３０２の切断面３０２ｃ、３０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板３０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板３０２を切断することができる。
【０１１７】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線３０４に沿って相対的に移動され、クラック３０８が切断予定線３０４に沿って伸展する。
【０１１８】
ところで、ガラス板３０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック３０８の形成前は、ガラス板３０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック３０８の形成後は、均衡が崩れる。
【０１１９】
そのため、クラック３０８が形成された切断箇所では、図７Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻る。その結果、Ｖ字状に開いた切断面３０２ｃ、３０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面３０２ｃ、３０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【０１２０】
クラック３０８が切断予定線３０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ３２１によるガラス板３０２の吸引が停止され、ステージ３２１からガラス板３０２が取り外される。このようにして、ガラス板３０２を切断することができる。
【０１２１】
［第５の実施形態］
上記第４の実施形態では、ステージ３２１の支持面３２１ａの上端部に形成される溝部の両側に吸着孔３２３が配置されていた。
【０１２２】
これに対し、本実施形態では、溝部の片側にのみ吸着孔が配置されている。
【０１２３】
図８Ａは、第５の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図８Ｂは図８ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図８Ｃは図８ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【０１２４】
切断装置４１０は、支持手段４２０と、クラック形成手段２５０を有する。なお、クラック形成手段２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１２５】
支持手段４２０は、ガラス板表面４０２ａの切断予定線４０４に引張応力が作用するように、ガラス板４０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板４０２を支持する手段である。
【０１２６】
本実施形態の支持手段４２０は、ガラス板４０２を裏面４０２ｂから吸着支持するステージ４２１を有する。ステージ４２１の支持面４２１ａは、上に凸の湾曲形状に形成されている。
【０１２７】
支持面４２１ａには、複数の吸着孔４２３が形成されている。各吸着孔４２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ４２１が、ガラス板４０２を裏面４０２ｂから吸着支持する。
【０１２８】
支持面４２１ａの上端部には、溝部４２６が設けられており、溝部４２６の片側のみに吸着孔４２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線４０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ４２１に吸引され、固定される。
【０１２９】
溝部４２６の内底面からは、帯板形状の電極２５２が上方に向けて突出している。電極２５２は、切断予定線４０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視にて、切断予定線４０４の全体と重なっている。
【０１３０】
電極２５２は、絶縁性のステージ４２１に一部が埋設され、固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面４０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
【０１３１】
次に、上記構成とした切断装置４１０の動作（切断方法）について、再度図８Ａ〜図８Ｃを参照して説明する。
【０１３２】
最初に、ガラス板４０２が支持手段４２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板４０２がステージ４２１の支持面４２１ａに載置される。支持面４２１ａは上に凸の湾曲形状に形成されているので、自然状態で平板形状のガラス板４０２が自重で曲げ変形して、ガラス板表面４０２ａの切断予定線４０４に引張応力が作用する。
【０１３３】
続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線４０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ４２１に吸引され、固定される。負圧源Ｐの作動前に、ガラス板裏面４０２ｂの曲率半径が支持面４２１ａの曲率半径よりも大きい場合、負圧源Ｐの作動によって、ガラス板４０２がさらに曲げ変形される。よって、切断予定線４０４に作用する引張応力が強くなる。
【０１３４】
切断予定線４０４に作用する引張応力は、支持面４２１ａの湾曲形状、ガラス板４０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。
【０１３５】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線４０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板４０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板４０２の外周から、ガラス板４０２を板厚方向に貫通するクラック４０８が形成される。
【０１３６】
クラック４０８が形成されると、切断予定線４０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板４０２の切断面４０２ｃ、４０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板４０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板４０２を切断することができる。
【０１３７】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線４０４に沿って相対的に移動され、クラック４０８が切断予定線４０４に沿って伸展する。
【０１３８】
ところで、ガラス板４０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック４０８の形成前は、ガラス板４０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック４０８の形成後は、均衡が崩れる。
【０１３９】
そのため、クラック４０８が形成された切断箇所では、図８Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻る。加えて、切断箇所の右側のガラスは、支持面４２１ａに吸着されていないので、斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面４０２ｃ、４０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面４０２ｃ、４０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【０１４０】
クラック４０８が切断予定線４０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ４２１によるガラス板４０２の吸引が停止され、ステージ４２１からガラス板４０２が取り外される。このようにして、ガラス板４０２を切断することができる。
【０１４１】
［第６の実施形態］
上記第１の実施形態の切断装置は、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１を有している。
【０１４２】
これに対し、本実施形態の切断装置は、ガラス板を裏面から吸着支持する一対の支持管を有している。
【０１４３】
図９Ａは、第６の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図９Ｂは図９ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図９Ｃは図９ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【０１４４】
切断装置５１０は、支持手段５２０と、クラック形成手段２５０を有する。なお、クラック形成手段２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１４５】
支持手段５２０は、ガラス板表面５０２ａの切断予定線５０４に引張応力が作用するように、ガラス板５０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板５０２を支持する手段である。
【０１４６】
本実施形態の支持手段５２０は、ガラス板５０２を裏面５０２ｂから吸着支持する一対の支持管５２７を有する。各支持管５２７は、切断予定線５０４と平行に延びている。ガラス板５０２は、一対の支持管５２７の上に架け渡され、上に凸に湾曲した状態で一対の支持管５２７により支持される。よって、ガラス板５０２の上端部５０２ｆを曲げ変形することができ、上端部５０２ｆにある切断予定線５０４に引張応力を与えることができる。
【０１４７】
各支持管５２７の外周面５２７ａには、複数の吸着孔５２８が形成されている。各吸着孔５２８は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐは真空ポンプなどで構成され、負圧源Ｐが作動すると、一対の支持管５２７が、ガラス板５０２を裏面５０２ｂから吸着支持する。
【０１４８】
一対の支持管５２７は、支持部材５２９を介して連結されており、支持部材５２９の中央部に電極２５２が固定されている。このようにして、電極２５２は、一対の支持管５２７に対して固定されている。
【０１４９】
電極２５２は、帯板状に形成され、切断予定線５０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視において、切断予定線５０４の全体に重なっている。
【０１５０】
電極２５２は、ガラス板裏面５０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
【０１５１】
次に、上記構成とした切断装置５１０の動作（切断方法）について、再度図９Ａ〜図９Ｃを参照して説明する。
【０１５２】
最初に、ガラス板５０２が支持手段５２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板５０２が、一対の支持管５２７の上に架け渡され、自然状態で平板形状のガラス板５０２が自重で曲げ変形して、切断予定線５０４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、ガラス板５０２が、一対の支持管５２７に吸引支持される。
【０１５３】
切断予定線５０４に作用する引張応力は、一対の支持管５２７の間の距離、ガラス板５０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。
【０１５４】
次いで、針形状の電極５１が、ガラス板表面５０２ａの切断予定線５０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板５０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板５０２の外周から、ガラス板５０２を板厚方向に貫通するクラック５０８が形成される。
【０１５５】
クラック５０８が形成されると、切断予定線５０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板５０２の切断面５０２ｃ、５０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板５０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板５０２を切断することができる。
【０１５６】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線５０４に沿って相対的に移動され、クラック５０８が切断予定線５０４に沿って進展する。
【０１５７】
ところで、ガラス板５０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック５０８の形成前は、ガラス板５０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック５０８の形成後は、均衡が崩れる。
【０１５８】
そのため、クラック５０８が形成された切断箇所では、図９Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻ると共に、重力によって斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面５０２ｃ、５０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面５０２ｃ、５０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【０１５９】
クラック５０８が切断予定線５０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、一対の支持管５２７によるガラス板５０２の吸引が停止され、一対の支持管５２７からガラス板５０２が取り外される。このようにして、ガラス板５０２を切断することができる。
【０１６０】
［第７の実施形態］
上記第１の実施形態の切断装置は、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１を有している。
【０１６１】
これに対し、本実施形態の切断装置は、ガラス板の両縁部を固定する一対の固定部材を有している。
【０１６２】
図１０Ａは、第７の実施形態における切断装置による切断の様子を示す下面図である。図１０Ｂは図１０ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図、図１０Ｃは図１０ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。
【０１６３】
切断装置６１０は、支持手段６２０と、クラック形成手段２５０を有する。なお、クラック形成手段２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【０１６４】
支持手段６２０は、ガラス板表面６０２ａの切断予定線６０４に引張応力が作用するように、ガラス板６０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板６０２を支持する手段である。
【０１６５】
本実施形態の支持手段６２０は、ガラス板６０２の両縁部６０２ｈを固定する一対の固定部材６３１を有する。ガラス板６０２は、下に凸に湾曲した状態で、一対の固定部材６３１により支持される。よって、ガラス板下面６０２ａの下端部にある切断予定線６０４に引張応力を与えることができる。
【０１６６】
一対の固定部材６３１は、支持部材６３２を介して連結されており、支持部材６３２の中央部に電極２５２が固定されている。このようにして、電極２５２は、一対の固定部材６３１に対して固定されている。
【０１６７】
電極２５２は、帯板状に形成され、切断予定線６０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視において、切断予定線６０４の全体に重なっている。
【０１６８】
電極２５２は、ガラス板上面６０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
【０１６９】
次に、上記構成とした切断装置６１０の動作（切断方法）について、再度図１０Ａ〜図１０Ｃを参照して説明する。
【０１７０】
最初に、ガラス板６０２が支持手段６２０により支持される。具体的には、一対の固定部材６３１が、ガラス板６０２の両縁部６０２ｈを固定した状態で、ガラス板６０２を下に凸に湾曲した状態で支持する。よって、ガラス板下面６０２ａの下端部にある切断予定線６０４に引張応力を与えることができる。
【０１７１】
切断予定線６０４に作用する引張応力は、一対の固定部材６３１の寸法形状、ガラス板６０２の物性などにて定まり、例えば２５〜３００ＭＰａであり、好ましくは３０〜５０ＭＰａである。
【０１７２】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線６０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板６０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板６０２の外周から、ガラス板６０２を板厚方向に貫通するクラック６０８が形成される。
【０１７３】
クラック６０８が形成されると、切断予定線６０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板６０２の切断面６０２ｃ、６０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板６０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板６０２を切断することができる。
【０１７４】
次いで、針形状の電極５１が切断予定線６０４に沿って相対的に移動され、クラック６０８が切断予定線６０４に沿って伸展する。
【０１７５】
ところで、ガラス板６０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック６０８の形成前は、ガラス板６０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック６０８の形成後は、均衡が崩れる。
【０１７６】
そのため、クラック６０８が形成された切断箇所では、図１０Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻ると共に、重力によって斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面６０２ｃ、６０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面６０２ｃ、６０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
【０１７７】
クラック６０８が切断予定線６０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止され、一対の固定部材６３１からガラス板６０２が取り外される。このようにして、ガラス板６０２を切断することができる。
【０１７８】
以上、本発明の第１〜第７の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で、上記の実施形態に種々の変形や置換を加えることができる。
【０１７９】
例えば、上記のガラス板２〜６０２は、自然状態で平板形状に成形されているとしたが、支持手段より支持された際に、切断予定線４〜６０４に引張応力が作用するように曲げ変形される限り、自然状態で湾曲形状に成形されていてもよい。
【０１８０】
また、上記の電極５１は、回路３３を介して、突起部材２４、１２４または電極２５２と電気的に接続されているとしたが、接続されていなくてもよく、電極２５２がなくてもよい。この場合、電極５１は、回路３３を介してガラス板２〜６０２に電気的に接続され、ガラス板２〜６０２はアースされてよい。この場合、電極５１に、高周波電源５４から交流電圧、交流電流が供給される。
【０１８１】
また、上記の突起部材１２４、電極２５２は、切断装置１１０〜６１０の構造の簡略化のため、帯板形状に形成され、支持手段１２０〜６２０に対して固定されているとしたが、針形状に形成され、対向配置される針形状の電極５１と共に、支持手段１２０〜６２０に対して相対的に移動されてもよい。この場合、ガラス板１０２〜６０２の加熱領域を狭窄することができ、加熱効率を向上することができる。
【０１８２】
また、上記のクラック形成手段５０、２５０は、ガラス板を局所的に加熱するため、電極５１を有するとしたが、電極５１の代わりに、レーザ光源を有してもよい。レーザ光源としては、ＵＶレーザ（波長：３５５ｎｍ）、グリーンレーザ（波長：５３２ｎｍ）、半導体レーザ（波長：８０８ｎｍ、９４０ｎｍ、９７５ｎｍ）、ファイバーレーザ（波長：１０６０〜１１００ｎｍ）、ＹＡＧレーザ（波長：１０６４ｎｍ、２０８０ｎｍ、２９４０ｎｍ）などが挙げられる。レーザ光源の場合、電極２５２は不要である。
【０１８３】
また、上記のクラック形成手段５０、２５０は、ガラス板に温度勾配をつけるため、ガラス板を局所的に冷却する冷却源を有していてもよい。冷却源としては、例えば冷媒を吐出するノズルが用いられる。冷媒としては、冷却空気などのガス、冷水などの液体が用いられる。ガスと液体を組み合わせて用いても良い。
【符号の説明】
【０１８４】
２    ガラス板（脆性板）
２ａ  ガラス板表面
２ｂ  ガラス板裏面
２ｃ  切断面
２ｄ  切断面
４    切断予定線
８    クラック
１０  切断装置
２０  支持手段
２１  ステージ
２１ａ  支持面
２３  吸着孔
２４  突起部材
５０  クラック形成手段
５１  電極
１２５  押圧部材
２５２  電極
５２７  支持管
６３１  固定部材
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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