(57)【要約】【課題】シール性能が高いとともに、注入口部材の本体から容易に外れることがなく、しかも安価なシール部材を備えた研磨治具用空気注入装置を提供する。【解決手段】研磨治具２の空気注入口１６に挿入される注入口部材４を備える。注入口部材４は、円柱状の本体３３と、この本体３３の外周部に装着されたシール部材３４とを備える。本体３３の外周部には、この本体３３の外周面３３ａと平行な周壁４２と、この周壁４２から径方向の外側に延びる一対の側壁４３，４４とを有する環状溝４１が形成される。シール部材３４は、弾性体によって環状溝４１の周方向の全域に延びる円環状に形成され、環状溝４１の中に挿入されている。シール部材３４の外径は、空気注入口１６の内径より大きく形成されている。シール部材３４と環状溝４１との間には、弾性変形したシール部材３４によってシールされる隙間Ｓが形成されている。【選択図】  図３
2012081580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気圧で膨らむバルーン部材を有する眼鏡レンズ用研磨治具の空気注入口に挿入される注入口部材と、
前記眼鏡レンズ用研磨治具が載置される設置面を有しかつ前記注入口部材を前記設置面から突出する状態で支持する研磨治具用設置台と、
前記注入口部材の突出側端部に形成された空気出口から空気を吐出させる空気供給装置とを備え、
前記空気注入口は、前記眼鏡レンズ用研磨治具における前記設置面と対向する取付面に開口形状が円形となるように開口し、
前記注入口部材は、円柱状に形成されかつ前記空気出口に接続された空気通路を有する本体と、
前記本体の外周部に装着されたシール部材とを備え、
前記本体の外周部には、この本体の外周面と平行な周壁と、この周壁から径方向の外側に延びる一対の側壁とを有する環状溝が形成され、
前記シール部材は、弾性体によって前記環状溝に沿って周方向の全域に延びる円環状に形成されて前記環状溝の中に挿入され、
このシール部材の外径は、前記空気注入口の内径より大きく形成され、
前記シール部材と前記環状溝との間には、注入口部材が前記空気注入口内に挿入されることにより弾性変形したシール部材によってシールされる隙間が形成されていることを特徴とする研磨治具用空気注入装置。
【請求項２】
請求項１記載の研磨治具用空気注入装置において、前記隙間は、前記環状溝の前記側壁と前記シール部材との間に形成されていることを特徴とする研磨治具用空気注入装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の研磨治具用空気注入装置において、前記隙間は、前記環状溝の前記周壁と前記シール部材との間に形成されていることを特徴とする研磨治具用空気注入装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載の研磨治具用空気注入装置において、前記シール部材は、Ｏリングによって形成されていることを特徴とする研磨治具用空気注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気圧で膨らむバルーン部材を備えた研磨治具に空気を注入するための研磨治具用空気注入装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、眼鏡レンズのレンズ面を研磨するための研磨装置としては、たとえば特許文献１に記載されているように、空気圧で膨らむバルーン部材を備えた研磨治具を使用するものがある。この特許文献１に示す研磨治具は、前記バルーン部材と、このバルーン部材を支持する支持部材と、この支持部材に形成された空気通路を開閉するバルブなどによって構成されている。
【０００３】
前記空気通路は、前記支持部材の一端面に開口する空気注入口からバルーン部材の内部に延びるように形成されている。前記バルブは、前記空気注入口に供給された空気の圧力によって開く構造のものである。
前記バルーン部材への空気の注入は、研磨治具を空気注入装置に装着して行われている。この空気注入装置は、研磨治具が載置される設置台と、前記空気注入口に挿入される注入口部材と、この注入口部材の空気出口から空気を吐出させるための空気供給装置などを備えている。
【０００４】
前記注入口部材は、前記設置台に研磨治具を載置することによって空気注入口に挿入されるように、設置台に突出する状態で取付けられている。この注入口部材は、円板状に形成された本体と、この本体と空気注入口との間をシールするためのシール部材とによって構成されている。前記空気出口は、前記本体の外周面に開口している。前記シール部材は、弾性材料によって前記本体の外周部を囲むカップ状に形成されており、自らの弾性で前記本体に保持されるように構成されている。
【０００５】
このシール部材の外周部分は、前記本体とともに前記空気注入口内に挿入された状態で空気が本体の空気出口から吐出されることにより、径方向の外側に膨らんで空気注入口の壁面に密着する。このようにシール部材が変形することによって、注入口部材と空気注入口との間がシールされる。空気出口から吐出された空気は、前記本体と前記シール部材との間の隙間を通ってシール部材の中心部から空気注入口内に流入する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１０６１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示すシール部材は、注入口部材の本体に被せられる特殊な形状の専用部品であるから、研磨治具用空気注入装置の製造コストが高くなるという問題があった。また、前記シール部材は、たとえば長期間にわたって使用して劣化すると、前記本体を挟む力が低下することがある。このような場合は、シール部材が注入口部材の本体から外れ易くなってしまう。
【０００８】
たとえば、空気の注入が終了した後に研磨治具を空気注入装置から取り外すときに、シール部材が空気注入口に付着した状態で注入口部材の本体から外れてしまうことがある。シール部材が前記本体から外れてしまうと、研磨治具を研磨装置に装填する作業が中断され、研磨の効率が低下することになる。なお、このような不具合を解消するに当たっては、シール部材のシール性能が低下するようなことは避けなければならない。
【０００９】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、シール性能が高いとともに、注入口部材の本体から容易に外れることがなく、しかも安価なシール部材を備えた研磨治具用空気注入装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明に係る研磨治具用空気注入装置は、空気圧で膨らむバルーン部材を有する眼鏡レンズ用研磨治具の空気注入口に挿入される注入口部材と、前記眼鏡レンズ用研磨治具が載置される設置面を有しかつ前記注入口部材を前記設置面から突出する状態で支持する研磨治具用設置台と、前記注入口部材の突出側端部に形成された空気出口から空気を吐出させる空気供給装置とを備え、前記空気注入口は、前記眼鏡レンズ用研磨治具における前記設置面と対向する取付面に開口形状が円形となるように開口し、前記注入口部材は、円柱状に形成されかつ前記空気出口に接続された空気通路を有する本体と、前記本体の外周部に装着されたシール部材とを備え、前記本体の外周部には、この本体の外周面と平行な周壁と、この周壁から径方向の外側に延びる一対の側壁とを有する環状溝が形成され、前記シール部材は、弾性体によって前記環状溝に沿って周方向の全域に延びる円環状に形成されて前記環状溝の中に挿入され、このシール部材の外径は、前記空気注入口の内径より大きく形成され、前記シール部材と前記環状溝との間には、注入口部材が前記空気注入口内に挿入されることにより弾性変形したシール部材によってシールされる隙間が形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明は、前記発明において、前記隙間は、前記環状溝の前記側壁と前記シール部材との間に形成されているものである。
本発明は、前記発明において、前記隙間は、前記環状溝の前記周壁と前記シール部材との間に形成されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、シール部材は、注入口部材の本体とともに空気注入口内に挿入されることによって、前記環状溝との間に形成されている隙間に入るように圧縮される。このため、シール部材は、環状溝内で圧縮された状態であっても弾性を失うことはないから、環状溝と空気注入口との間を確実にシールする。また、このシール部材は、注入口部材の環状溝に挿入されているから、注入口部材から容易に外れることはない。さらに、シール部材は、安価な既製品を使用することができる。
したがって、本発明によれば、シール性能が高いとともに、注入口部材から容易に外れることがなく、しかも安価なシール部材を備えた研磨治具用空気注入装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】研磨治具と設置台の構成を示す断面図である。
【図２】研磨治具の空気注入口部分を拡大して示す断面図である。
【図３】設置台に取付けられた注入口部材の断面図である。
【図４】注入口部材が空気注入口に挿入された状態を示す断面図である。
【図５】注入口部材の他の実施の形態を示す断面図である。
【図６】注入口部材が空気注入口に挿入された状態を示す断面図である。
【図７】注入口部材の他の実施の形態を示す断面図である。
【図８】注入口部材が空気注入口に挿入された状態を示す断面図である。
【図９】実験時の各部の寸法を示す断面図である。
【図１０】実験結果を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る研磨治具用空気注入装置の一実施の形態を図１〜図４によって詳細に説明する。
図１に示す研磨治具用空気注入装置１は、眼鏡レンズ用研磨治具２が載置される設置台３と、この設置台３に突設された注入口部材４と、この注入口部材４に空気通路５を介して接続された空気供給装置６とを備えている。
【００１５】
前記研磨治具２は、特許文献１に記載されている研磨治具と同等のもので、本発明に係る空気注入装置１によって空気が注入された後に図示していない研磨装置に装填される。この実施の形態による研磨治具２は、空気圧によって膨らむゴム製のバルーン部材１１と、このバルーン部材１１を支持するための支持部材１２とを備えている。バルーン部材１１は、後述する空気供給装置６から空気が供給されて膨らみ、表面が所定の曲率となるように膨らんだ状態で図示していない研磨パッドが装着される。所定の曲率とは、研磨の対象となる眼鏡レンズのレンズ面の曲率である。
【００１６】
前記支持部材１２には、前記バルーン部材１１内に空気を注入したり、バルーン部材１１内から空気を排出したりするための空気通路１３が形成されている。この空気通路１３は、支持部材１２に穿設された断面円形の円形孔１４と、この円形孔１４とバルーン部材１１との間に設けられたバルブ１５とによって構成されている。前記円形孔１４におけるバルーン部材１１とは反対側に位置する一端は、支持部材１２の平坦な取付面１２ａに空気注入口１６として開口している。この空気注入口１６は、前記取付面１２ａに開口形状が円形となるように開口し、この取付面１２ａとは直交する方向に延びるように形成されている。
【００１７】
前記バルブ１５は、図２に示すように、ボール２１と円錐コイルばね２２とからなる逆止弁２３と、前記ボール２１と対向する排気用ピン２４を有する排気機構２５とを備えている。前記逆止弁２３は、空気を空気注入口１６側からバルーン部材１１内にのみ通す構造が採られている。前記排気用ピン２４は、前記ボール２１を円錐コイルばね２２のばね力に抗して押圧するためのものである。この排気用ピン２４は、図２に示す後退位置と、この排気用ピン２４の前端部がボール２１を押圧する排気位置との間で進退できるようにバルブハウジング２６に支持されている。また、前記排気用ピン２４は、バルブハウジング２６との間に設けられた円錐コイルばね２７によってボール２１から離間する方向に付勢されている。
【００１８】
前記設置台３は、図１に示すように、前記研磨治具２が載置される平坦な設置面３ａを有する板状に形成されている。また、この設置台３は、図示していない移動装置に支持されており、研磨治具が着脱される治具着脱位置と、図示していない高さ測定位置との間で移動できるように構成されている。高さ測定位置は、空気圧で膨らんだバルーン部材１１の高さを高さ測定装置（図示せず）が測定する位置である。
【００１９】
バルーン部材１１は、設置台３に載置された状態で後述する空気供給装置６から空気が供給されて膨らむ。バルーン部材１１の表面の曲率は、バルーン部材１１の高さに対応して変化する。このため、バルーン部材１１には、前記高さ測定装置によって測定された高さと、目標とする曲率（研磨される眼鏡レンズのレンズ面の曲率）に対応した高さとが一致するまで空気が供給される。
【００２０】
前記注入口部材４は、図３に示すように、前記設置台３のねじ孔３１に螺着されたねじ部３２を有しかつ前記設置面３ａから突出する円柱状の本体３３と、この本体３３の外周部に装着された弾性体からなるシール部材３４とによって構成されている。
前記ねじ孔３２は、前記空気通路５を介して前記空気供給装置６に接続されている。空気供給装置６は、エアコンプレッサー（図示せず）を空気供給源とするものである。
【００２１】
円柱状を呈する前記本体３３の外径Ａは、前記研磨治具２の空気注入口１６の内径Ｂ（図２参照）より小さく形成されている。この本体３３の軸心部には、貫通孔３５が穿設されている。この貫通孔３５の一端は、前記本体３３の突出側端面に空気出口３６として開口している。貫通孔３５の他端は、前記空気通路５に接続されている。
【００２２】
前記本体３３の外周部には、後述するシール部材３４を保持するための環状溝４１が周方向に延びるように形成されている。この実施の形態による環状溝４１は、前記本体３３の外周面３３ａと平行な周壁４２と、この周壁４２から径方向の外側に延びる第１の側壁４３および第２の側壁４４とによって形成されている。第１の側壁４３および第２の側壁４４は、設置台３の前記設置面３ａと平行になるように形成されている。
【００２３】
前記シール部材３４は、弾性体によってされており、前記環状溝４１の中に挿入されている。シール部材３４の形状は、前記環状溝４１に沿って周方向の全域に延びる円環状である。この実施の形態で使用しているシール部材３４は、既製品のＯリングである。
このシール部材３４の内径ｄ１は、前記周壁４２の外径Ｄと等しくなるように形成されている。また、シール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇより小さくなるように形成されている。すなわち、このシール部材３４が環状溝４１内に挿入された状態においては、環状溝４１の第１の側壁４３と第２の側壁４４とのうち少なくともいずれか一方とシール部材３４との間に隙間Ｓが形成される。さらに、シール部材３４の外径ｄ２は、空気注入口１６の内径Ｂより大きく形成されている。
【００２４】
すなわち、シール部材３４は、図４に示すように、注入口部材４の本体３３とともに研磨治具２の空気注入口１６に挿入されることによって、空気注入口１６の壁面１６ａによって径方向の内側に押される。このとき、シール部材３４は、内周部が前記周壁４２に接触していて径方向内側への変形が規制されているために、前記隙間Ｓに向けて弾性変形する。この結果、前記隙間Ｓは、弾性変形したシール部材３４によってシールされることになる。言い換えれば、前記隙間Ｓは、注入口部材４が空気注入口１６内に挿入されることにより弾性変形したシール部材３４によってシールされるように形成されている。
【００２５】
なお、シール部材３４は、Ｏリングに限定されることはなく、前記環状溝４１の周方向の全域に延びる形状の弾性体であれば、どのようなものであっても使用することができる。たとえば、このシール部材３４は、リング状に成形された弾性体を用いることができるし、リングが周方向の１箇所で切断された形状の弾性体を用いることもできる。このように１箇所で切断されたリング状の弾性体をシール部材３４として用いると、Ｃ字状に拡げることができるから、環状溝４１に挿入する作業と、環状溝４１から取り外す作業とを容易に行うことができる。
【００２６】
シール部材３４を形成する弾性体の材料は、たとえばフッ素ゴム（ＦＰＭ）を使用することができる。フッ素ゴムは、自己潤滑性を有するため、シール部材３４を研磨治具２の空気注入口１６に出し入れするときに抵抗が小さくなる。このため、研磨治具２の着脱が容易になるとともに、シール部材３４が摩耗し難くなる。
【００２７】
上述したように構成された研磨治具用空気注入装置１を用いて研磨治具２のバルーン部材１１に空気を注入するためには、先ず、治具着脱位置に位置している設置台３に研磨治具２を載置させ、図４に示すように、注入口部材４を空気注入口１６に挿入する。注入口部材４が空気注入口１６内に挿入されると、シール部材３４が圧縮されて前記隙間Ｓに入るように弾性変形する。このシール部材３４は、環状溝４１内で圧縮された状態であっても弾性を失うことはない。このため、シール部材３４は、環状溝４１の周壁４２と、第１、第２の側壁４３，４４と、空気注入口１６の壁面１６ａとに適度な弾発力で密着し、注入口部材４と空気注入口１６との間をシールする。
【００２８】
次に、設置台３を高さ測定位置に移動させ、空気供給装置６を動作させて空気を空気通路５に吐出させる。空気通路５内の空気は、注入口部材４の貫通孔３５を通って空気注入口１６内に流入する。このとき、シール部材３４が環状溝４１の各壁４２〜４４と空気注入口１６の壁面１６ａとに密着しているから、空気が空気注入口１６と注入口部材４との間を通って漏洩することはない。
【００２９】
空気注入口１６内に供給された空気は、空気注入口１６内の圧力が上昇してバルブ１５が開くことによって、バルブ１５を通ってバルーン部材１１内に流入する。バルーン部材１１は、空気が注入されることによって膨らむ。バルーン部材１１への空気の注入は、高さ測定装置によって測定されたバルーン部材１１の高さが目標の高さに達するまで行われる。この目標の高さは、研磨の対象としている眼鏡レンズの曲率と対応した高さである。
【００３０】
設置台３は、上述したようにバルーン部材１１への空気の注入が終了した後に治具着脱位置に戻される。研磨治具２は、設置台３が治具着脱位置に移動した後に設置台３から取り外され、研磨装置に装填される。研磨治具２を設置台３から取り外すときは、シール部材３４に注入口部材４から引いて外すような力が作用する。しかし、シール部材３４は、環状溝４１内に挿入されて保持されているから、注入口部材４から外れるようなことはない。
【００３１】
したがって、この実施の形態による研磨治具用空気注入装置１は、シール部材３４として既製品のＯリングを使用しているから、製造コストを低く抑えることができた。また、この実施の形態による研磨治具用空気注入装置１は、シール部材３４が環状溝４１内で圧縮された状態であっても弾性を失うことはないから、高いシール性能を得ることができるとともに、研磨治具２の着脱時にシール部材３４が摩耗することを防ぐことができる。
【００３２】
高いシール性能が得られる理由は、シール部材３４が環状溝４１の各壁４２〜４４と空気注入口１６の壁面１６ａとに適度な弾発力で押し付けられるからである。すなわち、シール部材３４がこれらの壁の表面に形成されている微小な凹凸に倣うように変形できるから、シール性能が高くなる。
シール部材３４の摩耗を防止できる理由は、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６ａに過大な力で押しつけられることがなく、この壁面１６ａに対して摺動するときの摩擦抵抗が相対的に小さくなるからである。
【００３３】
さらに、この実施の形態による研磨治具用空気注入装置１は、シール部材３４が環状溝４１に挿入されていて注入口部材４から外れることはないから、研磨治具２を空気注入後に設置台３から研磨装置に装填する作業が中断されることがない。このため、この空気注入装置１を使用することにより、眼鏡レンズの研磨を効率よく行うことが可能になる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
注入口部材とシール部材は図５および図６に示すように形成することができる。図５および図６において、前記図１〜図４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し、詳細な説明は適宜省略する。
【００３５】
図５に示すシール部材３４の外径ｄ２は、図３，４に示すシール部材３４と同様に空気注入口１６の内径Ｂより大きく形成されている。しかし、このシール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇと一致するように形成されている。また、このシール部材３４の内径ｄ１は、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄより大きく形成されている。
【００３６】
すなわち、この実施の形態においては、環状溝４１の周壁４２とシール部材３４の内周部との間に隙間Ｓが形成されている。この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入されることによって、図６に示すように、前記隙間Ｓに入るように径方向の内側に向けて弾性変形する。このようにシール部材３４が弾性変形することにより前記隙間Ｓがシールされる。
この実施の形態においても、シール部材３４が弾性を失うことはないから、上述した実施の形態を採るときと同等の効果を奏する。
【００３７】
（第３の実施の形態）
注入口部材とシール部材は図７および図８に示すように形成することができる。図７および図８において、前記図１〜図４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し、詳細な説明は適宜省略する。
【００３８】
図７に示すシール部材３４の外径ｄ２は、図３，４に示すシール部材３４と同様に空気注入口１６の内径Ｂより大きく形成されている。また、このシール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇより小さく形成されている。さらに、このシール部材３４の内径ｄ１は、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄより大きく形成されている。
【００３９】
すなわち、この実施の形態においては、環状溝４１の第１、第２の側壁４３，４４のうち少なくとも一方の側壁とシール部材３４との間に隙間Ｓ１が形成されているとともに、周壁４２とシール部材３４の内周部との間に隙間Ｓ２が形成されている。この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入されるときに、空気注入口１６の壁面１６ａとの接触により第２の側壁４４に向かう方向に押されるとともに、径方向の内側に向けて押される。
【００４０】
この結果、シール部材３４は、図８に示すように、径方向の内側に位置する隙間Ｓ２に入るように径方向の内側に向けて弾性変形するとともに、他方の隙間Ｓ１に入るように軸線方向に弾性変形する。このようにシール部材３４が弾性変形することによって、前記隙間Ｓ１と隙間Ｓ２とがシールされる。
この実施の形態においても、シール部材３４が環状溝４１内で圧縮されるにもかかわらず弾性を失うことはないから、上述した実施の形態を採るときと同等の効果を奏する。
【００４１】
この実施の形態で示した注入口部材４は、図９に示す寸法で試作して実際に研磨治具２に空気注入を行ったところ、空気が漏洩したりシール部材３４が脱落することなく繰り返し使用することができた。この実験に用いた注入口部材４の本体３３の外径Ａは12.6mmであり、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄは7.2mm、溝幅Ｇは3.7mmである。シール部材３４の内径ｄ１は7.5mmであり、太さＷは3.55mmである。このため、シール部材３４の外径は14.6mmである。シール部材３４は、形式AS568-203と呼称されているＯリングを用いた。このＯリングの材料はフッ素ゴム（FPM）である。
【００４２】
この実験は、実際に研磨を行う複数の研磨治具２を用い、各研磨治具２について着脱と空気の注入とを１００回ずつ行った。実験時には、研磨治具２の着脱時にシール部材３４の脱落の有無を確認し、空気注入時に空気漏洩の有無を確認した。実験の結果は、シール部材３４が外れることなく研磨治具２を着脱できた回数が９５回以上であるときに着脱に関して合格とし、空気が漏洩することなく空気を注入できた回数が９５回以上であるときに空気注入に関して合格とした。
【００４３】
この実験の結果は、図１０に示すように、全ての研磨治具２において、研磨治具の着脱と空気注入とに関してそれぞれ合格であった。図１０においては、各研磨治具２について合格を○で示す。図１０に示す各研磨治具２のＡサイズとＢサイズは、空気注入口１６の内径Ｂを互いに直交する２方向から測定した値である。この実験で使用した研磨治具２の空気注入口１６の内径Ｂは、図１０から分かるように、14.0〜14.32mmである。空気注入口１６の大きさは、公差があるために研磨治具２毎に異なっている。
【００４４】
発明者が上述した実験で使用した注入口部材４と従来の注入口部材とについて、それぞれ着脱と空気の注入とを繰り返し行って比較したところ、下記のように本発明の効果を検証することができた。以下においては、上記実験で使用した注入口部材４を「本発明品」といい、従来の注入口部材を「従来品」という。この効果の検証を行うにあたっては、実際の研磨工程の状態を想定して特定の研磨治具のみを繰り返し使用することは避け、実際の研磨工程で用いる複数の研磨治具２を全てが検証の対象となるよう使用した。
【００４５】
（１）注入作業ミスの頻度：
従来品は、シール部材が外れることがあり、１００回の注入作業のうち注入作業ミスが５回発生した。すなわち、従来品の注入作業ミスの頻度は５％になる。
本発明品は、１００回の注入作業のうち注入作業ミスは１回であった。すなわち、本発明品の注入作業ミスの頻度は１％になる。
（２）着脱作業の作業性：
従来品は、シール部材がいわゆるカバータイプのものであるために外れ易く、着脱作業の作業性が低いものである。
本発明品は、シール部材がいわゆる嵌め込みタイプのものであるために外れることはなく、着脱作業の作業性が高いものである。
（３）交換頻度：
従来品の交換頻度は、１日に注入作業を１００回実施すると、１ヶ月（３０日）当たり約２回である。すなわち、従来品は、３０００回の注入作業を実施するうちに２回の交換が必要であった。
本発明品の交換頻度は、１日に注入作業を１００回実施すると、２ヶ月（６０日）で約１回である。すなわち、本発明品は、１回の交換で空気を６０００回注入することができる。
（４）耐久性：
従来品の耐久性と本発明品の耐久性は同等であった。
（５）コスト（単価）：
従来品は、１個当たり３５９０円で、本発明品は、１個当たり２００円である。
（６）１ヶ月当たりのランニングコスト（推定）：
従来品のランニングコストは、従来品の交換頻度が１ヶ月当たり２回とすると、１ヶ月当たり７１８０円になる。
本発明品のランニングコストは、本発明品の交換頻度が１ヶ月当たり０．５個とすると、１ヶ月当たり１００円になる。
（７）その他：
従来品は、いわゆる加工製品であるために、製造するために必要な時間が相対的に長くなる。
本発明品は、汎用のＯリングを使用して製造できるために、製造するために必要な時間は従来品に較べて著しく短くなる。
【００４６】
上述した各実施の形態においては、シール部材３４として断面円形のＯリングを使用する例を示したが、シール部材３４の断面形状は楕円形や長円形など適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…研磨治具用空気注入装置、２…研磨治具、３…設置台、３ａ…設置面、４…注入口部材、６…空気供給装置、１２ａ…取付面、１６…空気注入口、３３…本体、３６…空気出口、３４…シール部材、４１…環状溝、４２…周壁、４３…第１の側壁、４４…第２の側壁、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２…隙間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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