(57)【要約】【課題】引回し配線の数を減らし、短時間の検査を可能とするタッチパネルの検査装置およびタッチパネルの検査方法を提供する。【解決手段】タッチパネルの検査装置１１−１を基板と、基板上にマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極１３−１〜１３−１６と、各電極とグラウンドとの間に配設され各電極を接地接続させるスイッチ素子１４とを用いて構成する。スイッチ素子１４は、直列接続された３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）からなり、ＴＲ１は、Ａ行ある電極の行の中でグラウンドに接続する行の選択に用いられ、ＴＲ２は、Ｂ列ある電極の列の中でグラウンドに接続する列の選択に用いられ、ＴＲ３は、Ａ行Ｂ列の電極１３−１〜１３−１６の中でグラウンドに接続する複数の電極からなるブロック領域の選択に用いられるようする。検査装置１１−１を用いてタッチパネルの検査を行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、
前記基板の一方の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極と、
前記電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、前記電極それぞれをグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子と
を有するタッチパネルの検査装置であって、
前記スイッチ素子は、直列接続された第１のトランジスタと第２のトランジスタと第３のトランジスタの３個のトランジスタからなり、
前記第１のトランジスタは、Ａ行ある前記電極の行の中のグラウンドに接続する行の選択に用いられ、
前記第２のトランジスタは、Ｂ列ある前記電極の列の中のグラウンドに接続する列の選択に用いられ、
前記第３のトランジスタは、前記Ａ行Ｂ列の電極の中のグラウンドに接続する複数の前記電極からなる領域であって、同一行の複数の前記電極と同一列の複数の前記電極を含んで構成されたブロック領域の選択に用いられるよう構成されたことを特徴とするタッチパネルの検査装置。
【請求項２】
前記スイッチ素子の前記３個のトランジスタのそれぞれのゲートに、前記トランジスタをオン状態にするオン信号を送るように前記基板上に設けられた入力端子を有し、
Ａ行ある前記電極の行をＭ行ずつの（Ａ／Ｍ）個の行グループに分け、同一の行グループ内の前記電極それぞれの前記第１のトランジスタのゲートの間を第１の配線により相互に接続するとともに、前記行グループ毎に前記第１の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ａ／Ｍ）本有し、
Ｂ列ある前記電極の列をＮ列ずつの（Ｂ／Ｎ）個の列グループに分け、同一の列グループ内の前記電極それぞれの前記第２のトランジスタのゲートの間を第２の配線により相互に接続するとともに、前記列グループ毎に前記第２の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ｂ／Ｎ）本有し、
前記Ａ行の電極をＭ分割し、前記Ｂ列の電極をＮ分割し、マトリクス状に配列された（Ａ／Ｍ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極からなる領域としてＭ×Ｎ個の前記ブロック領域を構成し、前記ブロック領域内の前記電極それぞれの前記第３のトランジスタのゲートの間を第３の配線により相互に接続するとともに、前記ブロック領域毎に前記第３の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＭ×Ｎ本有することを特徴とする請求項１に記載のタッチパネルの検査装置。
【請求項３】
前記行グループは、前記Ａ行Ｂ列の電極のＡ行ある前記電極の行の中の、（Ａ／Ｍ−１）本おきに配置されたＭ行の電極を選択して構成されたものであり、
前記列グループは、前記Ａ行Ｂ列の電極のＢ列ある前記電極の列の中の、（Ｂ／Ｎ−１）本おきに配置されたＮ列の電極を選択して構成されたものであることを特徴とする請求項２に記載のタッチパネルの検査装置。
【請求項４】
タッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、
前記基板の一方の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極と、
直列接続された第１のトランジスタと第２のトランジスタと第３のトランジスタと第４のトランジスタの４個のトランジスタからなり、前記電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、前記電極それぞれをグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子と
を有するタッチパネルの検査装置であって、
前記スイッチ素子の前記４個のトランジスタのそれぞれのゲートに、前記トランジスタをオンにするオン信号を送るように前記基板上に設けられた入力端子を有し、
Ａ行ある前記電極の行をＭ行ずつの（Ａ／Ｍ）個の行グループに分け、同一の行グループ内の前記電極それぞれの前記第１のトランジスタのゲートの間を第１の配線により相互に接続するとともに、前記行グループ毎に前記第１の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ａ／Ｍ）本有し、
Ｂ列ある前記電極の列をＮ列ずつの（Ｂ／Ｎ）個の列グループに分け、同一の列グループ内の前記電極それぞれの前記第２のトランジスタのゲートの間を第２の配線により相互に接続するとともに、前記列グループ毎に前記第２の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ｂ／Ｎ）本有し、
Ａ行ある前記電極の行を（Ａ／Ｍ）行ずつのＭ個の行グループに分け、同一の行グループ内の前記電極それぞれの前記第３のトランジスタのゲートの間を第３の配線により相互に接続するとともに、前記行グループ毎に前記第３の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＭ本有し、
Ｂ列ある前記電極の列を（Ｂ／Ｎ）列ずつのＮ個の列グループに分け、同一の列グループ内の前記電極それぞれの前記第４のトランジスタのゲートの間を第４の配線により相互に接続するとともに、前記列グループ毎に前記第２の配線を前記入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＮ本有することを特徴とするタッチパネルの検査装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
前記検査装置の前記Ａ行Ｂ列の電極から、所定の期間毎に、前記ブロック領域を１個ずつ選択し、前記所定の期間内に、選択された前記ブロック領域で当該ブロック領域を構成する前記電極を順次１つずつグラウンドに接続し、タッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
前記検査装置の前記Ａ行Ｂ列の電極から、所定の期間毎に、前記ブロック領域を複数個ずつ選択するとともに、前記所定の期間内に、選択された複数個の前記ブロック領域間で相互に同じタイミングとなるように前記各ブロック領域を構成する前記電極を順次１個ずつ選択し、該選択された電極を同時にグラウンドに接続してタッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法。
【請求項７】
行数がＡ行で列数がＢ列となるマトリクス状のＡ行Ｂ列の電極と、前記Ａ行Ｂ列の電極を行方向および列方向にそれぞれ分割してなる複数のブロック領域とを有し、前記電極のそれぞれがグランドに接続されるタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
所定の期間毎に、前記複数のブロック領域のうち、Ｘ方向およびＹ方向に重ならない少なくとも２個のブロック領域を選択し、
前記所定の期間内に、前記選択されたブロック領域の電極を順次１個ずつ選択し、該選択された電極を同時にグランドに接続してタッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの検査装置およびタッチパネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やスマートフォンやＰＤＡ（パーソナルデジタルアシスタント）などの電子機器では、画面の大型化への要求が大きく、スイッチやテンキーなどの入力装置を配置できる領域が少なくなっている。また、液晶ディスプレイ等の表示素子に表示された画像を参照しながら表示画像に触れ、分かりやすく情報の入力ができる情報入力方法の実現が求められている。そのため、最近タッチパネル付きの表示装置への要求が高まっている。
【０００３】
タッチパネルは、上述した液晶ディスプレイなどの表示素子の上に配置され、操作者が指やペンなどで操作面に触れた場合、そのタッチ位置を検出する入力装置の総称である。接触位置検出の方式としては、抵抗膜方式や静電容量方式などがある。
抵抗膜方式は、表面に透明電極の配設された２枚の基板を、互いの透明電極が対向するように離間して配置する。すなわち２枚の基板を必要とするため、薄型化は難しい。そして、従来の抵抗膜方式タッチパネルでは、基板を押して対向する電極間をショートさせる構造であり、摩耗などを生じて耐久性に乏しい。
静電容量方式は、使用する基板を一枚として薄型化することも可能であり、特に携帯電子機器には好適な方式である。
【０００４】
図９は、従来の静電容量方式のタッチパネルの概略構造を説明する平面図である。
図１０は、図９に示すタッチパネルの交差部を拡大して示す平面図である。
【０００５】
図９に示すタッチパネル２００は、タッチ位置を位置座標として検出することができるよう構成された任意座標型のタッチパネルの一例である。タッチパネル２００は、ガラス基板等の透明基板２０２の一方の面に、交差するＸ軸とＹ軸の２軸それぞれの方向に伸びるＸ電極２０５とＹ電極２０４とが設けられている。Ｘ電極２０５とＹ電極２０４は、それらが交差する交差部２０８において、絶縁性の層間絶縁膜（図示されない）を介して配置され、電気的に非接触（独立）な状態となっている。
【０００６】
図１０に示すように、交差部２０８でＸ電極２０５の電極パターンは接続しているが、Ｙ電極２０４の電極パターンは途切れている。Ｙ電極２０４は層間絶縁膜（図示されない）の上層に形成されたブリッジ電極２０６によって電気的に接続されている。ブリッジ電極２０６は、例えば、金属材料など導電性の材料からなり、Ｙ電極２０４からブリッジ電極２０６に流れる電流に対し、平行な方向に長軸を有する短冊状などの形状を有する。
【０００７】
静電容量方式のタッチパネル２００は、人間が導体であり、操作者の指がグランドとして機能することを利用する。すなわち、操作者の指がタッチパネル２００の電極に近づくとＸ電極２０５、Ｙ電極２０４との間に新たな容量が発生する。こうした、指が近づいた時の容量変化を、図９に示した引回し配線２０９を介して接続する制御回路（図示されない）によって読み取る。その結果、タッチパネル２００では、指が近づいた情報を感知して操作面上のタッチ位置を検出する。
【０００８】
静電容量方式のタッチパネル２００は、タッチパネル２００の操作面内で、タッチ操作によって生じる容量変化に伴う電位変化の読み取りを行うため、Ｘ方向に伸びるＸ電極２０５およびＹ方向に伸びるＹ電極２０４のうち、例えば、Ｙ電極２０４を定電圧の印加された読み取り配線（以下、センス線とも言う）とし、Ｘ電極２０５を線順次でパルス電圧を印加する駆動線（以下、ドライブ線とも言う）とする構造を備える。
【０００９】
以上のような構造とタッチ位置の検出機能を備えた任意座標型の静電容量方式タッチパネルでは、タッチ位置の検出機能が発揮できるように、配線の断線や、層間絶縁膜を挟んだ電極間の短絡の有無などについて、製造後などに検査を行うことが非常に重要となる。
【００１０】
タッチパネルの検査に関する技術として、特許文献１には、タッチパネルを載置するステージと、人間の指を代替するペン部材と、ペン部材を支持するアーム部材とを備えたタッチパネルの検査装置が記載されている。この特許文献１に記載のタッチパネルの検査装置では、ステージ上にタッチパネルを載置し、タッチパネル専用のペン部材をアーム部材の先端に固定し、タッチパネルの操作面にペン部材の先端が乗るようにアーム部材を軸支するレール部材の高さを調節し固定する。そして、ペン部材によりタッチパネルの所望の位置に荷重をかけて、タッチパネルの検査を行っている。
【００１１】
しかしながら、特許文献１に記載されたタッチパネルの検査装置では、装置が大規模になってしまう問題や、ペン部材をタッチパネルに直接に当てるため、タッチパネル表面に傷が発生するなどの問題があった。また、その検査装置は、機械的にペン部材を動作させるため、検査に必要な時間が長時間となってしまうという問題も有していた。
【００１２】
また配線の断線や、層間絶縁膜を挟んだ電極間の短絡の有無などの検査について、Ｘ電極やＹ電極のそれぞれの端部に検査用端子を設け、各端子間の抵抗を測定することにより検査を行う方法が可能である。しかしながら、この方法では、タッチパネルにおいて、電極から検査端子までの引回し配線が必要となる。そして、その本数が多くなった場合、タッチパネルの基板上でそれらのレイアウトに制約が生じ、タッチパネルの検査が必要な部分のすべてに対し、検査を行うことができない場合があった。
また、タッチパネルは、層間絶縁膜などの構成部材の膜厚の分布など、操作面内に容量の分布が形成されることがある。その場合、タッチパネルの感度が想定以上に変化してしまう不具合が生じ、ひいては、正確なタッチ位置の検出ができないことがあった。そして、上述した各端子間の抵抗を測定する検査方法では、こうした不具合を検出することができなかった。
【００１３】
また、特許文献２には、タッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、基板のタッチパネル側の面に形成されている複数の電極と、複数の電極それぞれを互いに独立に接地させるスイッチとを備えたタッチパネルの検査装置が記載されている。この特許文献２に記載のタッチパネルの検査装置は、容量の形成されるタッチパネルの電極の全ての交差点に対応するよう、基板上に上述の複数の電極が配置されている。この検査装置は、タッチパネル上に載置され、接地電位（以下、グラウンド電位とも言う）となる各電極により指のタッチ操作を模擬することができ、タッチパネルの検査を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００３−３０３０５１号公報
【特許文献２】特開２０１０−４４７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
特許文献２に記載されたタッチパネルの検査装置を用いた検査方法では、実際のタッチ操作を模擬し、簡便にタッチパネルを検査することが可能となる。しかし、タッチパネルにおける電極の断線や構成部材間のショートを検査するためには、上述のように容量の形成されるタッチパネルの電極の全ての交差部に対応するよう、基板上に上述の電極を形成する必要がある。タッチパネルのタッチ位置の座標を検出する任意座標型のタッチパネルでは、こうした交差部の数は膨大なものとなる。全ての交差部に対応するように設けられた検査装置の電極の１個ずつに対し、それぞれ独立に接地操作を行っていくことは検査時間の増大を招いていた。
【００１６】
また、そうした電極１個ずつに対し独立の接地操作を行うためには、その操作対応する検査装置の基板上での電極の引回しが必要となる。すなわち、検査装置の電極の接地操作を制御するために制御回路からの制御信号を各電極に対して入力する必要があるが、その場合、基板上に設けられた入力端子と電極との間を接続する引回し配線の配設が必要となる。そして、検査装置の基板上の電極数が増大し、引回し配線の数が多くなった場合、基板上で引回し配線のレイアウトに制約が生じる場合があった。
【００１７】
そのため、大規模な装置を必要とせず、タッチパネルでの傷の発生を抑え、さらに、引回し配線のレイアウトに制約が生じる懸念が低減されて、高効率で短時間の検査を可能とするタッチパネルの検査装置およびそれを用いたタッチパネルの検査方法が求められている。
【００１８】
本発明は、以上のタッチパネルの検査装置やタッチパネルの検査方法の問題に鑑みてなされたものである。
すなわち、本発明の目的は、大規模な装置を必要とせず、タッチパネルでの傷の発生を抑え、さらに、引回し配線のレイアウトに制約が生じる懸念が低減されて、高効率で短時間の検査を可能とするタッチパネルの検査装置およびそれを用いたタッチパネルの検査方法を提供することにある。
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の第１の態様は、タッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、
その基板の一方の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極と、
電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、電極それぞれをグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子と
を有するタッチパネルの検査装置であって、
スイッチ素子は、直列接続された第１のトランジスタと第２のトランジスタと第３のトランジスタの３個のトランジスタからなり、
第１のトランジスタは、Ａ行ある電極の行の中のグラウンドに接続する行の選択に用いられ、
第２のトランジスタは、Ｂ列ある電極の列の中のグラウンドに接続する列の選択に用いられ、
第３のトランジスタは、Ａ行Ｂ列の電極の中のグラウンドに接続する複数の電極からなる領域であって、同一行の複数の電極と同一列の複数の電極を含んで構成されたブロック領域の選択に用いられるよう構成されたことを特徴とするタッチパネルの検査装置に関する。
【００２０】
本発明の第１の態様において、スイッチ素子の３個のトランジスタのそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送るように前記基板上に設けられた入力端子を有し、
Ａ行ある電極の行をＭ行ずつの（Ａ／Ｍ）個の行グループに分け、同一の行グループ内の電極それぞれの第１のトランジスタのゲートの間を第１の配線により相互に接続するとともに、行グループ毎に第１の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ａ／Ｍ）本有し、
Ｂ列ある電極の列をＮ列ずつの（Ｂ／Ｎ）個の列グループに分け、同一の列グループ内の電極それぞれの第２のトランジスタのゲートの間を第２の配線により相互に接続するとともに、列グループ毎に第２の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ｂ／Ｎ）本有し、
Ａ行の電極をＭ分割し、Ｂ列の電極をＮ分割し、マトリクス状に配列された（Ａ／Ｍ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極からなる領域としてＭ×Ｎ個のブロック領域を構成し、ブロック領域内の電極それぞれの第３のトランジスタのゲートの間を第３の配線により相互に接続するとともに、ブロック領域毎に第３の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＭ×Ｎ本有することが好ましい。
【００２１】
本発明の第１の態様において、行グループは、Ａ行Ｂ列の電極のＡ行ある電極の行の中の、（Ａ／Ｍ−１）本おきに配置されたＭ行の電極を選択して構成されたものであり、
列グループは、Ａ行Ｂ列の電極のＢ列ある電極の列の中の、（Ｂ／Ｎ−１）本おきに配置されたＮ列の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。
【００２２】
本発明の第２の態様は、タッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、
その基板の一方の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極と、
直列接続された第１のトランジスタと第２のトランジスタと第３のトランジスタと第４のトランジスタの４個のトランジスタからなり、電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、電極それぞれをグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子と
を有するタッチパネルの検査装置であって、
スイッチ素子の４個のトランジスタのそれぞれのゲートに、トランジスタをオンにするオン信号を送るように基板上に設けられた入力端子を有し、
Ａ行ある電極の行をＭ行ずつの（Ａ／Ｍ）個の行グループに分け、同一の行グループ内の電極それぞれの第１のトランジスタのゲートの間を第１の配線により相互に接続するとともに、行グループ毎に第１の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ａ／Ｍ）本有し、
Ｂ列ある電極の列をＮ列ずつの（Ｂ／Ｎ）個の列グループに分け、同一の列グループ内の電極それぞれの第２のトランジスタのゲートの間を第２の配線により相互に接続するとともに、列グループ毎に第２の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線を（Ｂ／Ｎ）本有し、
Ａ行ある電極の行を（Ａ／Ｍ）行ずつのＭ個の行グループに分け、同一の行グループ内の電極それぞれの第３のトランジスタのゲートの間を第３の配線により相互に接続するとともに、行グループ毎に第３の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＭ本有し、
Ｂ列ある電極の列を（Ｂ／Ｎ）列ずつのＮ個の列グループに分け、同一の列グループ内の電極それぞれの第４のトランジスタのゲートの間を第４の配線により相互に接続するとともに、列グループ毎に第２の配線を入力端子まで引き回すように設けられた引回し配線をＮ本有することを特徴とするタッチパネルの検査装置に関する。
【００２３】
本発明の第３の態様は、本発明の第１の態様のタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
検査装置のＡ行Ｂ列の電極から、所定の期間毎に、ブロック領域を１個ずつ選択し、所定の期間内に、選択されたブロック領域でそのブロック領域を構成する電極を順次１つずつグラウンドに接続し、タッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法に関する。
【００２４】
本発明の第４の態様は、本発明の第１の態様のタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
検査装置のＡ行Ｂ列の電極から、所定の期間毎に、ブロック領域を複数個ずつ選択するとともに、所定の期間内に、選択された複数個のブロック領域間で相互に同じタイミングとなるようにその各ブロック領域を構成する電極を順次１個ずつ選択し、該選択された電極を同時にグラウンドに接続してタッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法に関する。
【００２５】
本発明の第５の態様は、行数がＡ行で列数がＢ列となるマトリクス状のＡ行Ｂ列の電極と、そのＡ行Ｂ列の電極を行方向および列方向にそれぞれ分割してなる複数のブロック領域とを有し、電極のそれぞれがグランドに接続されるタッチパネルの検査装置を用いたタッチパネルの検査方法であって、
所定の期間毎に、複数のブロック領域のうち、Ｘ方向およびＹ方向に重ならない少なくとも２個のブロック領域を選択し、
その所定の期間内に、その選択されたブロック領域の電極を順次１個ずつ選択し、その選択された電極を同時にグランドに接続してタッチパネルの検査を行うことを特徴とするタッチパネルの検査方法に関する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、引回し配線のレイアウトに制約が生じる懸念を低減し、高効率で短時間の検査を可能とする、大規模とならない構造のタッチパネルの検査装置およびそれを用いたタッチパネルの検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施形態のタッチパネルの検査装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成を示す回路図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の検査装置における接地接続する電極の選択方法の一例を説明する図であり、（ａ）は、マトリクス状の電極を複数の電極からなるブロック領域に分割する方法を説明する図であり、（ｂ）は、複数のブロック領域に分割された電極から接地接続するＮ個の電極を選択する方法を説明する図である。
【図４】本発明の第２の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成の一例を示す回路図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の検査装置の動作方法を説明するタイミングチャートである。
【図６】本発明の第２の実施形態の検査装置の別の駆動方法を説明するタイミングチャートである。
【図７】本発明の第３の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成の一例を示す回路図である。
【図８】本発明の第３の実施形態の検査装置の動作方法を説明するタイミングチャートである。
【図９】従来の静電容量方式のタッチパネルの概略構造を説明する平面図である。
【図１０】図９に示すタッチパネルの交差部を拡大して示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、適宜図面を用い、本発明の実施形態であるタッチパネルの検査装置およびタッチパネルの検査方法について説明する。尚、各図面において、共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２９】
［実施の形態１］
図１は、本発明の第１の実施形態のタッチパネルの検査装置を示す平面図である。
尚、図１では、第１の実施形態であるタッチパネルの検査装置（以下、検査装置を略称する）１の主要な構成要素である電極３の構造と配置を示しており、スイッチ素子や配線など、その他の構成要素については省略し、図示していない。それらについては、後述する図２を用いて説明する。
【００３０】
図１に示す検査装置１は、基板２上に電極３を配置した構造を有する。検査装置１は、上述した図９に示すタッチパネル２００など、静電容量方式のタッチパネルの検査に好適な検査装置である。検査装置１は、検査対象であるタッチパネル（図示されない）上に載置され使用される。したがって、基板２の、タッチパネルに対向する側の面には、容量の形成されるタッチパネルの電極の全ての交差点に対応するよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列された電極３が配設されている。本実施の形態において、電極３の行数と列数については、検査対象であるタッチパネルの電極の交差点に対応するが、図１に示す例に限られるものではない。図１に例示する検査装置１では、タッチパネルの電極の交差部に対応するよう、基板２上に、行数が２行で列数が３列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列された２行３列の電極３を有している。そして検査装置１は、検査対象となるタッチパネル上に載置され、接地電位となる各電極３により指のタッチ操作を模擬することができ、タッチパネルの検査を行うことができる。
【００３１】
このような構造の検査装置１を使用し、各電極３をそれぞれ互いに独立してグラウンドに接続し接地電位となるようにするためには、各電極３とグラウンドとの間にそれぞれスイッチ素子を設け、これらのスイッチ素子を互いに独立に制御する方法を用いることができる。その場合、スイッチ素子を、例えば、１個のトランジスタから構成することができる。そして、そのトランジスタの第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続し、トランジスタをオンにするオン信号をゲートに入力することによって電極３とグラウンドとの接続を実現し、電極３を他の電極と独立に接地電位にすることができる。
このような１個のトランジスタからなるスイッチ素子の構造を実現するためには、各電極３に接続するトランジスタのゲートそれぞれに対し、オン信号を入力するための引回し配線が必要となる。図１の例では、例えば、引回し配線の本数は２行３列の電極３の数である６（＝２×３）本になることが考えられる。そのような構造の場合、タッチパネルの構造に従って電極３の数が増大すると、対応して引回し配線の本数も増大する。そして、検査装置の電極数が膨大になると、引回し配線の本数も膨大となり、基板２上での引回し配線のレイアウトに制約が生じる懸念がある。そこで本実施の形態では、電極３からの配線引回しの方法を検討し、引回し配線の本数をより少なくできるように構成することが好ましい。
【００３２】
図２は、本発明の第１の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成を示す回路図である。
【００３３】
図２に示す検査装置１では、図１に示されたように、基板（図示されない）上に行方向と列方向のマトリクス状に配列された２行３列の電極（３−１、３−２、３−３、３−４、３−５、３−６）を有している。電極（３−１〜３−６）とグラウンドとの間には、スイッチ素子４が配設されており、電極（３−１〜３−６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができるよう構成されている。
第１の実施形態の検査装置１のスイッチ素子４は、直列接続された第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）の２個のトランジスタから構成されている。すなわち、第１のトランジスタ（ＴＲ１）の第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）を第２のトランジスタ（ＴＲ２）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。そして、第２のトランジスタ（ＴＲ２）では、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続する。したがって、検査装置１では、スイッチ素子４を構成する各トランジスタ（ＴＲ１，ＴＲ２）のオン状態とオフ状態を制御し、２つのトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２）を同時にオン状態にした時にスイッチ素子４をオン状態にし、電極（３−１〜３−６）がグラウンドに接続されるようにして、電極（３−１〜３−６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるようにすることができる。
【００３４】
検査装置１では、２行３列のマトリクス状の電極（３−１〜３−６）の行毎に、行方向に配置された電極（３−１、３−２、３−３）および電極（３−４、３−５、３−６）のそれぞれの第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートを相互に接続する配線（Ｘ１−１、Ｘ１−２）が設けられている。また、２行３列のマトリクス状の電極（３−１〜３−６）の列毎に、列方向に配置された電極（３−１、３−４）、電極（３−２、３−５）および電極（３−３、３−６）のそれぞれの第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートを相互に接続する配線（Ｙ１−１、Ｙ１−２、Ｙ１−３）が設けられている。
したがって、検査装置１では、各電極（３−１〜３−６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートにオン信号を入力するための配線（Ｘ１−１、Ｘ１−２）と、第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートにオン信号を入力するための配線（Ｙ１−１、Ｙ１−２、Ｙ１−３）をそれぞれ１本ずつ選択することにより、スイッチ素子４を制御して、電極（３−１〜３−６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができる。
【００３５】
以上のような構成の検査装置１のスイッチ素子４では、第１のトランジスタ（ＴＲ１）は、２行ある電極（３−１〜３−６）の行の中で、グラウンドに接続させる電極（３−１、３−２、３−３）の行または電極（３−４、３−５、３−６）の行の選択に用いられる。そして、第２のトランジスタ（ＴＲ２）は、３列ある電極（３−１〜３−６）の列の中で、グラウンドに接続させる電極（３−１、３−４）の列、電極（３−２、３−５）の列行または電極（３−３、３−６）の列の選択に用いられることになる。
【００３６】
検査装置１においては、さらに、スイッチ素子４の２個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２）のそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送ることができるよう基板上に入力端子（図示されない）が設けられている。この入力端子には、検査装置１の各電極（３−１〜３−６）にオン信号を送って検査装置１の動作を制御する制御回路（図示されない）が接続している。
したがって、検査装置１の場合、スイッチ素子４を制御して、電極（３−１〜３−６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるため、入力端子と配線（Ｘ１−１、Ｘ１−２、Ｙ１−１、Ｙ１−２、Ｙ１−３）とを接続するための引回し配線は、配線（Ｘ１−１、Ｘ１−２、Ｙ１−１、Ｙ１−２、Ｙ１−３）の本数と同じ５本となる。その結果、本実施の形態の検査装置１では、上述した電極毎に付設されるスイッチ素子を１個のトランジスタのみから構成する場合に比べ、引回し配線の本数を減らすことができる。そして、こうした引回し配線の本数を減らす効果は、電極数が大きくなるに従い大きなものとなる。
【００３７】
以上の本発明の第１の実施形態の検査装置１では、図１に示す２行３列あるマトリクス状の電極３に対し、行毎の接地接続制御と列毎の接地接続制御を組合せることにより、電極３それぞれの独立したグラウンドへの接続を実現するとともに、引回し配線の本数の削減を実現している。その場合、接地接続する電極３は、２行３列あるマトリクス状の電極３の中で１個ずつとなる。例えば、図２に示すように、配線Ｘ−１に接続する電極３−１と電極３−２と電極３−３を、その順で選択して順次１個ずつの接地接続を行い、端部の電極３−３の接地接続が終了した後、次の配線Ｘ−２に接続する電極３−４と電極３−５と電極３−６を、その順で選択して同様に接地接続する操作を行う。そうして、２行３列あるマトリクス状の電極（３−１〜３−６）の中で、順次１個ずつ電極（３−１〜３−６）を接地接続し、タッチパネルの検査を可能としている。
【００３８】
［実施の形態２］
本発明の第２の実施形態の検査装置は、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様、図９に示したタッチパネル２００など、静電容量方式のタッチパネルの検査に好適な検査装置である。第２の実施形態の検査装置は、基板上に電極を配置した構造を有する。第２の実施形態の検査装置は、第１の実施形態の検査装置１と同様、検査対象となるタッチパネル上に載置され、接地電位となる各電極により指のタッチ操作を模擬することができ、タッチパネルの検査を可能とする。そして、第２の実施形態の検査装置は、電極それぞれの独立したグラウンドへの接続を実現するとともに、引回し配線の本数の削減を実現し、さらに検査時間の短縮を可能とするよう構成される。
第２の実施形態の検査装置では、１個ずつ電極を選択して接地接続するのみではなく、Ｎ個（ここで、Ｎは２以上の整数）の電極を同時に選択して接地接続することが可能な構成を有する。電極をＮ個同時に接地接続することにより、タッチパネルの検査時間は１／Ｎとなり、検査時間の大幅な短縮を実現できる。電極をＮ個同時に選択する方法について、次に説明する。
【００３９】
Ｎ個の電極を同時に選択して接地接続する場合、検査対象であるタッチパネルでは、選択されたＮ個の電極に対応する、Ｎ点のタッチパネルの交差部でグラウンドとの容量を有することになる。そのため、それらＮ点の交差部が同一のセンス線上または同一のドライブ線上にある場合、タッチパネルの検査の精度が、検査装置において１個ずつの電極を選択して接地接続する場合に比べ、低下する可能性がある。したがって、タッチパネルにおけるＮ点の交差部は同一のセンス線上にないことが望ましく、同時に、同一のドライブ線上にないことが望ましい。そして、Ｎ点の交差部は、タッチパネル中、互いになるべく離れたセンス線上およびドライブ線上に配置されることが望ましい。例えば、図２に例示された第１実施形態の検査装置１を参照して説明する。上記の電極の個数Ｎについて、Ｎ＝２とし、２個の電極を同時に選択する場合、電極３−１と電極３−２の組み合わせや電極３−１と電極３−４の組合せの実現は好ましいものではない。図２の検査装置１の場合、電極３−１と電極３−５の組み合わせや電極３−１と電極３−６の組合せの選択を実現するようにすることが望ましいことになる。
【００４０】
図３は、本発明の第２の実施形態の検査装置における接地接続する電極の選択方法の一例を説明する図であり、図３（ａ）は、マトリクス状の電極を複数の電極からなるブロック領域に分割する方法を説明する図であり、図３（ｂ）は、複数のブロック領域に分割された電極から接地接続するＮ個の電極を選択する方法を説明する図である。
【００４１】
検査対象であるタッチパネルにおける上述した交差部の配置に関する制約に対応しながら、本実施の形態の検査装置１１においてマトリクス状に配置された電極の中から同時にＮ個の電極選択を行おうとする場合、多数の方法が可能である。その中で、例えば、次の方法の実施が好ましい。
図３の第２の実施形態の検査装置１１は、図１に示した検査装置１と同様の電極の配置方法で、基板１２上の検査対象となるタッチパネル（図示されない）に対向する側の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列されたＡ行Ｂ列の電極（図示されない）を有する。ここで、ＡとＢはそれぞれ、２以上の整数である。そして、Ｎの倍数であることが好ましい。この検査装置１１について、初めに、図３（ａ）に示すように、Ａ行Ｂ列のマトリクス状の電極を１つの領域とし、この領域を同数の電極を含むようにＮ２個のブロック領域に分割する。具体的には、Ａ行Ｂ列の電極を行方向および列方向にそれぞれＮ分割し、マトリクス状に配列された（Ａ／Ｎ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極からなる、行方向にＮ行で列方向にＮ列の配列を有するＮ２個のブロック領域１５に分割する。なお、本実施の形態では、行方向と列方向で同じＮ個に分割しているが、行方向と列方向とが異なる数、すなわち、行方向をＭ分割（Ｍは２以上の整数）、列方向をＮ分割としても良い。ただし、検査装置の作成容易性から行方向と列方向で同じＮ分割とすることが好ましい。
【００４２】
次に、Ｎ２個のブロック領域１５の中から互いにＸＹ方向（Ｘ方向は図３（ａ）における左右方向（行方向）であり、Ｙ方向は上下方向（列方向）である）に重なる組み合わせが生じないよう、同時にＮ個のブロック領域を選択する。選択されたＮ個のブロック領域は、相互に同じ行および同じ列にあることはない。例えば、図３（ｂ）に示すように、ＸＹ方向に重ならないように対角線上のＮ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）を同時に選択することが好ましい。次いで、同時選択されたＮ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）それぞれについて、それぞれが同じタイミングで電極を１個ずつ選択し、接地接続していく。このとき、Ｎ個の各ブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）は、それぞれ同様のマトリクス状に配列された（Ａ／Ｎ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極から形成されている。したがって、図中に矢印で示すように、ブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）間で、それぞれ対応する位置にある１個の電極を、それぞれのブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）が同時に選択するようにする。そして、ブロック領域内での電極を選択していく順番も、Ｎ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）間で同一とする。そうして、Ｎ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）の合計として、Ｎ個の電極を同時にグラウンドに接続する。
【００４３】
次に、Ｎ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）それぞれの中で、全ての電極の接地接続が終了した後、続いて、Ｎ個の新たなブロック領域を選択する。新たに選択されるＮ個のブロック領域は、例えば、図３（ｂ）のＮ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）それぞれと同じ行で、それぞれの右隣の列上に位置するＮ個のブロック領域とすることができる。尚、Ｎ個のブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）のうち、右側にブロック領域が無い場合は、同じ行で検査装置１１の左端の列に位置するブロック領域を選択するようにする。例えば、図３（ｂ）に示すブロック領域１５−Ｎにおいて、全ての電極の接地接続を終了した後、ブロック領域１５−Ｎ−２を選択するようにする。こうして、Ｎ個のブロック領域の選択を繰り返し、Ｎ２個のブロック領域について、含有する電極の接地接続を行っていく。すなわち、Ｎ個ずつの電極の接地接続を繰り返し、検査装置１１のＡ行Ｂ列のマトリクス状の電極の全てについて接地接続を実施する。
【００４４】
このようなブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）の選択と各ブロック領域（１５−１〜１５−Ｎ）中での電極選択を行うことにより、同時に接地接続されるＮ個の電極の中に、互いに同じ行または同じ列である電極が含まれないことになる。すなわち、検査装置１１のＡ行Ｂ列の電極の中で、同じ行または同じ列にある複数の電極が、同時に選択されるＮ個の電極の中に含まれることは無くなる。その結果、検査装置１１を用いたタッチパネルの検査では、同時に接地接続される検査装置１１のＮ個の電極に対応する、タッチパネルのＮ点の交差部の中に、互いに同じセンス線または同じドライブ線である交差部は含まれないことになる。そして、タッチパネルのＮ点の交差部は、タッチパネル中、相互に最大限に離されるよう、センス線上およびドライブ線上で配置されることになる。尚、Ｎ２個のブロック領域のうち必ずしもＮ個のブロック領域を選択する必要はなく、ＸＹ方向において選択するブロック領域が重ならないように複数選択すればよい。前述したように、重なる領域において同時に電極を検査すると検査精度が悪くなるおそれがあり、このような不具合を解消するためには、同時に複数選択するブロック領域のそれぞれがＸＹ方向で重ならないようにすることが好ましい。また、分割領域の最小数は２×２の４個であり、この場合、ＸＹ方向に重ならない対角の２個のブロック領域を選択すればよい。
【００４５】
次に、こうした接地接続する電極の選択方法を可能にする、第２の実施形態の検査装置１１の構成について説明する。
検査装置１１は、第１実施形態の検査装置１と同様、検査対象であるタッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、その基板上のタッチパネルに対向する側の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列された、例えば、Ａ行Ｂ列の電極と、その電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、電極それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子とを有する。第２の実施形態の検査装置１１の電極の形状と配置については、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様の形状と配置とし、電極の行数と列数のみを異なるようにすることが可能である。
【００４６】
Ａ行Ｂ列の各電極とグラウンドとの間に配設されるＡ×Ｂ個のスイッチ素子はそれぞれ、直列接続された第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）の３個のトランジスタから構成されている。すなわち、第１のトランジスタ（ＴＲ１）の第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）を第２のトランジスタ（ＴＲ２）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第２のトランジスタ（ＴＲ２）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第３のトランジスタ（ＴＲ３）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第３のトランジスタ（ＴＲ３）では、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続する。したがって、検査装置１１では、スイッチ素子を構成する各トランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）のオン状態とオフ状態を制御する。そして、３つのトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）を同時にオン状態にした時にスイッチ素子をオン状態にし、Ａ行Ｂ列の電極がグラウンドに接続されるようにする。その結果、Ａ行Ｂ列の電極それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるようにすることができる。
【００４７】
Ａ行Ｂ列の各電極に設けられたスイッチ素子の３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）の役割については、例えば、第１のトランジスタは、Ａ行ある電極の行の中でグラウンドに接続する行の選択に用いられる。第２のトランジスタは、Ｂ列ある電極の列の中でグラウンドに接続する列の選択に用いられる。そして、第３のトランジスタが、Ａ行Ｂ列の電極の中でグラウンドに接続する電極の領域であって、上述したような、同一行内の複数の電極の配列と同一列内の複数の電極の配列を含むよう構成されたブロック領域の選択に用いられる。
【００４８】
すなわち、各電極に接続されたスイッチ素子の３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）のうち、第３のトランジスタ（ＴＲ３）を用いて上述したブロック領域を選択し、選択されたブロック領域の中で、第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）とを用いて、電極の行と列を選択することで、１個の電極を選択し、その選択された電極を他の電極と独立してグラウンドに接続することができる。
このとき、各電極に第３のトランジスタ（ＴＲ３）を設けて上記ブロック領域の選択を可能としたことで、Ａ行Ｂ列ある電極の中から１個の電極を選択するために、第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）を用い、Ａ行ある電極の行およびＢ列ある電極の列の中からそれぞれ１個ずつを独立に選択する必要はなくなる。すなわち、Ａ行ある電極の行のうち任意の個数の行を組み合わせて、ある個数の行グループを構成することができる。そして、第１のトランジスタ（ＴＲ１）を用いた電極の行の選択は、この行グループを選択することで行い、その結果、任意の個数の電極の行を同時に選択することが可能となる。同様に、Ｂ列ある電極の列のうち任意の個数の列を組み合わせて、ある個数の列グループを構成することができる。そして、第２のトランジスタ（ＴＲ２）を用いた電極の列の選択は、この列グループを選択することで行い、その結果、任意の個数の電極の列を同時に選択することが可能となる。
【００４９】
次に、Ａ行Ｂ列のマトリクス状の電極を分割して、行グループ、列グループおよびブロック領域に分ける方法について説明する。
Ａ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する検査装置１１の場合、Ａ行ある電極の行は、ｎ行ずつの（Ａ／ｎ）個の行グループに分けられる。このとき、行グループは、Ａ行ある電極の行の中で、（Ａ／ｎ−１）本おきに配置されたｎ行の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の行グループ内の電極それぞれの、例えば、第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられる。
また、Ｂ列ある電極の列は、ｎ列ずつの（Ｂ／ｎ）個の列グループに分けられる。このとき、Ｂ列ある電極の列の中で、（Ｂ／ｎ−１）本おきに配置されたｎ列の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の列グループ内の電極それぞれの、例えば、第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられる。
【００５０】
そして、Ａ行Ｂ列の電極を行方向および列方向にそれぞれＮ（＝Ａ／ｎ）分割し、マトリクス状に配列された（Ａ／Ｎ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極からなる電極の領域として、Ｎ２個のブロック領域に分けられる。尚、ブロック領域の（Ａ／Ｎ）行（Ｂ／Ｎ）列の電極は、隣接して配置された（Ａ／Ｎ）行の電極の行と隣接して配置された（Ｂ／Ｎ）列の電極の列から構成されることが好ましい。そして、このブロック領域内の電極それぞれの、例えば、第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられる。
そして、第２の実施形態の検査装置１１では、ブロック領域の選択と行グループの選択と列グループの選択を組み合わせることで、Ａ行Ｂ列ある電極の中から１個の電極を選択することが可能となり、１個ずつ電極を選択して接地接続することが可能となる。また、１個ずつの電極を選択するのみではなく、Ｎ個（ここで、Ｎは２以上の整数）の電極を同時に選択して接地接続することも可能となる。電極をＮ個同時に接地接続することにより、タッチパネルの検査時間は１／Ｎとなり、検査時間の大幅な短縮を実現できる。また、行グループと列グループを構成して、複数個の電極の行と電極の列を同時に選択するようにしたため、スイッチ素子の３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）のそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送るための引回し配線の本数の削減を実現する。第２の実施形態の検査装置１１では、上述した電極毎に付設されるスイッチ素子を１個のトランジスタのみから構成する場合に比べ、引回し配線の本数を減らすことができる。そして、こうした引回し配線の本数を減らす効果は、電極数が大きくなるに従い大きなものとなる。
以下で、図面を用い、本発明の第２の実施形態のタッチパネルの検査装置１１について、より詳細に説明する。
【００５１】
図４は、本発明の第２の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成の一例を示す回路図である。
【００５２】
第２の実施形態のタッチパネルの検査装置１１の構造について、図４の検査装置１１−１を一例として説明する。
本発明の第２の実施形態の検査装置１１−１は、第１の実施形態の検査装置１と同様、図９に示したタッチパネル２００など、静電容量方式のタッチパネルの検査に好適な検査装置であり、上述の方法によりＮ個の電極を同時にグラウンドに接続することを可能にする。第２の実施形態の検査装置１１−１は、基板上に、独立してグラウンド接続できるよう構成された４行４列の電極を配置した構造を有する。第２の実施形態の検査装置１１の電極の形状と配置については、電極の行数と列数が異なる以外、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様の形状と配置を有する。
【００５３】
すなわち、検査装置１１−１は、上述したＡ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する第２の実施形態の検査装置１１のＡ＝４およびＢ＝４である例にとなる。そして、４行４列のマトリクス状の電極（１３−１〜１３−１６）は、行グループ、列グループおよびブロック領域のように複数の電極からなるグループに分割され、グループ毎に配線接続がなされる。
【００５４】
図４に例示する検査装置１１−１では、基板（図示されない）上、行方向と列方向のマトリクス状に配列された４行４列の電極（１３−１、１３−２、１３−３、１３−４、１３−５、１３−６、１３−７、１３−８、１３−９、１３−１０、１３−１１、１３−１２、１３−１３、１３−１４、１３−１５、１３−１６）を有している。電極（１３−１〜１３−１６）とグラウンドとの間には、それぞれスイッチ素子１４が配設されており、電極（１３−１〜１３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができるよう構成されている。
【００５５】
スイッチ素子１４は、直列接続された第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）の３個のトランジスタから構成されている。すなわち、第１のトランジスタ（ＴＲ１）の第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）を第２のトランジスタ（ＴＲ２）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第２のトランジスタ（ＴＲ２）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第３のトランジスタ（ＴＲ３）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第３のトランジスタ（ＴＲ３）では、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続する。したがって、検査装置１では、スイッチ素子１４を構成する各トランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）のオン状態とオフ状態を制御し、３つのトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）を同時にオン状態にした時にスイッチ素子１４をオン状態にし、電極（１３−１〜１３−１６）がグラウンドに接続されるようにし、電極（１３−１〜１３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるようにすることができる。
【００５６】
検査装置１１−１について、４行４列のマトリクス状の電極を、行グループ、列グループおよびブロック領域のように複数の電極からなるグループに分割し、グループ毎に配線接続する方法について説明する。
【００５７】
検査装置１１−１は、上述のＡ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する検査装置１１のＡ＝４およびＢ＝４である検査装置の例であり、４行４列のマトリクス状の電極（１３−１〜１３−１６）を有する。そして、４行ある電極の行が、２行ずつの２個の行グループに分けられる。同一の行グループ内の電極（１３−１、１３−２、１３−５、１３−６、１３−９、１３−１０、１３−１３、１３−１４）および電極（１３−３、１３−４、１３−７、１３−８、１３−１１、１３−１２、１３−１５、１３−１６）では、それぞれの第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートの間を相互に接続する配線（Ｘ２−１)と配線（Ｘ２−２）とが設けられている。
また、４列ある電極の列が２列ずつの２個の列グループに分けられる。同一の列グループ内の電極（１３−１、１３−３、１３−５、１３−７、１３−９、１３−１１、１３−１３、１３−１５）および電極（１３−２、１３−４、１３−６、１３−８、１３−１０、１３−１２、１３−１４、１３−１６）では、それぞれの第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートの間を相互に接続する配線（Ｙ２−１)と配線（Ｙ２−２）が設けられている。
【００５８】
そして、検査装置１１−１では、４行４列の電極が、行方向および列方向にそれぞれ２分割されている。そして、マトリクス状に配列された２行２列の電極（１３−１、１３−２、１３−３、１３−４）、電極（１３−５、１３−６、１３−７、１３−８）、電極（１３−９、１３−１０、１３−１１、１３−１２）および電極（１３−１３、１３−１４、１３−１５、１３−１６）からなる電極の領域として、４（＝２×２）個のブロック領域に分割されている。尚、ブロック領域に含まれる２行２列の電極は、隣接して配置された２行の電極の行と隣接して配置された２列の電極の列から構成されることが好ましい。そして、この４個のブロック領域内では、４個の電極それぞれの第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートの間を相互に接続する配線（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４）が設けられている。
したがって、検査装置１１−１では、各電極（１３−１〜１３−１６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（Ｘ２−１、Ｘ２−２）のうちの１本と、第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（Ｙ２−２、Ｙ２−２）のうちの１本とを選択する。そして、さらに、各電極（１３−１〜１３−１６）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートにオン信号を入力するための４本の配線（Ｂ１〜Ｂ４）のうちの１本を選択することにより、スイッチ素子１４を制御して、電極（１３−１〜１３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができる。
【００５９】
検査装置１１−１においては、さらに、スイッチ素子１４の３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）のそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送ることができるよう基板上に入力端子（図示されない）が設けられている。この入力端子には、検査装置１１−１の各電極（１３−１〜１３−１６）にオン信号を送って検査装置１１−１の動作を制御する制御回路（図示されない）が接続している。
したがって、検査装置１１−１の場合、スイッチ素子１４を制御して、電極（１３−１〜１３−１６）それぞれをグラウンドに接続させるため、入力端子と配線（Ｘ２−１、Ｘ２−２、Ｙ２−１、Ｙ２−２、Ｂ１〜Ｂ４）とを接続する引回し配線の本数は、配線（Ｘ２−１、Ｘ２−２、Ｙ２−１、Ｙ２−２、Ｂ１〜Ｂ４）の本数と同じ８本となる。その結果、本実施の形態の検査装置１１−１では、上述した電極毎に付設されるスイッチ素子を１個のトランジスタのみから構成する場合に比べ、引回し配線の本数を減らすことができる。そして、こうした引回し配線の本数を減らす効果は、電極数が大きくなるに従い大きなものとなる。
【００６０】
図５は、本発明の第２の実施形態の検査装置の動作方法を説明するタイミングチャートである。
【００６１】
図５では、検査装置１１の配線Ｘ２−１〜Ｘ２−２、配線Ｙ２−１、Ｙ２−２および配線Ｂ１〜Ｂ４のそれぞれに入力される信号の波形を示している。図５に示すように、検査装置１１−１では、配線Ｂ１〜Ｂ４の４本の配線を走査する期間を１水平走査期間とする。すなわち、配線Ｂ１〜Ｂ４に対し、１／４水平走査期間毎に順次、電極（１３−１、１３−２、１３−３、１３−４）、電極（１３−５、１３−６、１３−７、１３−８）、電極（１３−９、１３−１０、１３−１１、１３−１２）および電極（１３−１３−、１３−１４、１３−１５、１３−１６）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
配線Ｘ２−１およびＸ２−２に対しては、１／８水平走査期間毎に、交互に、電極（１３−１、１３−２、１３−５、１３−６、１３−９、１３−１０、１３−１３、１３−１４）および電極（１３−３、１３−４、１３−７、１３−８、１３−１１、１３−１２、１３−１５、１３−１６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）をオン状態にするするためのゲートのオン信号が入力される。
【００６２】
配線Ｙ２−１およびＹ２−２に対しては、１／１６水平走査期間毎に、交互に、電極（１３−１、１３−３、１３−５、１３−７、１３−９、１３−１１、１３−１３、１３−１５）および電極（１３−２、１３−４、１３−６、１３−８、１３−１０、１３−１２、１３−１４、１３−１６）の第２のトランジスタ（ＴＲ２）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
【００６３】
以上より、例えば、電極１３−１を１個にグラウンドに接続しようとする場合、配線Ｂ１に１／４水平走査期間の間、オン信号を入力し、配線Ｂ１に接続する電極（１３−１、１３−２、１３−３、１３−４）からなるブロック領域内では電極１３−１、１３−２、１３−３、１３−４）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にする。次いで、その期間内の１／８水平走査期間の間、配線Ｘ２−１にオン信号を入力し、配線Ｘ２−1に接続する電極（１３−１、１３−２、１３−５、１３−６、１３−９、１３−１０、１３−１３、１３−１４）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）をオン状態にする。このとき、電極１３−１と電極１３−２のみが第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）の両方のトランジスタのオン状態を実現している。次いで、配線Ｘ２−１にオン信号を入力している期間内の１／１６水平走査期間の間、配線Ｙ２−１にオン信号を入力し、配線Ｙ２−１に接続する電極（１３−１、１３−３、１３−５、１３−７、１３−９、１３−１１、１３−１３、１３−１５）の第２のトランジスタ（ＴＲ２）をオン状態にする。その結果、電極１３−１のみが第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）の３個すべてのトランジスタのオン状態を実現することになり、グラウンドへの接続が実現される。
【００６４】
こうした配線Ｘ２−１〜Ｘ２−２、配線Ｙ２−１、Ｙ２−２および配線Ｂ１〜Ｂ４へのオン信号の入力による１個ずつの電極を選択を繰り返すことで、全ての電極（１３−１〜１３−６）について、グラウンドへの接続を実現する。その結果、検査装置１１−１では、１水平走査期間内で、電極１３−１〜電極１３−１６の順番で、１個ずつ独立して電極（１３−１〜１３−１６）をグラウンドに接続させることができる。
【００６５】
図６は、本発明の第２の実施形態の検査装置の別の駆動方法を説明するタイミングチャートである。
【００６６】
図６に示す駆動方法によれば、第２の実施形態の検査装置１１−１は、１水平走査期間内で、電極（１３−１〜１３−１６）を、２個ずつ選択してグラウンドに接続させることができる。
図６では、検査装置１１の配線Ｘ２−１〜Ｘ２−２、配線Ｙ２−１、Ｙ２−２および配線Ｂ１〜Ｂ４のそれぞれに入力される信号の波形を示している。図６に示すように、検査装置１１−１では、配線Ｂ１と配線Ｂ４および配線Ｂ２と配線Ｂ３の同じ波形の信号が入力されるようになっている。したがって、配線Ｂ１と配線Ｂ２の２本の配線を走査する期間を１水平走査期間としている。すなわち、配線Ｂ１〜Ｂ４に対し、１／２水平走査期間毎に、交互に、電極（１３−１、１３−２、１３−３、１３−４）と電極（１３−１３−、１３−１４、１３−１５、１３−１６）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にするためのゲートのオン信号と、電極（１３−５、１３−６、１３−７、１３−８）と電極（１３−９、１３−１０、１３−１１、１３−１２）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にするためのゲートのオン信号とが入力される。
【００６７】
配線Ｘ２−１およびＸ２−２に対しては、１／４水平走査期間毎に、交互に、電極（１３−１、１３−２、１３−５、１３−６、１３−９、１３−１０、１３−１３、１３−１４）および電極（１３−３、１３−４、１３−７、１３−８、１３−１１、１３−１２、１３−１５、１３−１６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）をオン状態にするするためのゲートのオン信号が入力される。
配線Ｙ２−１およびＹ２−２に対しては、１／８水平走査期間毎に、交互に、電極（１３−１、１３−３、１３−５、１３−７、１３−９、１３−１１、１３−１３、１３−１５）および電極（１３−２、１３−４、１３−６、１３−８、１３−１０、１３−１２、１３−１４、１３−１６）の第２のトランジスタ（ＴＲ２）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
【００６８】
その結果、検査装置１１−１では、１水平走査期間内で、２個ずつの電極を、順次、グラウンドに接続させることができる。このとき、同時にグラウンドに接続される２個の電極の組合せは、電極１３−１と電極１３−１３の組合せ、電極１３−２と電極１３−１４の組合せ、電極１３−３と電極１３−１５の組合せ、電極１３−４と電極１３−１６の組合せ、電極１３−５と電極１３−９の組合せ、電極１３−６と電極１３−１０の組合せ、電極１３−７と電極１３−１１の組合せ、および電極１３−８と電極１３−１２の組合せとなり、グラウンドに接続される順番もこの順となる。
【００６９】
図４に示す検査装置１１−１を用い、図６に示す駆動方法に従うことにより、上述した、同時にグラウンドに接続される２個の電極の組合せの中には、４行４列のマトリクス状の電極（１３−１〜１３−１６）の同じ行または同じ列である電極の組合せは形成されないことになる。すなわち、検査装置１１−１の４行４列の電極の中で、同じ行または同じ列にある２個の電極が、同時に選択される２個の電極の中に含まれることは無くなる。
その結果、検査装置１１−１を用いたタッチパネルの検査では、同時に接地接続される検査装置１１−１の２個の電極に対応する、タッチパネルの２点の交差部の中に、互いに同じセンス線または同じドライブ線である交差部は含まれないことになる。すなわち、検査対象であるタッチパネルの複数のセンス線とドライブ線の中で、同一のセンス線上または同一のドライブ線上にある複数の交差部が、同時に選択される２個の交差部の中に含まれることは無くなる。そして、タッチパネルの２点の交差部は、タッチパネル中、相互に最大限に離されるよう、センス線上およびドライブ線上で配置されることになる。
【００７０】
そして、検査装置１１−１では、２個ずつの電極を、順次、グラウンドに接続させることより、１水平走査期間を短縮することができる。例えば、上記した検査装置１１−１を用いて図５に示す駆動方法に従う場合に比べ、１／２の期間で全ての電極を接地接続することができる。したがって、この検査装置１１−１を用いてタッチパネルの検査を行う場合、タッチパネルの検査時間を短縮することができる。
【００７１】
［実施の形態３］
本発明の第３の実施形態の検査装置は、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様、図９に示したタッチパネル２００など、静電容量方式のタッチパネルの検査に好適な検査装置である。第３の実施形態の検査装置は、第１の実施形態の検査装置１と同様、検査対象であるタッチパネル上に配置される絶縁性の基板と、その基板上のタッチパネルに対向する側の面で、行数がＡ行で列数がＢ列となるよう、行方向と列方向のマトリクス状に配列された、例えば、Ａ行Ｂ列の電極と、その電極それぞれとグラウンドとの間に配設されて、電極それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるように構成されたスイッチ素子とを有する。第３の実施形態の検査装置の電極の形状と配置については、電極の行数と列数が異なる以外、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様である。そして、第３の実施形態の検査装置は、第１の実施形態の検査装置１と同様、検査対象となるタッチパネル上に載置され、接地電位となる各電極により指のタッチ操作を模擬することができ、タッチパネルの検査を可能とする。そして、第３の実施形態の検査装置は、電極それぞれの独立したグラウンドへの接続を実現するとともに、引回し配線の本数の削減を実現するよう構成される。
【００７２】
Ａ行Ｂ列の各電極とグラウンドとの間に配設されるＡ×Ｂ個のスイッチ素子はそれぞれ、直列接続された第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタの４個のトランジスタから構成されている。すなわち、第１のトランジスタ（ＴＲ１）の第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）を第２のトランジスタ（ＴＲ２）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第２のトランジスタ（ＴＲ２）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第３のトランジスタ（ＴＲ３）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第３のトランジスタ（ＴＲ３）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第４のトランジスタ（ＴＲ４）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第４のトランジスタ（ＴＲ４）では、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続する。したがって、第３の実施形態の検査装置では、スイッチ素子を構成する各トランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）のオン状態とオフ状態を制御し、４つのトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）を同時にオン状態にした時にスイッチ素子をオン状態にし、Ａ行Ｂ列の電極それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるようにすることができる。
【００７３】
Ａ行Ｂ列の各電極に設けられたスイッチ素子の３個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３）の役割については、例えば、第１のトランジスタ（ＴＲ１）および第３のトランジスタ（ＴＲ３）は、Ａ行ある電極の行の中でグラウンドに接続する行の選択に用いられる。第２のトランジスタ（ＴＲ２）および第４のトランジスタ（ＴＲ４）は、Ｂ列ある電極の列の中でグラウンドに接続する列の選択に用いられる。
すなわち、各電極に接続されたスイッチ素子の４個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）のうち、第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタを用いて複数の電極の行と複数の電極の列とを組み合わせて構成される電極の領域を選択する。この選択された領域は、上述した第２の実施形態の検査装置１１の電極のブロック領域に相当する。このように電極の領域を選択し、選択された領域の中で、第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）とを用いて、電極の行と列を選択することで、１個の電極を選択し、その選択された電極を他の電極と独立してグラウンドに接続することができる。
【００７４】
このとき、各電極に第３のトランジスタ（ＴＲ３）および第４のトランジスタ（ＴＲ４）を設けて、上記した電極の領域の選択を可能としたことで、Ａ行Ｂ列ある電極の中から１個の電極を選択するために、第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）を用い、Ａ行ある電極の行およびＢ列ある電極の列の中からそれぞれ１個ずつ独立に選択する必要はなくなる。すなわち、Ａ行ある電極の行のうち任意の個数の行を組み合わせて所望数の行グループを構成することができる。そして、第１のトランジスタ（ＴＲ１）を用いた電極の行の選択は、この行グループを選択することで行い、その結果、任意の個数の電極の行を同時に選択することが可能となる。同様に、Ｂ列ある電極の列のうち任意の個数の列を組み合わせ所望数の列グループを構成することができる。そして、第２のトランジスタ（ＴＲ２）を用いた電極の列の選択は、この列グループを選択することで行い、その結果、任意の個数の電極の列を同時に選択することが可能となる。
【００７５】
次に、Ａ行Ｂ列のマトリクス状の電極を分割して、複数の行グループおよび列グループに分ける方法について説明する。
Ａ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する第３の実施形態の検査装置の場合、Ａ行ある電極の行は、Ｎ行ずつの（Ａ／Ｎ）個の行グループに分けられる。このとき、行グループは、Ａ行ある電極の行の中で、（Ａ／Ｎ−１）本おきに配置されたＮ行の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の行グループ内の電極それぞれの、例えば、第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられている。
【００７６】
また、Ｂ列ある電極の列は、Ｎ列ずつの（Ｂ／Ｎ）個の列グループに分けられる。このとき、Ｂ列ある電極の列の中で、（Ｂ／Ｎ−１）本おきに配置されたＮ列の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の列グループ内の電極それぞれの、例えば、第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられている。
また、Ａ行ある電極の行は、（Ａ／Ｎ）行ずつのＮ個の行グループに分けられる。このとき、このＮ個の行グループは、Ａ行ある電極の行の中で、順次隣接するよう連続して配置された（Ａ／Ｎ）行の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の行グループ内の電極それぞれの、例えば、第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられている。
【００７７】
さらに、Ｂ列ある電極の列は、（Ｂ／Ｎ）列ずつのＮ個の行グループに分けられる。このとき、このＮ個の列グループは、Ｂ列行ある電極の行の中で、順次隣接するよう連続して配置された（Ｂ／Ｎ）行の電極を選択して構成されたものであることが好ましい。そして、同一の行グループ内の電極それぞれの、例えば、第４のトランジスタ（ＴＲ４）のゲートの間を相互に接続する配線が設けられている。
ここで、第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）に接続するのはいずれも行グループであるが、互いに含まれる電極の行の組合せが異なっている。同様に、第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第４のトランジスタ（ＴＲ４）に接続するのはいずれも列グループであるが、互いに含まれる電極の列の組合せが異なっている。
【００７８】
そして、第２の実施形態の検査装置では、第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタを用いて複数の電極の行と複数の電極の列とを組み合わせて構成される電極の領域を選択し、この領域の選択と第１のトランジスタ（ＴＲ１）による行グループの選択と第２のトランジスタ（ＴＲ２）による列グループの選択を組み合わせることで、Ａ行Ｂ列ある電極の中から１個の電極を選択することが可能となり、１個ずつ電極を選択して接地接続することが可能となる。また、行グループと列グループを構成して、複数個の電極の行と電極の列を同時に選択するようにしたため、スイッチ素子の４個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）のそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送るための引回し配線の本数の削減を実現する。第３の実施形態の検査装置では、上述した電極毎に付設されるスイッチ素子を１個のトランジスタのみから構成する場合に比べ、引回し配線の本数を減らすことができる。そして、こうした引回し配線の本数を減らす効果は、電極数が大きくなるに従い大きなものとなる。
以下で、図面を用い、本発明の第３の実施形態のタッチパネルの検査装置について、より詳細に説明する。
【００７９】
図７は、本発明の第３の実施形態のタッチパネルの検査装置の構成の一例を示す回路図である。
【００８０】
第３の実施形態のタッチパネルの検査装置の構造について、図７の検査装置２１を一例として説明する。
本発明の第３の実施形態の検査装置２１は、第１の実施形態の検査装置１と同様、図９に示したタッチパネル２００など、静電容量方式のタッチパネルの検査に好適な検査装置である。第３の実施形態の検査装置２１は、基板上に、独立してグラウンド接続できるよう構成された４行４列の電極を配置した構造を有する。第３の実施形態の検査装置２１の電極の形状と配置については、電極の行数と列数が異なる以外、上述した第１の実施形態の検査装置１と同様の形状と配置を有する。
【００８１】
すなわち、検査装置２１は、上述したＡ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する第３の実施形態の検査装置のＡ＝４およびＢ＝４である例にとなる。そして、４行４列のマトリクス状の電極（２３−１〜２３−１６）は、行グループおよび列グループのように複数の電極からなるグループに分割され、グループ毎に配線接続がなされる。
図７に例示する検査装置２１では、基板（図示されない）上、行方向と列方向のマトリクス状に配列された４行４列の電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５、２３−６、２３−７、２３−８、２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６）を有している。電極（２３−１〜２３−１６）とグラウンドとの間には、それぞれスイッチ素子２４が配設されており、電極（２３−１〜２３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができるよう構成されている。
【００８２】
スイッチ素子２４は、直列接続された第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタの４個のトランジスタから構成されている。すなわち、第１のトランジスタ（ＴＲ１）の第１電極（ドレインまたはソース）を電極３に接続し、第２電極（ソースまたはドレイン）を第２のトランジスタ（ＴＲ２）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第２のトランジスタ（ＴＲ２）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第３のトランジスタ（ＴＲ３）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第３のトランジスタ（ＴＲ３）では、第２電極（ソースまたはドレイン）を第４のトランジスタ（ＴＲ４）の第１電極（ドレインまたはソース）に接続する。第４のトランジスタ（ＴＲ４）では、第２電極（ソースまたはドレイン）をグラウンドに接続する。したがって、検査装置２１では、スイッチ素子２４を構成する各トランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）のオン状態とオフ状態を制御し、４つのトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）を同時にオン状態にした時にスイッチ素子２４をオン状態にし、電極（２３−１〜２３−１６）がグラウンドに接続されるようにし、電極（２３−１〜２３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させるようにすることができる。
【００８３】
そして、第３の実施形態の検査装置２１では、マトリクス状の電極（２３−１〜２３−１６）を有するが、これらが２種類の行グループおよび２種類の列グループのように複数の電極からなるグループに分割され、グループ毎に配線接続がなされている。以下、分割と配線接続の方法について、より具体的に説明する。
【００８４】
検査装置２１は、上述のＡ行Ｂ列のマトリクス状の電極を有する検査装置のＡ＝４およびＢ＝４である検査装置の例であり、４行４列のマトリクス状の電極（２３−１〜２３−１６）を有する。そして、４行ある電極の行が、２行ずつの２個の第１の行グループに分けられ、同一の行グループ内の電極（２３−１、２３−２、２３−５、２３−６、２３−９、２３−１０、２３−１３、２３−１４）および電極（２３−３、２３−４、２３−７、２３−８、２３−１１、２３−１２、２３−１５、２３−１６）では、それぞれの第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートの間を相互に接続する配線（Ｘ３−１)と配線（Ｘ３−２）とが設けられている。
また、４列ある電極の列が２列ずつの２個の第１の列グループに分けられ、同一の列グループ内の電極（２３−１、２３−３、２３−５、２３−７、２３−９、２３−１１、２３−１３、２３−１５）および電極（２３−２、２３−４、２３−６、２３−８、２３−１０、２３−１２、２３−１４、２３−１６）では、それぞれの第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートの間を相互に接続する配線（Ｙ３−１)と配線（Ｙ３−２）が設けられている。
【００８５】
また、４行ある電極の行が、２行ずつの２個の第２の行グループに分けられ、同一の行グループ内の電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５、２３−６、２３−７、２３−８）および電極（２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６）では、それぞれの第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートの間を相互に接続する配線（ＢＸ１)と配線（ＢＸ２）とが設けられている。
さらに、４列ある電極の列が、２列ずつの２個の第２の列グループに分けられ、同一の列グループ内の電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２）および電極（２３−５、２３−６、２３−７、２３−８、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６）では、それぞれの第４のトランジスタ（ＴＲ４）のゲートの間を相互に接続する配線（ＢＹ１)と配線（ＢＹ２）とが設けられている。
【００８６】
したがって、検査装置２１では、各電極（２３−１〜２３−１６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（Ｘ３−１、Ｘ３−２）のうちの１本と、第２のトランジスタ（ＴＲ２）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（Ｙ３−２、Ｙ３−２）のうちの１本とを選択する。さらに、各電極（２３−１〜２３−１６）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（ＢＸ１、ＢＸ２）のうちの１本と、第４のトランジスタ（ＴＲ４）のゲートにオン信号を入力するための２本の配線（ＢＹ１、ＢＹ２）のうちの１本を選択することにより、スイッチ素子２４を制御して、電極（２３−１〜２３−１６）それぞれを互いに独立してグラウンドに接続させることができる。
【００８７】
検査装置２１においては、さらに、スイッチ素子２４の４個のトランジスタ（ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３、ＴＲ４）のそれぞれのゲートに、トランジスタをオン状態にするオン信号を送ることができるよう基板上に入力端子（図示されない）が設けられている。この入力端子には、検査装置２１の各電極（２３−１〜２３−１６）にオン信号を送って検査装置２１の動作を制御する制御回路（図示されない）が接続している。
したがって、検査装置２１の場合、スイッチ素子２４を制御して、電極（２３−１〜２３−１６）それぞれをグラウンドに接続させるため、入力端子と配線（Ｘ３−１、Ｘ３−２、Ｙ３−１、Ｙ３−２、ＢＸ１、ＢＸ２、ＢＹ１、ＢＹ２）とを接続する引回し配線の本数は、配線（Ｘ３−１、Ｘ３−２、Ｙ３−１、Ｙ３−２、ＢＸ１、ＢＸ２、ＢＹ１、ＢＹ２）の本数と同じ８本となる。その結果、本実施の形態の検査装置２１では、上述した電極毎に付設されるスイッチ素子を１個のトランジスタのみから構成する場合に比べ、引回し配線の本数を減らすことができる。そして、こうした引回し配線の本数を減らす効果は、電極数が大きくなるに従い大きなものとなる。
【００８８】
図８は、本発明の第３の実施形態の検査装置の動作方法を説明するタイミングチャートである。
【００８９】
図８では、検査装置２１の配線Ｘ３−１、配線Ｘ３−２、配線Ｙ３−１、配線Ｙ３−２、配線ＢＸ１、配線ＢＸ２、配線ＢＹ１および配線ＢＹ２のそれぞれに入力される信号の波形を示している。図８に示すように、検査装置２１では、配線ＢＸ１と配線ＢＸ２の２本の配線を走査する期間を１水平走査期間とする。すなわち、配線ＢＸ１と配線ＢＸ２に対し、１／２水平走査期間毎に順次、電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５、２３−６、２３−７、２３−８）および電極（２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
そして、配線ＢＹ１および配線ＢＹ２に対しては、１／４水平走査期間毎に順次、電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２）および電極（２３−５、２３−６、２３−７、２３−８、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６）の第４のトランジスタ（ＴＲ４）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
【００９０】
配線Ｘ３−１および配線Ｘ３−２に対しては、１／８水平走査期間毎に、交互に、電極（２３−１、２３−２、２３−５、２３−６、２３−９、２３−１０、２３−１３、２３−１４）および電極（２３−３、２３−４、２３−７、２３−８、２３−１１、２３−１２、２３−１５、２３−１６）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）をオン状態にするするためのゲートのオン信号が入力される。
配線Ｙ３−１および配線Ｙ３−２に対しては、１／１６水平走査期間毎に、交互に、電極（２３−１、２３−３、２３−５、２３−７、２３−９、２３−１１、２３−１３、２３−１５）および電極（２３−２、２３−４、２３−６、２３−８、２３−１０、２３−１２、２３−１４、２３−１６）の第２のトランジスタ（ＴＲ２）をオン状態にするためのゲートのオン信号が入力される。
【００９１】
以上より、例えば、電極２３−１を１個にグラウンドに接続しようとする場合、配線ＢＸ１に１／２水平走査期間の間、オン信号を入力し、配線ＢＸ１に接続する電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５、２３−６、２３−７、２３−８）の第３のトランジスタ（ＴＲ３）をオン状態にする。ついで、その期間内の１／４水平走査期間の間、配線ＢＹ１にオン信号を入力し、配線ＢＹ１に接続する電極（２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２）をオン状態にする。このとき、電極２３−１、電極２３−２、電極２３−３および電極２３−４のみが、第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタ（ＴＲ４）の両方のトランジスタのオン状態を実現している。
【００９２】
次いで、配線ＢＹ１を選択している期間内の１／８水平走査期間の間、配線Ｘ３−１にオン信号を入力し、配線Ｘ３−1に接続する電極（２３−１、２３−２、２３−５、２３−６、２３−９、２３−１０、２３−１３、２３−１４）の第１のトランジスタ（ＴＲ１）をオン状態にする。このとき、電極２３−１と電極２３−２のみが第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタ（ＴＲ４）のオン状態を実現している。次いで、配線Ｘ３−１にオン信号を入力している期間内の１／１６水平走査期間の間、配線Ｙ３−１にオン信号を入力し、配線Ｙ３−１に接続する電極（２３−１、２３−３、２３−５、２３−７、２３−９、２３−１１、２３−１３、２３−１５）の第２のトランジスタ（ＴＲ２）をオン状態にする。その結果、電極２３−１のみが第１のトランジスタ（ＴＲ１）と第２のトランジスタ（ＴＲ２）と第３のトランジスタ（ＴＲ３）と第４のトランジスタ（ＴＲ４）の４個すべてのトランジスタのオン状態を実現することになり、グラウンドへの接続が達成される。
【００９３】
こうした配線Ｘ３−１、配線Ｘ３−２、配線Ｙ３−１、配線Ｙ３−２、配線ＢＸ１、配線ＢＸ２、配線ＢＹ１および配線ＢＹ２へのオン信号の入力による１個ずつの電極の選択を繰り返すことで、全ての電極（２３−１〜２３−６）について、グラウンドへの接続を実現する。その結果、検査装置２１では、１水平走査期間内で、電極２３−１〜電極２３−１６の順番で、１個ずつ独立して電極（２３−１〜２３−１６）をグラウンドに接続させることができる。
【００９４】
尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１、１１、１１−１、２１    検査装置
２、１２    基板
３、３−１、３−２、３−３、３−４、３−５、３−６、１３−１、１３−２、１３−３、１３−４、１３−５、１３−６、１３−７、１３−８、１３−９、１３−１０、１３−１１、１３−１２、１３−１３、１３−１４、１３−１５、１３−１６、２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５、２３−６、２３−７、２３−８、２３−９、２３−１０、２３−１１、２３−１２、２３−１３、２３−１４、２３−１５、２３−１６    電極
４、１４、２４    スイッチ素子
１５、１５−１、１５−２、１５−Ｎ、１５−Ｎ−２    ブロック領域
２００    タッチパネル
２０２    透明基板
２０４    Ｙ電極
２０５    Ｘ電極
２０６    ブリッジ電極
２０８    交差部
２０９    引回し配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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