(57)【要約】【課題】ペリクル膜の張力による撓みやハンドリング時における撓みが小さい、剛性の高いペリクルフレームならびにペリクルを提供する。【解決手段】材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料を成型加工した後、表面に樹脂皮膜を付与して炭素繊維が表面に露出していないことを特徴とするペリクルフレームであり、該樹脂皮膜の材質がフッ素樹脂、シリコーン樹脂またはアクリル樹脂であり、前記樹脂皮膜を黒色とするのが好ましい。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料を成型加工した後、表面に樹脂皮膜を付与して炭素繊維が表面に露出していないことを特徴とするペリクルフレーム。
【請求項２】
前記樹脂皮膜の材質がフッ素樹脂である請求項１に記載のペリクルフレーム。
【請求項３】
前記樹脂皮膜の材質がシリコーン樹脂である請求項１に記載のペリクルフレーム。
【請求項４】
前記樹脂皮膜の材質がアクリル樹脂である請求項１に記載のペリクルフレーム。
【請求項５】
前記樹脂皮膜が黒色である請求項１乃至４のいずれか１項に記載のペリクルフレーム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のペリクルフレームを用いて構成したことを特徴とするペリクル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造あるいは液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、このときに用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単にフォトマスクと記述する）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。
【０００３】
このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことは難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けた後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００４】
一般に、ペリクルは、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面に貼り付け乃至接着する。さらに、ペリクルフレームの下端面には、フォトマスクに装着するためのポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着剤層、及び粘着剤層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００５】
一般的にペリクル膜は薄い樹脂製であるため、これを弛み無くペリクルフレームで支持するためには、適切な大きさの張力が掛かった状態でペリクルフレームに接着されていなくてはならない。従って、一般的に用いられている矩形のペリクルでは、ペリクル膜が貼り付けられた後のペリクルフレームは、膜の張力によりいくらか内側への撓みが生じる。
この現象は、例えば、プリント基板や液晶ディスプレイの製造に用いられる大型のペリクルなど、ペリクルフレームの辺長が大きいものや、半導体製造用の小型のものでも材質や寸法上の制約で低剛性のフレームを採用したペリクルにおいて顕著に現れる。
【０００６】
一方、フォトマスクは、低コスト化のために、できるだけ露光領域を確保したいという要求がある。このため、ペリクルフレームの内側への撓みをできるだけ小さくしないと、利用できる露光領域が減少するという問題がある。また、ペリクルフレームが撓んでいる、すなわち外形の直線性が悪いペリクルの場合、フォトマスクへの貼り付け位置精度が悪化するという問題もある。
【０００７】
ペリクルフレームの撓みが問題となるのは、ペリクル膜の張力が掛かるペリクルの内側方向だけではない。ペリクルフレームの辺長に対して、ペリクルフレームの厚さ（高さ）が低い場合には、製造工程中あるいはペリクル膜貼り付け前のハンドリングの際に、ペリクルフレームの厚み方向（高さ方向）の撓みも問題となる。特に、辺長が１０００ｍｍを超えるような超大型のペリクルフレームにおいては、ペリクルフレームの両端を支持して水平に搬送しようとすると、辺の中央部が下方に大きく撓み、ハンドリング上極めて不都合となるほか、ときには回復不能な塑性変形（反り）が生じてしまうことがあった。
【０００８】
従来から、ペリクルフレームの撓みを解決する手段として、特許文献１は、ペリクルフレームの一対の辺に、その中央部を外側凸の円弧形状部、その両側に外側凹の円弧形状部、さらにその外側に直線形状部を設けることを提案している。しかし、この方法ではペリクル膜の張力によるペリクルフレームの内側方向への撓みは防止されるが、ペリクルフレームの剛性そのものを高めているわけではないため、上下方向への撓みの問題は解決できない。
【０００９】
これを解決するには、ペリクルフレームの剛性を高めれば良いが、剛性を高めるには、ペリクルフレームの断面積を増大させる方法と弾性係数の高い材質をペリクルフレームに使用する２つの方法が挙げられる。
ペリクルフレームの断面積、すなわち寸法を大きくする方法は、ペリクルフレームの内側には上記の如く露光領域の問題があり、外側についてもフォトマスクの固定や、搬送時におけるハンドリング用のクリアランスを確保しておく必要がある。その上、厚さ方向（高さ方向）の寸法も露光装置との関係から、３〜８ｍｍ程度に制限されている。そのため、設計の自由度は殆んどないと云ってよく、寸法を大きくする方法を剛性向上の手段とすることは難しい。
【００１０】
一方、弾性係数の高い材質をペリクルフレームに使用する方法には、一般に使用されているアルミニウム合金に代えて、鉄鋼、ステンレス鋼、チタン合金、さらにはアルミニウム合金中にさらに剛性の高い材質を埋め込んだもの（特許文献２参照）などが提案されている。しかし、鉄鋼、ステンレス鋼などの鉄系合金は重量が極めて重くなることが懸念され、また、チタン合金は加工性（被削性）が非常に悪いという問題があり、実際にはほとんど採用されていない。これらに代わるものとして、現在、航空機分野などで利用が進み、高剛性材料として知られている炭素繊維複合材（ＣＦＲＰ）を用いた場合には、上記した各種金属材料よりも大幅に剛性を向上でき、重量や加工性の問題の解消が期待される。
しかしながら、炭素繊維を用いていることから、異物発生の可能性が高いという重大な懸念があり、これまで採用されることはなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−５６５４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２８４９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、ペリクル膜の張力による撓みやハンドリング時における撓みが小さい、剛性の高いペリクルフレームならびにペリクルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のペリクルフレームは、材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料を成型加工した後、表面に樹脂皮膜を付与して炭素繊維が表面に露出していないことを特徴としている。該樹脂皮膜の材質は、フッ素樹脂、シリコーン樹脂またはアクリル樹脂であり、該樹脂皮膜を黒色とするのが好ましい。
本発明のペリクルは、上記ペリクルフレームにより構成したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、極めて高剛性なペリクルフレームが得られるため、ペリクル膜の張力によるペリクルフレームの内側への撓みや、ハンドリング時における変形や撓みが小さく、製造、貼り付け作業が容易であり、露光領域の減少も少ない。
さらに、従来用いられてきた材質のペリクルフレームよりもフレーム幅を細く設計することも可能なため、より広い露光領域を確保することができる。加えて、ペリクルフレームの外面は、樹脂で被覆されているため、材料の炭素繊維が露出せず、使用時における発塵や紫外線による劣化がない等、信頼性に優れたペリクルが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のペリクルフレームの一例を示す平面図である。
【図２】図１に示したペリクルフレームの正面図である。
【図３】図１に示したペリクルフレームの右側面図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線に沿っての断面図である。
【図５】図２のＢ−Ｂ線に沿っての断面図である。
【図６】本発明のペリクルの概略を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明のペリクルフレームは、材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料で構成されるとともに、成型加工後、さらに表面に樹脂皮膜が付与されているため、炭素繊維の露出がなく、ペリクルフレーム表面からの発塵の恐れのない、極めて高剛性のものとなっている。
樹脂皮膜の材質にはフッ素樹脂が好ましいが、これに代えてシリコーン樹脂あるいはアクリル樹脂とすることもできる。これらの材質が、耐光性、発ガス、塗装性などの点から好適である。
さらに、樹脂皮膜は黒色とするのが好ましく、黒色であることで、ペリクルフレーム下地の乱反射が抑制されるとともに、欠陥を被覆することができ、さらに異物検査等が容易となる。
【００１７】
本発明のペリクルフレームを用いてペリクルを構成することで、該フレームが有する高い剛性により、内側への撓みならびにハンドリング時の撓み、変形が小さく、なおかつ、使用時おける発塵や露光による劣化がない、信頼性に優れたペリクルが得られる。このような作用・効果は、液晶製造用途で使用される、一辺の長さが１０００ｍｍを超えるような特に大型のペリクルにおいて特に顕著である。
なお、本発明は、ペリクルの大きさで限定されず、大きさ（辺の長さ）やペリクル膜の張力に対して、寸法上の理由からペリクルフレームの剛性が十分に確保できない全てのペリクルに適用することができる。
【００１８】
以下、図面を用いてさらに詳細に説明する。
図１〜３に本発明によるペリクルフレームの概略を示した。図１はペリクルフレームの平面図であり、図２は正面図、図３は右側面図である。図４には、図１中Ａ−Ａ線に沿ってのペリクルフレームの断面図を示し、図５には、図２中Ｂ−Ｂ線に沿ってのペリクルフレームの断面図を示した。なお、このペリクルフレームの例では、外形は長方形状となっているが、その他の形状、例えば、正方形、八角形、円形などであってもよい。
【００１９】
ペリクルフレーム１１には、その内側と外側を通気させるための通気孔１２、ハンドリングのための凹み孔１３、及び溝１４が設けられている。また、４つの角部は内側、外側ともにＲ形状となっている。マスク粘着剤層が設けられる面にはマスク粘着剤層を形成するための段差１５が設けられているが、これは必ずしも段差でなくても良い。また、必要に応じて各部に、さらに面取りやその他の段差あるいは凹み、溝などを設けても良い。
【００２０】
ペリクルフレーム１１は、炭素繊維に樹脂を含浸させた炭素繊維シート（プリプレグ）１６を積層、加熱硬化させた炭素繊維複合材で構成されている。ペリクルフレームは、連続した単一の炭素繊維シートを積層、硬化させた板状の炭素繊維複合材から削りだして作製するのが最も好ましいが、入手できる炭素繊維シートの大きさからの制約やコスト低減のために、その他の方法、例えば、一辺ずつ分割製作したものを接着接合した構造体とすることも可能である。
【００２１】
使用する炭素繊維シート１６としては、一方向繊維のものと直交方向に織ったもののいずれも使用することができる。また、炭素繊維の弾性率も設計により自由に選択することができる。当該炭素繊維の引張強度は、１〜６ＧＰａ、好ましくは、２〜５ＧＰａである。また、当該炭素繊維の引張弾性率は、２００〜１０００ＧＰａ、好ましくは、３００〜９００ＧＰａである。
炭素繊維シートに含浸させる樹脂としては、エポキシ樹脂が好適に用いられるが、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂などその他の樹脂を使用してもよい。それらの中でも、硬化温度、耐熱性の高いものを選択することにより、後工程でのペリクルフレーム表面の樹脂皮膜形成時、加熱温度を高くすることができ、発ガス量の低減に効果がある。
上記炭素繊維シートにおける樹脂含有率は、通常、１０〜４０質量％、好ましくは、２０〜３０質量％である。
【００２２】
上記のような構成で積層した炭素繊維シート１６をオートクレーブ内で加熱し、樹脂を完全に硬化させた後、マシニングセンタ等の機械加工によりペリクルフレーム１１の外形に切削加工し、さらに通気孔１２やハンドリング用の凹み孔１３、溝１４を設けて仕上げる。その際、特に通気孔１２、凹み孔１３などの孔加工の際には、炭素繊維シートの剥離が起きぬように注意深く行う必要がある。
【００２３】
機械切削加工後のペリクルフレームの外面には、破断した炭素繊維が露出しているため、洗浄しても完全に清浄な面は得られず、ペリクル使用中に繊維や樹脂が脱落して発塵する恐れがある。そればかりか、炭素繊維複合材を構成するエポキシ樹脂などの樹脂は露光に用いる紫外線により劣化するため、強度低下や発塵が懸念される。
【００２４】
そこで、機械加工したペリクルフレームの外面に樹脂皮膜１７を施し、炭素繊維複合材が表面に露出しないように完全に被覆する。もちろん、樹脂皮膜１７の材質は、露光に用いる紫外線や発生するオゾンで劣化しにくいものが好ましい。樹脂皮膜１７の色調は、下地の炭素繊維複合材が黒色であるため、黒色以外の暗い色（例えば濃紺など）や透明なものを用いることもできるが、黒色であれば、さらに散乱光を低減できるため特に好ましい。なお、樹脂自体に色があっても良いし、顔料、カーボンブラック等を樹脂に混合して色付けしても良い。
上記の条件を満たす樹脂のなかでも、特にはフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂が好ましい。これらの樹脂であれば、下地の炭素繊維複合材を効果的に防護できるとともに、紫外線に対する耐性が高く、それ自身が劣化するおそれが小さい。
上記の樹脂皮膜の厚みは、通常、５〜８０μｍであり、好ましくは、１０〜５０μｍ、より好ましくは、２０〜４０μｍである。
【００２５】
ペリクルフレーム１１への樹脂皮膜１７の形成は、事前に炭素繊維複合材で製作したペリクルフレームをよく洗浄、乾燥しておき、炭素繊維複合材の母材樹脂を適切な濃度で溶媒に溶解し、必要に応じて混入するカーボンブラック等を溶媒中に分散させた状態として、ペリクルフレームにスプレー、ディッピング、電着塗装などの公知のコーティング手法で被膜すれば良く、使用する樹脂の種類に応じて最適な手法を選択すればよい。
樹脂皮膜形成後、ペリクルフレーム全体を加熱処理し、溶媒を完全に揮発除去するとともに、樹脂皮膜中に含まれる低分子成分を低減する。加熱する温度は、できるだけ高い方が好ましいが、炭素繊維複合材及び皮膜樹脂の耐熱温度、皮膜樹脂のコーティング時に用いる溶媒の沸点などから総合的に決定する。
【００２６】
また、樹脂皮膜を形成する際の、その他の指標として、樹脂皮膜表面の光沢度が挙げられる。これには、グロスメータによる測定値を光沢度３以下とすることで、樹脂皮膜表面の反射を抑制することができ、露光機内での迷光低減が期待できるとともに暗室内での異物検査を容易にすることができる。なお、グロスメータによる数値は、ガラス表面を１００とした数値である（ＪＩＳ  Ｚ８７４１）。
【００２７】
このようにして製作したペリクルフレームを用いて構成したペリクル７０の概略を斜視図で図６に示した。表面に樹脂皮膜が形成された炭素繊維複合材からなるペリクルフレーム６１の一方の端面に、ペリクル膜接着剤層６２が設けられペリクル膜６３が張設されている。ペリクル膜６３の材質としては、セルロース、セルロースアセテート、セルロースプロピオネート、フッ素樹脂などが利用できる。他方の端面には、マスク粘着剤層６４が設けられている。マスク粘着剤層６４としては、アクリル粘着剤、ゴム系粘着剤、ホットメルト粘着剤、シリコーン粘着剤などが利用できる。このマスク粘着剤層６４上に必要に応じて、ＰＥＴなどの薄い樹脂フィルム上に離型剤層を設けた離型層（セパレータ）６５を添付して、マスク粘着剤層６４を保護しても良い。
【００２８】
また、必要に応じてペリクルフレーム６１の側面に貫通した通気孔６６を設け、ペリクル内外の気圧差によるペリクル膜の膨らみ、凹みを解消するとともに、通気に伴って塵埃がペリクル内に侵入しないように、通気孔６６を覆うようにフィルタ６７を設けると良い。また、ハンドリングを容易とするために、凹み孔６８や溝６９を設けても良い。
【実施例】
【００２９】
以下、本発明について、実施例１〜３及び比較例１〜３を挙げて具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されず、様々な態様が可能である。
［実施例１］
ペリクルフレーム作製の母材として、引張弾性率５８８ＧＰａの炭素繊維にエポキシ樹脂を含浸させた炭素繊維シート（プリプレグ）；トレカ１３０５５Ｆ−１３（商品名、東レ製）を積層し、加熱硬化させた寸法１５５０×１７５０×６．５ｍｍの板状の炭素繊維複合材を使用した。
この板状の母材からマシニングセンタにより、図１〜５に示したような形状を有する外寸１５２６×１７４８ｍｍ、内寸１４９３×１７１１ｍｍの長方形で、厚さ６．２ｍｍのペリクルフレーム１１を製作した。なお、各角部の形状を外側Ｒ６ｍｍ、内側Ｒ２ｍｍとした。また、長辺側には１７００ｍｍの間隔でハンドリング用の直径２．５ｍｍ、深さ２ｍｍの凹み孔１３を設け、短辺側には高さ２ｍｍ、深さ３ｍｍで底部を半丸形状に仕上げた溝１４を設けた。さらに、両長辺の中央部付近には直径１．５ｍｍの通気孔１２をそれぞれ８箇所ずつ設けた。
【００３０】
次いで、このペリクルフレームを界面活性剤と純水で良く洗浄し、８０℃×３時間で加熱乾燥させたのち、表面に樹脂塗装を行った。樹脂には、フッ素樹脂；サイトップＣＴＸ１０９Ａ（商品名、旭硝子製）をフッ素系溶媒；ＥＦ−Ｌ１０２（商品名、三菱マテリアル製）に溶解し、カーボンブラック；ＨＣＦ２６５０（商品名、三菱化学製）を分散させた溶液を用い、スプレー法によって３回の塗布を行った。その後、オーブン内で１３０℃に加熱して完全に溶媒を乾燥させた。形成されたフッ素樹脂の皮膜厚は約２０μｍであった。スプレー条件はグロスメータで光沢度が３以下になるように整えた。
【００３１】
最後に、寸法検査を行い、所定の寸法となっていることを確認した。さらに、ハンドリング用の凹み孔１３に同径のピンを挿入して水平に支持し、長辺中央での下方向への撓み量を確認したところ、わずか１ｍｍ程度であった。
このペリクルフレーム１１をクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で洗浄、乾燥後、暗室内にて４０万ルクスのハロゲンランプを照射しながら外観を検査した。その結果、炭素繊維複合材が露出しているところは全くなかった。また、表面のキラ付きや塗装むらなどの欠陥、洗浄による樹脂皮膜の剥離等も見受けられなかった。
【００３２】
次いで、このペリクルフレームを使用して図６に示すようなペリクルを製作した。具体的には、ペリクルフレームの一方の端面にペリクル膜接着剤層６２としてシリコーン粘着剤；ＫＲ３７００(商品名、信越化学工業製）を、他方の端面にマスク粘着剤層６４としてシリコーン粘着剤ＫＲ３７００をエア加圧式ディスペンサで塗布し、加熱してキュアさせた。次に、離型剤を表面に付与したＰＥＴフィルムをペリクルフレームとほぼ同形に切断加工して製作したマスク粘着剤層保護用セパレータ６５を取り付け、さらに通気孔６６を覆うようにＰＴＦＥ製フィルタ６７を貼付した。
【００３３】
上記ペリクルフレームとは別に、フッ素系ポリマー；サイトップ（商品名、旭硝子製）をスリットコート法により１６２０×１７８０×厚さ１７ｍｍの長方形石英基板上に成膜し、溶媒を乾燥させた後に基板外形と同形状のアルミ合金製仮枠に接着、剥離して、厚さ約４μｍのペリクル膜を得た。このペリクル膜を先に仕上げたペリクルフレームのペリクル膜接着剤層６２上に接着した後、ぺリクルフレーム６１周囲の不要な膜をカッターにて切断除去し、ペリクル７０を完成させた。
このペリクル７０を定盤上に置き、ペリクルフレーム各辺の撓み量を計測したところ、長辺中央部での内側への撓み量は片側０．５ｍｍ、短辺中央部での内側への撓み量は片側０．３ｍｍであった。
【００３４】
［実施例２］
実施例１と同じ炭素繊維複合材の母材を用い、同様の工程により外寸１２２×１４９ｍｍ、内寸１１８×１４５ｍｍ、高さ３．０ｍｍで、各角部での形状を外側Ｒ６ｍｍ、内側Ｒ４ｍｍとしたペリクルフレームを製作し、アクリル樹脂；エレコートＳＴサティーナ（商品名、シミズ製）を電着塗装法により塗布して樹脂皮膜を形成した。形成されたアクリル樹脂の皮膜厚は約３０μｍであった。
【００３５】
このペリクルフレームを界面活性剤と純水で洗浄、乾燥した後、実施例１と同様にしてペリクル膜接着剤、マスク粘着剤を塗布し、加熱して完全にキュアさせた後、マスク粘着剤層にセパレータを貼り付けた。このペリクルフレームについて、実施例１と同様に暗室内で外観を検査したところ、炭素繊維は完全に被覆されており、バリならびに樹脂の剥離も全く見られなかった。
【００３６】
このペリクルフレームとは別に、フッ素系ポリマー；サイトップ（商品名、旭硝子製）を直径３００ｍｍのシリコンウェハ上にスピンコート法にて成膜し、溶媒を乾燥させた後、基板外形と同形状のアルミ合金製仮枠に接着、剥離して、厚さ約０．２８μｍのペリクル膜を得た。このペリクル膜を先に仕上げたペリクルフレームのペリクル膜接着剤層上に貼り付けた後、ぺリクルフレーム６１周囲の不要な膜をカッターにて切断除去し、ペリクルを完成させた。
実施例１と同様にしてペリクルフレームの長辺、短辺の撓み量を計測したところ、長辺中央部での内側への撓み量は片側０．０５ｍｍ、短辺中央部では片側０．０２ｍｍであった。
【００３７】
［実施例３］
実施例１と同じ炭素繊維複合材の母材を用い、同様の工程で外寸１５２６×１７４８、内寸１４９８×１７２０ｍｍ、厚さ６．２ｍｍで、各角部の形状を内側Ｒ２ｍｍ、外側Ｒ６ｍｍとした長方形のペリクルフレームを機械加工により製作した。また、長辺には１７００ｍｍの間隔でハンドリング用として直径２．５ｍｍの孔を、短辺には高さ２ｍｍ、深さ３ｍｍの溝を設けた。さらに、両長辺の中央部付近には直径１．５ｍｍの通気孔を各８個設けた。
実施例１の形状とは、長辺、短辺の内寸が異なっている点のみが相違している。実施例１のフレーム幅は、長辺１６．５ｍｍ、短辺１８．５ｍｍであるのに対し、本実施例３では長辺１４ｍｍ、短辺１４ｍｍで、実施例１のものより長辺の幅は２．５ｍｍ、短辺の幅は４．５ｍｍ細くなっている。
【００３８】
このペリクルフレームに対して、シリコーン樹脂；シリコーンワニスＫＲ−２７１（商品名、信越化学工業製）をトルエンにて希釈し、カーボンブラック；ＨＣＦ２６５０（商品名、三菱化学製）を分散させた溶液を用いて、実施例１と同様の工程にて樹脂皮膜を形成した。形成されたシリコーン樹脂の皮膜厚は約３０ μｍであった。その後、オーブン内で１３０℃×３０分間加熱してシリコーン樹脂を完全に硬化させた。さらに、実施例１と同様の工程にて、粘着剤、接着剤塗布などの仕上げを行った後、ペリクル膜を貼り付けてペリクルを完成させた。
【００３９】
このペリクルに対し、実施例１と同様にして暗室内で集光ランプにより外観を検査したが、表面に炭素繊維は全く現れておらず、バリや樹脂皮膜の剥離も全く見られず、表面は清浄であった。
さらに、フレーム内側への撓み量を計測したところ、長辺中央で１ｍｍ、短辺中央で０．８ｍｍの撓み量であり、ペリクルフレームの幅を減じることによってその分、大きな露光面積を確保することができた。
【００４０】
さらに、実施例１と同様にして、このペリクルの長辺に１７００ｍｍの間隔で設けた直径２．５ｍｍの凹み孔１３に同径のピンを挿入して水平に支持し、長辺中央の下方への撓み量を確認したが、実施例１と同様わずか１ｍｍ程度であった。また、製造工程中でのハンドリングも、実施例１と同じく、同じ凹み孔を用いて行ったが、実用上問題となるようなペリクルフレームの撓み、変形は全く見られず、容易かつ安全に取り扱うことができた。
【００４１】
［比較例１］
実施例１と同じ炭素繊維複合材の母材を用い、実施例１と同寸、同形状のペリクルフレームを機械加工により製作した。このペリクルフレームをクリーンルームに搬入し、界面活性剤と純水で洗浄、乾燥後、暗室内にて４０万ルクスのハロゲンランプを照射しながら外観を検査した。
その結果、特にフレーム内面、外面について、母材のプリプレグを積層した横縞の模様が目立ち外観として芳しくないばかりか、細かい炭素繊維のささくれが観察された。さらに、手袋をした手で強く掴むと炭素繊維の破片と思われる黒色粉塵の付着が見られた。これらの結果から、これは到底ペリクルフレームとして使用できるものではなかった。
【００４２】
［比較例２］
Ａ５０５２アルミニウム合金の圧延材を用いて、実施例１と同寸、同形状のペリクルフレームを機械加工により製作し、表面をサンドブラスト処理した後、黒色アルマイト処理を施した。そして、このペリクルフレームを洗浄、乾燥後、一方の端面にペリクル膜接着剤としてシリコーン粘着剤；ＫＲ３７００(商品名、信越化学工業製)、他方の端面にマスク粘着剤としてシリコーン粘着剤；ＫＲ３７００(商品名、信越化学工業製)を塗布し、加熱してキュアさせた。さらにその後、実施例１と全く同じ工程を経てペリクルを完成させた。
【００４３】
このアルミニウム合金製フレームを用いたペリクルについて、実施例１と同じ手法によりペリクルフレームの撓み量を計測したところ、長辺中央部の内側への撓み量は片側３ｍｍ、短辺中央部の内側への撓み量は片側２ｍｍで、実施例１よりも極めて大きな撓み量となった。
このペリクルフレームの取り扱いは、実施例１と同じく両長辺の各側面に１７００ｍｍ間隔で設けた直径２．５ｍｍ、深さ２ｍｍの４箇所の凹みを支持する形で行ったが、搬送時に垂直方向（ペリクルフレームの厚さ方向）の撓み、揺れが極めて大きく、取り扱いには特別な注意を要した。このとき、長辺中央の下方向への撓み量を確認したが、約８ｍｍであった。そしてさらに、定盤上に、このペリクルを載置してペリクルフレームの平面度を確認したところ、支持していた４箇所の角部には、最小０．６ｍｍ〜最大０．８ｍｍの回復不能な浮きあがり（反り、塑性変形）が生じていた。
【００４４】
［比較例３］
Ａ７０７５Ｔ６アルミニウム合金の圧延材を用いて、実施例２と同寸、同形状のペリクルフレームを機械加工により製作し、表面をサンドブラスト処理した後、黒色アルマイト処理を施した。そして、このペリクルフレームを実施例２と全く同じ工程を経て、ペリクル膜接着剤、マスク接着剤を塗布した後、ペリクル膜を接着してペリクルを完成させた。
このアルミニウム合金製フレームを用いたペリクルについて、実施例１と同じ手法によりペリクルフレームの撓み量を計測したところ、長辺中央部の内側への撓み量は片側０．５ｍｍ、短辺中央部の内側への撓み量は片側０．３ｍｍとなり、どちらも実施例２よりも極めて大きな撓み量となった。
【符号の説明】
【００４５】
１１  ペリクルフレーム
１２  通気孔
１３  凹み孔
１４  溝
１５  段差
１６  炭素繊維シート
１７  樹脂皮膜
６１  ペリクルフレーム
６２  ペリクル膜接着剤層
６３  ペリクル膜
６４  マスク粘着剤層
６５  離型層（セパレータ）
６６  通気孔
６７  フィルタ
６８  凹み孔
６９  溝
７０  ペリクル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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