(57)【要約】【課題】シリコン屑を含む廃液を効率よく、再利用し易い状態でシリコン屑と水とに分離することができる分離装置を提供すること。【解決手段】水にシリコン屑が含まれる廃液を溜める液槽２１と、この液槽２１内に配置されたシリコン分離機構２２と、を備え、シリコン分離機構２２は、液槽２１内に配置され廃液中でシリコン屑を吸着する吸着板２５と、廃液中の水のみの通過を許容し、シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制手段２６と、吸着板移動手段３０と、分離部４０とを備えている。【選択図】図１
2012081385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン屑を含む廃液を、シリコン屑と、シリコン屑を含まない液体とに分離する分離装置であって、
該廃液を溜める液槽と、
該液槽の中に配置されたシリコン分離機構と、を有し、
該シリコン分離機構は、
該廃液中でマイナスに帯電した該シリコン屑を吸着するプラスに帯電した吸着板と、
該吸着板に対向して配設され、該廃液の液体のみの通過を許容し、マイナスに帯電した該シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制板を含むシリコン通過規制手段と、を有し、
該シリコン通過規制手段は、
該シリコン通過規制板を通過した液体が存在する領域を区画する筺体と、
該筺体内に配置され、該シリコン通過規制板を通過した該廃液を該液槽外へ搬出する搬出部と、を有し、
該吸着板を陽極とし、該シリコン通過規制板を陰極とし、該吸着板と該シリコン通過規制板との間に電界を形成する電界形成手段を有し、
該吸着板に吸着したシリコンを回収する回収機構を有し、
該回収機構は、
該吸着板を該廃液から移動させる吸着板移動手段と、
該吸着板からシリコンを分離させる分離部と、
を有することを特徴とする分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン屑を含む廃液をシリコン屑と液体とに分離する分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンデバイスの製造においては、シリコンインゴットを切断してシリコンウェーハを形成する工程や、シリコンウェーハを研磨する工程や、シリコンウェーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、各領域を所定のストリート（切断ライン）に沿って切断して個々のシリコンチップを形成する工程などがある。これらの工程では、例えば切削ブレードや加工点や研磨部分などを冷却したり、シリコン屑を押し流したりするために、水が用いられている。
【０００３】
近年、水の再利用や、シリコンの再利用の観点からシリコン屑を含む廃液をシリコン屑とシリコンを含まない水に分離させる技術が求められている。シリコン屑は微細な粒子であり、廃液中に懸濁した状態となって含まれている。この種の従来技術として、濾過や遠心分離を行う物理的な方法や、薬品を使用した化学的な方法（例えば、特許文献１参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１６４３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記のような物理的な方法では、濾過の際に目詰まりが起こったり、そもそもシリコン粒子が通過してしまったりするという問題がある。特に、遠心分離法では、水分に対してシリコン粒子の濃度が薄すぎて遠心分離の効率が悪い場合がある。また、上記のような化学的な方法では、薬品を使用するため、液体（水）を再利用することが難しくなるという問題がある。
【０００６】
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、シリコン屑を含む廃液を効率よく、再利用し易い状態でシリコン屑と水とに分離することができる分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、シリコン屑を含む廃液を、シリコン屑と、シリコン屑を含まない液体とに分離する分離装置であって、該廃液を溜める液槽と、該液槽の中に配置されたシリコン分離機構と、を有し、該シリコン分離機構は、該廃液中でマイナスに帯電した該シリコン屑を吸着するプラスに帯電した吸着板と、該吸着板に対向して配設され、該廃液の液体のみの通過を許容し、マイナスに帯電した該シリコン屑の通過を規制するシリコン通過規制板を含むシリコン通過規制手段と、を有し、該シリコン通過規制手段は、該シリコン通過規制板を通過した液体が存在する領域を区画する筺体と、該筺体内に配置され、該シリコン通過規制板を通過した該廃液を該液槽外へ搬出する搬出部と、を有し、該吸着板を陽極とし、該シリコン通過規制板を陰極とし、該吸着板と該シリコン通過規制板との間に電界を形成する電界形成手段を有し、該吸着板に吸着したシリコンを回収する回収機構を有し、該回収機構は、該吸着板を該廃液から移動させる吸着板移動手段と、該吸着板からシリコンを分離させる分離部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、シリコン屑を含む廃液を効率よく、再利用し易い状態でシリコン屑と水とに分離することができる分離装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、この発明の実施の形態１にかかる分離装置の斜視図である。
【図２】図２は、この発明の実施の形態１にかかる分離装置における液槽内に収納されるシリコン分離機構を示す分解斜視図である。
【図３】図３は、この発明の実施の形態１にかかる分離装置における液槽内に収納されたシリコン分離機構を示す斜視図である。
【図４】図４は、図３のIV−IV断面図である。
【図５】図５は、この発明の実施の形態１に係る分離装置における昇降アームと吸着板との係合手段を説明する要部斜視図である。
【図６】図６は、実施の形態１に係る分離装置において、吸着板をスクレーパープレート同士の間に配置させる工程を示す側面図である。
【図７】図７は、実施の形態１に係る分離装置において、吸着板をスクレーパープレートで挟んでシリコン屑を掻き落とす工程を示す側面図である。
【図８】図８は、この発明の実施の形態２に係る分離装置を示す斜視図である。
【図９】図９は、実施の形態２に係る分離装置において、円柱状ブラシを離間させて吸着板を円柱状ブラシ同士の間に配置させる工程を示す側面図である。
【図１０】図１０は、実施の形態２に係る分離装置において、円柱状ブラシで吸着板を挟んだ状態で吸着板を上昇させてシリコン屑を掻き落とす工程を示す側面図である。
【図１１】図１１は、この発明の実施の形態３に係る分離装置を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、実施の形態３に係る分離装置を示す分解斜視図である。
【図１３】図１３は、図１１のXIII−XIII断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明を実施するための形態である分離装置について図面を参照して説明する。但し、図面は模式的なものであり、粒子の大きさや部材の大きさなどは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。
【００１１】
（実施の形態１）
図１〜７は、この発明の実施の形態１にかかる分離装置１０を示している。図１に示すように、この分離装置１０は、分離装置本体２０と、吸着板移動手段３０と、分離部４０と、を備える。なお、吸着板移動手段３０と分離部４０は、回収機構を構成している。
【００１２】
（分離装置本体）
先ず、分離装置本体２０について説明する。図１〜４に示すように、分離装置本体２０は、液槽２１と、この液槽２１内に配置されたシリコン分離機構２２と、を備えている。図４に示すように、液槽２１は、水にシリコン屑５が含まれる廃液４が供給されるようになっている。
【００１３】
液槽２１は、上部が開放された直方体形状の容器である。この液槽２１の一方の壁部２１Ａには、廃液供給管２３が貫通して設けられ、この廃液供給管２３の先端の供給ノズル２３Ａが液槽２１の内部に配置され、この供給ノズル２３Ａから廃液４が液槽２１内に供給されるようになっている。また、液槽２１の壁部２１Ａにおける廃液供給管２３が配置された位置と異なる位置に、液槽２１外に廃液４が溢れることを防止するドレイン管２４が設けられている。
【００１４】
図１〜４に示すように、シリコン分離機構２２は、液槽２１内に配置され廃液４中でシリコン屑５を吸着する吸着板２５と、この吸着板２５と対向するように離間して配置され、廃液４中の水４Ａのみの通過を許容し、シリコン屑５の通過を規制するシリコン通過規手段２６と、が交互に配置されている。
【００１５】
吸着板２５は、電気化学的に貴となる材料で形成されることが好ましく、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）などを挙げることができるが、本実施の形態ではステンレス（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３０４など）を適用している。
【００１６】
図１〜図５に示すように、吸着板２５の上縁部中央には、一対の被係合片２５Ａが吸着板２５の幅方向に所定間隔を隔てて上方に向けて突設されている。図５に示すように、これら被係合片２５Ａは、矩形の板状体であり、互いに対向するように配置されている。それぞれの被係合片２５Ａの中央には、吸着板２５の幅方向に貫通する被係合孔２５ｈが形成されている。この被係合片２５Ａ同士の間には、後述する吸着板移動手段３０における係合部３７Ａが挿入され、係合部３７Ａに出没可能に設けられた係合用突起３８が被係合孔２５ｈに挿入されるようになっている。
【００１７】
図２および図４に示すように、シリコン通過規手段２６は、矩形状の枠体２６Ａと、この枠体２６Ａの両側開口面を塞ぐように互いに平行をなすように設けられた網目状の一対のシリコン通過規制板２６Ｂとを備える。また、枠体２６Ａの上部中央には、図４に示すように、一対のシリコン通過規制板２６Ｂ間に下端開口部が位置する筒状の搬出部２６Ｃが設けられている。この搬出部２６Ｃの上端には、搬出パイプ２７が接続され、この搬出パイプ２７を介して外部へ水４Ａを搬出するようになっている。
【００１８】
シリコン屑５は、水中でマイナスに帯電するため、吸着板２５はマイナスに帯電したシリコン屑５を吸着するようにプラスに帯電され、網目状のシリコン通過規制板２６Ｂはシリコン屑５を近づけないように斥力を発生させるためにマイナスに帯電される。図２に示すように、この分離装置２０では、吸着板２５を陽極、シリコン通過規制板２６Ｂを陰極として、電界を形成させるために、電界形成手段としての電圧印加回路２８が設けられている。
【００１９】
図１〜図４に示すように、吸着板２５は、シリコン通過規手段２６と交互にシリコン通過規制板２６Ｂに互いに対向するように配置されている。この実施の形態におけるシリコン通過規制板２６Ｂは、吸着板２５から例えば４ｍｍ程度の距離を離して吸着板２５と略平行となるように配置されている。このように、吸着板２５とシリコン通過規制板２６Ｂの距離を４ｍｍ程度とする理由は、距離が離れると電界が弱まるため、吸着板８のシリコン吸着力を確保するうえで、なるべく近い方がよいためである。なお、一対のシリコン通過規制板２６Ｂおよび枠体２６Ａは、このシリコン通過規制板２６Ｂを通過した水４Ａを区画する筐体を構成している。すなわち、枠体２６Ａおよび一対のシリコン通過規制板２６Ｂでなる筐体と搬出部２６Ｃとで、シリコン通過規制手段２６を構成している。
【００２０】
シリコン通過規制板２６Ｂは、上記の吸着板２５と同様に、電気化学的に貴となる材料である、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）などで形成することが好ましく、本実施の形態では、ステンレス（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３０４など）を適用している。このシリコン通過規制板２６Ｂは、網目状の構造であるが、網目でシリコン屑５を引っ掛ける機能を有さなくてもよく、マイナスに帯電させることで、マイナスに帯電しているシリコン屑に対して斥力を発生する程度の網目粗さでよい。因みに、この実施の形態では、シリコン通過規制板２６Ｂを５００本／インチのメッシュに設定している。
【００２１】
分離装置本体２０では、液槽２１内における吸着板２５とシリコン通過規制手段２６とは、液槽２１内の幅寸法よりも短く設定されており、これら吸着板２５およびシリコン通過規制手段２６と液槽２１の内壁との間隙を通して廃液４が液槽２１全体に流通可能となっている。このため、液槽２１内の各所に存在する吸着板２５とシリコン通過規制手段２６との間の空間に廃液４が存在するようになっている。
【００２２】
（吸着板移動手段）
図１に示すように、吸着板移動手段３０は、液槽２１のＹ方向の両側に、それぞれＸ方向に沿って一対のガイドレール３１が延在されている。これらガイドレール３１は、後述する分離部４０の両側にも存在するように、液槽２１のＸ方向の長さよりも長くなるように設定されている。なお、本実施の形態では、一対のガイドレール３１は、例えば、断面コ字状の長尺なチャンネル材を用いている。
【００２３】
一対のガイドレール３１の間には、ガイドレール３１と同等の長さのボールネジ３２が設けられている。ボールネジ３２の一端は、ガイドレール３１の一端側に設けられた軸受け部材３３に回転自在に軸支されている。ボールネジ３２の他端は、パルスモータ３４の回転駆動軸と連結されている。
【００２４】
液槽２１の両側に配置されたそれぞれ一対のガイドレール３１には、下部がガイドレール３１，３１に沿ってＸ方向へ摺動自在に支持された搬送支柱３５が立ち上がるように設けられている。これら一対の搬送支柱３５は、下部がボールネジ３２に螺合しており、ボールネジ３２の回転に伴いＸ方向に沿って同期して移動動作を行うように設定されている。
【００２５】
一対の搬送支柱３５の互いに対向する面側には、昇降駆動部３６が設けられている。また、一対の搬送支柱３５には、昇降動作を行う昇降アーム３７が架設されている。この昇降アーム３７の両端部は、昇降駆動部３６に上下方向（Ｚ方向）に沿って形成されたスリット部３６Ａを通して昇降駆動部３６の内部に配設された、図示しない昇降駆動用のシリンダ機構に連結されている。昇降アーム３７は、シリンダ機構により水平を保った状態で昇降動作を行うように設定されている。昇降アーム３７の幅方向の中央下部には、吸着板２５の被係合片２５Ａ同士の間に挿入される係合部３７Ａが下方に向けて突設されている。図５に示すように、この係合部３７Ａの幅方向両端には、例えば、ソレノイドなどを用いた図示しない駆動機構により出没可能に係合用突起３８が設けられている。係合部３７Ａが被係合片２５Ａ同士の間に挿入された状態で、係合用突起３８が突出して被係合孔２５ｈに挿入されることにより、昇降アーム３７と吸着板２５とが係合されるようになっている。
【００２６】
（分離部）
図１に示すように、分離部４０は、シリコン屑５を回収する回収容器４１と、この回収容器４１の幅方向（Ｙ方向）の両側上部に互いに対向して立ち上がるように設けられた支持板４２と、一対の対向する支持板４２同士の間に、互いに所定間隔を隔てて平行をなすように架設されたスクレーパープレート４３と、このスクレーパープレート４３の回転軸４３Ａ（図６、図７参照）に連結された回転調整駆動部４５と、を備えている。この回転調整駆動部４５は、図示しない回転駆動源を備え、スクレーパープレート４３同士が略平行をなす図６に示すような位置と、図７に示すように、スクレーパープレート４３の上部側同士が互いに近接するような位置と、の間での変位を可能としている。
【００２７】
（分離装置１０の動作および作用）
先ず、図２および図４に示すように、分離装置本体２０において、電圧印加回路２８から電圧を印加して電界を形成させると、シリコン分離機構２２では、吸着板２５で廃液４中のシリコン屑５を吸着し、シリコン通過規制手段２６のシリコン通過規制板２６Ｂで廃液４中のシリコン屑５を斥力により近づけないようにする作用を有する。シリコン通過規制板２６Ｂでは、廃液４中のシリコン屑５を通さずに水４Ａをシリコン通過規制手段２６内へ通過させる。シリコン通過規制手段２６内に溜まった水４Ａは、搬出部２６Ｃから外部に搬出されて再利用することが可能となる。また、吸着板２５では、シリコン屑５の吸着が進行する状態となる。
【００２８】
このような状態を維持しながら、シリコン屑５が溜まった所定の吸着板２５へ向けて吸着板移動手段３０の昇降アーム３７を移動させる。この場合、パルスモータ３４を駆動して搬送支柱３５がＸｆ方向に移動するように制御する。
【００２９】
昇降アーム３７が所定の吸着板２５の上方に到った時点で、搬送支柱３５の移動を停止させる。その後、図示しないシリンダ機構を作動して昇降アーム３７を下降させて、図５に示すように、係合部３７Ａを、吸着板２５の被係合片２５Ａ同士の間に挿入させる。そして、係合部３７Ａの両側の係合用突起３８を側方へ向けて突出させて、係合用突起３８を被係合片２５Ａの被係合孔２５ｈに嵌合させる。このようにして、昇降アーム３７と吸着板２５とが係合される。
【００３０】
次に、搬送支柱３５の昇降駆動部３６内に設けられた図示しないシリンダ機構を作動させて昇降アーム３７を上昇させる。なお、昇降アーム３７は、吸着板２５を液槽２１の上方へ吊り上げる位置まで移動できるように設定されている。
【００３１】
そして、パルスモータ３４を逆回転に駆動して搬送支柱３５をＸｒ方向に移動させ、吊り上げられた吸着板２５が回収容器４１における一対のスクレーパープレート４３同士の間の位置の上方に到ったところで搬送支柱３５の移動を停止させる。なお、このとき、スクレーパープレート４３は、図６に示すように、板面が垂直方向に沿うような位置に設定され、互いに平行をなすような状態にしておく。
【００３２】
その後、昇降アーム３７を図６に示すように、図示しないシリンダ機構を作動させてスクレーパープレート４３同士の間に差し込んで吸着板２５の上端が、スクレーパープレート４３同士の間の位置まで下降させる。その後、図７に示すように、スクレーパープレート４３の上部同士が近接するように回転調整駆動部４５を作動させる。そして、図７に示すように、昇降アーム３７を上昇させることで、吸着板２５の表面に付着したシリコン屑５をスクレーパープレート４３で回収容器４１へ掻き落とすことができる。
【００３３】
このようにしてシリコン屑５が除去された吸着板２５は、パルスモータ３４を駆動して搬送支柱３５がＸｆ方向に移動させ、吸着板２５が液槽２１内の元の位置の上方に達したときに搬送支柱３５の移動を停止させる。そして、図示しないシリンダ機構を作動させて昇降アーム３７を下降させて、吸着板２５を液槽２１内の元の位置へ配置させる。そして、図示しない駆動機構を作動させて、係合用突起３８を被係合片２５Ａの被係合孔２５ｈから抜き取ることにより、昇降アーム３７と吸着板２５との係合が外れる。
【００３４】
そして、次にシリコン屑５を除去、分離する吸着板２５に対して、上記と同様の操作を行えばよい。このようにして、液槽２１内の全ての吸着板２５からシリコン屑５を回収することが可能となる。このような一連の操作を、分離装置１０の所定稼働時間毎に自動的に行えるように制御することも可能である。
【００３５】
このようにして、回収容器４１に回収されたシリコン屑５は、例えば、乾燥処理が施され、再利用を図ることが可能となる。本実施の形態では、複数のシリコン通過規制手段２６と吸着板２５との対で、シリコン屑５を含む廃液４を効率よく、再利用し易い状態でシリコン屑５と水４Ａとに分離することができる。
【００３６】
（実施の形態１の変形例）
図８〜図１０は、この発明の実施の形態１の変形例に係る分離装置１０Ａを示している。この変形例は、上記実施の形態１の分離装置１０における一対のスクレーパーブレード４３を、一対の円柱状ブラシ４６に置き換えたものであり、他の構成は実施の形態１の分離装置１０と略同様である。
【００３７】
図９および図１０に示すように、円柱状ブラシ４６は、回転軸４６Ａの周囲に起毛してなり、回転して吸着板２５に接触することにより、吸着板２５に付着したシリコン屑５を掻き落とすようになっている。なお、この変形例では、円柱状ブラシ４６の回転軸４６Ａ同士は、図示しない駆動機構により、図９に示すように互いに離間した位置と、図１０に示すように互いに近接した位置とに変位可能に設けられている。
【００３８】
この変形例では、一対の円柱状ブラシ４６の回転軸４６Ａは、図１０に示すように、上昇動作を行う吸着板２５に対しては、互いに反対方向に回転し、かつ吸着板２５と接触するブラシ外周面が吸着板２５の移動方向である上昇方向と逆の方向に回転するように設定されている。
【００３９】
なお、この変形例では、円柱状ブラシ４６の回転軸４６Ａを互いに離間、近接できるように移動可能に構成したが、円柱状ブラシ４６の毛足を長くして回転軸４６Ａの位置を固定する構成としてもよい。
【００４０】
(実施の形態２)
図１１〜図１３は、この発明の実施の形態２に係る分離装置１０Ｂを示している。この分離装置１０Ｂは、シリコン分離機構６０と、吸着板移動手段としての回転駆動部７０と、分離部７２と、シリコン分離機構６０の側方に配置される回収容器７１と、を備える。本実施の形態では、回収機構が、回転駆動部７０と分離部７２とで構成されている。なお、本実施の形態におけるシリコン通過規制手段６２の構成は、上記実施の形態１のシリコン通過規制手段２６と同様であるため、その説明は省略する。
【００４１】
シリコン分離機構６０は、液槽５１と、円板状の複数の吸着板６１と、吸着板６１と交互に配置されるシリコン通過規制手段６２と、を備える。図１１に示すように、これら吸着板６１とシリコン通過規制手段６２との間に電界を形成する電圧印加回路８１の電気的な接続関係は、上記実施の形態１に係る分離装置１０と同様であり、吸着板６１がプラス側に、シリコン通過規制手段６２がマイナス側に接続されている。
【００４２】
図１１および図１２に示すように、複数の吸着板６１は、所定間隔を隔てて平行に配置され、一体的に回転軸６３で中心部が貫通された状態で固定されている。この回転軸６３は、液槽５１の上縁部の互いに対向する２箇所に設けた一対の軸受け部５２に形成されたＵ字形状の軸受け孔５２Ａに軸支されている。なお、本実施の形態では、軸受け孔５２Ａの上部の開放部を塞ぐように図示しない抜け止め部材を架設して、回転軸６３が軸受け部５２から脱離しなようになっている。
【００４３】
この吸着板６１の構成材料としては、上記実施の形態１と同様に、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）などを挙げることができるが、本実施の形態ではステンレス（ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３０４など）を適用している。また、回転軸６３の構成材料は、複数の吸着板６１を支える強度を有するとともに、電気的に吸着板６１に導通する金属材料で形成されている。
【００４４】
吸着板６１は、液槽５１に供給される廃液４に略下半分程度が浸るように、その径寸法が設定されている。図１１に示すように、吸着板６１は、回転軸６３に吸着板移動手段としての回転駆動部７０が連結されている。本実施の形態では、回転駆動部７０で回転駆動を行うことにより、吸着板６１を回転移動させて吸着板６１における廃液４に浸かっていた部分を廃液４に触れない位置へ移動させるようになっている。
【００４５】
図１１および図１２に示すように、回転軸６３の一方の端部６３Ａの近傍には、液槽５１の外側に配置される被伝達ギア６４が同軸的に固設されている。また、液槽５１の外側における被伝達ギア６４の近傍には、回転軸６３と平行をなすように、回転伝達軸６５が回転自在に軸支されている。この回転伝達軸６５には、被伝達ギア６４に噛み合う伝達ギア６６が同軸的に固設されている。また、回転伝達軸６５は、モータ６７に連結されている。上記した被伝達ギア６４、回転伝達軸６５、伝達ギア６６およびモータ６７は、回転駆動部７０を構成している。
【００４６】
また、回転軸６３の一方の端部６３Ａには、回転軸６３の軸方向に沿って移動可能で、しかも端部６３Ａの端面に圧接する方向Ｅに向けてコイルバネ６９で付勢された、円柱形状の非回転接触部材６８が接触している。図１１に示すように、この非回転接触部材６８は、電圧印加回路８１のプラス極側へ接続され、回転軸６３を介して吸着板６１をプラスに帯電させるようになっている。
【００４７】
分離部７２は、吸着板６１の両面側に接触する、一対のスクレーパー７２Ａを一体的に備えている。この一対のスクレーパー７２Ａは、回収容器４１側から吸着板６１を跨ぐように挟む形状であり、分離部７２全体としては樋状に形成されている。また、分離部７２は、液槽５１側から回収容器７１側へ向けて低くなるように勾配が設定されている。このため、吸着板６１の回転に伴ってスクレーパー７２Ａで掻き取ったシリコン屑５を回収容器４１に搬送するようになっている。なお、図１３に示すように、吸着板２５の回転方向Ｃは、スクレーパー７２Ａで掻き取ったシリコン屑５がスクレーパー７２Ａ上に載るような回転方向、すなわち、分離部７２に近い吸着板６１の周縁部が、スクレーパー７２Ａに対して上から下へ向かうように回転駆動される。図１１に示すように、吸着板６１を回転方向Ｃに回転させるには、伝達軸６５および伝達ギア６６を矢印Ｄで示す回転方向となるようにモータ６７を回転させればよい。
【００４８】
次に、分離装置１０Ｂの作用および動作について説明する。本実施の形態の分離装置１０Ｂにおいても、上記実施の形態１と同様の作用で吸着板６１にシリコン屑５が吸着される。回転駆動部７０を駆動して吸着板６１を回転させると、分離部７２のスクレーパー７２Ａが吸着板６１の両方の表面に付着したシリコン屑５を掻き取る。分離部７２の上に掻き落とされたシリコン屑５は、分離部７２の傾斜に応じて回収容器７１へ落下して回収される。
【００４９】
以上、実施の形態２について説明したが、この実施の形態によれば、吸着板６１を液槽５１から取り出さずに、吸着板６１の吸着動作を停止させることなく、シリコン屑５の回収が行えるという効果がある。なお、本実施の形態におけるその他の効果は、上記実施の形態１に係る分離装置１０の効果と同様である。
【００５０】
以上、複数の吸着板を備える各実施の形態について説明したが、単数の吸着板を備える分離機構を有する場合にも、この発明が適用できることは云うまでもない。また、吸着板やシリコン通過規制手段の形状構造も上記各実施の形態に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上のように、本発明にかかる分離装置は、シリコンの切断、分離などで発生した廃液の再利用化に有用であり、特に、半導体加工分野に適している。
【符号の説明】
【００５２】
１０，１０Ａ，１０Ｂ  分離装置
２１，５１  液槽
２０  分離装置本体
２２，６０  シリコン分離機構
２５，６１  吸着板
２６，６２  シリコン通過規制手段
２６Ｃ  搬出部
２６Ｂ  シリコン通過規制板
４  廃液
４Ａ  水
４０，７２  分離部
４１，７１  回収容器
５  シリコン屑
７０  回転駆動部（吸着板移動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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