(57)【要約】【課題】リチウムイオン伝導性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できる固体電解質およびそれを用いた非水電解質電池を提供することにある。【解決手段】固体電解質は、成分が、xLi・yP・zS・wO（x＋y＋z＋w＝1）であり、x、y、z及びwは0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13を満足する。また、CuのKα線を用いた薄膜法Ｘ線回折像において、2θが10°以上50°以下の範囲で16.3±1°、29.6±1°、33.0±1°の位置にのみ実質的にピークを有し、それぞれのピークの半価幅が10°以下である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
成分が、xLi・yP・zS・wO（x＋y＋z＋w＝1）であり、
CuのKα線を用いた薄膜法Ｘ線回折像において、2θが10°以上50°以下の範囲で16.3±1°、29.6±1°、33.0±1°の位置にのみ実質的にピークを有し、それぞれのピークの半価幅が10°以下であることを特徴とする固体電解質。
但し、x、y、z及びwは以下の式を満足する。
0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13
【請求項２】
正極層と負極層、及びこれら両層の間に介在される固体電解質層を備える非水電解質電池であって、
前記固体電解質層が、請求項１に記載の固体電解質を含有することを特徴とする非水電解質電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解質および非水電解質電池に関する。特に、全固体型非水電解質電池の固体電解質層に好適な固体電解質に関する。
【背景技術】
【０００２】
非水電解質電池は、長寿命・高効率・高容量であり、携帯電話、ノートパソコン、デジタルカメラなどの携帯機器の電源に使用されている。非水電解質電池の代表例としては、リチウム電池やリチウムイオン二次電池（以下、単に「リチウム系電池」と呼ぶ）が挙げられる。
【０００３】
リチウム系電池は、正極層と負極層の間で電解質層を介してリチウムイオンが移動することによって、充電や放電を行う電池である。また近年では、有機電解液に代えて不燃性の無機固体電解質を用いた全固体型電池が提案されている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【０００４】
特許文献１には、気相成長法により、基材上に、固体電解質層を形成する成膜方法が開示されており、実験例として、Li2S‐P2S5からなり、250℃で堆積された固体電解質層が記載されている（特許文献１の［0036］参照）。そして、このLi‐P‐Sの固体電解質層がリフロー温度に近い温度で堆積されていることで、固体電解質層の結晶化が進み、リフロー工程で生じる熱応力が小さくなるため、固体電解質層にクラックが発生することを抑制できることが記載されている（特許文献１の［0008］、［0009］参照）。
【０００５】
特許文献２には、成分がxLi、yP、zS、wO（0.2≦x≦0.45、0.1≦x≦0.2、0.35≦x≦0.6、0.03≦x≦0.13）であり、Ｘ線回折像の主なピークが2θで約11°及び約30°に位置し、それぞれの半価幅が10°以下である固体電解質膜が記載されている。この特許文献２に記載の固体電解質膜は、結晶質と非晶質の中間の弱い結晶構造である（特許文献２の［0012］、［0015］参照）。また、実施例として、Li2S、P2S5、P2O5の混合原料からなるターゲットを用い、このターゲットをレーザアブレーション法により基材上に成膜し、成膜後に所定の加熱を行ったLi‐P‐S‐Oの固体電解質膜が記載されている（特許文献２の［0025］、［0033］、［0037］参照）。
【０００６】
特許文献３には、基材上に無機固体電解質からなる薄膜を形成する無機固体電解質薄膜の形成方法が開示されており、基材を加熱しながら気相成長法により薄膜を形成する、或いは、薄膜形成後に加熱処理することが記載されている。また、実施例として、各種条件で形成した無機固体電解質薄膜が示されており、いずれもSiを含有し、非晶質であることが記載されている（特許文献３の［0030］、表１〜５参照）。
【０００７】
特許文献４には、基材上に無機固体電解質薄膜を形成する無機固体電解質の形成方法が開示されており、基材を所定の温度に加熱しながら、Li、PおよびSで実質的に構成されSiを含有しない無機固体電解質薄膜を形成することが記載されている。また、特許文献４の段落［0015］には、「電解質層は非晶質体であることが好ましい」ことが記載されている。そして、この特許文献４には、実施例として、例えば、78Li2S‐21.5P2S5‐0.5Li3PO4（数値はモル比）を固体電解質薄膜の原料とし、このターゲットを用いて形成した無機固体電解質薄膜が示されており、この薄膜が非晶質であることが記載されている（特許文献４の［0051］参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９‐２７７５６５号公報
【特許文献２】特開２００７‐１２３２４号公報
【特許文献３】特開２００２‐１８４４５５号公報
【特許文献４】特開２００５‐３２７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
非水電解質電池に用いる固体電解質では、リチウムイオン伝導性が高いことが基本的に要求される。さらに、電池をリフローにより実装する関係上、リフロー温度（例えば200℃以上）の高温に曝された際に、クラックが発生したり、基材（正極層や負極層）との密着性が低下したりすることを抑制できることが望まれる。クラックの発生、密着性の低下といった不具合は主に、非晶質から結晶質への相変化による固体電解質の体積変化（熱収縮）により発生する熱応力に起因するものと考えられる。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、リチウムイオン伝導性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できる固体電解質を提供することにある。また、本発明の別の目的は、上記した固体電解質を含有する固体電解質層を備える非水電解質電池を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らが鋭意研究した結果、高温に加熱しながら気相法により成膜した特定成分の固体電解質が、リチウムイオン伝導性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できることを見出した。
【００１２】
（１）本発明の固体電解質は、成分がxLi・yP・zS・wO（x＋y＋z＋w＝1）であり、x、y、z及びwは0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13を満足する。また、CuのKα線を用いた薄膜法Ｘ線回折像において、2θが10°以上50°以下の範囲で16.3±1°、29.6±1°、33.0±1°の位置にのみ実質的にピークを有し、それぞれのピークの半価幅が10°以下であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の固体電解質は、Ｘ線回折像のピークが上記範囲内において特定の位置に出現し、ピークの半価幅が10°以下であることから、半価幅が10°を超えるような非晶質の状態ではなく、熱力学的に非平衡状態で準安定結晶相の結晶構造を有すると考えられる。このような熱力学的非平衡な準安定結晶相の結晶構造を有する固体電解質は、硫黄と酸素とを混在させることができ、結果として、高リチウムイオン伝導性を示し、また、正極材料又は負極材料による酸化還元反応を抑制することができる。さらに、電池のリフロー工程および使用時において、高温に曝されても結晶構造が安定しており、相変化による体積変化（熱収縮）が生じ難い。したがって、リチウムイオン伝導性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できる。
【００１４】
本発明の固体電解質は、リチウム（Li）、リン（P）、硫黄（S）および酸素（O）から構成され、主としてこれら元素からなる熱力学的非平衡な準安定結晶相であることから、xLi・yP・zS・wOと表現した。この固体電解質中には、硫化物、酸化物、硫酸化物および炭酸塩といった熱力学的平衡な安定結晶相の化合物（結晶質化合物）が、固体電解質の特性に影響を与えない程度に微量含有してもよい。
【００１５】
また、x、y、z及びwがそれぞれ原子比で、0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13を満足する（但し、x＋y＋z＋w＝1）ことで、リチウムイオン伝導性が高く、かつ、高温でも結晶構造の安定性に優れる固体電解質が得られる。特に、本発明の固体電解質は酸素を含有し、その含有量は原子百分率で3％以上13％以下である。酸素含有量が3原子％未満の場合は、耐酸化還元性が低下する傾向にある。一方、酸素含有量が13原子％超の場合は、高リチウムイオン伝導性を示す結晶構造が安定せず、固体電解質中に低リチウムイオン伝導性の結晶質化合物が析出し易くなることから、リチウムイオン伝導性の低下が懸念される。さらに、LiとPとの比率（x/y）が2以上9以下であることが好ましい。
【００１６】
本発明の固体電解質は、Ｘ線回折像において、回折角（2θ）が10°以上50°以下の範囲で16.3°、29.6°、33.0°の付近にのみ実質的にピークを有し、ピークの許容範囲が±1.0°である。ピークの許容範囲は、好ましくは±0.5°、より好ましくは±0.25°である。また、本発明の固体電解質は、Ｘ線回折像におけるピークの半価幅が10°以下である。半価幅は、結晶性を示すパラメータであり、その値が小さいほど高い結晶性を示す。本発明の固体電解質は高い結晶性を示すことが好ましいとの観点から、ピークの半価幅は、好ましくは5°以下、より好ましくは、0.5°以下である。
【００１７】
本発明の固体電解質は、例えば次のようにして製造することができる。
成分がxLi・yP・zS・wO（x＋y＋z＋w＝1、0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13）で表わされる固体電解質を気相法により成膜する成膜工程を備え、成膜中、固体電解質を170℃以上200℃以下に加熱保持する。
【００１８】
固体電解質を基材に成膜する場合は、基材を上記温度範囲に加熱保持しながら成膜することでも可能である。固体電解質を成膜する際の加熱温度は、170℃以上200℃以下とする。このような高温に加熱しながら気相法により成膜することで、上記特定の結晶構造を有する固体電解質を得ることができる。加熱温度が170℃未満では、結晶構造が非晶質になり易く、成膜後、固体電解質が高温に曝されたときに、クラックの発生や、基材との密着性の低下を招く虞がある。一方、加熱温度が200℃超では、固体電解質中に熱力学的平衡な結晶質化合物が析出し易くなり、リチウムイオン伝導性の低下を招く虞がある。
【００１９】
気相法としては、例えば、真空蒸着法、パルスレーザデポジション法、レーザアブレーション法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの物理的蒸着（PVD）法が挙げられる。成膜中の雰囲気ガスには、ヘリウム（He）、ネオン（Ne）、アルゴン（Ar）といった不活性ガスが好適に利用できる。上記した不活性ガスと酸素（O2）との混合ガスを利用してもよい。また、成膜中の圧力は、例えば、10Pa以上1000Pa以下とすることが挙げられる。
【００２０】
固体電解質の成膜原料には、例えば、Li2S、P2S5等の硫化物、Li2O、P2O5、Li3PO4等の酸化物を組み合わせて用いることできる。原料は、成膜される固体電解質の成分がxLi・yP・zS・wO（x＋y＋z＋w＝1、0.2≦x≦0.45、0.1≦y≦0.2、0.35≦z≦0.6、0.03≦w≦0.13）を満たすように調整する。また、固体電解質成分中の酸素については、成膜中の雰囲気ガスに上記した混合ガスを利用し、この混合ガス（雰囲気ガス）中の酸素量を制御することで調整してもよい。
【００２１】
（２）本発明の非水電解質電池は、正極層と負極層、及びこれら両層の間に介在される固体電解質層を備え、固体電解質層が、上記した本発明の固体電解質を含有することを特徴とする。
【００２２】
本発明の非水電解質電池は、固体電解質層に上記した本発明の固体電解質を採用したことで、電池実装時において固体電解質層にクラックが発生したり、固体電解質層と各電極層との密着性が低下したりすることを抑制できるので、充放電サイクル特性に優れる。また、固体電解質層のリチウムイオン伝導性が高いので、内部抵抗が低い。
【００２３】
正極層を構成する正極材料は、正極活物質を含む。正極活物質としては、例えば、コバルト酸リチウム（LiCoO2）、ニッケル酸リチウム（LiNiO2）、マンガン酸リチウム（LiMn2O4）及びオリビン型鉄リン酸リチウム（LiFePO4）から選択される一種のリチウム金属酸化物や、酸化マンガン（MnO2）などが挙げられる。その他、硫黄（S）や、硫化鉄（FeS）、二硫化鉄（FeS2）、硫化リチウム（Li2S）及び硫化チタニウム（TiS2）から選択される一種の硫化物が挙げられる。中でも、リチウム金属酸化物は、電子伝導性に優れており、好適である。
【００２４】
負極層を構成する負極材料は、負極活物質を含む。負極活物質としては、リチウム合金（Liと添加元素からなる合金）の他、例えば、グラファイトなどの炭素（C）、シリコン（Si）、インジウム（In）などが挙げられ、電池実装時のリフロー温度において溶融しないものが好ましい。リチウム合金は、合金化によってリチウム金属に比較して融点が上昇することから、リチウム金属より融点が高く耐熱性に優れる。リチウム合金の添加元素としては、例えば、アルミニウム（Al）、シリコン（Si）、錫（Sn）、ビスマス（Bi）、亜鉛（Zn）及びインジウム（In）などが挙げられる。ここで、Siを1質量％添加したLi‐Si合金（Li‐1質量％Si合金）の融点は280℃である。
【００２５】
さらに、正極層と固体電解質層との間に、これら両層の界面抵抗を低減する界面層を設けてもよい。例えば正極活物質に酸化物（例、LiCoO2）、固体電解質に硫化物を用いた場合、酸化物と硫化物とが反応し、正極層と固体電解質層との界面の界面抵抗が増大することがある。そこで、正極層と固体電解質層との界面近傍における両層間の相互拡散を抑制して反応を抑制する界面層を設けることで、界面抵抗を低減することができる。界面層の形成材料としては、例えば、LiNbO3、LiTaO3、Li4Ti5O12、LiXLa(2-X)/3TiO3（X=0.1〜0.5）、Li7+XLa3Zr2O12+(X/2)（-5≦X≦3）、Li3.6Si0.6P0.4O4、Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3、Li1.8Cr0.8Ti1.2(PO4)3、Li1.4In0.4Ti1.6(PO4)3などが挙げられ、これらを単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２６】
正極層、負極層および界面層は、固体電解質層と同様に気相法により形成することができる。また、正極層又は負極層は、正極活物質の粉末又は負極活物質の粉末と固体電解質の粉末とを混合した混合粉末をプレスした成形体とすることもできる。上記した混合粉末には、必要に応じて、導電助剤を添加してもよい。導電助剤としては、例えば、アセチレンブラック（AB）やケッチェンブラック（KB）といったカーボンブラックなどが挙げられる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の固体電解質は、特定の成分と特定の結晶構造を有することで、リチウムイオン伝導性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できる。また、本発明の非水電解質電池は、上記した本発明の固体電解質を含有する固体電解質層を備えることで、内部抵抗が小さく、充放電サイクル特性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施例１に係る固体電解質の薄膜法Ｘ線回折像である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（実施例１）
＜固体電解質＞
リチウム（Li）‐リン（P）‐硫黄（S）‐酸素（O）からなる固体電解質をパルスレーザデポジション法により基材上に成膜した。固体電解質は、以下のようにして成膜した。
【００３０】
ステンレス（SUS316L）製の基材を用意し、この基材を成膜装置内の基材ホルダーに固定した。また、固体電解質の成膜原料には、硫化リチウム（Li2S）、五硫化二リン（P2S5）およびリン酸リチウム（Li3PO4）の３種類の粉末を用意し、これら粉末を質量比でLi2S：P2S5：Li3PO4＝16：23：3（モル比でLi2S：P2S5：Li3PO4＝73：22：5）の割合で混合し、この混合粉末をプレスした成形体を用いた。この成形体（成膜原料）を成膜装置内のターゲットホルダーに固定した。
【００３１】
次に、成膜装置内の真空度を133Pa〜266Pa（1Torr〜2Torr）に調整し、パルスレーザデポジション法によりSUS基材上に固体電解質を成膜した。ここでは、基材を170℃に加熱保持しながら成膜することで、固体電解質を成膜する際の加熱温度を170℃に設定した。また、成膜装置内の雰囲気ガスには、ArとO2とを体積比で1：1の割合で混合した混合ガスを使用し、この混合ガスを20sccmの流量で成膜装置内に導入した。その他、パルスレーザには、KrFエキシマレーザ（波長：248nm、周波数：10Hz、出力：800mJ）を使用した。そして、2時間の成膜を行い、厚さ10μmの固体電解質の薄膜を得た。このときの成膜速度は5μm/h＝1.4nm/sであった。
【００３２】
成膜された固体電解質の成分をXPS分析装置（ULVAC-PHI社製ESCA5400MC）を用いて分析したところ、Li、P、SおよびOが検出され、各元素の原子比がLi：P：S：O＝0.4：0.1：0.45：0.05であった。また、成膜された固体電解質の薄膜Ｘ線回折測定（Ｘ線源：Cu‐Kα線）を行ったところ、図１に示す薄膜法Ｘ線回折像が得られた。このCuのKα線を用いた薄膜法Ｘ線回折像において、回折角（2θ）が10°以上50°以下の範囲で、2θ＝16.3±1°、29.6±1°、33.0±1°の各位置にピークが観測され、それぞれのピークの半価幅が10°以下、より具体的には1.5°以下であった。
【００３３】
なお、この薄膜法Ｘ線回折像において、2θ＝21°、27°、31.2°、44.8°の各付近にもピークが見られるが、これらのピークのうち、2θ＝21°のピークはLi2CO3に起因するものであり、2θ＝27°、31.2°、44.8°の各ピークはLi2Sに起因するものである。これらのうち、Li2CO3は、固体電解質に含まれるLi成分が、薄膜Ｘ線回折測定の環境（乾燥大気雰囲気）中に含まれる二酸化炭素（CO2）と反応し、炭酸塩化して固体電解質薄膜の表面に生成されたものと推測される。一方、Li2Sは、成膜中に溶融した成膜原料の一部が飛散し、飛散した原料がそのまま基材（固体電解質）に付着したものと推測される。また、2θ＝43°の付近にもピークが見られるが、このピークは基材（SUS316L）に起因するものである。つまり、成膜された固体電解質は、薄膜法Ｘ線回折像において、回折角（2θ）が10°以上50°以下の範囲で、2θ＝16.3±1°、29.6±1°、33.0±1°の位置にのみ実質的にピークを有しており、測定環境により不可避的に生成された反応生成物（例、Li2CO3といった炭酸塩）、成膜原料のドロップレットや基材に起因するピークは含まない。
【００３４】
このような薄膜Ｘ線回折パターンを有するLi、P、S及びOからなる固体電解質は現時点では知られておらず、熱力学的非平衡な準安定結晶相の結晶構造を有する全く新しい固体電解質である。
【００３５】
＜非水電解質電池＞
上記した固体電解質を用いた非水電解質電池（リチウム系電池）を作製し、その電池性能を評価した。非水電解質電池は、以下のようにして作製した。
【００３６】
ステンレス（SUS316L）製の基材（直径：16mm）の上に、RFスパッタリング法を用いてLiCoO2を成膜することで、厚さ10μmの正極層を形成した。ここでは、LiCoO2の粉末をプレス成形して焼結した焼結体をターゲットに用い、成膜装置内の真空度を0.7Pa以下に調整した。また、成膜装置内の雰囲気ガスには、ArとO2とを体積比で1：1の割合で混合した混合ガスを使用し、この混合ガスを20sccmの流量で成膜装置内に導入した。その他、RF出力は2000Wとし、成膜時間は14時間とした。また、成膜したLiCoO2を結晶化させるために、成膜後に500℃でアニールを行った。なお、SUS基材は、正極集電体として機能する。
【００３７】
次いで、正極層の上に、RFスパッタリング法を用いてLiNbO3を成膜することで、厚さ10nmの界面層を形成した。ここでは、LiNbO3の粉末をプレス成形して焼結した焼結体をターゲットに用い、成膜装置内の真空度を0.6Pa以下に調整した。また、成膜装置内の雰囲気ガスには、ArとO2とを体積比で1：1の割合で混合した混合ガスを使用し、この混合ガスを16sccmの流量で成膜装置内に導入した。その他、RF出力は100Wとし、成膜時間は7分間とした。
【００３８】
次いで、界面層の上に、パルスレーザデポジション法を用いてLi2S‐P2S5‐Li3PO4系固体電解質を成膜することで、厚さ10μmの固体電解質層を形成した。なお、成膜原料および成膜条件は、上記した固体電解質の場合と同様とした。
【００３９】
最後に、固体電解質層の上に、スパッタリング法を用いてSiを成膜することで、Si薄膜を形成した後、さらにSi薄膜の上に、真空蒸着法を用いてLiを成膜することで、Li薄膜を形成した。Si薄膜とLi薄膜は、それぞれSiとLiの単体金属を成膜原料に用い、厚さをSi薄膜：0.02μm、Li薄膜：1μmとした。その後、150℃に5時間保持して両者を拡散させることにより、Li薄膜とSi薄膜とを合金化させ、Li‐1質量％Si合金の負極層を形成した。この負極層の厚さは、1μmであった。
【００４０】
以上のようにして作製した非水電解質電池をコイン型ケースに収納し、これを試料No.1-1とした。この試料No.1-1の電池を2個用意した。
【００４１】
試料No.1-1の電池をそれぞれ加熱炉に入れ、260℃まで昇温し1分間保持した後、室温（25℃）まで冷却した。その後、電池をそれぞれ150℃と170℃に設定した恒温槽に入れ、その状態で充電・放電を1サイクルとする充放電サイクル試験を実施した。充電は、充電容量が0.3mAhに達するまで0.2Cの定電流充電（5時間）とし、放電は、0.2C、3.0Vカットオフの定電流放電とした。
【００４２】
試料No.1-1の電池について、150℃と170℃の各温度で100サイクルの充放電サイクル試験を実施し、充放電特性を測定した。その結果、1サイクル目の放電容量に対する100サイクル目の放電容量の比率％（容量維持率）がそれぞれ100％であった。また、電流効率が100％であった。
【００４３】
通常、固体電解質層にクラックが存在する場合、充放電の繰り返しに伴い、負極層の表面に析出した金属リチウムがクラックを通ってデンドライト状に成長し、正極層に達して内部短絡を起こすと考えられる。試料No.1-1の電池では、100サイクル後も正常に動作し、100サイクル目の容量維持率が100％であることから、リフロー温度と同程度の高温に曝されたとしても、固体電解質層にクラックの発生や、固体電解質層と各電極層との密着性の低下が認められないものと考えられる。したがって、この固体電解質層を構成する固体電解質は、耐熱性が高く、電池実装時のリフロークラックの発生を抑制できる。
【００４４】
試料No.1-1と同じ電池を別途作製し、この電池を加熱炉に入れ、260℃まで昇温し1分間保持した後、室温（25℃）まで冷却した。その後、交流インピーダンス法を用いて固体電解質層の抵抗成分を測定した。固体電解質層の抵抗成分は、14Ωcm2であった。この固体電解質層は、厚さが10μmであるので、イオン伝導度（S/cm）に換算すると、7.1×10-5S/cmである。したがって、この固体電解質層を構成する固体電解質は、非水電解質電池に用いた場合、十分なリチウムイオン伝導性を有する。
【００４５】
比較として、固体電解質を成膜する際に、基材を加熱せずに成膜した（加熱温度：室温（25℃））以外は、試料No.1-1と同様にして試料No.1-2の電池を作製した。
【００４６】
試料No.1-2の電池を加熱炉に入れ、170℃まで昇温し1分間保持した後、室温（25℃）まで冷却した。その後、室温で充放電サイクル試験を実施した。充電および放電は、試料No.1-1の電池の場合と同様とした。
【００４７】
その結果、試料No.1-2の電池では、10サイクルに達するまでに動作が不安定となり、内部短絡が生じた。これは、170℃の高温に曝されたことにより、固体電解質層にクラックが発生し、このクラックに集中的に金属リチウムのデンドライトが成長したことで、内部短絡が生じたものと考えられる。
【００４８】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、固体電解質の成分、成膜原料や、固体電解質を成膜する際の加熱温度などを適宜変更してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の固体電解質は、非水電解質電池（リチウム系電池）に好適に利用することができる。また、本発明の非水電解質電池は、例えば、携帯電話、ノートパソコン、デジタルカメラの他、電気自動車などの電源にも使用することが可能である。
【図１】
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