(57)【要約】【課題】従来技術では、例えば基板の中央に部品を搭載する場合、片方のビームが部品を搭載している間は、もう片方のビームは待機せざるを得ず、生産性が落ちてしまうことには配慮が成されていなかった。【解決手段】本発明の特徴は、基板を載せる基板搭載部と、前記基板の搬送方向に対して垂直方向に配置された第１のビームと、前記第１のビームより後ろに配置された第２のビームと、前記第１のビームに配置された第１の駆動部と、前記第２のビームに配置された第２の駆動部と、前記第１の駆動部に接続された第３のビームと、前記第２の駆動部に接続された第４のビームと、前記第３のビームに配置された第３の駆動部と、前記第４のビームに配置された第４の駆動部と、前記第３の駆動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第１の部品搭載部と、前記第４の駆動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第２の部品搭載部と、を有する。【選択図】  図１
2012069541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に部品を搭載する部品搭載装置において、
基板を載せる基板搭載部と、
前記基板の搬送方向に対して垂直方向に配置された第１のビームと、
前記第１のビームより後ろに配置された第２のビームと、
前記第１のビームに配置された第１の駆動部と、
前記第２のビームに配置された第２の駆動部と、
前記第１の駆動部に接続された第３のビームと、
前記第２の駆動部に接続された第４のビームと、
前記第３のビームに配置された第３の駆動部と、
前記第４のビームに配置された第４の駆動部と、
前記第３の駆動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第１の部品搭載部と、
前記第４の駆動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第２の部品搭載部と、を有することを特徴とする部品搭載装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品搭載装置において、
前記第１の駆動部に接続された第５のビームと、
前記第５のビームに接続された前記基板へ部品を実装する第３の部品搭載部と、
前記第２の駆動部に接続された第６のビームと、
前記第６のビームに接続された前記基板へ部品を実装する第４の部品搭載部と、を有することを特徴とする部品搭載装置。
【請求項３】
請求項２に記載の部品搭載装置において、
前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、乗り入れ機構に接続されていることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項４】
請求項３に記載の部品搭載装置において、
前記乗り入れ機構は、
前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部品搭載部，前記第４の部品搭載部、の少なくとも１つを、前記基板の搬送方向に対して平行な方向に駆動することを特徴とする部品搭載装置。
【請求項５】
請求項２に記載の部品搭載装置において、
前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、
前記部品を吸着するノズルと、
前記ノズルを回転させるモータと、
前記ノズル、及び前記モータを支えるアルミニウムよりも軽い第１の材料で構成されたフレームを有することを特徴とする部品搭載装置。
【請求項６】
請求項５に記載の部品搭載装置において、
前記第１の材料はマグネシウムであることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項７】
請求項２に記載の部品搭載装置において、
前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、
前記部品を吸着するノズルと、
前記ノズルを回転させるモータと、
前記ノズル、及び前記モータを支えるアルミニウムよりも軽い第１の材料で構成されたフレームとを有し、
前記モータは回転子を有し、
前記回転子はアルミよりも軽い第２の材料で構成されることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項８】
請求項７に記載の部品実装装置において、
前記第２の材料はマグネウムであることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項９】
請求項１に記載の部品搭載装置において、
前記第１のビーム，前記第２のビームの少なくとも１つは、アルミよりも軽い第３の材料で構成されることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の部品搭載装置において、
前記第３の材料は、カーボンＦＲＰ、又はマグネシウムであることを特徴とする部品搭載装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の部品搭載装置において、
前記第１のビームの両端には、前記第１のビームを駆動させる第５の駆動部、及び第６の駆動部を有することを特徴とする部品搭載装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の部品搭載装置において、
前記第２のビームの両端には、前記第２のビームを駆動させる第７の駆動部、及び第８の駆動部を有することを特徴とする部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品搭載装置に関する。例えば、電子部品を吸着し、基板に電子部品を搭載する部品搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品搭載装置は、例えば、電子機器に使用される電子基板に様々な電子部品を搭載するための装置である。
【０００３】
従来技術としては、特許文献１が挙げられる。
【０００４】
特許文献１では、各ウエハリングの他方との間での距離関係において遠近二分した近い領域の部品を初めに取出し、この内側半分の領域の部品の取出しを終えたら、ウエハテーブルを時計周りに１８０度回転させて、当初外側半分の領域の部品を内側寄りに位置させて、部品を取出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−５６４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１では２本のビームが開示されているが、例えば基板の中央に部品を搭載する場合、片方のビームが部品を搭載している間は、もう片方のビームは待機せざるを得ず、生産性が落ちてしまうことには配慮が成されていなかった。
【０００７】
本発明の目的は、生産性の高い部品搭載装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は以下の特徴を有する。本発明は以下の特徴を、それぞれ独立して備える場合もあれば、同時に複合して備える場合もある。
（１）本発明の特徴は、複数のヘッドをそれぞれ独立して駆動することにある。
（２）本発明の特徴は、複数のヘッドそれぞれに乗り入れ機構を設けたことにある。
（３）本発明の特徴は、部品搭載装置のビームや、フレーム，モータの回転子等駆動部
品を軽量化することにある。
（４）本発明の特徴は、基板を載せる基板搭載部と、前記基板の搬送方向に対して垂直
方向に配置された第１のビームと、前記第１のビームより後ろに配置された第２
のビームと、前記第１のビームに配置された第１の駆動部と、前記第２のビーム
に配置された第２の駆動部と、前記第１の駆動部に接続された第３のビームと、
前記第２の駆動部に接続された第４のビームと、前記第３のビームに配置された
第３の駆動部と、前記第４のビームに配置された第４の駆動部と、前記第３の駆
動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第１の部品搭載部と、前記第４の駆
動部に接続された前記基板へ部品を搭載する第２の部品搭載部と、を有すること
にある。
（５）本発明の特徴は、前記第１の駆動部に接続された第５のビームと、前記第５のビ
ームに接続された前記基板へ部品を実装する第３の部品搭載部と、前記第２の駆
動部に接続された第６のビームと、前記第６のビームに接続された前記基板へ部
品を実装する第４の部品搭載部と、を有することにある。
（６）本発明の特徴は、前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部
品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、乗り入れ機構に接続され
ていることにある。
（７）本発明の特徴は、前記乗り入れ機構は、前記第１の部品搭載部，前記第２の部品
搭載部，前記第３の部品搭載部，前記第４の部品搭載部、の少なくとも１つを、
前記基板の搬送方向に対して平行な方向に駆動することにある。
（８）本発明の特徴は、前記第１の部品搭載部、前記第２の部品搭載部，前記第３の部
品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、前記部品を吸着するノズ
ルと、前記ノズルを回転させるモータと、前記ノズル、及び前記モータを支える
アルミニウムよりも軽い第１の材料で構成されたフレームを有することにある。
（９）本発明の特徴は、前記第１の材料はマグネシウムであることにある。
（１０）本発明の特徴は、前記第１の部品搭載部，前記第２の部品搭載部，前記第３の部
品搭載部，前記第４の部品搭載部の少なくとも１つは、前記部品を吸着するノズ
ルと、前記ノズルを回転させるモータと、前記ノズル、及び前記モータを支える
アルミニウムよりも軽い第１の材料で構成されたフレームとを有し、前記モータ
は回転子を有し、前記回転子はアルミよりも軽い第２の材料で構成されることに
ある。
（１１）本発明の特徴は、前記第２の材料はマグネシウムであることにある。
（１２）本発明の特徴は、前記第１のビーム，前記第２のビームの少なくとも１つは、ア
ルミよりも軽い第３の材料で構成されることにある。
（１３）本発明の特徴は、前記第３の材料は、カーボンＦＲＰ、又はマグネシウムである
ことにある。
（１４）本発明の特徴は、前記第１のビームの両端には、前記第１のビームを駆動させる
第５の駆動部、及び第６の駆動部を有することにある。
（１５）本発明の特徴は、前記第２のビームの両端には、前記第２のビームを駆動させる
第７の駆動部、及び第８の駆動部を有することにある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は以下の効果を奏する。本発明は、以下の効果を独立して奏する場合もあれば、同時に複合して奏する場合もある。
（１）生産性の高い部品実装装置を提供することができる。
（２）部品を実装することができない領域が形成された場合でも部品を実装することがで
きる。
（３）部品を実装する際の位置決め精度が向上する。
（４）振動を低減することができる。
（５）消費電力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１の部品搭載装置の上面図。
【図２】実施例１の部品搭載装置の矢視図。
【図３】実施例１の部品搭載装置のフローチャート。
【図４】部品搭載不可能領域３１０を説明する図。
【図５】乗り入れ機構３０１を説明する図。
【図６】ヘッド１１３の側面図。
【図７】モータ５０２の断面図。
【図８】実施例６の部品搭載装置の上面図。
【図９】アクチュエータと部品供給部との配置関係を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１は本実施例に係る部品搭載装置全体の上面図である。
【００１３】
基板１２３は紙面左側からガイドによって電子部品搭載位置に搬送される。
【００１４】
基板の搬送方向に直行する方向でかつ、基板の上側に第Ｙビーム１０１，１０２が配置されている。
【００１５】
第１のＹビーム１０１，第２のＹビーム１０２にはそれぞれ、Ｘビーム１０３，１０４，１０５，１０６が配置されている。
【００１６】
Ｘビーム１０３，１０４，１０５，１０６は、それぞれ、Ｙビーム１０１，１０２それぞれに配置された駆動部の一例であるリニアモータ等のアクチュエータ１０７，１０８によって基板の搬送方向に対して直行方向に移動する。
【００１７】
Ｘビーム１０３，１０４，１０５，１０６には、それぞれリニアモータ等のアクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２が配置されている。そして、アクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２にはそれぞれ、電子部品を基板１２３に搭載するヘッド１１３，１１４，１１５，１１６がそれぞれ配置されている。ここでアクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２は、リニアモータではなく、ボールネジ等の機構を用いれば安価かつ軽量な構成とすることができる。
【００１８】
そして、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６は、それぞれアクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２によってＹビーム１０１，１０２に対して直行方向（基板搬送方向に対して水平方向）に駆動される。
【００１９】
電子部品をヘッド１１３，１１４，１１５，１１６に供給する部品供給部１２１，１２２は第１のＹビーム１０１，第２のＹビーム１０２の両端に配置されている。
【００２０】
そして、搭載する電子部品が無くなった場合等は、アクチュエータ１０７，１０８によってＸビーム１０３，１０４，１０５，１０６が部品供給部１２１，１２２の手前（又は上方）に移動し、さらに、アクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２によって、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６が、任意の方向に移動し電子部品を補給する。
【００２１】
そして、部品搭載装置には、電子部品の姿勢を確認するカメラ１１７，１１８，１１９，１２０が、第１のＹビーム１０１，第２のＹビーム１０２の間に配置されており、補給された電子部品の姿勢はこのカメラ１１７，１１８，１１９，１２０によってそれぞれ確認される。
【００２２】
もし、姿勢に傾きが検出された場合は、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６が電子部品の傾きを調整する。なお、このカメラ位置であれば、基板１２３の中央付近に部品を搭載する場合、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６の移動距離が最短となるので、好適である。
【００２３】
また、上述した部分の動作の制御は制御部１２４によって行われる。
【００２４】
図２は、図１の部品搭載装置の矢視図である。ここでは、第１のＹビーム１０１周辺の部分について詳細に説明するが、第２のＹビーム１０２についても同様である。
【００２５】
第１のＹビーム１０１の下方にはアクチュエータ１０７が配置され、アクチュエータ１０７にはＸビーム１０３が荷台２０１上の基板１２３の搬送方向に対して直行方向に移動自在に接続されている。
【００２６】
Ｘビーム１０３の紙面垂直方向にはアクチュエータ１０９が配置され、このアクチュエータ１０９にヘッド１１３が基板搬送方向に対して平行方向に移動自在に接続されている。
【００２７】
図１，図２に示す通り本実施例１では、複数のヘッドが、基板搬送方向に対して直行方向、及び平行方向にそれぞれ独立に移動可能となる。これによって、従来技術の片方のビームが部品を搭載している間は、もう片方のビームは待機せざるを得ず、生産性が落ちてしまうという点を解決することができ、従来よりも高速な部品搭載装置を構成することができる。
【００２８】
なお、図１では、Ｘビームが４つの場合を説明したが、Ｘビームは４つでなくても良い。また、Ｙビームが配置される方向は、基板の搬送方向に平行な方向であっても良い。
【００２９】
また、Ｘビーム１０３，１０４，１０５，１０６はそれぞれ取り外し可能にしても良い。その場合は、異なる種類のヘッドを接続することもでき、より多彩な部品の搭載を実現することもできる。
【００３０】
図４は、部品搭載装置の部品を搭載するフローチャートである。
【００３１】
まず、基板を電子部品搭載位置へ搬送する（４０１）。
【００３２】
次に、基板の位置決めを行う（４０２）。
【００３３】
Ｘビーム１０３，１０４，１０５，１０６がそれぞれ独立して部品供給装置１２１，１２２へ移動し、搭載すべき電子部品を補給する（４０３）。
【００３４】
ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６は、部品供給装置１２１，１２２から部品を吸着し、Ｙビームに搭載したアクチュエータ１０７，１０８によって、基板１２３へ移動する。
【００３５】
その移動途中で、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６はカメラ１１７，１１８，１１９，１２０を通過する。
【００３６】
カメラ１１７，１１８，１１９，１２０はそれぞれ、ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６がカメラ１１７，１１８，１１９，１２０を通過する際に部品保持姿勢（位置，角度等）を検知する（４０４）。
【００３７】
姿勢が傾いている場合は姿勢が補正される（４０５）。
【００３８】
ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６は基板１２３に移動後、部品の装着を始める。
【００３９】
ヘッド１１３，１１４，１１５，１１６はＸビーム１０３，１０４，１０５，１０６に搭載されたアクチュエータ１０９，１１０，１１１，１１２によって、搬送方向と並行に移動しながら装着する（４０６）。
【００４０】
部品の装着が終了すると、部品供給装置１２１，１２２へ移動する。
【実施例２】
【００４１】
次に図４，図５を用いて実施例２について説明する。
【００４２】
例えば、図４に示す場合では、２つのＸビームに挟まれた領域にアクチュエータ１０９がヘッド１１３を駆動できる範囲を超えた領域、つまり電子部品を搭載することができない領域３１０（以下、部品搭載不可能領域３１０）が形成される場合もある。
【００４３】
そこで、部品搭載不可能領域３１０が形成された場合にも電子部品を搭載することが可能な実施例２を図４，図５を用いて説明する。
【００４４】
本実施例２では、Ｘビーム１０３のヘッド１１３が部品搭載不可能領域３１０上に移動できる乗り入れ機構３０１を設ける。以下は、乗り入れ機構３０１について説明する。
【００４５】
図５に乗り入れ機構３０１の概略図を示す。乗り入れ機構３０１は例えば、アクチュエータ１０９がヘッド１１３を駆動することができる距離をさらに延長するものであり、前記基板の搬送方向に対して平行な方向に、ヘッド１１３を駆動するものである。
【００４６】
乗り入れ機構３０１は、具体的には、Ｘビーム１０３のアクチュエータ１０９に配置されたパルス電圧等で駆動するスライド機構であり、本実施例２では、ヘッド１１３はこの乗り入れ機構３０１を介して、駆動されることとなる。
【００４７】
制御部１２４は、例えば、基板の位置決めデータ，設計データ（例えばＣＡＤデータ等），Ｘビームの移動距離等に基づいて、以下の点を判断する。
（１）部品搭載不可能領域３１０が形成されているか否か。
（２）部品搭載不可能領域３１０に部品を搭載すべき領域があるか否か。
【００４８】
制御部１２４が、部品搭載不可能領域３１０が形成されており、かつ部品搭載不可能領域３１０に部品を搭載すべき領域が存在すると判断した場合は、本実施例２の部品搭載装置は、以下の動作を行う。
（１）アクチュエータ１０９がヘッド１１３を駆動することができる距離までは、ヘッド
１１３はアクチュエータ１０９によって駆動される。
（２）部品搭載不可能領域３１０については、乗り入れ機構３０１に部品を搭載すべき領
域までの距離に相等するパルス電圧を印加することで、ヘッド１１３を移動させる
。
【００４９】
本実施例２では、部品搭載不可能領域３１０が形成された場合にも電子部品を搭載することが可能となる。
【００５０】
なお、本実施例２の乗り入れ機構は、スライド機構には限定されないし、その用途は、部品搭載不可能領域３１０に部品を搭載するための用途には限定されない。Ｘビーム１０３が粗動を行い、乗り入れ機構３０１が微動を行うような制御を行っても良い。
【実施例３】
【００５１】
次に図６を用いて、実施例３について説明する。
【００５２】
例えば図１の場合では、従来に比べて基板上方の部品点数が多くなる場合もある。
【００５３】
そのため、部品搭載装置の上部の重量が増える場合もある。部品搭載装置上部の重量が増加すると、振動が発生しやすくなる。
【００５４】
本実施例３では、この振動を考慮した実施例を説明する。
【００５５】
すなわち、本実施例３ではこの部品搭載装置上部の軽量化について説明する。軽量化を行うことで振動の発生を抑制することができる。
【００５６】
本実施例では、ヘッド１１３の軽量化について説明する。
【００５７】
図６はヘッド１１３の側面図である。ヘッド１１３は、排気用センターシャフト５０７，部品を真空吸着するノズル５０６，ノズルを上下させるモータ５０５，ノズル５０６を回転させるモータ５０２、さらにそれらを支えるフレーム５０１、図示はしていないがノズル１１３を選択するモータ等によって構成させる。
【００５８】
従来、フレーム５０１はアルミであったが、本実施例ではこのフレーム５０１をアルミよりも軽い材料の一例であるマグネシウムによって構成する。
【００５９】
マグネシウムは、アルミよりも軽量であり、電子部品の搭載に影響を与えない程度の強度を確保することもできるから、他の部品に比べて部品搭載位置に近く剛性が求められるフレームの材料として好適である。さらに、切削性，コスト面でも好適である。
【００６０】
このように、フレームを例えばマグネシウムによって構成することで以下の効果を奏することができる。
（１）装置上部の部品重量が軽くなることから、振動の発生を抑制することができる。
（２）部品を搭載する駆動部分が軽くなり、移動に伴う慣性の影響を低減できることから
部品を搭載する位置決め精度が向上する。また、より高速化も実現することができ
る。
【実施例４】
【００６１】
次にヘッド１１３を構成するノズルを回転させるモータ５０２を軽量化する場合の例を実施例４として説明する。
【００６２】
図７はモータ５０２の断面図である。モータ５０２はノズル５０６を挿入するために中空構造となっており、その中空構造の周囲に回転子７０１が配置されている。さらに、この回転子７０１の周囲に磁性体７０３が配置されている。そして、磁性体７０３の周囲にコイル７０２が配置されている。
【００６３】
回転子は従来はアルミによって構成されていたが、本実施例では、この回転子７０１をマグネシウムによって構成する。
【００６４】
マグネシウムは、アルミよりも軽量である。さらに、切削性，コスト面でも優れている。よって、回転子の材料として好適である。
【００６５】
このように回転子７０１を軽量化することによって、以下の効果を奏することができる。
（１）回転体自身が軽量化されることから、必要なトルクを減らすことができる。よって
、コイルの巻き数を少なくすることができる。結果的にさらに軽量化を実現するこ
とができる。コイルは通常銅で構成されることから、コイル部分を軽量化できる効
果は極めて大きい。
（２）また、回転子が軽量化されることから、従来の回転子と同じ回転をする場合でも、
従来よりも少ない電力で動作することができ、低消費電力化が期待できる。
【００６６】
なお、上述した実施例３，４では、マグネウムを例として説明したが、例えば、単一の元素で構成された材料であっても良いし、複合材料であっても良い。もちろん、軽量化する手段は、材料に着目する他に、構造に着目して軽量化しても良い。
【実施例５】
【００６７】
次に軽量化の他の実施例を実施例５として説明する。
【００６８】
本実施例５では、実施例１のＸビーム１０３，１０４，１０５，１０６，Ｙビーム１０１，１０２の少なくとも１つを軽量化する。
【００６９】
具体的には、実施例１のＸビーム１０３，１０４，１０５，１０６，Ｙビーム１０１，１０２の少なくとも１つをアルミよりも軽い材料の一例であるカーボンＦＲＰで構成する。
【００７０】
本実施例５では、他の駆動部材に比べて、比較的大きな重量となるビーム部分を軽量化することができる。これによって、大幅な振動の低減、更なる高速化が可能となる。
【００７１】
なお、上述した本実施例５では、カーボンＦＲＰを例として説明したが、例えば、前述したマグネシウムであっても良いし、他の材料であっても良い。
【実施例６】
【００７２】
次に他の実施例を図８を用いて説明する。
【００７３】
本実施例６では、実施例１のＹビーム１０１，１０２の少なくとも１つを駆動するアクチュエータ８０１，８０２，８０３，８０４を設ける。
【００７４】
アクチュエータ８０１，８０３はＹビーム１０１を、基板搬送方向に対して平行な方向に移動させるものであり、Ｙビーム１０１の端部に配置されている。
【００７５】
また、アクチュエータ８０２，８０４はＹビーム１０２を、基板搬送方向に対して平行な方向に移動させるものであり、Ｙビーム１０２の端部に配置されている。
【００７６】
本実施例６では、Ｙビーム１０１，１０２をそれぞれ独立して駆動させるために、アクチュエータ８０１と８０２，８０３と８０４はそれぞれ独立したアクチュエータとなっている。
【００７７】
図９は、アクチュエータ８０１と部品供給部１２１との配置関係を説明する図であり、図８のアクチュエータ８０１付近の構造を横から説明する側面図である。
【００７８】
図９に示す通りヘッド１１３，１１４，１１５，１１６が、それぞれ部品供給部１２１，１２２で部品を補給できるように、アクチュエータ８０１，８０２，８０３，８０４は部品供給部１２１，１２２よりも高い位置に配置され、Ｙビーム１０１，１０２を駆動する構成となっている。
【００７９】
本実施例６によれば、部品を搭載する自由度をさらに高くすることができ、前述した部品搭載不可能領域３１０のような領域を無くすこともできる。
【００８０】
なお、本実施例６の思想は、既存の部品搭載装置にも適用することもできるが、実施例３乃至５に例示されるような駆動部分を軽量化した部品搭載装置にはなお好適である。
【００８１】
本発明は実施例に限定されない。各実施例はそれぞれ他の実施例と独立して採用することもできる。本発明に開示された内容は、本実施例以外の部品搭載装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
１０１，１０２  Ｙビーム
１０３，１０４，１０５，１０６  Ｘビーム
１０９，１１０，１１１，１１２  アクチュエータ
１１３，１１４，１１５，１１６  ヘッド
１１７，１１８，１１９，１２０  カメラ
１２３  基板
１２４  制御部
３０１  乗り入れ機構
３１０  部品搭載不可能領域
５０１  フレーム
５０２，５０５  モータ
５０６  ノズル
５０７  排気用センターシャフト
７０１  回転子
７０２  コイル
７０３  磁性体
８０１，８０２，８０３，８０４  アクチュエータ
【図１】
2012069541.tif 000003
【図２】
2012069541.tif 000004
【図３】
2012069541.tif 000005
【図４】
2012069541.tif 000006
【図５】
2012069541.tif 000007
【図６】
2012069541.tif 000008
【図７】
2012069541.tif 000009
【図８】
2012069541.tif 000010
【図９】
2012069541.tif 000011