(57)【要約】【課題】従来よりも、少ない駆動力で、かつ大きな偏向角度が得られる光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器１は、空隙を有して対向する第１及び第２支持部２ａ，２ｂを備えた支持体２と、空隙に配置され、第１支持部２ａに一端３ａが固定されて他端３ｂが自由端の第１アーム部３と、空隙に第１アーム部３とは離間して配置され、第２支持部２ｂに一端４ａが固定されて他端４ｂが自由端の第２アーム部４と、第１アーム部３と第２アーム部４との間に配置されたミラー部５と、ミラー部５と第１アーム部３の他端３ｂとを接続する第１トーションバー部６と、ミラー部５と第２アーム部４の他端４ｂとを接続する第２トーションバー部７とを備える。第１及び第２トーションバー部６，７は、ミラー部５の重心Ｃ５に対して点対称に配置されており、ミラー部５の回転軸Ｇ５からの距離Ｄ６，Ｄ７が互いに等しい。【選択図】図１
2012073331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の空隙を有して互いに対向配置された第１の支持部及び第２の支持部を備えた支持体と、
前記所定の空隙に配置され、前記第１の支持部に一端が固定されて前記第２の支持部に向かって延在し、他端が自由端である第１のアーム部と、
前記所定の空隙部に前記第１のアーム部とは離間して配置され、前記第２の支持部に一端が固定されて前記第１の支持部に向かって延在し、他端が自由端である第２のアーム部と、
前記所定の空隙における前記第１のアーム部と前記第２のアーム部との間に配置されたミラー部と、
前記ミラー部と前記第１のアーム部の他端側とを接続する第１のトーションバー部と、
前記ミラー部と前記第２のアーム部の他端側とを接続する第２のトーションバー部と、
を備え、
前記第１のトーションバー部及び前記第２のトーションバー部は、前記ミラー部の重心に対して互いに点対称に配置されており、
前記ミラー部は、前記ミラー部の重心を通り、前記ミラー部と前記第１のトーションバー部との接続部からの距離と、前記ミラー部と前記第２のトーションバー部との接続部からの距離とが等しくなる仮想線を回転軸として往復回転駆動することを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
前記第１のアーム部に形成された第１の圧電素子と、
前記第２のアーム部に形成された第２の圧電素子と、
をさらに備え、
前記ミラー部は、前記第１の圧電素子または前記第２の圧電素子を交流電圧駆動させる、或いは前記第１の圧電素子と前記第２の圧電素子とを互いに逆位相で交流電圧駆動させることで往復回転駆動することを特徴とする請求項１記載の光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＭＥＭＳ技術を用いた光偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザープリンタ分野や、プロジェクタ，ヘッドマウントディスプレイ等の投射型のディスプレイ分野等に光偏向器が用いられている。
光偏向器として、ポリゴンミラーを用いたものやガルバノミラーを用いたものがあるが、近年、Ｓｉ基板を微細加工する技術、所謂、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を用いた超小型の光偏向器が注目されている。
ＭＥＭＳ技術を用いた超小型の光偏向器の一例が例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２８１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に開示されているような一般的な光偏向器について図１３及び図１４を用いて説明する。
【０００５】
図１３に示すように、従来の一般的な光偏向器１０１は、所定の空隙を有する支持体１０２と、一端が支持体１０２にそれぞれ固定され、他端側の先端部がそれぞれ自由端である互いに離間した一対のアーム部１０３，１０４と、一対のアーム部１０３，１０４に対向して配置されて一対のアーム部１０３，１０４に向かって延在し、一端が支持体１０２にそれぞれ固定され、他端側の先端部がそれぞれ自由端である互いに離間した一対のアーム部１０５，１０６と、支持体１０２及び各一対のアーム部１０３〜１０６で囲われた領域に配置されたミラー部１０７と、ミラー部１０７と一方の一対のアーム部１０３，１０４の先端側とをそれぞれ接続する一対のトーションバー部１１１，１１２と、ミラー部１０７と他方の一対のアーム部１０５，１０６の先端側とをそれぞれ接続する一対のトーションバー部１１３，１１４と、を有して構成されている。
【０００６】
また、光偏向器１０１には、各アーム部１０３〜１０６に、下電極，圧電膜，及び上電極が順次積層された圧電ユニモルフ素子１１５〜１１８が各アーム部１０３〜１０６に対応して形成されている。
一方の一対のアーム部１０３，１０４に形成された圧電ユニモルフ素子１１５，１１６、又は他方の一対のアーム部１０５，１０６に形成された圧電ユニモルフ素子１１７，１１８に交流電圧を印加して駆動させる、或いは圧電ユニモルフ素子１１５，１１６と圧電ユニモルフ素子１１７，１１８とに互いに逆位相の交流電圧を印加して駆動させることにより、ミラー部１０７は、ミラー部１０７の重心Ｃ１０７を通り、アーム部１０３とアーム部１０５との間隙を二分し、且つアーム部１０４とアーム部１０６との間隙を二分する仮想線を回転軸Ｇ１０７として往復回転駆動する。
【０００７】
ミラー部１０７の回転角度が大きいほど、ミラー部１０７に照射された光を偏向させる偏向角度を大きくすることができる。そのため、光偏向器をレーザープリンタに用いた場合には印字範囲を広くすることができる。また、光偏向器をプロジェクタやヘッドマウントディスプレイ等の投射型のディスプレイに用いた場合には表示エリアを広くすることができる。
【０００８】
ここで、上述した従来の光偏向器１０１のミラー部１０７の往復回転運動について図１４を用いて説明する。
【０００９】
図１４に示すように、例えば一方の一対のアーム部１０３，１０４の先端が下方向に回転し、他方の一対のアーム部１０５，１０６の先端が上方向に回転するように一方の圧電ユニモルフ素子１１５，１１６（図１３参照）と他方の圧電ユニモルフ素子１１７，１１８（図１３参照）とを互いに逆位相で交流電圧駆動させると、各アーム部１０３〜１０６の先端は反時計回りに回転するのに対し、ミラー部１０７は各アーム部１０３〜１０６の先端とは逆方向の時計回りに回転する。
また、図１４とは逆方向に、一方の一対のアーム部１０３，１０４の先端を上方向に回転させ、他方の一対のアーム部１０５，１０６の先端を下方向に回転させると、各アーム部１０３〜１０６の先端は時計回りに回転するのに対し、ミラー部１０７は各アーム部１０３〜１０６の先端とは逆方向の反時計回りに回転する。
【００１０】
そのため、アーム部１０５，１０６（１０３，１０４）の力ベクトルＦａの内、ミラー部１０７に作用する力ベクトル成分はＦｂだけとなる。そして、ミラー部１０７の回転角度が大きくなると力ベクトル成分Ｆｂはより小さくなる。
【００１１】
例えば、ミラー部１０７の長さを１ｍｍ、アーム部１０３〜１０６の長さを１ｍｍ、一方のトーションバー部１１１，１１２と回転軸Ｇ１０７との距離，及び他方のトーションバー部１１３，１１４と回転軸Ｇ１０７との距離を２００μｍとし、ミラー部１０７の回転角度が３０°のときに、アーム部１０３〜１０６の先端が円弧状に回転すると仮定すると、アーム部１０３〜１０６の力ベクトルＦａはミラー部１０７の回転方向とは逆向きの約２５°の方向に作用する。ミラー部１０７の回転に寄与する力ベクトル成分Ｆｂはcos（３０°+２５°）＝cos（５５°）となり、その値は０．５７である。即ち、アーム部１０３〜１０６で発生した力の内の５７％しかミラー部１０７の回転駆動に寄与していないことになる。
【００１２】
そのため、ミラー部１０７の回転角度を大きくするためには圧電ユニモルフ素子１１５〜１１８に大きな電力を供給しなければならないので、光偏向器１０１の消費電力が大きくなる。
【００１３】
また、圧電ユニモルフ素子１１５〜１１８に大きな電力を供給してアーム部１０３〜１０６の回転角度を大きくしようとすると、上述したように各アーム部１０３〜１０６の先端の回転方向とミラー部１０７の回転方向とは互いに逆向きになるため、各アーム部１０３〜１０６とミラー部１０７とを接続するトーションバー部１１１〜１１４には、アーム部１０３〜１０６による捩じれ応力とミラー部１０７による捩じれ応力とを加算したねじれ応力が加わるため、トーションバー部１１１〜１１４が破損してしまう場合がある。
【００１４】
そこで、本発明は、従来よりも、少ない駆動力で、かつ大きな偏向角度（回転角度）が得られる光偏向器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するために、本発明は次の光偏向器を提供する。
１）所定の空隙を有して互いに対向配置された第１の支持部（２ａ）及び第２の支持部（２ｂ）を備えた支持体（２）と、前記所定の空隙に配置され、前記第１の支持部（２ａ）に一端（３ａ）が固定されて前記第２の支持部（２ｂ）に向かって延在し、他端（３ｂ）が自由端である第１のアーム部（３）と、前記所定の空隙部に前記第１のアーム部（３）とは離間して配置され、前記第２の支持部（２ｂ）に一端（４ａ）が固定されて前記第１の支持部（２ａ）に向かって延在し、他端（４ｂ）が自由端である第２のアーム部（４）と、前記所定の空隙における前記第１のアーム部（３）と前記第２のアーム部（４）との間に配置されたミラー部（５）と、前記ミラー部（５）と前記第１のアーム部（３）の他端（３ｂ）側とを接続する第１のトーションバー部（６）と、前記ミラー部（５）と前記第２のアーム部（４）の他端（４ｂ）側とを接続する第２のトーションバー部（７）と、を備え、前記第１のトーションバー部（６）及び前記第２のトーションバー部（７）は、前記ミラー部（５）の重心（Ｃ５）に対して互いに点対称に配置されており、前記ミラー部（５）は、前記ミラー部（５）の重心（Ｃ５）を通り、前記ミラー部（５）と前記第１のトーションバー部（６）との接続部からの距離（Ｄ６）と、前記ミラー部（５）と前記第２のトーションバー部（７）との接続部からの距離（Ｄ７）とが等しくなる仮想線を回転軸（Ｇ５）として往復回転駆動することを特徴とする光偏向器（１）。
２）前記第１のアーム部（３）に形成された第１の圧電素子（１４）と、前記第２のアーム部（４）に形成された第２の圧電素子（１８）と、をさらに備え、前記ミラー部（５）は、前記第１の圧電素子（１４）または前記第２の圧電素子（１８）を交流電圧駆動させる、或いは前記第１の圧電素子（１４）と前記第２の圧電素子（１８）とを互いに逆位相で交流電圧駆動させることで往復回転駆動することを特徴とする１）記載の光偏向器。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来よりも、少ない駆動力で、かつ大きな偏向角度（回転角度）が得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の光偏向器の実施例１を説明するための模式的斜視図である。
【図２】本発明の光偏向器の実施例１を説明するための模式的斜視図である。
【図３】本発明の光偏向器の実施例１を説明するための模式的斜視図である。
【図４】実施例１の光偏向器におけるミラー部の往復回転駆動の様子を示す模式的断面図である。
【図５】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図６】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図７】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図８】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図９】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図１０】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図及び模式的断面図である。
【図１１】実施例１の光偏向器の製造方法の一例を説明するための模式的平面図である。
【図１２】本発明の光偏向器の実施例２を説明するための模式的平面図である。
【図１３】従来例の光偏向器を説明するための模式的斜視図である。
【図１４】従来例の光偏向器におけるミラー部の往復回転駆動の様子を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例１及び実施例２により図１〜図１２を用いて説明する。
【００１９】
＜実施例１＞［図１〜図１１参照］
図１〜図３に示すように、光偏向器１は、所定の空隙を有して互いに対向配置された一対の支持部２ａ，２ｂを備えた支持体２と、所定の空隙に配置され、一端３ａが一方の支持部２ａに固定されて他方の支持部２ｂに向かって延在し、他端３ｂが自由端であるアーム部３と、所定の空隙にアーム部３に離間して配置され、一端４ａが他方の支持部２ｂに固定されて一方の支持部２ａに向かって延在し、他端４ｂが自由端であるアーム部４と、所定の空隙におけるアーム部３とアーム部４との間に配置され、表面に反射膜３１が形成されたミラー部５と、ミラー部５とアーム部３の先端側とを接続するトーションバー部６と、ミラー部５とアーム部４の先端側とを接続するトーションバー部７と、を有して構成されている。
【００２０】
また、光偏向器１には、アーム部３に下電極１１，圧電膜１２，及び上電極１３が順次積層された圧電ユニモルフ素子１４が形成されており、アーム部４に下電極１５，圧電膜１６，及び上電極１７が順次積層された圧電ユニモルフ素子１８が形成されている。
【００２１】
また、図２に示すように、光偏向器１には、下電極１１に配線２１が接続されており、上電極１３に配線２２が接続されており、下電極１５に配線２３が接続されており、上電極１７に配線２４が接続されている。
【００２２】
そして、図１〜図３に示すように、外部から配線２１，２２を介してアーム部３に形成されている圧電ユニモルフ素子１４に所定の交流電圧を印加することにより、ミラー部５は、ミラー部５の重心Ｃ５を通り、ミラー部５とトーションバー部６との接続部からの距離Ｄ６とミラー部５とトーションバー部７との接続部からの距離Ｄ７とが等しくなる仮想線を回転軸Ｇ５として往復回転駆動する。
また、外部から配線２３，２４を介してアーム部４に形成されている圧電ユニモルフ素子１８に所定の交流電圧を印加することにより、ミラー部５は上記の回転軸Ｇ５で往復回転駆動する。
また、圧電ユニモルフ素子１４及び圧電ユニモルフ素子１８に互いに逆位相の交流電圧を印可することにより、ミラー部５は上記の回転軸Ｇ５で往復回転駆動する。
【００２３】
即ち、トーションバー部６，７は、ミラー部５の回転軸Ｇ５から同じ距離、離れた位置でそれぞれ接続されており、ミラー部５の重心Ｃ５に対して互いに点対称に配置されている。
【００２４】
ここで、上述した光偏向器１のミラー部５の往復回転駆動について図４を用いて説明する。
【００２５】
図４に示すように、例えば一方のアーム部３の先端３ｂが上方向に回転し、他方のアーム部４の先端部４ｂが下方向に回転するように圧電ユニモルフ素子１４及び圧電ユニモルフ素子１８（図１〜図３参照）を互いに逆位相の交流電圧で駆動させると、各アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂはそれぞれ時計回りに回転し、ミラー部５も時計回りに回転する。
また、図４とは反対方向に、即ち、一方のアーム部３の先端３ｂを下方向に回転させ、他方のアーム部４の先端４ｂを上方向に回転させたときには、各アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂはそれぞれ反時計回りに回転し、ミラー部５も反時計回りに回転する。
また、アーム部３，４の互いに逆位相に作用する交流電圧の周波数を、ミラー部５の回転駆動の共振周波数とすることにより、ミラー部５は共振周波数で、かつ大きな振幅で安定的に往復回転駆動する。
【００２６】
そして、図１に示すように、ミラー部５を往復回転駆動させた状態で、レーザ光源ＡＡからレーザ光Ｌａをミラー部５に向けて照射することにより、レーザ光Ｌａはミラー部５で所定の方向に反射される。
【００２７】
上述したように、実施例１の光偏向器１では各アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂの回転方向とミラー部５の回転方向とは同じになる（図４参照）ため、ミラー部５に作用する力ベクトル成分Ｆｄをアーム部３，４の力ベクトルＦｃとほぼ同じにすることができる。
【００２８】
例えば、ミラー部５の長さを１ｍｍ、アーム部３，４の長さを１ｍｍ、一方のトーションバー部６と回転軸Ｇ５との距離，及び他方のトーションバー部７と回転軸Ｇ５との距離を２００μｍとし、ミラー部５の回転角度が３０°のときに、アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂが円弧状に回転すると仮定すると、アーム部３，４の力ベクトルＦｃはミラー部５の回転方向と同じ向きの約２５°の方向に作用する。従って、ミラー部５の回転に寄与する力ベクトル成分Ｆｄはcos（３０°−２５°）＝cos（５°）となり、その値は０．９９６である。即ち、アーム部３，４で発生させた力の内のほぼ１００％がミラー部５の回転駆動に寄与する。
そのため、圧電ユニモルフ素子１４，１８に小さい電力を供給するだけで、ミラー部５を大きな回転角度（偏向角度）で往復回転駆動させることができるため、光偏向器１の消費電力を従来よりも大幅に小さくすることができる。
【００２９】
また、光偏向器１では、上述したように各アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂの回転方向とミラー部５の回転方向とが互いに同じ向きになるため、各アーム部３，４の先端３ｂ，４ｂとミラー部５とを接続するトーションバー部６，７には、アーム部３，４による捩じれ応力とミラー部５による捩じれ応力との差分のみがねじれ応力として加わるため、トーションバー部６，７に加わるねじれ応力を従来よりも大幅に低減することができるので、トーションバー部６，７のねじれ応力による破損を抑制することができる。
【００３０】
次に、上述した光偏向器１の製造方法の実施例について図５〜図１１を用いて説明する。図５〜図１０において、各（ｂ）は製造過程における光偏向器（１）の模式的平面図であり、各（ａ）はＣ−Ｃ‘線｛図６（ｂ）参照｝における模式的断面図である。
【００３１】
まず、図５に示すように、単結晶Ｓｉ（シリコン）ウエハ３０を準備する。
単結晶Ｓｉウエハ３０は例えば外形サイズが１００ｍｍφ〜２００ｍｍφで、厚さが３００μｍ〜６００μｍである。１枚の単結晶Ｓｉウエハから複数（例えば数百個程度）の光偏向器１を一度に形成することができるが、図５（図６〜図１１も同様）では、説明をわかりやすくするために１単位の光偏向器１の領域を示している。
【００３２】
次に、図６に示すように、単結晶Ｓｉウエハ３０の一面側の所定の領域をフォトリソグラフィ法を用いてハーフエッチングし、上述した支持体２、アーム部３，４、ミラー部５、及びトーションバー部６，７に対応する部分を形成する。ハーフエッチングの深さは例えば１０μｍ〜１００μｍである。
なお、図６では、説明をわかりやすくするために、支持体２、アーム部３，４、ミラー部５、及びトーションバー部６，７に対応する部分にそれぞれ括弧を付して示している。
【００３３】
次に、図７に示すように、アーム部（３）から支持体（２）に亘る領域上に下電極１１を形成し、アーム部（４）から支持体（２）に亘る領域上に下電極１５を形成する。
下電極１１，１５の厚さは例えば０．１μｍ〜２μｍである。
下電極１１，１５の材料としては、Ａｌ（アルミニウム），Ｃｕ（銅），Ｍｏ（モリブデン），及びＷ（タングステン）等の金属材料を用いることができる。
下電極１１，１５は真空蒸着法やスパッタリング法等を用いて上記の金属材料を成膜した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターン化することにより、形成することができる。
【００３４】
次に、図８に示すように、支持体（２）上に形成されている下電極１１の所定の領域を残して、下電極１１上に絶縁膜１９を形成し、さらにアーム部（３）上に形成されている絶縁膜１９上に圧電膜１２を形成する。
同様に、支持体（２）上に形成されている下電極１５の所定の領域を残して、下電極１５上に絶縁膜２０を形成し、さらにアーム部（４）上に形成されている絶縁膜２０上に圧電膜１６を形成する。
絶縁膜１９，２０の厚さは例えば０．１μｍ〜１μｍである。
絶縁膜１９，２０の材料としては例えばＳｉＯ２を用いることができる。
圧電膜１２，１６の厚さは例えば０．５μｍ〜３μｍである。
圧電膜１２，１６の材料としては例えばＺｎＯ（酸化亜鉛），ＰＺＴ（チタン酸ジルコニウム酸鉛），及びＢＴＯ（チタン酸バリウム）等の圧電材料を用いることができる。
絶縁膜１９，２０及び圧電膜１２，１６はスパッタリング法やＣＶＤ法等を用いて上記の絶縁材料及び圧電材料を順次成膜した後、これら積層膜をフォトリソグラフィ法を用いてパターン化することによって形成することができる。
【００３５】
次に、図９に示すように、圧電膜１２から支持体（２）に亘る領域上に上電極１３を形成し、圧電膜１６から支持体（２）に亘る領域上に上電極１７を形成する。
上電極１３と下電極１１とは絶縁膜１９で絶縁されており、上電極１７と下電極１５とは絶縁膜２０で絶縁されている。
上電極１３，１７は下電極１１，１５と同様の厚さ、同様の金属材料、及び同様の形成方法により形成することができる。
【００３６】
次に、図１０に示すように、単結晶Ｓｉウエハ３０の他面側の所定の領域をフォトリソグラフィ法を用いてハーフエッチングし、上述した支持体２、アーム部３，４、ミラー部５、及びトーションバー部６，７を形成する。
【００３７】
その後、図１１に示すように、ミラー部５に高反射率を有する反射膜３１を形成する。
反射膜３１の厚さは例えば０．１μｍ〜１μｍである。
反射膜３１の材料として、例えばＡｕ（金）、Ａｇ（銀）、及びＡｌ（アルミニウム）等の高反射率を有する金属材料を用いることができる。
【００３８】
＜実施例２＞［図１２参照］
実施例２の光偏向器４１は、実施例１の光偏向器１と比較して、トーションバーを片側それぞれ２本（複数）とした点で相違し、それ以外の構成は実施例１と同じである。
【００３９】
即ち、実施例２の光偏向器４１は、所定の空隙を有して互いに対向配置された一対の支持部４２ａ，４２ｂを備えた支持体４２と、所定の空隙に配置され、一端４３ａが一方の支持部４２ａに固定されて他方の支持部４２ｂに向かって延在し、他端４３ｂが自由端であるアーム部４３と、所定の空隙にアーム部４３に離間して配置され、一端４４ａが他方の支持部４２ｂに固定されて一方の支持部４２ａに向かって延在し、他端４４ｂが自由端であるアーム部４４と、所定の空隙におけるアーム部４３とアーム部４４との間に配置されたミラー部４５と、ミラー部５とアーム部３の先端側とを接続する２本のトーションバー部４６Ａ，４６Ｂと、ミラー部５とアーム部４の先端側とを接続する２本のトーションバー部４７Ａ，４７Ｂと、を有して構成されている。
【００４０】
ミラー部４５の回転軸Ｇ４５からトーションバー部４６Ａまでの距離と、ミラー部４５の回転軸Ｇ４５からトーションバー部４７Ａまでの距離とは等しく、ミラー部４５の回転軸Ｇ４５からトーションバー部４６Ｂまでの距離と、ミラー部４５の回転軸Ｇ４５からトーションバー部４７Ｂまでの距離とは等しい。
なお、それ以外の構成は実施例１と同じなので説明を省略する。
【００４１】
実施例２の光偏向器４１の駆動方法、及び製造方法は実施例１の光偏向器１と同様である。
【００４２】
ここで、実施例２の光偏向器４１と従来例の光偏向器１００との同じ駆動力での回転角度について、有限要素法を用いてシミュレーションを行った。その結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
2012073331.tif 000003
【００４４】
表１では、実施例２の光偏向器４１及び従来例の光偏向器１００の共振周波数がほぼ同じになるようにトーションバー部の長さを調整した。それ以外の条件は全て同じである。
また、表１では、圧電膜の圧電係数を５．４ｐｍ／Ｖ（ＺｎＯのｄ３１）とした。
【００４５】
その結果、表１に示すように、パルス電圧±４０Ｖにおけるミラー部の回転角度は、従来例の光偏向器１００では±６．９°であったのに対し、実施例２の光偏向器４１では±２８．９°と約４倍の回転角度が得られることを確認した。
【００４６】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００４７】
例えば、実施例２ではトーションバーを片側それぞれ２本としたがこれに限定されるものではなく、片側それぞれ３本以上としてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１＿光偏向器、  ２＿支持体、  ３，４＿アーム部、  ３ａ，４ａ＿先端、  ５＿ミラー部、  ６，７＿トーションバー部、  １１，１５＿下電極、  １２，１６＿圧電膜、  １３，１７＿上電極、  １４，１８＿圧電ユニモルフ素子、  ２１〜２４＿配線、  ３０＿単結晶Ｓｉウエハ、  ３１＿反射膜、  Ｃ５＿重心、  Ｄ６，Ｄ７＿距離、  Ｇ５＿回転軸、  ＡＡ＿レーザ光源、  Ｌａ＿レーザ光、  Ｆｃ，Ｆｄ＿力ベクトル
【図１】
2012073331.tif 000004
【図２】
2012073331.tif 000005
【図３】
2012073331.tif 000006
【図４】
2012073331.tif 000007
【図５】
2012073331.tif 000008
【図６】
2012073331.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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