(57)【要約】【課題】  ボールボンドからの反射光を取り込んで作成した画像データから基板パターンの影響を受けずにボールボンドの特徴量を検出するボールボンド検査装置およびボールボンド検査方法を提供する。【解決手段】  照明１２の光源によりボールボンド１１に照明光（入射光ｉ）が照射され、ボールボンド１１で反射された反射光ｊをカメラ１３で取り込んで濃淡画像データｖｄが生成される。評価値算出部１５では、検査対象物以下のサイズとしてあらかじめ決定された円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値が算出される。評価画像作成部１６では、濃淡画像データ上の任意の座標において評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値が配置されて評価画像が作成される。黒領域抽出部１７では、評価画像ｖｅから濃淡値が閾値以下の連続する黒領域が抽出される。ボール特徴量検出部１８では、黒領域からボールの特徴量が検出される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールボンドの二次元的な特徴量を検査する装置であって、
検査対象物に照射光を照射するための光源と、
前記検査対象物からの反射光を取り込んで濃淡画像データを生成する撮像手段と、
円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出する評価値算出手段と、
前記濃淡画像データ上の任意の座標において前記評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成する評価画像作成手段と、
該評価画像作成手段で作成した評価画像から濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出する黒領域抽出手段と、
該黒領域抽出手段で抽出した黒領域からボールボンド特徴量を検出するボールボンド特徴量検出手段と、
を備えていることを特徴とするボールボンド検査装置。
【請求項２】
前記評価値算出手段は、
前記検査対象物以下のサイズとして決定した円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出することを特徴とする請求項１記載のボールボンド検出装置。
【請求項３】
前記評価値算出手段は、
前記処理領域内の画像情報からあらかじめ指定した濃淡値の範囲を持つ画素数の領域内全画素数に対する割合を算出し評価値とすることを特徴とする請求項１または２記載のボールボンド検出装置。
【請求項４】
前記評価画像作成手段は、
前記撮像手段で生成した濃淡画像データに対してあらかじめ二値化処理を行い作成された二値画像上の任意の座標において前記評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成することを特徴とする請求項１、２または３記載のボールボンド検出装置。
【請求項５】
前記ボールボンド特徴量検出手段は、
面積の範囲、外接矩形長さの範囲および真円度の少なくとも一つを満たす前記黒領域の重心をボールボンド座標とすることを特徴とする請求項１、２、３または４記載のボールボンド検出装置。
【請求項６】
ボールボンドの二次元的な特徴量を検査する方法であって、
検査対象物に照射光を照射するための照射処理と、
前記検査対象物からの反射光を取り込んで濃淡画像データを生成する撮像処理と、
円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出する評価値算出処理と、
前記濃淡画像データ上の任意の座標において前記評価値算出処理を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成する評価画像作成処理と、
該評価画像作成処理で作成した評価画像から濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出する黒領域抽出処理と、
該黒領域抽出処理で抽出した黒領域からボールボンド特徴量を検出するボールボンド特徴量検出処理と、
を行なうことを特徴とするボールボンド検査方法。
【請求項７】
前記評価値算出処理は、
前記検査対象物以下のサイズとして決定した円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出することを特徴とする請求項６記載のボールボンド検出方法。
【請求項８】
前記評価値算出処理は、
前記処理領域内の画像情報からあらかじめ指定した濃淡値の範囲を持つ画素数の領域内全画素数に対する割合を算出し評価値とすることを特徴とする請求項６または７記載のボールボンド検出方法。
【請求項９】
前記評価画像作成処理は、
前記撮像処理で生成した濃淡画像データに対してあらかじめ二値化処理を行い作成された二値画像上の任意の座標において前記評価値算出処理を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成することを特徴とする請求項６、７または８記載のボールボンド検出方法。
【請求項１０】
前記ボール特徴量検出処理は、
面積の範囲、外接矩形長さの範囲および真円度の少なくとも一つを満たす前記黒領域の重心をボールボンド座標とすることを特徴とする請求項６、７、８または９記載のボールボンド検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ボールボンド検査装置、及び該ボールボンド検査装置に用いられるボールボンド検査方法に係り、デバイス製造工程におけるボールボンド、例えば半導体部品におけるワイヤボンディング、バンプボンディング等で形成されたボールボンドの形状を検査する場合などに好適なボールボンド検査装置、及び該ボールボンド検査装置に用いられるボールボンド検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体部品のうち、特に、半導体チップとインナリードとがワイヤボンディングやバンプボンディング等で電気的に接続される半導体部品では、その製造工程においてボールボンドとパッドとの接合部の状態を検査する必要がある。このためボールボンドの形状を検査する装置が製作されているが、同装置では、ボールボンド形成後に取得される検査画像に対し検査対象物以下のサイズの円または楕円の処理領域を走査させ、処理領域内に含まれる濃淡に応じて評価画像が作成され、評価画像からボールボンドの形状が検出される。
【０００３】
この種の関連する技術としては、たとえば、特許文献１に記載されたボールボンド検査システムがある。
【０００４】
このボールボンド検査システムでは、極座標変換画像を構築するステップと、結果をストアしておくためのアレイと、複数の予想されるボール・センタ・ロケーションを指定するステップと、ボンディングプロセス期間にボールボンドのディジタル化画像を獲得するステップと、ディジタル化画像を輝度画像としてストアするステップと、マシン・ビジョン・システムからボール・センタ・ロケーションを受信するステップと、極座標変換画像とボール・センタ・ロケーションを位置あわせするステップと位置次元ヒストグラムが作成されるステップと、エッジ・フィルタを適用するステップと、上記を予想されるボール・センタ・ロケーションがなくなるまで繰り返すステップと、ヒストグラムのピークに応じてボールボンドのセンタと半径を決定しマシン・ビジョン・システムに通知するステップとを有するものとされており、上記ディジタル化画像を獲得するステップでは、ディジタル化画像内のボンドを見つけるために、ボンド前後の差画像または減法画像が作成されるものとされている。
【０００５】
図５は、特許文献１に記載されたボールボンド検査システムにおいて、パッド上に形成されたボンド０９の減法画像４４を示す図である。基本的には、ボンディングが行なわれる前のパッド４０の画像（図５（ａ）参照）はセーブされ、ボンディングが行なわれたあとのパッド４０の画像（図５（ｂ）参照）から減算される。その結果として、図５（ｃ）に示すように減法画像４４が作成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表平０９−５０４４０１号公報（要約書、図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記文献に記載された技術では、次のような問題点があった。
【０００８】
すなわち、特許文献１に記載されたボールボンド検査システムにおけるボンド前後の差画像または減法画像が作成される方法は、撮像装置を設置する空間的な制約や、検査時間の制約により、ボールボンドが形成される前後の両方で画像を取得することが困難な場合がある。
【０００９】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、ボールボンドを精度良く検出できるボールボンド検査装置、及び該ボールボンド検査装置に用いられるボールボンド検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、この発明の構成は、ボールボンドの二次元的な特徴量を検査する装置に係り、検査対象に照明光を照射し、反射光を取り込んで濃淡画像データを生成し、円または楕円形状の処理領域内の画素情報から評価値を算出し、濃淡画像データ上の任意の座標において評価値算出手段を実行して処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成し、評価画像から濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出し、黒領域からボールボンドの特徴量を検出する構成とされていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の構成によれば、ボールボンドの濃淡を使用した安定したボールボンド検査ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置の要部の電気的構成を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置における検査対象に対する光の入反射と取得される画像について説明する図である。
【図３】この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置における処理領域の画像上での走査と評価画像の作成について説明する図である。
【図４】この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置における評価画像からボールボンドの外形を決定する様子を説明する図である。
【図５】特許文献１に記載されたボールボンド検査装置で行われる処理を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置の要部の電気的構成を示すブロック図である。
【００１４】
この例のボールボンド検査装置は、同図に示すように、ボールボンド（検査対象物）１１を検出するための装置であり、照明（光源の一部）１２、カメラ（撮像手段）１３、ハーフミラー（光源の一部）１４、評価値算出部１５、評価画像作成部１６、黒領域抽出部１７、ボールボンド特徴量検出部１８から構成されている。ボールボンド１１は検査対象であり、例えば、半導体部品に形成される電気的な接合部である。照明１２は、たとえばＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）やハロゲンランプなどの光源として構成され、ボールボンド１１に照明光を照射するためのものである。
【００１５】
ハーフミラー１４は、照明１２の出射光を反射してボールボンド１１に入射光ｉを照射すると共に、反射光ｊを通過させてカメラ１３へ送出する。特に、この実施の形態では、照射１２及びハーフミラー１４により、ボールボンド１１に対する入射光ｉと反射光ｊとの軸がほぼ一致するように構成されている。カメラ１３は、ボールボンド１１で反射されて反射光ｊを取り込んで濃淡画像データｖｄを生成するためのものである。
【００１６】
評価値算出部１５は、円または楕円の処理領域内の濃淡情報から評価値を算出するものである。評価画像作成部１６は、濃淡画像データｖｄ上の任意の座標において評価値算出手段１５を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像ｖｅを作成するものである。黒領域抽出部１７は、評価画像ｖｅから濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出するものである。ボールボンド特徴量検出部１８は、黒領域からボールボンド１１の座標や外形を検出するものである。
【００１７】
図２は、この発明の実施の形態であるボールボンド検査装置における、検査対象に対する光の入反射および取得される画像について説明する図、図３は、処理領域の画像上での走査と評価画像の作成について説明する図、図４は、評価画像からボールボンド外形を決定する様子を説明する図である。
【００１８】
これらの図を参照して、この例のボールボンド検査装置に用いられるボールボンド検査方法の処理内容について説明する。
【００１９】
半導体製造工程におけるワイヤのボンディングでは、例えば平面状のパッド上部にボールボンド１１が半球状に形成され、ボール中央上部付近に線形状のワイヤが接合される。図２（ａ）は、検査対象であるボールボンド１１と撮像光学系の、横からの位置関係を表示した図である。本実施の形態のように入射光の光軸とほぼ一致する方向にカメラ１３が設置されている場合、検査対象への光の入射角度が０度に近い(ｉ１）ほど同じ方向に反射（ｊ１）してカメラで捉えられ、入射角度が大きくなる(ｉ２）に従い反射光はカメラの方向から外れ(ｊ２）カメラで捉えられにくくなる。
【００２０】
ボールボンド１１の形状は、その多くの部分で入射光に対して傾斜を持つ。特にボンディングワイヤが接続された状態のボールボンドは、ボールボンド中央部のワイヤが存在する部分の濃淡値も小さくなるため、カメラ１３によって取得されるボールボンド１１画像は例えば図２（ｂ）のようになる。すなわちボールボンド部分と、ボールボンド以外で傾斜を持つ部分で小さい濃淡値を持つ画像になる。このようにボールボンド部分が小さめの濃淡値で占められるような画像が取得されることが望ましいが、ボールボンド部分に濃淡値の大きな画素が多少存在しても検出は可能である。例えばボンディング装置におけるボールボンドの形成のしかたによっては、ボールボンドの形状が円錐台状になることもあり、ボールボンド部分における若干の水平部が白い画素として画像に現れる場合がそのようなケースに該当する。この場合、焦点を多少ぼかすことで明るい画素の出現を緩和する工夫も有効である。ボールボンド部分の濃淡値を小さく、かつボールボンドとボールボンド以外の部分との濃淡差を明確にする目的で、濃淡画像データｖｄに二値化処理を施し、以後の処理で濃淡画像データｖｄの替わりに使用しても良い。
【００２１】
次に、評価値算出部１５について説明する。評価値算出部１５は、後述の評価画像作成部１６で評価値を算出する際に用いるものであり、処理領域の形状の決定、処理領域内に含まれる濃淡からの評価値計算の処理を行う。
【００２２】
処理領域の形状は、本実施の形態では、検査対象であるボールボンド１１の径と同じか、それより小さい円としてあらかじめ決定しておく。特に製品によるばらつきがある場合、想定される最小の径に準じて決定することが望ましい。ただし、径を小さくしすぎることは、ボールボンドに類似した特徴を有する別のものをボールボンドとして誤検出することに繋がる場合があるため、適切に決定する必要がある。なお、次で説明する割合パラメータによっては、処理領域の径がボールボンド１１より大きくても検出が可能である。また、処理領域の形状はあらかじめ決定せずに取得された濃淡画像データｖｄに基づいて決定しても良いし、形状が楕円であっても良い。
【００２３】
処理領域は、濃淡画像データｖｄ上を走査させて使用する。この時、処理領域内に含まれる濃淡から評価値を計算する。評価値は処理領域がボールボンドに重なるケースとそうでないケースで区別されるような値でなければならない。本実施の形態では、処理領域内の全画素数に対する、処理領域内に含まれる濃淡閾値以下の濃淡値を持つ画素数の割合を計算し、計算した割合を割合閾値によって二値化し、二値を評価値とする。
【００２４】
濃淡閾値とは、濃淡画像データｖｄにおけるボールボンド部分の濃淡値の多くが濃淡閾値以下となるように決定するべき値であり、あらかじめ固定値で決定しても良いし、濃淡画像データｖｄをヒストグラムで表したときのグラフ形状から閾値を決定する方法もある。
【００２５】
割合については、処理領域はボールボンド１１よりも小さく設定しているため、処理領域内に含まれる濃淡値の小さい画素の割合が１００％となる場合も多いが、濃淡画像データｖｄ上のボール部分の濃淡条件のばらつきを考慮して例えば割合閾値を９０％としても良い。割合閾値を１００％から下げることで、ボールボンド立体形状のばらつきに起因する、取得画像のボールボンド濃淡ばらつきによる検出不可能を回避できる可能性を増やし、またボールボンドの大きさが想定より小さいことに起因する、検出不可能を回避できる可能性を増やす効果がある。ただし、割合閾値の下げすぎはボールボンドに類似した特徴を有する別のものをボールボンドとして誤検出することに繋がる場合があるので、適切に決定する。また評価値の算出は上述に限らず、例えば処理領域内に含まれる濃淡の総和としても良い。
【００２６】
次に、評価画像作成部１６について説明する。評価画像作成部１６では、濃淡画像データｖｄの任意の座標で評価値算出部１５を実行し、算出される評価値とその時の処理領域座標とを対応させて評価値を配列することで評価画像ｖｅを作成する。なお処理領域が濃淡画像データｖｅからはみ出る座標は、処理対象外としても良いし、領域内の濃淡のみで評価値を算出しても良い。また濃淡が像データｖｄ上でボールボンド１１の座標があらかじめ分かっている場合は、処理範囲を限定することで、処理の高速化、誤検出の減少が期待できる。
【００２７】
ボールボンドが形成された半導体部品を撮像して取得される濃淡画像データは、例えば図３（ａ）のように、ボールボンドのパッドからのはみ出し、プローブによる傷、基板パターンの影響などが含まれる場合がある。このような場合、一般的な二値化やラベリング、パターンマッチングなどの処理では、ボールボンドの安定した検出が難しい場合がある。本実施の形態では、走査させる処理領域に前述の特徴を持たせることで、図３（ｂ）のようにボールボンド特徴量を含む黒領域が孤立するような評価画像ｖｅを作成でき、ボールボンド特徴量の安定検出に寄与する。
【００２８】
次に、黒領域抽出部１７について説明する。評価画像作成部１６で作成される評価画像ｖｅは、図３（ｂ）のように、濃淡画像データｖｄから基板パターンなどの線や小さな面積のノイズが取り除かれ、ボール特徴量が含まれる黒領域（１）や、それ以外、例えば処理領域が完全に埋まるような面積の大きい連続した黒領域（２）が濃淡として残る。本実施の形態では評価値は二値画像であるから、黒画素に対してラベリング処理を行うなどして黒領域を抽出する。なお評価画像作成部１６で作成される評価画像ｖｅが多階調の濃淡画像であれば、濃淡値を閾値として閾値以下の濃淡画素に対してラベリング処理を行うなどして黒領域を抽出する。
【００２９】
ボールボンド特徴量検出部１８では、黒領域の面積や外接矩形の長さ、真円度を計算し、それらの値が範囲に入るか否かを判別することでボールボンド特徴量が含まれる黒領域（１）を特定することができる。範囲はあらかじめ決定しても良いし、標準的なサイズのボールボンド１１に同条件で処理領域を施した場合の黒領域に基づいて決定しても良い。
【００３０】
ボールボンド特徴量が含まれる黒領域（１）からボールの特徴量を計算することができる。例えば、黒領域の重心を計算しボールボンド座標とすることができる。また例えば、黒領域の外接矩形の中心をボールボンド座標とすることができる。また例えば、黒領域の外形に対し、円フィルタの半径ｒだけ外側に拡張した形状をボールボンド外形とすることができる。
【００３１】
以上のように、この実施の形態では、照明１２の光源によりボールボンド１１に照射光が照射され、ボールボンド１１で反射された反射光をカメラ１３で取り込んで濃淡画像データｖｄが生成され、検査対象物以下のサイズとしてあらかじめ決定された円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値が算出され、濃淡画像データ上の任意の座標において評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値が配置されて評価画像ｖｅが作成され、評価画像の連続する黒領域の特徴量からボール特徴量が検出されるので、ボールボンドの濃淡を使用した安定したボールボンド検査ができる。
【００３２】
以上、この発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、具体的な構成は同実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更などがあっても、この発明に含まれる。たとえば、図１のボールボンド検出装置では、ハーフミラー１４を用いずに、カメラ１３の隣に同軸照明を配置し、ボールボンドに上方から光を照射するようにしても良い。また例えば、同軸照明以外の照明を使用した場合、取得される画像の濃淡が異なることがあるが、濃淡の特徴に応じて処理領域の形状や評価値の算出を適切に行うことでボールボンドの検出が可能である。
【００３３】
上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
（付記１）
ボールボンドの二次元的な特徴量を検査する装置であって、
検査対象物に照射光を照射するための光源と、
前記検査対象物からの反射光を取り込んで濃淡画像データを生成する撮像手段と、
円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出する評価値算出手段と、
前記濃淡画像データ上の任意の座標において前記評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成する評価画像作成手段と、
該評価画像作成手段で作成した評価画像から濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出する黒領域抽出手段と、
該黒領域抽出手段で抽出した黒領域からボールボンド特徴量を検出するボールボンド特徴量検出手段と、
を備えていることを特徴とするボールボンド検査装置。
（付記２）
前記評価値算出手段は、
前記検査対象物以下のサイズとして決定した円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出することを特徴とする付記１記載のボールボンド検出装置。
（付記３）
前記評価値算出手段は、
前記処理領域内の画像情報からあらかじめ指定した濃淡値の範囲を持つ画素数の領域内全画素数に対する割合を算出し評価値とすることを特徴とする付記１または２記載のボールボンド検出装置。
（付記４）
前記評価値算出手段は、
前記処理領域内の画像情報から濃淡値の総和を算出し評価値とすることを特徴とする付記１または２記載のボールボンド検出装置。
（付記５）
前記評価画像作成手段は、
前記撮像手段で生成した濃淡画像データに対してあらかじめ二値化処理を行い作成された二値画像上の任意の座標において前記評価値算出手段を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成することを特徴とする付記１、２、３または４記載のボールボンド検出装置。
（付記６）
前記ボールボンド特徴量検出手段は、
面積の範囲、外接矩形長さの範囲および真円度の少なくとも一つを満たす前記黒領域の重心をボールボンド座標とすることを特徴とする付記１、２、３、４または５記載のボールボンド検出装置。
（付記７）
前記ボールボンド特徴量検出手段は、
面積の範囲、外接矩形長さの範囲および真円度の少なくとも一つを満たす前記黒領域の外接矩形の中心をボールボンド座標とすることを特徴とする付記１、２、３、４または５記載のボールボンド検出装置。
（付記８）
前記ボールボンド特徴量検出手段は、
面積の範囲、外接矩形長さの範囲および真円度の少なくとも一つを満たす前記黒領域の外形に対し円フィルタの半径長さ分外側に拡張した形状をボールボンド外形とすることを特徴とする付記１、２、３、４または５記載のボールボンド検出装置。
（付記９）
ボールボンドの二次元的な特徴量を検査する方法であって、
検査対象物に照射光を照射するための照射処理と、
前記検査対象物からの反射光を取り込んで濃淡画像データを生成する撮像処理と、
円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出する評価値算出処理と、
前記濃淡画像データ上の任意の座標において前記評価値算出処理を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成する評価画像作成処理と、
該評価画像作成処理で作成した評価画像から濃淡値が閾値以下の連続する黒領域を抽出する黒領域抽出処理と、
該黒領域抽出処理で抽出した黒領域からボールボンド特徴量を検出するボールボンド特徴量検出処理と、
を行なうことを特徴とするボールボンド検査方法。
（付記１０）
前記評価値算出処理は、
前記検査対象物以下のサイズとして決定した円または楕円の処理領域内の画素情報から評価値を算出することを特徴とする付記９記載のボールボンド検出方法。
（付記１１）
前記評価値算出処理は、
前記処理領域内の画像情報からあらかじめ指定した濃淡値の範囲を持つ画素数の領域内全画素数に対する割合を算出し評価値とすることを特徴とする付記９または１０記載のボールボンド検出方法。
（付記１２）
前記評価値算出処理は、
前記処理領域内の画像情報から濃淡値の総和を算出し評価値とすることを特徴とする付記９または１０記載のボールボンド検出方法。
（付記１３）
前記評価画像作成処理は、
前記撮像処理で生成した濃淡画像データに対してあらかじめ二値化処理を行い作成された二値画像上の任意の座標において前記評価値算出処理を実行し処理領域の座標と対応するように評価値を配置して評価画像を作成することを特徴とする付記９、１０、１１または１２記載のボールボンド検出方法。
（付記１４）
前記ボール特徴量検出処理は、
面積の範囲または外接矩形長さの範囲またはその両方を満たす前記黒領域の重心をボールボンド座標とすることを特徴とする付記９、１０、１１、１２または１３記載のボールボンド検出方法。
（付記１５）
前記ボール特徴量検出処理は、
面積の範囲または外接矩形長さの範囲またはその両方を満たす前記黒領域の外接矩形の中心をボールボンド座標とすることを特徴とする付記９、１０、１１、１２または１３記載のボール検出方法。
（付記１６）
前記ボール特徴量検出処理は、
面積の範囲または外接矩形長さの範囲またはその両方を満たす前記黒領域の外形に対し円フィルタの半径長さ分外側に拡張した形状をボールボンド外形とすることを特徴とする付記９、１０、１１、１２または１３記載のボールボンド検出方法。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
この発明は、ボンディングワイヤにおけるボールボンドの検査装置に限らず、デバイス組立におけるボール形状を検査する装置全般に適用できる。
【符号の説明】
【００３５】
１１    ボールボンド（検査対象物）
１２    照明（光源の一部）
１３    カメラ（撮像手段）
１４    ハーフミラー（光源の一部）
１５    評価値算出部
１６    評価画像作成部
１７    黒領域抽出部
１８    ボールボンド特徴量検出部
【図１】
2012069732.tif 000003
【図２】
2012069732.tif 000004
【図３】
2012069732.tif 000005
【図４】
2012069732.tif 000006
【図５】
2012069732.tif 000007