(57)【要約】      （修正有）【課題】銅のワイヤを用いたボンディングに関し、効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法を提供する。【解決手段】基材２上に形成されている銅の電極パッド３と、前記電極パッド３を覆うように設けられている金の金属層４と、前記金属層４上にボンディングされている銅のワイヤ５とを有することを特徴としている。【選択図】図１
2012069691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に形成されている銅の電極パッドと、
前記電極パッドを覆うように設けられている金の金属層と、
前記金属層上にボンディングされている銅のワイヤと、
を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記金属層は約０．５〜５μｍであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
基材上に銅の電極パッドを設ける工程と、
前記電極パッド上に金の金属層を設ける工程と、
前記金属層上に銅のワイヤを用いてボンディングする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記金属層は約０．５〜５μｍであることを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ワイヤボンディングにより接続をおこなう半導体装置とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種の電子機器において、高機能、低コスト化が進められており、これに伴って半導体装置の電極と配線基板上の配線との接続を金に替わり、銅のワイヤを用いてワイヤボンディングによりおこなうようになってきている。
【０００３】
例えば、図３に示すように、従来の半導体装置１０１は、基板１０２上に設けられている銅配線１０３を覆うように、Ｎｉめっき層１０４、Ｐｄめっき層１０５、Ａｕめっき層１０６の順にめっき層を積層して形成している。そして、Ａｕめっき層１０６上へと銅のワイヤ１０７をワイヤボンディングし、図示しないプリント配線基板上の配線との電気的な接続をおこなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１７１３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の半導体装置１０１では、銅配線１０３上に複数のめっき層を設けているため、複雑である上に、製造する際に時間がかかってしまうことから、製造効率があまり良くないと考えられる。
【０００６】
そこで本発明では、効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、実施形態の半導体装置は、基材上に形成されている銅の電極パッドと、電極パッドを覆うように設けられている金の金属層と、金属層上にボンディングされている銅のワイヤとを有することを特徴としている。
【０００８】
また、実施形態の半導体装置の製造方法は、基材上に銅の電極パッドを設ける工程と、電極パッド上に金の金属層を設ける工程と、金属層上に銅のワイヤを用いてボンディングする工程とを有することを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体装置の断面図。
【図２】本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法の工程断面図。
【図３】従来の半導体装置を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態に係る効率の良い製造が可能な半導体装置とその製造方法を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
まず、本発明の実施形態に係る半導体装置について、図１、図２を参照して説明する。図１に示すように、本実施形態における半導体装置１は、不図示の電子回路が形成されている半導体基板２（以下、基材２とする）、基材２上に設けられている電極パッド３と、電極パッド３を覆うように金（Ａｕ）の金属層４が設けられている。そして、金属層４上へと銅（Ｃｕ）のワイヤ５をボンディングし、図示しないプリント配線基板上の配線と接続して形成されている。なお、本実施形態ではプリント配線基板上の配線と接続しているが、これに限られることはなく、例えば半導体素子と接続していてもよい。
【００１２】
電極パッド３は、基材２の電子回路と電気的に接続可能に設けられており、銅（Ｃｕ）により形成されている。また、電極パッド３は例えば電解めっきにより形成されており、５．５μｍの厚みに形成されている。なお、電極パッド３の厚みはこれに限られることはなく、基材２と図示しないプリント配線基板上の配線との接続が可能であればどのような厚みであってもよい。また、本実施形態では電極パッドを電解めっきにより形成しているが、これに限られるものではなく、例えば無電解めっきやスパッタ等により形成してもよい。
【００１３】
そして、電極パッド３を覆っている金（Ａｕ）の金属層４は、例えば電解めっきにより形成されている。なお、本実施形態では電解めっきにより金属層４を設けているが、これに限られるものではなく、例えば無電解めっき、スパッタ、蒸着等でおこなってもよい。
【００１４】
また、金属層４の厚みは約０．５〜５μｍ、望ましくは約１〜２μｍの厚さに形成されている。このような厚みにする理由としては、金属層４を形成している金（Ａｕ）が拡散し、電極パッド３を形成している銅（Ｃｕ）と合金層を形成してしまうことから、これ以上薄い金属層４にしてしまうと、金属層４が合金層となり、銅（Ｃｕ）のワイヤ５が接続し難くなるためである。
【００１５】
また、この他にも理由がある。電極パッド３の銅（Ｃｕ）と、金属層４の金（Ａｕ）、そしてワイヤ５の銅（Ｃｕ）が積層して一定時間経過すると、金（Ａｕ）と銅（Ｃｕ）の合金層が形成されるのだが、その際に第１、第２界面Ｓ１，Ｓ２近傍でカーケンダルボイドが発生してしまい、接続不良になる可能性が高くなり、信頼性が低下してしまうことが考えられる。そして、このカーケンダルボイドは金属層４の金（Ａｕ）が厚くなるほど合金を形成する量が増加するため、ボイドの発生が増加することが懸念される。
【００１６】
そのため、金（Ａｕ）が拡散し、銅（Ｃｕ）との合金層を形成しても、ワイヤ５を接続する際に、ワイヤ５と接続する第２界面Ｓ２が合金層とならない厚みであり、またボイドの発生が少なくなるような厚みである約０．５〜５μｍ、望ましくは約１〜２μｍの厚さに形成している。
【００１７】
次に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について図２を用いて説明する。まず、図２（ａ）に示すように、基材２上に電極パッド３を銅（Ｃｕ）の電解めっきにより５．５μｍの厚さになるまで形成させる。
【００１８】
そして、図２（ｂ）に示すように、電極パッド３を覆うように、金（Ａｕ）の金属層４を電解めっきにより約１〜２μｍの厚さになるまで形成させる。なお、電解めっきを行う際に、電極パッド３を形成している銅（Ｃｕ）がめっき液内に溶出する可能性があるため、例えば置換めっき抑制剤等を用いて、銅（Ｃｕ）の溶出を防ぐようにすることで、より純度の高い金（Ａｕ）めっきを繰り返し行うことが可能となる。
【００１９】
次に、図２（ｃ）に示すように、金（Ａｕ）の金属層４上に銅（Ｃｕ）のワイヤ５を用いてボンディングをおこなう。
【００２０】
以上、本実施形態によれば、基材２上に銅（Ｃｕ）の電極パッド３を設け、その上に金（Ａｕ）の金属層４を覆うように形成し、金属層４上に銅（Ｃｕ）のワイヤ５によりボンディングを行って半導体装置１が形成されている。このように、電極パッド３上に設ける金属層４を１層とすることで、製造工程が簡略化でき、製造時間を短縮することが出来るため、より効率の良い製造が可能となる。
【００２１】
更に、金（Ａｕ）の金属層４を約０．５〜５μｍ、望ましくは約１〜２μｍの厚みに形成することにより、ワイヤ５と接続する第２界面Ｓ２が合金層とならず、またワイヤボンディング後に金（Ａｕ）の金属層４が銅（Ｃｕ）のワイヤ５および銅（Ｃｕ）の電極パッド３へと拡散し、金（Ａｕ）の金属層４がすべて合金層となってもボイドの発生が少なくなり、信頼性の高い半導体装置１を製造することが可能となる。
【００２２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他のさまざまな形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２３】
１，１０１…半導体装置
２…基材（半導体基板）
３…電極パッド
４…金属層
５，１０７…ワイヤ
１０２…基板
１０３…銅配線
１０４…Ｎｉめっき層
１０５…Ｐｄめっき層
１０６…Ａｕめっき層
Ｓ１…第１界面
Ｓ２…第２界面
【図１】
2012069691.tif 000003
【図２】
2012069691.tif 000004
【図３】
2012069691.tif 000005