(57)【要約】【課題】搬送方向の上流側の残存する基板材料が残りわずかな場合に、残存する基板材料の跳ね上がりの回転モーメントを抑制できず、上位ローラの下方への押圧力が分割位置で働かないので分割不可能となる点を解消する。【解決手段】分割装置１は、基板材料Ｂの搬送方向に上下流に並設された上流載置台３及び下流載置台４と、上流載置台３の下流載置台４側の縁部上方に設けられ、該上流載置台３の該下流載置台４側の縁部を中心とした周辺部位に押圧力を付与する弾性変形可能なローラ２と、を備え、下流載置台４が分割時の基板材料Ｂを介してローラ２の押圧力を受けて弾性的に下降する構成としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のサイズの電子基板に分割するための割溝が形成された基板材料を該割溝に沿って分割する装置であって、基板材料の搬送方向に上下流に並設された上流載置台及び下流載置台と、上流載置台の下流載置台側の縁部上方に設けられ、該上流載置台の該下流載置台側の縁部を中心とした周辺部位に押圧力を付与する弾性変形可能なローラと、を備え、前記下流載置台が分割時の基板材料を介して前記ローラの押圧力を受けて弾性的に下降する構成としたことを特徴とする分割装置。
【請求項２】
ローラの内部に、中心部から外周に向けて移動して分割前の基板材料を押圧する押圧機構を設けたことを特徴とする請求項１記載の分割装置。
【請求項３】
上流載置台及び下流載置台が基板搬送方向に応じて切り替わると共に、この切替時に下流側となった載置台の弾性的な下降を可能に、上流側となった載置台の弾性的な下降を不可能に、切り替えるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の分割装置。
【請求項４】
最後の分割時に下流載置台を弾性的な下降に抗して上昇させる上昇機構を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の分割装置。
【請求項５】
上流載置台の下流載置台側の縁部に面圧センサを埋設したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送方向の上流側の残存する基板材料が残りわずかな場合あっても、最後まで確実に分割可能な分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
配線や電子部品が実装される電子基板は、基板材料からその１個単位の大きさに分割される。基板材料を所望の電子基板に分割する手法としては、例えば以下の特許文献１に記載されるものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３２６２９８号公報
【０００４】
特許文献１に示された分割装置には、基板材料を分割するために応力を加える上下一対の狭持ローラの軸の位置関係を基板材料の移送方向に相互にずらす構成に存在していた問題点、すなわち分割される基板材料の最先部が跳ね上がって、隣接する該基板材料の分割の境目の縁部が欠けたりする点を解消する次の構成が開示されている。
【０００５】
すなわち、特許文献１に示された分割装置は、割溝が形成された基板材料を該割溝を境に分割する応力を加える上位及び下位を一対とする狭持ローラと、狭持ローラ間に基板材料を送り込むために該基板材料を間に挟んで搬送する上位及び下位の搬送ベルトとを備え、上位の狭持ローラについて所定の内気圧で筒状に保形されたチューブとした構成、さらに具体的には次のとおりである。
【０００６】
特許文献１の分割装置において、上位ローラの軸位置は基板材料の搬送方向下流側、下位ローラの軸位置は該上位ローラの軸位置に対して基板材料の搬送方向上流側、に相互にずれて位置している。つまり、特許文献１の分割装置は、上位ローラが前記分割位置より下流側に搬送された分割前の最先（最下流位置）の基板材料を下方へ押圧することで、下位ローラの軸位置の上部周面において基板材料を分割位置する構成となっている。
【０００７】
これにより、特許文献１の分割装置は、分割直後の基板材料は、上位ローラによる下方への押圧を受けていることと、上位及び下位の搬送ベルトに挟まれていることとが相俟って上方へ跳ね上がることが抑制される。また、上位ローラの下方への押圧によって前記分割位置を中心とする未分割の基板材料の上方へ跳ね上がりについては、同様に上位及び下位の搬送ベルトで抑制している。
【０００８】
特許文献１の分割装置は、基板材料の搬送方向の分割ピッチ、つまり電子基板のサイズが比較的大きくかつ基板材料が搬送方向の上流側に残存している場合において、該上流側に残存する基板材料の上方への跳ね上がりが、上位及び下位の搬送ベルトによって抑制できる。
【０００９】
しかしながら、特許文献１の分割装置は、搬送方向の上流側の残存する基板材料が残りわずかな場合においては、上位及び下位の搬送ベルトによる搬送方向の上流側の残存する基板材料の跳ね上がりの回転モーメントを抑制できず、このため上位ローラの下方への押圧力が分割位置で働かないので分割ができない場合があった。
【００１０】
上記の問題は、将来的に分割ピッチが小さくなる、つまり分割サイズ（分割後の基板材料の個片サイズ）が微小化するほど顕著となる。例えば基板材料の搬送方向の寸法を単純に１０分割する場合において、搬送方向下流から８分割できて残り２分割が不可（つまり最後の１回の分割動作が不可能）の割合とすると、基板材料の搬送方向の前記同寸法を１００分割する場合には、搬送方向下流から８０分割できて残り２０分割ができない（つまり１９回の分割動作が不可能）ことを意味し、分割不可能部位の基板材料は無駄になってしまう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本願発明が解決しようとする問題点は、特許文献１の分割装置では、搬送方向の上流側の残存する基板材料が残りわずかな場合に、残存する基板材料の跳ね上がりの回転モーメントを抑制できず、上位ローラの下方への押圧力が分割位置で働かないので分割不可能となる点である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、所定のサイズの電子基板に分割するための割溝が形成された基板材料を該割溝に沿って分割する装置であって、基板材料の搬送方向に上下流に並設された上流載置台及び下流載置台と、上流載置台の下流載置台側の縁部上方に設けられ、該上流載置台の該下流載置台側の縁部を中心とした周辺部位に押圧力を付与する弾性変形可能なローラと、を備え、前記下流載置台が分割時の基板材料を介して前記ローラの押圧力を受けて弾性的に下降する構成としたことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、上流載置台と、この上流載置台の下流載置側の縁部を中心に押圧力を付与するローラとにより、（最後の）残存する基板材料を支持しているので跳ね上がることがないと共に基板材料の分割サイズが小さくなっても同様に確実に最後まで分割することができる。また、下流側載置台における分割される基板材料は、ローラの弾性変形しつつ受ける押圧力で基板材料と共に下流載置台が下降するので、分割時の衝撃が緩和され、跳ね上がることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は本発明の分割装置における概略構成を示す図である。（実施例１）
【図２】図２（ａ）〜（ｄ）は本発明の分割装置の基板材料を説明するための図である。（実施例１）
【図３】図３（ａ）〜（ｅ）は本発明の分割装置による基板材料の分割状況を説明するための図である。（実施例１）
【図４】図４は本発明の分割装置における概略構成を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図、である。（実施例２）
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は本発明の分割装置による基板材料の分割時の動作状況を説明するための図である。（実施例２）
【図６】図６は本発明の分割装置における概略構成を示す図である。（実施例３）
【図７】図７は本発明の分割装置による基板材料の分割時の動作状況を説明するための図である。（実施例３）
【図８】図８は本発明の分割装置における概略構成を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図、である。（実施例４）
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明を実施に好適な形態を図面を参照して後述するので、ここでは発明の前提や用語の定義について説明する。本発明で分割する基板材料は、所定のサイズの電子基板に分割するための割溝が形成されたものである。上流載置台と下流載置台は、基板材料の搬送方向の、上流側にある載置台を上流載置台と、下流側にある載置台を下流載置台と、説明上呼び分けているだけである。
【００１６】
また、上流載置台と下流載置台は、それぞれ分割する又は分割後の基板材料全体が載置される面積の広いものであってもよいし、ローラで押圧される部位と押圧されない部位とで構成されるものであってもよい。特に下流側の載置台に関しては、弾性的に下降する部分と下降しない部分とで構成されていてもよく、下降する部分に関して本発明上の下流載置台と規定する。
【００１７】
ローラの軸は上流載置台の下流載置台側の縁部上方に位置し、つまり軸から垂下した位置に上流載置台の下流載置台側の縁部が位置する。要するにローラは、上流載置台上の未分割の基板材料を中心的に押圧するように構成している。
【００１８】
ローラの弾性変形可能とは、ローラにより押圧力を加えることで、上流載置台及び下流載置台並びに基板材料の表面の形状に沿って周面形状が変形し、変形後、当該変形位置を通過した後に、元の周面形状に復元することを意味する。したがって、ローラは、上流載置台の下流載置台側の縁部にある基板材料を中心に上流、下流の周辺全域を押圧することとなる。
【００１９】
下流載置台は分割時の基板材料を介してローラの押圧力を受けて弾性的に下降するとは、上記のとおりローラは上流載置台の下流載置台側の縁部を中心にその下流、つまり上流載置台と下流載置台との境目から下流に到達している基板材料を押圧して、基板材料を介したローラの押圧力により下流載置台を押し下げることとなる。
【００２０】
基板材料は、上記の割溝の形成された部位が、上流載置台と下流載置台との境目に近付くにつれて、下方に折れ曲がることになり、この曲げモーメントを受けて機械的強度の低い割溝で分割されることとなる。基板材料の分割直前では、割溝で分割前の基板材料が一体となっているから、下流載置台を押し下げる。
【００２１】
一方、基板材料の分割直後では、もはや未分割の基板材料と分割された基板材料との割溝を介した縁が切れているので、基板材料による下方に折れ曲がる力の伝達がなされず、下流載置台が復元的に上昇する。つまり下流載置台が弾性的に下降するとは、基板材料が分割された直後に、それまで下降した分だけ復元的に上昇することを意味する。
【００２２】
以下、これら定義を踏まえて、図１〜図８を参照してさらに具体的な実施例１〜４を説明する。なお、実施例２以降は、実施例１と重複する構成部材は図面において同じ参照符号を付して説明は省略し、相違する構成について説明することとする。また、図１〜図８は、本発明の特徴的な構造の概略要部を以下の説明で矛盾が生じない程度に誇張して示している。
【実施例１】
【００２３】
図１〜図３に示す実施例１における分割装置１（この参照符号は各実施例共通）は、基板材料Ｂを分割するために次の構成とされている。２は、本例では弾性変形可能なように側面視で円環状のエアチューブでなる弾性ローラ２Ａが採用されたローラである。このローラ２は、軸２Ｂから放射状に突出した不図示のスポークにより支持されて構成されている。なお、弾性ローラ２Ａは、本例ではエアチューブを採用するが、例えば所定の押圧力と、弾性変形及び復元変形が可能であれば、例えば樹脂製であってもよい。
【００２４】
そして、ローラ２は、軸２Ｂの回転に伴って弾性ローラＡが回転し、この弾性ローラ２Ａの内圧は不図示のコンプレッサーにて空気を吸排気することで可変とされている。また、ローラ２は、軸２Ｂが、押圧力を加える際に下降、押圧力を解除する際に上昇し、基板材料Ｂの分割サイズに応じて上流載置台の下流載置台側の縁部上方を微調整的に（上下流方向に）移動可能となっている。
【００２５】
さらに、本例では、ローラ２は、軸２Ｂに、該軸２Ｂの中心から外周に向けて移動して、弾性ローラ２Ａを介して分割前の基板材料Ｂを押圧する押圧機構２Ｃを備えている。この押圧機構２Ｃは、軸２Ｂ長さ方向全域において上下流方向に所定幅とされた押圧板２ａと、この押圧板２ａを軸２Ｂの中心から上下動可能とする上下動機構２ｂとからなる。
【００２６】
３は、上流載置台であり、この上流載置台３は、実施例１においては高さが変動せず、設置面に対して固定的に設けられたものである。４は、下流載置台であり、この下流載置台４は、設置面に対して例えばばねでなる弾性脚部４ａで支持されており（図示では１脚としているが安定させるには４脚とする）、ローラ２の押圧力を受けて基板材料Ｂを介して弾性的に下降する。
【００２７】
弾性脚部４ａは、ローラ２の押圧力に対して１０〜３０％低い付勢力で自然長に戻る構成とされている。つまり弾性脚部４ａは、自然長で上流載置台３と同高さとされ、ローラ２の押圧力を受けると復元力が１０〜３０％だけ該押圧力より低いので下降し、該押圧力が解除される（後述する基板材料Ｂが分割されたとき）と、復元力で自然長に戻る。
【００２８】
なお、弾性脚部４ａが、ローラ２の押圧力に対して１０％より低い（強い）付勢力であると、ローラ２の押圧力を受けても下流載置台４が速やかに下降せず、ローラ２の押圧力に対して３０％を超えて（弱い）付勢力であると、ローラ２の押圧力を受けて簡単に下降はするが復元しにくく、搬送速度を早くすることができない。
【００２９】
また、弾性脚部４ａは、本実施例１では、ばねを採用したが、これに代えて、所定の弾性的な下降及び速やかな復元上昇の特性が得られるならば、例えばエアシリンダや空気ばねを用いることもできる。
【００３０】
さらに、下流載置台４は、ローラ２の押圧力を受ける部分とそうでない部分とで分割的に構成してもよく、その場合、搬送方向の上流側から上流載置台３、ローラ２の押圧力を受けて下降する下流載置台４、ローラ２の押圧力を受けない（下降しない）下流側の載置台の順になり、弾性脚部４ａはローラ２の押圧力を受けて下降する下流載置台４に設けることになる。なお、上流載置台３も必要に応じてローラ２の押圧力を受ける部分とそうでない部分とで分割的に構成しておいてもよい。
【００３１】
こうすることで、不図示の搬送機構の搬送ストロークを短くできるので、製作コストを低廉化することができる。すなわち、搬送機構は、上流載置台３と下流載置台４との少なくとも一方の側部に設けられ、ローラ２の回転速度と同期して後述のカバー５の側部を搬送させるようにしている。
【００３２】
搬送をローラ２の回転によらないで、この回転と同期する別途の搬送機構を設ける理由は、搬送をローラ２の回転だけに頼ると、ローラ２の周面により後述のカバー５を介して基板材料Ｂを擦りつけて疵を付ける可能性がある。よって、ローラ２の回転に同期する別途の搬送機構を設けているのである。
【００３３】
５は、基板材料Ｂを保護すると共に、これを一体的に搬送するためのカバーであり、上カバー５ａと下カバー５ｂとからなる。カバー５は、図２などに示すように、基板材料Ｂの下面側に下カバー５ｂが、基板材料Ｂの上面側に上カバー５ａが、各々敷かれる。
【００３４】
上記構成の実施例１の分割装置１は、次のように動作する。未分割の基板材料Ｂは、所定サイズに分割するための割溝Ｂａが形成されており、カバー５の下カバー５ｂ上に載置され、そのうえで上カバー５ａが載せられ、図２（ａ）に示すようにして上流載置台３上に載置される。
【００３５】
ローラ２の軸２Ｂを下降させると共に、弾性ローラ２Ａによる押圧状態となるように、本実施例１の場合は該弾性ローラ２Ａのエアチューブに空気を充填し、軸２Ｂを回転させると、図３（ａ）〜同図（ｂ）に示すように、ローラ２の回転と同期する搬送機構により上流載置台３から下流載置台４へと基板材料Ｂを搬送する。
【００３６】
そして、ローラ２は上流載置台３の下流載置台４側の縁部上方に軸２Ｂの中心として押圧力を与えるが、弾性変形によって上流載置台３の下流載置台４側の前記縁部位置のみならずここより上流側及び下流側、つまり下流載置台４にも押圧力がおよんでいることとなる。
【００３７】
ローラ２の押圧力が下流載置台４に搬送された基板材料Ｂにもおよんでいることから、下流載置台４は、図３（ｃ）に示すように、基板材料Ｂを介して、下流載置台４に搬送された未分割の基板材料Ｂの下方への折れ曲がりに追従して弾性的に下降する。
【００３８】
上流載置台３と下流載置台４においては、ローラ２の押圧力により基板材料Ｂを介して弾性的に下降した分だけ下流載置台４が上流載置台３より低くなる段差が生じる（この段差は、上流載置台３側が下方に傾斜する状態でもよい）。そして、ローラ２は、弾性的に下降した下流載置台４と上流載置台３との段差に亘る基板材料Ｂの傾斜に倣ってなおも弾性変形して押圧力を加える。これにより、下流載置台４に達している基板材料Ｂは、該境目を中心として所定角度で下方に折れ曲がることとなる。
【００３９】
そして、上流載置台３と下流載置台４とのほぼ境目に、基板材料Ｂの割溝Ｂａが位置すると、割溝Ｂａ部位が曲げ応力に対する機械的強度が低いこと、及び該境目に位置する割溝Ｂａを中心として下流側と上流側とに亘る未分割の基板材料Ｂが該割溝Ｂａ部位で所定角度の折れ曲がりの応力を受けること、により、図３（ｄ）に示すように、前記折れ曲がりが進行（このとき下流載置台４は最下降）し、基板材料Ｂが該割溝Ｂａで分割される。
【００４０】
この分割時に、分割された基板材料Ｂは、上流載置台３と下流載置台４との境目における割溝Ｂａより下流に位置する全域が分割直前まで下流端が下方に傾斜した状態で折れ曲がっていたこと、また、該全域がローラ２の弾性変形により分割後も下方への押圧力を受けていること、から、上方に跳ね上がることがない。
【００４１】
一方、上流載置台３における未分割の基板材料Ｂは、分割前、分割中、分割直後、つまり常に上流載置台３におおける下流載置４側の縁部位置で、上流側に残留している基板材料Ｂの全域をローラ２により押圧しているから、上方に跳ね上がることもない。
【００４２】
上記のように分割動作を行い、１枚の基板材料Ｂのうち最後の分割あるいは上流側の未分割の基板材料Ｂが残りわずかとなった場合、図３（ｅ）に示すように、本実施例１では、不図示の制御部により押圧機構２Ｃを作動させて、最後の分割をより確実に行うようにしている。
【００４３】
例えば、分割サイズが極めて小さい場合などは、最終の分割時に上流側に残留する基板材料Ｂがローラ２の弾性変形に吸収されて上方に跳ね上がることがあり、このように該残留する基板材料Ｂが跳ね上がると下流載置台４にある分割されるべき基板材料Ｂとの間で曲げ応力を与えることができず、分割ができないこととなる。
【００４４】
したがって、押圧機構２Ｃを作動させて、上下動機構２ｂを下降させることでローラ２の押圧力に加えて、さらに押圧板２ｂから大きな押圧力を加えて、図３（ｅ）に示すように、この残留する基板材料Ｂを上流載置台３との間で強力に狭持支持する。こうすることで、上記のとおり分割サイズが極めて小さい場合の最終分割に位置に近い分割も確実に行うことが可能となる。
【００４５】
図３（ｅ）のように１回の分割動作を終えると、図２（ｂ）に示すように分割されることとなり、次の分割動作時には、図２（ｂ）に示す状態を９０度回転させて図２（ｃ）に示すようにして再度上流載置台３に載置し、上記と同様の分割動作を行うと、下流載置台４には、図２（ｄ）に示すように分割された基板材料Ｂ（分割された個片）となる。
【実施例２】
【００４６】
図４及び図５に示す分割装置１は、次の点が上記実施例１の構成とは異なる。すなわち、実施例２の分割装置１は、上流載置台３１が下流載置台４と同じく弾性脚部３１ａによって下降する構成とされると共に、該上流載置台３１と該下流載置台４との双方に固定脚部３１ｂ，４ｂが設けられている点、さらには、上流載置台３１と下流載置台４の上面にそれぞれ回転テーブル３１Ａ，４Ａが設けられている点が相違する。
【００４７】
固定脚部３１ｂ，４ｂは、搬送方向が変わったときに、不図示の制御部により、上流側になる載置台３１，４を下降しないように固定すべく突出し、一方、下流側になる載置台３１，４を下降可能とすべく退入する、例えば油圧シリンダを採用している。もちろん、固定脚部３１ｂ，４ｂは油圧シリンダに限定されるものではなく、前記機能を発揮するならばエアシリンダでも、支持棒を上流載置台３１と下流載置台４との間で移動させる構成であってもよい。
【００４８】
回転テーブル３１Ａ，４Ａは、上下流の載置台間を移動し終えた（１回の分割を終えた）基板材料Ｂをカバー５毎に９０度回転させるためのものである。すなわち実施例２の分割装置１は、実施例１で図２（ｂ）に示す１回の分割を終えて下流載置台４へ移動した基板材料Ｂを９０度回転させて上流載置台３へ移動する手間を省く構成としている。
【００４９】
実施例２の分割装置１は、図５（ａ）に示すように、上流載置台３１に未分割の基板材料Ｂを上記実施例１と同じように載置する。このとき、上流載置台３１の固定脚部３１ｂが突出して該上流載置台３１は下降しない固定状態となっている。一方、下流載置台４は、固定脚部４ｂが退入して該下流載置台４は下降する状態となっている。
【００５０】
そして、実施例１のように１回の分割を終えて、基板材料Ｂが図２（ｂ）に示すように分割されて図５（ｂ）に示すように、下流載置台４に移動すると、まず、下流載置台４における回転テーブル４Ａが９０度回転して図２（ｃ）に示す状態となる。
【００５１】
そして、下流載置台４は、固定脚部４ｂが突出して該下流載置台４は下降しない固定状態となる。一方、上流載置台３１の固定脚部３１ｂが退入して該上流載置台３１は下降する状態となる。
【００５２】
さらに、ローラ２の軸２Ｂが下流載置台４の上流載置台３１側の縁部上方に移動し、図５（ｃ）に示す状態となり、この段階より、それまでの下流載置台４が基板材料Ｂの搬送方向の上流に、上流載置台３１が下流の位置関係となる。なお、ローラ２の軸２Ｂは説明上の上流と下流の部材名称は相違するが、搬送方向に対しては上流載置台の下流載置台側の縁部上方に位置する点は変わりがない。
【００５３】
図５（ｃ）に示す状態から、説明上、ローラ２を逆回転させると共に搬送機構を逆行駆動して、下流載置台４から上流載置台３１へ基板材料Ｂを搬送して、分割が行われると、図５（ｄ）及び図２（ｄ）に示すように基板材料Ｂは個々に分割される。
【００５４】
この後、初期状態に戻すべく、上流載置台３１の固定脚部３１ｂが突出して該上流載置台３１は下降しない固定状態に、下流載置台４の固定脚部４ｂが退入して該下流載置台４は下降する状態に、また、ローラ２の軸２Ｂの位置を上流載置台３１の下流載置台４側の縁部上方に位置させる。
【００５５】
このように実施例２であれば、上流載置台３１と下流載置台４との間の１往復の搬送で、全分割が行えるので、実施例１において下流載置台４から基板材料Ｂを９０度回転して再度上流載置台３に戻す手間と時間が短縮されると共に分割後の基板材料Ｂの不要な移動が抑制され、分割が確実となる。
【実施例３】
【００５６】
図６及び図７に示す実施例３による分割装置１は、下流載置台４の下面に最後の分割時に下流載置台４を弾性的な下降に抗して上昇させる上昇機構４Ｂを設けた点が実施例１とは相違する。
【００５７】
上昇機構４Ｂは、実施例３では例えば油圧シリンダを採用するが、これに限らない。実施例３では、図７に示すように、上流載置台３において最後の分割時、つまり該上流載置台３に分割しない最後の基板材料Ｂが、該上流載置台３と下流載置台４との境目には分割される最後の基板材料Ｂが、各々位置するとき、下流載置台４をある程度下降させたうえで上流載置台３の高さより上昇させる。
【００５８】
このようにすることで、最後の分割位置においては、一旦下流載置台４が（上流載置台３に対して）下降したうえで上昇するので、基板材料Ｂの曲げ応力が上下に割溝Ｂａへ加わることとなるため、より容易に分割可能となる。なお、この上昇機構４Ｂは、実施例２の構成と組み合わせる場合は、該実施例２における下流側の載置台となる固定脚部３１ｂ，４ｂを上昇させることで兼務させても構わない。
【実施例４】
【００５９】
図８に示す実施例４の分割装置１は、上流載置台３の下流載置台４側の縁部に面圧センサ８を埋設した点が実施例１の構成とは異なる。面圧センサ６は上流載置台３のローラ２の軸方向に間欠的に複数埋設されており、ローラ２によって押圧力を与えている間の圧力を不図示の制御部を介して数値化してモニタする。
【００６０】
このようにすることで、例えば最終分割位置に近付くにつれて、ローラ２の押圧力を増加させるなどの、経時的な制御が可能となるほか、初期的なローラ２の押圧力の確認、及び軸２Ｂの傾斜による押圧力の偏りなどを確認することができ、より一層確実な分割が可能となる。
【００６１】
なお、実施例２と組み合わせる場合は、下流載置台４にも面圧センサ６を埋設しておけば、下流載置台４から上流載置台３１への復動時における押圧力の確認を行うことができる。
【符号の説明】
【００６２】
１  分割装置  
２  ローラ
２Ａ  弾性ローラ
２Ｂ  軸
２Ｃ  押圧機構
２ａ  押圧板
２ｂ  上下動機構
３  上流載置台
３１  上流載置台
３１ａ  弾性脚部
３１ｂ  固定脚部
３１Ａ  回転テーブル
４  下流載置台
４ａ  弾性脚部
４ｂ  固定脚部
４Ａ  回転テーブル
４Ｂ  上昇機構
５  カバー
５ａ  上カバー
５ｂ  下カバー
６  面圧センサ
【図１】
2012164690.tif 000003
【図２】
2012164690.tif 000004
【図３】
2012164690.tif 000005
【図４】
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【図５】
2012164690.tif 000007
【図６】
2012164690.tif 000008
【図７】
2012164690.tif 000009
【図８】
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