(57)【要約】【課題】シール性能を高く保ちながら、空気注入装置の製造コストを低減できる研磨治具の空気供給方法を提供する。【解決手段】空気注入口１６に、シール部材３４を有する注入口部材４を挿入する接続ステップと、空気出口３６から空気を吐出させる空気供給ステップとを有する。前記注入口部材４には、周壁４２と、第１、第２の側壁４３，４４とを有する環状溝４１が形成されている。シール部材３４は、Ｏリングからなり、環状溝４１の中に挿入される。前記接続ステップの終了後は、シール部材３４と周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成され、第１の側壁４３とシール部材３４との間に隙間Ｓ１が形成され、第２の側壁４４にシール部材４３が接触する。空気供給ステップは、シール部材３４が空気圧で径方向外側に付勢され、シール部材３４の外周部が空気注入口１６の壁面１６ａに押し付けられる押圧ステップを含む。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気圧で膨らむバルーン部材を有する眼鏡レンズ用研磨治具に形成された断面円形の孔からなる空気注入口に、この空気注入口に全周にわたって接触するシール部材を有しかつ空気出口が先端部に形成された円柱状の注入口部材を挿入する接続ステップと、
前記空気出口から空気を吐出させて前記バルーン部材を膨らませる空気供給ステップとを有し、
前記注入口部材には、この注入口部材の外周面と平行な周壁と、この周壁から径方向の外側に延びる一対の側壁とを有する環状溝が形成され、
前記シール部材は、弾性体によって前記環状溝の周方向の全域に延びる円環状に形成されて前記環状溝の中に挿入され、
前記接続ステップが終了した後は、前記シール部材の内周部と前記周壁との間に隙間が形成されるとともに、前記一対の側壁のうち空気注入口内に先に挿入される一方の側壁と前記シール部材との間に隙間が形成され、かつ他方の側壁にシール部材が接触する状態になり、
前記空気供給ステップは、前記シール部材が空気圧によって径方向の外側に付勢され、シール部材の外周部が空気注入口の壁面に押し付けられる加圧ステップを含むことを特徴とする研磨治具の空気注入方法。
【請求項２】
請求項１記載の研磨治具の空気注入方法において、前記シール部材は、前記環状溝の前記周壁に接触するとともに前記側壁との間に隙間が形成される形状に形成され、
前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記他方の側壁に向けて押圧される軸方向押圧ステップと、
前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記周壁との間に隙間が形成されるように弾性変形する径方向変形ステップとを含むことを特徴とする研磨治具の空気注入方法。
【請求項３】
請求項１記載の研磨治具の空気注入方法において、前記シール部材は、前記環状溝の前記両側壁に接触するとともに前記周壁との間に隙間が形成される形状に形成され、
前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記一方の側壁との間に隙間が形成されるように弾性変形する軸方向変形ステップとを含むことを特徴とする研磨治具の空気注入方法。
【請求項４】
請求項１記載の研磨治具の空気注入方法において、前記シール部材は、前記環状溝の前記側壁と前記周壁との間に隙間が形成される形状に形成され、
前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記他方の側壁に向けて押圧される軸方向押圧ステップを含むことを特徴とする研磨治具の空気注入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気圧で膨らむバルーン部材を備えた研磨治具に空気を注入するための研磨治具の空気注入方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、眼鏡レンズのレンズ面を研磨するための研磨装置としては、たとえば特許文献１に記載されているように、空気圧で膨らむバルーン部材を備えた研磨治具を使用するものがある。この特許文献１に示す研磨治具は、前記バルーン部材と、このバルーン部材を支持する支持部材と、この支持部材に形成された空気通路を開閉するバルブなどによって構成されている。
【０００３】
前記空気通路は、前記支持部材の一端面に開口する空気注入口からバルーン部材の内部に延びるように形成されている。前記バルブは、前記空気注入口に供給された空気の圧力によって開く構造のものである。
前記バルーン部材への空気の注入は、研磨治具を空気注入装置に装着して行われている。この空気注入装置は、研磨治具が載置される設置台と、前記空気注入口に挿入される注入口部材と、この注入口部材の空気出口から空気を吐出させるための空気供給装置などを備えている。
【０００４】
前記注入口部材は、前記設置台に研磨治具を載置することによって空気注入口に挿入されるように、設置台に突出する状態で取付けられている。この注入口部材は、円板状に形成された本体と、この本体と空気注入口との間をシールするためのシール部材とによって構成されている。前記空気出口は、前記本体の外周面に開口している。前記シール部材は、弾性材料によって前記本体の外周部を囲むカップ状に形成されており、自らの弾性で前記本体に保持されるように構成されている。
【０００５】
このシール部材の外周部分は、前記本体とともに前記空気注入口内に挿入された状態で空気が本体の空気出口から吐出されることにより、径方向の外側に膨らんで空気注入口の壁面に密着する。このようにシール部材が変形することによって、注入口部材と空気注入口との間がシールされる。空気出口から吐出された空気は、前記本体と前記シール部材との間の隙間を通ってシール部材の中心部から空気注入口内に流入する。
。すなわち、従来の研磨治具の空気注入方法は、注入口部材が空気注入口に挿入された状態で注入口部材に空気を供給するステップと、空気がシール部材を径方向の外側に膨らませるステップとによって実施されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１０６１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示す従来の研磨治具の空気注入方法は、空気を注入口部材の本体とシール部材との間の隙間に通す方法であるから、シール部材の形状に制約を受けるという問題があった。すなわち、シール部材は、注入口部材の本体に被される形状に形成しなければならないために、特殊な形状の専用部品になってしまう。このため、研磨治具に空気を注入するために用いる空気注入装置の製造コストが高くなってしまう。なお、このような不具合を解消するに当たっては、シール部材のシール性能が低下するようなことは避けなければならない。
【０００８】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、シール性能を高く保ちながら、空気注入装置の製造コストを低減できる研磨治具の空気供給方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明に係る研磨治具の空気注入方法は、空気圧で膨らむバルーン部材を有する眼鏡レンズ用研磨治具に形成された断面円形の孔からなる空気注入口に、この空気注入口に全周にわたって接触するシール部材を有しかつ空気出口が先端部に形成された円柱状の注入口部材を挿入する接続ステップと、前記空気出口から空気を吐出させて前記バルーン部材を膨らませる空気供給ステップとを有し、前記注入口部材には、この注入口部材の外周面と平行な周壁と、この周壁から径方向の外側に延びる一対の側壁とを有する環状溝が形成され、前記シール部材は、弾性体によって前記環状溝の周方向の全域に延びる円環状に形成されて前記環状溝の中に挿入され、前記接続ステップが終了した後は、前記シール部材の内周部と前記周壁との間に隙間が形成されるとともに、前記一対の側壁のうち空気注入口内に先に挿入される一方の側壁と前記シール部材との間に隙間が形成され、かつ他方の側壁にシール部材が接触する状態になり、前記空気供給ステップは、前記シール部材が空気圧によって径方向の外側に付勢され、シール部材の外周部が空気注入口の壁面に押し付けられる加圧ステップを含む研磨治具の空気注方法である。
【００１０】
本発明は、上記発明において、前記シール部材は、前記環状溝の前記周壁に接触するとともに前記側壁との間に隙間が形成される形状に形成され、前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記他方の側壁に向けて押圧される軸方向押圧ステップと、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記周壁との間に隙間が形成されるように弾性変形する径方向変形ステップとを含む研磨治具の空気注入方法である。
【００１１】
本発明は、上記発明において、前記シール部材は、前記環状溝の前記両側壁に接触するとともに前記周壁との間に隙間が形成される形状に形成され、前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記一方の側壁との間に隙間が形成されるように弾性変形する軸方向変形ステップとを含む研磨治具の空気注入方法である。
【００１２】
本発明は、上記発明において、前記シール部材は、前記環状溝の前記側壁と前記周壁との間に隙間が形成される形状に形成され、前記接続ステップは、前記シール部材が前記空気注入口の壁面との摩擦により前記他方の側壁に向けて押圧される軸方向押圧ステップを含む研磨治具の空気注入方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、空気は、注入口部材の空気出口から空気注入口内に直接流入する。シール部材は、環状溝に沿って延びる円環状の弾性体によって構成されているから、安価な既製品を使用することができる。また、この空気注入方法によれば、接続ステップが終了した後、すなわち空気供給ステップが開始される以前に、注入口部材の空気出口からシール部材の内周部に延びる加圧用空気通路を確保することができる。このため、シール部材が既製品であるにもかかわらず、シール部材の内周部に空気の圧力を確実に加えることができ、空気圧でシール部材を付勢してシールを行うことができる。
したがって、本発明によれば、シール性能を高く保ちながら、空気注入装置の製造コストを低減可能な研磨治具の空気供給方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】研磨治具と設置台の構成を示す断面図である。
【図２】研磨治具の空気注入口部分を拡大して示す断面図である。
【図３】設置台に取付けられた注入口部材の断面図である。
【図４】接続ステップの初期の状態を示す断面図である。
【図５】接続ステップが終了した状態を示す断面図である。
【図６】研磨治具に空気を注入する方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】接続ステップの初期の状態を示す断面図である。
【図８】接続ステップが終了した状態を示す断面図である。
【図９】研磨治具に空気を注入する方法を説明するためのフローチャートである。
【図１０】接続ステップの初期の状態を示す断面図である。
【図１１】接続ステップが終了した状態を示す断面図である。
【図１２】研磨治具に空気を注入する方法を説明するためのフローチャートである。
【図１３】実験時の各部の寸法を示す断面図である。
【図１４】実験結果を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る研磨治具の空気注入方法の一実施の形態を図１〜図６によって詳細に説明する。
本発明に係る空気注入方法は、図１に示す研磨治具用空気注入装置１によって実施される。図１に示す研磨治具用空気注入装置１は、眼鏡レンズ用研磨治具２が載置される設置台３と、この設置台３に突設された注入口部材４と、この注入口部材４に空気通路５を介して接続された空気供給装置６とを備えている。
【００１６】
前記研磨治具２は、特許文献１に記載されている研磨治具と同等のもので、空気注入装置１によって空気が注入された後に図示していない研磨装置に装填される。この実施の形態による研磨治具２は、空気圧によって膨らむゴム製のバルーン部材１１と、このバルーン部材１１を支持するための支持部材１２とを備えている。バルーン部材１１は、後述する空気供給装置６から空気が供給されて膨らみ、表面が所定の曲率となるように膨らんだ状態で図示していない研磨パッドが装着される。所定の曲率とは、研磨の対象となる眼鏡レンズのレンズ面の曲率である。
【００１７】
前記支持部材１２には、前記バルーン部材１１内に空気を注入したり、バルーン部材１１内から空気を排出したりするための空気通路１３が形成されている。この空気通路１３は、支持部材１２に穿設された断面円形の円形孔１４と、この円形孔１４とバルーン部材１１との間に設けられたバルブ１５とによって構成されている。前記円形孔１４におけるバルーン部材１１とは反対側に位置する一端は、支持部材１２の平坦な取付面１２ａに空気注入口１６として開口している。この空気注入口１６は、前記取付面１２ａに開口形状が円形となるように開口し、この取付面１２ａとは直交する方向に延びるように形成されている。
【００１８】
前記バルブ１５は、図２に示すように、ボール２１と円錐コイルばね２２とからなる逆止弁２３と、前記ボール２１と対向する排気用ピン２４を有する排気機構２５とを備えている。前記逆止弁２３は、空気を空気注入口１６側からバルーン部材１１内にのみ通す構造が採られている。前記排気用ピン２４は、前記ボール２１を円錐コイルばね２２のばね力に抗して押圧するためのものである。この排気用ピン２４は、図２に示す後退位置と、この排気用ピン２４の前端部がボール２１を押圧する排気位置との間で進退できるようにバルブハウジング２６に支持されている。また、前記排気用ピン２４は、バルブハウジング２６との間に設けられた円錐コイルばね２７によってボール２１から離間する方向に付勢されている。
【００１９】
前記設置台３は、図１に示すように、前記研磨治具２が載置される平坦な設置面３ａを有する板状に形成されている。また、この設置台３は、図示していない移動装置に支持されており、研磨治具が着脱される治具着脱位置と、図示していない高さ測定位置との間で移動できるように構成されている。高さ測定位置は、空気圧で膨らんだバルーン部材１１の高さを高さ測定装置（図示せず）が測定する位置である。
【００２０】
バルーン部材１１は、設置台３に載置された状態で後述する空気供給装置６から空気が供給されて膨らむ。バルーン部材１１の表面の曲率は、バルーン部材１１の高さに対応して変化する。このため、バルーン部材１１には、前記高さ測定装置によって測定された高さと、目標とする曲率（研磨される眼鏡レンズのレンズ面の曲率）に対応した高さとが一致するまで空気が供給される。
注入口部材
前記注入口部材４は、図３に示すように、前記設置台３のねじ孔３１に螺着されたねじ部３２を有しかつ前記設置面３ａから突出する円柱状の本体３３と、この本体３３の外周部に装着された弾性体からなるシール部材３４とによって構成されている。
前記ねじ孔３２は、前記空気通路５を介して前記空気供給装置６に接続されている。空気供給装置６は、エアコンプレッサー（図示せず）を空気供給源とするものである。
【００２１】
円柱状を呈する前記本体３３の外径Ａは、前記研磨治具２の空気注入口１６の内径Ｂ（図２参照）より小さく形成されている。この本体３３の軸心部には、貫通孔３５が穿設されている。この貫通孔３５の一端は、前記本体３３の突出側端面に空気出口３６として開口している。貫通孔３５の他端は、前記空気通路５に接続されている。
【００２２】
前記本体３３の外周部には、後述するシール部材３４を保持するための環状溝４１が周方向に延びるように形成されている。この実施の形態による環状溝４１は、前記本体３３の外周面３３ａと平行な周壁４２と、この周壁４２から径方向の外側に延びる第１の側壁４３および第２の側壁４４とによって形成されている。第１の側壁４３および第２の側壁４４は、設置台３の前記設置面３ａと平行になるように形成されている。
【００２３】
前記シール部材３４は、弾性体によってされており、前記環状溝４１の中に挿入されている。シール部材３４の形状は、前記環状溝４１に沿って周方向の全域に延びる円環状である。この実施の形態で使用しているシール部材３４は、既製品のＯリングである。
このシール部材３４の内径ｄ１は、前記周壁４２の外径Ｄと等しくなるように形成されている。また、シール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇより小さくなるように形成されている。すなわち、このシール部材３４が環状溝４１内に挿入された状態においては、環状溝４１の第１の側壁４３と第２の側壁４４とのうち少なくともいずれか一方とシール部材３４との間に隙間Ｓ１が形成される。さらに、シール部材３４の外径ｄ２は、空気注入口１６の内径Ｂより大きく形成されている。
【００２４】
なお、シール部材３４は、Ｏリングに限定されることはなく、前記環状溝４１の周方向の全域に延びる形状の弾性体であれば、どのようなものであっても使用することができる。たとえば、このシール部材３４は、リング状に成形された弾性体を用いることができるし、リングが周方向の１箇所で切断された形状の弾性体を用いることもできる。このように１箇所で切断されたリング状の弾性体をシール部材３４として用いると、Ｃ字状に拡げることができるから、環状溝４１に挿入する作業と、環状溝４１から取り外す作業とを容易に行うことができる。
【００２５】
シール部材３４を形成する弾性体の材料は、たとえばフッ素ゴム（ＦＰＭ）を使用することができる。フッ素ゴムは、自己潤滑性を有するため、シール部材３４を研磨治具２の空気注入口１６に出し入れするときに抵抗が小さくなる。このため、研磨治具２の着脱が容易になるとともに、シール部材３４が摩耗し難くなる。
【００２６】
次に、上述した空気注入装置を用いる研磨治具の空気注入方法について説明する。
この実施の形態による研磨治具の空気注入方法は、図６に示すように、接続ステップＰ１と、空気供給ステップＰ２と、高さ調整ステップＰ３とによって実施する。
前記接続ステップＰ１は、治具着脱位置に位置している設置台３に研磨治具２を載置させ、図４および図５に示すように、注入口部材４を空気注入口１６に挿入することによって行われる。
【００２７】
この接続ステップＰ１において、注入口部材４が空気注入口１６内に挿入されると、先ず、図４に示すように、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６ａとの摩擦により第２の側壁４４に向けて押圧される（軸方向押圧ステップＰ４）。シール部材３４は、図４に示すように、前記押圧によって第２の側壁４４に接触させられる。
前記壁面１６ａは、このようにシール部材３４が第２の側壁４４に接触している状態でさらに進む（図４において下方に移動する）。このように壁面１６ａがさらに進むことにより、シール部材３４の外周部が壁面１６ａとの摩擦により壁面１６ａの進行方向に押され、図５中に矢印で示すように、シール部材３４における第１の側壁４３と対向する部分が径方向の外側に変位する（径方向変形ステップＰ５）。
【００２８】
この接続ステップＰ１が終了した後は、図５に示す状態になる。すなわち、この状態においては、第２の側壁４４にシール部材３４が接触する。また、前記一対の側壁４３，４４のうち空気注入口１６内に先に挿入される第１の側壁４３とシール部材４３との間に隙間Ｓ１が形成される。さらに、シール部材３４の内周部と前記周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成される。
【００２９】
このように接続ステップＰ１が終了した後、空気供給ステップＰ２に移る。空気供給ステップＰ２は、接続ステップＰ１が終了した後に注入口部材４の空気出口３６からシール部材３４の内周部に延びる加圧用空気通路５１（図５参照）が確保されている状態で実施される。加圧用空気通路５１は、注入口部材４と前記バルブ１５との間に形成された空間と、注入口部材４の先端部と空気注入口１６との間の隙間Ｓ３（図５参照）と、前記隙間Ｓ１と、前記隙間Ｓ２とによって構成されている。
【００３０】
前記空気供給ステップＰ２においては、前記設置台３を高さ測定位置に移動させ、空気供給装置６を動作させて空気を空気通路５に吐出させる。空気通路５内の空気は、注入口部材４の貫通孔３５を通って空気注入口１６内に流入する。空気注入口１６内に供給された空気は、空気注入口１６内の圧力が上昇してバルブ１５が開くことによって、バルブ１５を通ってバルーン部材１１内に流入する。バルーン部材１１は、このように空気が注入されることによって膨らむ。
【００３１】
一方、空気出口３６から吐出された空気の圧力は、前記加圧用空気通路５１を介してシール部材３４の内周部にも伝播される。このようにシール部材３４の内周部に空気圧力が加えられることにより、シール部材３４が径方向の外側に向けて押圧され、空気注入口１６の壁面１６ａを押す力が増す（加圧ステップＰ６）。すなわち、この実施の形態によれば、空気圧でシール部材３４を付勢して注入口部材４と空気注入口１６との間をシールすることができる。
【００３２】
バルーン部材１１への空気の注入は、高さ調整ステップＰ３において、高さ測定装置によって測定されたバルーン部材１１の高さが目標の高さに達するまで行われる。この目標の高さは、研磨の対象としている眼鏡レンズの曲率と対応した高さである。
設置台３は、バルーン部材１１への空気の注入が終了した後に治具着脱位置に戻される。研磨治具２は、設置台３が治具着脱位置に移動した後に設置台３から取り外され、研磨装置に装填される。
【００３３】
したがって、この実施の形態によれば、空気供給ステップＰ２が開始される以前に前記加圧用空気通路５１が確保されているから、安価な既製品のシール部材３４を使用しているにもかかわらず、シール部材３４の内周部に空気の圧力を確実に加えることができ、空気圧でシール部材３４を付勢してシールを行うことができる。
したがって、この実施の形態によれば、シール性能を高く保ちながら、空気注入装置１の製造コストを低減可能な研磨治具２の空気供給方法を提供することができる。
【００３４】
この実施の形態による前記接続ステップＰ１は、前記軸方向押圧ステップＰ４と前記径方向変形ステップＰ５とによって構成されている。軸方向押圧ステップＰ４においては、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６ａとの摩擦により第２の側壁４４に向けて押圧される。径方向変形ステップＰ５においては、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６ａとの摩擦により前記周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成されるように弾性変形する。
このため、この実施の形態によれば、注入口部材４を空気注入口１６の中に挿入する操作によってシール部材３４を径方向の外側に弾性変形させて前記加圧用空気通路５１を強制的に形成することができる。したがって、この実施の形態によれば、シール部材３４をより一層確実に径方向の外側に拡げることができるから、シールの信頼性を高くすることができる。
【００３５】
（第２の実施の形態）
加圧用空気通路を確保するためには、図７〜図９によって説明する方法によって行うことができる。
図７〜図９において、前記図１〜図６によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図７に示すシール部材３４の外径ｄ２は、前記図３〜図５に示したシール部材と同様に空気注入口１６の内径Ｂより大きく形成されている。しかし、このシール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇと一致するように形成されている。また、このシール部材３４の内径ｄ１は、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄより大きく形成されている。
【００３６】
すなわち、この実施の形態によるシール部材３４は、環状溝４１の前記両側壁４３，４４に接触するとともに、前記周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成される形状に形成されている。この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入されると、図８中に矢印で示すように、空気注入口１６の壁面１６ａとの摩擦により軸方向において設置台３側に押される。
【００３７】
このため、この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入される接続ステップＰ１において、第１の側壁４３との間に隙間Ｓ１が形成されるように弾性変形する。すなわち、この実施の形態による接続ステップＰ１は、上述したようにシール部材３４が軸方向に押されて弾性変形する軸方向変形ステップＰ７（図９参照）によって構成されている。この実施の形態においても、前記接続ステップＰ１が終了することによって、図８に示すように、注入口部材４の空気出口３６からシール部材３４の内周部に至る加圧用空気通路５１が形成される。
【００３８】
このため、この実施の形態による研磨治具２の空気注入方法によれば、注入口部材４を空気注入口１６の中に挿入する操作によってシール部材３４を軸方向に弾性変形させて前記加圧用空気通路５１を強制的に形成することができる。したがって、この実施の形態によれば、シール部材３４をより一層確実に径方向の外側に拡げることができるから、シールの信頼性を高くすることができる。
【００３９】
（第３の実施の形態）
加圧用空気通路を確保するためには図１０〜図１２示す方法によって行うことができる。
図１０〜図１２において、前記図１〜図６によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図１０に示すシール部材３４の外径ｄ２は、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６に接触する大きさに形成されている。すなわち、外径ｄ２は、空気注入口１６の内径Ｂと一致するか、内径Ｂより僅かに大きくなるように形成されている。また、このシール部材３４の太さＷは、環状溝４１の溝幅（第１の側壁４３と第２の側壁４４との間隔）Ｇより小さく形成されている。さらに、このシール部材３４の内径ｄ１は、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄより大きく形成されている。
【００４０】
すなわち、この実施の形態によるシール部材３４は、前記環状溝４１の前記側壁３３，３４のうち少なくともいずれか一方の間に隙間Ｓ１が形成されるとともに、前記周壁４２との間に隙間Ｓ２が形成される形状に形成されている。
この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入されると、図１１中に矢印で示すように、シール部材３４が空気注入口１６の壁面１６ａとの摩擦により軸方向において設置台３側に押される。
【００４１】
このため、この実施の形態によるシール部材３４は、空気注入口１６内に挿入される接続ステップＰ１において、上述したように押されて第２の側壁４４に接触する。すなわち、この実施の形態による接続ステップＰ１は、上述したようにシール部材３４が軸方向に押される軸方向押圧ステップＰ４（図１２参照）によって構成されている。この実施の形態においても、前記接続ステップＰ１が終了することによって、注入口部材４の空気出口３６からシール部材３４の内周部に至る加圧用空気通路５１が形成される。
【００４２】
この実施の形態による研磨治具２の空気注入方法によれば、シール部材３４を大きく弾性変形させることなく前記加圧用空気通路５１を形成することができる。したがって、この実施の形態によれば、シール部材３４の弾性変形量が相対的に少ない状態で空気供給ステップＰ２が開始されるから、シール部材３４を空気圧で充分に弾性変形させることができる。この結果、この実施の形態による空気注入方法を採ることによって、シール性能をさらに高くすることが可能になる。
【００４３】
この実施の形態で示した注入口部材４は、図１３に示す寸法で試作して実際に研磨治具２に空気注入を行ったところ、空気が漏洩したりシール部材３４が脱落することなく繰り返し使用することができた。この実験に用いた注入口部材４の本体３３の外径Ａは12.6mmであり、環状溝４１の周壁４２の外径Ｄは7.2mm、溝幅Ｇは3.7mmである。シール部材３４の内径ｄ１は7.5mmであり、太さＷは3.55mmである。このため、シール部材３４の外径は14.6mmである。シール部材３４は、形式AS568-203と呼称されているＯリングを用いた。このＯリングの材料はフッ素ゴム（FPM）である。
【００４４】
この実験は、実際に研磨を行う複数の研磨治具２を用い、各研磨治具２について着脱と空気の注入とを１００回ずつ行った。実験時には、研磨治具２の着脱時にシール部材３４の脱落の有無を確認し、空気注入時に空気漏洩の有無を確認した。実験の結果は、シール部材３４が外れることなく研磨治具２を着脱できた回数が９５回以上であるときに着脱に関して合格とし、空気が漏洩することなく空気を注入できた回数が９５回以上であるときに空気注入に関して合格とした。
【００４５】
この実験の結果は、図１４に示すように、全ての研磨治具２において、研磨治具の着脱と空気注入とに関してそれぞれ合格であった。図１４においては、各研磨治具２について合格を○で示す。図１４に示す各研磨治具２のＡサイズとＢサイズは、空気注入口１６の内径Ｂを互いに直交する２方向から測定した値である。この実験で使用した研磨治具２の空気注入口１６の内径Ｂは、図１４から分かるように、14.0〜14.32mmである。空気注入口１６の大きさは、公差があるために研磨治具２毎に異なっている。
【００４６】
発明者が上述した実験で使用した注入口部材４と従来の注入口部材とについて、それぞれ着脱と空気の注入とを繰り返し行って比較したところ、下記のように本発明の効果を検証することができた。以下においては、上記実験で使用した注入口部材４を「本発明品」といい、従来の注入口部材を「従来品」という。この効果の検証を行うにあたっては、実際の研磨工程の状態を想定して特定の研磨治具のみを繰り返し使用することは避け、実際の研磨工程で用いる複数の研磨治具２を全てが検証の対象となるよう使用した。
【００４７】
（１）注入作業ミスの頻度：
従来品は、シール部材が外れることがあり、１００回の注入作業のうち注入作業ミスが５回発生した。すなわち、従来品の注入作業ミスの頻度は５％になる。
本発明品は、１００回の注入作業のうち注入作業ミスは１回であった。すなわち、本発明品の注入作業ミスの頻度は１％になる。
（２）着脱作業の作業性：
従来品は、シール部材がいわゆるカバータイプのものであるために外れ易く、着脱作業の作業性が低いものである。
本発明品は、シール部材がいわゆる嵌め込みタイプのものであるために外れることはなく、着脱作業の作業性が高いものである。
（３）交換頻度：
従来品の交換頻度は、１日に注入作業を１００回実施すると、１ヶ月（３０日）当たり約２回である。すなわち、従来品は、３０００回の注入作業を実施するうちに２回の交換が必要であった。
本発明品の交換頻度は、１日に注入作業を１００回実施すると、２ヶ月（６０日）で約１回である。すなわち、本発明品は、１回の交換で空気を６０００回注入することができる。
（４）耐久性：
従来品の耐久性と本発明品の耐久性は同等であった。
（５）コスト（単価）：
従来品は、１個当たり３５９０円で、本発明品は、１個当たり２００円である。
（６）１ヶ月当たりのランニングコスト（推定）：
従来品のランニングコストは、従来品の交換頻度が１ヶ月当たり２回とすると、１ヶ月当たり７１８０円になる。
本発明品のランニングコストは、本発明品の交換頻度が１ヶ月当たり０．５個とすると、１ヶ月当たり１００円になる。
（７）その他：
従来品は、いわゆる加工製品であるために、製造するために必要な時間が相対的に長くなる。
本発明品は、汎用のＯリングを使用して製造できるために、製造するために必要な時間は従来品に較べて著しく短くなる。
【００４８】
上述した各実施の形態においては、シール部材３４として断面円形のＯリングを使用する例を示したが、シール部材３４の断面形状は楕円形や長円形など適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１…研磨治具用空気注入装置、２…研磨治具、３…設置台、３ａ…設置面、４…注入口部材、６…空気供給装置、１２ａ…取付面、１６…空気注入口、１６ａ…壁面、３３…本体、３４…シール部材、３６…空気出口、４１…環状溝、４２…周壁、４３…第１の側壁、４４…第２の側壁、５１…加圧用空気通路、Ｓ１，Ｓ２…隙間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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