(57)【要約】【課題】スライダを中間位置で停止させるストッパを設けたとしても軸方向に大型化しないロッドレスシリンダを提供すること。【解決手段】第１シリンダ１０と第２シリンダ３０とを連結部材５１により並列状態に連結した。そして、第１シリンダチューブ１１に第１ピストン１４を収容するとともに、第２シリンダチューブ３１に第２ピストン３４を収容し、各ピストン１４，３４に追従して移動する第１及び第２スライダ５４，５５を両シリンダ１０，３０外に設けた。第１スライダ５４は、第２スライダ５５よりも両シリンダ１０，３０の軸方向一端側に配置されている。第１シリンダチューブ１１内には、停止部材２５が設けられ、第１ピストン１４は停止部材２５に当接することにより停止する。【選択図】図１
2012180862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の給排により移動する第１ピストンが第１シリンダチューブに収容されてなる第１シリンダと、
流体の給排により移動する第２ピストンが第２シリンダチューブに収容されてなる第２シリンダとが、
連結部材により並列状態に連結されるとともに
前記第１及び第２シリンダチューブ外には、前記第１ピストンに追従して移動する第１スライダ、及び前記第２ピストンに追従して移動する第２スライダが配設されるとともに、第１スライダが第２スライダよりも両シリンダの軸方向一端側に配設され、
前記第１スライダ及び前記第２スライダは互いに押圧されることにより移動可能になっており、
前記第１シリンダチューブ内には、前記第１ピストンを前記第１シリンダの両ストロークエンド間の中間位置で停止させる中間位置用ストッパが前記第１シリンダチューブに出入り可能に設けられており、
さらに、前記中間位置用ストッパによる前記第１ピストンの停止に伴う前記第１スライダの停止に伴い、前記中間位置で前記第２スライダを停止させる中間位置停止機構を備えることを特徴とするロッドレスシリンダ。
【請求項２】
前記中間位置停止機構は、前記第２ピストンに発生する推力を、前記第１ピストンに発生する推力より小さくする推力制御手段であることを特徴とする請求項１に記載のロッドレスシリンダ。
【請求項３】
前記中間位置停止機構は、第１スライダと第２スライダを着脱可能にする着脱機構であることを特徴とする請求項１に記載のロッドレスシリンダ。
【請求項４】
前記着脱機構は、マグネットであることを特徴とする請求項３に記載のロッドレスシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダチューブ内に収容されたピストンに追従してシリンダチューブ外に設けられたスライダが移動するロッドレスシリンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロッドレスシリンダとしては、シリンダチューブ外に配設されたスライダを両ストロークエンド間で停止可能としたものがある（例えば特許文献１）。
図６に示すように、特許文献１に記載のロッドレスシリンダ１００において、シリンダチューブ１０１の一端には第１カバー１０２が取り付けられるとともに、他端には筒状の第２カバー１０３が取り付けられている。シリンダチューブ１０１内には、ピストン１０４が収容されるとともに、ピストン１０４により、シリンダチューブ１０１内が第１カバー１０２側の第１圧力室１０５と第２カバー１０３側の第２圧力室１０６に区画されている。ピストン１０４には、複数の永久磁石１０７及びヨーク１０８がシリンダチューブ１０１の軸方向に交互に積層された状態で支持されている。シリンダチューブ１０１外には、スライダ１０９が配設されるとともに、スライダ１０９には、複数の永久磁石１１０及びヨーク１１１がシリンダチューブ１０１の軸方向に交互に積層された状態で支持されている。ピストン１０４が支持する永久磁石１０７とスライダ１０９が支持する永久磁石１１０の極性は、互いに逆になるように設定されている。これにより、ピストン１０４とスライダ１０９との間に磁気吸引力が作用し、スライダ１０９がピストン１０４に追従して移動するようになっている。
【０００３】
シリンダチューブ１０１の同軸上には第２カバー１０３を介して、シリンダチューブ１０１よりチューブ径の大きい中間停止用シリンダチューブ１２０が連設されている。中間停止用シリンダチューブ１２０において、第２カバー１０３と逆側の端部には第３カバー１２１が取り付けられている。中間停止用シリンダチューブ１２０内には、ピストン１０４より大径のピストン１２２が収容されるとともに、ピストン１２２により中間停止用シリンダチューブ１２０内が、第３カバー１２１側の第３圧力室１２３と第２カバー１０３側の第４圧力室１２４に区画されている。ピストン１２２には、ピストンロッド１２５が一体形成されるとともに、ピストンロッド１２５はシリンダチューブ１０１に向かって延設されている。
【０００４】
上記のロッドレスシリンダ１００は、第１圧力室１０５と第２圧力室１０６への流体の供給を切り替えることにより、ピストン１０４とともに、スライダ１０９をシリンダチューブ１０１の一端から他端まで移動させ、両ストロークエンドに移動させることができる。また、一方のストロークエンドにあるスライダ１０９を両ストロークエンド間の中間位置で停止したい場合、第３圧力室１２３と第１圧力室１０５に流体を供給する。このとき、ピストン１２２の受圧面積はピストン１０４の受圧面積よりも大きくなるため、同一圧の流体を供給した場合、ピストン１２２が第２カバー１０３の内端面に当接するまで移動する。ピストン１２２の移動に伴い、ピストンロッド１２５は第２カバー１０３を貫通してシリンダチューブ１０１内に突出し、ピストンロッド１２５の先端部にピストン１０４が当接する。そして、この当接によりピストン１０４の移動が規制され、スライダ１０９を中間位置で停止させることができる。
【０００５】
また、第１圧力室１０５に流体を供給した状態で、第３圧力室１２３から流体を排出すると、ピストン１０４はピストンロッド１２５をシリンダチューブ１０１外へ向かって押圧しながら第２カバー１０３の内端面に当接するまで移動する。これにより、ピストン１２２に作用するスライダ１０９を中間位置から他方のストロークエンドまで移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２７８０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献１に記載のロッドレスシリンダ１００においては、スライダ１０９を中間位置から他方のストロークエンドまで移動させるために、ピストンロッド１２５をその軸方向に沿ってシリンダチューブ１０１外へ移動させる必要がある。このため、特許文献１においては、シリンダチューブ１０１の軸方向に中間停止用シリンダチューブ１２０を連設する必要があり、ロッドレスシリンダ１００が軸方向に大型化してしまっている。
【０００８】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、スライダを中間位置で停止させるストッパを設けたとしても軸方向に大型化しないロッドレスシリンダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、流体の給排により移動する第１ピストンが第１シリンダチューブに収容されてなる第１シリンダと、流体の給排により移動する第２ピストンが第２シリンダチューブに収容されてなる第２シリンダとが、連結部材により並列状態に連結されるとともに、前記第１及び第２シリンダチューブ外には、前記第１ピストンに追従して移動する第１スライダ、及び前記第２ピストンに追従して移動する第２スライダが配設されるとともに、第１スライダが第２スライダよりも両シリンダの軸方向一端側に配設され、前記第１スライダ及び前記第２スライダは互いに押圧されることにより移動可能になっており、前記第１シリンダチューブ内には、前記第１ピストンを前記第１シリンダの両ストロークエンド間の中間位置で停止させる中間位置用ストッパが前記第１シリンダチューブに出入り可能に設けられており、さらに、前記中間位置用ストッパによる前記第１ピストンの停止に伴う前記第１スライダの停止に伴い、前記中間位置で前記第２スライダを停止させる中間位置停止機構を備えることを要旨とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記中間位置停止機構は、前記第２ピストンに発生する推力を、前記第１ピストンに発生する推力より小さくする推力制御手段であることを要旨とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記中間位置停止機構は、第１スライダと第２スライダを着脱可能にする着脱機構であること要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記着脱機構は、マグネットであることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、スライダを中間位置で停止させるストッパを設けたとしてもロッドレスシリンダが軸方向に大型化しない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態におけるロッドレスシリンダの断面図。
【図２】（ａ）は第１実施形態におけるロッドレスシリンダの中間位置での停止状態を示す断面図、（ｂ）は第１実施形態におけるロッドレスシリンダの他端側ストロークエンドでの停止状態を示す断面図。
【図３】第２実施形態におけるロッドレスシリンダの断面図。
【図４】（ａ）は第２実施形態におけるロッドレスシリンダの中間位置での停止状態を示す断面図、（ｂ）は第２実施形態におけるロッドレスシリンダの他端側ストロークエンドでの停止状態を示す断面図。
【図５】第１実施形態におけるロッドレスシリンダの別例を示す断面図。
【図６】従来例のロッドレスシリンダを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１実施形態）
以下、本発明のロッドレスシリンダをマグネット式ロッドレスシリンダに具体化した第１実施形態について図１及び図２にしたがって説明する。
【００１５】
図１に示すように、マグネット式ロッドレスシリンダ１は、第１シリンダ１０と第２シリンダ３０とが連結部材５１によって並列状態に連結されることにより構成されている。第１シリンダ１０において、第１シリンダチューブ１１の軸方向一端（図中右端）には第１ヘッドキャップ１２が嵌合されるとともに、軸方向他端（図中左端）には第１エンドキャップ１３が嵌合されている。そして、第１シリンダチューブ１１内には、第１ピストン１４が収容されている。第１ピストン１４は、ピストン本体１９に環状の永久磁石１７及びヨーク１８を交互に配置するとともに、ピストン本体１９、永久磁石１７及びヨーク１８にピストンシャフト２０を挿通することにより構成されている。ピストン本体１９の両端部には環状のクッションリング２１が固定されている。
【００１６】
第１ピストン１４は、第１シリンダチューブ１１内を、第１ヘッドキャップ１２側の第１室１５と、第１エンドキャップ１３側の第２室１６側に区画している。第１ヘッドキャップ１２には、第１室１５に連通するとともに、流体としてのエアを第１室１５に供給、排出する第１給排ポート１２ａが形成されている。
【００１７】
第１給排ポート１２ａには、第１切替弁６１を介してコンプレッサ６２が接続されている。第１切替弁６１は、第１位置ａ１と第２位置ｂ１の二つの状態に切替可能となっている。第１切替弁６１が第１位置ａ１に切り替えられたときは、第１給排ポート１２ａが大気に開放され、第１室１５からエアが排出されるようになっている。また、第１切替弁６１が第２位置ｂ１に切り替えられたときは、第１給排ポート１２ａとコンプレッサ６２が連通することにより、第１室１５にエアが供給されるようになっている。
【００１８】
第２シリンダ３０において、第２シリンダチューブ３１の一端には第２ヘッドキャップ３２が嵌合されるとともに、他端には第２エンドキャップ３３が嵌合されている。そして、第２シリンダチューブ３１内には、第２ピストン３４が収容されている。第２ピストン３４は、ピストン本体３９に環状の永久磁石３７及びヨーク３８を交互に配置するとともに、ピストン本体３９、永久磁石３７及びヨーク３８にピストンシャフト４０を挿通することにより構成されている。ピストン本体３９の両端部には環状のクッションリング４１が固定されている。そして、第１ピストン１４は、第２ピストン３４よりも、マグネット式ロッドレスシリンダ１の軸方向一端寄りに位置している。
【００１９】
第２ピストン３４は第２シリンダチューブ３１内を第２ヘッドキャップ３２側の第３室３５と第２エンドキャップ３３側の第４室３６に区画している。第２ヘッドキャップ３２には第３室３５に連通する第２給排ポート３２ａが形成されるとともに、第２エンドキャップ３３には第４室３６に連通する第３給排ポート３３ａが形成されている。
【００２０】
第２及び第３給排ポート３２ａ，３３ａには、第２切替弁６３が接続されている。第２切替弁６３にはレギュレータ６４を介してコンプレッサ６２が接続されている。第２切替弁６３は、第１位置ａ２と第２位置ｂ２の二つの状態に切替可能となっている。第２切替弁６３が第１位置ａ２に切り替えられているときは、レギュレータ６４を介して第２給排ポート３２ａとコンプレッサ６２が連通することにより、第３室３５にエアが供給されるとともに、第３給排ポート３３ａが大気に開放されることにより第４室３６からエアが排出されるようになっている。また、第２切替弁６３が第２位置ｂ２に切り替えられているときは、レギュレータ６４を介して第３給排ポート３３ａとコンプレッサ６２が連通することにより第４室３６にエアが供給されるとともに、第２給排ポート３２ａが大気に開放されることにより第３室３５からエアが排出されるようになっている。
【００２１】
レギュレータ６４は、コンプレッサ６２から供給されるエアの圧力を制御する。本実施形態では、レギュレータ６４は、コンプレッサ６２から供給されるエアを減圧し、第２ピストン３４に作用するエアの圧力を、第１ピストン１４に作用するエアの圧力よりも低くする。第２ピストン３４に作用するエアの圧力が、第１ピストン１４に作用するエアの圧力よりも低くなることにより、第２ピストン３４に発生する推力は、第１ピストン１４に発生する推力よりも小さくなる。よって、本実施形態においては、エアの圧力を制御しているレギュレータ６４が、推力制御手段となる。そして、各切替弁６１，６３を切り替えることにより、第１，第３及び第４室１５，３５，３６へのエアの給排が切り替えられ、各ピストン１４，３４を移動させることができる。
【００２２】
第１及び第２シリンダ１０，３０の外側には第１スライダ５４及び第２スライダ５５が設けられている。第１スライダ５４は第２スライダ５５よりも軸方向一端側に設けられている。そして、本実施形態では、第２スライダ５５によりワークの搬送テーブルが構成されている。各スライダ５４，５５は外形が直方体形状をなし内部に長手方向へ貫通する断面円形状の貫通孔５４ａ，５５ａを２箇所に有する筒体であり、その貫通孔５４ａ，５５ａにはそれぞれ第１シリンダチューブ１１と第２シリンダチューブ３１が挿通されている。これにより、両スライダ５４，５５は両シリンダ１０，３０外を軸方向に沿って移動可能となっている。
【００２３】
第１スライダ５４において貫通孔５４ａの周囲には永久磁石２２及びヨーク２３が交互に配置されている。第１スライダ５４側の永久磁石２２と、第１ピストン１４側の永久磁石１７は極性が逆になるように設定されており、第１ピストン１４と第１スライダ５４の間の磁気吸引力により、第１スライダ５４は第１ピストン１４に追従して移動するようになっている。
【００２４】
第２スライダ５５において貫通孔５５ａの周囲には永久磁石４２及びヨーク４３が交互に配置されている。第２スライダ５５側の永久磁石４２と、第２ピストン３４側の永久磁石３７は極性が逆になるように設定されており、第２ピストン３４と第２スライダ５５の間の磁気吸引力により、第２スライダ５５は第２ピストン３４に追従して移動するようになっている。また、各スライダ５４，５５において、互いに対向する端面には、クッション部材５６が設けられ、このクッション部材５６により、スライダ同士が当接したときの衝撃が緩和されるようになっている。
【００２５】
各シリンダ１０，３０の軸方向一端側に設けられた連結部材５１において、第１ヘッドキャップ１２と第２ヘッドキャップ３２の間には、第１ストッパ５２が設けられるとともに、軸方向他端側に設けられた連結部材５１において、第１エンドキャップ１３と第２エンドキャップ３３の間には、第２ストッパ５３が設けられている。第２スライダ５５は、第１スライダ５４が第１ストッパ５２に当接する一端側ストロークエンドと、第２スライダ５５が第２ストッパ５３と当接する他端側ストロークエンドにて停止するようになっている。
【００２６】
マグネット式ロッドレスシリンダ１の軸方向他端側の第１エンドキャップ１３の端面にはナットＮが固着されるとともに、第１エンドキャップ１３内には、第１シリンダチューブ１１の軸方向に沿って延びる貫通孔１３ａが形成されている。ナットＮにはロッド２４が螺合されるとともに、ロッド２４は貫通孔１３ａを貫通して第１シリンダチューブ１１内に突出している。ロッド２４において、第１シリンダチューブ１１内の端部には停止部材２５が嵌着されている。そして、第１ピストン１４が第１シリンダチューブ１１の軸方向一端から他端に向かって移動すると、第１ピストン１４が停止部材２５に当接し、第１スライダ５４とともに第２スライダ５５が両ストロークエンドの中間位置で停止するようになっている。よって、本実施形態においてロッド２４及び停止部材２５が中間位置用ストッパを構成する。ロッド２４はナットＮへの螺合量を変更することにより、第１シリンダチューブ１１に対して出没可能である。すなわち、螺合量を変更することにより、中間位置を任意に変更することができる。
【００２７】
次に、本実施形態におけるマグネット式ロッドレスシリンダ１の作用について説明する。
まず、図１に示すように、第１切替弁６１が第１位置ａ１に切り替えられるとともに、第２切替弁６３が第２位置ｂ２に切り替えられているとする。このとき、マグネット式ロッドレスシリンダ１においては、第４室３６にエアが供給され、第２スライダ５５が一端側ストロークエンドに停止している。
【００２８】
そして、図２（ａ）に示すように、第２スライダ５５を中間位置で停止させる場合、第４室３６にエアを供給した状態で、第１切替弁６１を第１位置ａ１から第２位置ｂ１に切り替え、第１室１５にエアを供給する。このとき、レギュレータ６４による圧力調整により第２ピストン３４に作用するエアの圧力は、第１ピストン１４に作用するエアの圧力より低くなるため、第１ピストン１４を第１シリンダチューブ１１の軸方向一端側に移動させる推力が、第２ピストン３４を第２シリンダチューブ３１の軸方向他端側に移動させる推力を上回る。この結果、第１スライダ５４が第２スライダ５５を押圧する力が、第２スライダ５５が第１スライダ５４を押圧する力を上回る。このため、第１ピストン１４が他端側ストロークエンドに向かうのに追従して第１スライダ５４が移動し、第２スライダ５５は、第１スライダ５４に押圧されながら他端側ストロークエンドに向かって移動する。
【００２９】
そして、第１ピストン１４が停止部材２５に当接すると、第１ピストン１４が停止するとともに、第２スライダ５５が中間位置に停止する。この際、第２ピストン３４及び第２スライダ５５は惰性力により、他端側ストロークエンドに向かって移動を続けようとするが、第４室３６に供給されるエアにより第２ピストン３４が第２シリンダチューブ３１の軸方向一端側に向けて押圧されているため、第２スライダ５５は惰性力によって移動せず、中間位置で停止する。また、第２ピストン３４に発生する推力は第１ピストン１４に発生する推力よりも小さいため、両スライダ５４，５５が一端側ストロークエンドに向かって移動することなく、第２スライダ５５が中間位置で停止する。すなわち、本実施形態では、推力制御手段であるレギュレータ６４が中間位置停止機構となる。
【００３０】
図２（ｂ）に示すように、第２スライダ５５を中間位置から他端側ストロークエンドに移動させる場合、第１室１５にエアを供給した状態で、第２切替弁６３を第２位置ｂ２から第１位置ａ２に切り替え、第３室３５にエアを供給するとともに第４室３６からエアを排出する。すると、第２ピストン３４が第２シリンダチューブ３１の他端側に移動するとともに、第２スライダ５５が第２ピストン３４に追従して他端側ストロークエンドに移動する。
【００３１】
一方、図１に示すように、第２スライダ５５を一端側ストロークエンドに移動させる場合、第１切替弁６１を第２位置ｂ１から第１位置ａ１に切り替えるとともに、第２切替弁６３を，第１位置ａ２から第２位置ｂ２に切り替える。そして、第４室３６にエアを供給するとともに、第１及び第３室１５，３５からエアを排出する。すると、第２ピストン３４は、第２シリンダチューブ３１の他端側から一端側に向かって移動するとともに、第２スライダ５５が第２ピストン３４に追従して移動する。そして、第２スライダ５５は第１スライダ５４を押圧しながら一端側ストロークエンドに移動する。
【００３２】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）第１シリンダ１０と第２シリンダ３０とを連結部材５１により並列状態に連結した。また、第１シリンダ１０内に第１ピストン１４を収容するとともに、第２シリンダ３０内に第２ピストン３４を収容した。そして、各ピストン１４，３４に追従して移動する第１及び第２スライダ５４，５５を両シリンダ１０，３０外に設けるとともに、第１スライダ５４を第２スライダ５５より軸方向一端側に配置した。第１スライダ５４と第２スライダ５５は、それぞれ各ピストン１４，３４に追従して移動するため、第２スライダ５５を中間位置から他端側ストロークエンドに移動させるためのシリンダを軸方向に必要とせず、マグネット式ロッドレスシリンダ１が軸方向に大型化しない。
【００３３】
（２）レギュレータ６４による圧力調整によって第２ピストン３４に発生する推力が第１ピストン１４に発生する推力よりも小さく調節されるようにした。このため、第２スライダ５５を中間位置で停止させたとき、第２スライダ５５が一端側ストロークエンドに移動することを防止して、第２スライダ５５を中間位置に停止させることができる。
（第２実施形態）
次に、本発明のロッドレスシリンダをマグネット式ロッドレスシリンダに具体化した第２実施形態について図３及び図４にしたがって説明する。なお、以下に説明する実施形態において、第１実施形態と同一構成については、その重複する説明を省略又は簡略する。
【００３４】
図３に示すように、本実施形態におけるマグネット式ロッドレスシリンダ２は、第１スライダ５４において、第２スライダ５５への対向面にはマグネットＭ１が設けられるとともに、第２スライダ５５において、第１スライダ５４への対向面にはマグネットＭ２が設けられている。第１スライダ５４のマグネットＭ１と、第２スライダ５５のマグネットＭ２は極性が逆になるように設定されている。これにより、第１スライダ５４と第２スライダ５５とは、マグネットＭ１，Ｍ２の磁気吸引力により吸着されるようになっている。この磁気吸引力は、第２スライダ５５が中間位置で停止するときに生じる惰性力により、第２スライダ５５と第１スライダ５４の吸着が解除されない強さであり、かつ、第３室３５に供給されるエアにより、吸着が解除される強さに設定されている。すなわち、本実施形態では、このマグネットＭ１、Ｍ２により、着脱機構が構成される。この着脱機構により、第２スライダ５５と第１スライダ５４が吸着されているため、第２スライダ５５が中間位置で停止したときに、第２スライダ５５が惰性力により他端側ストロークエンドに移動することがない。よって、着脱機構（マグネットＭ１，Ｍ２）が中間位置停止機構となる。
【００３５】
第２給排ポート３２ａには第１切替弁６１を介してコンプレッサ６２が接続されている。第１切替弁６１が第１位置ａ１に切り替えられたときは、第２給排ポート３２ａが大気に開放されることにより、第３室３５からエアが排出されるようになっている。第１切替弁６１が第２位置ｂ１に切り替えられたときは、第２給排ポート３２ａとコンプレッサ６２が連通することにより、第３室３５にエアが供給されるようになっている。
【００３６】
第１給排ポート１２ａ及び第３給排ポート３３ａには、第２切替弁６３を介してコンプレッサ６２が接続されている。第２切替弁６３が第１位置ａ２に切り替えられたときは、第３給排ポート３３ａとコンプレッサ６２が連通することにより第４室３６にエアが供給されるとともに、第１給排ポート１２ａが大気に開放されることにより第１室１５からエアが排出されるようになっている。また、第２切替弁６３が第２位置ｂ２に切り替えられたときは、第１給排ポート１２ａとコンプレッサ６２が連通することにより、第１室１５にエアが供給されるとともに、第３給排ポート３３ａが大気に開放されることにより、第４室３６からエアが排出されるようになっている。
【００３７】
次に、本実施形態におけるマグネット式ロッドレスシリンダ２の動作について説明する。
まず、図３に示すように、第１切替弁６１が第１位置ａ１に切り替えられるとともに、第２切替弁６３が第１位置ａ２に切り替えられているとする。このとき、マグネット式ロッドレスシリンダ２においては、第４室３６にエアが供給され、第２スライダ５５が一端側ストロークエンドに停止している。
【００３８】
そして、図４（ａ）に示すように、第２スライダ５５を中間位置で停止させる場合、第２切替弁６３を第１位置ａ２から第２位置ｂ２に切り替え、第１室１５にエアを供給するとともに、第４室３６からエアを排出する。すると、第２スライダ５５は、第１スライダ５４に押圧されながら軸方向一端から他端に向かって移動する。
【００３９】
そして、第１ピストン１４が停止部材２５に当接すると、第１ピストン１４の停止に伴い第１スライダ５４とともに第２スライダ５５も停止する。この際、第２スライダ５５と第１スライダ５４は磁気吸引力により吸着されているため、第２スライダ５５が惰性力により他端側ストロークエンドに向かって移動することなく中間位置に停止する。
【００４０】
図４（ｂ）に示すように、中間位置から第２スライダ５５を他端側ストロークエンドに移動させる場合、第１室１５にエアを供給した状態で、第１切替弁６１を第１位置ａ１から第２位置ｂ１に切り替え、第３室３５にエアを供給する。すると、第２ピストン３４に作用するエアの圧力、すなわち第２ピストン３４に発生する推力が、マグネットＭ１，Ｍ２による磁気吸引力を上回り、第１スライダ５４と第２スライダ５５の吸着が解除される。そして、第２ピストン３４が第２シリンダチューブ３１の他端側に移動するとともに、第２スライダ５５が第２ピストン３４に追従して他端側ストロークエンドに移動する。
【００４１】
図３に示すように、第２スライダ５５を一端側ストロークエンドに移動させる場合、第１切替弁６１を第２位置ｂ１から第１位置ａ１に切り替えるとともに、第２切替弁６３を第２位置ｂ２から第１位置ａ２に切り替える。すると、第４室３６にエアが供給されるとともに、第１及び第３室１５，３５からエアが排出される。そして、第２ピストン３４は、第２シリンダチューブ３１の他端から一端に向かって移動するとともに、第２スライダ５５が第２ピストン３４に追従して移動する。第２スライダ５５は第１スライダ５４を押圧しながら一端側ストロークエンドまで移動を続ける。
【００４２】
上記第２実施形態によれば、第１実施形態に記載の（１）と同様の効果に加え、以下の効果を得ることができる。
（３）第１スライダ５４と第２スライダ５５にマグネットＭ１，Ｍ２を設け、マグネットＭ１，Ｍ２の磁気吸引力により第１スライダ５４と第２スライダ５５を着脱可能とした。このため、第１スライダ５４を中間位置で停止させたとき、マグネットＭ１，Ｍ２の磁気吸引力により第２スライダ５５を中間位置に停止させることができる。この結果、第２スライダ５５を中間位置で停止させるために、第２ピストン３４に発生する推力を第１ピストン１４に発生する推力よりも小さくなるように推力制御する必要がなく、レギュレータ６４で圧力制御することにより、第２ピストン３４に発生する推力を制御する必要がない。よって、推力制御のためにレギュレータ６４を設けなくても第１の実施形態と同様の効果を得ることが出来、部品数を減らすことができる。
【００４３】
なお、上記各実施形態は以下のように変更してもよい。
・第１及び第２実施形態において、ロッドレスシリンダをマグネット式ロッドレスシリンダ以外のロッドレスシリンダに具体化してもよい。例えば、チェーン式、スリット式、ワイヤ式のロッドレスシリンダなどに具体化してもよい。
【００４４】
・第１及び第２実施形態において、流体として液体を用いるタイプのロッドレスシリンダであってもよい。
・第２実施形態において、着脱機構はマグネットＭ１，Ｍ２以外であってもよい。例えば、両スライダ５４，５５の対向面に嵌合部材を設けることにより着脱機構を構成してもよい。この場合、第１スライダ５４と第２スライダが当接することにより嵌合部材が嵌合する。また、嵌合部材の嵌合力を上回る圧力を第２ピストン３４に作用させることにより、嵌合が解除されるようにすればよい。
【００４５】
・第２実施形態において、マグネットを一方のスライダのみに設けてもよい。この場合、他方のスライダにおいてマグネットに対応する位置に、磁気吸引力により吸着される金属などを設ける。
【００４６】
・第１実施形態において、図５に示すように、第２シリンダチューブ３１の外径及び内径を第１シリンダチューブ１１の外径及び内径よりも小さくするとともに、第２ピストン３４を第１ピストン１４よりも小径にし、第２ピストン３４の受圧面積を第１ピストン１４より小さくしてもよい。このように構成すると、両ピストン１４，３４に作用するエアの圧力が同じであっても、第２ピストン３４に発生する推力が第１ピストン１４に発生する推力よりも小さくなる。そして、第２ピストン３４に発生する推力が第１ピストン１４に発生する推力よりも小さくなることにより、第２スライダ５５が中間位置で停止する。すなわち、第２シリンダチューブ３１の内径を第１シリンダチューブ１１の内径よりも小さくするとともに第２ピストン３４を第１ピストン１４よりも小径にすることが推力制御手段及び中間位置停止機構となる。これによれば、レギュレータ６４がない場合であっても、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００４７】
Ｍ１，Ｍ２…着脱機構及び中間位置停止機構としてのマグネット、１，２…ロッドレスシリンダとしてのマグネット式ロッドレスシリンダ、１０…第１シリンダ、１１…第１シリンダチューブ、１４…第１ピストン、２４…中間位置用ストッパを構成するロッド、２５…中間位置用ストッパを構成する停止部材、３０…第２シリンダ、３１…第２シリンダチューブ、３４…第２ピストン、５１…連結部材、５４…第１スライダ、５５…第２スライダ、６４…中間位置停止機構及び推力制御手段としてのレギュレータ。
【図１】
2012180862.tif 000003
【図２】
2012180862.tif 000004
【図３】
2012180862.tif 000005
【図４】
2012180862.tif 000006
【図５】
2012180862.tif 000007
【図６】
2012180862.tif 000008