(57)【要約】【課題】複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートを積層した流路ユニットを有する液体吐出ヘッドにおいて、研磨加工時におけるチャンバープレートの平坦度精度を向上すること。【解決手段】チャンバープレート上に圧力室用の開口１３の他に研磨加工に際しての削り代を前記開口部と同等程度にするためのダミー開口１４ａを形成した。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートからなる薄板を積層した構成を備えた流路ユニットと、前記流路ユニットにインクを供給するインクユニットと、前記振動板を変位させてノズルからインクを吐出する駆動ユニットを組み合わせた液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室は前記チャンバープレートに列状に形成され、前記圧力室の並び方向における両端の圧力室の外側にはダミーパターンが前記チャンバープレートの端部まで配置されており、前記ダミーパターンとして形成された開口の開口率が、前記圧力室として形成された開口の開口率以上であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ダミーパターンは前記圧力室と平面視野で略同一形状となるパターンであり、前記圧力室と同じピッチで前記チャンバープレート上に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項1又は２記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室の開口率よりも前記ダミーパターンの開口率の方が大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１つに記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ダミーパターンは前記チャンバープレートを貫通していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れか１つに記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ダミーパターンは前記チャンバープレートの板厚方向に形成された凹状部からなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至６の何れか１つに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項７】
前記チャンバープレートに対して前記ダミー圧力室又は前記ダミーパターンを形成する工程と、前記チャンバープレートに対して前記圧力室を形成する工程と、前記チャンバープレートの両面を研磨して平坦処理を行う工程と、前記チャンバープレートの板厚方向の片面に前記ノズルプレート、他の片面に前記ダイアフラムプレートを接着接合する工程を経て前記流路ユニットを構成し、この流路ユニットに前記駆動ユニット、前記インクユニットを組み合わせて請求項１乃至５の何れか１つに記載の液体吐出ヘッドとなすことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、画像形成装置および液体吐出ヘッドの製造方法に関し、詳しくは、液体吐出ヘッドを構成するチャンバープレートの仕上げ精度を高めたことにより液体吐出ヘッドの性能を向上させた技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、画像形成に用いられる記録液の液滴（例えばインク滴）を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、インクジェットヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行うものであり、インクジェットヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、インクジェットヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。
【０００３】
なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を３次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０００４】
液体吐出ヘッドの構成として、ノズルプレート、圧力発生室形成板、弾性板からなる流路に駆動源やインク供給パーツを付けてヘッドを構成する例がある。ここで圧力発生室形成板は金属を鍛造加工して形成している。鍛造加工では、加工後に変形・バリが発生するため、仕上げに研磨加工が必要となる。ここで液体吐出ヘッドの流路部品の研磨について、以下の技術が存在する。
【０００５】
（１）鍛造加工パンチを金属素材に押付けて鍛造加工品を成形した後、研磨加工を行う。鍛造加工品の加工形状部に研磨治具を合致させて鍛造加工品と研磨治具との相対位置を決定してから、研磨加工が行われる。このような方法により、鍛造加工品と研磨治具との合体性を確実にして、仕上げ精度の高い研磨が可能となる（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
（２）シリコン基板の裏面（下面）からＣＭＰ研磨装置によりＣＭＰ研磨し、溝部及びダミー孔に充填された充填材による研磨抵抗の変化により、研磨終点を検出して、シリコン基板の基板厚を所定値にする。 これにより、研磨深さを一定に制御できるので、基板厚さ寸法が一定にでき、シリコン基板に形成される圧力室の高さ精度を得られる（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
（３）圧力発生室となる溝状窪部が列設された圧力発生室形成板と、ノズル開口を穿設した金属製のノズルプレートと、溝状窪部の開口面を封止する金属製の封止板とを備え、圧力発生室形成板における溝状窪部側に封止板を、反対側にノズルプレートをそれぞれ接合してなる流路ユニットを備えた液体噴射ヘッドであって、上記圧力発生室形成板には圧力発生室形成板の各溝状窪部等が形成された領域である加工形状部以外の領域に複数の微小窪部が設けられている。このため、加工形状部の領域とそれ以外の領域とのあいだにおける残留応力の差を可及的に小さくして、圧力発生室形成板の歪変形を矯正または防止している（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
上記（１）の技術では、研磨治具との位置合わせにより仕上げ精度の高い研磨が可能と言及している。しかし、板厚のバラツキについて言及がなく、チップ間の研磨量バラツキは小さいが、１チップ内の研磨バラツキについては調整し難いと考えられる。
上記（２）の技術では、シリコン基板の研磨量を充填材の研磨抵抗の変化で見極めているが、板材を均一にする方法については言及がない。そもそもフラットなシリコン基板であれば問題ないが、前述の鍛造加工などではチップ内を均一にすることが困難であり、板材の均一化が難しい。
上記（３）の技術では、微小窪部により鍛造による変形量を均一化する手法であるが、その後の研磨について、板厚を均一化する方法については言及されていない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、研磨処理によりチップ内の板厚を均一にする方法を提示し、部品間の接合信頼性を向上し、液体吐出ヘッドの性能を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記目的を達成するため、以下の構成とした。
（１）：  本発明の第１の手段の液体吐出ヘッドでは、複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートからなる薄板を積層した構成を備えた流路ユニットと、前記流路ユニットにインクを供給するインクユニットと、前記振動板を変位させてノズルからインクを吐出する駆動ユニットを組み合わせた液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室は前記チャンバープレートに列状に形成され、前記圧力室の並び方向における両端の圧力室の外側にはダミーパターンが前記チャンバープレートの端部まで配置されており、前記ダミーパターンとして形成された開口の開口率を、前記圧力室として形成された開口の開口率以上とした。ここで、ノズルプレート、チャンバープレート、ダイアフラムプレートの３つのプレートの積層体をフレームに固定することで流路ユニットが構成される。また、圧力室はプレス加工の打ち抜きで形成し、ダミーパターンはSUSのハーフエッチングとか、鍛造加工とか、ブラスト加工で形成することができる。圧力室として形成される開口は一実施例において、圧力室１０、リストリクタ１１、個別マニホールド１２を連通するひょうたん形をしたスリット１３の開口として形成される。ダミーパターンとして形成される開口はスリット１３と平面視で同じ大きさ形状や、円形を例示できる。或いは、その他の形状も可能である。開口率はダミーパターンの方を大きくする。
（２）：  本発明の第２の手段の液体吐出ヘッドでは、第１の手段の液体吐出ヘッドにおいて、前記ダミーパターンは前記圧力室と平面視野で略同一形状となるパターンであり、前記圧力室と同じピッチで前記チャンバープレート上に配置することとした。
（３）：  本発明の第３の手段の液体吐出ヘッドでは、第１又は第２の手段に係る液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の開口率よりも前記ダミーパターンの開口率を大きくした。
（４）：  本発明の第４の手段の液体吐出ヘッドでは、第１乃至第３の手段の何れか１つの液体吐出ヘッドにおいて、前記ダミーパターンは前記チャンバープレートを貫通していることとした。
（５）：  本発明の第５の手段の液体吐出ヘッドでは、第１乃至第３の手段の何れか１つの液体吐出ヘッドにおいて、前記ダミーパターンは前記チャンバープレートの板厚方向に形成された凹状部からなることとした。
（６）：  本発明の第６の手段では、画像形成装置に第１乃至第６の手段の何れか１つの液体吐出ヘッドを備えることとした。ここでの画像形成装置はインクジェット方式の画像形成装置である。
（７）：  本発明の第７の手段の液体吐出ヘッドでは、前記チャンバープレートに対して前記ダミー圧力室又は前記ダミーパターンを形成する工程と、前記チャンバープレートに対して前記圧力室を形成する工程と、前記チャンバープレートの両面を研磨して平坦処理を行う工程と、前記チャンバープレートの板厚方向の片面に前記ノズルプレート、他の片面に前記ダイアフラムプレートを接着接合する工程を経て前記流路ユニットを構成し、この流路ユニットに前記駆動ユニット、前記インクユニットを組み合わせて第１乃至第６の何れか１つに記載の液体吐出ヘッドとなすこととした。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の液体吐出ヘッドにおいて、チップ内の板厚を均一に研磨処理でき、部品間の接合信頼性を向上し、液体吐出ヘッドの性能を向上させることができる。
請求項２、４の液体吐出ヘッドにおいて、ダミーパターンは平面視野で圧力室と略同一形状、同じピッチで配置しているので、圧力室と共通の加工条件でダミーパターンを形成することができる。
請求項３の液体吐出ヘッドにおいて、ダミーパターンの開口率が圧力室の開口率よりもの方が大きいので、ダミーパターン部の研磨加工時の削づれ量を大きくできることから従来の１チップ内で中凹傾向の板厚のバラツキを均一に加工し易くなる。
請求項５の液体吐出ヘッドにおいて、ダミーパターンはチャンバープレートを貫通していないので、貫通する構成と比べてチャンバープレートの剛性を損なわれることがない。
請求項６の画像形成装置において、本発明にかかる高性能の液体吐出ヘッドを使用しているので良好な画質の画像を出力することができる。
請求項７記載の液体吐出ヘッド製造方法において、圧力室周囲をしっかり研磨することができ、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図２】液体吐出ヘッドの断面図である。
【図３】液体吐出ヘッドの断面拡大図である。
【図４】チャンバープレートの平面図である。
【図５】チャンバープレートを研磨加工する様子を図解した斜視図であり、（ａ）は研磨前の状態、（ｂ）は研磨中の状態をそれぞれ示す。
【図６】（ａ）はチャンバープレートの平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図７】（ａ）はチャンバープレートの平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図８】（ａ）はチャンバープレートの平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図９】（ａ）はチャンバープレートの平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図１０】画像形成装置の正面図である。
【図１１】画像形成装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化ないし省略する。
【００１４】
＜第１の実施例＞
［液体吐出ヘッドの構成］
図１に液体吐出ヘッドの分解斜視図、図２に液体吐出ヘッドの断面図、図３に液体吐出ヘッドの断面拡大図を示す。液体吐出ヘッド１は、大きく分けて、インクを吐出するノズルを有し液体が流れる流路ユニット２、インクを吐出するエネルギーを発生する駆動ユニット３、本体からのインクを集めて分配するタンクユニット４からなる。
【００１５】
流路ユニット２は、ノズル９を列状に配置したノズル列を複数もつノズルプレート５と、ノズル９に連通する圧力室１０をもつチャンバープレート６と、圧力室１０の壁となる振動板を有するダイアフラムプレート７と、圧力室１０にインクを供給する共通液室１９をもつフレーム８からなる。
【００１６】
ノズルプレート５には、所定のノズルピッチで配列されたノズル９からなるノズル列が所定のノズル列間ピッチで配置されている。ここではノズルピッチは２５．４／１５０ｍｍ、ノズル列間ピッチは２５．４／１５０×５ｍｍとしている。ノズルプレート５の材質はステンレスでノズル９はプレス加工にて形成している。ノズルプレート５のインクを吐出する側の面には撥水処理が施されている。
【００１７】
チャンバープレート６には、ノズル９に位置を合わせて圧力室１０が配置されている。図４にその平面図を示す。図３、図４において、圧力室１０に流れるインクを制限するリストリクタ１１と、リストリクタ１１と共通液室１９を繋ぐ個別マニホールド１２がひょうたん形の開口でスリット１３として形成されている。長さ方向の両端部に形成された開口の一方が圧力室１０、他方が個別マニホールド１２、これら圧力室１０と個別マニホールド１２をつなぐ細い通路がリストリクタ１１である。チャンバープレート６の材質はステンレスで、スリット１３は、圧力室１０、リストリクタ１１、個別マニホールド１２を一体にした、板厚方向で貫通する開口としてプレス加工により形成されている。
【００１８】
ノズル９と連通するスリット１３の列の両端からチャンバープレート６の長手方向での両端に向けてそれぞれにダミースリット１４が予め形成されている。ダミースリット１４はスリット列と同列上でスリット列の両端外側に等間隔で形成されている。スリット１３、ダミースリット１４以外の領域には接着剤の逃げ部１５が形成されている。共通液室１９と対向する領域にはダンパー逃げ部１６が形成されている。
【００１９】
図３において、ダイアフラムプレート７は、圧力室１０の上部に蓋をする振動板１７を構成している。振動板１７は薄肉に形成され中央部に厚肉の島部１８が形成されている。また共通液室１９と対向する領域にはダンパー３１が形成されている。材質はNiで電鋳により形成する。
【００２０】
フレーム８には、各ノズル列にインクを供給する共通液室１９が列毎に形成されている。また一端面側でノズルプレート５、チャンバープレート６、リストリクタプレートを保持する。また、図１に示すように、駆動ユニット３を装着する開口部２０をもつ。フレーム８において、ダイアフラムプレート７が接合する反対側の面には駆動ユニット３に電気信号を配信するプリント基板（PCB）２４が配置される。フレーム８の材質はステンレスで、削り出しで作製するか或いは樹脂の射出成形などで形成してもよい。
【００２１】
駆動ユニット３は、振動板１７を経由して圧力室１０を膨張収縮させる圧電素子２１と、圧電素子２１を保持するベース２２と、圧電素子２１に電気信号を配信するフレキシブルプリント基板（FPC）２３と、各フレキシブルプリント基板２３と接続され本体基板と電気的に接続されるプリント基板２４からなる。
【００２２】
圧電素子２１はノズル９に合わせて櫛歯状に加工されている。圧電素子２１はベース２２一つに対して２列に配置されている。圧電素子２１の材料としてはPZTが用いられる。ベース２２の材料としてはＳＵＳ４３０がここでは用いられている。フレキシブルプリント基板２３は圧電素子２１に接続されている。ここでは４枚のフレキシブルプリント基板２３が配置され、それぞれプリント基板２４に接続される。プリント基板２４は各フレキシブルプリント基板２３の信号を集約した上で上位基板とケーブルで接続されている。
【００２３】
タンクユニット４は、メインタンクからのインクを、図示のないチューブを経由して口金部３４から受け入れ、フレーム８を経て圧力室１０に分配するものである。圧力変動をおさえるダンパーや、異物を除去するフィルターなどの機能も合わせ有する。
【００２４】
［液体吐出ヘッドの製造工程］
液体吐出ヘッドの製造工程について説明する。
チャンバープレート６には圧力室１０を含むスリット１３が列状に形成され、該スリット１３（圧力室１０）の並び方向における両端の圧力室の外側にはダミーパターン１４がチャンバープレート６の端部まで配置されている。ダミーパターン１４として形成された開口の開口率は、圧力室として形成されたスリット１３の開口率以上としている。
【００２５】
このように、予めチャンバープレートに対してダミー圧力室又はダミースリット１４に相当するダミーパターンを形成する工程と、チャンバープレート６に対して圧力室を含むスリット１３を形成する工程とにより前加工を行っている。
【００２６】
チャンバープレート６はスリット１３の形成に際し、プレス加工によりスリット１３周辺が変形したり、バリが発生したりしている。これらを除去した上でダイアフラムプレート７やノズルプレート５との接合面をフラットにする為、まず、チャンバープレート６の両面を研磨加工して平坦化処理を行なう。
【００２７】
図５に研磨加工の図を示す。図５（ａ）に示すように、高精度に平坦化した高精度平坦化治具２６に研磨紙２７を配置し、その上に研磨対象部品であるチャンバープレート６をチャンバープレート保持治具２８に取り付けた状態で、図５（ｂ）に矢印Cで示すように研磨紙２７に押し付けて往復させることにより研磨する。ここではスリット列の並び方向である矢印Ｂに直交する方向で研磨している。
【００２８】
ここで、比較例として、仮に、図４に示したようなダミースリット１４がない場合を想定すると、チャンバープレート６の長手方向での中央部のスリット１３部が変形した上、切削面積が少なくなるので削れ易くなる。その為、圧力室を含むスリット１３部の板厚にバラツキが発生する。
【００２９】
これに対して、本例では上記したように、チャンバープレート６の長手方向での両端の圧力室の外側にダミーパターン１４をチャンバープレート６の端部まで配置され、かつ、ダミーパターン１４として形成された開口の開口率が、圧力室１０を含むスリット１３として形成された開口の開口率以上であることにより、研磨加工においてスリット列部分の厚みのバラツキを無くすことができる。
【００３０】
このようにして平坦化処理を行ったチャンバープレート６の片面にノズルプレート５、他の片面にダイアフラムプレート７を接着接合する工程を経て流路ユニット２を構成する。
ここではチャンバープレート６に接着剤を両面にスプレーで接着剤を塗布して各プレートを接着接合する。チャンバープレート６はスリット列において厚みが均一となる為、接合信頼性が向上する。
【００３１】
次に駆動ユニット３の圧電素子２１、ベース２２、フレキシブルプリント基板２３の組（アクチュエーターユニット）を流路基板ユニット２と接合する。ここではアクチュエーターユニットの圧電素子側に接着剤を塗布して接合する。次にフレーム８を流路基板ユニット２に接合する。ここではフレーム８に接着剤を塗布して接合する。次にプリント基板２４をフレーム８に接合し、フレキシブルプリント基板２３をプリント基板２４に接合する。接合はヒーターチップでプリント基板２４に塗布されている半田を溶かして行う。次にタンクユニット（ヘッドタンク）４を接合する。ここではネジ止めで接合する。
【００３２】
以上のような構成で接合した液体吐出ヘッド１は、タンクユニット４からインクをフレーム８に配分し、共通液室１９から個別マニホールド１２、リストリクタ１１、圧力室１０をへてノズル９に分配される。フレキシブルプリント基板２３を経由して駆動ユニット３に電気信号を印加することにより、圧電素子２１を膨張収縮させて、圧力室１０の体積を膨張収縮させて、ノズル９よりインクを吐出することができる。
【００３３】
均一な研磨の効果として、ノズル列またはノズル列間での液滴速度、液滴重量のバラツキが少なくなり、高精度な液滴吐出を行なうことができる。
【００３４】
＜第２の実施例＞
第２の実施例を説明する。図６（ａ）、（ｂ）にその構成を示す。ここではチャンバープレート６に形成したダミーパターンの一種であるダミースリット１４ａについて、チャンバープレート６の板厚を貫通しない凹状部で板の両面に均等深さで形成している。図４のようにダミースリット１４をヘッド外周まで設けた場合、貫通領域が大きくなりチャンバープレートの剛性が低下してしまう。しかし、ダミースリット１４ａのように貫通しない構成とすることによりチャンバープレート６の剛性が高まり、ハンドリングによる変形や、剛性が向上することにより吐出特性（クロストーク）が向上する。ここでは例えば機械加工でダミースリット１４ａを形成する。開口率をスリット部よりもダミーパターン部を大きくしている。プレス加工などで形成したスリット部は元々削れ易い状態となっている。ここではスリット部よりもダミーパターン部を削れ易くしていることにより、スリット部の板厚を均一に形成することができる。この場合、ダミーパターン１４の開口率の方が大きいためにダミースリット１４ａの部分が削れ易くなり板厚が薄くなるが、インクの流れるスリット部の板厚が均一で接着剤接合により完全にシールできるため、ダミーパターン１４ａの部分の厚さばらつきは大きな問題とはならない。この開口率の点は以下の各例とも共通である。
【００３５】
＜第３の実施例＞
第３の実施例を説明する。図６（ａ）、（ｂ）で説明する。チャンバープレート６に形成したダミーパターンの一種であるダミースリット１４ａをハーフエッチングで、スリット１３はプレス加工で形成している。ダミースリット１４ａをハーフエッチングで形成することにより、容易でかつ低コストでダミースリットを形成することができる。
【００３６】
また、ダミースリット１４ａを鍛造加工により形成してもよい。ダミースリット１４ａはチャンバープレート６の板厚を貫通しない凹状部で板の両面に均等深さで形成され、スリットとダミースリット１４ａを同じプレス加工機を用いて加工することにより、スリット１３とダミースリット１４ａの間隔をスリット１３の間隔と均一にすることができ、研磨による板厚バラツキをより低減することができる。
【００３７】
さらに、ダミースリット１４ａをブラスト加工で形成してもよい。ダミースリット１４ａはチャンバープレート６の板厚を貫通しない凹状部で板の両面に均等深さで形成され、ブラスト加工により、チャンバープレート６自体にも表面の荒れなどダメージを与えることができ、ダミースリット１４ａ周辺をより研磨しやすくすることができる。
【００３８】
＜第４の実施例＞
第４の実施例を説明する。図７（ａ）、（ｂ）で説明する。本例ではこれまでの例におけるスリット１３と同形のダミースリットに代えて、チャンバープレート６に形成したダミーパターンの一種として自由な形状、例えば、円形のダミーパターン３２ａとし、スリット列の両端に配置している。形状を自由に形成できるため、スリット列の両端だけでなく、チャンバープレート６全域に配置できる形状として全域に配置してもよい。具体的には接着剤の逃げ部１５を同一パターンで形成してもよい。ダミーパターン３２ａはチャンバープレート６の板厚を貫通している。
【００３９】
＜第５の実施例＞
第５の実施例を説明する。図８（ａ）、（ｂ）にその構成を示す。ダミーパターン３２ｂは第４の実施例におけると同様円形としているが、板厚を貫通しない点で相違している。板厚を貫通しないことによりチャンバープレートの剛性が高まり、ハンドリングによる変形や、剛性が向上することにより吐出特性（クロストーク）が向上する。ここでは例えば機械加工でダミーパターンを形成している。
【００４０】
前述のとおり、ダミーパターン３２ｂをハーフエッチングで、スリット１３をプレス加工で形成してもよく、ダミーパターン３２ｂをハーフエッチングで形成することにより、容易でかつ低コストでダミーパターンを形成することができる。また、ダミーパターン３２ｂをブラスト加工で形成してもよく、ブラスト加工により、チャンバープレート６自体にも表面の荒れなどダメージを与えることができ、ダミーパターン周辺をより研磨しやすくすることができる。
【００４１】
＜第６の実施例＞
第６の実施例を説明する。図９（ａ）、（ｂ）にその構成を示す。ダミーパターン３２ｃは第５の実施例におけると同様円形とし板厚を貫通しない構造としているが、断面形状が接合面側に開口が広がる構成とする点で相違している。これにより十分に大きな開口率を確保しても第５の実施例よりもされにチャンバープレートの剛性を高めることができ、ハンドリングによる変形や、剛性が向上することにより吐出特性（クロストーク）が向上できる。このような形状は台形形状のプレス型を用いた鍛造加工等で形成することができる。
【００４２】
＜第７の実施例＞
第７の実施例を説明する。接合手順をダミーパターンの形成、次いで、プレス加工によるスリットの加工、次いで、研磨によるチャンバープレートの平坦化、その後、ノズルプレートとダイアフラムプレートを接着する工程とすることで、プレス加工による変形を研磨で平坦化することができる。また、ダミーパターンを研磨量に応じて予め形成しておくことで削りやすくすることができる。
【００４３】
＜第８の実施例＞
これまで説明した液体吐出ヘッドを画像形成装置に適用した例を図１０及び図１１により説明する。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介してキャリッジ主走査方向に移動走査する。
【００４４】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００４５】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、４色の液滴を吐出する複数のノズルを並べたノズル列を有する１つの記録ヘッド構成とすることもできる。
【００４６】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００４７】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００４８】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００４９】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００５０】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００５１】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００５２】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含むヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００５３】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００５４】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２４７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００５５】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００５６】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００５７】
このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、ヘッドの信頼性が向上し、安定した記録を行うことができる。
【００５８】
なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。  
【符号の説明】
【００５９】
１  液体吐出ヘッド
２  流路ユニット
３  駆動ユニット
４  タンクユニット
５  ノズルプレート
６  チャンバープレート
７  ダイアフラムプレート
８  フレーム
９  ノズル
１０圧力室
１１  リストリクタ
１３  スリット
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ  ダミースリット
１５  （接着剤）逃げ部
１６  ダンパー逃げ部
１７  振動板
１８  島部
１９  共通液室
２０  開口部
２１  圧電素子
２２  ベース
２３  フレキシブルプリント基板
２４  プリント基板
２６  高精度平坦化治具
２７  研磨紙
２８  チャンバープレート保持治具
３１  ダンパー
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ  ダミーパターン
３４  口金部
２０２  給紙トレイ
２０３  排紙トレイ
２１０  インクカートリッジ
２２１Ａ、２２１Ｂ  側板
２２４  供給ユニット
２３１、２３２  ガイドロッド
２３３  キャリッジ
２３４、２３４ａ、２３４ｂ  記録ヘッド
２３５、２３５ａ、２３５ｂ  サブタンク
２３６  供給チューブ
２４１  用紙積載部（圧板）
２４２  用紙
２４３  半月コロ（給紙コロ）
２４４  分離パッド
２４５  ガイド部材
２４６  カウンタローラ
２４７  搬送ガイド部材
２４８  押さえ部材
２４９  先端加圧コロ
２５１  搬送ベルト
２５２  搬送ローラ
２５３  テンションローラ
２５６  帯電ローラ
２６１  分離爪
２６２  排紙ローラ
２６３  排紙コロ
２７１両面ユニット
２７２  手差しトレイ
２８１  維持回復機構
２８２、２８２ａ、２８２ｂキャップ部材
２８３  ワイパーブレード
２８４  空吐出受け
２８８  インク回収ユニット
２８９  開口部
B、C  矢印
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６０】
【特許文献１】特開２００４−８２３８６号公報
【特許文献２】特開２００７−３０１７３７号公報
【特許文献３】特許３６３２７０１号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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