(57)【要約】【課題】液体を安定に霧化することができる霧化装置を提供する。【解決手段】霧化装置は、底面に振動板が取り付けられ、液体を貯留する第１貯留部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２貯留部と、第２貯留部の底面に設置され、伝播水に超音波振動を与える超音波振動子と、を備え、伝播水に超音波振動が与えられていないときの伝播水の水位は、伝播水に超音波振動が与えられて生じる水柱が振動板に接触して液体が霧化される水位に設定されてなる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面に振動板が取り付けられ、液体を貯留する第１貯留部と、
超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２貯留部と、
前記第２貯留部の底面に設置され、前記伝播水に超音波振動を与える超音波振動子と、
を備え、
前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位は、
前記伝播水に超音波振動が与えられて生じる水柱が前記振動板に接触して前記液体が霧化される水位に設定されてなること、
を特徴とする霧化装置。
【請求項２】
請求項１に記載の霧化装置であって、
前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位が、前記水柱が前記振動板に接触して前記液体が霧化される際の前記液体の量の変化に基づいて定まる所定の水位より低くなると、警告信号を出力する警告装置を更に備えること、
を特徴とする霧化装置。
【請求項３】
請求項２に記載の霧化装置であって、
前記警告装置は、
前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位が、前記所定の水位より低いか否かを検出する水位検出装置と、
前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位が、前記所定の水位より低いことが検出されると、前記警告信号を出力する警告信号出力部と、
を備えることを特徴とする霧化装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の霧化装置であって、
前記警告信号が出力されると、前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位が、前記所定の水位より低いことを示す情報を表示する表示部を更に備えること、
を特徴とする霧化装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の霧化装置であって、
第２貯留部は、
底面に前記超音波振動子が設置され、前記伝播水が貯留される貯留容器と、
前記第１貯留部が挿入される開口部を有し、前記開口部に前記第１貯留部が挿入された状態で前記貯留容器に取り付けられると、前記伝播水が貯留される空間を密閉する蓋部材と、
を含み、
前記貯留容器または前記蓋部材には、
前記伝播水を前記貯留容器に注入する際に開放される注入口が設けられていること、
を特徴とする霧化装置。
【請求項６】
底面に振動板が取り付けられ、過酸化水素水を貯留する第１貯留部と、
超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２貯留部と、
前記第２貯留部の底面に設置され、前記伝播水に超音波振動を与える超音波振動子と、
霧化された前記過酸化水素水を加熱して気化させ、供給されるキャリアガスとともに出力する気化部と、
を備え、
前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位は、
前記伝播水に超音波振動が与えられて生じる水柱が前記振動板に接触して前記過酸化水素水が霧化される水位に設定されてなること、
を特徴とする滅菌物質発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、霧化装置、滅菌物質発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
滅菌ガス発生装置や薬剤吸入器等には、貯留部に貯留した霧化対象となる液体を超音波振動させて霧化させるダブルチャンバ式の霧化装置が設けられることがある（例えば、特許文献１参照）。図１０は、ダブルチャンバ式の霧化装置５００の一例を示す図である。
【０００３】
霧化装置５００では、霧化対象の液体を貯留するカップ５１０の底面に振動板５１１が取り付けられている。また、超音波を伝播させる伝播水の水位は、カップ５１０の底面の位置よりも高いため、カップ５１０の底面は伝播水に浸かった状態となっている。このような状態で超音波振動子５１２が振動すると、超音波振動が伝播水を伝わり、振動板５１１を透過してカップ５１０の液体の水面に達してエネルギーを伝えるので、水面が波立って水柱が立ちカップ５１０内の液体は霧化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１７２６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、カップ５１０の底面が伝播水に浸かった状態では、カップ５１０内の液体を霧化できるものの、例えば所定量の液体を霧化させる時間がばらつくことがあり、液体を安定に霧化できないことがある。
【０００６】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、液体を安定に霧化することができる霧化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一つの側面に係る霧化装置は、底面に振動板が取り付けられ、液体を貯留する第１貯留部と、超音波振動を伝播する伝播水を貯留する第２貯留部と、前記第２貯留部の底面に設置され、前記伝播水に超音波振動を与える超音波振動子と、を備え、前記伝播水に超音波振動が与えられていないときの前記伝播水の水位は、前記伝播水に超音波振動が与えられて生じる水柱が前記振動板に接触して前記液体が霧化される水位に設定されてなる。
【発明の効果】
【０００８】
液体を安定に霧化することができる霧化装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態であるアイソレータ１０の構成を示す図である。
【図２】滅菌ガス発生装置３３の側面図である。
【図３】霧化装置１００の概要を示す図である。
【図４】超音波振動子１２０を振動させた際の伝播水の変化について説明するための図である。
【図５】距離Ｄを変化させた際のカップ１１０の残量液の時間変化を示す図である。
【図６】距離Ｄ＝６ｍｍの際のカップ１１０の残量液の時間変化を示す図である。
【図７】水位Ｈが振動板１１５の底面より高い場合の残量液の時間変化を示す図である。
【図８】マイコン７３に実現される機能ブロックを示す図である。
【図９】マイコン７３が実施する処理の一例を示すフローチャートである。
【図１０】一般的な霧化装置５００の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書および添付図面の記載により、少なくとも以下の事項が明らかとなる。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態であるアイソレータ１０の構成を示す図である。アイソレータ１０は、作業者が滅菌された環境で細胞の作業等を行うための装置であり、滅菌ガス発生ユニット２０、供給装置２１、作業室２２、排出装置２３、及び制御装置２４を含んで構成される。滅菌とは微生物を殺滅して限りなく無菌に近くすることであるが、本明細書ではいわゆる除染、除菌、殺菌なども含めるものとする。また、無菌環境とは限りなく無菌に近い環境であって、除染処理とはその無菌環境を実現するための処理をいい、除染処理に用いる物質を除染物質という。
【００１２】
滅菌ガス発生ユニット２０は、タンク３０、ポンプ３１、パイプ３２、及び滅菌ガス発生装置３３を含んで構成される。
【００１３】
タンク３０は、過酸化水素水（過酸化水素（H2O2）が溶解した水溶液）を貯蔵する。  
ポンプ３１は、タンク３０から過酸化水素水を汲み上げ、パイプ３２を介して滅菌ガス発生装置３３に供給する。  
滅菌ガス発生装置３３は、供給される過酸化水素水から滅菌ガスである過酸化水素ガスを発生し、キャリアガスである空気とともに供給装置２１へと供給する。なお、滅菌ガス発生装置３３の詳細については後述する。
【００１４】
供給装置２１は、供給される過酸化水素ガス、またはアイソレータ１０の外部の空気を作業室２２へと供給する装置であり、電磁バルブ４０、及びファン４１を含んで構成される。
【００１５】
電磁バルブ４０は、制御装置２４の制御に基づいて、過酸化水素ガス、または外部の空気をファン４１に供給する。ファン４１は、電磁バルブ４０から供給される過酸化水素ガス、または空気を作業室２２へと供給する。
【００１６】
作業室２２は、細胞の作業を行う空間であり、作業室２２には、エアフィルタ５０，５１、扉５２、及び作業用グローブ５３が設けられている。
【００１７】
エアフィルタ５０は、ファン４１から供給される過酸化水素ガス、または空気に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。エアフィルタ５１は、作業室２２から排出されるガス等に含まれる塵等を除去するためのフィルタである。なお、エアフィルタ５０，５１には、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタが用いられる。
【００１８】
扉５２は、細胞等を作業室１０に搬入するために作業室１０の前面に開閉可能に設けられている。
【００１９】
作業用グローブ５３は、扉５２が閉じられた状態で作業者が作業室２２内の細胞等を作業できるよう、扉５２に設けられた開口部（不図示）に取り付けられている。なお、扉５２が閉じられた状態では、作業室２２は密閉される。
【００２０】
排出装置２３は、作業室２２から過酸化水素ガスや空気等のガスを排出するための装置であり、電磁バルブ６０、及び滅菌処理装置６１を含んで構成される。
【００２１】
電磁バルブ６０は、制御装置２４からの制御に基づいて、エアフィルタ５１から出力されるガスを、滅菌処理装置６１、または滅菌ガス発生装置３３の何れかに供給する。なお、電磁バルブ６０からの出力が滅菌ガス発生装置３３へと供給される場合、作業室２２のガスは循環されることになる。  
滅菌処理装置６１は触媒を備え、電磁バルブ６０から出力されるガスを無害化および滅菌処理をしてアイソレータ１０の外部へと出力する。
【００２２】
制御装置２４は、アイソレータ１０の各ブロックを制御する装置であり、操作部７０、表示部７１、記憶装置７２、及びマイコン７３を含んで構成される。
【００２３】
操作部７０は、利用者がアイソレータ１０の動作を設定するための操作パネル等である。なお、操作部７０の操作結果はマイコン７３へと送信される。  
表示部７１は、操作部７０の操作結果や、アイソレータ１０の各ブロックの状態等を表示する表示パネルである。  
記憶装置７２は、マイコン７３が実行するプログラムデータや、各種データを記憶する。
【００２４】
マイコン７３は、記憶装置７２に記憶されたプログラムデータを実行することにより、各種機能を実現する。例えば、操作部７０から、滅菌ガスを発生させるため指示が出力されると、マイコン７４は、滅菌ガスを発生させるための所定のプログラムを実行し、ポンプ３１等を制御する。なお、マイコン７３の詳細は後述する。
【００２５】
＝＝滅菌ガス発生装置３３の詳細＝＝
図２は、滅菌ガス発生装置３３の側面図である。なお、図２において、一部のブロックは断面図で描かれている。滅菌ガス発生装置３３は、過酸化水素水（液体）を霧化させる霧化装置１００を備えている。また、霧化装置１００は、過酸化水素水を貯留するカップ１１０、伝播水を貯留する貯留容器１１１、蓋部材１１２を備えている。
【００２６】
カップ１１０（第１貯留部）には、上側（＋Ｚ方向）と下側（−Ｚ方向）に開口部が設けられている。カップ１１０の下側の開口部２００には、開口部２００をふさぐように振動板１１５が、パッキンを挟んでボルト等で水密的に固定されている。また、振動板１１５は、底面（−Ｚ方向の面）が水平になるよう、カップ１１０に取り付けられている。
【００２７】
貯留容器１１１の底面には、伝播水に超音波振動を与えるための超音波振動子１２０が、その放射方向が垂直上向き水平方向から所定の角度（例えば、７度）傾いた状態となるように設けられている。
【００２８】
また、貯留容器１１１の内部に設けられた水位センサ１２１（水位検出装置）は、伝播水の水位が所定の水位より低いか否かを検出するためのセンサであり、例えば、フロートスイッチ（不図示）及びリレー（不図示）を含んで構成される。なお、水位センサ１２１及びマイコン７３は警告装置に相当する。また、便宜上、詳細な構成は省略するが、水位センサ１２１は検出結果を示す信号を、ケーブル（不図示）を介してマイコン７３へと出力する。
【００２９】
蓋部材１１２には、カップ１１０が挿入される開口部２１０と、伝播水が注入される注入口２２０とが設けられている。カップ１１０は、開口部２１０を塞ぐように、上側から開口部２１０に挿入される。なお、カップ１１０は開口部２１０に挿入された後、ボルト（不図示）等で蓋部材に取り付けられる。注入口２２０には、注入口２２０を開放または閉塞する栓部材１１３が挿入されている。また、開口部２１０にカップ１１０が挿入され、開口部２２０に栓部材１１３が挿入された状態の蓋部材１１２が貯留容器１１１に取り付けられると、貯留容器１１１の伝播水が貯留された空間は密閉される。なお、貯留容器１１１及び蓋部材１１２は、第２貯留部に相当する。
【００３０】
蓋部材１１２の上側には、過酸化水素ガスを外部へ供給するための供給管１４０と、供給管１４０を支持する支持部材１５０が設けられている。支持部材１５０は、蓋部材１１２の上面に設置された筒状部材１５１と、筒状部材１５１の上面に設けられたフランジ１５２を含む。
【００３１】
筒状部材１５１の径は、円筒状の供給管１４０の径よりも大きく、筒状部材１５１の−Ｘ側の側面には、キャリアガス（作業室２２を循環する空気）が供給されるポート１５３が設けられている。フランジ１５２は、筒状部材１５１の上面の開口部を閉じつつ、中心に供給管１４０が貫通されている。また、フランジ１５２の上面には、過酸化水素水が供給されるパイプ３２を通すためのポート１５４が設けられている。なお、パイプ３２は、ポート１５４と、供給管１４０の側面に設けられた開口部を介して、カップ１１０に過酸化水素水等が供給できるよう、供給管１４０の側面に固定されている。
【００３２】
また、カップ１１０の上側には、霧化された過酸化水素水を加熱し、気化するためのヒーター１３０が設けられている。ヒーター１３０で加熱され、ガス化した過酸化水素ガスは、供給されるキャリアガスとともに供給管１４０に設けられたポート１４１から出力される。ポート１４１は、前述の供給装置２１の電磁バルブ４０にパイプを介して接続される。このように、カップ１１０で霧化された過酸化水素水は、過酸化水素ガスとしてポート１４１から供給装置２１へと供給される。なお、制御装置２４、霧化装置１００は霧化装置に相当し、ヒーター１３０、供給管１４０は気化部に相当する。
【００３３】
＝＝カップ１１０の残液量の時間変化について＝＝
図３〜５を参照しつつ、伝播水の水位を変化させて霧化装置１００を動作させた場合に、カップ１１０の残液量がどのように変化するかを説明する。
【００３４】
なお、ここで、伝播水の水位Ｈは、図３に示すように、貯留容器１１１の底面（基準面）から、超音波振動子１２０が振動していないときの伝播水の水面までの高さである。また、超音波振動子１２０が振動していないときの伝播水の水面から、振動板１１５の底面までの距離を距離Ｄとする。さらに、貯留容器１１１の底面（基準面）から、振動板１１５の底面までの距離を距離Ｘ（Ｘ＝Ｄ＋Ｈ）とする。なお、霧化装置１００において、距離Ｘは、例えば、２０ｍｍ（ミリメートル）である。そして、貯留容器１１１は、例えば５００ｍＬ（ミリリットル）の伝播水が注入されると、水位Ｈが２０ｍｍ（Ｈ＝Ｘ、Ｄ＝０）となるような容積を有している。また、超音波振動子１２０は、例えば４８Ｖの交流電圧が供給されると、３０Ｗの電力を消費し、１．６〜１．７ＭＨｚの周波数（超音波周波数）で振動する。
【００３５】
図４は、振動板１１５の底面と伝播水の水面との間に隙間がある場合に、超音波振動子１２０を振動させた際の伝播水の変化（実験結果）について説明するための図である。超音波振動子１２０が振動すると伝播水には超音波振動が与えられるため、伝播水の水面は隆起し、水柱が発生する。本実施形態では、この水柱の高さは障害物が何もない状態で３０ｍｍから５０ｍｍに達する。そして、発生した水柱は振動板１１５に接触するため、超音波振動がカップ１１０に伝播され、カップ１１０に貯留された液体は霧化される。
【００３６】
図５は、振動板１１５の底面と伝播水の水面との間に隙間、すなわち、距離Ｄを変化させた場合のカップ１１０の残液量の時間変化を示す図である。なお、ここでは、カップ１１０に例えば２５ｇの純水（以下、単に水と言う）を予め投入し、０分のタイミングで超音波振動子１２０の振動を開始させている。図５に示すように、Ｄ＝４，６，８ｍｍのそれぞれの場合は、残液量はほぼ同じように減少する。また、Ｄ＝１０ｍｍの残液量は、約４分まではＤ＝４ｍｍの残液量より多い。しかしながら、４分以降のＤ＝１０ｍｍの残液量は、Ｄ＝４ｍｍの残液量とほぼ同量まで低下する。一方、Ｄ＝１２ｍｍの残液量は、Ｄ＝４ｍｍ，１０ｍｍの残液量と比較すると、経過時間によらず多い。したがって、例えば、Ｄ＝４〜１０ｍｍの範囲では、カップ１１０の水は安定に霧化されていることが分かる。なお、例えば、Ｄ＝２ｍｍ以下の場合、超音波振動子１２０が振動していなくても伝播水の表面張力により、わずかのきっかけで伝播水の水面が隆起して振動板１１５の底面と接触する。このため、図５では、Ｄ＝４ｍｍ以上の実験結果を示している。
【００３７】
また、図６は、Ｄ＝６ｍｍとして２５ｇの水を５回霧化させた場合の残液量の測定結果を示す図であり、図７は、伝播水の水位Ｈを振動板１１５の底面より高くして、２５ｇの水を５回霧化させ場合の残液量の変化を示す図である。なお、図７は、従来から実施されていた条件で水を霧化させた際の結果に相当する。
【００３８】
Ｄ＝４ｍｍの場合は、従来の条件で霧化された場合よりも、５回のそれぞれの波形が良く一致し、波形のバラツキが少ない。さらに、Ｄ＝４ｍｍの場合、従来の条件で霧化された場合よりも、より多くの水が霧化されている傾向がある。なお、ここでは、例えばＤ＝４ｍｍの場合を例に説明したが、Ｄ＝６〜１０ｍｍの場合も同様である。このように、振動板１１５の底面と伝播水の水面との間に隙間を空けることによって、より安定に水を霧化させることができる。また、水柱の本来の高さのおよそ１０％から３０％の高さで振動板１１５に接触させると、より効率よく霧化させることができる。
【００３９】
＝＝マイコン７３の詳細について＝＝
ここで、マイコン７３により実現される機能ブロックについて説明する。マイコン７３は、操作部７０から、過酸化水素ガスを発生させるための開始指示が入力されると、所定のプログラムを実行し、図８に示すような、警告部３００、制御部３０１の機能を実現する。
【００４０】
警告部３００（警告信号出力部）は、開始指示が入力されると、水位センサ１２１の出力を取得する。そして、水位センサ１２１が、伝播水の水位Ｈが所定の水位より低いことを検出している場合、警告部３００は、警告信号を表示部７１に出力する。また、警告部３００は、水位センサ１２１が、伝播水の水位Ｈが所定の水位より高いことを検出している場合、制御部３０１に霧化を開始させる制御を実行させる。  
制御部３０１は、警告部３００の制御に基づいて、霧化を開始すべく滅菌ガス発生ユニット２０を制御する。
【００４１】
図９は、過酸化水素ガスを発生させる場合において、マイコン７３が実施する処理の一例である。また、水位センサ１２１は、伝播水の水位Ｈが、例えば、Ｄ＝１０ｍｍとなる際の水位Ｈ（Ｈ＝１０ｍｍ）より低いか否かを検出することとする。なお、Ｄ＝１０ｍｍとなる際の水位Ｈでは、図５に例示したように、霧化装置１００は、カップ１１０の液体を安定に霧化できる。
【００４２】
まず、警告部３００は、水位センサ１２１の検出結果を取得する（Ｓ１００）。そして、伝播水の水位Ｈが、所定の水位（Ｈ＝１０ｍｍ）より高い場合（Ｓ１００：ＮＯ）、制御部３０１は、霧化を開始すべく滅菌ガス発生ユニット２０を制御する（Ｓ１０１）。
【００４３】
一方、伝播水の水位Ｈが、所定の水位（Ｈ＝１０ｍｍ）より低い場合（Ｓ１００：ＹＥＳ）、警告部３００は、表示部７１に水位Ｈが低下していることを示す警告を表示させ、制御部３０１に霧化の動作を停止させる（Ｓ１０２）。
【００４４】
以上、本実施形態のアイソレータ１０及び霧化装置１００について説明した。霧化装置１００では、水位Ｈが、例えばＤ＝６ｍｍとなる際の水位に設定されている。このような場合、振動板１１５には水柱が接触するため、過酸化水素水は霧化される。したがって、例えば、伝播水の水位が振動板１１５の底面より高く、振動板１１５の底面が伝播水に浸かっている場合と比較すると、霧化装置１００は、過酸化水素水（液体）を安定に霧化することができる。
【００４５】
また、図５に例示するように、伝播水の水位Ｈが大きく低下すると（距離Ｄが大きくなると）、過酸化水素水を霧化させて減少させるための時間が長くなる傾向がある。ただし、マイコン７３は、伝播水の水位Ｈが、残液量の変化に基づいて定められた所定の水位（例えば、Ｄ＝１０ｍｍとなる際の水位Ｈ）となると、警告信号を出力する。したがって、利用者は、警告信号（例えば、アラーム）が出力されると、伝播水を貯留容器１１１に注入し水位Ｈを上昇させることができる。この結果、霧化装置１００は、再度安定に過酸化水素水を霧化することができる。
【００４６】
また、伝播水の水位Ｈが所定の水位より低いか否かを検出する際には、例えば、水位計を用いても良い。具体的には、水位計の出力をマイコン７３がリアルタイムに取得し、水位Ｈが所定の水位より低いか否かを判定しても良い。ただし、本実施形態のように、水位センサ１２１を用いる方が、水位計を用いる場合よりも安価に霧化装置１００を構成できる。
【００４７】
また、表示部７１は、警告信号が出力されると、伝播水の水位Ｈが所定の水位より低いことを示す警告（情報）を表示する。このため、利用者は、確実に伝播水の水位Ｈが低下したことを把握することができる。
【００４８】
また、利用者は、伝播水の水位Ｈが所定の水位より低い場合、栓部材１１３を取り外し、注入口２２０から伝播水を注入することができる。この結果、伝播水の水位Ｈは上昇することとなるため、霧化装置１００は、過酸化水素水を安定に霧化することができる。なお、前述のように、貯留容器１１１は、５００ｍＬの伝播水が注入されると、水位Ｈが２０ｍｍとなる。つまり、貯留容器１１１は、５０ｍＬの伝播水が注入される度に、水位Ｈが２ｍｍだけ上昇する。したがって、利用者は、注入口２２０から所定量の伝播水を注入することにより、水位Ｈを所望の値にすることができる。
【００４９】
また、滅菌ガス発生装置３３は、霧化装置１０を用いることにより安定に過酸化水素ガスを発生させることができる。
【００５０】
なお、上記実施例は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。
【００５１】
例えば、振動板１１５はカップ１１０に水平に取り付けられていたが、これに限られるものでは無い。振動板１１５の底面が、超音波振動子１２０が超音波を発生する面と平行になるように取り付けられていても、霧化対象となる液体を安定に霧化することができる。
【００５２】
また、注入口２２０は、蓋部材１１２に設けられているが、例えば、貯留容器１１１の側面にあっても良い。特に霧化装置１００では、伝播水の水位Ｈが振動板１１５の底面より低いため、振動板１１５の底面より高い位置に注入口を設ければ、伝播水を注入する際の伝播水の漏れを防ぐことができる。
【符号の説明】
【００５３】
１０  アイソレータ
２０  滅菌ガス発生ユニット
２１  供給装置
２２  作業室
２３  排出装置
２４  制御装置
３０  タンク
３１  ポンプ
３２  パイプ
３３  滅菌ガス発生装置
４０，６０  電磁バルブ
４１  ファン
５０，５１  エアフィルタ
５２  扉
５３  グローブ
６１  滅菌処理装置
７０  操作部
７１  表示部
７２  記憶装置
７３  マイコン
１００  霧化装置
１１０  カップ
１１１  貯留容器
１１２  蓋部材
１１３  栓部材
１１５  振動板
１２０  超音波振動子
１３０  ヒーター
１４０  供給管
１４１，１５３，１５４  ポート
１５０  支持部材
１５１  筒状部材
１５２  フランジ
２００，２１０  開口部
２２０  注入口
３００  警告部
３０１  制御部
【図１】
2012213472.tif 000003
【図２】
2012213472.tif 000004
【図３】
2012213472.tif 000005
【図４】
2012213472.tif 000006
【図６】
2012213472.tif 000007
【図７】
2012213472.tif 000008
【図８】
2012213472.tif 000009
【図９】
2012213472.tif 000010
【図１０】
2012213472.tif 000011
【図５】
2012213472.tif 000012