(57)【要約】【課題】波形を生成するまでの時間を長くすることなく波形の表示精度を高精度化することを目的とする。【解決手段】本発明の半導体試験装置１は、ＤＵＴ２から出力される電圧が測定範囲ＭＲ内にあるか否かを判定する判定部１２を備える半導体試験装置１であって、電圧の最小値Ｖｍｉｎから最大値Ｖｍａｘまでの間を設定された電圧分割数ＶＤで分割したときの単位電圧ＶＵの１．５倍を測定範囲ＭＲとして、この測定範囲ＭＲを単位電圧ＶＵごとにシフトさせる制御を判定部１２に対して行う判定制御部２３と、判定部１２の判定結果に基づいて、電圧の波形を生成する波形生成部２５と、を備えることを特徴としている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、
前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を前記測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、
前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記波形生成部は、前記判定部の判定がパスとフェイルとで変化したときの前記測定範囲およびこの測定範囲を１つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づいて前記電圧の波形を生成すること
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、
前記電圧の最小値から最大値まで前記測定範囲をシフトさせるときに、前記測定範囲を均等に３分割したときの１／３をシフト前の測定範囲と重複させ、１／３をシフト後の測定範囲と重複させるようにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、
前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項４】
被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示する波形表示方法であって、
前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得し、
時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示すること
を特徴とする波形表示方法。
【請求項５】
被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示するための波形表示プログラムであって、
コンピュータに、
前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得する手順、
時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示する手順、
を実行させるための波形表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示する半導体試験装置、波形表示方法および波形表示プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）の試験を行うために半導体試験装置が用いられる。半導体試験装置はカード（ピンエレクトロニクスカード）を備えており、ピンエレクトロニクスカードからＤＵＴに電圧を印加して、ＤＵＴからの応答信号を電圧として入力する。そして、入力電圧を所定の閾値と比較することにより、良否（パスフェイル）の判定を行う。
【０００３】
ＤＵＴから出力された電圧は、基本的にはパスフェイル判定に用いられ、パスかフェイルかの何れかの結果が得られる。従って、パスまたはフェイルの結果が得られるのであって、ＤＵＴから出力された電圧の値そのものを得ているものではない。この電圧の値を取得するための半導体試験装置が特許文献１に開示されている。この技術ではパスフェイル判定の判定結果をプロットして波形を求めるデータスキャン機能を用いて波形表示を行っている。
【０００４】
このために、時間軸および電圧軸に所定の分解能（解像度）で分割を行っている。そして、時間軸方向および電圧軸方向に電圧をパスフェイル判定し、パスとフェイルとの変化点を電圧の値として取得している。具体的には、電圧軸の最小値と最大値とを設定し、判定する電圧を最小値に設定する。判定する電圧を最小値から最大値に向けて変化させ、パスフェイルの変化点を取得することで、電圧の値を求める。
【０００５】
電圧の値を求める作業は時間軸方向に固定して行う。そして、時間軸方向にずらして電圧の値を求めることで、時間軸方向の所定範囲の波形を得ることができる。これにより、ＤＵＴから出力される電圧の波形を生成することができ、生成した波形を表示することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１７５３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
波形表示の精度は時間軸よび電圧軸の分解能によって決定される。分解能が高ければ高いほど波形表示は高精度になる。特許文献１にも記載されているように、時間軸および電圧軸の分割数（分解能）が共に１０である場合には、ＤＵＴの試験を合計で１２１回繰り返す。つまり、分解能が高いほど必要なＤＵＴの試験回数は増大する。
【０００８】
近年の半導体試験装置では波形の表示精度に高精度が求められる。よって、高精度の波形表示を行うために、ＤＵＴの試験回数を多数回にする必要がある。ＤＵＴの試験には所定の時間を要するため、試験回数が多くなるほど、波形が得られるまでの時間は長くなる。つまり、波形の表示精度を高くするほど波形が生成されるまでに時間を要し、波形が生成されるまでの時間を短くするほど波形の表示精度が低くなる。
【０００９】
そこで、本発明は、波形を生成するまでの時間を長くすることなく波形の表示精度を高精度化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の課題を解決するため、本発明の半導体試験装置は、被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この半導体試験装置によれば、単位電圧の１．５倍の電圧を測定範囲としており、且つ単位電圧ごとに測定範囲をシフトしている。これにより、分割数はそのままで２倍の分解能を得ることができる。このため、波形を生成するまでの時間を長くすることなく、波形の表示精度を高精度にすることができる。
【００１２】
また、前記波形生成部は、前記判定部の判定がパスとフェイルとで変化したときの前記測定範囲およびこの測定範囲を１つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づいて前記電圧の波形を生成してもよい。これにより、パスとフェイルとで変化したときの測定範囲だけでなく、１つシフトさせたときの測定範囲の判定結果に基づくことで、分割数をそのままで２倍の分解能を得ることができるようになる。
【００１３】
本発明の他の半導体試験装置は、被試験デバイスから出力される電圧が測定範囲内にあるか否かを判定する判定部を備える半導体試験装置であって、前記電圧の最小値から最大値まで前記測定範囲をシフトさせるときに、前記測定範囲を均等に３分割したときの１／３をシフト前の測定範囲と重複させ、１／３をシフト後の測定範囲と重複させるようにシフトさせる制御を前記判定部に対して行う判定制御部と、前記判定部の判定結果に基づいて、前記電圧の波形を生成する波形生成部と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この半導体試験装置によれば、測定範囲を均等に３分割して、１／３を前後の測定範囲と重複させている。これにより、分割数をそのままに２倍の分解能を得ることができるようになり、波形生成までの時間を長くすることなく表示精度を向上させることができる。
【００１５】
本発明の波形表示方法は、被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示する波形表示方法であって、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得し、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示することを特徴とする。
【００１６】
本発明の波形表示プログラムは、被試験デバイスから出力される電圧の波形を表示するための波形表示プログラムであって、コンピュータに、前記電圧の最小値から最大値までの間を設定された分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲として、この測定範囲を前記単位電圧ごとにシフトさせて電圧の値を取得する手順、時間を変化させたときの前記電圧の値に基づいて、前記電圧の波形を生成して表示する手順、を実行させている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、被試験デバイスから出力される電圧の最小値から最大値を所定の分割数で分割したときの単位電圧の１．５倍を測定範囲とし、この測定範囲を単位電圧ごとにシフトさせている。これにより、分割数をそのままに２倍の分解能を得ることができ、波形生成までの時間を長くすることなく高い表示精度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】半導体試験装置の構成を示すブロック図である。
【図２】処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】波形および電圧取得を説明するための図である。
【図４】電圧取得を詳細に説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は半導体試験装置１を示しており、半導体試験装置１はＤＵＴ（Device Under Test）２の試験を行う。ＤＵＴ２は半導体試験装置１が試験を行う対象となる被試験デバイスである。図中では、ＤＵＴ２の個数は１つになっているが、複数であってもよい。
【００２０】
半導体試験装置１はピンエレクトロニクスカード（図中ではＰＥカード）３とテスタコントローラ（図中ではＴＳＣ）４とを備えて構成している。ピンエレクトロニクスカード３はＤＵＴ２の試験を行う試験部としての機能を有している。ピンエレクトロニクスカード３は電圧入力部１１と判定部１２とを備えている。電圧入力部１１はＤＵＴ２が出力した電圧を入力する。
【００２１】
判定部１２は電圧入力部１１が入力した電圧が所定範囲（測定範囲ＭＲ）内にあるか否かを判定する。測定範囲ＭＲは測定下限ＶＬと測定上限ＶＨとの間の範囲になっており、電圧入力部１１が入力した電圧をＶｉｎとしたときに、「ＶＬ＜Ｖｉｎ＜ＶＨ」になっているか否かを判定する。この式を満たすときには判定部１２はパスと判定し、満たさないときにはフェイルと判定する。なお、パスとフェイルとは逆であってもよい。
【００２２】
図中ではピンエレクトロニクスカード３は１枚になっているが、通常は複数枚を備えている。テスタコントローラ４は各ピンエレクトロニクスカード３を制御するコンピュータである。つまり、ＣＰＵとメモリと補助記憶装置（ハードディスク等）とを備えたコンピュータであり、補助記憶装置からメモリに読み出されたプログラム（ソフトウェア）をＣＰＵが実行することによりテスタコントローラ４の機能を果たしている。
【００２３】
テスタコントローラ４は入力部２１と設定値記憶部２２と判定制御部２３と電圧値生成部２４と波形生成部２５とを備えており、波形生成部２５にはモニタ２６が接続されている。入力部２１はキーボードやマウス等の入力手段であり、ユーザ等が適宜の値を入力することが可能になっている。
【００２４】
設定値記憶部２２は入力部２１を用いてユーザ等が入力した設定値を記憶する。入力される設定値は、ＤＵＴ２から入力される電圧の最大電圧Ｖｍａｘ、最小電圧Ｖｍｉｎ、電圧軸方向の分割数（電圧分割数ＶＤ）、時間軸方向の分割数（時間分割数ＴＤ）の４つになる。
【００２５】
判定制御部２３はピンエレクトロニクスカード３の判定部１２を制御する。判定部１２は、電圧Ｖｉｎが測定範囲ＭＲの範囲内であるか否かを判定しており、このために測定範囲ＭＲの測定下限ＶＬと測定上限ＶＨとを判定部１２に設定する。判定部１２はこの測定下限ＶＬと測定上限ＶＨとに基づいて、電圧Ｖｉｎが測定範囲ＭＲの範囲内であるか否かを判定する。
【００２６】
前述したように、判定部１２はＤＵＴ２からの入力電圧Ｖｉｎが測定範囲ＭＲにあるときにはパスと判定し、それ以外の場合はフェイルと判定する。電圧値生成部２４はこの判定結果を取得する。また、判定制御部２３から測定下限ＶＬと測定上限ＶＨとを入力する。これらに基づいて、電圧値生成部２４は電圧値を生成する。
【００２７】
電圧値生成部２４は所定の時刻におけるＤＵＴ２が出力する電圧Ｖｉｎに基づく電圧値であり、この電圧値はモニタ２６に表示を行うための電圧である。従って、この電圧値は電圧Ｖｉｎと完全には一致していない。ＤＵＴ２が出力する電圧Ｖｉｎは時間軸方向に変化する。波形生成部２５は設定値記憶部２２に設定して記憶されている時間分割数ＴＤに基づいて、電圧値生成部２４が生成する電圧値を取得する。そして、時間軸方向に電圧値を連続させることにより、ＤＵＴ２が出力する電圧Ｖｉｎの波形を生成する。
【００２８】
モニタ２６は波形生成部２５が生成する波形を表示するディスプレイ等の表示部になる。モニタ２６に表示される波形に基づいて、ユーザはＤＵＴ２の波形を認識することができる。なお、モニタ２６には波形以外の種々の情報（例えば、波形の値）を表示するようにしてもよい。
【００２９】
次に、図２のフローチャートを用いて、動作について説明する。まず、ユーザ等は入力部２１を用いて、設定値を入力する（ステップＳ１）。この設定値は、最大電圧Ｖｍａｘ、最小電圧Ｖｍｉｎ、電圧分割数ＶＤ、時間分割数ＴＤの４つになる。ユーザ等はこれらの値を適宜設定して、設定した値が設定値記憶部２２に記憶される。
【００３０】
最大電圧Ｖｍａｘは入力する波形の電圧Ｖｉｎの最大電圧であり、最小電圧Ｖｍａｘは波形Ｖｉｎの最小電圧になる。ユーザ等が指定する最小電圧Ｖｍａｘと最大電圧Ｖｍｉｎとの間の範囲が波形を表示する範囲となる。この範囲（Ｖｍａｘ−Ｖｍｉｎ）を電圧分割数ＶＤで除算した値が単位電圧ＶＵとなる。
【００３１】
この単位電圧ＶＵは波形表示を行うための分解能を示しており、単位電圧ＶＵが小さいほど分解能が高く、大きいほど分解能が低い。ここでは、最小電圧Ｖｍｉｎを０ボルト、最大電圧Ｖｍａｘを１０ボルト、電圧分割数ＶＤを１０とする。よって、単位電圧ＶＵは１ボルトになる。つまり、１ボルトの分解能で波形表示を行うことが可能になる。勿論、最小電圧Ｖｍｉｎ、最大電圧Ｖｍａｘ、電圧分割数ＶＤは任意に設定してもよい。
【００３２】
判定制御部２３は設定された値に基づいて単位電圧ＶＵを算出し、この単位電圧ＶＵの１．５倍を測定範囲ＭＲとする（ステップＳ２）。ここでは、単位電圧ＶＵは１ボルトであるため、測定範囲ＭＲは１．５ボルトの範囲となる。この１．５ボルトの測定範囲ＭＲを単位電圧ＶＵごとに最小電圧Ｖｍｉｎから最大電圧Ｖｍａｘまでシフト（上昇）させていく。
【００３３】
設定値記憶部２２には時間分割数ＴＤが記憶されている。時間分割数ＴＤは波形の１周期の間の分解能であり、時間分割数ＴＤが大きいほど波形の表示精度が高くなり、小さいほど波形の表示精度が低くなる。判定制御部２３は１周期の最初の時刻ｔ０において判定部１２に対して判定動作を行うように制御する。
【００３４】
このときに、測定範囲ＭＲを最小電圧Ｖｍｉｎに設定するように制御する（ステップＳ３）。よって、判定部１２が測定する測定範囲ＭＲの測定下限ＶＬは最小電圧Ｖｍｉｎ（＝０ボルト）となる。また、測定上限ＶＨは１．５ボルトになる。そして、判定部１２は電圧入力部１１が入力した電圧Ｖｉｎが０ボルトから１．５ボルトの範囲内にあるか否かを判定する。
【００３５】
この判定はパスフェイル判定により行う（ステップＳ４）。つまり、判定部１２は電圧Ｖｉｎが前記の範囲内にあるときにはパスと判定し、それ以外の場合はフェイルと判定する。判定制御部２３は判定部１２から判定結果を取得し、パスとフェイルとで変化をしたか否かを認識する（ステップＳ５）。つまり、フェイルからパスに変化しているかを認識する。
【００３６】
パスに変化しているときには、このパスフェイル判定の結果に基づいて、電圧生成部２４は電圧値を決定して生成する（ステップＳ６）。一方、パスに変化していないのであれば、測定範囲ＭＲを電圧軸方向に単位電圧ＶＵの分だけシフトさせる（ステップＳ７）。つまり、１ボルトだけ電圧軸方向にシフトさせるため、測定範囲ＭＲは１ボルトから２．５ボルトの範囲となる。
【００３７】
この点について、図３および図４を用いて詳細に説明する。図３の時刻ｔ０において、測定範囲ＭＲを電圧軸方向にシフトさせたものを示している。電圧分割数ＶＤ（最小電圧Ｖｍｉｎから最大電圧Ｖｍａｘまでの間の電圧を分割する分割数）は１０になっており、その電圧の範囲（単位電圧ＶＵの範囲）は１ボルトになっている。そして、測定範囲ＭＲは１．５倍の１．５ボルトになっている。
【００３８】
同図の「１」から「１０」は測定範囲ＭＲを示しており、それぞれ単位電圧ＶＵごとにシフトさせている。測定範囲ＭＲをシフトさせることで、最小電圧Ｖｍｉｎから最大電圧Ｖｍａｘまでをサーチすることができる。そして、測定範囲ＭＲをシフトさせることで、電圧の波形が範囲内に含まれるようになる。図４はその詳細を示している。「１」は最初のときの測定範囲ＭＲになる。つまり、０ボルトから１．５ボルトまでの測定範囲ＭＲになっている。
【００３９】
同図において、波形の値は１．９ボルトであるものとする。この場合には、判定部１２は最初の「１」の測定範囲ＭＲ（ＭＲ−１）の範囲内にあると判定しない。よって、判定部１２の判定結果はフェイルになり、電圧値生成部２４は電圧値の生成を行わない。そして、ステップＳ５においてパスからフェイルに変化していないと判定され、ステップＳ７の測定範囲をシフトさせる。
【００４０】
従って、次の「２」の測定範囲ＭＲ（ＭＲ−２）にシフトされる。この測定範囲ＭＲ−２は１ボルト（単位電圧ＶＵ）だけシフトしたものであり、測定範囲ＭＲ−２は１ボルトから２．５ボルトが範囲となる。そして、電圧方向の測定範囲を全て測定したかを判定する（ステップＳ８）。全て測定しなければ、再びパスフェイル判定を行う。波形の値は１．９ボルトであることから、測定範囲ＭＲ−２の範囲内にあると判定される。つまり、パスであると判定される。
【００４１】
よって、ステップＳ５において、パスとフェイルとで変化をしたと判定される。このため、ステップＳ６で電圧値の決定を行って、この電圧値を記録し、ステップＳ７の測定範囲ＭＲを１つシフトさせる。つまり、次の「３」の測定範囲ＭＲ（ＭＲ−３）にシフトされる。この測定範囲ＭＲ−３は２ボルトから３．５ボルトが範囲となる。
【００４２】
電圧の値は１．９ボルトであるため、測定範囲ＭＲ−３の範囲内にはない。よって、測定範囲ＭＲ−２の範囲内にはあるが、測定範囲ＭＲ−３の範囲内にはないことが認識される。図４に示すように、測定範囲ＭＲ−２の領域は均等に３分割される。測定範囲ＭＲ−２は図中で示す「Ｂ」、「Ｃ」および「Ｄ」の３つの領域に分割される。
【００４３】
「Ｂ」は測定範囲ＭＲ−１と重複した領域であり、「Ｄ」は測定範囲ＭＲ−２と重複した領域であり「Ｃ」は何れの測定範囲ＭＲとも重複していない領域になる。測定範囲ＭＲ−１ではフェイルと判定され、測定範囲ＭＲ−２はパスと判定されている。よって、「Ｂ」の領域は測定範囲ＭＲ−１と重複しているため、当該範囲に電圧の値はないことが認識される。
【００４４】
残余の「Ｃ」および「Ｄ」については、測定範囲ＭＲ−３の判定結果と合わせて電圧の値が何れの範囲であるかが認識される。測定範囲ＭＲ−３でフェイルと判定したとき（前述のように電圧の値が１．９ボルトのようなとき）には、「Ｃ」の領域に電圧の値があることが認識される。一方、測定範囲ＭＲ−３でパスと判定したとき（例えば、電圧の値が２．１ボルトのような場合）には、「Ｄ」の領域に電圧の値があることが認識される。
【００４５】
従って、１．５ボルトの測定範囲ＭＲを単位電圧ＶＵの分だけシフトさせることにより、測定範囲ＭＲはシフト前の測定範囲ＭＲと重複している０．５ボルトの領域、前後の測定範囲ＭＲと重複していない０．５ボルトの領域、シフト後の測定範囲ＭＲと重複している０．５ボルトの領域の３つの領域に均等に分割されることになる。
【００４６】
測定範囲ＭＲをシフトさせるのは、シフト前の測定範囲ＭＲではフェイルと判定された場合である。よって、シフト前の測定範囲ＭＲと重複している領域（測定範囲ＭＲ−２における「Ｂ」の領域）には波形の電圧が入っていないことが認識される。よって、この領域は除外される。
【００４７】
従って、重複していない領域（測定範囲ＭＲ−２における「Ｃ」の領域）またはシフト後の測定範囲ＭＲと重複している領域（測定範囲ＭＲ−２における「Ｄ」の領域）の何れかに波形の電圧が入っていることになる。重複していない領域における判定部１２の判定結果がパスであり、シフト後の測定範囲ＭＲと重複している領域の判定結果がフェイルであれば、重複していない領域に電圧の値があることが検出される。
【００４８】
一方、両方ともパスになれば、シフト後の測定範囲ＭＲと重複している領域に電圧の値があることが検出される。重複していない領域およびシフト後の測定範囲ＭＲと重複している領域の何れも０．５ボルトの分解能を有している。つまり、単位電圧ＶＵの分解能である１ボルトの２倍の分解能を有していることになる。
【００４９】
以上により、電圧の値が決定されて生成される。そして、電圧方向の測定範囲を全て測定するまでステップＳ４からステップＳ７までの処理を繰り返す。ここでは、電圧の値が領域「Ｃ」にあることが認識されて記録された。電圧値の生成はある時刻（最初の場合は時刻ｔ０）における値になる。よって、時間分割数ＴＤの分だけ時間軸方向に時刻をシフトさせる（ステップＳ９）。
【００５０】
そして、波形の１周期が終了したか否かを波形生成部２５は判定する（ステップＳ１０）。波形の１周期が終了していなければ再びステップＳ３に戻る。そして、１周期の全ての時間分割数ＴＤについて電圧の値を取得することで、波形を生成することができる（ステップＳ１１）。この生成した１周期分の波形をモニタ２６に表示することで、ユーザ等が波形を認識することができる。なお、生成する波形は１周期ではなく、任意の周期であってもよい。
【００５１】
従って、最小電圧Ｖｍｉｎと最大電圧Ｖｍａｘとの間の電圧を設定した電圧分割数ＶＤで除算した単位電圧ＶＵを１．５倍した測定範囲ＭＲを用い、且つ測定範囲ＭＲを単位電圧ＶＵごとにシフトさせて判定部１２がパスフェイル判定を行っている。換言すれば、測定範囲ＭＲは均等に３つの領域に分割され、各領域のうち１／３の領域（例えば、「Ｂ」の領域）をシフト前の領域と重複させ、１／３の領域（例えば、「Ｄ」の領域）をシフト後の測定範囲ＭＲと重複させるようにしている。
【００５２】
これにより、パスとフェイルとの変化後の測定範囲ＭＲにおいて、シフト前後の測定範囲ＭＲと重複していない領域とシフト後の測定範囲ＭＲと重複している領域との何れであるかが検出される。２つの領域は単位電圧ＶＵの２倍の分解能を有しており、２倍の精度で波形表示を行うことが可能になる。
【００５３】
通常は２倍の分解能で波形表示を行うとすると、パスフェイルの判定箇所を２倍にしなければならないが、測定範囲ＭＲを単位電圧ＶＵの１．５倍の範囲とし、且つ単位電圧ＶＵごとに測定範囲ＭＲをシフトさせているため、電圧分割数ＶＤに変更はない。つまり、電圧分割数ＶＤをそのままに、２倍の分解能を得ることができる。これにより、波形生成の時間を長くすることなく、波形の表示精度を向上させることができるようになる。
【００５４】
また、波形表示の分解能をそのままにする場合には、電圧分割数ＶＤを半分にすることができる。このため、波形表示の精度はそのままに波形を生成するまでの時間を大幅に短縮化することができるようになる。
【００５５】
以上では、時間的に連続した波形を表示する場合について説明したが、固定された時刻における波形の値を取得するシュムー測定を行う場合にも本実施形態を適用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１    半導体試験装置
２    ＤＵＴ
３    ピンエレクトロニクスカード
４    テスタコントローラ
１１    電圧入力部
１２    判定部
２２    設定値記憶部
２３    判定制御部
２４    電圧値生成部
２５    波形生成部
２６    モニタ
【図１】
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【図２】
2012163428.tif 000004
【図３】
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【図４】
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