(57)【要約】【課題】導波路型波長フィルタのフィルタ波長のトリミング時に生じる製作誤差であるシフトを有効に矯正し設計値に沿ったフィルタ波長のトリミングを可能とすること。【解決手段】長さの異なる２本のコアが上下各クラッド１３，１４に取り巻かれて導波路１１，１２が構成されその入出力端部に方向性結合器部２１，２２が各々設けられた導波路型波長フィルタであって、前記クラッドの一部に、前記一方の導波路１１を伝搬する特定波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成するクラッド屈折率調整領域３１，３２を設け、このクラッド屈折率調整領域３１，３２を、各導波路１１，１２の一部に沿って設置され各導波路１１，１２に対向した側壁面３３ｂ，３４ｂを有する有底溝穴３３，３４と、この有底溝穴３３，３４の一方又は双方の内部に排出自在に充填され前記特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤３５，３６とにより構成したこと。【選択図】図１
2012037748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長さの異なる一方と他方の２本のコアと当該コアを取り巻いて層状に配設されたクラッドとを有し、このクラッドに囲まれて前記各コアがそれぞれ一方と他方の導波路を構成すると共に、この各導波路の入力端部と出力端部にそれぞれ方向性結合器部が設けられて成る導波路型波長フィルタであって、
前記クラッドの一部に、前記一方の導波路内を伝搬する光信号の内の予め特定された波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成するクラッド屈折率調整領域を設け、
このクラッド屈折率調整領域を、
前記各導波路の設置ラインの一部に沿って設置され且つ当該各導波路に対向する対向面を側壁面として備えた有底溝穴と、この有底溝穴の一方又は双方の内部に排出自在に充填されて前記特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤とにより構成したことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記有底溝穴を、前記一方と他方の各導波路に対応してそれぞれ個別に設けたことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記クラッドを、基板上に積層された下部クラッドと、当該下部クラッド上に前記各コアを取り巻いて当該各コアと共に積層された上部クラッドとにより構成し、
前記有底溝穴を、前記上部クラッドの上面に開口部を有し当該上部及び下部の各クラッドを貫通して前記基板に達する深さに設定したことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【請求項４】
請求項３に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記有底溝穴は、前記各コアに近い側には三角柱状の溝穴が形成され、これに並列した状態で連なる前記各コアから遠い側には円柱状の溝穴が形成されて成ることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一つに記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記各有底溝穴は、前記一方と他方の各コアの各中央領域における直線部分に、それぞれ２個ずつ併設されていることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【請求項６】
請求項１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタの一部に設けられたクラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記各有底溝穴に対して個別に前記クラッドとは異なった屈折率を有する屈折率調整剤の適量を充填し又は排出する調整剤投入機構と、この調整剤投入機構の動作を制御する動作制御手段とを設け、
この動作制御手段の制御動作に必要な前記フィルタ波長にかかる波長情報を、前記一方のコアの出力光から検出して分析すると共に前記フィルタ波長の目標値からのシフト状態を特定するシフト情報特定手段を備えたことを特徴とするクラッド用屈折率設定システム。
【請求項７】
請求項６に記載のクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記調整剤投入機構を、前記有底溝穴内の屈折率調整剤を吸出して排除する調整剤吸排出機構部と、前記有底溝穴内に他の屈折率調整剤を充填する調整剤充填機構部とを備えた構成とし、
前記調整剤充填機構部に、前記屈折率調整剤として屈折率の異なる複数種類の屈折率調整剤を各別に収納した複数の調整剤格納タンクを配管を介して連結すると共に、
前記調整剤充填機構部が、前記複数の調整剤格納タンクの内の何れか一つを前記配管を介して切り換え連結し特定の屈折率を備えた調整剤を取り込む切換え連結部を備えていることを特徴としたクラッド用屈折率設定システム。
【請求項８】
請求項７に記載のクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記シフト情報特定手段を、前記フィルタ波長のシフト状態を含む波長情報を前記一方のコアの出力光から検出するフィルタ波長検出センサと、この検出されたフィルタ波長にかかる情報に基づいてそのシフト状態の有無，その増減方向およびそのシフト量とを特定するフィルタ波長シフト判定部とにより構成したことを特徴とするクラッド用屈折率設定システム。
【請求項９】
請求項１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態をシフト情報特定手段が検出して特定し、
このシフト情報の特定工程で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて、前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を調整剤投入機構を介して動作制御手段が充填制御し、
前記調整剤充填制御の工程にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤を、充填用として前記動作制御手段が選択し充填制御するようにしたことを特徴とするクラッド用屈折率設定方法。
【請求項１０】
請求項１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態を予め装備したシフト情報検出用光センサが検出した場合に、当該検出されたセンサ情報に基づいてフィルタ波長のシフト状態を分析するシフト状態分析機能、
及びこのシフト状態分析機能で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に、前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を、前記有底溝穴に対応して予め配置された調整剤投入機構を駆動制御して充填処理する調整剤充填処理制御機能、を設けると共に、
前記調整剤充填処理制御機能にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤を、充填用として予め選択する選択処理機能を含む構成とし、
これらの各機能をコンピュータに実現させるようにしたことを特徴としたクラッド屈折率設定用制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導波路型波長フィルタ、クラッド用屈折率設定システム等に係り、特にフィルタ波長を有効にトリミングすることを可能とした導波路型波長フィルタ、クラッド用屈折率設定システム、クラッド用屈折率設定方法、及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光通信用の導波路型波長フィルタに関する研究が近年盛んに行われている。導波路型波長フィルタは、導波路によって構成されたフィルタであり、ある波長の光をフィルタリングする機能を有する。現在、研究段階のものとしては、導波路型波長フィルタの多段構成による光スイッチ回路の実現が報告されている。
【０００３】
この種の光スイッチ回路は、光信号を電気信号に変換することなく、光信号を光信号のまま通信経路の切り替えが出来るため、次世代光通信に不可欠な高速かつ低消費電力を実現する光回路と考えられている。
このため、この光スイッチ回路の主構成要素である導波路型波長フィルタは、今後の光通信技術の発展に際しては最も重要な基礎エレメントの１つとして、関係業界では取り扱われている。
【０００４】
図９（Ａ）（Ｂ）に、導波路型波長フィルタの関連技術である両端部に導波路型の方向性結合器１２１，１２２を備えたマッハツェンダー干渉計１００について説明する。
【０００５】
まず、図９（Ａ）において、符号１１１ａ，１１２ａは、所定間隔を隔てて配置された長さの異なる一方と他方のコアを示す。この一方と他方のコア１１１ａ，１１２ａの周囲には、その全面に、当該各コア１１１ａ，１１２ａに当接して各コア１１１ａ，１１２ａとは屈折率の異なる透明部材から成るクラッドが配置され、これによって、各コア１１１ａ，１１２ａは一方と他方の各導波路１１１，１１２として、それぞれ機能するようになっている。
【０００６】
ここで、前述したクラッドについては、各コア１１１ａ，１１２ａの外周囲全体に所定の厚さにて付着された膜状のものであっても、或いは各コア１１１ａ，１１２ａの外周囲の空間全体に所定の厚さに充填された層状のものであってもよい。又、長さの長い一方のコア１１１ａの中央部には、図９（Ａ）に示すように位相シフター１３１が装備されている。
【０００７】
そして、この図９（Ａ）において、導波路１１１に入射した光は、方向結合器１２１によって導波路１１１と導波路１１２に分配される。ここでは、全ての方向性結合器１２１で等しく光電力が分配されるものとする。その後、導波路１１１を伝播する光は位相シフタ１３１を通り、方向性結合器部１２２を通って同図内の右方向に向けて出射される。又、方向性結合器部１２１によって導波路１１２に分配された光は、導波路１１２を伝播し、方向性結合器部１２２を通り出射される。
【０００８】
ここで、導波路１１１と導波路１１２に出力される光電力の割合は、当該一方の導波路１１１と他方の導波路１１２の光路長差による位相遅延量及び用いる波長によって決定される。
例として、導波路１１１及び導波路１１２の等価屈折率を１．４８０、位相シフタ１３１の長さを３３．２〔μｍ〕とした場合の、導波路型方向性結合器１２１，１２２を用いたマッハツェンダー干渉計のフィルタ特性を、図９（Ｂ）の実線で示す。
【０００９】
尚、図９（Ｂ）に示すフィルタ特性は、波長１３１０〔ｎｍ〕帯での導波路１１１に入射して当該導波路１１１から出射される光のフィルタ特性である。この図９（Ｂ）の実線では、波長１３１０〔ｎｍ〕の光が全て導波路１１１に出力されることを示している。
ここで、導波路１１１に入射した光電力の全てが当該導波路１１１に出力される場合の波長をフィルタ波長と定義する。図９（Ｂ）の実線の例ではフィルタ波長は１３１０〔ｎｍ〕である。
【００１０】
次に、製作誤差によって等価屈折率が１．４８０から１．４７５に変化した場合のフィルタ特性を図９（Ｂ）内では点線で示す。この図９（Ｂ）の点線で示されるように、等価屈折率が変化したことによってフィルタ波長が１３１０〔ｎｍ〕から１３０６〔ｎｍ〕へと変化（シフト）したことになる。
【００１１】
この場合、即ち、フィルタ波長を１３１０〔ｎｍ〕として設計したところ、製作誤差によって、フィルタ波長が１３０６〔ｎｍ〕になった今回の例では、１３１０〔ｎｍ〕の光は、約０．６〔ｄＢ〕の損失を受けることになる。
尚、これらの計算は、〔「光波工学」國分泰雄著、共立出版株式会社、P262、(8.65)式〕を参考にした。
【００１２】
しかしながら、現在、商用ベースで導波路型波長フィルタを製造出来るベンダーは、非常に少ない。これは導波路製造時の屈折率制御が大変難しいことに起因している。
この導波路材料の屈折率を高精度に制御することが困難であるため、導波路に使用する導波路材料については、その等価屈折率を制御することが出来ず、これがため、多くの場合、制作した導波路型波長フィルタのフィルタ波長が設計規格値を満たすことができない状態、即ち、製作誤差（波長のシフト）が多発している現状がある。
【００１３】
即ち、上記導波路型のマッハツェンダー干渉計あっては、フィルタ波長のシフトという製作誤差に関しては、これを容易に是正する技術は、見当たらない。
【００１４】
一方、製造装置の改善や製作トレランスの拡大検討によって、各製造ベンダーはこの問題の解決に向けて取り組んでいる。
上記課題については、その解決策の一つとして、従来より、導波路型波長フィルタの製造後に導波路型波長フィルタの等価屈折率を制御してフィルタ波長を調整するトリミング技術が知られている（特許文献１）。
【００１５】
即ち、この特許文献１では、コアを取り巻くクラッドを紫外線感光性を備えた透明部材で形成すると共に導波路型波長フィルタの製造後に紫外線照射を行って当該クラッドの屈折率の変化を促し、これによって当初の目的に合ったフィルタ波長のトリミングを有効に行うようにした技術内容が開示されている。
【００１６】
また、制作した導波路型波長フィルタのフィルタ波長のトリミングについては、コアを取り巻くクラッドの温度依存性についての課題があって、制作した導波路型波長フィルタのフィルタ波長が設計規格値を満たすことができない現状があり、これを改善するにクラッドの一部に負の屈折率温度係数の温度保障材料を組み込む技術が提案されている（特許文献２，３，４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０００−０７５１５１号公報
【特許文献２】特許第３４３６９３７号公報
【特許文献３】特開２０００−１２１８５０号公報
【特許文献４】特開２００７−３１６３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、上記特許文献１に開示された関連技術である紫外線照射によるフィルタ波長のトリミング技術にあっては、導波路コア又はクラッドに紫外線感光性を持った材料を使用する必要性が生じ、これがため、導波路材料の選定又は製造プロセスに強い制約を受けるという不都合がある。
【００１９】
この場合、紫外線照射装置は一般的に高価であり、これがため製造コストを引きあげる要因となる。加えて、紫外線照射は材料の屈折率を非可逆的に変化させるものであるため、トリミングのやり直しができず、従って、過剰にトリミングを行った場合の救済処置がないという不都合がある。
【００２０】
又、特許文献２乃至４にかかる関連技術にあっては、環境温度の変化があっても導波路型波長フィルタのトリミングを円滑に維持得ることを意図したものであり、従って、生産時若しくは生産後の光導波路におけるフィルタ波長のシフトに対する調整技術、即ちシフトされた状態のフィルタ波長について、これを調整（矯正）して設計値に等しいフィルタ波長のトリミングを実行する手法については何らの対応も成されてはいない。
即ち、この特許文献２乃至４にかかる関連技術にあっては、特許文献１の場合と同様に、過剰にトリミングを行った場合の救済処置がないという不都合がある。
【００２１】
このため、導波路型波長フィルタに関しては、例えば導波路型波長フィルタの導波路材料の選定に特段の制約が無く、且つ安価にトリミングを行うことを可能とし、同時に繰り返しのやり直しができる、導波路型波長フィルタのトリミング技術の開発の必要性が、社会的な要請として従来より多く存在していた。
【００２２】
〔発明の目的〕
本発明は、上記関連技術の有する不都合を改善し、特に導波路型波長フィルタの生産時又は生産後に見いだされる製作誤差としてのフィルタ波長のシフトに対しては、これに効率よく且つ迅速に対応して設計値に沿ったフィルタ波長を有効に且つ円滑にトリミングすることを可能とし生産性の優れた導波路型波長フィルタ、クラッド用環境構築システム、クラッド環境構築方法、及びそのプログラムを提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するため、本発明にかかる導波路型波長フィルタは、長さの異なる一方と他方の２本のコアと当該コアを取り巻いて層状に配設されたクラッドとを有し、このクラッドに囲まれて前記各コアがそれぞれ一方と他方の導波路を構成すると共に、この各導波路の入力端部と出力端部にそれぞれ方向性結合器部が設けられて成る導波路型波長フィルタであって、
前記クラッドの一部に、前記一方の導波路内を伝搬する光信号の内の予め特定された波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成するクラッド屈折率調整領域を設け、
このクラッド屈折率調整領域を、前記各導波路の設置ラインの一部に沿って設置され且つ当該各導波路に対向する対向面を側壁面として備えた有底溝穴と、この有底溝穴の一方又は双方の内部に排出自在に充填されて前記特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤とにより構成したことを特徴とする。
【００２４】
上記目的を達成するため、本発明にかかるクラッド用屈折率設定システムは、上記構成の導波路型波長フィルタの一部を成す前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムであって、
前記各有底溝穴に対して個別に前記クラッドとは異なった屈折率を有する屈折率調整剤の適量を充填し又は排出する調整剤投入機構と、この調整剤投入機構の動作を制御する動作制御手段とを設け、この動作制御手段の制御動作に必要な前記フィルタ波長にかかる波長情報を、前記一方のコアの出力光から検知して分析すると共に前記フィルタ波長の目標値からのシフト状態を特定するシフト情報特定手段を備えたことを特徴とする。
【００２５】
上記目的を達成するため、本発明にかかるクラッド用屈折率設定方法は、前記導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態をシフト情報特定手段が検出して特定し（シフト情報特定工程）、
このシフト情報特定工程で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に、前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を調整剤投入機構を用いて動作制御手段が充填制御し（調整剤充填制御工程）、
前記調整剤充填制御の工程にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤（空気を含む）を、充填用として前記動作制御手段が選択し充填制御するようにしたことを特徴とする。
【００２６】
上記目的を達成するため、本発明にかかるクラッド屈折率設定用制御プログラムは、前記導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態を予め装備したシフト情報検出用光センサが検出した場合に、当該検出されたセンサ情報に基づいてフィルタ波長のシフト状態を分析するシフト状態分析機能、
及びこのシフト状態分析機能で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に、前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を、前記有底溝穴に対応して予め配置された調整剤投入機構を駆動制御して充填処理する調整剤充填処理制御機能、を設け、
前記調整剤充填処理制御機能にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤（空気を含む）を、充填用として予め選択する選択処理機能を含む構成とし、
これらの各機能をコンピュータに実現させるようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は、上述したように構成したので、これによると、クラッドの一部に設けたクラッド屈折率調整領域が有効に機能して、フィルタ波長のシフトの発生を有効に抑制することができ、導波路型波長フィルタの生産時に見い出されるフィルタ波長のシフトに対しては、当該クラッド屈折率調整領域に注入する屈折率調整剤の設定若しくは再設定により導波路の均等屈折率を変化させてフィルタ波長を長波長側又は短波長側にシフトさせることが可能となり、これにより製作誤差として生じるフィルタ波長のシフトを有効に是正することができ、同時に、クラッドの生成時における材料選定の制約を受けることなく安価にして設定のやり直し（再設定）が何度でも可能となり、これにより、設計値に沿ったフィルタ波長を効率良くトリミングすることができるという生産性の優れた導波路型波長フィルタ、クラッド用屈折率設定システム、クラッド用屈折率設定方法、及びそのプログラムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態を示す概略平面図である。
【図２】図１に開示した実施形態における断面図で、図２（Ａ）は図１のE−E線に沿った部分断面図、図２（Ｂ）は図１のＦ−Ｆ線に沿った部分断面図である。
【図３】図１に開示した実施形態における部分斜視図である。
【図４】図１に開示した実施形態が備えているクラッド屈折率調整領域におけるクラッドの屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムの一例を示すブロック図である。
【図５】図４に開示したクラッド用屈折率設定システムの動作の一例を示すフローチャートである。
【図６】図５に開示したクラッド用屈折率設定システムの動作の一例で、図４から分岐した場合に例を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第２実施形態を示す概略平面図である。
【図８】図７に開示した第２実施形態が備えているクラッド屈折率調整領域におけるクラッドの屈折率の設定を実行するためのクラッド用屈折率設定システムの一例を示すブロック図である。
【図９】関連技術における両端部に導波路型の方向性結合器を備えたマッハツェンダー干渉計の例を示す図で、図９（Ａ）はその構成回路を示す説明図、図９（Ｂ）は図９（Ａ）の動作特性を示す線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
〔第１の実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態を図１乃至図６に基づいて説明する。
本第１実施形態は、前述した関連技術におけるフィルタ波長のシフトという製作誤差を容易に且つ有効に是正し得るようにしたものである。
【００３０】
（全体構成）
まず、図１乃至図３において、本第１実施形態における導波路型波長フィルタ１０は、長さの異なる一方と他方の２本のコア１１ａ，１２ａと、当該コア１１ａ，１２ａを取り込んで層状に積層された上クラッド１３及び下クラッド１４と、これらの各クラッド１３，１４を支持する基板１５とを備えている。
【００３１】
この内、一方と他方の２本のコア１１ａ，１２ａは、上下の各クラッド１３，１４に囲まれることによってそれぞれ一方と他方の導波路１１，１２を構成している。更に、この各導波路１１，１２の入力端部と出力端部には、それぞれ方向性結合器部２１，２２が設けられている。
【００３２】
この図１において、符号４０Ａはフィルタ波長検出センサを示す。このフィルタ波長検出センサ４０Ａは、前述した導波路型波長フィルタ１０にてトリミングされ一方導波路１１から出力されるフィルタ波長を検出する機能を有する。そして、この検出された当該フィルタ波長にかかる情報に基づいて、後述するクラッド用屈折率設定システムが作動し、設計値に沿ったフィルタ波長のトリミングを可能とするためのクラッド屈折率の設定を行い、これによって、各導波路１１，１２の均等屈折率を変化させて当該フィルタ波長のシフト状態が是正される。
【００３３】
上下各クラッド１３，１４の一部には、前記一方の導波路１１内を伝搬する光信号の内の予め特定された波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成するクラッド屈折率調整領域３１，３２が設けられている。
このクラッド屈折率調整領域３１，３２は、本第１実施形態にあっては、図１に示すように一方と他方の導波路１１，１２のほぼ中間位置に配置されている。尚、このクラッド屈折率調整領域３１，３２の配設位置についてはこの中間位置から入力端部側又は出力端部側にずれた位置であってもよい。
【００３４】
この内、クラッド屈折率調整領域３１，３２は、図１乃至図３に示すように、前述した各導波路１１，１２の一部に沿って配設され且つ当該各導波路１１，１２に対向する対向面を側壁面３３ｂ，３４ｂとして個別に備えた有底溝穴３３，３４と、この各有底溝穴３３，３４の一方又は双方の内部に排出自在に充填されて前記特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤３５，３６（図２参照）とにより構成されている。
【００３５】
ここで、屈折率調整剤３５，３６については、本実施形態ではその何れもが状況によって屈折率の異なる厳選された二種類の屈折率調整剤Ａ又はＢが使用されているが、３種類以上を予め準備し必要に応じて適宜選択使用するように構成してもよい。
【００３６】
この場合、屈折率調整剤Ｂは屈折率調整剤Ａよりも屈折率が大い値に設定されている。この屈折率調整剤Ａ，Ｂは、後述するクラッド用屈折率設定システム４０によって、各有底溝穴３３，３４にそれぞれ排出自在に充填されるようになっている。
【００３７】
この屈折率調整剤Ａ，Ｂについては、導波路型波長フィルタ１０の生産時に、上述したように屈折率の異なった調整剤Ａ又はＢが後述するクラッド用屈折率設定システム４０によって各有底溝穴３３，３４に排出自在に充填される。このため、結果的に、状況に応じた最適な屈折率調整剤Ａ，Ｂが充填されることとなり、これによってフィルタ波長の周波数のシフト状態の発生が有効に抑制され若しくは矯正されることとなる。
【００３８】
即ち、このように屈折率調整剤Ａ，Ｂが充填されるので、この充填された屈折率調整剤Ａ，Ｂは、前述したように各導波路１１，１２に均等屈折率を変化させることとなり、これをもって、予め特定された波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成することが可能となる。
【００３９】
（有底溝穴３３，３４について）
上記有底溝穴３３，３４は、図１に示すように一方と他方の各導波路１１，１２に対応してそれぞれ独立した状態に設けられている。この各有底溝穴３３，３４は、本実施形態にあっては、前述した上部クラッド１３の図１における上面に開口部３３Ａ，３４Ａを有すると共に、当該上部及び下部の各クラッド１３，１４を貫通して前記基板１５に達する深さに設定されている。尚、この各有底溝穴３３，３４の深さについては、その底面を下部クラッド１４内に設定するように構成してもよい。
【００４０】
これら一方と他方の各導波路１１，１２は、前述した関連技術における各導波路１１１，１１２（図９参照）と同様の配線状態にて配線され、一方の導波路１１の中央部分が図１の外側に突出した平行線部分を有し、この突出した距離分だけ、他方の導波路１２よりも物理的な長さが長く設定されている。
【００４１】
上述した有底溝穴３３は、一方の導波路１１の突出した中央部分の図１における上側（一方の導波路１１の外側領域）の直線部分に配設されている。又、有底溝穴３４は、他方の導波路１２の中央領域の直線部分における図１の下側（他方の導波路１２の外側領域）に、前述した有底溝穴３３とは反転した状態で配設されている。
【００４２】
ここで、有底溝穴３３，３４の溝穴形状について説明する。
まず、一方の有底溝穴３３は、一方の導波路１１に面して側壁面３３ｂを備えた三角柱状空間部３３Ｂと、この三角柱状空間部３３Ｂの前記一方の導波路１１とは反対側に配設された円柱状空間部３３Ｃと、この円柱状空間部３３Ｃと前記三角柱状空間部３３Ｂとを各側面を切除して連通する連通空間３３Ｄとにより構成されている。
【００４３】
これにより、有底溝穴３３内に所定の屈折率調整剤Ａ又はＢが充填された場合に、一方の導波路１１に沿って一様に対向する形態となり、当該一方の導波路１１の均等屈折率を有効に変化させることが可能となる。
この内、一方の導波路１１とこれに面する側壁面３３ｂとの距離ｅは、本実施形態では数〔μｍ〕に設定されている。
【００４４】
他方の有底溝穴３４についても、上記した一方の有底溝穴３３の場合とほぼ同様に形成され、他方の導波路１２に面して側壁面３４ｂを備えた三角柱状空間部３４Ｂと、この三角柱状空間部３４Ｂの前記他方の導波路１２とは反対側に配設された円柱状空間部３４Ｃと、この円柱状空間部３４Ｃと前記三角柱状空間部３４Ｂとを各側面を切除して連通する連通空間３４Ｄとにより構成されている。
又、他方の導波路１２とこれに面する側壁面３４ｂとの距離ｆも、前記一方の有底溝穴３３の場合と同様に、数〔μｍ〕に設定され、これによって当該他方の導波路１２の均等屈折率を有効に変化させることが可能となる。
【００４５】
そして、上記各有底溝穴３３，３４の各円柱状空間部３３Ｃ，３４Ｃは、その直径が例えば数〔ｍｍ〕から数〔ｃｍ〕の大きさに設定されている。これによって、当該各円柱状空間部３４Ｃに屈折率調整剤３５，３６が滴下によって充填し易いように、その大きさが設定されている。また、連通空間３３Ｄ，３４Ｄは、各円柱状空間部３３Ｃ，３４Ｃに滴下される屈折率調整剤３５，３６が、前述した三角柱状空間部３３Ｂ，３４Ｂへ円滑に案内するための空間通路として機能する。
【００４６】
（導波路の等価屈折率とフィルタ波長のシフトとの関係）
一方と他方の各導波路１１，１２内を伝搬する光信号は、各有底溝穴３３，３４部分では当該有底溝穴３３，３４内に充填された屈折率調整剤３５，３６にその波長レベルで影響を受けて伝搬する。具体的には、導波路１１，１２の等価屈折率は、屈折率調整剤３５，３６を充填された各有底溝穴３３，３４部分では、充填前（空気の場合）より屈折率が大きくなる。かかる場合、フィルタ波長は長波長側にシフトする。
【００４７】
これに対して、フィルタ波長は一方と他方の各導波路１１，１２内の光路長によって決定されることから、これを有効に利用して、各有底溝穴３３，３４に充填する屈折率調整剤３５，３６を選択することにより、所望するフィルタ波長のトリミングを効果的に実行することが可能となる。
【００４８】
これを具体的に説明すると、まず、各有底溝穴３３，３４に屈折率調整剤Ａ又はＢを充填する前は溝に空気が存在し、空気の屈折率がどの導波路の素材の屈折率よりも低いため、導波路１１，１２の等価屈折率は最も低い状態にある。
この有底溝穴３３，３４に屈折率調整剤Ａ又はＢを充填すると、屈折率調整剤Ａ又はＢの屈折率が空気の屈折率より高いため、導波路１１，１２の等価屈折率が増加する。この等価屈折率の増加により、上述したように、フィルタ波長は長波長側にシフトする。
【００４９】
所望の矯正対象のシフト量に見合った屈折率の屈折率調整剤Ａ又はＢを屈折率調整剤３５，３６として有底溝穴３３，３４に充填すれば、所望するフィルタ波長のトリミングを完遂することが出来る。即ち、設計値よりも実際の等価屈折率が高くなってしまいフィルタ波長を短波長側にシフトさせる必要がある場合は、導波路２側に設けた溝に屈折率調整剤Ａ又はＢを充填すればよい。
前述したように、導波路１１と導波路１２の光路長によってフィルタ波長が決まるため、導波路１２の一部の等価屈折率が増加すれば光路長差は小さくなり、結果としてフィルタ波長が長波側にシフトするからである。
【００５０】
ここで、有底溝穴３３，３４内に充填された屈折率調整剤３５，３６に影響されて各導波路１１，１２内を光が伝搬するが、この場合、有底溝穴３３，３４内の屈折率調整剤３５，３６が急激な屈折率の変化があると、対応する導波路１１，１２内を伝搬する光信号に歪みが生じやすいことから、導波路１１，１２内の等価屈折率を徐々に変化させるために、当該各導波路１１，１２に対向する箇所の屈折率に変化を徐々に大きくし又徐々に小さくするようにし、そのために、当該箇所の断面形状を各導波路１１，１２に沿って断面三角形状とした。
【００５１】
即ち、有底溝穴３３，３４の前記各導波路１１，１２に沿って設置された部分の断面形状を三角形状として対応する各導波路１１，１２内の等価屈折率を徐々に変化させるようにし、これにより、等価屈折率の急激な変化を抑えて特定のフィルタ波長の円滑なトリミングを実行することが可能となる。
【００５２】
（クラッド用屈折率設定システム４０）
前述したように、本第１実施形態は、フィルタ波長のシフトという制作誤差を容易に且つ有効に是正し得るようにした導波路型波長フィルタ１０を実現するためのものであり、そのために、クラッド屈折率調整領域３１，３２の特定、即ち、前述した有底溝穴３３，３４内の屈折率調整剤３５，３６の規律ある充填および排出を実行するクラッド用屈折率設定システム４０が必要となる。
【００５３】
このクラッド用屈折率設定システム４０は、前述した導波路型波長フィルタ１０の一部を成すクラッド屈折率調整領域３０の特定に際して稼働し、当該クラッド屈折率調整領域３０の有底溝穴３３，３４内に規律ある屈折率調整剤３５，３６の充填および排出を実行するためのもので、導波路型波長フィルタ１０の生産工程上で機能するシステムである。
【００５４】
クラッド用屈折率設定システム４０は、前述したように、設計値に沿ったフィルタ波長のトリミングを可能とする導波路型波長フィルタ１０を得るためのものであり、そのために、導波路型波長フィルタ１０からトリミングされて出力されるフィルタ波長のトリミング情報に基づいて、その各種制御動作が実行される。具体的には、各導波路１１，１２の等価屈折率を最適な状態に設定するように、前述した有底溝穴３３，３４内の屈折率調整剤３５，３６の規律ある充填および排出を実行するように機能する。
【００５５】
ここで、このクラッド用屈折率設定システム４０を、更に詳述する。
図４において、クラッド用屈折率設定システム４０は、前述した有底溝穴３３，３４に対して各導波路１１，１２の等価屈折率を最適な状態に設定するための屈折率調整剤３５，３６を充填する調整剤充填機構部４１，４２と、この一度充填した屈折率調整剤３５，３６が不適切であった場合（フィルタ波長のシフト状態が改善されない場合）にこれらを当該有底溝穴３３，３４内から排出する調整剤排出機構部４３，４４と、これら各機構部の動作を個別に制御する動作制御手段４５と、この動作制御手段４５が必要とする制御情報を取得し前記フィルタ波長の設計値からのシフト状態を特定するシフト情報特定手段４６とを備えている。
【００５６】
ここで、調整剤充填機構部４１と調整剤吸排出機構部４３とにより、有底溝穴３３側の調整剤投入機構５０Ａが構成され、調整剤充填機構部４２と調整剤吸排出機構部４４とにより、有底溝穴３３，３４側の調整剤投入機構５０Ｂが構成されている。この各調整剤投入機構５０Ａ，５０Ｂは、前述した動作制御部に制御されて稼働し、対応する各有底溝穴３３，３４に対して、個別に、前述した各クラッド１３，１４とは異なった屈折率を有する屈折率調整剤を充填し又は吸排出する機能を備えている。
【００５７】
又、シフト情報特定手段４６は、前述した導波路型波長フィルタ１０にてトリミングされ一方の導波路１１から出力されるフィルタ波長を検出して出力するフィルタ波長検出センサ４０Ａと、この検出されたフィルタ波長にかかる情報に基づいてそのシフト状態の有無，その増減方向およびそのシフト量とを特定するフィルタ波長シフト判定部４０Ｂとにより構成されている。
【００５８】
更に、動作制御手段４５は、具体的には、前述した各調整剤充填機構部４１，４２及び調整剤排出機構部４３，４４の内、有底溝穴３３に対応して装備され一方の調整剤投入機構５０Ａを成す調整剤充填機構部４１および調整剤吸排出機構部４３の各動作を制御する一方の給排系駆動制御部４５Ｂと、有底溝穴３４に対応して装備され他方の調整剤投入機構５０Ｂを成す調整剤充填機構部４２および調整剤吸排出機構部４４の各動作を制御する他方の給排系駆動制御部４５Ｃと、これら各給排系駆動制御部４５Ｂ，４５Ｃを含む全体的動作を制御する主制御部４５Ａとにより構成されている。
【００５９】
この主制御部４５Ａには、前述した各給排系駆動制御部４５Ｂ，４５Ｃに対して必要な制御処理を指示するための状況変化に対応した各種処理手順情報を予め格納して成る記憶部４０Ｍが併設されている。又、上記主制御部４５Ａには、必要とする各種指令情報等を外部入力する入力部４７が併設されている。
【００６０】
（調整剤の充填機構部および吸排出機構部）
上記一方の有底溝穴３３に対応して装備された調整剤充填機構部４１は、有底溝穴３３に着脱自在に装着される給液管４１Ａと、この給液管４１Ａを介して前記有底溝穴３３に屈折率調整剤Ａ又は屈折率調整剤Ｂを送り込む電磁バルブ４１Ｂと、この電磁バルブ４１Ｂを開閉制御し前記屈折率調整剤Ａ又はＢの適量を設定制御するバルブ開閉制御部４１Ｃと、前記電磁バルブ４１Ｂに併設され予め水位の高い位置に装備された調整剤Ａ用の収納タンク５１又は調整剤Ｂ用の収納タンク５２の何れかを前記電磁バルブ４１Ｂに切換え連結する切換え連結部４１Ｄとを備えて構成されている。
【００６１】
上記バルブ開閉制御部４１Ｃおよび切換え連結部４１Ｄは、何れも前述した一方の給排系駆動制御部４５Ｂからの指令に基づいてその動作が何れか一方に切り換え操作されるようになっている。
【００６２】
又、上記一方の有底溝穴３３に対応して装備された調整剤吸排出機構部４３は、有底溝穴３３に着脱自在に装着される排液管４３Ａと、この排液管４３Ａを介して前記有底溝穴３３から屈折率調整剤を排出するための電磁バルブ４３Ｂと、この電磁バルブ４３Ｂを開閉制御するバルブ開閉制御部４３Ｃと、前記電磁バルブ４３Ｂに併設され当該電磁バルブ４３Ｂ及び前記排液管４３Ａを介して前記有底溝穴３３から屈折率調整剤を吸出して排液タンク５３に収納する吸出ポンプ４３Ｄとを備えて構成されている。
【００６３】
上記バルブ開閉制御部４３Ｃおよび吸出ポンプ４３Ｄは、上記した一方の給排系駆動制御部４５Ｂからの指令に基づいて連動して稼働するようになっている。
【００６４】
ここで、上記一方の有底溝穴３３には、当該有底溝穴３３内に充填される屈折率調整剤の量を検出する充填量検出センサ４５Ｂａが着脱自在に装備されている。そして、この充填量検出センサ４５Ｂａで得られるセンサ情報に基づいて有底溝穴３３に投入される屈折率調整剤の量を、前述した一方の給排系駆動制御部４５Ｂがバルブ開閉制御部４１Ｃを介して調整制御するように構成されている。
【００６５】
又、上記他方の有底溝穴３４に対応して装備された調整剤充填機構部４２は、有底溝穴３４に着脱自在に装着される給液管４２Ａと、この給液管４２Ａを介して前記有底溝穴３４に屈折率調整剤Ａ又は屈折率調整剤Ｂを送り込む電磁バルブ４２Ｂと、この電磁バルブ４２Ｂを開閉制御し前記屈折率調整剤Ａ又はＢの適量を設定制御するバルブ開閉制御部４２Ｃと、前記電磁バルブ４２Ｂに併設され予め水位の高い位置に装備された調整剤Ａ用の収納タンク５１又は調整剤Ｂ用のを収納タンク５２の何れかを前記電磁バルブ４２Ｂに切替え接続する切換え連結部４２Ｄとを備えて構成されている。
【００６６】
ここで、上記バルブ開閉制御部４２Ｃおよび切換え連結部４２Ｄは、何れも前述した他方の給排系駆動制御部４５Ｃからの指令に基づいてその動作が何れか一方に切り換え操作されるようになっている。
【００６７】
更に、上記他方の有底溝穴３４に対応して装備された調整剤吸排出機構部４４は、有底溝穴３４に着脱自在に装着される排液管４４Ａと、この排液管４４Ａを介して前記有底溝穴３４から屈折率調整剤を排出するための電磁バルブ４４Ｂと、この電磁バルブ４４Ｂを開閉制御するバルブ開閉制御部４４Ｃと、前記電磁バルブ４４Ｂに併設され当該電磁バルブ４４Ｂ及び前記排液管４４Ａを介して前記有底溝穴３４から屈折率調整剤を吸出して排液タンク５３に収納する前述した吸出ポンプ４３Ｄとを備えて構成されている。この吸出ポンプ４３Ｄは、前述した調整剤排出機構４３と共用可能状態に装備されている。
【００６８】
そして、ここでは、上記バルブ開閉制御部４４Ｃおよび吸出ポンプ４３Ｄは、上記した他方の給排系駆動制御部４５Ｃからの指令に基づいて、連動して作動するようになっている。
【００６９】
ここで、上記他方の有底溝穴３４には、当該有底溝穴３４内に充填される屈折率調整剤の量を検出するための充填量検出センサ４５Ｃａが、着脱自在に装備されている。そして、この充填量検出センサ４５Ｃａで得られるセンサ情報に基づいて有底溝穴３４に投入される屈折率調整剤の量を、前述した他方の給排系駆動制御部４５Ｃがバルブ開閉制御部４２Ｃを介して調整制御するように構成されている。
【００７０】
（屈折率調整剤Ａ，Ｂ及び調整剤格納タンク）
屈折率調整剤として、本第１実施形態にあっては、屈折率が異なった二種類の屈折率調整剤Ａ，Ｂが予め準備されている。この屈折率調整剤Ａ，Ｂは、予め装備された調整剤格納タンク５１，５２に格納されている。この調整剤格納タンク５１，５２は、前述した各有底溝穴３３，３４よりも水位の高い位置に設置されている。
【００７１】
これらの調整剤格納タンク５１，５２は、配管５１ａ，５２ｂを介して前述した切換え連結部４１Ｄ，４２Ｄにそれぞれ連通され、当該各切換え連結部４１Ｄ，４２Ｄの切り換え動作によって何れか一方の屈折率調整剤Ａ又はＢが電磁バルブ４１Ｂ，４２Ｂおよび給液管４１Ａ，４２Ａを介して、前述した各有底溝穴３３，３４にそれぞれ供給されるようになっている。
【００７２】
ここで、屈折率調整剤Ａ，Ｂについては、本第１実施形態では、屈折率調整剤Ｂが屈折率調整剤Ａよりも屈折率が大きい値に設定されている。
この屈折率調整剤Ａ，Ｂについては、本第１実施形態にあっては屈折率１．２乃至１．４程度の値を備えたシリコーン系又はエポキシ系の樹脂でゲル状のものが使用されているが、同程度の屈折率を備えた接着剤であってもよい。これらは何れも安価に且つ容易に入手が可能である。
【００７３】
又、前述した排液タンク５３については、各有底溝穴３３，３４に充填した屈折率調整剤Ａ又はＢが不適合の場合（フィルタ波長のシフト状態が改善されない場合）に、当該各有底溝穴３３，３４から排出される屈折率調整剤Ａ又はＢを収納するものであり、多くは適合するように（フィルタ波長のシフト状態が改善されるように）屈折率の異なった調整剤Ａ又はＢが予め準備されることから、廃液タンク５３に排出される屈折率調整剤Ａ又はＢの量は、実際上は少ない。
【００７４】
（全体の動作）
次に、上記第１実施形態における導波路型波長フィルタ１０の生産工程において実行されるクラッド屈折率調整領域３１，３２における屈折率の設定方法について、図５乃至図６に基づいて説明する。
これは、前述したように、クラッド屈折率調整領域３１，３２が備えている各有底溝穴３３，３４に屈折率調整剤Ａ又はＢをクラッド用屈折率設定システム４０によって充填することで、導波路１１，１２の等価屈折率を変化させ、これにより設計値に沿ったフィルタ波長をトリミングし出力し得るようにしたもので、直接的には、製作誤差として生じるフィルタ波長のシフト状態を新規な発想により修正する工程を示し、その結果、設計値に沿ったフィルタ波長のトリミングを可能とした新規な導波路型波長フィルタ１０を提供し得るようにしたものである。
【００７５】
まず、導波路型波長フィルタ１０の一方の導波路１１から出力されるフィルタ波長および当該波長にかかる情報を、フィルタ検出センサ４０Ａで検出する（図５：ステップＳ１０１／フィルタ波長取得工程）。この検出されたフィルタ波長は、トリミングされたフィルタ波長として、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂに送り込まれる。ここで、前記フィルタ検出センサ４０Ａとフィルタ波長シフト判定部４０Ｂとにより、シフト情報特定手段４６が構成されている。
続いて、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂは、送り込まれたフィルタ波長について、シフト状態の有無、その増減方向の有無、およびそのシフト量等を特定する（図５：ステップＳ１０２／シフト情報特定工程）。
【００７６】
具体的には、まず、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂは、検出されたフィルタ波長が設計値よりも大きいか否かが判定される。基準となる設計値については記憶部４０Ｍに予め記憶されている設計値を利用する。この場合、制作誤差が生じてフィルタ波長がシフト状態にある場合には設計値よりも小さくなる。
【００７７】
このフィルタ波長がフィルタ波長シフト判定部４０Ｂで設計値よりも小さいと判定された場合は、シフト状態にあるため、かかる情報を主制御部４５Ａに送り、その後の処理を主制御部４５Ａに移管する。
【００７８】
主制御部４５Ａでは、一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して一方の有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ａが充填されているか否かの情報を収集する。この場合、一方の給排系駆動制御部４５Ｂには、有底溝穴３３に予め装備された充填量検出センサ４５Ｂａからセンサ情報が常時送り込まれているため、主制御部４５Ａは直ちにこのセンサ情報より、有底溝穴３３内の状況を把握することができる（図５：ステップ１０３／屈折率調整剤有無確認工程）。
【００７９】
有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ａが充填されている場合、主制御部４５Ａは、直ちにこの屈折率調整剤Ａの排出を一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して調整剤排出機構４３に指令する。それは、屈折率調整剤Ａよりも屈折率の大きい屈折率調整剤を充填して一方の導波路１１の均等屈折率を高めてシフトの存在を少なくするためである。
【００８０】
この場合、調整剤吸排出機構部４３では、一方の給排系駆動制御部４５Ｂからの指令に基づいて吸出ポンプ４３Ｄを稼働させ、同時にバルブ開閉制御部４３Ｃを介して電磁バルブ４３Ｂを開放制御し、これによって有底溝穴３３内の屈折率調整剤Ａを全て吸排出する（図５：ステップ１０４／屈折率調整剤吸排出工程）。
【００８１】
かかる状況は、充填量検出センサ４５Ｂａからのセンサ情報として、一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して主制御部４５Ａに収集されている。屈折率調整剤Ａの排出が完了した段階で、一方の給排系駆動制御部４５Ｂは、調整剤吸排出機構部４３を元の状態に戻すように動作指令を発し、同時に排出完了を主制御部４５Ａへ通知する。
【００８２】
排出完了通知を受信すると、主制御部４５Ａは直ちに作動し、給排系駆動制御部４５Ｂを介して調整剤充填機構部４１に動作指令を発し、屈折率調整剤Ｂを有底溝穴３３内に充填させるように指示する。
【００８３】
この指令により、給排系駆動制御部４５Ｂは、直ちに切換得連結部４１Ｄに対し、屈折率調整剤Ｂを格納したタンク５２を連通するように指令を発してタンク５２内の屈折率調整剤Ｂを充填可能な状態に設定し、同時にバルブ開閉制御部４１Ｃを介して電磁バルブ４１Ｂを開放制御するように指令して屈折率調整剤Ｂの充填を実行させる（図５：ステップ１０５／屈折率調整剤Ｂ充填制御工程：調整剤充填処理制御機能）。
続いて、適量の屈折率調整剤Ｂの充填状態を充填量検出センサ４５Ｂａからのセンサ情報で確認し、調整剤充填機構部４１の動作を停止制御して元位置復帰させる。同時に、屈折率調整剤Ｂの充填完了を主制御部４５Ａへ通知する。
【００８４】
これにより、有底溝穴３３内には屈折率の値の大きい屈折率調整剤Ｂが充填されたことから、一方の導波路１１の均等屈折率が高められ、これにより、シフトの存在が大幅に少なくなり設計値に近いフィルタ波長のトリミングが可能となる。
【００８５】
この場合の設計値に近いフィルタ波長のトリミングの有無は、前述したフィルタ検知センサ４０Ａがフィルタ波長を常時検出しており、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂがそのシフト状態を常時判定していることから、主制御部４５Ａは直ちに当該改善状況を情報として得ることが可能となる。実際には、かかる改善の状況はこの主制御部４５Ａに併設されるモニタにてオペレータに向けて表示されるようになっている。
【００８６】
一方、上記ステップＳ１０３で、有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ａが充填されていない場合には、主制御部４５Ａは、直ちにこの屈折率調整剤Ａの充填を一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して調整剤吸排出機構部４３に指令する。それは、屈折率調整剤Ａの充填により、一方の導波路１１の均等屈折率を高めてシフトの存在を少なくするためである。
【００８７】
即ち、有底溝穴３３内には屈折率調整剤Ａを充填する前は空気が存在し、空気の屈折率がどの導波路の素材の屈折率よりも低いため、導波路の等価屈折率は最も低い状態にある。このため、有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ａを充填すると、屈折率調整剤Ａの屈折率が空気の屈折率より高いため、導波路１１の等価屈折率が増加する。等価屈折率の増加により、これまでに記述したように、フィルタ波長は長波長側にシフトする。
【００８８】
又、上記図５のステップＳ１０２で、最初の判定対象であるフィルタ波長が設計値よりも小さくない場合は、図５中の（１）を介して図６のステップＳ１０７へ移行し、フィルタ波長が設計値より大きいか否かが問われる（図６：ステップＳ１０７／フィルタ波長再分析工程）。
【００８９】
この図６のステップＳ１０７で「フィルタ波長は設計値より大きくない」と判定された場合には、「フィルタ波長＝設計値」となり、かかる状態のフィルタ波長を得ることが最終目的であることから、設計通りでシフトなしのフィルタ波長のトリミングが実現されたことになり、製作誤差が矯正され、当該動作は完了する。
【００９０】
一方、図６のステップＳ１０７（フィルタ波長が設計値より大きいか否かが問われるフィルタ波長再分析工程）で、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂが「イエス（フィルタ波長が設計値より大きい）」と判定された場合、主制御部４５Ａでは、一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して一方の有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ｂが充填されているか否かの情報を収集する。
【００９１】
この場合、一方の給排系駆動制御部４５Ｂには、有底溝穴３３に予め装備された充填量検出センサ４５Ｂａからセンサ情報が常時送り込まれているため、主制御部４５Ａは直ちにこのセンサ情報より、有底溝穴３３内の状況を把握することができる。同時に、前述した図５のフローの前段との関係及びフィルタ波長が設計値より大きい場合であることから、有底溝穴３３内に屈折率調整剤が存在する場合は、屈折率調整剤Ｂであることが明らかである（図６：ステップＳ１０８／屈折率調整剤Ｂ確認工程）。
【００９２】
続いて、有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ｂが充填されている場合、主制御部４５Ａは、前述したステップＳ１０４の場合と同様に、直ちにこの屈折率調整剤Ｂの排出を一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して調整剤吸排出機構部４３に指令し、屈折率調整剤Ｂの排出を実行する（図６：ステップ１０９／屈折率調整剤Ｂ排出工程）。それは、屈折率調整剤Ｂよりも屈折率の小さい屈折率調整剤Ａを充填して一方の導波路１１の均等屈折率を下げてシフトの存在を少なくするためである。
【００９３】
かかる状況は、充填量検出センサ４５Ｂａからのセンサ情報として、一方の給排系駆動制御部４５Ｂを介して主制御部４５Ａに収集されている。屈折率調整剤Ｂの排出が完了した段階で、一方の給排系駆動制御部４５Ｂは、調整剤吸排出機構部４３を元の状態に戻すように動作指令を発し、同時に排出完了を主制御部４５Ａへ通知する。
【００９４】
排出完了通知を受信すると、主制御部４５Ａは直ちに作動し、給排系駆動制御部４５Ｂを介して調整剤充填機構部４１に動作指令を発し、屈折率調整剤Ａを有底溝穴３３内に充填させるように指示し、前述した図５のステップ１０５の場合と同様に屈折率調整剤Ａの充填を実行させる（図６：ステップ１１０／屈折率調整剤Ａ充填工程）。
続いて、適量の屈折率調整剤Ａの充填を充填量検出センサ４５Ｂａからのセンサ情報で確認し、調整剤充填機構部４１の動作を停止制御して元位置復帰させる。そして、屈折率調整剤Ａの充填完了を主制御部４５Ａへ通知する。
【００９５】
これにより、有底溝穴３３内には屈折率の値の小さい屈折率調整剤Ａが充填されたことから、一方の導波路１１の均等屈折率が下げられることにより、設計値より大きいフィルタ波長のシフトの存在が大幅に少なくなり設計値に近いフィルタ波長のトリミングが可能となる。
【００９６】
一方、上述した図６のステップＳ１０８の屈折率調整剤Ｂ確認工程で、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂによって屈折率調整剤Ｂが充填されていないと判定された場合には、同図のステップＳ１１１で示すように、他方の導波路１２の有底溝穴３３内に屈折率調整剤Ｂを充填する工程が実行される（図６：ステップＳ１１１／屈折率調整剤Ｂ充填工程）。
【００９７】
この場合、フィルタ波長シフト判定部４０Ｂから「屈折率調整剤Ｂの充填なし」の判定結果を受信すると、主制御部４５Ａは直ちに作動し、給排系駆動制御部４５Ｃを介して調整剤充填機構部４２に動作指令を発し、屈折率調整剤Ｂを有底溝穴３４内に充填させるように指示する。
【００９８】
この指令により、他方の給排系駆動制御部４５Ｃは、直ちに調整剤切換導入部４２Ｄに対し、屈折率調整剤Ｂを格納したタンク５２を連通するように指令を発してタンク５２内の屈折率調整剤Ｂを充填可能な状態に設定し、同時にバルブ開閉制御部４２Ｃを介して電磁バルブ４２Ｂを開放制御するように指令して屈折率調整剤Ｂの充填を実行させる（図６：ステップ１１１／屈折率調整剤Ｂ充填工程）。
続いて、適量の屈折率調整剤Ｂの充填状態を充填量検出センサ４５Ｃａからのセンサ情報で確認し、調整剤充填機構部４２の動作を停止制御して元位置復帰させる。同時に、屈折率調整剤Ｂの充填完了を主制御部４５Ａへ通知する。
【００９９】
これにより、有底溝穴３３内には屈折率の値の大きい屈折率調整剤Ｂが充填されたことから、他方の導波路１２の均等屈折率が高められ、これにより、一方の導波路１１から出力される設計値より大きいフィルタ波長のシフトの存在が大幅に少なくなり設計値に近いフィルタ波長のトリミングが可能となる。
以後は、前述した図６中の（２）を介して図５のステップＳ１０１に接続される。
【０１００】
ここで、上述した各ステップにおける実行工程に内容をプログラム化しコンピュータに実現させるようにしてもよい。
【０１０１】
このように、所望のシフト量に見合った屈折率の屈折率調整剤を有底溝穴３３に充填すれば、トリミングを完遂することが出来る。設計値よりも実際の等価屈折率が高くなってしまい、フィルタ波長を短波長側にシフトさせる必要がある場合は、導波路１２側に設けた有底溝穴３４に屈折率調整剤Ａ又はＢを充填すればよい。
【０１０２】
これら屈折率調整剤と導波路の等価屈折率との関係は、前述したように導波路１１と導波路１２の光路長によってフィルタ波長が決まるため、導波路１２の一部の等価屈折率が増加すれば光路長差は小さくなり、結果としてフィルタ波長が長波側にシフトするからである。
【０１０３】
更に、本第１実施形態では、屈折率調整剤を有底溝穴３３，３４から吸い取ること（排出すること）で、有底溝穴３３，３４に空気が存在する初期の状態に戻し、フィルタ波長を屈折率調整剤充填前の波長に戻すことができる。従って、屈折率調整剤の選定ミスなどにより過剰にトリミングを行ってしまった場合には、有底溝穴３３，３４から屈折率調整剤を吸い出して、その後に適度な屈折率をもつ屈折率調整剤を再度充填し、最適なトリミングを行えるようにすることが可能となる。
【０１０４】
以上のように、本実施形態によると、クラッド１３，１４の一部に設けたクラッド屈折率調整領域３１，３２が有効に機能して、フィルタ波長のシフトの発生を有効に抑制することができ、導波路型波長フィルタ１０の生産時に生じる制作誤差であるフィルタ波長のシフトに対しては、当該クラッド屈折率調整領域３１，３２におけるクラッド環境の再設定により導波路の均等屈折率を変化させてフィルタ波長を長波長側又は短波長側にシフトさせることができ、これにより製作誤差として生じるフィルタ波長のシフトを有効に是正することが可能となり、これにより設計値に沿ったフィルタ波長を効率良くトリミングすることができるという優れた導波路型波長フィルタ、クラッド用屈折率設定システム、クラッド用屈折率設定方法、及びそのプログラムを得ることができる。
【０１０５】
尚、これらのトリミング方法は、導波路材料に制約がなく、またトリミングに当たり屈折率調整剤を必要とするのみでその他の高価な材料や装置を必要としない。トリミングに使用する屈折率調整剤の候補としては、前述したように、屈折率１．２乃至１．４程度を持つシリコーン系／エポキシ系の樹脂・ゲル・接着剤などが挙げられ、これらは安価かつ容易に入手できる。
【０１０６】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態を図７乃至図８に基づいて説明する。
ここで、前述した第１実施形態と同一の構成部材については同一の符号を用いるものとする。
この第２の実施形態における導波路型波長フィルタ２０では、前述した第１実施形態における導波路型波長フィルタ１０が一方の導波路１１に対応してクラッド屈折率調整領域３１を又他方の導波路に対応してクラッド屈折率調整領域３２をそれぞれ一つ保有しているのに対して、図７に示すように、各導波路１１，１２毎にクラッド屈折率調整領域を二箇所づつ併設した点に特徴を有している。
【０１０７】
図８において、符号３３，３４は前述した図１に開示した有底溝穴と同一の有底溝穴を示し、符号６３，６４は前述した図１に開示した有底溝穴３３，３４にそれぞれ併設された有底溝穴を示す。この有底溝穴６３，６４は、それぞれ前述した有底溝穴３３，３４と全く同一の機能を有し、同一形状に形成されている。
【０１０８】
この図８に示す有底溝穴３３，３４内には、前述した図１に開示した有底溝穴３３，３４の場合と同様に、その一方又は双方の内部に排出自在に充填されて特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤３５，３６が充填されている。
そして、前述した図４の場合と同様に、この屈折率調整剤３５，３６とこれを充填した有底溝穴３３，３４とにより、それぞれクラッド屈折率調整領域３１，３２が構成されている。
【０１０９】
又、この図８に示す有底溝穴６３，６４内にも、上述した図８に開示した有底溝穴３３，３４の場合と同様に、その一方又は双方の内部に排出自在に充填されて特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤６５，６６が充填されている。
この屈折率調整剤６５，６６とこれ充填した有底溝穴６３，６４とにより、それぞれクラッド屈折率調整領域６１，６２が構成されている。
【０１１０】
ここで、有底溝穴３３，３４は、前述した図１の場合と同様に前記一方と他方の導波路１１，１２に近接して（微小距離ｅを隔てて）対向して配置された側壁面３３ｂ，３４ｂを備えている。又、有底溝穴６３，６４も前記有底溝穴３３，３４の場合と同様に、前記一方と他方の導波路１１，１２に近接し（微小距離ｅを隔てて）且つ対向して配置された側壁面６３ｂ，６４ｂを備えている。
【０１１１】
更に、前述したクラッド屈折率調整領域３１，３２及び６１，６２における各屈折率調整剤の適切な個別充填を成し得るクラッド用屈折率設定システム８０が、この第２実施形態でも設置されている。
【０１１２】
（クラッド用屈折率設定システム８０）
このクラッド用屈折率設定システム８０は、前述した第１実施形態におけるクラッド用屈折率設定システム４０と同様に機能するものであるが、クラッドの屈折率に設定対象（クラッド屈折率調整領域）がこの第２実施形態の導波路型波長フィルタ２０には、４箇所設けられている点が前述した第１実施形態の導波路型波長フィルタ１０の場合と著しく相違する（図８参照）。
【０１１３】
本第２実施形態におけるクラッド用屈折率設定システム８０は、図４のクラッド用屈折率設定システム４０の場合と同様に、前述した有底溝穴３３，３４，６３，６４に対して各導波路１１，１２の等価屈折率を最適な状態に設定するための屈折率調整剤を個別に充填する調整剤充填機構部４１，４２，７１，７２と、この一度充填した屈折率調整剤が不適切であった場合（フィルタ波長のシフト状態が改善されない場合）にはこれらを当該有底溝穴３３，３４，６３，６４内から排出する調整剤吸排出機構部４３，４４，７３，７４と、これら各機構の動作を後述する第１乃至第４の各給排系駆動制御部４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄ，４５Ｅを介して個別に制御する動作制御手段４５と、この動作制御手段４５が必要とする制御情報をリアルタイムで取得し前記フィルタ波長の設計値からのシフト状態を特定するシフト情報特定手段４６とを備えている。
【０１１４】
ここで、本第２実施形態でも、前述した第１実施形態の場合と同様に、有底溝穴３３に対応した調整剤充填機構部４１と調整剤吸排出機構部４３とにより第１の調整剤投入機構５０Ａが構成され、有底溝穴３４に対応した調整剤充填機構部４２と調整剤吸排出機構部４４とにより第２の調整剤投入機構５０Ｂが構成されている。
【０１１５】
又、有底溝穴６３に対応した調整剤充填機構部７１と調整剤吸排出機構部７３とにより第３の調整剤投入機構５０Ｃが構成され、有底溝穴６４に対応した調整剤充填機構部７２と調整剤吸排出機構部７４とにより第４の調整剤投入機構５０Ｄが構成されている。
そして、この第３，第４の各調整剤投入機構５０Ｃ，５０Ｄは、前述した第１，第２の各調整剤投入機構５０Ａ，５０Ｂと同一の機能を備え同等に稼働するように構成されている。
【０１１６】
更に、前述したシフト情報特定手段４６は、前述した第１実施形態の場合と同様に、導波路型波長フィルタ２０にてトリミングされ一方の導波路１１から出力されるフィルタ波長を検出するフィルタ波長検出センサ４０Ａと、この検出されたフィルタ波長にかかる情報に基づいてそのシフト状態の有無，その増減方向およびそのシフト量とを特定するフィルタ波長シフト判定部４０Ｂとにより構成されている。
【０１１７】
又、動作制御手段４５は、前述した４個の有底溝穴３３，３４，７３，７４毎に対応して装備された第１乃至第４の調整剤投入機構５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄを構成する前記調整剤充填機構部および調整剤吸排出機構部の各動作を個別制御する第１乃至第４の各給排系駆動制御部４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄ，４５Ｅと、これら第１乃至第４の各給排系駆動制御部４５Ｂ乃至４５Ｅを含むシステム全体の動作を制御する主制御部４５Ａとを備えている。
【０１１８】
この主制御部４５Ａには、前述した各給排系駆動制御部４５Ｂ乃至４５Ｅに対して必要な制御指令を発信するために、検出されるフィルタ波長のシフト状況の変化に対応した各種処理手順及び必要な基準情報等を予め格納して成る記憶部４０Ｍが併設されている。又、上記主制御部４５Ａには、必要とする各種指令情報等を外部入力する入力部４７が併設されている。
【０１１９】
ここで、図８における調整剤充填機構部４１，４２，７１，７２は、前述した第１実施形態における調整剤充填機構部４１（図４参照）の場合と同様に、それぞれ、給液管４１Ａ，４２Ａ，７１Ａ，７２Ａと、電磁バルブ４１Ｂ，４２Ｂ，７１Ｂ，７２Ｂと、バルブ開閉制御部４１Ｃ，４２Ｃ，７１Ｃ，７２Ｃと、切換え連結部４１Ｄ，４２Ｄ，７１Ｄ，７２Ｄとを備えて構成されている。
【０１２０】
又、図８における調整剤吸排出機構部４３，４４，７３，７４は、前述した第１実施形態における調整剤排出機構部４３（図４参照）の場合と同様に、それぞれ、排液管４３Ａ，４４Ａ，７３Ａ，７４Ａと、電磁バルブ４３Ｂ，４４Ｂ，７３Ｂ，７４Ｂと、バルブ開閉制御部４３Ｃ，４４Ｃ，７３Ｃ，７４Ｃと、上記各電磁バルブ４３Ｂ，４４Ｂ，７３Ｂ，７４Ｂに開放動作に連動して稼働し前記有底溝穴３３，３４，７３，７４内に充填された屈折率調整剤を吸い出す吸出ポンプ４３Ｄとを備えて構成されている。
その他の構成、その制御動作、及びその作用効果は、前述した第１の実施形態の場合と同一となっている。
【０１２１】
このように、本第２の実施形態にあっては、前述した主制御部４５Ａの指令に従って各給排系駆動制御部４５Ｂ乃至４５Ｅが作動し、調整剤充填機構部および調整剤吸排出機構部から成る第１乃至第４の各調整剤投入機構５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄを介して個別に各有底溝穴３３，３４，７３，７４内に、必要とする屈折率の屈折率調整剤が充填され若しくは排出されて、第２実施形態の導波路型波長フィルタ２０における第１および第２の各導波路１１，１２の均等屈折率が適度に調整されるので、これにより、フィルタ波長のシフト状態を微小単位で限りなく０に近づけて設計値に沿ったフィルタ波長のトリミングを自在に設定し矯正することが可能となるという利点がある。
【０１２２】
特に、この第２実施形態にあっては、導波路型波長フィルタ２０上を通過するフィルタ波長をトリミング情報として検出して分析し、その結果を導波路型波長フィルタ２０上の四箇所で自在に屈折率調整剤を充填し若しくは排出することができるので、結果的に、導波路１１，１２の均等屈折率を微細に可変設定することが可能となり、これにより、フィルタ波長のトリミング量を微細に制御することが可能となるという利点が得られる。
【０１２３】
その他の構成およびその作用効果は前述した第１実施形態と同一となっている。
尚、この第２実施形態では、クラッド屈折率調整領域３１，３２及び６１，６２を４個設けた場合を例示したが、３個でも、或いは５個以上であってもよい。
【０１２４】
上述した第１乃至第２の各実施形態については、その新規な技術的内容の要点をまとめると、以下の付記のようになる。尚、この付記の内容は、本発明の内容をこれに限定するものではない。
【０１２５】
（付記１）
長さの異なる一方と他方の２本のコアと当該コアを取り巻いて層状に配設されたクラッドとを有し、このクラッドに囲まれて前記各コアがそれぞれ一方と他方の導波路を構成すると共に、この各導波路の入力端部と出力端部にそれぞれ方向性結合器部が設けられて成る導波路型波長フィルタであって、
前記クラッドの一部に、前記一方の導波路内を伝搬する光信号の内の予め特定された波長の光がフィルタ波長として通過するのを助成するクラッド屈折率調整領域を設け、
このクラッド屈折率調整領域を、
前記各導波路の設置ラインの一部に沿って設置され且つ当該各導波路に対向する対向面を側壁面として備えた有底溝穴と、この有底溝穴の一方又は双方の内部に排出自在に充填されて前記特定のフィルタ波長のシフトを矯正する屈折率調整剤とにより構成したことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【０１２６】
（付記２）
付記１に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記有底溝穴を、前記一方と他方の各導波路に対応してそれぞれ個別に設けたことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【０１２７】
（付記３）
付記２に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記クラッドを、基板上に積層された下部クラッドと、当該下部クラッド上に前記各コアを取り巻いて当該各コアと共に積層された上部クラッドとにより構成し、
前記有底溝穴を、前記上部クラッドの上面に開口部を有し当該上部及び下部の各クラッドを貫通して前記基板に達する深さに設定したことを特徴とする導波路型波長フィルタ。
【０１２８】
（付記４）
付記３に記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記有底溝穴は、前記各コアに近い側には三角柱状の溝穴が形成され、これに並列した状態で連なる前記各コアから遠い側には円柱状の溝穴が形成されて成ることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【０１２９】
（付記５）
付記１乃至４の何れか一つに記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記各有底溝穴は、対向する各コアの外側領域に設置されていることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【０１３０】
（付記６）
付記１乃至４の何れか一つに記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記各有底溝穴は、前記一方と他方の各コアの各中央領域における直線部分に、設置されていることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【０１３１】
（付記７）
付記１乃至４の何れか一つに記載の導波路型波長フィルタにおいて、
前記各有底溝穴は、前記一方と他方の各コアの各中央領域における直線部分に、それぞれ２個ずつ併設されていることを特徴とした導波路型波長フィルタ。
【０１３２】
（付記８）
付記１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタの一部を成す前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムであって、
前記各有底溝穴に対して個別に前記クラッドとは異なった屈折率を有する屈折率調整剤の適量を充填し又は排出する調整剤投入機構と、この調整剤投入機構の動作を制御する動作制御手段とを設け、
この動作制御手段の制御動作に必要な前記フィルタ波長にかかる波長情報を、前記一方のコアの出力光から検出して分析すると共に前記フィルタ波長の目標値からのシフト状態を特定するシフト情報特定手段を備えたことを特徴とするクラッド用屈折率設定システム。
【０１３３】
（付記９）
付記８に記載のクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記調整剤投入機構を、前記有底溝穴内の屈折率調整剤を吸出して排除する調整剤吸排出機構部と、前記有底溝穴内に他の屈折率調整剤を充填する調整剤充填機構部とを備えた構成とし、
前記調整剤充填機構部に、前記屈折率調整剤として屈折率の異なる複数の屈折率調整剤を各別に収納した複数の調整剤格納タンクを配管を介して連結すると共に、
前記調整剤充填機構部が、前記複数の調整剤格納タンクの内の何れか一つを前記配管を介して切り換え連結し特定の屈折率を備えた調整液を取り込む切換え連結部を備えていることを特徴としたクラッド用屈折率設定システム。
【０１３４】
（付記１０）
付記９に記載のクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記動作制御手段を、前記各調整剤投入機構に対応して装備され当該各調整剤投入機構を個別にその動作を制御する複数の給排系駆動制御部と、この各給排系駆動制御部の一又は２以上に対してその動作内容を設定すると共に当該動作を指令する主制御部とにより構成したことを特徴とするクラッド用屈折率設定システム。
【０１３５】
（付記１１）
付記１０に記載のクラッド用屈折率設定システムにおいて、
前記シフト情報特定手段を、前記フィルタ波長のシフト状態を含む波長情報を前記一方のコアの出力光から検出するフィルタ波長検出センサと、この検出されたフィルタ波長にかかる情報に基づいてそのシフト状態の有無，その増減方向およびそのシフト量とを特定するフィルタ波長シフト判定部とにより構成したことを特徴とするクラッド用屈折率設定システム。
【０１３６】
（付記１２）
付記１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するためのクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態をシフト情報特定手段が検出して特定し（シフト情報特定工程）、
このシフト情報特定工程で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に、前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を調整剤投入機構を用いて動作制御手段が充填制御し（調整剤充填制御工程）、
前記調整剤充填制御の工程にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤（空気を含む）を、充填用として前記動作制御手段が選択し特定するようにしたことを特徴とするクラッド用屈折率設定方法。
【０１３７】
（付記１３）
付記１２に記載のクラッド用屈折率設定方法において、
前記調整剤充填制御の工程にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも短波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤（空気を含む）よりも屈折率の大きい屈折率調整剤を、充填用として前記動作制御手段が選択し特定するようにしたことを特徴とするクラッド用屈折率設定方法。
【０１３８】
（付記１４）
付記１乃至４の何れか一つにおける導波路型波長フィルタが備えている前記クラッド屈折率調整領域の屈折率を設定するクラッド用屈折率設定システムにあって、
前記一方の導波路の出力光から前記フィルタ波長のシフト状態を予め装備したシフト情報検出用光センサが検出した場合に、当該検出されたセンサ情報に基づいてフィルタ波長のシフト状態を分析するシフト状態分析機能、
及びこのシフト状態分析機能で特定されたフィルタ波長のシフト情報に基づいて前記一方の導波路に対応した前記有底溝穴に、前記フィルタ波長のシフト情報を是正するための一定の屈折率を備えた屈折率調整剤を、前記有底溝穴に対応して予め配置された調整剤投入機構を駆動制御して充填処理する調整剤充填処理制御機能、を設定し、
前記調整剤充填処理制御機能にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも長波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤よりも屈折率の小さい屈折率調整剤（空気を含む）を、充填用として予め選択する選択処理機能を含む構成とし、
これらの各機能をコンピュータに実現するようにしたことを特徴としたクラッド屈折率設定用制御プログラム。
【０１３９】
（付記１５）
付記１４に記載のクラッド屈折率設定用制御プログラムにおいて、
前記調整剤充填処理制御機能にあっては、前記フィルタ波長が予め設定された目標値よりも短波長側にシフトされている場合には、前記他方の導波路に対応した有底溝穴に充填されている屈折率調整剤（空気を含む）よりも屈折率の大きい屈折率調整剤を、充填用として予め選択する選択処理機能を含む構成とし、
これらの各機能をコンピュータに実現するようにしたことを特徴とするクラッド屈折率設定用制御プログラム。
【産業上の利用可能性】
【０１４０】
本発明の活用例としては、導波路型波長フィルタの生産性を大幅に向上させることができ、同時に導波路型波長フィルタの信頼性向上も期待できる。
【符号の説明】
【０１４１】
１０，２０  導波路型波長フィルタ
１１，１２  導波路
１１ａ，１２ａ  コア
１３  上部クラッド
１４  下部クラッド
１５  基板
３１，３２，６１，６２  クラッド屈折率調整領域
３３，３４，６３，６４  有底溝穴
３３Ａ，３４Ａ，６３Ａ，６４Ａ  開口部
３３Ｂ，３４Ｂ，６３Ｂ，６４Ｂ  三角柱状の溝穴
３３Ｃ，３４Ｃ，６３Ｃ，６４Ｃ  円柱状の溝穴
３３ｂ，３４ｂ，６３ｂ，６４ｂ  対向面である側壁面
３５，３６，Ａ，Ｂ  屈折率調整剤
４０，８０  クラッド用屈折率設定システム
４０Ａ  フィルタ波長検出センサ
４０Ｂ  フィルタ波長シフト判定部
４１，４２，７１，７２  調整剤充填機構部
４１Ｄ，４２Ｄ，７１Ｄ，７２Ｄ，切換え連結部
４３，４４，７３，７４  調整剤吸排出機構部
４５  動作制御部
４５Ａ  主制御部
４５Ｂ，４５Ｃ，４５Ｄ，４５Ｅ  給排系駆動制御部
４６  シフト情報特定手段
５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ  調整剤投入機構
５１，５２  調整剤格納タンク
【図１】
2012037748.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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