(57)【要約】【課題】位置決めの再現性、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。【解決手段】基板搬送装置は、基板を保持することが可能な基板保持器と、前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有する。【選択図】図１
2012109536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持することが可能な基板保持器と、
前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、
前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、
前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、
前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記ガイドバーは前記基板保持器に設けられ、前記支持部は前記リンク部に設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記リンク部は、
前記駆動部に連結された一対の駆動アームと、
一対の前記駆動アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部側が交差するように連結された一対の中間アームと、
一対の前記中間アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部が前記基板保持器にそれぞれ連結された一対の末端アームと、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記ガイドバーが円形の断面形状を有し、
前記支持部は、一対の前記中間アームが交差した部分に設けられ、
前記ガイドバーは、前記支持部に設けられたブッシュ又はころがり軸受を介して支持されることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記ガイドバーが矩形の断面形状を有し、
前記ガイドバーは、前記支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
基板を保持することが可能な第１基板保持器及び第２基板保持器と、
前記第１基板保持器及び第２基板保持器をそれぞれ進退動作させる第１リンク部及び第２リンク部と、
前記第１リンク部及び第２リンク部をそれぞれ動作させる駆動力を発生する第１駆動部及び第２駆動部と、
前記第１基板保持器及び前記第１リンク部のいずれか一方に設けられた第１ガイドバーと、
前記第２基板保持器及び前記第２リンク部のいずれか一方に設けられた第２ガイドバーと、
前記第１基板保持器及び前記第１リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第１リンク部の動作により前記第１基板保持器が移動する際に前記第１ガイドバーをスライド可能に支持する第１支持部と、
前記第２基板保持器及び前記第２リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第２リンク部の動作により前記第２基板保持器が移動する際に前記第２ガイドバーをスライド可能に支持する第２支持部と、を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
前記第１リンク部及び第２リンク部は、
前記第１駆動部及び第２駆動部にそれぞれ連結された第１駆動アーム及び第２駆動アームと、
前記第１駆動アーム及び第２駆動アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部側が交差するように連結された一対の第１中間アーム及び第２中間アームと、
一対の前記第１中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第１基板保持器にそれぞれ連結された一対の第１末端アームと、
一対の前記第２中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第２基板保持器にそれぞれ連結された一対の第２末端アームと、を有することを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーが円形の断面形状を有し、
前記第１支持部及び第２支持部は、一対の前記第１中間アームが交差した部分及び前記第２中間アームが交差した部分にそれぞれ設けられ、
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーの他端部側はそれぞれ、前記第１支持部及び第２支持部に設けられたブッシュ又はころがり軸受を介して支持されることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーが矩形の断面形状を有し、
前記第１支持部及び第２支持部は、一対の前記第１中間アームが交差した部分及び前記第２中間アームが交差した部分にそれぞれ設けられ、
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーの他端部側はそれぞれ、前記第１支持部及び第２支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記第１リンク部及び第２リンク部は、前記第１基板保持器を前進させた場合には、前記第２基板保持器を後退させる一方、前記第１基板保持器を後退させた場合には、前記第２基板保持器を前進させる伸張状態と、
前記第１基板保持器及び第２基板保持器がいずれも後退して、お互いに重なった状態となる収縮状態と、を有することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記第１リンク部及び第２リンク部は、前記第１基板保持器を前進させた場合には、前記第２基板保持器を後退させる一方、前記第１基板保持器を後退させた場合には、前記第２基板保持器を前進させる伸張状態と、
前記第１基板保持器及び第２基板保持器がいずれも後退して、所定の角度をなす状態となる収縮状態と、を有することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記第１リンク部及び第２リンク部が前記収縮状態において、前記第１基板保持器及び第２基板保持器は所定の角度をなす状態で、前記第１駆動部及び第２駆動部の各駆動軸を中心にスイング動作を行うことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記リンク部は、
前記駆動部に連結された一対の駆動アームと、
一対の前記駆動アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部側が前記基板保持器のそれぞれに連結された一対の中間アームと、
一対の前記中間アームのそれぞれに一端部が連結され、他端部が前記ガイドバーにそれぞれ連結された一対のリンクアームと、を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１４】
前記支持部は前記基板保持器に設けられ、
前記リンクアームの他端部は、前記ガイドバーの後端部において同軸に連結されていることを特徴とする請求項１３に記載の基板搬送装置。
【請求項１５】
前記ガイドバーが矩形の断面形状を有し、
前記ガイドバーは、前記支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の基板搬送装置。
【請求項１６】
前記第１リンク部及び第２リンク部は、
前記第１駆動部及び第２駆動部にそれぞれ連結された第１駆動アーム及び第２駆動アームと、
前記第１駆動アーム及び第２駆動アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部側が前記第１及び第２基板保持器にそれぞれ連結された一対の第１中間アーム及び第２中間アームと、
一対の前記第１中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第１ガイドバーにそれぞれ連結された一対の第１リンクアームと、
一対の前記第２中間アームに一端部がそれぞれ連結され、他端部が前記第２ガイドバーにそれぞれ連結された一対の第２リンクアームと、を有することを特徴とする請求項６に記載の基板搬送装置。
【請求項１７】
前記第１支持部及び第２支持部は前記第１基板保持器及び第２基板保持器にそれぞれ設けられ、
前記第１リンクアーム及び第２リンクアームの他端部は、前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーの後端部において同軸に連結されていることを特徴とする請求項１６に記載の基板搬送装置。
【請求項１８】
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーが矩形の断面形状を有し、
前記第１ガイドバー及び第２ガイドバーはそれぞれ、前記第１支持部及び第２支持部に回転自在に設けられたローラにより支持されることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の基板搬送装置。
【請求項１９】
電子デバイスの製造システムであって、
請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも１つのプロセス処理装置と、を備えることを特徴とする電子デバイスの製造システム。
【請求項２０】
電子デバイスの製造方法であって、
請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、
少なくとも１つのプロセス処理装置において、前記搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程と、を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１３は、従来の基板搬送装置の構成を概略的に示している。図１３において、従来の基板搬送装置５００は、基板Ｗを保持することが可能な第１基板保持装置５００Ａと第２基板保持装置５００Ｂとを有する。第１基板保持装置５００Ａと第２基板保持装置５００Ｂを構成する部材である第１駆動アーム５０２Ａと第２駆動アーム５０２Ｂとは上下方向に重なるように第１及び第２駆動部５０１Ａ、５０１Ｂの各駆動軸に固定される。後述するように、第１駆動アーム５０２Ａと第２駆動アーム５０２Ｂとは、第１基板保持装置５００Ａと第２基板保持装置５００Ｂとに共用される。
【０００３】
第１基板保持装置５００Ａは、第１駆動アーム５０２Ａと、一対の第１中間アーム５０３ＡＲ、５０３ＡＬと、第１基板保持器５０５Ａと、を有する。第１駆動アーム５０２Ａは、第１駆動部５０１Ａに回転可能に連結されている。右側の第１中間アーム５０３ＡＲは、第１駆動アーム５０２Ａの右端部５０２Ａ１、左側の第１中間アーム５０３ＡＬは、第２駆動アーム５０２Ｂの左端部５０２Ｂ２に回転自在に連結されている。そして、第１基板保持器５０５Ａは、一対の第１中間アーム５０３ＡＲ、５０３ＡＬに連結されている。
【０００４】
第２基板保持装置５００Ｂも同様に、第２駆動アーム５０２Ｂと、一対の第２中間アーム５０３ＢＲ、５０３ＢＬと、第２基板保持器５０５Ｂと、を有する。第２駆動アーム５０２Ｂは、第２駆動部５０１Ｂに回転可能に連結されている。右側の第２中間アーム５０３ＢＲは、第２駆動アーム５０２Ｂの右端部５０２Ｂ１、左側の第２中間アーム５０３ＢＬは、第１駆動アーム５０２Ａの左端部５０２Ａ２に回転自在に連結されている。そして、第２基板保持器５０５Ｂは、一対の第２中間アーム５０３ＢＲ、５０３ＢＬに連結されている。
【０００５】
図１３（Ａ）に示す公転時には第１及び第２駆動アーム５０２Ａ、５０２Ｂ、第１及び第２中間アーム５０３ＡＲ、５０３ＡＬ、５０３ＢＲ、５０３ＢＬ、第１及び第２基板保持器５０５Ａ、５０５Ｂがそれぞれ上下方向（Ｚ方向）に重なる。そして、図示のように上面から見た場合、第１及び第２基板保持装置５００Ａ、５００Ｂがあたかも一体に見えるような収縮状態となる。
【０００６】
一方、図１３（Ｂ）に示す伸縮時には、図１３（Ａ）の収縮状態から第１及び第２駆動部５０１Ａ、５０１Ｂの各駆動軸を相反する方向に回転駆動することで、第１基板保持器５０５Ａと第２基板保持器５０５Ｂとが相反する方向に前進又は後退する。
【０００７】
図１４に示すように、第１基板保持器５０５Ａ及び第２基板保持器５０５Ｂはそれぞれ、第１中間アーム５０３ＡＲ（５０３ＡＬ）及び第２中間アーム５０３ＢＲ（５０３ＢＬ）と２箇所で接続されている。そして、一対の中間アームの端部同士をローラ５０６Ａ（５０６Ｂ）を介してＳ字状にベルト５０７Ａ（５０７Ｂ）で接続したり（図１４（Ａ））、ギヤ５０８Ａ（５０８Ｂ）で噛合させる（図１４（Ｂ））構造が採用されている（例えば、特許文献１、２参照）。このようにして、各基板保持器５０５Ａ、５０５Ｂごとに伸縮方向（Ｙ方向）を基準として一対の中間アームの角度θ’の変化を一定にして基板保持器の直進性を確保している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表平１１−５１４３０３号公報
【特許文献２】特開平１１−２０７６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来の構成では、伸縮動作中に基板保持器の首振りの問題が生じる。即ち、図１４（Ａ）のようにベルトを用いた構成では、ベルトの弾性変形により基板保持器が中間アームに対して首振りするため、動作の再現性（位置決めの再現性）を確保することが難しい。また、ベルトの弾性で基板保持器の挙動が速やかにフィードバックされず制御応答性を低下させたり、サーボ剛性を上げるのには限界がある。
【００１０】
また、図１４（Ｂ）のようにギヤを用いた構成でも、ギヤ同士の噛み合い時にバックラッシュが発生するため、それがベルトのクッション性と同等の作用を及ぼし、上記同様の課題を発生させる。
【００１１】
また、高温に保持されたチャンバ内に基板を搬送する場合、図１４（Ａ），（Ｂ）のような構成では、基板保持器がチャンバの熱を受けてベルトやギヤが熱膨張し、位置決めの再現性が低下するという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みてなされ、その目的は、位置決めの再現性、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現することである。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、高温に保持されたチャンバ内に基板を搬送する場合でも、位置決めの再現性を確保できる基板搬送装置を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を保持することが可能な基板保持器と、前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有する。
【００１５】
また、本発明の基板搬送装置は、基板を保持することが可能な第１基板保持器及び第２基板保持器と、前記第１基板保持器及び第２基板保持器をそれぞれ進退動作させる第１リンク部及び第２リンク部と、前記第１リンク部及び第２リンク部をそれぞれ動作させる駆動力を発生する第１駆動部及び第２駆動部と、前記第１基板保持器及び前記第１リンク部のいずれか一方に設けられた第１ガイドバーと、前記第２基板保持器及び前記第２リンク部のいずれか一方に設けられた第２ガイドバーと、前記第１基板保持器及び前記第１リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第１リンク部の動作により前記第１基板保持器が移動する際に前記第１ガイドバーをスライド可能に支持する第１支持部と、前記第２基板保持器及び前記第２リンク部のいずれか他方に設けられ、前記第２リンク部の動作により前記第２基板保持器が移動する際に前記第２ガイドバーをスライド可能に支持する第２支持部と、を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、位置決めの再現性を確保でき、制御応答性やサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。また、位置決めの再現性を確保できるため、直進動作の安定性も向上する。
【００１７】
また、ロボットの高剛性化、フィードバック制御の高速応答化、部品の経時変化の低減が図れることにより、基板搬送システムの安定化、信頼性向上が図れ、生産性の向上につながる。
【００１８】
さらに、ベルトの調整やギヤのメンテナンスにかかる作業が不要となるので作業の効率化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る実施形態１の基板搬送装置の公転時（Ａ）及び伸縮時（Ｂ）の状態を示す平面図。
【図２】実施形態１の基板搬送装置の公転時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図３】実施形態１の基板搬送装置の伸縮時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図４】実施形態１の基板搬送装置の伸縮時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図５】本発明にかかる実施形態２の基板搬送装置の公転時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図６】本発明にかかる実施形態２の基板搬送装置の伸縮時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図７】本発明にかかる実施形態２の基板搬送装置の伸縮時の外観図（Ａ）、左側面図（Ｂ）及び背面図（Ｃ）。
【図８】第１例のガイド機構を詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図。
【図９】第２例のガイド機構を詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図（Ａ）及び（Ａ）のＩ−Ｉ断面図（Ｂ）。
【図１０】第３例のガイド機構の詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図（Ａ）及び（Ａ）のＰ２方向から見た背面図（Ｂ）。
【図１１】本実施形態の基板搬送装置の制御ブロック構成図。
【図１２】本実施形態の電子デバイスの製造システムを例示する図。
【図１３】従来の基板搬送装置の公転時（Ａ）及び伸縮時（Ｂ）の状態を示す平面図。
【図１４】図１３（Ｂ）のＰ’部分の詳細図。
【図１５】実施形態３の基板搬送装置の公転時の基板保持器付近の平面図（Ａ）、（Ａ）のＩ−Ｉ断面図（Ｂ）及び（Ａ）のＩＩ−ＩＩ断面図（Ｃ）。
【図１６】実施形態３の基板搬送装置の伸縮時の基板保持器付近の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定されるのであって、以下の個別の実施形態によって限定されるわけではない。
【００２１】
［実施形態１］先ず、図１乃至図４を参照して、本発明に係る実施形態１の基板搬送装置について説明する。図１Ａにおいて、本実施形態の基板搬送装置１００は、基板Ｗを保持することが可能な第１基板保持装置１００Ａと第２基板保持装置１００Ｂとを有する。基板Ｗは、例えば直径３００ｍｍ程度のウエハである。なお、以下の各実施形態では、第１基板保持装置１００Ａに関する構成には参照符号の後にＡを付し、第２基板保持装置１００Ｂに関する構成には参照符号の後にＢを付して示すものとする。
【００２２】
第１基板保持装置１００Ａは、第１駆動部１０１Ａに回転可能に連結された第１駆動アーム１０２Ａを有し、第２基板保持装置１００Ｂは、第２駆動部１０１Ｂに回転可能に連結された第２駆動アーム１０２Ｂを有する。第１駆動アーム１０２Ａと第２駆動アーム１０２Ｂとは上下方向（Ｚ方向）に重なるように第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸に固定される。後述するように、第１駆動アーム１０２Ａと第２駆動アーム１０２Ｂとは、第１基板保持装置１００Ａと第２基板保持装置１００Ｂとに共用される。
【００２３】
第１駆動部１０１Ａの駆動軸は円柱形状を有し、第２駆動部１０１Ｂの駆動軸は中空の円筒形状を有する。そして、第１駆動部１０１Ａの駆動軸が第２駆動部１０１Ｂの駆動軸の中空内部に配置されることにより、第１駆動部１０１Ａと第２駆動部１０１Ｂの各駆動軸が同軸かつ同心円状に互いに独立して回転駆動可能に構成される。
【００２４】
第１基板保持装置１００Ａは、第１リンク部として例示される、第１駆動アーム１０２Ａと、一対の第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬと、一対の第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬと、第１基板保持器１０５Ａと、を有する。第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ及び第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬは、支点間距離が等長である。
【００２５】
第１駆動アーム１０２Ａは、第１駆動部１０１Ａに回転可能に連結されている。第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬは第２駆動アーム１０２Ｂの右端部１０２Ｂ１と第１駆動アーム１０２Ａの左端部１０２Ａ２に回転自在に連結されている。第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬは、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬの他端部１０３ＡＬ１、１０３ＡＲ１に回転自在に連結されている。第１基板保持器１０５Ａは、一対の第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの他端部に連結されている。
【００２６】
一対の第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬは、第１駆動アーム１０２Ａ及び第２駆動アーム１０２Ｂに連結された一端部とは反対側の他端部側が上下方向に重なって交差するように第１交差連結点１０６Ａにて回転自在に連結されている。第１交差連結点１０６Ａの位置は、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬにおける一端部からの長さＬ１より他端部からの長さＬ２が短くなる位置（例えば、Ｌ１：Ｌ２＝５：１）に設定される。各アームの長さや交差連結点での比率は、後述する第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂの前進或は後退する長さによって装置ごとに任意に決められる。
【００２７】
一対の第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの一端部は第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬのそれぞれの他端部１０３ＡＲ１、１０３ＡＬ１に連結される。また、一対の第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの他端部１０４ＡＲ１、１０４ＡＬ１は上下方向に重なって第１基板保持器１０５Ａに回転自在に連結されている。第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの長さは、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬにおける第１交差連結点１０６Ａから他端部１０３ＡＲ１、１０３ＡＬ１までの長さＬ２と略同等である。
【００２８】
更に、第１基板保持器１０５Ａの後端部には第１交差連結点１０６Ａ側（Ｙ方向）に延びる第１ガイドバー１０７Ａが設けられている。第１ガイドバー１０７Ａは、図８〜図１０で後述するように、第１基板保持器１０５Ａに連結された一端部とは反対側の他端部側が第１交差連結点１０６Ａにおいてガイド機構によってスライド可能に支持される。これにより、第１基板保持装置１００Ａの伸縮動作の際に第１基板保持器１０５Ａの首振りを抑制する。
【００２９】
第２基板保持装置１００Ｂは、上述した第１基板保持装置１００Ａと略同等の構成を有する。即ち、第２基板保持装置１００Ｂは、第２リンク部として例示される、第２駆動アーム１０２Ｂと、一対の第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬと、一対の第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬと、第２基板保持器１０５Ｂと、を有する。第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬ及び第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬは、支点間距離が等長である。
【００３０】
第２駆動アーム１０２Ｂは、第２駆動部１０１Ｂに回転可能に連結されている。第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬは第１駆動アーム１０２Ａの右端部１０２Ａ１と第２駆動アーム１０２Ｂの左端部１０２Ｂ２に回転自在に連結されている。第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬは、第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬの他端部１０３ＢＬ１、１０３ＢＲ１に回転自在に連結されている。第２基板保持器１０５Ｂは、一対の第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬの他端部１０４ＢＲ１、１０３ＢＬ１に連結されている。
【００３１】
なお、第２駆動アーム１０２Ｂの右端部１０２Ｂ１に連結される第１中間アーム１０３ＡＲは、接続部材１０８Ａを介して第１駆動アーム１０２Ａの右端部１０２Ａ１より上方の位置で連結される。このように接続部材１０８Ａを介在させることで、第２駆動アーム１０２Ｂと第１中間アーム１０３ＡＲとの間にＺ方向のスペースを形成でき、そのスペースに第１駆動アーム１０２Ａとそれに連結された第２中間アーム１０３ＢＲを重ねて配置することができる。これにより、収縮状態での基板搬送装置を３次元空間内にコンパクトに構成することができる。
【００３２】
その他の構成については、第１基板保持装置１００Ａと同様である。
【００３３】
図１（Ａ）及び図２に示す公転時には、図示のように上面から見た場合、第１駆動アーム１０２Ａと第２駆動アーム１０２Ｂ、第１中間アーム１０３ＡＲ（１０３ＡＬ）と第２中間アーム１０３ＢＲ（１０３ＢＬ）、第１末端アーム１０４ＡＲ（１０４ＡＬ）及び第２末端アーム１０４ＢＲ（１０４ＢＬ）、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５Ｂ、第１交差連結点１０６Ａと第２交差連結点１０６Ｂがそれぞれ上下方向に重なった位置関係となり、図示のように第１基板保持装置１００Ａと第２基板保持装置１００Ｂとがあたかも一体に見えるような収縮状態となる。
【００３４】
この収縮状態において、第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を同方向に回転駆動する。これにより、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５Ｂとが一体となって第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を共通軸としてスイング動作を行って公転する。
【００３５】
一方、図１（Ｂ）、図３及び図４に示す伸縮時には、図２の収縮状態から第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を相反する方向に回転駆動する。これにより、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５ＢとがＹ方向に沿って相反する方向に伸縮するように進退動作される。
【００３６】
例えば、図１（Ｂ）及び図３に示すように、反時計方向をプラスとして、図１（Ａ）の状態から、第１駆動アーム１０２Ａを反時計方向に＋θ１、第２駆動アーム１０２Ｂを時計方向に−θ１だけ回転駆動させる。すると、第１基板保持装置１００Ａの第１駆動アーム１０２Ａ（第２基板保持装置１００Ｂの第１駆動アーム１０２Ｂ）、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの連動によって第２交差連結点１０６Ａが後方に移動する。同時に、第２基板保持装置１００Ｂの第２駆動アーム１０２Ｂ、第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬ、第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬの連動によって第２交差連結点１０６Ｂが前方に移動する。これによって、第１基板保持器１０５Ａが後退、第２基板保持器１０５Ｂが前進する。
【００３７】
反対に、図１（Ｂ）及び図４に示すように、図１（Ａ）の状態から、第１駆動アーム１０２Ａを時計方向に−θ１、第２駆動アーム１０２Ｂを反時計方向に＋θ１だけ回転駆動させる。すると、第１基板保持装置１００Ａの第１駆動アーム１０２Ａ、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬの連動によって第１交差連結点１０６Ａが前方に移動する。同時に、第２基板保持装置１００Ｂの第２駆動アーム１０２Ｂ、第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬ、第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬの連動によって第２交差連結点１０６Ｂが後方に移動する。これによって、第１基板保持器１０５Ａが前進、第２基板保持器１０５Ｂが後退する。
【００３８】
［実施形態２］次に、図５乃至図７を参照して、本発明に係る実施形態２の基板搬送装置について説明する。
【００３９】
本実施形態の基板搬送装置２００は、収縮状態において第１及び第２駆動アーム１０２Ａ、１０２Ｂが互いに重なる実施形態１とは異なり、第１駆動アーム２０２Ａと第２駆動アーム２０２ＢがＹ方向（伸縮方向）に予めオフセットして配置されている。
【００４０】
即ち、図５に示すように、第１駆動アーム２０２Ａは、その中央部から伸縮方向に沿って後退方向に延設される第１オフセットアーム２０９Ａを介して第１駆動部２０１Ａに回転可能に連結される。第２駆動アーム２０２Ｂは、その中央部から伸縮方向に沿って前進方向に延設される第２オフセットアーム２０９Ｂを介して第２駆動部２０１Ｂに回転可能に連結される。第１駆動アーム２０２Ａは第１オフセットアーム２０９Ａに対して左側部分が右側部分より上方に折れ曲がって形成されている。
【００４１】
第１基板保持装置２００Ａは、第１リンク部として例示される、第１駆動アーム２０２Ａ（第２駆動アーム２０２Ｂ）と、一対の第１中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬと、一対の第１末端アーム２０４ＡＲ、２０４ＡＬと、第１基板保持器２０５Ａとを有する。
【００４２】
第１駆動アーム２０２Ａは、第１駆動部２０１Ａに回転可能に連結されている。第１中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬは第１駆動アーム２０２Ａの右端部２０２Ａ１と第２駆動アーム２０２Ｂの左端部２０２Ｂ２に回転自在に連結されている。第１末端アーム２０４ＡＲ、２０４ＡＬは、第１中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬの他端部２０３ＡＬ１、２０３ＡＲ１に回転自在に連結されている。第１基板保持器２０５Ａは、一対の第１末端アーム２０４ＡＲ、２０４ＡＬの他端部に連結されている。
【００４３】
なお、第１中間アーム２０３ＡＲは接続部材２０８Ａを介して第１駆動アーム２０２Ａの右端部２０２Ａ１の上方の位置に連結される。また、第１中間アーム２０３ＡＬは、接続部材２０８Ｂを介して第２駆動アーム２０２Ｂの左端部２０２Ｂ２より上方の位置に連結される。このように接続部材２０８Ａを介在させることで、右側の第１駆動アーム２０２Ａと第１中間アーム２０３ＡＲとの間にＺ方向のスペースを形成でき、第２駆動アーム２０２Ｂと第２中間アーム２０３ＢＲの動作スペースになる。また、接続部材２０８Ｂを介することにより、左側の第２駆動アーム２０２Ｂと第１中間アーム２０３ＡＬとの間にＺ方向のスペースを作ることができ、左側の第１駆動アーム２０２Ａと第２中間アーム２０３ＢＬの動作スペースになる。
【００４４】
これにより、収縮状態での基板搬送装置を３次元空間内にコンパクトに構成することができる。
【００４５】
第２基板保持装置２００Ｂは、第２リンク部として例示される、第２駆動アーム２０２Ｂ（第１駆動アーム２０２Ａ）と、一対の第２中間アーム２０３ＢＲ、２０３ＢＬと、一対の第２末端アーム２０４ＢＲ、２０４ＢＬと、第２基板保持器２０５Ｂとを有する。
【００４６】
第２駆動アーム２０２Ｂは、第２駆動部２０１Ｂに回転可能に連結されている。第２中間アーム２０３ＢＲ、２０３ＢＬは第２駆動アーム２０２Ｂの右端部２０２Ｂ１と第１駆動アーム２０２Ａの左端部２０２Ａ２に回転自在に連結されている。第２末端アーム２０４ＢＲ、２０４ＢＬは、第２中間アーム２０３ＢＲ、２０３ＢＬの他端部２０３ＢＬ１、２０３ＢＲ１に回転自在に連結されている。第２基板保持器２０５Ｂは、一対の第２末端アーム２０４ＢＲ、２０４ＢＬの他端部に連結されている。
【００４７】
その他の構成は、実施形態１と同様であるので、同一の構成及び機能を有する部材には、実施形態１の参照符号の３桁目を２に変更して示し、説明を省略する。
【００４８】
また、第１及び第２中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬ、２０３ＢＲ、２０３ＡＬの長さや第１及び第２交差連結点２０６Ａ、２０６Ｂの位置、第１及び第２末端アーム２０４ＡＲ、２０４ＡＬ、２０４ＢＲ、２０４ＡＬの長さは適宜変更されている。
【００４９】
図５に示す公転時においては、第１駆動アーム２０２Ａと第２駆動アーム２０２ＢとはＸ方向に平行でＹ方向に所定距離だけ離間した状態となる。この収縮状態において、第１及び第２駆動軸２００Ａ、２００Ｂの各駆動軸を同方向に回転駆動することで、第１基板保持器２０５Ａと第２基板保持器２０５Ｂとが第１及び第２駆動部２０１Ａ、２０１Ｂの各駆動軸を共通軸としてスイング動作を行って公転する。
【００５０】
なお、この収縮状態において、第１及び第２基板保持器２０５Ａ、２０５Ｂは、互いに重ならずにＹ方向に対して所定角度θだけずれた状態で配置される。
【００５１】
一方、図６及び図７に示す伸縮時においては、図５の収縮状態から第１及び第２駆動部２０１Ａ、２０１Ｂの各駆動軸を相反する方向に回転駆動することで、第１基板保持器２０５Ａと第２基板保持器２０５Ｂとが相反する方向に伸縮するように進退動作される。
【００５２】
例えば、図６に示すように、反時計方向をプラスとして、第１駆動アーム２０２Ａを反時計方向に所定角度、第２駆動アーム２０２Ｂを時計方向に所定角度だけ回転駆動させる。すると、第１基板保持装置２００Ａの第１駆動アーム２０２Ａ、第１中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬ、第１末端アーム２０４ＡＲ、１０４ＡＬの連動によって第１交差連結点２０６Ａが前方に移動する。同時に、第２基板保持装置２００Ｂの第２駆動アーム２０２Ｂ、第２中間アーム２０３ＢＲ、２０３ＢＬ、第２末端アーム２０４ＢＲ、２０４ＢＬの連動によって第２交差連結点２０６Ｂが後方に移動する。これによって、第１及び第２基板保持器２０５Ａ、２０５Ｂが所定角度θを保持したまま、第１基板保持器２０５Ａが前進、第２基板保持器２０５Ｂが後退する。
【００５３】
また、例えば、図７に示すように、図５の収縮状態から第１駆動アーム２０２Ａを時計方向に所定角度、第２駆動アーム２０２Ｂを反時計方向に所定角度だけ回転駆動させる。すると、第１基板保持装置２００Ａの第１駆動アーム２０２Ａ、第１中間アーム２０３ＡＲ、２０３ＡＬ、第１末端アーム２０４ＡＲ、２０４ＡＬの連動によって第１交差連結点２０６Ａが後方に移動する。同時に、第２基板保持装置２００Ｂの第２駆動アーム２０２Ｂ、第２中間アーム２０３ＢＲ、２０３ＢＬ、第２末端アーム２０４ＢＲ、２０４ＢＬの連動によって第２交差連結点２０６Ｂが前方に移動する。これによって、第１及び第２基板保持器２０５Ａ、２０５Ｂが所定角度θを保持したまま、第１基板保持器２０５Ａが後退、第２基板保持器２０５Ｂが前進する。
【００５４】
＜ガイド機構＞次に、図８乃至図１０を参照して、ガイド機構について説明する。
【００５５】
図８は第１例のガイド機構を詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図である。図示の如く、第２交差連結点１０６Ｂの軸端部１１０Ｂに伸縮方向（Ｙ方向）に貫通する孔部を形成し、この孔部にエラストマー製のブッシュ１１１Ｂを介して第２ガイドバー１０７Ｂの他端部側を軸支する。このように第２交差連結点１０６Ｂに第２ガイドバー１０７Ｂの第２支持部を形成して、第２ガイドバー１０７Ｂが孔部に対してＹ方向にスライド可能に支持される。なお、第１例のガイド機構では、第２ガイドバー１０７Ｂの断面形状が円形であり、第２ガイドバー１０７Ｂはその軸まわりに回転可能である。
【００５６】
図９は第２例のガイド機構を詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図（Ａ）及び（Ａ）のＩ−Ｉ断面図（Ｂ）である。図示の如く、第２交差連結点１０６Ｂの軸端部１２０Ｂに伸縮方向（Ｙ方向）に貫通する孔部１２２Ｂを形成し、この孔部１２２Ｂにボールベアリング等の軸受部材１２１Ｂを介して第２ガイドバー１０７Ｂの他端部側を軸支する。このように第２交差連結点１０６Ｂに第２ガイドバー１０７Ｂの第２支持部を形成して、第２ガイドバー１０７Ｂが孔部１２２Ｂに対してＹ方向にスライド可能に支持される。なお、第２例のガイド機構では、第２ガイドバー１０７Ｂの断面形状が円形であり、第２ガイドバー１０７Ｂはその軸まわりに回転しない。
【００５７】
図１０は第３例のガイド機構の詳細に示す図３のＰ１部分の拡大図（Ａ）及び（Ａ）のＰ２方向から見た背面図（Ｂ）である。図示の如く、第２交差連結点１０６Ｂの軸端部１３０Ｂにローラ対１３２Ｂ及び各ローラ軸を支持するベアリングケース１３３Ｂからなる軸受部材１３１Ｂを設け、ローラ対１３２Ｂの間に第２ガイドバー１０７Ｂの他端部側を支持する。このように第２交差連結点１０６Ｂに第２ガイドバー１０７Ｂの第２支持部を形成して、第２ガイドバー１０７Ｂが伸縮方向（Ｙ方向）にスライド可能に支持される。なお、第３例のガイド機構では、ローラ対１３２Ｂの外周面に当接する第２ガイドバー１０７Ｂの断面形状が矩形（又は面取り形状）であり、第２ガイドバー１０７Ｂはその軸まわりには回転しない。
【００５８】
なお、上記第１例から第３例において、第１基板保持装置１００Ａの第１ガイドバー１０７Ａについても同様に、第１交差連結点１０６Ａに第１ガイドバー１０７Ａの第１支持部を形成して支持する。
【００５９】
上記ガイド機構により、バックラッシュがあるギヤや弾性を有するベルトなどの部材を用いず、基板保持器としてのフォークの挙動を剛体として制御可能となる。
【００６０】
なお、ここでは、ガイド機構を実施形態１の基板搬送装置（第２基板保持装置１００Ｂ）に適用した例を説明したが、実施形態２の基板搬送装置にも同様に適用可能である。また、ローラ対１３２Ｂは一対とした例について説明したが、２列以上ローラを配置してもよい。その場合、ガイドバーの直進性の一層の向上を期待できる。
【００６１】
また、上述した例では、ガイドバーの一端部を基板保持器に取り付け、支持部を中間アームの交差連結点に設けてガイドバーの他端部側を支持する構成を説明したが、ガイドバーの他端部を交差連結点に取り付け、支持部を基板保持器に設けて、ガイドバーの一端部側を支持する構成としてもよい。要するに、基板保持器及びリンク部（中間アームの交差連結点）のいずれか一方にガイドバーを設け、基板保持器及びリンク部（中間アームの交差連結点）のいずれか他方に支持部を設けた構成とすればよい。
【００６２】
［実施形態３］次に、図１５及び図１６を参照して、本発明に係る実施形態３の基板搬送装置について説明する。
【００６３】
本実施形態の基板搬送装置は、上記実施形態１に対して、第１末端アーム１０４ＡＲ、１０４ＡＬ及び第２末端アーム１０４ＢＲ、１０４ＢＬ、第１交差連結点１０６Ａ及び第２交差連結点１０６Ｂが省略され、その代わりに一対の第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬの他端部１０３ＡＲ１、１０３ＡＬ１が第１基板保持器１０５Ａに連結され、同様に一対の第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬの他端部１０３ＢＲ１、１０ＢＬ１が第２基板保持器１０５Ｂに連結される。また、第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂの後端部にはアーム先端側（Ｙ方向）に延びる第１及び第２ガイドバー２５１Ａ、２５１Ｂがスライド可能に支持される。
【００６４】
第１及び第２ガイドバー２５１Ａ、２５１Ｂは矩形の断面形状を有し、後述するように、第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂの第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬが連結される基部にガイド機構を介してスライド可能に支持される。これにより、第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂの伸縮動作の際に第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂの首振りを抑制する。
【００６５】
第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬの他端部１０３ＡＲ１、１０３ＡＬ１の近傍には、一対の第１リンクアーム２５２ＡＲ、２５２ＡＬが連結され、同様に第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬの他端部１０３ＢＲ１、１０３ＢＬ１の近傍には、一対の第２リンクアーム２５２ＢＲ、２５２ＢＬが連結されている。
【００６６】
第１リンクアーム２５２ＡＲ、２５２ＡＬの一端部２５２ＡＲ１、２５２ＡＬ１は、第１中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬの他端部１０３ＡＲ１、１０３ＡＬ１から所定長内側に連結され、同様に第２リンクアーム２５２ＢＲ、２５２ＢＬの一端部２５２ＢＲ１、２５２ＢＬ１は、第２中間アーム１０３ＢＲ、１０３ＢＬの他端部１０３ＢＲ１、１０３ＢＬ１から所定長内側に連結されている。
【００６７】
一方、第１リンクアーム２５２ＡＲ、２５２ＡＬの他端部２５２ＡＲ２、２５２ＡＬ２は、いずれも第１ガイドバー２５１Ａの後端部２５１Ａ１に上下に重なって同軸に連結され、同様に第２リンクアーム２５２ＢＲ、２５２ＢＬの他端部２５２ＢＲ２、２５２ＢＬ２は、いずれも第２ガイドバー２５１Ｂの後端部２５１Ｂ１に上下に重なって同軸に連結されている。
【００６８】
ガイド機構は、Ｘ方向に対向配置されたローラ対２５３Ａ、２５３Ｂが２組、Ｙ方向に所定距離離間して配置されて構成されており、第１及び第２中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＢＲ、１０３ＡＬ，１０３ＢＬに連動して第１及び第２ガイドバー２５１Ａ、２５１ＢがＹ方向に往復動作するようにガイドする。
【００６９】
図１５に示す収縮状態では、第１及び第２中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、１０３ＢＲ、１０３ＢＬのなす角度が最大となり、この動作により第１及び第２リンクアーム２５２ＡＲ、２５２ＡＬ、２５２ＢＲ、２５２ＢＬが第１及び第２中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、１０３ＢＲ、１０３ＢＬとは反対方向にそれぞれ回転し、第１及び第２ガイドバー２５１Ａ、２５１Ｂにガイドされつつ第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂを図中手前に引き込む。この収縮状態では、図１（Ａ）のように、第１駆動アーム１０２Ａと第２駆動アーム１０２Ｂ、第１中間アーム１０３ＡＲ（１０３ＡＬ）と第２中間アーム１０３ＢＲ（１０３ＢＬ）、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５Ｂがそれぞれ上下方向に重なった位置関係となる。
【００７０】
この収縮状態において、第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を同方向に回転駆動する。これにより、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５Ｂとが一体となって第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を共通軸としてスイング動作（公転）を行う。
【００７１】
一方、図１５の収縮状態から第１及び第２駆動部１０１Ａ、１０１Ｂの各駆動軸を相反する方向に回転駆動する。これにより、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５ＢとがＹ方向に沿って相反する方向に伸縮するように進退動作されて、図１６に示す伸縮状態となる。
【００７２】
図１６に示す伸縮状態では、第１及び第２中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、１０３ＢＲ、１０３ＢＬが反対に動作して第１及び第２リンクアーム２５２ＡＲ、２５２ＡＬ、２５２ＢＲ、２５２ＢＬが第１及び第２中間アーム１０３ＡＲ、１０３ＡＬ、１０３ＢＲ、１０３ＢＬとは反対方向にそれぞれ回転し、第１及び第２ガイドバー２５１Ａ、２５１Ｂにガイドされつつ第１基板保持器１０５Ａ及び第２基板保持器１０５Ｂのいずれか一方が前進し、いずれか他方が後退する（図１（Ｂ））。
【００７３】
その他の構成や動作は、実施形態１と同様であるので説明を省略する。また、上記実施形態３は、収縮状態において第１及び第２駆動アーム１０２Ａ、１０２Ｂが互いに重なる実施形態１だけでなく、第１駆動アーム２０２Ａと第２駆動アーム２０２ＢがＹ方向（伸縮方向）に予めオフセットして配置される実施形態２にも適用可能である。
【００７４】
上記実施形態３によれば、実施形態１、２と比べて、ガイドバーやガイド機構を薄型化することができ、第１基板保持器１０５Ａと第２基板保持器１０５Ｂの上下方向の距離を縮めることができる。そのため、基板の入れ替え動作の際の上下方向のストローク長を短縮でき、それにより、プロセスチャンバの高さ（容積）を抑えることができるので、装置を小型化できる。
【００７５】
＜基板搬送装置の制御ブロック構成＞次に、図１１を参照して、本実施形態の基板搬送装置の制御ブロック構成について説明する。第１基板保持装置１００Ａ、２００Ａは、第１駆動部１０１Ａ、２０１Ａへ駆動力を付与する出力軸を有する第１モータ３０１Ａを有する。同様に、第２基板保持装置１００Ｂ、２００Ｂは、第２駆動部１０１Ｂ、２０１Ｂへ駆動力を出力する出力軸を有する第２モータ３０１Ｂを有する。真空室外に配備された第１モータ３０１Ａの回転駆動力は、第１駆動部１０１Ａ、２０１Ａを介して、第１駆動アーム１０２Ａ、２０２Ａに伝達される。同様に、真空室外に配備された第２モータ３０１Ｂの回転駆動力は、第２駆動部１０１Ｂ、２０１Ｂを介して、第２駆動アーム１０２Ｂ、２０２Ｂに伝達される。基板検出部３０２は、第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂ、２０５Ａ、２０５Ｂの鉛直上方または鉛直下方に配置される。そして、基板検出部３０２は、各基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂ、２０５Ａ、２０５Ｂの位置並びに、各基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂ、２０５Ａ、２０５Ｂの少なくともいずれかに基板が保持されているか否かを検出する。基板検出部３０２の検出結果は、コントローラ３０３に出力される。
【００７６】
コントローラ３０３は、第１及び第２モータ３０１Ａ，３０１Ｂに設けられている各エンコーダから得られる検出情報、並びに基板検出部３０２の検出結果に基づいて、第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂ、２００Ａ、２００Ｂの全体的な動作を司る。
【００７７】
そして、コントローラ３０３は、第１モータ３０１Ａ及び第２モータ３０１Ｂを同期制御することで、第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂ、２０５Ａ、２０５Ｂが同一方向に同期回転するように制御する。
【００７８】
また、コントローラ３０３は、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の各基板保持位置に対して、第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂ、２００Ａ、２００Ｂを回転させて所定の位置に位置決めする。
【００７９】
真空室外に配備された第３モータ３０４の回転駆動力は、昇降機構３０５に伝達され、第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂ、２００Ａ、２００ＢをＺ軸方向に上昇または降下させる。
【００８０】
コントローラ３０３は、第３モータ３０４を制御して、基板の供給または回収の対象となるプロセス処理装置の基板保持位置に対する、第１基板保持器１０５Ａ、２０５Ａおよび第２基板保持器１０５Ｂ、２０５ＢのＺ軸方向における位置決めを制御する。
【００８１】
上記構成において、第１及び第２基板保持装置の公転動作、伸張動作及び収縮動作を実行することにより、基板搬送装置はプロセス処理装置に対して基板を供給し、または、プロセス処理装置から処理済みの基板を回収できる。
【００８２】
＜基板搬送装置の動作＞次に、基板搬送装置の動作について説明する。
【００８３】
コントローラ３０３は、基板搬送装置の公転動作及び伸縮動作を制御する。具体例として、第１基板保持器１０５Ａに未処理の基板が載置されていて、第２基板保持器１０５Ｂに基板が載置されていない状態を想定し、プロセス処理装置への基板の入れ替え（供給、回収）の動作と公転動作とを以下に説明する。なお、各プロセス処理装置では、既に供給された基板に所定のプロセス処理が実行されているものとする。
【００８４】
（１）プロセス処理の完了後に、コントローラ３０３は、第２基板保持器１０５Ｂの前進方向がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置に第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂを公転動作させる。この際、第１及び第２基板保持器１０５Ａ、１０５Ｂの高さ方向（Ｚ方向）の位置も、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板高さより下がった位置に移動する。
【００８５】
（２）その後、コントローラ３０３は、第２基板保持装置１００Ｂを伸張状態にして、第２基板保持器１０５Ｂを前進させる。第２基板保持器１０５Ｂの前進動作が完了した状態で、第２基板保持器１０５Ｂの基板保持面（フォーク）は、基板の裏面に対して下方に位置する。
【００８６】
（３）コントローラ３０３は第２基板保持器１０５Ｂの高さ方向（Ｚ方向）の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも高くなるように第２基板保持器１０５Ｂを上昇させて第２基板保持器１０５Ｂの基板保持面に処理済みの基板を載せかえる。
【００８７】
（４）その後、コントローラ３０３は、第２基板保持装置１００Ｂを収縮状態にして、第２基板保持器１０５Ｂを後退させる。この動作により、処理済みの基板がプロセス処理装置のプロセスチャンバから処理済みの基板の回収が完了する。
【００８８】
（５）次に、コントローラ３０３は、第１基板保持器１０５Ａの前進方向がプロセス処理装置のプロセスチャンバの基板中心と合う位置に第１及び第２基板保持装置１００Ａ、１００Ｂを公転動作させる。この際、第１基板保持器１０５Ａの高さ方向（Ｚ方向）の位置は、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置の高さより高い位置に移動する。
【００８９】
（６）その後、コントローラ３０３は、第１基板保持装置１００Ａを伸張状態にして、第１基板保持器１０５Ａを前進させる。第１基板保持器１０５Ａの前進動作が完了した状態で、第１基板保持器１０５Ａは、プロセスチャンバの基板保持位置に対して上方に位置する。
【００９０】
（７）コントローラ３０３は第１基板保持器１０５Ａの高さ方向（Ｚ方向）の位置がプロセスチャンバの基板保持位置よりも低くなるように第１基板保持器１０５Ａを降下させる。このようにして、第１基板保持器１０５Ａに保持されている基板をプロセスチャンバの基板保持位置に載せかえる。この状態で、第１基板保持器１０５Ａ上にあった未処理基板はプロセスチャンバの基板保持位置に載置される。
【００９１】
（８）その後、コントローラ３０３は、第１基板保持装置１００Ａを収縮状態にして、第１基板保持器１０５Ａを後退させる。この動作により、プロセス処理装置のプロセスチャンバの基板保持位置に未処理の基板を載置する基板の供給が完了する。
【００９２】
以上（１）から（８）の動作をプロセス処理装置のそれぞれに対して実行することにより、基板搬送装置は、放射状に複数配置されているプロセス処理装置（図１２）のそれぞれに対して基板Ｗを供給することができる。または、基板搬送装置は、各プロセス処理装置から処理済みの基板を回収することができる。
【００９３】
ここで、熱処理チャンバや成膜温度の高いプロセスチャンバなど高温に保持されたチャンバ内に基板搬送装置を用いて基板を搬送する場合について説明する。基板保持器を高温に保持されたチャンバの内部に移動させることになるが、本発明の構成によれば、ガイドバーの支持部は基板保持器の後方（駆動軸側）に離れているため、支持部を高温のチャンバ内に入れなくとも基板の搬送が可能である。このため、熱膨張による動作の再現性の低下を抑えることができるという効果を発揮する。支持部を高温のチャンバ内に入れる場合にも、保持部やガイドバーが高温に曝される時間を短くすることができるため、熱膨張による動作への悪影響を最小限に抑えることができる。
【００９４】
なお、ここでは、実施形態１の基板搬送装置に適用した例を説明したが、実施形態２の基板搬送装置にも同様に適用可能である。
【００９５】
＜効果の説明＞
図１４（Ａ）では、ベルトの弾性変形による動作の再現性（位置決めの再現性）の低下が避けられない。また、上述したテンションの調整の難しさやフォーク先端の挙動がモータに伝わる間にベルトの弾性でフォークの挙動が速やかにフィードバックされず制御応答性を低下させたり、サーボ剛性を高められない。一方、図１４（Ｂ）では、ギヤの噛み合いに起因するバックラッシュが存在するため、同様の課題が発生していた。
【００９６】
さらに、図１３に示す従来のアームの動作を微細に見た場合、伸縮動作中に一対の第１中間アーム５０３ＡＲ、５０３ＡＬはまったく同じ挙動を示さないため、伸縮動作中は常にヨーイング運動をしている可能性がある。それにより、急峻な加速度を受け、基板がスリップして落下するおそれもある。
【００９７】
これに対して、本実施形態によれば、動作の再現性（位置決めの再現性）、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。
【００９８】
また、ロボットの高剛性化、フィードバック制御の高速応答化、部品の経時変化の低減が図れることにより、基板搬送システムの安定化、信頼性向上が図れ、生産性の向上につながる。
【００９９】
さらに、ベルトの調整やギヤのメンテナンスにかかる作業が不要となるので作業時間を低減することができ、作業の効率化が図れる。さらに、本発明に係る各実施形態では、支持部が基板保持器よりも駆動軸側に離間して配置される構成となるため、高温に保持された熱処理チャンバなどに基板を搬送する場合にも、熱膨張による強度や位置決め精度の低下を避けることができる。
【０１００】
特に、実施形態２によれば、実施形態１の効果に加えて、複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを効率的に検出することが可能になる。即ち、鉛直上方または鉛直下方から複数の基板保持器のそれぞれに基板が保持されているか否かを、センサ検出専用の部材を用いることなく、検出することができる。そのため、高額となるセンシング技術が不用となり、装置全体のコストダウンを図ることが可能になる。また、基板の検出のために基板保持器を前後移動させる必要がなくなるため、装置のタクトタイムの短縮化が可能になる。
【０１０１】
＜電子デバイスの製造システム、デバイスの製造方法＞次に、図１２を参照して、電子デバイスの製造システムについて説明する。
【０１０２】
本実施形態の基板搬送装置１００が配置された搬送室４１０のまわりには、電子デバイスを製造する基板Ｗを搬入／搬出するためのロードロック室ＬＬ１、ＬＬ２、基板Ｗに対して種々の処理を行うプロセスチャンバ４００〜４０５が放射状に配置されている。このようにプロセスチャンバ４００〜４０５を基板搬送装置１００に対して放射状に配置することにより、１つの基板搬送装置１００で、複数のプロセスチャンバ４００〜４０５に対して基板の搬送を行うことが可能な構成となっている。本実施形態にかかる電子デバイスの製造システムは、上記実施形態で説明した基板搬送装置と、基板搬送装置により搬送された基板に対してデバイス製造プロセスを実行する少なくとも１つのプロセス処理装置と、を備える。
【０１０３】
なお、ここでは、実施形態１の基板搬送装置１００に適用した例を説明したが、実施形態２の基板搬送装置２００にも同様に適用可能である。
【０１０４】
また、電子デバイスの製造方法は、基板搬送装置を用いて基板を搬送する搬送工程と、少なくとも１つのプロセス処理装置において、搬送工程で搬送された基板に対して、デバイス製造プロセスを実行するプロセス実行工程とを有する。電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法により製造される電子デバイスとしては、例えば、半導体、ＬＣＤ、太陽電池、あるいは光通信機器用デバイスのうち、少なくとも１つが含まれる。
【０１０５】
本実施形態によれば、電子デバイスの製造システム全体のコストダウンを図ることが可能になる。
【０１０６】
本発明は上記実施の形態に制限されるものではなく、本発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。例えば、本実施形態では、第１基板保持装置と第２基板保持装置の２組で構成されたダブルフォーク構造を説明したが、いずれか一方だけで構成したシングルフォーク構造としてもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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