(57)【要約】【課題】温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供する。【解決手段】移動装置１は、第１の材料により形成された基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２と、第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３と、一対のガイド部材１２のうちの少なくとも一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１４１とを備える。板バネ１４１は、移動体１３に対して固定される第１のブロック部と、ガイド部材１２ａの延在方向について第１のブロック部から離間した位置に配置され、ガイド部材に沿って摺動する摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、第１のブロック部と第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部とを備える。【選択図】図５
2012155060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の材料により形成された基台と、
前記基台上に設置された一対のガイド部材と、
前記第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、前記一対のガイド部材に沿って移動可能な移動体と、
前記一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と前記移動体との間に配置された板バネと、
を備え、
前記板バネが、
前記移動体に対して固定される第１のブロック部と、
前記ガイド部材の延在方向について前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記ガイド部材に沿って摺動可能な摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、
前記第１のブロック部と前記第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、
を備える移動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の移動装置であって、
前記板バネが、
前記ガイド部材の延在方向について、前記第２のブロック部を挟んで前記第１のブロック部と反対側に前記第２のブロック部から離間した位置に配置され、前記移動体に対して固定された第３のブロック部と、
前記第２のブロック部と前記第３のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、
をさらに備える移動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の移動装置であって、
前記板バネが、
前記ガイド部材の延在方向について、前記第１のブロック部を挟んで前記第２のブロック部と反対側に前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記摺動部材に対して固定された第３のブロック部と、
前記第１のブロック部と前記第３のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、
をさらに備える移動装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記板バネの剛性が、前記ガイド部材の剛性よりも小さく、かつ、前記ガイド部材の剛性の５分の１以上である移動装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の移動装置であって、
前記薄板部が、
前記連結方向に沿う端部に形成されたくびれ部、
を備える移動装置。
【請求項６】
スペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を基板に塗布する塗布装置であって、
基台と、
前記基台上に設置された一対のガイド部材と、
前記一対のガイド部材に沿って移動可能なステージと、
前記ステージに載置された基板に対して、前記スペーサ粒子分散液を、インクジェット方式により吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドを洗浄する洗浄ユニットを備え、前記一対のガイド部材に沿って移動可能な洗浄部と、
前記一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と前記洗浄部との間に配置された板バネと、
を備え、
前記板バネが、
前記移動体に対して固定される第１のブロック部と、
前記ガイド部材の延在方向について前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記ガイド部材に沿って摺動可能な摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、
前記第１のブロック部と前記第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、
を備え、
前記基台と前記ステージとが第１の材料で形成され、前記洗浄部が前記第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成される塗布装置。
【請求項７】
請求項６に記載の塗布装置であって、
前記第１の材料が石材であり、
前記第２の材料がアルミニウムである塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基台に設置されたガイド部材に沿って移動体を移動させる移動装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
基台に設置されたガイド部材に沿って移動体を移動させる機構は、各種の装置に搭載されている。当該機構を搭載した装置の一例として、透明基板に、スペーサ粒子を分散させた液体（スペーサ粒子分散液）を、インクジェット方式により塗布する塗布装置が挙げられる。
【０００３】
例えば、特許文献１には、この類の塗布装置が開示されている。ここでは、基台（「基台１４」）に設置された一対のガイド部材（「一対のガイド部材１６」）に沿って、２種類の移動体（透明基板を支持する「テーブル１１」、および、スペーサ粒子を塗布するインクジェットヘッドを洗浄する「洗浄部２２」）が移動される構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１０７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記に例示した類の塗布装置においては、塗布処理の精度を高精度に保つべく、塗布精度に影響を及ぼす構成（基台、ガイド部材、テーブル等）は、熱による変形等が生じにくい石材等を用いて形成される。これに対し、洗浄部は、塗布処理の精度に直接的に関係する機能部ではないので、塗布精度の観点からみれば石材を用いて形成される必要はない。基台等を形成する材料として好ましいとされる石材は、比較的重く、また、比較的高価な部材であるので、洗浄部を別の部材（石材よりも軽く、また、比較的安価な材料である、アルミニウム等）を用いて形成したいという要求がある。
【０００６】
しかしながら、基台と、これに設置されたガイド部材に沿って移動される移動体（例えば、洗浄部）とが、熱膨張率の異なる材料で形成された場合、温度環境が変化すると、移動体が基台とは異なる度合いで膨張するために、移動体から一対のガイド部材に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がかかり、その結果、ガイド部材、基台等の変形（例えば、ガイド部材の歪み）が生じるおそれがある。塗布装置においては、ガイド部材等の変形は塗布精度に悪影響を及ぼすため非常に好ましくない。このような事情があるため、従来においては、洗浄部も基台と同じ材料を用いて形成せざるを得なかった。
【０００７】
この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、基台に設置されたガイド部材に沿って移動される移動体が、基台を形成する材料と熱膨張率が異なる材料で形成されていても、温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、第１の材料により形成された基台と、前記基台上に設置された一対のガイド部材と、前記第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、前記一対のガイド部材に沿って移動可能な移動体と、前記一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と前記移動体との間に配置された板バネと、を備え、前記板バネが、前記移動体に対して固定される第１のブロック部と、前記ガイド部材の延在方向について前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記ガイド部材に沿って摺動可能な摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、前記第１のブロック部と前記第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、を備える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の移動装置であって、前記板バネが、前記ガイド部材の延在方向について、前記第２のブロック部を挟んで前記第１のブロック部と反対側に前記第２のブロック部から離間した位置に配置され、前記移動体に対して固定された第３のブロック部と、前記第２のブロック部と前記第３のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、をさらに備える。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の移動装置であって、前記板バネが、前記ガイド部材の延在方向について、前記第１のブロック部を挟んで前記第２のブロック部と反対側に前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記摺動部材に対して固定された第３のブロック部と、前記第１のブロック部と前記第３のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、をさらに備える。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の塗布装置であって、前記板バネの剛性が、前記ガイド部材の剛性よりも小さく、かつ、前記ガイド部材の剛性の５分の１以上である。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載の移動装置であって、前記薄板部が、前記連結方向に沿う端部に形成されたくびれ部、を備える。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、スペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を基板に塗布する塗布装置であって、基台と、前記基台上に設置された一対のガイド部材と、前記一対のガイド部材に沿って移動可能なステージと、前記ステージに載置された基板に対して、前記スペーサ粒子分散液を、インクジェット方式により吐出するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドを洗浄する洗浄ユニットを備え、前記一対のガイド部材に沿って移動可能な洗浄部と、前記一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と前記洗浄部との間に配置された板バネと、を備え、前記板バネが、前記移動体に対して固定される第１のブロック部と、前記ガイド部材の延在方向について前記第１のブロック部から離間した位置に配置され、前記ガイド部材に沿って摺動可能な摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、前記第１のブロック部と前記第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と、を備え、前記基台と前記ステージとが第１の材料で形成され、前記洗浄部が前記第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成される。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の塗布装置であって、前記第１の材料が石材であり、前記第２の材料がアルミニウムである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明においては、基台と移動体とが熱膨張率の異なる材料で形成される。この構成においては、温度環境が変化した場合に、移動体が基台とは異なる度合いで膨張するため、移動体から一対のガイド部材に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生する。この発明においては、基台に設置された一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と移動体との間に板バネが配置されており、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力は、この板バネの変形により吸収される。この構成によると、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材に対して直接にかかることがないので、ガイド部材の変形が抑制される。また、その結果、基台の変形も抑制される。
【００１６】
請求項２に記載の発明においては、板バネが、ガイド部材の延在方向に沿って配列された３個のブロック部と、隣接するブロック部を連結する薄板部とを備え、両側のブロック部が移動体に、中央のブロック部が摺動部材に、それぞれ固定される。この構成によると、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が板バネにかかった場合に、板バネは中央のブロック部を中心としてガイド部材と直交する軸に対してほぼ対称に変形する。したがって、移動体、および、摺動部材に対する板バネの固定が緩みにくい。
【００１７】
請求項３に記載の発明においては、板バネが、ガイド部材の延在方向に沿って配列された３個のブロック部と、隣接するブロック部を連結する薄板部とを備え、両側のブロック部が摺動部材に、中央のブロック部が移動体に、それぞれ固定される。この構成によると、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が板バネにかかった場合に、板バネは中央のブロック部を中心としてガイド部材と直交する軸に対してほぼ対称に変形する。したがって、移動体、および、摺動部材に対する板バネの固定が緩みにくい。
【００１８】
請求項４に記載の発明によると、板バネの剛性がガイド部材の剛性よりも小さいので、移動体から板バネに対してかかる、一対のガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が、想定外に大きくなった場合に、ガイド部材よりも先に板バネが破壊されることになる。つまり、この構成によると、ガイド部材の破損を回避できる。また一方で、板バネの剛性が、ガイド部材の剛性の５分の１以上であるので、移動体を安定的に搬送できる。
【００１９】
請求項５に記載の発明においては、板バネが備える薄板部が、連結方向に沿う端部に形成されたくびれ部を備える。くびれ部が形成されることによって、薄板部が連結方向と交差する方向について撓みやすくなる。
【００２０】
請求項６に記載の発明においては、基台と洗浄部とが熱膨張率の異なる材料で形成される。この構成においては、温度環境が変化した場合に、洗浄部が基台とは異なる度合いで膨張するため、洗浄部から一対のガイド部材に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生する。この発明においては、基台に設置された一対のガイド部材のうちの少なくとも一方のガイド部材と洗浄部との間に板バネが配置されており、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力は、この板バネの変形により吸収される。この構成によると、ガイド部材の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材に対して直接にかかることがないので、ガイド部材の変形が抑制される。また、その結果、基台の変形も抑制される。ガイド部材、および、基台の変形が抑制されることによって、塗布処理における精度が担保される。
【００２１】
請求項７に記載の発明によると、基台とステージとは、熱変化で変形しにくい石材で形成されるので、スペーサ粒子分散液の塗布精度を常に良好に維持することができる。一方で、塗布精度に直接的な影響を与えない洗浄部は、石材よりも軽量かつ安価なアルミニウムで形成されるので、装置の製造コストを抑えることができるとともに、洗浄部の搬送速度を上げて装置の処理効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】移動装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】支持構造を示す平面図である。
【図３】支持構造を示す側面図である。
【図４】板バネの斜視図である。
【図５】温度変化が生じた場合の支持構造の様子を示す平面図である。
【図６】塗布装置の構成を示す斜視図である。
【図７】ヘッドユニットをその下面から見た斜視図である。
【図８】ヘッドユニット駆動機構を示す斜視図である。
【図９】洗浄部の構成を示す斜視図である。
【図１０】洗浄ユニットの構成を示す図である。
【図１１】昇降機構の構成を示す図である。
【図１２】その他の実施の形態に係る支持構造を示す平面図である。
【図１３】その他の実施の形態に係る支持構造を示す平面図である。
【図１４】移動装置を適用した装置の別の構成例を模式的に示す図である。
【図１５】実施例に係る板バネを示す平面図である。
【図１６】実施例に係る板バネに生じる応力の測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
＜I．移動装置１＞
＜１．全体構成＞
この発明の実施の形態に係る移動装置１の構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、移動装置１の構成を模式的に示す図である。なお、図１および以下に参照する各図には、説明の便宜上、ＸＹＺ座標系が適宜付与されている。
【００２４】
移動装置１は、基台に設置されたガイド部材に沿って移動体を移動させる装置であり、後に説明するように、例えば、透明基板に、スペーサ粒子を分散させた液体（スペーサ粒子分散液）を、インクジェット方式により塗布する塗布装置に適用される。
【００２５】
移動装置１は、基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２とを備える。一対のガイド部材１２は、互いに平行に設置される。また、移動装置１は、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３を備える。具体的には、一対のガイド部材１２のそれぞれには、ガイド部材１２に摺動しながら当該ガイド部材１２に沿って移動可能な摺動部材（例えば、リニアガイドベアリング）１２１（図３）が設置されており、移動体１３は、当該リニアガイドベアリング１２１、および、後に説明する支持構造１４を介して一対のガイド部材１２上に支持される（図３）。移動体１３には、例えば、リニアモータ等の駆動部が接続されており、この駆動部の駆動をうけることにより、移動体１３は一対のガイド部材１２に案内された状態でガイド部材１２の延在方向に沿って滑らかに移動する。
【００２６】
移動装置１においては、基台１１と移動体１３とは互いに熱膨張率の異なる材料でそれぞれ形成されている。
【００２７】
＜２．支持構造１４＞
＜２−１．全体構成＞
移動装置１が備える支持構造１４の構成について、図１に加え、図２、図３を参照しながら説明する。図２は、支持構造１４を示す平面図である。なお、図２においては、説明の便宜上、移動体１３を透視状態で示している。図３は、支持構造１４を図２の矢印Ｋから見た側面図である。
【００２８】
支持構造１４は、一対のガイド部材１２のうちの一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置される１以上（例えば、２個）の板バネ１４１と、他方のガイド部材１２ｂと移動体１３との間に配置される１以上（例えば、２個）のスペーサブロック１４２とを備える。
【００２９】
各板バネ１４１は、下面側において、ガイド部材１２ａに配設されたリニアガイドベアリング１２１に対して固定（例えばネジ１０１により固定）されるとともに、上面側において、移動体１３に対して固定（例えばネジ１０２により固定）される。同様に、各スペーサブロック１４２も、下面側において、ガイド部材１２ａに配設されたリニアガイドベアリング１２１に対して固定（例えばネジ１０３により固定）されるとともに、上面側において、移動体１３に対して固定（例えばネジ１０４により固定）される。
【００３０】
＜２−２．板バネ１４１＞
板バネ１４１の構成について、図４を参照しながらより具体的に説明する。図４は、板バネ１４１の斜視図である。
【００３１】
板バネ１４１は、例えば鋼により形成される。板バネ１４１は、３個のブロック部（すなわち、１個の中央ブロック部４１と、中央ブロック部４１を中心に挟んで両側に配置された２個の側方ブロック部４２）を備える。また、板バネ１４１は、４個の薄板部４３を２組備える。４個の薄板部４３のうちの２個の薄板部４３は、対になって、一方の側方ブロック部４２と中央ブロック部４１とを連結する。また、残りの２個の薄板部４３は、対になって、他方の側方ブロック部４２と中央ブロック部４１とを連結する。３個のブロック部４２，４１，４２の配列方向、すなわち、薄板部４３がブロック部４１，４２を連結する方向（Ｙ方向）を、以下「連結方向」という。
【００３２】
この構成においては、中央ブロック部４１と一方の側方ブロック部４２と、これらを連結する一対の薄板部４３とによって、第１の平行板バネ部４０が形成され、中央ブロック部４１と他方の側方ブロック部４２と、これらを連結する一対の薄板部４３とによって、第２の平行板バネ部４０が形成される。つまり、板バネ１４１は、一方のブロック部（中央ブロック部４１）を共用することにより一体に形成された２個の平行板バネ部４０を備える。
【００３３】
各板バネ１４１は、薄板部４３が各ブロック部４１，４２を連結する連結方向（Ｙ方向）が、ガイド部材１２の延在方向に沿うように配置される（図２参照）。すなわち、各板バネ１４１は、各ブロック部４１，４２が、ガイド部材１２の延在方向について互いに離間するような姿勢で配置される。
【００３４】
中央ブロック部４１には、複数個（好ましくは、３個以上であり、この実施の形態においては４個）の貫通孔４１１が形成されており、この貫通孔４１１のそれぞれに上側から挿通されたネジ１０１がガイド部材１２ａに配設されたリニアガイドベアリング１２１に固定される（図３参照）。つまり、板バネ１４１は、中央ブロック部４１において、リニアガイドベアリング１２１に対して計４点にて固定されることになる。
【００３５】
各側方ブロック部４２にも、複数個（好ましくは、２個以上であり、この実施の形態においては２個）の貫通孔４２１が形成されており、この貫通孔４２１のそれぞれに下側から挿通されたネジ１０２が移動体１３の底面に固定される（図３参照）。つまり、板バネ１４１は、両側に配置された一対の側方ブロック部４２において、移動体１３に対して計４点にて固定されることになる。
【００３６】
薄板部４３は、上述したとおり、中央ブロック部４１と側方ブロック部４２とを連結する部材であり、連結方向と交差する方向に可撓性を有する。具体的には、各薄板部４３は、薄板直方体形状の部材であり、肉厚が最も薄い方向を、連結方向と直交する方向（Ｘ方向）に沿わせて配置されることにより、Ｘ方向について可撓に形成されている。
【００３７】
薄板部４３の、連結方向（Ｙ方向）に沿う両端部には、好ましくは、Ｘ方向についての肉厚が局所的に薄い部分（Ｚ方向から見て細く狭まった部分であり、以下「くびれ部４３１」という）が形成される。くびれ部４３１は、例えば、薄板部４３の＋Ｘ方向側の壁面にＺ方向に沿う柱状の切り欠き４３０を形成するとともに、−Ｘ方向側の壁面にも、当該切り欠き４３０と対向する位置に、これを同じサイズの切り欠き４３０を形成することにより得ることができる。くびれ部４３１が形成されることによって、薄板部４３を、Ｘ方向について撓みやすくすることができる。なお、切り欠き４３０のサイズが大きくなるほど、板バネ１４１はＸ方向について撓みやすくなる（すなわち、板バネ１４１のＸ方向についての剛性が小さくなる）。したがって、切り欠き４３０のサイズを調整することによって、薄板部４３のＸ方向についての撓みやすさ（つまりは、Ｘ方向についての薄板部４３の剛性）を調整することができる。
【００３８】
ただし、切り欠き４３０の形状は、断面が半円形状の柱状であることが特に好ましい。切り欠き４３０の形状を断面が半円形状の柱状とすれば、薄板部４３がＸ方向について撓んだ際に、薄板部４３に生じる応力が適切に分散され、板バネ１４１が破損しにくくなる。
【００３９】
また、板バネ１４１の剛性は、好ましくは、ガイド部材１２の剛性よりも小さく、かつ、ガイド部材１２の剛性の５分の１（１／５））以上とされる。ただし、板バネ１４１の剛性は、各種の態様で調整することができる。例えば、板バネ１４１のＸ方向の剛性は、上述したとおり、切り欠き４３０のサイズによって調整することができる。また、板バネ１４１のＹ方向の剛性は、例えば、ブロック部４１，４２の断面積によって調整することができる。また、板バネ１４１のＺ方向の剛性は、例えば、板バネ１４１のＺ方向のサイズ（厚み）によって調整することができる。また、板バネ１４１の形成材料も、その剛性に影響する。
【００４０】
板バネ１４１の剛性が、ガイド部材１２の剛性よりも小さく形成されることによって、ガイド部材１２の破損を回避できる。すなわち、板バネ１４１の剛性がガイド部材１２の剛性よりも小さいと、移動体１３から板バネ１４１に対してかかる、一対のガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が、想定外に大きくなった場合に、ガイド部材１２よりも先に板バネが破壊されることになる。つまり、この構成によると、ガイド部材１２の破損を回避できる。また、板バネ１４１の剛性が、ガイド部材１２の剛性の５分の１（１／５））以上とされることによって、板バネ１４１に移動体を搬送するためのリニアガイドとして必要な最低限の剛性が担保されることになる。すなわち、板バネ１４１の剛性がガイド部材１２の剛性の５分の１（１／５））以上とされることによって、移動体１３をガイド部材１２に沿って搬送する際の揺れ（移動体１３の進行方向についての左右の揺れ（ローリング）、前後の揺れ、および、上下の揺れ）の発生が抑制され、移動体１３を安定的に搬送できる。
【００４１】
また、板バネ１４１は、好ましくは、中央ブロック部４１および薄板部４３の各上面（移動体１３と対向する側の面）が、側方ブロック部４２の上面よりも僅かに低い位置にくるように形成される。このように形成しておけば、板バネ１４１を移動体１３に固定した際に、移動体１３の底面と中央ブロック部４１の上面、および、移動体１３の底面と薄板部４３の上面との間に僅かな隙間が形成されることになる（図３参照）。この構成によると、当接面による摩擦が生じないため、後述する板バネ１４１の変形が妨げられにくくなる。特に、当該隙間に摺動部材としてのベアリング等を設けることも好ましい。
【００４２】
＜２−３．板バネ１４１の機能＞
支持構造１４における板バネ１４１の機能について、図５を参照しながら説明する。図５は、温度変化が生じた場合の支持構造１４の様子を示す平面図である。図５においては、温度変化前の移動体１３が一点鎖線で、温度変化後の移動体１３が実線で、それぞれ示されている。なお、図５においても、説明の便宜上、移動体１３を透視状態で示している。
【００４３】
上述したとおり、移動体１３と基台１１とは、熱膨張率が異なる材料を用いてそれぞれ形成されている。例えば、移動体１３が基台１１よりも熱膨張率が大きい材料を用いて形成されている場合、移動装置１の温度が上昇すると、移動体１３が基台１１よりも大きな比率で膨張するため、移動体１３からガイド部材１２に対して、ガイド部材１２の離間幅を広げる向きの力Ｆが発生する。すると、移動体１３と一方のガイド部材１２ａとの間に配置された板バネ１４１が変形する。具体的には、中央ブロック部４１に対して側方ブロック部４２が外側（一対のガイド部材の対向方向と逆の方向）にずれるように変形する。このとき、薄板部４３は連結方向と交差する方向に撓むように変形する。つまり、この構成においては、ガイド部材１２の離間幅を広げようとする力Ｆは、板バネ１４１の変形により吸収されることになる。したがって、当該力Ｆがガイド部材１２に対して直接にかかることがなく、ガイド部材１２の変形が抑制される。
【００４４】
またこの場合において、移動装置１の温度が下降すると、移動体１３が基台１１よりも大きな比率で収縮するため、移動体１３からガイド部材１２に対して、ガイド部材１２の離間幅を狭める向きの力Ｆが発生する。すると、移動体１３と一方のガイド部材１２ａとの間に配置された板バネ１４１が変形する。具体的には、中央ブロック部４１に対して側方ブロック部４２が内側（一対のガイド部材の対向方向）にずれるように変形する。このとき、薄板部４３は連結方向と交差する方向に撓むように変形する。つまり、この構成においては、ガイド部材１２の離間幅を狭めようとする力は、板バネ１４１の変形により吸収されることになる。したがって、当該力がガイド部材１２に対して直接にかかることがなく、ガイド部材１２の変形が抑制される。
【００４５】
なお、移動体１３が基台１１よりも熱膨張率が小さい材料により形成されている場合もこれと同様である。すなわちこの場合、移動装置１の温度が上昇すると、基台１１が移動体１３よりも大きな比率で膨張するため、移動体１３からガイド部材１２に対して、ガイド部材１２の離間幅を狭める向きの力が発生する。すると、移動体１３と一方のガイド部材１２ａとの間に配置された板バネ１４１が変形する。具体的には、中央ブロック部４１に対して側方ブロック部４２が内側（一対のガイド部材の対向方向）にずれるように変形する。このとき、薄板部４３は連結方向と交差する方向に撓むように変形する。つまり、この構成においては、ガイド部材１２の離間幅を狭めようとする力は、板バネ１４１の変形により吸収されることになる。したがって、当該力がガイド部材１２に対して直接にかかることがなく、ガイド部材１２の変形が抑制される。
【００４６】
またこの場合において、移動装置１の温度が下降すると、基台１１が移動体１３よりも大きな比率で収縮するため、移動体１３からガイド部材１２に対して、ガイド部材１２の離間幅を広げる向きの力Ｆが発生する。すると、移動体１３と一方のガイド部材１２ａとの間に配置された板バネ１４１が変形する。具体的には、中央ブロック部４１に対して側方ブロック部４２が外側（一対のガイド部材の対向方向と逆の方向）にずれるように変形する。このとき、薄板部４３は連結方向と交差する方向に撓むように変形する。つまり、この構成においては、ガイド部材１２の離間幅を広げようとする力Ｆは、板バネ１４１の変形により吸収されることになる。したがって、当該力Ｆがガイド部材１２に対して直接にかかることがなく、ガイド部材１２の変形が抑制される。
【００４７】
＜３．効果＞
上記の実施の形態に係る移動装置１においては、基台１１と移動体１３とが熱膨張率の異なる材料で形成される。この構成においては、温度環境が変化した場合に、移動体１３が基台１１とは異なる度合いで膨張するため、移動体１３から一対のガイド部材１２に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生する。移動装置１においては、一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に板バネ１４１が配置されており、ガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力は、この板バネ１４１の変形により吸収される。この構成によると、ガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材１２に対して直接にかかることがないので、ガイド部材１２の変形が抑制される。また、その結果、基台１１の変形も抑制される。
【００４８】
また、上記の実施の形態においては、板バネ１４１が、ガイド部材１２の延在方向に沿って配列された３個のブロック部４２，４１，４２と、隣接するブロック部を連結する薄板部４３とを備え、両側のブロック部（側方ブロック部４２）が移動体に、中央のブロック部（中央ブロック部４１）が摺動部材であるリニアガイドベアリング１２１に、それぞれ固定される。この構成によると、ガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が生じた場合に、板バネ１４１は中央ブロック部４１を中心としてガイド部材１２と直交する軸に対してほぼ対称に変形する。したがって、移動体、および、摺動部材に対する板バネの固定が緩みにくい。より具体的には、ネジ１０１，１０２が緩みにくい。
【００４９】
また、上記の実施の形態においては、板バネ１４１の剛性がガイド部材１２の剛性よりも小さいので、移動体１３から板バネ１４１に対してかかる、一対のガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が、想定外に大きくなった場合に、ガイド部材１２よりも先に板バネ１４１が破壊されることになる。つまり、この構成によると、ガイド部材１２の破損を回避できる。また一方で、板バネ１４１の剛性が、ガイド部材１２の剛性の５分の１以上であるので、移動体１３を安定的に搬送できる。
【００５０】
また、上記の実施の形態においては、板バネ１４１が、その備える薄板部４３にくびれ部４３１が形成されることによって、薄板部４３を、連結方向と交差する方向について撓みやすいものとされている。この構成によると、板バネ１４１に適切な剛性を与えつつ、特定の方向（具体的には、ブロック部４１，４２の配列方向と交差する方向）について適切な可撓性を付与することができる。例えば、板バネ１４１の剛性を高めるためには、板バネ１４１の厚みを比較的厚く形成する、板バネ１４１を比較的剛性の高い材料により形成する、薄板部４３の延在方向についての長さを短くする、といった方法がある。これらを適用して板バネ１４１に必要な剛性を付与した場合、そのままでは、板バネ１４１は、ブロック部４１，４２の配列方向と交差する方向について変形しにくいものとなるところ、薄板部４３にくびれ部４３１を形成することによって、板バネ１４１の剛性を大きく損なうことなく、板バネ１４１を当該方向についての適切な可撓性を付与することができる。
【００５１】
＜II．塗布装置２＞
移動装置１を適用した装置の構成例として、例えば、透明基板に、スペーサ粒子を分散させた液体（スペーサ粒子分散液）を、インクジェット方式により塗布する塗布装置が挙げられる。この塗布装置は、液晶表示装置の製造におけるギャップ形成工程に用いられる。ギャップ形成工程とは、液晶の封入工程等の前工程として行われる工程であり、透明基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する工程である。ギャップ形成工程は、具体的には、例えば次のように行われる。まず、塗布装置２が、透明基板に構成されたブラックマトリックス（基板の表面に構成された画素領域（レッドのカラーフィルターの領域、グリーンのカラーフィルターの領域、および、ブルーのカラーフィルターの領域）を区画するブラックマトリックス）内の各目標領域に向けて、スペーサ粒子分散液を吐出する。スペーサ粒子分散液が塗布されると、続いて、透明基板は、ホットプレート等を用いて加熱される。すると、スペーサ粒子分散液から揮発成分が蒸発し、これによって、表面張力により各目標領域においてスペーサ粒子同士が互いに集まって接触する。さらに加熱が進むと、各スペーサ粒子が焼成されて互いに固着するとともに、透明基板Ｗの表面に対しても強い力で固着する。これによって、目標領域にスペーサ領域が形成される。すなわち、透明基板Ｗの表面に、液晶層封入用のギャップが形成される。
【００５２】
＜１．装置構成＞
＜１−１．全体構成＞
以下において、移動装置１を適用した塗布装置２の構成について、具体的に説明する。図６は塗布装置２の構成を示す斜視図である。なお、以下の説明において明らかになるように、塗布装置２においては、上述した移動装置１の基台１１は「基台２１」に相当し、ガイド部材１２は「ガイド部材２２」に相当し、移動体１３は「洗浄部２３」に相当する。
【００５３】
塗布装置２は、基台２１と、基台２１上に設置された一対のガイド部材２２とを備える。また、一対のガイド部材２２に沿って移動可能な洗浄部２３とステージ２４とを備える。具体的には、一対のガイド部材２２のそれぞれには、例えば、ガイド部材２２に摺動しながら当該ガイド部材２２に沿って移動可能な摺動部材（例えば、リニアガイドベアリング）２２１（図９）が設置されており、洗浄部２３は、当該リニアガイドベアリング２２１、および、支持構造１４を介して一対のガイド部材２２上に支持される（図９参照）。また、ステージ２４は、当該リニアガイドベアリングを介して一対のガイド部材２２上に支持される。
【００５４】
洗浄部２３（具体的には、洗浄部２３が備える支持部材３８）、および、ステージ２４の下方には、駆動部としてのリニアモータ２５の固定子２２３が配置されるとともに、支持部材３８の下面、および、ステージ２４の下面のそれぞれには、リニアモータ２５の可動子２２２（図９参照）が配設される。したがって、洗浄部２３とステージ２４とは、リニアモータ２５の駆動をうけることにより、それぞれ独立に、一対のガイド部材２２に案内された状態でガイド部材２２の延在方向に沿って滑らかに移動する。
【００５５】
ただし、洗浄部２３は、後述するヘッドユニット２６を洗浄する機能部である。また、ステージ２４は、処理対象となる透明基板Ｗを載置するための部材である。
【００５６】
塗布装置２は、さらに、ステージ２４に載置された透明基板Ｗに対してスペーサ粒子分散液を吐出する複数（例えば、１２個）のヘッド（インクジェットヘッド）ユニット２６を備える。複数のヘッドユニット２６は、ステージ２４の移動方向（すなわち、ガイド部材２２の延在方向）と直交する方向に沿って配列されて、基台２１を跨ぐようにして配置されたガントリー２７によって支持されている。
【００５７】
また、塗布装置２は、基台２１の両端部（ガイド部材２２の延在方向と直交する方向の両端部）に配設され、ガントリー２７の端部をそれぞれ支持する一対のリニアモータ２８を備える。一対のリニアモータ２８がそれぞれ個別に駆動されることにより、ガントリー２７が、ステージ２４の移動方向に対してなす角度（交差角度）が変更可能とされている。すなわち、ガントリー２７に支持された各ヘッドユニット２６が、ステージ２４の移動方向に対してなす角度（交差角度）が変更可能とされている。
【００５８】
また、塗布装置２は、基台２１の一端に配置された乾燥防止部２９を備える。乾燥防止部２９は、ヘッドユニット２６の乾燥を防止するための機能部であり、ヘッドユニット２６と同数個配設される。各ヘッドユニット２６は、待機時においてはこれらの乾燥防止部２９のいずれかと対向する位置に配置されることによってヘッドユニット２６が備える各ヘッド２６２の乾燥が防止される。
【００５９】
また、塗布装置２は、自装置が備える各部を制御する制御部２０を備える。後に詳細に説明するが、塗布装置２において透明基板Ｗに対する塗布処理を実行させる場合、制御部２０は、リニアモータ２５を駆動して透明基板Ｗを載置したステージ２４をガイド部材２２に沿って移動させつつ、複数のヘッドユニット２６のそれぞれからスペーサ粒子分散液を吐出させる。また、後に詳細に説明するが、洗浄部２３にヘッドユニット２６の洗浄処理を実行させる場合、制御部２０は、リニアモータ２５を駆動して洗浄部２３をガイド部材２２に沿って移動させるとともに、後述する各部を制御して、洗浄部２３を、複数のヘッドユニット２６のうち洗浄対象となるヘッドユニット２６の下方まで移動させる。当該位置において、洗浄部２３は、上方に向けて洗浄液を吐出して、対象となるヘッドユニット２６を洗浄する。
【００６０】
透明基板Ｗにスペーサ粒子分散液を塗布する塗布処理においては、高い塗布精度が要求される。このため、塗布精度に影響のある機能部（具体的には、ステージ２４、ガイド部材２２、ヘッドユニット２６、ガントリー２７等）は熱により変形しにくい石材（例えば、斑糲岩）を用いて形成される。一方、塗布精度に対する影響が比較的少ない機能部である洗浄部２３は、石材よりも軽量かつ安価な材料であるアルミニウムを用いて形成される。洗浄部２３が石材よりも安価な部材を用いて形成されることにより、塗布装置２の製造コストが低減される。また、洗浄部２３が石材よりも軽量な部材を用いて形成されることにより、洗浄部２３の軽量化が実現される。洗浄部２３が軽量化されると、洗浄部２３をガイド部材２２に沿って材移動させるための駆動部の負担を増大させることなく（すなわち、駆動部を大型化することなく）、洗浄部２３の移動速度を上げることが可能となり、塗布装置２における処理効率が向上する。
【００６１】
＜１−２．各部の構成＞
塗布装置２が備える各部の構成について、詳細に説明する。
【００６２】
＜１−２−１．ヘッドユニット２６＞
ヘッドユニット２６の構成について、図７〜図８を参照しながら説明する。図７は、ヘッドユニット２６をその下面から見た斜視図である。図８は、ヘッドユニット駆動機構２６３を示す斜視図である。なお、ガントリー２７に支持された複数のヘッドユニット２６のそれぞれは同じ構成を有している。以下においては、一のヘッドユニット２６の構成のみを説明する。
【００６３】
ヘッドユニット２６の下方には、ヘッド支持板２６１が配設されており、各ヘッド支持板２６１には、複数（例えば、５個）のヘッド（インクジェットヘッド）２６２が配設されている。各ヘッド２６２には、多数の吐出口２６２１が一方向に列設されている。各吐出口２６２１からは、スペーサ粒子分散液が吐出される。
【００６４】
上述したとおり、複数のヘッドユニット２６を支持するガントリー２７の両端部（ガイド部材２２の延在方向と交差する方向の両端部）にはリニアモータ２８が配置され、これらが個別に駆動されることによってガントリー２７（すなわち、ガントリー２７に支持された各ヘッドユニット２６）がステージ２４の移動方向に対してなす角度が変更可能とされている（図６参照）。つまりは、吐出口２６２１の列設方向がステージ２４の移動方向に対してなす角度が変更可能とされている。ここで、吐出口２６２１の列設方向がステージ２４の移動方向に対してなす角度が大きくなればなるほど、ステージ２４の移動方向と直交する方向からみた吐出口２６２１のピッチ間隔が小さくなる。つまり、ガントリー２７がステージ２４の移動方向に対してなす角度を調整することによって、スペーサ粒子分散液の吐出間隔を調整することができる。
【００６５】
また、各ヘッドユニット２６には、これをガントリー２７の延在方向（すなわち、ステージ２４の移動方向と交差する方向）に沿って移動させる機構（ヘッドユニット駆動機構）２６３が設けられる。
【００６６】
ヘッドユニット駆動機構２６３は、具体的には、ガントリー２７の両端部（ガイド部材２２の延在方向に沿う方向の両端部）に配置されたリニアガイド２６３１と、リニアスケール２６３２と、リニアモータ２６３３とを備える。これら各部は、その長手方向を、複数のヘッドユニット２６の列設方向（ガイド部材２２の延在方向と交差する方向）に沿わせて配設される。また、ヘッドユニット駆動機構２６３は、ヘッド支持板２６１の下面に配設された、リニアモータ２６３３の可動子（図示省略）を備える。これにより、リニアモータ２６３が駆動されると、ヘッド支持板２６１は、その両端をリニアガイド２６３１に案内された状態で、リニアガイド２６３１に沿って移動することができる。また、その移動量は、リニアスケール２６３２により測定される。各ヘッドユニット２６が設定された移動量だけリニアガイド２６３１に沿って移動されることにより、ヘッドユニット２６間のピッチが変更される。ヘッドユニット２６間のピッチを変更することによって、ヘッド２６２間のピッチ、ひいては、スペーサ粒子分散液の吐出間隔を調整することができる。
【００６７】
つまり、塗布装置２においては、ガントリー２７がステージ２４の移動方向に対してなす角度と、ヘッドユニット２６間のピッチとを複合的に調整することによって、ステージ２４の移動方向に対するスペーサ粒子分散液の吐出間隔を、処理対象となる透明基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの間隔に対応させることができるようになっている。
【００６８】
＜１−２−２．洗浄部２３＞
＜全体構成＞
洗浄部２３の全体の構成について、図９を参照しながら説明する。図９は、洗浄部２３の構成を示す斜視図である。
【００６９】
洗浄部２３は、洗浄ボックス３１と、超音波洗浄ユニット３２とを備える。洗浄ボックス３１は、洗浄液をヘッド２６２に向けて吐出することにより、ヘッド２６２の洗浄を行う機能部であり、その具体的な構成については後に説明する。超音波洗浄ユニット３２は、超音波振動が付与された洗浄液を貯留する超音波洗浄槽を備え、この超音波洗浄槽内にヘッド２６２を浸漬することにより超音波洗浄を行う。
【００７０】
洗浄部２３は、さらに、洗浄ボックス３１の下方に配置され、洗浄ボックス３１をヘッド２６２が備える吐出口２６２１の列設方向に沿って往復移動させる第１駆動機構３３を備える。ただし、その往復移動距離は、吐出口２６２１の列設幅に相当する距離となっている。第１駆動機構３３は、例えば、モータと、当該モータの駆動を受けて回転するネジと、当該ネジに螺合し、洗浄ボックス３１と連結されたナット等から構成することができる。この構成においては、モータを駆動してネジを回転させることによって、ナットに固定された洗浄ボックス３１を移動させることができる。また、超音波洗浄ユニット３２の下方にも、これをヘッド２６２が備える吐出口２６２１の列設方向に沿って往復移動させる駆動機構３４が配置される。当該駆動機構３４の構成は、第１駆動機構３３と同様のものとすることができる。
【００７１】
洗浄部２３は、さらに、洗浄ボックス３１、超音波洗浄ユニット３２、および、これらのそれぞれに配設された駆動機構３３，３４を載置する回転テーブル３５と、回転テーブル３５を回動させる第２駆動機構（図示省略）とを備える。第２駆動機構は、例えば、回転テーブル３５の下方に固定された回動部材と、当該回動部材に連結するネジと、当該ネジを回転するモータ等から構成することができる。この構成においては、モータを駆動してネジを回転させると、回動部材がその中央部を中心として回動し、これによって、回動部材に固定された回転テーブル３５が回動することになる。
【００７２】
洗浄部２３は、さらに、回転テーブル３５と第２駆動機構とを載置する移動テーブル３６と、移動テーブル３６をステージ２４の移動方向と直交する方向に往復移動させる第３移動機構３７とを備える。第３移動機構３７は、ステージ２４の移動方向と直交する方向に延びる支持架３７１と、支持架３７１上に配設されたリニアモータ３７２および一対のリニアガイド３７３とを備える。この構成においては、リニアモータ３７２を駆動すると、移動テーブル３６は、一対のリニアガイド３７３に沿って、ステージ２４の移動方向と直交する方向に往復移動する。
【００７３】
洗浄部２３は、さらに、上述した各部３１〜３７を支持する支持部材３８を備える。上述したとおり、支持部材３８は、一対のガイド部材２２のそれぞれに設置されたリニアガイドベアリング２２１、および、支持構造１４を介して基台１１に配設された一対のガイド部材２２上に支持されている。また、支持部材３８の下方には、駆動部としてのリニアモータ２５の固定子２２３が配置されるとともに、支持部材３８の下面にはリニアモータ２５の可動子２２２が配設される。この構成においては、リニアモータ２５を駆動すると、支持部材３８は、一対のガイド部材２２に沿って往復移動する。
【００７４】
ここで、支持構造１４の構成は、上述したとおりである。すなわち、支持構造１４は、一対のガイド部材２２のうちの一方のガイド部材２２ａ（より具体的には、ガイド部材２２ａに設置されたリニアガイドベアリング２２１）と支持部材３８との間に挟み込まれるようにして配置される１以上（例えば、２個）の板バネ１４１と、他方のガイド部材２２ｂ（より具体的には、ガイド部材２２ｂに配置されたリニアガイドベアリング２２１）と支持部材３８との間に挟み込まれるようにして配置される１以上（例えば、２個）のスペーサブロック１４２とを備える。板バネ１４１の構成は、上述したとおりである。
【００７５】
＜洗浄ボックス３１＞
洗浄ボックス３１は、複数個（例えば、５個）の洗浄ユニット３１１と、洗浄ユニット３１１と同数個の捕獲部３１２と、洗浄ユニット３１１と同数個の吸引キャップ３１３と、複数の洗浄ユニット３１１を昇降させる昇降機構３１４（図１１参照）とを備える。
【００７６】
洗浄ユニット３１１の構成について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、洗浄ユニット３１１の構成を示す図である。
【００７７】
洗浄ユニット３１１は、基部５１に形成された洗浄液吐出口５２と、同じく基部５１に形成された洗浄液の回収口５３と、基部５１上に配設された当接ブロック５４とを備える。これら各部は、洗浄ボックス３１の上面に形成された開口部３００内に配置される。洗浄液吐出口５２は、洗浄液（例えば、純水）を供給する供給管５５と接続されており、供給された洗浄液を上方（鉛直上方）に向けて吐出する。また、回収口５３は、回収管５６と接続されており、洗浄に供された洗浄液を回収する。当接ブロック５４は、一対の当接部５４１を有し、これらの間に洗浄液吸引口５４２が形成されている。
【００７８】
洗浄ユニット３１１においてヘッド２６２を洗浄する場合、後述する昇降機構３１４の駆動を受けて、洗浄ユニット３１１は、その備える当接ブロック５４の一対の当接部５４１が、ヘッド２６２の下面と当接する位置におかれる。この位置においては、洗浄液吐出口５２が、ヘッド２６２の吐出口２６２１から、その吐出方向について第１の距離だけ離隔するとともに、洗浄液吸引口５４２が、吐出口２６２１から、その吐出方向について第１の距離より小さい距離だけ離隔した位置に配置される。また、洗浄液吐出口５２は、吐出口２６２１の列設方向と直交する方向について吐出口２６２１から第２の距離だけ離隔した位置に配置される。この位置関係において、洗浄液吐出口５２が上方に向けて洗浄液を吐出すると、当該洗浄液は、ヘッド２６２の下面おける、吐出口２６２１の列設方向と直交する方向に第２の距離だけ離隔した位置に衝突し、横方向に広がる。これによって、ヘッド２６２の下面が洗浄される。なお、この構成においては、洗浄液は吐出口２６２１に直接には衝突しないので、洗浄液が吐出口２６２１に浸入しにくい。ヘッド２６２の下面に付着した洗浄液は、洗浄液吸引口５４２から吸引される。また、ヘッド２６２の下面から落下した純水は、回収口５３から回収される。
【００７９】
再び図９を参照する。捕獲部３１２は、不要な洗浄液、および、不要なスペーサ粒子分散液を外部に排出するための機構である。ヘッド２６２の吐出口２６２１から不要な洗浄液等を吐出する必要がある場合、各ヘッド２６２は、各捕獲部３１２と対向する位置まで移動され、当該位置において不要な洗浄液等を捕獲部３１２に対して吐出する。捕獲部３１２に捕獲された洗浄液等は、外部に排出される。これにより、吐出口２６２１から不要な純水やスペーサ粒子分散液が滴下する等により装置が汚染されることが防止される。
【００８０】
吸引キャップ３１３は、ヘッド２６２の吐出口２６２１を吸引して、吐出口２６２１の閉塞を防止するための機構である。吸引キャップ３１３は、具体的には、ヘッド２６２の下面と当接する部分にフッ素ゴム等により形成された弾性シール部材を備える。ヘッド２６２の吐出口２６２１を吸引する場合、各ヘッド２６２は、各吸引キャップ３１３と対向する位置まで移動される。そして、吸引キャップ３１３は、その備える弾性シール部材をヘッド２６２の下面に当接させることにより密閉空間を形成し、当該密閉空間を吸引する。
【００８１】
昇降機構３１４の構成について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、昇降機構３１４の構成を示す図である。
【００８２】
昇降機構３１４は、複数の洗浄ユニット３１１を昇降させて、複数の洗浄ユニット３１１とインクジェットヘッド１８の下面との離間距離を調整する。昇降機構３１４は、一対のモータ６１と、これの駆動により昇降する昇降架６２と、一端が昇降架６２に着設され、他端が各洗浄ユニット３１１に着設された一対のバネ部材６３とを備える。すなわち、各洗浄ユニット３１１は、一対のバネ部材６３を介して昇降架６２と連結される。この構成において、モータ６１が駆動されると、昇降架６２が昇降する。昇降架６２が下降位置にあるときには、洗浄ユニット３１１は、その備える当接ブロック５４が、ヘッド２６２の下面から離隔した位置におかれる。また、この状態から昇降架６２が上昇位置に移動されると、洗浄ユニット３１１は、その備える当接ブロック５４が、ヘッド２６２の下面と当接する位置におかれる。
【００８３】
＜２．処理の流れ＞
＜２−１．塗布処理＞
塗布装置２により実行される塗布処理の流れを説明する。まず、制御部２０は、ヘッド２６２の位置調整を行って、ステージ２４の移動方向に対するスペーサ粒子分散液の吐出間隔を、処理対象となる透明基板Ｗに形成されたブラックマトリクスの間隔に対応させる。具体的には、制御部２０は、ガントリー２７の一方の両端部（ガイド部材２２の延在方向と直交する方向の両端部）に配置されたリニアモータ２８を駆動することによってガントリー２７に支持された各ヘッドユニット２６がステージ２４の移動方向に対してなす角度を調整するとともに、ガントリー２７の他方の両端部（ガイド部材２２の延在方向に沿う方向の両端部）に配置されたリニアモータ２６３３を駆動することによって各ヘッドユニット２６間のピッチを調整する。
【００８４】
処理対象となる透明基板Ｗがステージ２４上に位置決めされて固定されると、制御部２０は、リニアモータ２５を駆動して、透明基板Ｗを載置したステージ２４をガイド部材２２に沿って移動させつつ、複数のヘッドユニット２６における各ヘッド２６２の吐出口２６２１のそれぞれからスペーサ粒子分散液を吐出させる。これによって、透明基板Ｗのブラックマトリックス上にスペーサ粒子が塗布されていく。
【００８５】
＜２−２．洗浄処理＞
上記の塗布処理においては、微細なスペーサ粒子分散液の液滴を連続して大量に吐出するためにヘッドユニット２６のヘッド２６２が汚染されやすく、例えばスペーサ粒子分散液の液滴が気流の影響を受けてヘッド２６２の下面に付着することによって、一部の吐出口２６２１からスペーサ粒子分散液が吐出しない（所謂、ノズル欠け）、吐出されるスペーサ粒子分散液の液滴の方向が変化する（所謂、飛翔曲がり）といった現象が発生してしまう。そこで、塗布装置２においては、定期的に、あるいは、不定期に、洗浄部２３によりヘッド２６２の洗浄処理が行われる。次に、この洗浄処理の流れを説明する。
【００８６】
ヘッド２６２の洗浄処理を行う場合、制御部２０は、まず、リニアモータ２５を駆動して洗浄部２３をガイド部材２２に沿って移動させ、洗浄部２３をガントリー２７に近接する位置まで移動させる。続いて、制御部２０は、第３駆動機構２３７を駆動して移動テーブル３６をリニアガイド３７３に沿って移動させ、移動テーブル３６を洗浄対象となるヘッドユニット２６と対向する位置まで移動させる。さらに、制御部２０は、第２駆動機構を駆動して回転テーブル３５を回動させ、洗浄ボックス３１における洗浄ユニット３１１の列設方向を、洗浄対象となるヘッドユニット２６におけるヘッド２６２の吐出口２６２１の列設方向と一致させる。
【００８７】
続いて、制御部２０は、昇降機構３１４を制御して、複数の洗浄ユニット３１１を同期して上昇させ、洗浄ユニット３１１の当接ブロック５４の一対の当接部５４１をヘッド２６２の下面に当接させる。
【００８８】
続いて、制御部２０は、洗浄液吐出口５２から上方に向けて洗浄液を吐出させる。吐出された洗浄液は、ヘッド２６２の下面（具体的には、ヘッド２６２の下面における、吐出口２６２１の列設方向と直交する方向に第２の距離だけ離隔した位置）に衝突し、これによって、ヘッド２６２の下面が洗浄される。このとき、ヘッド２６２の下面に付着した洗浄液は、洗浄液吸引口５４２から吸引される。また、ヘッド２６２の下面から落下した純水は、回収口５３から回収される。
【００８９】
洗浄液吐出口５２から洗浄液を吐出させる一方で、制御部２０は、第１駆動機構３３を駆動して洗浄ボックス３１を吐出口２６２１の列設方向に沿って移動させる。すなわち、複数の洗浄ユニット３１１を一括して、吐出口２６２１の列設方向に沿って移動させる。これによって、吐出口２６２１の配設領域の全体が順に洗浄されていく。洗浄ユニット３１１が吐出口２６２１の列設方向のサイズに相当する距離だけ移動すると、ヘッド２６２の洗浄が終了する。
【００９０】
なお、上記の一連の洗浄動作と同様に、吸引キャップ３１３による吐出口２６２１の吸引動作、および、捕獲部３１２による排出動作が適宜実行される。また、吐出口２６２１が閉鎖した場合等においては、超音波洗浄ユニット３２による洗浄が実行される。
【００９１】
＜３．効果＞
移動装置１を適用した塗布装置２においても、移動装置１と同様の効果を得ることができる。すなわち、塗布装置２においては、基台２１と洗浄部２３とが熱膨張率の異なる材料で形成される。この構成においては、温度環境が変化した場合に、洗浄部２３が基台２１とは異なる度合いで膨張するため、洗浄部２３から一対のガイド部材２２に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生する。塗布装置２においては、一方のガイド部材２２ａと洗浄部２３との間に板バネ１４１が配置されており、ガイド部材２２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力は、この板バネ１４１の変形により吸収される。したがって、ガイド部材２２の変形が抑制される。また、基台２１の変形も抑制される。ガイド部材２２、および、基台２１の変形が抑制されることによって、塗布処理における精度が担保される。
【００９２】
特に、塗布装置２においては、基台２１とステージ２４は、熱変化で変形しにくい石材で形成されるので、スペーサ粒子分散液の塗布精度を常に良好に維持することができる。一方で、塗布精度に直接的な影響を与えない洗浄部２３は、石材よりも軽量かつ安価なアルミニウムで形成されるので、装置の製造コストを抑えることができるとともに、洗浄部２３の搬送速度を上げて装置の処理効率を向上させることができる。
【００９３】
＜III．その他の実施の形態＞
上記の実施の形態に係る移動装置１においては、板バネ１４１が一体に形成された２個の平行板バネ部４０を備える構成としたが、板バネ１４１は必ずしも２個の平行板バネ部４０を備えなくともよい。図１２には、平行板バネ部を１個備える板バネ１７１を備える支持構造１７の構成が例示されている。
【００９４】
支持構造１７が備える板バネ１７１は、２個のブロック部７１，７１と、これらを連結する一対の薄板部７２とを備える。各ブロック部７１，７１には、複数個（好ましくは、３個以上）の貫通孔が形成される。そして、一方のブロック部７１の各貫通孔にそれぞれ挿通されたネジ１０５がガイド部材１２ａに配設されたリニアガイドベアリング（図示省略）に固定される、また、他方のブロック部７１の各貫通孔にそれぞれ挿通されたネジ１０６が移動体１３の底面に固定される。薄板部７２の構成は、板バネ１４１が備える薄板部４３の構成と同様である。
【００９５】
この構成に係る支持構造１７においても、ガイド部材１２の変形が抑制される。すなわち、移動体１３から一対のガイド部材１２に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生すると、一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１７１が変形する（具体的には、一方のブロック部７１に対して他方のブロック部７１が外側（あるいは、内側）にずれるように変形する。また、薄板部７２は連結方向と交差する方向に撓むように変形する）ことにより、当該力を吸収する。したがって、ガイド部材１２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材１２に対して直接にかかることがないので、ガイド部材１２の変形が抑制される。
【００９６】
また、上記の実施の形態に係る移動装置１においては、板バネ１４１は、中央ブロック部４１においてリニアガイドベアリング１２１に固定される構成とし、各側方ブロック部４２において移動体１３に固定される構成としたが、逆の構成であってもよい。すなわち、板バネ１４１は、中央ブロック部４１において移動体１３に固定される構成とし、各側方ブロック部４２においてリニアガイドベアリング１２１に固定される構成としてもよい。この場合、中央ブロック部４１に形成された複数の貫通孔４１１のそれぞれに下側から挿通されたネジで板バネ１４１を移動体１３の底面に固定するとともに、側方ブロック部４２に形成された複数の貫通孔４２１のそれぞれに上側から挿通されたネジで板バネ１４１をガイド部材１２ａに配設されたリニアガイドベアリング１２１に固定すればよい。
【００９７】
また、上記の実施の形態に係る移動装置１においては、板バネ１４１は、その薄板部４３の両端にくびれ部４３１が形成されていたが、くびれ部４３１は必ずしも形成されなくともよい。くびれ部４３１を形成しない場合、例えば、薄板部４３の延在方向についての長さを長くすることによって、板バネ１４１をＸ方向について撓みやすくすることができる。ただし、この場合、板バネ１４１の全体のサイズが大きくなるために、板バネ１４１が重量化してしまうという難点がある。したがって、板バネ１４１の重量化を避けたい場合は、くびれ部４３１を形成する構成を採用する方が好ましい。
【００９８】
また、くびれ部４３１は、各薄板部４３の両端ではなく一端のみに形成されてもよい。また、くびれ部４３１は、板バネ１４１が備える複数の薄板部４３のうちの特定の薄板部４３だけに形成されてもよい。
【００９９】
また、上記の実施の形態においては、支持構造１４は、一対のガイド部材１２のうちの一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置される板バネ１４１と、他方のガイド部材１２ｂと移動体１３との間に配置されるスペーサブロック１４２とを備える構成としたが、スペーサブロック１４２に代えて板バネ１４１を備える構成としてもよい。すなわち、各ガイド部材１２ａ，１２ｂと、移動体１３との間に、板バネ１４１を配置する構成としてもよい。
【０１００】
また、上記の実施の形態においては、移動装置１は、一対のガイド部材１２が一組配設される構成としたが、一対のガイド部材が二組以上配設される構成であってもよい。図１３には、一対のガイド部材を二組備える移動装置８の構成が例示されている。
【０１０１】
移動装置８は、基台８１と、基台８１上に設置された４本のガイド部材８２ａ〜８２ｄとを備える。また、４本のガイド部材８２ａ〜８２ｄに沿って移動可能に構成された移動体８３と、移動体８３とガイド部材８２ａ〜８２ｄとの間に設けられた支持構造８４とを備える。ここでは、基台８１と移動体８３とが熱膨張率の異なる材料で形成されてもよい。
【０１０２】
支持構造８４は、４本のガイド部材８２ａ〜８２ｄのうちの一のガイド部材８２ｄ（より具体的には、ガイド部材８２ｄに設置されたリニアガイドベアリング）と移動体８３との間に挟み込まれるようにして配置される１以上（例えば、２個）のスペーサブロック８４２と、他の３本のガイド部材８２ａ〜８２ｃのそれぞれ（より具体的には、３本のガイド部材８２ａ，８２ｂ，８２ｃのそれぞれに配置されたリニアガイドベアリング）と移動体８３との間に挟み込まれるようにして配置される１以上（例えば、２個）の板バネ８４１を備える。板バネ８４１の構成は、上記の実施の形態に係る板バネ１４１と同様である。
【０１０３】
上記の移動装置８においても、上記の実施の形態に係る移動装置１と同様の効果を得ることができる。すなわち、温度環境が変化した場合に、移動体８３からガイド部材８２ａ〜８２ｄに対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生すると、ガイド部材８２ａ，８２ｂ、８２ｃと移動体８３との間に配置された板バネ８７１が変形することにより、当該力を吸収する。したがって、ガイド部材８２ａ〜８２ｄの離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材８２ａ〜８２ｄに対して直接にかかることがないので、ガイド部材８２ａ〜８２ｄの変形が抑制される。
【０１０４】
また、上記においては、移動装置１を適用した装置の具体例として塗布装置２を示した。上記に説明した塗布装置２においては、ステージ２４、ガイド部材２２、ヘッドユニット２６、ガントリー２７等は石材を用いて形成され、洗浄部２３はアルミニウムを用いて形成されるものとしたが、各部を形成する材料はこれらに限らない。
【０１０５】
また、上記においては、移動装置１を適用した装置の具体例として塗布装置２を示したが、移動装置１は、塗布装置２以外の装置にも適用可能である。図１４には、移動装置１を適用した別の装置の構成例である処理装置９が模式的に示されている。
【０１０６】
処理装置９は、基台９１と、基台９１上に設置された一対のガイド部材９２とを備える。また、一対のガイド部材９２に沿って移動可能に構成されたステージ９３と、ステージ９３とガイド部材９２との間に設けられた支持構造９４とを備える。支持構造９４の構成は、上記の実施の形態に係る支持構造１４と同様である。すなわち、支持構造９４は、一対のガイド部材９２のうちの一方のガイド部材９２ａとステージ９３との間に配置される１以上（例えば、２個）の板バネ１４１と、他方のガイド部材９２ｂとステージ９３との間に配置される１以上（例えば、２個）のスペーサブロック１４２とを備える。処理装置９においては、上述した移動装置１の基台１１は「基台９１」に相当し、ガイド部材１２は「ガイド部材９２」に相当し、移動体１３は「ステージ９３」に相当する。
【０１０７】
処理装置９においては、基台９１とステージ９３とは互いに熱膨張率の異なる材料でそれぞれ形成される。
【０１０８】
処理装置９は、さらに、ステージ９３上に載置された対象物９０に対して光・液体等を供給することによって、対象物９０に対する処理を行う処理部９５を備える。処理装置９においては、対象物９０を載置したステージ９３をガイド部材９２に沿って移動させつつ、処理部９５から対象物９０に対して光・液体等を供給させることによって、対象物９０に対する処理が実行される。
【０１０９】
処理装置９においても、上記の実施の形態に係る塗布装置２と同様の効果を得ることができる。すなわち、温度環境が変化した場合に、ステージ９３から一対のガイド部材９２に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生すると、ガイド部材９２ａとステージ９３との間に配置された板バネ１４１が変形することにより、当該力を吸収する。したがって、ガイド部材９２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材９２に対して直接にかかることがないので、ガイド部材９２の変形が抑制される。
【０１１０】
なお、上記に例示した処理装置９の具体例として、処理対象となる基板を載置するステージを基台に対して移動させつつ、基台に対して固定された露光処理部から、ステージ上の基板に対して光を照射して、基板に対する露光処理を行う露光装置が挙げられる。この場合、処理装置９における対象物９０は「基板」に相当し、処理部９５は「露光処理部」に相当する。
【０１１１】
また、上記に例示した処理装置９の別の具体例として、処理対象となる基板を載置するステージを基台に対して移動させつつ、基台に対して固定されたノズルユニットから、ステージ上の基板に対して処理液を吐出して、基板に対する塗布処理を行う塗布処理装置が挙げられる。この場合、処理装置９における対象物９０は「基板」に相当し、処理部９５は「ノズルユニット」に相当する。
【０１１２】
また、上記に例示した処理装置９の別の具体例として、処理対象となる基板を載置するステージを基台に対して移動させつつ、基台に対して固定されたノズルユニットから、ステージ上の基板に対して洗浄液を吐出して、基板に対する洗浄処理を行う洗浄処理装置が挙げられる。この場合、処理装置９における対象物９０は「基板」に相当し、処理部９５は「ノズルユニット」に相当する。
【０１１３】
また、上記に示した処理装置９において、処理部９５が、基台９１とは熱膨張率の異なる材料で形成されるとともに、一対のガイド部材９２に沿って移動可能に構成されてもよい。この場合、処理部９５とガイド部材９２との間にも支持構造９４を設ける。この構成に係る処理装置においては、対象物９０を載置したステージ９３を基台９１上に固定して（あるいは、対象物９０を載置したステージ９３をガイド部材９２に沿って移動させつつ）、処理部９５をガイド部材９２に沿って移動させつつ対象物９０に対して光・液体等を供給させることによって、対象物９０に対する処理が実行される。
【０１１４】
この構成に係る処理装置においても、上記の実施の形態に係る塗布装置２と同様の効果を得ることができる。すなわち、温度環境が変化した場合に、処理部９５から一対のガイド部材９２に対して、その離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力が発生すると、ガイド部材９２ａと処理部９５との間に配置された板バネ１４１が変形することにより、当該力を吸収する。したがって、ガイド部材９２の離間幅を広げよう（あるいは、狭めよう）とする力がガイド部材９２に対して直接にかかることがないので、ガイド部材９２の変形が抑制される。
【０１１５】
なお、上記に例示した処理装置の具体例として、処理液を吐出するノズル（例えば、スリットノズル）を備えるノズルユニットを処理対象となる基板を載置したステージに対して移動させつつ、ノズルユニットから、ステージ上の基板に対して処理液を吐出して、基板に対する塗布処理を行う塗布処理装置が挙げられる。
【０１１６】
また、上記に例示した処理装置の別の具体例として、光源から対象物に対して光を照射し、その反射光に基づいて異常等を検出する検査部を備える検査ユニットを、検査対象となる基板を載置したステージに対して移動させつつ、検査ユニットから、ステージ上の基板に対して光を照射して、基板の検査を行う検査装置が挙げられる。
【実施例１】
【０１１７】
上記の実施の形態に係る移動装置１を具体的に示した実施例について説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
【０１１８】
＜１．板バネ１４１＞
実施例１に係る移動装置１が備える板バネ１４１の寸法について、図１５を参照しながら説明する。図１５は、板バネ１４１の平面図と側面図である。図１５には、説明の便宜上、ＸＹＺ座標系が付与されている。ただし、板バネ１４１の寸法は、次に例示するものに限られるものではない。
【０１１９】
以下の説明においては、板バネ１４１が備える３個のブロック部４２，４１，４２の配列方向（Ｙ方向）を、板バネ１４１の幅方向とよぶ。また、各ブロック部４１，４２の延在方向（Ｘ方向）を、板バネ１４１の奥行き方向とよぶ。また、これらと直交する方向（Ｚ方向）を、板バネ１４１の厚み方向とよぶ。
【０１２０】
板バネ１４１は、幅Ｄ１が１９５mm（ミリメートル）、奥行きＤ２が８６mm、厚みＤ３が３０mmである。また、板バネ１４１の幅方向に沿う各側方ブロック部４２の長さＤ４はいずれも２０mmである。また、板バネ１４１の幅方向に沿う中央ブロック部４１の長さＤ５は８５mmである。また、板バネ１４１の幅方向に沿う各薄板部４３の長さＤ６は３５mmである。さらに、板バネ１４１の奥行き方向に沿う各薄板部４３の長さＤ７は１６mmである。
【０１２１】
また、中央ブロック部４１に形成される４個の貫通孔４１１のそれぞれは、板バネ１４１の中心Ｐから、Ｘ方向に３０mm（Ｄ１１）、Ｙ方向に３０mm（Ｄ１２）だけ離間した位置に中心がくるように形成される。また、貫通孔４１１の直径Φ１１は８．５mmである。
【０１２２】
また、各側方ブロック部４２にそれぞれ形成される２個の貫通孔４２１のそれぞれは、板バネ１４１の中心Ｐから、Ｘ方向に３０mm（Ｄ２１）、Ｙ方向に８７．５mm（Ｄ２２）だけ離間した位置に中心がくるように形成される。また、貫通孔４２１の直径Φ１２は８．５mmである。
【０１２３】
また、薄板部４３のＹ方向に沿う一対の面のそれぞれには、断面が半円形状の柱状の切り欠き４３０が２個形成される。２個の切り欠き４３０の一方は、半円の中心が側方ブロック部４２における薄板部４３の連結面から６mm（Ｄ３１）離間した位置に形成される。また、他方の切り欠き４３０は、半円の中心が中央ブロック部４１における薄板部４３の連結面から６mm（Ｄ３２）離間した位置に形成される。また、半円の直径Φ１３は１２mmとされる。
【０１２４】
＜２．撓みやすさ＞
実施例１に係る板バネ１４１の撓みやすさについて説明する。図１６には、実施例１に係る板バネ１４１を、中央ブロック部４１に対して、各側方ブロック部４２がＸ方向に変位幅Ｒ（μｍ）だけずれるように変形した場合に、板バネ１４１の薄板部４３に生じる応力Ｔ（ＭＰａ）の測定結果が示されている。ここに示されるように、変位幅Ｒが５．４（μｍ）の場合の応力Ｔは１０．５（ＭＰａ）となる。また、変位幅Ｒが５．４（μｍ）の際のＸ方向についての横加重は４００（Ｎ）であった。
【０１２５】
実施例１に係る板バネ１４１は、鋼により構成された場合、その強度は約５００（ＭＰａ）となる。したがって、この場合、板バネ１４１で許容される最大変位幅Ｒmaxは、（式１）で与えられる。ただし、ここでは安全率を「３」としている。
【０１２６】
Ｒmax＝５００／３／１０．５×５．４≒８６（μｍ）      ・・・・（式１）
また、板バネ１４１のＸ方向についての剛性Ｈは、（式２）で与えられる。
【０１２７】
Ｈ＝４００／５．４＝７４（Ｎ／μｍ）      ・・・・（式２）
いま、移動体１３がアルミニウム（熱膨張係数２４μｍ／（ｍ・℃））を用いて形成され、基台１１が斑糲岩（熱膨張係数６μｍ／（ｍ・℃））を用いて形成されているとする。また、一対のガイド部材１２間の離間距離が１．６ｍであるとする。
【０１２８】
ここで、ガイド部材１２ａと移動体１３との間に板バネ１４１が配置されていないとした場合に、移動装置１に温度変化が生じると、移動体１３と基台１１との熱膨張率の差に起因してガイド部材１２に歪みが生じうる。移動装置１に例えば±３℃の温度変化が生じうると想定すると、板バネ１４１が配置されていないとした場合に、ガイド部材１２に生じうる最大歪み幅ｈは、（式３）で与えられる値となる。
【０１２９】
ｈ＝（２４−６）×１．６×３＝８６．４（μｍ）      ・・・・（式３）
一方、上述したとおり、板バネ１４１においては、最大で８６（μｍ）の変形が許容される。すなわち、最大で８６（μｍ）の歪みを吸収できる。つまり、ガイド部材１２と移動体１３との間に板バネ１４１を配置しておけば、±３℃の温度変化が生じたとしても、ガイド部材１２に生じうる歪みのほぼ全てが板バネ１４１において吸収され、ガイド部材１２の変形が抑制されることがわかる。
【０１３０】
また、上記の例において、ガイド部材１２の剛性は約３７０（Ｎ／μｍ）である。上述したとおり、この実施例に係る板バネ１４１の剛性Ｈは７４（Ｎ／μｍ）であり、ガイド部材１２の合成よりも十分に小さい。したがって、例えば、想定外の温度変化により板バネ１４１において移動体１３の膨張幅を吸収できなくなってしまった場合に、ガイド部材１２よりも先に板バネ１４１が破壊される。これによって、ガイド部材１２の破壊という最悪の事態を回避できる。
【０１３１】
一方、板バネ１４１の剛性Ｈは、ガイド部材１２の剛性の１／５となっている。ガイド部材１２の剛性の１／５以上の剛性を備えれば、板バネ１４１は、リニアガイドとして必要な最低限の剛性を備えていると判断することができる。すなわち、移動体１３の安定した搬送が担保される。
【符号の説明】
【０１３２】
１  移動装置
１１，２１  基台
１２，２２  ガイド部材
１３  移動体
１４  支持構造
１４１  板バネ
４１  中央ブロック部
４２  側方ブロック部
４３  薄板部
２  塗布装置
２３  洗浄部
【図１】
2012155060.tif 000003
【図２】
2012155060.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2012155060.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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