(57)【要約】【課題】被製造物等を位置合せする基準となるアライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録する作業を、位置合せの際の画像処理に必要な条件を理解していない者でも適正に行えるようにする。【解決手段】位置合せの対象物に付されたアライメントマークを撮影した画像のうち、辞書画像として登録する領域を設定する操作を行うための操作部と、制御部とを備え、制御部は、アライメントマーク３１を撮影した画像が表示される表示装置の画面２０上に、操作部の操作によって辞書画像として登録する領域を設定するためのＧＵＩ２１〜２３を表示させるとともに、辞書画像として登録する領域を設定する際の操作ガイダンス２４をウィンドウ表示させる処理と、操作部の操作によって現在設定されている領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラム２５のデータを作成し、そのデータを画面２０上にウィンドウ表示させる処理とを行う。【選択図】図６
2012037727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置合せの対象物に付されたアライメントマークを撮影した画像のうち、辞書画像として登録する領域を設定する操作を行うための操作部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記アライメントマークを撮影した画像が表示される表示装置の画面上に、前記操作部の操作によって前記辞書画像として登録する領域を設定するためのグラフィカルユーザインタフェースを表示させるとともに、前記辞書画像として登録する領域を設定する際の操作ガイダンスをウィンドウ表示させる処理と、
前記操作部の操作によって現在設定されている領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラムのデータを作成し、該データを前記表示装置の画面上にウィンドウ表示させる処理とを行う
フラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記操作ガイダンスとして、少なくとも、前記アライメントマークに対して前記辞書画像として登録する領域の大きさ及び位置を調整させるガイダンスを表示させる
請求項１記載のフラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項３】
前記制御部は、さらに、前記辞書画像として登録する領域内での前記アライメントマークの画素数と背景部分の画素数との比率を所定の値にすることを推奨するガイダンスを、前記表示装置の画面上にウィンドウ表示させる
請求項２記載のフラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項４】
前記制御部は、さらに、前記表示装置の画面における前記アライメントマークの最小線幅が所定の画素数以上となることを推奨するガイダンスを、前記表示装置の画面上にウィンドウ表示させる
請求項２又は３のいずれか１項に記載のフラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記操作ガイダンスとして、前記アライメントマークの中心を座標通知点として設定させるガイダンスをさらに表示させる
請求項２〜４のいずれか１項に記載のフラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項６】
前記制御部は、さらに、前記アライメントマークを撮影した画像を前記画面の縦方向及び横方向に投影処理した図を、前記表示装置の画面上にウィンドウ表示させる
請求項２〜５のいずれか１項に記載のフラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置。
【請求項７】
コンピュータに、
位置合せの対象物に付されたアライメントマークを撮影した画像が表示される表示装置の画面上に、辞書画像として登録する領域を設定するためのグラフィカルユーザインタフェースを表示させるとともに、前記辞書画像として登録する領域を設定する際の操作ガイダンスをウィンドウ表示させる手順と、
現在設定されている領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラムのデータを作成し、該データを前記表示装置の画面上にウィンドウ表示させる手順とを実行させる
プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、フラットディスプレイパネルの位置合せする基準となるアライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録する作業が適正に行われるようにガイダンスを行う、フラットディスプレイパネル組立装置に用いられる辞書マーク適正化ガイダンス装置及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットディスプレイパネル（例えば液晶パネルや有機ＥＬディスプレイパネル等）の製造時には、フラットディスプレイパネルに、フラットディスプレイパネルを位置合せする基準となるアライメントマークを付している。
【０００３】
図９は、こうしたアライメントマークの一例を示す図である。フラットディスプレイパネル３０の枠体の表側の面の左右の下端付近に、十字状のアライメントマーク３１が付されている。
【０００４】
フラットディスプレイパネルの製造工程では、こうしたアライメントマークが付されたフラットディスプレイパネル３０を不図示のカメラで撮影し、画像処理により、予め登録した辞書画像（アライメントマークを含んだ領域の画像）と相関度の高い領域をサーチして、フラットディスプレイパネル３０に付されたアライメントマーク３１の位置を求めている。そして、求めたアライメントマーク３１の位置を基準として、フラットディスプレイパネル３０を載置した搬送台を移動させることにより、フラットディスプレイパネル３０の位置合せを行っている。
【０００５】
こうした位置合せを行う際に用いる辞書画像を予め登録する作業は、フラットディスプレイパネルに付されたアライメントマークを撮影した画像を表示した画面上で、マウス操作等により、辞書画像として登録する領域の大きさや位置等を設定することによって行われる。（例えば特許文献１の段落０００４、００３２等）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２８４４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、こうした辞書画像の登録作業は、位置合せの際に行われる画像処理に必要な条件（画像の状態や照明照度等）を理解していない者にとっては難解である。そのため、作業に熟練していない場合には、登録が適正に行われず、製造工程での不良品生産や歩留り悪化の原因となることがある。
【０００８】
図１０は、辞書画像の登録が適正に行われなかった場合の一つとして、アライメントマークの大きさに対して、辞書画像として設定した領域（領域を設定するための登録枠のサイズ）が大きすぎた例を示す図である。図１０Ａに示すように、登録作業時に、或るアライメントマーク４０の大きさに対して、登録枠４１のサイズが大きすぎたとする。そして、図１０Ｂに示すように、位置合せの際の画像処理時に、アライメントマーク４０が画像視野の端付近に存在していたとする。すると、登録作業時に登録枠４１で囲むことによって辞書画像として登録した領域（図１０Ｂの破線内の領域）の一部が画像視野外となってしまうので、辞書画像と相関度の高い領域が見つからず、サーチエラーとなってしまう。
【０００９】
本発明は、上述の点に鑑み、位置合せの際に行われる画像処理に必要な条件を理解していない者でも、アライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録する作業を適正に行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る辞書マーク適正化ガイダンス装置は、位置合せの対象物に付されたアライメントマークを撮影した画像のうち、辞書画像として登録する領域を設定する操作を行うための操作部と、制御部とを備える。制御部は、アライメントマークを撮影した画像が表示される表示装置の画面上に、操作部の操作によって辞書画像として登録する領域を設定するためのＧＵＩ（Graphical User Interface）を表示させる。また、制御部は、辞書画像として登録する領域を設定する際の操作ガイダンスをウィンドウ表示させる処理と、操作部の操作によって現在設定されている領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラムのデータを作成し、そのデータを表示装置の画面上にウィンドウ表示させる処理とを行う。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、位置合せの際に行われる画像処理に必要な条件を理解していない者でも、アライメントマークの画像が表示される表示装置の画面上にウィンドウ表示される操作ガイダンスに従って辞書画像として登録する領域を設定することができる。そして、現在設定している領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラムを同じ画面上のウィンドウ表示で確認することにより、アライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録する作業を適正に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る辞書マーク適正化ガイダンス装置の設置例を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る辞書マーク適正化ガイダンス装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る制御部のサーチ処理を示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施の形態に係る辞書画像の登録作業時のモニターの画面の表示レイアウトを示す図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係るヒストグラムの表示内容の一例を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る投影の表示内容の一例を示す図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る操作ガイダンスの表示内容の一例を示す図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係る操作ガイダンスの表示タイミングを示す図である。
【図９】アライメントマークの一例を示す図である。
【図１０】登録枠のサイズが大きすぎた例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態を、図を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る辞書マーク適正化ガイダンス装置の設置例を示す図である。この辞書マーク適正化ガイダンス装置１は、フラットディスプレイパネル３０（図９に例示したようにアライメントマークを付したもの）の製造工程に設置されており、フラットディスプレイパネル組立装置に用いられる。そして、辞書マーク適正化ガイダンス装置１は、辞書画像の登録作業を行う装置と、フラットディスプレイパネル３０の位置合せの際の画像処理を行う装置とに兼用される。
【００１４】
辞書マーク適正化ガイダンス装置１と同じ製造工程には、フラットディスプレイパネル３０を撮影するＣＣＤカメラ１０と、モニター１１と、フラットディスプレイパネル３０を載置してその位置合せを行うためのステージ１２とが設置されている。
【００１５】
図２は、辞書マーク適正化ガイダンス装置１の構成を示すブロック図である。辞書マーク適正化ガイダンス装置１は、ファームウェアを組み込んだハードウェア装置であり、制御部２と、マウス及びキーボードから成る操作部３と、記憶部４とを備えている。操作部３は、辞書画像の登録作業時や位置合せの際の画像処理時に各種操作を行うために用いられる。記憶部４は、辞書画像データや画像処理時のサーチ結果を記憶するために用いられる。
【００１６】
図１及び図２に示すように、ＣＣＤカメラ１０で撮影したフラットディスプレイパネル３０の画像データは、辞書マーク適正化ガイダンス装置１に送られた後、制御部２を介してモニター１１に送られる。また、ＣＣＤカメラ１０のレンズ１０ａの倍率は、辞書マーク適正化ガイダンス装置１の操作部３の操作に基づき、辞書マーク適正化ガイダンス装置１の制御部２によって可変に制御される。
【００１７】
本発明は、辞書画像の登録作業時の制御部２の処理に特徴を有するものであるが、登録作業時の処理を説明する前提として、フラットディスプレイパネル３０の位置合せの際の制御部２の画像処理をまず説明する。
【００１８】
図３は、位置合せの際の制御部２の画像処理であるサーチ処理を示すフローチャートである。操作部３により、サーチ対象となる画像を確定する操作である画像フリーズ（画面取込み）（ステップＳ１）と、その画像のうちサーチ対象とするエリアを設定する操作（ステップＳ２）とが行われると、制御部２が、辞書画像サーチ処理（ステップＳ３）を行う。
【００１９】
このステップＳ３の辞書画像サーチ処理では、制御部２は、第１段階として、サーチエリア内の画像データと、予め登録されて記憶部４に記憶されている辞書画像データとを、間引き処理によって圧縮し（ステップＳ３１）、それらの圧縮画像データ同士のパターンマッチングを行う（ステップＳ３２）ことにより、おおまかなサーチによって複数の検出点を求める。検出点は、例えば図１０に示したような四角形の登録枠の左上の頂点である。
【００２０】
続いて制御部２は、第２段階として、ステップＳ３２で求めた複数の検出点を候補点として、正規化相関サーチにより、圧縮前の辞書画像を圧縮前のサーチエリア内の画像の候補点の近傍で探し（ステップＳ３３）、相関係数が予め設定した閾値を超える候補点を、最終的な検出点とする（ステップＳ３４）。このような２段階の処理を行うことにより、最初から非圧縮の画像データ同士でサーチ処理を行う場合よりも、サーチ処理を高速化することができる。
【００２１】
ステップＳ３の辞書画像サーチ処理を終えると、制御部２は、検出に成功したか（相関係数が閾値を超える候補点が存在していたか）否かを判断し（ステップＳ４）、成功していた場合にはサーチ結果を記憶部４に格納する（ステップＳ５）。失敗していればモニター１１にエラー表示を行うなどのエラー処理を行って（ステップＳ６）、サーチ処理を終了する。
【００２２】
位置合せの際には、このサーチ処理のステップＳ５で記憶されたサーチ結果に基づき、図１のステージ１２上で、アライメントマークの位置を基準としてフラットディスプレイパネル３０の位置合せが行われる。
【００２３】
次に、辞書画像の登録作業時の制御部２の処理について説明する。辞書画像の登録作業時には、制御部２は、ＣＣＤカメラ１０によって撮影されたフラットディスプレイパネル３０の画像が表示されるモニター１１の画面上に、操作部２の操作によって辞書画像として登録する領域を設定するためのＧＵＩと各種のウィンドウを表示させる。
【００２４】
図４は、この辞書画像の登録作業時のモニター１１の画面の表示レイアウトを示す図である。フラットディスプレイパネル３０の画像（図には、そのうちの十字状のアライメントマーク３１の画像も示している）が表示されるモニター１１の画面２０上に、辞書画像として登録する領域を設定するためのＧＵＩとして、登録枠２１と、センターマーク２２と、マウスカーソル２３とが表示される。
【００２５】
登録枠２１は、辞書画像として登録する領域の大きさ及び位置を設定するための枠である。登録枠２１は、操作部３中のマウスのドラッグ操作によって枠のサイズの変更及び画面上での位置の移動を行うことができる。
【００２６】
センターマーク２２は、アライメントマークの中心を座標通知点として設定するためのマークである。そして、センターマーク２２は、図３のステップＳ３２について説明したようにサーチ処理時に登録枠２１の頂点を検出点として求める場合に、検出点に対するアライメントマークの中心の位置を通知するオフセット情報の役割を持っている。センターマーク２２も、マウス操作によって画面上の位置を移動させることができる。
【００２７】
また、モニター１１の画面２０上には、操作ガイダンス２４と、ヒストグラム２５と、投影２６と、画素数比・最小線幅ガイダンス２７とがウィンドウ表示される。これらの操作ガイダンス２４及びヒストグラム２５も、マウスのドラッグ操作によって画面上の位置を移動させることができる。
【００２８】
操作ガイダンス２４は、操作部３の操作によって辞書画像として登録する領域を設定する際のガイダンス文である。操作ガイダンス２４の表示内容は操作の段階に応じて変化するが、具体的な表示内容については後述する。
【００２９】
ヒストグラム２５は、登録枠２１で囲まれている領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラムである。制御部２は、登録枠２１で囲まれている領域の大きさや位置が変化する毎に、登録枠２１で現在囲まれている領域内の画像のヒストグラムのデータを作成する処理を繰り返し、作成したヒストグラムのデータをヒストグラム２５として表示させる。
【００３０】
図５は、ヒストグラム２５の表示内容の一例を示す図である。登録枠２１で囲まれている領域について、横軸に濃淡レベル（モニター１１の各画素の８ビットの値によって示される２５６階調）を表し、縦軸に画素数を表したヒストグラムが表示される。この例では、登録枠２１で囲まれている領域内にアライメントマークが１つ含まれており、アライメントマークの濃淡レベルが背景部分の濃淡レベルよりも高くなっており、且つ、アライメントマークの画素数が背景部分の画素数よりも少なくなっている。なお、図示は省略しているが、制御部２は、ヒストグラム２５と同じウィンドウ内に、登録枠２１で現在囲まれている領域内の画素の濃淡レベルの最大値及び最小値も表示させる。
【００３１】
図４に示した投影２６は、画面２０上に表示されている画像を縦方向及び横方向に投影処理した（画面２０の縦方向上に並んだ画素の濃淡レベルの和と、画面２０の横方向上に並んだ画素の濃淡レベルの和とをそれぞれ求めた）図である。
【００３２】
図６は、投影２６の表示内容の一例を、画面２０上でのアライメントマーク３１の位置と対応させて示す図である。この例では、画面２０上にアライメントマーク３１が１つ表示されており、アライメントマーク３１の濃淡レベルが背景部分の濃淡レベルよりも高くなっている。
【００３３】
図４に示した画素数比・最小線幅ガイダンス２７は、登録枠２１で囲んだ領域内でのアライメントマークの画素数と背景部分の画素数との比率が所定の値（一例として約２：１とする）となることを推奨し、画面２０上でのアライメントマークの最小線幅（図４のような十字状のアライメントマーク３１の場合には、画面２０の横方向上の左端から右端までの幅）が所定の画素数以上（一例として８画素以上とする）となることを推奨するガイダンス文である。
【００３４】
登録枠２１で囲まれている領域内の画像は、その領域内に２つのアライメントマークが含まれるような稀な場合には三極化するが、一般にはアライメントマークと背景部分とに二極化する。（図５も、そのように二極化している状態のヒストグラムを示している。）画素数比・最小線幅ガイダンス２７における約２：１という画素数の比率は、そのように二極化している場合の経験的な推奨値である。
【００３５】
また、図３に示したように、位置合せの際のサーチ処理では画像データを間引き処理によって圧縮する（ステップＳ３１）。このため、画面２０上でのアライメントマークの最小線幅が一定の画素数未満であると、圧縮時にアライメントマークの部分の画像が間引かれて失われてしまい、パターンマッチングによって検出点を求める（ステップＳ３２）ことが困難になる。このステップＳ３１での圧縮率は可変であるが、圧縮率を高くすると、サーチ速度が速くなる反面、最小線幅が太くてもアライメントマークの部分の画像が間引かれやすくなる。他方、圧縮率を低くすると、最小線幅が細くてもアライメントマークの部分の画像が間引かれにくくなる反面、サーチ速度が遅くなる。画素数比・最小線幅ガイダンス２７における８画素以上という最小線幅は、要求されるサーチ速度を満たす圧縮率において、圧縮時にアライメントマークの部分の画像が失われなかった経験的な推奨値である。
【００３６】
図７は、図４に示した操作ガイダンス２４の表示内容の一例を示す図である。また図８は、辞書画像の登録作業の過程で、図７に示す内容が操作ガイダンス２４として表示されるタイミングを示す図である。図７では、各表示タイミング（黒丸の箇所）に表示されるガイダンス文を、図８と同じ符号５０〜５６を付して示している。
【００３７】
辞書マーク適正化ガイダンス装置１の操作者が、操作部３により、図８に示すように辞書画像の登録作業を開始する操作６０を行う。ここで、操作者が操作終了を選択した場合、処理を終了する。一方、操作者が操作を継続する場合、制御部２は、図７にガイダンス文５０として示すような、登録枠（図４の登録枠２１）のサイズ及び位置の設定と、センターマーク（図４のセンターマーク２２）の位置の設定とを促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００３８】
操作者が、このガイダンス文５０に従い、操作部３により、まず登録枠のサイズを設定することを選択する操作を行ったとする。すると制御部２が、図７にガイダンス文５１として示すような、登録枠内にアライメントマークが収まるように登録枠のサイズを調整することを促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００３９】
そして操作者が、操作部３により、図８に示すように登録枠のサイズの設定操作６１を開始する。このとき、制御部２は、図７にガイダンス文５２として示すような、登録枠のサイズが大きすぎたり小さすぎたりしないように注意を促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００４０】
図１０を用いて説明したように、アライメントマークの大きさに対して登録枠のサイズが大きすぎると、サーチ処理時にアライメントマークが画像視野の端付近に存在していた場合にサーチエラーとなってしまう。そこで、このガイダンス文５２を表示することにより、アライメントマークの大きさに対して登録枠のサイズが適正となるように注意を促している。
【００４１】
なお、図７にも「ヒストグラム２５，投影２６，画素数比・最小線幅ガイダンス２７を表示」と示しているように、既に説明した表示内容のヒストグラム２５，投影２６，画素数比・最小線幅ガイダンス２７も、操作ガイダンス２４とは別ウィンドウでモニター１１の画面上に表示されている。したがって、登録枠でアライメントマークを囲んでいる場合には、図５に例示したような、アライメントマーク，背景部分のそれぞれの画素数が示されたヒストグラム２５が表示される。
【００４２】
操作者は、画素数比・最小線幅ガイダンス２７のうちの、登録枠で囲んだ領域内でのアライメントマークと背景部分との画素数の比率が約２：１となることを推奨するガイダンス文を参照する。そして、ヒストグラム２５に示される現在のアライメントマーク，背景部分のそれぞれの画素数を確認しながら登録枠のサイズを調整し、それらの画素数の比率が約２：１となるように登録枠のサイズを設定する。これにより、より一層適切に登録枠のサイズを設定することができる。
【００４３】
また操作者は、画素数比・最小線幅ガイダンス２７のうちの、画面上でのアライメントマークの最小線幅が８画素以上となることを推奨するガイダンス文を参照する。そして、現在のアライメントマークの最小線幅が８画素未満であった場合には、操作部３によりＣＣＤカメラ１０のレンズ１０ａの倍率を高くする操作を行う。あるいは、操作者は、線幅の異なる複数のアライメントマークが存在しているような場合には、より線幅の太いアライメントマークのほうを登録枠で囲むようにする。このようにして、より一層適切に辞書画像の登録作業を行うことができる。
【００４４】
また操作者は、投影２６を参照し、例えばアライメントマークと背景部分との濃淡レベルの差が小さすぎる場合は、フラットディスプレイパネル３０を照らしている照明装置を明るく調整する。また背景部分の一部が照明光を反射して濃淡レベルが高くなっている場合は、照明装置を暗く調整する。このように調整することにより、より一層適切に辞書画像の登録作業を行うことができる。
【００４５】
次に、操作者が、図７に示したガイダンス文５０に従い、操作部３により、登録枠の位置を設定することを選択する操作を行ったとする。すると制御部２が、図７にガイダンス文５３として示すような、登録枠の中央にアライメントマークが収まるように登録枠の位置を調整することを促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００４６】
そして操作者が、操作部３により、図８に示すように登録枠の位置の設定操作６２を開始する。このとき、制御部２は、図７にガイダンス文５４として示すような、登録枠の中央にアライメントマークが入っているかどうか注意を促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００４７】
また、図７にも示しているように、このときも、ヒストグラム２５，投影２６，画素数比・最小線幅ガイダンス２７が、操作ガイダンス２４とは別ウィンドウでモニター１１の画面上に表示されている。
【００４８】
次に、操作者が、ガイダンス文５１に従い、操作部３により、センターマーク（座標通知点）の位置を設定することを選択する操作を行ったとする。すると制御部２が、図７にガイダンス文５５として示すような、アライメントマークの中心にセンターマークの位置を移動させることを促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００４９】
そして操作者が、操作部３により、図８に示すようにセンターマークの位置の設定操作６３を開始する。このとき、制御部２は、図７にガイダンス文５６として示すような、アライメントマークの中心にセンターマークが位置しているかどうか注意を促すガイダンス文を、操作ガイダンス２４としてモニター１１の画面上にウィンドウ表示させる。
【００５０】
また、図７にも示しているように、このときも、ヒストグラム２５，投影２６，画素数比・最小線幅ガイダンス２７が、操作ガイダンス２４とは別ウィンドウでモニター１１の画面上に表示されている。
【００５１】
そして操作者が、登録枠のサイズ及び位置の設定とセンターマークの位置の設定とを完了し、操作部３により、設定内容を確定する操作を行う。このとき、制御部２は、登録枠内の画像データを辞書画像として記憶部４に記憶させるとともに、登録枠に対するセンターマークの位置情報を記憶部４に記憶させる。
【００５２】
このように、この辞書マーク適正化ガイダンス装置１によれば、操作者は、アライメントマークの画像が表示されるモニター１１にウィンドウ表示される操作ガイダンス２４に従って登録枠のサイズ及び位置の設定とセンターマークの位置の設定とを行うことができる。また、登録枠で現在囲んでいる領域内の画像の濃度又は輝度のレベル値に関するヒストグラム２５を同じ画面上のウィンドウ表示で確認し、さらに投影２６や画素数比・最小線幅ガイダンス２７を同じモニター１１のウィンドウ表示で確認することができる。このため、位置合せの際に行われる画像処理に必要な条件を理解していない者でも、アライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録する作業を適正に行うことができる。
【００５３】
なお、上述した実施の形態では、ファームウェアを組み込んだ専用のハードウェア装置を辞書マーク適正化ガイダンス装置１として用いているが、別の例として、汎用コンピュータを辞書マーク適正化ガイダンス装置１として用いてもよい。その場合には、上述した制御部２の処理に相当する処理を実行するためのソフトウェアプログラムを、ＵＳＢメモリ，光ディスク等の記録媒体あるいはネットワークを介して汎用コンピュータに供給すればよい。
【００５４】
また、上述した実施の形態では、辞書マーク適正化ガイダンス装置１は、辞書画像の登録作業を行う装置と、フラットディスプレイパネル３０の位置合せの際の画像処理を行う装置とに兼用されるように構成されている。しかし、別の例として、辞書マーク適正化ガイダンス装置１を、辞書画像の登録作業を行う専用の装置として構成してもよい。その場合には、辞書マーク適正化ガイダンス装置１によって登録した辞書画像を、ネットワーク等を介して、位置合せの際の画像処理を行う専用の装置に供給すればよい。
【００５５】
また、上述した実施の形態では、製造工程での位置合せのためにフラットディスプレイパネル３０に付されたアライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録するために、本発明を適用している。しかし本発明は、これに限らず、フラットディスプレイパネル３０以外の被製造物に付されたアライメントマークや、被検査物に付されたアライメントマークといったような、画像処理による位置合せを行う対象となるあらゆる物に付されたアライメントマークを含んだ画像を辞書画像として登録するために適用することができる。
【００５６】
また、本発明は上述した実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限りその他種々の応用例、変形例を取り得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００５７】
１…辞書マーク適正化ガイダンス装置，２…制御部，３…操作部，４…記憶部，１０…ＣＣＤカメラ，１１…モニター，２１…登録枠，２２…センターマーク，２４…操作ガイダンス，２５…ヒストグラム，２６…投影，２７…画素数比・最小線幅ガイダンス，３０…フラットディスプレイパネル，３１…アライメントマーク，５０〜５６…ガイダンス文
【図１】
2012037727.tif 000003
【図２】
2012037727.tif 000004
【図３】
2012037727.tif 000005
【図４】
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【図５】
2012037727.tif 000007
【図６】
2012037727.tif 000008
【図７】
2012037727.tif 000009
【図８】
2012037727.tif 000010
【図９】
2012037727.tif 000011
【図１０】
2012037727.tif 000012