(57)【要約】【課題】  エピタキシャルウェーハの平坦性を向上させるためのエピタキシャルウェーハの製造装置および製造方法、特にエピタキシャルウェーハのエピタキシャル層の膜厚均一性を制御する枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置および製造方法を提供することを主な目的とする。【解決手段】  単結晶基板上にエピタキシャル層を気相成長するための反応室と、該反応室内に前記単結晶基板を水平に配置するためのサセプタと、気相成長用の原料ガス及びキャリアガスを前記反応室内に導入するためのガス導入路とを有する枚葉式エピタキシャルウェーハの製造装置であって、前記ガス導入路は、前記反応室に水平に開口する水平部と、該水平部から斜めに伸び、前記製造装置外部に開口する傾斜部からなり、該傾斜部が、水平である前記単結晶基板の配置面に対して２０度≦θ≦８０度となる傾きθを有することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶基板上にエピタキシャル層を気相成長するための反応室と、該反応室内に前記単結晶基板を水平に配置するためのサセプタと、気相成長用の原料ガス及びキャリアガスを前記反応室内に導入するためのガス導入路とを有する枚葉式エピタキシャルウェーハの製造装置であって、前記ガス導入路は、前記反応室に水平に開口する水平部と、該水平部から斜めに伸び、前記製造装置外部に開口する傾斜部からなり、該傾斜部が、水平である前記単結晶基板の配置面に対して２０度≦θ≦８０度となる傾きθを有することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造装置。
【請求項２】
前記ガス導入路の少なくとも一部は、前記傾斜部全体と前記水平部の少なくとも一部を含み、前記製造装置と脱着可能である分割部材によって形成され、該分割部材を取り外して交換することによって、該分割部材に含まれる傾斜部の傾きθが異なるものと交換することができるものであることを特徴とする請求項１に記載のエピタキシャルウェーハ製造装置。
【請求項３】
前記傾斜部の傾きθは、３５度≦θ≦７０度の範囲にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。
【請求項４】
前記ガス導入路は、少なくとも１以上の仕切りにより分割されており、該分割されたガス導入路は、それぞれ個別に原料ガス及びキャリアガスの流量を制御することができるものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のエピタキシャルウェーハの製造装置。
【請求項５】
エピタキシャルウェーハの製造方法であって、前記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の製造装置を用いて、該製造装置の前記サセプタに前記単結晶基板を載置し、前記ガス導入路から前記原料ガス及びキャリアガスを前記反応室に流しながら前記単結晶基板上にエピタキシャル層の気相成長を行うことを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
【請求項６】
前記単結晶基板を、直径３００ｍｍ以上のものとすることを特徴とする請求項５に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
【請求項７】
前記原料ガスをトリクロロシランとし、前記キャリアガスを水素とすることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエピタキシャルウェーハの製造装置及び製造方法に関し、具体的には、枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置を用いて、ガス供給装置により原料ガスをサセプタ上に載置した単結晶基板に噴出させることにより、前記単結晶基板上にエピタキシャル層を成長させるエピタキシャルウェーハの製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板の主表面上へのエピタキシャル層（例えばシリコンエピタキシャル層）の気相成長は、反応室内にサセプタを配し、このサセプタ上に基板を配した状態で、基板を加熱装置により所望の成長温度に加熱するとともに、ガス供給装置により基板の主表面上に原料ガスを供給することによって行われている。このようにして形成されたエピタキシャルウェーハはダメージフリーで欠陥も少ない極めて良質な表面を有している。
【０００３】
近年、ＭＰＵやＤＲＡＭ、フラッシュメモリー等のＭＯＳ、ＦＥＴ、ＩＧＢＴ等のＰｏｗｅｒデバイス、ＣＣＤ、ＣＩＳ等の撮像デバイスにシリコンエピタキシャルウェーハが使用され始めている。また、高収率化、高性能化のためにデバイスの高集積化、微細化が進み、基板表面品質のみならず、基板の平坦性が特に重要となってきている。
【０００４】
エピタキシャル成長を行うための装置としては、縦型（パンケーキ型）、バレル型（シリンダー型）、さらに横型の３種類が一般的である。これらの成長装置の基本的な原理は共通しており、単結晶基板を載置するためのサセプタを内部に備えた反応室や、反応室の外部に設けられるハロゲンランプ等からなる加熱手段を備えて構成されている。近年は、エピタキシャル成長膜の制御をより精密に行える利点から、横型のうちで１枚ずつ処理する枚葉式エピタキシャル成長装置が主に使われるようになってきている。
【０００５】
ここで、この枚葉式エピタキシャル成長装置について図８を参照して説明する。図８は、従来技術における枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示す概略図である。
【０００６】
この枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置１０１は、石英部材や金属等からなるチャンバー外壁１０７にて形成される反応室１０３を有し、表面にエピタキシャル層が積層される単結晶基板１０２が前記反応室１０３内部に配置され、該反応室１０３に単結晶基板面に平行となる方向に原料ガス及びキャリアガスを導入するためのガス導入路１０４とガスを排出するガス排出口１０５が設けられている。また、反応室１０３内には単結晶基板１０２を載置するサセプタ１０６を具備する。また、少なくとも、反応室１０３の外側には、単結晶基板１０２を加熱する例えばハロゲンランプ等の加熱手段１０８を備えている。
【０００７】
この枚葉式エピタキシャル成長装置１０１を用いて、単結晶基板１０２上にエピタキシャル層を形成する場合は、サセプタ１０６に形成された座ぐりに単結晶基板１０２を配し、サセプタ１０６を支持する支持軸１０９およびそれを回転（自転）させる不図示の回転機構によって単結晶基板１０２を回転させつつ、加熱手段１０８によって単結晶基板１０２を所定の温度で加熱する。そして、反応室１０３内に、例えばシリコン単結晶層をエピタキシャル成長させるのであれば、水素等のキャリアガスで希釈したトリクロロシラン等の原料ガスを、所定時間、所定流量でガス導入路１０４から供給することにより行う。
【０００８】
しかしながら、このようなエピタキシャル成長装置１０１を用いてエピタキシャル成長を行うと、ガスの流速分布が不均一になり、単結晶基板上に積層されるエピタキシャル層の膜厚も均一でなくなってしまうため、エピタキシャル成長させた単結晶基板の平坦性を劣化させてしまう問題があった。
【０００９】
これは、ガス導入路１０４から反応室１０３内に導入された原料ガスとキャリアガスから成る混合ガスの流速が一様でなく、単結晶基板１０２を載置するサセプタ１０６および単結晶基板１０２上に原料ガスが均一に供給されないことに起因している。
【００１０】
図９、図１０に示す枚葉式エピタキシャル成長装置１０１ａ、１０１ｂのように、反応室１０３に原料ガス及びキャリアガスを導入するためのガス導入路１０４ａ、１０４ｂを単結晶基板表面に対して垂直方向に設け、原料ガス及びキャリアガスから成る混合ガスを一旦壁に衝突させて流速分布を均一化し、単結晶基板表面に導入する方法も提案されている。しかし、本発明者が鋭意研究を重ねた結果、このような装置であっても、混合ガスを壁に垂直に衝突させてしまうと、壁にぶつかった後のガスの流速の低下が大きく、ガス導入路の外壁まで広がって流れるため、ガス流が乱れて成長後のエピタキシャル層上に比較的長周期のうねりが発生することが分かった。図９及び図１０は、従来技術における枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路を単結晶基板表面に対して垂直に設けた一例を示した図である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平０４−２３３７２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みなされたもので、エピタキシャルウェーハの平坦性を向上させるためのエピタキシャルウェーハの製造装置および製造方法、特にエピタキシャルウェーハのエピタキシャル層の膜厚均一性を制御する枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置および製造方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明では、単結晶基板上にエピタキシャル層を気相成長するための反応室と、該反応室内に前記単結晶基板を水平に配置するためのサセプタと、気相成長用の原料ガス及びキャリアガスを前記反応室内に導入するためのガス導入路とを有する枚葉式エピタキシャルウェーハの製造装置であって、前記ガス導入路は、前記反応室に水平に開口する水平部と、該水平部から斜めに伸び、前記製造装置外部に開口する傾斜部からなり、該傾斜部が、水平である前記単結晶基板の配置面に対して２０度≦θ≦８０度となる傾きθを有することを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造装置を提供する。
【００１４】
このように、ガス導入路に水平部と傾斜部を設け、該傾斜部に、水平面に対して２０度≦θ≦８０度となる傾きθを持たせることにより、一定の傾きを持って混合ガスを緩やかに壁に衝突させてから反応室内に導入するため、ガス流と壁との衝突によるガス流の低速化及び微小なガス流の乱れを抑制でき、且つ混合ガスの流速分布を均一化させることができ、１．５０％以下の良好な膜厚均一性を持ったエピタキシャルウェーハを製造することができる。
【００１５】
またこのとき、前記ガス導入路の少なくとも一部は、前記傾斜部全体と前記水平部の少なくとも一部を含み、前記製造装置と脱着可能である分割部材によって形成され、該分割部材を取り外して交換することによって、該分割部材に含まれる傾斜部の傾きθが異なるものと交換できるものとすることができる。
【００１６】
このような分割部材を用いれば、該分割部材に含まれる傾斜部の傾きθの値が異なるものと取り換えることによって、ガス導入路内の傾きθの値を自由に変更することができる。
またこれによって、用いる原料ガスやキャリアガスの種類や条件に合わせて容易に傾きθの値を変更することができるため、どんな原料ガス及びキャリアガスを用いた場合であっても、より良好な膜厚均一性を持ったエピタキシャルウェーハを製造することができる。
さらに、取り外しが可能であるため、容易に前記分割部材の洗浄、乾燥等を行うことができる。
【００１７】
またこのとき、前記傾斜部の傾きθは、３５度≦θ≦７０度の範囲にあることが好ましい。
このような範囲にあれば、１．００％以下のより良好な膜厚均一性を持ったエピタキシャルウェーハを確実に製造することができる。
【００１８】
またこのとき、前記ガス導入路は、少なくとも１以上の仕切りにより分割されており、該分割されたガス導入路は、それぞれ個別に原料ガス及びキャリアガスの流量を制御することができるものとすることが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、反応室内に導入される前記混合ガス流量の均一性をより一層高めることができ、これによって前記単結晶基板上に成長させるエピタキシャル層のさらに良好な膜厚均一性を得ることができる。
【００２０】
また本発明は、エピタキシャルウェーハの製造方法であって、前記本発明の製造装置を用いて、該製造装置の前記サセプタに前記単結晶基板を載置し、前記ガス導入路から前記原料ガス及びキャリアガスを前記反応室に流しながら前記単結晶基板上にエピタキシャル層の気相成長を行うことを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。
【００２１】
このように、前記本発明の製造装置を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法であれば、単結晶基板上に容易に膜厚均一性の高いエピタキシャル層を形成することができ、高品質のエピタキシャルウェーハを製造することができる。
【００２２】
またこのとき、前記単結晶基板を、直径３００ｍｍ以上のものとし、さらに前記原料ガスをトリクロロシランとし、前記キャリアガスを水素とすることができる。
【００２３】
このような直径３００ｍｍ以上の大直径の単結晶基板は、気相成長においてエピタキシャル層の膜厚が不均一になりやすいため、本発明の製造方法が好適である。さらに、原料ガスをトリクロロシランとし、キャリアガスを水素とすれば、より高品質であるエピタキシャルウェーハを製造することができる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように、本発明によれば、反応室内に導入される原料ガス及びキャリアガスの混合ガスの流速を従来以上に均一にできるため、膜厚均一性がより高められたエピタキシャル層を安定して単結晶基板上に気相成長させることができ、これによって高品質のエピタキシャルウェーハを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示した図である。
【図２】本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示した概略上面図である。
【図３】本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路の傾斜部の傾き方向を変えた一例を示した図である。
【図４】本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路の一部を分割部材によって形成した一例を示した図である。
【図５】ガス導入路の傾斜部の傾きθとエピタキシャル層の膜厚均一性との関係を示した図である。
【図６】従来の、水平部及び傾斜部が垂直に形成されたエピタキシャルウェーハ製造装置を用いた場合のエピタキシャル層の膜厚分布を示した図である。
【図７】ガス導入路の傾斜部の傾きθの値を５５度としたときのエピタキシャル層の膜厚分布を示した図である。
【図８】従来技術における枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示した図である。
【図９】従来技術における枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路を単結晶基板表面に対して垂直に設けた一例を示した図である。
【図１０】従来技術における枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路を単結晶基板表面に対して垂直に設けた他の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
先ず、図１に本発明の枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示す。図１の枚葉式エピタキシャル成長装置１は、装置外壁７に囲まれた反応室３を有しており、該反応室３内には、単結晶基板２がサセプタ６上に水平に配置されている。また、前記反応室３は、石英や金属部材等で構成される。
エピタキシャル成長のための原料ガスやキャリアガスを反応室３内に導入するためのガス導入路４は、反応室３に水平に開口する水平部１０と、該水平部１０から斜めに伸び、製造装置１外部に開口する傾斜部１１によって構成される。該傾斜部１１は、水平なサセプタ６の単結晶基板２の配置面に対して２０度≦θ≦８０度の傾きθを持って形成されており、原料ガスやキャリアガスからなる混合ガスは緩やかに壁に衝突して、反応室３内に導入され、単結晶基板２の表面に供給される。また、反応室３内からこれらのガスを排出するためのガス排出口５が設けられている。
【００２７】
上記の通り、混合ガスは２０度≦θ≦８０度の一定の傾きθを持って水平部１０の壁に衝突して反応室３内に導入されるため、壁にぶつかった際の微小なガス流の乱れの発生を抑えながら混合ガスの流速を均一にできるため、単結晶基板２上に膜厚均一性が向上されたエピタキシャル層を形成することができる。このとき、傾きθを３５度≦θ≦７０度、より好ましくは５０度≦θ≦６０度の範囲における数値とすれば、より効果的に且つ確実にエピタキシャル層の膜厚均一性を向上させることができる。
尚、傾きθの異なる傾斜部１１を２以上設けることにより、複数段階の傾斜部を経て水平部１０と連結させても良い。
【００２８】
そして、反応室３の外部には加熱手段８が配設されており、エピタキシャル成長を行う際に単結晶基板２、反応室３内を加熱することができる。この加熱手段は特に限定されず、例えばハロゲンランプ等を用いることができる。
また、サセプタ６は支持軸９に取り付けられている。支持軸９には、これを回転（自転）させるための機構（不図示）を設けており、回転可能になっている。すなわち、支持軸９を回転させることにより、サセプタ６およびその上に配置された単結晶基板２を回転させることが可能である。
【００２９】
さらに図２に示すように、前記ガス導入路４は、仕切り１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄによって５つのガス導入路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅに分割されており、それぞれ原料ガス及びキャリアガスからなる混合ガスの流量調整機構（不図示）に連結されている。図２は、本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置の一例を示した概略上面図である。
【００３０】
このように、ガス導入路４を複数に分割してそれぞれについて混合ガスの流量を調整することにより、単結晶基板２上により一層膜厚均一性が向上されたエピタキシャル層を形成することができる。
但し、ガス導入路の数は上記のように５つに限定されるものではなく、２以上に分割されていればどのような数であっても良い。また、前記ガス導入路は２以上に分割されていることが好ましいが、分割せずに１つとした場合であっても本発明の効果を得ることはできる。
【００３１】
また、図３に示すように、傾斜部１１の傾き方向を変えることもできる。本発明においては、ガス導入路４の傾斜部１１の傾き方向は限定されないため、状況に応じて傾き方向を選択することができる。図３は、本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置１′において、ガス導入路の傾斜部の傾き方向を下方に変えた一例を示した図である。
【００３２】
さらに図４に示すように、ガス導入路４の少なくとも一部を、分割部材１３によって形成することができる。分割部材１３は製造装置１″と脱着可能であり、傾斜部１１全体と少なくとも水平部１０の一部を含むものとすることができる。分割部材１３と製造装置１″とを接合する際、例えば封止部材１４を介して前記分割部材１３と製造装置１″とを接合することができる。封止部材１４としては、例えば０リング等を用いることができる。
このような分割部材１３によってガス導入路４の一部が形成されていれば、傾斜部１１の傾きθが異なるものと交換することによって、容易にガス導入路の傾きを変更することができる。また、取り外しが可能であるため、容易に分割部材１３の洗浄、乾燥等を行うことができる。図４は、本発明に係る枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置において、ガス導入路の一部を分割部材によって形成した一例を示した図である。
【００３３】
以下、図１に示すような枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置１を用いた本発明のエピタキシャルウェーハの製造方法について説明する。
ここでは、一例として、エピタキシャル層を積層させる単結晶基板としてシリコン単結晶基板を、そして、原料ガスにトリクロロシラン、キャリアガスに水素を用い、シリコン単結晶層を積層する例について述べる。これらのものは通常よく用いられているものであり、高品質のエピタキシャルシリコン単結晶基板を提供することができる。当然、本発明はこれに限定されず、用いる基板、原料ガス等、目的に応じて適宜変更することが可能である。
【００３４】
まず、反応室３内に配置されたサセプタ６にシリコン単結晶基板２を水平に配置する。このシリコン単結晶基板は、例えば直径３００ｍｍ以上のものとすることができる。ただし、本発明は直径３００ｍｍ以上のものに限定されることなく、それよりも小さな直径のものに対して実施することも可能である。
【００３５】
またこのとき、シリコン単結晶基板２を水平に配置するサセプタ６としては、１つ以上、より好ましくは２つ以上の貫通孔（不図示）が形成されたものを用いることができる。サセプタ６に貫通孔が形成されていれば、操業中にシリコン単結晶基板２の裏面の自然酸化膜が除去され、その自然酸化膜の分解による生成物をその貫通孔から排出することができるため好ましい。また、操業時はサセプタ６を支持する支持軸９を、不図示の回転機構により自転させることよって、サセプタ６およびその上に配置されているシリコン単結晶基板２を回転させる。
【００３６】
次に、反応室３の外部に設けられたハロゲンランプ等の加熱手段８によって加熱を行う。なお、このときパイロメーター等により、シリコン単結晶基板２の温度を制御しながら加熱を行うことが好ましい。
そして、所定流量で、キャリアガスの水素と原料ガスのトリクロロシランをガス導入路４から反応室３内に導入し、シリコン単結晶基板２上にシリコン単結晶層を積層する。未反応のガス等はガス排出口５から排出される。
この時、本発明の製造装置を用いているため、原料ガス及びキャリアガスの混合ガスは傾斜部１１を介して水平部１０の壁に緩やかに衝突して反応室３に導入されるため、均一なガス流速分布を有する。従って、シリコン単結晶を基板上に均一な膜厚分布を有するエピタキシャル層を成長させることができる。
【実施例】
【００３７】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
ここで、まず以下の実施例及び比較例における、エピタキシャル層の膜厚均一性及び膜厚偏差の測定方法について説明する。
まずシリコン単結晶基板上に積層したシリコン単結晶層の膜厚を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器で測定する。シリコン単結晶基板の膜厚の測定後、その優劣を、基板の直径方向でエッジから５ｍｍ領域を除外した３３点の測定点の膜厚測定結果を元に膜厚均一性と膜厚ばらつきの指標で評価する。膜厚均一性と膜厚ばらつきの計算方法は以下の通りである。
膜厚均一性（％）＝（最大膜厚−最小膜厚）／（最大膜厚＋最小膜厚）×１００
膜厚ばらつき（％）＝（（所定場所の膜厚）／（３３点の平均膜厚）−１）×１００
【００３８】
（実施例１）
図４で示したような脱着可能な分割部材を具備するとともに、図２のようにガス導入路が５分割された直径３００ｍｍ用の枚葉式エピタキシャルウェーハ製造装置を用いて、ガス導入路の傾斜部の傾きθを８０度に形成した分割部材を準備し、前記枚葉式エピタキシャル成長装置に取り付け、直径３００ｍｍ、抵抗率０．０１Ω・ｃｍ、厚さ７７５μｍのＰ＋型シリコン単結晶基板上にエピタキシャル層を積層した。このとき、原料ガスとしてトリクロロシランを、キャリアガスとして水素を用いた。また、原料ガスの供給流量は１０ｓｌｍ、キャリアガスの供給流量は８０ｓｌｍを選択し、５つのガス導入路の供給流量比率をＡ：Ｂ：Ｃ：Ｄ：Ｅ＝１．２：１．０：１．０：１．０：１．０となるように調節した。さらに前記Ｐ＋型シリコン単結晶基板上に厚さ約５μｍのＰ−型シリコンエピタキシャル層を形成した後、該エピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器（ナノメトリクス社製ＱＳ３３００ＥＧ）にて算出した。このときの結果を図５及び下記表１に示す。図５は、ガス導入路の傾斜部の傾きθとエピタキシャル層の膜厚均一性との関係を示した図である。
【００３９】
（実施例２）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを７０度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４０】
（実施例３）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを６０度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４１】
（実施例４）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを５５度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５、図７及び表１に示す。図７は、ガス導入路の傾斜部の傾きθの値を５５度としたときのエピタキシャル層の膜厚分布を示した図である。
【００４２】
（実施例５）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを４５度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４３】
（実施例６）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを３５度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４４】
（実施例７）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを３０度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４５】
（実施例８）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを２０度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４６】
（比較例１）
図９または図１０で示したようなエピタキシャルウェーハ製造装置を用いたこと以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。尚、この場合のガス導入路の傾斜部の傾きθは９０度となる。このときの結果を図５、図６及び表１に示す。図６は、従来の、水平部及び傾斜部が垂直に形成されたエピタキシャルウェーハ製造装置を用いた場合のエピタキシャル層の膜厚分布を示した図である。
【００４７】
（比較例２）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを８５度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５に示す。
【００４８】
（比較例３）
ガス導入路の傾斜部の傾きθを１０度とすること以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００４９】
（比較例４）
図８で示したようなエピタキシャルウェーハ製造装置を用いたこと以外は実施例１と同様の条件でエピタキシャル層の膜厚均一性を、フーリエ赤外線分光を用いた膜厚測定器にて算出した。尚、この場合のガス導入路の傾斜部の傾きθは０度となる。このときの結果を図５及び表１に示す。
【００５０】
【表１】
2012146697.tif 000003
【００５１】
結果、ガス導入路の傾斜部の傾きθが従来の０度、９０度の場合、または０度＜θ＜２０度、８０度＜θ＜９０度の場合より、２０度≦θ≦８０度とした方が、１．５０％以下の良好な膜厚均一性が得られた。特に３５度≦θ≦７０度の範囲で、膜厚均一性は１．００％以下となった。さらに、５０度≦θ≦６０度の範囲で最も良好な膜厚均一性が得られることが確認された。
【００５２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５３】
１、１′、１″…エピタキシャル成長装置、
２…単結晶基板、  ３…反応室、  ４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ…ガス導入路、
５…ガス排出口、  ６…サセプタ、  ７…装置外壁、  ８…加熱装置、  ９…支持軸、
１０…水平部、  １１…傾斜部、  １２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ…仕切り、
１３…分割部材、  １４…封止部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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