(57)【要約】【課題】流量計測装置において、流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減すると共に高精度な計測を可能とする。【解決手段】配管１１内に径方向に沿って配置されるサポート部材１２に沿って移動部材２２を移動自在に支持し、配管１１の外部に配置された巻上モータ２３により作業開口部１４を通して移動部材２２を移動可能とし、この移動部材２２にピトー管３１を装着し、ピトー管３１にこのピトー管３１に作用する圧力を計測する圧力計３２を連結し、この圧力計３２の計測結果に基づいて流量を算出する制御装置３５を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管内に径方向に沿って配置されるサポート部材と、
該サポート部材に沿って移動自在に支持される移動部材と、
前記配管の外部に配置されて該配管の作業開口部を通して前記移動部材を移動可能とする駆動装置と、
前記移動部材に装着されるピトー管と、
該ピトー管に作用する圧力を計測する圧力計と、
該圧力計の計測結果に基づいて流量を算出する制御装置と、
を備えることを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記移動部材の移動位置を検出する位置検出センサを設け、該位置検出センサは検出結果を前記制御装置に出力することを特徴とする請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記圧力計側から前記ピトー管の先端部に向けてパージエアを供給するパージエア供給装置が設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の流量計測装置。
【請求項４】
前記作業開口部を閉塞するように囲繞する作業室が設けられ、該作業室内に前記駆動装置が配置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の流量計測装置。
【請求項５】
前記作業室から前記配管内を流れる流体の漏洩を防止する流体漏洩装置が設けられることを特徴とする請求項４に記載の流量計測装置。
【請求項６】
前記流体漏洩装置は、前記作業室内に外部空気を供給して加圧する空気供給装置を有することを特徴とする請求項５に記載の流量計測装置。
【請求項７】
前記流体漏洩装置は、前記作業室内と前記配管内における前記ピトー管より流体の流れ方向における上流側とを連通する連通部材を有することを特徴とする請求項５に記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、配管内を流れるボイラ排ガスの流量を計測するための流量計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な流量計測装置として、ピトー管式流量計などがある。例えば、下記特許文献１に記載された流量計測システムでは、流量計測処理部が配管の内部に配置したピトー管により圧力データを取得し、また、配管の内部に配置した温度センサにより温度データを取得し、流量計測処理部がＬＯＮネットワークを介して温度データを取得し、この温度データ及び圧力データを用いて正確な流量データを算出し、流量計測システムが流量計測処理部から出力される流量データに基づいて各種の処理を行っている。
【０００３】
また、下記特許文献２に記載された排ガス流量計測システムでは、煙道ガス圧力監視用の圧力伝送器から伝送される排ガス圧力信号と、排ガス（ボイラ排ガスＡ等）の動圧と静圧との差圧に関する差圧信号とが演算要素として供給される制御装置を設け、この制御装置により、排ガスの動圧と静圧との差圧を計測する主計器（ピトー管）がパージ中ではない場合は、差圧信号に基づいて排ガス流量を演算し、主計器がパージ中である場合は、排ガス圧力信号及び差圧信号に基づいて排ガス流量を演算するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２４０６１６号公報
【特許文献２】特開平１１−３５１９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
配管内にピトー管式流量計を配置して流量計測を行う場合、配管内の上部から中心部を通って下部まで移動する必要があり、この配管の内径が大きいときには、その移動距離も長いものとなる。そのため、作業者がこのピトー管を移動するためには、配管にピトー管を支持するサポートを設置しなければならず、作業時間が長くなるばかりでなく、作業者に掛かる負担も大きくなってしまう。また、作業者がピトー管を移動することから、圧力計測にばらつきが生じやすくなり、高精度な流量計測を行うことが困難となる。
【０００６】
本発明は、上述した課題を解決するものであり、流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減すると共に高精度な計測を可能とする流量計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための本発明の流量計測装置は、配管内に径方向に沿って配置されるサポート部材と、該サポート部材に沿って移動自在に支持される移動部材と、前記配管の外部に配置されて該配管の作業開口部を通して前記移動部材を移動可能とする駆動装置と、前記移動部材に装着されるピトー管と、該ピトー管に作用する圧力を計測する圧力計と、該圧力計の計測結果に基づいて流量を算出する制御装置と、を備えることを特徴とするものである。
【０００８】
従って、駆動装置により移動部材を移動することで、ピトー管を配管内で径方向に沿って移動することができ、このピトー管により配管内におけるいずれの径方向位置の圧力を計測することができ、流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減することができると共に、高精度な計測を可能とすることができる。
【０００９】
本発明の流量計測装置では、前記移動部材の移動位置を検出する位置検出センサを設け、該位置検出センサは検出結果を前記制御装置に出力することを特徴としている。
【００１０】
従って、制御装置は、位置検出センサの検出結果に基づいてピトー管による圧力計測位置を把握することができ、高精度な流量計測を行うことができる。
【００１１】
本発明の流量計測装置では、前記圧力計側から前記ピトー管の先端部に向けてパージエアを供給するパージエア供給装置が設けられることを特徴としている。
【００１２】
従って、パージエア供給装置により圧力計側からピトー管の先端部に向けてパージエアを供給することで、ピトー管の閉塞を防止することができる。
【００１３】
本発明の流量計測装置では、前記作業開口部を閉塞するように囲繞する作業室が設けられ、該作業室内に前記駆動装置が配置されることを特徴としている。
【００１４】
従って、作業室により作業開口部が閉塞されることで、配管内を流れる流体が作業開口部から外部に漏洩することを防止することができ、また、作業室内に駆動装置を配置することで、駆動装置により容易に移動部材を移動することができ、作業性を向上することができる。
【００１５】
本発明の流量計測装置では、前記作業室から前記配管内を流れる流体の漏洩を防止する流体漏洩装置が設けられることを特徴としている。
【００１６】
従って、流体漏洩装置により配管から作業室に侵入する流体が外部に漏洩することを防止することができ、ピトー管及び圧力計による計測精度を向上することができる。
【００１７】
本発明の流量計測装置では、前記流体漏洩装置は、前記作業室内に外部空気を供給して加圧する空気供給装置を有することを特徴としている。
【００１８】
従って、空気供給装置により作業室内を加圧することで、配管の流体が作業室に侵入することを阻止し、外部への流体の漏洩を容易に防止することができる。
【００１９】
本発明の流量計測装置では、前記流体漏洩装置は、前記作業室内と前記配管内における前記ピトー管より流体の流れ方向における上流側とを連通する連通部材を有することを特徴としている。
【００２０】
従って、連通部材により作業室内と配管内における上流部とを連通して同圧とすることで、配管の流体が作業室に侵入することを阻止し、外部への流体の漏洩を容易に防止することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の流量計測装置によれば、移動部材を配管内に径方向に沿って配置されるサポート部材に移動自在に支持し、駆動装置により移動可能とし、この移動部材にピトー管を装着するので、流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減することができると共に、高精度な計測を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明の実施例１に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向に直交する方向における配管断面図である。
【図２】図２は、実施例１の流量計測装置を表す排ガスの流れ方向における配管断面図である。
【図３】図３は、移動部材の水平断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施例２に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向に直交する方向における配管断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施例３に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向における配管断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る流量計測装置の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、また、実施例が複数ある場合には、各実施例を組み合わせて構成するものも含むものである。
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明の実施例１に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向に直交する方向における配管断面図、図２は、実施例１の流量計測装置を表す排ガスの流れ方向における配管断面図、図３は、移動部材の水平断面図である。
【００２５】
実施例１の流量計測装置において、図１乃至図３に示すように、配管１１は、例えば、ボイラ排ガスが流れる通路を形成するものであり、円形断面形状をなし、長手方向（流体の流れ方向）に所定間隔をもってサポート部材１２，１３が固定されている。このサポート部材１２，１３は、配管１１内に径方向に沿って配置されると共に、互いに交差（直交）する方向に配置されている。そして、サポート部材１２，１３は、端部が配管１１の内壁面に溶接などにより固定されると共に、互いに一体となるように連結されている。
【００２６】
サポート部材１２は、配管１１の上下方向（鉛直方向）に沿って配設され、Ｃ字断面形状をなしている。そして、配管１１は、このサポート部材１２の一端部（上端部）が連結される位置に円形をなす作業開口部１４が形成されている。また、配管１１は、上部に作業開口部１４を閉塞するように囲繞する作業室１５が設けられている。
【００２７】
サポート部材１２は、径方向における一方側、具体的には、配管１１内を流れる排ガスの流れ方向上流側に長手方向に沿う開口１６が形成されている。また、サポート部材１２は、径方向における他方側、具体的には、配管１１内を流れる排ガスの流れ方向下流側であって、その内側に長手方向に沿うガイドレール２１が固定されている。移動部材２２は、サポート部材１２の内部に配置され、一側部がこのガイドレール２１に移動自在に支持されている。
【００２８】
駆動装置としての巻上モータ２３は、配管１１の上面部であって、作業室１５内に配置されており、駆動軸２４に駆動プーリ２５が固定されている。また、従動プーリ２６は、配管１１の内面部であって、サポート部材１２の下部にブラケット２７により回転自在に支持されており、駆動プーリ２５との間に無端のワイヤ２８が掛け回されている。そして、このワイヤ２８は、連結部材２９により移動部材２２に連結されている。
【００２９】
ピトー管３１は、移動部材２２に装着されており、基端部がサポート部材１２内で上方を向き、先端部がほぼ９０度に屈曲されて開口１６から突出し、配管１１内を流れる排ガスの流れ方向上流側を向いている。作業室１５の外部であって、図示しない管理室内に圧力計３２が設けられ、この圧力計３２は、連結配管３３を介してピトー管３１の基端部と連結されており、ピトー管３１に作用する圧力を計測することができる。
【００３０】
従って、巻上モータ２３を駆動することで、ワイヤ２８を移動し、移動部材２２をガイドレール２１を介してサポート部材１２に沿って移動することができる。そのため、この移動部材２２に装着されたピトー管３１は、配管１１内を上部から中心部を通って下部まで移動することができ、圧力計３２は、ピトー管３１が移動する各位置での圧力を計測することができる。
【００３１】
なお、連結配管３３は、ピトー管３１の上下移動に伴ってサポート部材１２内でその長さを調整する必要があるが、この場合、連結配管３３を軟質のチューブとしてピトー管３１の上下移動に伴って撓むように構成すればよい。
【００３２】
操作装置３４及び制御装置３５は、圧力計３２と同様に、上述した管理室内に配置されており、圧力計３２に接続されて計測結果が入力されるようになっている。また、この制御装置３５は、巻上モータ２３を制御し、駆動及び停止だけでなく、回転数も調整可能となっている。更に、この巻上モータ２３には、位置検出センサとしてのロータリエンコーダ３６が装着されており、制御装置３５は、このロータリエンコーダ３６に接続されて計測結果が入力されるようになっている。従って、制御装置３５は、ロータリエンコーダ３６の計測結果に基づいて、移動部材２２の移動位置、つまり、ピトー管３１により計測位置を検出することができる。
【００３３】
ここで、実施例１の流量計測装置による流量計測方法について説明する。作業者は、管理室で操作装置３４を操作し、計測操作指令を制御装置３５に送る。制御装置３５は、この計測操作指令に基づいて巻上モータ２３を制御し、移動部材２２を移動することで、ピトー管３１を配管１１内で移動する。このとき、ピトー管３１は、先端部に作用する流体の圧力が連結配管３３を通して圧力計３２に伝達され、圧力計３２は計測した圧力を制御装置３５に出力する。また、ロータリエンコーダ３６は、計測結果を制御装置３５に出力する。
【００３４】
制御装置３５は、ロータリエンコーダ３６の計測結果に基づいてピトー管３１により計測位置を検出し、また、各計測位置で圧力計３２からの圧力に基づいて流量を算出する。この場合，制御装置３５は、予め配管１１内で排ガスの流れがないとき（流速Ｖ＝０）の配管１１内における静圧を計測しておき、この静圧と圧力計３２が計測した圧力（総圧または全圧）との差圧に基づいて配管１１内の流量（流速）を求める。そして、制御装置３５は、配管１１内における径方向の流量分布（流速分布）を求める。
【００３５】
このように実施例１の流量計測装置にあっては、配管１１内に径方向に沿って配置されるサポート部材１２に沿って移動部材２２を移動自在に支持し、配管１１の外部に配置された巻上モータ２３により作業開口部１４を通して移動部材２２を移動可能とし、この移動部材２２にピトー管３１を装着し、ピトー管３１にこのピトー管３１に作用する圧力を計測する圧力計３２を連結し、この圧力計３２の計測結果に基づいて流量を算出する制御装置３５を設けている。
【００３６】
従って、巻上モータ２３により移動部材２２を移動することで、ピトー管３１を配管１１内で径方向に沿って移動することができ、このピトー管３１と圧力計３２により配管１１内におけるいずれの径方向位置の圧力を計測することができ、制御装置３５が計測した圧力により容易に流量を算出することができる。その結果、配管１１内での流量計測作業を簡素化することで作業者にかかる負担を軽減することができると共に、高精度な計測を可能とすることができる。
【００３７】
この場合、移動部材２２を、配管１１を補強するためのサポート部材１２に移動自在に支持したことで、ピトー管３１の移動を安定して行うことができ、ピトー管３１及び圧力計３２による圧力計測を高精度に行うことができる。
【００３８】
また、実施例１の流量計測装置では、移動部材２２のロータリエンコーダ３６を設け、検出結果を制御装置３５に出力している。従って、制御装置３５は、ロータリエンコーダ３６の検出結果に基づいて移動部材２２の移動位置、つまり、ピトー管３１による圧力計測位置を把握することができ、高精度な流量計測を行うことができる。
【００３９】
また、実施例１の流量計測装置では、作業開口部１４を閉塞するように囲繞する作業室１５を設け、この作業室１５内に巻上モータ２３を配置している。従って、作業室１５により作業開口部１４が閉塞されることで、配管１１内を流れる排ガスが作業開口部１４から外部に漏洩することを防止することができ、また、作業室１５内に巻上モータ２３を配置することで、巻上モータ２３により容易に移動部材２２を移動することができ、作業性を向上することができる。
【００４０】
また、実施例１の流量計測装置では、移動部材２２、巻上モータ２３、ピトー管３１などの計測に必要な部材をほとんど作業室１５により閉塞された配管１１内に設けている。従って、流量計測を行わないときには、移動部材２２やピトー管３１などを排ガスの流れ抵抗となりにくい配管１１の内壁面に接近した位置に配置すればよく、一方、流量計測を行うときには、操作装置３４や制御装置３５などを用いて簡単に作業を行うことができる。
【実施例２】
【００４１】
図４は、本発明の実施例２に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向に直交する方向における配管断面図である。なお、上述した実施例と同様の機能を有する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４２】
実施例２の流量計測装置において、図４に示すように、配管１１は、内部にサポート部材１２，１３が固定されている。このサポート部材１２は、配管１１の上下方向に沿って配設され、配管１１は、このサポート部材１２の上端部が連結される位置に作業開口部１４が形成され、この作業開口部１４を閉塞するように囲繞する作業室１５が設けられている。
【００４３】
サポート部材１２は、ガイドレール２１が固定され、移動部材２２はこのガイドレール２１に移動自在に支持されている。巻上モータ２３は、配管１１の上面部であって、作業室１５内に配置されており、駆動軸２４に駆動プーリ２５が固定されている。また、従動プーリ２６は、配管１１の内面部であって、サポート部材１２の下部にブラケット２７により回転自在に支持されており、駆動プーリ２５との間に無端のワイヤ２８が掛け回されている。そして、このワイヤ２８は、連結部材２９により移動部材２２に連結されている。
【００４４】
ピトー管３１は、移動部材２２に装着されており、基端部がサポート部材１２内で上方を向き、先端部がほぼ９０度に屈曲されて開口１６から突出し、配管１１内を流れる排ガスの流れ方向上流側を向いている。ピトー管３１は、基端部が連結配管３３を介して圧力計３２に連結されている。
【００４５】
作業室１５の外部には、ピトー管３１と圧力計３２とを連結する連結配管３３は、中途部に三方弁４１が装着され、パージエア供給配管４２を介してエア供給源４３が連結されている。このエア供給源４３は、例えば、工場エアである。また、エア供給源４３は、加圧エア配管４４の基端部が連結され、この加圧エア配管４４の先端部が作業室１５内に挿通されており、中途部に開閉弁４５が設けられている。そして、制御装置３５は、三方弁４１、エア供給源４３、開閉弁４５を制御可能となっている。
【００４６】
従って、制御装置３５は、三方弁４１により連結配管３３とパージエア供給配管４２とを連通し、エア供給源４３を作動することで、パージエアをパージエア供給配管４２及び連結配管３３を介してピトー管３１に供給し、先端部から排出することで、ピトー管３１内にある異物を除去することができる。
【００４７】
また、制御装置３５は、エア供給源４３を作動すると共に、開閉弁４５を開放することで、エアを加圧エア配管４４から作業室１５に供給し、この作業室１５を配管１１内の圧力よりも高い圧力まで加圧することで、配管１１内の排ガスが作業室１５内に侵入するのを防止できる。
【００４８】
従って、作業者は、管理室で操作装置３４を操作し、計測操作指令を制御装置３５に送る。制御装置３５は、この計測操作指令に基づいて巻上モータ２３を制御し、移動部材２２を移動することで、ピトー管３１を配管１１内で移動する。このとき、ピトー管３１は、先端部に作用する流体の圧力が連結配管３３を通して圧力計３２に伝達され、圧力計３２は計測した圧力を制御装置３５に出力する。また、ロータリエンコーダ３６は、計測結果を制御装置３５に出力する。制御装置３５は、ロータリエンコーダ３６の計測結果に基づいてピトー管３１により計測位置を検出し、また、各計測位置で圧力計３２からの圧力に基づいて流量を算出し、配管１１内における径方向の流量分布（流速分布）を求める。
【００４９】
このとき、制御装置３５は、エア供給源４３を作動すると共に、開閉弁４５を開放することで、加圧エア配管４４から作業室１５にエアを供給し、この作業室１５を加圧しており、配管１１内の排ガスが作業室１５内に侵入するのを防止し、作業室１５からの排ガスの漏洩が防止される。
【００５０】
このように実施例２の流量計測装置にあっては、圧力計３２側からピトー管３１の先端部に向けてパージエアを供給するパージエア供給配管４２を設けている。従って、パージエア供給配管４２によりピトー管３１の先端部に向けてパージエアを供給することで、このピトー管３１内の堆積物などの異物を定期的に除去することが可能となり、このピトー管３１の閉塞を防止することができる。
【００５１】
また、実施例２の流量計測装置では、作業室１５から配管１１内を流れる流体の漏洩を防止する流体漏洩装置として、作業室１５内に外部の空気を供給して加圧する加圧エア配管４４を設けている。従って、加圧エア配管４４を通して作業室１５内にエアを供給して加圧することで、配管１１の流体が作業室１５に侵入することを阻止し、外部への排ガスの漏洩を容易に防止することができる。その結果、作業室１５からの排ガスのリークをなくして、ピトー管３１及び圧力計３２による計測精度を向上することができる。
【実施例３】
【００５２】
図５は、本発明の実施例３に係る流量計測装置を表す排ガスの流れ方向における配管断面図である。なお、上述した実施例と同様の機能を有する部材には、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５３】
実施例３の流量計測装置において、図５に示すように、配管１１は、内部にサポート部材１２，１３が固定されている。このサポート部材１２は、配管１１の上下方向に沿って配設され、配管１１は、このサポート部材１２の上端部が連結される位置に作業開口部１４が形成され、この作業開口部１４を閉塞するように囲繞する作業室１５が設けられている。
【００５４】
移動部材２２はサポート部材１２の長手方向に沿って移動自在に支持されている。巻上モータ２３は、配管１１の上面部であって、作業室１５内に配置されており、駆動軸２４に駆動プーリ２５が固定されている。また、従動プーリ２６は、配管１１の内面部であって、サポート部材１２の下部にブラケット２７により回転自在に支持されており、駆動プーリ２５との間に無端のワイヤ２８が掛け回されている。そして、このワイヤ２８は、連結部材２９により移動部材２２に連結されている。
【００５５】
ピトー管３１は、移動部材２２に装着されており、基端部がサポート部材１２内で上方を向き、先端部がほぼ９０度に屈曲されて開口１６から突出し、配管１１内を流れる排ガスの流れ方向上流側を向いている。ピトー管３１は、基端部が連結配管３３を介して圧力計３２に連結されている。
【００５６】
連通配管（連通部材）５１は、一端部が作業室１５内に連通し、他端部が配管１１内におけるピトー管３１より排ガスの流れ方向における上流側に連通している。従って、作業室１５は、連通配管５１により配管１１内におけるピトー管３１より排ガスの流れ方向における上流側に連通することで、この作業室１５内の圧力と配管１５内の圧力が同等となり、作業室１５からの排ガスの漏洩を防止できる。
【００５７】
従って、作業者は、管理室で操作装置３４を操作し、計測操作指令を制御装置３５に送る。制御装置３５は、この計測操作指令に基づいて巻上モータ２３を制御し、移動部材２２を移動することで、ピトー管３１を配管１１内で移動する。このとき、ピトー管３１は、先端部に作用する流体の圧力が連結配管３３を通して圧力計３２に伝達され、圧力計３２は計測した圧力を制御装置３５に出力する。また、ロータリエンコーダ３６は、計測結果を制御装置３５に出力する。制御装置３５は、ロータリエンコーダ３６の計測結果に基づいてピトー管３１により計測位置を検出し、また、各計測位置で圧力計３２からの圧力に基づいて流量を算出し、配管１１内における径方向の流量分布（流速分布）を求める。
【００５８】
このとき、作業室１５は、連通配管５１により配管１１内におけるピトー管３１より排ガスの流れ方向における上流側に連通することで、この作業室１５内の圧力と配管１１内の圧力が同等となっている。そのため、作業室１５からの排ガスの漏洩を防止できる。
【００５９】
このように実施例３の流量計測装置にあっては、作業室１５内と配管１１内におけるピトー管３１より排ガスの流れ方向における上流側とを連通する連通配管５１を設けている。従って、連通配管５１により作業室１５内と配管１１内における上流部とを連通して同圧とすることで、配管１１の排ガスが作業室１５に侵入することを阻止し、外部への排ガスの漏洩を容易に防止することができる。その結果、作業室１５からの排ガスのリークをなくして、ピトー管３１及び圧力計３２による計測精度を向上することができる。
【００６０】
なお、上述した各実施例にて、ピトー管３１が装着された移動部材２２をガイドレール２１に沿って移動自在とし、巻上モータ２３やワイヤ２８により移動可能としたが、この構成に限定されるものではない。例えば、ラックとピニオン機構、ねじ機構、流体シリンダ機構などにより移動部材を移動するように構成してもよい。
【００６１】
また、本発明の流量計測装置をボイラ配管を流れる排ガスを計測するものとしたが、これに限定されるものではなく、流体は、ガスに限らず、液体であってもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１１  配管
１２，１３  サポート部材
１４  作業開口部
１５  作業室
２２  移動部材
２３  巻上モータ（駆動装置）
２８  ワイヤ
３１  ピトー管
３２  圧力計
３４  操作装置
３５  制御装置
３６  ロータリエンコーダ（位置検出センサ）
４１  三方弁
４２  パージエア供給配管（パージエア供給装置）
４３  エア供給源
４４  加圧エア配管（流体漏洩装置、空気供給装置）
５１  連通配管（流体漏洩装置、連通部材）
【図１】
2012163453.tif 000003
【図２】
2012163453.tif 000004
【図３】
2012163453.tif 000005
【図４】
2012163453.tif 000006
【図５】
2012163453.tif 000007