(57)【要約】【課題】構造がコンパクトとなるとともに基板固定が不要であり、ライン上で基板を搬送しながら基板上の異物をクリーニングすることができる情報表示用パネルの基板クリーニング装置を提供する。【解決手段】基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置であって、基板２３を搬送する基板搬送装置２１と、基板搬送装置で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置３１と、ブロー装置の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板４１と、飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置５１と、ダウンブロー装置に対応して基板搬送装置の下方に設けられ、ダウンブロー装置により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置６１と、を備える。【選択図】図３
2012163830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置であって、
上記基板を搬送する基板搬送装置と、
上記基板搬送装置で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置と、
上記ブロー装置の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板と、
上記飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置と、
上記ダウンブロー装置に対応して上記基板搬送装置の下方に設けられ、上記ダウンブロー装置により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置と、
を備えることを特徴とする情報表示用パネルの基板クリーニング装置。
【請求項２】
前記ブロー装置が、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドと該ラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とを有することを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。
【請求項３】
前記基板搬送装置が、搬送ローラー群を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。
【請求項４】
前記ダウンブロー装置の他に、前記仕切り板を挟み、前記ダウンブロー装置と対向する位置にエアーを下方に向けて吹き出すダウンブロー装置を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。
【請求項５】
前記仕切り板に、イオナイザーを設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの基板クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成したセル内に粒子群を配置し、粒子群を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような情報表示用パネルは、一方の基板上に隔壁を形成し、隔壁で区画されたセル内に粒子群を充填し、他方の基板を接着剤を介して隔壁上に貼り合わせることで作製されている。
【０００３】
上述した情報表示用パネルを製造するにあたり、基板上に隔壁を形成する際や、他方の基板を一方の基板の隔壁上に接着剤を介して貼り合わせる際には、基板上に塵などの異物が残存すると問題になるため、基板表面上をクリーニングする必要がある。このような用途に向く、一般的なクリーニング装置として、回転ブラシローラを使用した構成の除塵装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
図６は従来の除塵装置の一例を用いて基板表面から異物を除去する例を説明するための図である。図６に示す例において、ステージ１０１上に固定された基板１０２に接近した位置にて、例えば特許文献２で開示された除塵装置からなるクリーナーヘッド１０３を、少なくとも基板１０２の幅全体に設け、クリーナーヘッド１０３を基板１０２に対し移動させて、基板１０２の表面から巻き上げた異物を、配管１０４を介して、ブロア１０５により吸引することで、基板表面の異物を除去することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ２００４／０５５５８６号
【特許文献２】特開平９−３１４０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、特許文献２に記載されたような除塵装置を、本発明が対象とする情報表示用パネルの基板クリーニングに使用しようとすると、クリーニングヘッド１０３が大型のため、搬送装置により基板を移動させて連続した処理を行うライン上に設置することが困難な問題があった。また、ブロア１０５が強力なため基板１０２をステージ１０１に強固に固定する必要があり、この点でも、ライン上での製造に不向きとなる問題があった。
【０００７】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、構造がコンパクトとなるとともに基板固定が不要であり、ライン上で基板を搬送しながら基板上の異物をクリーニングすることができる情報表示用パネルの基板クリーニング装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、基板間に封入した表示媒体を電界により移動させて情報を表示する情報表示用パネルの基板クリーニング装置であって、上記基板を搬送する基板搬送装置と、上記基板搬送装置で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置と、上記ブロー装置の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板と、上記飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置と、上記ダウンブロー装置に対応して上記基板搬送装置の下方に設けられ、上記ダウンブロー装置により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置と、を備えることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の好適例としては、前記ブロー装置が、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドと該ラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とを有することが挙げられる。また、前記基板搬送装置が、搬送ローラー群を備えることが挙げられる。さらに、前記ダウンブロー装置の他に、前記仕切り板を挟み、前記ダウンブロー装置と対向する位置にエアーを下方に向けて吹き出すダウンブロー装置を設けたことが挙げられる。さらにまた、前記仕切り板に、イオナイザーを設けたことが挙げられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、情報表示用パネルの基板クリーニング装置を、基板搬送装置、ブロー装置、仕切り板、ダウンブロー装置、吸引装置により構成し、ブロー装置、仕切り板、ダウンブロー装置、吸引装置により構成し、基板搬送装置により搬送される基板に対し、ブロー装置および仕切り板で基板上の塵等の異物を他の部位を汚染することなく巻き上げ、巻き上げた異物をダウンブロー装置および吸引装置により吸引除去できる構成としたため、構造がコンパクトとなるとともに基板固定が不要であり、ライン上で基板を搬送しながら基板上の異物をクリーニングすることができる。
【００１１】
また、ブロー装置を、少なくとも基板の幅全体にわたってエアーを吹き付けるラインブローヘッドとラインブローヘッドにエアーを供給するエアー配管とから構成した場合は、基板に対し後方に吹き付けるエアーを効果的に供給することができ、基板の幅方向全体にエアーを吹き付けることで、より効果的に基板の搬送路に対する固定ができるとともに、より効果的な異物除去を行うことができるため好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象となる帯電粒子気体中移動型情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】本発明の基板クリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。
【図３】本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の一例の構成を説明するための図である。
【図４】本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の他の例の構成を説明するための図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の基板クリーニング方法の一例を説明するための図である。
【図６】従来の除塵装置の一例を用いて基板表面から異物を除去する例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜本発明の基板クリーニング装置によるクリーニングの対象となる基板を備える情報表示用パネルについて＞
まず、本発明の対象となる情報表示用パネルの一例である帯電粒子気体中移動型情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。この情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に対向電極対から電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１４】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ白色粒子群３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ黒色粒子群３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セル７において、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色粒子群３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色粒子群３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示できるようにしている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。また、８は接着剤である。さらに、ここではセルと画素（ドット）とが１対１に対応する従来の情報表示用パネルの例を示している。
【００１５】
＜本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法について＞
図２は本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図２に示す例に従って、本発明の対象となる情報表示用パネルの製造方法の概略を説明すると、まず、下側の基板１にフォトリソ法などにより隔壁４を形成して隔壁付き下基板１を作製する。次に、下基板１上において隔壁４により形成されたセル７内に表示媒体となる粒子群（例えば、白色粒子群３Ｗ）を撒布法などにより充填配置する。このとき、必要に応じて、他の色の粒子群（例えば、黒色粒子群３Ｂ）を白色粒子群３Ｗに重ねてセル７内に充填する。次に、別に準備した上基板２を、粒子群を充填配置した下基板１上に接着剤などを介して貼り合わせて、下基板１上に上基板２を重ね合わせて、情報表示用パネル前駆体１３を作製する。最後に、情報表示用パネル前駆体１３を例えば加熱装置１４中で加熱して、隔壁４と上基板２との間の接着剤を本硬化させることで、本発明の対象となる情報表示用パネルを得ている。
【００１６】
本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、好適例として、図２に示す情報表示用パネルの製造方法の各工程のうち、隔壁４を形成する前の下基板１および下基板１と重ね合わす前の上基板２のそれぞれの表面上に残存する塵等の異物を除去するために使用されている。
【００１７】
＜本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の構成について＞
図３は本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の一例の構成を説明するための図である。図３に示す例において、本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置は、基板を搬送する基板搬送装置２１と、基板搬送装置２１で搬送される基板表面に、その斜め前方からエアーを吹き付けるブロー装置３１と、ブロー装置３１の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断する仕切り板４１と、飛散する異物に対し、その上方から別途エアーを下向きに吹き出すダウンブロー装置５１と、ダウンブロー装置５１に対応して基板搬送装置２１の下方に設けられ、ダウンブロー装置５１により下方に吹き出される異物を吸引する吸引装置６１とから構成されている。
【００１８】
以下、上記本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置について、基板搬送装置２１、ブロー装置３１、仕切り板４１、ダウンブロー装置５１および吸引装置６１の具体的な構成の一例を、図３および図４を参照して説明する。
【００１９】
図３に示す例において、基板搬送装置２１は、複数の搬送ローラー２２を一例に並べた搬送ローラー群から構成されており、クリーニングの対象となる基板２３を図中矢印で示す基板搬送方向に移動させる。ローラー２２から構成される搬送路の幅は、基板２３の幅と同じかそれ以上とする。本例では、基板搬送装置２１を各搬送ローラー２２間に空間が存在する搬送ローラー群から構成することで、ダウンブロー装置５１から下方に吹き出される異物を、搬送ローラー群を介して、その下方に設けた吸引装置６１で吸引することが可能となる。
【００２０】
図３に示す例において、ブロー装置３１は、基板搬送装置２１で搬送される基板２３に対してごく僅かの距離を隔てた近接した位置に設けられ、基板搬送装置２１の基板搬送方向に対し後方に向けてエアーを吹き出すよう構成されている。また、本例において、ブロー装置３１は、少なくとも基板２３の幅全体の長さに配置されたラインブローヘッド３２と、このラインブローヘッド３２にエアーを供給するエアー配管３３とから構成されている。ラインブローヘッド３２を基板搬送装置２１の搬送路に対し斜めに配置することで、基板２３の表面上において、基板搬送装置２１の基板搬送方向に対し後方に向けてエアーを吹き出すよう構成されている。この後方に向くエアーが基板２３の表面に残存する塵等の異物を巻き上げる。
【００２１】
図３に示す例において、仕切り板４１は、基板搬送装置２１の基板搬送方向よりも前方の位置であって、基板２３に対してごく僅かの距離を隔てた近接した位置に設けられている。また、本例において、仕切り板４１は、少なくとも基板２３の幅全体の長さにわたって設けられている。この仕切り板４１により、ブロー装置３１の吹き付けにより基板表面から飛散する異物の基板搬送方向への移動を遮断することができ、その結果、ブロー装置３１により巻き上げられた塵等の異物が、クリーニング後の次工程に入り込み次工程を汚染することを防止することができる。
【００２２】
図３に示す例において、ダウンブロー装置５１は、基板搬送装置２１の基板搬送方向に対してブロー装置３１よりも後方の位置であって、基板搬送装置２１の上側に設けられ、エアーを下方向に向けて吹き出すよう構成されている。本例において、ダウンブロー装置５１は、ＨＥＰＡフィルター５２を介してエアー配管５３から供給されるエアーを下向きに吹き出すよう構成されている。ダウンブロー装置５１の下向きのエアーにより、巻き上げられた塵等の異物を下向きに移送することができる。また、ＨＥＰＡフィルター５２により、巻き上げられた塵等の異物を下方に移送するためのエアーの清浄化を図っている。
【００２３】
図３に示す例において、吸引装置６１は、ダウンブロー装置５１の位置に対応させて、基板搬送装置２１の下側に設けられている。また、本例において、吸引装置６１は、プレフィルター６２とＨＥＰＡフィルター６３とから構成されている。プレフィルター６２およびＨＥＰＡフィルター６３により、巻き上げられ下方に移送された異物を含むエアーから異物を除去することができ、異物を除去した排気エアーをエアー配管６４を介して外部に放出することができる。
【００２４】
図４は本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング装置の他の例の構成を説明するための図である。図４に示す例において、図３に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図４に示す例では、図３に示す構成に加えて、仕切り板４１よりも基板搬送装置２１の基板搬送方向に対して前方の位置であって、基板搬送装置２１の上側に、エアーを下方向に向けて吹き出すダウンブロー装置７１と、仕切り板４１に設けたイオナイザー８１とを備えている。
【００２５】
図４に示す例において、ダウンブロー装置７１は、ＨＥＰＡフィルター７２を介してエアー配管７３から供給されるエアーを下向きに吹き出すよう構成されている。ダウンブロー装置７１を設けた場合は、ダウンブロー装置７１から供給される下向きのエアーが基板２３の表面に衝突することにより、クリーニング工程終了後におけるクリーニングした基板２３の清浄さを保つことができ好ましい。また、図４に示す例において、仕切り板４１にイオナイザー８１を設けた場合は、イオナイザー８１が仕切り板４１の除電を行い、巻き上げられた塵等の異物が仕切り板４１に付着することを防止でき好ましい。
【００２６】
＜本発明の情報表示用パネルの基板クリーニング方法について＞
図５（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の基板クリーニング方法の一例を説明するための図である。図５（ａ）、（ｂ）に示す例に沿って本発明の基板クリーニング方法の一例を説明すると、まず、図５（ａ）に示すように、基板搬送装置２１の搬送路上を移動する基板２３の表面に対し、ブロー装置３１のラインブローヘッド３２からエアーを基板搬送方向後方へ吹き付け、基板２３の表面からクリーニングすべき異物を巻き上げる。次に、図５（ｂ）に示すように、巻き上げた異物をダウンブロー装置５１からのエアーで下方へ移動させ、下方へ移動した異物を吸引装置６１で吸引して除去する。
【００２７】
上述した本発明の基板クリーニング装置及びそれを用いた基板クリーニング方法では、エアーの吹き付けのみの構造であるため、基板搬送装置２１によるライン上で基板２３を搬送しながら基板２３上の異物をクリーニングすることができる。また、従来のように、基板から異物を吸い込むための大型の配管およびブロアが不要となるため、省スペースでの設置が可能となり、設備費を安価に抑えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明の対象となる情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ(Point Of Presence, Point Of Purchase advertising)、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、リライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
【符号の説明】
【００２９】
１、２  基板
３Ｗ  白色粒子群
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂ  黒色粒子群
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４  隔壁
５、６  ストライプ電極
７  セル
８  接着剤
１３  情報表示用パネル前駆体
１４  加熱装置
２１  基板搬送装置
２２  ローラー
２３  基板
３１  ブロー装置
３２  ラインブローヘッド
３３、５３、７３  エアー配管
４１  仕切り板
５１、７１  ダウンブロー装置
５２、６３、７２  ＨＥＰＡフィルター
６１  吸引装置
６２  プレフィルター
【図１】
2012163830.tif 000003
【図２】
2012163830.tif 000004
【図３】
2012163830.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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