(57)【要約】【課題】ウェハやＦＰＤ用基板等の処理基板の処理装置を構成する真空容器に関するものであり、真空容器を構成する筐体に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることなく、蓋板の開閉ができる真空容器を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る真空容器は、開口部を有する筐体と、封止部材を備えた蓋体と、開閉可能な前記蓋体によって前記筐体の開口部を封止する真空容器において、前記蓋体の封止部材取付部より外側に傾斜部を設けたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する筐体と、封止部材を備えた蓋体と、開閉可能な前記蓋体によって前記筐体の開口部を封止する真空容器において、前記蓋体の封止部材取付部より外側に傾斜部を設けたことを特徴とする真空容器。
【請求項２】
前記傾斜部が蓋体の全周に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空容器。
【請求項３】
前記傾斜部の角度が５〜１５度であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばウェハやＦＰＤ用基板等の処理基板の処理装置を構成する真空容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空容器は、従来から種々の産業分野において広く用いられている。例えば薄膜形成装置、エッチング装置などの半導体製造装置にあっては、被処理物が内部に設置される真空容器が用いられ、この真空容器内に被処理物を設置し、さらに真空容器内を真空状態にして処理ガスを導入し、ＣＶＤ法（Chemical
Vapor Deposition：気相成長法）やプラズマを用いて所定の処理を行っている。
【０００３】
特許文献１には、真空容器部分の上面にシールリングが設けられ、その上に絶縁フランジが載せられており、さらに、絶縁フランジの上面には、シールリングが設けられた電極フランジが取付けられ、封止される構成が記載されている。
【０００４】
特許文献１に記載されているような一般的な構成について、概略を示した図３を用いて説明する。図３は真空容器１の部分断面図であり、筐体２に蓋板３が取付けられた状態を示している。
【０００５】
筐体２は、例えばアルミニウムやステンレス等の金属によって箱体に形成されている。蓋板３もアルミニウムやステンレス等の金属が用いられる。筐体２と蓋板３との接合部にはゴム材などの弾性力を持つ材料で作られた封止部材４（例えばＯリング）が取付けられている。そして、固定ボルト５によって蓋板３が筐体２に取付けられている。これらの部材で構成された密閉空間が真空側であり、密閉空間よりも外側が大気側である。
【０００６】
近年、被処理物の大型化に伴い真空容器１全体が大型化している。そして、真空に耐えうる剛性が筐体２および蓋板３に要求されるため、筐体２および蓋板３の板厚が増し、重量が増加してきている。
【０００７】
真空容器１の内部に収納されている機器のメンテナンス時や真空容器１内を清掃する際には蓋板３の開閉を行わなければならない。重量が増加した蓋板３を人力で開閉することは到底できないため、クレーン等を用いて蓋板を開閉することが一般的に行われている。また、特許文献２に示されるような、シリンダー機構によって構成された開閉機構を蓋板に設け、この開閉機構の補助を得て蓋板の開閉を行うといったことも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平８−３１１６５４号公報
【特許文献２】特開２００５−６４２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
クレーン等を用いて蓋板を開閉する場合、注意していても蓋板が傾いてしまうことがある。その場合、筐体に設けられた封止部材が接する部分に蓋板の角部が接触し、封止部材が接する部分を傷付けてしまう恐れがあった。
【００１０】
特許文献２に示されるような、シリンダー機構によって構成された開閉機構を蓋板に設ける方式も、筐体に対して並行に蓋板を開閉するように開閉機構を調整することは容易なことではない。仮に筐体に対して平行に蓋板を開閉できるように調整できたとしても、蓋板の開閉を行っている内に徐々に平行を維持することができなくなってしまい、筐体に設けられた封止部材が接する部分に蓋板の角部が接触し、封止部材が接する部分を傷付けてしまう恐れがあった。
【００１１】
封止部材が接する部分を傷付けてしまうと、筐体と蓋板との気密を保つことができなくなるといった問題があった。そして、傷付いた部分を修復するのにコストと時間がかかるといった問題もあった。
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、筐体に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることなく蓋板を開閉することのできる真空容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に記載の真空容器は、開口部を有する筐体と、封止部材を備えた蓋体と、開閉可能な前記蓋体によって前記筐体の開口部を封止する真空容器において、前記蓋体の封止部材取付部より外側に傾斜部を設けたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項２に記載の真空容器は、請求項１に記載の発明において、前記傾斜部が蓋体の全周に設けられていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項３に記載の真空容器は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記傾斜部の角度が５〜１５度であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の真空容器によれば、蓋板の開閉時に多少蓋板が傾いたとしても、筐体に設けられた封止部材が接する部分を蓋板の角部で傷付けることなく、蓋板の開閉を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は本発明による真空容器の部分断面図である。
【図２】図２は本発明による真空容器の蓋板の開閉状態を示す部分断面図である。
【図３】図３は従来の真空容器を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例について図１および図２を用いて説明する。
【００１９】
図１は本発明による真空容器１の部分断面図であり、筐体２に蓋板３が取付けられた状態を示している。真空容器１の構成部材である筐体２は、アルミニウムやステンレス等の金属によって箱体に形成されている。筐体２の上端開口部に蓋板３が載せられており、固定ボルト５によって取付けられている。これらの部材で構成された密閉空間が真空側であり、密閉空間よりも外側が大気側である。
【００２０】
蓋板３は筐体２と同様にアルミニウムやステンレス等の金属製であり、筐体２の開口部に合わせた四角形状で作成されている。蓋板３には、封止部材４を取付けるための溝が設けられている。蓋板３を持ち上げても封止部材４が落下しないように、溝にはテーパ加工が施されている。そして、この溝に封止部材４が嵌め込まれて取付けられており、筐体２と蓋板３とで構成される真空容器１の気密を保つように構成されている。
【００２１】
封止部材４は、例えばゴム材などの弾性力を持つ材料で作られており、図示の例では断面が円形のＯリングが用いられている。また、封止部材４が筐体２に接する部分は気密を保つために精緻な加工が施されている。
【００２２】
蓋板３には傾斜部６が設けられている。傾斜部６は封止部材４の取付部から大気側である外側に向かって蓋板３の板厚が小さくなるように設けられている。
【００２３】
図２は筐体２に蓋板３を取付ける途中経過の状態を示している。図２に示すように、蓋板３が傾いた状態で筐体２に近づいてきても、封止部材４が筐体２に最初に接触する。このように、蓋板３に傾斜部６を設けることによって、筐体２に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることなく、蓋板３の開閉を行うことが出来る。
【００２４】
傾斜部を蓋板の一辺に設けるのか、または全周に設けるのかは蓋板の設定状況に応じて適宜選択すればよい。例えば、クレーン等を用いて蓋板の開閉を行う場合には、蓋板がどの方向に傾いても筐体に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることがないように、蓋板の全周に渡って傾斜部を設ければよい。シリンダー等の機構によって構成された開閉機構を蓋板に設けて開閉を行う場合には、筐体に最初に近づく蓋板の一辺に傾斜部を設ければよい。
【００２５】
蓋板３の開閉時において、蓋板が極端に大きく傾くことは考えられない為、傾斜部の加工を考慮し、傾斜部の角度は５〜１５度程度で十分効果が得られる。
【符号の説明】
【００２６】
１    真空容器
２    筐体
３    蓋板
４    封止部材
５    固定ボルト
６    傾斜部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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