(57)【要約】【課題】  基板製造装置の仕様、ユーザ、各国の使用状況等に関わらず、適切に使用することのできる保持フレーム用収納カセットを提供する。【解決手段】  中空部に収容した半導体ウェーハを粘着保持層で粘着保持する保持フレームを収納し、半導体製造装置に位置決めして搭載される保持フレーム用収納カセット２０であり、保持フレーム用収納空間を介して相対向する両側壁２１と、両側壁２１の上部間に架設される天板３３とを備え、両側壁２１の内面に、保持フレーム１の周縁側部を支持する支持溝をそれぞれ形成して各側壁２１の支持溝を上下方向に所定の間隔で配列し、支持溝に、保持フレーム用のがたつき防止片を形成する。そして、両側壁２１の下部に、前後方向に伸びる支持レール２６をそれぞれ取り付け、この一対の支持レール２６の間には架設部材４０として一対の架設板４１を着脱自在に螺着して架設する。【選択図】  図７
2012114355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空部に収容した基板を粘着保持層で粘着保持する保持フレームを収納し、基板製造装置に位置決めして搭載される保持フレーム用収納カセットであって、
保持フレーム用収納空間を介して相対向する両側壁と、この両側壁の上部間に架設される天板とを含み、
両側壁の内面に、保持フレームの周縁側部を支持する支持溝をそれぞれ形成して各側壁の支持溝を上下方向に所定の間隔で配列し、支持溝に、保持フレーム用のがたつき防止片を形成し、両側壁の下部に、前後方向に伸びる支持レールをそれぞれ取り付けるとともに、両側壁の支持レールの間には架設部材を着脱自在に架設し、両側壁の前部には、支持溝に支持された保持フレームの前方への飛び出しを規制可能な規制部材をそれぞれ回転可能に支持させたことを特徴とする保持フレーム用収納カセット。
【請求項２】
両側壁の支持レールに複数の長孔をそれぞれ前後方向に所定の間隔で設け、両側壁の支持レールの間に、保持フレームに下方から対向する複数の架設板をそれぞれ着脱自在に架設して各架設板の下面には基板製造装置用の位置決め具を取り付け、各架設板の両端部に、支持レールの長孔に連通する取付孔をそれぞれ設け、架設板の取付孔と支持レールの長孔とに螺子具を螺子嵌めするようにした請求項１記載の保持フレーム用収納カセット。
【請求項３】
両側壁の支持レールに複数の長孔をそれぞれ前後方向に所定の間隔で設け、両側壁の支持レールの間に、基板製造装置の位置決め具に接触する細長い複数の架設バーをそれぞれ着脱自在に架設して各架設バーの両端部には支持レールの長孔に連通する取付孔をそれぞれ設け、架設バーの取付孔と支持レールの長孔とに螺子具を螺子嵌めするようにした請求項１記載の保持フレーム用収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持フレームの収納、保管、搬送等に使用される保持フレーム用収納カセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の保持フレーム用収納カセットは、図示しないが、保持フレーム用の収納空間を介して相対向する両側壁と、この両側壁の下部間に架設されて保持フレームに対向する底板と、両側壁の上部間に架設される天板とを備え、複数枚の保持フレームを整列収納し、各種の半導体製造装置上に位置決めして搭載される（特許文献１、２参照）。
【０００３】
保持フレームは、基本的には平板のリング形に形成され、中空部に可撓性の粘着保持層が覆着されており、この粘着保持層に、中空部に収容される半導体ウェーハが着脱自在に粘着保持される。
【０００４】
保持フレーム用収納カセットは、その幅広の底板の下面に、半導体製造装置の複数の位置決めピン等からなる位置決め部材にそれぞれ上方から位置決め嵌合する位置決め具が固定して配設され、両側壁の内面に、保持フレームの周縁側部を支持する支持溝がそれぞれ形成されており、各側壁の支持溝が上下方向に所定の間隔で複数配列されている。各位置決め具は、業界標準のＳＥＭＩ規格に準拠して画一的に形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４‐１６５６５７号公報
【特許文献２】特開２００８‐１１２８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来における保持フレーム用収納カセットは、以上のように構成され、両側壁の下部間に幅広の底板が強固に架設されてその下面に業界標準のＳＥＭＩ規格に準拠した位置決め具が単に固定されているので、半導体製造装置の仕様が想定の装置とは異なる場合、例えば位置決め部材が位置決めピンでなく、底板に突き当てられるタイプの場合には、位置決め具が機能せず、半導体製造装置上に適切に位置決め搭載することができないので、使用できなくなるおそれがある。
【０００７】
また近年、保持フレーム用収納カセットには、ユーザや各国の使用状況等によりＳＥＭＩ規格とは異なる寸法の位置決め具等が要求されることが少なくない。この場合、ＳＥＭＩ規格の位置決め具では機能しないので、保持フレーム用収納カセットの使用が困難になるという問題がある。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたもので、基板製造装置の仕様、ユーザ、各国の使用状況等に関わらず、適切に使用することができる保持フレーム用収納カセットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明においては上記課題を解決するため、中空部に収容した基板を粘着保持層で粘着保持する保持フレームを収納し、基板製造装置に位置決めして搭載される収納カセットであって、
保持フレーム用収納空間を介して相対向する両側壁と、この両側壁の上部間に架設される天板とを含み、
両側壁の内面に、保持フレームの周縁側部を支持する支持溝をそれぞれ形成して各側壁の支持溝を上下方向に所定の間隔で配列し、支持溝に、保持フレーム用のがたつき防止片を形成し、両側壁の下部に、前後方向に伸びる支持レールをそれぞれ取り付けるとともに、両側壁の支持レールの間には架設部材を着脱自在に架設し、両側壁の前部には、支持溝に支持された保持フレームの前方への飛び出しを規制可能な規制部材をそれぞれ回転可能に支持させたことを特徴としている。
【００１０】
なお、両側壁の支持レールに複数の長孔をそれぞれ前後方向に所定の間隔で設け、両側壁の支持レールの間に、保持フレームに下方から対向する複数の架設板をそれぞれ着脱自在に架設して各架設板の下面には基板製造装置用の位置決め具を取り付け、各架設板の両端部に、支持レールの長孔に連通する取付孔をそれぞれ設け、架設板の取付孔と支持レールの長孔とに螺子具を螺子嵌めすることができる。
【００１１】
また、両側壁の支持レールに複数の長孔をそれぞれ前後方向に所定の間隔で設け、両側壁の支持レールの間に、基板製造装置の位置決め具に接触する細長い複数の架設バーをそれぞれ着脱自在に架設して各架設バーの両端部には支持レールの長孔に連通する取付孔をそれぞれ設け、架設バーの取付孔と支持レールの長孔とに螺子具を螺子嵌めすることができる。
【００１２】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種大きさの半導体ウェーハ（例えばφ２００、３００、４５０ｍｍのシリコンウェーハ等）や液晶基板等が含まれる。また、基板製造装置としては、各種の加工や処理を施す半導体製造装置や液晶基板製造装置等があげられる。具体的には、半導体加工装置やその付属のオープナ、ハンダリフロー装置等が該当する。
【００１３】
がたつき防止片は、任意の支持溝や各支持溝の前部、中央部、後部等に適宜形成することができる。架設部材は、基板製造装置の仕様、ユーザ、各国の使用状況等に応じて増減変更することができる。また、規制部材としては、板や屈曲したバー等を適宜使用可能である。各側壁の前部と規制部材とには、支持溝に支持された保持フレーム方向に規制部材を回転付勢するバネ部材が介在されるが、このバネ部材には、少なくとも板バネやコイルバネ、捻りバネ等が含まれる。さらに、螺子具には、少なくとも必要数のボルト、ナット、ビス等が含まれる。
【００１４】
本発明によれば、基板製造装置に保持フレーム用収納カセットを搭載する場合には、基板製造装置の仕様を確認し、この基板製造装置の仕様に応じ、保持フレーム用収納カセットの両側壁の支持レール間に架設部材、具体的には架設板又は架設バーを設ける。
【００１５】
例えば、基板製造装置に複数の位置決めピン等が設けられている場合には、架設部材として架設板と位置決め具とを用意し、複数の位置決めピンの仕様、すなわち複数の位置決めピンの間隔、大きさ、長さ等を調査し、この複数の位置決めピンに対応する位置決め具を選択して架設板に必要数取り付ける。
【００１６】
架設板に必要数の位置決め具を取り付けたら、一対の支持レールの間に複数の架設板を適宜位置調整して配置し、その後、各支持レールの長孔に架設板の端部を螺子具等でそれぞれ取り付けて固定すれば、複数の位置決めピンに位置決め具がそれぞれ対応するので、基板製造装置に保持フレーム用収納カセットを適切に対応させて配置することができる。
【００１７】
また、基板製造装置に複数の位置決めピンではなく、複数の位置決めブロック等が配設されている場合には、基板製造装置の複数の位置決めブロックの仕様、すなわち複数の位置決めブロックの間隔、大きさ、長さ等を把握し、架設部材として複数の架設バーを選択して一対の支持レールの間に位置調整して配置し、その後、各支持レールの長孔に架設バーの端部を螺子具でそれぞれ取り付けて固定すれば、位置決めブロックに架設バーが順応するので、基板製造装置に保持フレーム用収納カセットを適切に搭載できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、基板製造装置の仕様、ユーザ、各国の使用状況等に関わらず、保持フレーム用収納カセットを適切に使用することができるという効果がある。
【００１９】
また、請求項２記載の発明によれば、基板製造装置に複数の位置決めピンが設けられている場合、この複数の位置決めピンに対応する位置決め具と架設板とを選択するので、基板製造装置に保持フレーム用収納カセットを適切に対応させ、位置決め配置することができる。
また、請求項３記載の発明によれば、基板製造装置に複数の位置決めブロックが設けられている場合、この複数の位置決めブロックに対応する架設バーを選択するので、基板製造装置に保持フレーム用収納カセットを適切に位置決めして配置することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す全体説明図である。
【図２】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における保持フレームを模式的に示す平面説明図である。
【図３】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における保持フレームを模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図５】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図６】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図７】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す底面説明図である。
【図８】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態を模式的に示す背面説明図である。
【図９】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における側壁を模式的に示す説明図である。
【図１０】図１０の側壁を模式的に示す底面説明図である。
【図１１】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における側壁を模式的に示す端面説明図である。
【図１２】図４のＸＩＩ‐ＸＩＩ線断面説明図である。
【図１３】図４のＸＩＩＩ‐ＸＩＩＩ線断面説明図である。
【図１４】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における支持レールと架設板とを模式的に示す底面説明図である。
【図１５】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における支持レールと架設板とを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１６】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における支持レールと架設板の端部との螺着部を模式的に示す断面説明図である。
【図１７】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における支持レールを模式的に示す平面説明図である。
【図１８】図１８の支持レールを模式的に示す外面説明図である。
【図１９】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの実施形態における架設板を模式的に示す説明図である。
【図２０】図１９の正面説明図である。
【図２１】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの第２の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図２２】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの第２の実施形態を模式的に示す側面説明図である。
【図２３】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの第２の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図２４】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの第２の実施形態における支持レールと架設バーとを模式的に示す底面説明図である。
【図２５】本発明に係る保持フレーム用収納カセットの第２の実施形態を模式的に示す背面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における保持フレーム用収納カセット２０は、図１ないし図２０に示すように、半導体ウェーハＷを粘着保持する保持フレーム１を整列収納し、各種の半導体製造装置１０に位置決めして搭載される収納カセットであり、相対向する左右一対の両側壁２１と、この両側壁２１の間に架設される天板３３とを備えて前後面がそれぞれ開口し、両側壁２１の下部に支持レール２６をそれぞれ螺着しており、両側壁２１の支持レール２６の間に、半導体製造装置１０の仕様に対応する架設部材４０である一対の架設板４１を着脱自在に架設するようにしている。
【００２２】
半導体ウェーハＷは、図２や図３に示すように、例えばφ３００ｍｍあるいはφ４５０ｍｍのシリコンウェーハからなり、表面に所定の回路がパターン形成され、裏面のバックグラインドにより薄く形成される。
【００２３】
保持フレーム１は、図２や図３に示すように、基本的には平板のリング形に形成され、裏面の内周縁部付近に中空部２を下方から覆う可撓性の粘着保持層３が緊張して粘着されており、この粘着保持層３に、中空部２に収容される半導体ウェーハＷが着脱自在に粘着保持される。この保持フレーム１は、例えば所定の材料を使用して形成され、位置合わせの観点から周縁部の前後左右がそれぞれ直線的に切り欠かれる。保持フレーム１の所定の材料としては、耐熱性を有するガラス、ステンレス等の金属、ＰＰＳや液晶ポリマー等からなる結晶樹脂、フェノール等からなる熱硬化性樹脂があげられる。
【００２４】
粘着保持層３は、微粘着性の材料を使用して平面円形の薄膜に形成される。この粘着保持層３の材料としては、耐熱性のシリコーンゴム、フッ素ゴム、オレフィンやポリエステル等の熱可塑性エラストマー、必要なフィラーを含む成形材料が該当する。
このような保持フレーム１は、中空部２に露出する粘着保持層３の表面に半導体ウェーハＷを隙間なく粘着保持し、保持フレーム用収納カセット２０内に１３枚、２５枚、又は２６枚等が上下方向に並べて収納される。
【００２５】
半導体製造装置１０は、図１に示すように、例えば半導体ウェーハＷに所定の加工を施す半導体加工装置からなり、保持フレーム用収納カセット２０を搭載するテーブル１１を備える。このテーブル１１の表面には、先端部が略半球形の複数の位置決めピン１２あるいは位置決めブロックが所定の間隔をおいて配設される。本実施形態においては、半導体製造装置１０のテーブル１１表面に、複数の位置決めピン１２が立設されているので、保持フレーム用収納カセット２０の下部に複数の位置決めピン１２に適合する一対の架設板４１が架設部材４０としてカスタマイズされることとなる。
【００２６】
保持フレーム用収納カセット２０の両側壁２１と天板３３とは、所定の樹脂を含有する成形材料を使用してそれぞれ略矩形の板に成形され、選択的に透明、不透明、半透明とされる。所定の樹脂としては、特に限定されるものではないが、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００２７】
両側壁２１は、図６、図９ないし図１３等に示すように、それぞれが前後方向に伸びる略長方形に形成され、保持フレーム用の収納空間を介して相対向する。各側壁２１は、内面の前部から少なくとも中央部付近にかけて、保持フレーム１の周縁側部を水平に支持する支持溝２２がそれぞれ断面略Ｕ字形あるいは略Ｖ字形に形成され、この支持溝２２が上下方向に所定の間隔で配列されており、又内外面のうち少なくとも外面には前後方向に伸びる複数の補強リブ２３や各種の模様が一体形成される。
【００２８】
各支持溝２２は、図１２等に示すように、保持フレーム用収納カセット２０やその側壁２１の前後方向に直線的に伸長形成され、内部に略台形形のがたつき防止片２４が一体形成される。このがたつき防止片２４は、保持フレーム１の表面に上方から接触してそのがたつきを防止するよう機能する。
【００２９】
各側壁２１の下部内面には、支持レール２６用の複数の嵌合孔２５が保持フレーム用収納カセット２０の前後方向に所定の間隔で配列され、各嵌合孔２５が細長い略トラック形や矩形等に穿孔される。また、各側壁２１の下部には、保持フレーム用収納カセット２０の前後方向に伸びる支持レール２６が下方から水平に螺着される。
【００３０】
支持レール２６は、図７、図１４ないし図１８に示すように、例えばアルミニウム合金製やＳＵＳ製の細長い板からなり、下面内側に架設板４１用の切り欠きが形成されて内方向に突出する薄肉部２７を形成し、この薄肉部２７に複数の長孔２８が前後方向に所定の間隔で配列されており、各長孔２８が略トラック形に穿孔される。また、支持レール２６の外側には複数の嵌合突片２９が長手方向に所定の間隔で突出形成され、各嵌合突片２９が側壁２１下部の嵌合孔２５に嵌合される。
【００３１】
各側壁２１の前部の上下には支持穴３０がそれぞれ穿孔され、この上下一対の支持穴３０には、図４、図５、図７、図８に示すように、支持溝２２に支持された保持フレーム１の前方への飛び出しを規制可能な規制バー３１がそれぞれ内外方向に回転可能に嵌入軸支されており、各規制バー３１が略チャネル形に屈曲形成される。各側壁２１の支持穴３０と規制バー３１の端部とには、支持溝２２に支持された保持フレーム１の周縁前部方向に規制バー３１を回転付勢する捻りコイルバネ（バネ部材）が介在して装着される。また、各側壁２１の外面前部には、外方向に回転した規制バー３１用の収容溝３２が凹み形成される。
【００３２】
天板３３は、図４に示すように、平面略正方形に形成され、両側壁２１の上端部間に水平に螺着されて保持フレーム１に上方から隙間をおいて対向する。この天板３３の表裏両面のうち少なくとも表面には補強用の格子リブ３４が縦横に形成され、天板３３の表面中央部付近には左右一対のハンドル３５が間隔をおいてそれぞれ起伏可能に軸支されており、各ハンドル３５がユーザの握持操作に資する略Ｄ字形に形成される。また、天板３３の前部両側には、細長い矩形の切り欠き３６がそれぞれ形成され、各切り欠き３６内に内方向に回転した規制バー３１が嵌入される。
【００３３】
一対の架設板４１は、図１５ないし図１７、図２０、図２１に示すように、左右一対の支持レール２６の切り欠き間に螺子具を介し水平に螺着され、前後方向に並ぶ架設板４１と架設板４１との間に必要に応じて隙間が形成されており、保持フレーム１に下方から隙間をおいて対向する。各架設板４１は、例えばアルミニウム合金製やＳＵＳ製で幅広の平板からなり、上面あるいは下面に複数の凹部４２が左右方向に向けて凹み形成されており、下面に半導体製造装置１０用の位置決め具４４が必要数螺着される。
【００３４】
架設板４１の両端部には、支持レール２６の長孔２８に連通する複数の取付孔４３がそれぞれ並べて穿孔される。この複数の取付孔４３のうち、選択された任意の取付孔４３には螺子具が螺挿され、この螺挿された螺子具が支持レール２６の長孔２８に螺嵌されることにより、架設板４１が所定の箇所に強固に位置決め固定される。
【００３５】
位置決め具４４は、図４や図５、図７に示すように、所定の樹脂（例えば、ポリエーテルエーテルケトンやポリカーボネート等）を含有する成形材料を使用して断面略Ｖ字形に凹み成形され、例えば前方に位置する架設板４１の下面両側部に２個、後方に位置する架設板４１の下面中央部に１個螺着されており、半導体製造装置１０の位置決めピン１２の先端部に断面略Ｖ字形に凹んだ溝が上方から高精度に位置決め嵌合される。この位置決め具４４は、半導体製造装置１０やその位置決めピン１２に適切に対応するよう、ＳＥＭＩ規格あるいはＳＥＭＩ規格とは異なる所定の寸法に形成される。
【００３６】
上記構成において、半導体製造装置１０に保持フレーム用収納カセット２０を位置決めして搭載する場合には、半導体製造装置１０の仕様を確認し、この半導体製造装置１０の仕様に対応するよう、保持フレーム用収納カセット２０の両側壁２１の支持レール２６の間に架設部材４０を調整して架設すれば良い。
【００３７】
例えば、半導体製造装置１０のテーブル１１に複数の位置決めピン１２が立設されている場合には、複数の位置決めピン１２の仕様、すなわち複数の位置決めピン１２の間隔、大きさ、長さ等を精査し、この複数の位置決めピン１２に対応する半導体製造装置１０用の位置決め具４４を選択し、この位置決め具４４を各架設板４１に必要数螺着する。
【００３８】
こうして各架設板４１に位置決め具４４を螺着したら、左右一対の支持レール２６の間に一対の架設板４１を適宜位置調整して配置し、その後、各支持レール２６の長孔２８に架設板４１の端部を螺子具でそれぞれ螺着すれば、半導体製造装置１０に保持フレーム用収納カセット２０を適切に対応させ、位置決めして搭載することができる。
【００３９】
上記構成によれば、半導体製造装置１０の仕様に応じて保持フレーム用収納カセット２０の下部に架設部材４０をカスタマイズするので、ユーザや各国の使用状況等により、例えＳＥＭＩ規格とは異なる寸法の位置決め具４４等が要求されても容易に対処することができる。したがって、保持フレーム用収納カセット２０の使用が困難になることが全くない。
【００４０】
次に、図２１ないし図２５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、半導体製造装置１０のテーブル１１に複数の位置決めピン１２ではなく、位置決めの容易な複数の位置決めブロック１３が配設されているとき、両側壁２１の支持レール２６に複数の長孔２８をそれぞれ前後方向に所定の間隔で穿孔し、両側壁２１の支持レール２６の間に、半導体製造装置１０の複数の位置決めブロック１３に突き当て接触する一対の架設バー４５をそれぞれ着脱自在に架設して各架設バー４５の両端部には支持レール２６の長孔２８に連通する取付孔４３をそれぞれ穿孔し、各架設バー４５の取付孔４３と支持レール２６の長孔２８とに螺子具を螺嵌するようにしている。
【００４１】
各架設バー４５は、図２４等に示すように、例えばアルミニウム合金製やＳＵＳ製の細長い直線のバーに形成され、両端部がそれぞれ幅広のブロックに形成されており、各ブロックに取付孔４３が貫通して穿孔される。このような架設バー４５は、半導体製造装置１０の位置決めブロック１３に架設部材４０として突き当て接触されることにより、保持フレーム用収納カセット２０を位置決めする。
【００４２】
上記構成において、半導体製造装置１０に保持フレーム用収納カセット２０を位置決めして搭載する場合には、先ず、半導体製造装置１０の複数の位置決めブロック１３の仕様、すなわち複数の位置決めブロック１３の間隔、大きさ、長さ等を精査し、架設部材４０として一対の架設バー４５を選択して一対の支持レール２６の間に位置調整して配置し、その後、各支持レール２６の長孔２８に架設バー４５の端部を螺子具でそれぞれ螺着すれば良い。
【００４３】
こうすれば、複数の位置決めブロック１３に架設バー４５がそれぞれ接触し、簡易に位置合わせすることができるので、半導体製造装置１０に保持フレーム用収納カセット２０を適切に対応させ、位置決めして搭載することが可能になる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００４４】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、位置決めピン１２でなく、手動操作で位置決め操作が容易な位置決めブロック１３が使用される場合にも、架設バー４５を位置決め具４４として適切に機能させることができ、半導体製造装置１０上に保持フレーム用収納カセット２０を良好に位置決め搭載することができるのは明らかである。また、複数の位置決め具４４を省略することができるので、部品点数の削減や構成の簡素化が期待できる。
【００４５】
なお、上記実施形態では各側壁２１内面の前部から中央部付近にかけて、保持フレーム用の支持溝２２を形成したが、各側壁２１内面の前部から後部にかけて支持溝２２を形成しても良い。また、上記実施形態では各側壁２１前部の支持穴３０に規制バー３１をそれぞれ内外方向に回転可能に嵌入軸支させたが、何らこれに限定されるものではない。例えば、各側壁２１前部の支持穴３０に規制バー３１と同機能の規制板をそれぞれ回転可能に支持させても良い。さらに、架設板４１や架設バー４５を、剛性等に優れる樹脂を含む成形材料により成形しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る保持フレーム用収納カセットは、半導体や液晶ディスプレイの製造分野等で使用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１        保持フレーム
２        中空部
３        粘着保持層
１０      半導体製造装置（基板製造装置）
１２      位置決めピン
１３      位置決めブロック
２０      保持フレーム用収納カセット
２１      側壁
２２      支持溝
２４      がたつき防止片
２６      支持レール
２８      長孔
３１      規制バー（規制部材）
３３      天板
３６      切り欠き
４０      架設部材
４１      架設板
４３      取付孔
４４      位置決め具
４５      架設バー
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
2012114355.tif 000003
【図２】
2012114355.tif 000004
【図３】
2012114355.tif 000005
【図４】
2012114355.tif 000006
【図５】
2012114355.tif 000007
【図６】
2012114355.tif 000008
【図７】
2012114355.tif 000009
【図８】
2012114355.tif 000010
【図９】
2012114355.tif 000011
【図１０】
2012114355.tif 000012
【図１１】
2012114355.tif 000013
【図１２】
2012114355.tif 000014
【図１３】
2012114355.tif 000015
【図１４】
2012114355.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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