(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的に凝縮液を回収し、濃度測定に必要な液量を確保することができる凝縮液回収装置を提供する。【解決手段】凝縮液回収装置２０は、静止時には除染ガスが凝縮された凝縮液を表面に付着させ、回転時には表面に付着した凝縮液を飛散させる回転体２２と、回転時に回転体から飛散される凝縮液を受けて回収する回収部２３とを備える。回収部２３は、払拭部２３１及びアーム２３２を含み、払拭部は、側壁２１１から底壁２１２に案内されて凹部２１４に貯留された凝縮液を払拭して開口部２１５に案内し、開口部まで案内された凝縮液はポンプ３２によりパイプ３１に案内される。【選択図】図２
2012213705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止時には除染ガスが凝縮された凝縮液を表面に付着させ、回転時には前記表面に付着した前記凝縮液を飛散させる回転体と、
前記回転時に前記回転体から飛散される前記凝縮液を受けて回収する回収部と、
を備えることを特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項２】
請求項１に記載の凝縮液回収装置であって、
前記回収部は、底壁と、前記凝縮液を受けて前記底壁に案内する側壁と、前記底壁に案内された前記凝縮液を払拭する払拭部と、を備えること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項３】
請求項２に記載の凝縮液回収装置であって、
前記凝縮液の濃度を測定するセンサが前記底壁に接続され、
前記払拭部は、前記センサの接続位置まで前記凝縮液を案内すること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項４】
請求項２に記載の凝縮液回収装置であって、
前記底壁には開口部が設けられ、
前記凝縮液の濃度を測定する光学センサの接続された透明管が前記開口部に接続され、
前記払拭部は、前記凝縮液が前記開口部を通って前記透明管に送液されるように前記凝縮液を案内すること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項５】
請求項１に記載の凝縮液回収装置であって、
前記回転体は、複数の板状部材を有すること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項６】
請求項５に記載の凝縮液回収装置であって、
前記板状部材は、前記回転体の軸方向に間隔をあけて積層される円盤であること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項７】
請求項６に記載の凝縮液回収装置であって、
前記回収部は、底壁と、前記凝縮液を受けて前記底壁に案内する側壁と、を備え、
前記板状部材は径方向外側に向けて前記底壁の方向に傾斜すること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【請求項８】
請求項５に記載の凝縮液回収装置であって、
前記板状部材は、前記回転体の円周方向に間隔をあけて配置される羽根であること、
を特徴とする凝縮液回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、凝縮液回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
作業空間内に過酸化水素、過酢酸、オゾン、二酸化塩素、ホルムアルデヒド、グルタルアルデヒド等の除染ガスを投入し、例えばアイソレータ、病室、工場内の製造ライン、クリーンルーム等の空間内において、そこに内在する、例えば配管、無菌充填用容器、手術具、半導体、紙・パルプ等の除染対象物の表面に上記除染ガスを凝縮させ、当該除染対象物の表面を除染する手法が知られている。除染対象物を除染する除染工程において、公知の凝縮センサを空間内に配置し、除染ガスが凝縮したか否かを検知することも行われている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００９−５０２２８６号公報
【特許文献２】特開２００８−２００４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、除染対象物の表面に凝縮した微粒子程度の液量では、除染ガスが凝縮したか否かを判断することはできても、凝縮液の濃度を測定するには、例えば屈折率を利用した光学的手法を用いるとしても、測定に使う液の絶対量が不足である。
【０００５】
本発明は、このような背景を鑑みてなされたものであり、効率的に凝縮液を回収し、濃度測定に必要な液量を確保することができる凝縮液回収装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の主たる発明は、静止時には除染ガスが凝縮された凝縮液を表面に付着させ、回転時には前記表面に付着した前記凝縮液を飛散させる回転体と、前記回転時に前記回転体から飛散される前記凝縮液を受けて回収する回収部と、を備えることとする。
【０００７】
その他本願が開示する課題やその解決方法については、発明の実施形態の欄及び図面により明らかにされる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、効率的に凝縮液を回収し、濃度測定に必要な液量を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】除染装置１の構成例を示す図である。
【図２】凝縮液回収装置２０の斜視図である。
【図３】凝縮液回収装置２０の上面図である。
【図４】図３の凝縮液回収装置２０のＡ−Ａ断面図である。
【図５】パイプ３１の構成例を示す図である。
【図６】除染処理の流れを示す図である。
【図７】配管１３内に凝縮液回収装置２０を設置した状態を説明する図である。
【図８】羽根２２２の枚数を増やした場合の凝縮液回収装置２０の上面図である。
【図９】羽根２２２の軸方向の幅を大きくした場合の凝縮液回収装置２０の断面図である。
【図１０】開口部２１５に濃度センサ３３を取り付けた場合の凝縮液回収装置２０の断面図である。
【図１１】開口部２１５に濃度センサ３３を取り付けた場合の除染処理の流れを示す図である。
【図１２】開口部２１５を形成する底壁２１２に肩部２１２１を設ける構成を示す図である。
【図１３】濃度センサ３３を肩部２１２１に設ける構成を示す図である。
【図１４】開口部２１５に代えて設けられる窪部２１６を説明する図である。
【図１５】円盤２２４を用いた場合の凝縮液回収装置２０の斜視図である。
【図１６】円盤２２４を用いた場合の凝縮液回収装置２０の上面図である。
【図１７】図１６の凝縮液回収装置２０のＢ−Ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態に係る凝縮液回収装置２０が配置される除染装置１について説明する。図１は、除染装置１の構成例を示す図である。除染装置１は、アイソレータ１０（容器）にボンベ１１から除染ガスを投入し、アイソレータ１０に配置された、例えば配管、無菌充填用容器、手術具、半導体、紙、パルプ、ピペットなどの対象物１２の表面に除染ガスを凝縮させることにより、対象物１２を除染するものである。対象物１２は、例えばフッ素樹脂やフッ素重合体、ポリカーボネート、ステンレス鋼などの除染ガスの酸化力に対抗する素材からなる。
【００１１】
アイソレータ１０の内部には、対象物１２の他に凝縮液回収装置２０が配置される。凝縮液回収装置２０は、アイソレータ１０の内部において凝縮した除染ガスの凝縮液を回収する。凝縮液回収装置２０にはパイプ３１が接続され、ポンプ３２により凝縮液回収装置２０において回収された凝縮液がパイプ３１を通って排出される。パイプ３１には濃度センサ３３が取り付けられ、濃度センサ３３はパイプ３１の中を流れる凝縮液の濃度を検出する。なお、濃度センサ３３は一般的な手法により凝縮液の濃度を検出することができるが、本実施形態では、透明なパイプ３１を流れる凝縮液を光学的に濃度測定するものとする。
【００１２】
図２は、凝縮液回収装置２０の斜視図である。図３は凝縮液回収装置２０の上面図であり、図４は、凝縮液回収装置２０のＡ−Ａ断面図である。凝縮液回収装置２０は、筒状容器２１、回転体２２及び回収部２３を備える。
【００１３】
筒状容器２１は、側壁２１１及び底壁２１２を有する上端が解放された筒状の容器である。筒状容器２１の底壁２１２には環状突起２１３が設けられる。側壁２１１、底壁２１２及び環状突起２１３により、筒状容器２１の底面近傍に、環状の凹部２１４が形成される。側壁２１１、底壁２１２及び環状突起２１３は、対象物１２と同じ素材から作られるものとしてもよいし、それらの表面に、対象物１２と同じ素材を貼り付け、あるいはメッキするようにしてもよい。
【００１４】
凹部２１４内の底壁２１２には開口部２１５が設けられる。開口部２１５にはパイプ３１が接続される。なお、アイソレータ１０の底壁にも、パイプ３１を接続するための開口部（不図示）が設けられ、濃度センサ３３が取付けられるガラス管３１２及びポンプ３２はアイソレータ１０の外に配置されるものとする。
【００１５】
筒状容器２１の内側には回転体２２が配置される。回転体２２は、回転軸２２１を中心に図３に示す矢印４１の方向に回転可能である。回転軸２２１は、例えばモータなどの駆動装置２２３に接続され、駆動装置２２３が駆動したときにのみ回転する。回転軸２２１には、周方向に間隔をあけて４枚の羽根２２２が設けられる。羽根２２２は、径方向外側に向けて底壁２１２の方向に傾斜する板状の部材である。すなわち、羽根２２２は、羽根２２２の径方向外側にいくにしたがって、羽根２２２の天面が筒状容器２１の底面２１２に近づくように傾斜する。羽根２２２の少なくとも表面は対象物１２と同じ素材からなる。回転体２２が静止しているときには、羽根２２２の表面にも対象物１２と同様に除染ガスの凝縮液が付着される。駆動装置２２３が駆動し、羽根２２２が回転軸２２１を中心に回転すると、遠心力により羽根２２２の表面に付着した凝縮液が径方向外側に飛散する。
【００１６】
筒状容器２１の側壁２１１の内側表面は、回転体２２から飛散された凝縮液を受け、凝縮液を底壁２１２に案内する。側壁２１１の内側表面を滴下した凝縮液は、凹部２１４内に貯留される。
【００１７】
回収部２３は、払拭部２３１及びアーム２３２を含み、払拭部２３１は、側壁２１１から底壁２１２に案内されて凹部２１４に貯留された凝縮液を払拭する。払拭部２３１は、例えばフッ素樹脂やシリコンなどの弾性を有する素材からなる。払拭部２３１の表面を対象物１２と同じ素材としてもよい。払拭部２３１は、下端において凹部２１４の内側表面に密着し、側壁２１１の上端においてアーム２３２と接続される。アーム２３２は、例えばモータなどの駆動装置２３３に接続され、払拭部２３１が側壁２１１に沿って摺動するように回収部２３を旋回させる。回収部２３は、払拭部２３１が開口部２１５の近傍から開口部２１５と反対方向に向けて摺動するように旋回する。すなわち、回収部２３は、払拭部２３１が図３の点線の図形４４の位置から矢印４２の方向に摺動するように、図４の矢印４３の方向に旋回する。回収部２３の旋回により、払拭部２３１は、凹部２１４に滴下された凝縮液を回収して、凝縮液を開口部２１５に案内する。開口部２１５まで案内された凝縮液は、ポンプ３２によりパイプ３１に案内される。
【００１８】
図５はパイプ３１の構成例を示す図である。パイプ３１は、キャピラリ３１１、ガラス管３１２及びキャピラリ３１３を含んで構成される。キャピラリ３１１は開口部２１５に接続され、キャピラリ３１３はポンプ３２に接続される。ガラス管３１２の側面には濃度センサ３３が取付けられる。濃度センサ３３は、ガラス管３１２を流れる凝縮液３の濃度を測定可能である。濃度センサ３３は、照射器３３１及び受光素子３３２を備え、照射器３３１から出力する光線を凝縮液３に反射させて、受光素子３３２が反射光を測定することにより臨界角を求め、それを屈折率に換算する光学的手法を利用した濃度の測定を行う。なお、濃度センサ３３による濃度の測定方法については、ＵＶや赤外線等の一般的な光学的測定方法を採用することもできる。
【００１９】
以下、対象物１２の表面を除染する処理について説明する。図６は、本実施形態の除染装置１を用いて対象物１２を除染する処理の流れを示す図である。
【００２０】
まず、アイソレータ１０内において対象物１２の近傍に凝縮液回収装置２０を設置し（Ｓ４０１）、ボンベ１１から除染ガスをアイソレータ１０に導入して（Ｓ４０２）、アイソレータ１０内を、除染ガスがミストなど微粒子の状態で凝縮するようにする。除染ガスが凝縮したか否かは、例えば凝縮の有無を検知するセンサをアイソレータ１０内に配置して検出するようにしてもよいし、視認により検出するようにしてもよい。
【００２１】
次に、駆動装置２２３を駆動させて回転体２２を回転させる（Ｓ４０３）。上述したように、回転体２２が回転すると、羽根２２２の表面に付着した凝縮液が遠心力により飛散し、側壁２１１が受けた凝縮液は滴下して凹部２１４に案内される。
【００２２】
例えば所定時間回転体２２を回転させて凹部２１４に凝縮液を貯留させた後、駆動装置２３３を駆動させて回収部２３を旋回させる（Ｓ４０４）。これにより、払拭部２３１が開口部２１５の近傍から開口部２１５と逆方向に凹部２１４の内部表面に密着したまま摺動し、凹部２１４に貯留された凝縮液が回収されて開口部２１５に案内される。ここでポンプ３２を起動して開口部２１５に案内された凝縮液をパイプ３１に流し（Ｓ４０５）、濃度センサ３３によりガラス管３１２を流れる凝縮液の濃度を測定する（Ｓ４０６）。
【００２３】
測定した濃度が所定の基準値に満たない場合（Ｓ４０７：ＮＯ）、再度除染ガスをアイソレータ１０に導入するステップＳ４０２からの処理を繰り返す。濃度が所定の基準値以上である場合（Ｓ４０７）、その濃度に応じた除染時間を設定する（Ｓ４０８）。
【００２４】
以上のようにして、凝縮液の濃度に応じて除染時間を決定することができる。したがって、除染に必要な時間を正確に決定することができる。よって、効果的かつ効率的に対象物１２の除染を行うことができる。また、濃度が基準値に満たない場合には、除染ガスを追加することができるので、確実に除染を行うことができる。
【００２５】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０によれば、羽根２２２の表面に凝縮した凝縮液を遠心力により飛散させて凹部２１４において凝縮液を回収することができる。したがって、濃度の測定に十分な液量の凝縮液を容易に回収することが可能となる。凝縮液の濃度は凝縮により高濃度となる傾向があり、本実施形態のように高濃度測定のために屈折率を利用した光学的手法を用いる場合、羽根２２２の表面に凝縮した微粒子程度の凝縮液では液量不足のために濃度を測定することができないが、本実施形態の凝縮液回収装置２０によれば、濃度の測定に必要となる十分な液量を回収することができる。
【００２６】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０によれば、凹部２１４に案内された凝縮液を払拭部２３１により集めることができる。したがって、迅速かつ確実に凝縮液を回収することが可能となる。
【００２７】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０によれば、羽根２２２に付着した凝縮液を遠心力により飛散させて、凹部２１４に貯留し、それを払拭部２３１により集めることにより凝縮液を回収することができる。例えば、ペルチェ素子などの冷却手段を用いて部材を冷却し、その部材の表面に凝縮される液量を増やす手法では、当該部材の表面と対象物１２の表面とでは異なる条件で除染ガスが凝縮されることになり、系の温度や湿度などの条件によって、例えば除染ガス以外の水蒸気が凝縮されることなどにより、凝縮液の濃度が変化し、正確な濃度を測定することができないが、本実施形態の凝縮液回収装置２０によれば、対象物１２の表面と同じ条件で凝縮させた凝縮液を回収して液量を確保することができるので、正確な濃度を測定することができる。
【００２８】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０では、羽根２２２の表面は対象物１２と同じ素材であるので、羽根２２２の表面に凝縮される凝縮液の濃度と、対象物１２の表面に凝縮される凝縮液の濃度とを近似させることができる。したがって、除染の対象物１２に合わせて精度の高い濃度測定が可能となる。よって、精度の高い濃度に応じた除染時間を設定することが可能となり、確実で効果的な除染ができる。
【００２９】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０では、複数の羽根２２２を備えているので、表面積を広くすることができる。したがって、広い表面に凝縮された凝縮液を回収することが可能となるので、凝縮液回収装置２０を小型化することができる。これにより、例えば小型のアイソレータ１０や、管状あるいは流線状等の複雑な形状の容器の中にも、凝縮液回収装置２０を設置し、凝縮液を回収して濃度を測定することができる。
【００３０】
また、羽根２２２は、径方向外側に向けて底壁２１２の方向に傾斜しているので、遠心力により飛散する凝縮液が筒状容器２１から飛び出ることを防ぎ、確実に側壁２１１から凹部２１４に案内されるようにすることができる。
【００３１】
また、本実施形態の凝縮液回収装置２０では、回転体２２の回転により凝縮液を飛散させるので、羽根２２２の表面には凝縮液が残存しないようにすることができる。したがって、繰り返し濃度測定を行うことができる。
【００３２】
また、凹部２１４の内側表面を、対象物１２と同じ素材にした場合には、凹部２１４に貯留される凝縮液の濃度が変化しないようにすることができる。したがって、凝縮液の回収時においても濃度が変化しないようにすることができる。よって、精度の高い濃度を測定することができる。
【００３３】
なお、本実施形態では、除染ガスをアイソレータ１０に導入するものとしたが、除染ガスを霧化したミストをアイソレータ１０に投入するようにしてもよい。
【００３４】
また、本実施形態では、対象物１２を配置する容器はアイソレータ１０を想定したが、アイソレータ１０に限らず、内部において対象物１２の表面に除染ガスを凝縮させることにより除染を行うものであればどんな容器であってもよい。例えば、図７に示すように、配管１３に除染ガスを導入して配管１３の内部を除染するような場合にも、配管１３の中に凝縮液回収装置２０を配置して凝縮液を回収し、凝縮液の濃度を測定して、濃度に応じて除染ガスの追加導入あるいは除染時間の設定を行うことができる。なお、図７の例では、配管１３の側壁に開口部１３１を設けてパイプ３１を通しているが、ポンプを配管１３の端部に設けて開口部１３１を設けないようにしてもよい。
【００３５】
また、本実施形態では、濃度センサ３３は、光の屈折率を利用した光学的測定方法により凝縮液の濃度を測定するものとしたが、光学的な手法に限らず、各種の測定方法を用いるようにしてもよい。
【００３６】
また、本実施形態では、側壁２１１が受けた凝縮液は全て凹部２１４に案内されるものとしたが、側壁２１１の内側表面に付着した凝縮液の全てが滴下せず、一部の凝縮液が付着したままとなってもよい。この場合、払拭部２３１の側部を側壁２１１の内側表面に密着させて、側壁２１１に付着した凝縮液をさらに凹部２１４に滴下させるようにする。
【００３７】
また、本実施形態では、回収部２３の払拭部２３１により凹部２１４に案内された凝縮液を払拭して回収するものとしたが、これに限らず、例えば、開口部２１５に向けて底壁２１２を傾斜させるようにして、凹部２１４において凝縮液が開口部２１５に向けて流れるようにしてもよい。
【００３８】
また、本実施形態では、回転体２２は４枚の羽根２２２を備えるものとしたが、４枚以上の羽根２２２を備えるようにしてもよい。図８は、１２枚の羽根２２２を備えた場合の凝縮液回収装置２０の上面図である。この場合、除染ガスを凝縮させる表面積をより増やすことができるので、凝縮液回収装置２０を小型化することができる。また、凝縮液回収装置２０の羽根２２２の軸方向の幅は、上端が側壁２１１の上端を超えず、かつ下端が環状突起２１３の高さよりも上になる範囲で任意に設定することができる。図９は、図３に示す羽根２２２よりも軸方向の幅を広くした場合の凝縮液回収装置２０の断面図である。軸方向の幅を広くすることにより、除染ガスを凝縮させる表面積をより広くすることができる。羽根２２２の枚数や軸方向の幅は駆動装置２２３の駆動能力に応じて決定することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、羽根２２２は、径方向外側に向けて底壁２１２の方向に傾斜するものとしたが、底壁２１２と平行にしてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、回転体２２はモータ等の駆動装置２２３により回転するものとしたが、例えば手動で回転させるようにしてもよい。
【００４１】
また、回転体２２は図３の矢印４１の方向とは逆方向に回転するようにしてもよい。回収部２３は図４の矢印４３と逆方向に回転するようにしてもよい。また、回転体２２と回収部２３とが異なる方向に回転するようにしてもよい。
【００４２】
また、本実施形態では、濃度センサ３３はパイプ３１のガラス管３１２に取り付けられるものとしたが、開口部２１５に濃度センサ３３を取り付けるようにしてもよい。図１０は、開口部２１５に濃度センサ３３を取り付けた場合の凝縮液回収装置２０の断面図である。図１０の例では、底壁２１２の外面における開口部２１５の位置に濃度センサ３３が取り付けられている。この場合における除染処理の流れを図１１に示す。図１１の処理では、図６の処理のステップＳ４０５とステップＳ４０６との処理順が逆になっている。すなわち、回収部２３を旋回させることにより（Ｓ４０４）、凹部２１４に貯留している凝縮液が払拭部２３１により回収されて開口部２１５に案内され、濃度センサ３３は開口部２１５に案内された凝縮液の濃度を測定する（Ｓ４０６）。濃度の測定後、ポンプ３２を起動して（Ｓ４０５）、凝縮液を排出する。これにより、パイプ３１を流れる凝縮液の速度を調整する必要がないので、ポンプ３２の出力を上げて高速に凝縮液を排出することも可能である。なお、濃度が基準値を下回った場合（Ｓ４０７：ＮＯ）にのみ、ポンプを起動するステップＳ４０５を実行するようにしてもよい。この場合、濃度が基準値を超えている場合にはポンプ３２を起動する必要がなくなるので、効率的に除染を行うことができる。
【００４３】
また、本実施形態では、開口部２１５は底壁２１２に垂直に開口されることを想定していたが、例えば図１２に示すように、底壁２１２に肩部２１２１を設け、底壁２１２の外側ほど狭くなるように穴をあけるようにしてもよい。この場合、払拭部２３１が矢印４２の方向に摺動して凝縮液３を回収した場合に、凝縮液３は肩部２１２１により開口部２１５内に案内されやすくなる。また、濃度センサ３３を、図１３に示すように、開口部２１５を形成する底壁２１２の肩部２１２１に設けるようにすることもできる。この場合、濃度センサ３３は肩部２１２１を流れる凝縮液の濃度を測定することができる。
【００４４】
また、濃度センサ３３を底壁２１２に取り付ける場合に、底壁２１２を透明し、底壁２１２に開口部２１５を設けないようにしてもよい。図１４は、開口部２１５に代えて設けられる窪部２１６を説明する図である。この場合、底壁２１２の少なくとも窪部２１６の底面を透明にするようにすることで、濃度センサ３３は、窪部２１６に貯留する凝縮液３の濃度を光学的に測定することができる。また、この場合には、パイプ３１を窪部２１６の上部から底壁２１２の近傍まで延在するように設け、ポンプ３２により窪部２１６に貯留する凝縮液３を排出する。
【００４５】
また、本実施形態では、凝縮液回収装置２０において除染ガスが凝縮される羽根２２２は、回転体２２の周方向に間隔をあけて設けられる４つの板状の部材としたが、これに限らず、回転体２２の回転による遠心力によって凝縮液を径方向外側に飛散させうるものであれば、部材は板状でなくてもよく、４つ以外の任意の数であってもよい。また、板状の羽根２２２を、底壁２１２と水平に設けるようにしてもよい。さらに、部材を軸方向に間隔を空けて積層するようにしてもよい。例えば、図１５、図１６、及び図１７はそれぞれ、羽根２２２に代えて複数の円盤２２４を軸方向に間隔をあけて積層する構成とした凝縮液回収装置２０の斜視図、上面図及びＢ−Ｂ断面図である。図１５−１７に示す凝縮液回収装置２０は、除染ガスの凝縮を羽根２２２に代えて円盤２２４で行うようにしたものであり、凝縮液の回収及び除染の方法は羽根２２２を用いた場合と同様であるが、円盤２２４を用いることにより、除染ガスを凝縮させるための表面積をより広くすることが可能となる。したがって、凝縮液回収装置２０をより小型化することが可能となる。なお、円盤２２４も径方向外側に向けて底壁２１２の方向に傾斜するようにしてもよい。
【００４６】
以上、本実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物も含まれる。
【符号の説明】
【００４７】
１      除染装置
２      除染ガス
３      凝縮液
１０    アイソレータ
１１    ボンベ
１２    対象物
１３    配管
１３１  開口部
２０    凝縮液回収装置
２１    筒状容器
２１１  側壁
２１２  底壁
２１２１  肩部
２１３  環状突起
２１４  凹部
２１５  開口部
２１６  窪部
２２    回転体
２２１  回転軸
２２２  羽根
２２３  駆動装置
２２４  円盤
２３    回収部
２３１  払拭部
２３２  アーム
２３３  駆動装置
３１    パイプ
３１１  キャピラリ
３１２  ガラス管
３１３  キャピラリ
３２    ポンプ
３３    濃度センサ
３３１  照射器
３３２  受光素子
【図１】
2012213705.tif 000003
【図２】
2012213705.tif 000004
【図３】
2012213705.tif 000005
【図４】
2012213705.tif 000006
【図５】
2012213705.tif 000007
【図６】
2012213705.tif 000008
【図７】
2012213705.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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