(57)【要約】【課題】チャックテーブルに連通する配管の圧力を計測する圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力検知部に異物が付着ないし衝突しないようにする。【解決手段】チャックテーブル２に連結され開閉弁４０，４１によって吸引源５０または高圧エアー源５１のいずれかに連通する第１の配管３０を備え、第1の配管３０に圧力計６が連結されたチャックテーブル機構１において、圧力計６は、第１の配管３０に対して立設され第１の配管３０の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体６０と、筒体６０の側壁に連結され筒体６０の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体６１と、枝筒体６１の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサー６２とから構成される。第１の配管３０よりも筒体６０を太くして容積差を持たせることで、流体速度を抑制して筒体６０内に異物１０を滞留させ、バキューム動作によって吸引を行うと圧力計６から異物を排出できる。【選択図】図１
2012200843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を吸引保持するチャックテーブルを含むチャックテーブル機構であって、
被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに連結される第1の配管と、
該第1の配管に連結される第２の配管を介して該チャックテーブルに連通する吸引源と、
該第１の配管に連結される第３の配管を介して該チャックテーブルに連通する高圧エアー源と、
該第２の配管に配設される第１の開閉弁と、
該第３の配管に配設される第２の開閉弁と、
該第１の配管に連結され負圧を測定する圧力計と
から少なくとも構成され、
該圧力計は、該第１の配管に対して立設され該第１の配管の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体と、
該筒体の側壁に連結され該筒体の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体と、
該枝筒体の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサーと、
から構成されたチャックテーブル機構。
【請求項２】
前記枝筒体は、水平部と、該水平部から立ち上がる立上部と
から構成される請求項１に記載のチャックテーブル機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種被加工物を吸引保持するチャックテーブルを有するチャックテーブル機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２に示すように、各種加工装置に備えたチャックテーブル２では、チャックテーブル２の下方に配設された配管７を開閉弁４０を介して吸引源５０に連通させて配管内を負圧にしてバキューム動作を行うことにより、チャックテーブル２の吸着部２０において被加工物（ワーク）Ｗを吸着し保持することができる。配管７には圧力センサー８が連結されており、圧力センサー８の圧力計測値があらかじめ設定したしきい値に達するか否かによって、ワークＷの吸着確認を行うことができる。一方、チャックテーブル２を開閉弁４１を介して高圧エアー源５１に連通させることにより配管内を正圧状態にしてブロー動作を行い、ワークＷをチャックテーブル２から離脱させることができる（例えば特許文献１、２参照）。
【０００３】
ワークＷの加工時には加工屑が生じるため、チャックテーブル２においてワークＷのバキューム動作を行うと、加工屑等の異物１００が吸着部２０から配管７内に侵入する場合がある。そして、異物が配管７に侵入した状態で矢印Ａ方向のバキューム動作と矢印Ｂ方向のブロー動作とを繰り返すと、圧力センサー８の内部に異物が侵入し、圧力検知部（ダイヤフラム）８０に付着ないし衝突することがある。
【０００４】
そこで、現状では、圧力センサー８の入り口にオリフィス径０．５ｍｍほどの異物侵入抑制部８１を取り付けることで、圧力検知部８０に異物が付着ないし衝突するのを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１８３０４２号公報
【特許文献２】特開２００２−１４４１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、圧力センサー８内に異物が侵入すると、ワークバキューム動作とブロー動作とによる圧力変動を繰り返しても異物が圧力センサー８の外部に排出されることはなく、圧力センサー８の内部の圧力検知部８０に付着ないし衝突するため、圧力検知部８０の歪みゲージに障害が発生し、正常な圧力測定ができなくなるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、チャックテーブルに連通する配管の圧力を計測する圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力検知部に異物が付着ないし衝突しないようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを含むチャックテーブル機構に関するもので、被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに連結される第1の配管と、第1の配管に連結される第２の配管を介してチャックテーブルに連通する吸引源と、第１の配管に連結される第３の配管を介してチャックテーブルに連通する高圧エアー源と、第２の配管に配設される第１の開閉弁と、第３の配管に配設される第２の開閉弁と、第１の配管に連結され負圧を測定する圧力計とから少なくとも構成され、圧力計は、第１の配管に対して立設され第１の配管の内径より大きい内径を有し上部が閉塞した筒体と、筒体の側壁に連結され筒体の内径より小さい内径を有し上部が閉塞した枝筒体と、枝筒体の閉塞端に配設され圧力を検知する圧力センサーとから構成される。枝筒体は、水平部と、水平部から立ち上がる立上部とから構成されることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、チャックテーブルに連通する第１の配管よりも圧力センサーに接続される筒体を太くして容積差を持たせることで、流体速度を抑制して筒体内に異物を滞留させることができるため、バキューム動作によって吸引を行うと圧力計から異物を排出することができ、圧力センサーに異物が侵入するのを防止し、圧力を正常に測定することができる。また、枝筒体を水平部と立上部とで構成することで、異物が立上部に入り込みにくくなるため、圧力センサーへの異物の侵入をより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】チャックテーブル機構の一例を示す説明図である。
【図２】従来のチャックテーブル機構を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示すチャックテーブル機構１は、切削装置、研削装置等の各種加工装置に搭載されるものであり、被加工物（ワーク）Ｗを吸引保持するチャックテーブル２を備えている。
【００１２】
チャックテーブル２は、ポーラスセラミックス等の多孔質部材で形成された吸着部２０と、吸着部２０の下方に形成されたエアー流路２１とを備えている。
【００１３】
エアー流路２１には第１の配管３０が連結されている。第一の配管３０は第二の配管３１に連結され、第二の配管３１には第１の開閉弁４０が配設されている。第二の配管３１は、吸引源５０に連結されている。第１の開閉弁４０が開状態になっていると、吸引源５０が、第１の配管３０及び第２の配管３１を介してチャックテーブル２のエアー流路２１及び吸着部２０に連通するため、図１における矢印Ａの方向に吸引力が働き、吸着部２０においてワークＷを吸着することができる。
【００１４】
第１の配管３０には、第２の配管３１と並列に第３の配管３２が連結されている。第３の配管３２は、高圧エアー源５１に連通している。第３の配管３２には第２の開閉弁４１が配設されている。第２の開閉弁４１が開状態になっていると、高圧エアー源５１が、第１の配管３０及び第３の配管を介してチャックテーブル２のエアー流路２１及び吸着部２０に連通するため、図１における矢印Ｂの方向にエアブローの力が生じる。
【００１５】
第１の配管３０には、第１の配管３０における負圧を測定する圧力計６が連結されている。圧力計６は、第１の配管３０に対して立設された筒体６０と、筒体６０の側壁６００に連結された枝筒体６１と、枝筒体６１の閉塞端に配設された圧力センサー６２とを備えている。
【００１６】
筒体６０の内部には、側壁６００によって囲まれた空洞部６０１が形成されている。空洞部６０１は、その内径が第１の配管３０の内径よりも大きく形成されている。空洞部６０１の上部は、閉塞部６０２によって閉塞されている。
【００１７】
枝筒体６１は、筒体６０の側壁６００に連結され水平方向に延びる水平部６１０と、水平部６１０の一方の端部から上方に立ち上がる立上部６１１とから構成され、Ｌ字型に形成されている。水平部６１０及び立上部６１１の内部には、両者を貫通し、筒体６０の空洞部６０１に連通する空洞部６１２が形成されている。空洞部６１２は、その内径が筒体６０の空洞部６０１の内径よりも小さく形成されている。
【００１８】
圧力センサー６２の下部には、枝筒体６１の空洞部６１１に連通する管部６２０が形成されている。管部６２０の上方には、管部６２０より小径のオリフィス６２１が形成されている。また、オリフィス６１の上方には、圧力に応じて歪みが生じることにより圧力値を検知することができる圧力検知部であるダイヤフラム６２２を備えている。
【００１９】
図１に示すチャックテーブル機構１において、ワークＷを保持する場合は、吸着部２０の上にワークＷを載置した状態で第１の開閉弁４０を開状態にするとともに第２の開閉弁４１を閉状態とし、第１の配管３０、第２の配管３１及びエアー流路２１を介して吸引源５０と吸着部２０とを連通させる。そうすると、ワークＷが吸着部２０において吸着される。
【００２０】
そして、ワークＷの加工を行うことにより加工屑が生じると、その加工屑は、チャックテーブル２におけるワークＷの吸着によって異物１０となって吸着部２０からエアー流路２１を通って第１の配管３０に侵入し、その異物１０が圧力計６にも入り込むことがある。加工時には加工液も使用されるため、加工液も第１の配管に入り込む。
【００２１】
ワークＷの加工が終了すると、第１の開閉弁４０を閉状態にするとともに第２の開閉弁４１を開状態とし、第１の配管３０、第２の配管３２及びエアー流路２１を介して高圧エアー源５１と吸着部２０とを連通させる。そうすると、吸引部２０におけるワークＷの吸着が解除されてワークＷを吸着部２０から取り外せる状態となる。
【００２２】
こうして高圧エアー源５１と吸着部２０とを連通させると、第１の配管３０の内部の流体に矢印Ｂ方向の力が生じるため、筒体６０にも矢印Ｂ方向の圧力が生じ、異物１０が上昇する。しかし、筒体６０の空洞部６０１は、その内径が第１の配管３０よりも大きく形成されているため、容積差によって流体速度が抑制され、筒体６０に異物１０が滞留する。そして、後に新たにワークをチャックテーブル２に吸引保持する際に、吸着部２０と高圧エアー源５１とを連通させて矢印Ａの方向に吸引力が生じると、異物１０が筒体６０から第１の配管３０に排出されるため、圧力計６に入り込んだ異物１０を除去することができる。
【００２３】
また、枝筒体６１は、筒体６０の側壁６００に連結されており、かつ、その内径が筒体６０の内径より小さいため、筒体６０から枝筒体６１の内部に異物１０が侵入しにくい。さらに、仮に異物１０が枝筒体６１に侵入したとしても、枝筒体１は、水平部６１０から立上部６１１が立ち上がった構造となっているため、立上部６１１には入り込みにくい。そして、圧力センサー６２は、枝筒体６１の立上部６１１の上部に配設されているため、圧力センサー６２に異物が侵入するのを防止することができる。
【００２４】
このように、第１の配管と筒体６０との容積差によって流体速度を抑制することにより筒体６０に侵入した異物１０を滞留させ、その後の吸引によって筒体６０から異物１０を排除することができるため、枝筒体６１及び圧力センサー６２に異物が侵入するのを防止することができる。
【００２５】
また、仮に筒体６０から枝筒体６１に異物１０が侵入したとしても、枝筒体６１は、その内径が筒体６０よりも小さく、水平部６１０と立上部６１１とから構成されているため、圧力センサー６２に異物１０が侵入するのを防止することができる。
【００２６】
したがって、圧力センサー６２のダイヤフラム６２２に異物１０が付着ないし衝突することがないため、圧力測定を正常に行うことができる。
【００２７】
なお、本発明は、各種加工装置に搭載される洗浄手段において被加工物を保持して回転可能なスピンナーテーブルや、単体の洗浄装置のスピンナーテーブルにも適用することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１：チャックテーブル機構
２：チャックテーブル
２０：吸着部  ２１：エアー流路
３０：第１の配管  ３１：第２の配管  ３２：第３の配管
４０：第１の開閉弁  ４１：第２の開閉弁
５０：吸引源  ５１：高圧エアー源
６：圧力計
６０：筒体
６００：側壁  ６０１：空洞部  ６０２：閉塞部
６１：枝筒体
６１０：水平部  ６１１：立上部  ６１２：空洞部
６２：圧力センサー
６２０：管部  ６２１：オリフィス  ６２２：ダイヤフラム（圧力検知部）
【図１】
2012200843.tif 000003
【図２】
2012200843.tif 000004