(57)【要約】【課題】金属の異物を確実に検出する。【解決手段】帯状の樹脂フィルム１００内における金属の異物を検出可能に構成され、回転可能な一対の金属ローラ１２と、各金属ローラ１２に架け渡された状態の樹脂フィルム１００を移動させる移動機構１５と、各金属ローラ１２の近傍に配置されると共に高周波信号で駆動して磁界の強度に応じた電気信号を出力する磁気センサ２１と、磁気センサ２１から出力される電気信号の強度の変化に基づいて検出対象体内における金属の異物を検出する検出部とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出装置であって、
回転可能な一対の金属ローラと、当該各金属ローラに架け渡された状態の前記検出対象体を移動させる移動機構と、当該各金属ローラの近傍に配置されると共に高周波信号で駆動して磁界の強度に応じた電気信号を出力する磁気センサと、当該磁気センサから出力される前記電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する検出部とを備えている金属検出装置。
【請求項２】
前記金属ローラは、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって回転可能に支持されて、電気的にフローティング状態に維持されている請求項１記載の金属検出装置。
【請求項３】
帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出方法であって、
回転可能な一対の金属ローラに架け渡した状態の前記検出対象体を移動させ、当該各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する金属検出方法。
【請求項４】
電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって前記金属ローラを回転可能に支持して、前記金属ローラを電気的にフローティング状態に維持する請求項３記載の金属検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出装置および金属検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検出対象体内の異物を検出する装置として、特開２００３−６５９６６号公報に開示された異物検査装置が知られている。この異物検査装置は、フィルム状の被検査対象を送る（移動させる）送り機構と、被検査対象内に存在する非金属の異物（非金属種の異物）を検出する第１の光学検出部と、被検査対象内に存在する金属の異物（金属種の異物）を検出する第２の光学検出部と、各光学検出部からの画像信号を画像処理して異物を検査・解析する検査・解析部とを備えて構成されている。ここで、第１の光学検出部は、被検査対象に対して検査光を照明し、その反射光（散乱反射光）に応じた画像信号を出力する。この場合、非金属の異物は反射率が小さいため、被検査対象内に非金属の異物が存在するときには、画像信号に基づく被検査対象の画像内において非金属の異物が存在する部分が暗く撮像される。このため、この暗い部分の有無から被検査対象内における非金属の異物の有無を判定することが可能となっている。また、第２の光学検出部は、被検査対象に対して検査光を照明し、その反射光（正反射光）に応じた画像信号を出力する。この場合、金属の異物は反射率が大きいため、被検査対象内に金属の異物が存在するときには、画像信号に基づく被検査対象の画像内において金属の異物が存在する部分が明るく撮像される。このため、この明るい部分の有無から被検査対象内における金属の異物の有無を判定することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−６５９６６号公報（第５−６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の異物検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この異物検査装置では、異物の反射率の相違に起因する明暗部分（明るい部分または暗い部分）の有無に基づいて被検査対象内における異物の有無を判定している。この場合、異物の反射率は、異物の材質の相違（金属か非金属かの相違）だけに起因するものではなく、異物の大きさや形状によって大きく相違する。このため、従来の異物検査装置には、異物の大きさや形状によっては、異物を検出できないおそれがある。一方、電子部品の絶縁材料として用いるフィルムは、僅かな金属の異物が存在しているだけで電子部品の性能に大きな影響を与えることとなる。このため、このようなフィルムの検査に当たっては、どんな微細な金属の異物であっても見逃すことなく確実に検出することが要求される。しかしながら、従来の異物検査装置では、上記したように、異物の大きさや形状によってはその異物を検出できないおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、金属の異物を確実に検出し得る金属検出装置および金属検出方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の金属検出装置は、帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出装置であって、回転可能な一対の金属ローラと、当該各金属ローラに架け渡された状態の前記検出対象体を移動させる移動機構と、当該各金属ローラの近傍に配置されると共に高周波信号で駆動して磁界の強度に応じた電気信号を出力する磁気センサと、当該磁気センサから出力される前記電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する検出部とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載の金属検出装置は、請求項１記載の金属検出装置において、前記金属ローラは、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって回転可能に支持されて、電気的にフローティング状態に維持されている。
【０００８】
また、請求項３記載の金属検出方法は、帯状の検出対象体内における金属の異物を検出する金属検出方法であって、回転可能な一対の金属ローラに架け渡した状態の前記検出対象体を移動させ、当該各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて前記検出対象体内における前記金属の異物を検出する。
【０００９】
また、請求項４記載の金属検出方法は、請求項３記載の金属検出方法において、電気的に絶縁された状態で支持台に固定された軸受によって前記金属ローラを回転可能に支持して、前記金属ローラを電気的にフローティング状態に維持する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の金属検出装置、および請求項３記載の金属検出方法では、回転可能な一対の金属ローラに架け渡した帯状の検出対象体を移動させ、各金属ローラの近傍に配置した高周波信号で駆動する磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて検出対象体内の金属の異物を検出する。このため、この金属検出装置および金属検出方法によれば、検出対象体内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、高周波信号の供給に伴って磁気センサから発生される励磁用の磁界によってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界の影響を受けて磁界の強度が変化する結果、検出したこの磁界の強度の変化、つまり磁気センサから出力される電気信号の強度の変化に基づいて、検出対象体に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することができる。
【００１１】
また、請求項２記載の金属検出装置、および請求項４記載の金属検出方法によれば、電気的に絶縁した状態で支持台に固定した軸受によって金属ローラを回転可能に支持し、金属ローラを電気的にフローティング状態に維持することにより、金属ローラに発生した渦電流を放電させることなく、渦電流の変動を小さく抑えることができる。このため、渦電流による磁界の変動を小さく抑えて、ノイズを小さく抑えることができる結果、検出対象体に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界の影響を受けた磁界の強度の変化を確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】金属検出装置１の構成を示す構成図である。
【図２】フィルム移動部２の構成を示す平面図である。
【図３】軸受１３の構成を示す断面図である。
【図４】処理部３の構成を示す構成図である。
【図５】低周波交流電流Ｉｔの波形図である。
【図６】比較例の構成によって測定された電気信号の波形図である。
【図７】実施例の構成によって測定された電気信号の波形図である。
【図８】軸受３１３の構成を示す断面図である。
【図９】軸受４１３の構成を示す断面図である。
【図１０】軸受５１３の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、金属検出装置および金属検出方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、金属検出装置１の構成について説明する。図１に示す金属検出装置１は、一例として幅が６０ｃｍ程度の帯状に形成された絶縁性を有する樹脂フィルム（検出対象体）１００内における金属の異物を検出する金属検出装置の一例であって、フィルム移動部２、処理部３および制御部４を備えて構成されている。
【００１５】
フィルム移動部２は、図２に示すように、支持台１１、一対の金属ローラ１２，１２、一対の軸受１３、複数（この例では４つ）のガイドローラ１４、および移動機構１５を備えて構成されている。支持台１１は、金属等の導電性材料で板状に構成されている。金属ローラ１２，１２は、導電性を有する金属によって円筒状（または円柱状）に形成されている。また、金属ローラ１２，１２は、軸受１３によって回動可能に支持され、軸受１３を介して支持台１１に取り付けられている。この金属ローラ１２，１２は、掛け渡された樹脂フィルム１００を皺の発生のない平坦な状態に維持する機能を有している。
【００１６】
軸受１３は、図３に示すように、金属ローラ１２の端部を支持する金属製のベアリング５１を有する金属製の本体部５２、本体部５２と支持台１１との間に配設される絶縁性材料で形成された絶縁板５３、金属製のボルト５４、および絶縁性材料で形成されたワッシャ５５を備えて構成されている。また、本体部５２には、ボルト５４を挿通させるための挿通孔５２ａが形成され、その挿通孔５２ａには、絶縁性材料で形成されたスリーブ５６が挿入されている。この軸受１３は、本体部５２と支持台１１との間に絶縁板５３を挟んだ状態で本体部５２がボルト５４によって支持台１１に固定され、本体部５２と支持台１１との間が、絶縁板５３、ワッシャ５５およびスリーブ５６によって電気的に絶縁されている。このため、この軸受１３によって支持されている金属ローラ１２は、他のいずれの部材の電位からも電気的に絶縁されたいわゆるフローティング状態に維持されている。
【００１７】
各ガイドローラ１４は、金属によって円筒状（または円柱状）に形成されている。また、各ガイドローラ１４は、図２に示すように、巻心７１に巻き取られた状態の樹脂フィルム１００が配置される位置から巻心７２の配置位置に至る樹脂フィルム１００の移動経路に沿って支持台１１に回転可能に取り付けられて、樹脂フィルム１００をガイドする。
【００１８】
移動機構１５は、図２に示すように、モータ６１，６２およびキャプスタンモータ６３を備えて構成されている。モータ６１は、制御部４の制御に従って作動して、樹脂フィルム１００が巻回された巻心７１を回転させることによって樹脂フィルム１００を送り出す。モータ６２は、制御部４の制御に従って作動して、巻心７２を回転させることによって樹脂フィルム１００を巻き取る。キャプスタンモータ６３は、制御部４の制御に従って作動して、キャプスタン７３を所定の回転速度で回転させることにより、キャプスタン７３とピンチローラ７４との間に挟み込まれた樹脂フィルム１００を予め決められた速度（一例として、１０〜２０ｃｍ／秒程度の速度）で移動させる。
【００１９】
処理部３は、図４に示すように、磁気センサ２１、交流電流出力部２２および検出部２３を備えて構成されている。
【００２０】
磁気センサ２１は、一例として、フラックスゲート型の磁気検出素子であって、図２に示すように、支持台１１における金属ローラ１２，１２の近傍であって両金属ローラ１２，１２の中間位置に配置されてている。また、磁気センサ２１は、図４に示すように、励磁用電極３１、軟磁性体３２および検出コイル３３を備えて構成されている。励磁用電極３１は、後述する励磁用の高周波交流電流Ｉｈの供給によって励磁用の磁界Ｈｅを発生する。軟磁性体３２は、軟磁性材料（例えば、ケイ素鋼、パーマロイ、センダスト、パーメンジュール、ソフトフェライト、アモルファス磁性合金など）によって形成されると共に、励磁用電極３１の近傍に配置されて、磁界Ｈｅによって励磁される。検出コイル３３は、一例として、励磁用電極３１および軟磁性体３２を取り囲むようにして配設されて、励磁用の磁界Ｈｅの強度、および磁界Ｈｅとは別個に外部から印加される磁界Ｈｏ（同図参照：以下磁界Ｈｅ，Ｈｏを区別しないときには「磁界Ｈ」ともいう）の強度に応じた電気信号（具体的には、電圧信号）Ｓｖを出力する。
【００２１】
交流電流出力部２２は、制御部４の制御に従い、励磁用の高周波交流電流Ｉｈ（例えば、１ＭＨｚ〜１００ＭＨｚの正弦波電流）を出力する。検出部２３は、図４に示すように、検波回路４１、増幅回路４２および検出処理回路４３を備えて構成されている。検波回路４１は、磁気センサ２１の検出コイル３３から出力される電気信号Ｓｖを検波する（以下、検波された信号を「検波信号」ともいう）。増幅回路４２は、検波信号を予め決められた利得で増幅する（以下、増幅された信号を「増幅信号」ともいう）。検出処理回路４３は、増幅信号に基づいて磁界Ｈの強度を特定すると共に、特定した磁界Ｈの強度の変化（つまり、電気信号Ｓｖの強度の変化）に基づいて検出対象の樹脂フィルム１００内の金属の異物を検出する。また、検出処理回路４３は、異物の有無を示す検出信号Ｓｄを制御部４に出力する。
【００２２】
制御部４は、フィルム移動部２における移動機構１５のモータ６１，６２およびキャプスタンモータ６３を制御する。また、制御部４は、処理部３の交流電流出力部２２および検出部２３を制御する。また、制御部４は、検出部２３の検出処理回路４３から出力される検出信号Ｓｄに基づき、図外の表示部に検出結果（異物を検出したか否か）を表示させる。
【００２３】
次に、金属検出装置１を用いて樹脂フィルム１００内の金属の異物を検出する方法（金属検出方法）、およびその際の金属検出装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００２４】
まず、図外の操作部を操作して、樹脂フィルム１００の移動速度などの各種の条件を設定し、次いで、測定の開始を指示する。この際に、制御部４が、フィルム移動部２における移動機構１５のキャプスタンモータ６３を制御し、設定された移動速度で樹脂フィルム１００を移動させると共に、モータ６１，６２を制御して樹脂フィルム１００の送り出しおよび巻き取りを行わせる。
【００２５】
次いで、制御部４は、処理部３の交流電流出力部２２を制御して、高周波交流電流Ｉｈを出力させる。この際に、交流電流出力部２２から出力された高周波交流電流Ｉｈが処理部３における磁気センサ２１の励磁用電極３１に供給され、これにより、励磁用電極３１の周囲に高周波の励磁用の磁界Ｈｅが発生する。また、この高周波の磁界Ｈｅによって軟磁性体３２が励磁され、これに伴って検出コイル３３に誘導起電力が生じ、これによって検出コイル３３から電気信号Ｓｖが出力される。
【００２６】
次いで、処理部３における検出部２３の検波回路４１が検出コイル３３から出力された電気信号Ｓｖを検波して検波信号を生成し、検出部２３の増幅回路４２が検波信号を所定の利得で増幅して増幅信号を出力する。続いて、検出部２３の検出処理回路４３が、増幅回路４２から出力された増幅信号に基づいて磁界Ｈｅの強度の変化（つまり、電気信号Ｓｖの強度の変化）を特定し、その変化（具体的には、変化量や変化率）に基づいて樹脂フィルム１００内における金属の異物の有無を判定する検出処理を実行する。この場合、樹脂フィルム１００内に金属の異物が存在するときには、励磁用電極３１の周囲に発生した高周波の磁界Ｈｅによってその金属の異物に渦電流が発生し、この渦電流によって発生する磁界Ｈｏの影響を受けて磁界Ｈｅの強度が変化する。したがって、検出処理回路４３は、特定した磁界Ｈｅの強度の変化量や変化率に基づいて樹脂フィルム１００内における金属の異物を検出する。次いで、検出処理回路４３は、異物の有無を示す検出信号Ｓｄを制御部４に出力する。この際に、制御部４が、検出処理回路４３から出力された検出信号Ｓｄに基づき、図外の表示部に検出結果（異物を検出したか否か）を表示させる。また、検出処理回路４３は、樹脂フィルム１００が移動している状態において上記の検出処理を連続的に実行する。
【００２７】
この場合、樹脂フィルム１００内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、磁界Ｈｅによってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界Ｈｏの影響を受けて磁界Ｈｅの強度が変化する。このため、この金属検出装置１では、樹脂フィルム１００に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することが可能となっている。
【００２８】
一方、金属ローラ１２と磁気センサ２１との距離が短いときには、励磁用電極３１の周囲に発生した磁界Ｈｅによって金属ローラ１２の表面にも渦電流が発生し、この渦電流に伴って磁界Ｈｏが発生するため、この磁界Ｈｏの影響を受けた磁界Ｈｅの強度の変化が金属の異物の存在として誤って検出されるおそれがある。このような、金属ローラ１２に発生する渦電流に伴う磁界Ｈｏの影響を排除する対策としては、軸受１３を介して金属ローラ１２を基準電位（グランド電位）に接続して、金属ローラ１２に発生した渦電流を基準電位側に放電する方法が考えられる。しかしながら、発明者は、このように軸受１３を介して金属ローラ１２を基準電位に接続する方法では、金属ローラ１２の渦電流に伴う磁界Ｈｏの影響を排除することが困難なことを発見した。そこで、発明者は、この金属検出装置１および金属検出方法において、金属ローラ１２を支持している軸受１３の本体部５２と支持台１１とを電気的に絶縁して、金属ローラ１２を電気的にフローティング状態に維持する構成および方法を採用した。このため、この金属検出装置１および金属検出方法では、金属ローラ１２の渦電流に伴う磁界Ｈｏの影響が排除されて、金属の異物を正確に検出することが可能となっている。
【００２９】
発明者は、金属ローラ１２を電気的にフローティング状態に維持した構成を採用した金属検出装置１の効果を確認するため、次のような実験を行った。この実験では、実施例として、アルミニウムで形成した支持台１１を用いると共に、アルミニウムで形成した直径が７０ｍｍの金属ローラ１２、金属製のベアリング５１、金属製の本体部５２、金属製のボルト５４、および厚さが５ｍｍのポリアセタール樹脂製の絶縁板５３を用いて軸受１３を構成して、金属ローラ１２をフローティング状態とした。なお、金属ローラ１２と支持台１１との間のインピーダンスは、２０ＭＨｚにおいて１５０Ωであった。また、図２に示すように、２つの金属ローラ１２，１２の間の長さＬ１を１００ｍｍに規定し、磁気センサ２１の先端から２つの金属ローラ１２，１２の中心を結ぶ直線までの長さＬ２を３５．３ｍｍに規定した。さらに、支持台１１を基準電位（グランド電位）に接続した。また、比較例として、上記した実施例における絶縁板５３を取り除いて軸受１３の本体部５２を支持台１１に固定してフィルム移動部２を構成した。
【００３０】
また、図２に示すように、上記した実施例および比較例の各フィルム移動部２における磁気センサ２１の近傍に実験用の導線２００を配置し、その導線２００に対して１０Ｈｚの実験用の低周波交流電流Ｉｔ（図５参照）を供給して、１０Ｈｚの低周波で強度が変化する磁界Ｈｏを発生させた。また、磁気センサ２１の励磁用電極３１に対して、２０ＭＨｚの高周波交流電流Ｉｈを供給した。この状態において、樹脂フィルム１００を１５ｃｍ／秒の速度で移動させ、そのときに検出部２３の増幅回路４２から出力された電気信号（増幅信号）を測定し、その信号波形を表示させた。
【００３１】
この実験の結果、比較例では、図６に示すように、大きな振幅のノイズが重畳した信号波形が表示された。この結果から、比較例では、低周波交流電流Ｉｔに起因する低周波の磁界Ｈｏの強度の変化に応じた磁界Ｈｅの変化がノイズに埋もれて（ノイズに掻き消されて）、磁界Ｈｏの強度の変化に起因する磁界Ｈｅの強度の変化を検出することができないことが明らかである。
【００３２】
比較例において大きなノイズが重畳する要因は、次のように考えられる。すなわち、金属ローラ１２は、軸受１３のベアリング５１の内輪、ベアリング５１のボール、ベアリング５１の外輪、軸受１３の本体部５２、および支持台１１を介して基準電位に接続されている。この場合、ベアリング５１の内輪とベアリング５１のボールとの間、およびベアリング５１のボールとベアリング５１の外輪との間は点的に接触している。また、樹脂フィルム１００の移動に伴う金属ローラ１２の回転によって軸受１３のベアリング５１が回転するときには、ベアリング５１内における上記の点的に接触している部分が移動し、これに伴って接触面積も変化するものと考えられる。この場合、接触面積の僅かな変化によっても、その接触部分の接触抵抗は、大きく変化する。このため、この接触抵抗の変動によって金属ローラ１２に発生した渦電流の基準電位側への放電量が変動し、これに伴って磁界Ｈｏの強度が変動し、これがノイズとして現れるものと考えられる。
【００３３】
一方、実施例では、図７に示すように、大きな振幅のノイズの重畳が少なく、低周波交流電流Ｉｔと同じ低周波の信号波形に高周波交流電流Ｉｈと同じ高周波の信号波形が重畳した信号波形が表示された。この結果から、実施例では、低周波の磁界Ｈｏの強度の変化に応じて（影響を受けて）磁界Ｈｅの強度が変化し、その強度の変化を検出することができることが明らかである。
【００３４】
実施例においてノイズの重畳が少ない要因は、次のように考えられる。すなわち、実施例では、金属ローラ１２がフローティング状態に維持されているため、金属ローラ１２に発生した渦電流が放電されず、このため渦電流の変動が小さく抑えられることとなる。したがって、渦電流による磁界Ｈｏの強度の変動が小さく抑えられて、ノイズが小さく抑えられる。このことから、金属ローラ１２をフローティング状態に維持することで、樹脂フィルム１００に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界Ｈｏの影響を受けた磁界Ｈｅの強度の変化を確実に検出できることが明らかである。
【００３５】
このように、この金属検出装置１および金属検出方法では、回転可能な一対の金属ローラ１２に架け渡した帯状の樹脂フィルム１００を移動させ、各金属ローラ１２の近傍に配置した磁気センサ２１から出力される電気信号Ｓｖの強度の変化に基づいて樹脂フィルム１００内の金属の異物を検出する。このため、この金属検出装置１および金属検出方法によれば、樹脂フィルム１００内に金属の異物が存在するときには、その大きさや形状に拘わらず、磁界Ｈｅによってその金属の異物に渦電流が発生し、それに伴う磁界Ｈｏの影響を受けて磁界Ｈｅの強度が変化する結果、検出したこの磁界Ｈｅの強度の変化、つまり磁気センサ２１から出力される電気信号Ｓｖの強度の変化に基づいて、樹脂フィルム１００に混入している金属の異物の大きさや形状に拘わらず、その金属の異物を確実に検出することができる。
【００３６】
また、この金属検出装置１および金属検出方法によれば、電気的に絶縁した状態で支持台１１に固定した軸受１３によって金属ローラ１２を回転可能に支持し、金属ローラ１２を電気的にフローティング状態に維持することにより、金属ローラ１２に発生した渦電流を放電させることなく、渦電流の変動を小さく抑えることができる。このため、渦電流による磁界Ｈｏの変動を小さく抑えて、ノイズを小さく抑えることができる結果、樹脂フィルム１００に金属の異物が混入しているときには、その金属の異物における渦電流の発生に伴う磁界Ｈｏの影響を受けた磁界Ｈｅの強度の変化を確実に検出することができる。
【００３７】
なお、金属検出装置１および金属検出方法は上記の構成および方法に限定されない。例えば、フラックスゲート型の磁気センサ２１を用いる構成および方法について上記したが、ＭＩ（磁気インピーダンス）センサを用いた構成および方法を採用することもできる。
【００３８】
また、軸受１３の本体部５２を絶縁した状態で支持台１１に固定する構成および方法は、上記した構成および方法に限定されない。なお、以下の説明において上記した軸受１３と同じ構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。具体的には、例えば、図８に示す軸受３１３のように、樹脂等の絶縁性材料で形成した支持台３１１に対して、ボルト５４を用いて本体部５２を固定する構成および方法を採用することができる。また、図９に示す軸受４１３のように、金属製のボルト５４に代えて、樹脂等の絶縁性材料で形成したボルト５７を備え、本体部５２と支持台１１との間に絶縁板５３を挟んだ状態で、ボルト５７によって本体部５２を支持台１１に固定する構成および方法を採用することもできる。
【００３９】
また、図１０に示す軸受５１３のように、ボルト５４を用いて絶縁板５３を支持台１１に固定し、絶縁板５３を貫通しない程度の長さのボルト５８を用いて絶縁板５３に対して本体部５２を固定する構成および方法を採用することもできる。これらの軸受３１３〜５１３を採用した構成においても、金属ローラ１２をフローティング状態に維持することができるため、上記した効果と同様の効果を実現することができる。また、金属製のベアリング５１に代えて、絶縁性を有するセラミック製のベアリングを用いた構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４０】
１  金属検出装置
２  フィルム移動部
１１，３１１  支持台
１２  金属ローラ
１３，３１３，４１３，５１３  軸受
１５  移動機構
２１  磁気センサ
２３  検出部
１００  樹脂フィルム
Ｉｈ  高周波交流電流
Ｓｖ  電気信号
【図１】
2012177647.tif 000003
【図２】
2012177647.tif 000004
【図３】
2012177647.tif 000005
【図４】
2012177647.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2012177647.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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