(57)【要約】【課題】ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができるジャイロセンサ駆動装置を提供する。【解決手段】本ジャイロセンサ駆動装置は、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、ジャイロセンサの駆動停止のために、位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、位相シフタからの駆動電圧と反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅してジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部とを含む。【選択図】図１
2012037499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、
発振位相条件を満たすために、前記検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、
前記ジャイロセンサの駆動停止のために、前記位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、
前記位相シフタからの駆動電圧と前記反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、
発振振幅条件を満たすために、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部と
を含むことを特徴とするジャイロセンサ駆動装置。
【請求項２】
前記検出部は、
差動信号を出力する前記ジャイロセンサの第１検出電極により電圧を検出する第１検出回路部と、
前記ジャイロセンサの第２検出電極により電圧を検出する第２検出回路部と、
前記第１検出回路部からの電圧と前記第２検出回路部からの電圧を差動増幅する差動増幅回路部と
を含むことを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項３】
前記位相シフタは、
前記ジャイロセンサ、検出部、位相シフタ、選択部、及び増幅部を含む信号経路における信号の位相シフトが、発振条件を満たすために１８０°となるように、前記シフト位相が設定されることを特徴とする請求項２に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項４】
前記増幅部は、
前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第１駆動電極に供給する第１増幅回路部と、
前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第２駆動電極に供給する第２増幅回路部と
を含むことを特徴とする請求項３に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項５】
駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、
発振位相条件を満たすために、前記検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、
前記ジャイロセンサの駆動停止のために、前記位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、
前記位相シフタからの駆動電圧と前記反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、
発振振幅条件を満たすために、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部と、
前記選択部にスイッチング制御信号を提供する制御部と
を含むことを特徴とするジャイロセンサ駆動装置。
【請求項６】
前記制御部は、駆動中には前記選択部に駆動電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供し、駆動停止時には前記選択部に反転電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供することを特徴とする請求項５に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項７】
前記検出部は、
差動信号を出力する前記ジャイロセンサの第１検出電極により電圧を検出する第１検出回路部と、
前記ジャイロセンサの第２検出電極により電圧を検出する第２検出回路部と、
前記第１検出回路部からの電圧と前記第２検出回路部からの電圧を差動増幅する差動増幅回路部と
を含むことを特徴とする請求項６に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項８】
前記位相シフタは、
前記ジャイロセンサ、検出部、位相シフタ、選択部、及び増幅部を含む信号経路における信号の位相シフトが、発振条件を満たすために１８０°となるように、前記シフト位相が設定されることを特徴とする請求項７に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【請求項９】
前記増幅部は、
前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第１駆動電極に供給する第１増幅回路部と、
前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第２駆動電極に供給する第２増幅回路部と
を含むことを特徴とする請求項８に記載のジャイロセンサ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動端末機に適用されるジャイロセンサ駆動装置に関し、特に、ジャイロセンサの駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことのできるジャイロセンサ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ジャイロセンサ（Ｇｙｒｏｓｃｏｐｅ  Ｓｅｎｓｏｒ）は、振動する物体のコリオリ力（Ｃｏｒｉｏｌｉｓ  Ｆｏｒｃｅ；Ｆｃ）を利用して角速度を測定するセンサである。  
【０００３】
ここで、ジャイロセンサにおけるコリオリ力は、下記数式１のような関係を有する。  
【０００４】
〔式１〕  Ｆｃ＝２ｍＶΩ  
【０００５】
ここで、Ｆｃはコリオリ力、ｍは質量、Ｖは速度、Ωは角速度である。  
【０００６】
上記式１を参照すると、駆動信号でジャイロセンサを振動させて速度（Ｖ）を発生させ、コリオリ力（Ｆｃ）を測定する。このとき、質量（ｍ）を既に知っているため、駆動により決定される速度（Ｖ）とセンシングされるコリオリ力（Ｆｃ）が分かれば、ジャイロセンサの角速度（Ω）を求めることができる。  
【０００７】
すなわち、角速度（Ω）は「Ｆｃ／２ｍＶ」で表されるため、物体（ｍ）を一定の速度（Ｖ）で駆動させると、コリオリ力（Ｆｃ）を測定することにより角速度（Ω）を求めることができる。  
【０００８】
特に、コリオリ力（Ｆｃ）、速度（Ｖ）、及び角速度（Ω）は、相互に垂直方向のベクトルである。例えば、ｚ方向の角速度（Ωｚ）を求めるために、ｘ方向に速度（Ｖｘ）を与えてｙ方向のコリオリ力（Ｆｃ＿ｙ）を測定することができる。また、ｘ方向及びｙ方向の角速度（Ωｘ，Ωｙ）を測定するために、ｚ方向に速度（Ｖｚ）を与えてｙ方向及びｘ方向のコリオリ力（Ｆｃ＿ｙ，Ｆｃ＿ｘ）を測定することができる。  
【０００９】
つまり、様々な方向の角速度を測定するためには、振動する物体の振動方向を変更しなければならず、角速度の測定周波数範囲（帯域幅）が広くなるようにサンプリングレートを上げなければならない。  
【００１０】
例えば、０〜１００Ｈｚの測定周波数範囲を得るためには、少なくとも１秒に２００回のサンプリングが行われなければならない。  
【００１１】
一般に、ジャイロセンサは、高い品質係数（Ｑ）を有する物体を振動させるため、ｚ軸方向に駆動させてｘ、ｙ軸の角速度を測定した後、物体の動き方向を転換してｘ軸方向に駆動させてｚ軸の角速度を測定するためには、方向転換のための駆動停止時間が必要である。  
【００１２】
しかしながら、従来のジャイロセンサ駆動装置は、駆動中の停止のための特別な技術的手段を備えないため、駆動中に停止するまでに時間が長くかかり、これにより、安定化時間（ｓｅｔｔｌｉｎｇ  ｔｉｍｅ）が長く、多軸のジャイロセンサへの適用に適していないという問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされたものであり、ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができるジャイロセンサ駆動装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記本発明の課題を解決するための本発明の第１の態様においては、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、前記検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、前記ジャイロセンサの駆動停止のために、前記位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、前記位相シフタからの駆動電圧と前記反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部とを含むジャイロセンサ駆動装置を提供する。  
【００１５】
また、本発明の第２の態様においては、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、前記検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、前記ジャイロセンサの駆動停止のために、前記位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、前記位相シフタからの駆動電圧と前記反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部と、前記選択部にスイッチング制御信号を提供する制御部とを含むジャイロセンサ駆動装置を提供する。  
【００１６】
本発明の第２の態様において、前記制御部は、駆動中には前記選択部に駆動電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供し、駆動停止時には前記選択部に反転電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供することを特徴とする。  
【００１７】
本発明の第１及び第２の態様において、前記検出部は、差動信号を出力する前記ジャイロセンサの第１検出電極により電圧を検出する第１検出回路部と、前記ジャイロセンサの第２検出電極により電圧を検出する第２検出回路部と、前記第１検出回路部からの電圧と前記第２検出回路部からの電圧を差動増幅する差動増幅回路部とを含むことを特徴とする。  
【００１８】
前記位相シフタは、前記ジャイロセンサ、検出部、位相シフタ、選択部、及び増幅部を含む信号経路における信号の位相シフトが、発振条件を満たすために１８０°となるように、前記位相シフトが設定されることを特徴とする。  
【００１９】
前記増幅部は、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第１駆動電極に供給する第１増幅回路部と、前記選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサの第２駆動電極に供給する第２増幅回路部とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができ、また望ましくない振動によるクロストークを低減することができるという効果がある。  
【００２１】
つまり、ジャイロセンサを利用して多軸センシングする場合、停止時間を最小限に抑えて広い測定周波数範囲を得ることができ、望ましくない振動によるクロストークを最小限に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置のブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置の回路図である。
【図３】本発明の主要信号波形図である。
【図４】本発明の発振特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。  
【００２４】
本発明は後述する実施形態に限定されるものではなく、本発明の実施形態は本発明の技術的思想の理解を助けるために用いられるものである。本発明に参照された図面において実質的に同一の構成及び機能を有する構成要素には同一の符号を付す。  
【００２５】
図１は本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置のブロック図である。  
【００２６】
図１を参照すると、本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサ１０の変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部１００を含む。  
【００２７】
本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、発振位相条件を満たすために、前記検出部１００からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタ２００を含む。  
【００２８】
本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、前記ジャイロセンサ１０の駆動停止のために、前記位相シフタ２００からの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部４００を含む。  
【００２９】
本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、前記位相シフタ２００からの駆動電圧と前記反転部４００からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部５００を含む。  
【００３０】
本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、発振振幅条件を満たすために、前記選択部５００からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の駆動電極に供給する増幅部６００を含む。  
【００３１】
本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、前記選択部５００にスイッチング制御信号を提供する制御部８００を含む。  
【００３２】
前記制御部８００は、駆動中には前記選択部５００に駆動電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供し、駆動停止時には前記選択部５００に反転電圧の選択のためのスイッチング制御信号を提供するように構成される。  
【００３３】
図２は本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置の回路図である。  
【００３４】
図２を参照すると、前記検出部１００は、差動信号を出力する前記ジャイロセンサ１０の第１検出電極ＤＴｅ１により電圧を検出する第１検出回路部１１０と、前記ジャイロセンサ１０の第２検出電極ＤＴｅ２により電圧を検出する第２検出回路部１２０と、前記第１検出回路部１１０からの電圧と前記第２検出回路部１２０からの電圧を差動増幅する差動増幅回路部１３０とを含む。  
【００３５】
前記位相シフタ２００は、前記ジャイロセンサ１０、検出部１００、位相シフタ２００、選択部５００、及び増幅部６００を含む信号経路における信号の位相シフトが、発振条件を満たすために１８０°となるように、前記シフト位相が設定される。  
【００３６】
前記増幅部６００は、前記選択部５００からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の第１駆動電極ＤＶｅ１に供給する第１増幅回路部６１０と、前記選択部５００からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の第２駆動電極ＤＶｅ２に供給する第２増幅回路部６２０とを含む。  
【００３７】
図３は本発明の主要信号波形図である。図３において、ＳＣは前記制御部８００から前記選択部５００に提供されるスイッチング制御信号であって、ＳＣ１は駆動電圧の選択のためのスイッチング制御信号であり、ＳＣ２は反転電圧の選択のためのスイッチング制御信号である。また、Ｖ２０は前記位相シフタ２００から出力される駆動電圧であり、Ｖ４０は前記反転部４００から出力される反転電圧である。  
【００３８】
図４は本発明の発振特性を示す図であり、反転電圧を利用しない場合と反転電圧を利用する場合とを比較するためのものであって、図４の（ａ）は逆方向駆動を用いないケースに該当する発振特性を示す図であり、図４の（ｂ）は逆方向駆動による発振特性を示す図である。  
【００３９】
以下、本発明の作用及び効果を添付図面に基づいて説明する。  
【００４０】
図１〜図４を参照して本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置を説明すると、まず、図１に示すように、本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、ジャイロセンサ１０を駆動するために必要な自励発振（ｓｅｌｆ−ｏｓｃｉｌｌａｔｉｏｎ）用フィードバック回路として、センサの駆動を検出するための検出部１００、前記検出部１００により検出された信号の位相を変換するための位相シフタ２００、及び信号を増幅するための増幅部６００を含む。  
【００４１】
このように、本発明の第１実施形態によるジャイロセンサ駆動装置は、前記ジャイロセンサ１０を駆動する。  
【００４２】
このとき、図１及び図２を参照すると、前記ジャイロセンサ１０は、駆動電極ＤＶｅ１、ＤＶｅ２から供給される駆動電圧Ｖｄｖ１、Ｖｄｖ２により振動を発生し、その振動とコリオリ力による前記ジャイロセンサ１０の変形に相応する電圧を検出電極ＤＴｅ1、ＤＴｅ２から出力する。  
【００４３】
本発明の第１実施形態による検出部１００は、前記ジャイロセンサ１０の検出電極ＤＴｅ1、ＤＴｅ２から出力される電圧を検出し、この検出電圧Ｖｄｔ１、Ｖｄｔ２を位相シフタ２００に提供する。  
【００４４】
本発明の第１実施形態による位相シフタ２００は、図３に示すように、発振位相条件を満たすために、前記検出部１００からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧Ｖ２０を生成する。  
【００４５】
本発明の第１実施形態による反転部４００は、図３に示すように、前記ジャイロセンサ１０の駆動停止のために、前記位相シフタ２００からの電圧を反転させて反転電圧Ｖ４０を生成する。  
【００４６】
ここで、前記反転電圧Ｖ４０は、前記位相シフタ２００から出力される駆動電圧Ｖ２０と１８０°の位相差を有する電圧であり、駆動停止のための電圧である。  
【００４７】
本発明の第１実施形態による選択部５００は、図３に示すように、前記位相シフタ２００からの駆動電圧Ｖ２０と前記反転部４００からの反転電圧Ｖ４０のいずれか一方を選択する。  
【００４８】
例えば、前記選択部５００は、前記ジャイロセンサ１０の駆動のためには、前記位相シフタ２００からの駆動電圧Ｖ２０を選択する。  
【００４９】
これに対して、前記ジャイロセンサ１０の駆動停止のために、前記選択部５００は、前記反転部４００からの反転電圧Ｖ４０を選択する。すなわち、前記ジャイロセンサ１０の自励発振を停止しようとするときは、前記反転部４００を利用して、以前に供給された駆動信号Ｖ２０と１８０°の位相差を有する反転信号Ｖ４０で前記ジャイロセンサ１０を逆方向に駆動することにより、前記ジャイロセンサ１０の駆動を迅速に停止する。  
【００５０】
このような逆相駆動は、前記ジャイロセンサ１０の特性によるもので、予想できない発振をなくすために非常に短時間で行われることができ、駆動停止時間を調節するために逆方向信号の大きさを調節することもできる。  
【００５１】
本発明の第１実施形態による増幅部６００は、発振振幅条件を満たすために、前記選択部５００からの電圧Ｖ５０、すなわち駆動電圧Ｖ２０又は反転電圧Ｖ４０を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の駆動電極に供給する。  
【００５２】
そして、本発明の第１実施形態による制御部８００は、前記選択部５００にスイッチング制御信号ＳＣを提供する。  
【００５３】
すなわち、前記制御部８００は、駆動中には前記選択部５００に駆動電圧Ｖ２０を選択するためのスイッチング制御信号を提供し、駆動停止時には前記選択部５００に反転電圧Ｖ４０を選択するためのスイッチング制御信号ＳＣを提供する。  
【００５４】
これにより、前記選択部５００は、前記スイッチング制御信号ＳＣによって駆動電圧Ｖ２０又は反転電圧Ｖ４０を選択する。  
【００５５】
以下、図２を参照して前記検出部１００について説明する。  
【００５６】
図２を参照すると、前記検出部１００は、第１検出回路部１１０、第２検出回路部１２０、及び差動増幅回路部１３０を含む。  
【００５７】
ここで、前記第１検出回路部１１０は、差動信号を出力する前記ジャイロセンサ１０の第１検出電極ＤＴｅ１により電圧を検出する。  
【００５８】
また、前記第２検出回路部１２０は、前記ジャイロセンサ１０の第２検出電極ＤＴｅ２により電圧を検出する。  
【００５９】
さらに、前記差動増幅回路部１３０は、前記第１検出回路部１１０からの電圧と前記第２検出回路部１２０からの電圧を差動増幅する。  
【００６０】
一方、前記位相シフタ２００は、前記ジャイロセンサ１０、検出部１００、位相シフタ２００、選択部５００、及び増幅部６００を含む信号経路における信号の位相シフトが、発振条件を満たすために１８０°となるように、前記シフト位相が設定される。  
【００６１】
例えば、前記ジャイロセンサ１０、検出部１００、位相シフタ２００、選択部５００、及び増幅部６００を含む信号経路における信号の位相シフトが９０°であれば、前記位相シフタ２００は位相シフトが９０°に設定される。  
【００６２】
すなわち、本発明のジャイロセンサ駆動装置により駆動されるジャイロセンサ１０が共振するためには、オープンループ（ｏｐｅｎ−ｌｏｏｐ）の位相が１８０°であり、信号の利得が１でなければならない。駆動電圧がジャイロセンサ１０を通ると、−９０°の位相遅延が発生する。このとき、前記位相シフタ２００と前記増幅部６００は、このような共振条件を満たし、前記ジャイロセンサ１０が自励発振を行うようになる。  
【００６３】
また、図１を参照すると、前記増幅部６００が第１増幅回路部６１０及び第２増幅回路部６２０を含む場合、前記第１増幅回路部６１０は、前記選択部５００からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の第１駆動電極ＤＶｅ１に供給することができる。  
【００６４】
また、前記第２増幅回路部６２０は、前記選択部５００からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅して前記ジャイロセンサ１０の第２駆動電極ＤＶｅ２に供給することができる。  
【００６５】
図４の（ａ）を参照すると、逆相駆動を用いない場合は、駆動停止制御時点から実際の駆動停止時点までにかかる制動時間が約１５ｍｓと長い。従って、このような場合は、多軸ジャイロセンサにおける軸変更のための制動時間が長いため、測定時間が長くなるという問題がある。  
【００６６】
これに対して、図４の（ｂ）を参照すると、本発明の反転部から提供される反転電圧を利用する逆相駆動を用いる場合は、駆動停止制御時点から実際の駆動停止時点までにかかる制動時間が約３ｍｓと相対的に非常に短い。従って、このような本発明によると、多軸ジャイロセンサにおける軸変更のための制動時間が短いため、測定が相対的にはるかに迅速に行われるという利点がある。  
【００６７】
前述のような本発明において、逆方向駆動を用いてジャイロセンサの自励発振を停止する場合、逆方向駆動を用いない場合より迅速にジャイロセンサの自励発振を停止することができる。例えば、反転駆動を用いる前の停止時間が１５ｍｓであれば、本発明のように反転駆動を用いた場合は停止時間を３ｍｓ以内に短縮することができる。  
【００６８】
このような本発明によるジャイロセンサ駆動装置は、多軸ジャイロセンサを利用して多軸測定を行う場合、ジャイロセンサの駆動方向を任意に変えることが容易であり、より迅速にサンプリングを行うことができるという利点がある。
【符号の説明】
【００６９】
１０  ジャイロセンサ
１００  検出部  １１０  第１検出回路部
１２０  第２検出回路部  １３０  差動増幅回路部
２００  位相シフタ  ４００  反転部
５００  選択部
６００  増幅部
６１０  第１増幅回路部  ６２０  第２増幅回路部
８００  制御部
【図１】
2012037499.tif 000003
【図２】
2012037499.tif 000004
【図３】
2012037499.tif 000005
【図４】
2012037499.tif 000006