(57)【要約】【課題】洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄対象である搬送中の板状部材２の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備え、板状部材２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを回転させて搬送中の板状部材２を洗浄する洗浄装置１であって、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。【選択図】図１
2012213746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄対象である搬送中の板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を備え、前記板状部材に洗浄液を供給しつつ前記洗浄手段を回転させて搬送中の前記板状部材を洗浄する洗浄装置であって、
前記複数の洗浄手段は、前記搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう前記搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段とからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、
同一組を構成する前記洗浄手段は、前記洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄手段は、
搬送中の前記板状部材の表裏面に垂直な軸周りに回転する回転ヘッドと、
中心に第１貫通孔が設けられ、前記回転ヘッドに着脱可能に取り付けられた円形ディスクと、
中心に前記第１貫通孔と連通する第２貫通孔が設けられた前記洗浄面を有し、前記円形ディスクに取り付けられた洗浄パッドと、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔を介して前記板状部材に前記洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、
前記洗浄パッドを前記板状部材の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構とからなり、
前記洗浄手段毎に前記昇降機構を個別制御する制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄面は、前記凸部の高さが１００μｍ以上、１０００μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
洗浄対象である板状部材を搬送経路に沿って搬送する搬送工程と、前記搬送工程中に、前記板状部材に洗浄液を供給しつつ、前記板状部材の表裏面を挟むように前記搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を回転させて前記板状部材を洗浄する洗浄工程とを含む洗浄方法であって、
前記洗浄工程において、複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配列された洗浄面を有する前記複数の洗浄手段のうち、前記搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう前記搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段とからなる洗浄手段の前記洗浄面を逆方向に回転させることを特徴とする洗浄方法。
【請求項５】
前記搬送工程中に前記板状部材が所定の位置まで搬送されると、前記洗浄手段が前記板状部材に対して昇降し、所定の圧力で前記板状部材を加圧することを特徴とする請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項６】
前記洗浄手段の昇降を前記洗浄手段毎に個別に制御することを特徴とする請求項５に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の板状部材に固着した異物を除去するための洗浄装置および洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０に示すように、従来から、液晶パネルに固着した異物を除去するための洗浄装置として、複数のゴム製のリング２４ａを有する搬送ローラ２４および補助ローラ２５が併設された搬送経路間に設けられ、搬送経路に沿って搬送されてきた液晶パネル２２の表裏面を洗浄シート３０を用いて洗浄する洗浄装置２１が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この洗浄装置２１は、液晶パネル２２の表裏面を洗浄するために、液晶パネル２２の表裏面を挟むように搬送経路の両側（上下）に配置された一組の洗浄手段２３ａ、２３ｂを備えている（図１０（Ｂ）参照）。この洗浄手段２３ａ（２３ｂ）は、洗浄シート３０と、洗浄シート３０の送出・巻取を行う送出ローラ２６および巻取ローラ２７と、洗浄シート３０を液晶パネル２２に押し付けて洗浄面３０ａ（３０ｂ）を形成する押付部２８とを有している。洗浄シート３０には、研磨材が塗布された不織布が使用されている。
【０００４】
また、この洗浄装置２１は、一組の洗浄手段２３ａ、２３ｂを同方向に回転させながら（なお、回転方向は、洗浄装置の上方から見た場合の回転方向とする。以下、同じ。）、相対向させた状態で搬送方向と直交する方向に往復移動させることにより、液晶パネル２２の表裏面を洗浄している（図１０（Ａ）参照）。
【０００５】
この洗浄装置２１によれば、液晶パネル２２の表裏面を同時に洗浄することができるので、タクトタイム（一枚の液晶パネル２２を洗浄するための時間）をある程度までは短縮することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−６２６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の洗浄装置２１では、一組の洗浄手段２３ａ、２３ｂが同方向に回転しているので、この回転方向の力が合成されて液晶パネル２２に加わり、洗浄中に液晶パネル２２が位置ズレを起こしてしまうおそれがある。このため、従来の洗浄装置２１を用いて液晶パネル２２を洗浄する場合、液晶パネル２２の側面を挟み込んで位置ズレを防止するための位置ズレ防止手段３１が必要となり、この位置ズレ防止手段３１が設備コストの増大を招いていた。
【０００８】
さらに、従来の洗浄装置２１では、一組の洗浄手段２３ａ、２３ｂが相対向した状態で搬送方向と直交する方向に往復移動するので、液晶パネル２２の表裏面全体を隈なく洗浄するため、洗浄手段２３ａ、２３ｂを移動させる度に、液晶パネル２２を所定ピッチで間欠的に搬送する必要がある。このため、従来の洗浄装置２１では、タクトタイムのさらなる短縮が困難であった。
【０００９】
また、従来の洗浄装置２１は、洗浄シート３０として研磨材がコーティングされた不織布が使用されており、洗浄面３０ａ、３０ｂが実質的に平坦であるため、液晶パネル２２の表裏面に固着したカレット等の異物を十分に除去することができず、また、除去できたとしても除去された異物が洗浄シート３０と液晶パネル２２との間に挟まり、洗浄中に液晶パネル２２を傷つけてしまうおそれがあった。
【００１０】
さらに、従来の洗浄装置２１は、洗浄シート３０の送出および巻取を行うための送出ローラ２６および巻取ローラ２７を有しているので、装置が大型化、複雑化してしまうという問題や、洗浄シート３０の交換に時間がかかってしまうという問題が生じていた。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、洗浄中に液晶パネルの位置ズレを発生させることなく、液晶パネルの表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明に係る洗浄装置は、洗浄対象である搬送中の板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を備え、板状部材に洗浄液を供給しつつ洗浄手段を回転させて搬送中の板状部材を洗浄する洗浄装置であって、
複数の洗浄手段は、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段とからなる組を複数含み、かつ複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配置された洗浄面を有し、同一組を構成する洗浄手段は、洗浄面の回転方向が逆であることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、同軸上で相対向する洗浄手段が洗浄面を逆方向に回転させているので、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段から板状部材（例えば、液晶パネル）の一方側の面（表面）に加わる回転方向の力と、他方側に配置された洗浄手段から板状部材の他方側の面（裏面）に加わる回転方向の力とが相殺される。このため、搬送経路に位置ズレ防止手段を設けることなく、板状部材の位置ズレを防ぐことができる。さらに、この構成によれば、複数の洗浄手段が千鳥状に配置されており、板状部材を停止させることなく一定の搬送速度で搬送させながら洗浄することができるので、タクトタイムをさらに短縮することができる。
【００１４】
また、この構成によれば、所定の間隔をおいて連続して配置された複数の凸部により、カレットを確実に除去することができる。さらに、この構成によれば、除去されたカレットが凸部間の隙間に収まるので、洗浄面と板状部材との間に除去されたカレットが挟まり板状部材が傷ついてしまうのを防ぐことができる。
【００１５】
また、上記洗浄手段は、搬送中の板状部材の表裏面に垂直な軸周りに回転する回転ヘッドと、中心に第１貫通孔が設けられ、回転ヘッドに着脱可能に取り付けられた円形ディスクと、中心に第１貫通孔と連通する第２貫通孔が設けられた洗浄面を有し、円形ディスクに取り付けられた洗浄パッドと、第１貫通孔および第２貫通孔を介して板状部材に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、洗浄パッドを板状部材の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構とからなる構成とすることができる。さらに、本発明に係る洗浄装置は、洗浄手段毎に昇降機構を個別制御する制御手段をさらに備えた構成とすることができる。
【００１６】
この構成によれば、円形ディスクが着脱可能に取り付けられているので、円形ディスクを取り外して容易に洗浄パッドを交換することができる。
【００１７】
さらに、この構成によれば、洗浄手段毎に昇降機構を個別制御する制御手段を備えているので、大きさや厚さの異なる板状部材であっても１台の洗浄装置で洗浄することができる。
【００１８】
また、本発明に係る洗浄装置は、上記凸部の高さを１００μｍ以上、１０００μｍ以下にすることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、凸部の高さを１００μｍ以上、１０００μｍ以下にすることで、凸部自身の強度を保ったまま、凸部の高さが一般的に想定されるカレットの最大の高さよりも高くなるので、洗浄中にあらゆる高さのカレットに衝撃を与えることができ、カレットをより確実に除去することができる。
【００２０】
また上記課題を解決するために、本発明に係る洗浄方法は、洗浄対象である板状部材を搬送経路に沿って搬送する搬送工程と、搬送工程中に、板状部材に洗浄液を供給しつつ、板状部材の表裏面を挟むように搬送経路の両側にそれぞれ千鳥状に配置された複数の洗浄手段を回転させて板状部材を洗浄する洗浄工程とを含む洗浄方法であって、
洗浄工程において、複数の凸部が所定の間隔をおいて連続して配列された洗浄面を有する複数の洗浄手段のうち、搬送経路の一方側に配置された１つの洗浄手段と、該洗浄手段と同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側に配置された１つの洗浄手段とからなる組を構成する洗浄手段の洗浄面を逆方向に回転させることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段から板状部材の表面に加わる回転方向の力と、他方側に配置された洗浄手段から板状部材の裏面に加わる回転方向の力とが相殺されるため、搬送経路に位置ズレ防止手段を設けることなく、板状部材の位置ズレを防ぐことができる。さらに、この構成によれば、板状部材を停止させることなく一定の搬送速度で搬送させながら洗浄することができるので、洗浄工程におけるタクトタイムをさらに短縮することができる。
【００２２】
また、この構成によれば、所定の間隔をおいて連続して配置された複数の凸部により、カレットを確実に除去することができる。さらに、この構成によれば、除去されたカレットが凸部間の隙間に収まるので、洗浄面と板状部材との間にカレットが挟まり板状部材が傷ついてしまうのを防ぐことができる。
【００２３】
また、本発明に係る洗浄方法は、搬送工程中に板状部材が所定の位置まで搬送されると、洗浄手段が板状部材に対して昇降し、所定の圧力で板状部材を加圧するようにしてもよい。
【００２４】
さらに、本発明に係る洗浄方法は、洗浄手段の昇降を洗浄手段毎に個別に制御するようにしてもよい。この構成によれば、大きさや厚さの異なる板状部材であっても１台の洗浄装置で洗浄することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、洗浄中に板状部材の位置ズレを発生させることなく、板状部材の表裏面に固着したカレット等の異物を確実に除去することができる洗浄装置および洗浄方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る洗浄装置であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）側面図である。
【図２】本発明における洗浄手段の回転方向を説明するための図である。
【図３】本発明における回転ヘッドと円形ディスクとの関係を示す図である。
【図４】本発明における洗浄パッドであって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は部分拡大平面図である。
【図５】本発明における洗浄パッドの洗浄面と液晶パネルの表裏面との関係を示す図である。
【図６】本発明に係る洗浄方法であって、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）は順次進行する搬送工程および洗浄工程の様子を示す側面図である。
【図７】液晶パネルの表面状態を示す図であって、（Ａ）、（Ｃ）は洗浄前の液晶パネル、（Ｂ）は従来の洗浄シートで洗浄した後の（Ａ）の液晶パネル、（Ｄ）は本発明における洗浄パッドで洗浄した後の（Ｃ）の液晶パネルである。
【図８】本発明に係る洗浄装置の変形例を示す図であって、（Ａ）は第１変形例の平面図、（Ｂ）は第２変形例の平面図、（Ｃ）は第３変形例の平面図、（Ｄ）は第４変形例の平面図である。
【図９】本発明における洗浄パッドの変形例を示す平面図である。
【図１０】従来の洗浄装置であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２８】
［洗浄装置］
図１に、本実施形態に係る洗浄装置１を示す。同図に示すように、本実施形態に係る洗浄装置１は、複数のゴム製のリング４ａを有する搬送ローラ４および補助ローラ５が併設された搬送経路間に設けられ、搬送経路に沿って搬送されてきた液晶パネル２（本発明の「板状部材」に相当）の表裏面を洗浄するものである。なお、搬送されてくる液晶パネル２は、表裏面に偏光フィルムが貼り付けられる前の状態のものであり、２枚のガラス基板の間に液晶が封止されている。
【００２９】
洗浄装置１は、搬送されてくる液晶パネル２の表裏面を挟むように搬送経路の両側（上下）に配置された複数の洗浄手段３ａ、３ｂを備えている。複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、各側で千鳥状に配置されており、前列Ｆに配置された洗浄手段３ａ、３ｂで洗浄しきれなかった部分を、後列Ｂに配置された洗浄手段３ａ、３ｂで洗浄するよう意図されている（図１（Ａ）参照）。
【００３０】
また、複数の洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送経路の一方側（搬送されてくる液晶パネル２の表面側）に配置された１つの洗浄手段３ａと、該洗浄手段３ａと同軸上で相対向するよう搬送経路の他方側（搬送されてくる液晶パネル２の裏面側）に配置された１つの洗浄手段３ｂとからなる組を複数（本実施形態では５組）含んでいる。
【００３１】
図２は、本実施形態における洗浄手段３ａ、３ｂの回転方向（なお、回転方向については、洗浄装置の上方から見た場合の回転方向とする。以下、同じ。）を説明するための図である。同図に示す洗浄手段３ａ−１、３ａ−２、３ａ−３は、搬送経路の一方側の前列Ｆに配置されたものであり、洗浄手段３ｂ−１、３ｂ−２、３ｂ−３は、搬送経路の他方側の前列Ｆに配置されたものである。洗浄手段３ａ−１と洗浄手段３ｂ−１、洗浄手段３ａ−２と洗浄手段３ｂ−２、および洗浄手段３ａ−３と洗浄手段３ｂ−３は、それぞれ同一組を構成している。そして、これらの同一組を構成する洗浄手段（例えば、３ａ−３と３ｂ−３）は、洗浄面１０ａ、１０ｂの回転方向が逆になるように回転する。具体的には、搬送経路の一方側に配置された洗浄手段３ａの洗浄面１０ａはすべて時計回りに回転し、搬送経路の他方側に配置された洗浄手段３ｂの洗浄面１０ｂはすべて反時計回りに回転する。
【００３２】
各洗浄手段３ａ、３ｂは、搬送されてくる液晶パネル２の表裏面に垂直な軸周りに所定の速度で回転する回転ヘッド６と、回転ヘッド６に着脱可能に取り付けられた円形ディスク７と、円形ディスク７に取り付けられた洗浄パッド１０と、洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ、１０ｂを液晶パネル２の表面または裏面に対して昇降させる昇降機構８ａ、８ｂと、回転ヘッド６内に設けられ液晶パネル２に水等の洗浄液を供給する洗浄液供給機構９とから構成されている。
【００３３】
図３に示すように、円形ディスク７の中心には第１貫通孔１２が設けられており、洗浄パッド１０の中心には第１貫通孔１２と連通する第２貫通孔１３が設けられている。洗浄液供給機構９は、第１貫通孔１２および第２貫通孔１３を介して液晶パネル２に洗浄液を供給する。
【００３４】
回転ヘッド６の先端には、円形ディスク７を取り付けるための磁石１１が設けられている。円形ディスク７は、少なくとも一方側（回転ヘッド６側）の面が磁石１１と引き合う磁性体で形成されており、回転ヘッド６に対して着脱可能になっている。円形ディスク７の他方側の面には、耐水性の接着剤を介して洗浄パッド１０が取り付けられている。洗浄パッド１０を交換する場合、円形ディスク７ごと取り外すことで、洗浄パッド１０の交換を簡易かつ正確に行うことができる。
【００３５】
昇降機構８ａ、８ｂは、制御手段（不図示）の制御下で、回転ヘッド６、円形ディスク７および洗浄パッド１０を昇降させる。具体的には、洗浄手段３ａに設けられた昇降機構８ａは、圧力センサ等の圧力検出部を有しており、この圧力検出部で検出された圧力が制御手段により指示された所定の圧力に維持されるよう、シリンダーにより洗浄パッド１０（洗浄面１０ａ）等を下降させて液晶パネル２の表面を加圧する。一方、洗浄手段３ｂに設けられた昇降機構８ｂは、洗浄面１０ｂの高さ（昇降距離）が制御手段により指示された値（通常、搬送面よりわずかに高い位置）になるまで、サーボモーターとボールネジにより洗浄パッド１０（洗浄面１０ｂ）等を上昇させる。
【００３６】
制御手段は各昇降機構８ａ、８ｂを個別に制御することができるため、本実施形態に係る洗浄装置１では、液晶パネル２の大きさや厚さに応じて洗浄手段３ａ、３ｂを個別に昇降させることができる。例えば、図１では、洗浄装置１の洗浄手段３ｃを使用しなくても液晶パネル２の全面を洗浄することができるので、制御手段は、洗浄に使用する洗浄手段３ａ、３ｂだけを昇降させる。
【００３７】
また、制御手段には、洗浄パッド１０の摩耗量に応じて洗浄手段３ｂ（洗浄面１０ｂ）の高さを微調整するために、予測される摩耗量を液晶パネル２の洗浄枚数に換算したデータがあらかじめ格納されている。制御手段は、このデータと実際の洗浄枚数とを比較することにより洗浄面１０ｂの高さを決定し、この高さを指示するための制御信号を昇降機構８ｂに送信する。昇降機構８ｂは、受信した制御信号に基づいて、サーボモーターとボールネジにより洗浄面１０ｂを精密に昇降させる。これにより、摩耗により減った分だけ洗浄面１０ｂを上昇させることができるので、洗浄面１０ｂを搬送面よりわずかに高い位置に維持することができる。なお、摩耗量は、洗浄パッド１０の回転数や圧力等から予測することができる。
【００３８】
図４は、洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ（１０ｂ）を示す平面図および部分拡大平面図である。図４（Ａ）に示すように、洗浄パッド１０には、凸部１４が所定の間隔をおいて第１方向ｘおよび該第１方向ｘと直交する第２方向ｙの両方向に連続して配置されている。そして、図４（Ｂ）に示すように、洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ（１０ｂ）は、截頭錐体状に形成された凸部１４の截頭面１０−１と、該凸部１４の側面１０−２と、該凸部１４間の平面１０−３とによって構成されている。なお、洗浄パッド１０は、研磨材（不図示）を混合した樹脂を成型したものである。
【００３９】
図５は、洗浄中における洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ、１０ｂと液晶パネル２の表裏面との関係を示す図である。同図に示すように、洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ、１０ｂのうち凸部１４の截頭面１０−１と液晶パネル２の表裏面とが接触した状態で、液晶パネル２に洗浄液を供給しつつ洗浄パッド１０を回転させることで、液晶パネル２に固着しているカレットＣや塵埃等の異物が除去される。具体的には、凸部１４の截頭面１０−１に現れている研磨材により液晶パネル２の表裏面が研磨されることで、液晶パネル２に付着している塵埃や有機物等が除去される一方、洗浄パッド１０の回転に伴って凸部１４の側面１０−２があらゆる方向からカレットＣの側面にぶつかることで、液晶パネル２に固着しているカレットＣがはじき飛ばされて除去される。
【００４０】
除去されたカレットＣや塵埃等の異物は、凸部１４間の隙間に収まり（図５参照）、その後洗浄液とともに凸部１４間の隙間を通って洗浄パッド１０の外に流れ出ていくので、凸部１４の截頭面１０−１と液晶パネル２との間にカレットＣが挟まり液晶パネル２が傷つくことはない。
【００４１】
［洗浄方法］
次に、図６を参照して、本実施形態に係る洗浄装置１を用いた洗浄方法について説明する。本実施形態における洗浄方法は、液晶パネル２を搬送する搬送工程（図６（Ａ）〜（Ｄ））と、該搬送工程中に、液晶パネル２に洗浄液を供給しつつ洗浄手段３ａ、３ｂを逆方向に回転させて液晶パネル２の表裏面を洗浄する洗浄工程（図６（Ｃ））とを含んでいる。
【００４２】
図６（Ａ）に示すように、液晶パネル２は、併設された搬送ローラ４上に水平に寝かされ、搬送ローラ４および補助ローラ５の回転速度に応じた搬送速度で洗浄装置１に向かって搬送される。このとき、洗浄装置１の洗浄手段３ａ、３ｂは、回転することなく搬送経路から離れた位置で待機している。
【００４３】
図６（Ｂ）に示すように、液晶パネル２が洗浄装置１の近くまで搬送され、洗浄装置１に設けられたセンサ１５により液晶パネル２の存在が確認されると、洗浄手段３ａが時計回りに回転しながら液晶パネル２の表面に向かって下降し、洗浄手段３ｂが反時計回りに回転しながら液晶パネル２の裏面に向かって上昇する。洗浄手段３ｂは、洗浄面１０ｂの高さが制御手段により指示された高さ（搬送面よりわずかに高い位置）になるまで上昇する。
【００４４】
図６（Ｃ）に示すように、洗浄工程において、洗浄手段３ａ、３ｂは、洗浄面１０ａ、１０ｂのうち凸部１４の截頭面１０−１が液晶パネル２の表裏面に接触した状態で回転する。洗浄手段３ａは、凸部１４の截頭面１０−１が液晶パネル２の表面に接触すると、液晶パネル２にかかる圧力が制御手段により指示された所定の圧力になるまでさらに下降し、その後、圧力一定になるように高さが微調整される。なお、凸部１４の截頭面１０−１が液晶パネル２の表面に接触してから所定の圧力になるまでの時間は非常に短く、洗浄手段３ａは、凸部１４の截頭面１０−１が液晶パネル２の表面に接触するのとほぼ同時に所定の圧力で加圧することができる。
【００４５】
この洗浄工程では、液晶パネル２が洗浄装置１内に搬入された後の搬送速度が、液晶パネル２が洗浄装置１内に搬入される前の搬送速度よりも遅くならないように、搬送ローラ４および補助ローラ５は、洗浄中も回転速度を変化させることなく、一定の回転速度で回転している。
【００４６】
また、この洗浄工程では、液晶パネル２が洗浄中に位置ズレを起こさないように、洗浄面１０ａの回転方向と洗浄面１０ｂの回転方向とを逆にして、洗浄面１０ａから液晶パネル２の表面に加わる回転方向の力と、洗浄面１０ｂから液晶パネル２の裏面に加わる回転方向の力とを相殺させている。このため、搬送経路には、従来の洗浄装置２１を用いた場合に必要となる位置ズレ防止手段３１が設けられていない。
【００４７】
図６（Ｄ）に示すように、洗浄工程が終了すると、洗浄装置１の洗浄手段３ａ、３ｂは昇降し、待機状態に戻る。液晶パネル２は、次の工程に向けて搬送される。
【００４８】
［比較実験１］
続いて、本実施形態における洗浄パッド１０を用いて洗浄した場合の液晶パネル２の表面状態と、図１０に示す従来の洗浄シート３０を用いて洗浄した場合の液晶パネル２２の表面状態とを比較した比較実験１について説明する。本実験では、洗浄装置１（２１）を使用するかわりに、液晶パネル２（２２）の表面側（カラーフィルタ側）に０．０７５ＭＰａの面圧で洗浄パッド１０および洗浄シート３０を接触させ、洗浄パッド１０および洗浄シート３０を液晶パネル２（２２）の長手方向に１０往復させることにより洗浄を行なった。
【００４９】
図７は、液晶パネル２の表面状態を示す図であって、（Ａ）、（Ｃ）は洗浄前の液晶パネル２２、２、（Ｂ）は従来の洗浄シート３０で洗浄した後の（Ａ）の液晶パネル２２、（Ｄ）は本発明における洗浄パッド１０で洗浄した後の（Ｃ）の液晶パネル２である。
【００５０】
同図に示すように、従来の洗浄シート３０を用いて洗浄した場合は液晶パネル２２の表面に多数の傷が付いているのに対して、本実施形態における洗浄パッド１０を用いて洗浄した場合は、液晶パネル２の表面にほとんど傷が付いていない。これは、本実施形態における洗浄パッド１０を用いた場合、洗浄により除去されたカレットが、洗浄パッド１０に形成された凸部１４の截頭面１０−１と液晶パネル２の表面との間に挟まることなく、凸部１４間の隙間に収まるためである（図５参照）。
【００５１】
［比較実験２］
続いて、本実施形態に係る洗浄装置１と従来の洗浄装置２１とのカレット除去率を比較した比較実験２について説明する。本実験では、表面側に人為的にカレットを２０個固着させた液晶パネル２（２２）を６枚用意し、このうち３枚の液晶パネル２を本実施形態に係る洗浄装置１で洗浄し、残りの３枚の液晶パネル２２を従来の洗浄装置２１で洗浄した。表１にその結果を示す。
【００５２】
【表１】
2012213746.tif 000003
【００５３】
表１に示すように、従来の洗浄装置２１を用いて洗浄した場合、カレット除去率が７５％から９０％にとどまっているのに対して、本実施形態に係る洗浄装置１を用いた場合は、３枚ともカレット除去率が１００％になった。これは、本実施形態に係る洗浄装置１を用いた場合、洗浄パッド１０に形成された複数の凸部１４の側面１０−２があらゆる方向からカレットの側面にぶつかり、カレットを除去するのに十分な衝撃力がカレットにかかるためである。
【００５４】
［変形例１〜４］
図８（Ａ）〜（Ｄ）に、本発明に係る洗浄装置の第１変形例〜第４変形例を示す。
【００５５】
図８（Ａ）に示す第１変形例に係る洗浄装置１Ａは、上記実施形態に係る洗浄装置１のすべての洗浄手段（洗浄手段３ａ、３ｂと洗浄手段３ｃ）を使用したものであり、上記実施形態における液晶パネル２よりも大型の液晶パネルを洗浄するのに適している。
【００５６】
図８（Ｂ）に示す第２変形例に係る洗浄装置１Ｂは、上記実施形態に係る洗浄装置１の５組の洗浄手段３ａ、３ｂのうち一部（３組）の洗浄手段３ａ、３ｂだけを使用したものであり、上記実施形態における液晶パネル２よりも小型の液晶パネルを洗浄するのに適している。なお、小型の液晶パネルだけを洗浄するのであれば、洗浄手段３ｃのない洗浄装置、すなわち３組の洗浄手段３ａ、３ｂだけを備えた小型の洗浄装置を用いてもよい。
【００５７】
図８（Ｃ）に示す第３変形例に係る洗浄装置１Ｃは、上記実施形態に係る洗浄装置１の洗浄手段３ａ、３ｂの数を増やし、洗浄手段３ａ、３ｂを３列に千鳥配置させたものである。第３変形例に係る洗浄装置１Ｃによれば、液晶パネル２に固着したカレット等の異物をより確実に除去することができる。
【００５８】
図８（Ｄ）に示す第４変形例に係る洗浄装置１Ｄは、上記実施形態に係る洗浄装置１の洗浄手段３ａ、３ｂのうち、各列で隣り合う洗浄手段３ａ（３ｂ）の回転方向を逆にしたものである。なお、この場合も同一組を構成する洗浄手段３ａ、３ｂは、上記実施形態に係る洗浄装置１と同様に、洗浄面１０ａ、１０ｂの回転方向が逆になるように回転する。
【００５９】
以上、本発明に係る洗浄装置の好ましい実施形態および第１変形例〜第４変形例について説明したが、本発明は上記の構成に限定されるものではない。
【００６０】
例えば、上記洗浄パッド１０に替えて、図９に示す洗浄パット１０’を用いてもよい。この洗浄パット１０’は、第２貫通孔１３を中心として放射状に第３貫通孔１３’が設けられていること以外の点において、洗浄パッド１０と共通している。第３貫通孔１３’は液晶パネル２に洗浄液を供給するために設けられたものであり、この洗浄パット１０’を用いることで、より多くの洗浄液を液晶パネル２に供給することができる。
【００６１】
また、洗浄パッド１０、１０’の洗浄面１０ａ、１０ｂに形成されている凸部１４の高さは、１００μｍ以上、１０００μｍ以下の範囲で任意に設定することができる。なお、凸部１４の高さが１００μｍよりも低いと、液晶パネル２に固着するカレットの一般的に想定される最大の高さよりも低くなるので、高さが高いカレットにしか衝撃を与えることができなくなり、高さが低いカレットを除去することができなくなる。一方、凸部１４の高さが１０００μｍよりも高いと、凸部１４自身の強度が下がり変形しやすくなるので、カレットに与える衝撃力が弱まり、この場合もカレットを十分に除去することができなくなる。
【００６２】
さらに、凸部１４は、立体形状であれば任意の形状に変更可能であり、例えば、円柱状や角柱状に変更することができる。
【００６３】
また、上記実施形態では、円形ディスク７を回転ヘッド６から着脱可能にするために、回転ヘッド６の先端に磁石１１を設けているが、円形ディスク７の回転ヘッド６側に磁石１１を設けてもよく、回転ヘッド６と円形ディスク７の両方に磁石１１を設けてもよい。さらに、円形ディスク７を回転ヘッド６から着脱可能にすることができるのであれば、磁石１１以外の取付手段を用いてもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、図５に示すように、洗浄パッド１０の洗浄面１０ａ、１０ｂのうち凸部１４の截頭面１０−１と液晶パネル２の表裏面とが接触した状態で、液晶パネル２の洗浄を行なっているが、比較的大きなカレットの除去を目的とする場合は、凸部１４の截頭面１０−１が液晶パネル２の表裏面からわずかに浮いた状態で液晶パネル２の洗浄を行なってもよい。これにより洗浄パッド１０の寿命が長くなり、しかも洗浄パッド１０に混合されている研磨材が不要になるので、コストの面で有利になる。なお、この場合、制御手段は、洗浄面１０ａの高さ（昇降距離）が指示した値になるように、洗浄手段３ａの昇降機構８ａを高さ制御する。
【００６５】
また、上記実施形態では、洗浄対象として液晶パネル２を例に挙げて説明したが、少なくとも表裏面にガラス面を有する板状部材であれば、本発明に係る洗浄装置１、１Ａ〜１Ｄを適用して、ガラス面に固着しているカレット等の異物を確実に除去することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ    洗浄装置
２    液晶パネル
３ａ、３ｂ、３ｃ    洗浄手段
４    搬送ローラ
５    補助ローラ
６    回転ヘッド
７    円形ディスク
８ａ、８ｂ    昇降機構
９  洗浄液供給機構
１０、１０’    洗浄パッド
１０ａ、１０ｂ    洗浄面
１１    磁石
１２    第１貫通孔
１３    第２貫通孔
１３’  第３貫通孔
１４    凸部
１５    センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図７】
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