(57)【要約】【課題】格別の操作を要することなく最適な電圧供給を行い、無駄な電力消費や負荷の削減を行うことを目的とする。【解決手段】本発明の半導体試験装置は、ＤＵＴ２の試験を行う出力制御ユニット５を備える半導体試験装置１であって、試験を行うためのテストプログラムに設定された設定電圧の情報に基づいて動作を行う複数のドライバ３２と、設定電圧の情報を取得して、取得した情報に基づいてドライバ３２に設定される設定電圧の電圧をドライバ３２に供給する供給電圧を変更可能な１または複数の可変電源３３と、を備えている。これにより、ＤＵＴ２が無駄な電力を消費することなく、負荷が与えられなくなる。且つ、テストプログラムの設定電圧の情報を利用しているため、電源制御の操作を要することなく、最適な電圧を供給することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの試験を行う試験部を備える半導体試験装置であって、
前記試験を行うための試験情報に設定された設定電圧の情報に基づいて動作を行う複数の素子と、
前記設定電圧の情報を取得して、取得した情報に基づいて前記素子に設定される設定電圧の電圧を前記素子に供給する供給電圧を変更可能な１または複数の可変電源と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記素子ごとに設定された前記設定電圧の情報に基づいて、前記素子ごとに対応して設けられる前記可変電源に対して前記素子の設定電圧の情報を入力する電源制御部を備えたこと
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
全ての前記可変電源と全ての前記素子との間を接続する複数の電源供給経路のそれぞれに設けたスイッチと、
前記素子ごとに設定された前記設定電圧の情報に基づいて、前記素子のうち設定電圧が同一の素子に対して、同一の可変電源から前記設定電圧を前記素子に供給するように前記スイッチを制御する電源制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記可変電源から取得した駆動電圧と前記素子ごとに設定された前記設定電圧とを比較して、前記可変電源の供給電圧が正常でない場合には、その旨を検出する異常検出部を備えたこと
を特徴とする請求項２または３記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）に対して所定の電圧を印加して試験を行う半導体試験装置が従来から用いられている。図３は従来の半導体試験装置１０１の構成を示しており、この半導体試験装置１０１には試験対象であるＮ（Ｎは自然数）個のＤＵＴ１０２（１０２−１〜１０２−Ｎ）が接続されている。
【０００３】
半導体試験装置１０１はコントローラ１０３とバス制御ユニット１０４と出力制御ユニット１０５とを備えて概略構成している。また、各出力制御ユニット１０５は入力部１１１とＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）１１２とインターフェイス１１３とＮ個のドライバユニット１１４（１１４−１〜１１４−Ｎ）と電源部１１５とを備えて構成している。そして、各ドライバユニット１１４は、ＤＡＣ（Digital Analog Converter）１２１とドライバ１２２と抵抗１２３とを備えて構成している。
【０００４】
コントローラ１０３は出力制御ユニット１０５を制御するコンピュータであり、バス制御ユニット１０４を介して出力制御ユニット１０５の制御を行っている。コントローラ１０３は所定のテストプログラムに基づいて動作を行っている。テストプログラムにはＤＵＴ１０２に対して印加する電圧がドライバ１２２ごとに設定電圧として設定されている。
【０００５】
コントローラ１０３はテストプログラムに基づいて、ドライバ１２２ごとに設定電圧のデータをコマンドとして発行する。そして、発行したコマンドはバス制御ユニット１０４を介して、出力制御ユニット１０５に出力される。
【０００６】
出力制御ユニット１０５の入力部１１１はコントローラ１０３が出力したコマンドを入力する。ＦＰＧＡ１１２は入力したコマンドを出力制御ユニット１０５が処理可能なデータ形式に変換をする。インターフェイス１１３はデータ変換をしたコマンドに基づいて、各ドライバユニット１１４のＤＡＣ１２１の制御を行う。
【０００７】
コマンドはドライバ１２２ごとに設定電圧を示すデータになっており、コマンドからドライバ１２２−１〜１２２−Ｎのうち何れのドライバ１２２であるかが認識される。インターフェイス１１３はコマンドに基づいて対象となるドライバ１２２に設定電圧のデータを各ドライバユニット１１４に出力する。
【０００８】
設定電圧のデータはデジタルデータになっている。ＤＡＣ１２１はこのデジタルデータをアナログデータに変換して、ドライバ１２２に入力する。これにより、ドライバ１２２に設定電圧が設定される。ドライバ１２２は設定電圧に基づいて駆動して、電圧を出力する。出力された電圧は抵抗１２３および接続ピンを介して、ＤＵＴ１０２に入力される。
【０００９】
各ドライバ１２２には共通の電源部１１５が接続されている。この電源部１１５は各ドライバ１２２に対して電圧の供給を行っている。従って、各ドライバ１２２は電源部１１５が供給する電圧の供給を受けて、設定電圧の電圧を発生して出力する。これにより、ＤＵＴ１０２に所定の電圧を印加することができる。
【００１０】
ＤＵＴに対して所定の電圧を印加する技術が、例えば特許文献１に開示されている。この技術では、試験部を構成する信号出力部（図従来のドライバ１２２に相当）に対して電圧を供給する電源部の供給電圧を可変にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００７−７８５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
図３の構成において、各ドライバ１２２に設定される設定電圧は同一であるとは限られず、基本的にはドライバ１２２によって設定電圧は異なっている。また、各ドライバ１２２からは繰り返し電圧を出力して、ＤＵＴ１０２に印加して試験を行う。同じドライバ１２２からは同じ電圧が出力されるとは限られず、これも基本的には毎回異なる電圧を印加する。
【００１３】
つまり、各ドライバ１２２の間、および同一のドライバ１２２の間でも設定電圧が異なる。一方、各ドライバ１２２に電圧を供給する電源部１１５は常に同一の電圧を供給している。従って、設定電圧が種々に変化するドライバ１２２に常に供給電圧が不足しないようにするために、全てのドライバ１２２に設定される設定電圧のうち最も高い電圧値以上の電圧を電源部１１５は常に供給するようにしている。
【００１４】
従って、殆どの場合、各ドライバ１２２に対して設定電圧よりも高い電圧が供給される。これにより、供給電圧から印加電圧を減じた余剰電圧がドライバ１２２に発生する。この余剰電圧はドライバ１２２で消費される。つまり、ドライバ１２２に無駄な電力消費が発生している。
【００１５】
例えば、各ドライバ１２２によって印加電圧に大きな差がある場合において、低い電圧を印加するドライバ１２２には非常に大きな余剰電圧が発生し、消費される。余剰電圧はドライバ１２２の発熱によって消費される。これにより、ドライバ１２２には大きな負荷が与えられる。この発熱による負荷を低減するために、放熱機構（例えば、冷却ファン等）を備えるようにしなければならない。
【００１６】
従って、無駄な電力消費によるエネルギーロスだけではなく、ドライバ１２２に対する負荷、並びに放熱機構によるハードウェアの複雑化を招来する。この点、特許文献１の技術のように、電源部１１２の供給電圧を可変にしたとしても、電源部１１２は各ドライバ１２２の共通用となっている。このため、１つのドライバ１２２に対して最適な電圧を供給することはできても、他のドライバ１２２ではやはり無駄な電圧が消費されるようになる。
【００１７】
また、特許文献１の技術では、１つのドライバ１２２に対して最適な電圧を供給することも可能ではあるが、供給電圧を変更するときには、電源部に指令を出す必要がある。従って、ドライバ１２２の設定電圧が変化するたびに電源部に対して電圧を変更する指令を出す必要があり、この操作の負担を強いることになる。これにより、操作が複雑化する。
【００１８】
そこで、本発明は、格別の操作を要することなく最適な電圧供給を行い、無駄な電力消費や負荷の削減を行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
以上の課題を解決するため、本発明の第１の半導体試験装置は、被試験デバイスの試験を行う試験部を備える半導体試験装置であって、前記試験を行うための試験情報に設定された設定電圧の情報に基づいて動作を行う複数の素子と、前記設定電圧の情報を取得して、取得した情報に基づいて前記素子に設定される設定電圧の電圧を前記素子に供給する供給電圧を変更可能な１または複数の可変電源と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この半導体試験装置によれば、素子を駆動するために電圧を設定した試験情報の設定電圧の値を可変電源に入力している。これにより、素子の設定電圧と同じ電圧を可変電源から素子に供給することができ、無駄な電力消費や負荷がなくなる。且つ、素子を駆動させるために必要な試験情報の設定電圧を利用しているため、格別の操作を要することなく、供給電圧の設定を行うことができるようになる。
【００２１】
本発明の第２の半導体試験装置は、第１の半導体試験装置であって、前記素子ごとに設定された前記設定電圧の情報に基づいて、前記素子ごとに対応して設けられる前記可変電源に対して前記素子の設定電圧の情報を入力する電源制御部を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この半導体試験装置によれば、素子ごとに設定電圧が設定されており、且つ素子ごとに可変電源を設けていることから、素子に対応した可変電源から当該素子に最適な電圧の供給を簡単に行うことができる。
【００２３】
本発明の第３の半導体試験装置は、第１の半導体試験装置であって、全ての前記可変電源と全ての前記素子との間を接続する複数の電源供給経路のそれぞれに設けたスイッチと、前記素子ごとに設定された前記設定電圧の情報に基づいて、前記素子のうち設定電圧が同一の素子に対して、同一の可変電源から前記設定電圧を前記素子に供給するように前記スイッチを制御する電源制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この半導体試験装置によれば、同一の設定電圧であれば、１つの可変電源から複数の素子に対して電圧供給を行うようにしている。これにより、可変電源の数を素子の数以下にすることができ、ハードウェアの単純化を図ることができるようになる。
【００２５】
本発明の第４の半導体試験装置は、第２または第３の半導体試験装置であって、前記可変電源から取得した駆動電圧と前記素子ごとに設定された前記設定電圧とを比較して、前記可変電源の供給電圧が正常でない場合には、その旨を検出する異常検出部を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この半導体試験装置によれば、可変電源から駆動電圧の値を取得することができ、これを設定電圧の値と比較することで、適切な電圧が素子に供給されているかを認識することができるようになる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は、素子を駆動するために試験情報に設定した設定電圧に基づいて可変電源の供給電圧を制御している。これにより、素子が駆動する電圧の分を可変電源から供給することができ、無駄な電力消費、負荷をなくすことができる。そして、もともと素子を駆動するための試験情報の設定電圧を利用して可変電源を制御しているため、格別の操作を要することなく、極めて簡単に電源制御を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施形態の半導体試験装置の概略構成図である。
【図２】変形例の半導体試験装置の概略構成図である。
【図３】従来の半導体試験装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の半導体試験装置１の概略構成を示している。半導体試験装置１はＤＵＴ（被試験デバイス：Device Under Test）２の試験を行う装置であり、コントローラ３とバス制御ユニット４と出力制御ユニット５とモニタ６とを備えて構成している。ここでは、半導体試験装置１にはＮ（Ｎは自然数）個のＤＵＴ２（２−１〜２−Ｎ）が接続されており、各ＤＵＴ２に対して所定の電圧を印加して試験を行う。
【００３０】
コントローラ３は出力制御ユニット５を制御するための制御装置であり、例えばコンピュータが使用される。コントローラ３はプログラム記憶部１１とコマンド生成部１２と入出力部１３と異常検出部１４とを備えて構成している。プログラム記憶部１１はＤＵＴ２の試験を行うための内容を設定したテストプログラムを試験情報として記憶する試験情報記憶部である。
【００３１】
テストプログラムにはＤＵＴ２に対して印加する電圧が設定されている。ＤＵＴ２には後述するドライバ３２が電圧印加を行う。従って、テストプログラムにはドライバ３２ごとに印加する電圧を設定電圧として設定しており、ドライバ３２と設定電圧とは関連付けられて記憶されている。
【００３２】
コマンド生成部１２はテストプログラムに基づいてコマンドを生成する。コントローラ３は出力制御ユニット５にコマンドを出力することで制御を行っている。このコマンドはドライバ３２ごとの設定電圧のデータになっており、各ドライバ３２は設定電圧のデータを入力して電圧を出力する。
【００３３】
入出力部１３はコマンドを出力制御ユニット５に対して出力し、また出力制御ユニット５からの情報を入力する。異常検出部１４はドライバ３２ごとに設定電圧のデータを保持しており、且つ出力制御ユニット５から後述の供給電圧データを入力して異常検出を行っている。また、バス制御ユニット４はコントローラ３と出力制御ユニット５との間を接続するバスの制御を行っている。
【００３４】
出力制御ユニット５はＤＵＴ２の試験を行うための試験部である。この出力制御ユニット５は、入出力部２１とＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）２２とインターフェイス２３とＮ個のドライバユニット２４（２４−１〜２４−Ｎ）とを備えて構成している。インターフェイス２３はドライバ制御部２５と電源制御部２６とを備えており、各ドライバユニット２４はそれぞれＤＡＣ(Digital Analog Converter)３１とドライバ３２と可変電源３３と抵抗３４とを備えて構成している。
【００３５】
入出力部２１はコントローラ３からコマンドを入力し、出力制御ユニット５のデータをコントローラ３に出力する。入出力部２１が入力したコマンドはＦＰＧＡ２２により出力制御ユニット５が処理可能なデータ形式に変換される。そして、データ変換されたコマンドがインターフェイス２３に入力される。
【００３６】
インターフェイス２３はドライバユニット２４を制御するユニットである。ドライバ制御部２５は各ドライバユニット２４のドライバ３２を制御しており、電源制御部２６は各ドライバユニット２４の可変電源３３を制御している。ドライバ制御部２５および電源制御部２６はデータ変換がされたコマンドに基づいて制御を行っている。
【００３７】
各ドライバユニット２４はＤＵＴ２に所定の電圧を印加するためのユニットになっている。ドライバ制御部２５は、コマンドに基づいて設定電圧の値をデジタルデータとしてＤＡＣ３１に出力しており、ＤＡＣ３１はこのデジタルデータをアナログデータに変換している。そして、アナログデータの設定電圧をドライバ３２に設定する。
【００３８】
これにより、ドライバ３２は設定電圧に基づいて駆動して電圧を出力する。出力した電圧は抵抗３４および接続ピンを介してＤＵＴ２に印加される。各ドライバユニット２４のドライバ３２は同じ電圧を出力する場合もあるが、基本的には異なる電圧を出力する。また、各ドライバ３２からは繰り返し電圧が出力され、毎回同じ電圧を出力する場合もあるが、基本的には異なる電圧を出力する。
【００３９】
可変電源３３はドライバ３２に電圧の供給を行っており、供給電圧を可変に設定できる。可変電源３３は電源制御部２６により供給電圧が制御されている。電源制御部２６はコマンドに基づいて設定電圧の電圧値をデジタルデータで可変電源３３に出力する。可変電源３３はこのデジタルデータの電圧値を入力して、当該電圧値の電圧をドライバ３２に供給する。
【００４０】
電源制御部２６と各可変電源３３との間はデジタルデータを入出力可能にした電源制御バス３５により接続されている。この電源制御バス３５はデジタルバスであり、デジタルデータを直接的に可変電源３３に入力することができる。電源制御バス３５で接続される各可変電源３３にはアドレスが割り振られている。ここでは、Ｎ個のドライバユニット２４が設けられているため、アドレス１からアドレスＮまで割り振られている。
【００４１】
電源制御部２６はコマンドを入力しており、このコマンドに基づいて何れのドライバ３２を対象としているかを認識できる。ドライバ３２は可変電源３３と一対で構成されており、コマンドが示すドライバ３２によりアドレスを特定できる。これにより、電源制御部２６は対象となる可変電源３３のアドレスを特定し、特定されたアドレスに対してコマンドの設定電圧をデジタルデータで出力する。これにより、可変電源３３は入力した設定電圧を供給するように設定している。
【００４２】
なお、ドライバ制御部２５も電源制御バス３５と同様のデジタルバスを用いて、各ドライバユニット２４のＤＡＣ３１に対して設定電圧のデジタルデータを出力するようにしてもよい。
【００４３】
電源制御バス３５は双方向にデータを送受信可能に構成しており、可変電源３３が出力したデータを電源制御部２６に出力することもできる。ここでは、可変電源３３は自身の供給電圧のデータ（供給電圧データ）を電源制御部２６（インターフェイス２３）に出力する。この供給電圧データは、入出力部２１からバス制御ユニット４により、コントローラ３に出力している。
【００４４】
図１の例では、ドライバユニット２４はＮ個を備えており、ＤＵＴ２の個数と同数に設定しているが、同数でなくてもよい。ＤＵＴ２の個数は１個であってもよいし、それ以上であってもよい。ただし、ドライバユニット２４は複数個を備えるようにする。
【００４５】
モニタ６は異常検出部１４に接続されており、異常検出部１４が異常であると判定した場合にはその旨の情報表示を行う。異常検出部１４はドライバ３２ごとの設定電圧とドライバ３２から取得した供給電圧データとを比較しており、供給電圧の異常（設定電圧と供給電圧データの電圧との差分が一定値以上の場合に異常と判定する）を検出している。
【００４６】
異常検出部１４が異常検出をした場合には、その旨がモニタ６の画面上に表示される。また、モニタ６には供給電圧データの値を表示するようにして、可変電源３３の供給電圧の状態を認識（監視）することもできる。なお、異常検出部１４が異常を検出した場合には、モニタ６に表示してもよいが、別途の警報手段（アラーム等）により了知させるようにしてもよい。
【００４７】
次に、以上の構成に基づく動作について説明する。ここでは、Ｎ＝５とし、ドライバユニット２４は２４−１〜２４−５まで備えられているものとして説明する。また、ドライバユニット２４−１〜２４−Ｎに対応するＤＡＣ３１を３１−１〜３１−５、ドライバ３２を３２−１〜３２−５、可変電源３３を３３−１〜３３−５とする。
【００４８】
プログラム記憶部１１には所定のテストプログラムが予め記憶されており、ここではテストプログラムには、ドライバ３２−１の設定電圧は５ボルト、２４−２は０ボルト、２４−３および２４−２は１０ボルト、２４−５は７ボルトが設定されているものとして説明する。
【００４９】
コマンド生成部１２はプログラム記憶部１１からテストプログラムを読み出して、各ドライバ３２の設定電圧に基づいてコマンドを生成する。このコマンドは前記のような設定電圧を示すデータになっている。このとき、コマンド生成部１２はドライバ３２ごとにコマンドを生成する。従って、５つのコマンドが生成される。なお、当該５つのコマンドは後に分割可能であれば、一体化した１つのコマンドとしてもよい。
【００５０】
コマンド生成部１２が生成したコマンドは入出力部１３から出力制御ユニット５に入力される。入出力部２１に入力されたコマンドはＦＰＧＡ２２によりデータ変換がされて、インターフェイス２３のドライバ制御部２５および電源制御部２６に入力される。ドライバ制御部２５は入力したコマンドに基づいて、各ドライバユニット２４−１〜２４−５のＤＡＣ３１に制御データを出力する。
【００５１】
各コマンドはドライバ３２ごとに生成されており、コマンドによりドライバ３２が１つに特定される。このために、コマンドにはドライバ３２を特定するための情報が含まれている。ドライバ制御部２５は特定したドライバ３２に対してコマンドに示す設定電圧を出力する。出力した設定電圧は対象となるＤＡＣ３１に入力される。つまり、ＤＡＣ３１−１〜３１−５にはそれぞれ５ボルト、０ボルト、１０ボルト、１０ボルト、７ボルトのデジタルデータが入力される。
【００５２】
そして、各ＤＡＣ３１はデジタルデータをアナログデータに変換してドライバ３２に入力する。これによりドライバ３２には設定電圧が設定される。そして、ドライバ３２は設定電圧の電圧を発生して出力する。ここでは、ドライバ３２−１〜３２−５はそれぞれ５ボルト、０ボルト、１０ボルト、１０ボルト、７ボルトを出力する。ただし、ドライバ３２−２は０ボルトであるため、ドライバ３２−２は駆動を行わない。
【００５３】
電源制御部２６はコマンドに基づいて、各可変電源３３の制御を行う。コマンドにより対象となるドライバ３２に対応する可変電源３３を特定し、特定した可変電源３３のアドレスに設定電圧のデジタルデータを出力する。
【００５４】
ここでは、アドレス１は可変電源３３−１であり、この可変電源３３−１に対して対応するドライバ３２−１の設定電圧（５ボルト）のデジタルデータを出力する。同様に、アドレス２の可変電源３３−２には０ボルト、アドレス３の可変電源３３−３には１０ボルト、アドレス４の可変電源３３−４には１０ボルト、アドレス５の可変電源３３−５には７ボルトのデジタルデータを出力する。
【００５５】
可変電源３３−１〜３３−５はデジタルデータを入力可能になっており、入力したデジタルデータが示す電圧を対応するドライバ３２に対して供給する。これにより、ドライバ３２−１には５ボルト、３２−３および３２−４には１０ボルト、３２−５には７ボルトの電圧が供給される。一方、可変電源３３−２には０ボルトの値が入力される。よって、可変電源３３−２は稼動することなく、電圧供給を行わない。
【００５６】
従って、ドライバ３２の設定電圧の電圧が可変電源３３からドライバ３２に供給される。このため、ドライバ３２が出力する電圧に応じた電圧を可変電源３３が供給される。また、ドライバ３２の設定電圧が０ボルトであるならば、ドライバ３２の駆動自体を行わないようにしている。これにより、ドライバ３２には余剰電圧（可変電源３３から供給される供給電圧からドライバ３２に設定された設定電圧を減じた電圧）は生じなくなる。つまり、ドライバ３２に対して最適な電圧を供給することができる。
【００５７】
従って、ドライバ３２の無駄な電力消費がなくなるため、エネルギーロスがなくなる。換言すれば、より大きな電力をドライバ３２に供給することもできる。且つ、余剰電圧によるドライバ３２に対する負荷もなくなり、ドライバ３２が余剰電圧を消費するときに生じる熱を放熱するための放熱機構（冷却ファン等）も必要なくなる。これにより、ハードウェアも単純化する。
【００５８】
そして、テストプログラムに設定されているドライバ３２の設定電圧を可変電源３３の制御に利用している。このため、可変電源３３の供給電圧の制御に別途の指令を要する必要はなく、もともと設定されていた情報をそのまま利用しているため、格別の操作を要することなく最適な電圧を供給できるようになる。
【００５９】
以上において、テストプログラムには各ドライバ３２の設定電圧が設定されているものとして説明したが、テストプログラムにはドライバ３２以外の電圧が設定されていてもよい。出力制御ユニット５には種々の素子が備えられており、当該素子の１つがドライバ３２になる。他の素子としては、例えばＦＰＧＡ２２等がある。ＦＰＧＡ２２も所定の電圧を供給して動作を行うものである。このため、ドライバ３２だけではなく、ＦＰＧＡ２２も含めて最適な電源を供給するように制御することができる。
【００６０】
次に、図２を参照して、変形例について説明する。図２は本変形例の出力制御ユニット５を示しており、出力制御ユニット５以外の構成は図１と変わりはない。本変形例では、ドライバユニット２４から可変電源３３を分離しており、可変電源３３は独立した要素になっている。そして、Ｍ（Ｍは自然数：Ｍ≦Ｎ）個の可変電源３３（３３−１〜３３−Ｍ）を備えているものとする。従って、可変電源３３の個数はドライバ３２の個数以下となっており、その個数が１つの場合もある。
【００６１】
また、各可変電源３３が供給する電圧は全てのドライバ３２に入力させることができるようになっている。そして、所定のドライバ３２に電圧を供給するためにスイッチング部４０を設けている。Ｍ個の可変電源３３からＮ個のドライバ３２に入力させる電源供給経路を設けており、全ての電源供給経路上にスイッチ４１を設けている。このスイッチ４１をオンまたはオフに制御することで、任意の可変電源３３から任意のドライバ３２に電源の供給を行うことが可能になる。また、スイッチ４１の制御を行うことで、１つの可変電源３３から複数のドライバ３２に電源を供給することも可能になっている。
【００６２】
動作について説明する。コマンドがインターフェイス２３に入力されて、ドライバ制御部２５がコマンドに基づいて各ドライバ３２を制御する点については前述した例と同じである。本変形例では、可変電源３３の制御が異なる。
【００６３】
テストプログラムには前述した場合と同様に、ドライバ３２−１が５ボルト、３２−２が０ボルト、３２−３および３２−４が１０ボルト、３２−５が７ボルトと設定されているものとする。この場合に必要になる可変電源３３は３つになる。つまり、５ボルトの電圧を供給する可変電源３３−１、１０ボルトの電圧を供給する可変電源３３−２、７ボルトの電圧を供給する可変電源３３−３の３つが必要になる。
【００６４】
換言すれば、設定電圧のうち電圧値が異なる設定電圧の分の可変電源３３を使用するように制御していることになる。つまり、テストプログラムにはドライバ３２ごとに設定電圧が設定されているが、設定電圧が一致しているドライバ３２が存在し、また設定電圧が０ボルトのドライバ３２（駆動しないドライバ３２）も存在している。
【００６５】
駆動しないドライバ３２には電圧を供給する必要はなく、設定電圧が一致しているドライバ３２については共通の可変電源３３を使用することができる。従って、テストプログラムに設定されている異なる電圧値の分だけ可変電源３３を使用するようにしている。
【００６６】
電源制御部２６は、所定の可変電源３３の供給電圧が所定のドライバ３２に入力されるように、スイッチング部４０を構成する各スイッチ４１のオンまたはオフを制御している。ここでは、可変電源３３−１とドライバ３２−１とを接続し、可変電源３３−２とドライバ３２−３および３２−４とを接続し、可変電源３３−３とドライバ３２−５とを接続するように各スイッチ４１を制御している。これにより、ドライバ３２−１には５ボルト、３２−３および３２−４には１０ボルト、３２−５には７ボルトの電圧を供給することができる。
【００６７】
本変形例では、ドライバ３２と可変電源３３とを１対１で設けるのではなく、テストプログラムに設定されている設定電圧のうち電圧値の異なる設定電圧（０ボルトは除く）を可変電源３３に設定している。この場合にも、各ドライバ３２に最適な電圧を供給できる。これにより、可変電源３３の数を削減することができ、ハードウェア構成をシンプルにすることができるようになる。
【００６８】
ただし、スイッチング部４０を設けて各スイッチ４１を制御しなければならないため、制御は複雑になる。この点、図１のように、ドライバ３２と可変電源３３とを１対１で対応して設けておけば、スイッチング部４０の制御は不要になり、制御は単純化する。
【符号の説明】
【００６９】
１    半導体試験装置
２    ＤＵＴ
３    コントローラ
５    出力制御ユニット
１１    プログラム記憶部
１２    コマンド生成部
２２    ＦＰＧＡ
２３    インターフェイス
２４    ドライバユニット
２５    ドライバ制御部
２６    電源制御部
３１    ＤＡＣ
３３    可変電源
３５    電源制御バス
４０    スイッチング部
４１    スイッチ
【図１】
2012037442.tif 000003
【図２】
2012037442.tif 000004
【図３】
2012037442.tif 000005