(57)【要約】【課題】平置き姿勢においてもスパッタ環境での充分な耐久性を有し、高負荷に対応する際に大型化することのない防塵カバーを有する搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシート５とを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シート５を収容し、スライドベース３１と、方向転換部４０とを有する。シート５の上方には、開口部１１を覆う上面カバー１７が設けられている。【選択図】図１
2012172837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
横断面が略Ｕ字形状のレール又はケーシングの上部に形成された開口部内に、駆動力伝達機構と、前記開口部より少なくとも一部突出し、前記駆動力伝達機構によってスライド移動可能に設けられたスライドベースと、前記開口部を覆うように前記レール又はケーシングに沿って張り渡される可撓性のシートと、
前記スライドベースに設けられて、前記スライドベースの移動方向に沿って、前記シートを収容し、前記シートの張り渡し方向を前記スライドベース内へ迂回させるように転換する方向転換部を有するスライドユニットとを備える搬送装置であって、
前記スライドユニットは、前記スライドベースと、前記方向転換部とを有し、前記方向転換部は、前記スライドベースに収容された前記シートの下面を上方に押し上げて張架する第１の方向転換部材と、該第１の方向転換部材の外側に設置され、前記シートの上面を押さえつけて、前記開口部を覆うように前記シートを案内する第２の方向転換部材とを有し、
前記スライドユニットには、前記シートの下面に対向して開口する第１の支持部と、前記シートの上面に対向して開口する第２の支持部とが形成され、
前記第１の方向転換部材及び前記第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方が、前記シートの搬送方向の動きが制限されるように前記第１の支持部及び第２の支持部に着脱可能に嵌合された軸部と、該軸部に対して回転可能に設けられた筒体とを有し、
前記開口部を覆う上面カバーが設けられたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
異物が前記スライドユニット内に侵入することを防ぐサイドカバーが、前記シートを覆うように前記スライドユニットの進行方向の側面部に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記シート上の異物が前記スライドユニット内に侵入することを防ぐガードプレートが、前記シートの表面と所定間隔を有して前記スライドユニットの進行方向の端部に設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
弾性を有し、前記シートの表面に接触するスクレイパーが、前記スライドユニットと前記ガードプレートとの間に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記軸部の両端部には、前記第１の支持部又は第２の支持部に前記シートの搬送方向に直交する方向に嵌合する軸方向に平坦な平坦部が１以上形成されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第１の方向転換部材及び第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方を前記シートに押し付ける付勢手段が前記第１の支持部又は第２の支持部に設けられたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記第１の方向転換部材及び第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方には、筒体を保護するためのワッシャーが前記筒体と前記スライドユニットとの間に位置するように設けられたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
前記上面カバーの幅寸法が前記シートの幅寸法よりも大であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記上面カバーの長さが前記レールの長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記シートの幅寸法が前記開口部の幅寸法よりも大であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記シートの幅寸法が、前記レール又はケーシングの幅寸法よりも小であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業機械等に用いられ、断面凹形状をなすレール又はケーシングを有する直動装置と、前記レール又はケーシングに形成された開口部を覆うように前記レール又はケーシングに沿って張り渡される可撓性のシートとを備えた搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の搬送装置は、横断面が略Ｕ字形状のレール又はケーシングに形成された開口部内に駆動力伝達機構と、前記開口部より少なくとも一部突出し、前記駆動力伝達機構によってスライド移動可能に設けられたスライドベースからなる。
このような搬送装置の例としては、特許文献１〜４に開示された搬送装置が挙げられる。
【０００３】
特許文献１では、レール開ロ部上方に平板形状の上面力バーを、スライドベースの移動を妨げないよう配置した構成に関する技術が開示されている。この特許文献１では、上面力バーとレールとの間に必ず開口部が生じる問題を解決するため、横方向からの異物の侵入を防ぐ構成を開示している。具体的には、上面カバーとレール間の開ロ部の縁に沿って複数枚の帯状シールを配置し、開ロ部を塞ぐ構成を採用している。また、スライドベースには、シールを円滑に案内する案内部が別体で設けられ、上面力バーとレールとの間の開ロ部を閉鎖する閉鎖部材も備えられる。
【０００４】
また、特許文献２では、特許文献１に開示されたシールの代わりに、フォームラバーで製作されたシール体が用いられる構成が開示されている。前記上面カバーは平板形状以外にコの字形状も示されており、前記シール体は、一端が前記上面力バー又はレールに固着されている。前記シ−ル体には、密着性を高めるため、レールの長手方向に亘ってばね部材が設けられている。また、スライドベースには、前記シール体を円滑に案内するための傾斜面が備えられている。
【０００５】
また、特許文献３では、金属シートが、ケーシングの開口部を覆い、かつスライドベースに設けられたスリットを通過するよう設けられるといった構成が開示されている。前記金属シートは滑りでスライドベース内を迂回する。この構成は、クリーンな環境下にてよく用いられている防塵機構である。
また、特許文献４では、シートが、ケーシング開ロ部を覆い、かつスライドベースに設けられた貫通孔を通過するよう設けられた構成が開示されている。スライドベースには軸と長尺筒体から成るガイドロールが４つ備えられており、シートは、外側のガイドロールにより下から巻き掛けられ、内側のガイドロールにより上から巻き掛けられ、スライドベースを転がり案内で迂回する。また、シートとケーシングの開口部との密着性を高めるため、外側のガイドロールをばねで押し、シートをケーシング開ロ部に押さえ付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２３０６１８号公報
【特許文献２】特開２００２−２０６５３０号公報
【特許文献３】実公平８−４９９５号公報
【特許文献４】特開平８−８５０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された構成は、高負荷に対応するには不利な形状である。負荷に対する防塵機構自体の強度を増すためには、スライドベースの強度を増す必要があるが、シールの案内部を設けなければならないため、どうしてもその部分の強度が弱くなってしまう。案内部の強度を増すためには厚さを大きくする必要があるが、その場合、全体の高さ寸法が大きくなるだけでなく、幅寸法も大きくなってしまう。スライドベースがシールを掻き分けて進む際に、シールは外側に折り曲げられるのであるが、案内部の厚さが大きくなるとシールの外側に折り曲げられる量も増えるため、その分幅方向にスベースが必要となるためである。スパッタの飛び交うような過酷な環境下で用いる場合は、シールの耐久性が懸念される。スパッタとは、様々な形状、サイズを持つ硬い金属粉であり、高熟である。シール材としてはゴム材が用いられるが、ゴムは耐熱性が高くないため、飛来するスパッタの熱で損傷してしまう。
しかも、シールは常に外に晒されている。また、シールに繰返し曲げが何度も加われば、いずれは損傷するのであるが、その際にもシールは外に晒されているため、損傷の影響は大きい。
【０００８】
また、特許文献２に開示された構成も、特許文献１と同様に高負荷には不利な形状である。こちらは、スライドベースの強度を増す場合、幅方向寸法は増えることはないが、高さ寸法が非常に大きくなる。ばねと同じようにシール体の、自然長と許容縮み量を考慮しなくてはならず、単純に傾斜面の厚さを大きくした分だけ全体の高さが増すという訳にはいかない。縮み量が大きくなれば、比例して自然長も大きくなるため、全体の高さは大幅に大きくなる。また、フォームラバーは、柔らかく、耐熱性もさほど高くないため、スパッタが飛び交うような過酷な環境下での便用は極力避ける必要が生じる。
【０００９】
また、特許文献３においては、例えばスバッタが飛び交うような過酷な環境下で用いることができない。金属粉が金属シートに降りかかり掛かった場合、金属粉と金属シートが擦れることにより、金属シートに加工硬化が生じてしまう。その結果、金属シートが変形してしまい、開ロ部を塞ぐことができなくなる。また、特許文献３では、金属シートの密着性を高めるため、磁石を用いているため、当然、金属粉は磁石に集まってくる。そして、金属シートが滑り案内であることもあり、結果として、金属シートの加工硬化をさらに及ぼし易くする構成となっている。
【００１０】
また、特許文献４においては、シートの経年劣化による伸びに対する追従がなされない。そのため、シートに伸びが生じた場合、ケーシングの開ロ部からシートが浮上ってしまう。他の問題としては、軸の回転による損傷と、上記と同じく金属シートによる問題が懸念される。この構成では、軸の固定について何も言及されていない。軸が回転してしまうと、軸と軸を固定している部分とがすべり接触を繰り返すため、摩耗が生じてしまう。さらに、この摩耗が進行していくことにより、スライドベースの進行方向に対する軸の固定角度が直角でなくなり、長尺筒体に軸力が発生する。これにより、長尺筒体もスライドベースとすべり接触を繰返すことになり、摩耗が生じてしまう。
【００１１】
また、単に軸の固定といっても、ビス止め、圧入が考えられるが、ビス止めスペースの確保や、組立工程が増える問題が発生する。シート材についても、同じく何も言及されていないが、金属シートでは加工硬化の間題と、外観寸法が大きくなる問題が生じる。金属であるため、曲げによる疲労破壊も考慮しなくてはならず、折り返す際の曲げＲを大きくしなければならないためである。これは、シートの滑り案内より転がり案内の方が、その影響は大きい。なお、この特許文献４のようなシートを用いた構成では、平置き姿勢において、異物がシート上に堆積するため、シートが擦れなどによるダメージを受け易くなる。加えて、スパッタなどの飛び交う過酷な環境下において酷使されると、シートの破損が懸念される。
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、平置き姿勢においてもスパッタ環境での充分な耐久性を有し、高負荷に対応する際に大型化することのない防塵カバーを有する搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１に係る搬送装置は、横断面が略Ｕ字形状のレール又はケーシングの上部に形成された開口部内に、駆動力伝達機構と、前記開口部より少なくとも一部突出し、前記駆動力伝達機構によってスライド移動可能に設けられたスライドベースと、前記開口部を覆うように前記レール又はケーシングに沿って張り渡される可撓性のシートと、
前記スライドベースに設けられて、前記スライドベースの移動方向に沿って、前記シートを収容し、前記シートの張り渡し方向を前記スライドベース内へ迂回させるように転換する方向転換部を有するスライドユニットとを備える搬送装置であって、
前記スライドユニットは、前記スライドベースと、前記方向転換部とを有し、前記方向転換部は、前記スライドベースに収容された前記シートの下面を上方に押し上げて張架する第１の方向転換部材と、該第１の方向転換部材の外側に設置され、前記シートの上面を押さえつけて、前記開口部を覆うように前記シートを案内する第２の方向転換部材とを有し、
前記スライドユニットには、前記シートの下面に対向して開口する第１の支持部と、前記シートの上面に対向して開口する第２の支持部とが形成され、
前記第１の方向転換部材及び前記第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方が、前記シートの搬送方向の動きが制限されるように前記第１の支持部及び第２の支持部に着脱可能に嵌合された軸部と、該軸部に対して回転可能に設けられた筒体とを有し、
前記開口部を覆う上面カバーが設けられたことを特徴としている。
【００１３】
本発明に係る搬送装置によれば、開口部を覆う上面カバーが設けられることによって、シートが常に異物にさらされておらず、平置き姿勢において、上方からの異物がシートに堆積することを防ぐことができるため、スパッタがシートに多量に堆積してしまった際のこすれによるシートの損傷を防ぐことができる。また、平置き姿勢でスパッタが斜めから飛来してきても、レール（ケーシング）の開口部はシートで覆われているため、レール内にスパッタが侵入することを防ぐ。よって、平置き姿勢においてスパッタが飛び交うような過酷な環境下においても対応可能な搬送装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係る搬送装置は、請求項１に記載の搬送装置において、異物が前記スライドユニット内に侵入することを防ぐサイドカバーが、前記シートを覆うように前記スライドユニットの進行方向の側面部に設けられたことを特徴としている。
また、本発明の請求項３に係る搬送装置は、請求項１又は２に記載の搬送装置において、前記シート上の異物が前記スライドユニット内に侵入することを防ぐガードプレートが、前記シートの表面と所定間隔を有して前記スライドユニットの進行方向の端部に設けられたことを特徴としている。
【００１５】
また、本発明の請求項４に係る搬送装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送装置において、弾性を有し、前記シートの表面に接触するスクレイパーが、前記スライドユニットと前記ガードプレートとの間に設けられたことを特徴としている。
また、本発明の請求項５に係る搬送装置は、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送装置において、前記軸部の両端部には、前記第１の支持部又は第２の支持部に前記シートの搬送方向に直交する方向に嵌合する軸方向に平坦な平坦部が１以上形成されたことを特徴としている。
【００１６】
また、本発明の請求項６に係る搬送装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置において、前記第１の方向転換部材及び第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方を前記シートに押し付ける付勢手段が前記第１の支持部又は第２の支持部に設けられたことを特徴としている。
また、本発明の請求項７に係る搬送装置は、請求項１〜６のいずれかに記載の搬送装置において、前記第１の方向転換部材及び第２の方向転換部材の少なくともいずれか一方には、筒体を保護するためのワッシャーが前記筒体と前記スライドユニットとの間に位置するように設けられたことを特徴としている。
【００１７】
また、本発明の請求項８に係る搬送装置は、請求項１に記載の搬送装置において、前記上面カバーの幅寸法が前記シートの幅寸法よりも大であることを特徴としている。
また、本発明の請求項９に係る搬送装置は、請求項１に記載の搬送装置において、前記上面カバーの長さが前記レールの長さよりも長いことを特徴としている。
また、本発明の請求項１０に係る搬送装置は、請求項１に記載の搬送装置において、前記シートの幅寸法が前記開口部の幅寸法よりも大であることを特徴としている。
また、本発明の請求項１１に係る搬送装置は、請求項１に記載の搬送装置において、前記シートの幅寸法が、前記レール又はケーシングの幅寸法よりも小であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
上述のように、本発明に係る搬送装置によれば、シート及び上面カバーを設けたので、平置き姿勢においてもスパッタ環境での充分な耐久性を有し、高負荷に対応する際に大型化することのない防塵カバーを有する搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る搬送装置の第１の実施形態の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の１ｂ−１ｂ線に沿う断面図、（ｃ）は（ｂ）の１ｃ−１ｃ線に沿う部分断面図である。
【図２】本発明に係る搬送装置の第１の実施形態を示す図であり、（ａ）は直動案内装置の構成を示す斜視図、（ｂ）は、ガイドロール支持ブロックの構成を示す下方から見た斜視図である。
【図３】本発明に係る搬送装置の第１の実施形態における方向転換部の構成を示す図である。
【図４】本発明に係る搬送装置の第１の実施形態における上面カバーの他の例としての構成を示す縦断面図である。
【図５】本発明に係る搬送装置の第２の実施形態の構成を示す図であり、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は（ａ）の５ｂ−５ｂ線に沿う断面図である。
【図６】本発明に係る搬送装置の第３の実施形態におけるガードプレートの構成を示す平面図である。
【図７】本発明に係る搬送装置の第４の実施形態におけるスクレイパーの構成を示す縦断面図である。
【図８】本発明に係る搬送装置の第５の実施形態の構成を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る搬送装置の実施形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る搬送装置の第１の実施形態の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の１ｂ−１ｂ線に沿う部分断面図（横断面図）、（ｃ）は（ｂ）の１ｃ−１ｃ線に沿う断面図（縦断面図）である。また、図２は、本発明に係る搬送装置の第１の実施形態を示す図であり、（ａ）は直動案内装置の構成を示す斜視図、（ｂ）は、ガイドロール支持ブロックの構成を示す下方から見た斜視図である。また、図３は、本発明に係る搬送装置の第１の実施形態における方向転換部の構成を示す図であり、（ａ）及び（ｂ）は方向転換部に形成される平坦部の例を示すものである。
【００２１】
なお、本発明に係る搬送装置は、横向きにしたり、立てて使用することがあるため、本実施形態の説明では、レール又はケーシングの開口部が開口する向きを上方として説明する。
図１（ａ）〜（ｃ）及び図２（ａ）に示すように、搬送装置１は、レール１０と、スライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシート５とを有する。これらのうち、レール１０及びスライダ２０によって直動案内装置が構成される。
【００２２】
＜直動案内装置＞
図１（ａ）〜（ｃ）及び図２（ａ）に示すように、直動案内装置は、横断面が略Ｕ字形状をなすレール１０と、該レール１０に形成された開口部（凹部）１１内でレール１０の長手方向に沿ってスライド移動可能に設けられたスライダ２０とを有する。
［レール］
レール１０は、長手方向を同じくして離間した一対のレール袖部１２，１２と、これら一対のレール袖部１２，１２を連結するレール基部１３とが一体構造をなして構成されている。離間したレール袖部１２，１２の各内側面と、レール基部１３の上面とによって開口部１１が形成される。
そして、レール１０の開口部１１を覆う上面カバー１７が、後述するシート５の上方に設置されている。
【００２３】
［上面カバー］
上面カバー１７は、例えば、レール１０の長さ方向の両端部に、シート５の両端部を固定する固定具（例えば、Ｌ型金具）１５及びスペーサー１６を介して所定間隔を有して開口部１１を覆うように架設されている。
この上面カバー１７は、スライダ２０の動きを妨げることなく開口部１１（シート５）を覆うことで、上方からの異物がシート５に堆積することを防ぐことができる。
ここで、上面カバー１７の幅寸法（シート５の幅に沿う寸法）は、シート５の幅寸法よりも大であることが好ましい。また、上面カバー１７の長さ（長手方向の長さ）は、レール１０の長さ（軸方向の長さ）よりも長いことが好ましい。
【００２４】
また、スペーサー１６は、上面カバー１７の高さを調整する部材として設けられるものである。具体的には、図１（ａ），（ｂ）に示すように、スライドユニット３０のスペーサプレート側壁部３１ｂ，３１ｂの上面部に対する上面カバー１７の高さを調整するようにスペーサー１６の寸法が設定される。なお、スペーサプレート側壁部３１ｂ，３１ｂに搬送物などが設置される場合、上面カバー１７が前記搬送物によって擦られないようにスペーサプレート側壁部３１ｂ，３１ｂの上面部は、上面カバー１７の上面部よりも高くなるように設定されることが好ましい。上面カバー１７がこのように配置されることによって、スライドユニット３０をスムーズに案内することができる。また、スペーサプレート側壁部３１ｂ，３１ｂの上面部と、上面カバー１７の上面部とが略面一になるように、上面カバー１７の高さが調整されてもよい。
【００２５】
このように、開口部１１を覆う上面カバー１７が設けられることによって、シート５が常に異物にさらされておらず、平置き姿勢において、上方からの異物がシート５に堆積することを防ぐことができるため、スパッタがシート５に多量に堆積してしまった際のこすれによるシート５の損傷を防ぐことができる。また、平置き姿勢でスパッタが斜めから飛来してきても、レール１０（ケーシング）の開口部１１はシート５で覆われているため、レール１０内にスパッタが侵入することを防ぐ。よって、平置き姿勢においてスパッタが飛び交うような過酷な環境下においても対応可能な搬送装置を提供することができる。
なお、スペーサー１６と固定具１５は一体に成形されてもよい。また、スペーサー１６の形状は角形状でなくとも、上面力バー１７を取付けることができる形であればよい。
【００２６】
［上面カバーの他の例］
図４（ａ）〜（ｆ）は、本実施形態における上面カバーの他の例としての構成を示す横断面図（スライダ２０の移動方向に直交する面における断面図）である。なお、図４（ａ）〜（ｆ）は、いずれも下側に開口部１１（シート５）が位置するように上面カバー１７の断面構造を示している。図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、上面力バー１７の断面形状は、シート５を覆う形状であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択される。
【００２７】
例えば、図４（ａ）に示す上面カバー１７の形状は、平板形状をなし、特に制限がない状況で一般的に用いられる形状である。また、図４（ｃ）に示す上面カバー１７の形状は、リブ１７ａを形成して強度を向上させた形状である。また、図４（ｅ）に示す上面カバー１７の形状は、上面カバー１７に屈曲部１７ｂを形成して強度を向上させた形状である。ここで、これらリブ１７ａ及び屈曲部１７ｂを設ける箇所は、図４（ｃ），（ｅ）に示したように、上面カバー１７の中央付近でもよいが、他の箇所でもよく、目的に応じて適宜選択される。また、図４（ｆ）に示す上面カバー１７の形状は、側方に向かって傾斜する傾斜部１７ｃが形成されている。この傾斜部１７ｃによって異物を側方に向かって落下させることができるので、結果として、レール１０の内部への異物の侵入を防ぐことができる。
【００２８】
［スライダ］
スライダ２０は、該スライダ２０の両側面に設けられた転動体転動溝２０ａ，２０ａと、一対のレール袖部１２，１２の内側面に設けられた転動体転動溝１２ａ，１２ａとの間に配置された転動体（図示せず）を介して、レール１０の長手方向に沿って案内される。また、スライダ２０内には、長手方向にボールねじナット５１が一体で設けられる。スライダ２０は、ボールねじナット５１が転動体（図示せず）を介して、開口部１１内に設置されたボールねじ軸５２と螺合することにより、レール１０の長手方向に沿って移動する。ボールねじナット５１及びボールねじ軸５２が駆動手段５０を構成する。
このような構成により、この搬送装置１は、ボールねじ軸５２の入力端部５２ａに取付けるモータ（図示せず）によって、ボールねじ軸５２を回転することで、スライダ２０が軸方向にスライド移動するようになっている。
【００２９】
＜スライドユニット＞
スライドユニット３０は、スライドベース３１と、スライドベース３１の移動方向の両端部に着脱可能に固定されたガイドロール支持ブロック３２と、方向転換部４０とによって構成されている。なお、スライドベース３１と、ガイドロール支持ブロック３２とは一体に形成されてもよい。
【００３０】
［スライドベース］
スライドベース３１は、図２（ａ）に示すように、スライダ２０の上面に固定されるスペーサプレート基部３１ａと、スペーサプレート基部３１ａの側面に固定されるスペーサプレート側壁部３１ｂ，３１ｂとを有してなる。スライドベース３１は、スライダ２０と、スペーサプレート基部３１ａ、及びスペーサプレート側壁部３１ｂからなるスペーサプレート３１ｆとが一体に形成されてもよい。側壁部３１ｂ，３１ｂの移動方向の両端部近傍には、側壁部３１ｂ，３１ｂの上面に開口された第１の支持部３１ｃ，３１ｃがスライドベース３１の幅方向に亘るように対応して１対ずつ形成される。
ここで、スペーサプレート基部３１ａには、特許文献１及び特許文献２に記載されたような案内部がない。よって、高負荷に対応する際に幅寸法は増えることなく、最低限の高さ寸法が増えるだけで対応できる。結果として搬送装置１のコンパクト化に繋がる。
【００３１】
［ガイドロール支持ブロック］
ガイドロール支持ブロック３２は、図２（ｂ）に示すように、直方体形状をなし、スライドユニット３０の移動方向に貫通した貫通孔３２ａが形成されている。また、貫通孔３２ａ，３２ａの形成位置に対応してスライドベース３１の移動方向の両端部に孔部３１ｄ，３１ｄが形成されている。孔部３１ｄはねじ切り加工されている。これら貫通孔３２ａ，３２ａと、孔部３１ｄ，３１ｄとにねじＳが螺合されて、ガイドロール支持ブロック３２がスライドベース３１に固定される。
また、ガイドロール支持ブロック３２には、スライドベース３１に対向する面と下面とを貫通する開口部３２ｂが形成されている。シート５は、この開口部３２ｂに挿入される。開口部３２ｂの下面側近傍の内側面には、ガイドロール支持ブロック３２の幅方向に対応する位置に切り欠かれた溝形状の第２の支持部３２ｃ，３２ｃが形成されている。
【００３２】
［方向転換部］
方向転換部４０は、シート５の張り渡し方向を、スライドベース３１内へ迂回させるように転換する手段である。
方向転換部４０は、第１の方向転換部４１と、第２の方向転換部４２とを有する。第１の方向転換部４１は、円柱形状の軸部４１ａと、該軸部４１ａに対して回転可能に支持された筒体４１ｂとを有する。また、第２の方向転換部４２も、円柱形状の軸部４２ａと、該軸部４２ａに対して回転可能に支持された筒体４２ｂとを有する。
ここで、軸部４１ａ及び軸部４２ａの少なくともいずれか一方の両端部は、シート５の搬送方向（スライドベース３１の長手方向）の動きが制限されて第１の支持部３１ｃ，３１ｃの形状に嵌合するように加工される。
【００３３】
例えば、第１の支持部３１ｃ，３１ｃの形状が、スライドベース３１の上面に矩形をなして開口する溝として形成される場合、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、軸部４１ａの両端部には、シート５の搬送方向（スライドベース３１の長手方向）の動きが制限されて第１の支持部３１ｃ，３１ｃの形状（矩形）に嵌合するように、平坦部４１ｃが形成される。同様に、第２の支持部３２ｃ，３２ｃの形状が、ガイドロール支持ブロック３２の下面に矩形をなして開口する溝として形成される場合、図２（ｂ）に示すように、軸部４２ａの両端部には、シート５の搬送方向（スライドベース３１の長手方向）の動きが制限されて第２の支持部３２ｃ，３２ｃの形状（矩形）に嵌合するように、平坦部４２ｃが形成される。そして、これら軸部４１ａ，４２ａは第１の支持部３１ｃ及び第２の支持部３２ｃが開口する方向に着脱可能とされる。
すなわち、これら方向転換部（ガイドロール）は、スライドベース３１に固定された軸部４１ａ，４２ａに対して筒体４１ｂ、４２ｂが回転する。これによって、軸部４１ａ，４２ａの軸回転による損傷を防ぐことができる。
【００３４】
なお、筒体４１ｂ、４２ｂを保護するための円環形状のワッシャー３５が筒体４１ｂ及び軸部４２ａの少なくともいずれか一方とスライドユニット３０（スライドベース３１又はガイドロール支持ブロック３２）との間に位置するように設けられている。具体的には、ワッシャー３５は、筒体４１ｂ、４２ｂの両端部に配置されるように、軸部４１ａ及び軸部４２ａの少なくともいずれか一方に遊嵌されている（図３（ａ）参照）。このワッシャー３５が設置されることによって、筒体４１ｂ、４２ｂの摩耗を低減でき、結果としてガイドロールの損傷に伴う搬送装置１としての寿命低下を防ぐことができる。
【００３５】
また、開口部３２ｂ内に形成された第２の支持部３２ｃ，３２ｃは、開口部３２ｂと同様に下方に開口した形状とされてもよいが、ガイドロール支持ブロック３２がスライドベース３１に固定された際に、開口部３２ｂが側壁部１２の上面によって閉じられるので、第２の方向転換部４２が脱落することはない。このように、スライドベース３１に設置される１対の第１の方向転換部４１は、内側ガイドロール４１として機能し、ガイドロール支持ブロック３２に設置される１対の第２の方向転換部４２は、外側ガイドロール４２として機能する。これらにより、方向転換部を固定する際にビス止め、圧入などが必要ではないため、組立を簡略化することができる。
【００３６】
［ガードプレート］
ガイドロール支持ブロック３２の外側の端面（ガイドロール支持ブロック３２に対向する面と反対側の面）には、ガードプレート３６が設けられる。
ガードプレート３６は、シート５上の異物がスライドユニット３０内に侵入することを防ぐために設けられるものであり、シート５の表面とガードプレート３６のシート５に対向する側の端面とが所定間隔を有するように設けられる。
ガードプレート３６は、シート５と接触はしていないため、擦れることによりシート５を損傷させることはない。なお、ガードプレート３６を通過し、スライドユニット３０内に侵入してくる異物は極小であり、ガイドロールで乗り越えることができるため、本構成に支障をきたさない。
【００３７】
＜シート＞
シート５は、レール１０の開口部１１を覆うように、レール１０の上面に沿ってスライドユニット３０内で張り渡されている。具体的には、図１（ｃ）に示すように、開ロ部１１を覆うように取り付けられたベルト状のシート５は、第２の方向転換部４２，４２に対して下側から巻掛けられる。一方、第２の方向転換部４２，４２に対して下側から巻掛けられたシート５は、第１の方向転換部４１，４１に対して上側から巻掛けられる。
すなわち、搬送装置１に装着したシート５は、略Ｕ字形状のレール１０の上面の開口部を覆っており、スライダ２０の端部で方向転換し、スライドユニット３０の上方に迂回して配置されている。
【００３８】
この可撓性のシート５は、レール１０の開口部１１（レール袖部１２，１２間に形成される開口部）を覆うようにレール１０に沿って張り渡されるとともに、シート５の両端は、図１（ｃ）に示すように、レール１０の両端それぞれに、リベットなどによって矩形板状をなす金属製の固定具１５ａが取り付けられており、この固定具１５ａをＬ型の固定具１５ｂで押さえ付けることによりシート５は固定される。この矩形板状の固定具１５ａとＬ型の固定具１５ｂは一体でもよい。なお、スペーサー１６はＬ型の固定具１５ｂの上方に固定されるが、スペーサー１６とＬ型の固定具１５ｂは一体でもよい。
従って、スライドユニット３０の移動を妨げることなく、レール１０内への異物の侵入を防止することができる。
【００３９】
ここで、シート５は、伸縮性を備え、十分な引張強度、耐摩耗性、耐熱性、防火性を備えた材料からなるものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択される。シートとしては、アラミド繊維、超高分子量ポリエチレン繊維、ポリアリレート繊維、ＰＢＯ繊維、炭素繊維、ＰＰＳ繊維、ポリイミド繊維、フッ素繊維、ガラス繊維、レーヨン繊維、チタン繊維、及びそれらにアルミ、樹脂をコーティングさせたもの、例えば、「ケブラー（登録商標）」、「ノーメックス（登録商標）」、「アルミナイズドクロス（ジェンテックス社製）」、「コーテッドガラスＭ（ユニチカユーエムグラス社製）」、「ＨＢシート（住友電工社製）」、「ＳＧＳシート（泰陽社製）」等が挙げられる。
【００４０】
シート５の材料として、柔軟性を備えた材料を採用することにより、鋼製のシートが用いられていた従来の搬送装置に比べて、内側及び外側のガイドロールのロール径を小さくすることができ、搬送装置の小型化に寄与する。また、シート５は、スパッタ養生シ−トなどに用いられている防火布を用いれば、スパッタの熱にも難なく耐えられ、スパッタが飛び交うような過酷な環境下においても使用可能である。
また、シート５の幅寸法（シート５の搬送方向及びシート５の厚み方向に直交する方向の寸法）は、開口部１１の幅寸法よりも大であることが好ましい。また、シート５の幅寸法は、レール１０又はケーシングの幅寸法よりも小であることが好ましい。
【００４１】
［付勢手段］
本実施形態では、スライドベース３１に形成された第１の支持部３１ｃ、３１ｃが、側壁部３１ｂ、３１ｂの上面に開口されている。そこで、スライドベース３１に形成された第１の支持部３１ｃの底面３１ｅと第１の方向転換部材４１の軸部４１ａとに挟まれるようにして付勢手段４３が設置されてもよい（図２参照）。この付勢手段４３は、軸部４１ａをシート５に付勢する部材であれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択でき、例えば、コイルばねなどの弾性部材が挙げられる。なお、軸部４１ａは、第１の支持部３１ｃの開口部方向に摺動可能に設置されている。また、第１の支持部３１ｃの開口する向きは、その第１の支持部３１ｃに設置される付勢手段４３によって軸部４１ａがシート５に付勢する構造を有するのであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できる。
【００４２】
第１の支持部３１ｃの底面３１ｅと軸部４１ａとに挟まれるようにして付勢手段４３が設置されることによって、付勢手段４３が常に軸部４１ａに付勢するので、シート５に任意の張力を負荷し、シートのたるみを吸収することができる。そして、付勢手段４３が、シート５の伸びを吸収して、シート５の張架を維持する機能を有するため、シート５が伸びるにつれて付勢手段４３の付勢力により、第１の支持部３１ｃ，３１ｃ間のシート５の高さはスライドベース３１の移動方向に拡がっていく（図１（ｃ）中、矢印で示す。）。
このように、付勢手段４３が設けられることによって、組立誤差、各部品の加工誤差を吸収し、シート５の経年劣化による伸びにも追従し、かつシート５に張力を与えることができ、レール１０の開口部１１へのシート５の密着性を高めることができる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態によれば、シート５が開口部１１を覆い、上面カバー１７はさらにそれを覆うことにより、シート５が常に異物にさらされてはなく、平置き姿勢において上方からの異物がシート５に堆積することを防ぐため、シート５に多量に堆積してしまった際のこすれによるシート５の損傷を防ぐことができる。また、平置き姿勢でスパッタが斜めから飛来してきても、レール１０（ケーシング）の開口部１１はシート５で覆われているため、レール１０内にスパッタが侵入することを防ぐ。よって、平置き姿勢においてスパッタが飛び交うような過酷な環境下においても対応可能な搬送装置を提供することができる。
【００４４】
なお、本実施形態では、方向転換部４０として、シート５の下面を上方に押し上げて張架する第１の方向転換部材４１、及びシート５の上面を押さえつけて、開口部を覆うようにシート５を案内する第２の方向転換部材４２を、ガイドロールを例示して説明したが、第１の方向転換部材４１及び第２の方向転換部材４２は、第１の支持部３１ｃ及び第２の支持部３２ｃに対して固定された軸部３１ａ，４１ａと該軸部４１ａ，４２ａに対して回転可能に設置された筒体４１ｂ，４２ｂとを有する限りにおいて、シート５に対して上記のように作用するものであれば、滑り案内する部材が採用されてもよい。
【００４５】
（第２の実施形態）
図５は、本発明に係る搬送装置の第２の実施形態の構成を示す図であり、（ａ）は部分断面図、（ｂ）は（ａ）の５ｂ−５ｂ線に沿う断面図である。なお、本実施形態は、サイドカバーを設けた以外は、前述した第１の実施形態と同様であるので、第１の実施形態と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図５に示すように、本実施形態では、異物がスライドユニット３０内に侵入することを防ぐサイドカバー３７をスライドベース３１の進行方向の側面部に設けた。具体的には、スライドユニット３０とレール１０との間の隙間を塞ぐようにしてサイドカバー３７が設けられる。このようにサイドカバー３７を設けることによって、スライドユニット３０の防塵性を高めることができる。
【００４６】
（第３の実施形態）
図６は、本発明に係る搬送装置の第３の実施形態におけるガードプレートの構成を示す平面図である。なお、本実施形態は、ガードプレートの形状を異ならせた以外は、前述した第１の実施形態と同様であるので、第１の実施形態と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図６に示すように、本実施形態では、平面形状を弓なりにしたガードプレート３６をスライドユニット３０（ガイドロール支持ブロック３２）に設置する。このような形状のガードプレート３６を用いることによって、シート５上に付着した異物を外に掃き出すことができる。また、ガードプレート３６が弓なりになることで生じる空間は、板金などで塞いでもよい。
【００４７】
（第４の実施形態）
図７は、本発明に係る搬送装置の第４の実施形態におけるスクレイパーの構成を示す縦断面図である。なお、本実施形態は、スクレイパーを設けた以外は、前述した第１の実施形態と同様であるので、第１の実施形態と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図７に示すように、本実施形態では、スライドユニット３０（ガイドロール支持ブロック３２）とガードプレート３６との間にスクレイパー３８を設けた。スクレイパー３８は、シート５の表面に接触するように設置される。スクレイバー３８はシート５を傷つけないよう、適度な弾性を持つ樹脂で作製され、シート５とすれすれで当接させる。このような構成を採用することによって、シート５上に付着した異物を効率よく外に掃き出すことができる。また、スクレイパー３８は外に晒されていないため、スパッタなどの異物が飛び交う環境下であっても、スクレイパー３８がすぐに損傷することはない。なお、ガードプレート３６の平面形状が弓なり形状であれば、スクレイバー３８も同形状にするとよい。
【００４８】
（第５の実施形態）
図８は、本発明に係る搬送装置の第５の実施形態におけるスクレイパーの構成を示す縦断面図である。なお、本実施形態は、ストッパーを設けた以外は、前述した第１の実施形態と同様であるので、第１の実施形態と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。本実施形態では、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、ガードプレート３６、固定具１５、スペーサー１６のいずれかにストッパー６０が設けられている。すなわち、図８（ａ）に示すように、ガードプレート３６の外側の端面（スライドユニット３０（ガイドロール支持ブロック３２）に対向する面と反対側の面）にストッパー６０が設けられてもよい。また、図８（ｂ）に示すように、固定具１５のガードプレート３６に対向する側の面にストッパー６０が設けられてもよい。また、図８（ｃ）に示すように、スペーサー１６のガードプレート３６に対向する側の面にストッパー６０が設けられてもよい。
【００４９】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。例えば、上述の各実施形態では、スライドベース及びガイドロール支持ブロックに、内側ガイドロール及び外側ガイドロールをそれぞれ１対ずつ設置したが、各ガイドロールの数はこれより多くてもよい。少なくとも、シートを張架し、上向きに付勢する１対の内側ガイドロールがスライドベースに設けられ、下向きに付勢する１対の外側ガイドロールが両ガイドロール支持ブロックの両端部側に設けられれば、目的に応じて適宜増やしてもよい。また、ガイドロール支持ブロックに内側及び外側ガイドロールを設置し、スライドベースにガイドロールを設置しなくてもよい。また、スライドベース３１は、レール１０に対して設けられた２つのスライダ２０と、これら２つのスライダ２０ａ，２０ｂの上面に固定された１つのスペーサプレート３１ｆ（スペーサプレート基部３１ａ，スペーサプレート側壁部３１ｂ）からなるようにしてもよい。また、上記の各実施形態から、駆動力伝達機構（駆動手段５０）を取り除くと、直動案内装置としても機能する。
【符号の説明】
【００５０】
１  搬送装置
５  シート
１０  レール
１１  開口部
１２  レール袖部
１３  レール基部
１５  固定具
１６  スペーサー
１７  上面カバー
２０  スライダ
３０  スライドユニット
３１  スライドベース
３２  ガイドロール支持ブロック
３５  ワッシャー
３６  ガードプレート
３７  サイドカバー
３８  スクレイパー
４０  方向転換部
４１  第１の方向転換部
４２  第２の方向転換部
４３  付勢手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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