(57)【要約】【課題】基板生産運転の開始前に、部品の種類違いを判別するようにし、生産効率の向上を図ると共に前記部品のロスの減少を図ること。【解決手段】電源が投入された状態下にあって、この選択された基板Ｐ毎に、どの種類のチップ部品を使用するかの機種データが記憶装置２６に格納されているので、この記憶装置２６に格納された機種データと載置板１４上にセットされたマガジン１３に付された反射シール２０に光を照射して光電センサ２１が検出した機種データとが一致しているか否を制御装置２５が絶えず判定している。そして、前記制御装置２５が一致していないと判定すると、「準備未完了表示」画面をモニタ２８に表示させるように制御すると共に運転開始スイッチ２２がＯＮされても運転を開始しないように制御する。【選択図】図３
2012160583.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを、前記マガジンに付したことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付すと共に、前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置を設けたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項３】
複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、
前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付し、
前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置と、
前記被実装部材の種類が選択された場合にこの選択された前記被実装部材に実装する前記部品の種類を記憶する記憶装置と、
前記検出装置が検出した前記部品の種類と前記記憶装置に格納された前記部品の種類とが一致するかを判定する判定装置とを設けた
ことを特徴とする部品実装装置。
【請求項４】
複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、
前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付し、
前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置と、
前記被実装部材の種類が選択された場合にこの選択された前記被実装部材に実装する前記部品の種類を記憶する記憶装置と、
前記検出装置が検出した前記部品の種類と前記記憶装置に格納された前記部品の種類とが一致するかを判定する判定装置と、
この判定装置が一致しないと判定した場合には運転を開始しないように制御する制御装置とを設けた
ことを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品実装装置は、例えば特許文献１などに開示されているが、ベアチップなどの部品を吸着保持するボンディングノズルを複数有する実装ヘッドを備え、載置台上のウエハから実装ヘッドのボンディングノズルが部品をピックアップし、部品を搬送シュートによって搬送されてきた被実装部材である実装基板或いはリードフレーム上に実装する。
【０００３】
そして、一般にマガジンはそのサイズの検出をセンサで行っているが、同一サイズのマガジンで異なる種類のウエハ（ダイ）を保持するウエハリングを収納できるものにあっては、即ち種類の異なる部品を保持しているウエハリングがマガジン内に収納された場合にあっては、基板の生産を開始する前には、対応していなかった。
【０００４】
この場合、マガジン内にこれからの生産に使用するものと異なる種類のウエハ（ダイ）に係るウエハリングが収納されていた場合に、生産運転が開始され、このマガジンからこのウエハリングを取出して、ウエハテーブル上に載置してセットした後、ダイシングされたダイを認識カメラで撮像して認識処理して、機種違いを判別することも可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３６３６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、生産運転を開始した後に、ダイの種類違いを判別するのでは、種類違いが判明すると、ウエハテーブルへのウエハリングの取り付け及び取り外しを行わねばならず、その分生産運転が遅れると共に、ウエハテーブルへのウエハリングの取り付け及び取り外しに伴って、ウエハを損傷することが起こると、次の生産に使用することはできないという問題があった。
【０００７】
そこで本発明は、基板生産運転の開始前に、部品の種類違いを判別するようにし、生産効率の向上を図ると共に前記部品のロスの減少を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このため第１の発明は、複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを、前記マガジンに付したことを特徴とする。
【０００９】
第２の発明は、複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付すと共に、前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置を設けたことを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、
前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付し、
前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置と、
前記被実装部材の種類が選択された場合にこの選択された前記被実装部材に実装する前記部品の種類を記憶する記憶装置と、
前記検出装置が検出した前記部品の種類と前記記憶装置に格納された前記部品の種類とが一致するかを判定する判定装置とを設けた
ことを特徴とする。
【００１１】
第４の発明は、複数の同一種類の部品を保持する部品保持具を多段に収納したマガジンから取出してテーブルにセットし、実装ヘッドにより前記テーブルから前記部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、
前記マガジンに収納した前記部品保持具が保持する前記部品の種類に関するマークを前記マガジンに付し、
前記マークから前記部品の種類を検出する検出装置と、
前記被実装部材の種類が選択された場合にこの選択された前記被実装部材に実装する前記部品の種類を記憶する記憶装置と、
前記検出装置が検出した前記部品の種類と前記記憶装置に格納された前記部品の種類とが一致するかを判定する判定装置と、
この判定装置が一致しないと判定した場合には運転を開始しないように制御する制御装置とを設けた
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、基板生産運転の開始前に、部品の種類違いを判別するようにし、生産効率の向上を図ると共に前記部品のロスの減少を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】部品実装装置の概略斜視図である。
【図２】部品実装装置の制御ブロック図である。
【図３】フローチャートを示す図である。
【図４】モニタに表示された「準備未完了表示」画面を示す図である。
【図５】モニタに表示された「準備完了表示」画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、部品実装装置の概略斜視図を参照して、説明する。部品実装装置本体には、各部品が実装されるプリント基板やリードフレーム等の被実装部材である基板ＰをＸ軸方向に搬送する一対の搬送コンベアから成る搬送装置１が設けられる。
【００１５】
２は多数の部品が集合した部品群であるダイシングされた半導体ウエハ（以下、「ウエハ」といい、このウエハ２から取出されるダイなどの部品を以下「チップ部品」という。）であり、３は前記ウエハ２が貼付されたシートが取付けられたウエハリング４（部品保持冶具である）を支持する前後のウエハテーブルである。
【００１６】
そして、６は吸着ノズル７を備えた実装ヘッドで、前記吸着ノズル７をＸ軸モータ８及びＹ軸モータ９によりＸ及びＹ方向、Ｚ軸モータ１０により上下方向、θ軸モータ１１により回転方向（θ軸方向）に回転可能とし、ウエハテーブル３に支持されたウエハリング４上のチップ部品を吸着ノズル７が吸着して取り出し、前記搬送装置１により搬送された位置決めされた基板Ｐ上に実装する。
【００１７】
１２はウエハ供給装置で、前記ウエハリング４を複数段出し入れ可能に収納するマガジン１３と、ウエハテーブル３上のウエハリング４とマガジン１３内のウエハリング４とを交換機構（図示せず）により交換するために、前記マガジン１３を鉛直方向に移動可能として引出すべきウエハリング４を所定の引き出しレベルに移動させるためのエレベータ機構とを備えている。
【００１８】
前記エレベータ機構は、前記マガジン１３を載置支持する載置板１４と、この載置板１４の下面に設けられ、図示しないガイドによって案内される複数のガイド棒と、Ｚ軸モータ１５の運転によりベアリングが回動して上下するネジ軸とから構成される。
【００１９】
次に、前記交換機構は、Ｘ軸モータ１７によりネジ軸が回動してナットがＸ方向に移動することにより、このナットに固定された支持部材に固定されたチャック部材（保持部材）が前記ウエハテーブル３とマガジン１３との間を往復する。このため、前記往復移動に伴って、一対の爪を備えたチャック部材がウエハリング４を把持したり、その把持を解除したりすることにより、ウエハテーブル３上のウエハリング４と対応するマガジン１３内のウエハリング４との交換が可能となる。
【００２０】
なお、この同一のマガジン１３内に収納できるウエハリング４は、同一のサイズであって、例えばウエハの種類が２機種あり、ときにウエハの種類やチップ部品の種類を確認しなければ、この同一のサイズの２種類のウエハを保持するウエハリング４を収納できるマガジン１３だけ見ても、どの種類のウエハやチップ部品に係るウエハリング４を収納しているのかが、わからない。
【００２１】
そこで、作業者のマガジン１３の前記載置板１４上への設置ミスを防止するために、以下のように対処する。即ち、前記マガジン１３の側面には前記チップ部品の種類識別用のマークである反射シール（反射材）２０を一方の種類「Ａ１」について貼付すると共に他方の種類「Ｂ１」については貼付しない。なお、前記反射シール２０はチップ部品の種類識別用であるが、ウエハの種類識別用としてもよい。
【００２２】
そして、前記載置板１４上に設置した前記マガジン１３の所定の位置に向けて光を照射する発光器及び受光器を備えた反射形の光検出器である光電センサ２１を配設する。即ち、前記マガジン１３に貼付された反射シール２０に向けて光を発光器が照射してこの反射シール２０により反射された反射光を受光器が受光して、この反射シール２０の存在を検出する構成である。なお、反射シール２０が貼付されていないマガジン１３にあっては、反射光が不十分な量であり種類「Ｂ１」と判定できる。
【００２３】
なお、種類が３機種以上ある場合には、複数の反射シール２０の貼付位置への有無で、その反射の有無に基づいて判断することができる。この場合、反射シール２０の位置が複数箇所であるので、光電センサの光の照射位置は複数箇所となる。この場合、１箇所のみを見ることで判断したい場合は、二次元バーコードをカメラで撮像して、その撮像画像に基づいて判断することもできる。この場合、反射シール２０に代えて、他の反射板や、種類識別用マークを付した板材又はシート等を前記マガジン１３に貼付又は取り付けを行うか、種類識別用マークをマガジン１３に直接付してもよい。
【００２４】
次に、本部品実装装置の制御に係る制御ブロック図である図２に基づいて説明する。部品実装装置の各要素を制御装置、判定装置としてのマイクロコンピュータなどから構成される制御装置２５が統括制御しており、記憶装置２６がバスライン２７を介して制御装置２５に接続されている。また、制御装置２５には操作画面等を表示する表示装置としてのモニタ２８及び該モニタ２８の表示画面に形成された入力手段としてのタッチパネルスイッチ２９がインターフェース３０を介して接続されている。前記タッチパネルスイッチ２９による指示（選択）に限らず、マウスによるカーソル移動とクリックによる指示で行っても、またその他の手段を使用してもよい。また、前記Ｘ軸モータ８等が駆動回路、インターフェース３０を介して前記制御装置２５に接続されている。
【００２５】
なお、前記記憶装置２６には、チップ部品の種類のデータである種類データ（以下、「機種データ」という。）などが格納されてある。
【００２６】
そして、本部品実装装置に電源が投入された状態下にあっては、前記載置板１４上へ前記マガジン１３が設置されていなくとも又は設置されていても、前記載置板１４上へ設置したマガジン１３に付された反射シール２０に向けて又は反射シール２０が付されているであろう位置に向けて光電センサ２１の発光器が光を照射する。
【００２７】
従って、前記載置板１４上へ設置したマガジン１３に付された反射シール２０により反射された反射光を受光器が受光でき、この反射シール２０の存在を検出すると、前記制御装置２５は前記光電センサ２１から検出信号を入力し、このマガジン１３に収納されたウエハリング４に保持されたチップ部品について、種類「Ａ１」であると判断する。逆に、反射シール２０が貼付されていないマガジン１３にあっては、反射光が不十分な量であり種類「Ｂ１」と判定する。
【００２８】
一方、基板Ｐの機種変更（段取り替え）時に、モニタ２８に表示されたタッチパネルスイッチ２９を押圧操作して、生産する基板Ｐの機種を選択するので、選択された場合には、その選択された基板Ｐの機種データが前記記憶装置２６に格納されている。そして、この選択された基板Ｐの機種毎に、どの種類のチップ部品を使用するかの機種データが前記記憶装置２６に格納されている。
【００２９】
従って、図３のフローチャートに示すように、本部品実装装置に電源が投入された状態下にあっては、この選択された基板Ｐ毎に、どの種類のチップ部品を使用するかの機種データが前記記憶装置２６に格納されているので、この記憶装置２６に格納された機種データと前記光電センサ２１が検出した機種データとが一致しているか否を前記制御装置２５が絶えず判定している（ステップＳ０１）。
【００３０】
前記記憶装置２６に格納された機種データが種類「Ａ１」であって前記光電センサ２１が検出した機種データが種類「Ｂ１」の場合には、又は記憶装置２６に格納された機種データが種類「Ｂ１」であって前記光電センサ２１が検出した機種データが種類「Ａ１」の場合には、前記制御装置２５が一致していないと判定して、図４に示す「準備未完了表示」画面をモニタ２８に表示させるように制御すると共に仮に運転開始スイッチ２２がＯＮされても運転を開始しないように制御する（ステップＳ０２）。
【００３１】
即ち、本部品実装装置は基板生産の運転開始前であるので、表示部２８Ａには「停止中」と、表示部２８Ｂには「準備未完了」と、表示部２８Ｃには「マガジンが機種データと違います。」と表示させると共に運転開始スイッチ２２がＯＮされても運転を開始しないように制御する。従って、前記記憶装置２６に格納された機種データと前記光電センサ２１が検出した機種データとが、一致していないと制御装置２５が判定すると、「準備未完了表示」画面をモニタ２８に表示させるので、運転開始前に間違って載置されたマガジン１３を載置板１４上から取り除き、本来の正しい種類のチップ部品に係るウエハを保持しているウエハリング４が収納されたマガジン１３を前記載置板１４上に設置し直すことができる。
【００３２】
なお、このマガジン１３の設置は作業者が行うが、作業者ではなく、自動的に行ってもよい。
【００３３】
一方、前記記憶装置２６に格納された機種データが種類「Ａ１」であって前記光電センサ２１が検出した機種データも種類「Ａ１」の場合には、又は記憶装置２６に格納された機種データが種類「Ｂ１」であって前記光電センサ２１が検出した機種データも種類「Ｂ１」の場合には、前記制御装置２５が一致していると判定した場合には、図５に示す「準備完了表示」画面をモニタ２８に表示させるように制御する（ステップＳ０３）。
【００３４】
即ち、本部品実装装置は基板生産の運転開始前であるので、表示部２８Ａには「停止中」と、表示部２８Ｂには「準備完了」と表示させるが、表示部２８Ｃには何も表示させないように制御する。
【００３５】
そして、作業者が前記モニタ２８に表示された図５に示す画面を見て、前記記憶装置２６に格納された機種データと前記光電センサ２１が検出した機種データとが一致していると判断することができるので、作業者は本部品実装装置を安心して生産運転開始のための運転開始スイッチ２２を操作して運転を開始させることができる。
【００３６】
従って、制御装置２５が運転開始スイッチ２２のＯＮ、ＯＦＦ状態を判定し（ステップＳ０４）、ＯＦＦ状態であれば運転を開始させないように制御し、またＯＮ状態と判定すると、図５に示す画面における表示部２８Ａの「停止中」から「運転中」と表示を変更するように制御すると共に運転を開始させるように制御する。
【００３７】
以上のように、作業者が前記モニタ２８に表示された図５に示す画面を見て、前記記憶装置２６に格納された機種データと前記光電センサ２１が検出した機種データとが一致していると判断して、前記運転開始スイッチ２２を押圧すると、本部品実装装置は基板Ｐの運転が開始する。
【００３８】
即ち、初めにエレベータ機構によりマガジン１３内の引出すべきウエハリング４が所定の引き出しレベルとなるようにした後、交換機構によりマガジン１３内のウエハリング４を引出して、前記ウエハテーブル３上に移載してセットする。
【００３９】
そして、前工程において、基板Ｐ上に接着剤が塗布されているので、制御装置２５はＸ軸モータ８及びＹ軸モータ９、Ｚ軸モータ１０、θ軸モータ１１を駆動回路３１を介して吸着ノズル７の移動を制御して、前記ウエハテーブル３に支持されたウエハリング４上のチップ部品を吸着ノズル７が吸着して取り出し、前記搬送装置１により搬送された位置決めされた基板Ｐ上に実装する。
【００４０】
そして、必要なチップ部品を基板Ｐ上に実装すると、後工程にこの基板Ｐを引き渡すこととなる。
【００４１】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００４２】
Ｐ        基板
３        ウエハテーブル
４        ウエハリング（部品保持具）
７        吸着ノズル
１３      マガジン
１４      載置板
２０      反射シール
２１      光電センサ
２２      運転開始スイッチ
２５      制御装置
２６      記憶装置
２８      モニタ
【図１】
2012160583.tif 000003
【図２】
2012160583.tif 000004
【図３】
2012160583.tif 000005
【図４】
2012160583.tif 000006
【図５】
2012160583.tif 000007