(57)【要約】【課題】簡素な構造で信頼性を向上したレゾルバ装置を提供する。【解決手段】レゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部が形成されたレゾルバロータと、レゾルバロータの回転により、螺旋形状部の凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータと、を有する。例えば、レゾルバロータは、外周部に螺旋形状部を有する。あるいは、例えば、レゾルバロータは、中空円筒体であって、中空円筒体の内周部に螺旋形状部を有する。【選択図】図２
2012177618.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
螺旋状の凹凸により螺旋形状部が形成されたレゾルバロータと、
前記レゾルバロータの回転により、前記螺旋形状部の凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータと、
を有することを特徴とするレゾルバ装置。
【請求項２】
前記レゾルバロータは、外周部に前記螺旋形状部を有する請求項１記載のレゾルバ装置。
【請求項３】
前記レゾルバロータは、中空円筒体であって、前記中空円筒体の内周部に前記螺旋形状部を有する請求項１記載のレゾルバ装置。
【請求項４】
前記レゾルバステータは、励磁コイルと、複数の磁極歯を有する磁極と、を有し、
隣り合う前記複数の磁極歯の間隔は、前記螺旋形状部の凸部の前記レゾルバロータの回転軸方向の幅以上である請求項１から３のいずれか１つに記載のレゾルバ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レゾルバ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気モータでは、ロータの回転角度位置等を磁気的に高分解能で検出する検出器として、レゾルバ装置を備えている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、第１、第２レゾルバステータを軸方向に沿って並設したケーシングと、前記ケーシングの前部に形成されたねじ孔と、前記ねじ孔に螺入され前記第１、第２レゾルバステータに対応する１個又は複数のロータを有する回転軸とを備え、前記回転軸の回転により前記ロータが回転及び軸方向移動を行うようにした多回転検出器が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２０７９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、レゾルバ装置はより簡素な構造で信頼性の向上が求められている。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡素な構造で信頼性を向上したレゾルバ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部が形成されたレゾルバロータと、前記レゾルバロータの回転により、前記螺旋形状部の凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータと、を有することを特徴とする。
【０００８】
これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。
【０００９】
本発明の望ましい態様として、前記レゾルバロータは、外周部に前記螺旋形状部を有することが好ましい。これにより、回転にともないリラクタンスの変化を起こすことができる。その結果、レゾルバロータの回転位置又は回転数を検出できる。
【００１０】
本発明の望ましい態様として、前記レゾルバロータは、中空円筒体であって、前記中空円筒体の内周部に前記螺旋形状部を有することが好ましい。これにより、回転にともないリラクタンスの変化を起こすことができる。その結果、レゾルバロータの回転位置又は回転数を検出できる。
【００１１】
本発明の望ましい態様として、前記レゾルバステータは、励磁コイルと、複数の磁極歯を有する磁極と、を有し、隣り合う前記複数の磁極歯の間隔は、前記螺旋形状部の凸部の前記レゾルバロータの回転軸方向の幅以上であることが好ましい。これにより、螺旋形状部と、磁極歯とのリラクタンスの変化が大きくなる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、簡素な構造で信頼性を向上したレゾルバ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有する位置決めテーブル駆動機構の構成図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する説明図である。
【図３】図３は、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する説明図である。
【図４】図４は、本実施形態に係るレゾルバ装置の回転検出の一例を説明する説明図である。
【図５】図５は、本実施形態に係るレゾルバ装置の変形例を示す図である。
【図６】図６は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するウォームギア駆動機構の構成図である。
【図７】図７は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するモータの構成図である。
【図８】図８は、図７の軸方向に直交した断面図である。
【図９】図９は、モータの回転角度検出のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
【００１５】
（実施形態１）
図１は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有する位置決めテーブル駆動機構の構成図である。図２及び図３は、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する説明図である。図４は、本実施形態に係るレゾルバ装置の回転検出の一例を説明する説明図である。
【００１６】
図１に示す位置決めテーブル駆動機構１００は、Ｘ軸方向へテーブル３３を駆動するＸ軸送り駆動機構である。テーブル駆動機構１００は、台座３０と、リニアガイド３１と、テーブル３３と、ガイド３５と、ボールネジ軸１０と、モータ２０と、カップリング部材２５と、ボールナット２７と、レゾルバステータ１とを含んでいる。
【００１７】
テーブル３３は、ワークを載置可能なワークステージである。リニアガイド３１は、テーブル３３を搭載し、テーブル３３をＸ軸方向へ自在にスライドさせるスライド機構である。リニアガイド３１は、台座３０上に固定されている。
【００１８】
モータ２０は、ボールネジ軸１０を回転駆動する駆動源である。カップリング部材２５は、モータ２０の回転軸とボールネジ軸１０と接続する接続部材である。ボールネジ軸１０は、テーブル３３の下部にあるボールナット２７と接続され、モータ２０の回転をテーブル３３のＸ方向の軸送り駆動力へ変換する。ボールネジ軸１０は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。
【００１９】
本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸１０をレゾルバロータとし、レゾルバステータ１とのリラクタンスの変化を検出する。図２に示すように、ボールネジ軸１０の外周部には、螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１が形成されている。
【００２０】
レゾルバステータ１は、図２に示すように複数の磁極歯２ａ、２ｂを有する磁極２と、励磁コイル５と、を含んでいる。励磁コイル５は、磁極２に巻回されている。複数の磁極歯２ａ、２ｂは、ボールネジ軸１０の回転軸Ｏと平行なＸ方向に、間隔を有して形成されている。
【００２１】
本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ１を励磁し、リラクタンスの変化を検知するドライブユニット８０と、制御装置９０を有している。ドライブユニット８０は、励磁コイル５に励磁信号を供給する励磁回路８１と、リラクタンスの変化により励磁コイル５に発生するレゾルバ信号を検出する検出回路８５と、を含んでいる。
【００２２】
制御装置９０は、コンピュータであり、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、ＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＲＡＭ（Random Access Memory）と、内部記憶部と、入力インターフェースと、出力インターフェースと、を含んでいる。ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び内部記憶部は、内部バスで接続されている。ＲＯＭには、ＢＩＯＳ等のプログラムが記憶されている。内部記憶部は、例えばＨＤＤ（Hard disk drive）やフラッシュメモリ等であり、オペレーティングシステムプログラムやアプリケーションプログラムを記憶している。ＣＰＵは、ＲＡＭをワークエリアとして使用しながらＲＯＭ又は内部記憶部に記憶されているプログラムを実行することにより、種々の機能を実現する。
【００２３】
制御装置９０は、検出回路８５からの角度信号を取り込み、モータ２０の回転角度位置又は回転数を演算する。制御装置９０は、回転角度位置又は回転数に基づいて、モータ２０の電力供給をフィードバック制御する。
【００２４】
次に、本実施形態に係るレゾルバ装置の動作を説明する。モータ２０を駆動し、ボールネジ軸１０は回転軸Ｏを中心に回転方向Ｒで回転する。図２の螺旋形状部１１の位置が図３の螺旋形状部１１の位置に例示されるようにＸ方向へ移動する。例えば、レゾルバステータ１からみる螺旋形状部１１の凸部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの位置が図２と、図３とで異なることになる。螺旋形状部１１の凸部１１ｂと、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとの相対位置が変化し、螺旋形状部１１と、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスが変化する。つまり、ボールネジ軸１０の回転は、螺旋形状部１１と磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。レゾルバロータとなるボールネジ軸１０と、レゾルバステータ１とのリラクタンスの変化を利用して回転位置又は回転数を検出するレゾルバ装置は、バリアブルリラクタンス形レゾルバという。
【００２５】
隣り合う複数の磁極歯２ａ、２ｂの間隔は、螺旋形状部１１の凸部１１ｂのＸ方向（レゾルバロータの回転軸方向）の幅と等しい、又は、螺旋形状部１１の凸部１１ｂのＸ方向（レゾルバロータの回転軸方向）の幅よりも大きいことが好ましい。つまり、隣り合う複数の磁極歯２ａ、２ｂの間隔は、螺旋形状部１１の凸部１１ｂのＸ方向（レゾルバロータの回転軸方向）の幅以上となることが好ましい。これにより、螺旋形状部１１と、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスの変化が大きくなる。
【００２６】
本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸１０の１回転で基本波成分が１周期となる。例えば、励磁回路８１がレゾルバステータ１を正弦波で励磁し、検出回路８５がリラクタンスの変化をレゾルバ信号として検知する。制御装置９０は、レゾルバ信号を回転角度として演算する。ボールネジ軸１０の１回転させた場合、制御装置９０が演算した結果を図４に例示する。
【００２７】
図４は、横軸に回転角度をとり、縦軸に回転角度０度の値を１００として、リラクタンスの変化をプロットしている。このように、本実施形態のレゾルバ装置は、ボールネジ軸１０のも演算可能である。また、制御装置９０は、回転角度３６０度毎に１回転として回転数を演算することができる。その結果、位置決めテーブル駆動機構１００は、Ｘ軸方向へテーブル３３を精密に駆動制御可能となる。なお、ボールネジ軸１０の１回転で基本波成分が２周期とするには、ボールネジ軸の螺旋形状部１１を２条ネジとすればよい。螺旋形状部１１を多条ネジとすることで、本実施形態のレゾルバ装置は、１回転での基本波成分を増加させ、精度をたかめることができる。
【００２８】
以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１が形成されたレゾルバロータとなるボールネジ軸１０と、ボールネジ軸１０の回転により、螺旋形状部１１の凸部１１ｂとの距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ１と、を有する。
【００２９】
レゾルバロータは、ボールネジ軸１０で代用できるため別途有する必要がなく、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。
【００３０】
また、レゾルバロータであるボールネジ軸１０は、外周部に螺旋形状部１１を有する。これにより、ボールネジ軸１０の回転は、螺旋形状部１１と磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。
【００３１】
本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ１をボールネジ軸１０に近接させている。一般的に、ボールネジ軸１０の周囲は、潤滑剤の油脂が飛散する可能性もある。本実施形態のレゾルバ装置は、油脂が飛散する環境においても使用可能である。
【００３２】
一般的に、モータ２０とボールネジ軸１０との間には、接続する接続部材であるカップリング部材２５の影響でイナーシャによる動作のずれが生じることがある。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ１によりレゾルバロータとなるボールネジ軸１０の回転を直接検出している。これにより、本実施形態のレゾルバ装置は、モータ２０の回転数を検出しているのではない。その結果、本実施形態のレゾルバ装置は、動作ずれの影響を受けずに、ボールネジ軸１０の回転を直接検出できる。また、モータ２０の反出力軸側に、レゾルバ装置等の回転検出器を付けるよりも、テーブル駆動機構１００の全長を短くすることができる。
【００３３】
（変形例）
図５は、本実施形態に係るレゾルバ装置の変形例を示す図である。変形例は、ボールネジ軸１０の形状を中空円筒体１２としている点に特徴がある。なお、上述したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。中空円筒体１２は、中空の内周部に螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１Ａを形成している。なお、中空円筒体１２は、ボールネジとして使用するため、図５では省略したが外周にも螺旋形状の凹凸が形成されている。レゾルバステータ１は、中空円筒体１２の中空部に挿入されている。複数の磁極歯２ａ、２ｂは、中空円筒体１２の回転軸Ｏ１と平行なＸ１方向に、間隔を有して形成されている。
【００３４】
変形例に係るレゾルバ装置の動作を説明する。モータ２０を駆動し、中空円筒体１２は回転軸Ｏ１を中心に回転方向Ｒ１で回転する。図５の螺旋形状部１１Ａの位置がＸ１方向へ移動する。これにより、螺旋形状部１１Ａの凸部と、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとの相対位置が変化し、螺旋形状部１１Ａと、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスが変化する。つまり、中空円筒体１２の回転は、螺旋形状部１１Ａと磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。
【００３５】
以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１Ａが形成されたレゾルバロータとなる中空円筒体１２と、中空円筒体１２の回転により、螺旋形状部１１Ａの凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ１と、を有する。レゾルバロータとしての中空円筒体１２は、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。また、モータ２０の反出力軸側に、レゾルバ装置等の回転検出器を付けるよりも、テーブル駆動機構１００の全長を短くすることができる。
【００３６】
また、レゾルバロータである中空円筒体１２は、中空円筒体１２の内周部に螺旋形状部１１Ａを有する。これにより、中空円筒体１２の回転は、螺旋形状部１１Ａと磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。なお、中空円筒体１２は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。
【００３７】
（実施形態２）
図６は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するウォームギア駆動機構の構成図である。本実施形態では、レゾルバ装置をウォームギア駆動機構に使用している点に特徴がある。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３８】
図６に示すウォームギア駆動機構２００は、モータ２１と、出力軸２６と、ウォーム７０と、ウォームホイール７５と、軸受７８、７９と、レゾルバステータ１と、を有している。
【００３９】
モータ２１の出力軸２６は、ウォーム７０と接続されている。軸受７８は、ラジアル玉軸受であり、軸受７９は、ラジアル滑り軸受である。なお、軸受７８、７９は、ラジアル玉軸受又はラジアル滑り軸受のどちらでもよい。出力軸２６は、軸受７８に支持されている。また、ウォーム７０は、軸受７９に支持されている。なお、ウォーム７０は、軟磁性体であることが好ましく、例えば鉄等で形成される。
【００４０】
ウォーム７０は、外周部に図２のボールネジ軸１０の螺旋形状部１１と同様に、螺旋状の凹凸により螺旋形状部７０Ａが形成されている。ウォーム７０の外周部の螺旋形状部７０Ａは、ウォームホイール７５と噛合している。レゾルバステータ１は、ウォーム７０の外周部の螺旋形状部７０Ａと近接するように配置されている。
【００４１】
モータ２１を駆動し、出力軸２６は回転軸Ｏ２を中心に回転方向Ｒ２で回転する。出力軸２６の回転にともないウォーム７０も回転軸Ｏ２を中心に回転方向Ｒ２で回転する。その結果螺旋形状部７０Ａの位置がＸ２方向へ移動する。これにより、螺旋形状部７０Ａの凸部と、レゾルバステータ１との相対位置が変化し、螺旋形状部７０Ａと、レゾルバステータ１とのリラクタンスが変化する。ウォーム７０の回転は、ウォームホイール７５をウォームホイール７５の回転軸Ｏ３を中心にＲ３方向へ回転させる。
【００４２】
（実施形態３）
図７は、本実施形態に係るレゾルバ装置を有するモータの構成図である。図８は、図７の軸方向に直交した断面図である。図９は、モータの回転角度検出のブロック図である。本実施形態では、レゾルバ装置をモータに使用している点に特徴がある。なお、上述した実施形態で説明したものと同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４３】
図７に示すモータ装置３００は、駆動対象に直接回転力を伝達するダイレクトドライブモータと呼ばれるモータ装置である。ダイレクトドライブモータは、駆動対象に直接回転力を伝達するため、摩擦損失が少なく効率を高くすることができる。モータ装置３００は、機枠４２と、この機枠４２内に組み込まれるモータ本体部４３と、機枠４２に組み付けられるレゾルバステータ１と、を含んでいる。
【００４４】
図７に示すように、機枠４２は、例えば、ハウジングベース４５にインナハウジング４６とアウターハウジング４７とが同芯にボルト４８で固定して組み付けられている。ハウジングベース４５、インナハウジング４６、アウターハウジング４７は鉄等で形成されている。
【００４５】
図７に示すように、モータ本体部４３は、インナハウジング４６とアウターハウジング４７との間に、内部ステータ（固定子）４９、外部ステータ（固定子）５０、ロータ（回転子）４１を配置している。ここで、内部ステータ４９は、インナハウジング４６の側に組み付けられており、外部ステータ５０は、アウターハウジング４７の側に組み付けられている。内部ステータ４９と外部ステータ５０との間には、ロータ（回転子）４１が位置して回転自在に軸支されている。
【００４６】
レゾルバ装置は、図７に示すように、レゾルバロータ１５、レゾルバステータ１と、を有している。ここで、モータ本体部４３、レゾルバステータ１がこの順にモータ回転軸Ｏ４方向のモータ端部側に向かって位置している。
【００４７】
図７に示すように、レゾルバロータ１５は、ロータ４１に固定されている。レゾルバステータ１は、ステータ鉄心２Ｑと、磁極２と、磁極歯２ａ、２ｂと、励磁コイル５と、を有している。ステータ鉄心２Ｑは、円環状であり、後述するように複数の磁極２を含んでいる。図７に示すように、複数の磁極歯２ａ、２ｂは、回転軸Ｏ４と平行なＸ３方向に、間隔を有して形成されている。また、レゾルバステータ１は、レゾルバホルダ５２を介してボルト４４によりアウターハウジング４７の内周面に固定されている。
【００４８】
なお、レゾルバステータ１とモータ本体部４３の外部ステータ５０との間にも磁気遮蔽のための遮蔽板を設けてもよい。遮蔽板により、レゾルバステータ１は、モータ本体部４３からの磁束の変化の影響をより受けにくくなる。
【００４９】
レゾルバロータ１５は、図７及び図８に示すように、円環状のロータ鉄心１５ａを有している。円環状のロータ鉄心１５ａの外周部には、螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１Ｃが形成されている。
【００５０】
ロータ鉄心１５ａの内径中心Ｏ４は、ステータ鉄心２Ｑの内径中心と一致している。本実施形態のモータ装置３００は、レゾルバロータ１５は、ロータ鉄心１５ａの外径中心がロータ鉄心１５ａの内径中心Ｏ４と一致している。
【００５１】
ステータ鉄心２Ｑは、レゾルバステータ１を複数含んでおり、位相がずれた３相の励磁信号で励磁される。図８では、レゾルバステータ１は、Ａ相、Ｂ相及びＣ相の３相とし、レゾルバステータ１を、１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、相別で区別されている。レゾルバステータ１の磁極２には、励磁コイル５が巻回されている。
【００５２】
ロータ鉄心１５ａが回転すると、所定位置でのレゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃのいずれかと、ロータ鉄心１５ａの外径に形成された螺旋形状部１１Ｃとの対向する位置関係が変化する。これにより、螺旋形状部１１Ｃの凸部と、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとの相対位置が変化し、螺旋形状部１１Ｃと、磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスが変化する。つまり、ロータ鉄心１５ａの回転は、螺旋形状部１１Ｃと磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。なお、本実施形態のレゾルバ装置は、ロータ鉄心１５ａの１回転で基本波成分が１周期となる。
【００５３】
図９は、モータの回転角度検出のブロック図である。本実施形態のレゾルバ装置は、レゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃを励磁し、リラクタンスの変化を検知するドライブユニット８０と、制御装置９０を有している。ドライブユニット８０は、励磁コイル５に励磁信号を供給する励磁回路８１と、リラクタンスの変化により励磁コイル５に発生するレゾルバ信号を検出する検出回路８５と、を含んでいる。
【００５４】
励磁回路８１は、発信回路８２と、増幅回路８３と、を含んでいる。発振回路８２は、基準信号を発振する回路である。基準信号は、例えば正弦波である。増幅回路８３は、増幅器を含んでいる。増幅回路８３は、発信回路８２から出力される基準信号を増幅器により適度な信号レベルに増幅し励磁信号を発生させる。励磁信号は、例えば正弦波のアナログ信号である。励磁回路８１は、レゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃへ励磁信号を出力する。
【００５５】
図９に示すように、レゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃは、それぞれ相別に直列に接続されている。図９のレゾルバ電流信号検出部８６は、電流検出用抵抗Ｒａ〜Ｒｃを有している。レゾルバＡ相のレゾルバステータ１Ａの励磁コイル５は、電流検出用抵抗Ｒａの一端との間に接続されている。他の各相の励磁コイル５も、レゾルバＡ相と同様に電流検出用抵抗Ｒｂ、Ｒｃの各一端との間に接続されている。なお、電流検出用抵抗Ｒａ〜Ｒｃの各他端は内部でアースされている。
【００５６】
レゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃには、ある周波数の正弦波が励磁信号として印加される。レゾルバロータ１５が１回転する間に、レゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１ＣのレゾルバＡ相、レゾルバＢ相及びレゾルバＣ相の各励磁コイル５は、相毎に１２０°ずつ、位相のずれた１サイクルの交流信号であるレゾルバ信号を出力する。また、このレゾルバ信号がレゾルバ信号検出部８６に出力される。
【００５７】
励磁信号がレゾルバステータ１Ａ、１Ｂ、１Ｃに供給されると、電流検出用抵抗Ｒａ〜Ｒｃの各端からレゾルバ信号が出力される。出力されたレゾルバ信号は、３／２相変換器８７へ供給される。
【００５８】
３／２相変換器８７は、供給されたレゾルバ信号を２相信号（ｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号）に変換する。３／２相変換器８７によって変換された２相信号（ｓｉｎ信号、ｃｏｓ信号）は、制御装置９０に供給される。制御装置９０は、２相信号をＡ／Ｄ変換し、ソフトウエアによる情報処理でモータの回転角度位置又は回転数を演算する。制御装置９０は、回転角度位置又は回転数に基づいて、モータ本体部４３の電力供給をフィードバック制御する。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態のレゾルバ装置は、螺旋状の凹凸により螺旋形状部１１Ｃが形成されたレゾルバロータ１５と、レゾルバロータ１５の回転により、螺旋形状部１１Ｃの凸部との距離が変わる位置に配置されたレゾルバステータ１と、を有する。
【００６０】
レゾルバロータは、螺旋形状部を設けるだけでよく、構造が簡素となる。これにより、部品点数が低減され、レゾルバ装置は信頼性が向上する。
【００６１】
また、レゾルバロータ１５は、外周部に螺旋形状部１１Ｃを有する。これにより、レゾルバロータ１５の回転は、螺旋形状部１１Ｃと磁極２の磁極歯２ａ、２ｂとのリラクタンスを変化させる。
【００６２】
本実施形態のレゾルバ装置は、小型とすることができ、モータ装置内部に形成するのに適している。
【符号の説明】
【００６３】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  レゾルバステータ
２  磁極
２Ｑ  ステータ鉄心
５  励磁コイル
１０  ボールネジ軸
１１、１１Ａ、１１Ｃ、７０Ａ  螺旋形状部
１２  中空円筒体
１５  レゾルバロータ
１５ａ  ロータ鉄心
２０、２１  モータ
２５  カップリング部材
８１  励磁回路
８５  検出回路
９０  制御装置
１００  テーブル駆動機構
２００  ウォームギア駆動機構
３００  モータ装置
【図１】
2012177618.tif 000003
【図２】
2012177618.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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