(57)【要約】【課題】耐衝撃性が高く、また、大きな衝撃が負荷されても不感状態からの復帰が早く、加速度検出素子の構造が簡便で小型化に適した加速度センサを提供する。【解決手段】変位（振動速度）が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックス２２，２４を貼り合わせたバイモルフ構造の加速度検出素子２０を利用し、加速度センサ１０を作製する。加速度センサ１０は、加速度検出素子２０の一方の端部が狭持体１２，１４に支持された片持ち梁構造であってもよいし（図１(A)）、両端が狭持体１２Ａ，１４Ａに支持された両持ち梁構造（図１(B)）であってもよい。加速度センサ１０は、加速度検出素子２０に印加される加速度を圧電効果により検知する。大きな衝撃を印加したとき、加速度検出素子２０の弾性定数が上昇することで、該素子の変位が抑制され、破壊靭性も向上し、不感状態からの復帰が早くなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを、加速度検出素子として用いたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、圧電効果により検知することを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項３】
前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項４】
前記加速度検出素子を、支持体により片持ち梁構造となるように支持したことを特徴とする請求項２又は３記載の加速度センサ。
【請求項５】
前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスとして、Ｓｒ２−ｘＣａｘＮａＮｂ５Ｏ１５（０≦ｘ≦２），Ｓｒ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｃａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｓｒ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＬｉＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｋ３Ｌｉ２Ｎｂ５Ｏ１５，Ｂａ２Ｂｉ１／３Ｎｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＫＮｂ５Ｏ１５，又はこれらの少なくとも２種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスを用いたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度センサに関し、更に具体的には、圧電体を利用した加速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電セラミックスを用いた加速度センサ（ショックセンサ）は、下記非特許文献１に記載されている通り、図５(A)に示すような構造が一般的である。図５(A)に示す加速度センサ１００は、２枚の圧電体セラミックス１０４，１０６を、中間電極１１２を挟んで貼り合わせたバイモルフ素子（加速度検出素子）１０２の一端側が、狭持体１１４Ａによって支持された片持ち梁構造となっている。前記バイモルフ素子１０２の表裏には、表面電極１０４，１０６が形成されており、これら表面電極１０４，１０６に接続された電源１２０により、前記圧電体セラミックス１０４，１０６には、同図に矢印で示すように、分極方向が逆になるように分極処理が施される。そして、前記バイモルフ素子１０２に、図５(A)に矢印で示すように外力が負荷されると、その外力に比例した電圧が発生することを利用して、加速度，ショックを図示しない回路により検知する。なお、バイモルフ素子１０２の支持の仕方は、図５(A)の加速度センサ１００のように片持ち梁構造だけでなく、図５(B)に示す加速度センサ１００Ａのように、バイモルフ素子１０２の両端を一対の支持体１０４Ａ，１０４Ｂで支持する両持ち梁構造も一般的である。小型の加速度センサにおいては、小型化しやすく、感度が高い片持ち梁構造がよく用いられるが耐衝撃性に課題があるため、両持ち梁構造が採用されることもある。しかしながら、両持ち梁構造では拘束が増えるため、検出感度が下がるという不具合がある。
【０００３】
そこで、これらの問題に対し、下記特許文献１に示す加速度センサが提案されている。該特許文献１の加速度センサでは、同文献第１図に示すように、分極方向を分割した一対の圧電セラミックスよりなる圧電素子を対面接合して一体化したバイモルフ型検出素子を備えており、該検出素子が撓み、それに併せて圧電効果で発生した電荷の相殺が生じないように分極方向を変えてあるため、圧電効果による発生電荷又は電圧の効果を上げ、加速度の検出感度を高めている。一方、下記特許文献２及び特許文献３においては、２つの共振子を接合して加速度検出素子を構成し、２つの共振子の共振周波数変化、インピーダンス変化を差動的に検出することにより、加速度を検出している。この技術によれば、差動検知のためＳ／Ｎ比が高くなり、検出感度の高い圧電センサが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２７８０５９４号公報（第１図及び第２図）
【特許文献２】特開２００２−１０７３７２号公報
【特許文献３】国際公開第２００５／０１２９２１号パンフレット
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】萩原美嗣著、「表面実装型ショックセンサ」、株式会社ＴＩＣ、ニューセラミックス(1995)No.6、エレクロトニク・セラミクス26[127]、p.39-43
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の技術では、機械的弾性の非線形特性として、変位により弾性定数が低下する柔らかいバネ特性を有するＰｂ（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｏ３（以下、「ＰＺＴ」と記載する）で代表される鉛系圧電体セラミックスが使用されている。そのため、大きな衝撃が加わると、原理的に、検出部の弾性定数が低下し、それに伴い、検出部の変位（撓み）が大きくなり、検出部の機械的な破損が生じやすい。従って、両持ち梁構造にするなど、耐衝撃性を考慮した設計が必要になるという不都合がある。
【０００７】
本発明は、以上のような点に着目したもので、耐衝撃性が高く、また、大きな衝撃が負荷されても不感状態からの復帰が早く、加速度検出素子の構造が簡便で小型化に適した加速度センサを提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明セラミックスデバイスは、機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを用いたことを特徴とする。また、本発明の加速度センサは、機械的弾性の非線形特性として、変位ないし振動速度の増加により弾性定数が増加する硬いばね特性を有する圧電体セラミックスを、加速度検出素子として用いたことを特徴とする。主要な形態の一つは、前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、圧電効果により検知することを特徴とする。あるいは、前記加速度検出素子は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することを特徴とする。
【０００９】
他の形態は、前記加速度検出素子を、支持体により片持ち梁構造となるように支持したことを特徴とする。更に他の形態は、前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックスとして、Ｓｒ２−ｘＣａｘＮａＮｂ５Ｏ１５（０≦ｘ≦２），Ｓｒ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｃａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｓｒ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＬｉＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｋ３Ｌｉ２Ｎｂ５Ｏ１５，Ｂａ２Ｂｉ１／３Ｎｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＫＮｂ５Ｏ１５，又はこれらの少なくとも２種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスを用いたことを特徴とする。本発明の前記及び他の目的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、変位（振動速度）が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックスを加速度検出素子として利用して加速度センサを作製することで、大きな衝撃が印加したときに、加速度検出素子の弾性定数が上昇して該素子の過剰な変位が抑制されるとともに、破壊靭性も向上するため、検出部の機械的な破損を抑制できる。このため、耐衝撃性が高く、素子の構造が簡便で小型化にも適した検出感度の高い加速度センサが得られる。また、大きな衝撃が負荷されても、弾性定数が大きくなることで負荷を吸収するため、不感状態からの復帰が早いという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】圧電体を利用した加速度センサの構成を示す図であり、(A)は片持ち梁構造，(B)は両持ち梁構造を示す図である。
【図２】実施例１と比較例の加速度センサに用いる圧電体セラミックスについての振動速度と弾性定数（等価スティッフネス）の関係を示す図である。
【図３】実施例１と比較例の加速度センサについての加速度と発生電圧の関係を示す図である。
【図４】本発明の実施例２の加速度センサの構成を示す図であり、(A)は片持ち梁構造，(B)は両持ち梁構造を示す図である。
【図５】背景技術の一般的な加速度センサの構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
最初に、図１〜図３を参照しながら本発明の実施例１を説明する。図１は、圧電体セラミックスを加速度検出素子として利用した加速度センサの構成を示す図であり、(A)は片持ち梁構造を示し、(B)は両持ち梁構造を示している。図２は、本実施例の実験例と比較例の加速度センサに用いる圧電体セラミックスについての振動速度と弾性定数（等価スティッフネス）の関係を示す図，図３は、本実施例の実験例と比較例の加速度センサについての加速度と発生電圧の関係を示す図である。
【００１４】
図１(A)に示すように、本実施例の加速度センサ１０は、２枚の圧電体セラミックス２２，２４で中間電極３０を挟んだバイモルフ構造の加速度検出素子２０の一端側が、一対の狭持体１２，１４によって支持された片持ち梁構造となっている。前記加速度検出素子２０の表裏には、表面電極２６，２８が形成されており、これら表面電極２６，２８は、前記狭持体１２，１４の一方の側面に形成された引出電極１６，１８に接続されている。そして、前記圧電体セラミックス２２，２４は、同図に矢印で示すように、分極方向が逆になるように分極処理が施される。前記加速度検出素子２０に、図１(A)に矢印で示すように外力が負荷されると、その外力に比例した電圧が発生することを利用して、加速度を検知する。
【００１５】
なお、図１(A)に示す例では片持ち梁構造としたが、図１(B)に示す加速度センサ１０Ａのように、加速度検出素子２０Ａの両端を、一対の狭持体１２Ａ，１４Ａで支持し、前記表面電極２６を一方の引出電極１６に接続し、他方の表面電極２８を他方の引出電極１８に接続する構成としてもよい。前記圧電体セラミックス２２，２４としては、Ｓｒ２−ｘＣａｘＮａＮｂ５Ｏ１５（０≦ｘ≦２），Ｓｒ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｃａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｓｒ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＬｉＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｋ３Ｌｉ２Ｎｂ５Ｏ１５，Ｂａ２Ｂｉ１／３Ｎｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＫＮｂ５Ｏ１５，又はこれらの少なくとも２種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスが用いられる。
【００１６】
＜実験例＞・・・次に、本実施例の実験例について説明する。前記硬いばね特性を有する圧電体セラミックス２２，２４として、Ｓｒ１．９ＣａＯ．１ＮａＮｂ５Ｏ１５（以下「ＳＣＮＮ」と記載する）の圧電体セラミックスを選定した。該圧電体セラミックスの粉体は、Ｎａ２ＣＯ３，Ｎｂ２Ｏ５，ＳｒＣＯ３，ＣａＣＯ３を化学量論組成に秤量、混合後、仮焼する固相合成法により作製した。作製した圧電体セラミックス粉体に、機械的品質係数を高めるために、ＭｎＯを０．３ｗｔ％添加した。そして、この圧電体セラミックスの粉体を短冊状に成形して焼成し、圧電体セラミックス２２，２４を得た。一方の圧電体セラミックス２２の表裏に、表面電極２６と中間電極３０をＡｇで形成し、他方の圧電体セラミックス２４の表裏に、表面電極２８と中間電極３０をＡｇによって形成し、これらの電極を利用して分極処理を施し、図１(A)に矢印で示すように分極方向が逆になるように、互いの中間電極３０同士を向かい合わせて貼り合わせることで、加速度検出素子２０を得た。
【００１７】
そして、該加速度検出素子２０の一方の端部を、一対の狭持体１２，１４で支持し、該狭持体１２，１４の側面に形成された引出電極１６，１８に、前記表面電極２６，２８を接続することで、片持ち梁構造の加速度センサ１０を作製した。比較のために、柔らかいばね特性を有するＰＺＴを加速度検出素子とする同構造（片持ち梁構造）の加速度センサと、図１(B)に示す両持ち梁構造の加速度センサも作製し、評価を行った。なお、両持ち梁構造の加速度センサは、ＰＺＴ及びＳＣＮＮの双方について作製した。
【００１８】
図２には、本実施例の実験例に使用する圧電体セラミックスであるＳＣＮＮと、比較例に使用する圧電体セラミックス（ＰＺＴ）についての振動速度と弾性定数（等価ステッィフネス）の関係が示されている。同図において、横軸は振動速度［ｍ／ｓ  ｒｍｓ］を表し、縦軸は右側及び左側ともに弾性定数（等価スティックネス）［ＧＮ／ｍ］を表している。なお、ＰＺＴセラミックスの弾性定数は、右側の縦軸の数値により表され、ＳＣＮＮセラミックスの弾性定数は、左側の縦軸の数値により表されている。同図からは、ＰＺＴセラミックスでは、振動速度の増加に対して弾性定数が低下するのに対し、ＳＣＮＮセラミックスでは、振動速度の増加に対して弾性定数が増加することが確認された。
【００１９】
図３には、本実施例の実験例の加速度センサ（ＳＣＮＮ使用の片持ち梁構造）と、比較例の加速度センサ（ＰＺＴ使用の両持ち梁構造）について、加速度［Ｇ］と発生電圧［ｍＶ］の関係が示されている。図３の結果から、ＳＣＮＮを利用した本実施例の片持ち梁構造の加速度センサ１０は、ＰＺＴを利用した比較例の両持ち梁構造の加速度センサよりも感度が高いことが確認された。また、図示されていないが、ＰＺＴの片持ち梁構造の特性は、ＳＣＮＮの片持ち梁構造と同等の特性であり、ＳＣＮＮの両持ち梁構造の加速度センサは、ＰＺＴの両持ち梁構造と同等であった。
【００２０】
次に、これらの加速度センサを、衝撃試験により負荷したところ、比較例のＰＺＴを利用した加速度センサでは、片持ち梁構造の場合は１５００Ｇで、両持ち梁構造の場合は３０００Ｇで、振動検知する梁のところでクラックが入った。特に、片持ち梁構造の加速度センサでは梁が折れ、実用の際に求められる１５００Ｇの衝撃に耐えられず、実用に堪えないことが確認された。また、５０Ｇの一定の加速度でセンサを加振と停止を繰り返してセンサ出力電圧を計測した所、加振が停止してから、センサの出力電圧が０となるまでの時間が、ＳＣＮＮを使用したものでは、ＰＺＴを使用した場合に対して３０％早くなることが確認された。一方、ＳＣＮＮを利用した実験例の加速度センサは、片持ち梁構造であっても、３０００Ｇの負荷を印加しても劣化が認められなかった。
【００２１】
以上の効果は、Ｓｒ２−ｘＣａｘＮａＮｂ５Ｏ１５（０≦ｘ≦２），Ｓｒ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｃａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｓｒ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＬｉＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｋ３Ｌｉ２Ｎｂ５Ｏ１５，Ｂａ２Ｂｉ１／３Ｎｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＫＮｂ５Ｏ１５，又はこれらの少なくとも２種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスのセラミックスを使用しても確認された。
【００２２】
このように、本実施例によれば、変位（振動速度）が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックス２２，２４を利用したバイモルフ構造の加速度検出素子２０を利用して加速度センサ１０を作製し、前記加速度検出素子２０に印加される加速度を、圧電効果により検知することとしたので、次のような効果がある。
(1)大きな衝撃を印加したときに、加速度検出素子２０の弾性定数が上昇して該素子２０の過剰な変位が抑制されるとともに、破壊靭性も向上するため、検出部の機械的な破損を抑制できる。このため、耐衝撃性が高く、素子の構造が簡便で小型化にも適した検出感度の高い加速度センサ１０が得られる。
(2)また、大きな衝撃が負荷されても、弾性定数が大きくなることで吸収するため、不感状態からの復帰が早いという効果が得られる。
(3)片持ち梁構造，両持ち梁構造のいずれの構造としても、前記(1)及び(2)の効果が得られる。
【実施例２】
【００２３】
次に、図４を参照しながら本発明の実施例２を説明する。図４は、本実施例の加速度センサの構成を示す図であり、(A)は片持ち梁構造，(B)は両持ち梁構造を示す。なお、上述した実施例１と同一ないし対応する構成要素には、同一の符号を用いることとする。上述した実施例１では、加速度検出素子２０に印加される加速度を、圧電体セラミックス２２，２４の圧電効果により検知することとしたが、本実施例では、加速度検出素子は、前記圧電体セラミックスに印加される加速度を、該圧電体セラミックスの共振周波数の変化、又はインピーダンス変化により検知することとした例である。図４(A)に示すように、本実施例の片持ち梁構造の加速度センサ５０では、加速度検出素子５１は、圧電体セラミックス５６の表裏に表面電極５８Ａ，５８Ｂが形成された圧電ユニモルフ振動子５４Ａと、圧電体セラミックス６０の表裏に表面電極６０Ａ，６０Ｂが形成された圧電ユニモルフ振動子５４Ｂを、振動体６６を挟むように、接合層６２，６４によって接合した構成となっている。そして、該加速度検出素子５１の片側を挟持体５２によって支持している。前記表面電極５８Ａは、挟持体５２の側面に形成された引出電極６８に接続され、前記表面電極６０Ａは、挟持体５２の側面に形成された引出電極７０に接続され、表面電極５８Ｂ及び６０Ｂは、振動体６６の側面に形成された引出電極７２によって接続されている。本実施例の実験例として、上述した実施例１と同様に、圧電体セラミックスとしてＳＣＮＮを利用し、図４(A)に示すように、２つの片持ち梁構成の圧電ユニモルフ振動子５４Ａ，５４Ｂを接合して加速度検出素子５１を構成し、２つの振動子５４Ａ，５４Ｂの共振周波数変化、又はインピーダンス変化を差動的に検出することにより、加速度を検出する加速度センサを作製した。
【００２４】
そして、得られた加速度センサ５０について、前記実施例１と同様に、加速度検出特性について試験を行ったところ、実験例のＳＣＮＮを利用した加速度センサでは、ＰＺＴを利用した比較例の加速度センサと同様の加速度検出感度であることを確認した。また図４(B)に示すように、前記加速度検出素子５１の両端を挟持体５２Ａ，５２Ｂによって支持した両持ち梁構造の加速度センサ５０Ａでも同様な性能を確認した。その後、衝撃試験を行った結果、図４(A)の片持ち梁構造の加速度センサ５０において、実験例のＳＣＮＮの加速度センサでは、１５００Ｇの衝撃に対しても劣化が認められなかったのに対し、ＰＺＴのセンサでは、クラックが発生し、センシングができなくなった。図４(B)の両持ち梁構造の加速度センサ５０Ａでは、３０００Ｇの衝撃に対して、ＳＣＮＮを使用したものは劣化が認められなかったが、ＰＺＴのセンサでは、クラックが発生して機能しなくなった。また、５０Ｇの一定の加速度でセンサを加振と停止を繰り返してそれぞれの振動子の出力電圧を計測した所、加振が停止してから、センサの出力電圧が０となるまでの時間が、図４(A)及び図４(B)のどちらの構造においても、ＰＺＴを使用した場合に比べて、３０％、ＳＣＮＮを使用したものが早くなり、安定する時間がＳＣＮＮのほうがＰＺＴよりも早いことが確認された。
【００２５】
以上の結果から、本実施例によっても、上述した実施例１と同様に、感度が高く、耐久性の高い加速度センサが得られることが確認された。なお、加速度検出素子に利用される圧電体セラミックスは、上述した実験例のほか、Ｓｒ２−ｘＣａｘＮａＮｂ５Ｏ１５（０≦ｘ≦２），Ｓｒ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｃａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｓｒ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＬｉＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｂａ２ＫＮｂ５Ｏ１５，Ｋ３Ｌｉ２Ｎｂ５Ｏ１５，Ｂａ２Ｂｉ１／３Ｎｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＮａＮｂ５Ｏ１５，Ｐｂ２ＫＮｂ５Ｏ１５，又はこれらの少なくとも２種類を含むタングステンブロンズ型の固溶体セラミックスとしても、同様の効果が得られることが確認された。
【００２６】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。
(1)前記実施例で示した形状，寸法は一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。材料についても同様であり、硬いばね特性を有する圧電体セラミックスについて、上述した実施例で示した材料群から選択することが好ましいが、表面電極２６，２８や、中間電極３０については、公知の各種の電極材料を利用してよい。
(2)前記実施例で示した加速度検出素子の狭持体も一例であり、同様の効果を奏するように適宜設計変更してよい。
(3)引出電極１６，１８による引出方法も一例であり、同様の効果を奏するように適宜設計変更してよい。
(4)前記実施例１では、２つの圧電体セラミックスを貼り合わせたバイモルフ型の加速度検出素子を用いることとしたが、ユニモルフ構造の検出素子を利用してもよい。また、前記実施例２では、ユニモルフ振動子を用いたが、これはバイモルフ振動子であってもよい。
(5)前記実施例では、本発明を加速度検出素子に適用した場合を示したが、セラミックスデバイス一般に適用することを妨げるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明によれば、変位（振動速度）が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックスを加速度検出素子として利用することで、大きな衝撃が印加したときでも、加速度検出素子の弾性定数が上昇して該素子の過剰な変位が抑制されるとともに、破壊靭性も向上し、更には、不感状態からの復帰も早くなるため、加速度センサの用途に適用できる。特に、加速度検出素子の構造が簡便であるため、小型化が要求される加速度センサの用途に好適である。
【符号の説明】
【００２８】
１０，１０Ａ：加速度センサ
１２，１２Ａ，１４，１４Ａ：挟持体
１６，１８：引出電極
２０，２０Ａ：加速度検出素子
２２，２４：圧電体セラミックス
２６，２８：表面電極
３０：中間電極
５０，５０Ａ：加速度センサ
５１：加速度検出素子
５２，５２Ａ，５２Ｂ：挟持体
５４Ａ，５４Ｂ：圧電ユニモルフ振動子
５６，５８：圧電体セラミックス
５８Ａ，５８Ｂ，６０Ａ，６０Ｂ：表面電極
６２，６４：接合層
６６：振動体
６８，７０，７２：引出電極
１００，１００Ａ：加速度センサ
１０２：バイモフル素子
１０４，１０６：圧電体セラミックス
１０８，１１０：表面電極
１１２：中間電極
１１４，１１４Ａ，１１４Ｂ：狭持体
１２０：電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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