(57)【要約】【課題】適切なタイミングで溶剤の交換を行い、乾燥不良の発生を抑制することができる蒸気乾燥方法を提供する。【解決手段】溶剤を沸騰させて発生させた蒸気を用いて被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥方法は、前記溶剤の沸点を測定する沸点測定工程と、前記沸点が、前記溶剤と水との極小共沸点以上、前記溶剤本来の沸点未満の所定の温度となったときに、前記溶剤の少なくとも一部を廃棄し、新しい溶剤を補給する溶剤交換工程とを備えることを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶剤を沸騰させて発生させた蒸気を用いて被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥方法であって、
前記溶剤の沸点を測定する沸点測定工程と、
前記沸点が、前記溶剤と水との極小共沸点以上、前記溶剤本来の沸点未満の所定の温度となったときに、前記溶剤の少なくとも一部を廃棄し、新しい溶剤を補給する溶剤交換工程と、
を備えることを特徴とする蒸気乾燥方法。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸気乾燥方法において、
雰囲気の気圧を測定する気圧測定工程をさらに備え、
前記溶剤交換工程では、前記溶剤本来の沸点が、前記雰囲気の気圧に基づき修正されることを特徴とする蒸気乾燥方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の蒸気乾燥方法において、
前記溶剤交換工程では、新しい溶剤は加熱されて補給されることを特徴とする蒸気乾燥方法。
【請求項４】
蒸気槽内において溶剤を沸騰させ、前記溶剤の蒸気を用いて被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥装置であって、
前記溶剤の沸点を測定する温度測定部と、
前記蒸気槽内の前記溶剤を排出する溶剤排出部と、
前記蒸気槽内に新しい溶剤を補給する溶剤供給部と、
前記溶剤排出部および前記溶剤供給部の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記温度測定部で測定された前記溶剤の沸点が、前記溶剤と水との極小共沸点以上、前記溶剤本来の沸点未満の所定の温度となったときに、前記溶剤排出部を動作させて前記蒸気槽内の溶剤の少なくとも一部を排出させ、前記溶剤供給部を動作させて前記蒸気槽内に新しい溶剤を補給することを特徴とする蒸気乾燥装置。
【請求項５】
請求項４に記載の蒸気乾燥装置において、
前記蒸気槽周囲の雰囲気圧を測定する気圧測定部をさらに備え、
前記制御部の制御において、前記溶剤本来の沸点が、前記気圧測定部により測定された前記雰囲気圧の値に基づいて設定されることを特徴とする蒸気乾燥装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の蒸気乾燥装置において、
前記溶剤供給部は、新しい溶剤を加熱してから前記蒸気槽内に補給することを特徴とする蒸気乾燥装置。
【請求項７】
請求項６に記載の蒸気乾燥装置において、
前記溶剤供給部は、
新しい溶剤を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽と前記蒸気槽とを連通する配管と、
前記配管に設けられた加熱機構と、を有することを特徴とする蒸気乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気乾燥方法、より詳しくは、溶剤を用いて被洗浄物を乾燥する蒸気乾燥方法および同方法を実行する蒸気乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄後の被洗浄物を溶剤の蒸気が飽和した空間内に搬入し、被洗浄物の表面の水分を溶剤と置換することにより当該被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１６７５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような蒸気乾燥装置では、被洗浄物や被洗浄物を運搬する搬送治具等により水等の不純物が蒸気乾燥を行う蒸気槽内に持ち込まれ、徐々に溶剤中に混入する。溶剤中の不純物量が増加して一定の割合以上になると、水分が十分置換されなくなり、乾燥不良により被洗浄物の表面に乾燥じみ等の不具合（乾燥不良）が発生する。
特に、被洗浄物を載せた搬送治具を順次蒸気槽内に搬入する連続乾燥を行う場合、溶剤中における不純物の増加速度はより速くなる。しかしながら、頻繁に溶剤の交換を行うと、乾燥作業の効率低下や、溶剤の使用量増加に伴うコスト増の問題が発生するため、効率低下やコスト増等を防ぎつつ乾燥不良を防止できるように溶剤の交換、補充を行うことは容易ではない。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、適切なタイミングで溶剤の交換を行い、乾燥不良の発生を抑制することができる蒸気乾燥方法および蒸気乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第一の態様は、溶剤を沸騰させて発生させた蒸気を用いて被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥方法であって、前記溶剤の沸点を測定する沸点測定工程と、前記沸点が、前記溶剤と水との極小共沸点以上、前記溶剤本来の沸点未満の所定の温度となったときに、前記溶剤の少なくとも一部を廃棄し、新しい溶剤を補給する溶剤交換工程とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の蒸気乾燥方法では、雰囲気の気圧を測定する気圧測定工程をさらに備え、前記溶剤交換工程において、前記溶剤本来の沸点が、前記雰囲気の気圧に基づき修正されてもよい。
また、前記溶剤交換工程において、新しい溶剤が加熱されて補給されてもよい。
【０００８】
本発明の第二の態様は、蒸気槽内において溶剤を沸騰させ、前記溶剤の蒸気を用いて被洗浄物の乾燥を行う蒸気乾燥装置であって、前記溶剤の沸点を測定する温度測定部と、前記蒸気槽内の前記溶剤を排出する溶剤排出部と、前記蒸気槽内に新しい溶剤を補給する溶剤供給部と、前記溶剤排出部および前記溶剤供給部の動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記温度測定部で測定された前記溶剤の沸点が、前記溶剤と水との極小共沸点以上、前記溶剤本来の沸点未満の所定の温度となったときに、前記溶剤排出部を動作させて前記蒸気槽内の溶剤の少なくとも一部を排出させ、前記溶剤供給部を動作させて前記蒸気槽内に新しい溶剤を補給することを特徴とする。
【０００９】
本発明の蒸気乾燥装置は、前記蒸気槽周囲の雰囲気圧を測定する気圧測定部をさらに備え、前記制御部の制御において、前記溶剤本来の沸点が、前記気圧測定部により測定された前記雰囲気圧の値に基づいて設定されてもよい。
また、前記溶剤供給部は、新しい溶剤を加熱してから前記蒸気槽内に補給してもよい。
【００１０】
さらに、前記溶剤供給部が、新しい溶剤を貯留する貯留槽と、前記貯留槽と前記蒸気槽とを連通する配管と、前記配管に設けられた加熱機構とを有してもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の蒸気乾燥方法および蒸気乾燥装置によれば、適切なタイミングで溶剤の交換を行い、乾燥不良の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態の蒸気乾燥装置の構成を示す模式図である。
【図２】同蒸気乾燥装置における制御部と各部とのつながりを示すブロック図である。
【図３】同蒸気乾燥装置の動作のうち、溶剤交換の要否判定および実行に関する部分を示すフローチャートである。
【図４】本発明の第２実施形態の蒸気乾燥装置の構成を示す模式図である。
【図５】同蒸気乾燥装置の動作のうち、溶剤交換の要否判定および実行に関する部分を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第３実施形態の蒸気乾燥装置の構成を示す模式図である。
【図７】本発明の変形例の蒸気乾燥装置の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の第１実施形態の蒸気乾燥装置について、図１から図３を参照して説明する。図１は、本実施形態の蒸気乾燥装置１の構成を示す模式図である。
蒸気乾燥装置１は、本発明の蒸気乾燥方法を実行する装置であり、被洗浄物１００が投入される蒸気槽１０と、蒸気槽１０に溶剤を供給する溶剤供給部３０と、蒸気槽１０内の溶剤を排出するための溶剤排出部４０と、蒸気乾燥装置１の動作を制御する制御部５０とを備えている。
【００１４】
蒸気槽１０は、上部が開放されており、底部に溶剤１１０が供給される。蒸気槽１０の底部には、供給された溶剤１１０を加熱するための加熱部１１が取り付けられている。加熱部１１としては、各種ヒータ等の公知の機構を用いることができる。供給された溶剤の液面の高さは、蒸気槽１０の底部内面に取り付けられた上液面センサ１２および下液面センサ１３によって所定の範囲内に制御される。さらに、蒸気槽１０の底部内面には、蒸気槽１０内の溶剤１１０の温度を測定する第１温度計（温度測定部）１４が取り付けられている。第１温度計１４は、上液面センサ１２よりも低い位置に設置されるのが好ましい。
【００１５】
蒸気槽１０の内面において、上液面センサ１２よりも上部に近い所定の位置には、溶剤１１０の蒸気を冷却する冷却部１５が設けられている。これにより、蒸気乾燥装置１の運転時に蒸気槽１０の内部において、溶剤１１０の液面と冷却部１５との間に、蒸気乾燥を行う蒸気空間Ａ１が形成される。
【００１６】
溶剤供給部３０は、蒸気槽１０に供給される溶剤が貯留される貯留槽３１と、貯留槽３１と蒸気槽１０とを接続する配管３２と、配管３２に設けられたポンプ３３および開閉弁３４と、貯留槽３１内の溶剤１１０Ａを加熱する加熱機構３５と、貯留槽３１内の溶剤１１０Ａの温度を測定する第２温度計３６を備えている。
なお、溶剤供給部３０内の溶剤１１０Ａは、成分は溶剤１１０と同一であるが、不純物が混入していない、常に新しい溶剤であるため、蒸気槽１０内の溶剤１１０と区別するために溶剤１１０Ａと表記する。
【００１７】
溶剤排出部４０は、蒸気槽１０に接続された配管４１と、配管４１に設けられたポンプ４２および開閉弁４３とを備えている。
【００１８】
図２は、制御部５０と上記各構成とのつながりを示す図である。制御部５０は、蒸気槽１０の加熱部１１、上液面センサ１２および下液面センサ１３、第１温度計１４、溶剤供給部３０のポンプ３３、開閉弁３４、加熱機構３５、第２温度計３６、さらに、溶剤排出部４０のポンプ４２および開閉弁４３と接続されている。制御部５０は、第１温度計１４、上液面センサ１２、下液面センサ１３、および第２温度計３６の測定値に基づいて、上記各構成の動作を制御する。
【００１９】
上記のように構成された蒸気乾燥装置１の使用時の動作および本発明の蒸気乾燥方法について説明する。
蒸気槽１０内の溶剤１１０が加熱部１１によって沸騰されると、溶剤１１０の蒸気（以下、「溶剤蒸気」と称する。）が蒸気空間Ａ１に充満して飽和する。溶剤蒸気のうち、冷却部１５の高さまで達したものは、冷却部１５によって再び液体となり、図示しない回収経路を通って蒸気槽１０の底部に戻される。
【００２０】
蒸気空間Ａ１が溶剤蒸気で飽和したところで、搬送治具１０１に整列された被洗浄物１００が、エレベータ１０２等の搬送手段により蒸気槽１０内に搬送され、蒸気空間Ａ１内に保持される。被洗浄物１００は、例えば光学素子であり、純水や水溶性溶剤で洗浄されたものでも、洗浄液等で洗浄された後に純水や水溶性溶剤でリンスされたものでもいずれでも構わない。
【００２１】
被洗浄物１００が蒸気空間Ａ１内に保持されることにより、被洗浄物１００表面の水分が溶剤１１０に置換されて除去され、被洗浄物１００の蒸気乾燥が行われる。蒸気乾燥終了後、エレベータ１０２により搬送治具１０１および被洗浄物１００が蒸気槽１０の外部に搬出されて次工程に送られるとともに、次の搬送治具および被洗浄物が、エレベータ１０２により蒸気槽１０内に搬送される。このようにして、被洗浄物１００の蒸気乾燥が連続的に行われる。
【００２２】
被洗浄物１００および搬送治具１０１が順次蒸気槽１０内に搬送されることにより、水を主とした不純物が蒸気槽１０内に持ち込まれ、溶剤１１０に混ざりつつ徐々に増加していく。水の沸点は、溶剤１１０として用いられる一般的な溶剤よりも高いが、共沸により水も沸騰して溶剤蒸気とともに蒸気空間Ａ１に移動する。不純物の量が所定の値以上となると、被洗浄物１００表面の水分が溶剤１１０によって充分置換されなくなる結果、被洗浄物１００の表面に乾燥じみが生じる等の乾燥不良が発生する。
【００２３】
これを防ぐために、本実施形態の蒸気乾燥装置１では、制御部５０が適切なタイミングで諸機構を動作させて蒸気槽１０内の溶剤１１０の交換、補充を行う。以下、溶剤がイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）である場合を例にとり、制御部５０および制御部５０に接続された各機構の動作について詳細に説明する。
【００２４】
図３は、蒸気乾燥装置１の動作のうち、溶剤１１０の交換の要否判定および実行に関する部分を示すフローチャートである。
蒸気乾燥装置１による連続乾燥中、ステップＳ１において、蒸気槽１０に取り付けられた第１温度計１４は、溶剤１１０の温度を測定する。連続乾燥中、溶剤１１０は、加熱部１１により沸騰させられているため、第１温度計１４は、溶剤１１０の沸点を測定していることになる（沸点測定工程）。
【００２５】
ＩＰＡ本来の沸点は８２．４℃であるが、第１温度計１４で測定される溶剤１１０の沸点は、溶剤１１０に水を主とする不純物が混入するに連れて徐々に低下していき、溶剤１１０におけるＩＰＡの濃度が８７．６％になったときに最も低い８０．１℃となる（極小共沸点）。ＩＰＡの濃度がさらに低下すると、溶剤１１０の沸点は上昇に転じ、極小共沸点より高くなる。
【００２６】
ステップＳ２では、第１温度計１４の測定値がＩＰＡ本来の沸点未満でＩＰＡと水との極小共沸点以上の所定の温度（例えば８０．５℃）であるか否かを制御部５０が判定する。当該判定がＮｏの場合、処理はステップＳ１に戻り、次回の測定タイミングで再度第１温度計１４による測定が行われる。当該判定がＹｅｓの場合、処理はステップＳ３に進む。ステップＳ３において、制御部５０は、溶剤排出部４０の開閉弁４３を開き、ポンプ４２を作動させて蒸気槽１０内の溶剤１１０の一部を廃棄する。溶剤１１０の液面の高さが下がり、下液面センサ１３で検出されると、ポンプ４２が停止され、開閉弁４３が閉じられてステップＳ３が終了する。
続くステップＳ４において、制御部５０は溶剤供給部３０の開閉弁３４を開き、ポンプ３３を作動させて、貯留槽３１から配管３２を通じて蒸気槽１０内に溶剤１１０Ａ（新しいＩＰＡ）を供給する。貯留槽３１内の溶剤１１０Ａは、第２温度計３６の温度を監視しつつ加熱機構３５で加熱することにより、沸点近くの温度まで加熱しておくことが好ましい。溶剤１１０の液面の高さが上昇し、上液面センサ１２で検出されると、ポンプ３３が停止され、開閉弁３４が閉じられてステップＳ４が終了する。
このように、ステップＳ３およびＳ４により蒸気槽１０内の溶剤１１０の交換が行われる（溶剤交換工程）。溶剤１１０の一部が廃棄され、溶剤１１０Ａが供給されることにより、蒸気槽１０内の溶剤１１０における不純物の比率が低下し、乾燥不良の発生が好適に抑制される。
【００２７】
本実施形態の蒸気乾燥装置１および本発明の蒸気乾燥方法によれば、蒸気槽１０内の溶剤１１０に水を主とした不純物が混入し、沸点が溶剤本来の沸点から水に対する極小共沸点まで低下する前に、沸点測定工程において第１温度計１４の測定した溶剤１１０の沸点に基づき、制御部５０が溶剤排出部４０から溶剤１１０の一部を廃棄させ、溶剤供給部３０から新しい溶剤１１０Ａを蒸気槽１０内に供給する。
このようにして溶剤交換工程が実行されることにより、溶剤１１０における不純物の比率が常に一定の範囲内に抑えられ、不純物の増加による乾燥不良の発生が好適に抑制される。その結果、連続運転時においても、乾燥不良の発生を好適に防いで効率よく被洗浄物の蒸気乾燥を行うことができる。
【００２８】
また、溶剤供給部３０において、貯留槽３１内の溶剤１１０Ａが加熱機構３５により沸点近くの温度まで加熱されてから蒸気槽１０内に供給されるため、溶剤１１０Ａが供給されたときに溶剤１１０の温度が過度に低下することが抑制され、連続運転の効率を損なうことがない。
【００２９】
本実施形態において、制御部５０が溶剤交換工程を実行するタイミングを規定する第１温度計１４の測定値の閾値は、溶剤１１０における不純物の含有率と対象となる被洗浄物の乾燥不良の発生度合いとの関係を検討した上で、使用される溶剤の水との極小共沸点以上であって、当該溶剤本来の沸点未満の範囲で適宜設定されてよい。また、蒸気槽１０内の溶剤１１０の量や溶剤交換工程における溶剤１１０の廃棄量についても適宜設定されてよい。
【００３０】
本発明においては、溶剤と水との極小共沸点を利用して溶剤交換のタイミングを好適化するため、使用する溶剤は、水に対して極小共沸点を有する化合物であればよい。したがって、本発明の蒸気乾燥装置および蒸気乾燥方法においては、上述のＩＰＡに限らず、例えば他のアルコール類やハイドロフルオロエーテル類等が溶剤として使用されてもよい。
【００３１】
次に、本発明の第２実施形態について、図４および図５を参照して説明する。本実施形態の蒸気乾燥装置６１と上述の第１実施形態の蒸気乾燥装置１との異なるところは、気圧測定部をさらに備える点である。なお、以降の説明において、既出の各実施形態と共通する構成については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００３２】
図４は、蒸気乾燥装置６１の構成を示す模式図である。蒸気槽１０の内壁には、気圧計（気圧測定部）６２が取り付けられている。気圧計６２は、制御部５０と接続されており、気圧計６２の測定値は制御部５０に送られる。図４では、気圧計６２は蒸気槽１０に取り付けられているが、気圧計６２は、蒸気乾燥装置６１が設置された場所の雰囲気の気圧（雰囲気圧）を測定できればその設置箇所に制限はなく、蒸気槽１０の外面に取り付けられてもよいし、蒸気槽１０と離間して設置されてもよい。
【００３３】
上記のように構成された蒸気乾燥装置６１の使用時の動作について説明する。図５は、蒸気乾燥装置６１における溶剤１１０の交換の要否判定および実行に関する部分を示すフローチャートである。
蒸気乾燥装置６１では、ステップＳ１の前に、ステップＳ１１において、気圧計６２が蒸気槽１０周囲の雰囲気圧を測定する（気圧測定工程）。使用される溶剤本来の沸点や、水との極小共沸点の値は、蒸気乾燥装置６１が設置された場所の標高や天候による雰囲気圧の変化の影響を受けて変化するため、続くステップＳ１２では、気圧計６２の測定値に基づき、ステップＳ２の判定に用いる溶剤本来の沸点、水との極小共沸点、および所定の温度を制御部５０が修正する。修正は所定の演算により行ってもよいし、雰囲気圧と溶剤本来の沸点および水との極小共沸点との対応関係をテーブル等の形で保存しておき、これを参照させることにより行ってもよい。
【００３４】
ステップＳ２における判定がＮｏの場合、処理はステップＳ１１に戻り、次回の測定タイミングで再度雰囲気圧の測定および溶剤本来の沸点等の修正が行われる。その他の内容は図３で説明したのと同様である。
【００３５】
本実施形態の蒸気乾燥装置６１によれば、雰囲気圧を測定する気圧計６２を備えているため、雰囲気圧の変化に伴う溶剤本来の沸点や水との極小共沸点等の値の変化を適切に反映させて判定を行い、溶剤の交換タイミングを適切に修正することができる。したがって、蒸気乾燥装置６１周囲の環境が変化しても、乾燥不良の発生を抑制して好適に連続運転を行うことができる。
【００３６】
本実施形態においては、ステップＳ２の判定がＮｏの場合、処理がステップＳ１１に戻る例を説明したが、雰囲気圧はそれほど急激に変化しないため、ステップＳ１１およびＳ１２の処理は、蒸気乾燥装置６１の起動時にのみ行い、その後のステップＳ２の判定がＮｏの場合は、第１実施形態同様、処理がステップＳ１に戻るようにされてもよい。
【００３７】
次に、本発明の第３実施形態について、図６を参照して説明する。本実施形態の蒸気乾燥装置７１と第１実施形態の蒸気乾燥装置１との異なるところは、溶剤供給部の構造および下液面センサを備えない点である。
【００３８】
図６は、蒸気乾燥装置７１の構成を示す模式図である。図６に示すように、蒸気乾燥装置７１の溶剤供給部３０Ａは、加熱機構３５が、貯留槽３１でなく配管３２に取り付けられている点で蒸気乾燥装置１の溶剤供給部３０と異なっている。また、第２温度計３６は、配管３２と蒸気槽１０との連通部位付近に設置されている。
蒸気槽１０には、下液面センサ１３は取り付けられていないが、溶剤排出部４０の配管４１には、図示しない流量センサ等が取り付けられており、溶剤排出部４０から排出された溶剤の量が検知可能になっている。
【００３９】
上記のように構成された蒸気乾燥装置７１では、ステップＳ３において溶剤排出部４０から溶剤が排出される際に、上述した流量センサ等の値に基づいて、所定量（例えば、上液面センサ１２の高さまで溶剤１１０が存在した場合の２／３の量）の溶剤が排出される。所定量の溶剤が蒸気槽１０から廃棄されたところで、制御部５０は、開閉弁４３を閉じる。
【００４０】
続くステップＳ４において、制御部５０は、溶剤供給部３０Ａの開閉弁３４を開き、ポンプ３３を作動させる。貯留槽３１から流れ出した溶剤１１０Ａは、配管３２を通る間に加熱機構３５により沸点付近の所定の温度（例えば蒸気槽１０の液温度）まで加熱され、蒸気槽１０に供給される。溶剤１１０Ａが所定の温度に加熱されているかどうかは、第２温度計３６の値により確認される。供給される溶剤１１０Ａの温度が低くなりすぎないように、第２温度計３６の値が所定の温度より一定値以上低い等の場合に、ポンプ３３の動作を調節して流量を低下させるように制御部５０を構成してもよい。蒸気槽１０内の溶剤１１０が上液面センサ１２の高さに達したところで開閉弁３４が閉じられてポンプ３３の動作が停止され、ステップＳ４が終了する。
【００４１】
本実施形態の蒸気乾燥装置７１では、蒸気槽１０が下液面センサ１３を備えず、溶剤排出部４０から一定量の溶剤１１０を排出することにより溶剤１１０の一部を廃棄するため、溶剤１１０の一部廃棄が終了してから溶剤１１０Ａを供給する必要がない。したがって、溶剤交換工程を実行する際に、溶剤の一部廃棄と新しい溶剤の供給とを同時に行うことができ、溶剤交換工程の所要時間を短縮することができる。
なお、溶剤の一部廃棄と新しい溶剤の供給とを同時に行う場合は、供給された新しい溶剤がそのまま溶剤排出部から排出されることを抑制するため、配管３２が蒸気槽１０に連通する位置を、配管４１が蒸気槽１０に連通する位置よりも高く設定するなどして、両者の連通位置に段差を設けることが好ましい。
【００４２】
また、溶剤供給部３０Ａにおいて、加熱機構３５が配管３２に取り付けられているので、溶剤１１０Ａの供給時に蒸気槽１０と連通して開放される空間において溶剤１１０Ａが加熱される。したがって、加熱による溶剤１１０Ａの膨張等を考慮する必要がなく、より安全に溶剤１１０Ａの加熱を行うことができる。
【００４３】
本実施形態の蒸気乾燥装置７１では、溶剤供給部の配管で充分に新しい溶剤の加熱が行えるよう、配管をらせん状に形成したり、蛇行させたりして加熱に必要な距離を稼ぎつつ、配管をコンパクトに形成してもよい。
また、溶剤排出部４０のみが流量センサ等により溶剤の流量を検知可能とされた例を説明したが、溶剤供給部３０Ａも同様の方法により流量検知可能に構成されてもよい。両方が流量検知可能であれば、溶剤の一部廃棄と新しい溶剤の供給とを同時に行うことができる上、新しい溶剤供給時における上液面センサ１２に基づいた制御が必要なくなる。
【００４４】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００４５】
例えば、上述の各実施形態においては、溶剤の沸点を測定する第１温度計が蒸気槽の１箇所に設置された例を説明したが、これに代えて、第１温度計を蒸気槽に複数設置（例えば溶剤１１０の内部と蒸気空間Ａ１内）し、その平均値等を用いて溶剤交換工程の制御を行ってもよい。
【００４６】
また、第１温度計が、蒸気槽と接続されて蒸気槽内の溶剤の一部が貯留されるサンプル槽に設置され、当該サンプル槽の溶剤の沸点を測定するように蒸気乾燥装置が構成されてもよい。このようにすると、被洗浄物の入れ替えに伴う搬送治具１０１やエレベータ１０２等の出入りによって第１温度計の測定値が変化することを好適に抑制することができる。
【００４７】
さらに、溶剤排出部の配管は、図７に示す変形例のように、蒸気槽１０の底面に開口するように接続されてもよい。このようにすると、底部に沈殿したゴミ等を、溶剤１１０の一部廃棄とともに、効率よく蒸気槽１０の外に排出することができる。
【００４８】
また、本発明の蒸気乾燥方法は、本発明の蒸気乾燥装置によってのみ行われるものではない。すなわち、従来の蒸気乾燥装置を使用した蒸気乾燥において、作業者が上述の沸点測定工程、溶剤交換工程、および気圧測定工程を行うことにより本発明の蒸気乾燥方法を実施することも可能である。
【００４９】
また、上述の各実施形態および変形例に示した構成は適宜組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１、６１、７１  蒸気乾燥装置
１０  蒸気槽
１４  第１温度計（温度測定部）
３０、３０Ａ  溶剤供給部
３１  貯留槽
３２  配管
３５  加熱機構
４０  溶剤排出部
５０  制御部
６２  気圧計（気圧測定部）
１００  被洗浄物
１１０  溶剤
１１０Ａ  溶剤
【図１】
2012067975.tif 000003
【図２】
2012067975.tif 000004
【図３】
2012067975.tif 000005
【図４】
2012067975.tif 000006
【図５】
2012067975.tif 000007
【図６】
2012067975.tif 000008
【図７】
2012067975.tif 000009