(57)【要約】【課題】流路ユニットに対する圧電振動子の位置決め精度を高めることができ、液体噴射特性のばらつきを抑えることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】流路ユニット３９に補強部材４１を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、振動子ユニット４６の位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、振動子ユニット及び流路ユニットの相対位置を認識する位置認識工程と、撮影手段で撮影された振動子ユニットの位置決め基準の位置と流路ユニットの位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する第１位置調整工程と、補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通させる第２位置調整工程と、流路ユニットの圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定部材を補強部材に固定する振動子ユニット固定工程と、を含むように構成する。【選択図】図１１
2012152966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、
該流路ユニットのノズル形成面とは反対側の面に接合され、少なくとも前記圧力室と対向する部分が貫通した挿通口を有する補強部材と、
該補強部材の前記流路ユニットとは反対側の面の一部に一端面が固定される固定部材、および、該固定部材から先端部を突出させた状態で基端部が該固定部材に支持されると共に前記流路ユニットの前記圧力室に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子を有する振動子ユニットと、
を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路ユニットに前記補強部材を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、
振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、前記振動子ユニット及び前記流路ユニットの相対位置を認識する位置認識工程と、
前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、前記撮影手段で撮影された振動子ユニットの位置決め基準の位置と流路ユニットの位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する第１位置調整工程と、
前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を前記ノズル形成面に垂直な方向に移動させ、前記補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通させる第２位置調整工程と、
該第１位置調整工程および第２位置調整工程で前記振動子ユニットと前記流路ユニットとを位置決めした状態で、前記流路ユニットの前記圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に前記固定部材を前記補強部材に固定する振動子ユニット固定工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１位置調整工程では、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とが前記ノズル形成面に平行な面内において重なるように当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記流路ユニットは、前記ノズル形成面とは反対側の面において前記圧力室を封止する膜材と、該膜材を挟んで前記圧力室の一部と対向する島部を備え、
前記振動子ユニット固定工程では、前記圧電振動子の先端部を当該島部に固定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記流路ユニットの位置決め基準として、複数の前記島部のうち少なくとも２つを用いたことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記流路ユニットの位置決め基準として、前記流路ユニットに設けられた少なくとも２つ以上のアライメントマークを用いたことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記振動子ユニットの位置決め基準として、複数の前記圧電振動子のうち少なくとも２つを用いたことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として噴射させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレイなどのカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。
【０００３】
例えば、上記の記録ヘッドでは、リザーバーから圧力室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力室の容積を変動可能な圧電振動子を有する振動子ユニットなどを樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成されているものがある。このような記録ヘッドを製造するには、まず流路ユニットとヘッドケースを接合し、この状態で振動子ユニットをヘッドケース内に挿入して圧電振動子の先端部を流路ユニットの所定位置に固定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２９３９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年の記録ヘッドの小型化にともない、流路ユニットに対する圧電振動子の位置決め精度の向上が求められている。上記のような記録ヘッドの製造方法では、圧電振動子側に位置決め部を設け、この位置決め部をヘッドケース（ハウジング）や圧力室壁に度当てることでノズル形成面に対して振動子先端の位置決めをしているが、その位置決め精度については、位置決め部や当該位置決め部が当接する部分の形状・寸法精度に依存する。このため、場合によっては圧力室に対する圧電振動子先端部の位置が大きくずれる虞があった。これにより、記録ヘッドの液体噴射特性（ノズルから噴射される液体の量や、ノズルから噴射された液体の飛翔速度）が設計上目標とする値からずれる虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路ユニットに対する圧電振動子の位置決め精度を高めることができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル形成面に開口した複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を有する流路ユニットと、
該流路ユニットのノズル形成面とは反対側の面に接合され、少なくとも前記圧力室と対向する部分が貫通した挿通口を有する補強部材と、
該補強部材の前記流路ユニットとは反対側の面の一部に一端面が固定される固定部材、および、該固定部材から先端部を突出させた状態で基端部が該固定部材に支持されると共に前記流路ユニットの前記圧力室に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子を有する振動子ユニットと、
を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路ユニットに前記補強部材を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、
振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、前記振動子ユニット及び前記流路ユニットの相対位置を認識する位置認識工程と、
前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、前記撮影手段で撮影された振動子ユニットの位置決め基準の位置と流路ユニットの位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する第１位置調整工程と、
前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を前記ノズル形成面に垂直な方向に移動させ、前記補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通させる第２位置調整工程と、
該第１位置調整工程および第２位置調整工程で前記振動子ユニットと前記流路ユニットとを位置決めした状態で、前記流路ユニットの前記圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に前記固定部材を前記補強部材に固定する振動子ユニット固定工程と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
この方法によれば、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とをそれぞれ撮影手段により撮影し、振動子ユニット及び流路ユニットの相対位置を認識するので、両ユニットの相対的な位置の調整を正確に行うことができる。その結果、振動子ユニットの圧電振動子の流路ユニットに対する位置決め精度を高めることができ、ひいては液体噴射特性のばらつきを抑えることができる。また、補強部材の挿通口に各圧電振動子の先端部を挿通して流路ユニットの圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定部材を補強部材の一部に固定するので、他の部材、特にヘッドケースの製造誤差等により生じる応力等の影響を受け難くすることができる。即ち、振動子ユニットがヘッドケースに接合されないので、ヘッドケースと振動子ユニットとの間に隙間を設けることができ、これにより、ヘッドケースの製造誤差等の影響が振動子ユニットに及ぶことを抑制できる。
【０００９】
上記方法において、前記第１位置調整工程では、前記振動子ユニット又は前記流路ユニットの少なくとも一方を動かして、振動子ユニットの位置決め基準と流路ユニットの位置決め基準とが前記ノズル形成面に平行な面内において重なるように当該振動子ユニットと流路ユニットの相対的な位置を調整する構成を採用することが望ましい。
【００１０】
上記各方法において、前記流路ユニットは、前記ノズル形成面とは反対側の面において前記圧力室を封止する膜材と、該膜材を挟んで前記圧力室の一部と対向する島部を備え、
前記振動子ユニット固定工程では、前記圧電振動子の先端部を当該島部に固定する構成を採用することが望ましい。
【００１１】
また、上記方法において、前記流路ユニットの位置決め基準として、複数の前記島部のうち少なくとも２つを用いた構成を採用することが望ましい。
この方法によれば、圧電振動子が接続される島部を直接撮影することで、振動子ユニットに対する流路ユニットの位置決めをより正確に行うことができる。
【００１２】
さらに、前記流路ユニットの位置決め基準として、前記流路ユニットに設けられた少なくとも２つ以上のアライメントマークを用いた構成を採用することが望ましい。
この方法によれば、撮影手段が認識し易い任意の位置にアライメントマークを設けることができ、位置認識がし易くなる。
【００１３】
また、上記各方法において、前記振動子ユニットの位置決め基準として、複数の前記圧電振動子のうち少なくとも２つを用いた構成を採用することが望ましい。
この方法によれば、圧電振動子を直接撮影することで、流路ユニットに対する振動子ユニットの位置決めを一層正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】記録ヘッドユニットの分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドユニットの平面図である。
【図４】（ａ）記録ヘッドユニットの正面図、（ｂ）記録ヘッドユニットの底面図、（ｃ）記録ヘッドユニットの側面図である。
【図５】図３におけるＡ−Ａ線の断面図である。
【図６】図４におけるＢ−Ｂ線の断面図である。
【図７】図４におけるＣ−Ｃ線の断面図である。
【図８】図５における領域Ｄの拡大図である。
【図９】図７における領域Ｅの拡大図である。
【図１０】記録ヘッドの構成をより簡略化して要部を拡大した断面図である。
【図１１】記録ヘッドの製造方法を説明する図であり、（ａ）正面図、（ｂ）Ｆ−Ｆ線から見た図、（ｃ）Ｇ−Ｇ線から見た図である。
【図１２】流路ユニットを固定した補強部材に振動子ユニットを装着した状態図であり、（ａ）平面図、（ｂ）Ｈ−Ｈ線の断面図である。
【図１３】流路ユニットおよび振動子ユニットを固定した補強部材にヘッドケースを装着した状態図であり、（ａ）平面図、（ｂ）Ｉ−Ｉ線の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体噴射装置として、図１に示すインクジェット式記録装置１（以下、単にプリンターという）を例示する。
【００１６】
プリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドユニット２（以下、単に記録ヘッドユニットという）が取り付けられると共に、記録ヘッドユニット２とインクカートリッジ３とから構成されるキャリッジ４と、記録ヘッドユニット２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（ノズル３７から噴射された液体が着弾する着弾対象の一種）の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構７と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向（記録ヘッドユニット２の往復移動方向）であり、紙送り方向とは、副走査方向（即ち、記録ヘッドユニット２の走査方向に直交する方向）である。
【００１７】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１０によって検出され、検出信号が位置情報として制御部（図示せず）に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー１０からの位置情報に基づいてキャリッジ４（記録ヘッドユニット２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッドユニット２による記録動作（噴射動作）等を制御することができる。
【００１８】
次に記録ヘッドユニット２について説明する。図２は、記録ヘッドユニット２の分解斜視図、図３は、記録ヘッドユニット２の平面図、図４（ａ）は、記録ヘッドユニット２の正面図、図４（ｂ）は、記録ヘッドユニット２の底面図、図４（ｃ）は、記録ヘッドユニット２の側面図である。また、図５は、図３におけるＡ−Ａ線の断面図、図６は、図４におけるＢ−Ｂ線の断面図、図７は、図４におけるＣ−Ｃ線の断面図である。本実施形態の記録ヘッドユニット２は、キャリッジ４の下側（記録動作時の記録紙６側）の部分を構成しており、上部にはインク（液体の一種）を貯留したインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられている。また、記録ヘッドユニット２は、図２に示すように、インクカートリッジ３が取り付けられる架台１２と、架台１２の下部に備えられた回路基板１３と、回路基板１３を挟んで架台１２の下方（インクカートリッジ３とは反対側）に取り付けられる記録ヘッド１４と、記録ヘッド１４を保護するヘッドカバー１５とを備えている。
【００１９】
架台１２は、記録ヘッドユニット２の上部を構成する部材である。本実施形態の架台１２は、インクカートリッジ３からインクを導入するインク導入部材１７と、インク導入部材１７の下部に装着される環状のシール部材１８と、シール部材１８の内側に配置される接続流路部材１９と、接続流路部材１９の下部に装着される複数のフィルター２０と、これらのフィルター２０を挟んで接続流路部材１９の下方に取り付けられる上流基礎部材２１と、から構成されている。
【００２０】
インク導入部材１７は、上面に複数のインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるインクカートリッジ装着部２２を備えている。このインクカートリッジ装着部２２の底部上面には、装着される各インクカートリッジ３に対応して複数のインク導入針２３が形成されている。本実施形態では、４色のインク（例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインク）に対応して、４本のインク導入針２３が列設されている（図２等参照）。インク導入針２３の内部には流路が形成されており、当該流路はインク導入流路２４の一部として機能する（図５等参照）。そして、インク導入針２３がインクカートリッジ３に挿入されることで、インク導入流路２４とインクカートリッジ３内部とが連通する。これにより、記録ヘッドユニット２内にインクを導入することができる。また、インク導入流路２４の下端部は、インク導入部材１７の下側に接合される接続流路部材１９に形成された中間流路２７（後述）に連通可能に形成されている。
【００２１】
シール部材１８は、内面が接続流路部材１９の外周に沿うように環状に形成された、樹脂等から成る弾性部材である。このシール部材１８は、インク導入部材１７と上流基礎部材２１の間に挟まれ、同様にインク導入部材１７と上流基礎部材２１の間に挟まれる接続流路部材１９の周囲を密封する。
【００２２】
接続流路部材１９は、４本のインク導入針２３にそれぞれ対応して形成された中間流路２７を４つ有する平板状の部材である。この中間流路２７は、一端がインク導入部材１７のインク導入流路２４に連通し、他端が上流基礎部材２１のインク供給路２９（後述）にそれぞれフィルター２０を介して連通している。ここで、フィルター２０は、接続流路部材１９の中間流路２７と上流基礎部材２１のインク供給路２９の間に装着され、流路内のインクに混入した気泡や異物をインクと共にインク供給路２９に供給されないようにするための部材であり、４本の流路に対応して４つ備えられている。なお、フィルター２０は、通過するインクの流路抵抗を減らすためにインク導入流路２４や記録ヘッド１４内の流路に比べて大きめに形成されており、これに合わせて中間流路２７の下端部をフィルター２０に向けて拡径させ、下側の開口径をフィルター２０と略同じ大きさに揃えている。
【００２３】
上流基礎部材２１は、架台１２の下端部分を構成する部材であり、下面には、回路基板１３を挟んで記録ヘッド１４が接合されている。また、この上流基礎部材２１の上面には、接続流路部材装着部２８が形成されており、接続流路部材１９が装着される。また、接続流路部材装着部２８の中央には、インク供給路２９が板厚方向に貫通して形成されている。このインク供給路２９は、上側でフィルター２０を介して接続流路部材１９の中間流路２７と連通し、下側で記録ヘッド１４のヘッドケース４８に形成されたケース流路７０（後述）と連通する。なお、インク供給路２９における上側（フィルター側）の開口径は、フィルター２０と略同じ大きさに揃えられており、下側（フィルターとは反対側）に向けて縮径している。また、インク供給路２９の下端は、上流基礎部材２１の下面より下側（記録ヘッド１４側）に延出しており、後述する回路基板１３の流路挿通孔３４に挿通されている。これにより、インク供給路２９の下端は、回路基板１３を挟んでケース流路７０と液密に接合することができる。そして、上流基礎部材２１が、間にシール部材１８、接続流路部材１９およびフィルター２０を挟んでインク導入部材１７と接合されることで、架台１２を形成している。このとき、インク導入流路２４、中間流路２７およびインク供給路２９がそれぞれ連通し、一連の上流側インク流路が形成される。この上流側インク流路によってインクカートリッジ３内のインクが記録ヘッド１４に送られることになる。
【００２４】
回路基板１３は、表面にＩＣ、抵抗等の電装部品が実装されると共に一側の端部にコネクター３２が形成されており、上記した架台１２と記録ヘッド１４の間に装着されている。この回路基板１３は、後述する記録ヘッド１４の振動子ユニット４６を構成するフレキシブルケーブル３３が接合されている。また、コネクター３２には、一端をプリンター１の制御部に接続した信号ケーブル（図示せず）の他端が接続される。そのため、信号ケーブルを通じてプリンター１の制御部から送られてくる駆動信号等を、回路基板１３およびフレキシブルケーブル３３を介して振動子ユニット４６に供給することができる。これにより、記録ヘッド１４のインクの噴射動作を制御している。また、インク供給路２９に対応する箇所には、板厚方向に貫通した流路挿通孔３４が形成されている。この流路挿通孔３４にインク供給路２９の下端を挿通して、回路基板１３より下方でインク供給路２９とヘッドケース４８のケース流路７０（図１０参照）を接続している。
【００２５】
次に記録ヘッド１４の構成について詳しく説明する。図８〜図１０は記録ヘッド１４の断面図であり、図８は、図５における領域Ｄの拡大図、図９は、図７における領域Ｅの拡大図、図１０は、記録ヘッド１４の構成をより簡略化して要部を拡大した断面図である。本実施形態における記録ヘッド１４は、ノズル形成面３６に開口した複数のノズル３７にそれぞれ連通する複数の圧力発生室３８（本発明の圧力室に相当）を有する流路ユニット３９と、この流路ユニット３９のノズル形成面３６とは反対側の面に接合され、少なくとも圧力発生室３８と対向する部分が板厚方向に貫通した挿通口４０を有する補強部材４１と、この補強部材４１の流路ユニット３９とは反対側の面における挿通口４０の縁部に一端面が固定される固定板４２（本発明の固定部材に相当）、および、固定板４２から先端部を突出させた状態で基端部がこの固定板４２に支持されると共に流路ユニット３９の圧力発生室３８に対向する部分に先端部が固定される複数の圧電振動子４４（圧電振動子群４５）を有する振動子ユニット４６と、この振動子ユニット４６の一部を内部に収容する収容空部４７を有するヘッドケース４８と、を備えている。
【００２６】
まず、流路ユニット３９について説明する。流路ユニット３９は、ノズルプレート４９、流路形成基板５０、及び振動板５１から構成され、ノズルプレート４９を流路形成基板５０の一方の表面に、振動板５１をノズルプレート４９とは反対側となる流路形成基板５０の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで形成される。
【００２７】
ノズルプレート４９は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル３７を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、例えば、１８０個のノズル３７を列状に開設し、これらのノズル３７によってノズル列を構成している。したがって、ノズルプレート４９の下面（流路形成基板５０とは反対側の面）が本発明のノズル形成面３６となる。また、本実施形態のノズルプレート４９は、ノズル列を左右対称に２列、主走査方向に横並びに設けている。
【００２８】
流路形成基板５０は、リザーバー５２、インク供給口５３、及び圧力発生室３８からなる一連のインク流路を形成する板状部材である。本実施形態の流路形成基板５０は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力発生室３８は、ノズル３７の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室であり、隔壁で区画された状態で各ノズル３７に対応して複数列状に形成されている。そして、この圧力発生室３８の列が、流路形成基板５０においてノズル列に直交する方向（記録動作時の主走査方向）に並べて２列形成されている。インク供給口５３は、圧力発生室３８とリザーバー５２との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー５２は、複数の圧力発生室３８に共通なインクが導入される空部である。このリザーバー５２の一部は、中央（ノズル３７の列設方向と直交する方向において２列のノズル列の間）に向けて延在しており、振動板５１の中央部に開設された後述するインク導入口と連通している。このため、リザーバー５２は、振動板５１のインク導入口、補強部材４１の貫通流路６１、ヘッドケース４８のケース流路７０、および、上記した架台１２の上流側インク流路を介してインクカートリッジ３と連通すると共に、インク供給口５３を介して対応する各圧力発生室３８に連通する。その結果、リザーバー５２はインクカートリッジ３に貯留されたインクを各圧力発生室３８に供給することができる。なお、本実施形態では、４色のインクカートリッジ３に対応して、２列のリザーバー５２のうちの一方のリザーバー５２を隔壁で区画して３つに分割することで、合計４つのリザーバー５２を形成し、分割していないリザーバー５２を使用頻度の高い色（例えば、ブラックインク）に割り当てている。
【００２９】
振動板５１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板５４上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム５５（本発明における膜材に相当）をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、補強部材４１の貫通流路６１（後述）と対応するリザーバー５２とを繋げるインク導入口を上下方向に貫通させている。本実施形態では、４つのリザーバー５２に対応して４つのインク導入口を中央（ノズル３７の列設方向と直交する方向において２列のノズル列の間）に列設させている。また、振動板５１は、圧力発生室３８の一方の開口面（ノズルプレート４９とは反対側の面）を封止して、この圧力発生室３８の容積を変動させるためのダイヤフラム部５８を形成すると共に、リザーバー５２の一方の開口面（ノズルプレート４９とは反対側の面）を封止するコンプライアンス部５９を形成している。詳しくは、ダイヤフラム部５８は、圧力発生室３８に対応した部分の支持板５４にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子４４の自由端部の先端を接合するための島部６０を複数形成することで構成されている。この島部６０は、圧力発生室３８の平面形状と同様に、ノズル３７の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部６０の周りの樹脂フィルム５５が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部５９として機能する部分、すなわちリザーバー５２に対応する部分は、このリザーバー５２の開口形状に倣って支持板５４がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム５５のみとなっている。
【００３０】
次に補強部材４１について説明する。補強部材４１は、流路ユニット３９の振動板５１に接合されるヘッドケース４８よりも剛性が高い板状の部材である。例えば、樹脂製のヘッドケース４８の線膨張率は、流路ユニット３９を構成する基板の線膨張率と比較して大きいため、温度や湿度が変化したときの変形量も大きくなる。このようなヘッドケース４８の変形が、流路ユニット３９や振動子ユニット４６に悪影響を及ぼさないように、ヘッドケース４８と流路ユニット３９との間に補強部材４１を介在させて補強している。このため、補強部材４１は流路ユニット３９よりも剛性が高いことが望ましく、本実施形態では、流路ユニット３９よりも厚みのあるステンレス鋼板で形成されている。また、補強部材４１は複数並べた圧力発生室３８（又はダイヤフラム部５８）と対向する箇所に、板厚方向に貫通した挿通口４０を、各圧力発生室３８の列に対応して２列開口している。この挿通口４０には、後述する振動子ユニット４６の圧電振動子群４５の先端部が挿通されており、挿通口４０のヘッドケース４８側の開口縁部には、振動子ユニット４６の固定板４２の端面（圧電振動子４４の自由端部が突出している側の端面）が接合されている。さらに、補強部材４１の流路ユニット３９とは反対側の面には、ヘッドケース４８が、後述する収容空部４７と挿通口４０が連通する状態で接合されている。そして、補強部材４１の２列の挿通口４０の間には、一端がヘッドケース４８のケース流路７０と連通し、他端が振動板５１のインク導入口と連通する貫通流路６１が、合計４つ並べて形成されている（図１１（Ｃ）等参照）。この貫通流路６１によって、ヘッドケース４８側からのインクを、インク導入口を介してリザーバー５２に供給することができる。なお、列設した各貫通流路６１を結んだ仮想直線上における補強部材４１の両端部には、基準穴６３が開口している（図１１（Ｃ）等参照）。この基準穴６３は、流路ユニット３９側に形成された基準穴（図示せず）と位置が揃えられている。これらの基準穴にヘッドケース４８の位置決め突起部７５（後述）を挿通することで、流路ユニット３９、補強部材４１、及びヘッドケース４８の相対位置が規定される。
【００３１】
また、補強部材４１の流路ユニット３９と対向する部分の一部には、図１０に示すように、当該流路ユニット３９とは反対側に窪ませて成る凹室６５が形成されている。本実施形態では、凹室６５は複数のコンプライアンス部５９に亘って一連に形成されている。そして、補強部材４１には、この凹室６５に一端が連通する補強部材側大気開放通路６６が、板厚方向に貫通した状態で形成されている。本実施形態の補強部材側大気開放通路６６は、列設した各貫通流路６１を結んだ仮想直線上に１つ形成されている。そして、この補強部材側大気開放通路６６の他端は、ヘッドケース４８に形成されたケース側大気開放通路７１（後述）に連通して一連の大気開放通路６７を形成している。大気開放通路６７は、補強部材４１と流路ユニット３９を接合することによって凹室６５が密閉されることを防ぐために設けられた空気の逃げ道であり、上端部が架台１２とヘッドケース４８の隙間に開放されることで、該隙間を介して大気と連通する。
【００３２】
そして、ヘッドケース４８は、例えば、エポキシ系樹脂などの樹脂により作製され、中空箱体状のケース本体４８ａと、該ケース本体４８ａの上端において当該ケース本体４８ａから側方に延出した板状部４８ｂとから構成されている。このケース本体４８ａの下面（架台１２とは反対側の面）には、補強部材４１が接着固定されている。また、ケース本体４８ａの内部には、補強部材４１の挿通口４０と連通される収容空部４７が形成され、この収容空部４７内に振動子ユニット４６の一部が収容されている。本実施形態では、２列の挿通口４０に対応して収容空部４７が２列形成されており、各収容空部４７は、固定板４２、圧電振動子群４５の上部、および、フレキシブルケーブル３３の下部を収容している。また、収容空部４７は、内壁が振動子ユニット４６に当接しないように、平面視における振動子ユニット４６の面積或いは挿通口４０の開口面積よりも十分に大きい開口面積で開口している。特に、固定板４２が収容空部４７の内壁に接合しないように、固定板４２と対向する側の内壁は、挿通口４０の縁に対応する位置から固定板４２とは反対側に向けて後退した位置に形成されている。これにより、図１０に示すように、固定板４２の背面（圧電振動子群４５が接合されている面とは反対側の面）と収容空部４７の内壁との間には、間隙Ｓが設けられている。また、ヘッドケース４８と補強部材４１とを接合した状態で、挿通口４０の内壁と収容空部４７の内壁との間には段差が生じ、これにより、挿通口４０の縁部には、後述する固定板４２の端面が接合される面が形成されている。さらに、２列の収容空部４７の間には、ヘッドケース４８の高さ方向に貫通したケース流路７０が４本並べて形成されている。このケース流路７０は、上端が架台１２の上流側インク流路（上流基礎部材２１のインク供給路２９）に連通し、下端が補強部材４１の貫通流路６１に連通している。これにより、インクカートリッジ３からのインクを上流側インク流路、ケース流路７０、貫通流路６１、インク導入口を介してリザーバー５２に供給することができる。また、列設した各ケース流路７０を結んだ仮想直線上には、下端が補強部材側大気開放通路６６に連通し、上端が記録ヘッド１４と架台１２の部材間に大気開放したケース側大気開放通路７１が、ヘッドケース４８の高さ方向に貫通して形成されている。なお、ケース本体４８ａの下面において、ケース流路７０の周囲、ケース側大気開放通路７１の周囲、および当該ケース本体４８ａの周囲には、補強部材４１とは反対側に窪んだシール材接着部７３が形成されており、ここにシール材７４が導入されてヘッドケース４８と補強部材４１が接着固定されている（図１０参照）。これにより、ヘッドケース４８と補強部材４１の間で連通するケース流路７０と貫通流路６１、ケース側大気開放通路７１と補強部材側大気開放通路６６、および収容空部４７と挿通口４０のそれぞれの接合箇所の周囲が密封されている。また、ケース本体４８ａの下面において、補強部材４１の基準穴６３と対向する箇所には、当該基準穴６３に挿入する位置決め突起部７５が下方に向けて突設されている（図２参照）。上述のように、この位置決め突起部７５が補強部材４１および流路ユニット３９の基準穴６３に挿通されることにより、各部材の相対位置が規定されるようになっている。さらに、板状部４８ｂの下面には、ヘッドケース４８のケース本体４８ａを挟んで両側に２個ずつヘッドカバー位置決め部７６が突設されている（図４等参照）。このヘッドカバー位置決め部７６が後述するヘッドカバー基準穴８１に挿入されることで、ヘッドケース４８に対してヘッドカバー１５が位置決めされる。
【００３３】
次に、振動子ユニット４６について説明する。本実施形態の振動子ユニット４６は、フレキシブルケーブル３３、圧電振動子群４５および固定板４２から構成されている。圧電振動子群４５を構成する圧電振動子４４（圧力発生素子の一種）は、基材である圧電振動板を数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けることで、縦方向に細長い櫛歯状に形成されている。この圧電振動子４４は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子４４として構成されている。また、各圧電振動子４４は、固定端部を固定板４２上に接合することにより、自由端部を固定板４２の先端縁（端面）よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子４４における自由端部の先端は、補強部材４１の挿通口４０に挿通されて、それぞれ流路ユニット３９におけるダイヤフラム部５８を構成する島部６０に接合される。一方、各圧電振動子４４の固定端部側には、固定板４２とは反対側にフレキシブルケーブル３３が電気的に接続されている。このフレキシブルケーブル３３の表面には、各圧電振動子４４の駆動等を制御するための制御用ＩＣ等が実装されている。フレキシブルケーブル３３の圧電振動子４４とは反対側の端部は、回路基板１３に電気的に接続されている。また、各圧電振動子４４を支持する固定板４２は、圧電振動子４４からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成されており、本実施形態では、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。この固定板４２の補強部材４１側の端面の一部は、補強部材４１の挿通口４０の縁部に接着固定されている。本実施形態では、固定板４２の補強部材４１と対向する端面において、圧電振動子４４とは反対側の角部が面取りされた面取り部７７が形成されており、この面取り部７７に接合剤の一種であるＵＶ硬化樹脂７８を塗布して補強部材４１と接続した後、ＵＶ照射によりＵＶ硬化樹脂７８を硬化させることで、固定板４２を補強部材４１に固定している。
【００３４】
このように構成された記録ヘッド１４では、島部６０に圧電振動子４４の先端面が接合されているので、この圧電振動子４４の自由端部を伸縮させることで圧力発生室３８の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力発生室３８内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド１４は、この圧力変動を利用してノズル３７からインク滴を噴射（吐出）させる。
【００３５】
ヘッドカバー１５は、ヘッドケース４８に接続され、流路ユニット３９やヘッドケース４８を保護する金属製の部材である。このヘッドカバー１５は、薄板部材によって作製され、ヘッドケース４８の側面を囲繞すると共に、下端がノズルプレート４９側に略９０度屈曲してノズル形成面３６に当接している。このヘッドカバー１５のノズル形成面３６に当接する面は、ノズル３７を露出するように枠状に形成されている。また、ヘッドカバー１５の上端は、側方に向けてフランジ部８０が突設され、このフランジ部８０にヘッドカバー基準穴８１が開設されている。このヘッドカバー基準穴８１はヘッドケース４８のヘッドカバー位置決め部７６に挿通して、ヘッドカバー１５を位置決めしている。本実施形態では、ヘッドケース４８のケース本体４８ａを挟んで両側に２個ずつヘッドカバー基準穴８１を設けている（図４参照）。
【００３６】
次に上記のような記録ヘッド１４の製造方法について説明する。この記録ヘッド１４の製造方法は、流路ユニット３９に補強部材４１を重ね合わせて接合する補強部材接合工程と、振動子ユニット４６の位置決め基準と流路ユニット３９の位置決め基準とをそれぞれカメラ８３により撮影し、振動子ユニット４６及び流路ユニット３９の相対位置を認識する位置認識工程と、振動子ユニット４６を動かして、振動子ユニット４６の位置決め基準の位置と流路ユニット３９の位置決め基準の位置とに基づいて、当該振動子ユニット４６と流路ユニット３９の相対的な位置を調整する第１位置調整工程と、第１位置調整工程で位置決めした状態で、振動子ユニット４６をノズル形成面３６に垂直な方向に移動させ、補強部材４１の挿通口４０に各圧電振動子４４の先端部を挿通させる第２位置調整工程と、該第１位置調整工程および第２位置調整工程で振動子ユニット４６と流路ユニット３９とを位置決めした状態で、流路ユニット３９の圧力発生室３８に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定板４２を補強部材４１の挿通口４０の縁部に固定する振動子ユニット固定工程と、を経る。
【００３７】
詳しく説明すると、まず、図示しないアライメント装置のワークセット台に流路ユニット３９をセットする。このとき、流路ユニット３９は、基準穴にワークセット台に突設した位置決めピン（図示せず）が挿通され位置が規定されている。次に、補強部材４１をアライメント装置の図示しない把持機構により把持し、流路ユニット３９を補強部材４１の上部に移動させる。この状態で、補強部材４１または流路ユニット３９に接着剤を塗布する。その後、把持機構を垂直方向（ノズル形成面３６に垂直な方向）に移動させ、ワークセット台の位置決めピンに補強部材４１の基準穴６３を挿通させると共に、流路ユニット３９と補強部材４１を接合する（補強部材接合工程）。なお、把持機構は、接着剤が硬化するまでの間に亘って補強部材４１を流路ユニット３９に接続した状態で支持しており、その後、接着剤が硬化すれば、把持機構による補強部材４１の把持を解除する。
【００３８】
次に、把持機構によって振動子ユニット４６（固定板４２）を把持し、ワークセット台に載置されている補強部材４１が接合された流路ユニット３９の上部に振動子ユニット４６を移動させる。本実施形態では、２つの把持機構（図示せず）によって２つの振動子ユニット４６を同時に把持している。この状態で、アライメント装置に備えたカメラ８３（本発明における撮影手段）を用いて、振動子ユニット４６および流路ユニット３９の位置決め基準を撮影する。なお、本実施形態では、各部材のノズル列方向における両端部に、流路ユニット３９の位置決め基準を撮影する下方カメラ８３ｂおよび振動子ユニット４６の位置決め基準を撮影する上方カメラ８３ａをそれぞれ備えている（図１１参照）。まず、振動子ユニット４６の位置決め基準として、一方の振動子ユニット４６の複数の圧電振動子４４のうち両端に位置する圧電振動子４４の自由端部の先端を、２つの上方カメラ８３ａで同時に撮影する。また、流路ユニット３９の位置決め基準として、振動子ユニット４６の位置決め基準である各圧電振動子４４に対応する流路ユニット３９の島部６０（２列に列設した複数の島部６０のうち一方に列設した複数の島部６０の両端に位置する島部６０）を、補強部材４１に開口した挿通口４０の上部から２つの下方カメラ８３ｂで同時に撮影する。各部材に形成された位置決め基準は、カメラ８３によって撮影されて、モニターなどに映し出される。映し出された画像には、基準マーク（例えば、十字マーク等の図記号。図示せず）が重畳する状態で表示されるようになっている。これにより、位置決め基準と基準マークとのズレ量が認識される。その結果、流路ユニット３９に対する一方の振動子ユニット４６の相対位置を認識することができる（位置認識工程）。次に、カメラ８３を並行に移動させて、同様に他方の振動子ユニット４６についても流路ユニット３９に対する相対位置を認識する。この位置認識工程で認識した相対位置に基づいて、ノズル形成面に平行な面内において、振動子ユニット４６の位置決め基準として用いた圧電振動子４４の位置と、これに対応する流路ユニット３９の位置決め基準として用いた島部６０とが重なるように、各把持機構をＸ方向、Ｙ方向、およびθ方向（補強部材４１の中心を通るＺ方向を軸とする回転方向）にそれぞれ移動させて、各振動子ユニット４６の位置決めをする（第１位置調整工程）。
【００３９】
そして、上記位置決めをした状態で、各圧電振動子４４の先端部に接着剤を塗布すると共に、固定板４２の面取り部７７にＵＶ硬化樹脂７８を塗布する。その後、各把持機構によって各振動子ユニット４６をノズル形成面に垂直な方向に移動させ、補強部材４１の挿通口４０に各圧電振動子４４の先端部を挿通して島部６０に当接させると共に、固定板４２を補強部材４１の挿通口４０の縁部に当接させる（第２位置調整工程）。これにより、固定板４２（振動子ユニット４６）のノズル形成面に垂直な方向における位置決めをすることができる。この状態で、各固定板４２に塗布したＵＶ硬化樹脂７８にＵＶを照射し、ＵＶ硬化樹脂７８を硬化させて、固定板４２を補強部材４１に固定し、把持機構による固定板４２の把持を解除する。そして、ある程度の時間が経つと島部６０と圧電振動子４４の先端部との間の接着剤が硬化し、両者が固定される（振動子ユニット固定工程。図１２参照）。ここで、振動子ユニット４６の固定板４２が、ＵＶ硬化樹脂７８にＵＶを照射することによって即座に固定されるため、島部６０と圧電振動子４４が接着剤の硬化によって固定されるまでの間、把持機構を用いて振動子ユニット４６を支持する必要が無く、製造時間を短縮することができる。
【００４０】
その後、把持機構（図示せず）によってヘッドケース４８を把持し、補強部材４１および振動子ユニット４６が接合された流路ユニット３９の上部にヘッドケース４８を移動させる。この状態で、補強部材４１のヘッドケース４８側の面における所定の位置にシール材７４を塗布する。その後、ヘッドケース４８を補強部材４１に向けて垂直方向に移動させ、収容空部４７内に振動子ユニット４６の一部を収容すると共に、補強部材４１の基準穴６３および流路ユニット３９の基準穴６３にヘッドケース４８の位置決め突起部７５を挿通し、ヘッドケース４８と補強部材４１を接合する（ヘッドケース固定工程。図１３参照）。そして、この補強部材４１等が接続されたヘッドケース４８をアライメント装置から取り外した後、ヘッドカバー１５を流路ユニット３９側から近づけて、ヘッドケース４８に位置決め固定する。このようにして、本実施形態の記録ヘッド１４を作成することができる。
【００４１】
このように、振動子ユニット４６の位置決め基準と流路ユニット３９の位置決め基準とをそれぞれカメラ８３により撮影し、振動子ユニット４６及び流路ユニット３９の相対位置を認識するので、両ユニットの相対的な位置の調整を正確に行うことができる。その結果、振動子ユニット４６の圧電振動子４４の流路ユニット３９に対する位置決め精度を高めることができ、ひいては液体噴射特性のばらつきを抑えることができる。また、補強部材４１の挿通口４０に各圧電振動子４４の先端部を挿通して流路ユニット３９の圧力室に対応する部分にそれぞれ接合すると共に固定板４２を補強部材４１の一部（挿通口４０の縁部）に固定するので、他の部材、特にヘッドケース４８の製造誤差等により生じる応力等の影響を受け難くすることができる。即ち、振動子ユニット４６がヘッドケース４８に接合されないので、ヘッドケース４８と振動子ユニット４６との間に隙間を設けることができ、これにより、ヘッドケース４８の製造誤差等の影響が振動子ユニット４６に及ぶことを抑制できる。
【００４２】
また、流路ユニット３９の位置決め基準として、島部６０を用いた構成を採用したので、圧電振動子４４が接続される島部６０を直接撮影することで、振動子ユニット４６に対する流路ユニット３９の位置決めをより正確に行うことができる。さらに、振動子ユニット４６の位置決め基準として、圧電振動子４４を用いた構成を採用したので、圧電振動子４４を直接撮影することで、流路ユニット３９に対する振動子ユニット４６の位置決めを一層正確に行うことができる。
【００４３】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、２つの把持機構によって２つの振動子ユニット４６を同時に把持したが、１つの把持機構によって１つずつ振動子ユニット４６を把持してもよい。この場合、先に把持した振動子ユニット４６を上記と同様にカメラ８３によって位置認識した後、この情報に基づいて位置決めし、流路ユニット３９に固定する。その後、次の振動子ユニット４６を同様に把持し、同様に位置認識した後、位置決めして流路ユニット３９に固定する。
【００４４】
また、上記実施形態では、振動子ユニット４６の位置決め基準として、複数の圧電振動子４４のうち両端に位置する圧電振動子４４を用いたが、これには限られず、これら以外の任意の２つの圧電振動子４４を用いてもよく、さらに、３つ以上の圧電振動子４４を用いてもよい。また、流路ユニット３９の位置決め基準として、複数列設した島部６０の両端に位置する島部６０を用いたが、これには限られず、これら以外の任意の２つの島部６０を用いてもよく、３つ以上の島部６０を用いてもよい。
【００４５】
さらに、流路ユニットの位置決め基準として、流路ユニットの振動板５１の表面にアライメントマークを設け、これを撮影する構成とすることもできる。例えば、複数列設した島部６０の列設方向両脇に、当該島部６０をエッチングにより形成した工程と同様の工程でアライメントマークをエッチングして形成する。この構成によれば、カメラ８３が認識し易い任意の位置にアライメントマークを設けることができ、位置認識がし易くすることができる。また、振動子ユニットの位置決め基準として、圧電振動子群４５を形成した圧電振動板の残余の部分にアライメントマークを設けることもできる。
【００４６】
さらに、上記実施形態では、カメラ８３を４つ設けたが、カメラ８３を１つだけ設けた構成を採用してもよい。この場合は、カメラ８３がノズル形成面３６に平行な面内を平行移動して流路ユニット３９の各位置決め基準を撮影した後で、上下１８０度回転し、ノズル形成面３６に平行な面内を平行移動して振動子ユニット４６の各位置決め基準を撮影する。また、流路ユニット３９の各位置決め基準を撮影する下方カメラ８３ｂと、振動子ユニット４６の各位置決め基準を撮影する上方カメラ８３ａの２つのカメラを設けることもできる。この場合は、両カメラ８３ａ、８３ｂがノズル形成面３６に平行な面内を平行移動してそれぞれの位置決め基準を撮影する。さらに、各位置決め基準にそれぞれ対応した複数のカメラ８３を設けることもできる。この場合は、カメラ８３を移動させる必要が無いので、位置認識工程の時間を短縮することができる。
【００４７】
また、上記実施形態では、把持機構を移動させて振動子ユニット４６の流路ユニット３９に対する位置決めをしたが、これには限らず、流路ユニット３９を載置しているワークセット台を移動することで、流路ユニット３９を移動させて流路ユニット３９の振動子ユニット４６に対する位置決めをしてもよい。あるいは、ワークセット台と振動子ユニット４６の両方を移動させてもよい。同様に、振動子ユニット４６を流路ユニット３９に近づけて固定する場合も、ワークセット台、またはワークセット台と振動子ユニット４６の両方を移動させることで、流路ユニット３９を振動子ユニット４６側に移動させてもよい。さらに、上記実施形態では、各振動子ユニット４６の位置決めをしてから、各圧電振動子４４の先端部に接着剤を塗布したが、これには限らず、各圧電振動子４４の先端部に接着剤を塗布してから、各振動子ユニット４６の位置きめをするようにしてもよい。
【００４８】
そして、本発明は、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置，ごく少量の試料溶液を正確な量供給するマイクロピペット等の製造方法にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１…プリンター，２…記録ヘッドユニット，１４…記録ヘッド，３６…ノズル形成面，３７…ノズル，３８…圧力発生室，３９…流路ユニット，４０…挿通口，４１…補強部材，４２…固定板，４４…圧電振動子，４６…振動子ユニット，４８…ヘッドケース，８３…カメラ
【図１】
2012152966.tif 000003
【図２】
2012152966.tif 000004
【図３】
2012152966.tif 000005
【図４】
2012152966.tif 000006
【図５】
2012152966.tif 000007
【図６】
2012152966.tif 000008
【図７】
2012152966.tif 000009
【図８】
2012152966.tif 000010
【図９】
2012152966.tif 000011
【図１０】
2012152966.tif 000012
【図１１】
2012152966.tif 000013
【図１２】
2012152966.tif 000014
【図１３】
2012152966.tif 000015