(57)【要約】【課題】既存の設備を最大限用いることによって、設備コストの上昇を抑えることが可能であって、エネルギ効率の高い駆動システムを提供する。【解決手段】エアーシリンダ１０は、シリンダ１０１内にピストン１０２が収納されている。シリンダ室１０１ａには、配管３１が気密接続されており、配管３１の他端は、エアー容量制御部２０の第２シリンダ室２０１ａに気密接続されている。エアー容量制御部２０には、第２ピストン２０２が収納されており、第２ピストン２０２の可動により第２シリンダ室２０１ａの容量が変化する。第２ピストン２０２は、電動モータ２０７からの駆動力を、ギア２０６，２０３を介して伝達され、可動する。エアーシリンダ１０のピストン１０２は、エアー容量制御部２０の第２シリンダ室２０１ａの容量変化量に応じてシリンダ室１０１ａの容量が変化することによって、矢印Ｄ１，Ｄ２の方向に可動する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１シリンダ容器と、当該第１シリンダ容器内に、可動自在の状態で収納された第１ピストンとを有し、前記第１ピストンにより前記第１シリンダ容器内に第１シリンダ室が構成された流体シリンダと、
前記流体シリンダの前記第１シリンダ室の流体容量を制御する流体容量制御部と、
前記流体シリンダの前記第１シリンダ室と前記流体容量制御部との間を、気密状態で接続する配管と、
を備え、
前記流体容量制御部は、第２シリンダ容器と、当該第２シリンダ容器内に可動自在の状態で収納された第２ピストンと、前記第２ピストンに連結され、電動で前記第２ピストンを前記第２シリンダ容器内で可動させる電動動力源とを有し、前記第２ピストンにより前記第２シリンダ容器内に構成された第２シリンダ室が、前記電動動力源からの作用を受けた前記第２ピストンの可動により容量が変化し、
前記流体シリンダは、前記配管を介し、前記流体容量制御部における前記第２ピストンの可動による前記第２シリンダ室の容量変化量に応じて、前記第１シリンダ室の容量が変化することにより、当該容量変化に追従して前記第１ピストンが可動する
ことを特徴とする駆動システム。
【請求項２】
前記流体シリンダの第１シリンダ容器内には、前記第１ピストンを境に前記第１シリンダ室とは反対側に第３シリンダ室が構成され、
前記流体容量制御部は、前記電動動力源からの作用により、前記第２シリンダ室の容量変化とは反比例の関係を以って容量が変化する第４シリンダ室を有し、
前記流体シリンダの第３シリンダ室は、前記流体容量制御部の前記第４シリンダ室と第２配管により気密状態で接続されているとともに、容量が、前記第２配管を介し、前記第４シリンダ室の容量変化量に応じて変化し、
前記流体シリンダにおける前記第１シリンダ室の容量と前記第３シリンダ室の容量とは反比例する関係を以って変化するものであって、
前記流体シリンダの前記第１ピストンは、前記第１シリンダ室の容量変化に加え、前記第３シリンダ室の容量変化に追従して可動する
ことを特徴とする請求項１に記載の駆動システム。
【請求項３】
前記配管および前記第２配管の少なくとも一方に対しては、内封されている流体の圧力を所定の範囲に維持するために流体を補充する流体補充部が接続されている
ことを特徴とする請求項２に記載の駆動システム。
【請求項４】
前記配管および前記第２配管の少なくとも一方に対しては、環境温度の変化に対しても、内封されている流体の圧力を所定の範囲に維持するための温度補正部が接続されている
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の駆動システム。
【請求項５】
前記流体は、エアーである
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の駆動システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動システムに関し、流体を媒体として駆動するシリンダを有する駆動システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
工場の生産ラインなどでは、エアーコンプレッサで圧縮されたエアーを用い駆動するエアーシリンダが多く用いられている。エアーコンプレッサとエアーシリンダとは、配管を介して接続されており、エアーシリンダを駆動させるたびに、圧縮されたエアーが供給される。
また、生産ラインなどでは、マテリアルハンドリングなどの際に用いられるチャック装置の開閉などにおいてもエアーシリンダが採用されている。特に、チャック装置では、電動モータなどを駆動源とする場合に比べて、装置の小型化が容易である、という優位性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公平０２−１０２８１号公報
【特許文献２】特開平０８−２７０６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、エアーコンプレッサで圧縮したエアーを用いる駆動システムにおいては、エネルギ効率が低いという問題がある。仮に、エアーシリンダで駆動していた部分を電動モータなどに置き換えることができたとしたならば、消費エネルギを１／３に低減することができる。ただし、上記のように、配置スペースという観点から、エアーシリンダを同等の力を有する電動モータに置き換えることは実質的に不可能である。
【０００５】
なお、上記のような問題は、エアーシリンダを有する駆動システムだけでなく、例えば、油圧シリンダを有する駆動システムにおいても同様である。
本発明は、上記のような問題の解決を図ろうとなされたものであって、既存の設備を最大限用いることによって、設備コストの上昇を抑えることが可能であって、エネルギ効率の高い駆動システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明は、次のような構成を採用することとした。
本発明に係る駆動システムは、  （ｉ）流体シリンダと、（ｉｉ）流体容量制御部と、（ｉｉｉ）配管と、を備える。
（ｉ）  流体シリンダ；第１シリンダ容器と、当該第１シリンダ容器内に、可動自在の状態で収納された第１ピストンとを有し、第１ピストンにより第１シリンダ容器内に第１シリンダ室が構成されている。
【０００７】
（ｉｉ）  流体容量制御部；流体シリンダの第１シリンダ室の流体容量を制御するものであって、第２シリンダ容器と、当該第２シリンダ容器内に可動自在の状態で収納された第２ピストンと、第２ピストンに連結され、電動で第２ピストンを第２シリンダ容器内で可動させる電動動力源とを有し、第２ピストンにより第２シリンダ容器内に構成された第２シリンダ室が、電動動力源からの作用を受けた前記第２ピストンの可動により容量変化する。
【０００８】
（ｉｉｉ）  配管；流体シリンダの第１シリンダ室と流体容量制御部との間を、気密状態で接続する経路である。
そして、本発明に係る駆動システムにおいては、流体シリンダが、配管を介し、流体容量制御部における第２ピストンの可動による第２シリンダ室の容量変化量に応じて、第１シリンダ室の容量が変化することにより、当該容量変化に追従して第１ピストンが可動する、ことを特徴とする駆動システム。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る駆動システムでは、流体容量制御部において、電動駆動源からの作用により、第２ピストンが可動することによって、第２シリンダ室の容量が変化する。そして、第２シリンダ室は流体シリンダの第１シリンダ室に配管によって気密（液密）に接続されているので、第２シリンダ室の容量変化量に応じて、流体シリンダのピストンが可動する。
【００１０】
このように、本発明に係る駆動システムでは、コンプレッサで圧縮された流体（エアー）を流体シリンダに供給するのではなく、流体容量制御部の第２シリンダ室の容量変化量に応じて、流体シリンダの第１ピストンを可動させるので、コンプレッサを用い圧縮エアーを生成し、これをエアーシリンダに供給する従来技術に比べてエネルギ効率を高くすることができる。
【００１１】
また、本発明の駆動システムでは、流体シリンダから離れた箇所に流体容量制御部を設置することも可能であるので、既存の設備における流体シリンダをそのまま用い、駆動システムを構築することも可能である。その際にも、流体シリンダ自体を交換する必要は必ずしもないので、ラインを設計し直すという必要がない。
従って、本発明に係る駆動システムでは、既存の設備を最大限利用することによって、設備コストの上昇を抑えることが可能であって、エネルギ効率が高い。
【００１２】
本発明に係る駆動システムでは、一例として、次のようなバリエーション構成を採用することもできる。
本発明に係る駆動システムでは、上記構成において、流体シリンダの第１シリンダ容器内に、第１ピストンを境にシリンダ室とは反対側に第３シリンダ室が構成され、流体容量制御部が、電動動力源からの作用により、第２シリンダ室の容量変化とは反比例の関係を以って容量が変化する第４シリンダ室を有する。そして、流体シリンダの第３シリンダ室は、流体容量制御部の第４シリンダ室と第２配管により気密（液密）状態で接続されているとともに、容量が、第２配管を介し、第４シリンダ室の容量変化量に応じて変化し、流体シリンダにおける第１シリンダ室の容量と第３シリンダ室の容量とは反比例する関係を以って変化するものであって、流体シリンダの第１ピストンは、第１シリンダ室の容量変化に加え、第３シリンダ室の容量変化に追従して可動する、という構成とすることができる。
【００１３】
このように、流体シリンダにおける第１シリンダ室と第３シリンダ室の両容量を制御することで、第１ピストンを可動させることができる。このような構成を採用する場合には、流体シリンダを高い精度で制御することができる。
本発明に係る駆動システムでは、上記構成において、配管および第２配管の少なくとも一方に対して、内封されている流体の圧力を所定の範囲に維持するために流体を補充する流体補充部が接続されている、という構成とすることができる。
【００１４】
このように流体補充部を設けるようにすれば、流体シリンダおよび流体容量制御部と、配管との間などにおいて、経時的な要因などにより気密性が劣化したような場合にあっても、エアーの圧力を所定の範囲に維持することができるので、流体シリンダの可動に係る位置精度などを高く維持することが可能となる。
なお、システムのメンテナンスを定期的に行うような場合を考慮する場合には、必ずしも流体補充部を設ける必要はない。
【００１５】
本発明に係る駆動システムでは、上記構成において、配管および第２配管の少なくとも一方に対して、環境温度の変化に対しても、内封されている流体の圧力を所定の範囲に維持するための温度補正部が接続されているという構成を採用することができる。
流体の圧力は、外部環境の内でも環境温度に強く依存する。このため、環境温度が変化した場合には、流体シリンダの可動精度が低下することも考えられるが、上記のように、温度補正部を接続する構成を採用する場合には、温度変化による流体圧力の変動を抑えることができ、流体シリンダの可動精度を高く維持することが可能となる。
【００１６】
本発明に係る駆動システムでは、上記構成において、流体としてエアーを採用することができる。なお、エアー以外にも、例えば、窒素ガスなどの気体や、油などの液体などを採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る駆動システム１の構成を示す模式図である。
【図２】駆動システム１の駆動中の状態を示す模式図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る駆動システム２の構成を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態３に係る駆動システム３の構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下では、本発明を実施するための形態について、図面を参酌しながら説明する。
なお、以下の説明に係る実施の形態は、本発明の構成上の特徴および当該特徴的構成から得られる作用効果を分かりやすく説明するための例として用いるものである。よって、本発明は、その本質的な特徴部分を除き、以下の形態に何ら限定を受けるものではない。
［実施の形態１］
１．駆動システム１の構成
本発明の実施の形態１に係る駆動システム１の概略構成について、図１を用い説明する。
【００１９】
図１に示すように、本実施の形態に係る駆動システム１は、エアーシリンダ１０およびエアー容量制御部２０と、エアーシリンダ１０とエアー容量制御部２０との間のエアー経路としての配管３１，３２を主な要素として構成されている。エアーシリンダ１０は、筒状のシリンダ１０１と、その中に収納された第１ピストン１０２、ピストン１０２に接合されたロッド１０３を有し構成されている。シリンダ１０１の内部空間は、ピストン１０２により第１シリンダ室１０１ａと第３シリンダ室１０１ｂとに区画されており、ピストン１０２がシリンダ１０１内で可動（矢印Ｄ１，Ｄ２の方向に可動）することにより、第１シリンダ室１０１ａと第３シリンダ室１０１ｂとの容量の割合が互いに反比例する関係を以って変化する。即ち、ピストン１０２の可動により、例えば、第１シリンダ室１０１ａの容量が減少した場合、その減少分だけ第３シリンダ室１０１ｂの容量が増加することになる。
【００２０】
エアー容量制御部２０は、シリンダ２０１内に、互いに仕切られた２つの空間を有し、それぞれにピストン２０２とピストン２０４が収納されている。ピストン２０２およびピストン２０４のそれぞれには、ロッド状のギア２０３，２０５が接合されている。ギア２０３，２０５に対しては、一つの円盤状のギア２０６が噛合するようになっている。
エアー容量制御部２０のシリンダ２０１内は、ピストン２０２により第２シリンダ室２０１ａが区画され、ピストン２０４により第４シリンダ室２０１ｂが区画されている。ピストン２０２とピストン２０４とは、ギア２０６が矢印Ａのように回転することに伴って、互いに逆方向（矢印Ｂおよび矢印Ｃ）に向けて可動する。
【００２１】
図１の二点鎖線で囲んだ部分に示すように、ギア２０３，２０５に対し噛合するギア２０６は、回転シャフト２０９の一端に取り付けられており、回転シャフト２０９は、減速用のギアボックス２０８を介して電動モータ２０７に接続されている。
なお、エアーシリンダ１０の第１シリンダ室１０１ａと配管３１、配管３１とエアー容量制御部２０の第２シリンダ室２０１ａとは、互いに気密に接合されており、内部に所定の圧力（例えば、１×１０５［Ｐａ］〜９×１０５［Ｐａ］）のエアーが充填されている。エアーシリンダ１０の第３シリンダ室１０１ｂと配管３２、配管３２とエアー容量制御部２０の第４シリンダ室２０１ｂとについても、互いに気密に接合されており、内部に所定の圧力（例えば、１×１０５［Ｐａ］〜９×１０５［Ｐａ］）のエアーが充填されている。
【００２２】
２．駆動システム１の駆動方法
駆動システム１の駆動方法について、図１に加え、図２を用い説明する。
先ず、図１に示すように、エアー容量制御部２０のピストン２０２が後退した状態であり、ピストン２０４が前進した状態である場合には、エアーシリンダ１０のピストン１０２は後退した状態となっており、ピストン１０２に接合されたロッド１０３は、矢印Ｄ２の方向に後退した状態となっている。
【００２３】
一方、図２に示すように、ギア２０６の回転により、エアー容量制御部２０のピストン２０２が前進し、ピストン２０４が後退した場合には、エアーシリンダ１０のピストン１０２は前進し、ピストン１０２に接合されたロッド１０３は、矢印Ｅの方向に前進する。
ここで、本実施の形態に係る駆動システム１では、エアーシリンダ１０の第１シリンダ室１０１ａと配管３１、配管３１とエアー容量制御部２０の第２シリンダ室２０１ａとは、互いに気密に接合され、また、エアーシリンダ１０の第３シリンダ室１０１ｂと配管３２、配管３２とエアー容量制御部２０の第４シリンダ室２０１ｂとについても、互いに気密に接合されているので、それぞれに内封されたエアーの容量は、互いに一定の状態が維持される。
【００２４】
３．優位性
本実施の形態に係る駆動システム１では、コンプレッサで圧縮されたエアーをエアーシリンダに供給するのではなく、エアー容量制御部２０の第２シリンダ室２０１ａの容量変化量に応じて、エアーシリンダ１０のピストン１０２を可動させるので、コンプレッサを用いる場合に比べてエネルギ効率を高くすることができる。
【００２５】
また、駆動システム１では、エアーシリンダ１０から離れた箇所にエアー容量制御部２０を設置することも可能であるので、既存の設備におけるエアーシリンダをそのまま用い、システムを構築することも可能である。その際にも、エアーシリンダ自体を交換する必要は必ずしもないので、ラインを設計し直すという必要がない。
従って、本実施の形態に係る駆動システム１では、既存の設備を最大限利用することによって、設備コストの上昇を抑えることが可能であって、エネルギ効率が高い。
【００２６】
また、本実施の形態に係る駆動システム１では、エアーシリンダ１０の第１シリンダ室１０１ａと第３シリンダ室１０１ｂの両方の容量を、エアー容量制御部２０により制御することとしているので、エアーシリンダ１０における第１シリンダ室１０１ａまたは第３シリンダ室１０１ｂの一方の容量だけを制御する場合に比べて、エアーシリンダ１０の駆動に係る位置精度が高くすることができる。ただし、エアーシリンダ１０に求められる精度によっては、エアーシリンダ１０における第１シリンダ室１０１ａまたは第３シリンダ室１０１ｂの一方の容量だけを制御することとしてもよい。
【００２７】
［実施の形態２］
本発明の実施の形態２に係る駆動システム２の構成について、図３を用い説明する。なお、以下の説明においては、上記実施の形態１に係る駆動システム１と同様の構成についての説明を省略し、その差異部分だけを説明する。
図３に示すように、本実施の形態に係る駆動システム２では、上記実施の形態１に係る駆動システム１の構成に加え、エアー補充部４０を備えるところに特徴を有する。エアー補充部４０は、エアーボンベ４０１と、これから延出された配管４０２，４０５，４０６を備える。配管４０５と配管４０６とは、配管４０２から分岐されており、配管４０５が配管３１に気密接続されており、配管４０６が配管３２に気密接続されている。
【００２８】
また、配管４０５中には、バルブ４０３が挿設され、配管４０６中には、バルブ４０４が挿設されている。バルブ４０３，４０４は、例えば、オペレータが手動で開閉可能となっているが、配管３１，３２のエアー圧力を常時監視できる圧力計などを設けておき、その検出結果に基づいて自動開閉するようしておくことも可能である。
本実施の形態に係る駆動システム２では、上記実施の形態１に係る駆動システム１の構成要素に加えて、エアー補充部４０を設けているので、エアーシリンダ１０およびエアー容量制御部２０と、配管３１，３２との間などにおいて、経時的な要因などにより気密性が劣化したような場合にあっても、エアーの圧力を所定の範囲に維持することができるので、エアーシリンダ１０の可動に係る位置精度などを高く維持することが可能となる。
【００２９】
また、本実施の形態に係る駆動システム２では、上記実施の形態１に係る駆動システム１の構成要素を全て備えているので、上記駆動システム１が奏する効果について、同様に効果を奏することができる。
なお、エアーシリンダ１０およびエアー容量制御部２０と、配管３１，３２との間などの気密接続の状態を考慮するとき、システム中に必ずしもエアー補充部４０を設ける必要はない。
【００３０】
［実施の形態３］
本発明の実施の形態３に係る駆動システム３の構成について、図４を用い説明する。なお、以下の説明においては、上記実施の形態１，２に係る駆動システム１，２と同様の構成についての説明を省略し、その差異部分だけを説明する。
図４に示すように、本実施の形態に係る駆動システム３では、上記実施の形態２に係る駆動システム２の構成に加え、温度補正部５０を備えるところに特徴を有する。
【００３１】
温度補正部５０は、補正シリンダ５１，５２，５５，５６と、配管５４，５８とを主な要素として構成されている。補正シリンダ５１，５５は、それぞれシリンダ５１１，５５１を備え、各シリンダ５１１，５５１の内部にピストン５１２，５５２が可動自在に収納されている。シリンダ５１１，５５１の各内部においては、ピストン５１２，５５２によりシリンダ室５１１ａ，５５１ａが区画されており、シリンダ室５１１ａは配管５４を介して配管３１に連通され、シリンダ室５５１ａは配管５８を介して配管３２に連通されている。なお、シリンダ５１１，５５１における各ピストン５１２，５５２を挟んだ反対側の空間は、開口５１１ｈ，５５１ｈを通して解放されている。
【００３２】
補正シリンダ５２，５６も、それぞれシリンダ５２１，５６１を備え、各シリンダ５２１，５６１の内部にピストン５２２，５６２が可動自在に収納されている。シリンダ５２１，５６１の各内部においては、ピストン５２２，５６２によりシリンダ室５２１ａ，５６１ａが区画されている。なお、シリンダ５２１，５６１における各ピストン５２２，５６２を挟んだ反対側の空間は、上記同様に、開口５２１ｈ，５６１ｈを通して解放されている。
【００３３】
ここで、シリンダ室５２１ａ，５６１ａの内部には、高熱膨張流体が封入されている。高熱膨張流体としては、例えば、パラフィンなどを採用することができる。高熱膨張流体の選定にあたっては、線膨張率の高い物質を用いることが望ましい。パラフィンを用いる場合、パラフィンの線膨張率αは、１１０×１０−６［／℃］であり、体積膨張率βは、“β＝３α”の関係となる。
【００３４】
図４に戻って、補正シリンダ５１のピストン５１２と補正シリンダ５２のピストン５２２とは、連結ロッド５３により連結されており、補正シリンダ５５のピストン５５２と補正シリンダ５６のピストン５６２とは、連結ロッド５７により連結されている。
温度補正部５０を備える駆動システム３においては、例えば、外部温度が上昇し、配管３１，３２などの内部に封入されたエアーの圧力が上昇する傾向になった場合、補正シリンダ５２のシリンダ室５２１ａおよび補正シリンダ５６のシリンダ室５６１ａに各々封入された高熱膨張流体も膨張する。このため、補正シリンダ５２のシリンダ室５２１ａおよび補正シリンダ５６のシリンダ室５６１ａの各容量が大きくなり、ピストン５２２，５６２が移動する。そして、補正シリンダ５１のピストン５１２および補正シリンダ５５のピストン５５２は、補正シリンダ５２のピストン５２２および補正シリンダ５６のピストン５６２とそれぞれ連結ロッド５３，５７により連結されているので、シリンダ室５１１ａ，５５１ａの容量が拡大される。
【００３５】
なお、環境温度が低下した場合には、温度補正部５０は上記と逆の動きをする。
以上のような構成を採用する駆動システム３では、温度補正部５０の働きにより、外部温度の上下によっても配管３１，３２内のエアー圧力が略一定の状態に維持される。よって、本実施の形態に係る駆動システム３では、上記実施の形態２に係る駆動システム２が奏する効果に加えて、外部温度の上下があっても高い精度での駆動が可能である。
【００３６】
ここで、補正シリンダ５２のシリンダ室５２１ａおよび補正シリンダ５６のシリンダ室５６１ａに封入される高熱膨張流体については、上記で一例としてあげたパラフィン以外の物質を用いることも可能であるが、その場合には、各物質の線膨張率を考慮し、ピストン５１２とピストン５２２との間、およびピストン５５２とピストン５６２との間に、例えば、ギアなどを介挿し、これによりピストン５２２，５６２の可動ストロークｘに対し、ピストン５１２，５５２の可動ストロークｙが、“ｙ＝ｋ×ｘ”となるようにすることができる。これにより、配管３１，３２内のエアー圧力を一定に維持することがより確実となる。
【００３７】
なお、上記において、“ｋ”は、配管３１，３２などに封入されるエアーとシリンダ室５２１ａ，５６１ａに封入される高熱膨張流体との熱膨張率の差異に基づく係数である。
［その他の事項］
上記実施の形態１，２，３に係る駆動システム１，２，３では、一つのエアーシリンダ１０に対して一つのエアー容量制御部２０を設けることとしたが、本発明では、一つのエアー容量制御部２０で駆動制御するエアーシリンダの数を二つ以上とすることも可能である。このように一つのエアー容量制御部２０で二つ以上のエアーシリンダの駆動を制御する場合には、各エアーシリンダとエアー容量制御部２０との配管中などに開閉バルブを挿設し、その開閉動作により駆動させるエアーシリンダを選択することが可能となる。
【００３８】
また、図１に示すように、上記実施の形態１，２，３に係る駆動システム１，２，３では、電動モータ２０７により円盤型のギア２０６を回転駆動することでピストン２０２，２０４を可動させることとしたが、これ以外に電動動力源としてリニアモータなどを採用することもできる。また、図１に示すエアー容量制御部２０のように、二つのピストン２０２，２０４を備える構成の他、一つのピストンの可動により、当該ピストンで区画される一方の空間と他方の空間を二つのシリンダ室とすることもできる。
【００３９】
また、上記実施の形態１，２，３では、流体の一例としてエアーを採用したが、その他にも、窒素ガスなどの気体や、油などの液体を採用することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、既存の設備を最大限利用することによって、設備コストを抑えながら、エネルギ効率の高い駆動システムを実現するのに有用である。
【符号の説明】
【００４１】
１．駆動システム
１０．エアーシリンダ
２０．エアー容量制御部
３１，３２，５４，５８，４０２，４０５，４０６．配管
４０．エアー補充部
５０．温度補正部
５１，５２，５５，５６．補正シリンダ
５３，５７．連結ロッド
１０１，２０１，５１１，５２１，５５１，５６１．シリンダ
１０１ａ．第１シリンダ室
５１１ａ，５２１ａ，５５１ａ，５６１ａ．シリンダ室
１０１ｂ．第３シリンダ室
１０２，２０２，２０４，５１２，５２２，５５２，５６２．ピストン
１０３．ロッド
２０１ａ．第２シリンダ室
２０１ｂ．第４シリンダ室
２０３，２０５，２０６．ギア
２０７．電動モータ
２０８．ギアボックス
２０９．回転シャフト
４０１．エアーボンベ
４０３，４０４．バルブ
【図１】
2012247040.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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