(57)【要約】【課題】工場内において、懸垂型の搬送車が大型化されても、工場内搬送システムと床上通路との良好な関係を保持する。【解決手段】第１天井部（１００１）及び天井高が低い第２天井部（１００２）を有する天井、並びに床（２００）を備える工場内に設けられる工場内搬送システムは、天井から懸吊される形で敷設された軌道と、この上を走行可能な懸垂型の搬送車（１０）とを備える。軌道は、搬送車の下面の高さが、床から高さｈ１になるように、第１天井部に敷設された第１軌道部（１１０）と、高さｈ１よりも低い高さｈ２になるように、第２天井部に敷設された第２軌道部（１２０）と、第１及び２軌道部の相互間を搬送車が乗り入れ可能となるように連絡する傾斜した連絡軌道部（１３０）とを有する。第１軌道部下に、通路（１００）が設けられている。【選択図】図４
2012188193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床に沿った第１方向に延在する第１天井部及び前記第１方向に交差し且つ前記床に沿った第２方向に延在すると共に天井高が前記第１天井部より低い第２天井部を有する天井、並びに前記床を備える工場内に、設けられる工場内搬送システムであって、
前記天井から懸吊される形で敷設された軌道と、
前記軌道上を走行可能な懸垂型の搬送車と
を備え、
前記軌道は、前記搬送車の下面の高さが、前記床から高さｈ１になるように、前記第１天井部に敷設された第１軌道部と、前記下面の高さが、前記高さｈ１よりも低い高さｈ２になるように、前記第２天井部に敷設された第２軌道部と、前記第１軌道部及び前記第２軌道部の相互間を前記搬送車が乗り入れ可能となるように連絡する傾斜した連絡軌道部とを有し、
当該工場内搬送システムは、前記第２天井部下にあると共に全製造工程のうちの一部を実施するための各エリア内における前記第２軌道部上で、前記搬送車を搬送させる工程内搬送システムと、前記第１天井部下にあると共に前記各エリア間における前記第１軌道部で、前記搬送車を搬送させる工程間搬送システムとが統合されてなり、
前記第１軌道部下に、前記工場に係る人及び前記床上を移動可能な移動体が前記工場内を移動するための通路が設けられている
ことを特徴とする工場内搬送システム。
【請求項２】
前記第２軌道部は、前記床上にて平面的に見て前記各エリア内でループ状になっており、前記各エリアは、前記全製造工程の一部に対応するベイとして構築されており、前記搬送車は、前記ベイ内を巡回又は周回走行可能とされていることを特徴とする請求項１に記載の工場内搬送システム。
【請求項３】
前記通路は、前記第１方向に延びると共に前記各エリアを両脇に見る中央通路として構築されており、前記第１軌道部は、前記床上にて平面的に見て前記第１天井部下でループ状になっており、前記搬送車は、前記中央通路内を巡回又は周回走行可能とされている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の工場内搬送システム。
【請求項４】
前記第１軌道部は、前記床からの高さが相異なる二つの平坦部及び該二つの平坦部間を接続する傾斜部を有し、
前記通路は、前記二つの平坦部のうち高さの高い方の下に設けられている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の工場内搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、工場内において、その天井に懸吊される形で敷設された軌道上を、搬送車（例えばビークル）の一種である、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）やＯＨＳ（OverHead Shuttle）を走行させることで、被搬送物を、工場内に縦横にレイアウトされた、処理装置、保管庫、棚等（以下単に「処理装置等」と呼ぶ）間で搬送するための工場内搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のシステムとして、工場内で（ｉ）一の製造工程を実施するための各種処理装置等が設置された一のエリアにおける天井に敷設された軌道上にて、搬送車を巡回或いは周回走行させる工程内システムと（ｉｉ）このような工程内システムの複数の相互間で搬送車を走行させる工程間システムとを含む、工場内システムがある（特許文献１、２参照）。ここに「工場」は、例えば、半導体装置製造工場、液晶装置製造工場等（或いは、そのような工場のうちのクリーンルーム等）である。工場内でビークル等により搬送される「被搬送物」は、例えば、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウエーハ、ガラス基板等を収容する容器であり、例えば規格化された該容器の一つ種であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）である。
【０００３】
特に、特許文献１には、工場や設備の新設・増設の際に、天井に敷設するレールに高低差を設けられるように、レールに坂道を有するＯＨＴの一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１３３３０号公報
【特許文献２】特開２００５−１１２５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
「工場」として既存のものを利用しつつ、製造ラインの変更や設備の新設・増設を行うことが実践上は多い。或いは、工場新設の際にも、工場自体はコスト面等の理由から規格化・標準化された一定サイズや一定形状のものを建てる場合が多い。このため、既存の或いは完成後の工場内における天井に、レールなどの軌道を敷設する際には、天井の高さには、実践的な意味では確固たる制約が存在する。他方で、工場内は、完全に無人化することは困難或いは実践上不可能であり且つ各処理装置等に対して各種部品、部材、材料、資材、半製品、製品などを床上にて適宜搬送・輸送する必要もある。即ち、人（例えば、監視、メンテナンス、修理作業等を行う作業員等）や、床上を走行する型の車両・搬送車（以下単に「床上走行車」と呼ぶ）が、軌道下における床上を“床上通路”として通過せざるを得ない。
【０００６】
しかしながら、このような状況にて、例えば近年においては、製品である半導体デバイスのコストダウンのためにウエーハの大型化が計画されている。それに伴って、ＦＯＵＰ及びこれを搬送するための軌道やビークルも、従前に比べて大型化されたものを計画する必要がある。このようにビークル、軌道等を大型化する必要が生じても、既存工場を建て替えた上で軌道を新たに敷設することは、困難となる場合が多くなることが予想される。そのような場合には、必然的に天井の高さに制約が生じてしまう。限られた天井高さの制約の中で、軌道やビークルを大型化すると、従来の比較的小型の軌道やビークルを使用していた場合と比較して、床上からビークル通過領域までの高さは、必然的に低くなってしまう。そのため、人や床上走行車が軌道下の床上通路を通過する際に、人や床上走行車、更に該床上走行車上の荷や人と非常に近い上方位置を、ビークルが通過することになりかねない。こうなると、軌道下の床上を通路として利用することが非常に困難になる等といった、これまででは殆ど問題にならなかった新たな問題が発生する。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、工場内において、懸垂型の搬送車が大型化されても、床上通路との良好な関係を保持することを可能ならしめる工場内搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
＜１＞
本発明の工場内搬送システムは上記課題を解決するために、床に沿った第１方向に延在する第１天井部及び前記第１方向に交差し且つ前記床に沿った第２方向に延在すると共に天井高が前記第１天井部より低い第２天井部を有する天井、並びに前記床を備える工場内に、設けられる工場内搬送システムであって、前記天井から懸吊される形で敷設された軌道と、前記軌道上を走行可能な懸垂型の搬送車とを備え、前記軌道は、前記搬送車の下面の高さが、前記床から高さｈ１になるように、前記第１天井部に敷設された第１軌道部と、前記下面の高さが、前記高さｈ１よりも低い高さｈ２になるように、前記第２天井部に敷設された第２軌道部と、前記第１軌道部及び前記第２軌道部の相互間を前記搬送車が乗り入れ可能となるように連絡する傾斜した連絡軌道部とを有し、当該工場内搬送システムは、前記第２天井部下にあると共に全製造工程のうちの一部を実施するための各エリア内における前記第２軌道部上で、前記搬送車を搬送させる工程内搬送システムと、前記第１天井部下にあると共に前記各エリア間における前記第１軌道部で、前記搬送車を搬送させる工程間搬送システムとが統合されてなり、前記第１軌道部下に、前記工場に係る人及び前記床上を移動可能な移動体が前記工場内を移動するための通路が設けられている。
【０００９】
本発明の工場内搬送システムによれば、「工場」は、例えば半導体装置製造工場、液晶装置製造工場等（或いは、そのような工場のうちのクリーンルーム等）の製造工場であり、コンクリートやグレーチングが敷き詰められた床を備える。その天井は、床に沿った水平二方向のうちの一つである第１方向に延在する第１天井部と、水平二方向のうちの他の一つである（例えば第１方向に直交する）第２方向に延在する第２天井部とを有する。ここで特に、天井高については、第２天井部は、第１天井部より低い。
【００１０】
工場内搬送システムは、このような工場内に、設けられる。具体的には、天井から懸吊される形で敷設された、典型的にはレールである軌道と、この軌道上を走行可能な、例えばＯＨＴ又はＯＨＳである、懸垂型の搬送車とを備える。
その動作時には、天井高の低い方の第２天井部下にある、例えば「ベイ」と呼ばれる各エリア内では、工程内・工程間統合搬送システムによる制御下又は工程内搬送システムによる制御下で、搬送車により例えばＦＯＵＰ等の被搬送物が第２軌道部上で搬送される。これにより、全製造工程のうちの一部の工程（例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等に係る工程）が適宜に且つ順番に実施される。更に、このような工程内搬送と相前後して又は並列に、工程内・工程間統合搬送システムによる制御下又は工程間搬送システムによる制御下で、第１天井部下にあると共に各エリア間における第１軌道部で、搬送車により被搬送物が搬送される。これにより、工程間搬送が適宜に且つ順番に実施される。
【００１１】
本発明では特に、第１軌道部は、搬送車の下面の高さが、床から高さｈ１になるように、第１天井部に敷設されている。ここに搬送車の「下面」とは、基本的に被搬送物を搬送している最中の下面を指し、床に最も近い表面をなす、搬送車の底部の一部又はこれに把持された被搬送物の底部の一部を意味する。更に、第２軌道部は、搬送車の下面の高さが、高さｈ２（但し、ｈ２＜ｈ１）になるように、第２天井部に敷設されている。従って、第１及び第２軌道部間には高低差が生じるが、これら両者間を、傾斜した連絡軌道部が、搬送車が乗り入れ可能となるように連絡している。この際、搬送車の連絡軌道部における走行・搬送については、工程内・工程間統合搬送システムによる制御下、或いは工程内搬送システム及び工程間搬送システムのうちの少なくとも一方による制御下で行われればよい。
【００１２】
よって、第１及び第２軌道部間にある高低差が、搬送車の走行の支障とならないようにできる。従って、各エリア内で搬送を受け持つ搬送車の複数のエリア間における相互乗り入れが適宜に実施され、複数の工程を自動的に且つ効率的に実施する環境が構築される。
【００１３】
しかも、工場内における「通路」は、搬送車の下面までの高さとして、相対的に高い高さｈ１が確保されている第１軌道部下に、設けられている。ここに「通路」とは、工場に係る人及び床上を移動可能な移動体が工場内を移動するための通路であり、例えば中央通路或いは主要通路である。より具体的には、工場内で、例えば、監視、メンテナンス、修理作業等を行う工員、事務員等が床上を歩いたり、床上を走行する型の車両・搬送車が床上を走行するための通路である。よって、ここでの高さｈ１を、相対的に高く、理想的には人の頭頂のみならず、直立した人が上方に掲げた手の先端が余裕を持ってぶつからない程度の高さや、床上搬送車に詰まれた荷が余裕を持ってぶつからない程度の高さや、工場用の各種規格で定められた高さに設定することにより、安心して通過できる通路を実現できる。
【００１４】
同時に、通路を設けない又は通常歩行・通常走行し易いような通路を設ける必要の無い或いは必要性の低い、第２軌道下における高さｈ２を、相対的に低く、具体的には、搬送車が走行可能であり且つ搬送車及び処理装置等間で被搬送物を移載可能であるに必要十分な高さに設定することにより、通路以外における工場内空間を不必要なまでに広く取る必要が無くなる。不必要に大きな工場を立てる必要も無くなる。言い換えれば、工場内スペースの有効利用・有効活用が可能となり、特に、既存の工場内において、大型化されたＦＯＵＰ及びビークルを新たに導入するような設備新設・増設の際に、著しく有利となる。具体的には、例えば、同一工場内にて、既存の直径３００ｍｍウエーハ対応のＦＯＵＰ及びビークルから、より大型である直径４５０ｍｍウエーハ対応のＦＯＵＰ及びビークルへと切り替えることが、工場自体のリフォームを殆ど又は全く伴うことなく、比較的容易にして実施可能となる。
【００１５】
以上のように本発明によれば、工場内において、懸垂型の搬送車が大型化されても、床上通路との良好な関係を保持することが可能となる。
【００１６】
＜２＞
本発明の工場内搬送システムの一態様では、前記第２軌道部は、前記床上にて平面的に見て前記各エリア内でループ状になっており、前記各エリアは、前記全製造工程の一部に対応するベイとして構築されており、前記搬送車は、前記ベイ内を巡回又は周回走行可能とされている。
【００１７】
この態様によれば、工程内搬送システムによる制御下で、搬送車を第２軌道部にて巡回或いは周回走行させることで、各ベイにて、各ベイが受け持つ工程を効率良く行うことが可能となる。更に、複数のベイ間における工程間移動についても、連絡軌道部を介して、工程間搬送システムによる制御下で、第１軌道部にて搬送車を走行させることで、非常に効率的に実行可能となる。
【００１８】
＜３＞
本発明の工場内搬送システムの他の態様では、前記通路は、前記第１方向に延びると共に前記各エリアを両脇に見る中央通路として構築されており、前記第１軌道部は、前記床上にて平面的に見て前記第１天井部下でループ状になっており、前記搬送車は、前記中央通路内を巡回又は周回走行可能とされている。
【００１９】
この態様によれば、工程間搬送システムによる制御下で、搬送車を第１軌道部にて巡回或いは周回走行させることで、例えば、複数のベイ間における搬送車の移動など、工程間における搬送を効率良く行うことが可能となる。
【００２０】
＜４＞
本発明の工場内搬送システムの他の態様では、前記第１軌道部は、前記床からの高さが相異なる二つの平坦部及び該二つの平坦部間を接続する傾斜部を有し、前記通路は、前記二つの平坦部のうち高さの高い方の下に設けられている。
【００２１】
この態様によれば、第１軌道部が有する二つの平坦部のうち高さの高い方の下に通路が設けられており、高さの低い方の下には通路が設けられていない。従って、より一層の工場内スペースの有効利用・有効活用が可能となり、既存の工場内において、大型化されたＦＯＵＰ及びビークルを新たに導入するような設備新設・増設の際に、より一層有利となる。しかも、これらの二つの平坦部間は、傾斜部で接続されており、第１軌道部における搬送車の搬送、即ち工程間搬送については、第１軌道部内における高低差の存在によらずに問題なく実行可能な環境を比較的容易にして構築できる。
【００２２】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態の工場内搬送システムが設置される各種工場内の天井を示す概念的な斜視図である。
【図２】実施形態の工場内搬送システムで天井に敷設されたレールを示す図式的な斜視図である。
【図３】実施形態の工場内搬送システムでレール上を走行するビークルを、処理装置等と共に示す斜視図である。
【図４】実施形態の工場内搬送システムを、工場及び通路等と共に示す図式的な断面図ある。
【図５】比較例の工場内搬送システムで天井に敷設されたレールを示す図式的な斜視図である。
【図６】実施形態の変形例の工場内搬送システムで天井に敷設されたレールを示す図式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２５】
先ず、実施形態に係る工場内搬送システムが設置される各種工場について図１を参照して説明する。以下、工場の一例として半導体製造工場或いは液晶製造工場内に設けられる、「クリーンルーム」を例にとって説明する。なお、クリーンルームは、同一工場建物内に一個又は複数個設けられる。複数のクリーンルームは、工場建物内に、平面的に配列されるのみならず、工場建物の複数階のいずれか一つ又は複数の階に設けられてもよい。その場合には、クリーンルームの天井は、上階の床の裏側（即ち下側）に対応するか、又は最上階の場合には屋根の裏側（即ち下側）に対応する。或いは、クリーンルームを平屋造りとするならば、天井は、工場建物の屋根の裏側（即ち下側）に対応する。
【００２６】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に夫々、外観を示すように、実施形態に係る工場内搬送システムが設置されるクリーンルーム１０００は、天井高さの高い天井１００１と、天井高さの低い天井１００２とを有する。出入口１００５については、適宜に設けられる。このように、クリーンルーム１０００は、いずれの場合にも、中央付近又は端に、水平一方向に長手状に延在する高い天井１００１を有している。これにより、工場本体の強度向上、工場内部の使い勝手の向上、効率の良い工程組み、総合的なコストパフォーマンスの向上等の各種利益が得られる。言い換えれば、このような形状・仕様で、規格化・標準化されたクリーンルームが、伝統的に建設されている。後で詳述するように、クリーンルーム内に確保される中央通路は、長手状に延在する高い天井１００１に沿って延びるように、高い天井１００１の下に位置する。
【００２７】
図２において、工場内搬送システムで天井に敷設された、本発明に係る「軌道」の一例であるレールは、第１レール部１１０、第２レール部１２０及び連絡レール部１３０を備える。
【００２８】
第１レール部１１０は、本発明に係る「第１軌道部」の一例を構成しており、工場内の中央通路に沿って、即ち、図１に示した高い天井１００１に沿って延在するように天井から懸吊される形で敷設されている。更に、第１レール部１１０は、細長いループ状に敷設されている。第１レール部１１０は、その軌道上を、後で詳述する懸垂型のビークルが右周り若しくは左回り又は両周りにて巡回するように構成されている。
【００２９】
複数の第２レール部１２０は夫々、本発明に係る「第２軌道部」の一例を構成しており、夫々が、第１レール部１１０から（言い換えれば、工場内の中央通路から）これに直交する方向に、即ち、図１に示した低い天井１００２の側へ枝葉状に分岐して延在するように、天井から懸吊される形で敷設されている。更に、複数の第２レール部１２０は夫々、細長いループ状に敷設されている。第２レール部１２０は、その軌道上を、後で詳述する懸垂型のビークルが右周り若しくは左回り又は両周りにて巡回するように構成されている。なお、第２レール部１２０は、図中点線で示すような湾曲軌道部１２０ｃによって、完全に周回可能なように構成されてもよいし、湾曲軌道部１２０ｃなしに、不完全に周回可能なように構成されていてもよい。
【００３０】
第１レール部１１０は、工程間搬送システムのレールであり、複数の第２レール部１２０は夫々、工程内搬送システム用のレールである。両者間にある高低差に応じて傾斜した連絡レール部１３０によって、両者は、相互に連絡されている。連絡レール部１３０は、例えば、数ｃｍ〜十数ｃｍ或いは数十ｃｍなどの高低差を、ビークル（図３参照）が走行可能な程度の滑らかな傾斜を持って連絡するように構成されている。
【００３１】
図３に示すように、第２レール部１２０には、懸垂型のビークル１０が、ＦＯＵＰ２０を適宜保持した状態で、矢印ＡＲの方向に搬送可能に且つ適宜に停止可能に取り付けられている。ビークル１０は、把持機構を有し、ＦＯＵＰ２０を、自らから処理装置２０１へ移載したり、処理装置２０１から自らへ移載したりする。処理装置２０１は、半導体製造装置の一つであり、床２００上に、壁２００Ｗにより囲まれたクリーンルーム内に部分的に設置されている。ビークル１０は、図２に示した第１レール部１１０上では、工程間搬送システムの制御下でその搬送動作を行い、図２に示した各第２レール部１２０上では、各工程内搬送システムの制御下でその搬送動作を行うように構成されている。なお、図２に示した連絡レール部１３０上における搬送制御は、工程内・工程間統合搬送システムによる制御下、或いは工程内搬送システム工程間搬送システム及び工程内搬送システムの少なくとも一方による制御下で、実行されればよい。
【００３２】
図４に示すように、第１レール部１１０上のビークル１０の下面の高さｈ１は、第２レール部１２０上のビークル１０の下面の高さｈ２よりも高い。例えば、高さｈ１は、２５０ｃｍ又はそれ以上に設定され、高さｈ２は、設定可能高さの下限である２４５ｃｍにほぼ合致するように設定されている。なお、高い天井１００１は、例えば、その床からの高さが５〜８ｍ（メートル）程度である。低い天井１００２は、例えば、その床からの高さが、３．５〜５ｍ程度である。
【００３３】
高い天井１００１の下方には、高い天井１００１の延在する方向に沿って、工員、作業員等である人５１が通行可能な中央通路１００が設けられている。中央通路１００に、ＦＯＵＰ２０を一時的又は長期的に保管する、本発明の「一時保管装置」或いは「保管装置」の一例である、ストッカー２０２が設置されている。
【００３４】
図１から図４に示した工場内搬送システムによれば、その動作時には、低い天井１００２下では、各第２レール部１２０に対応する「ベイ」と呼ばれる各エリア内で、ビークル１０によりＦＯＵＰ２０が搬送される。これにより、例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等である各工程が適宜に且つ順番に実施される。このような工程内搬送と相前後して又は並列に、高い天井１００１下では、ビークル１０によりＦＯＵＰ２０が工程間搬送される。これらの搬送動作によって、ＦＯＵＰに収容された半導体装置等の装置が最終形態に向けて自動的に製造される。
【００３５】
この際、複数の第２レール部１２０は夫々、ループ状になってベイを構築しており、ビークル１０は、ベイ内を巡回又は周回走行するように構成されているので、各ベイにて、各ベイが受け持つ工程を効率良く行える。第１レール部１１０は、中央通路１００内に細長いループ状になっており、ビークル１０は、このようなループ内を巡回又は周回走行するように構成されているので、中央通路１００内にて、工程間搬送を効率良く行える。
【００３６】
本実施形態では特に、第１レール部１１０は、ビークル１０の下面の高さｈ１が、第２レール部１２０における高さｈ２よりも高くなるように構成されている。従って、第１レール部１１０及び第２レール部１２０間には高低差が生じるが、これら両者間を、傾斜した連絡レール部１３０が、ビークル１０が乗り入れ可能となるように連絡している。よって、このような高低差は、ビークル１０の走行の支障とならない。従って、各ベイ内で搬送を受け持つビークル１０の複数のベイ相互間、並びに各ベイ及び中央通路内にある第１レール１１０間における、相互乗り入れが適宜に実施される。
【００３７】
しかも、クリーンルーム１０００内における中央通路１００は、高さｈ１が確保されている第１レール部１１０下に、設けられている。例えば、ここでの高さｈ１を、２５０ｃｍ又はそれ以上という、直立した人５１が上方に掲げた手の先端が動く範囲５２が、余裕を持ってビークル１０の下面に重ならない程度の高さに設定することで、人５１は安心して中央通路１００を通過できる。これは、中央通路１００における天井高さを要求する各種規格をクリアすることにも繋がる。
【００３８】
図５の比較例に示すように、仮に第１レール部１１０及び第２レール部１２０を相互に同一の高さとしてレールを構築した場合、仮に第１レール部の高さｈ１を、ほぼ２４５ｃｍに設定すると、直立した人５１が範囲５２内へと上方に掲げた手がぶつかる可能性が生じるが故に、人５１は安心して中央通路１００を通過できなくなる。これは、中央通路１００における天井高さを要求する各種規格をクリアできないことにも繋がる。
【００３９】
図２及び図５を参照すると、比較例の構成に比べて、本実施形態の構成は、第１レール部１１０及び第２レール部１２０間で高さを変えると共に傾斜した連絡レール部１３０を導入することで、構築できる。即ち、クリーンルーム１０００内を占有する工場内搬送システム全体のスペースを考えた場合には、比較例と本実施形態とでは大差が無い。特に、本実施形態では、中央通路１００を設けない第２レール部１２０における高さｈ２を、相対的に低く、具体的には、ビークル１０が走行可能であり且つビークル１０及び処理装置２０１間でＦＯＵＰ２０を移載可能であるに必要十分な高さに設定することにより、クリーンルーム１０００の内部空間を広く取る必要が無くなる。特に、既存のクリーンルーム１０００（図１参照）内において、大型化されたＦＯＵＰ２０及びビークル１０を新たに導入するような設備新設・増設の際に、著しく有利となる。具体的には、例えば、同一クリーンルーム１０００内にて、直径３００ｍｍウエーハ対応のＦＯＵＰ２０及びビークル１０から、直径４５０ｍｍウエーハ対応のＦＯＵＰ２０及びビークル１０へと切り替えることが、クリーンルーム１０００自体のリフォームを殆ど又は全く伴うことなく、比較的容易にして実施可能となる。
【００４０】
更に、図２及び図５を参照すると、本実施形態の場合、比較例の構成に比べて、レールの構成に手を加えれば、概ねビークル１０が傾斜した連絡レール部１３０を登坂可能である限り、他の構成に対して殆ど又は全く手を加える必要がないようにも出来る。即ち、既存の工場内搬送システムに対して、実践的な意味で必要最小限の変更を加えることで、上述の如き多大な利益をもたらすシステムを構築できる。
【００４１】
本実施形態の変形例について図６を参照して、説明する。ここに図６は、変形例に係る図２と同趣旨の斜視図である。
【００４２】
図６に示すように、変形例では、第１レール部１１０は、床２００からの高さが相異なる二つの平坦部１１０ａ及び１１０ｂ、並びにこれらの平坦部１１０ａ及び１１０ｂ間を接続する傾斜レール部２３０を有する。中央通路１００として機能する通路（図４参照）は、これら二つの平坦部１１０ａ及び１１０ｂのうち高さの高い方である平坦部１１０ａの下に設けられている。よって、本変形例によれば、より一層のクリーンルーム１０００内スペースの有効利用・有効活用が可能となり、既存のクリーンルーム１０００内において、大型化されたＦＯＵＰ２０及びビークル１０を新たに導入するような設備新設・増設の際に、より一層有利となる。
【００４３】
尚、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う工場内搬送システムもまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４４】
１０…ビークル、２０…ＦＯＵＰ、５１…人、１００…中央通路、１１０…第１レール部、１２０…第２レール部、１３０…連絡レール部、２００…床、２０１…処理装置、２０２…ストッカー、２３０…傾斜レール部、１０００…クリーンルーム、１００１…高い天井、１００２…低い天井
【図１】
2012188193.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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