(57)【要約】      （修正有）【課題】吐出安定性の向上及び歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力室２１と、複数の圧力室に液体を供給するマニホールド３２が形成されたマニホールドプレート３３と、圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを備え、マニホールドが第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂが積層されて形成された液体噴射ヘッド１０の製造方法であって、第１マニホールド形成基板に、複数の第１マニホールドプレート３３Ａを形成する工程と、第２マニホールド形成基板に、複数の第２マニホールドプレート３３Ｂを形成する工程と、第１マニホールド形成基板及び第２マニホールド形成基板において同一位置から切り分けられた第１マニホールドプレートと第２マニホールドプレートとを接合する工程と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力室と、複数の前記圧力室に液体を供給するマニホールドが形成されたマニホールドプレートと、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を備え、前記マニホールドが第１マニホールドプレート及び第２マニホールドプレートが積層されて形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
第１マニホールド形成基板に、複数の前記第１マニホールドプレートを形成する工程と、
第２マニホールド形成基板に、複数の前記第２マニホールドプレートを形成する工程と、
前記第１マニホールド形成基板及び前記第２マニホールド形成基板において同一位置から切り分けられた前記第１マニホールドプレートと前記第２マニホールドプレートとを接合する工程と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 
【請求項２】
前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートをエッチングにより形成することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートをプレス加工により形成することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートは、金属からなることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートは、略同一形状を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記圧力発生手段の駆動条件を、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートの前記第１マニホールド形成基板及び前記第２マニホールド形成基板における位置に応じて設定する工程をさらに備えることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法により液体噴射ヘッドを製造する工程を具備することを特徴とする液体噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法及び液体噴射装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子等の圧力発生手段と圧力発生手段によって圧力変動されるインクが充填される圧力発生室とが設けられたアクチュエーターユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び前記圧力発生室に連通するマニホールドが設けられた流路ユニットと、を具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−０４２５５９号公報（第６〜８頁、第１〜２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、流路ユニットを構成する流路基板は、プレス加工やエッチング加工等により形成するが、大判内に小判の流路基板を形成することで生産性を向上しているものの、得られた小判の中においてエッチング量やプレスの肉寄せ量などの影響により、ばらつきが生じていた。
【０００５】
ここで、インクジェット式記録ヘッドは数ｐｌ（ピコリットル）という非常に小さなインク滴を吐出するという性質上、高い精度が求められていると共に、このばらつきを有する流路基板同士を組み立てることで、流路に段差が生じたり、接着剤がはみ出すなどによって流路が狭くなってしまう虞があり、吐出安定性の低下や歩留まりが低下してしまう等の問題が生じていた。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑み、吐出安定性の向上及び歩留まりを向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口に連通する圧力室と、複数の前記圧力室に液体を供給するマニホールドが形成されたマニホールドプレートと、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を備え、前記マニホールドが第１マニホールドプレート及び第２マニホールドプレートが積層されて形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、第１マニホールド形成基板に、複数の前記第１マニホールドプレートを形成する工程と、第２マニホールド形成基板に、複数の前記第２マニホールドプレートを形成する工程と、前記第１マニホールド形成基板及び前記第２マニホールド形成基板において同一位置から切り分けられた前記第１マニホールドプレートと前記第２マニホールドプレートとを接合する工程と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、第１マニホールドプレートの第１マニホールド形成基板の加工位置による加工偏りと、第２マニホールドプレートの第２マニホールド形成基板の加工位置による加工偏りと、が同じ偏りとなるようにして、流路等に段差の発生や接着剤のはみ出しなどを低減して、流路が狭くなることで発生する吐出安定性の低下や歩留まりの低下を抑制することができる。
【０００８】
ここで、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートをエッチングにより形成することが好ましい。これによれば、エッチングによって高い加工精度で形成することができる。
【０００９】
また、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートをプレス加工により形成してもよい。これによれば、低コストで製造することができる。
【００１０】
また、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートは、金属からなることが好ましい。これによれば、金属からなる第１マニホールドプレート及び第２マニホールドプレートの加工偏りが発生しても、加工偏りの差を低減することができる。
【００１１】
また、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートは、略同一形状を有することが好ましい。これによれば、第１マニホールドプレートと第２マニホールドプレートとに同一形状の加工を施すことによって、加工位置による加工偏りの程度が同等となるため、加工位置を揃えた第１マニホールドプレートと第２マニホールドプレートとを接合することで、加工偏りの差を低減することができる。
【００１２】
また、前記圧力発生手段の駆動条件を、前記第１マニホールドプレート及び前記第２マニホールドプレートの前記第１マニホールド形成基板及び前記第２マニホールド形成基板における位置に応じて設定する工程をさらに備えることが好ましい。これによれば、加工偏りに基づいて圧力発生手段の駆動条件を設定することにより、流路に最適な駆動を圧力発生手段に行わせることができ、液滴噴射特性を向上することができる。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドの製造方法により液体噴射ヘッドを製造する工程を具備することを特徴とする液体噴射装置の製造方法にある。
かかる態様では、吐出安定性を向上して歩留まりを向上した液体噴射装置を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す平面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１６】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、このアクチュエーターユニット２０が固定される流路ユニット３０と、を具備する。
【００１７】
アクチュエーターユニット２０は、圧力発生手段としての圧電素子４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力室２１が形成された圧力室プレート２２と、圧力室プレート２２の一方面側に設けられた振動板２３と、圧力室プレート２２の他方面側に設けられた圧力室底板２４とを有する。
【００１８】
圧力室プレート２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力室２１がその幅方向に沿って並設されている。そして、この圧力室プレート２２の一方面に、例えば、厚さ１０〜１２μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなる振動板２３が固定され、圧力室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１９】
圧力室底板２４は、圧力室プレート２２の他方面側に固定されて圧力室２１の他方面を封止すると共に、圧力室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力室２１と後述するマニホールドとを連通する供給連通孔２５と、圧力室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００２０】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。
【００２１】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜と、各圧力室２１毎に独立して設けられた圧電体層と、各圧電体層上に設けられた上電極膜とで構成されている。圧電体層は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜は、並設された圧電体層に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜を各圧電体層毎に設けるようにしてもよく、また、振動板として下電極膜のみを設けるようにしてもよい。
【００２２】
なお、アクチュエーターユニット２０の各層である圧力室プレート２２、振動板２３及び圧力室底板２４は、例えば、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、圧力室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２３】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールドプレート３３と、マニホールドプレート３３の液体供給口形成基板３１とは反対側に設けられたノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２４】
液体供給口形成基板３１は、厚さ６０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなり、ノズル開口３４と圧力室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力室２１とを接続する液体供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入口３８が設けられている。液体供給口３７と液体導入口３８とは、圧力室２１の長手方向、すなわち、圧力室２１の並設方向である一方向とは直交する方向で、後述するマニホールド３２の両端部にそれぞれ連通するように設けられている。なお、本実施形態では、１つの液体導入口３８は、詳しくは後述するマニホールド３２の圧力室２１の並設方向である一方向の中央部に連通するように設けられている。
【００２５】
マニホールドプレート３３は、アクチュエーターユニット２０側に設けられた第１マニホールドプレート３３Ａと、ノズルプレート３５側に設けられた第２マニホールドプレート３３Ｂとが接着剤等で接合されて構成されている。
【００２６】
このような、マニホールドプレート３３には、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とが設けられている。
【００２７】
マニホールド３２は、複数の圧力室２１に亘って、すなわち、圧力室２１の並設方向である一方向に亘って設けられている。また、マニホールド３２及びノズル連通孔３９は、マニホールドプレート３３を厚さ方向に貫通して、すなわち、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを貫通して形成されている。本実施形態では、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとは同一形状を有する。すなわち、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとが同一形状とは、第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂに形成されたマニホールド３２及びノズル連通孔３９などの流路の形状が同一形状であることを言う。ちなみに、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとの流路形状が同一形状であるとは、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを積層して、一方の基板から平面視した際に、マニホールド３２とノズル連通孔３９とが重なり合う形状となっていることを言う。つまり、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとに形成されたマニホールド３２及びノズル連通孔３９は、同じ開口形状となるように形成されている。
【００２８】
このような第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂの材料としては、インク流路（液体流路）を構成するに適した耐食性を備えた材料、例えば、ステンレス鋼等の金属やセラミックスなどを用いることができる。
【００２９】
このように、マニホールドプレート３３を第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを積層して形成することで、マニホールドプレートとして１枚の厚さが厚い基板を用いるのに比べて、高精度に形成することができる。すなわち、１枚の厚いマニホールドプレートを用いると、エッチングやプレス加工によってマニホールド３２やノズル連通孔３９を高精度に形成するのが困難である。そして、マニホールド３２やノズル連通孔３９の加工精度が低下すると、インク吐出特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、マニホールドプレート３３を第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを積層して形成することで、マニホールド３２やノズル連通孔３９を高精度に形成することができ、インク吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００３０】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にもノズル開口３４の列が２列形成されている。また、ノズルプレート３５は、マニホールドプレート３３の圧力室プレート２２の反対面に接合されてマニホールド３２の一方面を封止している。
【００３１】
このような流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、マニホールドプレート３３及びノズルプレート３５を接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００３２】
そして、このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）から液体導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。
【００３３】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッド１０の製造方法について説明する。なお、図３及び図４は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す平面図であり、図５は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００３４】
図３に示すように、第１マニホールド形成基板１３３Ａに、第１マニホールドプレート３３Ａを複数枚一体的に形成すると共に、第１マニホールド形成基板１３３Ａから第１マニホールドプレート３３Ａを切り分ける。
【００３５】
具体的には、本実施形態では、ステンレス鋼の平板をプレス加工することにより、マニホールド３２及びノズル連通孔３９を形成すると同時に第１マニホールドプレート３３Ａ毎に切り分ける。もちろん、マニホールド３２及びノズル連通孔３９の形成と、第１マニホールドプレート３３Ａの切り分けとを別工程で行ってもよい。また、マニホールド３２及びノズル連通孔３９の形成や第１マニホールドプレート３３Ａの切り分けはプレス加工に限定されず、エッチング等で行ってもよい。
【００３６】
このように第１マニホールド形成基板１３３Ａから第１マニホールドプレート３３Ａを形成した際に、形成した第１マニホールドプレート３３Ａが、第１マニホールド形成基板１３３Ａのどの位置から形成したのか識別可能にしておく。例えば、第１マニホールド形成基板１３３Ａの第１マニホールドプレート３３Ａが切り分けられる位置にアドレスを付与し、アドレスにより識別できるようにしてもよい。具体的には、第１マニホールド形成基板１３３ＡのＸ軸方向に１〜Ｘａ、Ｙ軸方向に１〜Ｙａの番号を付与し、切り分けた第１マニホールドプレート３３ＡにＸ軸の番号とＹ軸の番号とで表されるアドレス１−１〜Ｘａ−Ｙａを付与しておくことで、第１マニホールドプレート３３Ａが第１マニホールド形成基板１３３Ａのどの位置で形成されたものか識別することができる。
【００３７】
同様に、図４に示すように、第２マニホールド形成基板１３３Ｂに、第２マニホールドプレート３３Ｂを複数枚一体的に形成すると共に、第２マニホールド形成基板１３３Ｂから第２マニホールドプレート３３Ｂを切り分ける。本実施形態では、第２マニホールドプレート３３Ｂについても、第１マニホールドプレート３３Ａと同じように１−１〜Ｘｂ−Ｙｂのアドレスを付与して形成した。
【００３８】
そして、図５（ａ）に示すように、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを接合してマニホールドプレート３３を形成する。このとき、第１マニホールド形成基板１３３Ａと第２マニホールド形成基板１３３Ｂの同一位置から切り分けられた第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを接合する。例えば、アドレスが１−１の第１マニホールドプレート３３Ａと、アドレスが１−１の第２マニホールドプレート３３Ｂとを接合する。すなわち、アドレスがＸａ−Ｙａの第１マニホールドプレート３３Ａと、アドレスがＸｂ−Ｙｂの第２マニホールドプレート３３Ｂとを接合する。
【００３９】
これにより、第１マニホールドプレート３３Ａを第１マニホールド形成基板１３３Ａに形成する際に、第１マニホールド形成基板１３３Ａに第１マニホールドプレート３３Ａを形成する位置によって加工の偏りが生じたとしても、同じ偏りとなる第２マニホールドプレート３３Ｂを接合することで、偏りの差を低減して、流路（具体的には、マニホールド３２やノズル連通孔３９等）への段差の発生や、接着剤のはみ出し等を抑制することができ、流路が狭くなることを抑制して、吐出安定性を向上することができると共に歩留まりを向上することができる。すなわち、インクジェット式記録ヘッド１０は、数ｐｌ（ピコリットル）という非常に小さなインク滴を吐出するという性質上、高い精度が求められているが、流路に段差や接着剤のはみ出しが発生すると流路が狭くなって、吐出安定性の低下や、歩留まりが低下してしまう。特に、マニホールド３２のように大きな開口が形成されたマニホールドプレート３３では、マニホールド３２を形成する際の加工誤差が大きくなる虞があるが、上述したように、加工位置の同じ第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとを接合することで、両者の加工の偏りの差を低減することができるため、特に大きな流路内の段差の発生や接着剤のはみ出しを抑制することができる。また、マニホールドプレート３３には、圧力室２１とノズル開口３４とを連通する比較的開口の小さなノズル連通孔３９が設けられている。ノズル連通孔３９に段差や接着剤のはみ出しが発生すると、ノズル連通孔３９の流路抵抗に大きく影響を及ぼし、ノズル開口３４から吐出されるインクの吐出特性に大きく影響する。このため、ノズル連通孔３９を高精度に形成する必要があるものの、上述したようにマニホールドプレート３３として１枚の厚い板状部材を用いると、エッチングやプレス加工によって高精度な加工が困難である。また、本実施形態のように、マニホールドプレート３３として、２枚の第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂを用いたとしても、加工偏りの差を低減しなければ、ノズル連通孔３９内に段差や接着剤のはみ出しが発生してしまう。本実施形態では、まず、比較的薄い第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとに比較的高精度にマニホールド３２及びノズル連通孔３９を形成し、これら２枚のプレート（３３Ａ、３３Ｂ）同士を加工偏りの差が低減されるように組み合わせることで、ノズル連通孔３９内に段差や接着剤のはみ出しが発生するのを抑制して、インク吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００４０】
さらに、本実施形態では、マニホールドプレート３３のマニホールド３２やノズル連通孔３９内に段差や接着剤のはみ出しを抑制することができるため、このような段差やはみ出した接着剤に気泡が付着し、付着した気泡が予期せぬタイミングで吐出されてドット抜けが発生するなどの不具合も抑制することができる。
【００４１】
その後は、図５（ｂ）に示すように、マニホールドプレート３３に液体供給口形成基板３１やノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５を接合することで流路ユニット３０を形成する。また、このように形成した流路ユニット３０に、別途形成したアクチュエーターユニット２０を接合することで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０を形成することができる。
【００４２】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、上述のように、第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂは、第１マニホールド形成基板１３３Ａ及び第２マニホールド形成基板１３３Ｂに形成される加工位置によって加工に偏りが生じる。このため、第１マニホールド形成基板１３３Ａ及び第２マニホールド形成基板１３３Ｂの同じ位置から切り出した第１マニホールドプレート３３Ａ及び第２マニホールドプレート３３Ｂを接合することによって、加工の偏りの差を低減することができる。しかしながら、同一位置から切り出されて接合された第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとの接合体であっても、第１マニホールド形成基板１３３Ａ及び第２マニホールド形成基板１３３Ｂからの切り出し位置によって加工偏りが生じていることから、マニホールド３２やノズル連通孔３９などの流路寸法に誤差が生じてしまう。そして、このように流路寸法に誤差が生じた複数のインクジェット式記録ヘッド１０の圧電素子４０を同一の駆動条件で駆動すると、吐出特性にばらつきが生じてしまう。このため、第１マニホールド形成基板１３３Ａ及び第２マニホールド形成基板１３３Ｂの切り出し位置に応じて、駆動条件を設定することで対応することができる。ここで、駆動条件の設定は、例えば、インク滴を吐出させるための駆動パルスの駆動電圧や駆動波形、また単位面積当たりの着弾インク量の制御等が挙げられる。このように、加工位置の加工偏りに起因する流路寸法の誤差によって駆動条件を設定することで、インク吐出特性のばらつき調整を容易に行うことができ、インク吐出特性のばらつきの低減を図ることができる。もちろん、圧電素子４０の駆動条件の設定は、流路寸法の誤差に加えて、圧電素子４０の特性ばらつきに応じても調整するようにしてもよい。
【００４３】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４４】
例えば、上述した実施形態１では、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとに形成されたマニホールド３２やノズル連通孔３９などの流路が同一形状であるものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、第１マニホールドプレート３３Ａに形成されたマニホールド３２の形状と、第２マニホールドプレート３３Ｂに形成されたマニホールド３２の形状とが異なる形状であってもよい。すなわち、上述した実施形態１のように、第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとが完全に同一形状である必要はなく、略同一形状を有するものであってもよい。ここで、略同一形状とは、例えば、同一方向に長く伸びる流路が略同じ位置に形成されているものや、第１マニホールドプレート３３Ａに形成されたマニホールド３２と、第２マニホールドプレート３３Ｂに形成されたマニホールド３２との流路幅が異なるものを含む。このように、２つのマニホールドプレート３３Ａ、３３Ｂの形状が多少異なる形状であったとしても、２つのマニホールドプレート３３Ａ、３３Ｂの流路が略同一形状であれば、上述した実施形態１と同様に加工偏りの差を抑制することができる。
【００４５】
また、例えば、上述した実施形態１では、マニホールドプレート３３を第１マニホールドプレート３３Ａと第２マニホールドプレート３３Ｂとで構成したが、特にこれに限定されず、マニホールドプレート３３を３枚以上の基板を積層して形成してもよい。勿論、マニホールドプレート３３以外の基板、例えば、圧力室プレート２２、圧力室底板２４、液体供給口形成基板３１、ノズルプレート３５等を２枚の基板を積層して形成してもよい。この場合であっても、本発明は、基板の加工による傾向を一致させるために行うものであるため、同一の流路形状を有するものであることが好ましい。
【００４６】
また、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーター、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００４７】
なお、上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの製造方法は、当該インクジェット式記録ヘッドの製造方法を有するインクジェット式記録装置の製造方法にも適用可能である。
【００４８】
具体的には、上述したインクジェット式記録ヘッド１０は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４９】
図６に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１０を有するインクジェット式記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ（以下、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂとも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５０】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５１】
そして、このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、上述したインクジェット式記録ヘッド１０の製造方法によって製造したインクジェット式記録ヘッド１０をキャリッジ３に搭載することで製造される。
【００５２】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５３】
さらに、上述した例においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５４】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力室、  ２２  圧力室プレート、  ２３  振動板、  ２４  圧力室底板、  ２５  供給連通孔、  ３０  流路ユニット、  ３１  液体供給口形成基板、  ３２  マニホールド、  ３３  マニホールドプレート、  ３３Ａ  第１マニホールドプレート、  ３３Ｂ  第２マニホールドプレート、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ３６  ノズル連通孔、  ３７  液体供給口、  ３８  液体導入口、  ３９  ノズル連通孔、  ４０  圧電素子、  １３３Ａ  第１マニホールド形成基板、  １３３Ｂ  第２マニホールド形成基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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