(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、
前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなることを特徴とするウエハ保護シート。
【請求項２】
前記合成樹脂シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなることを特徴とする請求項１記載のウエハ保護シート。
【請求項３】
厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、
前記合成樹脂シートが合成樹脂からなる中間層の両面に表面層を積層させた３層構造のシートであり、前記表面層は直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなることを特徴とするウエハ保護シート
【請求項４】
前記表面層は直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなることを特徴とする請求項３記載のウエハ保護シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエハ保護シートに関し、ウエハへの汚染を低減させることができるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）は、一般にはシリコン単結晶インゴットを薄い円板状に切り出したもので、その径は例えば２〜１８インチ程度である。このウエハの表面に、多数のＬＳＩ等の回路を形成し、このウエハをチップに切断し、この後これらのチップをパッケージングしてＬＳＩ等の半導体装置を製造する。
【０００３】
ところで、上記インゴットをウエハに切り出す工程と、上記ウエハに回路を形成する工程と、このウエハをチップに切断してパッケージングする工程とは異なる場所で行われることが多い。通常、ある工程が行われる場所から他の工程が行われる場所へのウエハの運搬には、容器が使用される。
【０００４】
容器には、例えば、複数枚のウエハが積み重ねられて収納されるが、ウエハ同士が接触すると、擦れによる傷がついてしまうために、これを防止するために特許文献１に記載されているように各ウエハ間にはポリエチレン樹脂からなるウエハ保護シートを介在させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第ＷＯ２００４／８９７８４号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところがウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触するので例えばウエハに形成された回路上にウエハ保護シートの有機物が転写する問題があり、その結果、ウエハの歩留まりが悪化していた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで本発明のウエハ保護シートは、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触してもウエハに形成された回路上にウエハ保護シートの有機物が転写するのを抑制することが出来る。更に、従来通りウエハを傷付けることなく運搬が可能で、しかもウエハを加工する際、容器からウエハを取り除くが、ウエハとウエハ保護シートとを密着せずに自動機で取り扱うことができる。
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１記載のウエハ保護シートは、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなることを特徴とする。
また、請求項２記載のウエハ保護シートは、請求項１記載の構成に加えて、前記合成樹脂シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなることを特徴とする。
また、請求項３記載のウエハ保護シートは、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂シートが合成樹脂からなる中間層の両面に表面層を積層させた３層構造のシートであり、前記表面層は直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなることを特徴とする。
また、請求項４記載のウエハ保護シートは、請求項３記載の構成に加えて、前記表面層は直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のウエハ保護シートは、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触してもウエハ上に形成された回路上にウエハ保護シートの有機物が転写するのを抑制することが出来ます。更に、従来通りウエハを傷付けることなく運搬が可能で、しかもウエハを加工する際、容器からウエハを取り除くが、ウエハとウエハ保護シートとを密着せずに自動機で取り扱うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明のウエハ保護シートの斜視図である。
【図２】本発明のウエハ保護シートの一部拡大断面図である。
【図３】ウエハの収納例を説明する斜視図である。
【図４】ウエハの収納例を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細を説明する。
本発明は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。
【００１２】
ここで上記ウエハ保護シートにおいて、合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる理由について説明する。上述したようにウエハは各工程間を容器に収納されて運搬されるが、その容器中ではウエハ表面に傷が付かないようウエハ間にポリエチレン樹脂からなるウエハ保護シートを介在させる。ところが、容器中では圧力が掛かった状態でウエハとウエハ保護シートとが密に接触するので例えばウエハに形成された回路上にウエハ保護シートの有機物が転写してしまう。そして、その有機物を定性分析したところ、ウエハ保護シートの表面に存在する低分子量のポリエチレン樹脂であることが確認された。そこで、本発明の合成樹脂製シートとして低分子量の少ない直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を選定した。
【００１３】
次に、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂について説明する。直鎖状低密度ポリエチレン樹脂は、αオレフィンが炭素数４乃至８のエチレン−αオレフィン共重合体である。そして、該樹脂の密度は０．９１０乃至０．９３０ｇ／ｃｍ３の範囲内のものであり、その結果、ウエハを運搬する容器中において、圧力下でウエハと密に該樹脂からなるウエハ保護シートが接触してもウエハを傷付けない柔らかさを有する。
また、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂は、メタロセン触媒を用いて重合させたものでよく、チーグラーナッタ（Ziegler-Natta）触媒を用いて重合させたものでもよい。
なお、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂は、側鎖の分岐が少なく、分子量の分布が均一であるので低分子量のポリエチレン成分が少ない特長を有する。
【００１４】
本発明の合成樹脂製シートとしては、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなるもの、つまり、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂からなるシートであってもよい。高密度ポリエチレン樹脂とは、密度が０．９３０乃至０．９７０ｇ／ｃｍ３の範囲内である。
また、高密度ポリエチレン樹脂は、チーグラーナッタ（Ziegler-Natta）触媒を用いて重合させたものでもよい。
なお、高密度ポリエチレン樹脂は、側鎖の分岐が少なく、分子量の分布が均一であり、直鎖状に結合しているので低分子量のポリエチレン成分が少ない特長を有する。
さらに、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂のみからなるシートは、光沢が強く、ウエハ加工工程において容器からウエハを取り除く際、ウエハとウエハ保護シートとを自動ウエハ移戴装置の反射センサーでの誤作動する場合があるが、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなるものであれば、光沢を抑えて正常にセンサーが作動し易くなる。そして、ウエハへの傷付き防止性、密着防止性、光沢を抑えて正常にセンサーが作動することを考えると、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂の配合比は３０／７０乃至７０／３０であることが好ましい。
【００１５】
本発明の合成樹脂製シートとしては、合成樹脂からなる中間層の両面に表面層を積層させた３層構造のシートであり、前記表面層は直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなるものであってもよい。更に、前記表面層は、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂とを含んでなるものであってもよく、そして、ウエハへの傷付き防止性、密着防止性、光沢を抑えて正常にセンサーが作動することを考えると、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂と高密度ポリエチレン樹脂の配合比は３０／７０乃至７０／３０であることが好ましい。
また、中間層の合成樹脂としては、高密度ポリエチレン樹脂、直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、低密度ポリエチレン樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の樹脂であればよく、ウエハ保護シートとしての剛軟度を６０〜１２０ｍｍとし、ウエハとの密着を防止し易くする観点から腰のある高密度ポリエチレン樹脂が好ましく用いられる。
なお、３層構造のシートを構成する表面層や中間層を構成する直鎖状低密度ポリエチレン樹脂、高密度ポリエチレン樹脂は上述記載のものを使用できる。低密度ポリエチレン樹脂としては、密度が０．８８０乃至０．９４０ｇ／ｃｍ３の範囲内のものを使用できる。
【００１６】
本発明のウエハ保護シートは、図１および図２に示すように、多数の凸部８と多数の凹部９とがそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置された形態の断面波状シートを円形にカットしたものである。なお、格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置された形態とは、隣接する４つの凸部８を線で結んで四角形を描いたとき、凹部９が四角形の中に入るような形態を言う。このとき、該四角形は必ずしも正方形である必要は無く、長方形であっても良い。
【００１７】
本発明のウエハ保護シート１の厚さは、図２に示すようにｔ＝８０〜１３０μｍ、好ましくはｔ＝９０〜１１０μｍである。
また、凹部９の底面から凸部８の頂面までの高さで表される凹凸の高さｈは、２０〜５０μｍにすることが好ましい。
また、凹凸の密度としては、ウエハ保護シートのシート面積１平方センチメートル当りに０．５〜１６個の凸部数および／または凹部数が存在する（０．５〜１６個／ｃｍ２）ことが好ましい。
また、一つの凸部または凹部の平面視の大きさとしては、加熱エンボスによる賦形のし易さの観点より、０．３〜３．０ｍｍ２とすることが好ましい。
また凸部と凹部はウエハを傷付けないように滑らかで角が無い形状であればよい。
【００１８】
本発明のウエハ保護シート１は、その剛軟度を６０〜１２０ｍｍ、好ましくは８０〜１００ｍｍとする。なお、ここでいう剛軟度とは、得られたウエハ保護シートについて、ＪＩＳ Ｌ１０９６ Ａ法(４５°カンチレバー法)に基づいて測定した値である。
また、剛軟度が６０ｍｍ未満であると、ウエハ保護シートが自動機での取り扱い時に垂れてしまったりして不具合が生じる虞が有る。逆に、１２０ｍｍ超であると、輸送時の振動でウエハ２を傷付け易い。
【００１９】
本発明のウエハ保護シート１は、図３に示すようにクッション材３を容器本体４の底部に載置し、その上にウエハ保護シート１とウエハ２とを交互に積み重ね、最上部にクッション材３を載置してから図４に示すように容器の蓋５を閉めて行う。この蓋５を閉める際、ウエハ２が容器６内で動かないように、圧力が加えられる。
【００２０】
本発明の合成樹脂製シートとしては、上記樹脂の他に例えば、帯電防止材料、顔料を必要に応じて添加してもよい。
【００２１】
上記帯電防止材料とは、ウエハ保護シート１への塵等の付着を防止し、またウエハ２とウエハ保護シート１との摩擦により発生する静電気を効率よく逃がすために、典型的にはウエハ保護シート１の表面抵抗率が１０１２Ω以下となるように合成樹脂に練り込まれるものである。このような帯電防止材料としては、例えばカーボンブラック、グラファイトカーボン、炭素繊維、金属粉末、金属酸化物の粉末、金属コートしたもの、アルカリ金属をイオンとする非帯電性エチレン共重合体アイオノマー樹脂、界面活性剤等の低分子型帯電防止剤や高分子型帯電防止剤等が用いられる。
【００２２】
本発明のウエハ保護シート１の製造方法は、先ずインフレーション法や押出法によって均一厚さの合成樹脂製シートを成形する。次に、得られた合成樹脂製シートを加熱エンボス加工する。即ち、合成樹脂製シートを軟化する温度まで加熱して、互いにずれた位置に多数の突起を有する対ロールに前記シートを送り込んで、合成樹脂製シートの裏面から表面に向けて前記突起で押し込んだ部分に、裏面では凹部となる表面の凸部８を賦形し、反対に合成樹脂製シートの表面から裏面に向けて前記突起で押し込んだ部分に、裏面では凸部となる表面の凹部９を賦形する。
ここで、図２に示すように、賦形された凸部および／または凹部の間に、該凸部および／または該凹部の他に、合成樹脂製シートが未変形な部分であるところの平坦部７をウエハ保護シート１が有すると、ウエハ２とウエハ保護シート１とを容器６に収納してウエハ２の厚さ方向に圧力を加えたときに、ウエハ保護シート１がフラットまたは略フラットに変形し易くなり、よりウエハ２に対する傷付き防止性が向上する。このような平坦部７の占める面積割合としては、ウエハ保護シート１の表面および裏面の全面積に対し、６０％以上であることが好ましい。
その後、凹凸が賦形されたシートをウエハ２のサイズに合わせてカットすることで、図１に示すような本発明のウエハ保護シート１が得られる。なお、ウエハ保護シート１の寸法は、ウエハ２の寸法と同一にする必要は無いが、ウエハ２の局部に偏った力が加わらないように略ウエハ２と略同一寸法にすることが好ましい。
【実施例】
【００２３】
以下、本発明の実施例を、基準とした比較例とともに、具体的に説明するが、本願発明
は実施例に限定されるものでない。なお、以下の実施例および比較例では次に示すポリエチレン樹脂、ならびに帯電防止剤、カーボンブラックを用いた。
＜直鎖状低密度ポリエチレン樹脂＞
商品名：エボリューＳＰ２３２０（株式会社プライムポリマー製、密度：０．９２０ｇ／ｃｍ３、エチレン−αオレフィンの共重合体におけるαオレフィンが１−ヘキセン）
＜低密度ポリエチレン樹脂＞
商品名：ミラソン１６Ｐ（株式会社プライムポリマー製、密度：０．９２３ｇ／ｃｍ３）
＜高密度ポリエチレン樹脂＞
商品名：ハイゼックス３３００Ｆ（株式会社プライムポリマー製、密度：０．９５０ｇ／ｃｍ３）
＜帯電防止剤Ａ＞
商品名：Ｅｎｔｉｒａ ＳＤ１００（三井・デュポン ポリケミカル株式会社製）
＜帯電防止剤Ｂ＞
商品名：Ｅｎｔｉｒａ ＡＳ５００（三井・デュポン ポリケミカル株式会社製）
【００２４】
［実施例１〜２、比較例１］
３台の押出機を備えたインフレーション式共押出機を用いて、表１に示す構成で厚みが１００μｍ（表層２０μｍ、中間層６０μｍ）の３層のシートを成形した。
次に、得られたシートを加熱して多数の突起を有する対ロールでエンボス加工し、凸部と凹部とが格子縞状に交互に多数形成された凹凸シートを成形し、これを直径８インチのプレス裁断機で裁断してウエハ保護シートを作製した。このウエハ保護シートは、凹凸の高さｈが２５μｍで、一つの凸部または凹部の平面視の大きさが１．５ｍｍ２で、凹凸の密度が４個／ｃｍ２で、平坦部の割合を約９０％とした。
こうして得られたウエハ保護シートを、以下の項目について評価した。
【００２５】
[評価項目]
・転写性：
得られたウエハ保護シートを、ＬＣＤドライバー用ウエハに１．０ｋｇ／ｃｍ２の圧力で押付けた後、該ウエハの表面が有機物によって汚染されたかレーザー顕微鏡（株式会社ＫＥＹＥＮＣＥ製、商品名：ＶＫ−８５００）で観察して評価した。
○：汚染されていない。
×：汚染されていた。
・剛軟度
得られたウエハ保護シートについて、ＪＩＳ Ｌ１０９６ Ａ法(４５°カンチレバー法)に基づいて剛軟度の測定を行った。
・傷付き防止性：
得られたウエハ保護シートを８インチウエハの間に介在させ、５ＫＰａの圧力にて容器に収納し、ウエハ面に沿った方向に５Ｈｚ、２０ｍｍ振幅で１時間の振動試験を行い、ウエハに傷が有るか否かを顕微鏡で観察して評価した。
○：傷無し。
×：傷有り。
・密着防止性
得られたウエハ保護シートを８インチウエハの間に介在させ、５ＫＰａの圧力にて容器に収納し３０日保管後、ウエハを取り出し、その際ウエハにウエハ保護シートが密着しているか否かで評価した。
○：密着無し。
×：密着有り。
・脱落性
超純水で洗浄した３０００ｍＬビーカーに、超純水を２０００ｍＬ注入し、ウエハ保護シートを1枚浸漬させた。その後、超音波洗浄槽で３８ｋＨｚの超音波を３分間印加した。その後、抽出した超純水を液中パーティクルセンサー（ＲＩＯＮ株式会社製、商品名：ＫＬ−２０Ａ）にて吸引し、塵埃粒子径０．５μｍ以上の発塵量を測定した。
【００２６】
【表１】
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【符号の説明】
【００２７】
１  ウエハ保護シート
２  ウエハ
３  クッション材
４  容器本体
５  容器蓋
６  ウエハ運搬容器
７  平坦部
８  凸部
９  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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