(57)【要約】【課題】ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることが可能な、画像表示方法、画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体を提供すること。【解決手段】表示画面ＳＣに表示されたＳＥＭ画像ＳＩのうち、ユーザが指先ＦＧを表示画面ＳＣに接触させて指定した指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像であって、指定位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含むサブ画像ＳＵを表示画面ＳＣの一部に表示する。ユーザが指先ＦＧを表示画面ＳＣに接触させたまま指示位置ＳＰを移動させると、ＳＥＭ画像ＳＩのうち移動後の指示位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像であって、移動後の指示位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含むサブ画像ＳＵを表示する。ユーザが指先ＦＧを表示画面ＳＣから離す第２の指定を行うと、指定位置ＳＰを確定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部に表示された表示画像上の位置を指定するためのポインティング手段による第１の指定によって指定された指定位置を取得する指定位置取得工程と、
前記表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成して表示するサブ画像表示工程と、
前記ポインティング手段による第２の指定によって前記指定位置を確定する指定位置確定工程とを含み、
前記サブ画像表示工程において、
取得した前記指定位置が変化した場合に、変化後の前記指定位置を含む領域の画像であって、変化後の前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成して表示する、画像表示方法。
【請求項２】
請求項１において、
確定した２つの前記指定位置間の距離を測定するとともに、測定結果を表示する測長表示工程を更に含む、画像表示方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記サブ画像表示工程において、
取得した前記指定位置を含む領域の画像を所定の倍率で拡大してサブ画像を生成する、画像表示方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記サブ画像表示工程において、
生成したサブ画像を、前記表示部の表示領域の一部、又は他の表示部に表示する、画像表示方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記ポインティング手段は、前記表示部に設けられたタッチパネルである、画像表示方法。
【請求項６】
表示部に表示された表示画像上の位置を指定するためのポインティング手段による第１の指定によって指定された指定位置を取得する指定位置取得部と、
前記表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成するサブ画像生成部と、
前記ポインティング手段による第２の指定によって前記指定位置を確定する指定位置確定部とを含み、
前記サブ画像生成部が、
取得した前記指定位置が変化した場合に、変化後の前記指定位置を含む領域の画像であって、変化後の前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成する、画像表示装置。
【請求項７】
請求項６において、
確定した２つの前記指定位置間の距離を測定する測長部を更に含む、画像表示装置。
【請求項８】
請求項６又は７において、
前記サブ画像生成部が、
取得した前記指定位置を含む領域の画像を所定の倍率で拡大してサブ画像を生成する、画像表示装置。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれかにおいて、
前記サブ画像生成部によって生成されたサブ画像を、前記表示部の表示領域の一部、又は他の表示部に表示させる、画像表示装置。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれかにおいて、
前記ポインティング手段は、前記表示部に設けられたタッチパネルである、画像表示装置。
【請求項１１】
表示部に表示された表示画像上の位置を指定するためのポインティング手段による第１の指定によって指定された指定位置を取得する指定位置取得部と、
前記表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成するサブ画像生成部と、
前記ポインティング手段による第２の指定によって前記指定位置を確定する指定位置確定部としてコンピュータを機能させ、
前記サブ画像生成部が、
取得した前記指定位置が変化した場合に、変化後の前記指定位置を含む領域の画像であって、変化後の前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成する、プログラム。
【請求項１２】
コンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体であって、請求項１１に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像表示方法、画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＳＥＭによって形成された画像を表示するディスプレイ・モニタにタッチ・スクリーンを備えたＳＥＭシステムが知られている（例えば、特許文献１）。このＳＥＭシステムでは、ユーザは、タッチ・スクリーン・ディスプレイ上の画像の任意の部分に触れて、触れた位置の画像を中央に移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００９−５４０５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ディスプレイに表示された画像上の位置をタッチパネル等のポインティング手段を用いて指定する場合、指定オブジェクト（例えば、タッチパネルに触れる指やタッチペン等のタッチオブジェクト）が画像上の指定位置を隠してしまうため、ユーザが指定位置を正確に把握することができないといった問題点があった。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることが可能な、画像表示方法、画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る画像表示方法は、
表示部に表示された表示画像上の位置を指定するためのポインティング手段による第１の指定によって指定された指定位置を取得する指定位置取得工程と、
前記表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成して表示するサブ画像表示工程と、
前記ポインティング手段による第２の指定によって前記指定位置を確定する指定位置確定工程とを含み、
前記サブ画像表示工程において、
取得した前記指定位置が変化した場合に、変化後の前記指定位置を含む領域の画像であって、変化後の前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成して表示する。
【０００７】
本発明によれば、表示部に表示された表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を表示することで、ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【０００８】
（２）本発明に係る画像表示方法では、
確定した２つの前記指定位置間の距離を測定するとともに、測定結果を表示する測長表示工程を更に含んでもよい。
【０００９】
本発明によれば、ユーザはポインティング手段による指定位置を正確に把握することができるため、２つの指示位置間の距離を正確に測定することができる。
【００１０】
（３）本発明に係る画像表示方法では、
前記サブ画像表示工程において、
取得した前記指定位置を含む領域の画像を所定の倍率で拡大してサブ画像を生成してもよい。
【００１１】
本発明によれば、ポインティング手段による指定位置をより正確にユーザに把握させることができる。
【００１２】
（４）本発明に係る画像表示方法では、
前記サブ画像表示工程において、
生成したサブ画像を、前記表示部の表示領域の一部、又は他の表示部に表示してもよい。
【００１３】
本発明によれば、ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【００１４】
（５）本発明に係る画像表示方法では、
前記ポインティング手段は、前記表示部に設けられたタッチパネルでもよい。
【００１５】
本発明によれば、タッチパネルに触れるタッチオブジェクト（例えば、ユーザの指やタッチペン）が、タッチパネル上の位置指定の際に画像上の指定位置を隠してしまう場合であっても、前記サブ画像を表示することで、画像上の指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【００１６】
（６）本発明に係る画像表示装置は、
表示部に表示された表示画像上の位置を指定するためのポインティング手段による第１の指定によって指定された指定位置を取得する指定位置取得部と、
前記表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成するサブ画像生成部と、
前記ポインティング手段による第２の指定によって前記指定位置を確定する指定位置確定部とを含み、
前記サブ画像生成部が、
取得した前記指定位置が変化した場合に、変化後の前記指定位置を含む領域の画像であって、変化後の前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成する。
【００１７】
また本発明は、上記各部（指定位置取得部、サブ画像生成部、指定位置確定部）としてコンピュータを機能させるためのプログラムに関する。また本発明は、コンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体であって、上記各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶した情報記憶媒体に関する。
【００１８】
本発明によれば、表示部に表示された表示画像のうち、取得した前記指定位置を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成することで、ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【００１９】
（７）本発明に係る画像表示装置では、
確定した２つの前記指定位置間の距離を測定する測長部を更に含んでもよい。
【００２０】
また本発明に係るプログラム及び情報記憶媒体では、
確定した２つの前記指定位置間の距離を測定する測長部として更にコンピュータを機能させてもよい。
【００２１】
本発明によれば、ユーザはポインティング手段による指定位置を正確に把握することができるため、２つの指示位置間の距離を正確に測定することができる。
【００２２】
（８）本発明に係る画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体では、
前記サブ画像生成部が、
取得した前記指定位置を含む領域の画像を所定の倍率で拡大してサブ画像を生成してもよい。
【００２３】
本発明によれば、ポインティング手段による指定位置をより正確にユーザに把握させることができる。
【００２４】
（９）本発明に係る画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体では、
前記サブ画像生成部によって生成されたサブ画像を、前記表示部の表示領域の一部、又は他の表示部に表示させてもよい。
【００２５】
本発明によれば、ポインティング手段による指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【００２６】
（１０）本発明に係る画像表示装置、プログラム及び情報記憶媒体では、
前記ポインティング手段は、前記表示部に設けられたタッチパネルでもよい。
【００２７】
本発明によれば、タッチパネルに触れるタッチオブジェクト（例えば、ユーザの指やタッチペン）が、タッチパネル上の位置指定の際に画像上の指定位置を隠してしまう場合であっても、前記サブ画像を生成することで、画像上の指定位置をユーザに正確に把握させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施形態に係る画像表示装置を適用した荷電粒子線装置の構成の一例を示す図。
【図２】タッチパネルディスプレイの表示画面を示す図。
【図３】タッチパネルディスプレイの表示画面を示す図。
【図４】本実施形態の処理の一例を示すフローチャート図。
【図５】表示画像の拡大について説明するための図。
【図６】表示画像の拡大について説明するための図。
【図７】表示画像の回転について説明するための図。
【図８】表示画像の回転について説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３０】
１．構成
図１に、本実施形態に係る画像表示装置を適用した荷電粒子線装置の構成の一例を示す。ここでは、荷電粒子線装置が、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の構成を有する場合について説明する。なお本実施形態の荷電粒子線装置は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。
【００３１】
図１に示すように、荷電粒子線装置１００は、電子銃４と、コンデンサレンズ６と、コンデンサレンズ制御装置７と、走査コイル８と、走査コイル制御装置９と、対物レンズ１０と、対物レンズ制御装置１１と、ステージ１２と、ステージ制御装置１３と、検出器１４と、増幅器１５と、処理部２０と、タッチパネル３０と、表示部３２と、記憶部３４と、情報記憶媒体３６とを含んでいる。
【００３２】
電子銃４は、電子を加速し電子ビームＢを発生する。電子銃制御装置５は、電子銃４の加速電圧等を制御する。コンデンサレンズ６は、試料Ｓに到達する電子ビームＢの照射電流量及び開き角を制御するものであり、コンデンサレンズ制御装置７により制御される。走査コイル８は、対物レンズ１０によって集束された電子ビームＢの試料Ｓ上での走査を行うための電磁コイルであり、走査コイル制御装置９により制御される。対物レンズ１０は、電子ビームＢを試料Ｓの表面で集束させるためのものであり、対物レンズ制御装置１１により制御される。ステージ１２は、ステージ制御装置１３により制御され、試料Ｓを水平方向や垂直方向に移動させ、また試料Ｓを回転、傾斜させる。電子銃４、コンデンサレンズ６、走査コイル８及び対物レンズ１０は、荷電粒子線装置の鏡筒２に収容されている。
【００３３】
検出器１４は、集束された電子ビームＢの走査に基づいて試料Ｓから放出される二次電子や反射電子を検出する。検出器１４によって検出された検出信号（二次電子や反射電子の強度信号）は、増幅器１５によって増幅された後、処理部２０に供給される。
【００３４】
タッチパネル３０（ポインティング手段の一例）は、表示部３２に表示された表示画面上の位置を指定するためのものであり、タッチパネルに対する接触操作（指定操作）によって入力された接触位置の座標値を連続的に検出し、処理部２０に出力する。タッチパネル方式としては、抵抗膜方式（４線式、５線式）、静電容量結合方式、超音波表面弾性波方式、赤外線走査方式などがある。タッチパネル３０は、表示部３２の表示領域に設けられ、表示部３２とともにタッチパネルディスプレイを構成する。タッチパネル３０への接触操作は、指先を用いて行ってもよいし、タッチペンなどを用いて行ってもよい。
【００３５】
表示部３２は、処理部２０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴなどにより実現できる。表示部３２は、処理部２０により生成された、ＳＥＭ画像（集束された電子ビームＢの走査に基づく試料Ｓの二次電子像或いは反射電子像）や、サブ画像を表示する。
【００３６】
記憶部３４は、処理部２０のワーク領域となるもので、その機能はＲＡＭなどにより実現できる。情報記憶媒体３６（コンピュータにより読み取り可能な媒体）は、プログラムやデータなどを格納するものであり、その機能は、光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤ）、光磁気ディスク（ＭＯ）、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、或いはメモリ（ＲＯＭ）などにより実現できる。処理部２０は、情報記憶媒体３６に格納されるプログラム（データ）に基づいて本実施形態の種々の処理を行う。情報記憶媒体３６には、処理部２０の各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶することができる。
【００３７】
処理部２０は、コンデンサレンズ制御装置７、走査コイル制御装置９、対物レンズ制御装置１３及びステージ装置１３を制御する処理や、増幅器１５によって増幅された検出信号を、走査コイル制御装置９に供給される電子ビームＢの走査信号と同期された画像データ（ＳＥＭ画像）とする処理、タッチパネル３０からの信号に基づきサブ画像を生成する処理、測長処理、ＳＥＭ画像を拡大・回転させる処理などの処理を行う。処理部２０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部２０は、指定位置取得部２２と、サブ画像生成部２４と、指定位置確定部２６と、測長部２８とを含む。
【００３８】
指定位置取得部２２は、表示部３２に表示されたＳＥＭ画像に対応してタッチパネル３０により検出された接触位置の座標値に基づき、当該ＳＥＭ画像（表示画像）上の指定位置の座標値を取得する。
【００３９】
サブ画像生成部２４は、処理部２０で生成され表示部３２に表示されたＳＥＭ画像のうち、指定位置取得部２２によって取得された指定位置（タッチパネル３０による第１の指定によって指定された指定位置）を含む領域の画像であって、前記指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成する。サブ画像生成部２４によって生成されたサブ画像は、表示部３２の表示領域の一部に表示される。また、生成されたサブ画像を、ＳＥＭ画像を表示する表示部３２とは異なる他の表示部（表示装置）に表示するようにしてもよい。
【００４０】
また、サブ画像生成部２４は、タッチパネル３０上でのタッチオブジェクトの接触移動に伴い、指定位置取得部２２によって取得される指定位置が変化した場合に、ＳＥＭ画像のうち変化後の指定位置を含む領域の画像であって、変化後の指定位置を示すマーカーを含むサブ画像を生成する。
【００４１】
また、サブ画像生成部２４は、指定位置取得部２２によって取得された指定位置を含む領域の画像を所定の倍率で拡大して前記サブ画像を生成するようにしてもよい。
【００４２】
指定位置確定部２６は、タッチパネル３０に対するタッチオブジェクトの操作に基づく第２の指定によって、前記指定位置を確定し、確定した前記指定位置の座標値を記憶部３４に記憶させる処理を行う。
【００４３】
測長部２８は、指定位置確定部２６によって確定された２つの前記指定位置の座標値と、ＳＥＭ画像の倍率とに基づき、確定した２つの前記指定位置間の距離を測定する測長処理を行う。２つの前記指定位置間の距離の測定結果は、表示部３２に表示される。また測長部２８は、３つ以上の前記指定位置の座標値と前記倍率とに基づき、各指定位置を結ぶ線分が構成する多角形の面積を算出してもよい。
【００４４】
２．本実施形態の手法
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。
【００４５】
図２（Ａ）は、タッチパネルディスプレイ（タッチパネル３０を備えた表示部３２）の表示画面を示す図である。表示画面ＳＣには、ＳＥＭ画像ＳＩ（表示画像の一例）が表示されている。ここでは、ＳＥＭ画像ＳＩとして、試料である粒子ＰＴの像が表示されている。ユーザは、指先ＦＧ（タッチペン等でもよい）を表示画面ＳＣ（タッチパネル３０）に接触させる操作を行うことで、ＳＥＭ画像ＳＩ上の任意の位置を指定することができる。
【００４６】
図２（Ａ）に示すように、ユーザが指先ＦＧを表示画面ＳＣに接触させて、ＳＥＭ画像ＳＩ上の任意の位置ＳＰを指定すると、ＳＥＭ画像ＳＩのうち、指定位置ＳＰを含む所定範囲の領域ＡＲの画像であって、指定位置ＳＰを示すためのマーカーＭＫを含む画像が、サブ画像ＳＵとして表示画面ＳＣの一部に表示される。
【００４７】
なお、ここでは、指定位置ＳＰを中心点とする矩形の領域ＡＲを所定範囲として設定しているが、領域ＡＲの形状と大きさ（範囲）は任意である。また、ここでは、マーカーＭＫの形状を十字線形状として、十字線の交点がその時点での指示位置ＳＰ（サブ画像ＳＵにおいて、ＳＥＭ画像上の指示位置ＳＰに相当する位置）を示すようにしているが、マーカーＭＫの形状は、指示位置ＳＰを示すものであればどのような形状でもよい。
【００４８】
また、サブ画像ＳＵを、ＳＥＭ画像ＳＩが表示されるウィンドウとは異なるウィンドウに表示してもよいし、ＳＥＭ画像ＳＩの一部に重畳して表示してもよい。また、サブ画像ＳＵを、ＳＥＭ画像ＳＩが表示される表示部３２とは異なる表示部に表示してもよい。
【００４９】
また、図２（Ａ）の例では、指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像を等倍でサブ画像ＳＵとして表示しているが、図２（Ｂ）に示すように、指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像を所定の倍率で拡大した画像であって、指定位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含む画像を、サブ画像ＳＵとして表示してもよい。また、領域ＡＲの画像を等倍でサブ画像ＳＵとして表示するモードと、領域ＡＲの画像を所定の倍率で拡大してサブ画像ＳＵとして表示するモードを、ユーザが変更できるように構成してもよい。
【００５０】
図２（Ｃ）に示すように、ユーザが指先ＦＧを表示画面ＳＣに接触させたまま移動させて指示位置ＳＰを移動させると（図２（Ｂ）の状態から図２（Ｃ）の状態へ移行）、ＳＥＭ画像ＳＩのうち移動後の指示位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像であって、移動後の指示位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含むサブ画像ＳＵが表示される。すなわち、ユーザが指先ＦＧを表示画面に接触させ続ける限り、領域ＡＲの位置は、その形状と大きさが保持された状態で、当該移動後の指示位置ＳＰを内包する位置に再設定され、領域ＡＲの位置の変更に応じてサブ画像ＳＵが更新される。
【００５１】
図２（Ａ）〜図２（Ｃ）に示すように、ユーザが指先ＦＧやタッチペン等を表示画面ＳＣに接触させてＳＥＭ画像ＳＩ上の位置を指定する場合、指先ＦＧやタッチペン等のタッチオブジェクトによりＳＥＭ画像ＳＩ上の指定位置ＳＰが視覚上隠されてしまう。
【００５２】
そこで本実施形態では、ＳＥＭ画像ＳＩのうち指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像であって、指定位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含むサブ画像ＳＵを生成し、生成したサブ画像ＳＵを、ＳＥＭ画像ＳＩとは別に表示している。このようにすると、ＳＥＭ画像ＳＩ上でのその時点における指示位置ＳＰを、ユーザに視覚上正確に知らせることができる。すなわち、ユーザは、サブ画像ＳＵを確認しながら、ＳＥＭ画像ＳＩ上で位置を指定することで、ＳＥＭ画像ＳＩ上の所望の位置を正確に指定することができる。さらに、指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像を拡大してサブ画像ＳＵとして表示することで、ＳＥＭ画像ＳＩ上の指示位置ＳＰをより正確にユーザに把握させることができる。
【００５３】
そして、ユーザが、指定位置ＳＰをＳＥＭ画像ＳＩ上の所望する位置に合わせた後、指先ＦＧを表示画面ＳＣから離す第２の指定を行うと、指示位置ＳＰが確定して、確定した指示位置ＳＰのＳＥＭ画像ＳＩ上の座標値が記憶部３４に記憶される。
【００５４】
また、ユーザが、一方の指先ＦＧによって指定位置ＳＰをＳＥＭ画像ＳＩ上の所望する位置に合わせたまま、他方の指先（タッチペン等でもよい）による第２の指定（例えば、他方の指先を表示画面ＳＣ上の任意の位置に接触させ所定時間内に離す操作）を行った場合に、一方の指先ＦＧによる接触位置を指示位置ＳＰとして確定してもよい。このようにすると、ユーザは一方の指先ＦＧを表示画面ＳＣから離さずに指定位置ＳＰを確定することができ、指先ＦＧを表示画面ＳＣから離したことによって指定位置ＳＰが所望する位置からずれてしまうことを防止することができる。
【００５５】
また、ユーザは、ＳＥＭ画像ＳＩ上で複数の指定位置ＳＰを確定して、ＳＥＭ画像ＳＩ上で測長することができる。例えば、図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示すように、一の指定位置ＳＰ１の確定後に、ＳＥＭ画像ＳＩ上の別の位置を他の指定位置ＳＰ２として確定した場合に、双方の指定位置ＳＰ１、ＳＰ２の座標値と、ＳＥＭ画像ＳＩの観察倍率とに基づき、両指定位置ＳＰ１、ＳＰ２間の距離Ｌが測定され、測定結果ＲＴが表示画面ＳＣに表示される。ユーザは、ＳＥＭ画像ＳＩ上の所望の位置を正確に指定することができるため正確な測長を行うことができる。ユーザは、例えば、ＳＥＭ画像ＳＩ内の粒子ＰＴの粒径を正確に測定することができる。
【００５６】
３．処理
次に、本実施形態の処理の一例について図４のフローチャートを用いて説明する。
【００５７】
まず、処理部２０は、ＳＥＭ画像ＳＩを表示部３２（例えば、表示部３２に表示される第１のウィンドウ）に表示させる制御を行う（ステップＳ１０）。ここで、表示部３２に表示させるＳＥＭ画像ＳＩは、増幅器１５によって増幅された検出信号に基づきリアルタイムに生成したＳＥＭ画像でもよいし、記憶部３４に記憶されたＳＥＭ画像でもよい。
【００５８】
次に、処理部２０は、ユーザによってＳＥＭ画像ＳＩ上の任意の位置ＳＰを指定する第１の指定がなされたか否かを判断する（ステップＳ１２）。すなわち、タッチパネル３０によって接触位置の座標値が検出されたか否かを判断する。第１の指定があったと判断された場合（ステップＳ１２の「Ｙ」）には、指定位置取得部２２は、タッチパネル３０で検出された座標値に基づき、ＳＥＭ画像ＳＩ上の指定位置ＳＰの座標値を取得する（ステップＳ１４）。
【００５９】
次に、サブ画像生成部２４は、ＳＥＭ画像ＳＩから指定位置ＳＰを含む領域ＡＲの画像をトリミングする処理を行い（ステップＳ１６）、トリミングした画像を所定の倍率で拡大する処理を行い（ステップＳ１８）、拡大した画像に対して、指定位置ＳＰに相当する位置にマーカーＭＫを描画（重畳）する処理を行う（ステップＳ２０）。ステップＳ１６〜ステップＳ２０の処理によって、ＳＥＭ画像ＳＩのうち指定位置ＳＰを含む領域の画像を拡大した画像であって、指定位置ＳＰを示すマーカーＭＫを含むサブ画像ＳＵが生成される。
【００６０】
次に、処理部２０は、生成されたサブ画像ＳＵを表示部３２（例えば、表示部３２に表示される第２のウィンドウ）に表示させる制御を行う（ステップＳ２２）。
【００６１】
次に、処理部２０は、ユーザによって第２の指定がなされたか否かを判断する（ステップＳ２４）。例えば、タッチパネル１６０によって接触位置が検出されなくなったと判断した場合に、第２の指定がなされたと判断する。また、第１の指定により検出された座標値との差が所定値以上である新たな座標値がタッチパネル１６０によって検出された場合に、第２の指定がなされたと判断してもよい。
【００６２】
第２の指定がなされていないと判断した場合（ステップＳ２４の「Ｎ」）には、ステップＳ１４に進み、新たに取得した指定位置ＳＰに基づきサブ画像ＳＵを更新するステップＳ１４〜Ｓ２２の処理を、第２の指定がなされるまで繰り返す。第２の指定がなされたと判断された場合（ステップＳ２４の「Ｙ」）には、指定位置確定部２６は、指定位置ＳＰを確定し、確定した指定位置ＳＰの座標値を記憶部３４に記憶させる処理を行う（ステップＳ２６）。
【００６３】
４．表示画像の拡大、回転等
本実施形態では、ユーザは、指先等を表示画面ＳＣに接触させる操作を行うことで、表示画面ＳＣに表示されたＳＥＭ画像ＳＩを拡大或いは回転させる等の操作を行うことができる。
【００６４】
例えば、図５（Ａ）に示すように、ユーザが左手の指先ＦＧ１と右手の指先ＦＧ２をそれぞれ表示画面ＳＣに接触させて、ＳＥＭ画像ＳＩの任意の位置ＳＰ１、ＳＰ２を指定した状態で、図５（Ｂ）に示すように、指定位置ＳＰ１、ＳＰ２を互いに離れる方向に移動させた場合に、指定位置ＳＰ１、ＳＰ２の移動量（例えば、移動前の指定位置ＳＰ１、ＳＰ２の中点ＭＰからの移動量）に応じて、ＳＥＭ画像ＳＩを拡大して表示画面ＳＣに表示する。ここで、ＳＥＭ画像ＳＩの中心点を中心としてＳＥＭ画像ＳＩを拡大してもよいし、移動前の指定位置ＳＰ１、２の中点ＭＰを中心としてＳＥＭ画像ＳＩを拡大してもよい。
【００６５】
また、図６（Ａ）に示すように、ユーザが左手の指先ＦＧ１と右手の指先ＦＧ２をそれぞれ表示画面ＳＣに接触させて、ＳＥＭ画像ＳＩの任意の位置ＳＰ１、ＳＰ２を指定し、そのまま指先ＦＧ１、ＦＧ２を表示画面ＳＣから離した場合に、２つの指定位置ＳＰ１、ＳＰ２に基づきその位置と大きさが決定される領域ＡＲ１（例えば、その外形が指定位置ＳＰ１、ＳＰ２を通る矩形の領域）を設定し、図６（Ｂ）に示すように、ＳＥＭ画像ＳＩのうち領域ＡＲ１の画像を拡大して表示画面ＳＣに表示してもよい。
【００６６】
ここで、ＳＥＭ画像ＳＩの拡大は、走査コイル制御装置９を制御して観察倍率を変更する（すなわち、電子線Ｂの走査領域を小さくする）ことで実現してもよいし、ＳＥＭ画像ＳＩ自体を拡大する画像処理により実現してもよい。また、ＳＥＭ画像ＳＩの中心点以外の点を中心としてＳＥＭ画像ＳＩを拡大する場合には、走査コイル制御装置９を制御して、視野位置を変更しつつ観察倍率を変更してもよい。
【００６７】
また、図７（Ａ）に示すように、ユーザが左手の指先ＦＧ１と右手の指先ＦＧ２をそれぞれ表示画面ＳＣに接触させて、ＳＥＭ画像ＳＩの任意の位置ＳＰ１、ＳＰ２を指定した状態で、図７（Ｂ）に示すように、指定位置ＳＰ１、ＳＰ２を右回り（或いは左回り）に回転移動させた場合には、指定位置ＳＰ１又は指定位置ＳＰ２の移動量（例えば、移動前の指定位置ＳＰ２と移動前の指定位置ＳＰ１、ＳＰ２の中点ＭＰを結ぶ線分と、移動後の指定位置ＳＰ２と中点ＭＰを結ぶ線分とがなす角度θ）に応じて、ＳＥＭ画像ＳＩを右回り（或いは左回り）に回転させて表示画面ＳＣに表示する。ここで、ＳＥＭ画像ＳＩの中心点を中心としてＳＥＭ画像ＳＩを回転させてもよいし、移動前の指定位置ＳＰ１、２の中点ＭＰを中心としてＳＥＭ画像ＳＩを回転させてもよい。
【００６８】
また、図８（Ａ）に示すように、ユーザが左手の指先ＦＧ１と右手の指先ＦＧ２をそれぞれ表示画面ＳＣに接触させて、ＳＥＭ画像ＳＩの任意の位置ＳＰ１、ＳＰ２を指定した状態で、図８（Ｂ）に示すように、一方の指定位置ＳＰ１を固定しつつ他方の指定位置ＳＰ２を右回り（或いは左回り）に回転移動させた場合に、他方の指定位置ＳＰ２の移動量（例えば、指定位置ＳＰ１と移動前の指定位置ＳＰ２を結ぶ線分と、指定位置ＳＰ１と移動後の指定位置ＳＰ２を結ぶ線分とがなす角度θ）に応じて、ＳＥＭ画像ＳＩを右回り（或いは左回り）に回転させて表示画面ＳＣに表示してもよい。ここで、ＳＥＭ画像ＳＩの中心点を中心としてＳＥＭ画像ＳＩを回転させてもよいし、一方の指定位置ＳＰ１を中心としてＳＥＭ画像ＳＩを回転させてもよい。
【００６９】
ここで、ＳＥＭ画像ＳＩの回転は、走査コイル制御装置９を制御して電子線Ｂの走査領域を回転すること（スキャンローテーション）で実現してもよいし、ステージ制御装置１３を制御してステージ１２を回転することで実現してもよいし、ＳＥＭ画像ＳＩ自体を回転させる画像処理により実現してもよい。
【００７０】
このように、本実施形態によれば、タッチパネルを用いた直感的な操作で表示画面ＳＣに表示されたＳＥＭ画像ＳＩを回転或いは拡大させることができ、操作性を向上することができる。また、ユーザが指先等を表示画面にＳＣに接触させたまま任意の方向に移動させた場合に、指先等の移動に応じてＳＥＭ画像ＳＩを移動させる（例えば、走査コイル制御装置９を制御して電子線Ｂの走査領域を移動させる、或いは、ステージ制御装置１３を制御してステージ１２を水平方向に移動させる）ようにしてもよい。また、ユーザが指先等を表示画面ＳＣ上の所定の領域に接触させた場合に、表示画面ＳＣに表示されたＳＥＭ画像ＳＩを記憶部３４に記憶してもよい。このとき、ＳＥＭ画像撮像時の条件（走査コイル９等の電子光学系やステージ１２の条件）とともにＳＥＭ画像を記憶し、ＳＥＭ画像撮像時の条件を再現できるようにしてもよい。また、ユーザが指先等を表示画面ＳＣに接触させた場合に、偏向コイルを制御してイメージシフトをリセットするようにしてもよい。
【００７１】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００７２】
２  鏡筒、４  電子銃、５  電子銃制御装置、６  コンデンサレンズ、７  コンデンサレンズ制御装置、８  走査コイル、９  走査コイル制御装置、１０  対物レンズ、１１  対物レンズ制御装置、１２  ステージ、１３  ステージ制御装置、１４  検出器、１５  増幅器、２０  処理部、２２  指定位置取得部、２４  サブ画像生成部、２６  指定位置確定部、２８  測長部、３０  タッチパネル、３２  表示部、３４  記憶部、３６  情報記憶媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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