(57)【要約】【解決手段】導電性ペーストを印刷してバスバー電極とこれに直交するフィンガー電極を形成する太陽電池の製造に用いるスクリーン製版であって、該スクリーン製版はバスバー電極用開口とフィンガー電極用開口が複数の箇所で接続され、該接続部の半数以下の開口幅がフィンガー電極用開口幅よりも大きく、残りの接続部の開口幅がフィンガー電極用幅と同じであることを特徴とするスクリーン製版。【効果】本発明のスクリーン製版を用いれば、太陽電池製造コストを増加させることやシャドーロスを増加させることがなく、更には、フィンガー電極とバスバー電極の接続部をフィンガー電極と同様の直線とすることができるために、太陽電池の美観を損ねることなく、バスバー電極とフィンガー電極の接続部の断線を防止することができる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ペーストを印刷してバスバー電極とこれに直交するフィンガー電極を形成する太陽電池の製造に用いるスクリーン製版であって、該スクリーン製版はバスバー電極用開口とフィンガー電極用開口が複数の箇所で接続され、該接続部の半数以下の開口幅がフィンガー電極用開口幅よりも大きく、残りの接続部の開口幅がフィンガー電極用幅と同じであることを特徴とするスクリーン製版。
【請求項２】
バスバー電極用開口の印刷開始側の片側の全部に前記フィンガー電極用開口幅よりも大きい開口幅のフィンガー接続部を有し、残りの接続部の開口幅がフィンガー電極用幅と同じであることを特徴とする請求項１記載のスクリーン製版。
【請求項３】
上記スクリーン製版のフィンガー電極の開口幅が８０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のスクリーン製版。
【請求項４】
上記スクリーン製版のバスバー電極とフィンガー電極接続部の開口幅が、フィンガー電極開口幅の１．０倍より大きく、１．５倍以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のスクリーン製版。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスクリーン製版を用いて導電性ペーストを印刷し、バスバー電極とフィンガー電極を形成する太陽電池の製造方法であって、フィンガー電極の長手方向に沿って上記印刷を行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産性がよく、信頼性が高い高効率の太陽電池を作製する方法に関し、更に詳しくは、スクリーン印刷法を利用して印刷された、バスバー電極とフィンガー電極の接続部が断線することなく高アスペクト比の電極を形成することができる太陽電池の製造方法に関する。また、本発明はかかる太陽電池の製造に用いるスクリーン製版に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術を用いて作製された太陽電池の断面図（図１）と、表面の構造（図２）及び裏面の構造（図３）を説明する。一般的な太陽電池セルは、シリコン等のｐ型半導体基板１００に、ｎ型となるドーパントを拡散して、ｎ型拡散層１０１を形成することによりｐｎ接合が形成されている。ｎ型拡散層１０１の上には、ＳｉＮx膜のような反射防止膜１０２が形成されている。ｐ型半導体基板１００の裏面側には、ほぼ全面にアルミニウムペーストが塗布され、焼結することによりＢＳＦ層１０３とアルミニウム電極１０４が形成される。また、裏面には集電用としてバスバーとよばれる太い電極１０６，３０６が、銀等を含む導電性ペーストを塗布し、焼成することで形成される。一方、受光面側には集電用のフィンガー電極２０７と、フィンガー電極から電流を集めるために形成されたバスバー電極１０５，２０５とよばれる太い電極が、略直角に交わるように櫛形状に配置される。
【０００３】
そして、この種の太陽電池を製造する際、電極形成の方法としては、蒸着法、メッキ法、印刷法、描画法等が挙げられるが、表面フィンガー電極２０７は、形成が容易で低コストである等の理由のため、一般的には、以下に示すような印刷・焼成法で形成される。すなわち、表面電極材料には、一般に銀粉末と、ガラスフリットと、有機ビヒクルと、有機溶媒とを主成分として配合した導電性ペーストが用いられ、スクリーン印刷法等によりこの導電性ペーストを塗布した後、焼成炉中で高温焼結して表面電極を形成するものである。
【０００４】
スクリーン印刷とは以下のような方法である。
まず、スクリーン印刷法で用いられているスクリーン製版は、互いに直交する縦糸と横糸とを編み込んだメッシュ材を、感光性の乳剤で被覆するとともに、この乳剤を露光により一部除去することによって略長方形のパターン孔を形成して形成される。このスクリーン製版を被印刷物上に配置させ、スクリーン製版上に載せた印刷ペースト（インク）をパターン上に塗り広げ、印刷スキージと呼ばれる柔軟性を有するヘラを適切なスキージ硬度（６０〜８０度）、スキージ角度（６０〜８０度）、圧力（印圧）（０．２〜０．５ＭＰａ）、印刷速度（２０〜１００ｍｍ／ｓｅｃ）で移動させることによって、パターン孔を介して被印刷物に付着させ、更に被印刷物に付着させた印刷ペーストを乾燥し、印刷パターンを形成させる方法である。
【０００５】
このとき、印刷ペーストがパターン孔内のメッシュ材が存在しない開口部を通って落下し、被印刷物に付着させた直後は、パターン孔内の縦糸と横糸に相当する部分には印刷ペーストは付着しないが、この後開口部に相当する部分に付着した印刷ペーストの流動が生じるため、均一な厚みの連続的な印刷パターンとなる。
【０００６】
このように、スクリーン印刷法は、スクリーン製版上のパターン開口へ充填された印刷ペーストが、印刷スキージ（ヘラ）の移動により被印刷物に転写されることによって、スクリーン製版に形成したパターン孔と同じパターンを被印刷物上に形成する手法である。
【０００７】
このような方法により形成された表面フィンガー電極２０７とＳｉ基板１００とのコンタクト抵抗（接触抵抗）と電極の配線抵抗は、太陽電池の変換効率に大きな影響を及ぼし、高効率（低セル直列抵抗、高フィルファクターＦＦ（曲線因子））を得るためには、コンタクト抵抗と表面フィンガー電極２０７の配線抵抗の値が十分に低いことが要求される。
【０００８】
また、受光面においてはできるだけ多くの光を取り込めるように電極面積を小さくしなければならない。前記ＦＦを維持したまま短絡電流（Ｊｓｃ）を向上させるために、フィンガー電極は細く、縦断面における断面積は大きく、つまり高アスペクト比のフィンガー電極を形成しなくてはならない。
【０００９】
太陽電池の電極を形成する手法のうち、高アスペクト比、超細線を形成する手法としては、セルに溝を作ってペーストを充填する方法（特許文献１：特開２００６−５４３７４号公報）や、インクジェット法による印刷手法等が開示されている。しかし、前者は基板に溝を作る工程を含むために基板にダメージを与える可能性があるため好ましくない。後者のインクジェット法は圧力をかけて細いノズルから液滴を噴射する仕組みのため、細線を形成するには適した手法であるが、高さを稼ぐことは難しい。
【００１０】
一方、スクリーン印刷法は、印刷パターンの作成が容易なこと、印圧の調節により基板に与えるダメージを最小限にできること、セル１枚あたりの作業速度も早く、低コストで生産性に優れた手法である。そしてチクソ性の高い導電性ペーストを用いることで、転写されたあとも形状を保ち、高アスペクト比の電極を形成することができる。
【００１１】
以上より、スクリーン印刷は他の印刷手法に比べ安価で、高アスペクト比の電極を形成するのに適した手法である。
【００１２】
しかし、スクリーン印刷の場合には、印刷方向（印刷スキージの進行方向）が断線を助長させる要素となる。
図４は、従来のスクリーン製版の開口部を示し、４０１はバスバー電極用開口でその幅はＷｂであり、４０２はフィンガー電極用開口でその幅はＷｆである。４０３はバスバー電極用開口とフィンガー電極用開口との接続部であり、この従来のスクリーン製版の開口接続部４０３の開口幅Ｗｃはフィンガー電極用開口幅Ｗｆと同じに形成されている。一般的にはフィンガー電極の断線を防ぐために、印刷方向とフィンガー電極はほぼ平行に、一方、印刷方向とバスバー電極はほぼ垂直となっている。このとき、印刷後の電極は、フィンガー電極に対し印刷開始側の、バスバー電極とフィンガー電極の接続部の幅が、非常に狭くなってしまう（図５の５０８）。特に細線印刷の場合には顕著に見られる。これは、フィンガー電極とバスバー電極の接続部では、バスバー電極開口部に印刷スキージが落ち込み、接続部のペースト塗布量が減るためである。一方で、印刷終了側のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の幅は、ペースト塗布量が多いために太くなる傾向がある（図５の５０９）。
【００１３】
上記問題を解決するために、バスバー電極とフィンガー電極の接続部の幅を広くする方法が開示されている（特許文献２：特開２００９−２７２４０５号公報）。しかしながら、この手法を用いると、バスバー電極とフィンガー電極の接続部が過剰に太いためににじんだり、だまになったりする。そのためにシャドーロスが増加してしまい、特性が低くなってしまうという問題があった。また、太陽電池は当然のことながら太陽光の下で使用されるデバイスであり、他の半導体デバイスと異なって、公衆の目に触れる機会が多い。従って、太陽電池には特性だけでなく、外観も非常に重要な要素となる。前記提案は、バスバー電極とフィンガー電極の接続部が太くなってしまうことにより、フィンガー電極太さが不連続となり、美観を損ねてしまうという問題があった。
【００１４】
また、従来、特開２００５−１５０５４０号公報（特許文献３）には、片側全面に対して開口幅を大きくさせたスクリーン製版が記載されているが、特許文献３のスクリーン製版は幅１００μｍ以上の太い電極を対象とするものであり、このような太線で片側全面の開口幅を大きくすると、高価なペーストを大量に使うので、コストが増加してしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００６−５４３７４号公報
【特許文献２】特開２００９−２７２４０５号公報
【特許文献３】特開２００５−１５０５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高いアスペクト比を有し抵抗が低い電極を形成することによって、変換効率の高い太陽電池を低コストで製造する方法、及びその方法に用いるスクリーン製版を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明は、導電性ペーストを印刷してバスバー電極とこれに直交するフィンガー電極を形成する太陽電池の製造に用いるスクリーン製版であって、該スクリーン製版はバスバー電極用開口とフィンガー電極用開口が複数の箇所で接続され、該接続部片側の半数以下の開口幅がフィンガー電極用開口幅よりも大きく、残りの接続部の開口幅がフィンガー電極用幅と同じであることを特徴とするスクリーン製版を提供する（請求項１）。
この場合、バスバー電極用開口の印刷開始側の片側の全部に前記フィンガー電極用開口幅よりも大きい開口幅のフィンガー接続部を有し、残りの接続部の開口幅がフィンガー電極用幅と同じであることが好ましい（請求項２）。
この場合、上記スクリーン製版のフィンガー電極の開口幅が８０μｍ以下であることが好ましい（請求項３）。一般的に用いられている開口幅８０超〜１００μｍであれば、上記のような断線が発生することは稀である。本手法が効果的なのは開口幅８０μｍ以下の細線である。なお、開口幅が５０〜８０μｍ、特に６０〜７０μｍであれば、本方法は非常に有効である。
また、印刷後のフィンガー電極の幅は接続部が印刷後フィンガー電極幅と同等でないと、太陽電池の美観を損ね、外観不良となり歩留りが低下してしまう。そのため、上記スクリーン製版のバスバー電極とフィンガー電極接続部の開口幅が、フィンガー電極開口幅の１．０倍より大きく、１．５倍以下であることが好ましい（請求項４）。
【００１８】
本発明は、更に、上記のスクリーン製版を用いて導電性ペーストを印刷し、バスバー電極とフィンガー電極を形成する太陽電池の製造方法であって、フィンガー電極の長手方向に沿って上記印刷を行うことを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する（請求項５）。
上記のような特徴を有するスクリーン製版を用いて印刷する太陽電池の製造方法において、フィンガー電極の断線を防止するために、フィンガー電極に対して印刷方向はほぼ平行であることが望ましい。
印刷方向がフィンガー電極とほぼ平行の場合、印刷後の電極は、フィンガー電極に対し印刷開始側のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の幅が、細くなることが多い。そのため、バスバー電極とフィンガー電極の、少なくとも印刷開始側の接続部の開口幅が、フィンガー電極より大きいことが望ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のスクリーン製版を用いれば、太陽電池製造コストを増加させることやシャドーロスを増加させることがなく、更には、フィンガー電極とバスバー電極の接続部をフィンガー電極と同様の直線とすることができるために、太陽電池の美観を損ねることなく、バスバー電極とフィンガー電極の接続部の断線を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一般的な太陽電池の電極の断面図である。
【図２】一般的な太陽電池の表面形状を示す図である。
【図３】一般的な太陽電池の裏面形状を示す図である。
【図４】従来のスクリーン製版の開口部拡大図である。
【図５】従来のスクリーン製版による印刷後拡大図である。
【図６】比較のスクリーン製版の開口部拡大図である。
【図７】比較のスクリーン製版による印刷後拡大図である。
【図８】本発明のスクリーン製版の開口部拡大図である。
【図９】本発明のスクリーン製版による印刷後拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係るスクリーン製版は、太陽電池の作製に用いられるものであり、本発明の太陽電池の作製方法の一例を以下に述べる。ただし、本発明はこの方法で作製された太陽電池に限られるものではない。
【００２２】
高純度シリコンにホウ素あるいはガリウムのようなＩＩＩ族元素をドープし、比抵抗０．１〜５Ω・ｃｍとしたアズカット単結晶｛１００｝ｐ型シリコン基板表面のスライスダメージを、濃度５〜６０質量％の水酸化ナトリウムや水酸化カリウムのような高濃度のアルカリ、もしくは、フッ酸と硝酸の混酸等を用いてエッチングする。単結晶シリコン基板は、ＣＺ法、ＦＺ法のいずれの方法によって作製されてもよい。
【００２３】
引き続き、基板表面にテクスチャとよばれる微小な凹凸形成を行う。テクスチャは太陽電池の反射率を低下させるための有効な方法である。テクスチャは、加熱した水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム等のアルカリ溶液（濃度１〜１０質量％、温度６０〜１００℃）中に１０〜３０分程度浸漬することで容易に作製される。上記溶液中に、所定量の２−プロパノールを溶解させ、反応を促進させることが多い。
【００２４】
テクスチャ形成後、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸等、もしくはこれらの混合液の酸性水溶液中で洗浄する。経済的及び効率的見地から、塩酸中での洗浄が好ましい。清浄度を向上するため、塩酸溶液中に、０．５〜５質量％の過酸化水素水を混合させ、６０〜９０℃に加温して洗浄してもよい。
【００２５】
この基板上に、オキシ塩化リンを用いた気相拡散法によりエミッタ層を形成する。一般的なシリコン太陽電池は、ｐｎ接合を受光面にのみ形成する必要があり、これを達成するために基板同士を２枚重ね合わせた状態で拡散したり、拡散前に裏面にＳｉＯ2膜やＳｉＮx膜等を拡散マスクとして形成して、裏面にｐｎ接合ができないような工夫を施す必要がある。拡散後、表面にできたガラスをフッ酸等で除去する。
【００２６】
次に、受光面の反射防止膜形成を行う。製膜にはプラズマＣＶＤ装置を用い、ＳｉＮx膜を約１００ｎｍ製膜する。反応ガスとして、モノシラン（ＳｉＨ4）及びアンモニア（ＮＨ3）を混合して用いることが多いが、ＮＨ3の代わりに窒素を用いることも可能であり、また、プロセス圧力の調整、反応ガスの希釈、更には、基板に多結晶シリコンを用いた場合には基板のバルクパッシベーション効果を促進するため、反応ガスに水素を混合することもある。
【００２７】
次いで、裏面電極をスクリーン印刷法で形成する。上記基板の裏面に、銀粉末とガラスフリットを有機物バインダで混合したペーストをバスバー状にスクリーン印刷したのち、アルミニウム粉末を有機物バインダで混合したペーストをバスバー以外の領域にスクリーン印刷する。印刷後、５〜３０分間、７００〜８００℃の温度で焼成して、裏面電極が形成される。裏面電極形成は印刷法によるほうが好ましいが、蒸着法、スパッタリング法等で作製することも可能である。
【００２８】
次に、表面電極をスクリーン印刷法で形成する。上記基板の表面に、銀粉末とガラスフリットと有機物バインダを混合したペーストを、フィンガー電極幅が３０〜８０μｍ、フィンガー電極間隔０．５〜４．０ｍｍで設計されたくし型の印刷パターンを有するスクリーン製版を用いて印刷する。印刷後、印刷したペーストを乾燥させ、５〜３０分間、７００〜８００℃の温度で焼成して、表面電極が形成される。
【００２９】
ここで、本発明のスクリーン製版は、図８に示したように、バスバー電極用開口４０１とフィンガー電極用開口４０２との接続部において、印刷開始側接続部の開口８０８の幅Ｗｃをバスバー電極用開口幅Ｗｂより狭く、フィンガー電極用開口幅Ｗｆより広く形成すると共に、印刷終了側接続部の開口８０９の幅をフィンガー電極用開口幅と同じにする（図８）ものである。なお、この場合、印刷開始側接続部のうち１〜５０％、特に１５〜３０％をフィンガー電極用開口幅Ｗｆより広く形成することが好ましい。
【００３０】
この場合、図６に示す印刷開始側接続部の開口６０８の幅Ｗｃ及び印刷終了側接続部の開口６０９の幅それぞれをバスバー電極用開口幅Ｗｂより狭く、フィンガー電極用開口幅Ｗｆより広く形成したスクリーン製版を用いた場合、図７に示したように、印刷開始側接続部領域に存するフィンガー電極７０８の幅がフィンガー電極２０７本来の幅Ｗｆとほぼ一致し、印刷開始側のフィンガー電極がバスバー電極に至るまで同一幅を持って形成され、一方、印刷終了側接続部領域に存するフィンガー電極７０９の幅がフィンガー電極２０７本来の幅Ｗｆより広い状態に印刷形成される。また、図８に示すスクリーン製版を用いた場合、図９に示したように、フィンガー電極２０７は印刷開始側及び印刷終了側接続部領域に存するフィンガー電極９０８，９０９の幅がフィンガー電極２０７本来の幅Ｗｆと一致し、同一幅の直線状フィンガー電極２０７が印刷形成される。
【００３１】
一般的に用いられているフィンガー電極を印刷する場合のスクリーン製版の開口幅は８０超〜１００μｍである。この場合、フィンガー電極は十分太く、厚く印刷できるために、上記のような断線が発生することは稀である。しかし、開口幅８０μｍ以下の細線になると、バスバー電極とフィンガー電極の膜厚差が大きくなり、熱収縮量の違いにより断線が発生してしまう。
【００３２】
そのため、本発明では、開口幅８０μｍ以下、好ましくは５０〜８０μｍ、特に６０〜７０μｍの細線のパターンを印刷する場合には、スクリーン製版のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の開口幅が、バスバー電極より小さく、フィンガー電極より大きいスクリーン製版を用いて印刷する。
【００３３】
印刷開始、終了側のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の開口幅を極端に広くした場合、印刷後の幅は太くなってしまい、フィンガー太さが不連続となることで、セルの美観を損ねるため外観不良となってしまうおそれがある。また、電極面積の増加により、シャドーロスが増加し、セル特性を低下させる。つまり、印刷後のフィンガー電極の幅は接続部が印刷後フィンガー電極幅と同等でなければならない。そのため、前記接続部の開口幅は、フィンガー電極の開口幅より大きく、１．５倍以下の幅が好ましい。
【００３４】
スクリーン印刷の印刷方向に関しては、フィンガー電極の断線を防止するために、フィンガー電極に対して印刷方向はほぼ平行のほうがよい。
また、前記印刷方向の場合には、バスバー電極に対して印刷方向が垂直となるために、バスバー電極に印刷スキージが落ち込み、印刷開始側のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の塗布量が減少し、断線を招きやすくする。そのため、少なくとも印刷開始側のバスバー電極とフィンガー電極の接続部の開口幅が、バスバー電極より小さく、フィンガー電極より大きいスクリーン製版を用いて印刷することが好ましい。
【００３５】
上記のような手法を用いて電極を形成した後、大気下、７００〜８００℃で５〜３０分間熱処理することにより焼結させる。これにより、バスバー電極及びフィンガー電極が形成される。裏面電極及び受光面電極の焼成は一度に行うことも可能である。
【実施例】
【００３６】
以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００３７】
本発明の有効性を確認するため、以下の工程を半導体基板３０枚について行い、太陽電池を作製した。
印刷パターンは、従来のパターンＡ（フィンガー電極開口（Ｗｆ）６０μｍ：比較例）に対して、バスバー電極とフィンガー電極の印刷開始側接続部の開口（Ｗｃ）を８０μｍ（実施例）、１００μｍ（比較例）としたスクリーン製版を用意した。印刷終了側接続部の開口はフィンガー電極開口（Ｗｆ）と同じにした。バスバー電極の開口幅（Ｗｂ）はすべて２ｍｍに統一した。
【００３８】
まず、図１に示すように、１５ｃｍ角、厚さ２５０μｍ、比抵抗２．０Ω・ｃｍの、ホウ素ドープ｛１００｝ｐ型アズカットシリコン基板１００を用意し、濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去、テクスチャを形成、オキシ塩化リン雰囲気下８５０℃で熱処理したエミッタ層１０１を形成し、フッ酸にてリンガラスを除去し、洗浄、乾燥させた。次にプラズマＣＶＤ装置を用い、ＳｉＮx膜１０２を製膜し、裏面に、銀粉末とガラスフリットを有機物バインダで混合したペーストをバスバー状にスクリーン印刷した後（１０６）、アルミニウム粉末を有機物バインダで混合したペーストをバスバー以外の領域にスクリーン印刷した（１０４）。有機溶媒を乾燥して裏面電極を形成した半導体基板を作製した。
【００３９】
次に、この半導体基板上に、銀粉末と、ガラスフリットと、有機ビヒクルと、有機溶媒とを主成分とし、添加物として金属酸化物を含有した導電性ペーストを、上記印刷パターンを有するスクリーン製版を用いて、スキージ硬度７０度、スキージ角度７０度、印圧０．３ＭＰａ、印刷速度５０ｍｍ／ｓｅｃで半導体基板上に形成された反射防止膜上に塗布した。印刷後、１５０℃のクリーンオーブンで有機溶媒の乾燥を行った後、８００℃の空気雰囲気下で焼成した。
【００４０】
このように作製した太陽電池３０枚について、光学顕微鏡による電極観察とソーラーシュミレーター（２５℃の雰囲気の中、照射強度：１ｋＷ／ｍ2、スペクトル：ＡＭ１．５グローバル）による評価を行った。外観検査では、光学顕微鏡にて印刷後のフィンガー幅と接続部の幅を観察し、その差がフィンガー電極幅の±２０％以上の場合、外観不良とした。また、断線の有無は顕微鏡にて目視検査を行った。実施例１の結果平均を表１に示す。
【００４１】
【表１】
2012054442.tif 000003
【００４２】
バスバー電極とフィンガー電極の接続部の幅は、標準条件Ａに比べてＢではフィンガー電極と同等の太さになったが、Ｃではフィンガー電極太さより太くなり、外観不良となった。また、顕微鏡によりバスバー電極とフィンガー電極の接続部の断線を確認したところ、Ｂ〜Ｃでは確認されなかった。
【００４３】
短絡電流はバスバー電極とフィンガー電極の接続部の開口が大きいＣでは減少した。これは幅増加によるシャドーロスが原因である。一方曲線因子は、断線が起きたＡに比べて、断線していない水準のほうが約２％高い７５．２％を示した。
【００４４】
バスバー電極とフィンガー電極の接続部の開口幅をフィンガー電極より大きくすることで断線を回避することができた。しかし、開口幅が１．６倍以上になったとき、幅が太って外観不良となったり、短絡電流が低下して変換効率が低下したりする。
【００４５】
従来法ではバスバー電極とフィンガー電極の接続部の断線が発生したが、本発明のスクリーン製版を用いれば工程数を増やすことなく、高アスペクト比の電極を断線なく形成することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１００  ｐ型半導体基板
１０１  ｎ型拡散層
１０２  反射防止膜（ＳｉＮx膜）
１０３  ＢＳＦ層
１０４  アルミニウム電極
１０５、２０５  表面バスバー
１０６、３０６  裏面バスバー
２０７  フィンガー電極
４０３、６０８、８０８  スクリーン製版における印刷開始側接続部の開口
６０９、８０９  スクリーン製版における印刷終了側接続部の開口
７０８、９０８  印刷開始側接続部領域に存するフィンガー電極
７０９、９０９  印刷終了側接続部領域に存するフィンガー電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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