(57)【要約】【課題】複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができるダイシング装置を提供する。【解決手段】２台の切削装置ユニットが並設されている場合にその両方の切削部の背面側にドレンパン１３０と、ミストカバー１３２が配置される。これらの内部空間は、仕切板１３４により左右の２つの内部空間に分割されると共に、２つの内部空間は仕切板１３４の開口１３６により連通されている。これによって、稼働中の切削部から飛散したミストや空気を稼働停止中の切削部に回り込ませて稼働停止中の切削部の温度を稼働時の温度の維持することができ、迅速に再稼働させることができる。【選択図】図６
2012204461.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、
前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結路を形成する空間部形成部材を備えたことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
前記空間部形成部材は、前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、前記凹部の上面側を覆うカバー部材とにより構成されたことを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結路を形成する仕切部を備えたことを特徴とする請求項２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記遮蔽空間部の各々に排気ダクトが連結されていることを特徴とする請求項１、２、又は３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることを特徴とする請求項４に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記ダイシング装置は、各々１つの切削部を備えた所望台数分の切削装置ユニットを並設して組み込むことが可能であり、該切削装置ユニットを複数台組み込むことによって前記複数の切削部を備えたことを特徴とする請求項１〜５のうちいずれか１項に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェハ等のワークをチップに切断分割するダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハや電子部品材料等のワークを個々のチップに切断して分割するために、ダイシング装置が使用されている。ダイシング装置は、切削部のスピンドルにより高速回転するブレードによって、ワークを分割予定ライン（ストリート）に沿って切削（フルカット、セミフルカット、ハーフカット等の切断又は溝入れ）して個々のチップに分断する装置である。
【０００３】
また、ダイシング装置として、特許文献１のように上記の切削を行う切削工程の他に、切削工程前のワークを多数収納したカセットからワークを取り出してワークをワークテーブルに載置するロード工程、切削工程後のワークを洗浄し、乾燥させる洗浄工程、洗浄工程後のワークをカセットに収納するアンロード工程等の一連の処理工程（作業工程）を行うと共に、各処理工程間でのワークの搬送（搬送工程）を自動で行うものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１６８０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ワークであるウェハを切削する場合に、ウェハは、フレーム付きの粘着シートに貼着された状態で切削される。そして、切削工程後の処理工程として、上記の洗浄工程、アンロード工程などの処理工程の他に、例えば切削されたウェハの各チップをピックアップ装置により粘着シートから剥離するピックアップ工程等が行われる。これらの切削工程後の処理工程に対して、切削工程での切削が早ければ切削工程後の処理工程での処理が追いつかず、切削工程が不稼働となる時間が長くなる。逆に切削工程での切削が遅ければ切削工程後の処理工程が不稼働となる時間が長くなる。そのため、切削工程のスループット（単位時間当たりの処理枚数）とその後の処理工程のスループットをできるだけ整合させて全処理工程を効率的に稼働させることが望まれる。
【０００６】
一方、切削工程における最適なスループットが得られるように、１枚ずつのウェハを順次切削する１つの切削部のスピンドルの本数を変更することが考えられる。しかしながら、１つの切削部に設置可能なスピンドルの本数は、スペース的な問題等から限界がある。そのため、１台のダイシング装置が複数の切削部を具備できるようにすることが望ましい。例えば、１つの切削部を有する切削装置をユニット化してユーザの要望に応じて最適な台数の切削装置をダイシング装置に組み込めるようにすると、切削部の数を容易に変更することができ、また、必要な切削部の数だけ切削装置を組み込むようにすれば、ダイシング装置を無駄に大型化することなく、また、コストも不要に増大させることなく、切削工程における最適なスループットが容易に得られるようになる。
【０００７】
このようにダイシング装置が複数の切削部を具備する場合において、メンテナンス等のために一部の切削部を一時的に停止させる場合が想定される。その場合に、稼働を停止させた切削部では切削時に使用する切削水なども停止するためミストが発生しなくなり、稼働を停止させた切削部の周辺温度が変化する。一方、切削部の周辺温度が変化している間に切削を行うと、スピンドルの伸び等によって切削位置の精度が悪化する。そのため、稼働を停止させた切削部を再稼働させる際には、切削部の周辺温度が恒温化するまで待機する必要があり、切削を開始するまでに待機時間が必要になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができるダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は、回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結路を形成する空間部形成部材を備えたことを特徴としている。
【００１０】
これによれば、複数の切削部の周辺温度を遮蔽空間部及び連結空間部を通じて相互に伝達する熱によって恒温に維持することができ、一部の切削部においてメンテナンス等のために稼働を停止した場合であっても、切削精度の低下を防止するために周辺温度が安定するまで待機することなく、迅速に稼働を再開することができる。
【００１１】
本発明は、前記空間部形成部材は、前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、前記凹部の上面側を覆うカバー部材とにより構成されたことが好ましい。
【００１２】
本発明は、前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結路を形成する仕切部を備えたことが好ましい。
【００１３】
本発明は、前記遮蔽空間部の各々に排気ダクトが連結されていることが好ましい。これによれば、各切削部から飛散したミストが遮蔽空間部外に拡散することが確実に防止される。
【００１４】
本発明は、前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることが好ましい。これによれば、稼働していない（稼働を停止している）切削部に対して稼働している（稼働を停止していない）切削部の熱をミストや空気を媒体にして効率的に伝達することができる。
【００１５】
本発明は、前記ダイシング装置は、各々１つの切削部を備えた所望台数分の切削装置ユニットを並設して組み込むことが可能であり、該切削装置ユニットを複数台組み込むことによって前記複数の切削部を備えたことが好ましい。これによれば、ユーザの要望に応じて最適な数の切削部を備えたダイシング装置を容易に提供することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明が適用されるダイシング装置の全体構成を示した正面側斜視図
【図２】本発明が適用されるダイシング装置の全体構成を示した背面側斜視図
【図３】ウェハがマウントされたフレーム付き粘着テープを示した斜視図
【図４】切削装置ユニットを載置する架台部４０の示した斜視図
【図５】切削装置ユニットの切削部を拡大して示した正面側斜視図
【図６】２台の切削装置ユニットを並設した場合におけるドレンパン及びミストカバーの説明に使用した背面側斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１９】
図１及び図２は、本発明が適用されるダイシング装置の全体構成を示した正面側斜視図及び背面側斜視図である。
【００２０】
これらの図に示すようにダイシング装置１０は、カセット投入部１２、複数台の切削装置ユニット１４（１４（１）、１４（２））、洗浄装置ユニット１６、搬送装置１８を備えている。ここで、以下で使用する符号について説明すると、図１、２では、同一構造の２台の切削装置ユニット１４を並設した形態を例示しているが、ダイシング装置１０は任意の台数ｎ分の切削装置ユニット１４を具備することができ、それらの切削装置ユニット１４に対して正面側から見て左側から順に１〜ｎの番号を付すものとし、番号ｍ（ｍ＝１〜ｎ）の切削装置ユニット１４には符号１４の後に（ｍ）を付加して１４（ｍ）と表すものとする。また、これと同様に全ての切削装置ユニット１４において共通する構成要素には同一数字Ｐの符号を付し、番号ｍの切削装置ユニット１４（ｍ）に関連する部材にはその数字ｐの後に（ｍ）を付加してＰ（ｍ）と表すものとする。ただし、特定の番号の切削装置ユニット１４のみに関して該当する説明ではなく、全ての切削装置ユニット１４に関して該当する説明の場合には、切削装置ユニット１４の番号を付加しない符号で記載するものとする。
【００２１】
カセット投入部１２は、未切削のウェハを搬出し、切削済み（及び洗浄済み）のウェハを搬入するロード／アンロード装置ユニットであり、ダイシング装置１０の左端の位置に配備されている。このカセット投入部１２には、複数枚のウェハを１枚ずつ収容可能な複数段のスロットを備えたカセット（不図示）が投入配備され、投入されたカセットの各スロットから未切削のウェハが切削装置ユニット１４へと搬出される共に、切削装置ユニット１４及び洗浄装置ユニット１６による切削及び洗浄後のウェハが洗浄装置ユニット１６からカセットの空きスロットへと搬入されるようになっている。なお、図３に示すようにカセットに収容されるウェハＷは、環状のフレーム２０が取り付けられた粘着テープ２２に貼着されて粘着テープ２２を介してフレーム２０に支持されている。ただし、フレーム２０の粘着テープ２２に貼着したウェハに限らず、切削する基板をカセットに直接収容して、後述の搬送装置１８によりカセット内の基板を直接面吸着して搬送することも可能である。
【００２２】
切削装置ユニット１４は、カセット投入部１２から搬出された未切削のウェハを切削予定ライン（ストリート）に沿って切削する装置であり、カセット投入部１２に隣接して配備されている。図１、２のダイシング装置１０では、同一構造の２台の切削装置ユニット１４（１）、１４（２）を並設した形態を例示しているが、上記のようにユーザの要望に応じて所望台数（１台又は複数台）の切削装置ユニット１４を組み込んで並設することが可能である。複数台の切削装置ユニット１４を並設した場合には、その台数に相当する枚数のウェハを並行して切削することができるため、切削装置ユニット１４を並設する台数が多い程、スループットを高くすることができる。従って、切削工程において他工程でのスループットを考慮した最適なスループットを得るために、ダイシング装置１０として、過不足のない最適台数の切削装置ユニット１４を具備することができる。なお、切削装置ユニット１４の構成については後述する。
【００２３】
洗浄装置ユニット１６は、切削装置ユニット１４で切削されたウェハを例えばスピン洗浄した後、スピン乾燥させるスピンナ洗浄装置であり、図１、２のように複数台の切削装置ユニット１４を並設した場合には、カセット投入部１２から最も離れた切削装置ユニット１４（図１、２の形態の場合には切削装置ユニット１４（２））に隣接して配備される。この洗浄装置ユニット１６により洗浄（及び乾燥）されたウェハは、上記のようにカセット投入部１２の空きスロットに収容される。
【００２４】
搬送装置１８は、ウェハを保持してウェハを搬送する装置であり、図１のように切削装置ユニット１４の支持体９０に対して正面側に配備されている。搬送装置１８は、負圧吸着式の吸着パッドやクランプ等によりウェハを保持する搬送アーム３０（３０（１）、３０（２））と、搬送アーム３０を左右方向（Ｙ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる搬送アーム移動機構とを備えている。
【００２５】
搬送アーム移動機構は、切削装置ユニット１４に設けられる門型の支持体９０の正面側に設置されたベースプレート３２と、ベースプレート３２にＹ軸方向に設置されガイドレール３４（３４（１）、３４（２））と、ガイドレール３４に摺動可能に設置され、モータ駆動によりＹ軸方向に移動する支持部材３６（３６（１）、３６（２））とを備え、支持部材３６に設置された搬送アーム３０をモータ駆動によりＺ軸方向に移動させることにより、搬送アーム３０をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる構成となっている。
【００２６】
この搬送装置１８により、搬送アーム３０にウェハが保持されて、カセット投入部１２から切削装置ユニット１４へのウェハの搬送、切削装置ユニット１４から洗浄装置ユニット１６へのウェハの搬送、洗浄装置ユニット１６からカセット投入部１２へのウェハの搬送が行われるようになっている。
【００２７】
なお、同図のダイシング装置１０では２台の切削装置ユニット１４（１）、１４（２）に対応して２つの搬送アーム３０（１）、３０（２）が設けられているが、搬送アーム３０（１）、３０（２）の各々が、切削装置ユニット１４（１）、１４（２）うちの決められた一方のみの切削装置ユニットに対するウェハの搬送に関わるものである必要はなく、また、必ずしも切削装置ユニット１４の台数と搬送アーム３０の数が一致している必要もない。
【００２８】
また、ベースプレート３２は、カセット投入部１２、切削装置ユニット１４、洗浄装置ユニット１６、搬送装置１８を所定の位置関係で配置する際の基準位置としても使用されており、図１、２のように複数台の切削装置ユニット１４を並設した場合には、全ての切削装置ユニット１４の支持体９０の正面側に掛け渡される１枚のプレートとしてもよいが、各切削装置ユニット１４に個別に設置して、それらのベースプレートを前後方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）にずれなどが生じずに左右方向（Ｙ軸方向）に一列に連結されるように切削装置ユニット１４を配置するようにしてもよい。
【００２９】
更に、図１、図２に示すダイシング装置では、洗浄装置ユニット１６により洗浄（及び乾燥）されたウェハは、カセット投入部１２の空きスロットに収容されるものとしているが、これに限らない。例えば、ダイシング装置１０にハンドラ（ピック＆プレースユニット）を組み込むことも可能であり、その場合には、カセット投入部１２に投入された基板をハンドラのアームで直接搬送するようにし、切削装置ユニット１６による切削、及び、洗浄装置ユニット１６による洗浄の後、ハンドラの装置内において、個片化された一つ一つのチップを取り分ける作業を行うことが可能である。そのため、洗浄後のウェハがカセット投入部１２に搬送されない場合もある。また、ダイシング装置１０にハンドラを組み込む場合、ハンドラでのスループットが装置によって大きく異なるため、上記のようにダイシング装置１０に所望台数の切削装置ユニット１４を組み込めるようにしたことは、ハンドラでのスループットに対して切削工程でのスループットを最適にするために特に効果的である。
【００３０】
次に、切削装置ユニット１４及びその周辺部材について説明する。
【００３１】
まず、切削装置ユニット１４の周辺部材について説明すると、切削装置ユニット１４は、図１、２に示すように架台部４０によって所定の高さとなる位置で支持されている。架台部４０は、図４に示すように板状の台座４２と台座４２上に固定された支持台４４とから構成されており、支持台４４の上面に切削装置ユニット１４の基台７４が固定されることによって架台部４０の上部に切削装置ユニット１４が載置されるようになっている。
【００３２】
台座４２の下面には図１に示すように各所にキャスタ４６とストッパ４８が設置されており、キャスタ４６によって架台部４０と共に切削装置ユニット１４を容易に床の上を水平移動させることができ、また、ストッパ４８を回転操作してストッパ４８を地面に当接させることによって架台部４０を所望の位置に固定することができるようになっている。
【００３３】
また、図１、２のように２台の切削装置ユニット１４（１４（１）、１４（２））を並設する場合には、各々の架台部４０（４０（１）、４０（２））の２つの台座４２（４２（１）、４２（２））は、図４のように下面側に角パイプ５０、５０、・・・が格子状に固設されて連結され、一体化される。これによって、２台の切削装置ユニット１４（１４（１）、１４（２））及び架台部４０（４０（１）、４０（２））を一体の装置として工場で組み上げてから出荷することができるようになっている。２台以上の切削装置ユニット１４を並設する場合も同様に全ての切削装置ユニット１４の架台部４０を連結して全ての切削装置ユニット１４及び架台部４０を一体の装置と組み上げることも可能であるし、複数台分ずつ連結して複数組の装置として組み上げることも可能である。
【００３４】
なお、複数台（２台以上）の切削装置ユニット１４を並設した場合には、カセット投入部１２から最も離れた切削装置ユニット１４（図１、２の形態の場合には切削装置ユニット１４（２））の架台部４０の台座４２上に洗浄装置ユニット１６が設置される。
【００３５】
更に、切削装置ユニット１４とその架台部４０は、図１、２、４の破線で示すように全体を覆う矩形状の外カバー５２に収容され、その外カバー５２に操作パネル５４、モニタ５６、表示灯５８などが配設される。複数台の切削装置ユニット１４を並設する場合には、外カバー５２はそれらの複数台の切削装置ユニット１４及び架台部４０の全体を覆う１つの外カバー５２として構成してもよいし、個別の外カバー５２に対して隣接する外カバー５２の当接する側壁部分の一部を適宜開口させて内部の空間を連通させるようにしてもよい。また、複数台の切削装置ユニット１４を並設した場合に、操作パネル５４、モニタ５６、表示灯５８のように外カバー５２に配設される各装置を各切削装置ユニット１４に対して１つずつ設けるのではなく、全ての切削装置ユニット１４に対して１つ設けるようにしてもよい。
【００３６】
続いて、切削装置ユニット１４の構成を図５の拡大図を参照して説明する。切削装置ユニット１４は、ウェハを載置すると共に載置されたウェハを吸着保持するワークテーブル７０と、先端部に着脱可能に装着されるブレード（不図示）をモータ駆動により高速回転させるスピンドルユニット７２とを備えている。
【００３７】
ワークテーブル７０は、ワークテーブル移動機構によってＸ軸方向（切削送り方向）に移動するようになっている。ワークテーブル移動機構は、架台部４０の支持台４４上に固定された切削装置ユニット１４の基台７４（図１参照）上にＸ軸方向に平行に延設された一対のガイドレール７６（図１参照）と、ガイドレール７６に摺動可能に設置されてモータ駆動によってＸ軸方向に移動するＸ軸テーブル７８とを備えており、そのＸ軸テーブル７８上にワークテーブル７０が設置されている。これによって、ワークテーブル７０がＸ軸テーブル７８と共にモータ駆動によりＸ軸方向に移動するようになっている。そして、ワークテーブル７０は、搬送装置１８により搬送された未切削のウェハが載置される際、及び、切削済みのウェハを搬送装置１８により取り除く際に、正面手前側の待機位置に配備され、ブレードにより切削を行う際には、待機位置よりも正面奥側となる切削部６０（ダイシング装置１０において各ウェハに対してブレードにより切削が行われる切削領域）まで送られ、ブレードによる切削と共に所定の切削送り速度でＸ軸方向に移動するようになっている。なお、ウェハの切削予定ラインを正確にＸ軸方向にアライメントするため、Ｘ軸テーブル７８に対してワークテーブル７０をモータ駆動により回転させる回転機構も設けられている。また、スピンドルユニット７２の先端部にはブレードを覆うブレードカバーが装着され、そのブレードカバーに切削水をブレードや切削箇所に噴射する噴射ノズル等が設けられている。
【００３８】
スピンドルユニット７２は、１台の切削装置ユニット１４に対して左右に２つ対向して設けられており（図１、２参照）、各々、先端部にブレードが装着されるスピンドル８０、スピンドル８０を回転駆動するモータ、及び、スピンドル８０を回動可能に支持すると共にモータを支持するスピンドルハウジング８２とを備えている。そして、このスピンドルユニット７２は、スピンドルユニット移動機構によりＹ軸方向（割出し送り方向）及びＺ軸方向（切込み方向）に移動するようになっている。
【００３９】
スピンドルユニット移動機構は、基台７４上に固定された門型の支持体９０にＹ軸方向に平行に延設された一対のガイドレール（不図示）と、ガイドレールに摺動可能に設置され、モータ駆動によってＹ軸方向に移動するアーム８６とを備えており、そのアーム８６の先端にスピンドルユニット７２が設置されている。支持体９０は、ブレードによる切削が行われる切削部において正面から背面まで貫通する開口部９２を有しており、一対のガイドレール７６は、その開口部９２の上面側にＹ軸方向に設けられている。また、アーム８６は、スピンドルユニット７２をモータ駆動によりＺ軸方向に移動させる昇降機構を備えている。このようなスピンドルユニット移動機構によって、スピンドルユニット７２と共にスピンドルユニット７２の先端部に装着されたブレードがＹ軸方向及びＺ軸方向に移動するようになっている。そして、ワークテーブル７０に載置されたウェハを切削する際には、ブレードがＹ軸方向の移動によってウェハの切削予定ラインの位置に位置合わせされた後、Ｚ軸方向の移動によってウェハに接触する位置まで下降してウェハを切削する。
【００４０】
また、切削装置ユニット１４は、図１、２に示すように支持体９０の背面側上方に設置される電装部品収容部１００、ワークテーブル７０の下側に配置されるドレンパン１０２（回収部材）、ドレンパン１０２の上部開口の上側及び支持体９０の開口部９２の背面側を覆うミストカバー（内カバー）１０４等を備えている。
【００４１】
電装部品収容部１００は、支持体９０の上部に配置される筐体１００Ａを有し、筐体１００Ａの内部に電装部品を収容している。この筐体１００Ａは、例えば外カバー５２の内面又は支持体９０の上部に固設されている。また、電装部品によって発生した熱が金属製の支持体９０（鋳物）等を伝導して切削部の周辺温度を変化（高温化）させてしまうと、スピンドル８０の伸びの影響等によって切削位置がずれてしまう問題があるため、これを防止するために筐体１００Ａの背面及び外カバー５２を貫通する開口に複数のファン１１０が設置されている。これによって、電装部品で発生した熱が外カバー５２の外部に廃熱されるようになっている。
【００４２】
ドレンパン１０２は、ワークテーブル７０をＸ軸方向に移動させるガイドレール７６の両横及び前後を囲むようにしてワークテーブル７０の下側周辺部に設置されている。このドレンパン１０２には、ブレードでウェハを切削している際にブレードや切削箇所に噴射された切削水、ブレードでウェハを切削している際に発生した切削屑を回収する凹部が形成されている。また、ドレンパン１０２の後部は図２に示すように下方に突出して下面に開口が形成されており、その開口を内部に収容するようにして箱型のゴミ受け１２０が設置されている。ゴミ受け１２０の底面には、排出パイプ１２２が連結される排出口と、下側に回収ボックス１２４が配備される排出口とが設けられている。これにより、ドレンパン１０２で回収された切削水や切削屑等がゴミ受け１２０に排出された後、切削水や小さい切削屑はゴミ受け１２０から排出パイプ１２２に排出され、端材等の比較的大きな切削屑は、ゴミ受け１２０から回収ボックス１２４に排出されるようになっている。なお、エアシリンダなどの駆動源によってゴミ受け１２０内に蓄積した切削屑を回収ボックス１２４へと掃き落とすようにしてもよい。
【００４３】
図１、２のように複数台の切削装置ユニット１４を並設する場合には、それらのドレンパン１０２からの切削水等を排出する排出パイプ１２２（１２２（１）、１２２（２））が互いに連結され、いずれの排出パイプからでも排出が行われるようになっている。これによって、いずれかの切削装置ユニット１４の排出パイプに不具合（つまる等）が生じて排出が行われなくなった場合であっても他の切削装置ユニット１４の排出パイプから排出が行われ、ドレンパン１０２から切削水が溢れ出すという不具合が防止されている。
【００４４】
ミストカバー１０４は、支持体９０よりも背面側において、ワークテーブル７０を含むドレンパン１０２の上方の領域を覆うようにしてドレンパン１０２に取り付けられている。即ち、ミストカバー１０４の縁部が、ドレンパン１０２の上部の外縁部のうち、支持体９０の背面側の範囲となる外縁部と、支持体９０の開口部９２の背面側の縁部に略沿って設置されている。切削水を噴射しながらブレードでウェハを切削している際にブレードとウェハが接触している切削箇所ではブレードがＸ軸方向の前側（正面側）から後側（背面側）に向けて回転移動しているため、即ち、支持体９０の背面側がブレードの下流側となるため、切削部６０から発生する切削水の水滴、切削屑、霧状のミスト等は主に支持体９０の背面側に向けて飛散する。従って、切削部から飛散した切削水の水滴、切削屑、霧状のミスト等は、ミストカバー１０４及びドレンパン１０２によって囲まれた内部空間（空間部）内に送り込まれて、それ以外の空間への拡散が遮蔽されるようになっている。
【００４５】
ところで、図１、２のように複数台の切削装置ユニット１４を並設する場合、図２のように切削装置ユニット１４の各々に対して独立してドレンパン１０２とミストカバー１０４が配設されることになる。このとき、例えば、一部の切削装置ユニットがメンテナンス等で一時的に稼働が停止している場合に、その切削装置ユニットの切削部の周辺温度が変化し、稼働を再開する際に即座に切削を開始すると、切削位置の精度が悪くなるため、切削部の周辺温度が安定するまで待機する必要がある。
【００４６】
そこで、このような待機時間を不要にするため、複数台の切削装置ユニット１４を並設する場合には、各切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４で囲まれた内部空間を背面側で連結し、稼働中の切削装置ユニット１４の切削部で発生するミスト（及び空気）を利用して稼働停止中（非稼働）の切削装置ユニット１４の切削部の恒温化を図るようにすると好適である。
【００４７】
以下、各切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４の内部空間を連結する態様を図１、２のように２台の切削装置ユニット１４（１４（１）、１４（２））を並設した場合を例に説明する。
【００４８】
図６（Ａ）は、図１、２のように２台の切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４を個別に設けた場合の２台の切削装置ユニット１４の支持体９０の一部、ドレンパン１０２及びミストカバー１０４を抽出して示した背面斜視図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）における２台の切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４を連結して一体化して、ドレンパン１３０及びミストカバー１３２とした態様を示した背面斜視図である。
【００４９】
ここで、図６（Ａ）において支持体９０の一部として示した部材１４０（１４０（１）、１４０（２））は、上記の説明において、単に支持体９０として説明した部材であるが、部材１４０は支持体９０とは別体の部材であり、スピンドルユニット７２が設置されるアーム８６（図５参照）をＹ軸方向に案内するためのガイドレール等が形成されるスピンドルユニット案内部材１４０である。また、このスピンドルユニット案内部材１４０は、支持体９０の開口部９２の背面側に固設されるものであってもよいし、ドレンパン１０２と一体化されてドレンパン１０２と共に切削装置ユニット１４に設置され、支持体９０の開口部９２の背面側に配置されるものであってもよい。更に、各切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４を連結する場合には、これと共にスピンドルユニット案内部材１４０も連結して一体化することが可能であり、図６（Ｂ）においては、２台の切削装置ユニット１４（１）、１４（２）のスピンドルユニット案内部材１４０（１）、１４０（２）を連結して一体化し、スピンドルユニット案内部材１４２とした態様が示され、また、ドレンパン１３０とも一体化された態様が示されている。
【００５０】
図６（Ｂ）に示す態様のドレンパン１３０は、支持体９０（１）、９０（２）の背面側（スピンドルユニット案内部材１４２の背面側）において、切削装置ユニット１４（１）、１４（２）の両方のガイドレール７６（１）、７６（２）（図１参照）の両横及び前後の範囲と、それらの間の範囲の全体を囲むようにして設置される。スピンドルユニット案内部材１４０の中央部分における背面側の壁面も取り除かれている。
【００５１】
同様に、ミストカバー１３２も支持体９０（１）、９０（２）の背面側においてワークテーブル７０の通過位置を含むドレンパン１３０の上方の空間を覆うようにしてドレンパン１３０に取り付けられている。
【００５２】
また、ドレンパン１３０とミストカバー１３２とで囲まれた内部空間を切削装置ユニット１４（１）側（左側という）の空間部６２（１）と、切削装置ユニット１４（２）側（右側という）の空間部６２（２）とに仕切る仕切板１３４が切削装置ユニット１４（１）と切削装置ユニット１４（２）の間の中央部分においてＸ軸方向に延設されている。これによって、切削装置ユニット１４（１）と切削装置ユニット１４（２）の各々における切削部の背後側の空間が、左側の空間部６２（１）と右側の空間部６２（２）とに分離され、一方の切削部で発生したミスト等が他方の切削部に直接的に飛散することが防止されている。
【００５３】
一方、仕切板１３４の後部上方には、切欠き（開口１３６）が形成されており、この開口１３６によって左側の空間部６２（１）と右側の空間部６２（２）が後部側で連通されている。これによって、一方の切削部で発生して左側と右側の空間部６２（１）、６２（２）の一方に送り込まれたミスト（及び空気）が後部側の開口１３６を通じて他方の空間部に回り込むことが可能となっている。また、左側と右側の空間部６２（１）、６２（２）のいずれか一方において、排出パイプ１２２の不具合が生じ、ドレンパン１３０で回収された切削水等が排出されないという事態が生じた場合であっても開口１３６を介して他方の空間部に流れ込み、正常な排出パイプから排出されるため、切削水がドレンパン１３０から溢れ出すという不測の事態が防止される。
【００５４】
また、ミストカバー１３２の左側と右側の両側に２箇所ずつの開口が形成され、それらの開口に排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）が連結されている。排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）は、外カバー５２の外側の排気ダクトに図示しない経路によって連結されている。これによって、空間部６２（１）、６２（２）は、排気ダクトの管路の一部として作用し、切削装置ユニット１４（１）、１４（２）の各々の切削部で発生したミストや空気が空間部６２（１）、６２（２）を通過して排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）へと吸い込まれるようになっている。また、ドレンパン１３０とミストカバー１３２で囲まれた内部空間がブレードの位置から所定距離後方となる位置まで仕切板１３４によって空間部６２（１）、６２（２）に分離されているため、排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）による排気によって、各々の切削部６０において正面側から背面側への空気の流れが形成される。従って、各々の切削部６０で発生したミストが搬送装置１８が配置される支持体９０の正面側に拡散し難いものとなっている。なお、排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）は、切削部６０の上方等に開口を有する外カバー５２内の他の排気ダクトに連結されて外カバー５２の外側の排気ダクトへと連結されるようにしてもよいし、直接、外カバー５２の外側の排気ダクトに連結されるようにしてもよい。
【００５５】
一方、これらの排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）には、例えば、ミストカバー１３２との連結部分において電動で開閉動作する開閉弁が設けられており、排気ダクト１５０（１）、１５２（１）、１５０（２）、１５２（２）の排気を停止（無効）にすることができるようになっている。
【００５６】
これによれば、メンテナンス等のために切削装置ユニット１４（１）、１４（２）のいずれか一方の稼働を一時的に停止した際に、稼働中の他方の切削部６０から発生してミストカバー１３２の左側と右側の空間部６２（１）、（２）の一方に送り込まれたミストを他方の空間部に効果的に回り込ませることができる。
【００５７】
即ち、稼働を停止した切削装置ユニットを切削装置ユニット１４（１）（左側）とすると、左側の排気ダクト１５０（１）、１５２（１）の開閉弁を通常通りに開鎖状態にして排気を有効にし、稼働中の切削装置ユニット１４（２）側（右側）の排気ダクト１５０（２）、１５２（２）の開閉弁を閉鎖状態にして排気を無効にする。
【００５８】
これによって、稼働中の切削装置ユニット１４（２）側の切削部６０（２）から発生して右側の空間部６２（２）に送り込まれたミスト（及び空気）が、右側の空間部６２（２）に連結された閉鎖状態の排気ダクト１５０（２）、１５２（２）からは排気されず、左側の空間部６２（１）に回り込んで空間部６２（１）に連結された開鎖状態の排気ダクト１５０（１）、１５２（１）から排気されるようになる。このとき、稼働中の切削装置ユニット１４（２）の切削部６０（２）の周辺部の熱がミスト（及び空気）を媒体として稼働を停止している切削装置ユニット１４（１）の切削部６０（１）の周辺部に伝達され、切削装置ユニット１４（１）の切削部６０（１）の周辺温度が稼働時と同様の温度に維持されて恒温に保たれる。なお、排気ダクト１５２（１）も閉鎖状態にして排気を無効にし、できるだけ切削部に近い排気ダクト１５０（１）の位置まで多くのミストを回り込ませるようにしてもよい。
【００５９】
このようにして稼働中の切削装置ユニット１４（２）の切削部６０（２）の周辺部の熱により、稼働を停止している切削装置ユニット１４（１）の切削部６０（１）の周辺温度を恒温に保つようにすれば、切削装置ユニット１４（１）の稼働を再開する際に、その切削部６０（１）の周辺温度が安定するまで待機する必要がなく、即座に切削を開始することが可能となる。また、このように左側と右側の空間部６２（１）、６２（２）の一方から吸い込んだミストを他方の空間部に回り込ませる際でも、切削部６０の近傍の範囲では、仕切板１３４によって左右の空間部６２（１）、６２（２）に仕切られていることから、空気やミストの流れが乱されることなく正面側から背面側への流れが維持され、搬送装置１８等が配置される支持体９０の正面側にミストが拡散し難く、他のウェハに汚れが付着する等の不具合が生じないようになっている。
【００６０】
以上、上記説明では、２台の切削装置ユニット１４（１）、１４（２）を並設した場合に、それらのドレンパンとミストカバーとを連結する態様を示したが、３台以上の切削装置ユニット１４を並設する場合においても同様に全ての切削装置ユニット１４又は所定台数分ずつの切削装置ユニット１４のドレンパンとミストカバーを連結して一体化し、稼働を停止している切削装置ユニットの切削部の周辺温度を恒温に維持することができる。
【００６１】
また、ミストカバー１３２に排気ダクトを連結しない場合であって、稼働中の切削装置ユニットの切削部６０からミストカバー１３２の左側と右側の空間部６２（１）、６２（２）の一方に送り込まれたミストは自然に他方の空間部に回り込むため、必ずしもミストカバー１３２に排気ダクトを連結する必要はない。
【００６２】
更に各切削装置ユニット１４の切削部のメンテナンス（ブレードの着脱等）を行う際に、上記のように各切削装置ユニット１４のドレンパン１０２及びミストカバー１０４（ドレンパン１３０及びミストカバー１３２）を一体化した場合には、一体化しない場合のように装置側面側から各切削装置ユニット１４の間に作業者が入り込んで作業を行うことができないため、各切削部に対して装置背面側又は装置正面側から対向した位置からでも作業が行い易いように支持体９０の開口部９２（特に横幅）を広くすると好適である。
【符号の説明】
【００６３】
１０…ダイシング装置、１２…カセット投入部、１４…切削装置ユニット、１６…洗浄装置ユニット、１８…搬送装置、２０…フレーム、２２…粘着テープ、Ｗ…ウェハ、３０…搬送アーム、３２…ベースプレート、３４…ガイドレール、３６…支持部材、４０…架台部、４２…台座、４４…支持台、４６…キャスタ、４８…ストッパ、５０…角パイプ、５２…外カバー、５４…操作パネル、５６…モニタ、５８…表示灯、６０…切削部、７０…ワークテーブル、７２…スピドルユニット、７４…基台、７６…ガイドレール、７８…Ｘ軸テーブル、８０…スピンドル、８２…スピンドルハウジング、８６…アーム、９０…支持体、９２…開口部、１００…電装部品収容部、１００Ａ…筐体、１０２…ドレンパン、１０４…ミストカバー（内カバー）、１１０…ファン、１２０…ゴミ受け、１２２…排出パイプ、１２４…回収ボックス、１３０…ドレンパン、１３２…ミストカバー、１３４…仕切板、１３６…開口（切欠き）、１４０、１４２…スピンドルユニット案内部材、１５０、１５２…排気ダクト
【図１】
2012204461.tif 000003
【図２】
2012204461.tif 000004
【図３】
2012204461.tif 000005
【図４】
2012204461.tif 000006
【図５】
2012204461.tif 000007
【図６】
2012204461.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月28日(2011.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、
前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、そのミストが飛散する方向の先に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させてミストが相互に拡散する連結空間を形成する空間部形成部材を、
備えたことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、
前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結空間を形成する空間部形成部材を備え、
前記空間部形成部材は、
前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、
前記切削水回収部材の前記凹部の上面側を覆うカバー部材と、
前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結空間を形成する仕切部と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。
【請求項３】
回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、
前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結空間を形成する空間部形成部材を備え、
前記空間部形成部材は、
前記複数の切削部の各々の前記ブレードから飛散したミストを他の切削部の遮蔽空間部に回り込ませるための前記連結空間を前記回転するブレードの下流側の上方に形成することを特徴とするダイシング装置。
【請求項４】
前記遮蔽空間部の各々に排気ダクトが連結されていることを特徴とする請求項１、２、又は３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることを特徴とする請求項４のダイシング装置。
【請求項６】
回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、
前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させる連結空間を形成する空間部形成部材と、
前記遮蔽空間部の各々に連結された排気ダクトと、
を備え、
前記複数の切削部のうち、稼働していない切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を有効にすると共に、稼働している切削部に対する前記遮蔽空間部に連結されている前記排気ダクトによる排気を無効にすることを特徴とするダイシング装置。
【請求項７】
前記空間部形成部材は、前記複数の切削部の各々の下方周辺部に配置され、前記切削部から流れ落ちた切削水を受ける凹部を有する切削水回収部材と、前記凹部の上面側を覆うカバー部材とにより構成されたことを特徴とする請求項１、３、又は６に記載のダイシング装置。
【請求項８】
前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結空間を形成する仕切部を備えたことを特徴とする請求項７のダイシング装置。
【請求項９】
前記ダイシング装置は、各々１つの切削部を備えた所望台数分の切削装置ユニットを並設して組み込むことが可能であり、該切削装置ユニットを複数台組み込むことによって前記複数の切削部を備えたことを特徴とする請求項１〜８のうちいずれか１項に記載のダイシング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、回転するブレードによりワークを切削する複数の切削部を備えたダイシング装置において、前記複数の切削部の各々に対して、前記回転するブレードの下流側に前記ブレードから飛散したミストの拡散を遮蔽する遮蔽空間部を形成すると共に、そのミストが飛散する方向の先に、前記切削部ごとの前記遮蔽空間部を相互に連通させてミストが相互に拡散する連結空間を形成する空間部形成部材を、備えたことを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、前記切削水回収部材は、前記複数の切削部の全てに対する凹部を有する一体形成された部材であると共に、前記カバー部材は、前記複数の切削部の全ての凹部を覆う一体形成された部材であり、前記切削水回収部材と前記カバー部材との間の空間に、該空間を前記複数の切削部の各々に対する前記遮蔽空間部に仕切ると共に、隣接する前記遮蔽空間部を連通する開口を形成して前記連結空間を形成する仕切部を備えたことが好ましい。