(57)【要約】【課題】タッチパネル電極層を下面にしてカラーフィルターを形成する時に搬送面であるタッチパネル有機膜面の傷や汚れの発生を無くすことを可能とする搬送用コロを提供する。【解決手段】静電容量型のタッチパネル電極層とカラーフィルタ層が同一ガラス基板の表裏に形成されるタッチパネル基板の製造工程において、前記タッチパネル電極層を形成した後にカラーフィルタ層を形成するために、タッチパネル電極層を下面にしてガラス基板を載置し搬送する搬送用コロであって、回転ローラと、前記回転ローラの外周面に備えられ透明樹脂により構成された搬送材と、を備えたことを特徴とする搬送用コロ。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電容量型のタッチパネル電極層とカラーフィルタ層が同一ガラス基板の表裏に形成されるタッチパネル基板の製造工程において、前記タッチパネル電極層を形成した後にカラーフィルタ層を形成するために、タッチパネル電極層を下面にしてガラス基板を載置し搬送する搬送用コロであって、
回転ローラと、
前記回転ローラの外周面に備えられ透明樹脂により構成された搬送材と、を備えたことを特徴とする搬送用コロ。
【請求項２】
前記透明樹脂はフッ素樹脂であることを特徴とする請求項１記載の搬送用コロ。
【請求項３】
前記透明樹脂は含有金属が１０００ｍｇ／ｋｇ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送用コロ。
【請求項４】
前記透明樹脂はカーボン成分を含有しないことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送用コロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はタッチパネル電極基板と液晶表示用基板とを同一ガラス基板で作成する製造工程でガラス基板を搬送する装置に用いられる搬送用コロに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１（ａ）に前記タッチパネル電極基板と液晶表示用基板とを同一ガラス基板で作成したタッチパネル基板の断面を示す。タッチパネル基板１００は、ガラス基板２の片面にカラーフィルタ層１とタッチパネル電極層１０を備えた基板である。
【０００３】
図１（ｂ）はカラーフィルタ層１の断面を示す図で、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成される。
【０００４】
図１（ｃ）はタッチパネル電極層１０の断面を示す図で、ガラス基板２上に透明電極（ＩＴＯ膜）１１、絶縁膜１２、透明電極（ジャンパーと呼ばれる金属電極：ＩＴＯ膜）１３、金属電極１４、そして最表面には保護膜１５が有機膜として形成される。
【０００５】
上記タッチパネル基板１００を作成する場合には、例えばタッチパネル電極層１０を作製した後、カラーフィルタ層１を形成する。
【０００６】
静電容量型のタッチパネル電極とカラーフィルタを同一ガラス基板の表裏形成する場合には、タッチパネル電極層１０を形成した後、タッチパネル面を下面にしてカラーフィルタ層１を形成する。
【０００７】
カラーフィルタ層１の製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００８】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００９】
上記カラーフィルタ層の製造工程では、処理工程内の各処理装置内や処理装置間でも搬送装置が用いられている。搬送装置によるガラス基板の搬送方法としては図３（ａ）に示されるコロ２１上にガラス基板１００を乗せ、回転させることにより矢印２２の方向に搬送するコロ方式や、図３（ｂ）に示されるエアー２３によりガラス基板１００を浮かせガイド等でガラス基板を支持しながら矢印２２の方向に搬送するエアー浮上方式が多く用いられている。特に、処理装置間で用いる搬送方法としては、安価で制御しやすいことから
図３（ａ）に示されるコロ方式が多く採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−２６５０１８号公報
【特許文献２】特開２００６−２６７９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
静電容量型のタッチパネル電極とカラーフィルタを同一ガラス基板の表裏形成する場合には、タッチパネル電極層１０を形成した後、タッチパネル電極層１０を下面にしてカラーフィルタ層１を形成する。その際、搬送面であるタッチパネル上の保護膜（有機膜）１５上に傷、汚れが発生してしまい基板の品質が低下してしまう問題がある。
【００１２】
そこで本発明は、タッチパネル電極層を下面にしてカラーフィルタ層を形成する時に、搬送面であるタッチパネル電極層の最表面である有機膜面の傷や汚れの発生を無くすことを可能とする、搬送用コロを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の請求項１に係る発明は、静電容量型のタッチパネル電極層とカラーフィルタ層が同一ガラス基板の表裏に形成されるタッチパネル基板の製造工程において、前記タッチパネル電極層を形成した後にカラーフィルタ層を形成するために、タッチパネル電極層を下面にしてガラス基板を載置し搬送する搬送用コロであって、
回転ローラと、
前記回転ローラの外周面に備えられ透明樹脂により構成された搬送材と、を備えたことを特徴とする搬送用コロである。
【００１４】
本発明の請求項２に係る発明は、前記透明樹脂はフッ素樹脂であることを特徴とする請求項１記載の搬送用コロである。
【００１５】
本発明の請求項３に係る発明は、前記透明樹脂は含有金属が１０００ｍｇ／ｋｇ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送用コロである。
【００１６】
本発明の請求項４に係る発明は、前記透明樹脂はカーボン成分を含有しないことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送用コロである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の搬送用コロによれば、カラーフィルタ層の製造時におけるタッチパネル電極面の傷や汚れの発生を抑制することが出来る
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】タッチパネル基板の一例を断面で示す図。（ａ）はタッチパネル基板の断面を示す図。（ｂ）はカラーフィルタ層の断面を示す図。（ｃ）はタッチパネル電極層の断面を示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ層の製造工程を示すフロー図。
【図３】ガラス基板の搬送方法を示す図。（ａ）はコロ方式を示す図。（ｂ）はエアー浮上方式を示す図。
【図４】本発明に係る搬送用コロにガラス基板のタッチパネル電極層を下面にして載置したことを示す図。
【図５】搬送用コロの一例を示す図。（ａ）は回転ローラのほぼ全幅に渡って搬送材が１つ設けられた場合の図。（ｂ）は回転ローラの全幅に搬送材が複数個設けられた場合の図。
【図６】本発明の実施例に用いたタッチパネルガラス基板のタッチパネル電極層の断面を示す図。
【図７】本発明の実施例に用いた回転ローラの全幅に搬送材を６個設けたことを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明に係る搬送用コロを実施するための形態を説明する。
【００２０】
図４は本発明に係る搬送用コロにガラス基板３０のタッチパネル電極層４０を下面にして載置し上面にカラーフィルタ層を形成する場合を側面から見た図である。搬送用コロ５０は、回転ローラ５１の表面に搬送材５２を設けたものである。
【００２１】
図５（ａ）、（ｂ）は搬送用コロ５０の一例を示した図で、正面から見た図である。搬送材５２は回転ローラ５１の外周面に１または複数個設けられている。図４（ａ）に示される搬送用コロ５０は回転ローラ５１のほぼ全幅に渡って搬送材５２が１つ設けられた場合であって、図４（ｂ）に示される搬送用コロ５０は回転ローラ５１の全幅に搬送材５２が複数個設けられた場合である。
【００２２】
搬送材５２はガラス基板の大きさ、厚みによって適宜その数を決定すれば良く、その表面形状は、帯状の平面形状であっても、リング状の形状であっても良く、また、回転ローラは発塵の少ない材料を選択することが望ましい。
【００２３】
先ず、ガラス基板の汚れ、傷の発生を次に示す実施例１、実施例２で評価した。
【００２４】
＜実施例１＞
図６に実施例１に用いたタッチパネルガラス基板のタッチパネル電極層の断面を示す。ガラス基板サイズは４００＊５００ｍｍ、ｔ＝０．５ｍｍで、図５（ａ）に示す膜形成されていない素ガラス３０を３枚と、図５（ｂ）に示すＩＴＯ膜６１まで形成したガラス基板３枚と、図５（ｃ）に示す最表面に保護膜６５まで形成した基板（尚、６２は絶縁膜、６３は透明電極、６４は金属電極）３枚を用い、図７に示す回転ローラ５１の全幅（６５０ｍｍ）に搬送材５２を６個設けた搬送用コロによって全長１０ｍ搬送した。尚、最表面に保護膜６５まで形成した基板はその保護膜の鉛筆硬度が３Ｈ、５Ｈ、６Ｈのものをそれぞれ３枚使用した。
【００２５】
搬送材５２には、ピュアラバー（商品名：ニチアス株式会社製）（フッ素ゴムとフッ素樹脂の混合物）と、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン：ｕｌｔｒａ  ｈｉｇｈ  ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  ｗｅｉｇｈｔ  ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）と、ＥＰＤＭ（エチレンとプロピレンの共重合体と、さらに少量の第３成分を含む三元重合体のエチレン・プロピレンゴム）を用い、搬送材の違いによる汚れの発生度合いを蛍光灯反射による目視評価を行った。尚、上記ピュアラバーは金属含有量が１０００ｍｇ／ｋｇのものを使用した。得られた評価結果１を表１に示す。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
評価結果１より搬送材としては、ピュアラバーが最も良い評価が得られた。ピュアラバーの場合には保護膜鉛筆硬度が３Ｈの場合でも、汚れは見られなかった。ＵＰＥの場合には保護膜が３Ｈのガラス基板に汚れの発生が見られ、５Ｈ、６Ｈの場合においても微かに見られた。ＥＰＤＭは保護膜が３Ｈ、５Ｈ、６Ｈ及びＩＴＯ膜のいずれの場合においても汚れが見られた。
【００２８】
＜実施例２＞
実施例２として、上記ピュアラバーの金属含有量による傷の発生状況の評価を行った。ピュアラバーの金属含有量を上記実施例１で使用した１０００ｍｇ／ｋｇのほかに、汎用性のあるフッ素ゴムで金属含有量が４００００ｍｇ／ｋｇの２つの条件で評価した。尚、用いたガラス基板は、最表面に保護膜（鉛筆硬度３Ｈ、５Ｈ、６Ｈ）まで形成した基板を用いた。搬送用コロも実施例１同様、回転ローラの全幅（６５０ｍｍ）に上記条件のピュアラバーを搬送材として６個設けた搬送用コロによって全長１０ｍ搬送した。評価は蛍光灯反射による目視評価を行った。得られた評価結果２を表２に示す。
【００２９】
【表２】
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【００３０】
評価結果２よりピュアラバーの金属含有量４０００ｍｇ／ｋｇの場合は、保護膜が３Ｈ，５Ｈ、６Ｈいずれの場合においても傷の発生が見られ、上記１０００ｍｇ／ｋｇの場合には保護膜が３Ｈの場合においても傷発生は認められなかった。これは、金属含有量が少ないほど傷の発生が起こりにくく、本評価に用いた保護膜の場合には、金属含有量が１０００ｍｇ／ｋｇ以下の場合には、傷の発生が無いことが認められた。尚、鉛筆強度が５Ｈである上記保護膜は、一般的にタッチパネルの表面鉛筆強度を満足する値であると考えられる。
【００３１】
以上の評価結果１及び２より搬送材としては、ピュアラバーが適しており、更にその金属含有量が１０００ｍｇ／ｋｇ以下である場合には、最表面の保護膜の傷の発生が認められない。
【００３２】
次に、汚れの発生について評価した。
【００３３】
＜実施例３＞
汚れの発生については、搬送材にカーボンが含まれないピュアラバーと、カーボン成分を含有するピュアラバーを使用して評価した。ガラス基板サイズ、搬送用コロは実施例１、２と同様で、ガラス基板の保護膜が３Ｈ、５Ｈ、６Ｈの各３枚を使用し、蛍光灯反射による目視評価を行った。
【００３４】
汚れ発生の評価を行った結果、ガラス基板の保護膜が３Ｈ、５Ｈ、６Ｈ共にカーボンが含まれないピュアラバーの場合は汚れ発生はなく、カーボン成分を含有する汎用性フッ素ゴムの場合には、汚れが微かに認められた。
【００３５】
以上のように、本発明による透明樹脂により構成される搬送用コロによれば、タッチパネル用ガラス基板を製造する場合に、先に製造したタッチパネル電極層を下面にして搬送用コロでガラス基板を搬送しながらガラス基板のカラーフィルタ層を製造する際に、タッチパネル電極層の保護層に傷や汚れを発生せずにガラス基板を搬送することが可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１００・・・タッチパネル基板
１・・・カラーフィルタ層
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１０・・・タッチパネル電極層
１１・・・透明電極（ＩＴＯ膜）
１２・・・絶縁膜
１３・・・透明電極（ジャンパーと呼ばれる金属電極：ＩＴＯ膜）
１４・・・金属電極
１５・・・保護膜
２１・・・コロ
２２・・・ガラス基板の搬送方向を示す矢印
２３・・・エアー
３０・・・ガラス基板
４０・・・タッチパネル電極層
５０・・・搬送用コロ
５１・・・回転ローラ
５２・・・搬送材
６１・・・ＩＴＯ膜
６２・・・絶縁膜
６３・・・透明電極
６４・・・金属電極
６５・・・保護膜
【図２】
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【図３】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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