(57)【要約】【課題】応答性の高いリニアモータを提供する。【解決手段】リニアモータ１は、磁化方向が駆動方向（ｘ方向）に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、ｘ方向に配列された複数の磁石１５を有する磁石列３と、複数の磁石１５の２個分の長さに亘ってｘ方向に同軸的に配列された３個のコイル１７を含むコイルアセンブリ５と、３個のコイル１７に対して、その並び順に接続された、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相（ただし、各相の正負はコイル１７の軸回りの電流の向きを基準とする）用の３本の配線２３とを有する。【選択図】図１
2012147517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石を有する磁石列と、
前記複数の磁石の前記駆動方向に互いに隣接する磁石２個分の前記駆動方向の長さに亘って前記駆動方向に同軸的に配列された３個のコイルを含むコイルアセンブリと、
前記３個のコイルに対して、その並び順に、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相（ただし、各相の正負はコイルの軸回りの電流の向きを基準とする）の電力を供給する電源装置と、
を有するリニアモータ装置。
【請求項２】
前記駆動方向に延び、前記磁石列の前記コイルとは反対側に配置された外ヨークと、
前記駆動方向に延び、前記コイルアセンブリに挿通されたセンターヨークと、
前記磁石列の前記駆動方向の外側において、前記外ヨークと前記センターヨークとに連結され、前記磁石列との距離が、前記センターヨークと前記磁石列との距離よりも大きい端ヨークと、
を更に有するリニアモータ装置。
【請求項３】
前記複数の磁石の配列数が奇数個である
請求項２に記載のリニアモータ装置。
【請求項４】
前記センターヨークを囲み、前記コイルアセンブリに挿通された、非磁性且つ導電性の管状部材を更に有する
請求項２又は３に記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石を有する磁石列と、
前記複数の磁石の２個分の長さに亘って前記駆動方向に同軸的に配列された３個のコイルを含むコイルアセンブリと、
前記３個のコイルに対して、その並び順に接続された、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相（ただし、各相の正負はコイルの軸回りの電流の向きを基準とする）用の３本の配線と、
を有するリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ装置及びリニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
３相交流電力を利用した同期リニアモータとして、コイルを駆動方向（磁石の配列方向）に同軸的に配列（積層）したものが知られている（例えば、特許文献１及び２）。特許文献１では、駆動方向において、磁石４個の長さと、コイル６個の長さとが同一とされ、６個のコイルには、その並び順に、Ｕ相、−Ｕ相、Ｗ相、−Ｗ相、Ｖ相、−Ｖ相の電圧が印加されている。また、特許文献２では、駆動方向において、磁石２個の長さと、コイル３個の長さとが同一とされ、３個のコイルには、その並び順に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の電圧が印加されている。
【０００３】
なお、後述する本願における電力の相の正負に従えば、特許文献２において印加される電圧は、コイルの移動方向から、Ｕ相、−Ｖ相、Ｗ相であると特定される。また、特許文献１では、６個のコイルの巻き方向を相互に逆巻きにして、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の電圧を印加することについても記載されているが、当該電圧は、本願における電力の相の正負に従えば、Ｕ相、−Ｖ相、Ｗ相、Ｕ相、−Ｖ相、Ｗ相である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２３８２４０号公報
【特許文献２】特開２００５−２３７０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
同期リニアモータは、ボイスコイルモータと呼ばれるリニアモータに比較して、駆動範囲が長いという長所があるものの、応答性が低いという短所がある。一方、同期リニアモータに高い応答性が要求される場合がある。例えば、高い応答性が要求されるワイヤボンディング用のリニアモータとして、駆動範囲を長くするために、同期リニアモータを用いたいという要望がある。
【０００６】
本発明の目的は、応答性の高いリニアモータ装置及びリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のリニアモータ装置は、磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石を有する磁石列と、前記複数の磁石の前記駆動方向に互いに隣接する磁石２個分の前記駆動方向の長さに亘って前記駆動方向に同軸的に配列された３個のコイルを含むコイルアセンブリと、前記３個のコイルに対して、その並び順に、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相（ただし、各相の正負はコイルの軸回りの電流の向きを基準とする）の電力を供給する電源装置と、を有する。
【０００８】
好適には、前記駆動方向に延び、前記磁石列の前記コイルとは反対側に配置された外ヨークと、前記駆動方向に延び、前記コイルアセンブリに挿通されたセンターヨークと、前記磁石列の前記駆動方向の外側において、前記外ヨークと前記センターヨークとに連結され、前記磁石列との距離が、前記センターヨークと前記磁石列との距離よりも大きい端ヨークと、を更に有する。
【０００９】
好適には、前記複数の磁石の配列数が奇数個である。
【００１０】
好適には、前記センターヨークを囲み、前記コイルアセンブリに挿通された、非磁性且つ導電性の管状部材を更に有する。
【００１１】
本発明のリニアモータは、磁化方向が駆動方向に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、前記駆動方向に配列された複数の磁石を有する磁石列と、前記複数の磁石の２個分の長さに亘って前記駆動方向に同軸的に配列された３個のコイルを含むコイルアセンブリと、前記３個のコイルに対して、その並び順に接続された、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相（ただし、各相の正負はコイルの軸回りの電流の向きを基準とする）用の３本の配線と、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、応答性を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係るリニアモータの外観を示す斜視図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線矢視方向における断面図。
【図３】図１のリニアモータを有するリニアモータ装置の電力供給系の構成を示す図。
【図４】図１のリニアモータにおける磁気経路を示す断面図。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）は図１のリニアモータ及び比較例のリニアモータにおける磁束密度を模式的に示す図。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｃ）は図１のリニアモータの位置及び電流の向きを説明する模式的な断面図。
【図７】図７（ａ）〜図７（ｃ）は比較例のリニアモータの位置及び電流の向きを説明する模式的な断面図。
【図８】リニアモータの変形例の外観を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は、本発明の実施形態に係るリニアモータ１の斜視図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線矢視方向における断面図である。
【００１５】
リニアモータ１は、３相交流電力が供給されることにより、ｘ方向を駆動方向として駆動されるものである。なお、３相交流電力は、２π／３ずつ位相がずれた、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相の交流電力からなるものである。例えば、交流電流が正弦関数で表わされるものであるとすると、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相の交流電流は、ｓｉｎ（ωｔ）、ｓｉｎ（ωｔ−２π／３）、ｓｉｎ（ωｔ−４π／３）と表わされる。
【００１６】
リニアモータ１は、ｘ方向に沿って配置された２つの磁石列３と、２つの磁石列３に対してｘ方向に移動可能なコイルアセンブリ５とを有している。また、リニアモータ１は、磁気回路が好適に形成されるように、外ヨーク７、センターヨーク部９及び端ヨーク１１を有するとともに、コイルアセンブリ５に電力を供給するための電線１３（図１）を有している。
【００１７】
磁石列３は、ｘ方向に配列された複数の磁石１５を有している。図１に示すように、複数の磁石１５は、磁化方向がｚ方向（駆動方向に直交する方向）になるように配列されている。また、複数の磁石１５は、磁極の向きが交互に逆転するようにｘ方向に配列されている。２つの磁石列３は、ｚ方向において互いに対向するように配置されている。一方の磁石列３の複数の磁石１５と、他方の磁石列３の複数の磁石１５とは、同種の磁極を対向させている。２つの磁石列３は、磁石１５の数が互いに同数に設定されている。各磁石列３における磁石１５の数は、適宜に設定されてよいが、例えば、奇数（本実施形態では７個）である。
【００１８】
磁石１５は、例えば、ｙ方向（駆動方向及び磁化方向に直交する方向）を長手方向とし、ｘ方向を短手方向とし、ｚ方向を厚み方向とする板状（薄型直方体状）に形成されている。換言すれば、磁石１５は、ｙ方向の大きさ＞ｘ方向の大きさ＞ｚ方向の大きさとなるように形成されている。
【００１９】
コイルアセンブリ５は、２つの磁石列３間に配置されている。コイルアセンブリ５は、ｘ方向に同軸的に配列されたＵ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７Ｖを有している（以下、単に「コイル１７」といい、これらを区別しないことがある。）。
【００２０】
Ｕ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７Ｖは、コイルアセンブリ５がｘ方向の正側に移動するときに、３相交流電力のＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力が供給されるものであり、当該順番に配列されている。
【００２１】
なお、リニアモータ１は、ｘ方向の双方向に駆動可能であり、コイルアセンブリ５がｘ方向の負側に移動するときには、上述した電力供給の態様とは逆に、Ｕ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７Ｖに対してＶ相、Ｗ相及びＵ相の電力が供給される。換言すれば、本願において３つのコイル１７に対して、その並び順にＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力が供給されるというときの並び順は、ｘ方向のいずれ側からの並び順であってもよい。ただし、本実施形態の説明においては、特に断りがない限り、コイルアセンブリ５がｘ方向の正側へ移動する場合を想定するものとする。
【００２２】
３つのコイル１７は、ｘ方向において、磁石１５の２つ分の長さに亘る大きさに形成されている。換言すれば、ｘ方向の所定長さにおいて、コイル１７の配列数と磁石１５の配列数との比率は３：２である。
【００２３】
各コイル１７は、特に図示しないが、導線と、導線を被覆する絶縁性の被膜とを有する線材が巻かれることにより形成されている。なお、線材は、占積率を上げるために、断面が矩形状の平角線とされ、整列巻きされることが好ましい。導線は、例えば金属により形成されている。なお、導線は、一般に可動子とされるコイルアセンブリ５を軽量化するために、アルミニウムにより形成されることが好ましい。被膜は、例えば樹脂により形成されている。
【００２４】
コイル１７は、線材の隣接する部分同士が接着剤により互いに固定されることにより、形状が維持されている。その形状は、例えば、コイル１７の軸方向（開口方向）に見て（図２）概ね矩形状若しくは長円形である。また、コイル１７の巻き方向に直交する断面は、例えば矩形である（図４参照）。そして、コイル１７は、ｙ方向に延び、磁石列３に対向する対向部１７ａ（図２）を有している。コイル１７は、例えば、ｙ方向の大きさ＞ｚ方向の大きさ＞ｘ方向の大きさとなるように形成されている。
【００２５】
外ヨーク７は、磁石列３のコイルアセンブリ５とは反対側に配置されている。外ヨーク７は、例えば、鉄等の磁性体により形成され、また、ｚ方向を厚み方向とする矩形状の平板状に形成されている。外ヨーク７は、例えば、ｘ方向及びｙ方向において磁石列３に亘る広さを有し、また、その主面には、接着剤若しくはボルトにより、磁石列３が固定されている。
【００２６】
センターヨーク部９は、ｘ方向に延びており、コイルアセンブリ５に挿通されている。センターヨーク部９は、その本体たるセンターヨーク１９と、センターヨーク１９を囲む管状部材２１とを有している。
【００２７】
センターヨーク１９は、例えば、鉄等の磁性体により形成され、また、コイルアセンブリ５の空洞よりも若干小さい、当該空洞の相似形（本実施形態ではｚ方向を厚み方向とする矩形の平板状）に形成されている。
【００２８】
管状部材２１は、センターヨーク１９の外形と相似形の筒状（本実施形態では断面矩形の筒状）に形成され、センターヨーク１９の概ね全体を覆っている。管状部材２１は、非磁性且つ導電性を有する材料により形成されている。このような材料としては、例えば、銅、アルミニウム、ステンレスが挙げられる。管状部材２１は、例えば、板金をプレス加工することにより形成されている。
【００２９】
端ヨーク１１は、磁石列３に対してその配列方向（ｘ方向）の外側に配置されている。端ヨーク１１は、例えば、鉄等の磁性体により形成され、また、ｘ方向を厚み方向とする矩形状の平板状に形成されている。平板状の広さは、例えば、２つの外ヨーク７の端部の隙間を塞ぐ広さである。端ヨーク１１は、外ヨーク７及びセンターヨーク１９に当接して固定されている。固定は、例えば、ネジ、半田若しくは接着剤によりなされる。端ヨーク１１は、２つの外ヨーク７及びセンターヨーク１９を互いに固定する連結部材としても機能する。
【００３０】
端ヨーク１１と磁石列３との距離ｄ２は、センターヨーク１９と磁石列３との距離ｄ１よりも長く設定されている。好ましくは、距離ｄ２は、距離ｄ１の１．２倍以上であり、より好ましくは１．５倍以上である。
【００３１】
電線１３は、３相交流電力のＵ相、Ｗ相及びＶ相に対応して、Ｕ相配線２３Ｕ、Ｗ相配線２３Ｗ及びＶ相配線２３Ｖ（以下、単に「配線２３」といい、これらを区別しないことがある。）を有している。なお、電線１３は、これ以外にも、中性相に対応する配線を含んでいてもよい。Ｕ相配線２３Ｕ、Ｗ相配線２３Ｗ及びＶ相配線２３Ｖは、それぞれ、Ｕ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７Ｖに接続されている。配線２３は、例えば、特に図示しないが、導線と、当該導線を被覆する絶縁性の被膜とを有している。
【００３２】
なお、官公庁、規格団体若しくは企業等の各種団体においては、各配線に割り当てられる相を被膜の色により識別するために、相と色とを仕様書若しくは規格により規定している。従って、一般に、配線２３は、電力が供給されていない状態においても、いずれの相の電力が供給される配線であるか特定可能である。ひいては、コイル１７も、電力が供給されていない状態においても、いずれの相の電力が供給されるコイルであるか特定可能である。
【００３３】
図３は、リニアモータ１を有するリニアモータ装置３１の電力供給系の構成を示す図である。
【００３４】
リニアモータ装置３１は、リニアモータ１と、リニアモータ１に３相交流電力を供給する電源装置３３とを有している。３相交流電力は、例えば、Ｙ結線により供給されている。
【００３５】
なお、例えば、コイル１７の巻き方向を逆転させ、又は、コイル１７の線材の両端の電源装置３３への接続を逆にすると、コイル１７における、軸回り（ｘ軸回り）の電流の向きは逆向きとなる。すなわち、電源装置３３においては相の正負が逆転されていないにも関わらず、コイル１７においては、実質的に、電力の相の正負が逆転された（位相が１８０°ずらされた）ことになる。
【００３６】
そこで、本願では、便宜上、Ｕ相、Ｗ相及びＶ相の正負は、コイル１７の軸回りの電流の向きを基準として規定されるものとする。例えば、Ｕ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７ＶにＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力が供給される構成には、３つのコイル１７の巻き方向が互いに同一とされ、各相の位相が特定の位相（例えば各相において９０°）であるときの線材の始端（巻き始め）及び終端（巻き終わり）の正負が互いに同一であり、電源装置３３がＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力を出力するという代表的な構成だけでなく、３つのコイル１７においてこれと同様の電流が実現されている他の構成も含まれるものとする。
【００３７】
一例として、上記の代表的な構成に対してＷ相コイル１７Ｗの巻き方向を逆方向とし、上記の代表的な構成に対してコイル１７の線材の両端と電源装置３３との接続は変えず、電源装置３３がＵ相、−Ｗ相、Ｖ相の電力を出力する構成も、Ｕ相コイル１７Ｕ、Ｗ相コイル１７Ｗ及びＶ相コイル１７ＶにＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力が供給される構成に含まれる。
【００３８】
また、電力の初期位相は任意に設定可能であるから、３つのコイル１７に対して、その並び順にＵ相、Ｗ相及びＶ相の電力を供給するという場合には、３つのコイル１７に対して、その並び順に、「Ｗ相、Ｖ相及びＵ相」、「Ｖ相、Ｕ相及びＷ相」、「−Ｕ相、−Ｗ相及び−Ｖ相」、「−Ｗ相、−Ｖ相及び−Ｕ相」又は「−Ｖ相、−Ｕ相及び−Ｗ相」の電力を供給する場合が含まれる。
【００３９】
以上の構成を有するリニアモータ１の作用を説明する。
【００４０】
図４は、リニアモータ１における磁気経路を示す断面図である。
【００４１】
センターヨーク１９にＮ極を向けている磁石１５（ただし、磁石列３の端の磁石１５を除く）のＮ極から出た磁力線は、矢印ｙ１によって示すように、センターヨーク１９内へ入り、センターヨーク１９に沿ってｘ方向の両方向へ分岐し、両隣の磁石１５のＳ極へ入る。
【００４２】
同様に、外ヨーク７にＮ極を向けている磁石１５のＮ極から出た磁力線は、矢印ｙ２によって示すように、外ヨーク７内へ入り、外ヨーク７に沿ってｘ方向の両方向へ分岐し、両隣の磁石１５のＳ極へ入る。
【００４３】
磁石列３の端の磁石１５のＮ極から出た磁力線は、矢印ｙ３によって示すように、センターヨーク１９内へ入り、センターヨーク１９に沿ってｘ方向の両方向へ分岐する。そして、分岐した一方の磁力線は、端ヨーク１１を介して外ヨーク７内に入り、元の磁石１５のＳ極へ入る。分岐した他方の磁力線は、他の磁石１５の磁力線と同様に、センターヨーク１９から隣の磁石１５のＳ極に入る。
【００４４】
なお、図１を参照して説明したように、距離ｄ２が距離ｄ１よりも長いことにより、磁石列３の端の磁石１５の磁力線が、センターヨーク１９に向かわずに端ヨーク１１に直接的に向かってしまうことが抑制される。
【００４５】
また、特に図示しないが、磁石列３の端の磁石１５が、Ｎ極をセンターヨーク１９へ向ける磁石１５である場合には、Ｎ極から出た磁力線は、外ヨーク７内へ入り、外ヨーク７に沿ってｘ方向の両方向へ分岐する。そして、分岐した一方の磁力線は、端ヨーク１１を介してセンターヨーク１９内に入り、元の磁石１５のＳ極へ入る。分岐した他方の磁力線は、他の磁石１５の磁力線と同様に、外ヨーク７から隣の磁石１５のＳ極に入る。
【００４６】
磁石１５とセンターヨーク１９との間における磁束は、コイル１７の対向部１７ａをｚ方向において交差する。従って、対向部１７ａにおいてｙ方向に電流が流れると、フレミングの左手の法則に従って、コイルアセンブリ５を磁石列３に対してｘ方向へ駆動する力が生じる。そして、コイルアセンブリ５は、交流電力の１周期の間に磁石１５の２個分の長さを移動する。
【００４７】
図５（ａ）は、本実施形態における対向部１７ａの位置におけるｚ方向の磁束密度を模式的に示すグラフであり、図５（ｂ）は、比較例における対向部１７ａの位置におけるｚ方向の磁束密度を模式的に示すグラフである。
【００４８】
図５（ａ）及び図５（ｂ）において、横軸はｘ方向の位置を磁石１５の配列により示し、縦軸はｚ方向の磁束密度Ｂ（Ｗｂ／ｍ２）を示している。比較例は、本実施形態のリニアモータ１から端ヨーク１１を省略したものである。
【００４９】
図５（ａ）に示すように、本実施形態のリニアモータ１においては、端ヨーク１１が設けられることにより、磁石列３の端の磁石１５の位置までバランス良く磁束密度が分布している。一方、図５（ｂ）に示すように、端ヨーク１１が無い場合においては、磁石列３の端の磁石１５の位置においては、磁束密度が低くなっている。
【００５０】
従って、本実施形態のリニアモータ１においては、比較例に比較して、磁石列３の端若しくは端近傍までの比較的広い範囲に亘って、一様な駆動力をコイルアセンブリ５に付与することができる。換言すれば、磁石列３の端近傍において、駆動力の低下による応答性の低下が抑制される。
【００５１】
一般に、同期リニアモータにおいては、比較的多数の磁石が配列されるとともに、磁石列の端は駆動範囲外とすることにより、駆動範囲内の一様な駆動力を実現している。従って、本実施形態のリニアモータ１は、大型化が抑制されつつ駆動範囲が広くされると捉えることもできる。
【００５２】
また、一般に、磁石１５は、２つ一組とされ、偶数個配列される（この場合も本願発明に含まれる）ことにより、磁束密度のバランスを良くしているが、端ヨーク１１によって、磁石１５の奇数個配列も現実的となる。
【００５３】
図６（ａ）〜図６（ｃ）は、リニアモータ１の位置及び電流の向きを説明する模式的な断面図である。
【００５４】
図６（ａ）〜図６（ｃ）は、Ｕ相の位相が０°、３０°及び６０°となるときに対応している。各磁石１５に付された矢印ｙ１１は、コイル１７に交差する磁束の向きを示している。また、コイル１７に付された「＋」は、電流の向きが紙面奥手から手前に向かう向きであることを示し、「−」は、電流の向きがその反対であることを示している。「＋」若しくは「−」は、電流が大きいほど数が多くされている（ただし、電流と数とは比例していない。）。
【００５５】
これらの図により理解されるように、コイル１７は、磁石１５間に位置するとき（図６（ａ）のＵ相コイル１７Ｕ、図６（ｃ）のＷ相コイル１７Ｗ）、電流が０となる。そして、各コイル１７は、磁石１５の中央に位置するほど電流が大きくなり、磁石１５の中央に位置するとき、電流は最大となる。従って、電力が駆動力の生成に効率的に利用される。
【００５６】
なお、位相が６０°〜３６０°の場合の図は、コイルアセンブリ５の位置をずらしつつ、図６（ａ）〜図６（ｃ）の「＋」及び「−」を逆に、及び／又は、「＋」及び「−」の数の増減を逆にしたものであり、本質的に図６（ａ）〜図６（ｃ）と同様である。
【００５７】
図７（ａ）〜図７（ｃ）は、比較例のリニアモータの位置及び電流の向きを説明する模式的な断面図である。
【００５８】
比較例のリニアモータにおいては、特許文献１と同様に、磁石１５の４個の長さと、コイル１７の６個の長さとが同一とされ、６個のコイル１７には、その並び順に、Ｕ相、−Ｕ相、Ｗ相、−Ｗ相、Ｖ相、−Ｖ相の電圧が印加されている。
【００５９】
比較例においては、コイル１７が磁石１５間に位置するときに電流が比較的高くなること（図７（ａ）の−Ｗ相コイル１７−Ｗ、図７（ｂ）の−Ｖ相コイル１７−Ｖ、図７（ｃ）の−Ｖ相コイル１７−Ｖ）が生じ得る。
【００６０】
このように、本実施形態のリニアモータ１は、電力を効率的にリニアモータの駆動に利用することができる。その結果、応答性も向上する。
【００６１】
（実施例及び比較例）
コイルアセンブリ５においては、３つのコイル１７に対してその並び順にＵ相、Ｗ相及びＶ相の電圧が印加されることにより、コイル１７間の相互インダクタンスが低下し、その結果、リニアモータ１の応答性が向上する。
【００６２】
そこで、ＵＶ間、ＶＷ間、ＷＵ間の相互インダクタンスのシミュレーション計算の結果の一例を以下に示す。計算結果は、３つのコイル１７に対してその並び順にＵ相、Ｗ相及びＶ相の電圧を印加した場合（実施例）と、３つのコイル１７に対してその並び順にＵ相、−Ｖ相及びＷ相の電圧を印加した場合（比較例）とについて示す。
【００６３】
ＵＶ          ＶＷ          ＵＷ
実施例１（管状部材２１無）      ６．７９      ６．７１    １０．０６
実施例２（管状部材２１有）      ３．６６      ３．５６      ４．４２
比較例１（管状部材２１無）    １８．２０    １８．１１    １０．０６
比較例２（管状部材２１有）      ５．９４      ５．９５      ４．４２
なお、単位は、ｍＨである。
また、管状部材２１は、銅により形成されている。
【００６４】
上記の計算結果では、実施例１は比較例１に比較してＵＶ間若しくはＶＷ間の相互インダクタンスが１／３程度となっている。また、実施例２の相互インダクタンスは実施例１の相互インダクタンスの半分程度となっている。このように、３つのコイル１７に対してその並び順にＵ相、Ｗ相及びＶ相の電圧を印加することにより、さらには、管状部材２１を設けることにより、飛躍的に相互インダクタンスが低減される。
【００６５】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【００６６】
本発明のリニアモータは、種々の用途に用いられてよい。また、磁石列及びコイルアセンブリは、いずれが固定子又は可動子とされてもよい。
【００６７】
磁石列の数は２つに限定されない。磁石列は１つでもよいし、逆に、側方（図１のｙ方向）に磁石列が更に設けられてもよい。ヨークは全て若しくは一部が省略されてもよい。例えば、端ヨークが省略されて、センターヨーク（若しくは管状部材も含むセンターヨーク部）及び外ヨークのみとされてもよい。
【００６８】
コイルの数は３つに限定されない。例えば、図８に示すリニアモータ２０１のように、コイルアセンブリ２０５が６つのコイル１７含んでいてもよい。また、コイルの数は、３以上であれば、３の倍数にも限定されない。
【００６９】
管状部材は、板金状のものに限定されない。例えば、管状部材は、センターヨークに蒸着されることにより形成された膜であってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１…リニアモータ、３…磁石列、５…コイルアセンブリ、１５…磁石、１７…コイル、３１…リニアモータ装置、３３…電源装置。
【図１】
2012147517.tif 000003
【図２】
2012147517.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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