(57)【要約】【課題】リニアモーターにおける渦電流損を抑制する技術を提供する。【解決手段】リニアモーター１０は、スライダー２０と、ステーター３０とを備える。スライダー２０は、複数の永久磁石２１が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列２１ｌを有し、電磁力によって磁石列２１の配列方向に移動する。ステーター３０は、スライダー２０が内周側に挿通され、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイル３１を備える。また、ステーター３０には、複数相の電磁コイル３１の外周側に配置されたコイルバックヨーク３３を備える。コイルバックヨーク３３には、渦電流の発生領域を複数に分割するためのスライダー２０の移動方向に沿った複数のスリットＳが形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモーターであって、
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、
前記スライダー部が内周側に挿通されるとともに、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが、前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、
前記ステーター部において、前記複数相の電磁コイルの外周側に配置されたバックヨークと、
を備え、
前記バックヨークには、渦電流の発生領域を複数に分割するための前記スライダー部の移動方向に沿った複数のスリットが形成されている、リニアモーター。
【請求項２】
請求項１記載のリニアモーターであって、
前記ステーター部を前記スライダー部の移動方向に垂直な方向に沿って見たときに、前記複数のスリットはそれぞれ、前記複数相の電磁コイルの配列された領域の全体に渡って形成されている、リニアモーター。
【請求項３】
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、前記スライダー部を内周側に挿通し、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、を備えるリニアモーターに用いられるバックヨークであって、
前記ステーター部において、前記複数相の電磁コイルの外周側に配置され、渦電流の発生領域を複数に分割するための前記スライダー部の移動方向に沿った複数のスリットが形成されている、バックヨーク。
【請求項４】
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、
前記スライダー部を内周側に挿通し、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが、前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、を備えるリニアモーターに用いられ、
前記複数相の電磁コイルの外周側に配置されるバックヨークの製造方法であって、
（ａ）前記バックヨークの基材である板状の磁性体部材を準備する工程と、
（ｂ）前記磁性体部材の外表面において、前記スライダー部の移動方向に対応する方向に沿ってレーザー光を走査して、前記リニアモーターの駆動時に渦電流が発生する領域を複数に分割する複数のスリットを形成する工程と、
を備える、製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、リニアモーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
モーターとしては、電磁力を利用して、可動子を固定子に対して直線的に運動させるリニアモーターが知られている（下記特許文献１）。モーターでは、一般に、固定子の外側にバックヨークを配置することにより、磁束漏れを抑制し、磁気効率を向上させる。また、リニアモーターでは、可動子の移動方向に対して垂直な方向に磁束を発生させる。そのため、磁気効率を向上させるためにバックヨークを設けた場合に、その磁束によって、バックヨークに渦電流が発生してしまい、リニアモーターにおける渦電流損が増大してしまう場合があった。これまで、こうした問題に対して十分な工夫がなされてこなかったのが実情であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２８９３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、リニアモーターにおける渦電流損を抑制する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
リニアモーターであって、
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、
前記スライダー部が内周側に挿通されるとともに、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが、前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、
前記ステーター部において、前記複数相の電磁コイルの外周側に配置されたバックヨークと、
を備え、
前記バックヨークには、渦電流の発生領域を複数に分割するための前記スライダー部の移動方向に沿った複数のスリットが形成されている、リニアモーター。
このリニアモーターによれば、バックヨークによって外部への磁束漏れが抑制される。また、そのバックヨークに、渦電流の発生領域を細分化するための複数のスリットが形成されているため、リニアモーターにおける渦電流損が低減される。
【０００７】
［適用例２］
適用例１記載のリニアモーターであって、
前記ステーター部を前記スライダー部の移動方向に垂直な方向に沿って見たときに、前記複数のスリットはそれぞれ、前記複数相の電磁コイルの配列された領域の全体に渡って形成されている、リニアモーター。
このリニアモーターによれば、電磁コイルの配置されている領域全体に渡って複数のスリットが形成されているため、より確実に渦電流の発生領域を細分化することができ、リニアモーターにおける渦電流損を、さらに低減することができる。
【０００８】
［適用例３］
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、前記スライダー部が内周側に挿通されるとともに、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが、前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、を備えるリニアモーターに用いられるバックヨークであって、
前記ステーター部において、前記複数相の電磁コイルの外周側に配置され、渦電流の発生領域を複数に分割するための前記スライダー部の移動方向に沿った複数のスリットが形成されている、バックヨーク。
このバックヨークを用いれば、リニアモーターにおける渦電流損の増大を抑制しつつ、磁力効率を低減することができる。
【０００９】
［適用例４］
複数の永久磁石が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列を有し、電磁力によって前記磁石列の配列方向に移動するスライダー部と、
前記スライダー部が内周側に挿通されるとともに、相ごとに異なる位相の駆動電流の供給を受ける複数相の電磁コイルが、前記スライダー部の移動方向に沿って配列されたステーター部と、を備えるリニアモーターに用いられ、
前記複数相の電磁コイルの外周側に配置されるバックヨークの製造方法であって、
（ａ）前記バックヨークの基材である板状の磁性体部材を準備する工程と、
（ｂ）前記磁性体部材の外表面において、前記スライダー部の移動方向に対応する方向に沿ってレーザー光を走査して、前記リニアモーターの駆動時に渦電流が発生する領域を複数に分割する複数のスリットを形成する工程と、
を備える、製造方法。
この製造方法によれば、リニアモーターにおける渦電流損の増大を抑制しつつ、磁力効率を低減することができるバックヨークを効率良く製造することができる。
【００１０】
なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、リニアモーターに用いられるバックヨークおよびその製造方法や製造装置、そのバックヨークを用いたリニアモーター、そのリニアモーターを備えたアクチュエーターやマニピュレーター、ロボット、車両等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】リニアモーターの構成を示す概略図。
【図２】コイルバックヨークの構成を説明するための概略図。
【図３】コイルバックヨークの製造工程を説明するための説明図。
【図４】コイルバックヨークに形成される複数のスリットの他の構成例を示す概略図。
【図５】コイルバックヨークの他の構成例を示す概略図。
【図６】コイルバックヨークの他の構成例を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
A．実施例：
図１（Ａ），（Ｂ）は本発明の一実施例としてのリニアモーター１０の構成を示す概略図である。図１（Ａ）は、リニアモーター１０を側面側から見たときの概略断面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＢ−Ｂ切断におけるリニアモーター１０の概略断面図である。
【００１３】
リニアモーター１０は、略直棒上の可動子２０（「スライダー２０」とも呼ぶ）と、略円筒状の固定子３０（「ステーター３０」とも呼ぶ）とを備える。スライダー２０は、ステーター３０に、自身の中心軸方向に沿って往復移動可能なように挿通されている（白抜き矢印で図示）。
【００１４】
スライダー２０は、両端が閉塞された略円筒状のケーシング２２と、ケーシング２２の内部に収容された磁石列２１ｌとを備える。磁石列２１ｌは、複数の永久磁石２１が、同じ極同士が互いに対向し合うように、直列的に配列された磁石素子である。なお、図１（Ａ）では、永久磁石２１ごとに、Ｎ極、Ｓ極を示す符号「Ｎ」、「Ｓ」を図示してある。
【００１５】
スライダー２０では、この永久磁石２１の配列構成によって、永久磁石２１の端面同士の境界において、スライダー２０の移動方向（永久磁石２１の配列方向）に対して垂直な方向へと放射状に広がる磁束が形成される。なお、スライダー２０の両端部には、端面の直径方向に突出した鍔部２３が形成されている。鍔部２３は、スライダー２０のステーター３０からの脱落を防止するためのストッパーとして機能する。
【００１６】
ステーター３０は、４個の電磁コイル３１と、コイルバックヨーク３３と、２つのシャフトベアリング３４と、ケーシング３５と、位置検出部４５とを備える。４個の電磁コイル３１は、互いに隣接するように円筒方向に直列的に配列されており、スライダー２０が、コイルの内周側に、空隙を有しつつ挿通される。なお、スライダー２０は、配列された４個の電磁コイル３１の両側の開口部にそれぞれ配置された２つのシャフトベアリング３４によって摺動可能に保持される。
【００１７】
ここで、４個の電磁コイル３１はそれぞれ、位相の異なる電流が供給されるＡ相電磁コイル３１ａと、Ｂ相電磁コイル３１ｂとに分類される。図１（Ａ）では、Ａ相電磁コイル３１ａとＢ相電磁コイル３１ｂとを、それぞれ異なるハッチングを付すことにより区別して図示してある。
【００１８】
Ａ相電磁コイル３１ａとＢ相電磁コイル３１ｂとは、スライダー２０の移動方向に沿って交互に配置されている。ここで、本実施例のリニアモーター１０では、Ａ相電磁コイル３１ａとＢ相電磁コイル３１ｂの配列ピッチは、磁石列２１ｌにおける永久磁石２１の配列ピッチのほぼ１／２である。
【００１９】
なお、本明細書では、紙面左側のＡ相電磁コイル３１ａを「第１のＡ相電磁コイル３１ａ」と呼び、紙面右側のＡ相電磁コイル３１ａを「第２のＡ相電磁コイル３１ａ」と呼ぶ。また、同様に、紙面左側のＢ相電磁コイル３１ｂを「第１のＢ相電磁コイル３１ｂ」と呼び、紙面右側のＢ相電磁コイル３１ｂを「第２のＢ相電磁コイル３１ｂ」と呼ぶ。
【００２０】
コイルバックヨーク３３は、４個の電磁コイル３１の外周表面全体を被覆するように配置されており、４個の電磁コイル３１の磁気効率を向上させている。コイルバックヨーク３３には、リニアモーター１０における渦電流損を低減させるための複数のスリットＳ（図１（Ｂ））が設けられているが、その詳細については後述する。
【００２１】
コイルバックヨーク３３は、透磁率の高い部材で構成されることが好ましい。コイルバックヨーク３３としては、例えば、ＪＦＥスチール株式会社のＪＮＥＸコアや、ＪＮＨＦコアによって構成することができる。ここで、「ＪＮＥＸコア」は、ケイ素（Ｓｉ）を６．５％程度含有する鋼板である。また、「ＪＮＨＦコア」は、Ｓｉの含有比率が厚み方向で異なる鋼板である。具体的に、ＪＮＨＦコアにおけるＳｉの含有比率は、両表面側における１／４程度の厚み領域において６．５％程度であるものとしても良く、それらの厚み領域に挟まれた中央の厚み領域において３．５％程度であるものとしても良い。
【００２２】
ケーシング３５は、両端において開口した略円筒形状の容体である。ケーシング３５の内部空間には、上記の４個の電磁コイル３１や、コイルバックヨーク３３、シャフトベアリング３４が収容される。ここで、本実施例のリニアモーター１０では、コイルバックヨーク３３によって磁束漏れが抑制されている。そのため、ケーシング３５を導電性部材によって構成した場合であっても、ケーシング３５における渦電流の発生が抑制される。従って、本実施例のリニアモーター１０によれば、ケーシング３５を熱伝導率の高い導電性材料（例えばアルミニウムなど）によって構成することができ、リニアモーター１０における放熱効果を向上させ、そのトルク特性を向上させることが可能である。
【００２３】
リニアモーター１０では、ケーシング３５の一方の開口部の外側に、位置検出部４５が設けられている。位置検出部４５は、スライダー２０の外周を囲むように配置されており、スライダー２０の移動に伴う磁束の変化に応じた信号を出力する。位置検出部４５は、例えば、レゾルバによって構成することができる。
【００２４】
図２は、コイルバックヨーク３３の構成を示す概略図であり、コイルバックヨーク３３を円周方向に展開して示す展開図である。コイルバックヨーク３３には、コイルバックヨーク３３の中心軸方向（紙面左右方向）に延びる複数の並列なスリットＳが、コイルバックヨーク３３の円周方向（紙面上下方向）に渡って一様な間隔で配列されている。即ち、コイルバックヨーク３３には、スライダー２０の移動方向に対応する方向に沿った複数のスリットＳが形成されている。
【００２５】
前記したとおり、スライダー２０では、磁石列２１ｌにおける永久磁石２１同士の境界において、スライダー２０の移動方向に対して垂直な方向に放射状に伸びる磁束が形成されている。この磁束によって、コイルバックヨーク３３には渦電流が発生する。即ち、リニアモーター１０では、磁石列２１ｌにおける磁束密度が大きいほど、渦電流損が増大してしまう。
【００２６】
しかし、この複数のスリットＳが形成されたコイルバックヨーク３３を用いれば、電磁コイル３１やスライダー２０による磁界の変化によってコイルバックヨーク３３に発生する渦電流を、スリットＳの間の領域ごとに分散させ、細分化することができる。従って、リニアモーター１０における渦電流損を低減することができ、リニアモーター１０の駆動効率を向上させることができる。
【００２７】
ここで、リニアモーター１０のステーター３０（図１）を、スライダー２０の移動方向に対して垂直な方向に沿って見たときに、コイルバックヨーク３３が配置されている範囲を「コイルバックヨーク配置範囲」と呼ぶ。また、４個の電磁コイル３１が配置されている範囲を「コイル配置範囲」と呼ぶ。
【００２８】
コイルバックヨーク３３は、４個の電磁コイル３１の外周全体を被覆するとともに、スライダー２０の移動方向におけるその両端が、４個の電磁コイル３１の端部より突出するように配置されている。即ち、コイル配置範囲は、コイルバックヨーク配置範囲より狭い範囲であり、その全範囲が、コイルバックヨーク配置範囲に包含されている。
【００２９】
コイルバックヨーク３３の複数のスリットＳは、このコイル配置範囲の全範囲に渡って形成されている（図２）。このように、電磁コイル３１が配置された領域に対応させてスリットＳを形成することにより、より確実に渦電流の発生領域を分割することができる。また、コイルバックヨーク３３は、その幅方向（図２の紙面左右方向）における両端部において全体が連結された一体的な構成であるため、リニアモーター１０の製造工程におけるその取り扱い性（ハンドリング性）が向上されている。
【００３０】
図３（Ａ）〜（Ｄ）は、コイルバックヨーク３３の製造工程を説明するための説明図である。図３（Ａ）は、第１工程として、コイルバックヨーク３３の基材である鋼板５０の準備工程を示す模式図である。この第１工程では、透磁率の高い鋼板５０を平板な状態で準備する。
【００３１】
図３（Ｂ），（Ｃ）は、第２工程として、鋼板５０へのスリットＳの形成工程を示す模式図である。図３（Ｂ）には、鋼板５０にスリットＳを形成するためのスリット形成装置１００の概略斜視図が図示されており、図３（Ｂ）には、スリット形成装置１００の概略側面図が図示されている。なお、図３（Ｂ），（Ｃ）では、レーザー光ＬＬを破線で図示してある。
【００３２】
スリット形成装置１００は、一列に配列された複数のレーザー射出部１１０と、鋼板５０を搬送するための搬送部１２０とを備える。複数のレーザー射出部１１０は、搬送部１２０による鋼板５０の搬送方向に対して垂直な方向に、コイルバックヨーク３３に形成されるスリットＳの間隔に対応させて一列に配列されている。搬送部１２０は、鋼板５０が載置される搬送ベルト１２１と、搬送ベルト１２１を鋼板５０の搬送方向に駆動する複数の搬送ローラー１２２とを備える。
【００３３】
スリット形成装置１００では、搬送部１２０が一定の速度で鋼板５０を搬送する。また、各レーザー射出部１１０が、搬送部１２０による鋼板５０の搬送方向（黒色矢印で図示）とは反対の方向（白色矢印で図示）に鋼板５０の外表面に沿って移動しつつ、コイル配置範囲に相当する範囲においてレーザーを射出する。これによって、鋼板５０の搬送方向に沿った複数の並列なスリットＳが形成される。なお、鋼板５０に形成される各スリットＳの幅は、０．０５ｍｍ程度であるものとしても良い。スリットＳの幅は、０ｍｍに近いほど好ましい。
【００３４】
このように、この工程では、搬送部１２０による鋼板５０の搬送方向と各レーザー射出部１１０の移動方向とを互いに反対の方向としている。これによって、鋼板５０と各レーザー射出部１１０との相対速度が増大しており、複数のスリットＳを形成するための工程時間が短縮されている。
【００３５】
なお、この工程では、搬送部１２０による鋼板５０の搬送を停止した状態で、各レーザー射出部１１０に鋼板５０の外表面を走査させ、各スリットＳを形成するものとしても良い。また、逆に、各レーザー射出部１１０の位置を固定した状態で、搬送部１２０に鋼板５０を搬送させつつ、鋼板５０に対してレーザーの射出を実行し、各スリットＳを形成するものとしても良い。
【００３６】
図３（Ｄ）は、第４工程として、鋼板５０の曲げ加工の工程を示す模式図である。この工程では、鋼板５０がスリットＳの配列方向を円周方向とする略円筒形状に曲げ加工され、コイルバックヨーク３３が完成する。この工程の後、コイルバックヨーク３３は、リニアモーター１０に組み付けられる。なお、本実施例のコイルバックヨーク３３は、前記したとおり、複数に分離されることなく一体的に構成されているため、リニアモーター１０への組み付けが容易である。
【００３７】
このように、本実施例のリニアモーター１０によれば、コイルバックヨーク３３が電磁コイル３１の外周に配置されており、リニアモーター１０における磁束漏れが抑制され、磁束効率が向上されている。また、コイルバックヨーク３３には、渦電流の発生領域が細分化されるように、複数のスリットＳが形成されている。そのため、リニアモーター１０における渦電流発生損が低減されている。
【００３８】
B．上記実施例の他の構成例：
図４（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ、コイルバックヨーク３３に設けられる複数のスリットＳの他の構成例を示す概略図である。図４（Ａ）は、スリットＳに換えて、スリットＳａが形成されている点以外は、図２とほぼ同じである。この構成例の各スリットＳａは、不連続な分離した貫通溝である３つのスリット部Ｓ1〜Ｓ3が直列に配列された構成を有している。即ち、コイルバックヨーク３３に設けられるスリットは、連続した一直線状の貫通溝として構成されていなくとも良く、不連続な破線状の貫通溝として構成されるものとしても良い。
【００３９】
なお、この構成例では、各スリットＳａが３つのスリット部Ｓ1〜Ｓ3に分離されていたが、各スリットＳａは、２つのスリット部Ｓ1，Ｓ2に分離されているものとしても良く、３つ以上のスリット部Ｓ1〜Ｓn（ｎは３以上の自然数）に分離されているものとしても良い。
【００４０】
ここで、複数のスリット部Ｓ1〜Ｓ3に分離されたスリットＳａが設けられたコイルバックヨーク３３では、各スリット部Ｓ1〜Ｓ3の間において、各スリットＳａに挟まれた領域を連結する隔壁Ｗが存在する。従って、この隔壁Ｗによって、コイルバックヨーク３３の剛性が向上し、図３（Ｄ）で説明した曲げ加工など、コイルバックヨーク３３の変形加工の際に、各スリットＳａの幅が不均一に変形してしまうことが抑制される。
【００４１】
図４（Ｂ）は、各スリットＳａの間に、４つのスリット部Ｓ1〜Ｓ4を有するスリットＳｂが設けられている点以外は、図４（Ａ）とほぼ同じである。即ち、この構成例では、コイルバックヨーク３３におけるスリットの配列周期が、図４（Ａ）の構成例の約１／２であり、渦電流の発生領域がより細分化されている。従って、この構成例のコイルバックヨーク３３を用いれば、リニアモーター１０における渦電流損をより低減させることができる。
【００４２】
また、この構成例では、スリットＳａとスリットＳｂとがそれぞれ、ピッチの異なる破線状の貫通溝として構成されている。これによって、各スリットＳｂにおける各スリット部Ｓ1〜Ｓ4の端部に挟まれた隔壁Ｗの形成位置と、各スリットＳａにおける各スリット部Ｓ1〜Ｓ3の端部に挟まれた隔壁Ｗの形成位置とがオフセットされている。即ち、各スリットＳａ，Ｓｂの配列方向に対して垂直な方向に沿って見たときに、各隔壁Ｗは不連続な配置構成となっている。この構成によって、各スリットＳａ，Ｓｂの配列周期が細分化された場合であっても、コイルバックヨーク３３の剛性が著しく低下してしまうことが抑制される。
【００４３】
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、上記実施例のコイルバックヨーク３３の他の構成例を示す概略図である。図５（Ａ）〜（Ｄ）にはそれぞれ、図１（Ｂ）と同様なリニアモーター１０の概略断面図が図示されている。
【００４４】
図５（Ａ）の構成例では、リニアモーター１０には、コイルバックヨーク３３に換えて２つのコイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2が設けられている。２つのコイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2は、電磁コイル３１の外周において、電磁コイル３１を挟んで互いに対向する位置において、互いに離隔して配置されている。なお、２つのコイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2にはそれぞれ、第１実施例で説明したのと同様な複数のスリットＳが形成されている。
【００４５】
即ち、この構成例では、電磁コイル３１の外周面には、２つのコイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2のいずれかによって被覆されている領域と、被覆されていない領域とが形成されている。このような構成であっても、コイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2によって、リニアモーター１０の磁力効率を向上させることができる。また、各コイルバックヨーク３３ａ1，３３ａ2に形成された複数のスリットＳよって、リニアモーター１０における渦電流損を低減することができる。
【００４６】
図５（Ｂ）の構成例では、リニアモーター１０は、略円筒形状のケーシング３５に換えて、略四角筒形状のケーシング３５Ａを有している。また、この構成例では、リニアモーター１０は、略円筒形状のコイルバックヨーク３３に換えて、ケーシング３５Ａの形状に合わせて略四角筒形状に構成されたコイルバックヨーク３３ｂを有している。
【００４７】
なお、この構成例では、コイルバックヨーク３３ｂはケーシング３５Ａの内壁面全体を被覆するように配置されており、電磁コイル３１の外周面との間に空隙を有している。また、この構成例のコイルバックヨーク３３ｂは、上記実施例で説明したのと同様な複数のスリットＳを有している。
【００４８】
このような構成であっても、コイルバックヨーク３３ｂによって、リニアモーター１０の磁力効率を向上させることができる。また、各コイルバックヨーク３３ｂに形成された複数のスリットＳよって、リニアモーター１０における渦電流損を低減することができる。
【００４９】
図５（Ｃ）は、コイルバックヨーク３３ｂに換えて、ケーシング３５Ａの４つの内壁面ごとに分離して配置された４つのコイルバックヨーク３３ｂ1〜３３ｂ4が設けられている点以外は、図５（Ｂ）とほぼ同じである。また、図５（Ｄ）は、電磁コイル３１を挟んで互いに対向するコイルバックヨーク３３ｂ2，３３ｂ4が省略されている点以外は、図５（Ｃ）とほぼ同じである。
【００５０】
これらのような構成であっても、リニアモーター１０の磁力効率を向上させることができるとともに、リニアモーター１０における渦電流損を低減することができる。なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）のいずれの構成例においても、スリットＳに換えて、図４で説明したスリットＳａ，Ｓｂのように、複数の断続的なスリットが設けられるものとしても良い。ただし、図５（Ａ）〜（Ｄ）のいずれの構成例においても、リニアモーター１０における磁束の均一性が、上記実施例の構成よりも低下している。従って、図５（Ａ）〜（Ｄ）の構成例よりも、上記実施例の構成の方が、より好ましい。
【００５１】
図６（Ａ）は、上記実施例のコイルバックヨーク３３の他の構成例を示す概略図である。図６（Ａ）は、コイルバックヨーク３３に換えて、複数のコイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3が積層されたコイルバックヨーク層３３ｃが設けられている点以外は、図１（Ｂ）とほぼ同じである。
【００５２】
この構成例のコイルバックヨーク層３３ｃは、略円筒形状に形成された互いに径の異なる第１ないし第３のコイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3をそれぞれ、中心軸を一致させて入れ子状に配置した構成を有している。また、第１と第２のコイルバックヨーク３３ｃ1，３３ｃ2の間および第２と第３のコイルバックヨーク３３ｃ2，３３ｃ3の間にはそれぞれ、接着性を有する絶縁層３７が配置されている。これらの絶縁層３７によって、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3は一体化されている。
【００５３】
各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3には、上記実施例のコイルバックヨーク３３と同様に、図２で説明したのと同様な複数の並列なスリットＳが設けられている。なお、図６（Ａ）の例では、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3の各スリットＳは、リニアモーター１０を構成したときに、リニアモーター１０の中心軸に対して放射状に配列されるように形成されている。
【００５４】
このように、複数のコイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3を積層することにより、磁束漏れをさらに抑制することができるため、リニアモーター１０における駆動効率が向上する。なお、図６（Ａ）の例では、コイルバックヨーク層３３ｃは、第１ないし第３のコイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3が積層された三層構造を有しているが、コイルバックヨーク層３３ｃは二層構造であるものとしても良く、さらに複数のコイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃm（ｍは４以上の自然数）が積層される多層構造であるものとしても良い。また、絶縁層３７は省略されても良い。
【００５５】
図６（Ｂ）は、図６（Ａ）で説明したコイルバックヨーク層３３ｃの他の構成例を示す概略図である。図６（Ｂ）は、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3に形成された各スリットＳの位置が互いにオフセットされている点以外は、図６（Ａ）とほぼ同じである。このように、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3の各スリットＳの位置は、互いに重なる位置に設けられていなくとも良い。
【００５６】
なお、図６（Ａ），（Ｂ）のいずれの構成例においても、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3には、異なるスリット幅を有するスリットＳや、異なる数のスリットＳが設けられるものとしても良い。また、各コイルバックヨーク３３ｃ1〜３３ｃ3には、図４で説明したような複数の断続的なスリットＳａ，Ｓｂが形成されるものとしても良い。
【００５７】
C．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００５８】
C1．変形例１：
上記実施例では、コイルバックヨーク３３には、各スリットＳが略均一に配列されていた。しかし、各スリットＳは、コイルバックヨーク３３において、略均一に配列されていなくとも良い。ただし、コイルバックヨーク３３に各スリットＳを略均一に配列することにより、リニアモーター１０における磁束の均一性が保たれるため好ましい。
【００５９】
C2．変形例２：
上記実施例では、各スリットＳは、コイル配置範囲と同等の範囲で形成されていた。しかし、各スリットＳは、コイル配置範囲を超えて形成されるものとしても良く、コイル配置範囲の一部にのみ形成されるものとしても良い。
【００６０】
C3．変形例３：
上記実施例では、コイルバックヨーク３３の各スリットＳは直線状の貫通溝として構成されていた。しかし、各スリットＳは曲線状に構成されているものとしても良い。各スリットＳは、コイルバックヨーク３３をリニアモーター１０に組み付けたときに、コイルバックヨーク３３におおける渦電流の発生領域が細分化されるように構成されていれば良い。
【００６１】
C4．変形例４：
上記実施例では、リニアモーター１０は、４個の電磁コイル３１を有していた。しかし、リニアモーター１０は、さらに複数の電磁コイル３１を有するものとしても良い。また、リニアモーター１０の４個の電磁コイル３１は、２相の電磁コイル３１ａ，３１ｂに分類されていたが、リニアモーター１０は、さらに複数の相（例えば３相）の電磁コイルを有するものとしても良い。即ち、リニアモーター１０としては、上記実施例の構成に限定されるものではない。リニアモーター１０としては、磁石列２１ｌを有するスライダー２０と、スライダー２０を内周側に挿通する複数相の電磁コイル３１がスライダー２０の移動方向に沿って配列されたステーター３０とを備えている構成であれば良い。
【００６２】
C5．変形例５：
上記実施例では、コイルバックヨーク３３の各スリットＳの両端部が閉塞していることにより、コイルバックヨーク３３の一部が分離してしまうことが抑制され、コイルバックヨーク３３を一体的な構成としていた。しかし、コイルバックヨーク３３の各スリットＳは、少なくとも一方の端部が閉塞されていれば良い。このような構成であっても、コイルバックヨーク３３の一部が分離してしまうことを抑制でき、コイルバックヨーク３３の取り扱い性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１０…リニアモーター
２０…スライダー(可動子)
２１…永久磁石
２１ｌ…磁石列
２２…ケーシング
２３…鍔部
３０…ステーター（固定子）
３１…電磁コイル
３１ａ…Ａ相電磁コイル
３１ｂ…Ｂ相電磁コイル
３３，３３ａ1，３３ａ2，３３ｂ，３３ｂ1〜３３ｂ4,３３ｃ1〜３３ｃ3…コイルバックヨーク
３３ｃ…コイルバックヨーク層
３４…シャフトベアリング
３５，３５Ａ…ケーシング
３７…絶縁層
４５…位置検出部
５０…鋼板
１００…スリット形成装置
１１０…レーザー射出部
１２０…搬送部
１２１…搬送ベルト
１２２…搬送ローラー
ＬＬ…レーザー光
Ｓ，Ｓａ，Ｓｂ…スリット
Ｗ…隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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