(57)【要約】 【課題】  印刷によって封止樹脂がノッチ部分から他方の面に流出し残存してしまうことを防止することで、樹脂研磨の安定性を高める。【解決手段】  クリーニング装置には、周縁部に切欠を有するウエハの一方の面に対して印刷部によって封止樹脂を印刷した後、ウエハの他方の面の周縁部をクリーニングするクリーニング部と、印刷部及びクリーニング部を制御する制御部とが備えられている。制御部は、印刷部による封止樹脂の印刷を終えた後に、クリーニング部によるウエハの他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周縁部に切欠を有し、一方の面に封止樹脂が形成されたウエハの他方の面の周縁部をクリーニングするクリーニング部を備えていることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項２】
請求項１記載のクリーニング装置において、
前記ウエハの前記一方の面に対して封止樹脂を印刷する印刷部及び前記クリーニング部を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記クリーニング部による前記ウエハの前記他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行することを特徴とするクリーニング装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のクリーニング装置において、
前記クリーニング部は、布と、前記布に対して洗浄剤を染み込ませる洗浄剤供給部と、前記洗浄剤を染み込んだ前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させる当接部と、
を有し、
前記制御部は、クリーニング時においては前記当接部によって前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のクリーニング装置において、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記ウエハの前記他方の面の周縁部の汚れ具合を検出する汚れ検出部を備え、
前記制御部は、前記汚れ検出部の検出結果に基づいて、前記クリーニング部によるクリーニングを行うか否かを決定することを特徴とするクリーニング装置。
【請求項５】
周縁部に切欠を有し、一方の面に封止樹脂が形成されたウエハの他方の面の周縁部を、クリーニング部によりクリーニングすることを特徴とするクリーニング方法。
【請求項６】
請求項５に記載のクリーニング方法において、
前記ウエハの前記一方の面に対して前記封止樹脂を印刷する印刷部及び前記クリーニング部を制御部により制御し、
前記制御部は、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記クリーニング部による前記ウエハの前記他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行することを特徴とするクリーニング方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のクリーニング方法において、
前記クリーニング部は洗浄剤供給部と当接部とを有し、
前記洗浄剤供給部により、布に対して洗浄剤を染み込ませ、
前記当接部により、前記洗浄剤が染み込んだ前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させることを特徴とするクリーニング方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか一項に記載のクリーニング方法において、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、汚れ検出部により前記ウエハの前記他方の面の周縁部の汚れ具合を検出し、
前記汚れ検出部の検出結果に基づいて、前記クリーニング部によるクリーニングを行うか否かを前記制御部により決定することを特徴とするクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニング装置及びクリーニング方法に係り、特に半導体装置を製造する際に用いられるクリーニング装置及びクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体装置を製造する際には、ウエハの一方の面に対して封止樹脂を印刷し、均一な封止樹脂層を形成する印刷工程が施されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３５２０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ウエハには、当該ウエハの位置を検出するためのノッチと呼ばれる切欠が形成されているものがある。このノッチを有するウエハに対して封止樹脂を印刷する場合、封止樹脂がノッチから他方の面へと流出してしまうことがあった。他方の面に至った封止樹脂が硬化すると、その後の工程である一方の面側の樹脂を研磨する際に、ウエハ自体が傾いてしまうため、ウエハの破損や、不均一な研磨を誘発し、樹脂研磨の安定性が阻害されていた。
このため、本発明の課題は、印刷によって封止樹脂がノッチ部分から他方の面に流出し残存してしまうことを防止することで、樹脂研磨の安定性を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するため、本発明の一の態様によれば、
周縁部に切欠を有し、一方の面に封止樹脂が形成されたウエハの他方の面の周縁部をクリーニングするクリーニング部を備えていることを特徴とするクリーニング装置が提供される。
【０００６】
上記クリーニング装置において好ましくは、
前記ウエハの前記一方の面に対して封止樹脂を印刷する印刷部及び前記クリーニング部を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記クリーニング部による前記ウエハの前記他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行する。
上記クリーニング装置において好ましくは、
前記クリーニング部は、布と、前記布に対して洗浄剤を染み込ませる洗浄剤供給部と、前記洗浄剤を染み込んだ前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させる当接部と、
を有し、
前記制御部は、クリーニング時においては前記当接部によって前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させる。
上記クリーニング装置において好ましくは、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記ウエハの前記他方の面の周縁部の汚れ具合を検出する汚れ検出部を備え、
前記制御部は、前記汚れ検出部の検出結果に基づいて、前記クリーニング部によるクリーニングを行うか否かを決定する。
【０００７】
また、本発明の他の態様によれば、
周縁部に切欠を有し、一方の面に封止樹脂が形成されたウエハの他方の面の周縁部を、クリーニング部によりクリーニングすることを特徴とするクリーニング方法が提供される。
【０００８】
上記クリーニング方法において好ましくは、
前記ウエハの前記一方の面に対して前記封止樹脂を印刷する印刷部及び前記クリーニング部を制御部により制御し、
前記制御部は、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、前記クリーニング部による前記ウエハの前記他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行する。
上記クリーニング方法において好ましくは、
前記クリーニング部は洗浄剤供給部と当接部とを有し、
前記洗浄剤供給部により、布に対して洗浄剤を染み込ませ、
前記当接部により、前記洗浄剤が染み込んだ前記布を前記ウエハの前記他方の面の周縁部に当接させる。
上記クリーニング方法において好ましくは、
前記印刷部による前記封止樹脂の印刷を終えた後に、汚れ検出部により前記ウエハの前記他方の面の周縁部の汚れ具合を検出し、
前記汚れ検出部の検出結果に基づいて、前記クリーニング部によるクリーニングを行うか否かを前記制御部により決定する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、印刷によって封止樹脂がノッチ部分から他方の面に流出し残存してしまうことを防止することで、樹脂研磨の安定性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る印刷装置及びクリーニング装置を示す説明図である。
【図２】図１のクリーニング装置に備わるクリーニング部の概略構成を示す側面図である。
【図３】図２のクリーニング部に備わるクリーニング機構の概略構成を示す説明図である。
【図４】図１の印刷装置及びクリーニング装置の主制御構成を示すブロック図である。
【図５】図１の印刷装置による印刷時における一工程を示す説明図である。
【図６】図１の印刷装置による印刷時における一工程を示す説明図である。
【図７】図１の印刷装置による印刷時における一工程を示す説明図である。
【図８】図１の印刷装置による印刷時における一工程を示す説明図である。
【図９】図１の印刷装置により印刷されたウエハの状態を示す説明図である。
【図１０】図１のクリーニング装置によるクリーニング時における一工程を示す説明図である。
【図１１】図１のクリーニング装置によるクリーニング時における一工程を示す説明図である。
【図１２】図１のクリーニング装置によるクリーニング時における一工程を示す説明図である。
【図１３】図４の主制御構成の変形例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。ただし、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
【００１２】
図１は本発明の実施形態に係る印刷装置１及びクリーニング装置８の概略構成を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は（ａ）におけるｂ−ｂ切断線から見た模式断面図である。図１に示すように、印刷装置１には、略円板状のウエハ２が収容されるカセット部３と、カセット部３に対してウエハ２を取り出し／収容するウエハ運搬部４と、ウエハ運搬部４によって取り出されたウエハ２の一方の面に対して封止樹脂５を印刷する印刷部６とが備えられている。また、クリーニング装置８には、ウエハ２の他方の面の周縁部をクリーニングするクリーニング部７が備えられている。
【００１３】
カセット部３は、ウエハ２を収容するための開口部３１を有している。開口部３１は、ウエハ運搬部４側が開放されている。
ウエハ運搬部４は、回転軸４１と、回転軸４１に対して伸縮するアーム部４２と、アーム部４２の先端部に取り付けられウエハ２を把握する把握部４３とを有している。回転軸４１が回転することによりアーム部４２及び把握部４３がカセット部３と印刷部６との間を移動するようになっている。
【００１４】
印刷部６は、マスク６１と、ウエハ２を支持するステージ部６２と、ステージ部６２上に載置されたウエハ２に対してマスク６１を介して封止樹脂５を印刷するスキージ部６３とを備えている。
マスク６１は、カセット部３の開口部３１に対して所定の間隔を開けて対向するように所定の位置に固定されている。マスク６１は、例えば金属製の板材であり、その略中央部に円形の開口６１１が形成されている。
ステージ部６２は、待機時においてはウエハ運搬部４とマスク６１との間に位置しており、印刷前においてはウエハ２をマスク６１の直下まで搬送し、印刷後には待機位置に復帰するようになっている。
【００１５】
スキージ部６３は、マスク６１の一端部に載せられた液状又はゲル状の封止樹脂５を他端部まで摺動することで、マスク６１の開口６１１内に封止樹脂５を充填し、ウエハ２の一方の面に印刷するものである。スキージ部６３は、待機時においてはマスク６１から離間しており、印刷時になるとマスク６１に接触するようになっている。
【００１６】
クリーニング部７はウエハ運搬部４の一側方に配置されている。図２は、クリーニング部７の概略構成を示す側断面図である。図１（ａ）及び図２に示すように、クリーニング部７には、回転自在な台座７１と、台座７１に近接するように設けられたクリーニング機構７２と、台座７１及びクリーニング機構７２を囲むチャンバ７３とが備えられている。
台座７１は、ウエハ２の周縁部がはみ出るようにウエハ２の直径よりも小さな円板状に形成されている。
【００１７】
図３は、クリーニング機構７２の概略構成を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。図３に示すように、クリーニング機構７２には、拭き取り用の布９をロール状で保持する供給ローラ７２１と、供給ローラ７２１から引き出された布９をウエハ２の他方の面に当接させるための当接部７２２と、供給ローラ７２１から当接部７２２を通過した布９を巻き取る巻き取りローラ７２３とが備えられている。
当接部７２２は、昇降するようになっていて、待機時においては下降して台座７１上のウエハ２から離間し、クリーニング時には上昇して台座７１上のウエハ２の他方の面の周縁部に布９を当接させるようになっている。また、当接部７２２よりも上流側には、布９に対して例えばアセトン等の洗浄剤を噴霧して染み込ませる洗浄剤供給部７２４が配置されている。
【００１８】
チャンバ７３は、図１（ａ）に示すように、ウエハ２の出入り口７３１を有するチャンバ本体７３２と、出入り口７３１を開閉する扉部７３３と、排気口７３４とを備えている。排気口７３４には図示しないダクトが接続されていて、強制的な排気が行われている。
【００１９】
図４は、本実施形態の印刷装置１及びクリーニング装置８の主制御構成を示すブロック図である。図４に示すように、印刷装置１及びクリーニング装置８の制御部１０には、ウエハ運搬部４を駆動するための運搬部駆動源４９と、ステージ部６２を駆動するためのステージ部駆動源６８と、スキージ部６３を駆動するためのスキージ部駆動源６９と、当接部７２２を駆動するための当接部駆動源７５と、台座７１を駆動するための台座駆動源７６と、巻き取りローラ７２３を駆動するための巻き取りローラ駆動源７７と、洗浄剤供給部７２４を駆動するための洗浄剤供給部駆動源７８と、扉部７３３を駆動するための扉部駆動源７９とが電気的に接続されている。
【００２０】
制御部１０は、ＣＰＵ（中央演算装置）と、メモリとを有して構成され、印刷装置１及びクリーニング装置８の各構成要素を制御する。メモリは、印刷装置１及びクリーニング装置８の各構成要素を制御するためのプログラムを記憶している。ＣＰＵは、メモリに格納された画像のデータやプログラムに基づいて演算を行ない、この演算結果に基づいて各構成要素に制御信号を送信する。
【００２１】
以下、制御部１０による印刷方法及びクリーニング方法の制御手順について説明する。
印刷開始タイミングになると、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、アーム部４２をカセット部３側に伸張させ、把握部４３によりカセット部３内のウエハ２を把握させる（図１参照）。なお、印刷開始タイミングに基づいて、作業者によってマスク６１の一端部上に液状又はゲル状の封止樹脂５が供給されている。
【００２２】
その後、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３がステージ部６２側に配置されるように回転軸４１を回転させる。把握部４３とステージ部６２とが対峙すると、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３の把握を解除し、ステージ部６２上にウエハ２を載置させてから、アーム部４２を収縮させる（図５参照）。
【００２３】
次いで、制御部１０は、ステージ部駆動源６８を制御して、ウエハ２がマスク６１の直下に配置されるようにステージ部６２を移動させる（図６参照）。
ステージ部６２の移動が完了すると、制御部１０はスキージ部駆動源６９を制御して、スキージ部６３をマスク６１の一端部から他端部まで移動させる。この移動に伴って、マスク６１上の封止樹脂５がマスク６１の開口６１１内に充填され、ウエハ２の一方の面に印刷される（図７参照）。
印刷後においては、制御部１０は、ステージ部駆動源６８を制御して、待機位置までステージ部６２を移動させる（図８参照）。
【００２４】
図９は、印刷後のウエハ２の状態を示す説明図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は一方の面図、（ｃ）は裏面図である。図９に示すようにウエハ２の周縁には、ウエハ２の位置認識用のノッチと呼ばれる切欠２１が形成されているが、封止樹脂５が印刷されると切欠２１を介してウエハ２の他方の面に流出してしまう場合がある（図９（ｃ）におけるＰ）。以下の工程においては、この流出部位Ｐをクリーニングする。
【００２５】
クリーニング開始時においては、制御部１０は扉部駆動源７９を制御して、扉部７３３を開状態としてから、運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３がステージ部６２側に配置されるように回転軸４１を回転させる。把握部４３とステージ部６２とが対峙すると、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３によりステージ部６２上のウエハ２を把握させ、把握部４３が出入り口７３１からチャンバ７３内に進入するように回転軸４１を回転させるとともにアーム部４２を伸張させる（図１０参照）。
【００２６】
把握部４３と台座７１とが対峙すると、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３の把握を解除し、台座７１上にウエハ２を載置させてから、アーム部４２を収縮させる。アーム部４２が収縮すると、制御部１０は扉部駆動源７９を制御して、扉部７３３を閉状態とする（図１１参照）。
そして、制御部１０は当接部駆動源７５を制御して、当接部７２２を待機位置から上昇させて、布９をウエハ２の他方の面の周縁部に当接させる。その後、制御部１０は、布９をウエハ２の他方の面の周縁部に当接させたままの状態で、台座駆動源７６を制御し、台座７１を回転させる。このとき、制御部１０は、巻き取りローラ駆動源７７及び洗浄剤供給部駆動源７８を制御して、布９に洗浄剤を噴霧しつつ、巻き取りローラ７２３によって布９を巻き取ってウエハ２の他方の面のクリーニングを行っている。
【００２７】
ウエハ２の全周分のクリーニングが完了すると、制御部１０は扉部駆動源７９を制御して、扉部７３３を開状態としてから、運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３がチャンバ７３側に配置されるように回転軸４１を回転させる。把握部４３とチャンバ７３とが対峙すると、制御部１０は運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３が出入り口７３１からチャンバ７３内に進入するように回転軸４１を回転させるとともにアーム部４２を伸張させる。その後、制御部１０は、運搬部駆動源４９を制御して、把握部４３により台座７１上のウエハ２を把握させてから、回転軸４１を回転させるとともにアーム部４２を収縮、伸張させることで、カセット部３内にウエハ２を収容する（図１２参照）。
これにより、印刷時における一連の動作が終了する。
【００２８】
以上のように、本実施形態によれば、制御部１０が、印刷部６による封止樹脂５の印刷を終えた後に、クリーニング部７によるウエハ２の他方の面の周縁部に対するクリーニングを実行するので、切欠２１から他方の面に流出した封止樹脂５（流出部位Ｐ）はクリーニングによって除去されることになる。つまり、印刷によって封止樹脂５が切欠２１から他方の面に流出し残存してしまうことを防止することができ、樹脂研磨の安定性を高めることができる。
【００２９】
なお、本発明は上記実施形態に限らず適宜変更可能である。
例えば、印刷部６による封止樹脂５の印刷を終えた後に、ウエハ２の他方の面の周縁部の汚れ具合を検出する汚れ検出部をさらに備える構成としてもよい。具体的には、図１３に示すように汚れ検出部８は制御部１０に電気的に接続されていて、制御部１０の制御に基づいて動作するようになっている。汚れ検出部８としては、印刷後のウエハ２の他方の面を撮影し、得られた画像から流出部位Ｐを検出する画像センサ等が挙げられる。そして、この場合、制御部１０は、汚れ検出部８の検出結果に基づいて、クリーニング部７によるクリーニングを行うか否かを決定する。これにより、他方の面に封止樹脂５が流出してないウエハ２に対してクリーニングが行われないので、クリーニング時間の短縮及び布９の消費を抑制することができる。
【符号の説明】
【００３０】
１      印刷装置
２      ウエハ
３      カセット部
４      ウエハ運搬部
５      封止樹脂
６      印刷部
７      クリーニング部
８      クリーニング装置
９      布
１０      制御部
２１      切欠
３１      開口部
４１      回転軸
４２      アーム部
４３      把握部
４９      運搬部駆動源
６１      マスク
６２      ステージ部
６３      スキージ部
６８      ステージ部駆動源
６９      スキージ部駆動源
７１      台座
７２      クリーニング機構
７３      チャンバ
７５      当接部駆動源
７６      台座駆動源
７７      ローラ駆動源
７８      洗浄剤供給部駆動源
７９      扉部駆動源
６１１      開口
７２１      供給ローラ
７２２      当接部
７２３      巻き取りローラ
７２４      洗浄剤供給部
７３１      出入り口
７３２      チャンバ本体
７３３      扉部
７３４      排気口
Ｐ      流出部位
【図１】
2012071258.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2012071258.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2012071258.tif 000013
【図１２】
2012071258.tif 000014
【図１３】
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