(57)【要約】      （修正有）【課題】高温高湿環境下でも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色性を維持することができ、シャッター羽根や固定絞り、などとして使用できる部材の提供。【解決手段】１００℃以上の耐熱性を有する樹脂成分中に、少なくとも黒色顔料、無機充填材を含有させた黒色樹脂フィルム１の片面または両面に、透明金属酸化物膜２が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、黒色樹脂フィルムは、表面の波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率が１．５％以下となるように微細凹凸が形成され、透明金属酸化物膜は、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、１種類以上の所定の元素を添加成分として含むことにより、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．０％以下、表面抵抗値が１×１０６Ω／□以下となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１００℃以上の耐熱性を有する樹脂成分中に、少なくとも黒色顔料、無機充填材を含有させた黒色樹脂フィルム（Ａ）の片面または両面に、透明金属酸化物膜（Ｂ）が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、
黒色樹脂フィルム（Ａ）は、表面の波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率が１．５％以下となるように微細凹凸が形成され、透明金属酸化物膜（Ｂ）は、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた１種類以上の元素を添加成分として含むことにより、
黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．０％以下、表面抵抗値が１×１０６Ω／□以下となるようにしたことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項２】
透明金属酸化物膜（Ｂ）は、金属含有量が金属／酸素原子数比として０．６以下であることを特徴とする請求項１に記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項３】
透明金属酸化物膜（Ｂ）は、膜厚が５〜２５０ｎｍであることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項４】
透明金属酸化物膜（Ｂ）は、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率（透明ガラス基板上に形成して測定）が、平均値で７０％以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項５】
透明金属酸化物膜（Ｂ）は、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率（透明ガラス基板上に形成して測定）が、２０％以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項６】
黒色耐熱遮光フィルムは、明度（Ｌ＊）が２０〜３０であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。  
【請求項７】
黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さ（Ｒａ）が０．０５〜２．１μｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項８】
黒色樹脂フィルム（Ａ）は、樹脂成分がポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種類以上の樹脂を主成分とすることを特徴とする請求項１または７に記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項９】
黒色樹脂フィルム（Ａ）は、厚みが５〜２５０μｍであることを特徴とする請求項１、７、８のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１０】
黒色樹脂フィルム（Ａ）は、明度（Ｌ＊）が２８〜３５であることを特徴とする請求項１、７〜９のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１１】
黒色樹脂フィルム（Ａ）は、算術平均高さ（Ｒａ）が０．１〜２．２μｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１２】
黒色顔料は、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ケッチェンブラック又はペリレンブラックから選ばれた１種以上からなる顔料であることを特徴とする請求項１、７〜１１のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１３】
黒色顔料の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、５〜２２重量部であることを特徴とする請求項１、７〜１２のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１４】
黒色顔料の平均粒子径が、１μｍ以下であることを特徴とする請求項１、７〜１３のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１５】
無機充填材は、アルミニウム、チタン、珪素または亜鉛から選ばれた１種類以上の元素を主成分とする金属酸化物であることを特徴とする請求項１、７〜１４のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１６】
無機充填材の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２〜３５重量部であることを特徴とする請求項１、７〜１５のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１７】
無機充填材の平均粒子径が、０．０１〜１０μｍであることを特徴とする請求項１、７〜１６のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルム。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞り。
【請求項１９】
ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに使用される請求項１８に記載の耐熱性に優れた絞り。
【請求項２０】
請求項１〜１７のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根。
【請求項２１】
請求項１〜１７のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整モジュール用絞り羽根。
【請求項２２】
請求項１〜１７のいずれかに記載の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、黒色耐熱遮光フィルム、および、それを用いた絞り、シャッター羽根、光量調整用絞り羽根に関し、より詳しくは、大気中１００℃以上かつ８５℃×９０％ＲＨの高温高湿環境下でも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色性を維持することができ、シャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる黒色耐熱遮光フィルム及び、それを用いた絞り、シャッター羽根、光量調整モジュール用絞り羽根、遮光テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラの高速（機械式）シャッターの開発が活発に行われている。その狙いは、シャッタースピードをより高速にして、超高速の被写体をブレ無く撮影し、鮮明な画像を得ることを可能にすることである。一般にシャッターは、シャッター羽根と呼ばれる複数の羽根が回転、移動することで開閉が行われているが、シャッタースピードを高速化するためには、シャッター羽根が瞬間的な動作と停止に対応できるよう、軽量かつ高摺動性であることが必要不可欠である。更に、シャッター羽根は、シャッターが閉じている状態では、フィルムなどの感光材やＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面を覆って光を遮る役割を有しているので、完全な遮光性を必要とするだけでなく、複数枚のシャッター羽根が互いに重なり合って動作する際に、各羽根間の漏れ光の発生を防ぐために羽根表面の光反射率が低いこと、すなわち表面色の黒色度が高いことが望まれる。さらに、動作中に羽根同士が静電気によって付着しないようにその表面には帯電防止処理が施されていることが望ましい。
【０００３】
デジタルカメラのレンズユニット内に挿入され、一定の光量に絞って光を撮像素子に送る役割の固定絞りについても、絞りの表面の光反射が生じると迷光となり鮮明な撮像を損なうため、表面の低反射性、すなわち黒色性が高いことが要求される。
【０００４】
撮影機能を有した携帯電話、すなわちカメラ付携帯電話においても、デジタルカメラ同様、近年、高画素で高画質の撮影が行えるよう、小型の機械式シャッターがレンズユニットに搭載され始めている。また、固定絞りも携帯電話のレンズユニット内に挿入されている。上記の携帯電話に組み込まれる機械式シャッターは、一般のデジタルカメラよりも、省電力による作動が要求される。そのためシャッター羽根の軽量化が特に強く要求される。
デジタルカメラや携帯電話のレンズユニットは、紫外線硬化性をもつ樹脂を用いて組み立てることが多いが、最近カメラ付き携帯電話のレンズユニットの組み立ては、製造コストを低減する目的で、レンズ、固定絞り、シャッターなどの各部材がリフロー工程で行われることが要望されている。そのため、これに用いられるシャッター羽根や固定絞りには、表面の低反射性・黒色性が重要であるが、その他に耐熱性が要求されるようになってきている。
さらに、リフロー工程は近年のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話などに搭載されるカメラモジュールの小型化、低背化、製造工程の簡略化を目標として実用化されつつある工程である。また、リフロー工程の実用化によって、カメラモジュールやレンズユニットを従来の接着剤を用いて個々に部品を実装していくという典型的な製造方法から、近年半導体チップのパッケージ産業で培われたウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（以下、ＷＬＣＳＰと言う）と呼ばれる、各部品が個々のチップ単位に分離されていないウェハー状態ですべての組み立てを行い、ダイボンディング、半田ボールなどでの回路基板への実装を終了した後、これをチップサイズに個々にダイシングし、完成品を得るという製造方法へと移行しつつある。このＷＬＣＳＰによれば、部品点数も削減できることから、カメラモジュールの小型化、低背化に対しては有効なプロセスといえる。
【０００５】
また、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面からの漏れ光以外にもフレキシブルプリント配線基板（以下、ＦＰＣと称する）がより薄くなると、撮像素子の裏面にあるＦＰＣ側から入射する光も無視できなくなってしまう。この撮像素子裏面からの入射光によって、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまうため、ＦＰＣ側からの漏れ光を遮光する必要が生じる。
【０００６】
また、最近の自動車搭載機器の動向として、バックビューモニターなどのビデオカメラを用いたモニターが搭載される傾向にある。このビデオカメラモニターのレンズユニット内にも、固定絞りが使われているが、同様に迷光防止のため絞りの表面の低反射性・黒色性の要求がある。そして車載用のビデオカメラのレンズユニットには、真夏の炎天下など高温の使用環境下でも機能を損なうことが無いよう、耐熱性が要求されており、固定絞り部材にも耐熱性が要求されている。
【０００７】
一方、液晶プロジェクターは、大画面でホームシアターとして鑑賞できるため、最近、一般家庭に普及し始めている。リビングルームといった明るい環境下でも鮮やかなハイコントラスト映像が楽しめるような高画質化が強く要望され、ランプ光源を高出力化することによって、画質の高輝度化が図られている。プロジェクターの光学系には、ランプ光源からの光量を調整する光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）がレンズ系の内部や側面に用いられている。光量調整モジュールの絞り装置は、シャッターと同様に複数枚の絞り羽根が互いに重なって光を通す開口部の面積を調整する。このような光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根も、シャッター羽根の場合と同様の理由から表面の低反射性と軽量化が要求されている。それと同時に、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根では、ランプ光の照射による加熱に対する耐熱性も必要となる。すなわち、光照射によって羽根材の低反射性が損なわれてしまうと、迷光が生じて鮮明な映像を写せなくなるからである。
【０００８】
上述のシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根に用いる遮光板として、要求特性に応じて下記のものが一般に用いられている。
耐熱性を要求される場合は、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等の金属薄板を基材とした遮光板が一般に用いられている。金属薄板自体を遮光板としたものもあるが、金属光沢を有するため、表面の反射光による迷光の影響を回避したい場合には好ましくない。これに対して金属薄板上に黒色潤滑塗装した遮光板は、低反射性、黒色性を有するが、塗装部が耐熱性に劣るため、高温環境下では一般に使用できないことや加工端面の光反射を抑えるために、所定の形状に加工後、加工端面を黒染め処理する工程が必ず必要となり、製造コストが高くなるという課題を有している。
特許文献１には、アルミニウム合金などの金属製羽根材料の表面に硬質炭素膜を形成した遮光材が開示されている。しかし、硬質炭素膜の表面形成では低反射特性は実現できず、反射光による迷光の発生は避けられない。上記いずれの場合も、金属薄板を基材に用いた遮光板をシャッター羽根や絞り羽根として使用すると、重量が大きいため、羽根を駆動する駆動モーターのトルクが大きくなり、消費電力が大きくなる、シャッタースピードが上げられない、羽根同士の接触による騒音が発生するなどの問題が有る。
【０００９】
これに対して、樹脂フィルムを基材として用いた遮光板も提案されている。特許文献２により、表面の反射を低減するためにマット処理加工した樹脂フィルムを使用した遮光板や、微細な多数の凹凸面を形成することで艶消し性を付与したフィルム状の遮光板が提案されている。また、特許文献３により、樹脂フィルム上に、艶消し塗料を含有した熱硬化性樹脂を塗膜した遮光フィルムが提案されている。しかし、これらは、カーボンブラックなどの黒色顔料を内部に含浸させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂フィルムを基材として用い、その基材表面に黒色顔料などを含浸した遮光層を塗布法により形成することで遮光板に十分な遮光性を付与している。つまり、黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムだけでは十分な遮光性を発現できず、前記遮光層に黒色顔料や艶消し剤を含浸させることで表面の反射や光沢を低減させているが、遮光板を加工して形成される端面での光反射による迷光の発生を防止することはできていない。
また、特許文献４では、塗布法により表面に導電層を有した遮光フィルムが提案されている。塗布法で遮光層を形成する場合、遮光層の膜厚にバラツキが大きくなり、膜厚制御が困難となり、遮光層の表面抵抗値にバラツキが生まれる。羽根材として使用する場合、羽根同士の付着や凸部の磨耗による異物付着など、動作に支障をきたし、問題となる。
【００１０】
樹脂フィルムを基材として用いた遮光板については、比重の小ささ、安価さ、可とう性から黒色顔料を含浸させたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を基材として用いた遮光板が広範に用いられている。
【００１１】
しかし、ＰＥＴ材の耐熱性は約１０５℃と低く、引張弾性率などの機械的強度が弱いため、高出力のランプ光が照射されるプロジェクターの光量調整モジュール用絞り部材やリフロー工程に対応した固定絞り部材やシャッター用部材として利用することができない。ただし、ＰＥＴ材の耐熱性よりも低い温度、すなわち使用環境が１０５℃以下の場合では使用可能である。
また、高速シャッターの羽根部としてみると、シャッター羽根の高速化に応じてフィルム厚みの低減が必要となるが、黒色微粒子を内部に含浸させて得た樹脂フィルムの場合は、フィルム厚が薄くなり、特に３８μｍ以下に薄くなると、フィルムの機械的強度を維持するために樹脂フィルム中に含有する黒色顔料を減らさざるを得なくなり、十分な遮光性を発揮することができず、さらにより厚いフィルムで得られた黒色度を維持することができなくなり、光量調整モジュール用絞りや固定絞り、シャッター羽根には使用できない。
一方、耐熱性に優れた樹脂中に、カーボンブラックなどの黒色顔料を含浸させる点については、特許文献５で高耐熱性を有するポリイミド樹脂と、カーボンブラック、アセチレンブラックなどの黒色顔料などを含浸させた導電性ポリイミド組成物が、また、特許文献６、７では、カーボンブラックやグラファイトなどの黒色顔料を含浸させた導電性ポリイミド成型体が開示されている。しかし、特許文献５〜７では、フィルムの表面粗さや遮光性、反射率、表面光沢度などの光学特性については言及がなく、遮光性フィルムとして評価することはできない。
【００１２】
また、デジタルカメラ、カメラ付携帯電話の小型化、薄肉化に伴い、搭載される構成部品も小型化、薄肉化が求められている。そのため、本出願人は、２００℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム基材（Ａ）と、樹脂フィルム基材（Ａ）の片面もしくは両面にスパッタリング法で形成された５０ｎｍ以上の膜厚を有するＮｉ系金属膜（Ｂ）と、Ｎｉ系金属膜（Ｂ）上に、スパッタリング法で形成された、低反射性のＮｉ系酸化物膜（Ｃ）からなり、かつ表面粗さが０．１〜０．７μｍ（算術平均高さＲａ）である耐熱遮光フィルムを提案した（特許文献８参照）。これにより、従来よりも遮光性、耐熱性、摺動性、低光沢性に優れた耐熱遮光フィルムとすることができた。
しかしながら、カメラモジュール内のレンズユニットの構成部品である固定絞り、シャッター羽根について、特に、市場から、厚みが２５μｍ以下という要望が非常に強くなっており、２５μｍ以下のフィルム厚みで、耐熱性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色性に優れたシャッター羽根材や固定絞り材が必要不可欠となっている。さらに、厚みが２５μｍ以下と薄い場合では、黒色顔料の含有量が少なくなるため、黒色樹脂フィルム単独では光遮光性の他、黒色度、低反射性が不十分となる場合もある。
フィルム厚みについてみると、特許文献２、３では２５〜２５０μｍの樹脂フィルムを基材として用いており、最近フィルム厚みを２５μｍ以下とすることが望まれるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話向けの固定絞りやシャッター羽根には適さない。一方、特許文献６ではフィルム厚みを約２５μｍとした実施例があるが、表面を粗雑化しておらず、特許文献５、６では、フィルム厚みについての記載はない。
さらに、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話に用いられる固定絞りやシャッター羽根、プロジェクターの光量調整モジュール用絞り羽根として用いられる遮光板は、機械加工で所望の形状に加工され得られるが、その加工端面は光の光路上に配置されるため、端面での光反射が高いとゴーストやフレアなどが発生し、撮像品質が悪くなる。そのため、端面での遮光性、低反射性、低光沢性が重要となる。一般に、端面へ入射する光を吸収し、遮光するために黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムを基材に用いる場合が多い。しかし、特許文献２、３では、カーボンブラックなどの黒色顔料を含浸させた樹脂フィルムを基材として用いているものの、樹脂フィルムの厚みが厚いが為に、遮光性を有する黒色顔料を十分に添加でき、端面での光反射も抑制できるに過ぎない。フィルムの厚みがより薄い場合では、フィルム製造時、良好なフィルムが得られる黒色顔料の含有量も少なくなってしまい、絞り表面や端面での遮光性が失われてしまうという問題がある。
【００１３】
以上説明したように、従来、耐熱性の要求される用途では、樹脂フィルムと比較して重量の大きい金属薄板、すなわち、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等からなる金属薄板を用いざるを得なかった。そのため、羽根を駆動する駆動モーターのトルクや消費電力が大きくなってしまう、あるいはシャッタースピードが上げられず、羽根同士の接触による騒音が発生してしまう、さらには表面および加工端面を黒染め処理するため製造コストが高くなるという問題を抱えている。したがって、遮光板の厚みが市場から要望の強い２５μｍ以下であって、優れた耐熱性に加え、可視域における十分な遮光性、表面及び加工端面の低反射性、低光沢性、軽量性を併せ持つ新たなシャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根が必要とされていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平２−１１６８３７号公報
【特許文献２】特開平１−１２０５０３号公報
【特許文献３】特開平４−９８０２号公報
【特許文献４】特公平６−９７３２２号公報
【特許文献５】カナダ特許第７０８８９６号
【特許文献６】米国特許第５０７８９３６号
【特許文献７】特開平６−２１２０７５号公報
【特許文献８】特開２００８−１５８４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明では、上記従来技術の問題点に鑑み、大気中１００℃以上かつ８５℃×９０％ＲＨの高温高湿環境下でも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色性を維持することができ、シャッター羽根や固定絞り、光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる黒色耐熱遮光フィルムなどを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者らは、上述した従来の課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、１００℃以上の耐熱性を有するポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれる１種類以上の樹脂を用いた黒色樹脂フィルム上に、使用温度環境に応じて、表面に波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率が１．５％以下である、微細凹凸を形成するとともに、その上に特定の透明金属酸化物膜を均一に形成することで、この黒色耐熱遮光フィルムは、波長３８０〜７８０ｎｍにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．０％以下となり、基材である黒色樹脂フィルムよりも導電性、高遮光性、低反射性、低光沢性、黒色度などの特性をさらに向上でき、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの絞りや羽根部材として利用できることを確認して、本発明を完成するに至った。
【００１７】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、１００℃以上の耐熱性を有する樹脂成分中に、少なくとも黒色顔料、無機充填材を含有させた黒色樹脂フィルム（Ａ）の片面または両面に、透明金属酸化物膜（Ｂ）が形成された黒色耐熱遮光フィルムであって、黒色樹脂フィルム（Ａ）は、表面の波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率が１．５％以下となるように微細凹凸が形成され、透明金属酸化物膜（Ｂ）は、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた１種類以上の元素を添加成分として含むことにより、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける光遮光性の指標である平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．０％以下、表面抵抗値が１×１０６Ω／□以下となるようにしたことを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
【００１８】
また、本発明の第２の発明によれば、第１の発明において、透明金属酸化物膜（Ｂ）は、金属含有量が金属／酸素原子数比として０．６以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第３の発明によれば、第１または２の発明において、透明金属酸化物膜（Ｂ）の膜厚が５〜２５０ｎｍであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜３のいずれかの発明において、透明金属酸化物膜（Ｂ）は、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率（透明ガラス基板上に形成して測定）が、平均値で７０％以上であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
一方、本発明の第５の発明によれば、第１〜４のいずれかの発明において、透明金属酸化物膜（Ｂ）は、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率（透明ガラス基板上に形成して測定）が、２０％以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第６の発明によれば、第１〜５のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムは、明度（Ｌ＊）が２０〜３０であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第７の発明によれば、第１〜６のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さ（Ｒａ）が０．０５〜２．１μｍであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第８の発明によれば、第１または第７のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルム（Ａ）は、樹脂成分がポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種類以上の樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第９の発明によれば、第１，７または８のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルム（Ａ）の厚みが５〜２５０μｍであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１０の発明によれば、第１または第７〜９の発明において、黒色樹脂フィルム（Ａ）は、明度（Ｌ＊）が２８〜３５であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１１の発明によれば、第１または７〜１０のいずれかの発明において、黒色樹脂フィルム（Ａ）は、算術平均高さ（Ｒａ）が０．１〜２．２μｍであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
一方、本発明の第１２の発明によれば、第１または７〜１１の発明において、黒色顔料は、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ケッチェンブラック又はペリレンブラックから選ばれた１種以上からなる顔料であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１３の発明によれば、第１または７〜１２のいずれかの発明において、黒色顔料の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、５〜２２重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１４の発明によれば、第１または７〜１３のいずれかの発明において、黒色顔料の平均粒子径が、１μｍ以下であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１５の発明によれば、第１または７〜１４のいずれかの発明において、無機充填材は、アルミニウム、チタン、珪素または亜鉛から選ばれた１種類以上の元素を主成分とする金属酸化物であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１６の発明によれば、第１または７〜１５のいずれかの発明において、無機充填材の含有量が、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２〜３５重量部であることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第１７の発明によれば、第１または７〜１６のいずれかの発明において、無機充填材の平均粒子径が、０．０１〜１０μｍであることを特徴とする黒色耐熱遮光フィルムが提供される。
【００１９】
また、本発明の第１８の発明によれば、第１〜１７の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りが提供される。
また、本発明の第１９の発明によれば、第１８の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りであって、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに利用できることを特徴とする絞りが提供される。
また、本発明の第２０の発明によれば、第１〜１７の発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根が提供される。
また、本発明の第２１の発明によれば、第１〜１７のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整モジュール用絞り羽根が提供される。
さらに、本発明の第２２の発明によれば、第１〜１７のいずれかの発明において、黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープが提供される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さＲａで０．０５〜２．１μｍの表面粗さを有し、１００℃以上の耐熱性を有する樹脂成分に、少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有して、厚みが５〜２００μｍである黒色樹脂フィルムとし、特定の表面粗さとして、その上に特定の透明金属酸化物膜を形成しているため、可視光域（波長３８０〜７８０ｎｍ）において低反射性、高遮光性、低光沢性を発揮することができ、様々な光学部材に有用である。
また、耐熱性の樹脂成分が少なくとも黒色顔料と無機充填材を含有しているので、フィルム内部は黒色であり、打ち抜き加工端面の色も黒色となる。さらに黒色顔料による光吸収とともに、無機充填材が分散されているため、無機充填材の表面凹凸性によって、端面での反射、光沢を防止することが可能となり、最近のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの小型化、薄肉化の要望に対応した絞り材として極めて有用である。
【００２１】
さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、樹脂フィルムのため従来の金属薄板をベースにした遮光板に比べて軽量性に優れている。また、カーボンブラックなどの黒色顔料と無機充填材を含浸したポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどの高耐熱性の樹脂フィルムを用い、さらに、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた１種類以上の添加成分を含有する透明金属酸化物膜を樹脂フィルム表面に形成するので大気中１００℃以上の高温環境下でも耐熱性を有する軽量な黒色耐熱遮光フィルムが実現でき、表面および加工端面の低反射性、低光沢性、高遮光性、黒色性も損なわれないことから、液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置の絞り羽根材や、リフロー工程による組み立てに対応できる固定絞り材、シャッター羽根材並びに耐熱遮光テープとして利用することができるため、工業的価値が極めて高い。
【００２２】
また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、厚みが２５μｍ以下と薄い場合では、更なる軽量化が達成できるとともに遮光性を損なうことがないため、高速シャッターのシャッター羽根にも有効である。よって、駆動モーターの小型化が可能であり、光量調整モジュール用絞り装置や機械式シャッターの小型化が実現するなどのメリットがある。
さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、ＦＰＣに貼り付けることで、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の背面から漏れた光を吸収して通過を阻止することができる。そのため、漏れ光の撮像素子への再入射を抑制でき、撮像品質の安定化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】黒色樹脂フィルムの片面に透明金属酸化物膜を形成した、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの断面を示す概略図である。
【図２】黒色樹脂フィルムの両面に透明金属酸化物膜を形成した、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの断面を示す概略図である。
【図３】本発明の透明金属酸化物膜を黒色樹脂フィルム上に形成するための巻取り式スパッタリング装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の黒色耐熱遮光フィルム、その製造方法、及びその用途について説明する。
【００２５】
１．黒色耐熱遮光フィルム
図１、図２に本発明にかかる黒色耐熱遮光フィルムの概略を示す。図１は、黒色樹脂フィルムの片面に、透明金属酸化物膜が形成された構成であり、図２は、黒色樹脂フィルムの両面に、透明金属酸化物膜が形成された構成である。
【００２６】
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、１００℃以上の耐熱性を有し、算術平均高さ（Ｒａ）が０．０５〜２．１μｍである、厚み５〜２５０μｍのポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種類以上の樹脂成分に、少なくとも黒色顔料と無機充填材が含有され、表面を粗雑化した黒色樹脂フィルムを基材として用いる。そして、この黒色樹脂フィルム（Ａ）の片面もしくは両面に、膜中の金属成分含有量が金属／酸素原子数比として０．６以下である厚み５〜２５０ｎｍの透明金属酸化物膜（Ｂ）が形成されている。
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上であり、最大正反射率が１．０％以下である。基材の黒色樹脂フィルムの最大正反射率が低いほど、透明金属酸化物膜を形成した後の最大正反射率は低くなり、極めて低い反射性を得ることができる。
【００２７】
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、黒色樹脂フィルム表面に特定の透明金属酸化物膜が形成されていることから、フィルム表面に導電性を付与することができる。一般的に、表面抵抗値は１０８Ω／□以下であれば帯電防止用途に利用することができるとされている。
本発明では、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫から選ばれる１種類以上の金属酸化物を主成分とした透明金属酸化物膜やこれらにアルミニウム、ガリウム、チタン、マグネシウム、アンチモン、珪素、タングステンから選ばれた１種類以上の添加元素と酸素を含有する透明金属酸化物膜を表面抵抗値が１×１０１３Ω／□以上と導電性のない黒色樹脂フィルム表面に形成しているので、１×１０６Ω／□以下の表面抵抗値まで下げることができ、導電性を付与することができる。これにより黒色耐熱遮光フィルムの打ち抜き加工で得られる絞りや羽根材同士が加工時または動作時に静電気により付着しにくいという利点が生まれる。
また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの黒色度（Ｌ＊値）は、２０〜３０であり、極めて黒色度が高い。そして正反射率が低いほど、Ｌ＊値は小さくなり、フィルムの黒色度は高くなり、低正反射率と黒色度が要求されるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話用の絞り材、羽根材として有用である。さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さ（Ｒａ）が０．０５〜２．１μｍであり、好ましくは０．２〜２．０μｍであることが必要である。このような表面粗さ（算術平均高さＲａ）であれば黒色耐熱遮光フィルムの低反射性、黒色度が実現できる。
【００２８】
本発明の黒色耐熱遮光フィルムの厚みは、５〜２５０μｍである。好ましくは１０〜１５０μｍであり、より好ましくは２０〜１００μｍである。５μｍよりも薄いものでは、ハンドリング性に劣るため、フィルムに傷や折れ目などの表面欠陥が付きやすく、２５０μｍより厚いと、小型化、薄肉化が進む絞り装置や光量調整モジュールへの搭載ができなくなるおそれがある。
【００２９】
（１）黒色樹脂フィルム（Ａ）
（１−１）樹脂成分
本発明の黒色耐熱遮光フィルムでは、１００℃以上の耐熱性を有する、耐熱樹脂フィルムを基板として用いる。樹脂フィルムを構成する樹脂成分は、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルファンから選ばれた１種以上の耐熱性樹脂で構成されている。
ポリエチレンテレフタレートは耐熱性が約１０５℃であり、１０５℃以下の温度環境下で利用することができる。ポリカーボネートは耐熱性が約１４０℃であり、１４０℃以下の温度環境下で利用することができる。また、ポリエチレンナフタレートは耐熱性が約２００℃であり、１５５〜２００℃の温度環境下で利用することができる。また、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、又はポリエーテルサルフォンは耐熱性が２００℃以上であり、２００℃以上の環境下でも利用できる。特に、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンは耐熱温度が３００℃以上と非常に優れているため、３００℃以上の温度環境下で利用することができる。このように、黒色耐熱遮光フィルムの使用温度環境に応じた樹脂フィルムを用いればよい。
【００３０】
（１−２）黒色顔料
また、上記黒色樹脂フィルム（Ａ）は、上記耐熱性樹脂に、黒色顔料が含有されて黒色化していなければならない。特に、カメラ付き携帯電話などのカメラモジュールに搭載される固定絞りでは、黒色以外の着色フィルム表面に黒色塗膜を形成し、外観上黒色化しても、このような遮光板では打ち抜き加工後の端面における反射や光沢を抑制する効果が得られない。
【００３１】
黒色顔料を耐熱性樹脂に含有させる目的は、上述のように、遮光フィルム表面の黒色化と、打ち抜き加工後の表面および端面での光吸収による遮光（完全遮光性）効果を得ることにある。黒色顔料としては、従来公知の各種のもの、例えば、カーボンブラック、アニリンブラック、チタンブラック、無機顔料ヘマタイト、ペリレンブラック、又はケッチャンブラックから選ばれる１種以上が挙げられ、これらの中でも、黒色顔料として特に、カーボンブラック、チタンブラックが好ましい。カーボンブラックとしては、ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック等を用いることができる。
黒色度と着色力の優れたカーボンブラックとしては、一般に一次粒子径が小さいものが適切であり、平均粒子径は、１μｍ以下、特に０．５μｍ以下、さらには０．１μｍ以下であるものが望ましい。平均粒子径が、１μｍより大きいと光沢度は低くなるが、遮光性が低下するので好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が０．０１μｍ未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。チタンブラックは、チタンの酸化または二酸化チタンの還元により得られるもので、例えば二酸化チタンと一酸化チタン及び／又は窒化チタンを構成成分とする黒色顔料である。
均一な色調のフィルムを得るために、例えば、カーボンブラックとして、東海カーボン社製の＃７１００Ｆ、チタンブラックとしてジェムコ社製の１３Ｍ等、チタンブラックとして、例えば三菱マテリアル（株）の市販品が使用できる。また、アニリンブラックとして、アイ・シー・アイ・ジャパン社製のＭＯＮＯＬＩＴＥ  ＢＬＡＣＫ  Ｂ、無機顔料ヘマタイトとして、日本フェロ社製のヘマタイトＶ−７００、さらにペリレンブラックとして、ＢＡＳＦ社製のＰａｌｉｏｇｅｎ  Ｂｌａｃｋ  Ｋ−００８４が挙げられる。
【００３２】
上記黒色顔料の含有量は、平均粒子径や黒色顔料の種類、樹脂の種類（成分や厚み）などによって異なるが、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して５〜２２重量部であることが好ましい。この範囲で適宜調節すれば、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上となり、遮光性に優れた黒色樹脂フィルムが得られる。より好ましくは、８〜２０重量部、特に好ましくは、１０〜１５重量部である。黒色顔料の含有量が５重量部未満では、波長３８０〜７８０ｎｍにおける光学濃度は４．０未満となり、黒色樹脂フィルム片面または両面に透明金属酸化物膜を形成しても遮光性は得られない。また、２２重量部を超えると、平均光学濃度は４．０以上となり、完全遮光性は得られるが、混合物の粘性が非常に高くなり、均一なフィルムを作製することが困難となる。
【００３３】
（１−３）無機充填材
本発明の黒色耐熱遮光フィルムにおいて、無機充填材とは、アルミニウム、チタン、珪素、又は亜鉛から選ばれる１種類以上の金属元素を含有した酸化物である。具体的には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛などが挙げられる。この無機充填材は、黒色樹脂フィルム（Ａ）の剛性を強化することとともに、艶消しすることを目的として含有され、さらに打ち抜き加工端面で、微細な表面凹凸を生じることにより、光散乱する効果を有している。よって、フィルム表面だけでなく、打ち抜き加工後の端面においても低反射性、低光沢度を発現することができる。
【００３４】
無機充填材の平均粒子径は、特に制限されないが、１０μｍ以下であることが望ましい。特に５μｍ以下、さらには１μｍ以下であるものが好ましい。平均粒子径が、１０μｍより大きいと光沢度は低くなるが、遮光性が低下することがあり好ましくない。ただし、小さくなりすぎて平均粒子径が０．０１μｍ未満になると凝集が大きくなるので好ましくない。
無機充填材の含有量は、平均粒子径や無機充填材の種類、樹脂の種類（成分や厚み）などによって異なるが、耐熱性樹脂（固形物１００重量部）に対して、２〜３５重量部が好ましい。さらに好ましいのは５〜３０重量部であり、特に好ましいのは８〜２５重量部である。２重量部未満では、フィルム表面の正反射率が高く、加工端面においては平坦な面が多く形成されるため、反射、光沢度が大きくなり、好ましくない。また、３５重量部を超えると、フィルムの粘性が高くなり、無機充填材の凝集による表面欠陥が発生しやすくなるため、安定的にフィルムを作製することができないため好ましくない。
なお、上記黒色樹脂フィルムには、黒色顔料や無機充填材のほかに、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有させてもよい。
【００３５】
（２）黒色樹脂フィルムの表面粗さと物性
さらに、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、該黒色樹脂フィルムの表面粗さ（算術平均高さＲａ）が０．１〜２．２μｍであり、好ましくは０．３〜２．０μｍであることが必要である。このような表面粗さ（算術平均高さＲａ）を該黒色樹脂フィルムに形成し、さらに以下に詳述する透明金属酸化物を形成することで黒色耐熱遮光フィルムの基材以上の低反射性、黒色度を実現できるようになる。
【００３６】
また、光の遮光性の指標である光学濃度が４．０以上であることが必要である。また、フィルム表面の波長３８０〜７８０ｎｍにおける正反射率が１．０％以下であることも必要である。また、該黒色耐熱遮光フィルムを打ち抜き加工して得られる固定絞りや絞り羽根は、得られる加工端面部の色が黒色であり無機充填材を含有していることから、端面に入射した迷光は吸収または散乱され、端面での反射、光沢化を防止することが可能となり、デジタル撮影機器の固定絞りや機械的シャッター装置の絞り羽根、もしくは、液晶プロジェクターの光量絞り装置の羽根材として用いたときに、光学系内で反射光によって発生する迷光の出現を回避できる。
また、黒色樹脂フィルム表面の波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率は１．５％以下であることが必要である。最大正反射率が１．５％を超えると、正反射率を低下させるため黒色樹脂フィルム上に形成する透明金属化合物膜の膜厚が厚くなりすぎるため、製造コストの面で好ましくない。さらに、基板となる黒色樹脂フィルムの明度は、Ｌ＊で２８〜３５であることが好ましい。ここで、Ｌ＊値は色彩のＣＩＥ表色系で表される明度（白黒度）を表し、可視光域での分光反射率から求められ、Ｌ＊値が小さいほど黒色度が高いことを意味する。Ｌ＊値は黒色顔料の含有量で調整でき、上記黒色顔料の含有量が樹脂固形物１００重量％に対して５〜２２重量％であれば達成できる。Ｌ＊が３５を超えると、基板表面に透明金属酸化物膜を形成した場合、基板に比べ、黒色度は向上し、Ｌ＊値は小さくなるが、３０以下にはならない。また、Ｌ＊値が２８未満では黒色樹脂フィルム中の黒色顔料を多くしなければならず、この場合は、黒色顔料の含有量が２２重量％を超えてしまうので、フィルムの粘性が高くなり、均一な黒色顔料の分散が得られず、良好なフィルム表面状態が得られなくなり、黒色樹脂フィルムの算術平均高さＲａ、正反射率、光学濃度、光沢度にばらつきが生じるため好ましくない。
【００３７】
（３）透明金属酸化物膜（Ｂ）
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、上記黒色樹脂フィルム（Ａ）の片面もしくは両面に、酸化亜鉛系膜、インジウム−錫酸化物系膜、酸化錫系膜など特定の透明金属酸化物膜（Ｂ）が形成された構造をしている。該透明金属酸化物膜は、基材である黒色樹脂フィルムの表面が凹凸化されているので、透明金属酸化物膜の表面凹凸性がさらに増加され、艶消し効果、低反射効果も得られるようになる。
【００３８】
本発明において透明金属酸化物膜は、酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫から選ばれた１種以上の金属酸化物を主成分とし、添加成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンら選ばれた１種以上の元素からなる金属酸化物を含有している。また、この透明金属酸化物膜を透明ガラス基板上に形成した場合、膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率が７０％以上、最大正反射率が２０％以下である。
本発明の具体的な透明金属酸化物膜としては、酸化アンチモン（Ｓｂ２Ｏ３）−酸化錫（ＳｎＯ２）系、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化錫（ＳｎＯ２）系、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化チタン（ＴｉＯ２）系、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化タングステン（ＷＯ３）系、酸化亜鉛（ＳｎＯ２）やアルミニウム、ガリウム、マグネシウムなどが添加された酸化亜鉛系の酸化物膜が挙げられる。
これら酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム物−酸化錫系などは一般に透明導電膜と呼ばれており、導電性を有している。そのため、表面抵抗値が１０１３Ω／□以上と導電性のない黒色樹脂フィルムの表面にこのような透明酸化物膜を被覆することで、黒色耐熱遮光フィルムの表面抵抗値は１０６Ω／□（オーム・パー・スクウェーと呼ぶ）以下まで低減され、導電性が付与される。これにより、打ち抜き加工時に打ち抜き加工品同士が静電気によって付着することや打ち抜き品が打ち抜き用金型に付着するという問題が発生しにくくなるため、ハンドリングがしやすいという利点が生まれる。
【００３９】
透明金属酸化物膜中の金属含有量は、金属／酸素原子数比で０．６以下であることが好ましい。上記透明金属酸化物膜中の金属含有量として、金属／酸素原子数比は例えばＸＰＳ（Ｘ線光電子分光分析装置）を用いて分析できる。金属含有量は、透明金属酸化物を構成する主成分及び添加成分を含む金属酸化物中の金属元素の原子数の和を金属酸化物中の酸素の原子数で除した比率である。膜の最表面は酸素が多く結合されているため、真空中で数十ｎｍの深さまでスパッタリングで除去し、その後に測定すれば膜中の金属／酸素原子数比を定量化することができる。
金属成分の含有量は、金属／酸素原子数比が０．６を超えて多くなる場合は、金属酸化物膜は着色し、透明性を損なうとともに光吸収性が生じ、透明ガラス基板上に形成して測定される、透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率が７０％未満となり、高透過性が得られない。また、膜中の金属成分が多くなるため、膜表面における正反射率が大きくなり、最大正反射率は２０％を超えてしまう。さらに、高温環境下および高温高湿下での金属成分の酸化が顕著になり、平行光線透過率や正反射率が変化し、膜が変色してしまう。
また、透明金属酸化物膜の材質も黒色樹脂フィルムと同様に、使用温度環境に応じて、適切なものを選定すればよく、例えば２８０℃以下であれば、酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム−酸化錫系とすればよい。
膜中の金属成分の含有量が金属／酸素原子数比が０．６以下であれば、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率が７０％以上、最大正反射率は２０％以下を達成でき、酸化錫系、酸化亜鉛系、酸化インジウム−酸化錫系など高温環境下、高温高湿下にて優れた耐久性を有するため、耐久性に優れた黒色耐熱遮光フィルムとすることが可能となる。
【００４０】
また、このような透明金属酸化物膜を黒色樹脂フィルム上に形成することで、光閉じ込め効果による反射防止効果が発現され、基材の黒色樹脂フィルム以上に黒色耐熱遮光フィルム表面の最大正反射率の低減とフィルムの黒色度を向上することが可能となる。
なお、透明金属酸化物膜中に、アルミニウム、チタン、インジウム、錫、亜鉛、珪素、アンチモン、ガリウム、マグネシウム、タングステンや酸素以外の他の元素が、上記の特徴が損なわれない程度に含まれていても構わない。例えば、窒素が含有しても透明金属酸化物膜や黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足できていれば構わない。
一般に、スパッタリング成膜の原料として使うスパッタリングターゲットは、真空溶解鋳造やホットプレス法などによって作製される。一般的に、高純度なスパッタリングターゲットが得られるが、微量ながら不純物としてＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｔａなどの元素が作製工程上含有される場合もあり、含有された元素は、透明金属酸化物膜中にも含まれることになる。こうして、透明金属酸化物膜中に、上記元素が含まれるようになっても、上記の透明金属酸化物膜の特徴が損なわれなければ構わない。
【００４１】
本発明の透明金属酸化物膜の膜厚は５〜２５０ｎｍである。５ｎｍ未満では、膜厚が薄すぎて、反射防止効果が得られなく、さらに膜厚の制御が困難となってしまう。２５０ｎｍを超えると、成膜時間が非常に長くなるため、生産性に劣るため好ましくない。
また、透明金属酸化物膜は、単膜でよいが、２種類以上の透明金属酸化物膜の積層膜であっても黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足できていれば構わない。
【００４２】
２．黒色耐熱遮光フィルムの製造方法
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、１００℃以上の耐熱性を有する、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート又はポリエーテルサルファンから選ばれた１種類以上の耐熱性樹脂を樹脂成分として使用する。これに、少なくとも上記黒色顔料と更に無機充填材を原料として用いて、黒色樹脂フィルム（Ａ）に成形し、その後、表面を粗雑化し、その上に透明金属酸化物膜（Ｂ）を形成して製造される。また、上記黒色樹脂フィルムには、必要により、安定剤、酸化防止剤、可塑剤、防曇剤、滑剤を適宜含有してもよい。
【００４３】
（１）黒色樹脂フィルム（Ａ）の製造
まず、上記耐熱性樹脂と黒色顔料、無機充填材などの材料を用意して、溶剤を含む耐熱樹脂溶液に、黒色顔料と無機充填材を混合する。混合溶液を得るには、通常の攪拌混合器、たとえばヘンセルミキサー、又はバンバリーミキサー、ロールミルなどを用いて攪拌混合すればよい。
【００４４】
溶剤としては、例えば、各種アルコール、テトラヒドロフラン、ジグライムなどのエーテル系溶剤、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ’−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどのアミド系溶剤、ジクロヘキサン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、γ−ブチロラクトンやテトラメチルウレアなど有機化合物を使用できる。溶剤の種類は、樹脂の耐熱性と乾燥温度を考慮して、選択すればよいが、乾燥条件である室温〜２００℃において蒸発しうるものが好ましい。この乾燥条件は、樹脂の耐熱性に応じて、適宜、最適な条件とすればよい。
【００４５】
次に、得られた上記混合溶液から任意の方法によって支持体上に塗工し、大気中、一定温度で混合溶液を固め、支持体から剥がし、フィルムを生成する。その後の乾燥工程で溶剤を除去することにより、最終的に黒色樹脂フィルムが得られる。ここで、支持体としては、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチックフィルム、不織布、ドラムなどが使用され、特に制限されないが、その表面が粗雑化されたものが好ましい。
塗工方法としてはダイコーター、ドクターブレードコーター、グラビアコーター、リバースロールコーター、ノズルコーターなど公知の塗布法が用いられるが、特にこれらに限定されない。また、乾燥後、所定のフィルム厚みになるように、任意の支持体への塗布量を適宜調整し、塗布後常圧または減圧下で加熱処理して残留溶剤を除去する。
また、乾燥条件は、混合物中の溶剤が加熱除去され、かつ厚み分布が均一なフィルムが得られるように、加熱温度を樹脂の耐熱性を考慮して、決めればよい。例えば、８０〜３００℃とし、加熱時間を３０〜１２０分の間で適宜調整すればよい。
【００４６】
（２）黒色樹脂フィルム表面への凹凸形成
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、上記の方法で得られた黒色樹脂フィルムの両表面に微細な凹凸を形成し、この処理により、該黒色樹脂フィルム両表面に低反射性、低光沢性を発現させる。
黒色樹脂フィルム両表面に微細な凹凸を形成する方法は、例えばショット材を使用したマット処理、ナノインプリンティング加工などを用いることができ、特に制限されない。マット処理加工の場合は、ショット材に珪砂、アルミナ、セラミックビーズまたはガラスビーズなどを使用することが一般的であるが、ショット材はこれらに限定されない。ショット材の平均粒子径は、例えば、５０〜３００μｍとすることができる。
マット処理加工の方法として、一般的にショットブラストとエアーブラストと呼ばれる方法が知られている。ショットブラスト法は、高速で回転するブレードにショット材を送り、ショット材を噴射してフィルムに当てる方法であり、フィルムを一定の搬送速度では搬送しながら表面凹凸を形成する。
ショット材を噴射する装置は１台であっても複数台であっても構わない。また、エアーブラスト法は、圧縮空気を使用する場合と、ブロワーファンによってショット材を射出する方法である。本発明の黒色耐熱遮光フィルムでは、所定の算術平均高さＲａと光沢度、健全なフィルム外観が達成できればよいので、その方法はこれらに限定されない。
【００４７】
黒色樹脂フィルムに形成される表面凹凸の大きさは、マット処理加工中のフィルム搬送速度、搬送回数とショット材の種類、大きさ、射出圧力に依存するので、本発明においては、これらの条件を最適化してフィルム表面の算術平均高さＲａ値が０．１〜２．２μｍとなるように表面処理を行うことが重要である。ショット材として、例えば平均粒子径１００μｍの珪砂を用いた場合、３〜８ｍ／分のフィルム搬送速度、搬送回数１〜３回、かつ１０〜３０ｋｇ／ｍ２の射出圧力とすることができる。
マット処理加工後のフィルムは、水で洗浄してショット材を除去した後、乾燥する。洗浄・乾燥条件は特に制限されないが、例えば１〜５分水洗し、７０〜１２０℃で１〜３分乾燥させることが好ましい。本発明のようにフィルム両面をマット処理加工する場合では、片面処理後、フィルムを裏返し、同様の処理を行う。
【００４８】
ここで、算術平均高さ（Ｒａ）とは、算術平均粗さとも言われ、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計して平均した値である。
黒色樹脂フィルムの表面粗さが、上記のように算術平均高さＲａで０．１〜２．２μｍとなるような条件を採用することが必要である。更に、０．３〜２．０μｍの微細凹凸構造となるようにすることがより好ましい。算術平均高さＲａが０．１μｍより小さいと、表面に十分な低反射性や低光沢性は得られず、黒色樹脂フィルム上に透明金属酸化物を形成しても所望の低反射性、黒色度は得られない。また、算術平均高さＲａが２．２μｍを超えると、フィルム表面の凹凸が大きくなるため、フィルム厚が薄い場合にはマット処理加工によって、フィルムに穴やしわが起こりやすくなり、更にはフィルムが断裂するなどして、フィルムの歩留まりが悪くなるため、好ましくない。
【００４９】
（３）透明金属酸化物膜の形成
次に、この黒色樹脂フィルム（Ａ）の両表面に酸化亜鉛、酸化インジウム、又は酸化錫を主成分とし、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた１種類以上の元素を添加成分とした透明金属酸化物膜（Ｂ）を形成する。
【００５０】
本発明の透明金属酸化物膜の形成方法は、特に制限されず、真空蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、ガスクラスターイオンビームアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、バイアススパッタリング法、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）スパッタリング法、高周波（ＲＦ）スパッタリング法、熱ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等の公知の方法を適宜採用することができる。
本発明では、透明金属酸化物膜をスパッタリング法で製造することが好ましい。スパッタリング法で製造することで、基材上に均一かつ高い密着力を有して形成することができるからである。透明金属酸化物膜は、塗布法でも形成できるが、上記方法と比べて膜の均一性が得られないので好ましくない。
【００５１】
透明金属酸化物膜をスパッタリング成膜で製造するには、製造装置は、特に制限されないが、例えば、図３に示すような巻取り式スパッタリング装置を使用することが好ましい。ロール状の黒色樹脂フィルム基材１が巻き出しロール２にセットされ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプ３で成膜室である真空槽内４を排気した後、巻き出しロール１０から搬出された黒色樹脂フィルム基材１が途中、冷却キャンロール５の表面を通って、巻取りロール６で巻き取られていく構成をとる巻取り式スパッタリング装置を用いることができる。冷却キャンロール５の表面の対向側にはマグネトロンカソード７が設置され、このカソードには膜の原料となるターゲット８が取り付けられている。なお、巻き出しロール１０、冷却キャンロール５、巻取りロール６などで構成されるフィルム搬送部は、隔壁９でマグネトロンカソード７と隔離されている。
【００５２】
透明金属酸化物膜を形成するターゲットとしては、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫を主成分として、アルミニウム、チタン、ガリウム、珪素、タングステン、マグネシウム、又はアンチモンから選ばれた１種以上の元素と酸素からなる添加成分から構成されたターゲットを用いる。
また、ターゲット製造上、不可避的に含まれる元素例えば、鉄、炭素、ジルコニアなどが不純物として混入しても黒色耐熱遮光フィルムの特性を満足すれば、構わない。
スパッタリング成膜では、ガス圧は、装置の種類などによっても異なるので一概に規定できないが、例えば、１．０Ｐａ以下、好ましくは０．２〜０．８Ｐａのスパッタリングガス圧で、アルゴンガス、もしくは、酸素ガスを０．０５％以内で混合したアルゴンガス中に、酸素ガスを導入したアルゴンと酸素の混合ガスを、スパッタリングガスとして用いる方法が採用できる。
これにより、基板（樹脂フィルム）に到達するスパッタリング粒子が高エネルギーとなるため、耐熱樹脂フィルム基材上に形成された膜とフィルムとの間に強い密着性が発現される。成膜時のガス圧が０．２Ｐａ未満であると、ガス圧が低いためスパッタリング法でのアルゴンプラズマが不安定となり、成膜した膜の膜質が悪くなる。また、０．２Ｐａ未満であると、反跳アルゴン粒子が基板上に堆積した膜を再スパッタリングする機構が強くなり、緻密な膜の形成を阻害しやすくなる。また、成膜時のガス圧が０．８Ｐａを超えた場合では、基板に到達するスパッタリング粒子のエネルギーが低いため樹脂フィルム基材との密着力が弱くなり、膜が剥がれてしまい好ましくない。
また、アルゴンガスに対する酸素ガスの流量比は、スパッタ電力、ターゲットの材質、成膜ガス圧などに影響するため、一概に規定できないが、本発明の透明金属酸化物膜では、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．６以下かつその膜厚が５〜２５０ｎｍにおいて、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率が７０％以上、最大正反射率が２０％以下を満足できる酸素ガス流量比であればよい。
【００５３】
また、成膜時のフィルム表面温度は、フィルムの熱変形に大きく影響する。最も耐熱性の優れたポリイミドフィルムでも表面温度は４００℃以下で成膜する必要がある。フィルムの種類によっては、１３０℃以上に温度を上げると、ガラス転移点や分解温度を越えてしまうため、例えば、ポリエチレンテレフタレートでは、成膜時のフィルム表面温度はなるべく低温、例えば１００℃以下で行うことが望ましい。また、製造コストに着目しても、加熱時間や加熱のための熱エネルギーを考慮すると、なるべく低温で成膜を行うことがコスト低減には有効である。成膜時のフィルム表面温度は、９０℃以下が好ましく、８５℃以下がより好ましい。
また、成膜中には樹脂フィルム基材はプラズマから自然加熱される。ガス圧とターゲットへの投入電力やフィルム搬送速度を調整することで、ターゲットから基材に入射する熱電子やプラズマからの熱輻射によって成膜中の樹脂フィルム基材の表面温度を所定の温度に維持することは容易である。ガス圧は低いほど、投入電力は高いほど、フィルム搬送速度は遅いほどプラズマからの自然加熱による加熱効果は高くなる。成膜時、フィルムを冷却キャンに接触させている場合でも、自然加熱の影響でフィルム表面の温度は冷却キャン温度よりはるかに高い温度となる。しかし、ターゲットを冷却キャンと対向する位置に設置するスパッタリング装置では、自然加熱によるフィルム表面の温度は、フィルムが冷却キャンで冷却されながら搬送されるため、キャンの温度にも大きく依存し、なるべく成膜時の自然加熱の効果を利用するのであれば、冷却キャンの温度を高めにして搬送速度を遅くすることが効果的である。金属膜の膜厚は、成膜時のフィルムの搬送速度とターゲットへの投入電力で制御され、搬送速度が遅いほど、またターゲットへの投入電力が大きいほど厚くなる。
また、黒色樹脂フィルム（Ａ）の片面に透明金属酸化物膜を形成しても良いが、両面に、実質的に同じ膜厚、かつ同じ組成の透明金属酸化物膜（Ｂ）が形成すれば、黒色樹脂フィルム（Ａ）に対して対称型の膜構造を形成することから、成膜時の膜応力による遮光フィルムの変形を抑制できる。
【００５４】
３．黒色耐熱遮光フィルムの用途
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラの固定絞り、機械的シャッター羽根や、一定の光量のみ通過させる絞り（アイリス）、更には液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）の絞り羽根、また、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光する耐熱遮光テープとして利用できる。
【００５５】
（１）絞り
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、そのまま特定の形状に打ち抜き加工を行って、光量調整モジュール用絞り装置（オートアイリス）の、複数の絞り羽根として適用される。加工端面は、端面に光が入射した時に、加工端面が黒く見え光沢性が低いものとなる。
【００５６】
また、基板としてポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンを用いた本発明の黒色耐熱遮光フィルムはリフロー工程中の加熱環境下においても遮光性、低反射性、低光沢性などの特性が変化しないため耐熱性に優れており、さらに打ち抜き加工性にも優れているため、カメラ付き携帯電話やデジタルカメラなどの小型化、低背化の要求に対応したＷＬＣＳＰ構造のリフローカメラモジュール用の絞り材として極めて有用である。
この製法では、例えばウェハー（例えばシリコンなど）面に等間隔でＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子が実装され、その上に赤外線カットフィルター、レンズ、絞りなどのレンズユニットなどカメラモジュールを構成する主な部品がウェハーの上に実装され、最終的にダイシングなどで個々のカメラモジュールに分離することが特徴である。
レンズユニット構成部品の絞りについては、ウェハー状の黒色耐熱遮光フィルムから、金型を使用した打ち抜き加工やレーザー加工によってウェハー内に等間隔に配列したリング状の絞りが多数形成される。カメラ付き携帯電話やデジタルカメラでのカメラモジュール用絞りは、リング状を呈しているため、従来の製法のように、カメラモジュール構成部品を個々に、順次組み立てていく場合のように打ち抜き加工時に、リング状の絞りをシートから脱落させ、その後ピックアップする方法ではなく、不要な部分のみウェハーから脱落させ、ウェハー内で、ある幅をもったリードによって、個々の絞りが連続的につながった形状になるように加工される。この得られたウェハー状の絞りを例えば、耐熱レンズが多数形成されたウェハーと組み合わせて、撮像素子が搭載されたウェハー上に同時に実装し、その後、個々のカメラモジュールにダイシングしていけばよい。
【００５７】
液晶プロジェクターの光量調整モジュール用絞り装置は、使用中、ランプ光の照射による加熱に常時曝される。そのため、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して製造された耐熱性と遮光性に優れた絞り羽根を搭載した光量調整モジュールへの有用である。また、レンズユニットを製造する際に、リフロー工程で固定絞りや機械式シャッターを組み立てる場合においても、本発明の黒色耐熱遮光フィルムを加工して得た固定絞りやシャッター羽根を用いると、リフロー工程中の加熱環境下においても遮光性などの特性が変化しないため非常に有用である。さらに、車載ビデオカメラモニターのレンズユニット内の固定絞りも、夏場の太陽光による高温環境下に曝されるため、同様の理由から本発明の黒色遮光板から作製した固定絞りを適用することが有用である。
【００５８】
（２）耐熱遮光テープ
また、本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、その片面、または両面に粘着層を設けることで耐熱遮光テープまたはシートとすることができる。
粘着層を形成するための粘着剤は、特に限定されず、従来、粘着シート用として使用されているものの中から温度、湿度などの使用環境に適した粘着材を選択することができる。
一般的な粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ポリウレタン系粘着材剤、ポリエステル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などを用いることができる。特に、携帯電話のレンズユニットをリフロー工程で組み立てる場合では、耐熱性が要求されるので、耐熱性の高いアクリル系粘着剤やシリコーン系粘着剤が好ましい。
また、黒色耐熱遮光フィルムに粘着層を形成する方法としては、例えばバーコード法、ロールコート法、グラビアコート法、エアドクターコート法、ドクターブレード法、ラミネート法など、従来公知の方法により行うことができる。
【００５９】
小型化、薄肉化したデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話では、搭載される構成部品も小型で、薄肉のものが使用される。前記のとおり、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子や撮像素子が搭載されるＦＰＣが薄肉の場合、撮像素子の前面からの漏れ光以外にもＦＰＣを透過し、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまう。本発明の黒色耐熱遮光フィルムの片面、または両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、粘着層によって、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子の裏面側周辺部に貼り付けることができるから、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光するために有用である。
【実施例】
【００６０】
次に、本発明について、実施例、比較例を用いて具体的に説明する。なお、黒色耐熱遮光フィルムの膜の構成、及び評価は以下の方法で行った。
【００６１】
（算術平均高さＲａ）
樹脂フィルム基材の算術平均高さＲａは、表面粗さ計（（株）東京精密製：サーフコム５７０Ａ）で測定した。
（膜の組成）
透明金属酸化物膜の組成（Ｏ／Ｍｅ原子数比：Ｍｅは金属成分）は、ＸＰＳ（ＶＧ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製：ＥＳＣＡＬＡＢ２２０ｉ−ＸＬ）で定量分析した。なお定量分析の際には、膜の表面２０〜３０ｎｍをスパッタエッチングしてから、膜内部の組成分析を実施した。
【００６２】
（平均光学濃度、平均平行光線透過率、最大正反射率）
得られた黒色耐熱遮光フィルムについて、分光光度計（日本分光製：Ｖ−５７０）を使用し、波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光域の遮光性、透過率と正反射率を測定した。また、透明金属酸化物を光学ガラス基板に成膜したものについても、透過率と正反射率を測定した。
光学濃度（ＯＤと記す）は、分光光度計で測定される透過率（Ｔ）を用いて以下の式に従って、算出した。なお、透過率は、樹脂フィルム基板や光学ガラス基板を含めた数値とした。
光学濃度（ＯＤ）＝Ｌｏｇ（１／Ｔ）
完全な遮光性を得るためには、波長３８０〜７８０ｎｍにおける黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度は４．０以上であることが必要である。
また、平行光線透過率は、入射光に対する入射光と平行な透過光の割合のことである。測定した波長３８０〜７８０ｎｍにおける透明金属酸化物膜の平行光線透過率から求められる平均平行光線透過率（光学ガラス基板を含む）が７０％以上であれば良好とした。また正反射率は、反射光が反射の法則に従い、入射光の入射角に等しい角度で表面から反射していく光の反射率のことを言い、入射角は５°で測定した。波長３８０〜７８０ｎｍにおける正反射率から求められる黒色耐熱遮光フィルムの最大正反射率が０．３％以下であれば良好とした。
平均光学濃度、平均平行光線透過率は、波長３８０〜７８０ｎｍの各波長に対する算術平均値である。
【００６３】
（膜表面の明度（Ｌ＊））
得られた膜および耐熱遮光フィルムの明度（Ｌ＊）値についてはＣＩＥ（国際照明委員会）で基準化され、日本でもＪＩＳ（ＪＩＳＺ８７２９）に規格化された表色系測定に準拠し、色彩計（ＢＹＫ−Ｇａｒｄｎｅｒ  ＧｍｂＨ社製：商品名スペクトロガイド）にて、光源Ｄ６５、視野角１０°で測定した。
（導電性）
得られた黒色耐熱遮光フィルムの表面抵抗値をＪＩＳ  Ｋ６９１１に基づき測定した。表面抵抗値は、１×１０６Ω／□未満であれば良好とした。
【００６４】
（耐熱性）
耐熱遮光フィルムの耐熱性については、オーブン（アドバンテック社製：型番ＤＲＤ３２０ＤＡ）にて、１００℃、２００℃、２７０℃で３０分の条件で、加熱処理を行い、平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値をチェックした。耐熱試験後の平均光学濃度、最大正反射率は耐熱試験前と比べて、その差が平均光学濃度では０．２以下、最大正反射率では０．１％以下であれば変化は無いこととした。表面抵抗値の変化は、耐熱試験後の表面抵抗値が１×１０６Ω／□未満であれば良好であり、表中「無」と表記した。
（高温高湿環境下での耐久性）
耐熱遮光フィルムの高温高湿環境下での耐久性ついては、温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理し、平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値の変化の有無をチェックした。
試験後の平均光学濃度、最大正反射率は試験前と比べて、その差が平均光学濃度では０．２以下、最大正反射率では０．１％以下であれば変化は無いこととした。表面抵抗値の変化は、耐熱試験後の表面抵抗値が１×１０６Ω／□未満であれば良好であり、表中「無」と表記した。
（密着性）
膜のフィルム基材に対する密着性は、耐熱試験、高温高湿試験後に行い、ＪＩＳ  Ｃ００２１（クロスカット試験）に基づき評価した。評価は、膜剥がれがない場合は良好とし、膜剥がれがあるものは不適切とした。
【００６５】
（実施例１）
ポリアミドイミド樹脂に溶剤としてメチルエチルケトンを加え、樹脂溶液の固形物１００重量部に対して、黒色顔料としてカーボンブラック（東海カーボン社製、商品名：＃７１００Ｆ、平均粒子径０．０５μｍ）を１２．０重量部、無機充填材としてシリカ（電気化学工業社製、商品名：球状シリカ  ＦＢ−３０２Ｘ、平均粒子径６．２μｍ）を２０．０重量部含有し、ローラーミルを用いて混合し、黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を作製した。
次に、ブレードコーターを用いて、加熱乾燥後のフィルム厚みが２５μｍとなるように、支持体であるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの表面に、上記樹脂溶液を塗工し、大気中、室温で固めた。その後、固めた黒色ポリアミドイミド樹脂溶液を支持体から剥がした後、１５０℃で１時間加熱後、さらに２５０℃で１時間加熱乾燥し、黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。
その後、上記黒色ポリアミドイミドフィルムの表面に凹凸を形成するために、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に固定し、マット処理装置に通紙した。そして、ショット材として硅砂（平均粒子径１００μｍ）を用い、５ｍ／分の速度でフィルムを搬送しながら、２０ｋｇ／ｍ２の硅砂をショットした後、水で３分間水洗し、８０℃で２分間乾燥した。次に、フィルムを裏返し、同様のマット処理加工を施し、表１に示すとおり、算術平均高さＲａが０．４２μｍの表面凹凸を形成した。
【００６６】
【表１】
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この黒色ポリアミドイミドフィルムは、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．３８％、表面光沢度は４であった。明度（Ｌ＊値）は３０であった。なお、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
次に、黒色ポリアミドイミドフィルムの表面に酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）−酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜を形成する。予め、図３の巻取り式マグネトロンスパッタリング装置のカソードに、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）−酸化亜鉛（ＺｎＯ）ターゲット（１５０×６００×６ｍｍｔ）を取り付け、該ターゲットに対向するように黒色ポリアミドイミドフィルムの基板を取り付けた。スパッタリング成膜は、該ターゲットと基板との距離を７５ｍｍとし、チャンバ内の真空度が２×１０−４〜１×１０−４Ｐａに達した時点で、純度９９．９９９９質量％のアルゴンガスを、さらに酸素ガスをアルゴンガス流量に対して５容積％の流量をチャンバ内に導入してガス圧０．３Ｐａとした。次に、直流電力４ｋＷをターゲット−基板間に投入して、プラズマを発生させた。基板を加熱することなく、さらに基板を走行しながら、基板上に所定の膜厚の膜を形成するようにした。
こうして、黒色ポリアミドイミドフィルムの両表面に透明な酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）−酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜を膜厚５０ｎｍ形成した。また、透明な酸化アルミニウム−酸化亜鉛膜を光学ガラス（コーニング社製品名７０５９）基板の片面に同様に、膜厚５０ｎｍをフィルムに形成した試料も作製した。ガラス基板上に形成した透明金属酸化物膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子発光分析装置）で分析した結果、Ａｌ含有量はＡｌ／Ｏ原子数比として０．４２であった。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜は、波長３８０〜７８０ｎｍにおける膜自体の平均平行光線透過率が９０％、最大正反射率が１０％と透明な膜であった。
また、黒色ポリアミドイミドフィルムを基板として作製した上記、黒色耐熱遮光フィルムは、算術平均高さＲａが０．３７μｍであった。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上となり、最大正反射率は０．２５％、膜の明度（Ｌ＊値）は２５と、完全遮光性を有し、低反射で黒色度が非常に高くなった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊）も小さくなり、黒色度は向上した。また、フィルム表面の表面抵抗値は３×１０４Ω／□となり、導電性があった。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。表１に、黒色耐熱遮光フィルムの膜の構成、表２に特性をまとめた。
【００６７】
【表２】
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こうして作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００６８】
（実施例２）
実施例１において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを０．１０μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．５０％、表面光沢度は８、明度（Ｌ＊値）が３５となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板として用いた。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの厚み、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは０．０５μｍであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。
耐熱試験、耐環境試験でも実施例１と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００６９】
（実施例３）
実施例１において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを１．００μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が０．２５％、表面光沢度は４、明度（Ｌ＊値）が２９となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板とした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは０．６０μｍであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。
耐熱試験、耐環境試験でも実施例１と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７０】
（実施例４）
実施例１において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを２．２０μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、表面光沢度は４、最大正反射率が０．１３％、明度（Ｌ＊）が２８となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板とした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは２．１０μｍであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。
耐熱試験、耐環境試験でも実施例１と同様に特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７１】
（比較例１）
実施例１において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを２．３０μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、表面光沢度は４、最大正反射率が０．１２％、明度（Ｌ＊値）が２８となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。しかし、マット処理時に、算術平均高さＲａを増すために、搬送回数を実施例４よりも増やしたためフィルムに無数のピンホールが形成され、歩留まりが悪かった。
ピンホールが形成されていない部分について、評価したところ、表２に示すように黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは２．２０μｍであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなった。また、導電性も付与できた。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高くなったが、外観的に健全なフィルムが得られなかったことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００７２】
（比較例２）
実施例１において、黒色樹脂フィルムのマット処理での加工条件を変えて、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを０．０８μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が１．６０％、表面光沢度が１０、明度（Ｌ＊値）が３６となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは０．０４μｍであった。また、平均光学濃度や表面抵抗値は実施例１と同等であったが、最大正反射率は高く、明度は大きい結果であった。
また、耐熱試験、耐環境試験は良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性はあるものの、正反射率が高く、黒色度が低いため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００７３】
（実施例５）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの厚みを５μｍとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを０．４３μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が０．３４％、表面光沢度が５、明度（Ｌ＊値）が２９となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの算術平均高さＲａは０．３８μｍであった。また、平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７４】
（実施例６）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの厚みを１００μｍとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを０．４２μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が０．３５％、表面光沢度は５、明度（Ｌ＊値）が３１となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７５】
（実施例７）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの厚みを２５０μｍとし、樹脂フィルム表面の算術平均高さＲａを０．４２μｍとし、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上、最大正反射率が０．３５％、表面光沢度は５、明度（Ｌ＊値）が３０となった黒色ポリアミドイミドフィルムを基板にした。これ以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値、算術平均高さＲａは実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７６】
（実施例８）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を１０％とし、膜中の金属成分の含有量を金属／酸素原子数比として０．１０、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率を０．３５％に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した酸化アルミニウム−酸化亜鉛膜（Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ膜）は透明であることがわかり、また波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８７％、最大正反射率は１３％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は０．２２％、明度（Ｌ＊値）は２５と、低反射で黒色度が非常に高くなった。また、表面抵抗値は７×１０４Ω／□となり、導電性を有した。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。また、導電性が付与された。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７７】
（実施例９）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を１％とし、膜中の酸素含有量を金属／酸素原子数比として０．６０、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率を０．３８％に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８０％、最大正反射率は１５％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は０．２７％、明度（Ｌ＊値）は２６と、低反射で黒色度が非常に高くなった。また、表面抵抗値は２×１０４Ω／□となり、導電性を有した。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。
また、耐熱試験、耐環境試験でも特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７８】
（比較例３）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへの金属酸化物膜のスパッタリング時のアルゴンガスに対する酸素流量比を１４％とし、膜中の金属成分の含有量を金属／酸素原子数比として０．７０、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率を０．４５％に変えた。これ以外は、樹脂フィルムの厚み、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、透明金属酸化物膜の種類、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した酸化アルミニウム−酸化亜鉛膜（Ａｌ２Ｏ３−ＺｎＯ膜）は透明であることがわかり、また波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は７５％、最大正反射率は２２％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は１．１０％、明度（Ｌ＊値）は３６と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。なお、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験でも特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有しているが、正反射率が高く、黒色度が低いため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００７９】
（実施例１０）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を５ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は９２％、最大正反射率は１９％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８０】
（実施例１１）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を１００ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属化合物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８６％、最大正反射率は９％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８１】
（実施例１２）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を２００ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８３％、最大正反射率は８％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上し、導電性も付与できた。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８２】
（実施例１３）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を２５０ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８２％、最大正反射率は５％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値も小さくなり、黒色度は向上した。また、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８３】
（比較例４）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を４ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は９２％、最大正反射率は２３％であった。平均平行光線透過率は高いが、最大正反射率は２０％を超え、高いものであった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は１．４０％、明度（Ｌ＊値）は３７と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。表面抵抗値は２×１０５Ω／□であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有しているが、正反射率が高く、黒色度がひくいため、低正反射率と黒色が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００８４】
（比較例５）
実施例１において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を２５５ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８０％、最大正反射率は５％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は０．２０％、明度（Ｌ＊値）は２４となった。表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性を有し、正反射率、明度も良好であるが、膜厚が非常に厚いため低製造コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００８５】
（実施例１５）
実施例１において、用いたターゲットの種類を酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化チタン（ＴｉＯ２）ターゲットに変え、透明金属酸化物膜の種類を酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化チタン（ＴｉＯ２）膜に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
なお、アルゴンガス流量に対する酸素ガス流量は３容積％とした。光学ガラス上に形成した酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化チタン（ＴｉＯ２）膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は９２％、最大正反射率は７％であった。また、金属含有量は金属／酸素原子数比として０．３５であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、また最大正反射率は０．２７％、明度（Ｌ＊値）は２４と、低反射で黒色度が非常に高くなった。表面抵抗値は、５×１０４Ω／□となり、導電性が付与できた。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８６】
（実施例１６）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜中の金属含有量を金属／酸素原子数比として０．６に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８６％、最大正反射率は１３％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率膜の明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１５と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８７】
（比較例６）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜中の金属含有量を金属／酸素原子数比として０．７に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は７８％、最大正反射率は２１％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、表面抵抗値は実施例１５と同等であったが、最大正反射率は１．１１％、膜の明度（Ｌ＊値）は３５となり、実施例１５に比べ正反射率は高く、膜の黒色度は低下した。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性は有したが、正反射率が高く、そして黒色度が低いことからカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００８８】
（実施例１７）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を５ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８８％、最大正反射率は１０％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１５と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８９】
（実施例１８）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を１００ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８６％、最大正反射率は９％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１５と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９０】
（実施例１９）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を２５０ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の種類は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８４％、最大正反射率は７％であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１５と同等であった。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９１】
（比較例７）
実施例１５において、黒色樹脂フィルムへ形成する透明金属酸化物膜の膜厚を４ｎｍに変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例１５と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。光学ガラス上に形成した透明金属酸化物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８９％、最大正反射率は１０％であった。
表２に示すように黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有したが、最大正反射率は１．２２％、膜の明度（Ｌ＊値）は３６、表面抵抗値は２×１０５Ω／□となり、実施例１５より高くなった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性は有したが、正反射率が高く、黒色度が低いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００９２】
（実施例２０）
実施例１において、用いたターゲットの種類を酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化錫（ＳｎＯ２）ターゲットに変え、透明金属酸化物膜の種類を酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化錫（ＳｎＯ２）に変えた以外は、黒色顔料及び無機充填材の種類と含有量、樹脂フィルムの種類と厚み、透明金属酸化物膜の膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
なお、アルゴンガス流量に対する酸素ガス流量は、２容積％とした。光学ガラス上に形成した酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化錫（ＳｎＯ２）膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は９１％、最大正反射率は９％であった。また、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化錫（ＳｎＯ２）膜中の金属含有量は金属／酸素原子数比として０．４であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は０．１７％、明度（Ｌ＊値）は２１と、低反射で黒色度が非常に高くなった。表面抵抗値は５×１０４Ω／□となり、導電性が付与された。基板に用いた黒色ポリアミドイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９３】
（実施例２１）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリイミド樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さ（Ｒａ）、フィルムの厚みは実施例１と同様にして、黒色ポリイミドフィルムを作製した。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける黒色ポリイミドフィルムの平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は、０．３８％であった。また、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例１と同様にして、黒色ポリイミドフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を形成した。
また、黒色ポリイミドフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、表２に示すように、４．０以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は０．２５％、明度（Ｌ＊値）は２６、表面抵抗値は３×１０４Ω／□となった。基板に用いた黒色ポリイミドフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性も付与できた。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９４】
（実施例２２）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエチレンテレフタレート樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さ（Ｒａ）、フィルムの厚みは実施例１と同様にして、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムを作製した。なお、黒色ポリエチレンナフタレート樹脂溶液の乾燥処理では、１００℃で３時間加熱乾燥した。
作製した黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面の算術平均高さＲａは、０．４０μｍであった。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．３８％であった。なお、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
透明金属酸化物膜の種類や膜厚は実施例１と同様にして、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を形成した。
表２に示すように、黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。
また、耐熱試験では２００℃と２７０℃ではフィルムが変形した。耐環境試験の結果については、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９５】
（実施例２３）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエチレンナフタレート樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さ（Ｒａ）、フィルムの厚みは実施例１と同様にして、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムを作製した。なお、黒色ポリエチレンナフタレート樹脂溶液の乾燥処理では、１００℃で３時間加熱乾燥した。
作製した黒色ポリエチレンナフタレートフィルムの両表面の算術平均高さＲａは、０．４０μｍであった。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．３８％であった。なお、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
透明金属酸化物膜をその種類や膜厚は実施例１と同様にして、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムの両表面に形成した。
表２に示すように、黒色ポリエチレンナフタレートフィルムを基板として作製した上記黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリエチレンテレフタレートフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。
大気中、温度１００℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９６】
（実施例２４）
実施例１において、黒色樹脂フィルムの樹脂の種類をポリエーテルエーテルケトン樹脂に変えた以外は、黒色顔料、無機充填材の種類及び含有量、フィルムの算術平均高さ（Ｒａ）、フィルムの厚みは実施例１と同様にして、黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムを作製した。なお、黒色ポリエーテルエーテルケトン樹脂溶液の乾燥処理では、１００℃で３時間加熱乾燥した。
作製した黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムの両表面の算術平均高さＲａは、０．４２μｍであった。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．３８％であった。なお、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
実施例１と同様にして黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムの両表面に透明金属酸化物膜を膜厚５０ｎｍ形成した。
表２に示すように、黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムを基板として作製した黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。基板に用いた黒色ポリエーテルエーテルケトンフィルムに比べ、最大正反射率は低下し、明度（Ｌ＊値）も小さくなり、黒色度は向上した。さらに、導電性が付与された。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９７】
（実施例２５）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック（黒色顔料）の含有量を５重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さＲａ、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．４０％であった。また、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
大気中、温度１００℃、２００℃、２７０℃、保持時間３０分で行った耐熱試験と温度８５℃、湿度８５％ＲＨ、保持時間５００時間で行った耐環境試験でも最大正反射率、平均光学濃度、表面抵抗値、明度の変化はなかった。また、両試験後の密着性試験では、膜剥がれはなく、良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９８】
（実施例２６）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック（黒色顔料）の含有量を１５．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さＲａ、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．２７％であった。また、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９９】
（実施例２７）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック（黒色顔料）の含有量を２２．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さＲａ、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有した。最大正反射率は、０．２３％であった。表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【０１００】
（比較例８）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック（黒色顔料）の含有量を２３．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さＲａ、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。しかし、作製したフィルムはカーボンブラック含有量が高いため、カーボンブラックの均一な分散がされておらず、表面凹凸、平均光学濃度、最大正反射率、表面光沢度、明度（Ｌ＊値）など特性が不均一であり、良好なフィルムは得られなかった。
したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、正反射率、明度などの特性がフィルム面内で非常にばらつくため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【０１０１】
（比較例９）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中のカーボンブラック（黒色顔料）の含有量を４．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、算術平均高さＲａ、無機充填材の種類や含有量、透明金属酸化物膜の種類と組成、形成した膜厚は実施例１と同様にして黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
作製した黒色ポリアミドイミドフィルムの算術平均高さＲａは、０．４２μｍ、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は３．７と完全遮光性を有していなかった。カーボンブラック含有量が少ないため、光吸収が不十分となったことが原因と考えられた。また、最大正反射率は０．３１％であり、明度（Ｌ＊値）は３２と実施例１に比べ高くなった。また、表面抵抗値は１０１３Ω／□以上であった。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの明度（Ｌ＊値）は実施例１より若干高いものの、最大正反射率、表面抵抗値は実施例１と同等であった。しかし、平均光学濃度は３．７と完全遮光性を有していなかった。
また、耐熱試験、耐環境試験でも良好な結果となった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性がないため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。しかし、カメラモジュール内で完全遮光性が必要でない部品としては利用できる。
【０１０２】
（実施例２８）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を２．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率は、０．３９％であり、また平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有した。明度（Ｌ＊値）は３４であった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例１と同様にして透明金属酸化物膜を５０ｎｍ形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【０１０３】
（実施例２９）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を３５．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率は、０．２１％であり、また平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有した。明度（Ｌ＊値）は２８であった。この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例１と同様にして透明金属酸化物膜を５０ｎｍ形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊値）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
また、耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【０１０４】
（比較例１０）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を１．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上で完全遮光性を有した。しかし、最大正反射率は、０．７３％、明度（Ｌ＊値）は４０となり、最大反射率と明度（Ｌ＊値）が実施例１よりかなり高くなった。
この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例１と同様にして透明金属酸化物膜を５０ｎｍ形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有していたが、最大正反射率は０．６２％、明度（Ｌ＊値）は３８と、最大正反射率が高く、黒色度は小さいことがわかった。表面抵抗値は実施例１と同等であった。
したがって、黒色耐熱遮光フィルムは、最大正反射率が非常に高いため、低反射率が要求されるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【０１０５】
（比較例１１）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の含有量を３６．０重量部に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の種類、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。しかし、無機充填材の含有量が多いため、フィルム表面の凹凸にバラツキが大きく、膜特性がフィルム面内で均一ではなかった。
したがって、膜特性のフィルム面内の均一性がないためカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【０１０６】
（実施例３０）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の無機充填材の種類を酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）に変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の含有量、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率は、０．２２％であり、また平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有した。明度（Ｌ＊値）は２９であった。
この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例１と同様にして透明金属酸化物膜を５０ｎｍ形成し、黒色耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【０１０７】
（実施例３１）
実施例１において、黒色樹脂フィルム中の黒色顔料の種類をチタンブラックに変えた以外は、樹脂の種類、黒色顔料の種類と含有量、無機充填材の含有量、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして黒色ポリアミドイミドフィルムを作製した。黒色樹脂フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大正反射率は、０．２４％であり、また平均光学濃度は４．０以上と完全遮光性を有した。
この黒色樹脂フィルムの両表面に、実施例１と同様にして透明金属酸化物膜を５０ｎｍ形成し、耐熱遮光フィルムを作製した。
表２に示すように、黒色耐熱遮光フィルムの平均光学濃度、最大正反射率、明度（Ｌ＊）、表面抵抗値は実施例１と同等であった。
耐熱試験、耐環境試験の結果、特性は良好であった。したがって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【０１０８】
（実施例３２）
実施例１で作製した黒色耐熱遮光フィルムの両面に、耐熱性の高いアクリル系粘着剤（住友スリーエム社製、商品名：９０７９）を用いた厚さ５０μｍの粘着層を形成し、耐熱遮光テープを作製した。
大気中、２７０℃での加熱処理後においても波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上の完全遮光性を有した。また、波長３８０〜７８０ｎｍにおける最大反射率が０．２４％と低反射率となり、加熱処理前後で平均光学濃度、最大正反射率、表面抵抗値の変化はなかった。
【０１０９】
（実施例３３）
実施例１で作製した黒色耐熱遮光フィルムの両面に微粘着層をもった保護シートをラミネートした。１００ｍｍ角のシートに裁断し、シート内で８０ｍｍφの円内に、各絞りがその外周部でリードによって連結された構造の外径４ｍｍφ、内径２ｍｍφのリング状の絞りを打ち抜き加工で多数作製した。打ち抜き加工では、リング状の絞りに打ち抜き後、８０ｍｍφのウェハー状に打ち抜き加工し、微粘着保護シートを剥離し、絞りが多数形成されたウェハーを得た。
金属顕微鏡で絞り表面の外観を観察したが、クラック、バリなどの欠陥は見られなかった。
よって、作製した黒色耐熱遮光フィルムは、ウェハー状で絞り形状に打ち抜くことが可能で、個々の表面反射や光沢は低く、打ち抜きによるクラック、バリがないことから、ＷＬＣＳＰ構造のカメラモジュール用絞り材として極めて有用である。
【０１１０】
（比較例１２）
実施例１で作製した、算術平均高さＲａが０．４２μｍの表面凹凸を形成した黒色ポリアミドイミドフィルムの両面に、塗布法で、ポリオール（ポリエチレンアジペート）とイソシアネート化合物（ジイソシアネート）、カーボンブラック、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化錫（ＳｎＯ２）系導電性微粉末からなる導電層を被覆・乾燥し、厚み５μｍの導電層が両面に被覆された遮光フィルムを作製した。
しかし、フィルム表面にはうねりや凹凸があり、算術平均高さＲａが４．２μｍと２．１μｍを大幅に超え、フィルムの膜厚が不均一となった。膜厚が均一な部分について評価した結果、平均光学濃度は、４．０以上と完全遮光性を有し、最大正反射率は０．３０％、明度（Ｌ＊値）は３２、表面抵抗値は１×１０５Ω／□であった。
したがって、塗布法により作製した遮光フィルムの特性は良好であったが、表面形状が均一でないためカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明の黒色耐熱遮光フィルムは、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどのシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話や車載モニターのレンズユニット内の固定絞りや、プロジェクターの光量調整モジュールの絞り羽根などの光学機器部品として用いることができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１  黒色樹脂フィルム基材
２  透明金属酸化物膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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