Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】体の横で着脱するブラジャーを提供する。【解決手段】カップＡの外側と肩紐ＣのベルトＢの取り付け箇所の間に着脱箇所ＤとＥを作る。【選択図】図１
2012067428.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブラジャーのベルト部分のホックなどの着脱取り付け箇所をカップ外側と肩紐の取り付けの間の左側に付けるブラジャー。
【請求項２】
ブラジャーのベルト部分のホックなどの着脱取り付け箇所をカップ外側と肩紐の取り付けの間の右側に付けるブラジャー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、体の横の部分に取り外す所を付けて、楽にブラジャーの着脱が出きる様にしたブラジャーである。
【背景技術分野】
【０００２】従来は、体の横で取り外す所の付いたブラジャーはなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】体の後で着脱しようとすると手を後ろに回すためかなり困難であったのと背中のホックなどの取り付けなどが目立った。また、カップとカップの間の前で着脱の箇所を設けると幅が狭いため体のサイズ調節箇所が作れない。
【発明を解決するための手段】
【０００４】ブラジャーベルト部分Ｂのホック取り付け箇所ＤとＥ取り付けの間、左右どちらかに作り体の横で着脱できるようにした。
【発明の効果】
【０００５】体の横の所にホックなどの着脱箇所を設けることでブラジャーの着脱が楽にでき、背中に着脱箇所がないことでデザイン幅が広がると共にサイズ調節箇所も作れる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の側面図である。
【図２】本発明の側面図である。
【符号の説明】
【０００７】Ａ  カップ部分
Ｂ  ベルト部分
Ｃ  肩紐
Ｄ  ホック取り付け部分
Ｅ  ホック取り付け部分
【図１】
2012067428.tif 000003
【図２】
2012067428.tif 000004
(57)【要約】【課題】広大な設置面積を、必要する、大型の風力発電機である現状の風力発電機は、広大な設置場所を、求めて、新たに、設置施設や送電設備も、作ろうと、すれば、風力発電機自体が、高コストの機器になり、狭い日本など、特に、風力発電機の普及が、図れない。【解決の手段】電化されている地域であれば、世界中どこにでも設置場所、設置施設送電設備、発電機のメンテの為の登り降りする設備など、新たに、開発しなくても全てが、整っている、現存の既存インフラ上に、設置できる、小型で、今より高効率の発電機を、作れば、狭小の場所で、設置コストも含めて極めて、低コストの風力発電ができ、風力発電機の普及が、一揮に、進む。【特許請求の範囲】
【請求項１】
この特許の小型の風力発電機は、３ないし数個の椀型で、半球状の“風杯”という、３次元の椀（カップ）の羽根が、垂直回転軸上の、水平方向に、放射状に、３ないし数個のアームを伸した型の先端に、設置された、風杯型の羽根です。
この羽根は水平回転し、垂直に、回転軸が、ありこの回転軸の下部に直流発電機を取り付けて、小型風杯型風力発電機とする特許です。
【請求項２】
羽根自体が、水平回転する、この小型風杯型風力発電機の発電量を、増やすには、羽根が回転する円周面積内の限定された狭い設置面積上には、限りなく垂直空間が、広がっており、この垂直空間に、この風杯型の羽根だけを、可能な限り上空に、重ねる様に、増設すれば、限りなく、より大きな風を、羽根が、捕えることが、できる為、この小型の風力発電機は、同じ設置面積で、大型の風力発電機の機能をも、果すことが、できる為、［請求項１］の、この小型風杯型風力発電機の“改造の仕方”をも、特許範囲として、登録します。
【請求項３】
［請求項２］の改造で、増強した小型風杯型風力発電機を、横に、すき間なく並べる様に、設置すれば、帆船が、帆一杯に、風を、孕んで、進む様に、モザイ状に見える、３次元の風杯型の羽根が、三次元の面で、風を、捕え、この小型風杯型風力発電機は、更に、又、より強力な大型の風力発電機の機能を、持つことができる為、［請求項２］の、この小型風杯型風力発電機の“設置の仕方”をも、特許範囲として登録します。
【請求項４】
［請求項２］の様な、垂直方向の空間に、小型風杯型風力発電機を、改造して、発電力を、増強できない場合、水平方向の空間に、発電力を、増強するには、“テコの原理”を使って、風杯そのものを、可能な限り、大きく、したり、又、風杯が、ついているアームの長さを可能な限り、伸ばしたりして改造すれば、可能な為、この小型風杯型風力発機の“改造の仕方“を、又、特許範囲に、登録します。
【請求項５】
［請求項４］の小型風力発電機を、乗り物の屋根に、設置した、キャリヤーに、“逆様に設置”すれば、キャリヤーの枠で、囲まれた、キャリヤーの裏下の、空間に、安全に、風杯型の羽根部分を、設置することが、でき、乗り物の移動エネルギーを加算した風力を利用した風力発電することが、可能となる為、この小型風杯型風力発電機の“設置の仕方”も特許範囲として、登録します。
【発明の詳細な説明】
【技術の分野】
現在の風車型風力発電機の、羽根は、垂直回転する為、より多くの風力を、捕え、発電力を、増強する為には一組の羽根自体を、大型化することでしか、対処できなくて、風力発電機自体が大型化し、高コストの発電機になり、更に又、設置適地が、なく、広大な平地のない狭い日本など、特に、風力発電機の普及が進まない原因となっています。
【背景の技術】
【発明が解決しようとする課題と手段】
特許申請の小型風杯型風力発電機の風杯型の羽根は、半球状の３次元の羽根で、上下左右の風をも、捕えることが、できる全方位の風に、対応するものです。
その上に、水平回転する、小型の羽根であるが故にその垂直空間上に、発電機の設置面積内で、一組の羽根部分を、重ねる様に、設置場所の条件に、合せて、増設することが、できる。
この様に、狭小の場所に、低コストで、なお且つ、特許の小型風杯型風力発電機の“改造の仕方”や“設置の仕方”で、大型の風力発電機としても、使える。
【発明の効果】
この小型の風力発電の“改造の仕方”と“設置の仕方”で設置場所、設置施設、送電設備、発電機のメンテの為に登り降りする設備など、新たに、開発しなくても、既に、全てが、整っている既在インフラに、設置できる様になり、電化されている地域であれば、世界中、どこにでも狭い場所に、低コストで設置することが、できる。
その為、広い設置場所を、必要として、高コストで、昼間しか発電しない、太陽光発電機よりも、一揮に、風力発電機の普及が、図れる。
【特許の概要】
現在の風力発電機は、微風をも、捕える現在の風車型風速計に、直流発電機を、取り付けたものです。
この限られた、垂直に、回転する２次元の３〜数枚の羽根で、風を捕え、水平回転軸に、取り付けられた直流発電機で、発電する、風車型風速計を、改造した、風車型風力発電機が、使用されています。
この水平回転軸で、発電する風車型風力発電機は、発電量を、増やす為には、限られた、３〜数枚の垂直回転の羽根で、より多くの風を、捕える為には、羽根を、大型化することでしか対応できなくなっており、その結果風力発電機自体が、大型化し、高コストの、又、設置適地がなく、普及の防げとなっています。
ところが、風速計には、現在する風杯型風速計なるものがまだあります。
この風速計は、３〜数個の椀型の半球状の“風杯”といわれる３次元の椀（カップ）は、垂直回転軸上に、水平方向に、放射状に設置された、３〜数個のアームの先に、取り付けられており、この３次元の風杯が、風車型の２次元の羽根では、捕えられなかった、吹き上げ、や吹き降しの風をも、捕える、すぐれものです。
この今日も、現存する、羽根が、水平回転する風杯型風速計の下に、垂直に、直流発電機を、取り付ければ、小型の風杯型風力発電機を、作ることが、できます。
この発電機は、羽根が、水平回転する為、一定の設置空間に、上空に、向って垂直空間が、限りなく広がっていて、羽根を可能な限り、重ねる様に、垂直空間に、いくらでも増設することが、でき、電化されて、いる場所であれば世界中、どこでも設置場所、設置施設、送電設備、機器のメンテの為の登り降りの設備などが、既に、全てが、整っている、例えば、家の数だけ、存在している、“電柱ばしら”の先端など、現存する既在インフラの上に、設置が、できる。
それ故、この小型の風杯型の風力発電機は、設置費用も含めて、狭小の場所に、低コスト・高効率の風力発電機を、実現でき、広い場所を、必要とし、又、高コストである太陽光発電機を、凌ぐ、普及が、見込める特許です。
【図面の簡単な説明】
【図１】は特許範囲、請求項１の図面
【図２】は特許範囲、請求項２の図面
【図１】
2012067739.tif 000002
【図２】
2012067739.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】流し台を使用するときに生じる水の飛沫を防ぎ、洋服や足元を濡れないようにするためのシンク用水はね防止板を提供する。【解決手段】使用者の腹の前部分をおおう大きさの板１の上部２辺を丸くカットし、下部にシート状の磁石２をとりつけたシンク用水はね防止板。【選択図】図１
2012067572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
腹の前部分をおおう大きさの板（１）の上部２辺を丸くカットし、下部にシート状の磁石（２）をとりつけたことを特徴とするシンク用水はね防止板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、流し台を使用するときに生じる水の飛沫を防ぎ、洋服や足元を濡れないようにするためのシンク用水はね防止板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、流し台を使用するときに生じる水の飛沫は、生地の厚いエプロンを着用したり、面積の広いマットを足元に敷いて濡れることを防いでいた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  食事が終わったあとの食器や鍋などの道具をまとめて洗うとき、蛇口から出た勢いのある流水は、細かな飛沫となって洗う人の腹の部分や足元を濡らしていた。
冬季などは体が冷えるという難点があった。
本発明は、この問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  腹の前部分をおおう大きさの板（１）の上部２辺を丸くカットし、下部にシート状の磁石（２）をとりつけたことを特徴とするシンク用水はね防止板。
【発明の効果】
【０００５】  洗いものをするたびに濡れてしまう腹の前面と足元を流し台の縁にとりつけた板が防いでくれる。
これによって、夏季はエプロンをつける煩わしさがなくなり、また、冬季は体が冷えてしまう悩みを解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】  本発明の斜視図である。
【図２】  本発明の使用状態を示した斜視図である。
【図３】  本発明の使用状態を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】  以下、本発明の実施の形態を説明する。
腹の前部分をおおう大きさの板（１）の上部２辺を丸くカットし、下部にシート状の磁石（２）をとりつける。
板の上部の角を丸くすることによって洗いものをするときの手の動作の邪魔にならないようにした。
本発明は以上のような構造である。
本発明を使用するときは、ステンレス製の流し台（３）の前中央部の裏に本発明のシート状の磁石（２）の部分をくっつける。
この状態で食器などを洗えば発生する水の飛沫は、本発明の板の部分で受け止めるので、いままでのように腹や床を濡らして困ることはない。
また、ステンレス製の流し台（３）にシート状の磁石（２）をくっつけるとき、使用する者の身長によって上下の位置を加減する。
腹をおおう面積の板（１）の下部にシート状の磁石（２）をとりつけて、流し台の前中央部のふちにぴたっとはりつける。
使用しないときは、冷蔵庫の側面にはりつけておく。
【符号の説明】
【０００８】  １  板
２  シート状の磁石
３  ステンレス製の流し台
【図１】
2012067572.tif 000003
【図２】
2012067572.tif 000004
【図３】
2012067572.tif 000005
(57)【要約】【課題】  ＤＰＧ工法に用いられる固定方法では、合成樹脂板の伸縮を吸収できず、伸長時にはたわみの原因となり、収縮時には固定部分に応力が集中し、固定部分が破損する問題点を解決するためになされたもので、合成樹脂板の伸縮を吸収し、たわみや応力の集中を避けることができる固定方法を提供することである。【解決手段】  フレームを用いない合成樹脂板の固定方法であって、固定用ボルトと、固定用ボルト径よりも大きい内径を有する開口部を有するスペーサーと、パッキンを用いて、合成樹脂板の開口部に配置し固定する合成樹脂板の固定方法。【選択図】  図１
2012214974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームを用いない合成樹脂板の固定方法であって、固定用ボルトと、固定用ボルト径よりも大きい内径を有する開口部を有するスペーサーと、パッキンを用いて、合成樹脂板の開口部に配置し固定する合成樹脂板の固定方法。
【請求項２】
前記開口部に形状が、丸状、多角形、または楕円状である請求項１に記載の合成樹脂板の固定方法。
【請求項３】
前記スペーサーの長さが、合成樹脂板の厚さより大きく、合成樹脂板の厚さに固定部分に使用するパッキンの厚さを加えた長さより小さい請求項１または２に記載の合成樹脂板の固定方法。
【請求項４】
前記合成樹脂板が、ポリカーボネート樹脂板、アクリル樹脂板、ＰＥＴ樹脂板、または塩化ビニル樹脂板である請求項１または２に記載の合成樹脂板の固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレームを用いない合成樹脂板の固定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、強化ガラスに穴をあけ、この穴をボルト止めすることなどにより、壁面や屋根をガラスで構成する工法は、ＤＰＧ（ドットポイントグレイジング）工法と呼ばれ、広く知られている。（例えば特許文献１参照）
しかし、軽量化、安全性を目的にガラスを合成樹脂板に置き換えた場合、合成樹脂板はガラスに比べ線膨張係数が大きいため、温度変化による伸縮を吸収できる構造である必要があるが、これまで十分なものはなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２３１２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のＤＰＧ工法に用いられる固定方法では、合成樹脂板の伸縮を吸収できず、伸長時にはたわみの原因となり、収縮時には固定部分に応力が集中し、固定部分が破損する原因になる。本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、合成樹脂板の伸縮を吸収し、たわみや応力の集中を避けることができる固定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題は、下記（１）〜（４）に記載の本発明により達成される。
（１）  フレームを用いない合成樹脂板の固定方法であって、固定用ボルトと、固定用ボルト径よりも大きい内径を有する開口部を有するスペーサーと、パッキンを用いて、合成樹脂板の開口部に配置し固定する合成樹脂板の固定方法。
（２）  前記開口部に形状が、丸状、多角形、または楕円状である（１）に記載の合成樹脂板の固定方法。
（３）  前記スペーサーの長さが、合成樹脂板の厚さより大きく、合成樹脂板の厚さに固定部分に使用するパッキンの厚さを加えた長さより小さい（１）または（２）に記載の合成樹脂板の固定方法。
（４）  前記合成樹脂板が、ポリカーボネート樹脂板、アクリル樹脂板、ＰＥＴ樹脂板、または塩化ビニル樹脂板である請求項１または２に記載の合成樹脂板の固定方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、ガラスに代わる、軽量化、安全性に優れる合成樹脂板の固定方法で、腰板（階段の手すり、バルコニーなど）、屋根に使用することができる。従来のＤＰＧ工法に用いられる固定方法では、合成樹脂板の伸縮を吸収できず、伸長時にはたわみの原因となり、収縮時には固定部分に応力が集中し、固定部分が破損する問題点を解決するためになされたもので、合成樹脂板の伸縮を吸収し、たわみや応力の集中を避けることができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の構成図である。
【図２】本発明を実施した一例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明は、フレームを用いない合成樹脂板の固定方法で、固定に用いるボルトと
固定用ボルト径よりも大きい内径を有する開口部を有するスペーサーと、パッキンを用いて、合成樹脂板の開口部に配置し固定する合成樹脂板の固定方法である。
このような構成とすることで、合成樹脂板の伸縮、伸長に対応でき、固定部分が破損しない固定方法を提供するものである。
【０００９】
以下、本発明の合成樹脂板の固定方法について説明する。
本発明に用いられる合成樹脂板としては、例えばポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂、塩化ビニル樹脂が挙げられる。
本発明に用いられるパッキンの材質として、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、シリコン樹脂、クロロプレンゴム等のゴム系材料が挙げられ、発泡品も用いることができる。
本発明に用いられるスペーサーとは、固定用ボルトと合成樹脂板の開口部に設置されるものであり、固定用ボルト径よりも大きい内径（開口部）を有する部品である。
スペーサーの形状としては、丸状、多角形、または楕円状などが挙げられ、その材質は金属、合成樹脂製である。
また、スペーサーの長さは、合成樹脂板の厚さより大きく、合成樹脂板の厚さに固定部分に使用するパッキンの厚さを加えた長さより短い。
合成樹脂板の開口部の直径は、スペーサーの外径よりも大きく、想定される合成樹脂板の伸縮量を考慮されたものである。
開口部にスペーサーを使用することによって、合成樹脂板を固定する締め付け強さを調整することができ、合成樹脂板の伸縮を吸収させるものである。
また、パッキンを介して締め付けることによって、固定後の合成樹脂板にガタつきを生じさせない効果を有する。
【００１０】
図１および２を用いて、合成樹脂板の固定方法を具体的に説明する。
図１では、合成樹脂板１の下方向より固定用ポルト２を設置し、スペーサー３、パッキン４、座金５、ナット６を用いて固定するものである。
図２は、合成樹脂板を固定した断面図である。
実際の固定は、合成樹脂板に複数の固定部を設置することで、階段やバルコニーの腰板として、使用するものである。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
本発明により、ＤＰＧ工法と同様に合成樹脂板を点で固定しても伸縮を吸収することができ、合成樹脂板を腰板（階段の手すり、バルコニーなど）、屋根に使用することができる。
【符号の説明】
【００１２】
１    合成樹脂板
２    固定用ボルト
３    スペーサー
４    パッキン
５    座金
６    ナット
【図１】
2012214974.tif 000003
【図２】
2012214974.tif 000004
(57)【要約】【課題】シートレール装置のロアレールに補強用のプレートを固定する方法を提供すること目的とする。【解決手段】補強用のプレート３とロアレール２に、パンチ４及びダイ５を用いたプレス加工を施すことによって、プレート３の潰された肉がロアレール２に食い込み、プレート３とロアレール２がリベット等を用いることなく固定されるため、部品点数を削減することができ、またプレート３の下面に段部が生じないため、シートレール装置の車体側への設置場所が制限されることもない。【選択図】図５
2012214198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体側に取着されるロアレールと、該ロアレール部材の長手方向に対して摺動可能に係合されるとともにシート部材側に取着されるアッパーレールとを備えたシートレール装置において、
前記ロアレールの下面に孔が形成され、凸部を有したプレートが前記ロアレールの孔に嵌合された状態で、パンチ及びダイを用いたプレス加工により前記ロアレールとプレートとが固定されることを特徴とするシートレール装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用シートを前後方向に調整するシートレール装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のシートレール装置として、例えば特許文献１に記載されたものがある。特許文献１に記載のシートレール装置は、シート側に固定されるアッパーレールと、車室の床側に固定されるロアレールから成り、アッパーレールはロアレールと摺動自在に嵌合している。そのアッパーレールの一端には補強プレートが設けられており、衝撃荷重が加わった際に、アッパーレールの変形又は折れを防止することができる。特許文献１のシートレール装置は、アッパーレールに補強プレートを設けているが、ロアレールに補強プレートを設けた場合にも同様に、衝撃荷重が加わった際に、ロアレールの変形又は折れを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平５−７６８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したシートレール装置は、補強プレートをリベットによりアッパーレール又はロアレールに固定しているが、リベットを用いている分、部品点数の増加となりコストが増加してしまう。また、リベットの頭によりシートレール装置の設置面に段部が生じてしまい、アッパーレール又はロアレールの車体側への設置場所が制限される場合がある。
【０００５】
本発明は上述した課題を解決するためになされたものであり、部品点数を増加させないと共に、車体側への設置場所が制限されない補強用のプレートの固定方法を用いたシートレール装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、車体側に取着されるロアレールと、ロアレール部材の長手方向に対して摺動可能に係合されるとともにシート部材側に取着されるアッパーレールとを備えたシートレール装置において、ロアレールの下面に孔が形成され、凸部を有したプレートがロアレールの孔に嵌合された状態で、パンチ及びダイを用いたプレス加工によりロアレールとプレートとが固定されることを技術的特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の発明によれば、ロアレールと補強用のプレートが、パンチ及びダイを用いたプレス加工を施すことによって、リベット等を用いることなく固定するため、部品点数を削減することができ、またプレートの下面に段部を生じさせずに固定することができるため、シートレール装置の車体側への設置場所が制限されることもない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】アッパーレールとロアレールを示す図である。
【図２】アッパーレールとロアレールの側面図である。
【図３】ロアレールの下面を示す図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】プレス加工時のプレートとロアレールのセットを説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の一実施形態であるシートレール装置について、図１から図５を参照して説明する。本シートレール装置は、左右一対のアッパーレール１と、ロアレール２とで構成されており、アッパーレール１がシートクッション側に固定され、ロアレール２が車室の床側に固定され、図１及び図２に示すように、アッパーレール１がロアレール２に対して前後方向に位置調整可能に装着されている。また、ロアレール２の端部の下面には、補強用のプレート３が設けられている。
【００１０】
プレート３は、図３及び図４に示すように、孔３ａ、孔３ａと離れて形成された凸部３ｂ、凸部３ｂの裏面に形成された凹部３ｃ、凸部３ｂの中心部に形成された孔３ｄを有している。
【００１１】
プレート３の孔３ａは、ロアプレート２の下面に形成された孔２ａとともに、ボルト等の締結部材を用いて、ロアレール２とプレート３を車室の床側に固定するものである。プレート３の凸部３ｂは、ロアレール２の下面に形成された孔２ｂと嵌合し、プレート３の位置決めをするものである。プレート３の凹部３ｃは、後述するパンチ４により打ち出される箇所となる。
【００１２】
図５に示すように、プレート３はロアレール２にパンチ４及びダイ５を用いたプレス加工により固定されることとなる。パンチ４は、上面にプレート３の凹部３ｃよりも小さい外形の凸部４ａが形成されており、プレス加工時にはプレート３の凹部３ｃを上方へ打ち出す。ダイ５は、プレート３とロアレール２を上方から押さえつけ、打ち出されたプレート３がロアレール２より上方へ逃げないようにする。
【００１３】
プレス加工時、まずプレート３の凹部３ｃがパンチ４の凸部４ａにより上方に打ち出され、プレート３の潰された肉が上方へ逃げようとするが、ダイ５により上方から押さえつけられているため、プレート３の肉は側方へ逃げる。側方へ逃げたプレート３の肉は、ロアレール２の孔２ｂに食い込み、ロアレール２と固定されることとなる。
【００１４】
以上のように、プレート３はリベット等を用いることなくロアレール２と固定されるため、部品点数を少なくでき、コストを削減することができる。また、リベット等でプレート３を固定した場合には、プレート３の下面に段部が生じてしまうが、本実施例の固定方法ではプレート３の下面に段部は生じないため、シートレール装置の車体側への設置場所が制限されることもない。
【００１５】
こうして、ロアレール２の下面に固定されたプレート３により、衝撃時にロアレール２の孔２ａがボルトからの荷重により変形して広がることを防止することができる。また、ロアレール２自体の変形又は折れを防止することもできる。
【符号の説明】
【００１６】
１  アッパーレール
２  ロアレール
３  プレート
４  パンチ
５  ダイ
【図１】
2012214198.tif 000003
【図２】
2012214198.tif 000004
【図３】
2012214198.tif 000005
【図４】
2012214198.tif 000006
【図５】
2012214198.tif 000007
(57)【要約】【課題】車両の走行風によって発生する動圧を利用して、バッテリを収納した空間を換気することによりバッテリの冷却性能を改善する。【解決手段】車体床部にバッテリ２０を収納するバッテリ収納室１０を設け、このバッテリ収納室の車両前方側に吸気口１１、後方側に排気口１２を設け、また車両走行に伴う空気流を横切る部位に凸部（第２の開閉ダンパ１５）を設け、該凸部の下流側に前記排気口を開口した。排気口には車両走行に伴って負圧が発生し、その負圧によって換気が促進されるため、バッテリ収納室の換気性能を向上し、バッテリの冷却性能を改善することができる。【選択図】図１
2012214077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体床部にバッテリを収納するバッテリ収納室を設け、このバッテリ収納室の車両前方側に吸気口、後方側に排気口を設け、また車両走行に伴う空気流を横切る部位に凸部を設け、該凸部の下流側に前記排気口を開口したことを特徴とする電気自動車用バッテリの冷却構造。
【請求項２】
請求項１において、前記凸部は、前記空気流を横切る突出量を可変とされたことを特徴とする電気自動車用バッテリの冷却構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車体床部に設けられたバッテリ収納室を換気して、そこに収納されたバッテリを冷却する電気自動車用バッテリの冷却構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気自動車の走行エネルギーを供給するバッテリは車体床部に載置されている。かかるバッテリは充放電に伴って発熱するため冷却が必要である。そのため、バッテリは一つの空間内に収納され、この空間内を換気するようにしている（下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８８１４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来は換気性能が充分ではなかった。そのため、バッテリの冷却性能が充分ではなかった。
本発明は、このような問題に鑑み、車両の走行風によって発生する動圧を利用して、バッテリを収納した空間を換気することによりバッテリの冷却性能を改善することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１発明は、車体床部にバッテリを収納するバッテリ収納室を設け、このバッテリ収納室の車両前方側に吸気口、後方側に排気口を設け、また車両走行に伴う空気流を横切る部位に凸部を設け、該凸部の下流側に前記排気口を開口したことを特徴とする電気自動車用バッテリの冷却構造である。
第１発明によれば、車両走行に伴う空気流を横切る部位に凸部を設け、その凸部の下流側にバッテリ収納室の排気口を開口したので、排気口には車両走行に伴って負圧が発生し、その負圧によって換気が促進されるため、バッテリ収納室の換気性能を向上し、バッテリの冷却性能を改善することができる。
【０００６】
本発明の第２発明は、上記第１発明において、前記凸部は、前記空気流を横切る突出量を可変とされたことを特徴とする電気自動車用バッテリの冷却構造である。
第２発明によれば、空気流を横切る凸部の突出量を可変としたので、バッテリ収納室における換気の必要度合や車両走行に伴う空気流の速さに応じて突出量を変えてバッテリ収納室の換気量を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明に係る電気自動車用バッテリの冷却構造の一実施形態を示す部分断面側面図である。
【図２】上記実施形態の底面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１、２において、床部を成す骨格部材３５には、バッテリ２０が載置され、このバッテリ２０は、電気自動車の走行エネルギー源を成すものである。骨格部材３５上には、バッテリ２０を収納するように容器１３が被せられ、バッテリ収納室１０が形成されている。バッテリ収納室１０は一つの空間とされ、自動車の進行方向前方側には吸気口１１、後方側には排気口１２が設けられている。
また、吸気口１１には、吸気口１１全体を開閉するように第１の開閉ダンパ１４が設けられ、排気口１２には、第２の開閉ダンパ１５が設けられている。第１の開閉ダンパ１４及び第２の開閉ダンパ１５とも、骨格部材３５の前方端及び後方端にヒンジ中心が設けられ、いずれも自動車の走行に伴う空気流を横切る位置に突出可能としている。
【０００９】
第１の開閉ダンパ１４は、ヒンジを中心として回動することにより、吸気口１１を閉じる位置と、吸気口１１を開き、且つ空気流を横切る位置との間で動作される。
第１の開閉ダンパ１４により吸気口１１が閉じられたときは、排気口１２に設けられた第２の開閉ダンパ１５の位置に係らずバッテリ収納室１０には空気は流入しないが、第１の開閉ダンパ１４が開き、空気流を横切る位置となったときには、空気流が第１の開閉ダンパ１４に案内されて吸気口１１に流入し、バッテリ収納室１０には第１の開閉ダンパ１４の開度に応じた量の空気が取り込まれる。
【００１０】
第２の開閉ダンパ１５は、ヒンジを中心として回動することにより、排気口１２を閉じることはないが、第２の開閉ダンパ１５が空気流を横切らない位置と、空気流を大きく横切る最大突出量の位置との間で変化するように動作される。
第２の開閉ダンパ１５が空気流を横切る位置にあるときには、第２の開閉ダンパ１５の下流側には第２の開閉ダンパ１５を横切る空気流によって負圧が発生し、排気口１２にその負圧が供給される。そのため、排気口１２の空気圧が正圧の場合に比べてバッテリ収納室１０に流入する空気量は多くなり、より換気性能が向上され、バッテリの冷却性能は改善される。このようにして発生される排気口１２の負圧は、第２の開閉ダンパ１５の空気流を横切る突出量によって発生し、突出量を大きくすれば負圧も大きくなって換気性能はより高められる。
第２の開閉ダンパ１５が空気流を横切らない位置にあれば、上述のような負圧は発生しないため、バッテリ収納室１０に流れる空気流は吸気口１１の第１の開閉ダンパ１４によってのみ決定される。
【００１１】
図１、２において、３６は車体前方側の床下整流板であり、走行時の空気流が吸気口１１にスムースに流れるように機能している。３７は、その床下整流板３６の前方側に、略車幅方向全体に設けられた可動スパッツで、必要時に吸気口１１の前方側に位置して吸気口１１に泥、石などが入るのを防ぐように機能している。更に、３１は電気自動車の車体であり、３２〜３４は電気自動車の前後左右の４つの車輪を示している。
【００１２】
本発明は、上記実施形態で説明した外観、構成に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。例えば、凸部は、第２の開閉ダンパ１５のように動作せず、骨格部材３５の後方端に固定して設けても良い。
【符号の説明】
【００１３】
１０    バッテリ収納室
１１    吸気口
１２    排気口
１３    容器
１４    第１の開閉ダンパ
１５    第２の開閉ダンパ
２０    バッテリ
３５    骨格部材
【図１】
2012214077.tif 000003
【図２】
2012214077.tif 000004
(57)【要約】【課題】  従来のアダン筆は、アダン独特の毛の弾力性が好まれているが、荒々しい筆感覚だけではなく、毛筆特有のしなやかさも求められている。本発明は、アダンの特有の筆の強さとしなやかさを同時に実現できるアダンを用いた筆を実現することを課題とするものである。【解決手段】  アダンの木の気根を洗浄した後、所定の長さに切断する第１工程と、前記の切断されたアダンの気根の表皮をはがす第２工程と、中心部をひもで結び、その左右をたたいてほぐし、左右を異なる筆質状態でほぐす第３工程と、ほぐしたアダンの気根をひもで結んだ中心部で折り曲げ、左右の筆先を合わせる第４工程と、合わせた筆先を整え、柄となる部分に糸を巻いて束ねる第５工程を備えた、アダン筆の製造方法とするものである。また、筆先を合わせる際に、左右の毛部分において、硬くほぐした部分を芯部とし、柔らかくほぐした部分を外周部となるように筆合わせをして整えられているものである。【選択図】図１０
2012214002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アダンの木の気根を洗浄した後、所定の長さに切断する第１工程と、前記の切断されたアダンの気根の表皮をはがす第２工程と、中心部をひもで結び、その左右をたたいてほぐし、左右を異なる筆質状態でほぐす第３工程と、ほぐしたアダンの気根をひもで結んだ中心部で折り曲げ、左右の筆先を合わせる第４工程と、合わせた筆先を整え、柄となる部分に糸を巻いて束ねる第５工程を備えた、アダン筆の製造方法。
【請求項２】
筆先を合わせる際に、左右の毛部分において、硬くほぐした部分を芯部とし、柔らかくほぐした部分を外周部となるように筆合わせをして整えられていることを特徴とする請求項１に記載のアダン筆の製造方法。
【請求項３】
前記の筆先をほぐす第３工程において、筆先部分を叩いた後、ワイヤーブラシで解すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアダン筆の製造方法。
【請求項４】
前記の筆先をほぐす第３工程において、筆先部分を塩素の入った灰汁に浸漬し軟化させることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のアダン筆の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、アダン筆の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  アダンは、熱帯地方に生息するタコノキ科の常緑低木である。このアダンの木の気根部分を用い、特殊な方法で乾燥処理したものを加工して筆の柄及び毛としたものがアダン筆である。【０００２】  従来のアダン筆は、気根部分を採取し、乾燥して筆の柄とし、その先端部分をたたいてほぐし、毛の部分としたものであった。【０００３】  このアダン筆の製造方法として、出願人がすでに特許登録している特許第４２３４２９０号がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２３４２９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  解決しようとする問題点は、従来のアダン筆は、アダン独特の毛の弾力性が好まれているが、荒々しい筆感覚だけではなく、毛筆特有のしなやかさも求められている。本発明は、アダンの特有の筆の強さとしなやかさを同時に実現できるアダンを用いた筆を実現することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明の請求項１は、アダンの木の気根を洗浄した後、所定の長さに切断する第１工程と、前記の切断されたアダンの気根の表皮をはがす第２工程と、中心部をひもで結び、その左右をたたいてほぐし、左右を異なる筆質状態でほぐす第３工程と、ほぐしたアダンの気根をひもで結んだ中心部で折り曲げ、左右の筆先を合わせる第４工程と、合わせた筆先を整え、柄となる部分に糸を巻いて束ねる第５工程を備えた、アダン筆の製造方法である。【０００７】  本発明の請求項２は、筆先を合わせる際に、左右の毛部分において、硬くほぐした部分を芯部とし、柔らかくほぐした部分を外周部となるように筆合わせをして整えられていることを特徴とする請求項１に記載のアダン筆の製造方法である。【０００８】  本発明の請求項３は、前記の筆先をほぐす第３工程において、筆先部分を叩いた後、ワイヤーブラシで解すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアダン筆の製造方法である。【０００９】  本発明の請求項４は、前記の筆先をほぐす第３工程において、筆先部分を塩素の入った灰汁に浸漬し軟化させることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のアダン筆の製造方法である。
【発明の効果】
【００１０】  本発明は、以下の効果がある。
（１）筆の芯部と外周部で異なる筆の弾力性を有する筆を実現できる。
（２）書き味の良いアダン筆を実現できる。
（３）今までにない斬新な形状の新しいデザインの筆を実現できる。
（４）弾力性としなやかさの両方のメリットを有するアダン筆を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】  採取したアダンの気根を示す図である。
【図２】  中心部をひもで結び、左右を叩いた状態を示す図である。
【図３】  ワイヤーブラシで筆先を解した状態を示す図である。
【図４】  筆先部分を塩素入り灰汁に浸漬し、軟化処理する状態を示す図である。
【図５】  筆先の軟化処理後の天日干しの状態を示す図である。
【図６】  乾いた筆の中央を紐で巻き、折り曲げた状態を示す図である。
【図７】  折り曲げて筆合わせををした状態を示す図である。
【図８】  筆合わの状態で柄となる部分に糸を巻いた状態を示す図である。
【図９】  穂先を長さを決めて整える状態を示す図である。
【図１０】  仕上げのニス塗りをした状態を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】  本発明のアダン筆の製造方法について、以下に説明する。【００１３】１）アダンの気根を採取し、気根を５０センチ程度に切り取り（図１）、表皮をはがす。【００１４】２）全体的に軽く叩き中心を決め、ひもで１センチ程絞める。（図２）【００１５】３）筆先になる部分を片方づつ叩き、ワイヤーブラシで捌く。（図３）【００１６】４）柔らくする筆先部分を塩素の入った灰汁に入れ軟化する。（図４）
（１時間程度溶液に入れる）【００１７】５）軟化した筆先を更に叩き、ワイヤーブラシで細くする。【００１８】６）半日〜１日程度天日に干す。（図５）【００１９】７）乾いた気根の真ん中をアダンの紐で３センチ程度巻く。（図６）【００２０】８）筆先（硬軟部分）を合わせ糸巻きの作業をする。（図７、図８）【００２１】９．穂先の長さを決め整えていく。（図９）【００２２】１０．仕上げのニスを塗る。（図１０）
【図１】
2012214002.tif 000003
【図２】
2012214002.tif 000004
【図３】
2012214002.tif 000005
【図４】
2012214002.tif 000006
【図５】
2012214002.tif 000007
【図６】
2012214002.tif 000008
【図７】
2012214002.tif 000009
【図８】
2012214002.tif 000010
【図９】
2012214002.tif 000011
【図１０】
2012214002.tif 000012
(57)【要約】【課題】  従来の技術ではシリコン層を直接ホットメルト（熱接着シート）層に貼り合わせることができなかったため、シリコン成形体は上層部に円錐状や半球状の突起を有したシリコン層、中間層に生地や不織布等の繊維層、下層部がホットメルト（熱接着シート）層の３重構造による滑り止め機能のみのシリコン成形体でしかなかった。【解決手段】  当社が契約している製造工場で新しく開発されたホットメルト（熱接着シート）に熱可塑性樹脂（ウレタンフイルム）を貼り、その上に直接シリコン層を一体化させる（中間層に繊維層を必要としない）技術により、色々な機能の追加、その機能や性能の経年変化の抑制、ならびに金属アレルギー問題のも防止することができる。【選択図】図２
2012214001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
これまでの技術ではシリコン層を直接ホットメルト層に貼り合わせることはできなかったために、上層部シリコン層、中間層に生地や不織布等の繊維層、下層部ホットメルト（熱接着シート）という３層構造であったが、当社が契約している製造工場で開発されたホットメルト（熱接着シート）に熱可塑性樹脂（ウレタンフイルム）を貼り、その上に直接シリコン層を一体化させる中間層に繊維層を必要としないシリコン成形体である。
【請求項２】
従来の滑り止め機能としての上層部のシリコン層で、下層部のホットメルト（熱接着シート）にシリコン系接着剤で接着された磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム、ＩＣチップ等の機能素材を埋め込むような形で熱成形して裁断した従来の滑り止め機能に肩こり緩和機能や棚卸等の商品管理・ＧＰＳ（位置情報管理）機能等を合わせ持ったシリコン成形体である。
【請求項３】
（さらに特徴部分がある場合には、追加して記載する）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、上層部に機能素材を埋め込んだシリコン層を保有し、下層部のホットメルト加工によりアイロン等による熱接着を可能とした機能付き滑り止めシリコン成形体に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、滑り止めシリコン成形体はその上層部に円錐状や半球状の突起を有したシリコン層があり、中間層に生地や不織布等の繊維層を有し、下層部のホットメルト加工層からなる３重構造の成形体であり、そのホットメルト機能によりズボンやスカート等の腰裏布や上衣の肩パット等の衣料にアイロン等で適宜付けて使用する衣服類に対する滑り止め成形体であった（例えば、特許文献１参照。）。【０００３】  また、これまでの技術では上層部のシリコン成形体層の下部にホットメルト加工層を直接貼り付けることはできず、間に必ず上記のような生地や不織布等の繊維層を必要としていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】  登録実用新案第３１６４４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  以上に延べた従来の滑り止め成形体は、上層部に滑り止め機能としてのシリコン層があり、中間層に生地や不織布等の繊維層を有し、下層部のホットメルト加工層からなる３重構造の成形体であり、ズボンやスカート等の腰裏布や上衣の肩パット等の衣料にアイロン等により適宜付けて使用する衣服類に対する滑り止めとしての限定機能しか保有しなかった。【０００６】  本発明は、当社が契約している製造工場で開発された、シリコンに熱可塑性樹脂（ウレタンフイルム）を張ることにより中間層の生地や不織布等の繊維層なしに直接シリコン層にホットメルト加工層を特殊な接着剤（シリコン系）で一体化することができるという新技術を用いることにより、上層部のシリコン成形体の内部に磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム、ＩＣチップ等様々な機能素材を埋め込むことが可能となったため、上記滑り止め機能に腰痛や肩こり等の緩和や商品情報管理・ＧＰＳ（位置情報管理）等の機能追加を行うことを目的とする。【０００７】  本発明は、上記機能素材をホットメルト層に直接取り付けたものをズボンやの腰裏布、上衣の肩パット等の衣料にアイロン等で取り付けて使用した後に洗濯等を行い続けると剥がれ落ちてしまうが、上層部のシリコン成形体の内部に磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム、ＩＣチップ等様々な機能素材を埋め込んだものを直接ホットメルト加工層に貼り付け、一体化することによりこの剥がれ落ちを防止できることを特徴とする。【０００８】  本発明は、磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム、ＩＣチップ等様々な機能物質がシリコン内に埋め込まれているため、シリコン内に埋め込まれた素材の保有する機能や性能を保護し経年変化を抑制することを特徴とする。【０００９】  また、本発明は、磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム、ＩＣチップ等様々な機能素材がシリコン内に埋め込まれているため、その機能物質自身が人体に触れることによる金属アレルギー等の問題解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  上記目的を達成するために、本発明のホットメルトによる熱接着可能な機能付きシリコン成形体は、１５０ミクロンのホットメルトシートに熱可塑性樹脂（ウレタンフイルム）を貼り、その上にシリコン系接着剤で１ｍｍ程度の磁石磁気等の機能素材２個を中央から左右１８ｍｍの距離に２個接着し、その上から滑り止めとして肌や衣類等に接する部分であるシリコンで機能素材を埋め込むような形で厚さ１ｍｍ（機能素材）＋２５０ミクロンの厚さで熱成型し、その後約１４．５ｍｍＸ５１ｍｍの角丸長方形で２個の機能素材の中央が中心にくるように（２個の機能素材の間隔は２６ｍｍ）裁断したものである。
【発明の効果】
【００１１】  本発明は、請求項１ないし請求項２に記載したように構成されているので、以下のような効果を奏する。【００１２】  請求項１の発明のように衣服類の滑り止め防止目的のシリコン成形体に磁石磁気やチタン・ゲルマニュウム。ＩＣチップを埋め込むことによりその滑り止め防止に加えて、肩こり緩和機能や棚卸等の商品管理・ＧＰＳ（位置情報管理）機能等の機能追加を容易に行うことが可能となる。【００１３】  請求項２の発明のように【００１４】  その上、これらシリコン成形体に埋め込まれた機能素材は、空気や洗濯時の水に触れることがないため、その素材の保有する機能や性能の経年変化を抑制することが可能となる。【００１５】  請求項３の発明のようにシリコン成形体の中に機能素材を埋め込んで成形しているため、金属アレルギー等の理由によりその機能を利用することができなかった人たちも安心して利用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】機能素材をシリコン成形体に埋め込んだホットメルトシートの平面図。
【図２】機能素材をシリコン成形体に埋め込んだホットメルトシートの図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】  以下、本発明の実施の形態について図１〜図２に基づいて説明する。
【００１８】  図１において、
【符号の説明】
【００１９】  １    表面が網目状に盛り上がった型のシリコン成形体
２    機能素材
３    熱可塑性樹脂（ウレタンフイルム）
４    ホットメルト加工層
【図１】
2012214001.tif 000003
【図２】
2012214001.tif 000004
(57)【要約】【課題】Ｏリングに大気中の水分が吸着し、真空チャンバ内を排気している段階で吸着された水分が徐々にＯリングからガスとして放出されるため、真空チャンバ内を高真空にするためには、長時間を要する。【解決手段】真空チャンバと、大気開放のための開閉扉と、開閉扉をシールするシール部材とを有する真空処理装置において、シール部材はエラストマーＯリングであり、真空処理装置の内壁面であってシール部材の周辺に冷却手段を設けたことを特徴とする。【選択図】  図１
2012136721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと、大気開放のための開閉扉と、前記開閉扉をシールするシール部材とを有する真空処理装置において、前記シール部材はエラストマーＯリングであり、前記真空処理装置の内壁面であって前記シール部材の周辺に冷却手段を設けたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記シール部材が、フッ素樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空シール用Oリングを備える真空処理装置に関する
【背景技術】
【０００２】
従来の真空チャンバは、真空シールする為に、文献１に示すようにエラストマーOリングを用いている。又高真空を得る場合には、メタルOリングを用いている。
エラストマーOリング仕様の真空チャンバは、メタルOリングに比べ、Oリング周辺の構成部品が安価となる為、真空装置のコストが抑えられる。しかしながら、エラストマーOリングは、放出ガス、及び大気側から真空内への透過ガスが多く、真空排気した場合、真空排気時間を要し高真空を得られ難くい問題がある。
【０００３】
そこで、特許文献１には、Oリングの中空部内部に環状の冷却パイプを組み込むことにより、酸素の透過量を少なくすることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３４２３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、酸素の透過量を少なくすることはできるが、水分子の放出ガスを抑制できない。
【０００６】
ところで、真空チャンバは、真空チャンバ内のメンテナンスを行うために開閉扉を有し、開閉扉はＯリングでシールされるようは構造になっている。開閉扉を開放して真空チャンバのメンテナンスを行った後、開閉扉を閉めて真空チャンバ内の排気を行い、高真空にした後、真空チャンバ内での基板処理を行う。
【０００７】
開閉扉開放時にＯリングに大気中の水分が吸着し、真空チャンバ内を排気している段階で吸着された水分が徐々にＯリングからガスとして放出されるため、真空チャンバ内を高真空にするためには、長時間を要することがある。また、高真空下での基板処理が必要な場合には、少量の水分の影響も好ましくないが、Ｏリングに水分が吸着されていると、Ｏリングに吸着されていた水分が基板処理の過程で離脱し、離脱した水分が基板に吸着して、成膜膜質に影響することがある。
【０００８】
特に、Ｏリングとしてフッ素系のエラストマーＯリングを用いた場合、Ｏリングが多孔質のため、その空孔に極性を有する水分子が吸着され易くなる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の真空処理装置は、真空チャンバと、大気開放のための開閉扉と、開閉扉をシールするシール部材とを有する真空処理装置において、シール部材はエラストマーＯリングであり、真空チャンバの内壁面であってシール部材の周辺に冷却手段を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の真空処理装置によれば、開閉扉開放による大気開放から真空排気を行う際に、高真空を短時間で得ることが可能となる。
また、真空チャンバ内に入り込んだ水分子の影響を低減できるため、高真空における成膜処理の際に、水分子が基板吸着してしまうという問題を解決することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面に基づいて本発明に係わる真空処理装置の実施形態を詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明に係る真空処理装置を斜めから見た模式図である。図２は、図１の真空処理装置において、開閉扉が閉じた状態の、シール部材と冷却部材との関係を示す断面模式図である。
【００１３】
真空処理装置は、真空チャンバ３と、真空チャンバ３に設けられた開閉扉４とを有する。
また、真空チャンバ３には、不図示の排気口が設けられ、排気口から真空チャンバ３内を
排気することができる。排気口は、真空チャンバ３外で、不図示の粗引きポンプおよび主引きポンプと接続されている。
【００１４】
開閉扉４の内側で真空チャンバの壁面７と対向する部分には、開閉扉４をシールするためのシール部材であるOリング１を組み込むための溝７が、開閉扉４の全周に渡って設けられている。
Oリング1は、開閉扉４に固定されている。Ｏリング１としては、エラストマーＯリングを用いることができる。この中でもＯリングがフッ素樹脂からなるものを用いることが、耐久性の点で好ましい
真空チャンバ３の内壁面には、冷却手段としても冷却パイプ２が、開閉扉４を閉じたときにＯリングの周辺にＯリングの内側となるような位置に配設されている。冷却パイプ2は、チャンバ３に固定され、真空チャンバ３の大気側にフランジ6を介し不図示の冷却装置に接続されている。
【００１５】
また、真空チャンバ３内には、不図示のスパッタリングやＣＶＤなどの成膜手段と、不図示の基板ステージが設けられている。
【００１６】
次に本発明の真空処理装置を真空状態にする方法の一例について説明する。
真空チャンバ３に接続されている開閉扉４を閉じて、真空チャンバ３に接続されている不図示の粗引きポンプで真空排気を開始した後、不図示の主排気ポンプにて排気する。
同時に冷却パイプ2に冷媒5を流す。冷媒としては、例えば液体窒素を用いることができる。
【００１７】
真空チャンバ３内の圧力が10-5 Ｐａとなった段階で、成膜を開始する。
本発明によれば、10-5 Ｐａという高真空を、冷却パイプを用いなかった場合に比べ、比べ短時間で到達させることができる。
すなわち、Ｏリング１には、開閉扉４を開放したときにＯリング１に吸着した水分子が吸着された状態となっている。排気を続けると、Oリング1からガス化した水分子が放出され真空チャンバ３内へそのまま流れ込むが、本発明によれば、冷却パイプ表面で、放出した水分子（水蒸気）がトラップされる。
【００１８】
また、排気した後も、水分子がＯリングに吸着された状態で残っていた場合であっても、成膜時に冷却パイプ２を冷却し続けていれば、冷却パイプ２に水分子がトラップされることにより、成膜基板への水の影響を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図1は、本発明の高真空装置を斜め上から見た概略摸式図である。
【図２】図２は、扉が閉じた時の図１-A部詳細図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  Ｏリング
２  冷却パイプ
３  真空処理装置 
４  開閉扉
５  冷媒
６  フランジ
７  溝
【図１】
2012136721.tif 000003
【図２】
2012136721.tif 000004