(57)【要約】【課題】ワークの粘着部に押圧体を当接させてワークをテーブルに押し付けても、その後、押圧体に付着したワークをスムーズに剥離して搬送することができる搬送装置及び搬送方法を提供する。【解決手段】凹部１８を備え、粘着部２を有するワーク１が粘着部２を上方に向けて凹部１８に収納されるテーブル１２と、凹部１８に収納されるワーク１の粘着部２に当接し、ワーク１をテーブル１２に押し付ける押圧体３２と、テーブル１２及び押圧体３２を相対的に移動させる移動機構１４，６０とを備え、移動機構１４，６０が、押圧体３２によるワーク１の押し付けを解除しワーク１の上下方向の少なくとも一部を凹部１８に収納した状態で、テーブル１２及び押圧体３２を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を備え、粘着部を有するワークが前記粘着部を上方に向けて前記凹部に収納されるテーブルと、
前記凹部に収納される前記ワークの前記粘着部に当接し、前記ワークを前記テーブルに押し付ける押圧体と、
前記テーブル及び前記押圧体を相対的に移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構が、前記押圧体による前記ワークの押し付けを解除し前記ワークの上下方向の少なくとも一部を前記凹部に収納した状態で、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記移動機構は、所定距離だけ第１速度で前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させ前記押圧体に付着した前記ワークを剥離した後、前記第１速度より速い第２速度で前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記押圧体は、前記押圧体に対して前記凹部が移動する方向に向けて延びる切欠部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記凹部は平面視矩形状に設けられ、前記テーブルに対する前記押圧体の移動方向前側に前記凹部の一隅角部が位置することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記押圧体において前記粘着部に当接する当接部がフッ素樹脂材で形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記テーブルに対して上下動可能に設けられ、前記凹部に収納される前記ワークの下面に当接する突出片を備え、前記突出片及び前記押圧体が、同一の駆動装置により回転するカム体によって前記テーブルに対して上下動することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
粘着部を上方に向けたワークをテーブルの上面に設けた凹部に収納し、
前記凹部に収納される前記ワークの粘着部に押圧体を当接させて前記ワークを前記テーブルに押し付けた後、前記押圧体に付着した前記ワークを剥離して搬送する搬送方法において、
前記テーブル及び前記押圧体を相対的に上下方向に移動させて前記押圧体による前記ワークの押し付けを解除し前記ワークの上下方向の少なくとも一部を前記凹部に収納した状態で、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着部を有するワークを搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ワークを収納する凹部が設けられたテーブルを水平方向に移動させることで、ワークを搬送する搬送装置が提案されている（例えば、下記特許文献１参照）。このような搬送装置では、ワークの位置ずれ防止等のためにクランパー等の押圧体で上方よりワークをテーブルに押し付け固定することがある。
【０００３】
しかしながら、上面に粘着部を備えたワークを上記のような搬送装置で搬送する場合、ワークを上方よりテーブルに押し付けると、粘着部によってワークが押圧体にくっついてしまい、ワークを搬送できないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２２０１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の問題に考慮してなされたものであり、ワークの粘着部に押圧体を当接させてワークをテーブルに押し付けても、その後、押圧体に付着したワークを剥離して搬送することができる搬送装置及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送装置は、凹部を上面に備え、粘着部を有するワークが前記粘着部を上方に向けて前記凹部に収納されるテーブルと、前記凹部に収納される前記ワークの前記粘着部に当接し、前記ワークを前記テーブルに押し付ける押圧体と、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に移動させる移動機構とを備え、前記移動機構が、前記押圧体による前記ワークの押し付けを解除し前記ワークの上下方向の少なくとも一部を前記凹部に収納した状態で、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の搬送方法は、粘着部を上方に向けたワークをテーブルの上面に設けた凹部に収納し、前記凹部に収納される前記ワークの粘着部に押圧体を当接させて前記ワークを前記テーブルに押し付けた後、前記押圧体に付着した前記ワークを剥離して搬送する搬送方法において、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に上下方向に移動させて前記押圧体による前記ワークの押し付けを解除し前記ワークの上下方向の少なくとも一部を前記凹部に収納した状態で、前記テーブル及び前記押圧体を相対的に水平方向に移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ワークの粘着部に押圧体を当接させてワークをテーブルに押し付けても、その後、押圧体に付着したワークを剥離して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す搬送装置が備えるホルダの斜視図である。
【図３】図１の要部を拡大して示す平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図１に示す搬送装置の動作を示すフロー図である。
【図６】図１に示す搬送装置の動作を示す図である。
【図７】図１に示す搬送装置によって搬送されるワークの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の１実施形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
本実施形態に係る搬送装置１０は、不図示の供給手段によって供給位置Ｐ１に供給された搬送対象のワーク１を検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５に順次移動させ、各検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５において検査が終了すると、ワーク１を排出位置Ｐ６に搬送する。
【００１２】
この搬送装置１０において搬送されるワーク１は、例えば、平面視矩形状のＬＥＤなどの発光素子であり、図５に示すようにその上面に粘着部２を有し、下面に電極３を有している。なお、本実施形態では、発光素子を搬送対象とするが、本発明はこれに限らず、上面に粘着部を有するワークであればよい。
【００１３】
搬送装置１０は、円形の回転テーブル１２と、回転テーブル１２を回転させるテーブル駆動部１４と、各検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５に配設されたコンタクト機構３０とを備える。
【００１４】
なお、図１において符号Ｐ７は検査位置Ｐ３と検査位置Ｐ４との間に配置された待機位置であり、後述するホルダ１６がこの位置において検査位置Ｐ３から検査位置Ｐ４へ移動する前に一時待機する。また、符号Ｐ８は排出位置Ｐ６と供給位置Ｐ１との間に配置された待機位置であり、ホルダ１６がこの位置において排出位置Ｐ６から供給位置Ｐ１へ移動する前に一時待機する。
【００１５】
回転テーブル１２の外周部には、周方向に所定間隔をあけて複数（本実施形態では８つ）のホルダ１６を備え、回転テーブル１２の回転に伴って、複数のホルダ１６が、供給位置Ｐ１、検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５、排出位置Ｐ６、及び待機位置Ｐ７，Ｐ８（以下、これらの各位置を総称して位置Ｐという）を移動する。
【００１６】
ホルダ１６は、図２〜図４に示すように、粘着部２を上方に向けたワーク１が収納される凹部１８を備える。
【００１７】
凹部１８は、平面視においてワーク１より若干大きな矩形状をなしており、４つの隅角部にワーク１の角部との接触を防止する逃げ部１９が設けられている。
【００１８】
凹部１８は、その対角方向が回転テーブル１２の移動方向Ｍに一致するようにホルダ１６に配設されており、凹部１８の隅角部に設けられた逃げ部１９のうちの１つの逃げ部１９ａが、回転テーブル１２に対する押圧体３２の移動方向前側に位置する。つまり、本実施形態のように平面視において押圧体３２の位置が変化せず回転テーブル１２が回転移動する場合であると、１つの逃げ部１９ａが回転テーブル１２の移動方向Ｍの後側に位置することとなる。
【００１９】
凹部１８の底面には、ホルダ１６を上下に貫通する貫通孔２０が複数（本実施形態では４つ）設けられており、各貫通孔２０内にそれぞれ内部プローブ２２が上下動可能に配設されている。この内部プローブ２２は、不図示のバネによって下方に付勢されている。
【００２０】
また、凹部１８の底面には吸引連結部２４と連通する吸着孔２６が設けられており、吸引連結部２４に配管接続される不図示の真空装置が吸着孔２６より凹部１８に収納されたワーク１の底面を真空吸着する。
【００２１】
テーブル駆動部１４は、間欠的に回転テーブル１２を所定方向（本実施形態では、図１において矢符Ｍで示す反時計回り）に回転させて、回転テーブル１２に設けられたホルダ１６を回転方向前方に隣接する各位置Ｐに移動させる。これにより、ホルダ１６は、供給位置Ｐ１から各検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５を経由して排出位置Ｐ６まで移動した後、再び供給位置Ｐ１へ移動する。
【００２２】
コンタクト機構３０は、ホルダ１６の凹部１８に収納されたワーク１の電極３と内部プローブ２２を介して電気的に接続されるものである。
【００２３】
コンタクト機構３０は、凹部１８に収納されたワーク１の粘着部２に当接する押圧体３２と、内部プローブ２２の下端部に当接する外部プローブ３４と、押圧体３２及び外部プローブ３４を上下動させるコンタクト駆動部６０とを備える。
【００２４】
押圧体３２は、測定位置にあるホルダ１６の上方に配置され、ホルダ１６に設けられた凹部１８に対応する位置に切欠部３８が設けられている。
【００２５】
切欠部３８は、凹部１８に対応する位置から押圧体３２に対する回転テーブル１２の移動方向Ｍ、つまり、回転テーブル１２の回転によってホルダ１６に設けられた凹部１８が移動する方向に向けて延び、押圧体３２の縁部に開口している。
【００２６】
そして、コンタクト駆動部６０によって押圧体３２が下方に降下すると切欠部３８の縁部分に設けられた当接部３６がワーク１の中央部を避けてワーク１の縁部に当接することで、押圧体３２は、ワーク１を凹部１８の底面に押し付けて、ワーク１をホルダ１６に固定する。押圧体３２においてワーク１に当接する当接部３６は、フッ素樹脂材で形成されており、粘着部２によって当接部３６に付着したワーク１が剥離しやすいように構成されている。
【００２７】
このような押圧体３２は、上下方向に移動可能に設けられたスライダ４１に第１ベース４０を介して連結されている。スライダ４１は、支柱４２に固定された上下方向に延びる案内レール４３に沿って摺動可能に設けられている。
【００２８】
第１ベース４０には、カム体６２の外周に設けられたカム面６２ａを摺動する第１摺動体４４が設けられている。第１ベース４０は、付勢バネ４６によって第１摺動体４４をカム面６２ａに押し付ける方向に付勢されている。
【００２９】
外部プローブ３４は、ホルダ１６に設けられた内部プローブ２２の下方に配置されている。外部プローブ３４は、上下方向に移動可能に設けられたスライダ４８に第２ベース４７を介して連結されている。スライダ４８は、第１ベース４０が連結されたスライダ４１と同様、上下方向に延びる案内レール４３に沿って摺動可能に設けられている。
【００３０】
第２ベース４７には、カム体６２の外周に設けられたカム面６２ｂを摺動する第２摺動体４９が設けられている。第２ベース４７は、付勢バネ５０によって第２摺動体４９をカム面６２ｂに押し付ける方向に付勢されている。
【００３１】
そして、コンタクト駆動部６０によって外部プローブ３４が上方へ移動すると、外部プローブ３４が内部プローブ２２の下端部に当接して内部プローブ２２を上方に押し上げる。これにより、内部プローブ２２の上端部が凹部１８の底面より上方に突出し凹部１８に収納されたワーク１の電極３に当接し、内部プローブ２２を介して外部プローブ３４と電極３とが電気的に接続される。
【００３２】
コンタクト駆動部６０は、テーブル駆動部１４とともに回転テーブル１２及び押圧体３２を相対的に移動させる移動機構を構成するものであり、上記したカム体６２と、このカム体６２を回動させるモータ６４とを備える。
【００３３】
コンタクト駆動部６０は、モータ６４がカム体６２を回動させることで、第１摺動体４４がカム面６２ａを摺動して押圧体３２を上下動させるとともに、第２摺動体４９がカム面６２ｂを摺動して外部プローブ３４を上下動させて外部プローブ３４に当接する内部プローブ２２を上下動させる。つまり、本実施形態では、押圧体３２と内部プローブ２２が、同一のモータ６４により回転するカム体６２によって上下動するように構成されている。
【００３４】
次に、本実施形態の搬送装置１０の動作について、図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、供給位置Ｐ１においてホルダ１６の凹部１８にワーク１が収納された後、テーブル駆動部１４が回転テーブル１２を所定角度だけ回転させて、凹部１８にワーク１を収納した状態でホルダ１６を供給位置Ｐ１から測定位置Ｐ２へ移動させワーク１を搬送する（図５のステップＳ１）。なお、ホルダ１６を供給位置Ｐ１から測定位置Ｐ２へ移動させる場合のようにホルダ１６を各位置Ｐの間を移動させる搬送動作では、凹部１８に収納されたワーク１が吸着孔２６より真空吸着され凹部１８に固定されている。
【００３６】
そして、コンタクト機構３０のコンタクト駆動部６０がモータ６４を動作させてカム体６２を回動させることで、図６（ａ）に示すように、押圧体３２を下方に移動させてワーク１の粘着部２に当接部３６を当接させてワーク１をホルダ１６に押し付ける（図５のステップＳ２）。
【００３７】
更に、モータ６４がカム体６２を回動させると、押圧体３２がワーク１をホルダ１６に押し付けた状態を保ったまま、外部プローブ３４が上方に移動して内部プローブ２２の上方へ押し上げて内部プローブ２２の上端部をワーク１の電極３に当接させる。
【００３８】
なお、この状態、つまり、図６の（ａ）に示すような押圧体３２によってワーク１をホルダ１６に押し付けつつ内部プローブ２２が電極３に当接した状態において、コンタクト機構３０に接続された不図示の検査装置から外部プローブ３４及び内部プローブ２２を介してテスト用の所定の電気信号をワーク１に入力し、ワーク１に対して所望の特性を検査する（図５のステップＳ３）。
【００３９】
そして、検査位置Ｐ１において検査が終了すると、テーブル駆動部１４及びコンタクト駆動部６０を制御して、内部プローブ２２をワーク１の電極３に当接させる動作と、押圧体３２によってワーク１をホルダ１６に押し付ける動作とを、それぞれ解除する。
【００４０】
本実施形態の搬送装置１０では押圧体３２がワーク１の粘着部２に当接するため、押圧体３２によるワーク１の押し付け動作を解除しても粘着部２の粘着力により押圧体３２にワーク１が付着することがあり、ワーク１が押圧体３２に付着した状態で回転テーブル１２を回転移動させてもワーク１を搬送することができない。そこで、搬送装置１０では押圧体３２によるワーク１の押し付け動作を解除するとともに押圧体３２に付着したワーク１を剥離する動作を行う。
【００４１】
具体的には、図６（ａ）に示すような状態から、まず、押圧体３２を上方へ移動させて押圧体３２によるワーク１の押し付け動作を解除する。図６（ｂ）に示すように、この動作において押圧体３２の上方への移動量Ｘは凹部１８の深さＤより小さく設定され、ワーク１の上下方向の少なくとも一部（本実施形態では、ワーク１の下側）が凹部１８に収納された状態にある。また、この押圧体３２の上方への移動とあわせて外部プローブ３４を下方に移動させて内部プローブ２２の上方への押し上げを解除する（図５のステップＳ４）。なお、ワーク１の押し付け動作の解除時には、吸着孔２６からのワーク１の真空吸着を中止する。
【００４２】
次いで、ワーク１の上下方向の少なくとも一部が凹部１８に収納された状態から、テーブル駆動部１４が回転テーブル１２を測定位置Ｐ３に向けて所定角度（例えば、５°）だけ押圧体３２に対して水平方向に移動させ、押圧体３２に付着したワーク１を剥離する剥離動作を行う（図５のステップＳ５）。
【００４３】
このようにワーク１の少なくとも一部が凹部１８に収納された状態で回転テーブル１２及び押圧体３２を相対的に水平方向に移動させると、図６（ｃ）に示すようにワーク１の側面４がホルダ１６に設けられた凹部１８の周壁１８ａに当接する。その際、本実施形態では、凹部１８の一隅角部に設けられた逃げ部１９ａが回転テーブル１２の移動方向後側（つまり、回転テーブル１２に対する押圧体３２の移動方向前側）に位置するため、ワーク１の２つの側面４が凹部１８の周壁１８ａに当接する。
【００４４】
そして、ワーク１の側面４が凹部１８の周壁１８ａに当接した状態から更に回転テーブル１２及び押圧体３２が相対的に水平方向に移動することにより、押圧体３２に対する回転テーブル１２の移動方向Ｍに沿った力が押圧体３２に付着したワーク１に作用してワーク１を押圧体３２から引き剥がす（図６（ｄ）参照）。
【００４５】
そして、押圧体３２によるワーク１の押し付け動作の解除と、押圧体３２に付着したワーク１の剥離動作とが完了すると、ステップＳ１に戻って上記した搬送動作、すなわち、テーブル駆動部１４が回転テーブル１２を所定角度だけ回転させて、凹部１８にワーク１を収納した状態でホルダ１６を測定位置Ｐ２から測定位置Ｐ３へ移動させワーク１を搬送する。
【００４６】
ステップＳ１に示すワーク１の搬送動作時の回転テーブル１２の移動速度は、ステップＳ５に示す剥離動作時の回転テーブル１２の移動速度より速い速度に設定されてもよい。これにより、剥離動作時に凹部１８からワーク１が飛び出たり、あるいは、ワーク１が破損したりするのを抑えつつ、搬送動作に要する時間を短くすることができる。
【００４７】
なお、本明細書では、検査位置Ｐ２におけるワーク１の押し付け動作（ステップＳ２）、ワーク１の検査（ステップＳ３）、ワーク１の押し付け動作の解除（ステップＳ４）、及びワーク１の剥離動作（ステップＳ５）について説明したが、他の検査位置Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５においても検査位置Ｐ２と同様の動作が同時に行われる。
【００４８】
このようにして搬送装置１０では、供給位置Ｐ１でホルダ１６の凹部１８に収納されたワーク１が、供給位置Ｐ１から各検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５に順次搬送され、各検査位置Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５において所望の特性を検査された後、排出位置Ｐ６に搬送され不図示の取り出し装置によってホルダ１６の凹部１８から取り出される。そして、空の状態になったホルダ１６が待機位置Ｐ８を経由して供給位置Ｐ１に戻り、凹部１８に別のワーク１が収納される。
【００４９】
以上のように、本実施形態の搬送装置１０では、押圧体３２によってワーク１をホルダ１６に押し付け動作を解除した後に、粘着部２の粘着力により押圧体３２にワーク１が付着することがあっても、押圧体３２に付着したワーク１を引き剥がす剥離動作を行ってからワーク１を搬送するため、確実にワーク１を搬送することができる。
【００５０】
また、本実施形態の搬送装置１０では、ワーク１の上下方向の少なくとも一部が凹部１８に収納された状態で、テーブル駆動部１４が回転テーブル１２を押圧体３２に対して水平方向に移動させることで、ワーク１の側面４を凹部１８の周壁１８ａに当接させて押圧体３２に付着したワーク１を引き剥がす剥離動作を行う。そのため、剥離時にワーク１を固定するための機構を別個に設ける必要が無く、ワーク１を搬送するための機構であるテーブル駆動部１４と、ワーク１をホルダ１６に押し付けるための機構であるコンタクト駆動部６０との動作を制御することで、ワーク１を押圧体３２から剥離することができ、装置構成を簡略化することができるとともに、剥離動作に要する時間を短縮することができる。
【００５１】
また、押圧体３２は、凹部１８に対応する位置から回転テーブル１２の回転によって凹部１８が移動する方向Ｍに向けて延び、押圧体３２の縁部に開口する切欠部３８が設けられている。これにより、剥離動作時にワーク１に対して回転テーブル１２の移動方向Ｍに沿った力が作用しても、押圧体３２がワーク１の中央部を避けワーク１の縁部において擦れ合うため、損傷を抑えつつワーク１を押圧体３２から剥離しやすくなる。
【００５２】
しかも、押圧体３２においてワーク１の粘着部２に当接する当接部３６が、フッ素樹脂材で形成されているため、より一層、ワーク１を押圧体３２から剥離しやすい。
【００５３】
また、本実施形態の搬送装置１０では、凹部１８に設けられた１つの逃げ部１９ａが回転テーブル１２の移動方向Ｍの後側に配置されており、剥離動作時に回転テーブル１２を移動させると、ワーク１の２つの側面４が凹部１８の周壁１８ａに当接する。そのため、ワーク１と凹部１８との当接面積を大きくすることができ、剥離動作時にワーク１が凹部１８から飛び出たり、ワーク１が破損したりするのを抑えることができる。
【００５４】
更にまた、本実施形態の搬送装置１０では、凹部１８に収納されたワーク１の下面に設けられた電極３に当接する内部プローブ２２と押圧体３２とが、同一のモータ６４によって回転するカム体６２の回転によって回転テーブル１２に設けられたホルダ１６に対して上下動するように設けられおり、装置構成を簡略化することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１…ワーク
２…粘着部
３…電極
４…ワークの側面
１０…搬送装置
１２…テーブル
１２…回転テーブル
１４…テーブル駆動部
１６…ホルダ
１８…凹部
１８ａ…周壁
１９…逃げ部
２０…貫通孔
２２…内部プローブ
２４…吸引連結部
２６…吸着孔
３０…コンタクト機構
３２…押圧体
３４…外部プローブ
３６…当接部
３８…切欠部
６０…コンタクト駆動部
６２…カム体
６４…モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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