(57)【要約】【課題】駆動プーリとテンションプーリとに掛け渡されたワイヤに生じる弛みを除去することができるワイヤ駆動装置を提供することにある。【解決手段】可動体２３を有するテンションユニット２１と、可動体に揺動可能に枢支され中途部にテンションプーリが回転可能に設けられた揺動レバー３１と、可動体に移動可能に設けられ先端部が揺動レバーの上端部に連結されたテンションロッド３７と、テンションロッドの後端部に設けられた圧縮ばね４１を圧縮させてテンションロッドに加わる圧縮ばねの復元力を設定するナット４２と、テンションロッドに圧縮ばねの復元力を作用させたときにその力を揺動レバーに伝達するばね第１、第２の加圧体４６，４９と、圧縮ばねの復元力が付与されて張設されたワイヤに弛みが生じて揺動レバーがワイヤの弛みに応じて揺動したときに、可動体をワイヤの走行方向に沿って位置決め調整して揺動レバーをワイヤの弛みが除去される方向に揺動させるボルト２７を具備する。【選択図】      図５
2012247030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動プーリとテンションプーリとにワイヤを掛け渡し、上記駆動プーリを回転駆動して上記ワイヤを走行させるワイヤ駆動装置であって、
上記ワイヤの走行方向に沿って位置決め調整可能に設けられた可動体を有するテンションユニットと、
上記可動体に下端が揺動可能に枢支され中途部に上記テンションプーリが回転可能に設けられた揺動レバーと、
上記可動体に上記ワイヤの走行方向に沿って移動可能に設けられ先端部が上記揺動レバーの上端部に揺動可能かつ軸方向に移動可能に連結されたテンションロッドと、
このテンションロッドの後端部に上記可動体と上記テンションロッドとに作用するよう設けられたばね体と、
上記ばね体を圧縮させて上記テンションロッドに加わる上記ばね体の復元力を設定する第１のテンション調整手段と、
この第１のテンション調整手段によって上記テンションロッドに上記ばね体の復元力を作用させたときにこの復元力に対応する力を上記揺動レバーの上端部に伝達するばね力伝達手段と、
上記揺動レバーに設けられた上記テンションプーリによって上記ばね力伝達手段を介して上記圧縮ばねの復元力が付与されて張設された上記ワイヤに弛みが生じて上記揺動レバーが上記ワイヤの弛みに応じて揺動したときに、上記可動体を上記ワイヤの走行方向に沿って位置決め調整して上記揺動レバーを上記ワイヤの弛みが除去される方向に揺動させる第２のテンション調整手段と
を具備したことを特徴とするワイヤ駆動装置。
【請求項２】
上記第１のテンション調整手段によって上記ばね体を圧縮させて上記ワイヤに付与する張力となる上記テンションロッドに加わる上記ばね体の復元力を設定するとき、上記ばね体に生じる圧縮力を検出する第１の検出手段が上記ばね力伝達手段に設けられていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ駆動装置。
【請求項３】
上記ばね力伝達手段は、上記揺動アームの上端部に一体的に設けられた第１の加圧体と、上記テンションロッドの先端に一体的に設けられ上記第１の加圧体よりも上記テンションロッドの軸方向の先端側に位置する第２の加圧体を有し、上記第１の検出手段は上記第１の加圧体と上記第２の加圧体との間に設けられていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ駆動装置。
【請求項４】
上記ワイヤに弛みが生じて上記揺動レバーが揺動したときにその揺動を検出する第２の検出手段を有することを特徴とする請求項１記載のワイヤ駆動装置。
【請求項５】
上記可動体には支持孔を有する支持体が揺動可能に取付けられ、上記支持孔に上記テンションロッドの中途部が軸方向に移動可能に支持されていて、
上記テンションロッドの上記支持体の後端側に上記ばね体を支持する一対のばね受け体が上記テンションロッドに対して移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ駆動装置。
【請求項６】
基板の上面を吸着する吸着部を有する搬送体をワイヤ駆動装置によって駆動する基板の搬送装置であって、
上記ワイヤ駆動装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項７】
上記ワイヤ駆動装置のワイヤには１つの上記搬送体が連結され、この１つの搬送体には少なくとも１つの他の搬送体が連結されていて、上記ワイヤ駆動装置は複数の搬送体を同時に同じ方向に駆動する構成であることを特徴とする請求項５記載の基板の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は駆動プーリと従動プーリとの間に張設されたワイヤを駆動するためのワイヤ駆動装置及びそれを用いた基板の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、被駆動体を直線的に駆動して位置決めすることが要求される場合、上記被駆動体を駆動する駆動装置としてリニアモータやワイヤ駆動装置が知られている。リニアモータは上記被駆動体の駆動性能や位置決め精度に優れているものの、非常に高価であるため、駆動装置のコストアップを招くということある。
【０００３】
これに対してワイヤ駆動装置は比較的安価に構成することができるため、使用される頻度が増大する傾向にある。しかしながら、ワイヤ駆動装置は周知のように駆動プーリと従動プーリとの間にワイヤを張設し、このワイヤを上記駆動プーリによって走行させることで、上記被駆動体をワイヤの走行に連動させて駆動させる構成となっている。
【０００４】
そのような構成によると、上記ワイヤは使用に伴い伸びによる弛みが生じることが避けられないから、その弛みによって被駆動体の位置決め精度が低下したり、被駆動体が高重量物の場合には停止した状態の駆動プーリを回転させたときに、ワイヤの弛んだ部分が急激に引張られ、その部分に被駆動体の重量に応じた大きな荷重が衝撃的に加わるため、ワイヤが損傷するということがある。
【０００５】
そこで、被駆動体の駆動にワイヤ駆動装置を用いる場合、使用に伴いワイヤに伸びが生じたならば、その伸びを吸収し、弛みを除去するということが行われている。たとえば、駆動プーリと従動プーリとに張設されたワイヤを上記被駆動体に引張りばねを介して連結し、ワイヤに伸びが生じたならば、上記引張りばねを弾性的に縮小させることでその伸びを吸収するということが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２３１６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
駆動プーリと従動プーリとに張設されたワイヤと被駆動体との間に引張りばねを介在させれば、上記ワイヤに伸びが生じたときに上記引張りばねが弾性的に収縮するから、ワイヤの伸びを吸収することが可能となる。
【０００８】
しかしながら、引張りばねを弾性的に収縮させてワイヤの伸びを吸収するだけでは、ワイヤの伸びが増大するにつれて駆動プーリと従動プーリとに張設されたワイヤの張力が徐々に低減してくるため、ワイヤの伸びを確実に吸収できなくなる。
【０００９】
そのため、ワイヤによって駆動される被駆動体を精度よく位置決めすることができなくなったり、被駆動体が高重量物の場合にはワイヤに生じた弛みによって駆動プーリを回転させたとき、ワイヤの伸びによって弛んだ部分が急激に引張られ、その部分に大きな荷重が衝撃的に加わるため、ワイヤが損傷するということがある。
【００１０】
この発明は、使用に伴いワイヤに伸びが生じても、その伸びを確実に除去して使用することができるようにしたワイヤ駆動装置及びそれを用いた基板の搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、駆動プーリとテンションプーリとにワイヤを掛け渡し、上記駆動プーリを回転駆動して上記ワイヤを走行させるワイヤ駆動装置であって、
上記ワイヤの走行方向に沿って位置決め調整可能に設けられた可動体を有するテンションユニットと、
上記可動体に下端が揺動可能に枢支され中途部に上記テンションプーリが回転可能に設けられた揺動レバーと、
上記可動体に上記ワイヤの走行方向に沿って移動可能に設けられ先端部が上記揺動レバーの上端部に揺動可能かつ軸方向に移動可能に連結されたテンションロッドと、
このテンションロッドの後端部に上記可動体と上記テンションロッドとに作用するよう設けられたばね体と、
上記ばね体を圧縮させて上記テンションロッドに加わる上記ばね体の復元力を設定する第１のテンション調整手段と、
この第１のテンション調整手段によって上記テンションロッドに上記ばね体の復元力を作用させたときにこの復元力に対応する力を上記揺動レバーの上端部に伝達するばね力伝達手段と、
上記揺動レバーに設けられた上記テンションプーリによって上記ばね力伝達手段を介して上記圧縮ばねの復元力が付与されて張設された上記ワイヤに弛みが生じて上記揺動レバーが上記ワイヤの弛みに応じて揺動したときに、上記可動体を上記ワイヤの走行方向に沿って位置決め調整して上記揺動レバーを上記ワイヤの弛みが除去される方向に揺動させる第２のテンション調整手段と
を具備したことを特徴とするワイヤ駆動装置にある。
【００１２】
上記第１のテンション調整手段によって上記ばね体を圧縮させて上記ワイヤに付与する張力となる上記テンションロッドに加わる上記ばね体の復元力を設定するとき、上記ばね体に生じる圧縮力を検出する第１の検出手段が上記ばね力伝達手段に設けられていることが好ましい。
【００１３】
上記ばね力伝達手段は、上記揺動アームの上端部に一体的に設けられた第１の加圧体と、上記テンションロッドの先端に一体的に設けられ上記第１の加圧体よりも上記テンションロッドの軸方向の先端側に位置する第２の加圧体を有し、上記第１の検出手段は上記第１の加圧体と上記第２の加圧体との間に設けられていることが好ましい。
【００１４】
上記ワイヤに弛みが生じて上記揺動レバーが揺動したときにその揺動を検出する第２の検出手段を有することが好ましい。
【００１５】
上記可動体には支持孔を有する支持体が揺動可能に取付けられ、上記支持孔に上記テンションロッドの中途部が軸方向に移動可能に支持されていて、
上記テンションロッドの上記支持体の後端側に上記ばね体を支持する一対のばね受け体が上記テンションロッドに対して移動可能に設けられていることが好ましい。
【００１６】
この発明は、基板の上面を吸着する吸着部を有する搬送体をワイヤ駆動装置によって駆動する基板の搬送装置であって、
上記ワイヤ駆動装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の搬送装置にある。
【００１７】
上記ワイヤ駆動装置のワイヤには１つの上記搬送体が連結され、この１つの搬送体には少なくとも１つの他の搬送体が連結されていて、上記ワイヤ駆動装置は複数の搬送体を同時に同じ方向に駆動する構成であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、第１のテンション調整手段によってばね体を圧縮してワイヤに付与する張力を設定し、ワイヤに伸びが生じてテンションプーリが設けられた揺動レバーが揺動したときには第２のテンション調整手段によって揺動レバーが設けられた可動体を移動させて上記揺動レバーをワイヤに弛みが生じて揺動したときと逆方向に揺動させれば、ワイヤに生じた弛みを除去することができる。
【００１９】
そのため、ワイヤに弛みが生じても、その弛みを除去するとともに、ばね体によって設定された所定の張力を常に付与することができるから、上記ワイヤによって被駆動体を直線駆動する場合、その駆動を精密に行うことができるばかりか、ワイヤの駆動開始時などにワイヤに大きな衝撃力を与えて損傷させるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施の形態を示す基板の搬送装置の正面図。
【図２】上記搬送装置に設けられた搬送体の取付け構造を示す断面図。
【図３】同じく搬送装置の駆動源が設けられた部分の断面図。
【図４】上記ワイヤ駆動装置の一部断面した正面図。
【図５】上記ワイヤ駆動装置の側断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１はこの発明の一実施の形態のワイヤ駆動装置１が用いられた、たとえば液晶表示パネルに用いられるガラス製の基板を搬送する搬送装置の正面図である。この搬送装置は架台２によって水平に支持されたベース３を有する。このベース３の正面には上下方向に所定間隔で離間した一対のガイドレール４が設けられている。上記ガイドレール４には第１の搬送体６が図２に示すように背面に設けられた受け部材７を上記ガイドレール４に係合させて移動可能に設けられている。
【００２２】
上記第１の搬送体６は、図２に示すように垂直部６ａ，上部水平部６ｂ及び下部水平部６ｃを有する側面形状がクランク状の板材によって形成されていて、垂直部６ａの内面に上記受け部材７が設けられている。上記下部水平部６ｃの下面には吸着部としての複数の吸着パッド１０が設けられている。
【００２３】
そして、上記第１の搬送体６が後述するように上記ワイヤ駆動装置１によって上記ガイドレール４に沿って駆動されて図示しないテーブルの上方で位置決めされたのち、上記テーブルが上昇方向に駆動されることで、上記テーブル上に載置された基板Ｗを吸着保持したり、或いは予め吸着保持した基板Ｗをテーブルの上面に受け渡すようになっている。
【００２４】
図１に示すように、上記ガイドレール４には上記第１の搬送体６と同じ構成の第２の搬送体８が移動可能に設けられている。この第２の搬送体８の一端は上記第１の搬送体６の一端と連結部材９によって連結されている。
【００２５】
それによって、上記第１の搬送体６が上記ワイヤ駆動装置１によってガイドレール４に沿って駆動されれば、この駆動に上記第２の搬送体８が連動するようになっている。そして、第２の搬送体８は上記第１の搬送体６と同様、図示しないテーブルから基板Ｗを吸着したり、テーブルに基板Ｗを供給するようになっている。
【００２６】
つまり、上記構成の搬送装置は、第１、第２の搬送体６，８によって配設された複数のテーブルに対して基板Ｗを順送りすることができる構成となっている。
【００２７】
なお、上記一実施の形態ではガイドレール４に２つの搬送体６，８を設けたが、上記ガイドレール４には３つ以上の搬送体を、これらの端部を互いに連結して連動するように設けてもよい。
【００２８】
図３に示すように、上記ベース３の上面の、上記第１の搬送体６の移動方向の一端側にはハウジング１１が設けられ、このハウジング１１内には駆動プーリ１２が軸線を上記ベース３の長手方向に対して直交させて回転可能に支持されている。
【００２９】
上記ハウジング１１の外面には駆動源１３が設けられ、この駆動源１３によって上記駆動プーリ１２が正転方向及び逆転方向に対して選択的に回転駆動されるようになっている。
【００３０】
上記駆動プーリ１２には複数の素線を編んだワイヤ１４の一端部と他端部とが逆方向に巻装されている。このワイヤ１４のループ状をなした中途部は上記第１の搬送体６の移動範囲の他端側に後述するように回転可能に支持された、上記ワイヤ駆動装置１を構成するテンションプーリ１５に係合されている。
【００３１】
したがって、上記駆動源１３によって上記駆動プーリ１２が回転駆動されると、その回転方向に応じて上記ワイヤ１４の一端部が上記駆動プーリ１２によって巻き取られ、他端部が繰り出されるから、上記ワイヤ１４は上記テンションプーリ１５を折り返し点として一端部側と他端部側が逆方向に走行するようになっている。
【００３２】
図１に示すように上記ワイヤ１４の一端部側と他端部側は上下方向に位置していて、下側に位置する部分、たとえば一端部側の中途部は上記第１の搬送体６の上部水平部６ｂの上面に取付け具１６によって連結固定されている。それによって、上記ワイヤ１４が上記駆動源１３によって走行駆動されれば、その走行に上記第１の搬送体６が連動するようになっている。
【００３３】
図４に示すように、上記ワイヤ駆動装置１はテンションユニット２１を有する。このテンションユニット２１は上記ベース３の上面に固定された側面形状がＬ字状の固定体２２を有し、この固定体２２の上面には可動体２３が上記ワイヤ１４の走行方向に沿って位置決め調整可能に設けられている。
【００３４】
すなわち、上記固定体２２の上面には一対のガイド２４（図４に一方のみ図示）が上記ワイヤ１４の走行方向に沿って設けられていて、上記可動体２３の下面には上記ガイド２４に移動可能に係合する受け部材２５が設けられている。
【００３５】
上記固定体２２の垂直壁には通孔２６が形成され、この通孔２６には第２のテンション調整手段を構成するボルト２７が挿通されている。このボルト２７は上記可動体２３の逃げ孔２８が形成された部分に螺合されている。さらに、ボルト２７には、このボルト２７が固定体２２に対して移動するのを阻止する第１のロックナット２９ａと、上記可動体２３に対して回転するのを阻止する第２のロックナット２９ｂが螺合されている。
【００３６】
上記第１、第２のロックナット２９ａ，２９ｂを緩めて上記ボルト２７を回転させれば、その回転方向に応じて上記可動体２３を上記固定体２２に対して上記ガイド２４に沿う方向、つまりワイヤ１４の走行方向に移動させて位置決めすることができるようになっている。
【００３７】
上記可動体２３の先端部には逆Ｕ字状の揺動レバー３１の開放した下端が第１の支軸３２によって揺動可能に支持されている。この揺動レバー３１の中途部内には上記テンションプーリ１５が第２の支軸３０によって回転可能に支持されている。
【００３８】
上記揺動レバー３１の上端部内には、図４と図５に示すように第１の支持孔３３ａが形成された第１の支持体３３が設けられている。この第１の支持体３３は直方体をなしていて、その両側面には図５に示すように支軸３３ｂが突設され、これら支軸３３ｂが上記揺動レバー３１の上端部に枢支されて揺動可能に設けられている。
【００３９】
上記可動体２３の上端部には一対の支持片３４が所定間隔でＵ字型に突設され、これら支持片３４には第２の支持孔３５ａが穿設され両側外面に支軸３５ｂが突設された第２の支持体３５が上記支軸３５ｂを上記支持片３４に設けられた支持孔３４ａに支持されて揺動可能に設けられている。
【００４０】
上記第１の支持体３３の第１の支持孔３３ａと、上記第２の支持体３５の支持孔３５ａとにはテンションロッド３７の先端部と中途部とがそれぞれ移動可能に挿通支持されている。
【００４１】
上記テンションロッド３７の後端部、つまり第２の支持体３５の後方には第１のばね受け体３８と第２のばね受け体３９とが軸方向に移動可能に装着されている。各ばね受け体３８，３９間にはばね体としての圧縮ばね４１が設けられている。
【００４２】
上記テンションロッド３７の後端には第１のテンション調整手段を構成する一対のナット４２が螺合されている。上記ナット４２をねじ込んで第２のばね受け体３９を第１のばね受け体３８の方向に移動させれば、上記圧縮ばね４１が圧縮されるようになっている。なお、上記テンションロッド３７の後端に一対のナット４２を螺合させることで、これらナット４２を緩まないようロック状態とすることができる。
【００４３】
上記テンションロッド３７の後端部には、図４に示すように上記第１のばね受け体３８の空間部３８ａ内に入り込む鍔３７ａが設けられている。それによって、後述するようにワイヤ１４が伸びて圧縮ばね４１が非圧縮方向に伸びたときに、上記テンションロッド３７の矢印Ｘで示す方向の移動は上記鍔３７ａが上記１のばね受け体３８の空間部３８ａの閉塞端に当たることで制限されるようになっている。なお、圧縮ばね４１は所定量以上伸びないようになっている。
【００４４】
図４に示すように、上記テンションロッド３７の先端には矩形板状の第１の連結体４４が長手方向を上下方向に沿わせて設けられ、この第１の連結体４４には一対の第１の連結軸４５によって同じく矩形板状の第１の加圧体４６が長手方向を上下方向に向けて連結されている。そのため、上記第１の加圧体４６はテンションロッド３７とともに移動可能となっている。
【００４５】
上記揺動レバー３１の上端部の先端側の面には矩形板状の第２の連結体４７が長手方向を水平方向にして設けられ、この第２の連結体４７の両端部には一対の第２の連結軸４８（一方のみ図示）が設けられている。この第２の連結軸４８には矩形板状の第２の加圧体４９が長手方向を第２の連結体４７と同じ方向に向けて連結されている。つまり、第２の加圧体４９は第１の加圧体４６に対して９０度回転して設けられている。そのため、第２の加圧体４９は揺動レバー３１とともに移動するようになっている。
【００４６】
上記第２の加圧体４９は上記第１の加圧体４６よりも上記テンションロッド３７の軸方向後端側に位置していて、これら第１、第２の加圧体４６，４９の対向面間には第１の検出センサとしてのロードセル５１が設けられている。
【００４７】
上記テンションロッド３７の後端に設けられたナット４２を締め込んで上記圧縮ばね４１を圧縮させると、上記テンションロッド３７が図４に矢印Ｘで示す方向に移動する。そのとき、上記テンションロッド３７の移動に上記第１の加圧体４６が連動して上記第２の加圧体４９に接近する方向に移動するから、これら第１、第２の加圧体４６，４９の間に設けられたロードセル５１に圧縮荷重が加わる。この圧縮荷重は上記圧縮ばね４１に発生する圧縮力に相当する。
【００４８】
上記圧縮ばね４１の圧縮力は上記テンションロッド３７及び上記第１、第２の加圧体４６，４９を介して上記揺動レバー３１の上端部に伝達される。つまり、上記第１、第２の加圧体４６，４９は上記圧縮ばね４１が圧縮されたときに生じる復元力を上記揺動レバー３１に伝達するばね力伝達手段を構成している。
【００４９】
なお、上記ロードセル５１が検出した圧縮荷重は図４に示す表示警報装置５２に表示される。  
一方、上記揺動レバー３１の上部側面には帯板状のアクチュエータ５３が設けられている。このアクチュエータ５３に対向する上記可動体２３の上端部には第２の検出センサとしてのＵ字状のフォトセンサ５４が設けられている。
【００５０】
上記揺動レバー３１をほぼ垂直に起立させた状態において、上記アクチュエータ５３の先端部は上記フォトセンサ５４のＵ字状の部分に接近し、その状態から上端部が上記第１の支軸３２を支点として図４に矢印Ｒで示す時計方向に揺動すると、上記アクチュエータ５３の先端部が上記フォトセンサ５４のＵ字状の部分に入り込んで、それまで通電状態（オンの状態）にあった上記フォトセンサ５４の通電を遮断してオフとする。
【００５１】
上記フォトセンサ５４のオン或いはオフの状態、つまり後述するように上記ワイヤ１４にたるみが生じて上記揺動レバー３１が垂直状態から時計方向に回動したか否かは上記表示警報装置５２に表示されると同時に、警報によって作業者に知らされるようになっている。
【００５２】
なお、上記揺動レバー３１が揺動するとき、上記テンションロッド３７を支持した第１の支持体３３と第２の支持体３５も揺動する。つまり、揺動レバー３１の揺動がテンションロッド３７によって阻止されることがないようになっている。
【００５３】
つぎに、上記構成の搬送装置に用いられたワイヤ駆動装置１を使用する場合について説明する。  
まず、ワイヤ１４に与える張力を圧縮ばね４１に生じる復元力によって設定する。すなわち、第１のテンション調整手段である一対のナット４２のロック状態を解除した後、先端側のナット４２を締め込んでテンションロッド３７を矢印Ｘで示す方向へ移動させながら、圧縮ばね４１を一対のばね受け体３８，３９によって圧縮してゆく。
【００５４】
上記ナット４２を締めこむことによって上記圧縮ばね４１に生じる圧縮荷重、つまり上記圧縮ばね４１の圧縮によって生じる復元力は、テンションロッド３７の先端に一体的に設けられた第１の加圧体４６と、揺動レバー３１の上端部に一体的に設けられた第２の加圧体４９との間に向けられたロードセル５１によって検出され、表示警報装置５２に表示される。したがって、作業者は表示警報装置５２を見ながら圧縮荷重を設定する。
【００５５】
上記圧縮荷重、つまり上記圧縮ばね４１の復元力はばね伝達手段を構成する上記第１、第２の加圧体４６，４９によって上記揺動レバー３１の上端部に伝達される。
【００５６】
このようにして圧縮荷重を設定したとき、ワイヤ１４が弛んでいて、このワイヤ１４を介して上記揺動レバー３１に設けられたテンションプーリ１５に加わる張力が上記圧縮ばね４１の復元力以下の荷重であれば、上記揺動レバー３１は上記復元力と上記張力との差によって垂直状態よりも時計方向に傾いた状態になる。
【００５７】
上記圧縮ばね４１を圧縮させてその復元力である圧縮荷重を設定したならば、固定体２２の垂直壁の通孔２６に通されて可動体２３に螺合された、第２のテンション調整手段を構成するボルト２７を締め込み、上記可動体２３を矢印Ｘで示す上記テンションロッド３７の移動方向と同方向（この方向を引張り方向という）に移動させる。
【００５８】
このとき、ボルト２７が固定体２２に対して移動するのを阻止する第１のロックナット２９ａと、上記可動体２３に対して回転するのを阻止する第２のロックナット２９ｂのロック状態を解除する。
【００５９】
上記可動体２３を上記ボルト２７によって引張り方向に移動させると、この移動に揺動レバー３１及びこの揺動レバー３１に設けられたテンションプーリ１５が連動するから、このテンションプーリ１５に加わるワイヤ１４の張力が徐々に増大することになる。
【００６０】
それによって、時計方向に揺動した状態にある上記揺動レバー３１は下端が引張り方向に移動するから、下端を支点として時計方向に揺動した状態から垂直に起立する方向へ回動し始める。
【００６１】
そして、上記揺動レバー３１がほぼ垂直な状態となり、さらにワイヤ１４に圧縮ばね４１に生じた復元力と同等の張力が加わるまで、上記可動体２３を引張り方向に移動させる。
【００６２】
つまり、上記可動体２３を引張り方向に移動させることで、上記テンションプーリ１５に加わるワイヤ１４の張力が増大するから、その張力によって上記揺動レバー３１が垂直状態から反時計方向に倒れる直前まで、上記可動体２３を引張り方向に移動させる。
【００６３】
上記揺動レバー３１が垂直状態から反時計方向に倒れる直前では、上記アクチュエータ５３の先端はオン状態にある上記フォトセンサ５４をオフにする直前の位置にある。
【００６４】
なお、上記揺動レバー３１を垂直状態から反時計方向に揺動させ、テンションプーリ１５に加わるワイヤ１４の張力が圧縮ばね４１の復元力よりも大きくなると、上記揺動レバー３１の先端にワイヤ１４を介して圧縮ばね４１の復元力よりも大きなワイヤ１４の張力が加わる。
【００６５】
その場合、上記ワイヤ１４の張力によってばね力伝達手段を構成する第２の加圧体４９が第１の加圧体４６とでロードセル５１をさらに圧縮する方向に変位して上記ロードセル５１が検出し、その圧縮荷重が表示警報装置５２に表示される。
【００６６】
したがって、作業者は上記表示警報装置５２に表示される圧縮荷重を見ながらから、上記可動体２３を引張り方向に移動させれば、上記テンションプーリ１５によって圧縮ばね４１の復元力と同等の張力をワイヤ１４に付与することができる。
【００６７】
このようにしてワイヤ１４に圧縮ばね４１の復元力と同等の張力を付与したならば、ボルト２７を固定体２２及び可動体２３に対して第１、第２のロックナット２９ａ，２９ｂによってロックした後、駆動源１２を作動させて駆動プーリ１２を回転駆動させる。
【００６８】
それによって、ワイヤ１４が上記駆動プーリ１２の回転方向に応じて走行するから、上記ワイヤ１４に連結された第１の搬送体６及びこの第１の搬送体６に連結部材９によって連結された第２の搬送体８が所定方向に駆動されて図示しないテーブルの上方に位置決めされる。
【００６９】
そして、上記テーブルが上昇方向に駆動され、第１、第２の搬送体６，８の吸着パッド１０に吸着保持された基板Ｗがそれぞれテーブルに供給載置されることになる。つまり、第１の搬送体６と第２の搬送体８によって並設された複数のテーブルに対して基板Ｗを順送りすることができる。
【００７０】
このような動作が繰り返して行われると、上記第１の搬送体６が連結されたワイヤ１４に弛みが生じ、上記第１の搬送体６及びこの第１の搬送体６に連結された第２の搬送体８の位置決め精度が低下したり、上記駆動プーリ１２が回転駆動される際にワイヤ１４に生じた弛みによってこのワイヤ１４に衝撃的な荷重が加わり、ワイヤ１４が損傷するということがある。
【００７１】
ところで、搬送装置の運転が上述したように繰り返されることでワイヤ１４に弛みが生じると、テンションプーリ１５に加わるワイヤ１４の張力が減少する。そのため、上記テンションプーリ１５が設けられた揺動レバー３１が圧縮ばね４１の復元力によって図４にＲで示す時計方向に揺動することになる。
【００７２】
上記揺動レバー３１が時計方向に揺動すると、この揺動レバー３１に設けられたアクチュエータ５３が可動体２３に設けられたフォトセンサ５４に向かう方向に移動する。そして、上記揺動レバー３１の揺動角度が所定以上になると、上記アクチュエータ５３の先端がフォトセンサ５４のＵ字状の部分に入り込み、オン状態にあった上記フォトセンサ５４をオフにする。
【００７３】
フォトセンサ５４がオフになると、そのことを表示警報装置５２が表示すると同時に警報が出力されて作業者に知らせることになる。
【００７４】
その場合、作業者は搬送装置の運転が作業者によって手動で、或いは表示警報装置５２によって自動で停止された後、第２のテンション調整手段を構成するボルト２７をロックした第１、第２のロックナット２９ａ，２９ｂを緩め、上記ボルト２７をねじ込んで可動体２３を矢印Ｘで示す方向と同方向である、引張り方向に移動させる。
【００７５】
可動体２３を引張り方向に移動させると、弛んだワイヤ１４が上記テンションプーリ１５によって引張られるから、ワイヤ１４に加わる張力が増大する。それによって、垂直状態よりも時計方向に揺動した揺動レバー３１を垂直方向、つまり反時計方向に揺動させることができる。
【００７６】
上記揺動レバー３１を反時計方向に揺動させてほぼ垂直状態に戻せば、上記ワイヤ１４にはたるみが生じる前と同じ大きさの張力を付与することができる。なお、揺動レバー３１を反時計方向に揺動させると、上記アクチュエータ５３の先端がフォトセンサ５４のＵ字状の部分から外れてこのフォトセンサ５４がオフの状態からオンになる。
【００７７】
したがって、フォトセンサ５４がオンになってそのことが表示警報装置５２に表示されたとき、上記揺動レバー３１が垂直になったと判断すればよい。つまり、作業者の熟練度に頼らずにワイヤ１４の張力を一定に設定することができる。
【００７８】
以上のように、ワイヤ駆動装置１のワイヤ１４に弛みが生じると、その弛みによって揺動レバー３１が揺動するとともに、そのことがフォトセンサ５４によって検出されることになる。
【００７９】
そのため、ワイヤ１４に弛みが生じたことを作業者は直ちに知ることができるばかりか、上記ワイヤ１４の走行方向に沿って位置決め調整可能な可動体２３を移動させることで、この可動体２３に設けられた揺動レバー３１を上記ワイヤ１４に弛みが生じる前の状態である、ほぼ垂直な状態に戻すことができる。
【００８０】
つまり、ワイヤ１４に弛みが生じたならば、そのたるみを除去するとともに、圧縮ばね４１を圧縮させることで生じた復元力に対応する張力を上記ワイヤ１４に加えることができるから、上記ワイヤ１４を常に一定の張力である、圧縮ばね４１の復元力に相当する張力が加わった状態で走行させて基板Ｗを搬送する第１、第２の搬送体６，８を精密に位置決めすることができる。
【００８１】
したがって、上記第１、第２の搬送体６，８による基板Ｗの搬送位置決めを精度よく行うことができるばかりか、ワイヤ１４が弛んだ状態で駆動されることで、駆動開始時などにワイヤ１４に衝撃的な荷重を加えてワイヤ１４を損傷させるということも防止することができる。
【００８２】
また、上記実施の形態では揺動レバー３１を第１の支軸３２を中心に揺動できる構成とし、揺動レバー３１の上部（先端部）に荷重（復元力）を付加する圧縮ばね４１を設け、上記揺動レバー３１の中途部にテンションプーリ１５が取付けられた第２の支軸３０を設けてワイヤ１４にテンションを付加できるようにした。
【００８３】
そのため、圧縮ばね４１の荷重はワイヤ１４にテンション力として伝達されるが、このとき第１の支軸３２から第２の支持体３５の支持孔３５ａまでの距離と、第１の支軸３２から第２の支軸３０までの距離である、レバー比に応じて圧縮ばね４１の荷重を増加させることができる。
【００８４】
したがって、圧縮ばね４１の荷重が小さくても、上記レバー比に応じてテンション力を大きくすることができるから、小さな圧縮ばね４１であっても、所望するテンション力とすることができるため、装置の小型化やコストダウンを図ることができる。
【００８５】
なお、上記実施の形態において、搬送する基板の品種の変更により基板の質量が変わった場合、第１のテンション調整手段によってワイヤに加わる荷重をその品種にあった荷重に変えることができる。
【００８６】
また、第１の検出センサとしてのロードセルは、ワイヤに付加される荷重を測定するために用いることで説明したが、ワイヤが伸びることで圧縮ばねが復元方向に伸びれば、上記ロードセルに加わる荷重が小さくなるから、この荷重の変化によってワイヤが伸びたことを検知することもできる。
【００８７】
また、ワイヤにテンションを付加するテンションロッドがワイヤとともに移動しないため、ワイヤを駆動する駆動源に余計な負荷が加わるのを防止することができる。そのため、ワイヤによって駆動される搬送体を高精度に位置決めすることができるばかりか、上記搬送体の移動速度を向上させることも可能となる。
【符号の説明】
【００８８】
１…ワイヤ駆動装置、６…第１の搬送体、８…第２の搬送体、１０…吸着パッド(吸着部)、１２…駆動プーリ、１３…駆動源、１４…ワイヤ、１５…テンションプーリ、２１…テンションユニット、２２…固定体、２３…可動体、２７…ボルト(第１のテンション調整手段)、３１…揺動レバー、３２…第１の支軸、３７…テンションロッド、４１…圧縮ばね(ばね体)、４２…ナット(第２のテンション調整手段)、４６…第１の加圧体(ばね力伝達手段)、４９…第２の加圧体(ばね力伝達手段)、５１…ロードセル(第１の検出センサ)、５４…フォトセンサ(第２の検出センサ)。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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