(57)【要約】【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第２〜第１０開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント（ここでは縦・横の送り量）および第２〜第１０開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第２〜第１０開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントのみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。【選択図】図３
2012068147.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで前記対象物に対するＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、
検査位置を設定して登録することで、その登録された検査位置にしたがって前記Ｘ線検査を行う検査位置登録手段と、
検査位置において検査の開始の基点となる開始位置、およびその開始位置の後でＸ線検査を行う第１位置の相対位置が、前記開始位置の後でＸ線検査を行う第２位置、およびその第２位置の後でＸ線検査を行う第３位置の相対位置と同じである場合において、前記検査位置登録手段で登録された前記開始位置、前記第１位置および前記第２位置に基づいて、前記第３位置を演算する検査位置演算手段と
を備え、
その検査位置演算手段および前記検査位置登録手段に基づいて、前記開始位置、前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置にしたがって前記Ｘ線検査を行うことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記検査位置登録手段は、前記開始位置および一定間隔の送り量を設定して登録することで、前記開始位置からの前記一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの前記一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を前記第１位置として複数に設定して登録することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＸ線検査装置において、
前記検査位置登録手段は、前記開始位置および一定間隔の送り量を設定して登録することで、前記開始位置からの前記一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの前記一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を前記第２位置として複数に設定して登録することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のＸ線検査装置において、
前記開始位置、各々の前記第１位置、前記第２位置および各々の前記第３位置の順にしたがって前記Ｘ線検査を行うことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載のＸ線検査装置において、
前記検査位置登録手段は、前記第１位置を任意に設定して登録するように構成されていることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のＸ線検査装置において、
前記第１位置、前記第２位置あるいは前記第３位置を調整する検査位置調整手段を備え、
その検査位置調整手段で調整された前記第１位置、前記第２位置あるいは前記第３位置に基づいて、前記検査位置演算手段は、当該調整された位置の後でＸ線検査が行われる各検査位置を再度演算して調整することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載のＸ線検査装置において、
前記対象物を撮像する撮像手段と、
その撮像手段での撮像結果を表示する表示手段と
を備え、
その表示手段での表示結果に基づいて前記検査位置調整手段は前記第１位置、前記第２位置あるいは前記第３位置を調整することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載のＸ線検査装置において、
前記撮像手段は、前記対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで前記対象物に対するＸ線検査を行うことを兼用することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載のＸ線検査装置において、
前記表示手段は、前記検査位置調整手段を兼用し、
前記撮像手段での前記対象物のＸ線透視像を表示手段上で調整することを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、対象物に対するＸ線検査を行うＸ線検査装置に係り、特に、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことでＸ線検査を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のＸ線検査装置は、Ｘ線検査の前に観察ポイント（すなわち検査位置）を予め設定して登録する「ティーチング」と呼ばれる機能を搭載している（例えば、特許文献１参照）。このティーチングを予め行うことで、ティーチングで登録された観察ポイントにしたがってＸ線検査を行うことが可能となる。このティーチングでは、対象物の縦横に対して一定間隔の送り量で観察ポイントを登録するステップ送り方式、または観察ポイントを任意に登録するランダム送り方式の２種類がある。ここで、本明細書では、一定間隔の送り量で観察ポイントを登録する前者のステップ送り方式と区別して、後者では観察ポイントを任意に登録することを「観察ポイントをランダムに登録する」と定義づける。
【０００３】
なお、Ｘ線検査の対象物としては、特許文献１のような実装基板、多層基板のスルーホール、パレット上に配置された集積回路（IC: Integrated Circuit）のような実装前の回路、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などがある。
【０００４】
例えば、パレット上に配置されたＩＣに対してＸ線検査を行う場合には、図２（ｂ）に示すように、パレットＰを一定間隔の送り量で送り出し、パレットＰ上に配置された各々のＩＣに対して前者のステップ送り方式によりＸ線検査を行う。図２（ｂ）では、縦８（Ａ〜Ｈを参照）×横２０（（１）〜（２０）を参照）の合計１６０ステップ送りとなる。斜線のハッチングで示す領域は、ＩＣに関する観察視野サイズである、
【０００５】
また、例えば、特許文献１のような実装基板に対してＸ線検査を行う場合には、図６（ｂ）に示すように、複数の同一実装基板Ｓｕｂを送り出し、各々の実装基板Ｓｕｂに搭載された部品に対して後者のランダム送り方式によりＸ線検査を行う。図６（ｂ）では、３枚の実装基板Ｓｕｂに搭載された部品のうち６つの観察ポイントを登録し、合計１８個の観察ポイントを登録することになる（（１）〜（６）、（７）〜（１２）、（１３）〜（１８）を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１１４０５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のティーチング機能では、図２（ｂ）に示すように（４）列や（８）列やＤ行のような不要な観察ポイントが発生する、あるいは図６（ｂ）に示すように合計１８個の観察ポイント（１）〜（１８）を全て登録するなどのように、Ｘ線検査を効率的に実施することができないという問題がある。
【０００８】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、この発明に係るＸ線検査装置は、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで前記対象物に対するＸ線検査を行うＸ線検査装置であって、検査位置を設定して登録することで、その登録された検査位置にしたがって前記Ｘ線検査を行う検査位置登録手段と、検査位置において検査の開始の基点となる開始位置、およびその開始位置の後でＸ線検査を行う第１位置の相対位置が、前記開始位置の後でＸ線検査を行う第２位置、およびその第２位置の後でＸ線検査を行う第３位置の相対位置と同じである場合において、前記検査位置登録手段で登録された前記開始位置、前記第１位置および前記第２位置に基づいて、前記第３位置を演算する検査位置演算手段とを備え、その検査位置演算手段および前記検査位置登録手段に基づいて、前記開始位置、前記第１位置、前記第２位置および前記第３位置にしたがって前記Ｘ線検査を行うことを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］この発明に係るＸ線検査装置によれば、同一パターンで各対象物に対してＸ線検査を連続的に行うことを利用する。すなわち、検査位置において検査の開始の基点となる位置を開始位置とし、その開始位置の後でＸ線検査を行う位置を第１位置あるいは第２位置とし、その第２位置の後でＸ線検査を行う位置を第３位置とする。同一パターンで、開始位置および第１位置の相対位置が、第２位置および第３位置の相対位置と同じである場合において、検査位置登録手段は、開始位置、第１位置および第２位置をそれぞれ設定して登録する。このように、開始位置および第１位置の相対位置が、第２位置および第３位置の相対位置と同じであることを利用して、検査位置登録手段で第３位置を登録せずとも、検査位置登録手段で登録された開始位置、第１位置および第２位置に基づいて、検査位置演算手段は第３位置を演算することが可能である。したがって、必要である開始位置、第１位置および第２位置のみを登録すれば、不要な検査位置を登録することなく、必要な検査位置を全て登録することなく、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。
【００１１】
上述したＸ線検査装置の一例は、検査位置登録手段は、開始位置および一定間隔の送り量を設定して登録することで、開始位置からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を上述の第１位置として複数に設定して登録することである。この一例の場合には、上述したステップ送り方式に該当し、一定間隔の送り量を設定したステップ送り方式により開始位置および複数の第１位置をそれぞれ登録することができ、登録する検査位置の数を減らすことができる。
【００１２】
上述したステップ送り方式において、第２位置についても、第１位置と同様に開始位置からの一定間隔の送り量に基づいて登録してもよい。すなわち、検査位置登録手段は、開始位置および一定間隔の送り量を設定して登録することで、開始位置からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を第２位置として複数に設定して登録する。この場合には、一定間隔の送り量を設定したステップ送り方式により開始位置および複数の第１位置のみならず、複数の第２位置をもそれぞれ登録することができ、登録する検査位置の数をより一層減らすことができる。
【００１３】
上述したこれらのステップ送り方式の具体的な一例は、開始位置、各々の第１位置、第２位置および各々の第３位置の順にしたがってＸ線検査を行うことである。すなわち、検査位置登録手段は、開始位置および一定間隔の送り量を設定して登録しており、その送り量による開始位置、各々の第１位置の順にしたがってＸ線検査が行われる。その後、同様に、その送り量による第２位置、各々の第３位置の順にしたがってＸ線検査が行われる。もちろん、検査位置の順（走査の順）は具体的な一例に限定されず、開始位置、第２位置、各々の第１位置および各々の第３位置の順にしたがってＸ線検査を行ってもよい。
【００１４】
上述したＸ線検査装置の他の一例は、上述したステップ送り方式とは相違し、検査位置登録手段は、第１位置を任意に設定して登録するように構成されていることである。この一例の場合には、上述したランダム送り方式に該当する。
【００１５】
上述したこれらのＸ線検査装置において、第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整する検査位置調整手段を備え、その検査位置調整手段で調整された第１位置、第２位置あるいは第３位置に基づいて、検査位置演算手段は、当該調整された位置の後でＸ線検査が行われる各検査位置を再度演算して調整するのが好ましい。すなわち、アライメントズレなどの位置ズレが途中で生じたとしても、第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整する検査位置調整手段を備えることで、第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整することにより位置ズレをなくすことができ、事前の厳密な位置調整の省略が可能となる。さらに、検査位置演算手段は、当該調整された位置の後でＸ線検査が行われる各検査位置を再度演算して調整するので、調整結果が後の検査位置に反映されて、位置ズレをなくして各検査位置でのＸ線検査を行うことができる。
【００１６】
このような検査位置調整手段を備えた場合において、対象物を撮像する撮像手段と、その撮像手段での撮像結果を表示する表示手段とを備え、その表示手段での表示結果に基づいて検査位置調整手段は第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整するのが好ましい。対象物を撮像する撮像手段での撮像結果を表示手段に表示することで、対象物の位置ズレの状況を撮像手段および表示手段を介してモニタリングすることができ、その表示手段での表示結果に基づいて検査位置調整手段は第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整しやすくなる。
【００１７】
上述の撮像手段の一例は、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行うことを兼用する。このように兼用することで、Ｘ線検査を行いながら、対象物の位置ズレの状況を撮像手段および表示手段を介してモニタリングすることができ、検査位置調整手段は第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整することができる。なお、撮像手段は、上述の兼用に限定されず、例えば固体撮像素子（CCD: Charge Coupled Device）を用いたＣＣＤカメラであってもよい。
【００１８】
また、上述の兼用の場合には、上述の表示手段は、検査位置調整手段を兼用し、撮像手段での対象物のＸ線透視像を表示手段上で調整するのがより好ましい。表示手段が検査位置調整手段を兼用することで、撮像手段での対象物のＸ線透視像を表示手段上で調整することが容易となり、Ｘ線検査を行いながらモニタリングしつつ調整することができる。
【発明の効果】
【００１９】
この発明に係るＸ線検査装置によれば、開始位置および第１位置の相対位置が、第２位置および第３位置の相対位置と同じである場合において、検査位置登録手段は、開始位置、第１位置および第２位置をそれぞれ設定して登録する。このように、検査位置登録手段で第３位置を登録せずとも、検査位置登録手段で登録された開始位置、第１位置および第２位置に基づいて、検査位置演算手段は第３位置を演算することが可能であり、必要である開始位置、第１位置および第２位置のみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】各実施例に係るＸ線検査装置の概略構成図およびブロック図である。
【図２】（ａ）は実施例１に係る対象物の概略平面図、（ｂ）は（ａ）との比較のための従来の対象物の概略平面図である。
【図３】実施例１に係るティーチングも含めた一連のＸ線検査の流れを示すフローチャートである。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、実施例１に係る対象物の走査順序の各態様を示す概略平面図である。
【図５】Ｘ線透視像の調整の説明に供するモニタの模式図である。
【図６】（ａ）は実施例２に係る対象物の概略平面図、（ｂ）は（ａ）との比較のための従来の対象物の概略平面図である。
【図７】実施例２に係るティーチングも含めた一連のＸ線検査の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２１】
以下、図面を参照してこの発明の実施例１を説明する。
図１は、各実施例に係るＸ線検査装置の概略構成図およびブロック図であり、図２（ａ）は、実施例１に係る対象物の概略平面図である。本実施例１では、対象物としてパレット上に配置された集積回路（ＩＣ）を例に採って説明する。
【００２２】
図１に示すように、本実施例１に係るＸ線検査装置１は、対象物Ｏを撮像する撮像部２と、対象物Ｏを載置するステージ３と、そのステージ３を駆動させるステージ駆動部４と、撮像部２を駆動させる撮像駆動部５と、撮像部２のＸ線管２１に管電流や管電圧を与えるために高電圧を発生させる高電圧発生部６と、撮像部２のＸ線検出器２２によって得られたＸ線検出信号に対して各種の画像処理を行ってＸ線透視像を出力する画像処理部７とを備えている。撮像部２は、この発明における撮像手段に相当する。
【００２３】
撮像部２は、対象物ＯにＸ線を照射するＸ線管２１と、Ｘ線管２１から照射され対象物Ｏを透過したＸ線を検出するＸ線検出器２２とを備えている。Ｘ線検出器２２については、イメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ）やフラットパネル型Ｘ線検出器（FPD: Flat Panel Detector）などに例示されるように、特に限定されない。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、Ｘ線検出器２２としてフラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）を例に採って説明する。
【００２４】
ＦＰＤは、画素に対応して縦横に並べられた複数の検出素子からなり、Ｘ線を検出素子が検出して、検出されたＸ線のデータ（電荷信号）をＸ線検出信号として出力する。このようにして、Ｘ線管２１からＸ線を対象物Ｏに向けて照射し、ＦＰＤからなるＸ線検出器２２がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力することで、Ｘ線管２１およびＸ線検出器２２からなる撮像部２２は対象物Ｏを撮像する。
【００２５】
ステージ駆動部４は、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、ステージ３を図中のＸ，Ｙ方向に水平移動、Ｚ方向に昇降移動、あるいはＺ軸心周りに水平面内で回転させる。ステージ３の移動によって対象物Ｏも移動して、対象物Ｏを撮像位置にまで移動させて撮像部２２により撮像を行ってＸ線検査を行う。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、ティーチングで登録された観察ポイントにしたがってＸ線検査を行う場合には、撮像部２を固定させた状態で、その観察ポイントから撮像位置にまで位置するようにステージ３とともに対象物Ｏを移動させる。
【００２６】
撮像駆動部５は、ステージ駆動部４と同様に、図示を省略するモータや駆動軸などから構成され、撮像部２を図中のＸ，Ｙ方向に水平移動、Ｚ方向に昇降移動、あるいはＺ軸心周りに水平面内で回転させる。Ｘ線検出器２２にＸ線管２１が対向するようにそれぞれを移動させてからＸ線検査を行う。また、Ｘ線管２１またはＸ線検出器２２を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降移動させて、Ｘ線検査における拡大率・縮小率を変更することも可能である。また、Ｘ線管２１またはＸ線検出器２２を傾斜させて、斜め方向から撮像することも可能である（図中の二点鎖線を参照）。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、ティーチングで登録された観察ポイントにしたがってＸ線検査を行う場合には、撮像部２を固定させた状態でステージ３とともに対象物Ｏを移動させる。もちろん、ステージ３とともに対象物を固定させた状態でＸ線管２１およびＸ線検出器２２を移動させてよく、その場合には観察ポイントにＸ線管２１およびＸ線検出器２２が移動してＸ線検査を行うことになる。
【００２７】
高電圧発生部６は、高電圧を発生させて管電流や管電圧をＸ線管２１に与えることで、Ｘ線管２１からＸ線が発生して、Ｘ線を照射する。画像処理部７は、ゲイン補正やラグ補正や階調補正等の画像処理をＸ線検出信号に施すことで、対象物Ｏに関するＸ線透視像を出力する。このようにして、撮像部２で撮像されたＸ線検出信号（すなわちＸ線検出器２２から出力されたＸ線検出信号）に対して画像処理部７が画像処理を行ってＸ線透視像を出力することで、対象物Ｏに対してＸ線透視撮影を行う。そして、対象物Ｏに対するＸ線検査を行う。
【００２８】
その他に、Ｘ線検査装置１は、メモリ部８と入力部９と出力部１０とコントローラ１１とを備えている。入力部９は、この発明における検査位置調整手段に相当し、出力部１０は、この発明における表示手段に相当し、コントローラ１１は、この発明における検査位置登録手段および検査位置演算手段に相当する。
【００２９】
メモリ部８は、コントローラ１１を介して、画像処理部７で得られたＸ線透視像などのデータを書き込んで記憶し、適宜必要に応じて読み出して、コントローラ１１を介して、Ｘ線透視像を出力部１０に送り込んで出力する。メモリ部８は、ＲＯＭ（Read-only Memory）やＲＡＭ（Random-Access Memory）などに代表される記憶媒体で構成されている。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、メモリ部８は、ティーチングファイル８ａを有しており、開始ポイントを含めた複数の観察ポイントをティーチングファイル８ａに記憶して、Ｘ線検査時に読み出して、コントローラ１１を介して、ステージ駆動部４を制御することにより、観察ポイントから撮像位置にまで位置するようにステージ３とともに対象物Ｏを移動させる。
【００３０】
入力部９は、オペレータが入力したデータや命令をコントローラ１１に送り込む。入力部９は、マウスやキーボードやジョイスティックやトラックボールやタッチパネルなどに代表されるポインティングデバイスで構成されている。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、出力部１０のモニタに入力部９の機能を搭載し、モニタが入力部９を兼用するように構成されている。また、開始ポイントを含めて観察ポイントを調整する検査位置調整手段の機能などを入力部９が有している。これらの機能については後述する。
【００３１】
出力部１０は、モニタなどに代表される表示部やプリンタなどで構成されている。後述する実施例２も含めて、本実施例１では、撮像部２での撮像結果を出力部１０のモニタに表示する。モニタの具体的な構成についても後述する。
【００３２】
コントローラ１１は、Ｘ線検査装置１を構成する各部分を統括制御する。上述の画像処理部７やコントローラ１１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）などで構成されている。画像処理部７で得られたＸ線透視像などのデータを、コントローラ１１を介して、メモリ部８に書き込んで記憶、あるいは出力部１０に送り込んで出力する。出力部１０が表示部の場合には出力表示し、出力部１０がプリンタの場合には出力印刷する。
【００３３】
後述する実施例２も含めて、本実施例１では、開始ポイントを含めた観察ポイントを設定して登録することで、その登録された検査位置にしたがってＸ線検査を行う検査位置登録手段の機能、検査位置登録手段の機能で登録された開始ポイントを含めた観察ポイントに基づいて、この発明における第３位置に相当する観察ポイントを演算する検査位置演算手段の機能などをコントローラ１１が有している。これらの機能についても後述する。
【００３４】
図２（ａ）に示すように、本実施例１では、対象物はパレットＰ上に配置されたＩＣ（ＩＣ１〜ＩＣ１０）である。図２（ａ）では、図中の左上に該当する検査位置を、検査位置において検査の開始の基点となる開始位置（開始ポイント）とする。また、図中の左上のＩＣ１から、右方向（Ｘ方向の正方向）へ順にＸ線検査を行い、最終的に右下のＩＣ１０でＸ線検査を終了するものとして以下を説明する。したがって、図中の左上のＩＣ１の左上に該当する検査位置を第１開始ポイントＳ１とするとともに、それに右方向に隣接した２番目のＩＣ２の左上に該当する検査位置を第２開始ポイントＳ１０とし、最終的に右下のＩＣ１０の左上に該当する検査位置を第１０開始ポイント８２とする。第１開始ポイントＳ１は、この発明における開始位置に相当し、第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２は、この発明における第２位置に相当する。
【００３５】
また、第１開始ポイントＳ１の後でＸ線検査を行う観察ポイント、すなわち図中の左上のＩＣ１での観察ポイントをＯ２〜Ｏ９とし、それ以外の第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２の後でＸ線検査を行う観察ポイント、すなわちＩＣ２〜ＩＣ１０での観察ポイントをＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０とする。第１開始ポイントＳ１の後でＸ線検査を行う観察ポイントＯ２〜Ｏ９は、この発明における第１位置に相当し、第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２の後でＸ線検査を行う観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０は、この発明における第３位置に相当する。
【００３６】
次に、本実施例１に係る入力部９や出力部１０やコントローラ１１の具体的な構成について、上述の図２も含めて、図３〜図５を参照して説明する。図２（ｂ）は、図２（ａ）との比較のための従来の対象物の概略平面図であり、図３は、実施例１に係るティーチングも含めた一連のＸ線検査の流れを示すフローチャートであり、図４（ａ）〜図４（ｃ）は、実施例１に係る対象物の走査順序の各態様を示す概略平面図であり、図５は、Ｘ線透視像の調整の説明に供するモニタの模式図である。
【００３７】
（ステップＳ１）第１開始ポイントの設定
先ず、検査位置において検査の開始の基点となる第１開始ポイントＳ１（図２（ａ）を参照）を設定して登録する。具体的には、第１開始ポイントＳ１の座標をメモリ部８（図１を参照）のティーチングファイル８ａ（図１を参照）に書き込んで記憶することで、第１開始ポイントＳ１の設定を行う。
【００３８】
（ステップＳ２）縦・横の送り量の設定
次に、一定間隔の送り量として、縦（Ｙ方向）の送り量を設定するとともに、横（Ｘ方向）の送り量を設定して登録する。具体的には、縦・横の送り量をメモリ部８（図１を参照）のティーチングファイル８ａ（図１を参照）に書き込んで記憶することで、縦・横の送り量の設定を行う。図２（ａ）では、縦・横の送り量は等しく図示されているが、縦・横の送り量は必ずしも互いに等しくなる必要はない。
【００３９】
このように、ステップＳ１でこの発明における開始位置（図２（ａ）の第１開始ポイントＳ１）、ステップＳ２でこの発明における一定間隔の送り量を設定して登録することで、第１開始ポイントＳ１からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置をこの発明における第１位置（図２（ａ）の観察ポイントＯ２〜Ｏ９）として複数（図２（ａ）では８つ）に設定して登録する。具体的には、第１開始ポイントＳ１からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は観察ポイントＯ２となり、当該観察ポイントＯ２からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は観察ポイントＯ３となる。一方、第１開始ポイントＳ１からの縦（Ｙ方向）の送り量に該当する位置は観察ポイントＯ４となり、当該観察ポイントＯ４からの縦（Ｙ方向）の送り量に該当する位置は観察ポイントＯ７となる。以下、同様にして、それぞれの送り量を座標に加算することで、残りの観察ポイントＯ５，Ｏ６，Ｏ８，Ｏ９も自ずと決定される。
【００４０】
（ステップＳ３）第２〜第１０開始ポイントの設定
一方、やはり一定間隔の送り量として、縦（Ｙ方向）の送り量を設定するとともに、横（Ｘ方向）の送り量を設定して登録する。
【００４１】
ステップＳ２と同様に、第１開始ポイントＳ１からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置をこの発明における第２位置（図２（ａ）の第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）として複数（図２（ａ）では９つ）に設定して登録する。具体的には、第１開始ポイントＳ１からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は第２開始ポイントＳ１０となり、当該第２開始ポイントＳ１０からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は第３開始ポイントＳ１９となり、当該第３開始ポイントＳ１９からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は第４開始ポイントＳ２８となり、当該第４開始ポイントＳ２８からの横（Ｘ方向）の送り量に該当する位置は第５開始ポイント３７となる。一方、第１開始ポイントＳ１からの縦（Ｙ方向）の送り量に該当する位置は第６開始ポイントＳ４６となる。以下、同様にして、それぞれの送り量を座標に加算することで、残りの第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２も自ずと決定される。
【００４２】
つまり、第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２（いずれも図２（ａ）を参照）も、一定間隔送りに設定することが可能である。
【００４３】
（ステップＳ４）残りの観察ポイントの演算
ステップＳ１〜Ｓ３で登録された開始位置（図２（ａ）の第１開始ポイントＳ１）、第１位置（図２（ａ）の観察ポイントＯ２〜Ｏ９）および第２位置（図２（ａ）の第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）に基づいて、この発明における第３位置（残りの図２（ａ）の観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）をコントローラ１１（図１を参照）が演算する。
【００４４】
図２（ａ）からも明らかなように、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）の相対位置は、第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）および第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の相対位置と同じである。
【００４５】
第２開始ポイントＳ１０，観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８を代表して説明すると、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）の相対位置は、第２位置（第２開始ポイントＳ１０）および第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８）の相対位置と同じである。したがって、コントローラ１１（図１を参照）により第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８）を演算することが可能である。第２開始ポイントＳ１０，観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８を代表して説明したが、残りの第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２，および残りの観察ポイントＯ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０についても同様である。
【００４６】
以上のように、ステップＳ１〜Ｓ３で開始ポイントを含めた複数の観察ポイントをメモリ部８（図１を参照）のティーチングファイル８ａ（図１を参照）に記憶し、これらのポイントを設定して登録する。一方、ステップＳ１〜Ｓ３で登録されたこれらのポイントの相関関係に基づいて、ステップＳ４では、コントローラ１１（図１を参照）は残りの観察ポイントを演算する。
【００４７】
ステップＳ１〜Ｓ３で設定されて記憶されたメモリ部８（図１を参照）のティーチングファイル８ａ（図１を参照）を読み出して、コントローラ１１（図１を参照）を介して、ステージ駆動部４（図１を参照）を制御することにより、観察ポイントから撮像位置にまで位置するようにステージ３（図１を参照）とともに対象物Ｏを移動させて、ステップＳ５以降のＸ線検査を行う。なお、Ｘ線検査前には、コントローラ１１は、撮像駆動部５（図１を参照）を制御することにより、Ｘ線検出器２２（図１を参照）にＸ線管２１（図１を参照）が対向するようにそれぞれを移動させる。
【００４８】
ステップＳ５以降のＸ線検査の走査順序としては、例えば、図４（ａ）〜図４（ｃ）の態様が挙げられる。具体的には、図４（ａ）の矢印に示すように、開始位置（図２（ａ）の第１開始ポイントＳ１）、各々の第１位置（図２（ａ）の観察ポイントＯ２〜Ｏ９）、第２位置（図２（ａ）の第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）および各々の第３位置（図２（ａ）の観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の順にしたがってＸ線検査を行う。あるいは図４（ｂ）の矢印に示すように、縦（Ｙ方向）に先に走査しながら横（Ｘ方向）に走査してＸ線検査を行ってもよい。あるいは図４（ｃ）の括弧付きの数字に示すように、先に第１開始ポイントＳ１（図４（ｃ）の（１）を参照），第２開始ポイントＳ１０（図４（ｃ）の（２）を参照），第３開始ポイントＳ１９（図４（ｃ）の（３）を参照），第４開始ポイントＳ２８（図４（ｃ）の（４）を参照），第５開始ポイント３７（図４（ｃ）の（５）を参照），第６開始ポイントＳ４６（図４（ｃ）の（６）を参照），第７開始ポイントＳ５５（図４（ｃ）の（７）を参照），第８開始ポイントＳ６４（図４（ｃ）の（８）を参照），第９開始ポイントＳ７３（図４（ｃ）の（９）を参照），第１０開始ポイントＳ８２（図４（ｃ）の（１０）を参照）を走査した後に、残りの観察ポイントを走査してＸ線検査を行ってもよい。つまり、開始位置、第２位置、各々の第１位置および各々の第３位置の順にしたがってＸ線検査を行ってもよい。
【００４９】
なお、Ｘ線検査の走査順序としては、図４（ａ）〜図４（ｃ）に限定されない。特に、図４（ａ）や図４（ｂ）の場合には、走査方向が統一されていたが、端部まで走査したら折り返して逆方向に走査するようにしてもよい。ステップＳ５以降のＸ線検査では、図４（ａ）の態様を例に採って、以下を説明する。
【００５０】
（ステップＳ５）第１開始ポイントでのＸ線検査
先ず、第１開始ポイントＳ１（図２（ａ）を参照）においてＸ線検査を行う。具体的には、Ｘ線管２１（図１を参照）からＸ線を対象物Ｏ（図１を参照）のＩＣ１（図２（ａ）を参照）の第１開始ポイントＳ１に向けて照射し、Ｘ線検出器２２（図１を参照）がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力し、さらに画像処理部７（図１を参照）が各種の画像処理をＸ線検出信号に施してＸ線透視像を出力部１０（図１を参照）のモニタに出力することで、対象物ＯのＩＣ１の第１開始ポイントＳ１においてＸ線検査を行う。
【００５１】
なお、出力部１０は、図５に示すようにモニタ１０Ｍで構成されている。このモニタ１０Ｍはタッチパネルとして入力することも可能で、入力部９（図１を参照）の機能をも搭載している。特に、後述する実施例２も含めて、本実施例１では、開始ポイントを含めて観察ポイントを調整する検査位置調整手段の機能などを入力部９が有しており、モニタ１０Ｍがその検査位置調整手段の機能を兼用している。
【００５２】
（ステップＳ６）各観察ポイントでのＸ線検査
第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２（いずれも図２（ａ）を参照）を含めて、各観察ポイントにおいて、それぞれＸ線検査を行う。具体的には、Ｘ線管２１（図１を参照）からＸ線を対象物Ｏ（図１を参照）のＩＣ（ＩＣ１〜ＩＣ１０）（図２（ａ）を参照）の各観察ポイントに向けて照射し、Ｘ線検出器２２（図１を参照）がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力し、さらに画像処理部７（図１を参照）が各種の画像処理をＸ線検出信号に施してＸ線透視像を出力部１０（図１を参照）のモニタに出力することで、対象物ＯのＩＣ（ＩＣ１〜ＩＣ１０）の観察ポイントにおいてＸ線検査を行う。
【００５３】
（ステップＳ７）位置ズレ発生？
図５に示すように、出力部１０（図１を参照）のモニタ１０ＭでＸ線透視像を出力表示したときに、例えば図５（ａ）に示すようにＺ軸（図１、図２を参照）心周りの水平面内の回転によるアライメントズレや、図５（ｂ）に示すようにＸ，Ｙ方向（図１、図２を参照）の水平移動によるズレなどの位置ズレが発生するときがある。オペレータは、図５（ａ）や図５（ｂ）に示すモニタ１０Ｍでの表示結果を確認することで、位置ズレが発生したか否かを判断する。なお、モニタ１０Ｍの基準位置（例えば中心）に枠１０ａを設け、その枠１０ａから外れていたら、位置ズレが発生したとオペレータが確認するように構成してもよい。
【００５４】
（ステップＳ８）観察ポイントの調整
ステップＳ７で、図５（ａ）や図５（ｂ）に示すようにモニタ１０Ｍの表示結果をオペレータが確認して、位置ズレが発生したと判断した場合には、そのモニタ１０Ｍでの表示結果に基づいて観察ポイント（この発明における第１位置、第２位置あるいは第３位置）を調整する。
【００５５】
例えば、図５（ｃ）に示すようにＸ線透視像をモニタ１０Ｍ上で調整する。モニタ１０Ｍ上で調整するには、例えば、「↑」ボタン１０ｂに触れることでＹ方向（図１、図２を参照）の正方向に移動するコマンドを入力したり、「→」ボタン１０ｃに触れることでＸ方向（図１、図２を参照）の正方向に移動するコマンドを入力したり、「↓」ボタン１０ｄに触れることでＹ方向の負方向に移動するコマンドを入力したり、「←」ボタン１０ｅに触れることでＸ方向の負方向に移動するコマンドを入力する。その他に、正回転ボタン１０ｆに触れることでＺ軸（図１、図２を参照）心周りの水平面内の正回転に回転するコマンドを入力したり、逆回転ボタン１０ｇに触れることでＺ軸心周りの水平面内の逆回転に回転するコマンドを入力する。
【００５６】
モニタ１０Ｍについては、必ずしもタッチパネル等などの入力部９（図１を参照）の機能を搭載する必要はない。入力部９の例えばマウスによってポインタを各ボタン１０ｂ〜１０ｇに合わせてクリックすることでコマンドを入力してもよい。その他に、入力部９の例えばキーボードから調整したい座標位置あるいは移動量を直接に入力することによりコマンドを入力してもよい。また、タッチパネル等の機能をモニタ１０Ｍに搭載する場合においても、これらのボタン１０ｂ〜１０ｇに限定されず、調整前のＸ線透視像を指で触れて調整後の枠１０ａにドラッグすることによりコマンドを入力してもよい。また、上述の各ボタン１０ｂ〜１０ｇ以外にも、Ｘ線検査における拡大率・縮小率を変更する調整を行うボタン等を設けて、当該拡大率・縮小率を変更するコマンドを入力してもよい。
【００５７】
これらのコマンドを入力したら、コントローラ１１（図１を参照）に送り込み、コントローラ１１はステージ駆動部４（図１を参照）を制御して、入力されたコマンドにしたがってステージ３（図１を参照）を移動あるいは回転させることで、観察ポイントを調整する。なお、観察ポイントの調整については必ずしもステージ３を移動させるのに限定されず、撮像部２（図１を参照）による位置ズレが原因の場合には、コントローラ１１は撮像駆動部５（図１を参照）を制御して、撮像部２のＸ線管２１あるいはＸ線検出器２２（いずれも図１を参照）を移動あるいは回転させてもよい。特に、Ｘ線検査における拡大率・縮小率を変更する調整を行う場合には、コントローラ１１は撮像駆動部５を制御して、Ｘ線管２１またはＸ線検出器２２を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降移動させる、あるいはステージ駆動部４を制御して、ステージ３を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降移動させる。
【００５８】
好ましくは、ステップＳ８で観察ポイントを調整してから、当該調整された観察ポイントの後でＸ線検査が行われる各観察ポイントを、コントローラ１１（図１を参照）が有する検査位置演算手段の機能は再度演算して調整する。
【００５９】
ステップＳ７で位置ズレが発生していないとオペレータが判断した場合には、ステップＳ８での観察ポイントを調整せずに、ステップＳ８をスキップして、ステップＳ９に移行する。
【００６０】
（ステップＳ９）観察ポイントあり？
Ｘ線検査すべき観察ポイントがあるか否かを判断する。Ｘ線検査すべき観察ポイントがある場合には、Ｘ線検査はまだ終了していないとして、ステップＳ６での各観察ポイントでのＸ線検査に戻って、Ｘ線検査すべき観察ポイントがなくなるまでステップＳ６〜Ｓ９を繰り返し行う。一方、Ｘ線検査すべき観察ポイントがない場合には、Ｘ線検査が全て終了したとして、一連のステップＳ１〜Ｓ９を終了する。
【００６１】
ここで、本実施例１の図２（ａ）との比較のために、「背景技術」の欄でも述べた従来の図２（ｂ）をも参照して、対象物Ｏ（図１を参照）としてパレットＰ上に配置されたＩＣを採用した場合の作用・効果について述べる。「背景技術」の欄でも述べたように、従来の図２（ｂ）では、縦８（Ａ〜Ｈを参照）×横２０（（１）〜（２０）を参照）の合計１６０ステップ送りとなる。また、ＩＣに関する観察視野サイズ（斜線のハッチングで示す領域を参照）を、一定間隔の送り量に一致させるのは困難となる。特に、Ｅ行およびＨ行は、観察視野サイズ内外にまたがっている。さらに、「背景技術」の欄でも述べたように、（４）列や（８）列やＤ行のような不要な観察ポイントが発生する。
【００６２】
これに対して、本実施例１の図２（ａ）では、１つのＩＣ毎に縦３×横３で１０個のＩＣで合計９０ステップ送りとなって、従来よりもステップ数を大幅に減らすことができる。また、ＩＣに関する観察視野サイズ（斜線のハッチングで示す領域を参照）を、一定間隔の送り量に一致させることができる。不要な観察ポイントも発生しない。
【００６３】
上述の構成を備えた本実施例１に係るＸ線検査装置によれば、同一パターンで各対象物Ｏに対してＸ線検査を連続的に行うことを利用する。すなわち、検査位置において検査の開始の基点となる位置を開始位置（本実施例１では第１開始ポイントＳ１）とし、その開始位置（第１開始ポイントＳ１）の後でＸ線検査を行う位置を第１位置（本実施例１では観察ポイントＯ２〜Ｏ９）あるいは第２位置（本実施例１では第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）とし、その第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）の後でＸ線検査を行う位置を第３位置（本実施例１では観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）とする。
【００６４】
同一パターンで、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）の相対位置が、第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）および第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の相対位置と同じである場合において、コントローラ１１が有する検査位置登録手段の機能は、開始位置（第１開始ポイントＳ１）、第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）および第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）をそれぞれ設定して登録する。
【００６５】
このように、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）の相対位置が、第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）および第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の相対位置と同じであることを利用して、検査位置登録手段の機能で第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）を登録せずとも、検査位置登録手段の機能で登録された開始位置（第１開始ポイントＳ１）、第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）および第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）に基づいて、コントローラ１１が有する検査位置演算手段の機能は第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）を演算することが可能である。
【００６６】
したがって、必要である開始位置（第１開始ポイントＳ１）、第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）および第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）のみを登録すれば、不要な検査位置を登録することなく、必要な検査位置を全て登録することなく、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。
【００６７】
本実施例１では、検査位置登録手段の機能は、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および一定間隔の送り量を設定して登録することで、開始位置（第１開始ポイントＳ１）からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を上述の第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）として複数（本実施例１では８つ）に設定して登録している。本実施例１の場合には、上述したステップ送り方式に該当し、一定間隔の送り量を設定したステップ送り方式により開始位置（第１開始ポイントＳ１）および複数の第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）をそれぞれ登録することができ、登録する検査位置の数を減らすことができる。
【００６８】
本実施例１のステップ送り方式において、第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）についても、第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）と同様に開始位置（第１開始ポイントＳ１）からの一定間隔の送り量に基づいて登録している。すなわち、検査位置登録手段の機能は、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および一定間隔の送り量を設定して登録することで、開始位置（第１開始ポイントＳ１）からの一定間隔の送り量に該当する位置、当該位置からの一定間隔の送り量に該当する位置を逐次に設定して登録して、これらの位置を第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）として複数（本実施例では９つ）に設定して登録している。本実施例１の場合には、一定間隔の送り量を設定したステップ送り方式により開始位置（第１開始ポイントＳ１）および複数の第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）のみならず、複数の第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）をもそれぞれ登録することができ、登録する検査位置の数をより一層減らすことができる。
【００６９】
図４（ａ）では、開始位置（第１開始ポイントＳ１）、各々の第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）、第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）および各々の第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の順にしたがってＸ線検査を行っている。すなわち、検査位置登録手段の機能は、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および一定間隔の送り量を設定して登録しており、その送り量による開始位置（第１開始ポイントＳ１）、各々の第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ９）の順にしたがってＸ線検査が行われる。その後、同様に、その送り量による第２位置（第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）、各々の第３位置（観察ポイントＯ１１〜Ｏ１８，Ｏ２０〜Ｏ２７，Ｏ２９〜Ｏ３６，Ｏ３８〜Ｏ４５，Ｏ４７〜Ｏ５４，Ｏ５６〜Ｏ６３，Ｏ６５〜Ｏ７２，Ｏ７４〜Ｏ８１，Ｏ８３〜Ｏ９０）の順にしたがってＸ線検査が行われる。
【００７０】
本実施例１では、第１位置、第２位置あるいは第３位置（観察ポイント）を調整する検査位置調整手段の機能を入力部９に備え、その検査位置調整手段の機能で調整された第１位置、第２位置あるいは第３位置（観察ポイント）に基づいて、検査位置演算手段の機能は、当該調整された位置の後でＸ線検査が行われる各検査位置を再度演算して調整している。すなわち、アライメントズレなどの位置ズレが途中で生じたとしても、第１位置、第２位置あるいは第３位置（観察ポイント）を調整する検査位置調整手段の機能を入力部９に備えることで、第１位置、第２位置あるいは第３位置（観察ポイント）を調整することにより位置ズレをなくすことができ、事前の厳密な位置調整の省略が可能となる。さらに、検査位置演算手段の機能は、当該調整された位置の後でＸ線検査が行われる各検査位置を再度演算して調整するので、調整結果が後の検査位置に反映されて、位置ズレをなくして各検査位置でのＸ線検査を行うことができる。
【００７１】
このような検査位置調整手段の機能を入力部９に備えた場合において、対象物Ｏを撮像する撮像部２と、その撮像部２での撮像結果を表示するモニタ１０Ｍとを備え、そのモニタ１０Ｍでの表示結果に基づいて検査位置調整手段の機能は第１位置、第２位置あるいは第３位置（観察ポイント）を調整している。対象物Ｏを撮像する撮像部２での撮像結果をモニタ１０Ｍに表示することで、対象物Ｏの位置ズレの状況を撮像部２およびモニタ１０Ｍを介してモニタリングすることができ、そのモニタ１０Ｍでの表示結果に基づいて検査位置調整手段の機能は第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整しやすくなる。
【００７２】
本実施例１では、（検査位置を調整するのに用いられる）撮像部２は、対象物Ｏに対してＸ線透視撮影を行うことで対象物Ｏに対するＸ線検査を行うことを兼用している。このように兼用することで、Ｘ線検査を行いながら、対象物の位置ズレの状況を撮像部２およびモニタ１０Ｍを介してモニタリングすることができ、検査位置調整手段の機能は第１位置、第２位置あるいは第３位置を調整することができる。
【００７３】
また、上述の兼用の場合には、上述のモニタ１０Ｍは、検査位置調整手段の機能を兼用し、撮像部２での対象物ＯのＸ線透視像をモニタ１０Ｍ上で調整している。モニタ１０Ｍが検査位置調整手段の機能を兼用することで、撮像部２での対象物ＯのＸ線透視像をモニタ１０Ｍ上で調整することが容易となり、Ｘ線検査を行いながらモニタリングしつつ調整することができる。
【実施例２】
【００７４】
次に、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。
図６（ａ）は、実施例２に係る対象物の概略平面図である。本実施例２では、対象物として実装基板を例に採って説明する。上述した実施例１と共通する箇所については、同じ符号を付してその説明を省略する。また、図１に示すように、本実施例２に係るＸ線検査装置１は、実施例１に係るＸ線検査装置１と同じ構成である。
【００７５】
図６（ａ）に示すように、本実施例２では、対象物は実装基板Ｓｕｂである。図６（ａ）では、１枚目の実装基板Ｓｕｂにおいて、（１）が付された検査位置を、検査位置において検査の開始の基点となる開始位置（第１開始ポイントＳ１）とする。また、１枚目の実装基板Ｓｕｂに搭載された部品のうち観察ポイントを任意に設定して登録、すなわち観察ポイントをランダムに登録する。登録順としては、Ｏ２（（２）を参照），Ｏ３（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（３）を参照），Ｏ４（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（４）を参照），Ｏ５（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（５）を参照），Ｏ６（（６）を参照）の順である。
【００７６】
次にＸ線検査が行われる２枚目の実装基板Ｓｕｂにおいても、１枚目の実装基板Ｓｕｂと同様に、（１）が付された検査位置を開始位置（第２開始ポイントＳ７）とする。１枚目の実装基板Ｓｕｂと同様に、２枚目の実装基板Ｓｕｂの登録順としては、Ｏ８（（２）を参照），Ｏ９（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（３）を参照），Ｏ１０（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（４）を参照），Ｏ１１（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（５）を参照），Ｏ１２（（６）を参照）の順である。
【００７７】
さらに次にＸ線検査が行われる３枚目の実装基板Ｓｕｂにおいても、１枚目，２枚目の実装基板Ｓｕｂと同様に、（１）が付された検査位置を開始位置（第３開始ポイントＳ１３）とする。１枚目，２枚目の実装基板Ｓｕｂと同様に、３枚目の実装基板Ｓｕｂの登録順としては、Ｏ１４（（２）を参照），Ｏ１５（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（３）を参照），Ｏ１６（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（４）を参照），Ｏ１７（図６（ａ）では符号省略）（図６（ａ）では（５）を参照），Ｏ１８（（６）を参照）の順である。本実施例２では、第１開始ポイントＳ１は、この発明における開始位置に相当し、第１開始ポイントＳ１の後でＸ線検査を行う観察ポイントＯ２〜Ｏ６は、この発明における第１位置に相当し、第２開始ポイントＳ７，第３開始ポイントＳ１３は、この発明における第２位置に相当し、第２開始ポイントＳ７，第３開始ポイントＳ１３の後でＸ線検査を行う観察ポイントＯ８〜Ｏ１２，Ｏ１４〜Ｏ１８は、この発明における第３位置に相当する。
【００７８】
次に、本実施例２に係る入力部９や出力部１０やコントローラ１１の具体的な構成について、上述の図６も含めて、図７を参照して説明する。図６（ｂ）は、図６（ａ）との比較のための従来の対象物の概略平面図であり、図７は、実施例２に係るティーチングも含めた一連のＸ線検査の流れを示すフローチャートである。
【００７９】
（ステップＴ１）第１開始ポイントの設定
先ず、１枚目の実装基板Ｓｕｂにおいて、検査位置において検査の開始の基点となる第１開始ポイントＳ１（図６（ａ）を参照）を設定して登録する。
【００８０】
（ステップＴ２）観察ポイントの設定
次に、第１開始ポイントＳ１の後でＸ線検査を行う観察ポイントＯ２〜Ｏ６（図６（ａ）を参照）をランダムに登録する。
【００８１】
（ステップＴ３）第２，第３開始ポイントの設定
２枚目の実装基板Ｓｕｂにおいて、第２開始ポイントＳ７（図６（ａ）を参照）を設定して登録し、３枚目の実装基板Ｓｕｂにおいて、第３開始ポイントＳ１３（図６（ａ）を参照）を設定して登録する。
【００８２】
（ステップＴ４）残りの観察ポイントの演算
ステップＴ１〜Ｔ３で登録された開始位置（図６（ａ）の第１開始ポイントＳ１）、第１位置（図６（ａ）の観察ポイントＯ２〜Ｏ６）および第２位置（図６（ａ）の第２開始ポイントＳ７，第３開始ポイントＳ１３）に基づいて、この発明における第３位置（残りの図６（ａ）の観察ポイントＯ８〜Ｏ１２，Ｏ１４〜Ｏ１８）をコントローラ１１（図１を参照）が演算する。
【００８３】
図６（ａ）からも明らかなように、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ６）の相対位置は、第２位置（第２開始ポイントＳ７，第３開始ポイントＳ１３）および第３位置（観察ポイントＯ８〜Ｏ１２，Ｏ１４〜Ｏ１８）の相対位置と同じである。
【００８４】
第２開始ポイントＳ７，観察ポイントＯ８〜Ｏ１２を代表して説明すると、開始位置（第１開始ポイントＳ１）および第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ６）の相対位置は、第２位置（第２開始ポイントＳ７）および第３位置（観察ポイントＯ８〜Ｏ１２）の相対位置と同じである。したがって、コントローラ１１（図１を参照）により第３位置（観察ポイントＯ８〜Ｏ１２）を演算することが可能である。第２開始ポイントＳ７，観察ポイントＯ８〜Ｏ１２を代表して説明したが、残りの第３開始ポイントＳ１３，および残りの観察ポイントＯ１４〜Ｏ１８についても同様である。
【００８５】
以上のように、ステップＴ１〜Ｔ３で開始ポイントを含めた複数の観察ポイントをメモリ部８（図１を参照）のティーチングファイル８ａ（図１を参照）に記憶し、これらのポイントを設定して登録する。一方、ステップＴ１〜Ｔ３で登録されたこれらのポイントの相関関係に基づいて、ステップＴ４では、コントローラ１１（図１を参照）は残りの観察ポイントを演算する。
【００８６】
（ステップＴ５）第１開始ポイントでのＸ線検査
先ず、第１開始ポイントＳ１（図６（ａ）を参照）においてＸ線検査を行う。ただし、本実施例２では、Ｘ線管２１（図１を参照）からＸ線を対象物Ｏ（図１を参照）の１枚目の実装基板Ｓｕｂ（図６（ａ）を参照）の第１開始ポイントＳ１に向けて照射し、Ｘ線検出器２２（図１を参照）がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力し、さらに画像処理部７（図１を参照）が各種の画像処理をＸ線検出信号に施してＸ線透視像を出力部１０（図１を参照）のモニタに出力することで、対象物Ｏの１枚目の実装基板Ｓｕｂの第１開始ポイントＳ１においてＸ線検査を行う。
【００８７】
（ステップＴ６）各観察ポイントでのＸ線検査
第２開始ポイントＳ７，第３開始ポイントＳ１３（いずれも図６（ａ）を参照）を含めて、各観察ポイントにおいて、それぞれＸ線検査を行う。本実施例２では、１枚目の実装基板Ｓｕｂ，２枚目の実装基板Ｓｕｂ，３枚目の実装基板Ｓｕｂ（いずれも図６（ａ）を参照）が順に載置されたステージ３（図１を参照）を移動させることにより、１枚目の実装基板Ｓｕｂ，２枚目の実装基板Ｓｕｂ，３枚目の実装基板Ｓｕｂの順に送り出す。
【００８８】
先ず、Ｘ線管２１（図１を参照）からＸ線を対象物Ｏ（図１を参照）の１枚目の実装基板Ｓｕｂの観察ポイントに向けて照射し、Ｘ線検出器２２（図１を参照）がＸ線を検出してＸ線検出信号を出力し、さらに画像処理部７（図１を参照）が各種の画像処理をＸ線検出信号に施してＸ線透視像を出力部１０（図１を参照）のモニタに出力することで、対象物Ｏの１枚目の実装基板Ｓｕｂの観察ポイントにおいてＸ線検査を行う。１枚目の実装基板Ｓｕｂにおいて観察ポイントＯ２〜Ｏ６の順にＸ線検査を行ったら、２枚目の実装基板Ｓｕｂを送り出して、第２開始ポイントＳ７，観察ポイントＯ８〜Ｏ１２の順にＸ線検査を行い、それが終了したら３枚目の実装基板Ｓｕｂを送り出して、第３開始ポイントＳ１３，観察ポイントＯ１４〜Ｏ１８の順にＸ線検査を行う。
【００８９】
（ステップＴ７）位置ズレ発生？
ステップＴ７は、実施例１のステップＳ７と同じであるので、その説明を省略する。
【００９０】
（ステップＴ８）観察ポイントの調整
ステップＴ８は、実施例１のステップＳ８と同じであるので、その説明を省略する。
【００９１】
（ステップＴ９）観察ポイントあり？
ステップＴ９は、実施例１のステップＳ９と同じであるので、その説明を省略する。
【００９２】
ここで、本実施例２の図６（ａ）との比較のために、「背景技術」の欄でも述べた従来の図６（ｂ）をも参照して、対象物Ｏ（図１を参照）として実装基板Ｓｕｂを採用した場合の作用・効果について述べる。「背景技術」の欄でも述べたように、従来の図６（ｂ）では、３枚の実装基板Ｓｕｂに搭載された部品のうち６つの観察ポイントを登録し、合計１８個の観察ポイントを全て登録する。
【００９３】
これに対して、本実施例２の図６（ａ）では、１枚目の実装基板Ｓｕｂの第１開始ポイントＳ１およびランダムに登録された各観察ポイントＯ２〜Ｏ６、２枚目の実装基板Ｓｕｂの第２開始ポイントＳ７、さらには３枚目の実装基板Ｓｕｂの第３開始ポイントＳ１３の登録のみで済み、演算される残りの１０個の観察ポイントＯ８〜Ｏ１２，Ｏ１４〜Ｏ１８については登録する必要はない。したがって、合計８個の観察ポイントのみで済む。さらに、Ｘ線検査の対象となる実装基板の枚数が増減したとしても、対応しやすくなる。
【００９４】
本実施例２の作用・効果については、実施例１のステップ送り方式での作用・効果を除けば、実施例１の作用・効果と同じであるので、その説明を省略する。本実施例２では、実施例１のステップ送り方式とは相違し、コントローラ１１が有する検査位置登録手段の機能は、第１位置（観察ポイントＯ２〜Ｏ６）を任意に設定して登録するように構成されている。本実施例２の場合には、上述したランダム送り方式に該当する。
【００９５】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００９６】
（１）上述した実施例１では、対象物としてパレット上に配置された集積回路（ＩＣ）を例に採って説明し、上述した実施例２では、対象物として実装基板を例に採って説明したが、これらに限定されない。多層基板のスルーホール、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などに例示されるように、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行うのであればよい。
【００９７】
（２）上述した実施例１の対象物であるパレット上に配置された集積回路（ＩＣ）を、上述した実施例２のランダム送り方式に適用することができる。逆に、実施例２の対象物である実装基板を、実施例１のステップ送り方式に適用することもできる。
【００９８】
（３）上述した実施例１では、ステップ送り方式において、第２位置（実施例１では、第２開始ポイントＳ１０，第３開始ポイントＳ１９，第４開始ポイントＳ２８，第５開始ポイント３７，第６開始ポイントＳ４６，第７開始ポイントＳ５５，第８開始ポイントＳ６４，第９開始ポイントＳ７３，第１０開始ポイントＳ８２）についても、第１位置と同様に開始位置からの一定間隔の送り量に基づいて登録したが、第２位置については必ずしも一定間隔送り量でなくてもよい。
【００９９】
（４）上述した各実施例では、検査位置調整を行ったが、位置ズレが発生しないのであれば、必ずしも検査位置調整を行う必要はない。
【０１００】
（５）上述した各実施例では、検査位置調整手段の機能は、入力部９が兼用し、検査位置調整を手動で行っていたが、ＣＰＵなどのコントローラ１１が、検査位置調整手段の機能を兼用し、検査位置調整を自動で行うように構成してもよい。また、手動と自動とを組み合わせてもよい。
【０１０１】
（６）上述した各実施例では、対象物を撮像する撮像手段（各実施例では撮像部２）での撮像結果を表示手段（各実施例では出力部１０のモニタ１０Ｍ）に表示することで、対象物の位置ズレの状況を撮像手段および表示手段を介してモニタリングして、検査位置調整を行うものであったが、必ずしもモニタリングする必要はなく、上述したように検査位置調整を自動で行うように構成してもよい。
【０１０２】
（７）上述した各実施例では、（検査位置を調整するのに用いられる）撮像手段（各実施例では撮像部２）は、対象物に対してＸ線透視撮影を行うことで対象物に対するＸ線検査を行うことを兼用したが、兼用に限定されない。例えば固体撮像素子（CCD: Charge Coupled Device）を用いたＣＣＤカメラを用いて検査位置調整を行ってもよい。
【０１０３】
（８）上述した各実施例では、表示手段（各実施例ではモニタ１０Ｍ）は、検査位置調整手段の機能を兼用し、撮像手段（各実施例では撮像部２）での対象物のＸ線透視像を表示手段上で調整したが、上述したように、必ずしもタッチパネル等などの入力部９の機能を搭載する必要はない。
【符号の説明】
【０１０４】
１  …  Ｘ線検査装置
２  …  撮像部
９  …  入力部
１０  …  出力部
１０Ｍ  …  モニタ
１１  …  コントローラ
Ｓ１  …  第１開始ポイント
Ｏ  …  対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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