(57)【要約】【課題】カセットに収納されている磁気ディスクを複数の検査装置に供給し、検査した磁気ディスクをそれぞれの検査装置から回収するのに適した磁気ディスクの検査方法及びそのシステムを提供する。【解決手段】検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、検査前の磁気ディスクを収納したカセットが搬送された光学式検査ユニットにおいてカセットに収納された検査前の磁気ディスクを取出して磁気ディスクの両面を検査し、この両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを良品磁気ディスクを回収するカセットに収納し、この良品の磁気ディスクが収納されたカセットを光学式検査ユニットからカセット収容ユニットへ搬送し、この搬送された良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記カセット収容ユニットに収容するようにした。【選択図】図１
2012079390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを検査するシステムであって、
複数の光学式検査ユニットと、
検査前の磁気ディスクを収納したカセットを前記複数の光学式検査ユニットに搬送し、該複数の光学式検査ユニットで検査された磁気ディスクが収納されたカセットを回収するカセット供給・回収ユニットと、
前記検査前の磁気ディスクを収納したカセットと前記検査された磁気ディスクが収納されたカセットを収容するカセット収容ユニットと、
前記カセット供給・回収ユニットにより搬送された検査前の磁気ディスクを収納したカセットから磁気ディスクを取り出して前記光学式検査ユニットに供給し、該光学式検査ユニットで検査を終えた磁気ディスクを該検査の結果に応じてカセットを振り分けて収納する基板ハンドリングユニットと
を備え、前記カセット供給・回収ユニットは、検査前の磁気ディスクを収納したカセット又は検査後の磁気ディスクを収納するための空のカセットのうちの少なくとも一方を前記カセット収容ユニットから取出して前記前記複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、前記複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットから検査前の磁気ディスクが取り出された空のカセット又は検査後の磁気ディスクのうち良品と判定された磁気ディスクが収納されたカセットのうちの少なくとも一方を取出して前記カセット収容ユニットに搬送することを特徴とする磁気ディスク検査システム。
【請求項２】
前記カセット供給・回収ユニットは、検査前の磁気ディスクを収納したカセットと検査後の磁気ディスクを収納するための空のカセットとを含む複数のカセットを同時に搬送することを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク検査システム。
【請求項３】
前記カセット収容ユニットは、前記検査前の磁気ディスクを収納したカセットと検査後の良品の磁気ディスクを収納する空のカセットを収容する供給用カセット収容部と、前記検査前の磁気ディスクが全て取出されてからになったカセットと検査後の良品の磁気ディスクを収納したカセットとを収容する回収カセット収容部とを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ディスク検査システム。
【請求項４】
前記基板ハンドリングユニットは、前記光学式検査ユニットで検査を終えた磁気ディスクのうち不良品と判定された磁気ディスクを、前記カセット供給・回収ユニットで回収される良品と判定された磁気ディスクが収納されたカセットとは異なるカセットに収納することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の磁気ディスク検査システム。
【請求項５】
前記検査前の磁気ディスクを収納するカセットは、前記検査後の良品の磁気ディスクを収納するカセットよりも磁気ディスクの収納枚数が多いことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の磁気ディスク検査システム。
【請求項６】
複数の光学式検査ユニットを用いて磁気ディスクを検査する方法であって、
検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して前記複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、
前記検査前の磁気ディスクを収納したカセットが搬送された光学式検査ユニットにおいて該カセットに収納された前記検査前の磁気ディスクを取出して該磁気ディスクの両面を検査し、
該両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを良品磁気ディスクを回収するカセットに収納し、
該良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記光学式検査ユニットから前記カセット収容ユニットへ搬送し、
該搬送された良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記カセット収容ユニットに収容する
ことを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項７】
検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して搬送ユニットで複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送するステップと、
前記複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて前記搬送された検査前の磁気ディスクを収納したカセットから前記検査前の磁気ディスクを取出して該磁気ディスクの両面を検査するステップと、
該両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを前記複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて良品磁気ディスクを回収するカセットに収納するステップと、
該良品磁気ディスクを収納した良品磁気ディスクを回収するカセットを前記搬送ユニットで前記カセット収容ユニットに搬送して収容する方法であって、
前記搬送ユニットで複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送するステップと前記複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて前記磁気ディスクの両面を検査するステップとを並行させて行うことにより、前記複数の光学式検査ユニットを停止させることなく連続的に前記搬送された検査前の磁気ディスクの検査を実行することを特徴とする磁気ディスク検査方法。
【請求項８】
前記検査前の磁気ディスクを収納したカセットを何れかの光学式検査ユニットへ搬送するステップにおいて、検査後の良品の磁気ディスクを収容するための空のカセットも前記カセット収容ユニットから取出して前記複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送することを特徴とする請求項６又は７に記載の磁気ディスク検査方法。
【請求項９】
前記良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記光学式検査ユニットから前記カセット収容ユニットへ搬送するステップにおいて、前記収納された検査前の磁気ディスクが全て取出されて空になったカセットも前記光学式検査ユニットから前記カセット収容ユニットへ搬送することを特徴とする請求項６乃至８の何れかに記載の磁気ディスク検査方法。
【請求項１０】
前記光学式検査ユニットで検査を終えた磁気ディスクのうち不良品と判定された磁気ディスクを、前記良品と判定された磁気ディスクが収納されたカセットとは異なるカセットに収納することを特徴とする請求項６乃至９の何れかに記載の磁気ディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクを検査するための磁気ディスク検査方法及びそのシステムに関し、特に、磁気ディスクをカセットに入れて検査装置に供給し、検査後の磁気ディスクをカセットに入れて搬出するカセット搬送するのに好適な磁気ディスク検査方法及びそのシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクの製造ラインにおいて、製造途中の磁気ディスク表面の欠陥を光学的に検査する工程では、カセットに入れた磁気ディスクを検査装置に供給し、検査装置ではカセットから１枚ずつ取り出して検査をし、検査後の磁気ディスクを再びカセットに戻して次の工程に運ぶことが行われている。
【０００３】
このように磁気ディスクをカセットに入れて検査装置に搬入し、搬出することについては、例えば特許文献１には、検査装置でカセットから１枚ずつ磁気ディスクを取り出して検査し、検査後の磁気ディスクを良品と不良品とに分けてカセットに格納する磁気ディスクの検査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２２６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されている磁気ディスクの検査装置は、カセットから取り出した磁気ディスクを検査装置で複数の検査手段の間を順次移動させて複数の検査を実施し、一連の検査を終了して磁気ディスクを回収用のカセットに収納する構成になっている。
【０００６】
しかし、複数の検査装置は、必ずしも同じスループットで１枚の磁気ディスクを検査できるとは限らず、各検査装置のスループットの違いに応じてある検査工程では検査装置を複数用いて検査しなければならない場合が生じる。
【０００７】
特許文献１には、このように同じ検査装置を複数用いて検査する場合にカセットから磁気ディスクを供給する場合については配慮されていない。
【０００８】
本発明の目的は、同じ検査装置を複数用いて検査する検査方法及びそのシステムにおいて、カセットに収納されている磁気ディスクをそれぞれの検査装置に供給し、検査した磁気ディスクをそれぞれの検査装置から回収するのに適した磁気ディスクの検査方法及びそのシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明では、磁気ディスクを検査するシステムを、複数の光学式検査ユニットと、検査前の磁気ディスクを収納したカセットを複数の光学式検査ユニットに搬送し、複数の光学式検査ユニットで検査された磁気ディスクが収納されたカセットを回収するカセット供給・回収ユニットと、検査前の磁気ディスクを収納したカセットと検査された磁気ディスクが収納されたカセットを収容するカセット収容ユニットと、  カセット供給・回収ユニットにより搬送された検査前の磁気ディスクを収納したカセットから磁気ディスクを取り出して光学式検査ユニットに供給し、光学式検査ユニットで検査を終えた磁気ディスクを該検査の結果に応じてカセットを振り分けて収納する基板ハンドリングユニットとを備えて構成し、カセット供給・回収ユニットは、検査前の磁気ディスクを収納したカセット又は検査後の磁気ディスクを収納するための空のカセットのうちの少なくとも一方をカセット収容ユニットから取出して複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットから検査前の磁気ディスクが取り出された空のカセット又は検査後の磁気ディスクのうち良品と判定された磁気ディスクが収納されたカセットのうちの少なくとも一方を取出してカセット収容ユニットに搬送するようにした。
【００１０】
また、上記目的を達成するために、本発明では、複数の光学式検査ユニットを用いて磁気ディスクを検査する方法において、検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送し、検査前の磁気ディスクを収納したカセットが搬送された光学式検査ユニットにおいてカセットに収納された検査前の磁気ディスクを取出して磁気ディスクの両面を検査し、この両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを良品磁気ディスクを回収するカセットに収納し、この良品の磁気ディスクが収納されたカセットを光学式検査ユニットからカセット収容ユニットへ搬送し、この搬送された良品の磁気ディスクが収納されたカセットを前記カセット収容ユニットに収容するようにした。
【００１１】
更に、上記目的を達成するために、本発明では、検査前の磁気ディスクを収納したカセットをカセット収容ユニットから取出して搬送ユニットで複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送するステップと、複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて搬送された検査前の磁気ディスクを収納したカセットから検査前の磁気ディスクを取出してこの磁気ディスクの両面を検査するステップと、両面を検査して良品と判定された磁気ディスクを複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて良品磁気ディスクを回収するカセットに収納するステップと、良品磁気ディスクを収納した良品磁気ディスクを回収するカセットを搬送ユニットでカセット収容ユニットに搬送して収容する方法において、搬送ユニットで複数の光学式検査ユニットのうちの何れかの光学式検査ユニットへ搬送するステップと複数の光学式検査ユニットそれぞれにおいて磁気ディスクの両面を検査するステップとを並行させて行うことにより、複数の光学式検査ユニットを停止させることなく連続的に搬送された検査前の磁気ディスクの検査を実行するようにした。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、検査システムのスループットを落とすことなく連続して磁気ディスクの検査を実行することが可能になった。また、シャトル搬送部を備えていることにより、検査ユニットの数を増減させても検査システムのスループットを落とすことなく連続して磁気ディスクの検査を実行することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本実施例に係る磁気ディスクの検査システム全体の概略の構成を示す図である。
【図２Ａ】図２Ａは、光学式検査部と基板搬送用ロボットとの平面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、光学式検査部と基板搬送用ロボットとの正面図である
【図２Ｃ】図２Ｃは、光学検査ユニットの概略の構成を示す正面図である。
【図３】図３は、光学式検査部で行う検査の流れを示すフロー図である。
【図４Ａ】図４Ａは、未検査磁気ディスク収納カセットをテーブルから搬出前の状態を示すシャトル搬送部と検査ユニットのカセット搬送部の斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、カセットハンドリングユニットで未検査磁気ディスク収納カセットを未検査基板用カセット搬送部へ搬送し、未検査磁気ディスクが空になった収納カセットをテーブル上へ搬送した状態を示すシャトル搬送部と検査ユニットのカセット搬送部の斜視図である。
【図５】図５は、シャトル搬送部でカセットを搬送する手順を示すフロー図である。
【図６Ａ】図６Ａは、供給カセット収容部の収容部１４１ａとシャトル搬送部の側面図を示す。
【図６Ｂ】図６Ｂは、供給カセット収容部の収容部１４２ａとシャトル搬送部の側面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態を、図を用いて説明する。
【００１５】
図１は、本実施例に係る磁気ディスクの検査システム１００の概略の構成を示す図である。本実施例に係る磁気ディスクの検査システム１００は、検査ユニットＡ１１０、検査ユニットＢ１２０、検査ユニットＣ１３０、カセットストッカ部１４０、シャトル搬送部１５０、全体制御部１６０を備えている。
【００１６】
検査ユニットＡ１１０は、光学式検査部Ａ１１１、基板搬送用ロボットＡ１１２を備えた基板搬送部Ａ１１３、未検査基板（磁気ディスク）用カセット搬送部Ａ１１４、検査済基板収納カセット搬送部Ａ１１５を備えている。
【００１７】
検査ユニットＢ１２０は、光学式検査部Ｂ１２１、基板搬送用ロボットＢ１２２を備えた基板搬送部Ｂ１２３、未検査基板用カセット搬送部Ｂ１２４、検査済基板収納カセット搬送部Ｂ１２５を備えている。
【００１８】
検査ユニットＣ１３０は、光学式検査部Ｃ１３１、基板搬送用ロボットＣ１３２を備えた基板搬送部Ｃ１３３、未検査基板用カセット搬送部Ｃ１３４、検査済基板収納カセット搬送部Ｃ１３５を備えている。
【００１９】
カセットストッカ部１４０は、供給用カセット収容部１４１と回収カセット収容部１４２とを備えている。供給用カセット収容部１４１には、未検査の磁気ディスクを収納しているカセット１４１１と、検査済みの磁気ディスクを収容するためのカセット１４１２を収容する。回収カセット収容部１４２には、未検査基板を検査ユニットＡ〜Ｃ：１１０〜１３０の何れかに供給して空になったカセット１４２１と、検査ユニットＡ〜Ｃ：１１０〜１３０の何れかで検査された基板が収納された検査済み基板収納カセット１４２２を収容する。
【００２０】
シャトル搬送部１５０は、テーブル１５１とガイドレール１５２、カセットハンドリングユニット１５３とを備えている。テーブル１５１は図示していない駆動源で駆動されて、ガイドレール１５２に沿って移動可能な構造になっている。カセットハンドリングユニット１５３はテーブル１５１に固定され、カセットストッカ部１４０とテーブル１５１との間、及び検査ユニットＡ〜Ｃ：１１０〜１３０とテーブル１５１との間でカセット１４１１，１４１２，１４２１，１４２２の受渡を行う。
【００２１】
全体制御部１６０は、検査ユニットＡ１１０、検査ユニットＢ１２０、検査ユニットＣ１３０、カセットストッカ部１４０、シャトル搬送部１５０と接続されており、各部の動作を制御する。
【００２２】
次に、検査ユニットＡ１１０、検査ユニットＢ１２０、検査ユニットＣ１３０の光学式検査部Ａ〜Ｃ：１１１，１２１，１３１と、基板搬送用ロボットＡ〜Ｃ：１１２，１２２，１３２との詳細な構成を図２Ａ〜Ｃを用いて説明する。光学式検査部Ａ〜Ｃ：１１１，１２１，１３１は同じ構造であるので、それらを代表して光学式検査部Ａ１１１の構成で説明する。また、基板搬送用ロボットＡ〜Ｃ：１１２，１２２，１３２も同じ構造であるので、それらを代表して基板搬送用ロボットＡ１１２の構成で説明する。
【００２３】
図２Ａは、検査ユニットＡ１１０の光学式検査部Ａ１１１と、基板搬送用ロボットＡ１１２との平面図である。光学式検査部Ａ１１１は、光学検査ユニット１１１１と回転テーブル部１１１２、基板反転ユニット１１１３を備えている。基板搬送用ロボットＡ１１２は、上側チャック部１１２１と下側チャック部１１２２、上側チャック部１１２１と下側チャック部１１２２とを支持(固定)する指示部１２３、多関節ロボット部１１２４を備えている。
【００２４】
図２Ｂは、検査ユニットＡ１１０の光学式検査部Ａ１１１と、基板搬送用ロボットＡ１１２との正面図である。光学式検査部Ａ１１１の光学検査ユニット１１１１は、検査光学系部１１１１１と検査光学系支持部１１１１２、テーブル部１１１１３を備え、テーブル部１１１１３に固定した検査光学系支持部１１１１２をテーブル部１１１１３で図２Ａに示した矢印２１の方向に移動させる。
【００２５】
光学式検査部Ａ１１１の回転テーブル部１１１２は、回転テーブル１１１２１と、回転テーブル１１１２１に固定されたモータ１１１２２及び１１１２３、モータ１１１２２に駆動されて回転するスピンドル１１１２４、モータ１１１２３に駆動されて回転するスピンドル１１１２５、回転テーブル１１１２１を回転駆動する駆動モータ１１１２６を備えている。
【００２６】
図２Ｃに光学検査系部１１１１１の構成を示す。光学検査系部１１１１１はスピンドル１１１２４に装着された検査対象の基板（磁気ディスク）１に光を照射する照明光学系１１１１１１と、照明光学系１１１１１１により光が照射された基板１からの反射光を検出する検出光学系１１１１１２を備えている。
【００２７】
基板反転ユニット１１１３は、基板１を挟持するチャック部１１１３１と、基板１を挟持するためにチャック部１１１３１を開閉駆動する開閉駆動部１１１３２、基板１を反転させるためにチャック部１１１３１を半回転させる回転駆動部１１１３３、チャック部１１１３１を矢印２４の前後方向に駆動する前後駆動部１１１３４、前後駆動部１１１３４を支持(固定)する支持部１１１３５、支持部１１１３５を載せて矢印２５の上下方向に駆動する上下駆動テーブル１１１３６を備えている。
【００２８】
基板搬送用ロボットＡ１１２の上側チャック部１１２１は、基板１を挟持するチャック部１１２１１と、基板１を挟持するためにチャック部１１２１１を開閉駆動する開閉駆動部１１２１２、チャック部１１２１１を矢印２６の前後方向に駆動する前後駆動部１１２１３を備え、前後駆動部１１２１３は支持部１１２３に支持(固定)されている。下側チャック部１１２２も上側チャック部１１２１と同様に、基板１を挟持するチャック部１１２２１と、基板１を挟持するためにチャック部１１２２１を開閉駆動する開閉駆動部１１２２２、チャック部１１２２１を矢印２６の前後方向に駆動する前後駆動部１１２２３を備え、前後駆動部１１２２３は支持部１１２３に支持(固定)されている。      
上記した構成で、光学式検査部１１１で行う検査の流れを図３を用いて説明する。
まず、基板搬送用ロボットＡ１１２は下側チャック部１１２２で後述する未検査基板用カセットから磁気ディスクを１回取り出して、回転テーブル１１１２１の位置２２１に停止しているスピンドル１１１２５に装着する（Ｓ３０１）。基板１を受け取った回転テーブル１１１２１は１８０度回転して基板１を受け取ったスピンドル１１１２５が２２２の位置で停止する（Ｓ３０２）。この状態でモータ１１１２３でスピンドル１１１２５を矢印２３の右の方向に回転駆動して基板１を回転させ、テーブル部１１１１３で光学検査系部１１１１１を矢印２１の方向に一定の速度で移動させ（Ｓ３０３）、照明光学系１１１１１１により光が照射された基板１からの反射光を検出光学系１１１１１２で検出し、この検出した信号を全体制御部１６０で処理して基板１上の欠陥を検出する（Ｓ３０４）。
【００２９】
基板１の上面の検査を終了したのち、光学検査系部１１１１１を矢印２１の左の方向に移動させて回転テーブル１１１２から後退させると共にスピンドル１１１２５の回転を停止させ（Ｓ３０５）、回転テーブル１１１２を１８０度反転させて上面の検査を終えた基板１を２２２の位置から２２１の位置へ戻す（Ｓ３０６）。
【００３０】
次に、基板反転ユニット１１１３を用いて、上面の検査が終わった基板１を反転させる（Ｓ３０７）。基板反転の動作は、先ず、基板反転ユニット１１１３の上下駆動テーブル１１１３６を駆動してチャック部１１１３１をスピンドル１１１２５に装着されている基板１と同じ高さまで上昇させる。次に前後駆動部１１１３４が作動してチャック部１１１３１を前進させてスピンドル１１１２５に装着されている基板１の位置で開閉駆動部１１１３２が作動してチャック部１１１３１を閉じさせて基板１を挟持させる。次に上下駆動テーブル１１１３６を駆動してチャック部１１１３１を上昇させて基板１をスピンドル１１１２５から取外す。チャック部１１１３１がある高さまで上昇したところで上下駆動テーブル１１１３６は停止し、回転駆動部１１１３３が１８０度回転して基板１を反転させて未だ検査していない方の面を上にする。次に上下駆動テーブル１１１３６を駆動してチャック部１１１３１を下降させ、反転させた基板１をスピンドル１１１２５に装着する。さらに、開閉駆動部１１１３２を作動させてチャック部１１１３１を開かせて基板１の挟持さ解除する。その後、前後駆動部１１１３４が作動してチャック部１１１３１を後退させ、上下駆動テーブル１１１３６を駆動してチャック部１１１３１を待機位置まで下降させる。
【００３１】
次に、回転テーブル１１１２を１８０度回転させて、反転させた基板１を装着したスピンドル１１１２５を２２２の位置に移動させる（Ｓ３０８）。とぎにＳ３０３からＳ３０６までと同じ動作を繰り返し（Ｓ３０９〜Ｓ３１２）両面の検査を終えた基板１を基板搬送用ロボット１１２の上側チャック部１１２１で挟持してスピンドル１１１２５から取り外し（Ｓ３１３）後述する検査済み基板収納カセットに収納する。
【００３２】
検査ユニットＡの基板搬送ロボット１２１は、図１に示した未検査基板用カセット搬送部１１４のカセット１１４１から、未検査の磁気ディスクを下側チャック部１１２２のチャック部１１２２１で挟持して取り出す。次に、上記に説明したように、光学式検査部Ａ１１１１で両面の検査が終わり回転テーブル１１１２で２２１の位置に搬送されてきた基板１を、上側チャック部１１２１のチャック部１１２１１で挟持し上に持ち上げて基板１をスピンドル１１１２５（又は１１１２４）から取外す。次に、下側チャック部１１２２のチャック部１１２２１で挟持している未検査の磁気ディスクをスピンドル１１１２５（又は１１１２４）に装着する。未検査の磁気ディスクが装着されたスピンドル１１１２５（又は１１１２４）回転テーブルで１８０度回転させられて２２２の位置へ移動し光学式検査部Ａ１１１１で検査が行われる。
【００３３】
一方、両面の検査が終わった基板１を上側チャック部１１２１のチャック部１１２１１で挟持した基板搬送ロボット１２１は、基板１の検査の結果に応じて基板１をカセットに収納する。即ち、基板１の両面に欠陥がなく良品と判定された場合には、基板１を検査済基板収納カセット搬送部Ａ１１５上の検査済基板収納カセット１１５１に収納する。もしも、基板１の一方の面または両面に欠陥が検出された場合には、欠陥基板回収用カセット１１５２に収納する。
【００３４】
次に、シャトル搬送部１５０について、図４Ａ及びＢを用いて説明する。
カセットハンドリングユニット１５３は、カセットをチャックするカセットチャック部１５３１と、カセットチャック部１５３１の開閉動作を駆動するチャック開閉駆動部１５３２、カセットチャック部１５３１の回転方向の位置を制御するチャック回転制御部１５３３、チャック回転制御部１５３３を支持するアーム部１５３４、アーム部１５３４を前後に駆動するアーム駆動部１５３５、アーム駆動部１５３５を上下に駆動してカセットチャック部１５３１の高さを変える上下駆動部１５３６を備え、上下駆動部１５３６はテーブル１５１に装着されおり、テーブル１５１と一緒にガイドレール１５２に沿って移動する。
【００３５】
図４Ａは、未検査磁気ディスク収納カセット１４１１を搬送前で、テーブル１５１に搭載されている状態を示し、図４Ｂは、カセットハンドリングユニット１５３で未検査磁気ディスク収納カセット１４１１をテーブル１５１から未検査基板用カセット搬送部１１４へ搬送し、未検査磁気ディスクが空になった収納カセット１４２１をカセットハンドリングユニット１５３で未検査基板用カセット搬送部１１４上からテーブル１５１上へ搬送した状態を示している。未検査磁気ディスク収納カセット１４１１が収納可能な磁気ディスクの枚数は、検査済の良品の磁気ディスクを収納するカセット１１５１が収納可能な磁気ディスクの枚数よりも多い。
【００３６】
次に、シャトル搬送部１５０の動作について、図４ＡとＢ及び図５を用いて説明する。
先ず、シャトル搬送部１５０のテーブル１５１をカセットストッカ部１４０の供給用カセット収容部１４１へ移動させる（Ｓ５０１）。つぎに、テーブル１５１に装着されたカセットハンドリングユニット１５３を用いて、供給用カセット収容部１４１から未検査の磁気ディスクを収容しているカセット１４１１を取り出して、テーブル１５１上に移送する（Ｓ５０２）。次に、カセットハンドリングユニット１５３で供給用カセット収容部１４１から検査済みの磁気ディスクを収容するためのカセット１４１２を取り出してテーブル１５１上に移送する（Ｓ５０３）。
【００３７】
次に、検査ユニットＡ〜Ｃ：１１０〜１３０の中で、未検査の磁気ディスクをフルに収容しているカセット１４１１がなくなっている検査ユニット（仮に検査ユニットＡとする）のところへテーブル１５１が移動し（図１の点線１５１’で示した位置）（Ｓ５０４）、テーブル１５１で搬送してきた未検査磁気ディスク収納カセット１４１１をカセットハンドリングユニット１５３で取り出して検査ユニットＡの未検査基板用カセット搬送部Ａ１１４へ搭載する（Ｓ５０５）。次に、検査ユニットＡで検査のために磁気ディスクを全て取り出して空になった未検査磁気ディスク収納カセット１４２１を、カセットハンドリングユニット１５３で未検査基板用カセット搬送部Ａ１１４から取り出してテーブル１５１上に移送し、（Ｓ５０６）空きカセットを回収する。未検査基板用カセット搬送部Ａ１１４は、未検査磁気ディスク収納カセット１４１１をベルト１１４１上に搭載してモータ（図示せず）でベルト１１４１を駆動して搬送する。
【００３８】
次に、検査済み良品の磁気ディスクが収納された検査済基板回収カセット１４１２が存在する検査ユニット(仮に検査ユニットＢとする)のところへテーブル１５１が移動し（図１の点線１５１”で示した位置）（Ｓ５０７）、テーブル１５１で搬送してきた検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２をカセットハンドリングユニット１５３で取り出して検査ユニットＢの検査済基板収納カセット搬送部Ｂ１２５へ搭載する（Ｓ５０８）。次に、検査ユニットＢの検査済基板収納カセット搬送部Ｂ１２５から、検査済で良品の磁気ディスクが収納された検査済磁気ディスク回収カセット１４１２をカセットハンドリングユニット１５３で取り出してテーブル１５１上に移送する（Ｓ５０９）。検査済基板用カセット搬送部Ｂ１２５は、検査済基盤収納カセット１４１２をベルト１２５１上に搭載してモータ（１２５２）でベルト１２５１を駆動して搬送する。
【００３９】
次に、空になった未検査磁気ディスク収納カセット１４２１と検査済で良品の磁気ディスクを収納した検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２を回収したテーブル１５１は、ガイドレール１５２に沿って移動してカセットストッカ部１４０の回収カセット収容部１４２の前まで移動する（Ｓ５１０）。回収カセット収容部１４２の位置で、カセットハンドリングユニット１５３で空になった未検査磁気ディスク収納カセット１４２１をテーブル１５１から取り出して回収カセット収容部１４２へ移し変える（Ｓ５１１）。次に、検査済みの良品の磁気ディスクで満杯になった検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２をカセットハンドリングユニット１５３でテーブル１５１から取り出して、回収カセット収容部１４２へ移し変える（Ｓ５１２）。  
上記したシャトル搬送部の動きは、一例であって、未検査磁気ディスクを収納するカセット１４２１を供給する検査ユニットと検査済みの良品の磁気ディスクを回収するカセット１４１２を供給する検査ユニットが同じユニットであっても良い。この場合Ｓ５０７のステップが無くなる。また、空になった未検査磁気ディスク収納カセット１４２１を回収した後、一旦回収カセット収容部１４２に搬送した後、何れかの検査ユニットへ移動して検査済磁気ディスクで満杯になった検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２を回収し、空の検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２を供給するようにしても良い。
【００４０】
また、図５のフローでは、Ｓ５０２で未検査磁気ディスクを収納するカセット１４２１をテーブル１５１に搭載した後、Ｓ５０３で検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２をテーブル１５１に搭載するようになっているが、何れか一方のカセットをテーブル１５１に搭載して検査ユニットへ搬送するようにしても良い。
【００４１】
更に、Ｓ５０６で未検査ディスク用の空カセットを回収し、Ｓ５０９で検査済みの良品の磁気ディスクが収納されたカセットを回収してからＳ５１０で搬出用ストッカ部１４２へシャトル搬送部１５０のテーブル１５１が戻るようになっているが、Ｓ５０６又はＳ５０９の何れかのステップを省略して、一方のカセットだけを搬出用ストッカ部１４２へ戻すようにしても良い。
【００４２】
図６Ａに、カセットストッカ部１４０の供給カセット収容部１４１のうち、未検査磁気ディスクが収納されているカセット１４１１を収容する収容部１４１ａとシャトル搬送部１５０の側面図を示す。供給カセット収容部１４１ａは未検査磁気ディスクが収納されているカセット１４１１をベルト１４１５上に搭載して搬送する。ベルト１４１５はベルト駆動軸部１４１６とローラ１４１７に掛けられている。ベルト１４１５は、シャトル搬送部１５０のカセットハンドリングユニット１５３によりベルト１４１５上の先頭のカセット１４１１ａが搬出されてシャトル搬送部１５０のテーブル１５１に搬送されると、ベルト駆動軸部１４１６によりピッチＰで矢印６１の方向に移動する。そして、最後尾のカセット１４１１ｎの後ろに、図示していない搬送手段により新たな未検査磁気ディスクが収納されているカセット１４１１ｎ＋１が供給される。
【００４３】
図６Ｂに、カセットストッカ部１４０の回収カセット収容部１４２のうち、空の未検査磁気ディスク収納カセット１４２１を回収する収容部１４２ａとシャトル搬送部１５０の側面図を示す。回収カセット収容部１４２ａは、検査ユニットＡ〜Ｃ：１１０〜１３０の何れかから回収された空の未検査磁気ディスク収納カセット１４２１をベルト１４２５上に搭載して搬送する。ベルト１４２５はベルト駆動軸部１４２６とローラ１４２７に掛けられている。ベルト１４２５上の点線で示した位置１４２１ｎ’には、シャトル搬送部１５０のカセットハンドリングユニット１５３によりテーブル１５１から搬出された空の未検査磁気ディスク収納カセット１４２１ｎが搭載される。空の未検査磁気ディスク収納カセット１４２１ｎが搭載され、先頭の空の未検査磁気ディスク収納カセット１４２１ａが図示していない手段によりベルト１４２５上から搬出されると、ベルト１４２５は、ベルト駆動軸部１４２６で駆動されてピッチＰで矢印６２の方向に移動する。
【００４４】
図示していないが、カセットストッカ部１４０の供給カセット収容部１４１の検査済磁気ディスク回収カセット１４１２を収容する収容部１４１ｂは、収容部１４１ａと同じ構成であり、検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２のサイズが未検査磁気ディスク収納カセット１４１１のサイズと異なる分だけ送りピッチＰが異なっている。
【００４５】
また、回収カセット収容部１４２の検査済磁気ディスク回収カセット１４２２を収容する収容部１４２ｂは、収容部１４２ａと同じ構成であり、検査済み磁気ディスク回収カセット１４２２のサイズが未検査磁気ディスク収納カセット１４２１のサイズと異なる分だけ送りピッチＰが異なっている。
【００４６】
以上に説明した構成により、複数の検査ユニット１１０〜１３０を備え並行して磁気ディスクの検査を行う検査システム１００において、複数のカセットを収容できるカセットストッカ部１４０と、カセットを載せてストッカ部１４０と各検査ユニット１１０〜１３０との間を行き来するシャトル搬送部１５０とを備えたことにより、複数の検査ユニットがそれぞれ磁気ディスクの検査を実行している間に、それぞれの検査ユニットの動作を止めることなく連続的に検査を行っている間に未検査磁気ディスク収納カセット１４２１を供給し、検査済み磁気ディスクで満杯になった検査済み磁気ディスク回収カセット１４１２を回収することができるようになった。
【００４７】
これにより、検査システム１００のスループットを落とすことなく連続して磁気ディスクの検査を実行することが可能になった。また、シャトル搬送部１５０を備えていることにより、検査ユニットの数を増減させても検査システム１００のスループットを落とすことなく連続して磁気ディスクの検査を実行することが可能になった。
【００４８】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・基板    １１０，１２０，１３０・・・検査ユニット    １４０・・・カセットストッカ部    １５０・・・シャトル搬送部    １５３・・・カセットハンドリングユニット    １６０・・・全体制御部。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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