(57)【要約】【課題】両面に粘着性を有する両面粘着物を被マウント材上に搭載してなる両面粘着物を有する構造体を製造するにあたって、吸着コレットを用いて、当該両面粘着物をベースフィルムから適切に拾い上げる。【解決手段】吸着工程では、軟体である両面粘着物１０の一面１１に吸着コレット６０を吸着させて当該一面１１側の全体を吸着コレット６０で保持し、剥離工程では、両面粘着物１０の一面１１の全体を吸着コレット６０で保持した状態で、両面粘着物１０の一端１３から他端１４に向かって順にベースフィルム３０を両面接着物１０が搭載された側とは反対側に曲げてベースフィルム３０から両面粘着物１０を剥がす。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面（１１）および当該一面（１１）とは反対側の他面（１２）に粘着性を有する軟体である両面粘着物（１０）の前記他面（１２）全体がベースフィルム（３０）の一面（３１）に貼り付いている粘着素材（４０）を用意する用意工程と、
前記両面粘着物（１０）の前記一面（１１）に吸着コレット（６０）を貼り付ける吸着工程と、
前記ベースフィルム（３０）の前記一面（３１）から前記両面粘着物（１０）を剥離させる剥離工程と、
この剥離した両面粘着物（１０）の前記他面（１２）を被マウント材（２０）に貼り付けるマウント工程と、を有して製造される両面粘着物を有する構造体の製造方法であって、
前記吸着工程では、前記両面粘着物（１０）の前記一面（１１）に前記吸着コレット（６０）を吸着させて当該一面（１１）側の全体を前記吸着コレット（６０）で保持し、
前記剥離工程では、前記両面粘着物（１０）の前記一面（１１）の全体を前記吸着コレット（６０）で保持した状態で、前記両面粘着物（１０）の一端（１３）から他端（１４）に向かって順に前記ベースフィルム（３０）を前記両面接着物（１０）が搭載された側とは反対側に曲げて前記ベースフィルム（３０）から前記両面粘着物（１０）を剥がすことを特徴とする両面粘着物を有する構造体の製造方法。
【請求項２】
前記ベースフィルム（３０）を曲げるときの内角（θｚ）は、鋭角であることを特徴とする請求項１に記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法。
【請求項３】
前記両面粘着物（１０）の前記他面（１２）は角部（１３ａ）を有する形状のものであり、
前記剥離工程では、この角部（１３ａ）を前記両面粘着物（１０）の前記一端として、前記ベースフィルム（３０）の曲げを行い、前記角部（１３ａ）を起点として、前記ベースフィルム（３０）の剥離を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法。
【請求項４】
前記ベースフィルム（３０）の曲げによる曲げられた部位（３３）に対応する曲げ形状をなす先端部（７１）を有する支持台（７０）に、前記ベースフィルム（３０）を搭載し、
前記剥離工程では、前記先端部（７１）に沿って前記ベースフィルム（３０）を曲げながら前記ベースフィルム（３０）を前記支持台（７０）上にスライドさせることによって、前記ベースフィルム（３０）の剥離を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法。
【請求項５】
前記剥離工程は、前記吸着コレット（６０）の吸引力により前記両面粘着物（１０）と前記吸着コレット（６０）との密着力を増加させた状態で行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表裏両面に粘着性を有する両面粘着物を被マウント材上に搭載してなる粘着物を有する構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来では、たとえばセンサチップを、ダイシングテープなどの粘着テープから剥がして拾い上げる方法として、光を当てると粘着力が低下する光反応性の粘着テープに光を当てたり（たとえば、特許文献１参照）、粘着テープをたわみ変形させたり（たとえば、特許文献２参照）することにより、粘着テープとセンサチップとの密着力を低下させ、その後、コレットの吸引力によって、センサチップを粘着テープから拾い上げる方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−６４１５１号公報
【特許文献２】特開２００４−５５６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、たとえばセンサチップなどの搭載物を配線基板などの被マウント材上に搭載・固定する場合、樹脂などよりなる両面粘着物を介して、センサチップと配線基板とを接着するのが一般的である。ここで、両面粘着物は、その一面および当該一面とは反対側の他面の両面が粘着性を有するものであり、一面側にて搭載物、他面側にて被マウント材に接着するものである。
【０００５】
そして、近年においては、予め、この両面粘着物を被マウント材上に搭載・固定した後、その上に搭載物を搭載して、両面粘着物を介した搭載物および被マウント材の接着を行いたいという要望がある。
【０００６】
この場合、両面粘着物は、テープ部材などのベースフィルムに貼り付けられたものを、吸着コレットを用いてベースフィルムから剥がして拾い上げ、その後、コレットによって、両面粘着物を被マウント材上に移動させて貼り付ける方法が考えられる。ここで、吸着コレットとは、たとえば一般的なセンサチップのマウントを行うものと同様、吸引力を利用して粘着物についてピックアップおよびマウントを行うものである。
【０００７】
しかしながら、センサチップなどとは異なり、両面粘着物は、その他面にて粘着力によりベースフィルムに貼りついているため、粘着力が強い場合には、吸着コレットの吸引力では、両面粘着物をベースフィルムから剥離させることは容易ではない。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、両面に粘着性を有する両面粘着物を被マウント材上に搭載してなる両面粘着物を有する構造体を製造するにあたって、吸着コレットを用いて、当該両面粘着物をベースフィルムから適切に拾い上げることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、一面（１１）および当該一面（１１）とは反対側の他面（１２）に粘着性を有する軟体である両面粘着物（１０）の他面（１２）全体がベースフィルム（３０）の一面（３１）に貼り付いている粘着素材（４０）を用意する用意工程と、
両面粘着物（１０）の一面（１１）に吸着コレット（６０）を貼り付ける吸着工程と、
ベースフィルム（３０）の一面（３１）から両面粘着物（１０）を剥離させる剥離工程と、
この剥離した両面粘着物（１０）の他面（１２）を被マウント材（２０）に貼り付けるマウント工程と、を有して製造される両面粘着物を有する構造体の製造方法であって、
吸着工程では、両面粘着物（１０）の一面（１１）に吸着コレット（６０）を吸着させて当該一面（１１）側の全体を前記吸着コレット（６０）で保持し、
剥離工程では、両面粘着物（１０）の一面（１１）の全体を吸着コレット（６０）で保持した状態で、両面粘着物（１０）の一端（１３）から他端（１４）に向かって順にベースフィルム（３０）を両面接着物（１０）が搭載された側とは反対側に曲げてベースフィルム（３０）から両面粘着物（１０）を剥がすことを特徴とする。
【００１０】
それによれば、両面粘着物（１０）の一端（１３）に位置させたベースフィルム（３０）の曲げられた部位（３３）を起点として、両面粘着物（１０）の他面（１２）とベースフィルム（３０）との剥離が行え、また、両面粘着物（１０）の全面を吸着コレット（６０）で保持することで、軟体である両面粘着物（１０）が曲げられた部位（３３）に沿って曲がることなく剥離できるから、吸着コレット（６０）を用いて、両面粘着物（１０）をベースフィルム（３０）から適切に拾い上げることができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法においては、ベースフィルム（３０）を曲げるときの内角（θｚ）は、鋭角であることが好ましい。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法において、両面粘着物（１０）の他面（１２）は角部（１３ａ）を有する形状のものであり、
剥離工程では、この角部（１３ａ）を両面粘着物（１０）の一端として、ベースフィルム（３０）の曲げを行い、角部（１３ａ）を起点として、ベースフィルム（３０）の剥離を行うことを特徴とする。
【００１３】
それによれば、剥離の起点部分が、線ではなく、角部（１３ａ）すなわち点となり、その点に応力が集中するので剥離が容易となる。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明のように、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法においては、ベースフィルム（３０）の曲げによる曲げられた部位（３３）に対応する曲げ形状をなす先端部（７１）を有する支持台（７０）に、ベースフィルム（３０）を搭載し、
剥離工程では、先端部（７１）に沿ってベースフィルム（３０）を曲げながらベースフィルム（３０）を支持台（７０）上にスライドさせることによって、ベースフィルム（３０）の剥離を行うものにできる。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明では、請求項１ないし４のいずれか１つに記載の両面粘着物を有する構造体の製造方法において、剥離工程は、吸着コレット（６０）の吸引力により両面粘着物（１０）と吸着コレット（６０）との密着力を増加させた状態で行うことを特徴とする。
【００１６】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態に係る両面粘着物を有する構造体の概略断面図であり、（ｂ）は同構造体の概略平面図である。
【図２】本発明者の試作方法としての構造体の製造方法を示す概略図である。
【図３】本発明の実施形態に係る両面粘着物を有する構造体の製造方法の概略を示す図である。
【図４】上記実施形態におけるベースフィルムの剥離方法と剥離起点のサイズとの関係を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１９】
図１において（ａ）は、本実施形態に係る両面粘着物１０を有する構造体の概略断面図であり、（ｂ）は同構造体の概略平面図である。この構造体は、両面粘着物１０が被マウント材２０上に搭載されてなるものである。ここで、両面粘着物１０は、シート状をなすものであり、その一面１１および当該一面１１とは反対側の他面１２に粘着性を有する軟体である。
【００２０】
具体的には、両面粘着物１０は、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂などの接着剤となる樹脂が硬化せずに、粘着性を有する半硬化状態となっているものであり、軟体として構成されているものである。そして、この両面粘着物１０は、たとえば半導体チップなどの搭載物を被マウント材２０に搭載したときの接着に用いるものであり、その両面粘着物１０の形状は、典型的には半導体チップなど同様の矩形のシート状をなすものとされる。
【００２１】
また、被マウント材２０は、たとえばセラミック基板、プリント基板などの配線基板や、リードフレーム、ヒートシンク、さらには、筺体などである。この被マウント材２０の材質としては、樹脂、金属、セラミックなど、特に限定されない。
【００２２】
次に、この構造体の製造方法、すなわち、表裏両面に粘着性を有する両面粘着物１０を被マウント材２０上に搭載してなる両面粘着物を有する構造体の製造方法について述べるが、まず、従来技術に基づいて本発明者が試作検討した試作方法について説明する。図２は、この試作方法としての製造方法を示す概略図である。
【００２３】
まず、両面１１、１２に粘着性を有する軟体である両面粘着物１０の他面１２全体がベースフィルム３０の一面３１に貼り付いている粘着素材４０を用意する（用意工程）。ここで、ベースフィルム３０は、テープ状をなすもので、両面粘着物１０との粘着力が低い低粘着性樹脂よりなる。
【００２４】
ここでは、複数個の両面粘着物１０が一定間隔をもってベースフィルム３０の長手方向に一列に配置されており、テープ状の粘着素材４０とされている。そして、ここでは、粘着素材４０は、送りロール５０に巻き取られた状態とされ、両面粘着物１０を使用するときには、必要な分の粘着素材４０が、送りロール５０から引き出されるようになっている。
【００２５】
この送りロール５０は、電動アクチュエータなどにより粘着素材４０を送り出す方向に回転するものであり、その回転は当該アクチュエータによりオンオフが可能となっている。
【００２６】
そして、図２に示されるように、送り出された粘着素材４０に対して、両面粘着物１０の一面１１に吸着コレット６０を貼り付け、吸着コレット６０の吸引力により両面粘着物１０と吸着コレット６０との密着力を増加させた状態で、ベースフィルム３０の一面３１から両面粘着物１０を剥離させる。
【００２７】
ここで、吸着コレット６０は、たとえば一般的なセンサチップのマウントを行うものと同様、吸引力を利用して粘着物についてピックアップおよびマウントを行うとともに、電動式のアクチュエータなどにより、上下左右方向に移動できるようになっているものである。
【００２８】
そして、この吸着コレット６０とともに剥離した両面粘着物１０を被マウント材２０上まで移動させ、両面粘着物１０の他面１２を被マウント材２０に貼り付ける（マウント工程）。これにより両面粘着物１０を有する構造体ができあがる。
【００２９】
このような試作方法において、両面粘着物１０をベースフィルム３０から剥がして被マウント材２０上に搭載する場合、両面粘着物１０とこれら各部材２０、３０、６０との密着力が、被マウント材２０＞吸着コレット６０＞ベースフィルム３０でなければ、両面粘着物１０が被マウント材２０側へ移っていかない。
【００３０】
これら各部材２０、３０、６０の材質や表面状態を変えて（たとえばアンカー効果等を利用して）やれば、両面粘着物１０との粘着力に差を付けるようにできるが、この粘着力は微妙な表面状態の変化や環境（温度、湿度など）の変化によって、ある程度ばらつくため、明確に差を付けることは難しい。その結果、両面粘着物１０のベースフィルム３０からの剥離ができない場合もあるし、または被マウント材２０への搭載ができない状況が発生する。
【００３１】
ここで、上記密着力の大小関係の如くに各部材２０、３０、６０の密着力に差を付けるため、ベースフィルム３０から両面粘着物１０を剥がしてピックアップする時には吸着コレット６０の吸着力をオンにして、吸着コレット６０と両面粘着物１０との密着力を増加させ、一方、両面粘着物１０の被マウント材２０への搭載時には、吸着コレット６０の吸着力をオフにして、密着力の差のみによって、両面粘着物１０を被マウント材２０へ貼り付ける方法が考えられる。
【００３２】
しかし、この方法では、密着力の弱い両面粘着物１０では、剥離・マウントが可能であるが、コレット６０の吸着力に対して密着力が強い両面粘着物１０では、吸着力の効果が弱く、密着力に差を付けることができない。
【００３３】
このような試作方法における検討事項を考慮して、本実施形態では、ベースフィルム３０から両面粘着物１０を剥がす方法に工夫を加えた。図３は、本発明の実施形態に係る両面粘着物１０を有する構造体の製造方法の概略を示す図である。
【００３４】
図３に示されるように、両面粘着物１０がベースフィルム３０に貼り付いてなる粘着素材４０はテープ状をなし、送りロール５０に巻き取られた状態とされている。送りロール５０は、電動アクチュエータなどにより粘着素材４０を送り出す方向に回転するものであり、必要な分の粘着素材４０が、送りロール５０から一定方向に引き出されるようになっている。この送り出しの回転は当該アクチュエータによりオンオフされる。
【００３５】
送りロール５０から送り出された粘着素材４０は、支持台７０に支持されながら、支持台７０上を上記送り出しの方向にスライドしていく。ここで、粘着素材４０は、ベースフィルム３０の他面３２を支持台７０に接触させつつ、両面粘着物１０が位置する一面３１側を支持台７０上に向けて移動する。
【００３６】
ここで、上記送り出し方向における支持台７０の終端には、支持台７０上のベースフィルム３０の厚さ方向に沿った断面形状が鋭角に尖った形状をなす先端部７１が設けられている。そして、ベースフィルム３０は、この支持台７０の先端部７１にて折り曲げられ、その先で巻き取りロール８０により巻き取られるようになっている。
【００３７】
この巻き取りロール８０は電動アクチュエータなどによりベースフィルム３０を巻き取る方向に回転するものであり、これにより、図３中の矢印Ａに示されるように、ベースフィルム３０が荷重をかけて巻き取られることで、ベースフィルム３０は緩みなく支持台７０上から先端部７１で曲げられて巻き取りロール８０に至るようになっている。
【００３８】
そして、本実施形態の製造方法においても、図３に示されるように、用意され、送り出された粘着素材４０に対して、両面粘着物１０の一面１１に吸着コレット６０を貼り付け（吸着工程）、吸着コレット６０の吸引力により両面粘着物１０と吸着コレット６０との密着力を増加させた状態で、ベースフィルム３０の一面３１から両面粘着物１０を剥離させる（剥離工程）。
【００３９】
ここで、本実施形態では、吸着コレット６０を支持台７０の先端部７１上に位置させる。そして、吸着工程では、両面粘着物１０の一面１１に吸着コレット６０を吸着させて両面粘着物１０の一面１１側の全体を吸着コレット６０で保持する。そのため、吸着コレット６０の保持面の外郭は、両面粘着物１０の一面１１と同等以上の平面サイズとされている。
【００４０】
このとき、支持台７０上をスライドするベースフィルム３０は、先端部７１で折り曲げられるため、この先端部７１の形状に倣って曲がる。ここでは、先端部７１は鋭角形状をなすため、ベースフィルム３０は、その一面３０と両面粘着物１０の他面１２との角度θｚすなわち内角θｚが鋭角をなすように、曲げられる。
【００４１】
つまり、ベースフィルム３０とともに支持台７０上をスライドする両面粘着物１０の一端１３が、先端部７１上に来たとき、この両面粘着物１０の一端側にて、上記内角θｚをなすように、ベースフィルム３０を曲げるのである。
【００４２】
そして、本実施形態の製造方法では、このベースフィルム３０の曲げられた部位３３が両面粘着物１０の一端１３から他端１４側に向けて移動するように、当該曲げられた部位３３と両面粘着物１０の他面１２との相対的位置関係を変えていくことにより、ベースフィルム３０を剥離させる。
【００４３】
具体的には、ベースフィルム３０の曲げられた部位３３に対応する曲げ形状をなす先端部７１を有する支持台７０に、ベースフィルム３０が搭載されるが、先端部７１に沿ってベースフィルム３０を曲げながらベースフィルム３０を支持台７０上にスライドさせることによって、上記の如く、曲げられた部位３３と両面粘着物１０の他面１２との相対的位置関係を変えていくのである。
【００４４】
この場合、たとえば、吸着コレット６０とともに両面粘着物１０の位置を固定し、巻き取りロール８０はオン状態すなわち巻き取り回転を行う状態としつつ、送りロール５０はオフ状態すなわち送り回転を停止した状態としておく。
【００４５】
そして、この状態で両面粘着物１０の一端１３から他端１４に向かう方向（矢印Ｂ方向）に支持台７０を移動させれば、曲げられた部位３３が両面粘着物１０の一端１３から他端１４側に向けて移動するように、上記相対的位置関係が変わり、ベースフィルム３０の剥離が行える。この支持台７０の移動は、電動アクチュエータなどにより容易に行える。
【００４６】
また、その他、支持台７０の位置を固定し、巻き取りロール８０はオン状態、送りロール５０もオン状態すなわち送り回転を行う状態としておき、この状態で吸着コレット６０により両面粘着物１０を、両面粘着物１０の他端１４から一端１３に向かう方向（矢印Ｃ方向）に沿って、ベースフィルム３０のスライド速度と同じ速度で移動させてもよい。そうすれば、曲げられた部位３３が両面粘着物１０の一端１３から他端１４側に向けて移動するように、上記相対的位置関係が変わり、ベースフィルム３０の剥離が行える。
【００４７】
こうして、両面粘着物１０をベースフィルム３０から剥がした後、吸着コレット６０とともに剥離した両面粘着物１０を被マウント材２０上まで移動させ、両面粘着物１０の他面１２を被マウント材２０に貼り付ける（マウント工程）。一方、曲げられた部位３３にて両面粘着物１０が除去されたベースフィルム３０は巻き取りロール８０に巻き取られる。これにより両面粘着物１０を有する構造体ができあがる。
【００４８】
ところで、本実施形態の製造方法によれば、吸着工程では、両面粘着物１０の一面１１に吸着コレット６０を吸着させて当該一面１１側の全体を吸着コレット６０で保持し、剥離工程では、両面粘着物１０の一面１１の全体を吸着コレット６０で保持した状態で、両面粘着物１０の一端１３から他端１４に向かって順にベースフィルム３０を両面接着物１０が搭載された側とは反対側に曲げてベースフィルム３０から両面粘着物１０を剥がすようにしている。
【００４９】
そのため、両面粘着物１０の一端１３に位置させたベースフィルム３０の曲げられた部位３３を起点として、両面粘着物１０の他面１２とベースフィルム３０との剥離が行える。つまり、従来方法では、両面粘着物１０の他面１２の全体が剥離の起点となったが、この曲げられた部位３３を形成することで、起点をより小さい面積にすることができるから、より小さな剥離力で剥離が行えるのである。
【００５０】
また、両面粘着物１０の全面を吸着コレット６０で保持することで、軟体である両面粘着物１０が曲げられた部位３３に倣って曲がることなく剥離できる。そのため、本実施形態によれば、吸着コレット６０を用いて、両面粘着物１０をベースフィルム３０から適切に拾い上げることができる。
【００５１】
また、両面粘着物１０の被マウント材２０へのマウントについては、両面粘着物１０における吸着コレット６０との密着力が被マウント材２０との密着力よりも小さいことが前提となる。このように吸着コレット６０との粘着力を小さくした場合、一般には両面粘着物１０をベースフィルム３０から剥がせないことが起こりやすくなる。
【００５２】
しかし、本実施形態では、吸着コレット６０との密着力については、吸着コレット６０の吸引力を利用して増加させつつ、ベースフィルム３０に曲げられた部位３３を形成して、局所的な剥離の起点を設けることで、吸着コレット６０の材質自体の密着力は小さくとも、両面粘着物１０の剥離およびマウントを両立させているのである。
【００５３】
また、両面粘着物１０をベースフィルム３０から剥がす力である剥離力は、剥離開始時が最大となり、剥離が進行すると開始時よりも小さな力で剥がすことができる。そのため、この剥離力は、剥離の起点のサイズに依存する。
【００５４】
図４は、本実施形態におけるベースフィルム３０の剥離方法と剥離起点のサイズとの関係を示す概略平面図である。図４中、（ａ）は比較例として上記図１に示した方法を示し、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は本実施形態における上記曲げられた部位３３を形成して剥離させる方法を示す。
【００５５】
また、図４（ｂ）に示したＸ、Ｙ、Ｚの各方向は（ａ）、（ｃ）、（ｄ）についても共通のものであり、ＸＹ方向はベースフィルム３０の一面３１と平行な平面を意味し、Ｚ方向はこのＸＹ平面の法線方向を意味する。
【００５６】
また、図４は上記支持台７０上のベースフィルム３０の一面３１側を上方から視たときの平面構成を示しているが、図４（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）中の点ハッチング部分は、ベースフィルム３０における上記曲げられた部位３３と上記巻き取りロール８０との間の折り返し部分を示している。また、図４（ａ）〜（ｄ）において剥離起点は黒塗り部分として示してある。
【００５７】
この図４（ａ）に示されるように、吸着コレット６０によってベースフィルム３０の一面３１から両面粘着物１０を真上、すなわちＺ方向に引き上げた場合、剥離起点はベースフィルム３０に粘着している両面粘着物１０の他面１２全体となり、大きな剥離力が必要となる。
【００５８】
それに対して、図４（ｂ）に示される本実施形態のように、ベースフィルム３０をＺ方向に鋭角に剥がした場合、剥離起点は、矩形シート状を成す両面粘着物１０の一端１３側の辺に相当する線となり、図４（ａ）に比べて大幅に剥離力を低減することができる。
【００５９】
さらに、図４（ｃ）に示されるように、ベースフィルム３０をＺ方向に鋭角に剥がすだけでなく、矩形シート状の両面粘着物１０を図４（ｂ）に比べてＸＹ方向に斜めに配置することにより、両面粘着物１０の他面１２の角部１３ａが、両面粘着物１０の一端１３ａとしてベースフィルム３０の曲げられた部位３３に位置する。
【００６０】
また、図４（ｄ）に示されるように、ベースフィルム３０をＺ方向に鋭角に剥がすだけでなく、ベースフィルム３０を図４（ｂ）に比べてＸＹ方向に斜めに引っ張ることによっても、両面粘着物１０の他面１２の角部１３ａが、ベースフィルム３０の曲げられた部位３３に位置する。
【００６１】
この図４（ｃ）、（ｄ）に示されるように、曲げられた部位３３のエッジと両面粘着物１０との接触部を、矩形シート状の両面粘着物１０の角部１３ａに位置させれば、剥離起点は角部１３ａすなわち点となり、その点に応力が集中するので、剥離力を最小に抑えることが可能となる。
【００６２】
このように、両面粘着物１０の他面１２が角部１３ａを有する形状の場合、この角部１３ａを両面粘着物１０の一端として、曲げられた部位３３が角部１３ａに位置するように、ベースフィルム３０の曲げを行い、角部１３ａを起点として、上記同様に上記相対的位置関係を変えていき、ベースフィルム３０の剥離を行えば、より効果的である。
【００６３】
（他の実施形態）
なお、上記内角θｚは鋭角であることが望ましいが、両面粘着物１０の密着力の度合いに応じて必ずしも鋭角である必要はなく、１８０未満すなわち０度以上１８０度未満で曲がっていればよく、たとえば９０度および鈍角でもよい。
【００６４】
また、上記剥離が適切に行われるならば、剥離工程にて、吸着コレット６０の吸引力をオフにした状態で、両面粘着物１０と吸着コレット６０とを密着させ、ベースフィルム３０の一面３１から両面粘着物１０を剥離させるようにしてもよい。
【００６５】
また、被マウント材２０としては、上記した基板等以外にも、たとえば半導体チップやウェハなどであってもよい。つまり、これらチップが搭載される基板側に両面粘着物１０をマウントし、その上にチップを搭載する場合とは逆に、予めチップ側に両面粘着物１０を搭載し、その後、両面粘着物１０を介してチップと基板とを接着するようにしてもよい。
【００６６】
また、両面粘着物１０は、１つの被マウント材２０に１個のみ貼り付けられることに限定されるものではなく、１つの被マウント材２０に２個以上貼り付けられてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１０    両面粘着物
１１    両面粘着物の一面
１２    両面粘着物の他面
１３    両面粘着物の一端
１３ａ  両面粘着物の角部
１４    両面粘着物の他端
２０    被マウント材
３０    ベースフィルム
３１    ベースフィルムの一面
３３    曲げられた部位
４０    粘着素材
６０    吸着コレット
７０    支持台
７１    支持台の先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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