(57)【要約】【課題】ＧＵＩツールでのフェイルビットマップデータ表示処理におけるメモリ使用量を抑え、処理速度を向上させることができる半導体メモリ検査装置を提供すること。【解決手段】表示画面にフェイルビットマップを表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、前記表示画面に、前記フェイルビットマップのサムネイル画面を表示する全体表示領域と、前記フェイルビットマップの拡大詳細画面を表示する詳細表示領域を設け、前記フェイルビットマップの拡大詳細画面には、前記サムネイルデータに基づく画像または前記フェイルビットマップデータがＸＹの二次元方向にインデックス化された分割データに基づく画像が表示されることを特徴とするもの。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示画面にフェイルビットマップを表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、
前記表示画面に、前記フェイルビットマップのサムネイル画面を表示する全体表示領域と、前記フェイルビットマップの拡大詳細画面を表示する詳細表示領域を設け、
前記フェイルビットマップの拡大詳細画面には、前記サムネイルデータに基づく画像または前記フェイルビットマップデータがＸＹの二次元方向にインデックス化された分割データに基づく画像が表示されることを特徴とする半導体メモリ検査装置。
【請求項２】
前記詳細表示領域に表示されている前記フェイルビットマップ上で所望部分を選択指定することにより、選択部分に対応した前記分割データに基づく画像が表示されることを特徴とする請求項１記載の半導体メモリ検査装置。
【請求項３】
前記フェイルビットマップデータのＸＹ二次元方向のインデックス化にあたり、フェイルビットマップデータのＸ／Ｙアドレスサイズと圧縮率に基づきＸ／Ｙ分割数を求めることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体メモリ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体メモリ検査装置に関し、詳しくは、フェイルビットマップデータの表示処理の高速化に関するものである。
【０００２】
図４は従来の半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図であり、（Ａ）は検査のブロック図を示し、（Ｂ）はフェイルビットマップ表示の一例を示している。
【０００３】
図４（Ａ）において、半導体メモリ検査装置２００のうち、検査部２１０とＧＵＩ部２２０を示している。検査部２１０の検査回路２１１は、被検査対象デバイス（以下ＤＵＴという）である半導体メモリ１００の各記憶セルに対して検査用データの書き込み/読み出しを行って記憶セルの不良の有無を判定し、それらの判定結果はフェイル情報としてフェイルメモリ（以下ＦＭという）２１２に格納される。
【０００４】
ＧＵＩ部２２０は、一連の検査が終了すると、ＦＭ２１２からＤＵＴ１００であるウェハ上のチップのそれぞれについてフェイルになったアドレス情報を受け取り、ウェハ形状のビットマップデータ（以下ウェハビットマップという）に加工してウェハビットマップ表示部２２１に図４（Ｂ）に示すようなフェイルセルの分布状態を圧縮した複数のパターンとして表示するとともに、フェイル情報表示部２２２にテキストとして表示する。
【０００５】
たとえばウェハビットマップ表示部２２１ではウェハビットマップの拡大縮小表示や重ね合わせ表示も行われ、フェイル情報表示部２２２にはチップごとにフェイルアドレスの検索・フェイル数の取得などの各種テキスト情報が表示される。
【０００６】
ところで、フェイルビットマップデータの表示・解析ツールに使用するデータは、図５（Ａ）に示すようにＸ方向およびＹ方向にフェイルビットマップデータとして展開されていて、データ量は膨大になる。そこで、図５（Ｂ）に示すように、Ｘ方向にシリアルに圧縮したデータ形式のファイルとしてファイル格納部２３０に格納されている。
【０００７】
図６はフェイルビットマップデータをＧＵＩツールを用いて表示するための従来の構成例を示すブロック図であり、図５と共通する部分であっても図５とは異なる符号を付けている。図６において、ユーザーは、ファイル格納部１０に格納されている所望のデータファイルを読み出すために、たとえばオペコン２０の操作部としてのマウス２１を操作し、ＧＵＩ部３０のファイル指定部３１を介して該当するファイルを選択指定する。
【０００８】
ファイル読出部３２は、ファイル指定部３１の選択指定に基づき、ファイル格納部１０から該当するデータファイルをデータ処理部３３に読み出す。
【０００９】
データ処理部３３は、データ復元範囲指定部３３ａ、データ復元部３３ｂ、ビットマップデータ取得部３３ｃ、表示データ作成部３３ｄなどで構成されている。
【００１０】
フェイルビットマップデータをＧＵＩツールを用いて表示するのにあたっては、ズーム表示したりスクロール表示などを行う。
【００１１】
そこで、データ復元範囲指定部３３ａは、たとえばオペコン２０のマウス２１の操作により表示範囲指定部３４で指定される表示範囲に基づいてフェイルビットマップデータのうちから復元すべき特定の範囲を指定し、データ復元部３３ｂでその範囲のビットマップデータを復元し、ビットマップデータ取得部３３ｃにより復元したビットマップデータを取得する。
【００１２】
そして、表示データ作成部３３ｄは、取得したビットマップデータに基づいて、表示範囲指定部３４で指定された表示範囲に対応した表示データを作成する。
【００１３】
表示データ作成部３３ｄで作成された表示データは、表示制御部３５を介してオペコン２０の表示装置２２に表示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
特許文献１には、半導体ウェハのメモリセルの不良情報をインターネットやイントラネットを介して開示する構成が開示されている。特許文献２には、フェイルビットマップ同士の重ね合わせ操作の簡略化に関する構成が開示されている。
【００１５】
【特許文献１】特開平１０−３０８０９９
【特許文献２】特開平２００２−１６２４４９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、図６のような構成によれば、特定範囲のビットマップを取得するのにあたり、圧縮されたデータのうち必要なところまでを復元した状態で、該当範囲のデータを取り出すことになるため、メモリ使用量が増え、処理時間もかかるという問題がある。
【００１７】
本発明は、このような課題を解決するものであり、その目的は、ＧＵＩツールでのフェイルビットマップデータ表示処理におけるメモリ使用量を抑え、処理速度を向上させることができる半導体メモリ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
表示画面にフェイルビットマップを表示するように構成された半導体メモリ検査装置において、
前記表示画面に、前記フェイルビットマップのサムネイル画面を表示する全体表示領域と、前記フェイルビットマップの拡大詳細画面を表示する詳細表示領域を設け、
前記フェイルビットマップの拡大詳細画面には、前記サムネイルデータに基づく画像または前記フェイルビットマップデータがＸＹの二次元方向にインデックス化された分割データに基づく画像が表示されることを特徴とする。
【００１９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の半導体メモリ検査装置において、
前記詳細表示領域に表示されている前記フェイルビットマップ上で所望部分を選択指定することにより、選択部分に対応した前記分割データに基づく画像が表示されることを特徴とする。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の半導体メモリ検査装置において、
前記フェイルビットマップデータのＸＹ二次元方向のインデックス化にあたり、フェイルビットマップデータのＸ／Ｙアドレスサイズと圧縮率に基づきＸ／Ｙ分割数を求めることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
これらにより、ＧＵＩツールでのフェイルビットマップデータ表示処理におけるメモリ使用量を抑えることができ、処理速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】フェイルビットマップデータのインデックス化処理の流れを説明するフローチャートである。
【図３】表示装置２２の表示画面例図である。
【図４】従来の半導体メモリ検査装置による半導体メモリの検査説明図である。
【図５】表示・解析ツールに使用するフェイルビットマップデータの説明図である。
【図６】フェイルビットマップデータをＧＵＩツールを用いて表示するための従来の構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図６と共通する部分には同一の符号を付けている。図１と図６の相違点は、ＧＵＩ部３０の構成にある。
【００２４】
図１において、データ処理部３３には、表示データ作成部３３ｄの他、データ作成部３３ｅとデータ保持部３３ｆが設けられている。
【００２５】
データ作成部３３ｅは、インデックス作成部３３ｅ１とサムネイル作成部３３ｅ２などで構成されている。
【００２６】
データ保持部３３ｆには、インデックス保持領域３３ｆ１、分割データ保持領域３３ｆ２、サムネイル保持領域３３ｆ３などが設けられている。なお、データ保持部３３ｆはたとえばチップ毎に設けられるものであり、実施例では３チップ分が設けられている。
【００２７】
データ保持部３３ｆは、あらかじめ設定されている所定容量の保持領域を確保しているのではなく、読み出されたビットマップデータファイルを開いたときに、そのデータ（ビットマップサイズ、フェイルのパターンなど）に基づいて必要な保持領域が確保される。
【００２８】
このデータ保持部３３ｆに保持されているデータは、別のビットマップデータファイルを開きなおすときや、ＧＵＩツールのウィンドウを閉じるときなどのタイミングで消去され、書き換え更新される。
【００２９】
さらに、ＧＵＩ部３０には、表示範囲指定部３４の出力に基づいてデータ処理の対象範囲を指定するデータ範囲指定部３６も設けられている。
【００３０】
図１の動作を説明する。
ユーザーがオペコン２０のマウス２１を操作し、ファイル格納部１０から読み込むべきファイルをＧＵＩ部３０のファイル指定部３１を介して指定すると、ファイル読出部３２はファイル格納部１０から該当するフェイルビットマップデータファイルをＧＵＩ部３０で使用可能な状態で読み込む。
【００３１】
データ作成部３３ｅのインデックス作成部３３ｅ１は、フェイルビットマップデータをインデックス化して保持するためのＸＹの二次元方向に配列されたデータのインデックスを作成する。具体的には、圧縮されているフェイルビットマップデータを順次読み込みながら解凍し、インデックス化されて配列されている該当箇所にインデックスデータをセットする。
【００３２】
データ作成部３３ｅのサムネイル作成部３３ｅ２は、フェイルビットマップデータ全体に所定の比率で縮退処理を施すことにより、全体描画用のサムネイルデータを作成する。
【００３３】
データ保持部３３ｆのインデックス保持領域３３ｆ１にはインデックスデータが保持され、分割データ保持領域３３ｆ２にはインデックス保持領域３３ｆ１に保持されているそれぞれのインデックスに対応した分割データが保持される。これら分割データは、復元可能な圧縮形式に順次圧縮されて保持されるものであり、フェイルビットマップデータのＸ／Ｙアドレスサイズと圧縮率によって決まる分割数で二次元にインデックス化された配列となっている。サムネイル保持領域３３ｆ３には分割データ保持領域３３ｆ２に保持されている分割データより粗いイメージとなるように縮退されたサムネイルデータが保持されている。なお、サムネイルデータの圧縮率は、フェイルビットマップデータのサイズによって決まる。
【００３４】
分割データ保持領域３３ｆ２に保持されている分割データは、全てのデータがセットされた状態でフェイルが１つもない場合には破棄され、インデックス保持領域３３ｆ１に保持されている該当するインデックスデータも破棄される。これにより、データ保持部３３ｆのデータサイズを抑えることができる。
【００３５】
図２は、フェイルビットマップデータのインデックス化処理の流れを説明するフローチャートである。まず、フェイルビットマップデータのＸ／Ｙアドレスサイズと圧縮率に基づいて、保持するフェイルビットマップデータに適切なＸ／Ｙ分割数（配列要素数）を算出し決定する（ステップＳ１）。ここで算出したＹ分割個数分繰り返して、それぞれの処理を行う（ステップＳ２からＳ１３）。
【００３６】
次に、Ｘ分割方向に、１行分の分割データ配列を作成する（ステップＳ３、Ｓ４、Ｓ５）。ここで、分割データとは、分割データ保持領域３３ｆ２に保持されているデータ１つのことを指し、フェイルビットマップデータをＸＹの二次元方向に分割した領域を、圧縮して格納保持するためのもので、入力したデータをリアルタイムに圧縮する機能を持っているものである。分割データ配列とは、この分割データの二次元配列を指す。
【００３７】
次に、ステップＳ４にて作成した分割データ配列に対して、該当する領域のフェイルビットマップデータをセットする（ステップＳ６からＳ１２）。具体的には、分割データ格納処理を、分割データのＹアドレスサイズ分繰り返して実行する中で（ステップＳ６からＳ１２）、ステップＳ１で算出したＸ分割個数分繰り返すことにより（ステップＳ７からＳ１１）各分割データへフェイルビットマップデータをセットする。
【００３８】
さらに、分割データのＸアドレスサイズ×Ｙアドレス１ビット分のフェイルビットマップデータを、ファイルの圧縮データから順次読み込みながら解凍する（ステップＳ８）。そして、分割データの該当箇所に読み込まれたデータをセットし（ステップＳ９）、分割データにデータがセットされたものから順次圧縮する（ステップＳ１０）。
【００３９】
図３は、表示装置２２の表示画面例図である。表示画面には、全体表示領域２２ａと詳細表示領域２２ｂが設けられている。全体表示領域２２ａには、データ保持部３３ｆのサムネイル保持領域３３ｆ３に保持されているサムネイルデータに基づくフェイルビットマップが常に表示されている。詳細表示領域２２ｂには、ユーザーによるオペコン２０のマウス２１の操作に基づく所定の画像が表示される。
【００４０】
ユーザーが表示倍率としてたとえばサムネイルデータの圧縮率以下のフェイルビットマップデータの全体を表示できる倍率（１／１０２４や１／４０９６など）に設定すると、詳細表示領域２２ｂにはデータ保持部３３ｆのサムネイル保持領域３３ｆ３に保持されているサムネイルデータに基づくフェイルビットマップが表示される。
【００４１】
ユーザーがオペコン２０のマウス２１を操作して詳細表示領域２２ｂに表示されているフェイルビットマップ上で拡大表示したい部分を選択指定するとともに表示倍率を指定すると、表示範囲指定部３４によりＧＵＩ部３０における表示範囲が指定されるとともに、データ範囲指定部３６によりデータ保持部３３ｆのインデックス保持領域３３ｆ１に保持されているインデックスから該当するインデックスが選択される。
【００４２】
選択されたインデックスに基づいて対応する分割データが表示データ作成部３３ｄに読み出される。
【００４３】
表示データ作成部３３ｄは、取得した圧縮されている分割データを復元した後、表示倍率に応じた表示の圧縮率に合わせて再圧縮を行い、表示用データを作成した上で表示装置２２に出力して詳細表示領域２２ｂに設定された表示倍率および範囲に基づく拡大画像を表示する。
【００４４】
このようにフェイルビットマップデータをインデックス化することにより、フェイルビットマップデータの部分読み出しを高速化でき、表示処理時のメモリ使用量も減らすことができる。
【００４５】
そして、サムネイルデータを作成することにより、フェイルビットマップデータ全体のイメージ表示を高速化できる。
【００４６】
なお、上記実施例では、フェイルビットマップデータをインデックス化する例について説明したが、これに限るものではなく、２値のビットマップデータであれば同様の処理を行うことができる。
【００４７】
以上説明したように、本発明によれば、所望の条件と一致するフェイルチップを効率よく検索でき、その検索結果を見やすく表示できる半導体メモリ検査装置が実現でき、半導体メモリのフェイル解析作業を効率よく行える。
【符号の説明】
【００４８】
１０  ファイル格納部
２０  オペコン
２１  操作部（マウス）
２２  表示装置
３０  ＧＵＩ部
３１  ファイル指定部
３２  ファイル読出部
３３  データ処理部
３３ｄ  表示データ作成部
３３ｅ  データ作成部
３３ｅ１  インデックス作成部
３３ｅ２  サムネイル作成部
３３ｆ  データ保持部
３３ｆ１  インデックス保持領域
３３ｆ２  分割データ保持領域
３３ｆ３  サムネイル保持領域
３４  表示範囲指定部
３５  表示制御部
３６  データ範囲指定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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