(57)【要約】【課題】検出手段によって接着シートを精度良く検出でき、当該検出のための調整作業の負担を軽減することができるようにすること。【解決手段】シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、この繰出手段１２で繰り出される原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離手段１４と、剥離手段１４を通過する接着シートＳを検出する検出手段１６と、この検出手段１６の検出結果を基に、繰出手段１２を所定制御可能な制御手段１９とを備えて構成されている。剥離手段１４は、検出手段１６に向かって光を発光可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出される前記原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、この剥離手段を通過する接着シートを検出する検出手段と、この検出手段の検出結果を基に、前記繰出手段を所定制御可能な制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離手段は、前記検出手段に向かって光を発光可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、光を散乱可能な散乱体により形成されることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記剥離手段は、光源を内蔵可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記剥離手段は、前記光の色を変更可能な変色手段を含むことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離手段により剥離する工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離する工程で当該接着シートを検出手段で検出する工程と、
前記検出手段の検出結果を基に、前記接着シートが所定の動作を行うように制御する工程とを有するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す工程において前記剥離手段により前記検出手段に向かって光を発光しながら前記原反を繰り出す工程を有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、検出手段により接着シートの位置を確実に検出して被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、接着シートが仮着された帯状の剥離シートを繰り出す繰出手段と、繰り出し中の剥離シート上の接着シート端部に光を照射する照明器と、照明器による接着シートへの反射光を撮像するカメラとを備え、カメラで撮像した接着シートのデータに基づき、当該接着シートの位置を検出し、接着シートと被着体とを位置合わせして接着シートが被着体に貼付されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２０８２３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のシート貼付装置では、照明器の光が接着シート及び剥離シートの両方から反射することとなるため、接着シート及び剥離シートのコントラストが小さくなる等、カメラによる接着シートの位置検出が困難になり、検出精度も低下することとなる。よって、カメラでの接着シートの位置検出を良好に行えるようにすべく、照明器の位置調整や角度調整の作業に多大な手間が掛かる、という不都合がある。しかも、接着シートや剥離シートの反射光は、それらの形状や色、艶、光沢等の条件によって変化し易いものであり、別の接着シートに変更する度に、前記調整の負担を強いられるという不都合も招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、検出手段によって接着シートを精度良く検出でき、当該検出のための調整作業の負担を軽減することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、この繰出手段で繰り出される前記原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、この剥離手段を通過する接着シートを検出する検出手段と、この検出手段の検出結果を基に、前記繰出手段を所定制御可能な制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離手段は、前記検出手段に向かって光を発光可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記剥離手段は、光を散乱可能な散乱体により形成される、という構成を採ってもよい。
【０００８】
また、前記剥離手段は、光源を内蔵可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。
【０００９】
更に、前記剥離手段は、前記光の色を変更可能な変色手段を含むとよい。
【００１０】
また、本発明の貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離手段により剥離する工程と、
前記剥離シートから接着シートを剥離する工程で当該接着シートを検出手段で検出する工程と、
前記検出手段の検出結果を基に、前記接着シートが所定の動作を行うように制御する工程とを有するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す工程において前記剥離手段により前記検出手段に向かって光を発光しながら前記原反を繰り出す工程を有する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、剥離手段から照射される光が原反を通じて検出手段に照射されるので、検出手段による位置検出時に、剥離シートと接着シートとのコントラストを大きく維持することができる。これにより、検出手段での検出精度を向上できる他、従来のようにカメラで接着シート等の反射光を撮像しなくてよいので、当該反射光の撮像に伴う照明器の位置や角度の調整を省略して準備作業の手間を少なくすることが可能となる。しかも、本発明の方が反射光を撮像する場合に比べ、接着シートや剥離シートの色や光沢等の影響を受け難くなり、これによっても、検出精度向上を図ることができる他、接着シートの種類を変更した際の調整負担も軽減することが可能となる。
【００１２】
また、剥離手段を散乱体により形成した場合、例えば、一箇所の光源の発光により剥離手段を全体的に一定の明るさに発光させることができる。これにより、接着シートと剥離シートとのコントラストをより認識し易くすることができ、接着シートの外縁位置等を安定した精度で検出することが可能となる。更に、発光可能な範囲を広くして検出手段の設置位置の自由度を高めることができる。また、光源がどこであっても散乱体に光を照射されれば当該散乱体を発光可能となるので、光源の設置位置の制約を緩和することができる。
【００１３】
更に、剥離手段が光源を内臓可能とした場合、剥離手段周りのスペースをより広く活用することが可能となる。しかも、光源からの光が剥離手段に入射される前に遮られたりすることを回避でき、剥離手段をより安定して光照射させることができる。
【００１４】
また、剥離手段が変色手段を含む場合、剥離シートや接着シートの色等に応じて、それらのコントラストを検出手段で検出し易いように照射する光の色を変更可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】剥離手段の部分拡大図。
【図３】剥離手段の斜視図。
【図４】変形例に係る剥離手段の概略正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１、図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷを保持する保持手段１１と、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＳが所定間隔を隔てて仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、繰出手段１２で繰り出される原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離手段１４と、剥離手段１４の図１中上方に設けられた検出手段１６と、剥離手段１４の同図中左側に設けられた押圧手段１７としてのプレスローラ４５と、保持手段１１、繰出手段１２、剥離手段１４及び検出手段１６等を所定制御する制御手段１９とを備えて構成されている。接着シートＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に設けられた接着剤層ＡＤとを備え、この接着剤層ＡＤを介してウエハＷの回路面（図１中上面）に貼付可能となっている。
【００１８】
前記保持手段１１は、ウエハＷを上面で吸着して保持するテーブル２０と、スライダ２１Ａを介してテーブル２０を図１中左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ２１とを備えている。
【００１９】
前記繰出手段１２は、ロール状の原反Ｒを支持する支持軸２３と、この支持軸２３から繰り出された原反Ｒを剥離手段１４に案内するガイドローラ２４と、剥離手段１４を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２６及びピンチローラ２７と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸２８とを備え、図示しないフレームを介して支持されている。駆動ローラ２６は、駆動機器としてのモータＭを介して回転可能に設けられている。
【００２０】
前記剥離手段１４は、剥離シートＲＬを折り返す先端（図１中左端）に向かって正面視で細くなる形状を有する剥離板本体３０と、この剥離板本体３０の基端側に形成された収容部３１とを備えている。
【００２１】
前記剥離板本体３０は、電球や蛍光灯、ＬＥＤ等の光源３３が発光する光を透過可能な素材を用いて構成され、当該素材としては、石英ガラスの他、アクリル板、ポリ塩化ビニル板等のプラスチック板を例示できる。剥離板本体３０は、その上面及び下面の内少なくとも上面側を荒らし、例えばすりガラスのような光を散乱可能な散乱体とされ、光源３３が発光する光により、剥離板本体３０自体が間接的に一定の明るさに発光し得るようになっている。
【００２２】
前記収容部３１は、剥離板本体３０の基端（図１中右端）側に形成された紙面直交方向に延びる凹溝からなり、その凹溝内部に光源３３を収容して剥離板本体３０に光源３３を内臓可能に設けられている。また、図２に示されるように、収容部３１内であって光源３３を囲う位置に、変色手段３５を設けることができる。変色手段３５は、光源３３が発光する光を透過することで当該光と異なる色を外部に発光可能なフィルタからなり、収容部３１内を紙面直交方向にスライドすることで、当該収容部３１に対して着脱を行えるようになっている。これにより、異なる色を発光し得る変色手段３５を複数種類用意することにより、剥離板本体３０を種々の色に発光可能となる。なお、光源３３自体が例えば液晶画面、有機ＥＬ、無機ＥＬ等によって変色可能なものであってもよい。
【００２３】
前記検出手段１６は、剥離板本体３０の先端側上方に設けられ、接着シートＳの外縁を撮像して検出可能なカメラからなり、検出結果となる撮像データを制御手段１９に出力可能に設けられている。
【００２４】
前記制御手段１９は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等で構成することができる。制御手段１９には、操作パネル等からなる図示しない入力手段が接続され、この入力手段により各手段の作動条件やデータ等を入力可能となっている。また、制御手段１９は、検出手段１６の検出結果を入力する機能と、当該検出結果及び入力手段からの入力とから、各駆動機器の動作方向、動作量、動作速度等の条件を決定し、これらを制御する機能と、光源３３の電力供給を制御する機能とを備えている。具体的には、制御手段１９において、検出手段１６による接着シートＳ外縁の撮像データを基に、当該接着シートＳがどの位置になるかを認識し、予め設定した位置に接着シートＳが繰り出されたときに当該繰り出しを停止するようモータＭの作動を制御可能となっている。
【００２５】
次に、シート貼付装置１０による接着シートＳの貼付方法について説明する。
【００２６】
初期作業として、支持軸２３に支持された原反Ｒを所定長さ引き出し、ガイドローラ２４、剥離板本体３０、駆動ローラ２６、ピンチローラ２７の順に原反Ｒを通過させて当該原反Ｒのリード端を巻取軸２８に固定する。
【００２７】
そして、電源が投入されられると、光源３３が発光するとともに、モータＭが自動で動き出し、接着シートＳの位置決めが行われる。すなわち、モータＭが回転して原反Ｒを繰り出すと、検出手段１６が接着シートＳの所定部位、本実施形態では接着シートＳの先端（図１中左端）を撮像し、当該接着シートＳの先端が所定の位置に来たときにモータＭの回転を停止し、スタンバイ状態となる。この接着シートＳの位置決めが行われるときに、光源３３からの光が剥離板本体３０で散乱して剥離板本体３０自体が発光し、その光が剥離シートＲＬを通じて検出手段１６に向かって照射される。そして、接着シートＳが剥離板本体３０上を通過する途中で、検出手段１６によって接着シートＳの外縁が撮像され、この撮像したデータが検出手段１６から制御手段１９に出力される。制御手段１９では、撮像データを基に、原反Ｒの繰出方向における接着シートＳの先端位置を認識し、当該接着シートＳの位置合わせを行う。つまり、接着シートＳの先端が所定の位置に達したことが制御手段１９によって認識された時点でモータＭの作動を停止して原反Ｒの繰り出しを停止させ、スタンバイ状態となる。
【００２８】
そして、図示しない搬送手段を介して、テーブル２０の上面にウエハＷを保持させる。次いで、直動モータ２１を介してテーブル２０を移動させ、ウエハＷが所定の位置に達したことが図示しないセンサによって検出されると、モータＭが駆動されて原反Ｒが繰り出される。この原反Ｒを繰り出す途中、剥離板本体３０の先端で剥離シートＲＬが折り返され、当該剥離シートＲＬから接着シートＳが剥離されつつウエハＷに向かって供給される。これにより、接着シートＳがプレスローラ４５により押圧されてウエハＷに貼付される。接着シートＳが貼付されたウエハＷは、図示しない搬送装置を介して別工程に搬送される。そして、以後同様の動作により、接着シートＳの貼付を行うことができる。
【００２９】
ここで、図３に示されるように、例えば光源３３として白色の光を発光するものが採用され、原反Ｒが透明の剥離シートＲＬ上に白色の接着シートＳが仮着されたものが採用された場合、当該原反Ｒはコントラストが出にくくなる。このような場合は、変色手段３５を例えば濃い灰色や濃い青色等の黒っぽい色を発光可能なものに変更することで、検出手段１６が確実に接着シートＳと剥離シートＲＬとを区別して認識することができる。また、水色の剥離シートＲＬ上に青色の接着シートＳが仮着されたものが採用された場合も、変色手段３５を例えば赤や朱色等の赤っぽい色を発光可能なものに変更することで同様の効果を得ることができる。つまり、剥離シートＲＬと接着シートＳとの光の透過率が違えば同様の効果が期待できる。
また、表面がきらきら光る接着シートＳが採用された場合、従来のような反射光では当該接着シートＳがギラついてしまい、検出手段１６が接着シートＳの端部の位置を正確に認識することができなくなるが、剥離板本体３０側から光を発光させることで、当該接着シートＳがギラついてしまうようなことがなくなり、検出手段１６が接着シートＳの端部の位置を正確に認識することができるようになる。
【００３０】
従って、このような実施形態によれば、剥離板本体３０が光を間接的に発光するので、検出手段１６で接着シートＳの外縁を撮像するときに、剥離シートＲＬだけの領域と接着シートＳが仮着された領域とのコントラストや明暗を大きく設定することができる。また、検出手段１６で原反Ｒを透過した光を検出可能となるので、接着シートＳ等での反射光を撮像する場合に比べ、反射に伴うコントラスト不足等の悪影響を回避することが可能となる。これにより、接着シートＳを安定して精度良く検出することができ、また、光源３３の位置や角度の調整作業を省略して作業負担を軽減することが可能となる。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３２】
例えば、前記収容部３１の形態は、種々の変更が可能であり、光源３３のサイズ、形状に応じて当該光源３３を内蔵できるよう剥離板本体３０を部分的に凹ませたり切り欠いたりした形状としてもよい。
【００３３】
更に、図４に示されるように、剥離板本体３０の上面に光源４９として液晶画面や有機或いは無機ＥＬを組み込んでもよい。これによれば、光源４９からの光が原反Ｒを透過して検出手段１６に入射可能となる上、光源４９を変色手段としても機能させて種々の色を発光するよう制御手段１９により制御可能となる。
【００３４】
また、剥離板本体３０から外側に離れた位置に光源３３を設け、当該光源３３より剥離板本体３０に光を照射して剥離板本体３０を発光させてもよい。但し、前述のように光源３３を内臓した方が、剥離手段１４周りのスペースをより有効利用できる点で有利となる。
【００３５】
更に、検出手段１６の位置は、図１の二点鎖線で示されるように、剥離板本体３０の同図中右端側上方にする等、剥離板本体３０から照射される光を介して接着シートＳを検出し得る限りにおいて変更してもよい。
また、前記実施形態では、検出手段１６が接着シートＳの端部の位置を認識し、当該接着シートＳを所定の位置に停止させる制御としたが、検出手段１６は接着シートＳの所定の位置さえ認識していればよく、当該接着シートＳを停止させることなくウエハＷに貼付するように構成したり、接着シートＳの後端（図１中右端）を検出手段１６で検出して当該接着シートＳの位置を認識するようにしてもよい。
【００３６】
更に、前記駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、リニアモータ、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００３７】
また、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１０  シート貼付装置
１２  繰出手段
１４  剥離手段
１６  検出手段
１９  制御手段
３３  光源
３５  変色手段
ＡＤ  接着剤層
ＢＳ  基材シート
Ｒ  原反
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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