(57)【要約】【課題】トーションバーである梁の内部応力を少なくし品質良くミラーが動作する光スキャナーを提供する。【解決手段】光反射面９ａを有する光反射部材９と、光反射部材９を支持する可動部８と、可動部８に一端が接続され、光反射面９ａと略平行に延在する複数の可動梁１０と、可動梁１０の他端に接続された変位部５と、変位部５に固定された永久磁石７と、可動梁１０の延長方向に変位部５から隔てて配置され、永久磁石７と協働して変位部５を駆動する駆動部１１と、変位部５に一端が接続され可動梁１０に略直交するとともに光反射面９ａと略平行に延在し、変位部５を支持する駆動梁６と、駆動梁６の他端が接続された固定部３と、固定部３が固定された基台２と、を備え、固定部３は接着剤４を介して基台２に固定され、接着剤４は固定部３が基台２と対向する対向領域３ａにおいて、対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に枠状に配置される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光反射面を有する光反射部材と、
前記光反射部材を支持し、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
前記可動部に一端が接続され、前記光反射面と略平行に延在する複数の可動梁と、
前記可動梁の他端に接続された変位部と、
前記変位部に固定された永久磁石と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記永久磁石と協働して前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部に一端が接続され前記可動梁に略直交するとともに前記光反射面と略平行に延在し、前記変位部を支持する駆動梁と、
前記駆動梁の他端が接続された固定部と、
前記固定部が固定された基台と、を備え、
前記固定部は接着剤を介して前記基台に固定され、前記接着剤は前記固定部が前記基台と対向する対向領域において、前記対向領域の中心から離れた場所に配置されることを特徴とする光スキャナー。
【請求項２】
請求項１に記載の光スキャナーであって、
前記接着剤は複数の場所に分離して配置されていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光スキャナーであって、
前記対向領域において前記中心の前記固定部または前記基台には凹部が設置されていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の光スキャナーであって、
前記固定部は前記基台と対向する場所に前記対向領域の前記中心から離れる方向に突出する突出部を備え、
前記突出部において前記固定部は前記接着剤を介して前記基台に固定されていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項５】
請求項１に記載の光スキャナーであって、
前記接着剤は、前記対向領域の中心から離れた場所に枠状に配置されることを特徴とする光スキャナー。
【請求項６】
光反射面を有する光反射部材と、
前記光反射部材を支持し、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、
前記可動部に一端が接続され、前記光反射面と略平行に延在する複数の可動梁と、
前記可動梁の他端に接続された変位部と、
前記変位部に固定された永久磁石と、
前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記永久磁石と協働して前記変位部を駆動する駆動部と、
前記変位部に一端が接続され前記可動梁に略直交するとともに前記光反射面と略平行に延在し、前記変位部を支持する駆動梁と、
前記駆動梁の他端が接続された連結板と、
柱状の固定部が立設した基台と、を備え、
前記連結板は接着剤を介して前記固定部に固定され、前記接着剤は前記固定部が前記連結板と対向する対向領域において、前記対向領域の中心から離れた場所に配置されることを特徴とする光スキャナー。
【請求項７】
請求項６に記載の光スキャナーであって、
前記接着剤は前記連結板に接続する前記駆動梁と離れた場所に配置されることを特徴とする光スキャナー。
【請求項８】
請求項６または７に記載の光スキャナーであって、
前記接着剤は、前記対向領域の中心から離れた場所に枠状に配置されることを特徴とする光スキャナー。
【請求項９】
光源と、前記光源が射出する光の進行方向を制御する光スキャナーと、を備え、
前記光スキャナーは請求項１〜８のいずれか一項に記載の光スキャナーであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スキャナー及び画像形成装置にかかわり、特に、光スキャナーの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザープリンター等にて光走査により描画を行うための光スキャナーとして、捩り振動子で構成されアクチュエーターを用いたものが、特許文献１に開示されている。これによると、アクチュエーターは、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有している。また、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板（ミラー）とを有している。また、外側可動板は、Ｘ方向に延長する一対の第１トーションバーを介して支持部に接続されており、内側可動板は、Ｘ方向と直交するＹ方向に延長する第２トーションバーを介して外側可動板に接続している。また、外側可動板及び内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
【０００３】
このような構成のアクチュエーターは通電により各コイルから発生する磁界を一対の永久磁石との間に発生する磁界に作用させている。これにより、外側可動板が内側可動板とともに第１トーションバーを中心軸として回動し、内側可動板が第２トーションバーを中心軸として回動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１８１３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
トーションバーは支持基板に支持され、支持基板は枠状の側面部材に支持されていた。そして、側面部材は底面部材に固定されていた。トーションバーを支持する側面部材を枠状から複数の柱状にして各側面部材を梁にて接続することにより、支持部材の体積を減らして光スキャナーを小型にすることができる。このとき、複数の側面部材を底面部材に接着剤を用いて固定する方法が用いられる。接着剤が固化する過程において、側面部材と底面部材とが相対的に移動または傾くことがある。そして、各側面部材を接続する梁やミラーを支持する梁に内部応力が形成される。そして、梁のトーションバーとしての動作が設計上の動作と異なってしまう。そこで、梁の内部応力を少なくして、品質良くミラーが動作する光スキャナーが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる光スキャナーであって、光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材を支持し、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に一端が接続され、前記光反射面と略平行に延在する複数の可動梁と、前記可動梁の他端に接続された変位部と、前記変位部に固定された永久磁石と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記永久磁石と協働して前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部に一端が接続され前記可動梁に略直交するとともに前記光反射面と略平行に延在し、前記変位部を支持する駆動梁と、前記駆動梁の他端が接続された固定部と、前記固定部が固定された基台と、を備え、前記固定部は接着剤を介して前記基台に固定され、前記接着剤は前記固定部が前記基台と対向する対向領域において、前記対向領域の中心から離れた場所に配置されることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、基台に固定された固定部には駆動梁が接続され、駆動梁には変位部が接続されている。変位部には永久磁石が固定され、この永久磁石と隔てた場所に駆動部が配置されている。そして、駆動部が永久磁石を駆動することにより、変位部が移動される。変位部に接続して可動梁が設置され、可動梁の一端には可動部が接続されている。可動部は光反射部材を支持している。従って、駆動部が変位部を駆動することにより、光反射部材を回動、振動させることが可能となっている。
【０００９】
固定部と基台とが接着剤を介して固定されている。そして、固定部が基台と対向する対向領域において、接着剤は対向領域の中心から離れた場所に配置されている。対向領域の中心に接着剤が配置され対向領域の中心から離れた場所に接着剤がないとき、対向領域の中心と周辺とで固定部と基台との距離が異なる可能性が高い。つまり、対向領域の中心では接着剤の厚みに対応する距離だけ固定部と基台とが離れる。そして、対向領域の周辺では接着剤がないので固定部と基台とが接近し易くなる。その結果、基台に対して、固定部が傾斜し易くなる。
【００１０】
一方、本適用例では接着剤が対向領域において、対向領域の中心から離れた場所に配置されている。従って、対向領域における固定部と基台との距離が接着剤の厚みの距離だけ離れた状態にて固定部と基台とが固定される為、固定部と基台とが傾斜することを防止できる。その結果、駆動梁や可動梁の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供することができる。
【００１１】
［適用例２］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記接着剤は複数の場所に分離して配置されていることを特徴とする。
【００１２】
本適用例によれば、対向領域において接着剤が複数の場所に分離している。接着剤が分離していないとき、接着剤が固化する過程において接着剤が凝集して部分的に厚くなる場合がある。本適用例では接着剤が複数の場所に分離している為、接着剤が固化する過程において接着剤が凝集して部分的に厚くなり難くなっている。従って、固定部と基台とが傾斜することを防止できる。
【００１３】
［適用例３］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記対向領域において前記中心の前記固定部または前記基台には凹部が設置されていることを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、固定部または基台には凹部が設置されている。凹部では固定部と基台との距離が離れている。固定部と基台との間に接着剤が配置され接着剤が対向領域の中心に向かって流動する可能性がある。このとき、接着剤は中心と離れた場所の凹部に滞留する。従って、接着剤が固化した後で固定部が基台に対して傾斜することを防止することができる。
【００１５】
［適用例４］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記固定部は前記基台と対向する場所に前記対向領域の前記中心から離れる方向に突出する突出部を備え、前記突出部において前記固定部は前記接着剤を介して前記基台に固定されていることを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、固定部は対向領域の中心から離れる方向に突出する突出部を備えている。そして、突出部において固定部は接着剤を介して基台に固定されている。従って、対向領域の中心から最も離れた場所に接着剤が配置されている。従って、接着剤が固化するときに突出部と基台との距離が変わるときにも固定部が基台に対して傾斜し難くすることができる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記接着剤は、前記対向領域の中心から離れた場所に枠状に配置されることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、接着剤が枠状に配置されている。従って、接着された面と平行の任意の方向から固定部が押圧されるときにも、基台に対して固定部が移動しないように固定することができる。
【００１９】
［適用例６］
本適用例にかかる光スキャナーであって、光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材を支持し、かつ回動中心軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に一端が接続され、前記光反射面と略平行に延在する複数の可動梁と、前記可動梁の他端に接続された変位部と、前記変位部に固定された永久磁石と、前記可動梁の延長方向に前記変位部から隔てて配置され、前記永久磁石と協働して前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部に一端が接続され前記可動梁に略直交するとともに前記光反射面と略平行に延在し、前記変位部を支持する駆動梁と、前記駆動梁の他端が接続された連結板と、柱状の固定部が立設した基台と、を備え、前記連結板は接着剤を介して前記固定部に固定され、前記接着剤は前記固定部が前記連結板と対向する対向領域において、前記対向領域の中心から離れた場所に配置されることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、固定部と連結板とが接着剤を介して固定されている。そして、固定部が連結板と対向する対向領域において、接着剤は対向領域の中心から離れた場所に配置されている。対向領域の中心に接着剤が配置され対向領域の中心から離れた場所に接着剤がないとき、対向領域の中心と周辺とで固定部と基台との距離が異なる可能性が高い。つまり、対向領域の中心では接着剤の厚みに対応する距離だけ固定部と基台とが離れる。そして、対向領域の周辺では接着剤がないので固定部と基台とが接近し易くなる。その結果、固定部に対して、連結板が傾斜し易くなる。
【００２１】
一方、本適用例では対向領域において接着剤が対向領域の中心から離れた場所に配置されている。従って、対向領域における固定部と連結板との距離が接着剤の距離だけ離れた状態にて固定部と基台とが固定される為、固定部と連結板とが傾斜することを防止できる。その結果、駆動梁や可動梁の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供することができる。
【００２２】
［適用例７］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記接着剤は前記連結板に接続する前記駆動梁と離れた場所に配置されることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、接着剤が駆動梁と離れた場所に配置される為、接着剤は駆動梁に付着し難くなっている。接着剤が駆動梁に付着するとき、駆動梁がねじれるときのばね定数が変化する。このとき、設計上の動作から外れてしまう。本適用例では接着剤が駆動梁に付着しない為、駆動梁が設計した通りに動作する。従って、品質良く光反射面が動作する光スキャナーを提供することができる。
【００２４】
［適用例８］
上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記接着剤は、前記対向領域の中心から離れた場所に枠状に配置されることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、接着剤が枠状に配置されている。従って、接着された面と平行の任意の方向から固定部が押圧されるときにも、基台に対して固定部が移動しないように固定することができる。
【００２６】
［適用例９］
本適用例にかかる画像形成装置であって、光源と、前記光源が射出する光の進行方向を制御する光スキャナーと、を備え、前記光スキャナーは上記に記載の光スキャナーであることを特徴とする。
【００２７】
本適用例によれば、画像形成装置は光源と光スキャナーとを備え、光源が射出する光の進行方向を光スキャナーが制御する。これにより、画像形成装置は画像を描画することが可能になっている。そして、光スキャナーは梁に内部応力が少なく、品質良く光反射面を動作することができる。従って、画像形成装置は品質良く動作する光スキャナーを備えた画像形成装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１の実施形態にかかり光スキャナーの構成を示す模式平面図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、光スキャナーの構成を示す模式側断面図、（ｃ）は、対向領域を説明するための模式図、（ｄ）は、接着剤を配置する場所を説明するための模式図。
【図３】光スキャナーの製造方法を示すフローチャート。
【図４】光スキャナーの製造方法を説明するための模式図。
【図５】光スキャナーの製造方法を説明するための模式図。
【図６】第２の実施形態にかかり対向領域を示す要部模式平面図。
【図７】第３の実施形態にかかり光スキャナーの構成を示す模式側断面図。
【図８】第４の実施形態にかかり光スキャナーの構成を示す模式平面図。
【図９】光スキャナーの構成を示す模式平面図。
【図１０】第５の実施形態にかかり光スキャナーの構成を示す模式側断面図。
【図１１】光スキャナーの構成を示す模式平面図。
【図１２】第６の実施形態にかかり光スキャナーの構成を示す模式側断面図。
【図１３】第７の実施形態にかかりプロジェクターの構成を示す概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本実施形態では、光スキャナーの特徴的な例について、図１〜図５に従って説明する。以下、実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００３０】
（第１の実施形態）
第１の実施形態にかかわる光スキャナーの構造について図１〜図２に従って説明する。図１は、光スキャナーの構成を示す模式平面図である。図２（ａ）及び（ｂ）は、光スキャナーの構成を示す模式側断面図である。図２（ａ）は、図１の光スキャナーのＡ−Ａ’に沿う断面の断面図であり、図２（ｂ）は、図１の光スキャナーのＢ−Ｂ’ に沿う断面の断面図である。
【００３１】
図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、光スキャナー１は四角形の板状の基台２を備え、基台２上の四隅には４つの固定部３が立設されている。そして、固定部３は接着剤４を介して基台２に固定されている。
【００３２】
基台２の材質は剛性があり加工し易い材質であればよく、特に限定されない、例えば、パイレックス（登録商標）、テンパックス等のガラスやシリコンあるいはアルミニウム等の金属を主材料として構成することができる。本実施形態では、例えば、アルミニウムを主材料としている。固定部３の材質は弾性があり加工し易い材質であればよく、特に限定されない、例えば、金属、ガラス、シリコン等を用いることができる。本実施形態では、例えば、シリコンを用いている。接着剤４は、基台２と固定部３とを接着できれば良く、特に限定されない。接着剤４は、例えば、エポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、アクリル系嫌気性接着剤（紫外線硬化樹脂）、合成ゴム系樹脂、湿気硬化性樹脂、エポキシ系紫外線硬化樹脂を用いることができる。
【００３３】
基台２の直交する２辺が延在する方向をＸ方向とＹ方向とする。そして、立設する固定部３が延在する方向をＺ方向とする。基台２の１つの辺の両端に位置する一対の固定部３の間には変位部５が設置されている。そして、変位部５と固定部３との間は駆動梁６によって接続されている。従って、一対の固定部３の間には固定部３、駆動梁６、変位部５、駆動梁６、固定部３がこの順に並んで配置されている。
【００３４】
変位部５には直方体状の永久磁石７が固定されており、永久磁石７はＺ方向に延在して配置されている。そして、永久磁石７はＺ方向と−Ｚ方向において変位部５から突出して配置されている。変位部５及び永久磁石７は駆動梁６を回転軸として回動可能となっている。駆動梁６の材質は固定部３と同じであり弾性のあるシリコンであり、駆動梁６はトーションバーとして機能する。
【００３５】
永久磁石７の材質は、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石等の、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
【００３６】
変位部５は４つの固定部３の間のうち基台２の４辺の中央と対向する場所の近くに設置されている。従って、変位部５は４箇所に設置されている。そして、４箇所の変位部５の中央には板状の可動部８が設置され、可動部８上には光を反射する光反射部材９が支持部材９ｂを介して固定されている。可動部８は４つの変位部５と可動梁１０により接続されている。従って、Ｘ方向に位置する一対の変位部５の間には変位部５、可動梁１０、可動部８、可動梁１０、変位部５がこの順に並んで配置されている。Ｙ方向に位置する一対の変位部５の間も同様の配置となっている。そして、Ｘ方向に延在する可動梁１０とＹ方向に延在する可動梁１０とは可動部８を交点にして直交している。なお、本実施形態では、光反射部材９は支持部材９ｂを介して可動部８に固定されているが、光反射部材９は可動部８に直接固定されていても良い。
【００３７】
変位部５と可動部８との中程の可動梁１０には屈曲部１０ａが設置されている。屈曲部１０ａは曲がりやすい構造となっており、可動梁１０に曲げ応力が作用するとき可動梁１０は屈曲部１０ａにて曲がるようになっている。
【００３８】
光反射部材９は平板状をなし、基台２側と反対の向きを向く面には光反射性を有する光反射面９ａが形成されている。光反射面９ａは鏡面仕上げが施されているとともに、例えば、金、銀、アルミニウム等の金属を蒸着等により形成された金属膜が設置されている。
【００３９】
４箇所に設置された変位部５において光反射部材９と反対側で可動梁１０の延長方向には駆動部１１が変位部５から隔てて配置されている。駆動部１１は電磁石を備え、永久磁石７と協働して変位部５を駆動する。駆動部１１は変位部５と同じく４箇所設置され、変位部５と変位部５を駆動する駆動部１１とが対になっている。そして、駆動部１１は配線により制御部１２と接続されている。
【００４０】
制御部１２は駆動部１１に電流信号を出力し、駆動部１１は電流信号に応じて変位部５を回動させる。これにより、可動梁１０が＋Ｚ方向もしくは−Ｚ方向に曲げられる。そして、光反射面９ａが所定の方向を向くようになっている。制御部１２は４つの駆動部１１に出力する電流信号を制御することにより、光反射面９ａをＸ方向とＹ方向とに所望の角度で傾斜させることが可能となっている。言い換えれば、光反射面９ａは、Ｘ方向を軸とする回動中心軸まわりと、Ｙ方向を軸とする回動中心軸まわりに回動可能となっている。
【００４１】
図２（ｃ）は対向領域を説明するための模式図であり、図２（ｄ）は接着剤を配置する場所を説明するための模式図である。図２（ｃ）に示すように、基台２と固定部３とが対向する場所を対向領域３ａとする。対向領域３ａは四角形となっている。このとき、四角形の各辺の垂直２等分線の交点を対向領域３ａの中心３ｂとする。対向領域３ａが四角形でないときには、対向領域３ａの形状の重心を中心３ｂとして設定しても良い。図中において斜線のハッチング部分が対向領域３ａに相当する。
【００４２】
図２（ｄ）に示すように、対向領域３ａの一部に接着剤４が配置されている。図中において斜線のハッチング部分が、接着剤４が配置された場所に相当する。接着剤４は対向領域３ａにおいて中心３ｂから離れた場所に枠状に配置されている。これにより、対向領域３ａにおける固定部３と基台２との距離が接着剤４の距離だけ離れた状態にて固定部３と基台２とが平行に固定される為、固定部３と基台２とが傾斜することを防止できる。
【００４３】
（光スキャナーの製造方法）
次に上述した光スキャナー１の製造方法について図３〜図５にて説明する。図３は、光スキャナーの製造方法を示すフローチャートであり、図４及び図５は光スキャナーの製造方法を説明するための模式図である。
【００４４】
図３のフローチャートにおいて、ステップＳ１は接着剤塗布工程に相当し、基台に接着剤を塗布する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は接着工程に相当し、基台に固定部を設置する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は固化工程に相当し、接着剤が固化する時間の間放置する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は駆動部設置工程に相当し、電磁石等からなる駆動部を設置する工程である。以上の製造工程にて光スキャナーが完成する。
【００４５】
次に、図４及び図５を用いて、図３に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図４（ａ）及び図４（ｂ）はステップＳ１の接着剤塗布工程に対応する図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、基台２に接着剤４を塗布する。接着剤４を塗布する方法は位置精度良く所定の量を塗布できれば良く、特に限定されない。塗布方法は例えば、オフセット印刷、スクリーン印刷、インクジェットヘッドから吐出して描画する方法、シリンジにて塗布する方法等を用いることができる。本実施形態では、例えば、オフセット印刷を採用している。基台２に固定部３を配置する予定の場所は基台２の四隅である。その場所に接着剤４を四角の枠状に配置する。
【００４６】
図４（ｃ）及び図５（ａ）はステップＳ２の接着工程及びステップＳ３の固化工程に対応する図である。図４（ｃ）に示すように、接着剤４に重ねて固定部３を設置する。基台２に対して固定部３の位置を合わせるために、接着剤４の塗布形状を用いても良い。また、基台２の四隅と固定部３の角とを合わせるように固定部３を配置しても良い。
【００４７】
固定部３には駆動梁６、変位部５、可動梁１０、屈曲部１０ａ、可動部８が形成されている。固定部３と固定部３に接続して形成されている部材は公知であるフォトリソグラフィ法及びエッチング法等の方法を用いて形成することが可能であり、詳細な説明を省略する。概略の説明としては、まず、固定部３の材料となる基板にマスクとなる材料を塗布し固化させて膜を形成する。次に、所定の形状に露光した後にエッチングしてマスクを形成する。次に、基板をエッチングすることにより所定の形状に形成した後、マスクを除去する。以上のように、パターニングとエッチングを繰り返して固定部３と固定部３に接続して形成されている部材を形成する。そして、可動部８には光反射部材９が接着され、変位部５には永久磁石７が接着され固定されている。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、基台２を載置台１３上に搭載する。そして、固定部３上に押さえ板１４を設置する。押さえ板１４にはバネ１４ａが設置され、押さえ板１４は固定部３を加勢する。これにより、固定部３は基台２に密着させることができる。
【００４９】
ステップＳ３の固化工程において、所定の時間放置し接着剤４を固化させる。接着剤４の固化は常温にて温度変化のない環境にて行うのが好ましい。固化する間に温度が変化するとき、基台２と固定部３との温度係数が異なるときには、基台２と固定部３との伸縮の差により４つの固定部３間の距離が変化してしまうため、駆動梁６に内部応力が形成される可能性がある。
【００５０】
接着剤４に光硬化性接着剤を用いるときには紫外線等の光を照射して固化してもよい。接着剤４が湿気硬化性の特性を有するときには加湿して固化を促進してもよい。短時間に固化できることから生産性良く固化させることができる。
【００５１】
図５（ｂ）はステップＳ４の駆動部設置工程に対応する図である。図５（ｂ）に示すように、４個の永久磁石７と対向する場所に駆動部１１を図示しない支持部材を介して設置する。以上の工程により光スキャナー１を製造する工程を終了する。
【００５２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、固定部３と基台２とが接着剤４を介して固定されている。そして、固定部３が基台２と対向する対向領域３ａにおいて、接着剤４は対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に配置されている。対向領域３ａの中心３ｂに接着剤４が配置され対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に接着剤がないとき、対向領域３ａの中心３ｂと周辺とで固定部３と基台２との距離が異なる可能性が高い。つまり、対向領域３ａの中心では接着剤４の厚みに対応する距離だけ固定部３と基台２とが離れる。そして、対向領域３ａの周辺では接着剤４がないので固定部３と基台２とが接近し易くなる。その結果、基台２に対して、固定部３が傾斜し易くなる。
【００５３】
一方、本実施形態では接着剤４が対向領域３ａにおいて中心３ｂから離れた場所に枠状に配置されている。従って、対向領域３ａにおける固定部３と基台２との距離が接着剤の厚みだけ離れた状態にて固定部３と基台２とが固定される為、固定部３と基台２とが傾斜することを防止できる。その結果、駆動梁６や可動梁１０の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面９ａが動作する光スキャナー１を提供することができる。
【００５４】
（第２の実施形態）
次に、光スキャナーの一実施形態について図６の対向領域を示す要部模式平面図を用いて説明する。図６（ａ）、図６（ｂ）、図６（ｃ）はそれぞれ異なる形態を示す。
本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、接着剤４を塗布する形状が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００５５】
すなわち、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、対向領域３ａの四隅に分断された枠状に接着剤４が配置されている。この場合においても接着剤４は中心３ｂから離れた場所に設置されている。
【００５６】
また、図６（ｂ）では、対向領域３ａのうち１つの辺を挟む２箇所の角の場所に接着剤４が配置されている。さらに、接着剤４が配置された２つの角の間の辺と対向する場所の辺に接して接着剤４が配置されている。つまり、３つに分断された枠状に接着剤４が配置されている。この場合においても接着剤４は中心３ｂから離れた場所に設置されている。
【００５７】
また、図６（ｃ）では、対向領域３ａの四角形のうち一対の対向する辺と接する場所に接着剤４が配置されている。接着剤４は２つの場所に長方形に配置されているので、２つの場所の接着剤４は分断させている。つまり、２つに分断された枠状に接着剤４が配置されている。この場合においても接着剤４は中心３ｂから離れた場所に設置されている。上記の例のように、接着剤４を複数の場所に分断された枠状に配置することができる。
【００５８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、対向領域３ａにおいて接着剤４が複数の場所に分離している。接着剤４が分離していないとき、接着剤４が固化する過程において接着剤４が凝集して部分的に厚くなる場合がある。本実施形態では接着剤４が複数の場所に分離している為、接着剤が固化する過程において接着剤４が凝集して部分的に厚くなり難くなっている。従って、固定部３と基台２とが傾斜することを防止できる。
【００５９】
（第３の実施形態）
次に、光スキャナーの一実施形態について図７の光スキャナーの構成を示す模式側断面図を用いて説明する。図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）はそれぞれ異なる形態を示す。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、基台２または固定部３が凹部を有する点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００６０】
すなわち、本実施形態では、図７（ａ）に示すように光スキャナー１５は基台２を備えている。そして、接着剤４を介して基台２に固定部１６が固定されている。固定部１６が基台２と対向する場所を対向領域１６ａとする。そして、対向領域１６ａの中心１６ｂには固定部１６に凹部１６ｃが形成されている。凹部１６ｃを除く対向領域１６ａには接着剤４が配置されており、接着剤４は第１の実施形態と同様に枠状に配置されている。なお、凹部１６ｃの形状は、本実施形態に記載されたものに限定されず、例えば、基台２に対向して四角形の開口を有する四角錘状の凹部形状であっても良い。光スキャナー１５の材料がシリコンである場合は、異方性エッチングによってこのような凹部形状を形成することができる。
【００６１】
ステップＳ２の接着工程において固定部１６が基台２に押圧される。このとき、接着剤４は押圧されて伸展する。中心１６ｂに向かって伸展する接着剤４は対向領域１６ａの中心１６ｂから離れた場所に滞留するので、中心１６ｂに到達し難くなっている。従って、接着剤４が固化した後で固定部１６が基台２に対して傾斜することを防止することができる。
【００６２】
図７（ｂ）では光スキャナー１７は基台１８を備えている。そして、接着剤４を介して基台１８に固定部３が固定されている。対向領域３ａの中心３ｂには基台１８に凹部１８ａが形成されている。凹部１８ａを除く対向領域３ａには接着剤４が配置されており、接着剤４は第１の実施形態と同様に枠状に配置されている。なお、凹部１８ａの形状は、本実施形態に記載されたものに限定されず、例えば固定部３に対向して四角形の開口を有する四角錘状の凹部形状であっても良い。基台１８の材料がシリコンである場合は、異方性エッチングによってこのような凹部形状を形成することができる。
【００６３】
ステップＳ２の接着工程において固定部３が基台１８に押圧される。このとき、接着剤４は押圧されて伸展する。中心３ｂに向かって伸展する接着剤４は対向領域３ａの中心３ｂから離れた場所に滞留するので、中心３ｂに到達し難くなっている。従って、接着剤４が固化した後で固定部３が基台１８に対して傾斜することを防止することができる。
【００６４】
図７（ｃ）では光スキャナー１９は基台１８を備えている。そして、接着剤４を介して基台１８に固定部１６が固定されている。固定部１６が基台１８と対向する場所を対向領域１６ａとする。そして、対向領域１６ａの中心１６ｂには固定部１６に凹部１６ｃが形成され、基台１８に凹部１８ａが形成されている。凹部１６ｃ，１８ａを除く対向領域１６ａには接着剤４が配置されており、接着剤４は第１の実施形態と同様に枠状に配置されている。凹部１６ｃ、凹部１８ａの形状は、図７（ａ）、図７（ｂ）同様の形状をとることができる。
【００６５】
ステップＳ２の接着工程において固定部１６が基台１８に押圧される。このとき、接着剤４は押圧されて伸展する。中心１６ｂに向かって伸展する接着剤４は対向領域１６ａの中心１６ｂから離れた場所に滞留するので、中心１６ｂに到達し難くなっている。従って、接着剤４が固化した後で固定部１６が基台１８に対して傾斜することを防止することができる。
【００６６】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、固定部１６には凹部１６ｃが設置され、基台１８には凹部１８ａが設置されている。これにより、固定部３，１６と基台２，１８との間に接着剤４が配置され接着剤４が対向領域３ａ，１６ａの中心３ｂ，１６ｂに向かって流動するときにも、接着剤４は中心３ｂ，１６ｂに到達し難くなっている。従って、接着剤４が固化した後で固定部３，１６が基台２，１８に対して傾斜することを防止することができる。
【００６７】
（第４の実施形態）
次に、光スキャナーの一実施形態について図８及び図９の光スキャナーの構成を示す模式平面図を用いて説明する。図８と図９とはそれぞれ異なる形態を示す。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、固定部が突出部を有し、突出部にて基台に固定部が固定されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００６８】
すなわち、本実施形態では図８に示すように、光スキャナー２１は基台２を備え、接着剤４を介して基台２に固定部２２が固定されている。固定部２２の基台２と対向する場所を対向領域２２ａとし、対向領域２２ａの重心を中心２２ｂとする。そして、固定部２２は、中心２２ｂから離れる方向に突出する突出部２２ｃを備えている。そして、突出部２２ｃにおいて固定部２２は接着剤４を介して基台２に固定されている。従って、対向領域２２ａの中心２２ｂから最も離れた場所に接着剤４が配置されている。従って、接着剤４が固化するとき突出部２２ｃと基台２との距離が変わるときにも固定部２２が基台２に対して傾斜し難くすることができる。
【００６９】
図９は図８と類似する形態を示す。図９においても、光スキャナー２３は基台２を備え、接着剤４を介して基台２に固定部２４が固定されている。基台２の周囲には基台２を囲んで４個の駆動部２５が配置されている。固定部２４の基台２と対向する場所を対向領域２４ａとし、対向領域２４ａの重心を中心２４ｂとする。そして、固定部２４は、中心２４ｂから離れる方向に突出する突出部２４ｃを３個備えている。そして、突出部２４ｃにおいて固定部２４は接着剤４を介して基台２に固定されている。さらに、対向領域２４ａにおいて光反射部材９と離れる方向に位置する角の付近も接着剤４を介して基台２に固定されている。従って、対向領域２４ａの中心２４ｂから最も離れた突出部２４ｃに接着剤４が配置されている。従って、接着剤４が固化するとき突出部２４ｃと基台２との距離が変わるときにも固定部２４が基台２に対して傾斜し難くすることができる。
【００７０】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、光スキャナー２１において固定部２２は対向領域２２ａの中心２２ｂから離れる方向に突出する突出部２２ｃを備えている。そして、突出部２２ｃにおいて固定部２２は接着剤４を介して基台２に固定されている。従って、対向領域２２ａの中心２２ｂから最も離れた場所に接着剤４が配置されている。光スキャナー２３においても固定部２４は対向領域２４ａの中心２４ｂから離れる方向に突出する突出部２４ｃを備えている。そして、突出部２４ｃにおいて固定部２４は接着剤４を介して基台２に固定されている。従って、対向領域２４ａの中心２４ｂから最も離れた場所に接着剤４が配置されている。従って、接着剤４により突出部２２ｃ，２４ｃと基台２との距離が変わるときにも固定部２２，２４が基台２に対して傾斜し難くすることができる。
【００７１】
（第５の実施形態）
次に、光スキャナーの一実施形態について図１０及び図１１を用いて説明する。図１０は、光スキャナーの構成を示す模式側断面図である。図１１は、光スキャナーの構成を示す模式平面図である。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、固定部３が基台２に立設され、駆動梁６と接続する連結板が固定部３に固定されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００７２】
すなわち、本実施形態では図１０及び図１１に示すように、光スキャナー２６は基台２７を備え、基台２７には柱状の固定部２８が立設されている。固定部２８は基台２７と一体となっていても良く、基台２７に固着されていても良い。固定部２８は第１の実施形態の固定部３に相当する。
【００７３】
固定部２８には接着剤４を介して連結板２９が固定されている。連結板２９には第１の実施形態の固定部３と同様に駆動梁６が接続されている。そして、駆動梁６に続けて変位部５、可動梁１０、可動部８が接続されている。固定部２８が連結板２９と対向する領域を対向領域２８ａとし、対向領域２８ａの重心を中心２８ｂとする。そして、接着剤４は対向領域２８ａにおいて中心２８ｂから離れた場所に枠状に配置されている。接着剤４の配置は第１の実施形態と同様の配置となっている。
【００７４】
接着剤４は連結板２９に接続する駆動梁６と離れた場所に配置されている。従って、連結板２９を固定部２８に接着するとき、接着剤４が駆動梁６に付着し難いようになっている。
【００７５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、接着剤４は対向領域２８ａの中心２８ｂから離れた場所に配置されている。従って、対向領域２８ａにおける固定部２８と連結板２９との距離が接着剤４の距離だけ離れた状態にて固定部２８と連結板２９とが固定される為、固定部２８と連結板２９とが傾斜することを防止できる。その結果、駆動梁６や可動梁１０の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面９ａが動作する光スキャナー２６を提供することができる。
【００７６】
（２）本実施形態によれば、接着剤４は駆動梁６と離れた場所に配置される為、接着剤４は駆動梁６に付着し難くなっている。接着剤４が駆動梁６に付着するとき、駆動梁６がねじれるときのばね定数が変化する。このとき、設計上の動作から外れてしまう。本実施形態では接着剤４が駆動梁６に付着しない為、駆動梁６が設計した通りに動作する。従って、品質良く光反射面９ａが動作する光スキャナー２６を提供することができる。
【００７７】
（第６の実施形態）
次に、光スキャナーの一実施形態について図１２を用いて説明する。図１２は、光スキャナーの構成を示す模式側断面図である。図１２（ａ）と図１２（ｂ）とは異なる形態を示す。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、固定部３が角錐または斜めの角柱となっている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００７８】
すなわち、本実施形態では図１２（ａ）に示すように、光スキャナー３１は基台２を備えている。そして、接着剤４を介して基台２に四角錐の形状をした固定部３２が固定されている。固定部３２が基台２と対向する場所を対向領域３２ａとする。そして、対向領域３２ａの中心３２ｂから離れた場所には接着剤４が配置されており、接着剤４は第１の実施形態と同様に枠状に配置されている。
【００７９】
固定部３２の材質はシリコンからなり、シリコンの結晶配置条件やエッチング条件を調整することにより駆動梁６の長手方向に対して斜めに固定部３２の側面を形成することができる。これにより、固定部３２は四角錐の形状になっている。
【００８０】
図１２（ｂ）においては、光スキャナー３３は基台２を備えている。そして、接着剤４を介して基台２に四角柱の形状をした固定部３４が固定されている。駆動梁６の長手方向と基台２上の面とは平行に設置され、固定部３４の長手方向は基台２上の面に対して斜めに配置されている。固定部３４が基台２と対向する場所を対向領域３４ａとする。そして、対向領域３４ａの中心３４ｂから離れた場所には接着剤４が配置されており、接着剤４は第１の実施形態と同様に枠状に配置されている。
【００８１】
固定部３４の材質はシリコンからなり、シリコンの結晶配置条件やエッチング条件を調整することにより駆動梁６の長手方向に対して斜めに固定部３４の側面を形成することができる。これにより、固定部３４の長手方向を基台２上の面に対して斜めに設置することができる。
【００８２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、光スキャナー３１では接着剤４が対向領域３２ａにおいて中心３２ｂから離れた場所に枠状に配置されている。従って、対向領域３２ａにおける固定部３２と基台２との距離が接着剤の厚みだけ離れた状態にて固定部３２と基台２とが固定される為、固定部３２と基台２とが傾斜することを防止できる。その結果、駆動梁６や可動梁１０の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面９ａが動作する光スキャナー３１を提供することができる。
【００８３】
（２）本実施形態によれば、光スキャナー３３では接着剤４が対向領域３４ａにおいて中心３４ｂから離れた場所に枠状に配置されている。従って、対向領域３４ａにおける固定部３４と基台２との距離が接着剤の厚みだけ離れた状態にて固定部３４と基台２とが固定される為、固定部３４と基台２とを設計した傾斜角度から離れた角度になることを防止できる。その結果、駆動梁６や可動梁１０の内部応力が少なくできる為、品質良く光反射面９ａが動作する光スキャナー３３を提供することができる。
【００８４】
（第７の実施形態）
次に、第７の実施形態のプロジェクターについて、図１３のプロジェクターの構成を示す概略斜視図を用いて説明する。プロジェクターは、第１の実施形態の光スキャナーを備えている。また、かかる光スキャナーは、第１の実施形態の構成と同様な構成を備えている。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００８５】
上記に説明した光スキャナー１は、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡等の画像形成装置に好適に適用することができる。本実施形態では画像形成装置の一例としてプロジェクターに光スキャナー１を適用する場合について説明する。
【００８６】
図１３に示すように、画像形成装置としてのプロジェクター３６は、赤色の光線を射出する赤色光源装置３７と、青色の光線を射出する青色光源装置３８と、緑色の光線を射出する緑色光源装置３９とからなる光源としての光源装置４０を備えている。
【００８７】
赤色光源装置３７、青色光源装置３８、緑色光源装置３９が射出する光線の光軸上にはそれぞれダイクロイックミラー４１が設置され、各ダイクロイックミラー４１に光線が照射される。ダイクロイックミラー４１に照射された各色の光線は同じ光路を通って光スキャナー１の光反射面９ａを照射する。そして、各色の光線は光反射面９ａにて反射して固定ミラー４２を照射する。さらに、固定ミラー４２にて反射する各色の光線はプロジェクター３６から外に出て、スクリーン４３を照射する。
【００８８】
プロジェクター３６は制御装置４４を備え、制御装置４４はインターフェイスを備えている。そして、制御装置４４は外部から映像信号を入力し、映像信号に応じて光源装置４０の出力と光反射面９ａの角度を制御する。これにより、制御装置４４は各色の光線の光強度と光線がスクリーン４３を照射する光の軌跡４５を制御する。従って、プロジェクター３６は入力した映像信号に対応した画像をスクリーン４３に描画することが可能となっている。
【００８９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、プロジェクター３６は光スキャナー１を備えている。光スキャナー１は駆動梁６及び可動梁１０に内部応力が少なく、品質良く光反射面９ａを動作することができる。従って、プロジェクター３６は品質良く動作する光スキャナー１を備えたプロジェクター３６とすることができる。
【００９０】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、上記の実施形態に限らない。そして、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良等は上記の実施形態に含まれるものである。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００９１】
（変形例１）
前記第１の実施形態では、固定部３は四角柱であり、対向領域３ａは四角形であった。そして、接着剤４は四角の枠状に配置された。固定部３は四角柱に限らず、３角柱でもよく、５角以上の角数の角柱でも良い。このときにも、中心３ｂから離れた場所に接着剤４を配置することにより、固定部３を傾斜し難くすることができる。
【００９２】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、ステップＳ１の接着剤塗布工程において基台２に接着剤４を塗布した。これに限らず、固定部３に接着剤４を塗布しても良い。接着剤４を塗布し易い方に塗布しても良い。これにより、生産性良く光スキャナー１を製造することができる。
【００９３】
（変形例３）
前記第５の実施形態では、接着剤４は枠状に配置されたが、図６に示す配置と同様に分断された枠状に配置しても良い。
【００９４】
（変形例４）
前記第６の実施形態では、光スキャナー３１において固定部３２は基台２側が駆動梁６側より細い角錐であった。固定部３２は基台２側が駆動梁６側より太い角錐にしても良い。この場合にも、同様に接着剤４を配置することにより、駆動梁６及び可動梁１０に内部応力を形成しないようにできる。
【００９５】
（変形例５）
前記第６の実施形態では、光スキャナー３３において固定部３４は基台２側より駆動梁６側が張出した角柱であった。固定部３４は基台２側が駆動梁６側より張出した形状の角柱にしても良い。この場合にも、同様に接着剤４を配置することにより、駆動梁６及び可動梁１０に内部応力を形成しないようにできる。
【００９６】
（変形例６）
前記第７の実施形態では、プロジェクター３６は第１の実施形態における光スキャナー１を用いた。プロジェクター３６は第２〜第６の実施形態における光スキャナー１５，１７，１９，２１，２３，２６，３１，３３を用いても良い。このときにも、プロジェクター３６は品質良く動作する光スキャナー１５，１７，１９，２１，２３，２６，３１，３３を備えたプロジェクター３６とすることができる。
【符号の説明】
【００９７】
２，１８，２７…基台、３ａ，１６ａ，２２ａ，２４ａ，２８ａ，３２ａ，３４ａ…対向領域、３ｂ，１６ｂ，２２ｂ，２４ｂ，２８ｂ，３２ｂ，３４ｂ…中心、３，１６，２２，２４，２８，３２，３４…固定部、４…接着剤、５…変位部、６…駆動梁、８…可動部、９ａ…光反射面、９…光反射部材、１０…可動梁、１１，２５…駆動部、１６ｃ，１８ａ…凹部、１５，１７，１９，２１，２３，２６，３１，３３…光スキャナー、２２ｃ，２４ｃ…突出部、２９…連結板、３６…画像形成装置としてのプロジェクター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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