(57)【要約】【課題】  クリーンルーム内で、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルなどを製造する場合に、クリーンルーム内で着用される防塵服で、人体から発生するガスによるクリーンルームの汚染を抑制することができる防塵服を提供する。【解決手段】  本発明にかかる防塵服は、着用時に、衣服内のガスを吸引してクリーンルームの気圧より減圧状態に保持するように構成され、頭部２と胴体部３とが一体的に形成され、腰部に排気ファン１０と排気ファン１０によって衣服内の空気が排出される排出口１１とを備え、排気ファン１０と排出口１１との間に、ガス吸収缶１２が設けられている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で着用され、着用時に、衣服内のガスを吸引してクリーンルームの気圧より減圧状態に保持するようにした防塵服であって、頭部と胴体部とが一体的に形成され、腰部に排気ファンと前記排気ファンによって衣服内の空気が排出される排出口を備え、前記排気ファンと前記排出口との間に、ガス処理装置が設けられたことを特徴とする防塵服。
【請求項２】
ガス処理装置として、ガス吸収装置が用いられていることを特徴とする請求項１に記載の防塵服。
【請求項３】
防塵服がガス透過性の低い生地によって作られていることを特徴とする請求項１または２に記載の防塵服。
【請求項４】
ガス処理装置として、アンモニアガス吸収装置が用いられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の防塵服。
【請求項５】
ガス処理装置として、ガス吸収缶が用いられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の防塵服。
【請求項６】
前記ガス吸収缶が交換可能なカートリッジ状に構成されていることを特徴とする請求項５に記載の防塵服。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルなどを製造する場合に、クリーンルームにおいて使用される防塵服に関するものであり、さらに詳細には、人体から発生するガスによるクリーンルームの汚染を抑制することができる防塵服に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルなどを製造する場合、微小な異物が製品や製造装置などに付着すると、歩留まりが低下するという問題があったため、従来から、これらの半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルは、室内空間を異物が少ない清浄な状態に管理されたクリーンルーム内で製造されており、また、作業者がクリーンルームに入る場合には、人体や衣服などから塵埃が放出されて、クリーンルーム内の清浄状態が損なわれることを防止するため、作業者に防塵服の着用を義務付けているのが一般である。
【０００３】
かかる防塵服には、クリーンルームに要求される清浄状態の度合いに応じて、さまざまな種類のものが用いられている。これらの防塵服としては、簡単なものでは、防塵性を有する材料で作られただけのものがあり、その中でも、目周り、口周りの開口部の形状などが異なるいくつかのタイプのものが使用されている。
【０００４】
その一方で、特開平１０−１６８６２０号公報（特許文献１）は、防塵服の内部の空気を吸引して、クリーンルーム内の気圧よりも減圧状態に保持して、人体から発生する塵埃を最小限に抑えるように構成した防塵服を提案している。
【０００５】
また、特開２００９−１７９９１２号公報（特許文献２）は、防塵服の開口部がある頭部から発生する塵埃を考慮して、頭部を効果的に減圧可能な構造を有する防塵服を提案している。
【０００６】
このように、これまでの防塵服は人体から発生する塵埃を抑制することを目的として、開発、改良されてきたが、最近は、人体から発生する塵埃だけでなく、人体から放出されるガスを抑制することが要求されるようになってきている。
【０００７】
すなわち、クリーンルーム内は、一般に異物が少ない状態に抑制されているが、半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルなどを製造するためのクリーンルームでは、異物以外に、酸系のガス、アルカリ系のガス、有機ガスなどのガス濃度のコントロールも重要な要素になってきている。たとえば、酸系のガス、アルカリ系のガスが存在する場合には、これらのガスが反応し、固体である塩を形成するため、たとえば、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に、フォトマスクやレチクルなどの露光用原版を介して、露光用の光を照射して、フォトマスクのパターンを転写する露光工程で、フォトマスクやレチクル、フォトマスクの防塵カバーであるペリクル、半導体ウエハーや液晶用原板上に発生する成長性異物の原因になることがある。
【０００８】
最近では、硫酸系ガス（ＳＯｘ）、アンモニア系ガス（ＮＨ３）が成長性異物を形成しやすいことがわかってきており、とくに、これらのガスのコントロールが重要になっている。
【０００９】
このため、クリーンルーム内に空気を吸入する場合には、フィルタによって空気中の異物を除去するとともに、これらのガス種を吸着するケミカルフィルタを用いて、空気中のこれらのガス種を除去して、クリーンルーム内のガス濃度が低くなるようにコントロールされ、あるいは、クリーンルーム内に吸入する空気をシャワーの中を通過させることによって、空気中のガス種を除去して、クリーンルーム内のガス濃度が低くなるようにコントロールされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−１６８６２０号公報
【特許文献２】特開２００９−１７９９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、このようにクリーンルーム内に吸入する空気中のガス濃度を制御した場合にも、クリーンルーム内のガス濃度を所望のように下げることができないという問題があった。すなわち、硫酸系ガスについては、クリーンルームの空気吸入口で検出限界以下の濃度に制御され、クリーンルーム内でも検出限界以下の濃度を保持していたが、アンモニアガスについては、クリーンルームの空気吸入口で検出限界以下の濃度に制御されているにもかかわらず、クリーンルーム中では、アンモニアガスの濃度が所定値より高くなるという問題があった。
【００１２】
本発明者が、かかる問題を解決するために、その原因を探求したところ、クリーンルーム内の作業者からアンモニアガスが発生しており、それにより、クリーンルーム内のアンモニアガス濃度が上昇していることが判明した。
【００１３】
このような現象は、これまでの防塵服は、人体から発生する塵埃を抑制してはいるが、人体から発生するアンモニアなどのガスの抑制は図られておらず、そのため、人体から発生するガスは、たとえば、防塵服の目周り、口回りの開口部から、あるいは、防塵服の生地を通して、そのままクリーンルーム内に放出されてしまっていたことに起因するものと考えられる。
【００１４】
特開平１０−１６８６２０号公報（特許文献１）や特開２００９−１７９９１２号公報（特許文献２）に開示された減圧タイプの防塵服の場合は、目周りや口回りなどの防塵服の開口部から放出されるガスは少ないが、これら減圧タイプの防塵服では、防塵服に設けられたファンによって、人体から発生するガスを含む空気が、防塵服の排出口からクリーンルーム内に強制的に放出されることを防止することが困難であり、かかる問題を解決することはできなかった。
【００１５】
このように、従来の防塵服では、人体から発生したアンモニアガスがクリーンルーム内に放出され、クリーンルームを汚染していることが見出されているが、人体からはアンモニアガス以外の有機ガスなども放出されており、これらのガスによって、クリーンルーム内が汚染され、クリーンルームの清浄状態が悪化するおそれがあるという問題もあった。
【００１６】
したがって、本発明は人体から発生するガスによるクリーンルームの汚染を抑制することができる防塵服を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のかかる目的は、クリーンルーム内で着用され、着用時に、衣服内のガスを吸引してクリーンルームの気圧よりも減圧状態に保持するようにした防塵服であって、頭部と胴体部とが一体的に形成され、腰部に排気ファンと前記排気ファンによって衣服内の空気が排出される排出口を備え、前記排気ファンと前記排出口の間に、ガス処理装置が設けられたことを特徴とする防塵服によって達成される。
【００１８】
本発明にかかる防塵服によれば、排気ファンと排気ファンによって衣服内の空気が排出される排出口との間に、ガス処理装置が設けられているから、人体から発生し、排出口から排出される空気は、ガス処理装置によって、成長性異物を形成しやすいガスがクリーンルーム内に排出されないように処理され、したがって、人体から発生するガスによるクリーンルーム内の汚染を効果的に抑制することが可能になる。
【００１９】
本発明の好ましい実施態様においては、ガス処理装置として、ガス吸収装置が用いられている。
【００２０】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、防塵服がガス透過性の低い生地によって作られている。
【００２１】
防塵服がガス透過性の生地によって作られている場合でも、防塵服内のガスが排気ファンによって排出され、防塵服内が減圧状態に維持されているから、防塵服内の人体から発生し、防塵服の生地を透過して、クリーンルーム内に排出されるガスを抑制することができるが、本発明のさらに好ましい実施態様によれば、防塵服がガス透過性の低い生地によって作られているから、防塵服内のガスがクリーンルーム内に排出されることをより一層効果的に防止することが可能になる。
【００２２】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、ガス処理装置として、アンモニアガス吸収装置が用いられている。
【００２３】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、ガス処理装置として、ガス吸収缶が用いられている。
【００２４】
本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ガス処理装置として、ガス吸収缶が用いられているから、人体から発生するガスを吸着して、清浄化された空気をクリーンルームに排出することが可能になり、また、ガス吸収缶の種類を変えることによって、クリーンルーム内に排出される空気から除去すべきガス成分を確実に除去することが可能になる。
【００２５】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、交換可能なカートリッジ状のガス吸収缶が用いられている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、人体から発生するガスによるクリーンルームの汚染を抑制することができる防塵服を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる防塵服の略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示された防塵服の正面に向かって、右側から見た略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１は本発明の好ましい実施態様にかかる防塵服の略斜視図であり、図２は、図１に示された防塵服を正面に向かって、右側から見た略斜視図である。
【００２９】
図１および図２に示されるように、本実施態様にかかる防塵服１は、作業者の頭部を覆うフード２と胴体部を覆う防塵服本体３と図示しないズボンとを備え、フード２と防塵服本体３とは一体に形成されている。
【００３０】
図２に示されるように、一体に形成されたフード２と防塵服本体３の左側部には、ファスナー５が設けられている。
【００３１】
作業者が防塵服１を着用するにあたっては、まず、防塵服本体３の左側部に設けられたファスナー５を開いて、フード２と防塵服本体３の左側部に大きな開口部（図示せず）を形成し、次いで、開口部から足を防塵服１内に入れ、防塵服１の袖に手を通し、フード２をかぶった後に、ファスナー５を閉じることによって、防塵服１が着用されるように構成されている。
【００３２】
さらに、図１に示されるように、防塵服本体３の右腰部には、防塵服１内の空気を吸引する排気ファン１０と、排気ファン１０によって吸引された防塵服１内の空気が排出される排出開口部１１が設けられ、排気ファン１０と排出開口部１１との間には、排気ファン１０から放出された空気に含まれるガスを吸収するガス吸収缶１２が設けられている。
【００３３】
フード２の目周りには、開口部（図示せず）が設けられているが、図１および図２に示されるように、フード２の開口部には合成樹脂製のシェード２０が取り付けられ、フード２の内部の空気が目周りの開口部を通って、クリーンルーム（図示せず）内に漏れることが防止されている。
【００３４】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスや液晶ディスプレイパネルなどを製造するにあたっては、まず、クリーンルーム外の空気がクリーンルームの空気吸入口からクリーンルーム内に吸入され、ケミカルフィルタ、ウオッシャーなどによって、吸入された空気からイオン、有機化合物が除去され、さらに、温度および湿度が調整された後に、空気吹き出し口からクリーンルーム内に空気が吹き出される。
【００３５】
このように、クリーンルームの状態が設定された後に、作業者が、以上のように構成された防塵服１を着用する。
【００３６】
すなわち、作業者はまず、ファスナー５を開いて、フード２と防塵服本体３の側部に大きな開口部（図示せず）を形成し、次いで、開口部から足を防塵服１内に入れ、防塵服１の袖に手を通し、フード２をかぶった後に、ファスナー５を閉じることによって、防塵服１を着用する。
【００３７】
作業者が防塵服１を着用すると、排気ファン１０が作動され、排気ファン１０によって、防塵服１の内部の空気が吸入され、排気ファン１０によって吸引された空気は、ガス吸収缶１２に送られる。
【００３８】
ガス吸収缶１２に空気が送られると、ガス吸収缶１２によって、ガス吸収缶１２に送られた空気中に含まれた除去すべきガス成分が吸収される。
【００３９】
こうして、除去すべきガス成分が除去された空気が、防塵服１の排出開口部１１に送られ、さらに、クリーンルーム内に送られる。
【００４０】
以上のように、本実施態様によれば、人体から除去すべきガスが防塵服１の内部で発生した場合においても、ガス吸収缶１２によって、排気ファン１０によって吸引された防塵服１内の空気から、除去すべきガス成分が吸収されるから、クリーンな空気だけが、クリーンルーム内に送られ、したがって、人体から発生するガスによるクリーンルームの汚染を効果的に抑制することが可能になる。
【実施例】
【００４１】
以下、本発明の効果を明らかにするため、実施例を掲げる。
実施例
作業者の頭部を覆うフードと胴体部を覆う防塵服本体とが一体化され、胴体部の腰部に排気ファン、駆動用のバッテリーおよび排気ファンによって衣服内の空気が排出される排出開口部が取り付けられ、さらに、排気ファンと排出開口部との間に、アンモニアガス吸収缶を設けた防塵服を用意した。
【００４２】
この防塵服を着用した作業者がクリーンルーム内で作業を行ったときのクリーンルーム内のイオン濃度を測定した。
【００４３】
測定はインピンジャーに１０００ｍＬの純水を入れ、ポンプにて、クリーンルーム内の空気を０．１Ｌ／分の速度で５時間にわたって吸引して、純水を通過させ、空気中のイオンを純水に溶け込ませた。こうして、イオンが溶け込んだ純水をイオンクロマトグラフィー装置で分析して、ＳＯ４２−イオンの濃度と、ＮＨ４＋イオンの濃度を算出した。
【００４４】
作業者がクリーンルーム内で作業中のイオン濃度を測定した結果は、ＳＯ４２−イオンが検出限界以下で、ＮＨ４＋イオンの濃度は０．１５ｐｐｂであり、クリーンルーム内は十分に清浄であった。
【００４５】
併せて、クリーンルームの空気吹き出し口におけるＳＯ４２−イオンと、ＮＨ４＋イオンの濃度も測定したところ、ＳＯ４２−イオン、ＮＨ４＋イオンはともに検出限界(０．１ｐｐｂ)未満であった。
比較例１
作業者の頭部を覆うフードと胴体部を覆う防塵服本体とが一体化され、胴体部の腰部に排気ファン、駆動用のバッテリーおよび排気ファンによって衣服内の空気が排出される排出開口部が取り付けられているが、排出開口部にアンモニアガス吸収缶を設けられていない防塵服を用意した。
【００４６】
この防塵服を着用した作業者がクリーンルーム内で作業を行ったときのクリーンルーム内のイオン濃度を、実施例と全く同様に測定した。
【００４７】
作業者がクリーンルーム内で作業中のイオン濃度を測定した結果、ＳＯ４２−イオンは検出限界以下であったが、アンモニアイオン（ＮＨ４＋）濃度は１．２ｐｐｂで、実施例の場合のアンモニアイオン（ＮＨ４＋）濃度の約８倍であった。
【００４８】
併せて、クリーンルームの空気吹き出し口におけるＳＯ４２−イオンと、アンモニアイオン（ＮＨ４＋）イオンの濃度も測定したところ、ＳＯ４２−イオン、ＮＨ４＋イオンはともに検出限界(０．１ｐｐｂ)未満であった。
比較例２
作業者の頭部を覆うフードと胴体部を覆う防塵服本体とが一体化されているが、減圧機能を有していない防塵服を着用した作業者の防塵服内部のイオン濃度を測定したところ、ＳＯ４２−イオン濃度は検出限界以下であったものの、ＮＨ４＋イオン濃度は２０ｐｐｂで、人体からアンモニアガスが放出されていることを確認することができた。
【００４９】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００５０】
たとえば、図１および図２に示された実施態様においては、フード２と防塵服本体３の左側部にファスナー５が設けられているが、フード２と防塵服本体３の左側部にファスナー５を設けることは必ずしも必要でなく、ファスナー５は、作業者が一体的に形成されたフード２と防塵服本体３を着用可能な位置に設けられていればよく、さらには、フード２と防塵服本体３に、作業者がフード２と防塵服本体３を着用可能な開口部を形成することができ、着用後に開口部を閉じることができれば、ファスナー５以外の手段をフード２と防塵服本体３に設けることもできる。
【００５１】
また、図１および図２に示された実施態様においては、防塵服本体３の右腰部に、防塵服１内の空気を吸引する排気ファン１０と、排気ファン１０によって吸引された防塵服１内の空気が排出される排出開口部１１と、排気ファン１０と排出開口部１１との間に設けられ、排気ファン１０から放出された空気に含まれるガスを吸収するガス吸収缶１２が設けられているが、これらを防塵服本体３の右腰部に設けることは必ずしも必要でなく、これらを設ける位置は任意に決定することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１  防塵服
２  フード
３  防塵服本体
５  ファスナー
１０  排気ファン
１１  排出開口部
１２  ガス吸収缶
２０  シェード
【図１】
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【図２】
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