(57)【要約】【課題】ヘッド固定部材に対して位置精度良く取り付けることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】ヘッドケース５６は、サブキャリッジ２６に固定されるフランジ部６１ａ，６１ｂを、流路ユニット５３が接合されるケース本体６０を間に挟んで両側から互いに反対に向かってそれぞれ突出し、ケース本体と流路ユニットとの接合面から外れた表面のうち、少なくともフランジ部の表面には、防湿コーティング層８４が形成された。【選択図】図１７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが開設されたノズル形成基板と当該ノズルに連通する圧力室が形成された流路形成基板とを有する流路ユニット、および、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成され、前記圧力発生手段を駆動させることで前記圧力室内の液体を前記ノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッドケースは、ヘッド固定部材に固定されるフランジ部を、前記流路ユニットが接合されるケース本体を間に挟んで両側から互いに反対に向かってそれぞれ突出し、前記ケース本体と前記流路ユニットとの接合面から外れた表面のうち、少なくとも前記フランジ部の表面には、防湿コーティング層が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ケース本体の内部には、金属製の補強材が配設されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドケースの両側のフランジ部は、前記ヘッドケースと同じ材料から作製された仲介部材を介在させた状態で前記ヘッド固定部材に固定され、
前記仲介部材の表面には、防湿コーティング層が形成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記防湿コーティング層が、導電性を有する金属メッキであることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記防湿コーティング層が、撥水性を有するフッ素系のコーティング剤であることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、当該液体噴射ヘッドが固定されるヘッド固定部材と、を備え、該ヘッド固定部材が前記ヘッドケースの素材よりも吸湿による膨張率が低い素材から構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項７】
請求項６に記載の液体噴射ヘッドユニットを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射装置に用いられる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置に関し、特に、ヘッド固定部材に対して複数の液体噴射ヘッドを着脱可能に取り付けることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体を液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として噴射させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、ディスプレイ製造装置などの各種の製造装置にも応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
近年、上記プリンターには、ノズルを複数列設してなるノズル列を有する記録ヘッドをサブキャリッジなどのヘッド固定部材に複数並べて固定したものを１つのヘッドユニットとする構成（マルチヘッド型）を採用するものがある。そして、サブキャリッジに対して各記録ヘッドが位置決めされた状態でネジ留めされる構成においては、位置決めの後、ネジ留めの前に、記録ヘッドをサブキャリッジに対して接着剤（例えば、瞬間接着剤）によって仮留することが行われている。これにより、ネジ留めにより本固定するときにネジ留め時の回転モーメントにより記録ヘッドの位置がずれることが防止される。このような接着剤による仮留を採用する場合、一旦サブキャリッジに固定された記録ヘッドを修理或いは交換するために取り外すことが困難となる。このような問題に対し、記録ヘッドとサブキャリッジの間にスペーサーと呼ばれる仲介部材を介在させる構成も提案されている（例えば、特許文献１）。この構成によれば、記録ヘッドにスペーサーをネジ留めにより予め固定しておき、スペーサーとサブキャリッジとの間を接着剤で仮留してからスペーサーとサブキャリッジとをネジ留めにより本固定することで、サブキャリッジに一旦固定された記録ヘッドは、スペーサーとの間のネジの締結を解除することにより、スペーサー及びサブキャリッジから取り外すことができる。これにより、記録ヘッドの交換や修理等による記録ヘッドの着脱が容易になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−９０３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した記録ヘッドは、共通インク室（共通液体室）から圧力室を通ってノズルに至るまでの一連のインク流路を備え、圧電振動子等の圧力発生素子を作動させて圧力室内のインク（液体）に圧力変動を生じさせることにより、この圧力変動を利用して圧力室内のインクをノズルからインク滴として吐出（噴射）可能に構成されている。そして、この記録ヘッドには、圧電振動子群を固定板に接合したアクチュエーターユニット（振動子ユニット）と、このアクチュエーターユニットを個別に収納可能な収容室をアクチュエーターユニット毎に形成した樹脂製のヘッドケースと、上記インク流路を形成する流路ユニットとを備えた構成を採るものがある。
【０００６】
上記のヘッドケースは、例えば、流路ユニットが接合されるケース本体を間に挟んで両側から互いに反対に向かってそれぞれフランジ部を突出させており、各フランジ部を金属製のサブキャリッジに対して位置決めした状態で固定されている。しかしながら、樹脂製のヘッドケースは、位置調整がミクロン単位で緻密に調整されていることを考えると、空気中の水分を吸湿した際の寸法の変化が、位置調整の緻密さに比べて激しい。このため、ヘッドケースがサブキャリッジに固定された状態で吸湿などによって膨潤した場合、記録ヘッドの位置精度が低下することがあった。特に、ヘッドユニットにおけるノズルの相対位置がずれてしまった場合には、ノズルから噴射される液体の記録媒体等に対する着弾位置が望ましい位置からずれてしまう可能性がある。その結果、例えば記録媒体に記録された画像の画質が低下する虞があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッド固定部材に対して位置精度良く取り付けることが可能な液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明は、ノズルが開設されたノズル形成基板と当該ノズルに連通する圧力室が形成された流路形成基板とを有する流路ユニット、および、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成され、前記圧力発生手段を駆動させることで前記圧力室内の液体を前記ノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッドケースは、ヘッド固定部材に固定されるフランジ部を、前記流路ユニットが接合されるケース本体を間に挟んで両側から互いに反対に向かってそれぞれ突出し、前記ケース本体と前記流路ユニットとの接合面から外れた表面のうち、少なくとも前記フランジ部の表面には、防湿コーティング層が形成されたことを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、ヘッドケースは、ヘッド固定部材に固定されるフランジ部を、流路ユニットが接合されるケース本体を間に挟んで両側から互いに反対に向かってそれぞれ突出し、ケース本体と流路ユニットとの接合面から外れた表面のうち、少なくともフランジ部の表面には、防湿コーティング層が形成されたので、吸湿によってフランジ部が膨潤することが抑制され、ヘッド固定部材に対して固定される液体噴射ヘッドの位置精度の低下が防止される。また、防湿コーティング層はフランジ部の表面のみに選択的に形成されることにより、例えば、ケース本体の流路ユニットとの接合面などの接着剤による接着が必要な部分に防湿コーティング層が形成されないので、接着固定する際の接着強度の低下を防止することできる。
【００１０】
上記構成において、前記ケース本体の内部には、金属製の補強材が配設された構成を採用することが望ましい。
【００１１】
上記構成によれば、ケース本体の内部には、金属製の補強材が配設されたので、ケース本体の変形を抑制することができ、ヘッド固定部材に対する液体噴射ヘッドの位置精度を向上させることができる。更にいうならば、ケース本体には、流路形成基板（シリコン）や、固定板（ＳＵＳ等からなるＰＺＴ取付板）も貼り付けられ、ケース本体の変形が抑制されている。また、補強材の一部がヘッドケース成型時の支持部としてケース本体から露出していたとしても、ケース本体を避けたフランジ部の表面に防湿コーティング層が形成されることにより、補強材の支持部にコーティング液が付着し、付着したコーティング液が補強材を伝ってヘッドケース内に浸透することを抑制することができる。これにより、ヘッドケース内に浸透したコーティング液がアクチュエーターユニット等に付着することで故障が生じる不具合を防止することができる。
【００１２】
上記構成において、前記ヘッドケースの両側のフランジ部は、前記ヘッドケースと同じ材料から作製された仲介部材を介在させた状態で前記ヘッド固定部材に固定され、
前記仲介部材の表面には、防湿コーティング層が形成された構成を採用することが望ましい。
【００１３】
上記構成によれば、ヘッドケースの両側のフランジ部は、ヘッドケースと同じ材料から作製された仲介部材を介在させた状態でヘッド固定部材に固定され、仲介部材の表面には、防湿コーティング層が形成されたので、仲介部材を用いる構成においても吸湿によって仲介部材が膨潤することが抑制され、液体噴射ヘッドにおけるノズルの位置精度の低下が防止される。
【００１４】
上記構成において、前記防湿コーティング層が、導電性を有する金属メッキである構成を採用することが望ましい。
【００１５】
上記構成によれば、防湿コーティング層が、導電性を有する金属メッキであるので、ヘッドケースが静電気などに帯電したとしても、防湿コーティング層を介してヘッド固定部材側に逃がすことができる。
【００１６】
上記構成において、前記防湿コーティング層が、撥水性を有するフッ素系のコーティング剤である構成を採用することが望ましい。
【００１７】
上記構成によれば、防湿コーティング層が、撥水性を有するフッ素系のコーティング剤であるので、ノズルから噴射されたミスト状の液体等がフランジ部に付着することを抑制することができる。
【００１８】
また、本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上記各構成の液体噴射ヘッドと、当該液体噴射ヘッドが固定されるヘッド固定部材と、を備え、該ヘッド固定部材が前記ヘッドケースの素材よりも吸湿による膨張率が低い素材から構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、湿度の変化に起因する液体噴射ヘッドユニットにおけるノズルの相対位置精度の低下が抑制されるので、着弾対象に対する液体の着弾位置精度の低下が防止される。これにより、液体噴射ヘッドユニットの信頼性を向上させることができる。
【００１９】
また、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体噴射ヘッドユニットを備えることを特徴とする。
この構成によれば、湿度の変化に起因する液体の着弾位置精度の低下が防止されるので、液体噴射装置の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】プリンターの内部構成の一部を示す斜視図である。
【図２】プリンターの内部構成の一部を示す平面図である。
【図３】キャリッジの上面図である。
【図４】キャリッジの右側面図である。
【図５】ヘッドユニットの斜視図である。
【図６】ヘッドユニットの上面図である。
【図７】ヘッドユニットの下面図である。
【図８】ヘッドユニットの右側面図である。
【図９】ヘッドユニットの下面側の斜視図である。
【図１０】サブキャリッジの構成を説明する下面図である。
【図１１】記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図１２】記録ヘッドの構成を説明する下面図である。
【図１３】記録ヘッドの構成を説明する右側面図である。
【図１４】図１２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１５】図１２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図１６】図１５における領域Ｃの拡大図である。
【図１７】サブキャリッジに固定された記録ヘッドの構成をより簡略化して示した断面図である。
【図１８】流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。
【図１９】フランジ部のコーティング工程を説明する図である。
【図２０】他の実施形態におけるサブキャリッジに固定された記録ヘッドの構成をより簡略化して示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００２２】
図１はプリンター１の内部構成の一部を示す斜視図、図２はプリンター１の平面図である。例示したプリンター１は、記録用紙、布、フィルム等の記録媒体（着弾対象）に向けて、液体の一種であるインクを噴射する。このプリンター１は、フレーム２の内部にキャリッジ３（ヘッドユニット保持部材の一種）を、記録媒体の送り方向に交差する方向である主走査方向に往復移動可能に搭載している。プリンター１の背面側のフレーム２の内壁には、当該フレーム２の長手方向に沿って長尺な上下一対のガイドロッド４ａ，４ｂが互いに間隔を空けて平行に取り付けられている。キャリッジ３は、その背面側に設けられた軸受け部７（図４参照）等にガイドロッド４ａ，４ｂが嵌合することで、これらのガイドロッド４ａ，４ｂに対して摺動可能に支持されている。
【００２３】
フレーム２の背面側であって主走査方向の一端側（図２における右端部）には、キャリッジ３を移動させるための駆動源としてのキャリッジモーター８が配設されている。このキャリッジモーター８の駆動軸は、フレーム２の背面側から内面側に突出しており、その先端部分には、駆動プーリー（図示せず）が接続されている。この駆動プーリーは、キャリッジモーター８の駆動により回転される。また、この駆動プーリーに対して主走査方向における反対側（図２における左端部）の位置には、遊転プーリー（図示せず）が設けられている。これらのプーリーには、タイミングベルト９が架け渡されている。このタイミングベルト９には、キャリッジ３が接続されている。そして、キャリッジモーター８が駆動されると、駆動プーリーの回転に伴ってタイミングベルト９が回動し、キャリッジ３がガイドロッド４ａ，４ｂに沿って主走査方向に移動する。
【００２４】
フレーム２の背面の内壁には、リニアスケール１０（エンコーダーフィルム）が、主走査方向に沿ってガイドロッド４ａ，４ｂと平行に張設されている。リニアスケール１０は、透明な樹脂製フィルムによって作製された帯状（バンド状）部材であり、例えば、透明なベースフィルムの表面に帯幅方向を横断する不透明なストライプが複数印刷されたものである。各ストライプは、同じ幅とされ、帯長手方向に一定ピッチで形成されている。また、キャリッジ３の背面側には、このリニアスケール１０のストライプを光学的に読み取るためのリニアエンコーダーが設けられている（図示せず）。このリニアエンコーダーは位置情報出力手段の一種であり、キャリッジ３の走査位置に応じたエンコーダーパルスを、主走査方向における位置情報として出力する。これにより、プリンターの制御部（図示せず）は、エンコーダーパルスに基づいてキャリッジ３の走査位置を認識しながら、ヘッドユニット１７による記録媒体に対する記録動作を制御することができる。そして、プリンター１は、主走査方向の一端側のホームポジションから反対側の端部（フルポジション）へ向けてキャリッジ３が移動する往動時と、フルポジションからホームポジション側にキャリッジ３が戻る復動時との双方向で記録紙上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録処理が可能に構成されている。
【００２５】
図２に示すように、キャリッジ３には、ヘッドユニット１７の各記録ヘッド１８に各色のインクを供給するためのインク供給チューブ１４と、駆動信号等の信号を供給するための信号ケーブル１５が接続されている。その他、プリンター１には、図示しないが、インクを貯留したインクカートリッジ（液体供給源）が着脱可能に取り付けられるカートリッジ装着部、記録紙を搬送する搬送部、待機状態の記録ヘッド１８のノズル形成面５８（図１１参照）をキャッピングするキャッピング部等が設けられている。
【００２６】
図３はキャリッジ３の平面（上面）図、図４はキャリッジ３の右側面図である。なお、図３は、キャリッジカバー１３が外された状態を図示している。キャリッジ３は、後述するヘッドユニット１７（本発明における液体噴射ヘッドユニットの一種。）を内部に搭載するキャリッジ本体１２と、このキャリッジ本体１２の上部開口を塞ぐキャリッジカバー１３とから成り、上下に分割可能な中空箱体状の部材である。キャリッジ本体１２は、略矩形状の底板部１２ａと、当該底板部１２ａの四方の外周縁からそれぞれ上方に起立した側壁部１２ｂとから成り、これらの底板部１２ａ及び側壁部１２ｂに囲まれた空間内にヘッドユニット１７を収容する。底板部１２ａには、収容されたヘッドユニット１７の各記録ヘッド１８のノズル形成面５８を露出させるための底部開口が開設されている。そして、ヘッドユニット１７をキャリッジ本体１２内に収容した状態では、底板部１２ａの底部開口から各記録ヘッド１８のノズル形成面５８が、キャリッジ本体１２の底部よりも下方（記録動作時における記録媒体側）に突出する。
【００２７】
図５はヘッドユニット１７の斜視図であり、（ａ）は流路部材２４が取り付けられた状態、（ｂ）は流路部材２４が外された状態をそれぞれ示している。また、図６はヘッドユニット１７の上面図、図７はヘッドユニット１７の下面図（流路部材２４が外された状態）、図８はヘッドユニット１７の右側面図、図９はヘッドユニット１７の下面側の斜視図である。さらに、図１０は記録ヘッド１８が取り付けられるサブキャリッジ２６の下面図である。
【００２８】
ヘッドユニット１７は、複数の記録ヘッド１８等をユニット化したものであり、これらの記録ヘッド１８が取り付けられるサブキャリッジ２６（本発明におけるヘッド固定部材の一種）と、流路部材２４と、を備えている。サブキャリッジ２６は、記録ヘッド１８が固定される板状のベース部２６ａと、このベース部２６ａの四方の外周縁からそれぞれ上方に起立した起立壁部２６ｂと、から上面が開口した中空箱体状に形成されている。これらのベース部２６ａと四方の起立壁部２６ｂとから囲まれた空間が、記録ヘッド１８の少なくとも一部（主にサブタンク３７）を収容する収容部として機能する。本実施形態のサブキャリッジ２６は、金属、例えばアルミニウムにより作製されており、キャリッジ本体１２やキャリッジカバー１３と比較して剛性が高められている。なお、サブキャリッジ２６の材料としては、金属には限られず、ガラス、セラミックス、ガラスフィラー入りの樹脂などの膨潤し難い（ヘッドケースの素材（エポキシ系樹脂やフェノール系樹脂等の熱硬化性樹脂）よりも吸湿による膨張率が低い）素材を採用することも可能である。
【００２９】
サブキャリッジ２６のベース部２６ａの略中央部分には、複数の記録ヘッド１８を挿通可能な（即ち、各記録ヘッド１８に共通な１つの）ヘッド挿通開口２８が開設されている。このためベース部２６ａは、四方の辺部から成る額縁状の枠体となっている。このベース部２６ａの下面（記録時の記録媒体に対向する側の面）には、各記録ヘッド１８の取り付け位置に対応して、ヘッド取付部４０が複数横並びに設けられている（図１０参照）。本実施形態において、ヘッド取付部４０は、１つの記録ヘッド１８の取り付け位置に対して、ヘッド挿通開口２８を間に挟んでノズル列方向に対応する方向（ヘッド列設方向に直交する方向）の両側の辺部に、後述する記録ヘッド１８におけるヘッドケース５６に突出した状態で設けられた一対のフランジ部６１ａ，６１ｂに対応してそれぞれ１つずつ、合計２箇所設けられている。
【００３０】
ヘッド取付部４０は、平面視においてヘッド挿通開口２８側から反対の外側に向かって幅が狭くなる略ベース状に形成されており、その下面（記録時の記録媒体に対向する側の面）は、記録ヘッド１８のフランジ部６１を載置するヘッド載置面４１として機能する。このため、一対のヘッド取付部４０におけるヘッド載置面４１の形状および寸法に関して、より高い精度が要求される。特に、このヘッド載置面４１は、必要なネジ穴（後述する止着穴２９および補助止着穴４４等）以外に凹凸が無く平面度が確保されていることが望ましい。
【００３１】
また、サブキャリッジ２６におけるベース部２６ａの下面におけるヘッド取付部４０よりも外側には、ヘッド載置面４１から反対側（図１０において紙面の奥向き）に窪ませて形成された溝部４２が設けられている。即ち、ヘッド取付部４０は、その両側に設けられた溝部４２によって独立した島状に形成されており、ベース部２６ａから下方（記録動作時における記録媒体側であって、当該ヘッド載置面４１に固定される記録ヘッド１８のフランジ部６１側）に向けて突出している。このように、ヘッド取付部４０は、記録ヘッド１８のフランジ部６１に対して突出した島状に形成されているので、サブキャリッジ２６の製造時において、当該ヘッド取付部４０（ヘッド載置面４１）の形状・寸法を重点的に管理することで、当該ヘッド取付部４０に取り付けられる記録ヘッド１８の位置精度を高めることができる。
【００３２】
これらの各ヘッド取付部４０には、止着穴２９が開設されている（図１０，１８参照）。本実施形態において、止着穴２９は、ヘッド取付部４０におけるノズル列方向の中央であってヘッド挿通開口２８寄りに、後述する記録ヘッド１８におけるフランジ部６１のヘッド固定穴６２に対応して設けられている。
【００３３】
本実施形態においては、図７及び図９に示すように、第１の記録ヘッド１８ａ、第２の記録ヘッド１８ｂ、第３の記録ヘッド１８ｃ、第４の記録ヘッド１８ｄ、及び第５の記録ヘッド１８ｅの合計５つの記録ヘッド１８が、後述するサブタンク３７をヘッド挿通開口２８の下方から挿通させて収容部内に収容した状態で、ノズル列に直交する方向に横並びで、ベース部２６ａにそれぞれ固定される。
【００３４】
図５，６等に示すように、サブキャリッジ２６の四方の起立壁部２６ｂのうちの３つには、側方に向けてフランジ部３０が突設されている。フランジ部３０には、キャリッジ本体１２の底板部１２ａのヘッドユニット１７の取り付け位置に開設された図示しない３箇所の取り付けネジ穴に対応して、挿通穴３１がそれぞれ開設されている。そして、キャリッジ本体１２の底板部１２ａの各取り付けネジ穴に、それぞれ対応する挿通穴３１の位置を合わせた状態で、ヘッドユニット固定ネジ２２（図３参照）を、挿通穴３１を通じて取り付けネジ穴に止着することで、キャリッジ本体１２内部にヘッドユニット１７が収容・固定される。また、サブキャリッジ２６の四方の起立壁部２６ｂの上端面には、流路部材２４を固定するための固定ネジ穴３３が合計４箇所設けられている。
【００３５】
流路部材２４は、上下方向が薄い箱体状の部材であり、例えば、合成樹脂により作製される。この流路部材２４の内部には、各記録ヘッド１８のサブタンク３７（後述）の流路接続部３８にそれぞれ対応した各色のインク分配流路（図示せず）が区画形成されている。この流路部材２４の上面（サブキャリッジ２６に固定される側の面とは反対側の面）には、チューブ接続部３４が設けられている。図６に示すように、このチューブ接続部３４の内部には、各色のインクに対応した導入口３９が複数設けられている。各導入口３９は、それぞれ対応する色のインク分配流路に連通している。そして、チューブ接続部３４に上記のインク供給チューブ１４が接続されると、インク供給チューブ１４内の各色のインク供給路と、それぞれ対応する導入口３９とが液密状態で連通する。これにより、インクカートリッジ側からインク供給チューブ１４を通じて送られてきた各色のインクが、導入口３９を通じて流路部材２４内のインク分配流路にそれぞれ導入される。また、流路部材２４の下面において各記録ヘッド１８のサブタンク３７の流路接続部３８に対応する位置には図示しない接続流路が設けられている。各接続流路は、各記録ヘッド１８のサブタンク３７の流路接続部３８にそれぞれ挿入されて液密状態で連結されるように構成されている。さらに、流路部材２４の四隅には、サブキャリッジ２６の固定ネジ穴３３に対応する流路挿通穴（図示せず）が、それぞれ板厚方向を貫通した状態で形成されている。流路部材２４がサブキャリッジ２６に固定される際に、流路止着ネジ４５が流路挿通穴を通じて固定ネジ穴３３に止着（螺合）される。そして、流路部材２４内部のインク分配流路を通ったインクは、接続流路と流路接続部３８を介して各記録ヘッド１８のサブタンク３７に供給される。
【００３６】
図１１は記録ヘッド１８（液体噴射ヘッドの一種）の構成を説明する斜視図である。図１２は記録ヘッド１８の下面図である。図１３は記録ヘッド１８の右側面図である。図１４は図１２におけるＡ−Ａ線断面図である。図１５は図１２におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１６は図１５における領域Ｃの拡大図である。なお、図１１乃至図１５では、カバー部材２８を取り外した状態の記録ヘッド１８を示している。また、基本的な構造等は各記録ヘッド１８で共通であるため、サブキャリッジ２６に取り付けられる５つの記録ヘッド１８のうちの１つを代表として示している。図１７はサブキャリッジ２６に固定された記録ヘッド１８の構成をより簡略化して示した断面図である。さらに、図１８は流路ユニット５３の構成を説明する分解斜視図である。
【００３７】
記録ヘッド１８は、ノズル５１に連通する圧力室５２（図１８参照）を含むインク流路を形成する流路ユニット５３や、圧力室５２内のインクに圧力変動を生じさせる圧電振動子５４（本発明における圧力発生手段の一種。何れも図１６等参照）等を有する振動子ユニット５５をヘッドケース５６に備えている。本実施形態における記録ヘッド１８は、平面視においてノズル列方向に長尺である一方、ノズル列５７に直交する幅方向に短尺な形状に形成されている。そして、この記録ヘッド１８は、プリンター１の制御部側からの駆動信号を圧電振動子５４に印加して圧電振動子５４を駆動することにより、ノズル５１からインクを噴射して記録紙等の記録媒体に着弾させる記録動作を行うように構成されている。各記録ヘッド１８のノズル形成面５８には、インクを噴射するノズル５１が複数列設されてノズル列５７（ノズル群）が構成され、このノズル列５７がノズル列に直交する方向に２列並べて形成されている。１つのノズル列５７は、例えば３６０ｄｐｉのピッチで開設された３６０個のノズルから成る。
【００３８】
ヘッドケース５６は、エポキシ系樹脂やフェノール系樹脂等の熱硬化性樹脂によって成型された中空箱体状部材であり、その先端側には、ノズル形成面５８を露出させた状態で流路ユニット５３が固定されている。なお、エポキシ系樹脂やフェノール系樹脂は、成型での精度および機械的剛性に優れているが、吸湿により寸法変化しやすい。また、ヘッドケース５６の内部に対となるノズル列５７それぞれに対応して形成された収容空部５９Ａ，５９Ｂ内には圧電振動子５４などを有する一対の振動子ユニット５５Ａ，５５Ｂが、圧電振動子５４側を互いに向かい合わせた状態でそれぞれ収容され、先端面とは反対側の基端面側（上面側）には、流路ユニット５３側にインクを供給するためのサブタンク３７が装着されている。
【００３９】
また、ヘッドケース５６の上面側におけるノズル列方向の両側には、ヘッドケース５６の本体部となるケース本体６０を間に挟んで両側からそれぞれ側方（外側）に向けて突出したフランジ部６１がそれぞれ形成されている。このフランジ部６１には、図１７等に示すように、サブキャリッジ２６のヘッド取付部４０における止着穴２９に対応して、ヘッド固定穴６２（６２ａ，６２ｂ）がそれぞれ開設されている。両側のフランジ部６１ａ，６１ｂをサブキャリッジ２６のヘッド取付部４０にそれぞれ固定する際に、各フランジ部６１ａ，６１ｂをサブキャリッジ２６のヘッド取付部４０におけるヘッド載置面４１に重ねた状態で、このヘッド固定穴６２にヘッド固定ボルト２７ａの軸部が挿通され、このヘッド固定ボルト２７ａをヘッド固定ナット２７ｂに螺合することよって、記録ヘッド１８がサブキャリッジ２６に固定される。
【００４０】
このヘッド固定穴６２は、フランジ部６１において、両側のフランジ部６１ａ，６１ｂの並び方向に直交する方向（サブキャリッジ２６のヘッド取付部４０との締結箇所同士の並び方向またはノズル列に直交する方向）であるフランジ幅方向の中央部に、フランジ部６１の厚さ方向を貫通した状態で形成されている。両側のフランジ部６１ａ，６１ｂのヘッド固定穴６２のうちの一方（図１２における右側）のヘッド固定穴６２ａは、図１２，１４等に示すように、平面視において丸穴形状の貫通穴であり、その内径はヘッド固定ボルト２７ａの軸部の外径よりも僅かに大きく設定されている。これにより、この一方のヘッド固定穴６２ａは、ヘッド固定ボルト２７ａの軸部を円滑に挿通することが可能であり、尚かつ、両者の間にガタツキが生じ難いように構成されている。これに対し、他方（図１２における左側）のヘッド固定穴６２ｂは、平面視においてこれらの対となるヘッド固定穴６２ａ，６２ｂの並び方向（ノズル列方向）に長尺な長穴となっている。この他方のヘッド固定穴６２ｂの取付穴並び方向の内径（長径）はヘッド固定ボルト２７ａの軸部の外径よりも十分に大きく設定されており、取付穴並び方向に直交するフランジ幅方向の内径（短径）は一方のヘッド固定穴６２ａの内径に揃えられている。このように、両側のフランジ部６１ａ，６１ｂのヘッド固定穴６２ａ，６２ｂのうちの一方を丸穴とし、他方を長穴とすることにより、両フランジ部６１ａ，６１ｂをサブキャリッジ２６のヘッド取付部４０に対してネジ留めする際に、サブキャリッジ２６側の止着穴２９の間隔とヘッド固定穴６２ａ，６２ｂの間隔との誤差が、長穴の長径の範囲内で許容される。
【００４１】
また、ケース本体６０の内部には、金属プレート６３（本発明における補強材の一種）がインサート成型により埋設されている。具体的には、本発明におけるヘッドケース５６には、図１４乃至図１７に示すように、その高さ方向を貫通した収容空部５９が複数形成されており、隣り合う収容空部５９Ａ，５９Ｂ同士を区画する隔壁６４内に金属プレート６３が埋設されている。即ち、ノズル列同士の間隔を小さくしてヘッドのコンパクト化を図るために隔壁６４を厚くすることはできないため、ヘッドケース５６の成型時に、隔壁６４内に金属プレート６３を埋設することでこの金属プレート６３によって隔壁６４を補強することによりヘッドケース５６の剛性低下が抑制されている。なお、金属プレート６３は、その長手方向をノズル列方向に沿った状態で配設されており、両端部を成型時の支持部としてケース本体６０から露出させている（図１１，１２等参照）。
【００４２】
そして、このヘッドケース５６の先端面側には、図９等に示すように、流路ユニット５３やノズル形成面５８の周縁部を記録紙等の接触から保護するカバー部材６５が取り付けられる。このカバー部材６５は、ステンレス鋼などの導電性を有する薄手の金属板で作製されている。本実施形態におけるカバー部材６５は、中央部分に開口窓部６６が開設された額縁状のフレーム部６５ａと、ヘッドケース５６への取付け状態でフレーム部６５ａのノズル列方向両側の縁部からヘッドケース５６の側面に沿ってそれぞれ延出した側板部６５ｂと、により概略構成されている。各側板部６５ｂの先端部は、フランジ部６１に沿う形となるように外側に向けて屈曲されており、カバー止着ネジ６７（図７及び図８参照）によって各フランジ部６１ａ，６１ｂに形成されたカバー止着穴６８にそれぞれネジ留めされている。このカバー部材６５は、流路ユニット５３やノズル形成面５８の周縁部を保護する機能以外に、ノズル形成面５８を接地電位に調整する機能も有している。
【００４３】
上記サブタンク３７は、図１４等に示すように、流路部材２４からのインクを記録ヘッド１８の圧力室５２側に導入する部材である。サブタンク３７は、内部の圧力変動に応じてバルブ６９を開閉し、圧力室５２側へのインクの導入を制御する自己封止機能を有している。このサブタンク３７の後端面（上面）におけるノズル列方向の両端部に、上記流路部材２４の接続流路が接続される流路接続部３８が設けられている。この流路接続部３８にはリング状のパッキン７０が嵌め込まれており、このパッキン７０により流路部材２４との液密性が確保される。また、サブタンク３７の内部には、圧電振動子５４に駆動信号を供給するための駆動基板が設けられている（図示せず）。サブタンク３７の後端面の中央部の開口内には、当該駆動基板にフレキシブルケーブル（配線部材の一種。図示せず）を電気的に接続するコネクター７１が配設されている。
【００４４】
次に、上記の流路ユニット５３について説明する。流路ユニット５３は、図１８に示すように、ノズルプレート７２（本発明におけるノズル形成基板に相当）、流路形成基板７３、及び振動板７４を順次積層した状態で接着剤等によってヘッドケース５６の先端面に接合されている。
【００４５】
流路ユニット５３の底部に配置されるノズルプレート７２は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば、３６０ｄｐｉ）で複数のノズル５１を列状に開設した薄い金属板である。本実施形態のノズルプレート７２は、ステンレス鋼製の板材によって作製され、ノズル５１の列（ノズル列５７）がノズル列に直交する方向に２列並べて形成されている（図１８では、一対のノズル列５７のうち１列分を示す）。
【００４６】
流路形成基板７３は、ノズルプレート７２と振動板７４との間に配置される部材であり、共通液体室の一種である共通インク室７５、インク供給口７６、圧力室５２等のインク流路となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル５１に対応させて複数ノズル列方向に沿って列状に形成した板状の部材である。この流路形成基板７３は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力室５２は、ノズル列方向（主走査方向）に対して直交する方向（副走査方向）に細長い室として形成されている。そして、各圧力室５２は、ノズル列５７に沿って形成された後述する圧電振動子５４毎に対応した位置に配される。なお、本発明における流路形成基板７３は、シリコンで作製するが、ステンレス鋼やニッケル等の金属の基板などをプレス加工することで作製しても良い。
【００４７】
振動板７４は、流路形成基板７３とヘッドケース５６との間に配置される板材であり、ステンレス鋼等の金属製の支持板７７上に弾性フィルム７８をラミネート加工した二重構造の複合板である。この振動板７４の圧力室５２に対応する部分には、エッチングなどによって支持板７７を環状に除去することで、圧電振動子５４の自由端の先端面を接合するための島部７９が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板７４は、圧電振動子５４の作動に応じて島部７９の周囲の弾性フィルム７８が弾性変形するように構成されている。
【００４８】
次に振動子ユニット５５について説明する。なお、ヘッドケース５６内に配置される一対の振動子ユニット５５Ａ，５５Ｂの基本的な構成は同様であるので、以下では一方の振動子ユニット５５のみを例に挙げて説明する。振動子ユニット５５は、図１６に示すように、櫛歯状の圧電素子群８０と、この圧電素子群８０の基端部分が接合される固定板８１と、圧電素子群８０に駆動信号を供給するためのＣＯＦ（Chip On Film）やＴＣＰ（Tape Carrier Package）などのフレキシブルケーブル８２とにより構成される。
【００４９】
圧電素子群８０は、ノズル列方向に沿って列状に並べて形成された複数本の圧電振動子５４を備える。これらの各圧電振動子５４は、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられ、３６０本設けられる。また、圧電素子群８０は、自由端部を固定板８１の先端面よりも外側（先方の圧力室側）に突出させることで、所謂片持ち梁の状態で固定板８１上に支持されている。これらの各圧電振動子５４は、流路ユニット５３の圧力室５２の形成ピッチと同じピッチで切り分けられており、１つの圧力室５２（図１８参照）に対して１つずつ対応するように構成されている。
【００５０】
一方、圧電素子群８０を支持する固定板８１は、圧電素子群８０からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板状部材であり、本実施形態においては、ステンレス鋼を用いている。フレキシブルケーブル８２は、一端側が電極（図示せず）に、他端側が圧電素子群８０に電気的に接続されており、電気信号を圧電振動子５４に送る信号ケーブルである。このフレキシブルケーブル８２の表面には、各圧電振動子５４の駆動等を制御するための制御用ＩＣ８３が実装されている。
【００５１】
ここで、上記したように、本発明におけるヘッドケース５６は樹脂製である一方、サブキャリッジ２６はアルミニウム製等の金属製である。一般的に樹脂は金属製と比べて吸水率が高い。つまり、アルミニウム製のサブキャリッジ２６に比べて、ヘッドケース５６、特にフランジ部６１は、空気中の水分等を吸湿することによって膨潤する度合いが大きい。特に、エポキシ系樹脂やフェノール系樹脂は、成型での精度および機械的剛性に優れているが、吸湿により寸法変化しやすい。このフランジ部６１は、サブキャリッジ２６に固定される部分であるため、サブキャリッジ２６に固定された状態のヘッドケース５６が吸湿によって膨潤すると、記録ヘッド１８の位置精度が低下する虞がある。
【００５２】
上記の問題に鑑み、本発明に係る記録ヘッド１８におけるヘッドケース５６のフランジ部６１の表面には、防湿コーティング層８４が形成されている。本実施形態において、フランジ部６１には、導電性を有するクロムや金からなる金属メッキが施されることで、防湿コーティング層８４が形成されている。つまり、樹脂製のヘッドケース５６の表面のうち、流路ユニット５３が接合されるケース本体６０の表面には防湿コーティング層が形成されておらず樹脂が露出する一方、流路ユニット５３との前記接合面から外れた表面のうち少なくともフランジ部６１の表面は防湿コーティング層８４によって覆われている。なお、ケース本体６０の側面に防湿コーティング層を形成しても良い。
【００５３】
図１９は、フランジ部６１のコーティング工程を説明する図である。
次に、フランジ部６１の表面に防湿コーティング層８４を形成するコーティング工程について説明する。図１９に示すように、コーティング液８５（例えば、クロムを溶解させたクロムメッキ溶液）を貯留した電解槽８６の上面側の開口から、樹脂成型されたヘッドケース５６を、予め表面に導電化処理が施された両フランジ部６１ａ、６１ｂのうちの一方側（例えばフランジ部６１ａ）を下方に向けた状態で下降させて侵入させる。そして、下方側に位置するフランジ部６１ａの全体がコーティング液８５に浸かる位置（ケース本体６０の手前）でヘッドケース５６の下降を停止する。これにより、ヘッドケース５６のうち一方のフランジ部６１ａの表面にコーティング液８５が付着する。そして、ヘッドケース５６を電解槽８６内から上昇させ、フランジ部６１ａの表面に付着したコーティング液８５を固化させる。コーティング液８５の固化後に、ヘッドケース５６を上下反転させて、他方のフランジ部６１ｂについても同様に防湿コーティング層８４を形成することで、ヘッドケース５６の表面のうち、ケース本体６０を避けた両側のフランジ部６１ａ，６１ｂの表面に膜状の防湿コーティング層８４が形成される。なお、フランジ部６１の表面にメッキにより防湿コーティング層８４を形成する方法としては、上記の電解メッキの他、無電解メッキや真空蒸着などを採用することもできる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態のヘッドケース５６は、金属製のサブキャリッジ２６に固定されるフランジ部６１ａ，６１ｂの表面に防湿コーティング層８４が形成されているので、吸湿によるフランジ部６１の膨潤を抑制することができる。これにより、プリンター１が使用される環境下で湿度が上昇した場合においても、サブキャリッジ２６に固定される記録ヘッド１８の位置精度の低下が防止される。これにより、ノズル５１から噴射されるインクの着弾位置精度の低下を抑制することができる。また、防湿コーティング層８４がヘッドケース５６の表面のうちフランジ部６１の表面のみに選択的に形成されることにより、ケース本体６０の流路ユニット５３との接合面などの接着剤による接着が必要な部分に防湿コーティング層８４が形成されないので、接着固定する際の接合面における接着強度を確保することできる。この結果、記録ヘッド１８の信頼性を向上させることができる。
【００５５】
ケース本体６０の内部には、金属製の金属プレート６３が配設されたので、ケース本体６０の変形を抑制することができ、サブキャリッジ２６に対する記録ヘッド１８の位置精度を向上させることができる。また、金属プレート６３の端部がヘッドケース５６成型時の支持部としてケース本体６０から露出していたとしても、ケース本体６０を避けたフランジ部６１の表面に防湿コーティング層が形成されることにより、金属プレート６３の露出部分（支持部）にコーティング液８５が付着し、付着したコーティング液８５が金属プレート６３を伝ってヘッドケース５６内に浸透することを抑制することができる。これにより、ヘッドケース５６内に浸透したコーティング液８５が振動子ユニット５５やその他の電子部品に分着することで故障が生じる不具合を防止することができる。その結果、記録ヘッド１８の信頼性が低下することを抑制することができる。
【００５６】
また、防湿コーティング層８４が導電性を有するので、例えば、ノズルプレート７２が静電気に帯電したとしても、この静電気を、防湿コーティング層８４を介してサブキャリッジ２６側に逃がすことができる。つまり、防湿コーティング層８４をサブキャリッジ２６に導通させて接地することができる。
【００５７】
また、本実施形態のヘッドユニット１７は、上記した記録ヘッド１８と、当該記録ヘッド１８が固定される金属製のサブキャリッジ２６と、を備えているので、各記録ヘッド１８におけるノズル５１の相対位置精度が向上し、記録媒体に対するインクの着弾位置精度を向上させることができる。
【００５８】
また、本実施形態のプリンター１は、上記したヘッドユニット１７を備えているので、記録ヘッド１８におけるノズル５１の位置精度が向上し、記録媒体に対するインクの着弾位置精度を向上させることができる。その結果、プリンター１の信頼性を向上させることができる。
【００５９】
なお、本発明は、上記した各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００６０】
図２０は、他の実施形態におけるサブキャリッジ２６に固定された記録ヘッド１８の構成をより簡略化して示した断面図である。
本実施形態におけるヘッドケース５６におけるフランジ部６１（即ち、記録ヘッド１８）とサブキャリッジ２６とは、エポキシ系樹脂やフェノール系樹脂等の熱硬化性樹脂によって成型されたスペーサー８８（本発明における仲介部材の一種）を介在させた状態で固定されており、スペーサー８８は、ヘッドケース５６と同じ材料から作製され、その表面には、防湿コーティング層８９が形成されている。具体的には、本実施形態におけるサブキャリッジ２６における各ヘッド取付部４０には、止着穴２９のノズル列方向の両側であってヘッド挿通開口２８とは反対側に、本実施形態においては使用されない補助止着穴９０（図１０参照）がノズル列方向に直交する方向（ヘッド列設方向）に横並びにそれぞれ２つずつ設けられている。スペーサー８８は、平面視においてサブキャリッジ２６におけるヘッド取付部４０と同形状の略べース状に形成されている。スペーサー８８には、各補助止着穴９０に対応してヘッド固定ナット２７ａを収容固定するサブキャリッジ用挿通穴９１が横並びに設けられ、記録ヘッド２８のフランジ部６１におけるヘッド固定穴６２に対応してスペーサー固定ナット９２ｂを収容固定するスペーサー固定用挿通穴９３が設けられている。
【００６１】
このようなスペーサー８８を介在させた状態で記録ヘッド１８をサブキャリッジ２６に組付けるには、まず、フランジ部６１にスペーサー８８を重ねた状態で位置決めし、この位置決め状態でフランジ部６１側からヘッド固定穴６２に挿入したスペーサー固定ボルト９２ａをスペーサー固定用挿通穴９１内に収容固定されたスペーサー固定ナット９２ｂに螺合することで、フランジ部６１にスペーサー８８を固定する。次に、スペーサー８８におけるフランジ部６１に固定した面とは反対側の面を、サブキャリッジ２６のヘッド取付部４０におけるヘッド載置面４１に載置させた状態で位置決めし、この位置決め状態で、スペーサー８８とヘッド載置面４１との間に接着剤が流し込まれて接着（仮固定）される。接着剤が硬化した後、サブキャリッジ２６側から補助止着穴９０に挿入したヘッド固定ボルト２７ａをサブキャリッジ用挿通穴９１内に収容固定されたヘッド固定ナット２７ｂに螺合することで、スペーサー８８とサブキャリッジ２６とが固定され、これにより、スペーサー８８を介した状態で記録ヘッド１８がサブキャリッジ２６に固定される。
【００６２】
このように、スペーサー８８を用いる構成においても、当該スペーサー８８の表面に防湿コーティング層８９を形成することで、吸湿によってスペーサー８８が膨潤することを抑制することができ、湿度の上昇に起因するノズル５１の位置精度の低下を防止することができる。また、上記のように、スペーサー８８をサブキャリッジ２６に接着する構成において、記録ヘッド１８とスペーサー８８とのネジ締結を解除することによって、記録ヘッド１８を取り外すことができ、記録ヘッド１８の交換やメンテナンスが容易となる。
【００６３】
また、前述した実施形態におけるフランジ部６１の防湿コーティング層８４は、フランジ部６１の表面に施された導電性を有するクロムや金からなる金属メッキであったが、本発明における防湿コーティング層８４は、撥水性を有するフッ素コーティング剤等の撥水膜であっても良い。このようにフランジ部６１の表面に撥水性を有する防湿コーティング層８４を形成することで、ノズル５１から噴射されたミスト状のインク等がヘッドケース５６の表面に付着しても、付着したインクがヘッドケース５６における流路ユニット５３とは反対側に配置される回路基板等の電子部品側にフランジ部６１を伝って回り込むことが防止される。
【００６４】
また、前述した実施形態では、ヘッドケース５６が樹脂製であって、サブキャリッジ２６がアルミニウム製である例を挙げたが、本発明のヘッドケース５６とサブキャリッジ２６の材質は上記した材質に限定されない。サブキャリッジ２６よりもヘッドケース５６の吸水率が大きい程、サブキャリッジ２６に対するヘッドケース５６の吸湿による膨潤が大きくなるため、本発明を適用することで上記したフランジ部６１の膨潤に対する抑制効果を高めることができる。
【００６５】
そして、以上では、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、ヘッド固定部材に対して液体噴射ヘッドが固定される構成を採用する他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置，ごく少量の試料溶液を正確な量供給するマイクロピペットにも適用することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１…プリンター，１７…ヘッドユニット，１８…記録ヘッド，２６…サブキャリッジ，５１…ノズル，５２…圧力室，５３…流路ユニット，５４…圧電振動子，５６…ヘッドケース，６０…ケース本体，６１…フランジ部，６３…金属プレート，７２…ノズルプレート，７３…流路形成基板，８４…防湿コーティング層，８８…スペーサー，８９…防湿コーティング層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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