(57)【要約】【課題】駆動軸をサーボモータの出力軸と直交配置した場合であっても、装置の大型化を招かず、バックラッシュを低減し、任意の減速比をとることが可能なサーボアクチュエータを提供する。【解決手段】サーボモータ１２の出力軸１４には、螺旋状のボール溝１８を有するボールウォーム１６が連結される。伝達機構は、駆動軸５０に対し回転可能なタレット３０，その外周面側に吸着保持されボール溝１８に噛み合うボール３４，タレット３０の内周面側に保持され、駆動軸５０の螺旋状のボール溝５４に噛み合うボール３８により構成される。回転規制手段は、駆動軸後端５０Ｂ側の直線状のボール溝５２と、本体２０側に支持されボール溝５２に噛み合うボール２８により構成される。サーボモータ１２の出力が前記伝達機構を介して駆動軸５０に伝達されたとき、その回転が規制されるため、駆動軸５０は軸方向に直進駆動する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボモータの出力軸と略直交する方向に設けられた駆動軸を、その軸方向に直進駆動するためのサーボアクチュエータであって、
外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームが、前記サーボモータの出力軸に連結されており、
前記サーボモータが固定されるとともに、前記駆動軸を支持する支持手段と、
前記駆動軸の外周部に対して回転可能であって、前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、前記駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝に噛み合う第２のボールを介して、前記サーボモータの出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構と、
前記駆動軸の外周面であって前記螺旋状のボール溝が形成されていない位置に、該駆動軸の軸方向に沿って直線状に形成されたボール溝と、前記支持手段側に保持されており一部が前記直線状のボール溝と噛み合う第３のボールとを含む回転規制手段と、
を備えたことを特徴とするサーボアクチュエータ。
【請求項２】
サーボモータの出力軸と略直交する方向に設けられた駆動軸を、その軸方向に直進駆動及び軸回りに回転駆動するためのサーボアクチュエータであって、
２つのサーボモータを、前記駆動軸の軸方向に沿って配設するとともに、外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームが、前記２つのサーボモータのそれぞれの出力軸に連結されており、
前記２つのサーボモータが固定されるとともに、前記駆動軸を支持する支持手段と、
前記駆動軸の外周部に対して回転可能であって、前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、前記駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝に噛み合う第２のボールを介して、前記サーボモータの出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構と、
を備えており、
前記伝達機構を、前記サーボモータ毎に設けたことを特徴とするサーボアクチュエータ。
【請求項３】
前記伝達機構が、
前記駆動軸の外周部に対して回転可能となるように、前記支持手段に支持されており、磁性材料により形成されたタレット，
該タレットの外周面側に設けられており、磁力によって前記第１のボールの一部を吸着保持する第１の凹部，
前記タレットの内周面側に設けられており、前記第２のボールの一部を保持する第２の凹部，
を含むことを特徴とする請求項１又は２記載のサーボアクチュエータ。
【請求項４】
前記駆動軸の外周面の螺旋状のボール溝を、リードが不等間隔となるように形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のサーボアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボアクチュエータに関し、更に具体的には、サーボモータのモータ軸と駆動軸が直交する構造に適したサーボアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
モータの回転駆動力を利用して、駆動軸を直進させる直進機構として、例えば、下記特許文献１に示す直線駆動装置があり、駆動軸を回転させる回転機構としては、例えば、下記特許文献２に示す車両の操舵制御装置が開示されている。これらの背景技術では、モータ軸と駆動軸（ないし出力軸）は平行に配置されており、特許文献１の第２図に示す構造では、ベルトを使用してモータの出力を伝達し、前記特許文献２の構造では、歯車又はタイミングベルト等を使用してモータの出力を伝達することとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３２６８６４号公報（第２図）
【特許文献２】特開２００４−１６４６号公報（第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、以上のような背景技術をそのまま利用して、モータ軸と駆動軸を直交配置とすると、伝達機構が複雑となって装置が大きくなってしまうほか、バックラッシュも大きくなるという不都合が生じる。従って、サーボモータを駆動源として利用したときに、その特性を十分に活かすことができない。また、従来の直進機構では、駆動軸の回転を規制するための機構をボールスプラインで構成していたため、この点でも構造が複雑になるという不都合がある。
【０００５】
本発明は、以上のような点に着目したもので、駆動軸をサーボモータの出力軸と直交配置した場合であっても、装置の大型化を招かず、バックラッシュを低減し、任意の減速比をとることが可能なサーボアクチュエータを提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、サーボモータの出力軸と略直交する方向に設けられた駆動軸を、その軸方向に直進駆動するためのサーボアクチュエータであって、外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームが、前記サーボモータの出力軸に連結されており、前記サーボモータが固定されるとともに、前記駆動軸を支持する支持手段と、前記駆動軸の外周部に対して回転可能であって、前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、前記駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝に噛み合う第２のボールを介して、前記サーボモータの出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構と、前記駆動軸の外周面であって前記螺旋状のボール溝が形成されていない位置に、該駆動軸の軸方向に沿って直線状に形成されたボール溝と、前記支持手段側に保持されており一部が前記直線状のボール溝と噛み合う第３のボールとを含む回転規制手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
他の発明は、サーボモータの出力軸と略直交する方向に設けられた駆動軸を、その軸方向に直進駆動及び軸回りに回転駆動するためのサーボアクチュエータであって、２つのサーボモータを、前記駆動軸の軸方向に沿って配設するとともに、外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームが、前記２つのサーボモータのそれぞれの出力軸に連結されており、前記２つのサーボモータが固定されるとともに、前記駆動軸を支持する支持手段と、前記駆動軸の外周部に対して回転可能であって、前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、前記駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝に噛み合う第２のボールを介して、前記サーボモータの出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構と、を備えており、前記伝達機構を、前記サーボモータ毎に設けたことを特徴とする。
【０００８】
主要な形態の一つは、前記伝達機構が、前記駆動軸の外周部に対して回転可能となるように、前記支持手段に支持されており、磁性材料により形成されたタレット，該タレットの外周面側に設けられており、磁力によって前記第１のボールの一部を吸着保持する第１の凹部，前記タレットの内周面側に設けられており、前記第２のボールの一部を保持する第２の凹部，を含むことを特徴とする。他の形態は、前記駆動軸の外周面の螺旋状のボール溝を、リードが不等間隔となるように形成したことを特徴とする。本発明の前記及び他の目的，特徴，利点は、以下の詳細な説明及び添付図面から明瞭になろう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームを、駆動源であるサーボモータの出力軸に連結し、
(1)前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝と噛み合う第２のボールを介して、前記出力軸の出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構を設けるとともに、前記駆動軸の外周面に軸方向に形成した直線状のボール溝に噛み合うボールにより前記駆動軸の回転を規制する，あるいは、
(2)駆動軸の軸方向に沿って配置された２つのサーボモータ毎に、前記伝達機構を設ける，
こととした。このため、前記サーボモータの出力軸と略直交する方向に駆動軸を配置した場合であっても、装置の大型化を招くことなく、バックラッシュを低減し、任意の減速比をとりながら、(1)においては駆動軸の直進駆動が可能となり、(2)においては駆動軸の直進駆動及びその軸回りの回転駆動が可能になるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例１を示す図であり、(A)は実施例１のサーボアクチュエータの主要断面図，(B)は前記実施例の駆動軸の一部を示す外観斜視図，(C)は前記(A)を＃Ａ−＃Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図である。
【図２】(A)は前記実施例１の応用例を示す図，(B)は本発明の他の実施例を示す図である。
【図３】本発明の実施例２を示す図であり、(A)は実施例２のサーボアクチュエータの主要断面図，(B)は前記(A)を＃Ｃ−＃Ｃ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態を、実施例に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１２】
最初に、図１を参照しながら本発明の実施例１を説明する。図１(A)は、本実施例のサーボアクチュエータの主要断面図，図１(B)は本実施例の駆動軸の一部を示す外観斜視図，図１(C)は、前記(A)を＃Ａ−＃Ａ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図である。本実施例のサーボアクチュエータは、サーボモータを回転駆動源とし、該サーボモータのモータ軸と略直交する方向に配置された駆動軸を、その軸方向に進退させる機構（直進機構）を構成するものである。
【００１３】
図１に示すように、本実施例のサーボアクチュエータ１０は、サーボモータ１２が本体２０に固定されており、前記サーボモータ１２のモータ軸１４と略直交するように、駆動軸５０が配置されている。該駆動軸５０は、前記本体２０，前部カバー４０，後部カバー４２によって適宜位置が支持されている。図１(A)及び(B)に示すように、前記駆動軸５０は、先端５０Ａ側が前部カバー４０に設けられた開口部４４を貫通可能となるように、他の部分よりも径が小さく設定されている。また、駆動軸５０の後端５０Ｂ側の外周面には、該駆動軸５０の軸方向に沿って、複数（図示の例では２本）の直線状のボール溝５２が形成されている。更に、前記駆動軸５０の中央部の外周面には、螺旋状のボール溝５４が適宜範囲に形成されている。
【００１４】
前記サーボモータ１２のモータ軸１４には、図１(C)に示すように、外周面に螺旋状のボール溝１８が形成されたボールウォーム１６が取り付けられている。該ボールウォーム１６の一方の端部１７Ａ側は、前記本体２０及びカバー２２に取り付けられたホルダ２４Ａのテーパローラ２５Ａによって回転可能に支持され、他方の端部１７Ｂ側は、前記本体２０及びカバー２２に取り付けられたホルダ２４Ｂのテーパローラ２５Ｂによって回転可能に支持されている。
【００１５】
次に、前記サーボモータ１２の出力を前記駆動軸５０に伝達するための伝達機構について説明する。伝達機構は、前記駆動軸５０の外周部に、該外周部に対して回転可能となるように、前記本体２０に対してテーパローラ等を介して支持されており、磁性材料により形成されたタレット３０を中心に構成されている。該タレット３０は、前記駆動軸５０の外周面に設けられたボール溝５４が形成されている範囲にほぼ対応する軸方向長さを有している。このほか、前記伝達機構を構成する要素としては、前記タレット３０の外周面に設けられた第１の凹部３２，該凹部３２に一部が吸着保持された第１のボール３４，前記タレット３０の内周面側に設けられたプランジャ３６と、その凹部３７に一部が保持された複数（図示の例では３つ）の第２のボール３８を含んでいる。
【００１６】
本実施例では、前記第１のボール３４は、例えば磁性体によって形成されており、前記凹部３２内に収納された図示しない永久磁石によって、前記タレット３０に吸着保持されている。前記第１のボール３４は、図１(C)に示すように、前記ボールウォーム１６の外周面の螺旋状のボール溝１８に噛み合うようになっている。本実施例では、前記プランジャ３６及び第２のボール３８も磁性体により構成されており、前記第２のボール３８は、前記プランジャ３６によって、駆動軸５０のボール溝５４に対して一部が噛み合うように押さえられている。なお、本実施例では、プランジャ３６をタレット３０と別体に構成することとしたが、プランジャ３６とタレット３０を一体に構成してもよい。
【００１７】
次に、前記駆動軸５０の回転を規制するための回転規制手段について説明する。該回転規制手段は、前記駆動軸５０の直線状のボール溝５２と、該ボール溝５２に一部が噛み合う第３のボール２８と、磁性体により形成されており前記第３のボール２８の一部が噛み合う凹部２７が形成されたプランジャ２６により構成されている。該プランジャ２６は、前記本体２０の後端側に設けられた空間内に設けられており、前記第３のボール２８を、駆動軸５０のボール溝５２に一部が噛み合うように押さえている。前記プランジャ２６は、図示の例では、ホルダ２０と別体の構成としたが、ホルダ２０と一体構成にしてもよい。
【００１８】
次に、本実施例の作用を説明する。サーボモータ１２を駆動すると、モータ軸１４の回転に伴ってボールウォーム１６が回転し、そのボール溝１８に沿って、前記タレット３０に吸着保持されたボール３４が移動するようになる。このボール３４の移動に伴ってタレット３０が回転すると、該タレット３０に支持されたボール３８が、駆動軸５０の螺旋状のボール溝５８に沿って移動し、駆動軸５０が回転しようとするが、本実施例では、前記駆動軸５０の直線状のボール溝５２に、回転規制用のボール２８の一部が噛み合っているため、駆動軸５０は回転せずに、前記ボール２８に沿って矢印Ｆ１方向にスライド（直進駆動）するようになる。
【００１９】
このように、実施例１によれば、サーボモータ１２を駆動源とするサーボアクチュエータ１０において、外周面に螺旋状のボール溝１８を有するボールウォーム１６を前記サーボモータ１２のモータ軸１４に連結する。そして、前記ボールウォーム１６のボール溝１８に噛み合うボール３４と、駆動軸５０の外周面に設けられた螺旋状のボール溝５４に噛み合う第２のボール３８を介して前記サーボモータ１２の出力を駆動軸５０に伝達する伝達機構を設けるとともに、駆動軸５０の外周面に軸方向に沿って形成したボール溝５２に噛み合うボール２８により、駆動軸５０の回転を規制することとした。このため、次のような効果がある。
(1)モータ軸１４と駆動軸５０が直交配置されていても、サーボアクチュエータ１０の大型化を招くことなく、バックラッシュを低減し、任意の減速比を取りながら、駆動軸５０の直進駆動が可能となる。
(2)サーボモータ１２を駆動源としているため、駆動軸５０のスピードや移動量を厳密かつ自在に調整することができる。
(3)駆動軸５０の回転を、駆動軸５０の外周面に設けた直線状のボール溝５２と、本体２０側に支持されたボール２８の噛み合いにより規制しているため、ボールスプラインを利用した従来技術と比べて、簡単な構造とすることができる。
【００２０】
＜応用例＞・・・次に、図２(A)を参照して、本実施例の応用例を説明する。図２(A)に示すサーボアクチュエータ６０では、駆動軸５０が、前記図１に示す例よりも短く形成されており、駆動軸５０を後退限界まで後退させたときに、先端５０Ａと前部カバー４０の開口部４４の間に空間６２が形成される。また、前部カバー４０の適宜位置には、前記空間６２と連通する流路が設けられており、該流路には、油タンク６４が接続されている。一方、前記開口部４４側には、油圧シリンダ６６が接続されている。そして、前記空間６２に油タンク６４から油を供給し、サーボモータ１２の駆動によって駆動軸５０を矢印Ｆ２ａで示す方向に前進させると、空間６２内の油が移動して油圧シリンダ６６の図示しない油圧ピストンを前進させることができる。また、前記駆動軸５０を前記矢印Ｆ２ｂで示す方向に後退させると、油圧シリンダ６６に送った油が空間６２に吸い込まれて油圧ピストンを後退させることができる。通常の油圧シリンダでは、油圧ピストンの両側に油の供給・排出のための流路を設けなければならないが、本実施例では、駆動軸５０の進退のみによって、油圧ピストンを駆動することが可能となる。この場合も、駆動軸５０の移動スピード及び量をコントロールできるため、油圧装置の駆動を正確に制御することができる。他の基本的な作用・効果は、前記図１に示したサーボアクチュエータ１０の場合と同様である。
【実施例２】
【００２１】
次に、図３を参照しながら本発明の実施例２を説明する。なお、上述した実施例１と同一ないし対応する構成要素には同一の符号を用いることとする。図３(A)は、本実施例のサーボアクチュエータの主要断面図，(B)は前記(A)を＃Ｃ−＃Ｃ線に沿って切断し矢印方向に見た断面図である。なお、図３(A)中の＃Ｂ−＃Ｂ線に沿った断面は、前記実施例１で示した図１(C)と基本的に同様の構成となっている。上述した実施例１が、駆動軸の直進駆動のみを行う構成であるのに対し、本実施例は、直進駆動に加え、駆動軸の軸回りの回転駆動も可能とした例である。
【００２２】
本実施例のサーボアクチュエータ１００は、２つのサーボモータ１２Ａ，１２Ｂが、本体１０２に固定されており、前記サーボモータ１２Ａ，１２Ｂのモータ軸１４Ａ，１４Ｂの双方と略直交するように、駆動軸１３０が配置されている。該駆動軸１３０は、前記本体１０２，ホルダ１０８Ａ，１０８Ｂ，バネカバー１２０により全体が覆われ支持されている。また、駆動軸１３０は、前記ホルダ１０８Ａに設けられたフランジ１１０の開口部１１０Ａを貫通可能となっており、その先端には、図示しない工具などを取り付けるためのコーン１３４が設けられている。前記駆動軸１３０の後端側には、取付金具１３２を介して、軸１２８Ｂ及び軸１２８Ａが連結されている。前記軸１２８Ａは、前記バネカバー１２０の内側に設けられたバネ受け１２２に接続している。該バネ受け１２２には、他のバネ受け１２４が固定されており、該バネ受け１２４には、バネ１２６の一端が支持される。前記バネ１２６の他端側は、前記ホルダ１０８Ｂとバネカバー１２０の接続側に支持されている。更に、前記駆動軸１３０の外周面には、螺旋状のボール溝１３６が適宜範囲に形成されている。
【００２３】
前記サーボモータ１２Ａ，１２Ｂのモータ軸１４Ａ，１４Ｂには、外周面に螺旋状のボール溝１８Ａ，１８Ｂが形成されたボールウォーム１６Ａ，１６Ｂが取り付けられている。これらボールウォーム１６Ａ，１６Ｂのそれぞれの両端は、前記本体１０２に取り付けられたホルダ１０４Ａ，１０４Ｂ，１０６Ａ，１０６Ｂのテーパローラによって、回転可能に支持されている。
【００２４】
本実施例では、サーボモータ１２Ａの出力を駆動軸１３０に伝達するための伝達機構が、タレット３０Ａと、その外周側の凹部３２Ａに吸着保持されるボール３４と、タレット３０Ａの内周側に設けられたプランジャ３６Ａの凹部３７Ａに噛み合うボール３８により構成されている。また、サーボモータ１２Ｂの出力を駆動軸１３０に伝達するための伝達機構が、タレット３０Ｂ，その外周側の凹部３２Ｂに吸着保持されるボール３４，タレット３０Ｂの内周側に設けられたプランジャ３６Ｂの凹部３７Ｂに噛み合うボール３８により構成されている。前記ボール３４は、前記ボールウォーム１６Ａ及び１６Ｂのボール溝１８Ａ及び１８Ｂに噛み合い、前記ボール３８は、前記駆動軸１３０のボール溝１３６に噛み合っている。これらボール３４，３８を利用したサーボモータの駆動力の伝達機構は、基本的には前記実施例１と同様である。
【００２５】
本実施例では、前記実施例１と異なり、伝達機構を２つ利用している。すなわち、実施例１の回転規制手段の代わりに、前記伝達機構を利用しており、その結果、追加したサーボモータを使用することで、図３に矢印Ｆｂ３方向に示す駆動軸１３０の押し出し量のみならず、同図に矢印Ｆ３ａ方向に示す回転量も制御可能となる。例えば、サーボモータ１２Ａ用の伝達機構によりサーボモータ１２Ａの出力を駆動軸１３０に伝達し、サーボモータ１２Ｂ用の伝達機構により前記駆動軸１３０の回転量及び移動量を制御するという具合である。本実施例の他の効果は、基本的には上述した実施例１と同様である。
【００２６】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることができる。例えば、以下のものも含まれる。
(1)前記実施例で示した形状，寸法，材質は一例であり、同様の効果を奏するように適宜変更してよい。
(2)前記実施例１で示したボール２８，３８の支持機構も一例であり、同様の効果を奏するように適宜設計変更してよい。
(3)前記実施例１では、タレット３０の内周面側にボール３８を３つ設けて、駆動軸５０を３点支持することとしたが、これも一例であり、支持点は必要に応じて適宜増減してよい。
(4)前記実施例１では、回転規制手段として、駆動軸５０に設けた２本のボール溝５２と、それに噛み合う２つのボール２８を利用することとしたが、これも一例であり、回転規制手段は、一箇所以上設けてあればよい。
(5)前記実施例１で示した駆動軸５０のボール溝５４のリード（ないしピッチ）は等間隔であったが、これも一例であり、必要に応じて適宜変更してよい。例えば、図２(B)に示す駆動軸５０´のように、異なるピッチＰ１とピッチＰ２が交互になるように、リードが不等間隔のボール溝５４とすることで、圧力角の変化による力の差を出すことが可能となる。また、前記図２(B)に示す例においては、ボール溝５４の端部５４Ａは、駆動軸５０´と直交する方向に対して傾きがない状態となっている。このような構成とすることにより、ボール３８がボール溝端部５４Ａに達するときには、自動的に圧力角が０になるため、トルクが大きくなり、セルフロック機能が発揮される。
(6)本発明のサーボアクチュエータは、例えば、ロボットなどが好適な適用例であるが、他のアクチュエータ全般に適用が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明によれば、外周面に螺旋状のボール溝を有するボールウォームを、駆動源であるサーボモータの出力軸に連結し、
(1)前記ボールウォームのボール溝に噛み合う第１のボールと、駆動軸の外周面に設けられた螺旋状のボール溝と噛み合う第２のボールを介して、前記出力軸の出力を前記駆動軸に伝達する伝達機構を設けるとともに、前記駆動軸の外周面に軸方向に形成した直線状のボール溝に噛み合うボールにより前記駆動軸の回転を規制する，あるいは、
(2)駆動軸の軸方向に沿って配置した２つのサーボモータ毎に、前記伝達機構を設ける，
こととした。このため、前記サーボモータの出力軸と略直交する方向に駆動軸を配置した場合であっても、装置の大型化を招くことなく、バックラッシュを低減し、任意の減速比をとりながら、(1)においては駆動軸の直進駆動が可能となり、(2)においては駆動軸の直進駆動及びその軸回りの回転駆動が可能になるため、サーボアクチュエータの用途に適用できる。特に、ロボット用のアクチュエータとして好適である。
【符号の説明】
【００２８】
１０：サーボアクチュエータ
１２，１２Ａ，１２Ｂ：サーボモータ
１４，１４Ａ，１４Ｂ：モータ軸
１６，１６Ａ，１６Ｂ：ボールウォーム
１７Ａ，１７Ｂ：端部
１８，１８Ａ，１８Ｂ：ボール溝
２０：本体
２２：カバー
２４Ａ，２４Ｂ：ホルダ
２５Ａ，２５Ｂ：テーパローラ
２６：プランジャ
２７：凹部
２８：ボール
３０，３０Ａ，３０Ｂ：タレット
３２，３２Ａ，３２Ｂ：凹部
３４：ボール
３６，３６Ａ，３６Ｂ：プランジャ
３７，３７Ａ，３７Ｂ：凹部
３８：ボール
４０：前部カバー
４２：後部カバー
４４：開口部
５０，５０´：駆動軸
５０Ａ：先端
５０Ｂ：後端
５２：ボール溝
５４：ボール溝
５４Ａ：端部
６０：サーボアクチュエータ
６２：空間
６４：油タンク
６６：油圧シリンダ
１００：サーボアクチュエータ
１０２：本体
１０４Ａ，１０４Ｂ，１０６Ａ，１０６Ｂ，１０８Ａ，１０８Ｂ：ホルダ
１１０：フランジ
１１０Ａ：開口部
１２０：バネカバー
１２０Ａ：後端
１２２，１２４：バネ受け
１２６：バネ
１２８Ａ，１２８Ｂ：軸
１３０：駆動軸
１３２：取付金具
１３４：コーン
１３６：ボール溝
【図１】
2012143077.tif 000003
【図２】
2012143077.tif 000004
【図３】
2012143077.tif 000005