(57)【要約】      （修正有）【課題】シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングする。【解決手段】シート状の電極板Ｗが接するワーク吸着面１３、真空吸引される真空吸引空洞１２ａ、及び、ワーク吸着面から真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体１０と、第一開口２１、第二開口２２、第三開口２３が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース２４、及び、弁ケース内を移動する弁体２５を有する三方弁２０と、を備えている。チャック体１０と三方弁２０の弁ケース２４とは一体である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状のワークを吸着するチャック装置において、
前記ワークが接するワーク吸着面、真空吸引される真空吸引空洞、及び、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体と、
第一開口、第二開口、第三開口が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース、及び、該第一開口と該第二開口とを連通させ、該第一開口と該第三開口とを連通させない第一連通位置と、該第一開口と該第三開口とを連通させ、該第一開口と該第二開口とを連通させない第二連通位置と間で該弁ケース内を移動する弁体を有する三方弁と、
を備え、
前記チャック体と前記三方弁の前記弁ケースとは一体であり、該チャック体には、前記真空吸引空洞と該弁ケースの前記第一開口とを連通させる接続流路が形成されている、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項２】
請求項１に記載のチャック装置において、
前記チャック体は、一方の面が前記真空吸引空洞の内面を成し、他方の面が前記ワーク吸着面を成す隔壁を有し、該隔壁には、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している複数の孔が形成され、複数の該孔が前記吸引開口を成す、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のチャック装置において、
前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、
前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、
を備え、
前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、
前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させる、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項４】
請求項２に記載のチャック装置において、
前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、
前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、
を備え、
前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記三方弁の第三開口が、圧縮ガス配管を介して、圧縮ガスを吐出するガス圧縮源と接続される開口であり、
前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させる、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項５】
請求項４に記載のチャック装置において、
前記制御器は、前記チャック体が前記ワークを吸着していない状態での移動中に、前記弁体駆動源により、前記弁体を一時的に前記第二連通位置に位置させる、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項６】
請求項３から５のいずれか一項に記載のチャック装置において、
前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている吸引アキュムレータを備え、
前記吸引アキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第二開口と連通していると共に、前記真空吸引源に接続されている、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項７】
請求項６に記載のチャック装置において、
前記吸引アキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体である、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項８】
請求項４又は５に記載に記載のチャック装置において、
前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている圧縮ガスアキュムレータを備え、
前記圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第三開口と連通していると共に、前記ガス圧縮源に接続されている、
ことを特徴とするチャック装置。
【請求項９】
請求項８に記載のチャック装置において、
前記圧縮ガスアキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体である、
ことを特徴とするチャック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを吸着するチャック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チャック装置としては、例えば、以下の特許文献１に記載されている装置がある。
【０００３】
このチャック装置は、板状のワークを吸着するチャック体と、チャック体の真空吸引室内のガスを吸引するための真空吸引源と、チャック体と真空吸引源とを接続する吸引配管と、この吸引配管中に設けられた電磁弁と、チャック体の真空吸引室内に圧縮ガスを送るためのガス圧縮源と、チャック体とガス圧縮源とを接続する圧縮ガス配管と、この圧縮ガス配管中に設けられた電磁弁と、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６２７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記チャック装置では、チャック体に吸着されたワークを目的の位置に搬送するため、吸引配管や圧縮ガス配管は、いずれも可撓性に富んだ長い樹脂製のチューブ等で形成されていると考えられる。また、吸引配管や圧縮ガス配管に設けられている電磁弁は、チャック体の移動による吸引配管や圧縮ガス配管の揺れや変形等に伴って、大きく揺れないようにするために、チャック体から離れた箇所にブラケット等に固定されていると考えられる。
【０００６】
ところで、リチウムイオン二次電池に代表されるような非水電解質二次電池では、極めて厚さの薄い集電体に活物質を塗布したシート状の電極板が容器内に多数収納されている。このため、非水電解質二次電池の製造現場では、製造性を高めるため、このような多数の電極板を高速でハンドリングすることが要求されている。
【０００７】
しかしながら、上記チャック装置では、吸引配管中に設けられた電磁弁を開状態にしてからチャック体の真空吸引室が真空状態になるまでの応答時間が比較的遅く、ワークのハンドリングに要する時間が比較的長くなってしまう、という問題点がある。
【０００８】
そこで、チャック体の真空吸引室が真空状態になるまでの応答時間を短くする一つの方法として、真空吸引源の真空度を高める方法が考えられる。しかしながら、この方法を採用すると、チャック体の真空吸引室と外部環境との圧力差が大きくなり、前述したシート状の電極板を吸着する場合、電極板に吸引口のエッジ跡が残ったり、電極板の周囲に皺が残ることがある（以下、電極板に残った吸引口のエッジ跡及び周囲の皺を「傷」と表記する。）。このような傷が付いた電極板をそのまま使用すると、電極板間隔が部分的に異なる電池が構成されることになり、そこに析出物が堆積し電池性能が劣化する、という問題点が生じてしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングすることができるチャック装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記問題点を解決するための発明に係るチャック装置は、
シート状のワークを吸着するチャック装置において、前記ワークが接するワーク吸着面、真空吸引される真空吸引空洞、及び、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体と、第一開口、第二開口、第三開口が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース、及び、該第一開口と該第二開口とを連通させ、該第一開口と該第三開口とを連通させない第一連通位置と、該第一開口と該第三開口とを連通させ、該第一開口と該第二開口とを連通させない第二連通位置と間で該弁ケース内を移動する弁体を有する三方弁と、を備え、
前記チャック体と前記三方弁の前記弁ケースとは一体であり、該チャック体には、前記真空吸引空洞と該弁ケースの前記第一開口とを連通させる接続流路が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
当該チャック装置では、チャック体と三方弁の弁ケースとが一体であるため、チャック体と弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁の第二開口と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、弁体が第一連通位置に位置した時点から、チャック体の真空吸引空洞が真空吸引されるまでの時間が短くなる。
【００１２】
よって、当該チャック装置では、三方弁の弁体の位置が切り替わってからチャック体の真空吸引空洞が真空吸引されるまでの応答時間を短くすることができる、つまり、チャック体でワークを吸着する時間を短くすることができる結果、ワークのハンドリングに要する時間を短くすることができる。しかも、当該チャック装置では、真空吸引源の真空度を高めずに、真空吸引の応答時間を短くしているため、ワークが傷付く可能性を抑えることができる。
【００１３】
ここで、前記チャック装置において、前記チャック体は、一方の面が前記真空吸引空洞の内面を成し、他方の面が前記ワーク吸着面を成す隔壁を有し、該隔壁には、該ワーク吸着面から該真空吸引空洞へ連通している複数の孔が形成され、複数の該孔が前記吸引開口を成してもよい。
【００１４】
当該チャック装置では、ワークが広い領域でワーク吸着面に接して支持されるので、ワークの折れ曲がり等により、このワークが損傷することを防ぐことができる。
【００１５】
また、前記チャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させてもよい。
【００１６】
当該チャック装置では、ワークの吸着及び離脱を自動化することができる。
【００１７】
また、前記チャック装置において、前記三方弁の前記弁体を前記第一連通位置と前記第二連通位置との間で移動させる弁体駆動源と、前記弁体駆動源の駆動を制御する制御器と、を備え、前記三方弁の前記第二開口は、吸引配管を介して、ガスを吸引する真空吸引源と接続される開口であり、前記三方弁の第三開口が、圧縮ガス配管を介して、圧縮ガスを吐出するガス圧縮源と接続される開口であり、前記制御器は、前記チャック体に前記ワークを吸着させる際に、前記弁体駆動源により、前記弁体を前記第一連通位置に位置させ、該チャック体から該ワークを離す際に、該弁体駆動源により、該弁体を前記第二連通位置に位置させてもよい。
【００１８】
当該チャック装置では、ワークの吸着及び離脱を自動化することができる。さらに、当該チャック装置では、ガス圧縮源からチャック体の真空吸引空洞内に圧縮ガスを送り込んで、チャック体からワークを離す力を積極的に、ワークに作用させているので、チャック体からワークを離脱させる時間を短くすることができる。
【００１９】
また、前記チャック装置において、前記制御器は、前記チャック体が前記ワークを吸着していない状態での移動中に、前記弁体駆動源により、前記弁体を一時的に前記第二連通位置に位置させてもよい。
【００２０】
当該チャック装置では、ワークの吸着時に隔壁の孔に異物等が詰まっても、これを排除することができる。
【００２１】
また、前記チャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている吸引アキュムレータを備え、前記吸引アキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第二開口と連通していると共に、前記真空吸引源に接続されていてもよい。
【００２２】
当該チャック装置では、チャック体の真空吸引空洞内を真空吸引し始めた直後における、接続流路の真空度の一時的低下を抑え、ワークの吸着速度を高めることができる。
【００２３】
この場合、前記吸引アキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体であることが好ましい。
【００２４】
当該チャック装置では、吸引アキュムレータの蓄圧室と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなるため、蓄圧室による蓄圧効果の応答性を高めることができる。
【００２５】
また、前記チャック装置において、前記真空吸引空洞の容積以上の容積の蓄圧室が形成されている圧縮ガスアキュムレータを備え、前記圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室は、前記三方弁の前記第三開口と連通していると共に、前記ガス圧縮源に接続されていてもよい。
【００２６】
当該チャック装置では、チャック体の真空吸引空洞内に圧縮ガスを送り始めた直後における、接続流路の圧力の一時的低下を抑え、ワークの離脱速度を高めることができる。
【００２７】
この場合、前記圧縮ガスアキュムレータは、前記三方弁の前記弁ケースと一体であることが好ましい。
【００２８】
当該チャック装置では、圧縮ガスアキュムレータの蓄圧室と真空吸引空洞との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなるため、蓄圧室による蓄圧効果の応答性を高めることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明では、シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る第一実施形態におけるチャック装置（弁体が第一連通位置の状態）を示す説明図である。
【図２】本発明に係る第一施形態におけるチャック装置（弁体が第二連通位置の状態）を示す説明図である。
【図３】本発明に係る第一実施形態におけるチャック体の移動を示す説明図である。
【図４】本発明に係る第一実施形態におけるチャック装置の動作タイミングチャートである。
【図５】本発明に係る第二実施形態におけるチャック装置（弁体が第一連通位置の状態）を示す説明図である。
【図６】本発明に係る第二施形態におけるチャック装置（弁体が第二連通位置の状態）を示す説明図である。
【図７】本発明に係る第二施形態におけるチャック装置（弁体が中立位置の状態）を示す説明図である。
【図８】本発明に係る第二実施形態におけるチャック装置の動作タイミングチャートである。
【図９】本発明に係る第三施形態におけるチャック装置の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明に係るチャック装置の実施形態について、図面を用いて説明する。
【００３２】
「第一実施形態」
まず、図１〜図４を用いて、本発明に係るチャック装置の第一実施形態について説明する。
【００３３】
本実施形態のチャック装置は、リチウムイオン二次電池の容器内に収納されているシート状の電極板Ｗを吸着する装置である。この電極板Ｗは、集電体に活物質を塗布したもので、その厚さは極めて薄い。
【００３４】
チャック装置は、図１に示すように、ワークである電極板Ｗを吸着するチャック体１０と、チャック体１０の真空吸引通路（真空吸引空洞）１２ａ内の圧力状態を切り替えるための三方弁２０と、この三方弁２０を駆動する電磁駆動源（弁体駆動源）３０と、この電磁駆動源３０を制御するチャックコントローラ６０（制御器）と、チャック体１０の真空吸引通路１２ａ内を真空吸引するための真空吸引源である真空ポンプ７０と、真空ポンプ７０と三方弁２０とを接続する吸引配管７１と、を備えている。
【００３５】
チャック体１０は、内部に複数の真空吸引通路１２ａが形成されている。複数の真空吸引通路１２ａの一方の端部は、いずれもチャック体１０の一表面まで形成され、この一表面の部分で吸引開口１１を成している。チャック体１０のこの一表面は、電極板Ｗが接するワーク吸着面１３を成す。また、複数の真空吸引通路１２ａの他方の端部は、一箇所に集まっている。
【００３６】
三方弁２０は、第一開口２１、第二開口２２、第三開口２３が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース２４と、弁ケース２４内を移動する弁体２５と、を有している。弁体２５は、第一開口２１と第二開口２２とを連通させ、第一開口２１と第三開口２３とを連通させない第一連通位置（図１に示す位置）と、第一開口２１と第三開口２３とを連通させ、第一開口２１と第二開口２２とを連通させない第二連通位置（図２に示す位置）と間で、弁ケース２４内を移動する。
【００３７】
この三方弁２０の弁ケース２４は、チャック体１０に固定され、チャック体１０と一体になっている。このチャック体１０には、弁ケース２４の第一開口２１と真空吸引通路１２ａの前述の他方の端部とを連通させる接続流路１４が形成されている。
【００３８】
電磁駆動源３０は、電磁コイル（不図示）と、この電磁コイルの駆動により移動する駆動ロッド３１と、電磁コイルを収納するコイルケース３２と、を有している。三方弁２０の弁体２５は、この駆動ロッド３１の端部に取り付けられている。また、コイルケース３１は、三方弁２０の弁ケース２４とチャック体１０のいずれか一方、又は両方に固定されている。
【００３９】
吸引配管７１は、両端部のうちの一方の端部が弁ケース２４の第二開口２２に接続され、他方の端部が真空ポンプ７０の吸引口に接続されている。この吸引配管７１は、例えば、可撓性を有する樹脂製のチューブ等で形成されている。
【００４０】
チャック体１０は、図３に示すように、ロボット等の移動機構８０に把持され、この移動機構８０により、電極板Ｗを吸着する吸着位置Ａと、吸着した電極板Ｗを離す離脱位置Ｂとの間で往復移動させられる。この移動機構８０の移動コントローラ８１は、その動作内容を示す信号をチャックコントローラ６０に送信する。チャックコントローラ６０は、移動コントローラ８１からのこの信号に基づいて、三方弁２０の電磁駆動源３０を制御する。
【００４１】
次に、本実施形態のチャック装置の動作について、図４のタイミングチャートに従って説明する。
【００４２】
真空ポンプ７０は、このチャック装置が電極板Ｗの吸着及び離脱動作する一連の動作過程中、常時稼動（ＯＮ）している。
【００４３】
チャック体１０が吸着位置Ａに存在するとき、チャックコントローラ６０は、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を第一連通位置（図１に示す）に位置させる（ｔ１）。弁体２５が第一連通位置に位置すると、弁ケース２４の第一開口２１（真空吸引通路１２ａ側の開口）と第二開口２２（真空ポンプ７０側の開口）とが連通して、チャック体１０の真空吸引通路１２ａ内が真空ポンプ７０に真空吸引される。このため、吸着位置Ａに存在するチャック体１０は、電極板Ｗを吸着する（ｔ２）。
【００４４】
三方弁２０の弁体２５が第二連通位置に位置している際、つまり、第一開口２１と第二開口２２とが連通していない状態の際、真空ポンプ７０から三方弁２０の第二開口２２までの間は、一定以上の真空度が維持されている。三方弁２０の弁体２５が以上の第二連通位置から第一連通位置に移動すると（ｔ１）、前述したように、弁ケース２４の第一開口２１（真空吸引通路１２ａ側の開口）と第二開口２２（真空ポンプ７０側の開口）とが連通して、チャック体１０の真空吸引通路１２ａ内が真空吸引される。本実施形態では、チャック体１０と三方弁２０の弁ケース２４とが一体であるため、チャック体１０と弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁２０の第二開口２２（真空ポンプ７０側の開口）と真空吸引通路１２ａとの間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、弁体２５が第二連通位置から第一連通位置に至った時点から、チャック体１０の真空吸引通路１２ａが真空吸引されるまでの時間が短くなる。
【００４５】
よって、本実施形態では、三方弁２０の弁体２５の位置が切り替わってからチャック体１０の真空吸引通路１２ａが真空吸引されるまでの応答時間を短くすることができる、つまり、チャック体１０で電極板Ｗを吸着する時間を短くすることができる結果、電極板Ｗのハンドリングに要する時間を短くすることができる。しかも、本実施形態では、真空ポンプ７０の真空度を高めずに、真空吸引の応答時間を短くしているため、電極板Ｗが傷付く可能性を抑えることができる。
【００４６】
チャック体１０が電極板Ｗを吸着すると（ｔ２）、移動機構８０により、チャック体１０は吸着位置Ａから離脱位置Ｂへ移動し始め（ｔ３）、離脱位置Ｂに至ると停止する（ｔ４）。
【００４７】
移動コントローラ８１は、移動機構８０により、チャック体１０を吸着位置Ａから離脱位置Ｂへ移動させると、チャックコントローラ６０に対して、チャック体１０を離脱位置Ｂに移動させた旨の信号をチャックコントローラ６０に送る。チャックコントローラ６０は、この信号を受けると、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を第一連通位置から第二連通位置に移動させる（ｔ５）。弁体２５が第二連通位置に至ると、弁ケース２４の第一開口２１（真空吸引通路１２ａ側の開口）と第三開口２３（大気開放側の開口）とが連通して、チャック体１０の真空吸引通路１２ａ内に空気が入り込み、電極板Ｗがチャック体１０から離れる（ｔ６）。
【００４８】
チャック体１０から電極板Ｗが離れると（ｔ６）、移動機構８０により、チャック体１０は離脱位置Ｂから吸着位置Ａへ移動し始め（ｔ７）、吸着位置Ａに戻ると停止する（ｔ８）。
【００４９】
移動コントローラ８１は、移動機構８０により、チャック体１０を離脱位置Ｂから吸着位置Ａへ移動させると、チャックコントローラ６０に対して、チャック体１０を吸着位置Ａに移動させた旨の信号を送る。チャックコントローラ６０は、この信号を受けると、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を第二連通位置から第一連通位置に移動させる（ｔ１）。以下、以上と同様に、チャック体１０による電極板Ｗの吸着（ｔ２）、チャック体１０の吸着位置Ａから離脱位置Ｂへの移動開始（ｔ３）、チャック体１０の離脱位置Ｂの到達（ｔ４）、三方弁２０の弁体２５の第一連通位置から第二連通位置への移動（ｔ５）、チャック体１０から電極板Ｗの離脱（ｔ６）、チャック体１０の離脱位置Ｂから吸着位置Ａへの移動開始（ｔ７）、チャック体１０の吸着位置Ａへの到達（ｔ８）が繰り返される。
【００５０】
以上のように、本実施形態では、電極板Ｗを損傷させることなく、この電極板Ｗを高速でハンドリングすることができる。
【００５１】
「第二実施形態」
次に、図５〜図８を用いて、本発明に係るチャック装置の第二実施形態について説明する。
【００５２】
本実施形態のチャック装置は、図５に示すように、第一実施形態と同様、チャック体１０ａ、三方弁２０、電磁駆動源３０、チャックコントローラ６０、真空ポンプ７０、吸引配管７１を備えている。本実施形態のチャック装置は、さらに、チャック体１０ａの真空吸引室１２内に圧縮ガスを送り込むためのガス圧縮機７５と、このガス圧縮機７５と三方弁２０とを接続する圧縮ガス配管７６と、を備えている。
【００５３】
本実施形態のチャック体１０ａは、内部に真空吸引室（真空吸引空洞）１２が形成されており、一方の面が真空吸引室１２の内面を成し他方の面がワーク吸着面１３ａを成す隔壁１５を有している。この隔壁１５には、ワーク吸着面１３ａから真空吸引室１２へ連通する多数の孔１６が形成されている。本実施形態では、これら多数の孔１６が吸引開口を成している。
【００５４】
圧縮ガス配管７６は、両端部のうちの一方の端部が弁ケース２４の第三開口２３に接続され、他方の端部がガス圧縮機７５の吐出口に接続されている。この圧縮ガス配管７６は、例えば、可撓性を有する樹脂製のチューブ等で形成されている。
【００５５】
次に、本実施形態のチャック装置の動作について、図８のタイミングチャートに従って説明する。
【００５６】
真空ポンプ７０及びガス圧縮機７５は、チャック装置が電極板Ｗの吸着及び離脱動作する一連の動作過程中、常時稼動（ＯＮ）している。
【００５７】
チャック体１０ａが吸着位置Ａに存在するとき、チャックコントローラ６０は、第一実施形態と同様、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を第二連通位置から第一連通位置に移動させ（ｔ１）、チャック体１０ａで電極板Ｗの吸着させる（ｔ２）。
【００５８】
この際、電極板Ｗは、図５に示すように、その外縁側領域、さらに外縁側領域の内側領域を含む広い領域がワーク吸着面１３ａに接して支持されるので、電極板Ｗの折れ曲がりや皺等により、この電極板Ｗが損傷することを防ぐことができる。なお、本実施形態では、以上のように、電極板Ｗを吸着する際に、この電極板Ｗが損傷するのを防ぐために、隔壁１５を設け、ここに多数の孔１６を形成しているが、隔壁１５に形成する孔１６の径、孔１６の相互間隔は、吸着時における真空吸引室１２の真空度や、電極板Ｗの剛性、電極板Ｗの構成要素である集電体と活物質との間での付着強度等により、適宜定められる。
【００５９】
チャック体１０ａに電極板Ｗが吸着すると（ｔ２）、第一実施形態と同様、チャック体１０ａの吸着位置Ａから離脱位置Ｂへの移動開始（ｔ３）、チャック体１０ａの離脱位置Ｂの到達（ｔ４）が実行される。
【００６０】
移動コントローラ８１は、第一実施形態と同様、チャック体１０ａを吸着位置Ａから離脱位置Ｂへ移動させると、チャックコントローラ６０に対して、チャック体１０ａを離脱位置Ｂに移動させた旨の信号を送る。チャックコントローラ６０は、この信号を受けると、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を第一連通位置から第二連通位置に移動させた後（ｔ５）、直ちに、弁体２５を第二連通位置から中立位置に移動させる（ｔ１０）。なお、中立位置とは、図７に示すように、弁体２５が弁ケース２４内で、第一連通位置と第二連通位置との中間に位置し、弁ケース２４の第一開口２１が第二開口２２にも第三開口２３にも連通していない位置である。
【００６１】
図６に示すように、弁体２５が第二連通位置に至ると（ｔ５）、弁ケース２４の第一開口２１（真空吸引室１２側の開口）と第三開口２３（ガス圧縮機７５の開口）とが連通して、ガス圧縮機７５からの圧縮ガスがチャック体１０ａの真空吸引室１２内に入り込み、電極板Ｗがチャック体１０ａから離れる（ｔ１１）。
【００６２】
本実施形態では、電極板Ｗをチャック体１０ａから離脱させる際、以上のように、ガス圧縮機７５からチャック体１０ａの真空吸引室１２内に圧縮ガスを送り込んで、チャック体１０ａから電極板Ｗを離す力を積極的に、電極板Ｗに作用させているので、第一実施形態よりも、三方弁２０の弁体２５が第一連通位置から第二連通位置に至った時点（ｔ５）から、電極板Ｗがチャック体１０ａから離れるまでの時間を短くすることができる。しかも、本実施形態では、チャック体１０ａと三方弁２０の弁ケース２４とが一体であるため、チャック体１０ａと弁との間をチューブ等で接続している場合と比べて、三方弁２０の第三開口２３（ガス圧縮機７５側の開口）と真空吸引室１２との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さいため、弁体２５が第一連通位置から第二連通位置に至った時点（ｔ５）から、チャック体１０ａの真空吸引室１２に圧縮ガスが流れ込むまでの時間が短くなる。
【００６３】
よって、本実施形態では、三方弁２０の弁体２５の位置が切り替わってからチャック体１０ａの真空吸引室１２に圧縮ガスが流れ込むまでの応答時間を短くすることができる、つまり、第一実施形態よりも、チャック体１０ａから電極板Ｗを離す時間を短くすることができる結果、電極板Ｗのハンドリングに要する時間をより短くすることができる。
【００６４】
チャック体１０ａから電極板Ｗが離れると（ｔ１１）、移動コントローラ８１は、移動機構８０により、チャック体１０ａを離脱位置Ｂから吸着位置Ａへ移動させ始める（ｔ１２）。移動コントローラ８１は、移動機構８０により、チャック体１０ａの移動を開始させると、チャックコントローラ６０に対して、チャック体１０ａの移動を開始した旨の信号を送る。チャックコントローラ６０は、この信号を受けてから所定時間経過後に、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を中立位置から第二連通位置に移動させ（ｔ１３）、さらに、所定時間経過後に弁体２５を中立位置に戻させる（ｔ１４）。
【００６５】
本実施形態では、前述したように、電極板Ｗを吸着する際に、この電極板Ｗが折れ曲がりや皺等を防ぐために、隔壁１５を設け、ここに多数の孔１６を形成しているが、この電極板Ｗを吸着する際、真空吸引室１２側への吸引力により、電極板Ｗの集電体に付着している活物質の一部が集電体から剥離して、多数の孔１６のうちのいずれかに詰まるおそれがある。そこで、本実施形態では、チャック体１０ａが電極板Ｗを吸着しておらず、且つ、このチャック体１０ａが離脱位置Ｂから吸着位置Ａへの移動中に、三方弁２０の弁体２５を第二連通位置に位置させ、ガス圧縮機７５からの圧縮ガスをチャック体１０ａの真空吸引室１２に送り込み、隔壁１５の孔１６から圧縮ガスを外部へ噴射させて、隔壁１５の孔１６の詰まりを解消するようにしている。なお、チャック体１０ａが離脱位置Ｂから吸着位置Ａへの移動中に、隔壁１５の孔１６から圧縮ガスを外部へ噴射させるのは、仮に、隔壁１５の孔１６が活物質等で詰まっている場合に、この活物質等が圧縮ガスと共に外部へ噴射されて、吸着位置Ａや離脱位置Ｂに飛散するのを防ぐためである。
【００６６】
三方弁２０の弁体２５が中立位置に戻った後（ｔ１４）、チャック体１０ａが吸着位置Ａに戻ると（ｔ１５）、移動コントローラ８１は、チャックコントローラ６０に対して、チャック体１０ａが吸着位置Ａに至った旨の信号を送る。チャックコントローラ６０は、この信号を受けると、電磁駆動源３０に対して指示を与えて、三方弁２０の弁体２５を中立位置から第一連通位置に移動させる（ｔ１）。以下、以上と同様に、チャック体１０ａによる電極板Ｗの吸着（ｔ２）、チャック体１０ａの吸着位置Ａから離脱位置Ｂへの移動開始（ｔ３）、チャック体１０ａの離脱位置Ｂの到達（ｔ４）、弁体２５の第一連通位置から第二連通位置への移動（ｔ５）、弁体２５の第二連通位置から中立位置への移動（ｔ１０）、チャック体１０ａから電極板Ｗの離脱（ｔ１１）、チャック体１０ａの離脱位置Ｂから吸着位置Ａへの移動開始（ｔ１２）、弁体２５の中立位置から第二連通位置への移動（ｔ１３）、弁体２５の第二連通位置から中立位置への移動（ｔ１４）、チャック体１０ａの吸着位置Ａへの到達（ｔ１５）が繰り返される。
【００６７】
以上のように、本実施形態では、チャック体１０ａから電極板Ｗを離す時間を短くすることができる結果、第一実施形態よりも、さらに電極板Ｗのハンドリングに要する時間を短くすることができる。また、本実施形態では、電極板Ｗの広い領域がワーク吸着面１３ａに接して支持されるので、電極板Ｗの折れ曲がりや皺等を防ぐことができ、電極板Ｗが損傷する可能性を低くすることができる。
【００６８】
なお、本実施形態及び第一実施形態において、チャックコントローラ６０は、移動コントローラ８１からの信号を受け、この信号に基づいて電磁駆動源３０を制御することがあるが、電磁駆動源３０の駆動及びこれにより移動させられる弁体２５の動作は、周期的な動作であるため、移動コントローラ８１からの信号に基づくことなく、時間管理で電磁駆動源３０を制御するようにしてもよい。
【００６９】
「第三実施形態」
次に、図９を用いて、本発明に係るチャック装置の第三実施形態について説明する。
【００７０】
本実施形態のチャック装置は、図９に示すように、第二実施形態のチャック装置に、吸引アキュムレータ５０と圧縮ガスアキュムレータ５５とを追加したものである。
【００７１】
吸引アキュムレータ５０及び圧縮ガスアキュムレータ５５は、いずれも、チャック体１０ａの真空吸引室１２の容積以上の容積の蓄圧室５１，５５が形成され、三方弁２０の弁ケース２４に固定され、この弁ケース２４と一体になっている。
ている。
【００７２】
吸引アキュムレータ５０の蓄圧室５１は、吸引配管７１を介して真空ポンプ７０に接続されていると共に、三方弁２０の弁ケース２４の第二開口２２と連通している。また、圧縮ガスアキュムレータ５５の蓄圧室５６は、圧縮ガス配管７６を介してガス圧縮機７５に接続されていると共に、三方弁２０の弁ケース２４の第三開口２３と連通している。
【００７３】
仮に、吸引アキュムレータ５０を備えない場合、三方弁２０の弁体２５が第一連通位置に至り、チャック体１０ａの真空吸引室１２内を真空吸引し始めた直後、真空吸引室１２を経てチャック体１０ａの接続流路１４に大気が一気に流れ込むため、この接続流路１４の真空度が一時的に低下し、電極板Ｗの吸着速度が遅くなってしまう。そこで、本実施形態では、チャック体１０ａの真空吸引室１２の容積以上の容積の蓄圧室５１が形成されている吸引アキュムレータ５０を設けることで、チャック体１０ａの真空吸引室１２内を真空吸引し始めた直後における、接続流路１４の真空度の一時的低下を抑え、電極板Ｗの吸着速度を高めている。
【００７４】
また、圧縮ガスアキュムレータ５５を備えない場合、三方弁２０の弁体２５が第二連通位置に至り、チャック体１０ａの真空吸引室１２内に圧縮ガスを送り始めた直後、真空吸引室１２を経てチャック体１０ａの接続流路１４から圧縮ガスが外部へ流出するため、この接続流路１４の圧力が一時的に低下し、電極板Ｗの離脱速度が遅くなってしまう。そこで、本実施形態では、チャック体１０ａの真空吸引室１２の容積以上の容積の蓄圧室５６が形成されている圧縮ガスアキュムレータ５５を設けることで、チャック体１０ａの真空吸引室１２内に圧縮ガスを送り始めた直後における、接続流路１４の圧力の一時的低下を抑え、電極板Ｗの離脱速度を高めている。
【００７５】
さらに、本実施形態では、吸引アキュムレータ５０及び圧縮ガスアキュムレータ５５を弁ケース２４と一体にしているため、各アキュムレータ５０，５５の蓄圧室５１,５６と真空吸引室１２との間の流路が極めて短く、この間の流路の容積も極めて小さくなる。このため、本実施形態では、蓄圧室５１,５６による蓄圧効果の応答性を高めることができる。つまり、本実施形態では、チャック体１０ａの接続流路１４の一時的な真空度の低下や一時的な圧力低下に対して、遅れることなく対処できる。
【００７６】
なお、本実施形態では、第二実施形態のチャック装置に吸引アキュムレータ５０を設けているが、第一実施形態のチャック装置に吸引アキュムレータ５０を同様に設けてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１０，１０ａ：チャック体、１１：吸引開口、１２：真空吸引室（真空吸引空洞）、１２ａ：真空吸引通路（真空吸引空洞）、１３，１３ａ：ワーク吸着面、１４：接続流路、１５：隔壁、１６：孔、２０：三方弁、２１：第一開口、２２：第二開口、２３：第三開口、２４：弁ケース、２５：弁体、３０：電磁駆動源、６０：チャックコントローラ、７０：真空ポンプ、７１：吸引配管、７５：ガス圧縮機、７６：圧縮ガス配管、８０：移動機構、８１：移動コントローラ、Ｗ：電極板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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