(57)【要約】      （修正有）【課題】弁体の周縁にシールリングが装着されている弁装置において、シールリングと壁との摺動磨耗の進行を低減する材質構成を提供する。【解決手段】ノズル３および弁体４を、それぞれ、ステンレス粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させた素材で構成する。これにより、閉弁時のシールリング５と壁１５との接触、および、接触後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦が、潤滑剤の存在によって緩和される。このため、シールリング５と壁１５との接触による磨耗の進行、および、接触後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の通路を有する通路形成体と、
前記通路に回転自在に収容されて前記通路の開度を可変する板状の弁体と、
この弁体の周縁に装着されて前記弁体とともに回転し、前記通路の開度が全閉のときに、前記通路の壁に環状に当接して前記弁体の周縁と前記通路の壁との間を封鎖するシールリングとを備え、
前記通路形成体および前記弁体は、金属粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させたものを材料として設けていることを特徴とする弁装置。
【請求項２】
請求項１に記載の弁装置において、
前記通路形成体および前記弁体の表面の内、前記シールリングの当接を受ける領域は、前記金属粒子の焼結体を切削することにより形成される切削面であることを特徴とする弁装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の弁装置において、
前記潤滑剤はオイルを含む液体状であることを特徴とする弁装置。
【請求項４】
請求項３に記載の弁装置において、
前記潤滑剤には樹脂粉末が混合されていることを特徴とする弁装置。
【請求項５】
請求項４に記載の弁装置において、
前記樹脂粉末はポリテトラフルオロエチレンの粉末であることを特徴とする弁装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の弁装置において、
前記潤滑剤はワックスを含む固体状であることを特徴とする弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁装置に関するものであり、弁体の周縁にシールリングが装着されているものに係わる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、弁装置１００では、図８に示すように、弁体１０１の周縁にシールリング１０２が装着されているものが公知であり、例えば、内燃機関から排気される排気ガスの一部を吸気側に再循環するＥＧＲ装置において、排気ガスの循環量を可変するためのＥＧＲ弁装置として採用されている
【０００３】
弁装置１００は、流体の通路１０３を有する通路形成体１０４と、通路１０３に回転自在に収容されて通路１０３の開度を可変する板状の弁体１０１と、弁体１０１の周縁に装着されるシールリング１０２とを備える。
【０００４】
ここで、シールリング１０２は、弁体１０１の周縁と通路１０３の壁１０５との間を封鎖するものであって、図９に示すようにＣ字状に設けられ、弁体１０１の周縁に設けられた環状の溝１０６に嵌まっている（例えば、特許文献１参照）。そして、シールリング１０２は、自身の周方向に対向する２つの端面により周方向隙間（以下、合口隙間と呼ぶ）１０７を形成するとともに、溝１０６の底面と自身の内周縁との間に径方向の隙間（以下、溝内隙間と呼ぶ。）１０８を形成しながら弁体１０１とともに回転する。
【０００５】
また、シールリング１０２は、全閉のときに、壁１０５に環状に当接して合口隙間１０７および溝内隙間１０８が最も縮まるように弾性変形している。このとき、シールリング１０２は、自身の張力によって壁１０５に当接するとともに通路１０３の上流側から作用する排気ガスの圧力によって溝１０６の側面１０９に当接することで、弁体１０１の周縁と壁１０５との間を封鎖している。
【０００６】
ここで、弁体１０１が、全閉の回転角（以下、全閉角と呼ぶ。）から全開の回転角（以下、全開角と呼ぶ。）まで、開側に回転していくときのシールリング１０２の状態の推移について図１０を参照しながら説明する。
【０００７】
まず、全閉角から開側に回転していくと、シールリング１０２は、合口隙間１０７および溝内隙間１０８を広げながら自身の外周縁の全周において壁１０５との当接を保ち、弁体１０１の周縁と壁１０５との間の封鎖を維持し続ける。やがて、シールリング１０２は、弁体１０１の周縁と壁１０５との間を封鎖しない開放状態との境界角（以下、第１境界角と呼ぶ。）に到達し、外周縁が部分的に壁１０５と当接しなくなる。
【０００８】
さらに、第１境界角よりも開側に回転していくと、シールリング１０２は、外周縁において壁１０５と当接しない部分を拡大しながら張力を弱めていき、同時に、合口隙間１０７および溝内隙間１０８を広げ続ける。やがて、シールリング１０２は、溝１０６に嵌まった状態で張力を有さずに自在に動くことができるフリー状態との境界角（以下、第２境界角と呼ぶ。）に到達する。
【０００９】
そして、第２境界角よりも開側の回転角において、シールリング１０２は、フリー状態を保ちながら合口隙間１０７および溝内隙間１０８を第２境界角における数値以上に広げることなく、全開角まで回転する。
【００１０】
以上により、弁体１０１の回転角と排気ガスの循環量とは図１１のような相関を示す。
すなわち、回転角が全閉角から第１境界角の範囲にある間では、シールリング１０２によって弁体１０１の周縁と壁１０５との間の封鎖が維持されるので循環量はゼロに略一致している。そして、第１境界角以上の範囲では、回転角の開側への移行に応じて循環量が増加していく。
【００１１】
ところで、弁装置１００によれば、弁体１０１がシールリング１０２のフリー状態から閉側に回転する場合、シールリング１０２は、合口隙間１０７および溝内隙間１０８が大きく広がった径大の状態で壁１０５に衝突し、衝突後、合口隙間１０７および溝内隙間１０８を縮めるように弾性変形していく。
【００１２】
このため、衝突によって、シールリング１０２と壁１０５との間、およびシールリング１０２と側面１０９との間に衝撃が発生し、衝撃発生部位において磨耗の進行が著しくなる。さらに、シールリング１０２と壁１０５との間では、衝突後も、シールリング１０２が張力を増しながら壁１０５を摺動するので、摺動摩擦による磨耗の進行も著しい。
【００１３】
なお、特許文献２には、流路形成体、弁体およびシールリングを全て窒化珪素質の焼結体により設け、さらにシールリングに関してはポリテトラフルオロエチレンのコーティングを施して磨耗を抑制する構成が開示されている。しかし、セラミックを素材としているために耐衝撃性が低く、焼結助剤の添加によって強度アップしても衝撃による欠損は回避できないと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００７−２８５３１１号公報
【特許文献２】特開平７−２６９７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、弁体の周縁にシールリングが装着されている弁装置において、閉弁時のシールリングと通路の壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと通路の壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
〔請求項１の手段〕
請求項１の手段によれば、弁装置は、流体の通路を有する通路形成体と、通路に回転自在に収容されて通路の開度を可変する板状の弁体と、弁体の周縁に装着されて弁体とともに回転し、通路の開度が全閉のときに、通路の壁に環状に当接して弁体の周縁と通路の壁との間を封鎖するシールリングとを備える。そして、通路形成体および弁体は、金属粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させたものを材料として設けている。
【００１７】
これにより、閉弁時のシールリングと壁との衝突、および、衝突後のシールリングと壁との摺動摩擦が、潤滑剤の存在によって緩和される。このため、シールリングと壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００１８】
〔請求項２の手段〕
請求項２の手段によれば、通路形成体および弁体の表面の内、シールリングの当接を受ける領域は、金属粒子の焼結体を切削することにより形成される切削面である。
切削加工等を施す前の焼結体の表面は密度が高く、表面から内部に向かって遠ざかるほど、密度が下がって粗くなる。このため、潤滑剤の露出量は、切削加工等を施す前から表面であった面部分よりも、切削により表面となった切削面の方が多い。
【００１９】
したがって、通路形成体および弁体の表面の内、シールリングの当接を受ける領域を切削面により構成することで、シールリングと壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと壁との摺動摩擦による磨耗の進行を、さらに抑制することができる。
【００２０】
〔請求項３の手段〕
請求項３の手段によれば、潤滑剤はオイルを含む液体状である。
これにより、シールリングと壁との衝突時には、通路形成体および弁体に含浸された液体状の潤滑剤が、弾性潤滑理論により、シールリングと壁との間、およびシールリングと溝の側面との間に積極的に浸入して衝撃を緩和する。
【００２１】
同様に、衝突後のシールリングと壁との摺動時にも、液体状の潤滑剤が、弾性潤滑理論により、シールリングと壁との間に積極的に浸入して摺動摩擦を緩和する。
このため、より一層、シールリングと壁との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリングと壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００２２】
〔請求項４の手段〕
請求項４の手段によれば、潤滑剤には樹脂粉末が混合されている。
これにより、シールリングと壁との間の摩擦係数を下げることができるので、より一層、シールリングと壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００２３】
〔請求項５の手段〕
請求項５の手段によれば、樹脂粉末はポリテトラフルオロエチレンの粉末である。
ポリテトラフルオロエチレンは、様々な高分子の中でも摩擦係数を下げる効果が大きい。このため、より一層、シールリングと壁との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００２４】
〔請求項６の手段〕
請求項６の手段によれば、潤滑剤はワックスを含む固体状である。
この手段は、液体状の潤滑剤以外の潤滑剤の一例を示すものであり、請求項１〜５と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）は弁装置の構成図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である（実施例１）。
【図２】（ａ）はシールリングの平面図であり、（ｂ）はシールリングによる弁体周縁の封鎖状態を示す説明図である（実施例１）。
【図３】（ａ）と（ａ´）とは全閉角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｂ）と（ｂ´）とは第１境界角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｃ）と（ｃ´）とは第２境界角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｄ）と（ｄ´）とは全開角におけるシールリングの状態を示す説明図である（実施例１）。
【図４】弁装置における回転角と流量（循環量）との相関図である（実施例１）。
【図５】（ａ）はノズルおよび弁体の素材を示す説明図であり、（ｂ）はノズルおよび弁体を示す説明図である（実施例１）。
【図６】両軸斜めのバタフライ弁を示す説明図である（変形例）。
【図７】オフセット弁を示す説明図である（変形例）。
【図８】（ａ）は弁装置の要部断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である（従来例）。
【図９】（ａ）はシールリングの平面図であり、（ｂ）はシールリングによる弁体周縁の封鎖状態を示す説明図である（従来例）。
【図１０】（ａ）と（ａ´）とは全閉角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｂ）と（ｂ´）とは第１境界角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｃ）と（ｃ´）とは第２境界角におけるシールリングの状態を示す説明図であり、（ｄ）と（ｄ´）とは全開角におけるシールリングの状態を示す説明図である（従来例）。
【図１１】弁装置における回転角と流量（循環量）との相関図である（従来例）。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
実施形態１の弁装置は、流体の通路を有する通路形成体と、通路に回転自在に収容されて通路の開度を可変する板状の弁体と、弁体の周縁に装着されて弁体とともに回転し、通路の開度が全閉のときに、通路の壁に環状に当接して弁体の周縁と通路の壁との間を封鎖するシールリングとを備える。そして、通路形成体および弁体は、金属粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させたものを材料として設けている。
【００２７】
また、通路形成体および弁体の表面の内、シールリングの当接を受ける領域は、金属粒子の焼結体を切削することにより形成される切削面である。
そして、潤滑剤はオイルを含む液体状である。
【００２８】
実施形態２の弁装置によれば、潤滑剤には樹脂粉末が混合されている。また、樹脂粉末はポリテトラフルオロエチレンの粉末である。
実施形態３の弁装置によれば、潤滑剤はワックスを含む固体状である。
【実施例】
【００２９】
〔実施例１の構成〕
実施例１の弁装置１の構成を、図１および図２に基づいて説明する。
弁装置１は、流体の通路２を有する通路形成体３と、通路２に回転自在に収容されて通路２の開度を可変する板状の弁体４と、弁体４の周縁に装着されるシールリング５と、弁体４に与える回転トルクを発生する電動機６と、電動機６の出力軸７から弁体４の回転軸８に回転トルクを減速して伝達する減速機構９と、電動機６への通電を制御して弁体４の動作を制御する制御手段１０と、弁体４の回転角を検出して制御手段１０に出力する回転角センサ１１とを備える。
【００３０】
そして、弁装置１は、例えば、内燃機関から排気される排気ガスの一部を吸気側に再循環するＥＧＲ装置において、流体としての排気ガスの循環量を可変するためのＥＧＲ弁装置として採用されている。
【００３１】
通路形成体３は、排気ガスを再循環するための全ての通路２の内の一部を形成するものであり（以下、通路形成体３をノズル３と呼ぶ。）、ノズル３により形成される通路２の一部に弁体４が収容されている（以下、通路２という場合、特に断らない限りノズル３により形成される部分を示すものとする。）。また、ノズル３は、弁装置１のハウジング１４とは別体であり、排気ガスに含まれる水分等に対する耐食性の点から、例えば、ステンレス鋼を素材として設けられている。
【００３２】
弁体４は、略円形板状のバタフライ弁であり、弁体４の回転軸８は、弁体４の面方向に対して所定の角度だけ傾斜した状態で弁体４に溶接等で固定されている。そして、弁体４は、回転することにより、通路２の開口面積に相当する開度を全閉から全開の範囲で可変する。
【００３３】
ここで、全閉とは、弁体４の周縁と通路２の壁１５との間の隙間が最小となる開度であり、仮に、弁体４の周縁にシールリング５を配さない場合に通路２を通る排気ガスの流量が最小となる開度である。また、全開とは、通路２を通る排気ガスの流量が最大となる開度である。
【００３４】
なお、弁体４も、水分等に対する耐食性の点からステンレス鋼を素材として設けられている。
また、回転軸８は、メタル軸受１６、オイルシール１７およびボールベアリング１８を介してハウジング１４に、回転自在に支持されている。
【００３５】
シールリング５は、弁体４の周縁と通路２の壁１５との間を封鎖するものであり、Ｃ字状に設けられて弁体４の周縁に設けられた環状の溝２０に嵌まっている。そして、シールリング５は、自身の周方向に対向する２つの端面により周方向隙間（合口隙間）２１を形成するとともに、溝２０の底面２２と自身の内周縁との間に径方向の隙間（溝内隙間）２３を形成しながら弁体４とともに回転する。
【００３６】
また、シールリング５は、全閉のときに、壁１５に環状に当接して合口隙間２１および溝内隙間２３が最も縮まるように弾性変形している。このとき、シールリング５は、自身の張力によって壁１５に当接するとともに通路２の上流側から作用する排気ガスの圧力によって溝２０の側面２４に当接することで、弁体４の周縁と壁１５との間を封鎖している。
なお、シールリング５も、水分等に対する耐食性の点からステンレス鋼を素材として設けられている。
【００３７】
電動機６は、ブラシレスＤＣモータ等の周知の回転電機であり、例えば、電機子コイルへの通電が制御されて、出力する回転トルクを可変する。
減速機構９は、電動機６の出力軸７に固定される小ギヤ２６と、弁体４の回転軸８に固定される大ギヤ２７と、小ギヤ２６および大ギヤ２７の両方に噛み合って回転する中間ギヤ２８とを有し、中間ギヤ２８は、小ギヤ２６と噛み合う大径ギヤ部２９と、大ギヤ２７と噛み合う小径ギヤ部３０とを同軸的に有する。
【００３８】
制御手段１０は、制御処理、演算処理を行うＣＰＵ、各種プログラムや各種データを保存する記憶装置、入力回路、出力回路等の機能を含んで構成される周知構造のマイクロコンピュータであり、回転角センサ１１およびその他の各種センサから入力されるパラメータに応じて、通路２の開度や弁体４の回転角を目標値に制御する。
【００３９】
すなわち、制御手段１０は、例えば、内燃機関の運転状態に応じて回転角の目標値を算出するとともに、回転角の現在値と目標値との差分に応じて電動機６への通電量等を制御して回転角の現在値を目標値に略一致させる。
【００４０】
回転角センサ１１は、例えば、回転軸８に固定された永久磁石等の磁束発生手段と、磁束発生手段が発生する磁束を検出するホールＩＣ等の磁束検出手段とからなる周知構造を有するものである。
【００４１】
以上の構成により、弁装置１は、電動機６への通電を制御することで、内燃機関の運転状態に応じて通路２の開度を操作し、排気ガスの循環量を可変している。
ここで、弁体４が、全閉の回転角（全閉角）から全開の回転角（全開角）まで、開側に回転していくときのシールリング５の状態の推移について、図３を参照しながら説明する。
【００４２】
まず、全閉角から開側に回転していくと、シールリング５は、合口隙間２１および溝内隙間２３を広げながら自身の外周縁の全周において壁１５との当接を保ち、弁体４の周縁と壁１５との間の封鎖を維持し続ける。やがて、シールリング５は、弁体４の周縁と壁１５との間を封鎖しない開放状態との境界角（第１境界角）に到達し、外周縁が部分的に壁１５と当接しなくなる。
【００４３】
さらに、第１境界角よりも開側に回転していくと、シールリング５は、外周縁において壁１５と当接しない部分を拡大しながら張力を弱めていき、同時に、合口隙間２１および溝内隙間２３を広げ続ける。やがて、シールリング５は、溝２０に嵌まった状態で張力を有さずに自在に動くことができるフリー状態との境界角（第２境界角）に到達する。
【００４４】
そして、第２境界角よりも開側の回転角において、シールリング５は、フリー状態を保ちながら合口隙間２１および溝内隙間２３を第２境界角における数値以上に広げることなく、全開角まで回転する。
【００４５】
以上により、弁体４の回転角と排気ガスの循環量とは図４のような相関を示す。
すなわち、回転角が全閉角から第１境界角の間では、シールリング５によって弁体４の周縁と壁１５との間の封鎖が維持されるので循環量はゼロに略一致している。そして、回転角が第１境界角以上の範囲では、回転角の開側への移行に応じて循環量が増加していく。
【００４６】
そして、弁装置１によれば、弁体４がシールリング５のフリー状態から閉側に回転する場合、シールリング５は、合口隙間２１および溝内隙間２３が大きく広がった径大の状態で壁１５に衝突し、衝突後、合口隙間２１および溝内隙間２３を縮めるように弾性変形していく。
【００４７】
〔実施例１の特徴〕
実施例１の弁装置１の特徴を、図５に基づいて説明する。
弁装置１によれば、ノズル３および弁体４は、それぞれ、ステンレス粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させた素材３３、３４を材料として設けられている。また、潤滑剤は、オイルを含む液体状である。なお、ステンレス粒子の焼結および焼結体への潤滑剤の含浸は周知の方法により行なわれる。
【００４８】
また、ノズル３および弁体４の表面の内、シールリング５の当接を受ける領域は、素材３３、３４を切削することにより形成される切削面である。
つまり、ノズル３では、通路２の壁１５の壁面の内、少なくともシールリング５の衝突を受ける衝突領域や、シールリング５が摺動する摺動領域を含む領域が切削面により構成される。また、弁体４では、溝２０の底面２２および側面２４が切削面により構成される。
【００４９】
〔実施例１の効果〕
実施例１の弁装置１によれば、ノズル３および弁体４は、それぞれ、ステンレス粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させた素材３３、３４を材料として設けられている。
これにより、閉弁時のシールリング５と壁１５との衝突、および、衝突後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦が、潤滑剤の存在によって緩和される。このため、シールリング５と壁１５との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００５０】
また、ノズル３および弁体４の表面の内、シールリング５の当接を受ける領域は、素材３３、３４を切削することにより形成される切削面である。
切削加工等を施す前の素材３３、３４の表面は密度が高く、表面から内部に向かって遠ざかるほど、密度が下がって粗くなる。このため、潤滑剤の露出量は、切削加工等を施す前から表面であった面部分よりも、切削により表面となった切削面の方が多い。
【００５１】
したがって、ノズル３および弁体４の表面の内、シールリング５の当接を受ける領域を切削面によって構成することで、シールリング５と壁１５との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を、さらに抑制することができる。
【００５２】
また、潤滑剤はオイルを含む液体状である。
これにより、シールリング５と壁１５との衝突時には、ノズル３および弁体４に含浸された液体状の潤滑剤が、弾性潤滑理論により、シールリング５と壁１５との間、およびシールリング５と溝２０の側面２４との間に積極的に浸入して衝撃を緩和する。
【００５３】
同様に、衝突後のシールリング５と壁１５との摺動時にも、液体状の潤滑剤が、弾性潤滑理論により、シールリング５と壁１５との間に積極的に浸入して摺動摩擦を緩和する。
このため、より一層、シールリング５と壁１５との衝突による磨耗の進行、および、衝突後のシールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００５４】
〔実施例２〕
実施例２の弁装置１によれば、潤滑剤には樹脂粉末が混合されており、この樹脂粉末はポリテトラフルオロエチレンの粉末である。
樹脂粉末を液体状の潤滑剤に含ませることによって、シールリング５と壁１５との間の摩擦係数を下げることができるので、より一層、シールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。また、ポリテトラフルオロエチレンは、様々な高分子の中でも摩擦係数を下げる効果が大きい。このため、より一層、シールリング５と壁１５との摺動摩擦による磨耗の進行を抑制することができる。
【００５５】
〔実施例３〕
実施例３の弁装置１によれば、潤滑剤はワックスを含む固体状である。
ワックスは、暖められて軟化したり、液化したりするので、潤滑剤にワックスを含む固体状のものを採用しても、液体状の潤滑剤を含浸させる場合と同等の磨耗抑制効果を得ることができる。
【００５６】
〔変形例〕
弁装置１の態様は、実施例に限定されず種々の変形例を考えることができる。
例えば、実施例１、２の弁装置１によれば潤滑剤はオイルを含む液体状であり、実施例３の弁装置１によれば潤滑剤はワックスを含む固体状であったが、液体状の潤滑剤と固体状の潤滑剤とを併用してもよい。
また、実施例２の弁装置１によれば、潤滑剤にはポリテトラフルオロエチレンの粉末が混合されていたが、混合すべき樹脂粉末はポリテトラフルオロエチレンに限定されず、他の高分子の樹脂粉末でもよい。
【００５７】
また、実施例１〜３の弁装置１によれば、弁体４は、回転軸８が一方の面にのみ固定されている片軸のバタフライ弁であったが、図６に示すように、両方の面から回転軸８が正反対の方向に伸びる両軸のバタフライ弁を弁体４として採用してもよい。
【００５８】
また、実施例１〜３の弁装置１によれば、弁体４は、回転軸８が弁体４の面方向に対して所定の角度だけ傾斜した状態で弁体４に固定されている斜めのバタフライ弁であったが、図７に示すように、回転軸８が弁体４の片方の面に面方向と平行に固定されたオフセット弁を弁体４として採用してもよい。
【００５９】
さらに、実施例１〜３の弁装置１は、排気ガスの循環量を可変するためのＥＧＲ弁装置に採用されていたが、他の流体の流量を可変するための弁装置に採用してもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１  弁装置
２  通路
３  ノズル（通路形成体）
４  弁体
５  シールリング
１５  壁（通路の壁）
３３  素材（金属粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させたもの）
３４  素材（金属粒子の焼結体に潤滑剤を含浸させたもの）
【図１】
2012202537.tif 000003
【図２】
2012202537.tif 000004
【図３】
2012202537.tif 000005
【図４】
2012202537.tif 000006
【図５】
2012202537.tif 000007
【図６】
2012202537.tif 000008
【図７】
2012202537.tif 000009
【図８】
2012202537.tif 000010
【図９】
2012202537.tif 000011
【図１０】
2012202537.tif 000012
【図１１】
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