(57)【要約】【課題】  絵素を構成する複数色の画素がマトリクス状に配列された液晶パネルなどの平面表示パネルにおける欠陥を画素ずらしによって検出する場合に、撮像タクトを可及的に短縮することができる欠陥検出装置を提供する。【解決手段】  欠陥検出装置１００は、検査対象の液晶パネルＬにおける第１および第２の配列方向Ｘ，Ｙの画素の寸法Ｔｘ，Ｔｙと、エリアセンサ３０の撮像分解能Ｒとに基づいて、第１の配列方向Ｘに関する高解像度化倍率Ｖｘと第２の配列方向Ｙに関する高解像度化倍率Ｖｙとを個別に算出し、算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙに基づいて、撮像時に満たすべき液晶パネルＬとエリアセンサ３０との相対的な位置関係を示す複数の撮像位置を、Ｖｘ×Ｖｙ箇所だけ設定する。そして、各撮像位置で撮像された各撮像画像に基づいて、画素ずらしにより高解像度化画像を生成し、その高解像度化画に基づいて液晶パネルＬにおける欠陥を検出する。【選択図】      図３
2012052968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絵素を構成する複数色の画素が、互いに直交する第１および第２の配列方向に沿ってマトリクス状に配列された平面表示パネルを撮像する撮像素子と、前記平面表示パネルと前記撮像素子との相対的な位置関係を変化させる移動装置とを備え、該平面表示パネルにおける欠陥を、該撮像素子によって撮像された平面表示パネルの画像データに基づいて検出する欠陥検出装置であって、
予め定める検出対象の欠陥寸法および前記撮像素子の撮像分解能を取得する撮像条件取得部と、
前記撮像条件取得部によって取得された欠陥寸法および撮像分解能に基づいて、前記第１の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｘ（ただし、Ｖｘは正の整数）と前記第２の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｙ（ただし、Ｖｙは正の整数）とを個別に算出する高解像度化倍率算出部と、
前記高解像度化倍率算出部によって算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙに基づいて、撮像時に満たすべき平面表示パネルと撮像素子との相対的な位置関係を示す複数の撮像位置を、Ｖｘ×Ｖｙ箇所だけ設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で平面表示パネルが撮像されるように、前記移動装置および前記撮像素子を制御する装置制御部と、
前記複数の撮像位置で撮像された各撮像画像に基づいて、各撮像画像よりも高解像度の高解像度化画像を生成する高解像度化画像生成部と、
高解像度化画像生成部によって生成された高解像度化画像に基づいて、平面表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出部とを含むことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項２】
前記検出対象の欠陥寸法は、前記平面表示パネルの前記第１および第２の配列方向の画素の寸法であることを特徴とする請求項１記載の欠陥検出装置。
【請求項３】
前記高解像度化倍率算出部は、前記撮像条件取得部によって取得された前記第１の配列方向の画素の寸法がＴｘ、前記第２の配列方向の画素の寸法がＴｙ、前記撮像素子の撮像分解能がＲであるとき、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式に基づいて、各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙを算出することを特徴とする請求項２記載の欠陥検出装置。
【請求項４】
絵素を構成する複数色の画素が、互いに直交する第１および第２の配列方向に沿ってマトリクス状に配列された平面表示パネルを撮像する撮像素子と、前記平面表示パネルと前記撮像素子との相対的な位置関係を変化させる移動装置とを用いて、該平面表示パネルにおける欠陥を、該撮像素子によって撮像された平面表示パネルの画像データに基づいて検出する欠陥検出方法であって、
予め定める検出対象の欠陥寸法および前記撮像素子の撮像分解能を取得する撮像条件取得ステップと、
前記撮像条件取得ステップによって取得された欠陥寸法および撮像分解能に基づいて、前記第１の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｘ（ただし、Ｖｘは正の整数）と前記第２の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｙ（ただし、Ｖｙは正の整数）とを個別に算出する高解像度化倍率算出ステップと、
前記高解像度化倍率算出ステップによって算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙに基づいて、撮像時に満たすべき平面表示パネルと撮像素子との相対的な位置関係を示す複数の撮像位置を、Ｖｘ×Ｖｙ箇所だけ設定する撮像位置設定ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で平面表示パネルが撮像されるように、前記移動装置および前記撮像素子を制御する装置制御ステップと、
前記複数の撮像位置で撮像された各撮像画像に基づいて、各撮像画像よりも高解像度の高解像度化画像を生成する高解像度化画像生成ステップと、
高解像度化画像生成ステップによって生成された高解像度化画像に基づいて、平面表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出ステップとを含むことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項５】
前記検出対象の欠陥寸法は、前記平面表示パネルの前記第１および第２の配列方向の画素の寸法であることを特徴とする請求項４記載の欠陥検出方法。
【請求項６】
前記高解像度化倍率算出ステップは、前記撮像条件取得ステップによって取得された前記第１の配列方向の画素の寸法がＴｘ、前記第２の配列方向の画素の寸法がＴｙ、前記撮像素子の撮像分解能がＲであるとき、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式に基づいて、各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙを算出することを特徴とする請求項５記載の欠陥検出方法。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１つに記載の欠陥検出方法をコンピュータに実行させるための欠陥検出用プログラム。
【請求項８】
請求項７に記載の欠陥検出用プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絵素を構成する複数色の画素がマトリクス状に配列された液晶パネルなどの平面表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出用プログラムおよび該欠陥検出用プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
絵素を構成する三原色すなわちＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の画素がマトリクス状に配列された液晶パネルなどの平面表示パネルを搭載するフラットパネルディスプレイ（
Flat Panel Display；略称「ＦＰＤ」）の製造工程では、組み立てられた平面表示パネルに対して、電気的な断線または短絡による欠陥、液晶への異物混入による微小な欠陥、液晶の部分的な配向不良による微小な欠陥、およびシミ・ムラなどの欠陥を検出する欠陥検出工程が含まれている。この欠陥検出工程により、平面表示パネルの品質が確保されている。
【０００３】
従来、欠陥検出工程では、検査対象の平面表示パネルに検査用の表示パターンを表示させ、その平面表示パネルの表示画面を検査員が目視することにより、欠陥の有無が検査されていた。
【０００４】
しかしながら、目視による検査の場合、検査員の疲労による見落としが発生したり、検査員ごとに評価にばらつきが生じたりすることが問題となっていた。さらには、平面表示パネル１枚あたりの検査に、多くの検査時間を要していることも問題となっていた。
【０００５】
そこで、これらの問題を解決するために、欠陥検出工程を自動化する欠陥検出装置が導入されている。欠陥検出装置は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）エリアセンサなどの撮像素子を搭載した撮像装置を備え、検査用の表示パターンが表示されている平面表示パネルを撮像素子で撮像し、撮像した画像の画像データをコンピュータによって解析することにより、欠陥を検出するように構成されている。
【０００６】
このような欠陥検出装置を用いて、画素サイズの欠陥あるいはそれよりも小さな欠陥を精度良く検出するためには、撮像に使用される撮像素子の撮像分解能を、検出したい欠陥のサイズ以下にしておく必要がある。
【０００７】
ところで、近年では、画像を表示可能な表示領域のサイズ（画面サイズ）が大きいだけでなく、フルＨＤ（High Definition）に対応した絵素数１９２０×１０８０（横×縦）以上の平面表示パネルを搭載したＦＰＤが普及している。このような平面表示パネルに対して撮像素子の撮像分解能を画素サイズ以下にするためには、非常に高解像度の撮像素子を搭載した撮像装置を、欠陥検出装置に設置しなければならない。しかしながら、そのような撮像装置は、非常に高価であるため、そのような撮像装置を設置すると、欠陥検出装置全体としてのコストが増大してしまうという問題がある。
【０００８】
そこで、欠陥検出装置において、このような高価な撮像装置を設置することなく、撮像素子の撮像分解能を小さくする技術が、たとえば特許文献１および２に提案されている。
【０００９】
特許文献１には、通常の解像度を有する撮像素子を搭載した撮像装置を、検査対象の平面表示パネルの表示面に沿って複数台並べて設置し、各撮像装置から出力される撮像画像の画像データを合成することによって、撮像素子の撮像分解能を小さくする技術が開示されている。
【００１０】
また、特許文献２には、互いに直交する２つの配列方向に沿ってマトリクス状に画素が配列されている平面表示パネルに対して、撮像装置を前記２つの配列方向に沿って移動可能に設置し、互いに異なる所定の撮像位置で平面表示パネルを撮像して得られた複数の撮像画像によって、高解像度化した画像を生成する技術が開示されている。これは、画素ずらしと呼ばれる手法であり、撮像画像の解像度を疑似的に向上させる技術である。
【００１１】
ここで、図１１〜図１３を用いて、画素ずらしによって撮像画像の解像度を２倍にする方法を説明する。図１１は、撮像装置に設置される撮像素子の撮像分解能ｒを示す図である。図１１に示す正方形状の各マス目は、撮像素子における各画素による撮像範囲に相当し、すなわち、各マス目の大きさによって撮像分解能ｒが示されている。
【００１２】
図１１に示すように、撮像素子における各画素は、互いに直交する第１方向ｕおよび第２方向ｖに沿ってマトリクス状に配列されている。なお、撮像素子における各画素は、一辺の長さがａの正方形状であるとする。また、図１１〜図１３では、理解を容易にするために、撮像素子によって「Ａ」という文字を撮像した場合を示している。
【００１３】
図１２は、画素ずらしによって撮像画像の解像度を２倍にする場合の各撮像位置を示す図である。なお、図１２では、理解を容易にするために、撮像素子における１画素の撮像範囲だけを示している。
【００１４】
図１２（ａ）は、第１の撮像位置（０，０）から撮像したときの撮像範囲Ｆａを示している。図１２（ｂ）は、第２の撮像位置（ａ／２，０）から撮像したときの撮像範囲Ｆｂを示している。第２の撮像位置（ａ／２，０）は、第１の撮像位置（０，０）から、第１方向ｕに沿って、撮像素子における画素寸法ａの１／２だけ移動した位置である。
【００１５】
図１２（ｃ）は、第３の撮像位置（ａ／２，ａ／２）から撮像したときの撮像範囲Ｆｃを示している。第３の撮像位置（ａ／２，ａ／２）は、第２の撮像位置（ａ／２，０）から、第２方向ｖに沿って、撮像素子における画素寸法ａの１／２だけ移動した位置である。
【００１６】
図１２（ｄ）は、第４の撮像位置（０，ａ／２）から撮像したときの撮像範囲Ｆｄを示している。第４の撮像位置（０，ａ／２）は、第３の撮像位置（ａ／２，ａ／２）から、第１方向ｕとは反対の−ｕ方向に沿って、撮像素子における画素寸法ａの１／２だけ移動した位置である。
【００１７】
このように第１〜第４の撮像位置において撮像された４つの画像を、高解像度バッファにおいて、それぞれの撮像位置に対応した位置に配置して重ね合わせて、画像を再構成することにより、解像度を疑似的に２倍に高解像度化した画像を生成することができる。
【００１８】
図１３は、画素ずらしによって生成された高解像度化画像による撮像分解能ｒ１を示す図である。撮像分解能ｒ１は、撮像素子の撮像分解能ｒの１／２に相当する。このように、画素ずらしの手法を用いることにより、撮像分解能を小さくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００４−２２６０８３号公報
【特許文献２】特開２００８−９８９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
特許文献１に記載の方法では、大画面かつ総絵素数の多い平面表示パネルに対して、撮像素子の撮像分解能を画素サイズ以下にするためには、欠陥検出装置に多くの撮像装置を設置しなければならず、これにより欠陥検出装置全体としてのコストが増大してしまうという問題がある。
【００２１】
特許文献２に記載の方法は、特許文献１のように多くの撮像装置を設置する必要はないものの、高解像度化画像を生成するためには、検査対象の平面表示パネルを複数の撮像位置で撮像する必要がある。たとえば、前記のように解像度が２倍の高解像度化画像を生成するためには、４箇所の撮像位置で撮像する必要がある。また、解像度が３倍の高解像度化画像を生成するためには、９箇所の撮像位置で撮像する必要がある。
【００２２】
しかしながら、複数の撮像位置で撮像するためには、撮像装置（または検査対象の平面表示パネル）を何度も移動させる必要があるため、結果として、全ての画像を撮像するのに要する時間（以下、「撮像タクト」と称する）が増大してしまうという問題がある。
【００２３】
本発明の目的は、絵素を構成する複数色の画素がマトリクス状に配列された液晶パネルなどの平面表示パネルにおける欠陥を画素ずらしによって検出する場合に、撮像タクトを可及的に短縮することができる欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出用プログラムおよび該欠陥検出用プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することである
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、絵素を構成する複数色の画素が、互いに直交する第１および第２の配列方向に沿ってマトリクス状に配列された平面表示パネルを撮像する撮像素子と、前記平面表示パネルと前記撮像素子との相対的な位置関係を変化させる移動装置とを備え、該平面表示パネルにおける欠陥を、該撮像素子によって撮像された平面表示パネルの画像データに基づいて検出する欠陥検出装置であって、
予め定める検出対象の欠陥寸法および前記撮像素子の撮像分解能を取得する撮像条件取得部と、
前記撮像条件取得部によって取得された欠陥寸法および撮像分解能に基づいて、前記第１の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｘ（ただし、Ｖｘは正の整数）と前記第２の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｙ（ただし、Ｖｙは正の整数）とを個別に算出する高解像度化倍率算出部と、
前記高解像度化倍率算出部によって算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙに基づいて、撮像時に満たすべき平面表示パネルと撮像素子との相対的な位置関係を示す複数の撮像位置を、Ｖｘ×Ｖｙ箇所だけ設定する撮像位置設定部と、
前記撮像位置設定部によって設定された各撮像位置で平面表示パネルが撮像されるように、前記移動装置および前記撮像素子を制御する装置制御部と、
前記複数の撮像位置で撮像された各撮像画像に基づいて、各撮像画像よりも高解像度の高解像度化画像を生成する高解像度化画像生成部と、
高解像度化画像生成部によって生成された高解像度化画像に基づいて、平面表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出部とを含むことを特徴とする欠陥検出装置である。
【００２５】
また本発明は、前記検出対象の欠陥寸法は、前記平面表示パネルの前記第１および第２の配列方向の画素の寸法であることを特徴とする。
【００２６】
また本発明は、前記高解像度化倍率算出部は、前記撮像条件取得部によって取得された前記第１の配列方向の画素の寸法がＴｘ、前記第２の配列方向の画素の寸法がＴｙ、前記撮像素子の撮像分解能がＲであるとき、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式に基づいて、各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙを算出することを特徴とする。
【００２７】
また本発明は、絵素を構成する複数色の画素が、互いに直交する第１および第２の配列方向に沿ってマトリクス状に配列された平面表示パネルを撮像する撮像素子と、前記平面表示パネルと前記撮像素子との相対的な位置関係を変化させる移動装置とを用いて、該平面表示パネルにおける欠陥を、該撮像素子によって撮像された平面表示パネルの画像データに基づいて検出する欠陥検出方法であって、
予め定める検出対象の欠陥寸法および前記撮像素子の撮像分解能を取得する撮像条件取得ステップと、
前記撮像条件取得ステップによって取得された欠陥寸法および撮像分解能に基づいて、前記第１の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｘ（ただし、Ｖｘは正の整数）と前記第２の配列方向に関する高解像度化倍率Ｖｙ（ただし、Ｖｙは正の整数）とを個別に算出する高解像度化倍率算出ステップと、
前記高解像度化倍率算出ステップによって算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙに基づいて、撮像時に満たすべき平面表示パネルと撮像素子との相対的な位置関係を示す複数の撮像位置を、Ｖｘ×Ｖｙ箇所だけ設定する撮像位置設定ステップと、
前記撮像位置設定ステップによって設定された各撮像位置で平面表示パネルが撮像されるように、前記移動装置および前記撮像素子を制御する装置制御ステップと、
前記複数の撮像位置で撮像された各撮像画像に基づいて、各撮像画像よりも高解像度の高解像度化画像を生成する高解像度化画像生成ステップと、
高解像度化画像生成ステップによって生成された高解像度化画像に基づいて、平面表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出ステップとを含むことを特徴とする欠陥検出方法である。
【００２８】
また本発明は、前記検出対象の欠陥寸法は、前記平面表示パネルの前記第１および第２の配列方向の画素の寸法であることを特徴とする。
【００２９】
また本発明は、前記高解像度化倍率算出ステップは、前記撮像条件取得ステップによって取得された前記第１の配列方向の画素の寸法がＴｘ、前記第２の配列方向の画素の寸法がＴｙ、前記撮像素子の撮像分解能がＲであるとき、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式に基づいて、各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙを算出することを特徴とする。
【００３０】
また本発明は、前記欠陥検出方法をコンピュータに実行させるための欠陥検出用プログラムである。
【００３１】
また本発明は、前記欠陥検出用プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体である。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、絵素を構成する複数色の画素がマトリクス状に配列された液晶パネルなどの平面表示パネルにおける欠陥を画素ずらしによって検出する場合に、必要な検査精度を確保しつつ、撮像タクトを可及的に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係る欠陥検出装置１００の概略的な構成を示す模式図である。
【図２】本実施形態における検査対象の液晶パネルＬを示す平面図であり、図２（ａ）は液晶パネルＬ全体を示す平面図であり、図２（ｂ）は液晶パネルＬの角部を拡大して示す平面図である。
【図３】制御装置５１の構成を示すブロック図である。
【図４】本実施形態における検査対象の液晶パネルＬの画素の寸法Ｔｘ，Ｔｙとエリアセンサ３０の撮像分解能Ｒとの関係を示す図である。
【図５】制御装置５１による欠陥検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図６】高解像度化画像生成部７１によって生成された高解像度化画像における分解能Ｒｘ，Ｒｙを示す図である。
【図７】従来技術の画素ずらしによる手法で生成された解像度が３倍の高解像度化画像における分解能Ｒｘ，Ｒｙを示す図である。
【図８】高解像度化画像に基づいて欠陥を検出する方法の一例を説明するための図である。
【図９】他の実施形態における検査対象の液晶パネルＬの画素の寸法Ｔｘ，Ｔｙとエリアセンサ３０の撮像分解能Ｒとの関係を示す図である。
【図１０】高解像度化倍率の違いによる高解像度化画像における分解能の違いを示す図であり、図１０（ａ）は、Ｖｘ＝２とした場合に生成される高解像度化画像における長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙの分解能Ｒｘａ，Ｒｙａを示す図であり、図１０（ｂ）は、Ｖｘ＝３とした場合に生成される高解像度化画像における長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙの分解能Ｒｘｂ，Ｒｙｂを示す図である。
【図１１】撮像装置に設置される撮像素子の撮像分解能ｒを示す図である。
【図１２】画素ずらしによって撮像画像の解像度を２倍にする場合の各撮像位置を示す図である。
【図１３】画素ずらしによって生成された高解像度化画像による撮像分解能ｒ１を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１は、本発明の実施形態に係る欠陥検出装置１００の概略的な構成を示す模式図である。欠陥検出装置１００は、バックライト１０と、検査台２０と、ＣＣＤエリアセンサ（以下、「エリアセンサ」と記す）３０およびアクチュエータ４０を搭載する撮像装置３１と、コンピュータ５０とを含んで構成される。
【００３５】
欠陥検出装置１００は、平面表示パネルである液晶パネルＬをエリアセンサ３０によって複数の撮像位置から撮像し、各撮像位置で撮像された画像データを用いて画素ずらしにより高解像度化画像を生成し、該高解像度化画像に基づいて、液晶パネルＬにおける電気的な断線または短絡による欠陥、液晶への異物混入による微小な欠陥、液晶の部分的な配向不良による微小な欠陥、およびシミ・ムラなどの欠陥を検出するように構成されている。
【００３６】
バックライト１０は、光を出射可能な光源を備え、本実施形態では、上方に向かって平面的に光を出射する面光源として構成されている。検査台２０は、検査対象の液晶パネルＬが載置される平坦な載置面Ｓを有する。検査台２０は、本実施形態では、載置面Ｓが水平または略水平となるように、バックライト１０上に取り付けられている。したがって、バックライト１０を駆動することによって、検査台２０に載置された液晶パネルＬに対して、下方から光を照射することができる。
【００３７】
撮像素子であるエリアセンサ３０は、図１１に示すように、互いに直交する第１方向ｕおよび第２方向ｖに沿って、一辺の寸法がａの正方形状の画素がマトリクス状に配列されている。エリアセンサ３０は、検査台２０の上方に、検査台２０の載置面Ｓに対向して配設され、検査台２０に載置された液晶パネルＬを撮像可能に構成されている。エリアセンサ３０は、コンピュータ５０から送信される撮像タイミング制御信号に従って、撮像動作を開始または停止する。また、エリアセンサ３０は、撮像した画像の画像データをコンピュータ５０へ出力するように構成されている。
【００３８】
移動装置であるアクチュエータ４０は、検査台２０に載置された液晶パネルＬとエリアセンサ３０との相対的な位置関係を、エリアセンサ３０を移動させることによって変化させる。アクチュエータ４０は、本実施形態では、エリアセンサ３０を、エリアセンサ３０における画素の配列方向である第１方向ｕおよび第２方向ｖ、ならびに第１方向ｕおよび第２方向ｖに垂直な第３方向ｗに沿って、移動可能に構成されている。アクチュエータ４０は、コンピュータ５０から送信される撮像位置制御信号に従って、エリアセンサ３０を所定の位置へ移動させる。
【００３９】
移動装置としては、検査台２０に載置された液晶パネルＬとエリアセンサ３０との相対的な位置関係を変化させることが可能な構成であればよく、たとえば、バックライト１０、検査台２０および検査台２０に載置された液晶パネルＬを一体的に移動可能に構成されてもよい。また、エリアセンサ３０と液晶パネルＬ側の構成とをそれぞれ個別に移動可能に構成されてもよい。
【００４０】
コンピュータ５０は、検査台２０に載置された液晶パネルＬにおける電気的な断線または短絡による欠陥、液晶への異物混入による微小な欠陥、液晶の部分的な配向不良による微小な欠陥、およびシミ・ムラなどの欠陥を検出するための欠陥検出処理を実行する制御装置５１を備える。制御装置５１は、図示しないＲＯＭ（Read Only Memory）に格納されている欠陥検出用プログラムを読み込むことによって、欠陥検出処理を実行する。
【００４１】
制御装置５１は、検査台２０に載置された液晶パネルＬに対してパターン指定信号を送信することにより、液晶パネルＬの駆動を制御する。また、制御装置５１は、エリアセンサ３０に対して撮像タイミング制御信号を送信することにより、エリアセンサ３０の駆動を制御する。
【００４２】
また、制御装置５１は、アクチュエータ４０に対して撮像位置制御信号を送信することにより、アクチュエータ４０の動作を制御する。また、制御装置５１は、エリアセンサ３０から入力される画像データに基づいて所定の処理を行うことによって、液晶パネルＬにおける欠陥を検出するように構成されている。
【００４３】
検査対象の液晶パネルＬは、機械的な手段または作業者の手動によって、検査台２０上に所定の姿勢で載置される。本実施形態では、所定の姿勢として、後述する液晶パネルＬの長辺方向Ｘとエリアセンサ３０の移動方向である第１方向ｕとが一致し、液晶パネルＬの短辺方向Ｙとエリアセンサ３０の移動方向である第２方向ｖとが一致するような姿勢で載置される。
【００４４】
図２は、本実施形態における検査対象の液晶パネルＬを示す平面図であり、図２（ａ）は液晶パネルＬ全体を示す平面図であり、図２（ｂ）は液晶パネルＬの角部を拡大して示す平面図である。
【００４５】
液晶パネルＬは、その厚み方向に見て矩形状に形成されており、画像を表示可能な矩形状の表示領域Ａ１と、表示領域Ａ１を囲繞する矩形枠状の周縁領域Ａ２とを有する。表示領域Ａ１には、複数の絵素Ｐが、液晶パネルＬの長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙに沿って、マトリクス状に配列されている。
【００４６】
表示領域Ａ１を構成する各絵素Ｐは、複数色の画素によって構成され、本実施形態では、三原色Ｒ・Ｇ・Ｂの画素、すなわち赤色の画素ＳＲ、緑色の画素ＳＧおよび青色の画素ＳＢによって構成されている。
【００４７】
各画素ＳＲ，ＳＧ，ＳＢは、いずれも短冊状に形成された画素領域から成り、各画素領域はそれぞれ、長辺方向Ｘの寸法がＴｘであり、短辺方向Ｙの寸法がＴｙである。本実施形態では、液晶パネルＬの絵素Ｐは正方形絵素であり、したがって、画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘと短辺方向Ｙの寸法Ｔｙとの比は、Ｔｘ：Ｔｙ＝１：３である。表示領域Ａ１を構成する各絵素Ｐでは、このような三原色の画素ＳＲ，ＳＧ，ＳＢが、長辺方向Ｘに沿って、この順に並んで配列されている。
【００４８】
ここで、長辺方向Ｘに沿う画素の並びを「行」と称し、短辺方向Ｙに沿う画素の並びを「列」と称すると、各行には、三原色の画素ＳＲ，ＳＧ，ＳＢが周期的に繰り返し配列されている。一方、各列には、同色の画素が連続して配列されている。このように、表示領域Ａ１には、三原色の画素ＳＲ，ＳＧ，ＳＢが、長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙに沿ってマトリクス状に配列されている。なお、隣接する画素間には、混色を防ぐための遮光領域であるブラックマトリクスが設けられている。
【００４９】
図３は、制御装置５１の構成を示すブロック図である。制御装置５１は、表示パターン指定部６１と、装置制御部６２と、撮像画像取得部６５と、データ格納部６６と、画像処理部７０と、撮像位置演算部７３とを含んで構成される。
【００５０】
表示パターン指定部６１は、検査台２０に載置された検査対象の液晶パネルＬに対して、欠陥検査用に予め設定された各種の表示パターンをそれぞれ表示させるためのパターン指定信号を出力することにより、液晶パネルＬの駆動を制御する。
【００５１】
液晶パネルＬは、表示パターン指定部６１からパターン指定信号が入力されると、そのパターン指定信号に応答して液晶分子の向きが変化する。これにより、バックライト１０によって照射される光の液晶パネルＬにおける各画素を透過する量が制御されて、表示領域Ａ１には、そのパターン指定信号に対応した表示パターンが表示される。
【００５２】
欠陥検出用の表示パターンは、検出対象の欠陥の種類によってそれぞれ異なる。たとえば、表示領域Ａ１に含まれる全ての画素を非点灯状態にさせて全面黒表示にする非点灯パターンは、輝点で表示される画素を輝点欠陥として検出するために用いられる。また、表示領域Ａ１に含まれる全ての画素を点灯状態にさせて全面白表示にする全点灯パターンは、黒点で表示される画素を黒点欠陥として検出するために用いられる。
【００５３】
また、全点灯パターンによる全面白表示よりも輝度を落として全面白表示にする中間階調パターンは、全点灯パターンでは検出されにくい微弱な欠陥、および表示画面全体の輝度ムラを検出するために用いられる。また、赤色の画素ＳＲのみ、緑色の画素ＳＧのみまたは青色の画素ＳＢのみを全て点灯状態にさせて全面単色表示にする単色点灯パターンは、欠陥画素を色ごとに判別するために用いられる。
【００５４】
また、表示領域Ａ１の長辺方向Ｘ一方側の端辺Ｃ１から数えて奇数番目の画素列の画素を全て点灯状態にさせる奇数列点灯パターンおよび端辺Ｃ１から数えて偶数番目の画素列の画素を全て点灯状態にさせる偶数列点灯パターンは、隣接する画素同士が電気的にリークする欠陥を検出するために用いられる。
【００５５】
装置制御部６２は、アクチュエータ制御部６３と、撮像制御部６４とを含んで構成され、後述する撮像位置設定部７６によって設定された各撮像位置で検査対象の液晶パネルＬが撮像されるように、エリアセンサ３０およびアクチュエータ４０を制御する。
【００５６】
アクチュエータ制御部６３は、後述する撮像位置設定部７６によって設定された各撮像位置で検査対象の液晶パネルＬが撮像されるように、エリアセンサ３０を各撮像位置へ順次移動させるための撮像位置制御信号を生成し、所定のタイミングで、該撮像位置制御信号をアクチュエータ４０へ送信する。これにより、エリアセンサ３０は、所定のタイミングで、撮像位置設定部７６によって設定された各撮像位置へ順次移動する。
【００５７】
撮像制御部６４は、アクチュエータ４０によってエリアセンサ３０が所定の撮像位置へ移動された後、エリアセンサ３０に対して、撮像動作を開始させるための撮像タイミング制御信号を送信する。また、撮像制御部６４は、撮像開始から所定時間経過後に、エリアセンサ３０に対して、撮像動作を停止させるための撮像タイミング制御信号を送信する。
【００５８】
撮像画像取得部６５は、エリアセンサ３０から入力される撮像画像の画像データを取得し、取得した画像データを、後述する撮像画像格納部６８に格納する。
【００５９】
データ格納部６６は、撮像条件格納部６７と、撮像画像格納部６８と、高解像度化画像格納部６９とを含んで構成される。撮像条件格納部６７には、検出対象とする欠陥の寸法情報が格納される。この欠陥の寸法情報は、検査対象の液晶パネルＬの機種情報に基づいて設定されてもよく、作業者によって図示しない入力装置を介して設定されてもよい。
【００６０】
液晶パネルにおいて生じ得る欠陥のうち発生頻度が最も高い電気的な断線または短絡による欠陥は、必ず画素領域の全体に明暗の輝度異常をもたらす。したがって、検出対象とする欠陥が、この電気的な断線または短絡による欠陥である場合には、検査対象の液晶パネルＬの機種情報に基づいて、欠陥の長辺方向Ｘの寸法情報として、画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘが、欠陥の短辺方向Ｙの寸法情報として、画素領域の短辺方向Ｙの寸法Ｔｙが、データ格納部６６に予め格納される。
【００６１】
また、液晶パネルにおいて生じ得る欠陥のうち液晶への異物混入による欠陥または液晶の部分的な配向不良による欠陥は、１画素の画素領域における一部の領域にのみ輝度異常をもたらす。したがって、検出対象とする欠陥が、この液晶への異物混入による欠陥または液晶の部分的な配向不良による欠陥である場合には、欠陥の長辺方向Ｘの寸法情報として、画素領域の寸法Ｔｘよりも小さな寸法Ｄｘが、欠陥の短辺方向Ｙの寸法情報として、画素領域の寸法Ｔｙよりも小さな寸法Ｄｙが、データ格納部６６に予め格納される。この場合、各寸法Ｄｘ，Ｄｙは、作業者によって適当な値に設定される。
【００６２】
また、撮像条件格納部６７には、検査対象の液晶パネルＬを撮像する際のエリアセンサ３０の撮像分解能情報が格納されている。この撮像分解能情報は、たとえば、エリアセンサ３０の画素数、エリアセンサ３０と液晶パネルＬとの離間距離、および光学系の設定状態などに基づいて、自動的に演算されて格納される。本実施形態では、エリアセンサ３０の撮像分解能がＲであるものとする。
【００６３】
図４は、本実施形態における検査対象の液晶パネルＬの画素の寸法Ｔｘ，Ｔｙとエリアセンサ３０の撮像分解能Ｒとの関係を示す図である。なお、図４では、液晶パネルＬの一部だけを示すとともに、見易さのために、エリアセンサ３０の１画素による撮像範囲を矩形ではなく円で示している。
【００６４】
本実施形態では、図４に示すように、エリアセンサ３０の１画素による撮像範囲は、液晶パネルＬの１絵素Ｐの大きさに一致し、つまり、エリアセンサ３０の撮像分解能Ｒと、液晶パネルＬの画素の各寸法Ｔｘ，Ｔｙとの関係は、Ｒ＝３Ｔｘ＝Ｔｙを満足する。
【００６５】
撮像画像格納部６８には、撮像画像取得部６５によって取得された画像データが格納される。高解像度化画像格納部６９には、後述する高解像度化画像生成部７１によって生成された高解像度化画像の画像データが格納される。
【００６６】
画像処理部７０は、高解像度化画像生成部７１と、欠陥検出部７２とを含んで構成される。高解像度化画像生成部７１は、撮像画像格納部６８に格納されている撮像位置ごとの画像データを、それぞれの撮像位置に応じて再構成することにより、すなわち画素ずらしの手法を用いることによって、撮像画像よりも高解像度の高解像度化画像を生成する。高解像度化画像生成部７１は、生成した高解像度化画像の画像データを、高解像度化画像格納部６９に格納する。
【００６７】
欠陥検出部７２は、高解像度化画像格納部６９に格納されている高解像度化画像の画像データを解析して、検査対象の液晶パネルＬにおける欠陥を検出する。
【００６８】
撮像位置演算部７３は、撮像条件取得部７４と、高解像度化倍率算出部７５と、撮像位置設定部７６とを含んで構成される。撮像条件取得部７４は、撮像条件格納部６７に格納されている欠陥の寸法情報および撮像分解能情報を取得する。
【００６９】
高解像度化倍率算出部７５は、撮像条件取得部７４によって取得された欠陥の寸法情報および撮像分解能情報に基づいて、エリアセンサ３０によって撮像される撮像画像の解像度に対して、長辺方向Ｘに高解像度化するべき倍率Ｖｘ（ただし、Ｖｘは正の整数）と、短辺方向Ｙに高解像度化するべき倍率Ｖｙ（ただし、Ｖｙは正の整数）とを、個別に算出する。
【００７０】
たとえば、検出対象とする欠陥が電気的な断線または短絡による欠陥である場合には、撮像条件取得部７４によって取得された長辺方向Ｘの画素の寸法Ｔｘ、短辺方向Ｙの画素の寸法Ｔｙおよび撮像分解能Ｒに基づいて、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式によって、各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙが個別に算出される。
【００７１】
撮像位置設定部７６は、高解像度化倍率算出部７５によって算出された各高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙおよびエリアセンサ３０の１画素の寸法ａに基づいて、Ｖｘ×Ｖｙ箇所の撮像位置を設定する。撮像位置設定部７６は、設定したＶｘ×Ｖｙ箇所の撮像位置の情報を、アクチュエータ制御部６３に対して出力する。
【００７２】
図５は、制御装置５１による欠陥検出処理の処理手順を示すフローチャートである。以下、図５に示すフローチャートに従って、本実施形態に係る欠陥検出方法について説明する。
【００７３】
欠陥検出処理は、検査対象の液晶パネルＬが、前述する所定の姿勢で検査台２０上に載置された後、制御装置５１によって駆動制御可能な状態にセッティングされるとともに、バックライト１０が駆動されることによって開始される。
【００７４】
ステップｓ１では、表示パターン指定部６１が、欠陥検査用の表示パターンの１つである全点灯パターンを表示させるためのパターン指定信号を、液晶パネルＬに対して出力する。これにより、液晶パネルＬの表示領域Ａ１には、全点灯パターンが表示される。
【００７５】
ステップｓ２では、撮像条件取得部７４が、撮像条件格納部６７に格納されている各画素の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘ、短辺方向Ｙの寸法Ｔｙおよび撮像分解能Ｒを取得する。
【００７６】
ステップｓ３では、高解像度化倍率算出部７５が、ステップｓ２で取得された各データＴｘ，Ｔｙ，Ｒに基づいて、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式を満足する最小の高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙをそれぞれ算出する。すなわち、本実施形態では、Ｒ＝３Ｔｘ＝Ｔｙであるので、Ｖｘ＝３、Ｖｙ＝１と算出される。
【００７７】
ステップｓ４では、撮像位置設定部７６が、ステップｓ３で算出された高解像度化倍率Ｖｘ，Ｖｙおよびエリアセンサ３０の１画素の寸法ａに基づいて、Ｖｘ×Ｖｙ＝３箇所の撮像位置を設定する。
【００７８】
本実施形態のように、長辺方向Ｘに高解像度化するべき倍率Ｖｘが３倍であるとは、高解像度化画像を生成するために、長辺方向Ｘに沿って、エリアセンサ３０の１画素の寸法ａの１／３ずつずらした位置で撮像をしなければならないということである。また、短辺方向Ｙに高解像度化するべき倍率Ｖｙが１倍であるとは、短辺方向Ｙに沿って、エリアセンサ３０をずらす必要がないということである。すなわち、本実施形態では、３箇所の撮像位置が設定される。
【００７９】
具体的には、第１の撮像位置が（０，０）であるとき、第２の撮像位置は、第１の撮像位置（０，０）から、長辺方向Ｘに沿って、撮像素子における画素寸法ａの１／３だけ移動させた位置、すなわち（ａ／３，０）に設定される。また第３の位置は、第２の位置（ａ／３，０）から、さらに長辺方向Ｘに沿って、撮像素子における画素寸法ａの１／３だけ移動させた位置、すなわち（２ａ／３，０）に設定される。
【００８０】
ステップｓ５では、装置制御部６２が、ステップｓ４で設定された第１〜第３の撮像位置（０，０），（ａ／３，０），（２ａ／３，０）で検査対象の液晶パネルＬが撮像されるように、エリアセンサ３０およびアクチュエータ４０を制御する。エリアセンサ３０によって撮像された撮像画像の画像データは、第１〜第３の撮像位置（０，０），（ａ／３，０），（２ａ／３，０）ごとに撮像画像格納部６８に格納される。
【００８１】
ステップｓ６では、高解像度化画像生成部７１が、撮像画像格納部６８に格納されている第１〜第３の撮像位置（０，０），（ａ／３，０），（２ａ／３，０）に対応する画像データを、それぞれの撮像位置に応じて再構成することにより、すなわち画素ずらしの手法を用いることによって、長辺方向Ｘに高解像度化倍率３倍で高解像度化した高解像度化画像を生成する。高解像度化画像生成部７１によって生成された高解像度化画像は、高解像度化画像格納部６９に格納される。
【００８２】
図６は、高解像度化画像生成部７１によって生成された高解像度化画像における分解能Ｒｘ，Ｒｙを示す図である。なお、図６では、高解像度化画像の一部だけを示すとともに、見易さのために、高解像度化画像における分解能を示す領域を矩形ではなく楕円で示している。図６に示すように、高解像度化画像における分解能を示す領域の大きさは、画素領域の大きさに一致し、つまり、長辺方向Ｘの分解能Ｒｘは、画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘに一致し、短辺方向Ｙの分解能Ｒｙは、画素領域の短辺方向Ｙの寸法Ｔｙに一致する。
【００８３】
図７は、従来技術の画素ずらしによる手法で生成された解像度が３倍の高解像度化画像における分解能Ｒｘ，Ｒｙを示す図である。なお、図７では、高解像度化画像の一部だけを示すとともに、見易さのために、高解像度化画像における分解能を示す領域を矩形ではなく円で示している。図７に示すように、高解像度化画像における分解能を示す領域の大きさは、画素領域の大きさよりも小さく、具体的には、長辺方向Ｘの分解能Ｒｘは、画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘに一致し、短辺方向Ｙの分解能Ｒｙも、画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘ（＝Ｔｙ／３）に一致する。
【００８４】
図６と図７とを参照して、本実施形態で生成された高解像度化画像と従来技術の画素ずらしで生成された高解像度化画像とを比較すると、従来技術の高解像度化画像の方が、高解像度化画像における分解能を示す領域が小さい。したがって、従来技術の高解像度化画像の方が、画素領域よりも小さな欠陥を検出する場合には精度良く検出することができる。
【００８５】
しかしながら、本実施形態のように、検出対象とする欠陥が、電気的な断線または短絡による欠陥である場合には、本実施形態の高解像度化画像であっても、従来技術の高解像度化画像であっても、略同一の精度で欠陥を検出することができる。一方、本実施形態の高解像度化画像を生成するための撮像位置は３箇所であるのに対し、従来技術の高解像度化画像を生成するための撮像位置は、本実施形態の３倍の９箇所である。
【００８６】
すなわち、本実施形態によれば、検出対象の欠陥の大きさに基づいて、高解像度化すべき倍率を長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙで個別に算出しているので、必要な検査精度を確保しつつ、撮像タクトを可及的に短縮することができる。
【００８７】
ステップｓ７では、欠陥検出部７２が、高解像度化画像格納部６９に格納されている高解像度化画像の画像データを解析して、検査対象の液晶パネルＬにおける欠陥を検出する。
【００８８】
図８は、高解像度化画像に基づいて欠陥を検出する方法の一例を説明するための図である。なお、図８では、図６と同様に、高解像度化画像の一部だけを示すとともに、見易さのために、高解像度化画像における分解能を示す領域を矩形ではなく楕円で示している。ステップｓ６において、図６に示すような高解像度化画像が生成されると、ステップｓ７では、分解能を示す各領域のうちの１つの注目領域Ｇａと、分解能を示す各領域のうち該注目領域Ｇａと同じ位置関係にある８近傍の周辺領域Ｇｂとを比較することにより、その注目領域Ｇａが正常であるか否かを判定する。たとえば、注目領域Ｇａの輝度値と、８近傍の周辺領域Ｇｂの平均値との差分をとることにより、その注目領域Ｇａが正常であるか否かを判定する。本実施形態では、このような判定を、分解能を示す全ての領域についてに行うことにより欠陥が検出される。
【００８９】
ステップｓ８では、他の表示パターンを使用して欠陥を検出すべきか否かが判定され、他の表示パターンを使用すべきと判定されると、ステップｓ１に戻る。たとえば、上記のように全点灯パターンを使用して欠陥検出処理が行われただけで、非点灯パターンを使用した欠陥検出処理が行われていない場合には、ステップｓ１に戻って、非点灯パターンを使用して欠陥検出処理が行われる。他の表示パターンを使用する必要が無いと判定されると、欠陥検出処理を終了する。
【００９０】
本実施形態では、検出対象とする欠陥のサイズが、画素のサイズに等しい場合について説明しているが、これに限らず、液晶への異物混入による欠陥または液晶の部分的な配向不良による欠陥など画素のサイズよりも小さな欠陥を検出する場合であっても、検出対象とする欠陥の寸法情報を適宜設定しておくことにより、必要な検査精度を確保しつつ、撮像タクトを可及的に短縮することができる。
【００９１】
図９は、他の実施形態における検査対象の液晶パネルＬの画素の寸法Ｔｘ，Ｔｙとエリアセンサ３０の撮像分解能Ｒとの関係を示す図である。なお、図９では、液晶パネルＬの一部だけを示すとともに、見易さのために、エリアセンサ３０の１画素による撮像範囲を矩形ではなく円で示している。前記の実施形態と同様に、液晶パネルＬにおける画素領域の長辺方向Ｘの寸法Ｔｘと短辺方向Ｙの寸法Ｔｙとの比は、Ｔｘ：Ｔｙ＝１：３であるとする。
【００９２】
本実施形態では、図９に示すように、エリアセンサ３０の１画素による撮像範囲は、液晶パネルＬの１絵素Ｐの２／３倍の大きさであり、つまり、エリアセンサ３０の撮像分解能Ｒと、液晶パネルＬの画素の各寸法Ｔｘ，Ｔｙとの関係は、Ｒ＝２Ｔｘ＝２Ｔｙ／３を満足する。
【００９３】
したがって、長辺方向Ｘに高解像度化するべき倍率Ｖｘおよび短辺方向Ｙに高解像度化するべき倍率Ｖｙは、Ｖｘ≧Ｒ／ＴｘおよびＶｙ≧Ｒ／Ｔｙの各関係式により、Ｖｘ≧２およびＶｙ≧２／３となる。ここで、Ｖｘ＝２とする場合と、Ｖｘ＝３とする場合とを比較する。なお、Ｖｙについては、Ｖｙ＝１とする。
【００９４】
図１０は、高解像度化倍率の違いによる高解像度化画像における分解能の違いを示す図であり、図１０（ａ）は、Ｖｘ＝２とした場合に生成される高解像度化画像における長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙの分解能Ｒｘａ，Ｒｙａを示す図であり、図１０（ｂ）は、Ｖｘ＝３とした場合に生成される高解像度化画像における長辺方向Ｘおよび短辺方向Ｙの分解能Ｒｘｂ，Ｒｙｂを示す図である。
【００９５】
図１０（ａ）に示すように、Ｖｘ＝２とした場合に生成される高解像度化画像を用いて、前記の実施形態のように、分解能を示す各領域のうちの１つの注目領域Ｇａと、分解能を示す各領域のうち該注目領域Ｇａと同じ位置関係にある８近傍の周辺領域Ｇｂとを比較する場合、注目領域Ｇａに対して長辺方向Ｘに隣接する周辺領域Ｇｂと注目領域Ｇａとの間隔は、１絵素の長辺方向Ｘの寸法３Ｔｘになる。
【００９６】
これに対して、図１０（ｂ）に示すように、Ｖｘ＝３とした場合に生成される高解像度化画像を用いて、前記の実施形態のように、分解能を示す各領域のうちの１つの注目領域Ｇａと、分解能を示す各領域のうち該注目領域Ｇａと同じ位置関係にある８近傍の周辺領域Ｇｂとを比較する場合、注目領域Ｇａに対して長辺方向Ｘに隣接する周辺領域Ｇｂと注目領域Ｇａとの間隔は、２絵素の長辺方向Ｘの寸法６Ｔｘになる。
【００９７】
すなわち、高解像度化倍率が相違すると、注目領域Ｇａから周辺領域Ｇｂまでの距離が変化する。比較対象の周辺領域Ｇｂは、注目領域Ｇａに対し可能な限り近接している方が好ましい。したがって、本実施形態の場合、高解像度化倍率として、Ｖｘ＝２を採用するのが好ましい。
【００９８】
コンピュータ５０の制御装置５１に含まれる各ブロックは、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【００９９】
すなわち、コンピュータ５０の制御装置５１は、各機能を実現する欠陥検出用プログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムを格納したＲＯＭ、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである欠陥検出用プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体をコンピュータ５０に供給し、コンピュータ５０がその記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても達成可能である。
【０１００】
上記記録媒体としては、たとえば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１０１】
また、コンピュータ５０を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介してコンピュータ５０に供給するようにしてもよい。この通信ネットワークとしては、とくに限定されず、たとえば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（
Virtual Private Network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、とくに限定されず、たとえば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
【符号の説明】
【０１０２】
１０  バックライト
２０  検査台
３０  ＣＣＤエリアセンサ
４０  アクチュエータ
５０  コンピュータ
５１  制御装置
６１  表示パターン指定部
６２  装置制御部
６３  アクチュエータ制御部
６４  撮像制御部
６５  撮像画像取得部
６６  データ格納部
６７  撮像条件格納部
６８  撮像画像格納部
６９  高解像度化画像格納部
７０  画像処理部
７１  高解像度化画像生成部
７２  欠陥検出部
７３  撮像位置演算部
７４  撮像条件取得部
７５  高解像度化倍率算出部
７６  撮像位置設定部
１００  欠陥検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１１】
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【図１３】
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