(57)【要約】【課題】、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けて、該ワークを効率よく乾燥することができるワークの乾燥装置の提供を目的とする。【解決手段】乾燥槽４１内を真空にする真空ポンプ１７と、乾燥槽４１と真空ポンプ１７とを結ぶ真空ライン４３に分岐接続された真空容器４６と、乾燥槽４１に大気開放弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口４８，４９，５０とを備え、乾燥槽４１内を真空にした後、大気開放弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させることを特徴とする。【選択図】図１
2012197979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄後のワークを収納して該ワークを乾燥させる乾燥槽を備えたワークの乾燥装置であって、
上記乾燥槽内を真空にする真空ポンプと、
上記乾燥槽と真空ポンプとを結ぶ真空ラインに分岐接続された真空容器と、
上記乾燥槽に大気開放弁からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口とを備え、
上記乾燥槽内を真空にした後、大気開放弁から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させるワークの乾燥装置。
【請求項２】
上記乾燥槽には、該乾燥槽内を加熱する加熱手段が設けられた
請求項１記載のワークの乾燥装置。
【請求項３】
上記乾燥槽に対して熱風を循環させる熱風循環手段を備えた
請求項１または２記載のワークの乾燥装置。
【請求項４】
上記熱風循環手段の乾燥槽下流に設けられ吸引した風を大気に排気して、乾燥槽内の湿度を下げるブロアを備えた
請求項３記載のワークの乾燥装置。
【請求項５】
バスケットに収納されたワークを洗浄液中に浸漬し、該ワークを洗浄する洗浄槽と、
上記バスケットを揺動させる揺動装置と、
上記洗浄槽に設けられた複数の超音波振動子と、
上記洗浄槽に接続された排液ラインと、
該排液ラインに介設された真空容器と、
上記排液ラインの真空容器上流に設けられた開閉弁とを備え、
上記真空容器内を上記真空ポンプで真空にし、上記開閉弁の開時に上記洗浄槽内の洗浄液を急速排液することで上記ワークを洗浄する
請求項１〜４の何れか１項に記載のワークの乾燥装置を備えた
ワークの洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、洗浄後のワークを収納して該ワークを乾燥させるようなワークの乾燥装置およびワークの洗浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークの乾燥装置としては特許文献１に開示されたものがある。  
すなわち、乾燥槽を真空チャンバにより構成し、この乾燥槽にＩＰＡ供給系および真空排気系を設けると共に、上述の真空排気系は乾燥槽を構成する真空チャンバとは別の真空チャンバと、この真空チャンバに直列接続された真空ポンプとを有し、ＩＰＡ供給系は乾燥槽内に収納されたワークに対してＩＰＡを噴霧するノズルを設けている。
【０００３】
この従来のワークの乾燥装置によれば、ワークのＩＰＡ（イソプロピルアルコール）による乾燥処理後、予め減圧した真空チャンバにより乾燥槽内を急速吸引し、ワークの表面に付着したＩＰＡを強制的に除去することができる。  
しかしながら、上記ＩＰＡは、揮発性が大で、引火点（密閉式の場合には１１．７℃、開放式の場合には２１．１℃）が低いので取り扱いにくいという難点があるうえ、真空排気系は真空チャンバと真空ポンプとが直列接続されている関係上、真空チャンバに混入した異物や液体が真空ポンプに混入して、ロックの要因となる問題点があった。
【０００４】
一方、ワークの洗浄装置としては特許文献２に開示されたものがある。  
すなわち、純水が貯溜された洗浄槽に対して、ワークを格納したバケットを浸漬し、揺動装置により所定の揺動動作をバケットに付与する一方、洗浄槽の底部には圧縮エアの圧力で上動する底板を設け、圧縮エア流入時に底板を上昇させて、該底板のフランジ部と洗浄槽下部の枠部との間に排出口を形成し、この排出口から洗浄槽内の純水を流入させ、この流出速度によってワークを洗浄するものである。
【０００５】
しかしながら、この従来装置においては、圧縮エアで、純水が貯溜された洗浄槽底部の底板を押し上げる必要があるため、底板の上下ストローク分だけ洗浄槽の有効スペースが縮小するうえ、圧縮エアは単に排出口を形成するために寄与するのみで、排出のために純水を加圧するものではないので、純水の排出速度は洗浄槽内の純水の自重によるものとなり、充分急速な排水速度が得られない問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１４８２０号公報
【特許文献２】特開２００８−１６６４６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、この発明は乾燥槽と真空ポンプとを結ぶ真空ラインに分岐接続された真空容器と、乾燥槽に大気開放弁からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口とを備え、乾燥槽内を真空にした後に、大気開放弁から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥することで、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けて、該ワークを効率よく乾燥することができるワークの乾燥装置の提供を目的とする。
【０００８】
この発明は、また、洗浄槽に接続した排液ライン開閉弁および真空容器を介設し、真空容器内を真空にし、開閉弁の開時に洗浄槽内の洗浄液を急速排出することで、ワークを洗浄すべく構成し、洗浄槽の水頭と真空圧との合計圧力により洗浄液の急速排液が可能となり、この排液速度によりワークに付着した付着物を除去することができるワークの洗浄乾燥装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明によるワークの乾燥装置は、洗浄後のワークを収納して該ワークを乾燥させる乾燥槽を備えたワークの乾燥装置であって、上記乾燥槽内を真空にする真空ポンプと、上記乾燥槽と真空ポンプとを結ぶ真空ラインに分岐接続された真空容器と、上記乾燥槽に大気開放弁からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口とを備え、上記乾燥槽内を真空にした後、大気開放弁から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させるものである。  
上記構成によれば、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気流入口からの大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けるので、ワークの向きの如何にかかわらず、該ワークを効率よく乾燥することができる。
【００１０】
また、上述の真空容器は真空ラインに分岐接続したものであるから、洗浄後に残余する異物や液体によって真空ポンプがロックすることなく、真空容器に入った異物、液体はドレンから直接排出することができる。  
さらに、ＩＰＡを用いるものに対して、取り扱い易く、ランニングコストも安価となる。
【００１１】
この発明の一実施態様においては、上記乾燥槽には、該乾燥槽内を加熱する加熱手段が設けられたものである。  
上述の加熱手段は、乾燥槽外壁に設けた保温ヒータで構成してもよい。  
上記構成によれば、加熱手段で、乾燥槽内のワークを加熱するので、洗浄後のワークに残余する付着物の付着力が弱まり、該付着物がより一層除去しやすくなり、特に、真空乾燥時には低温で水分を蒸発させることができるので、乾燥効率のさらなる向上を図ることができる。
【００１２】
この発明の一実施態様においては、上記乾燥槽に対して熱風を循環させる熱風循環手段を備えたものである。  
上記構成によれば、乾燥槽内のワークに対して熱風が循環して吹き付けられるので、ワークの乾燥がさらに良好となる。
【００１３】
この発明の一実施態様においては、上記熱風循環手段の乾燥槽下流に設けられ吸引した風を大気に排気して、乾燥槽内の湿度を下げるブロアを備えたものである。  
上記構成によれば、ブロアからの排気により乾燥槽内の湿度を下げることができるので、ワークの乾燥性能をより一層向上させることができる。
【００１４】
この発明の一実施態様においては、バスケットに収納されたワークを洗浄液中に浸漬し、該ワークを洗浄する洗浄槽と、上記バスケットを揺動させる揺動装置と、上記洗浄槽に設けられた複数の超音波振動子と、上記洗浄槽に接続された排液ラインと、該排液ラインに介設された真空容器と、上記排液ラインの真空容器上流に設けられた開閉弁とを備え、上記真空容器内を上記真空ポンプで真空にし、上記開閉弁の開時に上記洗浄槽内の洗浄液を急速排液することで上記ワークを洗浄するものである。  
上記構成のワークの洗浄乾燥装置によれば、洗浄槽の水頭と真空圧との合計圧力により洗浄液の急速排液が可能となり、この排液速度によりワークに付着した付着物を除去し、該ワークを洗浄することができる。
【００１５】
また、バスケットを揺動させる揺動装置と、複数の超音波振動子による超音波振動との相乗効果で、ワークに付着した付着物の除去性能向上を図ることができる。  
なお、上述の洗浄液としては、純水または純水に対して数パーセントのＩＰＡを混入したもの、または他の洗浄液を用いることができるが、何れにしても電気を通す洗浄液が好ましい。これは、ワークから液が抜ける時、摩擦によってワークが帯電して、付着物がワークに残るのを防止するためである。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、乾燥槽と真空ポンプとを結ぶ真空ラインに分岐接続された真空容器と、乾燥槽に大気開放弁からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口とを備え、乾燥槽内を真空にした後に、大気開放弁から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥するので、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けて、該ワークを効率よく乾燥することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のワークの洗浄乾燥装置を示す系統図
【図２】リッド開閉機構を示す斜視図
【図３】ワークの洗浄乾燥装置の他の実施例を示す系統図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けて、該ワークを効率よく乾燥するという目的を、洗浄後のワークを収納して該ワークを乾燥させる乾燥槽を備えたワークの乾燥装置において、上記乾燥槽内を真空にする真空ポンプと、上記乾燥槽と真空ポンプとを結ぶ真空ラインに分岐接続された真空容器と、上記乾燥槽に大気開放弁からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口とを備え、上記乾燥槽内を真空にした後、大気開放弁から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させる、という構成にて実現した。
【実施例】
【００１９】
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。  
図面はワークの乾燥装置およびワークの洗浄乾燥装置を示すが、以下の実施例においては、硬度が高い粉体を送給する配管系路のＴ字管やエルボパイプ（以下、単にエルボと略記する）をメンテナンス時に分解し、分解したＴ字管やエルボなどのワーク（パイプ部材）の内外（主として管内部）に付着した粉体を除去するために、該ワークを洗浄乾燥するワークの洗浄乾燥装置について例示する。
【００２０】
図１はワーク（Ｔ字管、エルボなど）の洗浄乾燥装置を示し、この装置は図示左側の洗浄装置１０と、図示右側の乾燥装置４０と、を備えている。  
洗浄装置１０は洗浄液の一例としての洗浄水ａを貯溜した洗浄槽としての洗浄タンク１１と、この洗浄タンク１１の底部と分離槽１２との間を接続する排水ライン１３（排液ライン）と、を備え、該排水ライン１３には真空容器としての真空チャンバ１４を介設している。
【００２１】
また、真空チャンバ１４上流の排水ライン１３には、開閉速度が速いエアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ２を介設すると共に、真空チャンバ１４下流の排水ライン１３には、同様にエアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ３を介設している。
【００２２】
さらに、上述の真空チャンバ１４は真空吸引ライン１５，１６を介して真空ポンプ１７に接続されており、この真空ポンプ１７の駆動時に、真空チャンバ１４内を真空にして、真空チャンバ１４内に吸引エネルギを蓄えるように構成している。  
ここで、上述の真空吸引ライン１５には、エアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ１を介設する一方、真空ポンプ１７には、該真空ポンプ１７冷却用の冷却配管１８と、排気ライン１９とが設けられている。
【００２３】
また、上述の分離槽１２はワーク洗浄後の排水を貯溜して、ワークから分離した粉体ｂを洗浄水ａから比重分離するためのもので、この分離槽１２内には複数の仕切り板２０…を備えている。なお、図面では図示の便宜上、この分離槽１２を小さく図示しているが、実際は洗浄タンク１１に貯溜した洗浄水ａの全量に対応した容積を有するように構成される。  
上述の洗浄タンク１１は上部開放構造に形成されており、該洗浄タンク１１内にはワーク（図示せず）を収納したバスケット２１を揺動するための揺動装置２２が設けられている。
【００２４】
この揺動装置２２は、回転部２３の回転時に、リンク２４，２５を操作し、支軸２６を支点としてバスケット受け板２７を揺動させるクランク機構によって構成している。このバスケット受け板２７はメッシュ構造とすることが好ましい。  
上述の洗浄水ａとしては、純水または純水に対して数パーセントＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を混入したものを用いるが、何れにしても電気を通す洗浄水を用いる。また、純水を主成分とする洗浄水ａ以外に他の洗浄液を用いてもよい。
【００２５】
洗浄水ａを洗浄タンク１１に供給するため、該洗浄タンク１１の上部には給水ライン２８を接続しており、この給水ライン２８にはモータバルブから成る開閉弁としてのバルブ２９を介設している。  
また、洗浄タンク１１の外壁部には複数、この実施例では４個の超音波振動子３０…を設けている。これら超音波振動子３０はそれぞれ異なる位置に設けられており、各超音波振動子３０から放射される超音波が可及的干渉しないように構成すると共に、複数の超音波振動子３０を設けることで、ワット密度［ｌ／ｗ］の向上を図っている。
【００２６】
上述の振動装置２２は、バスケット２１内にアトランダムに収納されたＴ字管やエルボなどのワークの管内に超音波を全面的に当てるため、バスケット２１を介してワークを揺らすための装置であり、ワーク同士の過度の接触でワークが傷付くことを回避する目的で、揺動速度は低速に設定される。
【００２７】
乾燥装置４０の構成について説明する前に、洗浄装置１０によるワークの洗浄について説明する。  
まず、洗浄タンク１１の洗浄水ａ中にバスケット２１に収納したワークを浸漬させる。なお、バスケット２１はその底部および４辺の側部が約５メッシュに設定され、上部が開放したものである。因に、パンチングメタルでバスケット２１を構成すると、開口率が低いので超音波による効果が得られない。
【００２８】
洗浄水ａ中に浸漬したワーク（Ｔ字管、エルボ）を揺動装置２２で揺らしながら、４方向から超音波を放射し、ワット密度の高い状態でワークの管内に超音波を可及的全面に当てると、ワークに付着した粉体が剥がれる。この洗浄中はバルブＶ２，Ｖ３は閉弁状態とする。
【００２９】
次に、洗浄タンク１１内の洗浄水ａを真空チャンバ１４に急速に排水し、この排水時の水流にてワークを洗浄するが、この場合、まずバルブＶ１を開弁（オープン）して、真空ポンプ１７の駆動により、真空チャンバ１４内を真空にし、該真空チャンバ１４内に吸引エネルギを蓄える。  
次に、バルブＶ１を閉弁（クローズ）した後、排水ライン１３の各バルブＶ２，Ｖ３を開弁（オープン）すると、洗浄タンク１１の水頭と真空チャンバ１４内の真空圧との合計圧力により洗浄水ａは排水ライン１３を通って急速排水され、この水流によりワークを洗浄する。つまり、剥がした粉体ｂをＴ字管やエルボから高水流にて除去する。この急速排水中においてバスケット２１を揺動させると、粉体除去効率がさらに向上する。  
ここで、洗浄水は通電性を有するので、ワークから洗浄水が抜ける時、摩擦によってワークが帯電して付着物がワークに残るのを防止することができる。
【００３０】
上述のワーク浸漬から洗浄水の急速排水までを１サイクルとし、このサイクルを必要に応じて数回（例えば、３回）繰り返す。なお、必要に応じて洗浄タンク１１の洗浄水液面を図示しない加圧手段によりエア加圧すると、排水速度のさらなる向上を図ることができる。
【００３１】
次に、図１、図２を参照して洗浄後のワークを乾燥処理する乾燥装置４０の構成について説明する。洗浄後のワークには粉体ｂおよび若干の洗浄水ａが残余しているので、これを除去および乾燥する必要がある。  
この乾燥装置４０は、ワークを乾燥させる乾燥槽としての乾燥タンク４１を備えており、この乾燥タンク４１内部の上下方向中間部には、中央開口構造の仕切り板４２を設け、この仕切り板４２上に上述のバスケット２１をその内部のワークと共に載置するように構成している。
【００３２】
上述の乾燥タンク４１の仕切り板４２より下部と連通するように、真空ラインとしての真空吸引ライン４３を設け、この真空吸引ライン４３は前述の真空吸引ライン１６を介して真空ポンプ１７に接続されている。そして、上記真空吸引ライン４３には、エアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ６，Ｖ４を介設し、これら両バルブＶ６，Ｖ４を開弁時に真空ポンプ１７により乾燥タンク４１内を真空にすべく構成している。  
乾燥タンク４１と真空ポンプ１７とを結ぶ真空吸引ライン４３，１６、詳しくはバルブＶ６，Ｖ４間の分岐点４４には分岐ライン４５を接続し、この分岐ライン４５には真空容器としての真空チャンバ４６を介設している。
【００３３】
また、この真空チャンバ４６上流の分岐ライン４５には、エアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ５を介設する一方、真空チャンバ４６下流の分岐ライン４５には、同様にエアバルブから成る開閉弁としてのバルブ４７（ドレンバルブ）を設けている。
【００３４】
さらに、上述の乾燥タンク４１の仕切り板４２より上部と連通するように、複数の異なる位置に大気流入口４８，４９，５０を形成している。  
これらの各大気流入口４８，４９，５０は、乾燥タンク４１にエアバルブから成る大気開放弁としてのバルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９からの大気を異なる方向から流入するためのものであり、これら各バルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９の上流側にはそれぞれフィルタ５１，５２，５３を設けている。
【００３５】
而して、この乾燥装置４０は、真空ポンプ１７で乾燥タンク４１内に真空にした後、大気開放弁としてのバルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥すべく構成したものである。
【００３６】
この実施例では、大気流入口４８，４９，５０の開口数量を３つとしたが、この開口数量は４以上の多数であってもよいことは勿論である。  
上述の乾燥タンク４１は上部開放形の有底角筒状に形成されており、タンク外壁にはその内部を加熱する加熱手段としての保温ヒータ５４が設けられている。
【００３７】
この保温ヒータ５４は、乾燥タンク４１内のワークを加熱し、洗浄後のワークに残余する付着物（粉体ｂ）の付着力を弱め、付着物をより一層除去しやすく成し、特に、後述する真空乾燥時には低温（例えば、約６０℃）で水分を蒸発させることができるので、乾燥効率のさらなる向上を図ることができるものである。
【００３８】
また、上述の乾燥タンク４１の上部には熱風のインレットポート５５を形成し、乾燥タンク４１の下部、この実施例では底部中央には、熱風のアウトレットポート５６を形成している。  
上述のインレットポート５５とアウトレットポート５６との間には、乾燥タンク４１に対して熱風を循環させる熱風循環手段としての熱風循環経路５７を接続している。
【００３９】
この熱風循環経路５７は、熱風発生機５８で発生した所定温度の熱風を循環させるもので、熱風発生機５８の熱風供給ライン５９にフィルタ６０を介設し、フィルタ６０下流とインレットポート５５とを結ぶ上流側熱風ライン６１と、アウトレットポート５６とフィルタ６０下流とを結ぶ下流側熱風ライン６２と、を乾燥タンク４１内を介して閉ループ状に接続したものである。
【００４０】
上述の下流側熱風ライン６２には、フィルタ６３を介設し、このフィルタ６３とアウトレットポート５６との間には、エアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ１０を介設し、フィルタ６３と別のフィルタ６０の下流との間には、同様にエアバルブから成る開閉弁としてのバルブＶ１１を介設している。  
つまり、熱風発生機５８からの熱風が、各要素６１，５５，５６，Ｖ１０，６３，６２，Ｖ１１の順に循環するように形成している。
【００４１】
このように構成した熱風循環経路５７により、乾燥タンク４１内のワークに対して熱風を循環させながら吹き付けることで、ワークの乾燥をさらに向上させるものである。  
上述のバルブＶ１１の上流、換言すれば、熱風循環経路５７における乾燥タンク４１下流の熱風ライン６２には、該ライン６２から吸引した風を大気に排気して、乾燥タンク４１の湿度を下げるブロア６４を設け、ブロア６４の吐出側はダンパ６５を介して大気に開放している。
【００４２】
また、上記各要素６４，６５間と、各要素５８，６０間とをバイパスライン６６で接続し、このバイパスライン６６にはダンパ６７を介設している。  
さらに、上述の熱風発生機５８の上流側にはダンパ６８とフィルタ６９とをこの順に接続している。ここで、上述の各ダンパ６５，６７，６８は対応するラインの流量をコントロールするものである。
【００４３】
ところで、上述の乾燥タンク４１の上部は開放構造に形成されていて、洗浄タンク１１側のバスケット２１を該乾燥タンク４１内において仕切り板４２に上載し、乾燥処理後においてバスケット２１を乾燥タンク４１から取出すことができるように構成している。  
しかも、必要時には乾燥タンク４１上部を閉塞するので、該乾燥タンク４１は開閉可能なリッド７０を備えている。
【００４４】
このリッド７０の開閉機構７１は図１、図２に示すように構成している。  
すなわち、平板状のスライダ７２を設け、このスライダ７２の下部両サイドにアッパレール７３，７３を固定すると共に、アッパレール７３に設けたローラ７４が一対のロアレール７５，７５に沿って移動できるように構成している。
【００４５】
上述のスライダ７２はシリンダ７６により駆動される。また、スライダ７２には複数のシリンダ７７を取付け、これらシリンダ７７のピストンロッド７８を上述のリッド７０に固定し、シリンダ７６のピストンロッドでスライダ７２を乾燥タンク４１の上部開口と対応する位置まで前進させた後に、シリンダ７７のピストンロッド７８を下方に向けて突出させると、リッド７０で乾燥タンク４１の上部開口を気密状に閉塞すべく構成している。  
なお、乾燥タンク４１の上部開口を形成するフランジ部と、リッド７０の下面との間には、リッド７０閉時の気密性を保持するために、Ｏリング等のシール部材が介設されるように形成している。
【００４６】
次に、乾燥装置４０によるワークの乾燥処理について説明する。  
まず、リッド７０の閉成条件下において、乾燥タンク４１内の空気を真空吸引し、異なる複数方向に設けた大気流入口４８，４９，５０から大気（外気）を流入して、エアブローする。この場合、バルブＶ４，Ｖ５を開弁（オープン）し、バルブＶ６を閉弁（クローズ）した状態で、真空ポンプ１７を駆動して、真空チャンバ４６を真空にする。
【００４７】
次に、バルブＶ４を閉弁（クローズ）し、バルブＶ５，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９を開弁（オープン）すると、真空チャンバ４６内の真空圧と、バルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９開による大気圧との圧力差により、大気流入口４８，４９，５０のそれぞれ異なる方向からワークにエアが吹き付けられ、このエアは仕切り板４２により必ず仕切り板４２の下方空間を通って分岐ライン４５に流れるので、Ｔ字管、エルボなどのワークがバスケット２１内にアトランダムに収納され、その向きが無秩序であっても、ワークを効率よく乾燥することができる。  
このエアブロー時に保温ヒータ５４に通電し、ワークを加熱すると、粉体ｂ等の付着力が弱まるので、付着物がより一層除去しやすくなる。
【００４８】
エアブローに代えて、真空乾燥を実行する場合には、真空チャンバ４６を介することなく、真空ポンプ１７で直接乾燥タンク４１内を真空にする。つまり、各バルブＶ５，Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９を閉弁（クローズ）し、バルブＶ６，Ｖ４を開弁（オープン）し、真空ポンプ１７を駆動すると、乾燥タンク４１内が真空になる。この場合、保温ヒータ５４で該乾燥タンク４１内を約６０℃に加熱保温すると、水分が蒸発するので、乾燥効率の向上と、乾燥時間の短縮との両立を図ることができる。  
上述のエアブロー処理によるワーク乾燥後には、熱風循環によるワークの乾燥を実行する。
【００４９】
この場合、バルブＶ５，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９を閉弁（クローズ）し、バルブＶ１０，Ｖ１１を開弁（オープン）すると共に、熱風発生機５８およびブロア６４を駆動する。  
熱風発生機５８を駆動すると、該熱風発生機５８で発生した熱風が上流側熱風ライン６１を通ってインレットポート５５から乾燥タンク４１内に供給されるので、ワークの乾燥がさらに向上し、ワーク乾燥後の風はアウトレットポート５６、バルブＶ１０、フィルタ６３、下流側熱風ライン６２、バルブＶ１１を介して再び上流側熱風ライン６１に供給される。つまり、熱風発生機５８を駆動源（熱風源）として熱風が循環し、この循環する熱風によりワークを適切かつ迅速に乾燥することができる。
【００５０】
しかも、熱風発生料５８と共にブロア６４を駆動するので、下流側熱風ライン６１から吸引した風の一部を大気に排気して、乾燥タンク４１内に湿度を下げることができるので、ワークの乾燥性能をより一層向上させることができる。  
上述のエアブローによるワーク乾燥と熱風乾燥までの一連の処理を１サイクルとし、このサイクルを必要に応じて数回（例えば、３回）繰返す。なお、エアブローによる乾燥処理と熱風循環による乾燥処理とはこの順序を逆にしてもよい。
【００５１】
ここで、エアブローによるワーク乾燥時において、真空容器としての真空チャンバ４６に入った異物および液体は、該真空チャンバ４６に接続したドライ圧縮エア供給ライン７９からドライ圧縮エアを供給することで、ドレン用のバルブ４７から直接排出することができる。
【００５２】
図３はワークの乾燥装置の他の実施例を示し、乾燥タンク４１内の仕切り板４２上部にターンテーブル８０を設けたもので、エアブロー時、真空乾燥時、熱風循環による乾燥時に、ターンテーブル８０を駆動すると、バスケット２１およびその内部のワークの向きが連続して可変されるので、より一層良好な乾燥効果を達成することができる。  
つまり、バスケット２１内においてＴ字管、エルボの向きがアトランダムであっても、ターンテーブル８０の回転により、エアブロー、真空吸引力、熱風が管内部に作用するので、これらワークの乾燥効率をさらに向上させることができる。
【００５３】
このように、上記実施例のワークの乾燥装置は、洗浄後のワークを収納して該ワークを乾燥させる乾燥タンク４１を備えたワークの乾燥装置４０であって、上記乾燥タンク４１内を真空にする真空ポンプ１７と、上記乾燥タンク４１と真空ポンプ１７とを結ぶ真空吸引ライン４３に分岐接続された真空チャンバ４６と、上記乾燥タンク４１に大気開放弁（バルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９参照）からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口（４８，４９，５０）とを備え、上記乾燥タンク４１内を真空にした後、大気開放弁（バルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９）から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させるものである。  
この構成によれば、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気流入口４８，４９，５０からの大気を異なる方向（望ましくは多方向）かつ複数方向からワークに吹き付けるので、ワークの向きの如何にかかわらず、該ワークを効率よく乾燥することができる。
【００５４】
また、上述の真空チャンバ４６は真空吸引ライン４３に分岐接続したものであるから、洗浄後に残余する異物や液体によって真空ポンプ１７がロックすることなく、真空チャンバ４６に入った異物、液体はドレン（ドレン用のバルブ４７参照）から直接排出することができる。  
さらに、ＩＰＡを用いるものに対して、取り扱い易く、ランニングコストも安価となる。
【００５５】
さらに、上記乾燥タンク４１には、該乾燥タンク４１内を加熱する加熱手段（保温ヒータ５４参照）が設けられたものである。  
この構成によれば、加熱手段（保温ヒータ５４）で、乾燥タンク４１内のワークを加熱するので、洗浄後のワークに残余する付着物の付着力が弱まり、該付着物がより一層除去しやすくなり、特に、真空乾燥時には低温で水分を蒸発させることができるので、乾燥効率のさらなる向上と、乾燥時間の短縮との両立を図ることができる。
【００５６】
また、上記乾燥タンク４１に対して６０〜１００℃の熱風を循環させる熱風循環手段（熱風循環経路５７参照）を備えたものである。  
この構成によれば、乾燥タンク４１内のワークに対して熱風が循環して吹き付けられるので、ワークの乾燥がさらに良好となる。
【００５７】
さらに、上記熱風循環手段（熱風循環経路５７）の乾燥タンク４１下流に設けられ吸引した風を大気に排気して、乾燥タンク４１内の湿度を下げるブロア６４を備えたものである。  
この構成によれば、ブロア６４からの排気により乾燥タンク４１内の湿度を下げることができるので、ワークの乾燥性能をより一層向上させることができる。
【００５８】
加えて、上記実施例のワークの洗浄乾燥装置は、バスケット２１に収納されたワークを洗浄水中（洗浄液中）に浸漬し、該ワークを洗浄する洗浄タンク１１と、上記バスケット２１を揺動させる揺動装置２２と、上記洗浄タンク１１に設けられた複数の超音波振動子３０と、上記洗浄タンク１１に接続された排水ライン１３（排液ライン）と、該排水ライン１３に介設された真空チャンバ１４と、上記排水ライン１３の真空チャンバ１４上流に設けられた開閉弁（バルブＶ２参照）とを備え、上記真空チャンバ１４内を上記真空ポンプ１７で真空にし、上記開閉弁（バルブＶ２）の開時に上記洗浄タンク１１内の洗浄水ａを急速排水（急速排液）することで上記ワークを洗浄するものである。  
この構成のワークの洗浄乾燥装置によれば、洗浄タンク１１の水頭と真空圧との合計圧力により洗浄水の急速排水が可能となり、この排水速度によりワークに付着した付着物を除去し、該ワークを洗浄することができる。
【００５９】
また、バスケット２１を揺動させる揺動装置２２と、複数の超音波振動子３０による超音波振動との相乗効果で、ワークに付着した付着物の除去性能向上を図ることができる。  
上述の洗浄水としては、純水または純水に対して数パーセントのＩＰＡを混入したものを用いることができるが、何れにしても電気を通す洗浄水が好ましい。これは、ワークから液が抜ける時、摩擦によってワークが帯電して、付着物がワークに残るのを防止するためである。また上記洗浄水以外に他の洗浄液を用いてもよい。
【００６０】
この発明の構成と、上述の実施例との対応において、  
この発明の乾燥槽は、実施例の乾燥タンク４１に対応し、  
以下同様に、  
真空ラインは、真空吸引ライン４３に対応し、  
真空容器は、真空チャンバ４６に対応し、  
大気開放弁は、バルブＶ７，Ｖ８，Ｖ９に対応し、  
加熱手段は、保温ヒータ５４に対応し、  
熱風循環手段は、熱風循環経路５７に対応し、  
洗浄槽は、洗浄タンク１１に対応し、  
真空容器は、真空チャンバ１４に対応し、  
開閉弁は、バルブＶ２に対応し、  
排液ラインは、排水ライン１３に対応し、  
洗浄液は、洗浄水ａに対応するも、  
この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではない。  
例えば、ワークとしては粉体送給用のＴ字管やエルボを例示したが、これ以外のワークであってもよい。また、大気流入口４８，４９，５０の数量を４以上と成してもよく、大気流入口４８，４９，５０の指向方向や上下左右位置をメカ的に変更する構成を付加し、ワークの向きの如何にかかわらずＴ字管、エルボ等のパイプ内部にエアブロー、真空圧、熱風がより一層良好に作用すべく構成してもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１１…洗浄タンク（洗浄槽）
１３…排水ライン（排液ライン）
１４，４６…真空チャンバ（真空容器）
１７…真空ポンプ
２１…バスケット
２２…揺動装置
３０…超音波振動子
４１…乾燥タンク（乾燥槽）
４３…真空吸引ライン（真空ライン）
４８，４９，５０…大気流入口
５４…保温ヒータ（加熱手段）
５７…熱風循環経路（熱風循環手段）
６４…ブロア
Ｖ２…バルブ（開閉弁）
Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９…バルブ（大気開放弁）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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