(57)【要約】【課題】  移動体の移動に寄与しない振動波駆動装置において、移動体との接触による摩擦力の負荷によって起こる出力ロスを低減することである。【解決手段】  電気機械エネルギー変換素子を有する振動子と、前記振動子を支持する支持部材と、を有し、前記振動子に振動を励起して、摩擦力によって前記振動子と接触する移動体を移動させる振動波駆動装置において、前記振動子が、前記振動子と前記移動体とが接触する面と平行な平面内で、前記振動子の駆動する第１の方向と交差する第２の方向に移動可能な移動機構を有する。【選択図】  図１
2012044832.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械エネルギー変換素子を有する振動子と、
前記振動子を支持する支持部材と、を有し、
前記振動子に振動を励起して、摩擦力によって前記振動子と接触する移動体を
移動させる振動波駆動装置において、
前記振動子が、前記振動子と前記移動体とが接触する面と平行な平面内で、
前記振動子の駆動する第１の方向と交差する第２の方向に移動可能な移動機構を有することを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項２】
前記振動子が移動可能な機構が、
前記振動子の移動方向を規制するガイド部材を含むことを特徴とする
請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項３】
前記振動子が移動可能な機構が、
弾性部材を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の振動波駆動装置。
【請求項４】
前記弾性部材のバネ剛性が、
前記振動子の前記第１の方向のバネ剛性よりも、
前記第２の方向のバネ剛性が小さいことを特徴とする
請求項３に記載の振動波駆動装置。
【請求項５】
前記弾性部材が板部を含むことを特徴とする
請求項４に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】
前記板部の板厚方向が前記第２の方向であることを特徴とする
請求項５に記載の振動波駆動装置。
【請求項７】
前記振動子が移動可能な機構は、前記板部が前記第１の方向に複数並んだ構成を含むことを特徴とする請求項６に記載の振動波駆動装置。
【請求項８】
前記板部が前記第２の方向に複数並んだ構成を含むことを特徴とする
請求項６に記載の振動波駆動装置。
【請求項９】
前記振動子を複数有し、
前記複数の振動子の変位または駆動力を合成することにより、
前記複数の振動子に接触させた移動体を移動させることを特徴とする
請求項１から８のいずれか１項に記載の振動波駆動装置。
【請求項１０】
前記複数の振動子が、駆動方向が異なる振動子を含むことを特徴とする
請求項９に記載の振動波駆動装置。
【請求項１１】
前記複数の振動子が、駆動方向が直交している振動子を含むことを特徴とする
請求項１０に記載の振動波駆動装置。
【請求項１２】
前記振動子と前記移動体の、前記第２の方向の
相対移動量を制限する制限機構を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動波駆動装置
【請求項１３】
請求項１から１２に記載の振動波駆動装置と、光学レンズまたは撮像素子と、制御手段と、電源とを含む画像振れ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波駆動装置及びこれを用いた画像振れ補正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動子に振動を励起し、これに加圧接触された移動体を移動する振動波駆動装置が数多く提案されている。これらは特に精密な動作が求められる光学機器において、重要な機能部品として位置付けられている。その中に、直動型（直線状に移動体を移動可能な型式）の振動波駆動装置を複数配して駆動を組み合わせ、移動体の２次元方向への移動を可能にして、画像触れ補正装置として用いるものがある（特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
しかしこれらの複数の振動波駆動装置による駆動を組み合わせる方法には、以下の解決すべき重要な課題がある。
例えば移動体の移動方向によっては、この移動体の移動方向と、複数の振動波駆動装置のうち、いずれかの振動波駆動装置の駆動方向とが直交、又は直交に近い角度で交差する場合がある。この場合には、この移動方向と直交、又は直交に近い角度で交差する振動波駆動装置は駆動に寄与できないばかりか、移動体と振動波駆動装置の接触による摩擦力が移動体の移動の負荷となり、エネルギー的に損失を生じるため、出力ロスとなる。そして例えば画像振れ補正装置の駆動装置として使用する場合には、画像振れ補正装置の特性低下を引き起こしてしまう。
【０００４】
このような課題に対して、先の特許文献１及び特許文献２では、移動体との加圧方向の振動を励起し、摩擦力を減らして出力ロスを低減するという構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０３１３５３号公報
【特許文献２】特許第０３９１１９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述した振動波駆動装置や画像振れ補正装置での出力ロスの低減手段では、出力ロスの低減効果はあるが、移動体の移動に寄与しない振動波駆動装置に、振動を励起するために電気エネルギーが必要となり、これによる消費電力が大きくなる。また、移動体との加圧方向の振動の大きさも一定以上に大きくしないと出力ロスを効果的に抑制することができ困難である。このため、一定値以上の大きな振幅の振動を発生させる必要があり、消費電力も大きくなるという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、消費電力を大きくせずに先の出力ロスを小さくできる振動波駆動装置及び画像振れ補正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の請求項１に記載の振動波駆動装置の第１の構成は、電気機械エネルギー変換素子を有する振動子と、前記振動子を支持する支持部材を有し、前記振動子に振動を励起して、摩擦力によって前記振動子と接触する移動体を移動させる振動波駆動装置において、前記振動子と前記移動体とが接触する面と平行な平面内で、前記振動子の駆動する第１の方向と交差する第２の方向に、前記振動子が移動する機構を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、振動子が駆動方向と異なる方向に力が働いた場合に、当該力が働いた方向に移動する機構を有することで、振動波駆動装置及び画像振れ補正装置の、消費電力を大きくすることなく、出力ロスを小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施例の振動波駆動装置の斜視図
【図２】第１の実施例の移動体５と振動波駆動装置６の配置を示す図
【図３】第１の実施例に係る撮像装置としてのカメラの断面図
【図４】振動子の振動モード
【図５】第２の実施例に係る振動波駆動装置の斜視図
【図６】第３の実施例に係る振動波駆動装置の斜視図
【図７】第４の実施例に係る振動波駆動装置の斜視図
【図８】第５の実施例に係る振動波駆動装置の斜視図
【図９】第６の実施例に係る振動波駆動装置の斜視図
【図１０】実施例８に係る振動波駆動装置の斜視図
【図１１】実施例８に係る振動波駆動装置の斜視図
【図１２】第７の実施例の移動体５と振動波駆動装置６の配置を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態について説明する。
本発明は、電気機械エネルギー変換素子を有する振動子と、前記振動子を支持する支持部材と、を有し、前記振動子に振動を励起して、摩擦力によって前記振動子と接触する移動体を移動させる振動波駆動装置において、前記振動子が、前記振動子と前記移動体とが接触する面と平行な平面内で、前記振動子の駆動する第１の方向と交差する第２の方向に移動可能な移動機構を有するものである。
【００１２】
本発明において、「振動子と移動体とが接触する面」とは、振動子と振動体とが接触する複数の接触点を含む仮想的な平面を意味する。そして「振動子と移動体とが接触する面と平行な平面」とは前記した仮想的な「振動子と移動体とが接触する面」と平行な仮想的な平面を意味しており、無数に存在する。これらの平面は、本発明の移動機構の移動方向を規定するための方向である、第１の方向と第２の方向とを明確に把握するために規定する平面である。本発明において、前記第１の方向とは、前記振動子が移動体を移動させる方向であり、駆動方向ともいう。また本発明の前記第２の方向とは本発明の移動機構により移動可能な方向であり、「かわし方向」ともいい、本来の移動体の移動方向と交差する方向に力が作用した場合に当該力に抗することなく移動する（かわす）方向を意味する。そして本発明の移動機構は、上記構成によって規定される第２の方向に移動可能であることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明において振動子を選択的に第２の方向に移動可能とする（第１の方向には実質的に移動しない）構成としては、第２の方向のみに移動可能なガイド部材を設けることにより実現できる。さらに、振動子を弾性部材（典型的にはバネ部材）で支持しておき、当該弾性部材を特定の方向のみ変位しやすい構成とすることによっても実現できる。
【００１４】
本発明において「第１の方向と交差する第２の方向」が存在する状態とは、第１の方向である移動方向とは異なる方向の成分が存在している（第１の方向とは異なる方向に移動する力が生じている）状態を意味する。このように移動方向とは異なる方向に移動する力が働いている状態は、前述したように出力ロスの原因となる。第１の方向と第２の方向との交差する角度は典型的には９０°の時が最も出力ロスを生じる可能性が高いが、わずかでも交差していれば、その交差角度に応じた出力ロスが発生し得る。
【００１５】
本発明の振動子は、振動板（振動体ともいう）と、電気機械エネルギー変換素子（代表的には圧電セラミックス）と、から構成され、電気機械エネルギー変換素子に所定の電界を印加することにより、所望の振動を励振させることができる。
【００１６】
本発明において直動型振動波駆動装置とは、直線状に駆動可能な振動波駆動装置を意味しており、リニア型振動波駆動装置ともいう。そして単体では、移動体（被駆動体ともいう）を直線的に移動させる構成となるが、複数の直動型の振動波駆動装置を組み合わせることで、移動体を所望の方向に移動させることができる。
【００１７】
以下に実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの記載によって何ら限定されるものではない。また、各実施例における「方向」は全て、「振動子と移動体とが接触する面と平行な平面」内の方向を意味する。
【実施例１】
【００１８】
図３は、本発明の第１の実施例に係る撮像装置としてのカメラの断面図である。そして図３のカメラは、動画及び静止画の撮影機能を有する。１はレンズ鏡筒で、２はカメラボディである。３は、レンズ鏡筒１に内蔵された画像振れ補正装置３である。画像振れ補正装置３には、光学レンズ４と、光学レンズ４が保持された移動体５と、移動体５を移動させる振動波駆動装置６がある。
【００１９】
また、図３には示していないが、レンズ鏡筒１には、光学レンズ４以外の光学系、レンズ鏡筒１の振れを検出する加速度センサ、移動体の２次元の移動を検出するエンコーダが設けられる。さらに、振動波駆動装置６に電気エネルギーを供給する電源、加速度センサから出力される信号とエンコーダから出力される信号とを処理して電源を操作する制御方法を内蔵した制御部が設けられる。
【００２０】
カメラボディ２内には撮像素子７がある。被写体からの光が、レンズ鏡筒１内の光学レンズ４を含む光学系を透過し、カメラボディ２内の撮像素子７に入射する。加速度センサの信号に基づき、画像振れ補正装置６により光学レンズ４を移動させることで、画像の振れを補正する事が可能となっている。
【００２１】
図２は、撮像素子７側から見た移動体５と振動波駆動装置６の配置を示している。  移動体５は、耐摩耗性の高い熱処理されたステンレス鋼からなり、円環形状に加工されている。中心部には画像触れ補正用の光学レンズ４が保持されている。振動波駆動装置６は光路を妨げないように、光学レンズ４を径方向に避けて配置されている。周方向を等分割するように４つの振動波駆動装置６（６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ）が配置されている。
【００２２】
振動波駆動装置６は、直動の前進駆動及び後進駆動が可能になっており、各々の駆動方向を矢印８で示している。振動波駆動装置６Ａ及び６Ｃの駆動方向は図中のＸ方向となっており、振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄの駆動方向は図中のＹ方向となっている。これらは駆動方向が直交している配置となっている。これらの駆動を組み合わせる事で、移動体５の、ＸＹ平面内の２次元の移動が可能となっている。本実施例では、駆動方向が直交する振動波駆動装置６によって、移動体５の２次元の移動を可能としたが、駆動方向が、交差するように振動波駆動装置６を配置すれば、本実施例と同じく２次元の移動体５の移動が可能である。
【００２３】
図１は、本発明の振動波駆動装置６の斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。
９は矩形板形状の振動子である。振動子９は、二つの突起部１２を有する振動板１０と、振動板１０に固着された電気機械エネルギー変換素子である圧電セラミックス１１とで構成される。振動板１０には、梁部と振動子固定部１３がある。二つの突起部１２は振動子９の長手方向に並んで配置されている。
【００２４】
１４は振動子固定部１３と固着されているスリーブで、１５はレンズ鏡筒１に端部が固定されたバーである。スリーブ１４には穴が開いており、その穴をバー１５が貫通し、これらの組合せで、ガイド部材となっている。本発明におけるガイド部材とは特定の方向の移動を許容し、それ以外の方向への移動は拘束する部材のことをいう。振動子９がバー１５の長手方向に移動可能となっている。また、スリーブ１４とバー１５の接触面にはグリースが塗布されており、摺動抵抗は極めて小さくなっている。突起部１２の上面は移動体５に接触しており、バー１５が不図示のコイルバネによって、突起部１２が移動体５の方向に加圧されている。これによって、突起部１２と移動体５は加圧接触している。
【００２５】
圧電セラミックス１０に電源から交番電圧を印加し、振動子９に二つの振動モードの振動を励起する。図４の（ａ）と（ｂ）に二つの振動モードを示す。図４（ａ）の振動モードはＡモードともいう。また図４（ｂ）の振動モードはＢモードともいう。図４（ａ）に示す振動モードは、突起部１２の上面が、振動子９の長手方向（送り方向ともいう：図中Ｘ方向）に振動する振動モード（Ａモード）である。図４（ｂ）に示す振動モードは、突起部１２の上面が、移動体５との接触方向（突き上げ方向ともいう）に振動する振動モード（Ｂモード）である。これら二つの振動モードの振動を時間位相を略９０°で励起するように、交番電圧を設定している。ここで略９０°と記載した意味は、正確に９０°でなくても、必要な振動が合成させる範囲で許容するという意味である。以下本発明における「略〜」という表現は同様の意味である。これにより、突起部１２の上面は楕円軌跡で運動し、接触している移動体５を図４（ａ）中のＸの方向の一方向に移動させる。また、二つの振動モードの振動の位相差を略−９０°とすると、逆方向に移動体５を移動させられる。
【００２６】
これらの移動方向が、先に図２中の矢印８で示した振動波駆動装置６の駆動方向（Ｙ方向：第１の方向）となっている。
本実施例では、振動波駆動装置６が、駆動方向（第１の方向）に直交した方向（第２の方向）に、スリーブ１４とバー１５で構成されたガイド部材を有している。これにより、移動体５がＸ方向（第２の方向）に移動した際には、振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄは、移動体５の動きに伴ってＸ方向に移動する。そしてＸ方向への移動は何ら拘束されず抵抗も実質的に無視できる。このため、振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄから、移動体５に働くＸ方向の力をほぼゼロにでき、移動体５の移動を妨げず、出力ロスがほぼない。
【００２７】
本発明では、振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄに図４（ａ）の振動モード（Ａモード）の振動を励起する必要がなく、電気機械エネルギー変換素子１１に印加する電圧を小さくすることができる。このために消費されていた消費電力が削減できる。そして、電気機械エネルギー変換素子１１に印加する電圧をゼロにすると、最も消費電力の削減効果が大きくなる。
【００２８】
本実施例では、図２で、移動体５をＹ方向（第１の方向）に移動体を駆動する場合に、Ｘ方向（第２の方向）に移動体５を移動させる場合を述べた。同様に、移動体５をＸ方向（第１の方向）に駆動する場合にはＹ方向（第２の方向）に振動子を移動可能な機構を設けることによって本発明の効果を得ることができる。また、Ｘ方向とＹ方向とが９０°以外の角度で交差する場合、振動波駆動装置６（６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ）のいずれも、その駆動方向と移動体５の移動方向は交差するため、駆動方向と直交した方向の摩擦力成分が発生する。そのような場合でも、本発明によれば、移動体５と振動波駆動装置６の間の摩擦力による出力ロスを抑制することができる。
【００２９】
また、本実施例では、振動波駆動装置６のみを用いて、移動体の２次元の移動をさせているが、その一部を、接触を用いない電磁モータに置き換えても良い。例えば、１つの電磁モータと１つの振動波駆動装置６を、駆動方向が異なるように配置しても移動体５の２次元方向の移動を行うことができる。
【００３０】
また本発明の振動波駆動装置は、レンズ鏡筒１に画像振れ補正装置３を内臓した例を示したが、カメラボディ２に内蔵しても良いし、カメラボディ内の撮像素子を移動させるように構成しても、本実施例と同様の効果が得られる。また、振動子９の形状や振動モードも別のものであっても、本発明の効果は得られる。
【００３１】
ここで、本実施例にて先行技術を用いた場合の問題点について図２を用いて説明する。例えば、Ｘ方向（第２の方向）に画像が振れ、それを相殺するようにＸ方向に移動体５を移動させる場合には、振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄは、駆動方向がＹ方向に向いているため、駆動に寄与しない。また、移動体５と振動波駆動装置６Ｂ及び６Ｄは、加圧接触している為に、この間に摩擦力が生じ、移動体５がＸ方向に移動するのを阻害してしまう。この阻害の程度を緩和するために、図４（ａ）に示した突起部１２の上面が移動体５との接触方向に振動する振動モードの振動を励起していた。しかし、摩擦力を十分に低減するには、大きな振幅を起こす必要がある。そのために大きな振幅の振動を発生させる必要があり、消費電力が大きくなるという問題がある。
【実施例２】
【００３２】
図５（ａ）は、本発明の別の形態の振動波駆動装置を突起部１２側から見た斜視図である。図５（ｂ）は、振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。両図を用いて、説明する。
【００３３】
本実施例では、振動子と固定部の構成、及び振動子の保持構成が実施例１と異なる。ホルダ２０は、振動子９の固定部１３と結合しており、四角枠状の形状となっている。ホルダ２０には弾性部材であるバネ１７が取り付けられている。ホルダ２０は、振動子９とバネ１７の間の空間に、磁石１６を保持している。
【００３４】
バネ１７は、板金のプレスによって製造されていて、材料はステンレス鋼のバネ材である。但し、本発明に採用し得るバネはこの構成に限らない。バネ１７は、ホルダ２０に固定されている図中のＸ方向に伸びた部分と、そこから、図中のＺ方向に伸びた部分としてＹ変形バネ１８があり、その先に固定部１９がある。固定部１９が不図示のレンズ鏡筒１に固定されている。Ｙ変形バネ１８は板厚方向が図中のＹ方向となり、Ｙ方向（第２の方向）にはバネ剛性が小さく、Ｘ方向（第１の方向）にはバネ剛性が大きくなる。
【００３５】
不図示の磁性体である移動体５を、突起部１２に接触させると、磁石１６によって、振動子９と移動体５が加圧される。実施例１と同様に、圧電セラミックス１１に所定の交番電圧を印加すると、移動体５をＸ方向（第１の方向）に駆動することができる。移動体５が他のアクチュエータによってＹ方向（第２の方向）に移動される際には、Ｙ変形バネ部１８のＹ方向のバネ剛性が小さいので、ここがＹ方向に曲げ変形し、振動子９がＹ方向に移動する。この時、振動子９から移動体５に与えるＹ方向の力は、振動子９のＹ方向の移動量に、Ｙ変形バネ部１８のＹ方向のバネ剛性を乗じた量となる。Ｙ変形バネ部１８の板厚を薄くする、あるいは細くする、バネ剛性の小さいバネを使用するなどすれば、このバネ剛性を簡単に小さくでき、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力を小さくできる。また、振動波駆動装置の駆動方向のＸ方向には、Ｙ変形バネ部１８のバネ剛性が大きくなっているので、移動体５を力のロスが少なくＸ方向に駆動できる。実施例１では、ガイド部材を用いていたが、本実施例では板バネを用いており、より簡素な構造で本発明の効果が得られる。
【実施例３】
【００３６】
図６は、本発明の別の形態の振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。
【００３７】
本実施例は、バネ１７のＹ変形バネ１８が図中のＹ方向（第２の方向）に二つ並び、その先の固定部１９が２つある点で実施例２と異なる。２つの固定部１９は、不図示のレンズ鏡筒１に固定されている。この構成は、弾性的に、Ｙ方向（第２の方向）の平行クランク機構になっている。振動子９が移動体５からＹ方向の力を受けた際、振動子９には、ＸＺ平面内の回転運動が起こり難く、主にＹ方向に運動する。本実施例も実施例２と同様に、Ｙ変形バネ１８は板厚方向が図中のＹ方向（第２の方向）となっており、Ｙ方向にはバネ剛性が小さくなっている。これにより、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力を小さくできている。また、Ｘ方向（第１の方向）にはバネ剛性が大きくなっているので、移動体５を力のロスが少なくＸ方向に駆動できる。
【００３８】
さらに、別のアクチュエータの駆動によって移動体５がＹ方向に移動し、振動子９がＹ方向に移動した場合には、先の弾性的な平行クランク機構によって、振動子９はＸＺ平面内の回転運動が、起こり難くなっている。これによって、振動子９の突起部１２が移動体５に対しての傾き量が抑制され、突起部１２と移動体５との接触の安定化が可能となっている。
【実施例４】
【００３９】
図７（ａ）は、本発明の別の形態の振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図７（ｂ）は、振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。両図を用いて、説明する。
【００４０】
本実施例は、バネ１７のＹ変形バネ１８と固定部１９が、振動波駆動装置の駆動方向のＸ方向（第１の方向）を長手方向としている点で実施例２と異なる。Ｙ変形バネ１８の板厚方向は、実施例２と同じく、振動波駆動装置の駆動方向と直交した図中のＹ方向（第２の方向）となっている。
【００４１】
本実施例も実施例２と同様に、Ｙ変形バネ１８は板厚方向が図中のＹ方向となっており、Ｙ方向にはバネ剛性が小さくなっている。これにより、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力を小さくできている。また、Ｘ方向にはバネ剛性が大きくなっているので、移動体５を力のロスが少なくＸ方向に駆動できる。本実施例では、バネ１７がＸ方向を長手方向としているために、振動波駆動装置の低背化が可能となっている。
【実施例５】
【００４２】
図８（ａ）は、本発明の別の形態の振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図８（ｂ）は、振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。両図を用いて、説明する。
本実施例は、バネ１７のＹ変形バネ１８と固定部１９が、振動波駆動装置の駆動方向のＸ方向に２つ配置している点で実施例４と異なる。Ｙ変形バネ１８の板厚方向は、実施例４と同じく、振動波駆動装置の駆動方向（第１の方向）と直交した図中のＹ方向（第２の方向）となっている。
【００４３】
本実施例も実施例４と同様に、Ｙ変形バネ１８は板厚方向が図中のＹ方向となっており、Ｙ方向（第２の方向）にはバネ剛性が小さくなっている。これにより、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力を小さくできている。また、Ｘ方向（第１の方向）にはバネ剛性が大きくなっているので、移動体５を力のロスが少なくＸ方向に駆動できる。
【００４４】
さらに、別のアクチュエータの駆動によって移動体５がＹ方向に移動し、振動子９がＹ方向に移動した場合には、ＸＹ平面内の回転に対する剛性が大きくなっており、この平面内の回転運動が、起き難くなっている。これによって、振動波駆動装置の駆動方向が、図中ＸＹ平面内で回転してしまう量を低減できる。
【実施例６】
【００４５】
図９（ａ）は、本発明の別の形態である振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図９（ｂ）は、振動波駆動装置を突起部１２の反対側から見た斜視図である。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。両図を用いて、説明する。
本実施例は、バネ１７のＹ変形バネ１８と固定部１９が、振動波駆動装置の駆動方向に直交した図中のＹ方向に２つ配置している点で実施例５と異なる。実施例５のように、Ｙ変形バネ１８を駆動方向のＸ方向に２つ配置すると、振動子９がＹ方向（第２の方向）に大きく移動した際には、Ｙ変形バネ１８が長手方向に引っ張られる状態となる。これにより、振動子９のＹ方向の移動が阻害され、一定以上の移動が必要な場合には、移動体５のＹ方向の移動が制限される場合がある。これに対し、本実施例ではＹ変形バネ１８をＹ方向に２つ配置している。振動子９がＹ方向（第２の方向）に大きく移動したとしても、Ｙ変形バネ１８は曲げ変形の状態を保ち、Ｙ変形バネ１８が長手方向に引っ張られる現象を抑制できる。
【００４６】
また、本実施例のバネ１７には、板厚方向がＺ方向かつ長手方向がＸ方向の緩衝部２１がある。この緩衝部１７は振動子９の、ＹＺ平面内とＸＺ平面内の回転運動と、Ｚ方向の並進運動が起き易い構成となっている。不図示の移動体５に対し、振動波駆動装置がこれら方向の取付姿勢に誤差をもって固定されたとしても、突起部１２の上面が移動体５の面にならい易いようになっている。
【００４７】
Ｙ変形バネ１８の板厚方向は、実施例５と同じく、振動波駆動装置の駆動方向（第１の方向）と直交した図中のＹ方向（第２の方向）となっている。本実施例も実施例５と同様に、Ｙ変形バネ１８は板厚方向が図中のＹ方向となっており、Ｙ方向にはバネ剛性が小さくなっている。これにより、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力を小さくできている。また、Ｘ方向（第１の方向）にはバネ剛性が大きくなっているので、移動体５を力のロスが少なくＸ方向に駆動できる。
【実施例７】
【００４８】
本実施例は制限部材２４有する点で実施例１と異なる。
図１２を用いて説明する。図１２は、移動体５と振動波駆動装置６の配置を示している。図１での撮像素子７側から見た図となっている。
【００４９】
制限部材２４が、直方体形状で、移動体５に固着されている。制限部材２４は、各々の振動波駆動装置６（６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ）の振動子９が固着しているスリーブ１４を、駆動方向８（第１の方向）と直交した方向（第２の方向）に挟むように、二つずつ配置されている。振動波駆動装置６Ａでは、スリーブ１４のＸ方向に沿った側面と、制限部材２４のＸ方向に沿った側面とで、Ｘ方向のガイドを構成している。これによって、移動体５に対する振動子９及びスリーブ１４の駆動方向８（Ｘ方向）の相対移動を許容（移動可能）しつつ、これと直交したＹ方向の相対移動量を制限する構成となっている。その他の振動波駆動装置（６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ）でも、同様に、移動体５に対する振動子９及びスリーブ１４の駆動方向８の相対移動が許容され、これと直交した方向の相対移動量が制限されている。
【００５０】
ここで、制限部材２４の効果について、説明する。
振動波駆動装置６Ａの駆動方向８はＸ方向となっており、通常は、移動体５と振動子９のＹ方向の相対移動は起こらない。この場合には、移動体５に所望の移動量を与えた際、バー１５に対する振動子９及びスリーブ１４のＹ方向の移動量は、移動体５の所望の移動量に一致する。
【００５１】
しかしながら、組み付け誤差などによる駆動方向のズレや外乱などによって、移動体５と振動子９のＹ方向の滑りによる相対移動が発生する場合がある。この場合には、バー１５に対する振動子９及びスリーブ１４のＹ方向の移動量は、移動体５の所望の移動量に、移動体５と振動子９の滑りによる相対移動量が加わった量となる。
【００５２】
この滑りによる相対移動が繰り返し数多く起こった場合には、移動体５と振動子９及びスリーブ１４のＹ方向の相対移動量が大きくなる場合がある。
これが大きくなり過ぎると、スリーブ１４とバー１５で構成されたガイド部材の突き当たりが起こり、振動子９に姿勢を変化させる不要な力が作用する。これが、移動体５と振動子９の不安定な接触などの問題を引き起こしてしまう。
【００５３】
本実施例では、振動子９及びスリーブ１４と移動体５とのＹ方向の相対移動量を、制限部材２４によって制限している。これにより、バー１５に対する振動子９及びスリーブ１４のＹ方向の移動量を制限でき、上述の問題を防ぐ効果がある。
【００５４】
その他の振動波駆動装置（６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ）でも効果は同様である。
また、Ｙ変形バネ１８を用いた実施例２から６に述べた振動波駆動装置６においても、制限部材２４は効果がある。
【００５５】
ここでは、制限部材２４の側面と、振動子９が固着されたホルダ２０の側面とで、駆動方向と直交した方向のガイドを構成した場合を述べる。
移動体５に所望の移動量を与えた際、この移動量に、移動体５と振動子９のＹ方向の滑りによる相対移動量が加わった量の変位がＹ変形バネ１８に起こる。このＹ方向の滑りによる相対移動量が大きくなってしまうと、Ｙ変形バネ１８の変形反力が大きくなって、移動体５のＹ方向の移動を妨げる力が大きくなってしまう。また、Ｙ変形バネ１８に塑性変形する程の変形が起こってしまうと、加工硬化によって、さらに移動体５のＹ方向の移動を妨げる力が大きくなってしまう。
【００５６】
本実施例のように、制限部材２４を設け、移動体５に対する振動子９のＹ方向の相対移動量を制限すると、Ｙ変形バネ１８の変形を小さくする効果が得られる。本実施例では、移動体５に対する振動子９の駆動方向と直交した相対移動量の制限機構として、制限部材２４とスリーブ１４による構成や、制限部材２４とホルダ２０による構成を述べたが、これに限るものではなく、バーとスリーブなどの他構成で実現しても良い。また、移動体５に、振動波駆動装置６の駆動方向に沿った溝を有する凹部を設け、この凹部と振動子９の突起部１２の側面とで滑りガイドを構成してもよい。これらのように移動体５に対する振動子９の駆動方向と直交した相対移動量を制限可能な制限機構を有すれば良く、制限機構の構成を限定するものではない。
【実施例８】
【００５７】
実施例１乃至７では、ガイド部材や板バネを用いた構成であった。しかし、本発明の効果を得る実施例の構成は他にもある。例えば、図１０（ａ）と図１０（ｂ）で示した、バネ１７に線径の細い丸棒２２を振動波駆動装置の駆動方向の図中Ｘ方向に配し、その両端を不図示のレンズ鏡筒１に固定することができる。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。
【００５８】
この構成においては、振動子９は丸棒２２を軸として、回転運動が起き易くなっている。移動体５が他のアクチュエータによって、Ｙ方向（第２の方向）に移動された際に、それを阻害しないように、振動子９は突起部１２の上面がＹ方向に移動する回転が起きるようになっている。
【００５９】
また、他の例として、図１１（ａ）と図１１（ｂ）に示した、バネ１７に２本のワイヤ２３を図中Ｘ方向に配し、その両端を不図示のレンズ鏡筒１に固定する例もある。図中の座標系は、直交座標系を右手系で示している。この構成では、特にこの２本のワイヤ２３に掛かる張力を調整する事で、容易に振動子９のＹ方向（第２の方向）の移動に対する剛性を調節する事が可能となっている。
【００６０】
これらの例においても、振動子９がＹ方向に移動しやすい構成となっているので、移動体５が他のアクチュエータによって、Ｙ方向に移動された際に、それを阻害しないような効果が得られる。
【００６１】
また、本発明の効果が得られる物として、移動体５と接触する振動子９の突起部１２は、突起形状でなくても良い。さらに、その上面が接触する構成でなく、例えば、突起部１２の先端に面取り形状を設けて、その面取りの斜面を移動体５と接触させても良いし、突起部１２の先端がＲ形状となっていても良い。
【００６２】
さらに、Ｙ変形バネの主たる変形方向を、説明の理解を助けるために各々の図中でＸ方向と直交するＹ方向としたが、ここに交差する方向であっても、変形した際にＹ方向に移動する成分があれば、本発明の効果が得られる。
【符号の説明】
【００６３】
１  レンズ鏡筒
２  カメラボディ
３  画像振れ補正装置
４  光学レンズ
５  移動体
６  振動波駆動装置
７  撮像素子
８  振動波駆動装置の駆動方向
９  振動子
１０  振動板
１１  圧電セラミックス
１２  突起部
１３  振動子固定部
１４  スリーブ
１５  バー
１６  磁石
１７  バネ
１８  Ｙ変形バネ
１９  固定部
２０  ホルダ
２１  緩衝部
２２  丸棒
２３  ワイヤ
２４  制限部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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