(57)【要約】【課題】取り扱いが容易で、複数の面に膜を簡便に形成することが可能な光学部品を提供する。【解決手段】光学部品１は枠体２を有する。枠体２の内側には、複数の光学機能部５が向きを揃えて互いに所定間隔の距離をおいて配列されている。各光学機能部５の両端部にはそれぞれツバ部６が設けられている。ツバ部６において光学機能部５とは反対側に、連結部７が設けられている。連結部７の一方の端部はツバ部６に接続され、他方の端部は枠体２に接続されている。これにより、連結部７は、ツバ部６と枠体２とを連結する。【選択図】図１
2012031438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、
前記枠体の内側に配列された複数の光学機能部と、
前記光学機能部の両端部にそれぞれ設けられたツバ部と、
前記ツバ部を間にして前記光学機能部とは反対側に設けられて前記ツバ部と前記枠体とを連結する連結部と、
を有する光学部品。
【請求項２】
前記連結部は折れ曲がった形状を有する、
請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
前記光学機能部は棒状の形状を有する、
請求項１又は請求項２に記載の光学部品。
【請求項４】
前記光学機能部はプリズムである、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光学部品。
【請求項５】
枠体と、
前記枠体の内側に配列された複数の光学機能部と、
前記光学機能部の両端部にそれぞれ設けられたツバ部と、
前記ツバ部を間にして前記光学機能部とは反対側に設けられて前記ツバ部と前記枠体とを連結する連結部と、
を有する光学部品に対する成膜方法であって、
前記両端部にそれぞれ設けられた前記ツバ部の一部を押下することにより、前記両端部の前記ツバ部を結ぶ方向を回転軸として前記回転軸の周りに前記光学機能部を回転させて、前記光学機能部の光学面を蒸着源に向けて蒸着する、
ことを特徴とする成膜方法。
【請求項６】
突起部を有する治具を前記光学部品に押し当てることにより、前記突起部で前記ツバ部の一部を押下して前記光学機能部を回転させる、
ことを特徴とする請求項５に記載の成膜方法。
【請求項７】
前記突起部の先端はテーパ状の形状を有しており、
前記突起部は、前記先端のテーパの角度に応じて、前記光学機能部の回転の角度を変えられる構造である、
ことを特徴とする請求項６に記載の成膜方法。
【請求項８】
前記ツバ部において前記突起部によって押下する箇所を変えることにより、前記光学機能部の回転の方向を変える、
ことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の成膜方法。
【請求項９】
前記光学機能部は棒状の形状を有しており、
前記棒状の長手方向を前記回転軸として前記光学機能部を回転させる、
ことを特徴とする請求項５から請求項８のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項１０】
前記ツバ部において前記回転軸を間にして一方側にある第１の箇所を押下することにより、前記光学機能部を第１の方向に回転させて、前記光学機能部の第１の光学面を前記蒸着源に向けて蒸着し、
前記ツバ部において前記回転軸を間にして前記第１の箇所とは反対側の第２の箇所を押下することにより、前記第１の方向とは逆方向の第２の方向に前記光学機能部を回転させて、前記光学機能部における前記第１の光学面とは異なる第２の光学面を前記蒸着源に向けて蒸着する、
ことを特徴とする請求項５から請求項９のいずれかに記載の成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光学部品、及びその光学部品に対する成膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板状の光学素子の表面と裏面とに膜を蒸着する方法が提案されている（例えば特許文献１）。この方法においては、内側の縁部に切り欠きが形成された治具が用いられる。光学素子の表面に膜を蒸着する場合、光学素子の表面を切り欠きに向い合わせて光学素子を治具の内側に設置する。そして、光学素子が設置された治具を蒸着装置に設置し、光学素子の表面に膜を蒸着する。切り欠きが治具に形成されているため、その切り欠きの形状が光学素子の表面に転写される。作業者は切り欠きの形状を参照することで、光学素子の表面及び裏面を判別することができる。光学素子の裏面に膜を蒸着する場合、光学素子を治具から取り外し、裏面を切り欠きに向い合わせて光学素子を治具の内側に設置する。そして、光学素子が設置された治具を蒸着装置に設置し、光学素子の裏面に膜を蒸着する。このようにして、光学素子の表面と裏面とに膜を蒸着する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１５２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１に記載の方法では、光学素子に膜を蒸着するたびに、治具への光学素子の取り付け、蒸着装置への治具の設置、及び、治具からの光学素子の取り外しが必要となる。そのため、工数が増えてしまう。すなわち、複数の面に膜を蒸着するためには、その都度、上記の作業を行う必要があるため、工数が増えてしまう。また、光学素子の取り付け及び取り外しに起因して、光学素子の外観不良が発生する場合がある。
【０００５】
また、特許文献１に記載の方法では、光学素子を１つずつ治具に設置する必要があるため、作業が煩雑であり、工数が増えてしまう。
【０００６】
また、作業者が光学素子を治具に設置するため、光学素子の大きさは、作業者が取り扱いやすい大きさである必要がある。さらに、光学素子に転写された切り欠きの形状を作業者が見て、膜が蒸着された面を判別する必要がある。そのため、光学素子及び切り欠きの大きさは、作業者が見て判別できる程度の大きさであることが必要となる。このように、特許文献１に記載の方法を適用できる光学素子には限りがある。すなわち、特許文献１に記載の方法を適用できる光学素子は、ある程度の大きさを持った光学素子である必要がある。
【０００７】
この発明は上記の問題点を解決するものであり、取り扱いが容易で、複数の面に膜を簡便に形成することが可能な光学部品、及びその光学部品に対する成膜方法を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、枠体と、前記枠体の内側に配列された複数の光学機能部と、前記光学機能部の両端部にそれぞれ設けられたツバ部と、前記ツバ部を間にして前記光学機能部とは反対側に設けられて前記ツバ部と前記枠体とを連結する連結部と、を有する光学部品である。
請求項２に係る発明は、請求項１に係る光学部品であって、前記連結部は折れ曲がった形状を有する。
請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に係る光学部品であって、前記光学機能部は棒状の形状を有する。
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれかに係る光学部品であって、前記光学機能部はプリズムである。
請求項５に係る発明は、枠体と、前記枠体の内側に配列された複数の光学機能部と、前記光学機能部の両端部にそれぞれ設けられたツバ部と、前記ツバ部を間にして前記光学機能部とは反対側に設けられて前記ツバ部と前記枠体とを連結する連結部と、を有する光学部品に対する成膜方法であって、前記両端部にそれぞれ設けられた前記ツバ部の一部を押下することにより、前記両端部の前記ツバ部を結ぶ方向を回転軸として前記回転軸の周りに前記光学機能部を回転させて、前記光学機能部の光学面を蒸着源に向けて蒸着する、ことを特徴とする成膜方法である。
請求項６に係る発明は、請求項５に係る成膜方法であって、突起部を有する治具を前記光学部品に押し当てることにより、前記突起部で前記ツバ部の一部を押下して前記光学機能部を回転させる。
請求項７に係る発明は、請求項６に係る成膜方法であって、前記突起部の先端はテーパ状の形状を有しており、前記突起部は、前記先端のテーパの角度に応じて、前記光学機能部の回転の角度を変えられる構造である。
請求項８に係る発明は、請求項６又は請求項７に係る成膜方法であって、前記ツバ部において前記突起部によって押下する箇所を変えることにより、前記光学機能部の回転の方向を変える。
請求項９に係る発明は、請求項５から請求項８のいずれかに係る成膜方法であって、前記光学機能部は棒状の形状を有しており、前記棒状の長手方向を前記回転軸として前記光学機能部を回転させる。
請求項１０に係る発明は、請求項５から請求項９のいずれかに係る成膜方法であって、前記ツバ部において前記回転軸を間にして一方側にある第１の箇所を押下することにより、前記光学機能部を第１の方向に回転させて、前記光学機能部の第１の光学面を前記蒸着源に向けて蒸着し、前記ツバ部において前記回転軸を間にして前記第１の箇所とは反対側の第２の箇所を押下することにより、前記第１の方向とは逆方向の第２の方向に前記光学機能部を回転させて、前記光学機能部における前記第１の光学面とは異なる第２の光学面を前記蒸着源に向けて蒸着する。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によると、枠体を持って光学部品を取り扱うことができるため、光学機能部が微小であっても光学機能部の取り扱いが容易となる。また、複数の光学機能部が配列されているため、複数の光学機能部を一度に取り扱うことが可能となる。
【００１０】
また、この発明の成膜方法によると、光学機能部を回転させることで、所望の面を蒸着源に向けて膜を形成することが可能となる。また、複数の光学機能部が配列されているため、複数の光学機能部に対して膜を一度に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施形態に係る光学部品の上面図である。
【図２】この発明の実施形態に係る光学部品を下面から見た部分斜視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】光学機能部の断面図である。
【図６】この発明の実施形態に係る第１の治具の上面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【図８】図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。
【図９】蒸着装置の内部に設けられる構造体の一部を示す上面図である。
【図１０】図９のＸＩ−ＸＩ断面図である。
【図１１】光学部品、第１の治具、及び構造体を重ねた状態を示す断面図である。
【図１２】光学部品、第１の治具、及び構造体を重ねた状態を示す断面図である。
【図１３】光学機能部の断面図である。
【図１４】この発明の実施形態に係る第２の治具の上面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ断面図である。
【図１６】光学部品、第２の治具、及び構造体を重ねた状態を示す断面図である。
【図１７】光学部品、第２の治具、及び構造体を重ねた状態を示す断面図である。
【図１８】光学機能部の断面図である。
【図１９】変形例に係る光学部品を示す図であり、光学部品の一部の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（光学部品１）
図１から図５を参照して、この発明の実施形態に係る光学部品について説明する。図１は光学部品の上面図であり、図２は図１の裏側から見た光学部品の部分斜視図である。図３から図５は光学部品の断面図である。説明の便宜上、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸で規定される３次元の直交座標系を定義する。
【００１３】
図１及び図２に示すように、この実施形態に係る光学部品１は枠体２を有する。枠体２は一例として矩形状の形状を有する。枠体２の内側の領域３には、複数の光学機能部５が向きを揃えて互いに所定間隔の距離をおいて配列されている。光学機能部５は一例として棒状の形状を有する。図１に示す例では、Ｘ−Ｙ面内において、複数の光学機能部５が二次元的に配列されている。例えば、棒状の光学機能部５の長手方向をＹ方向に平行にして、Ｘ方向に向かって複数の光学機能部５が配列されている。Ｘ方向に配列された複数の光学機能部５を１列とした場合、図１に示す例では、複数の光学機能部５が２つの列をなして配置されている。列の数は１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
【００１４】
各光学機能部５の両端部にはそれぞれツバ部６が設けられている。ツバ部６は、一例として平板状の形状を有する。図１から図３に示すように、ツバ部６のＸ方向の幅は、光学機能部５の短手方向（Ｘ方向）の幅よりも長い。すなわち、ツバ部６は、複数の光学機能部５の配列方向（Ｘ方向）に向かって突出した形状を有する。なお、ツバ部６の一方の面６１が、後述する治具の突起部によってＺ方向に押下される。
【００１５】
ツバ部６を間にして光学機能部５とは反対側に、連結部７が設けられている。連結部７の一方の端部はツバ部６に接続され、他方の端部は枠体２に接続されている。これにより、連結部７は、ツバ部６と枠体２とを連結する。一例として、連結部７の一部は直線状の形状を有し、他の一部が折れ曲がった形状を有する。具体的には、連結部７は、直線部９と屈曲部８とによって構成されている。直線部９は直線状の形状を有し、ツバ部６に接続されてツバ部６から枠体２に向かって延びている。屈曲部８は曲線状に折れ曲がった形状を有し、直線部９から枠体２に向かって延びて枠体２に接続されている。すなわち、直線部９は屈曲部８よりも枠体２の内側に配置されている。なお、連結部７は直線部９のみで構成されていてもよいし、屈曲部８のみで構成されていてもよい。連結部７は、一例として矩形状の断面形状、円形状の断面形状、又は楕円状の断面形状を有する。連結部７の断面形状は、一部が直線状で一部が曲線状であってもよい。
【００１６】
図４及び図５を参照して、光学機能部５の断面の形状について説明する。図５は、光学機能部５の断面を拡大した図である。光学機能部５は、一例として五角形の断面形状を有する棒状のプリズムである。例えば、光学機能部５は、回折格子を有するプリズムであってもよいし、レンズを有するプリズムであってもよい。また、光学機能部５は、光ピックアップ用のレンズであってもよい。
【００１７】
後述するが、光学部品１は蒸着装置に設置され、光学機能部５の第１の光学面５１及び第２の光学面５２に、反射膜や反射防止膜などの膜が蒸着される。また、後述するが、光学機能部５を複数箇所で切断することで、複数の光学素子が作製される。例えばＺ−Ｘ面を切断面とし、長手方向（Ｙ方向）に所定間隔の距離をおいて複数の箇所で光学機能部５を切断することにより、複数の光学素子が作製される。
【００１８】
光学機能部５の断面における各辺の長さは、例えば０．４ｍｍ程度である。また、枠体２及びツバ部６の厚さは、例えば０．５ｍｍ程度である。また、連結部７の断面の厚さは、例えば０．４ｍｍ程度である。なお、これらのサイズは一例であり、枠体２、光学機能部５、ツバ部６、及び連結部７のサイズがこれらの値に限定されず、上記のサイズより大きくても小さくてもよい。
【００１９】
以上のように、連結部７、ツバ部６、光学機能部５、ツバ部６、及び連結部７が、それらの順番で接続されて１つの組４を構成している。各組４は、２つの連結部７によって枠体２に連結されている。光学部品１は、複数の組４が規則的に配列されていることになる。光学部品１は樹脂によって構成されており、例えば溶融微細転写によって作製される。
【００２０】
以上の構成を有する光学部品１においては、ツバ部６の一部をＺ方向に押下することにより、光学機能部５の長手方向（Ｙ方向）を回転軸として、その回転軸のまわりにツバ部６を回転させることが可能となっている。すなわち、ツバ部６の一部を押下すると連結部７が回転軸（Ｙ方向）のまわりにねじれ、そのことにより、ツバ部６を回転軸のまわりに回転させることができる。例えば連結部７の断面の厚さを、ツバ部６への押下によって連結部７が回転軸のまわりにねじれる程度の厚さにしておけばよい。ツバ部６の回転により、光学機能部５は回転軸のまわりに回転させられる。そして、ツバ部６への押圧を解除すると、連結部７のねじれが元に戻り、そのことにより、光学機能部５は元の状態に戻る。なお、光学機能部５の断面の略中心、連結部７とツバ部６とが接続する箇所、及び、連結部７と枠体２とが接続する箇所が、一直線上に並ぶように、光学機能部５、ツバ部６、及び連結部７が配置されていることが好ましい。これにより、光学機能部５の断面の略中心を回転軸が通り、光学機能部５をねじれさせずに回転軸のまわりに回転させることが可能となる。なお、連結部７の一部が屈曲部８で構成されていることにより、ねじれ（歪み）によるエネルギーが屈曲部８でより吸収されやすくなるため、連結部７のねじれ及び元の状態への復元が、より容易に行われる。
【００２１】
以上の構成を有する光学部品１によると、作業者は枠体２を持って光学部品１を取り扱うことができるため、光学機能部５が微小であっても光学機能部５の取り扱いが容易となる。また、複数の光学機能部５が配列されているため、複数の光学機能部５を一緒に取り扱うことが可能となる。例えば、光学部品１を蒸着装置に設置することにより、複数の光学機能部５を一度に蒸着装置に設置して、複数の光学機能部５に対して一度に膜を蒸着することが可能となる。すなわち、光学機能部５を１つずつ取り扱わなくても済むため、作業が容易となり、成膜工程における工数を減らすことが可能となる。
【００２２】
（第１の治具１０）
図６から図８を参照して、この発明の実施形態に係る第１の治具について説明する。図６は、第１の治具の上面図である。図７及び図８は、第１の治具の断面図である。
【００２３】
第１の治具１０は、光学部品１を蒸着装置に取り付けるときに用いられ、蒸着装置の内部において光学部品１を押さえ付けてツバ部６の一部を押下する。図６に示すように、第１の治具１０は平板状の形状を有する。また、図６及び図７に示すように、第１の治具１０の表面１１には、光学部品１のツバ部６の一部に対応する位置に、突起部１２が設けられている。突起部１２は、表面１１に直交する方向（Ｚ方向）に突起している。後述するが、第１の治具１０によって光学部品１を押さえ付けたときに、突起部１２が光学部品１のツバ部６の一部に当接してツバ部６の一部を押下する。図７に示すように、突起部１２は矩形状の断面形状を有する。
【００２４】
Ｘ方向に隣り合う各突起部１２の間には、貫通孔１３が形成されている。貫通孔１３は、第１の治具１０の厚さ方向（Ｚ方向）に貫通している。突起部１２によってツバ部６の一部が押下されたときに、ツバ部６が貫通孔１３に入り込むことで、ツバ部６を貫通孔１３に逃がすことができる。
【００２５】
図６及び図８に示すように、第１の治具１０の表面１１には、光学部品１の光学機能部５に対応する位置に、凹部１４が形成されている。凹部１４は、光学機能部５の形状に対応して細長い形状を有する。
【００２６】
突起部１２及び貫通孔１３のＸ方向への並びを基準にして、凹部１４の反対側に、突起部１２及び貫通孔１３から所定距離をおいてＸ方向に延びる貫通孔１５が形成されている。貫通孔１５は、第１の治具１０の厚さ方向（Ｚ方向）に貫通している。突起部１２及び貫通孔１３と、貫通孔１５との間には、Ｘ方向に延びる当接部１６がある。当接部１６は、表面１１と同じ面上にある。当接部１６は、第１の治具１０において、光学部品１の連結部７に対応する位置に設けられている。例えば、当接部１６は、第１の治具１０において、連結部７の直線部９に対応する位置に設けられている。
【００２７】
以上のように、第１の治具１０によって光学部品１を蒸着装置に押さえ付けたときに、突起部１２がツバ部６の一部に当接し、当接部１６が連結部７に当接するように、突起部１２及び当接部１６の位置が決められている。なお、複数の凹部１４が並んで形成されている領域には、凹部１４の代わりに、第１の治具１０の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されていてもよい。
【００２８】
（構造体２０）
図９及び図１０を参照して、蒸着装置に光学部品１を設置するための構造体について説明する。図９は、構造体の一部を示す上面図である。図１０は、構造体の断面図である。
【００２９】
蒸着装置の内部には、複数の光学部品１を載置することが可能な構造体２０が設けられている。構造体２０は所定の厚さを有する。図９及び図１０に示すように、構造体２０の表面には、光学部品１を載置するための第１の凹部２１と、第１の治具１０を載置するための第２の凹部２２とが形成されている。図１０に示すように、構造体２０の裏面側には蒸着源Ｔが設けられており、構造体２０の裏面側から光学部品１に対して膜を蒸着する。第２の凹部２２は、第１の凹部２１の外側に形成されている。第１の凹部２１の深さ（Ｚ方向の長さ）は、第２の凹部２２の深さよりも深い。第１の凹部２１の外形形状及びサイズは、光学部品１の枠体２の外形形状及びサイズとほぼ同じである。光学部品１を第１の凹部２１に嵌めることで、光学部品１を構造体２０に載置する。また、第２の凹部２２の外形形状及びサイズは、第１の治具１０の外形形状及びサイズとほぼ同じである。第１の治具１０を第２の凹部２２に嵌めることで、第１の治具１０を構造体２０に載置する。この実施形態においては、光学部品１を第１の凹部２１に載置し、その後、第１の治具１０を第２の凹部２２に載置する。
【００３０】
第１の凹部２１の内側には、構造体２０の厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する貫通孔２３及び貫通孔２４が形成されている。貫通孔２３は、構造体２０において、光学部品１の複数の光学機能部５が配列された領域に対応する位置に形成されている。また、貫通孔２４は、構造体２０において、第１の治具１０の貫通孔１５に対応する位置に形成されている。また、構造体２０において、第１の治具１０の当接部１６に対応する位置に、当接部２５が設けられている。すなわち、貫通孔２３と貫通孔２４とで挟まれた領域が、当接部２５に該当する。
【００３１】
第１の凹部２１、第２の凹部２２、貫通孔２３、貫通孔２４、及び当接部２５を１つの組とし、構造体２０には複数の組が形成されている。これにより、複数の光学部品１を構造体２０に設置することが可能となる。すなわち、複数の光学部品１を蒸着装置の内部に設置することが可能となる。
【００３２】
なお、第１の凹部２１及び第２の凹部２２の一部において、第１の凹部２１から第２の凹部２２の外側にかけて第３の凹部２６が設けられていてもよい。例えば、第３の凹部２６の深さ（Ｚ方向の長さ）は、第１の凹部２１の深さと同じである。第３の凹部２６は、光学部品１及び第１の治具１０を構造体２０から取り外すときに用いられる。作業者が第３の凹部２６に指をかけて光学部品１及び第１の治具１０を持ち上げることにより、光学部品１及び第１の治具１０を構造体２０から容易に取り外すことが可能となる。
【００３３】
（第１の治具１０を用いた成膜方法）
図１１から図１３を参照して、光学部品１に対する成膜方法について説明する。ここでは、第１の治具１０を用いて、光学機能部５の第１の光学面５１に膜を蒸着する場合について説明する。図１１及び図１２は、光学部品１、第１の治具１０、及び構造体２０を重ねた状態を示す断面図である。図１３は、光学機能部５の断面図である。
【００３４】
まず、光学部品１を構造体２０に載置する。例えば図１１に示すように、ツバ部６の面６１とは反対側の面を構造体２０に向けて、光学部品１を第１の凹部２１に嵌めることで、光学部品１を構造体２０に載置する。そして、光学部品１が構造体２０に載置された状態で、第１の治具１０の突起部１２を光学部品１に向けて、第１の治具１０を第２の凹部２２に嵌めることで、第１の治具１０を構造体２０に載置する。突起部１２は、ツバ部６の一部に対応する位置に設けられているため、第１の治具１０を構造体２０に載置することにより、突起部１２がツバ部６の面６１の一部に当接する。例えば、面６１において光学機能部５を間にして一方側にある箇所に、突起部１２が当接する。図１１に示す例では、面６１において光学機能部５を間にして右側にある箇所（第１の箇所）に、突起部１２が当接する。第１の治具１０において第１の箇所に対応する位置に突起部１２を設けることにより、突起部１２を第１の箇所に当接させることができる。
【００３５】
また、光学部品１と第１の治具１０とを構造体２０に載置することにより、第１の治具１０の当接部１６と構造体２０の当接部２５とによって、光学部品１の直線部９が上下方向（Ｚ方向）から挟まれる。すなわち、第１の治具１０の当接部１６と構造体２０の当接部２５とによって、光学部品１の直線部９を挟んで支持する。
【００３６】
第１の治具１０を構造体２０に設置すると、図１２に示すように、突起部１２が光学部品１及び構造体２０の方向に押し込まれ、そのことにより、突起部１２がツバ部６の一部を押下する。ツバ部６の片側（第１の箇所）が突起部１２によって押下されることにより、光学機能部５の長手方向（Ｙ方向）を回転軸として、連結部７が回転軸のまわりにねじれ、そのことにより、光学機能部５及びツバ部６が回転軸のまわりに回転させられる。なお、光学機能部５の両端部に設けられたツバ部６を結ぶ方向（Ｙ方向）が、回転軸に相当する。
【００３７】
図１３に、回転前の光学機能部５と回転後の光学機能部５とを示す。突起部１２による押下によって、光学機能部５は回転軸のまわりで矢印Ａの方向に回転させられる。構造体２０の裏面側には蒸着源Ｔが設置されており、回転前においては、第１の光学面５１は蒸着源Ｔに向いていない。矢印Ａの方向に光学機能部５を回転させることにより、回転後においては、第１の光学面５１を蒸着源Ｔに向けることが可能となる。
【００３８】
そして、蒸着源Ｔから第１の光学面５１に対して膜を蒸着する。例えば反射膜や反射防止膜を第１の光学面５１に蒸着する。反射膜には、例えばアルミニウム（Ａｌ）や金（Ａｕ）などの金属の膜が用いられる。反射防止膜には、例えばＳｉＯ２膜とＴｉＯ２膜とが積層された膜や、ＳｉＯ２膜とＺｒＯ２膜とが積層された膜などが用いられる。
【００３９】
上述したように、突起部１２によってツバ部６の一部を押下することにより、ツバ部６も回転軸のまわりに回転させられる。ツバ部６は、この回転によって光学部品１に直交する方向（Ｚ方向）に立ち上がる。立ち上がった状態のツバ部６は、第１の治具１０に形成された貫通孔１３に入り込むため、ツバ部６を貫通孔１３に逃がして、光学部品１と第１の治具１０と構造体２０とを重ねて設置することができる。また、光学機能部５を回転させたときに、光学機能部５の一部が、第１の治具１０に形成された凹部１４内を通る。
【００４０】
また、突起部１２の形状に応じて、光学機能部５の回転量（回転の角度）を変えることができる。例えば突起部１２の側面の角度を所望の回転量に対応する角度とすることにより、光学機能部５の所望の面を蒸着源Ｔに向けて、その面に膜を蒸着することが可能となる。
【００４１】
蒸着が終了した後、第１の治具１０を構造体２０から取り外すことにより、ツバ部６に対する押圧が解除される。押圧の解除によって連結部７のねじれが元に戻り、光学機能部５は元の状態に戻る。
【００４２】
以上の構成を有する光学部品１に対する成膜方法によると、第１の治具１０を用いてツバ部６の一部を押下することにより、複数の光学機能部５のそれぞれの第１の光学面５１を、一度に蒸着源Ｔに向けることが可能となる。そのことにより、複数の光学機能部５のそれぞれの第１の光学面５１に、一度に膜を蒸着することが可能となる。すなわち、光学部品１に設けられたすべての光学機能部５の第１の光学面５１を、一度に蒸着源Ｔに向けることができるため、すべての光学機能部５の第１の光学面５１に対して、一度に膜を蒸着することが可能となる。その結果、光学機能部５を１つずつ蒸着装置に設置して膜を蒸着する必要がないため、作業が容易となり、成膜工程における工数を減らすことが可能となる。また、突起部１２の先端の角度によって所望の面を選択して蒸着源Ｔに向けることが可能となる。そのため、複数の光学機能部５のそれぞれにおける所望の面に、一度に膜を蒸着することが可能となる。
【００４３】
（第２の治具３０）
図１４及び図１５を参照して、この発明の実施形態に係る第２の治具について説明する。図１４は、第２の治具の上面図である。図１５は、第２の治具の断面図である。
【００４４】
第２の治具３０は第１の治具１０と同様に、光学部品１を蒸着装置に取り付けるときに用いられ、蒸着装置の内部において光学部品１を押さえ付けてツバ部６の一部を押下する。第１の治具１０は、光学機能部５の第１の光学面５１に膜を蒸着するときに用いられるが、第２の治具３０は、光学機能部５の第２の光学面５２に膜を蒸着するときに用いられる。具体的には、第２の治具３０は、第１の治具１０とは異なる回転方向及び回転量を光学機能部５に与える。
【００４５】
図１４に示すように、第２の治具３０は平板状の形状を有する。また、図１４及び図１５に示すように、第２の治具３０の表面３１には、光学部品１のツバ部６の一部に対応する位置に、突起部３２が設けられている。突起部３２は、表面３１に直交する方向（Ｚ方向）に突起している。第２の治具３０によって光学部品１を押さえ付けたとき、突起部３２が光学部品１のツバ部６の一部に当接してツバ部６を押下する。図１５に示すように、突起部３２の先端には、先端に向かって先細り状になっているテーパ部３２Ａが形成されている。すなわち、突起部３２の先端の側面が、突起部３２が突起している方向（Ｚ方向）に対して所定の角度をもって斜めに形成されている。テーパ部３２Ａの角度によって、光学機能部５の回転量（回転の角度）を変えることができる。
【００４６】
Ｘ方向に隣り合う各突起部３２の間には、貫通孔３３が形成されている。貫通孔３３は、第２の治具３０の厚さ方向（Ｚ方向）に貫通している。突起部３２によってツバ部６の一部が押下されたときに、ツバ部６が貫通孔３３に入る込むことで、ツバ部６を貫通孔３３に逃がすことができる。
【００４７】
第１の治具１０と同様に、第２の治具３０の表面３１には、光学部品１の光学機能部５に対応する位置に、凹部３４が形成されている。凹部３４は、光学機能部５の形状に対応して細長い形状を有する。
【００４８】
突起部３２及び貫通孔３３のＸ方向への並びを基準にして、凹部３４の反対側に、突起部３２及び貫通孔３３から所定距離をおいてＸ方向に延びる貫通孔３５が形成されている。貫通孔３５は、第２の治具３０の厚さ方向（Ｚ方向）に貫通している。突起部３２及び貫通孔３３と、貫通孔３５との間には、Ｘ方向に延びる当接部３６がある。当接部３６は、表面３１と同じ面上にある。当接部３６は、第２の治具３０において、光学部品１の連結部７に対応する位置に設けられている。例えば、当接部３６は、第２の治具３０において、連結部７の直線部９に対応する位置に設けられている。
【００４９】
以上のように、第２の治具３０によって光学部品１を蒸着装置に押さえ付けたときに、突起部３２がツバ部６の一部に当接し、当接部３６が連結部７に当接するように、突起部３２及び当接部３６の位置が決められている。なお、複数の凹部３４が並んで形成されている領域には、第２の治具３０の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されていてもよい。
【００５０】
また、第２の治具３０は、上述した構造体２０の第２の凹部２２に載置される。すなわち、第２の治具３０の外形形状及びサイズは、第２の凹部２２の外形形状及びサイズとほぼ同じである。
【００５１】
（第２の治具３０を用いた成膜方法）
図１６から図１８を参照して、光学部品１に対する成膜方法について説明する。ここでは、第２の治具３０を用いて、光学機能部５の第２の光学面５２に膜を蒸着する場合について説明する。図１６及び図１７は、光学部品１、第２の治具３０、及び構造体２０を重ねた状態を示す断面図である。図１８は、光学機能部５の断面図である。
【００５２】
まず、光学部品１を構造体２０に載置する。例えば図１６に示すように、ツバ部６の面６１とは反対側の面を構造体２０に向けて、光学部品１を第１の凹部２１に嵌めることで、光学部品１を構造体２０に載置する。なお、第１の光学面５１に続けて第２の光学面５２に膜を蒸着する場合には、第１の治具１０を取り外した後、光学部品１を構造体２０に載置したままの状態にしておけばよい。そして、光学部品１が構造体２０に載置された状態で、第２の治具３０の突起部３２を光学部品１に向けて、第２の治具３０を第２の凹部２２に嵌めることで、第２の治具３０を構造体２０に載置する。突起部３２は、ツバ部６の一部に対応する位置に設けられているため、第２の治具３０を構造体２０に載置することにより、突起部３２がツバ部６の面６１の一部に当接する。例えば、面６１において光学機能部５を間にして、第１の治具１０の突起部１２が当接する箇所（第１の箇所）とは反対側の箇所に、突起部３２が当接する。図１６に示す例では、面６１において光学機能部５を間にして左側にある箇所（第２の箇所）に、突起部３２が当接する。第２の治具３０において第２の箇所に対応する位置に突起部３２を設けることにより、突起部３２を第２の箇所に当接させることができる。
【００５３】
また、光学部品１と第２の治具３０とを構造体２０に載置することにより、第２の治具３０の当接部３６と構造体２０の当接部２５とによって、光学部品１の直線部９が上下方向（Ｚ方向）から挟まれる。すなわち、第２の治具３０の当接部３６と構造体２０の当接部２５とによって、光学部品１の直線部９を挟んで支持する。
【００５４】
第２の治具３０を構造体２０に設置すると、図１７に示すように、突起部３２が光学部品１及び構造体２０の方向に押し込まれ、そのことにより、突起部３２がツバ部６の一部を押下する。ツバ部６の片側（第２の箇所）が突起部３２によって押下されることにより、光学機能部５の長手方向（Ｙ方向）を回転軸として、連結部７が回転軸のまわりにねじれ、そのことにより、光学機能部５及びツバ部６が回転軸のまわりに回転させられる。
【００５５】
図１８に、回転前の光学機能部５と回転後の光学機能部５とを示す。突起部３２による押下によって、光学機能部５は回転軸のまわりで矢印Ｂの方向に回転させられる。構造体２０の裏面側には蒸着源Ｔが設置されており、回転前においては、第２の光学面５２は蒸着源Ｔに向いていない。矢印Ｂの方向に光学機能部５を回転させることにより、回転後においては、第２の光学面５２を蒸着源Ｔに向けることが可能となる。
【００５６】
ツバ部６の面６１において突起部３２が当接する第２の箇所は、光学機能部５を間にして、第１の治具１０の突起部１２が当接する第１の箇所とは反対側にある。そのため、第２の治具３０によって光学機能部５に与えられる回転の方向（矢印Ｂの方向）は、第１の治具１０によって与えられる回転の方向（矢印Ａの方向）とは逆の方向となる。このように、突起部の位置によって回転方向を変えることができる。すなわち、第１の治具１０と第２の治具３０とでは突起部の位置が互いに異なるため、ツバ部６において回転軸を間にして互いに反対側の位置を押下することができる。そのことにより、第１の治具１０と第２の治具３０とで、光学機能部５に対して互いに反対の回転方向を与えることが可能となる。
【００５７】
また、テーパ部３２Ａの角度によって、光学機能部５の回転角度が規定される。図１７に示すように、ツバ部６の面６１の一部がテーパ部３２Ａに当接し、テーパ部３２Ａの角度以上には、ツバ部６及び光学機能部５は回転させられない。そのため、テーパ部３２Ａの角度によって光学機能部５の回転角度を変えて、光学機能部５の所望の面を蒸着源Ｔに向けることが可能となる。すなわち、テーパ部３２Ａの角度を所望の回転量（回転の角度）に対応する角度とすることにより、光学機能部５の所望の面を蒸着源Ｔに向けて、その面に膜を蒸着することが可能となる。
【００５８】
そして、蒸着源Ｔから第２の光学面５２に対して膜を蒸着する。例えば反射膜や反射防止膜を第２の光学面５２に蒸着する。
【００５９】
また、突起部３２によってツバ部６の一部を押下することにより、ツバ部６も回転軸のまわりに回転させられる。ツバ部６は、この回転によって光学部品１に直交する方向（Ｚ方向）に立ち上がる。立ち上がった状態のツバ部６は、第２の治具３０に形成された貫通孔３３に入り込むため、ツバ部６を貫通孔３３に逃がして、光学部品１と第２の治具３０と構造体２０とを重ねることができる。また、光学機能部５を回転させたときに、光学機能部５の一部が、第２の治具３０に形成された凹部３４内を通る。
【００６０】
蒸着が終了した後、第２の治具３０を構造体２０から取り外すことにより、ツバ部６に対する押圧が解除される。押圧の解除によって連結部７のねじれが元に戻り、光学機能部５は元の状態に戻る。
【００６１】
以上の構成を有する光学部品１に対する成膜方法によると、第２の治具３０を用いてツバ部６の一部を押下することにより、複数の光学機能部５のそれぞれの第２の光学面５２を、一度に蒸着源Ｔに向けることが可能となる、そのことにより、複数の光学機能部５のそれぞれの第２の光学面５２に、一度に膜を蒸着することが可能となる。すなわち、光学部品１に設けられたすべての光学機能部５の第２の光学面５２を、一度に蒸着源Ｔに向けることができるため、すべての光学機能部５の第２の光学面５２に対して、一度に膜を蒸着することが可能となる。その結果、光学機能部５を１つずつ蒸着装置に装置して膜を蒸着する必要がないため、作業が容易となり、成膜工程における工数を減らすことが可能となる。
【００６２】
この実施形態に係る光学部品１によると、光学機能部５の第１の光学面５１と第２の光学面５２とに対して、続けて膜を蒸着することができる。例えば光学部品１を構造体２０に載置し、第１の治具１０を構造体２０に設置することにより、第１の光学面５１を蒸着源Ｔに向ける。そして、第１の光学面５１に膜を蒸着する。第１の光学面５１への蒸着が終了した後、構造体２０から第１の治具１０を取り外す。光学部品１は構造体２０に取り付けたままにしておく。次に、第２の治具３０を構造体２０に設置することにより、第２の光学面５２を蒸着源Ｔに向ける。そして、第２の光学面５２に膜を蒸着する。このように、光学部品１を構造体２０に取り付けたまま、光学機能部５において異なる面に膜を蒸着することが可能となる。すなわち、光学部品１を構造体２０に一度設置すれば、成膜対象となる面を変えるたびに光学部品１を蒸着装置から取り外して位置を変えなくても、異なる面にそれぞれ膜を蒸着することが可能となる。なお、第２の光学面５２に膜を蒸着し、その後、第１の光学面５１に膜を蒸着してもよい。
【００６３】
また、成膜対象となる面に応じて、突起部の位置、突起部の高さ、突起部の先端の角度（テーパ部の角度）を変えることにより、所望の面を蒸着源Ｔに向けて、所望の面に膜を蒸着することが可能となる。すなわち、光学部品１を構造体２０に一度設置すれば、治具を取り換えるだけで、光学機能部５において異なる面にそれぞれ膜を蒸着することが可能となる。成膜対象となる面を変えるたびに光学部品１を蒸着装置から取り外して位置を変える必要がないため、作業が簡便となり、光学部品１の取り付け及び取り外しに伴う外観の不良が発生しにくくなる。すなわち、異なる面にそれぞれ膜を蒸着する場合であっても、蒸着装置に光学部品１を設置し、成膜対象となるすべての面に膜を蒸着した後に、光学部品１を蒸着装置から取り外せば良いため、作業が簡便となり、取り付け及び取り外しに伴う外観不良が発生しにくくなる。また、作業手順に従って、成膜対象の面に対応する治具を使用すれば、既に成膜された面が再び成膜されずに済む。
【００６４】
（蒸着後の工程）
光学機能部５に膜を蒸着した後、蒸着装置から光学部品１を取り出す。その後、光学機能部５を複数の箇所で切断することにより、複数の光学素子を得る。例えば、光学部品１に、粘着テープとして機能するダイシングテープを貼り付け、光学部品１をダイシング装置に設置する。まず、枠体２から複数の光学機能部５を切り離す。そして、Ｚ−Ｘ面を切断面とし、光学機能部５の長手方向（Ｙ方向）に所定間隔の距離をおいて複数の箇所で光学機能部５を切断することにより、複数の光学素子を得る。その後、複数の光学素子をトレーなどに梱包する。この実施形態に係る光学部品１によると、複数の光学機能部５に対して膜を一度に蒸着することができるため、微小な光学素子を大量に製造することができ、また、製造コストを削減することが可能となる。
【００６５】
また、光学部品１は枠体２の外形形状を有するため、成形工程、成膜工程、及び後工程のそれぞれの工程間において、光学部品１の移送が容易となる。また、光学機能部５は枠体２に囲まれているため、衝撃に比較的強い。また、複数の光学部品１を重ねることにより、複数の光学部品１を保管するためのスペースを削減することが可能となる。
【００６６】
（変形例）
図１９を参照して、光学部品１の変形例について説明する。変形例として、連結部７の形状を変えた。図１９は、光学部品の一部の上面図であり、連結部を拡大した図である。図１９には、連結部７の別の例として、連結部７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄが示されている。
【００６７】
連結部７の形状は、突起部１２、３２による押下によって生じるねじれ（歪み）のエネルギーを吸収しやすい形状であれば、どのような形状であっても構わない。例えば、連結部７の両端部間の距離が、より長くなる形状であることが好ましい。変形例においては、一例として連結部７の屈曲部８の形状を変えている。
【００６８】
連結部７Ａは、屈曲部８の代わりに屈曲部８Ａを有する。屈曲部８Ａは、直線部分がＸ−Ｙ面内において左右に斜めに折れ曲がった形状を有する。このように連結部７Ａの一部が折れ曲がっているため、連結部７Ａの両端部間の距離が、連結部７Ａを直線部９のみで構成するよりも長くなる。そのことにより、連結部７Ａを直線部９のみで構成するよりも、ねじれ（歪み）によるエネルギーをより吸収しやすくなる。連結部７Ｂは、屈曲部８の代わりに屈曲部８Ｂを有する。屈曲部８Ｂは、屈曲部８Ａと同様に、直線部分がＸ−Ｙ面内において左右に斜めに折れ曲がった形状を有する。屈曲部８Ｂにおいては、折れ曲がった部分が曲線状となっている。これにより、折れ曲がった部分において、ねじれによる応力の集中を避けることが可能となる。
【００６９】
連結部７Ｃは、屈曲部８の代わりに屈曲部８Ｃを有する。屈曲部８Ｃは、直線部分がＸ−Ｙ面内においてほぼ直角に折れ曲がった形状を有する。これにより、連結部７Ｃの両端部間の距離がより長くなるため、ねじれ（歪み）によるエネルギーをより吸収しやすくなる。連結部７Ｄは、屈曲部８の代わりに屈曲部８Ｄを有する。屈曲部８Ｄは、屈曲部８Ｃと同様に、直線部分がＸ−Ｙ面内においてほぼ直角に折れ曲がった形状を有する。屈曲部８Ｄにおいては、折れ曲がった部分が曲線状となっている。これにより、折れ曲がった部分において、ねじれによる応力の集中を避けることが可能となる。
【符号の説明】
【００７０】
１  光学部品
２  枠体
５  光学機能部
６  ツバ部
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ  連結部
８、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ  屈曲部
９  直線部
１０  第１の治具
１１、３１  表面
１２、３２  突起部
１３、１５、２３、２４、３３、３５  貫通孔
１４、３４  凹部
１６、２５、３６  当接部
２０  構造体
２１  第１の凹部
２２  第２の凹部
２６  第３の凹部
３０  第２の治具
５１  第１の光学面
５２  第２の光学面
【図１】
2012031438.tif 000003
【図２】
2012031438.tif 000004
【図３】
2012031438.tif 000005
【図４】
2012031438.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2012031438.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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