(57)【要約】【課題】センサ固定ねじの先端によってセンサホルダを損傷させることなく、位置センサをシリンダチューブに簡単かつ安全にしかも位置調節可能に取り付ける。【解決手段】シリンダチューブ１０の外周に取付バンド２０でセンサホルダ１８を取り付け、該センサホルダ１８にセンサ固定ねじ１９で位置センサ１７を固定する位置検出装置において、前記センサ固定ねじ１９に鍔状の係止部３２を設け、該センサ固定ねじ１９を時計回りに回転させたときは、前記係止部３２がセンサ取付溝２６の開口部２７の口縁部外面２７ａに当接することにより位置センサ１７が引き上げられ、開口部２７の口縁内面に係止して固定され、前記センサ固定ねじ１９を反時計回りに回転させたときは、前記係止部３２が貫通孔３３の上壁面３３ａに当接することにより位置センサ１７が押し下げられ、センサ取付溝２６の溝底２６ｂに押し付けられて固定される。【選択図】図１
2012132499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体圧シリンダのピストンの位置を検出する位置センサと、該位置センサを保持するセンサホルダと、前記位置センサを該センサホルダに固定するため前記位置センサに螺着されたセンサ固定ねじと、前記センサホルダをシリンダチューブの外周に取り付ける取付バンドとを有し、
前記センサ固定ねじは、頭部に鍔状の係止部を有し、
前記センサホルダは、シリンダチューブの軸線方向に延びる前記センサ取付溝と、該センサ取付溝に沿って形成された前記開口部と、該開口部に沿ってセンサホルダを貫通するように延びる貫通孔と、前記センサホルダの上面から該貫通孔に達するように形成された中空部とを有し、
前記開口部の幅は、前記センサ取付溝の内部の溝幅及び前記センサ固定ねじの係止部の径より小さく形成され、前記貫通孔の横幅は、前記センサ取付溝の開口部の幅及び前記センサ固定ねじの係止部の径より大きく形成され、また、該貫通孔の上下幅は、前記センサ固定ねじの係止部の厚みより大きく形成され、
前記センサ固定ねじの係止部は、該センサ固定ねじを時計回り又は反時計回りに回転させることにより前記センサ取付溝の開口部の口縁部外面と前記貫通孔の上壁面とに選択的に当接可能であり、該係止部が前記口縁部外面外面又は上壁面に係止することによって前記位置センサが前記センサ固定ねじで前記センサ取付溝内に固定されるように構成され、
前記センサ固定ねじは前記中空部を通じて工具により回転操作可能である、
ことを特徴とする流体圧シリンダの位置検出装置。
【請求項２】
前記取付バンドは、前記シリンダチューブの外周を取り巻くバンド主体部と、該バンド主体部の両端に互いに相対するように形成された一対の挟持部とを有し、該一対の挟持部間に前記センサホルダが挟持され、該挟持部とセンサホルダとを貫通する取付ねじで前記一対の挟持部を相互に引き締めることにより該センサホルダが前記シリンダチューブの外周に取り付けられ、
前記センサホルダは、前記取付バンドの挟持部間に挟持されるホルダ本体部と、該ホルダ本体部の第１端及び反対側の第２端から前記センサ取付溝に沿って延出する第１延出部及び第２延出部のうち少なくとも前記第１延出部とを有していて、該第１延出部からホルダ本体部に至るように前記センサ取付溝及び開口部が形成され、前記ホルダ本体部に前記貫通孔と中空部とが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【請求項３】
前記ホルダ本体部の左右両側面にはそれぞれ、該ホルダ本体部の高さ方向に延びる２つのリブが平行に形成され、該２つのリブの間に前記取付バンドの挟持部が介在することにより、前記取付ねじを中心とする前記挟持部とセンサホルダとの相対的な回転が防止されていることを特徴とする請求項２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記中空部は、前記ホルダ本体部の端部に形成されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記センサ取付溝の一端は開放して該一端に前記位置センサを挿入するための挿入口が形成され、他端は補強用の壁で塞がれていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記センサ取付溝の溝底は外部に開放していることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧シリンダのピストンの動作位置を検出する位置検出装置に関するものであり、更に詳しくは、取付バンドを用いて位置センサをシリンダチューブに取り付けるタイプの位置検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体圧シリンダには、一般に、ピストンの動作位置を検出してその検出信号を流体圧シリンダの制御用信号として使用するため、位置検出装置が取り付けられている。この位置検出装置は、前記ピストンに取り付けた永久磁石の磁気を、シリンダチューブの外面に取り付けた磁気感応形の位置センサで検出するようにしたもので、該位置センサをシリンダチューブの外面に取り付けるため、従来より様々な機構が用いられている。
【０００３】
例えば特許文献１には、開口部の幅が狭いセンサ取付溝を備えたセンサホルダを取付バンドでシリンダチューブの外周に取り付け、前記センサ取付溝内に位置センサを収容し、該位置センサに螺着したセンサ固定ねじで該位置センサをセンサホルダに固定した位置センサの取付構造が開示されている。
【０００４】
前記従来の取付構造においては、前記センサ固定ねじを締め込んでその先端をセンサ取付溝の溝底に当接させ、その状態で更に該センサ固定ねじを回転させることによって前記位置センサを浮上させ、センサ取付溝の開口部の口縁部外面に該位置センサを係止させて固定するようにしていた。このため、前記センサ固定ねじの先端によってセンサ取付溝の溝底に傷が付き易かった。特に、前記位置センサをシリンダチューブの外面にできるだけ近づけて感度を高めるために、前記センサホルダを合成樹脂により形成してセンサ取付溝の底部を薄く形成した場合には、該センサホルダが前記センサ固定ねじの当接によって破損することもあった。また、前記位置センサ及びセンサ取付溝の断面形状によっては該位置センサが傾いた姿勢で固定されてしまうという不都合もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１２５１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、センサ固定ねじの先端によってセンサホルダを損傷させることなく、位置センサをシリンダチューブに簡単かつ安全にしかも位置調節可能に取り付けられるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため本発明によれば、流体圧シリンダのピストンの位置を検出する位置センサと、該位置センサを保持するセンサホルダと、前記位置センサを該センサホルダに固定するため前記位置センサに螺着されたセンサ固定ねじと、前記センサホルダをシリンダチューブの外周に取り付ける取付バンドとを有する流体圧シリンダの位置検出装置が提供される。
前記センサ固定ねじは、頭部に鍔状の係止部を有し、前記センサホルダは、シリンダチューブの軸線方向に延びる前記センサ取付溝と、該センサ取付溝に沿って形成された前記開口部と、該開口部に沿ってセンサホルダを貫通するように延びる貫通孔と、前記センサホルダの上面から該貫通孔に達するように形成された中空部とを有している。
また、前記開口部の幅は、前記センサ取付溝の内部の溝幅及び前記センサ固定ねじの係止部の径より小さく形成され、前記貫通孔の横幅は、前記センサ取付溝の開口部の幅及び前記センサ固定ねじの係止部の径より大きく形成され、該貫通孔の上下幅は、前記センサ固定ねじの係止部の厚みより大きく形成されている。
更に、前記センサ固定ねじの係止部は、該センサ固定ねじを時計回り又は反時計回りに回転させることにより前記センサ取付溝の開口部の口縁部外面と前記貫通孔の上壁面とに選択的に当接可能であり、該係止部が前記口縁部外面又は上壁面に係止することにより前記位置センサが前記センサ固定ねじで前記センサ取付溝内に固定されるように構成され、前記センサ固定ねじは前記中空部を通じて工具により回転操作可能である。
【０００８】
本発明の具体的な構成態様によれば、前記取付バンドが、前記シリンダチューブの外周を取り巻くバンド主体部と、該バンド主体部の両端に互いに相対するように形成された一対の挟持部とを有し、該一対の挟持部間に前記センサホルダが挟持され、該挟持部とセンサホルダとを貫通する取付ねじで前記一対の挟持部を相互に引き締めることにより該センサホルダが前記シリンダチューブの外周に取り付けられている。また、前記センサホルダは、前記取付バンドの挟持部間に挟持されるホルダ本体部と、該ホルダ本体部の第１端及び反対側の第２端から前記センサ取付溝に沿って延出する第１延出部及び第２延出部のうち少なくとも前記第１延出部とを有していて、該第１延出部からホルダ本体部に至るように前記センサ取付溝及び開口部が形成され、前記ホルダ本体部に前記貫通孔と中空部とが形成されている。
【０００９】
本発明においては、前記ホルダ本体部の左右両側面にはそれぞれ、該ホルダ本体部の高さ方向に延びる２つのリブが平行に形成され、該２つのリブの間に前記取付バンドの挟持部が介在することにより、前記取付ねじを中心とする前記挟持部とセンサホルダとの相対的な回転が防止されていることが好ましい。
【００１０】
本発明において好ましくは、前記中空部がホルダ本体部の端部に形成されていることである。
また、前記センサ取付溝の一端は開放して該一端に前記位置センサを挿入するための挿入口が形成され、他端は補強用の壁で塞がれていても良く、前記該センサ取付溝の溝底は外部に開放していても良い。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、取付バンド及び取付ねじでセンサホルダをシリンダチューブに固定したまま、センサ固定ねじを緩めるだけで、位置センサの位置調整を簡単に行うことができる。また、前記位置センサの固定時に前記センサ固定ねじの先端がセンサ取付溝の溝底に当接しないため、該センサ固定ねじでセンサ取付溝の溝底やシリンダチューブ外面等が損傷されることがない。更に、前記センサ固定ねじを時計回り又は反時計回りに回転させて係止部をセンサ取付溝の開口部の口縁部外面と貫通孔の上壁面とに選択的に当接させることにより、位置センサをセンサ取付溝の溝底から浮上させた状態と溝底に押し付けた状態との何れの状態でも固定することができるので、条件に応じて固定方法を選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る位置検出装置の一実施形態を示す組立状態の斜視図である。
【図２】図１の位置検出装置を分解して示す斜視図である。
【図３】図２の一部の部品を拡大して示す斜視図である。
【図４】図１における取付ねじの位置での要部拡大断面図である。
【図５】図１におけるセンサ固定ねじの位置での要部拡大断面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】センサ固定ねじによる位置センサの一つの固定態様を示す断面図である。
【図８】センサ固定ねじによる位置センサの他の固定態様を示す断面図である。
【図９】センサホルダの他の実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１−図６は本発明に係る位置検出装置の一実施形態を示すもので、図中の符号１は流体圧シリンダ、２は該流体圧シリンダ１の外面に取り付けられた位置検出装置を示している。
【００１４】
前記流体圧シリンダ１は、シリンダ孔を内部に有する円筒形をしたシリンダチューブ１０と、該シリンダチューブ１０の両端に取り付けられたロッドカバー１１及びヘッドカバー１２とを有し、前記シリンダチューブ１０の内部にはピストン１３が該シリンダチューブ１０の中心軸線（以下、「チューブ軸線」という）Ｌ方向に摺動自在なるように収容され、該ピストン１３に基端部を連結されたピストンロッド１４が、前記ロッドカバー１１を摺動自在に貫通して前記シリンダチューブ１０の前方に向けて延出している。
【００１５】
前記ロッドカバー１１及びヘッドカバー１２にはポート１５ａ，１５ｂが形成され、該ポート１５ａ，１５ｂ通じて前記ピストン１３の両側の圧力室に圧力流体（例えば圧縮空気）を交互に給排することにより、前記ピストン１３及びピストンロッド１４が前進したり後退したりする。
【００１６】
前記ピストン１３の外周にはリング状の永久磁石１６が取り付けられ、この永久磁石１６の磁気を前記位置検出装置２で検出することにより前記ピストン１３の動作位置が検出されるようになっている。この場合、前記位置検出装置２を図示したようにシリンダチューブ１０のロッドカバー１１寄りの位置に取り付けたときは、ピストン１３の前進ストローク端の位置を検出することができ、前記位置検出装置２をシリンダチューブ１０のヘッドカバー１２寄りの位置に取り付けたときは、ピストン１３の後退ストローク端の位置を検出することができ、２つの位置検出装置２をシリンダチューブ１０の両端寄りの位置に取り付けたときは、ピストン１３の前進ストローク端と後退ストローク端との位置を検出することがる。
【００１７】
前記位置検出装置２は、前記永久磁石１６の磁気を検出する位置センサ１７と、該位置センサ１７を保持するセンサホルダ１８と、前記位置センサ１７を該センサホルダ１８に固定するセンサ固定ねじ１９と、前記センサホルダ１８を前記シリンダチューブ１０の外周に取り付ける取付バンド２０と、前記シリンダチューブ１０に対する該取付バンド２０の固定と該取付バンド２０に対する前記センサホルダ１８の固定とを同時に行う１本の取付ねじ２１とで構成されている。
【００１８】
前記取付バンド２０は、細長い帯状をした弾性金属板好ましくは非磁性の金属板を円弧状に湾曲させて形成したもので、前記シリンダチューブ１０の外周を取り巻くバンド主体部２０ａと、該バンド主体部２０ａの両端に互いに相対するように形成された一対の挟持部２０ｂ，２０ｃとを有している。
前記バンド主体部２０ａには、必要に応じてゴムや合成樹脂等の弾性と圧縮性とを備えた素材からなる滑り止め２２を取り付けることができる。この滑り止め２２は、図示したように帯状をしていて、前記バンド主体部２０ａの内周全体に連続的に装着されていても良いが、独立する複数の弾性体を適当な間隔で前記バンド主体部２０ａに取り付けたものであっても良い。
【００１９】
前記一対の挟持部２０ｂ，２０ｃの内側面は平らな挟持面であり、該一対の挟持部２０ｂ，２０ｃには、それぞれねじ締付孔２３ａ，２３ｂが形成されている。一方の挟持部２０ｂに形成された第１のねじ締付孔２３ａは、内周に雌ねじが形成されていない通常の孔であり、他方の挟持部２０ｃに形成された第２のねじ締付孔２３ｂは、内周に雌ねじが切られたねじ孔である。そして、前記第１のねじ締付孔２３ａ側から挿入された取付ねじ２１の先端の雄ねじが、第２のねじ締付孔２３ｂの内周の雌ねじに螺着されるようになっている。
【００２０】
なお、前記一対の挟持部２０ｂ，２０ｃのうち少なくとも第２のねじ締付孔２３ｂが形成されている挟持部２０ｂは、取付バンド２０の端部に厚肉の補強部材を一体に接合するかあるいは重設することによって厚みをバンド主体部２０ａより厚く形成されているが、該取付バンド２０の端部を複数に折り重ねることにより形成することもできる。
また、前記取付バンド２０は、硬質で弾性を有する合成樹脂によって形成することもできる。
【００２１】
前記センサホルダ１８は、合成樹脂などの非磁性素材により形成された単一の部品であって、前記取付バンド２０の一対の挟持部２０ｂ，２０ｃ間に挟持されるホルダ本体部１８Ａと、該ホルダ本体部１８Ａの第１端１８ａ及び反対側の第２端１８ｂの下半部からチューブ軸線Ｌ方向に延出する第１延出部１８Ｂ及び第２延出部１８Ｃとを有している。前記ホルダ本体部１８Ａの底面と第１延出部１８Ｂ及び第２延出部１８Ｃの底面とは、互いに同一面上にある。また、該第１延出部１８Ｂ及び第２延出部１８Ｃの高さは、互いに等しいが、前記ホルダ本体部１８Ａの高さよりは低く、該ホルダ本体部１８Ａの高さの約１／２程である。更に、前記第１延出部１８Ｂ及び第２延出部１８Ｃのチューブ軸線Ｌ方向の長さは互いに異なっており、第１延出部１８Ｂの長さが第２延出部１８Ｃの長さより長い。しかし、第１延出部１８Ｂの長さと第２延出部１８Ｃの長さとは互いに等しくても構わない。
【００２２】
前記センサホルダ１８には、チューブ軸線Ｌ方向に延びるセンサ取付溝２６と、該センサ取付溝２６に沿って延びる開口部２７とが、前記第１延出部１８Ｂからホルダ本体部１８Ａを貫通して第２延出部１８Ｃに達するように形成されている。前記開口部２７は、センサ取付溝２６の上側部に沿って形成され、前記第１延出部１８Ｂ及び第２延出部１８Ｃの位置では外部に露出している。
【００２３】
前記センサ取付溝２６は、断面形状を優弧形とすることにより開口部２７の幅を内部の溝幅より狭くしたもので、該センサ取付溝２６の長手方向の一端即ち第１延出部１８Ｂ側の端部は、挿入口２６ａとして開放し、該センサ取付溝２６の他端即ち第２延出部１８Ｃ側の端部は、補強用の壁２８で塞がれている。そして、前記挿入口２６ａから位置センサ１７が該センサ取付溝２６内に挿入され、前記センサ固定ねじ１９で該センサ取付溝２６内に固定されている。なお、前記壁２８は無くすこともできる。
【００２４】
前記位置センサ１７は、細長い棒状をしたもので、優弧形の断面形状を有する本体部分１７ａと、該本体部分１７ａの上面に形成された矩形の断面形状を有する台状部分１７ｂとからなっている。前記本体部分１７ａの直径（横幅）は、前記センサ取付溝２６の内部の溝幅より小さいが、前記開口部２７の幅より大きく形成され、それによって該位置センサ１７が開口部２７に溝内部から係止できるようになっている。
また、前記台状部分１７ｂは、前記センサ取付溝２６の開口部２７内に嵌合し、回り止めの役目を果たしている。
図中２９は、センサから位置検出信号を取り出すためのリード線である。
【００２５】
前記位置センサ１７の前端部には、ねじ孔１７ｃが該位置センサ１７を上下方向に貫通するように形成され、このねじ孔１７ｃに前記センサ固定ねじ１９の先端部が螺着され、該位置センサ１７の中間位置には、位置検出時に点灯するインジケータランプ１７ｄが設けられている。
【００２６】
前記センサ固定ねじ１９の頭部は、前記開口部２７を貫通してセンサ取付溝２６の外部に突出し、該頭部に鍔状の係止部３２が形成されている。この係止部３２は、前記センサ取付溝２６の開口部２７の平らな口縁部外面２７ａに該センサ取付溝２６の外側から係止可能である。該係止部３２の平面視形状は円形であることが望ましく、また、該係止部３２の上下面のうち、前記センサ取付溝２６の口縁部外面２７ａに当接する下面部分と、貫通孔３３の上壁面３３ａに当接する上面部分とは、平坦面に形成されていることが望ましい。前記係止部３２の上面には、ドライバ等の工具の先端を係止させて回転操作するための操作溝３２ａが形成されている。
【００２７】
前記ホルダ本体部１８Ａの内部には、前記開口部２７に沿って延びる前記貫通孔３３が、該ホルダ本体部１８Ａを第１端１８ａ側から第２端１８ｂ側まで貫通するように形成され、該貫通孔３３内に前記センサ固定ねじ１９の係止部３２が嵌合できるようになっている。該貫通孔３３の上壁面３３ａは水平面である。
【００２８】
また、前記ホルダ本体部１８Ａの第１端１８ａ寄り及び第２端１８ｂ寄りの位置には、該ホルダ本体部１８Ａの上面から該貫通孔３３に達する深さの中空部３４と透視窓３５とが、前記センサ取付溝２６に沿って平面視形状がＵ字状をなすように切り込まれている。そして、前記中空部３４を通じて前記センサ固定ねじ１９をドライバ等の工具で回転操作することができ、前記透視窓３５を通じて位置センサ１７の上面の前記インジケータランプ１７ｄを視認することができるようになっている。
【００２９】
前記センサ取付溝２６の開口部２７の幅は、該センサ取付溝２６の内部の溝幅及び前記センサ固定ねじ１９の係止部３２の径より小さく、前記貫通孔３３の横幅は、前記センサ取付溝２６の開口部２７の幅及び前記センサ固定ねじ１９の係止部３２の径より大きく、該貫通孔３３の縦幅（上下幅）は、前記センサ固定ねじ１９の係止部３２の厚みより大きい。また、前記中空部３４の横幅は、前記センサ固定ねじ１９の係止部３２の径より小さい。
【００３０】
前記センサ固定ねじ１９は、それを時計回り又は反時計回りに回転させることにより、前記係止部３２が前記センサ取付溝２６の開口部２７の口縁部外面２７ａと前記貫通孔３３の上壁面３３ａとに選択的に当接し、それによって前記位置センサ１７をセンサ取付溝２６内に固定することができるものである。
【００３１】
即ち、図７に示すように、前記センサ固定ねじ１９を時計回りに回転させたときは、前記係止部３２が前記開口部２７の口縁部外面２７ａにセンサ取付溝２６の外側から係止するため、前記位置センサ１７が該センサ固定ねじ１９により引き上げられ、センサ取付溝２６の開口部２７の口縁部内面に内側から当接、係止してセンサ取付溝２６内に固定される。このとき、前記係止部３２は、前記開口部２７の両側の平坦な口縁部外面２７ａに跨るように係止し、水平姿勢を維持するため、位置センサ１７も水平に固定されることになる。この固定方法は、前記センサ固定ねじ１９が前記中空部３４の位置で貫通孔３３内に嵌合している場合でも、該貫通孔３３から完全に脱出して前記第１延出部１８Ｂ上に位置している場合でも、用いることができる。
【００３２】
また、前記センサ固定ねじ１９が前記中空部３４の位置で貫通孔３３内に嵌合している場合には、図８に示すように、前記中空部３４を通じて工具で該センサ固定ねじ１９を反時計回りに回転させると、該センサ固定ねじ１９は上昇して係止部３２が前記貫通孔３３の水平な上壁面３３ａに当接し、その状態で該センサ固定ねじ１９を更に回転させることにより、前記位置センサ１７はセンサ取付溝２６の溝底２６ｂに押し付けられて固定される。この場合にも、前記係止部３２が水平な上壁面３３ａに当接して水平姿勢を維持するため、位置センサ１７も水平に固定されることになる。
【００３３】
このようにして、前記センサ固定ねじ１９を時計回り又は反時計回りに回転させて係止部３２をセンサ取付溝２６の開口部２７の口縁部外面２７ａと貫通孔３３の上壁面３３ａとに選択的に当接させることにより、位置センサ１７をセンサ取付溝２６の溝底２６ｂから浮上させた状態と溝底２６ｂに押し付けた状態との何れの状態でも固定することができるので、位置検出装置２の設置条件に応じて位置センサ１７の固定方法を適宜選択することができる。
【００３４】
また、前記センサ固定ねじ１９は、それを時計回り及び反時計回りの何れの方向に回転させて前記位置センサ１７を固定しても、該センサ固定ねじ１９の先端がセンサ取付溝２６の溝底２６ｂに当接することがないので、該センサ固定ねじ１９でセンサ取付溝２６の溝底２６ｂが損傷されることがない。
【００３５】
図１−図３から分かるように、前記ホルダ本体部１８Ａの左右の側面１８ｃは、相互に平行な平面に形成され、該側面１８ｃの上端部近くの位置に、前記挟持部２０ｂ，２０ｃのねじ締付孔２３ａ，２３ｂに連なるねじ挿通孔３６が、該ホルダ本体部１８Ａを幅方向に貫通するように形成されている。該ねじ挿通孔３６は、前記貫通孔３３を完全に横切らないような位置に設けられている。その理由は、前記位置センサ１７を前記センサ取付溝２６内に出し入れしたり、あるいは位置調整のため変位させたりする場合に、前記ねじ挿通孔３６に挿通した取付ねじ２１と前記センサ固定ねじ１９の係止部３２とがぶつかり合うのを避けるためである。
【００３６】
そして、前記取付ねじ２１を、一方の挟持部２０ｂの第１のねじ締付孔２３ａから、前記ねじ挿通孔３６内に挿通して他方の挟持部２０ｃの第２のねじ締付孔２３ｂの雌ねじに螺着し、該取付ねじ２１を締め付けて２つの挟持部２０ｂ，２０ｃを相互に引き締めることにより、前記シリンダチューブ１０に対する前記取付バンド２０の固定と、該取付バンド２０に対する前記センサホルダ１８の固定とが、前記取付ねじ２１によって同時に行われている。
【００３７】
前記ホルダ本体部１８Ａの左右両側面１８ｃにはそれぞれ、該ホルダ本体部１８Ａの高さ方向に延びる２つのリブ３７が平行に形成され、該２つのリブ３７の間に前記取付バンド２０の挟持部２０ｂが介在することにより、前記取付ねじ２１を締め付ける際に該取付ねじ２１を中心とする前記挟持部２０ｂとセンサホルダ１８との相対的な回転が防止されている。また、前記リブ３７は、ホルダ本体部１８Ａを補強する機能も有する。
前記リブ３７は、ホルダ本体部１８Ａの高さ全体にわたって形成されているが、該ホルダ本体部１８Ａの上半部だけに形成することもできる。
【００３８】
前記位置検出装置２は、このように構成されて前記シリンダチューブ１０に取り付けられているから、前記位置センサ１７の位置調整を行うときは、前記取付ねじ２１で取付バンド２０とセンサホルダ１８とをシリンダチューブ１０に固定したまま、前記センサ固定ねじ１９を緩め、前記位置センサ１７をセンサ取付溝２６に沿って移動させてピストン１３の永久磁石１６の磁気に最も感応し易い位置に配置したあと、前記センサ固定ねじ１９を再び締め込むことにより、該位置センサ１７をその位置に固定することができる。従って、前記取付ねじ２１を緩めて取付バンド２０やセンサホルダ１８を変位させる作業を行う必要がなく、位置センサ１７だけを単独で変位させて簡単にその位置調整を行うことができる。
【００３９】
前記センサホルダ１８は、それを合成樹脂で形成する場合、不透明な合成樹脂で形成することも、透明な合成樹脂で形成することもできる。不透明な合成樹脂で形成する場合には、図示した実施形態のように、位置センサ１７のインジケータランプ１７ｄを視認するための透視窓３５を形成することが望ましいが、透明な合成樹脂で形成した場合には、このような透視窓３５を必ずしも設ける必要がなく、それを省略することもできる。
【００４０】
また、図示した実施形態では、前記センサ取付溝２６が優弧形の断面形状をしていて、溝底２６ｂを有しているが、図９に示すように、該溝底２６ｂは外部に開放されていても良い。この場合、前記センサ固定ねじ１９の係止部３２を前記貫通孔３３の水平な上壁面３３ａに当接させることによって前記位置センサ１７をセンサ取付溝２６の溝底２６ｂ側に押圧したとき、該位置センサ１７は、図８のように溝底２６ｂが塞がれている場合よりはシリンダチューブの１０の外面に近接した位置を占めるか、あるいは、該シリンダチューブの１０の外面に直接押し付けられることになり、位置検出の感度が高まる。
【００４１】
また、図示した実施形態では、センサホルダ１８がホルダ本体部１８Ａの両側に第１延出部１８Ｂと第２延出部１８Ｃとを有しているが、第１延出部１８Ｂだけを残して第２延出部１８Ｃは省略しても構わない。また、前記第２延出部１８Ｃの有無に拘わらず、前記中空部３４は必ずしも図示したようなＵ字形の切り込みである必要はなく、ホルダ本体部１８Ａの第２端１８ｂ側が開放していない長孔であっても良い。
【符号の説明】
【００４２】
１      流体圧シリンダ
２      位置検出装置
１０      シリンダチューブ
１３      ピストン
１７      位置センサ
１８      センサホルダ
１８Ａ    ホルダ本体部
１８Ｂ    第１延出部
１８Ｃ    第２延出部
１８ａ    第１端
１８ｂ    第２端
１９      センサ固定ねじ
２０      取付バンド
２０ａ    バンド主体部
２０ｂ，２０ｃ    挟持部
２１      取付ねじ
２６      センサ取付溝
２６ａ    挿入口
２６ｂ    溝底
２７      開口部
２７ａ    口縁部外面
２８      壁
３２      係止部
３３      貫通孔
３３ａ    上壁面
３４      中空部
３７      リブ
Ｌ      軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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