(57)【要約】【課題】予熱部による予熱に起因した被加工物の反りを抑制できるラミネート装置及びラミネート方法を得ること。【解決手段】ラミネート装置は、被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部とを備え、前記予熱部は、予熱ヒータと、前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記被加工物における温度分布が均一になるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる支持制御部とを有する。【選択図】図１
2012245669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を予熱する予熱部と、
前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、
を備え、
前記予熱部は、
予熱ヒータと、
前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、
前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる支持制御部と、
を有する
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
被加工物を予熱する予熱部と、
前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、
を備え、
前記予熱部は、
複数の加熱部を有する予熱ヒータと、
前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材の先端の温度を測定する複数の温度センサと、
前記複数の温度センサによる測定結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する温度制御部と、
を有する
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項３】
被加工物を予熱する予熱部と、
前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部と、
を備え、
前記ラミネート部は、
複数の加熱部を有するヒータと、
前記ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材の先端の温度を測定する複数の温度センサと、
前記複数の温度センサによる測定結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する温度制御部と、
を有する
ことを特徴とするラミネート装置。
【請求項４】
被加工物を予熱する予熱工程と、
前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、
を備え、
前記予熱工程は、
予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、
前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、
前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる工程と、
を有する
ことを特徴とするラミネート方法。
【請求項５】
被加工物を予熱する予熱工程と、
前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、
を備え、
前記予熱工程は、
複数の加熱部を有する予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、
前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、
前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する工程と、
を有する
ことを特徴とするラミネート方法。
【請求項６】
被加工物を予熱する予熱工程と、
前記予熱工程で予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート工程と、
を備え、
前記ラミネート工程は、
複数の加熱部を有するヒータの上方に前記被加工物が位置するように複数の支持部材で前記被加工物を支持する工程と、
前記複数の支持部材の先端の温度を測定する工程と、
前記測定された結果に基づいて、前記被加工物における温度分布の不均一性が低減されるように、前記複数の加熱部を制御する工程と、
を有する
ことを特徴とするラミネート方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラミネート装置及びラミネート方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のラミネート装置では、ラミネート装置本体の前部に搬送コンベアを設け、搬送コンベア上の被加工物をラミネート装置本体へ搬入する。ラミネート装置本体は上チャンバー部と下チャンバー部とに分かれており、上チャンバーを開いた状態で、下チャンバーのヒータ板上に被加工物を配置する。被加工物では、最下層のガラス基板にシート状の樹脂封止材、太陽電池セル、シート状樹脂材を積層し、最上層に保護シート材を配置する。
【０００３】
ラミネート装置本体では、上チャンバーと下チャンバーとを重ねて、内部を減圧しながら被加工物を加熱する。その後、上チャンバー内を大気開放することにより、上チャンバーに備えられたダイアフラムが膨張し、被加工物としての太陽電池モジュールがヒータ板上で挟圧される。ヒータ板上で樹脂が溶融しながら減圧されることで、被加工物内部の気泡を抜きながら樹脂材により密閉封止されることでラミネート加工が完了する。
【０００４】
特許文献１には、ラミネート装置において、搬入された太陽電池パネルが、ヒータ盤の上面よりも上方に突出させた複数の支持ピンの上端に載置されることが記載されている。これにより、特許文献１によれば、太陽電池パネルをヒータ盤の上方に持ち上げた状態で徐々に加熱することが可能なので、太陽電池パネルの下面側のみを急激に加熱した場合に発生するガラスの反りを減らすことができるとされている。
【０００５】
特許文献２には、ラミネート装置において、ラミネート処理を行うラミネート部に太陽電池パネルを搬入する前に、供給部で赤外線ヒータにより太陽電池パネルの上方から赤外線を照射して太陽電池パネルを予熱することが記載されている。これにより、特許文献２によれば、ラミネート部に搬入する前に太陽電池パネルが予熱されているので、ラミネート部のヒータ盤上に載置した際に発生する太陽電池パネル内部の温度勾配が小さくなり、太陽電池パネルの上面と下面との温度差に起因する太陽電池パネルの反りの発生を少なくできるとされている。
【０００６】
特許文献３には、ラミネート装置において、ラミネート部に搬入する前に待機する被加工物を、搬入コンベアに配置された複数個の予熱ヒータにより予熱することが記載されている。具体的には、搬入コンベアの幅方向に対して両端の予熱ヒータの温度を高く中央部の予熱ヒータの温度を低く設定し、搬入コンベアの搬送方向に対して投入側の予熱ヒータの温度を高くラミネート部側の予熱ヒータの温度を低く設定するとされている。これにより、特許文献３によれば、ラミネート部における加熱時の被加工物の反りの発生を従来に比べ格段に少なく抑えることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】登録実用新案第３０３７２０１号公報
【特許文献２】特開平１０−９５０８９号公報
【特許文献３】特開２００８−７２０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一方、太陽電池モジュールを樹脂で封止するラミネート装置において、被加工物である太陽電池モジュールをラミネート部のヒータで急激に加熱をすると、太陽電池モジュールにおけるガラス基板に上向きの反りが発生する。この反りを抑制するために、ラミネート部前段に予熱部を設け、予熱部で予め被加工物を予熱してからラミネート部に搬入する。
【０００９】
このとき、被加工物である太陽電池モジュールの大型化に伴い、予熱部における搬送コンベアに配置された予熱ヒータ内の複数の加熱部の設定温度が一様である場合、太陽電池モジュールにおけるガラス基板の中央部と外周部との間に温度差が生じ、太陽電池モジュールの外周部が搬送コンベアより浮き上がることがある。すなわち、予熱部による予熱によっても既に被加工物（太陽電池モジュール）に反りが生じることがある。
【００１０】
反りが残ったまま被加工物（太陽電池モジュール）がラミネート部で加熱・狭圧処理されると、ガラス基板等に対して反りを矯正する力が加わることとなり、ガラス基板の破損など太陽電池モジュールにおける破損が発生する傾向にある。また、太陽電池モジュールの端部の部分的な加熱温度不足が発生して、ガラスと樹脂・保護フィルムとの間の未接着等が起こることがある。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、予熱部による予熱に起因した被加工物の反りを抑制できるラミネート装置及びラミネート方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の１つの側面にかかるラミネート装置は、被加工物を予熱する予熱部と、前記予熱部により予熱された前記被加工物に対してラミネート加工を施すラミネート部とを備え、前記予熱部は、予熱ヒータと、前記予熱ヒータの上方に前記被加工物が位置するように前記被加工物を支持する複数の支持部材と、前記被加工物における温度分布が均一になるように、前記複数の支持部材をそれぞれ上下させる支持制御部とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数の支持部材により被加工物と予熱ヒータとの接触・被接触を制御するので、予熱部において被加工物が急加熱されることを低減でき、急加熱による被加工物における温度分布の不均一性を低減でき、被加工物の反りを抑制できる。すなわち、予熱部による予熱に起因した被加工物の反りを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施の形態１における被加工物の構成を示す図である。
【図２】図２は、実施の形態１にかかるラミネート装置の構成を示す図である。
【図３】図３は、実施の形態１における予熱部の構成を示す図である。
【図４】図４は、実施の形態１における予熱部の構成を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態１における予熱部の構成を示す図である。
【図６】図６は、実施の形態１におけるラミネート部の構成を示す図である。
【図７】図７は、実施の形態２におけるラミネート部の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明にかかるラミネート装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる。
【００１６】
実施の形態１．
実施の形態１にかかるラミネート装置１００について説明する。
【００１７】
ラミネート装置１００は、被加工物１０のラミネート加工を行う前に被加工物１０を予熱するが、その予熱の際における被加工物１０の面内温度分布を均一化するための機能を有する。ラミネート装置１００で取扱う被加工物１０は、例えば太陽電池モジュールであり、図１に示すような構成を有する。
【００１８】
被加工物１０（例えば、太陽電池モジュール）では、ガラス基板１１、樹脂封止材１２、太陽電池アレイ１５、樹脂封止材１６、保護シート材１７が順に積層されている。樹脂封止材１２は、シート状であり、例えばエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などのラミネート加工可能な材料で形成されている。太陽電池アレイ１５では、複数の太陽電池セル１３が複数のリード線１４を介して直列に接続された太陽電池ストリングが例えば図１における奥行き方向に配列されている。樹脂封止材１６は、シート状であり、例えばエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などのラミネート加工可能な材料で形成されている。保護シート材１７は、例えばポリエチレン樹脂などで形成されている。被加工物１０では、例えばガラス基板１１が最下層とされ、保護シート材１７が最上層とされる。
【００１９】
ラミネート装置１００は、図２に示すように、搬入部（予熱部）１２０、ラミネート部１３０、及び搬出部１４０を備える。図２は、ラミネート装置１００の正面図である。搬入部１２０は、ラミネート部１３０の図２中左側に配され、ラミネート加工すべき被加工物１０をラミネート部１３０に搬入する。搬出部１４０は、ラミネート部１３０の図２中右側に配され、ラミネート加工された被加工物１０をラミネート部１３０から搬出する。
【００２０】
具体的には、搬入部１２０は、搬入コンベアＣＶ１の駆動ローラ１２２、１２３を回転させ加工前の被加工物１０を搬送ベルト１２１により、ラミネート部１３０の搬送コンベアＣＶ２の搬送ベルト１３１上へ搬入する。また、搬出部１４０は、搬出コンベアＣＶ３の駆動ローラ１４２、１４３を回転させラミネート部１３０から加工後の被加工物１０を搬送ベルト１４１を介して搬出する。搬入部１２０では、一度にラミネート処理する被加工物１０の数に応じて搬入コンベアＣＶ１を複数個配置しても良く、その各々の搬入コンベアＣＶ１にラミネート部１３０へ供給する前に被加工物１０を予熱することができる予熱ヒータ１２６を配置し、コンベア毎に個別に予熱ヒータ１２６の温度設定が可能な機構とする。
【００２１】
図３は、搬入コンベアＣＶ１の１ユニット分の正面図である。搬入コンベアＣＶ１下部に備えられた予熱ヒータ１２６により、被加工物１０をラミネート部１３０へ搬入する前に予熱を行う。すなわち、ラミネート部１３０のヒータ板１３６による急激な加熱処理における被加工物１０のガラス基板１１の反りを緩和し、被加工物１０におけるガラス基板１１の破損、太陽電池セル１３の破損などを抑制することを目的として、予熱ヒータ１２６は、ラミネート加工前の被加工物１０を予熱する。予熱ヒータ１２６は、複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐ（図４参照）を有する。
【００２２】
この予熱工程においても、予熱ヒータ１２６における複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐに対して一様な温度設定で加熱を行うと、被加工物１０のガラス基板１１の中央部と外周部とに温度差が生じ、上向きの反りが発生する傾向にある。また、複数個ある搬入コンベアＣＶ１のうち、先頭の搬入コンベアＣＶ１上の被加工物１０と中間、最終の搬入コンベアＣＶ１ａ、ＣＶ１ｂ上の被加工物１０との間での温度差が生じる傾向にある。
【００２３】
そこで、本実施の形態では、予熱ヒータ１２６から被加工物１０を持ち上げる機構として複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋ（図４参照）を設ける。複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋは、被加工物１０を安定して支持できるように、例えば２次元的に配されている。各支持部材１２７は、例えば、ピン形状を有しており、予熱ヒータ１２６に設けられた孔内を上下に移動可能である。すなわち、搬入部（予熱部）１２０は、搬入コンベアＣＶ１、予熱ヒータ１２６、複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋを有しているとともに、複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋを駆動制御する支持制御部１２５も有している。
【００２４】
支持制御部１２５は、被加工物１０の温度が所定温度を超えて上昇することの無いように被加工物１０と予熱ヒータ１２６との接触・非接触を調整することができる。この所定温度は、例えば、被加工物１０における温度分布の不均一性が許容範囲内に収まるものとして予め実験的に取得されたものである。図３（ａ）は、支持制御部１２５が複数の支持部材１２７を全て下降させた状態を示し、図３（ｂ）は、支持制御部１２５が複数の支持部材１２７を全て上昇させた状態を示す。支持制御部１２５が被加工物１０と予熱ヒータ１２６との接触・非接触の状態を制御することで、被加工物１０のガラス基板１１における温度分布のむらを緩和できるとともに、一度にラミネート部１３０へ搬入する複数の被加工物１０間の温度差も少なくすることができる。
【００２５】
具体的には、図４に示すように、複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋは、予熱ヒータ１２６全面に適当な間隔で形成された複数の孔内に配置される。また、各支持部材１２７−１〜１２７−ｋの先端には、温度センサ１２９−１〜１２９−ｋ（図５参照）が設けられている。支持制御部１２５は、被加工物１０の温度が所定温度を超えて上昇した場合に、支持部材１２７−１〜１２７−ｋを上昇させて被加工物１０を予熱ヒータ１２６から持ち上げて非接触の状態とし、被加工物１０の温度が所定温度より低下した場合に、支持部材１２７−１〜１２７−ｋを下降させて被加工物１０を予熱ヒータ１２６の上面に接触した状態とする。これにより、被加工物１０における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。なお、支持制御部１２５は、被加工物１０の温度として、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋによる測定温度の平均値を用いても良いし、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋから選択された１つの温度センサの測定温度を用いても良い。
【００２６】
また、支持制御部１２５は、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋと複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋによる測定温度に応じて複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋを個別に上下させることができる。これにより、支持制御部１２５は、被加工物１０における温度の低い部分を予熱ヒータ１２６に接触させ被加工物１０における温度の高い部分を予熱ヒータ１２６に対して被接触とすることも可能であり、被加工物１０における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。
【００２７】
また、図４に示すように、予熱ヒータ１２６は、複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐに分割されている。複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐは、例えば複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋに対応するように（例えば２次元的に）分割されている。搬入部（予熱部）１２０は、複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる機構として図５に示す温度制御部１２８を有する。温度制御部１２８は、ガラス基板１１の温度分布にむらが生じて反りが大きくなる前に、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋによる測定結果に基づいて、ガラス基板１１の温度分布のむらを補正するように、複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐによる予熱ヒータ温度を個別に制御することができる。例えば、温度制御部１２８は、ガラス基板１１の外周部を高く、ガラス基板１１の中央部を低い温度設定とすることができる。
【００２８】
具体的には、図５に示すように、予熱ヒータ１２６から持ち上げられた被加工物１０には支持部材１２７が接触していることから、複数の支持部材１２７−１〜１２７−ｋの先端部分には、それぞれ温度センサ１２９−１〜１２９−ｋが埋め込まれるなどして設けられている。温度センサ１２９−１〜１２９−ｋは、例えば、熱電対や抵抗温度計などである。
【００２９】
温度制御部１２８は、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋに対応した複数の温度制御装置１２８２−１〜１２８２−ｋを有するとともに、複数の温度制御装置１２８２−１〜１２８２−ｋを統括的に制御する主制御装置１２８１を有している。複数の温度制御装置１２８２−１〜１２８２−ｋは、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋによる測定結果から測定温度を求めて主制御装置１２８１へ供給する。主制御装置１２８１は、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋと複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋによる測定温度に応じて複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる。
【００３０】
これにより、温度制御部１２８は、被加工物１０における温度の低い部分に対応した加熱部による予熱ヒータ温度を高く設定し被加工物１０における温度の高い部分に対応した加熱部による予熱ヒータ温度を低く設定することも可能であり、被加工物１０における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。すなわち、複数の温度センサ１２９−１〜１２９−ｋで測定された被加工物１０の場所毎に異なる温度を、複数の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐの設定温度を決めるための情報として、温度制御装置１２８２を介して主制御装置１２８１へフィードバックする。これにより、被加工物１０のガラス基板１１の反りに応じて、それを打ち消し補正するような主制御装置１２８１による予熱温度設定が可能となり、予熱工程における被加工物１０の反りを緩和できる。
【００３１】
次に、ラミネート部１３０におけるラミネート加工の処理について図６を用いて説明する。
【００３２】
ラミネート部１３０は、被加工物１０のラミネート加工を行なう。ラミネート部１３０は、上チャンバー部１３２と下チャンバー部１３３とに分かれており、図６（ａ）に示すように上チャンバー部１３２を開いた状態で、下チャンバー部１３３のヒータ板１３６上に、搬送ベルト１３１により被加工物１０を搬入する。
【００３３】
次に、上チャンバー部１３２と下チャンバー部１３３とを重ねて、吸排気口１３２１および吸排気口１３３５を介して内部を減圧しながら被加工物１０を加熱する。その後、上チャンバー部１３２を大気開放することにより、図６（ｂ）に示すように上チャンバー部１３２に備えられたダイアフラムシート１３２３が膨張し、被加工物１０（太陽電池モジュール）はヒータ板１３６上で上シート１３２４を介して挟圧される。このとき、上記した予熱が適用されていると、ラミネート処理前に十分に被加工物１０の反りを緩和できているため、被加工物１０のガラス基板１１の破損、被加工物１０内部の太陽電池セル１３の破損などを抑制できる。また、被加工物１０のガラス基板１１の端部における部分的な加熱温度不足によるガラス基板１１と樹脂封止材１２、保護シート材１７との間の未接着等を防ぐことができる。これにより、ラミネート加工前の被加工物１０の状態を例えば一定に保つことができるため、ラミネート加工後の品質を安定化させることができる。
【００３４】
ヒータ板１３６上で樹脂封止材１２が溶融しながら減圧されることで、被加工物１０内部の気泡を抜きながら樹脂封止材１２により密閉封止され、ラミネート加工が完了する。
【００３５】
以上のように、実施の形態１では、まず予熱ポジションにある被加工物１０を上下させることができる複数の支持部材（例えば、複数の支持ピン）１２７を設け、複数の支持部材１２７により被加工物１０と予熱ヒータ１２６との接触・被接触を制御する。これにより、搬入部（予熱部）１２０において被加工物１０が急加熱されることを低減でき、急加熱による被加工物１０における温度分布の不均一性を低減でき、被加工物１０の反りを抑制できる。すなわち、搬入部（予熱部）１２０による予熱に起因した被加工物１０の反りを抑制できる。
【００３６】
また、実施の形態１では、各支持部材１２７の先端に温度センサ１２９を設け、被加工物１０の温度を複数個所で測定し、測定された複数個所の温度に応じて、被加工物１０の温度の面内不均一を補正するように、予熱ヒータ１２６内で互いに分割された複数個の加熱部１２６１−１〜１２６１−ｐの設定温度を場所毎に制御する。これにより、被加工物１０における温度分布のむらを低減でき、被加工物１０の反りを抑制できる。すなわち、搬入部（予熱部）１２０による予熱に起因した被加工物１０の反りを抑制できる。
【００３７】
なお、予熱に用いられる予熱ヒータは、被加工物の下側から加熱するものに限定されず、例えば、被加工物の上側から加熱するもの（例えば、ランプヒータなど）であっても良いし、被加工物の上下両側から加熱するものであってもよい。
【００３８】
実施の形態２．
次に、実施の形態２にかかるラミネート装置について説明する。以下では、実施の形態１と異なる部分を中心に説明する。
【００３９】
実施の形態２にかかるラミネート装置では、ヒータ内部に支持部材を設け、支持部材の先端部分に温度センサを設けて被加工物１０の温度を測定し、測定箇所近傍のヒータ設定温度を制御する方法および機構を、ラミネート部１３０ｉのヒータ板１３６ｉにも適用する。
【００４０】
具体的には、ヒータ板１３６ｉは、複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐに分割されている。ラミネート部１３０ｉは、複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐによるヒータ温度を個別に設定することができる機構として図７に示す温度制御部１３８ｉを有する。温度制御部１３８ｉは、ガラス基板１１の温度分布にむらが生じて反りが大きくなる前に、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋによる測定結果に基づいて、ガラス基板１１の温度分布のむらを補正するように、複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐによるヒータ温度を個別に制御することができる。
【００４１】
具体的には、図７に示すように、被加工物１０には支持部材１３７ｉが接触していることから、複数の支持部材１３７ｉ−１〜１３７ｉ−ｋの先端部分には、それぞれ温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋが埋め込まれるなどして設けられている。温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋは、例えば、熱電対や抵抗温度計などである。
【００４２】
温度制御部１３８ｉは、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋに対応した複数の温度制御装置１３８２ｉ−１〜１３８２ｉ−ｋを有するとともに、複数の温度制御装置１３８２ｉ−１〜１３８２ｉ−ｋを統括的に制御する主制御装置１３８１ｉを有している。複数の温度制御装置１３８２ｉ−１〜１３８２ｉ−ｋは、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋによる測定結果から測定温度を求めて主制御装置１３８１ｉへ供給する。主制御装置１３８１ｉは、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋと複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐとの対応関係を把握しており、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋによる測定温度に応じて複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐによる予熱ヒータ温度を個別に設定することができる。
【００４３】
これにより、温度制御部１３８ｉは、被加工物１０における温度の低い部分に対応した加熱部によるヒータ温度を高く設定し被加工物１０における温度の高い部分に対応した加熱部によるヒータ温度を低く設定することも可能であり、被加工物１０における温度分布の不均一性が低減されるように調整することができる。すなわち、複数の温度センサ１３９ｉ−１〜１３９ｉ−ｋで測定された被加工物１０の場所毎に異なる温度を、複数の加熱部１３６１ｉ−１〜１３６１ｉ−ｐの設定温度を決めるための情報として、温度制御装置１３８２ｉを介して主制御装置１３８１ｉへフィードバックする。これにより、被加工物１０のガラス基板１１の反りに応じて、それを打ち消し補正するような主制御装置１３８１ｉによる加熱温度設定が可能となり、ラミネート工程においても、被加工物１０の反りを緩和できる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上のように、本発明にかかるラミネート装置は、太陽電池モジュールのラミネート加工に有用である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  被加工物
１１  ガラス基板
１２  樹脂封止材
１３  太陽電池セル
１４  リード線
１５  太陽電池アレイ
１６  樹脂封止材
１７  保護シート材
１００  ラミネート装置
１２０  搬入部
１２１  搬送ベルト
１２２、１２３  駆動ローラ
１２５  支持制御部
１２６  予熱ヒータ
１２７−１〜１２７−ｋ  支持部材
１２８  温度制御部
１２９−１〜１２９−ｋ  温度センサ
１３０  ラミネート部
１３１  搬送ベルト
１３２  上チャンバー部
１３３  下チャンバー部
１３６  ヒータ板
１４０  搬出部
１４１  搬送ベルト
１４２、１４３  駆動ローラ
１２６１−１       〜１２６１−ｐ  加熱部
１２８２−１       〜１２８２−ｋ  温度制御装置
ＣＶ１、ＣＶ１ａ、ＣＶ１ｂ  搬入コンベア
ＣＶ２  搬送コンベア
ＣＶ３  搬出コンベア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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