(57)【要約】【課題】低い周波数からでも良好な除振を可能にする除振装置を提供する。【解決手段】除振台上に設置され、ＰＩＤ補償器を用いて位置フィードバック制御された基準体に、除振台を位置フィードバック制御すると、基準体のＰＩＤ補償器の積分器と、除振装置の気体バネの剛性とが連成して、ベースから除振台への伝達関数に急峻なピークが発生する。そこで、本発明の一実施形態では、基準体２４の位置フィードバック制御系の補償器２６にＰＤ補償器を用いる。又は、除振台上に設置された基準体を絶対空間、又はベースに対して、速度フィードバック制御しても良い。これにより、ベースから除振台への伝達関数に急峻なピークが発生することを防ぐ。【選択図】図１
2012044014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに支持された被除振体の除振を行う除振装置であって、
前記被除振体に固定され、基準体を有する基準体システムと、
前記ベースに対して前記被除振体を駆動する第１の駆動手段と、
前記基準体システムから得られた位置情報に基づいて、前記第１の駆動手段への指令値を演算する第１の補償器と、
を含む第１の位置フィードバック制御系を有し、
前記基準体システムは、
前記被除振体に対して前記基準体を駆動する第２の駆動手段と、
前記被除振体に対する前記基準体の位置を計測する第１の計測手段と、
前記第１の計測手段から得られた位置情報に基づいて、前記第２の駆動手段への指令値を演算する第２の補償器と、
を含む第２の位置フィードバック制御系を有し、
前記第２の補償器は、ＰＤ補償器であることを特徴とする除振装置。
【請求項２】
ベースに支持された被除振体の除振を行う除振装置であって、
前記被除振体に固定され、基準体を有する基準体システムと、
前記ベースに対して前記被除振体を駆動する第１の駆動手段と、
前記基準体システムから得られた位置情報に基づいて、前記第１の駆動手段への指令値を演算する第１の補償器と、
を含む第１の位置フィードバック制御系を有し、
前記基準体システムは、
前記被除振体に対して前記基準体を駆動する第２の駆動手段と、
前記被除振体に対する前記基準体の位置を計測する第１の計測手段と、
前記第１の計測手段から得られた位置情報に基づいて、前記第２の駆動手段への指令値を演算する第２の補償器と、を含む第２の位置フィードバック制御系と、
前記基準体の速度情報を取得する第２の計測手段と、
前記第２の計測手段から得られた速度情報に基づいて、前記第２の駆動手段への指令値を演算する第３の補償器と、を含む速度フィードバック制御系と、を有し、
前記第２の補償器は、ＰＩＤ補償器であることを特徴とする除振装置。
【請求項３】
前記第２の計測手段は、絶対空間に対する前記基準体の速度を計測する速度センサであることを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項４】
前記基準体システムは、積分器を有し、
前記第２の計測手段は、絶対空間に対する前記基準体の加速度を計測する加速度センサであり、
前記積分器は、前記第２の計測手段から得られた加速度情報を１回積分することで、前記速度情報を取得することを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項５】
前記基準体システムは、微分器を有し、
前記第２の計測手段は、前記ベースに対する前記基準体の位置を計測する位置センサであり、
前記微分器は、前記第２の計測手段から得られた位置情報を１回微分することで、前記速度情報を取得することを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項６】
前記基準体システムは、微分器を有し、
前記第２の計測手段は、前記第１の計測手段と、前記ベースに対する前記被除振体の位置を計測する第３の計測手段を含み、
前記第３の計測手段は、前記ベースに対する前記被除振体の位置を計測する位置センサであり、
前記微分器は、前記第１の計測手段と前記第３の計測手段とから得られた位置情報の和を１回微分することで、前記速度情報を取得することを特徴とする請求項２に記載の除振装置。
【請求項７】
ベースに支持された被除振体の除振を行う除振装置であって、
前記被除振体に固定され、基準体を有する基準体システムと、
前記ベースに対して前記被除振体を駆動する第１の駆動手段と、
前記基準体システムから得られた位置情報に基づいて、前記第１の駆動手段への指令値を演算する第１の補償器と、
を含む第１の位置フィードバック制御系を有し、
前記基準体システムは、
前記被除振体に対して前記基準体を駆動する第２の駆動手段と、
前記被除振体に対する前記基準体の位置を計測する第１の計測手段と、
前記第１の計測手段から得られた位置情報に基づいて、前記第２の駆動手段への指令値を演算する第２の補償器と、
を含む第２の位置フィードバック制御系を有し、
前記第２の補償器は、ＰＩＤ補償器に該ＰＩＤ補償器が備える積分器よりも小さい折点周波数を有するハイパスフィルターを追加した補償器であることを特徴とする除振装置。
【請求項８】
ベースに支持された被除振体の除振を行う除振装置であって、
前記被除振体に固定され、基準体を有する基準体システムと、
前記ベースに対して前記被除振体を駆動する第１の駆動手段と、
前記基準体システムから得られた位置情報に基づいて、前記第１の駆動手段への指令値を演算する第１の補償器と、
を含む第１の位置フィードバック制御系を有し、
前記基準体システムは、
前記被除振体に対して前記基準体を駆動する第２の駆動手段と、
前記被除振体に対する前記基準体の位置を計測する第１の計測手段と、
前記第１の計測手段から得られた位置情報に基づいて、前記第２の駆動手段への指令値を演算する第２の補償器と、
を含む第２の位置フィードバック制御系を有し、
前記第２の補償器は、ＰＩＤ補償器にノッチフィルターを追加した補償器であることを特徴とする除振装置。
【請求項９】
基板を露光してパターンを転写する露光装置であって、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の除振装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除振装置、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置は、半導体デバイスや液晶表示装置等の製造工程であるリソグラフィ工程において、原版（レチクル、又はマスク）のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板（表面にレジスト層が形成されたウエハやガラスプレート等）に転写する装置である。この露光装置では、パターンの極微細化に伴い、露光装置が設置された床から装置本体に伝わる振動が、重ね露光（オーバーレイ）精度や露光像の精度等を劣化させる原因となる。そこで、露光装置は、通常、床振動の影響を軽減するための除振装置を介して設置される。同様に、高精度計測装置、電子ビーム描画装置、又はインプリント技術を採用する加工装置等でも、除振装置により本体部分を支持する方法が採用されている。
【０００３】
従来の除振装置は、除振台と床との間に気体バネを設置し、更に、除振装置の減衰性を高めるために、除振台に設けた加速度センサと、除振台と床と間に設けたアクチュエータとを利用して速度フィードバック制御を行う。しかしながら、速度フィードバック制御では、除振装置の減衰性を高めることはできるが、除振装置の固有振動数を低くすることはできない。そこで、特許文献１は、フレームからバネ部材で支持された振り子（基準体）を除振台に設置し、フレームと振り子との相対変位を計測することで、除振台を駆動するアクチュエータに相対変位を位置フィードバック制御する除振装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２４０３９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、固有振動数の低い弾性系で支持された基準体に対して除振台を位置フィードバック制御すると、除振台の質量と気体バネの剛性とから定まる固有振動数よりも低い周波数から除振できる。この固有振動数の低い弾性系を実現する手段として、従来、基準体をバネ部材又は振り子で支持する。この場合、基準体の固有振動数を相当低い値にするためには、基準体の重さ、バネの剛性、又は振り子の長さ等を機械的に調整する必要がある。しかしながら、基準体を除振台上に設置する場合、例えば、１Ｈｚ以下の相当低い固有振動数を有する基準体を実現することは、設置スペースの関係上難しい。
【０００６】
また、一般的に位置フィードバック制御系の補償器としては、ＰＩＤ補償器が用いられる。この場合、まず、ＰＩＤ補償器を用いて位置フィードバック制御された基準体と除振台との相対位置を計測する。そして、その相対位置を、除振台を駆動するアクチュエータに位置フィードバックすると、基準体のＰＩＤ補償器の積分器と、除振装置の気体バネの剛性とが連成して、ベースから除振台への伝達関数に急峻なピークが発生する。したがって、床振動等により、この急峻なピークが励振されると、除振台が大きく振動することになる。
【０００７】
本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、低い周波数からでも良好な除振を可能にする除振装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、ベースに支持された被除振体の除振を行う除振装置であって、被除振体に固定され、基準体を有する基準体システムと、ベースに対して被除振体を駆動する第１の駆動手段と、基準体システムから得られた位置情報に基づいて第１の駆動手段への指令値を演算する第１の補償器とを含む第１の位置フィードバック制御系を有し、基準体システムは、被除振体に対して基準体を駆動する第２の駆動手段と、被除振体に対する基準体の位置を計測する第１の計測手段と、該第１の計測手段から得られた位置情報に基づいて第２の駆動手段への指令値を演算する第２の補償器とを含む第２の位置フィードバック制御系を有し、第２の補償器は、ＰＤ補償器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、低い周波数からでも良好な除振を可能にする除振装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る基準体システムの構成を示す概略図である。
【図２】第１実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。
【図３】ベースから除振台への伝達関数Ｈに係るボード線図である。
【図４】ベースから除振台への伝達関数Ｈに係るブロック線図である。
【図５】伝達関数Ｈと伝達関数Ｇ１×Ｈ１に係るボード線図である。
【図６】伝達関数Ｈに係る極配置図である。
【図７】第２〜第５実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。
【図８】ベースから除振台への伝達関数Ｈ２、Ｈ３に係るボード線図である。
【図９】ベースから除振台への伝達関数Ｈ２、Ｈ３に係るブロック線図である。
【図１０】ベースから除振台への伝達関数Ｈ４、Ｈ５に係るボード線図である。
【図１１】第８実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。
【図１２】第８実施形態に係る除振装置の制御方法を示すブロック線図である。
【図１３】第９実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。
【図１４】第９実施形態に係る基準体システムの構成を示す概略図である。
【図１５】第９実施形態に係る除振装置の制御方法を示すブロック線図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る露光装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態について図面等を参照して説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
まず、本発明の実施形態に係る除振装置に採用する基準体システムについて説明する。図１は、本発明の除振装置に採用する１軸計測用の基準体システムの構成を示す概略図である。特に、図１（ａ）は、水平方向に設置する基準体システム１０、図１（ｂ）は、鉛直方向に設置する第１の基準体システム２０、図１（ｃ）は、鉛直方向に設置する第２の基準体システム３０のそれぞれの概略図である。なお、以下の各図において、基準体システムの鉛直方向にＺ軸を取り、該Ｚ軸に垂直となる水平方向にＸ軸及びＹ軸を取る。
【００１３】
まず、水平方向用の基準体システム１０は、図１（ａ）に示すように、基準体ベース１１に対して、リニアガイド１２と、該リニアガイド１２に連設されたアクチュエータ１３と、リニアガイド１２に支持された基準体１４と、位置センサ１５とを備える。リニアガイド１２は、基準体ベース１１に剛に固定され、リニアスライダ１２ａを案内する案内手段であり、例えば、エアガイドや電磁ガイド等を採用可能である。このリニアガイド１２の固定部に対して可動するリニアスライダ１２ａには、その一端にアクチュエータ１３が設置され、その他端に基準体１４が設置される。アクチュエータ１３は、例えばボイスコイルモーター等を採用する駆動手段（第２の駆動手段）である。基準体１４は、基準体ベース１１に対して被除振体よりも低い固有振動数で支持されることで被除振体を位置追従させ、除振性能を向上させるための物体である。なお、本実施形態では、基準体１４をリニアスライダ１２ａと別体としているが、一体構造でも良い。位置センサ１５は、基準体ベース１１と基準体１４との相対位置を計測する計測手段（第１の計測手段）である。この位置センサ１５の計測誤差を小さくするために、リニアガイド１２は、基準体ベース１１に対して可能な限り平行に設置する。
【００１４】
更に、基準体システム１０は、制御系の一部として、アクチュエータ１３と位置センサ１５とに電気的に接続された補償器１６を備える。ここで、制御系は、位置センサ１５による位置情報１７に基づいて、基準体ベース１１に対して基準体１４を位置フィードバック制御する制御手段（第２の位置フィードバック制御系）である。補償器１６は、位置情報１７と、予め設定された目標値１８とに基づいて、アクチュエータ１３への指令値である制御信号１９を演算する部位（第２の補償器）である。特に、本実施形態では、補償器１６としてＰＤ補償器を採用する。（数１）は、ＰＤ補償器の伝達関数を示す式である。但し、Ｍｒは、基準体１４の質量であり、Ｗｃｒは、基準体１４の位置フィードバック制御の交さ周波数であり、Ｗｄｒは、微分器の折点周波数であり、ｓは、複素数（ラプラス演算子）である。
【００１５】
【数１】
2012044014.tif 000003
【００１６】
次に、鉛直方向用の第１及び第２の基準体システム２０、３０は、図１（ｂ）及び図１（ｃ）に示すように、基準体ベース２１に対して、リニアガイド２２と、アクチュエータ２３と、基準体２４と、位置センサ２５と、補償器２６とを備える。この基準体システム２０、３０は、上記基準体システム１０を９０度回転させたものであり、各構成要素は、基準体システム１０の各構成要素に対応し、作用が同一であるので説明を省略する。ここでは、鉛直方向用の基準体システム２０、３０の特徴である基準体２４の自重を補償するための自重補償手段２７について説明する。自重補償手段２７は、基準体２４を含む可動部の自重を補償する補償手段である。この自重補償手段２７としては、例えば、永久磁石を採用するものや、自重補償バネを採用するものがある。まず、第１の基準体システム２０は、図１（ｂ）に示すように、自重補償手段２７として永久磁石２７ｍを採用する。この場合、永久磁石２７ｍは、基準体２４の重力とほぼ釣り合う反発力を発生させて基準体２４の自重を補償する。一方、第２の基準体システム３０は、図１（ｃ）に示すように、自重補償手段２７として自重補償バネ２７ｓを採用する。この自重補償バネ２７ｓも、基準体２４の重力とほぼ釣り合う反発力を発生させて基準体２４の自重を補償する。なお、図１（ｃ）のように、自重補償バネ２７ｓを採用する場合は、基準体２４を含む可動部の重量と、自重補償バネ２７ｓのバネ剛性から定まる固有振動数とが、基準体２４の位置フィードバック制御の交さ周波数よりも低くなるように設定する。
【００１７】
次に、上記基準体システムを採用した本実施形態に係る除振装置について説明する。図２は、本実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。なお、本実施形態では、図２に示すように、除振装置は、鉛直方向の除振を行うものとし、鉛直方向用の第１の基準体システム２０を採用するものとして説明する。まず、除振装置１は、ベース２と、該ベース２により支持される被除振体である除振台３とを備える。このベース２と除振台３との間には、除振手段としての複数の気体バネ（空気バネ）４と、第１の駆動手段としての複数のアクチュエータ５とが設置される。また、除振装置１は、除振台３上に基準体システム２０を備える。基準体システム２０は、除振台３に対して剛に固定されることで、基準体システム２０の位置情報１７は、基準体２４と除振台３との相対位置情報となる。制御系（第１の位置フィードバック制御系）は、位置情報１７をアクチュエータ５に対して位置フィードバックすることで、除振台３を基準体２４に対して位置フィードバック制御する。更に、除振装置１は、位置情報１７と、予め制御装置より送信された目標値６とに基づいて、アクチュエータ５への制御信号７を演算する補償器（第１の補償器）８を備える。特に、本実施形態では、補償器８としてＰＩＤ補償器を採用する。（数２）は、このＰＩＤ補償器の伝達関数を示す式である。但し、Ｍｊは、除振台３の質量であり、Ｗｃｊは、除振台３の位置フィードバック制御の交さ周波数であり、Ｗｄｊは、微分器の折点周波数であり、Ｗｉｊは、積分器の折点周波数である。
【００１８】
【数２】
2012044014.tif 000004
【００１９】
次に、上記基準体システム２０の補償器２６として、本実施形態のようにＰＤ補償器を採用した場合と、一例としてＰＩＤ補償器を採用した場合とを比較する。図３は、補償器２６としてＰＤ補償器を採用した場合とＰＩＤ補償器を採用した場合とのそれぞれの、ベース２から除振台３への伝達関数Ｈを示すボード線図である。図３において、横軸は、周波数（Ｈｚ）であり、縦軸は、上段の図では伝達関数Ｈをゲイン（ｄＢ）で示し、下段の図では伝達関数Ｈを位相角（ｄｅｇ）で示す。なお、この縦軸、横軸は、以下のボード線図でも同様である。図３に示すように、ＰＩＤ補償器を採用した場合、０．０１Ｈｚ付近に急峻なピークが発生する。これに対して、本実施形態のようにＰＤ補償器を採用した場合、急峻なピークが発生することがなく、低い周波数からも良好に除振される。特に、除振台３は、除振台３の質量Ｍｊと気体バネの剛性ｋｊとにより定まる固有振動数よりも低い周波数から除振される。以下、除振台３を基準体２４に対して位置フィードバック制御することで除振できる下限周波数を、「除振周波数」と表記する。
【００２０】
次に、上記除振周波数の算出方法について説明する。図４は、ベース２から除振台３への伝達関数Ｈを示すブロック線図である。なお、図４において、Ｇｃｒは、補償器２６であり、Ｇｃｊは、除振台３の補償器８であり、ｋｊは、気体バネの剛性であり、更に、Ｃｊは、気体バネの粘性である。ここで、１／（Ｍｒ×ｓ２＋Ｇｃｒ）をＧｒと置き換え、更に、１／（Ｍｊ×ｓ２＋Ｃｊ×ｓ＋Ｋｊ）をＧｏｊと置き換えると、図４（ａ）のブロック線図は、図４（ｂ）のように変形できる。更に、Ｇｃｊ×Ｇｏｊ＝Ｇ１とし、１−Ｇｃｒ×Ｇｒ＝Ｈ１とすると、伝達関数Ｈは、Ｇ１×Ｈ１＞１のとき、（数３）のように表され、一方、Ｇ１×Ｈ１＜１のとき、（数４）のように表される。
【００２１】
【数３】
2012044014.tif 000005
【００２２】
【数４】
2012044014.tif 000006
【００２３】
ここで、（数４）の右辺は、位置フィードバック制御を行わない場合の除振台３に関するベース２から除振台３へ伝達関数である。即ち、（数３）及び（数４）は、位置フィードバック制御を行う除振台３の除振周波数が、伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）の交さ周波数であることを示す。したがって、伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）の交さ周波数を算出すれば、位置フィードバック制御を行う除振台３の除振周波数を求めることができる。この除振周波数は、低周波であるので、低周波に影響を及ぼす要素のみ考慮すると、伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）は、（数５）で表される。
【００２４】
【数５】
2012044014.tif 000007
【００２５】
比較のために、図５に、伝達関数Ｈと、（数５）で表される伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）に係るボード線図を示す。図５に示すように、位置フィードバック制御した除振台３の除振周波数は、伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）の交さ周波数となっていることが分かる。即ち、（数５）で表される伝達関数（Ｇ１×Ｈ１）の交さ周波数は、（数５）の右辺を１としたときの解であり、その値は、（数６）で表される。また、（数６）は、Ｍｊ×Ｗｃｊ×Ｗｄｊ＞＞Ｋｊから（数７）のように近似できる。
【００２６】
【数６】
2012044014.tif 000008
【００２７】
【数７】
2012044014.tif 000009
【００２８】
なお、位置フィードバック制御した除振台３の除振周波数は、除振台３の質量Ｍｊと気体バネ４の剛性Ｋｊとにより定まる固有振動数よりも小さくなければならない。したがって、（数８）に示す関係式が成立する必要がある。
【００２９】
【数８】
2012044014.tif 000010
【００３０】
次に、図３に示すように、基準体システム２０の補償器２６としてＰＩＤ補償器を採用すると急峻なピークが発生し、一方、本実施形態のようにＰＤ補償器を採用すると急峻なピークが発生しない理由について説明する。まず、図４（ａ）に示すブロック線図を変形すると、図４（ｃ）のようになる。ここで、図４（ｃ）における枠内を伝達関数ＨＡと定義し、更に変形すると、伝達関数ＨＡは、（数９）で表される。
【００３１】
【数９】
2012044014.tif 000011
【００３２】
まず、補償器２６にＰＩＤ補償器を採用する場合を想定する。この場合の伝達関数ＨＡを、伝達関数ＨＡｐｉｄと表す。補償器２６にＰＩＤ補償器を用いた場合、補償器２６の伝達関数は、（数１０）で表される。但し、Ｗｉｒは、基準体１４に係る積分器の折点周波数である。
【００３３】
【数１０】
2012044014.tif 000012
【００３４】
ここで、伝達関数Ｈにピークが発生するのは低周波であるので、低周波に影響を及ぼす要素のみ考慮すると、Ｇｃｊ、Ｇｏｊ、Ｇｃｒ、及びＧｏｒは、それぞれ（数１１）、（数１２）、（数１３）、及び（数１４）のように表される。
【００３５】
【数１１】
2012044014.tif 000013
【００３６】
【数１２】
2012044014.tif 000014
【００３７】
【数１３】
2012044014.tif 000015
【００３８】
【数１４】
2012044014.tif 000016
【００３９】
ここで、（数１１）〜（数１４）を（数９）に代入すると、伝達関数ＨＡｐｉｄは、（数１５）で表される。但し、ＭＷｊ＝Ｍｊ×Ｗｃｊ×Ｗｄｊ、ＭＷｒ＝Ｍｒ×Ｗｃｒ×Ｗｄｒとする。
【００４０】
【数１５】
2012044014.tif 000017
【００４１】
上記（数１５）におけるＭｊ、Ｋｊ、Ｗｃｊ、Ｗｄｊ、Ｗｉｊ、Ｍｒ、Ｗｃｒ、Ｗｄｒ、及びＷｉｒに、（表１）に示す値を代入した場合の伝達関数ＨＡｐｉｄの極配置図を図６（ａ）に示す。図６（ａ）において、縦軸は、虚軸であり、横軸は、実軸である。伝達関数ＨＡｐｉｄの特性方程式は、図６（ａ）中の×印に示すように共役な複素数解を持ち、具体的には、（数１６）で表されるような２つの実数解（１つはゼロ）と、２つの共役な複素数解を有する。
【００４２】
【表１】
2012044014.tif 000018
【００４３】
【数１６】
2012044014.tif 000019
【００４４】
このように、基準体システム２０の補償器２６にＰＩＤ補償器を採用すると、ＰＩＤ補償器の積分器の折点周波数Ｗｉｒと、気体バネ４の剛性Ｋｊと、更に、Ｍｒ、Ｗｃｒ、Ｗｄｒとが連成して、伝達関数ＨＡｐｉｄの特性方程式は、共役な複素数解を持つ。即ち、共役な複素数解を持つということは、減衰比が、０＜ζ＜１となるので、除振台３は、不足減衰状態となる。したがって、ベース２から除振台３への伝達関数Ｈに急峻なピークが発生する。
【００４５】
次に、補償器２６にＰＤ補償器を採用する本実施形態の場合を想定する。この場合の伝達関数ＨＡを、伝達関数ＨＡｐｄと表す。上記ＰＩＤ補償器を採用した場合に急峻なピークが発生する周波数が低周波であるので、低周波に影響を及ぼす要素のみ考慮すると、Ｇｃｒ（補償器２６）は、（数１７）で表される。更に、上記（数１５）と同様に、（数１１）、（数１２）、（数１４）、及び（数１７）を（数９）に代入して整理すると、この場合の伝達関数ＨＡｐｄは、（数１８）で表される。
【００４６】
【数１７】
2012044014.tif 000020
【００４７】
【数１８】
2012044014.tif 000021
【００４８】
上記（数１８）におけるＭｊ、Ｋｊ、Ｗｃｊ、Ｗｄｊ、Ｗｉｊ、Ｍｒ、Ｗｃｒ、Ｗｄｒに、（表２）に示す値を代入した場合の伝達関数ＨＡｐｄの極配置図を図６（ｂ）に示す。図６（ｂ）は、図６（ａ）の極配置図に対応している。伝達関数ＨＡｐｄの特性方程式は、図６（ｂ）に示すように、共役な複素数解を持たず、（数１９）で表されるような３つの実数解（１つはゼロ）を有する。
【００４９】
【表２】
2012044014.tif 000022
【００５０】
【数１９】
2012044014.tif 000023
【００５１】
このように、基準体システム２０の補償器２６にＰＤ補償器を採用すると、伝達関数ＨＡｐｄの特性方程式は、共役な複素数解を持たなくなる。即ち、除振台３は、臨界減衰状態又は超過減衰状態となるので、ベース２から除振台３への伝達関数Ｈにおける急峻なピークの発生が抑えられる。
【００５２】
以上のように、本発明によれば、基準体システムの補償器としてＰＤ補償器を採用し、かつ、位置フィードバック制御系で制御するので、位置フィードバックのゲインを調整するだけで、相当低い固有振動数を有する基準体を実現することができる。したがって、この基準体システムを採用した除振装置１は、低い周波数からでも良好に除振することが可能となる。なお、以上、除振装置１を鉛直方向に適用する例として説明したが、水平方向においても同様に適用可能である。
【００５３】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る除振装置について説明する。図７は、以下、各実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図であり、特に、図７（ａ）は、本実施形態に係る除振装置を示す。本実施形態の除振装置４０は、上記第１実施形態における基準体システム２０のＰＤ補償器である補償器２６に代えて、ＰＩＤ補償器（第２の補償器）４１を採用した基準体システム４２を備える。加えて、基準体システム４２は、基準体２４の絶対空間に対する速度を計測する速度センサ（第２の計測手段）４３を備える。この速度センサ４３は、図７（ａ）に示すように、例えば、基準体２４の側面部に設置される。この場合、制御系（速度フィードバック制御系）は、速度センサ４３からの速度情報４４に基づいて、更に補償器（第３の補償器）４５を介して絶対空間に対して基準体２４を速度フィードバック制御する。この補償器４５は、速度情報４４と、予め設定された目標値４６とに基づいて、アクチュエータ２３への駆動信号４７を演算する。このとき、制御装置は、補償器４５に対して比例ゲインＣｒ２を適用する。
【００５４】
次に、上記基準体システム４２にＰＩＤ補償器４１を採用し、基準体２４を絶対空間に対して速度フィードバック制御した場合と、絶対空間に対して速度フィードバック制御しなかった場合とを比較する。図８（ａ）は、この両者の場合それぞれのベース２から除振台３への伝達関数Ｈ２を示すボード線図である。図８（ａ）に示すように、本実施形態のようにＰＩＤ補償器を採用し、かつ、速度フィードバック制御を行う場合は、０．０１Ｈｚ付近の急峻なピークが減衰され、低い周波数からも良好に除振される。
【００５５】
次に、上記急峻なピークが減衰される理由について説明する。図９（ａ）は、この場合のベース２から除振台３への伝達関数Ｈ２を示すブロック線図である。まず、図９（ａ）に示すブロック線図を変形すると、図９（ｂ）のようになる。ここで、図９（ｂ）における枠内を伝達関数ＨＡ２と定義し、更に変形すると、伝達関数ＨＡ２は、（数２０）で表される。また、Ｇｏｒ２は、（数２１）で表される。
【００５６】
【数２０】
2012044014.tif 000024
【００５７】
【数２１】
2012044014.tif 000025
【００５８】
ここで、（数１１）〜（数１３）、及び（数２１）を（数２０）に代入して整理すると、伝達関数ＨＡ２は、（数２２）で表される。なお、ＭＷｊ×Ｃｒ２、及び、Ｋｊ×Ｃｒ２の各微小項は、無視している。
【００５９】
【数２２】
2012044014.tif 000026
【００６０】
このように、本実施形態の伝達関数ＨＡ２の特性方程式（数２２）は、第１実施形態の伝達関数ＨＡｐｉｄの特性方程式（数１５）と比較すると、二重括弧内のsの１次の項のみが変化している。このｓの１次の項は、ｓ＝ｉωを代入すると複素数を含む項となり、伝達関数ＨＡ２の減衰性を決める項となる。したがって、基準体２４を絶対空間に対して速度フィードバック制御すれば、基準体システム４２の補償器４１にＰＩＤ補償器を採用した場合でも、伝達関数にて発生するピークを減衰させることができる。
【００６１】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る除振装置について説明する。図７（ｂ）は、本実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。本実施形態の除振装置５０は、上記第２実施形態における基準体システム４２を変形したものであり、ＰＩＤ補償器４１を採用した基準体システム５２を備える。加えて、基準体システム５２は、基準体２４の絶対空間に対する速度を計測する速度センサ４３に代えて、加速度センサ（第２の計測手段）５３と、積分器５４とを備える。この場合、積分器５４は、加速度センサ５３からの加速度情報５５を１回積分して速度情報５６を算出する。制御系は、速度情報５６に基づいて、補償器４５を介して絶対空間に対して基準体２４を速度フィードバック制御する。補償器４５は、上記第２実施形態と同様に、速度情報５６と、予め設定された目標値４６とに基づいて、アクチュエータ２３への駆動信号４７を演算する。このように、本実施形態によれば、第２実施形態と同様の効果を奏する。
【００６２】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係る除振装置について説明する。図７（ｃ）は、本実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。本実施形態の除振装置６０も、上記第２実施形態における基準体システム４２を変形したものであり、ＰＩＤ補償器４１を採用した基準体システム６２を備える。加えて、基準体システム６２は、基準体２４のベース２に対する変位を計測する位置センサ６３と、微分器６４とを備える。この場合、微分器６４は、位置センサ６３からの位置情報６５を１回微分して速度情報６６を算出する。制御系は、速度情報６６に基づいて補償器４５を介して基準体２４をベース２に対して速度フィードバック制御する。補償器４５は、上記第２実施形態と同様に、速度情報６６と予め設定された目標値４６とに基づいて、アクチュエータ２３への駆動信号４７を演算する。このとき、制御装置は、補償器４５に対して比例ゲインＣｒ３を適用する。
【００６３】
次に、上記基準体システム６２にＰＩＤ補償器４１を採用し、基準体２４をベース２に対して速度フィードバック制御した場合と、ベース２に対して速度フィードバック制御しなかった場合とを比較する。図８（ｂ）は、この両者の場合それぞれのベース２から除振台３への伝達関数Ｈ３を示すボード線図である。図８（ｂ）に示すように、本実施形態のようにＰＩＤ補償器を採用し、かつ、速度フィードバック制御を行う場合は、０．０１Ｈｚ付近の急峻なピークが減衰され、低い周波数からも良好に除振される。
【００６４】
次に、上記急峻なピークが減衰される理由について説明する。図９（ｃ）は、この場合のベース２から除振台３への伝達関数Ｈ３を示すブロック線図である。まず、図９（ｃ）に示すブロック線図を変形すると、図９（ｄ）のようになる。ここで、図９（ｄ）における枠内を伝達関数ＨＡ３と定義し、更に変形すると、伝達関数ＨＡ３は、（数２３）で表される。また、Ｇｏｒ３は、（数２４）で表される。
【００６５】
【数２３】
2012044014.tif 000027
【００６６】
【数２４】
2012044014.tif 000028
【００６７】
ここで、（数１１）〜（数１３）、及び（数２４）を（数２３）に代入して整理すると、伝達関数ＨＡ３は、（数２５）で表される。なお、ＭＷｊ×Ｃｒ３、及び、Ｋｊ×Ｃｒ３の各微小項は、無視している。
【００６８】
【数２５】
2012044014.tif 000029
【００６９】
このように、本実施形態の伝達関数ＨＡ３の特性方程式（数２５）は、第１実施形態の伝達関数ＨＡｐｉｄの特性方程式（数１５）と比較すると、二重括弧内のsの１次の項のみが変化している。このｓの１次の項は、ｓ＝ｉωを代入すると複素数を含む項となり、伝達関数ＨＡ３の減衰性を決める項となる。したがって、基準体２４をベース２に対して速度フィードバック制御すれば、基準体システム６２の補償器４１にＰＩＤ補償器を採用した場合でも、伝達関数にて発生するピークを減衰させることができる。
【００７０】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係る除振装置について説明する。図７（ｄ）は、本実施形態に係る除振装置の構成を示す概略図である。本実施形態の除振装置７０は、上記第４実施形態における基準体システム４２を変形したものであり、ＰＩＤ補償器４１を採用した基準体システム７２を備える。加えて、基準体システム７２は、基準体２４が設置された除振台３とベース２との相対位置を計測する位置センサ（第３の計測装置）７３と、微分器７４とを備える。位置センサ７３は、ベース２と除振台３とのいずれか一方に設置される。この場合、制御系は、基準体システム７２内の位置センサ２５の位置情報１７と、ベース２と除振台３との相対位置を計測する位置センサ７３の位置情報７５との和を算出することにより、基準体２４のベース２に対する相対位置情報７６を求める。微分器７４は、この相対位置情報７６を１回微分して相対速度情報７７を算出する。制御系は、相対速度情報７７に基づいて補償器４５を介して基準体２４をベース２に対して速度フィードバック制御する。補償器４５は、上記第２実施形態と同様に、相対速度情報７７と、予め設定された目標値４６とに基づいて、アクチュエータ２３への駆動信号４７を演算する。このとき、制御系は、補償器４５に対して比例ゲインＣｒ３を適用する。このように、本実施形態によれば、第４実施形態と同様の効果を奏する。
【００７１】
ここで、図８のボード線図にて、図８（ａ）に示す第２及び第３実施形態に係る除振装置と、図８（ｂ）に示す第４及び第５実施形態に係る除振装置との伝達関数を比較する。図８（ｂ）に示す伝達関数は、図８（ａ）に示す伝達関数に比べて０．０１〜１Ｈｚにかけての除振性能が悪化している。したがって、理論的には、第２及び第３実施形態を採用した方が、除振性能に優れた除振装置を提供することができる。しかしながら、第２及び第３実施形態を採用した場合、除振性能は、速度センサ４３や加速度センサ５３の性能に依存する。一般に、速度センサや加速度センサは、低い周波数の計測に誤差を持つ可能性が高い。一方、第４及び第５実施形態では、位置情報を１回微分することで速度情報を算出するので、低い周波数の計測精度に優れた速度情報を得ることができる。
【００７２】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態に係る除振装置について説明する。本実施形態の除振装置では、基準体システムの補償器として、ＰＩＤ補償器にフィルター回路であるハイパスフィルターを追加した補償器を採用する。第１実施形態の図３に示すボード線図にて説明したように、基準体システムの補償器にＰＩＤ補償器を採用すると低い周波数で急峻なピークが発生する。そこで、本実施形態では、ＰＩＤ補償器の積分器の折点周波数Ｗｉｒと、急峻なピークが発生する周波数との間にハイパスフィルターを追加することで、急峻なピークが発生する周波数帯でＰＩＤ補償器の積分器が効かないように設定する。
【００７３】
次に、基準体システムのＰＩＤ補償器に、バイパスフィルターを追加した場合と、追加しない場合とを比較する。図１０（ａ）は、この両者の場合それぞれのベース２から除振台３への伝達関数Ｈ４を示すボード線図である。図１０（ａ）に示すように、本実施形態のように、ＰＩＤ補償器にハイパスフィルターを追加した場合は、０．０１Ｈｚ付近の急峻なピークが減衰され、低い周波数からも良好に除振される。この場合、ハイパスフィルターを追加したＰＩＤ補償器の伝達関数Ｈ４は、（数２６）で表される。なお、追加するハイパスフィルターの折点周波数Ｗｅｒは、例えば、第３実施形態と比較して、除振装置５０に用いた積分器Ｗｉｒより小さく、補償器４１にＰＩＤ補償器を採用した場合に発生する急峻なピークの周波数よりも大きい必要がある。
【００７４】
【数２６】
2012044014.tif 000030
【００７５】
（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態に係る除振装置について説明する。第６実施形態の除振装置では、基準体システムのＰＩＤ補償器にハイパスフィルターを追加したが、本実施形態では、ハイパスフィルターに代えて、阻止帯域が狭いバンドストップフィルターであるノッチフィルターを追加する。上記と同様に、基準体システムのＰＩＤ補償器に、ノッチフィルターを追加した場合と、追加しない場合とを比較する。図１０（ｂ）は、この両者の場合それぞれのベース２から除振台３への伝達関数Ｈ５を示すボード線図である。図１０（ｂ）に示すように、ＰＩＤ補償器にノッチフィルターを追加した場合も、０．０１Ｈｚ付近の急峻なピークが減衰され、低い周波数からも良好に除振される。
【００７６】
（第８実施形態）
次に、本発明の第８実施形態に係る除振装置について説明する。図１１は、本実施形態の除振装置の構成を示す概略図である。なお、図１１において、上記実施形態の各図と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の除振装置は、第１〜第７実施形態に示す除振装置のいずれかに採用した基準体システムを、少なくとも６個以上、具体的には、水平方向に基準体を３個以上、鉛直方向に基準体を３個以上用いて、複数軸方向で除振台３の除振を実施する。例えば、図１１に示す除振装置８０は、除振台３上に、３個の水平方向用の基準体システム１０（１０ａ〜１０ｃ）と、３個の鉛直方向用の基準体システム２０（２０ａ〜２０ｃ）とを備える。また、除振装置８０は、除振台３を６軸方向で駆動するための３個のＺ軸駆動用のアクチュエータ８１ａ〜８１ｃと、１個のＸ軸駆動用のアクチュエータ８２と、更に２個のＹ軸駆動用のアクチュエータ８３ａ、８３ｂとをベース２と除振台３との間に備える。なお、図１１において、一部のアクチュエータは、不図示である。
【００７７】
図１２は、除振装置８０の制御方法を示すブロック線図である。まず、制御装置は、上記６個の基準体システム１０ａ〜１０ｃ、２０ａ〜２０ｃのそれぞれに設置された６個の位置センサ２５（２５ａ〜２５ｆ）から位置情報１７（１７ａ〜１７ｆ）を取得する。次に、制御装置は、この６つの位置情報１７を非干渉化マトリクス２００により除振台３の重心周りの６軸の位置情報２０１（２０１ｘ、２０１ｙ、２０１ｚ、２０１θｘ、２０１θｙ、２０１θｚ）にそれぞれ変換する。次に、制御装置は、この６つの位置情報２０１と予め設定された目標値２０２（２０２ｘ、２０２ｙ、２０２ｚ、２０２θｘ、２０２θｙ、２０２θｚ）との差分から、偏差２０３（２０３ｘ、２０３ｙ、２０３ｚ、２０３θｘ、２０３θｙ、２０３θｚ）を算出する。次に、制御装置は、この６つの偏差２０３を補償器２０４にかけることで６つの重心周りの駆動信号２０５（２０５ｘ、２０５ｙ、２０５ｚ、２０５θｘ、２０５θｙ、２０５θｚ）が求まる。次に、駆動信号２０５は、推力分配マトリクス２０６により６個のアクチュエータ８１ａ〜８１ｃ、８２、８３ａ、８３ｂの駆動信号２０７（２０７＿８１ａ、２０７＿８１ｂ、２０７＿８１ｃ、２０７＿８２、２０７＿８３ａ、２０７＿８３ｂ）に変換される。そして、各アクチュエータ８１ａ〜８１ｃ、８２、８３ａ、８３ｂは、この６つの駆動信号２０７に基づいて、除振台３を６軸方向に駆動する。このように、本実施形態によれば、除振台３を６軸方向で正確に、かつ、低い周波数からでも良好に除振することができる。
【００７８】
（第９実施形態）
次に、本発明の第９実施形態に係る除振装置について説明する。図１３は、本実施形態の除振装置の構成を示す概略図である。なお、図１３において、上記実施形態の各図と同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の除振装置９０は、除振台３上に設置する基準体システムとして、図１３に示すように６軸計測が可能な基準体システム９１を採用し、６軸方向で除振台３の除振を実施する。図１４（ａ）〜図１４（ｂ）は、基準体システム９１の構成を示す概略図であり、特に、図１４（ａ）は、側面図であり、図１４（ｂ）は、ベース９２に対向する基準体９３の下面図であり、図１４（ｃ）は、基準体９３に対向するベース９２の上面図である。基準体システム９１は、ベース９２と基準体９３との間に、１個の自重補償手段９４と、６個のアクチュエータと、６個の変位センサとを備える。自重補償手段９４は、基準体９３の中心部に設置され、ベース９２から基準体９３を支持し、基準体９３の自重と釣り合う力を与えることで、基準体９３の自重を補償する。自重補償手段９４は、複数個あっても構わない。６個のアクチュエータは、基準体９３をベース９２に対して６軸駆動するために、３個のＺ軸駆動用のアクチュエータ９５ａ〜９５ｃと、１個のＸ軸駆動用のアクチュエータ９６と、２個のＹ軸駆動用のアクチュエータ９７ａ、９７ｂとで構成される。６個の変位センサは、ベース９２に対する基準体９３の６軸方向の位置を計測するための計測手段である。この６個の変位センサは、３個のＺ軸方向用の変位センサ９８ａ〜９８ｃと、１個のＸ軸方向用の変位センサ９９と、２個のＹ軸方向用の変位センサ１００ａ、１００ｂとで構成される。
【００７９】
図１５は、除振装置９０の制御方法を示すブロック線図である。まず、制御装置は、上記６個の変位センサから位置情報３００（３００ａ〜３００ｆ）を取得する。次に、制御装置は、この６つの位置情報３００を、非干渉化マトリクス３０１により基準体９３の重心周りの６軸の位置情報３０２（３０２ｘ、３０２ｙ、３０２ｚ、３０２θｘ、３０２θｙ、３０２θｚ）にそれぞれ変換する。次に、制御装置は、６つの位置情報３０２と、予め設定された目標値３０３（３０３ｘ、３０３ｙ、３０３ｚ、３０３θｘ、３０３θｙ、３０３θｚ）との差分から、偏差３０４（３０４ｘ、３０４ｙ、３０４ｚ、３０４θｘ、３０４θｙ、３０４θｚ）を算出する。次に、制御装置は、この６つの偏差３０４を補償器３０５にかけることで、基準体９３の重心周りの６つの駆動信号３０６（３０６ｘ、３０６ｙ、３０６ｚ、３０６θｘ、３０６θｙ、３０６θｚ）が求まる。この場合、補償器３０５としてはＰＤ補償器を採用するが、上記各実施形態に示すいずれかの補償器を採用してもよい。次に、駆動信号３０６は、推力分配マトリクス３０７により、６個のアクチュエータ９５ａ〜９５ｃ、９６、９７ａ、９７ｂの駆動信号３０８（３０８＿９５ａ、３０８＿９５ｂ、３０８＿９５ｃ、３０８＿９６、３０８＿９７ａ、３０８＿９７ｂ）に変換される。そして、各アクチュエータ９５ａ〜９５ｃ、９６、９７ａ、９７ｂは、この６つの駆動信号３０８に基づいて、基準体９３を６軸方向に駆動する。
【００８０】
更に、制御装置は、内部の別の制御系３１０により、第８実施形態と同様の制御を実行する。即ち、まず、制御系３１０は、基準体９３の重心周りの６つの位置情報３０２と、予め設定された除振台３の目標値１０２との差分から、偏差１０３を算出する。次に、制御系３１０は、この６つの偏差１０３を補償器１０４にかけることで、除振台３の重心周りの６つの駆動信号１０５が求まる。次に、この６つの駆動信号１０５は、推力分配マトリクス１０６により、６個のアクチュエータ８１ａ〜８１ｃ、８２、８３ａ、８３ｂの駆動信号１０７に変換される。そして、各アクチュエータ８１ａ〜８１ｃ、８２、８３ａ、８３ｂは、６つの駆動信号１０７に基づいて、除振台３を６軸方向に駆動する。このように、本実施形態によれば、第８実施形態と同様に、除振台３を６軸方向で正確に、かつ、低い周波数からでも良好に除振することができる。
【００８１】
（露光装置）
次に、本発明の除振装置を採用した露光装置について説明する。図１６は、本実施形態に係る露光装置の構成を示す概略図である。露光装置４００は、照明光学系４０１と、レチクルを保持するレチクルステージ４０２と、投影光学系４０３と、被処理基板を保持する基板ステージ４０４とを備える。なお、本実施形態における露光装置４００は、ステップ・アンド・リピート方式又はステップ・アンド・スキャン方式を採用し、レチクルに形成されたパターンを、被処理基板であるウエハに露光する走査型投影露光装置である。照明光学系４０１は、不図示の光源部を備え、レチクルを照明する装置である。光源部において、光源は、例えば、レーザーを使用する。使用可能なレーザーは、波長約１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザー、波長約２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー、波長約１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザー等である。レチクルは、例えば石英ガラス製の原版であり、転写されるべき回路パターンが形成されている。また、レチクルステージ４０２は、ｘｙ方向に移動可能なステージであって、レチクルを保持する装置である。なお、レチクルステージ４０２は、レチクルステージ定盤４０５に保持されている。投影光学系４０３は、照明光学系４０１からの露光光で照明されたレチクル上のパターンを所定倍率（例えば、１／４）で基板上に投影露光する。投影光学系４０３としては、複数の光学素子のみから構成される光学系や、複数の光学素子と少なくとも一枚の凹面鏡とから構成される光学系（カタディオプトリック光学系）が採用可能である。また、上記レチクルステージ定盤４０５及び投影光学系４０３は、床面（基盤面）４０６上に、本発明の除振装置を備えた鏡筒定盤４０７に支持されている。基板（被処理基板）は、表面上に感光剤（レジスト）が塗布された、シリコンウエハ等の被処理体である。基板ステージ４０４は、ｘｙｚ方向に移動可能なステージである。なお、基板ステージ４０４は、床面（基盤面）４０６上に載置されたステージ定盤４０８上に設置されている。この露光装置４００において、レチクルから発せられた回折光は、投影光学系４０３を通過し、基板上に投影される。該基板とレチクルとは、共役の関係にある。走査型の投影露光装置の場合は、レチクルと基板とを走査することにより、レチクルのパターンを基板上に転写する。なお、ステッパー（ステップ・アンド・リピート方式の露光装置）の場合は、レチクルと基板とを静止させた状態で露光が行われる。ここで、鏡筒定盤４０７は、上記実施形態に係る除振装置を備えるので、低い周波数からでも良好に除振される。
【００８２】
（デバイスの製造方法）
次に、本発明の一実施形態のデバイス（半導体デバイス、液晶表示デバイス等）の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）と、パッケージング工程（封入）を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
【００８３】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１７  位置情報
１９  駆動信号
２０  基準体システム
２４  基準体
２５  位置センサ
２６  ＰＩＤ補償器
【図１】
2012044014.tif 000031
【図２】
2012044014.tif 000032
【図３】
2012044014.tif 000033
【図４】
2012044014.tif 000034
【図５】
2012044014.tif 000035
【図６】
2012044014.tif 000036
【図７】
2012044014.tif 000037
【図８】
2012044014.tif 000038
【図９】
2012044014.tif 000039
【図１０】
2012044014.tif 000040
【図１１】
2012044014.tif 000041
【図１２】
2012044014.tif 000042
【図１３】
2012044014.tif 000043
【図１４】
2012044014.tif 000044
【図１５】
2012044014.tif 000045
【図１６】
2012044014.tif 000046