(57)【要約】【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル１０などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を電子部品実装設備に用いられる被洗浄物に対して噴射することにより前記被洗浄物を洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツールであって、
圧縮空気の供給源に接続され作業者が把持して操作可能な本体部と、
前記本体部の先端に設けられ前記２流体を噴射する噴射ノズルと、
前記本体部に接続され前記噴射ノズルと切替バルブを介して接続された液体タンクとを備え、
前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを連通させた状態において前記圧縮空気を供給することにより、前記液体タンクから吸い上げられた液体の粒子と圧縮空気とが混合された２流体を前記噴射ノズルから噴射し、
前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを遮断した状態において前記圧縮空気を供給することにより、液体の粒子を含まない圧縮空気のみを前記噴射ノズルから噴射することを特徴とする電子部品実装設備用の洗浄ツール。
【請求項２】
前記被洗浄物は、部品実装装置において部品を吸着保持する吸着ノズル、この吸着ノズルが装着される実装ヘッドに設けられて前記吸着ノズルを摺動自在に保持するノズルホルダ、スクリーン印刷装置に用いられるスクリーンマスクのいずれかであることを特徴とする請求項１記載の電子部品実装設備用の洗浄ツール。
【請求項３】
圧縮空気の供給源に接続され作業者が把持して操作可能な本体部と、
前記本体部の先端に設けられ前記２流体が噴射される噴射ノズルと、
前記本体部に接続され前記噴射ノズルと切替バルブを介して接続された液体タンクとを備え、液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を電子部品実装設備に用いられる被洗浄物に対して噴射することにより前記被洗浄物を洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツールによって前記被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、
前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを連通させた状態において前記圧縮空気を供給することにより、前記液体タンクから吸い上げられた液体の粒子と圧縮空気とが混合された２流体を前記噴射ノズルから噴射して前記被洗浄物を洗浄し、
前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを遮断した状態において前記圧縮空気を供給することにより、液体の粒子を含まない圧縮空気のみを前記噴射ノズルから噴射して前記洗浄によって前記被洗浄物に付着した液体を除去することを特徴とする洗浄方法。
【請求項４】
前記被洗浄物は、部品実装装置において部品を吸着保持する吸着ノズル、この吸着ノズルが装着される実装ヘッドに設けられて前記吸着ノズルを摺動自在に保持するノズルホルダ、スクリーン印刷装置に用いられるスクリーンマスクのいずれかであることを特徴とする請求項３記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品実装設備の部品類などの被洗浄物の洗浄に用いられる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置において電子部品を吸着保持する吸着ノズルなど電子部品実装設備の部品類には、使用時に付着した異物を除去するための洗浄を必要とするものが多い。吸着ノズルの例では、ノズル先端には部品接合に用いられるクリーム半田や各種の油脂分など粘着性の異物が付着しやすく、これらが付着堆積すると正常な部品吸着を妨げるため、所定の作業インターバル毎にこれらの異物を除去するための洗浄作業が行われる。この洗浄作業の方法として、従来より手動のエアーガンによるエアブロー、ピアノ線などのピン治具による手動除去、超音波洗浄装置による液中洗浄などが用いられていた。これらの洗浄方法には異物除去能力において難点があり、対象部品の洗浄難度によっては十分な洗浄品質が確保できないため、微細な水粒子を圧縮空気によって噴射する２流体ノズルを用いた専用の自動洗浄装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。この方法によれば、水粒子が異物に衝突することによって高い異物除去能力を確保することができるという利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２６９２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献例に示す先行技術においては、装置構成に起因して、コスト面や使い勝手の面で以下のような難点があった。すなわち先行技術では、複数の被洗浄ノズルを所定姿勢で保持する専用のノズルホルダに保持させておき、２流体生成装置および２流体ノズルをノズルホルダに対して移動させながら水粒子と圧縮空気より成る２流体を被洗浄ノズルに対して噴射する構成となっていることから、装置構成が複雑化して設備コストが高くなることが避けられなかった。また洗浄作業の都度、複数の被洗浄ノズルをノズルホルダに着脱する作業が必要とされることから洗浄作業に多大の手間を要し、作業効率や使い勝手の面でも難点があった。
【０００５】
そこで本発明は、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電子部品実装設備用の洗浄ツールは、液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を電子部品実装設備に用いられる被洗浄物に対して噴射することにより前記被洗浄物を洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツールであって、圧縮空気の供給源に接続され作業者が把持して操作可能な本体部と、前記本体部の先端に設けられ前記２流体を噴射する噴射ノズルと、前記本体部に接続され前記噴射ノズルと切替バルブを介して接続された液体タンクとを備え、前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを連通させた状態において前記圧縮空気を供給することにより、前記液体タンクから吸い上げられた液体の粒子と圧縮空気とが混合された２流体を前記噴射ノズルから噴射し、  前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを遮断した状態において前記圧縮空気を供給することにより、液体の粒子を含まない圧縮空気のみを前記噴射ノズルから噴射する。
【０００７】
本発明の洗浄方法は、圧縮空気の供給源に接続され作業者が把持して操作可能な本体部と、前記本体部の先端に設けられ前記２流体が噴射される噴射ノズルと、前記本体部に接続され前記噴射ノズルと切替バルブを介して接続された液体タンクとを備え、液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を電子部品実装設備に用いられる被洗浄物に対して噴射することにより前記被洗浄物を洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツールによって前記被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを連通させた状態において前記圧縮空気を供給することにより、前記液体タンクから吸い上げられた液体の粒子と圧縮空気とが混合された２流体を前記噴射ノズルから噴射して前記被洗浄物を洗浄し、前記切替バルブが前記噴射ノズルと液体タンクとを遮断した状態において前記圧縮空気を供給することにより、液体の粒子を含まない圧縮空気のみを前記噴射ノズルから噴射して前記洗浄によって前記被洗浄物に付着した液体を除去する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、作業者が把持して操作可能な本体部と、本体部の先端に設けられ前記２流体が噴射される噴射ノズルと、本体部に接続され前記噴射ノズルと切替バルブを介して接続された液体タンクとを備え、液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を被洗浄物に対して噴射する構成の洗浄ツールを電子部品実装設備に対して用いることにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態の洗浄ツールの洗浄対象となる吸着ノズルが装着される部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の洗浄ツールの洗浄対象となる吸着ノズルの説明図
【図３】本発明の一実施の形態の洗浄ツールの構成説明図
【図４】本発明の一実施の形態の洗浄ツールの機能説明図
【図５】本発明の一実施の形態の洗浄ツールによる洗浄方法の動作説明図
【図６】本発明の一実施の形態の洗浄ツールに付随して用いられるアタッチメントの機能説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して、部品実装装置１の構成を説明する。部品実装装置１は基板に電子部品を実装して実装基板を製造する電子部品実装ラインに用いられる電子部品実装設備であり、本発明の一実施の形態の洗浄ツールの洗浄対象となる吸着ノズルやノズルホルダが装着されている。
【００１１】
図１において、基台１ａの中央部には、Ｘ方向（基板搬送方向）に基板搬送機構２が配設されている。基板搬送機構２は、上流側から搬入された基板３を搬送し、以下に説明する部品実装機構による作業位置に位置決めする。基板搬送機構２の両側には、実装対象の電子部品を供給する部品供給部４が配置されている。部品供給部４には複数のテープフィーダ５が並列に配置されており、テープフィーダ５はキャリアテープに保持された部品を以下に説明する部品実装機構による取出位置までピッチ送りする機能を有している。
【００１２】
基台１ａ上面のＸ方向の１端部上にはＹ軸移動テーブル６が配設されており、Ｙ軸移動テーブル６には２台のＸ軸移動テーブル７がＹ方向にスライド自在に結合されている。Ｘ軸移動テーブル７にはそれぞれ実装ヘッド８がＸ方向にスライド自在に装着されている。実装ヘッド８は複数の単位実装ヘッド９より成る多連型ヘッドであり、単位実装ヘッド９の下端部に装着された吸着ノズル１０（図２参照）によってテープフィーダ５から実装対象の部品を真空吸着によって保持する。Ｙ軸移動テーブル６およびＸ軸移動テーブル７は実装ヘッド８を移動させるヘッド移動機構を構成し、ヘッド移動機構を駆動することにより、実装ヘッド８は部品供給部４と基板搬送機構２に位置決めされた基板３との間で移動する。実装ヘッド８および実装ヘッド８を移動させるヘッド移動機構は、部品供給部４から部品を取り出して基板３に実装する部品実装機構を構成する。
【００１３】
Ｘ軸移動テーブル７の下面には、それぞれ実装ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ１１が装着されている。ヘッド移動機構を駆動して基板認識カメラ１１を基板搬送機構２に保持された基板３の上方へ移動させることにより、基板認識カメラ１１は基板３に形成された認識マークを撮像する。部品供給部４と基板搬送機構２との間の実装ヘッド８の移動経路には、部品認識カメラ１２，ノズル収納部１３が配設されている。部品供給部４から部品を取り出した実装ヘッド８が部品認識カメラ１２の上方を所定方向に通過する走査動作を行うことにより、部品認識カメラ１２は実装ヘッド８に保持された状態の部品を撮像する。ノズル収納部１３には単位実装ヘッド９に装着される吸着ノズル１０が部品種に対応して複数収納保持されている。実装ヘッド８がノズル収納部１３にアクセスしてノズル交換動作を行うことにより、単位実装ヘッド９に装着される吸着ノズル１０を部品種に応じて交換することができる。
【００１４】
次に図２を参照して、実装ヘッド８における吸着ノズル１０の着脱および吸着ノズル１０の汚損について説明する。図２（ａ）に示すように、実装ヘッド８は複数の単位実装ヘッド９を並列に配設した構成となっており、各単位実装ヘッド９の下部に設けられたノズルホルダ９ａには、吸着ノズル１０が着脱自在に装着される。部品実装作業においては、実装ヘッド８は部品供給部４と基板搬送機構２に位置決め保持された基板３との間を往復して部品実装動作を反復実行し、必要に応じてノズル収納部１３にアクセスして、吸着ノズル１０をノズルホルダ９ａに対して着脱して交換するノズル交換動作を行う。
【００１５】
このようにして部品実装作業を継続する過程において、吸着ノズル１０は洗浄作業の対象となる。すなわち部品実装動作では、吸着ノズル１０の軸部１０ａの下端部に設けられた吸着面１０ｃを吸着保持の対象となる電子部品に当接させて吸引孔１０ｂから真空吸引する部品吸着動作が反復して実行される。この部品吸着動作を反復実行する過程では、図２（ｂ）に示すように、吸着面１０ｃには部品接合に用いられるクリーム半田や各種の油脂分など粘着性の異物１４が付着する。そしてこれら異物１４が吸着面１０ｃに付着堆積すると正常な部品吸着を妨げるため、所定の作業インターバル毎に実装ヘッド８から取り外された吸着ノズル１０を対象として、これらの異物１４を除去するための洗浄作業が行われる。
【００１６】
このような電子部品実装設備の洗浄作業に使用される洗浄ツール２０について、図３、図４を参照して説明する。洗浄ツール２０は液体の粒子を圧縮空気に混合した２流体を電子部品実装設備に用いられる被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射することにより、吸着ノズル１０を洗浄する機能を有している。ここでは、洗浄に用いられる液体として、通常の市水より成る洗浄水を用いた例を示している。なお、水以外の他の液体を用いることも可能であるが、コスト面、環境負荷の観点を総合すると、水を用いることが望ましい。
【００１７】
図３において、洗浄ツール２０は、本体部２１、噴射ノズル２５、液体タンク２８を備えている。本体部２１は、作業者が把持する把持部２１ａを有し、先端にエジェクタ部２１ｂを介して噴射ノズル２５が設けられたガン形状となっている。本体部２１の内部には、把持部２１ａの底部とエジェクタ部２１ｂとを連通させるエア流路２１ｄ（図４も参照）が設けられており、エア流路２１ｄは把持部２１ａの底部に接続されたエアチューブ２２を介して圧縮空気の供給源であるエアー源２３が接続されている。
【００１８】
把持部２１ａの内部にはエア流路２１ｄをオン・オフするオン・オフバルブ２４が設けられており、オン・オフバルブ２４は把持部２１ａを把持した作業者がトリガ部２１ｃを矢印ａ方向に移動させる操作することにより、エアー源２３からエジェクタ部２１ｂへの圧縮空気の送給を断接することができるようになっている。エジェクタ部２１ｂの下方には切替バルブ２６を介してタンク接続機構２７が接続されており、さらにタンク接続機構２７には、内部に洗浄水３０を貯留する液体タンク２８が着脱自在に装着されている。切替バルブ２６は操作コック２６ａを備えており、作業者が操作コック２６ａを矢印ｂ方向に操作することにより、液体タンク２８の内部に挿入された導水チューブ２９とエジェクタ部２１ｂとの接続状態をオン・オフすることができる。これにより、液体タンク２８からエジェクタ部２１ｂへの洗浄水３０の供給が断接される。
【００１９】
液体タンク２８はＰＥＴボトルなどの簡易容器であり、図４に示すように、ボトルネック部２８ａに設けられた外ねじ部をタンク接続機構２７の内ねじ部に螺合させることによりタンク接続機構２７に装着される。この装着状態においてボトルネック部２８ａの頂部がタンク接続機構２７の内部に装着されたシール部材２７ａに押し付けられることにより、液体タンク２８の内部が外部に対して密封される。
【００２０】
図４に示すように、エジェクタ部２１ｂの内部にはエア流路２１ｄが絞られたオリフィス２１ｅが設けられており、オリフィス２１ｅは切替バルブ２６を介して導水チューブ２９と連通する吸引空間２１ｆに開口している。さらに吸引空間２１ｆはエジェクタ部２１ｂ内を貫通して設けられた噴射流路２１ｇと連通しており、噴射流路２１ｇは噴射ノズル２５に設けられたノズル孔２５ａと連通している。なおノズル孔２５ａの径サイズとしては、０．１５〜０．２５ｍｍの範囲から選定することが望ましい。
【００２１】
トリガ部２１ｃを開操作することによりエアー源２３から圧縮空気がエア流路２１ｄに供給され（矢印ｃ）、さらにオリフィス２１ｅによって流れが絞られて高速となった圧縮空気は吸引空間２１ｆ内に噴出し（矢印ｄ）、噴射流路２１ｇ内を流動して噴射ノズル２５のノズル孔２５ａから外部へ噴射される。そして吸引空間２１ｆ内は、高速噴流によって生じる圧力低下により外部に対して負圧となる。
【００２２】
このとき、切替バルブ２６が開状態であれば、この負圧によって液体タンク２８内の洗浄水３０は、導水チューブ２９を介して（矢印ｅ）吸引空間２１ｆ内に吸い上げられる（矢印ｆ）。そして圧縮空気２３ａの噴流によって噴射流路２１ｇ内を流下する過程で、洗浄水３０は微細な粒度の粒子３０ａに液滴化されるとともに圧縮空気２３ａと混合され、圧縮空気２３ａに粒子３０ａを混合した２流体３１となってノズル孔２５ａから噴射される（矢印ｇ）。すなわち、洗浄ツール２０は、圧縮空気の供給源であるエアー源２３に接続され、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１を噴射する噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備えた構成となっている。
【００２３】
これに対して、切替バルブ２６が閉状態であれば、液体タンク２８内の洗浄水３０が導水チューブ２９を介して吸引空間２１ｆ内に吸い上げられることがなく、ノズル孔２５ａからは粒子３０ａを含まない圧縮空気２３ａのみが噴射される。すなわち本実施の形態の洗浄ツール２０においては、切替バルブ２６が噴射ノズル２５と液体タンク２８とを連通させた状態において圧縮空気２３ａを供給することにより、液体タンク２８から吸い上げられた洗浄水３０の粒子３０ａと圧縮空気２３ａとが混合された２流体３１を噴射ノズル２５から噴射し、切替バルブ２６が噴射ノズル２５と液体タンク２８とを遮断した状態において圧縮空気２３ａを供給することにより、洗浄水３０の粒子３０ａを含まない圧縮空気２３ａのみを噴射ノズル２５から噴射する形態となっている。
【００２４】
次に、上述構成の洗浄ツール２０によって被洗浄物を洗浄する洗浄方法について、図５を参照して説明する。ここでは、被洗浄物としての吸着ノズル１０に対して洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を噴射することにより、吸着ノズル１０の吸着面１０ｃに付着した異物１４を除去する例を示している。
【００２５】
図５（ａ）に示すように、洗浄対象となる吸着ノズル１０の吸着面１０ｃには、部品吸着動作を反復実行することにより、クリーム半田や油脂分などの異物１４が粘着力により付着している。洗浄作業においては、作業者が把持部２１ａを把持して洗浄ツール２０を操作し、噴射ノズル２５を吸着ノズル１０の吸着面１０ｃに対向するように位置合わせする。このとき、操作コック２６ａを操作することにより、切替バルブ２６を開状態、すなわち噴射ノズル２５と液体タンク２８とを連通させた状態にしておき、この状態でトリガ部２１ｃを操作して圧縮空気２３ａをエジェクタ部２１ｂに供給する。これにより、噴射ノズル２５のノズル孔２５ａからは、圧縮空気２３ａに粒子３０ａを混合した２流体３１が、吸着面１０ｃに対して噴射される。
【００２６】
そしてこの２流体３１の噴射を所定時間継続する過程において、粒子３０ａが異物１４に間断なく衝突することによる物理力が異物１４の吸着面１０ｃに対する付着力に勝ることにより、図５（ｂ）に示すように、吸着面１０ｃから異物１４が除去され、吸着面１０ｃは洗浄された状態となる。このとき、軸部１０ａの吸引孔１０ｂ内には２流体３１に含まれる粒子３０ａが進入して内部に付着した状態となっている。このような粒子３０ａが吸引孔１０ｂ内に残量したまま放置すると、粒子３０ａの水分が蒸発した後に粒子３０ａ内に含まれる微細異物が軸部１０ａの内面に再付着する２次的な汚損を誘発するため、洗浄後の粒子３０ａを吹き飛ばして除去する液切り乾燥を行う必要がある。
【００２７】
すなわち、操作コック２６ａを閉状態、すなわち噴射ノズル２５と液体タンク２８とを遮断した状態に切替え、この状態で圧縮空気２３ａをエジェクタ部２１ｂに供給する。これにより、図５（ｃ）に示すように、噴射ノズル２５のノズル孔２５ａからは粒子３０ａを含まない圧縮空気２３ａのみが吸着面１０ｃに対して噴射される。これにより、吸引孔１０ｂ内に進入した粒子３０ａや軸部１０ａの外面に付着した粒子３０ａが圧縮空気２３ａによって吹き飛ばされて除去される。
【００２８】
すなわち本実施の形態に示す洗浄方法では、切替バルブ２６が噴射ノズル２５と液体タンク２８とを連通させた状態において圧縮空気２３ａを供給することにより、液体タンク２８から吸い上げられた洗浄水３０の粒子３０ａと圧縮空気２３ａとが混合された２流体３１を噴射ノズル２５から噴射して被洗浄物である吸着ノズル１０を洗浄し、切替バルブ２６が噴射ノズル２５と液体タンク２８とを遮断した状態において圧縮空気２３ａを供給することにより、洗浄水３０の粒子３０ａを含まない圧縮空気２３ａのみを噴射ノズル２５から噴射して、洗浄によって吸着ノズル１０に付着した洗浄水３０を除去するようにしている。
【００２９】
なお図５に示す例では、吸着面１０ｃに対して２流体３１を噴射する洗浄作業において、作業者が洗浄ツール２０を操作して吸着面１０ｃに対して噴射ノズル２５を位置合わせする例を示したが、図６に示すように、噴射ノズル２５に位置合わせ用のアタッチメント３２を予め装着しておくようにしてもよい。
【００３０】
すなわち、図６（ａ）において、アタッチメント３２には噴射ノズル２５が嵌合する形状のノズル固定部３２ａが設けられており、噴射ノズル２５をノズル固定部３２ａに嵌合させて止めねじなどの固定手段（図示省略）によって固定することにより、アタッチメント３２は噴射ノズル２５に対して所定の位置に位置合わせされて固着された状態となる。アタッチメント３２内には、噴射ノズル２５から２流体３１を噴射するための噴射空間３２ｂ、噴射空間３２ｂ内に洗浄対象の吸着面１０ｃを位置させるためのノズル装着部３２ｃおよび噴射空間３２ｂ内に噴射された２流体３１を排出するための排出開口部３２ｄが設けられている。
【００３１】
洗浄作業実行時には、図６（ｂ）に示すように、軸部１０ａをノズル装着部３２ｃ内に嵌入させ、鍔部１０ｄをノズル装着端面３２ｅに当接させた状態で保持する。この状態では、噴射ノズル２５のノズル孔２５ａが洗浄対象部位である吸着面１０ｃと対向する位置にある。そしてこの状態で、ノズル孔２５ａから２流体３１を噴射させ、所定時間噴射を継続する。これにより、２流体３１は吸着ノズル１０の吸着面１０ｃに確実に衝突し、吸着面１０ｃに付着した異物１４が除去される。
【００３２】
上記説明したように、本実施の形態においては、電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成としたものである。そしてこのような構成の洗浄ツール２０を電子部品実装設備に対して用いることにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。
【００３３】
なお上述の実施の形態においては、被洗浄物が電子部品実装用設備である部品実装装置１において部品を吸着保持する吸着ノズル１０である場合を示したが、被洗浄物としては吸着ノズル１０には限定されない。例えば吸着ノズル１０が装着される単位実装ヘッド９において吸着ノズル１０を摺動自在に保持するノズルホルダ９ａのノズル摺動孔の内部や、電子部品実装用設備であるスクリーン印刷装置に用いられるスクリーンマスクなど、狭隘な洗浄部位を有し通常のエアブローなどでは洗浄が困難な被洗浄物を対象とする場合にも本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法は、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができるという効果を有し、電子部品実装設備の部品類などの被洗浄物を洗浄する用途に利用可能である。
【符号の説明】
【００３５】
１  部品実装装置
８  実装ヘッド
９ａ  ノズルホルダ
１０  吸着ノズル
１０ａ  軸部
１０ｃ  吸着面
２０  洗浄ツール
２１  本体部
２１ａ  把持部
２１ｂ  エジェクタ部
２３ａ  圧縮空気
２４  オン・オフバルブ
２５  噴射ノズル
２５ａ  ノズル孔
２６  切替バルブ
２８  液体タンク
３０  洗浄水
３０ａ  粒子
３１  ２流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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