(57)【要約】【課題】本発明は、サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるサスペンション用基板の検査方法を、提供することを主目的とする。【解決手段】本発明は、第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含むサスペンション用基板と、上記テール部側で上記第１〜第４配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１ヘッド部側端子および上記第２ヘッド部側端子の間に、上記第３ヘッド部側端子および上記第４ヘッド部側端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法を提供することにより、上記課題を解決する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子および前記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含むサスペンション用基板と、前記サスペンション用基板をテール部側から支持し、前記テール部側で前記第１〜第４配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、
前記第１ヘッド部側端子および前記第２ヘッド部側端子の間に、前記外枠における導体層ならびに前記第１配線および前記第２配線を介して検査用電流を流して、前記第３ヘッド部側端子および前記第４ヘッド部側端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、
前記検査用電流の電流値および前記電位差に基づいて、前記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、
を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法。
【請求項２】
第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線ならびに第４端子および第４配線を含むサスペンション用基板と、前記サスペンション用基板をテール部側から支持する外枠とを有し、前記Ｙ字型配線では、前記第１および第２配線が前記第１および第２端子にそれぞれ接続され、前記第１配線における前記第１端子側とは逆側の一端および前記第２配線における前記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、前記第３端子が前記接続部を基準として前記第１および第２端子とは逆側に配置され、前記第３配線が前記接続部および前記第３端子を接続し、前記第１〜第３端子のいずれかに前記第４配線を介して前記第４端子が接続された外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、
前記第１〜第３端子を第１〜第３検査用端子としてそれぞれ選択し、前記第１〜第４端子および前記接続部のいずれかを第４検査用端子として選択する選択工程と、
前記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、
前記検査用電流の電流値および前記電位差に基づいて、前記第１〜第３配線の全配線、または前記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、
を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法。
【請求項３】
第１および第２端子、前記第１および第２端子を接続する第１配線、前記第１および第２端子を接続する第２配線、前記第１端子に接続された第３配線および前記第１端子に前記第３配線を介して接続された第３端子、ならびに前記第２端子に接続された第４配線および前記第４配線を介して接続された第４端子を含むサスペンション用基板と、前記サスペンション用基板をテール部側から支持する導体層を含む外枠とを有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、
前記第１および第２端子を第１および第２検査用端子としてそれぞれ選択し、前記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第３検査用端子として選択し、前記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第４検査用端子として選択する選択工程と、
前記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、
前記検査用電流の電流値および前記電位差に基づいて、前記第１および第２配線の両配線、前記第１〜第３配線の全配線、前記第１、第２、および第４配線の全配線、または前記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、
を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３に記載のサスペンション用基板の検査方法を用いて前記サスペンション用基板を検査する検査工程を有することを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載のサスペンション用基板の検査方法に用いる検査治具であって、前記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続される複数のプローブと、上記複数のプローブを支持する支持部材とを有することを特徴とする検査治具。
【請求項６】
前記複数のプローブが千鳥配列で設けられたことを特徴とする請求項５に記載の検査治具。
【請求項７】
サスペンション用基板の検査に用いる検査装置であって、前記サスペンション用基板を配置するステージと、前記サスペンション用基板を前記ステージに吸着して固定する吸着機構とを含むステージ部と、前記サスペンション用基板を前記ステージに押さえ付ける押さえ付け機構部と、を有することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サスペンション用基板の検査方法に関し、より詳しくは、サスペンション用基板が有する配線の導通検査を効率的に行うことができるサスペンション用基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
サスペンション用基板を製造する場合には、サスペンション用基板が有する配線の導通検査を行う必要があり、その配線の導通検査を確実かつ効率良く行うための様々な技術が提案されてきた。例えば、サスペンション用基板を支持する外枠に配線との確実な導通を実現する端子を設けた外枠付サスペンション用基板が提案されている（特許文献１）。また、配線を、ビアを介して金属支持基板に接続した構造にすることにより、配線における断線および接続不良等の異常を容易かつ確実に検出することができるサスペンション用基板が提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２５９３５７号公報
【特許文献２】特開２０１０−５０２５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、サスペンション用基板は一般に複数の配線を有するものである。このため、上述した従来技術における配線の断線検査においては、サスペンション用基板が有する複数の配線から検査対象となる配線を１つずつ選択して、選択した配線について個別の検査を行う必要があった。また、上述した従来技術における配線の短絡検査においては、サスペンション用基板が有する複数の配線から短絡検査を行う配線の組み合わせを一組ずつ選択して、選択した配線の組み合わせについて個別の検査を行う必要があった。
【０００５】
このため、従来技術における配線の断線検査においては、サスペンション用基板が有する配線の数量分だけ、検査を繰り返して行う必要があった。また、従来技術における配線の短絡検査においては、サスペンション用基板が有する配線の組み合わせの数量分だけ、検査を繰り返して行う必要があった。
【０００６】
これにより、従来技術においては、サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができないという問題が生じていた。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるサスペンション用基板の検査方法を、提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明においては、ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記テール部側で上記第１〜第４配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１ヘッド部側端子および上記第２ヘッド部側端子の間に、上記外枠における導体層ならびに上記第１配線および上記第２配線を介して検査用電流を流して、上記第３ヘッド部側端子および上記第４ヘッド部側端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、
上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法を提供する。
【０００９】
本発明によれば、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。
【００１０】
また、本発明においては、第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線ならびに第４端子および第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する外枠とを有し、上記Ｙ字型配線では、上記第１および第２配線が上記第１および第２端子にそれぞれ接続され、上記第１配線における上記第１端子側とは逆側の一端および上記第２配線における上記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、上記第３端子が上記接続部を基準として上記第１および第２端子とは逆側に配置され、上記第３配線が上記接続部および上記第３端子を接続し、上記第１〜第３端子のいずれかに上記第４配線を介して上記第４端子が接続された外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１〜第３端子を第１〜第３検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１〜第４端子および上記接続部のいずれかを第４検査用端子として選択する選択工程と、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法を提供する。
【００１１】
本発明によれば、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。
【００１２】
また、本発明においては、第１および第２端子、上記第１および第２端子を接続する第１配線、上記第１および第２端子を接続する第２配線、上記第１端子に接続された第３配線および上記第１端子に上記第３配線を介して接続された第３端子、ならびに上記第２端子に接続された第４配線および上記第４配線を介して接続された第４端子を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する導体層を含む外枠とを有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１および第２端子を第１および第２検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第３検査用端子として選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第４検査用端子として選択する選択工程と、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とするサスペンション用基板の検査方法を提供する。
【００１３】
本発明によれば、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。
【００１４】
また、本発明においては、上記サスペンション用基板の検査方法を用いて上記サスペンション用基板を検査する検査工程を有することを特徴とするサスペンション用基板の製造方法を提供する。
【００１５】
本発明によれば、上記サスペンション用基板を製造するときに、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することにより、上記サスペンション用基板を効率的に製造することができる。
【００１６】
また、本発明においては、上記サスペンション用基板の検査方法に用いる検査治具であって、上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続される複数のプローブと、上記複数のプローブを支持する支持部材とを有することを特徴とする検査治具を提供する。
【００１７】
本発明によれば、上記検査治具を用いて、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。
【００１８】
上記発明においては、上記複数のプローブが千鳥配列で設けられていることが好ましい。上記第１〜第４配線の配線ピッチが狭い場合においても、上記第１〜第４配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるからである。
【００１９】
また、本発明においては、サスペンション用基板の検査に用いる検査装置であって、上記サスペンション用基板を配置するステージと、上記サスペンション用基板を上記ステージに吸着して固定する吸着機構とを含むステージ部と、上記サスペンション用基板を上記ステージに押さえ付ける押さえ付け機構部と、を有することを特徴とする検査装置を提供する。
【００２０】
本発明によれば、上記外枠付サスペンション用基板を上記押さえ付け機構部によって上記ステージに押さえ付けた後に、上記吸着機構により上記ステージに吸着して固定することができる。これにより、上記外枠付サスペンション用基板を上記ステージにその撓みが解消された状態で固定して、上記サスペンション用基板の検査を行うことができる。この結果、検査治具が有するプローブを、上記サスペンション用基板が有する端子に正確な位置精度で接触させて、上記サスペンション用基板が有する配線の導通検査を行うことができる。これにより、上記サスペンション用基板が有する配線の導通検査を正確に行うことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明においては、サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】外枠付サスペンション用基板の第１の例を示した概略平面図である。
【図２】外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図１の要部（Ｓ）を示す概略平面図である。
【図５】外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【図６】図５に示した配線において断線が発生した場合を模式的に示した図である。
【図７】図５に示した配線において短絡が発生した場合を模式的に示した図である。
【図８】外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。
【図９】図８のＡ−Ａ断面図である。
【図１０】図１０は、図８の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。
【図１１】図８の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略断面図である。
【図１２】外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【図１３】外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。
【図１４】図１３のＡ−Ａ断面図である。
【図１５】図１の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。
【図１６】外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【図１７】外枠付サスペンション用基板の第３の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。
【図１８】図１７の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。
【図１９】図１７の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略断面図である。
【図２０】外枠付サスペンション用基板の第３の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【図２１】本発明の検査治具の一例を示した概略斜視図である。
【図２２】本発明の検査装置の一例を示した概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明のサスペンション用基板の検査方法および製造方法、検査治具、ならびに検査装置を詳細に説明する。
【００２４】
Ａ．サスペンション用基板の検査方法
まず、本発明のサスペンション用基板の検査方法について説明する。本発明のサスペンション用基板の検査方法は、３つの実施態様に大別することができる。以下、本発明のサスペンション用基板の検査方法について、第１〜第３実施態様に分けて説明する。
【００２５】
Ａ−１．第１実施態様
本実施態様のサスペンション用基板の検査方法は、ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記テール部側で上記第１〜第４配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１ヘッド部側端子および上記第２ヘッド部側端子の間に、上記外枠における導体層ならびに上記第１配線および上記第２配線を介して検査用電流を流して、上記第３ヘッド部側端子および上記第４ヘッド部側端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
本実施態様によれば、上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、上記第１〜第４配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。以下、本実施態様のサスペンション用基板の検査方法を詳細に説明する。
【００２７】
１．準備工程
本実施態様における準備工程は、ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記テール部側で上記第１〜第４配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する工程である。
【００２８】
上記準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板は、上記サスペンション用基板および外枠を有するのであれば、特に限定されない。以下、上記準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板を詳細に説明する。
【００２９】
（１）サスペンション用基板
上記サスペンション用基板は、ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第４配線を含み、上記第１〜第４配線が上記外枠における導体層に接続されているのであれば特に限定されない。
【００３０】
上記サスペンション用基板としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層とを有し、上記導体層が、ヘッド部側に設けられた第１〜第４ヘッド部側端子と、テール部側に設けられた第１〜第４テール部側端子と、第１〜第４端子間配線と、第１〜第４外部接続配線とを含むものが挙げられる。このようなサスペンション用基板においては、上記第１〜第４ヘッド部側端子に上記第１〜第４端子間配線がそれぞれ接続され、上記第１〜第４端子間配線が上記第１〜第４テール部側端子にそれぞれ接続され、上記第１〜第４テール部側端子に上記第１〜第４外部接続配線がそれぞれ接続され、上記第１〜第４外部接続配線が上記外枠における導体層にそれぞれ接続されている。
【００３１】
このようなサスペンション用基板においては、第１〜第４端子間配線および第１〜第４外部接続配線が上記第１〜第４配線に該当し、第１〜第４端子間配線および第１〜第４外部接続配線の全配線において発生する断線および短絡の両方を１回の検査プロットで検出することができる。
【００３２】
また、このようなサスペンション用基板としては、上記導体層が、ヘッド部側に設けられた第５および第６ヘッド部側端子と、テール部側に設けられた第５および第６テール部側端子と、第５および第６端子間配線と、第５および第６外部接続配線とをさらに含み、上記第５および第６ヘッド部側端子に上記第５および第６端子間配線がそれぞれ接続され、上記第５および第６端子間配線が上記第５および第６テール部側端子にそれぞれ接続され、上記第５および第６テール部側端子に上記第５および第６外部接続配線がそれぞれ接続され、上記第５および第６外部接続配線が上記外枠における導体層にそれぞれ接続されたものでもよい。この場合には、６つの端子間配線および６つの外部接続配線から４つの端子間配線およびそれらに接続された４つの外部接続配線を選択して、選択された全配線において発生する断線および短絡の両方を１回の検査プロットで検出することができる。
【００３３】
（２）外枠
上記外枠は、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記テール部側で上記第１〜第４配線が接続された導体層を含むものであれば特に限定されない。上記外枠としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層を有するものが挙げられる。
【００３４】
（３）外枠付サスペンション用基板
上記外枠付サスペンション用基板は、特に限定されるものではないが、上記サスペンション用基板として、上記外枠の内側に整列され、上記外枠によりそれぞれ支持された複数のサスペンション用基板を有し、上記複数のサスペンション用基板のそれぞれが上記第１〜第４ヘッド部側端子および上記第１〜第４配線を含み、上記複数のサスペンション用基板のそれぞれにおいて、上記第１〜第４配線が上記外枠における導体層に接続されているのが好ましい。外枠付サスペンション用基板が有する複数のサスペンション用基板のそれぞれについて、第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方を１回の検査プロットで検出することができるからである。
【００３５】
以下、本実施態様における外枠付サスペンション用基板の具体例として、外枠付サスペンション用基板の第１の例を説明する。図１は、外枠付サスペンション用基板の第１の例を示した概略平面図である。図２は、外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。図４は、図１の要部（Ｓ）を示す概略平面図である。図５（ａ）は、外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【００３６】
第１の例においては、図１に示すように、外枠付サスペンション用基板１００は外枠１１０と複数のサスペンション用基板１２０とを有し、複数のサスペンション用基板１２０が、外枠１１０の内側に整列され、外枠１１０によりヘッド部側およびテール部側の両方からそれぞれ支持されている。
【００３７】
図２〜図４に示すように、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、金属支持基板１２１と金属支持基板１２１上に形成された絶縁層１２２とを有する。そして、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、絶縁層１２２上に形成され、磁気ヘッドに接続される第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第４ヘッド部側端子１２３ｄと、外部回路に接続される第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄと、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄと、第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄとを有する。第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄは、第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第４ヘッド部側端子１２３ｄを第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄにそれぞれ接続する。第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄは、第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄを外枠における導体層１１３にそれぞれ接続する。
【００３８】
図５（ａ）に示すように、第１ヘッド部側端子１２３ａは、第１端子間配線１２５ａ、第１テール部側端子１２４ａ、および第１外部接続配線１２６ａを介して、外枠における導体層１１３に接続している。第２ヘッド部側端子１２３ｂは、第２端子間配線１２５ｂ、第２テール部側端子１２４ｂ、および第２外部接続配線１２６ｂを介して、外枠における導体層１１３に接続している。第３ヘッド部側端子１２３ｃは、第３端子間配線１２５ｃ、第３テール部側端子１２４ｃ、および第３外部接続配線１２６ｃを介して、外枠における導体層１１３に接続している。第４ヘッド部側端子１２３ｄは、第４端子間配線１２５ｄ、第４テール部側端子１２４ｄ、および第４外部接続配線１２６ｄを介して、外枠における導体層１１３に接続している。
【００３９】
外枠付サスペンション用基板の第１の例においては、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれについて、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄの全配線において発生する断線および短絡の両方を１回の検査プロットで検出することができる。
【００４０】
２．測定工程
本実施態様における測定工程は、上記第１ヘッド部側端子および上記第２ヘッド部側端子の間に、上記外枠における導体層ならびに上記第１配線および上記第２配線を介して検査用電流を流して、上記第３ヘッド部側端子および上記第４ヘッド部側端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する工程であれば、特に限定されない。
【００４１】
上記測定工程において測定される電位差は、上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流が上記外枠における導体層（以下、本実施態様において、「共通抵抗領域」とする。）に流れることにより、共通抵抗領域に発生する電位差（以下、本実施態様において、「基準電位差」とする。）に該当する。このため、上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流の電流値および上記電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域の抵抗値（以下、「基準抵抗値」とする。）となる。
【００４２】
以下、本実施態様における測定工程の具体例として測定工程の第１の例を説明する。測定工程の第１の例は、外枠付サスペンション用基板の第１の例について測定する工程である。図５（ａ）は、上述のとおり、外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を模式的に示した図である。そして、図５（ｂ）は、測定工程の第１の例を模式的に示した図である。
【００４３】
測定工程の第１の例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａおよび第２ヘッド部側端子１２３ｂの間に、第１端子間配線１２５ａ、第１テール部側端子１２４ａ、第１外部接続配線１２６ａ、外枠における導体層１１３、第２外部接続配線１２６ｂ、第２テール部側端子１２４ｂ、および第２端子間配線１２５ｂを介して、検査用電流を流す。そして、第３ヘッド部側端子１２３ｃおよび第４ヘッド部側端子１２３ｄの間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【００４４】
このように測定した電位差は、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、検査用電流が外枠における導体層１１３からなる共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値となる。
【００４５】
３．検出工程
本実施態様における検出工程は、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する工程である。
【００４６】
上記検出工程としては、特に限定されるものではないが、例えば、上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めることにより、上記第１〜第４配線の全配線において発生した断線または短絡を検出する工程が挙げられる。以下、当該工程を詳細に説明する。
【００４７】
当該工程においては、本実施態様のサスペンション用基板の検査方法により検査を行う前に、予め、「Ａ−１．第１実施態様  ２．測定工程」の項目で説明した基準抵抗値を求めておく。
【００４８】
「Ａ−１．第１実施態様  ２．測定工程」の項目で説明したとおり、上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記電位差は、基準電位差となる。このため、上記検査用電流の電柱値および上記電位差から上記抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値と同一になる。そして、上記第１〜第４配線のいずれかにおいて短絡が発生した場合には、上記電位差は、短絡発生箇所の影響を受けることによって、基準電位差とは異なる電位差となる。このため、上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値とは異なる抵抗値となる。また、上記第１〜第４配線のいずれかにおいて断線が発生している場合には、上記測定工程において、上記検査用電流の電流値が０なるか、または上記電位差が無限大になる。このため、上記検査用電流の電流値および上記電位差からは抵抗値を求められない。
【００４９】
したがって、当該工程においては、上記抵抗値が予め求めた基準抵抗値と同一の場合には、上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。また、上記抵抗値を求めることができなかった場合には、上記第１〜第４配線のいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。さらに、上記抵抗値が基準抵抗値とは異なる場合には、上記第１〜第４配線のいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【００５０】
なお、上記検出工程においては、上記検査用電流の電流値および上記電位差の値自体から断線または短絡を検出する工程でもよい。この場合にも、本実施態様は上述した効果を奏する。
【００５１】
以下、本実施態様における検出工程の具体例として検出工程の第１の例を説明する。検出工程の第１の例は、測定工程の第１の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第１の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。図６（ａ）は、図５（ａ）に示した配線において断線が発生した場合を模式的に示した図である。そして、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した配線について実行される測定工程の第１の例を模式的に示した図である。また、図７（ａ）は、図５（ａ）に示した配線において短絡が発生した場合を模式的に示した図である。そして、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示した配線について実行される測定工程の第１の例を模式的に示した図である。以下、上述した図５、図６、および図７を参照しながら説明する。
【００５２】
検出工程の第１の例においては、まず、測定工程の第１の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【００５３】
図５（ａ）に示すように配線において断線および短絡が発生しない場合には、測定工程の第１の例において測定される電位差は、図５（ｂ）に示すように、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差となる。このため、測定工程の第１の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められる。この場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄの全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【００５４】
また、図６（ａ）に示すように第１端子間配線１２５ａにおいて断線１２７が発生した場合には、図６（ｂ）に示すように、測定工程の第１の例において検査用電流（Ｉ）の電流値が０なる。この場合、検査用電流の電流値と、第３ヘッド部側端子１２３ｃおよび第４ヘッド部側端子１２３ｄの間に発生する電位差とから抵抗値を求めることができない。検出工程の第１の例において、このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄのいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【００５５】
さらに、図７（ａ）に示すように第１端子間配線１２５ａおよび第２端子間配線１２５ｂの間に短絡１２８が発生した場合には、第１ヘッド部側端子１２３ａおよび第２ヘッド部側端子１２３ｂの間に検査用電流を流すと短絡発生箇所１２９にも検査用電流が流れる。この場合、第３ヘッド部側端子１２３ｃおよび第４ヘッド部側端子１２３ｄの間に発生する電位差は、図７（ｂ）に示すように、短絡発生箇所１２９の影響を受ける。当該電位差を四端子法によって測定すると、測定される電位差は基準電位差とは異なる電位差となる。このため、検査用電流の電流値と測定される電位差とからは、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められる。そして、このように基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄのいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【００５６】
Ａ−２．第２実施態様
本実施態様のサスペンション用基板の検査方法は、第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線ならびに第４端子および第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する外枠とを有し、上記Ｙ字型配線では、上記第１および第２配線が上記第１および第２端子にそれぞれ接続され、上記第１配線における上記第１端子側とは逆側の一端および上記第２配線における上記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、上記第３端子が上記接続部を基準として上記第１および第２端子とは逆側に配置され、上記第３配線が上記接続部および上記第３端子を接続し、上記第１〜第３端子のいずれかに上記第４配線を介して上記第４端子が接続された外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１〜第３端子を第１〜第３検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１〜第４端子および上記接続部のいずれかを第４検査用端子として選択する選択工程と、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とする。
【００５７】
本実施態様によれば、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。以下、第２実施態様のサスペンション用基板の検査方法を詳細に説明する。
【００５８】
１．準備工程
本実施態様における準備工程は、第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線ならびに第４端子および第４配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する外枠とを有し、上記Ｙ字型配線では、上記第１および第２配線が上記第１および第２端子にそれぞれ接続され、上記第１配線における上記第１端子側とは逆側の一端および上記第２配線における上記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、上記第３端子が上記接続部を基準として上記第１および第２端子とは逆側に配置され、上記第３配線が上記接続部および上記第３端子を接続し、上記第１〜第３端子のいずれかに上記第４配線を介して上記第４端子が接続された外枠付サスペンション用基板を準備する工程である。
【００５９】
上記準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板は、上記サスペンション用基板と上記外枠とを有するものであれば特に限定されない。以下、上記準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板を詳細に説明する。
【００６０】
（１）サスペンション用基板
上記サスペンション用基板は、第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線を含み、上記Ｙ字型配線では、上記第１および第２配線が上記第１および第２端子にそれぞれ接続され、上記第１配線における上記第１端子側とは逆側の一端および上記第２配線における上記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、上記第３端子が上記接続部を基準として上記第１および第２端子とは逆側に配置され、上記第３配線が上記接続部および上記第３端子を接続するのであれば特に限定されない。
【００６１】
上記サスペンション用基板としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層とを有し、上記導体層が、第１および第２圧電素子用端子と、第１〜第３配線と、電力供給用端子とから構成されるＹ字型配線を含むものが挙げられる。この例のサスペンション用基板におけるＹ字型配線においては、上記第１および第２配線が上記第１および第２圧電素子用端子にそれぞれ接続されている。また、上記第１配線における上記第１圧電素子用端子側とは逆側の一端が接続部を介して上記第２配線における上記第２圧電素子用端子側とは逆側の一端に接続されている。さらに、上記電力供給用素子が上記接続部を基準として上記第１および第２圧電素子用端子とは逆側に配置されている。そして、上記第３配線が上記接続部および上記電力供給用素子を接続している。
【００６２】
また、上記Ｙ字型配線の他の例としては、ビアつきグランド配線を挙げることができる。上記ビアつきグランド配線は、上記導体層に含まれる配線および端子と、当該配線に接続され上記絶縁層を貫通し上記金属支持基板に接続されるビアとを含む。当該ビアは、ヘッド側に形成される場合には、磁気ヘッドスライダの駆動制御を容易にするために、上記サスペンション用基板の長手方向の中心軸に位置するように形成する必要がある。このため、上記ビアつきグランド配線においては、当該ビアを上記導体層に含まれる端子間を接続する配線に接続する場合には当該配線から枝分かれした別の配線を介して接続する必要がある。このため、上記ビアつきグランド配線は上記Ｙ字型配線となる。
【００６３】
また、上記ビアつきグランド配線においては、上記導体層に含まれる配線が当該ビアを介して上記金属支持基板に接続されている。このため、上記金属支持基板において外部に露出した部分を端子として用いることができる。
【００６４】
このようなサスペンション用基板においては、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【００６５】
（２）外枠
上記外枠は、上記サスペンション用基板をテール部側から支持するものであれば特に限定されない。上記外枠としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層を有するものが挙げられる。
【００６６】
（３）外枠付サスペンション用基板
上記外枠付サスペンション用基板は、特に限定されるものではないが、上記サスペンション用基板として、上記外枠の内側に整列され、上記外枠によりそれぞれ支持された複数のサスペンション用基板を有し、上記複数のサスペンション用基板のそれぞれが、上記第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線を含み、上記複数のサスペンション用基板のそれぞれにおける上記Ｙ字型配線では、上記第１および第２配線が上記第１および第２端子にそれぞれ接続され、上記第１配線における上記第１端子側とは逆側の一端および上記第２配線における上記第２端子側とは逆側の一端が接続部を介して接続され、上記第３端子が上記接続部を基準として上記第１および第２端子とは逆側に配置され、上記第３配線が上記接続部および上記第３端子を接続するものが好ましい。外枠付サスペンション用基板が有する複数のサスペンション用基板のそれぞれについて、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができるからである。
【００６７】
以下、本実施態様における外枠付サスペンション用基板の具体例として、外枠付サスペンション用基板の第２の例を説明する。図８は、外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。図９は、図８のＡ−Ａ断面図である。図１０は、図８の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。図１０（ａ）は、図８の要部（Ｓ）を配線側から観察した概略平面図である。図１０（ｂ）は、図８の要部（Ｓ）を金属支持基板側から観察した概略平面図である。図１１は、図８の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略断面図である。図１１（ａ）は、図１０（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１１（ｂ）は、図１０（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図１２（ａ）は、外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【００６８】
外枠付サスペンション用基板の第２の例においても、第１の例と同様に、外枠付サスペンション用基板１００は外枠１１０と複数のサスペンション用基板１２０とを有し、複数のサスペンション用基板１２０が、外枠１１０の内側に整列され、外枠１１０によりヘッド部側およびテール部側の両方からそれぞれ支持されている。
【００６９】
図８〜図１０に示すように、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、金属支持基板１２１と金属支持基板１２１上に形成された絶縁層１２２とを有する。そして、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、絶縁層１２２上に形成され、第１圧電素子用端子１３１ａおよび第２圧電素子用端子１３１ｂと、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃと、第１接続端子１３３ａと、第２接続端子１３３ｂと、金属支持基板１２１の一部であるジャンパー部１４１と、電力供給用端子１３４とから構成されるＹ字型配線１３５を有する。
【００７０】
図１２（ａ）に示すように、Ｙ字型配線１３５においては、第１圧電素子用端子１３１ａおよび第２圧電素子用端子１３１ｂには、第１配線１３２ａおよび第２配線１３２ｂがそれぞれ接続されている。また、第１配線１３２ａにおける第１圧電素子用端子１３１ａ側とは逆側の一端が、接続端子１３３ａ、ジャンパー部１４１および接続端子１３３ｂを介して第２配線１３２ｂにおける第２圧延素子１３１ｂ側とは逆側の一端に接続されている。さらに、電力供給用端子１３４が、接続端子１３３ａを基準として第１圧電素子用端子１３１ａおよび第２圧電素子用端子１３１ｂとは逆側に配置されている。接続端子１３３ａに第３配線１３２ｃが接続され、第３配線１３２ｃにおける接続端子１３３ａ側とは逆側の一端が電力供給用端子１３４に接続されている。
【００７１】
外枠付サスペンション用基板の第２の例においては、第１圧電素子用端子１３１ａ、第２圧電素子用端子１３１ｂ、および電力供給用端子１３４が、上記第１〜第３端子に該当する。また、第１配線１３２ａが上記第１配線に該当し、第２配線１３２ｂ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１が上記第２配線に該当し、第３配線１３２ｃが上記第３配線に該当する。さらに、接続端子１３３ａが上記接続部に該当する。そして、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【００７２】
２．選択工程
本実施態様における選択工程は、上記第１〜第３端子を第１〜第３検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１〜第４端子および上記接続部のいずれかを第４検査用端子として選択する工程である。
【００７３】
上記選択工程としては、特に限定されるものではなく、上記第１〜第４端子および上記接続部のいずれを上記第４検査用端子に選択してもよい。いずれの場合も、上記第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【００７４】
上記測定工程としては、上記第４端子を上記第４検査用端子として選択する工程が好ましい。上記第１〜第４配線の全配線において発生する短絡の検査を正確に実行できるからである。
【００７５】
以下、本実施態様における選択工程の具体例として、選択工程の第１および第２の例を説明する。選択工程の第１および第２の例は、外枠付サスペンション用基板の第２の例において、第１〜第４検査用端子を選択する工程である。以下、図１２（ａ）を参照しながら、選択工程の第１および第２の例について説明する。
【００７６】
図１２（ａ）においては、選択工程の第１の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｃ１〜Ｃ４を付した。選択工程の第１の例においては、第１圧電素子用端子１３１ａを第１検査用端子Ｃ１として選択し、第２圧電素子用端子１３１ｂを第２検査用端子Ｃ２として選択し、電力供給用端子１３４を第３検査用端子Ｃ３として選択し、接続端子１３３ａを第４検査用端子Ｃ４として選択する。
【００７７】
また、図１２（ａ）においては、選択工程の第２の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｄ１〜Ｄ４を付した。選択工程の第２の例においては、第１圧電素子用端子１３１ａを第１検査用端子Ｄ１として選択し、第２圧電素子用端子１３１ｂを第２検査用端子Ｄ２として選択し、電力供給用端子１３４を第３検査用端子Ｄ３として選択し、電力供給用端子１３４を第４検査用端子Ｄ４として選択する。
【００７８】
３．測定工程
本実施態様における測定工程は、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する工程であれば、特に限定されない。
【００７９】
上記測定工程としては、第１検査用端子および第３検査用端子の間、第１検査用端子および第４検査用端子の間、第２検査用端子および第３検査用端子の間、または第２検査用端子および第４検査用端子の間に検査用電流を流して、残り二つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する工程が好ましい。上記第１〜第３配線の全配線において発生する短絡の検査を正確に実行できるからである。
【００８０】
また、上記測定工程において測定される電位差は、上記第１〜第３配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流が上記接続部を含む領域（以下、本実施態様において、「共通抵抗領域」とする。）に流れることにより、共通抵抗領域に発生する電位差（以下、本実施態様において、「基準電位差」とする。）に該当する。このため、上記第１〜第３配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流の電流値および上記電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域の抵抗値（以下、本実施態様において、「基準抵抗値」とする。）となる。
【００８１】
以下、本実施態様における測定工程の具体例として、測定工程の第２および第３の例を説明する。
測定工程の第２の例は、選択工程の第１の例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図１２（ａ）には、選択工程の第１の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｃ１〜Ｃ４がそれぞれ付されている。そして、図１２（ｂ）は、測定工程の第２の例を模式的に示した図である。
【００８２】
図１２（ａ）に示すように、選択工程の第１の例においては、第１圧電素子用端子１３１ａを第１検査用端子Ｃ１として選択し、第２圧電素子用端子１３１ｂを第２検査用端子Ｃ２として選択し、電力供給用端子１３４を第３検査用端子Ｃ３として選択し、接続端子１３３ａを第４検査用端子Ｃ４として選択した。
【００８３】
そして、測定工程の第２の例においては、第１検査用端子Ｃ１および第３検査用端子Ｃ３の間に検査用電流を流して、第２検査用端子Ｃ２および第４検査用端子Ｃ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【００８４】
このように測定した電位差は、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図１２（ｂ）に示すように、検査用電流が接続端子１３３ａからなる共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値となる。
【００８５】
測定工程の第３の例は、選択工程の第２の例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図１２（ａ）には、選択工程の第２の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｄ１〜Ｄ４がそれぞれ付されている。そして、図１２（ｃ）は、測定工程の第３の例を模式的に示した図である。
【００８６】
図１２（ａ）に示すように、選択工程の第２の例においては、第１圧電素子用端子１３１ａを第１検査用端子Ｄ１として選択し、第２圧電素子用端子１３１ｂを第２検査用端子Ｄ２として選択し、電力供給用端子１３４を第３検査用端子Ｄ３として選択し、電力供給用端子１３４を第４検査用端子Ｄ４として選択した。
【００８７】
そして、測定工程の第３の例においては、第１検査用端子Ｄ１および第３検査用端子Ｄ３の間に検査用電流を流して、第２検査用端子Ｄ２および第４検査用端子Ｄ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【００８８】
このように測定した電位差は、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図１２（ｃ）に示すように、検査用電流が接続端子１３３ａおよび第３配線１３２ｃを合わせた共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域の基準抵抗値となる。
【００８９】
４．検出工程
本実施態様における検出工程は、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第３配線の全配線の断線および短絡を検出する工程である。
【００９０】
上記検出工程としては、特に限定されるものではないが、例えば、上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めることにより、上記第１〜第３配線の全配線において発生した断線または短絡を検出する工程が挙げられる。以下、当該工程を詳細に説明する。
【００９１】
当該工程においては、本実施態様のサスペンション用基板の検査方法により検査を行う前に、予め、「Ａ−２．第２実施態様  ３．測定工程」の項目で説明した基準抵抗値を求めておく。
【００９２】
「Ａ−２．第２実施態様  ３．測定工程」の項目で説明したとおり、上記第１〜第３配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記電位差は、基準電位差となる。このため、上記検査用電流の電柱値および上記電位差から上記抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値と同一になる。そして、上記第１〜第３配線のいずれかにおいて短絡が発生した場合には、上記電位差は、短絡発生箇所の影響を受けることによって、基準電位差とは異なる電位差となる。このため、上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値とは異なる抵抗値となる。また、上記第１〜第３配線のいずれかにおいて断線が発生している場合には、上記測定工程において、上記検査用電流の電流値が０なるか、または上記電位差が無限大になる。このため、上記検査用電流の電流値および上記電位差からは抵抗値を求められない。
【００９３】
したがって、当該工程においては、上記抵抗値が予め求めた基準抵抗値と同一の場合には、上記第１〜第３配線の全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。また、上記抵抗値を求めることができなかった場合には、上記第１〜第３配線のいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。さらに、上記抵抗値が基準抵抗値とは異なる場合には、上記第１〜第４配線のいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【００９４】
なお、上記検出工程においては、上記検査用電流の電流値および上記電位差の値自体から断線または短絡を検出する工程でもよい。この場合にも、本実施態様は上述した効果を奏する。
【００９５】
以下、本実施態様における検出工程の具体例として、検出工程の第２および第３の例を説明する。
検出工程の第２の例は、測定工程の第２の例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【００９６】
検出工程の第２の例においては、まず、測定工程の第２の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【００９７】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１の全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【００９８】
そして、測定工程の第２の例において検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第２の例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１のいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【００９９】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１のいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１００】
検出工程の第３の例は、測定工程の第３の例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第２の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１０１】
検出工程の第３の例においては、まず、測定工程の第３の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【０１０２】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１の全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【０１０３】
また、測定工程の第３の例において検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第３の例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１のいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【０１０４】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第１配線１３２ａ〜第３配線１３２ｃ、第２接続端子１３３ｂ、およびジャンパー部１４１のいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１０５】
５．参考例
本実施態様は、第１〜第３端子および第１〜第３配線を備えるＹ字型配線ならびに第４端子および第４配線を含むサスペンション用基板を検査する検査方法であるが、これ以外の検査方法が、本実施態様の参考例として考えられる。
【０１０６】
本参考例のサスペンション用基板の検査方法は、ヘッド部側に設けられた第１〜第３ヘッド部側端子および上記第１〜第３ヘッド部側端子にそれぞれ接続された第１〜第３配線を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記テール部側で上記第１〜第３配線が接続された導体層を含む外枠と、を有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１〜第３ヘッド部側端子を第１〜第３検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１〜第３ヘッド部側端子および上記外枠における導体層のいずれかを第４検査用端子として選択する工程と、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１〜第３配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とする。
【０１０７】
本参考例によれば、上記第１〜第３配線の全配線において発生する断線および短絡の両方を１回の検査プロットで検出することができる。このため、上記第１〜第３配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。以下、本参考例のサスペンション用基板の検査方法を詳細に説明する。
【０１０８】
（１）準備工程
本参考例における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板として、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例を説明する。図１３は、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。図１４は、図１３のＡ−Ａ断面図である。図１５は、図１の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。図１６（ａ）は、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板に含まれる配線を示した図である。
【０１０９】
外枠付サスペンション用基板の第１の参考例においても、第１の例と同様に、外枠付サスペンション用基板１００は外枠１１０と複数のサスペンション用基板１２０とを有し、複数のサスペンション用基板１２０が、外枠１１０の内側に整列され、外枠１１０によりヘッド部側およびテール部側の両方からそれぞれ支持されている。
【０１１０】
図１３〜図１５に示すように、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、金属支持基板１２１と金属支持基板１２１上に形成された絶縁層１２２とを有する。そして、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、絶縁層１２２上に形成され、磁気ヘッドに接続される第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第３ヘッド部側端子１２３ｃと、外部回路に接続される第１テール部側端子１２４ａ〜第３テール部側端子１２４ｃと、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃと、第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃとを有する。第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃは、第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第３ヘッド部側端子１２３ｃを第１テール部側端子１２４ａ〜第３テール部側端子１２４ｃにそれぞれ接続する。第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃは、第１テール部側端子１２４ａ〜第３テール部側端子１２４ｃを外枠における導体層１１３にそれぞれ接続する。
【０１１１】
図１６（ａ）に示すように、第１ヘッド部側端子１２３ａは、第１テール部側端子１２４ａ、第１端子間配線１２５ａ、および第１外部接続配線１２６ａを介して、外枠における導体層１１３に接続している。第２ヘッド部側端子１２３ｂは、第２テール部側端子１２４ｂ、第２端子間配線１２５ｂ、および第２外部接続配線１２６ｂを介して、外枠における導体層１１３に接続している。第３ヘッド部側端子１２３ｃは、第３テール部側端子１２４ｃ、第３端子間配線１２５ｃ、および第３外部接続配線１２６ｃを介して、外枠における導体層１１３に接続している。また、外枠における導体層１１３を細分化し、第１外部接続配線１２６ａと第２外部接続配線１２６ｂの間を外枠導体層１１３ａｂとし、同様にして第２外部接続配線１２６ｂと第３外部接続配線１２６ｃの間を外枠導体層１１３ｂｃとする。
【０１１２】
外枠付サスペンション用基板の第１の参考例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第３ヘッド部側端子１２３ｃが上記第１〜第３端子に該当し、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃが上記第１〜第３配線に該当する。そして、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃの全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【０１１３】
（２）選択工程
本参考例における選択工程として、選択工程の第１および第２の参考例を説明する。選択工程の第１および第２の参考例は、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例において、第１〜第４検査用端子を選択する工程である。以下、図１６（ａ）を参照しながら、選択工程の第１および第２の参考例について説明する。
【０１１４】
図１６（ａ）においては、選択工程の第１の参考例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ａ１〜Ａ４を付した。選択工程の第１の参考例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａを第１検査用端子Ａ１として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第２検査用端子Ａ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第３検査用端子Ａ３として選択し、第３テール部側端子１２４ｃを第４検査用端子Ａ４として選択する。
【０１１５】
また、図１６（ａ）においては、選択工程の第２の参考例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｂ１〜Ｂ４を付した。選択工程の第２の参考例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａを第１検査用端子Ｂ１として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第２検査用端子Ｂ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｂを第３検査用端子Ｂ３として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｂ４として選択する。
【０１１６】
（３）測定工程
本参考例における測定工程として測定工程の第１および第２の参考例を説明する。測定工程の第１の参考例は、選択工程の第１の参考例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図１６（ａ）には、選択工程の第１の参考例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ａ１〜Ａ４がそれぞれ付されている。そして、図１６（ｂ）は、測定工程の第１の参考例を模式的に示した図である。
【０１１７】
図１６（ａ）に示すように、選択工程の第１の参考例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａ、第２ヘッド部側端子１２３ｂ、第３ヘッド部側端子１２３ｃ、および第３テール部側端子１２４ｃを、第１検査用端子Ａ１〜第４検査用端子Ａ４としてそれぞれ選択した。
【０１１８】
そして、測定工程の第１の参考例においては、第１検査用端子Ａ１および第３検査用端子Ａ３の間に検査用電流を流して、第２検査用端子Ａ２および第４検査用端子Ａ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【０１１９】
このように測定した電位差は、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第２外部接続配線１２６ｂの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図１６（ｂ）に示すように、検査用電流が外枠における導体層１１３ｂｃ、第３外部接続配線１２６ｃ、および第３テール部側端子１２４ｃを合わせた共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の基準抵抗値に該当する。
【０１２０】
測定工程の第２の参考例は、選択工程の第２の参考例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図１６（ａ）には、選択工程の第２の参考例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｂ１〜Ｂ４がそれぞれ付されている。そして、図１６（ｃ）は、測定工程の第２の参考例を模式的に示した図である。
【０１２１】
図１６（ａ）に示すように、選択工程の第２の参考例においては、第１ヘッド部側端子１２３ａを第１検査用端子Ｂ１として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第２検査用端子Ｂ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｂを第３検査用端子Ｂ３として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｂ４として選択した。
【０１２２】
そして、測定工程の第２の参考例においては、第１検査用端子Ｂ１および第３検査用端子Ｂ３の間に検査用電流を流して、第２検査用端子Ｂ２および第４検査用端子Ｂ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【０１２３】
このように測定した電位差は、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図１６（ｃ）に示すように、検査用電流が、外枠における導体層１１３ｂｃ、第３ヘッド部側端子１２３ｃ、第３外部接続配線１２６ｃ、第３テール部側端子１２４ｃ、および第３端子間配線１２５ｃを合わせた共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値となる。
【０１２４】
（４）検出工程
本参考例における検出工程として検出工程の第１および第２の参考例を説明する。検出工程の第１の参考例は、測定工程の第１の参考例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１２５】
検出工程の第１の参考例においては、まず、測定工程の第１の参考例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【０１２６】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃの全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【０１２７】
また、測定工程の第１の参考例において検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第１の参考例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃのいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【０１２８】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃのいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１２９】
検出工程の第２の参考例は、測定工程の第２の参考例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第１の参考例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１３０】
検出工程の第２の参考例においては、まず、測定工程の第２の参考例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【０１３１】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃの全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【０１３２】
また、測定工程の第２の参考例おいて検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第２の参考例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃのいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【０１３３】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第１端子間配線１２５ａ〜第３端子間配線１２５ｃおよび第１外部接続配線１２６ａ〜第３外部接続配線１２６ｃのいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１３４】
Ａ−３．第３実施態様
本実施態様のサスペンション用基板の検査方法は、第１および第２端子、上記第１および第２端子を接続する第１配線、上記第１および第２端子を接続する第２配線、上記第１端子に接続された第３配線および上記第１端子に上記第３配線を介して接続された第３端子、ならびに上記第２端子に接続された第４配線および上記第４配線を介して接続された第４端子を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する導体層を含む外枠とを有する外枠付サスペンション用基板を準備する準備工程と、上記第１および第２端子を第１および第２検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第３検査用端子として選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第４検査用端子として選択する工程と、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定工程と、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する検出工程と、を有することを特徴とする。
【０１３５】
本実施態様によれば、上記第１端子および上記第２端子の間をそれぞれ接続する上記第１配線および上記第２配線からなる複線を少なくとも含む配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、上記配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。以下、本実施態様のサスペンション用基板の検査方法を詳細に説明する。
【０１３６】
１．準備工程
本実施態様における準備工程は、第１および第２端子、上記第１および第２端子を接続する第１配線、上記第１および第２端子を接続する第２配線、上記第１端子に接続された第３配線および上記第１端子に上記第３配線を介して接続された第３端子、ならびに上記第２端子に接続された第４配線および上記第４配線を介して接続された第４端子を含むサスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する導体層を含む外枠とを有する外枠付サスペンション用基板を準備する工程である。
【０１３７】
上記準備工程において準備する上記外枠付サスペンション用基板は、上記サスペンション用基板および外枠を有するのであれば、特に限定されない。以下、上記準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板を詳細に説明する。
【０１３８】
（１）サスペンション用基板
上記サスペンション用基板は、第１および第２端子、上記第１および第２端子を接続する第１配線、上記第１および第２端子を接続する第２配線、上記第１端子に第３配線を介して接続された第３端子、ならびに上記第２端子に第４配線を介して接続された第４端子を含んでいるのであれば特に限定されない。
【０１３９】
上記サスペンション用基板としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層とを有し、上記導体層が、ヘッド部側に設けられた第１および第２ヘッド部側端子と、テール部側に設けられた第１および第２テール部側端子と、複線接続用端子と、第１および第２端子間配線と、第１および第２外部接続配線と、第１および第２複線配線とを含むものが挙げられる。このようなサスペンション用基板においては、上記第１ヘッド部側端子および上記第１テール部側端子の間に上記複線接続用端子が設けられ、上記第１ヘッド部側端子および上記複線接続用端子を上記第１端子間配線が接続し、上記複線接続用端子および上記第１テール部側端子を上記第１および第２複線配線がそれぞれ接続して複線を構成し、上記第１テール部側端子および上記外枠における導体層を上記第１外部接続配線が接続し、上記第２ヘッド部側端子および上記第２テール部側端子を上記第２端子間配線が接続し、上記第２テール部側端子および上記外枠における導体層を上記第２外部接続配線が接続している。
【０１４０】
このようなサスペンション用基板においては、複線接続用端子および第１リード部側端子が上記第１および第２端子にそれぞれ該当し、第１複線配線および第２複線配線が上記第１および第２配線にそれぞれ該当し、第１端子間配線が上記第３配線に該当し、第１ヘッド部側端子が上記第３端子に該当し、第１外部接続配線、第２外部接続配線および第２端子間配線が上記第４配線に該当し、第２ヘッド部側端子が上記第４端子に該当する。そして、このようなサスペンション用基板においては、複線接続用端子および第１リード部側端子の間をそれぞれ接続する第１複線配線および第２複線配線を少なくとも含む配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【０１４１】
（２）外枠
上記外枠は、上記サスペンション用基板をテール部側から支持し、上記導体層を含むものであれば特に限定されない。上記外枠としては、例えば、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された導体層を有するものが挙げられる。
【０１４２】
（３）外枠付サスペンション用基板
上記外枠付サスペンション用基板は、特に限定されるものではないが、上記サスペンション用基板として、上記外枠の内側に整列され、上記外枠によりそれぞれ支持された複数のサスペンション用基板を有し、上記複数のサスペンション用基板のそれぞれが第１および第２端子、上記第１および第２端子を接続する第１配線、上記第１および第２端子を接続する第２配線、上記第１端子に接続された第３配線および上記第１端子に上記第３配線を介して接続された第３端子、ならびに上記第２端子に接続された第４配線および上記第４配線を介して接続された第４端子を含むものが好ましい。外枠付サスペンション用基板が有する複数のサスペンション用基板のそれぞれについて、上記第１端子および上記第２端子の間をそれぞれ接続する上記第１配線および上記第２配線を少なくとも含む配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【０１４３】
以下、本実施態様における外枠付サスペンション用基板の具体例として、外枠付サスペンション用基板の第３の例を説明する。
【０１４４】
図１７は、外枠付サスペンション用基板の第３の例におけるサスペンション用基板を示した概略平面図である。図１８は、図１７の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略平面図である。図１８（ａ）は、図１７の要部（Ｓ）を配線側から観察した概略平面図である。図１８（ｂ）は、図１７の要部（Ｓ）を金属支持基板側から観察した概略平面図である。図１９は、図１７の要部（Ｓ）に対応する部分を示す概略断面図である。図１９（ａ）は、図１８（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１９（ｂ）は、図１８（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図１９（ｃ）は、図１８（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【０１４５】
外枠付サスペンション用基板の第３の例においても、第１および第２の例と同様に、外枠付サスペンション用基板１００は外枠１１０と複数のサスペンション用基板１２０とを有し、複数のサスペンション用基板１２０が、外枠１１０の内側に整列され、外枠１１０によりヘッド部側およびテール部側の両方からそれぞれ支持されている。
【０１４６】
そして、図１７〜図１９に示すように、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、金属支持基板１２１と金属支持基板１２１上に形成された絶縁層１２２とを有する。そして、複数のサスペンション用基板１２０のそれぞれは、絶縁層１２２上に形成され、磁気ヘッドに接続される第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第４ヘッド部側端子１２３ｄと、外部回路に接続される第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄと、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄと、第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄとを有する。
【０１４７】
また、第１端子間配線１２５ａ〜第４端子間配線１２５ｄは、第１ヘッド部側端子１２３ａ〜第４ヘッド部側端子１２３ｄを第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄにそれぞれ接続する。そして、図４に示したのと同様に、第１外部接続配線１２６ａ〜第４外部接続配線１２６ｄは、第１テール部側端子１２４ａ〜第４テール部側端子１２４ｄを外枠における導体層１１３にそれぞれ接続する。
【０１４８】
さらに、図１８および図１９に示すように、第３端子間配線１２５ｃには、第３端子間配線１２５ｃから分岐するように伸びた第３端子間配線分岐配線１２５ｅが接続されている。第３端子間配線１２５ｃには、当該分岐点よりもヘッド部側の第３端子間配線ヘッド部側部１２５ｃａ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅと複線を構成する第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、および当該複線よりもテール部側の第３端子間配線テール部側部１２５ｃｃが含まれる。第３端子間配線複線部１２５ｃｂおよび第３端子間配線分岐配線１２５ｅはそれぞれ絶縁層１２２を貫通する第１ビア１４０ａおよび第２ビア１４０ｂに接続されている。第１ビア１４０ａおよび第２ビア１４０ｂは、金属支持基板１２１の一部である第１ジャンパー部１４１ａにそれぞれ接続されている。
【０１４９】
同様に、第４端子間配線１２５ｄには、第４端子間配線１２５ｄから分岐するように伸びた第４端子間配線分岐配線１２５ｆが接続されている。第４端子間配線１２５ｄには、当該分岐点よりもヘッド部側の第４端子間配線ヘッド部側部１２５ｄａ、第４端子間配線分岐配線１２５ｆと複線を構成する第４端子間配線複線部１２５ｄｂ、および当該複線よりもテール部側の第４端子間配線テール部側部１２５ｄｃが含まれる。第４端子間配線複線部１２５ｄｂおよび第４端子間配線分岐配線１２５ｆはそれぞれ絶縁層１２２を貫通する第３ビア１４０ｃおよび第４ビア１４０ｄに接続されている。第３ビア１４０ｃおよび第４ビア１４０ｄは、金属支持基板１２１の一部である第２ジャンパー部１４１ｂにそれぞれ接続されている。これにより、第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第４端子間配線複線部１２５ｄｂ、および第４端子間配線分岐配線１２５ｆは、交互に配置され、インターリーブ構造が形成されている。
【０１５０】
また、第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、および第１ジャンパー部１４１ａは複線を構成している。同様に、第４端子間配線複線部１２５ｄｂ、第４端子間配線分岐配線１２５ｆ、第４ビア１４０ｄ、および第２ジャンパー部１４１ｂは、複線を構成している。
【０１５１】
外枠付サスペンション用基板の第３の例においては、第３端子間配線複線部１２５ｃｂおよび第３端子間配線分岐配線１２５ｅを接続する導体（例えば、第３ヘッド部側端子１２３ｃ）が上記第１端子に該当し、第１ビア１４０ａが上記第２端子に該当する。第３端子間配線複線部１２５ｃｂが上記第１配線に該当し、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、および第１ジャンパー部１４１ａが、上記第２配線に該当する。同様に、第３ビア１４０ｃが上記第１端子に該当し、第４端子間配線複線部１２５ｄｂおよび第４端子間配線分岐配線１２５ｆを接続する導体（例えば、第４テール部側端子１２４ｄ）が上記第２端子に該当する。第４端子間配線複線部１２５ｄｂが上記第１配線に該当し、第４端子間配線分岐配線１２５ｆ、第４ビア１４０ｄ、および第２ジャンパー部１４１ｂが、上記第２配線に該当する。
【０１５２】
このため、第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、および第１ジャンパー部１４１ａを少なくとも有する配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。また、第４端子間配線複線部１２５ｄｂ、第４端子間配線分岐配線１２５ｆ、第４ビア１４０ｄ、および第２ジャンパー部１４１ｂを少なくとも有する配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【０１５３】
２．選択工程
本実施態様における選択工程は、上記第１および第２端子を第１および第２検査用端子としてそれぞれ選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第３検査用端子として選択し、上記第１端子〜第４端子のうちのいずれかを第４検査用端子として選択する工程である。
【０１５４】
上記選択工程としては、特に限定されるものではない。いずれの場合も、上記第１配線および上記第２配線を少なくとも含む配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。
【０１５５】
また、上記選択工程としては、上記第３端子を上記第３検査用端子または上記第４検査用端子として選択するのが好ましい。上記第１〜第３配線の全線において発生する断線および短絡の検査を１回の検査プロットで行うことができるからである。上記選択工程としては、上記第４端子を上記第３検査用端子または上記第４検査用端子として選択するのが好ましい。上記第１、第２、および第４配線の全線において発生する断線および短絡の検査を１回の検査プロットで行うことができるからである。
【０１５６】
さらに、上記選択工程としては、上記第３端子および上記第４端子を上記第３検査用端子および上記第４検査用端子としてそれぞれ選択するのがより好ましい。上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の検査を１回の検査プロットで行うことができるからである。
【０１５７】
以下、本実施態様における選択工程の具体例として、選択工程の第３および第４の例を説明する。選択工程の第３および第４の例は、外枠付サスペンション用基板の第３の例において、第１〜第４検査用端子を選択する工程である。以下、図２０（ａ）を参照しながら、選択工程の第３および第４の例について説明する。
【０１５８】
図２０（ａ）においては、選択工程の第３の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｆ１〜Ｆ４を付した。選択工程の第３の例においては、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第１検査用端子Ｆ１として選択し、第１ビア１４０ａを第２検査用端子Ｆ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第３検査用端子Ｆ３として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｆ４として選択する。
【０１５９】
図２０（ａ）においては、選択工程の第４の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｇ１〜Ｇ４を付した。選択工程の第４の例においては、第３端子間配線１２５ｃおよび第３端子間配線分岐配線１２５ｅの分岐点を第３検査用端子Ｇ１として選択し、第１ビア１４０ａを第２検査用端子Ｇ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第１検査用端子Ｇ２として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｇ４として選択する。
【０１６０】
３．測定工程
本実施態様における測定工程は、上記第１〜第４検査用端子のうちのいずれか２つの検査用端子の間に検査用電流を流して、残りの２つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する測定する工程であれば、特に限定されない。
【０１６１】
上記測定工程としては、第１検査用端子および第２検査用端子の間、第１検査用端子および第４検査用端子の間、第３検査用端子および第２検査用端子の間、または第３検査用端子および第４検査用端子の間に検査用電流を流して、残り二つの検査用端子の間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する工程が好ましい。上記第１配線および上記第２配線を少なくとも含む配線において発生する短絡の検査を正確に実行できるからである。
【０１６２】
上記測定工程において測定される電位差は、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流が上記第１配線および上記第２配線を含む領域（以下、本実施形態において、「共通抵抗領域」とする。）に流れることにより、共通抵抗領域に発生する電位差（以下、本実施態様において、「基準電位差」とする。）に該当する。このため、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記検査用電流の電流値および上記電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域の抵抗値（以下、本実施態様において、「基準抵抗値」とする。）となる。
【０１６３】
以下、本実施態様における測定工程の具体例として、測定工程の第４および第５の例を説明する。
測定工程の第４の例は、選択工程の第３の例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図２０（ａ）には、選択工程の第３の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｆ１〜Ｆ４がそれぞれ付されている。そして、図２０（ｂ）は、測定工程の第４の例を模式的に示した図である。
【０１６４】
図２０（ａ）に示すように、選択工程の第３の例においては、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第１検査用端子Ｆ１として選択し、第１ビア１４０ａを第２検査用端子Ｆ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第３検査用端子Ｆ３として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｆ４として選択した。
【０１６５】
そして、測定工程の第４の例においては、第１検査用端子Ｆ１および第２検査用端子Ｆ２の間に検査用電流を流して、第３検査用端子Ｆ３および第４検査用端子Ｆ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【０１６６】
このように測定した電位差は、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図２０（ｂ）に示すように、検査用電流が、第３端子間配線１２５ｃａ、第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、および第１ビア１４０ａを合わせた共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値となる。
【０１６７】
測定工程の第５の例は、選択工程の第４の例において選択した第１〜第４検査用端子を用いて測定する工程である。上述のように、図２０（ａ）には、選択工程の第４の例において、第１〜第４検査用端子として選択する端子に参照符号Ｇ１〜Ｇ４がそれぞれ付されている。そして、図２０（ｃ）は、測定工程の第５の例を模式的に示した図である。
【０１６８】
図２０（ａ）に示すように、選択工程の第４の例においては、第３端子間配線１２５ｃおよび第３端子間配線分岐配線１２５ｅの分岐点を第１検査用端子Ｇ１として選択し、第１ビア１４０ａを第２検査用端子Ｇ２として選択し、第３ヘッド部側端子１２３ｃを第３検査用端子Ｇ３として選択し、第２ヘッド部側端子１２３ｂを第４検査用端子Ｇ４として選択した。
【０１６９】
そして、測定工程の第５の例においては、第１検査用端子Ｇ１および第２検査用端子Ｇ２の間に検査用電流を流して、第３検査用端子Ｇ３および第４検査用端子Ｇ４の間に発生する電位差を四端子法によって測定する。
【０１７０】
このように測定した電位差は、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂの全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、図２０（ｃ）に示すように、検査用電流が、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第３端子間配線複線部１２５ｃｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第１ビア１４０ａ、および第２ビア１４０ｂを合わせた共通抵抗領域１３０に流れることにより、共通抵抗領域１３０に発生する基準電位差に該当する。このため、これらの全配線において断線および段落の両方が発生しない場合には、検査用電流の電流値および測定した電位差から求められる抵抗値は、共通抵抗領域１３０の抵抗値である基準抵抗値となる。
【０１７１】
４．検出工程
本実施態様における検出工程は、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいて、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１７２】
上記検出工程において、上記検査用電流の電流値および上記電位差に基づいてどのように検出するかについては、特に限定されるものではないが、例えば、上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めることにより、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線の断線または短絡を検出する工程が挙げられる。以下、当該工程を詳細に説明する。
【０１７３】
当該工程においては、本実施態様のサスペンション用基板の検査方法により検査を行う前に、予め、「Ａ−３．第３実施態様  ３．測定工程」の項目で説明した基準抵抗値を求めておく。
【０１７４】
なお、上記検出工程においては、上記検査用電流の電流値および上記電位差の値自体から断線または短絡を検出する工程でもよい。この場合にも、本実施態様は上述した効果を奏する。
【０１７５】
「Ａ−３．第３実施態様  ３．測定工程」の項目で説明したとおり、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生しない場合には、上記電位差は、基準電位差となる。このため、上記検査用電流の電柱値および上記電位差から上記抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値と同一になる。そして、上記第１および第２配線のどちらか、上記第１〜第３配線のいずれか、上記第１、第２、および第４配線のいずれか、または上記第１〜第４配線のいずれかにおいて短絡が発生した場合には、上記電位差は、短絡発生箇所の影響を受けることによって、基準電位差とは異なる電位差となる。上記検査用電流の電流値および上記電位差から抵抗値を求めた場合には、上記抵抗値は基準抵抗値とは異なる抵抗値となる。また、上記第１および第２配線のどちらか、上記第１〜第３配線のいずれか、上記第１、第２、および第４配線のいずれか、または上記第１〜第４配線のいずれかにおいて断線が発生している場合には、上記測定工程において、上記検査用電流の電流値が０なるか、または上記電位差が無限大になる。このため、上記検査用電流の電流値および上記電位差からは抵抗値を求められない。
【０１７６】
したがって、当該工程においては、上記抵抗値が予め求めた基準抵抗値と同一の場合には、上記第１および第２配線の両配線、上記第１〜第３配線の全配線、上記第１、第２、および第４配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。また、上記抵抗値を求めることができなかった場合には、上記第１および第２配線のどちらか、上記第１〜第３配線のいずれか、上記第１、第２、および第４配線のいずれか、または上記第１〜第４配線のいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。さらに、上記抵抗値が基準抵抗値とは異なる場合には、上記第１および第２配線のどちらか、上記第１〜第３配線のいずれか、上記第１、第２、および第４配線のいずれか、または上記第１〜第４配線のいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１７７】
以下、本実施態様における検出工程の具体例として、検出工程の第４および第５の例を説明する。
検出工程の第４の例は、測定工程の第４の例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第３の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１７８】
検出工程の第４の例においては、まず、測定工程の第４の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【０１７９】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂの全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【０１８０】
また、測定工程の第４の例において検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第４の例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂのいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【０１８１】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂのいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１８２】
検出工程の第５の例は、測定工程の第５の例における検査用電流の電流値および電位差に基づいて、外枠付サスペンション用基板の第３の例におけるサスペンション用基板に含まれる配線の断線および短絡を検出する工程である。
【０１８３】
検出工程の第５の例においては、まず、測定工程の第５の例において用いられる検査用電流の電流値および測定される電位差から抵抗値を求める。
【０１８４】
そして、基準抵抗値と同一の抵抗値が求められた場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂの全配線において断線および短絡の両方が発生していないと判定する。
【０１８５】
また、測定工程の第５の例において検査用電流の電流値が０になるか、または測定工程の第５の例において測定される電位差が無限大になった場合には、これらの検査用電流の電流値および電位差から抵抗値を求めることができない。このように抵抗値を求めることができなかった場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂのいずれかにおいて断線が発生したものと判定する。
【０１８６】
さらに、基準抵抗値とは異なる抵抗値が求められた場合には、第３端子間配線１２５ｃ、第３端子間配線分岐配線１２５ｅ、第２ビア１４０ｂ、第１ジャンパー部１４１ａ、第３外部接続配線１２６ｃ、第２外部接続配線１２６ｂ、および第２端子間配線１２５ｂのいずれかにおいて短絡が発生したものと判定する。
【０１８７】
検出工程としては、第４の例よりも、第５の例の方が好ましい。例えば、短絡が発生した場合に、短絡発生箇所が第３端子間配線ヘッド部側部１２５ｃａなのかどうかを識別できる等の利点があるために、上記配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるからである。
【０１８８】
Ｂ．サスペンション用基板の製造方法
次に、サスペンション用基板の製造方法について説明する。
本発明のサスペンション用基板の製造方法は、上述したサスペンション用基板の検査方法を用いてサスペンション用基板を検査する検査工程を有することを特徴とするものである。
【０１８９】
本発明によれば、「Ａ．サスペンション用基板の検査方法  Ａ−１．第１実施態様」における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板が有するサスペンション用基板を製造する場合に、当該サスペンション用基板に含まれる第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、当該サスペンション用基板を効率的に製造することができる。
【０１９０】
また、本発明によれば、「Ａ．サスペンション用基板の検査方法  Ａ−２．第２実施態様」における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板が有するサスペンション用基板を製造する場合に、当該サスペンション用基板に含まれる第１〜第３配線の全配線、または上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、当該サスペンション用基板を効率的に製造することができる。
【０１９１】
また、本発明によれば、「Ａ．サスペンション用基板の検査方法  Ａ−３．第３実施態様」における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板が有するサスペンション用基板を製造する場合に、当該サスペンション用基板に含まれる第１配線および第２配線からなる複線を少なくとも含む配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができる。このため、当該サスペンション用基板を効率的に製造することができる。
【０１９２】
また、上記サスペンション用基板としては、上述したサスペンション用基板の検査方法における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板が有するサスペンション用基板であれば特に限定されるものではない。
【０１９３】
Ｃ．検査治具
次に、検査治具について説明する。
本発明の検査治具は、「Ａ．サスペンション用基板の検査方法  Ａ−１．第１実施態様」のサスペンション用基板の検査方法に用いる検査治具であって、上記第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接触する複数のプローブと、上記複数のプローブを支持する支持部材とを有することを特徴とするものである。
【０１９４】
本発明によれば、「Ａ．サスペンション用基板の検査方法  Ａ−１．第１実施態様」における準備工程において準備する外枠付サスペンション用基板が有するサスペンション用基板に含まれる第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を、上記検査治具を用いて、１回の検査プロットで行うことができる。このため、上記第１〜第４配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができる。
【０１９５】
上記検査治具としては、特に限定されるものではないが、上記複数のプローブが千鳥配列で設けられていることが好ましい。上記第１〜第４配線の配線ピッチが狭い場合においても、上記第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができ、上記第１〜第４配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるからである。
【０１９６】
上記複数のプローブのそれぞれは、特に限定されるものではないが、ピッチが１２０μｍ未満であることが好ましい。配線ピッチがより狭い場合においても、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるからである。
【０１９７】
また、上記複数のプローブのそれぞれは、特に限定されるものではないが、上記第１〜第４ヘッド部側端子に接触するのに適した形状を有することが好ましい。上記複数のプローブが上記第１〜第４ヘッド部側端子に確実に接触することができるからである。
【０１９８】
また、上記複数のプローブのそれぞれは、特に限定されるものではないが、その直径が３０μｍ〜７０μｍの範囲内であることが好ましい。上記複数のプローブが上記第１〜第４ヘッド部側端子に確実に接触することができるからである。
【０１９９】
また、上記複数のプローブのそれぞれは、特に限定されるものではないが、弾性移動または弾性変形するものであることが好ましい。上記検査治具を用いて検査を行うサスペンション用基板を損傷することを防止できるからである。
【０２００】
また、上記検査治具は、特に限定されるものではないが、上記複数のプローブとして、上述した外枠付サスペンション用基板が有する複数のサスペンション用基板の全てが含む第１〜第４ヘッド部側端子にそれぞれ接触する複数のプローブを有するものが好ましい。上記検査治具を用いて、上述した外枠付サスペンション用基板が有する複数のサスペンション用基板の全てが含む第１〜第４配線の全配線において発生する断線および短絡の両方の検査を１回の検査プロットで行うことができるからである。これにより、上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡をより効率的に検査することができる。
【０２０１】
さらに、上記支持部材は、特に限定されるものではないが、樹脂製であることが好ましい。上記支持部材が熱膨張しづらくなり、上記検査治具を用いて検査を行うサスペンション用基板を損傷することを防止することができ、かつ加工が容易だからである。
【０２０２】
以下に、本発明の検査治具の一例を、図２１を参照しながら説明する。図２１（ａ）は、本発明の検査治具の一例を示した概略斜視図である。図２１（ｂ）は、本発明の検査治具の一例を示した概略平面図である。図２１（ｃ）は、図２１（ｂ）に示したＡ−Ａ断面図である。図２１（ｄ）は、図２１（ａ）に示した検査治具を用いて検査を行うサスペンション用基板の概略平面図を示した。図２１（ｃ）において、上記断面上には存在しないプローブを破線で示した。
【０２０３】
検査治具３０１は、複数のプローブ３０２と、複数のプローブ３０２を支持する支持部材３０３とを有する。支持部材３０３は樹脂製である。プローブ３０２は、千鳥配列で支持部材３０３に設けられている。図２１（ｃ）に示すように、プローブ３０２が支持部材３０３から突出する突出長さａは３００μｍである。また、図２１（ｃ）に示した断面図における隣接するプローブの間隔ｂは５０μｍ〜１１０μｍである。
【０２０４】
また、図２１（ｄ）に示した複数のサスペンション用基板１２０は、外枠付サスペンション用基板に含まれるものであり、それぞれ複数の端子３０５を有する。そして、検査治具３０１を用いてサスペンション用基板１２０の検査を行う場合には、複数のプローブ３０２を複数の端子３０５にそれぞれ接触させる。その接触位置は、図２１（ｄ）に破線の円形で示す通りである。
【０２０５】
さらに、外枠付サスペンション用基板に含まれる全てのサスペンション用基板１２０の数量（３０個〜５０個）に対応する数量分だけ、４つのプローブを一組としたプローブの１グループ３０４が、支持部材３０３に設けられている。
【０２０６】
そして、図２１（ｂ）に示した平面図における隣接するプローブの間隔ｃは、加工限界のために、１１０μｍ以下にすることはできない。このため、全てのプローブ３０２を直線上に設けたとすると、図２１（ｄ）に示した隣接する端子間の距離ｄが５０μｍ〜１１０μｍになる場合には、プローブの１グループ３０４に含まれるプローブ３０２を対応する４つの端子３０５に接触可能となるように設けることはできない。そこで、本例においては、プローブ３０２を千鳥配列に設けることにより、断面図における隣接するプローブの間隔ｂを５０μｍ〜１１０μｍの範囲内にして、隣接する端子間の距離ｄが５０μｍ〜１１０μｍになる場合にも、プローブの１グループ３０４に含まれるプローブ３０２を対応する４つの端子３０５に接触可能にしたものである。
【０２０７】
また、支持部材３０３を樹脂製にして加工を容易にするとともに、熱膨張しなくなるようにした。これにより、検査治具３０１を用いてサスペンション用基板１２０の検査を行う場合に、サスペンション用基板１２０を損傷することを防止することができる。
【０２０８】
さらに、上述した数量分だけ、プローブの１グループ３０４を設けることにより、外枠付サスペンション用基板に含まれる全てのサスペンション用基板１２０を同時に検査することができる。
【０２０９】
そして、上述した数量分だけ、プローブの１グループ３０４を設けた検査治具３０１を用いて、外枠付サスペンション用基板に含まれる全てのサスペンション用基板１２０を同時に検査する場合には、以下の方法で行われる。
【０２１０】
まず、検査治具３０１に含まれるプローブの１グループ３０４のそれぞれを対応するサスペンション用基板１２０に割り当てる。そして、プローブの１グループ３０４のそれぞれに含まれる４つのプローブ３０２を、対応するサスペンション用基板１２０における４つの端子３０５にそれぞれ接触させる。
【０２１１】
次に、コントローラを用いて、プローブの１グループ３０４のそれぞれを順番に選択する。そして、プローブの１グループ３０４のそれぞれを選択した後は、選択されたプローブの１グループ３０４に含まれる４つプローブ３０２を用いて、それらに接触させた４つの端子３０５のうちの２つの端子間に検査用電流を流して、残りの２つの端子間に生ずる電位差に基づいて、四端子法により抵抗を測定する。この測定を、全てのサスペンション用基板１２０について、対応するプローブの１グループ３０４を用いて行う。
【０２１２】
以上の方法により検査する場合には、検査治具３０１に含まれるプローブ３０２を外枠付サスペンション用基板に含まれる端子３０５に一度接触させた後は、接触のさせ方を変更することなく、外枠付サスペンション用基板に含まれる全てのサスペンション用基板１２０を同時に検査することができる。これにより、外枠付サスペンション用基板に含まれる全てのサスペンション用基板１２０を効率的に検査することができる。
【０２１３】
Ｄ．検査装置
次に、検査装置について説明する。
本発明の検査装置は、サスペンション用基板と、上記サスペンション用基板をテール部側から支持する外枠とを有する外枠付サスペンション用基板の検査に用いる検査装置であって、上記外枠付サスペンション用基板を配置するステージと、上記外枠付サスペンション用基板を上記ステージに吸着して固定する吸着機構とを含むステージ部と、上記外枠付サスペンション用基板を上記ステージに押さえ付ける押さえ付け機構部と、を有することを特徴とするものである。
【０２１４】
本発明によれば、上記外枠付サスペンション用基板を上記押さえ付け機構部によって上記ステージに押さえ付けた後に、上記吸着機構により上記ステージに吸着して固定することができる。これにより、上記外枠付サスペンション用基板を上記ステージにその撓みが解消された状態で固定して、上記サスペンション用基板の検査を行うことができる。この結果、検査治具が有するプローブを、上記サスペンション用基板が有する端子に正確な位置精度で接触させて、上記サスペンション用基板が有する配線の導通検査を行うことができる。これにより、上記サスペンション用基板が有する配線の導通検査を正確に行うことができる。
【０２１５】
そして、本発明の検査装置は、さらに、上記サスペンション用基板に含まれる配線において発生する断線および短絡を四端子法により検査する検査治具を有するものであることが好ましい。上記サスペンション用基板が有する配線において発生する断線および短絡を効率的に検査することができるからである。
【０２１６】
また、上記検査治具は、上記サスペンション用基板に含まれる配線において発生する断線および短絡を四端子法により検査するのに用いるプローブと、上記プローブを支持する樹脂製の支持部材とを有し、本発明の検査装置は、上記検査治具の温度を制御する温度制御機構を有することが好ましい。上記温度制御機構により、上記支持部材を温度調整してその熱膨張を防止することにより、上記検査治具の伸縮を抑えることができるからである。
【０２１７】
また、本発明の検査装置は、上記ステージ部として、複数のステージ部を含むものであることが好ましい。本発明の検査装置を用いて、上記サスペンション用基板の検査を行う検査処理時間を短縮することができるからである。
【０２１８】
さらに、本発明の検査装置は、上記外枠付サスペンション用基板の検査において不良製品と判定された製品をマーキングするマーキング機構を有していることが好ましい。上記外枠付サスペンション用基板の検査後において不良製品を容易に判別することができるからである。
【０２１９】
以下に、本発明の検査装置の一例を、図２２を参照しながら説明する。図２２は、本発明の検査装置の一例を示した概略断面図である。図２２に示した検査装置４０１は、ステージ部４０２と、ステージ部の上面４０２ａに対向する押さえ付け機構部４０３とを有する。ステージ部４０２は、外枠付サスペンション用基板を配置するステージ４０２ｂおよび吸着機構４０２ｃを含む。
【０２２０】
そして、ステージ４０２ｂは、土台部４０２ｄと、土台部４０２ｄ上に設けられた第１保護フィルム４０２ｅと、第１保護フィルム４０２ｅ上に設けられた第２保護フィルム４０２ｆと、を有する。第１保護フィルム４０２ｅは、紙類（例えば、ＰＰＣ用紙等。）から構成され、通気性を有するものである。第２保護フィルム４０２ｆは、樹脂系フィルムであり、通気性を有するものである。検査用装置４０１において、外枠付サスペンション用基板１００を検査する場合には、第２保護フィルムの上面４０２ｇに外枠付サスペンション用基板１００が配置される。
【０２２１】
また、吸着機構４０２ｃは、ステージ部４０２の内部に設けられ、通気性を有する第２保護フィルム４０２ｆを介して、大気を吸引することにより、第２保護フィルムの上面４０２ｇ（ステージ部の上面４０２ａ）に配置された外枠付サスペンション用基板１００を吸着固定するものである。
【０２２２】
また、押さえ付け機構部４０３は、ステージ部の上面４０２ａに対向するクッション層４０３ａと、クッション層４０３ａを支持するハンドリング用フレーム４０３ｂとを有する。クッション層４０３ａは、高機能ウレタンフォームであるＰＯＲＯＮ（登録商標）で構成される。押さえ付け機構部４０３は、ステージ部の上面４０２ａに近づく方向および当該上面に離れる方向に移動する。押さえ付け機構部４０３はステージ部の上面４０２ａに近づく方向に移動し、第２保護フィルムの上面４０２ｇに配置された外枠付サスペンション用基板１００を第２保護フィルムの上面４０２ｇに押さえ付ける。
【０２２３】
さらに、検査装置４０１は、外枠付サスペンション用基板１００が有するサスペンション用基板に含まれる配線の導通状態を検査するための検査治具を有する（図示せず。）。そして、検査治具は、導通状態を検査するためにサスペンション用基板に含まれる端子に接触させるプローブを有する。
【０２２４】
以下、検査装置４０１を用いて、外枠付サスペンション用基板１００を検査する方法について説明する。まず、外枠付サスペンション用基板１００をステージ部４０２が有する第２保護フィルムの上面４０２ｇに配置する。次に、吸着機構４０２ｃによる吸着動作の稼働および停止を繰り返して、第２保護フィルムの上面４０２ｇに配置された外枠付サスペンション用基板１００の吸着および吸着の停止を繰り返す。これにより、外枠付サスペンション用基板１００の撓みを緩和する。次に、吸着機構４０２ｃによる吸着動作を停止した状態において、押さえ付け機構部４０３により、第２保護フィルムの上面４０２ｇに外枠付サスペンション用基板１００を押さえ付ける。これにより、外枠付サスペンション用基板１００の撓みを解消する。次に、吸着機構４０２ｃによって、外枠付サスペンション用基板１００をその撓みが解消された状態において第２保護フィルムの上面４０２ｇに吸着固定する。次に、検査治具が有するプローブを、外枠付サスペンション用基板１００が有するサスペンション用基板における端子に接触させることによって、サスペンション用基板における配線の導通状態を検査する。
【０２２５】
このように検査装置４０１を用いることにより、外枠付サスペンション用基板１００をその撓みを解消した状態において検査することができる。これにより、検査治具が有するプローブを、サスペンション用基板の端子に正確に接触させることができる。これにより、当該サスペンション用基板が有する配線の導通検査を正確に行うことができる。
【符号の説明】
【０２２６】
１００・・・外枠付サスペンション用基板、１１０・・・外枠、１２０・・・サスペンション用基板、３０１・・・検査治具、４０１・・・検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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