(57)【要約】【課題】カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させる接触子の製造方法を提供する。【解決手段】  本発明の接触子の製造方法は、少なくとも当該接触子を構成する針先を備えたアーム部を形成する第１の工程と、アーム部の横断面に係る寸法の計測を行う第２の工程と、第２の工程の計測結果に基づいてアーム部の有効長を決定する第３の工程と、アーム部の有効長が第３の工程で決定した長さとなるようにアーム部を支持する基部の形成を行う第４の工程とを含むことを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子の製造方法において、
少なくとも当該接触子を構成する、上記被接続体と接触する針先を備えたアーム部を形成する第１の工程と、
上記アーム部の横断面の形状を計測する第２の工程と、
上記第２の工程の計測結果に基づいて、上記アーム部の有効長を決定する第３の工程と、
上記アーム部の有効長が、上記第３の工程で決定した長さとなるように、上記アーム部を支持する基部の形成を行う第４の工程と
を含むことを特徴とする接触子の製造方法。
【請求項２】
上記第３の工程では、当該接触子の上記被接続体に対する針圧が、所望の値となるように、上記アーム部の有効長を決定することを特徴とする請求項１に記載の接触子の製造方法。
【請求項３】
上記第１の工程では、上記アーム部の横断面が四角形となるように上記アーム部を形成し、
上記第２の工程では、上記アーム部の厚さ及び又は幅を計測する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の接触子の製造方法。
【請求項４】
被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子において、
請求項１〜３のいずれかに記載の接触子の製造方法で製造されたこと
を特徴とする接触子。
【請求項５】
基板と、上記基板の一方の面から突出してカンチレバー形状に形成された１又は複数の接触子とを有し、上記接触子を用いて被接続体と電気的に接続するプローブシートにおいて、それぞれの上記接触子として請求項４に記載の接触子を適用したことを特徴とするプローブシート。
【請求項６】
被接続体と電気的に接続する１又は複数の接触子を備えたプローブ組立体において、上記接触子として請求項４に記載の接触子を適用したことを特徴とするプローブ組立体。
【請求項７】
被接続体と電気的に接続するプローブシートを備えたプローブ組立体において、上記プローブシートとして請求項５に記載のプローブシートを適用したことを特徴とするプローブ組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触子の製造方法、接触子、プローブシート及びプローブ組立体に関し、例えば、半導体集積回路や液晶ディスプレイパネルのような平板状の被検査体の検査に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路や表示装置用基板のような平板状の被検査体の検査（例えば、通電検査等）を行う検査装置では、可撓性の絶縁性合成樹脂フィルム、及び、そのフィルムにより支持された導電路を有する基板（以下、「プローブシート本体」ともいう）と、プローブシート本体の一方の面から突出して形成され導電路に接続された複数の片持ち梁形状（カンチレバー形状）の接触子（以下、単に「カンチレバー」ともいう）とを備えるプローブシートが、検査装置本体と被検査体との間に用いられる場合がある。
【０００３】
従来のプローブシートとしては、特許文献１に記載された製造方法により製造されたプローブシートがある。特許文献１に記載されたプローブシートの各カンチレバーでは、基部により支持されたアーム部の先端に、被検査体に押圧される針先が形成されている。そして、特許文献１に記載されているカンチレバーは、フォトリソグラフィ技術を用いたＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）法により形成されている。具体的には、特許文献１の記載技術では、プローブシート上の各カンチレバーについて、基台上で金属材料を針先から基部に向けて順次堆積させる電気メッキを行うことにより形成している。これにより、特許文献１の記載技術では、各カンチレバーの針先の位置調整作業を行うことなく針先を正確な位置に配置させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８５８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の記載技術では、電気メッキによりカンチレバーを形成するが、既存の方法では、カンチレバーを構成するアーム部の厚さや幅の精度を向上させることが難い。そして、カンチレバーごとにアーム部の厚さや幅にばらつきがある場合には、強度のばらつきが発生する。したがって、この場合、それぞれのカンチレバーについて、被検査体の電極に押圧して同じ量のオーバドライブを作用させても、電極に対する針先の押圧力（以下、「針圧」という）にばらつきが発生することになる。プローブシートにおいて、各カンチレバーの針圧にばらつきがあると、被検査体に対する接触状態が不安定となるおそれがある。また、プローブシートにおいて、カンチレバーごとの針圧にばらつきがなかったとしても、針圧が強すぎれば、被検査体に接触した際に、被検査体を損傷してしまうし、針圧が弱すぎれば、被検査体との接触が不十分となってしまうおそれがある。
【０００６】
そのため、カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させることができる接触子の製造方法、接触子、プローブシート及びプローブ組立体が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の本発明は、被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子の製造方法において、（１）少なくとも当該接触子を構成する、上記被接続体と接触する針先を備えたアーム部を形成する第１の工程と、（２）上記アーム部の横断面の形状を計測する第２の工程と、（３）上記第２の工程の計測結果に基づいて、上記アーム部の有効長を決定する第３の工程と、（４）上記アーム部の有効長が、上記第３の工程で決定した長さとなるように、上記アーム部を支持する基部の形成を行う第４の工程とを含むことを特徴とする。
【０００８】
第２の本発明は、被接続体と電気的に接続する、カンチレバー形状に形成された接触子において、第１の本発明の接触子の製造方法で製造されたことを特徴とする。
【０００９】
第３の本発明は、基板と、上記基板の一方の面から突出してカンチレバー形状に形成された１又は複数の接触子とを有し、上記接触子を用いて被接続体と電気的に接続するプローブシートにおいて、それぞれの上記接触しとして第２の本発明の接触子を適用したことを特徴とするプローブシート。
【００１０】
第４の本発明は、被接続体と電気的に接続する１又は複数の接触子を備えたプローブ組立体において、上記接触子として第２の本発明の接触子を適用したことを特徴とするプローブ組立体。
【００１１】
第５の本発明は、被接続体と電気的に接続するプローブシートを備えたプローブ組立体において、上記プローブシートとして第３の本発明のプローブシートを適用したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、カンチレバー形状の接触子の針圧の精度を向上させる接触子の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係るプローブシートの製造方法において、カンチレバーを形成する工程について示した工程図である。
【図２】実施形態に係るプローブ組立体の分解斜視図である。
【図３】実施形態に係るプローブ組立体の縦断面図である。
【図４】実施形態に係るプローブシートの一部を拡大して示す底面図である。
【図５】実施形態に係るプローブシートに配置されたカンチレバーの側面図である。
【図６】実施形態に係るプローブシートに配置されたカンチレバーの底面図である。
【図７】実施形態に係るカンチレバーを構成するアーム部の横断面の厚さ及び幅と、針圧の関係例について示したグラフである。
【図８】実施形態に係るカンチレバーの針圧を、目標とする針圧とするために必要な、アーム部の有効長、厚さ、及び幅の組合せについて示したグラフである。
【図９】実施形態に係るプローブシートの製造方法で、カンチレバーを構成するアーム部の有効長ｌを調整する方法について示した説明図である。
【図１０】実施形態に係るプローブシート上のカンチレバーの製造工程を示す説明図（その１）である。
【図１１】実施形態に係るプローブシート上のカンチレバーの製造工程を示す説明図（その２）である。
【図１２】実施形態に係るプローブシート上のカンチレバーの製造工程を示す説明図（その３）である。
【図１３】実施形態に係るプローブシート上のカンチレバーの製造工程を示す説明図（その４）である。
【図１４】実施形態に係るプローブシート上のカンチレバーの製造工程を示す説明図（その５）である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（Ａ）主たる実施形態
以下、本発明による接触子の製造方法、接触子、プローブシート及びプローブ組立体の一実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
【００１５】
（Ａ−１）実施形態の構成
図２は、この実施形態のプローブ組立体１０の分解斜視図である。また、図３は、この実施形態のプローブ組立体１０の縦断面図である。
【００１６】
図２、図３に示すように、プローブ組立体１０には、リジッド配線基板１２と、リジッド配線基板１２にばね部材１４を介して弾性支持されるブロック１６と、リジッド配線基板１２の図示しない複数の配線路に電気的にそれぞれ接続される複数の導電路が設けられたプローブシート本体１８（基盤）を有するプローブシート２０とを備えている。プローブシート本体１８としては、例えば、既存のＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）等を用いた基板を適用することができる。
【００１７】
なお、この実施形態のプローブ組立体１０は、プローブシート２０に備えられているカンチレバー（接触子）の構造や製造工程に特徴があり、それ以外の構成については、例えば、特許文献１に記載されているプローブ組立体と同様の構成を用いることができるため詳しい説明を省略する。
【００１８】
図４は、プローブシート２０の一部を拡大して示す底面図である。
【００１９】
プローブシート２０のプローブシート本体１８は、図４に示すように、その中央部にブロック１６の底部３８に対応して形成された八角形部分４６を有している。そして、八角形部分４６の中央部には、多数のカンチレバー４８がそれらの針先４８ａを整列させて配置された接触子領域５０が形成されている。この接触子領域５０は、図４に示す例では、矩形に形成されている。
【００２０】
上述の通り、この実施形態のプローブシート２０では、カンチレバーの構造や製造工程に特徴があり、それ以外の構成については、例えば、特許文献１に記載されているプローブシートと同様の構成を用いることができるため詳しい説明を省略する。
【００２１】
次に、この実施形態のプローブシート２０に設けられているカンチレバー４８の構成について説明する。
【００２２】
図５は、カンチレバー４８の側面図である。また、図６は、カンチレバー４８の底面図である。
【００２３】
図５、図６に示すように、カンチレバー４８のアーム部４８ｂは、基部（支柱）４８ｃによりプローブシート本体１８の底面に支持固定されている。そして、アーム部４８ｂにおいて、基部４８ｃと逆方向の端に針先４８ａが形成されている。なお、カンチレバー４８に用いる材料については限定されないものであるが、例えば、ニッケル又はその合金等の電気メッキ加工に適した金属を用いることができる。
【００２４】
なお、以下では、プローブシート本体１８の面に対して並行となる方向を「水平方向」、プローブシート本体１８の面に対して垂直となる方向を「垂直方向」と呼ぶものとする。また、以下では、カンチレバー４８から見て、プローブシート本体１８の方向を「上方向」、プローブシート本体１８とは逆の方向を「下方向」と呼ぶものとする。
【００２５】
そして、以下では、図５に示すように、針先４８ａの先端（被検査体と接触する部分）から、基部４８ｃの端まで（アーム部４８ｂが湾曲する際の支点まで）の水平方向の距離を「有効長ｌ」、アーム部４８ｂの厚さ（横断面の垂直方向の寸法）を「厚さｔ」、アーム部４８ｂの幅（横断面の水平方向の寸法）を「幅ｗ」とそれぞれ呼ぶものとする。また、カンチレバー４８に所定の大きさのオーバドライブを作用させた場合の針圧を、「針圧ｐ」と呼ぶものとする。
【００２６】
次に、カンチレバー４８の針圧ｐと、アーム部４８ｂの厚さｔ及び幅ｗとの関係について説明する。
【００２７】
図７は、アーム部４８ｂの横断面の厚さｔ及び幅ｗと、針圧ｐとの関係について示したグラフである。なお、図７では、アーム部４８ｂの有効長ｌは全て同一としている。
【００２８】
図７では、縦軸で針圧ｐを示し、横軸でアーム部４８ｂの厚さｔを示している。また、図７では、幅ｗごとに異なる折れ線Ｇ１１〜Ｇ１３で、厚さｔと針圧ｐの関係について示している。図７において、折れ線Ｇ１１は、幅ｗ＝Ｗ１とした場合の折れ線グラフである。また、折れ線Ｇ１２は、幅ｗ＝Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）とした場合の折れ線グラフである。さらに、折れ線Ｇ１３は、幅ｗ＝Ｗ３（Ｗ３＞Ｗ１）とした場合の折れ線グラフである。
【００２９】
図７では、例えば、厚さｔ＝Ｔ１、幅ｗ＝Ｗ１の場合、カンチレバー４８の針圧ｐはＰ１になることを示している。
【００３０】
アーム部４８ｂの厚さｔ及び又は幅ｗが大きくなると、アーム部４８ｂの強度は高くなる。そのため、図７に示すように、アーム部４８ｂの厚さｔ及び又は幅ｗを大きくすると、アーム部４８ｂの針圧ｐは大きくなる傾向がある。
【００３１】
次に、上述の図７に示すような傾向に基づいて、アーム部４８ｂの針圧ｐと、有効長ｌ、厚さｔ、及び幅ｗの組合せとの関係について説明する。
【００３２】
図８は、カンチレバー４８の針圧ｐを、目標とする針圧Ｐｔとするために必要な有効長ｌ、厚さｔ、及び幅ｗの組合せについて示したグラフである。
【００３３】
図８では、縦軸でアーム部４８ｂの有効長ｌを表わし、横軸でアーム部４８ｂの厚さｔを表わしている。また、図８では、幅ｗごとに異なる折れ線Ｇ２１〜Ｇ２３で、有効長ｌと厚さｔの関係について示している。ここで、折れ線Ｇ２１は、幅ｗ＝Ｗ１とした場合の折れ線グラフである。また、折れ線Ｇ２２は、幅ｗ＝Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）とした場合の折れ線グラフである。さらに、折れ線Ｇ２３は、幅ｗ＝Ｗ３（Ｗ３＞Ｗ１）とした場合の折れ線グラフである。
【００３４】
例えば、図８では、厚さｔ＝Ｔ１、幅ｗ＝Ｗ１の場合、カンチレバー４８の針圧ｐをＰｔとするためには、有効長ｌをＬ１に設定しなければならないことを示している。上述の通り、アーム部４８ｂの厚さｔ及び又は幅ｗが増えると、針圧は高くなる傾向にあるが、アーム部４８ｂの有効長ｌを長くするほど、アーム部４８ｂのたわみ量が多くなるため、針圧ｐは小さくなる傾向となる。したがって、アーム部４８ｂでは、厚さｔが増えると針圧ｐも高くなるが、図８に示すように、厚さｔが増えた分、有効長ｌを長くすることで、針圧ｐを目標であるＰｔに調整することができる。すなわち、カンチレバー４８において、アーム部４８ｂの厚さｔ及び幅ｗの精度が低い場合でも、アーム部４８ｂの有効長ｌを調整することにより、針圧ｐの精度を向上させることができる。
【００３５】
そこで、この実施形態では、アーム部４８ｂの横断面の形状計測の結果（厚さｔ及び幅ｗの計測結果）に応じて、有効長ｌを調整し、針圧ｐを目標とするＰｔに近づけるものとする。
【００３６】
図９は、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー４８を構成するアーム部４８ｂの有効長ｌを調整する方法について示した説明図である。
【００３７】
カンチレバー４８で、アーム部４８ｂの有効長ｌを調整する方法については限定されないものであるが、ここでは、図９に示すように、カンチレバー４８を支持する基部４８ｃの配置位置を調節することにより、有効長ｌを調節するものとする。
【００３８】
図９（ａ）に示すように、基部４８ｃを配置する位置について、針先４８ａの方向にずらすことにより、有効長ｌを短くし、カンチレバー４８の針圧ｐを高くする方向に調節することができる。また、図９（ｂ）に示すように、カンチレバー４８を支持する基部４８ｃを配置する位置について、針先４８ａとは逆方向にずらすことにより、有効長ｌを長くし、カンチレバー４８の針圧ｐを小さくする方向に調節することができる。
【００３９】
次に、この実施形態のプローブシート２０の製造方法について説明する。
【００４０】
上述の通り、この実施形態のプローブシート２０では、カンチレバー４８のアーム部４８ｂの有効長ｌが調整されている点に特徴があり、アーム部４８ｂの有効長ｌを調整することと関連しない工程については、例えば、特許文献１と同様の製造工程を適用することができる。そこで、以下では、この実施形態のプローブシート２０の製造方法について、特許文献１と異なる工程を中心として説明する。
【００４１】
図１は、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー４８を形成する工程について示した工程図である。図１に示すように、この実施形態のプローブシートの製造方法において、カンチレバー４８を形成する工程には、工程Ｐ１〜Ｐ７の工程が含まれる。
【００４２】
まず、工程Ｐ１では、図１０に示すように、フォトリソグラフィ技術を利用して、基台１００上に、カンチレバー４８の針先４８ａ及びアーム部４８ｂが形成され、さらに、犠牲層等を除去してアーム部４８ｂの一部が露出された状態とする。なお、ここでは、後述する工程Ｐ２で、厚さｔ及び幅ｗの計測が可能な程度に、アーム部４８ｂの上面の一部及び又は側面の一部が露出している必要がある。工程Ｐ１は、特許文献１と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程Ｐ１は、例えば、特許文献１の図７（ｆ）に示す状態までの工程としても良い。
【００４３】
次に、工程Ｐ２では、工程Ｐ１で形成されたアーム部４８ｂの厚さｔ及び幅ｗを計測する。工程Ｐ２で、アーム部４８ｂの厚さｔ及び幅ｗを計測する方法については限定されないものであるが、例えば、既存のレーザ光を利用した三次元計測装置等を用いるようにしても良い。また、アーム部４８ｂの厚さｔを計測する際に、アーム部４８ｂの直下の層の上面を、アーム部４８ｂの底面と同じ高さであるものとみなして計測するようにしても良い。
【００４４】
工程Ｐ２において、厚さｔ及び幅ｗを計測する計測位置については限定されないものであり、例えば、針先４８ａから所定の距離の部分で計測するようにしても良い。また、工程Ｐ２において、アーム部４８ｂ上の計測位置を複数設定し、計測装置により計測された結果の平均を、最終的な計測結果とするようにしても良い。
【００４５】
次に、工程Ｐ３では、工程Ｐ２での計測結果に基づいて、当該アーム部４８ｂから形成されるカンチレバー４８の有効長ｌを決定する。工程Ｐ３では、工程Ｐ２での計測結果（厚さｔ及び幅ｗ）に基づいて、カンチレバー４８の針圧ｐをＰｔとするための有効長ｌを求める必要がある。カンチレバー４８の針圧ｐをＰｔとする有効長ｌを求める方法については、限定されないものである。例えば、上述の図８のグラフのように、予め厚さｔと幅ｗの組合せに応じた有効長ｌの値に関する情報を把握しておき、その情報に基づいて上述の工程Ｐ２の測定結果に応じた有効長ｌを決定するようにしても良い。
【００４６】
上述の図８のグラフでは、幅Ｗ１〜Ｗ３のそれぞれについて折れ線Ｇ２１〜Ｇ２３が示されているが、例えば、アーム部４８ｂの幅ｗの計測結果に応じて、いずれかの折れ線に基づいた有効長ｌを決定するようにしても良い。具体的な例として、幅Ｗ２＝Ｗ１−ｋ、幅Ｗ３＝Ｗ１＋ｋとした場合を想定する。なお、「ｋ」は任意の値であり、例えば、０．１μｍ程度としても良い。そして、アーム部４８ｂの幅ｗの計測結果が以下の（１）式を満たす場合には、幅ｗの計測結果をＷ１とみなし、折れ線Ｇ２１を利用して有効長ｌを決定するようにしても良い。また、アーム部４８ｂの幅ｗの計測結果が以下の（２）式を満たす場合には、幅ｗの計測結果をＷ２とみなし、折れ線Ｇ２３を利用して有効長ｌを決定するようにしても良い。さらにまた、アーム部４８ｂの幅ｗの計測結果が以下の（３）を満たす場合には、幅ｗの計測結果をＷ３とみなし、折れ線Ｇ２３を利用して有効長ｌを決定するようにしても良い。なお、上述の図８のグラフでは、３種類の幅Ｗ１〜Ｗ３を想定した内容となっているが、その種類の数は限定されないものである。
【００４７】
Ｗ１−ｋ／２≦ｗ≦Ｗ１＋ｋ／２  …（１）
ｗ＜Ｗ１−ｋ／２  …（２）
ｗ＞Ｗ１＋ｋ／２  …（３）
また、厚さｔと幅ｗの組合せから、所定の計算式を用いて針圧ｐをＰｔとするための有効長ｌを求めることが可能である場合には、その計算式で演算することにより、有効長ｌを求めるようにしても良い。さらに、工程Ｐ３の情報処理（演算処理）を行う手段については限定されないものであり、例えば、コンピュータに、有効長ｌを決定するプログラムをインストールして、そのコンピュータに演算させるようにしても良い。
【００４８】
次に、工程Ｐ４では、形成されたアーム部４８ｂの上に、図１１に示すように、犠牲層１２４、プローブシート本体１８を構成する樹脂層１２６、及び保護膜１２８を堆積する。
【００４９】
工程Ｐ４は、特許文献１と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程Ｐ４は、例えば、特許文献１の図７（ｇ）に示す状態までの工程としても良い。すなわち、犠牲層１２４、樹脂層１２６、及び保護膜１２８については、特許文献１と同様のものを適用することができる。なお、工程Ｐ４で、アーム部４８ｂの上に堆積される層の種類や数については限定されないものである。
【００５０】
次に、工程Ｐ５では、工程Ｐ４で形成した犠牲層１２４、樹脂層１２６、及び保護膜１２８に対して、例えばレーザ光等を用いて、図１２に示すように、アーム部４８ｂに達する開口１３０を形成する。
【００５１】
この開口１３０は、後述する工程Ｐ６で、基部４８ｃを堆積させるための穴である。すなわち、この実施形態のプローブシートの製造方法では、開口１３０の位置を調節することにより、基部４８ｃの位置（すなわち、有効長ｌ）を調節する。具体的には、開口１３０の針先４８ａ側の端の位置が、アーム部４８ｂの支点となるため、開口１３０の針先４８ａ側の端の位置から針先４８ａまでの水平方向の距離が、上述の工程Ｐ３で決定した有効長ｌとなるように、開口１３０を形成する必要がある。
【００５２】
なお、工程Ｐ５は、上述の工程Ｐ３で決定した有効長ｌに応じた位置に、開口１３０を形成すること以外は、特許文献１と同様の工程を適用することができる。また、工程Ｐ５は、例えば、特許文献１の図７（ｉ）に示す状態までの工程としても良い。
【００５３】
次に、工程Ｐ６では、図１３に示すように、開口１３０内のアーム部４８ｂ上に、プローブ４８の基部４８ｃを形成するための金属を堆積する。工程Ｐ６は、特許文献１と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程Ｐ６は、例えば、特許文献１の図７（ｊ）に示す状態までの工程としても良い。
【００５４】
次に、工程Ｐ７では、カンチレバー４８の周辺の犠牲層等を除去することより、図１４に示すように、カンチレバー４８を露出させる。工程Ｐ７は、特許文献１と同様の工程を適用することができるので詳しい説明を省略する。工程Ｐ７は、例えば、特許文献１の図１０（ｃ）に示す状態までの工程としても良い。
【００５５】
（Ａ−２）実施形態の効果
この実施形態によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００５６】
この実施形態では、アーム部４８ｂの幅ｗ及び厚みｔの組合せに応じて、針圧ｐを目標値であるＰｔとするための有効長ｌを決定し、当該アーム部４８ｂの有効長ｌについて決定した長さとなるように、当該アーム部４８ｂの基部４８ｃを形成している。これにより、この実施形態で形成されるカンチレバー４８の針圧ｐの精度を向上させることができる。
【００５７】
（Ｂ）他の実施形態
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。
【００５８】
（Ｂ−１）上記の実施形態では、プローブシート本体１８は、特許文献１と同様に、可撓性の絶縁性合成樹脂フィルムを用いて構成されているものとして説明したが、本発明の特徴は、上述の通りカンチレバーに係る構造や製造工程であり、カンチレバーを配置するためのプローブシート本体１８の形状や材質については限定されないものである。
【００５９】
（Ｂ−２）上記の実施形態の工程Ｐ２、Ｐ３では、アーム部４８ｂの横断面の形状計測として、幅ｗ及び厚さｔを計測し、その計測結果に基づいて当該アーム部４８ｂの有効長ｌを決定しているが、幅ｗ又は厚さｔのいずれかのみに基づいて、有効長ｌを決定するようにしても良い。
【００６０】
（Ｂ−３）上記の実施形態では、カンチレバーごとに有効長ｌを決定する例について説明したが、複数のカンチレバー４８についてまとめて有効長ｌを決定するようにしても良い。例えば、１つのカンチレバー４８について、上述の工程Ｐ２、Ｐ３により有効長ｌを決定し、その有効長ｌを他のカンチレバー４８に適用するようにしても良い。また、例えば、上述の工程Ｐ２で複数のカンチレバー４８について計測を行い、上述の工程Ｐ３で複数の計測結果の平均値に基づいて、全てのカンチレバー４８の有効長ｌを決定するようにしても良い。
【００６１】
（Ｂ−３）上記の実施形態では、アーム部４８ｂの横断面は四角形であるものとしているため、上述の工程Ｐ２、Ｐ３では、横断面の形状計測として、厚さｔ及び幅ｗの計測を行い、その計測結果に基づいて有効長ｌを決定している。しかし、アーム部４８ｂの横断面の形状は限定されないものであり、例えば円形や三角形であることも有り得る。その場合でも、上述の工程Ｐ２、Ｐ３では、アーム部４８ｂの横断面の形状計測の結果に基づいて、有効長ｌを決定するようにしても良い。その場合、上述の工程Ｐ２、Ｐ３では、例えば、横断面の形状に関わりなく、上記の実施形態と同様に、横断面の垂直方向の寸法（例えば、横断面の一番下の部分と一番上の部分との間の垂直方向の寸法）等に基づいて有効長ｌを決定するようにしても良い。
【００６２】
（Ｂ−４）上記の実施形態では、カンチレバー４８を支持する基部４８ｃの配置位置を調節することにより、有効長ｌを調節している（上述の図９参照）が、基部４８ｃの水平方向の幅を調節することにより有効長ｌを調節するようにしても良い。
【００６３】
（Ｂ−５）上記の実施形態では、プローブシート２０を接続する対象は、被検査体であるものとして説明したが、プローブシート２０の接続対象は、検査を目的とした被検査体に限定されないものである。例えば、プローブシート２０を、被接続体（例えば、半導体集積回路等）に接続させ、検査等を含む電気的接続を伴う処理（例えば、半導体装置に対する制御処理等）に用いるようにしても良い。
【００６４】
（Ｂ−６）上記の実施形態では、各カンチレバー４８（接触子）は、プローブシート本体（基板）と一体に形成されているが、カンチレバー４８だけを単独で形成するようにしても良い。そして、カンチレバー４８を形成した後に、そのカンチレバー４８を、プローブシート本体（基板）に取り付けるようにしても良い。カンチレバー４８をプローブシート本体に取り付ける方法については限定されないものであるが、例えば、カンチレバー４８の基部４８ｃを、プローブシート本体の面上で、接着剤や溶接等により固定するようにしても良い。
【００６５】
上記の実施形態の工程Ｐ４では、形成されたアーム部４８ｂの上に、プローブシート本体１８を構成する樹脂層１２６を堆積させ（図１１参照）、その後の工程で樹脂層１２６と基部４８ｃとを一体として形成している。しかし、例えば、上記の実施形態の工程Ｐ４で、プローブシート本体１８を構成する樹脂層１２６を堆積させずにその後の工程を行えば、基台１００上において、カンチレバー４８を独立した部品として形成することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１０…プローブ組立体、１２…リジッド配線基板、１４…ばね部材、１６…ブロック、１８…プローブシート本体（基板）、２０…プローブシート、３８…底部、４６…八角形部分、４８…カンチレバー（接触子）、４８ａ…針先、４８ｂ…アーム部、４８ｃ…基部、５０…接触子領域、１２４…犠牲層、１２６…樹脂層、１２８…保護膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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