(57)【要約】      （修正有）【課題】高精度・高性能の接合型光学素子の安定的な製造を可能とする、接合型光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】接触工程（Ａ）〜（Ｃ）では、熱硬化型接着剤ＨＡを介して第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を互いに接触させ、位置決め工程（Ｄ）〜（Ｇ）では、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を位置決め治具３に接触させて第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を位置決めし、加熱工程（Ｈ）では、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を位置決め治具３に接触させたまま熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させ、切断工程（Ｉ）では、加熱工程（Ｈ）で一体化した第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２から成る接合プリズムブロックＰ３を切断して同一形状の５つの接合プリズムＰ４を得る。位置決め治具３と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分の面積は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の５％以下である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性樹脂から成る接着剤を介して複数の光学部品を互いに接触させる接触工程と、互いに接触した状態の各光学部品を位置決め治具に接触させることにより、各光学部品の位置決めを行う位置決め工程と、位置決めされた状態の各光学部品を前記位置決め治具に接触させたまま、前記接着剤を加熱硬化させる加熱工程と、を含む接合型光学素子の製造方法であって、
前記位置決め治具と全光学部品との接触部分の面積が、位置決めされた状態の光学部品全体の表面積の５％以下であることを特徴とする接合型光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記位置決め治具と全光学部品との接触部分の面積が、位置決めされた状態の光学部品全体の表面積の３％以下であることを特徴とする請求項１記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項３】
さらに、前記加熱工程での接着剤の硬化により一体化した複数の光学部品を切断して、同一形状の複数の接合型光学素子を得る切断工程を含むことを特徴とする請求項１又は２記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項４】
各光学部品に対する前記位置決め治具の接触位置が、接合型光学素子の光学的な有効範囲の外側にあることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記位置決めにおいて前記位置決め治具が全光学部品に対して線状又は点状に接触することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項６】
前記位置決め治具が、全光学部品に対して線状に接触する多角柱の稜線部分、又は全光学部品に対して線状に接触する円柱の母線部分を有することを特徴とする請求項５記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項７】
前記位置決め治具が、全光学部品に対して点状に接触する球面部分を有することを特徴とする請求項５記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項８】
前記複数の光学部品が２つの直角プリズムであり、前記接着剤を介して互いに接触させる面の少なくとも一方に光学薄膜のコーティングが施されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の接合型光学素子の製造方法。
【請求項９】
前記光学薄膜が偏光分離膜，ハーフミラー膜又はダイクロイック膜であることを特徴とする請求項８記載の接合型光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は接合型光学素子の製造方法に関するものであり、例えば複数のプリズムが接合された構造を有する接合型光学素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
接合型光学素子として、ビームスプリッタプリズム，ダイクロイックプリズム等が知られている。ビームスプリッタプリズムは光ディスク（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ，ＤＶＤ等）用の光ピックアップ装置等に搭載され、ダイクロイックプリズムはプロジェクタ等に搭載される。これらの接合型光学素子は、光学薄膜のコーティングを介して２つの光学部品（例えば、２つの三角プリズム）が接着剤で貼り合わされた構造になっている。
【０００３】
２つの光学部品を接着剤で貼り合わせて接合面を構成する際には、所望の寸法精度を達成するために、位置決めを行いながら接着剤を硬化させる必要がある。光ピックアップ装置用のビームスプリッタプリズムに要求される外形寸法精度（一般的な公差）は、接合面で屈曲する光軸を含む平面上での縦横の各方向について、ＤＶＤ／ＣＤ用の場合±０．１ｍｍであり、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ用の場合±０．０５ｍｍである。このため、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ用のビームスプリッタプリズムのように高い寸法精度が要求される場合には、接合工程において確実な位置決めが必要となる。特許文献１に記載されているように、２つの光学部品を位置決め治具で固定しながら接着剤を硬化させる方法を採用すれば、確実な位置決めにより接合面を高い寸法精度で構成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１１６７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１記載の方法では、２つの光学部品の接合に紫外線硬化型接着剤が用いられている。紫外線硬化型接着剤には、コスト上のメリットがあり、また、透光性材料の外から貼り合わせ面に紫外線を照射するだけで速やかに接着強度が得られるという、製造上のメリットもある。しかし、紫外線硬化型接着剤のように光硬化性樹脂から成る接着剤（以下「光硬化型接着剤」ともいう。）には、いくつかの問題がある。例えば、被接着物である２つの光学部品（例えば、ガラスプリズム）の光吸収性が高いと、硬化に必要な量の光が接着剤に届かない、という問題がある。また、硬化用の光を照射すると、その光によって被接着物に付属する他の部材が劣化する等の悪影響が生じる、という問題もある。
【０００６】
熱硬化性樹脂から成る接着剤（以下「熱硬化型接着剤」ともいう。）を使用すれば、光硬化型接着剤が有する上記問題点を解消することが可能である。つまり、光硬化型接着剤を用いた場合に比べて、優れた特性（例えば、耐高温・耐湿度・耐光劣化における耐久性等）を得ることができる。しかし、特許文献１に記載されているように位置決め治具を用いた場合、熱硬化性樹脂を硬化させる際に被接着物を治具ごと加熱すると、被接着物が治具に接する部分と接しない部分とにおいて、被接着物への熱の伝わりが異なるために、被接着物の内部に熱的な歪みが発生してしまう。その結果、被接着物内部の歪みにより接着面の樹脂部分に気泡が吸い込まれてしまったり、接着剤が剥がれてしまったり、歪んだまま硬化が進むこと（つまり不均一な硬化）により精度を要求される内部反射面（接着面）が歪んで、反射波面精度が要求の仕様を満たさなくなったりする等、光学素子として成立しなくなってしまう。この状態を避けるために、被接着物の全面に治具を均等に接触させながら位置決めを確実に行おうとすると、治具の構造が複雑になったり、硬化条件の調整や安定性の確保が難しくなったりする。したがって、その実現は困難とされている。
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであって、その目的は、簡易な治具構造を用いながら接着剤硬化時の熱的な歪みの発生を抑制して、高精度・高性能の接合型光学素子の安定的な製造を可能とする、接合型光学素子の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、第１の発明の接合型光学素子の製造方法は、熱硬化性樹脂から成る接着剤を介して複数の光学部品を互いに接触させる接触工程と、互いに接触した状態の各光学部品を位置決め治具に接触させることにより、各光学部品の位置決めを行う位置決め工程と、位置決めされた状態の各光学部品を前記位置決め治具に接触させたまま、前記接着剤を加熱硬化させる加熱工程と、を含む接合型光学素子の製造方法であって、前記位置決め治具と全光学部品との接触部分の面積が、位置決めされた状態の光学部品全体の表面積の５％以下であることを特徴とする。
【０００９】
第２の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第１の発明において、前記位置決め治具と全光学部品との接触部分の面積が、位置決めされた状態の光学部品全体の表面積の３％以下であることを特徴とする。
【００１０】
第３の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第１又は第２の発明において、さらに、前記加熱工程での接着剤の硬化により一体化した複数の光学部品を切断して、同一形状の複数の接合型光学素子を得る切断工程を含むことを特徴とする。
【００１１】
第４の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第１〜第３のいずれか１つの発明において、各光学部品に対する前記位置決め治具の接触位置が、接合型光学素子の光学的な有効範囲の外側にあることを特徴とする。
【００１２】
第５の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第１〜第４のいずれか１つの発明において、前記位置決めにおいて前記位置決め治具が全光学部品に対して線状又は点状に接触することを特徴とする。
【００１３】
第６の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第５の発明において、前記位置決め治具が、全光学部品に対して線状に接触する多角柱の稜線部分、又は全光学部品に対して線状に接触する円柱の母線部分を有することを特徴とする。
【００１４】
第７の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第５の発明において、前記位置決め治具が、全光学部品に対して点状に接触する球面部分を有することを特徴とする。
【００１５】
第８の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第１〜第７のいずれか１つの発明において、前記複数の光学部品が２つの直角プリズムであり、前記接着剤を介して互いに接触させる面の少なくとも一方に光学薄膜のコーティングが施されていることを特徴とする。
【００１６】
第９の発明の接合型光学素子の製造方法は、上記第８の発明において、前記光学薄膜が偏光分離膜，ハーフミラー膜又はダイクロイック膜であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明によれば、位置決め治具と全光学部品との接触部分の面積が、位置決めされた状態の光学部品全体の表面積の５％以下になっているため、簡易な治具構造を用いた場合であっても、接着剤硬化時の熱的な歪みの発生を抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合型光学素子を安定的に製造することが可能である。第２の発明によれば、上記接触部分の面積比率が３％以下にまで低く設定されているため、上記熱的な歪みの発生を更に効果的に抑制することが可能となる。
【００１８】
第３の発明によれば、一体化した複数の光学部品を切断して同一形状の複数の接合型光学素子を得る構成になっているため、同一特性の複数の接合型光学素子を効率良く得ることができる。
【００１９】
第４の発明によれば、各光学部品に対する位置決め治具の接触位置が、接合型光学素子の光学的な有効範囲の外側にあるため、位置決め治具の接触位置で熱的な歪みが発生しても、接合型光学素子の光学的な有効範囲が受ける影響を小さくすることができる。
【００２０】
第５の発明によれば、位置決めにおいて位置決め治具が全光学部品に対して線状又は点状に接触する構成になっているため、光学部品に対する位置決め治具の接触面積が極力低減され、その結果、接着剤硬化時の熱的な歪みの発生が効果的に抑制される。例えば、第６の発明では、全光学部品に対して線状に接触する多角柱の稜線部分、又は全光学部品に対して線状に接触する円柱の母線部分を、位置決め治具が有する構成になっており、第７の発明では、全光学部品に対して点状に接触する球面部分を位置決め治具が有する構成になっているため、光学部品に対する位置決め治具の接触面積は略ゼロにまで抑えられる。したがって、接着剤の熱硬化に起因する歪みの発生を効果的に防止することができる。
【００２１】
第８の発明に係る接合型光学素子では、複数の光学部品が２つの直角プリズムであり、熱硬化型接着剤を介して互いに接触させる面の少なくとも一方に光学薄膜のコーティングが施された構成になっているため、光学薄膜の特性を活かした高精度・高性能の接合型光学素子を安定的に製造することが可能である。例えば第９の発明に係る接合型光学素子では、光学薄膜が偏光分離膜，ハーフミラー膜又はダイクロイック膜であるため、光ピックアップ装置やプロジェクタに搭載される偏光ビームスプリッタ，半透過プリズム又はダイクロイックプリズムの製造を高精度・高性能で安定的に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１の実施の形態の製造方法に用いる位置決め治具を示す斜視図。
【図２】第１の実施の形態の製造方法を示す製造工程図。
【図３】第２の実施の形態の製造方法に用いる位置決め治具を示す斜視図。
【図４】第２の実施の形態の製造方法を示す製造工程図。
【図５】第３の実施の形態の製造方法に用いる位置決め治具を示す外観図。
【図６】第３の実施の形態の製造方法を示す製造工程図。
【図７】第４の実施の形態の製造方法に用いる位置決め治具を示す外観図。
【図８】第５の実施の形態の製造方法に用いる位置決め治具を示す外観図。
【図９】面精度の測定を説明するための図。
【図１０】第１の比較例の製造方法に用いる位置決め治具を示す斜視図。
【図１１】第２の比較例の製造方法に用いる位置決め治具を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施した接合型光学素子の製造方法を、図面を参照しつつ説明する。なお、各実施の形態等の相互で同一の部分や相当する部分には同一の符号を付して重複説明を適宜省略する。
【００２４】
本発明に係る接合型光学素子の製造方法は、複数の光学部品が接合された構造（例えば、透光性材料から成る複数のプリズムが光学薄膜を介して熱硬化型接着剤で接合された構造）を有する接合型光学素子の製造方法である。そして、以下に説明する各実施の形態では、複数の光学部品として２つの長尺三角プリズムを用いており、それらを接合して接合プリズムブロックとし、それを所定幅で切断して複数の接合プリズムを製造する。したがって、接合型光学素子としての接合プリズムを得るためには切断工程が必要となるが、切断工程は必ずしも必要ではない。つまり、接着剤で一体化した２つの三角プリズムを切断せず、そのまま１つの接合型光学素子として使用してもよい。
【００２５】
〈第１の実施の形態（図１，図２）〉
図１に位置決め治具１を示し、図２にその位置決め治具１を用いた接合プリズムＰ４の製造方法の第１の実施の形態を示す。この製造方法は、図２（Ａ）及び（Ｂ）の断面図に示す接触工程と、図２（Ｃ）及び（Ｄ）の断面図に示す位置決め工程と、図２（Ｅ）の外観図に示す加熱工程と、図２（Ｆ）の外観図に示す切断工程と、を有している。
【００２６】
まず、図２（Ａ）に示すように、同一形状の長尺三角プリズムから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２のうち、第２プリズムＰ２の傾斜面に熱硬化型接着剤ＨＡを適量塗布する。次に、図２（Ｂ）に示すように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の傾斜面同士を、熱硬化型接着剤ＨＡを介して互いに接触させる。第１プリズムＰ１の傾斜面には、例えば、偏光分離膜，ハーフミラー膜，ダイクロイック膜等の光学薄膜ＳＣ（図２（Ａ））が設けられている。
【００２７】
互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図２（Ｃ）に示すように、Ｖ溝を有する位置決め治具１にセットし、図２（Ｄ）に示すようにその上端部（頂点）を加圧治具１Ａの平面で加圧して揃える。これにより、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２が位置決め治具１に密着するように接触して、その位置決め治具１のＶ溝により、更には第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の稜線部（４５度形状の突き合わせ部分）の当たりにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２同士の相対的な位置が決定され、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めが完了する。
【００２８】
第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は、図１に示す位置決め治具１の接触部分ＳＡでのみ接触するため、接触部分ＳＡ以外の部分での位置決め治具１との接触は生じない。なお、加圧治具１Ａでの加圧により接着剤厚が薄くなるため、接着面間に入ってしまった気泡が余分な熱硬化型接着剤ＨＡと共にはみ出して排出された場合には、はみ出した熱硬化型接着剤ＨＡを適宜取り除く清掃を行ってもよい。
【００２９】
位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図２（Ｅ）に示すように、位置決め治具１に接触させたまま加熱炉７に投入して、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させる。このとき、熱の急激な流入を避けるために、加熱温度をステップ的に上げてもよい。例えば、１００℃×３０分加熱し、１２０℃×６０分加熱し、１８０℃×６０分加熱する、といったステップ的な加熱硬化を行うようにしてもよい。
【００３０】
加熱工程での熱硬化型接着剤ＨＡの硬化により、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は一体化して接合面ＰＪを有する接合プリズムブロックＰ３となる。その接合プリズムブロックＰ３を加熱炉７から取り出し、適宜清掃を行う。接合プリズムブロックＰ３の切断を図２（Ｆ）に示すように行うと、同一形状の複数（ここでは５個）の接合プリズムＰ４が得られる。その後、適宜洗浄を行ってもよい。
【００３１】
位置決め治具１と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積（図１，図２（Ｄ）〜（Ｆ））は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の５％以下となっている。ここで接触部分ＳＡの面積比率をαとすると、例えば、三角柱状ガラスから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を熱硬化型接着剤ＨＡで接着して、□３ｍｍ×長さ７０ｍｍの四角柱とした場合、位置決め治具１と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡを両端３ｍｍ幅とすると、α＝（３ｍｍ×３ｍｍ×両端２箇所×Ｖ形状２箇所）÷（３ｍｍ×７０ｍｍ×４面＋３ｍｍ×３ｍｍ×２面）≒４％となる。
【００３２】
上記のように、位置決め治具１と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積を、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の５％以下（α≦５％）にすると、簡易な治具構造であるにもかかわらず、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化したときの熱的な歪みの発生を抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合プリズムＰ４を安定的に製造することが可能である。さらに、接触部分ＳＡの面積比率αを３％以下にまで低く設定すれば（α≦３％）、上記熱的な歪みの発生を更に効果的に抑制することが可能となる。また、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具１の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲の外側にあるため、位置決め治具１の接触位置で熱的な歪みが発生しても、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲が受ける影響を小さくすることができる。
【００３３】
図１０に、接触部分ＳＡの面積が大きい位置決め治具１１を示す。この位置決め治具１１を用いて三角柱状ガラスから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を熱硬化型接着剤ＨＡで接着して、□３ｍｍ×長さ７０ｍｍの四角柱とした場合（第１の比較例）、位置決め治具１と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡをＶ溝面の全幅とすると、α＝（３ｍｍ×７０ｍｍ×Ｖ形状２箇所）÷（３ｍｍ×７０ｍｍ×４面＋３ｍｍ×３ｍｍ×２面）≒４９％となる。
【００３４】
位置決め治具１１（図１０）を用いると、接触部分ＳＡの面積比率αが大きくなる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具１の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲内にある場合には、加熱硬化時に第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の「位置決め治具１１に接触している部分ＳＡ」と「位置決め治具１１に接触していない部分」とで、それぞれ接触した位置決め治具１１から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入する伝熱量と空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入する伝熱量とが異なってしまうため、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の内部に温度勾配が発生することになる。この温度勾配によって第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の内部に歪みが発生してしまう。この歪みにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の光学的な有効範囲内において接着面の樹脂部分に気泡を吸い込んでしまったり、内部反射面（接合面）ＰＪが歪んで、反射波面精度が要求の仕様を満たさなくなったりする等、接合型光学素子として成立しなくなってしまう。
【００３５】
図１に示す位置決め治具１のように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具１の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲外になるように設計すれば、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めの状態を容易に保持することができる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は光学有効範囲内において空中に浮いた状態となるため、光学有効範囲内では熱が全方位の空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入することになる。したがって、伝熱量の空間的な不均一性を低減することができる。また、両端部の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と位置決め治具１との接触部分において熱的な歪みが発生しても、光学有効範囲の外側であるために光学製品としての性能には影響を及ぼすことはない。
【００３６】
〈第２の実施の形態（図３，図４）〉
図３に位置決め治具２を示し、図４にその位置決め治具２を用いた接合プリズムＰ４の製造方法の第２の実施の形態を示す。この製造方法は、図４（Ａ）及び（Ｂ）の断面図に示す接触工程と、図４（Ｃ）の断面図に示す位置決め工程と、図４（Ｄ）の外観図に示す加熱工程と、図４（Ｅ）の外観図に示す切断工程と、を有している。
【００３７】
まず、図４（Ａ）に示すように、同一形状の長尺三角プリズムから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２のうち、第２プリズムＰ２の傾斜面に熱硬化型接着剤ＨＡを適量塗布する。次に、図４（Ｂ）に示すように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の傾斜面同士を、熱硬化型接着剤ＨＡを介して互いに接触させる。第１プリズムＰ１の傾斜面には、例えば、偏光分離膜，ハーフミラー膜，ダイクロイック膜等の光学薄膜ＳＣ（図４（Ａ））が設けられている。
【００３８】
互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図４（Ｃ）に示すように位置決め治具２にセットする。位置決め治具２は、図４（Ａ）に示すように、押さえ板２ａ，２ｃと精度板２ｂから成っている。図４（Ｃ）に示すように、位置決め治具２にセットした第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２をその上方から加圧すると、精度板２ｂと押さえ板２ａ，２ｃで第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２が３方向から挟み込まれて、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２が位置決め治具２に密着するように接触する。その結果、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２同士の相対的な位置が決定され、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めが完了する。
【００３９】
第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は、図３に示す位置決め治具２の接触部分ＳＡでのみ接触するため、接触部分ＳＡ以外の部分での位置決め治具２との接触は生じない。なお、加圧により接着剤厚が薄くなるため、接着面間に入ってしまった気泡が余分な熱硬化型接着剤ＨＡと共にはみ出して排出された場合には、はみ出した熱硬化型接着剤ＨＡを適宜取り除く清掃を行ってもよい。
【００４０】
位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図４（Ｄ）に示すように、位置決め治具２に接触させたまま加熱炉７に投入して、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させる。このとき、熱の急激な流入を避けるために、加熱温度をステップ的に上げてもよい。例えば、１００℃×３０分加熱し、１２０℃×６０分加熱し、１８０℃×６０分加熱する、といったステップ的な加熱硬化を行うようにしてもよい。
【００４１】
加熱工程での熱硬化型接着剤ＨＡの硬化により、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は一体化して接合面ＰＪを有する接合プリズムブロックＰ３となる。その接合プリズムブロックＰ３を加熱炉７から取り出し、適宜清掃を行う。接合プリズムブロックＰ３の切断を図４（Ｅ）に示すように行うと、同一形状の複数（ここでは５個）の接合プリズムＰ４が得られる。その後、適宜洗浄を行ってもよい。
【００４２】
位置決め治具２と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積（図３，図４）は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の５％以下となっている。ここで接触部分ＳＡの面積比率をαとすると、例えば、三角柱状ガラスから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を熱硬化型接着剤ＨＡで接着して、□３ｍｍ×長さ７０ｍｍの四角柱とした場合、位置決め治具２と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡを両端３ｍｍ幅とすると、α＝（３ｍｍ×３ｍｍ×両端２箇所＋３ｍｍ×２ｍｍ×両端２箇所×挟み込み形状２箇所）÷（３ｍｍ×７０ｍｍ×４面＋３ｍｍ×３ｍｍ×２面）≒４．９％となる。
【００４３】
上記のように、位置決め治具２と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積を、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の５％以下（α≦５％）にすると、簡易な治具構造であるにもかかわらず、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化したときの熱的な歪みの発生を抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合プリズムＰ４を安定的に製造することが可能である。さらに、接触部分ＳＡの面積比率αを３％以下にまで低く設定すれば（α≦３％）、上記熱的な歪みの発生を更に効果的に抑制することが可能となる。また、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具２の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲の外側にあるため、位置決め治具２の接触位置で熱的な歪みが発生しても、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲が受ける影響を小さくすることができる。
【００４４】
図１１に、接触部分ＳＡの面積が大きい位置決め治具１２を示す。この位置決め治具１２を用いて三角柱状ガラスから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を熱硬化型接着剤ＨＡで接着して、□３ｍｍ×長さ７０ｍｍの四角柱とした場合（第２の比較例）、位置決め治具１２と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡを挟み込み面の全幅とすると、α＝（３ｍｍ×７０ｍｍ＋２ｍｍ×７０ｍｍ×挟み込み形状２箇所）÷（３ｍｍ×７０ｍｍ×４面＋３ｍｍ×３ｍｍ×２面）≒５７．１％となる。
【００４５】
位置決め治具１２（図１１）を用いると、接触部分ＳＡの面積比率αが大きくなる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具１２の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲内にある場合には、加熱硬化時に第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の「位置決め治具１２に接触している部分ＳＡ」と「位置決め治具１２に接触していない部分」とで、それぞれ接触した位置決め治具１２から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入する伝熱量と空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入する伝熱量とが異なってしまうため、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の内部に温度勾配が発生することになる。この温度勾配によって第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の内部に歪みが発生してしまう。この歪みにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の光学的な有効範囲内において接着面の樹脂部分に気泡を吸い込んでしまったり、内部反射面（接合面）ＰＪが歪んで、反射波面精度が要求の仕様を満たさなくなったりする等、接合型光学素子として成立しなくなってしまう。
【００４６】
図３に示す位置決め治具２のように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する位置決め治具２の接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲外になるように設計すれば、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めの状態を容易に保持することができる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は光学有効範囲内において空中に浮いた状態となるため、光学有効範囲内では熱が全方位の空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入することになる。したがって、伝熱量の空間的な不均一性を低減することができる。また、両端部の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と位置決め治具２との接触部分において熱的な歪みが発生しても、光学有効範囲の外側であるために光学製品としての性能には影響を及ぼすことはない。
【００４７】
〈第３の実施の形態（図５，図６）〉
図５に位置決め治具３を示し、図６にその位置決め治具３を用いた接合プリズムＰ４の製造方法の第３の実施の形態を示す。図５は位置決め治具３（設置された状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を破線で示す。）の三面図であり、図５において、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は正面図である。ただし、描画されている位置決め治具３の形状は、位置決め治具３としての本質的な特徴を示す部分のみである。この製造方法は、図６（Ａ）〜（Ｅ）の断面図に示す接触工程と、図６（Ｆ）及び（Ｇ）の断面図に示す位置決め工程と、図６（Ｈ）の断面図に示す加熱工程と、図６（Ｉ）の断面図に示す切断工程と、を有している。
【００４８】
まず、図６（Ａ）に示すように、同一形状の長尺三角プリズムから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２のうち、第１プリズムＰ１を台板６のコの字形状の溝にセットし、その傾斜面に熱硬化型接着剤ＨＡを適量塗布する。次に、図６（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の傾斜面同士を、熱硬化型接着剤ＨＡを介して互いに接触させる。第２プリズムＰ２の傾斜面には、例えば、偏光分離膜，ハーフミラー膜，ダイクロイック膜等の光学薄膜ＳＣ（図６（Ｂ））が設けられている。なお、接触時の加圧により接着剤厚が薄くなるため、接着面間に入ってしまった気泡が余分な熱硬化型接着剤ＨＡと共にはみ出して排出された場合には、はみ出した熱硬化型接着剤ＨＡを適宜取り除く清掃を行ってもよい。
【００４９】
互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図６（Ｄ）及び（Ｅ）に示すように位置決め治具３にセットする。位置決め治具３は、４本の円柱状のロッド３ａとそれらを支持する台板３ｂとから成っている。図６（Ｆ）及び（Ｇ）に示すように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の上端部（頂点）を加圧治具１Ａの平面で加圧して揃えると、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２がロッド３ａに対して直線状に接触する。このとき、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は、図５（Ｂ）に示すようにロッド３ａの母線である接触部分ＳＡでのみ接触するため、接触部分ＳＡ以外の部分での位置決め治具２との接触は生じない。そして、ロッド３ａが成すＶ形状により、更には第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の稜線部（４５度形状の突き合わせ部分）の当たりにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２同士の相対的な位置が決定され、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めが完了する。
【００５０】
位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、図６（Ｈ）に示すように、位置決め治具３のロッド３ａに接触させたまま加熱炉７に投入して、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させる。このとき、熱の急激な流入を避けるために、加熱温度をステップ的に上げてもよい。例えば、１００℃×３０分加熱し、１２０℃×６０分加熱し、１８０℃×６０分加熱する、といったステップ的な加熱硬化を行うようにしてもよい。
【００５１】
加熱工程での熱硬化型接着剤ＨＡの硬化により、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は一体化して接合面ＰＪを有する接合プリズムブロックＰ３となる。その接合プリズムブロックＰ３を加熱炉７から取り出し、適宜清掃を行う。接合プリズムブロックＰ３の切断を図６（Ｉ）に示すように行うと、同一形状の複数（ここでは５個）の接合プリズムＰ４が得られる。その後、適宜洗浄を行ってもよい。
【００５２】
位置決め治具３と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積（図５（Ｂ））は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の約０％となっている。つまり、円柱形状３のロッド３ａは、その円筒面の母線部分で第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と線状に接触するため、接触部分ＳＡの面積は極めて小さく略ゼロにまで抑えられる。したがって、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する熱流入量の空間的な不均一性を効果的に低減することができるため、熱硬化型接着剤ＨＡの熱硬化に起因する歪みの発生を防止することができる。
【００５３】
上記のように、位置決め治具３のロッド３ａと第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積を、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の略０％（α≒０）にすると、簡易な治具構造であるにもかかわらず、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化したときの熱的な歪みの発生を効果的に抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合プリズムＰ４を安定的に製造することが可能である。
【００５４】
図５に示す位置決め治具３のように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対するロッド３ａの接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲外になるように設計すれば、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めの状態を容易に保持することができる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は光学有効範囲内において空中に浮いた状態となるため、光学有効範囲内では熱が全方位の空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入することになる。したがって、伝熱量の空間的な不均一性を低減することができる。また、両端部の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と位置決め治具３との接触部分において熱的な歪みが発生しても、光学有効範囲の外側であるために光学製品としての性能には影響を及ぼすことはない。
【００５５】
〈第４の実施の形態（図７）〉
図７に、第４の実施の形態に用いる位置決め治具４を示す。図７は位置決め治具４（設置された状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を破線で示す。）の三面図であり、図７において、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は正面図である。ただし、描画されている位置決め治具４の形状は、位置決め治具４としての本質的な特徴を示す部分のみである。
【００５６】
この第４の実施の形態は、前述した円柱状のロッド３ａ（図５，図６）の代わりに三角柱状のロッド４ａを用いたほかは、第３の実施の形態と同様の構成になっている。位置決め治具４は、４本の三角柱状のロッド４ａとそれらを支持する台板４ｂとから成っており、台板４ｂは前述した台板３ｂと同じものである。したがって、第４の実施の形態の製造方法は、第３の実施の形態と同様、接触工程（図６（Ａ）〜（Ｅ））と、位置決め工程（図６（Ｆ）及び（Ｇ））と、加熱工程（図６（Ｈ））と、切断工程（図６（Ｉ））と、を有するものである。
【００５７】
図６及び図７を用いて各工程を説明する。接触工程（図６（Ａ）〜（Ｅ））では、まず、同一形状の長尺三角プリズムから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２のうち、第１プリズムＰ１を台板６のコの字形状の溝にセットし、その傾斜面に熱硬化型接着剤ＨＡ（図６（Ａ））を適量塗布する。次に、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の傾斜面同士を、熱硬化型接着剤ＨＡを介して互いに接触させる。第２プリズムＰ２の傾斜面には、例えば、偏光分離膜，ハーフミラー膜，ダイクロイック膜等の光学薄膜ＳＣ（図６（Ｂ））が設けられている。なお、接触時の加圧により接着剤厚が薄くなるため、接着面間に入ってしまった気泡が余分な熱硬化型接着剤ＨＡと共にはみ出して排出された場合には、はみ出した熱硬化型接着剤ＨＡを適宜取り除く清掃を行ってもよい。
【００５８】
互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、位置決め治具４（図７）にセットする。第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の上端部（頂点）を加圧治具１Ａ（図６（Ｆ），（Ｇ））の平面で加圧して揃えると、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２がロッド４ａに対して直線状に接触する。このとき、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は、図７（Ｂ）に示すようにロッド４ａの稜線である接触部分ＳＡでのみ接触するため、接触部分ＳＡ以外の部分での位置決め治具４との接触は生じない。そして、ロッド４ａが成すＶ形状により、更には第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の稜線部（４５度形状の突き合わせ部分）の当たりにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２同士の相対的な位置が決定され、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めが完了する。
【００５９】
位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、位置決め治具４のロッド４ａに接触させたまま加熱炉７に投入して、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させる（図６（Ｈ））。このとき、熱の急激な流入を避けるために、加熱温度をステップ的に上げてもよい。例えば、１００℃×３０分加熱し、１２０℃×６０分加熱し、１８０℃×６０分加熱する、といったステップ的な加熱硬化を行うようにしてもよい。
【００６０】
加熱工程での熱硬化型接着剤ＨＡの硬化により、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は一体化して接合面ＰＪを有する接合プリズムブロックＰ３となる。その接合プリズムブロックＰ３を加熱炉７から取り出し、適宜清掃を行う。接合プリズムブロックＰ３の切断を行うと（図６（Ｉ））、同一形状の複数（ここでは５個）の接合プリズムＰ４が得られる。その後、適宜洗浄を行ってもよい。
【００６１】
位置決め治具４と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積（図７（Ｂ））は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の約０％となっている。つまり、円柱形状４のロッド４ａは、その多角柱の稜線部分で第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と線状に接触するため、接触部分ＳＡの面積は極めて小さく略ゼロにまで抑えられる。したがって、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する熱流入量の空間的な不均一性を効果的に低減することができるため、熱硬化型接着剤ＨＡの熱硬化に起因する歪みの発生を防止することができる。
【００６２】
上記のように、位置決め治具４のロッド４ａと第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積を、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の略０％（α≒０）にすると、簡易な治具構造であるにもかかわらず、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化したときの熱的な歪みの発生を効果的に抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合プリズムＰ４を安定的に製造することが可能である。
【００６３】
図７に示す位置決め治具４のように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対するロッド４ａの接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲外になるように設計すれば、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めの状態を容易に保持することができる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は光学有効範囲内において空中に浮いた状態となるため、光学有効範囲内では熱が全方位の空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入することになる。したがって、伝熱量の空間的な不均一性を低減することができる。また、両端部の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と位置決め治具４との接触部分において熱的な歪みが発生しても、光学有効範囲の外側であるために光学製品としての性能には影響を及ぼすことはない。
【００６４】
〈第５の実施の形態（図８）〉
図８に、第５の実施の形態に用いる位置決め治具５を示す。図８（Ａ）は位置決め治具５の上面図、図８（Ｂ）は位置決め治具５の側面図であり（設置された状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を破線で示す。）、図８（Ｃ）は位置決め治具５と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の拡大図である。ただし、描画されている位置決め治具５の形状は、位置決め治具５としての本質的な特徴を示す部分のみである。
【００６５】
位置決め治具５は、６個の球面部分５ａを台板５ｂのＶ溝に有する構成になっている。また第５の実施の形態は、Ｖ溝に球面部分５ａが形成されているほかは、第１の実施の形態（図１，図２）と同様の構成になっている。したがって、第５の実施の形態の製造方法は、第１の実施の形態と同様、接触工程（図２（Ａ）及び（Ｂ））と、位置決め工程（図２（Ｃ）及び（Ｄ））と、加熱工程（図２（Ｅ））と、切断工程（図２（Ｆ））と、を有するものである。
【００６６】
図２及び図８を用いて各工程を説明する。接触工程（図２（Ａ）及び（Ｂ））では、まず、同一形状の長尺三角プリズムから成る第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２のうち、第２プリズムＰ２の傾斜面に熱硬化型接着剤ＨＡ（図２（Ａ））を適量塗布する。次に、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の傾斜面同士を、熱硬化型接着剤ＨＡを介して互いに接触させる（図２（Ｂ））。第１プリズムＰ１の傾斜面には、例えば、偏光分離膜，ハーフミラー膜，ダイクロイック膜等の光学薄膜ＳＣ（図２（Ａ））が設けられている。
【００６７】
互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、Ｖ溝を有する位置決め治具５にセットし（図８，図２（Ｃ））、その上端部（頂点）を加圧治具１Ａの平面で加圧して揃える（図２（Ｄ））。これにより、互いに接触した状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２が位置決め治具５の各球面部分５ａに対して点状に接触して、その位置決め治具５の球面部分５ａにより、更には第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の稜線部（４５度形状の突き合わせ部分）の当たりにより、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２同士の相対的な位置が決定され、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めが完了する。
【００６８】
第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は、図８（Ｃ）に示すように各球面部分５ａの接触部分ＳＡでのみ接触するため、接触部分ＳＡ以外の部分での位置決め治具５との接触は生じない。なお、加圧治具１Ａでの加圧により接着剤厚が薄くなるため、接着面間に入ってしまった気泡が余分な熱硬化型接着剤ＨＡと共にはみ出して排出された場合には、はみ出した熱硬化型接着剤ＨＡを適宜取り除く清掃を行ってもよい。
【００６９】
位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２を、位置決め治具５の球面部分５ａに接触させたまま加熱炉７に投入して、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化させる（図１（Ｅ））。このとき、熱の急激な流入を避けるために、加熱温度をステップ的に上げてもよい。例えば、１００℃×３０分加熱し、１２０℃×６０分加熱し、１８０℃×６０分加熱する、といったステップ的な加熱硬化を行うようにしてもよい。
【００７０】
加熱工程での熱硬化型接着剤ＨＡの硬化により、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は一体化して接合面ＰＪを有する接合プリズムブロックＰ３となる。その接合プリズムブロックＰ３を加熱炉７から取り出し、適宜清掃を行う。接合プリズムブロックＰ３の切断を行うと（図２（Ｆ））、同一形状の複数（ここでは５個）の接合プリズムＰ４が得られる。その後、適宜洗浄を行ってもよい。
【００７１】
位置決め治具５と第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積（図８（Ｃ））は、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の約０％となっている。つまり、球体の一部から成る球面部分５ａは、その表面で第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と点状に接触するため、接触部分ＳＡの面積は極めて小さく略ゼロにまで抑えられる。したがって、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する熱流入量の空間的な不均一性を効果的に低減することができるため、熱硬化型接着剤ＨＡの熱硬化に起因する歪みの発生を防止することができる。
【００７２】
上記のように、位置決め治具５の球面部分５ａと第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２との接触部分ＳＡの面積を、位置決めされた状態の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２全体の表面積の略０％（α≒０）にすると、簡易な治具構造であるにもかかわらず、熱硬化型接着剤ＨＡを加熱硬化したときの熱的な歪みの発生を効果的に抑制することができる。したがって、高精度・高性能の接合プリズムＰ４を安定的に製造することが可能である。
【００７３】
図８に示す位置決め治具５のように、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に対する球面部分５ａの接触位置が、接合プリズムＰ４の光学的な有効範囲外になるように設計すれば、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２の位置決めの状態を容易に保持することができる。しかも、第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２は光学有効範囲内において空中に浮いた状態となるため、光学有効範囲内では熱が全方位の空気から第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２に流入することになる。したがって、伝熱量の空間的な不均一性を低減することができる。また、両端部の第１，第２プリズムＰ１，Ｐ２と位置決め治具５との接触部分において熱的な歪みが発生しても、光学有効範囲の外側であるために光学製品としての性能には影響を及ぼすことはない。
【実施例】
【００７４】
以下、本発明を実施した接合型光学素子の製造方法等をデータを挙げて更に具体的に説明する。
【００７５】
位置決め治具１（図１）を用いて得られた□３ｍｍの接合プリズムＰ４の接合面（内部反射面）ＰＪの面精度を評価した。測定位置ｐ［ｍｍ］は、正四角柱（サイズ：３ｍｍ×３ｍｍ×７０ｍｍ）から成る接合プリズムブロックＰ３の端部から長手方向に沿って等間隔に設定し、有効径Φ２．５ｍｍの範囲を平行光の反射波面で測定した（干渉計８：ＺＹＧＯ、測定波長λ：６３３ｎｍ）。面精度の測定には、図９に示す面精度測定装置（干渉計８と平面原器９から成る。）を使用した（図９（Ａ）は上面図、図９（Ｂ）は側面図である。）。接触部分ＳＡの面積比率をαとし、評価基準は、◎：ＲＭＳ値≦０．０１０λ、○：０．０１０λ＜ＲＭＳ値≦０．０２０λ、×：０．０２０λ＜ＲＭＳ値とし、◎と○を良品とした。表１から、接触面積が少ないほど良品であり、α≦５％が好ましく、α≦３％が更に好ましいことが分かる。
【００７６】
【表１】
2012237876.tif 000003
【符号の説明】
【００７７】
Ｐ１    第１プリズム（光学部品）
Ｐ２    第２プリズム（光学部品）
Ｐ３    接合プリズムブロック
Ｐ４    接合プリズム（接合型光学素子）
ＰＪ    接合面
ＳＡ    接触部分
ＳＣ    光学薄膜
ＨＡ    熱硬化型接着剤
１，２，３，４，５    位置決め治具
１Ａ    加圧治具
２ａ，２ｃ    押さえ板
２ｂ    精度板
３ａ，４ａ    ロッド
５ａ    球面部分
３ｂ，４ｂ，５ｂ    台板
６    台板
７    加熱炉
８    干渉計
９    平面原器
【図１】
2012237876.tif 000004
【図２】
2012237876.tif 000005
【図３】
2012237876.tif 000006
【図４】
2012237876.tif 000007
【図５】
2012237876.tif 000008
【図６】
2012237876.tif 000009
【図７】
2012237876.tif 000010
【図８】
2012237876.tif 000011
【図９】
2012237876.tif 000012
【図１０】
2012237876.tif 000013
【図１１】
2012237876.tif 000014