(57)【要約】【課題】移送モジュールが設けられた複数の工程設備の間に基板を処理するシステムが提供される。【解決手段】基板処理システムは、複数の工程設備とバッファーステーションとを有する。各々の工程設備は、内部に搬送ロボットが設けられた移送モジュールとこれに連結される処理モジュールとを有する。バッファーステーションは、複数の隣接する移送モジュールの間に位置し、これらの間に基板を移送するために設けられる。前記複数の工程設備は、移送モジュールとバッファーステーションとが配置される方向に沿って設けられる連結ラインを基準として処理モジュールが連結ラインの第１側に位置する第１設備と連結ラインを基準として処理モジュールが前記連結ラインの第２側に位置する第２設備とを有する。第１設備に設けられる移送モジュールは、第２設備に設けられる移送モジュールに比べ連結ラインを基準として第１側に向かってさらに突出するように設けられる。【選択図】図１
2012044175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に搬送ロボットが設けられた第１移送モジュールと、
内部に搬送ロボットが設けられた第２移送モジュールと、
前記第１移送モジュールと前記第２移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられる第１バッファーステーションと、
前記第１移送モジュール、前記第１バッファーステーション、前記第２移送モジュールが配置される方向である連結ラインを基準として、前記連結ラインの第１側に位置し、前記第１移送モジュールに結合される第１処理モジュールと、
前記連結ラインの第２側に位置し、前記第２移送モジュールに結合される第２処理モジュールと、を含み、
前記第１移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第２移送モジュールよりも前記第１側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
内部に前記搬送ロボットが設けられ、前記第２移送モジュールを基準として前記第１移送モジュールと反対側に位置した第３移送モジュールと、
前記第２移送モジュールと前記第３移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられる第２バッファーステーションと、
前記連結ラインの前記第１側に位置し、前記第３移送モジュールに結合される第３処理モジュールと、をさらに含み、
前記第３移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第２移送モジュールよりも前記第１側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記第２移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第１移送モジュール及び前記第３移送モジュールよりも前記第２側に向かってさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記第１移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第１バッファーステーションよりも前記第１側にさらに突出するように設けられ、
前記第２移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第１バッファーステーション、前記第２バッファーステーション、前記第１移送モジュール、及び前記第３移送モジュールよりも前記連結ラインの前記第２側にさらに突出するように設けられることを特徴とする請求項２または３に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記第１移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記連結ラインの前記第２側に向かって前記第１バッファーステーション及び前記第２バッファーステーションとほぼ同一の距離で突出するように設けられ、
前記第２移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第１側に向かって前記第１バッファーステーション及び前記第２バッファーステーションとほぼ同一の距離で突出するように設けられることを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記連結ラインの前記第２側に位置して前記第１移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる１つ又は複数の第１ロードポートと、
前記連結ラインの前記第２側に位置して前記第３移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる１つ又は複数の第３ロードポートと、
前記１つ又は複数の第１ロードポート、及び前記１つ又は複数の第３ロードポートと上下方向に対向するように配置され、これらの基板が収納される容器を搬送する搬送装置の移動を案内する第１ガイドレールと、をさらに含むことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記連結ラインの前記第１側に位置して前記第２移送モジュールに結合され、基板が収納された容器が置かれる１つ又は複数の第２ロードポートと、
前記１つ又は複数の第２ロードポートと上下方向に対向するように配置され、これらの基板が収納される容器を搬送する搬送装置の移動を案内する第２ガイドレールと、をさらに含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項８】
前記連結ラインに平行な方向の前記第２処理モジュールの最大幅は、前記連結ラインに平行な方向の前記第２移送モジュールの幅よりも長く設けられることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項９】
前記第１移送モジュール、前記第２移送モジュール、及び前記第３移送モジュールは、ほぼ同一の大きさ及び形状で設けられ、
前記第１処理モジュール、前記第２処理モジュール、及び前記第３処理モジュールは、ほぼ同一の大きさ及び形状で設けられることを特徴とする請求項２から８のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１０】
前記連結ラインに平行な方向の前記第２処理モジュールの最大幅の長さは、前記連結ラインに平行な方向の前記第２移送モジュールの幅、第１バッファーステーションの幅、及び第２バッファーステーションの幅の長さの和よりも長く設けられることを特徴とする請求項２から９のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を処理するシステムに関し、より詳細には移送モジュールが設けられた複数の工程設備の間で基板を処理するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工程は、クリーンルーム内に設けられた複数の工程設備で行われる。一般的に各々の工程設備は、ロードポート、移送モジュール、及び処理モジュールを有する。ロードポートには、基板が収容された容器が置かれる。移送モジュールは、ロードポートと処理モジュールとの間に配置され、移送モジュールには、ロードポートに置かれた容器と処理モジュールとの間で基板を搬送する搬送ロボットが設けられる。このような工程設備の一例は、特許文献１等に開示されている。
【０００３】
上述した工程設備は、クリーンルーム内で互いに離れて配置される。基板は、容器に収納された状態で搬送装置や作業者によって複数の工程設備の間で運送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００８／２５５６９７号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００４／１６５９７３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、複数の工程設備を使用して工程を遂行する場合、工程を効率的に遂行できる基板処理システムを提供することを目的とする。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されないその他の課題は、以下の記載から当業者に明確に理解される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板処理システムを提供する。一実施形態によると、基板処理システムは、内部に搬送ロボットが設けられた移送モジュール及び前記移送モジュールに連結される処理モジュールを各々有する複数の工程設備と、隣接する前記移送モジュール間に位置し、これらの間で基板を移送するために設けられるバッファーステーションと、を含む。前記複数の工程設備は、前記移送モジュールと、前記バッファーステーションが配置される方向に沿って設けられる連結ラインを基準として前記処理モジュールが前記連結ラインの第１側に位置する少なくとも１つの第１設備と、前記連結ラインを基準として前記処理モジュールが前記連結ラインの第２側に位置する少なくとも１つの第２設備と、を具備し、前記第１設備に設けられる前記移送モジュールは、前記第２設備に設けられる前記移送モジュールに比べて前記連結ラインを基準として前記第１側に向かってさらに突出するように設けられる。
【０００８】
他の実施形態によると、基板処理システムは、内部に搬送ロボットが設けられた第１移送モジュールと、内部に搬送ロボットが設けられた第２移送モジュールと、前記第１移送モジュールと前記第２移送モジュールとの間に配置され、これらの間で基板を移送するために設けられるバッファーステーションと、前記第１移送モジュール、前記バッファーステーション、前記第２移送モジュールが配置される方向である連結ラインを基準として、前記連結ラインの第１側に位置し前記第１移送モジュールに結合される第１処理モジュールと、前記連結ラインの第２側に位置し前記第２移送モジュールに結合される第２処理モジュールと、を含み、前記第１移送モジュールは、前記連結ラインを基準として前記第２移送モジュールよりも前記第１側に向かってさらに突出するように設けられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、工程設備の間で基板搬送が効率的に行われる。
【００１０】
また、本発明によると、複数の工程設備が設置されたクリーンルームの制限された空間を効率的に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の基板処理システムの一例を概略的に示す平面図である。
【図２】図１の移送モジュールとバッファーステーションとの内部構造を概略的に示す断面図である。
【図３】図２のバッファー部材の一例を概略的に示す斜視図である。
【図４】図２のバッファー部材の他の例を概略的に示す斜視図である。
【図５】図１のバッファーステーションの他の例を概略的に示す斜視図である。
【図６】図１のバッファーステーションのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図７】図１のバッファーステーションのその他の例を概略的に示す斜視図である。
【図８】図１のバッファーステーションのその他の例を概略的に示す斜視図である。
【図９】図１の基板処理システムで移送モジュールの形状を説明するための図面である。
【図１０】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１１】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１２】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１３】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１４】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１５】図１の基板処理システムの他の例を概略的に示す平面図である。
【図１６】図１５の基板処理装置の一例を概略的に示す図面である。
【図１７】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図１８】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図１９】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図２０】図１９の基板処理装置の一例を概略的に示す図面である。
【図２１】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図２２】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図２３】基板処理システムのその他の例を概略的に示す平面図である。
【図２４】図１の基板処理システムが複数個配置された例を概略的に示す平面図である。
【図２５】図１の基板処理システムが複数個配置された例を概略的に示す平面図である。
【図２６】図１の基板処理システムが複数個配置された例を概略的に示す平面図である。
【図２７】基板処理システムで基板の搬送経路を概略的に示す図面である。
【図２８】基板処理システムで基板の搬送経路を概略的に示す図面である。
【図２９】基板処理システムで基板の搬送経路を概略的に示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明による実施形態を添付された図面の図１乃至図２９を参照してより詳細に説明する。本発明の実施形態は、様々な形態に変形され、本発明の範囲が以下の実施形態で限定されることとして解釈してはならない。本実施形態は、当業界で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供される。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態による基板処理システム１０００を概略的に示す斜視図である。図１を参照すると、基板処理システム１０００は、複数の工程設備１２００と複数のバッファーステーション１４００とを有する。各々の工程設備１２００は、ロードポート１２２０、移送モジュール１２４０、及び処理モジュール１２６０を有する。１つの工程設備１２００のロードポート１２２０、移送モジュール１２４０、及び処理モジュール１２６０は、同一直線上に順次配置されるように設けられる。他の工程設備１２００に属する移送モジュール１２４０は、互いに同一直線上に配置されるように位置する。バッファーステーション１４００は、隣接する工程設備１２００の移送モジュール１２４０の間に配置される。上から見ると、１つの工程設備１２００のロードポート１２２０、移送モジュール１２４０、及び処理モジュール１２６０が配置される方向は、移送モジュール１２４０及びバッファーステーション１４００が配置される方向と垂直に設けられる。以下、移送モジュール１２４０及びバッファーステーション１４００が配置される方向を第１方向１０と称し、１つの工程設備１２００のロードポート１２２０、移送モジュール１２４０、及び処理モジュール１２６０が配置される方向を第２方向２０と称する。
【００１４】
ロードポート１２２０には、複数の基板が収納される容器３０が置かれる。容器３０は、オーバーヘッドトランスファー（ｏｖｅｒｈｅａｄ  ｔｒａｎｓｆｅｒ）のような搬送装置４０によってロードポート１２２０にローディング又はアンローディングされる。容器３０は、任意に自動案内車輌（ａｕｔｏｍａｔｉｃ  ｇｕｉｄｅｄ  ｖｅｈｉｃｌｅ）、レール案内車輌（ｒａｉｌ  ｇｕｉｄｅｄ  ｖｅｈｉｃｌｅ）、又は作業者によってロードポート１２２０にローディング又はアンローディングされる。容器３０には、密閉式容器である前面開放一体式ポッド（ｆｒｏｎｔ  ｏｐｅｎ  ｕｎｉｆｉｅｄ  ｐｏｄ）が使用される。各々の工程設備１２００のロードポート１２２０は、１つ又は複数個が設けられる。ロードポート１２２０が複数個設けられる場合、ロードポート１２２０は、第１方向１０に沿って一列に設けられる。ロードポート１２２０は、互いに密接して位置するように設けられる。図１では、各々の工程設備１２００に２つのロードポート１２２０が設けられるように図示した。しかし、各々の工程設備１２００に設けられるロードポート１２２０の数は、これと異なってもよい。また、工程設備１２００は、互いに異なる数のロードポート１２２０を有することができる。
【００１５】
移送モジュール１２４０は、ハウジング１２５０と搬送ロボット１２４２とを有する。ハウジング１２５０は、ほぼ直方体の形状を有する。ハウジング１２５０は、上面（図２の符号１２５１）、底面（図２の符号１２５２）、第１側面１２５３、第２側面１２５４、第３側面１２５５、及び第４側面１２５６を有する。第１側面１２５３と第３側面１２５５とは、互いに対向するように設けられ、第２側面１２５４と第４側面１２５６とは、互いに対向するように設けられる。また、第１側面１２５３は、第２側面１２５４に対して垂直に設けられる。第１側面１２５３は、ロードポート１２２０に対向し、第３側面１２５５は、処理モジュール１２６０に対向する。
【００１６】
ハウジング１２５０の第１側面１２５３には、容器３０内に基板が出入するための開口（図示せず）、及びこれを開閉するドア（図示せず）が設けられる。ハウジング１２５０の第３側面１２５５には、処理モジュール１２６０へ基板が出入するための開口（図示せず）及びこれを開閉するドア（図示せず）が設けられる。また、ハウジング１２５０の第２側面１２５４又は／及び第４側面１２５６には、各々バッファーステーション１４００へ基板が出入するための開口（図２の符号１２５７）が形成される。また、ハウジング１２５０内には、容器３０のドアを開放するためのドアオープナー（図示せず）が設けられる。ハウジング１２５０は、その内部が外部から隔離されるように設けられる。ハウジング１２５０の上面には、ファンフィルターユニット（図示せず）が設けられ、ハウジング１２５０内で整流された空気が上から下方向に流れるように案内することができる。これによって、ハウジング１２５０の内部は、外部よりさらに清浄に維持される。
【００１７】
搬送ロボット１２４２は、ロードポート１２２０に置かれた容器３０、処理モジュール１２６０、及びバッファーステーション１４００の間で基板を搬送する。搬送ロボット１２４２は、ハウジング１２５０内の中央に位置する。搬送ロボット１２４２は、上下移動できるように設けられる。搬送ロボット１２４２のハンド１２４４は、水平面上で前進、後進、及び回転等が可能となるように設けられる。ハンド１２４４は、１つ、又は複数個が設けられる。図１では、２つのハンド１２４４を有する搬送ロボット１２４２が図示されている。
【００１８】
処理モジュール１２６０は、ロードロックチャンバー（ｌｏａｄｌｏｃｋ  ｃｈａｍｂｅｒ）１２６２、トランスファーチャンバー（ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｃｈａｍｂｅｒ）１２６４、及び工程チャンバー（ｐｒｏｃｅｓｓ  ｃｈａｍｂｅｒ）１２６６を有する。
【００１９】
上から見ると、トランスファーチャンバー１２６４は、ほぼ多角形の形状を有する。図１では、トランスファーチャンバー１２６４を上から見ると、六角形の形状を有するように図示した。しかしトランスファーチャンバー１２６４の形状は、多様に変更できる。トランスファーチャンバー１２６４の内部には、搬送ロボット１２６８が設けられる。搬送ロボット１２６８は、上下移動できるように設けられる。搬送ロボット１２６８のハンド１２６９は、水平面上で前進、後進及び回転等が可能となるように設けられる。ハンド１２６９は、１つ又は複数個が設けられる。図１では、２つのハンド１２６９を有する搬送ロボット１２６８が図示されている。
【００２０】
トランスファーチャンバー１２６４の周辺には、ロードロックチャンバー１２６２と工程チャンバー１２６６とが設けられる。ロードロックチャンバー１２６２は、トランスファーチャンバー１２６４の側部のうち移送モジュール１２４０と隣接する側部に位置し、工程チャンバー１２６６は、トランスファーチャンバー１２６４の他の側部に位置する。ロードロックチャンバー１２６２は、１つ又は複数個が設けられる。一例によると、ロードロックチャンバー１２６２は、２個が設けられる。２つのロードロックチャンバー１２６２のうち、１つには工程を進行するために処理モジュール１２６０に搬入される基板が一時的に留まり、他の１つには工程が完了して処理モジュール１２６０から搬出される基板が一時的に留まる。これと異なり、ロードロックチャンバー１２６２は、１つ又は複数個が設けられ、各々のロードロックチャンバー１２６２には、工程処理前の基板及び工程が完了した基板が全て留まる。トランスファーチャンバー１２６４及び工程チャンバー１２６６の内部は、第１圧力で維持され、移送モジュール１２４０の内部は、第２圧力で維持され、ロードロックチャンバー１２６２の内部は、第１圧力及び第２圧力に切り換えできる。第１圧力は、第２圧力より低い圧力である。例えば、第１圧力は真空圧であり、第２圧力は大気圧である。
【００２１】
工程チャンバー１２６６は、基板に対して所定の工程を遂行する。例えば、工程チャンバー１２６６は、洗浄、アッシング、蒸着、エッチング、又は測定等のような工程を遂行できる。工程チャンバー１２６６は、トランスファーチャンバー１２６４の側部に１つ又は複数個が設けられる。工程チャンバー１２６６は、ロードロックチャンバー１２６２が設けられたトランスファーチャンバー１２６４の側部以外の他の側部各々に設けられる、或いはこれらのうち一部の側部のみに設けられる。工程チャンバー１２６６が複数個設けられる場合、工程チャンバー１２６６は、基板に対して互いに同一の工程を遂行できる。工程チャンバー１２６６は、任意に互いに異なる工程を遂行できる。工程チャンバー１２６６は、真空圧で基板に対して工程を遂行する構造を有することができる。工程チャンバー１２６６は、任意に大気圧で基板に対して工程を遂行する構造を有することができる。
【００２２】
バッファーステーション１４００は、隣接する移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂの間に各々設けられる。図２は、移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂの間に設けられたバッファーステーション１４００の一例を示す図面であり、図３は、図２のバッファー部材１４４０を示す斜視図である。図２と図３とを参照すると、バッファーステーション１４００は、ハウジング１４２０とバッファー部材１４４０とを有する。ハウジング１４２０は、内部に空間が設けられた直方体の筒状で設けられる。ハウジング１４２０の一端は、第１移送モジュール１２４０ａに結合され、ハウジング１４２０の他端は、第２移送モジュール１２４０ｂに結合される。ハウジング１４２０の一端及び他端は、第１方向１０に沿って離間し、互いに対向する面である。
【００２３】
バッファー部材１４４０は、ハウジング１４２０内に固定して設置できる。バッファー部材１４４０は、本体１４４２と複数個のバッファー１４４４とを有することができる。本体１４４２は、ほぼ直方体の筒状を有し、第１方向１０と垂直な面は、開口される。バッファー１４４４は、本体１４４２の内部に設けられる。バッファー１４４４は、上下方向に離間するように設けられる。各々のバッファー１４４４は、基板のエッジ部分を支持する２つのプレート１４４４ａ、１４４４ｂを有する。プレート１４４４ａ、１４４４ｂは、互いに第２方向２０に沿って離間するように設けられる。搬送ロボット１２４２のハンド１２４４は、プレート１４４４ａ、１４４４ｂの間の隔離された空間に沿って上下方向に移動する。バッファーステーション１４００の両側に位置する移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂの搬送ロボット１２４２は、全てのバッファー１４４４に基板をローディング及びアンローディングできるように設けられる。上述したことと異なり、バッファー部材１４４０は、図４のように１つのバッファー１４４５を有することができる。
【００２４】
再び、図２を参照すると、移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂのハウジング１２５０内には、バッファーステーション１４００に対向する面に形成された開口１２５７を開閉するドア１２５８が設けられる。工程設備１２００のうちいずれか１つにエラーが発生した場合、ドア１２５８で開口１２５７を閉鎖し、各々の工程設備１２００を他の工程設備１２００に対して分離させて独立して使用することができる。この場合、工程設備１２００の間における基板の移送は、基板を容器３０に収納した状態でオーバーヘッドトランスファー４０を通じて行われる。基板が収納された容器３０は、任意に工程設備１２００の間で自動案内車輌ＡＧＶ、レール案内車輌ＲＧＶ、又は作業者によって運送される。
【００２５】
図５は、バッファーステーション１４０１の他の例を示す図面である。図５のバッファーステーション１４０１では、その内部を示すためにハウジング１４２１を除去した。図５を参照すると、バッファーステーション１４０１は、ハウジング１４２１、バッファー部材１４４１、及びバッファー駆動部材１４６０を有する。図５のハウジング１４２１及びバッファー部材１４４１は、図２及び図３のハウジング１４２０及びバッファー部材１４４０とほぼ類似の構造を有する。但し、図５のハウジング１４２１は、図２のハウジング１４２０に比べて第１方向１０に沿ってより長い長さを有する。バッファー駆動部材１４６０は、バッファー部材１４４１をハウジング１４２１内で第１方向１０に沿って第１位置及び第２位置の間で移動させる。第１位置は、バッファーステーション１４０１の一側に位置した移送モジュール１２４０ａ（以下、第１移送モジュール）と隣接する位置であり、第２位置は、バッファーステーション１４０１の他側に位置した他の移送モジュール１２４０ｂ（以下、第２移送モジュール）と隣接する位置である。バッファー駆動部材１４６０は、案内レール１４６１及びベース１４６２を有する。案内レール１４６１は、ハウジング１４２１内においてその横方向が第１方向１０と平行に配置され、第１位置から第２位置まで延在するように設けられる。ベース１４６２は、駆動器（図示せず）によって案内レール１４６１に沿って移動できるように案内レール１４６１に結合される。バッファー部材１４４１は、ベース１４６２に固定して結合されて、ベース１４６２と共に移動する。図５のバッファーステーション１４０１は、隣接する移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂの間の距離が比較的長い場合に使用される。
【００２６】
図６は、バッファーステーション１４０２のその他の例を概略的に示す平面図である。図６を参照すると、バッファーステーション１４０２は、ハウジング１４２２、第１バッファー部材１４４２ａ、第２バッファー部材１４４２ｂ、及び搬送部材１４８０を有する。図６のハウジング１４２２は、図２のハウジング１４２０と類似の構造を有し、図６の第１バッファー部材１４４２ａと第２バッファー部材１４４２ｂとは、全て図３のバッファー部材１４４０とほぼ類似の構造を有することができる。但し、図６のハウジング１４２２は、図２のハウジング１４２０に比べ第１方向１０に沿ってより長い長さを有する。第１バッファー部材１４４２ａは、バッファーステーション１４０２の一側に位置した第１移送モジュール１２４０ａと隣接するように位置し、第２バッファー部材１４４２ｂは、バッファーステーション１４０２の他側に位置した第２移送モジュール１２４０ｂに隣接するように位置する。搬送部材１４８０は、第１バッファー部材１４４２ａと第２バッファー部材１４４２ｂとの間で基板を移動させる。搬送部材１４８０は、案内レール１４８１及び搬送ロボット１４８２を有する。案内レール１４８１は、ハウジング１４２２内にその横方向が第１方向１０と平行に配置され、第１バッファー部材１４４２ａと隣接する位置から第２バッファー部材１４４２ｂと隣接する位置まで延在するように設けられる。搬送ロボット１４８２は、駆動器（図示せず）によって案内レール１４８１に沿って移動できるように案内レール１４８１に結合される。搬送ロボット１４８２は、第１バッファー部材１４４２ａから第２バッファー部材１４４２ｂに基板を搬送する。搬送ロボット１４８２は、１つ又は複数のハンド１４８３を有する。例えば、搬送ロボット１４８２は、２つのハンドを有する、或いは第１バッファー部材１４４２ａに積載できる基板の数と同一の数のハンドを有することができる。図６のバッファーステーション１４０２は、隣接する移送モジュール１２４０ａ、１２４０ｂの間の距離が比較的長い場合に使用される。
【００２７】
再び、図１を参照すると、バッファーステーション１４００は、移送モジュール１２４０と一体に設けられる。バッファーステーション１４００は、移送モジュール１２４０に任意に脱着できるように設けられる。
【００２８】
基板処理システム１０００は、次のように設置できる。工程設備１２００とバッファーステーション１４００とを順次に交互して設置し、最後に工程設備１２００を設置できる。バッファーステーション１４００を設置するときには、前に設置した工程設備１２００の移送モジュール１２４０に直接密着するように設置し、工程設備１２００を設置するときには移送モジュール１２４０が前に設置したバッファーステーション１４００に直接密着するように設置する。以後、移送モジュール１２４０とバッファーステーション１４００とをスクリュー等のような締結部材（図示せず）を利用して固定する。
【００２９】
基板処理システム１０００は、任意に次のように設置できる。先ず、複数の移送モジュール１２４０が一定の間隔で離間するように位置するように工程設備１２００を設置する。以後、複数の移送モジュール１２４０の間の各々にバッファーステーション１４００を設置する。この場合、バッファーステーション１４００は、第１方向１０に沿う長さを変更できるように設けられる。バッファーステーション１４００を複数の移送モジュール１２４０の間に位置させた後、バッファーステーション１４００の長さを伸長させてバッファーステーション１４００と移送モジュール１２４０とを密着させる。以後バッファーステーション１４００と移送モジュール１２４０とをスクリュー等のような締結部材（図示せず）を利用して固定する。
【００３０】
図７は、長さの変更が可能なバッファーステーション１４０３の一例が図示された斜視図である。図７を参照すると、バッファーステーション１４０３のハウジング１４２３は、ボディー１４２３ａ、ベローズ１４２３ｂ、及び締結プレート１４２３ｃを有する。ボディー１４２３ａは、第１方向１０に沿う長さが変化しない構造又は材質で設けられる。ベローズ１４２３ｂは、ボディー１４２３ａから延在し、第１方向１０に沿って伸縮させて長さを変更できるように設けられる。締結プレート１４２３ｃは、ボディー１４２３ａの終端及びベローズ１４２３ｂの終端に各々設けられる。バッファーステーション１４０３と移送モジュール１２４０とを結合するために、最初に、ベローズ１４２３ｂを収縮した状態でバッファーステーション１４０３を複数の移送モジュール１２４０の間に位置させる。この時、ボディー１４２３ａに結合された締結プレート１４２３ｃが移送モジュール１２４０に密着するようにし、締結部材（図示せず）でこれらを結合させる。以後、ベローズ１４２３ｂに結合された締結プレート１４２３ｃが他の移送モジュール１２４０に密着するようにベローズ１４２３ｂの長さを伸長させ、この後、締結部材（図示せず）でこれらを結合させる。
【００３１】
図７と異なり、ハウジングは、任意にボディーの両側に各々ベローズを有することができる。また、ハウジングは、任意にその全体がベローズで設けられる。
【００３２】
図８は、長さが変更できるバッファーステーション１４０４の他の例が図示された斜視図である。図８を参照すると、ハウジング１４２４は、第１ボディー１４２４ａ、第２ボディー１４２４ｂ、及び締結プレート１４２４ｃを有する。第２ボディー１４２４ｂは、第１方向１０に沿って第１ボディー１４２４ａから突出且つ第１ボディー１４２４ａに挿入できるように第１ボディー１４２４ａに結合される。即ち、ハウジング１４２４は、テレスコープ（ｔｅｌｅｓｃｏｐｅ）方式によって第１方向１０に沿って長さを変更できる。第１ボディー１４２４ａの終端及び第２ボディー１４２４ｂの終端には、各々締結プレート１４２４ｃが設けられる。バッファーステーション１４０４と移送モジュール１２４０とを結合するために、最初に、第２ボディー１４２４ｂが第１ボディー１４２４ａに挿入された状態でバッファーステーション１４０４を複数の移送モジュール１２４０の間に位置させる。この時、第１ボディー１４２４ａに結合された締結プレート１４２４ｃが移送モジュール１２４０に密着するようにし、締結部材（図示せず）でこれらを結合させる。以後、第２ボディー１４２４ｂに結合された締結プレート１４２４ｃが他の移送モジュール１２４０に密着するように第２ボディー１４２４ｂを第１ボディー１４２４ａから突出させた後、締結部材（図示せず）でこれらを結合させる。
【００３３】
図７と図８との締結プレート１４２３ｃ又は１４２４ｃと移送モジュール１２４０との接触面には、移送モジュール１２４０の内部及びバッファーステーション１４０３又は１４０４のハウジング１４２３又は１４２４の内部が外部から隔離されるようにシーリング部材（図示せず）が設けられる。
【００３４】
再び、図１を参照すると、工程設備１２００は、全て同一の構造を有することができる。また、互いに連結された複数の移送モジュール１２４０と複数のバッファーステーション１４００とは、全て１つの仮想ラインに沿って配置される。以下、上述した仮想ラインを連結ライン５０と称する。連結ライン５０は、図１のように一直線に設けられる。連結ラインは、任意にアルファベット大文字‘Ｌ’やアルファベット大文字‘Ｔ’等のような多様な態様で設けられる。一例によると、工程設備１２００の処理モジュール１２６０は、順次に連結ライン５０の第１側及び第２側に交互に位置する。連結ライン５０の第１側及び第２側の各々には、ロードポート１２２０に上下に対向するようにガイドレール４２が設けられ、オーバーヘッドトランスファー４０のような搬送装置がガイドレール４２に沿って移動する。連結ライン５０の第１側に設けられたガイドレール４２と連結ライン５０の第２側に設けられたガイドレール４２とは、互いに独立して設けられる。連結ライン５０の第１側に設けられたガイドレール４２と連結ライン５０の第２側に設けられたガイドレール４２とは、任意に１つのレールとして設けられる。
【００３５】
図９は、図１において設けられた３つの工程設備１２００ａ、１２００ｂ及びこれらの間に配置されたバッファーステーション１４００を拡大して示す図面である。
【００３６】
図９の説明を容易にするために、図９における連結ライン５０を基準として処理モジュールが連結ライン５０の第１側に設けられた工程設備を第１設備１２００ａと称し、第１設備１２００ａに設けられたロードポート、移送モジュール、及び処理モジュールを各々第１ロードポート１２２０ａ、第１移送モジュール１２４０ａ、及び第１処理モジュール１２６０ａと称する。また、図９における連結ライン５０を基準として処理モジュールが連結ライン５０の第２側に設けられた工程設備を第２設備１２００ｂと称し、第２設備１２００ｂに設けられたロードポート、移送モジュール、及び処理モジュールを各々第２ロードポート１２２０ｂ、第２移送モジュール１２４０ｂ、及び第２処理モジュール１２６０ｂと称する。
【００３７】
上述したように、第１移送モジュール１２４０ａの第３側壁１２５５ａには、第１処理モジュール１２６０ａが結合され、第２移送モジュール１２４０ｂの第３側壁１２５５ｂには、第２処理モジュール１２６０ｂが結合される。第１移送モジュール１２４０ａの第３側壁１２５５ａは、第２移送モジュール１２４０ｂの第１側壁１２５３ｂに比べて、第１処理モジュール１２６０ａが結合される方向において連結ライン５０からさらに遠方に突出する。また、第２移送モジュール１２４０ｂの第３側壁１２５５ｂは、第１移送モジュール１２４０ａの第１側壁１２５３ａに比べて、第２処理モジュール１２６０ｂが結合される方向において連結ライン５０からさらに遠方に突出する。
【００３８】
また、第１移送モジュール１２４０ａと第２移送モジュール１２４０ｂとの間に位置したバッファーステーション１４００は、第１側壁１４５３、第２側壁１４５４、第３側壁１４５５、及び第４側壁１４５６を有する。第１側壁１４５３と第３側壁１４５５とは互いに対向し、第２側壁１４５４と第４側壁１４５６とは互いに対向する。第１側壁１４５３と第２側壁１４５４とは、ほぼ垂直に設けられる。第２側壁１４５４と第４側壁１４５６とは、第１移送モジュール１２４０ａ又は第２移送モジュール１２４０ｂに各々結合される。第１側壁１４５３は、ほぼ第１移送モジュール１２４０ａの第１側壁１２５３ａから延長された平面上に位置する。第３側壁１４５５は、ほぼ第２移送モジュール１２４０ｂの第１側壁１２５３ｂから延長された平面上に位置する。
【００３９】
このため、第１移送モジュール１２４０ａから突出した部分１７００ａ、第２ロードポート１２２０ｂ、及びこれらの間に位置したバッファーステーション１４００によって囲まれた第１サービス空間１８００ａが設けられる。第１サービス空間１８００ａは、第１移送モジュール１２４０ａ、第１処理モジュール１２６０ａのロードロックチャンバー１２６２ａ、バッファーステーション１４００、及び第２ロードポート１２２０ｂのメンテナンス（ｍａｉｎｔｅｎａｎｃｅ）を必要とする場合、作業者が位置する空間として設けられる。また、第２移送モジュール１２４０ｂから突出した部分１７００ｂ、第１ロードポート１２２０ａ、及びこれらの間に位置したバッファーステーション１４００によって囲まれた第２サービス空間１８００ｂが設けられる。第２サービス空間１８００ｂは、第２移送モジュール１２４０ｂ、第２処理モジュール１２６０ｂのロードロックチャンバー１２６２ｂ、バッファーステーション１４００、及び第１ロードポート１２２０ａのメンテナンスを必要とする場合、作業者が位置する空間として設けられる。
【００４０】
また、工程設備１２００ａ、１２００ｂは、ほぼ同一の大きさ及び形状を有することができる。第１処理モジュール１２６０ａの第１方向１０と平行な方向の幅のうち最大幅Ｌ１は、第１移送モジュール１２４０ａの第１方向１０と平行な幅Ｌ２より大きく設けられる。一例によると、第１処理モジュール１２６０ａの第１方向１０と平行な方向の幅のうち最大幅の長さＬ１は、第１方向１０と平行な方向の移送モジュール１２４０ａの幅とその両側に位置したバッファーステーション１４００との幅の長さの和Ｌ３より大きく設けられる。
【００４１】
図１０は、基板処理システム２０００の他の例を概略的に示す図面である。図１０を参照すると、基板処理システム２０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール２２４０を具備する工程設備２２００及び隣接する移送モジュール２２４０の間に設けられたバッファーステーション２４００を有する。図１０の基板処理システム２０００の移送モジュール２２４０のハウジング２２５０内には、第１方向１０と平行にガイドレール２２４６が設けられる。搬送ロボット２２４２は、ガイドレール２２４６に沿って直線移動するようにガイドレール２２４６に装着される。
【００４２】
図１１は、基板処理システム３０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１１を参照すると、基板処理システム３０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール３２４０を具備する工程設備３２００、３２０１及び隣接する移送モジュール３２４０の間に設けられたバッファーステーション３４００を有する。但し、一部の工程設備３２０１は、ロードポート３２２０がなく、２つの処理モジュール３２６２、３２６４を有する。以下、説明を容易にするために図１１の処理モジュールのうち１つを第１処理モジュール３２６２と称し、他の１つを第２処理モジュール３２６４と称する。第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、ほぼ図１の処理モジュール１２６０と類似の構造を有することができる。第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、１つの移送モジュール３２４０を共有する。第１処理モジュール３２６２、移送モジュール３２４０、及び第２処理モジュール３２６４は、順次に第２方向２０に沿って一列に設けられる。第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、移送モジュール３２４０を基準として対称になるように設けられる。図１１では、第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とが同一の構造を有するように図示している。しかし、第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、任意に互いに異なる構造で設けられる。第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、基板に対して同一の工程を遂行するように設けられる。第１処理モジュール３２６２と第２処理モジュール３２６４とは、任意に基板に対して異なる工程を遂行するように設けられる。
【００４３】
図１２は、基板処理システム４０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１２を参照すると、基板処理システム４０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール４２４０を具備する工程設備４２０１、４２０２、４２０３、及び４２０４、及び隣接する移送モジュール４２４０の間に設けられたバッファーステーション４４００を有する。但し、工程設備４２０１、４２０２、４２０３、及び４２０４の処理モジュール４２６１、４２６２、４２６３、及び４２６４は、互いに異なる構造を有する。工程設備のうち一部の工程設備４２０１の処理モジュール４２６１は、上述した図１の処理モジュール１２６０のようにロードロックチャンバー４２６１ａ、多角形のトランスファーチャンバー４２６１ｂ、及び複数の工程チャンバー４２６１ｃを有する。工程設備のうち他の一部の工程設備４２０２の処理モジュール４２６２は、１つのロードロックチャンバー４２６２ａと１つの工程チャンバー４２６２ｃとがトランスファーチャンバー４２６２ｂに結合された構造を有し、ロードロックチャンバー４２６２ａ、トランスファーチャンバー４２６２ｂ、及び工程チャンバー４２６２ｃが第２方向２０に沿って順次に一列に設けられる。また、工程設備のうち、その他の一部の工程設備４２０３の処理モジュール４２６３は、長方形の形状のトランスファーチャンバー４２６３ｂとその周囲にロードロックチャンバー４２６３ａ及び２つの工程チャンバー４２６３ｃが結合された構造を有する。また、工程設備の中で、その他の一部の工程設備４２０４の処理モジュール４２６４は、ロードロックチャンバーがなく、多角形のトランスファーチャンバー４２６４ｂ及びその周囲に配置された複数の工程チャンバー４２６４ｃを有し、トランスファーチャンバー４２６４ｂが移送モジュール４２４４に直接結合される。図１２に示した処理モジュール４２６１、４２６２、４２６３、及び４２６４の構造は、一例を示し、処理モジュールは、これと異なる多様な構造を有することができる。
【００４４】
図１２の場合、工程設備のうち一部の工程設備４２０１、４２０２、及び４２０３は、真空状態で基板に対して工程を遂行し、他の一部の工程設備４２０４は、常圧状態で基板に対して工程を遂行できる。
【００４５】
図１２では、処理モジュール４２６１、４２６２、４２６３、及び４２６４がバッファーステーション４４００及び移送モジュール４２４０、４２４４が配置された連結ライン５０を基準としてその両側に設けられるように図示したが、これと異なり、図１０のように処理モジュール４２６１、４２６２、４２６３、及び４２６４は、前記連結ライン５０を基準として同一側に設けられる。
【００４６】
図１３は、基板処理システム５０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１３を参照すると、基板処理システム５０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール５２４０を具備する工程設備５２００、５２０１及び隣接する移送モジュール５２４０の間に設けられたバッファーステーション５４００を有する。但し、工程設備のうち一部の工程設備５２０１は、ロードポート５２２０がなく、移送モジュール５２４０と処理モジュール５２６０とを有する。
【００４７】
図１４は、基板処理システム６０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１４を参照すると、基板処理システム６０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール６２４０を具備する工程設備６２０１、６２０２及び隣接する移送モジュール６２４０の間に設けられたバッファーステーション６４００を有する。但し、移送モジュール６２４０とバッファーステーション６４００とが配置された連結ライン５０を基準として第１側に処理モジュール６２６０が設けられた工程設備６２０１には、ロードポート６２２０が設けられるが、第２側に処理モジュール６２６０が設けられた工程設備６２０２には、ロードポートが設けられない。この場合、オーバーヘッドトランスファー４０及びこの移動を案内するガイドレール４２は、前記連結ライン５０の第２側のみに設けられる。
【００４８】
図１３と図１４とでは、処理モジュール５２００、５２０１、６２０１、及び６２０２が全て同一の構造を有するとして説明した。しかし、これと異なり、処理モジュール５２００、５２０１、６２０１、及び６２０２は、図１１のように異なる構造で設けられる。図１４の連結ライン５０を基準として同一側に位置した処理モジュールは、任意に全て同一の構造で設けられ、連結ライン５０を基準として第１側に設けられた処理モジュール６２０１と第２側に設けられた処理モジュール６２０２とは、互いに異なる構造で設けられる。
【００４９】
図１５は、基板処理システム７０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１５を参照すると、基板処理システム７０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール７２４０を具備する工程設備７２００、７２０１及び隣接する移送モジュール７２４０の間に設けられたバッファーステーション７４００を有する。基板処理システム７０００は、工程処理装置７８００をさらに具備する。工程処理装置７８００は、一部の工程設備７２０１のロードポート７２２０に結合されるように設けられる。連結ライン５０を基準として工程処理装置７８００が結合される工程設備７２０１の処理モジュール７２６０と工程処理装置７８００とは、互いに反対側に位置する。工程処理装置７８００は、２つの工程設備７２０１のロードポート７２２０に同時に結合される。この時、工程処理装置７８００が結合される２つの工程設備７２０１の移送モジュール７２４０の間には、バッファーステーション７４００が設けられないことがある。また、２つの工程設備７２０１は、互いに隣接する工程設備である。
【００５０】
工程処理装置７８００は、複数の基板に対して同時に工程を遂行するバッチ式工程装置である。例えば、工程処理装置７８００で遂行される工程は、洗浄（ｃｌｅａｎｉｎｇ）工程、又はストリップ（ｓｔｒｉｐ）工程である。一例によると、工程処理装置７８００は、図１６のように特許文献２の図１２に開示された装置と同一又は類似の構造の装置が設けられる。
【００５１】
工程処理装置７８００の内部構造にしたがって、工程処理装置７８００には、基板が収納された容器３０を回転させる回転部材７８２０が設けられる。オーバーヘッドトランスファー４０は、容器３０の開口が移送モジュール７２４０に向かうように容器３０をロードポート７２２０の上に載置させる。工程処理装置７８００は、容器３０をその内部に移送し、容器３０を１８０°回転させた後、容器３０から基板をアンローディングできる。容器３０を回転させる回転部材は、任意にロードポート７２２０、又はオーバーヘッドトランスファー４０に設けられる。容器３０は、工程設備７２０１のロードポート７２２０に置かれた状態で工程処理装置７８００へ移動し、以後に工程処理装置７８００で工程が完了すると、容器３０は、他の工程設備７２０１のロードポート７２００へ移動する。容器３０は、任意にロードポート７２２０に置かれた状態で基板が直接工程処理装置７８００内へ搬送される。
【００５２】
図１７は、基板処理システム８０００のその他の例を概略的に示す図面である。図１７の基板処理システム８０００は、図１５の基板処理システム７０００とほぼ類似の移送モジュール８２４０を具備する工程設備８２００、８２０１、及び隣接する移送モジュール８２４０の間に設けられたバッファーステーション８４００、８４０１、及び工程処理装置８８００を有する。基板処理システム８０００の工程処理装置８８００が結合された工程設備８２０１の移送モジュール８２４０の間には、バッファーステーション８４０１が設けられる。この時、バッファーステーション８４０１は、図５又は図６のバッファーステーション１４０１又は１４０２と類似の構造を有することができる。
【００５３】
図１８は、基板処理システム９０００のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム９０００は、図１５の基板処理システム７０００とほぼ類似の移送モジュール９２４０を具備する工程設備９２００、９２０１、及び隣接する移送モジュール９２４０の間に設けられたバッファーステーション９４００、及び工程処理装置９８００、９８０１を有する。但し、基板処理システム９０００の工程処理装置９８０１は、他の工程設備９２０１が間に位置している工程設備９２００のロードポート９２２０に結合される。
【００５４】
図１９は、基板処理システム１００００のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム１００００は、図１５の基板処理システム７０００とほぼ類似の移送モジュール１０２４０を具備する工程設備１０２００、及び隣接する移送モジュール１０２４０の間に設けられたバッファーステーション１０４００、及び工程処理装置１０８００を有する。基板処理システム１００００の工程処理装置１０８００は、１つの工程設備１０２００のロードポート１０２２０に結合される。工程処理装置１０８００は、拡散工程を遂行する装置である。例えば、工程処理装置１０８００は、図２０のように特許文献２の図４と同一又は類似の構造の装置である。
【００５５】
工程処理装置１０８００には、その内部構造にしたがって基板が収納される容器３０を回転させる回転部材１０８２０が設けられる。回転部材１０８２０は、容器３０の開口方向が１８０°変更されるように容器３０を回転させる。回転部材は、任意にロードポート１０２００、又はオーバーヘッドトランスファー４０に設けられる。
【００５６】
図２１は、基板処理システム１１０００のその他の例を概略的に示す図面である。基板処理システム１１０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール１１２４１、１１２４２を具備する工程設備１１２０１、１１２０２、及び隣接する移送モジュール１１２４１、１１２４２の間に設けられたバッファーステーション１１４００、１１４０１を有する。但し、基板処理システム１１０００の一部の移送モジュール１１２４１、１１２４２とバッファーステーション１１４０１とは、図１の移送モジュール１２４０及びバッファーステーション１４００と異なる結合構造を有する。工程設備１１２０１、１１２０２は、各々移送モジュール１１２４１、１１２４２と処理モジュール１１２６１、１１２６２とを有する。工程設備１１２０１の移送モジュール１０２４１と処理モジュール１０２６１とは、第２方向２０に沿って設けられる。他の工程設備１１２０２の移送モジュール１１２４２と処理モジュール１１２６２とは、第１方向１０に沿って設けられる。以下、説明を容易にするために、図２１の移送モジュール１０２４１を第１移送モジュールと称し、移送モジュール１０２４２を第２移送モジュールと称する。
【００５７】
バッファーステーション１１４０１は、ハウジング１１４２０及びバッファー部材１１４４０を有する。バッファー部材１１４４０は、図２のバッファー部材１４４０又は図３のバッファー部材１４４０と同一又は類似の構造を有することができる。ハウジング１１４２０は、上面（図示せず）、下面（図示せず）、第１側面１１４２３、第２側面１１４２４、第３側面１１４２５、及び第４側面１１４２６を具備し、ほぼ直方体又は立方体の形状を有する。第１側面１１４２３と第３側面１１４２５とは、互いに対向する面であり、第２側面１１４２４と第４側面１１４２６とは、互いに対向する面であり、第１側面１１４２３と第２側面１１４２４とは、ほぼ垂直に設けられる。第１側面１１４２３及び第２側面１１４２４には、基板が出入する開口（図示せず）及びこれを開閉するドア（図示せず）が設けられる。第１側面１１４２３には、第１移送モジュール１１２４１が結合され、第２側面１１４２４には、第２移送モジュール１１２４２が結合される。このような構造によって、ほぼ垂直に配置された第１移送モジュール１１２４１と第２移送モジュール１１２４２との間での基板の移送は、これらの間に配置されたバッファーステーション１１４０１を通じてなされる。
【００５８】
図２２は、基板処理システム１２０００のその他の例を概略的に示す図面である。図２２を参照すると、基板処理システム１２０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール１２２４１、１２２４２を具備する工程設備１２２００、及び隣接する移送モジュール１２２４１、１２２４２の間に設けられたバッファーステーション１２４００を有する。但し、ロードポート１２２６０は、上述した連結ラインに沿って設けられた移送モジュール１２２４１、１２２４２のうち両端に位置した移送モジュール１２２４１の第２側壁１２２５４又は第４側壁１２２５６に結合される。これによって、基板処理システム１２０００の両端には、各々ロードポート１２２６０が設けられ、ロードポート１２２６０の間に移送モジュール１２２４１、１２２４２とバッファーステーション１２４００とが順次に交互に設けられる。また、ロードポート１２２６０に対向するようにロードポート１２２６０の上部を通るガイドレール４２が設けられ、容器を搬送するオーバーヘッドトランスファー４０のような搬送装置がガイドレール４２に沿って移動する。図２２において、連結ラインは図示しないが、ガイドレール４２と重なっている。
【００５９】
図２３は、基板処理システム１３０００の他の例を概略的に示す図面である。図２３を参照すると、基板処理システム１３０００は、図１の基板処理システム１０００とほぼ類似の移送モジュール１３２４０を具備する工程設備１３２００、及び隣接する移送モジュール１３２４０の間に設けられたバッファーステーション１３４００を有する。また、処理モジュール１３２６０は、連結ライン５０の第１側及び第２側に交互に配置される。移送モジュール１３２４０は、連結ライン５０に沿って互いに整列するように設けられる。即ち、全ての移送モジュール１３２４０は、連結ライン５０の第１側及び第２側に向かって突出した長さが全て等しくなるように設けられる。また、第２方向２０と平行な方向の移送モジュール１３２４０の幅ＴＬは、バッファーステーション１３４００の幅ＢＬより長く設けられる。これによって、移送モジュール１３２４０は、バッファーステーション１３４００に比べ連結ライン５０の第１側及び第２側に各々さらに長く突出する。
【００６０】
上述した図１１乃至図１５、図１７乃至図１９、図２１乃至図２３に示した基板処理システムでの移送モジュールの各々に設けられた搬送ロボットは、ロードポートに置かれた容器及びバッファーステーションとの距離にしたがって、図１０の基板処理システムに記載された移送モジュールの搬送ロボットのように第１方向に沿って移動できるように設けられる。
【００６１】
上述した基板処理システムでは、全ての工程設備がバッファーステーション又は基板処理装置を通じて互いに連結されるとして説明した。しかし、これと異なり、工程設備は、複数個でグループになり、各グループに属する工程設備同士がバッファーステーションに連結される。
【００６２】
一例によると、図２４のように工程設備１２００は、第１グループ１０００ａと第２グループ１０００ｂとにグループ化されている。第１グループ１０００ａに属する工程設備１２００は、互いにバッファーステーション１４００を通じて連結され、第２グループ１０００ｂに属する工程設備１２００は、互いにバッファーステーション１４００を通じて連結される。また、基板が収納された容器は、第１グループ１０００ａに属する工程設備１２００の間、第２グループ１０００ｂに属する工程設備１２００の間、及び第１グループ１０００ａの工程設備１２００と第２グループ１０００ｂの工程設備１２００との間にオーバーヘッドトランスファーＯＨＴ、自動案内車輌ＡＧＶ、レール案内車輌ＲＧＶ等のような搬送装置や作業者によって搬送される。
【００６３】
また、図２５のように第１グループ１０００ａと第２グループ１０００ｂとの間には、バッファーステーションが連結されない１つ又は複数の工程設備１２０９が独立して設けられる。
【００６４】
また、図２６のように図１又は図２４のような基板処理システムは、複数個が設けられ、これらは、第２方向２０に沿って互いに離間し、平行に設けられる。
【００６５】
上述した図２４乃至図２６では、図１に示した実施形態のような構造の基板処理システムを図示したが、これと異なり、他の実施形態に示した基板処理システムが図２４乃至図２６のような配置で設けられる。
【００６６】
次に、図２７乃至図２９を参照して、バッファーステーションを具備する基板処理システムを利用して基板に対して工程を遂行する方法の一例を説明する。以下、説明を容易にするために、図２７乃至図２９に示した工程設備を各々左側から順次に第１工程設備１４２０１、１５２０１、１６２０１、第２工程設備１４２０２、１５２０２、１６２０２、及び第３工程設備１４２０３、１５２０３、１６２０３と称する。また、第１工程設備１４２０１、１５２０１、１６２０１の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第１工程設備１４２０１、１５２０１、１６２０１の処理モジュールを各々第１搬送ロボット１４２７１、１５２７１、１６２７１、及び第１処理モジュール１４２６１、１５２６１、１６２６１と称し、第２工程設備１４２０２、１５２０２、１６２０２の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第２工程設備１４２０２、１５２０２、１６２０２の処理モジュールを各々第２搬送ロボット１４２７２、１５２７２、１６２７２、及び第２処理モジュール１４２６２、１５２６２、１６２６２と称し、第３工程設備１４２０３、１５２０３、１６２０３の移送モジュールに設けられた搬送ロボット及び第３工程設備１４２０３、１５２０３、１６２０３の処理モジュールを各々第３搬送ロボット１４２７３、１５２７３、１６２７３、及び第３処理モジュール１４２６３、１５２６３、１６２６３と称する。また、図２８に示したバッファーステーションを左側から順次に第１バッファーステーション１４４０１、１５４０１、１６４０１と第２バッファーステーション１４４０２、１５４０２、１６４０２と称する。また、図２９における最も右に示した工程設備は、第４工程設備１６２０４と称し、第４工程設備１６２０４に設けられた搬送ロボット及び第４工程設備１６２０４の処理モジュールを各々第４搬送ロボット１６２７４及び第４処理モジュール１６２６４と称する。また、図２９における最も右側に示したバッファーステーションを第３バッファーステーション１６４０３と称する。
【００６７】
また、以下の例では、１つの容器３０に２５枚の基板が収納された場合を例として説明する。容器３０に収納された２５枚の基板を順次に第１基板、第２基板、・・・、第２５基板と称する。
【００６８】
図２７は、同一の工程を遂行する工程設備１４２０１、１４２０２、１４２０３がバッファーステーション１４４０１、１４４０２を通じて連結された基板処理システム１４０００において基板が移動する経路を示す。
【００６９】
第１工程設備１４２０１、第２工程設備１４２０２、及び第３工程設備１４２０３には、各々４つの工程チャンバー１４２６６が設けられ、これらの４つの工程チャンバー１４２６６は、全て同一の工程を遂行する。したがって、基板処理システム１４０００には、同一の工程を遂行する工程チャンバー１４２６６が１２個設けられる。２５枚の基板のうち、第１基板乃至第４基板、第１３基板乃至第１６基板、及び第２５基板は、第１処理モジュール１４２６１で工程が遂行され、第５基板乃至第８基板、第１７乃至第２０基板は、第２処理モジュール１４２６２で工程が遂行され、第９基板乃至第１２基板、及び第２１基板乃至第２４基板は、第３処理モジュール１４２６３で工程が遂行される。図２７のａ１、ａ２、ａ３、及びａ４は、第１処理モジュール１４２６１で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、ｂ１、ｂ２、ｂ３、及びｂ４は、第２処理モジュール１４２６２で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、ｃ１、ｃ２、ｃ３、及びｃ４は、第３処理モジュール１４２６３で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示す。
【００７０】
最初に、オーバーヘッドトランスファー４０によって基板が収納された容器３０が第１工程設備１４２０１のロードポート１４２２１に置かれる。
【００７１】
第１搬送ロボット１４２７１は、第１処理モジュール１４２６１で工程が遂行される基板を容器３０から第１処理モジュール１４２６１へ搬送し、第２処理モジュール１４２６２及び第３処理モジュール１４２６３で工程が遂行される基板を容器３０から第１バッファーステーション１４４０１へ搬送する。また、第１搬送ロボット１４２７１は、第１処理モジュール１４２６１で工程が完了した基板を第１バッファーステーション１４４０１へ搬送する。
【００７２】
容器３０から基板が全て取り出されると、容器３０は、第３工程設備１４２０３のロードポート１４２２３へ移送される。
【００７３】
第２搬送ロボット１４２７２は、第２処理モジュール１４２６２で工程が遂行される基板を第１バッファーステーション１４４０１から第２処理モジュール１４２６２へ搬送し、第３処理モジュール１４２６３で工程が遂行される基板を第１バッファーステーション１４４０１から第２バッファーステーション１４４０２へ搬送する。また、第２搬送ロボット１４２７２は、第１処理モジュール１４２６１で工程が完了した基板を第１バッファーステーション１４４０１から第２バッファーステーション１４４０２へ搬送し、第２処理モジュール１４２６２で工程が完了した基板を第２処理モジュール１４２６２から第２バッファーステーション１４４０２へ搬送する。
【００７４】
第３搬送ロボット１４２７３は、第３処理モジュール１４２６３で工程が遂行される基板を第２バッファーステーション１４４０２から第３処理モジュール１４２６３へ搬送する。また、第３搬送ロボット１４２７３は、第１処理モジュール１４２６１及び第２処理モジュール１４２６２で工程が完了した基板を第２バッファーステーション１４４０２から第３工程設備１４２０３のロードポート１４２２３に置かれた容器３０へ搬送する。また、第３搬送ロボット１４２７３は、第３処理モジュール１４２６３で工程が完了した基板を第３処理モジュール１４２６３から第３工程設備１４２０３のロードポート１４２２３に置かれた容器３０へ搬送する。
【００７５】
容器３０から第１バッファーステーション１４４０１への基板搬送の時と、第１バッファーステーション１４４０１から第２バッファーステーション１４４０２への基板搬送の時と、第２バッファーステーション１４４０２から容器３０への基板搬送の時と、において、第１搬送ロボット１４２７１、第２搬送ロボット１４２７２、及び第３搬送ロボット１４２７３の各々は、複数枚の基板を同時に搬送することができる。
【００７６】
図２７の基板処理方法によると、複数の工程設備１４２０１、１４２０２、１４２０３で１つの容器３０に収納された複数の基板を分けて同時に工程を遂行できるので、１つの容器３０に収納された複数の基板全体に対する工程所要時間を短縮できる。
【００７７】
図２８は、異なる工程を遂行する工程設備１５２０１、１５２０２、１５２０３がバッファーステーション１５４０１、１５４０２を通じて連結された基板処理システム１５０００において基板が移動する経路を示す。
【００７８】
第１工程設備１５２０１、第２工程設備１５２０２、及び第３工程設備１５２０３は、１つの基板に対して順次に工程を遂行するように設けられる。図２８のｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４、ｄ５、及びｄ６は順次に基板が移動する経路を示す。図２８の基板処理システム１５０００の容器３０に設けられた基板は、全て第１処理モジュール１５２６１、第２処理モジュール１５２６２、及び第３処理モジュール１５２６３で順次に工程が遂行される。
【００７９】
最初に、オーバーヘッドトランスファー４０によって基板が収納された容器３０が第１工程設備１５２０１のロードポート１５２２１に置かれる。
【００８０】
第１搬送ロボット１５２７１は、容器３０から基板を第１処理モジュール１５２６１へ搬送する。容器３０内の基板が全て第１処理モジュール１５２６１へ搬送されると、オーバーヘッドトランスファー４０によって容器３０は、第３工程設備１５２０３のロードポート１５２２３へ移送される。第１処理モジュール１５２６１で工程が完了した基板は、他の基板より先に、第１搬送ロボット１５２７１によって第１バッファーステーション１５４０１へ搬送される。第２搬送ロボット１５２７２は、第１バッファーステーション１５４０１から基板を第２処理モジュール１５２６２へ搬送する。第２処理モジュール１５２６２で工程が完了した基板は、他の基板より先に第２バッファーステーション１５４０２へ搬送される。第３搬送ロボット１５２７３は、第２バッファーステーション１５４０２から基板を第３処理モジュール１５２６３へ搬送する。第３処理モジュール１５２６３で工程が完了した基板は、他の基板より先に容器３０へ搬送される。
【００８１】
図２８の基板処理方法によると、バッファーステーション１５４０１、１５４０２を利用して基板が直接工程設備１５２０１、１５２０２、１５２０３の間で移動できるので、各基板が容器３０内の他の全ての基板に対して特定の工程が完了するまで待機する必要が無く、即座に他の工程を遂行できる。また、基板をバッファーステーション１５４０１、１５４０２を通じて工程設備１５２０１、１５２０２、１５２０３の間で直接搬送できるので、オーバーヘッドトランスファー４０を利用して工程設備１５２０１、１５２０２、１５２０３の間で基板を搬送するときに比べ搬送時間を短縮できる。
【００８２】
図２９は、同一の工程を遂行する工程設備と異なる工程を遂行する工程設備とがバッファーステーション１６４０１、１６４０２、１６４０３を通じて連結された基板処理システム１６０００において基板が移動する経路の一例を示す。第１工程設備１６２０１と第３工程設備１６２０３とは、基板に対して同一の工程を遂行し、第２工程設備１６２０２と第４工程設備１６２０４とは、基板に対して同一の工程を遂行する。また、第２工程設備１６２０２は、基板に対して第１工程設備１６２０１で行われた工程の後続の工程を遂行する。
【００８３】
第１工程設備１６２０１と第３工程設備１６２０３とには、各々４つの工程チャンバー１６２６６が設けられ、第２工程設備１６２０２と第４工程設備１６２０４とには、各々２つの工程チャンバー１６２６７が設けられる。この場合、第２工程設備１６２０２の工程チャンバー１６２６７で１つの基板に対して必要となる工程時間は、第１工程設備１６２０１の工程チャンバー１６２６６で１つの基板に対して必要となる工程時間より短くなる。
【００８４】
２５枚の基板のうち、第１基板乃至第４基板、第９基板乃至第１２基板、第１７基板乃至第２０基板、及び第２５基板は、第１処理モジュール１６２６１及び第２処理モジュール１６２６２で順次に工程が遂行され、第５基板乃至第８基板、第１３乃至第１６基板、第２１基板乃至第２４基板は、第３処理モジュール１６２６３及び第４処理モジュール１６２６４で順次に工程が遂行される。図２０のｅ１、ｅ２、ｅ３、ｅ４、ｅ５、及びｅ６は、第１処理モジュール１６２６１及び第２処理モジュール１６２６２で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示し、ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４、ｆ５、及びｆ６は、第３処理モジュール１６２６３及び第４処理モジュール１６２６４で工程が遂行される基板の移動経路を順次に示す。
【００８５】
最初に、オーバーヘッドトランスファー４０によって基板が収納された容器３０が第１工程設備１６２０１のロードポート１６２２１に置かれる。
【００８６】
第１搬送ロボット１６２７１は、第１処理モジュール１６２６１及び第２処理モジュール１６２６２で工程が遂行される基板を容器３０から第１処理モジュール１６２６１へ搬送し、第３処理モジュール１６２６３及び第４処理モジュール１６２６４で工程が遂行される基板を容器３０から第１バッファーステーション１６４０１へ搬送する。また、第１搬送ロボット１６２７１は、第１処理モジュール１６２６１で工程が完了した基板を第１バッファーステーション１６４０１へ搬送する。
【００８７】
容器３０から基板が全て取り出されると、容器３０は、第４工程設備１６２０４のロードポート１６２２４へ移送される。
【００８８】
第２搬送ロボット１６２７２は、第３処理モジュール１６２６３及び第４処理モジュール１６２６４で工程が遂行される基板を第１バッファーステーション１６４０１から第２バッファーステーション１６４０２へ搬送する。また、第２搬送ロボット１６２７２は、第１処理モジュール１６２６１で工程が遂行された基板を第１バッファーステーション１６４０１から第２処理モジュール１６２６２へ搬送する。また、第２搬送ロボット１６２７２は、第２処理モジュール１６２６２で工程が完了した基板を第２処理モジュール１６２６２から第３バッファーステーション１６４０３へ搬送する。
【００８９】
第３搬送ロボット１６２７３は、第３処理モジュール１６２６３及び第４処理モジュール１６２６４で工程が遂行される基板を第２バッファーステーション１６４０２から第３処理モジュール１６２６３へ搬送する。また、第３搬送ロボット１６２７３は、第２処理モジュール１６２６２で工程が遂行された基板を第２バッファーステーション１６４０２から第３バッファーステーション１６４０３へ搬送する。また、第３搬送ロボット１６２７３は、第３処理モジュール１６２６３で工程が遂行された基板を第３バッファーステーション１６４０３へ搬送する。
【００９０】
第４搬送ロボット１６２７４は、第３処理モジュール１６２６３で工程が遂行された基板を第３バッファーステーション１６４０３から第４処理モジュール１６２６４へ搬送する。また、第４搬送ロボット１６２７４は、第４処理モジュール１６２６４で工程が遂行された基板を第４処理モジュール１６２６４から第４工程設備１６２０４のロードポート１６２２４に置かれた容器３０へ搬送する。また、第４搬送ロボット１６２７４は、第２処理モジュール１６２６２で工程が遂行された基板を第３バッファーステーション１６４０３から第４工程設備１６２０４のロードポート１６２２４に置かれた容器３０へ搬送する。
【符号の説明】
【００９１】
１０００        基板処理システム
１２００        工程設備
１２２０        ロードポート
１２４０        移送モジュール
１２６０        処理モジュール
１４００        バッファーステーション
１４４０        バッファー部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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