(57)【要約】【課題】搬送システムにおいて、軌道間に設けられた一時保管棚に対して好適に被搬送物を移載する。【解決手段】搬送システムは、互いに並んで設けられた２本の軌道部分（１００ａ，１００ｂ）を有する軌道（１００）と、２本の軌道部分の間に設けられた一時保管棚（５２０）と、軌道を走行すると共に、一時保管棚に被搬送物（４００）を移載可能な搬送車（２００）とを備える。一時保管棚は、被搬送物を移載しようとする搬送車と鉛直方向で見て少なくとも部分的に重なる位置、且つ移載された被搬送物が搬送車と衝突しない高さに設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに並んで設けられた２本の軌道部分を有する軌道と、
前記２本の軌道部分の間に設けられた一時保管棚と、
前記軌道を走行すると共に、前記一時保管棚に被搬送物を移載可能な搬送車と
を備え、
前記一時保管棚は、前記被搬送物を移載しようとする前記搬送車と鉛直方向で見て少なくとも部分的に重なる位置、且つ移載された前記被搬送物が前記搬送車と衝突しない高さに設けられている
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記軌道は、前記２本の軌道部分における一方の軌道部分を走行する一の搬送車と、他方の軌道部分を走行する他の搬送車との間の、前記軌道の延在方向に直交する水平方向の距離が、前記被搬送物の幅より狭くなるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記一方の軌道部分及び前記他方の軌道部分間の距離Ａが、前記搬送車の幅をＢ、前記被搬送物の幅をＣ、前記一方の軌道部分を走行する前記搬送車の前記一時保管棚側の端部と前記搬送車に積載された前記被搬送物との間隔をＤ、前記他方の軌道部分を走行する前記搬送車の前記一時保管棚側の端部から前記一時保管棚に移載された前記被搬送物までの距離をＦ、前記搬送車に積載された前記被搬送物から前記一時保管棚に移載された前記被搬送物までの距離をＧとして、
Ａ＝Ｂ＋Ｃ−Ｄ＋Ｇ＋Ｆ
と表せる場合に、
前記一時保管棚は、
Ｇ＜Ｄ
の関係を満たすように設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記軌道と重なる位置に設けられた下側一時保管棚を更に備え、
前記一時保管棚は、前記下側一時保管棚と同じ高さに設けられている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板が収容された容器等の被搬送物を、軌道に沿って走行する搬送車によって搬送する搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送システムとして、例えば天井に敷設された軌道上を複数の搬送車が走行することによって、被搬送物を搬送するものがある。搬送車は、軌道に沿うように設けられた一時保管棚（例えば、バッファ等）との間で、被搬送物の受け渡し（即ち、移載）が可能とされている。
【０００３】
被搬送物の移載は、軌道の真下に位置するバッファに対してのみならず、軌道から見て横方向に位置するバッファに対しても行うことが可能である。例えば特許文献１では、平行に設けられた２本の軌道の間にサイドバッファを設けるという技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１２０２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したような搬送システムでは、半導体ウェハの大径化等に伴い被搬送物が大型化している。このため、被搬送物を搬送する搬送車の大型化も求められている。
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に係る技術のような構成では、単に搬送車を大型化すると、搬送車とサイドバッファとが衝突してしまうおそれがある。これに対し、軌道の間隔を広げることで衝突を防止しようとすると、膨大なコストがかかってしまう。即ち、特許文献１に係る技術には、搬送車の大型化に柔軟に対応することができないという技術的問題点がある。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、軌道間に設けられたサイドバッファに対して好適に被搬送物を移載することが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、互いに並んで設けられた２本の軌道部分を有する軌道と、前記２本の軌道部分の間に設けられた一時保管棚と、前記軌道を走行すると共に、前記一時保管棚に被搬送物を移載可能な搬送車とを備え、前記一時保管棚は、前記被搬送物を移載しようとする前記搬送車と鉛直方向で見て少なくとも部分的に重なる位置、且つ移載された前記被搬送物が前記搬送車と衝突しない高さに設けられている。
【０００９】
本発明の搬送システムによれば、その動作時には、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）等の搬送車によって、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の被搬送物が搬送される。軌道上には、複数の搬送車が備えられており、各搬送車は各々に与えられた搬送命令に基づいて被搬送物を搬送する。
【００１０】
本発明の軌道は、互いに並ぶように設けられる２本の軌道部分を有している。例えば２本の軌道部分は、互いに平行に並ぶと共に比較的狭い間隔で設けられる。この２本の軌道部分の間には、被搬送物を移載することが可能な一時保管棚が設けられている。一時保管棚は、軌道の側方に位置するように設けられており、搬送車は、例えば側方に伸長可能な移載機構を用いて、一時保管棚に被搬送物を移載する。
【００１１】
本発明では特に、上述した一時保管棚は、被搬送物を移載しようとする搬送車と鉛直方向で見て少なくとも部分的に重なる位置、且つ移載された被搬送物が、搬送車と衝突しない高さに設けられている。即ち、一時保管棚は、搬送車の側方側に被搬送物の幅より小さい幅だけずれた位置に設けられており、更には２本の軌道部分を走行する搬送車が一時保管棚に移載された被搬送物と衝突しないように、一時保管棚側の高さが調整されている。
【００１２】
ここで仮に、一時保管棚が搬送車の走行する高さと同じような高さに設けられているとすると、搬送車と一時保管棚に移載された被搬送物とが衝突しないためには、２本の軌道部分が、少なくとも被搬送物の幅より離れて設けられることが求められる。より正確に言えば、２本の軌道部分間は、軌道から搬送車の端部までの距離、被搬送物の幅及び移載時のマージン等を合計した距離だけ離れていることが求められる。
【００１３】
このような軌道部分間の距離は、敷設した当初では十分な距離（即ち、搬送車と一時保管棚に積載された被搬送物とが衝突しないような距離）とされていたとしても、例えば搬送車を大型化しようとすると十分な距離とは言えなくなってしまう。即ち、搬送車が大型化した分だけ一時保管棚側に近づくため、搬送車と一時保管棚に移載された被搬送物とが衝突するおそれが出てくる。
【００１４】
本発明に係る一時保管棚は、上述したように、被搬送物を移載しようとする搬送車と鉛直方向で見て少なくとも部分的に重なる位置に設けられている。従って、仮に搬送車と、一時保管棚に移載された被搬送物の高さが同じ高さであるとすると、確実に搬送車と被搬送物が衝突してしまう。
【００１５】
しかるに本発明では、上述したように、一時保管棚は、移載された被搬送物が搬送車と衝突しない高さに設けられている。例えば、本発明の一時保管棚は、側方から見て、搬送車と一時保管棚に移載された被搬送物とが互いに重ならないまでに下方側に設けられている。このため、搬送車と一時保管棚とが互いに重なるような位置に設けられていたとしても、搬送車と一時保管棚の被搬送物との衝突を確実に防止することができる。
【００１６】
尚、２本の軌道部分の間隔を広げることによっても、搬送車と一時保管棚の被搬送物との衝突を防止することができると考えられるが、軌道の敷設位置の変更には極めて大きなコストがかかってしまう。本発明は、このようなコストの増大を防止するという効果も有している。
【００１７】
以上説明したように、本発明の搬送システムによれば、走行する搬送車と被搬送物との衝突を防止しつつ、軌道間に設けられた一時保管棚に対して好適に被搬送物を移載することが可能である。
【００１８】
本発明の搬送システムの一態様では、前記軌道は、前記２本の軌道部分における一方の軌道部分を走行する一の搬送車と、他方の軌道部分を走行する他の搬送車との間の、前記軌道の延在方向に直交する水平方向の距離が、前記被搬送物の幅より狭くなるように設けられている。
【００１９】
この態様によれば、一方の軌道部分を走行する一の搬送車の一時保管棚側の端部と、他方の軌道部分を走行する他の搬送車の一時保管棚側の端部との、軌道の延在方向に直交する水平方向の距離が、被搬送物の幅より狭くされる。尚、ここでの「軌道の延在方向に直交する水平方向の距離」とは、異なる軌道部分を走行する搬送車が、互いに最も近づく際の距離を意味している。
【００２０】
このような場合であっても、一時保管棚は、搬送車と移載された被搬送物とが互いに衝突しないような高さに設けられているため、何ら問題は生じない。即ち、軌道部分間の距離が狭く設定されている場合であっても、一時保管棚の高さが調整されているため、衝突を防止することができる。従って、搬送車の大型化等に柔軟に対応することが可能である。
【００２１】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記一方の軌道部分及び前記他方の軌道部分間の距離Ａが、前記搬送車の幅をＢ、前記被搬送物の幅をＣ、前記一方の軌道部分を走行する前記搬送車の前記一時保管棚側の端部と前記搬送車に積載された前記被搬送物との間隔をＤ、前記他方の軌道部分を走行する前記搬送車の前記一時保管棚側の端部から前記一時保管棚に移載された前記被搬送物までの距離をＦ、前記搬送車に積載された前記被搬送物から前記一時保管棚に移載された前記被搬送物までの距離をＧとして、Ａ＝Ｂ＋Ｃ−Ｄ＋Ｇ＋Ｆと表せる場合に、前記一時保管棚は、Ｇ＜Ｄの関係を満たすように設けられている。
【００２２】
この態様によれば、搬送車に積載された被搬送物から見て、搬送車の一時保管棚側の端部までの距離（即ち、距離Ｄ）が、一時保管棚に移載された被搬送物までの距離（即ち、距離Ｇ）より大きくなるように、一時保管棚の位置が設定されている。即ち、一時保管棚に移載された被搬送物が、搬送車の端部よりも内側に位置するような位置とされている。よって、２本の軌道部分間の距離は比較的狭いものとなる。
【００２３】
このような場合であっても、一時保管棚は、搬送車と移載された被搬送物とが互いに衝突しないような高さに設けられているため、何ら問題は生じない。即ち、軌道部分間の距離が狭く設定されている場合であっても、一時保管棚の高さが調整されているため、衝突を防止することができる。従って、搬送車の大型化等に柔軟に対応することが可能である。
【００２４】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記軌道と重なる位置に設けられた下側一時保管棚を更に備え、前記一時保管棚は、前記下側一時保管棚と同じ高さに設けられている。
【００２５】
この態様によれば、搬送車の真下に位置する下側一時保管棚が設けられており、搬送車は、一時保管棚と同様に、下側一時保管棚に対しても被搬送物の移載を行う。
【００２６】
そして特に、本態様の一時保管棚は、上述した下側一時保管棚と同じ高さに設けられている。従って、一時保管棚及び下側一時保管棚を互いに異なる高さに設ける場合と比べて、各バッファの構成を簡単にすることができる。
【００２７】
尚、本態様の「同じ高さ」とは、一時保管棚の高さと下側一時保管棚の高さとが完全に同一になる場合のみを指すものではなく、上述した本態様の効果が発揮できるまでに、互いの高さが近いことを意味している。
【００２８】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【図２】搬送車の構成を示す側面図である。
【図３】ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図（その１）である。
【図４】ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図（その２）である。
【図５】実施形態に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す上面図である。
【図６】実施形態に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す側面図である。
【図７】比較例に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３１】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【００３２】
図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道１００と、搬送車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００３３】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
【００３４】
搬送車２００は、軌道１００上に複数配置されており、軌道１００上を走行することによって被搬送物であるＦＯＵＰを搬送することが可能である。尚、ここでは搬送車２００の進行方向を明確にするため、搬送車２００の前方部分を鋭角なものとして概念的に図示している。
【００３５】
搬送車２００は更に、車上コントローラ２０５を夫々有している。車上コントローラ２０５は、コントローラ３００から搬送指令を受け取り、搬送車２００の走行を制御する。尚、車上コントローラ２０５は、搬送車２００の走行を制御するだけでなく、搬送車２００に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
【００３６】
コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ２０５を介して、搬送車２００に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
【００３７】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管するバッファが複数設けられている。このバッファの構成については、後に詳述する。
【００３８】
次に、搬送車のより具体的な構成について、図２を参照して説明する。ここに図２は、搬送車の構成を示す側面図である
【００３９】
図２において、搬送車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降制御部２３５、昇降ベルト２４０及び把持部２５０を備えて構成されている。
【００４０】
搬送車２００は、走行部２１０が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。走行部２１０の下面には、本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００４１】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。移動部２３０の下面には、昇降制御部２３５が取り付けられている。
【００４２】
昇降制御部２３５の下面には、ＦＯＵＰを把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。
【００４３】
次に、搬送車によるＦＯＵＰの移載方法について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３及び図４は夫々、ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図である。
【００４４】
図３において、搬送車２００が軌道１００の真下に位置するポート５１０上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず搬送車２００が軌道１００上を走行して、ポート５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。
【００４５】
続いて、図に示すように、昇降制御部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出されることで把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。そして、把持部２５０とＦＯＵＰ４００との位置の微調整が行われ、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００４６】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び搬送車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００４７】
図４において、ＦＯＵＰ４００が軌道１００の側方にそれた位置にあるサイドバッファ５２０に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降制御部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００４８】
次に、本実施形態に係る搬送システムのバッファの構成について、図５から図７を参照して詳細に説明する。ここに図５は、本実施形態に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す上面図であり、図６は、本実施形態に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す側面図である。また図７は、比較例に係る搬送システムの軌道、搬送車及びサイドバッファの位置関係を示す側面図である。
【００４９】
図５において、本実施形態に係るサイドバッファ５２０は、本発明の「一時保管棚」の一例であり、互いに並んで設けられた第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間に設けられている。サイドバッファ５２０には、第１軌道部分１００ａを走行する搬送車２００ａによって、ＦＯＵＰ４００が移載可能とされている。尚、サイドバッファ５２０は、図を見ても分かるように、ＦＯＵＰ４００を移載可能である搬送車２００ａに対して、鉛直方向で見て、少なくとも部分的に重なるように設けられている。一方で、搬送車２００ａとは反対側の軌道部分１００ｂを走行する搬送車２００ｂに対しては、重ならないように（即ち、離間するように）設けられている。
【００５０】
図６において、本実施形態に係るサイドバッファ５２０は、本発明の「下側一時保管棚」の一例であるアンダーバッファ５３０と同じ高さに設けられている。このため、サイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰ４００は、搬送車２００とは衝突しない高さとなる。
【００５１】
図７において、仮にサイドバッファ５２０が、より高い位置に設けられていたとすると、サイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰ４００及び搬送車２００は、水平方向で見て、互いに重なる位置に存在することになる。よって、ＦＯＵＰ４００と搬送車２００とが衝突しないようにするためには、第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離が比較的大きいことが求められる。
【００５２】
具体的には、比較例に係る第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離Ａ１は、搬送車２００の幅をＢ、ＦＯＵＰ４００の幅をＣ、搬送車２００の端部と搬送車２００に積載されたＦＯＵＰ４００との間隔をＤ、搬送車２００ａの端部からサイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰまでの距離をＥ、搬送車２００ｂの端部からサイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰまでの距離をＦとすると、以下の数式（１）で表すことができる。
【００５３】
Ａ１＝Ｂ＋Ｃ＋Ｅ＋Ｆ  ・・・（１）
【００５４】
尚、距離Ｄ、Ｅ及びＦは、夫々搬送車２００の構成等によって決定される。
【００５５】
図６に戻り、上述した比較例に対して、本実施形態に係る第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離Ａ２は、搬送車２００ａに積載されたＦＯＵＰ４００からサイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰまでの距離をＧとすると、以下の数式（２）で表される。
【００５６】
Ａ２＝Ｂ＋Ｃ−Ｄ＋Ｇ＋Ｆ  ・・・（２）
【００５７】
数式（２）に、数式（１）を代入すると、以下の数式（３）が成り立つ。
【００５８】
Ａ２＝Ａ１−Ｅ−Ｄ＋Ｇ  ・・・（３）
【００５９】
ここで、図からも分かるように、Ｇ＜Ｄなので、Ａ２＜Ａ１の関係が成り立つ。即ち、本実施形態に係る搬送システムによれば、サイドバッファ５２０の位置を下側にずらすことによって、第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離を小さくすることができる。
【００６０】
このような軌道部分間の距離は、敷設した当初では十分な距離とされていたとしても、例えば搬送車２００を大型化しようとすると十分な距離とは言えなくなってしまう。即ち、搬送車２００が大型化した分だけサイドバッファ５２０側に近づくため、搬送車２００とサイドバッファ５２０に移載されたＦＯＵＰ４００とが衝突するおそれが出てくる。
【００６１】
これに対し本実施形態では、上述したように、サイドバッファ５２０は、移載されたＦＯＵＰ４００が搬送車２００と衝突しないような高さに設けられている。このため、第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離が比較的狭い場合であっても、搬送車２００とサイドバッファ５２０のＦＯＵＰ４００との衝突を確実に防止することができる。
【００６２】
尚、第１軌道部分１００ａ及び第２軌道部分１００ｂ間の距離を広げることによっても、搬送車２００とサイドバッファ５２０のＦＯＵＰ４００との衝突を防止することができると考えられるが、軌道１００の敷設位置の変更には極めて大きなコストがかかってしまう。本実施形態に係る搬送システムは、このようなコストの増大を防止するという効果も有している。
【００６３】
本実施形態では更に、サイドバッファ５２０は、アンダーバッファ５３０と同じ高さに設けられている。このため、サイドバッファ５２０及びアンダーバッファ５３０を互いに異なる高さに設ける場合（図７参照）と比べて、各バッファの構成を簡単にすることができる。
【００６４】
以上説明したように、本発明の搬送システムによれば、走行する搬送車２００とＦＯＵＰ４００との衝突を防止しつつ、軌道１００間に設けられたサイドバッファ５２０に対して好適にＦＯＵＰ４００を移載することが可能である。
【００６５】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６６】
１００…軌道、１００ａ…第１軌道部分、１００ｂ…第２軌道部分、２００…搬送車、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２４０…昇降ベルト、２５０…把持部、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０…ポート、５２０…サイドバッファ、５３０…アンダーバッファ
【図１】
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【図２】
2012025573.tif 000004
【図３】
2012025573.tif 000005
【図４】
2012025573.tif 000006
【図５】
2012025573.tif 000007
【図６】
2012025573.tif 000008
【図７】
2012025573.tif 000009