(57)【要約】【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の振動片は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８、２９とを有している。各振動腕２８、２９は、Ｚ軸方向に対向する上面２８１、２９１および下面２８２、２９２を有している。第１の面２８１、２９１に第１の質量部５１、５２が設けられると共に、第２の面２８２、２９２に第２の質量部５４、５５が設けられている。第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５の少なくとも一方は、Ｚ軸方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕とを有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に対向する第１の面および第２の面を有し、前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設けられ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕は、前記平面内で屈曲振動する請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向からの平面視で前記第２の方向に互いに隣り合って形成された部分を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項４】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、帯状に形成されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項５】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、間隔を隔てて設けられた複数のブロック部を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項６】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、且つ、前記法線方向からの平面視で互いに交差する部分を有することを特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
【請求項７】
前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の小さい材料で構成されたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項８】
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、金属材料およびセラミックス材料のいずれかを用いて構成されている請求項１ないし７のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項９】
前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１０】
前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端付近に設けられたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１１】
前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う２つの前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動する請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする周波数調整方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする振動デバイス。
【請求項１５】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイス、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように延出する２つの振動腕と、各振動腕上に形成された一対の励振電極とを有する。このような振動片では、一対の励振電極に電圧を印加することにより、各振動腕が基部の平面方向に屈曲振動（いわゆる面内振動）する。
【０００３】
さらに、特許文献１に記載の振動片においては、振動腕の先端部上に金属膜を設け、この金属膜の一部をレーザー光の照射により除去して、振動腕の屈曲振動の周波数（共振周波数）の調整が行われる。具体的には、板状をなす振動腕の両板面上にそれぞれ同じパターンで周波数調整用の金属膜が成膜されている。そして、レーザー光の照射により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面上の金属膜の一部とを同時に除去して粗調整を行い、その後、アルゴンイオンビームの照射により、金属腕の一方の板面上の金属膜の一部をさらに除去して微調整を行う。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の周波数調整方法では、振動腕の一方の板面上の金属膜と他方の板面上の金属膜とが互いに同じパターンであり、さらに、振動腕の厚さが薄いため、レーザー光の照射により、振動腕の一方の板面上の金属膜と他方の板面上の金属膜とが同時に除去されてしまう。そのため、レーザー光の照射により、振動腕の一方の板面上の金属膜の一部と他方の板面上の金属膜の一部とを別々に除去することが難しく、周波数の微調整が難しいという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１６０８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、第１の方向と該第１の方向に直交する第２の方向とを含む平面上に形成される基部と、
前記基部から前記第１の方向に延出する振動腕とを有し、
前記振動腕は、前記平面の法線方向に対向する第１の面および第２の面を有し、前記第１の面に第１の質量部が設けられると共に、前記第２の面に第２の質量部が設けられ、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、前記法線方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部の少なくとも一方を（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射による第１の質量部および第２の質量部の除去量を高精度に調整することができる。このようなことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【０００８】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記振動腕は、前記平面内で屈曲振動することが好ましい。
これにより振動特性の優れる振動片となる。
［適用例３］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記法線方向からの平面視で前記第２の方向に互いに隣り合って形成された部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の第１の方向（振動腕の長手方向）における範囲を一致または重複させることができる。そのため、第１の質量部および第２の質量部が振動腕の長手方向（第１の方向）に占める長さを抑えることができる。
【０００９】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、帯状に形成されたことが好ましい。
これにより、例えば、エネルギー線を第１の質量部または第２の質量部に対し一列に連続的に照射することが可能になり、第１の質量部または第２の質量部を一括して除去することができる。そのため、第１の質量部または第２の質量部を所望量だけ迅速に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１０】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、間隔を隔てて設けられた複数のブロック部を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部または第２の質量部に形成されたブロック部の除去量に対する振動腕の周波数の変化量を予測するのが容易となる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１１】
［適用例６］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、帯状に形成され、且つ、前記法線方向からの平面視で互いに交差する部分を有することが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部を振動腕に形成する際に、第１の方向および第２の方向での位置決めに高精度を要することなく、第１の方向および第２の方向を含む平面の法線方向から見たときに、第１の質量部および第２の質量部が互いに重ならない部分を有するものとなる。
【００１２】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記第２の質量部は、前記第１の質量部の構成材料よりも比重の小さい材料で構成されたことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１３】
［適用例８］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方は、金属材料およびセラミックス材料のいずれかを用いて構成されていることが好ましい。
金属もしくは絶縁材料（例えばセラミックス）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に成膜することができる。また、金属もしくは絶縁材料で構成された膜（錘膜）は、エネルギー線（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このようなことから、第１の質量部および第２の質量部をそれぞれ金属もしくは絶縁材料を成膜することにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１４】
［適用例９］
本発明の振動片では、前記第１の質量部の厚さは、前記第２の質量部の厚さよりも厚いことが好ましい。
これにより、第１の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を、第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部を粗調整用、第２の質量部を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００１５】
［適用例１０］
本発明の振動片では、前記第１の質量部および前記第２の質量部は、前記振動腕の先端付近に設けられたことが好ましい。
これにより、第１の質量部および第２の質量部の除去量に対する振動腕の周波数（共振周波数）の変化量を大きくすることができる。そのため、周波数調整を効率的に行うことができる。また、励振電極や圧電体素子は振動腕の基端部から中央付近まで形成し、振動腕の先端付近の空いたスペースを使って、第１の質量部および第２の質量部の設置に有効利用することができる。そのため、振動腕の短尺化、ひいては、振動片の小型化を図ることができる。
【００１６】
［適用例１１］
本発明の振動片では、前記振動腕は、前記第２の方向に複数並んで設けられ、隣り合う２つの前記振動腕が互いに反対方向に屈曲振動することが好ましい。
これにより、互いに隣り合う２つの振動腕の漏れ振動を互いに相殺させることができる。その結果、振動漏れの少ない振動片を実現することができる。
【００１７】
［適用例１２］
本発明の周波数調整方法は、本発明の振動片を用意する工程と、
前記第１の質量部および前記第２の質量部の少なくとも一方の質量を増減させて、前記振動腕の共振周波数を調整する工程と、を有することを特徴とする。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部と第２の質量部とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００１８】
［適用例１３］
本発明の振動子は、本発明の振動片と、
前記振動片を収納したパッケージと、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた振動子を提供することができる。
［適用例１４］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片に接続された発振回路と、を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた発振器等の振動デバイスを提供することができる。
［適用例１５］
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えたことを特徴とする。
これにより、信頼性に優れた携帯電話、パーソナルコンピュータ、デジタルカメラ等の電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図である。
【図２】図１に示す振動子を示す上面図である。
【図３】（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図３（ｂ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）である。
【図５】図２に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
【図１０】本発明の振動片を備える電子機器（ノート型パーソナルコンピュータ）である。
【図１１】本発明の振動片を備える電子機器（携帯電話機）である。
【図１２】本発明の振動片を備える電子機器（ディジタルスチルカメラ）である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動子を示す断面図、図２は、図１に示す振動子を示す上面図、図３は、（ａ）は、図２中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図２中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図３（ｂ）に示す第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＣ−Ｃ線断面図）、図５は、図２に示す振動片の周波数の調整方法を説明するための図である。
【００２１】
なお、各図では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、Ｘ軸に平行な方向（第２の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向（第１の方向と第２の方向とを含む平面の法線方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
図１に示す振動子１は、振動片２と、この振動片２を収納するパッケージ３とを有する。
【００２２】
以下、振動子１を構成する各部を順次詳細に説明する。
（振動片）
まず、振動片２について説明する。
振動片２は、図２に示すような２脚音叉型の振動片である。この振動片２は、振動基板２１と、この振動基板２１上に設けられた励振電極２２、２３と、第１の質量部５１、５２と、第２の質量部５４、５５とを有している。
【００２３】
振動基板２１は、基部２７と、２つの振動腕２８、２９とを有している。
振動基板２１は、圧電体材料で構成されている。かかる圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。これらの中でも、特に、振動基板２１を構成する圧電体材料としては、水晶（Ｘカット板、ＡＴカット板、Ｚカット板等）が好ましい。水晶で振動基板２１を構成すると振動基板２１の振動特性（特に周波数温度特性）が優れたものとなる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
【００２４】
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする略板状をなしている。
振動腕２８、２９は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出して設けられている。より具体的には、振動腕２８、２９は、基部２７からそれぞれＹ軸方向（Ｙ軸の矢印方向）に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。この振動腕２８、２９は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２５】
また、各振動腕２８、２９は、長手方向での全域に亘って幅が一定となっている。なお、各振動腕２８、２９、３０は、幅の異なる部分を有していてもよい。また、振動腕２８、２９は、互いに同じ長さとなるように形成されている。なお、振動腕２８、２９の長さは、各振動腕２８、２９の幅、厚さ等に応じて設定されるものであり、互いに異なっていてもよい。
【００２６】
なお、振動腕２８、２９の各先端部には、必要に応じて、基端部よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）を設けてもよい。この場合、振動片２をより小型なものとしたり、振動腕２８、２９の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができる。
また、図３（ａ）に示すように、振動腕２８の上面２８１には、溝２８１ａが形成され、下面２８２には、溝２８２ａが形成されている。同様に、振動腕２９の上面２９１には溝２９１ａが形成され、下面２９２には溝２９２ａが形成されている。
【００２７】
これら溝２８１ａ、２８２ａ、２９１ａ、２９２ａは、Ｙ軸方向に延在して設けられており、互いに同じ形状をなしている。また、溝２８１ａ、２８２ａは、振動腕２８の先端部を除くようにして形成され、溝２９１ａ、２９２ａも、振動腕２９の先端部を除くようにして形成されている。すなわち、振動腕２８、２９の基端側（先端部を除く部分）の横断面形状は、略「Ｈ」状となっている。このような溝２８１ａ、２８２ａ、２９１ａ、２９２ａを形成することによって、屈曲振動によって発生する熱が拡散（熱伝導）し難くなり、熱弾性損失を抑制することができる。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、振動腕２８、２９上には、それぞれ、励振電極２２、２３が形成されている。
励振電極２２は、振動腕２８の各溝２８１ａ、２８２ａと、振動腕２９の両側面２９３、２９４とに形成されている。これら４つの電極部からなる励振電極２２は、配線を介して基部２７に設けられた接続電極４１に電気的に接続されている。一方、励振電極２３は、振動腕２８の両側面２８３、２８４と、振動腕２９の各溝２９１ａ、２９２ａに形成されている。これら４つの電極部からなる励振電極２３は、配線を介して基部２７の上面に設けられた接続電極４２に電気的に接続されている。
【００２９】
このような励振電極２２、２３（以下、接続電極４１、４２、前記配線についても同様である。）は、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属材料により形成することができる。
【００３０】
中でも、励振電極２２、２３の構成材料としては、金を主材料とする金属（金、金合金）、白金を用いるのが好ましく、金を主材料とする金属（特に金）を用いるのがより好ましい。Ａｕは、導電性に優れ（電気抵抗が小さく）、酸化に対する耐性に優れているため、電極材料として好適である。また、ＡｕはＰｔに比しエッチングにより容易にパターニングすることができる。
【００３１】
また、励振電極２２、２３の平均厚さは、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎｍ程度であるのが好ましく、１０〜２００ｎｍであるのがより好ましい。これにより、励振電極２２、２３が振動腕２８、２９の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、励振電極２２、２３の導電性を優れたものとすることができる。
なお、例えば、励振電極２２、２３を金で構成し、振動基板２１を水晶で構成した場合、これらの密着性が低い。そのため、このような場合、励振電極２２、２３と振動基板２１との間には、Ｔｉ、Ｃｒ等で構成された下地層を設けるのが好ましい。これにより、下地層と振動腕２８、２９との密着性、および、下地層と励振電極２２、２３との密着性が高くなり、励振電極２２、２３が振動腕２８、２９から剥離するのを防止し、振動片２の信頼性を優れたものとすることができる。
【００３２】
この下地層の平均厚さは、下地層が振動腕２８、２９の振動特性に悪影響を与えるのを防止しつつ、前述したような密着性を高める効果を発揮することができれば、特に限定されないが、例えば、１〜３００ｎｍ程度であるのが好ましい。
振動片２は、接続電極４１、４２を介して励振電極２２、２３間に駆動信号（電圧）が印加されることにより、振動腕２８、２９が所定の周波数で矢印Ｃ方向（振動腕２８、２９が互いに離れる方向）および矢印Ｄ方向（振動腕２８、２９が互いに近づく方向）に交互に屈曲振動（共振）する。このように、振動腕２８、２９を互いに反対方向に屈曲振動させることにより、振動腕２８、２９により生じる漏れ振動を互いに相殺することができる。その結果、振動漏れを防止することができる。また、振動腕２８、２９を振動片２の面内（ＸＹ平面内）で屈曲振動させることにより、優れた発振特性を発揮することができる。
【００３３】
（第１の質量部および第２の質量部）
図３（ｂ）に示すように、振動腕２８の上面（第１の面）２８１上には、第１の質量部５１が設けられ、また、振動腕２８の下面（第２の面）２８２上には、第２の質量部５４が設けられている。この第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、例えば、エネルギー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波数を調整するためのものである。同様に、振動腕２９の上面（第１の面）２９１上には、第１の質量部５２が設けられ、また、振動腕２９の下面（第２の面）２９２上には、第２の質量部５５が設けられている。
【００３４】
以下、振動腕２８上に設けられた第１の質量部５１および第２の質量部５４について詳細に説明する。なお、振動腕２９上に設けられた第１の質量部５２および第２の質量部５５は、第１の質量部５１および第２の質量部５４と同様であるため、その説明を省略する。
前述したように、第１の質量部５１は、振動腕２８の上面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８の下面２８２上に設けられている。ここで、振動腕２８の上面２８１および下面２８２は、Ｚ軸方向を法線とする面であって互いに対向している。本実施形態では、振動腕２８は、板状をなしており、その１対の板面が上面２８１（第１の面）および下面２８２（第２の面）を構成している。
【００３５】
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有する。すなわち、上面２８１に第１の質量部５１が設けられると共に、下面２８２に第２の質量部５４が設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、上面２８１または下面２８２の法線方向（すなわちＺ軸方向）から平面視で見たときに、互いに非対向な部分を有するとも言える。
これにより、例えば、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、第１の質量部５１および第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このようなことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００３６】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１は、質量部５１１と、質量部５１１よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５１２とで構成されている。
この質量部５１１および質量部５１２は、それぞれ、振動腕２８の上面２８１上において、Ｘ軸方向での中央部に設けられている。
本実施形態では、質量部５１１、５１２は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長方形）をなしている。また、質量部５１１、５１２は、互いに幅が同じになっている。また、質量部５１１のＹ軸方向での長さは、質量部５１２のＹ軸方向での長さよりも長くなっている。
【００３７】
質量部５１１、５１２を帯状とすることにより、例えば、エネルギー線を第１の質量部５１（質量部５１１、５１２）に対し一列に連続的に照射することが可能になり、第１の質量部５１を一括して除去することができる。そのため、第１の質量部５１を所望量だけ迅速に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
また、質量部５１１と質量部５１２とはＹ軸方向に互いに離間している。この離間距離は、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００３８】
一方、第２の質量部５４は、質量部５４１、５４２と、質量部５４１、５４２よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた質量部５４３、５４４とで構成されている。
この質量部５４１および質量部５４３は、それぞれ、振動腕２８の下面２８２上において、Ｘ軸方向での一端部（図４中左側の端部）に設けられ、一方、質量部５４２および質量部５４４は、それぞれ、振動腕２８の下面２８２上において、Ｘ軸方向での他端部（図４中右側の端部）に設けられている。
【００３９】
本実施形態では、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長方形）をなしている。また、質量部５４１、５４２、５４３、５４４は、互いに幅が同じになっている。また、質量部５４１、５４２のＹ軸方向での長さは、前述した第１の質量部５１の質量部５１１のＹ軸方向での長さと等しくなっている。また、質量部５４３、５４４のＹ軸方向での長さは、前述した第１の質量部５１の質量部５１２のＹ軸方向での長さと等しくなっている。
【００４０】
また、質量部５４１と質量部５４３とはＹ軸方向に互いに離間している。また、質量部５４２と質量部５４４とはＹ軸方向に互いに離間している。これらの離間距離は、それぞれ、特に限定されないが、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
また、質量部５４１と質量部５４２は、Ｘ軸方向に離間している。また、質量部５４３と質量部５４４は、Ｘ軸方向に離間している。これらの離間距離は、それぞれ、前述した第１の質量部５１の質量部５１１、５１２のＸ軸方向での長さよりも長くなっている。
【００４１】
このような第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに、Ｘ軸方向に重ならないように設けられている。すなわち、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から平面視で見たときに、Ｘ軸方向（第２の方向）に互いに隣り合って形成された部分を有するとも言える。これにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４のＹ軸方向における範囲を一致または重複させることができる。そのため、第１の質量部５１および第２の質量部５４が振動腕２８の長手方向（Ｙ軸方向）に占める長さを抑えることができる。なお、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに第１の質量部５１および第２の質量部５４の境界付近において、質量部の一部（例えば質量部の縁部同士）が重なっても良い。
【００４２】
また、Ｚ軸方向から見たときに、第１の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質量部５４の質量部５４１、５４３とは、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられ、同様に、第１の質量部５１の質量部５１１、５１２と第２の質量部５４の質量部５４２、５４４とは、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられている。これにより、後述するようにエネルギー線を照射したときに、各質量部毎に除去することができる。ここで、これらの間隔は、それぞれ、後述する周波数調整に用いるエネルギー線の照射領域（特にレーザー光のスポット径）の１／２以上（特に１以上）であるのが好ましい。
【００４３】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、振動腕２８の先端部側（先端付近）に設けられている。これにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量を大きくすることができる。そのため、周波数調整を効率的に行うことができる。また、振動腕２８の先端部は、前述したような励振電極２２、２３が設けられていないため、第１の質量部５１および第２の質量部５４の設置に有効利用することができる。そのため、振動腕２８の短尺化、ひいては、振動片２の小型化を図ることができる。
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、互いにＹ軸方向における範囲が一致している。これにより、振動腕２８の短尺化、ひいては、振動片２の小型化を図ることができる。
【００４４】
第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、振動腕２８上に成膜可能なものであれば、特に限定されず、例えば、樹脂材料、金属材料、セラミックス材料等を用いることができる。
特に、このような第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料としては、金属材料またはセラミックス材料が好ましい。すなわち、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、それぞれ、金属またはセラミックスを成膜することにより形成されているのが好ましい。
【００４５】
金属またはセラミックス（絶縁材料）は、気相成膜法により簡単かつ高精度に成膜することができる。また、金属またはセラミックスで構成された膜（錘膜）は、エネルギー線（特にレーザー）の照射により簡単かつ高精度に除去することができる。このようなことから、第１の質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属またはセラミックスを成膜することにより形成することで、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００４６】
かかる金属材料としては、前述した励振電極２２、２３の構成材料と同様、金（Ａｕ）、金合金、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム合金、銀（Ａｇ）、銀合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、銅（Ｃｕ）、モリブデンン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、かかる金属材料としては、Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔまたはこれらのうちの少なくとも１種を含む合金を用いるのが好ましい。
【００４７】
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の構成材料に用いるセラミックスとしては、各種ガラス、アルミナ（酸化アルミニウム）、シリカ（酸化シリコン）、チタニア（酸化チタン）、ジルコニア、イットリア、リン酸カルシウム等の酸化物セラミックス、窒化珪素、窒化アルミ、窒化チタン、窒化ボロン等の窒化物セラミックス、グラファイト、タングステンカーバイト等の炭化物系セラミックス、その他、例えばチタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、ＰＬＬＺＴ等の強誘電体材料などが挙げられる。中でも、かかるセラミックスとしては、酸化シリコン（ＳｉＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）等の絶縁材料を用いるのが好ましい。
【００４８】
また、第１の質量部５１の構成材料と第２の質量部５４の構成材料は、互いに異なるものを用いるのが好ましい。これにより、第１の質量部５１の構成材料の比重と第２の質量部５４の構成材料の比重とを異ならせることができる。その結果、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量と、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量とを異ならせることができる。そのため、第１の質量部５１および第２の質量部５４の一方の質量部を粗調整用、他方の質量部を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００４９】
また、第１の質量部５１は、第２の質量部５４の構成材料よりも比重の大きい材料で構成されているのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４は、第１の質量部５１の構成材料よりも比重の小さい材料で構成されているのが好ましい。より具体的には、第１の質量部５１および第２の質量部５４をそれぞれ金属材料で構成する場合、第１の質量部５１をＡｕ、Ｐｔ、Ａｇまたはこれらの合金等で構成し、第２の質量部５４をＡｌ、Ａｌ合金等で構成するのが好ましい。
【００５０】
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
【００５１】
また、上述した比重と同様の観点から、第１の質量部５１の密度は、第２の質量部５４の密度よりも大きいのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の密度は、第１の質量部５１の密度よりも小さいのが好ましい。例えば、第２の質量部５４を多孔質体で構成することにより、第１の質量部５１および第２の質量部５４が互いに同じ構成材料を用いていても、第２の質量部５４の密度を第１の質量部５１の密度よりも小さくすることができる。
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）よりも厚いのが好ましい。言い換えると、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）よりも薄いのが好ましい。
【００５２】
これにより、第１の質量部５１の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量（上昇量）を、第２の質量部５４の除去量に対する振動腕２８の周波数（共振周波数）の変化量（上昇量）よりも大きくすることができる。そのため、第１の質量部５１を粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００５３】
また、本実施形態では、第２の質量部５４は、振動腕２８のＸ軸方向での両端部に位置しているので、第２の質量部５４を微調整用として用いることにより、振動腕２８の振動特性がＸ軸方向の両端部でアンバランスになるのを防止することができる。
また、第１の質量部５１の厚さ（平均厚さ）は、第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）の１倍以上１０倍以下であるのが好ましく、１倍以上８倍以下であるのがより好ましい。
また、第１の質量部５１および第２の質量部５４の厚さ（平均厚さ）は、それぞれ、特に限定されないが、１〜１０００ｎｍ程度であるのが好ましい。これにより、高精度に厚さを規定した第１の質量部５１および第２の質量部５４を容易に得ることができる。
【００５４】
（周波数の調整方法）
次に、図５に基づいて、前述したように構成された振動片２の周波数調整方法について説明する。なお、以下では、第１の質量部５１を粗調整用、第２の質量部５４を微調整用として用いる場合を例に説明する。また、以下では、振動腕２８の周波数調整を代表的に説明するが、振動腕２９、３０の周波数調整も振動腕２８の周波数調整と同様である。
振動片２の周波数調整方法は、［１］振動片２（周波数調整前）を用意する工程と、［２］第１の質量部５１および第２の質量部５４のうちの少なくとも一方の質量部の一部または全部をエネルギー線の照射により除去することにより、当該質量部の質量を減少させて、振動腕２８の共振周波数を調整する工程とを有する。
【００５５】
以下、各工程［１］、［２］を順次説明する。
［１］
まず、周波数調整前（未調整）の振動片２を用意する。
このとき、図５（ａ）に示すように、振動腕２８上には、前述したような質量部５１１、５１２で構成された第１の質量部５１と、質量部５４１、５４２、５４３、５４４で構成された第２の質量部５４とが設けられている。
また、このとき、振動腕２８の周波数（共振周波数）は、目標とする周波数（共振周波数）に対して低くなるように設定されている。
【００５６】
［２］
（粗調整）
そして、まず、周波数の粗調整を行う。
具体的には、図５（ｂ）に示すように、エネルギー線の照射により、第１の質量部５１の一部または全部を必要に応じて除去する。
【００５７】
図５（ｂ）では、第１の質量部５１の質量部５１１の全部を除去した場合を一例として図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上には、質量部５１２で構成された粗調整後の第１の質量部１５１が設けられている。なお、この粗調整において除去される第１の質量部５１の形状、部位およびその除去量は、必要に応じて適宜設定されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量部５１１の一部をレーザー光の照射により除去した場合、第１の質量部５１の除去された部分は、ライン状、ドット状等の形状をなす。
【００５８】
このような粗調整により、第１の質量部５１は、その質量が減少して第１の質量部１５１となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この粗調整後は、振動腕２８の周波数（共振周波数）が後述する微調整で調整可能な範囲内となるように目標とする周波数（共振周波数）に対して若干低くなるように行われる。すなわち、振動腕２８の周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に対して若干低い状態となるまで、エネルギー線の照射により第１の質量部５１を除去していく。
【００５９】
また、このような粗調整に用いるエネルギー線は、振動腕２８の悪影響を与えずに、第１の質量部５１の必要部位を除去することができるものであれば、特に限定されず、放射線、電子線、レーザー、イオンビーム等が挙げられるが、炭酸ガスレーザー、エキシマーレーザー、ＹＡＧレーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確実に、第１の質量部５１の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
【００６０】
（微調整）
その後、周波数の微調整を行う。
具体的には、図５（ｃ）に示すように、エネルギー線の照射により、第２の質量部５４の一部または全部を必要に応じて除去する。
図５（ｃ）では、第２の質量部５４の質量部５４１、５４２の全部をそれぞれ除去した場合を一例として図示している。そのため、上記エネルギー線の照射後の振動腕２８上には、質量部５４３、５４４で構成された微調整後の第２の質量部１５４が設けられている。なお、この微調整において除去される第２の質量部５４の形状、部位およびその除去量は、必要に応じて適宜設定されるものであり、図示のものに限定されない。例えば、質量部５４１の一部をレーザー光の照射により除去した場合、第２の質量部５４の除去された部分は、ライン状、ドット状等の形状をなす。
【００６１】
このような微調整により、第２の質量部５４は、その質量が減少して第２の質量部１５４となるので、振動腕２８の周波数が高められる。また、この微調整後は、振動腕２８の周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致するように行われる。すなわち、振動腕２８の周波数（共振周波数）が目標とする周波数（共振周波数）に一致するまで、エネルギー線の照射により第２の質量部５４を除去していく。
【００６２】
また、このような微調整に用いるエネルギー線は、前述した粗調整に用いるエネルギー線と同様のものを用いることができ、炭酸ガスレーザー、エキシマーレーザー、ＹＡＧレーザー等のレーザーを用いるのが好ましい。これにより、簡単かつ確実に、第２の質量部５４の一部または全部を所望量だけ除去することができる。
以上のようにして振動腕２８の周波数を目標周波数に一致するように調整することができる。特に、上述した周波数調整方法では、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
【００６３】
（振動片の製造方法）
ここで、前述した振動片２の製造方法の一例について簡単に説明する。
まず、振動基板２１を形成するための基板を用意する。
そして、この基板をエッチングすることにより、振動基板２１を形成する。その後、振動腕２８、２９上に励振電極２２、２３、第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５を形成する。その際、必要に応じて配線等も同時に形成する。
【００６４】
この励振電極２２、２３、第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等の化学蒸着法等の気相成膜法、また、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられるが、気相成膜法（特にスパッタリング法もしくは真空蒸着法）を用いるのが好ましい。また、励振電極２２、２３の形成に際しては、フォトリソグラフィ法を用いるのが好ましい。なお、励振電極２２、２３は、同一の成膜工程で一括形成することができる。
その後、必要に応じて、前述したような周波数調整を行う。
【００６５】
なお、この周波数調整は、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行ってもよいし、振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。また、第１の質量部５１、５２による周波数調整と第２の質量部５４、５５による周波数調整とのうち、一方の周波数調整を、振動片２をパッケージ３内に収納する前に行い、他方の周波数調整を、振動片２をパッケージ３内に収納した後に行ってもよい。
以上説明したようにして振動片２を製造することができる。なお、上述した製造方法の例では、第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５を励振電極２２、２３と一括して形成したが、これに限定されず、例えば、励振電極２２、２３の形成とは別に形成してもよい。
【００６６】
（パッケージ）
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下側から上側へこの順で積層されている。ベース基板３１と枠部材３２とは、後述のセラミック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。そして、枠部材３２と蓋部材３３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間Ｓに、振動片２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動片２の他、振動片２を駆動する電子部品（発振回路）等を収納することもできる。
【００６７】
ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた場合、振動片２をパッケージ３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前述した質量部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して振動片２の質量を減少させることにより（質量削減方式により）、振動片２の周波数調整を行うことができる。
【００６８】
このベース基板３１の上面には、固定材３６を介して、前述した振動片２が固定されている。この固定材３６は、例えば、エポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の接着剤で構成されている。このような固定材３６は、未硬化（未固化）の接着剤をベース基板３１上に塗布し、さらに、この接着剤上に振動片２を載置した後、その接着剤を硬化または固化させることにより形成される。これにより、振動片２（基部２７）がベース基板３１に確実に固定される。
なお、この固定は、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系、シリコーン系等の導電性接着剤を用いて行ってもよい。
【００６９】
また、ベース基板３１の上面には、一対の電極３５ａ、３５ｂが内部空間Ｓに露出するように形成されている。
この電極３５ａは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）３８を介して、前述した接続電極４２に電気的に接続されている。また、電極３５ｂは、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）３７を介して、前述した接続電極４１に電気的に接続されている。
【００７０】
なお、一対の電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２との接続方法は、これに限定されず、例えば、導電性接着剤により行ってもよい。この場合、例えば、振動片２の図示とは表裏反転するか、振動片２の下面に接続電極４１、４２を形成すればよい。
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが設けられている。これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介して電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子３４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合強度を高めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化したりするためのダミー端子である。
【００７１】
このような電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することができる。
なお、パッケージ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要に応じて、電子部品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動子の温度補償情報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。
【００７２】
以上説明したような第１実施形態によれば、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向から見たときに（すなわち平面視したときに）、互いに重ならない部分を有するので、エネルギー線の照射位置に応じて、第１の質量部５１と第２の質量部５４とを別々に（選択的に）除去することができる。そのため、エネルギー線の照射による第１の質量部５１および第２の質量部５４の除去量を高精度に調整することができる。このようなことから、周波数（共振周波数）調整を簡単かつ高精度に行うことができる。
また、このような振動片２を備える振動子１は、信頼性に優れたものとなる。
【００７３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明の第２実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＤ−Ｄ線断面図）である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７４】
第２実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図６では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９上に設けられた第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【００７５】
図６に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ａが設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ａが設けられている。
この第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａは、それぞれ、例えば、エネルギー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波数を調整するためのものである。
【００７６】
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ａは、複数の質量部５１３と、この複数の質量部５１３よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５１４とで構成されている。
ここで、複数の質量部５１３は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数のブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５１４は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数のブロック部を構成する。
本実施形態では、各質量部５１３、５１４は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長方形）をなしている。また、各質量部５１３、５１４は、互いに同じ形状および大きさとなっている。
【００７７】
一方、第２の質量部５４Ａは、複数の質量部５４５と、複数の質量部５４５よりも振動腕２８の基端側に並んで設けられた複数の質量部５４６とで構成されている。
ここで、複数の質量部５４５は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数のブロック部を構成する。同様に、複数の質量部５４６は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に行列状に配列された複数のブロック部を構成する。
【００７８】
本実施形態では、各質量部５４５、５４６は、それぞれ、Ｙ軸方向を長手とする帯状（長方形）をなしている。また、各質量部５４５、５４６は、互いに同じ形状および大きさとなっている。
このような第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａにおいては、Ｚ軸方向から見たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１３の列と、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５４５の列とがＸ軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
【００７９】
同様に、Ｚ軸方向から見たときに、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５１４の列と、Ｙ軸方向に並ぶ質量部５４６の列とがＸ軸方向に交互に重ならないように並んでいる。
このように第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａがそれぞれ行列状に配列された複数のブロック部を有するので、エネルギー線の照射により、各ブロック部毎（すなわち各質量部５１３、５１４、５４５、５４６毎）に、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａを除去することができる。そのため、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａを所望量だけ迅速（簡単）に除去することができる。また、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａの除去量に対する振動腕２８の周波数の変化量を予測するのが容易となる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。
【００８０】
また、例えば、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａを共に上面２８１に形成する場合と比較して、ブロック間距離が広くなるため、第１の質量部５１Ａおよび第２の質量部５４Ａの形成が容易となると共に、周波数調整をより簡単に行うことができる。
また、以上説明したような第２実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８１】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図７は、本発明の第３実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＥ−Ｅ線断面図）である。
以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８２】
第３実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図７では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９上に設けられた第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【００８３】
図７に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｂが設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
この第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂは、それぞれ、エネルギー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｂは、複数の質量部（線状部）５１５で構成されている。
各質量部５１５は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の質量部５１５は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【００８４】
一方、第２の質量部５４Ｂは、複数の質量部５４７で構成されている。
各質量部５４７は、Ｘ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の質量部５４７は、Ｙ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂにおいては、Ｚ軸方向から見たときに、各質量部５１５と各質量部５４７とが重ならないようにＹ軸方向に交互に並んでいる。
【００８５】
このように第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂがそれぞれ互いに間隔を隔てて設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すなわち各質量部５１５、５４７毎）に、エネルギー線照射部を掃射させることにより第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを一括して除去することができる。そのため、第１の質量部５１Ｂおよび第２の質量部５４Ｂを所望量だけ簡単に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。また、間隔を隔てて質量部（線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削った際に発生する削り屑が他の金属膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれを抑制することができる。
また、以上説明したような第３実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８６】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図８は、本発明の第４実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＦ−Ｆ線断面図）である。
以下、第４実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８７】
第４実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９上に設けられた第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【００８８】
図８に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｃが設けられている。
この第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃは、それぞれ、エネルギー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８の共振周波数を調整するためのものである。
より具体的に説明すると、第１の質量部５１Ｃは、複数の質量部（線状部）５１６で構成されている。
各質量部５１６は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の質量部５１６は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
【００８９】
一方、第２の質量部５４Ｃは、複数の質量部５４８で構成されている。
各質量部５４８は、Ｙ軸方向を長手とする線状（帯状）をなしている。ここで、複数の質量部５４８は、Ｘ軸方向に間隔を隔てて設けられた複数の線状部を構成する。
このような第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃにおいては、Ｚ軸方向から見たときに、各質量部５１６と各質量部５４８とが重ならないようにＸ軸方向に交互に並んでいる。
【００９０】
このように第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃがそれぞれ互いに間隔を隔てて設けられた複数の線状部を有するので、エネルギー線の照射により、各線状部毎（すなわち各質量部５１６、５４８毎）に、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを除去することができる。そのため、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｃを所望量だけ簡単に除去することができる。その結果、周波数調整がより簡単かつ高精度なものとなる。また、間隔を隔てて質量部（線状部）が形成されているのでレーザーで金属膜を削った際に発生する削り屑が他の金属膜に付着するのを防止でき、削り屑による周波数ずれを抑制することができる。
【００９１】
また、ライン状にレーザー光を照射することにより、振動腕２８状の質量部と振動腕２９上の質量部を連続して加工（除去）することができるため、周波数調整をより短時間で行うことができる。
また、以上説明したような第４実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００９２】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図９は、本発明の第５実施形態に係る第１の質量部および第２の質量部を説明するための部分拡大図（（ａ）は、上面図、（ｂ）は、（ａ）中のＧ−Ｇ線断面図、（ｃ）は、（ａ）中のＨ−Ｈ線断面図）である。
【００９３】
以下、第５実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第５実施形態は、第１の質量部および第２の質量部の構成が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第１の質量部の構成が異なる以外は、第３実施形態とほぼ同様である。また、第５実施形態は、第２の質量部の構成が異なる以外は、第４実施形態とほぼ同様である。なお、図９では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、本実施形態では、振動腕２８上に設けられた第１の質量部および第２の質量部について代表的に説明するが、振動腕２９上に設けられた第１の質量部および第２の質量部についても同様である。
【００９４】
図９に示すように、振動腕２８の上面２８１上には、第１の質量部５１Ｃが設けられ、また、振動腕２８の下面２８２上には、第２の質量部５４Ｂが設けられている。
本実施形態では、第１の質量部５１Ｃの複数の質量部５１６（線状部）および第２の質量部５４Ｂの複数の質量部５４７（線状部）は、互いに直交するように設けられている。
これにより、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂを振動腕２８上に形成する際に、Ｙ軸方向およびＸ軸方向での位置決めに高精度を要することなく、Ｚ軸方向から見たときに、第１の質量部５１Ｃおよび第２の質量部５４Ｂが互いに重ならない部分を有するものとなる。
また、以上説明したような第５実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
以上説明したような各実施形態の振動片は、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
【００９５】
ここで、本発明の振動片を備える電子機器について、図１０〜図１２に基づき、詳細に説明する。
図１０は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、フィルタ、共振器、基準クロック等として機能する振動子１が内蔵されている。
【００９６】
図１１は、本発明の振動片を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、フィルタ、共振器等として機能する振動子１が内蔵されている。
【００９７】
図１２は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００９８】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００９９】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、フィルタ、共振器等として機能する振動子１が内蔵されている。
【０１００】
なお、本発明の振動片を備える電子機器は、図１０のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図１１の携帯電話機、図１２のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。
【０１０１】
以上、本発明の振動片、周波数調整方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、上記実施例においては、第１の質量部または第２の質量部にエネルギー線を照射させて周波数調整を行う例について説明したが、これに限らず、イオンエッチング、サンドブラスト、ウェットエッチングにより質量部の質量を減少させても良い。また、第１の質量部または第２の質量部にスパッタリングや蒸着で膜を付けて質量部の質量を増加させることにより周波数調整しても良い。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１０２】
例えば、前述した実施形態では、振動片が２つの振動腕を有する場合を例に説明したが、振動腕の数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、２つの振動腕が振動片の面内方向に屈曲振動する構成について説明したが、２つの振動腕が面外方向（Ｚ軸方向）に屈曲振動する構成であってもよい。
また、本発明の振動デバイスは、振動片に発振回路を接続することにより、水晶発振器（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー等に適用される。
【符号の説明】
【０１０３】
１‥‥振動子  ２‥‥振動片  ３‥‥パッケージ  ２１‥‥振動基板  ２２‥‥励振電極  ２３‥‥励振電極  ２７‥‥基部  ２８‥‥振動腕  ２９‥‥振動腕  ３１‥‥ベース基板  ３２‥‥枠部材  ３３‥‥蓋部材  ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ‥‥外部端子  ３５ａ‥‥電極  ３５ｂ‥‥電極  ３６‥‥固定材  ３７‥‥金属ワイヤー  ３８‥‥金属ワイヤー  ４１‥‥接続電極  ４２‥‥接続電極  ５１‥‥第１の質量部  ５１Ａ‥‥第１の質量部  ５１Ｂ‥‥第１の質量部  ５１Ｃ‥‥第１の質量部  ５２‥‥第１の質量部  ５４‥‥第２の質量部  ５４Ａ‥‥第２の質量部  ５４Ｂ‥‥第２の質量部  ５４Ｃ‥‥第２の質量部  ５５‥‥第２の質量部  １００‥‥表示部  １５１‥‥調整後の第１の質量部  １５４‥‥調整後の第２の質量部  ２８１‥‥上面  ２８１ａ‥‥溝  ２８２‥‥下面  ２８２ａ‥‥溝  ２８３‥‥側面  ２８４‥‥側面  ２９１‥‥上面  ２９１ａ‥‥溝  ２９２‥‥下面  ２９２ａ‥‥溝  ２９３‥‥側面  ２９４‥‥側面  ５１１‥‥質量部  ５１２‥‥質量部  ５１３‥‥質量部  ５１４‥‥質量部  ５１５‥‥質量部  ５１６‥‥質量部  ５４１‥‥質量部  ５４２‥‥質量部  ５４３‥‥質量部  ５４４‥‥質量部  ５４５‥‥質量部  ５４６‥‥質量部  ５４７‥‥質量部  ５４８‥‥質量部  １１００‥‥パーソナルコンピュータ  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッタボタン  １３０８‥‥メモリ  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥入出力端子  １４３０‥‥テレビモニタ  １４４０‥‥パーソナルコンピュータ
【図１】
2012044578.tif 000003
【図２】
2012044578.tif 000004
【図３】
2012044578.tif 000005
【図４】
2012044578.tif 000006
【図５】
2012044578.tif 000007
【図６】
2012044578.tif 000008
【図７】
2012044578.tif 000009
【図８】
2012044578.tif 000010
【図９】
2012044578.tif 000011
【図１０】
2012044578.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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