(57)【要約】【課題】液体吐出装置における液体流路の流路抵抗のばらつきを補正する。【解決手段】内部にインク流路が形成された流路ユニットを形成し（Ｓ１０１）、流路ユニットに圧電アクチュエータを接合した（Ｓ１０２）後、インク流路内に第１エッチング液を充填し（Ｓ１０３）、ノズル１５から第１エッチング液を吐出させて、ノズルからの第１エッチング液の吐出速度を測定し（Ｓ１０４）、続いて、測定された吐出速度が速いノズル１５からほど多量の第１エッチング液を吐出させて、ノズルの壁をエッチングする（Ｓ１０５）。次に、インク流路内の第１エッチング液を第２エッチング液に置換し（Ｓ１０６）、ノズル１５から第２エッチング液を吐出させて、ノズルから吐出される第２エッチング液の体積を測定し（Ｓ１０７）、続いて、測定された体積が小さいノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出させて、絞り流路の壁をエッチングする（Ｓ１０９）。【選択図】図４
2012176566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、
前記流路ユニットに対して前記アクチュエータを組み付けるアクチュエータ組み付け工程と、
前記液体流路の流路抵抗を検査する流路抵抗検査工程と、
前記アクチュエータ組み付け工程後、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じて、前記流路抵抗を調整する流路抵抗調整工程とを備え、
前記流路抵抗調整工程において、
前記液体流路に、その液体流路の壁の少なくとも一部分をエッチング可能なエッチング液を充填するとともに、
前記ノズルから、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じた量のエッチング液を排出させることにより、前記液体流路を流れる前記エッチング液によって、前記液体流路の壁をエッチングすることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
【請求項２】
前記流路抵抗調整工程において、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルからエッチング液を吐出させることによって、前記ノズルからエッチング液を排出させることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項３】
前記流路抵抗検査工程は、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルから液体を吐出させて、その吐出特性を検査することにより前記液体流路の流路抵抗を検査する吐出特性検査工程を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項４】
前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度、又は、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、
前記流路抵抗調整工程において、前記ノズルから、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度又は液体の体積に応じた量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項５】
前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定し、
前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、前記ノズルの壁をエッチング可能な前記エッチング液を充填するとともに、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度が速い場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項６】
前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、
前記流路抵抗調整工程において、前記吐出特性検査工程で測定された液体の体積が小さい場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項７】
前記液体流路は、前記ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路と接続された共通液体流路と、をさらに含んでおり、
前記複数の個別液体流路には、前記共通液体流路との接続部分に、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路が設けられており、
前記流路ユニットは、前記ノズルを形成するノズル形成部と、前記絞り流路を形成する絞り流路形成部とが、互いに異なる材料によって構成されており、
前記吐出特性検査工程が、
前記ノズルからの液体の吐出速度を測定する吐出速度検査工程と、
前記ノズルから吐出される液体の体積を測定する吐出体積検査工程とを備え、
前記流路抵抗調整工程が、
前記液体流路に、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度が、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第１エッチング液を充填するとともに、前記吐出速度検査工程で測定された吐出速度が速い前記ノズルからほど多量の前記第１エッチング液を排出させることによって、前記ノズルの壁をエッチングするノズル調整工程と、
前記液体流路に、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度が、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第２エッチング液を充填するとともに、前記吐出体積検査工程で測定された液体の体積が小さいノズルからほど多量の前記第２エッチング液を排出させることによって、前記絞り流路の壁をエッチングする絞り流路調整工程とを備え、
前記吐出速度検査工程後、前記ノズル調整工程を実行し、その後、前記吐出体積検査工程後、前記絞り流路調整工程を実行することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項８】
前記吐出特性検査工程において、前記ノズルから前記エッチング液を吐出させることによって、前記ノズルにおけるエッチング液の吐出特性を検査することを特徴とする請求項３〜７のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。
【請求項９】
前記エッチング液が有色の液体であることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ウェットエッチングにより貫通孔などが形成された複数の金属プレートが互いに積層されることによって、複数のノズル、複数の圧力室、複数の絞り部、共通インク室などを含むインク流路が内部に形成されたキャビティユニット（流路ユニット）を形成し、形成したキャビティユニットの上面に、圧電アクチュエータを接着することによって、インクジェットヘッドを製造することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−７５７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に記載されているように、ウェットエッチングによってインク流路となる貫通孔などを形成した場合、形成される貫通孔のサイズや形状などにどうしてもばらつきが生じる。その結果、インク流路の流路抵抗が予め規定された範囲から外れて、所望のインクの吐出特性が得られなかったり、インクジェットヘッドなどのように複数のノズルを備えている場合に、ノズル間でインクの吐出特性にばらつきが生じたりしてしまう虞がある。
【０００５】
このとき、例えば、圧電アクチュエータの駆動電圧や駆動波形を変更して、ノズルからのインクの吐出特性を調整することにより、所望のインクの吐出特性を得たり、ノズル間でのインクの吐出特性を均一にしたりすることも考えられる。しかしながら、この場合には、圧電アクチュエータを駆動するためのドライバＩＣなどを、このような駆動電圧や駆動波形の変更に対応したものとする必要があり、ドライバＩＣなどの構成が複雑となってしまう。
【０００６】
本発明の目的は、形成された液体流路の流路抵抗を調整することが可能な液体吐出装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、ノズルを有する液体流路を備えた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するためのアクチュエータを形成するアクチュエータ形成工程と、前記流路ユニットに対して前記アクチュエータを組み付けるアクチュエータ組み付け工程と、前記液体流路の流路抵抗を検査する流路抵抗検査工程と、前記アクチュエータ組み付け工程後、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じて、前記流路抵抗を調整する流路抵抗調整工程とを備え、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、その液体流路の壁の少なくとも一部分をエッチング可能なエッチング液を充填するとともに、前記ノズルから、前記流路抵抗検査工程における検査結果に応じた量のエッチング液を排出させることにより、前記液体流路を流れる前記エッチング液によって、前記液体流路の壁をエッチングすることを特徴とする。
【０００８】
本発明によると、液体流路の流路抵抗を検査し、検査結果に応じた量のエッチング液をノズルから排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、流路ユニット形成工程において形成された流路ユニットにおける液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【０００９】
第２の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第１の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記流路抵抗調整工程において、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルからエッチング液を吐出させることによって、前記ノズルからエッチング液を排出させることを特徴とする。
【００１０】
本発明によると、アクチュエータを駆動してノズルからエッチング液を吐出させることにより、別途、ノズルからエッチング液を排出させるための構成を設けることなく、ノズルからエッチング液を排出させることができる。
【００１１】
第３の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第１又は２の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記流路抵抗検査工程は、前記アクチュエータを駆動して前記ノズルから液体を吐出させて、その吐出特性を検査することにより前記液体流路の流路抵抗を検査する吐出特性検査工程を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明によると、ノズルからの液体の吐出特性は、液体流路の流路抵抗によって決まるため、ノズルからの液体の吐出特性を検査することにより、比較的容易に液体流路の流路抵抗を検査することができる。
【００１３】
第４の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第３の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度、又は、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記ノズルから、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度又は液体の体積に応じた量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。
【００１４】
本発明によると、ノズルからの液体の吐出速度又は吐出される液体の体積を測定し、ノズルから、その測定結果に応じた量のエッチング液を排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、ノズルからの液体の吐出速度又は吐出される液体の体積に応じて、液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００１５】
第５の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第４の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記液体流路に、前記ノズルの壁をエッチング可能な前記エッチング液を充填するとともに、前記吐出特性検査工程で測定された吐出速度が速い場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。
【００１６】
本発明によると、測定された吐出速度が速い場合ほど、エッチングによりノズルの径が広がって、液体の吐出速度が遅くなるので、ノズルからの液体の吐出速度が予め規定された吐出速度に近づくように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００１７】
また、液体吐出装置が複数のノズルを有している場合には、エッチングにより、液体の吐出速度が速いノズルほど、その径が広がって液体の吐出速度が遅くなるため、複数のノズルからの液体の吐出速度が均一となるように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００１８】
第６の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第４の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記吐出特性として、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定し、前記流路抵抗調整工程において、前記吐出特性検査工程で測定された液体の体積が小さい場合ほど、前記ノズルから多量の前記エッチング液を排出させることを特徴とする。
【００１９】
本発明によると、測定された液体の体積が小さい場合ほど、エッチングにより流路抵抗が小さくなって、ノズルから吐出される液体の体積が大きくなるので、ノズルから吐出される液体の体積が予め規定した体積に近づくように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００２０】
また、液体吐出装置が複数のノズルを有している場合には、エッチングにより、測定された液体の体積が小さいノズルに対応する液体流路ほど、その流路抵抗が小さくなり、ノズルから吐出される液体の体積が大きくなるため、複数のノズルから吐出される液体の体積が均一となるように、液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００２１】
第７の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第４の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記液体流路は、前記ノズルをそれぞれ含む複数の個別液体流路と、前記複数の個別液体流路と接続された共通液体流路と、をさらに含んでおり、前記複数の個別液体流路には、前記共通液体流路との接続部分に、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路が設けられており、前記流路ユニットは、前記ノズルを形成するノズル形成部と、前記絞り流路を形成する絞り流路形成部とが、互いに異なる材料によって構成されており、前記吐出特性検査工程が、前記ノズルからの液体の吐出速度を測定する吐出速度検査工程と、前記ノズルから吐出される液体の体積を測定する吐出体積検査工程とを備え、前記流路抵抗調整工程が、前記液体流路に、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度が、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第１エッチング液を充填するとともに、前記吐出速度検査工程で測定された吐出速度が速い前記ノズルからほど多量の前記第１エッチング液を排出させることによって、前記ノズルの壁をエッチングするノズル調整工程と、前記液体流路に、前記絞り流路形成部の材料に対するエッチング速度が、前記ノズル形成部の材料に対するエッチング速度よりも速い第２エッチング液を充填するとともに、前記吐出体積検査工程で測定された液体の体積が小さいノズルからほど多量の前記第２エッチング液を排出させることによって、前記絞り流路の壁をエッチングする絞り流路調整工程とを備え、前記吐出速度検査工程後、前記ノズル調整工程を実行し、その後、前記吐出体積検査工程後、前記絞り流路調整工程を実行することを特徴とする。
【００２２】
本発明によると、ノズル調整工程のエッチングにより、測定された吐出速度が速いノズルほど、その径が広がって液体の吐出速度が遅くなるため、複数のノズルからの液体の吐出速度が均一になるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００２３】
ここで、ノズル調整工程においてあるノズルの径を大きくすると、当該ノズルからの液体の吐出速度が遅くなるのと同時に、当該ノズルから吐出される液体の体積が増加するため、ノズル調整工程によって、複数のノズルから吐出される液体の体積のばらつきが大きくなってしまうこともある。
【００２４】
しかしながら、本発明によると、ノズル調整工程の後に実行される、絞り流路工程のエッチングにより、測定された液体の体積が小さいノズルに対応する個別液体流路ほど、流路抵抗が小さくなり、ノズル吐出される液体の体積が大きくなるため、複数のノズルから吐出される液体の体積が均一となるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。このとき、個別液体流路のうち、流路断面積が部分的に小さくなった絞り流路の壁をエッチングすることにより、個別液体流路の流路抵抗を効果的に小さくすることができる。
【００２５】
また、ノズルからの液体の吐出速度は、ノズルの径によって決まり、絞り流路の壁をエッチングしても、ノズルからの液体の吐出速度が変動してしまうことはないので、ノズル調整工程と絞り流路調整工程とにより、ノズルからの液体の吐出速度、及び、ノズルから吐出される液体の体積の両方が均一となるように、個別液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【００２６】
第８の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第３〜第７のいずれかの発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記吐出特性検査工程において、前記ノズルから前記エッチング液を吐出させることによって、前記ノズルにおけるエッチング液の吐出特性を検査することを特徴とする。
【００２７】
本発明によると、ノズルからインクなどエッチング液とは別の液体を吐出させることによって吐出特性を検査する場合とは異なり、吐出特性の検査に用いる液体をエッチング液に置換する工程が不要であるので、液体吐出装置の製造工程が簡略化される
【００２８】
第９の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、第８の発明に係る液体吐出装置の製造方法において、前記エッチング液が有色の液体であることを特徴とする。ここで、エッチング液が有色であるとは、エッチング液自体がその性質上有色であるものだけでなく、エッチング液を着色したものも含まれる。
【００２９】
本発明によると、有色のエッチング液を記録用紙などに着弾させ、その着弾状態を目視やスキャナなどで確認することにより、容易に吐出特性を検査することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、液体流路の流路抵抗を検査し、検査結果に応じた量のエッチング液をノズルから排出させて、液体流路の壁をエッチングすることにより、流路ユニット形成工程において形成された流路ユニットにおける液体流路の流路抵抗を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】インクジェットヘッドの製造手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３３】
本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、ガイド部材５に沿って走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３（液体吐出装置）は、キャリッジ２に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを走査方向と直交する紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。
【００３４】
そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５からインクを吐出することによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００３５】
次に、インクジェットヘッド３の構成について説明する。図２、図３に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズル１５や後述の圧力室１０などのインク流路（液体流路）が形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ２２とを備えている。
【００３６】
流路ユニット２１は、貫通孔等が形成された７枚のプレート３１〜３７が上からこの順に積層されて形成されたものであり、プレート３１〜３７に形成された貫通孔などによって、内部に、４つのマニホールド流路１１と、各マニホールド流路１１にそれぞれ接続された複数の個別インク流路９とからなるインク流路が形成されている。
【００３７】
４つのマニホールド流路１１（共通液体流路）は、プレート３４、３５に形成されており、それぞれが紙送り方向に延びているとともに、走査方向に沿って配列されている。また、各マニホールド流路１１には、それぞれ、図２における下端部にインク供給口８が設けられており、４つのマニホールド流路１１には、図２における右側に配置されているものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクがインク供給口８から供給される。
【００３８】
複数の個別インク流路９は、それぞれ、圧力室１０、絞り流路１２、ノズル１５及びディセンダ流路１４からなる。圧力室１０は、プレート３１に形成されており、平面視で走査方向を長手方向とする略楕円形状を有している。また、圧力室１０は、図２における略左半分が当該マニホールド流路１１と重なるように、対応するマニホールド流路１１の上方に、紙送り方向に等間隔に配列されている。
【００３９】
絞り流路１２は、プレート３２、３３の、圧力室１０とマニホールド流路１１とに挟まれた部分に形成されており、圧力室１０とマニホールド流路１１とを接続している。また、個別インク流路９は、マニホールド流路１１との接続部分に位置する絞り流路１２において、その流路断面積が小さくなっている。
【００４０】
ノズル１５は、プレート３７の圧力室１０の図２における右端部と重なる部分に形成されており、圧力室１０と同様、紙送り方向に等間隔に配列されている。ディセンダ流路１４は、プレート３２〜３６の圧力室１０の図２における右端部及びノズル１５と重なる部分に形成されており、図３の上下方向に延びて圧力室１０とノズル１５とを接続している。
【００４１】
ここで、流路ユニット２１を形成する７枚のプレート３１〜３７のうち、プレート３７を除く６枚のプレート３１〜３６は、ステンレスなどの金属材料によって構成されている。一方、ノズル１５が形成されたプレート３７は、ポリイミドなどの合成樹脂材料によって構成されている。あるいは、プレート３７は、他のプレート３１〜３６とは異なる金属材料によって構成されていてもよい。
【００４２】
すなわち、ノズル１５が形成されたノズル形成部（プレート３７）と、絞り流路１２が形成された絞り流路形成部（プレート３２、３３）とが、互いに異なる材料によって構成されている。さらに、絞り流路が形成されたプレート３２、３３が、プレート３１、３４、３５とは異なる材料によって構成されていてもよい。
【００４３】
圧電アクチュエータ２２は、振動板４１、圧電層４２、共通電極４３及び複数の個別電極４４を備えている。振動板４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる板状体であり、流路ユニット２１の上面に、複数の圧力室１０を覆うように配置されている。なお、振動板４１は、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。
【００４４】
圧電層４２は、振動板４１と同様の圧電材料からなり、振動板４１の上面に複数の圧力室１０にまたがって連続的に形成されている。共通電極４３は、振動板４１と圧電層４２との間に、そのほぼ全域にわたって連続的に形成されている。共通電極４３は、図示しないドライバＩＣに接続されており、ドライバＩＣによって常にグランド電位に保持されている。
【００４５】
複数の個別電極４４は、平面視で、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円形状を有しており、圧電層４２の上面における複数の圧力室１０の略中央部と対向する部分にそれぞれ形成されている。また、個別電極４４の図２における左端部は、それぞれ、圧力室１０と対向しない部分まで延びており、その先端部が図示しないドライバＩＣとの接続を行うための接続端子４４ａとなっている。そして、各個別電極４４には、ドライバＩＣにより、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。また、圧電層４２の共通電極４３と個別電極４４とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。
【００４６】
ここで、圧電アクチュエータ２２を駆動して、ノズル１５からインクを吐出させる動作について説明する。圧電アクチュエータ２２においては、複数の個別電極４４が予めグランド電位に保持されており、あるノズル１５からインクを吐出させるためには、対応する個別電極４４の電位を駆動電位に切り替える。すると、個別電極４４と共通電極４３との間の電位差により、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分に電界が生じる。この電界の向きは圧電層４２の分極方向と平行であるので、圧電層４２は、分極方向と直交する水平方向に収縮し、これにより、振動板４１と圧電層４２の圧力室１０に対向する部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が小さくなって、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（吐出エネルギーが付与され）、この圧力上昇によって、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００４７】
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について、図４のフローチャートを用いて説明する。インクジェットヘッド３を製造するためには、図４に示すように、まず、プレート３１〜３７にインク流路となる貫通孔などを形成し、貫通孔などを形成したプレート３１〜３７を、互いに積層させて接合することによって、流路ユニット２１を形成する（ステップＳ１０１、以下、単にＳ１０１などとする、流路ユニット形成工程）。
【００４８】
このとき、プレート３１〜３６には、例えばエッチングにより、インク流路となる貫通孔などを形成する。また、プレート３７が合成樹脂材料からなる場合には、例えばレーザ加工により、プレート３７にノズル１５を形成し、プレート３７が金属材料からなる場合には、パンチングによりプレート３７にノズル１５を形成する。
【００４９】
次に、予め作製しておいた圧電アクチュエータ２２を、流路ユニット２１の上面に接合することによって、流路ユニット２１に組み付ける（Ｓ１０２、アクチュエータ組み付け工程）。次に、インク供給口８を第１エッチング液の供給源に接続して、インク供給口８からインク流路内に、第１エッチング液を充填する（Ｓ１０３）。ここで、第１エッチング液は、例えば、アルカリ性水溶液など、ノズル１５が形成されたプレート３７を構成するポリイミドなどの合成樹脂に対するエッチング速度が、プレート３１〜３６を構成するステンレスなどの金属材料に対するエッチング速度よりも速いエッチング液（液体流路の少なくとも一部の壁をエッチング可能なエッチング液）である。また、第１エッチング液は、有色の液体（元々色がついている液体、あるいは、着色された液体）である。
【００５０】
次に、圧電アクチュエータ２２を駆動して、全てのノズル１５から記録用紙Ｐなどに第１エッチング液を吐出させ、記録用紙Ｐにおける第１エッチング液の着弾位置によって、ノズル１５からの第１エッチング液の吐出速度を測定する（Ｓ１０４、吐出速度検査工程）。
【００５１】
より詳細に説明すると、インクジェットヘッド３をプリンタ１のキャリッジ２に取り付けて、走査方向に往復移動させつつ、ノズル１５から記録用紙Ｐに向けて第１エッチング液を吐出させて、例えば、記録用紙Ｐに紙送り方向に延びた直線を印刷する。このとき、第１エッチング液の吐出速度にばらつきがあると、すなわち、吐出速度が異なると、記録用紙Ｐにおける第１エッチング液の着弾位置が、走査方向にずれる量が異なる。したがって、印刷された直線によって、つまり、記録用紙Ｐにおける第１エッチング液の着弾位置によって、吐出速度を測定することができる。また、このとき、第１エッチング液が有色の液体であるので、記録用紙Ｐに印刷された画像（着弾した第１エッチング液の位置）を目視やスキャナなどにより容易に確認することができる。
【００５２】
次に、圧電アクチュエータ２２を駆動して、速度検査工程において測定された吐出速度が速いノズル１５ほど多量の第１エッチング液を吐出（排出）させる（Ｓ１０５）。このとき、全てのノズル１５から第１エッチング液を吐出させてもよいし、測定された吐出速度が遅い一部のノズル１５については、第１エッチング液を吐出させなくてもよい（吐出量が０であってもよい）。
【００５３】
すると、第１エッチング液が吐出されたノズル１５に第１エッチング液が流れ、この第１エッチング液の流れにより、ノズル１５内の第１エッチング液が入れ替わって、ノズル１５の壁がエッチングされる。また、吐出させる第１エッチング液の量が多いノズル１５ほど、入れ替わる第１エッチング液の量も多くなるので、大きくエッチングされる。
【００５４】
そして、ノズル１５の壁がエッチングされると、当該ノズル１５の径が大きくなり、その結果、ノズル１５からのインクの吐出速度が速くなる。これにより、複数のノズル１５からのインクの吐出速度が均一となるように個別インク流路９の流路抵抗を調整することができる。なお、本実施の形態では、上記Ｓ１０３の工程とＳ１０５の工程とをあわせたものが、本発明に係るノズル調整工程に相当する。
【００５５】
次に、インク供給口８に、第１エッチング液の供給源に代えて第２エッチング液の供給源を接続し、インク供給口８からインク流路内に第２エッチング液を供給することによって、ノズル１５からインクジェットヘッド３内の第１エッチング液を排出させるとともに、インク流路内に第２エッチング液を充填する（Ｓ１０６）。ここで、第２エッチング液は、例えば、硫酸水溶液や、塩化第二鉄水溶液など、プレート３１〜３６を構成するステンレスなどの金属材料に対するエッチング速度が、プレート３７を構成するポリイミドなどの合成樹脂に対するエッチング速度よりも速いエッチング液（液体流路の少なくとも一部の壁をエッチング可能なエッチング液）である。また、第２エッチング液は、有色の液体（元々色がついている液体、あるいは、着色された液体）である。
【００５６】
このとき、ノズル１５から第１エッチング液を排出させると、ノズル１５に第１エッチング液が流れて、ノズル１５の壁がエッチングされるが、この場合には、複数のノズル１５の壁が一律にエッチングされるため、上記Ｓ１０５で調整したノズル１５からのインクの吐出速度が再度ばらつくことはない。
【００５７】
次に、圧電アクチュエータ２２を駆動して、全てのノズル１５から記録用紙Ｐなどに第２エッチング液を吐出させて、ノズル１５から吐出された第２エッチング液の体積を測定する（Ｓ１０７、吐出体積検査工程）。
【００５８】
より詳細に説明すると、上記Ｓ１０４でインクジェットヘッド３を取り付けたキャリッジ２を、走査方向に往復移動させつつ、ノズル１５から記録用紙Ｐに向けて第２エッチング液を吐出させて、例えば、記録用紙Ｐのある領域を塗りつぶす。すると、塗りつぶされた領域は、着弾した第２エッチング液の大きさが大きい部分ほど濃くなるため、吐出された第２エッチング液の体積にばらつきがあると、上記領域には、濃さの異なる部分ができる。したがって、塗りつぶされた上記領域の濃さ、つまり、記録用紙Ｐに着弾した第２エッチング液の大きさによって、ノズル１５から吐出された第２エッチング液の体積を測定することができる。このとき、第２エッチング液が有色の液体であるので、上記領域の濃さ（記録用紙Ｐに着弾した第２エッチング液の大きさ）を目視やスキャナなどにより容易に確認することができる。
【００５９】
なお、本実施の形態では、上記Ｓ１０４の吐出速度検査工程とＳ１０７の吐出体積検査工程とをあわせたものが、本発明に係る吐出特性検査工程（流路抵抗検査工程）に相当する。
【００６０】
次に、圧電アクチュエータ２２を駆動して、測定された第２エッチング液の体積が小さいノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出（排出）させる（Ｓ１０８）。このとき、全てのノズル１５から第２エッチング液を吐出させてもよいし、測定された第２エッチング液の体積が大きい一部のノズル１５については、第２エッチング液を吐出させなくてもよい（吐出量が０であってもよい）。
【００６１】
すると、第２エッチング液が吐出されたノズル１５においては、絞り流路１２内を第２エッチング液が流れ、この第２エッチング液の流れにより、絞り流路１２内の第２エッチング液が入れ替わって、絞り流路１２の壁がエッチングされる。また、吐出させる第２エッチング液の量が多いノズル１５に対応する絞り流路１２ほど、入れ替わる第２エッチング液の量も多くなるので、大きくエッチングされる。
【００６２】
そして、絞り流路１２の壁がエッチングされると、当該絞り流路１２の流路抵抗が小さくなることで、対応する個別インク流路９の流路抵抗が小さくなり、その結果、ノズル１５から吐出されるインクの体積が大きくなる。そして、これにより、複数のノズル１５から吐出されるインクの体積が均一となるように、個別インク流路９の流路抵抗を調整することができる。なお、本実施の形態では、上記Ｓ１０６とＳ１０８とをあわせたものが、本発明に係る絞り流路調整工程に相当する。さらに、ノズル調整工程と絞り流路調整工程とをあわせたものが、本発明に係る流路抵抗調整工程に相当する。
【００６３】
なお、上記Ｓ１０８では、圧力室１０やディセンダ流路１４の壁なども同時にエッチングされ、これらの流路においても流路抵抗が小さくなるが、部分的に流路断面積が小さくなった絞り流路１２の流路抵抗が小さくなることが、個別インク流路９全体の流路抵抗が小さくなることに最も大きな影響を与える。
【００６４】
ここで、上述のＳ１０５において、ノズル１５をエッチングして、ノズル１５の径を大きくすると、ノズル１５の流路抵抗が小さくなるため、当該ノズル１５からのインクの吐出速度が遅くなるのと同時に、当該ノズル１５から吐出されるインクの体積も大きくなる。そのため、複数のノズル１５から吐出されるインクの体積のばらつきが、インクの吐出速度の調整前に比べて大きくなってしまう場合がある。
【００６５】
また、本実施の形態とは逆に、絞り流路１２の壁をエッチングして、ノズル１５から吐出されるインクの体積を均一にした後、ノズル１５の壁をエッチングして、ノズル１５からのインクの吐出速度を均一にしたとすると、吐出速度を均一にしたときに、再度、ノズル１５から吐出されるインクの体積にばらつきが生じてしまう。
【００６６】
そこで、本実施の形態では、上述したように、ノズル１５の壁をエッチングして、ノズル１５からのインクの吐出速度を均一にした後、絞り流路１２の壁をエッチングして、ノズル１５から吐出されるインクの体積を均一にしている。ここで、ノズル１５からのインクの吐出速度は、概ねノズル１５の径によって決まり、絞り流路１２などの流路断面積の影響は小さい。したがって、上記Ｓ１０８において、絞り流路１２の壁をエッチングしても、ノズル１５からのインクの吐出速度はばらつかず、均一な状態に保持される。
【００６７】
以上のことから、本実施の形態では、複数のノズル１５からのインクの吐出速度、及び、ノズル１５から吐出されるインクの体積の両方が均一になるように、個別インク流路９の流路抵抗を調整することができる。
【００６８】
また、本実施の形態では、上記Ｓ１０４において、ノズル１５の壁のエッチングに用いる第１エッチング液を吐出させることにより、ノズル１５からのインクの吐出速度を測定するとともに、上記Ｓ１０７において、ノズル１５から、絞り流路１２の壁のエッチングに用いる第２エッチング液を吐出させることにより、ノズル１５から吐出されるインクの体積を測定しているため、ノズル１５からインクなど、第１、第２エッチング液とは別の液体を吐出させることによって、吐出速度や吐出されるインクの体積を測定する場合とは異なり、インクなどを第１、第２エッチング液に置換する工程が必要なく、インクジェットヘッド３の製造工程を簡略化することができる。
【００６９】
そして、最後に、インク供給口８に、第２エッチング液の供給源に代えて洗浄液の供給源を接続して、インク供給口８から洗浄液を供給することにより、ノズル１５からインクジェットヘッド３内の第２エッチング液を排出させるとともに（Ｓ１０９）、洗浄液でインク流路内を洗浄して、インクジェットヘッド３の製造を完了する。このとき、絞り流路１２などに第２エッチング液の流れが生じて、絞り流路１２などの壁がエッチングされるが、このときには、複数の絞り流路１２の壁が一律にエッチングされるため、上記Ｓ１０８において調整したノズル１５から吐出されるインクの体積が再度ばらつくことはない。
【００７０】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては適宜その説明を省略する。
【００７１】
上述の実施の形態では、第１、第２エッチング液が有色の液体であったが、第１、第２エッチング液は、無色透明の液体であってもよい。この場合には、例えば、記録用紙Ｐなどに着弾した第１、第２エッチング液に光を照射するなどして、第１、第２エッチング液の着弾位置や、着弾した第１、第２エッチング液の大きさなどを検出すればよい。
【００７２】
さらには、記録用紙Ｐなどにおける第１、第２エッチング液の着弾位置や、着弾した第１、第２エッチング液の大きさによって、ノズル１５からの第１、第２エッチング液の吐出速度、及び、吐出された第１、第２エッチング液の体積を測定することには限られない。例えば、ノズル１５から吐出されたインクが通過する領域を挟むように、レーザ光などの光を照射する発光部と、発光部から照射された光を受光する受光部とを配置し、発光部から受光部に向けて光を照射した状態で、ノズル１５から第１、第２エッチング液を吐出し、発光部から照射された光が第１、第２エッチング液により遮られることによって、受光部において光が受光されなくなった、あるいは、受光された光の光量が低下したタイミングによって、ノズル１５からの第１、第２エッチング液の吐出速度を検査測定してもよい。また、第１、第２エッチング液にレーザ光が遮られたときに、受光部において受光される光の光量がどの程度低下したかによって、ノズル１５から吐出された第１、第２エッチング液の体積を測定してもよい。
【００７３】
また、上述の実施の形態では、ノズル１５の壁をエッチングするための第１エッチング液を吐出することによって、ノズル１５からのインクの吐出速度を測定するとともに、ノズル１５から絞り流路１２の壁をエッチングするための第２エッチング液を吐出することによって、ノズル１５から吐出されるインクの体積を測定していたが、これには限られない。
【００７４】
例えば、上記Ｓ１０３においてインク流路内にインクなど第１エッチング液以外の液体を充填し、上記Ｓ１０４において、ノズル１５からインクなどを吐出させることによって、ノズル１５からのインクの吐出速度を測定してもよい。ただし、この場合には、上記Ｓ１０５の直前にインク流路内のインクなどを第１エッチング液に置換する必要がある。
【００７５】
また、上記Ｓ１０６において、インク流路内にインクなど第２エッチング以外の液体を充填し、上記Ｓ１０７において、ノズル１５からインクなどを吐出させることによって、ノズル１５から吐出されるインクの体積を測定してもよい。ただし、この場合には、上記Ｓ１０８の直前にインク流路内のインクなどを第２エッチングに置換する必要がある。
【００７６】
また、上述の実施の形態では、上記Ｓ１０５において、ノズル１５から第１エッチング液を吐出させることによって、複数のノズル１５からのインクの吐出特性を均一にし、その後、上記Ｓ１０８において、ノズル１５から第２エッチング液を吐出させることによって、ノズル１５から吐出されるインクの体積を均一にしたが、これには限られない。
【００７７】
例えば、上記Ｓ１０５と同様にして、ノズル１５から第１エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル１５からのインクの吐出速度を均一にした後、複数のノズル１５から吐出されるインクの体積のばらつきは調整せず、そのまま、インク流路からの第１エッチング液の排出や、洗浄液によるインク流路の洗浄などを行って、インクジェットヘッド３の製造を完了してもよい。
【００７８】
あるいは、上記Ｓ１０２の後、ノズル１５からのインクの吐出速度を調整せずに、インク流路内に第２エッチング液を充填して、上記Ｓ１０８と同様にして、ノズル１５から第２エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル１５から吐出されるインクの体積を均一にしてもよい。
【００７９】
また、上述の実施の形態では、上記Ｓ１０５において、上記Ｓ１０４で測定された吐出速度が速いノズル１５からほど多量の第１エッチング液を吐出させるとともに、上記Ｓ１０８において、上記Ｓ１０７で測定された第２エッチング液の体積が小さいノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出させたが、これには限られない。
【００８０】
例えば、上記Ｓ１０５において、上記Ｓ１０４で測定された吐出速度が予め規定された基準速度よりも速いノズル１５から一定の量の第１エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル１５からのインクの吐出速度を調整してもよい。あるいは、上記Ｓ１０８において、上記Ｓ１０７で測定された第２エッチング液の体積が予め規定された基準体積よりも小さいノズル１５から一定の量の第２エッチング液を吐出させることにより、複数のノズル１５から吐出されるインクの体積を調整してもよい。
【００８１】
また、上述の実施の形態では、ノズル１５からのインクの吐出速度、及び、ノズル１５から吐出されるインクの体積を検査したが、これら以外のノズル１５からのインクの吐出特性を検査し、ノズル１５からその検査結果に応じた量のエッチング液を吐出させることによって、複数のノズル１５におけるインクの吐出特性が均一となるように、個別インク流路９の流路抵抗を調整してもよい。
【００８２】
さらには、複数のノズル１５におけるインクの吐出特性を検査して、個別インク流路９の流路抵抗を検査することにも限られず、ノズル１５の径や絞り流路１２の流路断面積など、インク流路の各部分の寸法を測定し、その測定結果に応じて、例えば、径が大きいノズル１５からほど多量の第１エッチング液を吐出させる、流路断面積の小さい絞り流路１２に対応するノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出させるなどして、個別インク流路９の流路抵抗を調整してもよい。
【００８３】
ここで、プレート３１〜３７を互いに接合する前であれば、例えば、プレート３１〜３７に形成された貫通孔などの寸法を測定することによって、インク流路の各部分の寸法を測定することができる。また、プレート３１〜３７を互いに接合して流路ユニット２１を形成した後や、さらに流路ユニット２１に圧電アクチュエータ２２を組み付けた後であっても、例えば、Ｘ線や超音波を用いてインク流路の各部分の寸法測定することができる。
【００８４】
また、上述の実施の形態では、圧電アクチュエータ２２を駆動して、ノズル１５からエッチング液を吐出させることによって、ノズル１５からエッチング液を排出させていたが、これには限られない。例えば、各色のインクを吐出するノズル１５を、それぞれインクの色ごとに、吸引ポンプに接続されたキャップで覆い、吸引ポンプを駆動して、ノズル１５からインクジェットヘッド３内のエッチング液を吸引することにより、ノズル１５からエッチング液を排出させてもよい。
【００８５】
この場合には、同じ色のインクを吐出する複数のノズル１５からは一律にエッチング液が排出されるため、これらのノズル１５におけるインクの吐出特性を均一にすることはできないが、異なる色のインクを吐出するノズル１５間で、インクの吐出特性を均一にすることはできる。また、プリンタ１が複数のインクジェットヘッド３を備えている場合にも、インクジェットヘッド３間で、ノズル１５からのインクの吐出特性を保持することができる。
【００８６】
また、上述の実施の形態では、第１エッチング液によりノズル１５の壁をエッチングし、第２エッチング液により絞り流路１２の壁をエッチングすることによって、個別インク流路９の流路抵抗を調整したが、これには限られない。例えば、個別インク流路９のうち、ノズル１５及び絞り流路１２以外の部分のみをエッチングすることによって、個別インク流路９の流路抵抗を調整してもよい。この場合には、個別インク流路９のうちエッチングする部分を形成するプレートを、ノズル１５や絞り流路１２が形成されるプレート３２、３３、３７とは異なる材料とし、エッチングする部分を形成するプレートの材料に対するエッチング速度が、プレート３２、３３、３７の材料に対するエッチング速度よりも速いエッチング液を用いて、エッチングを行えばよい。
【００８７】
また、以上では、流路ユニット２１が、複数のプレート３１〜３７が互いに積層されることによって、マニホールド流路１１と個別インク流路９とからなるインク流路が内部に形成された流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えたインクジェットヘッド３の製造に、本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。流路ユニットが互いに積層された複数のプレート以外の部材によって形成されたインクジェットヘッド、インク流路の構成が流路ユニット２１とは異なるインクジェットヘッド、圧電アクチュエータ以外のアクチュエータによりインク流路内のインクに吐出エネルギーを付与するインクジェットヘッドなどの製造に本発明を適用することも可能である。
【００８８】
さらには、インクジェットヘッドの製造に本発明を適用することにも限られず、ノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出装置の製造に本発明を適用することも可能である。
【００８９】
このとき、液体吐出装置は、ノズルを複数備えているものには限られず、ノズルを１つだけ備えたものであってもよい。液体吐出装置がノズルを１つだけ備えている場合であっても、液体流路の流路抵抗が予め規定された範囲から外れている場合に、液体流路の壁をエッチングすることによって、液体流路の流路抵抗を上記範囲内となるように調整することが可能である。
【００９０】
具体的には、例えば、ノズルからの液体の吐出速度を測定し、測定された吐出速度が速い場合ほど、ノズルから多量のエッチング液をノズルから多量に吐出させて、ノズルの径を広げることにより、ノズルからの液体の吐出速度を、予め規定された範囲内となるようにすることができる（予め規定された吐出速度に近づけることができる）。なお、このときのエッチング液は、液体流路の少なくともノズルの壁をエッチング可能なものである。
【００９１】
あるいは、ノズルから吐出される液体の体積を測定し、測定された液体の体積が小さい場合ほど、ノズルから多量のエッチング液を吐出させて、液体流路の流路抵抗を小さくすることによって、ノズルから吐出される液体の体積を、予め規定された範囲内となるようにすることができる（予め規定された体積に近づけることができる）。
【００９２】
なお、液体吐出装置がノズルを１つだけ備えている場合でも、流路抵抗の調整の後、ノズルから液体流路内のエッチング液が排出され、このとき、エッチング液によって液体流路の壁がエッチングされる。しかしながら、流路抵抗の調整のためにノズルからエッチング液を吐出させると、吐出させたのと同じ量のエッチング液が、エッチング液の供給源から液体流路に流れ込む。したがって、液体吐出装置がノズルを１つだけ備えている場合でも、ノズルから多量のたエッチング液を吐出させるほど、液体流路の最終的な流路抵抗は小さくなる。
【符号の説明】
【００９３】
３  インクジェットヘッド
９  個別インク流路
１０  圧力室
１１  マニホールド流路
１２  絞り流路
１４  ディセンダ流路
１５  ノズル
２１  流路ユニット
２２  圧電アクチュエータ
【図１】
2012176566.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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