(57)【要約】【課題】ガラスディスクの研削砥石及び又は研磨砥石を研削作業及び又は研磨作業に続いて装置内でドレッシングができるガラスディスクの製造装置を得る。【解決手段】内周面砥石５０の駆動軸３１に外周面ドレス砥石６０を設け、且つ前記外周面砥石５１の駆動軸４１に内周面ドレス砥石６１をそれぞれ設け、前記内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させ、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させてなる。【選択図】図１
2012143852.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドーナツ盤状のガラスディスクの内周面を内周面砥石で研削及び又は研磨し、外周面を外周面砥石で研削及び又は研磨するガラスディスクの製造装置において、前記内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石を設け、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石をそれぞれ設け、前記内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させ、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させてなることを特徴とするガラスディスクの製造装置。
【請求項２】
前記内周面砥石の駆動軸及び外周面砥石の駆動軸は、それぞれ上下送り手段及び左右送り手段により、研削及び又は研磨位置、及びドレッシング位置にそれぞれ送り制御可能である請求項１に記載のガラスディスクの製造装置。
【請求項３】
前記内周面砥石が樹脂砥石からなる内周面研磨砥石であり、前記外周面砥石が樹脂砥石からなる外周面研磨砥石であり、前記外周面ドレス砥石は前記外周面研磨砥石のドレッシング用砥石であり、且つ前記内周面ドレス砥石は前記内周面研磨砥石のドレッシング用砥石であることを特徴とする請求項１に記載のガラスディスクの製造装置。
【請求項４】
前記内周面砥石は、電着砥石からなる内周面研削砥石と、樹脂砥石からなる内周面研磨砥石の組み合わせからなり、且つ前記外周面砥石は、電着砥石からなる外周面研削砥石と、樹脂砥石からなる外周面研磨砥石の組み合わせからなり、同一ステーションで電着砥石よる研削と、樹脂砥石による研磨ができるようにしてなることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドーナツ盤状のガラスディスクの製造装置、特にガラスディスクの内周面砥石および外周面砥石のドレッシングができるガラスディスクの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスク、ＭＤ、ＣＤ等の情報記録媒体用のドーナツ盤状ガラスディスクの内周面及び外周面の研削加工は、ダイヤモンド砥粒を電着メッキさせた回転電着砥石によって粗加工及び面取り加工を行ない、さらに加工後の基板端部のマイクロクラックによるチッピングを生じさせないために、より粒度の細かい回転砥石より精密な仕上加工を行っている。このような回転砥石は、使用によって磨耗消耗するため、長期間良好な形状を保って良好な研削作業を行うには、所定期間ごとに砥石面を再調整するためのドレッシング処理を行う必要がある。従来のドレッシング処理は、ドレッシング装置に回転砥石を取り付けて、例えば主表面が長方形のサファイア板からなるドレス材を回転砥石の表面に相対的に押し当て接触させることにより行っている（例えば、特許文献１参照）。このように、従来のドレス加工は、ガラスディスクの研削装置や研磨装置と別に専用のドレス装置で行っているので、ドレス処理のために砥石の脱着等を必要とし、ガラスディスクの製造効率を低下させると共に、特別なドレス装置を必要とし設備コストが増大する等の問題点がある。また、他の方法として、ガラスディスク外周面の研磨砥石のドレス装置として、ワークであるガラスディスクを同形状のドレス原板と交換して、該ドレス原板により研磨砥石のドレッシングを行う方法も提案されている（特許文献３参照）。
【０００３】
一方、近年ガラスディスクのより高度密度記録化に伴って、ガラスディスク端面のより高精度の研磨仕上が要求され、従来の電着砥石による研磨仕上加工の後に、あるいは電着砥石による研磨仕上加工に代えて、より研磨特性に優れた樹脂砥石を用いて研磨仕上することが提案されている。その方法として、電着砥石でガラスディスクの内外周面の研削加工終了後、電着砥石を樹脂砥石に交換して樹脂砥石により内外周面の研磨加工を行っている（特許文献２、３、４参照）。したがって、その場合、電着砥石による研削加工から樹脂砥石による研磨加工への移行は、その都度砥石を交換あるいは専用の研磨装置で行うので、ガラスディスクの真円度を高めるために砥石又はガラスディスクの高度の位置決め作業が繰り返し要求され、生産効率向上の阻害要因となっている。また、特許文献４の場合は、研削ステーションに次いで樹脂砥石による研磨ステーションを付加しており、装置が大型化・高額化になる問題点も有している。
【０００４】
また、樹脂砥石の場合、電着砥石と比べて形状保持能力が低く一定時間使用すると形が丸まってきてしまうため、ガラスディスクの精密な仕上加工精度を維持するには、より頻繁に樹脂砥石の形状を復元させるためのドレッシング処理を行う必要があり、効率的なドレッシング処理作業が要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１５４２５５号公報
【特許文献２】特開平１１−３４９３５４号公報
【特許文献３】特開２００１−２４６５３６号公報
【特許文献４】特開２００６−２９４０９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来のガラスディスクの製造装置は、回転砥石のドレッシングを行うには専用のドレス装置またはドレス砥石の設定を必要とし、生産性が悪く且つ装置の大型化やドレッシング処理のための追加の装置を必要とする等の問題点があった。一方、ガラスディスクの端面を鏡面仕上等高度の研磨を行うために樹脂砥石を使用する場合、電着砥石での研削加工とは別ステーション又は専用の装置で行うか、あるいは電着砥石を樹脂砥石に交換して行っており、１台の装置の同一ステーションで電着砥石による研削作業と樹脂砥石による研磨作業を連続して行うことは出来ないため、生産性が悪く且つ装置の大型化や研磨のための追加の装置を必要とする等の点で解決すべき問題点があった。
【０００７】
そこで、本発明は、ガラスディスクの製造装置において、ガラスディスクの研削砥石及び又は研磨砥石のドレシッングを専用のドレス装置又は研削砥石及び又は研磨砥石を装置から脱着することなく、研削作業及び又は研磨作業に続いて効率的にドレッシングができ、ドレッシング作業の効率化と装置の簡便化を図ることを第１の目的とし、１台の装置で且つ砥石を交換することなく、電着砥石による研削作業に続いて、樹脂砥石による研磨作業ができ、研磨作業の効率化と装置の簡便化を図ることを第２の目的するガラスディスクの内外周面を研磨するガラスディスクの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する請求項１に係る本発明のガラスディスクの製造装置は、ドーナツ盤状のガラスディスクの内周面を内周面砥石で研削及び又は研磨し、外周面を外周面砥石で研削及び又は研磨するガラスディスクの製造装置において、前記内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石を設け、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石をそれぞれ設け、前記内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させ、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させてなることを特徴とするものである。前記内周面砥石及び外周面砥石の用語は、ガラスディスクの研削作業を行う場合には内周面研削砥石及び外周面研削砥石を指し、ガラスディスクの研磨作業を行う場合には内周面研磨砥石及び外周面研磨砥石を指すが、その両方の何れかに特定しない場合は、本明細書では単に内周面砥石及び外周面砥石と称する。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に係るガラスディスクの製造装置において、前記内周面砥石の駆動軸及び外周面砥石の駆動軸は、それぞれ上下送り手段及び左右送り手段により、研削及び又は研磨位置、及びドレッシング位置にそれぞれ送り制御可能であること特徴とするものである。
請求項３に係る発明は、請求項１に係るガラスディスクの製造装置において、前記内周面砥石が樹脂砥石からなる内周面研磨砥石であり、前記外周面砥石が樹脂砥石からなる外周面研磨砥石であり、前記外周面ドレス砥石は前記外周面研磨砥石のドレッシング用砥石であり、且つ前記内周面ドレス砥石は前記内周面研磨砥石のドレッシング用砥石であることを特徴とするものである。
【００１０】
さらに、請求項４に係る発明は、請求項１又は２に記載のガラスディスクの製造装置において、前記内周面砥石は、電着砥石からなる内周面研削砥石と、樹脂砥石からなる内周面研磨砥石の組み合わせからなり、且つ前記外周面砥石は、電着砥石からなる外周面研削砥石と、樹脂砥石からなる外周面研磨砥石の組み合わせからなり、同一ステーションで電着砥石よる研削と、樹脂砥石による研磨ができるようにしてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る本発明によれば、内周面砥石の駆動軸に外周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させ、且つ前記外周面砥石の駆動軸に内周面ドレス砥石の駆動軸を兼用させているので、装置の小型化が図られ、且つ内周面砥石及び外周面砥石を取り外すことなく、研削及び又は研磨作業と砥石のドレッシングを同一ステーション内で出来、従来と比べてドレッシング工程の効率化が図れる。
また、請求項２の発明によれば、請求項１の発明の上記効果に加え、研削及び又は研磨位置から自動的に、内周面砥石と外周面ドレス砥石、及び外周面砥石と内周面ドレス砥石をドレッシング位置に移動させることができるので、研削又は研磨作業から連続して自動的にドレス作業に移行することができる。
さらに、請求項３の発明によれば、請求項１の発明の上記効果に加え、ガラスディスクの内外周面を樹脂砥石で高度に研磨仕上することができ、且つ樹脂砥石を研磨装置内で連続してドレッシング用砥石で容易にドレッシング加工することができるので、樹脂砥石のメンテナンスが容易である。
さらにまた、請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか記載の発明の上記効果に加え、１台の装置の同一ステーションで電着砥石による研削工程と、樹脂砥石による研磨工程を連続して行うことができ、従来電着砥石による研削工程と樹脂砥石による研磨工程を別々のステーションまたは別個の装置で行っていたものと比べて、ガラスディスクの製造装置の簡略化及び小型化、低コスト化が図られると共に、ガラスディスクの製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るガラスディスクの製造装置の要部正面概略図である。
【図２】図１におけるワーク保持駆動ユニットの一部を省略した右側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るガラスディスクの製造装置におけるガラスディスクの研磨作業時におけるワークと各砥石の位置関係を示す概略図である。
【図４】同外周面研磨砥石のドレス作業時におけるワークと各砥石の位置関係を示す概略図である。
【図５】同内周面研磨砥石のドレス作業時におけるワークと各砥石の位置関係を示す概略図である。
【図６】本発明の実施形態に係るガラスディスクの製造装置の内周面研磨砥石（樹脂砥石）の拡大図である。
【図７】本発明の実施形態に係るガラスディスクの製造装置の外周面研磨砥石（樹脂砥石）の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を基に詳細に説明する。
図１は、本発明に係るガラスディスクの製造装置としてのガラスディスク研磨装置の実施形態を示している。本実施形態のガラスディスク研磨装置１は、電着砥石を用いてガラスディスクの内周面及び外周面を面取り研削加工が終了したガラスディスクを樹脂砥石によって内外周面を同時に仕上の研磨加工すると共に、装置内で前記樹脂砥石のドレッシング加工を行うことができることを特徴とする装置である。
【００１４】
本実施形態のガラスディスク研磨装置１は、装置本体１０に、ワーク保持駆動ユニット２０、内周面研磨砥石及び外周面ドレス砥石を駆動する第１駆動ユニット３０、及び外周面研磨砥石及び内周面ドレス砥石を駆動する第２駆動ユニット４０をそれぞれユニット化して備えている。
ワーク保持駆動ユニット２０は、ワークであるドーナツ状のガラスディスクを１枚保持して回転駆動される回転軸２１を有する回転保持台２２と、該回転保持台２２を回転駆動するワーク駆動モータ２３を有している。回転保持台２２はガラスディスクを着脱自在に保持可能に構成され、ガラスディスクの着脱保持手段はワーククランパー２４によるクランプや吸引手段等による吸引保持等従来の保持手段が適宜採用できる。
【００１５】
第１駆動ユニット３０は、ユニット全体が装置本体１０に対して上下動（Ｚ軸方向）及び左右動（Ｘ軸方向）に駆動可能に設けられ、ガラスディスクの内周面を研磨する内周面研磨砥石５０と、外周面研磨砥石をドレッシングする外周面ドレス砥石６０が上下方向に所定間隔をおいて第１駆動軸３１に同軸的に設けられ、該第１駆動軸３１が第１駆動モータ３２の出力軸と伝動して回転駆動される。すなわち、内周面砥石駆動軸に外周面ドレス砥石駆動軸を兼用させている。第１駆動ユニット３０の上下左右駆動機構は、ユニット本体３３が第１Ｚ軸レール３４（図２）及び第１Ｘ軸レール３５を介して装置本体１０に設けられ、第１Ｚ軸レール３４)に沿ってＺ軸送り用サーボモータ３６によって上下駆動制御され、第１Ｘ軸レールに沿ってＸ軸送り用サーボモータ３７によって左右送りされる。
【００１６】
同様に、外周面砥石駆動軸に内周面ドレス砥石駆動軸を兼用させてなり、外周面研磨砥石５１及び内周面ドレス砥石６１を駆動する第２駆動ユニット４０は、ユニット全体が装置本体１０に対して上下動及び左右動に駆動可能に設けられ、ガラスディスクの周面を研磨する外周面研磨砥石５１と、内周面研磨砥石をドレッシングする内周面ドレス砥石６１がＺ軸方向に所定間隔をおいて第２駆動軸４１に同軸的に設けられ、該第２駆動軸４１が第２駆動モータ４２の出力軸と伝動して、回転駆動される。なお、内周面ドレス砥石６１は、外周面研磨砥石５１の下方側に設けられている。この第２駆動ユニット４０の上下左右駆動機構は、前記第１駆動ユニットと同様に、ユニット本体４３が第２Ｚ軸レール（図示せず）及び第２Ｘ軸レール４５を介して装置本体１０に設けられ、第２Ｚ軸レールに沿ってＺ軸送り用サーボーモータによって上下駆動制御され、第２Ｘ軸レール４５に沿ってＸ軸送り用サーボモータによって左右送りされる。なお、図２において、３８は、内周面研磨砥石を冷却するためのクーラントノズルである。
【００１７】
内周面研磨砥石５０は、外径がガラスディスク７０の内径よりも小さく形成され、ダイヤモンド砥粒をバインダーの樹脂で集合成形した樹脂砥石であり、図６にＡ部を拡大して示すように、その外周面に砥石面となる台形状の研磨溝５２が形成され、その底部５３がガラスディスクの外周面研磨面を、その両側の傾斜面５４、５５が両側の面取り面研磨面を構成している。図示の実施形態の内周面研磨砥石５０では粒度が同一の砥石面５２を５層に形成した初研磨砥石群５６と、同構成で該初研磨砥石５６より砥粒がより細かい精密研磨用の仕上研磨砥石群５７とを２段積層して構成している。
また、外周面研磨砥石５１は、図７に示すように内周面研磨砥石５０よりも外径が大きいことを除けば、その砥石面は内周研磨用砥石５０と同様に構成され、初研磨砥石群５８と仕上研磨砥石群５９とで構成されている。
【００１８】
前記外周面ドレス砥石６０は、内径用研磨砥石５０をドレッシングするための円板状のドレス砥石であり、ワークであるガラスディスクより大きい外径を有し、図６のＢ部を拡大して示すように、その外周面にワークの端面形状と同じ垂直端面６２の上下両側が面取りして傾斜した傾斜面６３、６４を有し、外周面研磨砥石５０の砥石面（研磨溝５２）と噛み合う形状を呈したドレス砥石面６５が形成され、外周面研磨砥石５１と回転接触することによって、外周面研磨砥石５１を自動的にドレッシングできるようになっている。外周面ドレス砥石６０の第１駆動軸３１へ取付け位置は、後述するように内周面研磨砥石５０と外周面研磨砥石５１でガラスディスクの内外周面を同時に研磨加工するのに邪魔にならない位置に取り付けられ、本実施形態では、内周面研磨砥石５０より上方に配置されている。本実施形態の外周面ドレス砥石６０は、外周面研磨砥石５１の１個の砥石面に対応し、１個毎順次ドレッシングするように形成されているが、外周面研磨砥石５１の形状に対応する形状に形成して、例えば５個のドレス砥石面を有して、初研磨砥石群５８又は仕上研磨砥石群５９をそれぞれ同時にドレッシングできるように形成することも可能である。
【００１９】
また、内周面ドレス砥石６１は、図７に拡大して示すように、外周面研磨砥石５１の駆動軸である第２駆動軸４１に同軸的に取り付けられ、外径は外周面研磨砥石５１の外径よりも大きく形成され、後述するように外周面研磨砥石が装着されているままで、内周面研磨砥石のドレッシングができるようになっている。内周面ドレス砥石６１は、その直径の大きさを除けばドレス砥石面の形状等が前記外周面ドレス砥石とほぼ同様に構成されているので、詳細な説明は省略する。したがって、外周面ドレス砥石と同様に、複数のドレス砥石面を有するように構成することも可能である。
【００２０】
次に、以上のように構成された本発明のガラスディスク製造装置（ガラスディスク研磨装置）によるガラスディスクの内外周面の研磨方法及び内周面研磨砥石と外周面研磨砥石のドッシング方法について説明する。
ロボット等によりワーク保持駆動ユニット２０の回転保持台２２に１枚のガラスディスクを自動的に又は手動により供給されたワークは１度位置ズレ防止のため真空保持され、クランパーが下降してワークを挟みこみ固定し、真空破壊します。
この状態で既に第１駆動モータ３２より回転している第１駆動ユニット３０が下降して、内周面研磨砥石５０の初研磨砥石群５６の１個の研磨溝５２がセットされたガラスディスク７０の内周面側に位置し、同時に既に第２駆動モータ４２より回転している第２駆動ユニット４０も下降して外周面研磨砥石５１の初研磨砥石群の１個の研磨溝がセットされたガラスディスクの外周面側に位置し、ワーク駆動モータ２３によりワーク軸が、回転を開始する。それと同時に第１駆動軸３１は、Ｘ軸送り用サーボモータ３６により原点位置から横（Ｘ軸）方向に移動することにより、内周面研磨砥石がガラスディスクの内周面と回転接触して、樹脂砥石によりガラスディスクの内周面の研磨が行われる。また、同時に外周面研磨砥石を保持している第２駆動軸４１もＸ軸送り用サーボモータによりガラスディスクの中心方向に移動することにより、外周面研磨砥石５１がガラスディスクの外周面と回転接触して、ガラスディスクの外周面の研磨が同時に行われる（図３参照）。
【００２１】
以上のようにして、樹脂研磨砥石によりガラスディスクの内外周面の初研磨が同時に行われる。初研磨が終了すると内周面研磨砥石５０は、ガラスディスクの中心位置（原点位置）に復帰し、また外周面研磨砥石５１も同様にガラスディスクの径方向外側の原点位置に移動してガラスディスクとの接触を離れ、内外周面の初研磨を終了する。次いで、それぞれのＺ軸送り用サーボモータが作動して、内周面研磨砥石及び外周面研磨砥石の仕上研磨砥石群の１の研磨溝がガラスディスクの内周面及び外周面にそれぞれ対面する位置に下降させ、その状態で初研磨と同様にしてガラスディスクの内外周面を同時に仕上げ研磨を行う。
【００２２】
仕上研磨が終了するとＺ軸送り用サーボモータ及びＸ軸送り用サーボモータが駆動して、第１駆動ユニット３０および第２駆動ユニット４０は、図１および図２に示すようなホームポジョションに復帰し、内外周面の研磨が終了したガラスディスクを回転保持台２２から図示しないロボット等により自動的に取り出され、続いて次のガラスディスクが供給され、以下同様な研磨作業が繰り返される。その際、本実施形態によれば、内周面研磨砥石及び外周面研磨砥石が複数の研磨溝を有しているので、Ｚ軸送り用サーボモータにより使用する研磨溝を順次変更することにより、研磨砥石のドレス間隔を長くして長時間の研磨作業が可能である。
【００２３】
そして、一定時間の研磨作業終了毎に研磨砥石の磨耗等による型崩れを修復して、砥石形状を修正するドレッシングを行う。本実施形態におけるドレッシング工程を図４、５により説明する。
図４は外周面研磨砥石５１の外周面ドレス砥石６０によりドレシッングを行っている状態を示している。外周面研磨砥石のドレッシングを行うには、図１に示す状態から、外周面研磨砥石５１に第１駆動ユニット３０の第１駆動軸３１に装着された外周面ドレス砥石６０が対面するように、Ｚ軸送り用サーボモータ及びＸ軸送り用サーボモータをそれぞれ駆動して、外周面研磨砥石と外周面ドレス砥石との間隔及び高さ位置を調整し、その状態で第１駆動モータ及び第２駆動モータを作動させてそれぞれを回転させ、第２駆動軸４１及び又は第１駆動軸３１を所定ストローク送ることにより、外周面研磨砥石５１と外周面ドレス砥石６０が回転しながら接触して外周面研磨砥石のドレッシングが行われる。そして、一つの溝のドレッシングが終了すると、外周面研磨砥石５１と外周面ドレス砥石６０が相対的に１ピッチ送られて、次の研磨溝のドレッシングを行う。
【００２４】
また、内周面研磨砥石５０のドレッシングは、図５に示すように、外周面研磨砥石軸である第２駆動軸４１に固定された内周面ドレス砥石６１によって行う。内周面研磨砥石５０のドレッシングも外周面研磨砥石５１のドレッシングと同様に、図１に示す状態から、内周面研磨砥石５０に第２駆動ユニット４０の第２駆動軸４１に装着された内周面ドレス砥石５０が対面するように、Ｚ軸送り用サーボモータ３６、４６及びＸ軸送り用サーボモータ３７、４７をそれぞれ駆動して、内周面研磨砥石５０と内周面ドレス砥石６１との間隔及び高さ位置を調整し、その状態で第１駆動モータ及び第２駆動モータを作動させてそれぞれを回転させ、第２駆動軸及び又は第１駆動軸をＸ軸に沿って所定ストローク送ることにより、内周面研磨砥石と内周面ドレス砥石が回転しながら接触して内周面研磨砥石のドレッシングが行われる。そして、一つの溝のドレッシングが終了すると、外周面研磨砥石と外周面ドレス砥石が相対的に１ピッチ送られて、次の研磨溝のドレッシングを行う。
【００２５】
以上のようにして、本実施形態によれば、内周面研磨砥石５０及び外周面研磨砥石５１をそれぞれの駆動軸から取り外すことなく、しかも研磨工程と同一ステーションで、それぞれのドレッシングをできるので、従来と比べて簡単にドレッシングを行うことができ、ガラスディスクの製造効率を著しく向上させることができる。また、ドレッシングも研磨ステーションと同じ位置で行うことができるので、装置を大型化することなく且つ構成が単純化でき、設備コストを低減化させることができる。しかも、内周面研磨砥石５０及び外周面研磨砥石５１をそれぞれの駆動軸から取り外すことなく、ドレッシングできるので、高度位置決め精度が維持されて高度の精密研磨ができ、高品質のガラスディスクを得ることがでる。
【００２６】
以上、本発明の研磨装置の一実施形態を示したが、本発明は上記実施形態に限らず、種々の設計変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、内周面研磨砥石及び外周面研磨砥石を粒度の異なる複数の研磨砥石を組合わせて採用したが、用途に応じて単一粒度の研磨砥石であってもよく、さらに各研磨砥石は、１の研磨溝の砥石も採用可能である。
また、上記実施形態では、研磨作業について説明したが、上記内周面研磨砥石に代えて内周面研削砥石を採用し、且つ外周面研磨砥石に代えて外周面研削砥石を採用することによって、ガラスディスクの内外周面研削装置が構成され、内周面研削砥石及び外周面研削砥石を取り外すことなくユニット（駆動軸）を軸方向に相対的に変位させることによって、装置内で砥石の自動ドレッシングが可能なガラスディスク研削装置を得ることができる。
【００２７】
さらに、上記実施形態の内周面研磨砥石及び外周面研磨砥石に代えて、電着砥石からなる内周面研削砥石と樹脂砥石からなる内周面研磨砥石を同軸に離れて配置し、且つ同様に電着砥石からなる外周面研削砥石と樹脂砥石からなる外周面研磨砥石を同軸にそれぞれ配置することも可能である。このように、電着砥石からなる研削砥石と樹脂砥石からなる研磨砥石を同軸に配置することによって、電着砥石によるガラスディスクの内外周面の研削加工の終了後、ワークを脱着することなく同一ステーションで樹脂砥石による研磨加工ができるので、従来のガラスディスク製造工程と比べて工程を短縮でき、かつ設備コストも低減化できる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明は、ハードディスク、ＭＤ、ＣＤ等の情報記録媒体用のドーナツ盤状ガラスディスクの内周面及び外周面の研削加工及び研磨加工、及び内周面砥石と外周面砥石のドレッシング装置に好適に適用可能である。
【符号の説明】
【００２９】
１  ガラスディスク研磨装置            １０  装置本体
２０  ワーク保持駆動ユニット            ２１  回転軸
２３  ワーク駆動モータ                  ２４  ワーククランパー
３０  第１駆動ユニット                  ３１  第１駆動軸
３２  第１駆動モータ                    ３３  ユニット本体
３４  第１Ｚ軸レール                    ３５  第１Ｘ軸レール
３６  Ｚ軸送り用サーボモータ            ３７  Ｘ軸送り用サーボモータ
３８  クーラントノズル                  ４０  第２駆動ユニット
４１  第２駆動軸                        ４２  第２駆動モータ
４３  ユニット本体                      ４５  第２Ｘ軸レール
５０  内周面研磨砥石                    ５１  外周面研磨砥石
５２  研磨溝                            ５３  底部
５４、５５  斜面                        ５６  初研摩砥石群
５７  仕上研磨砥石群                    ６０  外周面ドレス砥石
６１  内周面ドレス砥石                  ６２、６３  傾斜面
６４  ドレス砥石面                      ７０  ガラスディスク
【図１】
2012143852.tif 000003
【図２】
2012143852.tif 000004
【図３】
2012143852.tif 000005
【図４】
2012143852.tif 000006
【図５】
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【図６】
2012143852.tif 000008
【図７】
2012143852.tif 000009