(57)【要約】【課題】ノズルプレートの剥離や、ノズルプレート及び流路形成部材の損耗を防止して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口を有するノズルプレート１４と、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板１２と、液滴を吐出させるための圧力を圧力発生室に付与する圧力発生手段とを備え、ノズルプレート１４の外縁部１４１は、流路形成基板１４側の表面が接着剤で流路形成基板１２に接合され、接着剤は、ノズルプレート１４の外縁部１４１の側面１４３に付着しており、ノズルプレート１４の側面及び流路形成基板１２の側面には、接着剤６０に連続したモールド材７０が設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口を有するノズル形成部材と、
前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成部材と、
液滴を吐出させるための圧力を前記圧力発生室に付与する圧力発生手段とを備え、
前記ノズル形成部材の外縁部は、流路形成部材の外縁部よりも内側に位置し、流路形成部材側の表面が接着剤で前記流路形成部材に接合され、
前記接着剤は、前記ノズル形成基板の外縁部の側面に付着しており、
前記ノズル形成基板の側面及び前記流路形成部材の側面には、前記接着剤に連続したモールド材が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成部材の外縁部は、凹凸状の側面を有し、
前記ノズル形成部材の外縁部は、前記流路形成部材の外縁部の凸部よりも内側かつ前記流路形成部材の外縁部の凹部よりも外側に位置して、当該凸部に接着剤で接合されており、
前記接着剤は、前記流路形成部材の凹部、前記ノズル形成部材の当該凹部に面した表面、及び前記ノズル形成部材の外縁部の側面に付着している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成部材の外形は、前記ノズル形成部材の外形よりも大きく、
前記流路形成部材の前記ノズル形成部材と反対側に設けられる部材の外形は、前記流路形成部材の外形よりも大きい
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子や発熱素子などの圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）が挙げられる。
【０００３】
このような記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、圧力発生室に圧力を付与する圧力発生手段とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１１３３９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、液体噴射時に、液体噴射ヘッドに対して相対移動する媒体がノズルプレートや流路形成基板に衝突し、ノズルプレートが剥離したり、流路形成基板の外縁部に欠けが生じる虞がある。
【０００６】
特に、ノズルプレートが流路形成基板よりも大きく、ノズルプレートの外縁部が流路形成基板の外縁よりも突出している場合、これらの間に媒体が入り込むため、上述した剥離や欠けが生ずる可能性が高くなる。
【０００７】
なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、ノズルプレートの剥離や、ノズルプレート及び流路形成部材の損耗を防止して信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、ノズル開口を有するノズル形成部材と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成部材と、液滴を吐出させるための圧力を前記圧力発生室に付与する圧力発生手段とを備え、前記ノズル形成部材の外縁部は、流路形成部材の外縁部よりも内側に位置し、流路形成部材側の表面が接着剤で前記流路形成部材に接合され、前記接着剤は、前記ノズル形成基板の外縁部の側面に付着しており、前記ノズル形成基板の側面及び前記流路形成部材の側面には、前記接着剤に連続したモールド材が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、ノズル形成部材の外縁部の側面に接着剤が付着し、ノズル形成部材と流路形成部材の側面に、接着剤に連続したモールド材を設けたことで、紙等の被記録媒体が衝突することによるノズル形成部材の剥離や、ノズル形成部材及び流路形成部材の損傷を防止し、信頼性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。
【００１０】
ここで、前記流路形成部材の外縁部は、凹凸状の側面を有し、前記ノズル形成部材の外縁部は、前記流路形成部材の外縁部の凸部よりも内側かつ前記流路形成部材の外縁部の凹部よりも外側に位置して、当該凸部に接着剤で接合されており、前記接着剤は、前記流路形成部材の凹部、前記ノズル形成部材の当該凹部に面した表面、及び前記ノズル形成部材の外縁部の側面に付着していることが好ましい。これにより、凹部とノズル形成部材とに囲まれた領域に付着した接着剤は、凹部及びノズル形成部材の各面に付着しているため当該領域に付着した状態が維持されやすい。したがって、モールド材をより確実に接着剤に連続させることができる。
【００１１】
また、前記流路形成部材の外形は、前記ノズル形成部材の外形よりも大きく、前記流路形成部材の前記ノズル形成部材と反対側に設けられる部材の外形は、前記流路形成部材の外形よりも大きいことが好ましい。これにより、流路形成部材及びノズル形成部材の表面は階段状に現れ、モールド材は、この階段の段差を埋め、なだらかな斜面を形成する。このような斜面が形成されることにより、液体噴射ヘッドに対して相対移動される被記録媒体の衝突による衝撃を緩和することができる。
【００１２】
また、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、ノズル形成部材の剥離や、ノズル形成部材及び流路形成部材の損耗を防止して信頼性が向上した液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドのノズルプレート側の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】実施形態２に係る記録ヘッドのノズルプレート側の平面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図及びＣ−Ｃ線断面図である。
【図６】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１５】
図１に示すように、記録ヘッド１０は、ヘッド本体４０とヘッド本体４０を保持するヘッドケース５０とから構成されている。
【００１６】
ヘッド本体４０は、ヘッドケース５０の鉛直方向下側の端面に接合された流路形成部材の一例である流路形成基板１２と、ヘッドケース５０に設けられた収容部５１に保持された２つの圧電素子ユニット３４とから構成されている。
【００１７】
流路形成基板１２はシリコン単結晶基板からなり、複数の隔壁によって画成された圧力発生室１１がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、各圧力発生室１１の長手方向一端部側には、各圧力発生室１１にインクを供給する液体流路の一例であるマニホールド１８及びインク供給路１９が連通している。また、流路形成基板１２の圧力発生室１１の開口面側は振動板１５で封止され、他方面側にはノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４（ノズル形成部材）が液体の接着剤を塗布してから、熱や光照射によって硬化させる接着剤や熱溶着フィルムを熱で一旦溶解させてから部材同士を接着する接着剤を介して接着されている。ここでは、流路形成基板１２とノズルプレート１４を接着できるものであれば、接着剤の材料などを限定する必要はない。
【００１８】
流路形成基板１２上に形成された振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２７と、この弾性膜２７を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２８との複合板で形成されており、弾性膜２７側が流路形成基板１２に接合されている。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子の先端部が当接する島部２９が設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部３０が形成され、この薄肉部３０の内側にそれぞれ島部２９が設けられている。この薄肉部３０は、弾性膜２７のみで構成され、弾性膜２７と支持板２８を積層した積層体から支持板２８をエッチングで除去することで作製される。本実施形態では、振動板１５に島部２９を設けることで、振動板１５に他の領域（薄肉部３０）よりも厚い厚肉部が設けられている。先ほどの積層体の支持板２８を除去せずに残した部分が当該島部２９となる。
【００１９】
また、振動板１５のマニホールド１８に対向する領域には、薄肉部３０と同様に、支持板２８がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２７のみで構成されるコンプライアンス部３１が設けられている。なお、このコンプライアンス部３１は、マニホールド１８内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部３１の弾性膜２７が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド１８内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００２０】
振動板１５上には、複数のインクカートリッジ（図示せず）に接続される液体流路の一例であるインク供給路３３を有するヘッドケース５０が固定されており、このヘッドケース５０には、圧力発生手段の一例である圧電素子ユニット３４が高精度に位置決めされて固定されている。具体的には、ヘッドケース５０には厚さ方向に貫通した収容部５１が設けられており、この収容部５１の一方の内側面に圧電素子ユニット３４が固定されている。また、各圧電素子の先端は、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられた各島部２９（厚肉部）に接着剤等を介して固定されている。
【００２１】
圧電素子ユニット３４は、複数の圧電素子がその幅方向に並設された圧電素子形成部材１６と、圧電素子形成部材１６の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板２４とを有する。圧電素子形成部材１６は、圧電材料２１と電極形成材料２２及び２３とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層することにより形成されている。このような圧電素子ユニット３４は、固定板２４の圧電素子形成部材１６が固定された面とは反対側の面が、ヘッドケース５０の収容部５１の内側面に固定される。
【００２２】
また、圧電素子ユニット３４には、圧電素子を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載された回路基板３５が接続されている。回路基板３５は、例えば、本実施形態では、チップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。回路基板３５の各配線は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子を構成する電極に接続されている。一方、先端部側では、特に図示しないが、ヘッドケース５０上に配設される配線基板に接合されている。
【００２３】
なおヘッドケース５０のコンプライアンス部３１に対向する部分には、コンプライアンス部３１の変形を許容する空間である空間部３２が形成されている。この空間部３２はヘッドケース５０に設けられる連通孔（図示せず）を介して外部と連通している。つまり空間部３２は大気開放されている。これによりコンプライアンス部３１がマニホールド１８の圧力変化に伴って良好に変形する。
【００２４】
ここで、図２及び図３を用いて流路形成基板１２及びノズルプレート１４の構造について詳細に説明する。図２は、実施形態１に係る記録ヘッドのノズルプレート側の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【００２５】
図示するように、流路形成基板１２は、ノズルプレート１４が接合された第１接合面１２４と、振動板１５が接合された第２接合面１２５とを有する。流路形成基板１２の第１接合面１２４の一部は、ノズルプレート１４に覆われずに露出している露出部１２４ａとなっている。流路形成基板１２の外縁部１２１は、流路形成基板１２の側面部１２２と、側面部１２２から突出した分割部１２３とからなる。側面部１２２は、流路形成基板１２の露出部１２４ａと、振動板１５との第２接合面１２５とに連続する側面を含む領域である。分割部１２３は、複数の流路形成基板が設けられた１枚のウェハを各流路形成基板１２に切断、分割する際に、流路形成基板１２が他の流路形成基板１２と分割される直前まで繋がっていた部位である。このような流路形成基板１２の外縁部１２１は、分割部１２３から側面部１２２にかけて階段状になっている。ここでは、流路形成基板１２に分割される前にすでに側面部１２２を形成しておくことで、流路形成基板１２同士の分割予定領域が脆弱となり、流路形成基板１２同士を容易に分割できるようになっている。つまり、流路形成基板１２に分割される前に、流路形成基板１２の側面部と他の流路形成基板１２の側面部の間には一定のクリアランスが生じている状態となる。そのため、側面部１２２よりも分割部１２３の方が、流路形成基板１２の外側に向けて突出しているのである。
【００２６】
ノズルプレート１４の外縁部１４１は、流路形成基板１２の外縁部１２１（すなわち、側面部１２２及び分割部１２３）よりも内側に位置している。
【００２７】
本実施形態では、ノズルプレート１４の外形は、図２に示した平面視において流路形成基板１２の外形よりも小さく形成されており、ノズルプレート１４全体が流路形成基板１２の内側に位置している。また、流路形成基板１２の外形は、図２に示した平面視においてヘッドケース５０の外形よりも小さく形成されている。つまり、ノズルプレート１４、流路形成基板１２及びヘッドケース５０は、ノズルプレート１４側であるほど外形が小さくなっている。このようにノズルプレート１４が流路形成基板１２に接合されることで、流路形成基板１２の外縁部１２１とノズルプレート１４とで一連の階段状の部分が形成されている。
【００２８】
また、ノズルプレート１４の外縁部１４１は、流路形成基板１２の第１接合面１２４に接合されている。本実施形態では、外縁部１４１のみならず、ノズルプレート１４全体が流路形成基板１２に接合されている。
【００２９】
ノズルプレート１４の側面１４３と、流路形成基板１２の露出部１２４ａとで構成する角部１４４には、接着剤６０が付着している。本実施形態では、接着剤６０は、ノズルプレート１４を流路形成基板１２に接着した際にはみ出た接着剤である。当該接着剤の量や塗布位置を調節することで角部１４４に接着剤６０を付着させることができる。
【００３０】
このように流路形成基板１２の側面とノズルプレート１４の側面には、モールド材７０が添加されている。流路形成基板１２の側面とは、外縁部１２１全体、すなわち側面部１２２と分割部１２３の側面全体であり、ノズルプレート１４の側面とは、側面１４３である。
【００３１】
上述したように、ノズルプレート１４、流路形成基板１２、ヘッドケース５０は、ノズルプレート１４側ほど小さく形成されているため、ノズルプレート１４のノズル面１４５（ノズル開口１３からインク滴を吐出する面）、流路形成基板１２の露出部１２４ａ、分割部１２３の表面が階段状に現れる。したがって、流路形成基板１２及びノズルプレート１４の側面に設けられたモールド材７０は、この階段の段差を埋め、ノズルプレート１４の側面と流路形成基板１２の側面とをつなぐようななだらかな斜面７１を形成する。
【００３２】
ノズルプレート１４の側面から流路形成基板１２の側面にかけて斜面７１が形成されることにより、記録ヘッド１０に対して相対移動される紙などの媒体が、ノズルプレート１４と流路形成基板１２の積層体の側面に衝突してもモールド材７０の斜面７１に沿い、ノズルプレート１４のノズル面１４５側に導かれる。
【００３３】
すなわち、ノズルプレート１４及び流路形成基板１２に紙などの媒体が衝突することによる衝撃が緩和され、該衝撃による損耗を防止することができる。
【００３４】
また、ノズルプレート１４の外縁部１４１は、接着剤により流路形成基板１２と接合されており、隙間がない。したがって、仮にモールド材７０が紙などの媒体で破壊されたとしても、ノズルプレート１４と流路形成基板１２との間に紙が入り込まず、ノズルプレート１４が紙などの媒体で剥離されることを防止できる。
【００３５】
ここで、仮に、ノズルプレート１４と流路形成基板１２とで画成された角部１４４に接着剤６０を付着させずに、単にノズルプレート１４を、流路形成基板１２の内側に位置するように接着剤で接合した場合、モールド材７０がノズルプレート１４の側面１４３にまで到達しない場合がある。この場合、モールド材７０とノズルプレート１４との間に間隙が生じてしまい、当該間隙に紙などの媒体が衝突してノズルプレート１４を剥離させたり、損耗させてしまう。一方、このような間隙を生じさせないように、モールド材７０をノズルプレート１４に達するまで多量に設けてしまうと、モールド材７０がノズルプレート１４のノズル面１４５に達し、ノズル開口１３を封止してしまう虞がある。
【００３６】
しかしながら、本発明は、ノズルプレート１４と流路形成基板１２との間の角部１４４に接着剤６０を付着させたので、接着剤６０に連続したモールド材７０は、ノズルプレート１４及び流路形成基板１２の側面全体を覆うなだらかな斜面７１を形成する。すなわち、ノズルプレート１４の側面に接着剤６０を付着させたことで、ノズルプレート１４とモールド材７０との間に紙が入り込むような間隙が生じない。さらに、モールド材７０自体は接着剤６０にさえ達すればよいのでノズルプレート１４の表面がモールド材７０で覆われてしまうことを防止できる。もちろん、モールド材７０は、ノズルプレート１４の側面１４３にまで達していてもよい。
【００３７】
このように、ノズルプレート１４の側面に接着剤６０が付着し、ノズルプレート１４と流路形成基板１２の側面に、接着剤６０に連続したモールド材７０を設けたことで、紙の衝突によるノズルプレート１４の剥離や、ノズルプレート１４及び流路形成基板１２の損傷を防止し、信頼性が向上した記録ヘッド１０が提供される。
【００３８】
以上に説明したインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジから、インク供給路３３を介してマニホールド１８にインクが供給されると、インク供給路１９を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子に電圧を印加することにより圧電素子を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板を介して供給される記録信号に従い、圧電素子の電極に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００３９】
〈実施形態２〉
実施形態１に係る記録ヘッド１０では、ノズルプレート１４の外縁部１４１の全体が流路形成基板１２に接合していたが、これに限らず、一部が接合していればよい。
【００４０】
図４及び図５を用いて、実施形態２に係る記録ヘッドを説明する。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４１】
流路形成基板１２Ａは、外縁部１２１の側面部１２２は、凹凸状に形成されている。本実施形態では、平面視で凸部１２２ａと凹部１２２ｂとからなる鋸歯状の側面部１２２が形成されている。このような側面部１２２は、分割部１２３の形成時に行われたエッチングにより形成されている。
【００４２】
ノズルプレート１４は、ノズルプレート１４の吐出面側からの平面視において、外縁部１４１が凸部１２２ａよりも内側かつ凹部１２２ｂよりも外側に位置している。すなわち平面視で凹部１２２ｂがノズルプレート１４で覆われ、凸部１２２ａがノズルプレート１４から突出するように位置している。このような配置のノズルプレート１４は、流路形成基板１２の外縁部１２１全体よりも内側に位置している。
【００４３】
図５（ａ）は、図４のＢ−Ｂ線断面図である。図示するように、このような配置のノズルプレート１４は、外縁部１４１が凸部１２２ａに接着剤６０で接合されており、さらに、接着剤６０が角部１４４に付着している。すなわち、ノズルプレート１４の外縁部１４１は、全体が流路形成基板１２Ａに接合されている必要はなく、少なくとも、外縁部１４１の一部（凸部１２２ａに対向する領域）が流路形成基板１２Ａ（凸部１２２ａ）に接合されていればよい。
【００４４】
図５（ｂ）は、図４のＣ−Ｃ線断面図である。図示するように、凹部１２２ｂについては、ノズルプレート１４が覆っている。このノズルプレート１４の凹部１２２ｂ側の面と、凹部１２２ｂには、接着剤６０が付着している。
【００４５】
このような凹部１２２ｂとノズルプレート１４とに囲まれた領域に付着した接着剤６０は、ノズルプレート１４の吐出面側に流れ出しにくいため、当該領域に付着した状態が保持されやすい。したがって、モールド材７０をより確実に接着剤６０に連続させることができる。
【００４６】
このように本実施形態においても、より確実にモールド材７０が接着剤に連続して斜面７１を形成するので、記録ヘッド１０に対して相対移動される紙などの媒体がモールド材７０に衝突しても、ノズル面１４５側に導かれ、その衝撃は緩和される。すなわち、ノズルプレート１４及び流路形成基板１２Ａに紙などの媒体が衝突することによる衝撃が緩和され、該衝撃による損耗を防止することができる。さらに、上述したように、ノズルプレート１４と流路形成基板１２Ａを接着剤６０で接合したので、仮にモールド材７０が紙などの媒体で破壊されたとしても、ノズルプレート１４と流路形成基板１２Ａとの間に紙が入り込まず、ノズルプレート１４が紙などの媒体で剥離されることを防止できる。
【００４７】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の実施形態を説明したが、勿論、本発明は上述したものに限定されるものではない。
【００４８】
例えば、流路形成基板１２の外縁部１２１には分割部１２３が設けられていたり、側面部１２２が凹凸状であったが、外縁部１２１の側面は平面状であってもよい。この場合においては、外縁部１２１の側面よりも内側にノズルプレート１４を配置し、ノズルプレート１４を流路形成基板１２に接合すればよい。
【００４９】
また、接着剤６０（ノズルプレート１４と流路形成基板１２とを接合する接着剤）及びモールド材７０の材料としては、特に限定はないが、エポキシ系樹脂やシリコーン系樹脂を用いることができる。
【００５０】
また、圧力発生手段として、いわゆる縦振動型の圧電素子を例示して本発明を説明したが、圧力発生手段の構成は特に限定されず、例えば、いわゆる撓み振動型の圧電素子や、静電気力を用いるタイプのものや、発熱素子等であってもよい。
【００５１】
さらに、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５２】
図６に示すように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１は、例えば、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留される貯留室を有するインクカートリッジ（液体貯留手段）２が装着されたインクジェット式記録ヘッド１０を具備する。記録ヘッド１０はキャリッジ３に搭載されており、記録ヘッド１０が搭載されたキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、キャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００５３】
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するものにも勿論適用することができる。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５４】
１  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １１  圧力発生室、  １２、１２Ａ  流路形成基板（流路形成部材）、  １４  ノズルプレート（ノズル形成部材）、  ６０  接着剤、  ７０  モールド材、  ７１  斜面、  １２１  外縁部、  １２２  側面部、  １２２ａ  凸部、  １２２ｂ  凹部、  １２３  分割部、  １２４ａ  露出部、  １４１  外縁部、  １４３  側面
【図１】
2012143880.tif 000003
【図２】
2012143880.tif 000004
【図３】
2012143880.tif 000005
【図４】
2012143880.tif 000006
【図５】
2012143880.tif 000007
【図６】
2012143880.tif 000008