(57)【要約】【課題】基板等から安全かつ効率的に接着剤を除去することができる接着剤の除去方法及びそれら方法を採用するペリクルフレーム接着剤除去装置を提供する。【解決手段】上記課題を解決するため、１）接着剤又はその残渣が存在する基板の表面を流体で被覆しながら、２）前記接着剤又はその残渣が存在する箇所近辺に前記流体の流れを遮る隔離領域あるいは、流れが滞留した隔離領域を形成し、３）前記隔離領域内で前記基板を押圧する摺動体を揺動させ、４）前記隔離領域内に前記接着剤又はその残渣を剥離或いは溶融する薬剤を滴下し、若しくは前記揺動体に前記薬剤を滴下するとともに、５）当該摺動体を前記接着剤またはその残渣上を水平方向に移動させ、６）機械的かつ化学的に前記接着剤又はその残渣を前記基板から剥離することを特徴とする接着剤の除去方法の構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１）接着剤又はその残渣が存在する基板の表面を流体で被覆しながら、
２）前記接着剤又はその残渣が存在する箇所近辺に前記流体の流れを遮る隔離領域あるいは、流れが滞留した隔離領域を形成し、
３）前記隔離領域内で前記基板を押圧する摺動体を揺動させ、
４）前記隔離領域内に前記接着剤又はその残渣を剥離或いは溶融する薬剤を滴下し、若しくは前記揺動体に前記薬剤を滴下するとともに、
５）当該摺動体を前記接着剤またはその残渣上を水平方向に移動させ、
６）機械的かつ化学的に前記接着剤又はその残渣を前記基板から剥離することを特徴とする接着剤の除去方法。
【請求項２】
前記基板が、半導体用又は液晶ディスプレイ用のフォトマスクであることをお特徴とする請求項１に記載の接着剤の除去方法。
【請求項３】
前記薬剤が、界面活性剤を含む溶液であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の接着剤の除去方法。
【請求項４】
ペリクルフレームを剥離したマスクの表面に流水を形成し、ペリクルフレーム接着剤の剥離を補助する第１界面活性剤の存在下で、前記ペリクルフレームを貼り付けていた位置を摩擦体で擦ることを特徴とするペリクルフレーム接着剤の除去方法。
【請求項５】
ペリクルフレームを剥離したマスクの表面に流水を形成し、前記マスク表面との間に隙間を設けて配置され流水が減速する隔離領域を形成する壁内部において、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤の存在下で、前記ペリクルフレームを貼り付けていた位置を擦りながら移動させるとともに、前記壁底部周辺の水及び空気を吸引し、ペリクルフレーム接着剤残渣を剥離・回収することを特徴とするペリクルフレーム接着剤の除去方法。
【請求項６】
前記流水に、マスク表面上での水の表面張力を低下させる第２界面活性剤を添加したことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のペリクルフレーム接着剤の除去方法。
【請求項７】
ペリクルフレームを剥離したマスク上に流水を形成する水供給手段と、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤を前記流水に送る薬剤供給手段と、ペリクルフレームを貼り付けた位置を擦りながら移動する摩擦体と、からなることを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置。
【請求項８】
ペリクルフレームを剥離したマスクを固定する台と、前記台に固定したマスク上に流水を形成する水供給手段と、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤を前記流水に送る薬剤供給手段と、ペリクルフレームを貼り付けた位置を擦りながら移動する摩擦体と、前記摩擦体の側面及びその上方を囲むとともにマスク表面との間に隙間を設けて配置され流水が減速する隔離領域を形成し前記ペリクルフレームを貼り付けた位置の前記流水の下流側の底部に吸引のための孔を設けた壁と、前記壁底部周辺の水及び空気を吸引する吸引装置と、からなることを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置。
【請求項９】
前記台が３６０°水平方向に回転し、前記摩擦体が直線移動することを特徴とする請求項８に記載のペリクルフレーム接着剤除去装置。
【請求項１０】
前記摩擦体が、ポリフッ化エチレンであることを特徴とする請求項７〜請求項９の何れか１項に記載のペリクルフレーム接着剤除去装置。
【請求項１１】
請求項７〜請求項１０の何れか１項に記載のペリクルフレーム接着剤除去装置において、さらに、マスク表面を撮影する撮影装置を備え、
前記撮影装置での映像からペリクルフレーム接着剤残渣の始点と終点の位置を、２次元平面上の座標点（始点（Ｘ１、Ｙ１）及び終点（Ｘ２、Ｙ２））として、前記摩擦体及び揺動体の動作を制御する制御装置に与えられ、前記摩擦体が前記制御装置により前記始点（Ｘ１、Ｙ１）及び終点（Ｘ２、Ｙ２）を結ぶ直線上を移動するよう制御されたことを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置。
【請求項１２】
前記摩擦体の前記マスクを押圧する圧力を所定の範囲に設定する校正手段を備えることを特徴とする請求項４〜請求項１１の何れか１項に記載のペリクルフレーム接着剤除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクからフレームを剥離したとき、特にペリクルを搭載したペリクルフレームを剥離したとき、そのマスク上に残存するフレーム接着剤を除去する方法及びその除去に用いる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスクは、半導体や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などにフォトリソグラフィ技術で、ＩＣパターン等を転写する際の原盤であり、半導体や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などにおいてますます採択が進む、製品の性能を左右する重要部材である。
【０００３】
ウエハへＩＣパターンを転写する状況を図５に示す。マスク１１のＩＣパターン上に埃などの異物が付着すると、ウエハ１８上の投影パターンに異常を引き起こす。そのため、ペリクル１５と呼ばれる薄い有機膜がマスク１１上のＩＣパターンから数ｍｍ離れた位置でペリクルフレーム１６の上部に張られている。仮に、ペリクル１５上に埃があっても、焦点からは遠く、露光の結像に影響を与えない。  
【０００４】
ペリクルフレーム１６は、四角形の枠状でマスク１１上にペリクルフレーム接着剤１７で貼り付けられて固定される。ペリクルフレーム接着剤１７（以下、単に「接着剤」ともいう。）としては、アクリル系、シリコーン系、スチレン系など多岐にわたる素材が使用されている。
【０００５】
マスク１１は、現場での実使用によりマスク１１上に生成、蓄積される異物（ヘイズ）などを除去するため定期的に洗浄される。その際、ペリクル１５及びペリクルフレーム１６は剥離される。
【０００６】
しかし、ペリクルフレーム１６をマスク１１から剥離したとき、ペリクルフレーム接着剤１７はマスク上に一部残存してしまう。新たにペリクルフレーム１６を介してペリクル１５をマスク１１上に固定する際、接着剤の残渣があることは好ましくない。そのため接着剤残渣を除去する必要がある。
【０００７】
従来、接着剤残渣の除去は、一般的に次の二つの方式が採用されてきた。第１の方式は、濃硫酸／過酸化水素水の薬液による接着剤残渣の除去である。この場合、濃硫酸が使用されるので、硫酸基がｐｐｂ（parts-per-billion)レベルで残存する。このことが、後日マスク上にヘイズが発生する主因の一つになっていた。第２の方式は、将来のヘイズ発生を回避すべく、アセトンなどの有機溶媒を使用する方法であった。この場合、有機溶剤を綿棒などに付着させて、接着剤残渣部を擦り、少しずつ接着剤残渣を除去していた。しかしながら、その作業は人の手作業による煩雑な方式であった。
【０００８】
また、除去剤である有機溶剤は一般に引火性が高く危険で、また接着剤は強固に結着していて安定で完全な除去は極めて困難であった。さらに、剥離された接着剤がマスク１１上に飛散、残存して転写パターンに影響を与えることもある。加えて、作業者によるマスク１１の破損の危険も含んでいる。
【０００９】
他方、特許文献１には、マスク基板のマスクパターンを損傷することなく、シリコーン樹脂よりなるペリクル接着剤の残渣を完全に除去する方法として、ペリクル接着剤残渣をアルカリ溶液で処理を行った後に、硫酸を含む酸溶液で処理することにより除去する方法が提案されている。また、特許文献２には、熱による接着剤の剥離方法が提案されている。
【００１０】
しかしながら、そのような強力なアルカリ、酸の使用は、環境配慮上望ましくない。また硫酸を含む酸溶液の使用は、マスク上にヘイズ(曇り)を発生させる場合もあり、避けるべきである。また、熱による接着剤の剥離は、マスクの膨張などの問題があり、好まし方法とは言えない。
【００１１】
他方、熱によらないペリクルフレーム接着剤を除去する装置は、接着剤層の幅が２ｍｍ程度と極めて細いこと、剥離した接着剤のマスク上の飛散を防止することができないため市場に流通していない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−２５１２４３号公報
【特許文献２】特開２００８−０３２９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明は、基板等から安全かつ効率的に接着剤を除去することができる接着剤の除去方法及びそれら方法を採用するペリクルフレーム接着剤除去装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、本発明は、
（１）
１）接着剤又はその残渣が存在する基板の表面を流体で被覆しながら、
２）前記接着剤又はその残渣が存在する箇所近辺に前記流体の流れを遮る隔離領域あるいは、流れが滞留した隔離領域を形成し、
３）前記隔離領域内で前記基板を押圧する摺動体を揺動させ、
４）前記隔離領域内に前記接着剤又はその残渣を剥離或いは溶融する薬剤を滴下し、若しくは前記揺動体に前記薬剤を滴下するとともに、
５）当該摺動体を前記接着剤またはその残渣上を水平方向に移動させ、
６）機械的かつ化学的に前記接着剤又はその残渣を前記基板から剥離することを特徴とする接着剤の除去方法の構成とした。
（２）
前記基板が、半導体用又は液晶ディスプレイ用のフォトマスクであることをお特徴とする（１）に記載の接着剤の除去方法の構成とした。
（３）
前記薬剤が、界面活性剤を含む溶液であることを特徴とする（１）又は（２）に記載の接着剤の除去方法の構成とした。
（４）
ペリクルフレームを剥離したマスクの表面に流水を形成し、ペリクルフレーム接着剤の剥離を補助する第１界面活性剤の存在下で、前記ペリクルフレームを貼り付けていた位置を摩擦体で擦ることを特徴とするペリクルフレーム接着剤の除去方法の構成とした。
（５）
ペリクルフレームを剥離したマスクの表面に流水を形成し、前記マスク表面との間に隙間を設けて配置され流水が減速する隔離領域を形成する壁内部において、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤の存在下で、前記ペリクルフレームを貼り付けていた位置を擦りながら移動させるとともに、前記壁底部周辺の水及び空気を吸引し、ペリクルフレーム接着剤残渣を剥離・回収することを特徴とするペリクルフレーム接着剤の除去方法の構成とした。
（６）
前記流水に、マスク表面上での水の表面張力を低下させる第２界面活性剤を添加したことを特徴とする（４）又は（５）に記載のペリクルフレーム接着剤の除去方法の構成とした。
（７）
ペリクルフレームを剥離したマスク上に流水を形成する水供給手段と、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤を前記流水に送る薬剤供給手段と、ペリクルフレームを貼り付けた位置を擦りながら移動する摩擦体と、からなることを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置の構成とした。
（８）
ペリクルフレームを剥離したマスクを固定する台と、前記台に固定したマスク上に流水を形成する水供給手段と、ペリクルフレーム接着剤の前記マスクからの剥離を補助する第１界面活性剤を前記流水に送る薬剤供給手段と、ペリクルフレームを貼り付けた位置を擦りながら移動する摩擦体と、前記摩擦体の側面及びその上方を囲むとともにマスク表面との間に隙間を設けて配置され流水が減速する隔離領域を形成し前記ペリクルフレームを貼り付けた位置の前記流水の下流側の底部に吸引のための孔を設けた壁と、前記壁底部周辺の水及び空気を吸引する吸引装置と、からなることを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置の構成とした。
（９）
前記台が３６０°水平方向に回転し、前記摩擦体が直線移動することを特徴とする（８）に記載のペリクルフレーム接着剤除去装置の構成とした。
（１０）
前記摩擦体が、ポリフッ化エチレンであることを特徴とする（７）〜（９）の何れかに記載のペリクルフレーム接着剤除去装置。
（１１）
（７）〜（１０）の何れかに記載のペリクルフレーム接着剤除去装置において、さらに、マスク表面を撮影する撮影装置を備え、前記撮影装置での映像からペリクルフレーム接着剤残渣の始点と終点の位置を、２次元平面上の座標点（始点（Ｘ１、Ｙ１）及び終点（Ｘ２、Ｙ２））として、前記摩擦体及び揺動体の動作を制御する制御装置に与えられ、前記摩擦体が前記制御装置により前記始点（Ｘ１、Ｙ１）及び終点（Ｘ２、Ｙ２）を結ぶ直線上を移動するよう制御されたことを特徴とするペリクルフレーム接着剤除去装置の構成とした。
（１２）
前記摩擦体の前記マスクを押圧する圧力を所定の範囲に設定する校正手段を備えることを特徴とする（４）〜（１１）の何れかに記載のペリクルフレーム接着剤除去装置の構成とした。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、上記構成であるので、安全かつ効率的でＩＣパターンを破損することなくマスクからフレーム接着剤を除去することができる。また、剥離したフレーム接着剤のマスク上のＩＣパターンへの飛散を防止することができる。
【００１６】
特に、第１界面活性剤により接着剤の剥離を補助し、流水により剥離した接着剤を洗い流すことで、接着剤の剥離を完全なものにするとともに、剥離された接着剤残渣のＩＣパターンへの飛散を抑制することができる。
【００１７】
摩擦体側面部及びその上方を囲みマスク表面との間に隙間を設けて流水が減速される壁を配置することで、界面活性剤を少量化することができるとともに、壁により剥離された接着剤のＩＣパターンへの飛散を防ぐことができる。さらに、壁内部から水、空気を吸引することで、壁外への水の拡散が低減され、水の拡散による剥離接着剤のＩＣパターンへの付着も防止することができる。
【００１８】
流水に水の表面張力を低下させる第２界面活性剤を添加することで、マスク表面での水の濡れ効果が高まり、流水量を少量化することができる。さらに、第１界面活性剤との併用による接着剤の剥離補助効果が一層高まる。摩擦体として、ポリフッ化エチレンを使用することで、接着剤の剥離効果が向上する。
【００１９】
上記効果に加えて、フレーム除去装置としては、台が回転することで、摩擦体は直線運動のみで、略四角形状の接着剤残渣を除去することができ、装置が簡素化できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態であるペリクルフレーム接着剤除去装置の側面断面模式図である。
【図２】実施例１の装置による接着剤の除去を示す平面図模式図である。
【図３】ペリクルフレームを除去した後のマスクの写真である。
【図４】本発明であるペリクルフレーム接着剤の除去方法で処理した後のマスク表面の拡大写真である。
【図５】マスクを用いてウエハにＩＣパターンを転写する状況（側方断面）を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２２】
図１に、本発明の一実施形態であるペリクルフレーム接着剤除去装置の一例を示した。本発明であるペリクルフレーム接着剤除去装置１は、ペリクルフレームを剥離したマスク１１を固定する台（ターンテーブル１３）と、マスク１１の表面に流水１０ｂを形成する水供給手段１０と、接着剤塗布部分を擦る摩擦体２ａと、摩擦体２ａを揺動させる揺動体２と、摩擦体２ａの側面部及びその上方を囲み内部に隔離領域４ｂを形成し支柱３によりリフトされた壁４と、隔離領域４ｂに第１界面活性剤６ｂを送る薬剤供給手段６と、壁４の底部周辺の水及び空気を吸引する吸引装置８とからなる。さらに、揺動体２及び摩擦体２ａの動作を制御する制御装置５を備える。
【００２３】
マスク表面１１ａには、水供給手段１０により流水１０ｂが形成される。水供給手段１０は、マスク表面１１ａに水の流れ（流水１０ｂ（図１中左向き白抜き矢印が流水１０ｂの流れ方向を示す。））を形成する装置である。
【００２４】
流水１０ｂは、接着剤の除去処理をしている摩擦体２ａの位置（マスク１１の下端部（図１左側））に向け、マスク１１の上端部（図１右側）の上方からマスク表面１１ａの幅全体に亘り水１０ｅをシャワー１０ａ状に噴射して形成することができる。
【００２５】
このように、流水１０ｂを形成すると、少ない水量でマスク１１の表面全体に水を行き渡らせることが可能になり、マスク表面の乾燥、剥離片１２ｃの吸着が防止される。接着剤残渣の剥離片１２ｃは、マスク１１上に飛散したとしても流水１０ｂにより流され、マスク１１上に付着することを防止することができる。水１０ｅは、純水が好ましく、ポンプなどの送液手段でシャワー１０ａ部に送る。
【００２６】
壁４は、内部空洞を有する筒状で、摩擦体２ａの周囲およびその上方を囲む。そして、支柱３などによりリフトされ、マスク表面１１ａと壁４底部とで隙間４ａを形成する。隙間４ａを形成することで、大部分の流水１０ｂの壁４内部への浸入が堰き止められるとともに、流水１０ｂの一部は壁４内部に浸入する。その結果、壁４の内部は、隙間４ａから僅かに流水１０ｂ進入し底部に滞留するとともに、壁４内部に流水１０ｂの流れる速度が減速される隔離領域４ｂを形成する。
【００２７】
なお、壁４は、筒形に限らず、摩擦体２ａの周囲及びその上方を囲む形状であれば、特に限定されない。また、壁４一体であっても、複数のパーツを組み合わせてもよい。図１に示すように、壁４を設けることで、剥離された接着剤の剥離片１２ｃを含む飛沫水１０ｇは壁４にぶつかり壁４外への飛散することが極めて少なく、壁４内に留めることができる。
【００２８】
隙間４ａの広さ（壁４最底部とマスク表面１１ａとの距離）は、１ｍｍ〜２ｍｍ程度が好ましい。隙間４ａの広さが狭すぎると浸入する水量が少なくマスク表面１１ａが乾燥し、剥離した接着剤残渣がマスク表面１１ａに再吸着してしまう。一方、広すぎると、流水量を多くしないと流水１０ｂと壁４によって剥離した接着剤残渣の飛散を防止することができない。また、剥離した接着剤残渣の拡散、飛散を防ぐために、吸引能力を高める必要があるとともに、第１、第２界面活性剤を多量に添加することになる。
【００２９】
図１に示すように、壁４の流水１０ｂの下流側には、マスク表面１１ａに向け孔４ｃが形成されている。孔４ｃは、壁４内部に穿設された通路４ｄに連絡する。通路４ｄの端部には、管８ａが接続され、吸引装置８で吸引された隙間４ａ周辺の水及び空気を通す。
【００３０】
吸引装置８で、孔４ｃから吸引することで、剥離片１２ｃを含む流水１０ｂの大部分を回収することができる。また、摩擦体２ａと壁４の隔離領域４ｂ側の内壁面との隙間は、吸引より空気７ｇの通り道となり、隔離領域４ｂ内には破線矢印方向の空気７の流れが発生する。これにより、摩擦体２ａの付近が陰圧になり、剥離片１２ｃ、飛沫水１０ｇの壁４外への飛散を一層抑制することができる。その隙間の幅は、狭い方が陰圧の効果が大きくなり好ましい。
【００３１】
摩擦体２ａは、隔離領域４ｂ内に位置し、回転、前後左右に揺動し、マスク１１の表面の接着剤残渣１２部分を押圧し擦り、剥離する。擦る動作（揺動）は、回転運動、前後、左右の揺動などいずれの動作でもよい。回転動作が構造、制御の観点から好適である。その場合、揺動体２は、摩擦体２ａを回転させるローターである。
【００３２】
揺動体２は、リフトにより持ち上げられるとともに、摩擦体２ａの押圧力（図１下向き白抜き矢印）を調節できることが望ましい。摩擦体２ａのマスク１１への押移動量は０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度が好適である。
【００３３】
摩擦体２ａは、例えば、ブラスチック、ゴム、ポリフッ化エチレンなどが例示でき、摩擦による摩耗、破損しない素材であれば特に限定されない。特に、ポリフッ化エチレンが、剥離効果が高く、好適である。
【００３４】
実施例１では、押圧し、水平方向に３６０°回転する摩擦体２ａを例示した。摩擦体２ａの回転スピードとしては剥離された接着剤の飛散防止の観点から低速が好ましく、接着剤剥離効果としても１０ｒｐｍ〜７５ｒｐｍ程度で充分である。
【００３５】
そして、摩擦体２ａは、接着剤残渣を擦りながら直線状に移動する。その移動のスピードとしては、１０ｍｍ／分程度で充分である。接着剤残渣１２の除去が充分でなければ、同じ箇所を何度も処理すればよい。
【００３６】
摩擦体２ａにより剥離された接着剤残渣１２の剥離片１２ｃは、壁４により飛散が防止され、流水１０ｂにより川下に流され、その大部分は下流に位置する壁４内の通路４ｄの入口となる孔４ｃから吸引、回収される。残りの一部は、マスク表面１１ａから流れ落ちる。
【００３７】
摩擦体２ａの揺動は、制御装置５により制御される揺動体２を介して成される。制御装置５は、揺動体２及び摩擦体の移動位置、移動距離（揺動幅、始点、終点位置の取得）及び移動スピード、摩擦体２ａの回転スピード及び押移動量を決定、制御する。
【００３８】
薬剤供給手段６は、第１界面活性剤６ｂをノズル６ａを通し、摩擦体２ａを囲む壁４内部の隔離領域４ｂにポンプなどで添加する装置である。勿論、流水１０ｂに第１界面活性剤６ｂを添加しても、接着剤の剥離補助効果を得られる。
【００３９】
第１界面活性剤６ｂを隔離領域４ｂに添加すると、隙間４ａから壁４内部に浸入し、滞留した少量の水に第１界面活性剤６ｂを添加することになる。それにより、第１界面活性剤６ｂが流水で低濃度に希釈されず、少量の第１界面活性剤６ｂで、接着剤の剥離効果を発揮させることができる。従って、第１界面活性剤６ｂの使用量を低減することができる。添加位置としては、隔離領域４ｂ内の水であっても、揺動体２又は摩擦体２ａに滴下してもよい。
【００４０】
第１界面活性剤６ｂとしては、接着剤の剥離補助機能或いは溶融機能があれば特に限定されないが、高分子量の樹脂状付着物、接着剤、粘着剤、塗膜の剥離洗浄用途の非イオン性界面活性剤が効果的である。例えば、グリコールエーテル、ポリオキシアルキレンアリエールエーテルなどを組成中に含む界面活性剤製剤が例示できる。
【００４１】
さらに、水１０ｅには、マスク表面１１ａでの水１０ｅの表面張力を低下させる第２界面活性剤１０ｆを添加することが好ましい。マスク表面１１ａは、疎水的であり、水をはじく性質がある。従って、第２界面活性剤１０ｆを添加することで、水のマスク表面１１ａの濡れ性が向上され、水１０ｅの撥水性を低減させる。
【００４２】
従って、少量の流水１０ｂでマスク表面１１ａをまんべんなく流水１０ｂで満たすことができる。このときの流水１０ｂの流量としては、１Ｌ／分程度で充分である。なお、全面を常に流水１０ｂで被覆されていなくとも、長時間の乾燥がなければ、流水は部分的な被覆（紐状）であってもよい。
【００４３】
第２界面活性剤１０ｆとしては、マスク表面１１ａ上での水１０ｅの撥水性を低減させるものであれば特に限定されないが、アルキルグリコシド、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコールなどが存在する非イオン性界面活性剤を含むものが好ましい。例えば、ポリエチレンアルキルエーテル、脂肪酸ソルビタンエステル、アルキルポリグルコシド、脂肪酸ジエタノールアミド、アルキルモノグリセリルエーテル、ポリヒドロキシアルキルエーテルなどが例示できる。第１界面活性剤６ｂとの併用により、接着剤の剥離効果も向上する。
【００４４】
吸引装置８は、孔４ｃから摩擦体２ａ周辺の水及び空気を吸引する装置である。吸引装置８で吸引された水は、排水１０ｃする。
【００４５】
このようにしてなる接着剤除去装置は、マスク表面１１ａの流水１０ｂと、揺動する摩擦体２ａによる摩擦と、摩擦体を囲み流水１０ｂを滞留させる壁４とが、発明の最少の構成で、第１界面活性剤６ｂ、第２界面活性剤１０ｆ、吸引を採用するごとに、接着剤の除去効率、飛散防止効果が向上する。
【実施例２】
【００４６】
次に、図２を参照して、摩擦体２ａによる接着剤残渣１２の除去工程の一実施形態を説明する。
【００４７】
図２に示すように、ペリクルフレーム１６を剥離したマスク１１は、ＩＣパターン１１ｂを上にして水平方向３６０°回転可能なターンテーブル１３に直接または他の固定部材を介して間接的に固定される。これにより、摩擦体２ａは、直線運動のみで四角形状の接着剤残渣１２の除去処理を行うことができ、簡易に装置を製造することができる。
【００４８】
また、撮影装置としてのＣＣＤカメラ１４（その他、イメージセンサーなども採用できる。）でマスク１１の表面を撮影し、摩擦体２ａを移動させたい部分である接着剤残渣１２のラインを選択し、摩擦体２ａの移動を制御する制御装置５に入力する。ここでは、直線上の始点１２ａと終点１２ｂとする。これら点は、２次元平面上の（Ｘ１，Ｙ１）＝始点１２ａ、（Ｘ２，Ｙ２）＝終点１２ｂとして与えることができる。始点１２ａ、終点１２ｂを２次平面上の座標点として与えることで、揺動体２の水平移動の自動制御が容易になる。
【実施例３】
【００４９】
次に、図３、図４を参照して、実際のマスク１１から、実施例１で説明した装置を用いて接着剤残渣１２を除去した例を示す。図３（Ａ）はペリクルフレーム１６を剥離したマスク１１の表面を撮影した写真、図３（Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ図３（Ａ）の異なる円の内部の一部の拡大写真である。
【００５０】
接着剤残渣１２は、図３（Ａ）に示すように、ＩＣパターン１１ｂの外周部に略四角形状のライン状で存在する。図３（Ａ）、（Ｃ）ではマスク１１表面より黒くライン状に見える部分が接着剤残渣１２であり、図３（Ｂ）では主に白くライン状に見える部分が接着剤残渣１２である。
【００５１】
そして、図４（Ａ）、（Ｃ）に見られるマスク表面１１ａの接着剤残渣１２（他より黒く見える部分）は、それぞれ図４（Ｂ）（Ｃ）に示すように、マスク表面１１ａから完全に除去された。
【００５２】
その後、接着剤残渣１２の除去処理後、従来通りのマスク１１の洗浄、乾燥を行って、図５に示すように、再びペリクルフレーム１６をペリクルフレーム接着剤１７で固定し、ペリクルフレーム１６にペリクル１５を張りＩＣパターン１１ｂをウエハ１８に転写した。
【００５３】
その結果、本発明による接着剤残渣１２の除去方法を施したマスク１１であっても、転写の歩留まりはマスク１１使用直後の歩留まりと同等であった。
【００５４】
即ち、本発明であるペリクルフレーム接着剤の除去装置により、本発明の除去方法を施しても、接着剤残渣１２の除去は完全であり、ＩＣパターン１１ｂへの飛散もないことが明らかとなった。従って、本発明は、従来にない安全かつ効率的で、極めて精度の高いペリクルフレーム接着剤の除去方法であり、ペリクルフレーム接着剤の除去装置であるといえる。
【符号の説明】
【００５５】
１      ペリクルフレーム接着剤除去装置
２      揺動体
２ａ    摩擦体
３      支柱
４      壁
４ａ    隙間
４ｂ    隔離領域
４ｃ    孔
４ｄ    通路
５      制御装置
６      薬剤供給手段  
６ａ    ノズル
６ｂ    第１界面活性剤
７      空気
８      吸引装置
８ａ    管
１０    水供給手段
１０ａ  シャワー
１０ｂ  流水
１０ｃ  排水
１０ｅ  水
１０ｆ  第２界面活性剤
１０ｇ  飛沫水
１１    マスク
１１ａ  マスク表面
１１ｂ  ＩＣパターン  
１２    接着剤残渣
１２ａ  始点
１２ｂ  終点
１２ｃ  剥離片
１３    ターンテーブル
１４    ＣＣＤカメラ
１５    ペリクル
１６    ペリクルフレーム
１７    接着剤
１８    ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図３】
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【図４】
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