(57)【要約】【課題】従来より低コストで大型化できるステージ装置を提供する。【解決手段】  台座と、台座に設けられた第一〜第三の駆動部と、第一〜第三の駆動部に設けられた可動部材とを有し、第一、第二の補助駆動部の主ガイドは互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部の主ガイドは第一、第二の補助駆動部の主ガイドに対して所定角度を成す向きに向けられ、台座には、第一〜第三の補助駆動部の主スライダに、第一〜第三の補助駆動部の主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第一〜第三の動力部が設けられたステージ装置であって、可動部材は複数の補助可動部材を有し、台座は複数の補助台座を有し、第一の補助駆動部は一の補助可動部材と一の補助台座との間に設けられ、第二、第三の補助駆動部のいずれか一方又は両方は他の補助可動部材と他の補助台座との間に設けられている。【選択図】図１
2012178502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座と、
前記台座に設けられた駆動部と、
前記駆動部に設けられた可動部材とを有し、
前記駆動部は、前記可動部材を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させるように構成されたステージ装置であって、
前記駆動部は第一〜第三の補助駆動部を有し、
前記第一〜第三の補助駆動部は、
直線状の主ガイドと、前記主ガイドに沿って移動できるように前記主ガイドに取り付けられた主スライダと、
直線状の副ガイドと、前記副ガイドに沿って移動できるように前記副ガイドに取り付けられた副スライダと、
互いに中心軸線が一致され、前記中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材と、
をそれぞれ有し、
前記副ガイドと前記副スライダのうちのいずれか一方と、前記第一、第二の回転部材のうちのいずれか一方とが互いに固定され、前記副ガイドと前記副スライダのうちの他方が第一の取付部とされ、前記第一、第二の回転部材のうちの他方が第二の取付部とされて取付部材が構成され、
前記主ガイドが前記一の平面と平行にされた状態で、前記主ガイドと前記主スライダのうちの一方は前記台座に設けられ、他方は主取付部とされ、
前記副ガイドが前記一の平面と平行で前記主ガイドに対して前記所定角度を成し、前記第一、第二の回転部材の前記中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、前記取付部材の前記第一、第二の取付部の一方は前記主取付部に固定され、他方は前記可動部材に固定され、
前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記第三の補助駆動部の前記主ガイドは前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドに対して前記所定角度を成す向きに向けられ、
前記台座には、前記第一〜第三の補助駆動部の前記主取付部に、前記第一〜第三の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第一〜第三の動力部が設けられたステージ装置であって、  
前記可動部材は複数の補助可動部材を有し、前記台座は複数の補助台座を有し、
前記第一の補助駆動部は一の前記補助可動部材と一の前記補助台座との間に設けられ、前記第二、第三の補助駆動部のいずれか一方又は両方は他の前記補助可動部材と他の前記補助台座との間に設けられたステージ装置。
【請求項２】
前記第一〜第三の補助駆動部と同じ構造の第四の補助駆動部を有し、
前記第三、第四の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、
前記台座には、前記第四の補助駆動部の前記主取付部に、前記第四の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部が設けられた請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】
前記可動部材は可動部材接続部材を有し、前記台座は台座接続部材を有し、
隣り合う二つの前記補助可動部材には同一の前記可動部材取付部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助可動部材は互いに固定され、
隣り合う二つの前記補助台座には同一の前記台座接続部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助台座は互いに固定された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載のステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子は、発光効率が高く、薄い発光装置を組み立てることができることから、近年では、表示装置や照明機器の用途に注目されており、大面積の基板に所定のパターン形状の有機薄膜を精密に成膜する技術が求められている。
【０００３】
図１２は有機薄膜の成膜に用いられる従来の成膜装置の内部構成図である。
成膜装置１００は、真空槽１３１を有している。真空槽１３１の天井側の外壁面にはステージ装置１１０が設けられている。
ステージ装置１１０は、台座１１１と、台座１１１に設けられた駆動部１１２と、駆動部１１２に設けられた可動部材１１３とを有しており、駆動部１１２は可動部材１１３を水平面に平行で互いに直角な二方向にそれぞれ移動させ、かつ鉛直な回転軸線を中心に回転させるように構成されている。
【０００４】
真空槽１３１内には蒸発源１３３が配置され、蒸発源１３３の放出口１３４と対面する位置には基板１３６が配置されている。
基板１３６と放出口１３４との間にはマスク板１３５がマスク保持部１３７に保持されて配置されている。マスク保持部１３７の一端は、真空槽１３１の壁面に一端が密着されたベローズ１３８の内側に挿通され、真空槽１３１の気密性を維持しながら真空槽１３１の外側まで延ばされ、ステージ装置１１０の可動部材１１３に固定されている。
【０００５】
駆動部１１２から可動部材１１３に動力を伝達して、マスク板１３５をマスク保持部１３７と一緒に水平方向に移動させ、又は鉛直な回転軸線を中心に回転させ、マスク板１３５に設けられた開口から基板１３６の成膜面を部分的に露出させる。
真空排気部１３２により真空槽１３１内を真空排気し、蒸発源１３３の放出口１３４から有機薄膜材料の蒸気を放出させると、有機薄膜材料はマスク板１３５の開口を通過して、開口から露出する部分の基板１３６の成膜面に到達して付着し、その部分に開口と同じ形状の有機薄膜が形成される。
【０００６】
従来のステージ装置１１０では、基板１３６及びマスク板１３５の大型化に対応させるためには、駆動部１１２を搭載する台座１１１自体を大型化する必要があり、可動部材１１３もそれにあわせて大型化する必要があった。
しかしながら、そのようにしてステージ装置１１０全体を大型化すると、ステージ装置１１０を組み立てる場合には広いスペースが必要となり、また組み立てたステージ装置１１０を搬送する際も大型の輸送手段が必要になるという不都合があった。
さらに、ステージ装置１１０の各構成部材も大型になるため、各構成部材の制作費、輸送費もコスト高となるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３２６１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、従来より低コストで大型化できるステージ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明は、台座と、前記台座に設けられた駆動部と、前記駆動部に設けられた可動部材とを有し、前記駆動部は、前記可動部材を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面に対して直角な回転軸線を中心に回転させるように構成されたステージ装置であって、前記駆動部は第一〜第三の補助駆動部を有し、前記第一〜第三の補助駆動部は、直線状の主ガイドと、前記主ガイドに沿って移動できるように前記主ガイドに取り付けられた主スライダと、直線状の副ガイドと、前記副ガイドに沿って移動できるように前記副ガイドに取り付けられた副スライダと、互いに中心軸線が一致され、前記中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材と、をそれぞれ有し、前記副ガイドと前記副スライダのうちのいずれか一方と、前記第一、第二の回転部材のうちのいずれか一方とが互いに固定され、前記副ガイドと前記副スライダのうちの他方が第一の取付部とされ、前記第一、第二の回転部材のうちの他方が第二の取付部とされて取付部材が構成され、前記主ガイドが前記一の平面と平行にされた状態で、前記主ガイドと前記主スライダのうちの一方は前記台座に設けられ、他方は主取付部とされ、前記副ガイドが前記一の平面と平行で前記主ガイドに対して前記所定角度を成し、前記第一、第二の回転部材の前記中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、前記取付部材の前記第一、第二の取付部の一方は前記主取付部に固定され、他方は前記可動部材に固定され、前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記第三の補助駆動部の前記主ガイドは前記第一、第二の補助駆動部の前記主ガイドに対して前記所定角度を成す向きに向けられ、前記台座には、前記第一〜第三の補助駆動部の前記主取付部に、前記第一〜第三の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第一〜第三の動力部が設けられたステージ装置であって、前記可動部材は複数の補助可動部材を有し、前記台座は複数の補助台座を有し、前記第一の補助駆動部は一の前記補助可動部材と一の前記補助台座との間に設けられ、前記第二、第三の補助駆動部のいずれか一方又は両方は他の前記補助可動部材と他の前記補助台座との間に設けられたステージ装置である。
本発明はステージ装置であって、前記第一〜第三の補助駆動部と同じ構造の第四の補助駆動部を有し、前記第三、第四の補助駆動部の前記主ガイドは互いに平行にされて対面され、前記台座には、前記第四の補助駆動部の前記主取付部に、前記第四の補助駆動部の前記主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部が設けられたステージ装置である。
本発明はステージ装置であって、前記可動部材は可動部材接続部材を有し、前記台座は台座接続部材を有し、隣り合う二つの前記補助可動部材には同一の前記可動部材取付部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助可動部材は互いに固定され、隣り合う二つの前記補助台座には同一の前記台座接続部材が設けられて、隣り合う二つの前記補助台座は互いに固定されたステージ装置である。
【００１０】
部材の内部に発生する応力について説明する。
図１１（ａ）を参照し、一個の部材２００の互いに異なる二点Ａ、Ｂに、二点Ａ、Ｂを結ぶ線分に対して垂直な方向の外力ＦA、ＦBを加えると、二点Ａ、Ｂを結ぶ線分に平行な応力は部材２００の内部に発生しない。
一方、図１１（ｂ）を参照し、一個の部材２００の互いに異なる二点Ａ、Ｂに、二点Ａ、Ｂを結ぶ線分に対して９０°より小さい所定角度を成す方向の外力ＦA、ＦBを加えると、二点Ａ、Ｂを結ぶ線分に平行な応力（図１１（ｂ）では線分ＡＢが縮む方向の応力ｆA、ｆB）が部材２００の内部に発生する。
【発明の効果】
【００１１】
ステージ装置の各構成部材は従来よりも小型になり、各構成部材の制作費や輸送費が低コストになる。一組の補助台座と補助可動部材からなるステージユニットは、従来より狭い作業スペースで製作することができ、従来より小型の輸送手段で設置場所まで搬送することができる。設置場所では各ステージユニットを寄せ集めて固定することで、大型のステージ装置を容易に組み立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第一例のステージ装置の平面図
【図２】第一の補助駆動部の内部側面図
【図３】自在ガイド部の内部側面図
【図４】第一例のステージ装置の別構成を説明するため図
【図５】可動部材をＸ方向に平行移動させる工程を説明するための図
【図６】可動部材をＹ方向に平行移動させる工程を説明するための図
【図７】可動部材を所定角度回転させる工程を説明するための図
【図８】本発明の第二例のステージ装置の平面図
【図９】本発明の第三例のステージ装置の平面図
【図１０】本発明の第四例のステージ装置の平面図
【図１１】（ａ）、（ｂ）：部材の内部に発生する応力について説明するための模式図
【図１２】従来の成膜装置の内部構成図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜第一例のステージ装置の構造＞
本発明の第一例のステージ装置の構造を説明する。
図１は第一例のステージ装置１０ａの平面図である。
【００１４】
ステージ装置１０ａは、台座１１と、台座１１に設けられた駆動部と、駆動部に設けられた可動部材１３とを有している。
台座１１は一の平面内に位置する複数の台座取付部を有し、可動部材１３は一の平面内に位置する複数の可動部材取付部を有している。
駆動部は第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3を有している。
第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3の構造は互いに同じであり、第一の補助駆動部１２1で代表して説明する。
【００１５】
図２は第一の補助駆動部１２1の内部側面図を示している。
第一の補助駆動部１２1は、直線状の主ガイド２１1と、主ガイド２１1に沿って移動できるように主ガイド２１1に取り付けられた主スライダ２２1と、直線状の副ガイド２３1と、副ガイド２３1に沿って移動できるように副ガイド２３1に取り付けられた副スライダ２４1と、互いに中心軸線が一致され、中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材２５1、２６1とを有している。
【００１６】
本実施例では、主ガイド２１1は直線状の二本のレールであり、互いに平行にされ対面されている。主スライダ２２1は主ガイド２１1の二本のレールと対面する位置に配置され、二本のレールと対面する部分にはそれぞれ断面が凹形状の溝がレールと平行に形成され、溝の内側にレールが挿し込まれ、溝の内側側面とレールの側面とが互いに接触され、主スライダ２２1は主ガイド２１1のレールの延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっている。
【００１７】
なお、主スライダ２２1が主ガイド２１1のレールの延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっているならば、主ガイド２１1のレールの数は二本に限定されず、一本でもよいし、三本以上でもよい。
また、主ガイド２１1が直線状の溝であり、主スライダ２２1のうち主ガイド２１1の溝と対面する部分に断面が凸形状のレールが溝と平行に形成され、溝の内側にレールが挿し込まれ、溝の内側側面とレールの側面とが互いに接触され、主スライダ２２1は主ガイド２１1の溝の延びる方向に移動でき、他の方向には移動できないようになっていてもよい。
副ガイド２３1と副スライダ２４1の構造は、主ガイド２１1と主スライダ２２1の構造と同様であり、説明を省略する。
【００１８】
本実施例では、第二の回転部材２６1は、リング状の回転部２９ａと、棒状の軸部２９ｂとを有している。軸部２９ｂと回転部２９ａとは互いに中心軸線が一致された状態で、軸部２９ｂの一端は回転部２９ａに固定されている。
第一の回転部材２５1の中心軸線上には回転部２９ａの外周の直径より直径が大きい開口が設けられ、回転部２９ａは第一の回転部材２５1の開口の内側に同心状に配置されている。回転部２９ａの外周側面と第一の回転部材２５1の内周側面との間の隙間には互いに同形状の複数の球が配置され、各球は回転部２９ａと第一の回転部材２５1とにそれぞれ点で接触している。
【００１９】
従って、第一、第二の回転部材２５1、２６1は、互いに中心軸線が一致された状態を維持しながら、中心軸線を中心に互いに回転できるようになっており、このとき各球は回転部２９ａと第一の回転部材２５1とに接触しながら自転することにより、第一、第二の回転部材２５1、２６1の間に摩擦がかからないようになっている。
【００２０】
副ガイド２３1と副スライダ２４1のうちのいずれか一方と、第一、第二の回転部材２５1、２６1のうちのいずれか一方とが互いに固定され、副ガイド２３1と副スライダ２４1のうちの他方が第一の取付部２７ａとされ、第一、第二の回転部材２５1、２６1のうちの他方が第二の取付部２７ｂとされて取付部材２７が構成されている。
【００２１】
本実施例では取付部材２７は、副スライダ２４1と第一の回転部材２５1とが互いに固定され、副ガイド２３1が第一の取付部２７ａとされ、第二の回転部材２６1の軸部２９ｂが第二の取付部２７ｂとされて構成されている。
そして、主ガイド２１1が一の平面と平行にされた状態で、主ガイド２１1と主スライダ２２1のうちの一方は台座１１の一の台座取付部に固定され、他方は主取付部２８とされ、副ガイド２３1が前記一の平面と平行で主ガイド２１1に対して所定角度を成し、第一、第二の回転部材２５1、２６1の中心軸線が前記一の平面に対して直角にされた状態で、取付部材２７の第一、第二の取付部２７ａ、２７ｂの一方は主取付部２８に固定され、他方は可動部材１３の一の可動部材取付部に固定されている。
【００２２】
本実施例では、主ガイド２１1が一の平面（以下、基準面と呼ぶ）と平行にされた状態で台座１１の一の台座取付部に固定され、主スライダ２２1が主取付部２８とされ、副ガイド２３1が基準面と平行で主ガイド２１1に対して所定角度（ここでは９０°）を成し、第一、第二の回転部材２５1、２６1の中心軸線が基準面に対して直角にされた状態で、取付部材２７の第一の取付部２７ａ（すなわち副ガイド２３1）は主取付部２８に固定され、第二の取付部２７ｂ（すなわち第二の回転部材２６1の軸部２９ｂ）は可動部材１３の一の可動部材取付部に固定されている。
【００２３】
ここでは具体的には第二の回転部材２６1の軸部２９ｂはネジであり、符号５１ａ、５１ｂはナットであり、二つのナット５１ａ、５１ｂの間に可動部材１３が挟み込まれることにより、第二の回転部材２６1の軸部２９ｂは可動部材１３に固定されている。
【００２４】
図１を参照し、台座１１には、第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3の主取付部２８（本実施例では主スライダ２２1〜２２3）に、第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3の主ガイド２１1〜２１3と平行な向きの動力を伝達する第一〜第三の動力部１４1〜１４3が設けられている。ここでは第一〜第三の動力部１４1〜１４3はモーターであり、第一〜第三の主スライダ２２1〜２２3にそれぞれ接続されている。
【００２５】
本発明のステージ装置１０ａでは、台座１１は複数の補助台座を有し、可動部材１３は複数の補助可動部材を有している。
本実施例では、台座１１は第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂを有し、可動部材１３は第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂを有している。
【００２６】
台座１１の有する複数の台座取付部のうち一部の台座取付部は第一の補助台座１１ａの一部で構成され、他の台座取付部は第二の補助台座１１ｂの一部で構成されている。また、可動部材１３の有する複数の可動部材取付部のうち一部の可動部材取付部は第一の補助可動部材１３ａの一部で構成され、他の可動部材取付部は第二の補助可動部材１３ｂの一部で構成されている。
【００２７】
第一の補助駆動部１２1は一の補助可動部材と一の補助台座との間に設けられ、第二、第三の補助駆動部１２2、１２3のいずれか一方又は両方は他の補助可動部材と他の補助台座との間に設けられている。
【００２８】
本実施例では、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2が第一の補助可動部材１３ａと第一の補助台座１１ａとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部１２3が第二の補助可動部材１３ｂと第二の補助台座１１ｂとの間に設けられて第二のステージユニットが構成されている。
【００２９】
第一のステージユニットでは、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2は、互いに平行にされて対面された状態で、第一の補助台座１１ａの二つの台座取付部にそれぞれ固定され、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の第二の回転部材２６1、２６2は、第一の補助可動部材１３ａの二つの可動部材取付部にそれぞれ固定されている。
【００３０】
第二のステージユニットでは、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3は、第二の補助台座１１ｂの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材２６3は、第二の補助可動部材１３ｂの一の可動部材取付部に固定されている。
ここでは、台座１１は台座接続部材１７を有し、可動部材１３は可動部材接続部材１６を有している。
【００３１】
第一、第二のステージユニットは、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂの各台座取付部が同一の平面内に位置し、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂの各可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3が、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2に対して所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられた状態で、隣り合う第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂには同一の可動部材接続部材１６がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂは互いに固定され、隣り合う第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂには同一の台座接続部材１７がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂは互いに固定され、第一例のステージ装置１０ａが構成されている。
【００３２】
各ステージユニットはステージ装置全体よりも小型であり、ステージ装置を一体として製作する場合よりも狭い作業スペースで各ステージユニットをそれぞれ製作することができる。また、ステージ装置を一体として製作する場合のステージ装置の構成部材よりも各ステージユニットの構成部材は小型であり、構成部材の制作費や輸送費も低コストになる。
そして、各ステージユニットは、ステージ装置全体を一体として搬送する場合よりも小型の輸送手段で設置場所まで搬送することができ、設置場所では可動部材接続部材１６と台座接続部材１７を用いてステージ装置を容易に組み立てることができる。
【００３３】
本実施例では、台座１１と可動部材１３との間には一個又は複数の自在ガイド部１５がそれぞれ設けられている。
図３は自在ガイド部１５の内部側面図を示している。自在ガイド部１５は、直線状の主ガイド２１と、主ガイド２１に沿って移動できるように主ガイド２１に取り付けられた主スライダ２２と、直線状の副ガイド２３と、副ガイド２３に沿って移動できるように副ガイド２３に取り付けられた副スライダ２４と、互いに中心軸線が一致され、中心軸線を中心に互いに回転できるように構成された第一、第二の回転部材２５、２６とを有している。
【００３４】
自在ガイド部１５の構造は、第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3から第一〜第三の動力部１４1〜１４3が取り除かれた構造と同じであり、説明を省略する。
本実施例では自在ガイド部１５の主ガイド２１が台座１１に固定され、第二の回転部材２６が可動部材１３に固定されている。従って自在ガイド部１５は、基準面に平行で互いに所定角度を成す二方向にそれぞれ移動でき、かつ基準面に対して直角な回転軸線を中心に回転できるようになっている。
【００３５】
図１を参照し、可動部材１３が台座１１の上方に配置される場合には、可動部材１３の重みは第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3と自在ガイド部１５とにそれぞれ分散され、可動部材１３の重みにより第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3が損傷することを防止できる。
また、可動部材１３が大型化して隣り合う二つの可動部材取付部の間隔が広がっても、可動部材１３が自在ガイド部１５によって支持されることで、可動部材１３に重力によるひずみが生じることを防止できる。
【００３６】
なお、図４を参照し、第一、第三の補助駆動部１２1、１２3が第一の補助可動部材１３ａと第一の補助台座１１ａとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二の補助駆動部１２2が第二の補助可動部材１３ｂと第二の補助台座１１ｂとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2が互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3は第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2に対して所定角度を成す向きに向けられた状態で、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂが台座接続部材１７を介して固定され、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂが可動部材接続部材１６を介して固定された構造も本発明に含まれる。
【００３７】
＜第一例のステージ装置の使用方法＞
第一例のステージ装置１０ａの使用方法を説明する。
図１を参照し、以下では、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2と平行な方向をＸ方向５、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3と平行な方向をＹ方向６と呼ぶ。第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の副ガイド２３1、２３2はＹ方向６と平行であり、第三の補助駆動部１２3の副ガイド２３3はＸ方向５と平行である。
【００３８】
図５を参照し、第三の動力部１４3を停止させ、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2にＸ方向５に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。
すると、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2は主ガイド２１1、２１2に沿ってＸ方向５に平行な同一方向に同一距離移動し、第三の補助駆動部１２3の副スライダ２４3は副ガイド２３3に沿って第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材１３全体としてＸ方向５に平行移動する。
【００３９】
また、図６を参照し、第一、第二の動力部１４1、１４2を停止させ、第三の動力部１４3から第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3にＹ方向６に平行な動力を伝達させる。
すると、第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3は主ガイド２１3に沿ってＹ方向６に平行に移動し、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の副スライダ２４1、２４2は副ガイド２３1、２３2に沿って第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材１３全体としてＹ方向６に平行移動する。
【００４０】
また、図７を参照し、第一〜第三の動力部１４1〜１４3の動力の向きが基準面（すなわち、ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に時計回り又は反時計回りを成すように、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2にＸ方向５に平行で互いに逆方向の動力を伝達させ、第三の動力部１４3から第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3にＹ方向６に平行で所定方向の動力を伝達させる。
【００４１】
ここでは、第一の補助駆動部１２1の主スライダ２２1に正のＸ方向の動力を与え、第二の補助駆動部１２2の主スライダ２２2に負のＸ方向の動力を与え、第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3に正のＹ方向の動力を与える。
すると、第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3の主スライダ２２1〜２２3は主ガイド２１1〜２１3に沿ってそれぞれ移動し、副スライダ２４1〜２４3は副ガイド２３1〜２３3に沿ってそれぞれ移動し、第一、第二の回転部材２５1〜２５3、２６1〜２６3はそれぞれ共通の中心軸線を中心に互いに回転して、可動部材１３全体としては基準面（ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に所定角度回転する。
【００４２】
このようにして、第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3を有する駆動部は、可動部材１３を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向（Ｘ方向５とＹ方向６）にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面（ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に回転させることができる。
【００４３】
本発明では、上述したように、第一の補助駆動部１２1の主ガイド２１1と第二の補助駆動部１２2の主ガイド２１2は互いに平行にされて対面されている。
従って、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2に動力が伝達された場合には、可動部材１３のうち第一、第二の補助駆動部１２1、１２2が固定された二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材１３の内部に発生しない。そのため、可動部材１３の内部の応力により、可動部材接続部材１６のネジがゆるんだり、可動部材接続部材１６にひずみが生じて、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂの相対位置が変化することを防止できる。
【００４４】
また、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2に動力が伝達されると、主スライダ２２1、２２2から第一、第二の動力部１４1、１４2に反作用の力がかかるが、台座１１のうち第一、第二の動力部１４1、１４2が固定された二つの固定箇所には、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座１１の内部に発生しない。そのため、台座１１の内部の応力により、台座接続部材１７のネジがゆるんだり、台座接続部材１７にひずみが生じて、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂの相対位置が変化することを防止できる。
【００４５】
＜第二例のステージ装置の構造＞
本発明の第二例のステージ装置の構造を説明する。
図８は第二例のステージ装置１０ｂの平面図である。第二例のステージ装置１０ｂのうち、第一例のステージ装置１０ａと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。
【００４６】
第二例のステージ装置１０ｂの駆動部は第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4を有している。すなわち、第二例のステージ装置１０ｂでは、第一例のステージ装置１０ａに比べて、第四の補助駆動部１２4が追加されている。
第四の補助駆動部１２4の構造は第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3と同じであり、説明を省略する。
台座１１には、第四の補助駆動部１２4の主取付部２８（本実施例では主スライダ２２4）に、第四の補助駆動部１２4の主ガイド２１4と平行な向きの動力を伝達する第四の動力部１４4が設けられている。
【００４７】
本実施例では、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2と第四の補助駆動部１２4が第一の補助可動部材１３ａと第一の補助台座１１ａとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部１２3が第二の補助可動部材１３ｂと第二の補助台座１１ｂとの間に設けられて第二のステージユニットが構成されている。
【００４８】
第一のステージユニットでは、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2は、互いに平行にされて対面された状態で、第一の補助台座１１ａの二つの台座取付部にそれぞれ固定され、第四の補助駆動部１２4の主ガイド２１4は、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2に対して所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられた状態で、第一の補助台座１１ａの他の台座取付部に固定されている。
【００４９】
第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の第二の回転部材２６1、２６2と第四の補助駆動部１２4の第二の回転部材２６4は、第一の補助可動部材１３ａの三つの台座取付部にそれぞれ固定されている。
第二のステージユニットでは、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3は、第二の補助台座１１ｂの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材２６3は、第二の補助可動部材１３ｂの一の可動部材取付部に固定されている。
【００５０】
第一、第二のステージユニットは、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主ガイド２１3、２１4が互いに平行にされて対面された状態で、隣り合う第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂには同一の可動部材接続部材１６がネジ止めされて、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂは互いに固定され、隣り合う第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂには同一の台座接続部材１７がネジ止めされて、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂは互いに固定され、第二例のステージ装置１０ｂが構成されている。
このとき、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3は、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2に対して所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられている。
【００５１】
＜第二例のステージ装置の使用方法＞
第二例のステージ装置１０ｂの使用方法を説明する。
以下では、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイド２１1、２１2と平行な方向をＸ方向５、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主ガイド２１3、２１4と平行な方向をＹ方向６と呼ぶ。第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の副ガイド２３1、２３2はＹ方向６と平行であり、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の副ガイド２３3、２３4はＸ方向５と平行である。
【００５２】
まず、第三、第四の動力部１４3、１４4を停止させ、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2にＸ方向５に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。
すると、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2は主ガイド２１1、２１2に沿ってＸ方向５に平行な同一方向に同一距離移動し、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の副スライダ２４3、２４4は副ガイド２３3、２３4に沿って第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材１３全体としてはＸ方向５に平行移動する。
【００５３】
また、第一、第二の動力部１４1、１４2を停止させ、第三、第四の動力部１４3、１４4から第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主スライダ２２3、２２4にＹ方向６に平行な同一方向に同一量の動力を伝達させる。
すると、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主スライダ２２3、２２4は主ガイド２１3、２１4に沿ってＹ方向６に平行な同一方向に同一距離移動し、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の副スライダ２４1、２４2は副ガイド２３1、２３2に沿って第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主スライダ２２3、２２4と同じ方向に同じ距離移動して、可動部材１３全体としてはＹ方向６に平行移動する。
【００５４】
また、第一〜第四の動力部１４1〜１４4の動力の向きが基準面（ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に時計回り又は反時計回りを成すように、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダ２２1、２２2にＸ方向５に平行で互いに逆方向の動力を伝達させ、第三、第四の動力部１４3、１４4から第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主スライダ２２3、２２4にＹ方向６に平行で互いに逆方向の動力を伝達させる。
【００５５】
ここでは、第一の補助駆動部１２1の主スライダ２２1に正のＸ方向の動力を与え、第二の補助駆動部１２2の主スライダ２２2に負のＸ方向の動力を与え、第三の補助駆動部１２3の主スライダ２２3に正のＹ方向の動力を与え、第四の補助駆動部１２4の主スライダ２２4に負のＹ方向の動力を与える。
【００５６】
すると、第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4の主スライダ２２1〜２２4は主ガイド２１1〜２１4に沿ってそれぞれ移動し、副スライダ２４1〜２４4は副ガイド２３1〜２３4に沿ってそれぞれ移動し、第一、第二の回転部材２５1〜２５4、２６1〜２６4はそれぞれ共通の中心軸線を中心に互いに回転して、可動部材１３全体としては基準面（ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に所定角度回転する。
【００５７】
このようにして、第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4を有する駆動部は、可動部材１３を一の平面に平行で互いに所定角度を成す二方向（Ｘ方向５とＹ方向６）にそれぞれ移動させ、かつ前記一の平面（ＸＹ平面）に対して直角な回転軸線を中心に回転させることができる。
【００５８】
本発明では、上述したように、第一の補助駆動部１２1の主ガイド２１1と第二の補助駆動部１２2の主ガイド２１2は互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部１２3の主ガイド２１3と第四の補助駆動部１２4の主ガイド２１4は互いに平行にされて対面されている。
【００５９】
従って、第一〜第四の動力部１４1〜１４4から第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4の主スライダ２２1〜２２4に動力が伝達された場合には、可動部材１３のうち第一、第二の補助駆動部１２1、１２2が固定された二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材１３の内部に発生しない。また、可動部材１３のうち第三、第四の補助駆動部１２3、１２4が固定された他の二つの可動部材取付部には、基準面に平行で当該他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材１３の内部に発生しない。そのため、可動部材１３の内部の応力により、可動部材接続部材１６のネジがゆるんだり、可動部材接続部材１６にひずみが生じて、第一、第二の補助可動部材１３ａ、１３ｂの相対位置が変化することを防止できる。
【００６０】
また、第一〜第四の動力部１４1〜１４4から第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4の主スライダ２２1、２２2に動力が伝達されると、主スライダ２２1〜２２4から第一〜第四の動力部１４1〜１４4に反作用の力がかかるが、台座１１のうち第一、第二の動力部１４1、１４2が固定された二つの固定箇所には、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座１１の内部に発生しない。また、台座１１のうち第三、第四の動力部１４3、１４4が固定された他の二つの固定箇所には、基準面に平行で当該他の二つの固定箇所を結ぶ線分に対して直角な方向に力がかかり、基準面に平行で当該他の二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座１１の内部に発生しない。そのため、台座１１の内部の応力により、台座接続部材１７のネジがゆるんだり、台座接続部材１７にひずみが生じて、第一、第二の補助台座１１ａ、１１ｂの相対位置が変化することを防止できる。
【００６１】
＜第三例のステージ装置の構造＞
本発明の第三例のステージ装置の構造を説明する。
図９は第三例のステージ装置の平面図である。第三例のステージ装置１０ｃのうち、第一例のステージ装置１０ｃと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。
【００６２】
台座１１は第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃを有し、可動部材１３は第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃを有している。すなわち、第二例のステージ装置１０ｂに比べて、第三の補助台座１１ｃと第三の補助可動部材１３ｃが追加されている。
【００６３】
台座１１の台座取付部のうち一部の台座取付部は第一の補助台座１１ａの一部で構成され、他の一部の台座取付部は第二の補助台座１１ｂの一部で構成され、他の台座取付部は第三の補助台座１１ｃの一部で構成されている。また、可動部材１３の可動部材取付部のうち一部の可動部材取付部は第一の補助可動部材１３ａの一部で構成され、他の一部の可動部材取付部は第二の補助可動部材１３ｂの一部で構成され、他の可動部材取付部は第三の補助可動部材１３ｃの一部で構成されている。
【００６４】
本実施例では、第一の補助駆動部１２1は第一の補助可動部材１３ａと第一の補助台座１１ａとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二の補助駆動部１２2は第二の補助可動部材１３ｂと第二の補助台座１１ｂとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部１２3は第三の補助可動部材１３ｃと第二の補助台座１１ｃとの間に設けられて第三のステージユニットが構成されている。
【００６５】
第一のステージユニットでは、第一の補助駆動部１２1の主ガイドは第一の補助台座１１ａの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第一の補助可動部材１３ａの一の可動部材取付部に固定されている。
第二のステージユニットでは、第二の補助駆動部１２2の主ガイドは第二の補助台座１１ｂの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第二の補助可動部材１３ｂの一の可動部材取付部に固定されている。
第三のステージユニットでは、第三の補助駆動部１２3の主ガイドは第三の補助台座１１ｃの一の台座取付部に固定され、第二の回転部材は第三の補助可動部材１３ｃの一の可動部材取付部に固定されている。
【００６６】
第一〜第三のステージユニットは、第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイドが互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部１２3の主ガイドは第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイドに対して所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられた状態で、隣り合う第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃには同一の第一の可動部材接続部材１６1がネジ止めされて、第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃは互いに固定され、隣り合う第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃには同一の第一の台座接続部材１７1がネジ止めされて、第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃは互いに固定され、第三例のステージ装置１０ｃが構成されている。
【００６７】
なお、本実施例では、補助台座接続部材１９ａが第一の台座接続部材１７1にネジ止めされて固定され、補助可動部材接続部材１９ｂが第一の可動部材接続部材１６1にネジ止めされて固定されている。
【００６８】
さらに、第一の補助可動部材１３ａと補助台座接続部材１９ａには同一の第二の可動部材接続部材１６2がネジ止めされて、第一の補助可動部材１３ａと補助台座接続部材１９ａは互いに固定され、第一の補助台座１１ａと補助可動部材接続部材１９ｂには同一の第二の台座接続部材１７2がネジ止めされて、第一の補助台座１１ａと補助可動部材接続部材１９ｂは互いに固定されている。また、隣り合う第二、第三の補助可動部材１３ｂ、１３ｃには同一の第三の可動部材接続部材１６3がネジ止めされて、第二、第三の補助可動部材１３ｂ、１３ｃは互いに固定され、隣り合う第二、第三の補助台座１１ｂ、１１ｃには同一の第三の台座接続部材１７3がネジ止めされて、第二、第三の補助台座１１ｂ、１１ｃは互いに固定されている。そのために、第一の可動部材接続部材１６1と第一の台座接続部材１７1だけを用いて固定された場合よりも、第一〜第三の補助可動部材１３1〜１３3を互いに固定する力と、第一〜第三の補助台座１１1〜１１3を互いに固定する力はそれぞれ強くなっている。
【００６９】
第三例のステージ装置１０ｃでは、全体の大きさが第一例のステージ装置１０ｂ全体の大きさと同じ場合には、第一〜第三のステージユニットは、第一例のステージ装置１０ａの第一、第二のステージユニットよりも小型に製作でき、より制作費や輸送費を低コストにできる。
第三例のステージ装置１０ｃの使用方法は第一例のステージ装置１０ａの使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７０】
第三例のステージ装置１０ｃでは、第一例のステージ装置１０ａと同様に、第一の補助駆動部１２1の主ガイドと第二の補助駆動部１２2の主ガイドは互いに平行にされて対面されている。
そのため、第一、第二の動力部１４1、１４2から第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主スライダに動力が伝達されても、基準面に平行で第一、第二の補助駆動部１２1、１２2が固定された二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材１３の内部に発生せず、第一〜第三の可動部材接続部材１６1〜１６3のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。
【００７１】
また、基準面に平行で第一、第二の動力部１４1、１４2が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座１１の内部に発生せず、第一〜第三の台座接続部材１１1〜１１3のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。
【００７２】
＜第四例のステージ装置の構造＞
本発明の第四例のステージ装置の構造を説明する。
図１０は第四例のステージ装置の平面図である。第四例のステージ装置１０ｄのうち、第三例のステージ装置１０ｃと同じ構造の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。
【００７３】
第四例のステージ装置１０ｄの駆動部は第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4を有している。すなわち、第四例のステージ装置１０ｄでは、第三例のステージ装置１０ｃに比べて、第四の補助駆動部１２4が追加されている。
台座１１は第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃを有し、可動部材１３は第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃを有している。すなわち、第二例のステージ装置１０ｂに比べて、第三の補助台座１１ｃと第三の補助可動部材１３ｃが追加されている。
【００７４】
第四の補助駆動部１２4の構造は第一〜第三の補助駆動部１２1〜１２3と同じであり、説明を省略する。
台座１１には、第四の補助駆動部１２4の主取付部２８（本実施例では主スライダ）に、第四の補助駆動部１２4の主ガイドと平行な向きの動力を伝達する第四の動力部１４4が設けられている。
【００７５】
本実施例では、第一の補助駆動部１２1が第一の補助可動部材１３ａと第一の補助台座１１ａとの間に設けられて第一のステージユニットが構成され、第二、第四の補助駆動部１２2、１２4が第二の補助可動部材１３ｂと第二の補助台座１１ｂとの間に設けられて第二のステージユニットが構成され、第三の補助駆動部１２3が第三の補助可動部材１３ｃと第三の補助台座１１ｃとの間に設けられて第三のステージユニットが構成されている。
【００７６】
第一、第三のステージユニットの構成は、第三例のステージ装置１０ｃの第一、第三のステージユニットの構成と同様であり、説明を省略する。
第二のステージユニットでは、第二の補助駆動部１２2の主ガイドと第四の補助駆動部１２4の主ガイドが、互いに所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられた状態で、第二の補助台座１１ｂの二つの台座取付部にそれぞれ固定されている。また、第二の補助駆動部１２2の第二の回転部材と第四の補助駆動部１２4の第二の回転部材は、第二の補助可動部材１３ｂの二つの可動部材取付部にそれぞれ固定されている。
【００７７】
第一〜第三のステージユニットは、第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃの台座取付部が同一の平面内に位置し、第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃの可動部材取付部が同一の平面内に位置するように配置され、第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイドが互いに平行にされて対面され、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主ガイドが互いに平行にされて対面された状態で、隣り合う第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃには同一の第一の可動部材接続部材１６1がネジ止めされて、第一〜第三の補助可動部材１３ａ〜１３ｃは互いに固定され、隣り合う第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃには同一の第一の台座接続部材１７1がネジ止めされて、第一〜第三の補助台座１１ａ〜１１ｃは互いに固定され、第四例のステージ装置１０ｄが構成されている。
【００７８】
このとき、第三、第四の補助駆動部１２3、１２4の主ガイドは第一、第二の補助駆動部１２1、１２2の主ガイドに対して所定角度（ここでは９０°）を成す向きに向けられている。
第四例のステージ装置１０ｄの使用方法は第二例のステージ装置１０ｂの使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７９】
第四例のステージ装置１０ｄでは、第二例のステージ装置１０ｂと同様に、第一の補助駆動部１２1の主ガイドと第二の補助駆動部１２2の主ガイドは互いに平行にされて対面され、第三の補助駆動部１２3の主ガイドと第四の補助駆動部１２4の主ガイドは互いに平行にされて対面されている。
【００８０】
そのため、第一〜第四の動力部１４1〜１４4から第一〜第四の補助駆動部１２1〜１２4の主スライダに動力が伝達されても、基準面に平行で第一、第二の補助駆動部１２1、１２2が固定された二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力、又は基準面に平行で第三、第四の補助駆動部１２3、１３4が固定された他の二つの可動部材取付部を結ぶ線分に平行な方向の応力は可動部材１３の内部に発生せず、第一〜第三の可動部材接続部材１６1〜１６3のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。
【００８１】
また、基準面に平行で第一、第二の動力部１４1、１４2が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力、又は基準面に平行で第三、第四の動力部１４3、１４4が固定された二つの固定箇所を結ぶ線分に平行な方向の応力は台座１１の内部に発生せず、第一〜第三の台座接続部材１１1〜１１3のネジがゆるんだり、ひずみが生じたりしない。
【符号の説明】
【００８２】
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ……ステージ装置
１１……台座
１１ａ〜１１ｄ……補助台座（第一〜第四の補助台座）
１２1〜１２4……第一〜第四の補助駆動部
１３……可動部材
１３ａ〜１３ｄ……補助可動部材（第一〜第四の補助可動部材）
１４1〜１４4……第一〜第四の動力部
２１1〜２１4……主ガイド
２２1〜２２4……主スライダ
２３1〜２３4……副ガイド
２４1〜２４4……副スライダ
２５1〜２５4……第一の回転部材
２６1〜２６4……第二の回転部材
２７……取付部材
２７ａ……第一の取付部
２７ｂ……第二の取付部
２８……主取付部
【図１】
2012178502.tif 000003
【図２】
2012178502.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2012178502.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2012178502.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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