(57)【要約】      （修正有）【課題】装置の大型化を抑制しつつ、開口部の閉口時の密閉性の低下を抑制することができる開閉ダンパー装置を提供する。【解決手段】開閉ダンパー装置は、開口部２５２が形成された枠体２５０と、開口部２５２を開閉する弁体２６６と、枠体２５０の開口部２５２周辺に設けられ、弁体２６６が閉じられた場合、弁体２６６が密着するシール部材２５６と、枠体２５０に設けられた開閉軸２６２と、開閉軸２６２を中心として回転するように設けられ、弁体２６６を移動自在に支持する支持体と、弁体２６６の開閉軸２６２が設けられた側よりも反対側がシール部材２５６に近づくように弁体２６６を付勢する付勢部材２７２と、を有する。【選択図】図８
2012253198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成された枠体と、
前記開口部を開閉する弁体と、
前記枠体の前記開口部周辺に設けられ、前記弁体が閉じられた場合、前記弁体が密着するシール部材と、
前記枠体に設けられた開閉軸と、
前記開閉軸を中心として回転するように設けられ、前記弁体を移動自在に支持する支持体と、
前記弁体の前記開閉軸が設けられた側よりも反対側が前記シール部材に近づくように前記弁体を付勢する付勢部材と、
を有する開閉ダンパー装置。
【請求項２】
前記支持体は前記開閉軸に固定され、
前記開閉軸を回転させる駆動部をさらに有する請求項１記載の開閉ダンパー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開閉ダンパー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体の通路を開閉するものとして、ダンパー装置がある。ダンパー装置としては、例えば、開口を開閉する弁体を一つの軸で旋回させる簡易な構造のもの（のれん式ダンパー）が挙げられる。
【０００３】
特許文献１には、ダクト内に排気量調整用ダンパーを設置すると共にこのダンパーを開閉駆動するダンパー開閉器とこのダンパー開閉器に開閉度調整指令の信号を送る制御部とを設けた低圧CVD装置が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、筺体に形成された待機室にクリーンエアを吹き出すサイドクリーンユニットと、待機室に吹き出されたクリーンエアと窒素ガス噴出ノズルから噴き出された窒素ガスとをサイドクリーンユニットに戻す循環ダクトと、筺体に開閉可能に取り付けられたメンテナンス用ドアとを備えている熱処理装置において、メンテナンス用ドアの開放時、クリーンエアがサイドクリーンユニットから噴き出されて待機室が正圧に維持され、循環ダクトはダンパで閉じられる半導体製造装置が開示されている。
【０００５】
特許文献３には、ウエハをボートで保持しつつ処理する処理室と、ボートが処理室への搬入に待機する待機室と、ボートを待機室と処理室との間で昇降させるボートエレベータと、待機室に窒素ガスとクリーンエアを供給するクリーンユニットとを備えている熱処理装置において、待機室に窒素ガスを循環させる循環路に、窒素ガスを供給する窒素ガス供給管と、新鮮なエアを供給する新鮮エア供給管と、窒素ガスおよびクリーンエアを排出する排出路とを設け、排出路にダンパを設け、排出路にダンパをバイパスするバイパス路を設けた基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平３−２２４２１３号公報
【特許文献２】特開２００３−３３２３２５号公報
【特許文献３】特開２００７−９５８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、弁体を一つの軸で旋回させる簡易な構造ののれん式ダンパーにおいては、弁体の（特に軸側の端部）の旋回半径が小さいため、弁体が開口と接触する等して、この弁体の旋回動作が開口によって干渉される場合がある。
また、弁体の旋回半径を大きくしようとすると、装置を大型化する必要性が生じる。
【０００８】
本発明の目的は、装置の大型化を抑制しつつ、開口部の閉口時の密閉性の低下を抑制することができる開閉ダンパー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴とするところは、開口部が形成された枠体と、前記開口部を開閉する弁体と、前記枠体の開口部周辺に設けられ、前記弁体が閉じられた場合、前記弁体が密着するシール部材と、前記枠体に設けられた開閉軸と、前記開閉軸を中心として回転するように設けられ、前記弁体を移動自在に支持する支持体と、前記弁体の回転軸が設けられた側よりも反対側が前記シール部材に近づくように前記弁体を付勢する付勢部材と、を有する開閉ダンパー装置にある。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、装置の大型化を抑制しつつ、開口部の閉口時の密閉性の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態で用いられる基板処理装置の全体概略概略図である。
【図２】本発明の実施形態で用いられる待機室及び熱処理装置の正面図である。
【図３】図２のａ−ａ線断面図である。
【図４】図３のｂ−ｂ線断面図である。
【図５】図３のｃ−ｃ線断面図である。
【図６】本発明の実施形態で用いられる開閉ダンパー装置の開口部が開口している状態の斜視図である。
【図７】本発明の実施形態で用いられる開閉ダンパー装置の開口部が閉口している状態の斜視図である。
【図８】本発明の実施形態で用いられる開閉部の動作を説明する説明図である。
【図９】比較例としての開閉ダンパー装置の構成及び動作を説明する説明図である。
【図１０】比較例としての開閉ダンパー装置の構成及び動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１０の全体概略図を示す。
【００１３】
本実施形態において基板処理装置１０は、基板としてのウエハ２に酸化処理や拡散処理、CVD（Chemical Vapor Deposition）処理等を行う縦型の装置として構成されている。
【００１４】
基板処理装置１０には、例えばシリコン（Si）からなるウエハ２を収容する基板収容器（ウエハキャリア）としてFOUP（Front Opening Unified Pod：以下、ポッド４と称する）が用いられている。
ウエハキャリアとしてポッド４が使用される場合、ウエハが密閉された状態で搬送されることになるため、ウエハ２の清浄度が向上する。
【００１５】
基板処理装置１０は、基板処理装置本体１２を有する。基板処理装置本体１２の正面壁１２ａには、ポッド４をこの基板処理装置本体１２内外に搬入及び搬出（搬入出）する搬入出部１４が設けられている。
正面壁１２ａには、基板処理装置本体１２内外を連通する搬入出口１６が開設されており、この搬入出口１６は、搬入出開閉部１８によって開閉されるようになっている。
【００１６】
基板処理装置本体１２内であって搬入出部１４の後方上部には、複数個のポッド４を収納する第一の収納部として用いられるバッファ棚３０が設けられている。
【００１７】
バッファ棚３０は、正面壁１２ａの内面に水平に支持された複数の棚板３２を備え、それぞれの棚板３２に複数個のポッド４を左右方向に並べて載置するようになっている。
【００１８】
バッファ棚３０の後方には、ポッド４を収納する第二の収納部として用いられる回転棚４０が設けられている。
回転棚４０は、モータ等の駆動部（非図示）によって間欠回転される回転軸４２と、この回転軸４２に上下方向で配置され略卍形状に形成された棚板４４とにより構成される。
回転棚４０は、それぞれの棚板４４に複数個のポッド４を載置するようになっており、これらの棚板４４に載置されたポッド４が、正面の位置（前側）に順次送られるようになっている。
【００１９】
基板処理装置本体１２内において、バッファ棚３０と回転棚４０との間には、ポッド４を移送するポッド移送装置５０が設けられている。
ポッド移送装置５０は、搬入出部１４、バッファ棚３０、回転棚４０、及び後述する待機搬入出部７０これらの間で、ポッド４を移送するように構成されている。
【００２０】
ポッド移送装置５０は、基板処理装置本体１２の底面に左右方向に設けられた水平移動部５２と、この水平移動部５２の上部に立設された鉛直移動部５４とにより構成される。
水平移動部５２は、鉛直移動部５４を左右方向に移動させるようになっている。
鉛直移動部５４は、この鉛直移動部５４に設けられた昇降台５６を昇降させるようになっている。
【００２１】
昇降台５６には、所定の位置に載置されているポッド４を保持するとともに、そのポッド４を所定の位置に移載する（ハンドリングする）ポッドハンドリング装置５８が設けられている。
ポッドハンドリング装置５８は、スカラ型ロボット（SCARA : Selective compliance assembly robot arm、水平多関節ロボット）によって構成されている。
【００２２】
基板処理装置本体１２内の後方下部には、待機室６０が設けられている。待機室６０は、前後方向に設けられた水平壁６２と、上下方向に設けられた垂直壁６４とによって、基板処理装置本体１２内の空間から流体的に隔絶された空間として形成されている。
【００２３】
待機室６０の垂直壁６４には、ポッド４から待機室６０内にウエハ２を搬入出（ローディング及びアンローディング）する待機搬入出部７０が上下方向に２つ設けられている。
待機搬入出部７０には、ポッド４の蓋部を着脱してこのポッド４を開閉するポッド開閉装置７２が設けられている。
また、垂直壁６４には、待機搬入出部７０に対応して、ウエハ２を待機室６０内外に連通する搬入出口７４が開設されている。
【００２４】
待機室６０の上方には、熱処理装置８０が設けられている。
待機室６０内であって熱処理装置８０の下方には、ボート昇降装置９０が設けられている。ボート昇降装置９０は、水平に配置されたキャップ９２を垂直方向に昇降させるように構成されている。
【００２５】
キャップ９２は、ボート９４を垂直に立脚した状態で支持するように構成されている。
ボート９４は、キャップ９２がボート昇降装置９０により昇降されるのに伴って、熱処理装置８０に搬入出されるように構成されている。ボート９４は、熱処理装置８０への搬入前、及び搬出後に待機室６０において待機するようになっている。
【００２６】
ボート９４は、ウエハ２を複数枚、中心を揃えて水平に配置した状態で保持するようになっている。ボート９４は、１つのポッド４に収容されるウエハ２の枚数（例えば25枚）と比較して、多く（例えば100 - 150枚）のウエハ２を保持するようになっている。
【００２７】
また、待機室６０内には、ウエハ移載装置１１０が設けられている。
ウエハ移載装置１１０は、待機搬入出部７０と、ボート９４との間でウエハ２を移送するように構成されている。
ウエハ移載装置１１０は取付台１１０ａを備え、この取付台１１０ａには、ウエハ２を下方から支持するツィーザ１１０ｂが等間隔で複数枚、水平に取り付けられている。
ウエハ移載装置１１０は、移載昇降装置１１２によって昇降されるようになっている。
【００２８】
ボート昇降装置９０及び移載昇降装置１１２と対向する側には、清浄な空気（クリーンエア）等の気体を供給する清浄気体供給装置として用いられるクリーンユニット１１４が設置されている。
【００２９】
次に、待機室６０及び熱処理装置８０の詳細について説明する。
図２は、ボート昇降装置９４と移載昇降装置１１２との間を通る面からみた、待機室６０及び熱処理装置８０の正面図を示す。
図３は、図２のａ−ａ線断面図を示す。
図４は、図３のｂ−ｂ線断面図を示す。
図５は、図３のｃ−ｃ線断面図を示す。
【００３０】
待機室６０には循環風導部１２０が配設されており、この循環風導部１２０は、吹出部１２２と、吸込部１２４と、第一の連結部１２６と、第二の連結部１２８とにより構成される。
吹出部１２２は待機室６０の左側に設けられ、吸込部１２４は待機室６０の右側に設けられ、これら吹出部１２２と吸込部１２４とは、待機室６０の下部にそれぞれ設けられた第一の連結部１２６及び第二の連結部１２８によって連結されている。
循環風導部１２０は、例えばダクトとして構成される。
【００３１】
吹出部１２２は、待機室６０の左側面に略全面にわたるようにして設けられている。
【００３２】
吹出部１２２には、不活性ガス（例えば窒素）を供給する不活性ガス供給管１３２が接続されており、この不活性ガス供給管１３２には、供給する不活性ガスの流量を調整する第一の開閉ダンパー装置１４０ａが設けられている。
また、吹出部１２２には、空気を供給する空気供給管１４２が接続されており、この空気供給管１４２には、供給する空気の流量を調整する第二の開閉ダンパー装置１４０ｂが設けられている。
【００３３】
吹出部１２２の待機室６０内側の面に、クリーンユニット１１４が設けられている。クリーンユニット１１４は、送風機１１４ａと、パーティクル等の不純物を捕集するフィルタ１１４ｂとを備えており、吹出部１２２に供給された不活性ガスあるいは空気を清浄化して待機室６０内に供給する。
以下、不活性ガス及び空気これらをまとめて「雰囲気」と称する場合がある。
【００３４】
吹出部１２２の下部であって、第一の連結部１２６及び第二の連結部１２８と連結する側には、第三の開閉ダンパー装置１４０ｃを介して冷却装置１４６が前後方向に延びるようにして設けられている。
冷却装置１４６としては、例えば、水冷式熱交換器が用いられる。
【００３５】
吸込部１２４は、吹出部１２２と対向するように待機室６０の右側面に略全面にわたるようにして設けられている。
【００３６】
吸込部１２４の待機室６０側の面には、複数の吸込口１５０が形成されている。吸込口１５０によって、吹出部１２２から供給された雰囲気が吸込部１２４内に吹き込まれるようになっている。
【００３７】
吸込部１２４内に、ボート昇降装置９０及び移載昇降装置１１２が設けられている。
ボート昇降装置９０は、垂直に設けられ回転自在な軸１６２と、軸１６２の回転に伴って昇降する昇降部１６４とを備える。昇降部１６４に、キャップ９２が設置されている。
移載昇降装置１１２は、垂直に設けられ回転自在な軸１７２と、軸１７２の回転に伴って昇降する昇降部１７４とを備える。昇降部１７４に、ウエハ移載装置１１０が設置されている。
【００３８】
吸込部１２４の上方には、駆動部１８０が設けられており、この駆動部１８０内には、ボート昇降装置９０の軸１６２を正逆回転させる駆動部１８２と、移載昇降装置１１２の軸１７２を正逆回転させる駆動部１８４とが設けられている。
【００３９】
第一の連結部１２６は、吹出部１２２、待機室６０、吸込部１２４これらの前側にわたって、待機搬入出部７０の下方を通るようにして設けられている。第一の連結部１２６には、吹出部１２２、待機室６０、吸込部１２４それぞれと対向するように複数の吹込口１９０が形成されている。
【００４０】
第二の連結部１２８は、待機室６０の前後方向略中央を横切るようにして吹出部１２２と吸込部１２４とを連結するように設けられている。
【００４１】
また、待機室６０には、この待機室６０及び吸込部１２４と隣接するようにして排出部２００が配設されている。排出部２００は、複数の排出口２０２ａを介して待機室６０と連通し、また、複数の排出口２０２ｂを介して吸込部１２４と連通している。
本実施形態において排出口２０２ａは、その最上端が待機室６０の上端と略同一の高さとなるように形成されており、排出口２０２ｂは、その最上端が吸込部１２４の上端と略同一の高さとなるように形成されている。
【００４２】
排出部２００には、待機室６０内の雰囲気を排出する排出管２０４が接続されている。排出管２０４には、第四の開閉ダンパー装置１４０ｄと、迂回路２０６とが設けられている。
迂回路２０６は、第四の開閉ダンパー装置１４０ｄを迂回するようにして配設されており、この迂回路２０６を流れる流量は、第四の開閉ダンパー装置１４０ｄを介して排出管２０４を流れる流量よりも小さくなるように構成されている。
【００４３】
図４に示すように、熱処理装置８０は、ヒータ等の加熱装置２１０を有する。加熱装置２１０は円筒形状であり、垂直に据え付けられている。
【００４４】
加熱装置２１０の内側には、この加熱装置２１０と同心円状に、内部反応管としてのインナーチューブ２１２と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２１４が設けられている。
【００４５】
インナーチューブ２１２は、例えば石英（SiO2）あるいは炭化シリコン（SiC）等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。
インナーチューブ２１２の筒中空部に、ウエハ２を処理する処理室２１６が形成される。処理室２１６は、ウエハ２をボート９４によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。
【００４６】
アウターチューブ２１４は、例えば石英あるいは炭化シリコン等の耐熱性材料からなる。アウターチューブ２１４は、インナーチューブ２１２と同心円状に設けられている。アウターチューブ２１４は、その内径がインナーチューブ２１２の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。
【００４７】
アウターチューブ２１４の下方には、このアウターチューブ２１４と同心円状にマニホールド２１８が配設されている。マニホールド２１８は、例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。
【００４８】
マニホールド２１８の側壁には、処理室２１６内を排気する排気管２２０が設けられている。排気管２２０は、インナーチューブ２１２とアウターチューブ２１４との間に形成される空間を連通するように接続されている。
【００４９】
マニホールド２１８の下端開口２２２は、ボート昇降装置９０により上昇されたキャップ９２によって閉塞されるようになっている。また、マニホールド２１８の下端開口２２２の下方にはシャッタ２２４が設けられており、このシャッタ２２４によって下端開口２２２が開閉されるようになっている。
【００５０】
次に、第一の開閉ダンパー装置１４０ａ、第二の開閉ダンパー装置１４０ｂ、第三の開閉ダンパー装置１４０ｃ、及び第四の開閉ダンパー装置１４０ｄの詳細について説明する。
これら第一の開閉ダンパー装置１４０ａ〜第四の開閉ダンパー装置１４０ｄは同様の構成となっているため、以下、「開閉ダンパー装置１４０」と総称して説明する。
【００５１】
図６及び図７は、開閉ダンパー装置１４０の斜視図を示す。図６は、開口部２５２が開口している状態を示し、図７は、開口部２５２が閉口している状態を示す。
図８は、開閉ダンパー装置１４０の動作を説明する説明図を示す。
【００５２】
開閉ダンパー装置１４０は、枠体（フレーム）２５０と、雰囲気が通過する開口部２５２と、この開口部２５２を開閉する開閉部２５４とを有する。
枠体２５０は、これが設けられる不活性ガス供給管１３２等と一体に形成されるようにしてもよいし、不活性ガス供給管１３２等に対して取り付けるようにしてもよい。
【００５３】
本実施形態においては、開口部２５２は略四角形状に形成されており、この開口部２５２には気密性を保つ気密部材として用いられるシール部材２５６が備えられている。シール部材２５６は、開口部２５２の開閉部２５４が設けられた側の周囲に設けられている。
シール部材２５６は、例えばゴム等の弾性体により構成される。
【００５４】
開閉部２５４は、例えばアクチュエータ等の駆動部２６０と、開閉軸２６２と、開閉調整部２６４と、弁体２６６により構成される。開閉部２５４は、開口部２５２を「のれん式」に開閉するようになっている。
【００５５】
駆動部２６０は伸縮部２６０ａを備え、この伸縮部２６０ａが伸縮するように構成されている。
開閉軸２６２は、連結部材２６２ａを介して駆動部２６０の伸縮部２６０ａと連結しており、この伸縮部２６０ａの伸縮に連動して回転するようになっている。
本実施形態においては、伸縮部２６０ａが延伸している場合に開口部２５２が開口し、伸縮部２６０ａが収縮している場合に開口部２５２が閉口するように構成されている。開口部２５２が閉口することで、気体の供給（流れ）が停止される。
【００５６】
開閉軸２６２は、この開閉軸２６２の一部が少なくとも枠体２５０の内部となるように配置されている。
開閉軸２６２の回転方向に対する軸の中心２６２ｂは、開口部２５２の形成された面方向であって開閉軸２６２の軸方向と直交する方向（以下、「開閉軸２６２の軸方向と直交する方向」と称する場合がある）に対して、開口部２５２のこの方向の長さＬの範囲内となるように設けられている。
【００５７】
開閉調整部２６４は、腕部２７０と、付勢部材２７２と、接続体２７４とにより構成される。開閉調整部２６４は、開閉軸２６２の回転に従って、弁体２６６の開閉動作を調整して開口部２５２を開閉するようになっている。
【００５８】
腕部２７０は、開閉軸２６２の軸方向に対して略垂直に設けられ、その一端が開閉軸２６２に固定されており、開閉軸２６２の回転と一体に回転するようになっている。
本実施形態において、腕部２７０は棒状（直方体状）に形成されており、この腕部２７０の長手方向の長さＭは、開口部２５２の開閉軸２６２の軸方向と直交する方向の長さＬよりも短く構成されている（図８（ａ）参照）。
【００５９】
付勢部材２７２は、腕部２７０の開閉軸２６２に接続された端部とは反対側の端部に設けられ、弁体２６６を腕部２７０から離れる側へ付勢するようになっている。
付勢部材２７２は、弁体２６６の開閉軸２６２が設けられた側よりも反対側がシール部材２５６に近づくようにこの弁体２６６を付勢している。
【００６０】
接続体２７４は、その一端側が支軸２７６を介して腕部２７０に接続されており、この腕部２７０に対して所定の範囲で回転自在となっている。支軸２７６は、腕部２７０に対して、開閉軸２６２に接続された端部と付勢部材２７２が設けられた端部との間の位置を通るように設けられている。
また、接続体２７４は、腕部２７０に接続された側とは反対側が弁体２６６に固定されている。
【００６１】
本実施形態において、接続体２７４は凹状に形成されており、窪み部２７４ａに腕部２７０を通過させるようにして配置されている。
このため、接続体２７４は、窪み部２７４ａによって回転する範囲が規制されている。具体的には、接続体２７４は、多くとも窪み部２７４ａと腕部２７０とが接触する範囲以上には回転しないようになっている。
【００６２】
このように、腕部２７０と弁体２６６とは、これらの相対的な位置関係が変化される構成となっている。本実施形態においては、腕部２７０と弁体２６６とが平行となる位置関係と、平行でない位置関係とに変化するようになっている。
【００６３】
次いで、開閉部２５４の開閉動作について説明する。
図８（ａ）に示すように、開口部２５２に対して弁体２６６が開いている状態においては、接続体２７４は、弁体２６６を介して付勢部材２７２の付勢力に従って、窪み部２７４ａが腕部２７０と接触する位置まで回転した状態となる。
このため、弁体２６６は、開閉軸２６２に近い側の端部２６６ａが、開閉軸２６２に遠い側の端部２６６ｂよりも腕部２７０側に位置するように配置される。
すなわち、弁体２６６は腕部２７０に対して、これら腕部２７０と弁体２６６とが平行する位置にある場合と比較して、開閉軸２６２及び端部２６６ａ側が閉じた位置に配置されている（開閉軸２６２と弁体２６６とが平行する位置関係にない）。
【００６４】
図８（ｂ）に示すように、駆動部２６０の伸縮部２６０ａが収縮し始めると開閉軸２６２が回転（図８において、反時計方向）し、弁体２６６が開口部２５２側へ移動する。
この際も同様に、弁体２６６は腕部２７０に対して、腕部２７０と弁体２６６とが平行する位置にある場合と比較して、開閉軸２６２及び端部２６６ａ側が閉じた位置に配置されている。
【００６５】
図８（ｃ）に示すように、開閉軸２６２が図８（ｂ）の位置からさらに回転すると、弁体２６６の端部２６６ｂがシール部材２５６と接触する。
端部２６６ｂがシール部材２５６と接触するまでの動作の間、弁体２６６は腕部２７０に対して上記のように配置されており、端部２６６ａと開口部２５２及びシール部材２５６との接触が回避されるようになっている。
【００６６】
図８（ｄ）に示すように、開閉軸２６２が図８（ｃ）の位置からさらに回転すると、腕部２７０が開口部２５２側に回転して接続体２７４をこの開口部２５２側へ押し込む。これにより、接続体２７４は、シール部材２５６と接触する端部２６６ｂを支点として付勢部材２７２の付勢力に抗し、窪み部２７４ａが腕部２７０と接触しない姿勢となる。これに従って、弁体２６６の端部２６６ａがシール部材２５６と接触する（開閉軸２６２と弁体２６６とが平行する位置関係となる）。
このようにして、開閉部２５４は、弁体２６６をシール部材２５６に一様に圧接させる。弁体２６６が閉じられた場合、弁体２６６はシール部材２５６に密着する。
【００６７】
このように、開閉部２５４は、開閉軸２６２に遠い側の端部２６６ｂを、開閉軸２６２に近い側の端部２６６ａよりも先にシール部材２５６に接触させ、このシール部材２５６に接触した端部２６６ｂを支点とするようにして弁体２６６を回転させて端部２６６ａをシール部材２５６に接触させるようになっている。
このため、本構成を有さない場合と比較して、弁体２６６（特に端部２６６ａ）の開閉動作が、開口部２５２あるいはシール部材２５６によって干渉されることが抑制される。
【００６８】
次に、基板処理装置１０の動作について説明する。
【００６９】
搬入出部１４にポッド４が載置されると、このポッド４はポッド移送装置５０によって、搬入出口１６を介してバッファ棚３０又は回転棚４０の所定の位置に移送され、一時的に保管される。
【００７０】
バッファ棚３０及び回転棚４０に保管されたポッド４は、ポッド移送装置５０によって、所定の待機搬入出部７０に搬送される。
なお、搬入出部１４から、直接、待機搬入出部７０に搬送するようにしてもよい。
【００７１】
一方の待機搬入出部７０に搬送されたポッド４は、ポッド開閉装置７２によって蓋部が開かれる。
これと並行して、他方の待機搬入出部７０に、別のポッド４が搬送される。
【００７２】
例えば、上側の待機搬入出部７０においてポッド４の開放作業を行っている間に、下側の待機搬入出部７０への他のポッド４の搬送作業を行う場合、本構成を有さない場合と比較して、ポッド４の入れ替え作業による待機時間が短縮される。
【００７３】
待機搬入出部７０においてポッド４の蓋部が開かれると、このポッド４に収容されたウエハ２が、ウエハ移載装置１１０によってボート９４に移載（ローディング）される。
ポッド４が待機搬入出部７０に繰り返し供給され、これら複数個のポッド４に収容されたウエハ２がボート９４に保持された状態で、バッチ処理されることとなる。
【００７４】
予め定められた複数枚のウエハ２がボート９４に保持されると、このボート９４は、ボート昇降装置９０によって上昇され、処理室２１６に搬入される。
この際、ボート９４を保持するキャップ９２がマニホールド２１８の下端開口２２２を閉塞し、処理室２１６内が気密に閉じられた状態となる。
【００７５】
処理室２１６が気密に閉じられると、この処理室２１６内は排気管２２０によって所定の真空度に真空排気され、加熱装置２１０によって所定の温度に加熱される。その後、ガス導入管（非図示）によって所定の原料ガスが所定の流量で供給される。
このようにして、ウエハ２に所定の処理（例えばCVD膜の形成）がなされる。
【００７６】
予め定められた処理時間が経過すると、ボート９４はボート昇降装置９０によって下降され、このボート９４が待機室６０に搬出される。
ボート９４の処理室２１６への搬入出作業及び処理作業と並行して、ポッド移送装置５０によるポッド４の移送作業が行われる。
【００７７】
ボート９４に保持された処理済みのウエハ２は、ウエハ移載装置１１０によって、待機搬入出部７０に待機するポッド４に移送（アンローディング）される。
続いて、ポッド４の蓋部がポッド開閉装置７２によって閉じられる。
【００７８】
処理済みのウエハ２を収容したポッド４は、ポッド移送装置５０によって、バッファ棚３０又は回転棚４０に搬送される。
【００７９】
処理済みのウエハ２の移載作業は、ポッド４が待機搬入出部７０に繰り返し供給され、これら複数個のポッド４に対してボート９４から処理済みのウエハ２を収容するようにして行われる。
【００８０】
この際、ボート９４から一方（上側又は下側）の待機搬入出部７０へウエハ２を移載する作業と並行して、他方の待機搬入出部７０へのポッド４の搬送作業を行うことで、本構成を有さない場合と比較して、ポッド４の入れ替え作業による待機時間が短縮される。
【００８１】
処理済みのウエハ２を収容したポッド４は、ポッド移送装置５０によって、バッファ棚３０又は回転棚４０から搬入出部１４に移送され、ポッド４が基板処理装置本体１２外に搬出される。
なお、処理済みのウエハ２を収容したポッド４は、待機搬入出部７０から直接、載置部２０に移送されるようにしてもよい。
【００８２】
続いて、待機室６０を循環する雰囲気の流れについて説明する。
【００８３】
ウエハ２を待機室６０内に搬入する際、これに先立って待機室６０に不活性ガスを循環させる。
具体的には、第一の開閉ダンパー装置１４０ａ及び第三の開閉ダンパー装置１４０ｃが開かれ、第二の開閉ダンパー装置１４０ｂ及び第四の開閉ダンパー装置１４０ｄが閉じられた状態となる。
【００８４】
これにより、不活性ガス供給管１３２から吹出部１２２に向けて不活性ガスが供給される。吹出部１２２に供給された不活性ガスは、クリーンユニット１１４を介して待機室６０内に吹き出される。
【００８５】
待機室６０内に吹き出された不活性ガスの多く（例えば80 %程度）は、（１）吸込部１２４に吸い込まれた後、第一の連結部１２６を通る経路、（２）吸込部１２４に吸い込まれた後、第二の連結部１２８を通る経路、（３）待機室６０から吸込口１９０を介して第一の連結部１２６を通る経路、これらいずれかの経路を通って冷却装置１４６へ流れる。
冷却装置１４６で冷却された不活性ガスは、第三の開閉ダンパー装置１４０ｃを通過して、再び吹出部１２２に供給される。
【００８６】
一方、待機室６０内に吹き出された不活性ガスの一部（例えば20 %程度）は、（４）吸込部１２４に吸い込まれた後、排出口２０２ｂを介して排出管２００を通る経路、（５）待機室６０から排出口２０２ａを介して排出管２００を通る経路、これらいずれかの経路を通って迂回路２０４を通過し排出される。
【００８７】
迂回路２０４を通過して排出される量に相当する不活性ガスが、不活性ガス供給管１３２から供給され続けるようになっている。
このようにして、不活性ガスが待機室６０を循環する。
【００８８】
不活性ガスの一部を迂回路２０４から継続して排出することで、排出口２０２ａ及び排出口２０２ｂを通過する不活性ガスの流れが確保される。このため、本構成を有さない場合と比較して、待機室６０内（特に、排出口２０２ａ及び２０２ｂ付近）における雰囲気の澱み、滞留が防止される。
【００８９】
熱処理装置８０によりウエハ２に対して所定の処理が行われ、ボート９４ボート９４が待機室６０に搬出される際は、第一の開閉ダンパー装置１４０ａ及び第四の開閉ダンパー装置１４０ｄが開かれ、第二の開閉ダンパー装置１４０ｂ及び第三の開閉ダンパー装置１４０ｃに加えが閉じられた状態となる。
【００９０】
この場合、待機室６０内に吹き出された不活性ガスの大部分（約100 %程度）は、上述の経路（４）、（５）により排出管２０２を通り、第四の開閉ダンパー装置１４０ｄあるいは迂回路２０４を通過して排出される。
所定の処理によって高温となったボート９４（及びウエハ２）は、不活性ガスと接触して熱交換することで冷却され、このようにボート９４等を冷却した不活性ガスは、排出管２００から排出される。
【００９１】
ボート９４等の冷却に伴って温度の上昇した不活性ガスは、循環風導部１２０を循環することなく、排出管２００から排出される。このため、高温の不活性ガスがクリーンユニット１１４を通過することがなく、本構成を有さない場合と比較して、このクリーンユニット１１４の温度上昇を抑制することができる。
【００９２】
待機室６０内を保持点検（メンテナンス）する際は、この待機室６０内から不活性ガスが除去され、清浄な空気が供給される。これにより、作業者の安全性が確保される。
具体的には、第二の開閉ダンパー装置１４０ｂ及び第四の開閉ダンパー装置１４０ｄが開かれ、第一の開閉ダンパー装置１４０ａ及び第三の開閉ダンパー装置１４０ｃが閉じられた状態となる。
【００９３】
これにより、空気供給管１４２から吹出部１２２に向けて空気が供給される。吹出部１２２に供給された空気は、クリーンユニット１１４を介して待機室６０内に吹き出される。
待機室６０内に吹き出された空気は、上述の経路により排出管２０２を通り、第四の開閉ダンパー装置１４０ｄあるいは迂回路２０４を通過して排出される。
【００９４】
上記実施形態においては、基板処理装置１０がバッチ式縦形CVD装置を構成する場合について説明したが、これに限らず、バッチ式縦形拡散装置等の半導体製造装置全般に適用することができる。
【００９５】
また、ウエハ２の基板収容器としてポッド４を用いた場合について説明したが、これに限らず、開閉するキャップを有さないカセットを使用するようにしてもよい。
基板収容器としてカセットを使用する場合、ポッド開閉装置７２の設置を省略することができる。
【００９６】
待機搬入出部７０は、上下二段に限らず、一段設置するようにしてもよいし、上中下三段のように三段以上設置するようにしてもよい。
【００９７】
次に、開閉ダンパー装置１４０の比較例について説明する。
【００９８】
図９は、比較例としての開閉ダンパー装置３００の構成及び動作を説明する説明図である。開口部２５２を閉じる際、弁体２６６は、図９（ａ）から図９（ｂ）に示すようにして回転する。
【００９９】
開閉ダンパー装置３００においては、弁体２６６は、その一端側に固定された開閉軸３０２を軸として開口部２５２を開閉するように構成されている。
このため、弁体２６６の端部２６６ａ側の回転する半径（回転半径）は比較的小さく、端部２６６ｂ側の回転半径は比較的大きくなる。
【０１００】
開口部２５２を閉口する際、弁体２６６は、開閉軸３０２側の端部２６６ａが回転動作しながらシール部材２５６と接触し、その後、端部２６６ｂがシール部材２５６に接触するようになっている。
この際、端部２６６ａ側の回転半径が小さいため、この端部２６６ａの回転動作はシール部材２５６に干渉されることとなる（領域Ａ）。
【０１０１】
また、端部２６６ａの回転動作がシール部材２５６によって干渉されないように端部２６６ａとシール部材２５６との間隔を大きくした構成とすると、端部２６６ａとシール部材２５６との密着性が低下する。
【０１０２】
図１０は、比較例としての開閉ダンパー装置３２０の構成及び動作を説明する説明図である。開口部２５２を閉じる際、弁体２６６は、図１０（ａ）から図１０（ｂ）に示すようにして回転する。
【０１０３】
開閉ダンパー装置３２０においては、弁体２６６は、開閉軸３２２に対し腕部３２４を介して接続されている。開閉ダンパー装置３２０は、開閉軸３２２を軸として腕部３２４及び弁体２６６を回転することで、開口部２５２を開閉するようになっている。
【０１０４】
開閉軸３２２は、弁体２６６の端部２６６ａ側から、この弁体２６６の略面方向に対して所定の距離（長さＮ）離れるようにして配置されている。
具体的には、開閉軸３２２は、回転方向に対する軸の中心３２２ｂが、開口部２５２の投影範囲外となるように配置されている。すなわち、中心３２２ｂは、開口部２５２の形成された面方向であって開閉軸３２２の軸方向と直交する方向に対して、開口部２５２のこの方向の長さＬの範囲外となるように設けられている（図１０（ａ）参照）。
【０１０５】
開閉ダンパー装置３２０においては、弁体２６６は、上述のように開口部２５２の投影範囲外に配置された開閉軸３２２を軸として回転するため、その回転動作がシール部材２５６によって干渉されることが防止される。
【０１０６】
［本発明の好ましい態様］
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
【０１０７】
（明細書原稿、請求項１に対応）
本発明の一態様によれば、開口部を設けたフレームと、前記開口部周りに圧縮率をもったシール材と、前記開口部を回動開閉し、かつ、前記シール材をつぶし込む弁体と、前記弁体をピン結合にて可動支持するアーム部と、前記アーム部を旋回させる回転軸と、前記回転軸を回転させるアクチュエータと、で構成され、前記弁体により流体が通る通路をのれん式に開閉するダンパ装置において、前記弁体は、アームに対しある制限をもった範囲で自由に動くことが可能なことを特徴とするダンパ装置が提供される。
【０１０８】
（同、請求項２に対応）
好ましくは、前記回転軸は、前記開口部の範囲内に位置し、前記アーム部が短いことを特徴とし、開口率の高いのれん式のダンパ装置でありながら、装置外形をコンパクトに抑えたことを特徴とする。
【０１０９】
（同、請求項３に対応）
好ましくは、前記弁体は、前記アームと該弁体とを結合するピンからオフセットされた位置に圧縮バネを具備し、前記圧縮バネの力によって常に決まった角度の位置関係を維持しようとし、さらに前記圧縮バネは前記ピンに対し前記回転軸から離れた方向に設置されているため、前記弁体がシール材と接触していないフリーな状態では、常に前記弁体は前記アームに対し前記回転軸側で接近している（アームと弁体とが平行でない）ことを特徴とする。
【０１１０】
（同、請求項４に対応）
好ましくは、前記弁体が開いている状態では、該弁体は前記回転軸側で前記アームに接近しているため、該回転軸に近い前記弁体は、断両性のある前記シール材と接触することなく（シール材を引きずることなく）旋回することが可能であり、前記弁体が閉じている状態になり前記シール材を潰し込む初期には、前記回転軸からより離れた前記弁体の縁から前記シール材との接触が始まり、潰し込む中期から後期にかけて該弁体が次第に前記シール材全体を平均に潰し込み、シール材の耐久性向上と気密性を保つことを特徴とする。
【符号の説明】
【０１１１】
２    ウエハ
４    ポッド
１０    基板処理装置
１２    基板処理装置本体
１４    搬入出部
３０    バッファ棚
４０    回転棚
５０    ポッド移送装置
６０    待機室
７０    待機搬入出部
７２    ポッド開閉装置
８０    熱処理装置
９０    ボート昇降装置
９４    ボート
１１０    ウエハ移載装置
１１２    移載昇降装置
１１４    クリーンユニット
１２０    循環風導部
１２２    吹出部
１２４    吸込部
１２６    第一の連結部
１２８    第二の連結部
１３２    不活性ガス供給管
１４０    開閉ダンパー装置
１４２    空気供給管
１４６    冷却装置
２００    排出部
２０４    排出管
２０６    迂回路
２５０    枠体
２５２    開口部
２５４    開閉部
２５６    密閉部材
２６０    駆動部
２６２    開閉軸
２６４    開閉調整部
２６６    弁体
２７０    腕部
２７２    付勢部材
２７４    接続体
【図１】
2012253198.tif 000003
【図２】
2012253198.tif 000004
【図３】
2012253198.tif 000005
【図４】
2012253198.tif 000006
【図５】
2012253198.tif 000007
【図６】
2012253198.tif 000008
【図７】
2012253198.tif 000009
【図８】
2012253198.tif 000010
【図９】
2012253198.tif 000011
【図１０】
2012253198.tif 000012