(57)【要約】【課題】ノズルの出射孔とファイバコネクタからのレーザ光の光軸とを位置合わせする調整を簡単に行うことが可能なファイバレーザ加工機の加工ヘッドを提供する。【解決手段】ヘッド本体３と、このヘッド本体３内に収容されてレーザ光を集光制御する光学系９と、ヘッド本体３の上部に設けられて伝送用ファイバケーブル１１の端末に接続されたファイバコネクタ１３が嵌合するヘッドコラム７と、ヘッド本体３の下部に設けられてファイバコネクタ１３から出射し光学系９で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射する出射孔１９を有するノズル５と、ヘッドコラム７に対してファイバコネクタ１３の位置を調整して光学系９で集光されたレーザ光の光軸をノズル５の出射孔１９の中心に位置合わせする光軸調整機構５１とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
伝送用ファイバケーブルから出射されたレーザ光を被加工材に対して集光照射するファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
ヘッド本体と、このヘッド本体内に収容されてレーザ光を集光制御する光学系と、ヘッド本体の上部に設けられて前記伝送用ファイバケーブルの端末に接続されたファイバコネクタが嵌合するヘッドコラムと、前記ヘッド本体の下部に設けられて前記ファイバコネクタから出射し光学系で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射する出射孔を有するノズルと、前記ヘッドコラムに対して前記ファイバコネクタの位置を調整して前記光学系で集光されたレーザ光の光軸を前記ノズルの出射孔の中心に位置合わせする光軸調整機構とを備えていることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記ヘッド本体は、前記ノズルが下部側に固定される筒状の下部ヘッドと、この下部ヘッドの上部側に同軸的に固定され上部側に前記ヘッドコラムが固定される筒状の上部ヘッドとによって形成され、
前記ヘッドコラムは、前記ファイバコネクタが嵌合される筒状壁と、この筒状壁の下部側に設けられて上部ヘッドの上端に固定される固定壁とによって形成されており、
前記ファイバコネクタは、前記筒状壁の内側で前記レーザ光の光軸に対して直交するシフト方向に前記光軸調整機構により位置調整されることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
【請求項３】
請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記光軸調整機構は、前記筒状壁の内壁と前記ファイバコネクタの外周との間に挿入されてファイバコネクタをＸ方向へ移動させるＸ方向調整シムと、このＸ方向に対して交差するＹ方向へファイバコネクタを移動させるＹ方向調整シムとによって形成されていることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
【請求項４】
請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記光軸調整機構は、前記筒状壁と前記ファイバコネクタとの間に掛け渡された押しねじ及び引きねじからなり、これらの押しねじ及び引きねじがレーザ光の光軸と直交したＸＹ方向に配置されていることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
【請求項５】
請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、
前記光軸調整機構は、Ｘ−Ｙ位置決めステージであることを特徴とするファイバレーザ加工機の加工ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を集光照射することによりワークに加工を行うファイバレーザ加工機の加工ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は、特許文献１に記載されているファイバレーザ加工機１００を示す。このファイバレーザ加工機１００は、発振波長１μｍ帯のファイバレーザ発振器１０２をレーザ光源とし、このレーザ光源にプロセスファイバケーブル（伝送用ファイバケーブル）１０４を介して加工ヘッド１０５が連結されている。
【０００３】
ファイバレーザ加工機１００は、加工テーブル１１３上をＸ軸方向に移動するＸ軸キャリッジ１１５及びＸ軸キャリッジ１１５にＹ軸方向に移動可能に設けられたＹ軸キャリッジ１１７を備えており、加工ヘッド１０５はＹ軸キャリッジ１１７に取り付けられている。加工ヘッド１０５は、加工テーブル１１３上の被加工材Ｗに対して、ＸＹ方向に移動制御されながらＺ方向からレーザ光１０７を集光照射して切断等の加工を行う。
【０００４】
加工ヘッド１０５にはコリメータレンズ１０９、ベンドミラー１１０、集光レンズ１１１がレーザ光の伝送方向に沿って順に配置されており、集光レンズ１１１の下方にノズル１１９が設けられている。ノズル１１９は被加工材Ｗに臨んでおり、被加工材Ｗにレーザ光１０７を照射する。
【０００５】
コリメータレンズ１０９はファイバレーザ発振器１０２に接続されたプロセスファイバケーブル１０４側に位置しており、同ケーブル１０４の出射端から出射したレーザ光１０７を平行光束とする。集光レンズ１１１は、レーザ光１０７を被加工材Ｗに集光照射するための光学部材であり、ノズル１１９側に設けられている。
【０００６】
ファイバレーザ加工機１００においては、ファイバレーザ発振器１０２で形成されプロセスファイバケーブル１０４を伝送されたレーザ光１０７がコリメータレンズ１０９を通過することにより略平行光束となった後、ベンドミラー１１０によりＺ軸方向に反射され、集光レンズ１１１に入射して集光される。集光されたレーザ光１０７はノズル１１９から被加工材Ｗに照射され、この照射によって被加工材Ｗの加工を行う。
【０００７】
このような加工ヘッド１０５において、集光されたレーザ光１０７がノズル１１９から出射するための出射孔がノズル１１９に開口している。かかるノズル１１９の出射孔の中心とレーザ光の光軸とは一致することが必要となっており、この位置合わせのための調整を行うことが従来よりなされている。
【０００８】
図６は、レーザ光源として発振波長１０μｍ帯のＣＯ２レーザ発振器１３０を用いた加工機における調整構造を示す。
【０００９】
図６においては、ベンドミラー１１０に対してねじ等からなる調整機構１４０を設けている。調整機構１４０は第１調整部１４１及び第２調整部１４２を備え、これらの調整部１４１，１４２の先端がベンドミラー１１０の上下端部に連結されている。この構造では、これらの調整部１４１，１４２の進出量を調整することによりベンドミラー１１０の角度を調整する。これにより、ベンドミラー１１０で反射されるレーザ光の光軸をノズル１１９の出射孔１２０の中心と一致させるものである。
【００１０】
図６の構造は、発振波長が１０μｍ帯のレーザ光に対して調整を行うものであり、この波長帯域のレーザ光はＣＯ２レーザ発振器１３０とベンドミラー１１０との間の暴露空間１４５を伝送する。この暴露空間１４５の伝送においては、レーザ光の損失があることから好ましくなく、波長帯域１μｍのレーザ光に対しては適用することができない汎用性のない構造となっている。
【００１１】
又、波長帯域１μｍのレーザ光においては、暴露空間１４５内の伝送ではなく、プロセスファイバケーブルを伝送させて加工ヘッドに導く必要がある。このプロセスファイバケーブルを用いる場合、プロセスファイバケーブルの端末にファイバコネクタを接続し、このファイバコネクタを加工ヘッドに嵌合させることによりプロセスファイバケーブルから集光レンズに直接にレーザ光を導く構造となり、ベンドミラー１１０が不要となる。このため、波長帯域１μｍのレーザ光を用いるファイバレーザ加工機においては、ベンドミラー１１０の角度調整によってレーザ光の光軸調整を行う図６の構造を適用することができない。
【００１２】
図７は、波長帯域１μｍのレーザ光を用いる加工機に適用するため、プロセスファイバーケーブル１０４の端末にファイバコネクタ１５０を接続した場合の従来の調整構造を示す。
【００１３】
図７に示すように、加工ヘッド１５３が筒状に形成され、筒状の加工ヘッド１５３の内部にコリメータレンズ１０９及び集光レンズ１１１が配置されている。ファイバコネクタ１５０は加工ヘッド１５３の上端部に嵌め込まれることにより加工ヘッド１５３に取り付けられる。加工ヘッド１５３の下端部には、出射孔１２０が開口しているノズル１１９が取り付けられる。
【００１４】
図７の構造において、ノズル１１９と対応した加工ヘッド１５３の下端部には、複数の調整ねじ１５５からなる調整機構が設けられている。複数の調整ねじ１５５は、ノズル１１９の上部の周囲に配置されており、適宜の調整ねじ１５５の加工ヘッド１５３へのねじ込み量を調整することによりノズル１１９の中心軸（ノズル１１９の出射孔１２０の中心）を光軸と直交するシフト方向に調整するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００９−２２６４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、図７に示す調整構造では、ノズル１１９を加工ヘッド１５３に取り付ける際に、ノズル１１９の中心軸と集光レンズ１１１との光軸を合わせる必要がある。すなわち、図７の構造においては、ファイバコネクタ１５０からのレーザ光の光軸とノズル１１９の中心軸とを位置合わせする調整に加えてノズル１１９の中心軸と集光レンズ１１１の光軸とを位置合わせする調整が必要となっている。このため、位置合わせのための調整が面倒となる問題を有している。
【００１７】
そこで、本発明は、ノズルの出射孔とファイバコネクタからのレーザ光の光軸とを位置合わせする調整を簡単に行うことが可能なファイバレーザ加工機の加工ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
請求項１記載の発明は、伝送用ファイバケーブルから出射されたレーザ光を被加工材に対して集光照射するファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、ヘッド本体と、このヘッド本体内に収容されてレーザ光を集光制御する光学系と、ヘッド本体の上部に設けられて前記伝送用ファイバケーブルの端末に接続されたファイバコネクタが嵌合するヘッドコラムと、前記ヘッド本体の下部に設けられて前記ファイバコネクタから出射し光学系で集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射する出射孔を有するノズルと、前記ヘッドコラムに対して前記ファイバコネクタの位置を調整して前記光学系で集光されたレーザ光の光軸を前記ノズルの出射孔の中心に位置合わせする光軸調整機構とを備えていることを特徴とする。
【００１９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記ヘッド本体は、前記ノズルが下部側に固定される筒状の下部ヘッドと、この下部ヘッドの上部側に同軸的に固定され上部側に前記ヘッドコラムが固定される筒状の上部ヘッドとによって形成され、前記ヘッドコラムは、前記ファイバコネクタが嵌合される筒状壁と、この筒状壁の下部側に設けられて上部ヘッドの上端に固定される固定壁とによって形成されており、前記ファイバコネクタは、前記筒状壁の内側で前記レーザ光の光軸に対して直交するシフト方向に前記光軸調整機構により位置調整されることを特徴とする。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記光軸調整機構は、前記筒状壁の内壁と前記ファイバコネクタの外周との間に挿入されてファイバコネクタをＸ方向へ移動させるＸ方向調整シムと、このＸ方向に対して交差するＹ方向へファイバコネクタを移動させるＹ方向調整シムとによって形成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項４記載の発明は、請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記光軸調整機構は、前記筒状壁と前記ファイバコネクタとの間に掛け渡された押しねじ及び引きねじからなり、これらの押しねじ及び引きねじがレーザ光の光軸と直交したＸＹ方向に配置されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項５記載の発明は、請求項２記載のファイバレーザ加工機の加工ヘッドであって、前記光軸調整機構は、Ｘ−Ｙ位置決めステージであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１記載の発明によれば、光軸調整機構がヘッドコラムに対してファイバコネクタの位置を調整することにより、レーザ光の光軸をノズルの出射孔の中心に位置合わせする構造であり、ノズルの出射孔に対してレーザ光の光軸を位置合わせすることからノズルをレーザ光の光軸に対して位置合わせ調整する必要がない。又、このようにヘッドコラムに対してファイバコネクタの位置を調整することはノズルへの位置調整よりも簡単に行うことができる。従って、ノズルの出射孔とファイバコネクタからのレーザ光の光軸とを位置合わせする調整が簡単となる。
【００２４】
請求項２記載の発明によれば、光軸調整機構がファイバコネクタをシフト方向に位置調整することにより、ノズルの出射孔とファイバコネクタからのレーザ光の光軸とを位置合わせする。シフト方向への位置調整はレーザ光の光軸に対して直交する方向への調整であり、シフト方向への調整を行うことによりレーザ光の光軸の傾斜角度に対する調整であるチルト調整が不要となる。これにより、ノズルの出射孔とファイバコネクタからのレーザ光の光軸との位置合わせが簡単となる。
【００２５】
請求項３記載の発明によれば、ファイバコネクタをＸ方向に移動させるＸ方向調整シム及びＹ方向移動させるＹ方向調整シムによって光軸調整機構が形成されるため、光軸調整機構を簡単な構造とすることができる。
【００２６】
請求項４記載の発明によれば、レーザ光の光軸と直交するＸＹ方向に配置された押しねじ又は引きねじを回転操作することにより、ファイバコネクタを移動させてレーザ光の光軸をノズルの出射孔に位置合わせすることができ、位置合わせが簡単となる。
【００２７】
請求項５記載の発明によれば、光軸調整機構がＸ−Ｙ位置決めステージによって形成されるため、光軸調整機構を簡単な構造とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態の加工ヘッドを示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態の加工ヘッドを示す縦断面図である。
【図３】光軸と出射孔との関係を示す平面図である。
【図４】本発明の別の実施形態の加工ヘッドを示す縦断面図である。
【図５】ファイバレーザ加工機を示す斜視図である。
【図６】レーザ光の光軸調整を行う従来の第１例を示す断面図である。
【図７】レーザ光の光軸調整を行う従来の第２例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１〜図３は、本発明の一実施形態の加工ヘッドであり、図１は平面図、図２は縦断面図、図３は光軸の調整を示す平面図である。
【００３０】
加工ヘッド１は、ファイバレーザ加工機に用いられるものである。ファイバレーザ加工機は図示を省略するが、レーザ光源としてのファイバレーザ発振器と、被加工材が載置される加工テーブルと、加工テーブルに対してＸ方向に移動するＸ軸キャリッジ及びＸ方向と直交したＹ方向に移動するＹ軸キャリッジとを備えている（図５参照）。ファイバレーザ発振器はたとえば波長帯域１μｍのレーザ光を形成して出力する。
【００３１】
加工ヘッド１は、Ｘキャリッジに装着されてＸＹ方向に移動する。加工ヘッド１とファイバレーザ発振器とは、伝送用ファイバケーブル（プロセスファイバケーブル）１１（図２参照）によって連結されており、加工ヘッド１は伝送用ケーブルから出射されたレーザ光を加工テーブル上の被加工材に対して集光照射する。
【００３２】
図１及び図２に示すように、加工ヘッド１は、ヘッド本体３と、ノズル５と、ヘッドコラム７と、光学系９とを備えている。
【００３３】
ファイバレーザ発振器からは伝送用ファイバケーブル（プロセスファイバケーブル）１１が引き出されており、その引出側の端末にファイバコネクタ１３が接続されている。このファイバコネクタ１３がヘッド本体３に嵌合することにより、ヘッド本体３と伝送用ケーブル１１とが接続される。
【００３４】
ヘッド本体３は、筒状の下部ヘッド１５と、下部ヘッド１５の上部側にねじ１６によって固定された筒状の上部ヘッド１７とによって形成されている。上部ヘッド１７は、下部ヘッド１５と同軸的に固定されるものである。下部ヘッド１５の下部には、ノズル取付筒１８が一体に形成されており、ノズル取付筒１８にノズル５の上部が嵌め込まれることによりノズル５が下部ヘッド１５の下部側に取り付けられている。
【００３５】
ノズル５は、伝送用ファイバケーブル１１からのレーザ光を被加工材に向けて出射するものであり、レーザ光を出射するための出射孔１９が下端部に開口されている。
【００３６】
筒状の下部ヘッド１５及び上部ヘッド１７には、光路孔２１が上下方向に連通しており、この光路孔２１内に光学系９が取り付けられる。
【００３７】
光学系９は、上部ヘッド１７の内部に配置されたコリメータレンズ２３と、下部ヘッド１５の内部に配置された集光レンズ２５とによって形成されている。
【００３８】
コリメータレンズ２３は、コリメータレンズケース２６内に取り付けられており、コリメータレンズケース２６を上部ヘッド１７の光路孔２１に挿入することによりコリメータレンズ２３が上部ヘッド１７内に配置される。
【００３９】
集光レンズ２５は、集光レンズケース２７内に取り付けられており、集光レンズケース２７を下部ヘッド１５の光路孔２１に挿入することにより集光レンズ２５が下部ヘッド１５内に配置される。
【００４０】
ヘッドコラム７は、上部側の筒状壁３１と、下部側の固定壁３３とが一体となることにより形成されている。固定壁３３はヘッド本体３の上部ヘッド１７の上端にねじ３４によって固定され、この固定によりヘッドコラム７の全体がヘッド本体３に取り付けられる。
【００４１】
ヘッドコラム７の筒状壁３１は、ヘッド本体３の軸方向に沿って上方に伸びていると共に上端部が開口されており、上端部の開口部分からファイバコネクタ１３が挿入される。挿入されたファイバコネクタ１３は筒状壁３１に嵌合し、この嵌合によりファイバコネクタ１３がヘッドコラム７に支持される。
【００４２】
ファイバコネクタ１３は、伝送用ケーブル１１の端末に接続されたファイバコネクタ本体３６と、ファイバコネクタ本体３６が内部に嵌合するファイバコネクタケース３８とによって形成されている。ファイバコネクタケース３８は筒状部３９と、筒状部３９の上端部から略円板状となって径方向に広がる平板部（鍔部）４０とが一体となることにより形成されており、筒状部３９の内部にファイバコネクタ本体３６が挿入されて嵌合する。
【００４３】
この実施形態において、ファイバコネクタケース３８の筒状部３９はヘッドコラム７の筒状壁３１に挿入されて嵌合する。この嵌合において、ファイバコネクタケース３８の平板部４０は、ヘッドコラム７の筒状壁３１の上端面に当接する。図２において、符号４１は平板部４０がヘッドコラム７の筒状壁３１に当接した当接部分であり、この当接部分４１によってファイバコネクタケース３８（すなわちファイバコネクタ１３）のヘッドコラム７に対する上下方向の位置決めが行われる。かかる当接に対し、固定用ねじ４３を螺合させて締め付けることによりファイバコネクタ１３の上下方向の位置決め状態が固定される。
【００４４】
以上に加えて、ヘッドコラム７に対してファイバコネクタ１３の位置を調整する光軸調整機構５１が設けられる。光軸調整機構５１は、ヘッドコラム７の筒状壁３１とファイバコネクタ１３のファイバコネクタケース３８との間に挿入されるＸ方向調整シム５３及びＹ方向調整シム５５とによって形成されるものである（図１参照）。以下、この実施形態の光軸調整機構５１について、さらに具体的に説明する。
【００４５】
図１に示すように、ヘッドコラム７の筒状壁３１には、Ｘ方向調整用壁部５７及びＹ方向調整用壁部５９が形成される。これらの調整用壁部５７，５９は、図２に示すようにヘッドコラム７の筒状壁３１の上部を部分的に外側に突出させることに形成される。又、図１に示すように、これらの調整用壁部５７，５９の内壁５７ａ、５９ａはそれぞれ平面状となっている。一方、これらの調整用壁部５７，５９と対向したファイバコネクタケース３８の外周面も平面状となっている。
【００４６】
このように調整用壁部５７，５９を外側に突出させることにより調整用壁部５７，５９の内壁５７ａ、５９ａとヘッドコラム７内のファイバコネクタ１３（ファイバコネクタケース３８）の外周面との間に隙間が形成される。ここで、Ｘ方向調整用壁部５７は、ファイバコネクタ１３の光軸と直交したＸ方向に形成され、Ｙ方向調整用壁部５９は光軸と直交し且つＸ方向と直角状に交差したＹ方向に形成される。従って、Ｘ方向調整用壁部５７とファイバコネクタ１３（ファイバコネクタケース３８）との間には、Ｘ方向の隙間が形成され、Ｙ方向調整用壁部５９とファイバコネクタ１３（ファイバコネクタケース３８）との間には、Ｙ方向の隙間が形成される。
【００４７】
Ｘ方向調整シム５３は、Ｘ方向調整用壁部５７の内壁とファイバコネクタケース３８との間の隙間に挿入されることにより、ファイバコネクタケース３８をＸ方向に押してファイバコネクタケース３８をＸ方向に移動させる。Ｙ方向調整シム５５は、Ｙ方向調整用壁部５９の内壁とファイバコネクタケース３８との間の隙間に挿入されることにより、ファイバコネクタケース３８をＹ方向に押してファイバコネクタケース３８をＹ方向に移動させる。
【００４８】
そして、これらのＸ方向調整シム５３，Ｙ方向調整シム５５によるファイバコネクタケース３８の移動により、ファイバコネクタケース３８、すなわちファイバコネクタ１３の位置を調整することができる。このため、コリメータレンズ２３及び集光レンズ２５によって集光されたレーザ光の光軸の位置を調整することができる。かかる調整においては、図３に示すように、レーザ光の光軸６１がノズル５の出射孔１９の中心に位置するように位置合わせする。このような調整シム５３，５５による調整は、レーザ光の光軸に対して直交するシフト方向への調整となる。
【００４９】
かかるシフト方向への調整量は、５０μｍ程度で十分である。従って、調整シム５３，５５を２ｍｍ程度の厚さとし、この調整シム５３，５５を研磨することにより上述した調整量に合わせることができる。
【００５０】
このようにファイバコネクタ１３を移動させてレーザ光の光軸６１の位置をノズル５の出射孔１９の中心に位置合わせする調整を行うことにより、ノズル５を移動させてノズル５の出射孔１９の中心をレーザ光の光軸６１に対して位置合わせする必要がない。そして、このようにヘッドコラム７に対してファイバコネクタ１３の位置を調整することはノズル５への位置調整よりも簡単に行うことができる。以上により、ノズル５の出射孔１９とファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸６１とを位置合わせする調整が簡単となる。
【００５１】
又、この実施形態では、ファイバコネクタ１３をレーザ光の光軸と直交するシフト方向に位置調整することにより、ノズル５の出射孔１９とファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸とを位置合わせするものであり、このようなシフト方向への調整を行うことによりレーザ光の光軸の傾斜角度に対する調整であるチルト調整が不要となる。このようにチルト調整が不要となることにより、ノズル５の出射孔１９とファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸との位置合わせを簡単に行うことができる。
【００５２】
又、この実施形態の調整は、所定厚さのＸ方向調整シム５３，Ｙ方向調整シム５５を調整用壁部５７，５９の内壁５７ａ、５９ａとファイバコネクタ１３との間に挿入するだけであるから調整操作が容易となる。
【００５３】
なお、図１で示すように、ボルトＢＴを用いてＸ方向調整シム５３をＸ方向調整用壁部５７に一体的に設け、ボルトＢＴを用いてＹ方向調整シム５５をＹ方向調整用壁部５９に一体的に設けてあってもよい。さらに、ボルトＢＴのネジ部の長さを増やして、Ｘ方向調整シム５３を間に挟む形態で、Ｘ方向調整用壁部５７とＸ方向調整シム５３ファイバコネクタケース３８とを一体化してもよいし、同様にして、Ｙ方向調整用壁部５９とＹ方向調整シム５５ファイバコネクタケース３８とを一体化してもよい。
【００５４】
図４は、本発明の第２実施形態の加工ヘッド７１を示す。この実施形態において、図１〜図３に示す実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して対応させてある。この実施形態においては、光軸調整機構７２が図１〜図３の実施形態と異なるだけであり、他の構成部材は図１〜図３の実施形態と同様となっている。
【００５５】
この実施形態の光軸調整機構７２は、押しねじ７３及び引きねじ７５を有して形成されている。これらの押しねじ７３及び引きねじ７５は、レーザ光の光軸に対して直交したシフト方向であるＸＹ方向に設けられるものであり、図４においては、Ｘ方向の押しねじ７３及び引きねじ７５を示しており、Ｙ方向の押しねじ及び引きねじも同様にして配置されている。
【００５６】
図４に示すように、ヘッドコラム７の筒状壁３１の上端部には、Ｘ方向調整用壁部５７が形成されており、Ｘ方向の押しねじ７３及び引きねじ７５はこのＸ方向調整用壁部５７とファイバコネクタ１３のファイバコネクタケース３８との間に掛け渡されている。
【００５７】
押しねじ７３は、Ｘ方向調整用壁部５７に螺合した状態でその先端部がファイバコネクタケース３８の外面に当接している。押しねじ７３を一方向に回転させることにより、押しねじ７３はファイバコネクタケース３８をＸ方向における左側に押圧する。これにより、ファイバコネクタケース３８（ファイバコネクタ１３）がＸ方向における左側に移動する。押しねじ７３を逆方向に回転する場合には、押しねじ７３によるファイバコネクタケース３８への押圧が解除される。
【００５８】
引きねじ７５は、Ｘ方向調整用壁部５７に螺合した状態でその先端部がファイバコネクタケース３８に螺合している。引きねじ７５を逆方向に回転させることにより、引きねじ７５はファイバコネクタケース３８をＸ方向における右側に引き寄せる。これにより、ファイバコネクタケース３８（ファイバコネクタ１３）がＸ方向における右側に移動する。引きねじ７５を一方向に回転する場合には、引きねじ７５はこのような作用を行うことがない。
【００５９】
従って、Ｘ方向の押しねじ７３及び引きねじ７５を適宜回転させることによりファイバコネクタ１３をＸ方向に位置調整することができる。Ｙ方向に対しても、同様に押しねじ及び引きねじを回転させることにより、ファイバコネクタ１３をＹ方向に位置調整することができる。これらの位置調整により、ファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸をシフト方向に位置調整してノズル５の出射孔１９の中心に位置合わせすることができる。
【００６０】
このような実施形態においても、上記実施形態と同様にファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸と、ノズル５の出射孔１９との位置合わせ調整を簡単に行うことが可能となる。
【００６１】
本発明において、光軸調整機構としては、Ｘ−Ｙ位置決めステージを用いることも可能である。図示を省略するが、Ｘ−Ｙ位置決めステージは、Ｘ軸ステージ及びＹ軸ステージを直交するように組み付けることにより形成されるものであり、このＸ−Ｙ位置決めステージをヘッドコラム７の上端に取り付けた状態でファイバコネクタケース３８に連結することによりファイバコネクタ１３をＸ方向及びＹ方向に移動させることができ、この移動によってファイバコネクタ１３からのレーザ光の光軸をノズル５の出射孔１９の中心に位置合わせすることができる。なお、上述したように、光軸調整が５０μｍレベルの調整量であることからＸ−Ｙ位置決めステージとしては高精度であることが好ましい。
【符号の説明】
【００６２】
１，７１  加工ヘッド
３  ヘッド本体
５  ノズル
７  ヘッドコラム
９  光学系
１１  伝送用ファイバケーブル
１３  ファイバコネクタ
１５  下部ヘッド
１７  上部ヘッド
１９  出射孔
２３  コリメータレンズ
２５  集光レンズ
３１  筒状壁
３３  固定壁
３６  ファイバコネクタ本体
３８  ファイバコネクタケース
５１，７２  光軸調整機構
７３  押しねじ
７４  引きねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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