(57)【要約】【課題】大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱するための基板収納ケースを提供すること。【解決手段】平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有することを特徴とする基板収納ケース。
【請求項２】
前記スライド式基板保持治具の前記押し込み治具により押し付けられる面が、基板中央寄りを高くした上向きの斜面を構成することを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケース。
【請求項３】
前記スライド式基板保持治具を押し付ける前記押し込み治具の接触部分が、スライド式基板保持治具に対して基板中央寄りを高くした下向きの斜面を構成することを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納ケース。
【請求項４】
前記スライド式基板保持治具の上向きの斜面または前記押し込み治具の下向きの斜面のいずれかが外に凸な曲面であることを特徴とする請求項２または３に記載の基板収納ケース。
【請求項５】
前記スライド式基板保持治具の下底部への取り付け部分にバネ機構を設け、押し込み治具による押し付けがない状態では、スライド式基板保持治具が基板端部から最も離れた位置にスライドされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板収納ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクを始めとする平板状基板を収納するための基板収納ケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイのパネルを構成する電極板やカラーフィルタの製造工程において、ガラス基板に代表される平面基板にフォトマスクを用いた露光工程を含むフォトリソグラフィ法により、各層のパターン加工を施すことが多用されている。上記の工程に使用されるフォトマスク、特に大型のフォトマスクの保管には、機械的な衝撃を避けて基板の破損やキズを防止するとともに、塵埃や液滴等からの汚染を防止して、個別管理を可能とする各種の工夫を施した基板収納ケースが利用されている。
【０００３】
前記の大型フォトマスクに限らず、レチクルやフォトマスクブランクスやその他のガラス基板等においても、大型の平板状基板を個別管理して収納するための基板収納ケースが必要とされる場合は多い。基板収納ケースの例として、例えば、清浄な硬質樹脂製の箱の側面から箱の内面に加工した溝状のガイドに沿って基板を差し込み、基板挿入口に蓋を被せる簡単な形状の基板収納ケースがある。しかし、上記の基板収納ケースでは、基板の収納時および取り出し時に基板の側端部とケース内面の溝部とが擦れて発塵するという問題があり、基板収納ケースとして不完全であった。
【０００４】
上記の問題を解決するために、特許文献１に示すように、導電性材料を用いて発塵を防止するとともに上蓋を開けて基板を平坦に出し入れできる基板収納ケースの提案に見られるように、基板端部とケース内面との擦れを回避する方式の基板収納ケースが使われるようになった。図２は、改良タイプの従来の基板収納ケースにより基板を収納する状態を説明するための模式断面図である。一部を省略して示すが、表示されていない右側部分は表示された左側部分と略対称的で同様の状態である。
【０００５】
基板収納ケース２０の内、蓋部４０に連なる部分全体を外した状態で、高さを揃えた複数本の基板受けピン３１の先端上に基板１をセットする。この時、例えば長方形の基板の各辺の適当な位置に対応して、基板保持治具３３が近接している。基板保持治具３３は、基板保持治具取り付け脚部３３１により、基板収納ケース２０の下底部３０の所定の位置に接続しており、固定ネジ３３２を緩めた状態では、基板保持治具取り付け脚部３３１上を矢印のように図の左右に移動可能である。基板保持治具３３の基板端部に接する側を、図に示すように基板に向かって開いた二又状切り込み様の断面形状とすれば、基板端部を基板保持治具３３により確実に保持することができる。基板保持治具３３を基板の端部１１に押し付けた状態で固定ネジ３３２を締め、他の辺に対応する基板保持治具についても同様の調整を行うことにより、基板１を安定して把持することができる。
【０００６】
その後、前記蓋部４０に連なる部分全体を、下底部３０に連なる部分全体とその上にセットされた基板１を覆うように被せてケース留め具２２により密閉することができる。この場合、蓋部４０の端にある縁辺部４２または縁辺部４２に接着した側壁の下端は、下底部３０の縁辺部に設けてある下底部の側壁３２の上端と一致させることができる。すなわち、ブロック矢印（直線）の方向に蓋部を下降することにより、下底部と蓋部との係合部２１を閉じ、ブロック矢印（曲線）の方向にケース留め具２２を閉めることにより、基板収納ケース２０は基板１の収納を完了する。
【０００７】
基板１を取り出すための開梱の手順は、前記基板収納の手順を逆に行うことにより、実
施できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−５８１９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の改良タイプの基板収納ケースにおいて、以下の問題点が残された。すなわち、収納と開梱の動作を行う際に、固定ネジ３３２を締めたり緩めたりするための人手による作業負荷が大きい。特に大型基板に対しては一人での作業が難しくなる。また、時間と人手を多くかける作業中には人からの発塵を招き易い上、固定ネジを回すことによる接合面の擦れからも発塵が生じる。また、長期間の保管中に外部からの振動等により固定ネジが緩むことにより基板の保持が不完全になる恐れもある。
【００１０】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱するための基板収納ケースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、平板状の基板を略水平に載置するための複数の基板受けピンを設け縁辺部に側壁を付設した下底部と、前記下底部の側壁と係合する縁辺部を有する蓋部と、からなる基板収納ケースであって、下底部の所定の位置に接続して基板の各辺の端部を保持するための基板保持治具を設けてあり、前記基板保持治具の内、少なくとも１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板の中央に向けて基板端部を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具であり、前記スライド式基板保持治具に対向する蓋部の所定の位置に、スライド式基板保持治具をスライドさせる押し込み治具を蓋部に垂直に設け、蓋部を閉めた時に押し込み治具がスライド式基板保持治具を基板の中央方向に押し付ける機構を有することを特徴とする基板収納ケースである。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、前記スライド式基板保持治具の前記押し込み治具により押し付けられる面が、基板中央寄りを高くした上向きの斜面を構成することを特徴とする請求項１に記載の基板収納ケースである。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、前記スライド式基板保持治具を押し付ける前記押し込み治具の接触部分が、スライド式基板保持治具に対して基板中央寄りを高くした下向きの斜面を構成することを特徴とする請求項１または２に記載の基板収納ケースである。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明は、前記スライド式基板保持治具の上向きの斜面または前記押し込み治具の下向きの斜面のいずれかが外に凸な曲面であることを特徴とする請求項２または３に記載の基板収納ケースである。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、前記スライド式基板保持治具の下底部への取り付け部分にバネ機構を設け、押し込み治具による押し付けがない状態では、スライド式基板保持治具が基板端部から最も離れた位置にスライドされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板収納ケースである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、基板を端部から中央方向に押し付けて保持するように基板保持治具を横にス
ライドさせるために、蓋部の開閉にともなって上下する押し込み治具を設けた基板収納ケースを提供するので、大型の平板状基板を個別に安全かつ清浄さを保ち、簡便な方法で収納・開梱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の基板収納ケースにより基板を収納する状態を説明するための模式断面図である。
【図２】従来の基板収納ケースにより基板を収納する状態を説明するための模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態について、図面に従って説明する。
【００１９】
図１は、本発明の基板収納ケースにより基板を収納する状態を説明するための模式断面図である。一部を省略して示すが、表示されていない右側部分は表示された左側部分と略対称的で同様の状態である。
【００２０】
本発明の基板収納ケース２は、平板状の基板１を略水平に載置するための複数の基板受けピン３１を設け縁辺部に側壁３２を付設した下底部３と、蓋部４と、からなる。下底部３と蓋部４とが閉じた状態とは、下底部の側壁３２上で蓋部４との係合部２１を有する状態であり、蓋部４の端にあたる縁辺部４２または縁辺部４２に接着した側壁の下端が係合部２１に突き当たり、上記の上下各部を一致させた状態である。また、下底部３と蓋部４とが開いた状態とは、上記係合部２１が上下に離れた状態であり、図１は、各矢印により、開いた状態から閉じた状態への移行過程を表している。
【００２１】
下底部３の所定の位置に接続して基板１の各辺の端部１１を保持するための基板保持治具を設けてある。前記基板保持治具の内、少なくとも基板の１コーナーを挟む２辺に関わる２つの基板保持治具が、基板１の中央に向けて基板端部１１を押し付ける方向にスライドできるスライド式基板保持治具３４であり、図に示すものである。必ずしもスライド式であることを要求しない位置の基板保持治具は基板１を突き当てるだけの固定タイプであっても良い。
【００２２】
一方、前記スライド式基板保持治具３４に対向する蓋部４の所定の位置に、スライド式基板保持治具３４をスライドさせる押し込み治具４１を蓋部４に垂直に設け、ブロック矢印（直線）で示すように蓋部４を閉めた時に、押し込み治具４１が下向きの実線矢印で示すように下降し、その力を転向して右向きの実線矢印で示すようにスライド式基板保持治具３４を基板の中央方向に押し付ける機構を有することが本発明の基板収納ケースの特徴である。
【００２３】
前記スライド式基板保持治具３４が、押し込み治具４１からの下向きの力により、基板の中央方向にスライドし易くするために、前記スライド式基板保持治具３４の前記押し込み治具４１により押し付けられる面が、基板中央寄りを高くした上向きの斜面を構成すること、すなわち、前記スライド式基板保持治具３４の基板端部１１に接する側の反対側を基板端部側より低くすること、が望ましい。また、同様の目的で、前記スライド式基板保持治具３４を押し付ける前記押し込み治具４１の接触部分が、スライド式基板保持治具３４に対して基板中央寄りを高くした下向きの斜面を構成することが望ましい。また、上記の構成が共に実施される図１に示す構成であることも望ましい。
【００２４】
さらに、前記スライド式基板保持治具３４の上向きの斜面または前記押し込み治具４１の下向きの斜面のいずれかが外に凸な曲面であることにより、互いの接触面積を小さくし
て摩擦を小さくするとともに、接触面での形態上の引っ掛かりを生じ難くするので、下向きの力を転向して水平方向の力に変えてスライド式基板保持治具３４をスライドし易くする上で好ましい。また、前記上向きの斜面も下向きの斜面も共に外に凸な曲面である図１に示す構成である場合も、上記と同様の理由で、スライド式基板保持治具３４をスライドし易くする上で望ましい。
【００２５】
基板収納ケース２の内、蓋部４に連なる部分全体を外した状態で、高さを揃えた複数本の基板受けピン３１の先端上に基板１をセットする。この時、例えば長方形の基板の各辺の適当な位置に対応して、基板保持治具が近接している。スライド式基板保持治具３４は、スライド式基板保持治具取り付け脚部３４１により、基板収納ケース２の下底部３の所定の位置に接続しており、スライド支持部３４２がスライド式基板保持治具３４を支えるとともに、前記脚部３４１内の刳り貫き部分を横方向に移動可能な状態とする。
【００２６】
スライド支持部３４２の下端をバネ機構３４３で前記脚部３４１に連結することにより、スライド式基板保持治具３４に前記押し込み治具４１からの力が加わらない状態では、スライド式基板保持治具３４が基板の端部１１から最も離れた位置にスライドされ、前記押し込み治具４１からの力が加わった状態では、矢印のように右方向にスライドすることができる。
【００２７】
前記スライド式基板保持治具３４は、基板の端部１１に接する側を、図に示すように基板１に向かって開いた二又状切り込み様の断面形状とすれば、スライド式基板保持治具３４を右向きに押し付けることにより、基板端部１１を確実に保持することができる。少なくとも基板の１コーナーを挟む２辺に関わる２つのスライド式基板保持治具３４を同様の機構で押し付けることにより、基板１の全体を適正な位置に固定することができる。但し、上述のように、スライド式基板保持治具３４の基板の端部１１に接する側が基板１に向かって開いた二又状切り込み様の断面形状とすることは一例であって、これに限定されるものではない。
【００２８】
また、上記２つのスライド式基板保持治具３４とは対辺側に設ける基板保持治具については、上記と同様のスライド式とすることも可能であるが、完全固定式として、基板セット時に基板を突き当てて前記二又状切り込み様の断面形状等の保持に適した部分で保持することができる。
【００２９】
基板収納ケース２の内部に上述のように基板１を保持して、下底部３と蓋部４とを閉じた状態とすることにより、連動して、押し込み治具４１が下降し、スライド式基板保持治具３４を基板の中央方向に押し付ける機構が働きセットする手順が終了した後、ブロック矢印（曲線）の方向にケース留め具２２を閉め、図の斜め両方向矢印（実線）の方向に留め具の上部引っ掛け機構を働かせることにより、基板収納ケース２は基板１の収納を完了する。ケース留め具２２は、下底部３と蓋部４とが閉じた状態を維持するための機構であり、図に示すように基板収納ケース２の端部にケース留め具２２を設ける手段以外に、基板収納ケース全体を縛る等の他の手段に置き換えることもできる。基板１を取り出すための開梱の手順は、前記基板収納の手順を逆に行うことにより、実施できる。
【００３０】
本発明の基板収納ケース２を構成する下底部３および蓋部４の材質としては、帯電防止処理が可能で、ガス脱離性のない樹脂材料が適しており、例えば、ポリカーボネート樹脂を成形加工した容器表面に導電性被膜を被覆したものが優れるが、これに限定されるものではなく、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体）、等の熱可塑性樹脂も適用できる。
【００３１】
また、スライド式基板保持治具３４や押し込み治具４１の材質としては、耐摩耗性に優
れる樹脂材が望ましい。例えば、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイドや、フッ素系樹脂、超高分子量高密度ポリエチレン等が挙げられる。
【００３２】
上記のケース留め具２２としては、パチン錠と呼ばれる金属レバーを畳むタイプや、さらに引っ掛け部を含む類似の留め具を使用できる。
【符号の説明】
【００３３】
１・・・基板
２、２０・・・基板収納ケース
３、３０・・・下底部
４、４０・・・蓋部
１１・・・基板の端部
２１・・・下底部と蓋部との係合部
２２・・・ケース留め具
３１・・・基板受けピン
３２・・・下底部の側壁
３３・・・基板保持治具
３４・・・スライド式基板保持治具
４１・・・押し込み治具
４２・・・縁辺部
３３１・・・基板保持治具取り付け脚部
３３２・・・固定ネジ
３４１・・・スライド式基板保持治具取り付け脚部
３４２・・・スライド支持部
３４３・・・バネ機構
【図１】
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【図２】
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