(57)【要約】【課題】製造歩留まりを改善する。【解決手段】  ガラス基板を用いて形成された第１基板と、ガラス基板を用いて形成された第２基板とを貼り合わせた基板セットを形成し、前記基板セットを割断して液晶表示パネルを切り出し、前記第１基板から切り出された前記液晶表示パネルのアレイ基板、及び、前記第２基板から切り出された前記液晶表示パネルの対向基板の少なくとも一方を構成するガラス基板の欠け発生部位に紫外線硬化型樹脂からなる補修材を塗布し、塗布した前記補修材に紫外線を照射して硬化処理し、硬化した前記補修材のうち前記ガラス基板の端面及び前記ガラス基板の表面よりも盛り上がった余分な前記補修材を除去する。【選択図】      図８
2012047822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を用いて形成された第１基板と、ガラス基板を用いて形成された第２基板とを貼り合わせた基板セットを形成し、
前記基板セットを割断して液晶表示パネルを切り出し、
前記第１基板から切り出された前記液晶表示パネルのアレイ基板、及び、前記第２基板から切り出された前記液晶表示パネルの対向基板の少なくとも一方を構成するガラス基板の欠け発生部位に紫外線硬化型樹脂からなる補修材を塗布し、
塗布した前記補修材に紫外線を照射して硬化処理し、
硬化した前記補修材のうち前記ガラス基板の端面及び前記ガラス基板の表面よりも盛り上がった余分な前記補修材を除去する、
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記補修材は、アクリル系樹脂またはエポキシ系樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記硬化処理では、波長３２５ｎｍの紫外線を２０００ｍＪ／ｃｍ２以上の露光量で照射することを特徴とする請求項１または２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
ガラス基板を用いて形成された第１基板と、ガラス基板を用いて形成された第２基板とを貼り合わせた基板セットを割断して切り出された液晶表示パネルを補修するための液晶表示装置の製造装置であって、
前記第１基板から切り出された前記液晶表示パネルのアレイ基板、及び、前記第２基板から切り出された前記液晶表示パネルの対向基板の少なくとも一方を構成するガラス基板の欠け発生部位に紫外線硬化型樹脂からなる補修材を塗布する塗布装置と、
前記塗布装置により塗布された前記補修材に紫外線を照射して硬化処理する露光装置と、
前記露光装置により硬化処理された前記補修材のうち前記ガラス基板の端面及び前記ガラス基板の表面よりも盛り上がった余分な前記補修材を除去する除去装置と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
ガラス基板を用いて形成されたアレイ基板と、
ガラス基板を用いて形成され、前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、
前記アレイ基板と前記対向基板との間に保持された液晶層と、
前記アレイ基板と前記対向基板とを貼り合わせるシール材と、
前記アレイ基板及び前記対向基板の少なくとも一方を構成する前記ガラス基板の欠け発生部位に充填された紫外線硬化型樹脂からなる補修材と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、及び、液晶表示装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、軽量、薄型、低消費電力などの特徴を生かして、パーソナルコンピュータなどのＯＡ機器やテレビなどの表示装置として各種分野で利用されている。近年では、液晶表示装置は、携帯電話などの携帯端末機器や、カーナビゲーション装置、ゲーム機などの表示装置としても利用されている。
【０００３】
近年では、大型のマザー基板を利用して複数の液晶表示パネルを一括形成する技術が実用化されている。マザー基板から単個の液晶表示パネルを切り出す際に、液晶表示パネルを構成する基板に欠けが生ずると、製品外観上の不良と判定されるため、製造歩留まりの低下を招くおそれがある。このため、基板の欠けに対応するべく、種々の手法が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１３３４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本実施形態の目的は、製造歩留まりを改善することが可能な液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、及び、液晶表示装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態によれば、
ガラス基板を用いて形成された第１基板と、ガラス基板を用いて形成された第２基板とを貼り合わせた基板セットを形成し、前記基板セットを割断して液晶表示パネルを切り出し、前記第１基板から切り出された前記液晶表示パネルのアレイ基板、及び、前記第２基板から切り出された前記液晶表示パネルの対向基板の少なくとも一方を構成するガラス基板の欠け発生部位に紫外線硬化型樹脂からなる補修材を塗布し、塗布した前記補修材に紫外線を照射して硬化処理し、硬化した前記補修材のうち前記ガラス基板の端面及び前記ガラス基板の表面よりも盛り上がった余分な前記補修材を除去する、ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法が提供される。
【０００７】
本実施形態によれば、
ガラス基板を用いて形成された第１基板と、ガラス基板を用いて形成された第２基板とを貼り合わせた基板セットを割断して切り出された液晶表示パネルを補修するための液晶表示装置の製造装置であって、前記第１基板から切り出された前記液晶表示パネルのアレイ基板、及び、前記第２基板から切り出された前記液晶表示パネルの対向基板の少なくとも一方を構成するガラス基板の欠け発生部位に紫外線硬化型樹脂からなる補修材を塗布する塗布装置と、前記塗布装置により塗布された前記補修材に紫外線を照射して硬化処理する露光装置と、前記露光装置により硬化処理された前記補修材のうち前記ガラス基板の端面及び前記ガラス基板の表面よりも盛り上がった余分な前記補修材を除去する除去装置と、を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造装置が提供される。
【０００８】
本実施形態によれば、
ガラス基板を用いて形成されたアレイ基板と、ガラス基板を用いて形成され、前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との間に保持された液晶層と、前記アレイ基板と前記対向基板とを貼り合わせるシール材と、前記アレイ基板及び前記対向基板の少なくとも一方を構成する前記ガラス基板の欠け発生部位に充填された紫外線硬化型樹脂からなる補修材と、を備えたことを特徴とする液晶表示装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本実施形態における液晶表示装置の構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図２は、本実施形態における液晶表示パネルの製造方法を説明するための図であり、基板セットを形成する工程を説明するための平面図である。
【図３】図３は、本実施形態における液晶表示パネルの製造方法を説明するための図であり、基板セットを割断して液晶表示パネルを切り出す工程を説明するための断面図である。
【図４】図４は、ガラス基板の欠けの一例を模式的に示す図である。
【図５】図５は、ガラス基板の欠けの他の例を模式的に示す図である。
【図６】図６は、本実施形態における液晶表示パネルの補修方法を説明するための図であり、欠け発生部位に補修材を塗布する工程を説明するための断面図である。
【図７】図７は、本実施形態における液晶表示パネルの補修方法を説明するための図であり、補修材を硬化処理する工程を説明するための断面図である。
【図８】図８は、本実施形態における液晶表示パネルの補修方法を説明するための図であり、余分な補修材を除去する工程を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１１】
図１は、本実施形態における液晶表示装置１の構成を概略的に示す平面図である。
【００１２】
すなわち、液晶表示装置１は、アクティブマトリクスタイプの液晶表示パネルＬＰＮ、液晶表示パネルＬＰＮに接続された駆動ＩＣチップ２及びフレキシブル配線基板３などを備えている。
【００１３】
液晶表示パネルＬＰＮは、アレイ基板ＡＲと、アレイ基板ＡＲに対向して配置された対向基板ＣＴと、これらのアレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとの間に保持された液晶層ＬＱと、を備えて構成されている。これらのアレイ基板ＡＲ及び対向基板ＣＴは、ガラス基板を用いて形成されている。このようなアレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとは、シール材ＳＥによって貼り合わせられている。液晶層ＬＱは、アレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとの間に形成されたセルギャップにおいてシール材ＳＥによって囲まれた内側に保持されている。
【００１４】
このような液晶表示パネルＬＰＮは、シール材ＳＥによって囲まれた内側に、画像を表示する略矩形状のアクティブエリアＡＣＴを備えている。このアクティブエリアＡＣＴは、ｍ×ｎ個のマトリクス状に配置された複数の画素ＰＸによって構成されている（但し、ｍ及びｎは正の整数である）。駆動ＩＣチップ２及びフレキシブル配線基板３は、アクティブエリアＡＣＴよりも外側の周辺エリアＰＲＰにおいて、アレイ基板ＡＲに実装されている。
【００１５】
シール材ＳＥは、アレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとの間において、アクティブエリアＡＣＴを囲む略矩形枠状に形成されている。図示した例では、シール材ＳＥは、液晶材料を注入するための注入口を有していない閉ループ状に形成されているが、この例に限らず、注入口が形成されていてもよい。このようなシール材ＳＥは、例えば、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂などによって形成されている。
【００１６】
各画素ＰＸの構成は、例えば以下の通りである。アレイ基板ＡＲは、第１方向Ｘに沿って延在したゲート線ＧＬ、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙに沿って延在したソース線ＳＬ、ゲート線ＧＬ及びソース線ＳＬに接続されたスイッチング素子ＳＷ、スイッチング素子ＳＷに接続された画素電極ＥＰなどを備えている。液晶層ＬＱを介して画素電極ＥＰと対向する対向電極ＥＴは、アレイ基板ＡＲに備えられても良いし、対向基板ＣＴに備えられても良い。
【００１７】
なお、液晶モードについて特に制限はなく、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  Ｂｅｎｄ）モード、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｅｄ）モードなどの主として縦電界を利用するモードや、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モードなどの主として横電界を利用するモードなどが適用可能である。縦電界を利用するモードでは、画素電極ＥＰがアレイ基板ＡＲに備えられる一方で、対向電極ＥＴが対向基板ＣＴに備えられる。横電界を利用するモードでは、画素電極ＥＰ及び対向電極ＥＴがアレイ基板ＡＲに備えられる。
【００１８】
本実施形態においては、大型のマザー基板を用いて複数の液晶表示パネルを一括形成するいわゆる多面取りの手法を用いている。
【００１９】
図２は、本実施形態における液晶表示パネルＬＰＮの製造方法を説明するための図であり、基板セットＳＳを形成する工程を説明するための平面図である。
【００２０】
まず、アレイ基板ＡＲを形成するための第１マザー基板ＳＵＢ１と、対向基板ＣＴを形成するための第２マザー基板ＳＵＢ２を用意する。このような第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２は、略同等の寸法であり、例えば、無アルカリケイ酸ガラスからなる大型のガラス基板を用いて形成されている。
【００２１】
そして、これらの第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２を貼り合わせ、基板セットＳＳを形成する。このような第１マザー基板ＳＵＢ１と第２マザー基板ＳＵＢ２との貼り合わせは、各パネル領域（あるいは有効領域）ＥＦに配置されたシール材ＳＥなどによってなされる。
【００２２】
パネル領域ＥＦを示す図中の実線は、後に基板セットＳＳから液晶表示パネルを切り取り出さす際に、基板セットＳＳを割断する割断予定線である。つまり、各パネル領域ＥＦは、割断予定線によって囲まれた内側の領域に相当する。
【００２３】
各パネル領域ＥＦは、アクティブエリアＡＣＴ及び周辺エリアＰＲＰを含んでいる。各アクティブエリアＡＣＴには、各種絶縁膜、スイッチング素子ＳＷ、画素電極ＥＰなどが形成されているが、詳細な図示を省略する。各周辺エリアＰＲＰには、駆動ＩＣチップ２及びフレキシブル配線基板３を実装するための実装部４などが形成されている。
【００２４】
図３は、本実施形態における液晶表示パネルＬＰＮの製造方法を説明するための図であり、基板セットＳＳを割断して液晶表示パネルＬＰＮを切り出す工程を説明するための断面図である。
【００２５】
図示したように、基板セットＳＳにおいて、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２の双方を割断予定線ＣＴＬにて割断する。このような基板セットＳＳの割断は、例えば、カッターなどによって割断予定線ＣＴＬをスクライブしたり、レーザー光を照射したりするなどして第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２のそれぞれに応力を与え、基板面に垂直な方向にクラックを進展させることによってなされる。
【００２６】
このような割断により、第１マザー基板ＳＵＢ１から液晶表示パネルＬＰＮを構成するアレイ基板ＡＲが切り出されるとともに、第２マザー基板ＳＵＢ２から液晶表示パネルＬＰＮを構成する対向基板ＣＴが切り出される。図示した例では、切り出された液晶表示パネルＬＰＮは、アレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとの間に液晶層ＬＱを保持している。このような液晶表示パネルＬＰＮは、第１マザー基板ＳＵＢ１と第２マザー基板ＳＵＢ２とを貼り合わせる前に各パネル領域ＥＦのシール材ＳＥで囲まれた内側に液晶材料を滴下することによって形成可能である。なお、図示した例に限らず、切り出された液晶表示パネルＬＰＮがアレイ基板ＡＲと対向基板ＣＴとの間に液晶層ＬＱを保持していない空のセルである場合には、以後の適当なタイミングでシール材ＳＥに形成された注入口から液晶材料が注入され、封止される。
【００２７】
なお、本実施形態において、基板セットＳＳから液晶表示パネルＬＰＮを切り出す前に、基板セットＳＳを構成する第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２を研磨しても良い。このような研磨処理は、化学研磨及び機械研磨の少なくとも一方により行うことができる。
【００２８】
化学研磨とは、例えば、フッ酸などの溶液に基板セットＳＳを浸漬し、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２の表面を研磨するものである。機械研磨とは、例えば、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２の表面を切削したり、研磨材を用いて研磨したりするものである。
【００２９】
このような研磨処理により、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２を構成するそれぞれのガラス基板が研磨され、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２が薄板化される。本実施形態においては、第１マザー基板ＳＵＢ１及び第２マザー基板ＳＵＢ２の板厚は、例えば、０．２ｍｍである。
【００３０】
このような工程を経て形成された液晶表示パネルＬＰＮは、外観検査工程においてガラス基板の欠けの有無が検査される。液晶表示パネルＬＰＮを構成するアレイ基板ＡＲ及び対向基板ＣＴの少なくとも一方を構成するガラス基板に欠けがあると判定された液晶表示パネルＬＰＮは、以下に説明する補修工程に送られる。
【００３１】
ここでは、まず、ガラス基板の欠けについて具体的に説明する。
【００３２】
図４は、ガラス基板の欠けの一例を模式的に示す図である。
【００３３】
図示した例では、アレイ基板ＡＲを構成する第１ガラス基板１１及び対向基板ＣＴを構成する第２ガラス基板１２の双方がそれぞれの内側に向かって欠けている状態（内削げなどと称する場合もある）を示している。ここでは、欠け発生部位１３は、第１ガラス基板１１の端面１１Ｅ及び第２ガラス基板１２の端面１２Ｅからそれぞれの表面、ここでは内面１１Ｉ及び１２Ｉに向かって形成されている。なお、図示しないが、内削げの他の例として、第１ガラス基板１１のみ、あるいは、第２ガラス基板１２のみがその内側に向かって欠けている場合もありうる。
【００３４】
図５は、ガラス基板の欠けの他の例を模式的に示す図である。
【００３５】
図示した例では、アレイ基板ＡＲを構成する第１ガラス基板１１がその外側に向かって欠けている状態（外削げなどと称する場合もある）を示している。ここでは、欠け発生部位１３は、第１ガラス基板１１の端面１１Ｅからガラス基板１１の表面、ここでは外面１１Ｏに向かって形成されている。なお、図示しないが、外削げの他の例として、対向基板ＣＴを構成する第２ガラス基板１２がその外側に向かって欠けている場合もありうる。
【００３６】
次に、ガラス基板に欠け発生部位１３があると判定された液晶表示パネルＬＰＮの補修工程について説明する。ここでは、図５に示したような第１ガラス基板１１の欠け発生部位１３の補修について説明するが、図４に示したような第１ガラス基板１１及び第２ガラス基板１２における欠け発生部位１３についても同様の補修を適用できることは言うまでもない。
【００３７】
図６は、本実施形態における液晶表示パネルＬＰＮの補修方法を説明するための図であり、欠け発生部位１３に補修材Ｒを塗布する工程を説明するための断面図である。
【００３８】
液晶表示パネルＬＰＮを補修するための製造装置２０は、塗布装置２１を備えている。この塗布装置２１は、アレイ基板ＡＲを構成する第１ガラス基板１１及び対向基板ＣＴを構成する第２ガラス基板１２の少なくとも一方の欠け発生部位１３に補修材Ｒを塗布する。ここで適用される補修材Ｒは、紫外線硬化型樹脂である。なお、このような塗布装置２１は、液晶表示装置を製造するための他の装置、例えば、シール材ＳＥを塗布する塗布装置を代用することが可能である。
【００３９】
図示した例では、第１ガラス基板１１の外削げを補修すべく、第１ガラス基板１１の欠け発生部位１３に補修材Ｒを塗布する。このとき、補修材Ｒは、硬化後に収縮することなどを考慮して、第１ガラス基板１１の端面１１Ｅ及び外面１１Ｏよりも盛り上がるように塗布される。
【００４０】
図７は、本実施形態における液晶表示パネルＬＰＮの補修方法を説明するための図であり、補修材Ｒを硬化処理する工程を説明するための断面図である。
【００４１】
製造装置２０は、露光装置２２を備えている。この露光装置２２は、塗布された補修材Ｒに向けて紫外線を照射し、補修材Ｒの硬化処理を行う。ここで適用される紫外線は、例えば、波長３２５ｎｍである。このような硬化処理により、補修材Ｒは、第１ガラス基板１１の端面１１Ｅ及び外面１１Ｏよりも盛り上がった状態で硬化する。なお、このような露光装置２２は、液晶表示装置を製造するための他の装置、例えば、紫外線硬化型樹脂からなるシール材ＳＥを硬化させるための露光装置を代用することが可能である。
【００４２】
図８は、本実施形態における液晶表示パネルＬＰＮの補修方法を説明するための図であり、余分な補修材Ｒを除去する工程を説明するための断面図である。
【００４３】
製造装置２０は、除去装置２３を備えている。この除去装置２３は、硬化した補修材Ｒのうち第１ガラス基板１１の端面１１Ｅ及び第１ガラス基板１１の外面１１Ｏよりも盛り上がった余分な補修材Ｒを除去する。これにより、ガラス基板１１の端面１１Ｅ及び外面１１Ｏは、平坦化される。つまり、補修材Ｒは、端面１１Ｅと同一平面を形成するとともに、外面１１Ｏと同一平面を形成する。
【００４４】
このような補修工程を経た液晶表示パネルＬＰＮは、第１ガラス基板１１の欠け発生部位１３に充填された補修材Ｒを備えている。
【００４５】
なお、本実施形態においては、第１ガラス基板１１及び第２ガラス基板１２の少なくとも一方の欠け発生部位１３を補修材Ｒによって補修するものであり、図示しないが、第２ガラス基板１２のみに欠けが発生した液晶表示パネルＬＰＮは、第２ガラス基板１２の欠け発生部位１３に充填された補修材Ｒを備え、また図示しないが、第１ガラス基板１１及び第２ガラス基板１２の双方に欠けが発生した液晶表示パネルＬＰＮは、第１ガラス基板１１及び第２ガラス基板１２のそれぞれの欠け発生部位１３に充填された補修材Ｒを備えている。
【００４６】
上述したような本実施形態によれば、欠け発生部位１３には補修材Ｒが充填されるため、ガラス基板端面及びガラス基板表面は平坦化される。このため、基板セットＳＳから液晶表示パネルＬＰＮを切り出す割断時に応力のバラツキなどに起因してガラス基板に欠け不良が発生したとしても、当該液晶表示パネルＬＰＮについて、上記の補修によって外観検査工程をパスすることができる。したがって、外観不良を低減することができ、製造歩留まりを改善することが可能となる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、補修材Ｒは、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂などの紫外線硬化型樹脂である。特に、アクリル系樹脂は、第１ガラス基板１１及び第２ガラス基板１２を構成する無アルカリケイ酸ガラスとの相性が良く（つまり、ガラス基板との接着力が高く、硬化後にはガラス基板との見栄えの差がほとんどない、など）、補修材Ｒとして好適である。
【００４８】
また、本実施形態によれば、補修材Ｒの硬化処理においては、波長３２５ｎｍの紫外線を適用しており、２０００ｍＪ／ｃｍ２以上の露光量で照射することが望ましい。なお、ここでの露光量は、積算光量であって、必ずしも１度の照射で必要な光量ではない。つまり、複数回にわたって紫外線を照射しても良く、この場合に、積算光量が２０００ｍＪ／ｃｍ２以上となれば良い。このような露光条件により、補修材Ｒを完全に硬化させることが可能となり、ガラス基板の欠け発生部位に補修材Ｒを充填することが可能となる。このようにして硬化処理された補修材Ｒは、除去装置による除去工程において、余分な部分とともに欠け発生部位から脱落することがなく、ガラス基板端面及びガラス基板表面と同一平面を形成することができる。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態によれば、製造歩留まりを改善することが可能な液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、及び、液晶表示装置の製造装置を提供することができる。
【００５０】
なお、この発明は、上記実施形態そのものに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１…液晶表示装置
ＬＰＮ…液晶表示パネル
ＡＲ…アレイ基板  ＣＴ…対向基板  ＬＱ…液晶層
Ｒ…補修材
ＳＳ…基板セット
ＳＵＢ１…第１マザー基板  １１…第１ガラス基板
ＳＵＢ２…第２マザー基板  １２…第２ガラス基板
１２Ｅ…端面
１３…欠け発生部位
２０…製造装置
２１…塗布装置  ２２…露光装置  ２３…除去装置
【図１】
2012047822.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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