(57)【要約】【課題】圧力検出素子と基板との安定した電気的接続を形成する技術を提供することを目的とする。【解決手段】圧力センサは、有底筒状の第１のケースと、筒状の第２のケースと、第１と第２のケースとの間に配置され、第１と第２のケースを接続する筒状の接続部材であって、弾性を有する接続部材と、を備える。また、圧力センサは、圧力検出素子と、台座と、回路部が配置された基板と、圧力検出素子と回路部とを電気的に接続するための電気配線路と、を備える。接続部材には、接続部材の外側からワイヤボンディングによりボンディングワイヤを形成するための開口部が形成されている。【選択図】図６
2012181127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延び、先端側が底部を形成する有底筒状の第１のケースと、
前記第１のケースよりも後端側に配置された前記軸線方向に延びる筒状の第２のケースと、
前記第１と第２のケースとの間に配置され、前記第１と第２のケースを接続する筒状の接続部材であって、弾性を有する接続部材と、
前記第１のケース内に収容され、前記底部を介した圧力を検出するための圧力検出素子と、
前記圧力検出素子よりも後端側に配置されると共に、前記第１のケース内と前記接続部材内に亘って収容された台座であって、前記圧力検出素子と当接する台座と、
前記台座よりも後端側に配置されると共に、前記第２のケース内と前記接続部材内に亘って収容された基板であって、前記圧力検出素子の検出信号を処理するための回路部が配置された基板と、
前記第１のケース内、前記第２のケース内、及び、前記接続部材内に亘って収容され、前記圧力検出素子と前記回路部とを電気的に接続するための電気配線路と、を備える圧力センサにおいて、
前記電気配線路は、前記台座の部分のうち前記接続部材に収容されている台座後端部に形成された第１の台座配線路と、前記基板の部分のうち前記接続部材に収容されている基板先端部に形成された第１の基板配線路と、前記第１の台座配線路と前記第１の基板配線路とを電気的に接続するためのボンディングワイヤとを含み、
前記接続部材には、前記接続部材の外側からワイヤボンディングにより前記ボンディングワイヤを形成するためのワイヤ用開口部が形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサにおいて、
前記第１の台座配線路は台座側パッドを含み、
前記第１の基板配線路は前記ボンディングワイヤにより前記台座側パットと電気的に接続される基板側パッドを含み、
前記ワイヤ用開口部は、前記接続部材の外側から前記台座側パッドと前記基板側パッドとが視認できる位置に形成されている１つの開口である、ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項２に記載の圧力センサにおいて、
前記台座側パッドは、前記台座後端部の外表面のうち前記軸線方向に略平行な台座平面に形成され、
前記ワイヤ用開口部は、前記台座平面に垂直な方向であって前記台座側パッドを通る方向から前記接続部材を見たときに前記台座側パッドと前記基板側パッドとが視認できる位置に形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の圧力センサにおいて、
前記ワイヤ用開口部を含み、互いに同一の形状を有する複数の開口部が前記接続部材の周方向について略一定間隔で前記接続部材に形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関の燃焼室などの圧力を検出するための圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力センサとしては、例えば、自動車用エンジン等の内燃機関の気筒内燃焼圧力を測定するセンサが知られている。気筒内燃焼圧力を測定することで燃焼状態の制御が行われる。このような圧力センサは、圧力検出素子と、圧力検出素子が当接する台座と、検出信号を処理するための回路と、回路が設置された基板と、圧力検出素子や基板を収容する筒状のケースと、を備える（例えば、特許文献１）。圧力検出素子と回路とは電気配線路により電気的に接続されている。この電気配線路は、基板に設けられた電気配線や、台座に設けられた台座配線だけでなく、基板上の電気配線と台座上の電気配線を接続するためのボンディングワイヤを含む。
【０００３】
筒状のケースには、圧力検出素子を収容する素子用ケースや、基板を内側に設置する基板用ケース等がある。また、ケースは、素子用ケースと基板用ケースとを接続する筒状の接続部材を有する場合がある（例えば、特許文献２）。この接続部材は、素子用ケースに加わった外力が基板用ケースへ伝達することを抑制するために弾性を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２２９０３９号公報
【特許文献２】特開２０１０−１３９１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、圧力センサは、圧力検出素子と基板とを電気配線路によって接続した後に、素子用ケース、接続部材、基板用ケースをそれぞれ接続することで圧力検出素子や回路基板をケース内に収容している。しかしながら、このような製造過程により製造された圧力センサは、圧力検出素子と基板との電気的接続が不安定となり、圧力センサの信頼性が低下する場合があった。例えば、素子用ケース、接続部材、基板用ケースが接続される前の状態では、台座と基板の位置関係が安定せず、所望とする位置にボンディングワイヤが形成できない場合があった。
【０００６】
従って本発明は、圧力検出素子と基板との安定した電気的接続を形成する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［適用例１］軸線方向に延び、先端側が底部を形成する有底筒状の第１のケースと、
前記第１のケースよりも後端側に配置された前記軸線方向に延びる筒状の第２のケースと、
前記第１と第２のケースとの間に配置され、前記第１と第２のケースを接続する筒状の接続部材であって、弾性を有する接続部材と、
前記第１のケース内に収容され、前記底部を介した圧力を検出するための圧力検出素子と、
前記圧力検出素子よりも後端側に配置されると共に、前記第１のケース内と前記接続部材内に亘って収容された台座であって、前記圧力検出素子と当接する台座と、
前記台座よりも後端側に配置されると共に、前記第２のケース内と前記接続部材内に亘って収容された基板であって、前記圧力検出素子の検出信号を処理するための回路部が配置された基板と、
前記第１のケース内、前記第２のケース内、及び、前記接続部材内に亘って収容され、前記圧力検出素子と前記回路部とを電気的に接続するための電気配線路と、を備える圧力センサにおいて、
前記電気配線路は、前記台座の部分のうち前記接続部材に収容されている台座後端部に形成された第１の台座配線路と、前記基板の部分のうち前記接続部材に収容されている基板先端部に形成された第１の基板配線路と、前記第１の台座配線路と前記第１の基板配線路とを電気的に接続するためのボンディングワイヤとを含み、
前記接続部材には、前記接続部材の外側からワイヤボンディングにより前記ボンディングワイヤを形成するためのワイヤ用開口部が形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
【０００８】
適用例１に記載の圧力センサによれば、接続部材のワイヤ用開口部を介して外側からワイヤボンディングを行うことができる。よって、第１のケース、第２のケース、接続部材を接続し、第１の台座配線路と第１の基板配線路との位置関係を固定した後に、両者をワイヤボンディングによって電気的接続を図ることができる。よって、所望とする位置にボンディングワイヤが形成でき、圧力検出素子と基板との安定した電気的接続を図ることができる。
【０００９】
［適用例２］適用例１に記載の圧力センサにおいて、
前記第１の台座配線路は台座側パッドを含み、
前記第１の基板配線路は前記ボンディングワイヤにより前記台座側パットと電気的に接続される基板側パッドを含み、
前記ワイヤ開口部は、前記接続部材の外側から前記台座側パッドと前記基板側パッドとが視認できる位置に形成されている１つの開口である、ことを特徴とする圧力センサ。
適用例２に記載の圧力センサによれば、１つのワイヤ開口部内にワイヤボンディングを行うボンディングワイヤ、台座側パッド、及び基板側パッドの全てが視認でき、ワイヤ用開口部を介して台座側パッドと基板側パッドとをワイヤボンディングによって容易に電気的に接続できる。
【００１０】
［適用例３］適用例２に記載の圧力センサにおいて、
前記台座側パッドは、前記台座後端部の外表面のうち前記軸線方向に略平行な台座平面に形成され、
前記ワイヤ用開口部は、前記台座平面に垂直な方向であって前記台座側パッドを通る方向から前記接続部材を見たときに前記台座側パッドと前記基板側パッドとが視認できる位置に形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
適用例３に記載の圧力センサによれば、台座平面に垂直な方向からワイヤボンディング治具をワイヤ用開口部に通して接続部材内にてボンディングワイヤと台座側パッド及び基板側パッドを接続することができる。これにより、ボンディングワイヤを精度良く形成することができる。よって、圧力検出素子と基板とのより安定した電気的接続を図ることができる。
【００１１】
［適用例４］適用例１乃至適用例３のいずれか１つに記載の圧力センサにおいて、
前記ワイヤ用開口部を含み、互いに同一の形状を有する複数の開口部が前記接続部材の周方向について略一定間隔で前記接続部材に形成されている、ことを特徴とする圧力センサ。
適用例４に記載の圧力センサによれば、周方向について開口部を略一定間隔で接続部材に形成することで、応力集中を緩和できる。よって、接続部材の一部分が破損する可能性を低減できる。
【００１２】
なお、本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、圧力センサ、圧力センサの製造方法及び圧力センサを装着した車両等の態様で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）圧力センサ１を説明するための外観斜視図である。（Ｂ）圧力センサ１を説明するための断面斜視図である。
【図２】（Ａ）第１のケース３０及び圧力検出ユニット９０について説明するための斜視図である。（Ｂ）第１のケース３０及び圧力検出ユニット９０について説明するための断面斜視図である。
【図３】（Ａ）圧力センサ１の第２のケース６０近傍の斜視図である。（Ｂ）圧力センサ１の基板の斜視図である。
【図４】接続部材７０を説明するための斜視図である。
【図５】圧力検出素子４６と回路部６８とを接続する電気配線路９５について説明するための図である。
【図６】ワイヤ用開口部７２ｐの形成位置について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の実施の形態を以下の順序で説明する。
Ａ．実施例：
Ｂ．変形例：
【００１５】
Ａ．実施例：
Ａ−１．圧力センサ１の全体構成：
図１は、圧力センサ１を説明するための第１の図である。図１（Ａ）は、本発明に係る圧力センサ１の外観斜視図であり、図１（Ｂ）は、圧力センサ１の断面斜視図である。また、説明の容易のために、符号１０側を先端側、符号２８側を後端側とする。圧力センサ１は、例えば、自動車のエンジン燃焼室のシリンダヘッドに取り付けられ、エンジン燃焼室の燃焼圧力を検出する。
【００１６】
図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、圧力センサ１は、筒状のシール部１０と、筒状のハウジング２０と、工具係合部２６と、３本のケーブル２８と、を備える。シール部１０は、ハウジング２０の先端側に取り付けられ、圧力センサ１が所定の場所（例えば、エンジン燃焼室のシリンダヘッドの取付孔）に取り付けられた場合に、エンジン燃焼室と外気とを遮断する。
【００１７】
ハウジング２０は、金属材料（例えば、Ｓ４５Ｃ等の炭素鋼）により形成されている。ハウジング２０は軸線ＣＬ方向に伸び、途中には圧力センサ１を所定の場所に取り付けるためのねじ部２４が形成されている。なお、図１において、ねじ部２４の外表面に形成されたねじ溝の図示は省略している。
【００１８】
また、工具係合部２６は、ハウジング２０の部分のうち、ねじ部２４が形成された位置よりも後端側部分に形成されている。工具係合部２６は、所定の工具（例えば、スパナ、レンチ等）が係合できるように、外周形状が六角形状である。工具係合部２６は、ねじ部２４を所定の場所に取り付ける際に利用される。
【００１９】
ケーブル２８は、圧力を検出するための検出信号を自動車等に搭載された制御機器に伝達したり、制御機器から圧力センサ１が備える回路部６８を起動させるための起動信号を回路部６８に伝達したりする。ケーブル２８の後端側は、ハウジング２０の後端からハウジング２０の外側に伸び、制御機器に接続されている。また、ケーブル２８の先端側はハウジング２０の内側に収容され、基板ユニット６９の後端側に取り付けられた端子６６に接続されている。
【００２０】
図１（Ｂ）に示すように、ハウジング２０の内側には、先端側から順に、筒状の第１のケース３０と、筒状の接続部材７０と、筒状の第２のケース６０とが配置されている。第１のケース３０，接続部材７０，第２のケース６０は金属材料により形成されている。さらに、各部材３０，７０，６０を接続して形成された内側の空間には、エンジン燃焼室内の圧力を検出する圧力検出ユニット９０や、圧力検出ユニット９０からの検出信号を処理する基板ユニット６９が配置されている。圧力検出ユニット９０のうちの圧力検出素子４６と、基板ユニット６９のうちの回路部６８とは後述する電気配線路によって電気的に接続されている。なお、電気配線路の詳細については後述する。
【００２１】
Ａ−２．圧力センサ１の詳細構成：
図２は、第１のケース３０及び圧力検出ユニット９０について説明するための図である。ここで、図２は、圧力センサ１の第１のケース３０近傍の構成を図示している。また、理解の容易のためにハウジング２０（図１）の図示は省略している。図２（Ａ）は、圧力センサ１のうち、第１のケース３０とシール部１０の外観斜視図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の断面斜視図である。
【００２２】
図２（Ｂ）に示すように、筒状の第１のケース３０は、先端側に底部を形成する底板４０を有する。底板４０は溶接等により取り付けられ、第１のケース３０の一部を構成している。なお、底板４０を第１のケース３０本体と別体とするのではなく、第１のケース３０として一体に成形しても良い。
【００２３】
また、第１のケース３０は、筒状の先端ケース３２と、先端ケース３２の後端側内周面に溶接等により取り付けられた筒状（環状）の押圧部材３４とを備える。底板４０、先端ケース３２、押圧部材３４は、金属材料により形成されている。底板４０は、エンジン燃焼室に向けて配置される。そして、底板４０がエンジン燃焼室内の燃焼圧に応じて軸線ＣＬ方向に撓むことによって、圧力検出素子４６に燃焼圧が伝達される。また、先端ケース３２の先端側部分は、ハウジング２０の先端側部分に溶接等によって接合される。
【００２４】
圧力検出ユニット９０は、上述の底板４０と、圧力伝達部材４２と、中間部材４４と、圧力検出素子４６と、台座５０と、上述の押圧部材３４と、を備える。圧力伝達部材４２は、セラミック材料により形成された棒状部材である。圧力伝達部材４２の先端は底板４０と中間部材４４とにより挟持されている。中間部材４４は、セラミック材料により形成された中実（高密度）のブロック状部材である。軸線ＣＬ方向と直交する断面の面積は、圧力伝達部材４２よりも中間部材４４の方が大きい。中間部材４４は、圧力伝達部材４２と圧力検出素子４６との間に配置され、圧力伝達部材４２から伝達される圧力が圧力検出素子４６に偏って伝達されることを抑制する。
【００２５】
圧力検出素子４６は、圧力が加わった際の歪みに応じた電気信号を出力する。具体的には、圧力検出素子４６は、センサ素子４６ａと、センサ素子４６ａの先端面と後端面に接触し、センサ素子４６ａを挟むように配置された第１と第２のガラス板４６ｂ，４６ｃと、を備える。センサ素子４６ａの先端面には、ピエゾ抵抗体が形成され、センサ素子４６ａが歪み変形した際の抵抗値の変化から圧力を検出する。なお、圧力検出素子４６としては、この他に水晶等の圧電素子を使用することもできる。圧力検出素子４６の第１のガラス板４６ｂは中間部材４４に接合され、第２のガラス板４６ｂは台座５０に接合されている。
【００２６】
圧力検出素子４６の後端側には台座５０が配置されている。台座５０は、絶縁性部材により形成されている。本実施例では台座５０は、絶縁性セラミックであるアルミナによって形成されている。台座５０は、圧力検出素子４６と接合され当接する素子設置部５０ａと、素子設置部５０ａから後端側に伸びる延伸部５０ｂとを備える。素子設置部５０ａの後端面が押圧部材３４の先端に当接することで、台座５０の位置が固定され軸線ＣＬ方向に台座５０が変位しないようにしている。なお、素子設置部５０ａの後端面と押圧部材３４の先端面とをロウ付け等により接合しても良い。
【００２７】
圧力検出ユニット９０のうち、圧力伝達部材４２、中間部材４４、圧力検出素子４６、台座５０の先端側部分が、第１のケース３０の内側に収容されている。なお、台座５０の部分のうち、第１のケース３０の後端から突出している後端側部分である台座後端部５７は、接続部材７０（図１）の内側に収容される。台座後端部５７の上面を含む台座５０の外表面上には第１の台座配線路５２が形成されている。第１の台座配線路５２のうち第１のケース３０から後端側に突出している部分には、台座側パッド５８が形成されている。なお、詳細は後述するが第１の台座配線路５２は、圧力検出素子４６と電気的に接続されている。
【００２８】
図３は、圧力センサ１の第２のケース６０近傍の構成を図示している。また、理解の容易のためにハウジング２０の図示は省略している。図３（Ａ）は、圧力センサ１のうち、第２のケース６０の外観斜視図である。図３（Ｂ）は、基板ユニット６９の外観斜視図であり、第２のケース６０の図示は省略している。
【００２９】
図３（Ａ）に示すように、第２のケース６０は軸線ＣＬ方向に伸び、内側に基板ユニット６９を収容している。具体的には、第２のケース６０の内面の一部は軸線ＣＬ方向に伸びる平面を構成し、該平面上に基板ユニット６９が固定されている。
【００３０】
図３（Ｂ）に示すように、基板ユニット６９は、回路部６８と、回路部６８を設置する基板６２とを備える。回路部６８は、検出信号について増幅等の処理を行う。基板６２内には、回路部６８から先端側に伸びる第１の基板配線路６１と、回路部６８から後端側に伸びる第２の基板配線路６７とが形成されている。第１の基板配線路６１のうち、第２のケース６０から先端側に突出している部分には、台座側パッド５８（図２）とワイヤボンディングによって電気的に接続される基板側パッド６４が基板６２の外表面上に形成されている。第２の基板配線路６７は、基板６２の回路部６８よりも後端側に配置された３本の端子６６と電気的に接続されている。
【００３１】
図４は、接続部材７０を説明するための図である。図４では、第１のケース３０，接続部材７０，第２のケース６０近傍の外観斜視図を示している。なお、理解の容易のためにハウジング２０（図１）の図示は省略している。
【００３２】
接続部材７０は、例えばステンレス４０３等のバネ鋼により形成され、弾性を有する。接続部材７０は第１のケース３０と第２のケース６０との間に配置され、第１と第２のケース３０，６０を接続する。具体的には、接続部材７０の先端側部分の内周面が押圧部材３４の外周面と溶接等によって接合され、接続部材７０の後端側部分の内周面が第２のケース６０の外周面と溶接等によって接合される。接続部材７０は、第１のケース３０にエンジンの振動等により外力が加わった際に弾性変形し、該外力が第２のケース６０に伝達することを抑制する。接続部材７０には周方向に略一定間隔毎に複数の開口部７２（本実施例では、開口部７２は６つ）が形成されている。複数の開口部７２は互いに同一の形状を有する。このように、同一形状の複数の開口部７２を周方向に略一定間隔毎に形成することで、軸線ＣＬ方向と垂直な方向に一様に弾性変形できる。すなわち、振動等によって接続部材７０に外力が加わった場合に、応力集中を緩和し、接続部材７０の一部分が破損する可能性を低減できる。なお、複数の開口部７２のうち、後述する第２のボンディングワイヤ８０を形成するための開口を他の開口と区別するためにワイヤ用開口部７２ｐとも呼ぶ。本実施例では、接続部材７０には、２つのワイヤ用開口部７２ｐが形成されている。なお、ワイヤ用開口部７２ｐの詳細は後述する。
【００３３】
図５は、圧力検出素子４６と回路部６８とを接続する電気配線路９５について説明するための図である。図５は、理解の容易のために、主に説明に必要な構成を図示している。さらに、図５には、第１のケース３０に内側に収容される領域を第１のケース領域３０Ｒ、接続部材７０の内側に収容される領域を接続部材領域７０Ｒ、第２のケース６０の内側に収容される領域を第２のケース領域６０Ｒとして図示している。
【００３４】
電気配線路９５は２本形成されている。電気配線路９５は、第１のボンディングワイヤ５１と、第１の台座配線路５２と、第２のボンディングワイヤ８０と、第１の基板配線路６１とを備える。電気配線路９５は、第１のケース３０内、接続部材７０内、第２のケース６０内に亘って収容される。電気配線路９５を構成する各要素５１，５２，８０，６５は、ＡｕやＡｌ等の導電性材料により形成されている。
【００３５】
第１のボンディングワイヤ５１は、圧力検出素子４６と、台座５０の外表面上に形成された第１の台座配線路５２とを電気的に接続する。第１のボンディングワイヤ５１は、ワイヤボンディングによって形成される。
【００３６】
第１の台座配線路５２は、台座５０の素子設置部５０ａから延伸部５０ｂに亘って形成されている。具体的には、素子設置部５０ａの圧力検出素子４６と接触する先端面５０ａ１と、先端面５０ａ１と直交する設置部上面５２ａ２と、設置部上面５２ａ２に直交すると共に先端面５０ａ１に対向する後端面５０ａ３（図示せず）と、延伸部５０ｂのうち設置部上面５２ａ２と略平行であって、同じ側に位置する延伸部上面５０ｂ２に亘って形成されている。ここで、設置部上面５２ａと、延伸部上面５０ｂ２は、軸線ＣＬ方向に略平行である。また、第１の台座配線路５２は、第１のケース領域３０Ｒから接続部材領域７０Ｒに亘って形成されている。さらに、第１の台座配線路５２は、延伸部上面５０ｂ２のうち台座後端部５７に位置する台座平面５０ｂ３上に形成された台座側パッド５８を含む。なお、第１の台座配線路５２は、印刷、メッキ、蒸着、スパッタ等の方法によって形成される。
【００３７】
第１の基板配線路６１は、基板６２内を通ると共に、回路部６８から後端側へ伸びる。また、第１の基板配線路６１は、基板６２のうち接続部材領域７０Ｒに位置する基板先端部６５まで達している。基板先端部６５の面のうち台座平面５０ｂ３と略平行であって、同じ側に位置する基板平面６２ｂ３上には、第１の基板配線路６１の末端部分である基板側パッド６４が形成されている。
【００３８】
第２のボンディングワイヤ８０は、異なる部材である台座５０と基板６２の面上に形成された台座側パッド５８と基板側パッド６４とを電気的に接続する。第２のボンディングワイヤ８０は、ワイヤボンディングによって形成される。
【００３９】
図６は、ワイヤ用開口部７２ｐの形成位置について説明するための図である。図６の上に示す図は、圧力センサ１のうち、シール部１０、第１のケース３０、接続部材７０、第２のケース６０の外観を示す図である。図６の下の図は、接続部材７０近傍を拡大した拡大図である。図６は、台座平面５０ｂ３と基板平面６２ｂ３の上方であって、台座平面５０ｂ３と基板平面６２ｂ３に垂直な方向から接続部材７０を視認した場合の図である。
【００４０】
図６の拡大図に示すように、各ワイヤ用開口部７２ｐは接続部材７０のうち、台座平面５０ｂ３と基板平面６２ｂ３に垂直な方向であって、台座側パッド５８及び基板側パッド６４を通る方向から接続部材７０を見たときに、台座側パッド５８と対応する基板側パッド６４とが視認できる位置に形成されている。言い換えれば、電気的に接続される台座側パッド５８と基板側パッド６４の真上には、１つのワイヤ用開口部７２ｐが位置する。すなわち、電気的に接続される台座側パッド５８と基板側パッド６４に対応してワイヤ用開口部７２ｐが接続部材７０に形成されている。
【００４１】
Ａ−３．効果：
圧力センサ１は、接続部材７０の外側から台座側パッド５８と基板側パッド６４とを視認できるようにワイヤ用開口部７２ｐが接続部材７０に形成されている（図６）。よって、以下の手順で圧力センサ１を製造できる。すなわち、図２（Ａ）に示すように、第１の台座配線路５２が形成された台座５０を含む圧力検出ユニット９０を第１のケース３０の内側に収容した構造物と、図３（Ａ）に示すように、第１の基板配線路６１が形成された基板６２を含む基板ユニット６９を第２のケース６０の内側に収容した構造物とを準備する。次いで、２つの構造物を接続部材７０によって図４に示すように接続する。次いで、ワイヤ用開口部７２ｐを介して第２のボンディングワイヤ８０を形成する。具体的には、キャピラリ（ワイヤボンディング治具）をワイヤ用開口部７２ｐに通して第２のボンディングワイヤ８０を形成する。
【００４２】
上記のように、台座５０を第１のケース３０の内側に収容し固定し、基板６２を第２のケース６０の内側に収容し固定した後に、第１と第２のケース３０，６０とを接続部材７０により接続する。よって、台座５０上に形成された台座側パッド５８と、基板６２上に形成された基板側パッド６４との位置関係が安定した状態で、第２のボンディングワイヤ８０を形成できる。よって、第２のボンディングワイヤ８０によって正確に台座側パッド５８と基板側パッド６４とを接続できるため、圧力検出素子４６と基板６２との安定した電気的接続を図ることができる。これにより、圧力検出素子４６の正確な検出信号がより確実に電気配線路９５によって回路部６８に伝達される。以上より、圧力検出素子４６の検出信号を精度良くケーブル２８によって外部に出力できるため、圧力センサ１の信頼性を向上できる。
【００４３】
また、一般に、ボンディングワイヤを形成する面に対してキャピラリを垂直運動させてワイヤボンディングする方が、ボンディングワイヤを精度良く形成できる。ここで、上記実施例では、ワイヤ用開口部７２ｐは基板側パッド６４と台座側パッド５８の真上に形成されている。つまり、１つのワイヤ開口部７２ｐ内にワイヤボンディングを行うボンディングワイヤ８０、台座側パッド５８、及び基板側パッド６４の全てが視認できる。よって、キャピラリを垂直運動させて第２のボンディングワイヤ８０を形成できる。以上より、圧力検出素子４６と基板６２とのより安定した電気的接続を図ることができる。
【００４４】
また、上記実施例では、接続部材７０は、２つのワイヤ用開口部７２ｐの他に４つの開口部７２を有し、両者の開口部７２ｐ，７２が同一形状である。さらに、６つの開口部７２、７２ｐが周方向に略一定間隔毎に形成されている。よって、接続部材７０は軸線ＣＬ方向と垂直な方向に一様に弾性変形できる。これにより、応力集中を緩和し、接続部材７０の一部分が破損する可能性を低減できる。
【００４５】
Ｂ．変形例：
なお、上記実施例における構成要素の中の、特許請求の範囲の独立項に記載した要素以外の要素は、付加的な要素であり、適宜省略可能である。また、本発明の上記実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００４６】
Ｂ−１．第１変形例：
上記実施例では、第２のボンディングワイヤ８０によって電気的に接続される台座側パッド５８と基板側パッド６４の数（本実施例では２つ）に対応した数（本実施例では２つ）のワイヤ用開口部７２ｐが接続部材７０に形成されていたが、これに限定されるものではない。電気的に接続される台座側パッド５８と基板側パッド６４の数に対応してワイヤ用開口部７２ｐを接続部材７０に形成しなくても良い。例えば、上記実施例において、電気的に接続される２つの台座側パッド５８と２つの基板側パッド６４に対し、２つの第２のボンディングワイヤ８０を形成するための一つのワイヤ用開口部７２ｐを接続部材７０に形成しても良い。具体的には、電気的に接続される２つの台座側パッド５８と２つの基板側パッド６４が接続部材７０の外側から視認できる位置に１つのワイヤ用開口部７２ｐを形成する。このようにしても、上記実施例と同様に、第１のケース３０、第２のケース６０、接続部材７０を接続した後に、台座側パッド５８と基板側パッド６４をワイヤボンディングにより接続できる。
【００４７】
Ｂ−２．第２変形例：
上記実施例では、接続部材７０には、２つのワイヤ用開口部７２ｐの他に４つの開口部７２が形成されていたが、ワイヤ用開口部７２ｐ以外の開口部は形成しなくても良いし、開口部７２の数はこれに限定されるものではない。このようにしても、上記実施例と同様に、第１のケース３０、第２のケース６０、接続部材７０を接続した後に、台座側パッド５８と基板側パッド６４をワイヤボンディングにより接続できる。
【００４８】
Ｂ−３．第３変形例：
上記実施例において、接続部材７０の周方向について、接続部材７０に形成された開口部７２（７２ｐ）の長さと、隣り合う開口部７２（７２ｐ）間の長さは、略同一長さであることが好ましい。こうすることで、接続部材７０を軸線ＣＬ方向と垂直な方向により一様に弾性変形できる。
【００４９】
Ｂ−４．第４変形例：
上記実施例において、台座平面５０ｂ３に垂直な方向であって、前記台座側パッド５８を通る方向（「パッド垂直方向」とも呼ぶ。）から接続部材７０を見たときに、前記台座側パッド５８と前記基板側パッド６４がワイヤ用開口部７２ｐの略中央に位置するように、ワイヤ用開口部７２ｐを接続部材７０に形成することが好ましい。言い換えれば、パッド垂直方向から接続部材７０を見たときに、台座側パッド５８と基板側パッド６４はワイヤ用開口部７２ｐの開口を規定する接続部材７０から所定の距離をあけて配置されることが好ましい。こうすることで、キャピラリがワイヤ用開口部７２ｐ周縁の接続部材７０に当たる可能性を低減できる。これにより、第２のボンディングワイヤ８０を正確な位置にスムーズに形成できる。
【符号の説明】
【００５０】
１…圧力センサ
１０…シール部
２０…ハウジング
２４…ねじ部
２６…工具係合部
２８…ケーブル
３０…第１のケース
３０Ｒ…第１のケース領域
３２…先端ケース
３４…押圧部材
４０…底板
４２…圧力伝達部材
４４…中間部材
４６…圧力検出素子
４６ａ…センサ素子
４６ｂ…第１のガラス板
４６ｃ…第２のガラス板
５０…台座
５０ａ…素子設置部
５０ｂ…延伸部
５０ａ１…先端面
５０ａ３…後端面
５０ｂ２…延伸部上面
５０ｂ３…台座平面
５１…第１のボンディングワイヤ
５２…第１の台座配線路
５２ａ２…設置部上面
５７…台座後端部
５８…台座側パッド
６０…第２のケース
６０Ｒ…第２のケース領域
６１…第１の基板配線路
６２…基板
６２ｂ３…基板平面
６４…基板側パッド
６５…基板先端部
６６…端子
６７…第２の基板配線路
６８…回路部
６９…基板ユニット
７０…接続部材
７０Ｒ…接続部材領域
７２…開口部
７２ｐ…ワイヤ用開口部
８０…第２のボンディングワイヤ
９０…圧力検出ユニット
９５…電気配線路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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