(57)【要約】【課題】広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる基板塗布装置を提供する。【解決手段】防湿剤を基板６１上に吐出する吐出ユニット２と、吐出ユニット２と基板６１とを相対的に３次元方向に移動させる移動部とを備え、吐出ユニット２は、防湿剤を基板６１上に吐出する第１及び第２のノズル１１，１２を有するノズルユニット６と、基板６１に防湿剤を塗布する際に、移動部による吐出ユニット２の移動方向と直交する方向にノズルユニット６を振動可能な振動手段７とを備える。【選択図】図１
2012191024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
防湿剤を基板上に吐出する吐出ユニットと、
前記吐出ユニットと前記基板とを相対的に３次元方向に移動させる移動部と、を備え、
前記吐出ユニットは、
防湿剤を前記基板上に吐出する第１から第Ｎのノズル（Ｎは１以上の整数）を有するノズルユニットと、
前記基板に防湿剤を塗布する際に、前記移動部による前記吐出ユニットの移動方向と直交する方向に前記ノズルユニットを振動可能な振動手段と、を備える、基板塗布装置。
【請求項２】
前記振動手段は、前記ノズルユニットの振動の幅を変更可能である、請求項１記載の基板塗布装置。
【請求項３】
前記ノズルユニットの第１から第Ｎのノズル（Ｎは２以上の整数）は、直線上に均等に配置されており、
前記振動手段は、前記ノズルユニットを振動させる際に、前記第１から第Ｎのノズルの隣接する２個のノズルの幅と略同じ幅に前記ノズルユニットを振動させる、請求項１または請求項２記載の基板塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に防湿剤を塗布する基板塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント基板等の基板に防湿剤を塗布する装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０６９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
広い領域に防湿剤を塗布する場合には、吐出幅の広いノズルを用いて防湿剤を塗布すればよい。一方、狭い領域に防湿剤を塗布する場合には、吐出幅の狭いノズルを用いて防湿剤を塗布すればよい。しかしながら、広い領域及び狭い領域の両方に防湿剤を塗布する場合には、装置が両方の種類のノズルを備えるか、あるいは、ノズルを付け替える作業が必要になる。両方の種類のノズルを備えると、装置の機構が複雑になり、また塗布の制御方法も複雑化するという問題があった。また、ノズルを付け替える場合には、その煩雑な作業が必要になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる基板塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明による基板塗布装置は、防湿剤を基板上に吐出する吐出ユニットと、吐出ユニットと基板とを相対的に３次元方向に移動させる移動部と、を備え、吐出ユニットは、防湿剤を基板上に吐出する第１から第Ｎのノズル（Ｎは１以上の整数）を有するノズルユニットと、基板に防湿剤を塗布する際に、移動部による吐出ユニットの移動方向と直交する方向にノズルユニットを振動可能な振動手段と、を備える、ものである。
このような構成により、ノズルユニットを振動させながら移動させることによって、広い範囲に防湿剤を効率よく塗布することができ、ノズルユニットを振動させないで移動させることによって、狭い範囲に防湿剤を塗布することができる。したがって、複数種類のノズルを備えることなく、広い範囲にも、狭い範囲にも防湿剤を塗布することができ、装置の機構の複雑化や、塗布の制御方法の複雑化を回避することができる。
【０００７】
また、本発明による基板塗布装置では、振動手段は、ノズルユニットの振動の幅を変更可能であってもよい。
このような構成により、例えば、塗布の領域に応じて振動の幅を変更することができうる。
【０００８】
また、本発明による基板塗布装置では、ノズルユニットの第１から第Ｎのノズル（Ｎは２以上の整数）は、直線上に均等に配置されており、振動手段は、ノズルユニットを振動させる際に、第１から第Ｎのノズルの隣接する２個のノズルの幅と略同じ幅にノズルユニットを振動させてもよい。
このような構成により、振動手段がＮ本のノズルを有するノズルユニットを振動させる際に、塗布もれがないように防湿剤を塗布することができる。
【０００９】
また、本発明による基板塗布装置では、前記ノズルユニットは、第１から第Ｎのノズルを支持し、前記振動手段に対して水平方向に振動可能な支持板を有し、前記振動手段は、前記支持板の有する垂直方向の長孔に挿入される突起と、当該突起の配設された回転板と、当該回転板を回転させる振動用モータとを有してもよい。
また、前記振動手段は、前記回転板の半径方向に摺動可能であり、前記回転板の前記ノズルユニット側に前記突起を有するガイドと、当該ガイドに設けられ、前記回転板の前記ノズルユニットと反対側の面において突出しているモータ側突起と、前記モータ側突起が挿入される複数の環状溝と、前記モータ側突起の挿入される環状溝を切り替える切り替え機構とをさらに有してもよい。
このような構成により、モータ側突起の挿入される環状溝を切り替えることにより、ノズルの振動の幅が変更されることになる。
【００１０】
また、本発明による基板塗布装置では、前記ノズルユニットは、第１から第Ｎのノズルを支持し、前記振動手段に対して水平方向に振動可能な支持板を有し、前記振動手段は、前記支持板の有する垂直方向の長孔に挿入される突起と、当該突起の配設されたギア支持板と、ギアが平行に対向するように前記ギア支持板に設けられた一対のラックギアと、前記一対のラックギアの一方に係合しているときには他方に係合しない欠歯ギアと、前記欠歯ギアを回転させる振動用モータと、前記ギア支持板におけるラックギアの長さ方向を、前記ノズルユニットの振動方向に対して回動させる回動機構とを有してもよい。
このような構成により、ギア支持板におけるラックギアの長さ方向と、ノズルユニットの振動方向とのなす角度と変更させることができ、その結果、ノズルの振動の幅を変更することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明による基板塗布装置によれば、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１による基板塗布装置の吐出ユニットの斜視図
【図２】同実施の形態による基板塗布装置の吐出ユニットの分解斜視図
【図３】同実施の形態による基板塗布装置の上面図
【図４】同実施の形態における防湿剤の塗布について説明するための図
【図５】同実施の形態による基板塗布装置の吐出ユニットの他の斜視図
【図６】同実施の形態による基板塗布装置の吐出ユニットの他の分解斜視図
【図７】同実施の形態における振動幅の調整機構を示す分解斜視図
【図８】同実施の形態における振動幅の調整について説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明による基板塗布装置について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素は同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００１４】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による基板塗布装置について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による基板塗布装置は、ノズルを振動させながら防湿剤を基板にコーティングすることができるものである。
【００１５】
図１は、本実施の形態による基板塗布装置１の吐出ユニット２の構成を示す斜視図である。図２は、吐出ユニット２の分解斜視図である。図３は、本実施の形態による基板塗布装置１の上面図である。
本実施の形態による基板塗布装置１は、吐出ユニット２と、移動部３と、制御部４とを備える。
【００１６】
吐出ユニット２は、防湿剤を基板６１上に吐出するものであり、ノズルユニット６と、振動手段７とを備える。ここで、基板６１は、通常、プリント基板であるが、防湿剤の塗布対象となるその他の基板（例えば、半導体基板等）であってもよい。プリント基板は、回路素子等の電子部品が固定され、配線されるための基板であり、回路基板と呼ばれることもある。
【００１７】
ノズルユニット６は、防湿剤を基板上に吐出する第１のノズル１１と、第２のノズル１２とを有する。第１及び第２のノズル１１，１２は、それぞれ第１及び第２のノズル支持部１３，１４で支持されている。また、第１及び第２のノズル支持部１３，１４には、それぞれガイド１５，１６が固定されている。ガイド１５，１６が、それぞれ支持板２１に固定されたレール１７，１８に摺動可能に設けられている。また、ソレノイド１９，２０は、それぞれ第１及び第２のノズル支持部１３，１４をＺ軸方向に移動させる。したがって、第１のノズル１１は、ソレノイド１９によって、支持板２１に対してＺ軸方向に移動されることになる。また、第２のノズル１２は、ソレノイド２０によって、支持板２１に対してＺ軸方向に移動されることになる。すなわち、支持板２１で支持される第１及び第２のノズル１１，１２は、それぞれ独立して上下可能である。例えば、基板６１上に高い素子が配設されている場合には、第１または第２のノズル１１，１２がその素子の上を通過する際に、ソレノイド１９，２０によって、第１または第２のノズル１１，１２を上方に移動させてもよい。
【００１８】
容器６２，６３は、防湿剤を加圧状態で収容している。防湿剤は、例えば、乾燥した状態で防湿性を有する流体であってもよい。防湿剤は、例えば、防湿のためのコーティング剤や塗料であってもよい。容器６２，６３の内気圧は、調整可能であってもよく、あるいは、そうでなくてもよい。なお、容器６２，６３については、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。第１及び第２のノズル１１，１２は、それぞれ流体通路６４，６５を介して容器６２，６３と接続されており、容器６２，６３に収容されている防湿剤を基板上に吐出する。なお、図２，図３では、流体通路や容器６２，６３を省略している。
【００１９】
ノズルユニット６と、振動手段７とは、ガイド２５とレール２４とを介して振動方向に相対的に移動可能に接続されている。すなわち、ノズルユニット６の支持板２１に固定されたガイド２５が、振動手段７の支持板２３に固定されたレール２４に摺動可能に設けられていることにより、ノズルユニット６がレール２４の長手方向に移動可能に保持されている。なお、ノズルユニット６の移動方向、すなわち、ノズルユニット６の振動方向は、第１及び第２のノズル１１，１２を結ぶ直線の方向である。
【００２０】
振動手段７は、振動用モータ２６と、その振動用モータ２６によって回転される回転板２７とを有している。すなわち、振動用モータ２６の回転軸２６ａが、回転板２７の回転中心に固定されており、回転軸２６ａの回転により回転板２７が回転されることになる。その回転板２７上にレール２９が設けられており、ガイド３０がそのレール２９に摺動可能に設けられている。ガイド３０は、ノズルユニット６側の突起であるノズル側突起３１と、振動用モータ２６側の突起であるモータ側突起３２とを備えている。ガイド３０は、回転板２７に設けられた孔を介して、回転板２７の両面に突起３１，３２を突出させることができる。ノズル側突起３１及びモータ側突起３２は、それぞれ回転板２７の法線方向に突設された棒状（円柱状）の部材である。回転板２７の振動用モータ２６側には、２個の環状溝３３，３４が回転軸２６ａと同心に設けられている。環状溝３３の半径は、環状溝３４の半径よりも小さくなっている。モータ側突起３２は、環状溝３３または環状溝３４に挿入される。モータ側突起３２が環状溝３３，３４のどちらに挿入されるのかに応じて、ガイド３０の位置が決まることになり、その結果、ノズル側突起３１の回転半径が決まることになる。ノズル側突起３１は、ノズルユニット６の支持板２１に設けられた垂直方向の長孔２２に挿入される。ノズルユニット６は、レール２４に対して摺動可能に設けられているガイド２５に固定されているため、水平方向にのみ移動可能である。振動用モータ２６が回転板２７を回転させると、その回転板２７の回転に応じてノズル側突起３１が回転する。そのノズル側突起３１が支持板２１に設けられた垂直方向の長孔２２に挿入されているため、ノズル側突起３１の回転に応じて、支持板２１が、支持板２３に対して水平方向に振動することになる。その結果、第１及び第２のノズル１１，１２を有するノズルユニット６がレール２４の方向に振動することになる。その際に、ノズル側突起３１は、長孔２２内を上下に動くことになる。そのノズルユニット６の振動の幅は、ノズル側突起３１の回転直径と同じである。したがって、モータ側突起３２が挿入される溝に応じて、ノズルユニット６の振動幅が決定されることになる。回転板２７が回転している際には、モータ側突起３２は、環状溝３３または環状溝３４に沿って回転することになる。
【００２１】
次に、振動幅を変更する機構、すなわち、ノズル側突起３１の回転半径を変更する切り替え機構について説明する。環状溝３３の内側の円筒状の領域、環状溝３３，３４の間の円筒状の領域、及び、環状溝３４の外側の領域には、モータ側突起３２の回転半径を切り替えるための半径切り替え部材３５が、回転板２７の半径方向に移動可能なように間隙が設けられている。半径切り替え部材３５には、環状溝３３，３４の溝と同形状の凹部３５ａが設けられている。そして、半径切り替え部材３５がソレノイド３６によって半径方向に移動されることにより、その凹部３５ａは、内側の環状溝３３の溝の位置、あるいは、外側の環状溝３４の位置となる。振動幅を変更する場合には、回転板２７に設けられた切り欠き２７ａがフォトインタラプタ２８の位置になった状態で、振動用モータ２６の回転を止める。フォトインタラプタ２８は、図示しない発光素子と、その発光素子の発した光を受光する図示しない受光素子とを有しており、切り欠き２７ａの位置を発光素子の発した光が通過したことを検知できる。したがって、受光素子が光を検知した状態が、切り欠き２７ａがフォトインタラプタ２８の位置になった状態となる。なお、その状態において、半径切り替え部材３５の凹部３５ａの位置に、モータ側突起３２が位置するように切り欠き２７ａの位置が設定されているものとする。その状態でソレノイド３６が、凹部３５ａを内側の環状溝３３から外側の環状溝３４に移動させることにより、あるいは、凹部３５ａを外側の環状溝３４から内側の環状溝３３に移動させることによってガイド３０が移動し、ノズル側突起３１の回転半径が変更されることになる。なお、モータ側突起３２を半径の異なる２個の環状溝３３，３４の間で移動させる、上記説明以外の切り替え機構を用いて、ノズル側突起３１の回転半径を変更してもよいことは言うまでもない。また、上記説明では、２個の環状溝３３，３４を用い、２段階に半径を切り替え可能な場合について説明したが、３個以上の環状溝を用いて、３段階以上に半径を切り替えられるようにしてもよい。または、振動の幅を変更する必要がない場合には、振動手段７は、フォトインタラプタ２８やレール２９、ガイド３０、モータ側突起３２、環状溝３３，３４、半径切り替え部材３５等を備えていなくてもよく、ノズル側突起３１は、回転板２７に直接固定されていてもよい。
【００２２】
次に、吐出ユニット２を移動させる機構について説明する。移動部３は、吐出ユニット２と基板６１とを相対的に３次元方向に移動させる。また、移動部３は、基板６１に垂直な軸において、吐出ユニット２と基板６１とを相対的に回動させる。相対的に移動させるとは、吐出ユニット２を移動させてもよく、基板６１を移動させてもよく、その両方を移動させてもよい、という意味である。また、相対的に回動させるとは、吐出ユニット２を回動させてもよく、基板６１を回動させてもよく、その両方を回動させてもよい、という意味である。本実施の形態では、移動部３が吐出ユニット２を移動させ、回動させる場合について説明する。また、３次元方向の移動とは、位置関係の移動であり、基板６１に平行な平面内（「ＸＹ方向」と呼ぶこともある）での移動と、基板６１の法線方向に基板６１に接近し、離間する方向（「Ｚ軸方向」と呼ぶこともある）への移動とを含むものである。
【００２３】
本実施の形態では、基板塗布装置１において、Ｙ軸方向に延びる２本のＹ軸レール５１が設けられており、そのＹ軸レール５１に沿って、スライドユニット５２がＹ軸方向に摺動可能に設けられている。スライドユニット５２は、例えば、モータ等の駆動手段によって、Ｙ軸方向に移動されてもよい。また、そのスライドユニット５２上において、Ｘ軸方向に延びるＸ軸レール５３が設けられており、そのＸ軸レール５３に沿って、スライドユニット５４がＸ軸方向に摺動可能に設けられている。スライドユニット５４は、例えば、モータ等の駆動手段によってＸ軸方向に移動されてもよい。また、スライドユニット５４には、Ｚ軸方向（図３中の紙面に垂直な方向）に延びるＺ軸ポール５５が設けられており、そのＺ軸ポール５５に沿って吐出ユニット２がＺ軸方向に移動可能に設けられている。吐出ユニット２は、例えば、モータ等の駆動手段によってＺ軸方向に移動されてもよい。また、Ｚ軸ポール５５を回転させることにより、吐出ユニット２はＺ軸ポール５５を中心として回動するように設けられている。Ｚ軸ポール５５は、例えば、モータ等の駆動手段によって回動されてもよい。このように、吐出ユニット２は、スライドユニット５２，５４の移動に応じて基板６１に対してＸＹ方向に移動され、Ｚ軸ポール５５に沿った移動に応じて基板６１に対してＺ軸方向に移動され、Ｚ軸ポール５５を中心とした回転に応じて基板６１に対して回転されることになる。移動部３は、吐出ユニット２をＸＹＺの各方向に移動させるモータ等の駆動手段を制御することによって、吐出ユニット２を３次元方向に移動させ、回動させる。なお、移動部３に、吐出ユニット２をＸＹＺの各方向に移動させるモータ等の駆動手段も含まれると考えてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。この吐出ユニット２の移動については、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。
【００２４】
制御部４は、吐出ユニット２及び移動部３を制御することにより、基板６１上の防湿剤を塗布する領域である塗布領域に防湿剤を吐出させる。具体的には、制御部４は、図示しない記録媒体で記憶されている軌跡情報の示す軌跡に応じて吐出ユニット２が移動、回転するように移動部３を制御してもよい。また、制御部４は、軌跡情報の示す吐出の有無に応じて防湿剤が塗布されるように吐出ユニット２を制御してもよい。その吐出ユニット２の制御の際に、制御部４は、第１のノズル１１と、第２のノズル１２とを独立して制御してもよく、両者を一緒に制御してもよい。制御部４は、例えば、第１のノズル１１のみに防湿剤を吐出させてもよく、第２のノズル１２のみに防湿剤を吐出させてもよく、その両方に防湿剤を吐出させてもよい。また、制御部４は、軌跡情報の示す振動の有無に応じてノズルユニット６が振動されたり、されなかったりするように、振動手段７を制御してもよい。軌跡情報は、例えば、基板６１上において防湿剤を塗布する領域等を示す情報であり、具体的には、以下で示すようなものであってもよい。
【００２５】
軌跡情報の一例：
ＩＤ    座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）  高さフラグ  角度    吐出フラグ  振動フラグ
１    （Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）    ０，０    θ１      ０，０        ０
２    （Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）    ０，０    θ２      １，１        １
３    （Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）    ０，０    θ３      １，１        １
４    （Ｘ４，Ｙ４，Ｚ４）    ０，０    θ４      ０，０        ０
５    （Ｘ５，Ｙ５，Ｚ５）    １，０    θ５      ０，１        ０
６    （Ｘ６，Ｙ６，Ｚ６）    ０，０    θ６      ０，０        ０
７    （Ｘ７，Ｙ７，Ｚ７）    ０，０    θ７      １，１        １
８    （Ｘ８，Ｙ８，Ｚ８）    ０，０    θ８      ０，０        ０
９    （Ｘ９，Ｙ９，Ｚ９）    ０，０    θ９      １，１        １
：              ：              ：      ：          ：          ：
：              ：              ：      ：          ：          ：
【００２６】
この軌跡情報において、各レコードを識別するＩＤと、吐出ユニット２の位置（例えば、第１及び第２のノズル１１，１２の中点の位置等）を示す座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）と、第１及び第２のノズル１１，１２の高さを示す高さフラグと、吐出ユニット２の角度と、防湿剤の吐出の有無を示す吐出フラグと、振動の有無を示す振動フラグとが対応付けられている。高さフラグの１番目の数字は第１のノズル１１に対応しており、２番目の数字は第２のノズル１２に対応している。そして、高さフラグが「０」の場合には第１または第２のノズル１１，１２がノズルユニット６において下方に位置し、高さが「１」の場合には第１または第２のノズル１１，１２がノズルユニット６において上方に位置しているものとする。ソレノイド１９，２０が、第１及び第２のノズル１１，１２を上方の位置と下方の位置との間で移動させることは、前述の通りである。また、吐出フラグの１番目の数字は第１のノズル１１に対応しており、２番目の数字は第２のノズル１２に対応している。そして、吐出フラグが「０」の場合には防湿剤の吐出を行わず、吐出フラグが「１」の場合には防湿剤の吐出を行うものとする。また、振動フラグが「０」の場合にはノズルユニット６を振動させず、振動フラグが「１」の場合にはノズルユニット６を振動させるものとする。
【００２７】
上記軌跡情報のＩＤ「１」のレコードによって、吐出ユニット２は、角度θ１で、両ノズル１１，１２からの防湿剤の吐出なしに、また振動なしに座標（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）に移動することが示される。その際に第１及び第２のノズル１１，１２は下方に位置している。また、ＩＤ「２」のレコードによって、座標（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）から、座標（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）まで、角度θ２で、両ノズル１１，１２から防湿剤を吐出しながら移動することが示される。なお、その移動の際に、ノズルユニット６が振動されることになる。また、ＩＤ「３」のレコードによって、座標（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）から、座標（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）まで、角度θ３で、両ノズル１１，１２から防湿剤を吐出しながら移動することが示される。その際にも、ノズルユニット６が振動されることになる。なお、座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、基板塗布装置１におけるグローバルな座標であってもよく、あるいは、基板６１上のローカルな座標であってもよい。両者を適宜、変換することができるからである。
【００２８】
制御部４は、例えば、上記ＩＤ「１」のレコードを読み出し、移動部３を制御することによって、吐出ユニット２の角度をθ１とし、吐出ユニット２の位置を座標（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）に移動させる。また、第１及び第２のノズル１１，１２は下方に位置することになる。また、その移動の際に、吐出フラグが０であるため、防湿剤の吐出が行われないように制御され、振動フラグが０であるため、ノズルユニット６の振動が行われないように制御される。次に、制御部４は、上記ＩＤ「２」のレコードを読み出し、移動部３を制御することによって、吐出ユニット２の角度をθ２とし、吐出ユニット２の位置を座標（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）に移動させる。その際に、吐出フラグが１であるため、防湿剤の吐出が行われ、振動フラグが１であるため、ノズルユニット６の振動が行われる。具体的には、制御部４は、振動手段７の振動用モータ２６を回転させることにより、ノズルユニット６が振動するようにする。なお、通常、その振動方向は、移動方向に直交する方向とされる。なお、ＩＤ「５」のレコードに対応した制御の場合には、第１のノズル１１はソレノイド１９によって上方に移動され、第２のノズル１２は下方に位置している状態で、その第２のノズル１２のみを用いた防湿剤の塗布が行われることになる。なお、振動フラグは０であるため、振動手段７によるノズルユニット６の振動は行われない。すなわち、ＩＤ「５」のレコードに対応した制御によっては、細かい範囲に対して防湿剤を塗布することができる。このようにして、軌跡情報を用いた防湿剤の基板６１への塗布が行われることになる。この軌跡情報を用いた制御は、防湿剤等の粘性流体を塗布する装置においてすでに公知であり、その詳細な説明を省略する。
【００２９】
次に、ノズルユニット６を振動させながらの防湿剤の塗布について説明する。図４で示されるように、基板６１に防湿剤を塗布する際に、振動手段７は、移動部３による吐出ユニット２の移動方向と直交する方向にノズルユニット６、すなわち、第１及び第２のノズル１１，１２を振動させる。振動手段７は、隣接する第１及び第２のノズル１１，１２のノズルの幅（図２中の「Ｐ」）と略同じ幅にノズルユニット６を振動させる。すると、第１及び第２のノズル１１，１２によって、図４で示されるように、広い範囲に防湿剤を塗布することができるようになる。その塗布領域の幅は、ノズルの幅Ｐの略２倍である。なお、移動部３による移動速度が速い場合には、振動の周期を速くすることによって、塗布もれがないようにすることができる。一方、移動部３による移動速度が遅い場合には、振動の周期を遅くすることによって、余分な防湿剤の塗布により、目的としていない領域に防湿剤が流れていく事態を回避することができる。したがって、移動速度が一定である場合には、振動手段７は、その移動速度に応じた周期でノズルユニット６を振動させることが好適である。また、移動速度が変わりうる場合には、例えば、移動速度と振動の周期との対応を示す情報（例えば、テーブルの情報や、周期の算出式等）を図示しない記録媒体で記憶しておき、振動手段７等は、その情報を用いて、移動速度に応じた振動の周期を取得し、その取得した周期でノズルユニット６を振動させてもよい。
【００３０】
ここで、ノズルの幅Ｐと振動の幅との関係についてより詳細に説明する。ノズルから１滴の防湿剤を基板６１上に滴下した場合に、その防湿剤は基板６１上において直径Ｄの円形状になったとする。その場合には、厳密には、振動の幅をＰ−Ｄにすれば、もれなく塗布することができるようになる。なお、通常、ＤはＰと比較して微小な値であるため、ノズルの幅Ｐは、振動の幅と略同じであると言うことができうる。
【００３１】
以上のように、本実施の形態による基板塗布装置１によれば、ノズルユニット６を振動させながら防湿剤を塗布することによって、広い領域に防湿剤を塗布することができる。また、ノズルユニット６を振動させないで防湿剤を塗布することによって、狭い領域に防湿剤を塗布することができる。したがって、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる。
【００３２】
なお、本実施の形態では、ノズルユニット６において、第１及び第２のノズル１１，１２を別々に上下方向に移動可能である場合について説明したが、そうでなくてもよい。ノズルユニット６において、第１及び第２のノズル１１，１２を両方一緒に上下方向に移動可能であってもよく、あるいは、第１及び第２のノズル１１，１２を上下方向に移動できなくてもよい。前者の場合には、ノズルユニット６は１個のソレノイドのみを備えており、軌跡情報において、高さフラグが１個のフラグのみであってもよく、後者の場合には、ノズルユニット６はソレノイドを備えておらず、軌跡情報において、高さフラグが存在しなくてもよい。
【００３３】
また、本実施の形態では、軌跡情報において、Ｚ軸方向の座標も指定できるようにしたが、そうでなくてもよい。例えば、一定の高さで防湿剤を吐出する場合には、軌跡情報において、Ｚ軸方向の座標が指定できなくてもよい。
【００３４】
また、本実施の形態では、軌跡情報における吐出フラグによって、第１及び第２のノズル１１，１２のそれぞれについて吐出の有無を指定できる場合について説明したが、そうでなくてもよい。吐出フラグによって、第１及び第２のノズル１１，１２の両方について一括して吐出の有無を指定してもよい。その場合には、吐出フラグが１個のフラグのみであってもよい。
【００３５】
また、本実施の形態では、振動手段７がノズルユニット６の振動の幅を変更する一つの例について説明したが、上記説明以外の方法によってノズルユニット６の振動の幅が変更されてもよいことは言うまでもない。ここでは、ノズルユニット６の振動の幅を無段階で変更することができる一例について図５〜図８を用いて説明する。
【００３６】
図５は、吐出ユニット２の他の一例を示す斜視図である。図６は、図５で示される吐出ユニット２の分解斜視図である。図７は、図５で示される吐出ユニット２の振動の幅を調整する機構を示す分解斜視図である。図８は、図５で示される吐出ユニット２の振動の幅の調整について説明するための図である。なお、図５等では、吐出ユニット２に第１のノズル支持部１３によって指示された第１のノズル１１のみが含まれる場合について示しているが、前述の説明のように、吐出ユニット２に第２のノズル１２も含まれてもよいことは言うまでもない。また、第１及び第２のノズル１１，１２は、ソレノイド１９，２０によってＺ軸方向に移動可能に設けられていてもよい。
【００３７】
図７で示されるように、振動用モータ２６の回転軸２６ａには、欠歯ギア７１が固定されている。また、振動幅調整円板７２に固定された一対のレール７３に対して、一対のガイド７４が摺動可能に設けられている。その１対のガイド７４は、ギア支持板７５に固定されている。したがって、ギア支持板７５は、振動幅調整円板７２に対して振動可能（摺動可能）となる。ギア支持板７５には、長孔７５ａを中心として向かい合う位置に一対のラックギア７６ａ，７６ｂが、ギアが対向するように平行に固定されている。また、ギア支持板７５の四隅に設けられた４本の支柱７７によって、ギア支持板７５と、突起支持板７８が固定されている。その突起支持板７８の中心には、ノズルユニット６の方に突出するように突起７９が設けられている。その結果、ギア支持板７５に対して突起７９が固定されていることになり、ギア支持板７５の振動に応じて突起７９が振動することになる。突起７９は、ノズルユニット６の支持板２１に設けられた垂直方向の長孔２２に挿入される。振動用モータ２６の回転軸２６ａは、振動幅調整円板７２の中心孔７２ａと、ギア支持板７５の長孔７５ａとを通って、ラックギア７６ａ，７６ｂに係合した欠歯ギア７１を回転させる。なお、欠歯ギア７１は、一対のラックギア７６ａ，７６ｂのうち、一方に係合している場合には、他方に係合しないものとする。したがって、回転された欠歯ギア７１は、ラックギア７６ａ，７６ｂに交互に係合することになり、ラックギア７６ａ，７６ｂのうち、係合しているもののみが移動されることになる。その結果、振動用モータ２６が回転することにより、ギア支持板７５がラックギア７６ａ，７６ｂの長さ方向（図７では図中の左右方向）に振動することになる。すなわち、図７において、欠歯ギア７１が時計回りに回転する場合には、欠歯ギア７１がラックギア７６ａに係合したときには、ギア支持板７５が図７の右方向に移動され、次に欠歯ギア７１がラックギア７６ｂと係合したときには、ギア支持板７５が図７の左方向に移動される。なお、ラックギア７６ａ，７６ｂの長さ方向とは、ラックギア７６ａ，７６ｂの歯の並びの方向である。このように、振動用モータ２６の回転に応じてギア支持板７５が振動し、突起７９も振動することになり、その結果、支持板２１も振動することになる。また、振動手段７は、欠歯ギア７１を回転させる振動用モータ２６と、その欠歯ギア７１と係合する一対のラックギア７６ａ，７６ｂと、その一対のラックギア７６ａ，７６ｂが固定されるギア支持板７５と、ギア支持板７５に固定された突起７９とを備え、突起７９を振動可能な振動機構と、その振動機構を支持する支持板２３とを備えていることになる。
【００３８】
なお、支持板２３には、一対のコ型部材８１が設けられており、そのコ型部材８１のノズルユニット６側にそれぞれ、ガイド８２が固定されている。また、そのガイド８２に摺動可能に設けられているレール８３が、支持板２１に固定されている。その結果、支持板２１は、支持板２３に対して、水平方向に振動可能となる。また、振動幅調整円板７２と、プーリー８６とは、同心となるように固定されており、振動幅調整円板７２は、４個の外周軸受け８４によって、支持板２３に対して回動可能に保持されている。プーリー８６は、中心が空いている円環状のものであり、そのプーリー８６の中心に対応する支持板２３にも孔９０が設けられている。そして、振動用モータ２６は、その孔９０を介して欠歯ギア７１を回転させる。プーリー８６は、ベルト８８によってプーリー８７の回転が伝わるように設けられている。プーリー８７は、幅調整用モータ８９によって回転させられる。したがって、幅調整用モータ８９がプーリー８７を回転されることによって、振動幅調整円板７２が図６中の矢印方向に回動されることになる。センサ８５は、振動幅調整円板７２に設けられた原点マーク７２ｂを検出するためのものである。振動幅調整円板７２が、センサ８５によって原点マーク７２ｂが検出された回転位置にある場合には、ギア支持板７５は、図８（ａ）で示されるように、最も大きく振動することになる。また、振動幅調整円板７２が、センサ８５によって原点マーク７２ｂが検出された位置から４５度回転した位置にある場合には、ギア支持板７５は、図８（ｂ）で示されるように、図８（ａ）のときに比べて約０．７倍の振動幅で振動することになる。また、振動幅調整円板７２が、センサ８５によって原点マーク７２ｂが検出された位置から９０度回転した位置にある場合には、ギア支持板７５は、図８（ｃ）で示されるように、振動しなくなる。幅調整用モータ８９が振動幅調整円板７２を回動させることによって、ギア支持板７５におけるラックギア７６ａ，７６ｂの長さ方向（図８中の振動方向）を、ノズルユニット６の振動方向（図８中の振動幅の矢印の方向）に対して回動させることができ、振動幅を最大から最小（０）までの間において、任意に設定することができる。ここで、ラックギア７６ａ，７６ｂの長さ方向と、ノズルユニット６の振動方向とのなす角度をφとし、ノズルユニット６の最大の振動幅をＡとすると、ノズルユニット６の振動幅は、Ａ×ｃｏｓφとなる。このようにして、振動の幅を無段階で調整することも可能である。このように、ギア支持板７５が、回動機構によって回動されることによって、ノズルユニット６の振動方向に対するギア支持板７５の振動方向が変化し、その結果、ノズルユニット６の振動の幅が変更されることになる。ここでは、その回動機構が、ギア支持板７５を振動可能に保持する振動幅調整円板７２と、その振動幅調整円板７２を回動させるプーリー８６、８７、ベルト８８、及び幅調整用モータ８９とから構成される場合について説明したが、そうでなくてもよい。他の構成によって回動機構が構成されてもよい。
【００３９】
また、本実施の形態では、振動手段７がノズルユニット６の振動の幅を変更可能である場合について説明したが、そうでなくてもよい。すなわち、振動手段７がノズルユニット６の振動の幅を変更できないものであってもよい。
【００４０】
また、振動手段７がノズルユニット６を振動させる機構は問わない。振動手段７は、例えば、リニア振動アクチュエータによってノズルユニット６を振動させてもよく、クランクを用いて回転運動を往復運動に変換することによってノズルユニット６を振動させてもよく、あるいは、他の機構や方法を用いてノズルユニット６を振動させてもよい。
【００４１】
また、本実施の形態において、基板塗布装置１は、防湿剤の収容される容器６２，６３を備えていてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。後者の場合には、基板塗布装置１は、装置外に存在する容器６２，６３から供給される防湿剤をノズルユニット６によって吐出するものであってもよい。
【００４２】
また、本実施の形態では、ノズルユニット６が第１及び第２のノズル１１，１２を有する場合について説明したが、そうでなくてもよい。ノズルユニット６は、第１から第Ｎのノズル（Ｎは１以上の整数）を有するものであってもよい。すなわち、ノズルユニット６は、単一のノズルを有するものであってもよく、前述のように第１及び第２のノズル１１，１２を有するものであってもよく、あるいは、３以上のノズルを有するものであってもよい。ノズルユニット６が第１から第Ｎのノズルを有する場合には、その第１から第Ｎのノズルはそれぞれ、第１から第Ｎの容器に接続され、その第１から第Ｎの容器で収容されている防湿剤を塗布してもよい。また、ノズルユニット６が２以上のノズルを有する場合、すなわち、整数Ｎが２以上である場合には、第１から第Ｎのノズルは直線上に均等に配置されていてもよい。また、Ｎ＝２の場合について前述したように、振動手段７による振動の幅は、第１から第Ｎのノズルの隣接する２個のノズルの幅Ｐと略同じであってもよい。略同じとは、例えば、同じであってもよく、あるいは、前述したようにＰ−Ｄであってもよい、という意味である。３以上のノズルをノズルユニット６が有する場合にも、振動の方向は３以上のノズルを結ぶ直線方向であることが好適であり、また、吐出ユニット２の移動方向は、その振動方向と直角であることが好適である。
【００４３】
また、本実施の形態では、ノズルごとに異なる容器に収容されている防湿剤を塗布する場合について説明したが、そうでなくてもよい。複数のノズルが単一の容器に収容されている防湿剤を塗布してもよい。
【００４４】
また、上記実施の形態において、各構成要素が処理で用いる移動速度に応じた振動の周期等の情報は、上記説明で明記していない場合であっても、図示しない記録媒体において、一時的に、あるいは長期にわたって保持されていてもよい。また、その図示しない記録媒体への情報の蓄積を、各構成要素、あるいは、図示しない蓄積部が行ってもよい。また、その図示しない記録媒体からの情報の読み出しを、各構成要素、あるいは、図示しない読み出し部が行ってもよい。
【００４５】
また、上記実施の形態において、各構成要素等で用いられる情報、例えば、各構成要素が処理で用いるしきい値やアドレス、各種の設定値等の情報がユーザによって変更されてもよい場合には、上記説明で明記していない場合であっても、ユーザが適宜、それらの情報を変更できるようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。それらの情報をユーザが変更可能な場合には、その変更は、例えば、ユーザからの変更指示を受け付ける図示しない受付部と、その変更指示に応じて情報を変更する図示しない変更部とによって実現されてもよい。その図示しない受付部による変更指示の受け付けは、例えば、入力デバイスからの受け付けでもよく、通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体から読み出された情報の受け付けでもよい。
【００４６】
また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。
【００４７】
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上より、本発明による基板塗布装置によれば、広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布できるという効果が得られ、例えば、回路基板等に防湿剤を塗布する装置として有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  基板塗布装置
２  吐出ユニット
３  移動部
４  制御部
６  ノズルユニット
７  振動手段
１１  第１のノズル
１２  第２のノズル
２１、２３  支持板
２６  振動用モータ
２７  回転板
３１  ノズル側突起
３２  モータ側突起
３３、３４  環状溝
６１  基板
７１  欠歯ギア
７２  振動幅調整円板
７５  ギア支持板
７６ａ、７６ｂ  ラックギア
７９  突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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