(57)【要約】      （修正有）【課題】案内レールの表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供する。【解決手段】リニアガイド１は、案内レール１０と、多数の転動体の転動を介して軸方向に沿って相対移動可能に案内レール１０に跨架されたスライダ２０と、エア噴出ユニット３０とを有する。エア噴出ユニット３０は、案内レール１０の長手方向に沿って、その表面にエアを噴出する。エア噴出ユニット３０はスライダ２０の軸方向の少なくとも一方の端部に設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に延びる転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し、これらの両転動体転動溝間に挿入された多数の転動体の転動を介して軸方向に沿って相対移動可能に前記案内レールに跨架されたスライダとを有するリニアガイドであって、
前記案内レールの長手方向に沿って、その表面にエアを噴出するエア噴出ユニットを前記スライダの軸方向の少なくとも一方の端部に設けたことを特徴とするリニアガイド。
【請求項２】
前記エア噴出ユニットが前記案内レールの長手方向に沿うエア通路を有し、該エア通路がエア通路壁面と前記案内レールの表面との間隙によって形成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアガイド。
【請求項３】
前記エア噴出ユニットには、前記案内レールの表面に接触して前記間隙を維持する位置合わせ突起が１以上設置されたことを特徴とする請求項２に記載のリニアガイド。
【請求項４】
前記エア噴出ユニットと前記スライダとの間にサイドシールが設置されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアガイド。
【請求項５】
前記エア通路の幅を狭める絞り部が前記エア噴出ユニットに形成されたことを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載のリニアガイド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアガイドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の一般的なリニアガイドとして、例えば、特許文献１に開示された直線運動用ベアリングが開示されている。図１５は、特許文献１に記載された直線運動用ベアリングの構成を示す断面図である。図１５に示すように、この直線運動用ベアリングは、ベアリング組立体の端面に、一対の側板１２４，１２６からなる空気噴出構造１２２が設けられている。一対の側板１２４，１２６の間には、空気溜り１２９が形成されている。また、一対の空気溜り１２８，１２９には、スリット１３８が形成されている。外部圧縮空気源（図示せず）から空気溜り１２９に供給される空気はスリット１３８から噴出し、軌道台に付着するダストを吹き飛ばす。スリット１３８の幅は一対の側板１２４，１２６の押込量を変えることにより変化し、スリット１３８から噴出する空気量も変化する。ベアリング端面にエア噴出ユニットを設置。エアは、スリット１３８から噴出される。
【０００３】
また、同様に、空気吹き出し装置を備えた直線運動用転がり軸受に関する発明が特許文献２に開示されている。特許文献２の記載によれば、この直線運動用転がり軸受は、ベアリングの端面に設置されたエア噴出ユニットに形成された複数のエア穴から噴出されるエアの噴出方向が、案内レールに対して直角方向とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平４−１１０２１８号公報
【特許文献２】実開昭６３−１３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたリニアガイドは、エアが案内レールの表面に対して傾斜した方向に噴出される構成を採用しているため、図１５の矢印に示すように、エアの一部は案内レールの表面に反射して拡散してしまう。その結果、エアは遠くまで到達せず、案内レールの表面の異物を除去する効果が限定的になってしまう。
また、特許文献２に開示された技術においても、エア噴出口が案内レールの表面に対して直角となるように配置されている。そのため、特許文献１と同様に、噴出されたエアの一部は、案内レール表面に反射して、案内レールの表面と直角な方向に拡散してしまう。よって、案内レールの表面の異物を取り除く効果が限定されてしまう。
【０００６】
さらに、特許文献２に開示された技術は、エアのエア噴出口が、複数の穴で形成されている。このため、穴に近い位置では異物を取り除く効果があるが、穴から離れた位置では、十分な異物除去効果が得られないという問題がある。
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、案内レールの表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１に係る発明は、軸方向に延びる転動体転動溝を有する案内レールと、前記転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し、これらの両転動体転動溝間に挿入された多数の転動体の転動を介して軸方向に沿って相対移動可能に前記案内レールに跨架されたスライダとを有するリニアガイドであって、
前記案内レールの長手方向に沿って、その表面にエアを噴出するエア噴出ユニットを前記スライダの軸方向の少なくとも一方の端部に設けたことを特徴としている。
請求項１に係る発明によれば、エアが前記案内レールの長手方向とほぼ平行な方向に噴出される。このため、エアが前記案内レールの表面にぶつかって反射や拡散しないので、より遠くまでエアが到達する。従って、前記案内レールの表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供することができる。
【０００８】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載のリニアガイドにおいて、前記エア噴出ユニットが前記案内レールの長手方向に沿うエア通路を有し、該エア通路がエア通路壁面と前記案内レールの表面との間隙によって形成されることを特徴としている。
請求項２に係る発明によれば、前記エア通路をエア通路壁面と前記案内レールの表面とで構成しているので、微細な形状の加工をすることなく、製作が容易である。
また、請求項３に係る発明は、請求項２に記載のリニアガイドにおいて、前記エア噴出ユニットには、前記案内レールの表面に接触して前記間隙を維持する位置合わせ突起が１以上設置されたことを特徴としている。
請求項３に係る発明によれば、前記案内レールの表面とエア通路壁面との隙間寸法を一定に保つことができる。その結果、前記案内レールの表面全域に渡って、均一なエア噴出が可能である。
【０００９】
また、請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアガイドにおいて、前記エア噴出ユニットと前記スライダとの間にサイドシールが設置されたことを特徴としている。
請求項４に係る発明によれば、スライダ内に入ってきた異物の侵入を阻止することができる。
また、請求項５に係る発明は、請求項２〜４のいずれか１項に記載のリニアガイドにおいて、前記エア通路の幅を狭める絞り部が前記エア噴出ユニットに形成されたことを特徴としている。
請求項５に係る発明によれば、絞り部を設けることによって、噴出するエアの流速を増大させることができ、その結果、案内レールの表面の異物を除去する効果をより高くすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、案内レールの表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す分解斜視図である。
【図３】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図４】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図５】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの保持板の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す斜視図である。
【図７】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す正面図である。
【図８】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す部分拡大図である。
【図９】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットのカバー板の構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す部分断面図である。
【図１１】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す断面図である。
【図１２】本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す部分拡大図である。
【図１３】本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエアの噴出状態を示す断面図である。
【図１４】本発明に係るリニアガイドの他の実施形態における構成を示す断面図である。
【図１５】従来のリニアガイドの構成を示す要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係るリニアガイドの実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す斜視図である。また、図２は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す分解斜視図である。また、図３は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す分解斜視図である。また、図４は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す分解斜視図である。図４は、図３とは反対側から見た斜視図である。
図１〜図４に示すように、リニアガイド１は、軸方向に延びる案内レール１０と、該案内レール１０上に軸方向に相対移動可能に跨架されたスライダ２０と、エア噴出ユニット３０とを備える。
【００１３】
＜スライダ＞
スライダ２０は、スライダ本体２１と、エンドキャップ２２と、サイドシール２３と、エア噴出ユニット３０とを有する。スライダ本体２１は略Ｃ字状の断面形状をなし、その開口部を案内レール１０に向けて案内レール１０上に跨架される。エンドキャップ２２は、略Ｃ字状の断面形状をなし、スライダ本体２１の軸方向（移動方向）の両端部に設置される。サイドシール２３は、略Ｃ字状の断面形状をなし、エンドキャップ２２，２２の軸方向（移動方向）のそれぞれの外側端部に設置される。
【００１４】
案内レール１０の両側面にはそれぞれ軸方向に延びる転動体転動面１１，１１が２条ずつ形成されている。また、スライダ２０のスライダ本体２１には、その両袖部の内側面に、それぞれ転動体転動面１１に対向する転動体転動溝（図示せず）が形成されている。そして、案内レール１０の転動体転動面１１とスライダ本体２１の転動体転動溝との間には転動体の一例としての多数のボール（図示せず）が転動自在に装填されている。すなわち、これらのボールの転動を介してスライダ２０が案内レール１０上を軸方向に沿って相対移動できるようになっている。
【００１５】
＜エンドキャップ＞
また、この相対移動につれて、案内レール１０とスライダ２０との間に介在するボールは転動してスライダ２０の端部に移動するが、スライダ２０を軸方向に継続して移動させる必要がある。このため、エンドキャップ２２に形成された方向転換路（図示せず）と共に、ボールを無限に循環させる転動体無限循環軌道（図示せず）がスライダ２０に形成されている。
＜サイドシール＞
また、各サイドシール２３，２３は、案内レール１０の転動体転動面１１に摺接するリップ部２３ａをそれぞれ有している（図２参照）。サイドシール２３を設けることによって、スライダ２０内に入ってきた異物の侵入を阻止することができる。
【００１６】
＜エア噴出ユニット＞
エア噴出ユニット３０は、略Ｃ字状の断面形状をなし、サイドシール２３、２３の軸方向（移動方向）のそれぞれの外側端部に設置される。エンドキャップ２２、サイドシール２３、及びエア噴出ユニット３０は、この順でスライダ本体２１の移動方向の両端部に、例えば、ねじ等の固定手段２５を介して固定されている。具体的には、固定手段２５を固定する固定穴２２ａがエンドキャップ２２に複数形成されている。固定手段２５としてねじを用いた場合、固定穴２２ａは、固定手段２５に螺合するねじ穴として形成される。または、固定穴２２ａを通してスライダ本体２１に固定手段２５に螺合するねじ穴を形成して固定される。
【００１７】
ここで、エア噴出ユニット３０は、スライダ２０の少なくとも一方の端部に設けられればよく、スライダ２０の軸方向の両端部に1対設けられることが好ましい。
エア噴出ユニット３０は、図３及び図４に示すように、保持板３１と、本体部３２と、カバー板３３とを有する。
エア噴出ユニット３０は、複数の固定手段３４を複数の通し穴３２ａ，３３ａに通し、これら複数の固定手段３４を複数の固定穴３１ａに固定することで、保持板３１と、本体部３２と、カバー板３３とを一体に固定してなる。
このように、エア噴出ユニット３０を構成する各部品を固定手段３４で固定しているので、組立てが簡単である。また、エア噴出ユニット３０を構成する各部品を圧入で組み立てるのと比べて、各部品の合わせ部分の精度が不要なので製造コストを軽減できる。
【００１８】
［保持板］
図５は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの保持板の構成を示す斜視図である。
図５に示すように、保持板３１は、略Ｃ字状の断面形状をなす平板状の部材である。
保持板３１には、該保持板３１を厚さ方向に貫通し、固定手段２５を固定する固定穴３１ａが複数形成されている。固定手段３４としてねじを用いた場合、固定穴３１ａは、固定手段３４に螺合するねじ穴として形成される。
【００１９】
また、保持板３１には、該保持板３１を厚さ方向に貫通し、固定手段３４を通す通し穴３１ｂが複数形成されている。これら複数の通し穴３１ｂは、エンドキャップ２２に形成された固定手段２５に対応する固定穴２２ａ（図２参照）の位置に対応して形成される。
保持板３１は、厚さが略均一の鋼板から形成される。保持板３１は、鋼板をプレス打ち抜き加工によって製作することで製造コストを軽減できる。保持板３１の別の材質としては、普通鋼材、ステンレス鋼材、硬質樹脂を用いてもよい。また、保持板３１の加工方法は、プレス打ち抜き加工のほか、切削加工、切断加工、射出成形、などを用いてもよい。
【００２０】
［本体部］
図６は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す斜視図である。また、図７は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す正面図である。また、図８は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの本体部の構成を示す部分拡大図である。具体的には、図７の要部の拡大図である。
図６及び図７に示すように、本体部３２は、略Ｃ字状の断面形状をなす箱形状の部材である。
【００２１】
本体部３２には、固定手段３４を厚さ方向に貫通させる通し穴３２ａと、固定手段２５を厚さ方向に貫通させる通し穴３２ｂがそれぞれ複数形成されている。これら複数の通し穴３２ａは、それぞれ固定穴３１ａの位置に対応して形成される。また、これら複数の通し穴３２ｂは、エンドキャップ２２に形成された固定手段２５を固定する固定穴２２ａ（図２参照）の位置に対応して形成される。
本体部３２の材質としては、ナイロン、ポリアセタールなどの合成樹脂材料や、アルミ合金や鋼材などの金属材料が挙げられる。これらの中で、合成樹脂材料が用いられることが好ましい。また、本体部３２の成型方法は、射出成形や、切削加工が挙げられ、これらの中でも、射出成形が用いられることが好ましい。
【００２２】
また、図７に示すように、本体部３２には、保持板３１に対向し、本体部３２の外縁部に沿う第１の面３２ｃ側に開口する溝部３２ｄが略Ｃ字形状をなして形成されている。この溝部３２ｄが後述するエア室４１を構成する（図１１参照）。第１の面３２ｃから溝部３２ｄの底面までの深さは、例えば、５．５ｍｍである。
また、保持板３１に対向し、本体部３２の内縁部に沿う第２の面３２ｅは、第１の面３２ｃよりも低い面になっている。すなわち、保持板３１と本体部３２とを積層した際、第１の面３２ｃが保持板３１に接触するのに対し、第２の面３２ｅは保持板３１との間に間隙が設けられる。この間隙が後述するエア連通路４２を構成する（図１１参照）。第１の面３２ｃと第２の面３２ｅの段差は、例えば、０．３ｍｍである。
【００２３】
また、本体部３２の外周面３２ｆのうち、案内レール１０に対向しない外周面３２ｆ１には、溝部３２ｄに連通するエア供給穴３２ｇが貫通して形成されている。一方、本体部３２の外周面３２ｆのうち、案内レール１０に対向する外周面３２ｆ２と、案内レール１０の表面との間隙がエア通路４３を構成する（図１１参照）。すなわち、案内レール１０に対向する外周面３２ｆは、エア通路４３の壁面の一部を構成する。
【００２４】
さらに、図８に示すように、本体部３２は、案内レール１０の表面との間隙によってエア通路４３を形成する（図１１参照）。すなわち、本体部３２の外周面３２ｆのうち、案内レール１０に対向する外周面３２ｆ２は、エア通路４３を構成する壁面として機能する。そこで、本体部３２の外周面３２ｆ２には、案内レール１０の表面に接触する位置合わせ突起３２ｈが設けられてもよい。このように、位置合わせ突起３２ｈが本体部３２の外周面３２ｆ２に設けられることによって、案内レール１０の表面と外周面３２ｆ２との隙間寸法を一定に保つことができる。その結果、案内レール１０の表面全域に渡って、均一なエア噴出が可能である。
【００２５】
ここで、位置合わせ突起３２ｈの位置は、案内レール１０の両側面に接する位置に各１箇所、案内レール１０の上面に接する位置に１〜２箇所設置すると、エア通路４３の隙間寸法を一定に保つことができる点で好ましい。また、このように位置合わせ突起３２ｈを設けることにより、案内レール１０との接触箇所を最低限で済ませることができるので、接触による摩擦力の発生を最低限にでき、好ましい。
このように、本実施形態では、溝部３２ｄ、第２の面３２ｅ、及びエア供給穴３２ｇを形成するだけでエアの通り道を形成できるので、微細な溝や小径の穴加工を要する特許文献２に開示された発明等よりも製造コストを低減できる。
【００２６】
［カバー板］
図９は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットのカバー板の構成を示す斜視図である。
図９に示すように、カバー板３３は、略Ｃ字状の断面形状をなす平板状の部材である。
カバー板３３には、固定手段３４を厚さ方向に貫通させる通し穴３３ａと、固定手段２５を厚さ方向に貫通させる通し穴３２ｂがそれぞれ複数形成されている。これら複数の通し穴３３ａは、それぞれ固定穴３１ａの位置に対応して形成される。また、これら複数の通し穴３３ｂは、エンドキャップ２２に形成された固定手段２５に対応する固定穴２２ａ（図２参照）の位置に対応して形成される。
【００２７】
カバー板３３は、厚さが略均一の鋼板から形成される。カバー板３３は、鋼板をプレス打ち抜き加工によって製作することで製造コストを軽減できる。カバー板３３の別の材質としては、普通鋼材、ステンレス鋼材、硬質樹脂を用いてもよい。また、カバー板３３の加工方法は、プレス打ち抜き加工のほか、切削加工、切断加工、射出成形、などを用いてもよい。
カバー板３３は、エア噴出ユニット３０に必須の部材ではないが、エア噴出ユニット３０に異物がぶつかったときに、エア噴出ユニット３０の損傷を防止する目的で設置することが好ましい。
【００２８】
以下、上記説明のように構成されたエア噴出ユニットの構成及びエアの噴出作用について説明する。図１０は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す部分断面図である。また、図１１は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエア噴出ユニットの構成を示す断面図である。また、図１２は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態における構成を示す部分拡大図である。具体的には図１１の要部の拡大図である。また、図１３は、本発明に係るリニアガイドの一実施形態におけるエアの噴出状態を示す断面図である。
図１０及び図１１に示すように、保持板３１が、本体部３２の第１の面３２ｃに当接して固定される。一方、本体部３２の第１の面３２ｃと反対側の面には、カバー板３３が当接して固定される。
【００２９】
保持板３１と第２の面３２ｅとは隙間をもって対向している。この隙間がエア連通路４２を形成する。第１の溝３２ｄは、保持板３１で閉塞されて、エア室４１を形成する。エア供給穴には、エア供給源（図示せず）からの配管が、配管用継手（図示せず）で連結され、エア室４１にエアを供給できるようになっている。そして、本体部３２の外周面３２ｆ２は、案内レール１０の表面との間隙によって案内レール１０の長手方向に略平行なエア通路４３を形成する。そして、エア室４１とエア通路４３とは、エア連通路４２で連通される。
ここで、エア室４１はエア連通路４２やエア通路４３に比べて通路幅（スライダ２０の移動方向に沿った幅寸法）が広い。よって、エアの通過抵抗が低いので、エア室４１内は、エアが均一に満たされる。そして、エア連通路４２に均一に配分される。
【００３０】
エア連通路４２を通ったエアは、エア通路４３を通って、エア通路４３に連通しカバー板３３と案内レール１０の表面との間隙で形成されるエア噴出口４４から噴出される。ここで、エア通路４３は、案内レール１０の表面と、エア噴出ユニット３０のエア通路壁面（外周面３２ｆ２）とを、隙間をもって対向させることで形成している。このため、エア通路４３は、案内レール１０の表面に対して、案内レール１０の長手方向（スライダ２０の移動方向）にほぼ平行な方向に延びるように形成される。従って、エアは、案内レール１０の表面とほぼ平行な方向を噴出方向として、エア噴出口４４から噴出される。
このように、本実施形態によれば、エア連通路４２は、保持板３１と本体部３２の第２の面３２ｅとの間の隙間として形成されるので、微細な形状の加工をすることなく連通路４２を構成できるので、製作が容易である。
【００３１】
また、本実施形態によれば、エア噴出ユニット３０とスライダ２０との間には、サイドシール２３が設置されている。このため、エアがスライダ２０の側に侵入することが防止される。よって、エアは減少せずにエア噴出口４４まで到達する。したがって、エアの量のロスが少ないため、案内レール１０の表面の異物を除去する効果が高い。
また、本実施形態では、図１２に示すように、通路幅（案内レール１０に対してスライダ２０が跨設された方向の幅寸法）を狭めた絞り部４５をエア通路４３に形成してもよい。この絞り部４５は、カバー板３３の案内レール１０に対向する面、又はエア通路壁面（外周面３２ｆ２）を案内レール１０の表面側に突出させることで形成される。また、絞り部４５は、エア連通路４２からできるだけ離れた場所（例えば、エア噴出口４４近傍）に形成することが好ましい。このように絞り部４５を設けることによって、噴出するエアの流速を増大させることができる。従って、案内レール１０の表面の異物を除去する効果をより高くすることができる。
【００３２】
本実施形態では、エア通路４３の幅（エア通路壁面（外周面３２ｆ２）と案内レール１０の表面との間の隙間寸法）は、例えば、エア連通路４２側では０．３ｍｍ、スライダ本体２１から離れた絞り部４５側では０．１ｍｍとなっている。また、エア連通路４２の幅（スライダ２０の移動方向に沿った幅寸法）は０．３ｍｍである。
エア通路４３やエア連通路４２は、幅が広すぎるとエアの流速が遅くなり、異物除去効果が下がる。逆に、エア通路４３やエア連通路４２の幅が狭すぎると、製作が困難である。従って、エア通路４３やエア連通路４２の幅は、平均０．２〜０．５ｍｍ程度、絞り部４５では０．１〜０．３ｍｍ程度が好ましい。
【００３３】
以上説明したように、本発明によれば、図１３に示すように、エアは、エア噴出口４４において、案内レール１０の長手方向とほぼ平行な方向に噴出される。このため、エアが案内レール１０の表面にぶつかって反射や拡散しないので、より遠くまでエアが到達する。従って、案内レール１０の表面の異物の除去能力を向上させたリニアガイドを提供することができる。
【００３４】
（他の実施形態）
以下、本発明に係るリニアガイドの他の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態に係るリニアガイドは、エア供給穴の構成が前述の実施形態と異なるだけであるので、前述の実施形態と同じ符号を付した同様の構成については説明を省略する。図１４は、本発明に係るリニアガイドの他の実施形態の構成における要部断面図である。図１４に示すように、本実施形態では、スライダ２０の両端部に設置されるエア噴出ユニット３０，３０のそれぞれのエア室４１，４１に連通するエア供給穴５０がスライダ本体２１に形成されている。すなわち、スライダ本体２１に形成されたエア供給穴５０と各エア室４１，４１とに連通するエア連絡路５１，５１が、スライダ本体２１、並びに１対のエンドキャップ２２，２２、サイドシール２３，２３、及びエア噴出ユニット３０，３０に形成されている。このような構成を有することによって、本実施形態のリニアガイドは、スライダ本体２１に形成されたエア供給穴５０からエア連絡路５１，５１を通って、エア室４１，４１にエアが供給される。従って、１つのエア供給穴からスライダ２０の両端部に設けられた１対のエア噴出ユニット３０，３０にエアを供給できるので、配管の構成を簡単にすることができる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。
【符号の説明】
【００３５】
１  リニアガイド
１０  案内レール
２０  スライダ
２１  スライダ本体
２２  エンドキャップ
２３  サイドシール
３０  エア噴出ユニット
３１  保持板
３２  本体部
３２ｃ  第１の面
３２ｄ  第２の面
３２ｅ  溝部
３２ｇ  エア供給穴
３２ｈ  位置合わせ突起
３３  カバー板
４１  エア室
４２  エア連通路
４３  エア通路
４４  エア噴出口
４５  絞り部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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