(57)【要約】【課題】１つの実施形態は、例えば、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できるガス配管部材を提供することを目的とする。【解決手段】１つの実施形態によれば、半導体基板を処理するガスを供給するためのガス配管部材であって、前記ガスを内側に通過させる内管と、前記内管の外壁に接触しながら前記内管の長手方向に延びたヒータと、前記内管及び前記ヒータの外側に前記内管と同軸に配され、端部が前記内管側に傾斜し前記内管と接続される傾斜部を有する外管と、前記内管と前記外管との間に配された断熱材とを有し、前記ヒータは、前記傾斜部を貫通し他のガス配管部材のヒータと接続できるように構成されていることを特徴とするガス配管部材が提供される。【選択図】図２
2012084648.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板を処理するガスを供給するためのガス配管部材であって、
前記ガスを内側に通過させる内管と、
前記内管の外壁に接触しながら前記内管の長手方向に延びたヒータと、
前記内管及び前記ヒータの外側に前記内管と同軸に配され、端部が前記内管側に傾斜し前記内管と接続される傾斜部を有する外管と、
前記内管と前記外管との間に配された断熱材とを有し、
前記ヒータは、前記傾斜部を貫通し他のガス配管部材のヒータと接続できるように構成されている
ことを特徴とするガス配管部材。
【請求項２】
前記断熱材は、前記内管及び前記ヒータを覆うように、前記内管と同軸に管状に延びている
ことを特徴とする請求項１に記載のガス配管部材。
【請求項３】
前記断熱材は、前記内管と前記外管とを保持するようにドーナツ状にそれぞれ延びた複数の断熱部材を有し、
前記内管と前記外管との間の空間における前記断熱材が配されていない領域は、真空になっている
ことを特徴とする請求項１に記載のガス配管部材。
【請求項４】
前記ガスは、前記クリーンルーム内の温度に近い沸点を有する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のガス配管部材。
【請求項５】
前記ガスは、ＳｉＣｌ４、ＢＣｌ３、Ｃ５Ｆ８、ＷＦ６からなる群から選択される少なくとも１つのガスを含む
ことを特徴とする請求項４に記載のガス配管部材。
【請求項６】
半導体基板を処理するガスをそれぞれ供給するための第１のガス配管部材及び第２のガス配管部材が配管部材接続コネクタを介して接続されたガス配管であって、
前記第１のガス配管部材及び前記第２のガス配管部材のそれぞれは、
前記ガスを内側に通過させる内管と、
前記内管の外壁に接触しながら前記内管の長手方向に沿って延びたヒータと、
前記内管及び前記ヒータの外側に前記内管と同軸に配され、端部が前記内管側に傾斜し前記内管と接続される傾斜部を有する外管と、
前記内管と前記外管との間に配された断熱材とを有し、
前記第１のガス配管部材のヒータは、前記第１のガス配管部材の前記傾斜部を貫通して第１の接続端子まで延び、
前記第２のガス配管部材のヒータは、前記第２のガス配管部材の前記傾斜部を貫通して第２の接続端子まで延び、
前記第１の接続端子と前記第２の接続端子とは、前記第１のガス配管部材及び前記第２のガス配管部材の前記外管の外側で電気的に接続され、
前記配管部材接続コネクタは、前記第１のガス配管部材の前記傾斜部と前記第２のガス配管部材の前記傾斜部と前記第１の接続端子及び前記第２の接続端子の接続部分とを覆う断熱材を有する
ことを特徴とするガス配管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ガス配管部材、及びガス配管に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロセス技術の進歩により、半導体基板の処理（エッチング処理、成膜処理など）に様々なガスが用いられるようになってきている。そのようなガスは、クリーンルーム内を延びたガス配管部材を介して、半導体基板を処理する処理装置の処理室に供給される。このとき、レシピ情報（プロセス条件）に従った適切な流量（圧力）で処理室にガスを供給するためには、そのガスがガス配管部材内で液化しないことが望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１６８８７７号公報
【特許文献２】特開２０００−１５０３８７号公報
【特許文献３】特開平１１−２８８９２７号公報
【特許文献４】特開２００４−１４６５０８号公報
【特許文献５】特開平１１−１０８２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
１つの実施形態は、例えば、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できるガス配管部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
１つの実施形態によれば、半導体基板を処理するガスを供給するためのガス配管部材であって、前記ガスを内側に通過させる内管と、前記内管の外壁に接触しながら前記内管の長手方向に延びたヒータと、前記内管及び前記ヒータの外側に前記内管と同軸に配され、端部が前記内管側に傾斜し前記内管と接続される傾斜部を有する外管と、前記内管と前記外管との間に配された断熱材とを有し、前記ヒータは、前記傾斜部を貫通し他のガス配管部材のヒータと接続できるように構成されていることを特徴とするガス配管部材が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１の実施形態にかかるガス配管の構成を示す図。
【図２】図２は、第１の実施形態におけるガス配管部材の構成を示す図。
【図３】図３は、第１の実施形態におけるガス配管部材間の接続部近傍の構成を示す図。
【図４】図４は、第１の実施形態の変形例におけるガス配管部材間の接続部近傍の構成を示す図。
【図５】図５は、第１の実施形態の他の変形例におけるガス配管部材の構成を示す図。
【図６】図６は、第２の実施形態におけるガス配管部材の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかるガス配管を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００８】
（第１の実施形態）
第１の実施形態にかかるガス配管１００について図１を用いて説明する。図１は、第１の実施形態にかかるガス配管１００の構成を示す図である。
【０００９】
ガス配管１００は、処理装置ＰＡの処理室ＣＨに開閉バルブＶＬ１を介して接続されているとともに、流量調整器（図示せず）を介してガス供給源（図示せず）に接続されている。これにより、開閉バルブＶＬ１が開状態になった際に、ガスＧ１（図３参照）は、ガス供給源からクリーンルーム内のガス配管１００を通って処理装置ＰＡの処理室ＣＨ内へ供給される。すなわち、ガス配管１００は、処理装置ＰＡの処理室ＣＨへ例えばガスＧ１を供給することができる。処理装置ＰＡは、ガスＧ１を用いて半導体基板（図示せず）を処理する。処理装置ＰＡは、クリーンルーム内に配されている。これに応じて、ガス配管１００は、クリーンルーム内を延びている。また、流量調整器は、レシピ情報（プロセス条件）に従った適切な流量（圧力）で処理室にガスを供給されるように、ガス配管１００内を流れるガスの流量を調整している。
【００１０】
ガス配管１００は、第１のガス配管部材１０、第２のガス配管部材２０、第３のガス配管部材３０、配線部材接続コネクタＣＮ１、及び配線部材接続コネクタＣＮ２を備える。第１のガス配管部材１０〜第３のガス配管部材３０には、互いに形状の異なるものが含まれていても良い。例えば、図１に示す場合、第１のガス配管部材１０及び第３のガス配管部材３０が直線状に延びた形状であるのに対して、第２のガス配管部材２０は湾曲部を有している。第１のガス配管部材１０及び第３のガス配管部材３０は、それぞれ、第２のガス配管部材２０と溶接によって接続されている。上記のように、本実施形態のガス配管１００は異なる形状のガス配管部材（第１のガス配管部材１０〜第３のガス配管部材３０）を溶接して組み合わせることにより、半導体製造に用いられる処理装置ＰＡ等の装置やクリーンルームの仕様に適合するように構成されている。
【００１１】
第１のガス配管部材１０は、一端側が開閉バルブＶＬ１を介して処理装置ＰＡの処理室ＣＨに接続されており、他端側が配線部材接続コネクタＣＮ１を介して第２のガス配管部材２０に接続されている。第３のガス配管部材３０は、一端側が配線部材接続コネクタＣＮ２を介して第２のガス配管部材２０に接続されており、他端側が所定の配線部材接続コネクタ（図示せず）、所定の配管（図示せず）、及び流量調整器（図示せず）を介してガス供給源に接続されている。
【００１２】
配線部材接続コネクタＣＮ１は、ガス配管部材１０とガス配管部材２０とが溶接により接続された後に、ガス配管部材１０とガス配管部材２０との接続部に装着される。これにより、配線部材接続コネクタＣＮ１は、ガス配管部材１０とガス配管部材２０とを接続する。
【００１３】
配線部材接続コネクタＣＮ２は、ガス配管部材２０とガス配管部材３０とが溶接により接続された後に、ガス配管部材２０とガス配管部材３０との接続部に装着される。これにより、配線部材接続コネクタＣＮ２は、ガス配管部材２０とガス配管部材３０とを接続する。
【００１４】
次に、本実施形態のガス配管１００における各ガス配管部材１０〜３０の構成について図２を用いて説明する。図２は、第１のガス配管部材１０の構成を示す斜視図である。以下では、第１のガス配管部材１０の構成について例示的に説明するが、他のガス配管部材２０、３０の構成についても基本的に同様である。
【００１５】
第１のガス配管部材１０は、内管１１、ヒータ１２、外管１３、及び断熱材１４を備える。
【００１６】
内管１１は、ガスＧ１を内側に通過させる。ガスＧ１は、例えば腐食性のガスである。そのようなガスＧ１は、例えば、ＳｉＣｌ４、ＢＣｌ３、Ｃ５Ｆ８、ＷＦ６からなる群から選択される少なくとも１つのガスを含む。これに応じて、内管１１は、耐腐食性を有するとともに熱伝導性を有する材料で形成されている。内管１１は、例えば、ＳＵＳ３１６などの耐腐食性を有するステンレスで形成されている。また、ガスＧ１の圧力は、ガスＧ１がクリーンルーム内の温度（例えば、２５℃）に近い沸点を有するような値に調整されている。例えば、ガスＧ１がＳｉＣｌ４である場合、ガスＧ１の圧力は、（ガス供給源と第３のガス配管部材３０との間に設けられた図示しない流量調整器により）約０．０３ＭＰａに調整された状態で内管１１の内側を流れる。このときのガスＧ１の沸点は約２３℃である。
【００１７】
ヒータ１２は、内管１１の外壁に接触しながら内管１１の長手方向に延びている。具体的には、ヒータ１２は、ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂを有する。
【００１８】
図２に示すように、ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂは、内管１１の外壁に接触しているとともに、内管１１の長手方向に沿って延びている。ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂは、内管１１を介した熱伝導により、内管１１の内側を通過するガスＧ１を加熱する。ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂの周囲には、断熱材１４が配置されており、ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂの熱を効率よく内管１１に伝えることができる。
【００１９】
ヒータ１２ａとヒータ１２ｂとは、例えば、内管１１の中心軸に関して対称な位置に配されていても構わない。これにより、内管１１の長手方向に垂直な断面で見た場合に、内管１１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱できる。ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂは、その抵抗により発熱する材料で形成されており、例えばニッケルクロム合金で形成されている。
【００２０】
外管１３は、内管１１及びヒータ１２の外側に配されており、ヒータ１２とは接触していない。また、外管１３は、内管１１と同軸になるように配されている。すなわち、本実施形態のガス配管は、概ね、内管１１及び外管１３が同軸で延びた二重配管構造を有している。外管１３は、所定の金属で形成されている。外管１３は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレスで形成されており、内管１１の材料と比較して熱伝導度の小さい材料で形成されていることが好ましい。
【００２１】
断熱材１４は、内管１１と外管１３との間に配されている。具体的には、断熱材１４は、内管１１と外管１３との間に充填されている。すなわち、断熱材１４は、内管１１及びヒータ１２を外側から覆うように、内管１１と同軸に管状に延びている。これにより、内管１１及びヒータ１２から外管１３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管１３を介して内管１１が冷却（放熱）されにくくなっている。断熱材１４は、例えば、断熱性を有する材料で形成されている。断熱材１４は、例えば、グラスウール、ロックウール、羊毛断熱材、セルロースファイバー、ウレタンフォーム、フェノールフォームなどで形成されている。
【００２２】
次に、ガス配管部材間の接続部近傍の構成について図３を用いて説明する。図３は、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０との接続部の構成及び配線部材接続コネクタＣＮ１の構成を示す断面図である。
【００２３】
第１のガス配管部材１０では、ガス配管部材２０側の端部において、外管１３が内管１２へ接続され接続部１５が形成されている。同様に、第２のガス配管部材２０では、ガス配管部材１０側の端部において、外管２３が内管２２へ接続され接続部２５が形成されている。接続部１５、２５では、それぞれ、図３に示すように、内管１１、２１の径が変化せずに、外管１３、２３が、内管１１、２１におけるガス配管部材２０、１０への接続端１１ａ、２１ａに近づくに従って、徐々にその径が小さくなるとともに内管１１、２１への距離が小さくなるように延びた傾斜部１３ｅ、２３ｅを有する。そして、外管１３、２３におけるガス配管部材２０、１０への接続端１３ａ、２３ａは、溶接により、内管１１、２１におけるガス配管部材２０、１０への接続端１１ａ、２１ａに接続されている。内管１１、２１は、接続部１５、２５で外管１３、２３に接続されていることにより、外管１３、２３の内側に安定して配置されている。
【００２４】
また、傾斜部１３ｅ、２３ｅでは、ヒータ１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂがそれぞれ外管１３、２３を貫通して内管１１、２１及び外管１３、２３の外側へ延びている。具体的には、傾斜部１３ｅ、２３ｅに、外管１３、２３をそれぞれ貫通する貫通孔１３ｂ、１３ｃ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。ヒータ１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂは、それぞれ、貫通孔１３ｂ、１３ｃ、２３ｂ、２３ｃを介して外管１３、２３を貫通して接続端子１２ａ１、１２ｂ１、２２ａ１、２２ｂ１まで延びている。これにより、他のガス配管部材のヒータの接続端子と接続可能なように（例えば、図示しないソケット、プラグ等を介して挿抜可能なように）構成されている。すなわち、第１のガス配管部材１０におけるヒータ１２ａ、１２ｂの接続端子１２ａ１、１２ｂ１と第２のガス配管部材２０におけるヒータ２２ａ、２２ｂの接続端子２２ａ１、２２ｂ１とは、図３に示すように、電気的に接続されている。このように、内管１１、２１内部の温度の均一性を高めるため、ヒータ１２、２２は、ガス配管部材間で接続可能な構成となっている。
【００２５】
なお、傾斜部１３ｅ、２３ｅは外管１３における他の部分とは異なる熱伝導率の低い材料で形成しても構わない。強度が確保出来ればプラスチック等の樹脂材料で傾斜部１３ｅ、２３ｅを形成しても構わない。
【００２６】
本実施形態のガス配管１００ではガス配管部材１０、２０間でヒータ１２、２２が電気的に接続されているため、接続部１５、２５では、ヒータ１２、２２が外管１３の外側に位置することになる。そのため、接続部１５、２５にはヒータ１２、２２を取り囲むように配管部材接続コネクタＣＮ１が形成されている。配管部材接続コネクタＣＮ１は接続部１５、２５を覆うように構成されており、その内部にはガス配管部材と同様に断熱材を充填しても構わない。また、接続部１５、２５に設けられるヒータ１２、２２は、図３に示すように、接続部１５、２５に接触しているとより好ましい。
【００２７】
具体的には、配線部材接続コネクタＣＮ１は、断熱材７４、及び外管７３を備える。
【００２８】
断熱材７４は、接続部１５、２５及びヒータ７２を覆っている。具体的には、断熱材７４は、接続部１５、２５及びヒータ７２を外側から覆うように、内管１１、２１と同軸にドーナツ状に延びている。これにより、接続部１５、２５、及びヒータ７２から外管７３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管７３を介して接続部１５、２５が冷却（放熱）されにくくなっている。断熱材１４は、例えば、グラスウール、ロックウール、羊毛断熱材、セルロースファイバー、ウレタンフォーム、フェノールフォームなどで形成されている。
【００２９】
外管７３は、断熱材７４を覆うとともに、外管１３と外管２３とを接続している。具体的には、外管７３は、断熱材７４を外側から覆うように、内管１１、２１と同軸にドーナツ状に延びている。また、外管７３は、外管１３における外径の小さくなり始める部分１３ｄに（例えば溶接により）接続されているとともに、外管２３における外径の小さくなり始める部分２３ｄに（例えば溶接により）接続されている。外管７３は、内管１１、２１、外管１３、２３、熱伝導部材７１、ヒータ７２、及び断熱材７４の外側に配されている。また、外管７３は、内管１１、２１と同軸になるように配されている。外管７３は、所定の金属で形成されている。外管７３は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレスで形成されている。
【００３０】
ここで、仮に、第１のガス配管部材１０における外管１３が傾斜部１３ｅを有しておらず、外管１３の径が第２のガス配管部材２０側の端部とその他の部分とで同様である場合を考え得る。この場合、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０とを溶接により接続することが困難であり、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０とが継ぎ手を介して接続されることになるので、第１のガス配管部材１０や第２のガス配管部材２０と継ぎ手との接続部分でガスＧ１のリークが発生する傾向にある。また、仮に、ガス配管部材１０や他のガス配管と継ぎ手との接続部分をＯリング等のシール部材でシールしたとしても、ガス配管部材１０の内側に流されるガスＧ１が腐食性のガスである場合、シール部材が劣化するので、やはり、ガス配管部材１０や他のガス配管部材（第２のガス配管部材２０）と継ぎ手との接続部分でガスのリークが発生する傾向にある。
【００３１】
それに対して、第１の実施形態では、第１のガス配管部材１０における外管１３の端部が、内管１１側に傾斜し内管１１と接続される傾斜部１３ｅを有する。これにより、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０とを溶接により接続することができるので、第１のガス配管部材１０と他のガス配管部材（第２のガス配管部材２０）との接続部分における（例えば、腐食性の）ガスＧ１のリークを低減できる。
【００３２】
あるいは、仮に、第１のガス配管部材１０が、ヒータ１２、外管１３、及び断熱材１４を有せず、内管１１の外壁（外周）が内管１１の長手方向に沿ってヒートパイプで被覆された構成である場合を考える。この構成では、ヒートパイプの一端（入熱部）がヒータにより加熱されてヒートパイプ内のフロンなどの液化した作動流体が気化される。その気化したガス状の作動流体がヒートパイプ内を流通する間に内管１１と熱交換を行って凝縮され液化することによりヒートパイプは内管１１を加熱する。そして、液化した作動流体は、ヒートパイプの他端に達した後、ヒートパイプ内に設けられた細い管を通ってヒートパイプの一端側に戻る。この場合、ヒートパイプは、入熱部から遠くなるほどその加熱能力が低くなる傾向にあるので、内管１１の長手方向で見た場合に、内管１１の内側を通過するガスを均等に加熱することが困難であり、ガス配管部材内でガスが液化する傾向にある。
【００３３】
また、実際のクリーンルーム内では様々な形状の配管部材が接続されてガス配管１００が形成されている。そのため、配管部材の接続部毎にヒータが途切れていると内管内の全域を十分な温度に保つことが難しく、ヒータの加熱温度を上げることは省エネルギーの観点からも好ましくない。
【００３４】
それに対して、第１の実施形態では、第１のガス配管部材１０における外管１３の端部が、内管１１側に傾斜し内管１１と接続される傾斜部１３ｅを有する。これに応じて、傾斜部１３ｅ、２３ｅでは、ヒータ１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂがそれぞれ外管１３、２３を貫通して内管１１、２１及び外管１３、２３の外側の接続端子１２ａ１、１２ｂ１、２２ａ１、２２ｂ１まで延びている。第１のガス配管部材１０におけるヒータ１２ａ、１２ｂの接続端子１２ａ１、１２ｂ１と第２のガス配管部材２０におけるヒータ２２ａ、２２ｂの接続端子２２ａ１、２２ｂ１とは、図３に示すように、電気的に接続されている。これにより、ガス配管１００において、ガス配管部材間の接続部１５、２５でも電気的に連続したヒータ１２、２２が形成されており、ガス配管部材毎に個別にヒータを設けて互いに独立に制御する場合よりも省エネルギーで均一な温度制御が可能となる。この結果、内管１１、２１の長手方向で見た場合に、内管１１、２１の内側を通過するガスを均等に加熱することができるので、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。
また、内管１１の外壁が内管１１の長手方向に沿ってヒートパイプで被覆された構成では、ヒートパイプにおける内管１１を被覆する側の反対側の面が露出されているので、作動流体による熱がその露出された面からも放熱されてしまう。これにより、内管１１の内側を通過するガスを効率的に加熱することが困難である。
【００３５】
それに対して、第１の実施形態では、第１のガス配管部材１０において、ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂの周囲には、断熱材１４が配置されている。これにより、ヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂの熱を効率よく内管１１に伝えることができる。
【００３６】
さらに、第１の実施形態では、第１のガス配管部材１０における外管１３の端部が、内管１１側に傾斜し内管１１と接続される傾斜部１３ｅを有する。これにより、他のガス配管部材との接続部において、第１のガス配管部材１０の傾斜部１３ｅと他のガス配管部材の傾斜部と第１の接続端子及び第２の接続端子の接続部分とを覆う断熱材を容易に配置できる。すなわち、断熱材を配置する際の位置決めが容易であるとともに、断熱材が配された部分の径の全体的な増加（大型化）も抑制できる。第１の実施形態によれば、他のガス配管部材との接続部に、このような断熱材を有する配線部材接続コネクタＣＮ１が装着されるのに適した構造を提供できる。
【００３７】
あるいは、仮に、第１のガス配管部材１０において、ヒータが内管１１の内側に配される場合について考える。この構成では、内管１１の内側に腐食性のガスが流れた場合、ヒータが腐食性のガスにより腐食されその特性が劣化するため、内管１１の内側を通過するガスを安定して加熱することが困難になる。
【００３８】
それに対して、第１の実施の形態では、第１のガス配管部材１０において、ヒータ１２が内管１１の外壁に接触しながら内管１１の長手方向に延びている。これにより、ヒータの腐食を低減できるので、内管１１の内側を通過するガスを安定して加熱することが容易である。
【００３９】
あるいは、仮に、第１のガス配管部材１０において、Ｌ字型で棒状のカートリッジヒータを挿入するためのヒータ挿入穴を外管１３に設け、カートリッジヒータがヒータ挿入穴に挿入された状態でヒータ１２に代えてカートリッジヒータが内管１１の外壁に接触する場合について考える。この場合、カートリッジヒータがヒータ挿入穴との隙間から空気に晒されて酸化されその特性が劣化する傾向にあるので、内管１１の内側を通過するガスを安定して加熱することが困難になる。
【００４０】
それに対して、第１の実施の形態では、第１のガス配管部材１０において、ヒータ１２が断熱材１４及び外管１３により覆われている。これにより、ヒータ１２が空気に晒されにくいので、内管１１の内側を通過するガスを安定して加熱することが容易である。
【００４１】
あるいは、仮に、第１のガス配管部材１０において、ヒータ１２、外管１３、及び断熱材１４を有せず、内管１１を充分に挟み込む幅を有する一対の挟み込み用溝付きヒータを用いて内管１１を挟着する場合について考える。この場合、挟み込み用溝付きヒータは、内管１１の長手方向における一部を挟着することになる。これにより、内管１１における挟み込み用溝付きヒータにより挟着されていない部分において、内管１１が冷却（放熱）されるので、ガス配管部材内でガスが液化する傾向にある。
【００４２】
それに対して、第１の実施の形態では、上記のように、内管１１の長手方向で見た場合に、内管１１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱でき、内管１１及びヒータ１２から外管１３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管１３を介して内管１１が冷却（放熱）されにくくなっている。この結果、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。
【００４３】
あるいは、仮に、第１のガス配管部材１０において、内管１１と外管１３との間を真空断熱し、内管１１と外管１３との間に内管１１と外管１３とを保持するための金属のスペーサを設けた場合を考える。この場合、内管１１が外管１３及びスペーサを介して冷却（放熱）されるので、ガス配管部材内でガスが液化する傾向にある。
【００４４】
それに対して、第１の実施の形態では、断熱材１４が、内管１１及びヒータ１２を外側から覆うように、内管１１と同軸に管状に延びている。これにより、断熱材１４が内管１１と外管１３とを保持しながら、内管１１及びヒータ１２から外管１３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管１３を介して内管１１が冷却（放熱）されにくくなっている。この結果、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。
【００４５】
また、第１の実施の形態では、ガス配管部材１０における内管１１の内側を通過するガスＧ１が、クリーンルーム内の温度に近い沸点を有する。例えば、ガスＧ１は、ＳｉＣｌ４、ＢＣｌ３、Ｃ５Ｆ８、ＷＦ６からなる群から選択される少なくとも１つのガスを含む。仮に、内管１１の内側における加熱の不十分な箇所があると、ガスＧ１が液化する問題が生じ得る。この場合でも、第１の実施の形態では、上記のように、内管１１の長手方向で見た場合に、内管１１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱できる。また、内管１１及びヒータ１２から外管１３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管１３を介して内管１１が冷却（放熱）されにくくなっている。この結果、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。
【００４６】
また、第１の実施の形態では、第２のガス配管部材２０が、内管２１、ヒータ２２、外管２３、及び断熱材２４を備え、配線部材接続コネクタＣＮ１により、各ガス配管部間の接続部においてもヒータが電気的に連続して設けられている。ヒータ２２は、内管２１の外壁に接触しながら内管２１の長手方向に延びている。これにより、内管２１の長手方向で見た場合に、内管２１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱できる。また、断熱材２４は、内管２１と外管２３との間に配されている。それとともに、接続部１５、２５の周囲を取り囲む配線部材接続コネクタＣＮ１においても、断熱材７４が、接続部１５、２５及びヒータ７２を覆っている。これにより、接続部１５、２５、及びヒータ７２から外管７３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管７３を介して接続部１５、２５が冷却（放熱）されにくくなっている。すなわち、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０とを連結する部分（接続部１５、２５）においても、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。この結果、レシピ情報（プロセス条件）に従った適切な流量（圧力）で処理室にガスを供給することがさらに容易である。
【００４７】
また、第１の実施の形態では、接続部１５、２５に設けられるヒータ１２、２２が、図３に示すように、接続部１５、２５に外側から接触している。これにより、第１のガス配管部材１０と第２のガス配管部材２０とを連結する部分（接続部１５、２５）においても、内側を通過するガスＧ１を加熱できるので、ガス配管部材内でのガスの液化をさらに容易に低減できる。
【００４８】
なお、配線部材接続コネクタＣＮ１ｉは、図４に示すように、ヒータ７２をさらに備えていても良い。すなわち、ヒータ７２は、その両端に接続端子が設けられており、ガス配管部材１０におけるヒータ１２とガス配管部材２０におけるヒータ２２とを電気的に接続する。具体的には、ヒータ７２は、ヒータ７２ａ及びヒータ７２ｂを有する。ヒータ７２ａ及びヒータ７２ｂ、それぞれ、その両端がガス配管部材のヒータの接続端子と接続可能なように（例えば、図示しないソケット、プラグ等を介して挿抜可能なように）構成されている。これにより、ヒータ７２ａは、一端が（例えば溶接により）ヒータ１２ａの接続端子１２ａ１に電気的に接続されており、他端が（例えば溶接により）ヒータ２２ａの接続端子２２ａ１に電気的に接続されている。また、ヒータ７２ｂは、一端が（例えば溶接により）ヒータ１２ｂの接続端子１２ｂ１に電気的に接続されており、他端が（例えば溶接により）ヒータ２２ｂの接続端子２２ｂ１に電気的に接続されている。ヒータ７２ａ及びヒータ７２ｂは、その抵抗により発熱する材料で形成され、例えばニッケルクロム合金で形成されている。
【００４９】
また、配線部材接続コネクタＣＮ１ｉは、図４に示すように、熱伝導部材７１をさらに備えても良い。
【００５０】
熱伝導部材７１は、接続部１５、２５とヒータ７２とに接触するように配されている。具体的には、熱伝導部材７１は、熱伝導部材７１ａ及び熱伝導部材７１ｂを有する。
【００５１】
熱伝導部材７１ａは、一主面７１ａ１がヒータ７２ａに接触しており、他の主面７１ａ２が接続部１５、２５に接触している。これにより、熱伝導部材７１ａは、ヒータ７２ａで発生した熱を接続部１５、２５へ伝達する。すなわち、ヒータ７２ａは、熱伝導部材７１ａと、内管１１、外管１３、内管２１、及び外管２３の接続部１５、２５とを介した熱伝導により、その接続部１５、２５の内側を通過するガスＧ１を加熱する。熱伝導部材７１ａは、熱伝導性の高い材料で形成されており、例えば、ＳＵＳ３１６などのステンレスで形成されている。
【００５２】
熱伝導部材７１ｂは、一主面７１ｂ１がヒータ７２ｂに接触しており、他の主面７１ｂ２が接続部１５、２５に接触している。これにより、熱伝導部材７１ｂは、ヒータ７２ｂで発生した熱を接続部１５、２５へ伝達する。すなわち、ヒータ７２ｂは、熱伝導部材７１ｂと、内管１１、外管１３、内管２１、及び外管２３の接続部１５、２５とを介した熱伝導により、その接続部１５、２５の内側を通過するガスＧ１を加熱する。熱伝導部材７１ｂは、熱伝導性の高い材料で形成されており、例えば、ＳＵＳ３１６などのステンレスで形成されている。
【００５３】
これにより、ガス配管部材１０とガス配管部材２０との接続部１５、２５においても内側を通過するガスＧ１を加熱するので、内管１１、２１の長手方向で見た場合に、内管１１、２１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱できる。
【００５４】
また、第１の実施形態では図２に示すようにヒータ１２ａ及びヒータ１２ｂが内管１１の長手方向に沿ってストライプ状に延びている例を説明したが、図５に示すように、第１のガス配管部材１０ｉにおいて、ヒータ１２ｉが内管１１の外壁にらせん状に延びて接触していても良い。例えば、ヒータ１２ａｉとヒータ１２ｂｉとが交互に内管１１の外壁にらせん状に巻きつけられていても良い。
【００５５】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態にかかるガス配管２００について図６を用いて説明する。図６は、第２の実施形態にかかるガス配管２００におけるガス配管部材１１０の構成を示す断面図である。以下では、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５６】
ガス配管２００は、図６に示すように、ガス配管部材１０に代えてガス配管部材１１０を備える。ガス配管部材１１０は、断熱材２１４を有する。断熱材２１４は、複数の断熱部材２１４ａ、２１４ｂを有する。各断熱部材２１４ａ、２１４ｂは、内管１１を囲むようにドーナツ状に延びている。また、複数の断熱部材２１４ａ、２１４ｂは、内管１１の長手方向において所定ピッチで配されている。これにより、複数の断熱部材２１４ａ、２１４ｂは、内管１１と外管１３との間を保持している。また、内管１１と外管１３との間の空間における断熱材２１４が配されていない領域２１５は、真空になっている。なお、図６は、ヒータ１２を含まない断面を示しており、ヒータ１２ｂが破線で示すように内管１１における図６中下奥側の外壁に接触している。
【００５７】
このような構成によっても、内管１１の長手方向で見た場合に、内管１１の内側を通過するガスＧ１を均等に加熱でき、内管１１及びヒータ１２から外管１３へ熱が伝導しにくいようになっているとともに、外管１３を介して内管１１が冷却（放熱）されにくくなっている。この結果、ガス配管部材内でのガスの液化を低減できる。
【００５８】
なお、このような構成は、他のガス配管部材２０、３０、４０、６０に代えて同様に適用しても良い。また、接続部の構成は第１の実施形態と基本的に同じであるが、本実施形態では内管１１と外管１３とを断熱部材によって固定しているため、傾斜部の部材は内管と外管とを支持する強度の（第１の実施形態に比べて）弱い材料で形成しても構わない。
【００５９】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１０、１０ｉ、２０、３０、４０、５０、６０、１１０  ガス配管部材、１００、２００  ガス配管、ＣＨ  処理室、ＣＮ１、ＣＮ１ｉ、ＣＮ２、ＣＮ２ｉ  配線部材接続コネクタ、ＰＡ  処理装置、ＶＬ１  開閉バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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