(57)【要約】【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データに付加情報を付し、第１の伝送プロトコルに従って出力する撮像部と、
前記第１の伝送プロトコルにより前記撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、前記付加情報に基づいて、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して出力する画像出力部とを有する画像分配部と、
前記画像出力部から入力された画像データを処理する画像処理部と
を有する検査装置。
【請求項２】
一つの画像分配部に対して複数の画像処理部を接続した請求項１に記載の検査装置において、
前記画像分配部は、各画像処理部に対し、同じ伝送プロトコルに従って画像データを出力する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
一つの画像分配部に対して複数の画像処理部を接続した請求項１に記載の検査装置において、
前記画像分配部は、前記複数の画像処理部のうち少なくとも一部の画像処理部に対し、互いに異なる伝送プロトコルに従って画像データを出力する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
一つの画像分配部に対して複数の撮像部を接続した請求項１に記載の検査装置において、
前記画像分配部は、前記複数の撮像部のそれぞれから、同じ伝送プロトコルに従って画像データを入力する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
一つの画像分配部に対して複数の撮像部を接続した請求項１に記載の検査装置において、
前記画像分配部は、前記複数の撮像部の少なくとも一部から、互いに異なる伝送プロトコルに従って画像データを入力する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
検査装置におけるデータ分配方法において、
撮像部が、画像データに付加情報を付し、第１の伝送プロトコルに従って出力する処理と、
画像分配部が、前記第１の伝送プロトコルに従って受信した画像データを所定のデータ形式に変換する処理と、
画像分配部が、前記付加情報に基づいて、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する処理と、
画像分配部が、前記制御に従って、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して出力する処理と
を有するデータ分配方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び当該装置における画像データの分配方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、半導体ウェハの大口径化や回路パターンの微細化が進んでいる。これに伴い、半導体検査装置には、大容量の検査データ（画像データ）を高速に処理することが求められている。画像処理能力を向上する技術の一つに、データ処理部を並列化してデータ演算を並列化することが考えられている。並列化されたデータ処理部へのデータの分配は、高速シリアル転送により行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−００４３１０号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４０９６１号公報
【特許文献３】特開２００８−２２４４９０号公報
【特許文献４】米国特許第７２５１５８６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
データの分配を制御する方法は、用いる伝送プロトコルによっても異なる。例えば画像データの取得に使用されるセンサ等の構成やデータを処理する処理プロセッサの構成によっても異なる。このように、データの画像分配部は、画像データの送信側の伝送プロトコルと受信側の伝送プロトコルの両方の影響を受ける。このため、どちらか一方でも、伝送プロトコルに変更があると、画像分配部を再開発する必要がある。
【０００５】
また、並列化されたデータ処理部に対するデータの分配方法は同じでも、伝送プロトコルにより、その制御方法や効率の良い分配サイズ、タイミングは異なる。このため、伝送プロトコルに最適化された分配機能が必要となる。なお、性能を重視する場合、分配部をハードウェアで構成することになるが、この手法は変更が難しく、再開発負担が大きい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題を解決するため、本発明においては、画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部の間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、撮像部が使用する伝送プロトコルと画像処理部が使用する伝送プロトコルのいずれか一方に変更が生じた場合にも、画像分配部の変更に要する作業量を従来に比して低減することができる。
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】半導体検査装置の概略構成を示す図。
【図２】画像分配部の内部構成例を示す図。
【図３】データ構造を説明する図。
【図４】画像入力部の内部構成例を示す図。
【図５】チップ分配テーブルの構成例を示す図。
【図６】画像処理部分配テーブルの構成例を示す図。
【図７】スキャンによる画像の取り込みと撮像画像の画像処理部への割り当て関係を説明する図。
【図８】画像出力部の内部構成例を示す図。
【図９】付加情報の生成動作を説明する図。
【図１０】撮像部が準拠する伝送プロトコルが変更された場合の使用形態を説明する図。
【図１１】伝送プロトコルが同じ２つの撮像部が接続された場合の使用形態を説明する図。
【図１２】伝送プロトコルが異なる２つの撮像部が接続された場合の使用形態を説明する図。
【図１３】伝送プロトコルが同じ２つの画像処理部が接続された場合の使用形態を説明する図。
【図１４】伝送プロトコルが異なる２つの画像処理部が接続された場合の使用形態を説明する図。
【図１５】１つの画像処理部内の２箇所に画像データを送信する場合の使用形態を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明の実施態様は、後述する形態例に限定されるものではなく、その技術思想の範囲において、種々の変形が可能である。
【００１０】
[半導体検査装置の構成]
図１に、形態例に係る検査装置の概略構成を示す。検査装置には、光学式検査装置、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）検査装置、ＳＥＭ測長装置などがある。図１は、光学式の半導体検査装置を示す。
【００１１】
図１に示す半導体検査装置１００は、照明部１１０、検出部１２０、Ｘスケール１３０、Ｙスケール１４０、座標管理装置１５０、画像分配部１６０、画像処理部１７０、入力装置１８０、表示装置１９０を備えている。
【００１２】
照明部１１０は、例えば所定波長のレーザ光等の検査光を発生する光源と対物レンズその他の光学系で構成される。勿論、電子線やイオンビーム等の荷電粒子線をウェハ１０１に照射する場合には、荷電粒子源や偏向レンズ等が使用される。
【００１３】
表面にチップ１０２がマトリクス状に形成されたウェハ１０１はＸＹステージに搭載されており、少なくともＸＹ方向への移動が可能である。不図示のＸＹステージがＸ方向及び又はＹ方向に移動することにより、照明部１１０から照射された検査光がウェハ１０１の表面を走査する。
【００１４】
ウェハ１０１の表面に照射された検査光は、ウェハ１０１の表面に形成されたパターンや欠陥により散乱され、散乱光を発生する。散乱光は、検出部１２０により検出される。
【００１５】
検出部１２０は、対物レンズ１２１、空間フィルタ１２２、結像レンズ１２３、撮像部１２４で構成される。対物レンズ１２１は散乱光を集光するレンズである。空間フィルタ１２２は、検査対象以外の散乱光を遮蔽するために設けられる。例えば欠陥や異物を検査対象とする場合、空間フィルタ１２２は繰り返しパターンに起因して発生する回折光の遮蔽に用いられる。結像レンズ１２３は、倍率を可変できるレンズ又は倍率の異なる複数のレンズとその切り替え機構により構成される。この構成により、結像レンズ１２３は、検査対象の種類や大きさに応じて検査感度を変更することができる。撮像部１２４は、ＴＤＩ（Time Delay Integration）センサやＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサで構成される。
【００１６】
Ｘスケール１３０及びＹスケール１４０は、例えばレーザスケールで構成される。Ｘスケール１３０及びＹスケール１４０は、ウェハ１０１を搭載したウェハステージのＸ方向位置及びＹ方向位置をそれぞれ検出し、それらを座標情報として座標管理装置１５０に出力する。なお、座標管理装置１５０は、ウェハステージの座標情報に基づいて検査光が現に照射している位置の座標を算出し、検査位置座標として画像処理部１７０に与える。
【００１７】
画像分配部１６０は、撮像部１２４と画像処理部１７０の間に配置される。画像分配部１６０は、撮像部１２４が画像データの伝送に使用する伝送プロトコルと画像処理部１７０が画像データの入力に使用する伝送プロトコルの違いを吸収する機能と、画像データを並列伝送する際におけるデータの分配機能を提供する。この形態例の場合、撮像部１２４はデジタルデータを出力する。すなわち、画像データの伝送はデジタル伝送である。
【００１８】
画像処理部１７０は、撮像部１２４から出力される画像データを処理し、ウェハ表面の欠陥の有無等を検出する。画像処理部１７０におけるデータ処理自体は既知であるため、詳細な説明は省略する。なお、画像処理装置１７０に対するユーザの操作入力は入力装置１８０を通じて行われる。また、画像処理装置１７０の処理結果は表示装置１９０に出力される。
【００１９】
[撮像部及び画像分配部の構成]
図２に、撮像部１２４と画像分配部１６０の内部構成を示す。
撮像部１２４は、散乱光の光量を電気信号の強度に変換する撮像素子１２５と、アナログ形式の電気信号をデジタル形式に変換するＡ／Ｄ変換部（Analog to Digital convertor）１２６と、デジタル化された画像データにヘッダ、フッタ等の情報を付与し、伝送プロトコルに応じたデータに変換する情報付加部１２７と、不図示の伝送インターフェースとを有している。
【００２０】
図２の場合、撮像部１２４は、データの転送に伝送プロトコルＡを使用する。伝送プロトコルＡは、撮像素子１２５の種類、画像転送の必要帯域、撮像素子１２５と画像分配部１６０までの距離に応じて開発したもの又は既存のものから選定される。伝送プロトコルＡには、高速伝送が可能なシリアル形式の伝送プロトコルが用いられる。
【００２１】
図３（Ａ）に、伝送プロトコルＡのデータ構造の一例を示す。画像データ２０２に対してＡヘッダ２０１とＡフッタ２０３が付与されている。Ａヘッダ２０１とＡフッタ２０３は、任意の取得画像単位毎に付加される。Ａヘッダ２０１とＡフッタ２０３には、画像データ２０２の分配に必要な情報が格納される。
【００２２】
例えば、Ａヘッダ２０１には、画像素子１２５で得られた画像データ２０２の取得位置情報として、画像取得開始位置情報が付加される。また、Ａフッタ２０３には、画像素子１２５で得られた画像データ２０２の欠陥検出対象に対する位置情報として、画像取得終了位置情報が付加される。ここでの座標系には、例えばステージ座標系を使用する。このように、Ａヘッダ２０１、画像データ２０２、Ａフッタ２０３を一組として扱うことにより、画像分配部１６０における画像データ２０２の分配制御が実現される。
【００２３】
なお、図３（Ｂ）に示すデータ構造を、伝送プロトコルＡのデータ構造に採用しても良い。図３（Ｂ）の場合、Ａヘッダ２０１に、撮像素子１２５で得られた画像データ２０２の欠陥検出対象に対する位置情報として、画像取得開始位置情報とデータ取得サイズ情報を格納する。この場合も、Ａヘッダ２０１と画像データ２０２を一つの組として扱うことにより、画像分配部１６０における画像データ２０２の分配制御が実現される。
【００２４】
また、後述する前処理部１６２に前処理を実行させる場合、画像データ２０２に対応するＡヘッダ２０１又はＡフッタ２０３に前処理指示情報が与えられる。前処理の内容については後述する。
【００２５】
画像分配部１６０は、画像入力部１６１、前処理部１６２、前処理テーブル１６３、分配制御部１６４、分配テーブル１６５、画像出力部１６６で構成する。
【００２６】
画像入力部１６１は、画像データの入力に使用されている伝送プロトコルを、前処理部１６２で使用するデータ形式に変換する。一般的に、高速伝送プロトコルであるシリアル形式はデータ処理が行い難い。このため、画像入力部１６１は、シリアル形式のプロトコルＡをパラレル形式に変換する。Ａヘッダ２０１、画像データ２０２、Ａフッタ２０３のそれぞれもパラレル形式に変換され、システム同期の下、前処理部１６２に出力される。
【００２７】
図４に、複数の伝送プロトコルに準拠する画像入力部１６１の内部構成の一例を示す。この画像入力部１６１は、複数のインターフェース３０１と、スイッチ３０２と、スイッチ制御部３０３で構成される。なお、インターフェース３０１は１つだけでも良く、その場合にはスイッチ３０２及びスイッチ制御部３０３は不要である。
【００２８】
インターフェース３０１は、それぞれ撮像部１２４との通信に使用する伝送プロトコルのデータを内部処理用のデータ形式に変換する機能を提供する。この形態例の場合、Ｎ個のインターフェース３０１は、いずれも異なる伝送プロトコルに準拠しても良いし、一部は同じ伝送プロトコルに準拠しても良い。インターフェース３０１は、シリアル形式で入力されるデータを前処理部１６２が対応するパラレル形式のデータに変換する処理も実行する。なお、複数のインターフェース３０１の出力はスイッチ３０２に接続されており、スイッチ制御部３０３によって選択された出力だけが前処理部１６２に出力される。
【００２９】
前処理部１６２は、Ａヘッダ２０１及び又はＡフッタ２０３に前処理指示情報が含まれる場合、当該情報が指定する前処理を同じ組の画像データ２０２に適用する。前処理部１６２は、例えばレベル変換、階調変換、特定画素補正等の画像データ補正を実行し、処理済みの画像データを分配制御部１６４に出力する。対応する前処理の内容は前処理テーブル１６３に格納されている。
【００３０】
前処理が不要な場合、前処理部１６２を設ける必要はなく、画像入力部１６１と分配制御部１６４を直接接続すれば良い。この場合、Ａヘッダ２０１、Ａフッタ２０３の情報は、そのまま、分配制御部１６４に出力される。
【００３１】
分配制御部１６４は、分配テーブル１６５の情報、Ａヘッダ２０１の情報及びＡフッタ２０３の情報に基づいて分配情報２１０を生成し、画像出力部１６６に出力する。図３（Ｃ）に示すように、分配情報２１０と画像データ２０２は一組のまま後段の画像出力部１６６に与えられる。
【００３２】
分配テーブル１６５には、図５に示すチップ分配テーブル４００と図６に示す画像処理部分配テーブル４１０を格納する。
【００３３】
チップ分配テーブル４００は、図７の左図に示すように、１走査内に３つのチップ１０２がある場合に使用されるテーブルである。同図は、検査光の走査により取得される画像データに現れるチップの開始位置（チップ開始座標）及びチップの終了位置（チップ終了座標）を示している。チップ分配テーブル４００は、１走査内に出現するチップの数に応じて用意する。この座標系は、ステージ座標系である。図５に示すように、各チップの開始座標と終了座標がそれぞれ記憶される。
【００３４】
画像処理部分配テーブル４１０は、図７の右図に示すように、走査中に取得された画像イメージを３つの画像処理部に分配する場合に使用されるテーブルである。３つの画像処理部１７０は、１つの筐体内に存在しても良いし、それぞれ別々の筐体内に存在しても良い。各チップには、同じ画像処理分配テーブルを適用する。また、画像処理分配テーブルの座標は、チップ開始座標を原点とする局所座標系とする。この形態例の場合、図７の右図に示すように、検査光の１回の走査で取得されるチップ内の画像データは９つの領域に分割され、先頭から順番に画像処理部１７０（１）、画像処理部１７０（２）、画像処理部１７０（３）が分配先に指定される。
【００３５】
画像出力部１６６は、画像データ２０２と分配情報２１０を同期して受け取る。画像処理部１６６は、分配情報２１０から画像データ２０２の分配先を認識し、画像処理部１７０が対応する伝送プロトコルにより画像データ２０２を転送する。この形態例の場合、伝送プロトコルには、高速伝送可能な伝送プロトコルＢが用いられる。
【００３６】
図８に、複数の伝送プロトコルに準拠する画像出力部１６６の内部構成の一例を示す。この画像出力部１６６は、複数のインターフェース３１１と、スイッチ３１２と、スイッチ制御部３１３で構成される。
【００３７】
インターフェース３１１は、それぞれ内部処理用データを、画像処理部１７０との通信に使用する伝送プロトコルのデータに変換する機能を提供する。Ｍ個のインターフェース３１１は、いずれも異なる伝送プロトコルに準拠しても良いし、一部は同じ伝送プロトコルに準拠していても良い。インターフェース３１１は、パラレル形式で入力されるデータを伝送プロトコルが対応するシリアル形式のデータに変換する。なお、複数のインターフェース３１１の入力はスイッチ３１２に接続されており、スイッチ制御部３１３によって選択されたインターフェース３１１にのみデータが出力される。ここで、スイッチ制御部３１３は、分配情報２１０に基づいて分配先を認識し、分配先に対応する１つ又は複数のインターフェース３１１に出力する。
【００３８】
[画像分配部内での付加情報の変遷]
図９に、画像分配部１６０の内部で実行される付加情報の変遷動作を示す。画像分配部１６０は、撮像部１２４との通信に使用する伝送プロトコルに準拠したＡヘッダ２０１、Ａフッタ２０３を画像データ２０２から分離し、当該ヘッダ及びフッタの情報と分配テーブル１６５とを用いて分配情報２１０を生成する。その後、画像分配部１６０は、分配情報２１０に基づいて画像データ２０２の分配先である画像処理部１７０との通信に使用する伝送プロトコルに準拠したＢヘッダ２２１及びＢフッタ２２３を画像データ２０２に付して出力する。
【００３９】
[使用形態]
続いて、前述した画像分配部１６０の適用により可能となる使用形態の一例を示す。
【００４０】
（１）使用形態１
半導体検査装置１００の撮像部１２４を交換又は変更した際に、伝送プロトコルの変更が必要となる場合が考えられる。図１０に、撮像部１２４と画像分配部１６０の間におけるデータ伝送が伝送プロトコルＡから伝送プロトコルＣに変更された場合の使用形態を示す。この場合、画像入力部１６１は、伝送プロトコルＣで入力された画像データと付加情報を前処理部１６２に与えるように動作する。その後の動作は、図２に示す使用形態の場合と同じである。
【００４１】
（２）使用形態２
複数の撮像部１２４で撮像された画像データを画像処理部１７０で画像処理させたい場合がある。この場合、複数の撮像部１２４がいずれも同じ伝送プロトコルに準拠する場合と、異なる伝送プロトコルに準拠する場合が考えられる。
【００４２】
図１１は、２つの撮像部１２４が同じ伝送プロトコルＡに準拠する場合の使用形態を表している。スイッチ３０２のスイッチング速度が十分速い場合には画像入力部１６１は１台でも良いが、図１１では接続する撮像部１２４に応じた数だけ画像入力部１６１を用意する場合を表している。この場合も、前処理部１６２より後の動作は、図２に示す使用形態の場合と同じである。
【００４３】
図１２は、２つの撮像部１２４が異なる伝送プロトコルＡ及びＣに準拠する場合の使用形態を表している。この場合も前処理部１６２より後の動作は、図２に示す使用形態の場合と同じである。
【００４４】
（３）使用形態３
使用形態２とは反対に、１つの撮像部１２４で撮像された画像データを、複数の画像処理部１７０に分配したい場合がある。この場合、分配先となる複数の画像処理部１７０がいずれも同じ伝送プロトコルに準拠する場合と、異なる伝送プロトコルに準拠する場合が考えられる。
【００４５】
図１３は、２つの画像処理部１７０が同じ伝送プロトコルに準拠する場合の使用形態を表している。スイッチ３１２のスイッチング速度が十分速い場合には画像出力部１６６は１台でも良いが、図１３では接続する画像処理部１７０に応じた数だけ画像出力部１６６を用意する場合を表している。この場合も、分配制御部１６４より前の動作は、図２に示す使用形態の場合と同じである。
【００４６】
図１４は、２つの画像処理部１７０が異なる伝送プロトコルＢ及びＣに準拠する場合の使用形態を表している。この場合も分配制御部１６４より前の動作は、図２に示す使用形態の場合と同じである。
【００４７】
（４）使用形態４
この他、画像処理部１７０の台数は１つであるが、同じ筐体内の異なる２つの画像処理領域に同じ画像を送りたい場合が考えられる。この場合、画像出力部１６６と画像処理部１７０の間で必要となる転送帯域は、瞬間的に２倍になる。この場合、画像出力部１６６と画像処理部１７０を２本の転送経路で接続する。
【００４８】
図１５に、画像出力部１６６と画像処理部１７０を２本の転送経路で接続した使用形態を示す。分配制御部１６４は、分配情報２１０の内容に基づいて、２つ画像処理領域に同じ画像データ２０２を転送するか否か判断する。その後、分配制御部１６４は、２本の転送経路を使うのか、１本の転送経路を使うのかを示す情報を分配情報２１０に加え、画像出力部１６６に渡す。この情報は２ビットで構成する。２ビットであるので、少ない情報量で、どちらの転送経路を使うか、又は、両方使うか、又は、どちらも転送しないかを指定することができる。
【００４９】
画像出力部１６６は、分配情報２１０から画像データ２０２の分配先、分配転送時の経路指定情報を受け取り、分配先の画像処理部１７０が準拠する伝送プロトコルにより画像データを送信する。図１５の場合、画像処理部１７０は、伝送プロトコルＢにより画像データを受け取り、画像処理を実行する。
【００５０】
[まとめ]
本形態例の場合、画像分配部１６０の内部を、撮像部１２４や画像処理部１７０との間で画像データを受け渡しする伝送プロトコルに関する処理部（画像入力部１６１、画像出力部１６６）と、前処理や分配処理に関する処理部（前処理部１６２、分配制御部１６４）に分割する。
【００５１】
このため、半導体検査装置を構成する撮像部１２４やその画像データを処理する画像処理部１７０の準拠する伝送プロトコルに変更が生じる場合でも、その影響を、少なくとも前処理部１６２と分配制御部１６４の処理動作から切り離すことができる。この結果、半導体検査装置を含むシステム全体の柔軟性を高めることができる。
【００５２】
また、分配情報２１０は、伝送効率に影響を与えない範囲（小サイズ）でヘッダ化又はフッタ化する。また、ヘッダ又はフッタを付加する画像データのサイズは、伝送プロトコルに最適な任意のサイズに調整する。これにより、高伝送効率を保ちつつ、伝送先の変更、伝送領域の変更に対応することができる。
【００５３】
[他の形態例]
なお、本発明は上述した形態例に限定されるものでなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上述した形態例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある形態例の一部を他の形態例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある形態例の構成に他の形態例の構成を加えることも可能である。また、各形態例の構成の一部について、他の構成を追加、削除又は置換することも可能である。
【００５４】
また、上述した各構成、機能、処理部、処理手段等は、それらの一部又は全部を、例えば集積回路その他のハードウェアとして実現しても良い。また、上記の各構成、機能等は、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することにより実現しても良い。すなわち、ソフトウェアとして実現しても良い。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、メモリやハードディスク、SSD（Solid State Drive）等の記憶装置、ICカード、SDカード、DVD等の記憶媒体に格納することができる。
【００５５】
また、制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示すものであり、製品上必要な全ての制御線や情報線を表すものでない。実際にはほとんど全ての構成が相互に接続されていると考えて良い。
【符号の説明】
【００５６】
１００…半導体検査装置
１０１…ウェハ
１１０…照明部
１２０…検出部
１２１…対物レンズ
１２２…空間フィルタ
１２３…結像レンズ
１２４…撮像部
１２５…撮像素子
１２６…Ａ／Ｄ
１２７…情報付加部
１３０…Ｘスケール
１４０…Ｙスケール
１５０…座標管理装置
１６０…画像分配部
１６１…画像入力部
１６２…前処理部
１６３…前処理テーブル
１６４…分配制御部
１６５…分配テーブル
１６６…画像出力部
１７０…画像処理部
１８０…入力装置
１９０…表示装置
２０１…Ａヘッダ
２０２…画像データ
２０３…Ａフッタ
２１０…分配情報
２２１…Ｂヘッダ
２２３…Ｂフッタ
３０１…インターフェース
３０２…スイッチ
３０３…スイッチ制御部
３１１…インターフェース
３１２…スイッチ
３１３…スイッチ制御部
４００…チップ分配テーブル
４１０…画像処理部分配テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2012253274.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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