(57)【要約】      （修正有）【課題】太陽電池モジュールをＥＬ発光させる性能評価において、高品位な画像を容易に得て精度の高い評価を行うことを可能にする検査装置を提供する。【解決手段】太陽電池の検査装置１００Ａは、太陽電池モジュール２００の周縁部を載置する載置手段である搬送ガイド部材と、太陽電池モジュール２００に通電させる電源供給部と、太陽電池モジュール２００を撮像するカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２と、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２を移動させる移動手段と、撮像位置を制御する撮像位置制御手段である撮像位置制御部１２２と、太陽電池モジュール２００の良否を判定する解析手段である解析部１２４とを備え、移動手段は、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２を光軸方向に移動させ、撮像位置制御部１２２はカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２に撮像させる。【選択図】図３
2012129366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池の良否を判定可能な太陽電池の検査装置であって、
検査対象である前記太陽電池の周縁部を載置する載置手段と、
前記載置手段に載置された前記太陽電池に電流を通電させる電源供給手段と、
前記電源供給手段によって電流が供給された前記太陽電池における、前記太陽電池の表面状態を撮像する複数の撮像手段と、
前記太陽電池に対する前記撮像手段の位置を移動させる移動手段と、
それぞれの前記撮像手段の撮像位置を制御する撮像位置制御手段と、
それぞれの前記撮像手段が撮像した画像を解析した解析結果に基づいて前記太陽電池の良否を判定する解析手段とを備え、
前記移動手段は、前記撮像手段を前記撮像手段の光軸方向に移動させ、
前記撮像位置制御手段は、前記移動手段によって移動された前記撮像手段の前記太陽電池に対する焦点距離が合った状態で、前記撮像手段に撮像を行わせることを特徴とする太陽電池の検査装置。
【請求項２】
前記移動手段によって移動された撮像手段によって撮像された画像を合成して一の評価用画像を形成する画像合成手段を備え、
前記解析手段は前記画像合成手段によって形成された前記評価用画像の解析を行うことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項３】
前記移動手段は前記撮像手段ごとに個別に設けられたアクチュエータを備え、それぞれの前記撮像手段を焦点距離の合う位置に別個独立に移動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項４】
前記移動手段は一のアクチュエータを備え、全ての撮像手段を前記一のアクチュエータによって同時に移動させ、前記撮像位置制御手段はそれぞれの前記撮像手段に焦点距離の合う位置で撮像を行わせることを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項５】
前記移動手段は、前記撮像手段を等速で移動させることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項６】
前記撮像手段は、連続的に撮像を行うことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項７】
前記撮像位置制御手段は、前記撮像手段の撮像開始位置及び撮像終了位置と、前記撮像手段の撮像の時間間隔とのうち少なくとも何れか一方を調節可能に構成されたことを特徴とする請求項１乃至６の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項８】
前記光軸方向は水平方向であり、前記移動手段は前記撮像手段を水平方向に移動させることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項９】
前記移動手段は、前記撮像手段を前記太陽電池に近づける方向に移動させ、
前記撮像位置制御手段は、前記太陽電池の中央部に対向する前記撮像手段と前記太陽電池の周辺部に対向する前記撮像手段とを別個にグループ化し、それぞれのグループ毎に前記撮像手段の撮像開始位置及び撮像終了位置を設定することを特徴とする請求項１乃至８の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項１０】
前記撮像手段は、前記載置手段に載置された前記太陽電池の撓み量の等しい位置を結んで形成された仮想等高線を平面視したときに、該仮想等高線に沿う位置に設置されたことを特徴とする請求項１乃至９の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項１１】
前記太陽電池の撓み量を検出する撓み検出手段と、
前記撮像手段の移動量を検出する移動量検出手段とを備え、
前記撮像位置制御手段は、前記撓み量検出手段と前記移動量検出手段の検出結果に基づいてそれぞれの前記撮像手段と前記太陽電池の表面との距離を設定し、前記設定の結果に基づいて、それぞれの前記撮像手段が撮像に適した位置で撮像を行わせることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【請求項１２】
前記撮像位置制御手段が特定の前記撮像手段のみに撮像を行わせ、前記画像合成手段は前記特定の撮像手段の撮像した画像のみに基づいて前記評価用画像を形成する低画質モードと、
前記撮像位置制御手段が全ての前記撮像手段に撮像を行わせ、前記画像合成手段は前記全ての撮像手段の撮像した画像に基づいて前記評価用画像を形成する高画質モードとを備えたことを特徴とする請求項２乃至１１の何れか一つに記載の太陽電池の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セルを複数組み合わせた太陽電池モジュールなど、太陽電池一般の性能を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽エネルギーの利用方法として、シリコン型の太陽電池が知られている。太陽電池の製造においては、太陽電池が目的の発電能力を有しているかどうかの性能評価が重要である。従来、この性能評価のための方法の一つとして、暗室内に設置したシリコンの多結晶型の太陽電池素子に対して順方向に電圧を印加してエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を生じさせ、発光状態を観察する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
太陽電池素子から発光されるＥＬを観察することによって、電流密度分布が分かり、電流密度分布の不均一から太陽電池素子の不良箇所を知ることができる。すなわち、発光しない部分が不良箇所と判断でき、この不良箇所の面積が予め決められた量より少なければ、所定の発電能力を有するものと判断できることになる。なお、薄膜型の太陽電池でも同様の検査を適用しうる。
一方、太陽電池セルを複数枚直列に接続したストリングを複数組組み合わせた太陽電池パネルに代表される太陽電池モジュールになると、縦１ｍ×横２ｍ程度の大きさとなり、特許文献１の方法で検査を行う場合、暗室もこれを収容できる大きさが必要となる。そこで、各壁面が遮光性を有する箱型の暗室の上面に構成された開口部に被測定物となる太陽電池モジュールの周縁部を保持し、太陽電池モジュールの下方から複数の撮像装置（カメラ）で担当部分を撮像することで、太陽電池モジュールの全体を撮像し検査する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ／２００６／０５９６１５号
【特許文献２】特開２０１０−０５６２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献２の方法は太陽電池モジュールの周辺部分を保持手段にて保持するため、太陽電池モジュールの自重による撓みが焦点距離に影響する場合がある。そのため、撮像する場所毎に太陽電池モジュールと撮像装置との距離が変わってしまい、個々の撮像装置のピント調節が難しくなるという問題がある。特に大型の太陽電池モジュール（例えば縦１メートル×横２メートル程度のもの）は、撓みの影響が大きくなる可能性がある。一方、オートフォーカスを使ってピント調節をすると必然的に画像が暗くなってしまう。太陽電池モジュールのＥＬ発光は微弱な光なので、特許文献２の方法においてオートフォーカスを用いて撓み分を調節して撮像するのは、鮮明な画像を得る上で好ましくない。
【０００５】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、太陽電池モジュールをＥＬ発光させる性能評価において、高品位な画像を容易に得て精度の高い評価を行うことを可能にする太陽電池の検査装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するために、第１発明の太陽電池の検査装置は、太陽電池の良否を判定可能な太陽電池の検査装置であって、検査対象である前記太陽電池の周縁部を載置する載置手段と、前記載置手段に載置された前記太陽電池に電流を通電させる電源供給手段と、前記電源供給手段によって電流が供給された前記太陽電池における、前記太陽電池の表面状態を撮像する複数の撮像手段と、前記太陽電池に対する前記撮像手段の位置を移動させる移動手段と、それぞれの前記撮像手段の撮像位置を制御する撮像位置制御手段と、それぞれの前記撮像手段が撮像した画像を解析した解析結果に基づいて前記太陽電池の良否を判定する解析手段とを備え、前記移動手段は、前記撮像手段を前記撮像手段の光軸方向に移動させ、前記撮像位置制御手段は、前記移動手段によって移動された前記撮像手段の前記太陽電池に対する焦点距離が合った状態で、前記撮像手段に撮像を行わせることを特徴とする。
【０００７】
第１発明によれば、移動手段が複数の撮像手段を光軸方向に移動させて、撮像位置制御手段がそれぞれの撮像手段に焦点距離の合った任意の位置で撮像を行わせることができる。そして、解析手段がそれぞれの撮像手段が撮像した画像を解析することにより、それぞれの撮像手段が撮像した、焦点距離の合った高品位な画像に基づいて太陽電池の良否判定を行うことができる。これにより、太陽電池モジュールをＥＬ発光させる性能評価において、高品位な画像を容易に得て精度の高い評価を行うことを可能にする。
【０００８】
第２発明の太陽電池の検査装置は、第１発明において、前記移動手段によって移動された撮像手段によって撮像された画像を合成して一の評価用画像を形成する画像合成手段を備え、前記解析手段は前記画像合成手段によって形成された前記評価用画像の解析を行うことを特徴とする。
第２発明によれば、画像合成手段が形成した、焦点の合った高品位な一の評価用画像に基づいて、解析手段が解析を行うことにより、更に高品位な画像に基づく精度の高い評価を簡易に行うことができる。
【０００９】
第３発明の太陽電池の検査装置は、第１発明又は第２発明において、前記移動手段は前記撮像手段ごとに個別に設けられたアクチュエータを備え、それぞれの前記撮像手段を焦点距離の合う位置に別個独立に移動させることを特徴とする。
第３発明によれば、複数の撮像手段を別個独立に移動させることにより、それぞれの撮像手段が焦点距離の合う位置まで短時間で移動させることができ、一度の撮影で高品位な画像を得ることができる。従って、複数の撮像手段の撮像した画像に基づいて、高品位な一の評価用画像を短時間で得ることができる。
【００１０】
第４発明の太陽電池の検査装置は、第１発明又は第２発明において、前記移動手段は一のアクチュエータを備え、全ての撮像手段を前記一のアクチュエータによって同時に移動させ、前記撮像位置制御手段はそれぞれの前記撮像手段に焦点距離の合う位置で撮像を行わせることを特徴とする。
第４発明によれば、全ての撮像手段を一のアクチュエータによって移動させることにより、アクチュエータの制御を簡素化できる。そして、撮像位置制御手段はそれぞれの撮像手段に焦点距離の合う位置で撮像を行わせることにより、撮像手段を移動させながらそれぞれの撮像手段に焦点の合った高品位な画像を撮像させることができる。
【００１１】
第５発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第４発明の何れか一つにおいて、前記移動手段は、前記撮像手段を等速で移動させることを特徴とする。
第５発明によれば、アクチュエータの制御と撮像位置制御手段の制御を簡素化することができる。
【００１２】
第６発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第５発明の何れか一つにおいて、前記撮像手段は、連続的に撮像を行うことを特徴とする。
第６発明によれば、光軸方向に移動する撮像手段が連続的に撮像を行うことにより、連続的に撮像された画像のうち何れかにおいて焦点距離の合った画像を形成できる。また、撮像位置制御手段が複数の撮像手段を同時に撮像開始及び撮像終了させても、撮像手段は連続的に撮像し、各撮像手段が焦点距離の合った画像を形成できるので、撮像位置制御手段による制御を簡素化できる。更に、高品位な評価用画像を簡素な制御のもとで確実に得ることができる。
【００１３】
第７発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第６発明の何れか一つにおいて、前記撮像位置制御手段は、前記撮像手段の撮像開始位置及び撮像終了位置と、前記撮像手段の撮像の時間間隔とのうち少なくとも何れか一方を調節可能に構成されたことを特徴とする。
第７発明によれば、撮像開始位置及び撮像終了位置を調節することで、太陽電池の撓み量にかかわらず焦点距離を合わせることができ、高品位な評価用画像を的確に得ることができる。また、撮像手段の撮像の時間間隔を調節することで、太陽電池の製造ラインの工程に適した時間内に撮像と評価を行うことができる。
【００１４】
第８発明の太陽電池の検査装置は、請求項１乃至７の何れか一つにおいて、前記光軸方向は水平方向であり、前記移動手段は前記撮像手段を水平方向に移動させることを特徴とする。
第８発明によれば、太陽電池の検査装置の高さは、光軸及び移動手段の移動方向が垂直方向である場合に比べて小さく設定できる。これにより、太陽電池の検査装置の高さ方向の省スペース化を図ることができる。
【００１５】
第９発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第８発明の何れか一つにおいて、前記移動手段は、前記撮像手段を前記太陽電池に近づける方向に移動させ、前記撮像位置制御手段は、前記太陽電池の中央部に対向する前記撮像手段と前記太陽電池の周辺部に対向する前記撮像手段とを別個にグループ化し、それぞれのグループ毎に前記撮像手段の撮像開始位置及び撮像終了位置を設定することを特徴とする。
第９発明によれば、撮像開始位置と撮像終了位置との間隔を撮像手段の各グループ毎に設定できるので、無駄な撮像が不要になり、各撮像手段が撮像した最適画像の選択が容易になる。
【００１６】
第１０発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第９発明の何れか一つにおいて、前記撮像手段は、前記載置手段に載置された前記太陽電池の撓み量の等しい位置を結んで形成された仮想等高線を平面視したときに、該仮想等高線に沿う位置に設置されたことを特徴とする。
第１０発明によれば、撮像手段の配置が太陽電池の撓みの度合いに近くなる。そして、撮像位置制御手段の撮像位置制御が簡素化することができる。さらに、撮像手段の撮像開始位置と撮像終了位置とを、各仮想等高線毎に設定することができるので、高品位の評価用画像を容易に形成できる。
【００１７】
第１１発明の太陽電池の検査装置は、第１発明乃至第１０発明の何れか一つにおいて、前記太陽電池の撓み量を検出する撓み検出手段と、前記撮像手段の移動量を検出する移動量検出手段とを備え、前記撮像位置制御手段は、前記撓み量検出手段と前記移動量検出手段の検出結果に基づいてそれぞれの前記撮像手段と前記太陽電池の表面との距離を設定し、前記設定の結果に基づいて、それぞれの前記撮像手段が撮像に適した位置で撮像を行わせることを特徴とする。
第１１発明によれば、実際に計測した距離に基づいて撮像手段の撮像を行わせることができるので、それぞれの撮像手段が撮像する画像は一つだけで済み、複数画像の中から最適画像を選択する手順が不要となる。
【００１８】
第１２発明の太陽電池の検査装置は、第２発明乃至第１１発明の何れか一つにおいて、前記撮像位置制御手段が特定の前記撮像手段のみに撮像を行わせ、前記画像合成手段は前記特定の撮像手段の撮像した画像のみに基づいて前記評価用画像を形成する低画質モードと、前記撮像位置制御手段が全ての前記撮像手段に撮像を行わせ、前記画像合成手段は前記全ての撮像手段の撮像した画像に基づいて前記評価用画像を形成する高画質モードとを備えたことを特徴とする。
第１２発明によれば、太陽電池の大きさや品質や必要な検査精度等に対応し、処理負荷の小さい低画質モードと、高精度の処理結果が得られる高画質モードとを選択できて、使用者の利便性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１の太陽電池の検査装置における、検査対象である太陽電池モジュールの構成の説明図である。
【図２】本発明の実施形態１の太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。
【図３】同上太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。
【図４】同上太陽電池の検査装置の設定工程を示すフローチャートである。
【図５】同上太陽電池の検査装置の動作工程を示すフローチャートである。
【図６】同上太陽電池の検査装置の（ａ）撮像対象である太陽電池モジュールの説明図（ｂ）隣接するカメラの撮像した画像の説明図、（ｃ）隣接する画像を合成して形成した評価用画像の説明図である。
【図７】本発明の実施形態２の太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。
【図８】本発明の実施形態３の太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。
【図９】本発明の実施形態４の太陽電池の検査装置の概略構成であって、カメラが移動開始前の状態を示す図である。
【図１０】同上太陽電池の検査装置における、太陽電池モジュールとカメラの位置関係及びカメラのグループ分けを模式的に示した図である。
【図１１】同上太陽電池の検査装置における、グループ毎のカメラの位置関係、並びに撮像開始位置及び撮像終了位置を模式的に示した図である。
【図１２】本発明の実施形態５の太陽電池の検査装置における、太陽電池モジュールとカメラの位置関係を模式的に示した図である。
【図１３】同上太陽電池の検査装置における、各領域のカメラの撮像開始位置及び撮像終了位置を模式的に示した図である。
【図１４】本発明の実施形態６の太陽電池の検査装置の概略構成であって、カメラが移動開始前の状態を示す図である。
【図１５】同上太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態７の太陽電池の検査装置の（ａ）高画質モードにおける各カメラの撮像領域及び評価用画像を示す説明図、（ｂ）低画質モードにおける各カメラの撮像領域及び評価用画像を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［発明の実施形態１］
図１から図６により本発明の実施形態１を示す。
【００２１】
＜１＞被測定物（太陽電池モジュール）
まず本発明の太陽電池の検査装置が扱う被測定物である太陽電池モジュール２００の例について説明する。図１は、本発明の検査装置にて測定する「太陽電池」としての太陽電池モジュール２００の構成の説明図で、（ａ）は、太陽電池モジュール２００の内部の太陽電池セルが分かるように記載した平面図で、（ｂ）はその断面図である。
【００２２】
この太陽電池モジュール２００はいわゆる結晶系の太陽電池であり、結晶系セルの集合体からなる。具体的には、図１の（ａ）及び図１の（ｂ）のに示す様に、太陽電池モジュール２００においては、角型の太陽電池セル２８がリード線２９により複数個直列に接続されたストリング２５を構成している。
ストリング２５は、上記のように電極２６、２７の間に、太陽電池セル２８をリード線２９を介して接続した構成である。そのストリング２５は３列並行に配設され、これらの表側に充填材２３及び裏面材２２が、裏側に充填材２４及び透明カバーガラス２１が、それぞれ積層されている。なお、ストリング２５の列数はこれに限定されるものではない。
【００２３】
裏面材２２は例えばポリエチレン樹脂などの材料が使用される。充填材２３、２４には例えばＥＶＡ樹脂（ポリエチレンビニルアセテート樹脂）などが使用される。
太陽電池モジュール２００の周縁部には、太陽電池セル２８などの受光面とはならない余白部分３０ａが設けられている。
【００２４】
なお、太陽電池モジュール２００は、太陽電池セル２８が１枚のみの構成でもよいし、太陽電池セル２８を複数枚直線的につないだ一のストリング２５のみでもよい。
【００２５】
このような太陽電池モジュール２００は、上記のように構成部材を積層しラミネート装置などにより、真空の加熱状態下で圧力を加え、ＥＶＡを架橋反応させてラミネート加工して得られる。
本実施形態１において、太陽電池モジュール２００の大きさは、縦１１５０ミリメートル、横２０００ミリメートルである。ただし、太陽電池モジュール２００の大きさは、この大きさより大きくても小さくてもよい。
【００２６】
また太陽電池モジュール２００としては、いわゆる結晶系だけでなく、いわゆる薄膜式の太陽電池を対象とすることができる。薄膜式の太陽電池モジュールは、結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけで、基本的な封止構造は前記した結晶系セルの場合と同じである。
【００２７】
＜２＞太陽電池の検査装置
＜２−１＞太陽電池の検査装置の全体構成
図２及び図３は本発明の実施形態１の太陽電池の検査装置の概略構成を示す図である。同図に示す本発明の太陽電池の検査装置１００Ａは、太陽電池モジュール２００のＥＬ検査により太陽電池の良否を判定可能に構成された検査装置である。なお、図示の便宜上、図２及び図３はそれぞれ構成の一部を省略して示している。例えば図３においては、後述する支持部材１０７Ａ、アクチュエータ１０５、リンク機構１０６等の図示を省略している。
この太陽電池の検査装置１００Ａは、「載置手段」としての搬送ガイド部材１０９と、「電源供給手段」としての電源供給部１１０と、「撮像手段」としてのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２と、移動手段１０４Ａと、「撮像位置制御手段」としての撮像位置制御部１２２と、「解析手段」としての解析部１２４と、コンピュータ１１４と、ディスプレイ１１７とを備えている。尚、撮像位置制御部１２２と解析部１２４は、コンピュータ１１４内に設けられている。
【００２８】
太陽電池の検査装置１００Ａは、図２に示すように、暗室を構成するための箱体１０１の上面に、四角形の開口部１０２が開口している。箱体１０１は各壁が遮光性の部材で箱型に構成され、上面の開口部１０２以外は内部に光が入らないように構成されている。なお、図２及び図３において、内部に光が入らないようにするための遮光手段は記載を省略してある。開口部１０２は、検査対象である太陽電池モジュール２００の大きさを考慮した大きさに構成されている。太陽電池モジュール２００は、この開口部１０２に周縁部が載置されて支持されるようになっている。
【００２９】
以下各部の構成について詳細に説明する。
【００３０】
＜２−２＞載置手段
箱体１０１の上部には、「搬送手段」としての一対の搬送ガイド部材１０９が設けられている。搬送ガイド部材１０９は、本発明の太陽電池の検査装置１００Ａ内に生産ライン上で製造過程の太陽電池モジュール２００を搬送するためのコンベア機能を有するローラコンベア１０９ａと、上方に突出したガイドレール１０９ｂとを有する。太陽電池モジュール２００は、両端の周縁部が搬送ガイド部材１０９のガイドレール１０９ｂにガイドされた状態で、ローラコンベア１０９ａ上を搬送される。太陽電池モジュール２００は、生産ラインでの前工程から太陽電池の検査装置１００Ａ上の所定の位置に搬送される。
【００３１】
＜２−３＞電源供給部
電源供給部１１０は、太陽電池モジュール２００に順方向の電流を供給する。
【００３２】
＜２−４＞撮像手段
支持部材１０７Ａには、太陽電池モジュール２００、及び太陽電池モジュール２００を構成する太陽電池セル２８の表面状態を撮像する「撮像手段」としての１２台のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２が配置されている（図３参照）。ここでは、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２は３行×４列のマトリクス状に配列されている。なお、以後説明を簡単にするため、特に区別の必要がある場合を除きカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２をカメラ１０３と記載する。カメラ１０３は、ＣＣＤカメラ、ＣＭＯＳカメラ等であって、ＥＬ発光の微弱な光を撮像できる高感度なものが望ましい。
【００３３】
＜２−５＞移動手段
移動手段１０４Ａは、昇降制御部１２５、アクチュエータ１０５、リンク機構１０６、支持部材１０７Ａからなり（図２参照）、太陽電池モジュール２００に対するカメラ１０３の位置を移動させる。具体的には、昇降制御部１２５がアクチュエータ１０５を動作させ、アクチュエータ１０５の作動によってリンク機構１０６が変形し、支持部材１０７Ａが上下動する。本実施形態１において、移動手段１０４Ａはカメラ１０３を等速で移動させてもよいし、移動速度を変化させてもよい。
【００３４】
箱体１０１の内部には、支持部材１０７Ａが配設されている。支持部材１０７Ａは板状を呈し、その支持部材１０７Ａ上にカメラ（後述）が所定の位置に配設されている。支持部材１０７Ａは、箱体１０１内部に設けられた、上下方向に伸びるガイド部材１０８により上下動自在に案内されるようになっている。そして、この支持部材１０７Ａは、リンク機構１０６を介してアクチュエータ１０５に接続されている。アクチュエータ１０５はサーボモータ等であり、昇降制御部１２５によって動作を制御される。アクチュエータ１０５のロッドが水平方向（図２の矢印方向）に進退することにより、リンク機構１０６を介して支持部材１０７Ａは垂直方向（図２の矢印方向）に上下動する。これにより、全てのカメラ（後述）が一体となって上下動する。
【００３５】
＜２−６＞コンピュータ
太陽電池の検査装置１００Ａには、コンピュータ（ＰＣ）１１４が設けられている。コンピュータ１１４は、イーサネットケーブル１１８や中継のハブ１１９を介して各カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２と接続し、それぞれの制御を行うと共にデータを受信する。また、コンピュータ１１４は、アクチュエータ１０５と信号線１２１で接続されていて、アクチュエータの動作制御を行う。
【００３６】
コンピュータ１１４は、機能手段として、「撮像位置制御手段」としての撮像位置制御部１２２、「画像合成手段」としての画像合成部１２３、「解析手段」としての解析部１２４、昇降制御部１２５を備えている。移動手段１０４Aは、昇降制御部１２５と、前述のアクチュエータ１０５、リンク機構１０６、支持部材１０７により構成される。また、コンピュータ１０４には「表示手段」としてのディスプレイ１１７が接続されている。以下これらについて詳述する。
【００３７】
＜２−６−１＞撮像位置制御部（シャッタ制御部）
撮像位置制御部１２２には、それぞれのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２のそれぞれの焦点距離及びシャッタスピード及び撮像開始位置及び撮像終了位置が格納されている。そして、撮像位置制御部１２２は、それぞれのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２の撮像位置において撮像する様シャッタを制御する。本実施形態１においては、全てのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２のシャッタを一斉に連続的に切り続ける。撮像位置制御部１２２は、全てのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２を、シャッタスピードの時間間隔で切れ目なく撮像させてもよいし、シャッタスピードよりも長い時間間隔で撮像させてもよい。
【００３８】
＜２−６−２＞画像合成部
画像合成部１２３は、カメラ１０３によって撮像された画像を合成して一の評価用画像を形成する。具体的には、それぞれのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２が複数の位置で撮像した複数の画像を組み合わせて一の評価用画像を形成する。
【００３９】
＜２−６−３＞解析部
解析部１２４は、画像合成部１２３が形成した評価用画像を解析し、解析結果に基づいて太陽電池モジュール２００の良否を判定する。ここで、カメラ１０３は、ＥＬ発光している太陽電池モジュール２００の表面を撮像する。そして、解析部１２４は、評価用画像の明暗状態を解析することで、太陽電池モジュール２００の良否を判定する。
【００４０】
＜２−６−４＞昇降制御部
昇降制御部１２５は、アクチュエータ１０５を動作させる。これにより、アクチュエータ１０５が作動されて支持部材１０７Ａが上下動し、カメラ１０３が上下動する。昇降制御部１２５はアクチュエータ１０５の動作量及び動作速度（即ちカメラ１０３の移動開始位置及び移動終了位置並びに移動速度）を設定する。なお、撮像位置制御部１２２に格納されるカメラ１０３の撮像開始位置及び撮像終了位置は、いずれもカメラ１０３の移動開始位置及び移動終了位置の間に存在する。昇降制御部１２５は、アクチュエータ１０５の動作量をコンピュータ１０４の撮像位置制御部１２２に送信する。
【００４１】
＜２−７＞ディスプレイ
ディスプレイ１１７は、ＬＣＤ等であり、コンピュータ１０４の処理対象や処理結果が表示される。具体的には、画像合成部１２３が合成した評価用画像や、解析部１２４が解析した太陽電池モジュール２００の評価結果等が表示される。
【００４２】
＜３＞太陽電池の検査装置の基本情報の設定について
図４は、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ａの基本情報の設定工程を示すフローチャートである。以下、このフローチャートに基づいて太陽電池の検査装置１００Ａの設定について説明する。なお、以下ステップＳ１〜Ｓ５の検出や設定は、基本的にコンピュータ１１４の各構成手段の制御のもとに自動的に行われるが、これらを検査者が行っても良い。
【００４３】
＜Ｓ１＞最大移動速度設定
昇降制御部１２５には、最大移動速度の設定が行われる。最大移動速度は、所定時間の間に、一対の搬送ガイド部材１０９に載置した際の太陽電池モジュール２００の撓み量（本実施形態における、縦１１５０ミリメートル、横２０００ミリメートルの太陽電池モジュール２００においてはおよそ２０ミリメートル程度）に等しい距離を移動可能な速度に設定することが望ましい。
【００４４】
＜Ｓ２＞撓み量Ｆ設定
まず、太陽電池の検査装置１００Ａの撮像位置制御部１２２には、図２に示す、太陽電池モジュール２００の撓み量Ｆを設定する。撓み量Ｆは、ステップＳ１と同様、一対の搬送ガイド部材１０９に載置した際の太陽電池モジュール２００の最大撓み量に一定の値を加算した値に設定される。なお、撓み量Ｆはコンピュータ１１４によって計算した値又は計測によって得られた値に基づいて設定されてもよい。この撓み量Ｆのデータは昇降制御部１２５及び撮像位置制御部１２２に供給され、後述するカメラ１０３の撮像開始位置及び撮像終了位置の決定の基準となる。
【００４５】
＜Ｓ３＞撮像開始位置設定，＜Ｓ４＞撮像終了位置設定
次に、撮像位置制御部１２２は、図２に示す、カメラ１０３の撮像開始位置を設定する。実施形態としては、全てのカメラ１０３において同一の撮像開始位置と撮像終了位置としても良い。また後述の実施形態４、実施形態５のように各カメラ１０３毎に撮像開始位置と撮像終了位置を個別に設定する形態としても良い。本実施形態の説明では、全てのカメラにおいて同一の撮像開始位置と撮像終了位置としている。
【００４６】
撮像位置制御部１２２は、撮像開始位置Ｐ１と撮像終了位置Ｐ２を、ステップＳ２で設定された撓み量Ｆおよび撮像手段としてのカメラ１０３の焦点位置により設定する。
【００４７】
＜Ｓ５＞移動速度及び撮像の時間間隔設定
次に、昇降制御部１２５は、カメラ１０３の移動速度及び撮像の時間間隔を設定する。カメラ１０３の移動速度は、ステップＳ１で設定した最大移動速度を超えない範囲で任意に設定可能とする。従って、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ａの撮影工程や性能評価に要する時間が前後の工程に支障をきたさない範囲で移動を完了できるように、任意に設定する。
カメラ１０３は、連続的に撮像を行う。昇降制御部１２５は、カメラ１０３の連続撮像の時間間隔、即ち、カメラ１０３が一の撮像を開始してから次の撮像を開始するまでの時間間隔を設定する。この時間間隔は、カメラ１０３が移動しながら連続的に撮像する際に、撮像間隔が長すぎて撮像画像の形成や合成が困難にならない程度であればよい。最短の撮像間隔は、シャッタスピードとして切れ目なく撮像することでもよい。この場合は、撮像画像のデータ量が大きくなりすぎることのない様、撮像開始位置と撮像終了位置との間隔を短くするなどの配慮をすることが好ましい。
【００４８】
＜４＞太陽電池の検査装置の動作について
図５は、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ａの動作工程を示すフローチャートである。以下、このフローチャートに基づいて太陽電池の検査装置１００Ａの動作工程について説明する。
【００４９】
＜Ｓ１１＞各カメラ移動開始
まず、前工程から本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ａ上に搬入された太陽電池モジュール２００は、搬送ガイド部材１０９のローラコンベア１０９ａにより前工程から搬送され、図２に示すように太陽電池の検査装置１００Ａの開口部１０２上の所定位置に配設される。このとき、太陽電池モジュール２００は、透明カバーガラス２１側（つまり太陽電池セル２８の受光面側）が下を向いた状態で開口部１０２上に配設される。電源供給部１１０は太陽電池モジュール２００の太陽電池セル２８に順方向の電流を通電させる。コンピュータ１１４は、カメラ１０３及び支持部材１０７Ａを撮像開始位置Ｐ１に移動させる。
【００５０】
＜Ｓ１２＞各カメラ撮像開始
この状態で、撮像位置制御部１２２は撮像開始位置からカメラ１０３の撮像を開始する。カメラ１０３は太陽電池モジュール２００に近づく方向に移動する。撮像位置制御部１２２は、全てのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２が、ステップＳ５で設定した所定の時間間隔でシャッタを一斉に連続的に切り続けるように制御信号を転送する。
【００５１】
＜Ｓ１３＞移動終了、撮像終了
昇降制御部１２５は、撮像終了位置に到達するまで、カメラ１０３及び支持部材１０７Ａを移動させる。カメラ１０３が撮像終了位置に到達したら、昇降制御部１２５はカメラ及び支持部材１０７Ａの移動を停止させ、撮像位置制御部１２２はカメラ１０３の撮像を終了させる。
【００５２】
＜Ｓ１４＞各カメラの最適画像の抽出
画像合成部１２３は、個々のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２が撮像した全ての画像の中から最も高品位な画像（最もピントが合った画像、最も鮮明な画像など）を選択する。最も高品位な画像の選択は、周知の画像評価方法を用いて行う。
【００５３】
＜Ｓ１５＞評価用画像作成
撮像完了後、画像合成部１２３はステップＳ１５で抽出された複数の画像を合成して、一の評価用画像を形成する。
図６に、複数のカメラで撮像した画像を合成する工程を模式的に示す。まず、同図の（ａ）に示す通り、太陽電池モジュール２００の表面を複数のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２で撮像する。これにより、同図の（ｂ１）（ｂ２）に示すように複数の画像（同図においては、カメラ１０３１が撮像した画像１２６１、カメラ１０３２が撮像した画像１２６２）を得る。そして、同図の（ｃ）に示すように、それらの画像を組み合わせて一の評価用画像１２７を形成する。
【００５４】
なお、図６の（ａ）（ｂ１）（ｂ２）に示すように、本実施形態１においては、ステップＳ１４において、隣接するカメラ、例えばカメラ１０３１とカメラ１０３２同士が、周縁部の撮像領域を重複させる形で撮像している。そして、それぞれのカメラ１０３１が撮像した画像１２６１、カメラ１０３２が撮像した画像１２６２中、両者を違和感なく接合できるように切断位置を調整したのち、それら複数の画像を合成し、図６の（ｃ）に示すような一の評価用画像１２７を形成する。太陽電池モジュール２００上に存在した一のクラックが、隣接する画像１２６１，画像１２６２の境界部分にそれぞれクラックＬ１，Ｌ２として写っている場合も、合成の結果、元通り１本のクラックＬ３として形成される。
【００５５】
ところで、複数の画像を合成する際には、複数の画像の境界領域における位置合わせ処理を行うことが望ましい。本実施形態１での位置合わせ処理は、周知の手法である、画像を周波数領域に変換して行う方法や、画像中の特徴点を抽出してその対応を利用する方法や、領域ベースマッチング等の方法が考えられる。
また、複数の画像を合成する際、境界部分の画像同士のつながりの不自然さを解消するためには、位置あわせ処理の他に、境界部分での画像再形成処理を行うことが望ましい。画像再形成処理においては、周知の手法である、ＭＡＸ法、ＩＢＰ法、周波数領域手法、ＰＯＣＳ法等を用いる。
【００５６】
＜Ｓ１６＞画像解析・性能評価
解析部１２４は、評価用画像の評価を行う。具体的には、太陽電池モジュール２００の太陽電池セル２８あるいは太陽電池モジュール２００全体についてＥＬ発光の状態を確認する。評価対象である太陽電池セル２８又は太陽電池モジュール２００全体の面積に対し、発光していない箇所の面積が所定比率以上あった場合は、当該太陽電池モジュール２００は不良品と判定する。
【００５７】
＜Ｓ１７＞結果表示
解析部１２４は、評価の結果（結果の良否や、評価用画像のイメージ情報）をディスプレイ１１７に表示させる。検査者は、ディスプレイ１１７に表示された情報に基づいて検査結果を把握できる。
以上、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ａにおいては、太陽電池モジュール２００をＥＬ発光させる性能評価において、高品位な画像を容易に得て精度の高い評価を行うことを可能にする。
【００５８】
［発明の実施形態２］
図７に本発明の実施形態２を示す。
図７に示す通り、本実施形態２の太陽電池の検査装置１００Ｂは、実施形態１の移動手段１０４Ａに代えて、移動手段１０４Ｂを備える。移動手段１０４Ｂは、リンク機構１０６と上下方向に移動する支持部材１０７Ａとに代えて、水平方向に移動する支持部材１０７Ｂを備える。カメラ１０３は全て支持部材１０７Ｂの移動方向に光軸が向くように配置され、カメラ１０３の光軸方向には、鏡面が斜め上方向を向いたミラー１２８が設けられている。実施形態１のガイド部材１０８は設けられていない。その他の構成は実施形態１と同じである。
【００５９】
本実施形態２においては、支持部材１０７Ｂを水平方向に移動させ、ミラー１２８とカメラ１０３の距離を変化させることで太陽電池モジュールの撮像を行う。これにより、図７に示す、太陽電池の検査装置１００Ｂの高さＴ２は、図２に示す、実施の形態１の太陽電池の検査装置１００Ａの高さＴ１よりも低く設定できる。
【００６０】
［発明の実施形態３］
図８に、本発明の実施形態３を示す。
図８に示す通り、本実施形態３の太陽電池の検査装置１００Ｃは、実施形態１の移動手段１０４Ａに代え、移動手段１０４Ｃを備えている。この移動手段１０４Ｃは、個々のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２に、アクチュエータ１０５１，１０５２，・・・１０５１２とリンク機構１０６１，１０６２，・・１０６１２とがそれぞれ個別に設けられている。撮像位置制御部１２２には、太陽電池モジュール２００の撓み形状のデータが格納される。昇降制御部１２５は、個々のアクチュエータ１０５１，１０５２，・・・１０５１２をそれぞれ別個独立に移動させることができる。従って、個々のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２はそれぞれ別個独立に上下方向に移動する。実施形態１のガイド部材１０８は存在しない。それ以外の構成は、実施形態１と同じである。
【００６１】
本実施形態３の太陽電池の検査装置１００Ｃも、図４及び図５４のフローチャートに基づいて動作が行われるが、図４のステップＳ１，Ｓ４，Ｓ５の手順は行われない。また、個々のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２は、ステップＳ１１において上述の太陽電池モジュール２００の撓み形状のデータを用いて、太陽電池モジュール２００に対して焦点距離の合う撮像位置に一斉に移動する。この状態で全てのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２がステップＳ１２の撮像を行えば、撮像は１回だけで完了する（ステップＳ１３）。そのため、太陽電池の検査装置１００Ｃが撮像に要するデータ量を少量に抑えることができる。そして、ステップＳ１６においては、同時に撮像された画像を用いて評価用画像を形成する。そのため、太陽電池モジュール２００の発光状態にムラが発生しにくく、評価用画像の形成を容易に行うことができる。
【００６２】
［発明の実施形態４］
図９乃至図１１に、本発明の実施形態４を示す。
本実施形態４の太陽電池の検査装置１００Ｄは、構成は実施形態１と同じである。しかし、図５に示すステップＳ１２の撮像において、前記太陽電池モジュール２００の中央部に対向するカメラ１０３と周辺部に対向するカメラ１０３とで、撮像開始位置及び撮像終了位置を変化させる点が実施形態１と相違する。
【００６３】
図１０は、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ｄにおける、太陽電池モジュール２００とカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２の位置関係及びカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２のグループ分けを模式的に示した図である。図１１は、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ｄにおける、グループ毎のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２の撮像開始位置及び撮像終了位置を模式的に示した図である。
【００６４】
撮像位置制御部１２２は、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２を、中央部に設けられたグループＡのカメラ（図１０の「Ａ」で示すカメラ１０３６，１０３７）と周辺部に設けられたグループＢのカメラ（図１０の「Ｂ」で示すカメラ１０３１〜１０３５，１０３８〜１０３１２）にグループ化し、それぞれのグループ毎に撮像開始時間と撮像終了時間とを設定する。図１１は、図１０のＸ方向から見た図面である。図１１に示す通り、グループＡの撮像手段は、撮像開始位置Ｐ１ａ、撮像終了位置Ｐ２ａとして撮像する。グループＢの撮像手段は、撮像開始位置Ｐ１ｂ、撮像終了位置Ｐ２ｂとして撮像する。したがって撮像開始位置と撮像終了位置の間隔を短く設定することができる。
【００６５】
このように、太陽電池モジュール２００の中央部に対向するカメラ１０３６，１０３７と太陽電池モジュール２００の周辺部に対向するカメラ１０３１〜１０３５，１０３８〜１０３１２とでグループ化し、グループ毎に撮像開始位置及び撮像終了位置を設定することにより、各カメラ１０３１〜１０３１２に高品位の画像を撮像可能な撮像位置でのみ撮像を行わせることができる。そして、無駄な撮像が不要になり、各カメラ１０３１〜１０３１２が撮像した最適画像の選択が容易になる。
【００６６】
［発明の実施形態５］
図１２及び図１３に、本発明の実施形態５を示す。図１２は、本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ｅにおける、太陽電池モジュール２００とカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１３の位置関係を示す図である。図１３は、太陽電池の検査装置１００Ｅにおける、各領域のカメラ１０３の撮像開始位置及び撮像終了位置を模式的に示した図である。
図１２に示す、符号１２９１，１２９２は、搬送ガイド部材１０９に載置された太陽電池モジュール２００の撓み量の等しい位置を結んで形成された仮想等高線を、支持部材１０７Ａ上に投射し平面視したものである。同図に示す通り、カメラ１０３１、カメラ１０３２〜１０３５、及びカメラ１０３５〜１０３１３は、平面視したときに、それぞれ仮想等高線１２９１，１２９２で区画された領域Ｑ、領域Ｒ、領域Ｓに設置されている。これにより、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１３の配置が太陽電池モジュール２００の撓みの度合いに近くなる。
各領域のカメラ１０３の撮像開始位置と撮像終了位置を図１３に示す。図１３は、図１２のＸ方向から見た図面である。領域Ｑのカメラ１０３１は、撮像開始位置Ｐ１ｑ、撮像終了位置Ｐ２ｑとして撮像する。領域Ｒのカメラ１０３（例えば図１３に示すカメラ１０３６）は、撮像開始位置Ｐ１ｒ、撮像終了位置Ｐ２ｒとして撮像する。領域Ｓのカメラ１０３（例えば図１３に示すカメラ１０３２）は、撮像開始位置Ｐ１ｓ、撮像終了位置Ｐ２ｓとして撮像する。従って、それぞれの領域Ｑ，Ｒ，Ｓ毎に配置されたカメラ１０３はほぼ同じタイミングで太陽電池モジュール２００に対して焦点距離が合う。そのため、領域Ｑ，Ｒ，Ｓ毎に、ほぼ同じタイミングで撮像した画像を合成して評価用画像を形成できるので、発光ムラ等の少ない良質な評価用画像を形成できる。
【００６７】
［発明の実施形態６］
図１４及び図１５にこの発明の実施形態６を示す。
本実施形態の太陽電池の検査装置１００Ｆは、「移動量検出手段」としての「移動量検出手段」としての第一の位置センサ１１３と、「撓み検出手段」としての第二の位置センサ１２０１，１２０２，・・・１２０１２とを有する。なお、図２及び図３の場合と同様に、図１４及び図１５はそれぞれ本実施形態の構成の一部を省略して示している。
第一の位置センサ１１３は例えば光位置センサであり、カメラ１０３や支持部材１０７Ａの位置や移動距離を検出する。第一の位置センサ１１３の検出結果は、カメラ１０３の移動量を計測するために用いられる。即ち、図５のステップＳ１１からＳ１３にかけて、昇降制御部１２５は第一の位置センサ１１３の検出情報に基づいてカメラ１０３の撮像開始、移動速度、移動終了等の制御を行う。
【００６８】
第二の位置センサ１２０１，１２０２，・・・１２０１２も例えば光位置センサである。第二の位置センサ１２０１，１２０２，・・・１２０１２は、垂直上方の太陽電池モジュール２００までの距離を計測する。即ち、図４のステップＳ２において、撮像位置制御部１２２は、第二の位置センサ１２０１，１２０２，・・・１２０１２の検出情報に基づいて太陽電池モジュール２００の撓み量Ｆを設定する。
このように、第一の位置センサ１１３、第二の位置センサ１２０１，１２０２，・・・１２０１２によって実際に計測した距離に基づいてカメラ１０３の撮像開始と撮像終了とを行わせることができる。これにより、カメラ１０３と太陽電池モジュール２００との焦点距離を確実に合わせることができて、高品位な評価用画像を確実に形成できる。
【００６９】
［発明の実施形態７］
図１６にこの発明の実施形態７を示す。
本実施形態７の太陽電池の検査装置１００Ｇにおける、カメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２の配置は本実施形態１と同じである。しかし、カメラ１０３による撮像に高画質モードと低画質モードが設けられている点が実施形態１と相違する。この「高画質モード」とは、高品位の評価用画像１２７を形成するモードであり、例えば、より解像度の高い評価用画像が必要な場合等に適用される。「低画質モード」は、低品位の評価用画像１２７を形成するモードであり、例えば、評価用画像を形成するデータ量を少なくしてコンピュータ１１４の処理負荷を小さくする場合等に適用される。両モードは、太陽電池の検査装置１００Ｇの使用者がコンピュータ１０４に入力すること等で選択される。
図１６の（ａ）は高画質モード選択時の撮像説明図で、図１６の（ｂ）は低画質モード選択時の撮像説明図である。
【００７０】
高画質モード時は、ステップＳ１２において撮像位置制御部１２２は全てのカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２に狭範囲の撮像を行わせる。例えば、図１６の（ａ）に示すように、縦１１５０ミリメートル、横２０００ミリメートルの太陽電池モジュール２００を高画質モードで撮像する場合を考える。この場合、撮像位置制御部１２２は、一のカメラ１０３が撮像する画像１２６は、太陽電池モジュール２００の縦方向を３等分、横方向を４等分した範囲よりも若干大きい、縦４１６．０２ミリメートル、横５５６．７６ミリメートルの範囲となる。その結果、ステップＳ１６にて形成される評価用画像１２７の解像度が密になり、解析部１２４において高精度の処理結果が得られる。
【００７１】
低画質モード時は、撮像位置制御部１２２は、特定のカメラ、例えば図１６の（ｂ）に示す、４台のカメラ１０３１，１０３４，１０３９，１０３１２（同図中、黒塗り表示した４つのカメラ）に広範囲の撮像を行わせる。例えば、図１６の（ａ）と同じ太陽電池モジュール２００を低画質モードで撮像する場合を考える。この場合、図１６の（ｂ）に示す通り、一のカメラ１０３が撮像する画像１２６は、太陽電池モジュール２００の縦方向を２等分、横方向を２等分した範囲よりも大きい、縦７９９．３ミリメートル、横１５２８．４ミリメートルの範囲となる。その結果、ステップＳ１６で形成される評価用画像１２７の解像度が粗くなり、解析部１２４の処理負荷は小さくなる。
例えば、太陽電池セルのマイクロフラックの様に細い線状の欠陥を特定したい場合は、高画質モードにて撮像し検査する。一方、太陽電池セルの欠けの様にある程度の面積を有する欠陥を検査したい場合には、低画質モードにて撮像し検査する。
【００７２】
なお、上記各実施形態では、コンピュータ１１４を１台のみとしたが、コンピュータを複数台用意して並行処理を行わせることもできる。例えば、上記各実施形態において、コンピュータを２台用意し、それぞれのコンピュータに撮像位置制御部１２２を設ける。そして、１２台のカメラ１０３１，１０３２，・・・１０３１２を６台ずつの２グループに分け、グループ毎に別のコンピュータの撮像位置制御部１２２に制御させる。そして、コンピュータ毎にステップＳ１６の評価用画像作成やステップＳ１７の評価を行う。このようにすることで、短時間で工程を完了させることが可能になる。
上記各実施形態は本発明の例示であり、本発明が上記実施形態のみに限定されることを意味するものではないことは、いうまでもない。
【符号の説明】
【００７３】
１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ，１００Ｇ：太陽電池の検査装置
１０３，１０３１，１０３２，・・・１０３１２，１０３１３：カメラ（撮像手段）
１０４Ａ，１０４Ｂ，１０４Ｃ：移動手段
１０５，１０５１，１０５２，・・・１０５１２：アクチュエータ
１０９：搬送ガイド部材（載置手段）
１１０：電源供給部（電源供給手段）
１１３：第一の位置センサ（距離計測手段）
１２０，１２０１，１２０２，：１２０１２第二の位置センサ（距離計測手段）
１２２：撮像位置制御部（撮像位置制御手段）
１２３：画像合成部（画像合成手段）
１２４：解析部（解析手段）
１２５：昇降制御部
１２７：評価用画像
１２９１，１２９２：仮想等高線
２００：太陽電池モジュール（太陽電池）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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