(57)【要約】【課題】  露光装置の設置床面積を小さくすることができる露光装置を提供すること。【解決手段】  光学エンジン３１と、軌道９Ｒｂと軸受け９Ｒａとからなる直線案内装置９Ｒにより第１のＸテーブル５Ｒ上をＹ方向に移動自在な第１のＹテーブル２０Ｒとからなり、該軸受け９Ｒａが該第１のＹテーブル２０ＲのＹ方向の長さの１／２未満を支持する第１のＸＹテーブルＲと、光学エンジン３１のＹ方向の左側に配置され、光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面Ｐに関して第１のＸＹテーブルＲと構成が対称である第２のＸＹテーブルＬと、を設け、第１のＹテーブル２０Ｒ又は第２のＹテーブル２０Ｌを露光位置に位置決めしたときに第１のＹテーブル２０Ｒ又は第２のＹテーブル２０Ｌを支持する、実質的な支持端（端面９Ｒａ１ｆ）が、対称面Ｐから１０ｍｍ以下になるように配置する。【選択図】図３
2012128039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を照射する光学エンジンとテーブル上に載置したワークとを相対的に移動させて前記ワークを露光する露光装置において、
前記光のＹ方向の照射幅が前記ワークのＹ方向の幅と同じである光学エンジンと、
前記光学エンジンのＹ方向の一方に配置され、前記Ｙ方向と直角なＸ方向に移動自在の第１のＸテーブルと、軌道と軸受けとからなる直線案内装置により前記第１のＸテーブル上をＹ方向に移動自在な第１のＹテーブルとからなり、該軸受けが該第１のＹテーブルのＹ方向の長さの１／２未満を支持する第１のＸＹテーブルと、
前記光学エンジンのＹ方向の他方に配置され、前記光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面に関して前記第１のＸＹテーブルと構成が対称である第２のＸＹテーブルと、
を設け、
前記第１のＹテーブル又は前記第２のＹテーブルを露光位置に位置決めしたときに前記第１のＹテーブル又は前記第２のＹテーブルを支持する、前記軸受け又は補助支持手段により決定される実質的な支持端が、前記対称面からの距離が＋１０ｍｍ以下に位置決めされるように配置する
ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第１のＹテーブル又は前記第２のＹテーブルを支持する、前記対称面に近い側の前記軸受けの前記対称面に近い側の端面を前記実質的な支持端とし、該実質的な支持端が前記対称面から＋１〜＋１０ｍｍの距離に位置決めされるように配置する
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記補助支持手段を、前記光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面を中心面とし、Ｘ方向の長さが前記第１のＹテーブルと前記第２のＹテーブルのＸ方向の移動範囲以上であるように設けた静圧空気軸受けとする、
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンマスクに代えて空間的光変調器（Digital Micromirror Device。以下、「ＤＭＤ」という。）等を用いて、表面に感光性ドライフィルムまたは液状レジスト等が塗布されたプリント基板等の露光対象物（以下、「ワーク」という。）に紫外光等の光により電気回路等を露光（描画）するマスクレスの露光装置（以下、「露光装置」という。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置は、露光手段（描画手段）である光学エンジン（露光ヘッド）に加えてＣＣＤカメラ等の撮像装置を備えている。そして、予めワークの表面に配置されたアライメントマークを撮像装置により読み取り（アライメント作業）、読み取ったアライメントマークの位置に基づいて露光する（露光作業）ことで、描画の位置精度を向上させている。露光手段である光学エンジンは高価であるため、ランニングコストを低減するためには光学エンジンの使用率を上げる必要がある。
【０００３】
そこで、１つの光学エンジンに対向する加工領域の両側に、それぞれ撮像装置を配置した第１と第２の撮像領域を設け、第１のＸＹテーブルは第１の撮像領域と加工領域内を、第２のＸＹテーブルは第２の撮像領域と加工領域内を、それぞれ移動できるようにしておき、アライメント作業が終了した第１のＸＹテーブル上または第２のＸＹテーブル上のワークのいずれか一方を光学エンジンによって露光する露光装置の技術が開示されている（特許文献１）。特許文献１の技術に依ればアライメント作業と露光作業とを並行して行えるので、光学エンジンの使用率が向上し、ランニングコストを低減することができた。
【０００４】
ところで、光学エンジンの焦点深度は３０μｍ程度であるため精度に優れる露光をするためには光学エンジンとワークとの距離を一定に保つ必要がある。特許文献１の露光装置の場合、第１のＸＹテーブルを構成する第１のＹテーブルのＹ方向の両側に軸受けを配置することにより、軌道上のいずれの位置においても第１のＸＹテーブルがＸＹ方向と直角なＺ方向に動くことはない。同様に、第２のＸＹテーブルもＺ方向に動くことはない。したがって、光学エンジンとワークとの距離は常に一定であり、高精度の描画（露光）を行うことができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２２３４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の露光装置の場合、光学エンジン４のＹ方向の露光幅をワークの最大幅に等しくすると、特許文献１の図３におけるＹの幅をワークの幅の３倍程度にすることができる。しかし、Ｙ方向に移動するＹテーブル（１ａｌ、１ａｒ）のＸ方向の長さはベース８のＸ方向の長さとほぼ同じであるため、Ｙ方向に移動するテーブルが重くなる。また、ワークの搬出装置は１個にできるが、ＸＹθテーブルの一方がワークを露光および搬出している間は他方はワークを搬入することができない。したがって、稼働率を上げるためにはＸＹθテーブルのそれぞれに搬入装置を設ける必要があった。
【０００７】
本発明の目的は、露光装置の設置床面積を小さくすると共に、ワークの搬入、搬出装置を１組あるいは搬入兼搬出装置として１台にすることができる露光装置を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、光を照射する光学エンジンとテーブル上に載置したワークとを相対的に移動させて前記ワークを露光する露光装置において、前記光のＹ方向の照射幅が前記ワークのＹ方向の幅と同じである光学エンジンと、前記光学エンジンのＹ方向の一方に配置され、前記Ｙ方向と直角なＸ方向に移動自在の第１のＸテーブルと、軌道と軸受けとからなる直線案内装置により前記第１のＸテーブル上をＹ方向に移動自在な第１のＹテーブルとからなり、該軸受けが該第１のＹテーブルのＹ方向の長さの１／２未満を支持する第１のＸＹテーブルと、前記光学エンジンのＹ方向の他方に配置され、前記光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面に関して前記第１のＸＹテーブルと構成が対称である第２のＸＹテーブルと、を設け、前記第１のＹテーブルと前記第２のＹテーブルを露光位置に位置決めしたときに前記第１のＹテーブルと前記第２のＹテーブルを支持する、前記軸受け又は補助支持手段により決定される実質的な支持端が、前記対称面からの距離が＋１０ｍｍ以下に位置決めされるように配置することを特徴とする。
このように本願発明においては装置をコンパクトのするために実質的に片持ち構造を採用したが、それにより発生するたわみの問題を上記の構成にすることにより解決した。
【０００９】
この場合、前記第１のＹテーブル又は前記第２のＹテーブルを支持する、前記対称面に近い側の前記軸受けの前記対称面に近い側の端面を前記実質的な支持端とし、該実質的な支持端が前記対称面から＋１〜＋１０ｍｍの距離に位置決めされるように配置することが好ましい。
【００１０】
また、前記補助支持手段を、前記光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面を中心面とし、Ｘ方向の長さが前記第１のＹテーブルと前記第２のＹテーブルのＸ方向の移動範囲以上であるように設けた静圧空気軸受けにすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
露光装置の設置床面積を小さくすると共に、ワークの搬入、搬出装置を１組あるいは搬入兼搬出装置として１台にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は本発明に係る露光装置の一部断面平面図である。
【図２】図２は本発明に係る露光装置の正面図である。
【図３】図３は図１のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図４はＹテーブル２０ＬとＹテーブル２０Ｒの位置を時系列で示す動作説明図である。
【図５】図５は本発明に係る他の露光装置の、図３に対応する図である。
【図６】図６は本発明に係るさらに他の露光装置の、図３に対応する図である。
【図７】図７は図６のＢ−Ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明を説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１は、本発明に係る露光装置１００の一部断面平面図、図２は正面図、図３は図１のＡ−Ａ断面図である。なお、ワーク２２のＹ方向の長さ（以下、単に「長さ」という。）をＳ、Ｘ方向の長さ（以下、「幅」という。）をＴとする。
図１に示すように、本露光装置１００は少なくとも光学エンジン３１及び搬送系に関してＹ方向に垂直な対称面Ｐを持ち、その対称面Ｐが中心面となるようにスケールホルダ２が配置されている。スケールホルダ２の左右の側面にはリニアスケール３Ｌ、３Ｒが配置されている。
軸受け４ａと軌道４ｂとからなる直線案内装置４の２対の軌道４ｂは、それぞれ対称面Ｐに関して対称となるようにしてベッド１上のＸ方向に配置されている。
制御装置４０は、各部の動作を制御する。また、ベース１に近接してワーク２２をＹテーブルに搬入する搬入装置５０とワーク２２をＹテーブルから搬出する搬出装置５１とが対称面Ｐがそれぞれの中心面となるように配置されている。
【００１５】
図２に示すように、Ｘテーブル５Ｒ、５Ｌの下面には軌道４ｂに係合する軸受け４ａがそれぞれ固定されている。
可動子６Ｒｍと固定子６Ｒｋとからなるリニアモータ６Ｒの固定子６Ｒｋはベッド１の上面に、可動子６ＲｍはＸテーブル５Ｒの下面に、それぞれ配置されている。リニアモータ６ＲはＸテーブル５Ｒを駆動する。可動子６Ｌｍと固定子６Ｌｋとからなるリニアモータ６Ｌの固定子６Ｌｋはベッド１の上面に、可動子６ＬｍはＸテーブル５Ｌの下面に、それぞれ配置されている。リニアモータ６ＬはＸテーブル５Ｌを駆動する。Ｘテーブル５Ｒのリニアスケール３Ｒと対向する位置にはドッグ７Ｒが配置されている。リニアスケール３Ｒはドッグ７ＲすなわちＸテーブル５Ｒの位置を検出する。Ｘテーブル５Ｌのリニアスケール３Ｌと対向する位置にはドッグ７Ｌが配置されている。リニアスケール３Ｌはドッグ７ＬすなわちＸテーブル５Ｌの位置を検出する。以上の構成であるから、Ｘテーブル５Ｌ、５Ｒはベッド１上をＸ方向に位置決め自在である。
【００１６】
Ｘテーブル５Ｒの上面には、ＸＹ面内を回転自在のＣ軸テーブル８Ｒが配置されている。Ｘテーブル５Ｌの上面には、ＸＹ面内を回転自在のＣ軸テーブル８Ｌが配置されている。Ｃ軸テーブル８Ｌの回転の中心は対称面Ｐに関してＣ軸テーブル８Ｒの回転の中心と（映進）対称である。Ｃ軸テーブル８Ｒ、８Ｌは、それぞれ図示を省略する駆動モータにより、０．０００５度の精度で回転方向に位置決め制御される。
【００１７】
Ｃ軸テーブル８Ｒの上面には、軸受け９Ｒａと軌道９Ｒｂとからなる直線案内装置９Ｒの軸受け９Ｒａが４個固定されている。４個の軸受け９Ｒａは、Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置（回転角度が０度）にあるとき、係合する軌道９ＲｂがＸ方向と直角なＹ方向になるようにして、Ｘ，Ｙ方向の方形の頂点の位置に位置決めされている。なお、軸受け９ＲａのＹ方向の位置については後述する。
【００１８】
Ｙテーブル２０Ｒの下面には軸受け９Ｒａに係合する軌道９Ｒｂが２個配置されている。Ｙテーブル２０Ｒの大きさはＹ方向が長さＳ、Ｘ方向が幅Ｔであり、ワーク２２の大きさと同じである。また、軌道９ＲｂのＹ方向の長さはＳである。Ｙテーブル２０Ｌの下面には軸受け９Ｌａに係合する軌道９Ｌｂが２個配置されている。Ｙテーブル２０Ｌの大きさはＹ方向が長さＳ、Ｘ方向が幅Ｔであり、ワーク２２の大きさと同じである。また、軌道９ＬｂのＹ方向の長さはＳである。以上の構成であるから、Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌは基準位置にあるＣ軸テーブル８Ｒ、８Ｌ上をＹ方向に移動自在である。そして、Ｘテーブル５ＲとＣ軸テーブル８ＲとＹテーブル２０Ｒとで第１のＸＹテ−ブルＲが、Ｘテーブル５ＬとＣ軸テーブル８ＬとＹテーブル２０Ｌとで第２のＸＹテ−ブルＬが、それぞれ構成されている。なお、Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌの待機位置と露光位置については後述する。
【００１９】
Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌの上面にはそれぞれテーブル２１が固定されている。テーブル２１の表面には図示を省略する多数の吸着穴が設けられている。被露光物であるワーク２２は吸着によりテーブル２１の表面に固定されている。
【００２０】
門型のコラム３０はベッド１の側面に固定されている。コラム３０のＸＹ方向の中心にはＸ、Ｙ方向に整列して配置された複数の光源（Ｘ方向は１列の場合もある。）を備える光学エンジン３１が配置されている。光学エンジン３１は光源列がＹ方向に垂直な対称面Ｐを持つように位置決めされている。駆動系３２は光学エンジン３１をＸＹ面に垂直なＺ方向に移動させる。なお、光学エンジン３１の移動範囲は２０ｍｍ程度である。
【００２１】
光学エンジン３１の側面に配置された支持部材３３にはワーク２２上に形成されたアライメントマークを読み取るための撮像装置３４が１個あるいは複数個（図示の場合２個）配置されている。
駆動系３５は撮像装置３４をＺ方向に移動させる。なお、撮像装置３４の焦点位置は、光学エンジン３１の焦点位置と同一になるように移動原点が調整されている。
【００２２】
次に、Ｙテーブル２０Ｒの待機位置と露光位置および軸受け９Ｒａの位置について説明する。
ここで、第２のＸＹテ−ブルＬは構成が第１のＸＹテ−ブルＲと対称面Ｐに関して対称である。そこで、第１のＸＹテ−ブルＲについて説明する。
図３（ａ）に示すように、１対の軸受け９Ｒａ１は、対称面Ｐに近い側の端面９Ｒａ１ｆが対称面Ｐから距離ｇだけ離れた位置になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒに固定されている。また、１対の軸受け９Ｒａ２は、対称面Ｐから離れた側の端面９Ｒａ２ｂが対称面Ｐから距離Ｓ／２だけ離れた位置になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒ上に固定されている。
Ｙテーブル２０Ｒの待機位置は、図３（ａ）に示すように、Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置にあるとき、Ｙテーブル２０Ｒの左端が対称面Ｐから距離ｇだけ右の位置、すなわち端面９Ｒａ１ｆと同一のＹ座標となる位置である。また、Ｙテーブル２０Ｒの露光（描画）位置は、図３（ｂ）に示すように、Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置にあるとき、Ｙテーブル２０Ｒの左端が対称面ＰからＳ／２左方となる位置である。また、Ｙテーブル２０Ｒが露光位置に位置決めされたとき、軌道９Ｒｂの右端のＹ座標は軸受け９Ｒａ２の端面９Ｒａ２ｂのＹ座標と一致する。なお、図中点線で示すように、第２のＸＹテ−ブルＬにおける軸受け９Ｌａ１は軸受け９Ｒａ１に、軸受け９Ｌａ２は軸受け９Ｒａ２に、また、軌道９Ｌｂは軌道９Ｒｂにそれぞれ対応する。
【００２３】
次に、距離ｇの値について説明する。
本発明では、距離ｇを０＜ｇ＜Ｓ／２に定めることができる。例えば、ｇ＝０とすると、待機位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｒと待機位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｌを対向させた場合（Ｘ座標を同じ値にした場合）Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｌの先端（対称面Ｐに近い側）は対称面Ｐ上で互いに接することになる。この場合、両者が干渉することはなり、実用的ではない。また、後述するように、ｇの値をＳ／２に近づけると、露光位置におけるＹテーブル２０Ｒ先端（左端）のＺ方向の変位が大きくなる。そこで、実用上、距離ｇ＝１〜１０ｍｍとすることが好ましい。
【００２４】
可動子１０Ｒｍと固定子１０Ｒｋとからなるリニアモータ１０Ｒの固定子１０Ｒｋは軌道９Ｒｂに平行になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒの上面に配置されている。可動子１０ＲｍはＹテーブル２０Ｒの下面に配置されている。リニアモータ１０ＲはＹテーブル２０Ｒを駆動する。
図示を省略するが、可動子１０Ｌｍと固定子１０Ｌｋとからなるリニアモータ１０Ｌの固定子１０Ｌｋは軌道９Ｌｂに平行になるようにしてＣ軸テーブル８Ｌの上面に配置されている。可動子１０ＬｍはＹテーブル２０Ｌの下面に配置されている。リニアモータ１０ＬはＹテーブル２０Ｌを駆動する。
【００２５】
なお、図１におけるベース１の下端（搬入装置５０側）から撮像装置３４の中心までのＸ方向の距離と、撮像装置３４の中心から光学エンジン３１の中心までのＸ方向の距離と、光学エンジン３１の図における下端からベース１の上端（搬出装置５１側）までのＸ方向の距離は、それぞれ幅Ｔ以上である。以下、図１におけるベース１の下端から撮像装置３４の中心までの領域を搬入領域Ｄと、撮像装置３４の中心から光学エンジン３１の下端までの領域を露光領域Ｅと、光学エンジン３１の下端からベース１の上端までの領域を搬出領域Ｆという。
【００２６】
次に、この実施例の動作を説明する。
図４は、Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｌの位置を時系列で示す動作説明図である。
加工開始に先立ち、露光位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｌを搬入領域Ｄに、待機位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｒを搬出領域Ｆに位置決めしておく。
手順１．Ｙテーブル２０Ｌにワーク２２を載置する。Ｙテーブル２０Ｒは待機させる。（同図ａ）
手順２．Ｙテーブル２０Ｌを露光領域Ｅに移動させ、ワーク２２上のアライメントマークの位置を読み取る。Ｙテーブル２０Ｒは待機させる。（同図ｂ）
なお、アライメントマークの位置を読み取る際、焦点合わせのために撮像装置３４をｚ方向に移動させると、その移動量に合わせて光学エンジン３１もｚ方向に移動するので、光学エンジン３１の焦点位置も最適な値に設定される。
手順３．Ｙテーブル２０Ｌを待機位置に位置決めする。Ｙテーブル２０Ｒは待機させる。（同図ｃ）
手順４．Ｙテーブル２０Ｌを待機させる。この状態で、Ｙテーブル２０Ｒを搬入領域Ｄに移動させる（同図ｄ）
手順５．Ｙテーブル２０Ｌを露光位置に位置決めする。Ｙテーブル２０Ｒを露光位置に位置決めする。（同図ｅ）
手順６．読み取ったアライメントマークの位置に基づいてＣ軸テーブル８Ｌを回転させ、ワーク２２の傾きを補正する。その後、Ｙテーブル２０Ｌを搬出領域Ｆの方向に移動させながらワーク２２を露光する。そして、露光が終了したら、搬出装置５１により、Ｙテーブル２０Ｌ上のワーク２２を搬出する。また、Ｙテーブル２０Ｒにワーク２２を載置した後、Ｙテーブル２０Ｒを露光領域Ｅに移動させ、ワーク２２上のアライメントマークの位置を読み取る。（同図ｆ）
なお、手順６においては、Ｙテーブル２０ＲがＹテーブル２０Ｌに衝突しないようＹテーブル２０ＲのＸ方向の位置を制御する。
手順７．Ｙテーブル２０Ｌを待機位置に位置決めすると共にＣ軸テーブル８Ｌを基準位置に位置決めする。また、Ｙテーブル２０Ｒを待機位置に位置決めする。（同図ｇ）
手順８．Ｙテーブル２０Ｌを搬入領域Ｄに移動させる。Ｙテーブル２０Ｒは待機させる。（同図ｈ）
手順９．Ｙテーブル２０Ｌを露光位置に位置決めし、Ｙテーブル２０Ｌにワーク２２を載置する。その後、Ｙテーブル２０Ｌを露光領域Ｅに移動させ、ワーク２２上のアライメントマークの位置を読み取る。また、Ｙテーブル２０Ｒを露光位置に位置決めし、読み取ったアライメントマークの位置に基づいてＣ軸テーブル８Ｒを回転させ、ワーク２２の傾きを補正する。その後、Ｙテーブル２０Ｒを搬出領域Ｆの方向に移動させながらワーク２２を露光する。そして、露光が終了したら、搬出装置５１により、Ｙテーブル２０Ｒ上のワーク２２を搬出し、Ｙテーブル２０Ｒを待機位置に位置決めすると共にＣ軸テーブル８Ｒを基準位置に位置決めする。
なお、手順９においては、Ｙテーブル２０ＬがＹテーブル２０Ｒに衝突しないようＹテーブル２０ＬのＸ方向の位置を制御する。
そして、手順９が終了すると、Ｙテーブル２０ＬとＹテーブル２０Ｒは同図ｂに示す状態に戻る。以下、未加工のワーク２２が無くなるまで手順３〜手順９の動作を繰り返す。
【００２７】
この実施例では、待機位置におけるＹテーブルＲの右端を対称面Ｐから（Ｓ＋ｇ）の距離にすることができる。したがって、ベース１の対称面ＰからＹ方向の両端までの距離も（Ｓ＋ｇ）にすることができる。すなわち、露光装置１００の幅をワーク２２の幅の約２倍にすることができるので、露光装置１００を小型にすることができる。
【００２８】
また、Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｌは互いに独立してワーク２２の搬入装置と搬出装置に位置決めできるので、搬入装置と搬出装置を１組あるいは搬入兼搬出装置として１台にすることができる。
以下、１組の搬入装置と搬出装置代えて１台の搬入兼搬出装置を採用する場合について補足説明する。
例えば、図１における搬入装置５０の位置に１台の搬入兼搬出装置を配置する場合、上記搬出領域Ｆを待機領域として使用し、上記手順６におけるＹテーブル２０Ｌ上のワーク２２を搬出せず、手順９において露光が終了したワーク２２を搬出した後、Ｙテーブル２０Ｌにワーク２２を載置する。
同様に、Ｙテーブル２０Ｒの場合は、手順９において露光が終了したワーク２２を搬出せず、２回目以降の手順６において露光が終了したワーク２２を搬出した後、Ｙテーブル２０Ｌにワーク２２を載置する。
【実施例２】
【００２９】
次に、本発明の他の実施例を説明する。
図５は本発明の他の実施例を説明する図であり、（ａ）はＹテーブル２０Ｒが待機位置に位置決めされた場合を、（ｂ）はＹテーブル２０Ｒが露光位置に位置決めされた場合を、それぞれ示している。すなわち、図５は実施例１の図３に対応する図である。
実施例１では軸受け９Ｒａ、９ＬａをそれぞれＣ軸テーブル８Ｒ、８Ｌに配置し、Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌの下面にそれぞれ軌道９Ｒｂ、９Ｌｂを配置したが、この実施例では、Ｃ軸テーブル８Ｒ、８Ｌに軌道９Ｒｂ、９Ｌｂを配置し、Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌの下面に軸受け９Ｒａ、９Ｌａを配置している。すなわち、第１のＸＹテーブルＲを例にとって説明すると、図５（ａ）に示すように、長さをＳの軌道９Ｒｂを、基準位置に位置決めしたＣ軸テーブル８Ｒ上、左端面が対称面Ｐから距離ｇとなるように配置する。また、待機位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｒ下面の対称面Ｐから（Ｓ／２＋ｇ）の位置に軸受け９Ｒａ１の端面９Ｒａ１ｆを、対称面Ｐから（Ｓ＋ｇ）の位置に軸受け９Ｒａ２の端面９Ｒａ２ｂを、それぞれ配置する。
このようにすると、図５（ｂ）に示すように、Ｙテーブル２０Ｒが露光位置に位置決めされたとき、軸受け９Ｒａ１と軸受け９Ｒａ２のＹ方向の位置は実施例１における軸受け９Ｒａ１と軸受け９Ｒａ２と同じ位置になる。すなわち、この実施例の場合も、待機位置におけるＹテーブルＲの右端は対称面Ｐから（Ｓ＋ｇ）の距離であるので、露光装置１００の幅をワーク２２の幅の約２倍にすることができる。また、Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｌを互いに独立してワーク２２の搬入装置と搬出装置に位置決めできるので、搬入装置と搬出装置を１組あるいは搬入兼搬出装置として１台にすることができる。なお、動作は実施例１と同じであるので、重複する説明を省略する。
【００３０】
ところで、実施例１の場合は軌道９Ｒｂ、９ＬｂがそれぞれＹテーブル２０Ｒ、２０Ｌの強度メンバーになり得るのに対して、実施例２の場合は軌道９Ｒｂ、９ＬｂがそれぞれＣ軸テーブル８Ｒ、８Ｌに配置される。したがって、Ｙテーブル２０Ｒ、２０Ｌの構造が同じである場合、実施例２におけるＹテーブル２０Ｒ、２０Ｌ先端の露光位置におけるＺ方向の変位は実施例１よりも大きくなることがある。
【実施例３】
【００３１】
次に、本発明のさらに他の実施例を説明する。
図６は本発明のさらに他の実施例を説明する図であり、実施例１の図３に対応する図である。また、図７は図６のＢ−Ｂ断面図である。なお、露光装置１００の平面図および正面図は、実施例１の図１，図２から容易に理解できるので、図示を省略する。また、実施例１と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。
この実施例では、実施例１におけるスケールホルダ２に代わる静圧空気軸受け６１がベッド１のＹ方向に垂直な対称面Ｐを中心とするように配置されている。静圧空気軸受け６１のＸ方向の長さは、Ｙテーブル２０Ｒ、２０ＬのＸ方向の移動範囲以上である。
【００３２】
図６に示すように、静圧空気軸受け６１は、金属等の気密材で形成された保持体６１ａと多孔質材料６１ｂ（ここでは、多孔質セラミックス）とから形成されている。保持体６１ａの中空部６１ｃは図示を省略する圧縮空気源に接続されている。そして、中空部６１ｃに供給された圧縮空気は多孔質材料６１ｂを通り、図の上方に噴出する。保持体６１ａはベース１の上面に固定されている。多孔質材料６１ｂの幅（Ｙ方向の長さ）はＨｍｍである。静圧空気軸受け６１の左右の側面には、リニアスケール３Ｌ、３Ｒが配置されている。
【００３３】
次に、静圧空気軸受け６１とＹテーブル２０Ｒ、２０Ｌとの関係について説明する。なお、この実施例においても、ＸＹテ−ブルＬは構成が第１のＸＹテ−ブルＲと対称面Ｐに関して対称である。そこで、静圧空気軸受け６１とＹテーブル２０Ｒとの関係について説明する。
Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置にあるとき、Ｃ軸テーブル８Ｒは左端が対称面Ｐから距離ｋとなる位置に配置される。なお、距離ｋはＣ軸テーブル８Ｒが角度θ回転したときにＹテーブル２０ＲのＸ方向の端部が保持体６１ａの右側面と干渉しない値に定められる。
【００３４】
１対の軸受け９Ｒａ１は、対称面Ｐに近い側の端面９Ｒａ１ｆが対称面Ｐから距離ｋだけ離れた位置になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒに固定されている。また、１対の軸受け９Ｒａ２は、対称面Ｐから離れた側の端面９Ｒａ２ｂが対称面Ｐから距離Ｓ／２だけ離れた位置になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒ上に固定されている。
【００３５】
Ｙテーブル２０Ｒの長さはＳである。そして、待機位置は、Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置にあるとき、実施例１の場合と同様に、Ｙテーブル２０Ｒの左端が対称面Ｐから距離ｇとなる位置である。また、Ｙテーブル２０Ｒの露光位置は、Ｃ軸テーブル８Ｒが基準位置にあるとき、Ｙテーブル２０Ｒの左端が対称面ＰからＳ／２左方となる位置である。Ｙテーブル２０Ｒの下面には１対の長さがＳである軌道９Ｒｂが固定されている。Ｙテーブル２０Ｒが待機位置にあるとき、軌道９Ｒｂは左端が対称面Ｐからｇの位置、右端が対称面ＰからＳ＋ｇの位置である。したがって、Ｙテーブル２０Ｒが露光位置に位置決めされたとき、軌道９Ｒｂの右端のＹ座標は軸受け９Ｒａ２の右端９Ｒａ２ｂのＹ座標に一致する。
【００３６】
Ｙテーブル２０Ｒの下面には断面が方形のサポート２３Ｒが固定されている。サポート２３ＲはＹ方向の左端がＹテーブル２０Ｒの左端と同一面に配置され、Ｙ方向の全長は（Ｓ／２＋Ｈ／２）ｍｍ以上である。また、図７に示すように、サポート２３Ｒは２対の軸受け９Ｒａ１、９Ｒａ２から等距離となるように配置されている。サポート２３Ｒの下面（多孔質材料６１ｂに対向する面）は鏡面に仕上げられている。サポート２３Ｒは、下面から多孔質材料６１ｂの上面までの距離が２μｍになるようにしてＹテーブル２０Ｒに固定されている。なお、同図に示すように、軌道９Ｒｂの下面はサポート２３Ｒの下面よりも上方となるように配置される。
【００３７】
可動子１０Ｒｍと固定子１０Ｒｋとからなるリニアモータ１０Ｒの固定子１０Ｒｋは軌道９Ｒｂに平行になるようにしてＣ軸テーブル８Ｒの上面に配置されている。可動子１０ＲｍはＹテーブル２０Ｒの底面の固定子１０Ｒｋに対向する位置に配置されている。リニアモータ１０ＲはＹテーブル２０Ｒを駆動する。なお、この実施例の場合、Ｙテーブル２０Ｒ、２０ＬのＸ方向の長さはＴよりも若干長くなる。
以上の構成であるから、Ｃ軸テーブル８Ｒ、８Ｌが基準位置にあるとき、実施例１，２の場合と同様に、待機位置に位置決めしたＹテーブル２０Ｒ、２０ＬのＸ座標を同一にして互いに対向させた場合の両者間の距離は２ｇである。そして、実施例１、２の場合と同様に、距離ｇをｇ＝１〜１０ｍｍとすることが好ましい。
【００３８】
この実施例ではＹテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｌの軸受け９Ｒａ１、９Ｌａ１からオーバーハングする部分を静圧空気軸受け６１により支持するように中空部６１ｃに供給する圧縮空気の圧力及び流量を調整すると、露光位置におけるＹテーブル２０Ｒ、２０Ｌの実質的なオーバーハング長さは（Ｓ／２−Ｈ／２）になる。したがって、本実施例では、露光時におけるＹテーブル２０Ｒ、２０Ｌの自由端側のＺ方向の変位を実施例１、２の場合に比べて小さくすることができる。そして、この実施例の場合も、待機位置におけるＹテーブルＲの右端は対称面Ｐから（Ｓ＋ｇ）の距離であるので、露光装置１００の幅をワーク２２の幅の約２倍にすることができる。また、Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０Ｒは互いに独立してワーク２２の搬入装置と搬出装置に位置決めできるので、搬入装置と搬出装置を１組あるいは搬入兼搬出装置として１台にすることができる。なお、動作は実施例１と同じであるので、重複する説明を省略する。
【００３９】
次に、本発明においてはＹテーブル２０Ｒが基本的に片持ち状態であるため、Ｚ方向の変位（たわみ）が発生し得るが、その影響について説明する。
Ｙテーブル２０ＲのＸＺ面における断面形状がＹ方向に関して一定であるとすると、Ｙテーブル２０ＲにはＹ方向に関してＹテーブル２０Ｒの自重とワーク２２の重量が等分布荷重として加わる。いま、「片持ち梁の自重によるたわみ」と仮定し、梁の長さをＱ、梁左端のＺ方向の変位（最大たわみ）をδとすると、下記式１で表される。
δ＝（３ρＱ４）／（２ｈ２Ｅ）  ・・・・（式１）
ここで、梁の密度をρ、ヤング率をＥ、Ｚ方向の高さ（厚さ）をｈとした。
鉄系ステンレスの場合、密度ρ＝８０００ｋｇ／ｍ３、ヤング率Ｅ＝２００ＧＰａである。
【００４０】
Ｙテーブル２０Ｒの長さＳ×幅Ｔが６００ｍｍ×５００ｍｍとし、材質を鉄系ステンレスとして、上記「片持ち梁の自重によるたわみ」モデルを用いて最大たわみδを検討する。
まず、実施例１又は２の場合軸受け９Ｒａ１の対称面Ｐに近い側の端面９Ｒａ１ｆが実質的な支持端（固定端）と考えられ、実質的な支持端の対称面Ｐからの距離Ｇ＝ｇになる。従って、オーバーハング部分の長さはＱ＝Ｓ／２＋Ｇ＝Ｓ／２＋ｇ≦３００＋１０＝３１０ｍｍであるから、厚さを１４ｍｍ以上にすればδ＜２８μｍとなり、光学エンジン３１の焦点深度３０μｍよりも小さな値にすることができる。したがって、露光時にＹテーブル２０Ｒの左端が自由端であっても、鉄系ステンレスを用い、厚さを１４ｍｍ以上にすることにより高精度の露光をすることができる。ここで、ｇを１０ｍｍを超えた値にすることは最大たわみを焦点深度内に抑えるためにテーブル厚さをさらに厚くしなければならないため、実用的でない。
【００４１】
次に実施例３の場合ついて検討する。この場合実質的な支持端は静圧空気軸受の左端と考えられ、実質的な支持端の対称面Ｐからの距離Ｇ＝−Ｈ／２になる。従って、静圧空気軸受け６１の幅Ｈを１００ｍｍとするとオーバーハング部分の長さはＱ＝Ｓ／２＋Ｇ＝Ｓ／２−Ｈ／２＝３００−５０＝２５０ｍｍであるから、厚さを９ｍｍ以上にすればδ＜２９μｍになる。したがって、この場合はＹテーブル２０Ｒに鉄系ステンレスを用い、厚さを９ｍｍ以上にすることにより高精度の露光をすることができる。
【００４２】
なお、本発明では、Ｙテーブル２０ＲとＹテーブル２０ＬのＺ方向の高さは同一であり、水平方向にも離れているので、Ｙテーブルの一方の駆動系等から発生する塵が他方のＹテーブルの表面に付着することを予防できる。
【００４３】
また、上記各実施例ではＸテーブルとＹテーブルの間にＣ軸テーブルを設けたが、Ｃ軸テーブルは設けなくてもよい。
【００４４】
また、通常、露光装置では露光に最も時間を要するので、上記３つの実施例のようにワーク２２の長い方をＹ方向にすることにより加工能率を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４５】
５Ｌ  第２のＸテーブル
５Ｒ  第１のＸテーブル
９Ｒ，９Ｌ  直線案内装置
９Ｒａ，９Ｌａ  軸受け
９Ｒｂ，９Ｌｂ  軌道
９Ｒａ１ｆ，９Ｌａ１ｆ  端面
９Ｒａ２ｂ，９Ｌａ２ｂ  端面
２０Ｒ  第１のＹテーブル
２２  ワーク
３１  光学エンジン
Ｐ  対称面
Ｌ  第２のＸＹテーブル
Ｒ  第１のＸＹテーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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