(57)【要約】【課題】小型化や部品点数の削減による軽量化を図ることができるステッピングモータ、ＥＧＲバルブを提供すること。【解決手段】本発明は、ステッピングモータ３０において、極異方性に着磁された筒形状のマグネットロータ４０と、マグネットロータ４０に対して径方向の外側に配置された第１ステータ４２と、マグネットロータ４０に対して軸方向の外側に配置された第２ステータ４４と、を有し、マグネットロータ４０は、径方向の磁界を形成する第１ロータ部４６と、軸方向の磁界を形成する第２ロータ部５０とを一体的に備えること、を特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
極異方性に着磁された筒形状のマグネットロータと、
前記マグネットロータに対して径方向の外側に配置された第１ステータと、
前記マグネットロータに対して軸方向の外側に配置された第２ステータと、を有し、
前記マグネットロータは、前記径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、前記軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えること、
を特徴とするステッピングモータ。
【請求項２】
請求項１のステッピングモータにおいて、
前記第１ロータ部は前記径方向に開口する円弧状の磁化方向に着磁され、
前記第２ロータ部は前記軸方向に開口する円弧状の磁化方向に着磁されていること、
を特徴とするステッピングモータ。
【請求項３】
請求項１または２のステッピングモータにおいて、
前記マグネットロータは、前記第１ロータ部と前記第２ロータ部との間に設けられた非磁性体を備えること、
を特徴とするステッピングモータ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つのステッピングモータにおいて、
前記第１ロータ部は円筒形状に形成され、
前記第２ロータ部は前記第１ロータ部と中心軸を同じとする円盤形状に形成され、
前記第２ロータ部の内周面は、前記第１ロータ部の内周面よりも前記径方向の内側に位置すること、
を特徴とするステッピングモータ。
【請求項５】
エンジンの排気通路に接続し排気ガスを流入させる流入室と、前記エンジンの吸気通路に接続し前記排気ガスを流出させる流出室と、前記流入室と前記流出室との間にて開閉弁する弁体および弁座とを有するＥＧＲバルブにおいて、
極異方性に着磁した筒形状のマグネットロータと、前記マグネットロータに対して径方向の外側に配置された第１ステータと、前記マグネットロータに対して軸方向の外側に配置された第２ステータと、を備えるステッピングモータと、
前記弁体が取り付けられ前記ステッピングモータにより作動する作動軸と、を有し、
前記マグネットロータは、前記径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、前記軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えていること、
を特徴とするＥＧＲバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステータが形成する磁場によりマグネットロータを回転させるステッピングモータと、当該ステッピングモータを駆動部に備えるＥＧＲバルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、自動車に搭載されるガソリンエンジンやディーゼルエンジン等に採用される周知のＥＧＲバルブ（排気ガス再循環制御バルブ）がある。このＥＧＲバルブは、一般に、燃焼室から排気通路に排出される排気ガスの一部を吸気通路へ流して燃焼室へ再循環させることにより、燃焼室における燃料の燃焼温度を下げて排気ガス中に含まれる窒素酸化物（ＮＯｘ）を低減させるものである。このＥＧＲバルブは、燃焼室から排出される排気ガスの一部を排気通路から吸気通路へ流すための排気ガス再循環通路に設けられ、弁体を開閉させることにより、排気ガスの流れを制御する。そして、このＥＧＲバルブは駆動部に例えばステッピングモータを備え、このステッピングモータの駆動により弁体と弁座との間を開閉させて排気ガスの流れを制御する。
【０００３】
図１１は、従来のＥＧＲバルブ１００の断面図であって、主に駆動部１０２におけるステッピングモータ１０４を示す断面図である。この従来のステッピングモータ１０４は、円筒形状のマグネットロータ１０６と、マグネットロータ１０６の外周面１０８の外側に設けられた第１ステータ１１０と第２ステータ１１２とを有する。
【０００４】
また、特許文献１には、円筒形状の第１ロータと円盤形状の第２ロータとを有するステッピングモータが開示されている。そして、第１ロータは、第１ステータと第２ステータの内周面の内側に配置され、第１ステータの内周面と第２ステータの内周面の内側に形成する磁場によって回転駆動する。また、第２ロータは第２ステータと第３コイル部の間に挟まれるように配置され、第２ステータと第３コイル部がそれぞれ回転軸方向の端部に形成する磁場によって回転駆動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１２１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図１１に示す従来のステッピングモータ１０４は、マグネットロータ１０６の外周面１０８にて周方向に沿って磁極化しているだけである。そして、マグネットロータ１０６の外周面１０８に対して径方向（図１１の左右方向）の外側に、第１ステータ１１０と第２ステータ１１２とを軸方向（図１１の上下方向）に並べて配置している。そのため、マグネットロータ１０６の全体の高さが大きくなるので、ステッピングモータ１０４が大型化して、ＥＧＲバルブ１００が大型化してしまう。
【０００７】
また、マグネットロータ１０６は作動軸１１４を中心に外側に配置されているので、重量部分がステッピングモータ１０４の外側部分に集中して配置されていることになる。そのため、マグネットロータ１０６の回転時の慣性力（イナーシャ）が大きくなるので、ステッピングモータ１０４の応答性が低下してしまう。
【０００８】
また、ステッピングモータ１０４の上端部において作動軸１１４を支持するためのベアリング１１６を保持するために、別部品のベアリング保持プレート１１８が必要になる。そのため、ＥＧＲバルブ１００について、部品点数が増加し、重量が増加してしまう。
【０００９】
また、特許文献１のステッピングモータは、第１ロータと第２ロータはそれぞれ独立して回転駆動し、第１ロータを２個のコイルで回転駆動させ、第２ロータを１個のコイルで回転駆動させているので、部品点数が増加し、重量が増加してしまう。また、第２ロータを第２ステータと第３コイル部の間に挟まれるように配置するので、第２ロータの径や第３コイル部の径が大きくなり、ステッピングモータが大型化してしまう。
【００１０】
また、第２ロータ１２０の磁化方向が軸方向（厚み方向）に平行な直線状の方向（図１２に示す矢印方向）である場合には、磁路が短くなってしまう。そのため、磁力が弱くなるので、ステッピングモータの応答性が低下してしまう。
【００１１】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、小型化や部品点数の削減による軽量化を図ることができるステッピングモータ、ＥＧＲバルブを提供すること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、ステッピングモータにおいて、極異方性に着磁された筒形状のマグネットロータと、前記マグネットロータに対して径方向の外側に配置された第１ステータと、前記マグネットロータに対して軸方向の外側に配置された第２ステータと、を有し、前記マグネットロータは、前記径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、前記軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えること、を特徴とする。
【００１３】
この態様によれば、マグネットロータは、径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えるので、マグネットロータの外周面と軸方向の端面で磁極を構成することができる。そのため、マグネットロータの全体の高さを小さくできる。したがって、ステッピングモータの小型化を図ることができる。
【００１４】
また、１つのマグネットロータを回転駆動させるだけなので、部品点数の削減による軽量化を図ることができる。
【００１５】
上記の態様においては、前記第１ロータ部は前記径方向に開口する円弧状の磁化方向に着磁され、前記第２ロータ部は前記軸方向に開口する円弧状の磁化方向に着磁されていること、が好ましい。
【００１６】
この態様によれば、磁路が長くなるのでマグネットロータの磁力を強くすることができる。そのため、ステッピングモータの応答性を向上させることができる。
【００１７】
上記の態様においては、前記マグネットロータは、前記第１ロータ部と前記第２ロータ部との間に設けられた非磁性体を備えること、が好ましい。
【００１８】
この態様によれば、第１ロータ部と第２ロータ部とを着磁するときに互いに影響を及ぼさなくなるので、第１ロータ部と第２ロータ部の着磁が容易になる。
【００１９】
上記の態様においては、前記第１ロータ部は円筒形状に形成され、前記第２ロータ部は前記第１ロータ部と中心軸を同じとする円盤形状に形成され、前記第２ロータ部の内周面は、前記第１ロータ部の内周面よりも前記径方向の内側に位置すること、が好ましい。
【００２０】
この態様によれば、重量部材であるマグネットの一部をマグネットロータの中心軸に近づけることになるので、マグネットロータの回転時の慣性力（イナーシャ）が小さくなる。
そのため、ステッピングモータの応答性が向上する。
【００２１】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、  エンジンの排気通路に接続し排気ガスを流入させる流入室と、前記エンジンの吸気通路に接続し前記排気ガスを流出させる流出室と、前記流入室と前記流出室との間にて開閉弁する弁体および弁座とを有するＥＧＲバルブにおいて、極異方性に着磁した筒形状のマグネットロータと、前記マグネットロータに対して径方向の外側に配置された第１ステータと、前記マグネットロータに対して軸方向の外側に配置された第２ステータと、を備えるステッピングモータと、前記弁体が取り付けられ前記ステッピングモータにより作動する作動軸と、を有し、前記マグネットロータは、前記径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、前記軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えていること、を特徴とする。
【００２２】
この態様によれば、マグネットロータは、径方向の磁界を形成する第１ロータ部と、軸方向の磁界を形成する第２ロータ部とを一体的に備えるので、マグネットロータの外周面と軸方向の端面で磁極を構成することができる。そのため、マグネットロータの全体の高さは小さくできる。したがって、ＥＧＲバルブの小型化を図ることができる。
【００２３】
また、１つのマグネットロータを回転駆動させるだけなので、部品点数の削減による軽量化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るステッピングモータ、ＥＧＲバルブによれば、小型化や部品点数の削減による軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のステッピングモータを備えたＥＧＲバルブの断面図である。
【図２】マグネットロータと第１ステータと第２ステータの分解斜視図（一部断面図）である。
【図３】第２ステータを図２の下方向から見た斜視図である。
【図４】マグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図５】マグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図６】マグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図７】変形例におけるマグネットロータの斜視図である。
【図８】変形例におけるマグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図９】変形例におけるマグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図１０】変形例におけるマグネットロータの回転方法についての説明図である。
【図１１】従来のＥＧＲバルブの断面図であって、主に駆動部におけるステッピングモータを示す断面図である。
【図１２】特許文献１の第２ロータにおける磁化方向を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を具体化した実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明においては、一例として、本発明のステッピングモータをＥＧＲバルブの駆動部に使用した例を挙げて説明するが、本発明のステッピングモータはＥＧＲバルブの駆動部以外にも様々な駆動部に適用できるものとする。
【００２７】
〔ＥＧＲバルブの説明〕
まず、ＥＧＲバルブについて説明する。図１は、本発明のステッピングモータを備えたＥＧＲバルブの断面図である。図１に示すように、ＥＧＲバルブ１は、弁本体部１０と駆動部１２とを有する。そして、弁本体部１０は、第１弁室１４、弁体１６、弁座１８、作動軸２０、第２弁室２２などを備えている。作動軸２０の一方の先端部には弁体１６が設けられ、作動軸２０の他方の先端部には駆動部１２内においてステッピングモータ３０が設けられている。また、作動軸２０の上端部の外周に設けられたベアリング２４と、後述するマグネットロータ４０の第１ロータ部４６の下端部にて内周面５６の内側に設けられたベアリング２６とにより、作動軸２０およびマグネットロータ４０が回転可能に支持されている。
【００２８】
そして、このような構成を有するＥＧＲバルブ１は、ステッピングモータ３０を駆動させて、作動軸２０を作動させることにより弁体１６と弁座１８との間を開閉させる。これにより、ＥＧＲバルブ１は、エンジンの排気通路（不図示）に接続し排気ガスを流入させる第１弁室１４とエンジンの吸気通路（不図示）に接続し排気ガスを排出させる第２弁室２２との間を開閉して、排気ガスの流れを制御する。
【００２９】
〔ステッピングモータの説明〕
次に、ステッピングモータ３０について説明する。前記の図１に示すように、ステッピングモータ３０は、マグネットロータ４０と第１ステータ４２と第２ステータ４４を有する。マグネットロータ４０は、第１ロータ部４６と樹脂部４８と第２ロータ部５０を備えている。そして、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０との間に樹脂部４８が設けられるようにして、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とが一体化されている。また、第１ステータ４２はコイルハウジング５２に保持され、第２ステータ４４はコイルハウジング５４に保持されている。なお、樹脂部４８は、本発明における「非磁性体」の一例である。
【００３０】
次に、マグネットロータ４０と第１ステータ４２と第２ステータ４４について説明する。図２は、マグネットロータ４０と第１ステータ４２と第２ステータ４４の分解斜視図（一部断面図）である。なお、図２においては、説明の便宜上、樹脂部４８を省略している。
【００３１】
図２に示すように、マグネットロータ４０は、軸方向（図２の上下方向）に第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とを配置するようにして形成されている。そして、第１ロータ部４６は円筒形状に形成され、第２ロータ部５０は第１ロータ部４６と中心軸を同じとする円盤形状に形成されている。そして、第２ロータ部５０の内径が第１ロータ部４６の内径よりも小さく形成されている。すなわち、図１に示すように、第２ロータ部５０の内周面５８は、第１ロータ部４６の内周面５６よりも径方向の内側に位置している。このように、マグネットロータ４０は、全体として軸方向の端部の内径が軸方向の他の部分よりも小さい筒形状に形成されている。
【００３２】
第１ロータ部４６の外周面６０は周方向に沿ってＳ極、Ｎ極に交互に磁極化され、第１ロータ部４６は径方向（図２の左右方向）の磁界を形成している。この第１ロータ部４６は、第１ステータ４２の内周面６２の内側に配置されている。そして、第１ステータ４２がその内周面６２の内側に形成する磁場により、マグネットロータ４０が回転駆動する。
【００３３】
また、第２ロータ部５０の軸方向の端面である盤面６４はマグネットロータ４０の回転方向に沿ってＳ極、Ｎ極に交互に磁極化され、第２ロータ部５０は軸方向の磁界を形成している。この第２ロータ部５０は、盤面６４が第２ステータ４４の面６６に対向するようにして、第２ステータ４４に対し第１ステータ４２が配置される側（図２の下側）に配置されている。そして、第２ステータ４４がその面６６の下側に形成する磁場により、マグネットロータ４０が回転駆動する。なお、マグネットロータ４０の回転方法についての詳細な説明は後述する。
【００３４】
このようにマグネットロータ４０は、円筒形状の第１ロータ部４６と円盤形状の第２ロータ部５０がその中心軸を同じにしつつ軸方向に配置された状態で、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とを一体的に備えている。そして、第１ロータ部４６の外周面６０と第２ロータ部５０の盤面６４でＳ極とＮ極の磁極を構成することにより、マグネットロータ４０の外周面と軸方向の端面で磁極を構成することができる。そのため、前記の従来技術のようにマグネットロータ１０６の外周面１０８のみでＳ極とＮ極の磁極を構成している場合（図１１参照）に比べて、マグネットロータ４０の全体の高さを小さくできる。したがって、ステッピングモータ３０の小型化を図ることができる。
【００３５】
また、１つのマグネットロータ４０を２つのステータで回転駆動させるだけなので、ステッピングモータ３０およびＥＧＲバルブ１について部品点数の削減による軽量化を図ることができる。
【００３６】
ここで、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０は極異方性に着磁されており、その磁化方向は円弧状の磁化方向ＡおよびＢ（図２において矢印ＡおよびＢで示す方向）となっている。すなわち、第１ロータ部４６は、径方向の外側に向って開口する円弧状の磁化方向Ａに着磁（以下、「ラジアル極異方性に着磁」ともいう）されている。また、第２ロータ部５０は、軸方向の上側（第１ロータ部４６が配置される側とは反対側、図２の上側）に向って開口する円弧状の磁化方向Ｂに着磁（以下、「アキシャル極異方性に着磁」ともいう）されている。
【００３７】
このように、第１ロータ部４６はラジアル極異方性に着磁され、第２ロータ部５０はアキシャル極異方性に着磁されているので、径方向や軸方向（厚み方向）に平行な直線状の磁化方向に着磁された場合に比べて、径方向および軸方向について磁路が長く、磁力が強くなる。そのため、マグネットロータ４０は径方向および軸方向について磁力が強くなる。そして、ステッピングモータ３０は、マグネットロータ４０に対して径方向の位置に第１ステータ４２を配置し軸方向の位置に第２ステータ４４を配置しており、磁力が強くなる方向に第１ステータ４２と第２ステータ４４を配置しているので、応答性が向上する。
【００３８】
なお、図２に示す例では、周方向について第１ロータ部４６の外周面６０におけるＳ極の位置に第２ロータ部５０の盤面６４ではＮ極が配置され、第１ロータ部４６の外周面６０におけるＮ極の位置に第２ロータ部５０の盤面６４ではＳ極が配置されている。しかしながら、この図２に示す例に限定されず、周方向について、第１ロータ部４６の外周面６０におけるＳ極の位置に第２ロータ部５０の盤面６４ではＳ極が配置され、第１ロータ部４６の外周面６０におけるＮ極の位置に第２ロータ部５０の盤面６４ではＮ極が配置されていてもよい。
【００３９】
第１ステータ４２は、マグネットロータ４０の第１ロータ部４６の外周面６０に対して径方向の外側に配置されており、例えば鉄などの磁性材料にて生成されたヨーク６８内に、コイル７０が収められたものである。ヨーク６８には略矩形波状のギャップ７２が形成され、このギャップ７２により第１ステータ４２の内周面６２には、互いに噛み合う歯７４，７６が形成されている。そして、第１ステータ４２に対して順方向（図中時計回り）の通電を行うと、歯７４にＳ極、歯７６にＮ極の磁場が形成される。反対に、第１ステータ４２に対して逆方向（図中反時計回り）の通電を行うと、歯７４にＮ極、歯７６にＳ極の磁場が形成される。
【００４０】
第２ステータ４４は、マグネットロータ４０の第２ロータ部５０の盤面６４に対して軸方向の外側に配置されており、例えば鉄などの磁性材料にて生成されたヨーク７８内に、コイル８０が収められたものである。ヨーク７８にはギャップ８２が形成され、このギャップ８２により第２ステータ４４の面６６には、図３に示すように、歯８４が形成されている。第２ステータ４４へ通電を行うことで各々の歯８４がＳ極やＮ極に交互に磁極化される。第２ステータ４４の歯８４は、第１ステータ４２の歯７４，７６に対して、歯半個分ずれるように配置されている。なお、図３は、第２ステータ４４を図２の下方向から見た斜視図である。
【００４１】
〔マグネットロータの回転方法の説明〕
次に、マグネットロータ４０の回転方法について説明する。図４〜図６は、マグネットロータ４０の回転方法に関する説明図である。まず、マグネットロータ４０を順方向（図４の右方向）に回転させる場合には、図４の状態から、図５に示すように、第２ステータ４４に順方向の通電をする。これにより、第２ロータ部５０が磁極化した第２ステータ４４の各々の歯８４に引き付けられるようにして、マグネットロータ４０が順方向に回転する。前記のように、第２ステータ４４の各々の歯８４の位置は、第１ステータ４２の歯７４，７６の位置に対して、歯半個分ずらされているので、マグネットロータ４０が順方向に歯半個分だけ回転する。次に、図６に示すように、第１ステータ４２に逆方向の通電をすることで、マグネットロータ４０がさらに歯半個分だけ順方向に回転する。これにより、基準状態から、マグネットロータ４０が歯１個分（１ステップ）回転する。
【００４２】
さらにこの状態から、第２ステータ４４に逆方向の通電をした後、第１ステータ４２に順方向の通電を行うことで、マグネットロータ４０が２ステップ分回転する。以下同様の方法で通電を繰り返し、所望のステップだけマグネットロータ４０を回転させることができる。
【００４３】
また、マグネットロータ４０を逆方向へ回転させる場合には、図４の状態から、第２ステータ４４に逆方向、第１ステータ４２に逆方向という順番で通電を行う。これにより、マグネットロータ４０が逆方向に１ステップ分回転する。さらに、この状態から、第２ステータ４４に順方向、第１ステータ４２に順方向という順番で通電を行うことで、マグネットロータ４０が２ステップ分回転する。以下同様の方法で通電を繰り返し、所望のステップだけマグネットロータ４０を回転させることができる。以上のように、マグネットロータ４０を回転させる。
【００４４】
本発明では、前記のように、第１ロータ部４６はラジアル極異方性に着磁され第２ロータ部５０はアキシャル極異方性に着磁されており、マグネットロータ４０は径方向および軸方向に磁力が強い。そのため、このようなマグネットロータ４０の回転において、第１ステータ４２や第２ステータ４４の通電に対する応答性が高くなる。そのため、ステッピングモータ３０の応答性が向上する。
【００４５】
また、変形例として、図７に示すように、Ｓ極とＮ極との境界位置を、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とで半ピッチ分ずらしたマグネットロータ８６も考えることができる。そして、この変形例におけるマグネットロータ８６の回転方法は、マグネットロータ４０を順方向（図８の右方向）に回転させる場合には、図８に示す状態から、図９に示すように第２ステータ４４に順方向の通電をする。これにより、マグネットロータ８６が順方向に半ピッチ分（第１ステータ４２の歯７４，７６や第２ステータ４４の各々の歯８４の歯半個分に相当する分）だけ回転する。続いて、図１０に示すように、第１ステータ４２に逆方向の通電をすることで、マグネットロータ８６がさらに半ピッチ分だけ順方向に回転して、マグネットロータ８６は歯１個分（１ステップ）回転する。さらにこの状態から、第２ステータ４４に逆方向の通電後、第１ステータ４２に順方向の通電を行うと、マグネットロータ８６は２ステップ分回転する。以下同様の手順で通電を繰り返し、所望のステップだけマグネットロータ８６を回転させることができる。なお、マグネットロータ４０を逆方向（図８の左方向）に回転させる場合には、通電方向を逆にした手順で行う。以上のように、マグネットロータ８６を回転させる。
【００４６】
〔本実施例の効果の説明〕
次に、本実施例の効果について説明する。本実施例によれば、マグネットロータ４０は、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とを一体的に備えている。そのため、第１ロータ部４６の外周面６０と第２ロータ部５０の盤面６４でＳ極とＮ極の磁極を構成することにより、マグネットロータ４０の外周面と軸方向の端面で磁極を構成することができる。そのため、マグネットロータ４０の全体の高さを小さくできる。したがって、ステッピングモータ３０およびＥＧＲバルブ１の小型化を図ることができる。
【００４７】
また、１つのマグネットロータ４０を回転駆動させるだけなので、ステッピングモータ３０およびＥＧＲバルブ１について部品点数の削減による軽量化を図ることができる。
【００４８】
また、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０は極異方性に着磁されている。具体的には、第１ロータ部４６は径方向の外側に向って開口する円弧状の磁化方向に着磁（ラジアル極異方性に着磁）されており、第２ロータ部５０は軸方向の上側に向って開口する円弧状の磁化方向に着磁（アキシャル極異方性に着磁）されている。そのため、径方向や軸方向（厚み方向）に平行な直線状の磁化方向に着磁された場合に比べて、磁路が長く、磁力が強くなる。そのため、マグネットロータ４０の磁力が強くなるので、ステッピングモータ３０の応答性が向上する。
【００４９】
また、マグネットロータ４０は、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０との間に設けられた樹脂部４８を備えている。そのため、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０とを着磁するときに互いに影響を及ぼさなくなるので、第１ロータ部４６と第２ロータ部５０の着磁が容易になる。
【００５０】
また、第２ロータ部５０の内周面５８は、第１ロータ部４６の内周面５６よりも径方向の内側に位置している。そのため、重量部材のマグネットの一部を作動軸２０に近づけていることになるので、マグネットロータ４０の回転時の慣性力（イナーシャ）が小さくなる。したがって、ステッピングモータ３０の応答性がさらに向上する。
【００５１】
また、作動軸２０を支持するベアリング２４の保持をコイルハウジング５４にて行っている。そのため、ベアリング２４を保持するための専用の部品が不要となり、ＥＧＲバルブ１について部品点数の削減と重量の低減を図ることができる。
【００５２】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
【符号の説明】
【００５３】
１    ＥＧＲバルブ
１０  弁本体部
１２  駆動部
２０  作動軸
２４  ベアリング
３０  ステッピングモータ
４０  マグネットロータ
４２  第１ステータ
４４  第２ステータ
４６  第１ロータ部
４８  樹脂部
５０  第２ロータ部
５４  コイルハウジング
５６  （第１ロータ部の）内周面
５８  （第２ロータ部の）内周面
６０  （第１ロータ部の）外周面
６２  （第１ステータの）内周面
６４  盤面
６６  （第２ステータの）面
８６  マグネットロータ
【図１】
2012178924.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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