(57)【要約】【課題】小型化及び剛性の向上を実現することができる。【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、駆動素子用空間１６Ｃ、及び圧電素子用空間１６Ｄを有する共通液室基板１６を備えている。共通液室基板１６には、隔壁部材３４が設けられている。隔壁部材３４は、共通液室基板１６の駆動素子用空間１６Ｃを、加圧液室１４Ａの該配列方向に交差する方向に分割する位置に設けられている。また、隔壁部材３４は、その厚みが、共通液室基板１６における該隔壁部材３４に連続する領域の厚みと同じ厚みである。また、隔壁部材３４には、駆動素子用空間１６Ｃにおける、隔壁部材３４によって分割された各空間（駆動素子用空間１６Ｃ１、駆動素子用空間１６Ｃ２）間を連通する連通孔３２が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル孔を有するノズル基板と、
前記ノズル孔の各々に連通した複数の加圧液室が複数列配列された第１基板と、
前記加圧液室を介して前記ノズル基板に対向して配置された振動板と、
前記振動板を介して前記加圧液室の各々に対向して配置された複数の圧電素子と、
前記第１基板上の前記ノズル基板側の面とは反対側の面における、前記複数の加圧液室の列間に配置され、前記複数の圧電素子を駆動する駆動素子と、
内側に前記駆動素子が配置されると共に前記加圧液室の配列方向に沿って延在する駆動素子用空間、内側に前記圧電素子が配置される圧電素子用空間、及び前記複数の加圧液室の各々に連通した共通液室を有し、前記第１基板の前記ノズル基板側の面とは反対側に配置された前記第２基板と、
前記第２基板の前記駆動素子用空間を前記加圧液室の配列方向に交差する交差方向に分割する隔壁部材と、
を備え、
前記隔壁部材は、前記駆動素子用空間における該隔壁部材によって分割された空間間を連通する連通孔を有し、該隔壁部材の厚みは、前記第２基板における該隔壁部材に連続する領域の厚みと同じ厚みである、液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記隔壁部材は、前記第２基板に一体的に設けられている請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記連通孔は、前記駆動素子用空間における前記交差方向の中央部に設けられている請求項１または請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記隔壁部材は、前記連通孔によって前記加圧液室の配列方向に分割されている請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２基板は、前記駆動素子側に開口した凹形状の空間を、前記駆動素子用空間として有する、請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第２基板は、該第２基板における前記複数の加圧液室の列間に対向する領域を厚み方向に貫通した貫通孔を、前記駆動素子用空間として有する、請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２基板は、前記圧電素子側に開口し且つ前記圧電素子の各々を個別に覆う空間を、前記圧電素子用空間として有する、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第２基板の前記共通液室は、前記複数の加圧液室の各々に連通路を介して連通し、
前記第２基板の前記共通液室及び前記連通路のうちの少なくとも該連通路の内壁は、前記共通液室に貯留される液体から該第２基板本体を保護するための保護膜を有する請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクと、
を備えたインクカートリッジ。
【請求項１０】
請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置。
【請求項１１】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及びマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置等の画像形成装置は、画質が綺麗であること、高速印字に容易に対応可能であること、インクの自由度が高く安価な普通紙を使用できることなど多くの利点を有する。この中でも、必要な時にのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンド方式を用いた液滴吐出装置が、記録に不要なインク液滴の回収を必要としないため、現在主流となってきている。
【０００３】
液滴吐出装置において使用する液滴吐出ヘッドとしては、インク滴等の液滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔に連通する加圧液室（吐出室、圧力室、インク流路等とも称される）と、加圧液室内のインクを加圧するための圧力を発生する圧力発生手段とを備えた構成が知られている。このような構成の液滴吐出ヘッドでは、圧力発生手段により発生した圧力で加圧液室内のインクを加圧することによって、ノズル孔からインク滴を吐出させる。
【０００４】
液滴吐出ヘッドとしては、圧電素子を用い、加圧液室の壁面を形成している振動板を変形変位させて液滴を吐出させるピエゾ型の液滴吐出ヘッドが知られている。ピエゾ型の液滴吐出ヘッドには、ｄ３３方向の変位（電極面に対して垂直な方向（厚み方向）への変位）を利用した縦振動型や、ｄ３１方向の変位（電極面に対して平行な方向への変位）を利用した横振動型（所謂、ベンドモード型）や、剪断変形を利用したシェアモード型等がある。
【０００５】
これらの中でも、近年、半導体プロセスやマイクロマシニング技術の進歩によるパターニング加工技術の確立や、低コストであることから、Ｓｉ基板に、加圧液室や圧電素子を直接形成するアクチュエータ構成が提案されている。この技術を用いることで、リソグラフィ法といった精密で、且つ簡便な手法で圧電素子を設けることができるばかりでなく、圧電素子の厚みを薄くすることができ、高速駆動が可能になるという利点がある。
【０００６】
このような構成の液滴吐出ヘッドは、小型化の要求から高集積化の傾向にある。このため、高集積化へ対応するために、圧電素子を駆動するための駆動素子を、液滴吐出ヘッドの個別液室基板上に直接搭載した液滴吐出ヘッドが考案されている。
【０００７】
例えば、特許文献１には、ノズル開口に連通する圧力発生室の列を少なくとも２列備えた流路形成基板と、この流路形成基板の圧電素子側に接合され且つ圧電素子を駆動させる駆動ＩＣが実行される接合基板とを有する構造の液滴吐出ヘッドが開示されている。そして、特許文献１では、駆動ＩＣが接合基板の中央部、すなわち、圧力発生室の列間に対応する領域に配置され、駆動ＩＣと各圧電素子から引き出される引き出し配線とを、接合基板の駆動ＩＣの両側の各々に設けられた貫通孔を介してワイヤボンディングで電気的にすることが開示されている。
【０００８】
このような構成の液滴吐出ヘッドでは、一つの駆動ＩＣで２列の圧電素子を駆動させているため、製造コストを抑えることができるが、駆動ＩＣの両側に各々貫通孔を形成しているため、流路形成基板及び接合基板の面積を比較的大きくする必要がある。このため、液滴吐出ヘッドを小型化するのが難しいという問題があった。とくに、圧力発生室を高密度に配列する場合、貫通孔を形成する領域を確保するために液滴吐出ヘッドが大型化してしまうという問題があった。
【０００９】
そこで、液滴吐出ヘッドの小型化を図る技術が開示されている（特許文献１、及び特許文献２参照）。
【００１０】
特許文献２には、圧電素子を内部に保持する空間である圧電素子保持部、圧力発生室に液体を供給する連通部と、を有する流路形成基板上に駆動素子を配置した構成が開示されている。この流路形成基板には、圧電素子の配列方向に延在する長尺状の孔として、流路形成基板上の駆動素子と圧電素子とを導通するための電極線を通すための該配列方向に延在する貫通孔が設けられている。そして、この電極線を通すための長尺状の貫通孔を、圧力発生室の列間に設けた構成としている。また、この長尺状の貫通孔に、該貫通孔を該貫通孔の長尺方向に分割する、長尺方向に延在する梁部を設けた構成が開示されている。
【００１１】
特許文献３には、特許文献１における梁部に、段差を設けた構成が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２の構成では、貫通孔に設けた梁部によって、貫通孔が複数の空間に完全に分断された状態となる。このため、液滴吐出ヘッドの製造工程において、このような貫通孔に設けられた基板に接着剤等を介して他の基板を接合すると、接着剤の硬化時に発生するガスの影響等によって、この分断された空間間の圧力に差が生じる。このため、これらの空間に接する領域の基板の反りや、割れ、より圧力の高い空間に対応する領域の接合強度の低下等が発生する場合があった。
【００１３】
このため、従来の技術では、液滴吐出ヘッドの小型化を図りつつ、且つ剛性の高い液滴吐出ヘッドを提供することは困難であった。
【００１４】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、液滴吐出ヘッドの小型化、及び剛性の向上を実現することができる、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及びマイクロポンプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、液滴を吐出するノズル孔を有するノズル基板と、前記ノズル孔の各々に連通した複数の加圧液室が複数列配列された第１基板と、前記加圧液室を介して前記ノズル基板に対向して配置された振動板と、前記振動板を介して前記加圧液室の各々に対向して配置された複数の圧電素子と、前記第１基板上の前記ノズル基板側の面とは反対側の面における、前記複数の加圧液室の列間に配置され、前記複数の圧電素子を駆動する駆動素子と、内側に前記駆動素子が配置されると共に前記加圧液室の配列方向に沿って延在する駆動素子用空間、内側に前記圧電素子が配置される圧電素子用空間、及び前記複数の加圧液室の各々に連通した共通液室を有し、前記第１基板の前記ノズル基板側の面とは反対側に配置された前記第２基板と、前記第２基板の前記駆動素子用空間を前記加圧液室の配列方向に交差する交差方向に分割する隔壁部材と、を備え、前記隔壁部材は、前記駆動素子用空間における該隔壁部材によって分割された空間間を連通する連通孔を有し、該隔壁部材の厚みは、前記第２基板における該隔壁部材に連続する領域の厚みと同じ厚みである、液滴吐出ヘッドである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、液滴吐出ヘッドの小型化、及び剛性の向上を実現することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドの一部を模式的に示した平面図である。
【図２】図２は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドの一部を分解して模式的に示した断面図であり、図１におけるＹ−Ｙ’断面図である。
【図３】図３は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドの一部を分解して模式的に示した断面図であり、図１におけるＸ−Ｘ’断面図である。
【図４】図４は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける共通液室基板を模式的に示したものであり、（Ａ）は共通液室基板の平面図であり、（Ｂ）は、該（Ａ）におけるＹ１−Ｙ１’断面図であり、（Ｃ）は該（Ａ）におけるＹ２−Ｙ２’断面図である。
【図５】図５は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドの一部を分解して模式的に示した図であり、図１におけるＹ−Ｙ’断面を共通液室基板の端面側から隔壁部材側に向かって見たときの構成を示す模式図である。
【図６】図６は、液滴吐出ヘッドの製造工程を示す模式図であり、（Ａ）〜（Ｄ）は、液滴吐出ヘッドの製造工程の一部を示す模式図である。
【図７】図７は、液滴吐出ヘッドの製造工程を示す模式図であり、（Ａ）〜（Ｄ）は、液滴吐出ヘッドの製造工程の一部を示す模式図である。
【図８】図８は、製造過程にある液滴吐出ヘッドを示す模式図である。
【図９】図９は、共通液室基板の図４とは異なる形態を示す模式図であり、（Ａ）は共通液室基板の平面図であり、（Ｂ）は、該（Ａ）におけるＺ１−Ｚ１’断面図であり、（Ｃ）は該（Ａ）におけるＺ２−Ｚ２’断面図である。
【図１０】図１０は、共通液室基板における駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図であり、（Ａ）は図１に示す共通液室基板の駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図であり、（Ｂ）は、該（Ａ）とは異なる形態の共通液室基板の駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図である。
【図１１】図１１は、共通液室基板における駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図であり、（Ａ）及び（Ｂ）は、図１とは異なる形態の共通液室基板の駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図であり、（Ｃ）は、図９に示す共通液室基板の駆動素子用空間及び隔壁部材の設けられた領域を拡大して示した模式図である。
【図１２】図１２は、第１の実施の形態における液滴吐出ヘッドを搭載したインクカートリッジの一の形態を模式的に示した斜視図である。
【図１３】図１３は、第１の実施の形態における液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置の一の形態を模式的に示した斜視図である。
【図１４】図１４は、第１の実施の形態における液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置の一の形態を模式的に示した断面図である。
【図１５】図１５は、第１の実施の形態における液滴吐出ヘッドを適用したマイクロポンプの一の形態を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置の一の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
図１〜図３に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、ノズル基板１２上に、個別液室基板１４（第１基板）、共通液室基板１６（第２基板）、及びフレーム基板１９を順に積層した構成である。
【００２０】
なお、図１は、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０を模式的に示した平面図である。図２は、図１に示す液滴吐出ヘッド１０のＹ−Ｙ’断面図である。図３は、図１に示す液滴吐出ヘッド１０のＸ−Ｘ’断面図である。
【００２１】
ノズル基板１２は、インク滴を吐出する複数のノズル孔１２Ａを有している。ノズル孔１２Ａは、ノズル基板１２の厚み方向に貫通した貫通孔であり、ノズル基板１２の面方向に沿って複数配列されている。本実施の形態では、ノズル孔１２Ａは、ノズル基板１２における所定方向（図１中、矢印Ａ方向）に沿って複数配列されている。また、本実施の形態では、この複数のノズル孔１２Ａによる列は、該矢印Ａ方向に交差する方向（図１中、矢印Ｂ方向）に２列並列に配列されている。
【００２２】
個別液室基板１４は、ノズル孔１２Ａの各々に連通する複数の加圧液室１４Ａを備えている。本実施の形態では、上述のように、図１中矢印Ａ方向に配列された複数のノズル孔１２Ａによる列が、図１中矢印Ｂ方向に２列並列に配列されている場合を説明する。このため、このノズル孔１２Ａの各々に連通する加圧液室１４Ａもまた、図１中矢印Ａ方向に複数配列され、この矢印Ａ方向に配列された加圧液室１４Ａの液室列が、図１中矢印Ｂ方向に２列並列に配列されているものとして説明する。
【００２３】
なお、個別液室基板１４に加圧液室１４Ａが設けられることによって、各加圧液室１４Ａは隔壁部１５によって隔てられた状態となる（図３参照）。
【００２４】
各加圧液室１４Ａは、加圧液室１４Ａの配列方向（図１中、矢印Ａ方向）に交差する方向（図１中、矢印Ｂ方向）に延在する略直方体の形状である。加圧液室１４Ａは、例えば、各加圧液室１４Ａに連通するノズル孔１２Ａからインク滴を吐出したときに、該加圧液室１４Ａの配列方向（図１中、矢印Ａ方向）に３００ｄｐｉの解像度で画像形成する密度となるように配置されている。
【００２５】
また、２列並列に配列された複数の加圧液室１４Ａの、列間の領域の外側には、貫通孔１４Ｂが設けられている。この貫通孔１４Ｂは、加圧液室１４Ａの配列方向に沿って延在する略直方体であり、各加圧液室１４Ａに流体抵抗部１７（図１参照）を介して連通している。
【００２６】
加圧液室１４Ａのノズル基板１２とは反対側には、振動板２３が設けられている。また、振動板２３は、個別液室基板１４の隔壁部１５（図３参照）の端面に接合されている。このため、振動板２３は、個別液室基板１４における加圧液室１４Ａの壁面の一部として機能する。
【００２７】
振動板２３の、加圧液室１４Ａとは反対側の面には、共通電極２０Ａが設けられている。この共通電極２０Ａ上の、加圧液室１４Ａに対向する領域の各々には、圧電体２０Ｂ及び個別電極２０Ｃが、この順に積層されている。この共通電極２０Ａ、圧電体２０Ｂ、及び個別電極２０Ｃの積層領域が、圧電素子２０（アクチュエータともいう）を構成している。
【００２８】
本実施の形態では、上述のように、加圧液室１４Ａが２列並列に配列されている。このため、加圧液室１４Ａの各々に対向して配置された圧電素子２０についても、加圧液室１４Ａの配列方向と同じ方向に２列並列に配列されている。
【００２９】
なお、本実施の形態では、図１に示すように、各列間の圧電素子２０が互いに向かい合うように配列されている場合を説明するが、このような形態に限られない。例えば、各列間の圧電素子２０が互いにずれて配置された、所謂、千鳥状に配列されていてもよい（図示省略）。
【００３０】
この個別液室基板１４上の、上述のように２列に配列された加圧液室１４Ａの列間に対応する領域には、駆動素子１８が設けられている。駆動素子１８の個別液室基板１４に対向する側の面には、各圧電素子２０に対応する位置にパンプ２２が設けられている。個別液室基板１４上に設けられた複数の圧電素子２０の個別電極２０Ｃの各々には、駆動素子１８の配置された方向に向かって延びる引出配線（図示省略）が設けられている。そして、各圧電素子２０は、個別電極２０Ｃ、引出配線、及び各圧電素子２０に対応して設けられたパンプ２２を介して、駆動素子１８に電気的に接続されている。
【００３１】
共通液室基板１６は、個別液室基板１４を介してノズル基板１２に対向して配置されている。図１〜図３、及び図４に示すように、共通液室基板１６には、圧電素子用空間１６Ｄ、共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、及び駆動素子用空間１６Ｃが設けられている。
【００３２】
圧電素子用空間１６Ｄは、個別液室基板１４上に設けられた圧電素子２０を覆い、圧電素子２０を保護するための空間である。このため、個別液室基板１４上に設けられた圧電素子２０は、圧電素子用空間１６Ｄ内に位置される。この圧電素子用空間１６Ｄは、共通液室基板１６における各圧電素子２０の各々に対応する領域に設けられており、圧電素子２０側に開口した凹部状の空間である。なお、この圧電素子用空間１６Ｄは、各圧電素子２０の駆動を阻害しない程度の大きさの空間であればよい。なお、本実施の形態では、圧電素子用空間１６Ｄは、各圧電素子２０毎に設けられている場合を説明する。
【００３３】
共通液室１６Ａは、個別液室基板１４に設けられた加圧液室１４Ａの列毎に対応して設けられており、各列の加圧液室１４Ａに連通している。本実施の形態では、共通液室１６Ａは、加圧液室１４Ａの配列方向に延在する略直方体形状とされている。また、本実施の形態では、上述のように、加圧液室１４Ａは、２列配列されていることから、共通液室１６Ａは、２列に配列された加圧液室１４Ａの列間に領域の外側の各々に設けられている場合を説明する。
【００３４】
この共通液室１６Ａの、ノズル基板１２側には、該共通液室１６Ａと、個別液室基板１４に設けられた各貫通孔１４Ｂと、を連通する貫通孔１６Ｂが設けられている。このため、共通液室１６Ａは、貫通孔１６Ｂ、貫通孔１４Ｂ、及び流体抵抗部１７を介して、各加圧液室１４Ａに連通されている。共通液室１６Ａに吐出対象の液体としてのインクが供給されると、共通液室１６Ａに供給されたインクは、貫通孔１６Ｂ、貫通孔１４Ｂ、及び流体抵抗部１７を介して、各加圧液室１４Ａに供給される。
【００３５】
駆動素子用空間１６Ｃは、内側に駆動素子１８を配置し、該駆動素子１８を保護するための空間である。駆動素子用空間１６Ｃは、共通液室基板１６における、加圧液室１４Ａの列間に対応する領域に設けられており、加圧液室１４Ａの配列方向に沿って延在する形状とされている。本実施の形態では、加圧液室１４Ａの配列方向（図１、図４中、矢印Ａ方向）に延在する略直方体状の空間である。駆動素子１８は、この駆動素子用空間１６Ｃを介して個別液室基板１４上に実装される。
【００３６】
なお、この駆動素子用空間１６Ｃは、内側に配置される駆動素子１８を保護する程度の大きさの空間であればよい。本実施の形態では、駆動素子用空間１６Ｃは、加圧液室１４Ａの配列方向に延在する略直方体状とされている場合を説明する。なお、駆動素子用空間１６Ｃの形状は、内側に駆動素子１８を配置することができ、且つ加圧液室１４Ａの配列方向に沿って延在する形状であればよく、略直方体状に限られない。
【００３７】
なお、本実施の形態では、駆動素子用空間１６Ｃは、共通液室基板１６を厚み方向に貫通した空間である場合を説明する（図４（Ｂ）参照）。
【００３８】
本実施の形態では、共通液室基板１６には、隔壁部材３４が設けられている（図１及び図４（Ａ）、図４（Ｃ）、図１０（Ａ）参照）。隔壁部材３４は、加圧液室１４Ａの配列方向（図１、図４中、矢印Ａ方向）に延在する駆動素子用空間１６Ｃを、加圧液室１４Ａの該配列方向に交差する方向（図１、図４中、矢印Ｂ方向）に分割する位置に設けられている。本実施の形態では、隔壁部材３４は、駆動素子用空間１６Ｃを２分割する位置に設けられている場合を説明する。
【００３９】
なお、本実施の形態では、図１に示すように、加圧液室１４Ａの配列方向と、該配列方向に交差する交差方向と（図１中、矢印Ａ方向と矢印Ｂ方向）は、互いに直交する関係にある方向である場合を説明するが、これらの方向が交差すればよく、直交する方向に限られない。
【００４０】
また、本実施の形態では、隔壁部材３４は、共通液室基板１６本体と一体的に設けられている場合を説明する。しかし、隔壁部材３４は、共通液室基板１６本体とは別体として設けられていてもよい。隔壁部材３４が共通液室基板１６本体とは別体として設けられている場合には、共通液室基板１６の駆動素子用空間１６Ｃを構成する壁面に隔壁部材３４を設ければよい。
【００４１】
隔壁部材３４は、その厚み（図４（Ｃ）中、厚みＣ１参照）が、共通液室基板１６における該隔壁部材３４に連続する領域の厚み（図４（Ｃ）中、厚みＣ２参照）と同じ厚みである。なお、同じ厚みである、とは、一方の厚みに対する他方の厚みが、±５％以下の範囲内であることを示す。また、隔壁部材３４の厚みとは、液滴吐出ヘッド１０を構成する各基板（ノズル基板１２、個別液室基板１４、共通液室基板１６）の積層方向（図２、図４中、矢印Ｃ方向参照）の長さを示す。
【００４２】
なお、隔壁部材３４における、加圧液室１４Ａの配列方向（図１中、矢印Ａ方向）の長さについては、目的とする液滴吐出ヘッド１０の剛性を実現できる長さであればよく、液滴吐出ヘッド１０の構成によって適宜調整すればよい。
【００４３】
隔壁部材３４には、駆動素子用空間１６Ｃにおける、隔壁部材３４によって分割された各空間（図４中、駆動素子用空間１６Ｃ１、駆動素子用空間１６Ｃ２参照）間を連通する連通孔３２が設けられている。
【００４４】
この連通孔３２は、駆動素子用空間１６Ｃにおける、隔壁部材３４によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、その形状、位置は、限定されない。なお、本実施の形態では、図４（Ａ）、図４（Ｃ）、及び図１０（Ａ）に示すように、連通孔３２は、隔壁部材３４を加圧液室１４Ａの配列方向（矢印Ａ方向）に分断するように設けられている場合を説明する。このため、本実施の形態では、隔壁部材３４は、連通孔３２によって分割された一対の隔壁部材３４Ａと隔壁部材３４Ｂとから構成されている場合を説明する。
【００４５】
このように、連通孔３２が、隔壁部材３４を上記配列方向に分割するように設けられている場合には、隔壁部材３４は、駆動素子用空間１６Ｃの上記交差方向に対向する一対の壁面の一方から他方に向かって突出した隔壁部材３４Ａと、該他方から一方に向かって突出した隔壁部材３４Ｂと、から構成された状態となる。
【００４６】
この連通孔３２の大きさは、後述する液滴吐出ヘッド１０の製造時に、隔壁部材３４によって分割された空間間（駆動素子用空間１６Ｃ１、駆動素子用空間１６Ｃ２の空間間）を空気が流れる大きさであればよい。
【００４７】
なお、駆動素子１８は、駆動素子用空間１６Ｃ内の、隔壁部材３４によって分断された各空間内（駆動素子用空間１６Ｃ１、駆動素子用空間１６Ｃ２の各々内）に設けられる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、駆動素子用空間１６Ｃにおける、加圧液室１４Ａの配列方向（矢印Ａ方向）に交差する方向（矢印Ｂ方向）の壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向と同じである場合を説明する。また、本実施の形態では、連通孔３２は、隔壁部材３４を加圧液室１４Ａの配列方向に貫通する孔である場合を説明する。
【００４９】
上述のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、駆動素子用空間１６Ｃには、隔壁部材３４が設けられている。このため、図１に示す液滴吐出ヘッド１０のＹ−Ｙ’切断面を、該切断面から隔壁部材３４側に向かって視認した場合には、図５に示すように、駆動素子用空間１６Ｃ１（図５中の駆動素子用空間１６Ｃ参照）に設けられた駆動素子１８より奥側に隔壁部材３４を確認することが出来、隔壁部材３４の連通孔３２を介して更に奥側に駆動素子用空間１６Ｃ２（図５中では図示省略）を確認することができる。
【００５０】
次に、上述のように構成された液滴吐出ヘッド１０の製造方法を説明する。
【００５１】
本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、例えば、図６、図７、及び図８に示す工程を経ることによって製造することができる。なお、図６、図７、及び図８は、図１に示す液滴吐出ヘッド１０のＸ−Ｘ’断面に相当する。
【００５２】
まず、シリコン基板１３を用意し、このシリコン基板１３上に、圧電素子２０の構成膜を順に成膜していくことで、圧電素子２０を形成する。具体的には、図６（Ａ）に示すように、まず、シリコン基板１３を用意する。シリコン基板１３としては、例えば、厚み４００μｍの面方位＜１００＞のシリコン基板を用いる。そして、本実施の形態では、さらに、このシリコン基板上に、シリコン酸化膜を０．５μｍ、及びシリコン膜２．０μｍを順に成膜したＳＯＩ基板を、シリコン基板１３として用いる。そして、このシリコン基板１３上に、パイロ酸化法等を用いてシリコン酸化膜を０．６μｍの厚みに成膜する。これによって、シリコン基板１３上に振動板２３を設けた構成とする。なお、例えば、ＳＯＩ基板上の最表面のシリコン膜、及びＳＯＩ基板上に成膜したシリコン酸化膜が、振動板２３として機能する。
【００５３】
次に、図６（Ｂ）に示すように、共通電極２０ＡとなるＰｔ層を、スパッタ法を用いて０．１μｍの厚みに成膜し、図６（Ｃ）に示すように、リソエッチ法によりパターニングを行なう。次に、この共通電極２０Ａ上の、後工程で加圧液室１４Ａの設けられる位置に対応する領域に、圧電体２０Ｂの構成膜、個別電極２０Ｃの構成膜を、各々１．０μｍ、０．１μｍの厚みに成膜した後に（図示省略）、リソエッチ法によりこれらの膜をパターニングする（図６（Ｃ）参照）。これによって、複数の圧電素子２０が形成された状態となる。
【００５４】
次に、図６（Ｄ）に示すように、シリコン基板１３上の、後工程で形成する加圧液室１４Ａの液室列間に相当する領域に、駆動素子１８を設置する。そして、図１に示す駆動素子１８のパンプ２２を、各圧電素子２０の個別電極２０Ｃに接続された引出配線に接合することによって、各圧電素子２０と駆動素子１８とを導通させる。
【００５５】
次に、図４に示す、共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、駆動素子用空間１６Ｃ、圧電素子用空間１６Ｄ、隔壁部材３４、連通孔３２の設けられた共通液室基板１６を、別途作製する。そして、作製した共通液室基板１６を、上記圧電素子２０及び駆動素子１８の設けられた上記シリコン基板１３上に接合（接着）する。
【００５６】
なお、共通液室基板１６は、例えば、面方位＜１１０＞のシリコン基板を用意し、このシリコン基板にＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）や、ＫＯＨ（水酸化カリウム）等のアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングによる加工を行うことによって上記各空間（共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、駆動素子用空間１６Ｃ、圧電素子用空間１６Ｄ、及び連通孔３２）を形成することによって作製すればよい。
【００５７】
なお、共通液室基板１６の作製方法は、このような方法に限られない。例えば、樹脂モールドやメタルインジェクションモールドなどの成型部品を用いて、図４に示す形状の各空間（共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、駆動素子用空間１６Ｃ、圧電素子用空間１６Ｄ、及び連通孔３２）を有する共通液室基板１６を作製してもよい。
【００５８】
なお、低コストである点、及び加工品質が良い点等から、シリコン単結晶基板を用意し、この基板に上記各空間を形成する加工を施すことで、共通液室基板１６を作製することが好ましい。
【００５９】
なお、液滴吐出ヘッド１０の駆動時には、この共通液室基板１６の共通液室１６Ａ及び貫通孔１６Ｂ内には、液滴吐出ヘッド１０で吐出するインク滴のインクを供給する。また、共通液室基板１６の駆動素子用空間１６Ｃ内には、この空間内に配置される駆動素子１８を冷却するための冷却媒体を充填する場合がある。このため、これらの共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、駆動素子用空間１６Ｃ、圧電素子用空間１６Ｄ、及び連通孔３２の壁面には、これらの液体から共通液室基板１６本体を保護するための保護膜を設けることが好ましい。特に、少なくとも貫通孔１６Ｂには、この保護膜を設けることが好ましい。このような保護膜を少なくとも貫通孔１６Ｂに設けることによって、共通液室基板１６本体の液体による浸食を抑制することができ、液滴吐出ヘッド１０の信頼性の向上や製品寿命を長くすることができる。
【００６０】
この保護膜の構成成分としては、共通液室１６Ａ及び貫通孔１６Ｂについては、液滴吐出ヘッド１０で吐出する液滴の液体から共通液室基板１６本体を保護する材料を用いればよい。また、駆動素子用空間１６Ｃ、圧電素子用空間１６Ｄ、及び連通孔３２の壁面については、この保護膜の保護成分としては、上記冷却媒体から共通液室基板１６本体を保護する材料を用いればよい。
【００６１】
この保護膜の構成成分としては、具体的には、水分透過性の低い酸化シリコン（ＳｉＯ２）や、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸窒化シリコン（ＳｉＯＮ）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、ポリパラキシリレン等を挙げることができる。
【００６２】
次に、上記シリコン基板１３における、圧電素子２０の設けられた側とは反対側の面を、研磨してシリコン基板１３Ａとする（図７（Ａ）参照）。このシリコン基板１３の研磨の度合を調整することによって、個別液室基板１４の厚みを調整することができる。例えば、シリコン基板１３を５０μｍの厚みにまで研磨して、シリコン基板１３Ａとする。
【００６３】
このシリコン基板１３の研磨は（図６（Ｄ）、及び図７（Ａ）参照）、図８に示すように共通液室基板１６の振動板２３とは反対側の面に研磨保護テープ４０を設けた状態で行う。
【００６４】
ここで、共通液室基板１６に研磨保護テープ４０を設けた状態で、シリコン基板１３の研磨を行うと、共通液室基板１６への研磨保護テープ４０の接着度合のばらつきから、隔壁部材３４によって分割された各空間（駆動素子用空間１６Ｃ１及び駆動素子用空間１６Ｃ２）間に圧力差が生じる場合がある。また、シリコン基板１３の研磨時には、上記各種空間の設けられた共通液室基板１６がシリコン基板１３に接合されていることから、研摩による圧力によって、共通液室基板１６に設けられた各空間内の角部等にクラック（ヒビ）が入る場合や、個別液室基板１４となるシリコン基板１３Ａに反りが発生する場合があった。
【００６５】
これは、シリコン基板１３の研磨時には、研磨時に用いるブレードと共通液室基板１６との間に、研摩によって薄くなったシリコン基板１３Ａが挟まれた状態となるため、シリコン基板１３Ａが拠れてしまう現象のためである。また、共通液室基板１６とシリコン基板１３との貼り合せに用いた接着剤の硬化時に発生するガスや、研磨保護テープ４０を共通液室基板１６に貼りつけるときに生じる駆動素子用空間１６Ｃ１及び駆動素子用空間１６Ｃ２間に加わる圧力のバラツキによって、研摩終了前には、研摩によって薄くなったシリコン基板１３Ａが共通液室基板１６の各空間を押し上げる現象のためと推測できる。
【００６６】
しかしながら、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、駆動素子用空間１６Ｃに設けられた隔壁部材３４には、連通孔３２が設けられている。このため、駆動素子用空間１６Ｃ１及び駆動素子用空間１６Ｃ２間に圧力差が生じることが抑制され、上記クラックの発生や反りの発生を抑制することができる。このため、液滴吐出ヘッド１０の剛性の向上を図ることができる。
【００６７】
また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、液滴吐出不良の生じる液滴吐出ヘッド１０の製造を抑制することができるので、液滴吐出ヘッド１０の生産性の向上を図ることができる。
【００６８】
次に、研摩によって得られたシリコン基板１３Ａの、圧電素子２０とは反対側の面を加工することによって、加圧液室１４Ａ、貫通孔１４Ｂ、流体抵抗部１７を形成する（図１も参照）。これによって、複数の隔壁部１５によって区切られた複数の加圧液室１４Ａを有する個別液室基板１４を形成することができる。
【００６９】
なお、このシリコン基板１３Ａの加工方法としては、例えば、シリコン基板１３Ａの圧電素子２０とは反対側の面にレジストマスクを設け、このレジストマスクを介してＩＣＰドライエッチングによりエッチングする方法を挙げることができる。
【００７０】
次に、図７（Ｃ）に示すように、例えば、スルファミン酸浴で高速電鋳法により製作した、ノズル孔１２Ａの設けられたノズル基板１２を、個別液室基板１４の圧電素子２０とは反対側の面に接着する。
【００７１】
そして、更に、図７（Ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド１０で吐出する液体を共通液室１６Ａに供給するための供給口１９Ａの設けられたフレーム基板１９（図５も参照）を、共通液室基板１６上に接合することによって、液滴吐出ヘッド１０を作製することができる。
【００７２】
上述のように構成された液滴吐出ヘッド１０では、各圧電素子２０を駆動させるための駆動信号が、図示を省略する外部装置から入力配線３６を介して駆動素子１８に入力される。そして、この駆動信号が入力されると、駆動素子１８は、入力された駆動信号に応じた電圧値及びパルス幅の波形を示す駆動電圧信号を、インク吐出対象の圧電素子２０に選択的に出力する。
【００７３】
駆動電圧信号が入力された圧電素子２０は、入力された駆動電圧信号に応じて駆動する。詳細には、入力された駆動電圧信号に応じた電圧が、インク吐出対象の圧電素子２０の個別電極２０Ｃと共通電極２０Ａとの間に印可されて、これらの電極間の圧電体２０Ｂに歪みが生じる。これによって、駆動した圧電素子２０に対応する加圧液室１４Ａ内のインクをノズル孔１２Ａからインク滴として吐出することができる。
【００７４】
以上説明したように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、上述のように、駆動素子用空間１６Ｃに隔壁部材３４が設けられており、この隔壁部材３４には、連通孔３２が設けられている。このため、液滴吐出ヘッド１０の製造時に、各駆動素子用空間１６Ｃが密閉状態となり、隔壁部材３４によって分割された各空間（駆動素子用空間１６Ｃ１、駆動素子用空間１６Ｃ２）間に圧力差が生じることを抑制することができる。
【００７５】
また、この隔壁部材３４は、共通液室基板１６における該隔壁部材３４に連続する領域の厚みと同じ厚みであることから、加圧液室１４Ａの配列方向に沿って延在する形状とされた駆動素子用空間１６Ｃが設けられていても、液滴吐出ヘッド１０の剛性の低下を抑制することができる。さらに、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、駆動素子１８が各加圧液室１４Ａの液室列間に対応する領域に設けられており、上記駆動素子用空間１６Ｃもこの液室列間に設けられていることから、該構成としない場合に比べて、液滴吐出ヘッド１０の小型化を図ることができる。
【００７６】
従って、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、液滴吐出ヘッド１０の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。
【００７７】
また、液滴吐出ヘッド１０の小型化と高画質化を図るためには、加圧液室１４Ａや圧電素子２０を更に高密度に配列させる必要があり、加圧液室１４Ａの配列方向の長さがより長くなることが考えられる。しかし、加圧液室１４Ａの配列方向の長さが長くなることに伴って、駆動素子用空間１６Ｃの該配列方向の長さがより長くなった場合であっても、本実施の形態の隔壁部材３４を備えた構成とすることによって、高い剛性を実現しつつ、且つ液滴吐出ヘッド１０の小型化を図ることができる。
【００７８】
なお、本実施の形態では、隔壁部材３４は、駆動素子用空間１６Ｃを加圧液室１４Ａの配列方向に交差する交差方向に２分割する位置に設けられている場合を説明した。しかし、隔壁部材３４は、駆動素子用空間１６Ｃを該交差方向に分割する位置に設けられていればよく、２分割に限られない。例えば、駆動素子用空間１６Ｃを該方向に３分割以上に分割する位置の各々に設けられていてもよい。
【００７９】
また、本実施の形態では、圧電素子用空間１６Ｄは、個別液室基板１４上に設けられた各圧電素子２０の各々に対応する領域に設けられており、圧電素子２０側に開口した凹部状の空間である場合を説明した。しかし、圧電素子用空間１６Ｄは、複数の圧電素子２０毎に、これらの複数の圧電素子２０を覆うように設けられた空間であってもよい。しかしながら、圧電素子用空間１６Ｄを、各圧電素子２０の各々に対応する領域に設けた構成である方が好ましい。これは、各圧電素子用空間１６Ｄが、各圧電素子２０毎に設けられることから、振動板２３が、各圧電素子２０に対応する領域毎に、共通液室基板１６によって封止された状態となるためである。そして、該封止された状態とすることによって、振動板２３における各圧電素子２０に対応する領域の弾力性やたわみ強度を、振動板２３における各圧電素子２０に対応する領域毎に確保することができる。このため、圧電素子用空間１６Ｄを、各圧電素子２０の各々に対応する領域に設けた構成とすると、隣接する加圧液室１４Ａでクロストークが発生することを抑制することができる。
【００８０】
なお、本実施の形態では、駆動素子用空間１６Ｃは、共通液室基板１６を厚み方向に貫通した空間である場合を説明した。しかし、上述のように、駆動素子用空間１６Ｃは、駆動素子１８を保護する空間であればよく、共通液室基板１６を厚み方向に貫通した空間である場合に限られない。
【００８１】
例えば、駆動素子用空間１６Ｃは、駆動素子１８の位置される側に開口した凹形状の空間であってもよい。この場合には、具体的には、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、駆動素子１８の位置される側に開口した凹形状の空間である駆動素子用空間１６Ｃを備えた共通液室基板１６０を、液滴吐出ヘッド１０を構成する上記共通液室基板１６に変えて用いればよい。
【００８２】
また、本実施の形態では、隔壁部材３４に設けられた連通孔３２は、隔壁部材３４を加圧液室１４Ａの配列方向（矢印Ａ方向）に分断するように設けられている場合を説明した。しかし、連通孔３２は、駆動素子用空間１６Ｃにおける、隔壁部材３４によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、その形状、位置は、限定されない。
【００８３】
例えば、加圧液室１４Ａの配列方向に分断する連通孔３２を有する隔壁部材３４に変えて、図９（Ａ）、図９（Ｃ）、及び図１１（Ｃ）に示すように、駆動素子１８側に開口した凹形状の連通孔３３を有する隔壁部材３５を備えた構成の共通液室基板１６０としてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド１０における共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６０を備えた液滴吐出ヘッド（図示省略）としてもよい。
【００８４】
なお、この場合についても、隔壁部材３５は、隔壁部材３４と同様に、その厚み（図９（Ｃ）中、厚みＣ１参照）が、共通液室基板１６０における該隔壁部材３５に連続する領域の厚み（図９（Ｃ）中、厚みＣ２参照）と同じ厚みであればよい。
【００８５】
また、上記実施の形態では、共通液室基板１６に設けられた駆動素子用空間１６Ｃ及び隔壁部材３４（または隔壁部材３５）における、上記加圧液室１４Ａの配列方向（矢印Ａ方向）に交差する方向（矢印Ｂ方向）の壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向である場合を説明した（図４、図９等参照）。しかし、該壁面の面方向は、該配列方向に直交する方向に限られない。
【００８６】
例えば、隔壁部材３４の該配列方向に交差する方向の壁面、及び駆動素子用空間１６Ｃにおける該配列方向に交差する方向の壁面が、共通液室基板１６を構成するシリコン基板の面方位に平行な方向となるように、加工面を調整してもよい。具体的には、上記共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６１を用いてもよい（図１０（Ｂ）参照）。そして、上記液滴吐出ヘッド１０における共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６１を備えた液滴吐出ヘッド（図示省略）としてもよい。
【００８７】
図１０（Ｂ）に示すように、共通液室基板１６１は、面方位＜１１０＞のシリコン基板を加工することによって得られた基板であり、駆動素子用空間１６Ｃ及び隔壁部材３４における該配列方向に交差する方向の壁面が、面方位＜１１０＞と同じ方向（図１０（Ｂ）中、矢印Ｒ方向）となるように加工を行った基板である。
【００８８】
ここで、上述のように、共通液室基板１６を構成するシリコン基板への各種空間（駆動素子用空間１６Ｃ、共通液室１６Ａ、貫通孔１６Ｂ、圧電素子用空間１６Ｄ等）の加工には、エッチングを用いる。このため、共通液室基板１６１のように、駆動素子用空間１６Ｃ及び隔壁部材３４における壁面の面方向の少なくとも一部を、これらの駆動素子用空間１６Ｃや隔壁部材３４の加工を行うシリコン基板の面方位と同じ方向とすると、該同じ方向としない場合に比べて、面方位＜１１０＞面の加工時のエッチングレートをより小さくすることができる。このため、駆動素子用空間１６Ｃ及び隔壁部材３４における壁面の面方向の少なくとも一部を、これらの駆動素子用空間１６Ｃや隔壁部材３４の加工を行うシリコン基板の面方位と同じ方向とすることによって、ドライエッチングのみではなく、ウェットエッチングによる加工をも選択的に用いることができる。
【００８９】
なお、上記実施の形態では、隔壁部材３４（隔壁部材３５）に設けられた連通孔３２（連通孔３３）は、隔壁部材３４（隔壁部材３５）によって分割された空間間（駆動素子用空間１６Ｃ１と駆動素子用空間１６Ｃ２との空間間）を、加圧液室１４Ａの配列方向に略平行な方向に直線状に貫通する孔である場合を説明した（図１、図４、図９等参照）。
【００９０】
しかしながら、連通孔３２（連通孔３３）は、駆動素子用空間１６Ｃにおける隔壁部材３４（隔壁部材３５）によって分割された空間間を貫通する孔であればよく、加圧液室１４Ａの配列方向に直線状に貫通する孔に限られない。
【００９１】
例えば、連通孔３２（連通孔３３）は、駆動素子用空間１６Ｃにおける隔壁部材３４（隔壁部材３５）によって分割された空間間を、階段状に貫通する孔であってもよいし、加圧液室１４Ａの配列方向に交差する方向に貫通する孔であってもよい。
【００９２】
具体的には、隔壁部材３４の設けられた共通液室基板１６に変えて、隔壁部材４０を有する共通液室基板１６２を用いてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド１０における共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６２を備えた液滴吐出ヘッド（図示省略）としてもよい。
【００９３】
図１１（Ａ）に示すように、共通液室基板１６２は、駆動素子用空間１６Ｃ１と駆動素子用空間１６Ｃ２との空間間を階段状に貫通した連通孔４１を備えた隔壁部材４０を有する。また、図１１（Ａ）に示す例では、連通孔４１は、隔壁部材４０を分断するように設けられている。このため、図１１（Ａ）に示す例では、隔壁部材４０は、連通孔４１によって分割された隔壁部材４０Ａと隔壁部材４０Ｂとから構成されている。
【００９４】
また、具体的には、隔壁部材３４の設けられた共通液室基板１６に変えて、隔壁部材４２を有する共通液室基板１６３を用いてもよい。そして、上記液滴吐出ヘッド１０における共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６３を備えた液滴吐出ヘッド（図示省略）としてもよい。
【００９５】
図１１（Ｂ）に示すように、共通液室基板１６３は、駆動素子用空間１６Ｃ１と駆動素子用空間１６Ｃ２との空間間を加圧液室１４Ａの配列方向（矢印Ａ方向）に対して傾いた方向に貫通した連通孔４３を備えた隔壁部材４２有する。また、図１１（Ｂ）に示す例では、連通孔４３は、隔壁部材４２を分断するように設けられている。このため、図１１（Ｂ）に示す例では、隔壁部材４２は、連通孔４３によって分割された隔壁部材４２Ａと隔壁部材４２Ｂとから構成されている。
【００９６】
なお、上記共通液室基板１６０、共通液室基板１６１、共通液室基板１６２、共通液室基板１６３を備えた液滴吐出ヘッドは、上記に説明した共通液室基板１６を備えた液滴吐出ヘッド１０における共通液室基板１６に変えて、共通液室基板１６０、共通液室基板１６１、共通液室基板１６２、共通液室基板１６３の各々を設けた以外は、液滴吐出ヘッド１０と同じ構成であるため、説明を省略する。
【００９７】
なお、本実施の形態では、液滴吐出ヘッド１０は、ノズル基板１２に設けたノズル孔１２Ａからインク滴を吐出するサイドシューター方式のヘッドである場合を説明した。しかし、本実施の形態における液滴吐出ヘッド１０は、このようなサイドシューター方式に限られない。
【００９８】
また、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド１０が、液滴としてインク滴を吐出する場合を説明したが、本実施の形態における液滴吐出ヘッド１０は、このようなインク滴を吐出する形態に限られない。例えば、液滴吐出ヘッド１０は、液滴として、液体レジストや、ＤＮＡ等の試料を吐出してもよい。
【００９９】
（第２の実施の形態）
第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１０は、液滴吐出装置等の画像形成装置に対して着脱可能に構成されたインクカートリッジに適用することができる。以下、インクカートリッジの一の形態を説明する。
【０１００】
本実施の形態では、図１２に示すように、インクカートリッジ７０は、ノズル孔１２Ａの設けられた上記第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１０と、インクタンク７２と、を備えている。インクタンク７２は、インクを貯留すると共に、貯留したインクを液滴吐出ヘッド１０へ供給する。液滴吐出ヘッド１０は、インクタンク７２から供給されたインクのインク滴をノズル孔１２Ａから吐出する。
【０１０１】
このように、インクカートリッジ７０は、液滴吐出ヘッド１０とインクタンク７２とが一体的に構成されている。このため、液滴吐出ヘッド１０を備えたインクカートリッジ７０は、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０を備えない場合に比べて、インクカートリッジ７０の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。
【０１０２】
（第３の実施の形態）
第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１０は、液滴吐出装置等の画像形成装置に適用することができる。以下、画像形成装置の一例としての、液滴吐出装置の一の形態を説明する。
【０１０３】
図１３及び図１４には、該液滴吐出ヘッド１０を適用可能な液滴吐出装置５０の一例を示した。
【０１０４】
図１３及び図１４に示すように、液滴吐出装置５０は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、キャリッジ９３に搭載し、第１の実施の形態で説明した製造方法によって作製されたシリコンチップ２４Ａ（図１３及び図１４では図示省略）を備えた液滴吐出ヘッド１０、液滴吐出ヘッド１０へインクを供給するインクタンク７２等で構成される印字機構部８９等を収納する。記録装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット８５（或いは給紙トレイでもよい）を抜き差し自在に装着することができる、また、記録装置本体８１の下方部には、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ（図示省略）を搭載することができる。液滴吐出装置５０では、給紙カセット８５或いは手差しトレイ（図示省略）から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８９によって所要の画像を該用紙８３に記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８７に該用紙８３を排紙する。
【０１０５】
印字機構部８９は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッド１０を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。また、キャリッジ９３には液滴吐出ヘッド１０に各色のインクを供給するための各インクタンク７２を交換可能に装着している。なお、インクタンク７２と液滴吐出ヘッド１０とを一体的に構成してインクカートリッジ７０とし、液滴吐出装置５０本体に対して着脱可能に構成してもよい。
【０１０６】
インクタンク７２は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッド１０へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッド１０へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液滴吐出ヘッド１０としてここでは各色のヘッドを用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【０１０７】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【０１０８】
一方、給紙カセット８５にセットした用紙８３を液滴吐出ヘッド１０の下方側に搬送するために、給紙カセット８５から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【０１０９】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を液滴吐出ヘッド１０の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８７に送り出す排紙ローラ１１３及び１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５とを配設している。
【０１１０】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド１０を駆動することにより、停止している用紙８３にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【０１１１】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド１０の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で液滴吐出ヘッド１０をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【０１１２】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド１０の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（図示しない）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【０１１３】
上述のように、本実施の形態の液滴吐出装置５０は、第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１０を備えている。このため、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０を備えない場合に比べて、液滴吐出装置５０の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。
【０１１４】
なお、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド１０を搭載した画像形成装置の一例として、液滴吐出装置５０を説明したが、液滴吐出ヘッド１０を搭載可能な画像形成装置は、液滴吐出装置５０に限られない。
【０１１５】
例えば、液滴吐出ヘッド１０を搭載可能な画像形成装置としては、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の装置を挙げることができる。
【０１１６】
（第４の実施の形態）
第１の実施の形態で説明した液滴吐出ヘッド１０は、マイクロポンプ等のマイクロデバイスに適用することができる。以下、マイクロポンプの一の形態を説明する。
【０１１７】
図１５には、液滴吐出ヘッド１０を適用可能なマイクロポンプ６０の一例を示した。
【０１１８】
マイクロポンプ６０は、個別液室基板１４と、共通液室基板１６と、基板６４と、基板６２と、の積層体である。なお、個別液室基板１４と共通液室基板１６とが、液滴吐出ヘッド１０における個別液室基板１４と共通液室基板１６とに相当する。そして、共通液室基板１６の各圧電素子用空間１６Ｄ内には、圧電素子２０が配置されている。
【０１１９】
共通液室基板１６は、圧電素子２０の設けられた振動板２３が長手方向に連続して複数配列された構成である。このため、マイクロポンプ６０では、この振動板２３と基板６２との間の流路１４Ｆ中を流体が流れる構造となっている。なお、図示は省略するが、振動板２３は、複数の絶縁膜による積層構造である。
【０１２０】
なお、本実施の形態では、振動板２３は、連続して複数配列された構成である場合を説明するが、マイクロポンプ６０毎に１枚の振動板２３から構成してもよい。また、流路１４Ｆ中には、流路１４Ｆ中を流れる流体の輸送効率を上げるために、弁等を設けてもよい。
【０１２１】
この共通液室基板１６には、図１５では図示は省略するが、駆動素子用空間１６Ｃ及び隔壁部材３４が設けられている。
【０１２２】
このため、マイクロポンプ６０の小型化、及び剛性の向上を実現することができる。
【０１２３】
なお、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッド１０を適用可能なマイクロデバイスとして、マイクロポンプ６０を一例として挙げて説明したが、マイクロポンプ６０に限られない。液滴吐出ヘッド１０は、マイクロ光アレイ、マイクロスイッチ（マイクロリレー）、マルチ光学レンズのアクチュエータ（光スイッチ）、マイクロ流量計、圧力センサ等のマイクロデバイスにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１２４】
１０  液滴吐出ヘッド
１２  ノズル基板
１２Ａ  ノズル孔
１４  個別液室基板
１４Ａ  加圧液室
１６、１６０、１６１、１６２、１６３  共通液室基板
１６Ａ  共通液室
１６Ｂ  貫通孔
１６Ｃ  駆動素子用空間
１６Ｄ  圧電素子用空間
１８  駆動素子
２０  圧電素子
２３  振動板
３２、３３、４１、４３  連通孔
３４、３５、４０、４２、３４Ａ、３４Ｂ、３５Ａ、３５Ｂ、４０Ａ、４０Ｂ、４２Ａ、４２Ｂ  隔壁部材
５０  液滴吐出装置
６０  マイクロポンプ
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１２５】
【特許文献１】特開平５−２８６１３１号公報
【特許文献２】特開２００５−５３０７９号公報
【特許文献３】特開２００９−１６６４５２号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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