(57)【要約】【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサ装置に関し、角速度の検出精度を向上させることを目的とする。【解決手段】この目的を達成するために、振動型センサ素子１およびこのセンサ素子１を振動可能に支持する台座７と、台座７を天面に実装するとともにセンサ素子１を制御するＩＣ２をパッケージ３内部に配置した角速度センサ装置において、台座７を形成する底板１６の実装面の少なくとも四隅に凹部１９を形成し残部２０をＩＣの天面に接続する構成とした。【選択図】図１
2012021964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動型のセンサ素子と、このセンサ素子を振動可能に支持する台座と、天面に前記台座を実装するとともに前記センサ素子を制御するＩＣと、これらセンサ素子、台座、ＩＣを収容するパッケージとを備え、前記センサ素子はＸＹＺ座標系のＸ軸方向において振動中心から対称方向に基本振動するとともにＺ軸回りの角速度の印加によりＹ軸方向に検出振動する駆動アームと、一端が前記駆動アームの振動中心部分に接続され他端がＹ軸方向に延出されて前記台座に接続された支持アームを有し、前記台座は、矩形状の底板と、この底板の対向側面に設けた一対の側壁を設け、前記側壁に前記支持アームを接続する構造とし、前記底板の実装面において少なくとも四隅部分に凹部を設けるとともに、残部を前記ＩＣの天面に接続したことを特徴とする角速度センサ装置。
【請求項２】
残部の形状を十字状としたことを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ装置。
【請求項３】
十字状の残部における交差部の幅よりこの交差部から外周端方向へ延出する枝部の幅を狭くしたことを特徴とする請求項２に記載の角速度センサ装置。
【請求項４】
十字状の残部における交差部とこの交差部から外周端方向へ延出する枝部の間に溝を設けたことを特徴とする請求項２に記載の角速度センサ装置。
【請求項５】
凹部が底板を貫通したことを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ装置。
【請求項６】
固定部と、この固定部に一端が接続されるとともに上面に少なくとも１つのＹ軸検出圧電電極を設けたＹ軸検出振動体と、このＹ軸検出振動体の他端と一端を接続された捩れ延出部と、一端を前記捩れ延出部と接続されるとともに、捩れ延出部から垂直な方向に延出されかつ上面に少なくとも１つの駆動圧電電極を設けた駆動振動体と、一端を駆動振動体の他端に接続されるとともに駆動振動体の延出方向と垂直な方向に延出され、さらに上面に少なくとも１つのＺ軸検出圧電電極を設けたＺ軸検出振動体と、このＺ軸検出振動体の他端と接続された重り部とからなる角速度センサ素子と、この角速度センサ素子を振動可能に支持する台座と、上面に前記台座を設けるとともに前記角速度センサ素子を制御するＩＣと、前記角速度センサ素子、台座およびＩＣを収納するケースとを備え、前記台座における略中央に十字接着部を設けるとともにＹ軸検出振動体に対向する箇所にＹ軸検出接着部を設ける構成とした角速度センサ装置。
【請求項７】
台座における接着部を、台座と同一材料で一体に設けるようにした請求項６に記載の角速度センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサ装置は、図１に示すように角速度を検出するセンサ素子１および制御用のＩＣ２をパッケージ３の内部に収容した構造であり、角速度センサ装置の低背化のため、センサ素子１をＸ軸方向に基本振動させ、検出軸（Ｚ軸）回りに角速度が印加されることでセンサ素子１にコリオリ力が働きＹ軸方向の振動が励起されるというように、基本振動と検出振動が同一平面内（ＸＹ平面内）となる構造が検討されている。
【０００３】
そして、このような振動型のセンサ素子１は、図２に示すように、振動中心４に対して左右対称につづら折り形状の駆動アーム５を配置しＸ軸方向に対称に基本振動させ、Ｚ軸回りの角速度の印加により駆動アーム５がＹ軸方向に検出振動し、この検出振動による機械的変位を電気信号に変換し出力するものであり、センサ素子１は駆動アーム５が振動可能に支持する必要があるため、駆動アーム５の振動中心４から支持アーム６を導出し、この支持アーム６を台座７を介してＩＣ２に実装している。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−９１３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そして、昨今の電子部品の小型薄型化に伴いこのような角速度センサ装置においても構成部品の小型薄型化が進み、パッケージ３、台座７、ＩＣ２およびセンサ素子１といった各構成部品の強度が低くなってきており、角速度センサ装置を実装するマザー基板の変形などによる外部応力の影響が大きくなり、特にセンサ素子１の対角方向に働くねじれ応力は駆動アーム５の基本振動方向がＹ軸方向にズレる方向に働くため、基本振動に対するコリオリ力を検出する角速度センサ素子１に対しては検出精度の劣化に繋がっていた。
【０００７】
そこで、本発明はこのような問題を解決し、角速度センサ装置の検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そして、この目的を達成するために本発明は、振動型センサ素子およびこのセンサ素子を振動可能に支持する台座と、台座を天面に実装するとともにセンサ素子を制御するＩＣをパッケージ内部に配置した角速度センサ装置において、台座を形成する底板の実装面の少なくとも四隅に凹部を形成し残部をＩＣの天面に接続する構成としたのである。
【発明の効果】
【０００９】
この構造により本発明は、角速度センサ装置の検出精度の劣化を抑制することが出来るのである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１における角速度センサ装置の分解斜視図
【図２】同角速度センサ装置を構成するセンサ素子の上面図
【図３】同センサ素子に設ける電極の動作原理を示す模式図
【図４】同センサ素子の基本振動状態を示す模式図
【図５】同センサ素子の検出振動状態を示す模式図
【図６】同センサ素子を支持する台座の上面側斜視図
【図７】同台座の下面側斜視図
【図８】他の実施の形態における台座の下面側斜視図
【図９】他の実施の形態における台座の下面側斜視図
【図１０】他の実施の形態における台座の下面側斜視図
【図１１】他の実施の形態における台座の下面側斜視図
【図１２】本発明の実施の形態２における角速度センサ装置の分解斜視図
【図１３】同角速度センサ装置における角速度センサ素子の上面図
【図１４】同角速度センサ装置における台座を裏側からみた斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜５に記載の発明について説明する。
【００１２】
図１は角速度センサ装置を示したものであり、その基本的な構造はセラミクスからなる一端開口のパッケージ３の内部に角速度を検出する振動型のセンサ素子１と、このセンサ素子１に駆動信号を印加する駆動制御回路およびセンサ素子１から出力された検出信号を処理する検出回路を包含するＩＣ２を配置し、パッケージ３の開口を上蓋８で封口する構造となっている。なお、センサ素子１は台座７を介してＩＣ２の天面に実装することでセンサ素子１の振動空間を確保している。
【００１３】
また、センサ素子１は図２に示すように、支持アーム６を対称軸とし錘部９を対称配置するとともに、それぞれの錘部９を一対の蛇行状の駆動アーム５で支持アーム６に接続したジャバラ型構造であり、駆動アーム５の上面には後述する駆動電極１０や検知電極１１を設けている。なお、センサ素子１の振動バランスを確保するため、各錘部９に接続される一対の駆動アーム５は振動中心４を通るＸ軸を対称軸とした対称構造とするとともに、この駆動アーム５を支持する支持アーム６についても検出振動の振幅を大きくするため振動中心４部分で分轄し、この分轄部分を一対の駆動アーム５が跨るように接続した構成としている。
【００１４】
また、駆動電極１０や検知電極１１の電極構造は、図３に示すようにＡｕからなる上部電極１２とＰｔからなる下部電極１３と、これらの間に配置されたＰＺＴからなる圧電体層１４からなる積層電極構造であり、下部電極１３をグランド接続した状態で上部電極１２に正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、この圧縮力により電極パターンが延びる方向に応力が発生し、これとは逆に負電圧を印加すると電極に引張力が働き、この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生するものである。また、これとは逆に電極が撓み圧縮応力を受けることで負電圧を発生し、電極が延び引張応力を受けることで正電圧を発生させるものである。
【００１５】
そして、この振動型のセンサ素子１を用いた角速度の検出にあたっては、駆動電極１０にＩＣ２から駆動信号を印加することで図４に示すように駆動アーム５を支持アーム６の先端部分を振動中心４としてＸ軸方向に基本振動させ、この振動状態において振動平面（ＸＹ平面）に直交するＺ軸方向の検出軸回りに角速度が加わることでコリオリ力により図５に示すように駆動アーム５にＹ軸方向の検出振動が生じ、この検出振動を検知電極１１により電気信号に変換しＩＣ２に出力するのである。なお、駆動アーム５の振動中心４部分に設けられたモニタ電極１５は駆動アーム５の基本振動の振動状態を検出しＩＣ２での駆動信号の生成にフィードバックするための電極である。
【００１６】
そして、センサ素子１を支持する台座７は、図６に示すようにセンサ素子１を実装する上面側が矩形状の底板１６に対してＹ軸方向の対向側面部分に側壁１７を設けるとともにＸ軸方向の対向側面部分を開口した形状とし、側壁１７の天面に図２に示すセンサ素子１の支持アーム６の先端に設けられたＸ軸方向に延びる接続部１８を接続固定し支持アーム６および駆動アーム５を中空支持することで、駆動アーム５を振動可能としている。
【００１７】
また、図７に示すように台座７の下面側、つまりＩＣ２の天面に対する実装面の四隅部分に凹部１９を設けた構造としており、この構造により角速度センサ装置の検出精度の劣化を抑制することが出来るのである。
【００１８】
すなわち、このような角速度センサ装置においては、上述したように部品の小型低背化を進める中で、センサ素子１、台座７、ＩＣ２、パッケージ３といった各構成部品の薄型化が進み、結果として各構成部品の強度が低くなり、角速度センサ装置を実装するマザー基板の変形などによる外部応力の影響が大きくなり、特にセンサ素子１の対角方向に働くねじれ応力は駆動アーム５の基本振動方向がＹ軸方向にズレるように働くため、基本振動に対するコリオリ力を検出する角速度センサ素子１に対しては検出精度の劣化に繋がっていた。
【００１９】
しかしながら、台座７の四隅に凹部１９を設けたことで台座７をＩＣ２に実装した状態でこの部分に隙間ができ、ＩＣ２から台座７の対角方向に働くねじれ応力の伝達を緩和でき、センサ素子１の基本振動状態を安定なものと出来ることから結果として角速度センサ素子１に対しては検出精度の劣化を抑制出来るのである。また、センサ素子１の基本振動のＩＣ２側への伝達についても肉薄となった凹部１９からパッケージ３の内部空間に発散されるようになり、基本振動に伴う角速度センサ装置の自励振によるノイズ検出をも抑制出来るのである。
【００２０】
なお、この一実施形態においては台座７の四隅に凹部１９を設けＩＣ２との接続箇所となる残部２０の形状を十字状としたのは、ＩＣ２との接続時の実装安定性を高めるためであり、台座７に加わるねじれ応力が低減出来ることから、残部２０の形状を特に図示していないが縦Ｉ字状や横Ｉ字状といった少なくとも凹部１９が四隅を含む構造であれば所期の効果を得ることができる。
【００２１】
また、図８に示すように十字状の残部２０における交差部２０ａから延出される枝部２０ｂの幅を交差部２０ａより狭くすることでＩＣ２との接続を幅広な交差部２０ａで行うとともに枝部２０ｂで安定性が確保でき、より多くの凹部１９の面積が確保できＩＣ２から台座７の対角方向に働くねじれ応力の伝達をより緩和できるのである。なお、凹部１９の面積を増やすという観点においては図９に示すように交差部２０ａと枝部２０ｂの間に溝２０ｃを設けても同様の作用効果を得ることができる。
【００２２】
また、凹部１９は必ずしも底板１６に対して有底状とする必要はなく図１０、図１１に示すように凹部１９が底板１６を貫通する構造としてもよい。
【００２３】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項６、７に記載の発明について説明する。
【００２４】
図１２は本発明の実施の形態２における角速度センサ装置の分解斜視図、図１３は同角速度センサ装置における角速度センサ素子の上面図、図１４は同角速度検出装置における台座を裏側からみた斜視図である。
【００２５】
図１２〜図１４において、２１は２軸検出用角速度センサ素子である。２２はＳｉからなる第１の固定部で、この第１の固定部２２の上面には一対の駆動電極ランド２２ａ、１つのＹ方向検出電極ランド２３、４つのＺ方向検出電極ランド２４、ＧＮＤ電極ランド２５およびモニタ電極ランド２６を設けている。２７はＳｉからなる第１のＹ軸検出振動体で、この第１のＹ軸検出振動体２７は一端を第１の固定部２２の一端と接続されるとともに、上面にＹ軸検出圧電電極２８を設けており、このＹ軸検出圧電電極２８はＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極と、この共通ＧＮＤ電極の上面に設けられたＰＺＴ薄膜からなる圧電層とにより構成されている。３１はＳｉからなる第２のＹ軸検出振動体で、この第２のＹ軸検出振動体３１は一端を第１の固定部２２の他端と接続されるとともに、上面にＹ軸検出圧電電極２８を設けている。３２は捩れ延出部で、この捩れ延出部３２は前記第１のＹ軸検出振動体２７の他端と、第２のＹ軸検出振動体３１の他端とを連接している。３３は第１の駆動振動体で、この第１の駆動振動体３３は前記捩れ延出部３２から垂直な方向に延出されるとともに、上面に一対の駆動圧電電極３３ａを設けており、この駆動圧電電極３３ａはＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極と、この共通ＧＮＤ電極の上面に設けられたＰＺＴ薄膜からなる圧電層とにより構成されている。３４は第１のＺ軸検出振動体で、この第１のＺ軸検出振動体３４は前記第１の駆動振動体３３の他端に、第１の駆動振動体３３の延出方向と垂直な方向に延出されるとともに、Ｌ字形状に略中央を折り曲げられている。また、前記第１のＺ軸検出振動体３４の上面には、Ｚ軸検出圧電電極３５を設けており、このＺ軸検出圧電電極３５はＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極と、この共通ＧＮＤ電極の上面に設けられたＰＺＴ薄膜からなる圧電層とにより構成されている。３６は重り部で、この重り部３６は、前記第１のＺ軸検出圧電体３４の他端に接続されるとともに、一対の又部３７を設けており、この又部３７の各々を前記第１のＺ軸検出振動体３４の他端の両側に配設するように設けている。３８は第２の駆動振動体で、この第２の駆動振動体３８は捩れ延出部３２から垂直な方向に前記第１の駆動振動体３３と平行に延出されるとともに、上面に一対の駆動圧電電極３３ａを設けている。３９は第２のＺ軸検出振動体で、この第２のＺ軸検出振動体３９は前記第２の駆動振動体３８の他端に、第２の駆動振動体３８の延出方向と垂直な方向でかつ、前記第１のＺ軸検出振動体３４と反対の方向に延出されるとともに、Ｌ字形状に略中央を折り曲げられている。４０は重り部で、この重り部４０は前記第２のＺ軸検出振動体３９の他端に接続されている。４１はＳｉからなる第２の固定部で、この第２の固定部４１の上面には一対の駆動電極ランド４２、１つのＹ方向検出電極ランド４３、４つのＺ方向検出電極ランド４４、ＧＮＤ電極ランド４５およびモニタ電極ランド４６を設けている。４７はＳｉからなる第３のＹ軸検出振動体で、この第３のＹ軸検出振動体４７は一端を第２の固定部４１の一端と接続されるとともに、上面にＹ軸検出圧電電極２８を設けている。５１はＳｉからなる第４のＹ軸検出振動体で、この第４のＹ軸検出振動体５１は一端を第２の固定部４１の他端と接続されるとともに、上面にＹ軸検出圧電電極２８を設けている。そして、第３のＹ軸検出振動体４７の他端と、第４のＹ軸検出振動体５１の他端とは前記捩れ延出部３２に接続されている。５２は第３の駆動振動体で、この第３の駆動振動体５２は前記捩れ延出部３２から前記第２の駆動振動体３８と反対方向でかつ捩れ延出部３２と垂直な方向に延出されるとともに、上面に一対の駆動圧電電極３３ａを設けている。この駆動圧電電極３３ａはＰｔとＴｉの合金薄膜からなる共通ＧＮＤ電極と、この共通ＧＮＤ電極の上面に設けられたＰＺＴ薄膜からなる圧電層とにより構成されている。５４は第３のＺ軸検出振動体で、この第３のＺ軸検出振動体５４は前記第３の駆動振動体５２の他端に、第３の駆動振動体５２の延出方向と垂直な方向に延出されるとともに、Ｌ字形状に略中央を折り曲げられている。また、前記第３のＺ軸検出振動体５４の上面には、Ｚ軸検出圧電電極３５を設けている。５６は重り部で、この重り部５６は、前記第３のＺ軸検出振動体５４の他端に接続されている。５８は第４の駆動振動体で、この第４の駆動振動体５８は捩れ延出部３２から垂直な方向に前記第３の駆動振動体５２と平行に延出されるとともに、上面に一対の駆動圧電電極３３ａを設けている。５９は第４のＺ軸検出振動体で、この第４のＺ軸検出振動体５９は前記第４の駆動振動体５８の他端に、第４の駆動振動体５８の延出方向と垂直な方向でかつ、前記第３のＺ軸検出振動体５４と反対の方向に延出されるとともに、Ｌ字形状に略中央を折り曲げられている。また、前記第４のＺ軸検出振動体５９の上面には、Ｚ軸検出圧電電極３５を設けている。６０は重り部で、この重り部６０は前記第４のＺ軸検出振動体５９の他端に接続されている。そして、前記第１の駆動振動体３３、第２の駆動振動体３８、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８と捩れ延出部３２との接続箇所の近傍の上面には、各々、モニタ圧電電極６１を設けている。そしてまた、前記第１の固定部２２における駆動電極ランド２２ａは、第１の駆動振動体３３および第２の駆動振動体３８における駆動圧電電極３３ａと配線パターン６２により電気的に接続されるとともに、Ｙ方向検出電極ランド２３は配線パターン６２により、第１のＹ軸検出振動体２７および第２のＹ軸検出振動体３１におけるＹ軸検出圧電電極２８と電気的に接続されている。さらに、第１の固定部２２におけるＺ方向検出電極ランド２４は、第１のＺ軸検出振動体３４および第２のＺ軸検出振動体３９におけるＺ軸検出圧電電極３５と配線パターン６２により電気的に接続されるとともに、モニタ電極ランド２６は、第１の駆動振動体３３および第２の駆動振動体３８におけるモニタ圧電電極６１と配線パターン６２により電気的に接続されている。さらに、前記第２の固定部４１における駆動電極ランド４２は、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８における駆動圧電電極３３ａと配線パターン６２により電気的に接続されるとともに、Ｙ方向検出電極ランド４３は配線パターン６２により、第３のＹ軸検出振動体４７および第４のＹ軸検出振動体５１におけるＹ軸検出圧電電極２８と電気的に接続されている。さらに、第２の固定部４１におけるＺ方向検出電極ランド４４は、第３のＺ軸検出振動体５４および第４のＺ軸検出振動体５９におけるＺ軸検出圧電電極３５と配線パターン６２により電気的に接続されるとともに、モニタ電極ランド４６は、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８におけるモニタ圧電電極６１と配線パターン６２により電気的に接続されている。６３は直方体形状のＳｉからなる台座で、この台座６３は２軸検出用角速度センサ素子２１における第１の固定部２２および第２の固定部４１を支持する支持部６４を長手方向の両端側の上面に設けている。また、前記台座６３の下面には、２軸検出用角速度センサ素子２１における第１のＹ軸検出振動体２７、第２のＹ軸検出振動体３１、第３のＹ軸検出振動体４７および第４のＹ軸検出振動体５１に対向する箇所にＹ軸検出接着部６５を設けるとともに、略中央に十字接着部６６を設けている。そして、前記支持部６４、Ｙ軸検出接着部６５、十字接着部６６は、前記台座６３に一体に構成されている。
【００２６】
前記支持部６４、Ｙ軸検出接着部６５、十字接着部６６は、前記台座６３に同一材料で一体に構成されているため、熱膨張係数が互いに等しくなり、これにより、温度変化により、台座６３に応力が発生することを防止することができるという作用効果を有するものである。
【００２７】
６８はＩＣで、このＩＣ６８は、前記台座６３を上面に設けており、台座６３におけるＹ軸検出接着部６５および十字接着部６６と接着剤（図示せず）により固着されている。また、前記ＩＣ６８は２軸検出用角速度センサ素子２１を制御している。６９はケースで、このケース６９は前記２軸検出用角速度センサ素子２１、台座６３およびＩＣ６８を収納するとともに、内底面の段差部７０にケース電極７１を設けており、このケース電極７１を２軸検出用角速度センサ素子２１における一対の駆動電極ランド２２ａ、１つのＹ方向検出電極ランド２３、４つのＺ方向検出電極ランド２４、ＧＮＤ電極ランド２５、モニタ電極ランド２６、一対の駆動電極ランド４２、１つのＹ方向検出電極ランド４３、４つのＺ方向検出電極ランド４４、ＧＮＤ電極ランド４５およびモニタ電極ランド４６にワイヤー線７２を介して電気的に接続している。７３は上蓋で、この上蓋７３は前記ケース６９の上面開口部を閉塞している。
【００２８】
以上のように構成された本発明の実施の形態２における角速度センサ装置について、次にその動作を説明する。
【００２９】
第１の固定部２２における駆動電極ランド２２ａおよび第２の固定部４１における駆動電極ランド４２に交流電圧を印加することにより、配線パターン６２を介して、第１の駆動振動体３３、第２の駆動振動体３８、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８における駆動圧電電極３３ａの分極の方向と同じ方向の場合には引張応力が発生し、一方、反対の方向の場合には、圧縮応力が発生する。そうすると、交流電圧の位相に応じて、第１の駆動振動体３３、第２の駆動振動体３８、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８がＸ軸方向に速度Ｖで駆動振動する。この駆動振動は第１のＺ軸検出振動体３４、第２のＺ軸検出振動体３９、第３のＺ軸検出振動体５４および第４のＺ軸検出振動体５９を介して重り部３６、４０、５６、６０に伝わり、重り部３６、４０、５６、６０がＸ軸方向に速度Ｖで駆動振動する。
【００３０】
ここで、まず、角速度センサ素子にＺ軸方向回りの角速度が発生する場合を考える。
【００３１】
重り部３６、４０、５６、６０がコリオリ力により、Ｙ軸方向に振動駆動する。
【００３２】
そうすると、第１のＺ軸検出振動体３４、第２のＺ軸検出振動体３９、第３のＺ軸検出振動体５４および第４のＺ軸検出振動体５９における第１の駆動振動体３３、第２の駆動振動体３８、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８から垂直な方向に延出された箇所がＹ軸方向に振動駆動する。そして、角速度に応じた電荷がＺ軸検出圧電電極３５に発生する。さらに、第１のＺ軸検出振動体３４、第２のＺ軸検出振動体３９、第３のＺ軸検出振動体５４および第４のＺ軸検出振動体５９のＬ字形状に折り曲げられた先端側は、前述のＹ軸方向振動駆動に伴い、Ｘ軸方向に撓み振動する。したがって、この撓み振動により発生する電荷が、Ｚ軸検出圧電電極３５に加算して発生し、Ｚ軸周りの角速度を検出することができるものである。
【００３３】
次に、角速度センサ素子にＹ軸方向回りの角速度が発生する場合を考える。
【００３４】
その場合には、重り部３６、４０、５６、６０がコリオリ力により、Ｚ軸方向に振動駆動する。そうすると、第１のＺ軸検出振動体３４、第２のＺ軸検出振動体３９、第３のＺ軸検出振動体５４および第４のＺ軸検出振動体５９と、第１の駆動振動体３３、第２の駆動振動体３８、第３の駆動振動体５２および第４の駆動振動体５８を介して、捩れ延出部３２に捩り力が加わり、第１のＹ軸検出振動体２７、第２のＹ軸検出振動体３１、第３のＹ軸検出振動体４７および第４のＹ軸検出振動体５１がＺ軸方向に振動駆動する。そして、Ｙ軸検出圧電電極２８に電荷が発生し、Ｙ軸周りの角速度を検出することができるものである。
【００３５】
ここで、角速度センサ装置を相手側基板（図示せず）に実装することにより、相手側基板（図示せず）のゆがみに起因して、順次、ケース６９、ＩＣ６８、台座６３を介して２軸検出用角速度センサ素子２１に応力が伝達されようとする場合を考える。
【００３６】
本発明の実施の形態２における角速度センサ装置においては、台座６３に十字接着部６６を設けたため、台座６３とＩＣ６８との接着面積が減少することとなり、これにより、相手側基板（図示せず）のゆがみに起因する応力が台座６３の全体に伝わることがなくなるから、支持部６４を介して、２軸検出用角速度センサ素子２１における第１のＹ軸検出振動体２７、第２のＹ軸検出振動体３１、第３のＹ軸検出振動体４７および第４のＹ軸検出振動体５１に応力が伝達されることを防止できることとなり、その結果、Ｙ軸周りの角速度を正確に検出できるという作用効果を有するものである。
【００３７】
また、台座６３にＹ軸検出接着部６５を設けたため、台座６３とＩＣ６８との接着の平行度が安定することとなり、これにより、２軸検出用角速度センサ素子２１が接着面積の減少により傾くことがなくなるから、さらに角速度を正確に検出することができるという作用効果を有するものである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、角速度センサ装置の検出精度を高めるという効果を有し、特にカーナビゲーションシステムなどの小型で高感度な特性を要求する電子機器に用いる角速度センサにおいて有用となる。
【符号の説明】
【００３９】
１  センサ素子
２  ＩＣ
３  パッケージ
４  振動中心
５  駆動アーム
６  支持アーム
７  台座
１６  底板
１７  側壁
１９  凹部
２０  残部
２１  ２軸検出用角速度センサ素子
２２、４１  固定部
２７、３１、４７、５１  Ｙ軸検出振動体
２８  Ｙ軸検出圧電電極
３２  捩れ延出部
３３、３８、５２、５８  駆動振動体
３３ａ  駆動圧電電極
３４、３９、５４、５９  Ｚ軸検出振動体
３６、４０、５６、６０  重り部
６３  台座
６４  支持部
６５  Ｙ軸検出接着部
６６  十字接着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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