(57)【要約】【課題】複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造において、薬液などの滞留を抑制することができる流体機器ユニット構造を提供する。【解決手段】流路４３を介して接続される複数の流体機器類２，３と、複数の流体機器類２，３が集積して配置されるベース部材４と、ベース部材４の内部に配置された被締結部６と、少なくとも流体機器類３を貫通して被締結部６と締結されことにより、ベース部材４との間で流体機器類３を挟持する締結部材と、が設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を介して接続される複数の流体機器類と、
該複数の流体機器類が集積して配置されるベース部材と、
該ベース部材の内部に配置された被締結部と、
少なくとも前記流体機器類を貫通して前記被締結部と締結されことにより、前記ベース部材との間で前記流体機器類を挟持する締結部材と、
が設けられていることを特徴とする流体機器ユニット構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブや圧力スイッチ等の流体機器類を一体化した流体機器ユニット構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薬品等の流体を取り扱う装置においては、構成要素となる各種の流体機器類（バルブ類、レギュレータ、圧力センサ等の各種センサ類及び圧力スイッチ等の各種スイッチ類など）を配管で接続して一体化した構成とされている。
例えば、半導体製造装置のように複数の薬液用流体機器類を使用する場合、配管を用いることなく薬液用流体機器類どうしの連結を可能とする構造が提案されており、配管が不要になることから、装置全体のコンパクト化が可能とされている。
【０００３】
さらに、近年においては、部品取付スペースが小さくなって装置の小型化に有効なフットプリント（平面視の投影面積）の低減、装置の信頼性やメンテナンスの簡略化に有効なリークポイントの削減、及び流体の有効使用を可能にするデッドボリュームの低減等を目的とし、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造の開発が望まれている。
そこで、複数の流体機器類を集積させて一体化してフットプリントを低減した流体機器ユニット構造も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６３３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１に記載の発明では、各種の流体機器類は、流体機器類およびベース部材に形成された貫通孔に挿通されたボルトによりベース部材に固定されていたため、製造上または空間上の制約により、流体機器ユニット構造の内部に斜めに延びる流路が形成されていた。このような斜めの流路では内部を流れる薬液が滞留しやすく、いわゆる液溜りになるおそれがあるという問題があった。
例えば、スラリ状の薬液は滞留すると凝固しやすいため、上述の液溜りにおいて凝固するおそれがあるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造において、薬液などの滞留を抑制することができる流体機器ユニット構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の流体機器ユニット構造は、流路を介して接続される複数の流体機器類と、該複数の流体機器類が集積して配置されるベース部材と、該ベース部材の内部に配置された被締結部と、少なくとも前記流体機器類を貫通して前記被締結部と締結されことにより、前記ベース部材との間で前記流体機器類を挟持する締結部材と、が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、ベース部材の内部に配置された被締結部を用いて、流体機器類をベース部材に固定することにより、流体機器ユニット構造の内部に形成される流路の自由度が高くなり、流路内を流れる薬液等が滞留するおそれのある傾斜流路などの形成が抑制される。
【０００９】
つまり、流体機器類およびベース部材に形成された貫通孔および貫通孔に挿通されるボルトを用いて流体機器類をベース部材に固定する方法では、貫通孔およびボルトが占める空間が広く、かつ、配置位置の制約が厳しいのに対して、被締結部を用いて流体機器類をベース部材に固定する方法では、締結部および被締結部が占める空間が狭く、かつ、配置位置の自由度が高い。そのため、複数の流体機器類を接続する流路の配置位置の自由度も高くなり、上述の薬液等が滞留するおそれのある傾斜流路などの形成を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の流体機器ユニット構造によれば、ベース部材の内部に配置された被締結部を用いて、流体機器類をベース部材に固定することにより、流体機器ユニット構造の内部に形成される流路の自由度が高くなるため、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造において、薬液などの滞留を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る流体機器ユニットの構成の概略を説明する断面図である。
【図２】図１の流体機器ユニットの構成を説明するＡ−Ａ断面視図である。
【図３】図１および図２における配置部およびプレートの構成を説明するＢ−Ｂ断面視図である。
【図４】図３のボルトおよびプレートの構成を説明するＣ−Ｃ断面視図である。
【図５】図３のボルトおよびプレートの構成を説明するＤ−Ｄ断面視図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る流体機器ユニットの全体構成を説明する側面視図である。
【図７】図６の流体機器ユニットの構成を説明する上面視図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係る流体機器ユニットの全体構成を説明する側面視図である。
【図９】図８の流体機器ユニットの構成を説明する上面視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
〔第１の実施形態〕
以下、本発明の第１の実施形態に係る流体機器ユニットついて図１から図５を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る流体機器ユニットの構成の概略を説明する断面図である。図２は、図１の流体機器ユニットの構成を説明するＡ−Ａ断面視図である。
流体機器ユニット１は、図１および図２に示すように、空気圧操作弁（流体機器類）２および逆止弁（流体機器類）３をベース部材４に集積して一体化したものである。
【００１３】
本実施形態では、流体機器ユニット１にそれぞれ一つの空気圧操作弁２および逆止弁３が集積された例に適用して説明するが、流体機器ユニット１に集積される空気圧操作弁２などの流体機器類の数は、本実施形態のように２つであってもよいし、それ以上であってもよく、特に限定するものではない。
さらに、本実施形態では、主要部が耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成されている例に適用して説明する。
【００１４】
流体機器ユニット１には、図１および図２に示す空気圧操作弁２および逆止弁３が固定されるベース部材４およびベース５と、薬液などの流れを制御する空気圧操作弁２と、薬液などの流れを一方向に規制する逆止弁３と、ベース部材４の内部に配置されたプレート（被締結部）６と、図４および図５に示すプレート６とともに逆止弁３をベース部材４に固定するボルト（締結部）７と、が設けられている。
【００１５】
ベース部材４は、ベース５とともに空気圧操作弁２や逆止弁３が集積される部材であって、耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成されたものである。
ベース部材４には、空気圧操作弁２が設置される第１設置面４１と、逆止弁３が設置される第２設置面４２と、第１設置面４１および第２設置面４２との間を繋ぐ接続流路（流路）４３と、第１設置面４１と流出部４Ｂとを繋ぐ流出流路４４と、プレート６が配置される空間である配置部４５と、が設けられている。
【００１６】
第１設置面４１は空気圧操作弁２が設置される部分であって、空気圧操作弁２とともに薬液などの流体機器ユニット１の通過を制御するものである。第１設置面４１は、図１に示すように、ベース部材４の上面（図１の上側の面）を掘り下げるようにして形成された低い段の設置面である。
第１設置面４１には、空気圧操作弁２の弁体２２を収納する円柱状空間４６が形成されている。円柱状空間４６には、下方から接続流路４３が接続され、斜め下方から流出流路４４が接続されている。
【００１７】
第２設置面４２は逆止弁３が設置される部分であって、逆止弁３とともに流体機器ユニット１を通過する薬液などの流れの向きを一方向に規制するものである。第２設置面４２は、図１および図２に示すように、ベース部材４の側面であって、流出部４Ｂが設けられた面と反対側の面（図１の左側の側面）を掘り下げるようにして形成された低い段の設置面である。
第２設置面４２には、逆止弁３の弁体３２およびスプリング３３を収納する円柱状空間４７が形成されている。円柱状空間４７には、第１設置面４１側から接続流路４３が接続されている。
【００１８】
接続流路４３は、第１設置面４１と第２設置面４２とを接続する流路であって、逆止弁３を通過した薬液などを空気圧操作弁２に導く流路である。
接続流路４３は、第２設置面４２から第１設置面４１に向かって略水平に延び、第１設置面４１の下方において略垂直方向に向きを変えて延びる流路である。
【００１９】
流出流路４４は、第１設置面４１と流出部４Ｂとを接続する流路であって、空気圧操作弁２を通過した薬液などを流出部４Ｂに導く流路である。
【００２０】
図３は、図１および図２における配置部およびプレートの構成を説明するＢ−Ｂ断面視図である。
配置部４５は内部にプレート６が配置される空間であって、図１および図２に示すように、ベース部材４の中央部、より具体的には、ベース部材４における第１設置面４１および第２設置面４２の間に形成された空間である。
配置部４５は、ベース部材４におけるベース５と対向する面に開口するとともに、接続流路４３と直交方向に延びる溝状部４８と、当該溝状部４８の両端から第１設置面４１側に延びる一対の穴部４９と、から略Ｕ字状に構成されている。
【００２１】
そのため、ベース部材４からベース５を取り外すと配置部４５は、外部に開口した空間となり、配置部４５の内部に容易にプレート６を配置することができる。一方、ベース部材４にベース５を取り付けると配置部４５は、外部から隔離された空間とすることができる。さらに、溝状部４８をコーキング材７１で埋めることにより、配置部４５をより確実に外部から隔離することができる。言い換えると、プレート６を外部雰囲気から確実に隔離することができる。
なお、コーキング材７１としては、シリコンなどの耐薬品性を有するコーキング材を例示することができる。
【００２２】
ベース５は、図１および図２に示すように、ベース部材４とともにベース部材４の内部に配置部４５を形成する部材である。より具体的には、ベース５は、ベース部材４の下面（図１の下側の面）に取り付けられる板状の部材であって、ベース部材４に取り付けられることにより、配置部４５の開口を塞ぐものである。
【００２３】
空気圧操作弁２は、図１に示すように、ベース部材４に取り付けられ、第１設置面４１とともに薬液などの流体機器ユニット１の通過を制御するものである。
空気圧操作弁２には、空気圧操作弁２の外形を構成するケーシング２１と、円柱状空間４６とともに薬液などの流れを制御する弁体２２、ダイヤフラムＤｆおよびアクチュエータＡｃと、が設けられている。
【００２４】
ケーシング２１は、図１に示すように、第１設置面４１に取り付けられるとともに、内部にアクチュエータＡｃを収納するものである。
【００２５】
弁体２２は円柱状空間４６内に配置され、接続流路４３から流出流路４４に流入する薬液などの流れを制御する耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成された略円柱状の部材である。
さらに、弁体２２は、その下端が接続流路４３における円柱状空間４６への開口部と当接離間可能に配置され、かつ、上端がアクチュエータＡｃと接続されている。
【００２６】
ダイヤフラムＤｆは、図１に示すように、弁体２２の側面から径方向外側に延びる耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成された円板状の部材であって、ケーシング２１と第１設置面４１との間に配置されるものである。ダイヤフラムＤｆをケーシング２１と第１設置面４１との間に配置することにより、円柱状空間４６と外部とを隔離する（シールする）とともに、弁体２２を移動可能とすることができる。
【００２７】
アクチュエータＡｃは、図１に示すように、弁体２２を駆動制御するものである。本実施形態では、外部から空気圧の供給を受けて駆動されるアクチュエータの例に適用して説明する。
【００２８】
逆止弁３は、図１および図２に示すように、ベース部材４に取り付けられ、第２設置面４２とともに流体機器ユニット１を通過する薬液などの流れの向きを一方向に規制するものである。
逆止弁３には、逆止弁３の外形を構成するケーシング３１と、第２設置面４２とともに流体機器ユニット１を通過する薬液などの流れの向きを一方向に規制する弁体３２およびスプリング３３と、が設けられている。
【００２９】
ケーシング３１は、図１および図２に示すように、第２設置面４２に取り付けられるとともに、内部に弁体３２を収納する耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成された円筒状の部材である。
ケーシング３１には、薬液などが流入する流入部４Ａと、流入部４Ａと連通するとともに弁体３２が収納される弁体収納部３４と、弁体収納部３４の側面に開口する流体出口３５と、が設けられている。
【００３０】
弁体３２は、図１および図２に示すように、弁体収納部３４および円柱状空間４７の内部に配置され、流体機器ユニット１を通過する薬液などの流れの向きを一方向に規制する耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成された有底円筒状の部材である。
弁体３２は、流入部４Ａにおける弁体収納部３４への開口部と当接離間可能に配置され、かつ、スプリング３３により流入部４Ａ側へ付勢されるものである。
【００３１】
スプリング３３は、図１および図２に示すように、弁体３２を流入部４Ａ側に付勢する弾性部材である。スプリング３３は弁体３２の内部と円柱状空間４７との間に形成された空間に配置され、一方の端部は円柱状空間４７の端部に当接され、他方の端部は弁体３２の内部の端面に当接されている。
なお、スプリング３３は耐薬品性を有し、かつ、弾性を有する材料から形成されている。
【００３２】
プレート６は、図１から図３に示すように、ボルト７とともに逆止弁３をベース部材４に固定する略Ｕ字状に形成された板状の部材である。
プレート６には、図３に示すように、ボルト７が噛み合わされる雌ネジ６１が形成されている。本実施形態では、４箇所に雌ネジ６１が形成されている例に適用して説明するが、雌ネジ６１の数は、４箇所よりも多くてもよいし、少なくてもよく、特に限定するものではない。
【００３３】
プレート６としては、例えばステンレス鋼をポリ４フッ化エチレン（テフロン（登録商標））でコーティングしたものを用いることができるが、特にこれに限定するものではない。
【００３４】
図４は、図３のボルトおよびプレートの構成を説明するＣ−Ｃ断面視図である。図５は、図３のボルトおよびプレートの構成を説明するＤ−Ｄ断面視図である。
ボルト７は、プレート６とともに逆止弁３をベース部材４に固定するものである。具体的には、ボルト７は、逆止弁３のケーシング３１およびベース部材４に形成された貫通孔に挿通され、プレート６の雌ネジ６１と噛み合わされることにより、逆止弁３をベース部材４に固定するものである。
【００３５】
次に、上記の構成からなる流体機器ユニット１における動作について説明する。
流体機器ユニット１では、図１に示すように、空気圧操作弁２により薬液などの流れが制御される。
具体的には、薬液などを流す場合には、空気圧操作弁２のアクチュエータＡｃにより弁体２２が上方に駆動され、接続流路４３と円柱状空間４６とが連通される。
【００３６】
これにより、薬液などは、流入部４Ａから流入し、逆止弁３の弁体３２をベース部材４側の押し退け流体出口３５に流入する。流体出口３５に流入した薬液などは、弁体首脳部３４および円柱状空間４７を介して、接続流路４３、空気圧操作弁２の円柱状空間４６、流出流路４４の順に流れ、流出部４Ｂから流体機器ユニット１の外部へ流出する。
【００３７】
一方、薬液などの流れを遮断する場合には、アクチュエータＡｃにより弁体２２が下方に駆動され、接続流路４３と円柱状空間４６とが遮断される。これにより、流入部４Ａから流出部４Ｂへの薬液などの流れが遮断される。
【００３８】
次に、本実施形態の特徴である流体機器ユニット１の製造方法について説明する。
流体機器ユニット１を製造する場合には、まず、ベース部材４、空気圧操作弁２、および、逆止弁３などが別々に製造され、ベース部材４に空気圧操作弁２や逆止弁３などが取り付けられる。
【００３９】
逆止弁３をベース部材４に取り付ける場合には、図１から図３に示すように、ベース部材４の配置部４５にプレート６が挿入され、逆止弁３が第２設置面４２に配置される。
本実施形態ではプレート６が、ベース部材４の下面から上方へ挿入される例に適用して説明しているが、プレート６を上側から下側に向けて挿入する例であってもよいし、プレート６を左右方向に挿入する例であってもよく、特に限定するものではない。
【００４０】
その後、図４および図５に示すように、逆止弁３のケーシング３１およびベース部材４の貫通孔にボルト７が挿通され、ボルト７の端部がプレート６の雌ネジ６１に噛み合わされる。このボルト７を締め上げることにより、逆止弁３がベース部材４に確実に固定される。
【００４１】
そして、配置部４５の開口部（図３参照。）、および、ケーシング３１におけるボルト７が挿通された貫通孔（図４および図５参照。）にコーキング材７１が充填される。さらに、ベース部材４の下面にベース５が取り付けられる。
なお、空気圧操作弁２のベース部材４への取り付け方法は、従来の取り付け方法と同様であるため、その説明を省略する。
【００４２】
上記の構成によれば、ベース部材４の内部に配置されたプレート６を用いて、逆止弁３をベース部材４に固定することにより、流体機器ユニット１の内部に形成される接続流路４３などの自由度が高くなり、内部を流れる薬液等が滞留するおそれのある傾斜流路などの形成が抑制される。そのため、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット１において、薬液などの滞留を抑制することができる。
【００４３】
つまり、逆止弁３およびベース部材４に形成された貫通孔および貫通孔に挿通されるボルト７を用いて逆止弁３をベース部材４に固定する方法では、貫通孔およびボルト７が占める空間が広く、かつ、配置位置の制約が厳しいのに対して、プレート６を用いて逆止弁３をベース部材４に固定する方法では、ボルト７およびプレート６が占める空間が狭く、かつ、配置位置の自由度が高い。そのため、逆止弁３などの複数の流体機器類を接続する流路の配置位置の自由度も高くなり、上述の薬液等が滞留するおそれのある傾斜流路などの形成を抑制することができる。
【００４４】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について図６および図７を参照して説明する。
本実施形態の流体機器ユニットの基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、空気圧操作弁および逆止弁の配置位置が異なっている。よって、本実施形態においては、図６および図７を用いて逆止弁の周辺構成を説明し、その他の構成要素等の説明を省略する。
図６は、本実施形態に係る流体機器ユニットの全体構成を説明する側面視図である。図７は、図６の流体機器ユニットの構成を説明する上面視図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
本実施形態の流体機器ユニット１０１は、図６および図７に示すように、ベース部材１０４における薬液などが流入する上流側に空気圧操作弁２を、薬液などが流出する下流側に逆止弁１０３を集積して一体化したものである。
【００４６】
ベース部材１０４には、空気圧操作弁２および逆止弁１０３との間を繋ぐ接続流路４３と、プレート６が配置される空間である配置部４５と、逆止弁１０３の弁体３２が収納される弁体収納部３４と、弁体収納部３４の側面に開口する流体出口３５と、が設けられている。
逆止弁１０３には、逆止弁１０３の外形を構成するケーシング１３１と、流体機器ユニット１を通過する薬液などの流れの向きを一方向に規制する弁体３２およびスプリング３３と、が設けられている。
【００４７】
ケーシング１３１は、図６および図７に示すように、内部に弁体３２を収納する耐薬品性を有するフッ素樹脂などから形成された円筒状の部材である。
ケーシング１３１には、薬液などが流出する流出部４Ｂと、流出部４Ｂと連通するとともに弁体３２が収納される弁体収納部（図示せず）と、が設けられている。
【００４８】
次に、本実施形態の特徴である流体機器ユニット１０１の製造方法について説明する。
流体機器ユニット１０１を製造する場合には、第１の実施形態と同様に、ベース部材１０４、空気圧操作弁２、および、逆止弁１０３などが別々に製造され、ベース部材１０４に空気圧操作弁２や逆止弁１０３などが取り付けられる。
【００４９】
逆止弁１０３をベース部材４に取り付ける場合には、図６および図７に示すように、ベース部材１０４の配置部４５にプレート６が挿入され、逆止弁１０３がベース部材１０４に配置される。
【００５０】
具体的には、逆止弁１０３の弁体３２が、ベース部材１０４の弁体収納部３４に収納され、弁体３２とケーシング１３１との間にスプリング３３が配置される。その後、ボルト７をプレート６に噛み合わせることにより（図４および図５参照。）ケーシング１３１がベース部材１０４に固定される。
【００５１】
上記の構成によれば、本実施形態の流体機器ユニット１０１のように、薬液などの流出側に逆止弁１０３が配置される構成であっても、プレート６を用いて逆止弁１０３をベース部材１０４に取り付けることができる。そのため、流体機器ユニット１０１の内部に形成される接続流路４３などの自由度が高くなり、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット１０１において、薬液などの滞留を抑制することができる。
【００５２】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明の第３の実施形態について図８および図９を参照して説明する。
本実施形態の流体機器ユニットの基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、集積されている空気圧操作弁の数、および、圧力センサが設けられている点が異なっている。よって、本実施形態においては、図８および図９を用いて空気圧操作弁および圧力センサ周辺の構成のみを説明し、その他の構成要素等の説明を省略する。
図８は、本実施形態に係る流体機器ユニットの全体構成を説明する側面視図である。図９は、図８の流体機器ユニットの構成を説明する上面視図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５３】
本実施形態の流体機器ユニット２０１は、図８および図９に示すように、ベース部材２０４における薬液などが流入する上流側に薬液などの圧力を計測する圧力センサ（流体機器類）２０３と、圧力センサ２０３の下流側に配置された空気圧操作弁（流体機器類）２０２Ａおよび空気圧操作弁（流体機器類）２０２Ｂを集積して一体化したものである。
【００５４】
ベース部材２０４は、略Ｌ字状に形成された部材であって、一方の端部に流入部４Ａが形成され、他方の端部に流出部４Ｂが形成された部材である。
ベース部材２０４における一方の端部の上面（図８の上側の面）には圧力センサ２０３が取り付けられ、他方の端部の上面には空気圧操作弁２０２Ｂが取り付けられている。一方で、ベース部材２０４における圧力センサ２０３と空気圧操作弁２０２Ｂとの間の側面（図８の左側の側面）には、空気圧操作弁２０２Ａが取り付けられている。
【００５５】
ベース部材２０４の内部には、圧力センサ２０３と空気圧操作弁２０２Ａとの間を繋ぐ接続流路４３Ａと、空気圧操作弁２０２Ａと空気圧操作弁２０２Ｂとの間を繋ぐ接続流路４３Ｂと、プレート６が配置される空間である配置部４５と、空気圧操作弁２０２Ａの弁体２２Ａが収納される円柱状空間４６Ａと、空気圧操作弁２０２Ｂの弁体（図示せず）が収納される円柱状空間（図示せず）と、が設けられている。
【００５６】
配置部４５は、図８および図９に示すように、ベース部材２０４における空気圧操作弁２０２Ａと空気圧操作弁２０２Ｂとの間に形成された空間である。
圧力センサ２０３は、流体機器ユニット２０１に流入した薬液などの圧力を測定するセンサであって、公知のセンサを用いることができる。
【００５７】
次に、本実施形態の特徴である流体機器ユニット２０１の製造方法について説明する。
流体機器ユニット２０１を製造する場合には、第１の実施形態と同様に、ベース部材２０４、空気圧操作弁２０２Ａ，２０２Ｂ、および、圧力センサ２０３などが別々に製造され、ベース部材２０４に空気圧操作弁２０２Ａ，２０２Ｂや圧力センサ２０３などが取り付けられる。
【００５８】
空気圧操作弁２０２Ｂをベース部材２０４に取り付ける場合には、図８および図９に示すように、ベース部材２０４の配置部４５にプレート６が挿入され、空気圧操作弁２０２Ｂがベース部材２０４に配置される。
具体的には、ボルト７をプレート６に噛み合わせることにより（図４および図５参照。）空気圧操作弁２０２Ｂがベース部材２０４に固定される。
【００５９】
上記の構成によれば、本実施形態の流体機器ユニット２０１のように、圧力センサ２０３と空気圧操作弁２０２Ｂとの間に空気圧操作弁２０２Ａが配置される場合であっても、プレート６を用いて空気圧操作弁２０２Ａをベース部材２０４に取り付けることができる。そのため、流体機器ユニット２０１の内部に形成される接続流路４３などの自由度が高くなり、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット２０１において、薬液などの滞留を抑制することができる。
【００６０】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１，１０１，２０１  流体機器ユニット
２  空気圧操作弁（流体機器類）
３，１０３  逆止弁（流体機器類）
４，１０４，２０４  ベース部材
６  プレート（被締結部）
７  ボルト（締結部）
４３，４３Ａ，４３Ｂ  接続流路（流路）
２０３  圧力センサ（流体機器類）
【図１】
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【図２】
2012097879.tif 000004
【図３】
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【図４】
2012097879.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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