(57)【要約】【課題】回路や制御の簡略化やコストの低減化及び作業性の向上を図る。【解決手段】本発明の真空発生器２４，２６は、空気圧源からの圧縮空気を入力ポート４１，４２から受給ポート４５，４６を通して空気圧アクチュエータ装置２９に供給している間は空気圧アクチュエータ装置２９からの排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出させる流れを遮断する一方、空気圧アクチュエータ装置２９からの排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出している間は前記空気圧源からの圧縮空気を入力ポート４１，４２から受給ポート４５，４６を通して空気圧アクチュエータ装置２９に供給する流れを遮断する切換手段８７を備えていることを特徴とする。【選択図】図１
2012021415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気圧源からの圧縮空気を内部に流入させるための入力ポートと、
該入力ポートから内部に流入した圧縮空気を外部の空気圧アクチュエータ装置に供給すると共に該空気圧アクチュエータ装置からの排気を内部に流入させるための受給ポートと、
該受給ポートから内部に流入した排気を外部に排出させるための排出ポートと、
前記受給ポートから内部に流入した排気を前記排出ポートから外部に排出させる間に真空を発生させるための真空ポートと、
前記空気圧源からの圧縮空気を前記入力ポートから前記受給ポートを通して前記空気圧アクチュエータ装置に供給している間は前記空気圧アクチュエータ装置からの排気を前記受給ポートから前記排出ポートを通して外部に排出させる流れを遮断する一方、前記空気圧アクチュエータ装置からの排気を前記受給ポートから前記排出ポートを通して外部に排出している間は前記空気圧源からの圧縮空気を前記入力ポートから前記受給ポートを通して前記空気圧アクチュエータ装置に供給する流れを遮断する切換手段と、
を備えていることを特徴とする真空発生器。
【請求項２】
請求項１に記載の第１の真空発生器と第２の真空発生器が設けられた真空発生システムであって、
前記第１の真空発生器の第１入力ポートと前記第２の真空発生器の第２入力ポートにそれぞれ接続され、圧縮空気を供給する空気圧源と、
前記第１の真空発生器の第１受給ポートに接続される第１ポートと前記第２の真空発生器の第２受給ポートに接続される第２ポートとを有し、前記空気圧源から前記第１の真空発生器又は前記第２の真空発生器を通って供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、
前記第１の真空発生器の第１真空ポートと前記第２の真空発生器の第２真空ポートにそれぞれ接続され、前記第１受給ポートから前記第１の真空発生器内部に流入した前記空気圧アクチュエータの排気を第１排出ポートから外部に排出させる間に前記第１真空ポートで発生した真空圧力と前記第２受給ポートから前記第２の真空発生器内部に流入した前記空気圧アクチュエータの排気を第２排出ポートから外部に排出させる間に前記第２真空ポートで発生した真空圧力の少なくともいずれか一方の真空圧力を蓄積する真空タンクと、
該真空タンクに蓄積された真空圧力により吸引力を生成する吸引力生成手段と、
を備えていることを特徴とする真空発生システム。
【請求項３】
前記真空タンクと前記吸引力生成手段との間に真空切換装置が設けられ、該真空切換装置には前記空気圧源と同一又は異なる空気圧源又は真空圧力発生源が接続され、前記真空タンク内の真空圧力が不足する場合には前記空気圧源と同一又は異なる空気圧源又は真空圧力発生源から前記真空切換装置を介して前記吸引力生成手段に真空圧力が供給されることを特徴とする請求項２に記載の真空発生システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮空気を利用して真空を発生させる真空発生器及び真空発生システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ファクトリーオートメーションによりディスプレイ装置などを組み立てる工場では、ガラス、ウェハ、基板などの被加工物を把持し、搬送するために真空発生システムが使用されている（特許文献１乃至３参照）。
【０００３】
従来の真空発生システムは、例えば、図３に示すように、２台の真空発生器１，２を有する回路を備えており、コンプレッサ（図示省略）から電磁弁３を介して供給される圧縮空気を２個の切換弁４，５で切り換えながらシリンダ６に供給し、シリンダ６を動作させる。そして、この動作によりシリンダ６から排出された圧縮空気を各真空発生器１，２の入力ポート７，８を介して内部に流入させ、それぞれの排出ポート９，１０から排出させることにより、各真空ポート１１，１２に真空を発生させ、真空タンク１３に蓄積させた真空圧力により吸着パッド１４に吸着力を発生させ、前記被加工物を把持するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１４６８６７号公報
【特許文献２】特開２００４−３６０７３５号公報
【特許文献３】特開２００２−１７４２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来の真空発生システムでは、各真空発生器１，２と電磁弁３との間にそれぞれ切換弁４，５を接続する必要がある。そのため、配管や部品の数が増加すると共に切換弁４，５を所定のタイミングで切り換える制御が必要となるため、システムの回路や制御が複雑化し、コストアップに繋がるといった問題があった。また、切換弁４，５と配管１５，１６との接続作業が必要となり、作業性の向上を図ることが難しいといった問題もあった。
【０００６】
本発明は、上記した課題を解決すべくなされたものであり、回路や制御の簡略化やコストの低減化及び作業性の向上を図ることができる真空発生器及び真空発生システムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した目的を達成するため、本発明に係る真空発生器は、空気圧源からの圧縮空気を内部に流入させるための入力ポートと、該入力ポートから内部に流入した圧縮空気を外部の空気圧アクチュエータ装置に供給すると共に該空気圧アクチュエータ装置からの排気を内部に流入させるための受給ポートと、該受給ポートから内部に流入した排気を外部に排出させるための排出ポートと、前記受給ポートから内部に流入した排気を前記排出ポートから外部に排出させる間に真空を発生させるための真空ポートと、前記空気圧源からの圧縮空気を前記入力ポートから前記受給ポートを通して前記空気圧アクチュエータ装置に供給している間は前記空気圧アクチュエータ装置からの排気を前記受給ポートから前記排出ポートを通して外部に排出させる流れを遮断する一方、前記空気圧アクチュエータ装置からの排気を前記受給ポートから前記排出ポートを通して外部に排出している間は前記空気圧源からの圧縮空気を前記入力ポートから前記受給ポートを通して前記空気圧アクチュエータ装置に供給する流れを遮断する切換手段と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、上記した第１の真空発生器と第２の真空発生器が設けられた真空発生システムであって、前記第１の真空発生器の第１入力ポートと前記第２の真空発生器の第２入力ポートにそれぞれ接続され、圧縮空気を供給する空気圧源と、前記第１の真空発生器の第１受給ポートに接続される第１ポートと前記第２の真空発生器の第２受給ポートに接続される第２ポートとを有し、前記空気圧源から前記第１の真空発生器又は前記第２の真空発生器を通って供給される圧縮空気により動作し、この動作に伴い圧縮空気を排出する空気圧アクチュエータ装置と、前記第１の真空発生器の第１真空ポートと前記第２の真空発生器の第２真空ポートにそれぞれ接続され、前記第１受給ポートから前記第１の真空発生器内部に流入した前記空気圧アクチュエータの排気を第１排出ポートから外部に排出させる間に前記第１真空ポートで発生した真空圧力と前記第２受給ポートから前記第２の真空発生器内部に流入した前記空気圧アクチュエータの排気を第２排出ポートから外部に排出させる間に前記第２真空ポートで発生した真空圧力の少なくともいずれか一方の真空圧力を蓄積する真空タンクと、該真空タンクに蓄積された真空圧力により吸引力を生成する吸引力生成手段と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明に係る真空発生システムでは、前記真空タンクと前記吸引力生成手段との間に真空切換装置が設けられ、該真空切換装置には前記空気圧源と同一又は異なる空気圧源又は真空圧力発生源が接続され、前記真空タンク内の真空圧力が不足する場合には前記空気圧源と同一又は異なる空気圧源又は真空圧力発生源から前記真空切換装置を介して前記吸引力生成手段に真空圧力が供給されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、回路や制御の簡略化やコストの低減化及び作業性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係る真空発生システムを示す回路図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る真空発生器を示す断面図である。
【図３】従来の真空発生システムを示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図１は本発明の実施の形態に係る真空発生システムを示す回路図であり、図２は本発明の実施の形態に係る真空発生器を示す断面図である。
【００１３】
本発明の実施形態に係る真空発生システム２０は、空気圧源としてのコンプレッサ（図示省略）と、第１配管２１を介して前記コンプレッサに接続される電磁弁２２と、第２配管２３を介して電磁弁２２に接続される第１の真空発生器２４と、第３配管２５を介して電磁弁２２に接続される第２の真空発生器２６と、第４配管２７及び第５配管２８を介して前記第１の真空発生器２４及び第２の真空発生器２６に接続される空気圧アクチュエータ装置としてのシリンダ２９と、第６配管３０及び第７配管３１を介して第１の真空発生器２４及び第２の真空発生器２５に接続される真空タンク３２と、第８配管３３を介して真空タンク３２に接続されると共に第９配管３４を介して前記コンプレッサに接続される真空切換弁３５と、第１０配管３６を介して真空切換弁３５に接続される吸引力生成手段としての吸着パッド３７とを備えて構成されている。
【００１４】
電磁弁２２には、一方の端面（図示では下面）に１つの入力ポート３８が設けられ、反対側の他方の端面（図示では上面）に第１出力ポート３９と第２出力ポート４０の２つの出力ポートが設けられ、入力ポート３８に第１配管２１の一端が接続され、第１出力ポート３９と第２出力ポート４０に第２配管２３の一端と第３配管２５の一端がそれぞれ接続されている。
【００１５】
第１の真空発生器２４と第２の真空発生器２６は同一の構造を有し、各真空発生器２４，２６には、それぞれ、一方の端部（図示では下端部）に第１入力ポート４１及び第２入力ポート４２が設けられ、反対側の他方の端部（図示では上端部）に第１排出口４３及び第２排出口４４が設けられ、外周面には第１受給ポート４５及び第２受給ポート４６と第１真空ポート４７及び第２真空ポート４８がそれぞれ設けられている。そして、第１入力ポート４１と第２入力ポート４２に第２配管２３の他端と第３配管２５の他端がそれぞれ接続され、第１受給ポート４５と第２受給ポート４６に第４配管２７の一端と第５配管２８の一端がそれぞれ接続され、第１真空ポート４７と第２真空ポート４８に第６配管３０の一端と第７配管３１の一端がそれぞれ接続されている。なお、真空発生器２４，２６の詳細な構成については後述する。
【００１６】
シリンダ２９には、一端側に第１ポート４９が設けられ、他端側に第２ポート５０が設けられ、第１ポート４９に第４配管２７の他端が接続され、第２ポート５０に第５配管２８の他端が接続されている。また、シリンダ２９にはピストンロッド５１が設けられており、シリンダ２９はピストンロッド５１に沿って（図示ＸＹ方向に）往復動するように構成されている。
【００１７】
真空タンク３２の一端側には、第６配管３０の他端と第７配管３１の他端が合流されて接続されており、第６配管３０と第７配管３１の途中にはそれぞれ逆止弁５２，５３が設けられている。また、真空タンク３２の他端側には第８配管３３の一端が接続されている。
【００１８】
真空切換弁３５には、一方の端面（図示では下面）に第１入力ポート５４と第２入力ポート５５の２つの入力ポートが設けられ、反対側の他方の端面（図示では上面）に出力ポート５６が設けられ、第１入力ポート５４に第８配管３３の他端が接続され、第２入力ポート５５に第９配管３４の一端が接続されている。また、真空切換弁３５の出力ポート５６には、第１０配管３６の一端が接続され、第１０配管３６の他端に吸着パッド３７が接続されている。
【００１９】
次に、図２を参照しつつ、第１の真空発生器２４及び第２の真空発生器２５の構成について詳細に説明する。なお、上記したように第１の真空発生器２４と第２の真空発生器２５は同一の構造を有しているため、以下の説明では、説明の簡略化のため、第１の真空発生器２４についてのみ説明する。
【００２０】
第１の真空発生器２４は、軸方向に長い形状を有する本体６０と、本体６０の外周面にそれぞれ回転可能に設けられる真空ポート形成体６１及び受給ポート形成体６２と、本体６０に軸方向に沿って連結されるサイレンサ６３とを備えて構成されている。
【００２１】
本体６０は、軸方向に沿って内部に空洞部６４が形成されたインナーボディ６６と、インナーボディ６６の外側に取り付けられるアウターボディ６７とを備えている。
【００２２】
インナーボディ６６の空洞部６４には、圧縮空気の流通方向に沿って上流側からノズル部６８及びディフューザ部６９が設けられており、インナーボディ６６の両端面には、空洞部６４に連通するように上流側通孔７０及び下流側通孔７１がそれぞれ形成されている。また、インナーボディ６６の外周壁には、中心角が９０°を成すように放射状に４個の内側周壁孔７２が穿設され、インナーボディ６６の一方の端部（図示では下端部）には平面視で各内側周壁孔７２に対応する４箇所に切欠部７３が形成されている。
【００２３】
アウターボディ６７には、一方の端部７４（図示では下端部）に前記入力ポート４１が螺刻して形成されており、一方の端部７４の外周面は螺刻されている。アウターボディ６７の他方の端部７５（図示では上端部）にはサイレンサ取付部７６がネジ７７で固定されており、サイレンサ取付部７６には排出ポート７８が螺刻して形成されている。アウターボディ６７の外周壁には、他方の端部７５から一方の端部７４に向かって漸次縮径となるように第１外周面７９、第２外周面８０、第３外周面８１の３つの外周面が段差状に形成されており、第２外周面８０にはインナーボディ６７の内側周壁孔７２に対応する位置に第１外側周壁孔８２が穿設され、第３外周面８１にはインナーボディ６７の切欠部７３に対応する位置に第２外側周壁孔８３が穿設されている。また、第３外周面７９の一方の端部７４側には嵌合溝８４が形成されており、この嵌合溝８４にＣ型止輪８５を装着することにより、真空ポート形成体６１及び受給ポート形成体６２の本体６０からの脱落が防止できるようになっている。
【００２４】
アウターボディ６７の内部には、インナーボディ６７の一方の端面８６（図示では下端面）と入力ポート４１との間に弁体８７を収容する弁体収容空間８８が形成され、この弁体収容空間８８が入力ポート４１からインナーボディ６７の一方の端面８６に向かって漸次拡幅するように傾斜湾曲面８９が形成されている。
【００２５】
弁体８７は、一方の端部（図示では下端部）に円錐状に形成された入力ポート挿入部９０と、他方の端部（図示では上端部）に円錐状に形成された上流側通孔挿入部９１と、上流側通孔挿入部９１の周囲に形成された湾曲凹部９２と、アウターボディ６７の傾斜湾曲面８９に沿うように曲成された外周部９３とを備え、弁体収容空間８８内において軸方向に沿って往復動可能となっている。
【００２６】
真空ポート形成体６１には、第１外周面７９及び第２外周面８０に回転可能に嵌合する嵌合孔９４が形成され、前記真空ポート４７は、外側からこの嵌合孔９４に向かって螺刻して形成されている。また、嵌合孔９４には第１段差部１０１が形成され、この第１段差部１０１とアウターボディ６７とによって、嵌合孔９４の周方向に延びる第１環状室１０２が形成され、この第１環状室１０２は第１外側周壁孔８２に合致する位置に設けられていると共に、真空ポート４７と連通している。これにより、真空ポート形成体６１が第１外周面７９及び第２外周面８０に対して回転した場合でも、真空ポート４７は第１外側周壁孔８２に連通するため、真空ポート４７に確実に真空圧力を発生させることができ、配管状況に応じて真空ポート４７を任意の位置に回転させて使用することができる。
【００２７】
受給ポート形成体６２には、第２外周面８０及び第３外周面８１に回転可能に嵌合する嵌合孔９５が形成され、前記受給ポート４５は、外側からこの嵌合孔９５に向かって螺刻して形成されている。また、嵌合孔９５には第２段差部１０５が形成され、この第２段差部１０５とアウターボディ６７とによって、嵌合孔９５の周方向に延びる第２環状室１０３が形成され、この第２環状室１０３は第２外側周壁孔８３に合致する位置に設けられていると共に、受給ポート４５と連通している。これにより、受給ポート形成体６２が第２外周面８０及び第３外周面８１に対して回転した場合でも、受給ポート４５は第２外側周壁孔８３と連通するため、圧縮空気を流通させることができ、配管状況に応じて受給ポート４５を任意の位置に回転させて使用することができる。
【００２８】
サイレンサ６３は、一端部（図示では下端部）が本体６０に螺設されるサイレンサ本体９６と、サイレンサ本体９６の他端部（図示では上端部）に冠着されるキャップ９７とにより構成されている。サイレンサ本体９６の内部には吸音材９８及びフィルタ９９が設けられている。また、キャップ９７の内部には吸音材１００が設けられ、キャップ９７の中央には前記排出口４３が穿設されている。
【００２９】
次に、図面を参照しつつ、上記した構成を備えた真空生成システム２０の作用について説明する。
【００３０】
前記コンプレッサにより供給された圧縮空気は、第１配管２１を通って入力ポート３８から電磁弁２２内に流入する。電磁弁２２では、先ず、第１出力ポート３９が開放されると共に第２出力ポート４０が閉鎖され、前記圧縮空気は第１出力ポート３９を通過し、電磁弁２の外に排出される。この時、電磁弁２２の第２出力ポート４０が閉鎖されているため、前記圧縮空気が第２出力ポート４０を通過することはない。そして、電磁弁２２の第１出力ポート３９から排出された前記圧縮空気は、第２配管２３を通り、第１入力ポート４１から第１の真空発生器２４内に流入する。
【００３１】
第１の真空発生器２４の内部では、第１入力ポート４１から流入した前記圧縮空気により、弁体８７が図示Ａ方向に押圧されて移動し（図２中の二点鎖線参照）、上流側通孔挿入部９１が上流側通孔７０を閉塞すると共に、アウターボディ６７の傾斜湾曲面８９と弁体８７の外周部９３との間に隙間が生じる。そのため、前記圧縮空気はこの隙間を通過し、第１受給ポート４５から第４配管２７を通り、第１ポート４９からシリンダ２９内に供給される。この時、上流側通孔７０が閉塞されているため、前記圧縮空気は排出ポート７８から排出されることはない。
【００３２】
シリンダ２９内に供給された前記圧縮空気は、ピストンロッド５１を図示Ｘ方向へ移動させ、シリンダ２９内の空気（以下「シリンダ排気」と言う。）は第２ポート５０から第５配管２８を通り、第２受給ポート４６から第２の真空発生器２６内に流入する。
【００３３】
第２の真空発生器２６の内部では、第２受給ポート４６から流入した前記シリンダ排気により、弁体８７が図示Ｂ方向に押圧されて移動し（図２中の実線部参照）、入力ポート挿入部９０が第２入力ポート４２を閉塞すると共に、上流側通孔７０が開放される。そのため、前記圧縮空気は、弁体８７の湾曲凹部９２とインナーボディ６７の一方の端面８６との間の隙間を通過し、上流側通孔７０から空洞部６４に流入する。この時、弁体８７の外周部９３がアウターボディ６７の傾斜湾曲面８９に密着すると共に、第２入力ポート４２が閉塞されているため、前記シリンダ排気は第２入力ポート４２から排出されることはない。
【００３４】
空洞部６４に流入したシリンダ排気は、ノズル部６８及びディフューザ部６９を通過し、下流側通孔７１からサイレンサ６３内を通過し、排出口４４から外部に排出される。そして、前記シリンダ排気がノズル部６８及びディフューザ部６９を通過する時にベルヌーイの定理によって、第２真空ポート４８に真空圧力が発生し、この真空圧力は第７配管３１を介して真空タンク３２に蓄積される。この時、第７配管３１の途中に逆止弁５３が設けられているため、第２の真空発生器２６側から真空タンク３２への正圧空気の流入を防止することができる。
【００３５】
次に、電磁弁２２が切り換わり、第１出力ポート３９が閉鎖されると共に、第２出力ポート４０が開放されると、前記コンプレッサから入力ポート３８を介して電磁弁２２内に流入した圧縮空気は、第２出力ポート４０を通過し、第３配管２５を通って第２入力ポート４２から第２の真空発生器２６内に流入する。
【００３６】
第２の真空発生器２６の内部では、既に上述したのと同様の動作により、弁体８７が図示Ａ方向に移動し、前記圧縮空気は、第２受給ポート４６から第５配管２８を通り、第２ポート５０からシリンダ２９内に供給される。
【００３７】
シリンダ２９内に供給された前記圧縮空気は、ピストンロッド５１を図示Ｙ方向へ移動させ、シリンダ排気は第１ポート４９から第４配管２７を通り、第１受給ポート４５から第１の真空発生器２４内に流入する。
【００３８】
第１の真空発生器２４の内部では、既に上述したのと同様の動作により、弁体８７が図示Ｂ方向に移動し、前記シリンダ排気は、上流側通孔７０からノズル部６８及びディフューザ部６９、サイレンサ６３内を通過し、排出口４３から外部に排出される。そして、前記シリンダ排気がノズル部６８及びディフューザ部６９を通過する時にベルヌーイの定理によって、第１真空ポート４７に真空圧力が発生し、この真空圧力は第６配管３０を介して真空タンク３２に蓄積される。
【００３９】
以降、上述したのと同様の動作を繰り返すことにより、真空タンク３２内に真空圧力が蓄積される。
【００４０】
このようにして真空タンク３２内に蓄積された真空圧力は第８配管３３を通り、第１入力ポート５４から真空切換弁３５内に流入し、出力ポート５６から排出される。この時、真空切換弁３５の第２入力ポート５５は閉鎖されており、第２入力ポートを通過することはない。そして、出力ポート５６から排出された真空圧力は第１０配管３６を介して吸着パッド３７に供給され、これにより、吸着パッド３７において吸着力が発生し、被加工物の吸着・把持が可能となる。
【００４１】
一方、真空タンク３２内の真空圧力が不足する場合には、真空切換弁３５の第１入力ポート５４が閉鎖されると共に第２入力ポート５５が開放され、前記コンプレッサと同一又は異なるコンプレッサからの圧縮空気により発生した真空圧力、又は真空ポンプ等の真空圧力発生源により発生した真空圧力が第２入力ポートから真空切換弁３５内を通過し、出力ポート５６から第１０配管３６を介して吸着パッド３７に供給される。
【００４２】
このように上記した実施の形態に係る真空発生器２４，２６及び真空発生システム２０は、前記コンプレッサからの圧縮空気をシリンダ２９に供給している間は前記シリンダ排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出させる流れを遮断する一方、前記シリンダ排気を受給ポート４５，４６から排出ポート７８を通して外部に排出している間は前記コンプレッサからの圧縮空気を入力ポート４１，４２から受給ポート４５，４６を通してシリンダ２９に供給する流れを遮断するため、各真空発生器２４，２６と電磁弁２２との間に切換弁を接続する必要がない。したがって、配管や部品の数を削減することができると共に切換弁を所定のタイミングで切り換える制御が不要となるため、システムの回路や制御が単純化され、コスト低減化が可能となる。また、切換弁と配管との接続作業も不要となり、作業性の向上を図ることが可能となる。
【００４３】
さらに、上記した実施の形態に係る真空発生器２４，２６及び真空発生システム２０によれば、シリンダ２９を動作させるために使用した圧縮空気を再利用して真空を生成しており、圧縮空気の有効利用を図ることができる。
【００４４】
さらにまた、各真空発生器２４，２６と吸着パッド３７との間に真空タンク３２を設け、各真空発生器２４，２６の真空ポート４７，４８で発生した真空圧力を真空タンク３２内に蓄積することにより、吸着パッド３７での吸着力を確実に生成し、かつ維持することができると共に、吸着パッド３７に真空圧力を安定して供給することができ、吸着パッド３７における吸着力を安定させることができる。
【００４５】
また、上記した真空発生システム２０では、通常は、真空発生器２４，２６により真空を生成し、真空発生器２４，２６による真空生成だけでは真空タンク３２内に十分な真空圧力を確保することができない場合には、前記コンプレッサと同一又は異なるコンプレッサからの圧縮空気により発生した真空圧力、又は真空ポンプ等の真空圧力発生源により発生した真空圧力を利用して真空生成を行うことができるため、吸着パッド３７の吸着・把持動作を安定に維持することができると共に、圧縮空気の再利用を徹底的に行うことができ、圧縮空気の大気への放出によるエネルギーの無駄を効果的に抑制することができる。
【００４６】
なお、上記した真空発生システムでは、２個の真空発生器２４，２６を設けているが、１個又は３個以上の真空発生器を設けてもよい。
【００４７】
また、上記した真空発生システム２０では、吸引力生成手段として吸着パッド３７を用いる場合を例にあげたが、本発明はこれに限らず、真空によって排気、排液や気体・液体の収集を行うための吸引力を生成する他のアクチュエータを用いてもよい。
【００４８】
さらに、上記本発明は、請求の範囲および明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨または思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う真空発生器及び真空発生システムもまた本発明の技術思想に含まれる。
【符号の説明】
【００４９】
２０          真空発生システム
２４          第１の真空発生器
２６          第２の真空発生器
２９          シリンダ（空気圧アクチュエータ装置）
３２          真空タンク
３７          吸着パッド（吸引力生成手段）
４１          第１入力ポート
４２          第２入力ポート
４５          第１受給ポート
４６          第２受給ポート
４７          第１真空ポート
４８          第２真空ポート
７８          排出ポート
８７          弁体（切換手段）
【図１】
2012021415.tif 000003
【図２】
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【図３】
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