(57)【要約】【課題】処理結果の要約化データを用いた製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析能力等を向上できるデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラム、及び、プログラム記録媒体を提供する。【解決手段】データ処理装置に、データ取得部１０２からプロセスデータと処理ステップ情報１１３とを受け、処理ステップ情報１１３に基づいて各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報に基づいて、各プロセスデータを、部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割部１０３と、データ分割部１０３からの部分ステップ識別情報に基づいて、各プロセスデータを各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化部１０４とを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得部と、
上記データ取得部から上記プロセスデータと上記処理ステップ情報とを受け、上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割部と、
上記データ分割部からの上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化部と
を備えることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ処理装置において、
上記分割情報は、上記生産装置での処理条件を識別する処理条件情報および上記プロセスデータ項目とのうちの少なくとも一方に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されていることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデータ処理装置において、
上記情報量は、時間間隔に基づく情報であることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載のデータ処理装置において、
上記時間間隔は、各プロセスデータの過度応答期間および安定期間に基づいていることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載のデータ処理装置において、
上記データ要約化部は、上記各部分ステップ毎に、平均値、最大値および最小値のうちの少なくとも一つからなる要約化データを、算出することを特徴とするデータ処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載のデータ処理装置において、
上記データ要約化部は、上記各部分ステップを要約してなる要約化データを生成し、
上記要約化データは、上記各部分ステップの時間間隔を表す時間間隔情報を含んでいることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項７】
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得ステップと、
上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割ステップと、
上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化ステップと
を備えることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項８】
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得ステップと、
上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割ステップと、
上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化ステップと
をコンピュータに実行させることを特徴とするデータ処理プログラム。
【請求項９】
請求項８に記載のデータ処理プログラムが記録されていることを特徴とするコンピュータ読出し可能なプログラム記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラムおよびプログラム記録媒体に関し、例えば、生産装置等から取得したプロセスデータの要約化を行なうデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラムおよびプログラム記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の半導体デバイスの生産ラインにおいては、歩留の向上、特性の改善、品質の向上、コストの低減、TAT(Turn Around Time)の短縮、スループットの向上、タイムリーな生産立上げ、ラインの安定稼働などを目的として、生産管理、品質管理、装置管理等を行なう様々なシステムが導入され、ネットワークを利用したCIM(Computer Integrated Manufacturing：コンピュータ統合生産)化が強力に推進されている。
【０００３】
また、生産ラインの生産装置からは、製品の検査結果のみならず、装置の状態を検出する多数のセンサを介して、時系列にきめ細かくサンプリングされたプロセスデータ(圧力、温度、ガス流量、電力など)を収集出来るようになってきている。これら収集されたデータは、前述のシステムにおいて、製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析や装置の異常検知、処理状態の監視などに利用される。
【０００４】
しかし、これらのプロセスデータは、多数のセンサから細かなサンプリング間隔で取得されることから、データ量が非常に多くなる。このことから、システムで利用するには、データに対して平均値などの統計的な特徴値を算出する等の要約化を行って、データ量を削減する必要がある。
【０００５】
また、一般的に生産装置での一連の処理は、処理条件毎に複数の処理ステップで行われる為、プロセスデータも装置の処理ステップの時間シーケンスを意識して取り扱う必要がある。また、近年では、成膜装置における多層成膜などに見られるように、多数の処理ステップを持ち、処理ステップ内でも細かな装置制御を有する処理が生産装置で行なわれるようになり、それに合わせてプロセスデータも処理ステップの時間シーケンスをより細かい粒度で取り扱う必要が出てきている。
【０００６】
さらに、上記のようなプロセスデータの要約化は、処理対象となるデータ量が非常に多くなっていることから、装置の処理制御を行っている生産装置で時間シーケンスを意識した要約化を行なうことは、処理に与える負荷から困難になってきている。
【０００７】
このような背景において、処理ステップの時間シーケンスを考慮しつつプロセスデータのデータ量を削減して要約化して、装置の処理状態の監視を行なう方法が特開２００７−２２７９６９号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００８】
この開示例では、真空容器内でプラズマ処理する試料処理装置に、監視対象とするプロセスデータの時間範囲を選択するデータ選択手段を具備させることで、処理ステップの時間シーケンスを考慮したプロセスデータの選択を行ない、選択したデータから装置監視信号を生成するようになっている。これにより、性能に関わるプロセスデータの最も重要な部分から生成された監視信号を監視し、より正確且つ容易な装置の処理状態の監視を行うようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７‐２２７９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上記の従来の技術では、装置の処理ステップ時間が動的に変化するような場合において、変化に追従した形で監視対象とするプロセスデータの時間範囲を選択できないという問題がある。そして、装置の処理ステップの時間シーケンスを、より正確に細かな粒度で考慮しつつ、プロセスデータを取り扱うことができないという問題がある。
【００１１】
また、処理ステップ時間の変化により生じた場合も含めて、選択しなかった時間範囲のデータが、監視対象から除かれる為、選択しなかった時間範囲のデータに、製品の歩留、特性、品質の低下要因や装置の異常検知の要素が含まれていた場合に、監視により、製品の歩留、特性、品質の低下や装置の異常が検知できないという問題がある。また、製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析を行なう場合も、低下要因が見つけられないという問題がある。
【００１２】
また、多数の処理ステップを有し、処理ステップ内でも細かな装置制御を有する場合、処理に合わせて、選択する時間範囲を細かく設定すればする程、上記の異常を検知できなくなったり、分析で要因が見つけられなくなる可能性が高くなるという問題がある。
【００１３】
そこで、この発明の課題は、処理結果の要約化データを用いた製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析能力や、装置の異常の検知能力や、処理状態の監視精度を向上できるデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラム、及び、プログラム記録媒体を提供することにある。
【００１４】
また、この発明の課題は、特に、生産装置の処理負荷を大きく増大させること無く、装置の処理ステップの時間シーケンスを、その処理ステップ時間が変化する場合も含めて、より正確に細かな粒度で考慮しつつ、プロセスデータのデータ量を削減して要約化し、処理結果の要約化データを用いた製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析能力や、装置の異常の検知能力や、処理状態の監視精度を向上できるデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラム、及び、プログラム記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、この発明のデータ処理装置は、
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得部と、
上記データ取得部から上記プロセスデータと上記処理ステップ情報とを受け、上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割部と、
上記データ分割部からの上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化部と
を備えることを特徴としている。
【００１６】
尚、この明細書では、上記部分ステップ識別情報の生成には、以下のＡ）〜Ｄ）の場合が含まれる。
【００１７】
Ａ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する二以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成する場合
Ｂ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する一以上の部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとに分割するための部分ステップ識別情報を生成する場合
Ｃ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する一の部分ステップのみの部分ステップ識別情報を生成する場合
Ｄ）上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップのみの部分ステップ識別情報を生成する場合
本発明によれば、上記各プロセスデータの全ての部分が、要約化データの算出対象になるから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を格段に向上させることができる。
【００１８】
また、本発明によれば、各プロセスデータを、部分ステップに分割等して、部分ステップ毎に要約するようになっているから、従来の方法と比較して、生産装置の処理負担が大きく増大することがない。
【００１９】
また、本発明によれば、各プロセスデータを、予め定められた分割情報に基づいて、部分ステップに分割等して、要約するようになっているから、処理ステップ時間が変化する場合も含めて、処理ステップの時間シーケンスを、細やかな粒度で漏れなく決定でき、かつ、精密に実行することができる。
【００２０】
また、一実施形態では、
上記分割情報は、上記生産装置での処理条件を識別する処理条件情報および上記プロセスデータ項目とのうちの少なくとも一方に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている。
【００２１】
上記実施形態によれば、上記各プロセスデータの分割間隔を、プロセスデータ項目および生産条件のうちの少なくとも一方に基づいて適切に設定できるから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を向上させることができる。
【００２２】
また、一実施形態では、
上記情報量は、時間間隔に基づく情報である。
【００２３】
上記実施形態によれば、上記情報量を有する部分ステップが、時間で分割指定されているから、分割を簡易に行うことができ、かつ、生産装置の処理負担が増大することを防止できる。
【００２４】
また、一実施形態では、
上記時間間隔が、各プロセスデータの過度応答期間および安定期間に基づいている。
【００２５】
上記実施形態によれば、上記情報量を有する部分ステップに分割する時間間隔が、各プロセスデータの過度応答期間および安定期間に基づいているから、各時間間隔毎の分析や監視ができる。したがって、分析要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を向上させることができる。
【００２６】
また、一実施形態では、
上記データ要約化部は、上記各部分ステップ毎に、平均値、最大値および最小値のうちの少なくとも一つからなる要約化データを、算出する。
【００２７】
上記実施形態によれば、記各部分ステップ毎に、平均値、最大値および最小値のうちの少なくとも一つからなる要約化データを、算出するから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を、簡易に向上させることができて、優れたものにすることができる。
【００２８】
また、一実施形態では、
上記データ要約化部は、上記各部分ステップを要約してなる要約化データを生成し、
上記要約化データは、上記各部分ステップの時間間隔を表す時間間隔情報を含んでいる。
【００２９】
上記実施形態によれば、上記要約化データが、各部分ステップの時間間隔を表す時間間隔情報を含んでいて、上記各部分ステップの情報性の重要度の尺度を有しているから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を向上させることができる。
【００３０】
また、この発明のデータ処理方法は、
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得ステップと、
上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割ステップと、
上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化ステップと
を備えることを特徴としている。
【００３１】
本発明によれば、上記各プロセスデータの全ての部分が、要約化データの算出対象になるから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を格段に向上させることができる。
【００３２】
また、本発明によれば、各プロセスデータを、部分ステップに分割等して、部分ステップ毎に要約するようになっているから、従来の方法と比較して、生産装置の処理負担が大きく増大することがない。
【００３３】
また、本発明によれば、各プロセスデータを、予め定められた分割情報に基づいて、部分ステップに分割等して、要約するようになっているから、処理ステップ時間が変化する場合も含めて、処理ステップの時間シーケンスを、細やかな粒度で漏れなく決定でき、かつ、精密に実行することができる。
【００３４】
また、本発明のデータ処理プログラムは、
生産装置の複数の処理ステップの夫々のプロセスデータと、上記各処理ステップを表す処理ステップ情報とを、上記各プロセスデータと、上記各プロセスデータの上記処理ステップ情報とが対応がとれる状態で取得するデータ取得ステップと、
上記各プロセスデータを、上記処理ステップ情報に基づいて上記各処理ステップ毎に予め設定されている分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとのうちの少なくとも一方で構成される一以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成するデータ分割ステップと、
上記部分ステップ識別情報に基づいて、上記各プロセスデータを上記一以上の部分ステップの各部分ステップ毎に要約化するデータ要約化ステップと
をコンピュータに実行させることを特徴としている。
【００３５】
本発明によれば、コンピュータを、データ取得部として機能させ、データ分割部として機能させ、また、データ要約化部として機能させるので、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を向上させることができる。
【００３６】
また、本発明のプログラム記録媒体は、
本発明のデータ処理プログラムが記録されていると共に、コンピュータで読出し可能であることを特徴としている。
【００３７】
本発明によれば、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度が向上する。
【発明の効果】
【００３８】
本発明のデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラムおよびプログラム記録媒体によれば、各プロセスデータの全ての部分が、要約化データの算出対象になるから、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を格段に向上させることができる。
【００３９】
また、本発明のデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラムおよびプログラム記録媒体によれば、各プロセスデータを、部分ステップに分割等して、部分ステップ毎に要約するようになっているから、従来の方法と比較して、生産装置の処理負担が大きく増大することがない。
【００４０】
また、本発明のデータ処理装置、データ処理方法、データ処理プログラムおよびプログラム記録媒体によれば、各プロセスデータを、予め定められた分割情報に基づいて、部分ステップに分割等して、要約するようになっているから、処理ステップ時間が変化する場合も含めて、処理ステップの時間シーケンスを、細やかな粒度で漏れなく決定でき、かつ、精密に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態のデータ処理装置の概略構成図である。
【図２】上記データ処理装置におけるデータと情報との流れを示す図である。
【図３】上記データ処理装置の分割情報の例を示す図である。
【図４】上記データ処理装置における図３の分割情報に基づいた処理の例を示す図である。
【図５】本発明のデータ処理装置を含む分析、監視システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。
【００４３】
図１は、本発明の一実施形態のデータ処理装置の概略構成図である。
【００４４】
図１に示すように、このデータ処理装置１０１は、データ取得部１０２と、データ分割部１０３と、データ要約化部１０４とを有する。
【００４５】
上記データ取得部１０２は、生産装置１０５からプロセスデータ１１１と処理条件情報１１２と処理ステップ情報１１３とを所定の時間間隔で取得する。ここで、取得する時間間隔は、プロセスデータ１１１、処理条件情報１１２および処理ステップ情報１１３の夫々の各々の変化する最小時間間隔に応じて異なっていてもよい。
【００４６】
上記プロセスデータ１１１は、生産装置１０５の状態に対応したデータ(圧力、温度、ガス流量、電力など)であり、生産装置１０５に取り付けられた１つ以上のセンサ１０６を介して検出されるようになっている。
【００４７】
上記処理条件情報１１２は、生産装置１０５での処理条件(一連の処理)を識別するもので、生産装置１０５から所定の時間間隔で取得されたプロセスデータ１１１と対応が取れるよう同期して取得される。また、上記処理条件情報１１２は、処理条件を示す番号や文字、処理条件の切り替わりを示すフラグなどのいずれか、もしくは、それらの組み合わせなど、処理条件を識別出来るものであればどのような形式でもよい。本実施例では処理条件が文字列である場合を例示する。
【００４８】
上記処理ステップ情報１１３は、生産装置１０５での処理条件(一連の処理)における処理ステップを識別するもので、生産装置１０５から所定の時間間隔で取得されたプロセスデータ１１１と対応が取れるよう同期して取得される。処理ステップ情報１１３は、処理ステップを示す番号や文字、処理ステップの切り替わりを示すフラグなどのいずれか、もしくはそれらの組み合わせなど、処理ステップを識別出来るものであればどのような形式でもよい。本実施例では処理ステップが番号である場合を例示する。
【００４９】
上記データ分割部１０３は、データ取得部１０２より、データと情報を受け取り、予め設定された分割情報１１４に則って、受け取ったデータを部分ステップに分割する為の識別情報を部分ステップ情報として付加する。ここで、分割情報１１４は、プロセスデータ項目と処理条件情報と処理ステップ情報の全て、もしくは一部の識別情報に対して、該当するステップを部分ステップに何分割するかの情報を有すると共に、分割する時間間隔の情報を有する。上記時間間隔は、分割情報１１４において予め定められている情報量に相当している。
【００５０】
ここで、例えば、部分ステップの分割数および各々の時間間隔のうちの少なくとも一方は、各処理ステップ内の各プロセスデータの過度応答期間及び安定期間に基づいて設定されることができる。
【００５１】
上記データ要約化部１０４は、上記データ分割部１０３より、データと情報とを受け取り、処理条件情報及び処理ステップ情報及び上記データ分割部１０３より付加された部分ステップ情報の切り替わり毎にデータの要約化を行なう。データの要約化方法としては、例えば、部分ステップ期間内におけるデータの平均値、最大値、最小値の全部あるいは一部を算出して出力することが考えられる。また、要約化データとして、部分ステップ期間の時間幅を出力してもよい。
【００５２】
上記データ要約化部１０４により要約化されたデータは、データ要約化部１０４から、処理条件情報、処理ステップ情報、部分ステップ情報などの全てあるいは一部を含むステップ情報など１１６として出力されると共に、要約化データ１１５として出力されるようになっている。
【００５３】
図２は、上記データ処理装置におけるデータと情報との流れを示す図である。図２を用いて、処理の流れを詳細に説明する。
【００５４】
図２に示す、データ処理装置２０１、データ取得部２０２、データ分割部２０３、データ要約化部２０４、プロセスデータ２１１、処理条件情報２１２、処理ステップ情報２１３、要約化データ２４１、分割情報２５１は、図１に示す、データ処理装置１０１、データ取得部１０２、データ分割部１０３、データ要約化部１０４、プロセスデータ１１１、処理条件情報１１２、処理ステップ情報１１３、要約化データ１１５、分割情報１１４と同一であり、図２に示す、処理条件情報２４２、処理ステップ情報２４３は、図１に示す、処理条件情報１１２、処理ステップ情報１１３と同一である。また、図２に示す、部分ステップ情報は、図１に示す、データ分割部１０３が、付加する部分ステップ情報と同一である。これらの説明は、上述の説明をもって省略する。
【００５５】
図２に示すように、上記データ取得部２０２により取得されたプロセスデータ２１１、処理条件情報２１２、処理ステップ情報２１３は、取得された各々のプロセスデータが、どの処理ステップ、どの処理条件のものか識別出来るよう対応付けた形で、上記データ分割部２０３に渡される。本実施例では、最も単純に、取得時間毎にプロセスデータ２２１、処理条件情報２２２、処理ステップ情報２２３を組にした形で、上記データ分割部２０３に渡される場合を例示する。
【００５６】
上記データ分割部２０３は、上記データ取得部２０２より、取得時間毎にプロセスデータ２２１、処理条件情報２２２、処理ステップ情報２２３を受け取り、予め設定された分割情報２５１に則って、受け取ったデータを部分ステップに分割する為の部分ステップ識別情報を部分ステップ情報２３４として付加し、それらデータと情報をデータ要約化部２０４に渡す。本実施例では、図２に示すように、最も単純に、取得時間毎に、今までに取得した情報であるプロセスデータ２３１、処理条件情報２３２および処理ステップ情報２３３に、更に、部分ステップ情報２３４を付加し、データ要約化部２０４に渡す場合を例示する。
【００５７】
ここで、分割情報２５１は、処理条件情報と処理ステップ情報の両方、もしくは、いずれかの識別情報に対して、該当するステップを部分ステップに何分割するかを情報として有すると共に、時間間隔を情報として有する。
【００５８】
上記データ要約化部２０４は、上記データ分割部２０３より、取得時間毎に、プロセスデータ２３１、処理条件情報２３２、処理ステップ情報２３３、および、部分ステップ情報２３４を受け取り、セットとして扱われる、処理条件情報２３２、処理ステップ情報２３３、および、部分ステップ情報２３４の切り替わり毎にデータの要約化を行なう。データの要約化方法としては、例えば、部分ステップ期間中におけるデータの平均値、最大値、最小値の全部あるいは一部を算出して出力することが考えられる。また、要約化データとして、部分ステップ期間の時間幅を出力してもよい。
【００５９】
上記データ要約化部２０４により要約化されたデータは、データ要約化部２０４から、処理条件情報２４２、処理ステップ情報２４３、部分ステップ情報２４４と共に、要約化データ２４１として出力される。本実施例では、処理条件情報２４２、処理ステップ情報２４３、部分ステップ情報２４４を全て出力しているが、それらの一部のみを、出力するようにしても良い。
【００６０】
図３は、上記データ処理装置の分割情報の例を示す図である。
【００６１】
図３に示す分割情報３０１の例では、処理条件情報３０２、処理ステップ情報３０３、部分ステップ情報３０４、部分ステップ時間間隔３０５を項目とする表形式で構成され、表には、部分ステップに分割する必要のある処理条件情報、処理ステップ情報に対してのみ、部分ステップ数分のレコードが登録される。部分ステップ情報３０４には１から順に（Ｎ−１）（Ｎは、分割する部分ステップ数を示す）までの数字が連番で設定され、各々の部分ステップの時刻間隔が部分ステップ時間間隔３０５に設定される。
【００６２】
上記分割情報２５１は、上記図３の例に限らず、プロセスデータ項目と処理条件情報と処理ステップ情報の全て、もしくは、一部の識別情報に対して、該当するステップを、部分ステップに何分割するかという情報と、分割する時間間隔の情報とを、有していれば、どのような形式でも構わない。
【００６３】
図４は、上記データ処理装置における図３の分割情報３０１に基づいた処理の例を示す図である。
【００６４】
上記データ分割部２０３により、処理条件情報４０２と処理ステップ情報４０３のいずれかもしくは両方が変化したタイミングで、変化後の処理条件情報４０２と処理ステップ情報４０３に対して、部分ステップ情報４０４を１として、対応するレコードが分割情報３０１から検索される。
【００６５】
対応するレコードが有った場合、そのレコードの部分ステップ時間間隔が参照され、その時間間隔の間は、部分ステップ情報４０４を１として付加し、データ要約化部２０４に渡す。図４の例では、図３の分割情報３０１に基づいて、処理条件情報４０２がレシピ１、処理ステップ情報４０３が１と３の場合に、上記の処理が行われている。上記時間間隔後、処理条件情報４０２と処理ステップ情報４０３に対して、部分ステップ情報４０４を２として、対応するレコードが分割情報３０１から検索される。
【００６６】
対応するレコードが有った場合、そのレコードの部分ステップ時間間隔が参照され、その時間間隔の間は、部分ステップ情報４０４を２として付加し、データ要約化部２０４に渡す。図４の例では、図３の分割情報３０１に基づいて、処理条件情報４０２がレシピ１、処理ステップ情報４０３が３の場合に、上記の処理が行われている。以降、部分ステップ情報４０４を１ずつ増加させて、上記と同様の処理を繰り返す。対応するレコードがある部分ステップは、分割情報において予め定められている情報量を有する部分ステップに対応する一方、対応するレコードがない部分ステップは、分割情報において予め定められている情報量を有さない部分ステップに対応している。
【００６７】
対応するレコードが無かった場合は、処理ステップの最終時刻まで、部分ステップ情報４０４をその時点の値で付加し、データ要約化部２０４に渡す。図４の例では、図３の分割情報３０１に基づいて、処理条件情報４０２がレシピ１、処理ステップ情報４０３が１と２と３の場合に、上記の処理が行われている。
【００６８】
図４は、１つのプロセスデータ項目を例として示しているが、プロセスデータ項目が複数ある場合は、他のプロセスデータ項目に対しても、各々同様の処理が行われる。
【００６９】
また、図３の分割情報３０１は、全てのプロセスデータ項目に対して、共通の部分ステップへの分割を行なうことを前提としているが、プロセスデータ項目を識別情報として追加することで、プロセスデータ項目毎に部分ステップへの分割の仕方を変えることもできる。
【００７０】
この時、図４で説明している上記データ分割部２０３における処理は、プロセスデータ項目毎に行われ、分割情報の検索にはプロセスデータ項目が識別情報として追加される。これにより、プロセスデータ項目毎に異なる部分ステップへの分割を行なうことができる。
【００７１】
上記データ要約化部２０４により、処理条件情報４０２と処理ステップ情報４０３と上記データ分割部２０３により付加された部分ステップ情報４０４が同じ値の期間のプロセスデータ４０１が要約化され、要約化データ４０５として出力される。
【００７２】
このように、本構成のデータ処理装置によれば、生産装置の処理負荷を大きく増大させること無く、各処理ステップのプロセスデータは、その処理ステップ時間が変化する場合も含めて、装置の処理ステップの時間シーケンスを細かな粒度で考慮しつつ漏れなく、いずれかの部分ステップの要約化データの算出対象となるので、要約化データを用いた分析における分析能力、要約化データを用いた監視における検知能力、監視精度を向上させることが出来る。
【００７３】
尚、この発明では、データ分割部において各処理ステップに対して行われる部分ステップ識別情報の生成には、次のＡ）〜Ｄ）の場合、すなわち、Ａ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する二以上の部分ステップに分割するための部分ステップ識別情報を生成する場合、Ｂ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する一以上の部分ステップと、上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップとに分割するための部分ステップ識別情報を生成する場合、Ｃ）上記分割情報において予め定められている情報量を有する一の部分ステップのみの部分ステップ識別情報を生成する場合、Ｄ）上記分割情報において予め定められている情報量を有さない一の部分ステップのみの部分ステップ識別情報を生成する場合が含まれる。
【００７４】
図５は、本発明のデータ処理装置を含む分析、監視システムの概略構成図である。
【００７５】
図５を用いて、本発明のデータ処理装置が利用される構成を説明する。
【００７６】
図５に示す、データ処理装置５０１、生産装置５０２は、図１に示す、データ処理装置１０１、生産装置１０５と同一であり、これらの説明を省略する。
【００７７】
図５に示すように、データ処理装置５０１により、上記の通り要約化されたプロセスデータの要約化データは、処理条件情報、処理ステップ情報、部分ステップ情報などと共にデータベース５１１に保管され、分析モジュール５２１により必要に応じて適宜分析が行われる。ここで、分析モジュール５２１は、データに対して、トレンド分析、相関分析、分散分析など一般的に知られている統計的な分析を行なうソフトウェアである。上記分析モジュール５２１は、データ処理装置５０１から出力されデータベース５１１に保管された上記データ、情報以外にも、生産装置５０１の処理結果に対応する出来映え情報の紐付けを行って分析してもよい。
【００７８】
監視モジュール５２２は、データ処理装置５０１の出力及びデータベース５１１に保管されたデータに対して、統計的プロセス制御(SPC) で一般的に使用されるトレンドチャートやxbar-R管理図等などによる監視を行なうソフトウェアであり、監視ルール５３１は統計的プロセス制御で一般的に使用されるWE(Western Electric)ルールやJISルール等からなる異常傾向の判断基準の定義を行う。
【００７９】
上記のような構成により、本発明のデータ処理装置の処理結果としての要約化データを用いることで、分析における分析能力、監視における検知能力、監視精度を向上させることが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
半導体の製造、太陽電池の製造、薄型表示デバイスの製造および鉄鋼の製造等の様々な分野において、処理結果の要約化データを用いた製品の歩留、特性、品質の低下要因の分析能力や装置の異常の検知能力、処理状態の監視精度を向上させるために生産装置からのプロセスデータを要約化するデータ処理に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００８１】
１０１、２０１、５０１  データ処理装置
１０２、２０２  データ取得部
１０３、２０３  データ分割部
１０４、２０４  データ要約化部
１０５、５０２  生産装置
１０６  １つ以上のセンサ
１１１、２１１、２２１、２３１、４０１  プロセスデータ
１１２、２１２、２２２、２３２、２４２、３０２、４０２  処理条件情報
１１３、２１３、２２３、２３３、２４３、３０３、４０３  処理ステップ情報
１１４、２５１、３０１  分割情報
１１５、２４１、４０５  要約化データ
１１６  ステップ情報など
５１１  データベース
５２１  分析モジュール
５２２  監視モジュール
５３１  監視ルール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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