(57)【要約】【課題】接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮できるようにする。【解決手段】ガイド板２４・２６は、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃの間に配置されており、側面視にて、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとは重なっていない。これにより、接触子２０が中間板２８及びガイド板２４・２６に対して上方へ移動した際に、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとの側面同士が接触しないので、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとの間での摩擦が生じず、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃがスムーズに弾性変形する。これにより、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮できる。【選択図】図６
2012021804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ポイントに対して所定の接離方向へ接離される接触子と、
前記接触子が固定された固定部又は前記接触子から前記接離方向に対して交差する交差方向へ延出され、自らの弾性変形により前記接触子を前記接離方向に移動可能に支持する線状のバネ部と、
前記バネ部に対する前記接離方向の一方側又は前記バネ部に対する前記接離方向の他方側に配置され、前記接離方向及び前記バネ部の延出方向と直交する両側から前記接触子又は前記固定部を挟んでその両側への前記接触子の移動を規制するガイドと、
を備えるフライング検査用接触子の保持構造。
【請求項２】
前記バネ部は、前記ガイドに対する前記接離方向の一方側及び他方側に一対配置され、
前記ガイドは、前記一対のバネ部の間に配置されている請求項１に記載のフライング検査用接触子の保持構造。
【請求項３】
前記接触子が接着剤で固定された前記固定部と、前記固定部から前記交差方向へ線状に延出された前記バネ部と、前記接触子の固定部位と前記バネ部との間で前記固定部に形成され前記接着剤を逃がすための切欠部と、を有する固定板を備える請求項１又は請求項２に記載のフライング検査用接触子の保持構造。
【請求項４】
被検査基板を保持する基板保持部と、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のフライング検査用接触子の保持構造における前記バネ部を介して前記接触子を支持し、前記接触子を移動して前記被検査基板における複数の検査ポイントに順次接触させる接触子駆動機構と、
を備える回路基板のフライング検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フライング検査用接触子の保持構造及び回路基板のフライング検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板の検査装置として、該プリント基板の複数の検査ポイントに、接触子としてのプローブを順次移動させ、移動先の検査ポイントにプローブを接触させることで導通検査を行う、所謂フライング検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、このようなフライング検査装置において、プローブを同軸配置したコイルスプリングによってプリント基板側に付勢したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。この構成では、プローブが検査ポイントに接触した際の衝撃が、コイルスプリングによって吸収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２２２６４９号公報
【特許文献２】特開平７−９２２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、コイルスプリングに替えて、線状のバネ部で接触子を支持する構成とすることも可能である。この構成においても、コイルスプリングの場合と同様に、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部が良好に発揮することが要求される。
【０００５】
本発明は、線状のバネ部で接触子を支持する構成において、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部が良好に発揮できるフライング検査用接触子の保持構造及びフライング検査装置を得ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係るフライング検査用接触子の保持構造は、検査ポイントに対して所定の接離方向へ接離される接触子と、前記接触子が固定された固定部又は前記接触子から前記接離方向に対して交差する交差方向へ延出され、自らの弾性変形により前記接触子を前記接離方向に移動可能に支持する線状のバネ部と、前記バネ部に対する前記接離方向の一方側又は前記バネ部に対する前記接離方向の他方側に配置され、前記接離方向及び前記バネ部の延出方向と直交する両側から前記接触子又は前記固定部を挟んでその両側への前記接触子の移動を規制するガイドと、を備える。
【０００７】
この構成によれば、接触子は、検査ポイントに対して所定の接離方向（例えば上下方向）へ接離される。すなわち、接触子は、接触方向（例えば下方）に移動することにより、検査ポイントに接触し、離間方向（例えば上方）に移動することにより、検査ポイントから離間する。
接触子が検査ポイントに接触されると、接触子はガイドによって、接離方向及びバネ部の延出方向と直交する両側（例えば、両側方）への移動が規制されながら、離間方向（例えば、上方）へ移動する。これにより、線状のバネ部が弾性変形し、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃が吸収される。
【０００８】
ここで、本発明の請求項１の構成では、ガイドは、バネ部に対する接離方向の一方側又はバネ部に対する接離方向の他方側、すなわち、バネ部に対して干渉しない位置に配置されている。これにより、ガイドとバネ部同士が接触しないので、ガイドとバネ部との間での摩擦が生じず、バネ部がスムーズに弾性変形する。これにより、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部が良好に発揮できる。
なお、所定の接離方向は、上下方向である場合に限られず、例えば、前後方向、左右方向であってもよく、任意の方向とすることができる。
【０００９】
本発明の請求項２に係るフライング検査用接触子の保持構造は、前記バネ部は、前記ガイドに対する前記接離方向の一方側及び他方側に一対配置され、前記ガイドは、前記一対のバネ部の間に配置されている。
【００１０】
この構成によれば、一対のバネ部で接触子を支持するので、単一のバネ部で支持する構成に比べて、接触子の多数の検査ポイントに対する接触に伴う繰り返し荷重に対する強度が高く、検査ポイントへの繰り返し接触に対する耐久性が向上する。
【００１１】
また、このように一対のバネ部を設けた構成においても、ガイドが一対のバネ部の間に配置されることにより、ガイドとバネ部同士が接触しないようになっている。このため、ガイドとバネ部との間での摩擦が生じず、バネ部がスムーズに弾性変形する。これにより、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部が良好に発揮できる。
【００１２】
本発明の請求項３に係るフライング検査用接触子の保持構造は、前記接触子が接着剤で固定された前記固定部と、前記固定部から前記交差方向へ線状に延出された前記バネ部と、前記接触子の固定部位と前記バネ部との間で前記固定部に形成され前記接着剤を逃がすための切欠部と、を有する固定板を備える。
【００１３】
この構成によれば、接触子を接着剤により固定部に固定する際に、バネ部側へ接着剤がはみ出した場合でも、切欠部によって、接着剤がバネ部に付着しにくい。これにより、接触剤がバネ部の弾性変形を妨げることがなく、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部が良好に発揮できる。
【００１４】
本発明の請求項４に係る回路基板のフライング検査装置は、被検査基板を保持する基板保持部と、請求項１〜３のいずれか１項に記載のフライング検査用接触子の保持構造における前記バネ部を介して前記接触子を支持し、前記接触子を移動して前記被検査基板における複数の検査ポイントに順次接触させる接触子駆動機構と、を備える。
【００１５】
この構成によれば、基板保持部に保持された回路基板の複数の検査ポイントに対し、接触子駆動機構によって駆動された接触子が順次移動して、接触することで、回路基板の検査がなされる。本フライング検査装置は、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能をバネ部が良好に発揮できる請求項１〜３のいずれか１項記載のフライング検査用接触子の保持構造を備えるので、信頼性が高い。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明の構成によれば、接触子が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能をバネ部が良好に発揮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る接触子ユニットが適用されたプリント基板のフライング検査装置の要部を模式的に示す側面図である。
【図２】本実施形態に係るフライング検査装置において、プリント基板を吸着テーブルに保持した状態を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る接触子ユニットを示す分解斜視図である。
【図４】本実施形態に係る接触子ユニットを示す斜視図である。
【図５】本実施形態に係る接触子ユニットを接触子駆動ユニットに保持した状態を示す斜視図である。
【図６】本実施形態に係る接触子ユニットを示す側面図である。
【図７】本実施形態に係る接触子ユニットにおいて、接触子が検査ポイントに接触した状態を示す側面図である。
【図８】本実施形態に係る接触子ユニットにおいて、接触子のガイド板に対する上方への移動がストッパ（被保持部）によって規制された状態を示す側面図である。
【図９】本実施形態に係る接触子ユニットにおいて、ストッパによって接触子のスルーホールへの落ち込みが規制された状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施形態に係るフライング検査用接触子の保持構造が適用された接触子ユニット１０、該接触子ユニット１０を備えたプリント基板のフライング検査装置１１について、図面に基づいて説明する。先ず、フライング検査装置１１の概略全体構成について説明し、次いで、本発明の要部である接触子ユニット１０について説明する。
【００１９】
（プリント基板のフライング検査装置の全体構成）
図１には、プリント基板のフライング検査装置１１の要部が模式的な側面図にて示されている。この図１に示すように、フライング検査装置１１は、検査対象であるプリント基板（被検査基板）１２における各検査ポイントの導通等を、後に詳述する接触子ユニット１０を用いて検査する構成とされている。この実施形態では、フライング検査装置１１は、プリント基板１２に形成された導体パターンと基準電極との間の静電容量を測定し、その測定した静電容量に基づいて導体パターンの良否を検査するようになっている。以下、フライング検査装置１１の具体的な構成について説明するが、検査（良否判定）原理については周知の方法を適用し得るので、説明を省略する。
【００２０】
フライング検査装置１１は、図１に示すように、プリント基板１２を保持する基板保持部としての吸着テーブル１４と、接触子ユニット１０と、接触子ユニット１０を移動してプリント基板１２における複数の検査ポイントに順次接触させる接触子駆動機構としての接触子駆動ユニット１６と、図示しない測定部とを主要部として構成されている。本実施形態では、フライング検査装置１１は、一組（２つ）の接触子ユニット１０、接触子駆動ユニット１６を備えて構成されている。
【００２１】
吸着テーブル１４は、水平かつ鉛直方向の上側を向く基板載置面１４Ａを有し、複数の吸引孔１４Ｂを通じて基板載置面１４Ａとは反対（下面）側から図示しない吸引装置にて真空引きすることで、基板載置面１４Ａ上にプリント基板１２を吸着保持するようになっている。また、基板載置面１４Ａ上には、図１及び図２に示すように、プリント基板１２を位置決めするための衝立部（凸部）１４Ｃが設けられている。
【００２２】
接触子駆動ユニット１６は、吸着テーブル１４に対し接触子ユニット１０をＸ方向（例えば、図１における左右方向）、Ｙ方向（例えば、図１における前後方向）に駆動する水平駆動部と、接触子ユニット１０をＺ方向（上下方向）に駆動する鉛直駆動部と、を有して構成されている。これにより、フライング検査装置１１では、接触子駆動ユニット１６の水平駆動部によって接触子ユニット１０（の接触子２０）を検査ポイントの直上方に移動させた後、鉛直駆動部によって接触子ユニット１０を降下させることで接触子２０を検査ポイントに接触（コンタクト）させることで、測定部によって検査ポイントの検査が行われるようになっている。
【００２３】
また、フライング検査装置１１では、接触子２０が検査ポイントに接触している状態から鉛直駆動部によって接触子ユニット１０を上昇させた後、水平駆動部によって接触子ユニット１０を別の検査ポイントに移動させ、複数の検査ポイントの検査を行うようになっている。
【００２４】
なお、検査ポイントとしては、図１及び図２に示すように、例えば、スルーホール１２Ａに形成された導体パターン（ランド）１２Ｂがある。この導体パターン１２Ｂは、スルーホール１２Ａの外縁及びスルーホール１２Ａの内周壁に形成されている。
【００２５】
（接触子ユニット１０の構成）
図３には、接触子ユニット１０の分解斜視図が示されている。この図３に示すように、接触子ユニット１０は、ブレード型の接触子２０と、接触子２０が固定された固定板２２と、固定板２２をその板厚方向に挟むように配置された一対のガイド板２４・２６と、ガイド板２４と固定板２２との間に配置された中間板２８と、を備えている。
【００２６】
接触子２０は、板状で、かつ、側面視にて平行四辺形状に形成されている（図６参照）。接触子２０の材料としては、例えば、超硬合金やステンレス鋼（ＳＵＳ）が用いられる。具体的には、接触子２０として、例えば、市販のカッター刃を用いることができる。接触子２０は、側面視において平行四辺形を構成する下辺が、検査ポイントへの接触部位となっている（図６参照）。すなわち、接触子２０は、下端部が、検査ポイントに対して線状に接触可能となっている。
【００２７】
接触子２０は、鋭角にされたエッジが最も鉛直方向下側（図６における左下側）に配置されており、接触部位としての上記の下辺が、水平方向に対して傾斜している。接触子２０には、測定部と導通するための導線３２がハンダ付け等によって接続されている（図５参照）。
【００２８】
固定板２２は、水平方向（例えば、接触子駆動ユニット１６のＸ方向）に長手の板状に形成されている。固定板２２は、接触子２０が固定された固定部２２Ａと、固定部２２Ａから側方（例えば、接触子駆動ユニット１６のＸ方向）へ延出された線状の一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃと、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃの間に配置され固定板２２が接触子駆動ユニット１６の接触子保持部１６Ａに保持される被保持部２２Ｄと、を備えて構成されている。
【００２９】
固定部２２Ａは、固定板２２における長手方向一端部（図６における左端部）をなしている。固定部２２Ａの一方の面には、接触子２０の下端部が固定部２２Ａの下端から下方へ突出するように、接触子２０が接着剤により固定されている。
【００３０】
固定部２２Ａにおける接触子２０の固定部位とバネ部２２Ｂとの間には、接触子２０の固定用の接着剤を逃がすための切欠部２２Ｅが形成されている。切欠部２２Ｅは、固定板２２の上端から上下方向略中央部に達するように形成されている。切欠部２２Ｅには、接触子２０の上部側の鋭角にされたエッジが突出している。
【００３１】
固定部２２Ａの下端には、検査ポイントとしてのスルーホール１２Ａ外縁の導体パターン１２Ｂに接触子２０が接触する際に、接触子２０のスルーホール１２Ａへの落ち込みを規制するストッパ２２Ｉが、切欠部２２Ｅの下方位置に形成されている。
【００３２】
バネ部２２Ｂは、具体的には、水平方向に長さを有しており、長さ方向一端部（図６における左端部）が固定部２２Ａの上部に連続すると共に、長さ方向他端部（図６における右端部）が、被保持部２２Ｄの一端部（図６における右端部）の上側に連続して形成されている。バネ部２２Ｃは、具体的には、水平方向に長さを有しており、長さ方向一端部（図６における左端部）が固定部２２Ａの下部に連続すると共に、長さ方向他端部（図６における右端部）が、被保持部２２Ｄの一端部（図６における右端部）の下側に連続して形成されている。このように、バネ部２２Ｂ・２２Ｃは、接触子２０（固定部２２Ａ）に対して、上下に一対配置されている。
【００３３】
一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃは、上下方向に撓むように、弾性変形可能に構成されており、自らの弾性により、固定部２２Ａを介して接触子２０を上下方向に移動可能に支持している。
【００３４】
なお、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの弾性力は、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの幅Ｗ・長さＬ及び固定板２２の板厚によって設定可能である。従って、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの幅Ｗ及び固定板２２の板厚の少なくとも一方のサイズを大きくし、又は、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの長さＬを短くすることにより、弾性力を高めることができる。また、後述のスリット２２Ｈの幅を狭くし、又は、固定板２２自体の幅を広くすることにより、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの幅Ｗを大きくすることができる。なお、バネ部２２Ｂ・２２Ｃの幅Ｗは、例えば、０．１〜０．８ｍｍに、長さＬは５ｍｍ以上に、固定板２２の板厚は、０．１ｍｍ以上に設定される。
【００３５】
被保持部２２Ｄは、バネ部２２Ｂの下側であって、かつ、バネ部２２Ｃの上側であって、かつ、固定部２２Ａの側方に配置されている。この被保持部２２Ｄと、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃ及び固定部２２Ａと、を分離するコの字状のスリット２２Ｈが、固定板２２に形成されている。これにより、被保持部２２Ｄは、バネ部２２Ｂ、バネ部２２Ｃ及び固定部２２Ａに対して間隔をおいて配置されている。
【００３６】
被保持部２２Ｄには、接触子駆動ユニット１６の接触子保持部１６Ａへの固定用のビス３０が挿通される２つの透孔２２Ｆが、固定板２２における長手方向の略中央部に、該長手方向並列して形成されている。
【００３７】
また、被保持部２２Ｄの固定部２２Ａ側（図８における左側）の下端は、バネ部２２Ｃが所定量以上湾曲した際にバネ部２２Ｃに当接し、固定部２２Ａの上方への移動を規制するストッパとして機能するようになっている。
【００３８】
ガイド板２４は、固定板２２と同様に、水平方向（例えば接触子駆動ユニット１６のＸ方向）に長手の板状に形成されている。ガイド板２４は、固定板２２の接触子２０が固定される固定面側に対して、中間板２８を介して重ねられる。
【００３９】
ガイド板２４は、固定板２２に重ねられた状態において、長手方向一端及び他端が、それぞれ、固定板２２の長手方向一端及び他端と略一致する形状とされている。また、ガイド板２４の長手方向一端側（図６における左端側）には、固定板２２に重ねられた状態において、固定板２２の切欠部２２Ｅと一致する切欠部２４Ｅが形成されている。ガイド板２４の長手方向中央部には、２つの透孔２２Ｆと連通する透孔２４Ｆが形成されている。
【００４０】
ガイド板２６は、後述する凸部２６Ｇを除いて、ガイド板２４と略同一形状とされている。すなわち、ガイド板２６は、水平方向に長手の板状に形成されると共に、切欠部２６Ｅ（切欠部２４Ｅに相当）、上縁２６Ｂ（上縁２４Ｂに相当）、下縁２６Ｃ（下縁２４Ｃに相当）及び透孔２６Ｆ（透孔２４Ｆに相当）を有している。
【００４１】
また、ガイド板２６は、固定板２２の接触子２０が固定される固定面に対する裏面に重ねられている。すなわち、固定板２２及び接触子２０は、上下方向及びバネ部２２Ｂ・２２Ｃの延出方向と直交する側方の両側からガイド板２４・２６によって挟まれるようになっている。
【００４２】
ガイド板２４・２６は、側面視にて、上縁２４Ｂ・２６Ｂが下側に凸状となる（膨らむ）曲線で構成されている（図６参照）。これにより、固定板２２に重ねられた状態において、側面視にてバネ部２２Ｂが露出する（見える）ようになっている。すなわち、バネ部２２Ｂは、ガイド板２４・２６の上方に配置されており、側面視にてガイド板２４・２６と重ならないようになっている。なお、ガイド板２４・２６の上縁２４Ｂ・２６Ｂと、バネ部２２Ｂの下縁との間には、隙間が形成されている。
【００４３】
ガイド板２４・２６は、上縁２４Ｂ・２６Ｂと同様に、側面視にて、下縁２４Ｃ・２６Ｃが上側に凸状となる（膨らむ）曲線で構成されている（図６参照）。これにより、固定板２２に重ねられた状態において、側面視にて、バネ部２２Ｃ、ストッパ２２Ｉ及び接触子２０の下部が露出する（見える）ようになっている（図６参照）。すなわち、バネ部２２Ｃ、ストッパ２２Ｉ及び接触子２０の下部は、ガイド板２４・２６の下方に配置されており、側面視にてガイド板２４・２６と重ならないようになっている。なお、ガイド板２４・２６の下縁２４Ｃ・２６Ｃと、バネ部２２Ｃの上縁との間には、隙間が形成されている。
【００４４】
中間板２８は、固定板２２の接触子２０が固定される固定面に重ねられている。すなわち、中間板２８は、固定板２２とガイド板２４によって挟まれるようになっている。
【００４５】
また、中間板２８は、ガイド板２４において接触子２０と対向する部分が欠けたものと略同一形状とされている。すなわち、中間板２８は、固定板２２の固定面に重ねられた状態において、接触子２０と干渉しないようになっている。また、中間板２８は、水平方向に長手の板状に形成されると共に、切欠部２８Ｅ（切欠部２４Ｅに相当）、上縁２８Ｂ（上縁２４Ｂに相当）、下縁２８Ｃ（下縁２４Ｃに相当）及び透孔２８Ｆ（透孔２４Ｆに相当）を有している。
【００４６】
中間板２８は、接触子２０と略同一の厚みとされている。これにより、固定板２２とガイド板２４との間に挟まれて固定板２２とガイド板２４とを平行な状態にするためのスペーサとして機能する。
【００４７】
接触子ユニット１０では、図４に示すように、ガイド板２４、中間板２８、固定板２２及びガイド板２６が、上述のように、この順で板厚方向に重ね合わせられると共に、接着剤によって固定されている。
【００４８】
具体的には、ガイド板２４は、中間板２８に対して接着固定されている。ガイド板２４は、接触子２０の側面に対しては、固定されておらずに接触しており、接触子２０がガイド板２４に対して摺動するようになっている。
【００４９】
中間板２８は、固定板２２の被保持部２２Ｄに対して接着固定されている。中間板２８は、固定板２２の固定部２２Ａに対しては、固定されておらずに接触しており、固定部２２Ａが中間板２８に対して摺動するようになっている。
【００５０】
ガイド板２６は、固定板２２の被保持部２２Ｄに対して接着固定されている。ガイド板２６は、固定板２２の固定部２２Ａに対しては、固定されておらずに接触しており、固定部２２Ａがガイド板２６に対して摺動するようになっている。
【００５１】
なお、ガイド板２４、中間板２８、固定板２２及びガイド板２６には、それぞれ、重ね合わせる順を特定するための凸部２４Ｇ・２８Ｇ・２２Ｇ・２６Ｇが、長手方向他端部に形成されている。
【００５２】
また、ガイド板２４、中間板２８、固定板２２及びガイド板２６は、プリント基板材料であるガラスクロス入りの基板、より具体的にはＦＲ４グレード（米国電機工業規格(ＮＥＭＡ）による）の耐熱性ガラス基材エポキシ樹脂積層板にて構成されている。
【００５３】
このように構成された接触子ユニット１０は、図５に示すように、各板２４・２８・２２・２６の透孔２４Ｆ・２８Ｆ・２２Ｆ・２６Ｆに挿通されたビス３０によって、接触子駆動ユニット１６の接触子保持部１６Ａに締結固定されて保持されている。
【００５４】
なお、固定板２２の被保持部２２Ｄ、中間板２８、ガイド板２４及びガイド板２６は、接触子ユニット１０が接触子駆動ユニット１６の接触子保持部１６Ａの保持された状態において、接触子保持部１６Ａに対して移動しない不動部として構成される。一方、固定板２２の固定部２２Ａ及び一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃは、接触子ユニット１０の保持状態において、接触子保持部１６Ａに対して移動する可動部として構成される。
【００５５】
（本実施形態の作用）
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００５６】
上記構成の接触子ユニット１０が適用されたフライング検査装置１１では、プリント基板１２の検査を行うにあたっては、先ず、吸着テーブル１４の基板載置面１４Ａ上に、衝立部１４Ｃで位置決めされるようにプリント基板１２をセットする（図１及び図２参照）。次いで、吸着テーブル１４の吸着装置を起動する。すると、フライング検査装置１１では、複数の吸引孔１４Ｂを通じた真空引きによってプリント基板１２が基板載置面１４Ａに吸着される。
【００５７】
この状態から各接触子駆動ユニット１６を起動させると、各接触子駆動ユニット１６は水平駆動部によって接触子２０を複数の検査ポイントの上方位置に水平方向へ移動させる（図６参照）。さらに、接触子駆動ユニット１６の鉛直駆動部によって接触子ユニット１０を下方（プリント基板１２側）に移動させて、接触子２０をプリント基板１２の検査ポイントに接触させる（図７参照）。これにより、検査ポイントとフライング検査装置１１の測定部とが導通され、プリント基板１２の導体パターンの良否が判定される。フライング検査装置１１は、以上の動作を検査ポイントの数だけ繰り返す。
【００５８】
本実施形態では、接触子２０が検査ポイントに接触すると、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃが下側へ凸状になるように湾曲し、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収すると共に、接触子２０は、弾性変形した一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃの弾性力により検査ポイントに対する所定の接触圧を得る。
【００５９】
このように、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃが弾性変形することにより、接触子２０及び固定板２２の固定部２２Ａが、中間板２８及びガイド板２４・２６に対して上方に移動する。
【００６０】
このとき、固定部２２Ａの固定面側に接触する中間板２８、固定部２２Ａの裏面側に接触するガイド板２６、接触子２０に接触するガイド板２４によって、接触子２０は、板厚方向への移動が規制されると共に上方へ案内される。
【００６１】
さらに、図８に示すように、接触子２０及び固定部２２Ａが、中間板２８及びガイド板２４・２６に対して上方へ移動すると、バネ部２２Ｃが被保持部２２Ｄの下端に当接し、それ以上の上方への移動が規制される。
【００６２】
また、フライング検査装置１１では、図９に示すように、検査ポイントとしてのスルーホール１２Ａ外縁の導体パターン１２Ｂに接触子２０が接触する際に、特に、スルーホール１２Ａの内径が接触子２０の横幅よりも大きい場合では、接触子２０がスルーホール１２Ａに落ち込みやすいが、ストッパ２２Ｉがスルーホール１２Ａ外縁に当接し、接触子２０がスルーホール１２Ａへの落ち込みが規制される。これにより、接触子２０と導体パターン１２Ｂとの良好な接触が得られる。
【００６３】
ここで、本実施形態では、水平方向に長さを有する一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃで接触子２０を支持するので、接触子２０の上側からコイルスプリングによって接触子２０を下側のプリント基板１２へ付勢する構成に比べて、上下方向における装置高さを小さくでき、装置の小型化が図られる。
【００６４】
このように、コイルスプリングでは無く、水平方向に長さを有する一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃで接触子２０を支持するので、接触子２０の大きさ（高さや幅）・接触子２０の形状の選択の自由度が増し、本実施形態のように、ブレード型の接触子２０とすることが可能となる。仮に、ブレード型の接触子２０をコイルスプリングによってプリント基板側に付勢する構成とした場合では、装置高さが大型化してしまう。
【００６５】
また、本実施形態では、接触子２０がブレード型をしているので、検査ポイントに対して線状に接触するため、点状に接触する針状の接触子２０に比べて、検査ポイントに対して良好に接触する。特に、検査ポイントとしてのスルーホール１２Ａ外縁の導体パターン１２Ｂに接触子２０を接触させる場合には、点状に接触する針状の接触子２０ではスルーホール１２Ａに接触子２０が落ちて接点を取れない場合があるのに対して、ブレード型の接触子２０では、より確実な接触を得ることができる。
【００６６】
また、本実施形態では、ガイド板２４・２６は、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃの間に配置されており、側面視にて、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとは重なっていない。これにより、接触子２０が中間板２８及びガイド板２４・２６に対して上方へ移動した際に、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとの側面同士が接触しないので、ガイド板２４・２６と一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃとの間での摩擦が生じず、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃがスムーズに弾性変形する。これにより、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮できる。
【００６７】
このように、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮するので、多数の検査ポイントへの接触に対する耐久性を確保することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃで接触子２０を支持するので、単一のバネ部で支持する構成に比べて、接触子２０の多数の検査ポイントに対する接触に伴う繰り返し荷重に対する強度が高く、検査ポイントへの繰り返し接触に対する耐久性が向上する。
【００６９】
また、本実施形態では、ガイド板２４・２６の下縁２４Ｃ・２６Ｃが円弧状に形成されているので、バネ部２２Ｃが湾曲してガイド板２４・２６のガイド板２４・２６に接触したとしても、ガイド板２４・２６に引っ掛かりにくく、ガイド板２４・２６の間にスムーズに進入する。
【００７０】
また、本実施形態では、接触子２０を接着剤により固定部２２Ａに固定する際に、バネ部Ｂ側へ接着剤がはみ出した場合でも、切欠部２２Ｅによって、接着剤がバネ部に付着しにくい。これにより、接触剤がバネ部２２Ｂの弾性変形を妨げることがなく、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮できる。
【００７１】
このように、本実施形態に係るフライング検査装置１１によれば、接触子２０が検査ポイントに接触した際の衝撃を吸収する機能を、バネ部２２Ｂ・２２Ｃが良好に発揮できるので、信頼性が高い。
【００７２】
なお、上記した実施形態では、フライング検査装置１１がプリント基板１２に形成された導体パターンと基準電極との間の静電容量に基づいて導体パターンの良否を検査する例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、プリント基板１２の表裏から接触子２０を接触させて直接的に導通を検査するフライング検査装置１１に本発明を適用しても良い。
【００７３】
また、接触子２０としては、ブレード型のものに限られず、針状のものであってよく、接触子２０として機能する限りにおいて、接触子２０の形状は、いずれの形状であっても良い。また、接触子２０は、固定板２２の固定部２２Ａに固定される構成に限られず、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃに直接的に固定される構成であっても良い。
【００７４】
また、固定板２２としては、一対のバネ部２２Ｂ・２２Ｃのいずれか一方のみが形成された構成であってもよい。また、接触子ユニット１０は、２つのビス３０によって、接触子駆動ユニット１６の接触子保持部１６Ａに締結固定されていたが、ビス３０は１つであっても良いし、３つ以上であっても良い。
【００７５】
また、本実施形態では、中間板２８が固定部２２Ａの固定面側に接触して固定板２２を上方へ案内するので、ガイド板２４がない構成であってもよい。この構成においては、ガイド板２６とで接触子２０を挟むように、中間板２８を接触子２０側に延出させた構成であっても良い。
【００７６】
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１０   接触子ユニット
１１   フライング検査装置
１２   プリント基板（被検査基板）
１４   吸着テーブル（基板保持部）
１６   接触子駆動ユニット（接触子駆動機構）
２０   接触子
２２   固定板
２２Ａ 固定部
２２Ｂ バネ部
２２Ｃ バネ部
２２Ｅ 切欠部
２４   ガイド板（ガイド）
２６   ガイド板（ガイド）
【図１】
2012021804.tif 000003
【図２】
2012021804.tif 000004
【図３】
2012021804.tif 000005
【図４】
2012021804.tif 000006
【図５】
2012021804.tif 000007
【図６】
2012021804.tif 000008
【図７】
2012021804.tif 000009
【図８】
2012021804.tif 000010
【図９】
2012021804.tif 000011