(57)【要約】【課題】クリーンルーム用ブーツ６内の奥部、特に爪先部６２を素早く確実に乾燥させることができ、しかも、ブーツ６内の塵埃等を確実に外側へ排出することができるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０を提供すること。【解決手段】給気パイプ２に靴底を上にして逆さに被せたブーツ６内へ清浄空気を送風してブーツ６をその清浄度を保って乾燥させる清浄乾燥装置において、給気パイプ２の上端に、ブーツ６の内底部６１を支持する一対の支持部３１と、ブーツ６の爪先部６２へ送風する爪先側凹部３２と、踵部６３へ送風する踵側凹部３３とから成る給気ノズル３を設け、給気パイプ２の外面の周方向における前記爪先側凹部の側にのみ、複数の凸条２１を設けた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥室と、該乾燥室内に立設され、上端に給気ノズルを備える複数の給気パイプと、該乾燥室外に設けられ、前記給気パイプへ清浄な空気を供給する供給手段とを備え、前記各給気パイプに靴底を上にして被せたクリーンルーム用ブーツの内側へ清浄空気を送風して該ブーツを清浄に乾燥させるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置であって、
前記給気ノズルが、
前記給気パイプの上端に設けられ、前記ブーツの内底部を、該ブーツの爪先部を踵部よりも上にした傾斜姿勢で支持し得る一対の支持部と、
前記一対の支持部間に設けられ、前記給気パイプを通じて供給された清浄空気の一部を、該支持部で支持した前記ブーツの爪先部へ送風する爪先側凹部と、
前記一対の支持部間に設けられ、前記給気パイプを通じて供給された清浄空気の一部を、該支持部で支持した前記ブーツの踵部へ送風する踵側凹部と、
から成り、
前記給気パイプの外面の周方向における前記爪先側凹部の側にのみ、該給気パイプの長手方向に沿う複数の凸条が設けられ、前記ブーツの爪先部を経由した清浄空気の一部を、該複数の凸条間を通して該給気パイプの下端側へ導くことを特徴とするクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置。
【請求項２】
前記給気パイプに前記ブーツを被せたとき、該給気パイプの外面と前記複数の凸条と該ブーツの内面とによって囲まれて形成される排気流路の横断面積が、該給気ノズルの爪先側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される爪先側送風口の送風方向に垂直な仮想面上への投影面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置。
【請求項３】
前記給気パイプに前記ブーツを被せたとき、該給気ノズルの踵側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される踵側送風口の送風方向に垂直な仮想面上への投影面積が、該給気ノズルの爪先側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される爪先側送風口の送風方向に垂直な仮想面への投影面積よりも小さいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置。
【請求項４】
前記乾燥室の底部が、多数の通孔を有する平板材から成ることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置。
【請求項５】
前記給気パイプが前記乾燥室の底部を貫通し、
前記供給手段と該給気パイプの下端とを接続する分岐配管が前記乾燥室外に設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置、より詳しくは、洗浄脱水後のクリーンルーム用ブーツに清浄な空気を送風して清浄度を保って乾燥させるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム用ブーツは、一般的に装着者の爪先からほぼ踝までを覆う合成ゴム製の短靴部と、この短靴部から延設され、装着者の下腿を覆う柔軟な防塵布製のフード部とから構成されており、自立させることができない。
【０００３】
従来、かかるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置として、下記の特許文献１に記載のものが開示されている。この装置は、クリーンルーム用ブーツをその靴底を上にして逆さにし、フード部及び短靴部を逆Ｕ字状の掛止杆に被せ、掛止杆で支えたブーツの内側へ清浄空気を送風することによりブーツを清浄乾燥させるものである。
【０００４】
しかしながら、この清浄乾燥装置は、掛止杆で支えたブーツの履き口部に向かってその下方から清浄空気を噴射していたため、ブーツ内の奥部、特に爪先部の乾燥が他の部分よりも遅れ、乾燥度合いにばらつきが生じ、ブーツ全体としての乾燥に時間がかかる問題があった。
【０００５】
さらに、この清浄乾燥装置は、ブーツの履き口部に向かって外側から清浄空気を噴射していたため、ブーツ内の塵埃等を確実に外側へ排出することができない問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１７７１０９号公報（第４頁、図７、図８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、従来のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置に上記のような問題があったことに鑑みて為されたもので、ブーツ内の奥部、特に爪先部を素早く確実に乾燥させることができ、しかも、ブーツ内の塵埃等を確実に外側へ排出することができるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、乾燥室と、該乾燥室内に立設され、上端に給気ノズルを備える複数の給気パイプと、該乾燥室外に設けられ、前記給気パイプへ清浄な空気を供給する供給手段とを備え、前記各給気パイプに靴底を上にして被せたクリーンルーム用ブーツの内側へ清浄空気を送風して該ブーツを清浄に乾燥させるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置であって、前記給気ノズルが、前記給気パイプの上端に設けられ、前記ブーツの内底部を、該ブーツの爪先部を踵部よりも上にした傾斜姿勢で支持し得る一対の支持部と、前記一対の支持部間に設けられ、前記給気パイプを通じて供給された清浄空気の一部を、該支持部で支持した前記ブーツの爪先部へ送風する爪先側凹部と、前記一対の支持部間に設けられ、前記給気パイプを通じて供給された清浄空気の一部を、該支持部で支持した前記ブーツの踵部へ送風する踵側凹部と、から成り、前記給気パイプの外面の周方向における前記爪先側凹部の側にのみ、該給気パイプの長手方向に沿う複数の凸条が設けられ、前記ブーツの爪先部を経由した清浄空気の一部を、該複数の凸条間を通して該給気パイプの下端側へ導くことを特徴としている。
【０００９】
本発明は、前記給気パイプに前記ブーツを被せたとき、該給気パイプの外面と前記複数の凸条と該ブーツの内面とによって囲まれて形成される排気流路の横断面積が、該給気ノズルの爪先側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される爪先側送風口の送風方向に垂直な仮想面上への投影面積よりも小さいことを特徴としている。
【００１０】
本発明は、前記給気パイプに前記ブーツを被せたとき、該給気ノズルの踵側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される踵側送風口の送風方向に垂直な仮想面上への投影面積が、該給気ノズルの爪先側凹部と該ブーツの内底部とによって囲まれて形成される爪先側送風口の送風方向に垂直な仮想面への投影面積よりも小さいことを特徴としている。
【００１１】
本発明は、前記乾燥室の底部が、多数の通孔を有する平板材から成ることを特徴としている。
【００１２】
本発明は、前記給気パイプが前記乾燥室の底部を貫通し、前記供給手段と該給気パイプの下端とを接続する分岐配管が前記乾燥室外に設けられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置によれば、給気パイプの上端に、ブーツの内底部を支持する一対の支持部と、ブーツの爪先部へ送風する爪先側凹部と、踵部へ送風する踵側凹部とから成る給気ノズルを備えているので、給気パイプにブーツを被せた状態において、清浄空気を確実にブーツ内の奥部の爪先部及び踵部へ送風することができ、クリーンルーム用ブーツを素早く確実に乾燥させることができる。
【００１４】
しかも、給気パイプの外面の周方向における爪先側凹部の側に複数の凸条を設けているので、給気パイプに、ブーツをその爪先部を上にして傾斜姿勢で安定に被せたとき、爪先部側において給気パイプの外面とブーツとの間に一定の断面面積を有する排気流路を確保することができ、ブーツの爪先部側の乾燥が給気パイプとの接触により阻害されることがない。
【００１５】
さらに、給気パイプの外面の周方向における爪先側凹部の側にのみ、凸条を設け、給気パイプの周方向における踵側凹部の側には凸条を設けていないので、清浄空気の周方向への流れが遮られることがなく、ブーツを周方向に均等に乾燥させることができ、ブーツ内の塵挨等も円滑に排出することができる。
【００１６】
また、凸条による排気流路の横断面積を、爪先側凹部による爪先側送風口の投影面積よりも小さくすれば、爪先部を経由した清浄空気の一部を、確実に給気ノズルの外側を通してブーツの側方へ回すことができ、ブーツをより均等に乾燥させることができる。
【００１７】
また、踵側凹部による踵側送風口の投影面積を、爪先側凹部による爪先側送風口の投影面積よりも小さくすれば、ブーツのより奥部の爪先部へより多くの清浄空気を送風することができ、このことによっても、ブーツをより均等に乾燥させることができる。
【００１８】
また、乾燥室の底部を多数の通孔を有する平板材により形成すれば、空気とともにブーツから排出された湿気や塵挨等を速やかに乾燥室外へ排出することができる。
【００１９】
また、供給手段と複数の給気パイプを接続する分岐配管を乾燥室外に設ければ、ブーツから排出された塵挨等が、配管のデッドスペース等に留まるような難点もなく、また、乾燥室のメンテナンス作業も容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態の清浄乾燥装置の一部断面正面図である。
【図２】本実施形態の清浄乾燥装置の一部断面平面図である。
【図３】本実施形態の清浄乾燥装置の給気ノズルの（ａ）平面図、及び（ｂ）側面図である。
【図４】本実施形態の清浄乾燥装置の給気パイプにクリーンルーム用ブーツを被せた状態の（ａ）要部縦断面図、（ｂ）爪先側送風口の投影面図、（ｃ）踵側送風口の投影面図、及び（ｄ）排気流路の横断面図である。
【図５】本実施形態の清浄乾燥装置の給気パイプにクリーンルーム用ブーツを被せた状態の一部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１及び図２に示すように、本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０は主として、乾燥室１と、乾燥室１内に立設され、上端に給気ノズル３を備えた複数の給気パイプ２と、乾燥室１外に設けられ、各給気パイプ２へ清浄な空気を供給する供給手段４とから構成されている。この清浄乾燥装置１０は、乾燥室１内の各給気パイプ２に、クリーンルーム用ブーツ６をその靴底を上にして逆さに被せ、各給気ノズル３からブーツ６内へ清浄空気を送風することにより各ブーツ６をその清浄度を保って乾燥させる。
【００２２】
乾燥室１は、図１に示すように、基台フレーム１１上に設けられ、底部１２と、周壁部１３と、天井部１４とから構成されている。底部１２は、多数の通孔を有する平板材から形成されており、本実施形態では、開口率３０％のパンチングメタルを使用している。また、天井部１４には複数の開口部が開設されており、各開口部には取手付きの扉１５が開閉可能に設けられている。本実施形態の扉１５は、透明なポリカーボネート樹脂から成り、扉１５を閉じた状態でも乾燥室１内を視認することができる。
【００２３】
給気パイプ２は、図１に示すように、乾燥室１の底部１２を貫通して鉛直に立設されており、パイプ上端の給気ノズル３は乾燥室１内に位置する一方、パイプ下端は乾燥室１外に位置している。本実施形態では、給気パイプ２は塩化ビニル製の円管材から形成されている。
【００２４】
供給手段４は、図１に示すように、基台フレーム４１上に設けられたブロア４２と、ブロア４２により送風された空気をろ過して清浄化するフィルタユニット４３とを備えている。ブロア４２は、導入室４４内に設けられており、導入室４４の外気取入口に設けられたプレフィルタ４５を通して外気を取り込み、吸引する。フィルタユニット４３は、その内蔵フィルタ４６として、要求される清浄度に応じてＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等が使用される。
【００２５】
本実施形態では、図１及び図２に示すように、導入室４４内に計二つのブロア４２を設け、各ブロア４２から送風された空気を一つのフィルタユニット４３で清浄化し、得られた清浄空気を計二つの乾燥室１へ供給するようにしている。そして、フィルタユニット４３の入口部及び出口部にそれぞれ、バタフライダンパ４７、４８を設け、各乾燥室１への送風流量の調節の他、各ブロア４２の切換えや各乾燥室１への送風切換えを適宜行うように構成している。勿論、一つのブロア４２から送風された空気を一つのフィルタユニット４３で清浄化し、一つの乾燥室１へ供給するように構成してもよい。また、本実施形態の供給手段４は、クリーンルーム用ブーツの素材や接着剤等の劣化を防ぐため、外部から取り入れた空気を積極的に加熱するヒータ等を特に設けていない。
【００２６】
この供給手段４は、清浄空気を分岐配管５を介して複数の給気パイプ２へ供給する。分岐配管５は、図１及び図２に示すように、供給手段４の出口部にフレキシブル配管５１を介して接続された本管５２と、本管５２に連設され、各給気パイプ２の下端に接続された複数の枝管５３とから構成されており、乾燥室１の外部下方に配設されている。本管５２は環状に形成されており、各枝管５３にはバタフライダンパ５４が設けられている。各バタフライダンパ５４を調節することによって、清浄空気を各給気パイプ２へ均等に供給することができる。
【００２７】
給気ノズル３は、図３及び図４に示すように、各給気パイプ２の上端に設けられ、クリーンルーム用ブーツ６の内底部６１を、ブーツ６の踵部６３よりも爪先部６２が上となるような傾斜姿勢で支持し得る一対の支持部３１・３１と、これら一対の支持部３１の間に設けられ、給気パイプ２を通じて供給された清浄空気の一部を爪先部６２へ送風するための爪先側凹部３２と、爪先側凹部３２の反対側において一対の支持部３１間に設けられ、給気パイプ２を通じて供給された清浄空気の一部を踵部６３へ送風するための踵側凹部３３とから構成されている。本実施形態では、図３（ｂ）中の一点鎖線で示すように、円管材から成る給気パイプ２の先端側を斜めに切断し、さらにこの切断部の鋭角部分と鈍角部分とをそれぞれ、所要角度で斜めに切断することによって、一対の支持部３１、爪先側凹部３２、及び踵側凹部３３を備える給気ノズル３を形成している。
【００２８】
このことで、図４に示すように、ブーツ６を給気パイプ２の上端に被せ、給気ノズル３の支持部３１でブーツ６の内底部６１を支持したとき、給気ノズル３の爪先側凹部３２とブーツ６の内底部６１とにより囲まれた爪先側送風口７１（図４（ｂ）参照）が形成される。つまり、給気ノズル３の爪先側凹部３２の凹辺と、この凹辺の両端同士を内底部６１の底面に沿って結ぶ仮想線とにより囲まれた爪先側送風口７１が形成される。そして、この爪先側送風口７１からブーツ６の爪先部６２へ向けて清浄空気を送風することが可能となる。また同様に、給気ノズル３の踵側凹部３３とブーツ６の内底部６１とにより囲まれた踵側送風口７２（図４（ｃ）参照）が形成される。つまり、給気ノズル３の踵側凹部３３の凹辺と、この凹辺の両端同士を内底部６１の底面に沿って結ぶ仮想線とにより囲まれた踵側送風口７２が形成される。そして、この踵側送風口７２からブーツ６の踵部６３へ向けて清浄空気を送風することが可能となる。本実施形態では、踵側送風口７２のその送風方向に垂直な仮想面上への投影面積Ａ２を、爪先側送風口７１のその送風方向に垂直な仮想面への投影面積Ａ１よりも小さくしている。なお、爪先側送風口７１及び踵側送風口７２における送風方向は、ブーツ６の爪先部６２と踵部６３とを結ぶ仮想直線と平行な方向である。
【００２９】
また、給気パイプ２には、図３に示すように、パイプ外面の周方向における爪先側凹部３２の側にのみ、給気パイプ２の長手方向に沿う計二つの凸条２１が設けられている。
【００３０】
このことで、図４に示すように、ブーツ６を給気パイプ２の上端に被せ、給気ノズル３の支持部３１でブーツ６の内底部６１を傾斜状態で支持したとき、各凸条２１の凸端が、ブーツ６の合成ゴム製の短靴部６４の口縁部、及び防塵布製のフード部６５の内面と当接して、給気パイプ２の外面と凸条２１の互いの対向面とブーツ６の内面とにより囲まれた排気流路７３（図４（ｄ）参照）が形成され、この凸条２１間の排気流路７３を通して、ブーツ６の爪先部６２を経由した清浄空気の一部を、給気パイプ２の下端側へ導くことが可能となる。本実施形態では、排気流路７３の横断面積Ａ３を、爪先側送風口７１の投影面積Ａ１よりも小さくしている。また、給気ノズル３の支持部３１がブーツ６の内底部６１を傾斜状態で支持し、給気パイプ２の凸条２１がブーツ６の短靴部６４の口縁部と当接したとき、ブーツ６の踵部６３側においては、短靴部６４及びフード部６５と給気パイプ２の外面との間には隙間が形成される。
【００３１】
次に、本実施形態の清浄乾燥装置１０によるクリーンルーム用ブーツ６の清浄乾燥作業について説明する。
【００３２】
まず、乾燥室１の各扉１５を順に開き、各給気パイプ２の上端に、洗浄脱水後のクリーンルーム用ブーツ６を被せ、給気ノズル３の支持部３１でブーツ６の内底部６１を傾斜状態で支持する。そして、各扉１５を閉じる。乾燥室１には予め、供給手段４から乾燥運転時の約２０％の送風量にて清浄空気が供給されており、乾燥室１内は常時正圧に維持され、乾燥室１内の清浄度が保たれている。
【００３３】
次いで、供給手段４の送風量を増加させ、給気ノズル３からブーツ６内へ清浄空気を送風することによって各ブーツ６を清浄乾燥させる。
【００３４】
このとき、図５に示すように、給気ノズル３の爪先側送風口７１からは、爪先部６２へ向けて清浄空気ａ１が送風され、爪先部６２を経由した清浄空気の一部ａ２は、排気流路７３を通って給気パイプ２の下端側へ流れるとともに、爪先部６２を経由した清浄空気の一部ａ３は、給気ノズル３の外側を通って給気パイプ２の側方へ回りながら給気パイプ２の外面とフード部６５の内面との隙間を通って給気パイプ２の下端側へ流れる。一方、給気ノズル３の踵側送風口７２からは、踵部６３へ向けて清浄空気ａ４が送風され、踵部６３を経由した清浄空気ａ５は、給気パイプ２の外面とフード部６５の内面との隙間を通って給気パイプ２の下端側へ流れる。これら清浄空気の流れによって、ブーツ６を乾燥させるとともに、ブーツ６内の塵埃等を排出する。ブーツ６の外側へ排出された湿気や塵埃等は、乾燥室１の底部１２の多数の通孔を通って乾燥室１外へ排出される。
【００３５】
そして、予め設定された所定の乾燥時間が経過した後、自動または手動により供給手段４の送風量を乾燥運転時の約２０％まで減少させ、清浄乾燥済みのブーツ６を乾燥室１から取り出す。こうして、本実施形態の清浄乾燥装置１０による清浄乾燥作業が行われる。なお、乾燥終了後、すぐにブーツ６を乾燥室１から取り出さない場合においても、乾燥室１内へは乾燥運転時の約２０％の送風量で清浄空気が供給されて乾燥室１内の正圧が保たれているため、ブーツ６の清浄度を維持することができる。
【００３６】
このように本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０にあっては、給気パイプ２の上端に、ブーツ６の内底部６１を支持する一対の支持部３１と、ブーツ６の爪先部６２へ送風する爪先側凹部３２と、踵部６３へ送風する踵側凹部３３とから成る給気ノズル３を備えているので、給気パイプ２にブーツ６を被せた状態において、清浄空気を確実にブーツ６内の奥部の爪先部６２及び踵部６３へ送風することができ、クリーンルーム用ブーツ６を素早く確実に乾燥させることができる。
【００３７】
しかも、給気パイプ２の外面の周方向における爪先側凹部３２の側に二つの凸条２１を設けているので、給気パイプ２にブーツ６をその爪先部６２を上にして傾斜姿勢で安定に被せたとき、爪先部６２側において給気パイプ２の外面とブーツ６の短靴部６４及びフード部６５との間に一定の断面面積を有する排気流路７３を確保することができ、ブーツ６の爪先部６２側の乾燥が給気パイプ２との接触により阻害されることがない。
【００３８】
さらに、給気パイプ２の外面の周方向における爪先側凹部３２の側にのみ、凸条２１を設け、給気パイプ２の周方向における踵側凹部３３の側には凸条を設けていないので、清浄空気の周方向への流れが遮られることがなく、比較的に柔軟なフード部６５を周方向に均等に乾燥させることができる。また、ブーツ６内の塵挨等も円滑に排出することができる。
【００３９】
また、本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０は、凸条２１による排気流路７３の横断面積Ａ３を、爪先側凹部３２による爪先側送風口７１の投影面積Ａ１よりも小さくしているので、爪先部６２を経由した清浄空気の一部を、確実に給気ノズル３の外側を通してブーツ６の側方へ回すことができ、このことによっても、ブーツ６をより均等に乾燥させることができる。
【００４０】
また、本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０は、踵側凹部３３による踵側送風口７２の投影面積Ａ２を、爪先側凹部３２による爪先側送風口７１の投影面積Ａ１よりも小さくしているので、ブーツ６のより奥部の爪先部６２へより多くの清浄空気を送風することができ、このことによっても、ブーツ６をより均等に乾燥させることができる。
【００４１】
また、本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０は、乾燥室１の底部１２を多数の通孔を有する平板材により形成しているので、空気とともにブーツ６から鉛直下方へ排出された湿気や塵挨等を速やかに乾燥室１外へ排出することができる。
【００４２】
また、本実施形態のクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０は、供給手段４と複数の給気パイプ２を接続する分岐配管５を乾燥室１外に設けているので、ブーツ６から排出された塵挨等が、配管のデッドスペース等に留まるような難点もなく、また、乾燥室１の清浄度を保つメンテナンス作業も容易に行うことができる。
【００４３】
以上、クリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０について説明したが、本発明はその他の形態でも実施することができる。
【００４４】
例えば、上記実施形態では、給気ノズル３を、円管材から成る給気パイプ２を斜めに切断することにより形成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、給気パイプ２の先端に一対の支持部３１を付設するようにしてもよい。また、爪先側凹部３２、踵側凹部３３の給気パイプ２に対する形成位置、角度等についても、種々の設計変更が可能であり、例えば、爪先側凹部３２が爪先部６２側へ突出していてもよく、踵側凹部３３が踵部６３側へ突出していてもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、給気パイプ２に計二つの凸条２１を設けているが、三つ以上の凸条を設けるようにしてもよい。凸条は、給気パイプ２の外面の周方向における爪先側凹部３２の側にのみ設けられているのであれば、その数、形状等について種々の設計変更が可能である。
【００４６】
本発明は、その他、その趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識に基づいて種々の改良、修正、変形を加えた態様で実施し得るものである。また、同一の作用又は効果が生じる範囲内でいずれかの発明特定事項を他の技術に置換した形態で実施しても良く、また、一体に構成されている発明特定事項を複数の部材から構成したり、複数の部材から構成されている発明特定事項を一体に構成した形態で実施しても良い。
【符号の説明】
【００４７】
１０  クリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置
１  乾燥室
１２  底部
２  給気パイプ
２１  凸条
３  給気ノズル
３１  支持部
３２  爪先側凹部
３３  踵側凹部
４  供給手段
５  分岐配管
６  ブーツ
６１  内底部
６２  爪先部
６３  踵部
７１  爪先側送風口
７２  踵側送風口
７３  排気流路
Ａ１  爪先側送風口の投影面積
Ａ２  踵側送風口の投影面積
Ａ３  排気流路の横断面積
ａ１〜ａ５  清浄空気
【図１】
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【図２】
2012141106.tif 000004
【図３】
2012141106.tif 000005
【図４】
2012141106.tif 000006
【図５】
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