(57)【要約】      （修正有）【課題】オフセット位置を適切に調節可能な可動鉄心型リニアアクチュエータを提供する。【解決手段】可動鉄心型リニアアクチュエータは、可動子２を往復移動させる磁気回路ｍｃを有する。磁気回路ｍｃは、可動子２を構成する鉄心と、この鉄心に対向する対向部１０ｃを有する固定子コア１０と、この対向部１０ｃに往復動方向に沿って配列され各々の鉄心に臨む側の面の磁極を反転させた対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂと、固定子コア１０に巻回されるコイルとを含んで構成される。コイルへの通電により可動子２を往復移動させるとともに、コイルへの通電がなされていない状態において永久磁石１２ａ・１２ｂで生じる磁束によって可動子２にオフセット力Ｆ４を作用させる。磁束経路である固定子コア１０の対向部１０ｃの一部と永久磁石１２ｂとの間に空隙部３０を儲け、オフセット力Ｆ４を調節し、オフセット力位置を適正にする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動子を往復移動させる可動鉄心型リニアアクチュエータであって、
前記可動子を構成する鉄心と、この鉄心に対向する対向部を有する固定子コアと、この対向部に往復動方向に沿って配列され各々の鉄心に臨む側の面の磁極を反転させた対をなす永久磁石と、固定子コアに巻回されるコイルとを含んで構成され、コイルへの通電により生じる磁束が前記対をなす永久磁石のうち所要の方向に位置する磁石で生じる磁束を弱め、他方の磁石で生じる磁束を強めることにより可動子を往復移動させるとともに、コイルへの通電がなされていない状態において永久磁石で生じる磁束によって可動子にオフセット力を作用させる磁気回路を具備し、
磁束経路である固定子コアの対向部の一部と永久磁石との間に、対向部の一部を切り欠いた状態にして固定子コアに比べて透磁率の低い空隙部を設けることで、前記可動子に作用する重力と前記永久磁石によるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置を前記空隙部がない場合に比べて異ならせていることを特徴とする可動鉄心型リニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記オフセット位置が前記可動子の可動範囲の中心となるように前記空隙部が形成されている請求項１に記載の可動鉄心型リニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記対をなす永久磁石のうち重力方向側の永久磁石に対向する対向部にのみ前記空隙部が形成されている請求項１又は２に記載の可動鉄心型リニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記固定子コアの対向部との間に前記空隙部が形成される前記永久磁石は、前記可動子の可動範囲外において前記対向部に形成された柱部に支持されている請求項１〜３のいずれかに記載の可動鉄心型リニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記永久磁石が複数対をなしていて、各々の対をなす永久磁石のうち一方の永久磁石と当該永久磁石に対向している前記対向部との間に前記空隙部が形成されている請求項１〜４のいずれかに記載の可動鉄心型リニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子を往復移動させる可動鉄心型リニアアクチュエータに係り、特に可動子に作用する重力によって可動子のオフセット位置がズレる場合にこのオフセット位置の調節を適正化した可動鉄心型リニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レシプロモータ等の可動鉄心型リニアアクチュエータは、例えば特許文献１に例示されるように、通電がなされることにより可動子を往復移動させる磁気回路を主体としている。磁気回路は、可動子を構成する鉄心と、この鉄心に対向する対向部を有する固定子コアと、この対向部に往復動方向に沿って配列され各々の鉄心に臨む側の面の磁極を反転させた対をなす永久磁石と、固定子コアに巻回されるコイルとを含んで構成されており、コイルへの通電により生じる磁束が対をなす永久磁石のうち所要の方向に位置する磁石で生じる磁束を弱め、他方の磁石で生じる磁束を強めることにより可動子を固定子コアに対して相対往復移動させるものである。
【０００３】
さらに、磁気回路は、コイルへの通電がなされていない状態において永久磁石で生じる磁束によって可動子に自己保持力を作用させる。自己保持力は、板バネ等の機械的要素により可動子に作用する外的な力ではなく、永久磁石の磁束によって可動子に生じる自己的な力であり、可動子が所定の位置から変位した場合に可動子を所定の位置に戻すように作用する。この自己保持力は、永久磁石の磁束によるオフセット力とも称される。
【０００４】
ところが、横置き状態において可動子の可動範囲の中心に可動子を戻すように永久磁石によるオフセット力を設定したリニアアクチュエータを縦置き状態にすると、可動範囲の中心において永久磁石によるオフセット力が可動子に作用する重力に負けて、可動子が可動範囲の中心から下方にズレてしまう。この場合、可動子及び固定子を収納する図示しないケーシング等との衝突を避けるために、可動子の往復動可能な範囲が本来の可動範囲よりも狭くなり、往復動可能な範囲よりも広い範囲を必要とする振幅で可動子を往復移動させることができなくなるという不具合がある。
【０００５】
この問題に対処するための一つの手段として特許文献１及び２には、通電がなされていない状態において永久磁石の磁束に偏りが生じるように永久磁石の配置位置を設定又は各々の永久磁石の強さを異ならせることで、永久磁石によるオフセット力を上方に向かう方向に増大させ、可動子に作用する重力と永久磁石によるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置が可動範囲の中心となるようにオフセット位置を調整する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２５６１１０号公報
【特許文献２】特開２００６−１４４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記特許文献１及び２のように永久磁石で生じる磁束をアンバランスにするために対をなす永久磁石の厚みや材質を変更するものでは、複数種の永久磁石を用いることで使用部品が増加することや永久磁石のコストが増えることで製造コストが増大してしまう。しかも、永久磁石の厚みや材質には制約があることから、オフセット位置の微調節が難しいものである。
【０００８】
また、オフセット位置を調節するために板バネ等の他の機構を設けることも考えられるが、この場合も使用部品の増加によって製造コストが増大するうえ、アクチュエータ自体が大型化してしまう。
【０００９】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、製造コストの増大や装置の大型化を伴うことなく、オフセット位置を適切に調節可能な可動鉄心型リニアアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【００１１】
すなわち、本発明の可動鉄心型リニアアクチュエータは、可動子を往復移動させるリニアアクチュエータであって、前記可動子を構成する鉄心と、この鉄心に対向する対向部を有する固定子コアと、この対向部に往復動方向に沿って配列され各々の鉄心に臨む側の面の磁極を反転させた対をなす永久磁石と、固定子コアに巻回されるコイルとを含んで構成され、コイルへの通電により生じる磁束が前記対をなす永久磁石のうち所要の方向に位置する磁石で生じる磁束を弱め、他方の磁石で生じる磁束を強めることにより可動子を往復移動させるとともに、コイルへの通電がなされていない状態において永久磁石で生じる磁束によって可動子にオフセット力を作用させる磁気回路を具備し、磁束経路である固定子コアの対向部の一部と永久磁石との間に、対向部の一部を切り欠いた状態にして固定子コアに比べて透磁率の低い空隙部を設けることで、前記可動子に作用する重力と前記永久磁石によるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置を前記空隙部がない場合に比べて異ならせていることを特徴とする。
【００１２】
このように、固定子コアの対向部を切り欠いた状態にして空隙部を形成するだけで、可動子に作用する重力と永久磁石によるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置が所望の位置となるように調節可能であるので、複数種の永久磁石を用いる場合や他の機構を導入する場合等に比べて製造コストの増大や装置の大型化を伴うことなく、オフセット位置を適切に調節することが可能となる。しかも、固定コアの対向部を切り欠いた状態にして空隙部を形成するだけなので、新たな部品の追加や製造工程の大幅な変更を必要とせず、製造コストの低減を追求することが可能となる。
【００１３】
可動子の往復動作の振幅を最大とするためには、前記オフセット位置が前記可動子の可動範囲の中心となるように前記空隙部が形成されていることが好ましい。
【００１４】
可動子に作用する重力と永久磁石のよるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置を反重力方向に変更するためには、前記対をなす永久磁石のうち重力方向側の永久磁石に対向する対向部にのみ前記空隙部が形成されていることが望ましい。
【００１５】
可動子に与える影響を抑えつつ、永久磁石の取付強度を向上させるためには、前記固定子コアとの間に前記空隙部が形成される前記永久磁石は、前記可動子の可動範囲外において前記対向部に形成された柱部に支持されていることが効果的である。
【００１６】
通電により可動子を往復動させる電磁駆動力を増大させるために永久磁石が複数対をなす構成にした場合であってもオフセット位置の調節を可能とするためには、前記永久磁石が複数対をなしていて、各々の対をなす永久磁石の一方と当該永久磁石に対向している前記対向部との間に前記空隙部が形成されていることが挙げられる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、以上説明したように、固定子コアの対向部を切り欠いた状態にして空隙部を形成するだけで、可動子に作用する重力と永久磁石によるオフセット力との釣り合い点であるオフセット位置が所望の位置となるように調節可能であるので、複数種の永久磁石を用いる場合や他の機構を導入する場合等に比べて製造コストの増大や装置の大型化を伴うことなく、オフセット位置を適切に調節することが可能となる。しかも、固定コアの対向部を切り欠いた状態にして空隙部を形成するだけなので、新たな部品の追加や製造工程の大幅な変更を必要とせず、製造コストの低減を追求することが可能となる。したがって、低コスト化及び小型化に適した可動鉄心型リニアアクチュエータを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る可動鉄心型リニアアクチュエータを一部破断して示す斜視図。
【図２】同リニアアクチュエータを示す縦断面図。
【図３】コイルへの通電により可動子を往復移動させる動作に関する説明図。
【図４】永久磁石の磁束により生ずるオフセット力に関する説明図。
【図５】可動子に作用するオフセット力に関する説明図。
【図６】空隙部を形成する場合のオフセット位置と空隙部がない場合のオフセット位置とを比較して示す説明図。
【図７】空隙部を形成する場合のオフセット力と空隙部がない場合のオフセット力とを比較して示す説明図。
【図８】本発明の他の実施形態に係るリニアアクチュエータを示す縦断面図。
【図９】本発明の上記以外の実施形態に係るリニアアクチュエータを一部破断して示す斜視図。
【図１０】図９に対応するリニアアクチュエータを示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態の可動鉄心型リニアアクチュエータは、軸心を通る縦断面である図１及び図２に示すように、固定子１の径方向外側に可動子２を配置するアウターロータ型のリニアアクチュエータであり、略筒状をなし軸心方向（Ｘ方向）に沿って往復移動可能な可動子２と、この可動子２の内部に配置される固定子１と、この可動子２を軸心方向（往復動方向）に沿って往復移動させる磁気回路ｍｃとを有している。なお、径方向外側は、軸心から遠ざかる方向をいい、径方向内側は、軸心に近づく方向をいうのであって、図に示されているように可動子２や固定子１の形状が円柱や円筒に限られることを意味するものではない。
【００２１】
可動子２は、図１で一部分詳細に示すように、複数の可動子コア板２ｓを積層して固定することで略筒状をなす鉄心２０を主体として構成されており、その内壁２０ａから径方向内側に向けて延出する一対の極部２０ｂ・２０ｂが形成されている。また、可動子２は、その軸心方向両側を図示しない板バネ等の機械バネ部に支持させることにより、軸心方向に沿った往復移動を可能としている。
【００２２】
固定子１は、軸心部１０ａから径方向外側に向けて突出する一対の突極部１０ｂ・１０ｂが形成される固定子コア１０と、この固定子コア１０の突極部１０ｂ・１０ｂに巻回されるコイル１１と、突極部１０ｂのうち上記鉄心２０の極部２０ｂに対向する対向部１０ｃ（対向面）に軸心方向（往復動方向）に沿って配置され各々の鉄心２０に臨む側の面の磁極を反転させた一対の永久磁石１２（１２ａ，１２ｂ）とを有している。固定子コア１０は、図１で一部詳細に示すように、上記可動子２を構成する鉄心２０と同様に複数の固定子コア板１０ｓを積層配置して固定することで構成されている。
【００２３】
磁気回路ｍｃは、上記の鉄心２０と、固定子コア１０と、対をなす永久磁石１２（１２ａ・１２ｂ）と、コイル１１とを含んで構成されるもので、コイル１１への通電によって可動子２を往復移動させるものである。本実施形態では、磁気回路ｍｃを構成する複数の要素部品のうち可動子２を構成する要素部品を鉄心２０として可動鉄心型のアクチュエータを構成している。具体的には、コイル１１に通電されていない場合は、図３（ａ）に示すように、対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂにより一方の永久磁石１２ａ、鉄心２０、他方の永久磁石１２ｂ、固定子コア１０を経て一方の永久磁石１２ａに戻るループ状の磁束経路ｒｔが形成され、可動子２の往復動方向両側に互いに向きの異なる磁束ｍｆ１・ｍｆ２が発現する。この場合、コイル１１へ正方向に通電を行うと、図２及び図３（ｂ）に示すように、コイル１１への通電により磁束ｍｆが生じ、永久磁石１２で生じる二つの磁束ｍｆ１・ｍｆ２のうちコイル１１による磁束ｍｆと同方向である磁束ｍｆ１が強まり他方の磁束ｍｆ２が弱まり、電磁駆動力Ｆ１が可動子２（鉄心２０）に作用して可動子２が磁束の強まる方向（Ｘ１方向）へ移動する。一方、コイル１１へ逆方向に通電した場合には、図３（ｃ）に示すように、その逆の方向（Ｘ２方向）に電磁駆動力Ｆ２が作用してＸ２方向に可動子２が移動する。すなわち、磁気回路ｍｃは、コイル１１への通電により生じる磁束ｍｆが、対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂのうち所要の方向に位置する磁石１２ａ（１２ｂ）で生じる磁束ｍｆ２（ｍｆ１）を弱め、他方の磁石１２ｂ（１２ａ）で生じる磁束ｍｆ１を強めることにより可動子２に電磁駆動力Ｆ１（Ｆ２）を作用させて可動子２を往復移動させるものである。
【００２４】
さらに、磁気回路ｍｃは、永久磁石１２で生じる磁束によって可動子２にオフセット力を作用させる。オフセット力は、可動子２が所定の位置から変位した場合に可動子２を所定の位置に戻す力である。すなわち、図４（ａ）において磁束密度を線の間隔で模式的に示すように、可動子２の往復動方向両側の磁束密度が等しい位置ｐｓ１に可動子２がある場合に、図４（ｂ）に示すように、例えば可動子２をＸ２方向に変位させるほど、Ｘ２方向側の磁束経路が広くなる一方で、Ｘ１方向側の磁束経路が狭くなることから、Ｘ２方向側の磁束密度が弱まり、Ｘ１方向側の磁束密度が強くなる。この場合、可動子２の往復動方向両側の磁束密度が等しくなる位置ｐｓ１に可動子２を戻すように可動子２をＸ１方向へ移動させるオフセット力Ｆ３が作用する。本実施形態でのオフセット力は、図５に示すように、可動子２の可動範囲の中心（変位量０）から可動子２が離れるほど大きくなるように設定されており、磁束密度や磁束分布、鉄心と永久磁石との間の磁極ピッチ等により決定される。なお、オフセット力が可動子の変位に拘わらず一定になるように設定してもよい。
【００２５】
ところが、図５に示すように、往復動方向が水平となる横置き状態において可動子２の可動範囲の中心に可動子２を戻すように永久磁石１２によるオフセット力を設定した場合において、図６（ａ）及び図５に示すように、リニアアクチュエータを往復動方向が水平方向に交差する縦置き状態にすると、可動子の可動範囲の中心ｐｓ２（変位量０）におけるオフセット力（推力０）が可動子２に作用する重力ｍｇに負けて、可動子２が可動範囲の中心ｐｓ２から下方に距離Ｄ１ズレて、重力ｍｇとオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置ｐｓ４まで可動子２が下降してしまう。この場合、可動子及び固定子を収納する図示しないケーシング等との衝突を避けるために、可動子２の往復動可能な範囲が本来の可動範囲よりも狭くなり、往復動可能な範囲よりも広い範囲を必要とする振幅で可動子２を往復移動させることができなくなるという不具合がある。
【００２６】
そこで、本実施形態では、図１及び図２に示すように、磁束経路である固定子コア１０の対向部１０ｃの一部と永久磁石１２との間に、対向部１０ｃの一部を切り欠いた状態にして固定子コア１０に比べて透磁率の低い空隙部３０を形成することで磁束分布を変更している。この空隙部３０は、対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂのうち重力方向側の永久磁石１２ｂに対向する対向部１０ｃにのみ形成されて、重力方向側の永久磁石１２ｂと対向部１０ｃとの接点が無くなるように軸心方向全域に亘って永久磁石１２ｂと対向部１０ｃとの間の深さが一定になるように設定されている。
【００２７】
このような空隙部３０を形成すると、重力方向側の磁束が空隙部３０によって弱くなる一方、反重力方向の磁束が強くなり、図７に示すように、永久磁石１２の磁束によるオフセット力が磁束の強い反重力方向に向かう方向に大きくなる。そして、図６及び図７に示すように、空隙部３０がない場合には、可動子２に作用する重力ｍｇと永久磁石１２によるオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置が可動子２の可動範囲の中心ｐｓ２から下方に距離Ｄ１ズレた位置ｐｓ４となるものの、空隙部３０を形成することで、オフセット位置を可動子２の可動範囲の中心ｐｓ２に変更している。
【００２８】
このように、空隙部３０を形成することで磁束分布を変更するオフセット調節部３を構成し、このオフセット調節部３により、可動子２に作用する重力ｍｇと永久磁石１２によるオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置を空隙部３０がない場合の位置ｐｓ４から位置ｐｓ２に異ならせて（変化させて）いる（図６参照）。オフセット力は、空隙部３０の軸心方向の寸法や軸心方向に直交する寸法、深さ等の形状や、配置位置、形成する個数等を種々変更することで調節可能である。例えば、空隙部３０の底面を軸心に対して傾斜させることや、寸法や深さが軸心に沿って変化するように形成することが挙げられる。
【００２９】
以上のように本実施形態の可動鉄心型リニアアクチュエータは、可動子２を往復移動させるリニアアクチュエータであって、可動子２を構成する鉄心２０と、この鉄心２０に対向する対向部１０ｃを有する固定子コア１０と、この対向部１０ｃに往復動方向に沿って配列され各々の鉄心に臨む側の面の磁極を反転させた対をなす永久磁石１２（１２ａ・１２ｂ）と、固定子コア１０に巻回されるコイル１１とを含んで構成され、コイル１１への通電により生じる磁束ｍｆが対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂのうち所要の方向に位置する磁石１２ａ（１２ｂ）で生じる磁束ｍｆ２（ｍｆ１）を弱め、他方の磁石１２ｂ（１２ａ）で生じる磁束ｍｆ１（ｍｆ２）を強めることにより可動子２を往復移動させるとともに、コイル１１への通電がなされていない状態において永久磁石１２で生じる磁束によって可動子にオフセット力Ｆ４を作用させる磁気回路ｍｃを具備し、磁束経路である固定子コア１０の対向部１０ｃの一部と永久磁石１２との間に、対向部１０ｃの一部を切り欠いた状態にして固定子コア１０に比べて透磁率の低い空隙部３０を設けることで、可動子２に作用する重力ｍｇと永久磁石１２によるオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置を空隙部３０がない場合に比べて異ならせている。
【００３０】
このように、固定子コア１０の対向部１０ｃを切り欠いた状態にして空隙部３０を形成するだけで、可動子２に作用する重力ｍｇと永久磁石１２によるオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置が所望の位置となるように調節可能であるので、複数種の永久磁石を用いる場合や他の機構を導入する場合等に比べて製造コストの増大や装置の大型化を伴うことなく、オフセット位置を適切に調節することが可能となる。しかも、固定コアの対向部を切り欠いた状態にして空隙部を形成するだけなので、新たな部品の追加や製造工程の大幅な変更を必要とせず、製造コストの低減を追求することが可能となる。
【００３１】
特に、本実施形態では、オフセット位置が可動子２の可動範囲の中心ｐｓ２となるように空隙部３０が形成されているので、可動子２の往復動作の振幅を最大にして、可動子２の可動範囲を有効利用することが可能となる。
【００３２】
さらに、本実施形態では、対をなす永久磁石１２ａ・１２ｂのうち重力方向側の永久磁石１２ｂに対向する対向部１０ｃにのみ空隙部３０が形成されているので、重力方向側の磁束が空隙部３０によって弱くなる一方、反重力方向の磁束が強くなり、永久磁石１２の磁束によるオフセット力が磁束の強い反重力方向に向かう方向に大きくなるため、可動子２に作用する重力ｍｇと永久磁石１２のよるオフセット力Ｆ４との釣り合い点であるオフセット位置を反重力方向側に変更することが可能となる。
【００３３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００３４】
例えば、図８に示すように、固定子１０１を構成する固定子コア１１０の対向部１１０ｃのうち軸心方向端部に柱部１１０ｄを形成し、固定子コア１１０の対向部１１０ｃとの間に空隙部１３０が形成される永久磁石１１２ｂを可動子２の可動範囲外において柱部１１０ｄが支持するように構成することが挙げられる。このように構成すると、固定子コア１１０の対向部１１０ｃとの間に空隙部１３０が形成される永久磁石１２ｂは、固定子コア１１０に対する取付強度が弱くなるものの、可動子２の可動範囲外において対向部１１０ｃに形成された柱部１１０ｄに支持されているので、可動子２に与える影響を抑えつつ、永久磁石１２ｂの取付強度を向上させることが可能となる。
【００３５】
さらに、図９及び図１０に示すように、可動子２０２を構成する鉄心２２０、固定子コア２１０の対向部２１０ｃ及び対をなす永久磁石２１２ａ・２１２ｂを一つのユニットとし、一つのユニットを軸心方向に沿って複数設けて永久磁石２１２ａ・２１２ｂが複数対をなすように構成し、各々のユニットを構成する対をなす永久磁石２１２ａ・２１２ｂのうち一方の永久磁石２１２ｂとこの永久磁石２１２ｂに対向している対向部２１０ｃとの間に空隙部２３０が形成されていることが挙げられる。このように構成すると、通電により可動子２を往復動させる電磁駆動力を増大させるために永久磁石２１２ａ・２１２ｂが複数対をなす構成にした場合であってもオフセット位置を調節することが可能となる。
【００３６】
加えて、本実施形態では、アウターロータ型のリニアアクチュエータを例として説明しているが、勿論、固定子１の径方向内側に可動子２を配置するインナーロータ型のリニアアクチュエータにも適用可能である。
【００３７】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１０、１１０、２１０…固定子コア
１０ｃ、１１０ｃ、２１０ｃ…固定子コアの対向部
１１…コイル
１２ａ・１２ｂ、１１２ａ・１１２ｂ、２１２ａ・２１２ｂ…対をなす永久磁石
１２ｂ、１１２ｂ、２１２ｂ…重力方向下側の永久磁石
１１０ｄ…柱部
２、２０２…可動子
２０、２２０…鉄心
ｍｃ…磁気回路
ｍｆ…コイル通電で生じる磁束
ｍｆ１、ｍｆ２…永久磁石による磁束
Ｆ４…オフセット力
ｐｓ２…可動子の可動範囲の中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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