(57)【要約】【課題】平面度、平行度の良好なガラス薄板を、生産能率を低下させることなく製造することができるガラス薄板の製造方法を提供すること。【解決手段】剛性基板の両面にそれぞれ吸着パッドを貼設して成るダミー板５を準備する準備工程と、ダミー板５の両面の吸着パッドにそれぞれガラス板６を吸着させて取り付ける取付け工程と、ダミー板５に取り付けた一対のガラス板６を、キャリヤ７のワーク保持孔７１内で保持して両面研磨機の上定盤１と下定盤２との間に挟み、上定盤１及び下定盤２と一対のガラス板６とを相対移動させて各ガラス板６の定盤側の片面６１を研磨する研磨工程と、片面を研磨した一対のガラス板６をダミー板５から取り外して一対のガラス薄板を得る取外し工程と、からガラス薄板の製造方法を構成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いの対向面にそれぞれ研磨パッドを貼設した上下一対の上定盤と下定盤との間に、キャリヤのワーク保持孔内で保持したワークを挟み、研磨材を供給しながら該上定盤及び該下定盤と該ワークとを相対移動させて該ワークの上下両面を研磨する両面研磨機を用いたガラス薄板の製造方法であって、
剛性基板の両面にそれぞれ吸着パッドを貼設して成るダミー板を準備する準備工程と、
前記準備工程により準備した前記ダミー板の両面の前記吸着パッドにそれぞれガラス板を吸着させて該ダミー板に一対の該ガラス板を取り付ける取付け工程と、
前記取付け工程により前記ダミー板に取り付けた一対の前記ガラス板を、前記キャリヤのワーク保持孔内で保持して前記上定盤と前記下定盤との間に挟み、該上定盤及び該下定盤と一対の該ガラス板とを相対移動させて各該ガラス板の定盤側の片面を研磨する研磨工程と、
前記研磨工程により定盤側の片面を研磨した一対の前記ガラス板を前記ダミー板から取り外して一対のガラス薄板を得る取外し工程と、
を備えたことを特徴とするガラス薄板の製造方法。
【請求項２】
前記取付け工程において、前記ダミー板の前記吸着パッドを水で濡らして前記ガラス板を所定の荷重で押圧しながら貼り合わせ、その後、乾燥工程を行うことを特徴とした請求項１に記載のガラス薄板の製造方法。
【請求項３】
前記乾燥工程を自然乾燥により行うことを特徴とした請求項２に記載のガラス薄板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス薄板の製造方法、より詳しくは、両面研磨機を用いたガラス薄板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば液晶ディスプレイ等の電子電気機器の軽量化、薄型化を背景として、絶縁性、化学耐久性、透光性等に優れたガラス板材の更なる薄板化が求められている。
【０００３】
平面度、平行度の良好なガラス薄板を得るためには、ガラス面を研磨する必要があるところ、従来では、主に両面研磨機を用いてガラス面を研磨することが行われている（下記特許文献１参照）。例えば、図５に示すように、互いの対向面にそれぞれ研磨パッドを貼設した上下一対の上定盤１と下定盤２との間に、キャリヤ３のワーク保持孔３１内で保持したガラス板４を挟み、スラリー状の研磨材を供給しながら、上定盤１及び下定盤２とガラス板４とを相対移動させてガラス板４の上下両面を研磨することによって、要求される平面度、平行度を満たすガラス薄板を製造している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−３８６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、研磨すべきガラス板が薄くなればなる程、ガラス板自体が変形し易くなり、しかも、ガラス板の薄板化に伴ってキャリヤも薄板化する必要があるため、研磨時にガラス板がキャリヤから外れ易くなる問題が生じた。したがって、従来では、ガラス板の薄板化を進める程、研磨機による研磨スピードを落とさざるを得ず、ガラス薄板の生産能率が大幅に低下する問題があった。
【０００６】
本発明は、従来の両面研磨機を用いたガラス薄板の製造方法に上記のような問題があったことに鑑みて為されたもので、平面度、平行度の良好なガラス薄板を、生産能率良く製造することができるガラス薄板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、互いの対向面にそれぞれ研磨パッドを貼設した上下一対の上定盤と下定盤との間に、キャリヤのワーク保持孔内で保持したワークを挟み、研磨材を供給しながら該上定盤及び該下定盤と該ワークとを相対移動させて該ワークの上下両面を研磨する両面研磨機を用いたガラス薄板の製造方法であって、
剛性基板の両面にそれぞれ吸着パッドを貼設して成るダミー板を準備する準備工程と、前記準備工程により準備した前記ダミー板の両面の前記吸着パッドにそれぞれガラス板を吸着させて該ダミー板に一対の該ガラス板を取り付ける取付け工程と、前記取付け工程により前記ダミー板に取り付けた一対の前記ガラス板を、前記キャリヤのワーク保持孔内で保持して前記上定盤と前記下定盤との間に挟み、該上定盤及び該下定盤と一対の該ガラス板とを相対移動させて各該ガラス板の定盤側の片面を研磨する研磨工程と、前記研磨工程により定盤側の片面を研磨した一対の前記ガラス板を前記ダミー板から取り外して一対のガラス薄板を得る取外し工程と、を備えたことを特徴としている。
【０００８】
また、本発明は、前記取付け工程において、前記ダミー板の前記吸着パッドを水で濡らして前記ガラス板を所定の荷重で押圧しながら貼り合わせ、その後、乾燥工程を行うことを特徴としている。
【０００９】
また、本発明は、前記乾燥工程を自然乾燥により行うことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
このように本発明に係るガラス薄板の製造方法によれば、研磨すべきガラス板を、所定の剛性を有するダミー板に吸着パッドを介して吸着固定することができるので、たとえ研磨すべきガラス板が薄くても、研磨時にガラス板が変形するようなこともなく、ダミー板が有する平面度に基づいてガラス板を研磨することができ、所定の平面度、平行度を有するガラス薄板を製造することができる。
【００１１】
しかも、ガラス板をダミー板に吸着固定することができるので、このダミー板を介してガラス板をキャリヤで保持することができ、従来のようにキャリヤをガラス板よりも薄板化する必要がない。したがって、従来のように薄板化したキャリヤからガラス板が外れるのを防ぐために研磨機の研磨スピードを落とす必要もなく、生産能率を低下させることなくガラス薄板を製造することができる。
【００１２】
また、本発明に係るガラス薄板の製造方法によれば、ダミー板の両面に吸着固定した一対のガラス板を同時に研磨することができるので、同時に二枚のガラス薄板を製造することができ、ガラス薄板の生産能率を大幅に向上させることができる。
【００１３】
また、ガラス板をダミー板に吸着させる取付け工程において、吸着パッドを水で濡らしてガラス板を貼り合わせた後、乾燥工程を行うようにすれば、吸着パッドの周縁部の水分を蒸発させて吸着パッドの周縁部におけるパッド面とガラス面との間の水分を抜くことによりパッド面とガラス板との分子間力による吸着力を高めることができ、研磨時におけるガラス板の位置ずれや剥離等を確実に防止することができる。また、この乾燥工程を、自然乾燥により行うようにすれば、吸着パッド及びガラス板に熱応力を殆どかけることなく乾燥させることができ、ガラス板をより確実に吸着パッドに固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態のガラス薄板の製造方法における準備工程及び取付け工程を説明する概略側面図である。
【図２】本実施形態のガラス薄板の製造方法における研磨工程を説明する一部断面要部側面図である。
【図３】本実施形態のガラス薄板の製造方法における研磨工程を説明する要部平面図である。
【図４】本実施形態のガラス薄板の製造方法における取外し工程を説明する概略側面図である。
【図５】従来の両面研磨機を用いたガラス薄板の製造方法を説明する一部断面要部側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本実施形態のガラス薄板の製造方法は主として、図１〜図４に示すように、ダミー板５を準備する準備工程と、ダミー板５の両面にそれぞれ、研磨すべきガラス板６を吸着させて取り付ける取付け工程と、ダミー板５に取り付けた一対のガラス板６の各片面を研磨する研磨工程と、片面を研磨した各ガラス板６をダミー板５から取り外して一対のガラス薄板６２を得る取外し工程と、から構成されている。
【００１６】
準備工程は、図１に示すように、剛性基板５１の両面にそれぞれ、吸着パッド５２を貼設することによって、所定の平面度、平行度を有するダミー板５を得ることにより行う。本実施形態では、所定の平面度、平行度を有する縦１５２×横１５２×厚み３．０ｍｍの結晶化ガラスから成る剛性基板５１の表裏両面に、所定の平面度、平行度を有する縦１５２×横１５２×厚み０．２５ｍｍの発泡ポリウレタン樹脂から成る吸着パッド５２を、不図示の両面接着シートにより貼設することによってダミー板５を得ている。吸着パッド５２は、そのパッド面５３に独立気泡及び連続気泡から成る緻密な微孔を多数有しており、次述するようにガラス板６をパッド面５３に吸着させることができる。
【００１７】
取付け工程は、図１に示すように、上記ダミー板５の表裏両面の吸着パッド５２にそれぞれ、ガラス板６を吸着固定することにより行う。本実施形態では、ダミー板５の吸着パッド５２を水で濡らし、縦１５０×横１５０×厚み０．１ｍｍのガラス板６を所定の荷重で押圧しながら貼り合わせ、その後、無荷重で乾燥工程を行うようにしている。そして、この乾燥工程を、室温にて約４８時間、自然乾燥により行うようにしている。
【００１８】
研磨工程は、図２及び図３に示すように、公知の両面研磨機を用いることにより行う。即ち、ダミー板５に取り付けた一対のガラス板６を、厚み２．８ｍｍのキャリヤ７のワーク保持孔７１内で保持して両面研磨機の上定盤１と下定盤２との間に挟み、スラリー状の研磨材を供給しながら、上定盤１及び下定盤２と各ガラス板６とを相対移動させることによって、各ガラス板６の定盤側の片面６１を研磨する。
【００１９】
両面研磨機の上定盤１及び下定盤２は、それぞれ反対方向に駆動回転し、互いの対向面にはそれぞれ、不図示の研磨パッドが貼設されている。そして、図３に示すように、両面研磨機は、それぞれ反対方向に駆動回転する太陽歯車８１と、太陽歯車８１を取り囲む内歯車８２とを備えており、キャリヤ７は、これら太陽歯車８１及び内歯車８２と噛合して太陽歯車８１の周りを公転しながら自転する。このことで、上定盤１及び下定盤２に貼設された研磨パッドと、キャリヤ７により保持された各ガラス板６の片面６１とが相対移動して各ガラス板６の片面６１が研磨される。本実施形態では、この研磨工程によって各ガラス板６を厚み２０μｍまで研磨する。
【００２０】
取外し工程は、まず、研磨後の一対のガラス板６をダミー板５と共に、両面研磨機及びキャリヤ７から外し、次いで図４に示すように、研磨後の各ガラス板６をダミー板５から取り外すことにより行う。本実施形態では、シャワー状の水流をあてることによって各ガラス板６をダミー板５から取り外すようにしている。こうして、縦１５０×横１５０×厚み２０μｍの２枚のガラス薄板６２が同時に製造される。
【００２１】
このように本実施形態のガラス薄板の製造方法によれば、研磨すべきガラス板６を、所定の剛性を有するダミー板５に吸着パッド５２を介して吸着固定することができるので、たとえ研磨すべきガラス板６が薄くても、研磨時にガラス板６が変形するようなこともなく、ダミー板５が有する平面度に基づいてガラス板６を研磨することができ、所定の平面度、平行度を有するガラス薄板６２を製造することができる。
【００２２】
しかも、ガラス板６をダミー板５に吸着固定することができるので、このダミー板５を介してガラス板６をキャリヤ７で保持することができ、従来のようにキャリヤ７をガラス板６よりも薄板化する必要がない。したがって、従来のように薄板化したキャリヤからガラス板が外れるのを防ぐために研磨機の研磨スピードを落とす必要もなく、生産能率を低下させることなくガラス薄板を製造することができる。
【００２３】
また、本実施形態のガラス薄板の製造方法によれば、ダミー板５の両面に吸着固定した一対のガラス板６を同時に研磨することができるので、同時に二枚のガラス薄板６２を製造することができ、ガラス薄板６２の生産能率を大幅に向上させることができる。
【００２４】
また、本実施形態のガラス薄板の製造方法によれば、研磨すべきガラス板６を、ワックス等を用いることなく、吸着パッド５２により水貼りして取り付けることができるので、従来のようにワックス等の厚みのばらつきによって、ガラス薄板６２の平面度、平行度が損なわれる難点もない。また、ワックス等を用いないので、有機溶剤を使用しなくても、ガラス薄板６２をダミー板５から取り外すことができ、環境を害するおそれもない。
【００２５】
また、本実施形態のガラス薄板の製造方法によれば、ガラス板６をダミー板５に吸着させる取付け工程において、吸着パッド５２を水で濡らしてガラス板６を貼り合わせた後、乾燥工程を行うようにしているので、吸着パッド５２の周縁部の水分を蒸発させて吸着パッド５２の周縁部におけるパッド面５３とガラス面との間の水分を抜くことによりパッド面５３とガラス板６との分子間力による吸着力を高めることができ、研磨時におけるガラス板６の位置ずれや剥離等を確実に防止することができる。しかも、この乾燥工程を、自然乾燥により行っているので、吸着パッド５２及びガラス板６に熱応力を殆どかけることなく乾燥させることができ、ガラス板６をより確実に吸着パッド５２に固定することができる。
【００２６】
以上、本実施形態のガラス薄板の製造方法について説明したが、本発明は他の実施形態でも実施することができる。
【００２７】
例えば、上記実施形態では、ダミー板５の剛性基板５１を、低熱膨張性、機械的強度等に優れる結晶化ガラスにより構成しているが、例えば合成樹脂材等の他の材料を採用することもできる。必要な剛性、平面度、平行度等を確保できるのであれば、種々の設計変更が可能である。また、ダミー板５の吸着パッド５２についても、発泡ポリウレタン樹脂に限定されるものではなく、必要な吸着性、平面度、平行度等を確保できるのであれば、他の材料を採用することができる。
【００２８】
また、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲内で、当業者の知識に基づいて種々の改良、修正、変形を加えた態様で実施し得る。同一の作用又は効果が生じる範囲内でいずれかの発明特定事項を他の技術に置換した形態で実施しても良く、また、一体に構成されている発明特定事項を複数の部材から構成したり、複数の部材から構成されている発明特定事項を一体に構成した形態で実施してもよい。
【符号の説明】
【００２９】
１  上定盤
２  下定盤
３  キャリヤ
３１  ワーク保持孔
４  ガラス板
５  ダミー板
５１  剛性基板
５２  吸着パッド
６  ガラス板
６１  定盤側の片面
６２  ガラス薄板
７  キャリヤ
７１  ワーク保持孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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