(57)【要約】【課題】ポンプ室への塵埃の侵入を低減しつつプランジャの外周面を安定して洗浄できるプランジャポンプを提供する。【解決手段】シリンダ側に設けられた二つのシール用環状凹部８１、８２の間の隙間にプランジャ２０の外周面を洗浄するためのプランジャ洗浄液を供給する供給路６４を有し、プランジャ２０のストロークは、プランジャ２０の外周面のうちポンプ室７０内の純水に接する部分と接しない部分との境界９５が、シリンダ１０の低面から遠い方のシール部材８４より前記低面とは逆側に移動しないように設定されている。【選択図】図２
2012097691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底筒状のシリンダと、
前記シリンダに往復移動可能に嵌合挿入されているプランジャと、
を備えるプランジャポンプであって、
前記シリンダは、
当該シリンダの内面と前記プランジャの先端面とで形成されるポンプ室に液体を導入する導入路と、
前記ポンプ室内の液体を外部に導出する導出路と、
当該シリンダの内周壁に前記プランジャの外周を全周に亘って囲むように環状に形成されている二つのシール用環状凹部であって、互いに前記プランジャの移動方向に離れて形成されているシール用環状凹部と、
各前記シール用環状凹部に嵌め込まれている二つのシール部材であって、前記プランジャの外周面に圧接する環状のシール部材と、
当該シリンダの内周面と前記プランジャの外周面との間の隙間であって前記二つのシール用環状凹部の間の隙間に、前記プランジャの外周面を洗浄するためのプランジャ洗浄液を供給する供給路と、
を有し、
前記プランジャのストロークは、前記プランジャの外周面のうち前記ポンプ室内の前記液体に接する部分と接しない部分との境界が、前記シリンダの低面から遠い方の前記シール部材よりも前記低面とは逆側に移動しないように設定されている、プランジャポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のプランジャポンプであって、
前記シリンダは、当該シリンダの内周壁に前記プランジャの外周を全周に亘って囲むように環状に形成されている洗浄用環状凹部であって、二つの前記シール用環状凹部の間に形成され、前記プランジャの外周面と当該洗浄用環状凹部の内面とでプランジャ洗浄室を形成する洗浄用環状凹部を有し、
前記供給路は、前記プランジャ洗浄室に前記洗浄液を供給する、プランジャポンプ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のプランジャポンプであって、
前記シリンダは、前記二つのシール用環状凹部の間の前記隙間の前記洗浄液を外部に排出する排出路を有する、プランジャポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プランジャの外周面を洗浄液によって洗浄しつつ液体を圧送するプランジャポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリンダとプランジャとを備えて構成されるプランジャポンプにおいて、シリンダ側に装着される固定Ｏリングと、プランジャ側に装着される移動Ｏリングとを備え、シリンダの内周面とプランジャの外周面との間の隙間であって固定Ｏリングと移動Ｏリングとの間の隙間に、プランジャの外周面を洗浄するための洗浄液を供給するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、従来、シリンダ側に二つの固定Ｏリングを備え、シリンダの内周面とプランジャの外周面との間の隙間であって二つの固定Ｏリングの間の隙間に洗浄液を供給するものも知られている（例えば、特許文献１参照）。このプランジャポンプは、プランジャの外周面のうちポンプ室内の液体に接する外周面が、シリンダの低面から遠い方の固定Ｏリングを挟んで当該低面とは逆側まで移動するようにプランジャのストロークが設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２４９０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
シリンダ側に装着される固定Ｏリングとプランジャ側に装着される移動Ｏリングとを備える従来のプランジャポンプによると、プランジャの移動に伴って移動Ｏリングが移動することによって固定Ｏリングと移動Ｏリングとの間の隙間の容積が変動するので、プランジャ洗浄液の量が安定せず、洗浄効果にムラが生じる虞がある。
【０００６】
また、シリンダ側に二つの固定Ｏリングを備える従来のプランジャポンプによると、プランジャの外周面のうちポンプ室内の液体に接する外周面がシリンダの低面から遠い方の固定Ｏリングを挟んで当該低面とは逆側まで移動するので、プランジャの外周面のうちポンプ室内の液体に接する外周面が外部の空気に触れ、その際に空気中の塵埃が当該面に付着し、その付着した塵埃がポンプ室まで侵入する虞がある。
【０００７】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、ポンプ室への塵埃の侵入を低減しつつプランジャの外周面を安定して洗浄できるプランジャポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、有底筒状のシリンダと、前記シリンダに往復移動可能に嵌合挿入されているプランジャと、を備えるプランジャポンプであって、前記シリンダは、当該シリンダの内面と前記プランジャの先端面とで形成されるポンプ室に液体を導入する導入路と、前記ポンプ室内の液体を外部に導出する導出路と、当該シリンダの内周壁に前記プランジャの外周を全周に亘って囲むように環状に形成されている二つのシール用環状凹部であって、互いに前記プランジャの移動方向に離れて形成されているシール用環状凹部と、各前記シール用環状凹部に嵌め込まれている二つのシール部材であって、前記プランジャの外周面に圧接する環状のシール部材と、当該シリンダの内周面と前記プランジャの外周面との間の隙間であって前記二つのシール用環状凹部の間の隙間に、前記プランジャの外周面を洗浄するためのプランジャ洗浄液を供給する供給路と、を有し、前記プランジャのストロークは、前記プランジャの外周面のうち前記ポンプ室内の前記液体に接する部分と接しない部分との境界が、前記シリンダの低面から遠い方の前記シール部材よりも前記低面とは逆側に移動しないように設定されている。
【０００９】
この発明によると、二つのシール部材をシリンダ側に嵌め込むので、プランジャが移動しても二つのシール部材の間の隙間の容積が変動しない。これにより、プランジャ洗浄液の量が安定し、洗浄効果にムラが生じることを低減できる。
また、この発明によると、プランジャのストロークは、プランジャの外周面のうちポンプ室内の液体に接する部分と接しない部分との境界が、シリンダの低面から遠い方のシール部材より前記低面とは逆側に移動しないように設定されているので、ポンプ室内の液体に接する外周面がシリンダの外部の空気に触れない。それにより、空気中の塵埃がプランジャの外周面に付着してポンプ室に侵入することを低減できる。
よってこの発明によると、ポンプ室への塵埃の侵入を低減しつつプランジャの外周面を安定して洗浄できる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明のプランジャポンプであって、前記シリンダは、当該シリンダの内周壁に前記プランジャの外周を全周に亘って囲むように環状に形成されている洗浄用環状凹部であって、二つの前記シール用環状凹部の間に形成され、前記プランジャの外周面と当該洗浄用環状凹部の内面とでプランジャ洗浄室を形成する洗浄用環状凹部を有し、前記供給路は、前記プランジャ洗浄室に前記洗浄液を供給する。
プランジャ洗浄室を設けると、プランジャの外周面がより確実にプランジャ洗浄液に接することができ、洗浄効果をより高めることができる。
【００１１】
第３の発明は、第１又は第２の発明のプランジャポンプであって、前記シリンダは、前記二つのシール用環状凹部の間の前記隙間の前記洗浄液を外部に排出する排出路を有する。
排出路を形成すると、供給路から排出路に至るプランジャ洗浄液の流れができるので、常に汚れの少ないプランジャ洗浄液でプランジャを洗浄することができる。これにより、プランジャの外周面の洗浄効果をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態１に係るプランジャポンプの断面図。
【図２】プランジャポンプの要部を拡大して示す断面図。
【図３】プランジャポンプの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図３によって説明する。
（１）プランジャポンプの構造
図１は、本発明の実施形態１に係るプランジャポンプの断面図である。ここでは半導体ウェハーを研磨したパッドに純水（液体の一例）を高圧で噴射して洗浄する高圧洗浄装置に用いられるプランジャポンプを例に説明する。
また、ここでは二つのプランジャポンプ１Ａ、１Ｂが一体化されている場合を例に説明する。二つのプランジャポンプ１Ａ、１Ｂは同一構造であるので、以降の説明では図１に示す左側のプランジャポンプ１Ａを例に説明する。
【００１４】
プランジャポンプ１Ａは、有底筒状のシリンダ１０、シリンダ１０に往復移動可能に嵌合挿入されている円柱状のプランジャ２０、外部のエアコンプレッサから供給される圧縮空気の圧力によってプランジャ２０を往復移動させるエアシリンダ部４０、シリンダ１０とエアシリンダ部４０とを接続する円筒状の接続部材５１などを備えて構成されている。エアシリンダ部４０は、二つのプランジャポンプ１Ａ、１Ｂによって共有されている。
【００１５】
シリンダ１０は、第１円筒部１１、第１円筒部１１を軸方向に延長するように連結されている第２円筒部１２、第１円筒部１１と第２円筒部１２とを外側から囲む第３円筒部１３、第２円筒部１２を第３円筒部１３に固定する第４円筒部１４、第１円筒部１１の一方の開口を封止するリテーナ１５、リテーナ１５を固定するキャップ１６、第１接続部３１、第２接続部３２、第３接続部３３、第４接続部３４などを備えて構成されている。
これら各部は嵌合、螺合、接着などの適宜の方法で結合されている。また、金属イオンがパッドに付着して半導体ウェハーが金属汚染されることを低減するため、これら各部は樹脂によって形成されている。この他、本実施形態では純水と接する部材は金属以外の素材（例えば樹脂）で形成されている。
【００１６】
第１円筒部１１及び第３円筒部１３には、シリンダ１０の軸に垂直な方向に貫通する２つの貫通穴が形成されており、第１接続部３１及び第２接続部３２がそれぞれ挿入されている。
第１接続部３１には、シリンダ１０の内面とプランジャ２０の先端面とで形成されるポンプ室７０に純水を供給する導入路６０が形成されている。第１接続部３１は純水を供給する図示しない外部の供給装置と接続されており、外部の供給装置から供給された純水は第１接続部３１内の導入路６０を流れてポンプ室７０に導入される。導入路６０には、ポンプ室７０内の純水が導入路６０を逆流することを防止する逆止弁６１が設けられている。
【００１７】
第２接続部３２には、ポンプ室７０内の純水を外部に導出する導出路６３が形成されている。第２接続部３２にはプランジャポンプ１Ａから導出された高圧の純水をパッドに導く図示しない配管が接続され、導出路６３から導出された純水は配管を流れてパッドに噴射される。導出路６３には、ポンプ室７０から導出された純水が導出路６３を逆流してポンプ室７０内に流入することを防止する逆止弁６２が設けられている。
【００１８】
プランジャ２０は円柱状に形成されており、シリンダ１０の第２円筒部１２の開口からシリンダ１０内に往復移動可能に嵌合挿入されている。プランジャ２０は摩耗して金属粉が純水に混入することを防止するためにセラミックによって形成されている。
【００１９】
エアシリンダ部４０は、中空の円筒状に形成されているハウジング４１、円筒状のハウジング４１の開口を閉塞してエアシリンダ部４０内にエア室を形成する二つの封止部材４２、４３（規制部の一例）、二つの封止部材４２、４３の中心を貫通する円柱状のロッド４４、ロッド４４に固定されている円盤状のフランジ４５を備えて構成されている。
【００２０】
二つの封止部材４２、４３には、フランジ４５の衝突による衝撃を緩和するための緩衝部材４６（例えばＯリング）が設けられている。
ロッド４４は、フランジ４５が固定されている金属製の第１円柱部４４Ａと、第１円柱部４４Ａの両端にロッド４４の軸方向に延びるように連結されている金属製の二つの第２円柱部４４Ｂとで構成されている。第２円柱部４４Ｂの他端はプランジャ２０に連結されている。
【００２１】
エアシリンダ部４０内のエア室はフランジ４５によって第１のエア室７１と第２のエア室７２とに区画されている。封止部材４２には外部のエアコンプレッサから供給される圧縮空気を第１のエア室７１に導入／導出するエア供給路７３が形成されており、同様に封止部材４３には圧縮空気を第２のエア室７２に導入／導出するエア供給路７４が形成されている。
【００２２】
（２）第１円筒部１１、及び第２円筒部１２の詳細
次に、シリンダ１０を構成している第１円筒部１１、及び第２円筒部１２の詳細について説明する。
【００２３】
図２は、第１円筒部１１、及び第２円筒部１２の周辺を拡大して示す断面図である。
第１円筒部１１の内径はプランジャ２０の外径よりも大きく形成されており、プランジャ２０が往復移動しても第１円筒部１１の内周面とプランジャ２０の外周面とは接触しない。
第２円筒部１２の内径はプランジャ２０の外径と略同一であり、プランジャ２０は第２円筒部１２の内周面に案内されて軸方向に往復移動する。
【００２４】
第２円筒部１２の内周壁には、二つのシール用環状凹部８１、８２と、洗浄用環状凹部８５とが形成されている。二つのシール用環状凹部８１、８２と洗浄用環状凹部８５とは、それぞれプランジャ２０の外周を囲むように環状に形成されている。
【００２５】
シール用環状凹部８１には、ポンプ室７０内の純水がシリンダ１０とプランジャ２０との間から洩れでることを防止する断面Ｕ字状のパッキン８３（Ｕ字パッキン、シール部材の一例）が嵌め込まれている。Ｕ字パッキン８３はＵ字状の断面の開口がポンプ室７０側を向くように嵌め込まれている。また、Ｕ字パッキン８３のＵ字状の内側にはＯリング８６が嵌め込まれている。なお、シール部材はＵ字パッキンのみであってもよいしＯリングのみであってもよい。
【００２６】
シール用環状凹部８２には、シリンダ１０の外部の空気（具体的には図２に示す空間９０内の空気）中の塵埃がシリンダ１０とプランジャ２０との間からプランジャ洗浄室８８に侵入することを防止するＵ字パッキン８４が嵌め込まれている。Ｕ字パッキン８４はＵ字状の断面の開口がプランジャ洗浄室８８側を向くように嵌め込まれている。また、Ｕ字パッキン８４のＵ字状の内側にはＯリング８７が嵌め込まれている。なお、シール部材はＵ字パッキンのみであってもよいしＯリングのみであってもよい。
【００２７】
Ｕ字パッキン８３、８４は例えばポリエチレンによって形成されており、Ｏリング８６、８７は例えばフッ素系ゴムによって形成されている。これらはいずれも金属溶出がないので、パッドの金属汚染を低減できる。
【００２８】
洗浄用環状凹部８５は、二つのシール用環状凹部８１、８２の間に形成されており、プランジャ２０の外周面と洗浄用環状凹部８５の内面とでプランジャ洗浄室８８を形成している。図示するように、洗浄用環状凹部８５はプランジャ２０の軸方向に一定の幅に亘って形成されている。洗浄用環状凹部８５の軸方向の幅は、目的の洗浄効果が得られるように適宜に設定可能である。
【００２９】
第３円筒部１３及び第４円筒部１４には、第３接続部３３が取り付けられている。第３接続部３３は図示しない配管を介して外部の洗浄水供給装置と接続され、洗浄水供給装置から供給される洗浄水（以下「プランジャ洗浄液」という）は、第３接続部３３内の流路と、第２円筒部１２に形成されている供給路６４とを流れてプランジャ洗浄室８８に導入される。
【００３０】
また、第３円筒部１３及び第４円筒部１４には、第４接続部３４が取り付けられている。第４接続部３４は図示しない配管と接続され、プランジャ洗浄室８８内のプランジャ洗浄液は、第２円筒部１２に形成されている排出路６５と、第４接続部３４内の流路とを流れて外部に排出される。
【００３１】
（３）プランジャのストローク
以下、プランジャ２０のストロークについて図２及び図３を参照して説明する。
プランジャ２０のストロークは、プランジャ２０の外周面のうちポンプ室７０内の純水に接する部分と接しない部分との境界９５が、シリンダ１０の低面（リテーナ１５のポンプ室側の面）から遠い方のシール部材８４よりも当該低面とは逆側（右側）に移動しないように設定されている。
【００３２】
具体的には例えば、図２に示す例ではプランジャ２０の外周面のうち破線９５より左側の外面が、ポンプ室７０内の純水と接する部分である。そして、図３に示すように、破線９５はプランジャ２０が最も左側に移動したとき（フランジ４５が封止部材４３の緩衝部材４６に当接したとき）に、シール部材８４より左側に位置している。したがって、プランジャ２０の外周面のうちポンプ室７０内の純水と接する部分は、シリンダ１０の外部の空気（具体的には図３に示す空間９０内の空気）に直接触れない。
【００３３】
（４）プランジャポンプの動作
プランジャ２０がポンプ室７０の容積を最小にする位置にある状態（図１に示す状態）で、封止部材４２に形成されているエア供給路７３に外部から圧縮空気が供給されると、フランジ４５が圧縮空気によって右側に移動し、それに伴ってプランジャ２０が右側に移動する。このとき、第２のエア室７２内の空気はエア供給路７４から排出される。
【００３４】
プランジャ２０が右側に移動すると、ポンプ室７０内の純水の水圧が低下することによって逆止弁６１が開弁し、ポンプ室７０内に純水が導入される。
図３に示すように、フランジ４５が封止部材４３の緩衝部材４６に当接する位置まで移動すると、エア供給路７３からの圧縮空気の供給が停止するとともに、封止部材４３に形成されているエア供給路７４に外部から圧縮空気が供給される。
【００３５】
エア供給路７４に外部から圧縮空気が供給されると、フランジ４５が圧縮空気によって左側に移動し、この移動に伴ってプランジャ２０が左側に移動する。このとき、第１のエア室７１内の圧縮空気はエア供給路７３から排出される。
プランジャ２０が左側に移動すると、ポンプ室７０内の純水が加圧され、加圧された純水によって逆止弁６２が開弁し、ポンプ室７０内の純水が高圧で外部に導出される。外部に導出された純水は、図示しない配管を流れてパッドに高圧で噴射される。
【００３６】
（５）プランジャの外周面の洗浄
上述した動作の間、プランジャ洗浄室８８には第３接続部３３を介して外部からプランジャ洗浄液が供給される。プランジャ２０が往復移動すると、プランジャ２０の外周面のうち、シリンダ１０の外部の空気（具体的には図１に示す空間９０内の空気）に触れた部分（プランジャ２０がポンプ室７０の容積を最大にする位置にあるときに境界９５より右側に位置する部分であって、Ｕ字パッキン８４より右側に位置する部分）がプランジャ洗浄室８８を通過する。これにより、シリンダ１０の外部の空気中の塵埃がプランジャ２０の外周面の上述した部分に付着しても、プランジャ洗浄液によって洗浄され、ポンプ室７０に塵埃が侵入することが低減される。
【００３７】
（６）実施形態の効果
以上説明した本発明の実施形態１に係るプランジャポンプ１Ａによると、二つのＵ字パッキン８３、８４をシリンダ１０側に嵌め込むので、プランジャ２０が往復移動しても二つのＵ字パッキン８３、８４の間の隙間（シリンダ１０の内周面とプランジャ２０の外周面との間の隙間）の容積が変動しない。これにより、プランジャ洗浄液の量が安定し、プランジャの外周面の洗浄効果にムラが生じることを低減できる。
また、プランジャ２０のストロークは、プランジャ２０の外周面のうちポンプ室７０内の液体に接する部分と接しない部分との境界９５が、シリンダ１０の低面から遠い方のシール部材８４より前記低面とは逆側（右側）に移動しないように設定されているので、ポンプ室７０内の液体に接する外周面がシリンダの外部の空気に触れない。それにより、シリンダ１０の外部の空気中の塵埃がプランジャ２０の外周面に付着してポンプ室７０に侵入することをより確実に低減できる。
よってプランジャポンプ１Ａによると、ポンプ室７０への塵埃の侵入を低減しつつプランジャ２０の外周面を安定して洗浄できる。
【００３８】
更に、プランジャポンプ１Ａによると、シリンダ１０の内周壁に洗浄用環状凹部８５を有しており、プランジャ２０の外周面と洗浄用環状凹部８５の内面とでプランジャ洗浄室８８を形成する。プランジャ洗浄室８８を形成すると、プランジャ２０の外周面がより確実にプランジャ洗浄液に接することができ、洗浄効果をより高めることができる。
【００３９】
更に、プランジャポンプ１Ａによると、シリンダ１０は、プランジャ洗浄室８８内のプランジャ洗浄液を外部に排出する排出路６５を有する。排出路６５を形成すると、供給路６４から排出路６５に至るプランジャ洗浄液の流れができるので、常に汚れの少ないプランジャ洗浄液でプランジャ２０を洗浄することができる。これにより、プランジャ２０の外周面の洗浄効果をより高めることができる。
【００４０】
更に、プランジャポンプ１Ａによると、Ｕ字パッキン８３の開口をポンプ室７０側に向けるので、ポンプ室７０内の純水の圧力によってＵ字パッキン８３が広がり、それによりＵ字パッキン８３がプランジャ２０に圧接するので、シール性をより高めることができる。
同様に、Ｕ字パッキン８４の開口をプランジャ洗浄室８８側に向けるので、プランジャ洗浄室８８内のプランジャ洗浄液の圧力によってＵ字パッキン８４が広がり、それによりＵ字パッキン８４がプランジャ２０に圧接するので、シール性をより高めることができる。
【００４１】
更に、プランジャポンプ１Ａによると、シリンダ１０の外部の空間９０が接続部材５０によって密閉されているので、空気中の塵埃がプランジャ２０に付着し難くなる。
【００４２】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００４３】
（１）上記実施形態ではシリンダ１０に洗浄用環状凹部８５を設ける場合を例に説明したが、プランジャ洗浄室８８を形成しなくても十分な洗浄効果を得られる場合は、洗浄用環状凹部８５を設けなくてもよい。その場合は、シリンダ１０の内周面とプランジャ２０の外周面との間の隙間（クリアランス）に侵入するプランジャ洗浄液によってプランジャ２０の外周面が洗浄されることになる。
【００４４】
（２）上記実施形態ではプランジャ洗浄液を排出するための排出路６５を設ける場合を例に説明したが、排出路６５は必ずしも設けなくてよい。
【００４５】
（３）上記実施形態では液体として純水を例に説明したが、液体は洗浄対象物に応じて適宜に選択可能である。
【００４６】
（４）上記実施形態ではシリンダ１０の外部の空気中の塵埃がポンプ室７０に侵入することを低減する目的でプランジャ２０の外周面を洗浄する場合を例に説明したが、この洗浄は他の目的で行われてもよい。例えば、試薬や、洗剤が溶解した洗浄液などを圧送する装置の場合に、プランジャ２０の外周面に付着した試薬や洗剤の結晶によってシリンダ１０やプランジャ２０が摩耗することを低減する目的で外周面を洗浄してもよい。
【００４７】
（５）上記実施形態では高圧洗浄装置に用いられるプランジャポンプを例に説明したが、プランジャポンプは高圧洗浄装置以外の装置に用いられてもよい。
【００４８】
（６）上記実施形態ではエアシリンダ部４０に供給される圧縮空気によってプランジャ２０を往復移動させる場合を例に説明したが、プランジャ２０を往復移動させる方法はこれに限られない。例えばモータの回転運動をカムによってプランジャ２０の直線運動に変換することによって往復移動させてもよい。その場合はカムの形状（プロフィール）によってプランジャ２０のストロークが設定されることになる。
【符号の説明】
【００４９】
１Ａ、１Ｂ・・・プランジャポンプ  １０・・・シリンダ  １１・・・第１円筒部  １２・・・第２円筒部  １３・・・第３円筒部  １４・・・第４円筒部  １５・・・リテーナ  １６・・・キャップ  ２０・・・プランジャ  ３１・・・第１接続部  ３２・・・第２接続部  ３３・・・第３接続部  ３４・・・第４接続部  ４０・・・エアシリンダ部  ４１・・・ハウジング  ４２・・・封止部材  ４３・・・封止部材  ４４・・・ロッド  ４４Ａ・・・第１円柱部  ４４Ｂ・・・第２円柱部  ４５・・・フランジ  ５０・・・接続部材  ６０・・・導入路  ６１・・・逆止弁  ６２・・・導出路  ６２・・・逆止弁  ６４・・・供給路  ６５・・・排出路  ７０・・・ポンプ室  ７１・・・第１エア室  ７２・・・第２エア室  ７３・・・エア供給路  ７４・・・エア供給路  ８１・・・シール用環状凹部  ８２・・・シール用環状凹部  ８３・・・Ｕ字パッキン  ８４・・・Ｕ字パッキン  ８５・・・洗浄用環状凹部  ８６・・・Ｏリング  ８７・・・Ｏリング  ８８・・・プランジャ洗浄室  ９０・・・空間  ９５・・・破線
【図１】
2012097691.tif 000003
【図２】
2012097691.tif 000004
【図３】
2012097691.tif 000005