(57)【要約】【課題】洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドのクリーニング装置は、液体吸収性を有する清掃部材２１に洗浄剤を供給して清掃部材２１を濡らし、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に当接させることにより、ノズル面に付着した汚れを除去する。清掃部材２１に洗浄液を供給する洗浄液供給ライン１４ａと、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧する押圧部２２と、清掃部材に供給した洗浄液を吸引する洗浄液排液ライン１４ｂとが設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吸収性を有する清掃部材に洗浄剤を供給して該清掃部材を濡らし、該清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に当接させることにより、該ノズル面に付着した汚れを除去するインクジェットヘッドのクリーニング装置において、
上記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
上記清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧させる押圧手段と、
上記清掃部材に供給した洗浄液を吸引する吸引手段とが設けられていることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項２】
前記清掃部材は、帯状に形成されており、
上記清掃部材を、帯の長手方向に送って移動させる清掃部材移動手段が設けられていると共に、
前記押圧手段は、上記清掃部材を挟んでインクジェットヘッドのノズル面と対向する位置に、該清掃部材に当接して該清掃部材を押圧する押圧部を有し、
上記押圧部には、上記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄部が設けられていると共に、
上記清掃部材の送り方向に対して、上記洗浄部の前若しくは後ろのいずれか一方、又は前後両方に前記吸引手段における、該清掃部材に当接する吸引部が配置されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項３】
前記洗浄部は、連続気泡を有する第１の多孔質体からなっていると共に、
前記洗浄液は、上記第１の多孔質体を通して前記清掃部材へ供給されることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項４】
前記吸引部は、連続気泡を有する第２の多孔質体からなっていると共に、
上記第２の多孔質体は、清掃部材に当接して配置されていることを特徴とする請求項２又は３記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項５】
前記洗浄部及び吸引部は、前記清掃部材への当接状態を維持して保持プレートに固定されていると共に、
上記保持プレートにおける洗浄部及び吸引部が固定された側とは反対側の保持プレート裏面には、弾性体が固定して設けられていることを特徴とする請求項２，３又は４記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項６】
前記洗浄液をインクジェットヘッドのノズル面に直接浸すクリーニング手段を備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吸収性を有する清掃部材に洗浄剤を供給して該清掃部材を濡らし、該清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に当接させることにより、該ノズル面に付着した汚れを除去するインクジェットヘッドのクリーニング装置に関するものであり、特に、清掃部材に所定量の洗浄液を含有させるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
所望とする領域に微小液滴を被着させる技術は、圧電材料を用いて微細なノズルから微小液滴を押し出して吐出するインクジェット技術が知られており、民生用プリンタに広く用いられているのみならず、近年は産業用途として注目されている。
【０００３】
このインクジェット技術は、例えば液晶表示装置の製造工程ではフォトリソグラフィ工程を排除することによって製造コストの削減を見込める工程、例えば、カラーフィルタの赤、青、緑色の各色インクを微小領域毎に塗布する工程や、液晶層の厚みを一定に規定するスペーサを配置することを目的としてビーズを含有する液体を塗布する工程等への適用が期待されている。また、次世代ディスプレイ技術として注目される有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）デバイスの製造工程では、高分子タイプの発光層等を液体吐出技術により形成する工程が提案されている。
【０００４】
このように、産業用途のインクジェット装置では、使用分野に応じた多種多様な性質の液体を用いることが要求されている。このため、ノズル面を清浄に保持してインク吐出性能を維持する難度が上がる傾向にあり、インクジェットヘッドのクリーニングを行う等のメンテナンス動作が重要となる。
【０００５】
例えば、インクジェットヘッドのノズル面に付着したインクが乾燥及び固化すると、吐出するインク液滴が固化成分に影響を受けて吐出方向がずれ、結果としてインクの塗布精度が劣化するという不具合が発生する。
【０００６】
インクジェットヘッドのクリーニング方式は様々に提案されているが、その一方式として不織布等の液体吸収性を有する清掃部材に洗浄液を供給して該清掃部材を濡らし、該清掃部材とインクジェットヘッドとを当接させてクリーニングを行う方式がある。
【０００７】
例えば、特許文献１では、ロール状に巻かれた液体吸収性のシートに対して洗浄液を鉛直上方から散布して濡らし、シートを送ってインクジェットヘッドに対向する位置まで移動させ、濡らしたシートを当接手段によってインクジェットヘッドに押し当ててクリーニングを行う装置が開示されている。
【０００８】
また、特許文献２では、液体吸収性のシートをインクジェットヘッドに押し当てるための押圧部材に洗浄液の供給口を設け、上記シートを裏面から濡らした後にインクジェットヘッドに押圧する装置が開示されている。
【０００９】
このように、洗浄液を含ませた洗浄部材を当接すれば、インクジェットヘッドのノズル部に発生した、インクに起因する汚れ成分を効率よく除去することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−３３００２７号公報（２００４年１１月２５日公開）
【特許文献２】特開２００１−１７１１３５号公報（２００１年６月２６日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記従来の特許文献１及び特許文献２のクリーニング装置では、洗浄液を清掃部材へと供給する送液手段の詳細が記載されていない。このため、特段の配慮をすることなく送液手段を配置した場合には、次の問題が発生する。
【００１２】
まず、洗浄液の供給ラインに存在する洗浄液は開放されている供給口から蒸発するため、一定量の洗浄液を清掃部材に供給することが難しい。例えば、クリーニングを実施する動作が不定期に行われる場合には、前回のクリーニング動作からの時間が変化する。この場合、上述したように、洗浄液の供給ラインに存在する洗浄液は徐々に蒸発するため、比較的短時間の間隔でクリーニング動作を実行する場合と、長時間の間隔を置いた後にクリーニング動作を実行する場合とでは、洗浄液の供給ライン中に存在する洗浄液の量が異なる。このため、送液ポンプにて洗浄液の供給ラインから一定量の液を送液しても、供給口からは必ずしも一定量の洗浄液を清掃部材に供給できることにはならない。
【００１３】
その結果、供給する洗浄液が不足している場合には、清掃部材を適正に濡らすことができず、クリーニング性能が劣化する。
【００１４】
一方、供給する洗浄液が過多となる場合には、以下のような問題が発生する。
【００１５】
まず、清掃部材の液体吸収性が比較的低い場合には、洗浄液の供給口付近の清掃部材には飽和量を超えた洗浄液が溜まる。このため、インクジェットヘッドのノズル面と清掃部材とを当接してクリーニングを実施した後にインクジェットヘッドと清掃部材とを離間させるときに、洗浄液がインクジェットヘッドのノズルプレートに付着して残留する。この残留した洗浄液が乾燥するまでに所定の塗布動作を行えば、残留した洗浄液によってインクの塗布精度が劣化する場合がある。尚、塗布精度とは、塗布するパターン精度のことをいう。
【００１６】
また、吐出したインク液滴に洗浄液が混ざれば、インク濃度を変化させ、所望とする塗布条件を満たせない事態が発生する可能性もある。さらに、過度に洗浄液が残れば、塗布動作時に塗布対象である基板に洗浄液が接触して基板を汚す可能性もある。
【００１７】
次に、清掃部材の液体吸収性が比較的高い場合に、供給する洗浄液が多ければ、洗浄液が清掃部材を伝って広範囲に拡がる。
【００１８】
例えば、特許文献２に示すような、複数のインクジェットヘッドを連続する清掃部材によってクリーニングを実施する形態であれば、洗浄液の供給口を離間させていても洗浄液は清掃部材を伝い、隣接するヘッドに当接する部位に到達し得る。そして、隣接するインクジェットヘッドに異なるインク種を用いている場合には、汚れ成分として除去されたインク成分も隣接するインクジェットヘッドへの当接部まで浸透して異なるインク種が混合する事態も発生する。インク種の組み合わせによっては、凝集等の不所望の現象を引き起こす可能性がある。
【００１９】
また、巻き取りタイプの清掃部材を用いた場合には、巻き取り部まで洗浄液が浸透して、周辺部材へと漏れ出していく危険性もある。
【００２０】
したがって、所望とするクリーニング能力を維持できることが確認できれば、清掃部材の同一部分で複数回のクリーニングを行うことが望ましい。
【００２１】
しかし、この場合には、前回に行ったクリーニング動作で供給した洗浄液が清掃部材から蒸発せずに含有されている場合がある。この場合、クリーニング動作を実行する上で適正な洗浄液の供給量は減少することになる。毎回定期的にクリーニング動作を実行するならば、洗浄液の蒸発の程度を見積り、洗浄液の供給量を決定する手法を採用してもよい。しかし、不定期にクリーニング動作を実施する場合には、清掃部材の乾燥状態を見定め、これに応じて供給する洗浄液量を調整する必要があり、その制御は困難である。
【００２２】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置は、上記課題を解決するために、液体吸収性を有する清掃部材に洗浄剤を供給して該清掃部材を濡らし、該清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に当接させることにより、該ノズル面に付着した汚れを除去するインクジェットヘッドのクリーニング装置において、上記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、上記清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧させる押圧手段と、上記清掃部材に供給した洗浄液を吸引する吸引手段とが設けられていることを特徴としている。
【００２４】
上記の発明によれば、インクジェットヘッドのクリーニング装置は、液体吸収性を有する清掃部材に洗浄剤を供給して該清掃部材を濡らし、該清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に当接させることにより、該ノズル面に付着した汚れを除去する。
【００２５】
ところで、この種のクリーニング装置では、清掃部材の濡れに応じてクリーニング特性が変化し、インクジェットヘッドの適切なクリーニングを行うことができないという問題がある。
【００２６】
この点、本発明では、清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧させる押圧手段と、上記清掃部材に供給した洗浄液を吸引する吸引手段とが設けられている。
【００２７】
したがって、洗浄液供給手段及び押圧手段と共に、清掃部材に供給した洗浄液を吸引する吸引手段も有している。
【００２８】
このため、吸引手段によって、清掃部材の洗浄液が過多となった場合に、速やかにこれを排除することができ、洗浄液を適正な含有量に保って、清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧してクリーニングすることが可能となる。
【００２９】
また、本発明では、やや多量の洗浄液を供給した場合においても、吸引手段を用いて過多となった洗浄液を吸引することができる。この結果、洗浄液の供給量がばらつく洗浄液供給手段であっても、使用することが可能となる。したがって、供給量のばらつきを抑制するための付加手段を設けたり、動作方法に限定を設けたりする必要がなくなる。
【００３０】
したがって、洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供することができる。
【００３１】
本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置では、前記清掃部材は、帯状に形成されており、上記清掃部材を、帯の長手方向に送って移動させる清掃部材移動手段が設けられていると共に、前記押圧手段は、上記清掃部材を挟んでインクジェットヘッドのノズル面と対向する位置に、該清掃部材に当接して該清掃部材を押圧する押圧部を有し、上記押圧部には、上記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄部が設けられていると共に、上記清掃部材の送り方向に対して、上記洗浄部の前若しくは後ろのいずれか一方、又は前後両方に前記吸引手段における、該清掃部材に当接する吸引部が配置されていることが好ましい。
【００３２】
これにより、清掃部材移動手段にて帯状の清掃部材を送ることにより、清掃部材における、インクジェットヘッドのノズル面との当接面を簡便に更新すること、つまり取り替えることができる。
【００３３】
ところで、この種の巻き取り方式の清掃部材においては、クリーニング動作する毎に清掃部材を更新せずに、つまり取り替えずに、同一部分で複数回クリーニング動作を実施する場合に、供給する洗浄液が過多となる場合が多い。したがって、これを回避すべく、清掃部材を毎回更新すれば、清掃部材２１の消費量が増加し、ランニングコストを上げる要因となる。
【００３４】
この点、本発明では、押圧手段は、清掃部材を挟んでインクジェットヘッドのノズル面と対向する位置に、該清掃部材に当接して該清掃部材を押圧する押圧部を有している。そして、押圧部には、清掃部材に洗浄液を供給する洗浄部が設けられていると共に、清掃部材の送り方向に対して、上記洗浄部の前若しくは後ろのいずれか一方、又は前後両方に吸引手段における、該清掃部材に当接する吸引部が配置されている。
【００３５】
このため、洗浄液を洗浄部に過多に供給しても、洗浄部の前後等に設けられた吸引部にて洗浄液を吸引することにより、洗浄液が清掃部材を伝わって広がることを抑制することができる。
【００３６】
これにより、例えば清掃部材を更新することなく、かつ集中的にクリーニング動作を繰り返した場合であっても、洗浄液の余剰分を吸引して排出することが可能となり、清掃部材に含有される洗浄液量を適正に保持して、好適にクリーニング動作を行うことができる。
【００３７】
また、洗浄液を清掃部材に十分に送った上で余剰分を排出すればよいので、清掃部材に供給する洗浄液量を精度よく規定する必要がない。したがって、洗浄液量が変動する場合には、洗浄液量が最も少ない場合でも清掃部材に洗浄液を十分に含有させるだけの液量を送液すればよい。
【００３８】
この結果、本発明のクリーニング装置では、清掃部材中に残留する洗浄液量が変動しても、かつ同一部分で複数回クリーニング動作を実施しても、清掃部材中の含有量を確実に一定に保持させることが可能となる。
【００３９】
さらに、清掃部材を毎回更新する必要がなく、ランニングコストを低減することが可能となる。
【００４０】
また、本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置では、前記洗浄部は、連続気泡を有する第１の多孔質体からなっていると共に、前記洗浄液は、上記第１の多孔質体を通して前記清掃部材へ供給されることが好ましい。
【００４１】
これにより、連続気泡を有する第１の多孔質体からなる洗浄部にて清掃部材を押圧すると共に、該第１の多孔質体の全域から清掃部材に洗浄液を供給する。このため、清掃部材における、インクジェットヘッドのノズル面への当接部分に均等に洗浄液を供給することでき、均一なクリーニング処理を実行することが可能となる。
【００４２】
また、本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置では、前記吸引部は、連続気泡を有する第２の多孔質体からなっていると共に、上記第２の多孔質体は、清掃部材に当接して配置されていることが好ましい。
【００４３】
これにより、清掃部材に吸引部を当接することによって、清掃部材における所望とする領域外部に余剰の洗浄液が伝わることを抑止することができる。また、吸引部として連続気泡を有する第２の多孔質体を用いるので、均一な吸引処理を行うことができる。
【００４４】
また、本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置では、前記洗浄部及び吸引部は、前記清掃部材への当接状態を維持して保持プレートに固定されていると共に、上記保持プレートにおける洗浄部及び吸引部が固定された側とは反対側の保持プレート裏面には弾性体が固定して設けられていることが好ましい。
【００４５】
これにより、保持プレートに固定された洗浄部及び吸引部を設けた押圧部が、清掃部材を押圧して該清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に当接させる場合には、保持プレート裏面には弾性体が固定して設けられているので、弾性体の弾性力によって、インクジェットヘッドのノズル面に対して均等な圧力で押圧することができ、均質なクリーニング動作を実行することが可能となる。
【００４６】
また、洗浄部及び吸引部は保持プレートに固定されているため、押圧手段により保持プレートが変位しても、弾性体の弾性力によって洗浄部と吸引部との位置が一定となり、洗浄部及び吸引部が清掃部材に対して片当たりするのを防止することができる。これにより、清掃部材への洗浄液の供給量、及び清掃部材からの洗浄液の吸引量を一定に保持することが可能となる。さらに、押圧手段による押圧力が弾性体を介して保持プレートに伝達されるので、弾性体の緩衝作用により、清掃部材におけるインクジェットヘッドのノズル面への当接がソフトなものになる。
【００４７】
また、本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置では、前記洗浄液をインクジェットヘッドのノズル面に直接浸すクリーニング手段を備えていることが好ましい。
【００４８】
これにより、クリーニング手段は、インクジェットヘッドのノズル面に洗浄液を直接浸すので、インクジェットヘッドのノズル面に固化した汚れ成分を再溶解させて除去する能力が高い。
【００４９】
そして、クリーニング手段による浸漬処理を行った後、前述した本発明の液体吸収性のよい清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧することが可能となるので、インクジェットヘッドに洗浄液に基づく液滴が残留することを抑制することが可能となる。
【００５０】
また、洗浄液をインクジェットヘッドのノズル面に直接浸すことによって汚れ成分を略除去すれば、清掃部材を毎回更新する必要はなく、ランニングコストを低減する効果がある。
【発明の効果】
【００５１】
本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置は、以上のように、清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、上記清掃部材をインクジェットヘッドのノズル面に押圧する押圧手段と、上記清掃部材に供給した洗浄液を吸引する吸引手段とが設けられているものである。
【００５２】
それゆえ、洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明におけるクリーニング装置の実施の一形態を示すものであって、クリーニング装置の構成を示すブロック図である。
【図２】上記クリーニング装置を備え、インクジェットヘッドにより塗布処理を行うインクジェット処理装置の全体構成を示す斜視図である。
【図３】上記クリーニング装置のスタンプ部の構成を示す斜視図である。
【図４】上記クリーニング装置のスタンプ部の構成を示す断面図である。
【図５】上記クリーニング装置における他のスタンプ部の構成を示す断面図である。
【図６】上記クリーニング装置における他の構成を示すものであって、複数のインクジェットヘッドに対してクリーニング動作を行うスタンプ部の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５４】
本発明の一実施形態について図１〜図６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００５５】
尚、本実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むものである。
（インクジェット処理装置）
まず、本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置を備えるインクジェットヘッドとしてのインクジェット処理装置について、図２に基づいて説明する。図２は、インクジェット処理装置１の全体構成を示す斜視図である。
【００５６】
図２に示すように、本実施の形態のインクジェット処理装置１は、被処理物６を載置するステージ２と、被処理物６にインクを吐出するインクジェットヘッド３ａを搭載し、かつインクをインクジェットヘッド３ａに供給して該インクジェットヘッド３ａを駆動させる機能を有するインクジェットユニット３と、該インクジェットユニット３をｘ軸方向に移動させる駆動部４ａと、インクジェットユニット３をｙ軸方向に移動させる駆動部４ｂと、インクジェットヘッド３ａをクリーニングするメンテナンスユニット５とを備えている。
【００５７】
上記インクジェットユニット３、ｘ軸方向に移動させる駆動部４ａ、ｙ軸方向に移動させる駆動部４ｂ、及びメンテナンスユニット５等は図示しないコンピュータ等のコントロールユニットに接続されており、該コントロールユニットが各種動作を制御する。
【００５８】
上記インクジェット処理装置１では、ガラス基板等の被処理物６の上方にてインクジェットユニット３が自在に移動可能となっている。したがって、被処理物６の所望とする領域において選択的に又は全域にインクジェットヘッド３ａによる微小液滴の塗布動作を行うことが可能となる。
【００５９】
上記メンテナンスユニット５は、インクジェットヘッド３ａのクリーニングや微小液滴の吐出動作における検査等のメンテナンスを行うために設置されており、インクジェットユニット３をメンテナンスユニット５上に随時移動して各種メンテナンス動作を実行する。
【００６０】
そして、上記メンテナンスユニット５に、本実施の形態のクリーニング装置が搭載されている。
（クリーニング装置）
＜インク流路＞
本実施の形態のクリーニング装置の構成について、図１に基づいて説明する。図１はクリーニング装置のインク流路の主要構成例を示すブロック図である。
【００６１】
図１に示すように、本実施の形態のクリーニング装置１０は、液体吸収性を有する後述する清掃部材２１と、上記インクジェットヘッド３ａに清掃部材２１を押圧する押圧部とを具備するスタンプ部２０と、洗浄液を貯蔵する洗浄液タンク１１と、廃液を貯蔵する廃液タンク１５とを備えている。
【００６２】
上記洗浄液タンク１１とスタンプ部２０との間には、洗浄液送液ポンプ１２及び電磁弁１３ａを有する洗浄液供給ライン１４ａが形成されており、電磁弁１３ａを開いて洗浄液送液ポンプ１２を動作することにより、洗浄液をスタンプ部２０に供給することができるようになっている。この結果、上記洗浄液タンク１１、洗浄液供給ライン１４ａ、洗浄液送液ポンプ１２、電磁弁１３ａ及びスタンプ部２０は、本発明の洗浄液供給手段としての機能を有している。
【００６３】
また、上記スタンプ部２０と廃液タンク１５との間には、電磁弁１３ｂ及び洗浄液排液ポンプ１６を有する洗浄液排液ライン１４ｂが形成されており、電磁弁１３ｂを開いて洗浄液排液ポンプ１６を動作することにより、スタンプ部２０から洗浄液を排出することができるようになっている。この結果、上記スタンプ部２０、洗浄液排液ライン１４ｂ、電磁弁１３ｂ、洗浄液排液ポンプ１６及び廃液タンク１５は、本発明の吸引手段としての機能を有している。
【００６４】
また、本実施の形態のクリーニング装置１０では、洗浄液をインクジェットヘッド３ａに直接浸するクリーニングユニットである浸漬ユニット１７が配置されている。浸漬ユニット１７は、洗浄液供給ライン１４ａを分岐させ、電磁弁１３ｃを介して該洗浄液供給ライン１４ａ接続されている。さらに、洗浄液排液ライン１４ｂも同様に分岐され、電磁弁１３ｄを介して浸漬ユニット１７が洗浄液排液ライン１４ｂに接続されている。
【００６５】
これらにより、電磁弁１３ａ〜１３ｄの開閉によって、スタンプ部２０への洗浄液の供給及び排出動作と、浸漬ユニット１７への洗浄液の供給及び排出動作とを切り替えることが可能となっている。
【００６６】
尚、浸漬ユニット１７は、洗浄液を直接インクジェットヘッド３ａに浸す機能を有するクリーニング手段であり、例えば、インクジェットヘッド３ａのノズル面を浸漬できる浸漬槽からなっているとすることができる。また、浸漬ユニット１７は、管状のワイピング機構を有し、管から洗浄液を吐出させながら管の先端をインクジェットヘッド３ａのノズル面に摺動させる構成とすることも可能である。尚、これらの詳細は、例えば、特開２００９−２９７９５１号公報に記載の超音波洗浄手段や、特開２０１０−５８３３８号公報に記載のワイピング手段等に例示されている。
【００６７】
また、洗浄液送液ポンプ１２及び洗浄液排液ポンプ１６は、気体を送るタイプではない送液タイプのポンプであればよいが、洗浄液送液ポンプ１２の送液量よりも洗浄液排液ポンプ１６の送液量が大きいポンプを選定するか、又は洗浄液送液ポンプ１２の送液量よりも洗浄液排液ポンプ１６の送液量が大きく設定できるポンプを選定することが望ましい。これにより、洗浄液送液ポンプ１２及び洗浄液排液ポンプ１６を同時に動作させても、清掃部材へ供給する洗浄液が過多となることを防止することができる。
＜スタンプ部＞
次に、前述したスタンプ部２０について、図３及び図４に基づいて説明する。図３及び図４は、清掃部材及び押圧部を有するスタンプ部２０の構成例を説明する斜視図及び断面図である。
【００６８】
図３及び図４に示すように、本実施の形態のスタンプ部２０は、液体吸収性を有する清掃部材２１とインクジェットヘッド３ａに清掃部材２１を押圧する押圧手段としての押圧部２２とを備えている。
【００６９】
上記清掃部材２１はロール状に巻かれた例えば不織布からなっており、繰り出しリール２３ａから繰り出される清掃部材２１はガイドローラ２４・２４を介して巻き取りリール２３ｂに巻き取られる。そして２本のガイドローラ２４・２４間に挟まれて押圧部２２が配置されている。したがって、繰り出しリール２３ａ及び巻き取りリール２３ｂは、本発明の清掃部材移動手段としての機能を有している。
【００７０】
上記押圧部２２は、図４に示すように、保持プレート２２ａと、連続気泡を有する第１の多孔質体２２ｂ及び連続気泡を有する第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃとが主たる構成部材であり、保持プレート２２ａには、洗浄液供給ライン１４ａと洗浄液排液ライン１４ｂとが接続されている。保持プレート２２ａの保持プレート裏面ＰＢには、弾性体としてのバネ２６・２６が取り付固定されている。
【００７１】
上記洗浄液供給ライン１４ａは第１の多孔質体２２ｂへと繋がり、第１の多孔質体２２ｂが洗浄液の供給部及び洗浄部となる。また、洗浄液排液ライン１４ｂは、保持プレート２２ａ内で分岐されて、図４中の第１の多孔質体２２ｂの左右に配置される第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃに繋がり、第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃは、洗浄液の吸引部となる。
【００７２】
また、上記押圧部２２は、その直下に設けられた固定部２５に上記バネ２６・２６を介して支持されており、押圧部２２の上面が清掃部材２１に当接するように配置されている。
【００７３】
また、スタンプ部２０には、図示しないスタンプ部昇降手段が設けられており、このスタンプ部昇降手段は、押圧部２２を上昇移動させることによって、該押圧部２２にて清掃部材２１を押圧して該清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａに押し当てる機能を有している。
【００７４】
ここで、清掃部材２１は、液体吸収性を有する材料であれば特に指定されない。採用するインクジェット塗布の工程が発塵を嫌う場合には、無塵環境に対応した例えばＫＢセーレン社製の商品名「ザヴィーナクロス（登録商標）」等を使用すればよい。
【００７５】
ここで、第１の多孔質体２２ｂは、清掃部材２１に対して洗浄液を均一に供給するか又は排液することを目的としている。したがって、第１の多孔質体２２ｂは、本機能を有していれば。特に材質は規定されないが、清掃部材２１を挟んでインクジェットヘッド３ａに押圧する部材であり、押圧による物理的な損傷を避けるためには柔軟な素材であることが望ましい。また、第１の多孔質体２２ｂは、押圧状態が極端に変化しないためには、洗浄液を吸収しても膨潤し難い素材であることが望ましい。具体的には、例えば、ポリビニルアルコールを原料とする連続気泡を有する多孔質体である富士ケミカル社製の商品名「ベルイータ（登録商標）」が挙げられる。
＜クリーニング動作＞
次に、上記クリーニング装置１０におけるインクジェットヘッド３ａのクリーニング動作例について説明する。
【００７６】
まず、図２に示すように、インクジェットユニット３を、ｘ軸方向に移動させる駆動部４ａ、及びｙ軸方向に移動させる駆動部４ｂを用いて、メンテナンスユニット５の内部に搭載される図１に示す浸漬ユニット１７上に移動させる。
【００７７】
次いで、電磁弁１３ａを閉じ、電磁弁１３ｃを開いて洗浄液送液ポンプ１２を動作させて洗浄液タンク１１から浸漬ユニット１７に洗浄液を供給する。浸漬ユニット１７の内部構造は特に指定しないが、浸漬ユニット１７はインクジェットヘッド３ａに洗浄液を直接浸漬する方式を採用し、固化したインクを再溶解して除去する性能に優れるユニットである。尚、必要に応じて、電磁弁１３ｂを閉じて電磁弁１３ｄを開き、洗浄液排液ポンプ１６を動作させて、浸漬ユニット１７の洗浄液を廃液タンク１５へと排出してもよい。
【００７８】
次に、浸漬ユニット１７の上方にあるインクジェットヘッド３ａを、ｘ軸方向に移動させる駆動部４ａ、及びｙ軸方向に移動させる駆動部４ｂを用いてスタンプ部２０の上方に移動させる。
【００７９】
続いて、電磁弁１３ａを開いて電磁弁１３ｃを閉じ、洗浄液送液ポンプ１２を動作させて洗浄液タンク１１からスタンプ部２０へと洗浄液を供給する。同時に、電磁弁１３ｂを開いて電磁弁１３ｄを閉じ、洗浄液排液ポンプ１６を動作させる。
【００８０】
これにより、洗浄液は、図４に示す第１の多孔質体２２ｂから清掃部材２１へと供給される。洗浄液の供給をさらに継続すると、洗浄液は、清掃部材２１を伝い、図４において左右へと浸透していく。つまり、清掃部材２１の送り方向の前後方向へと浸透して拡がっていき、吸引部である左右の第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃに当接する清掃部材２１の部位にまで到達する。ここで、洗浄液排液ポンプ１６を動作させているため、浸透してきた洗浄液はここで吸引されて洗浄液排液ライン１４ｂを通って廃液タンク１５へと排出される。このため、洗浄液は清掃部材２１をさらに伝って繰り出しリール２３ａにある清掃部材２１へと到達することを抑制する効果がある。
【００８１】
尚、図４に示すように、洗浄部としての第１の多孔質体２２ｂと吸引部としての第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃとは離間して配置されており、第１の多孔質体２２ｂから第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃに洗浄液が直接移動することはなく、清掃部材２１が洗浄液の浸透経路となるように構成されている。
【００８２】
また、清掃部材２１に含まれる洗浄液の含有量は、清掃部材２１の材質や第１の多孔質体２２ｂからの洗浄液の供給量、第１の多孔質体２２ｂの清掃部材２１との接触面積、第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃから吸引する洗浄液排液ポンプ１６の吸引性能、第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃと清掃部材２１との接触面積、及び第１の多孔質体２２ｂと第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃとの離間距離等の因子にて調整可能であり、クリーニング性能を確認した上で適宜決定すればよい。
【００８３】
上述のように、清掃部材２１が洗浄液を含有した状態となれば、洗浄液送液ポンプ１２の動作を止め、電磁弁１３ａを閉じ、さらに、洗浄液排液ポンプ１６の動作を止め、電磁弁１３ｂを閉じて、清掃部材２１を洗浄液で濡らす動作を終了させる。
【００８４】
そして、図示しない押圧手段としてのスタンプ部昇降手段にてスタンプ部２０を上昇させてインクジェットヘッド３ａに清掃部材２１を押圧させる。これにより、インクジェットヘッド３ａに付着する汚れ成分を除去することが可能となる。
【００８５】
また、洗浄液排液ポンプ１６による洗浄液の吸引動作を実施するために、清掃部材２１に含有される洗浄液は飽和状態とはならないので、洗浄液をさらに吸収する能力を保持している。このため、浸漬ユニット１７によるクリーニング動作によって洗浄液がインクジェットヘッド３ａに付着していても、それを吸収することも可能である。
【００８６】
尚、清掃部材２１に残留する汚れ成分が顕著でなければ、清掃部材２１は取り替える必要はなく、繰り返し同一部分にてインクジェットヘッド３ａに押圧するクリーニング動作を実行してもよい。繰り返し回数は、インクジェットヘッド３ａの汚れる程度や、浸漬ユニット１７等他のクリーニング手段でのクリーニング性能を加味して適宜決定すればよい。
【００８７】
尚、清掃部材２１の押圧部分の更新、つまり取り替えは、巻き取りリール２３ｂを回転して行うことができる。インクジェットヘッド３ａから除去された汚れ成分は大部分が清掃部材２１に残留するため、適宜、清掃部材２１を取り替えればよい。また、第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃにも再溶解した汚れ成分が浸透して到達し得るが、清掃部材２１に比べれば微量であるので、第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃはさらに長期の周期で交換作業を行えばよい。
（スタンプ部のその他の構成例）
本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。例えば、上記実施の形態では、押圧部２２は第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃを備えていたが、特にこれに限定するものではなく、例えば、図５に示すように、保持プレート２２ａ及び第１の多孔質体２２ｂから構成される押圧部３２とすることも可能である。
【００８８】
この場合、保持プレート２２ａの内部に形成された洗浄液排液経路の開放端が吸引部となる。尚、開放端は、帯形状の清掃部材２１の幅方向（清掃部材２１の送り方向と直交方向）に伸びるスリット形状であり、洗浄液排液ポンプ１６を動作して清掃部材２１の洗浄液を吸引する機能は、図４に記載したスタンプ部２０と同様である。
【００８９】
上記の押圧部３２の構成では第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃを用いず、直接吸引するために流路抵抗を小さくすることが容易であり、吸引力を上げることが可能となる。
【００９０】
また、スタンプ部２０の他の構成例として、例えば、図６に示すように、複数のインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａに対応するクリーニング装置４０とすることが可能である。
【００９１】
このクリーニング装置４０では、清掃部材２１の送り方向に押圧部２２・２２・２２をインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａに対向するように複数配置すると共に、それぞれの下方にバネ２６・２６・２６が配置される。
【００９２】
これにより、複数の２２・２２・２２がそれぞれ独立にそれぞれに対向するインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａに沿うようにして、清掃部材２１を押圧することが可能となる。
【００９３】
また、清掃部材２１の送り方向に対し、複数のインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａとの間には、洗浄液を吸引する吸引部として作用する第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃがそれぞれ配置されている。したがって、クリーニング動作によって除去されたインク成分が清掃部材２１を伝って隣接するインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａに押圧する部位にまで到達することを抑制することができる。
【００９４】
このため、異なるインクジェットヘッド３ａ・３ａ・３ａに異なるインク種を用いても、それぞれのインクが混合して不具合を発生することを防止できる。
【００９５】
このように、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０は、液体吸収性を有する清掃部材２１に洗浄剤を供給して該清掃部材２１を濡らし、該清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に当接させることにより、該ノズル面に付着した汚れを除去する。
【００９６】
ところで、この種のクリーニング装置１０では、清掃部材２１の濡れに応じてクリーニング特性が変化し、インクジェットヘッド３ａの適切なクリーニングを行うことができないという問題がある。
【００９７】
この点、本実施の形態では、清掃部材２１に洗浄液を供給する洗浄液供給手段としての洗浄液タンク１１、洗浄液供給ライン１４ａ、洗浄液送液ポンプ１２、電磁弁１３ａ及びスタンプ部２０からなる洗浄液供給手段と、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧させる押圧部２２からなる押圧手段と、清掃部材２１に供給した洗浄液を吸引する吸引手段としてのスタンプ部２０、洗浄液排液ライン１４ｂ、電磁弁１３ｂ、洗浄液排液ポンプ１６及び廃液タンク１５とが設けられている。
【００９８】
したがって、洗浄液供給手段及び押圧手段と共に、清掃部材２１に供給した洗浄液を吸引するスタンプ部２０等の吸引手段も有している。
【００９９】
このため、スタンプ部２０等の吸引手段によって、清掃部材２１の洗浄液が過多となった場合に、速やかにこれを排除することができ、洗浄液を適正な含有量に保って、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧してクリーニングすることが可能となる。
【０１００】
また、本実施の形態では、やや多量の洗浄液を供給した場合においても、スタンプ部２０等の吸引手段を用いて過多となった洗浄液を吸引することができる。この結果、洗浄液の供給量がばらつく洗浄液送液ポンプ１２等の洗浄液供給手段であっても、使用することが可能となる。したがって、供給量のばらつきを抑制するための付加手段を設けたり、動作方法に限定を設けたりする必要がなくなる。
【０１０１】
したがって、洗浄液の供給量が変動しても清掃部材２１中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０を提供することができる。
【０１０２】
具体的には、清掃部材２１に提供する洗浄液量が一定ではない場合、又はクリーニング動作前に清掃部材２１が含有する洗浄液量が一定ではない場合であっても、清掃部材２１に所望の洗浄液を含有させた状態でインクジェットヘッド３ａのクリーニング動作を実行し、クリーニング特性を一定に保持し得るインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０を提供することができる。
【０１０３】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０では、清掃部材２１は、帯状に形成されており、清掃部材２１を、帯の長手方向に送って移動させる清掃部材移動手段としての繰り出しリール２３ａ及び巻き取りリール２３ｂが設けられている。
【０１０４】
これにより、繰り出しリール２３ａ及び巻き取りリール２３ｂからなる清掃部材移動手段にて帯状の清掃部材２１を送ることにより、清掃部材２１における、インクジェットヘッド３ａのノズル面との当接面を簡便に更新すること、つまり取り替えることができる。
【０１０５】
ところで、この種の巻き取り方式の清掃部材においては、クリーニング動作する毎に巻き取り方式の清掃部材２１を更新せずに、つまり取り替えずに、同一部分で複数回クリーニング動作を実施する場合に、供給する洗浄液が過多となる場合が多い。したがって、これを回避すべく、清掃部材２１を毎回更新すれば、清掃部材２１の消費量が増加し、ランニングコストを上げる要因となる。
【０１０６】
この点、本実施の形態では、押圧手段は、清掃部材２１を挟んでインクジェットヘッド３ａのノズル面と対向する位置に、清掃部材２１に当接して該清掃部材２１を押圧する押圧部２２を有している。そして、押圧部２２には、清掃部材２１に洗浄液を供給する洗浄部としての第１の多孔質体２２ｂが設けられていると共に、清掃部材２１材の送り方向に対して、第１の多孔質体２２ｂの前若しくは後ろのいずれか一方、又は前後両方に吸引手段における、該清掃部材２１に当接する吸引部としての第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃが配置されている。
【０１０７】
このため、洗浄液を第１の多孔質体２２ｂに過多に供給しても、第１の多孔質体２２ｂの前後等に設けられた第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃにて洗浄液を吸引することにより、洗浄液が清掃部材２１を伝わって広がることを抑制することができる。
【０１０８】
これにより、例えば、清掃部材２１を更新することなく、かつ集中的にクリーニング動作を繰り返した場合であっても、洗浄液の余剰分を吸引して排出することが可能となり、清掃部材２１に含有される洗浄液量を適正に保持して、好適にクリーニング動作を行うことができる。
【０１０９】
また、洗浄液を清掃部材２１に十分に送った上で余剰分を排出すればよいので、清掃部材２１に供給する洗浄液量を精度よく規定する必要がない。したがって、洗浄液量が変動する場合には、洗浄液量が最も少ない場合でも清掃部材２１に洗浄液を十分に含有させるだけの液量を送液すればよい。
【０１１０】
この結果、本実施の形態のクリーニング装置１０では、清掃部材２１中に残留する洗浄液量が変動しても、かつ同一部分で複数回クリーニング動作を実施しても、清掃部材２１中の含有量を確実に一定に保持させることが可能となる。
【０１１１】
さらに、清掃部材２１を毎回更新する必要がなく、ランニングコストを低減することが可能となる。
【０１１２】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０では、洗浄部は、連続気泡を有する第１の多孔質体２２ｂからなっていると共に、洗浄液は、第１の多孔質体２２ｂを通して清掃部材２１へ供給される。
【０１１３】
これにより、連続気泡を有する第１の多孔質体２２ｂからなる洗浄部にて清掃部材２１を押圧すると共に、該第１の多孔質体２２ｂの全域から清掃部材２１に洗浄液を供給する。このため、清掃部材２１における、インクジェットヘッド３ａのノズル面への当接部分に均等に洗浄液を供給することでき、均一なクリーニング処理を実行することが可能となる。
【０１１４】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０では、吸引部は、連続気泡を有する第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃからなっていると共に、第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃは、清掃部材２１に当接して配置されている。
【０１１５】
これにより、清掃部材２１に吸引部を当接することによって、清掃部材２１における所望とする領域外部に余剰の洗浄液が伝わることを抑止することができる。また、吸引部として連続気泡を有する第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃを用いるので、均一な吸引処理を行うことができる。
【０１１６】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０では、第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃは、清掃部材２１への当接状態を維持して保持プレート２２ａに固定されていると共に、保持プレート２２ａにおける第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃが固定された側とは反対側の保持プレート裏面ＰＢには、バネ２６・２６が固定して設けられている。
【０１１７】
これにより、保持プレート２２ａに固定された第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃを設けた押圧部２２が、清掃部材２１を押圧して該清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に当接させる場合には、保持プレート裏面ＰＢにはバネ２６・２６が固定して設けられているので、バネ２６・２６の弾性力によって、インクジェットヘッド３ａのノズル面に対して均等な圧力で押圧することができ、均質なクリーニング動作を実行することが可能となる。
【０１１８】
また、第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃは保持プレート２２ａに固定されているため、押圧手段であるスタンプ部昇降手段により保持プレートが変位しても、バネ２６・２６の弾性力によって第１の多孔質体２２ｂと第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃとの位置が一定となり、第１の多孔質体２２ｂ及び第２の多孔質体２２ｃ・２２ｃが清掃部材２１に対して片当たりするのを防止することができる。これにより、清掃部材２１への洗浄液の供給量、及び清掃部材２１からの洗浄液の吸引量を一定に保持することが可能となる。
【０１１９】
さらに、押圧手段であるスタンプ部昇降手段の上昇移動による押圧力がバネ２６・２６を介して保持プレート２２ａに伝達されるので、バネ２６・２６の緩衝作用により、清掃部材２１におけるインクジェットヘッド３ａのノズル面への当接がソフトなものになる。
【０１２０】
また、本実施の形態のインクジェットヘッド３ａのクリーニング装置１０では、洗浄液をインクジェットヘッド３ａのノズル面に直接浸すクリーニング手段としての浸漬ユニット１７を備えている。
【０１２１】
これにより、浸漬ユニット１７は、インクジェットヘッド３ａのノズル面に洗浄液を直接浸すので、インクジェットヘッド３ａのノズル面に固化した汚れ成分を再溶解させて除去する能力が高い。
【０１２２】
そして、浸漬ユニット１７による浸漬処理を行った後、前述した本実施の形態の液体吸収性のよい清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧することが可能となるので、インクジェットヘッド３ａに洗浄液に基づく液滴が残留することを抑制することが可能となる。
【０１２３】
また、洗浄液をインクジェットヘッド３ａのノズル面に直接浸すことによって汚れ成分を略除去すれば、清掃部材２１を毎回更新する必要はなく、ランニングコストを低減する効果がある。
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
本発明は、インクジェットヘッドのクリーニング装置に関するものであり、民生用プリンタに適用できる。また、産業用途として、例えば液晶表示装置の製造工程における、カラーフィルタの赤、青、緑色の各色インクを微小領域毎に塗布する工程や、液晶層の厚みを一定に規定するスペーサを配置することを目的としてビーズを含有する液体を塗布する工程等への適用が可能である。さらに、次世代ディスプレイ技術として注目される有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）デバイスの製造工程において、高分子タイプの発光層等を液体吐出技術により形成する工程に適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１２５】
１            インクジェット処理装置
３            インクジェットユニット
３ａ          インクジェットヘッド
５            メンテナンスユニット
６            被処理物
１０            クリーニング装置
１１            洗浄液タンク（洗浄液供給手段）
１２            洗浄液送液ポンプ（洗浄液供給手段）
１３ａ          電磁弁（洗浄液供給手段）
１３ｂ          電磁弁（吸引手段）
１３ｃ・１３ｄ  電磁弁
１４ａ          洗浄液供給ライン（洗浄液供給手段）
１４ｂ          洗浄液排液ライン（吸引手段）
１５            廃液タンク（吸引手段）
１６            洗浄液排液ポンプ（吸引手段）
１７            浸漬ユニット（クリーニング手段）
２０            スタンプ部（洗浄液供給手段、吸引手段）
２１            清掃部材
２２            押圧部（押圧手段）
２２ａ          保持プレート
２２ｂ          第１の多孔質体（洗浄部）
２２ｃ          第２の多孔質体（吸引部）
２３ａ          繰り出しリール（清掃部材移動手段）
２３ｂ          巻き取りリール（清掃部材移動手段）
２４            ガイドローラ
２５            固定部
２６            バネ（弾性体）
３２            押圧部（押圧手段）
４０            クリーニング装置
ＰＢ            保持プレート裏面
【図１】
2012030195.tif 000003
【図２】
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【図３】
2012030195.tif 000005
【図４】
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【図５】
2012030195.tif 000007
【図６】
2012030195.tif 000008