(57)【要約】【課題】接着剤中に含まれる成分がインク中に溶出することが無く、圧電特性が低下することもない液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体流路を有する流路ユニット７と、前記流路ユニット７とは異なる材料からなる圧電素子９と、前記流路ユニット７と前記圧電素子９との間に配置される中間部材８とを有するインクジェット記録ヘッド３において、前記流路ユニット７と前記中間部材８との接着には熱硬化性接着剤５０が用いられ、前記中間部材８と前記圧電素子９との接着には前記第１の接着剤よりも低温で硬化する接着剤５１が用いられることを特徴とする。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面において開口する圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、
前記流路ユニットとは異なる材料から構成される前記圧力室の容積を変化させるための圧電素子と、
前記一面に接着されることで前記圧力室の前記開口を覆うとともに、前記流路ユニットと前記圧電素子との間に配置されて、前記圧電素子に対する前記圧力室内の液体の接触を防ぐ中間部材と、
を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路ユニットと前記中間部材との接着に用いられる第１の接着剤と、
前記中間部材と前記圧電素子との接着に用いられる第２の接着剤を有し、
前記第１の接着剤は、熱硬化性接着剤であり、
前記第２の接着剤は、前記第１の接着剤よりも低温で硬化する接着剤であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路ユニットは、複数の基板を積層してなるものであり、
前記複数の基板同士の接着には、前記第１の接着剤が用いられることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路ユニットは金属材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２の接着剤は常温で硬化することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記中間部材は、前記圧電素子の変形を前記圧力室へ伝達する振動板であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路ユニットと前記中間部材とは同一の材料で構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
一面において開口する圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、
前記流路ユニットとは異なる材料から構成される前記圧力室の容積を変化させるための圧電素子と
前記一面に接着されることで前記圧力室の前記開口を覆うとともに、前記流路ユニットと前記圧電素子との間に配置されて、前記圧電素子に対する前記圧力室内の液体の接触を防ぐ中間部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
熱硬化性の第１の接着剤によって、前記流路ユニットと前記中間部材とを接着する第１の工程と、
前記第１の接着剤よりも低温で硬化する第２の接着剤によって、前記中間部材と前記圧電素子とを接着する第２の工程とを備えることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第１の工程が行われた後に前記第２の工程が行われることを特徴とする請求項７
に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記流路ユニットは、複数の基板を積層してなるものであり、
前記第１の工程の前に、前記第１の接着剤によって前記複数の基板を積層状態で接着する流路ユニット形成工程を備えたことを特徴とする請求項７または８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第１の工程と前記流路ユニット形成工程とを同時に行うことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、文字や画像を形成するインクジェット記録装置などの液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置の一例として、インクを記録媒体に向けて吐出し、記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。インクジェット記録装置には、インクジェット記録ヘッドが搭載されており、インクジェット記録ヘッドは、インクが貯留される内部空間を有するインク流路部材と、電圧の印加に伴い変形する圧電素子とを積層して構成されている。流路部材と圧電素子との接着に用いられる接着剤には、インクと接触しても接着力が低下しない耐インク性が求められる。この観点から、エポキシ樹脂を主剤とした熱硬化性接着剤が使用されている。そして、圧電素子が変形することでインクが貯留される内部空間が加圧されインクが吐出される。
【０００３】
熱硬化性接着剤による接着は高温で行われるが、流路部材の熱膨張係数が圧電素子の熱膨張係数より大きいために、高温での接着後に常温に戻る際、圧電素子に圧縮応力がかかる。そのため、接着後の圧電素子には、圧縮時にかかった応力が残留する状態となる。この残留応力は圧電素子を変形しにくくするため、素子の圧電特性が低下することになる。
【０００４】
この問題に対して、特許文献１には、その解決方法が開示されている。具体的には、流路部材に低熱膨張材料を使用して、流路部材の熱膨張係数と圧電素子の熱膨張係数との差を小さくすることによって、圧電アクチュエータに発生する残留応力を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−４１０５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の方法では、流路部材には低熱膨張材料を使用しなければならず、流路部材の材料の選択肢が少なくなる、という問題がある。
【０００７】
そこで、本出願の発明者は、別の解決方法として、常温で硬化する接着剤を使用することを検討した。この種の接着剤であれば、流路部材と圧電素子との接着に関して、硬化のために高温を付与する必要がないので、熱膨張係数の違いに起因する問題が発生しないからである。
【０００８】
しかし、常温で硬化する接着剤は、熱硬化性接着剤とは異なり低温で硬化させるために硬化剤を接着剤中に添加されて作られているので、そのような接着剤とインクが接触すると、接着剤に含まれる硬化剤の成分がインク中に溶出してしまうという新たな問題が生じてしまう。
【０００９】
本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドは、一面において開口する圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記流路ユニットとは異なる材料から構成される前記圧力室の容積を変化させるための圧電素子と、前記一面に接着されることで前記圧力室の前記開口を覆うとともに、前記流路ユニットと前記圧電素子との間に配置されて、前記圧電素子に対する前記圧力室内の液体の接触を防ぐ中間部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路ユニットと前記中間部材との接着に用いられる第１の接着剤と、前記中間部材と前記圧電素子との接着に用いられる第２の接着剤を有し、前記第１の接着剤は、熱硬化性接着剤であり、前記第２の接着剤は、前記第１の接着剤よりも低温で硬化する接着剤である
ことを特徴とする。
【００１１】
これによれば、圧電素子と中間部材との接着には第２の接着剤が使用されるので、熱硬化性の接着剤が使用された場合と比較して低温で圧電素子と中間部材との接着が行われる。
【００１２】
したがって、熱硬化性の接着剤が使用された場合と比較して、圧電素子の熱膨張と中間部材の熱膨張とを小さくできる。よって接着後に圧電素子にかかる圧縮応力を小さくできるので、圧電特性の低下を抑制することが可能となる。
【００１３】
また、流路ユニットと中間部材との接着には、熱硬化性の第１の接着剤が使用されるので、圧力室内の液体と第１の接着剤とが接触しても、接着剤に含まれる成分が液体中へ溶出することは生じ難くなる。  請求項２に記載の液体吐出ヘッドは、請求項１に記載の発明において、前記流路ユニットは、複数の基板を積層してなるものであり、前記複数の基板同士の接着には、前記第１の接着剤が用いられることを特徴とする。
【００１４】
基板同士の接着に用いられる接着剤はインクと接触することになるが、接着には第１の接着剤が用いられるので、接着剤中に含まれる成分がインク中に溶出することは生じ難くなる。
【００１５】
請求項３に記載の液体吐出ヘッドは、請求項１または２に記載の発明において、前記流路ユニットは金属材料であることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の液体吐出ヘッドは、請求項１から３のいずれかに記載の発明において、前記第２の接着剤は常温で硬化することを特徴とする。
【００１７】
これによれば、流路ユニットと圧電素子との接着に関して、接着剤を硬化させるために、特別に高温を与える手段を必要とはしないので、接着にかかるコストを低減することができる。
【００１８】
請求項５に記載の液体吐出ヘッドは、請求項１から４のいずれかに記載の発明において、前記中間部材は、前記圧電素子の変形を前記圧力室へ伝達する振動板であることを特徴とする。
【００１９】
これによれば、中間部材が振動板としての役割を果たすので、中間部材とは別に振動板を設けた場合に比べて構成を簡単にでき、部品点数を削減できるとともに省スペース化が可能となる。
【００２０】
請求項６に記載の液体吐出ヘッドは、請求項１から５のいずれかに記載の発明において、前記流路ユニットと前記中間部材とは同一の材料で構成されていることを特徴とする。
【００２１】
これによれば、流路ユニットの熱膨張係数と中間部材の熱膨張係数とが同じになるので、高温での接着後に常温に戻る際、流路ユニット及び中間部材に圧縮応力がかかることがない。よって、流路ユニットが変形して液体流路の流路抵抗等が特性が変化することが回避される。
【００２２】
請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、
一面において開口する圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、
前記流路ユニットとは異なる材料から構成される前記圧力室の容積を変化させるための圧電素子と
前記一面に接着されることで前記圧力室の前記開口を覆うとともに、前記流路ユニットと前記圧電素子との間に配置されて、前記圧電素子に対する前記圧力室内の液体の接触を防ぐ中間部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
熱硬化性の第１の接着剤によって、前記流路ユニットと前記中間部材とを接着する第１の工程と、
前記第１の接着剤よりも低温で硬化する第２の接着剤によって、前記中間部材と前記圧電素子とを接着する第２の工程とを備えることを特徴とする。
【００２３】
これによれば、圧電素子と中間部材との接着には第２の接着剤が使用されるので、熱硬化性の接着剤が使用された場合と比較して低温で圧電素子と中間部材との接着が行われる。
【００２４】
したがって、熱硬化性の接着剤が使用された場合と比較して、圧電素子の熱膨張と分離部材の熱膨張とを小さくできる。よって接着後に圧電素子にかかる圧縮応力を小さくできるので、圧電特性の低下を抑制することが可能となる。
【００２５】
また、流路ユニットと中間部材との接着には、熱硬化性の第１の接着剤が使用されるので、圧力室内の液体と第１の接着剤とが接触しても、接着剤に含まれる成分が液体中へ溶出することは生じ難くなる。
【００２６】
請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、請求項７に記載の発明において、前記第１の工程が行われた後に前記第２の工程が行われることを特徴とする。
【００２７】
これによれば、第１の工程で第１の接着剤による接着が高温で行われた後、第２の工程で第２の接着剤による接着を行うので、第１の工程のための熱が影響して、第２の工程において温度が上昇してしまうという虞をなくして、第２の工程を行うことができる。したがって、圧電素子と中間部材の接着を確実に低温で行うことができ、圧電素子の熱膨張と分離部材の熱膨張とを小さくできる。このことによって接着後に圧電素子にかかる圧縮応力を小さくできるので、圧電特性の低下を抑制することが可能となる。
【００２８】
請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、請求項７または８に記載の発明において、前記流路ユニットは、複数の基板を積層してなるものであり、
前記第１の工程の前に、前記第１の接着剤によって前記複数の基板を積層状態で接着する流路ユニット形成工程を備えたことを特徴とする。
【００２９】
基板同士の接着に用いられる接着剤はインクと接触することになるが、接着には第１の接着剤が用いられるので、接着剤中に含まれる成分がインク中に溶出する問題を小さくできる。
【００３０】
請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法は、請求項９に記載の発明において、前記第１の工程と前記流路ユニット形成工程とを同時に行うことを特徴とする。
【００３１】
これによれば、接着剤を同じくする接着工程を同時に行うことができるので、工程を簡単にできる。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
（インクジェット記録装置）
図１は、本発明の一実施の形態であるインクジェット記録ヘッド３を有するプリンタ１の概略構成図である。このプリンタ１は、単独のプリンタ装置に適用しても、あるいは、ファクシミリ機能やコピー機能等の複数の機能を備えた多機能装置のプリンタ装置に適用してもよい。図１に示すように、プリンタ１は、装置本体内にキャリッジ２、インクジェット記録ヘッド３、用紙搬送ローラ４、ガイド軸５、プラテン６などを備えている。なお、以下の説明ではノズルから液体を吐出する方向を下方向とし、その反対方向を上方向としている。また、必要に応じて図中の方向を定める場合は、適宜説明を付与する。 
【００３３】
キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に延びるガイド軸５に沿って移動可能に載置され、図示しない駆動ユニットによって左右方向（走査方向）に往復移動するように構成されている。装置本体内には、複数種類のインク（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４種類）を供給するための交換式のインクカートリッジ（図示せず）が静置されていて、各インクカートリッジはインクチューブ（図示せず）を介してキャリッジ２内に設置されたインクジェット記録ヘッド３に接続されている。また、キャリッジ２の下方に対向して、用紙搬送ローラ６と拍車４が配置されていて、その両者の間に記録用紙Ｐが図１の手前方向（紙送り方向）に搬送される。インクジェット記録ヘッド３は、キャリッジ２の下方に配置されており、複数のノズルをキャリッジ２の下方に向けて露出している。
【００３４】
そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェット記録ヘッド３からインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００３５】
図２、図３を用いて、インクジェット記録ヘッド３について説明する。図２はインクジェット記録ヘッド３の上面の一部拡大図、図3は図２のＡ−Ａ線断面図である。
（インクジェット記録ヘッド）
インクジェット記録ヘッド３は、複数のノズル１７や複数の圧力室１５等の複数のインク流路が形成された流路ユニット７と、流路ユニット７の上面に配置される中間部材８と、中間部材８の上面（流路ユニット７と反対側）に配置される圧電アクチュエータユニット９とを備えている。圧力室１５は、流路ユニット７の一面において外部に向けて開口しており、中間部財８はその一面に対して、圧力室１５の開口を覆うように接着されている。その、中間部材８は、流路ユニット７と圧電アクチュエータユニット９の間に配置され、インクを透過しない材料から構成されており、インク流路内のインクが圧電アクチュエータユニット９まで到達することを防ぐ。圧電アクチュエータユニット９は、圧力室１５内に充満されたインクに対し、インクをノズル１７から吐出させるための圧力を付与する。後述するように、流路ユニット７と中間部材８とは熱硬化性接着剤５０によって接合され、中間部材８と圧電アクチュエータ９とは常温で硬化する接着剤５１によって接合されている。
【００３６】
（流路ユニット）
流路ユニット７は、略矩形状の、インク流路となる複数の貫通孔が形成された複数のプレート７１〜７７が互いに積層されて構成されており、インク供給口１２からインクが供給されるマニホールド流路１３、及び、マニホールド流路１３の出口からアパーチャ流路１４を経て圧力室１５に至り、さらに、圧力室１５からディセンダ流路１６を経てノズル１７に至る複数の個別インク流路を有するインク流路が形成されている。
【００３７】
そして、後述するように、圧電アクチュエータユニット９により、圧力室１５内のインクに圧力が付与されると、圧力室１５に連通するノズル１７からインクが吐出される。プレート７１〜７７はステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属材料により構成されている。
【００３８】
（中間部材）
中間部材８は、ステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属材料により構成されており、流路ユニット７の複数の圧力室１５を覆うように流路ユニット７に配置されている。また、中間部材８の厚みは５〜２０μｍ程度となっている。なお、この中間部材８は必ずしも金属材料からなる必要はなく、セラミックや樹脂等のインクを透過しない材料を適用することも可能である。
【００３９】
（接着剤）
熱硬化性接着剤５０は、エポキシ樹脂を主剤として構成されており、流路ユニット７と中間部材８との間に配置され、流路ユニット７と中間部材８とを接合する。熱硬化性接着剤５０は、熱が与えられたときに硬化するようにエポキシ樹脂を主剤として構成されているので、硬化剤の添加を必要としない。したがって、インクと熱硬化性接着剤５０が接触したとしても、硬化剤成分がインクへ溶出することがない。なお、熱硬化性接着剤５０として、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂等を主剤とした接着剤を使用することもできる。
【００４０】
接着剤５１は、エポキシ樹脂に硬化剤を添加して構成されており、中間部材８と圧電アクチュエータ９との間に配置され、中間部材８と圧電アクチュエータ９とを接合する。接着剤５１は、硬化剤添加により、硬化剤を添加しないものに比べ低温で硬化する。ここで、エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、エポキシ−ノボブラック、環状脂肪族エポキシ、臭素化エポキシ、フレキシブルエポキシ等を用いることができ、硬化剤としては、芳香族アミン、脂肪族アミン、酸無水物、フェノリックノボラック、触媒、ポリアミド、ポリサルファイド等を用いることができる。なおこの接着剤５１は必ずしもエポキシ樹脂に硬化剤を添加した接着剤からなる必要はなく、室温硬化系接着剤である酢酸ビニル系、ユリア、ポリウレタン系、ポリエーテルアクリレート等の接着剤を使用することもできる。
【００４１】
（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ９は、振動板９１、圧電層９２、個別電極９３、及び共通電極９４を備えている。
【００４２】
振動板９１はチタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、中間部材８の上面に複数の圧力室１５にまたがって連続的に配置されている。
【００４３】
圧電層９２はチタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、振動板９１の上面に、複数の圧力室１５にまたがって連続的に配置されている。また、圧電層９２は、予めその厚み方向に分極されている。
【００４４】
複数の個別電極９３は、圧電層９２の上面に印刷形成されており、平面視で複数の圧力室１５の略中央部と重なる位置に配置されている。個別電極９３は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）（図示せず）を介してドライバＩＣ（図示せず）と電気的に接続されており、ドライバＩＣによりグランド電位と駆動電位との間で電位が切り替えられる。
【００４５】
共通電極９４は、振動板９１の上面に印刷形成されており、流路ユニット７の圧力室１５の全てに対応するよう配置されている。共通電極９４は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）（図示せず）を介してドライバＩＣ（図示せず）と電気的に接続されており、ドライバＩＣによりグランド電位に保持されている。
【００４６】
（インク吐出時の圧電アクチュエータの動作）
ここで、圧電アクチュエータ９のインク吐出時における動作について説明する。あるノズル１７からインクを吐出させる場合には、このノズル１７に連通する圧力室１５に対応する個別電極９３に、ドライバＩＣから駆動電位が付与される。すると、駆動電位が付与された個別電極９３とグランド電位に保持されている共通電極９４との間に電位差が生じ、両者に挟まれた圧電層９２に厚み方向に平行な電界が発生する。この電界の方向は、圧電層９２の分極方向と一致するので、厚み方向に分極された圧電層９２は、電界の方向と直交する水平方向に収縮する（圧電横効果）。このことによって、下層の振動板９１の圧力室１５と対向する部分が圧力室１５側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室１５の容積が減少することになり、その内部のインクの圧力が上昇し、圧力室１５に連通するノズル１７からインクが吐出される。
【００４７】
（作製工程）
次に、本発明に係るインクジェット記録ヘッド３の作製工程について説明する。本発明に関するインクジェット記録ヘッド３の作成工程を図４（ａ）、（ｂ）に示す。
【００４８】
インクジェット記録ヘッド３を製造するためには、圧電アクチュエータ９、中間部材８、流路ユニット７をそれぞれ並行して作製した後にそれぞれを接合する。
【００４９】
圧電アクチュエータ９を製造するためには、振動版９１、圧電層９２、個別電極９３、共通電極９４を前述した位置関係になるように、互いに積層させて接合した後に、個別電極９３と共通電極９４の間に電位差を与え、圧電層９２を分極する。
【００５０】
流路ユニット７を作成するためには、流路ユニット７を構成する各プレート７１〜７７に、圧力室１５やマニホールド流路１３などのインク流路を構成する孔を形成する。そして、各プレート７１〜７７を積層して接合する。各プレート７１〜７７の接合にはいかなる接着剤を使用してもよいが、熱硬化性接着剤５０で接合することが好ましい。熱硬化性接着剤５０を使用した場合、熱硬化性接着剤５０には、硬化温度を下げるための硬化剤を添加していないので、インク流路中のインクと熱硬化性接着剤５０とが接触しても、硬化剤成分がインク中への溶出をなくすことができる。この接合工程では、まず、プレートの接合面に熱硬化性接着剤５０が塗布される。そして、熱硬化性接着剤５０を介してプレートが積層され、積層されたプレートを所定温度に加熱しながら加圧する。そうすると熱硬化性接着剤５０が硬化するので、プレートが接合される。プレートが接合された後に、加熱及び加圧は解除され、プレートは冷却される。このとき、複数のプレートを積層した後に行う、プレートの加熱・加圧を、複数枚のプレートに対して同時に行うこともできる。この場合、加熱・加圧工程を複数回行う必要が無くなり、工程を簡略化できる。
【００５１】
このようにして作製された圧電アクチュエータ９、中間部材８、流路ユニット７をそれぞれ接合して、インクジェット記録ヘッド３を製造する。
【００５２】
まず、図４（ａ）に示すように、中間部材８と、圧電アクチュエータ９とが接合される。この工程では、中間部材８上の、圧電アクチュエータ９との接合位置に接着剤５１が塗布される。ここで塗布される接着剤５１は、熱硬化性接着剤に硬化剤を添加した接着剤５１である。この接着剤５１は、硬化剤が添加されることにより、硬化剤が添加されないものに比べ低温で硬化する。接合のためには、接着剤５１を介して中間部材８と圧電アクチュエータ９とが積層され、所定温度に加熱しながら加圧する。そうすると、接着剤５１が硬化するので、中間部材８と圧電アクチュエータ９が接合される。ただし、このときの所定温度は熱硬化性接着剤５０の使用により接合する場合に比べ低い温度となっている。ここで、接着剤５１を硬化させるための温度が低い温度であるため、中間部材８の熱膨張と圧電アクチュエータ９の熱膨張との差を小さくできる。したがって、圧電アクチュエータ９の熱膨張と中間部材８の熱膨張との差によって与えられる圧電アクチュエータ９の圧縮応力を小さくできる。
【００５３】
このとき、常温で硬化するような接着剤５１を使用すれば、接合を常温で行うことができるので、中間部材８及び圧電アクチュエータ９は熱膨張せず最も好ましい。したがって圧電アクチュエータ９の熱膨張と中間部材８の熱膨張との差によって与えられる圧電アクチュエータ９の圧縮応力を無くすことができる。
【００５４】
次に、図４（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ９に接合された中間部材８と流路ユニット７とが接合される。この工程では、流路ユニット７上の、中間部材８との接合位置に熱硬化性接着剤５０が塗布される。そして、熱硬化性接着剤５０を介して流路ユニット７と中間部材８とが積層され、所定温度に加熱しながら加圧する。そうすると、熱硬化性接着剤５０が硬化するので、流路ユニット７と中間部材８とが接合される。接合された後に、加熱及び加圧は解除され、接合部分は冷却される。ここで、熱硬化性接着剤５０は熱が与えられたときに硬化するためにエポキシ樹脂を主剤として構成されているので、硬化剤の添加を必要としない。したがって、インクと熱硬化性接着剤５０が接触したとしても、硬化剤成分がインクへ溶出することがない。
【００５５】
また、上記実施例では、中間部材８と圧電アクチュエータ９とが接合された後に、中間部材８と流路ユニット７とが接合されているが、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、中間部材８と流路ユニット７とが接合された後に、中間部材８と圧電アクチュエータ９とを接合させることもできる。この場合、高温でおこなわれる、流路ユニット７と中間部材８との接合時に、圧電アクチュエータ９は中間部材８と接合されていないので、接合に伴う熱の影響を圧電アクチュエータ９へ与えることが無くなる。そして、放熱し熱の影響が少なくなった状態で、中間部材８と圧電アクチュエータ９との接合がなされることになる。したがって、流路ユニット７と中間部材８との接合で加えられる熱の影響により、圧電アクチュエータ９及び中間部材８が熱膨張することがなくなるので、圧電アクチュエータ９の熱膨張と中間部材８の熱膨張との差によってかかる圧電アクチュエータ９の圧縮応力を小さくできる。また、流路ユニット７と中間部材８との接合で加えられる熱の影響により圧電アクチュエータ９がダメージを受けることもない。さらに、中間部材８と流路ユニット７との接合工程と、流路ユニット７のプレートの接合工程とを、同時に行うこともできる。この場合には加熱・加圧工程を同時に行うことができるので、工程を簡略化できる。
【００５６】
また、中間部材８に振動板の役割をもたせることもできる。この場合、振動板９１を薄くしたり、無くしたりすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施の形態であるインクジェット記録ヘッド３を有するプリンタ１の概略構成図である。
【図２】インクジェット記録ヘッド３の上面の一部拡大図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明に関するインクジェット記録ヘッド３の作成工程である。
【図５】本発明に関するインクジェット記録ヘッド３の作成工程である。
【符号の説明】
【００５８】
１        プリンタ（インクジェット記録装置）
２        キャリッジ
３        インクジェット記録ヘッド
４        用紙搬送ローラ
５        ガイド軸
６        プラテン
Ｐ        記録用紙（記録媒体）
７        流路ユニット（インク流路部材）
７１〜７７      プレート（基板）
１１      貫通孔
１２      インク供給口
１３      マニホールド流路
１４      アパーチャ流路
１５      圧力室
１６      ディセンダ流路
１７      ノズル
９        圧電アクチュエータ（圧電素子）
９１      振動板
９２      圧電層
９３      個別電極
９４      共通電極
８        中間部材
５０      熱硬化性接着剤（第１の接着剤）
５１      接着剤（第２の接着剤）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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