(57)【要約】【課題】            搬送駆動経路のクランプで薄板状被処理物の両側部をクランプして表面処理槽を水平に通過させ、戻り駆動経路のクランプがクランプ洗浄処理槽を通過する搬送装置であり、戻り駆動経路のクランプが処理槽間の仕切り板をスムーズに通過できるようにし、クランプを戻り駆動経路で効果的に洗浄できるようにする。【解決手段】        クランプ３は、エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段２に連結され且つ直線駆動経路部に配置した固定ガイドレール１３に沿って水平に移動されるクランプ取付け体２０と、このクランプ取付け体に上下動自在に保持されるクランプ本体２２を含み、このクランプ本体に設けた上下作動ガイド用係合部２５と係合させて該クランプ本体を処理槽５，６間の仕切り板８を飛び越え可能な上昇位置と各処理槽内を水平に通過する下降位置とに案内する上下作動ガイド手段４０を設けた。【選択図】          図５
2012097345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段に間隔を置いて多数のクランプを取付け、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で複数の処理槽を通過させ各処理槽で被処理物に表面処理を施す装置であり、
前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の駆動経路の直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、このクランプ本体の下端部に板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置させ、このクランプ本体に該クランプ本体が上下作動されるための上下作動ガイド用係合部を設けてあり、前記クランプ本体に設けた前記上下作動ガイド用係合部と係合させて該クランプ本体の上下動位置を処理槽間の仕切り板を飛び越え可能な上昇位置と処理槽内を水平に通過する下降位置とに案内する上下作動ガイド手段を少なくとも処理槽間の仕切り板の飛び越え位置のクランプの駆動経路に沿って配置した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項２】
薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段に間隔を置いて多数のクランプを取付け、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で表面処理槽を通過させて被処理物に表面処理を施す装置であり、且つ、前記表面処理槽の両側にクランプに付着した金属などの付着成分を剥離する剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽を並列的に配置し、外側の戻り駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群が前記クランプ洗浄処理槽内を通過するようにした装置であり、
前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の搬送駆動経路と戻り駆動経路のそれぞれの直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、このクランプ本体の下端部に板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置させ、このクランプ本体に該クランプ本体が上下作動されるための上下作動ガイド用係合部を設けてあり、前記クランプ本体に設けた前記上下作動ガイド用係合部と係合させて該クランプ本体の上下動位置を、前記表面処理槽と前記クランプ洗浄処理槽の間の仕切り板を飛び越え可能な上昇位置と、表面処理槽内及びクランプ洗浄処理槽内を水平に通過する下降位置とに案内する上下作動ガイド手段を少なくとも処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の戻り駆動経路の直線駆動経路部に沿って配置した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項３】
前記戻り駆動経路の旋回駆動経路部にあるクランプ群が前記表面処理槽内を通過するようにし、前記戻り駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群が前記クランプ洗浄処理槽内を通過するように構成し、戻り駆動経路の直線駆動経路部に処理槽間の飛び越え位置を配し、上下作動ガイド手段を戻り駆動経路の直線駆動経路部に沿って配置した、請求項２に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項４】
前記上下作動ガイド手段が、前記上下作動ガイド用係合部を支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の前記直線駆動経路部の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部ガイドレール部と、この上部ガイドレール部を間にして配した上り傾斜ガイドレール部と下り傾斜ガイドレール部とし、この各傾斜ガイドレール部は、この各傾斜ガイドレール部の下端部が下降位置にあるクランプ本体の前記上下作動ガイド用係合部と係合可能な高さ位置とした、請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項５】
前記上下作動ガイド手段が、前記直線駆動経路部の方向に沿って連続して配置した上下高さ変動レールであり、この上下高さ変動レールは、処理槽間の仕切り板の上方を飛び越え可能な上方位置に配置した水平な上部ガイドレール部と、処理槽内に配置した水平な下部ガイドレール部と、前記上部ガイドレール部と下部ガイドレール部とを連続的につなぐ傾斜ガイドレール部とした、請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項６】
前記上下作動ガイド手段が、前記上下作動ガイド用係合部を支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の前記直線駆動経路部の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部受けレールと、この上部受けレールを間にして略ハ字状に配した上り傾斜レールと下り傾斜レールとし、この各傾斜レールは一枚のフレキシブルな薄板状被処理物の側縁部をクランプする複数のクランプを一緒に支持できるレール長さをもち、この各傾斜レールを、この各傾斜レールの下端部が下降位置にあるクランプ本体の前記上下作動ガイド用係合部と係合可能な高さ位置となる下降位置と、この各傾斜レールの上端部が前記上部受けレールの受け面と同等の高さ位置となる上昇位置に傾斜形態において上下移動するように構成すると共に、この各傾斜レールを、前記上下作動ガイド用係合部との係合可能な進出位置と前記上下作動ガイド用係合部との係合を回避できる後退位置とを進退移動するように構成した、請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項７】
前記上下作動ガイド用係合部が、駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラである請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項８】
前記上下作動用係合部が、下面を駆動経路の方向に沿うアール面とした上下作動用係合突起である請求項１、２又は３に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置。
【請求項９】
薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段に取付けられて回転駆動され、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送する搬送装置のクランプであり、前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の下端部にフレキシブルな薄板状板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置し、前記クランプ本体は、前記固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持される上下方向に長い保持クランプ杆と、この保持クランプ杆に上下動自在に保持される上下方向に長い可動クランプ杆を含み、この可動クランプ杆の下端部に上クランプ部を形成し、前記保持クランプ杆の下端部に前記上クランプ部を受ける下クランプ部を形成し、可動クランプ杆は圧縮バネのバネ圧によって下動され、可動クランプ杆の上クランプ部と保持クランプ杆の下クランプ部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、前記クランプ本体の上部には、可動クランプ杆をばね圧に抗して上移動させ上下クランプ部を上下方向に開くクランプ開閉ガイド係合部材を付設してあり、前記保持クランプ杆の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、この保持クランプ杆に上下作動ガイド用係合部を設け、この上下作動ガイド用係合部を上下動させることによってクランプ本体が上下作動されるように構成した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置のクランプ。
【請求項１０】
前記上下作動ガイド用係合部が、駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラである請求項９に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置のクランプ。
【請求項１１】
前記上下作動ガイド用係合部が、下面を駆動経路の方向に沿うアール面とした上下作動用係合突起である請求項９に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置のクランプ。
【請求項１２】
前記クランプ取付け体の外側の垂直ガイド面に前記保持クランプ杆のスライド接触面に向けてそり接触する弾性を付与したリン青銅などの金属製板バネを設けた、請求項９に記載の表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置のクランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄い板状被処理物を水平状態で一方向に搬送させ、この水平搬送過程で被処理物に表面処理を施す装置の搬送装置、及びこの搬送装置に用いるクランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
板状被処理物を水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で板状被処理物の表面に電解処理を施す処理装置としては、特許文献１の板状物体の電解処理装置が公知である。この電解処理装置は、板状物体が水平状態で電解室に供給され、一定滞留時間該電解室を連続的に通過し、電解処理後に電解室から再び搬出される、板状物体上に金属を電着する装置であり、板状物体を電解室を通して運搬するための搬送装置が、搬送域中で板状物体の側縁を挟持して搬送方向に移動する、エンドレスに回転して駆動される個々のクランプの列として構成され、電解室内にある板状物体の搬送路の始端と終端には、クランプによる板状物体の挟持および開放を惹起する装置が設けられたものである。
【０００３】
特許文献１の電解処理装置では明らかにされていないが、この種の表面処理装置では、電解処理槽から搬出された板状被処理物は、同方向に直列的に配置した複数の後処理槽（水洗処理槽、防錆処理槽、水切り乾燥処理槽など）内を水平搬送され、この搬送過程で電解処理された板状被処理物に水洗処理、防錆処理、水切り乾燥処理などの後処理が施される。
【０００４】
この水平搬送手段としては、特許文献１のようなクランプ搬送（板状被処理物の両側端部をクランプして水平搬送するクランプ搬送手段）で電解処理槽を通過させた板状被処理物を、例えば、ローラコンベア搬送で水洗処理槽や防錆処理槽を通過させ、再びクランプ搬送で水切り乾燥処理槽を通過させることが行われている。
【０００５】
しかし、板状被処理物をクランプ搬送、ローラコンベア搬送、クランプ搬送のように異なる搬送手段でリレー搬送する場合、クランプ搬送とローラ搬送との搬送リレーで、板状被処理物を正確に且つスムーズに受け渡しするのが技術的に困難であった。特に、ローラ搬送からクランプ搬送への搬送リレーでは、板状被処理物を正確に且つスムーズに受け渡しするのが技術的に困難であった。しかも、ローラコンベア搬送では、板状被処理物の板面への擦り傷や圧痕が発生し、板状被処理物がローラへ巻き込まれる弊害もあった。
【０００６】
また、特許文献１には、エンドレスに回転して駆動される個々のクランプを、このクランプの戻り経路で金属除去槽内を通過させ、クランプに付着した金属の除去を行っている。しかし、エンドレスに回転して駆動されるクランプの搬送経路と戻り経路の間には、電解処理槽と金属除去槽の槽間の仕切り板が介在するため、エンドレスに回転駆動されるクランプを電解処理槽と金属除去槽の間を通過させるのが技術的に困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特公平６−３１４７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような実情に鑑み、本発明は、薄い板状被処理物の両側端部をクランプして水平搬送するクランプ搬送手段で、複数の処理槽の間に各処理槽内を通過する板状被処理物の水平な搬送面より高い仕切り板が介在する搬送通路を確実に且つスムーズに通過させる薄板状被処理物の搬送装置を提供しようとするものである。
【０００９】
また、エンドレスに回転駆動されるクランプを、このクランプの戻り経路でクランプに付着した金属などの付着成分を剥離する剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽を通過させ、クランプに付着した金属などの付着成分の剥離し洗浄を行う場合でも、電解処理槽と剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽の槽間の仕切り板が介在する駆動経路をクランプがスムーズに通過できる、搬送装置を提供しようとするものである。
【００１０】
また、この搬送装置に用いる好適なクランプ、すなわち、上下作動ストロークを長くでき、しかも水平搬送する薄いプリント基板などの薄板状被処理物への給電効率の良いクランプを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記した課題を解決するため、本発明（請求項１の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段に間隔を置いて多数のクランプを取付け、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で複数の処理槽を通過させ各処理槽で被処理物に表面処理を施す装置であり、前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の駆動経路の直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、このクランプ本体の下端部に板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置させ、このクランプ本体に該クランプ本体が上下作動されるための上下作動ガイド用係合部を設けてあり、前記クランプ本体に設けた前記上下作動ガイド用係合部と係合させて該クランプ本体の上下動位置を処理槽間の仕切り板を飛び越え可能な上昇位置と処理槽内を水平に通過する下降位置とに案内する上下作動ガイド手段を少なくとも処理槽間の仕切り板の飛び越え位置のクランプの駆動経路に沿って配置した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１２】
また、上記した課題を解決するため、本発明（請求項２の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段に間隔を置いて多数のクランプを取付け、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で表面処理槽を通過させて被処理物に表面処理を施す装置であり、且つ、前記表面処理槽の両側にクランプに付着した金属などの付着成分を剥離する剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽を並列的に配置し、外側の戻り駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群が前記クランプ洗浄処理槽内を通過するようにした装置であり、前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の搬送駆動経路と戻り駆動経路のそれぞれの直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、このクランプ本体の下端部に板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置させ、このクランプ本体に該クランプ本体が上下作動されるための上下作動ガイド用係合部を設けてあり、前記クランプ本体に設けた前記上下作動ガイド用係合部と係合させて該クランプ本体の上下動位置を、前記表面処理槽と前記クランプ洗浄処理槽の間の仕切り板を飛び越え可能な上昇位置と、表面処理槽内及びクランプ洗浄処理槽内を水平に通過する下降位置とに案内する上下作動ガイド手段を少なくとも処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の戻り駆動経路の直線駆動経路部に沿って配置した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１３】
また、本発明（請求項３の発明）は、前記戻り駆動経路の旋回駆動経路部にあるクランプ群が前記表面処理槽内を通過するようにし、前記戻り駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群が前記クランプ洗浄処理槽内を通過するように構成し、戻り駆動経路の直線駆動経路部に処理槽間の飛び越え位置を配し、上下作動ガイド手段を戻り駆動経路の直線駆動経路部に沿って配置した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。この発明によれば、上下作動ガイド手段を戻り駆動経路の直線駆動経路部に沿って配置してあるため、上下作動ガイド手段に沿って移動されるクランプの処理槽間の飛び越え移動がスムーズに行える。
【００１４】
また、本発明（請求項４の発明）は、前記上下作動ガイド手段が、前記上下作動ガイド用係合部を支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の前記直線駆動経路部の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部ガイドレール部と、この上部ガイドレール部を間にして配した上り傾斜ガイドレール部と下り傾斜ガイドレール部とし、この各傾斜ガイドレール部は、この各傾斜ガイドレール部の下端部が下降位置にあるクランプ本体の前記上下作動ガイド用係合部と係合可能な高さ位置とした、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１５】
また、本発明（請求項５の発明）は、前記上下作動ガイド手段が、前記直線駆動経路部の方向に沿って連続して配置した上下高さ変動レールであり、この上下高さ変動レールは、処理槽間の仕切り板の上方を飛び越え可能な上方位置に配置した水平な上部ガイドレール部と、処理槽内に配置した水平な下部ガイドレール部と、前記上部ガイドレール部と下部ガイドレール部とを連続的につなぐ傾斜ガイドレール部とした、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１６】
また、本発明（請求項６の発明）は、前記上下作動ガイド手段が、前記上下作動ガイド用係合部を支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板の飛び越え位置の前記直線駆動経路部の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部受けレールと、この上部受けレールを間にして略ハ字状に配した上り傾斜レールと下り傾斜レールとし、この各傾斜レールは一枚のフレキシブルな薄板状被処理物の側縁部をクランプする複数のクランプを一緒に支持できるレール長さをもち、この各傾斜レールを、この各傾斜レールの下端部が下降位置にあるクランプ本体の前記上下作動ガイド用係合部と係合可能な高さ位置となる下降位置と、この各傾斜レールの上端部が前記上部受けレールの受け面と同等の高さ位置となる上昇位置に傾斜形態において上下移動するように構成すると共に、この各傾斜レールを、前記上下作動ガイド用係合部との係合可能な進出位置と前記上下作動ガイド用係合部との係合を回避できる後退位置とを進退移動するように構成した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。この発明によれば、クランプ本体の上下作動ストロークを大きく設定でき、上下作動ストロークを大きく設定しても処理槽間の仕切り板を飛び越えて搬送されるフレキシブルな薄板状被処理物の湾曲度が小さくてすみ、薄板状被処理物に大きな負荷がかからない。
【００１７】
また、本発明（請求項７の発明）は、前記上下作動ガイド用係合部が、駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラである表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１８】
また、本発明（請求項８の発明）は、前記上下作動用係合部が、下面を駆動経路の方向に沿うアール面とした上下作動用係合突起である表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置を提供する。
【００１９】
また、上記した課題を解決するため、本発明（請求項９の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段に取付けられて回転駆動され、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路の直線駆動経路部にあるクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に搬送する搬送装置のクランプであり、前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体の下端部にフレキシブルな薄板状板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部を位置させ、このクランプ部は前記クランプ取付け体より下方に位置し、前記クランプ本体は、前記固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持される上下方向に長い保持クランプ杆と、この保持クランプ杆に上下動自在に保持される上下方向に長い可動クランプ杆を含み、この可動クランプ杆の下端部に上クランプ部を形成し、前記保持クランプ杆の下端部に前記上クランプ部を受ける下クランプ部を形成し、可動クランプ杆は圧縮バネのバネ圧によって下動され、可動クランプ杆の上クランプ部と保持クランプ杆の下クランプ部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、前記クランプ本体の上部には、可動クランプ杆をばね圧に抗して上移動させ上下クランプ部を上下方向に開くクランプ開閉ガイド係合部材を付設してあり、前記保持クランプ杆の上部に下限制御ストッパーを設け、クランプ本体の自重による下動によって前記下限制御ストッパーが前記クランプ取付け体の上面に係止される下限位置をクランプ本体の下降位置としてあり、この保持クランプ杆に上下作動ガイド用係合部を設け、この上下作動ガイド用係合部を上下動させることによってクランプ本体が上下作動されるように構成した、表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置のクランプを提供する。
【００２０】
また、本発明（請求項１０の発明）は、前記上下作動ガイド用係合部が、駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラである搬送装置のクランプを提供する。
【００２１】
また、本発明（請求項１１の発明）は、前記上下作動ガイド用係合部が、下面を駆動経路の方向に沿うアール面とした上下作動用係合突起である搬送装置のクランプを提供する。
【００２２】
また、本発明（請求項１２の発明）は、前記クランプ取付け体の外側の垂直ガイド面に前記保持クランプ杆のスライド接触面に向けてそり接触する弾性を付与したリン青銅などの金属製板バネを設けた搬送装置のクランプを提供する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、薄板状被処理物の両側端部をクランプして水平搬送するクランプ搬送手段で、複数の処理槽の間に各処理槽内を通過する板状被処理物の水平な搬送面より高い仕切り板が介在する搬送通路を確実に且つスムーズに通過させることができる。よって、クランプ搬送とローラ搬送によるリレー搬送をする必要がないため、薄板状被処理物を正確且つスムーズに水平搬送できると共に、ローラ搬送に起因する弊害（被処理物の板面への擦り傷や圧痕の発生や、ローラへの被処理物の巻き込み）を解消できる。
【００２４】
本発明によれば、クランプの戻り経路でクランプに付着した金属などの付着成分を剥離する剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽を通過させ、クランプに付着した金属などの付着成分の剥離し洗浄を行う場合においても、電解処理槽と剥離処理槽を含むクランプ洗浄処理槽の槽間に介在する仕切り板をクランプがスムーズに通過できるため、クランプの戻り経路でクランプの剥離・洗浄を効果的に行うことができる。よって、クランプのクランプ接点を常に給電効率の良い良好な状態に維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の搬送装置の実施形態を示した概略平面図である。
【図２】図１の搬送装置の要部を拡大して示した正面図である。
【図３】本発明の搬送装置の他の実施形態を示した概略平面図である。
【図４】図３の搬送装置の要部を拡大して示した平面図である。
【図５】図３の搬送装置の要部を拡大して示した正面図である。
【図６】本発明の搬送装置に用いるクランプの側面図で、（ａ）は下降位置、（ｂ）は上昇位置を示している。
【図７】図６のクランプの正面図で、（ａ）は下降位置、（ｂ）は上昇位置を示している。
【図８】図６及び図７のクランプの要部を拡大して示した、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図９】本発明の搬送装置の他の上下作動ガイド手段を示した概略正面図である。
【図１０】本発明の搬送装置の他の上下作動ガイド手段を示した概略正面図である。
【図１１】図１０の実施形態の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図２は表面処理装置における薄板状被処理物の搬送装置の実施形態を、図３〜図５は同搬送装置の他の実施形態を、図６〜図８は本発明の搬送装置に用いるクランプの実施形態を示している。
【００２７】
図１〜図２の実施形態は、薄板状被処理物Ｐの搬送通路１を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段２，２をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段２，２に間隔を置いて多数のクランプ３を取付け、前記搬送通路１を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａ，４ａにあるクランプ群３でフレキシブルな薄板状被処理物Ｐの両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に連続して搬送させ、この搬送過程で直列に配置した複数の処理槽（例えば、電解処理槽５の後に配置した複数の後処理槽７）を通過させ各処理槽で被処理物に表面処理を施す装置を示している。
【００２８】
図１の実施例では、図の左側から順に電解処理槽５、水洗処理槽７ａ、防錆処理槽７ｂ、水切り乾燥処理槽７ｃを一方向に配置してある。図の左側から搬入されるフレキシブルな薄板状被処理物Ｐは、先ず電解処理槽５で電解処理され、水洗処理槽７ａ、防錆処理槽７ｂ、水切り乾燥処理槽７ｃを通過して後処理され、図の右側から搬出される。これらの処理槽は処理槽内の液面Ｗより高い仕切り板８で隔てられている。
【００２９】
フレキシブルな薄板状の被処理物Ｐとしては平行な両側縁をもつことが条件であるが、図示した矩形（プリント基板など）の物の他、平行な両側縁をもつ長尺帯状の物であっても良い。この表面処理槽では板状被処理物にメッキ処理や薬品処理の表面処理が施される。本発明は、電気メッキ処理などの電解処理、無電解処理など、フレキシブルな薄板状の被処理物の表面処理装置の搬送装置として広く適用できる。
【００３０】
エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段２は、ローラ９，９に巻架されてエンドレスに回転駆動される駆動ベルト（歯付ベルト）１０であり、搬送駆動用モータ（図示せず。）によって一方のローラ９を回転駆動させている。前記ローラ９には駆動ベルト（歯付ベルト）１０に合う歯が設けられている。
【００３１】
エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）に等しい間隔を置いて取付けたクランプ群３・・・は、矩形の薄板状被処理物Ｐの場合は、少なくとも側縁部の複数箇所を掴持できる間隔に取付けてある。なお、図１では、クランプ群３・・・をエンドレスの回転駆動経路における一部の範囲のみで表示したが、水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の全範囲に亘り等間隔に取付けてある。各水平搬送駆動手段２，２は、同速度で同期回転駆動されるように成っている。
【００３２】
前記水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａ，４ａの下方位置には該搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａ，４ａに沿って水平方向に延びる断面矩形状の固定ガイドレール（内側の固定ガイドレール）１２を配置してある。また、前記水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の戻り駆動経路（外側の直線駆動経路部）４ｂ，４ｂの下方位置にも該戻り駆動経路（外側の直線駆動経路部）に沿って水平方向に延びる断面矩形状の固定ガイドレール（外側の固定ガイドレール）１３を配置してある。
【００３３】
搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａ，４ａを移動するクランプ群３のクランプ取付け体２０（後述する）は内側の固定ガイドレール１２に沿って滑り接触しながら水平に移動される。また、戻り駆動経路（外側の直線駆動経路部）４ｂ，４ｂを移動するクランプ群３のクランプ取付け体２０（後述する）は外側の固定ガイドレール１３に沿って滑り接触しながら水平に移動される。
【００３４】
そして、本発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いる場合、内側の固定ガイドレール１２を、クランプ取付け体２０（後述する）に取付けられるクランプ本体２２（後述する）を介して搬送される被処理物に陰極の電流を給電する給電レールとして機能させている。
【００３５】
前記クランプ３は、前記水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）に連結され且つこの水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の駆動経路の直線駆動経路部４ａ，４ｂの下方位置に水平方向に配置した断面矩形状の固定ガイドレール１２，１３に沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体２０と、このクランプ取付け体２０に設けた固定ガイド部に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体２２を含み、このクランプ本体２２の上部に下限制御ストッパー２３を設け、クランプ本体２２の自重による下動によって前記下限制御ストッパー２３が前記クランプ取付け体２０の上面に係止される下限位置をクランプ本体２２の下降位置としてある。
【００３６】
このクランプ本体２２の下端部に板状被処理物Ｐの側縁部を上下方向からクランプし得るクランプ部２４を位置させ、このクランプ部２４は前記クランプ取付け体２０より下方に位置させ、このクランプ本体２２に該クランプ本体が上下作動ガイド手段４０（後述する。）に案内されて上下作動されるための上下作動ガイド用係合部２５を設けてある。図示の実施例では、この上下作動ガイド用係合部２５を前記駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラとしてある。なお、このクランプについては後で更に説明する。
【００３７】
前記したように、前記クランプ取付け体２０に上下移動自在に保持されたクランプ本体２２は、自然な状態ではその自重によって処理槽間の仕切り板８を飛び越えられない下限位置にあり、この下限位置で各処理槽内を移動するようにしてある。
【００３８】
前記クランプ本体２２に設けた前記上下作動ガイド用係合部２５と係合させて該クランプ本体の上下動位置を処理槽間の仕切り板８を飛び越え可能な上昇位置と処理槽内を水平に通過する下降位置（下限位置）とに案内する上下作動ガイド手段４０を少なくとも処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置のクランプの駆動経路に沿って配置してある。
【００３９】
前記上下作動ガイド手段４０は、前記上下作動ガイド用係合部（上下作動ガイド用転動ローラ）２５を上下面で支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置のクランプの前記駆動経路の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部受けレール部４１と、この上部受けレール部４１を間にして連続する略ハ字状に配した上り傾斜レール部４２と下り傾斜レール部４３とし、この各傾斜レール部は、この各傾斜レール部の下端部が下降位置（下限位置）にあるクランプ本体２２の前記上下作動ガイド用係合部（上下作動ガイド用転動ローラ）２５と係合可能な高さ位置としてある。
【００４０】
図２の実施例では、前記上下作動ガイド用係合部２５を上下作動ガイド用転動ローラとし、上下作動ガイド手段４０が転動ローを上下面で支承して係合するガイドレールしてある。しかし、上下作動ガイド用係合部２５と上下作動ガイド手段４０のガイドレールの構成は図示の実施例に限定されない。前記上下作動ガイド用係合部２５がガイドレールを上下方向から支承する対の転動ローラとしても良い。また、前記上下作動ガイド用係合部２５が下面を前記駆動経路の方向に沿うアール面とした係合突起とし、この係合突起を下側から支承して係合するガイドレールとしても良い。
【００４１】
図３〜図５の実施形態は、薄板状被処理物Ｐの搬送通路１を間にした両側にエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段２，２をそれぞれ設け、各水平搬送駆動手段２，２に間隔を置いて多数のクランプ３を取付け、前記搬送通路１を間にして互いに平行な内側の搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａ，４ａにあるクランプ群３で薄板状被処理物Ｐの両側部を上下方向からクランプして該被処理物の板面を上下にした略水平状態で一方向に連続して搬送させ、この搬送過程で表面処理槽（電解処理槽）５を通過させて被処理物に表面処理を施す装置であり、且つ、前記表面処理槽（電解処理槽）５の両側にクランプに付着した金属などの付着成分を剥離する剥離処理槽６ａを含むクランプ洗浄処理槽６を並列的に配置し、外側の戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂ，４ｂにあるクランプ群３が前記クランプ洗浄処理槽６内を通過するようにした装置を示している。
【００４２】
図３，４の実施例では、前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６の配置を、前記戻り駆動経路の旋回駆動経路部４ｃにあるクランプ群３が前記表面処理槽（電解処理槽）５内を通過するようにし、前記戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂにあるクランプ３群が前記クランプ洗浄処理槽６内を通過するように構成し、戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂを前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６との間の飛び越え位置としてある。
【００４３】
図３の実施例では、外側の戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂにあるクランプ３群が、前記クランプ洗浄処理槽６を構成する、剥離処理槽６ａ、水洗処理槽６ｂ（剥離処理槽６ａで金属などの付着成分が剥離処理されたクランプ３を水洗処理する）、水切り乾燥処理槽６ｃ（水洗処理されたクランプ３を水切り乾燥する）を順に通過されるようにしてある。この戻り駆動経路で洗浄されたクランプ群は搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａへ移動される。前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６は仕切り板８で隔てられている。また、クランプ洗浄処理槽６を構成する剥離処理槽６ａ、水洗処理槽６ｂ、水切り乾燥処理槽６ｃの各処理槽も仕切り板で隔てられている。
【００４４】
搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）４ａを移動するクランプ３群のクランプ取付け体２０（後述する）は内側の固定ガイドレール１２に沿って滑り接触しながら水平に移動される。また、戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂを移動するクランプ３群のクランプ取付け体２０（後述する）は外側の固定ガイドレール１３に沿って滑り接触しながら水平に移動される。
【００４５】
そして、本発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いる場合、内側の固定ガイドレール１２を、クランプ取付け体２０（後述する）に取付けられるクランプ本体２２（後述する）を介して搬送される被処理物Ｐに陰極の電流を給電する給電レールとして機能させている。また、外側の固定ガイドレール１３に陽極の電流を流し、クランプ取付け体２０（後述する）に取付けられるクランプ本体２２（後述する）のクランプ部２４に付着した金属などの付着成分の剥離を促進できるようにしてある。
【００４６】
図３〜図５の搬送装置のクランプ３は、図１〜図２の搬送装置のクランプ３と同じ構成である。すなわち、図３〜図５の搬送装置のクランプ３も、前記水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）に連結され且つこの水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の搬送駆動経路と戻り駆動経路のそれぞれの直線駆動経路部４ａ，４ｂの下方位置に水平方向に配置した断面矩形状の固定ガイドレール１２，１３に沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体２０と、このクランプ取付け体２０に設けた固定ガイド部２１に上下方向にスライド移動自在に保持されるクランプ本体２２を含み、このクランプ本体２２の上部に下限制御ストッパー２３を設け、クランプ本体２２の自重による下動によって前記下限制御ストッパー２３が前記クランプ取付け体２０の上面に係止される下限位置をクランプ本体２２の下降位置としてある。そして、図３〜図５の搬送装置のクランプ３も、このクランプ本体２２に該クランプ本体が上下作動ガイド手段４０（後述する。）に案内されて上下作動されるための上下作動ガイド用係合部２５を設けてあり、図示の実施例では、この上下作動ガイド用係合部２５を前記駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラとしてある。
【００４７】
図３〜図５の搬送装置のクランプ３も、前記したように、前記クランプ取付け体２０に上下移動自在に保持されたクランプ本体２２は、自然な状態ではその自重によって処理槽間の仕切り板８を飛び越えられない下限位置にあり、この下限位置で各処理槽内を移動するようにしてある。
【００４８】
前記クランプ本体２２に設けた前記上下作動ガイド用係合部２５と係合させて該クランプ本体２２の上下動位置を、前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６の間の仕切り板８を飛び越え可能な上昇位置と、表面処理槽（電解処理槽）５内及びクランプ洗浄処理槽６内を水平に通過する下降位置（下限位置）とに案内する上下作動ガイド手段４０を処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置の戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂに沿って配置してある。さらに、前記上下作動ガイド手段４０は、クランプ洗浄処理槽６を構成する剥離処理槽６ａ、水洗処理槽６ｂ、水切り乾燥処理槽６ｃの各処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置の戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂに沿って配置してある。
【００４９】
前記したごとく、図３，４の実施例では、前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６の配置を、前記戻り駆動経路の旋回駆動経路部４ｃにあるクランプ３群が前記表面処理槽（電解処理槽）５内を通過するようにし、前記戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂにあるクランプ３群が前記クランプ洗浄処理槽６内を通過するように構成し、戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂを前記表面処理槽（電解処理槽）５と前記クランプ洗浄処理槽６との間の飛び越え位置としてある。このため、上下作動ガイド手段４０を戻り駆動経路の直線駆動経路部４ｂに沿って配置でき、上下作動ガイド手段４０に沿って移動されるクランプ３の処理槽間の飛び越え移動がスムーズに行える。
【００５０】
図３〜図５の搬送装置の前記上下作動ガイド手段４０は、図１〜図２の搬送装置の前記上下作動ガイド手段４０と同じ構成である。すなわち、図３〜図５の搬送装置の前記上下作動ガイド手段４０も、前記上下作動ガイド用係合部（上下作動ガイド用転動ローラ）２５を上下面で支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置のクランプの前記駆動経路の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板８の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部受けレール部４１と、この上部受けレール部４１を間にして連続する略ハ字状に配した上り傾斜レール部４２と下り傾斜レール部４３とし、この各傾斜レール部４２，４３は、この各傾斜レール部の下端部が下降位置（下限位置）にあるクランプ本体２２の前記上下作動ガイド用係合部（上下作動ガイド用転動ローラ）２５と係合可能な高さ位置としてある。
【００５１】
図４、図５の実施例では、前記上下作動ガイド用係合部２５を上下作動ガイド用転動ローラとし、上下作動ガイド手段４０が転動ローを上下面で支承して係合するガイドレールしてある。しかし、上下作動ガイド用係合部２５と上下作動ガイド手段４０のガイドレールの構成は図示の実施例に限定されない。前記上下作動ガイド用係合部２５がガイドレールを上下方向から支承する対の転動ローラとしても良い。また、前記上下作動ガイド用係合部２５が下面を前記駆動経路の方向に沿うアール面とした係合突起とし、この係合突起を下側から支承して係合するガイドレールとしても良い。
【００５２】
図６〜図８に基づき、本発明の搬送装置に用いるクランプ３の実施形態を説明する。このクランプ３は、既に述べたように、前記水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）に取付け部材２７を介したボルト締結手段で固定状態に連結され且つこの水平搬送駆動手段２（駆動ベルト１０）の駆動経路（直線駆動経路部）の下方位置に水平方向に配置した断面矩形状の固定ガイドレール１２，１３に沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるステンレス鋼などの金属製のクランプ取付け体２０と、このクランプ取付け体２０に設けたステンレス鋼などの金属製の固定ガイド部２１に上下方向にスライド移動自在に保持されるステンレス鋼などの金属製のクランプ本体２２を含んでいる。
【００５３】
前記クランプ本体２２は、前記固定ガイド部２１に上下方向にスライド移動自在に保持される上下方向に長い板状の保持クランプ杆３０と、この保持クランプ杆３０に上下動自在に保持される上下方向に長いロッド状の可動クランプ杆３１を含んでいる。前記保持クランプ杆３０は、その板面が前記クランプ取付け体２０の外側（搬送通路側の外側）の垂直ガイド面２０ｂにスライド接触されるように上下動自在に保持されている。この保持クランプ杆３０の上部に係止段部から成る金属製（銅など）の下限制御ストッパー２３を設けあり、クランプ本体２２の自重による下動によって前記下限制御ストッパー２３が前記クランプ取付け体２０の上面２０ａに係止される下限位置をクランプ本体２２の下降位置として設定してある。前記可動クランプ杆３１は、前記保持クランプ杆３０に設けた上部保持ガイド３２と下部保持ガイド３３の貫通穴の中を上下方向にスライド自在に貫通され、保持されている。前記上部保持ガイド３２の貫通穴は上下方向に長く形成してある。前記上部保持ガイド３２は下限位置において前記前記固定ガイド部２１の高さ位置と略同位置としてある。前記保持クランプ杆３０の下端部はＬ字状に屈曲され、この屈曲部の上面に下クランプ部（下接点）２４ａを形成してある。前記可動クランプ杆３１の下端部に上クランプ部（上接点）２４ｂを形成してある。保持クランプ杆３０の下クランプ部（下接点）２４ａで可動クランプ杆３１の上クランプ部（上接点）２４ｂを受けるようにしてある。
【００５４】
保持クランプ杆３０に設けた上部保持ガイド３２の下部と可動クランプ杆３１に設けたバネ係止体３４の間に圧縮バネ（圧縮コイルばね）３５が可動クランプ杆３１のロッド部周りに遊嵌合して介装され、この圧縮バネ３５のバネ圧によって可動クランプ杆３１は下動され、可動クランプ杆３１の上クランプ部（上接点）２４ｂと保持クランプ杆３０の下クランプ部（下接点）２４ａを常態において上下方向に閉じた状態に制御してある。前記クランプ本体２２の上部には、可動クランプ杆３１を前記圧縮バネ３５のバネ圧に抗して上移動させ上下クランプ部（上接点と下接点）を上下方向に開くクランプ開閉ガイド係合部材５０を付設してある。
【００５５】
前記保持クランプ杆３０の上部保持ガイド３２に上下作動ガイド用係合部２５を設け、この上下作動ガイド用係合部２５を前記上下作動ガイド手段５０に係合させて上下動させることによって、クランプ本体２２が上下作動（下限位置から上昇位置へ、上昇位置から下限位置へと上下作動）されるように構成してある。図示の実施例では、この上下作動ガイド用係合部２５を前記駆動経路の方向に回転する上下作動ガイド用転動ローラとしてある。なお、上下作動ガイド用係合部２５は、図示した転動ローラに限定するものではなく、既に述べたように、ガイドレールを上下方向から支承する対の転動ローラとしても良く、下面を前記駆動経路の方向に沿うアール面とした係合突起としても良い。
【００５６】
図８に示したように、前記クランプ取付け体２０の外側（搬送通路側の外側）の垂直ガイド面２０ｂに、前記保持クランプ杆３０のスライド接触面に向けてそり接触する弾性を付与したリン青銅製の金属製の板バネ３７を装着するのが好ましい。このリン青銅製の板バネ３７は、図８（ａ）のように、前記保持クランプ杆３０のスライド接触面に向けて断面略「く」字形状に屈曲させてある。この板バネ３７を装着させることにより、クランプ取付け体２０から保持クランプ杆３０への給電効率を大幅にアップさせることができる。
【００５７】
図６（ａ）に一点鎖線で示したクランプ開閉ガイド５１が、図１、図３の搬送装置に配設してある。図１、図３の搬送装置には、前記クランプ群３・・・の回転駆動経路に沿う、始端部側の旋回駆動経路部４ｃから回転駆動方向における搬送通路１の始端部の直前位置に至る位置及び搬送通路１の終端部から回転駆動方向における終端部側の旋回駆動経路部４ｃへ至る位置にそれぞれクランプ開閉ガイド５１（図１、図３に一点鎖線で示した。）を配設してある。このクランプ開閉ガイド５１は、クランプ３の回転駆動方向における、中間部を高位ガイド上面部とし、この高位ガイド上面部の両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部としてある。このクランプ開閉ガイド５１の下面を水平ガイド下面部としてある。
【００５８】
前記クランプ本体２２の上部に付設された前記クランプ開閉ガイド係合部材５０は、略Ｌ字型の反転レバー５２の屈曲部を支点部として保持クランプ杆３０側に支点軸５３によって反転自在に軸着し、この反転レバー５２の下方アーム部５２ｂの先端を可動クランプ杆３１の上部にピン軸５４を介して回動自在に連結し、反転レバー５２の上方アーム部５２ａの先端に回転ローラ５５を取付けて構成し、この回転ローラ５５が前記回転駆動経路に沿って設けられる前記クランプ開閉ガイド５１の高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部５２ａが前記支点軸５３を軸心として上方向に反転し、下方アーム部５２ｂに連結された可動クランプ杆３１を上動させるようにし、可動クランプ杆３１の上クランプ部２４ｂと保持クランプ杆３０の下クランプ部２４ａを上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成してある。
【００５９】
クランプ３が前記クランプ開閉ガイド５１の位置を通過する際に、クランプのクランプ開閉ガイド係合部材５０の回転ローラ５５がチャック開閉ガイド５１の上面部（高位ガイド上面部）に係合され、同時にクランプの前記保持クランプ杆３０の水平上面部３０ａがチャック開閉ガイド５１の水平ガイド下面部に係合されることによって、前記可動クランプ杆３１を圧縮バネ３５のバネ圧に抗して上動させ、可動クランプ杆３１の上クランプ部２４ｂと保持クランプ杆３０の下クランプ部２４ａを上下方向に離間させた開状態に制御するように構成されている。これによって、被処理物Ｐの搬送通路１の始端部を通過するクランプ３・・・を開状態から被処理物の側縁部をクランプ可能な閉状態に制御し、被処理物Ｐの搬送通路１の終端部を通過するクランプ３・・・を閉状態から被処理物の側縁部を開放可能な開状態に制御できるようにしている。
【００６０】
図９は前記上下作動ガイド手段の他の実施形態を示したものである。この実施形態の上下作動ガイド手段４０は、前記直線駆動経路部の方向に沿って連続して配置した上下高さ変動レール４５であり、この上下高さ変動レールは、処理槽間の仕切り板の上方を飛び越え可能な上方位置に配置した水平な上部ガイドレール部４５ａと、処理槽内に配置した水平な下部ガイドレール部４５ｂと、前記上部ガイドレール部４５ａと下部ガイドレール部４５ｂとを連続的につなぐ傾斜ガイドレール部４５ｃとした、ことを特徴としている。
【００６１】
図９の実施例では、前記上下作動ガイド用係合部２５がガイドレールを上下方向から支承する対の転動ローラとしてある。しかし、上下作動ガイド用係合部２５と上下作動ガイド手段４０のガイドレールの構成は図示の実施例に限定されない。図２、図５の如く、前記上下作動ガイド用係合部２５を転動ローラとし、上下作動ガイド手段４０が転動ローラを上下面で支承して係合するガイドレールとしても良い。また、前記上下作動ガイド用係合部２５が下面を前記駆動経路の方向に沿うアール面とした係合突起とし、この係合突起を下側から支承して係合するガイドレールとしても良い。なお、図９の実施形態における、その他の構成は、図１〜図２、図３〜図５に示した実施形態と実質的に同じであるため、重複する説明は省略する。
【００６２】
図１０、図１１は、前記上下作動ガイド手段４０の他の実施形態を示したものである。この実施形態の上下作動ガイド手段４０は、前記上下作動ガイド用係合部２５を支承して係合するガイドレールで、処理槽間の仕切り板８の飛び越え位置の前記直線駆動経路部の方向に沿って配置されたガイドレールであり、このガイドレールが、処理槽間の仕切り板の上方位置に配置した水平な受け面をもつ上部受けレール４６と、この上部受けレールを間にして略ハ字状に配した上り傾斜レール４７と下り傾斜レール４８とし、この各傾斜レール４７，４８は一枚のフレキシブルな薄板状被処理物の側縁部をクランプする複数のクランプ（図示の実施例では９個のクランプ）を一緒に支持できるレール長さをもち、この各傾斜レール４７，４８を、この各傾斜レールの下端部４７ａ，４８ａが下降位置にあるクランプ本体２２の前記上下作動ガイド用係合部２５と係合可能な高さ位置となる下降位置（図１０に一点鎖線で示す。）と、この各傾斜レール４７，４８の上端部４７ｂ，４８ｂが前記上部受けレール４６の受け面と同等の高さ位置となる上昇位置（図１０に実線で示した。）に傾斜形態において上下移動するように構成すると共に、この各傾斜レールを、前記上下作動ガイド用係合部２５との係合可能な進出位置と前記上下作動ガイド用係合部２５との係合を回避できる後退位置とを進退移動するように構成した、ことを特徴としている。
【００６３】
上り傾斜レール４７では、下降位置で後退位置から進出位置に移動させた上り傾斜レールを上昇位置まで上移動させ、この上昇位置で一枚のフレキシブルな薄板状被処理物Ｐをクランプしている複数のクランプ３群の通過後に後退させ、この後退位置で下降位置まで下移動させ、この移動を繰り返す。下り傾斜レール４８では、上昇位置で後退位置から進出位置に移動させた下り傾斜レール４８を下降位置まで下移動させ、この下降位置で後退させ、この後退位置で上昇位置まで上移動させ、この移動を繰り返す。
【００６４】
図１１において、符号４９ａは傾斜レールを進退移動させる進退駆動シリンダー、符号４９ｂは傾斜レールを昇降移動させる昇降駆動シリンダーである。
【００６５】
図１０、図１１の実施形態の上下作動ガイド手段４０は、各傾斜レール４７，４８の上下移動中は駆動ベルト１０が駆動されない構成である。
【００６６】
図１０、図１１の実施例では、前記上下作動ガイド用係合部２５が下面を前記駆動経路の方向に沿うアール面とした係合突起とし、上下作動ガイド手段が係合突起を下側から支承して係合するガイドレールとしてある。しかし、上下作動ガイド用係合部２５と上下作動ガイド手段４０のガイドレールの構成は図示の実施例に限定されない。前記上下作動ガイド用係合部２５を転動ローラとし、上下作動ガイド手段４０が転動ローを上下面で支承して係合するガイドレールとしても良い。また、前記上下作動ガイド用係合部２５がガイドレールを上下方向から支承する対の転動ローラとしても良い。
【００６７】
この発明によれば、クランプ本体２２の上下作動ストロークを大きく設定でき、上下作動ストロークを大きく設定しても処理槽間の仕切り板８を飛び越えて搬送されるフレキシブルな薄板状被処理物Ｐの湾曲度が小さくてすみ、薄板状被処理物に大きな負荷がかからない。
【符号の説明】
【００６８】
Ｐ  薄板状被処理物
１  搬送通路
２，２  水平搬送駆動手段
３  クランプ
４ａ，４ａ  搬送駆動経路（内側の直線駆動経路部）
４ｂ，４ｂ  戻り駆動経路の直線駆動経路部（外側の直線駆動経路部）
４ｃ  戻り駆動経路の旋回駆動経路部
５  表面処理槽（電解処理槽）
６  クランプ洗浄処理槽
６ａ  剥離処理槽
７  処理槽（後処理槽）
８  仕切り板
１０  駆動ベルト（歯付ベルト）
１２  固定ガイドレール（内側の固定ガイドレール）
１３  固定ガイドレール（外側の固定ガイドレール）
２０  クランプ取付け体
２１  固定ガイド部２１
２２  クランプ本体
２３  下限制御ストッパー
２４  クランプ部
２５  上下作動ガイド用係合部（上下作動ガイド用転動ローラ）
３０  保持クランプ杆
３１  可動クランプ杆
２４ａ  下クランプ部（下接点）
２４ｂ  上クランプ部（上接点）
３２  上部保持ガイド
３３  下部保持ガイド
３５  圧縮バネ（圧縮コイルばね）
３７  板バネ
４０  上下作動ガイド手段
４１  上部受けレール部
４２  上り傾斜レール部
４３  下り傾斜レール部
４５  上下高さ変動レール
４５ａ  上部ガイドレール部
４５ｂ  下部ガイドレール部
４５ｃ  傾斜ガイドレール部
４６  上部受けレール
４７  上り傾斜レール
４８  下り傾斜レール
４９ａ  進退駆動シリンダー
４９ｂ  昇降駆動シリンダー
５０  クランプ開閉ガイド係合部材
５１  クランプ開閉ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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