(57)【要約】【課題】連続処理中にシート状ワークが切断した場合でも、その復旧を容易に行うことができるとともに、シート状ワークの折り返し回数を最小限に抑えることができるシート状ワーク連続処理装置を提供すること。【解決手段】アルミニウム箔連続処理装置１００においては、複数の長尺のアルミニウム箔Ｆを、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列させた状態で長手方向に連続的に繰り出す。また、繰り出した複数のアルミニウム箔Ｆを、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態のまま、エッチング液貯留部３５に貯留されたエッチング液Ｌ3中を連続的に通過させる。アルミニウム箔Ｆは、エッチング液貯留部３５に対して入側スリット３５１ｓから入って出側スリット３５２ｓから出る。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の長尺のシート状ワークが幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で長手方向に連続的に繰り出されるワーク繰り出し部と、
前記ワーク繰り出し部から繰り出された前記複数のシート状ワークが幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で連続的に通過する処理液が貯留された処理液貯留部と、
を有することを特徴とするシート状ワーク連続処理装置。
【請求項２】
前記処理液貯留部は、前記シート状ワークの移動方向の上流側で前記シート状ワークが通る入側スリットを備えた入側壁部分と、前記シート状ワークの移動方向の下流側で前記シート状ワークが通る出側スリットを備えた出側壁部分と、前記シート状ワークの厚さ方向の両側で対向する側壁部分と、前記シート状ワークの下方に位置する底壁部分と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項３】
前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給装置と、
前記処理液貯留部から漏れ出た前記処理液を回収する処理液回収装置と、
を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項４】
前記処理液回収装置で回収された前記処理液を前記処理液貯留部に還流させる処理液還流経路が構成されていることを特徴とする請求項３に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項５】
前記ワーク繰り出し部は、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながら前記シート状ワークを繰り出す縦置きの繰り出しロールを複数備え、
前記シート状ワークの移動経路の下流側には、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながら前記シート状ワークを巻き上げる縦置きの巻き上げロールを複数備えたワーク巻き上げ部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項６】
前記処理液貯留部には、前記シート状ワークの移動方向と交差する方向で対向する３枚以上の電極が配置され、
前記シート状ワークは、前記３枚以上の電極のうち、互いに対向し合う電極の間を１枚ずつ通過して電解処理が施されることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項７】
前記３枚以上の電極のうち、両端に配置された電極間に交流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に交流電解を行なうことを特徴とする請求項６に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項８】
前記３枚以上の電極のうち、前記シート状ワークを間に挟んで対向する２つの電極に交流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に交流電解を行なうことを特徴とする請求項６に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項９】
前記電極と前記シート状ワークとの間に直流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に直流電解を行なうことを特徴とする請求項６に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項１０】
前記シート状ワークの移動経路に沿って前記処理液貯留部が複数設けられ、
前記複数の処理液貯留部のうち、一部の処理液貯留部において前記複数のシート状ワークの各々に交流電解が行われ、他の一部の処理液貯留部において前記複数のシート状ワークの各々に直流電解が行われることを特徴とする請求項６乃至９の何れか一項に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項１１】
前記シート状ワークは、アルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔であることを特徴とする請求項６乃至１０の何れか一項に記載のシート状ワーク連続処理装置。
【請求項１２】
複数の長尺のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列させた状態で長手方向に連続的に繰り出し、繰り出した前記複数のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で処理液貯留部に貯留された処理液中に連続的に通過させることを特徴とするシート状ワーク連続処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔等のシート状ワークを連続的に処理するシート状ワーク連続処理装置、およびシート状ワーク連続処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
長尺のシート状ワークを連続的に処理するシート状ワーク連続処理装置として代表的な装置としては、アルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔等を塩酸等の処理液中で電解する連続エッチング装置がある。かかる連続エッチング装置では、アルミニウム箔の移動方向に沿って複数のローラーを水平姿勢で配置し、かかるローラーによってアルミニウム箔の移動経路を規定する。また、エッチング槽内の底部に水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔を上下方向に何回も折り返すように移動させ、その間にアルミニウム箔をエッチングする（特許文献１参照）。
【０００３】
また、アルミニウム電解コンデンサ用の陽極箔を製造する連続化成装置でも、同様に、アルミニウム箔の移動方向に沿って複数のローラーを水平姿勢で配置し、かかるローラーによってアルミニウム箔の移動経路を規定する。また、化成槽内の底部に水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔を上下方向に何回も折り返すように移動させ、その間にアルミニウム箔を化成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−５９８２７号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の連続エッチング装置や連続化成装置のように、水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔を上下方向に何回も折り返す構成のシート状ワーク連続処理装置では、アルミニウム箔（シート状ワーク）が切断した場合、エッチング槽内や化成槽内のローラーにアルミニウム箔を再び、通すのに多大な手間がかかるという問題点がある。
【０００６】
また、従来の連続エッチング装置や連続化成装置のように、水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔を上下方向に何回も折り返す構成の場合、アルミニウム箔の品質が低下するという問題点がある。例えば、連続エッチング装置の場合、ローラーによって折り返す部分では、電極が対向していない無電解エッチング状態になって無駄な溶解が発生し、エッチング倍率が低下する。また、連続化成装置の場合、ローラーによって折り返す部分では、化成膜（陽極酸化膜）に過大な負荷が加わってクラックが発生し、かかるクラックは漏れ電流が増大する原因となる。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、連続処理中にシート状ワークが切断した場合でも、その復旧を容易に行うことができるとともに、シート状ワークの折り返し回数を最小限に抑えることができるシート状ワーク連続処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るシート状ワーク連続処理装置は、複数の長尺のシート状ワークが幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で長手方向に連続的に繰り出されるワーク繰り出し部と、前記ワーク繰り出し部から繰り出された前記複数のシート状ワークが幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で連続的に通過する処理液が貯留された処理液貯留部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るシート状ワーク連続処理方法は、複数の長尺のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列させた状態で長手方向に連続的に繰り出し、繰り出した前記複数のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列した状態で処理液貯留部に貯留された処理液中に連続的に通過させることを特徴とする。
【００１０】
本発明における「シート状ワーク」とは、ワークが薄い部材であることを意味し、その厚さについては、例えば、数μｍのフィルム状のものから、数１００μｍの板状のものまで含む意味であって、厚さ寸法に限定はない。また、本発明における「連続的に繰り出される」とは、シート状ワークが停止せずに繰り出される構成の他、一時停止を行う場合等、間欠的に繰り出される場合も含む意味である。
【００１１】
本発明に係るシート状ワーク連続処理装置およびシート状ワーク連続処理方法では、複数の長尺のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列させた状態で連続的に繰り出し、この状態のまま、処理液中に連続的に通過させる。このため、水平姿勢で配置したローラーによってシート状ワークを上下方向に何回も折り返すことがないので、シート状ワークが切断した場合でも、処理液中にシート状ワークを再び通すのに多大な手間を必要としない。また、シート状ワークは、幅方向を上下方向に向けているため、処理液中への出入りのためにローラー等によって何回も折り返す必要がない。それ故、シート状ワークの折り返し回数を最小限に抑えることができるので、シート状ワークの折り返しに起因する品質低下を抑えることができる。また、本発明では、水平姿勢で配置したローラーによってシート状ワークを処理液中で上下方向に何回も折り返す場合と比較して、処理液内に同時に浸漬されるシート状ワークの長さが短くなるが、複数のシート状ワークを同時に処理するので、生産性の著しい低下を回避することができる。
【００１２】
本発明において、前記処理液貯留部は、前記シート状ワークの移動方向の上流側で前記シート状ワークが通る入側スリットを備えた入側壁部分と、前記シート状ワークの移動方向の下流側で前記シート状ワークが通る出側スリットを備えた出側壁部分と、前記シート状ワークの厚さ方向の両側で対向する側壁部分と、前記シート状ワークの下方に位置する底壁部分と、を備えていることが好ましい。幅方向を上下方向に向けてシート状ワークを移動させながら処理する場合、処理液貯留部にシート状ワークが入る箇所、および処理液貯留部からシート状ワークが出る箇所からの処理液の漏れが発生するが、処理液貯留部にシート状ワークが入る箇所、および処理液貯留部からシート状ワークが出る箇所をスリット状にすれば、処理液の漏れを少なく抑えることができる。
【００１３】
本発明において、前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給装置と、前記処理液貯留部から漏れ出た前記処理液を回収する処理液回収装置と、を有していることが好ましい。かかる構成によれば、処理液が入側スリットおよび出側スリットから漏れる分は、処理液供給装置から補給することができるので、処理液の液面の所定位置に維持することができる。また、処理液回収装置を有しているため、処理液の無駄な消費を防止することができる。
【００１４】
本発明において、前記処理液回収装置で回収された前記処理液を前記処理液貯留部に還流させる処理液還流経路が構成されていることが好ましい。かかる構成によれば、処理液貯留部から漏れた処理液を処理液貯留部に戻すことができるので、処理液の液面を所定位置に維持するのが容易である。
【００１５】
本発明において、前記ワーク繰り出し部は、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながら前記シート状ワークを繰り出す縦置きの繰り出しロールを複数備え、前記シート状ワークの移動経路の下流側には、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながら前記シート状ワークを巻き上げる縦置きの巻き上げロールを複数備えたワーク巻き上げ部が設けられていることが好ましい。かかる構成によれば、幅方向を上下方向に向けてシート状ワークを移動させながら処理する場合でも、シート状ワークの繰り出し、およびシート状ワークの巻き上げを効率よく行うことができる。
【００１６】
本発明において、前記処理液貯留部には、前記シート状ワークの移動方向と交差する方向で対向する３枚以上の電極が配置され、前記シート状ワークは、前記３枚以上の電極のうち、互いに対向し合う電極の間を１枚ずつ通過して電解処理が施される構成を採用することができる。かかる構成によれば、シート状ワークに対して電解処理を行うことができる。
【００１７】
この場合、前記３枚以上の電極のうち、両端に配置された電極間に交流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に交流電解を行なうことが好ましい。かかる構成によれば、電極に対する配線等を簡素に行うことができる。
【００１８】
本発明において、前記３枚以上の電極のうち、前記シート状ワークを間に挟んで対向する２つの電極に交流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に交流電解を行なう構成を採用してもよい。
【００１９】
本発明において、前記電極と前記シート状ワークとの間に直流電流を印加して前記複数のシート状ワークの各々の両面に直流電解を行なう構成を採用してもよい。
【００２０】
本発明において、前記シート状ワークの移動経路に沿って前記処理液貯留部が複数設けられ、前記複数の処理液貯留部のうち、一部の処理液貯留部において前記複数のシート状ワークの各々に交流電解が行われ、他の一部の処理液貯留部において前記複数のシート状ワークの各々に直流電解が行われることが好ましい。かかる構成によれば、一台のシート状ワーク連続処理装置によって、シート状ワークに対する交流電解と直流電解とを連続して行うことができる。
【００２１】
本発明は、前記シート状ワークがアルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔である場合に適用すると特に効果的である。この場合、例えば、シート状ワークに対する電解としてエッチング処理や化成処理を行う。かかる構成によれば、連続エッチングの際、ローラーによる折り返し部分で発生する無電解エッチング状態を防止することができるので、エッチング倍率を高めることができる。また、連続化成の際、ローラーによる折り返し部分で化成膜（陽極酸化膜）にクラックが発生することを防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るシート状ワーク連続処理装置およびシート状ワーク連続処理方法では、複数の長尺のシート状ワークを、幅方向を上下方向に向けて互いに並列させた状態で連続的に繰り出し、この状態のまま、処理液中に連続的に通過させる。このため、シート状ワークが切断した場合でも、処理液中にシート状ワークを再び通すのに多大な手間を必要としない。また、シート状ワークは、幅方向を上下方向に向けているため、処理液中への出入りのためにローラー等によって何回も折り返す必要がない。それ故、シート状ワークの折り返し回数を最小限に抑えることができるので、シート状ワークの折り返しに起因する品質低下を抑えることができる。また、本発明では、複数のシート状ワークを同時に処理するので、幅方向を上下方向に向けてシート状ワークが移動する構成であっても、生産性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置の全体構成を模式的に示す平面図である。
【図２】本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置のエッチング処理部等の構成を示す説明図である。
【図３】本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置の洗浄処理部に設けた洗浄液貯留部の一部を模式的に拡大して示す斜視図である。
【図４】本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置の化成処理部等の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図面を参照して、本発明を適用したシート状ワーク連続処理装置およびシート状ワーク連続処理方法を説明する。なお、以下の説明では、シート状ワークとして、アルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔に各種処理を行う場合を例示する。また、以下に参照する図面において、互いに交差する三方向（Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向）のうち、アルミニウム箔の幅方向（上下方向）をＺ方向とし、繰り出し部からアルミニウム箔が繰り出される方向をＸ方向とし、繰り出し部からアルミニウム箔が繰り出される際のアルミニウム箔の幅方向をＹ方向として説明する。また、アルミニウム箔の移動方向については矢印Ｄで示す。
【００２５】
（全体構成）
図１は、本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置の全体構成を模式的に示す平面図である。図１に示すアルミニウム箔連続処理装置１００は、アルミニウム電解コンデンサ用のアルミニウム箔Ｆにエッチング処理、洗浄処理、および化成処理を連続的に行うシート状ワーク連続処理装置である。かかるアルミニウム箔連続処理装置１００には、アルミニウム箔Ｆの搬送経路に沿って上流側から下流側に向けて、繰り出し部２０（ワーク繰り出し部）、エッチング処理部３０、洗浄処理部４０、化成処理部５０、乾燥部６０および巻き上げ部７０（ワーク巻き上げ部）がこの順に設けられている。エッチング処理部３０と洗浄処理部４０との間には、アルミニウム箔Ｆの搬送方向を直角に屈曲させるガイドローラー９５が配置されている。洗浄処理部４０と化成処理部５０との間には、アルミニウム箔Ｆの搬送方向を直角に屈曲させるとともに、アルミニウム箔Ｆに給電を行う給電ローラー６９が配置されている。
【００２６】
本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００において、アルミニウム箔Ｆは、長尺状（帯状）のまま連続的に処理される。また、本形態にアルミニウム箔連続処理装置１００において、アルミニウム箔Ｆは複数が同時に処理される。以下の説明では、複数のアルミニウム箔Ｆとして、３つのアルミニウム箔Ｆ1、Ｆ2、Ｆ3が同時に処理される例を説明する。
【００２７】
（アルミニウム箔繰り出し部２０の構成）
図２は、本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置１００のエッチング処理部３０等の構成を示す説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）は、エッチング処理部３０における電極等の配置を模式的に示す平面図、およびエッチング処理部３０に設けたエッチング液貯留部の一部を模式的に拡大して示す斜視図である。
【００２８】
図１および図２において、本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００において、繰り出し部２０は、矢印Ｒａで示すように、上下方向に延在する中心軸線Ｌａ周りに回転しながらアルミニウム箔Ｆを繰り出す３つの繰り出しロールＲ（繰り出しロールＲ1、Ｒ2、Ｒ3）が縦置き姿勢で配置されている。かかる繰り出しロールＲ1、Ｒ2、Ｒ3は各々、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態でアルミニウム箔Ｆ（アルミニウム箔Ｆ1、Ｆ2、Ｆ3）を長手方向に連続的に繰り出す。なお、繰り出しロールＲからのアルミニウム箔Ｆの繰り出しは、例えば、繰り出し部２０の後段に設けられた駆動ローラー１１や、駆動ローラー１１より後段に設けられた駆動ローラ（図示せず）等の駆動装置からアルミニウム箔Ｆに加えられた力等によって行われる。
【００２９】
（エッチング処理部３０の構成）
エッチング処理部３０には、アルミニウム箔Ｆの搬送経路に沿って上流側から下流側に向けて、第１エッチング処理部３１１、エッチング液洗浄処理部３１２、および第２エッチング処理部３１３がこの順に設けられている。第１エッチング処理部３１１と、エッチング液洗浄処理部３１２とは略同一の構成を有しており、エッチング液洗浄処理部３１２は、後述する洗浄処理部４０と略同一の構成を有している。
【００３０】
エッチング処理部３０は、未エッチングのアルミニウム箔Ｆに対して塩酸その他の添加剤を含むエッチング液Ｌ3中で交流エッチングするエリアである。このため、第１エッチング処理部３１１および第２エッチング処理部３１３のいずれにも、複数のアルミニウム箔Ｆが幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態で連続的に通過するエッチング液貯留部３５が設けられており、かかるエッチング液貯留部３５にはエッチング液Ｌ3が貯留されている。
【００３１】
エッチング液貯留部３５は、アルミニウム箔Ｆの移動方向の上流側でアルミニウム箔Ｆが通る入側スリット３５１ｓを備えた入側壁部分３５１と、アルミニウム箔Ｆの移動方向の下流側でアルミニウム箔Ｆが通る出側スリット３５２ｓを備えた出側壁部分３５２と、アルミニウム箔Ｆの厚さ方向（Ｙ方向）の両側で対向する一対の側壁部分３５３と、アルミニウム箔Ｆの下方に位置する底壁部分３５５とを備えている。本形態において、側壁部分３５３および底壁部分３５５は、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材により構成されている。
【００３２】
入側壁部分３５１は、入側スリット３５１ｓを構成する部分以外、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材３５１ｐにより塞がれている。出側壁部分３５２も、入側壁部分３５１と同様、出側スリット３５２ｓを構成する部分以外は、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材３５２ｐにより塞がれている。
【００３３】
かかる構成のエッチング液貯留部３５では、エッチング液Ｌ3が漏れるのを完全に阻止することは困難である。そこで、本形態では、エッチング液貯留部３５にエッチング液Ｌ3を供給するエッチング液供給装置３６と、エッチング液貯留部３５から漏れ出たエッチング液L3を回収するエッチング液回収装置３７と、エッチング液回収装置３７で回収されたエッチング液Ｌ3をポンプ３９１によりエッチング液貯留部３５に還流させるエッチング液還流経路３９（処理液還流経路）とが構成されている。エッチング液供給装置３６は、調合されたエッチング液Ｌ3を貯留しておくタンク３６１と、ポンプ３６２とを備えている。なお、エッチング液還流経路３９については、エッチング液回収装置３７で回収されたエッチング液Ｌ3を調整した後、エッチング液供給装置３６を介してエッチング液貯留部３５に還流させる経路として構成してもよい。
【００３４】
第１エッチング処理部３１１および第２エッチング処理部３１３のいずれにおいても、エッチング液貯留部３５には、アルミニウム箔Ｆの移動方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｙ方向）で対向する複数の電極３３（エッチング用電極）が配置されており、アルミニウム箔Ｆは、複数の電極３３のうち、互いに対向し合う電極３３の間を１枚ずつ通っている。本形態において、複数の電極３３は、４枚の電極３３１、３３２、３３３、３３４からなり、最も両側の電極３３１、３３４は、エッチング液貯留部３５の一対の側壁部分３５３に保持されている。従って、３枚のアルミニウム箔Ｆのうち、アルミニウム箔Ｆ1は電極３３１、３３２の間を通り、アルミニウム箔Ｆ2は電極３３２、３３３の間を通り、アルミニウム箔Ｆ3は電極３３３、３３４の間を通っている。
【００３５】
電極３３（電極３３１、３３２、３３３、３３４）は、カーボン等、エッチング時に電食されない材質から構成されている。また、本形態では、４つの電極３３のうち、最も両側の電極３３１、３３４に交流が印加され、内側の他の電極３３２、３３３には給電が行われず、電極３３２、３３３は電気的にフローティング状態にある。かかる構成において、電極３３１、３３４には正負における波形が対象な交流電流が印加される。その結果、３枚のアルミニウム箔Ｆはいずれも、両面が交流電解（交流エッチング）され、その実質的な面積の拡大が行われる。かかる構成によれば、４つの電極３３のうち、両側に配置された電極３３１、３３４以外の電極３３２、３３３、およびアルミニウム箔Ｆには、給電を行なわなくてもよい。このため、装置構成を簡素化することができる。また、一部の電極３３のみに配線を接続すればよいので、電極３３の交換等のメンテナンスの際、多大な手間がかからない。さらに、一部の電極３３のみに配線を接続すればよいので、各電極３３への配線抵抗等のバランスが崩れるという事態が発生しない。それ故、アルミニウム箔Ｆに対するエッチング電流密度が安定している。
【００３６】
（洗浄処理部４０の構成）
図３は、本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置１００の洗浄処理部４０に設けた洗浄液貯留部の一部を模式的に拡大して示す斜視図である。図１および図３において、洗浄処理部４０には、エッチング処理部３０でエッチングされたアルミニウム箔Ｆ（エッチング箔Ｆｅ）がシャワー９１により洗浄された後、供給される。洗浄処理部４０には、複数の洗浄処理部４１１〜４１７と、予備乾燥部４２と、熱処理部４３とが設けられている。複数の洗浄処理部４１１〜４１７のうち、洗浄処理部４１１、４１７は純水中にアルミニウム箔Ｆを通す純水洗浄処理部であり、洗浄処理部４１３、４１５は酸やアルカリ等のケミカル洗浄液中にアルミニウム箔Ｆを通すケミカル洗浄処理部であり、洗浄処理部４１２、４１６はシャワーによる純水洗浄処理部である。
【００３７】
洗浄処理部４１１、４１３、４１５、４１７は基本的な構造が同一であり、図３に示すように、複数のアルミニウム箔Ｆが幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態で連続的に通過する洗浄液貯留部４５が設けられている。かかる洗浄液貯留部４５には洗浄液Ｌ4が貯留されている。
【００３８】
洗浄液貯留部４５は、アルミニウム箔Ｆの移動方向の上流側でアルミニウム箔Ｆが通る入側スリット４５１ｓを備えた入側壁部分４５１と、アルミニウム箔Ｆの移動方向の下流側でアルミニウム箔Ｆが通る出側スリット４５２ｓを備えた出側壁部分４５２と、アルミニウム箔Ｆの厚さ方向（Ｙ方向）の両側で対向する一対の側壁部分４５３と、アルミニウム箔Ｆの下方に位置する底壁部分４５５とを備えている。本形態において、側壁部分４５３および底壁部分４５５は、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材により構成されている。
【００３９】
入側壁部分４５１は、入側スリット４５１ｓを構成する部分以外、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材４５１ｐにより塞がれている。出側壁部分４５２も、入側壁部分４５１と同様、出側スリット４５２ｓを構成する部分以外は、ＦＲＰ等からなる耐食性の板材４５２ｐにより塞がれている。
【００４０】
かかる構成の洗浄液貯留部４５では、洗浄液Ｌ4が漏れるのを完全に阻止することは困難である。そこで、本形態では、洗浄液貯留部４５に洗浄液Ｌ4を供給する洗浄液供給装置４６と、洗浄液貯留部４５から漏れ出た洗浄液L4を回収する洗浄液回収装置４７と、洗浄液回収装置４７で回収された洗浄液Ｌ4をポンプ４９１により洗浄液貯留部４５に還流させる洗浄液還流経路４９（処理液還流経路）とが構成されており、洗浄液供給装置４６は、洗浄液Ｌ4を貯留しておくタンク４６１と、ポンプ４６２とを備えている。なお、洗浄液還流経路４９については、洗浄液回収装置４７で回収された洗浄液Ｌ4を洗浄液供給装置４６を介して洗浄液貯留部４５に還流させる経路として構成してもよい。
【００４１】
（化成処理部５０の構成）
図４は、本発明に係るアルミニウム箔連続処理装置１００の化成処理部５０等の構成を示す説明図であり、図４（ａ）、（ｂ）は、化成処理部５０における電極等の配置を模式的に示す平面図、および化成処理部５０に設けた化成液貯留部の一部を模式的に拡大して示す斜視図である。
【００４２】
図１および図４において、化成処理部５０には、アルミニウム箔Ｆの搬送経路に沿って上流側から下流側に向けて、４つの化成処理部５１１、５１２、５１３、５１４が設けられており、化成処理部５１４の下流側には乾燥部６０が設けられている。化成処理部５０において、化成処理部５１１、５１２の間には純水洗浄処理部５２１、液中デポライゼーション部５２２、および純水洗浄処理部５２３がこの順に設けられ、化成処理部５１２、５１３の間には純水洗浄処理部５２４、液中デポライゼーション部５２５、および純水洗浄処理部５２６がこの順に設けられている。また、化成処理部５１３、５１４の間には、純水洗浄処理部５２７および熱処理部５４がこの順に設けられ、化成処理部５１４と乾燥部６０との間には純水洗浄処理部５２８、５２９がこの順に設けられている。
【００４３】
かかる化成処理部５０において、純水洗浄処理部５２１、５２３、５２４、５２６、５２８、５２９、および液中デポライゼーション部５２２、５２５の構成は、洗浄処理部４０と同様、図３を参照して説明した構成を有している。また、４つの化成処理部５１１、５１２、５１３、５１４は略同一の構成を有している。
【００４４】
化成処理部５０（化成処理部５１１、５１２、５１３、５１４）は、エッチング処理部３０でエッチングされたアルミニウム箔Ｆ（エッチング箔Ｆｅ）に対してアジピン酸アンモニウム水溶液、リン酸アンモニウム水溶液、ホウ酸アンモニウム水溶液等の化成液Ｌ5中で化成（直流電解／陽極酸化）を行うエリアである。化成処理部５０には、複数のアルミニウム箔Ｆが幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態で連続的に通過する化成液貯留部５５が設けられており、かかる化成液貯留部５５には化成液Ｌ5が貯留されている。
【００４５】
化成液貯留部５５は、アルミニウム箔Ｆの移動方向の上流側でアルミニウム箔Ｆが通る入側スリット５５１ｓを備えた入側壁部分５５１と、アルミニウム箔Ｆの移動方向の下流側でアルミニウム箔Ｆが通る出側スリット５５２ｓを備えた出側壁部分５５２と、アルミニウム箔Ｆの厚さ方向（Ｙ方向）の両側で対向する一対の側壁部分５５３と、アルミニウム箔Ｆの下方に位置する底壁部分５５５とを備えている。本形態において、側壁部分５５３および底壁部分５５５は、ステンレス等の耐食性の板材により構成されている。
【００４６】
入側壁部分５５１は、入側スリット５５１ｓを構成する部分以外、ＦＲＰやステンレス等からなる耐食性の板材５５１ｐにより塞がれている。出側壁部分５５２も、入側壁部分５５１と同様、出側スリット５５２ｓを構成する部分以外は、ＦＲＰやステンレス等からなる耐食性の板材５５２ｐにより塞がれている。
【００４７】
かかる構成の化成液貯留部５５では、化成液Ｌ5が漏れるのを完全に阻止することは困難である。そこで、本形態では、化成液貯留部５５に化成液Ｌ5を供給する化成液供給装置５６と、化成液貯留部５５から漏れ出た化成液L5を回収する化成液回収装置５７と、化成液回収装置５７で回収された化成液Ｌ5をポンプ５９１により化成液貯留部５５に還流させる化成液還流経路５９（処理液還流経路）とが構成されており、化成液供給装置５６は、調合された化成液Ｌ5を貯留しておくタンク５６１と、ポンプ５６２とを備えている。なお、化成液還流経路５９については、化成液回収装置５７で回収された化成液Ｌ5を化成液供給装置５６を介して化成液貯留部５５に還流させる経路として構成してもよい。
【００４８】
また、化成処理部５１１、５１２、５１３、５１４のいずれにおいても、化成液貯留部５５には、アルミニウム箔Ｆの移動方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｙ方向）で対向する複数の電極５３が配置されており、アルミニウム箔Ｆは、複数の電極５３のうち、互いに対向し合う電極５３の間を１枚ずつ通っている。本形態において、複数の電極５３は、４枚の電極５３１、５３２、５３３、５３４からなり、最も両側の電極５３１、５３４は、化成液貯留部５５の一対の側壁部分５５３に保持されている。従って、３枚のアルミニウム箔Ｆのうち、アルミニウム箔Ｆ1は電極５３１、５３２の間を通り、アルミニウム箔Ｆ2は電極５３２、５３３の間を通り、アルミニウム箔Ｆ3は電極５３３、５３４の間を通っている。
【００４９】
ここで、アルミニウム箔Ｆは、電極５３（電極５３１、５３２、５３３、５３４）に比して高電位とされる。より具体的には、アルミニウム箔Ｆには給電ローラー６９によりグランド電圧が印加され、電極５３（電極５３１、５３２、５３３、５３４）には負の電位が印加された構成が採用される。あるいは、アルミニウム箔Ｆには給電ローラー６９により正の電圧が印加され、電極５３（電極５３１、５３２、５３３、５３４）にはグランド電位が印加された構成が採用される。従って、３枚のアルミニウム箔Ｆはいずれも、両面が直流電解（陽極酸化）されて化成箔Ｆｆとなり、かかる化成箔Ｆｆの両面には誘電体層（酸化アルニウム）が形成されている。
【００５０】
（巻き上げ部７０の構成）
図１および図４（ｂ）において、本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００において、巻き上げ部７０は、矢印Ｑａで示すように、上下方向に延在する中心軸線Ｌｂ周りに回転しながらアルミニウム箔Ｆを巻き上げる３つの巻き上げロールＱ（巻き上げロールＱ1、Ｑ2、Ｑ3）が配置されている。巻き上げロールＱ1、Ｑ2、Ｑ3と繰り出しロールＲ1、Ｒ2、Ｒ3とは一対一の関係を有しており、巻き上げロールＱ1、Ｑ2、Ｑ3は各々、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態で移動してくるアルミニウム箔Ｆ（アルミニウム箔Ｆ1、Ｆ2、Ｆ3）を各々巻き上げる。より具体的には、巻き上げロールＱ1は、繰り出しロールＲ1から繰り出されたアルミニウム箔Ｆ1を巻き上げ、巻き上げロールＱ2は、繰り出しロールＲ2から繰り出されたアルミニウム箔Ｆ2を巻き上げ、巻き上げロールＱ3は、繰り出しロールＲ3から繰り出されたアルミニウム箔Ｆ3を巻き上げる。
【００５１】
（本形態における処理動作）
本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００においては、繰り出し部２０から複数の長尺のアルミニウム箔Ｆ（未エッチング箔）を、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列させた状態で長手方向に連続的に繰り出す。また、繰り出した複数のアルミニウム箔Ｆを、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態のまま、エッチング液Ｌ3、洗浄液Ｌ4、および化成液Ｌ5の中を連続的に通過させながら、エッチング処理、洗浄処理、および化成処理を行う。その結果、巻き上げ部７０では、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けた状態のまま、３つのアルミニウム箔Ｆは各々、化成箔Ｆｆとして巻き上げられる。
【００５２】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００においては、複数の長尺のアルミニウム箔Ｆを、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列させた状態で長手方向に連続的に繰り出す。また、繰り出した複数のアルミニウム箔Ｆを、幅方向を上下方向（Ｚ方向）に向けて互いに並列した状態のまま、エッチング液Ｌ3、洗浄液Ｌ4、および化成液Ｌ5の中を連続的に通過させながら、エッチング処理、洗浄処理、および化成処理を行う。このため、水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔Ｆを上下方向に何回も折り返すことがないので、アルミニウム箔Ｆが切断した場合でも、処理液中にアルミニウム箔Ｆを再び通すのに多大な手間を必要としない。
【００５３】
また、アルミニウム箔Ｆは、幅方向を上下方向に向けているため、処理液への出入りの際、ローラー等によって上下方向に折り返す必要がなく、アルミニウム箔Ｆの折り返し回数を最小限に抑えることができる。それ故、アルミニウム箔Ｆの折り返しに起因する品質低下を抑えることができる。例えば、エッチング処理部３０において連続エッチングを行う際、ローラーによる折り返し部分で発生する無電解エッチング状態を防止することができるので、エッチング倍率を高めることができる。また、化成処理部５０において連続化成を行う際、ローラーによる折り返し部分で化成膜（陽極酸化膜）にクラックが発生することを防止することができる。また、アルミニウム箔Ｆの折り返し回数が少ないので、アルミニウム箔Ｆとして１５０μｍ〜２００μｍの厚さのものを用いた場合でも、アルミニウム箔Ｆに過大な力が加わらない。それ故、１５０μｍ〜２００μｍ程度の厚いアルミニウム箔Ｆの場合でも、箔切れが発生しない。
【００５４】
また、本形態では、水平姿勢で配置したローラーによってアルミニウム箔Ｆを上下方向に何回も折り返す場合と比較して、処理液（エッチング液Ｌ3、洗浄液Ｌ4、化成液Ｌ5）内に同時に浸漬されるアルミニウム箔Ｆの長さが短くなるが、複数のアルミニウム箔Ｆを同時に処理するので、生産性の著しい低下を回避することができる。
【００５５】
また、処理液貯留部（エッチング液貯留部３５、洗浄液貯留部４５、化成液貯留部５５）において、アルミニウム箔Ｆは入側スリット（入側スリット３５１ｓ、４５１ｓ、５５１ｓ）から入って出側スリット（出側スリット３５２ｓ、４５２ｓ、５５２ｓ）から出る。このため、幅方向を上下方向に向けてアルミニウム箔Ｆを移動させながら処理する場合、処理液貯留部にアルミニウム箔Ｆが入る箇所、および処理液貯留部からアルミニウム箔Ｆが出る箇所から処理液の漏れが発生するが、本形態では、処理液貯留部にアルミニウム箔Ｆが入る箇所、および処理液貯留部からアルミニウム箔Ｆが出る箇所がスリット状であるので、処理液の漏れを少なく抑えることができる。
【００５６】
また、本形態では、処理液貯留部（エッチング液貯留部３５、洗浄液貯留部４５、化成液貯留部５５）に処理液を供給する処理液供給装置（エッチング液供給装置３６、洗浄液供給装置４６、化成液供給装置５６）が設けられているため、処理液が処理液貯留部から漏れる分だけは、処理液供給装置に処理液を補給することができる。それ故、処理液の液面の所定位置に維持することができる。また、処理液回収装置（エッチング液回収装置３７、洗浄液回収装置４７、化成液回収装置５７）を有しているため、処理液の損失を防止することができる。さらに、処理液回収装置で回収された処理液を処理液貯留部に還流させる処理液還流経路（エッチング液還流経路３９、洗浄液還流経路４９、化成液還流経路５９）が構成されているため、処理液貯留部から漏れた処理液を処理液貯留部に戻すことができる。それ故、処理液の液面を所定位置に維持するにあたっての処理液の消費を少なく抑えることができる。
【００５７】
さらに、繰り出し部２０は、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながらアルミニウム箔Ｆを繰り出す縦置きの繰り出しロールＲを複数備え、巻き上げ部７０は、上下方向に延在する中心軸線周りに回転しながらアルミニウム箔Ｆを巻き上げる縦置きの巻き上げロールＱを複数備えている。このため、幅方向を上下方向に向けてアルミニウム箔Ｆを移動させながら処理する場合でも、アルミニウム箔Ｆの繰り出し、およびアルミニウム箔Ｆの巻き上げを効率よく行うことができる。
【００５８】
さらにまた、本形態のアルミニウム箔連続処理装置１００においては、アルミニウム箔Ｆの移動経路に沿って処理液貯留部が複数設けられ、複数の処理液貯留部のうち、一部の処理液貯留部（エッチング液貯留部３５）において複数のアルミニウム箔Ｆの各々に交流電解が行われ、他の一部の処理液貯留部（化成液貯留部５５）において複数のアルミニウム箔Ｆの各々に直流電解が行われる。このため、一台のアルミニウム箔連続処理装置１００によって、アルミニウム箔Ｆに対する交流電解と直流電解とを行うことができる。
【００５９】
［他の実施の形態］
上記実施の形態に係るアルミニウム箔連続処理装置１００においては、一台でエッチング処理、洗浄処理、化成処理の全てを行ったが、１台でエッチング処理と洗浄処理とを行う構成（連続エッチング装置）や、化成処理と洗浄処理とを行う構成のアルミニウム箔連続処理装置（連続化成装置）等に本発明を適用してもよい。
【００６０】
上記実施の形態に係るアルミニウム箔連続処理装置１００においては、交流電解として交流エッチングを行い、直流電解として化成（陽極酸化）を行ったが、交流電解として交流エッチングを行い、直流電解として直流エッチングを行うアルミニウム箔連続処理装置（連続エッチング装置）に本発明を適用してもよい。
【００６１】
上記実施の形態に係るアルミニウム箔連続処理装置１００においては、交流エッチングを行うにあたって、電極３３（電極３３１、３３２、３３３、３３４）のうち、最も両側の電極３３１、３３４のみに交流を印加したが、電極３３１、３３２、３３３、３３４に交流電流を供給する一方、アルミニウム箔Ｆをグランド電位に設定してもよい。あるいは、電極３３（電極３３１、３３２、３３３、３３４）とアルミニウム箔Ｆとの間に交流を印加してもよい。
【００６２】
上記実施の形態に係るアルミニウム箔連続処理装置１００においては、エッチング処理部３０および化成処理部５０の途中においてローラーによる屈曲部分が一切なかったが、アルミニウム箔Ｆの品質に大幅な低下が発生しない程度であれば、エッチング処理部３０および化成処理部５０の途中においてローラーによる屈曲部分を設けてもよい。より具体的には、ローラーによる屈曲部分の数が３回以下であれば、アルミニウム箔Ｆの品質低下を小さく抑えることができる。
【００６３】
上記実施の形態に係るアルミニウム箔連続処理装置１００においては、アルミニウム箔Ｆに対する連続処理装置に本発明を適用したが、シート状ワークとして、アルミニウム箔その他の金属箔や、プラスチック製シート等に対して電解、あるいは電解以外の処理を施す連続処理装置等に本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００６４】
２０  繰り出し部（ワーク繰り出し部）
３０  エッチング処理部
３３  電極（エッチング用電極）
３５  エッチング液貯留部（処理液貯留部）
３６  エッチング液供給装置（処理液供給装置）
３７  エッチング液回収装置（処理液回収装置）
３９  エッチング液還流経路（処理液還流経路）
４０  洗浄処理部
４５  洗浄液貯留部（処理液貯留部）
４６  洗浄液供給装置（処理液供給装置）
４７  洗浄液回収装置（処理液回収装置）
４９  洗浄液還流経路（処理液還流経路）
５０  化成処理部
５３  電極（化成用電極）
５５  化成液貯留部
５６  化成液供給装置（処理液供給装置）
５７  化成液回収装置（処理液回収装置）
５９  化成液還流経路（処理液還流経路）
７０  巻き上げ部（シート状ワーク巻き上げ部）
１００  アルミニウム箔連続処理装置（シート状ワーク連続処理装置）
３５１ｓ、４５１ｓ、５５１ｓ  入側スリット
３５１、４５１、５５１  入側壁部分
３５２ｓ、４５２ｓ、５５２ｓ  出側スリット
３５２、４５２、５５２  出側壁部分
Ｆ  アルミニウム箔（シート状ワーク）
Ｑ  巻き上げロール
Ｒ  繰り出しロール
Ｌ3  エッチング液（処理液）
Ｌ4  洗浄液（処理液）
Ｌ5  化成液（処理液）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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