(57)【要約】【課題】ワークを浮上させた非接触状態で搬送する両面粘着テープ剥離方法および両面粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】搬送路２の中央部分で垂直に貫通する孔１２から搬送されるウエハＷの裏面に気体を吹き付けるとともに、搬送路２の幅方向の両側で進行方向斜め中央寄りに形成された孔１３からからウエハ裏面に向けて進行方向斜め中央寄りの気体を吹き付けながらウエハＷを浮上させて搬送する過程で、ウエハＷが進路を外れる場合に外れる側の孔１３から吹き出す気体の流量を調整する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送するワーク搬送方法であって、
前記ワークの幅よりも大きい搬送面に沿ってその中央部分に設けられた第１吹き出し部からワーク裏面に向けて真上に気体を吹き付けてワークを浮上させながら前方へ搬送する搬送過程と、
前記搬送過程において、搬送面の幅方向の両側に設けられた第２吹き出し部からワーク裏面に向けて斜め中央寄りに吹き付ける気体の流量を調整しながらワークの進路を調整する進路調整過程と、
を備えたことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項２】
請求項１に記載のワーク搬送方法において、
前記進路調整過程は、ワークの幅方向に所定のクリアランスを設けて配備した非接触式の検出器でワーク端部を検出し、当該検出した側の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量を他方の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量よりも多くし、ワークの進路を調整する
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のワーク搬送方法において、
保持テーブルに保持された前記ワークの搬送方向の後側からノズルで気体を吹き付けてワークを浮上させるとともに、前向きの推進力を与えて前記搬送面上にワークを移動させ、
前記搬送過程では、搬送面を進路方向に斜め下がり傾斜にし、ワークへの前向きの推進力を与え、
当該搬送面を水平姿勢に戻してワークの搬送を停止させる
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項４】
請求項３に記載のワーク搬送方法において、
前記保持テーブルに保持されたワーク裏面を支持ピンで突き上げ支持し、ワークの後側からノズルで気体を吹き付ける
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のワーク搬送方法において、
前記第２吹き出し部は、ワーク裏面にワークの進行方向斜め中央寄りの気体を吹き付ける
ことを特徴とするワーク搬送方法。
【請求項６】
ワークを搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークの搬送方向に沿ってその中央部分からワーク裏面に向けて真上に気体を吹き付ける第１吹き出し部と、ワークの幅方向からワーク裏面に向けて斜め中央よりに気体を吹き付ける第２吹き出し部とを搬送面に設け、ワーク幅方向に所定のクリアランスを有し当該ワークよりも大きい搬送面上でワークを浮上させて搬送するワーク搬送部と、
前記搬送面に設けられた第１吹き出し部および第２吹き出し部に向けて気体を供給する気体供給部と、
前記ワーク搬送部に向けてワークを搬出するワーク搬出機構と、
前記ワーク搬送部で搬送されるワークの端部を検出する検出器と、
前記検出器によりワーク端部の検出された側の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量を、他方の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量よりも多くし、ワークの進路を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載のワーク搬送装置において、
前記ワーク搬出機構は、ワークを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持されたワークの後側から気体を吹き付けるノズルとで構成した
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載のワーク搬送装置において、
前記保持テーブルは、ワーク裏面から突き上げて支持する複数本の支持ピンを備えた
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項９】
請求項６ないし請求項８のいずれかに記載のワーク搬送装置において、
少なくとも前記ワーク搬送部を装備し、ワーク搬送開始端側を支点にして先端側を揺動可能にした揺動部と、
前記揺動部を駆動させる駆動機構とを備え、
前記制御部は、さらに前記ワーク搬送時にワーク搬送部を揺動下降させてワークを浮上させながら搬送させ、所定位置にワークが到達する時点に合わせて当該ワーク搬送部を揺動上昇させてワークを当該所定位置で停止させるよう前記駆動部を制御する
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、回路基板などの各種ワークを非接触で搬送するワーク搬送方法およびワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワーク搬送装置として、例えば、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）を非接触で搬送するものが提案および実施されている。具体的には、高さ方向に所定のピッチをおいて半導体ウエハを多段に収納可能なウエハカセットへのウエハのアンロードまたはロードを、エアーフロートを利用して実施している。つまり、ウエハカセットの正面から奥側に向けて矩形状に切り欠いた底面の下方にエアーフロート台を設けている。ウエハカセットからウエハをアンロードする場合、ウエハカセットから露出するウエハ裏面分部にエアーフロート台からエアーを吹き付けて浮上させるとともに、当該エアーフロート台上で待機している真空吸着板の真下までウエハ全体を前進移動させる。受け渡し位置に到達したウエハの表面を真空吸着板が吸着し、ウエハカセットからウエハをアンロードする。
【０００３】
ウエハカセットからウエハをロードする場合、真空吸着板によって表面を吸着されたウエハが、エアーフロート台上に搬送されてくると、エアーフロート台によってウエハ裏面からエアーを吹き付けて浮上状態にするとともに、真空吸着板の吸着を解除して当該真空吸着板を退避させながらウエハカセット内にウエハをロードしている。（特許文献１を参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−２５１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記実施例装置は、カセットの開口部分での僅か数センチの距離をエアーフロート台を利用してウエハを浮上搬送しているので、ウエハカセットへのアンロードおよびロードを非接触によって有効に機能させている。しかしながら、エアーフロート台を利用して長距離にわたってウエハを搬送させる場合、非接触状態で浮上しているウエハが蛇行し、エアーフロート台から落下して破損するといった問題がある。
【０００６】
なお、搬送方向に沿ってエアーフロート台の両側にガイド壁を設けることにより、エアーフロート台からのウエハの落下を防止することができる。しかしながら、エアーフロート台を移動するウエハは蛇行してガイド壁に衝突し、外端縁を破損するといった問題が新たに生じている。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ウエハや回路基板などのワークを非接触で精度よく搬送可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【０００９】
すなわち、ワークを搬送するワーク搬送方法であって、
前記ワークの幅よりも大きい搬送面に沿ってその中央部分に設けられた第１吹き出し部からワーク裏面に向けて真上に気体を吹き付けてワークを浮上させながら前方へ搬送する搬送過程と、
前記搬送過程において、搬送面の幅方向の両側に設けられた第２吹き出し部からワーク裏面に向けて斜め中央寄りに吹き付ける気体の流量を調整しながらワークの進路を調整する進路調整過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
（作用・効果）  上記方法によれば、搬送面上を浮上して搬送されるワークが蛇行する場合、第２吹き出し部から吹き出される気体の流量が調整され、蛇行が抑制される。したがった、ワークの搬送経路からの落下およびガイド壁との衝突を回避させながら所定の搬送経路に沿ってワークを精度よく搬送することができる。
【００１１】
上記方法において、進路調整過程は、ワークの幅方向に所定のクリアランスを設けて配備した非接触式の検出器でワーク端部を検出し、当該検出した側の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量を他方の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量よりも多くし、ワークの進路を調整することが好ましい。
【００１２】
この方法によれば、検出器によって検出された側に設けられた第２吹き出し部からワーク裏面に向けて吹き付ける気体の流量を他方の第２吹き出し部からの気体の流量よりも多くすることができるので、搬送経路から外れかけたワークを搬送経路に戻すことができる。したがって、上記方法を好適に実施することができる。
【００１３】
上記方法において、保持テーブルに保持された前記ワークの搬送方向の後側からノズルで気体を吹き付けてワークを浮上させるとともに、前向きの推進力を与えて前記搬送面上にワークを移動させ、
前記搬送過程では、搬送面を進路方向に斜め下がり傾斜にし、ワークへの前向きの推進力を与え、
当該搬送面を水平姿勢に戻してワークの搬送を停止させることが好ましい。
【００１４】
この方法によれば、ワークの後側からノズルで気体を吹き付けることにより、負圧でワークを上浮させるとともに、浮上したワークを搬送面に向けて搬出させることができる。また、搬送面に到達したワークは、斜め下がり傾斜の搬送面に沿って前向きの推進力を得て搬送され、搬送面が水平に戻されることによりワークの搬送が停止される。したがって、搬出から停止まで間、ワークを非接触状態で搬送することができる。
【００１５】
なお、上記方法において、保持テーブルに保持されたワーク裏面を支持ピンで突き上げ支持し、ワークの後側からノズルで気体を吹き付けることが好ましい。
【００１６】
この方法によれば、保持テーブルからワークを確実に浮上させた状態で搬送面にワークを搬出することができる。
【００１７】
なお、第２吹き出し部は、ワーク裏面にワークの進行方向斜め中央寄りの気体を吹き付けるようにしてもよい。
【００１８】
この方法によれば、搬送面を斜め下がり傾斜にしなくても、ワークを前方に送り出す推進を得ることができる。
【００１９】
また、この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【００２０】
すなわち、ワークを搬送するワーク搬送装置であって、
前記ワークの搬送方向に沿ってその中央部分からワーク裏面に向けて真上に気体を吹き付ける第１吹き出し部と、ワークの幅方向からワーク裏面に向けて斜め中央よりに気体を吹き付ける第２吹き出し部とを搬送面に設け、ワーク幅方向に所定のクリアランスを有し当該ワークよりも大きい搬送面上でワークを浮上させて搬送するワーク搬送部と、
前記搬送面に設けられた第１吹き出し部および第２吹き出し部に向けて気体を供給する気体供給部と、
前記ワーク搬送部に向けてワークを搬出するワーク搬出機構と、
前記ワーク搬送部で搬送されるワークの端部を検出する検出器と、
前記検出器によりワーク端部の検出された側の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量を、他方の第２吹き出し部から吹き出す気体の流量よりも多くし、ワークの進路を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
【００２１】
（作用・効果）  この構成によれば、検出器によってワーク端部が検出された側の第２吹き出し部からワーク裏面に吹き付ける気体の流量を他方の第２吹き出し部からの気体の流量よりも多くされる。したがって、ワーク搬送経路から外れかけるワークを搬送経路の中央に戻すことができる。すなわち、上記方法を好適に実現することができる。
【００２２】
上記構成において、ワーク搬出機構は、ワークを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持されたワークの後側から気体を吹き付けるノズルとで構成したしてもよい。
【００２３】
この構成によれば、ワークの後側から吹き付ける気体によってワーク裏面と保持テーブルの保持面との間で差圧を生じさせてワークを浮上させつつ、ワーク搬送部に向けて当該ワークを搬出することができる。
【００２４】
また、上記構成において、保持テーブルは、ワーク裏面から突き上げて支持する複数本の支持ピンを備えていてもよい。
【００２５】
この構成によれば、保持テーブルに保持されたワークを浮上させるよりも容易に浮上させてワーク搬送部にワークを搬出することができる。
【００２６】
さらに、上記構成において、少なくとも前記ワーク搬送部を装備し、ワーク搬送開始端側を支点にして先端側を揺動可能にした揺動部と、
前記揺動部を駆動させる駆動機構とを備え、
前記制御部は、さらに前記ワーク搬送時にワーク搬送部を揺動下降させてワークを浮上させながら搬送させ、所定位置にワークが到達する時点に合わせて当該ワーク搬送部を揺動上昇させてワークを当該所定位置で停止させるよう前記駆動部を制御するように構成してもよい。
【００２７】
この構成によれば、ワークの搬出から所定距離を搬送して所定位置で停止までの間、ワークを浮上させた非接触状態で取り扱うことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明のワーク搬送方法およびワーク搬送装置によれば、ワークを浮上させたまま搬送経路に沿って精度よく搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】ワーク搬送装置の平面図である。
【図２】ワーク搬送装置の正面図である。
【図３】保持テーブルの動作を説明する図である。
【図４】搬送路の断面図である。
【図５】保持テーブルの平面図である。
【図６】実施例装置の動作を説明する図である。
【図７】実施例装置の動作を説明する図である。
【図８】実施例装置の動作を説明する図である。
【図９】実施例装置の動作を説明する図である。
【図１０】変形例装置の平面図である。
【図１１】変形例装置の搬送路の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００３１】
また、本実施例装置において搬送するワークとして、半導体ウエハ（以下、適宜に「ウエハ」という）を例にとって説明する。このウエハは、ウエハと略同形状のステンレス鋼やガラス基板などの支持板を両面粘着テープを介して裏打ち補強した状態、あるいは表面保護用の粘着テープを貼り付けた状態で裏面をバックグラインドした後に、さらにその表面から支持板および両面粘着テープあるいは表面保護用の粘着テープが除去された状態にある。なお、ワークの種類および形状については特に限定されない。例えば、ワークとして回路基板やガラス基板などの各種基板であってもよい。また、その形状は、円形または矩形などであってもよい。
【００３２】
図１は本発明に係るワーク搬送装置を示す平面図、図２はワーク搬送装置の正面図である。
【００３３】
このワーク搬送装置は、図１および図２に示すように、保持テーブル１と、搬送路２と、冷却ステージ３と、搬出ステージ４とが支持フレームを介して揺動可動台５に配備されている。以下、各構成について詳述する。
【００３４】
保持テーブル１は、金属製のチャックテーブルであり、流路を介して外部の真空装置と連通接続されている。つまり、保持テーブル１上に載置したウエハＷを吸着保持するように構成されている。また、保持テーブル１は、吸着パッド６と複数本の支持ピン７とが装備されている。なお、保持テーブル１は、金属製に限定されず、セラミックの多孔質で形成されたものであってもよい。
【００３５】
吸着パッド６は、保持テーブル１の中央で出退昇降可能な上面が真空吸着面に構成されている。
【００３６】
支持ピン７は、保持テーブル１の所定の円周上に等間隔をおいて配備されている。すなわち、支持ピン７は、シリンダ８によって保持テーブル１の保持面に対して出退昇降可能に構成れている。さらに、支持ピン７の先端は、絶縁物で構成されているか、あるいは絶縁物で被覆されている。
【００３７】
保持テーブル１の後方には、ノズル９が配備されている。ノズル９は、図６に示すように、保持テーブル１から支持ピン７で突き上げ保持されたウエハＷと保持テーブル１との間に気体を吹き付ける。
【００３８】
図１に戻り、搬送路２は、搬送対象のウエハＷよりも幅の大きい板状であり、冷却ステージ３を挟んで保持テーブル１と搬出ステージ４のそれぞれに連結されている。搬送面には、搬送方向に沿ってその中央部分で図中の一点鎖線で囲った第１吹き出し部１０と、第１吹き出し部１０を挟んで搬送路２の両側で図中の一点鎖線で囲った第２吹き出し部１１とを備えている。
【００３９】
第１吹き出し部１０は、図４に示すように、搬送路２の垂直貫通して形成された複数個の孔１２からなる。孔１２は、搬送路２内の裏面側の流路１４によって纏められている。纏まって1本になった流路１４には、第１電磁バルブ１５が備えられており、他端にポンプ１８が連通接続されている。
【００４０】
第２吹き出し部１１は、ウエハＷの進行方向斜め中央寄りに搬送路２を貫通して形成された複数個の孔１３からなる。孔１３は、第２吹き出し部１１ごとに搬送路２の両端の内部の裏面側で流路１６によってそれぞれが纏められている。纏まって1本になった各流路１６には、第２電磁バルブ１７が備えられており、他端にポンプ１８が連通接続されている。
【００４１】
図１および図２に戻り、搬送路２の搬送開始側に配備された投光器１９と終了側に配備された受光器２０からなる２個の検出器が、搬送路２の幅方向にそれぞれ配備されている。すなわち、各検出器２０は、搬送路２の中央に沿って搬送されるウエハＷの幅方向に位置する外周端から所定のクリアランスをおいて配備されている。
【００４２】
さらに、搬送路２の両側端には、ウエハＷの落下防止用のガイド壁２２がそれぞれ配備されている。ガイド壁２２の表面は、弾性体で被覆されている。
【００４３】
冷却ステージ３は金属製のチャックテーブルであり、温度センサを備えるとともに、図５に示すように、ステージ上に載置されるウエハＷを冷却するペルチェ素子２４を内部に備えている。また、図１および図２に示すように、冷却ステージ３の手前で搬送路２の側面から立設された支持フレーム２６にノズル２７が装備されている。
【００４４】
ノズル２７は、冷却ステージ３に載置されたウエハＷの後端に向けて気体を吹き付けるよう、その先端が下向き斜め姿勢に設定されている。
【００４５】
搬出ステージ４は、金属製のチャックテーブルであり、流路２３を介して外部の真空装置と連通接続されている。つまり、搬出ステージ４上に搬送されてきたウエハＷを吸着保持するように構成されている。また、搬出ステージ４は、保持テーブル１と同様に支持ピン２８が装備されている。なお、搬出ステージ４は、金属製に限定されず、セラミックの多孔質で形成されたものであってもよい。
【００４６】
支持ピン２８は、搬出ステージ４の所定の円周上に等間隔をおいて配備されている。すなわち、支持ピン２８は、シリンダ２９によって搬出ステージ４の保持面に対して出退昇降可能に構成れている。さらに、支持ピン２８の先端は、絶縁物あるいは絶縁物で被覆されている。
【００４７】
揺動可動台５は、保持テーブル１側の下部に配備された支柱３０に支軸３１を介して軸支されるとももに、搬出ステージ４側の下部で昇降カム３２に支持されている。すなわち、昇降カム３２に連結されたモータ３３を正逆転駆動させることにより、当該揺動可動台５が支軸３１周りに枢動しつつ、ウエハＷの進行方向に微小角度で斜め下がり傾斜するように構成されている。
【００４８】
次に、上記実施例装置を用いて保持テーブル１から搬出ステージ４までウエハＷを搬送する基本的な動作について説明する。
【００４９】
先ず、図示しない搬送ロボットの馬蹄形をした先端アームよって裏面を吸着保持されたウエハＷを保持テーブル１上に搬送する。
【００５０】
保持テーブル１上に到達したウエハＷは、保持テーブル１上に突出している吸着パッド６に一旦受け取られた後、吸着パッド６の下降に伴って保持テーブル１の上面に所定の姿勢および位置で載置される。
【００５１】
次に、支持ピン７を上昇させて保持テーブル１から突き出し、図３に示すように、ウエハＷを保持テーブル１から離間させる。この状態で、モータ３３を正転させ、図７に示すように、揺動可動台５を揺動下降させるのに伴って、図６に示すように、保持テーブル１も搬送方向に斜め下がり傾斜になる。同時、ウエハＷの後側からノズル９で気体を吹き付けながらウエハＷを支持ピン７から浮上させ、支持ピン７を下降させる。ウエハＷは，保持テーブル１上で浮上するとともに、前向きの推進力を得て搬送路２に向けて送り出される。
【００５２】
図４および図７に示すように、搬送路２の表面に設けられた第１吹き出し部１０および第２吹き出し部１１の各孔１２、１３から均一な流量の気体が吹き出されており、その上をウエハＷが浮上しながら冷却ステージ３に向けて搬送される。
【００５３】
図８に示すように、冷却ステージ３にウエハＷが到達する手前からモータ３３を逆転させて揺動可動台５を水平に戻し、冷却ステージ３上にウエハＷを載置する。このとき、揺動可動台５を水平に戻すタイミングは、例えば、予め決めた時間または所定位置をウエハＷが通過したことを図示しないセンサで検出した結果に基づいて決められる。
【００５４】
冷却ステージ３上で所定時間をかけて冷却しながら温度センサでウエハＷの温度をモニタする。ウエハＷが所定温度に達すると、モータ３３を正転させて揺動可動台５を揺動下降させるとともに、ウエハＷの後側からノズル２７で気体を吹き付ける。このとき、冷却ステージ３の保持面とウエハＷの裏面との間に差圧が生じてベルヌーイ効果によってウエハＷが浮上するとともに、前向きの推進力を得たウエハＷが気体の吹き出されている搬送路２上を浮上しながら搬出ステージ４へと搬送される
【００５５】
搬出ステージ４にウエハＷが到達する手前からモータ３３を逆転させて揺動可動台５を水平に戻し、搬出ステージ４上にウエハＷを載置する。このとき、揺動可動台５を水平に戻すタイミングは、例えば、予め決めた時間または所定位置をウエハＷが通過したことを図示しないセンサで検出した結果に基づいて決められる。
【００５６】
搬出ステージ４に載置されたウエハＷは、支持ピン２８によって搬出ステージ４から突き上げ支持される。保持テーブル１へのウエハＷの搬入と同様に、図示しない搬送ロボットによって裏面を吸着保持されたウエハＷを搬出ステージ４から搬出する。
【００５７】
以上で一巡の動作が終了し、以後同じ動作が繰り返される。
【００５８】
次に、販路路２上でのウエハＷの搬送制御について説明する。
【００５９】
保持テーブル１または冷却ステージ３から送り出されて搬送路２上でウエハＷを搬送している最中に、ウエハＷの撓みや重量バランスの偏りなどによって搬送路２の規定の進路からウエハＷが外側に外れてゆく場合がある。このとき、図９に示すように、一方の投光器１９からの光３５が遮断されて受光器２０からの信号がオフ状態になる。制御部３７は、オフ状態になった側の第２吹き出し部１１の孔１３に連通接続された流路１６に配備された第２電磁バルブ１７の開度を調整し、当該第２吹き出し部１１から吹き出す気体の流量を第１吹き出し部１０から吹き出す気体の流量よりも増やす。
【００６０】
増量した気体の吹き出し時間は、ウエハＷの種類、形状、重さなどによって適宜に設定されている。すなわち、再現実験やシミュレーションなどによって流量と時間との関係を適宜に設定変更し、いずれの条件で搬送路２の中央の規定進路にウエハＷが戻るかの最適化によって予め決められている。
【００６１】
第２吹き出し部１１から増量した気体をウエハＷの裏面に向けて進行方向斜め中央寄りに所定時間だけ吹き付けることにより、搬送路２の中心軸から外れたウエハＷの中心が２点鎖線で示すウエハＷのように搬送路２の中心まで戻り、そのまま搬送路２に沿って各ステージ３、４に搬送される。
【００６２】
上記実施例装置によれば、保持テーブル１から搬送路２を浮上して各ステージ３、４に搬送されるウエハＷが、搬送路２上の規定の進路から外れたとき検出器によって検出され、第２吹き出し部１１からの気体の流量および気体の吹き出し時間が調整されるので、搬送路２中央の規定の進路にウエハＷを戻すことができる。すなわち、搬送路２の両端に配備したガイド壁２２にウエハＷを衝突させることなくウエハＷを搬送路２上で浮上させた非接触状態で各ステージに精度よく搬送することができる。
【００６３】
なお、本発明は以下のような形態で実施することも可能である。
【００６４】
（１）上記実施例装置において、図１０の一点鎖線で示すように、第１吹き出し部１０を搬送路２の搬送軸に沿って左右の２区画に分けてもよい。この場合、図１１に示すように、２区画の第１吹き出し部１０および２区画の第２吹き出し部１１ごとに、孔１２、１３を纏めた１本の流路ごとに第１および第２電磁バルブ１５、１７を備え、それぞれの流量および時間を調整可能にする。この構成によれば、ウエハＷの進路の修正をより精度よく行うことができる。
【００６５】
（２）上記実施例装置において、第２吹き出し部１１の搬送面に形成された孔１３は、斜め中央よりに貫通させたものであってもよい。つまり、ノズル９からの気体の吹き付けと揺動可動台５の傾斜とによってウエハＷの前方への推進力が十分に得られる場合は、当該構成であっても各ステージにウエハＷを搬送することができる。
【００６６】
（３）上記実施例装置において、揺動可動台５の搬出ステージ４側の下部を軸支し、保持テーブル１側の下部をシリンダなどのアクチュエータで昇降させて当該揺動可動台５を搬送方向に揺動下降させるように構成してもよい。
【００６７】
（４）上記実施例装置において、保持テーブル１は、支持ピン７を備えない構成であってもよい。つまり、冷却ステージ３と同様にノズル９によってテーブル保持面とウエハＷの裏面との間に差圧を発生させてウエハＷを浮上させる。
【００６８】
（５）上記実施例装置において、検出器は、投光器１９と受光器２０からなる光センサに限らず、光学カメラなどを利用してもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１  …  保持テーブル
２  …  搬送路
３  …  冷却ステージ
４  …  搬出ステージ
５  …  揺動可動台
１０  …  第１吹き出し部
１１  …  第２吹き出し部
１４  …  流路
１５  …  第１電磁バルブ
１６  …  流路
１７  …  第２電磁バルブ
１８  …  ポンプ
１９  …  投光器
２０  …  受光器
３７  …  制御部
Ｗ  …  半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
2012076877.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2012076877.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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