(57)【要約】【課題】電気機械装置で用いられる積層構造を有する部品を短時間で製造する。【解決手段】電気機械装置で用いられる積層部品の製造方法であって、金属板１１４と絶縁層１１５とを交互に積層して積層体１１３Ｘを形成する工程と、ワイヤーカットを用いて前記積層体を予め定められた形状に成形加工して成形積層体１１３を得る工程と、前記成形積層体を電解研磨することによって、前記成形加工時においてワイヤーカット面に生じた金属板間の短絡部１１４Ｘを溶解させる工程と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械装置で用いられる積層部品の製造方法であって、
金属板と絶縁層とを交互に積層して積層体を形成する工程と、
ワイヤーカットを用いて前記積層体を予め定められた形状に成形加工して成形積層体を得る工程と、
前記成形積層体を電解研磨することによって、前記成形加工時においてワイヤーカット面に生じた金属板間の短絡部を溶解させる工程と、
を備える、積層部品の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の積層部品の製造方法において、
前記電解質溶液は、希硫酸溶液である、積層部品の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の積層部品の製造方法において、
前記成形積層体と、電解研磨で用いられる陽極とは、起毛状電極により接触している、積層部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械装置に用いられるコイルバックヨークのような積層構造を有する部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コイルバックヨークを有する電気機械装置（モーター、発電機）が知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−９３９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の電気機械装置では、コイルバックヨークに流れる渦電流損により、コイルバックヨークが発熱し、電気機械装置の特性を劣化させる場合があった。この原因を検討したところ、金属板による積層構造を持つコイルバックヨークをワイヤーカットにより形成する際において、ワイヤーカット面に金属溶着部が生じ、これにより金属板間が短絡して渦電流が流れやすくなり、渦電流損が発生していることが分かってきた。しかしながら、この金属溶着部を、短時間で短絡を除去する技術については、十分に検討されていなかった。なお、この問題は、コイルバックヨークだけでなく他の積層部品においても同様であった。
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも１つを解決し、電気機械装置で用いられる積層構造を有する部品を短時間で製造する方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
電気機械装置で用いられる積層部品の製造方法であって、金属板と絶縁層とを交互に積層して積層体を形成する工程と、ワイヤーカットを用いて前記積層体を予め定められた形状に成形加工して成形積層体を得る工程と、前記成形積層体を電解研磨することによって、前記成形加工時においてワイヤーカット面に生じた金属板間の短絡部を溶解させる工程と、を備える、積層部品の製造方法。
この適用例によれば、電解研磨により短絡部を溶解するので、酸による溶解するよりも短時間で短絡部を除去することが可能である。
【０００８】
［適用例２］
適用例１に記載の積層部品の製造方法において、前記電解質溶液は、希硫酸溶液である、積層部品の製造方法。
この適用例によれば、電解質液の電気伝導度を向上することが可能となる。
【０００９】
［適用例３］
適用例１又は適用例２に記載の積層部品の製造方法において、前記積層体と、前記陽極とは、起毛状電極により接触している、積層部品の製造方法。
この適用例によれば、金属板と絶縁層との間に段差が存在していても、起毛状電極により、陽極と金属板との接触の維持が可能となる。
【００１０】
本発明は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、積層部品の製造方法の他、コイルバックヨークの製造方法等様々な形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施例のコアレスモーターの構成を模式的に示す説明図である。
【図２】コイルバックヨークと電磁コイルの位置の関係を模式的に示す説明図である。
【図３】コイルバックヨークの製造工程の一部を示す説明図である。
【図４】コイルバックヨークの製造工程の一部を示す説明図である。
【図５】コイルバックヨークの内側の溶着部を取る電解研磨装置を示す説明図である。
【図６】コイルバックヨークの内側の溶着部を除去する電解研磨装置の別の構成例を示す説明図である。
【図７】コイルバックヨークの外側の溶着部を除去する構成を示す説明図である。
【図８】コイルバックヨークと陽極との接触部を示す説明図である。
【図９】形成されたコイルバックヨークの構造を示す説明図である。
【図１０】渦電流損の測定装置を示す説明図である。
【図１１】溶着部を除去する処理の有無による渦電流損の違いを示す説明図である。
【図１２】図１１に示すデータをグラフ化したものである。
【図１３】溶着部を除去する処理のステーター側スロットへの適用を示す説明図である。
【図１４】溶着部を除去する処理のＩＰＭモーターのローターへの適用を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
[第１の実施例]
図１は、第１の実施例のコアレスモーターの構成を模式的に示す説明図である。図１（Ａ）は、コアレスモーター１０を回転軸に平行な面で切った断面であり、図１（Ｂ）は、コアレスモーターを回転軸に垂直な面（１Ｂ−１Ｂ切断面）で切った断面である。
【００１３】
コアレスモーター１０は、略円筒状のステーター１５が外側に配置され、略円筒状のローター２０が内側に配置されたラジアルギャップ構造のインナーローター型モーターである。ステーター１５は、ケーシング１１０の内周に沿って配列された複数の電磁コイル１００Ａ、１００Ｂを有している。電磁コイル１００Ａ、１００Ｂは、コアレス（空心）である。なお、電磁コイル１００Ａ、１００Ｂを合わせて電磁コイル１００とも呼ぶ。ステーター１５には、さらに、ローター２０の位相を検出する位置センサーとしての磁気センサー３００が、電磁コイル１００の各相に１つずつ配置されている（図１（Ａ））。磁気センサー３００は、回路基板３１０の上に固定されており、回路基板３１０は、ケーシング１１０に固定されている。
【００１４】
ローター２０は、中心に回転軸２３０を有し、外周に６つの永久磁石２００を有している。各永久磁石２００は、回転軸２３０の中心から外部に向かう径方向（放射方向）に沿って磁化されている。また、永久磁石２００と電磁コイル１００とは、ローター２０とステーター１５の対向する円筒面に対向して配置されている。
【００１５】
回転軸２３０は、ケーシング１１０の軸受け２４０で支持されており、軸受け２４０は、ベアリングボール２４１を備えている。本実施例では、ケーシング１１０の内側に、コイルバネ２６０を備えている。このコイルバネ２６０は、永久磁石２００を図の左方向に押すことによって、永久磁石２００の位置決めを行っている。但し、コイルバネ２６０は省略可能である。
【００１６】
ケーシング１１０は、回転軸２３０と平行な円筒形状部分（側面部）１１１と、円筒形状部分１１１の両端に配置された、回転軸２３０と垂直な円盤形状部分（端面部）１１２とで構成されている。円盤形状部分１１２は、樹脂で形成されている。円筒形状部分１１１は、磁性体部材で形成された中央部１１３と、樹脂で形成された残りの部分と、を有する。中央部１１３は、コイルバックヨークとして機能するので、「コイルバックヨーク１１３」とも呼ぶ。コイルバックヨーク１１３は、ケーシング１１０のうち、永久磁石２００から電磁コイル１００へ向かう方向に永久磁石２００を投射したときのケーシング１１０を投射する領域に配置されている。コイルバックヨーク１１３は、磁束線２０１を集めるので、磁束線２０１は電磁コイル１００の内部を通りやすくなり、コアレスモーター１０の効率を良くすることが可能となる。しかし、磁束線２０１が通りやすいと、以下に説明するように、コイルバックヨーク１１３に渦電流が発生し易くなる。
【００１７】
本実施例では、コイルバックヨーク１１３は、磁性体部材であると同時に、導電性部材でもある。上述のように、コイルバックヨーク１１３は、永久磁石２００や電磁コイルからの磁束線を通しやすい。ここで、ローター２０が回転すると、永久磁石２００も回転する。これにより、コイルバックヨーク１１３を貫通する磁束が変化し、磁束の変化を妨げる方向に磁束を作る電流、すなわち渦電流が生じる。渦電流が流れると、電力損失（渦電流損）が生じ、熱として放出される。
【００１８】
図２は、コイルバックヨークと電磁コイルの位置の関係を模式的に示す説明図である。コイルバックヨーク１１３は、円盤形状部分１１２のうち、２つのコイルエンド１０１Ａ、１０１Ｂの間の領域と重なる位置に配置される。図１における説明では、コイルバックヨーク１１３を、永久磁石２００を放射方向に投射した領域に配置したが、図２に示すように、２つのコイルエンド１０１Ａ、１０１Ｂとの関係でコイルバックヨーク１１３の配置位置を定めてもよい。また、コイルバックヨーク１１３を、永久磁石２００を放射方向に投射した領域と重なる位置に配置してもよい。
【００１９】
図３は、コイルバックヨークの製造工程の一部を示す説明図である。先ず、導電性材料である金属板１１４と、非導電性材料である樹脂板１１５とを交互に重ね合わせる。本実施例では、金属板１１４として、鉄製の金属板を用いている。次いで、加熱しながら、金属板１１４と樹脂板１１５との積層方向に加圧する。これにより、金属板１１４と樹脂板１１５とを貼り合わせ、積層体１１３Ｘを形成する。図３（Ａ）は、積層体１１３Ｘをｚ軸方向（積層方向）から見た図であり、図３（Ｂ）は、積層体１１３Ｘをｙ軸方向（積層方向と垂直な方向）から見た図である。図３（Ｃ）は、積層体１１３Ｘの側面を拡大して示す説明図である。金属板１１４と樹脂板１１５の大きさが同じであっても、貼り合わせ精度によっては、側面に凹凸が生じる。しかし、後の工程で、積層体１１３Ｘを円筒形状にカットするので、この段階で側面に凹凸が生じても問題はない。
【００２０】
次に、積層体１１３Ｘを、ワイヤ放電加工機を用いて円筒形に加工し、コイルバックヨーク１１３を形成する。図３（Ｄ）は、コイルバックヨーク１１３をｚ軸方向から見た図であり、図３（Ｅ）は、コイルバックヨーク１１３をｙ軸（積層方向と垂直な方向）から見た図である。図３（Ｆ）は、コイルバックヨーク１１３の内側の側面を拡大して示す説明図である。ワイヤ放電加工機は、電気の力で放電現象を起こし、そのとき発生する熱で、金属を溶かして切断する。したがって、金属板１１４が溶けて、樹脂板１１５を挟んで隣の金属板と接触あるいは、溶着部１１４Xが生じる場合がある。かかる場合、溶着部１１４Xを介して２枚の金属板１１４が短絡し、渦電流が流れ易くなり、渦電流損が発生しやすくなる。なお、樹脂板１１５が溶けて金属板１１４を挟んだ複数の樹脂板１１５が接触しても、樹脂板１１５には電流が流れないので、渦電流損への影響は生じ得ない。
【００２１】
図４は、コイルバックヨークの製造工程の一部を示す説明図である。この図に示す工程では、コイルバックヨーク１１３の複数枚の金属板１１４を短絡する溶着部１１４Ｘを溶解する。図４（Ａ）は、溶着部１１４Ｘの溶解前のコイルバックヨーク１１３をｚ軸方向から見た図である。図４（Ｂ）は、溶着部１１４Ｘの溶解前のコイルバックヨーク１１３をｙ軸方向から見た図である。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）の端部を拡大した図である。図４（Ｄ）は、溶着部１１４Ｘの溶解後のコイルバックヨーク１１３をｚ軸方向から見た図である。図４（Ｅ）は、溶着部１１４Ｘの溶解後のコイルバックヨーク１１３をｙ軸方向から見た図である。図４（Ｆ）は、図４（Ｅ）の端部を拡大した図である。図４（Ｃ）と（Ｆ）を比較すればわかるように、図４（Ｆ）では、溶着部１１４Ｘが消失しており、隣接する金属板１１４は、樹脂板１１５を間に挟んで電気的に導通しない状態である。
【００２２】
図５は、コイルバックヨークの内側の溶着部を取る電解研磨装置を示す説明図である。電解研磨装置４００は、直流電源４１０と、陽極４２０と、陰極４２５と、容器４３０と、電解質液４４０と、を備える。陽極４２０は、例えば白金などの貴金属で構成されており、コイルバックヨーク１１３の外側の円筒側面に接続されている。陰極４２５は、例えば白金などの貴金属で構成されており、コイルバックヨーク１１３の内側の円筒側面と離間し、コイルバックヨーク１１３の中心軸上に配置されている。陽極４２０と陰極４２５は、直流電源４１０に接続されている。コイルバックヨーク１１３と、陽極４２０と、陰極４２５は、電解質液４４０の中に浸される。電解質液は、酸性が好ましく、本実施例では、電解質液４４０として、希硫酸を用いている。希硫酸は、電解質液の電気伝導度を高める働きをする。希硫酸は不揮発性を有しているため、揮発性を有している塩酸や硝酸よりも電解質液４４０として好ましい。また、濃硝酸や、濃硫酸を用いた場合には、濃硝酸や、濃硫酸の持つ酸化力により金属板１１４の表面が酸化され不動態が生じ、電解研磨出来なくなる恐れがある。したがって、希硫酸を用いることが好ましい。
【００２３】
陽極４２０−陰極４２５間に電流を流すと、電解研磨により、金属板１１４の鉄が、鉄イオン（Ｆｅ３＋）と電子に分解し、鉄イオンは電解質液に溶解する。
Ｆｅ  →  Ｆｅ３＋  ＋  ３ｅ−
【００２４】
すなわち、金属板１１４の表面の鉄は、鉄イオンとして電解質液４４０に溶ける。このとき、鉄のとがった部分が存在していると、とがった部分には、電流が集中しやすい。そのため、とがった部分は、とがっていない部分に電解研磨され易く溶けやすい。すなわち、金属板１１４の表面は、電解研磨後、なだらかになりやすい。
【００２５】
従来は、シュウ酸溶液などの酸の溶液にコイルバックヨーク１１３を浸して溶着部１１４Ｘ（図４）の溶解を行っていた。この場合、溶着部１１４Ｘを溶解するのに有る程度の時間を要していた。本実施例の方法では、流す電流の量に応じて溶着部１１４Ｘ（図４）の除去速度を上げることが可能である。
【００２６】
図６は、コイルバックヨークの内側の溶着部を除去する電解研磨装置の別の構成例を示す説明図である。図５に示した例では、陰極４２５をコイルバックヨーク１１３の中心軸に配置しているが、この構成例では、陰極４２５をコイルバックヨーク１１３の中心軸を中心とする同心円上に配置している。なお、陰極４２５は、コイルバックヨーク１１３とは接触していない。このように陰極４２５を配置すると、陰極４２５と、コイルバックヨーク１１３の内側の側面との距離を小さくでき、電気抵抗を下げることができる。そのため、溶着部１１４Ｘを溶解するときのエネルギーの損失を少なくすることが出来る。なお、陰極４２５として、円筒形の電極を用いてもよい。この場合、円筒形の陰極４２５の中心軸と、コイルバックヨーク１１３の中心軸はほぼ一致する。また、溶着部１１４Ｘが大きい場合には、溶着部１１４Ｘに陰極４２５を近づけ、溶着部１１４Ｘが小さい場合には、溶着部１１４Ｘから陰極４２５を遠ざけるように、陰極４２５を配置することにより、選択的に溶着部１１４Ｘを除去することができる。
【００２７】
図７は、コイルバックヨークの外側の溶着部を除去する構成を示す説明図である。この構成例では、陽極４２０を、陰極４２５をコイルバックヨーク１１３の内側の側面に接触するように配置し、陰極４２５をコイルバックヨーク１１３外側の側面の外であって、コイルバックヨーク１１３の中心軸を中心とする同心円上に配置している。なお、陰極４２５は、コイルバックヨーク１１３とは接触していない。この構成によれば、コイルバックヨーク１１３の外側の側面の溶着部１１４Ｘを溶解することができる。なお、陰極４２５として、コイルバックヨーク１１３の周りを囲う円筒形の電極を用いてもよい。また、容器４３０を陰極としてもよい。
【００２８】
以上説明したように、本実施例では、溶着部１１４Ｘを溶解したい場合、溶着部１１４Ｘと反対側の側面に陽極４２０を配置し、溶着部１１４Ｘ側に、溶着部１１４Ｘと離間するように陰極４２５を配置し、陽極４２０−陰極４２５間に電流を流すことにより、溶着部１１４Ｘを電解研磨することができる。その結果、短時間で溶着部１１４Ｘを除去し、渦電流損が発生しにくいコイルバックヨーク１１３を短時間で製造することが可能となる。
【００２９】
図８は、コイルバックヨークと陽極との接触部を示す説明図である。図８（Ａ）は、本実施例を示す。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）の拡大図である。陽極４２０は、起毛電極４２１を有する、陽極４２０と、コイルバックヨーク１１３の金属板１１４とは、起毛電極４２１を介して接触している。コイルバックヨーク１１３において、金属板１１４が、樹脂板１１５よりも凹んでいる場合であっても、陽極４２０は、起毛電極４２１を有するので、起毛電極４２１を介して金属板１１４との電気的導通を維持することが出来る。例えば図８（Ａ）（Ｂ）に示す場合、金属板１１４ａ、１１４ｂは、樹脂板１１５よりも凹んでいるが、起毛電極４２１を介して、陽極４２０と接触し、電気的導通を維持することが出来る。したがって、金属板１１４ａ、１１４ｂの間をつないでいる溶着部１１４Ｘを溶解することができる。一方、図８（Ｃ）は、陽極４２０が起毛電極を有さない場合を示す説明図である。図８（Ｄ）は、図８（Ｃ）の拡大図である。この場合、金属板１１４ｃは、樹脂板１１５から凹んでいないので、金属板１１４ｃと陽極４２０とは接触することができるが、金属板１１４ａ、１１４ｂは、樹脂板１１５よりも凹んでいるため、陽極４２０と接触することができない。そのため、金属板１１４ａ、１１４ｂには電流が流れない。その結果、金属板１１４ａ、１１４ｂの間をつないでいる溶着部１１４Ｘの溶解は、電解質液４４０による溶解によってのみ実行されるので、時間が掛かる。このように、陽極４２０に起毛電極４２１を用いることにより、金属板１１４に凹みがあっても、コイルバックヨーク１１３の金属板１１４と、陽極４２０との接触を維持し、電解研磨を実行することが可能となる。
【００３０】
図９は、形成されたコイルバックヨークの構造を示す説明図である。コイルバックヨーク１１３は、穴あき円盤形状をした金属板１１４と、穴あき円盤形状をした樹脂板１１５と、が交互に積層した形状を有している。
【００３１】
図１０は、渦電流損の測定装置を示す説明図である。測定装置は、標準モーター駆動回路３０と、標準モーター４０と、カップリング５０と、非測定モーター設置部６０と、を備える。標準モーター４０と、非測定モーター設置部６０とは、カップリング５０により接続されている。非測定モーター設置部６０には、モーター１０（図１）あるいは、モーター１０のローター２０が配置される。モーター１０あるいはローター２０の回転軸２３０は、カップリング５０を介して、標準モーター４０と接続される。標準モーター駆動回路３０は、標準モーター４０を予め定められた回転数で回転させるための駆動回路である。渦電流損の測定は以下のようにして行う。
【００３２】
まず、非測定モーター設置部６０に、ローター２０のみを配置する。そして、予め定められた回転数で標準モーター４０を回し、標準モーター４０の消費電力Ｐｄを測定する。この場合、電磁コイル１００（図１）を有するステーター１５（図１）は接続されないので、逆起電力や渦電流は発生しない。
【００３３】
次に、非測定モーター設置部６０に、モーター１０を配置し、モーター１０の電磁コイル１００のコイル端を開放した状態で予め定められた回転数で標準モーター４０を回し、標準モーター４０の消費電力Ｐｎを測定する。この場合、逆起電力は生じても、電磁コイル１００が開放されているため、電磁コイル１００には電流は流れない。したがって、単に回転エネルギーだけを考えれば、モーター１０を駆動するエネルギーはローター２０だけ駆動するエネルギーと変わらない。しかし、モーター１０を駆動する場合には、渦電流損が発生する。したがって、渦電流損分だけ、標準モーター４０の消費電力が増加する。すなわち、消費電力Ｐｎと消費電力Ｐｄの差が渦電流損となる。
【００３４】
図１１は、溶着部を除去する処理の有無による渦電流損の違いを示す説明図である。図１２は、図１１に示すデータをグラフ化したものである。図１１、１２から明らかなように、溶着部１１４Ｘを除去する処理を行うと、渦電流損が減少しているのがわかる。これは、溶着部１１４Ｘを除去することにより、溶着部１１４Ｘを介した渦電流の流れが抑制される。渦電流をＩ、金属板１１４の抵抗をＲとすると、渦電流と抵抗は反比例する。一方、渦電流損はＩ２Ｒであるので、溶着部１１４Ｘを除去し、隣接する金属板間の抵抗を大きくして電流を少なくした方が、渦電流損が少なくなる。
【００３５】
上記実施例で説明した技術は、コイルバックヨーク１１３だけではなく、電気機械装置で用いられる積層構造を有する部品の製造において、適用することが可能である。図１３は、溶着部を除去する処理の、ステーター側スロットへの適用を示す説明図である。図１３（Ａ）は、カットしたスロット１３０をｘ、ｙ、ｚの３方向から見た説明図である。この実施例において、ステーター１５は、スロット１３０と、電磁コイル１００とを備える。スロット１３０は、積層構造を有する積層体を、ワイヤ放電加工機を用いてカットすることにより形成することができる。スロット１３０の内側の面１３０ａは、曲面形状を為しており、この面１３０ａには、金属板と樹脂板が交互に現れている。したがって、ワイヤ放電加工機による成形の際に、金属板間の溶着部が生じ、金属板が短絡する恐れがある。上記説明した技術は、スロット１３０の面１３０ａに生じた溶着部を除去する場合にも採用することが可能である。
【００３６】
図１４は、溶着部を除去する処理の、ＩＰＭモーターのローターへの適用を示す説明図である。ＩＰＭモーターは、Ｉｎｔｅｒｉｏｒ  Ｐｅｒｍａｎｅｎｔ  Ｍａｇｎｅｔモーターの略であり、積層鋼材１４０の中に、永久磁石１４２が埋め込まれている。積層鋼材１４０は、円盤状の金属板と樹脂板とを交互に積層した構成を備えている。したがって、ワイヤ放電加工機による加工時において、たとえば、積層鋼材１４０の外側の側面１４０ａに、溶着部が生じる場合がある。このような積層鋼材１４０の側面に生じる溶着部を除去する工程において、上記技術を適用することが可能である。
【００３７】
本実施例では、２枚の金属板１１４の間に樹脂板１１５を配置しているが、樹脂板ではなく、樹脂以外で形成された絶縁板を用いてもよい。また、２枚の金属板１１４の間に、板ではなく、絶縁層や接着層として機能する流体、液体を塗布してもよい。
【００３８】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【符号の説明】
【００３９】
１０…モーター（コアレスモーター）
１５…ステーター
２０…ローター
３０…標準モーター駆動回路
４０…標準モーター
５０…カップリング
６０…非測定モーター設置部
１００、１００Ａ…電磁コイル
１０１Ａ…コイルエンド
１１０…ケーシング
１１１…円筒形状部分
１１２…円盤形状部分
１１３…コイルバックヨーク（中央部）
１１３Ｘ…積層体
１１４…金属板
１１４Ｘ…溶着部
１１４ａ〜１１４ｃ…金属板
１１５…樹脂板
１３０…スロット
１３０ａ…面
１４０…積層鋼材
１４０ａ…側面
１４２…永久磁石
２００…永久磁石
２０１…磁束線
２３０…回転軸
２４１…ベアリングボール
２６０…コイルバネ
３００…磁気センサー
３１０…回路基板
４００…電解研磨装置
４１０…直流電源
４２０…陽極
４２１…起毛電極
４２５…陰極
４３０…容器
４４０…電解質液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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