(57)【要約】      （修正有）【課題】群管理装置自体の動作状況を監視し、異常の検出時に縮退運用への移行を可能とし、システムダウンの発生を防止する。【解決手段】基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信回線で接続される群管理装置とを具備する基板処理システムであって、群管理装置は接続先である基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能及び記憶部１２の残容量の変化等の動作を監視する監視プログラム１９を実行する制御部５を有し、監視プログラムが動作に対応する異常を検出した場合、制御部は自動的に群管理装置の機能の一部を減縮させる。【選択図】図１
2012019065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信回線で接続される群管理装置とを具備する基板処理システムであって、前記群管理装置は接続先である前記基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能及び記憶部の残容量の変化等の動作を監視する監視プログラムを実行する制御部を有し、前記監視プログラムが前記動作に対応する異常を検出した場合、前記制御部は自動的に前記群管理装置の機能の一部を減縮させることを特徴とする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板処理装置を群管理装置によって管理し、個々の基板処理装置を稼働させシリコンウェーハ等の基板を処理して半導体製造装置を製造する基板処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先ず、図８に於いて、基板処理システムの概要について説明する。
【０００３】
図８中、１は群管理装置を示し、該群管理装置１には通信ケーブル、インターネット或はＬＡＮ等の適宜な通信回線２を介して少なくとも１つの基板処理装置３が接続されている。
【０００４】
前記群管理装置１は、前記通信回線２に接続された群管理制御部５及び群管理操作部６を具備しており、又前記基板処理装置３はそれぞれ、前記通信回線２に接続された基板処理制御部７、基板処理操作部８、及び基板処理炉、基板搬送部等からなる基板処理部９を具備している。
【０００５】
前記群管理装置１は、複数の基板処理装置３を統合管理し、基板処理装置３毎の処理内容（レシピ）の管理、基板処理の実行停止、或は基板処理装置３毎の基板処理の進行状況のモニタリング、基板処理装置３毎の障害解析、及び該基板処理装置３の動作履歴であるトレースデータの蓄積・参照等を統括管理する機能を有している。
【０００６】
前記群管理装置１に登録するレシピの変更、前記基板処理装置３の稼働状況の変更、該基板処理装置３の管理状態を変更する場合等は、作業者（ユーザ）が前記群管理制御部５から情報、データの入力、操作を行う。又、情報、データの入力、操作は、ユーザが表示部に操作の内容に対応した操作用の画面（以下操作画面）を表示させ、操作画面より所要の作業を実行する様になっている。
【０００７】
尚、操作画面には、所定の画面部品が表示され、該画面部品には実行すべき機能、作業内容が対応付けられており、ユーザが画面部品をクリックする等の操作をすることによって、機能の実行、作業の実行がされる様になっている。
【０００８】
又、前記基板処理部９の駆動は、前記基板処理制御部７によって制御され、駆動条件、制御条件の設定、前記基板処理装置３が持つ機能の実行等はユーザが前記基板処理操作部８より行う。尚、該基板処理操作部８はキーボード、マウス等の操作端末、及び操作画面から構成され、又操作画面にはボタン等の画面部品が表示され、ボタンをクリックすることでボタンに関連付けられた機能が実行される様になっている。
【０００９】
従来の前記群管理装置１の場合、該群管理装置１は接続された各基板処理装置３の動作は監視しているが、前記群管理装置１自体の動作を監視していなかった。従って、前記基板処理装置３から送られるデータ量の増大に伴う処理の遅延、及びデータを保存するシステム領域の圧迫を発見することができず、結果として前記群管理装置１の全ての機能が停止するシステムダウンが発生する虞れがあった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は斯かる実情に鑑み、群管理装置自体の動作状況を監視し、異常の検出時に縮退運用への移行を可能とし、システムダウンの発生を防止する基板処理システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信回線で接続される群管理装置とを具備する基板処理システムであって、前記群管理装置は接続先である前記基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能及び記憶部の残容量の変化等の動作を監視する監視プログラムを実行する制御部を有し、前記監視プログラムが前記動作に対応する異常を検出した場合、前記制御部は自動的に前記群管理装置の機能の一部を減縮させる基板処理システムに係るものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板の処理を行う複数の基板処理装置と、該複数の基板処理装置と通信回線で接続される群管理装置とを具備する基板処理システムであって、前記群管理装置は接続先である前記基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能及び記憶部の残容量の変化等の動作を監視する監視プログラムを実行する制御部を有し、前記監視プログラムが前記動作に対応する異常を検出した場合、前記制御部は自動的に前記群管理装置の機能の一部を減縮させるので、前記群管理装置に掛る負荷を前記基板処理装置の制御等最低限の機能を保護した状態で軽減させることができ、前記基板処理システムの全機能が停止するシステムダウンの発生を防止することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例に係る基板処理システムを構成する群管理装置の群管理制御部を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施例に係るトレースデータの保存期間短縮処理に於ける全体の閾値を説明する説明図である。
【図３】本発明の実施例に係るトレースデータの保存期間短縮処理に於けるそれぞれの基板処理装置の閾値を説明する説明図である。
【図４】本発明の実施例に係るトレースデータの保存期間短縮処理実行後の表示部であり、（Ａ）は処理直後の表示部を示す説明図であり、（Ｂ）は（Ａ）の画面をクリックした後の表示部を示す説明図である。
【図５】本発明の実施例に係るトレースデータの保存期間短縮処理を説明するフローチャートである。
【図６】本発明の実施例に係るトレースデータ参照機能の縮退処理及びトレースデータ蓄積機能の停止処理を説明するフローチャートである。
【図７】本発明の実施例に係るトレースデータの参照同時実行数の自動回復処理を説明するフローチャートである。
【図８】基板処理システムの概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００１５】
本発明が実施される基板処理システムの基本的な構成は、図８で示したものと同等の構成を有しているので、以下は図８を参照して説明する。
【００１６】
図１は、群管理装置１に於ける群管理制御部５の概略を示す構成図であり、先ず該群管理制御部５について説明する。
【００１７】
該群管理制御部５は、主にＣＰＵに代表される演算制御部１１、該演算制御部１１に接続された記憶部１２、入出力制御部１３を介して前記演算制御部１１に接続された操作部１４、表示部１５から構成される。
【００１８】
前記記憶部１２は、各種データを格納する為のデータ格納領域１６及びプログラム格納領域１７を有している。該プログラム格納領域１７には、複数の前記基板処理装置３を統括制御する基板処理装置制御プログラム１８、前記群管理装置１の動作を監視する為の監視プログラム１９、前記基板処理装置３に於ける過去データであるトレースデータの検索を行うトレースデータ参照機能を制御するトレースデータ参照プログラム２０、前記基板板処理装置３から送られた該基板処理装置３のリアルタイムデータをトレースデータとして前記データ格納領域１６に蓄積するトレースデータ蓄積機能を制御するトレースデータ蓄積プログラム２１、複数の前記基板処理装置３に発生した障害（異常）の内容を前記データ格納領域１６に蓄積し、蓄積した障害データを解析する障害データ蓄積・解析機能を制御する障害データ蓄積・解析プログラム２２、複数の前記基板処理装置３から送られたリアルタイムデータを解析し、該基板処理装置３の状態を前記表示部１５に表示する基板処理装置モニタリングプログラム２３、前記監視プログラム１９が異常を検出した際に後述する縮退運用を実行する縮退運用実行プログラム２４が格納されている。
【００１９】
前記監視プログラム１９は、前記群管理装置１に対する前記基板処理装置３からの通信負荷、前記基板処理装置３からの情報（データ）を遅延なく保存できる情報量を示す情報処理性能、前記データ格納領域１６の残容量の変化等を監視する機能を有しており、該データ格納領域１６の空き容量の減少、前記群管理装置１に対する高い通信負荷やトレースデータの蓄積遅延等の情報処理性能異常を検出した際には、前記縮退運用実行プログラム２４に検出した異常の内容を通知する機能を有している。
【００２０】
又、前記縮退運用実行プログラム２４は、前記監視プログラム１９によって検出された異常に従い、トレースデータ参照機能及びトレースデータ蓄積機能のうち、対応する機能の縮退運用を行うと共に、その旨を前記表示部１５に通知し、表示させる様になっている。尚、トレースデータ蓄積機能の停止等の重大な変更が発生した際には、前記表示部１５に異常の内容を通知し、表示させると共に、ユーザに対して機能が停止されたことをメール等で通知する様になっている。
【００２１】
本実施例に於ける基板処理システムでは、前記群管理装置１に前記通信回線２を介して複数接続された前記基板処理装置３が、前記プログラム格納領域１７に格納された前記基板処理装置制御プログラム１８により制御され、基板処理中には前記トレースデータ蓄積プログラム２１により前記基板処理装置３から送られたリアルタイムデータがトレースデータとして前記データ格納領域１６に格納されると共に、前記トレースデータ参照プログラム２０により前記データ格納領域１６に格納されたトレースデータの履歴が参照される。尚、この時のトレースデータの参照処理は、１つの前記基板処理装置３のトレースデータに対して複数同時に実行される様になっている。
【００２２】
次に、図２〜図４を参照し、前記群管理装置１の縮退運用の概要について説明する。
【００２３】
該群管理装置１は、通常運用状態に於いては全ての前記基板処理装置３のトレースデータが保存される期間（例えば９０日間）、トレースデータを保存可能な前記データ格納領域１６の最大容量Ａ（例えば６００ＧＢ）、前記監視プログラム１９によって空き容量の不足として検出される閾値α（例えば空き容量が５％未満、Ａが６００ＧＢの場合は５７０ＧＢ）、及び縮退運用が停止される閾値β（例えば空き容量が１５％以上、Ａが６００ＧＢの場合は５１０ＧＢ）が予め設定される。
【００２４】
又、前記群管理装置１に前記基板処理装置３が複数台接続される場合には、該基板処理装置３毎に割当てる記憶容量の閾値Ｂを設定し、閾値Ｂ（例えば８台接続の場合６０ＧＢ）×接続された前記基板処理装置３の台数で求められる容量が、閾値α及び閾値βの範囲内に収る様に制限値が決定される。
【００２５】
前記群管理装置１の運用中、前記監視プログラム１９によって空き容量の不足を検出、即ち前記各基板処理装置３のトレースデータの保存量の合計が閾値αを超えた際には、前記縮退運用実行プログラム２４により、縮退運用の１つであるトレースデータの保存期間短縮処理が行われると共に、前記縮退運用実行プログラム２４によってトレースデータの保存期間短縮処理を実施することが前記表示部１５に通知される。
【００２６】
前記縮退運用実行プログラム２４は、最初に前記基板処理装置３毎のトレースデータの保存量をチェックし、閾値Ｂを超えているものを選択する（図３中では装置Ｘ１及び装置Ｘ３）。次に、閾値Ｂを超えている前記基板処理装置３に対して、１日単位で古いトレースデータを削除していき、トレースデータの保存量の合計が閾値βを下回ったところで、トレースデータの保存期間短縮処理を終了する。尚、閾値Ｂを超えている前記基板処理装置３のトレースデータ保存量が、前記保存期間短縮処理により閾値Ｂを下回った場合には、該基板処理装置の保存期間短縮処理を終了する。
【００２７】
トレースデータの保存期間短縮処理が終了すると、前記縮退運用実行プログラム２４によって変更された保存期間が前記表示部１５に通知され、該表示部１５に図４（Ａ）に示される様な「保存期間を短縮しました」という文字列が表示される。又、該文字列をマウス等の外部入力装置にてクリックするか、前記表示部１５の文字列を直接タッチすることで、図４（Ｂ）に示される様な、変更後のトレースデータの保存期間が表示される。
【００２８】
又、前記群管理装置１の運用中、前記監視プログラム１９によって前記基板処理装置３からの高い通信負荷、及び前記データ格納領域１６に対するトレースデータの蓄積遅延等の情報処理性能の異常が検出され、該異常が一定時間持続した際には、先ず前記縮退運用実行プログラム２４により、縮退運用の１つであるトレースデータ参照機能の同時実行数削減処理が行われると共に、トレースデータ参照機能の同時実行数削減処理を行うことが前記表示部１５に通知される。
【００２９】
前記縮退運用実行プログラム２４は、先ず、複数同時に行われているトレースデータの参照機能の実行数を、予め設定された所定の参照同時実行数に削減する。参照同時実行数の削減後、通信負荷及び情報処理性能異常が回復しなければ、通信負荷及び情報処理性能異常から回復する迄、順次参照同時実行数を削減していく。
【００３０】
尚、情報処理性能の異常から回復し、一定時間（例えば３０分）が経過した際に、トレースデータ参照機能の同時実行数削減処理以外の縮退処理が行われておらず、参照同時実行数が０であった場合には、参照同時実行数が１に回復し、その旨が前記表示部１５に通知される。
【００３１】
又、トレースデータの参照同時実行数が０、即ちトレースデータの参照機能を完全に停止させても、前記基板処理装置３からのリアルタイムデータの送受信処理の遅延や前記通信回線２の切断等の異常から回復しない場合には、前記縮退運用実行プログラム２４が縮退運用の１つであるトレースデータ蓄積機能の停止処理を行い、その旨をユーザにメールにて通知すると共に、前記表示部１５に通知する。
【００３２】
上記した保存期間短縮処理、トレースデータ参照機能の縮退処理、トレースデータ蓄積機能の停止処理からの復帰は、異常の原因が解析され、異常原因の解消が確認された後に、ユーザにより手動で機能が復旧される。
【００３３】
基板処理中、トレースデータ参照機能の縮退処理によりトレースデータ参照機能が停止している場合は、トレースデータの参照は行われないが、停止期間中のトレースデータは、トレースデータ参照機能の復旧後に参照することができる。又、トレースデータ蓄積機能の停止処理によりトレースデータ蓄積機能が停止している場合には、前記基板処理装置３のリアルタイムデータの前記データ格納領域１６への格納は行われず、機能の復旧後も停止期間中のトレースデータを参照することができない。
【００３４】
尚、トレースデータ参照機能及びトレースデータ蓄積機能が停止している場合であっても、前記基板処理装置モニタリングプログラム２３による、前記基板処理装置３のリアルタイムデータを参照したモニタリングは可能となっている。
【００３５】
次に、図５のフローチャートを用い、トレースデータの保存期間短縮処理の詳細について説明する。
【００３６】
ＳＴＥＰ：０１  前記監視プログラム１９により前記データ格納領域１６に保存されるトレースデータが閾値αを超えた場合、即ち前記監視プログラム１９により前記データ格納領域１６の空き容量の不足が検出される。
【００３７】
ＳＴＥＰ：０２  前記監視プログラム１９により前記データ格納領域１６の空き容量の不足が検出されると、前記縮退運用実行プログラム２４は前記表示部１５に前記トレースデータの保存期間短縮処理の実行を通知する。
【００３８】
ＳＴＥＰ：０３  前記縮退運用実行プログラム２４は、前記監視プログラム１９の空き容量の不足の検出を受けて、先ず各基板処理装置３毎に、トレースデータの保存量が閾値Ｂを上回っている該基板処理装置３が記載された対象装置リストを作成する。
【００３９】
ＳＴＥＰ：０４  対象装置リスト作成後、該対象装置リストを前記データ格納領域１６内に設けられた一次エリアに格納する。
【００４０】
ＳＴＥＰ：０５  対象装置リストの格納後、該対象装置リストに記載された基板処理装置３が選択される。
【００４１】
ＳＴＥＰ：０６  対象装置リストから選択された基板処理装置３に於いて、前記データ格納領域１６に格納されたトレースデータのうち、最も古い１日分のデータが削除される。
【００４２】
ＳＴＥＰ：０７  １日分のトレースデータを削除した後、対象装置リストから取出された前記基板処理装置３のトレースデータの保存量が閾値Ｂを下回ったかどうかが判断され、閾値Ｂを下回っていないと判断された場合には、再度ＳＴＥＰ：０６の処理が行われる。
【００４３】
ＳＴＥＰ：０８  ＳＴＥＰ：０７にてトレースデータの保存量が閾値Ｂを下回ったと判断された場合には、対象装置リストから閾値Ｂを下回った前記基板処理装置３を削除する。
【００４４】
ＳＴＥＰ：０９  トレースデータの保存量が閾値Ｂを下回ったと判断された前記基板処理装置３の削除後、前記データ格納領域１６内の一次エリアに格納された対象装置リストの中に閾値Ｂを上回る前記基板処理装置３が記載されているかどうかが判断され、記載されていると判断された場合には閾値Ｂを下回らなかった残りの基板処理装置３に対してＳＴＥＰ：０５〜ＳＴＥＰ：０８の処理が繰返される。
【００４５】
ＳＴＥＰ：１０  対象装置リストに記載された前記基板処理装置３が全て閾値Ｂを下回ったと判断されると、前記縮退運用実行プログラム２４により各基板処理装置３毎のトレースデータ保存量の合計が閾値βを下回っているかどうかが判断される。
【００４６】
ＳＴＥＰ：１１  ＳＴＥＰ：１０にて各基板処理装置３のトレースデータの保存量の合計が閾値βを下回ったと判断されると、その時のトレースデータの保存量が前記データ格納領域１６に保存される。
【００４７】
ＳＴＥＰ：１２  最後に、ＳＴＥＰ：０２にて対象装置リストに記載された前記基板処理装置３について、短縮後の保存期間、即ち元の保存期間からトレースデータが削除された日数分を引いた保存期間が前記表示部１５に通知され、該表示部１５に表示される（図４参照）ことで、トレースデータの保存期間短縮処理が完了する。
【００４８】
トレースデータの保存期間短縮処理により短縮された保存期間を通常運用状態に於ける保存期間に復帰させる場合には、先ずユーザにより空き容量の不足の原因が一時的なものであるか、恒常的なものであるか、或は保存データの取捨選択は必要か等の解析が行われ、原因の解消が確認された後に、手動で保存期間を再設定することで、トレースデータの保存期間が通常運用状態に於ける保存期間に復帰される。
【００４９】
上述の様に、前記監視プログラム１９によってトレースデータを保存する前記データ格納領域１６の空き容量の不足が検出されると、トレースデータの保存期間短縮処理により自動的に前記データ格納領域１６内のトレースデータが削除され、削除された状態がトレースデータ保存量の上限となるので、前記群管理装置１の機能の一部であるトレースデータの蓄積機能が減縮され、該データ格納領域１６の空き容量の不足が解消され、空き容量の枯渇による群管理装置１の動作の不安定化を防止することができる。
【００５０】
次に、図６のフローチャートを用い、トレースデータ参照機能の縮退処理及びトレースデータ蓄積機能の停止処理の詳細について説明する。
【００５１】
ＳＴＥＰ：２１  前記監視プログラム１９により、各基板処理装置３から前記群管理装置１に対する高い通信負荷や、前記データ格納領域１６に対するトレースデータの蓄積遅延等の情報処理性能異常、即ち通信量やＣＰＵ使用率の増大等が発生し、該異常の検出が持続した場合には、前記監視プログラム１９により異常の持続が検出される。
【００５２】
ＳＴＥＰ：２２  該監視プログラム１９により異常の持続が検出されると、前記縮退運用実行プログラム２４によりトレースデータ参照の同時実行数を削減し、トレースデータの蓄積を優先させる旨が前記表示部１５に通知される。
【００５３】
ＳＴＥＰ：２３  前記縮退運用実行プログラム２４は、前記監視プログラム１９からの情報処理性能異常の検出を受けてトレースデータ参照機能の縮退処理を実行し、トレースデータ参照機能の参照同時実行数を、通常運用状態の参照同時実行数から予め設定された参照同時実行数に削減する。
【００５４】
ＳＴＥＰ：２４  参照同時実行数の削減後、該参照同時実行数の削減により前記群管理装置１が高通信負荷及び情報処理性能異常から回復したかどうかが判断される。
【００５５】
ＳＴＥＰ：２５  ＳＴＥＰ：２４にて高通信負荷及び情報処理性能異常から回復していないと判断された場合に、削減後の参照同時実行数が０であるかどうかが判断される。
【００５６】
ＳＴＥＰ：２６  ＳＴＥＰ：２５にて参照同時実行数が０ではないと判断された場合には、現在の参照同時実行数から所定数（例えば１）参照同時実行数を削減し、再度ＳＴＥＰ：２４の判断が行われる。
【００５７】
ＳＴＥＰ：２７  ＳＴＥＰ：２４にて高通信負荷及び情報処理性能異常から回復したと判断された後、高通信負荷及び情報処理性能異常から回復した時の参照同時実行数が０であるかどうかが判断される。
【００５８】
ＳＴＥＰ：２８  ＳＴＥＰ：２７にて参照同時実行数が０であると判断された場合には、前記縮退運用実行プログラム２４により参照同時実行数が０から１に自動回復する自動回復処理（後述）が可能である旨が前記データ格納領域１６にマークされる。
【００５９】
ＳＴＥＰ：２９  又、ＳＴＥＰ：２５にて参照同時実行数が０であると判断された場合、即ちトレースデータ参照機能を停止しても高通信負荷及び情報処理性能異常から回復しなかった場合には、前記縮退運用実行プログラム２４によりトレースデータ蓄積機能の停止処理が行われ、前記データ格納領域１６に対するトレースデータ蓄積機能が停止される。
【００６０】
ＳＴＥＰ：３０  トレースデータ蓄積機能停止後、該蓄積機能が停止したことがユーザに対してメールにて通知される。
【００６１】
ＳＴＥＰ：３１  最後に、ＳＴＥＰ：２３〜ＳＴＥＰ：３０が実行された結果が前記表示部１５に通知され、例えば「参照同時実行数を＊＊に削減しました」、或は「トレースデータ蓄積機能を停止しました」等の文字が該表示部１５に表示されることで、トレースデータ参照機能の縮退処理、及びトレースデータ蓄積機能の停止処理が完了する。
【００６２】
トレースデータ参照機能の縮退処理及びトレースデータ蓄積機能の停止処理により、削減及び停止されたトレースデータ参照機能及びトレースデータ蓄積機能を通常運用状態に復帰させる場合には、先ずユーザにより高通信負荷及び情報処理性能異常の原因が解析され、高通信負荷及び情報処理性能異常が解消されたことを確認した上で、手動で機能を復旧させることで、トレースデータ参照機能の参照同時実行数及びトレースデータ蓄積機能が縮退運用状態から通常運用状態に復帰される。
【００６３】
次に、図７のフローチャートを用い、トレースデータ参照機能の縮退処理後に於ける縮退運用状態からの参照同時実行数の自動回復処理について説明する。
【００６４】
ＳＴＥＰ：４１  高通信負荷及び情報処理性能異常が回復してから一定時間（例えば３０分）が経過すると、前記監視プログラム１９により、高通信負荷及び情報処理性能異常からの回復が検出される。
【００６５】
ＳＴＥＰ：４２  高通信負荷及び情報処理性能異常からの回復が検出されると、前記縮退運用実行プログラム２４により参照同時実行数が０から１に自動回復可能であるか（ＳＴＥＰ：２８にて自動回復可能とマークされたか）が判断され、自動回復ができないと判断された場合には、高通信負荷及び情報処理性能異常の回復から一定時間が経過したことが前記表示部１５に通知され、該表示部１５に表示される。
【００６６】
ＳＴＥＰ：４３  参照同時実行数の自動回復が可能、即ちトレースデータ参照機能のみが機能を停止していた場合には、参照同時実行数を０から１に回復させる。
【００６７】
ＳＴＥＰ：４４  参照同時実行数の回復後、参照同時実行数の自動回復処理が実行されたことが前記表示部１５に通知され、該表示部１５に表示されることで参照同時実行数の自動回復処理が完了する。
【００６８】
上述の様に、前記監視プログラム１９が前記群管理装置１の状態を常時監視し、高通信負荷及び情報処理性能異常を検出した際には自動的にトレースデータ参照機能の縮退処理、及びトレースデータ蓄積機能の停止処理を実行するので、高通信負荷やトレースデータの蓄積遅延等の情報処理性能異常が発生した際には、先ず前記縮退運用実行プログラム２４が前記群管理装置１の機能の一部であるトレースデータ参照機能の参照同時実行数を削減し、トレースデータ参照機能の一部を減縮することで該群管理装置１に対する負荷を軽減させ、高通信負荷及び情報処理性能異常が解消されない場合はトレースデータ参照機能を停止することで蓄積機能とのぶつかり、つまり同一の前記データ格納領域１６に保存されたトレースデータに対する読込みと書込みの競合を避けることができ、更に前記群管理装置１に対する負荷を軽減させることができる。
【００６９】
又、トレースデータ参照機能を停止しても高通信負荷及び情報処理性能異常から回復しない場合には、トレースデータ参照機能を上回る高負荷の機能であり、前記群管理装置１の機能の一部であるトレースデータ蓄積機能を停止させるので、前記群管理装置１に対する負荷を一層軽減させることができ、該群管理装置１と前記基板処理装置３との通信処理のタイムアウト等に起因する通信の切断を防ぎ、前記基板処理装置制御プログラム１８による各基板処理装置３の制御等最低限の機能を保護し、基板処理システムの全機能が停止するシステムダウンの発生を防止することができる。
【００７０】
尚、本実施例の基板処理システムに適用される基板処理装置として、半導体製造装置だけではなくＬＣＤ装置の様なガラス基板を処理する装置であっても適用可能である。
【００７１】
又、本実施例に適用される基板処理装置を用いた成膜処理には、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理や、金属を含む膜を形成する処理等を含み、更にアニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理にも適用可能であることは言う迄もない。
【００７２】
（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
【００７３】
（付記１）複数の基板処理装置が通信回線を介して接続される群管理装置であって、該群管理装置は接続先である前記基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能及び記憶部の残容量の変化等の動作を監視する監視プログラムを実行する制御部を有し、前記監視プログラムが前記動作に対応する異常を検出した際に、前記制御部が機能の一部を減縮させることを特徴とする群管理装置。
【００７４】
（付記２）群管理装置が通信回線で接続される複数の基板処理装置を制御する工程と、前記群管理装置の制御部が接続先である各基板処理装置との通信負荷、該基板処理装置からの情報処理性能、記憶部の残容量の変化等の動作を監視する工程と、前記動作に対応する異常を検出した際に、自動的に前記群管理装置の機能の一部を停止する工程とを有することを特徴とする基板処理システムの縮退運用方法。
【符号の説明】
【００７５】
１              群管理装置
３              基板処理装置
５              群管理制御部
１２            記憶部
１５            表示部
１６            データ格納領域
１７            プログラム格納領域
１９            監視プログラム
２０            トレースデータ参照プログラム
２１            トレースデータ蓄積プログラム
２４            縮退運用実行プログラム
【図１】
2012019065.tif 000003
【図２】
2012019065.tif 000004
【図３】
2012019065.tif 000005
【図４】
2012019065.tif 000006
【図５】
2012019065.tif 000007
【図６】
2012019065.tif 000008
【図７】
2012019065.tif 000009
【図８】
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