(57)【要約】【課題】ワイヤープローブを確実に支持し、その交換、組み立てが容易なプローブカードを提供する。【解決手段】被検査体の各電極に電気的に接触される複数のワイヤープローブを備えたプローブカードである。前記各ワイヤープローブを支持する支持基板が、記各ワイヤープローブの上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持する上部支持穴及び下部支持穴を有する堅牢な支持部材と、記各ワイヤープローブの中間部を支持すると共に、前記各ワイヤープローブの上部を支持する前記上部支持穴と前記各ワイヤープローブの下部を支持する前記下部支持穴とが互いにずれて固定されるときに前記各ワイヤープローブの中間部をすべて一方向に撓ませて支持する、柔軟性があり表面に補強膜を施したシート状支持部材とを備えた。【選択図】  図６
2012103125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の各電極に電気的に接触される複数のワイヤープローブを備えたプローブカードにおいて、
試験装置に接続される配線が支持された接続基板と、前記各ワイヤープローブを支持するプローブ組立体を備え、
当該プローブ組立体が、前記各ワイヤープローブの上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持する上部支持穴及び下部支持穴を有する堅牢な支持部材と、当該支持部材内に設けられ前記各ワイヤープローブの中間部を支持すると共に、前記各ワイヤープローブの上部を支持する前記支持部材の上部支持穴と前記各ワイヤープローブの下部を支持する前記支持部材の下部支持穴とが互いにずれて固定されるときに前記各ワイヤープローブの中間部をすべて一方向に撓ませて支持する、柔軟性のあるシート状支持部材とを備え、
当該シート状支持部材の内部や表面に、当該シート状支持部材の伸縮に伴う撓みを抑える補強膜を施したことを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブカードにおいて、
前記支持部材が、その上部支持穴に前記各ワイヤープローブの上部を通して位置決めして摺動可能に保持すると共に、その下部支持穴に前記ワイヤープローブの下部を通して位置決めして摺動可能に保持し、
前記シート状支持部材が、前記ワイヤープローブの中間部が通る支持穴を備え、当該支持穴でワイヤープローブを支持して、隣接するワイヤープローブ間でのショートを防止すると共に各ワイヤープローブを撓ませて各ワイヤープローブの上部及び下部を前記支持部材の上部支持穴及び下部支持穴にそれぞれ整合した状態で保持することを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項１に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜が、前記シート状支持部材の表面や複数層構造の中間層に施されたメッキ等の薄膜で構成され、当該薄膜がパターンを施して又はベタ面状に設けられたことを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項３に記載のプローブカードにおいて、
前記補強膜のパターンが、前記支持穴の周縁を囲繞して施されたことを特徴とするプローブカード。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブカードにおいて、
前記シート状支持部材が、１又は複数枚設けられて、前記ワイヤープローブの中間位置を１又は複数カ所で支持することを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の検査時使用され、検査対象物に電気的に接触するプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路デバイス等の検査装置であって、ワイヤープローブを用いたものは、一般に知られている。このような検査装置の一例としては、特許文献１の電気的接続装置がある。この電気的接続装置を図１〜４に基づいて概説する。
【０００３】
電気的接続装置１は、円板状の配線基板２と、配線基板２に組み付けられた接続基板３と、接続基板３から配線基板２に伸びる複数の配線４と、接続基板３の下側に組み付けられたプローブ組立体５とを含む。
【０００４】
配線基板２は、これの中央領域を厚さ方向に貫通する穴（開口）７を中央に有しており、テスターに電気的に接続される複数のテスターランド８を周縁部に多重に有しており、複数の接続ランド９を穴７の対向する２つの辺の外側に有している。穴７は、同時に検査する集積回路の配置領域よりやや大きい矩形の形状を有している。
【０００５】
接続基板３は、電気絶縁材料により製作されており、また配線基板２の穴７よりやや小さい矩形の板状部１１と、板状部１１の上部外側に形成された矩形のフランジ部１２とを備えている。接続基板３は、板状部１１が穴７内に位置する状態に、フランジ部１２において配線基板２の上面に複数のねじ部材１３により組み付けられている。
【０００６】
接続基板３は、また、板状部１１をこれの厚さ方向に貫通する複数の貫通穴１４を有している。各貫通穴１４は、被検査体１５の電極１６に個々に対応されている。
【０００７】
各配線４の一端部は、接続基板３の貫通穴１４に挿入されている。各配線４の一端面は、ほぼ接続基板３の下面の高さ位置に維持されている。各配線４の他端部は、接続ランド９に結合されている。
【０００８】
プローブ組立体５は、接続基板３の板状部１１よりやや小さい矩形の平面形状を有する直方体に形成されている。プローブ組立体５は、矩形の第１の板状部材１７と、その上側に矩形の第２の板状部材１８を配置し、第２の板状部材１８の上側に矩形の第３の板状部材１９を間隔をおいて配置し、矩形の枠部材２０を第２及び第３の板状部材１８及び１９の間に配置している。第１の板状部材１７、第２の板状部材１８、第３の板状部材１９及び枠部材２０は、上記のように重ねられた状態で、複数のねじ部材２３により結合されて、複数のワイヤープローブ２１を支持するプローブ支持体２２を構成している。ねじ部材２３は、第３の板状部材１９、枠部材２０及び第２の板状部材１８を貫通して、第１の板状部材１７に螺合されている。
【０００９】
第１及び第２の板状部材１７及び１８は、それぞれ、上方に開放する矩形の凹所を有しており、第３の板状部材１９は下方に開放する矩形の凹所を有している。第２の板状部材１８は、第１の板状部材１７の凹所を閉鎖するように、第１の板状部材１７に重ねられている。枠部材２０は、第２及び第３の板状部材１８及び１９の凹所を連通させる矩形の内側空間を有している。
【００１０】
上記の結果、第１及び第２の板状部材１７及び１８は、第２の板状部材１８が第１の板状部材１７に重ねられているにもかかわらず、矩形の中央領域として作用する板状部において上下方向に間隔をおいている。
【００１１】
第１、第２及び第３の板状部材１７、１８及び１９は、それぞれ、それらの中央領域すなわち板状部を厚さ方向に貫通して対応する凹所に開放する複数の貫通穴２４、２５及び２６を有している。貫通穴２４、２５及び２６は、相互に及び接続基板３の貫通穴１４に個々に対応されている。
【００１２】
第１及び第２の板状部材１７及び１８の貫通穴２４及び２５は、厚さ方向と直角の面内において、互いに一致されているが、接続基板３の貫通穴１４に対しては一方向にずらされている。
【００１３】
これに対し、第３の板状部材１９の貫通穴２６は、厚さ方向と直角の面内において、貫通穴２４及び２５に対しては一方向にずらされているが、接続基板３の貫通穴１４に対しては一致されている。
【００１４】
各ワイヤープローブ２１は、貫通穴２４、２５及び２６に通されている。各ワイヤープローブ２１の上端面は、ワイヤープローブ２１の上端部が貫通穴２６に上下方向へ移動可能に挿し込まれて、ほぼ第３の板状部材１９の上面の高さ位置とされており、また配線４の下端面に接触されている。
【００１５】
各ワイヤープローブ２１の下端部は、貫通穴２４を上下方向へ移動可能に貫通して、第１の板状部材１７から下方に突出した針先部とされている。
【００１６】
各ワイヤープローブ２１は、貫通穴２４及び２５を通り抜けることができない突出部２７を第１及び第２の板状部材１７及び１８の間に備えている。
【００１７】
各ワイヤープローブ２１は、第２及び第３の板状部材１８及び１９の間の領域において同じ側に湾曲されている。この第２及び第３の板状部材１８及び１９の間には、図４に示すように、ガイドフィルム２８が適宜設けられる。このガイドフィルム２８は、ワイヤープローブ２１が個々に貫通する複数の穴２９を有している。ガイドフィルム２８は、各穴２９に通された各ワイヤープローブ２１を支持して、ワイヤープローブ２１の湾曲方向を規制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００４／０７２６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
上述した電気的接続装置１では、ガイドフィルム２８が柔軟過ぎると、図５に示すように、各ワイヤープローブ２１の弾力でガイドフィルム２８が伸びて上下（図５においては上方）に撓むことがある。そして、ガイドフィルム２８が上下に撓むと、各ワイヤープローブ２１の間隔が乱れてしまう。そして、各ワイヤープローブ２１の間隔が乱れると、摺動性にばらつきが生じる。即ち、各ワイヤープローブ２１の下端の針部の各貫通穴２４、２５での上下動の摺動性にばらつきが生じて、各電極への各針部の針圧にばらつきが生じてしまうことがある。
【００２０】
このため、各ワイヤープローブ２１を容易に通してプローブヘッド２の組み立て作業性を向上させた状態で、各ワイヤープローブ２１を確実に支持して、各ワイヤープローブ２１の各針部の各電極への針圧を均一にすることができるプローブカードが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明のプローブカードは、被検査体の各電極に電気的に接触される複数のワイヤープローブを備えたプローブカードにおいて、試験装置に接続される配線が支持された接続基板と、前記各ワイヤープローブを支持するプローブ組立体を備え、当該プローブ組立体が、前記各ワイヤープローブの上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持する上部支持穴及び下部支持穴を有する堅牢な支持部材と、当該支持部材内に設けられ前記各ワイヤープローブの中間部を支持すると共に、前記各ワイヤープローブの上部を支持する前記支持部材の上部支持穴と前記各ワイヤープローブの下部を支持する前記支持部材の下部支持穴とが互いにずれて固定されるときに前記各ワイヤープローブの中間部をすべて一方向に撓ませて支持する、柔軟性のあるシート状支持部材とを備え、当該シート状支持部材の内部や表面に、当該シート状支持部材の伸縮に伴う撓みを抑える補強膜を施したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
以上の構成により本発明では、各ワイヤープローブを確実に支持して、各ワイヤープローブの各針部の各電極への針圧を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来の電気的接続装置を示す平面図である。
【図２】従来の電気的接続装置を示す正面図である。
【図３】従来の電気的接続装置を示す部分断面図である。
【図４】従来の電気的接続装置のワイヤープローブの装着状態を示す要部拡大断面図である。
【図５】従来のガイドフィルムによる各ワイヤープローブの支持状態を示す要部拡大図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブカードを示す正面断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブカードのシート状支持部材を示す平面図である。
【図８】図７のシート状支持部材の正面図である。
【図９】図７のシート状支持部材の要部を示す平面図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図１１】図７のシート状支持部材の要部を示す拡大図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るシート状支持部材による各ワイヤープローブの支持状態を示す要部拡大図である。
【図１３】本発明の第１変形例に係る平面図である。
【図１４】図１３のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図１５】本発明の第２変形例に係る要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態に係るプローブカードについて、添付図面を参照しながら説明する。
【００２５】
本実施形態に係るプローブカードの全体的な構成は特許文献１のプローブカードとほぼ同様であるため、特許文献１のプローブカードと同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。図６は本実施形態に係るプローブカードを示す正面断面図、図７は本実施形態に係るプローブカードのシート状支持部材を示す平面図、図８は図７のシート状支持部材の正面図、図９は図７のシート状支持部材の要部を示す平面図、図１０は図９のＡ−Ａ線矢視断面図、図１１は図７のシート状支持部材の要部を示す拡大図、図１２は本実施形態に係るシート状支持部材による各ワイヤープローブの支持状態を示す要部拡大図である。
【００２６】
本実施形態に係るプローブカード３１は図６に示すように主に、接続基板３２と、プローブ組立体３３とから構成されている。
【００２７】
接続基板３２は、ワイヤープローブ３４と外部の試験装置とを電気的に接続する配線３５を貫通させた状態で支持すると共に、プローブ組立体３３を支持するための部材である。接続基板３２は、従来の接続基板３と同様に構成されている。
【００２８】
プローブ組立体３３は、各ワイヤープローブ３４を支持するための部材である。プローブ組立体３３は、支持部材３６と、シート状支持部材３７とを備えて構成されている。なお、ワイヤープローブ３４は、柔軟性を有する導線で構成され、その下端部が、検査対象基板である被検査体１５の電極１６（図３参照）に電気的に接触する下端針部３４Ａとなっている。さらに、ワイヤープローブ３４の下部には、従来の突出部２７と同様のストッパ３４Ｂが設けられている。このストッパ３４Ｂにより、下端針部３４Ａの、後述する第１ボトム板４０の下部支持穴４０Ｂからの延出量が設定されている。
【００２９】
支持部材３６は、各ワイヤープローブ３４の上部及び下部をそれぞれ位置決めして支持するための部材である。この支持部材３６は、堅牢な部材で中空筺体状に構成されている。支持部材３６は、検査対象板の被検査体１５の形状に合わせて、四角形や円形等の形状に形成される。本実施形態では、従来と同様に、長方形状に形成されている。
【００３０】
支持部材３６の上部には後述する上部支持穴４３Ｂが、支持部材３６の下部には後述する下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂがそれぞれ設けられている。これにより、各ワイヤープローブ３４の上部は、上部支持穴４３Ｂに通されて位置決めされて摺動可能に保持される。ワイヤープローブ３４の下部は、下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂに通されて位置決めされて摺動可能に保持される。これにより、各ワイヤープローブ３４の上端部が各配線３５の端部にそれぞれ電気的に接触され、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａが被検査体１５の各電極１６にそれぞれ電気的に接触される。この支持部材３６は、具体的には、第１ボトム板４０と、第２ボトム板４１と、中間スペーサー４２と、上段板４３と、固定ネジ４４とから構成されている。
【００３１】
第１ボトム板４０は、各ワイヤープローブ３４の下部を位置決めして保持しその摺動を許すための支持部材である。即ち、第１ボトム板４０は、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａの位置保持ガイドである。第１ボトム板４０は、四角形の平板状に形成され、その中央に凹部４０Ａが設けられている。この凹部４０Ａには、ワイヤープローブ３４の下部が嵌って支持される下部支持穴４０Ｂが設けられている。この下部支持穴４０Ｂは、被検査体１５の各電極１６と整合する位置にかつ各電極１６と同じ数だけ設けられている。これにより、各下部支持穴４０Ｂに各ワイヤープローブ３４の下部が嵌り込むことで、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａが被検査体１５の各電極１６に臨ませて配設されて、互いに接触するようになっている。さらに、各ワイヤープローブ３４の弾性により、各ワイヤープローブ３４の下部は、ワイヤープローブ３４の撓み（弾性変形）に伴って下方へ付勢されて、各下部支持穴４０Ｂに嵌り込んだ状態で上下に摺動するようになっている。
【００３２】
第１ボトム板４０は、上述のようにワイヤープローブ３４の位置保持ガイドとしての機能を有すると共に、検査対象基板の熱膨張に追従する機能を有する。即ち、第１ボトム板４０は、その熱膨張係数を検査対象基板の熱膨張係数に整合させて、検査対象基板の高温下での検査による熱膨張に合わせて、同じ膨張率で熱膨張するようになっている。具体的には第１ボトム板４０は、熱変化が小さく検査対象基板の変化に追随できる膨張係数になるように、材料（セラミックス等）を選択して成形されている。また、第１ボトム板４０は、絶縁性を有する材料で成形されている。第１ボトム板４０の四隅にはネジ穴４０Ｃが設けられている。このネジ穴４０Ｃに固定ネジ４４がねじ込まれて支持部材３６全体が固定されるようになっている。
【００３３】
第２ボトム板４１は、第１ボトム板４０と同様に構成されている。第２ボトム板４１は、第１ボトム板４０と共に、各ワイヤープローブ３４の下部を位置決めして保持しその摺動を許すための支持部材である。即ち、第２ボトム板４１は、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａの位置保持ガイドである。第２ボトム板４１は、絶縁性を有する材料で、四角形の平板状に形成され、その中央に凹部４１Ａが、この凹部４１Ａに下部支持穴４１Ｂがそれぞれ設けられている。
【００３４】
下部支持穴４１Ｂは、第１ボトム板４０の下部支持穴４０Ｂと同様に、被検査体１５の各電極１６と整合する位置にかつ各電極１６と同じ数だけ設けられている。これにより、各下部支持穴４１Ｂ及び第１ボトム板４０の各下部支持穴４０Ｂに各ワイヤープローブ３４の下部が嵌り込むことで、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａが被検査体１５の各電極１６に臨ませて配設されている。さらに、各ワイヤープローブ３４の弾性により、各ワイヤープローブ３４の下部は、ワイヤープローブ３４の撓み（弾性変形）に伴って下方へ付勢されて、各下部支持穴４１Ｂ及び第１ボトム板４０の各下部支持穴４０Ｂにそれぞれ嵌り込んで垂直に支持された状態で上下に摺動するようになっている。これにより、ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａが、各電極１６に正確に位置合わせされた状態で、上下に摺動するようになっている。
【００３５】
第２ボトム板４１は、第１ボトム板４０よりも厚く形成されているが、これら第２ボトム板４１及び第１ボトム板４０の厚さは、第２ボトム板４１の下部支持穴４１Ｂ及び第１ボトム板４０の各下部支持穴４０Ｂの位置、それらの間隔等に合わせて適宜設定される。また、第２ボトム板４１は、第１ボトム板４０と同様に、検査対象基板の熱膨張に追従する機能を有する。第２ボトム板４１の四隅には、固定ネジ４４が貫通するネジ穴４１Ｃが設けられている。
【００３６】
第１ボトム板４０と第２ボトム板４１は、ワイヤープローブ３４の下部を支持して、その下端針部３４Ａの上下動を案内すると共に、上下動できる範囲を規制している。ワイヤープローブ３４は、その下部が第１ボトム板４０の下部支持穴４０Ｂと第２ボトム板４１の下部支持穴４１Ｂとに挿入され、ワイヤープローブ３４のストッパ３４Ｂがこれら下部支持穴４０Ｂと下部支持穴４１Ｂとの間に位置するように配設されている。これにより、ストッパ３４Ｂがこれら下部支持穴４０Ｂと下部支持穴４１Ｂとの間での移動を制限される。即ち、下部支持穴４０Ｂと下部支持穴４１Ｂによって、下端針部３４Ａの上下動が案内されていると共に、上下動できる範囲が規制されている。
【００３７】
中間スペーサー４２は、第１ボトム板４０、第２ボトム板４１及びシート状支持部材３７を所定位置に保つと共に、シート状支持部材３７を上段板４３と共に挟んで支持するための部材である。中間スペーサー４２は、肉厚の環状に形成されている。具体的には、中間スペーサー４２は、第１ボトム板４０の形状に合わせて、四角環状に形成されている。中間スペーサー４２の厚さは、ワイヤープローブ３４の寸法に合わせて設定されている。中間スペーサー４２の四隅には、固定ネジ４４が貫通するネジ穴４２Ａが設けられている。
【００３８】
上段板４３は、各ワイヤープローブ３４の上部を位置決めして保持しその摺動を許すための支持部材である。即ち、上段板４３は、各ワイヤープローブ３４の上部の位置保持ガイドである。上段板４３は、四角形の平板状に形成され、その中央に凹部４３Ａが設けられている。この凹部４３Ａは、上方へ開口した第１ボトム板４０の凹部４０Ａ等と逆に、下方へ開口して構成されている。凹部４３Ａには、ワイヤープローブ３４の上部が嵌って支持される上部支持穴４３Ｂが設けられている。この上部支持穴４３Ｂは、接続基板３２を貫通して設けられた各配線３５と整合する位置にかつ各配線３５及び各ワイヤープローブ３４と同じ数だけ設けられている。これにより、各上部支持穴４３Ｂに各ワイヤープローブ３４の上部が嵌り込むことで、各ワイヤープローブ３４の上端部が各配線３５に接触して電気的に接続されている。さらに、各ワイヤープローブ３４の弾性により、各ワイヤープローブ３４の上端部は、ワイヤープローブ３４の撓み（弾性変形）に伴って上方へ付勢され、各配線３５に確実に接触するようになっている。上段板４３は、絶縁性を有する材料で構成されている。
【００３９】
上段板４３の四隅には、固定ネジ４４の頭部４４Ａが嵌合する凹部４３Ｄと、貫通するネジ穴４３Ｃが設けられている。
【００４０】
シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４の中間部を支持するための部材である。シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４の上部を支持する上段板４３の上部支持穴４３Ｂと各ワイヤープローブ３４の下部を支持する第１ボトム板４０及び第２ボトム板４１の下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂとが互いにずれて固定されるときに、各ワイヤープローブ３４の中間部をすべて一方向に撓ませて支持するための部材である。上部支持穴４３Ｂと下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂとが互いにずれているとワイヤープローブ３４は撓むが、撓む方向はばらつくため、シート状支持部材３７で各ワイヤープローブ３４の中間部をすべて一方向（図６中の右方向）に撓ませて支持する。シート状支持部材３７は、柔軟性、耐摩耗性及び耐熱性に優れた合成樹脂製フィルム、例えばポリイミドフィルム等で薄く構成されている。具体的には、厚さ１００μｍ以下のフィルム状に構成されている。このシート状支持部材３７の表面には、後述する補強膜５１が設けられている。
【００４１】
シート状支持部材３７は、ワイヤープローブ３４の中間部が通る支持穴３７Ａを備えている。この支持穴３７Ａは、下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂに対応して、ワイヤープローブ３４と同じ数だけ設けられている。支持穴３７Ａの径は、ワイヤープローブ３４の外径とほぼ同じに設定されている。これにより、ワイヤープローブ３４が、支持穴３７Ａに挿入されて、がたつくことなく確実に支持されるようになっている。シート状支持部材３７は、各支持穴３７Ａに各ワイヤープローブ３４が通されて所定間隔を空けて支持されることで、隣接する各ワイヤープローブ３４間でのショートを防止している。さらに、シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４をすべて一方向に撓ませて支持することで、各ワイヤープローブ３４の上部及び下部を、上段板４３の上部支持穴４３Ｂと、第１ボトム板４０及び第２ボトム板４１の下部支持穴４０Ｂ、４１Ｂとにそれぞれ整合した状態で保持している。シート状支持部材３７の四隅にはネジ穴３７Ｂが設けられている。
【００４２】
シート状支持部材３７は、その周縁部が、中間スペーサー４２と上段板４３とで挟まれて支持されている。これにより、シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４の中間部を支持している。
【００４３】
シート状支持部材３７の表面には、図７〜１０に示すように、シート状支持部材３７の伸縮に伴う撓みを抑える補強膜５１が施されている。この補強膜５１は、シート状支持部材３７自身を支持するシート支持面部５１Ａと、各ワイヤープローブ３４を支持するプローブ支持面部５１Ｂとから構成されている。
【００４４】
シート支持面部５１Ａは、長方形のシート状支持部材３７の周囲の四角環状の部分である。シート支持面部５１Ａは、シート状支持部材３７自身を確実に支持できるように、四角環状の部分の全面に施されている。これにより、シート支持面部５１Ａは、十分な強度を備えている。さらに、シート支持面部５１Ａの四隅には上述したネジ穴３７Ｂが設けられている。シート支持面部５１Ａは、中間スペーサー４２と上段板４３とで挟まれて堅固に支持される。
【００４５】
プローブ支持面部５１Ｂは、各ワイヤープローブ３４を柔軟にかつ正確に支持するための部分である。プローブ支持面部５１Ｂは、四角環状のシート支持面部５１Ａの内側の領域に形成されている。プローブ支持面部５１Ｂは、各ワイヤープローブ３４を柔軟にかつ正確に支持するため、シート状支持部材３７が伸縮せずに柔軟性を保つように、補強膜５１のパターンが形成されている。具体的には、プローブ支持面部５１Ｂでは、補強膜５１に正方形の穴を斜めに整列させて設けた格子状に形成されている。各正方形の穴の大きさは、ワイヤープローブ３４の外径より僅かに大きい程度に設定されている。さらに、補強膜５１は、三層構造のシート状支持部材３７の中間層として設けられている（図８参照）。これにより、プローブ支持面部５１Ｂの部分のシート状支持部材３７は、格子状の補強膜５１の部分で伸縮に伴う撓みが抑えられている。補強膜５１は、メッキやスパッタリング等による薄膜で構成されている。
【００４６】
シート状支持部材３７は、４本の固定ネジ４４がネジ穴３７Ｂに通されて位置決めされた状態で、そのシート支持面部５１Ａが、中間スペーサー４２と上段板４３とで挟まれて支持される。これにより、シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４の弾性で伸びることなく、各ワイヤープローブ３４の中間部を撓ませた状態で支持している。
【００４７】
固定ネジ４４は、プローブ組立体３３全体を一体的に固定するためにネジである。シート状支持部材３７、第１ボトム板４０、第２ボトム板４１、中間スペーサー４２及び上段板４３は、上側から通された固定ネジ４４によって一体的に固定され、かつ着脱自在に配設されている。これにより、シート状支持部材３７、第１ボトム板４０、第２ボトム板４１、中間スペーサー４２及び上段板４３は、適宜付け替えられるようになっている。例えば、ワイヤープローブ３４の長さの違いに応じてシート状支持部材３７の設置枚数を調整し、そのシート状支持部材３７の設置枚数に応じた数及び厚さの中間スペーサー４２を適宜設置する。中間スペーサー４２の厚さは、シート状支持部材３７の設置枚数及び前記ワイヤープローブ３４の寸法に合わせて調整する。
【００４８】
以上のように構成されたプローブカード３１は、検査装置であるプローバ等に組み込まれて、被検査体１５の検査に供される。具体的には、被検査体１５を搬送装置（図示せず）によってチャック(図示せず)上に搭載する。チャックは、被検査体１５を吸着して固定し、ＸＹＺθステージ(図示せず)でプローブカード３１のワイヤープローブ３４側へ移動される。このとき、チャックに支持された被検査体１５は、ＸＹＺθステージでＸＹ軸方向及び回転方向が微調整されて、被検査体１５の各電極１６と各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａとの位置が整合され、その後ＸＹＺθステージによりチャックが上昇して互いに接触する。次いで、検査対象基板へ試験信号が印加され、それに応じた検査対象基板からの出力信号が検出されて、検査対象基板、すなわち検査対象基板に形成されている集積回路が正常に動作するか否かが検査される。
【００４９】
検査が終了した検査対象基板は、例えば搬送装置によって取り外され、新しい検査対象基板が搭載されて、上記検査が繰り返される。
【００５０】
一方、プローブ組立体３３では、各ワイヤープローブ３４が被検査体１５の各電極１６に接触されると、ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａが押し上げられるが、ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａは第１ボトム板４０及び第２ボトム板４１で確実に支持されている。また、ワイヤープローブ３４の中間部は、シート状支持部材３７で保持されている。このとき、ワイヤープローブ３４は、ワイヤープローブ３４自身の弾性により、下端針部３４Ａが第１ボトム板４０の下部支持穴４０Ｂから弾性的に出没するが、ワイヤープローブ３４の中間部は、シート状支持部材３７で安定して保持されるため、各ワイヤープローブ３４間で摺動性にばらつくが生じることなく、すべての下端針部３４Ａが一定の均一な針圧で各電極パッドに接触する。これにより、各ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａは、安定して上下動し、確実に各電極パッドに接触する。
【００５１】
即ち、図６の仮想線で示すように、シート状支持部材３７に補強膜５１がないと、各ワイヤープローブ３４の弾力でシート状支持部材３７が多少伸びて上下に撓むことがあるが、シート状支持部材３７に補強膜５１を施すと、図１２に示すように、シート状支持部材３７の伸びによる撓みが解消される。これにより、シート状支持部材３７は、各ワイヤープローブ３４を、撓まされた状態で、正確に且つ確実に支持する。この状態で、ワイヤープローブ３４の下端針部３４Ａを、第１ボトム板４０の下部支持穴４０Ｂと第２ボトム板４１の下部支持穴４１Ｂとで位置決めして摺動可能に保持するため、各ワイヤープローブ３４間での摺動性のばらつきが解消する。即ち、補強膜５１によってシート状支持部材３７の伸縮を抑える強度が増して、各ワイヤープローブ３４の中間部を撓ませた状態で各ワイヤープローブ３４を柔軟にかつ正確に支持して、各ワイヤープローブ３４間での摺動性のばらつきをより確実に解消できるため、各ワイヤープローブ３４の針圧をより確実に安定させて、プローブカード３１に対する信頼性を向上させることができる。
【００５２】
[変形例]
なお、前記実施形態では、シート状支持部材３７を１枚も設けたが、ワイヤープローブ３４の寸法等の諸条件に合わせて、２枚以上設けてもよい。この場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００５３】
前記実施形態では、シート状支持部材３７のプローブ支持面部５１Ｂを格子状にしたが、他の形状、パターンにしてもよいことは言うまでもない。さらに、図１３、１４に示すように、全面に補強膜５１を施してもよい。
【００５４】
前記実施形態では、補強膜５１を、シート状支持部材３７の支持穴３７Ａの周囲に、当該支持穴３７Ａの周縁から少し間隔をおいて施したが、図１５に示すように、補強膜５２を支持穴３７Ａの周縁を囲繞して施してもよい。これにより、支持穴３７Ａ自体の強度が増し、ワイヤープローブ３４をより確実に支持することができる。
【００５５】
前記実施形態では、シート状支持部材３７を、三層構造の合成樹脂製フィルムの中間層に補強膜５１を施して構成したが、補強膜５１を合成樹脂製フィルムの表面に施しただけの二層構造としてもよい。シート状支持部材３７を四層構造以上にして、補強膜５１をそれらの中間の一層にしてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
３１：プローブカード、３２：接続基板、３３：プローブ組立体、３４：ワイヤープローブ、３４Ａ：下端針部、３４Ｂ：ストッパ、３５：配線、３６：支持部材、３７：シート状支持部材、３７Ａ：支持穴、３７Ｂ：ネジ穴、４０：第１ボトム板、４０Ａ：凹部、４０Ｂ：下部支持穴、４０Ｃ：ネジ穴、４１：第２ボトム板、４１Ａ：凹部、４１Ｂ：下部支持穴、４１Ｃ：ネジ穴、４２：中間スペーサー、４３：上段板、４３Ａ：凹部、４３Ｂ：上部支持穴、４３Ｃ：ネジ穴、４３Ｄ：凹部、４４：固定ネジ、４４Ａ：頭部、５１：補強膜、５１Ａ：シート支持面部、５１Ｂ：プローブ支持面部、５２：補強膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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