(57)【要約】【課題】特に大口径石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶引上げを行う際、内表面の結晶化物質の剥離を抑制でき、石英ガラスルツボの変形を抑制できるとともに、毒性が低く、取扱いが容易な石英ガラスルツボとその製造方法およびシリコン単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】モリブデン含有物質を石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部に有することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン単結晶引上げ用の石英ガラスルツボであって、モリブデン含有物質を石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部に有することを特徴とする石英ガラスルツボ。
【請求項２】
請求項１に記載の石英ガラスルツボの製造方法であって、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧する工程を含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項３】
石英ガラスルツボを１００℃〜６００℃に加熱した後、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧することを特徴とする請求項２に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項４】
石英ガラスルツボを２００℃〜４００℃に加熱した後、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧することを特徴とする請求項３に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項５】
石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧した後、石英ガラスルツボを１００℃〜６００℃に加熱することを特徴とする請求項２に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項６】
石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧した後、石英ガラスルツボを２００℃〜４００℃に加熱することを特徴とする請求項５に記載の石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項７】
請求項１に記載の石英ガラスルツボの製造方法であって、モリブデン含有物質をコーティングした高純度石英粉を石英ガラスルツボの内表面の全部または一部に供給し溶融させる工程を含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項８】
請求項１に記載の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法であって、多結晶シリコンを石英ガラスルツボ内に投入する工程と、多結晶シリコンを加熱溶解してシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程とを含むことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池や半導体デバイスの基板等に使用されるシリコン単結晶の製造に用いられる石英ガラスルツボとその製造方法およびこの石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハーの原料となるシリコン単結晶は、多結晶シリコンからＦＺ法やＣＺ法によって製造されている。ＦＺ法はパワーデバイス用途に適しており、ＣＺ法は大口径の単結晶作製に適している。シリコン単結晶の大口径化の流れに従い、現在はＣＺ法によって製造されたシリコン単結晶が市場の主流である。このＣＺ法においては、多結晶シリコンを石英ガラスルツボ内に投入した後、加熱により溶解し、種結晶を用いてシリコン単結晶を引き上げている。
【０００３】
石英ガラスルツボは、内表面側が透明層、外表面側が不透明層の２層構造を有している。外表面よりも内表面の方が使用原料の純度は高い。この石英ガラスルツボは、シリコン単結晶ウェハーの大口径化に伴い、大口径化の流れが進行している。これは多結晶シリコンの溶解温度上昇と引上げ時間延長に繋がり、ルツボの使用環境がより厳しくなることを意味する。また、製造コスト削減の観点から多結晶シリコンのリチャージ需要も増しており、これも引上げ時間のさらなる延長要因となる。この引上げ時間の延長は、石英ルツボの変形を助長し、安定した引上げ作業の妨げとなってしまう。そこで、従来においては、石英ルツボの大口径化に伴う石英ルツボの変形を抑制する目的で、石英ガラスルツボの外表面全面を均一に結晶化させる技術が実用化されている。
【０００４】
また、石英ガラスルツボはシリコン融液と接触する唯一の部材として、シリコン単結晶の歩留まりや品質を決定する重要な部材である。シリコン単結晶の歩留まりは、高温でシリコン融液が石英ガラスルツボと反応することにより界面で点在的に発生するφ2〜φ6の大きさの結晶化物質が、石英ガラスルツボの内表面から剥離し、シリコン単結晶端に付着して多結晶化することにより低下する。その傾向は引上げ時間が延長されるに伴い顕著となる。
【０００５】
そこで、従来においては、ルツボ内表面の結晶化物質の剥離を抑制する目的で、石英ガラスルツボの内表面の全部または一部を結晶化させた結晶化石英ガラスルツボ、および石英ガラスルツボの内表面全面を高純度化させた合成石英ガラスルツボが実用化されている。しかし、合成石英ガラスルツボは高純度合成石英粉が高価であるため、特に、低価格を優先する太陽電池用途には、合成石英ガラスルツボより安価に製造可能である結晶化石英ガラスルツボが主に用いられている（例えば、特許文献１〜６参照）。
【０００６】
結晶化石英ガラスルツボは、結晶化を促進するバリウム含有物質を用いて内表面を積極的に結晶化させることにより、結晶化物質の剥離を抑制する。また、結晶化を促進するバリウム含有物質を外表面に塗布した場合、シリコン引上げ時に外表面が結晶化して耐変形性が向上する。特に２２インチ以上の大口径ルツボは使用条件が過酷であるため、外表面へのバリウム含有物質等の塗布は必須の技術になりつつある。
【０００７】
バリウム含有物質を用いた結晶化石英ルツボの製造方法としては、一般的に塗布法（または噴霧法）と散布法が知られている。塗布法・噴霧法は、石英ガラスルツボの内・外表面にバリウム化合物溶液を塗布（または噴霧）した後、乾燥させる方法である。散布法は、バリウムコーティングされた石英粉を溶融中に散布することにより、バリウム含有物質を含む層を形成する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１１０５９０号公報
【特許文献２】特開平９−１１０５７９号公報
【特許文献３】特開平８−００２９３２号公報
【特許文献４】ＰＣＴ／ＪＰ２０１０／０５１８９３号パンフレット
【特許文献５】特開２００７−５５８７１号公報
【特許文献６】ＰＣＴ／ＵＳ２００４／０４０６７２号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、現状において主流のバリウム含有物質による結晶化石英ルツボは、次のような問題点を有している。まず、バリウム含有物質は有害性の高い物質であるため、バリウム含有物質を内表面および外表面の全部または一部に塗布した石英ガラスルツボを使用する際に、作業時の皮膚へ接触することを防止するための適切な措置を講じなければならない。
【００１０】
また、例えば塗布法によりバリウム含有物質の塗布膜を形成する場合、バリウム含有物質は石英ルツボに内在していないため、石英ガラスルツボ表面を結晶化させるためには、比較的高濃度のバリウム含有物質を塗布する必要性があった。また、塗布膜であるため物理的接触等により容易に石英ガラスルツボから剥離するため、取扱いに注意を要する。尚、結晶化促進剤としては、毒性のあるバリウム含有物質以外にカルシウム含有物質などが提案されているが、特に、内表面層の結晶化剤として用いた場合、結晶化促進剤がシリコン融液と接触して混入し、シリコン単結晶の不純物濃度を高める懸念があり、実質は偏析係数が小さいバリウムのみが実用化されている。
【００１１】
本発明者は、これらの課題を解決するため、バリウムコーティングされた石英粉を溶融中に散布し、石英ガラスルツボに内在させることでバリウムを低濃度化させ、更に結晶し過ぎによるシリコン溶液の結晶層への入り込みを防ぐため、斑状に結晶化させる方法を提案している（特許文献４）。
【００１２】
しかし、これらの散布方法では、石英ガラスルツボ内表面層のみにバリウム含有物質を含む層が形成可能であるが、外表面層には散布法でのバリウム含有物質を含む層の形成はできない。そのため、本発明者が提案していたバリウム結晶化石英ルツボは、内表面層のみが結晶化する石英ガラスルツボで、内表面に点在的に発生する結晶化物質剥離を抑制するのみで、石英ガラスルツボの耐変形性向上には寄与していない。
【００１３】
現状、石英ガラスルツボの耐変形性を向上するには、外表面に有害性の高いバリウム含有物質を塗布するしか方法がない。特に、外表面であるため作業者が接触する頻度は頻繁であり、使用済みの石英ガラスルツボについても、その高濃度のバリウムを用いていることから処理方法にも注意を要する。
【００１４】
なお、特許文献５、６には、石英ガラスルツボの表面へのモリブデン含有物質の使用について記載されているが（特許文献５段落〔００１４〕、特許文献６第３頁）、実証に基づくものではなく単なる例示にとどまり、実施例においては何ら開示してない。現状では、これまでにモリブデン含有物質を表面に塗布した石英ガラスルツボの実際の作製例すらなく、その効果の確認もなされていない。ましてや石英ガラスルツボの取扱いについては皆無である。
【００１５】
以上のような背景において、大口径石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶引上げを行う際、内表面の結晶化物質の剥離抑制とルツボ変形抑制を同時に安全に達成することが望まれている。
【００１６】
本発明は、特に大口径石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶引上げを行う際、内表面の結晶化物質の剥離を抑制でき、石英ガラスルツボの変形を抑制できるとともに、毒性が低く、取扱いが容易な石英ガラスルツボとその製造方法およびシリコン単結晶の製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、上記の課題を解決するために、以下のことを特徴としている。
【００１８】
第１：シリコン単結晶引上げ用の石英ガラスルツボであって、モリブデン含有物質を石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部に有することを特徴とする石英ガラスルツボ。
【００１９】
第２：上記第１の石英ガラスルツボの製造方法であって、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧する工程を含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
【００２０】
第３：石英ガラスルツボを１００℃〜６００℃に加熱した後、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧することを特徴とする上記第２の石英ガラスルツボの製造方法。
【００２１】
第４：石英ガラスルツボを２００℃〜４００℃に加熱した後、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧することを特徴とする上記第３の石英ガラスルツボの製造方法。
【００２２】
第５：石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧した後、石英ガラスルツボを１００℃〜６００℃に加熱することを特徴とする上記第２の石英ガラスルツボの製造方法。
【００２３】
第６：石英ガラスルツボの内表面および／または外表面の全部または一部にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧した後、石英ガラスルツボを２００℃〜４００℃に加熱することを特徴とする上記第５の石英ガラスルツボの製造方法。
【００２４】
第７：上記第１の石英ガラスルツボの製造方法であって、モリブデン含有物質をコーティングした高純度石英粉を石英ガラスルツボの内表面の全部または一部に供給し溶融させる工程を含むことを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
【００２５】
第８：上記第１の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法であって、多結晶シリコンを石英ガラスルツボ内に投入する工程と、多結晶シリコンを加熱溶解してシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程とを含むことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、モリブデン含有物質により内表面および外表面の結晶化を促進することができる。そのため、内表面の結晶化物質の剥離を抑制できるとともに、石英ガラスルツボの耐熱性を向上させ、石英ガラスルツボの変形を抑制できる。さらに、従来技術であるバリウムを結晶化剤として用いた場合と比べて毒性が低く、取扱いも容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の石英ガラスルツボの一例を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明について詳細に説明する。
【００２９】
本発明の石英ガラスルツボは、モリブデン含有物質を内表面および／または外表面の全部または一部に有することを特徴としている。
【００３０】
なお、本発明において「モリブデン含有物質を内表面および／または外表面の全部または一部に有する」とは、後述のような方法により石英ガラスルツボの表面にモリブデン含有物質を存在させることを含み、モリブデン含有物質を含有する薄い層を形成することを含む。モリブデン含有物質は、表面のＳｉＯ2と強固に結合し、モリブデン酸化物等として存在すると考えられる。
【００３１】
図１は、本発明の石英ガラスルツボの一例を概略的に示す断面図である。この石英ガラスルツボ１は、内表面側に石英ガラスの透明層２、外表面側に石英ガラスの不透明層３を有し、内表面および外表面のそれぞれに、モリブデン含有物質を含む薄い層４、５を有している。内表面のモリブデン含有物質を含む薄い層４は塗布法（または噴霧法）や散布法により形成することができ、外表面のモリブデン含有物質を含む薄い層５は塗布法（または噴霧法）により形成することができる。なお、本発明では、図１のように内表面と外表面の両方にそれぞれモリブデン含有物質を含む薄い層４、５を形成する他、内表面のモリブデン含有物質を含む薄い層４と外表面のモリブデン含有物質を含む薄い層５のうちいずれか一方のみを形成したものであってもよい。
【００３２】
通常、モリブデン含有物質を有しない石英ガラスルツボの内表面は、シリコン引き上げ時に点在的にφ２〜φ６ｍｍの大きさの結晶化物質が発生し内表面から剥離し、シリコン単結晶端に付着して多結晶化する。しかし、本発明のモリブデン含有物質を有する石英ガラスルツボの表面は、シリコン単結晶引き上げ時に、結晶化が促進され、内表面には点在的ではない広い範囲での結晶化領域が形成され、結晶物質の剥離抑制に寄与し、シリコン単結晶の品質低下を抑制する。また、モリブデンはバリウム同様に偏析係数が小さいため、シリコン単結晶の引き上げ時にシリコン単結晶に取りこまれ難いという優れた特性を有する。
【００３３】
さらに、モリブデン含有物質を石英ガラスルツボの外表面に有する場合、バリウムを用いた結晶化石英ルツボと比べて高温時の石英ガラスルツボの変形抑制に一層の効果がある。また、モリブデン含有物質は毒性が低いため、作業時等の取扱いも容易である。
【００３４】
石英ガラスルツボの内表面および／または外表面にモリブデン含有物質を含有させる際には、塗布法（または噴霧法）を適用することができる。塗布または噴霧するためには、水に可溶性のモリブデン化合物を用いることが好ましい。例えば、ケイモリブデン酸ｎ水和物（ＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3・ｎＨ2Ｏ）等を用いることができる。
【００３５】
塗布法・噴霧法では、石英ガラスルツボの内表面および／または外表面にモリブデン化合物溶液を塗布または噴霧した後、１００〜６００℃、好ましくは２００〜４００℃の高温処理で乾燥させる。あるいは、石英ガラスルツボを１００〜６００℃、好ましくは２００〜４００℃で高温処理した直後、モリブデン化合物溶液を塗布または噴霧する。
【００３６】
高温処理時に６００℃を超える温度に加熱し、常温に冷却した場合、実質的に結晶化した内表面層が形成され、クラックを発生させる危険性がある。従って、使用前の石英ルツボの内表面を結晶化させておくということはできず、６００℃以下の熱処理にする必要がある。
【００３７】
一方、１００℃未満の加熱処理では、結晶化剤は定着しない。例えば、モリブデン含有物質を塗布または噴霧した後、石英ガラスルツボを無加熱状態で乾燥させるか、あるいは、石英ガラスルツボを無加熱状態でモリブデン含有物質を塗布または噴霧した場合、加熱による結晶化剤定着が起こらないため、シリコン引き上げ時での結晶化促進は進まず、本発明の高温処理石英ガラスルツボに比べると結晶物質剥離抑制の効果は大幅に低下する。
【００３８】
また、塗布または噴霧するモリブデン濃度は、１〜１０μｇ／ｃｍ2が好ましい。１μｇ／ｃｍ2未満では、結晶化促進効果は低く、１０μｇ／ｃｍ2を超えると、結晶化し過ぎて結晶層が剥離する懸念がある。
【００３９】
また、石英ガラスルツボの内表面にモリブデン含有物質を含有させる方法として散布法を適用することができる。散布法では、石英ガラスルツボを高温加熱せずとも、結晶化促進剤であるモリブデン含有物質を定着させることができる。
【００４０】
散布法はモリブデンコーティング液によりコーティングされた高純度石英粉を石英ガラスルツボの内表面に散布供給し、溶融させてモリブデン含有物質を含む層を形成する。尚、コーティング液としては、水に可溶性のモリブデン化合物を用いることが好ましい。例えば、ケイモリブデン酸ｎ水和物（ＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3・ｎＨ2Ｏ）等を用いることができる。
【００４１】
このようにして散布法により形成したモリブデン含有物質を含む層の内表面での厚さは好ましくは３５〜２００μｍ、モリブデン含有物質を含む層におけるモリブデン濃度は好ましくは３０〜３００ｐｐｍである。このような条件とすることで、石英ガラスルツボの内表面の深さ方向に適性なる結晶化を進行させることにより、内表面に発生した結晶化物質の剥離を抑制できる。
【００４２】
モリブデン含有物質を含む層の厚さが３５μｍ未満またはモリブデン濃度が３０ｐｐｍ未満では、結晶化促進効果は低く、モリブデン含有物質を含む層の厚さが２００μｍを超えまたはモリブデン濃度が３００ｐｐｍを超えると、結晶化し過ぎて結晶層が剥離する懸念がある。
【００４３】
以上に説明した本発明の石英ガラスルツボを用いて、例えば従来より知られている通常の条件により、太陽電池や半導体向けの素子として使用されるシリコン基板の基となるシリコン単結晶インゴットを製造することができる。すなわち、この石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶インゴットの一般的な製造方法は、石英ガラスルツボに必要量の多結晶シリコンを充填し、シリコン単結晶引き上げ装置内をアルゴンガスに置換し、グラファイト発熱体により１４２０℃以上の１５００℃〜１６００℃に加熱して、多結晶シリコンを溶解する。次に、徐々に温度を下げ融液表面の温度を１４２０℃まで下げるなどの調整をした後、種結晶（６〜８ｍｍ角柱状）を融液に浸し、種結晶の表面を溶解する。種結晶中に存在していた転位および種づけ時に熱ショックで新たに発生した転位などを除去するため、比較的速い引上げ速度（１〜５ｍｍ／ｍｉｎ）で直径３〜５ｍｍ、長さ１００〜３００ｍｍの細くて長いネック部を形成する。石英ガラスルツボ内融液上面近傍の温度を下げると共に引上げ速度も０．１〜０．５ｍｍ／ｍｉｎと遅くし、細い直径のネック部から所定の直径の定径部まで、短時間でかつ急激に増径する肩部を形成する。温度と引き上げ速度を調整し、結晶径が一定になるように定径部の育成を行う。所定の長さになったら温度を少し下げ、かつ引き上げ速度を速めて結晶を細くし、定径部から直径を次第に減少させ、直径を零とする尾部を形成し、シリコン単結晶インゴットが融液から離れたら引き上げ製造作業は完了となり、シリコン単結晶を高い歩留まりで製造することができる。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
＜実施例１＞
回転するモールドに天然石英粉を投入した後、黒鉛電極に電圧を印加し、電流を流す電気アーク加熱によって、モールド内面から石英ガラスルツボの不透明層を形成した。引き続いて、アーク火炎中に天然石英粉を徐々に散布供給し透明層を形成した。
【００４５】
さらに連続して、ＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液（Ｍｏ：１．５重量％）中に、天然高純度石英粉を浸し、２００℃加熱で乾燥させた、モリブデンコーティングをした天然高純度石英粉を、徐々に散布供給して、モリブデン含有物質を含む層を形成し溶融を終了した。この石英ガラスルツボの内表面のモリブデン含有物質を含む層の厚さは１００μｍ、モリブデン濃度が１５０ｐｐｍであった。
【００４６】
次に、３００℃に加熱したこの石英ガラスルツボの外表面にＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液３ｍｌ（Ｍｏ：１．５重量％）を均一に噴霧した後、室温になるまで放冷した。
【００４７】
このようにして、外周部に石英ガラスの不透明層、その内側に石英ガラスの透明層、さらにその内側にモリブデン含有物質を含む層を有する口径寸法が２０インチの実施例１の石英ガラスルツボを作製した。
＜実施例２＞
回転するモールドに天然石英粉を投入した後に、黒鉛電極に電圧を印加し、電流を流す電気アーク加熱によって、モールド内面から石英ガラスルツボの不透明層を形成した。引き続いて、アーク火炎中に天然石英粉を徐々に散布供給し透明層を形成した。
【００４８】
その後は、公知の工程により、外周部に石英ガラスの不透明層、その内側に石英ガラスの透明層を有する口径寸法２０インチの石英ガラスルツボを作製した。
【００４９】
次に、３００℃に加熱したこの石英ガラスルツボの内表面および外表面にそれぞれＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液３ｍｌ（Ｍｏ：１．５重量％）を均一に噴霧した後、室温になるまで放冷し、実施例２の石英ガラスルツボを作製した。
＜比較例１＞
実施例２において、石英ガラスルツボの内表面および外表面にＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液を噴霧せず、それ以外は実施例２と同様にして口径寸法２０インチの比較例１の石英ガラスルツボを作製した。
＜比較例２＞
実施例２において、石英ガラスルツボを加熱せずに、その内表面および外表面にそれぞれＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液３ｍｌ（Ｍｏ：１．５重量％）を均一に噴霧した後、自然乾燥させた。それ以外は実施例２と同様にして口径寸法２０インチの比較例２の石英ガラスルツボを作製した。
＜比較例３＞
実施例２において、ＳｉＯ2・１２ＭｏＯ3水溶液に代えて、３００℃に加熱した石英ガラスルツボの内表面および外表面にＢａ（ＯＨ）2水溶液３ｍｌ（Ｂａ：１．５重量％）を均一に噴霧した後、室温になるまで放冷した。それ以外は実施例２と同様にして口径寸法２０インチの比較例３の石英ガラスルツボを作製した。
【００５０】
このようにして作製した実施例および比較例の石英ガラスルツボのうち、実施例２、比較例１〜３の石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶引上げを行い、原料投入量を基準とした単結晶化率を測定した。その結果を表１に示す。
【００５１】
【表１】
2012091969.tif 000002
【００５２】
このように、実施例２のモリブデン含有物質を内表面に有する石英ガラスルツボと比較例３のバリウム含有物質を内表面に有する石英ガラスルツボは、比較例１の従来の石英ガラスルツボを用いた場合より高いシリコン単結晶化率を達成した。
【００５３】
また、比較例２の無加熱でモリブデン化合物溶液を石英ガラスルツボに塗布した石英ガラスルツボの場合、実施例２の加熱後塗布に比べて石英ガラスルツボの結晶化が促進されておらず、シリコン単結晶化率が実施例２よりも大きく低下した。
【００５４】
また、実施例２、比較例１〜３の石英ガラスルツボについて、次の試験を行った。石英ガラスルツボの壁部を３０×２００ｍｍに切断し、外面側を上面にした片持ち支持の状態で、通常のシリコン単結晶引上げと同条件に相当する１５００℃、４０時間の加熱処理をした後の石英ガラスルツボ片の耐熱変形量を測定した。
【００５５】
その結果、これらの石英ガラスルツボ片の耐熱変形量は、比較例１→比較例２→比較例３→実施例２の順で小さくなった。このようにモリブデン含有物質を外表面に有する実施例２の石英ガラスルツボは、バリウム含有物質を外表面に有する比較例３の石英ガラスルツボに比べても耐熱性が向上した。
【符号の説明】
【００５６】
１      石英ガラスルツボ
２      石英ガラスの透明層
３      石英ガラスの不透明層
４      モリブデン含有物質を含む薄い層
５      モリブデン含有物質を含む薄い層
【図１】
2012091969.tif 000003