(57)【要約】【課題】キャリアテープに収納されている検査対象物を取り出した後に、検査対象物を取り出したキャリアテープとは異なるキャリアテープに検査対象物を収納させることが可能なテーピング装置を提供すること。【解決手段】本発明のテーピング装置１０では、制御手段１５０は、供給用テープＴ３の収納部Ｔ１Ａまたは別途の供給部位４０から所望の検査対象物Ｃを取り出させた後に、検査対象物Ｃを検査手段８０，９０で検査させるよう、検査手段８０，９０、保持手段６１ａ，７３ｃおよび移動手段６０，７０を制御し、検査対象物Ｃが良品であると判定された場合には、第１テープ搬送機構１３０に存在するキャリアテープＴ１の収納部Ｔ１Ａに検査対象物Ｃを収納させるように移動手段６０，７０および保持手段６１ａ，７３ｃを制御する。【選択図】図１
2012020767.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアテープの収納部に検査対象物を収納した後に、カバーテープをキャリアテープに取り付けて、当該検査対象物を外部から封止するテーピング装置であって、
上記検査対象物を収納させるための上記収納部を備える上記キャリアテープを下流側に向けて搬送させる第１テープ搬送機構と、
既に上記検査対象物が上記収納部に収納されていて、かつ上記キャリアテープに上記カバーテープが取り付けられた状態の供給用テープから上記カバーテープを剥がしつつ下流側に向けて搬送させる第２テープ搬送機構と、
上記第１テープ搬送機構に存在する上記キャリアテープに上記カバーテープを重ねる状態で、上記カバーテープを上記キャリアテープに取り付ける取付手段と、
上記検査対象物に対して所定の検査を行い、当該検査対象物が良品であるか否かを判定する検査手段と、
上記供給用テープの上記収納部または別途の供給部位に存在する上記検査対象物を保持させる保持手段と、
上記保持手段および上記検査対象物を移動させることが可能な移動手段と、
上記第１テープ搬送機構、第２テープ搬送機構、上記取付手段、上記検査手段、上記保持手段および上記移動手段の作動を制御する制御手段と、
を具備し、
上記制御手段は、
上記供給用テープの上記収納部または別途の供給部位から所望の上記検査対象物を取り出させた後に、上記検査対象物を上記検査手段で検査させるよう、上記検査手段、上記保持手段および上記移動手段を制御し、
上記検査手段によって上記検査対象物が不良品であると判定された場合には、排出部位に上記検査対象物を排出させるように上記移動手段および上記保持手段を制御すると共に、
上記検査手段によって上記検査対象物が良品であると判定された場合には、上記第１テープ搬送機構に存在する上記キャリアテープの上記収納部に上記検査対象物を収納させるように上記移動手段および上記保持手段を制御する、
ことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
請求項１記載のテーピング装置であって、
前記第１テープ搬送機構および前記第２テープ搬送機構は、いずれも前記別途の供給部位から離間する一方側に設けられている、
ことを特徴とするテーピング装置。
【請求項３】
請求項２記載のテーピング装置であって、
前記第２テープ搬送機構は、前記第１テープ搬送機構よりも前記別途の供給部位から離間する側に設けられていると共に、
前記第２テープ搬送機構は、テーピング装置に対して着脱自在に設けられている、
ことを特徴とするテーピング装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のテーピング装置であって、
前記検査対象物に対して前記検査手段とは異なる他方の面側から検査を行うための第２の検査手段を具備し、
上記第２の検査手段は、前記第１テープ搬送機構により搬送させられている前記キャリアテープの前記収納部における前記検査対象物に対して所定の検査を行う、
ことを特徴とするテーピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーピング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程を経て製造される電子部品（チップ）に対して、外観検査を行い、その外観検査において良品であると判断されたチップを、エンボスキャリアテープ（以下、キャリアテープと称呼する。）に存在する凹部に順次載置し、その後カバーテープで凹部の開口部を閉塞するタイプのテーピング装置がある。このようなタイプのテーピング装置としては、特許文献１に開示されているものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２７３５５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献１には、シートに貼付されたウエハを多数のチップにダイシングしたものが、チップ部品供給テーブルに固定されている。そして、そのチップを取り出した後に、検査装置で検査を行っている。すなわち、特許文献１には、チップの供給方式が１つのみ（チップ部品供給テーブルに固定されたウエハからチップを取り出すもののみ）が開示されている。しかしながら、たとえばチップが別のキャリアテープに既に収納されていて、このキャリアテープからチップを取り出して、所定の検査を行った後に、再び取り出したキャリアテープとは異なるキャリアテープに収納させたい、というニーズも存在する。
【０００５】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、キャリアテープに収納されている検査対象物を取り出した後に、検査対象物を取り出したキャリアテープとは異なるキャリアテープに検査対象物を収納させることが可能なテーピング装置を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のテーピング装置の第１の側面は、キャリアテープの収納部に検査対象物を収納した後に、カバーテープをキャリアテープに取り付けて、当該検査対象物を外部から封止するテーピング装置であって、検査対象物を収納させるための収納部を備えるキャリアテープを下流側に向けて搬送させる第１テープ搬送機構と、既に検査対象物が収納部に収納されていて、かつキャリアテープにカバーテープが取り付けられた状態の供給用テープからカバーテープを剥がしつつ下流側に向けて搬送させる第２テープ搬送機構と、第１テープ搬送機構に存在するキャリアテープにカバーテープを重ねる状態で、カバーテープをキャリアテープに取り付ける取付手段と、検査対象物に対して所定の検査を行い、当該検査対象物が良品であるか否かを判定する検査手段と、供給用テープの収納部または別途の供給部位に存在する検査対象物を保持させる保持手段と、保持手段および検査対象物を移動させることが可能な移動手段と、第１テープ搬送機構、第２テープ搬送機構、取付手段、検査手段、保持手段および移動手段の作動を制御する制御手段と、を具備し、制御手段は、供給用テープの収納部または別途の供給部位から所望の検査対象物を取り出させた後に、検査対象物を検査手段で検査させるよう、検査手段、保持手段および移動手段を制御し、検査手段によって検査対象物が不良品であると判定された場合には、排出部位に検査対象物を排出させるように移動手段および保持手段を制御すると共に、検査手段によって検査対象物が良品であると判定された場合には、第１テープ搬送機構に存在するキャリアテープの収納部に検査対象物を収納させるように移動手段および保持手段を制御するものである。
【０００７】
このように構成する場合には、第２テープ搬送機構は、供給用テープを搬送するが、この供給用テープの収納部には、既に検査対象物が収納されている。ここで、供給用テープからカバーテープを剥がして、収納部から検査対象物を取り出せる状態とする。そして、制御手段は、第２テープ搬送機構に存在するキャリアテープの収納部から検査対象物を取り出すように移動手段および保持手段を制御して、検査手段にて検査対象物の検査が為されるように、移動手段を制御する。そして、検査手段による検査により、検査対象物が良品であると判定された場合には、第１テープ搬送機構に存在するキャリアテープの収納部に検査対象物を収納させるように、移動手段および保持手段を制御する。
【０００８】
このようにすることで、既に封止されている供給用テープから検査対象物を取り出して、検査手段での検査後に、第１テープ搬送機構によって搬送されているキャリアテープの収納部に検査対象物を収納させることが可能となる。一方、別途の供給部位から検査対象物を取り出して、検査手段での検査後に、第１テープ搬送機構によって搬送されているキャリアテープの収納部に検査対象物を収納させることが可能となる。そのため、別途の供給部位と、供給用テープというように、検査対象物の供給方式を２つとすることが可能となる。
【０００９】
また、本発明のテーピング装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、第１テープ搬送機構および第２テープ搬送機構は、いずれも別途の供給部位から離間する一方側に設けられていることが好ましい。
【００１０】
このように構成する場合には、第１テープ搬送機構および第２テープ搬送機構は、いずれも別途の供給部位から離間する一方側に設けられているため、作業者による初期のキャリアテープの設置作業等の作業において、その作業性を高めることが可能となる。
【００１１】
さらに、本発明のテーピング装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、第２テープ搬送機構は、第１テープ搬送機構よりも別途の供給部位から離間する側に設けられていると共に、第２テープ搬送機構は、テーピング装置に対して着脱自在に設けられている、ことが好ましい。
【００１２】
このように構成する場合には、第１テープ搬送機構は、第２テープ搬送機構よりも別途の供給部位に近い側に設けられる状態となる。そのため、別途の供給部位から検査対象物を、第１テープ搬送機構によって搬送されるキャリアテープに供給する動作を行う場合には、作業効率を良好にすることが可能となる。また、第２テープ搬送機構は、テーピング装置に対して着脱自在に設けられているため、別途の供給部位からのみ検査対象物を供給する場合には取り外して、テーピング装置をコンパクト化することが可能となる。
【００１３】
また、本発明のテーピング装置の他の側面は、上述の各発明に加えて更に、検査対象物に対して検査手段とは異なる他方の面側から検査を行うための第２の検査手段を具備し、第２の検査手段は、第１テープ搬送機構により搬送させられているキャリアテープの収納部における検査対象物に対して所定の検査を行う、ことが好ましい。
【００１４】
このように構成する場合には、検査対象物に対して、一方の面側からと、他方の面側からの両面側からの検査を実行させることが可能となる。そのため、検査対象物に対して、良好な検査を実行させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、キャリアテープに収納されている検査対象物を取り出した後に、検査対象物を取り出したキャリアテープとは異なるキャリアテープに検査対象物を収納させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態に係るテーピング装置の主要部の構成を示す斜視図である。
【図２】図１のテーピング装置の主要部を別の角度から見たときの構成を示す斜視図である。
【図３】図１のテーピング装置の主要部を別の角度から見たときの構成を示す斜視図である。
【図４】図１のテーピング装置の主要部を模式的に表した斜視図である。
【図５】図１のテーピング装置のうち、駆動系の主要部のイメージを示す側面断面図である。
【図６】図１のテーピング装置のうち、ワーク保持機構およびイジェクタ機構の構成を示す側断面図である。
【図７】図１のテーピング装置のうち、全体の制御のイメージを示す図である。
【図８】図１のテーピング装置で用いられるキャリアテープの形状を示す斜視図である。
【図９】図１のテーピング装置において、封止テープからカバーテープを剥がす場合のイメージを示す図である。
【図１０】図１のテーピング装置のうち、搬入ローラ対の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１のテーピング装置のうち、第１テープ搬送機構の要部構成を示す斜視図である。
【図１２】図１のテーピング装置のうち、第２テープ搬送機構の要部構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態に係るテーピング装置１０について、図１から図１２に基づいて説明する。なお、以下の説明においては、キャリアテープＴ１が搬送される方向が、図１におけるＸ方向に対応する。また、テーピング装置１０が設置される設置面から離間する方向は上下方向に対応するが、この方向が図１におけるＺ方向に対応する。さらに、Ｘ方向およびＺ方向に直交する方向が、図１におけるＹ方向に対応する。
【００１８】
図１〜図４に示すように、テーピング装置１０は、Ｘ軸駆動機構２０と、Ｙ軸駆動機構３０と、ワーク保持機構４０と、イジェクタ機構５０と、反転ユニット６０と、ピックアンドプレースユニット７０と、第１外観検査部８０と、第２外観検査部９０（図４、図７参照）と、キャリアテープ供給部１００と、カバーテープ供給部１１０と、テープ接着機構１２０と、第１テープ搬送機構１３０と、第２テープ搬送機構１４０と、制御部１５０と、を主要な構成要素としている。
【００１９】
＜Ｘ軸駆動機構２０について＞
図５他に示すように、Ｘ軸駆動機構２０は、Ｘテーブル２１と、Ｘ軸駆動モータ２２と、ボールネジ２３と、ガイド（図示省略）とを具備している。Ｘテーブル２１は、本実施の形態では、上述の各構成のうち最も下方に位置していて、ボールネジ２３に対して噛み合う螺合部２１ａを有している。また、Ｘ軸駆動モータ２２は、ボールネジ２３を駆動させる駆動力を与えるものである。Ｘ軸駆動モータ２２の駆動によってボールネジ２３が回転させられると、Ｘテーブル２１はＸ方向に沿ってスライドさせられる。また、ガイドは、Ｘ軸駆動モータ２２の作動によりＸテーブル２１がスライドする際の案内として機能する。
【００２０】
＜Ｙ軸駆動機構２０について＞
また、図５他に示すように、Ｙ軸駆動機構３０は、Ｙテーブル３１と、Ｙ軸駆動モータ３２と、ボールネジ３３と、ガイド３４とを具備している。Ｙテーブル３１は、本実施の形態では、上述したＸテーブル２１に対してスライド可能に設けられている。また、Ｙ軸駆動モータ３２は、Ｘテーブル２１に対して移動しないように取り付けられていると共に、Ｙテーブル３１をＹ方向に沿ってスライドさせる駆動力を与える。ガイド３４は、Ｙ軸駆動モータ３２の作動によりＹテーブル３１がＹ方向に沿ってスライドする際の案内として機能する。
【００２１】
＜ワーク保持機構４０について＞
また、図５、図６等に示すように、ワーク保持機構４０は、取付台４１と、リング取付部材４２と、支持台４３とが設けられている。このワーク保持機構４０は、別途の供給部位に対応する。これらのうち、取付台４１は、Ｙテーブル３１に取り付けられている。後述するように、取付台４１には、保持リングＲ（ウエハ等のワークＷを保持するリング）に、テープ部材Ｔを介して貼付されているワークＷが保持される。また、この取付台４１は、図５に示すように、Ｘ軸駆動モータ２２の作動によりＸ軸方向に沿って移動可能であると共に、Ｙ軸駆動モータ３２の作動によりＹ軸方向に沿って移動可能となっている。ただし、反転ユニット６０および第１外観検査部８０は、ＸＹ方向には移動しないように設けられている。
【００２２】
また、図６に示すように、取付台４１には、挿通孔４１ａが形成されている。取付台４１には、挿通孔４１ａの周縁から上方に向かって突き上げ部４１ｂが設けられている。突き上げ部４１ｂは、ウエハ等のワークＷを貼り付けているテープ部材Ｔを上方に向かって突き上げる部分であり、かかる突き上げにより、テープ部材Ｔは張設された状態となる。また、取付台４１には、リング取付部材４２が取り付けられている。リング取付部材４２は、保持リングＲを取り付ける部分となっている。そして、このリング取付部材４２および保持リングＲを介して、ウエハ等のワークＷが取付台４１に取り付けられる。
【００２３】
また、図４、図５に示すように、取付台４１の内部空間を跨ぐように、支持台４３が設けられている。支持台４３は、イジェクタ機構５０を支持する部分となっていて、当該支持台４３は、テーピング装置１０が設置される設置面に対して、固定的に設けられている。それにより、Ｘ軸駆動モータ２２および／またはＹ軸駆動モータ３２が作動すると、ウエハ等のワークＷがイジェクタ機構５０と対向する位置を移動させることを可能としている。
【００２４】
＜イジェクタ機構５０について＞
図４、図５に示すように、支持台４３にはイジェクタ機構５０が取り付けられている。このイジェクタ機構５０は、支持台４３から上方に向かって移動させる移動機構（図示省略）を備えている。また、図６に示すように、イジェクタ機構５０は、突上針５１を有していて、この突上針５１を上下方向に移動させることを可能としている。そのため、移動機構を作動させてワークＷに対して近接する状態とした後に、突上針５１を上昇させることにより、その上昇部位におけるチップＣを上昇させることを可能としている。それにより、所望するチップＣのみを上昇させて、吸着ノズル６１ａで吸着保持させることを可能としている。なお、以下の説明では、たとえば微小なＩＣチップ等の如くワークＷから切り出されたものを、チップＣ（図５参照）と称呼する。なお、チップＣは、検査対象物の一例に対応する。
【００２５】
＜反転ユニット６０について＞
反転ユニット６０は、テーピング装置１０の不図示の固定的な部位に取り付けられていて、ワーク保持機構４０と共には移動しない構成となっている。この反転ユニット６０は、図４、図５および図７等に示すように、チップ保持機構６１と、上下機構６２と、回転機構６３とを備えている。チップ保持機構６１は、吸着ノズル６１ａを備えていて、この吸着ノズル６１ａがチップＣの表面等の部位に当接してチップＣを吸引保持する。また、吸着ノズル６１ａには、チューブ６１ｂの一端が連結されていて、このチューブ６１ｂの他端側にはバキュームポンプ６１ｃ（図７参照）が連結されている。そのため、吸着ノズル６１ａは、チップＣを吸着保持することを可能としている。
【００２６】
なお、このチップ保持機構６１（吸着ノズル６１ａ）は、保持手段の一例に対応する。
【００２７】
また、上下機構６２は、チップ保持機構６１および回転機構６３を上下方向（Ｚ方向）に移動させるための部分である。この上下機構６２は、上下駆動モータ６２ａおよび上下駆動モータ６２ａの駆動力を伝達する不図示の伝達機構を具備している。そして、この上下駆動モータ６２ａの駆動によって、チップ保持機構６１および回転機構６３が上下方向に移動させられる。
【００２８】
なお、上下機構６２、回転機構６３、後述するＸスライダ部７１、後述するＹスライダ部７２、および後述する上下スライダ部７３は、移動手段の一例に対応するが、移動手段は、これらのうち少なくとも１つから構成されていれば良い。また、移動手段にＸ軸駆動機構２０および／またはＹ軸駆動機構３０を含めるようにしても良い。
【００２９】
また、回転機構６３は、チップ保持機構６１（吸着ノズル６１ａ）を回転させるための部分である。回転機構６３は、回転モータ６３ａと、回転モータ６３ａからの駆動力を伝達するベルト等の不図示の伝達機構とを具備していて、上述の回転モータ６３ａの駆動によってチップ保持機構６１が上下方向に移動させられる。
【００３０】
ここで、吸着ノズル６１ａと突上針５１とは、Ｚ方向において位置合わせがなされるように、反転ユニット６０が取り付けられている（図４参照）。また、チップ保持機構６１（吸着ノズル６１ａ）は、チップＣを保持した後に、回転モータ６３ａの作動によりチップＣが吸着ノズル６１ａよりも上部に位置するように反転させられ、その反転の後に、チップＣは、ピックアンドプレースユニット７０の吸着ノズル７３ｃに受け渡される。
【００３１】
＜ピックアンドプレースユニット７０について＞
また、図１〜図４、図７等に示すように、ピックアンドプレースユニット７０は、Ｘスライダ部７１と、Ｙスライダ部７２と、上下スライダ部７３とを有している。Ｘスライダ部７１は、Ｙスライダ部７２をＸ軸方向に沿って移動させるものである。このＸスライダ部７１は、Ｘガイドレール７１ａと、Ｘスライドモータ７１ｂを備えていて、Ｘスライドモータ７１ｂの駆動により、Ｙスライダ部７２をＸガイドレール７１ａに沿って移動させることを可能としている。同様に、Ｙスライダ部７２は、Ｙガイドレール７２ａと、Ｙスライドモータ７２ｂを備えていて、Ｙスライドモータ７２ｂの駆動により、上下スライダ部７３をＹガイドレール７２ａに沿って移動させることを可能としている。また、上下スライダ部７３は、上下ガイド７３ａと、上下モータ７３ｂと、吸着ノズル７３ｃとを備えている。上下モータ７３ｂの作動により、吸着ノズル７３ｃは、上下ガイド７３ａに沿って上下方向（Ｚ方向）に移動させられる。また、吸着ノズル７３ｃには不図示のチューブの一端が連結されていると共に、そのチューブの他端には、不図示のバキュームポンプが接続されている。そのため、吸着ノズル７３ｃは、チップＣを吸着保持することを可能としている。
【００３２】
なお、吸着ノズル７３ｃは、上述のチップ保持機構６１（吸着ノズル６１ａ）と共に、保持手段の一例に対応する。
【００３３】
＜第１外観検査部８０について＞
第１外観検査部８０は、上下スライダ部７３の吸着ノズル７３ｃによって保持されているチップＣに対して、吸着ノズル７３ｃが吸着している面とは反対側の面側（テープ部材Ｔに取り付けられているチップＣの上側を表面側とすると、表面側）から、当該チップＣの外観検査を行うための部分であり、吸着ノズル７３ｃで保持されている状態（未だキャリアテープＴ１に収納される前）のチップＣを検査するものである。この第１外観検査部８０は、第２外観検査部９０と共に、検査手段の一例に対応する。また、第１外観検査部８０は、チップＣを撮像することにより、当該チップＣの外観において不具合がないか否かを照合するための部分である。そのため、第１外観検査部８０は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子８１を備えており、この撮像素子８１での撮像に基づいて撮像データが形成され、撮像されたチップＣが良品であるか否かが判定される。
【００３４】
なお、第１外観検査部８０は、テーピング装置１０の不図示の固定的な部位に取り付けられていて、取付台４１には取り付けられていない。また、第１外観検査部８０は、図７に示すように、撮像素子８１以外に、照光部８２と、ハーフミラー８３と、レンズユニット８４とを備えている。照光部８２は、外観検査が為されるチップＣに対して照射する照明光を出射する部分である。照光部８２から放たれた光は、ハーフミラー８３を通過して、チップＣへとガイドされる。また、ハーフミラー８３は、照明光を透過させるものの、チップＣから反射される光を所定の方向（本実施の形態では撮像素子８１に向かう方向）に反射させるものである。レンズユニット８４は、ハーフミラー８３によって反射させられる光を入射させて、撮像素子８１の表面に結像させる。
【００３５】
＜第２外観検査部９０について＞
また、第２外観検査部９０も、上述の第１外観検査部８０と同様の構成を備えている。この第２外観検査部９０も、テーピング装置１０の不図示の固定的な部位に取り付けられている。この第２外観検査部９０は、キャリアテープＴ１に収納されたチップＣの外観検査を行うための部分である。ここで、吸着ノズル６１ａがチップＣの表面側を吸着しているとすると、当該吸着ノズル６１ａが反転した後に、吸着ノズル７３ｃにチップＣを受け渡すため、吸着ノズル７３ｃはチップＣの裏面側を吸着し、第１外観検査部８０はチップＣの表面側を検査する状態となる。そのため、第２外観検査部９０は、チップＣの裏面側から、当該チップＣの外観検査を行うことを可能としている。なお、第２外観検査部９０は、撮像素子９１等を備えているが、それら各構成要素の詳細についての説明は省略する。なお、第２外観検査部９０の不図示の照光部は、第１テープ搬送機構１３０から退避可能に設けられている。
【００３６】
＜キャリアテープ供給部１００について＞
また、図７に示すように、キャリアテープ供給部１００は、キャリアテープＴ１を第１テープ搬送機構１３０に供給するための部分であり、キャリアテープＴ１が巻回されている供給リール１０１を具備し、この供給リール１０１が軸受等に取り付けられて回転可能に設けられている。その他、キャリアテープ供給部１００は、キャリアテープＴ１の搬送ローラ側への引出しをガイドするためのローラを備えていても良い。これらのうち、供給リール１０１は、テーピング装置１０の外部に飛び出す状態で取り付けられていて、当該供給リール１０１毎の交換を容易としている。また、供給リール１０１が軸受等に取り付けられることにより、後述する第１テープ搬送機構１３０によりキャリアテープＴ１が引き出されるにつれて、供給リール１０１が容易に回転するように設けられている。
【００３７】
なお、図１等においては、供給リール１０１は、第１テープ搬送機構１３０にのみ、キャリアテープＴ１を供給するように、１つのみ設けられている。ただし、第２テープ搬送機構１４０には、封止テープＴ３を供給するための、キャリアテープ供給部１００と類似する封止テープ供給部１０５が設けられている（図１〜図３参照）。この封止テープ供給部１０５は、封止テープＴ３が巻回されている供給リール１０５ａを具備している。
【００３８】
＜カバーテープ供給部１１０について＞
また、図３、図７等に示すように、カバーテープ供給部１１０は、カバーテープＴ２を、第１テープ搬送機構１３０および／または第２テープ搬送機構１４０に供給するための部分である。このカバーテープ供給部１１０は、カバーテープＴ２が巻回されている供給リール１１１を具備し、この供給リール１１１が回転可能に設けられている。その他、カバーテープ供給部１１０は、カバーテープＴ２の搬送ローラ側への引出しをガイドする複数のガイドローラ１１２、および搬送レール１３３に沿うようにカバーテープＴ２の向きを変えるための最終ガイド１１３を有している。上述の供給リール１１１は、テーピング装置１０の外部に飛び出す状態で取り付けられていて、供給リール１１１が軸受等に取り付けられることにより、後述する第１テープ搬送機構１３０、第２テープ搬送機構１４０によりカバーテープＴ２が引き出されるにつれて、供給リール１１１が容易に回転するように設けられている。
【００３９】
＜テープ接着機構１２０について＞
また、テープ接着機構１２０は、図７に示すように、キャリアテープＴ１に対してカバーテープＴ２を、熱圧着によって接着させるための機構である。本実施の形態では、テープ接着機構１２０は、第１テープ搬送機構１３０のみに設けられている。なお、テープ接着機構１２０は、取付手段の一例に対応する。
【００４０】
このテープ接着機構１２０は、不図示のヒータと、熱圧着用コテ１２１と、上下移動機構１２２とを備えている。これらのうち、ヒータは、熱圧着用コテ１２１を加熱するものである。熱圧着用コテ１２１は、ヒータによって所定の温度に加熱される部分であり、カバーテープＴ２をキャリアテープＴ１に重ねた状態でキャリアテープＴ１の上部に押し当てて、カバーテープＴ２をキャリアテープＴ１に熱圧着させるものである。また、熱圧着用コテ１２１は、キャリアテープＴ１およびカバーテープＴ２の送りの１ピッチに対応する分だけを熱圧着するように設けられている。
【００４１】
また、上下移動機構１２２は、熱圧着用コテ１２１を上下方向に移動させるための機構である。このような上下移動機構１２２としては、たとえばスライドガイド１２２ａ（図７、図１２参照）と、エアシリンダ等のアクチュエータ１２２ｂを具備するものが好適であるが、アクチュエータ１２２ｂはエアシリンダには限られない。また、本実施の形態では、アクチュエータ１２２ｂの加圧に対して熱圧着用コテ１２１を上方に押し戻す（カバーテープＴ２から熱圧着用コテ１２１を離間させる）ための戻しバネ（図示省略）が設けられている。戻しバネの一端側は、本実施の形態では、スライドガイド１２２ａの上端側に取り付けられていると共に、戻しバネの他端側は、熱圧着用コテ１２１の所定の部位に取り付けられている。
【００４２】
＜第１テープ搬送機構１３０について＞
また、図３、図４、図７および図１２等に示すように、第１テープ搬送機構１３０は、キャリアテープＴ１をチップＣの搭載位置まで搬送し、またチップＣが凹部Ｔ１Ａに収納された後に当該キャリアテープＴ１をカバーテープＴ２に対する熱圧着位置まで搬送し、その後、キャリアテープＴ１にカバーテープＴ２が接着されている封止テープＴ３を排出側に排出させるものである。この第１テープ搬送機構１３０は、第１搬送モータ１３１と、搬入ローラ対１３２と、搬送レール１３３と、レールカバー１３４と、排出ローラ対１３５とを主要な構成要素としている。
【００４３】
第１搬送モータ１３１は、搬入ローラ対１３２のガイドローラ１３２ａを駆動させる駆動力を与えるものである。また、搬入ローラ対１３２は、ガイドローラ１３２ａと、従動ローラ１３２ｂとを具備している。ガイドローラ１３２ａは、図１０に示すように、深溝部１３２ａ１と、段部１３２ａ２とを有している。深溝部１３２ａ１は、その底面がガイドローラ１３２ａの外周面１３２ａ３および段部１３２ａ２の底部よりも、径方向中心側に近接している部分である。なお、ガイドローラ１３２ａの外周面１３２ａ３は、従動ローラ１３２ｂの外周面１２２ｂ１と当接している部分である。また、この深溝部１３２ａ１には、キャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａが位置することが可能となっている。一方、段部１３２ａ２は、キャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａが入り込む部分ではなく、当該キャリアテープＴ１の幅方向における両端近傍に当接する部分である。そのため、段部１３２ａ２の底面は、ガイドローラ１３２ａの外周面１３２ａ３よりも径方向の中心側に位置しているものの、深溝部１３２ａ１の底部よりも径方向の外側に位置する構成となっている。なお、ガイドローラ１３２ａは、第１搬送モータ１３１の駆動力によって回転させられる。
【００４４】
また、従動ローラ１３２ｂは、ガイドローラ１３２ａとの間でキャリアテープＴ１を挟み込むと共に、ガイドローラ１３２ａの回転駆動に従動的に回転させられる。
【００４５】
また、搬送レール１３３は、キャリアテープＴ１の下面側に当接し、当該キャリアテープＴ１の搬送をガイドするものである。この搬送レール１３３は、長尺状かつ板状を為すように設けられている。この搬送レール１３３の幅方向中央部分には、ガイド溝１３３ａが設けられている。ガイド溝１３３ａは、搬送レール１３３の長手に沿って設けられていて、当該搬送レール１３３を突っ切るように設けられている。また、このガイド溝１３３ａは、搬送レール１３３の上面から所定だけ窪む形状に設けられているが、当該窪みの深さは、キャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａが入り込むことが可能な深さ以上となっている。この搬送レール１３３の一端は、上述したガイドローラ１３２ａに近接して設けられている。そのため、搬送レール１３３の一端は、下面から上面に向かうにつれて、長手方向の長さが長くなるようなテーパ部１２３ｂを有する形状に形成されている。また、このような構成を搬送レール１３３が有することにより、キャリアテープＴ１は、搬入ローラ対１３２から搬送レール１３３へと、良好に受け渡される状態となっている。
【００４６】
また、レールカバー１３４は、搬送レール１３３の上面側において、キャリアテープＴ１を覆うものである。このレールカバー１３４は、搬送レール１３３の上面に対して、所定の間隔を有する状態で取り付けられている。それにより、このレールカバー１３４と搬送レール１３３の上面との間にキャリアテープＴ１が位置して、当該キャリアテープＴ１の搬送レール１３３に沿う送り（搬送）がガイドされる。また、図３および図１１等に示すように、第１テープ搬送機構１３０においては、２つのレールカバー１３４ａ，１３４ｂが搬送レール１３３に取り付けられている。
【００４７】
ここで、レールカバー１３４ａは、キャリアテープＴ１の搬送方向における上流側に取り付けられているが、そのレールカバー１３４ａの下流側の端部には、チップガイド部１３４ａ１が設けられている。チップガイド部１３４ａ１は、レールカバー１３４ａの端部を切り欠いた切欠部１３４ａ２と、その切欠部１３４ａ２の周囲に存在するガイドテーパ部１３４ａ３とを有している。このような切欠部１３４ａ２およびガイドテーパ部１３４ａ３を有することにより、切欠部１３４ａ２を介してのチップＣの凹部Ｔ１Ａへの収納を容易としている。また、レールカバー１３４ｂの上流側の端部は、当該上流側の先端に向かうにつれて尖形となる尖形部１３４ｂ１を有していると共に、その尖形部１３４ｂ１は、上流側の先端に向かうにつれて下方に向かうテーパ形状を為している。かかる尖形部１３４ｂ１は、切欠部１３４ａ２に近接して設けられているが、尖形部１３４ｂ１は、切欠部１３４ａ２にはさほど入り込まず、それによってチップＣの凹部Ｔ１Ａへの収納性を確保している。
【００４８】
なお、搬送レール１３３のうち、第２外観検査部９０にてチップＣの外観を検査する部位には、レールカバー１３４が取り付けられていないか、またはレールカバー１３４ｂに切欠部が設けられている。同様に、搬送レール１３３のうち、最終ガイド１１３が存在する近傍においても、レールカバー１３４が取り付けられていないか、またはレールカバー１３４ｂに切欠部が設けられていて、カバーテープＴ２のテープ接着機構１２０側への送り込みを容易としている。また、搬送レール１３３のうち、テープ接着機構１２０が存在する部位においても、レールカバー１３４が取り付けられていないか、またはレールカバー１３４ｂに切欠部が設けられていない状態となっている。
【００４９】
また、キャリアテープＴ１の搬送方向に沿って搬送レール１３３の下流端部よりも下流側には、排出ローラ対１３５が設けられている。この排出ローラ対１３５は、ガイドローラ１２５ａと、従動ローラ１２５ｂとを具備しているが、その構成は、搬入ローラ対１３２におけるガイドローラ１３２ａおよび従動ローラ１３２ｂと同様となっているため、それら詳細についての説明は省略する。
【００５０】
なお、キャリアテープＴ１には、図８に示すように、表面から離間するように窪んだ凹部Ｔ１Ａが設けられていて、この凹部Ｔ１ＡにチップＣが収納される。また、本実施の形態では、第１テープ搬送機構１３０および第２テープ搬送機構１４０は、取付台４１には取り付けられていない。
【００５１】
＜第２テープ搬送機構１４０について＞
また、第２テープ搬送機構１４０は、チップＣを第１テープ搬送機構１３０に供給するためのものである。かかる供給を行うため、第２テープ搬送機構１４０においては、チップＣが予め凹部Ｔ１Ａに収納されている封止テープＴ３（この封止テープＴ３はチップＣを供給するための供給用テープに対応）を搬送しつつ、封止テープＴ３からカバーテープＴ２を剥がして、凹部Ｔ１ＡからチップＣを取り出し可能とする。その後、チップＣを取り出して、第１テープ搬送機構１３０により搬送されているキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに、取り出したチップＣを収納させる。
【００５２】
この第２テープ搬送機構１４０は、駆動モータ１４１と、搬送ガイド１４２と、排出ローラ１４３と、剥がし機構１４４とを主要な構成要素としている。ここで、第２テープ搬送機構１４０上では、チップＣの外観検査は為されないため、第２外観検査部９０等に対応するものが、搬送レール１３３の上部には配置されていない。また、第２テープ搬送機構１４０においては、キャリアテープＴ１に対してカバーテープＴ２を接着する必要がないため、テープ接着機構１２０等に対応するものも設けられていない。
【００５３】
しかしながら、第２テープ搬送機構１４０には、剥がし機構１４４が設けられている。剥がし機構１４４は、剥がし板部材１４４ａと巻き取りリール１４４ｂとを備えている。剥がし板部材１４４ａは、搬送ガイド１４２に取り付けられていて、封止テープＴ３から剥がされるカバーテープＴ２の先端に対して、鋭角をなす状態で接触する部分である。また、巻き取りリール１４４ｂは、剥がし板部材１４４ａを通過させた封止テープＴ３を取り付けると共に、この封止テープＴ３を巻回させる部分である。また、この巻き取りリール１４４ｂには、駆動モータ１４１の駆動力が与えられて、巻き取りリール１４４ｂで封止テープＴ３を巻き取らせている。
【００５４】
なお、駆動モータ１４１は、上述のように巻き取りリール１４４ｂへ駆動力を与えるものであるが、巻き取りリール１４４ｂと共に排出ローラ１４３にも駆動力を与えるように構成されている。つまり、封止テープＴ３は、排出ローラ１４３により巻き取られることで下流側に向かって進行することができる。また、搬送ガイド１４２は、封止テープＴ３の搬送をガイドするものである。かかる搬送を良好にガイドするために、搬送ガイド１４２は、不図示の溝部等を有しているが、搬送ローラ等の他の部材を有する構成であっても良い。
【００５５】
ここで、本実施の形態では、第１テープ搬送機構１３０と第２テープ搬送機構１４０とは、キャリアテープＴ１の搬送方向および高さ方向と直交する方向（Ｙ方向）に並んで設けられている。このとき、第１テープ搬送機構１３０と第２テープ搬送機構１４０とは、いずれもＹ方向において、ワーク保持機構４０から離間する一方側に設けられている。なお、本実施の形態では、第１テープ搬送機構１３０の方が、第２テープ搬送機構１４０よりもワーク保持機構４０に近接して設けられている。
【００５６】
なお、第２テープ搬送機構１４０は、テーピング装置１０に対して着脱自在に設けられている。すなわち、第２テープ搬送機構１４０は、不必要な場合には、テーピング装置１０から取り外すことが可能となっている。ここで、第２テーピング搬送機構１４０は、テーピング装置１０のうち第１テープ搬送機構１３０に対して着脱自在に設けられる構成としても良いが、テーピング装置１０のその他の固定部分に取り付ける構成であっても良い。
【００５７】
＜制御部１５０について＞
また、テーピング装置１０は、制御部１５０を有している。この制御部１５０は、テーピング装置１０における各駆動部位の駆動を司る部分であり、制御手段に対応する。すなわち、制御部１５０は、Ｘ軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ３２、バキュームポンプ６１ｃ、上下駆動モータ６２ａ、回転モータ６３ａ、Ｘスライドモータ７１ｂ、Ｙスライドモータ７２ｂ、上下モータ７３ｂ、上下モータ７３ｂ、撮像素子８１，９１、アクチュエータ１２２ｂ、第１搬送モータ１３１、駆動モータ１４１等の駆動を制御することを可能としている。なお、制御部１５０は、その他の各種の構成部分の制御を司るものとしても良い。
【００５８】
この制御部１５０は、不図示のＣＰＵ(Central Processing Unit)、メモリ（ＲＯＭ(Read Only
Memory)、ＲＡＭ(Random Access Memory)、不揮発性メモリ等）、モータドライバ等のドライバ、バス、タイマ、インターフェース等を有している。また、この制御部１５０は、ＣＰＵがＲＯＭ(Read Only Memory)、不揮発性メモリおよび／またはＨＤＤ（Hard
Disk Drive）に格納されている各種プログラムを不図示のＲＡＭ(Random Access
Memory)に読み出して協働して実行することにより、上述の駆動部位の制御を実現している。
【００５９】
＜テーピング装置１０の動作について＞
以上のような構成を有するテーピング装置１０の動作について、以下に説明する。以下の説明においては、（１）ウエハＷからのチップＣの取り出し（通常動作）、（２）封止テープＴ３からのチップＣの供給（再供給）の順に説明する。
【００６０】
（１）ウエハＷからのチップＣの取り出し（通常動作）に関して
まず、ワーク保持機構４０に、それぞれが微細なチップＣとなるようにダイシングされたワークＷ（ウエハ）を保持させる。そして、テーピング装置１０は、このワークＷからチップＣを取り出して、当該チップＣの表面側について第１外観検査部８０で外観検査を行った後に、キャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納され、続いて第２外観検査部９０でチップＣの裏面側の外観検査を行った後に、カバーテープＴ２をキャリアテープＴ１に熱圧着させて封止テープＴ３を形成し、その封止テープＴ３を排出することにより全体の動作が完了する。
【００６１】
順次説明すると、制御部１５０の制御に基づいて、Ｘ軸駆動モータ２２および／またはＹ軸駆動モータ３２を作動させて、次に取り出すべきチップＣの位置合わせを行う。このとき、制御部１５０の制御に基づいてバキュームポンプ６１ｃが作動させられており、それにより吸着ノズル６１ａには吸引力が与えられた状態となっている。その状態で、制御部１５０の制御に基づいて上下駆動モータ６２ａを作動させて、吸着ノズル６１ａを次に取り出すべきチップＣの表面に近づけると共に、イジェクタ機構５０の突上針５１を上昇させて、次に取り出すべきチップＣを持ち上げる。それにより、取り出すべきチップＣの表面側は、吸着ノズル６１ａに接触する。このとき、吸着ノズル６１ａには、バキュームポンプ６１ｃの作動による負圧が作用している。そのため、吸着後、制御部１５０の制御に基づいて上下駆動モータ６２ａを駆動させて吸着ノズル６１ａを上昇させても、チップＣを保持したままの状態を維持できる。
【００６２】
その後に、回転モータ６３ａを作動させて、チップＣを反転させて吸着ノズル６１ａよりも上に位置する状態とする。その後に、制御部１５０は、ピックアンドプレースユニット７０のＸスライドモータ７１ｂ、Ｙスライドモータ７２ｂおよび上下モータ７３ｂを作動させると共に、吸着ノズル７３ｃを作動させて、チップＣを吸着ノズル６１ａから受け取る。
【００６３】
その後、チップＣが第１外観検査部８０の撮像部位に到達するように、制御部１５０は、Ｘスライドモータ７１ｂ、Ｙスライドモータ７２ｂおよび上下モータ７３ｂの作動を制御する。そして、チップＣが撮像部位に到達した後に、制御部１５０は、撮像素子８１を駆動させて、チップＣの表面側の撮像を行う。この撮像結果は、制御部１５０の画像判定部に送信される。そして、当該画像判定部では、良品の画像データと撮像されたチップＣの表面の画像データとの照合を行う。
【００６４】
その照合の結果、チップＣの表面側に問題がないと判定された場合には、チップＣは、外観上、良品に相当するものとなり、凹部Ｔ１Ａへの収納状態を維持したままとなる。また、上述の照合の結果、チップＣの表面側に問題がないと判定された場合には、制御部１５０は、当該チップＣを第１テープ搬送機構１３０におけるキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納すべく、Ｘスライドモータ７１ｂおよびＹスライドモータ７２ｂを作動させて、吸着ノズル７３ｃの先端がチップガイド部１３４ａ１に位置する状態とした後に、上下モータ７３ｂを作動させてチップＣを凹部Ｔ１Ａに位置させ、その後にチップＣの吸着ノズル７３ｃを大気開放する等によってチップＣを凹部Ｔ１Ａに収納させる。
【００６５】
なお、第１外観検査部８０での検査後、制御部１５０の画像判定部における照合により、良品でない（不良品である）と判定された場合には、チップＣは、適宜ピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させて、不図示の排出部位から排出させられ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。
【００６６】
また、第２外観検査部９０においては、上述の第１外観検査部８０と同様の外観検査を、チップＣの裏面側について行う。この検査後、制御部１５０の画像判定部における照合により、良品でない（不良品である）と判定された場合には、チップＣは、不図示の排出部位から排出させられ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。ここで、第２外観検査部９０で外観検査がなされたチップＣは、既にキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納させられている。そのため、制御部１５０は、ピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させ、さらには第２外観検査部９０の照光部を、キャリアテープＴ１の上部から退避させ、その後に、吸着ノズル７３ｃでチップＣを吸着させた後に、再びピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させて、チップＣを不図示の排出部位から排出させ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。
【００６７】
以上のようにして、ウエハＷからチップＣの外観検査を行い、その後、良品と判定されたチップＣを凹部Ｔ１Ａに収納して封止テープＴ３を形成する。
【００６８】
（２）封止テープＴ３からのチップＣの供給（再供給）に関して
続いて、チップＣを封止テープＴ３から供給する、再供給に関して説明する。
【００６９】
まず、第２テープ搬送機構１４０に、チップＣを供給するための封止テープＴ３（供給用テープ）をセットする。このとき、封止テープＴ３からカバーテープＴ２を剥がす動作を行う（図９および図１２参照）。具体的には、第２テープ搬送機構１４０の搬送ガイド１４２の所定位置には、剥がし板部材１４４ａが設けられている。そのため、封止テープＴ３から剥がされたカバーテープＴ２は、剥がし板部材１４４ａを通過させつつ、当該カバーテープＴ２の先端を巻き取りリール１４４ｂに取り付ける。なお、この巻き取りリール１４４ｂには、駆動モータ１４１によって、剥がされたカバーテープＴ２を巻き取るための所定のトルクが与えられている。
【００７０】
そのため、封止テープＴ３が搬送ガイド１４２に沿って進行し、カバーテープＴ２が剥がし板部材１４４ａを通過すると、当該封止テープＴ３からカバーテープＴ２が順次剥がされる。そのため、キャリアテープＴ１のみが、搬送ガイド１４２の下流側に向かって進行する。
【００７１】
ここで、第２テープ搬送機構１４０に存在するキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａには、予めチップＣが収納されていて、この凹部Ｔ１Ａから、チップＣを取り出す。すなわち、制御部１５０は、ピックアンドプレースユニット７０の吸着ノズル７３ｃを作動させてチップＣを凹部Ｔ１Ａから取り出す。その後、チップＣが第１外観検査部８０の撮像部位に到達するように、制御部１５０は、Ｘスライドモータ７１ｂ、Ｙスライドモータ７２ｂおよび上下モータ７３ｂの作動を制御する。そして、チップＣが撮像部位に到達した後に、制御部１５０は、撮像素子８１を駆動させて、チップＣの表面側の撮像を行う。この撮像結果は、制御部１５０の画像判定部に送信される。そして、当該画像判定部では、良品の画像データと撮像されたチップＣの表面の画像データとの照合を行う。
【００７２】
その照合の結果、チップＣの裏面側に問題がないと判定された場合には、制御部１５０は、当該チップＣを第１テープ搬送機構１３０におけるキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納すべく、Ｘスライドモータ７１ｂおよびＹスライドモータ７２ｂを作動させて、吸着ノズル７３ｃの先端がチップガイド部１３４ａ１に位置する状態とした後に、上下モータ７３ｂを作動させてチップＣを凹部Ｔ１Ａに位置させ、その後にチップＣの吸着ノズル７３ｃを大気開放する等によってチップＣを凹部Ｔ１Ａに収納させる。
【００７３】
なお、第１外観検査部８０での検査後、制御部１５０の画像判定部における照合により、良品でない（不良品である）と判定された場合には、チップＣは、適宜ピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させて、不図示の排出部位から排出させられ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。
【００７４】
また、第２外観検査部９０でチップＣの裏面側の検査後、制御部１５０の画像判定部における照合により、良品でない（不良品である）と判定された場合には、チップＣは、不図示の排出部位から排出させられ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。ここで、第２外観検査部９０で外観検査がなされたチップＣは、既にキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納させられている。そのため、制御部１５０は、ピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させ、さらには第２外観検査部９０の照光部を、キャリアテープＴ１の上部から退避させ、その後に、吸着ノズル７３ｃでチップＣを吸着させた後に、再びピックアンドプレースユニット７０の各部位を作動させて、チップＣを不図示の排出部位から排出させ、排出されたチップＣは、トレイ等のチップ受部に受け止められる。
【００７５】
以上のようにして、既に封止テープＴ３に封止されているチップＣを取り出して、新たなキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１ＡにチップＣを収納し、その後に封止テープＴ３で封止して、新たな封止テープＴ３を形成する。
【００７６】
＜効果＞
以上のような構成のテーピング装置１０によると、既にチップＣが封止されている封止テープＴ３からチップＣを取り出して、第１外観検査部８０での検査後に、第１テープ搬送機構１３０によって搬送されているキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１ＡにチップＣを収納させることが可能となる。一方、別途の供給部位からチップＣを取り出して、第１外観検査部８０での検査後に、第１テープ搬送機構１３０によって搬送されているキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに、チップＣを収納させることが可能となる。そのため、別途の供給部位と、供給用の封止テープＴ３というように、チップＣの供給方式を２つとすることが可能となる。
【００７７】
また、本実施の形態では、第１テープ搬送機構１３０および第２テープ搬送機構１４０は、いずれもＹ方向において、ワーク保持機構４０から離間する一方側に設けられている。そのため、チップＣの搬送効率を高めることが可能となる。すなわち、第２外観検査部９０において不良品であると判定される等の場合には、チップＣを再び吸着ノズル７３ｃに吸引保持させて、第２テープ搬送機構１４０によって搬送されているキャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａに収納させる必要があるが、そのとき、第１テープ搬送機構１３０と第２テープ搬送機構１４０とが、Ｙ方向において、ワーク保持機構４０を挟んで反対側に設けられている場合のように、搬送効率を悪化させずに済む。そのため、チップＣの検査効率を向上させることが可能となる。
【００７８】
また、上述のように、第１テープ搬送機構１３０および第２テープ搬送機構１４０は、いずれもＹ方向において、ワーク保持機構４０から離間する一方側に設けられているため、作業者による初期のキャリアテープＴ１の設置作業等の作業において、その作業性を高めることが可能となる。
【００７９】
さらに、本実施の形態では、第１テープ搬送機構１３０は、第２テープ搬送機構１４０よりもワーク保持機構４０等に近い側に設けられる状態となる。そのため、ワーク保持機構４０らチップＣを、第１テープ搬送機構１３０によって搬送されるキャリアテープＴ１に供給する動作を行う場合には、作業効率を良好にすることが可能となる。また、第２テープ搬送機構１４０は、テーピング装置１０に対して着脱自在に設けられているため、ワーク保持機構４０からのみチップＣを供給する場合には第２テープ搬送機構１４０を取り外して、テーピング装置１０をコンパクト化することが可能となる。
【００８０】
また、本実施の形態では、第１外観検査部８０に加えて、第２外観検査部９０が設けられている。そのため、チップＣの表面側と裏面側との検査を実行させることが可能となり、良好な外観検査を行わせることが可能となる。
【００８１】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係る、テーピング装置１０について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【００８２】
上述の実施の形態においては、検査対象物として、チップＣが挙げられているが、検査対象物はチップＣに限られるものではない。たとえば、微細な機械部品、微細な結晶組成物等のような各種の微細なものを、検査対象物としても良い。
【００８３】
また、上述の実施の形態では、検査手段として、第１外観検査部８０と第２外観検査部９０とを具備するものについて説明している。しかしながら、検査手段は、これらを具備する構成には限られず、たとえば第１外観検査部８０と第２外観検査部９０のいずれかのみを具備する構成を採用しても良く、その他の外観検査部を１つ以上備える構成を採用しても良い。また、第１外観検査部８０と第２外観検査部９０のうち撮像素子８１，９１以外の構成は適宜省略可能であり、またその他の構成要素を追加可能であり、そのような省略した構成、および／または追加した構成を検査手段としても良い。
【００８４】
また、上述の実施の形態においては、キャリアテープＴ１の凹部Ｔ１Ａが収納部に対応するものとして説明しているが、その他、突出部等で囲まれる部位を収納部としても良い。
【００８５】
また、上述の実施の形態においては、第１テープ搬送機構１３０と第２テープ搬送機構１４０とは、いずれもＹ方向において、ワーク保持機構４０から離間する一方側に設けられている。しかしながら、第１テープ搬送機構１３０と第２テープ搬送機構１４０とが、Ｙ方向において、ワーク保持機構４０を挟んで反対側に設けられる構成を採用しても良い。
【００８６】
また、上述の実施の形態におけるテーピング装置１０は、不良品と判定されたチップＣの排出のみを行うものとしても良く、また少なくとも一度は不良品であると判定されたチップＣの再供給のみを行うものとしても良い。
【００８７】
また、上述の実施の形態では、ピックアンドプレースユニット７０は、１つのみ存在する構成が示されている。しかしながら、ピックアンドプレースユニット７０は、２つ以上設けられる構成を採用しても良い。
【符号の説明】
【００８８】
１０…テーピング装置
２０…Ｘ軸駆動機構（移動手段の一部の一例に対応）
２１…Ｘテーブル
２２…Ｘ軸駆動モータ
３０…Ｙ軸駆動機構（移動手段の一部の一例に対応）
３１…Ｙテーブル
３２…Ｙ軸駆動モータ
４０…ワーク保持機構
４１…取付台
４１ｂ…突き上げ部
４２…リング取付部材
４３…支持台
５０…イジェクタ機構
５１…突上針
６０…反転ユニット
６１…チップ保持機構（保持手段の一例に対応）
６１ｃ…バキュームポンプ
６１ａ，７３ｃ…吸着ノズル（保持手段の一例に対応）
６２…上下機構
６２ａ…上下駆動モータ
６３…回転機構
６３ａ…回転モータ
７０…ピックアンドプレースユニット
７１…Ｘスライダ部（移動手段の一例に対応）
７１ｂ…Ｘスライドモータ
７２…Ｙスライダ部（移動手段の一例に対応）
７２ｂ…Ｙスライドモータ
７３…上下スライダ部（移動手段の一例に対応）
７３ｂ…上下モータ
８０…第１外観検査部（検査手段の一例に対応）
８１，９１…撮像素子
９０…第２外観検査部（検査手段の一例に対応）
１００…キャリアテープ供給部
１０５…封止テープ供給部
１１０…カバーテープ供給部
１２０…テープ接着機構（取付手段の一例に対応）
１２１…熱圧着用コテ
１２２…上下移動機構
１２２ｂ…アクチュエータ
１３０…テープ搬送機構
１３１…第１搬送モータ
１３３…ガイドレール
１３４ａ２…切欠部
１３４…レールカバー
１４０…テープ搬送機構
１４１…駆動モータ
１４２…搬送ガイド
１４４…剥がし機構
１４４ａ…剥がし板部材
１４４ｂ…巻き取りリール
１５０…制御部（制御手段に対応）
Ｃ…チップ
Ｔ１…キャリアテープ
Ｔ１Ａ…凹部（収納部の一例に対応）
Ｔ２…カバーテープ
Ｔ３…封止テープ
Ｗ…ワーク
【図１】
2012020767.tif 000003
【図２】
2012020767.tif 000004
【図３】
2012020767.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2012020767.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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