(57)【要約】【課題】適切に封止機能が保たれた背圧制御ユニットを備える噴射ヘッド、及び上記噴射ヘッドを備える液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するヘッド本体と、前記ヘッド本体が固定された背圧制御ユニットと、を具備し、前記背圧制御ユニットは、前記ヘッド本体に面するベース部と、前記ベース部に面する流路部材と、前記流路部材を保持する保持部を内部に設け前記ベース部と外周部で当接するカバー部と、を含み、前記ベース部と前記カバー部とは、同カバー部の外周に設けられたシール部材を挟んだ状態で、複数のねじ部材によって固定されている構成としてある。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するヘッド本体と、
前記ヘッド本体が固定された背圧制御ユニットと、を具備し、
前記背圧制御ユニットは、前記ヘッド本体に面するベース部と、前記ベース部に面する流路部材と、前記流路部材を保持する保持部を内部に設け前記ベース部と外周部で当接するカバー部と、を含み、
前記ベース部と前記カバー部とは、同カバー部の外周に設けられたシール部材を挟んだ状態で、複数のねじ部材によって固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記流路部材には、前記カバー部側に開口する溝状の経路と、液体の供給通路となる供給管が接続される接続口と、前記接続口に連通してヘッド本体に液体を供給する液体流路と、が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記シール部材は弾性部材により構成され、前記シール部材の断面は、前記ベース部と当接する側の面が平面であり、且つ、前記カバー部と当接する側の面が同カバー部の当接面に対して対称な傾斜部を有していることを特徴とする請求項１から請求項２のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記請求項１から請求項３のいずれかに記載の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に複数の部材を積層させて液体が流れる流路を形成する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリンター等の液体噴射装置は、インク等の液体を噴射する液体噴射ヘッドを備えている。この液体噴射ヘッドは、液体が噴射されるノズル開口と、このノズル開口に連通する流路に対して液体を供給するバルブユニット（背圧制御ユニットとも記載する。）を備えるものがある。この背圧制御ユニットは、液体を噴射するための圧力を生じさせる圧力室を備え、トナーから供給された液体をこの圧力室の圧力変化に応じてノズル開口側へ供給する機能を備える。
【０００３】
また、背圧制御ユニットの一例として、上記した流路や圧力室を、複数の部材を積層して構成するものがある。例えば、各部材の積層表面に流路や圧力室として機能する溝等を形成し、各部品を積層した際、各溝が合わさることで流路や圧力室が形成される（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６０９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の部品を積層して構成する背圧制御ユニットでは、部品同士が合わさる部位が精度よく形成されている必要がある。例えば、第１の部品と第２の部品を積層させて流路を形成する場合、各部品の当接面に凹凸が存在すると、この凹凸により生じる隙間により流路が密閉されず、流路を流れる液体が外部に洩れ出る場合も想定される。このような場合、背圧制御ユニット内で液体が適切に流れず、印字不良等を引き起こす原因となる。
【０００６】
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、適切に封止機能が保たれた背圧制御ユニットを備える噴射ヘッド、及び上記噴射ヘッドを備える液体噴射装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、液体を噴射するヘッド本体と、前記ヘッド本体が固定された背圧制御ユニットと、を具備し、前記背圧制御ユニットは、前記ヘッド本体に面するベース部と、前記ベース部に面する流路部材と、前記流路部材を保持する保持部を内部に設け前記ベース部と外周部で当接するカバー部と、を含み、前記ベース部と前記カバー部とは、同カバー部の外周に設けられたシール部材を挟んだ状態で、複数のねじ部材によって固定されている構成としてある。
【０００８】
上記のように構成された発明では、背圧制御ユニットは、ヘッド本体に面するベース部と、ベース部に面する流路部材と、ベース部と外周部で当接するよう積層されて流路部材を保持する保持部を内部に設けるカバー部とを含んで構成されている。また、ベース部とカバー部とは、同カバー部の外周に設けられたシール部材を挟んだ状態で、複数のねじ部材によって固定されているため、このシール部材によって背圧制御ユニットの外周を適切に封止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】流路部材の分解斜視図である。
【図３】背圧制御ユニットの断面図である。
【図４】背圧制御ユニット２０の要部分解斜視図である。
【図５】第１シール部３４の一部を拡大して示す図である。
【図６】液体噴射装置の一例を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．インクジェット式記録ヘッドについて：
２．背圧制御ユニットについて：
３．液体噴射装置について：
【００１１】
１．インクジェット式記録ヘッドについて： 
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。また、図２は、流路部材の分解斜視図である。そして、図３は、背圧制御ユニットの断面図である。さらに、図４は、背圧制御ユニット２０の要部分解斜視図である。
【００１２】
図１に示すように、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１０は、背圧制御ユニット２０と、背圧制御ユニット２０の底面に設けられた回路基板６０と、回路基板６０の背圧制御ユニット２０とは反対側に設けられたヘッドケース７０と、ヘッドケース７０に固定された複数のヘッド本体８０と、を具備して構成されている。
【００１３】
背圧制御ユニット２０は、外部のインクが貯留されたインクタンクなどの液体貯留手段からのインクをヘッド本体８０に供給するものであり、中空状の箱状部材からなるカバー３０と、カバー３０の内部に設けられた流路部材４０と、を具備して構成されている。そのため、液体貯留手段から供給されたインクは、カバー３０の接続口（後述）を通じてカバー３０及び流路部材４０により構成される流路に導かれ、供給口（後述）を通じてヘッド本体８０に供給される。
【００１４】
ヘッドケース７０は、背圧制御ユニット２０の底面に固定されて、回路基板６０を保持する。また、回路基板６０は、外部配線が接続されるコネクターが上向きとなるように配置される。このような回路基板６０は、複数のヘッド本体８０に共通して接続されるものを用いることができる。
【００１５】
ヘッド本体８０は、背圧制御ユニット２０の供給口（後述）が形成された底面に取り付けられ、この供給口からインクの供給を受ける。ヘッド本体８０は、特に図示しないがノズル開口が並設された列が２列以上設けられており、各背圧制御ユニット２０から供給された各種インクを各ノズル列から吐出可能に設けられている。
【００１６】
また、ヘッド本体８０内には、特に図示していないが、ノズル開口に連通する圧力発生室と圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とが設けられている。かかる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって圧力発生室の容積を変化させて圧力変化を生じさせて、ノズル開口からインク滴を吐出させるものや、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口からインク滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口からインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００１７】
２．背圧制御ユニットについて：
以下、本実施形態に係る背圧制御ユニット２０についてより詳細に説明を行う。
図１に示すように、本実施形態に係る背圧制御ユニット２０のカバー３０は、ベース部３１とカバー部３２とで構成された分割構造であり、ベース部３１と、カバー部３２との間に流路部材４０を収容するよう配置した状態で、カバー部３２側から貫通させたねじ部材Ｓｃ（図示せず）で、同カバー部とベース部３１とを固定して背圧制御ユニット２０が組み立てられる。
【００１８】
ベース部３１は、カバー部３２と対向する側に開口する凹形状を有する第１保持部３１１と、第１保持部３１１の一端部側に設けられて厚さ方向に貫通する配線挿通孔３１２が設けられた支持部３１３と、を具備して構成されている。また、第１保持部３１１は、底面３１６と、この底面の外周から厚み方向に延設して同底面を画成する第１壁部３１５と、第１壁部３１５と一体で構成されねじ部品Ｓｃのねじ部と螺合する雌ねじが内部に形成されたボス部３１７と、を備えて構成されている。さらに、ベース部３１の第１保持部３１１の底面３１６には、厚さ方向に貫通してヘッド本体にインクを供給する複数の供給口３１４が設けられている。本実施形態では、ベース部３１の底面に７個の供給口３１４を設けて構成されている。
【００１９】
カバー部３２は、図１及び図４に示すように、ベース部３１の第１保持部３１１を覆う大きさを有し、ベース部３１の第１保持部３１１に相対向してベース部３１側に開口する凹形状を有する第２保持部３２１を備える形状である。また、第２保持部３２１は、底面３２５と、この底面３２５の外周で厚み方向に延設して同底面３２５を画成する第２壁部３２２と、同第２壁部３２２と一体で形成されてねじ部品Ｓｃのねじ部が貫通する貫通穴を備えるボス部３２６と、を備えて構成されている。
【００２０】
そして、図３に示すように、ベース部３１とカバー部３２とは、第１保持部３１１と第２保持部３２１とを相対向させた状態でねじ部品Ｓｃを用いて固定されることで、内部に第１保持部３１１と第２保持部３２１とによって画成された空間である保持部３３が形成される。さらに、保持部３３には、ゴムやエラストマー等からなるシール部（後記する第１シール部３４、第２シール部３５、第３シール部３６）を保持している。
【００２１】
また、カバー部３２には、第２保持部３２１の底面に連通して厚さ方向に貫通する開口部３２３が設けられている。開ロ部３２３は、カバー部３２の外周面で開口すると共に、第２保持部３２１の底面に設けられて、第２保持部３２１の側面を画成する第２壁部３２２よりも低く突出した突起部３２４に開口して設けられている。
【００２２】
流路部材４０は、図２及び図３に示すように、ベース部３１側に設けられた第１流路部材４１と、第１流路部材４１上に設けられた第２流路部材４２と、第２流路部材４２上に設けられた圧力室形成部材４３と、圧力室形成部材４３上に設けられた保護板４４と、が積層されて構成されている。
【００２３】
これら第１流路部材４１、第２流路部材４２、圧力室形成部材４３及び保護板４４のそれぞれは、樹脂材料や金属材料等からなる板状部材で形成されている。そして、これらの第１流路部材４１、第２流路部材４２、圧力室形成部材４３及び保護板４４は、積層された状態で、保持部３３内に保持される。
【００２４】
このような流路部材４０を構成する第１流路部材４１、第２流路部材４２及び圧力室形成部材４３には、外部のインクが貯留された液体貯留手段からのインクをヘッド本体８０に供給する液体流路５０が設けられている。
【００２５】
具体的には、液体流路５０は、図３に示すように、液体貯留手段に一端側が接続されたチューブ等の管状部材である供給管（図示なし）の他端部が接続される接続口５１を有する導入路５２と、導入路５２からのインクが供給されるチャンバー５３と、チャンバー５３からのインクをヘッド本体８０に供給する供給路５４と、を具備する。
【００２６】
ここで、接続口５１は、第２流路部材４２の上面にカバー部３２の開口部３２３内に開口して設けられたものである。このような接続口５１は、複数のインクに対応して複数個設けられている。本実施形態では、接続口５１を７個設けるようにした(図１及び図２参照)。
【００２７】
このような接続口５１を有する導入路５２は、第２流路部材４２や第１流路部材４１を貫通する流路や、第２流路部材４２と第１流路部材４１との間の流路や、第１流路部材４１とベース部３１との間の流路などで構成されている。本実施形態の導入路５２は、図３（ａ）に示す第１導入路５５と、図３（ｂ）に示す第２導入路５６との２つの経路を具備する。
【００２８】
第１導入路５５は、図３（ａ）に示すように、第２流路部材４２と第１流路部材４１とを厚さ方向に貫通した第１導入流路５５１と、第１流路部材４１の底面に凹部状に形成されて第１導入流路５５１に一端部が連通する第２導入流路５５２と、第２導入流路５５２の他端部側に連通して第１流路部材４１を貫通して設けられた第３導入流路５５３と、第１流路部材４１と第２流路部材４２との問に設けられて第３導入流路５５３に連通する第１フィルター室５５４と、第１フィルター室５５４に連通して第２流路部材４２を貫通して設けられた第４導入流路５５５と、を具備する。
【００２９】
第２導入路５６は、図３（ｂ）に示すように、接続口５１に連通して第２流路部材４２を厚さ方向に貫通した第５導入流路５６１と、第１流路部材４１と第２流路部材４２との間に設けられた凹形状を有する第６導入流路５６２と、第６導入流路５６２に連通する第１フィルター室５６３と、第１フィルター室５６３に連通して第２流路部材４２を厚さ方向に貫通して設けられた第７導入流路５６４と、を具備する。
【００３０】
すなわち、第１導入路５５は、第１流路部材４１とベース部３１との間を通過してチャンバー５３に達する。これに対して、第２導入路５６は第１流路部材４１とベース部３１との間を通過することなく、第１流路部材４１と第２流路部材４２との間を通過して、チャンバー５３に達する。
【００３１】
また、第１導入路５５及び第２導入路５６のそれぞれの途中に設けられた第１フィルター室５５４、５６３には、インク中に含まれるゴミや気泡等の異物を除去するフィルター５７が設けられている。ここで、第１導入路５５の途中の第１フィルター室５５４には、第３導入流路５５３と第４導入流路５５５とが、第１フィルター室５５４のフィルター５７を挟んだ両側にそれぞれ連通している。これにより、第３導入流路５５３から供給されたインクはフィルター５７を通過して第４導入流路５５５に供給される。
【００３２】
同様に、第２導入路５６の途中に設けられた第１フィルター室５６３には、第６導入流路５６２と第７導入流路５６４とがフィルター５７を挟んだ両側にそれぞれ連通している。これにより、第６導入流路５６２から供給されたインクはフィルター５７を通過して第７導入流路５６４に供給される。
【００３３】
このように、第１導入流路５５１〜第４導入流路５５５で構成される第１導入路５５と、第５導入流路５６１〜第７導入流路５６４で構成される第２導入路５６との２種類の導入路５２を設けることで、図中下向きにインクが流れる導入路５２から図中上向きにインクが流れる導入路５２への接続に使用する第２導入流路５５２と第６導入流路５６２とを第１流路部材４１とベース部３１との間と、第１流路部材４１と第２流路部材４２との間との異なる位置に配置することができる。これにより、第２導入流路５５２と第６導入流路５６２を設ける面積を狭くすることができるため、背圧制御ユニット２０を小型化することができる。なお、これらの各導入路５２は、圧力室形成部材４３に設けられた各チャンバー５３に連通する。
【００３４】
チャンバー５３は、板状部材である圧力室形成部材４３の第２流路部材４２とは反対側に開口する凹形状を有する。また、チャンバー５３は、長手方向の一端部側の底面で導入路５２に連通し、他端部側の底面で供給路５４と連通している。
【００３５】
このようなチャンバー５３は、圧力室形成部材４３の開ロ面に設けられたフィルム部材４５によって封止されている。ここで、フィルム部材４５は、可撓性を有する薄膜状のフィルムであり、圧力室形成部材４３の表面に熱溶着等によって固定されている。また、フィルム部材４５は、チャンバー５３内にドーム状に撓んだ状態となるように加圧成形されている。
【００３６】
さらに、圧力室形成部材４３のチャンバー５３内には、フィルム部材４５側に配置された弾性板４６が設けられている。弾性板４６は、一端部側が圧力室形成部材４３の表面側に固定された状態でチャンバー５３内に突出して設けられており、その先端はチャンバー５３内で自由端となっている。本実施形態では、図２に示すように、弾性板４６を固定端側で複数の弾性板４６が共通する共通部４６ａと、チャンバー５３内に突出するスリット４６ｂによって分割された弾性部４６ｃと、で構成されたいわゆる櫛歯形状を有するものとした。
【００３７】
供給路５４は、第２流路部材４２を厚さ方向に貫通して設けられた第２フィルター室５４１と、第２フィルター室５４１に連通して第１流路部材４１を貫通して設けられた第１供給流路５４２と、第１流路部材４１とベース部３１との問に設けられた第２供給流路５４３と、を有する。すなわち、チャンバー５３からのインクは、第２フィルター室５４１と、第１供給流路５４２と、第２供給流路５４３とを介してベース部３１に設けられた供給口３１４に供給される。
【００３８】
また、第２フィルター室５４１には、上述した第１フィルター室５５４と同様にインクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルター５７が設けられている。すなわち、チャンバー５３からのインクは、フィルター５７を通過して第１供給流路５４２と第２供給流路５４３とを介してヘッド本体８０に供給される。
【００３９】
また、保護板４４の圧力室形成部材４３側の面には、各チャンバー５３に相対向してフィルム部材４５の変形を許容する空間である凹形状を有するフィルム保持部５８が設けられている。さらに、フィルム保持部５８の雰囲気を大気開放する外部に連通した大気開放路５９が設けられている。そのため、フィルム部材４５のチャンバー５３とは反対側のフィルム保持部５８を大気開放路５９によって大気開放することで、チャンバー５３内部の圧力と大気圧との差圧でフィルム部材４５を変形させることができる。これにより、大気開放路５９に拡散抵抗を付与して、フィルム部材４５からの水分蒸発を抑制することができる。
【００４０】
また、導入路５２とチャンバー５３との間には、両者の連通状態を開閉する弁体１００が備えられており、この弁体１００の開閉によりチャンバー５３内部は一定の圧力に保たれている。
【００４１】
また、カバー部３２には、ゴム、エラストマー等の弾性部材からなる第１シール部（シール部材）３４、第２シール部３５、第３シール部３６が互いに分離した状態で設けられている。本実施形態では、第２シール部３５及び第３シール部３６は、カバー部３２と共に２色成形によって一体的に形成されている。即ち、カバー部３２を樹脂材料を成形することで形成した後、カバー部３２の所定の位置にゴム材料を成形することで、両者を一体的に形成している。
【００４２】
第１シール部３４は、ベース部３１の第１壁部３１５の先端面とカバー部３２の第２壁部３２２の先端面との外周の継ぎ目を封止して、保持部３３内のインクが外部に流出するのを抑制するためのものである。
【００４３】
第２シール部３５は、カバー部３２の大気開放路５９に相対向する位置に設けられたものであり、大気開放路５９のカバー部３２側の開口を封止する。
【００４４】
第３シール部３６は、上述した開ロ部３２３が設けられた突起部３２４の保護板４４側の面に、開口部３２３の周囲に亘って設けられたものである。この第３シール部３６は、流路部材４０の接続口５１の周囲でカバー部３２との隙間を封止するためのものである。この第３シール部３６によって、開口部３２３に固定されることで、接続口５１に接続された供給管の着脱時などに漏れたインクが保持部３３内に流入するのを抑制することができると共に、保持部３３内のインクが接続口５１の周囲のカバー部３２との隙間から漏れ出るのを抑制することができる。 
【００４５】
ところで、ベース部３１とカバー部３２との外周を封止する第１シール部３４において、第１シール部３４を形成する部材の反力が強すぎると、ベース部３１とカバー部３２との封止が適切に行われない場合がある。即ち、第１シール部３４は、ベース部３１とカバー部３２とに挟まれた際、同第１シール部３４が変形することで両者の隙間を封止する。一方で、第１シール部３４は、ベース部３１とカバー部３２との外周を封止するようその大きさが規定されるため、第１シール部３４におけるベース部３１（カバー部３２）と当接する面積が大きくなると、部材の反力が強くなりすぎ、ベース部３１とカバー部３２とで挟まれた際、適切に変形を起こさない場合がある。そのため、本実施形態では、第１シール部３４において、ベース部３１と当接する周縁部を工夫することにより、第１シール部３４の封止効果を高めている。
【００４６】
以下、図５を参照して、第１シール部３４における封止機能を説明する。図６は、第１シール部３４の一部を拡大して示す図である。図５（ａ）に示すように、第１シール部３４は、ベース部３１と当接する側の当接面３４ａが平面であり、且つ、カバー部３２と当接する側の当接面３４ｂが同カバー部３２の当接面に対して対称な傾斜状となるよう成形されている。即ち、第１シール部３４のベース部３１と当接する当接面３４ａは、同ベース部３１の当接面に対して略平行となる面により構成されている。一方、第１シール部３４のカバー部３２と当接する当接面３４ｂは、中央の峰３４ｂ１を構成する領域から両裾にかけて鋭角な傾斜がつけられており、各傾斜は峰３４ｂ１を構成する領域の中央線（図中点線で示す領域）を基準として略線対称となる形状（傾斜部）を備えている。
【００４７】
そのため、ベース部３１をカバー部３２に組み付ける際、ベース部３１とカバー部３２とで第１シール部３４を挟みこむことで、図５（ｂ）に示すように同第１シール部３４の当接面３４ｂの峰３４ｂ１に略垂直な力（図中、矢印方向）が加えられる。ここで、当接面３４ｂは峰３４ｂ１により荷重を受けるため、当接面３４ｂ側の変形を容易に生じさせ易くすることができる。そのため、加えられた荷重により当接面３４ｂの峰３４ｂ１が荷重方向で潰れを起こし、ベース部３１とカバー部３２の境界の封止効果を高める。また、この状態でベース部３１とカバー部３２とは、ねじ部材Ｓｃにより固定されるため、第１シール部３４はベース部３１側の当接面３４ｂの峰３４ｂ１を変形させた状態で保持され、ベース部３１とカバー部３２との外周の封止を適切に行うことができる。
【００４８】
３．液体噴射装置について：
以下、本実施形態に係る液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置の構成を説明する。
図６は、液体噴射装置の一例を示す概略斜視図である。ここで、図６では、液体噴射装置の一例として、インクジェット式記録装置１を例に説明を行う。本実施形態のインクジェット式記録装置１では、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ２に搭載されている。そして、インクジェット式記録ヘッド１０が搭載されたキャリッジ２は、装置本体７に取り付けられたキャリッジ軸２ａに軸方向で移動自在に設けられている。
【００４９】
また、装置本体７には、インクが貯留されたタンクからなる貯留手段３が設けられており、貯留手段３からのインクは、キャリッジ２に搭載されたインクジェット式記録ヘッド１０（背圧制御ユニット２０）に供給管４を介して供給される。
【００５０】
そして、駆動モーター８の駆動力が図示しない複数の醤車およびタイミングベルト８ａを介してキャリッジ２に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド１０を搭載したキャリッジ２はキャリッジ軸２ａに沿って移動される。一方、装置本体７にはキャリッジ軸２ａに沿ってプラテン９が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン９に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５１】
このようなインクジェット式記録装置１では、キャリッジ２がキャリッジ軸２ａに沿って移動されると共にインクジェット式記録ヘッド１０のヘッド本体８０によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００５２】
また、上述したインクジェット式記録装置１では、インクジェット式記録ヘッド１０がキャリッジ２に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が装置本体７に固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、ライン式記録装置であってもよい。
【００５３】
なお、上記した例では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド１０を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置１を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００５４】
１…インクジェット式記録装置、１０…インクジェット式記録ヘッド、２０…背圧制御ユニット、３０…カバー、３１…ベース部、３２…カバー部、３３…保持部、３４…第１シール部、３５…第２シール部、３６…第３シール部、４０…流路部材、４１…第１流路部材、４２…第２流路部材、４３…圧力室形成部材、４４…保護板、４５…フィルム部材、４６…弾性板、５０…液体流路、５１…接続口、５２…導入路、５３…チャンバー、５４…供給路、５５…第１導入路、５６…第２導入路、５７…フィルター、５８…フィルム保持部、５９…大気開放路、６０…回路基板、７０…ヘッドケース、８０…ヘッド本体、１００…弁体
【図１】
2012218195.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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