(57)【要約】【課題】被駆動体と接触する突起部の高さを基部の厚さに対して大きく構成することができる振動体を、安定した加工精度で、低コストで製造可能な振動波モータにおける振動体の製造方法を提供する。【解決手段】一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、振動子の楕円運動によって突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体の製造方法であって、  振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する第一の工程と、  該異形材を、該異形材の長手方向と直交する方向から、振動体における突起部の延設方向の幅の寸法に対応させて該異形材の一部を切断する第二の工程と、を有している。【選択図】            図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体の製造方法であって、
前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する第一の工程と、
前記第一の工程で製造された異形材を、該異形材の長手方向と直交する方向から、前記振動体における前記突起部の延設方向の幅の寸法に対応させて該異形材の一部を切断する第二の工程と、
を有することを特徴とする振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項２】
前記異形材は、圧延加工、押し出し加工、引き抜き加工のいずれかによって製造されることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項３】
前記異形材における前記突起部との対応部はレール状の肉厚部で構成され、
前記第二の工程が、前記レール状の肉厚部の一部を切削して前記突起部を所定の形状に加工すると共に、前記振動体の基部を構成する振動板を所定の形状に加工する工程を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項４】
前記振動子の楕円運動は、該振動子の短手方向における１次の面外屈曲振動による第一の振動モードと、該振動子の長手方向における２次の面外屈曲振動による第二の振動モードとを励振し、これらを合成することによって生成される楕円運動であって、
前記第一の振動モードの共振周波数と前記第二の振動モードの共振周波数を計測する工程と、
前記共振周波数を計測する工程において計測した共振周波数に基づいて、前記第一の振動モードの共振周波数と前記第二の振動モードの共振周波数の差が所定の周波数となるように前記突起部を加工する工程と、
を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項５】
前記突起部を加工する工程が、前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程であることを特徴とする請求項４に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項６】
前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程において、前記突起部の幅または厚さを調整することによって、該突起部の曲げ剛性を減少させることを特徴とする請求項５に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項７】
前記第一の振動モードに対する該突起部の曲げ剛性を減少させる工程において、前記突起部に溝部を形成することによって、該突起部の曲げ剛性を減少させることを特徴とする請求項５に記載の振動波モータにおける振動体の製造方法。
【請求項８】
一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体であって、
前記振動体が、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材の一部を切断した部材によって構成されていることを特徴とする振動波モータにおける振動体。
【請求項９】
振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータであって、
前記振動体が、請求項８に記載の振動波モータにおける振動体によって構成されていることを特徴とする振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータに関し、特に振動部分が薄板状の平板部分と突起部で構成された振動波モータにおける振動体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動体で発生した振動により移動体を駆動する振動波モータ（超音波モータ）が知られている。
この振動波モータでは、電気−機械エネルギ変換素子（例えば圧電素子など）とこれを接合した振動体（主に金属からなる弾性体）とで構成される振動子に、複数の振動モードを励振させる。（本発明においては、振動体と電気−機械エネルギ変換素子とで構成された構造体を振動子という。）
そして、これら複数の振動を合成することによりこの振動体の表面に楕円運動を発生させ、この振動子の一部を構成する振動体の接触部に接触させた被駆動体を相対的に駆動する。
このような振動波モータとしては、様々な形態のものが提案されており、例えば、カメラなどのレンズ鏡筒を回転駆動する振動波モータに関しては、リング形状の振動波モータや棒状の回転型振動波モータ等が提案されている。
更には、振動部分が薄板状の平板部分と突起部で構成されたチップ形状の振動体（以後チップ型振動体と記す）を円周上に複数配置して回転型アクチュエータとして構成した振動波モータなど、モータ構成、形態などを工夫したもの等が多数提案されており、一部実用化されている。
また、上記したチップ型振動体を直線形状のスライダに接触させて直線駆動するリニアタイプの振動波モータも数多く提案されている。
【０００３】
ここで、チップ型振動体により構成された振動波モータについて、特許文献１に開示される例でその概要を説明する。
この振動波モータは、振動子とこれに接触するスライダ（移動体、被接触体ともいう）とから構成されている。この振動子は、一方の面にスライダとの接触部である２つの突起部が形成された矩形状の振動板からなるチップ型振動体に電気−機械エネルギ変換素子（たとえば圧電素子など）が接合されて構成されている。この圧電素子に位相の異なる交流電界を印加すると、この振動子には２つの面外曲げ振動が励振され、２つの突起部の先端には楕円運動が生成される。
その結果、突起部と接触するスライダは摩擦駆動力を受けて、一方向に駆動される。
【０００４】
このチップ型振動体における突起部は、スライダとの接触部を限定し、効率良く駆動力を伝達する機能と、振動子に発生する送り方向の速度成分を拡大する機能とを有している。
このため、モータの高速化を図るためにはこの突起を高く形成する必要があり、これらの振動体を製造する際には、金属ブロックから機械加工で製造したり、振動板をプレス加工し突起部を形成するなどの加工法を用いていた。
また、特許文献２では比較的突起部高さを必要としない場合に、板からエッチング加工により突起部（接触部）以外の部分を削り取り、振動板を形成する例が開示されている。
また、特許文献３には、突起部のブロックと振動板を別体で加工し、接合するという加工法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３０４８８７号公報
【特許文献２】特開２００５−３５４７８７号公報
【特許文献３】特開２００６−１７４５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示される製造方法では、突起部を高く形成する上で、つぎのような課題を有している。
すなわち、プレス加工で振動板から突起部を絞り出すため、振動板の基部厚さに対して高さの比を大きく取る上で制約がある。また、高さを大きく取ろうとすると、突起部の領域を大きくして、絞り出す肉の量を確保する必要があり、振動子の振動モードに好ましくない影響を与えてしまうこととなる。
また、特許文献２に開示されるエッチングによる加工法も同様に突起部を高く形成するには不向きの加工法である。
また、特許文献３の方法では、部品点数が増えること、加工工数が増えること、等によりコストアップになってしまう。また、接合部の信頼性を確保する上で、必ずしも好ましくないものである。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、被駆動体と接触する突起部の高さを振動体の基部の厚さに対して大きく構成することができる振動体を、
安定した加工精度で、低コストで製造することが可能となる振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の振動波モータにおける振動体の製造方法は、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体の製造方法であって、
前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する第一の工程と、
前記第一の工程で製造された異形材を、該異形材の長手方向と直交する方向から、前記振動体における前記突起部の延設方向の幅の寸法に対応させて該異形材の一部を切断する第二の工程と、
を有することを特徴とする。
また、本発明の振動波モータにおける振動体は、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータにおける振動体であって、
前記振動体が、前記振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材の一部を切断した部材によって構成されていることを特徴とする。
また、本発明の振動波モータは、振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動する振動波モータであって、
前記振動体が、上記の振動波モータにおける振動体によって構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被駆動体と接触する突起部の高さを振動体の基部の厚さに対して大きく構成することができる振動体を、
安定した加工精度で、低コストで製造することが可能となる振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例１における第一の工程を示す斜視図。
【図２】本発明の実施例１における第二の工程を示す斜視図。
【図３】本発明の実施例１における振動子の斜視図。
【図４】本発明の実施例１における振動子の平面図と振動モード図。
【図５】本発明の実施例１における振動波モータの斜視図。
【図６】本発明の実施例２における第二の工程を示す斜視図。
【図７】本発明の実施例２における振動子の斜視図。
【図８】本発明の実施例２における振動子の平面図と振動モード図。
【図９】本発明の実施例３における第一の工程を示す斜視図。
【図１０】本発明の実施例３における第二、第三の工程を示す斜視図。
【図１１】本発明の実施例３における振動子の斜視図。
【図１２】本発明の実施例３における振動子の平面図と振動モード図。
【図１３】本発明の実施例４における振動子の平面図と振動モード図。
【図１４】本発明の実施例４における振動特性図。
【図１５】本発明の実施例５における振動子の平面図と振動モード図。
【図１６】（ａ）は本発明の実施例６における振動子ユニットの斜視図。（ｂ）は実施例６における振動波モータの構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。
【実施例】
【００１２】
［実施例１］
実施例１として、素材となる板材の断面形状が突起部を備えた振動板（振動体）に対応する形状を有する異形材を用いた振動波モータにおける振動体の製造方法及び振動体、振動波モータの構成例について、図１〜５を用いて説明する。
本実施例の振動波モータは、一方向に延設された突起部を有する振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記突起部と接触する被駆動体を駆動するように構成されている。
本実施例においては、このような振動波モータにおける振動体が、つぎのような製造方法によって製造される。
まず、第一の工程において、振動体の突起部の延設方向と直交する方向の該突起部を含む該振動体の断面形状に対応した断面形状を備え、該対応した断面形状が長手方向に均一に形成された構造を有する異形材を製造する。本発明において上記「直交する」とは、「実質的に直交する」ことを意味する。「実質的に直交する」とは、例えば加工誤差や、意図的な設計等により、厳密には直交していなくても、直交している場合と同様の効果を奏する状態にあることを意味する。例えば直交（９０°）から±３°ずれていたとしても、本発明の効果を奏する場合には、実質的に直交しているとみなすことができる。
その際、この異形材における上記突起部との対応部はレール状の肉厚部で構成される。
具体的には、図１に示す異形材を圧延加工等（熱間又は冷間押し出し加工、引き抜き加工等を含む）で製造する。
ここでは振動板（振動体）の最終形状を見据えて、極力後加工の工程が少なくなるように断面形状を設定することがポイントとなる。
すなわち、図１に示す異形材の幅Ｂ１は図３に示す振動子４の振動板２の長さＬ１にほぼ等しくなるように設定されている。
また、レール状の肉厚部による突起１−１、１−２はそのまま振動板２の突起部２−１、２−２として使えるように、その高さ（丸数字１）と幅（丸数字２）および突起間の距離（丸数字３）等が、それぞれｈ１、ｔ１、Ｐ１と等しくなる様に設定されている。
次に、第二の工程において、図２に示すように第一の工程で製造した異形材を所定の寸法（形状）に切断する。
本実施例ではカッター１０により前記異形材１を幅がＢ２となるように切断する。
このように切断された部材によって、図３に示すような突起を備えた振動板（振動体）２が製造される。
次に、第三の工程において、第二の工程で切断した振動板に電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子３を接合（接着）して振動子４を製造する。
そして、第四の工程において、前記圧電素子にＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）など給電部材を接合する。
【００１３】
不図示の給電部材（ＦＰＣ等）から圧電素子３に交流電界を印加すると、振動子４には図４に示すような第一の振動モード（モード１）と第二の振動モード（モード２）とが励振される。
このモード１は、図４中の短手方向と直交する方向に２本の節線（振動の節となる線状の部分）ｌ１、ｌ２を有し、それらの中央部が振動の腹となる、振動子４の短手方向における１次の面外屈曲振動モードである。
一方、モード２は図４中の前記２本の節線ｌ１、ｌ２と直交する３本の節線（ｌ３、ｌ４、ｌ５）を有する、振動子４の長手方向における２次の面外屈曲振動モードである。
図に示すように、突起部２−１、２−２はｌ４、ｌ５の位置とほぼ一致するように設定されているため、モード２が励振された時には、この突起部２−１、２−２の先端（上面）はＺ方向の振動振幅はほぼゼロで、Ｘ方向の振動振幅のみ発生する。
また、モード１が励振された時には、突起部２−１、２−２ともにモード１と同様の変形をするため、同突起部の中央付近２−１Ｃ、２−２ＣはＸ方向の振動振幅はほぼゼロでＺ方向の振動振幅が最大となる。
そこで、これら２つの振動モードを同時に励振し、振動の位相を適切に調整して合成すると、振動板２に形成された突起部２−１と２−２の中央部付近２−１Ｃと２−２Ｃには楕円運動が生成される。
そのため、この突起部に図５に示すような被駆動体５を接触させると、この被駆動体（スライダー）は前記楕円運動による摩擦力で矢印Ａの方向に駆動されることになる。
【００１４】
以上のように、本実施例の振動体の製造方法では、振動板（振動体）２を加工する工程として、まず断面形状が突起部２−１、２−２を備えた振動板（振動体）２に対応する形状を有する異形材を製造する。
そして、次にその異形材の不要な部分を除去して突起部や振動体の基部を構成する振動板を所定の形状に仕上げるというプロセスを踏むことで、加工工数低減と加工歪を最小限に抑えた（加工精度の高い）振動体が、低コストで製造することが可能となる。
【００１５】
［実施例２］
実施例２として、実施例１とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図６〜８を用いて説明する。
実施例１（図３）の振動子では突起部２−１と２−２が振動板の短手方向端部まで形成されていたが、本実施例では図７に示すように突起部２−３と２−４は、振動板の中央部（幅：Ｗ３）のみ形成される。
そこで、本実施例における加工工程では、まず、第一の工程において、実施例１と同じく図１に示す異形材を圧延加工等（熱間又は冷間押し出し加工、引き抜き加工等を含む）で製造する。
次に、第二の工程において、図６に示すようにレール状の突起部（１−１と１−２）をカッター１１（幅：Ｗ１）を用いて加工ピッチがＷ２となるように切削加工し、突起の一部が断続的に残るような形状に加工する。
さらに、第三の加工工程において、上記加工された異形材１を図２と同様のカッター１０を用いてピッチがＷ２となるように切断し、図７に示すような振動板２を製造する。
ここにおいて、切断加工のピッチは、切断後の振動板の幅がＬ４になるように切断時の取り代も考慮してピッチＷ２を設定するものとする。
第四、第五の工程においては、実施例１における第三、第四と同じ工程を用い、圧電素子及びＦＰＣの接着をして図７に示す振動子４を製造する。
このように振動板の突起部形状を幅狭に形成することで、図８に示すモード１における曲げ剛性を小さくできる。そのため、Ｚ振幅を容易に大きくすることが可能となる。
また、突起部と被駆動体の接触部を限定できるため、効率のよい駆動が可能となる。
【００１６】
［実施例３］
実施例３として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図９〜１２を用いて説明する。
本実施例では、図１１に示すように振動体が支持部２２−３、２２−４と固定部２２−５、２２−６とを一体的に形成することによって構成される。
本実施例においても、振動板の形状を仕上げるための加工が最小限になるように、素材となる異形材の形状が工夫されている。
まず、第一の工程において、図９に示すような異形材を圧延加工で製造する。
図９に示すように異形材板２１には、レール状の肉厚部２１−１、２１−２とその外側に薄肉部２１−３、２１−４とさらにその外側に中央部と同じ厚さの部分２１−５、２１−６とが形成されている。
次に、第二の工程において、図１０（ａ）に示すようにこのレール状突起部の一部を幅Ｗ５のカッター１２を用いて切削加工し、厚肉部２１−１１、２１−２１の一部が長さＷ４（Ｂ５−Ｗ５）、ピッチＢ５で断続的に残るように切削加工を施す。
次に、第三の工程において、図１０（ｂ）に示すように、点線２５で示した外形線に沿って切断し、図１１に示す振動板２２を製造する。
この切断加工では、外形形状に沿ったプレス型を製作し、このプレス型で打ち抜き加工を施すことにより、加工時間の短縮化を図っている。
第四の工程と第五の工程においては、実施例１、２と同様の工程を用いて圧電素子とＦＰＣの接合をする。
本実施例の振動子は、固定部２２−５、２２−６とを有しており、この一部を不図示の固定部材に接合、固定することにより振動子２２を支持している。
その際に、圧電素子を接合している振動部の振動を阻害しないように支持部２２−３、２２−４が設けられており、この部分は他の部分よりも曲げ剛性が小さくなるように幅および厚さが狭く、薄く設定されている（図１２）。
また、この厚さが薄い部分は、図９に示すように異形材２１の薄肉部２１−３、２１−４として設定されており、後の加工工程を極力少なくするように予め断面形状を設定している。
尚、本実施例の外形加工では、プレスによる打ち抜き加工を採用しているが、加工法はこれに限定されるものではなく、その他の機械加工（たとえばワイヤーカットなど）でもよい。
また、以上の実施例１〜３を通して、振動板に圧電素子を接合する工程では振動板の圧電素子接合面を平滑化する工程を省略した。
しかし、第一の工程で形成された該接合面が所定の平面形状（平面度、面粗さ）になっていない場合は、平面研削、ポリッシュなどの仕上げ加工を施してもよい。
【００１７】
［実施例４］
実施例４として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図１３を用いて説明する。
実施例１〜３で示したような工程で振動体を製造した場合でも、以下のような要因でモード１およびモード２の共振周波数が所定の値からズレてしまう可能性がある。
例えば、
（１）第一の工程で異形材を製造する際の断面寸法の製造精度、
（２）切断時の加工精度、
（３）圧電素子の接合面などの反りが大きい場合に研削などの後加工を施すことにより生じる厚さムラ、などの要因が考えられる。
これらの誤差要因は加工する際の管理等で極力小さくする必要があるが、生産上は限界がある。
そこで、本実施例では振動子を製造した後に共振周波数を調整し、モード１とモード２の共振周波数を所定の値に設定する。
実施例１でも説明したが、モード１は振動子４の短手方向の１次の面外屈曲振動モードである。
すなわち、Ｚ方向（紙面垂直方向）へ変位する板の面外曲げ振動であり、振動の節（節線）はｌ１、ｌ２の２本が形成され、その中央部にＺ振幅が最大となる振動の腹が形成されるような振動モードである。
突起部２４−１と２４−２はこのモード１の腹の部分に位置しているため、これらの部分はモード１の曲げ剛性への寄与率が最も高い部分となっている。
一方、モード２は、モード１と節線が直行するように３本（ｌ３、ｌ４、ｌ５）形成され、図に示すように振動子の中央部と突起部２４−１、２４−２の位置がそれぞれ振動の節となるような振動モードとなっている。そのため、突起部２４−１、２４−２はモード２を励振してもＺ方向に振動することはなく、この振動モードへの影響は小さい。
したがって、前記突起部２４−１、２４−２の形状を操作することで、モード２には影響を与えず、モード１の共振周波数のみ変更されることが可能となる。
【００１８】
そこで共振周波数を調整する方法としては、まず、振動子が製造された後に振動子の振動特性（アドミタンス特性）を計測する工程を設け、その結果を基に該振動子の突起部の一部を除去し、モード１の共振周波数を所定の値まで下げる工程を設けている。
図１４にはここで測定したモード１およびモード２のアドミタンスを示している。
図１４中横軸は周波数を示し、縦軸はアドミタンスを表している。
図１４に示すようにモード１およびモード２は周波数ｆ１及びｆ２でピークを持つ特性を示しており、この周波数がそれぞれの振動モードの共振周波数とほぼ一致することは周知の通りである。
モータを駆動するにはこの２つの振動モードを同時に励振し、振動子の２箇所の突起部に楕円運動を生成することが必要である。
そのため、これら２つの振動モードの共振周波数（ｆ１、ｆ２）をある程度近接させ、図中のΔＦ（ｆ１−ｆ２）を所定の範囲に設定する必要がある。
本実施例においては、ｆ２＜ｆ１となっており、ｆ１がΔＦ許容範囲を超えているので、突起部２４−１、２４−２の両端部２４−３を削る。
これによりモード１に対する曲げ剛性を減少させ、ｆ１をｆ１’まで下げてｆ１’がΔＦの許容範囲内に入るように周波数を調整することが可能となる。
【００１９】
［実施例５］
実施例５として、上記各実施例とは異なる形態の振動波モータにおける振動体の製造方法について、図１５を用いて説明する。
本実施例では実施例４と同様に、モード１の共振周波数を下げてΔＦを調整する例であるが、モード１の曲げ剛性を低減するために突起部を削る位置を突起部の中央部２６−３にしている。すなわち、突起部の中央部に溝部を形成する。
図１５に示すように、モード１の振動の腹は振動子の幅方向のほぼ中央に位置しているため、この部分が剛性への寄与率が最も高く、少ない加工で同モードの共振周波数調整が可能となる。
【００２０】
以上に説明した実施例４、５では、突起部の幅方向（Ｙ方向）を切除（除去）してモード１に寄与する曲げ剛性を調整したが、同突起部のＸ方向厚さを調整してもモード１の曲げ剛性を変化させることが可能である。
また、上記実施例では切除する部分をそれぞれの突起部で対称になるように加工しており、振動モードのバランス（対称性）を保つようにしているが、これに影響ない範囲であれば、突起の一方のみ、または突起の片端のみ加工することで周波数調整してもよい。
【００２１】
［実施例６］
実施例６として、実施例１〜５において製造した振動子を用いて構成した振動波モータの構成例について、図１６（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
図１６（ａ）は、振動板２６と圧電素子２７とで構成された振動子の支持部（２７−５、２７−６）を振動子保持リング６に溶接などの手段によって接合し、振動子ユニットを構成した例を示す図である。
図１６（ｂ）に示すように、ロータ７は、この振動子ユニットの３つの振動子に設けられた突起部２６−１、２６−２に摺動面が接触するように設定されており、不図示の加圧機構により適切な加圧力が付与されており、モータを構成している。
不図示の電源からこれら３つ振動子に交番電圧を印加すると、それぞれの振動子の突起部先端には楕円運動が励振され、ロータ７は摩擦力により矢印の方向に回転する。
【００２２】
ここにおいて、前記振動子ユニットに接合された振動子のそれぞれの突起部（６カ所）は、その上面（ロータとの接触面）が同一平面内に形成されていることが望ましい。このため、それぞれの振動子を保持リングに接合後、前記突起部をポリッシュ盤などで平滑化処理を行っている。
なお、本実施例では振動子と保持リングとの接合を溶接で行った例を示したが、これに限らず接着またはロウ付けなどの手段でもよい。
振動拡大率の大きな振動子、すなわち、振動を拡大する突起部高さが他の振動部の厚さに対して大きな振動板を安定した加工精度で、かつローコストに製造することができるようになる。
また、振動子の共振周波数を簡単に調整できる手段を設けることで、振動子の歩留まりを向上でき、安価で高性能な超音波モータの提供が可能となる。
【符号の説明】
【００２３】
１：異形材
１−１、１−２：レール状の突起
２：振動板
２−１、２−２：突起部
３：圧電素子
４：振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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