(57)【要約】【課題】磁石部から固定部側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる磁界遮蔽機構及びこれを用いたアクチュエータを提供する。【解決手段】磁界遮蔽機構５は、第一方向に着磁された第一磁石３３と、第一磁石３３の一方の磁極Ｓ側に配置されるヨーク３１と、ヨーク３１を挟んで第一磁石３３の一方の磁極Ｓ側に配置されると共に第一方向と交差する方向に着磁された環形の第二磁石３６と、を備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一方向に着磁された第一磁石と、
前記第一磁石の一方の磁極側に配置されるヨークと、
前記ヨークを挟んで前記第一磁石の一方の磁極側に配置されると共に前記第一方向と交差する方向に着磁された環形の第二磁石と、
を備えることを特徴とする磁界遮蔽機構。
【請求項２】
前記第一磁石における前記一方の磁極と前記第二磁石の外環面及び内環面の磁極が同極であることを特徴とする請求項１に記載の磁界遮蔽機構。
【請求項３】
前記第一磁石における前記一方の磁極と前記第二磁石の外環面及び内環面の磁極が異極であることを特徴とする請求項１に記載の磁界遮蔽機構。
【請求項４】
前記第二磁石は、複層に着磁した積層形の磁石であることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁界遮蔽機構。
【請求項５】
前記第一方向において、前記第二磁石を前記第一磁石に重なる位置に配置することを特徴とする請求項１から４のうちいずれか一項に記載の磁界遮蔽機構。
【請求項６】
複数のマグネットを配列した磁石部と、
複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、
を備え、
前記複数のマグネットの磁界と前記複数のコイルに流れる電流とにより前記磁石部と前記コイル部とを前記複数のマグネットの配列方向に沿って相対移動させるアクチュエータにおいて、
前記磁石部は、請求項１から５のうちいずれか一項に記載の磁界遮蔽機構を有することを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁石に近接する磁性体部材の磁化を防止する磁界遮蔽機構及びこれを用いたアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアモータは、回転型モータの固定子側と回転子（可動子）側を直線状に引き伸ばしたように構成され、電気エネルギを直線運動するための推力に変換する。直線的な推力が得られるリニアモータは、移動体を直線運動させる一軸のアクチュエータとして用いられる。
【０００３】
リニアモータの一例として、複数の板形の磁石を直線状に並べた磁石部（固定部）とこの磁石部に対向して配置される複数のコイルを有するコイル部（可動部）とを有するものが知られている（特許文献１参照）。
コイルは、例えば、Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相を順次繰り返し配列した状態で可動部本体に支持される。これらのコイルに１２０度ずつ位相が異なる三相電流を流すと、コイルの軸線方向に移動する移動磁界が発生する。
そして、コイルを有する可動部は、移動磁界により磁石部との間に発生する推力を得て、移動磁界の速さに同期し磁石部に対して直線運動を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２４５４７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したリニアモータでは、磁石部は、複数の板形の磁石をバックヨークに直線状に配列して構成される。そして、このバックヨークをリニアモータのベース等の固定部に固定する。
しかし、磁石部が配置される固定部が鉄鋼等の磁性体の場合には、固定部が磁化されてしまう。特に、磁石部に接する領域は強く磁化される。このため、例えば、固定部に取り付けられるガイドレールに鉄粉等が付着して、可動部の円滑な摺動が損なわれるという問題がある。
そこで、バックヨークを必要な機械的強度以上に厚く形成するという対処が考えられるが、磁石部が大型化、重量化して装置の小型化・薄型化などが阻害される。
【０００６】
また、固定部をアルミニウム等の非磁性体で形成した場合であっても、バックヨークの近傍に、可動部の位置検出に用いる磁気スケール等を取り付けることができないという問題がある。このため、磁気スケール等を磁気の影響のない領域を選択して配置せざるをえなくなり、装置の小型化などが阻害される。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、磁石部から固定部側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる磁界遮蔽機構及びこれを用いたアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る磁界遮蔽機構は、第一方向に着磁された第一磁石と、前記第一磁石の一方の磁極側に配置されるヨークと、前記ヨークを挟んで前記第一磁石の一方の磁極側に配置されると共に前記第一方向と交差する方向に着磁された環形の第二磁石と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るアクチュエータは、複数のマグネットを配列した磁石部と、複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、を備え、前記複数のマグネットの磁界と前記複数のコイルに流れる電流とにより前記磁石部と前記コイル部とを前記複数のマグネットの配列方向に沿って相対移動させるアクチュエータにおいて、前記磁石部は、請求項１から９のうちいずれか一項に記載の磁界遮蔽機構を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る磁界遮蔽機構によれば、簡単な構成により、磁石部から固定部側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる。また、磁石部の薄型化・軽量化が可能となる。
【００１１】
本発明に係るアクチュエータよれば、磁石部とコイル部を相対移動させる案内部材が磁化されることがないので、案内部材に鉄粉等が吸着して磁石部とコイル部の相対移動を阻害するという不具合を防止できる。したがって、アクチュエータの機能低下を回避できる。
また、磁石部の近傍に他の磁気部材を配置できるので、装置の信頼性向上、装置の少スペース化、低価格化を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るアクチュエータ（リニアモータ）の概略構成を示す斜視図である。
【図２】ベース及びテーブルを示す拡大斜視図（一部断面図）である。
【図３】アクチュエータの概略構成を示す断面図である。
【図４】磁石部を示す図である。
【図５】コイル部を示す斜視図である。
【図６】リニアガイドを示す断面図である。
【図７】第一実施形態に係る磁界遮蔽機構を示す図である。
【図８】第一実施形態に係る磁界遮蔽機構の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。
【図９】第一実施形態に係る磁界遮蔽機構の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である（支持部材を取り除いた場合）。
【図１０】従来例における磁束密度の解析結果を示す図である。
【図１１】磁石部のコイル部側への磁束密度を示す図である。
【図１２】第二実施形態に係る磁界遮蔽機構を示す図である。
【図１３】第二実施形態に係る磁界遮蔽機構の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。
【図１４】第三実施形態に係る磁界遮蔽機構を示す図である。
【図１５】第三実施形態に係る磁界遮蔽機構の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。
【図１６】第四実施形態に係る磁界遮蔽機構を示す図である。
【図１７】第四実施形態に係る磁界遮蔽機構の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。
【図１８】本発明の実施形態に係るアクチュエータ（回転モータ）の概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータＡ（リニアモータ１）の概略構成を示す斜視図である。
図２は、ベース１０及びテーブル２０を示す拡大斜視図（一部断面図）である。
図３は、アクチュエータＡの概略構成を示す断面図である。
【００１４】
アクチュエータＡは、リニアモータ１と、それを制御するモータドライバ８０（制御装置）と、モータドライバ８０に接続されたユーザー端末９０（情報処理装置）と、を備える。
リニアモータ１は、一軸方向（Ｘ方向）に細長く伸びるベース１０と、ベース１０に対して摺動自在に設けられたテーブル２０と、からなる。
また、ベース１０とテーブル２０の間には、一対のリニアガイド５０が設けられ、ベース１０に対してテーブル２０が円滑に摺動可能となっている。
【００１５】
ベース１０は、細長い矩形の底壁部１１と、この底壁部１１の幅方向（Ｙ方向）の両端に垂直に設けられた一対の側壁部１２とから形成される。ベース１０は、例えば、鉄鋼等の磁性体材料又はアルミニウム等の非磁性体材から形成される。
ベース１０の底壁部１１の上面には、複数のマグネットが配列された磁石部３０が取り付けられる。
また、ベース１０の側壁部１２のそれぞれの上面には、リニアガイド５０の軌道レール５１が一軸方向に沿って配置される。この２条の軌道レール５１は平行に配置され、それぞれ２つの移動ブロック５２が取り付けられる。
【００１６】
テーブル２０は、アルミニウム等の非磁性材料からなり、矩形の板状に形成される。
テーブル２０の下面２０ｂの四隅には、リニアガイド５０の移動ブロック５２が取り付けられる。そして、この移動ブロック５２は、上述した２条の軌道レール５１に取り付けられる。すなわち、テーブル２０は、一対のリニアガイド５０により、ベース１０に直線運動可能に支持される。
【００１７】
また、テーブル２０の下面のうち、４つの移動ブロック５２の間には、３つのコイル４１等からなるコイル部４０が吊り下げられる。この３つのコイル４１は三相コイル（電機子）として機能する。
そして、ベース１０に取り付けられた磁石部３０と、テーブル２０に取り付けられたコイル部４０との間には、ギャップｇが設定される。このギャップｇは、テーブル２０が一対のリニアガイド５０によりベース１０に対して直線運動しても一定に維持される。
【００１８】
図４は、磁石部３０を示す図である。図４（ａ）は上面図、図４（ｂ）は側面図、図４（ｃ）は下面図(支持部材を取り除いた場合)である。
磁石部３０は、コイル部４０に向けて磁界を発生させるものである。具体的には、磁石部３０は、細長い矩形板状に形成されたバックヨーク３１と、バックヨーク３１の上面３１ａに一定のピッチで密着配列したマグネット群３２と、バックヨーク３１の下面３１ｂに、マグネット群３２と同一のピッチで密着配列したマグネット群３５と、バックヨーク３１とほぼ同一の形状を有し、バックヨーク３１との間にマグネット群３５を挟持する支持部材３８と、から構成される。
【００１９】
バックヨーク（ヨーク）３１は、鉄鋼等の磁性体からなり、マグネット群３２からの磁力線を集中させる継鉄として機能する。また、バックヨーク３１は、その幅（Ｙ方向）がベース１０の底壁部１１よりも小さく形成される。
支持部材３８は、磁石部３０をベース１０に固定するための部材であって、バックヨーク３１と同一材料、すなわち鉄鋼等の磁性体から形成される。支持部材３８の形状は、バックヨーク３１とほぼ同一形状に形成される。
【００２０】
マグネット群３２は、上面（３３ａ，３４ａ）がＮ極のマグネット３３とＳ極のマグネット３４とを交互に一定のピッチでバックヨーク３１の長手方向（Ｘ方向）に沿って直線状に複数個配列したものである。
マグネット群３２の各マグネット３３，３４は、細長い板状の永久磁石からなる。マグネット３３，３４の長手方向は、バックヨーク３１の幅（Ｙ方向）よりも短く形成される。マグネット３３，３４の短手方向（Ｘ方向）は、後述するコイル部４０の各コイル４１の長さ（Ｘ方向）に対応して形成される。マグネット３３，３４の厚み（Ｚ方向）は、バックヨーク３１よりも厚く形成される。
そして、各マグネット３３，３４は、その長手方向がバックヨーク３１の幅方向（Ｙ方向）に平行となるようにして、バックヨーク３１の幅方向の中央に接着剤等により固着される。
【００２１】
マグネット群３５は、外周面（外環面）がＮ極のマグネット３６とＳ極のマグネット３７とを交互に、マグネット群３２と同一のピッチでバックヨーク３１の長手方向（Ｘ方向）に沿って直線状に複数個配列したものである。
マグネット群３５の各マグネット３６，３７は、各マグネット３３，３４とほぼ同一の外形形状を有する永久磁石からなる。つまり、マグネット３６，３７の長手方向及び短手方向は、マグネット３３，３４と同一に形成される。マグネット３６，３７の厚みは、マグネット３３，３４よりも薄く、バックヨーク３１とほぼ同程度に形成される。
【００２２】
そして、各マグネット３６，３７は、その長手方向がバックヨーク３１の幅方向（Ｙ方向）に平行となるようにして、上面３６ａ，３７ａがバックヨーク３１の幅方向の中央に接着剤等により固着される。
また、各マグネット３６，３７は、その長手方向が支持部材３８の幅方向（Ｙ方向）に平行となるようにして、下面３６ｂ，３７ｂが支持部材３８の幅方向の中央に接着剤等により固着される。
さらに、各マグネット３６，３７は、バックヨーク３１の上面３１ａに配列したマグネット３３，３４に対して、平面視する（バックヨーク３１に垂直な方向（Ｚ方向）から見る）と一対一に対応する（重なる）位置に配置される。
【００２３】
このように、磁石部３０は、バックヨーク３１を挟んでマグネット群３２（マグネット３３，３４）とマグネット群３５（マグネット３６，３７）が一対一に対応する（重なる）配置となっている。
そして、マグネット群３２，３５とバックヨーク３１を支持する支持部材３８がベース１０の底壁部１１に密着して固定される。
【００２４】
磁石部３０は、マグネット群３２からの磁界をコイル部４０側に向けて発生させる一方で、マグネット群３５や支持部材３８によりベース１０側への磁界の影響を抑制する。すなわち、ベース１０側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）する磁界遮蔽機構５としても機能する。
この磁界遮蔽機構５の詳細構成等については、後述する。
【００２５】
図５は、コイル部４０を示す斜視図である。
テーブル２０の下面の中央部には、三相コイルとして機能する３つのコイル４１とコア４２からなる電機子としてのコイル部４０が取り付けられる。コア４２の材質は、ケイ素鋼等の磁性体である。コア４２は、三相コイル（コイル４１）に発生する磁界を強める３つの櫛歯４２ａ，４２ｂ，４２ｃを有する。
３つのコイル４１は、コア４２の３つの櫛歯４２ａ，４２ｂ，４２ｃの周囲にそれぞれ巻かれ、Ｕ相コイル４１ａ、Ｖ相コイル４１ｂ、Ｗ相コイル４１ｃとなる。３つのコイル４１は、テーブル２０の移動方向に沿って並べられる。
【００２６】
そして、３つのコイル４１には、１２０度ずつ位相が異なる三相交流電流が流される。これにより、コイル部４０から進行磁界が発生する。これにより、磁石部３０に発生する磁界との作用により、コイル部４０（テーブル２０）に推力が発生する。
コイル部４０の３つのコイル４１に流れる電流は、モータドライバ８０によって制御される。
【００２７】
図６は、リニアガイド５０の斜視図を示す。
リニアガイド５０は、ベース１０の側壁部１２の上面に取り付けられた軌道レール５１を有する。
軌道レール５１には、長手方向に所定のピッチで複数の取付け孔５１ｂが開けられる。取付け孔５１ｂにボルトを通し、ボルトをベース１０の側壁部１２のねじ孔にねじ込むことによって、軌道レール５１が側壁部１２に固定される。
軌道レール５１には、長手方向に沿ってボール５５が転がる複数条のボール転走溝５１ａが形成される。ボール転走溝５１ａの断面形状は、ボール５５の半径よりも僅かに大きい単一の円弧からなるサーキュラーアーク溝形状、または二つの円弧からなるゴシックアーチ溝形状である。
ボール転走溝５１ａは、軌道レール５１の側面だけでなく、軌道レール５１の上面にも形成されている。軌道レール５１の上面にボール転走溝５１ａを形成することで、リニアガイド５０の垂直方向の剛性を高めることができる。
【００２８】
移動ブロック５２は、軌道レール５１を跨る鞍形状に形成される。移動ブロック５２には、軌道レール５１のボール転走溝５１ａに対向する負荷ボール転走溝５２ａが形成されると共に、負荷ボール転走溝５２ａを含むボール循環路が形成される。
移動ブロック５２の一軸方向の各端面にはエンドプレート５３が取り付けられる。ボール循環経路は、負荷ボール転走溝５２ａと、負荷ボール転走溝５２ａと平行に伸びるボール戻し路５２ｂと、エンドプレート５３に形成されて負荷ボール転走溝５２ａの端部とボール戻し路５２ｂの端部とを接続するＵ字状の方向転換路５２ｃと、から構成され、全体がサーキット状に形成される。
そして、ボール循環経路には複数のボール５５が配列・収容される。
移動ブロック５２には、テーブル２０を取り付けるための取付けねじ５２ｄが加工される。そして、移動ブロック５２は、テーブル２０の下面２０ｂにねじ止めされる。
【００２９】
軌道レール５１に対して移動ブロック５２を相対的に移動させると、軌道レール５１のボール転走溝５１ａと移動ブロック５２の負荷ボール転走溝５２ａとの間に介在されたボール５５が転がり運動する。負荷ボール転走溝５２ａの一端まで転がったボール５５は、方向転換路５２ｃに導かれ、ボール戻し路５２ｂ及び反対側の方向転換路５２ｃを経由した後、負荷ボール転走溝５２ａの他端に戻される。軌道レール５１と移動ブロック５２との間にボール５５を介在させることによって、軌道レール５１に対して移動ブロック５２が移動するときの抵抗を低減できる。
【００３０】
ベース１０に対するテーブル２０の位置・速度・加速度は、磁気エンコーダ６０により検出される。磁気エンコーダ６０は、例えば、１μｍ程度の分解能を有している。
磁気エンコーダ６０は、ベース１０に取り付けられた磁気スケール６１と、テーブル２０に取り付けられた磁気センサ６２等とから構成される。
磁気スケール６１は、細長い矩形の磁性体からなり、その上面を、Ｎ極とＳ極が交互に一定のピッチ（例えば２ｍｍ）になるように着磁したものである。磁気スケール６１は、ベース１０の底壁部１１の端部（側壁部１２の近傍）に、ベース１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って密着配置される。
【００３１】
磁気センサ６２は、ＭＲ素子により磁気スケール６１の磁気を検出し、磁気スケール６１に沿って相対移動することで正弦波信号を出力するものである。
磁気センサ６２が検出した信号は、不図示の信号処理部を介して、モータドライバ８０に送られる。そして、モータドライバ８０は、ユーザー端末９０からの位置指令に基づいてテーブル２０が指令位置に移動するように、コイル部４０に供給する電流を制御する。このようにして、リニアモータ１の制御が行われる。
【００３２】
リニアモータ１の制御方法としては、フィードバック制御等が行われる。すなわち、テーブル２０が検出したテーブル２０の位置情報、速度情報、加速度情報をモータドライバ８０に送り、目標値（指令値）との差分を算出し、テーブル２０の位置、速度、加速度が目標値に近づくようにコイル部４０の３つのコイル４１に対する三相交流電流を制御する。
【００３３】
図７は、第一実施形態に係る磁界遮蔽機構５を示す図である。図７（ａ）は断面図、図７（ｂ）は下面図(支持部材を取り除いた場合)である。
なお、図７は、マグネット３３とマグネット３６の組み合せに係る磁界遮蔽機構５である。マグネット３４とマグネット３７の組み合せの係る磁界遮蔽機構５も同様の構成を有し、同一の効果を奏する。
そこで、以下では、主にマグネット３３とマグネット３６の組み合せに係る磁界遮蔽機構５を例にして説明する。
【００３４】
磁界遮蔽機構５は、磁石部３０の上面に配置されたマグネット３３，３４の下面３３ｂ，３４ｂに、バックヨーク３１を挟んで、リング形（環形）のマグネット３６，３７を配置したものである。さらに、マグネット３６，３７の下面３６ｂ，３７ｂに支持部材３８を密着配置したものである。そして、マグネット３６，３７や支持部材３８の作用により、マグネット３３，３４からベース１０側への磁界の影響が抑制される。
磁界遮蔽とは、マグネット群３２からベース１０への磁界の影響（磁化）を完全に遮断（遮蔽）する場合に限らず、磁界の影響を弱める（減少させる）場合も含む。つまり、マグネット群３２からベース１０側への磁気漏れを防止又は減少するものである。
【００３５】
マグネット群３２のマグネット（第一磁石）３３，３４は、フェライト磁石、アルニコ磁石、ネオジム磁石、サマリウムコバルト磁石等の焼結磁石であって、長方形等の矩形に形成される。マグネット３３，３４は、それぞれ、その厚み方向（Ｚ方向：第一方向）に向けて着磁される。
マグネット３３，３４の厚みは、例えば、２ｍｍである。
【００３６】
バックヨーク３１は、上述したように、ＳＳ４００等の磁性体からなり、マグネット群３２からの磁力線を集中させる継鉄として機能する。バックヨーク３１の厚みは、例えば、１ｍｍである。
【００３７】
マグネット群３５のマグネット（第二磁石）３６，３７は、フェライト磁石、アルニコ磁石、ネオジム磁石、サマリウムコバルト磁石等の焼結磁石であって、マグネット３３，３４と同一の外形を有し、中心部が空間（中空部）となっている角環形の磁石である。
マグネット３６，３７の厚みは、例えば、１ｍｍである。
また、マグネット３６，３７の角環形における肉厚は、例えば、１ｍｍである。
【００３８】
また、マグネット３６，３７は、それぞれ、Ｚ方向（第一磁石の着磁方向：第一方向）に交差する方向（ＸＹ平面）に着磁された二層（積層形）の磁石である。つまり、マグネット３３，３４の着磁方向（Ｚ方向：第一方向）とマグネット３６，３７の着磁方向（ＸＹ平面）は直交（交差）する。
なお、Ｚ方向に交差する方向とは、角環形における肉厚の方向（内周面３６ｄ，３７ｄと外周面３６ｃ，３７ｃに垂直となる方向）である。具体的には、図７（ｂ）において、マグネット（第二磁石）３６のうち、Ｘ方向に延びる部位は、Ｙ方向に着磁され、Ｙ方向に延びる部位は、Ｘ方向に着磁される。つまり、Ｚ方向に交差する方向とは、ＸＹ平面における全ての方向を意味する。
【００３９】
マグネット３６は、２つ磁石３６ｐ，３６ｑが互いに同極を対向させるようにして、Ｚ方向に交差する方向に沿って配列される。本実施形態では、相似形状の２つの四角環形の磁石３６ｐ，３６ｑが互いに嵌め合うように接合される。内側の磁石３６ｐは、内周面がＳ極、外周面がＮ極に着磁される。一方、外側の磁石３６ｑは、内周面がＮ極、外周面がＳ極に着磁される。したがって、マグネット３６の外周面（外環面）３６ｃと内周面（内環面）３６ｄは共にＳ極に着磁される。
同様に、マグネット３７の外周面（外環面）３７ｃと内周面（内環面）３７ｄは共にＮ極に着磁される。
【００４０】
マグネット３６は、その上面３６ａがバックヨーク３１を介してマグネット３３の下面３３ｂに対向し、下面３６ｂがベース１０の底壁部１１に密着するように配置される。つまり、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）とマグネット３６の外周面３６ｃ及び内周面３６ｄの磁極（Ｓ極）とが同一（同極）となる。
同様に、マグネット３７は、その上面３７ａがバックヨーク３１を介してマグネット３４の下面３４ｂに対向し、下面３７ｂがベース１０の底壁部１１に密着するように配置される。つまり、マグネット３４の下面３４ｂの磁極（Ｎ極）とマグネット３７の外周面３７ｃ及び内周面３７ｄの磁極（Ｎ極）とが同一（同極）となる。
【００４１】
マグネット３６，３７（マグネット群３５）が有する磁力（磁束密度）は、マグネット３３，３４（マグネット群３２）の磁力に比べて小さい（弱い）。
例えば、マグネット３３，３４が例えば約４５ＭＧ（４５ＫＴ）の場合、マグネット３６，３７が例えば約２３ＭＧ（２３ＫＴ）以下である。つまり、マグネット３６，３７が有する磁力は、マグネット３３，３４の磁力の約１／２以下である。本実施形態では、マグネット３６，３７が有する磁力がマグネット３３，３４の磁力の約１／４程度（約１２ＭＧ（１２ＫＴ））である。
したがって、マグネット３６，３７（マグネット群３５）として、比較的安価な磁石を用いることができる。
【００４２】
支持部材３８は、上述したように、ＳＳ４００等の磁性体からなり、マグネット群３２，３５及びバックヨーク３１を支持するものである。また、マグネット群３２，３５からベース１０側への磁界の影響を緩和する。
支持部材３８の厚みは、例えば、２ｍｍである。
【００４３】
図８は、第一実施形態に係る磁界遮蔽機構５の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。図８（ａ），（ｂ）は磁界遮蔽機構５の断面図、図８（ｃ）は磁界遮蔽機構５の下面図（支持部材３８の下面３８ｂを示す図）である。
図９は、第一実施形態に係る磁界遮蔽機構５の効果（磁束密度の解析結果）を示す図であって、支持部材３８を取り除いたものを示している。図９（ａ），（ｂ）は磁界遮蔽機構５の断面図、図９（ｃ）は磁界遮蔽機構５の下面図（マグネット３６の下面３６ｂを示す図）である。
図１０は、従来例における磁束密度の解析結果を示す図である。すなわち、マグネット３３をベース１０に直接配置した（磁界遮蔽機構５を配置しない）場合を示している。図１０（ａ），（ｂ）は断面図、図１０（ｃ）は下面図（バックヨーク９３１の下面９３１ｂを示す図）である。
【００４４】
図８、図９、図１０において、色調が濃い（暗い）部分は磁束密度が高く、薄い（明るい）部分は磁束密度が低いことを示している。
【００４５】
図８（ａ），（ｂ）に示すように、支持部材３８の上面３８ａは殆ど磁化されておらず、マグネット３６に接する部分が若干磁化されていることが確認できる。また、図８（ｃ）に示すように、支持部材３８の下面３８ｂは殆ど磁化されていないことが確認できる。
更に、図９（ｃ）に示すように、マグネット３６の下面３６ｂの磁束密度が低いことから、支持部材３８の磁化の程度は低いことが確認できる。
したがって、磁石部３０からベース１０側への磁界の影響は遮断又は抑制（緩和）されていることが理解できる。
【００４６】
これに対して、図１０に示す従来例では、バックヨーク９３１の厚み（Ｚ方向）を４ｍｍ程度に形成したとしても、バックヨーク９３１の下面９３１ｂが磁化されていることが確認できる。
したがって、従来例では、磁石部をベース１０に固定すると、ベース１０側への磁界の影響が生じることが理解できる。
【００４７】
このように、磁石部３０に磁界遮蔽機構５を設けることで、ベース１０側への磁界の影響を防止（抑制）できる。
しかも、磁界遮蔽機構５では、バックヨーク３１、マグネット３６及び支持部材３８を合わせた厚み（４ｍｍ）が、従来例のバックヨーク９３１の厚み（４ｍｍ）と同一である。したがって、磁石部３０の大型化や重量化を招くことがない。
さらに、図９に示すように、支持部材３８を設けない場合であっても、ベース１０側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる。このため、支持部材３８を取り除いた磁石部３０をベース１０に固定することが可能である。したがって、従来よりも、磁石部３０の薄型化、軽量化を図ることも可能である。
【００４８】
図１１は、マグネット３３（磁石部３０）のコイル部４０側への磁束密度を示す図である。
図１１（ａ）はマグネット３３とベース１０との間に磁界遮蔽機構５を配置した場合、図１１（ｂ）は従来例を示している。
図１１において、縦軸は磁束密度、横軸はマグネット３３の長手方向（Ｙ方向）の位置を示す。そして、各グラフ線は、マグネット３３の上面３３ａからコイル部４０側へ離れた位置（オフセット量）における磁束密度の結果を示している。
【００４９】
図１１に示すように、磁界遮蔽機構５を配置した場合（図１１（ａ））であっても、従来例の場合（図１１（ｂ））と同様の磁束密度をコイル部４０側に向けて発生することが確認できる。
つまり、磁界遮蔽機構５は、リニアモータ１の性能に寄与する磁石部３０の磁束密度に悪影響を与えないことが確認できる。
【００５０】
このように、マグネット３３（マグネット群３２）とベース１０との間にマグネット３６（マグネット群３５）を配置することで、ベース１０の磁化を防止（抑制）できる。
マグネット３６の外周面３６ｃと内周面３６ｄの磁極（Ｓ極）からの磁力線がマグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）からの磁力線とがバックヨーク３１の内部において対向するため、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）からの磁力線がベース１０まで届かなくなる（磁界の影響が小さくなる）と推測される。
同様に、マグネット３４（マグネット群３２）とベース１０との間にマグネット３７（マグネット群３５）を配置することで、ベース１０の磁化を防止（抑制）できる。
【００５１】
マグネット３６（マグネット群３５）の磁力（磁束密度）としては、マグネット３３（マグネット群３２）の下面３３ｂの磁極からの磁力線と対向すれば足りるので、マグネット群３２よりも弱い（小さい）磁力であってもよい。
上述したように、本実施形態では、マグネット３６の磁力は、マグネット３３の磁力（約４５ＭＧ（４５ＫＴ））の約１／２以下である。具体的には、マグネット３６の磁力は、約１／４程度（約１２ＭＧ（１２ＫＴ））である。
【００５２】
また、マグネット３６（マグネット群３５）の磁力がマグネット群３２の磁力の約１／２以下であるため、マグネット３６のベース１０に対する磁界の影響も、マグネット群３２の場合に比べて小さい。しかも、マグネット３６（マグネット群３５）がベース１０に接する下面３６ｂには、Ｎ極とＳ極が着磁されているので、マグネット３６（マグネット群３５）の下面３６ｂからの磁力線がベース１０の内部で大きく広がることがない。
このため、マグネット３６（マグネット群３５）のベース１０に対する磁界の影響は非常に小さく抑えられている。
【００５３】
また、上述したように、磁界遮蔽機構５では、バックヨーク３１、マグネット３６及び支持部材３８を合わせた厚み（４ｍｍ）が、従来例のバックヨーク９３１の厚み（４ｍｍ）と同一である。したがって、磁石部３０の大型化や重量化を招くことがない。
さらに、支持部材３８を設けない場合であっても、ベース１０側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる。したがって、磁石部３０の薄型化、軽量化も図ることができる。
【００５４】
このように、本実施形態の磁界遮蔽機構５によれば、簡単な構成によりベース１０側への磁界の影響を低減又は防止（抑制）できる。
したがって、例えば、ベース１０の側壁部１２に配置したリニアガイド５０の軌道レール５１が磁化されることがない。したがって、軌道レール５１の上面に鉄粉等が吸着して、移動ブロック５２の直線移動を阻害するという不具合を防止できる。よって、テーブル２０の移動、すなわちアクチュエータＡ（リニアモータ１）の機能低下を回避できる。
【００５５】
また、テーブル２０の位置等を検出する磁気エンコーダ６０の磁気スケール６１を磁石部３０の近傍に配置することが可能となる。
従来例は、磁石部によりベース１０が磁化されているので、この磁気の影響を避けるために、磁気スケール６１を磁石部から遠ざける必要があった。このため、磁気スケール６１は、例えば、ベース１０の側壁部１２の一方の外側壁に取り付けられていた。
一方、本実施形態では、磁界遮蔽機構５を設けているので、磁気スケール６１をベース１０の任意の位置に取り付けることができる。上述したように、磁気スケール６１をベース１０の底壁部１１の端部（側壁部１２の近傍）に取り付けることが可能となっている。
このように、磁気スケール６１をベース１０の内側に配置できるので、外部からの磁気影響を回避できたり、障害物等に接触して損傷することを防止できたりするので、装置の信頼性が向上する。また、磁気スケール６１をベース１０の任意の位置に配置できるので、装置の少スペース化、低価格化を図ることもできる。
【００５６】
磁界遮蔽機構５の変形例として、マグネット３６の外周面３６ｃと内周面３６ｄを共にＮ極に着磁してもよい。つまり、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と異極にする。この場合においても、上述と少し劣るものの、同一の効果が得られる（図１６、図１７におけるマグネット３４とマグネット３３６の関係を参照）。
マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）からの磁力線がマグネット３６の外周面３６ｃと内周面３６ｄの磁極（Ｎ極）からの磁力線に引き寄せられるため、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）からの磁力線がベース１０まで届かなくなる（磁界の影響が小さくなる）と推測される。
【００５７】
図１２は、第二実施形態に係る磁界遮蔽機構１０５の概略構成を示す模式図である。図１２（ａ）断面図、図１２（ｂ）は下面図(支持部材を取り除いた場合)である。
なお、以下の説明において、磁界遮蔽機構５と同一の構成部材等には同一の符号を付して、その説明を簡略又は省略する。
【００５８】
第二実施形態に係る磁界遮蔽機構１０５では、バックヨーク３１の下面３１ｂに、リング形（四角環形）のマグネット１３６が２つ（複数）配置される。
マグネット１３６は、Ｚ方向に交差する方向に着磁された二層（積層形）の磁石である。すなわち、マグネット（第二磁石）１３６は、外周面（外環面）１３６ｃと内周面（内環面）１３６ｄが共にＳ極に着磁され、バックヨーク３１の上面３１ａに配置されるマグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と同極である。
マグネット１３６は、長手方向（Ｙ方向）がマグネット３６の長手方向（Ｙ方向）の半分以下（例えば１／３〜１／４程度）である。短手方向（Ｘ方向）及び厚みはマグネット３６と同一である。
【００５９】
２つのマグネット１３６は、マグネット３３の長手方向の両端に対応する（重なる）位置に配置される。つまり、１つのマグネット３３に対して２つのマグネット１３６がバックヨーク３１を介して配置される。
マグネット１３６の磁力（磁束密度）は、マグネット３３の磁力よりも弱い（小さい）。マグネット３３の磁力の約１／２以下である。
例えば、マグネット３３が例えば約４５ＭＧ（４５ＫＴ）の場合、マグネット１３６が例えば約２３ＭＧ（２３ＫＴ）以下である。つまり、マグネット１３６が有する磁力は、マグネット３３の磁力の約１／２以下である。さらに、マグネット１３６が有する磁力がマグネット３３の磁力の約１／４程度（約１２ＭＧ（１２ＫＴ））であってもよい。
【００６０】
なお、マグネット１３６の外周面１３６ｃと内周面１３６ｄを共にＮ極に着磁してもよい。すなわち、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と異極である。
【００６１】
また、２つのマグネット１３６として、外周面１３６ｃと内周面１３６ｄを共にＮ極に着磁したものと、外周面１３６ｃと内周面１３６ｄを共にＳ極に着磁したものを組み合わせてもよい。
また、マグネット１３６は２つに限らず、３つ以上であってもよい。
【００６２】
図１３は、第二実施形態に係る磁界遮蔽機構１０５の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。図１３（ａ），（ｂ）は磁界遮蔽機構１０５の断面図、図１３（ｃ）は磁界遮蔽機構１０５の下面図（支持部材３８の下面３８ｂを示す図）である。
図１３において、色調が濃い（暗い）部分は磁束密度が高く、薄い（明るい）部分は磁束密度が低いことを示している。
【００６３】
図１３に示すように、第二実施形態に係る磁界遮蔽機構１０５においても、磁界遮蔽機構５と同一の効果が得られることが理解できる。
すなわち、図１３（ａ），（ｂ）に示すように、支持部材３８の上面３８ａは殆ど磁化されておらず、マグネット３６に接する部分が若干磁化されていることが確認できる。また、図１３（ｃ）に示すように、支持部材３８の下面３８ｂは殆ど磁化されていないことが確認できる。
したがって、磁界遮蔽機構１０５を用いることで、磁石部３０からベース１０側への磁界の影響は遮断又は抑制（緩和）されていることが理解できる。このため、アクチュエータＡ（リニアモータ１）の機能低下を回避できる。
【００６４】
図１４は、第三実施形態に係る磁界遮蔽機構２０５の概略構成を示す模式図である。図１４（ａ），（ｂ）は断面図、図１４（ｃ）は下面図(支持部材を取り除いた場合)である。
なお、以下の説明において、磁界遮蔽機構５，１０５と同一の構成部材等には同一の符号を付して、その説明を簡略又は省略する。
【００６５】
第三実施形態に係る磁界遮蔽機構２０５では、バックヨーク３１の上面３１ａに隣接して配置された２つ（複数）のマグネット３３，３４に対して、バックヨーク３１の下面３１ｂに１つのリング形（四角環形）のマグネット２３６が配置される。
マグネット２３６は、Ｚ方向に交差する方向に着磁された二層（積層形）の磁石である。すなわち、マグネット（第二磁石）２３６は、外周面（外環面）２３６ｃと内周面（内環面）２３６ｄが共にＳ極に着磁される。つまり、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と同極であり、マグネット３４の下面３４ｂの磁極（Ｎ極）と異極である。
マグネット２３６は、その長さ（Ｘ方向）がマグネット３６，１３６の短手方向（Ｘ方向）の約２倍である。つまり、２つのマグネット３３，３４の短手方向を合わせた長さである。
マグネット２３６の幅（Ｙ方向）及び厚みはマグネット３６と同一である。
【００６６】
マグネット２３６の磁力（磁束密度）は、マグネット３３の磁力よりも弱い（小さい）。マグネット３３の磁力の約１／２以下である。
例えば、マグネット３３が例えば約４５ＭＧ（４５ＫＴ）の場合、マグネット２３６が例えば約２３ＭＧ（２３ＫＴ）以下である。つまり、マグネット２３６が有する磁力は、マグネット３３の磁力の約１／２以下である。さらに、マグネット２３６が有する磁力がマグネット３３の磁力の約１／４程度（約１２ＭＧ（１２ＫＴ））であってもよい。
【００６７】
なお、マグネット２３６の外周面２３６ｃと内周面２３６ｄを共にＮ極に着磁してもよい。すなわち、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と異極であり、マグネット３４の下面３４ｂの磁極（Ｎ極）と同極である。
【００６８】
図１５は、第三実施形態に係る磁界遮蔽機構２０５の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。図１５（ａ），（ｂ）は磁界遮蔽機構２０５の断面図、図１５（ｃ）は磁界遮蔽機構２０５の下面図（支持部材３８の下面３８ｂを示す図）である。
図１５において、色調が濃い（暗い）部分は磁束密度が高く、薄い（明るい）部分は磁束密度が低いことを示している。
【００６９】
図１５に示すように、第三実施形態に係る磁界遮蔽機構２０５においても、磁界遮蔽機構５，１０５と同一の効果が得られる。
すなわち、図１５（ａ），（ｂ）に示すように、支持部材３８の上面３８ａは殆ど磁化されておらず、マグネット３６に接する部分が若干磁化されていることが確認できる。また、図１５（ｃ）に示すように、支持部材３８の下面３８ｂは殆ど磁化されていないことが確認できる。
したがって、磁界遮蔽機構２０５を用いることで、磁石部３０からベース１０側への磁界の影響は遮断又は抑制（緩和）されていることが理解できる。このため、アクチュエータＡ（リニアモータ１）の機能低下を回避できる。
【００７０】
図１６は、第四実施形態に係る磁界遮蔽機構３０５の概略構成を示す模式図である。
図１６（ａ），（ｂ）は断面図、図１６（ｃ）は下面図(支持部材を取り除いた場合)である。
なお、以下の説明において、磁界遮蔽機構５，１０５，２０５と同一の構成部材等には同一の符号を付して、その説明を簡略又は省略する。
【００７１】
第四実施形態に係る磁界遮蔽機構３０５では、バックヨーク３１の上面３１ａに隣接して配置された２つ（複数）のマグネット３３，３４に対して、バックヨーク３１の下面３１ｂにリング形（四角環形）のマグネット３３６が２つ（複数）配置される。
マグネット３３６は、Ｚ方向に交差する方向に着磁された二層（積層形）の磁石である。すなわち、マグネット（第二磁石）３３６は、外周面（外環面）３３６ｃと内周面（内環面）３３６ｄが共にＳ極に着磁され、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と同極であり、マグネット３４の下面３４ｂの磁極（Ｎ極）と異極である。
【００７２】
マグネット３３６は、その幅（Ｙ方向）がマグネット１３６の長手方向（Ｙ方向）と同一である。つまり、マグネット３３６は、マグネット３６の長手方向（Ｙ方向）の半分以下（例えば１／３〜１／４程度）である。
マグネット３３６は、その長さ（Ｘ方向）は、マグネット２３６の長さ（Ｘ方向）と同一である。つまり、マグネット３６，１３６の短手方向（Ｘ方向）の約２倍の長さであり、２つのマグネット３３，３４の短手方向（Ｘ方向）を合わせた長さである。
マグネット３３６の厚みは、マグネット３６，１３６，２３６と同一である。
【００７３】
２つのマグネット３３６は、それぞれ２つのマグネット３３，３４の長手方向（Ｙ方向）の両端に対応（重なる）する位置に配置される。つまり、２つのマグネット３３，３４に対して２つのマグネット３３６がバックヨーク３１を介して井桁状に配置される。
マグネット３３６の磁力（磁束密度）は、マグネット３３の磁力よりも弱い（小さい）。マグネット３３の磁力の約１／２以下である。
例えば、マグネット３３が例えば約４５ＭＧ（４５ＫＴ）の場合、マグネット３３６が例えば約２３ＭＧ（２３ＫＴ）以下である。つまり、マグネット３３６が有する磁力は、マグネット３３の磁力の約１／２以下である。さらに、マグネット３３６が有する磁力がマグネット３３の磁力の約１／４程度（約１２ＭＧ（１２ＫＴ））であってもよい。
【００７４】
なお、マグネット３３６の外周面３３６ｃと内周面３３６ｄを共にＮ極に着磁してもよい。すなわち、マグネット３３の下面３３ｂの磁極（Ｓ極）と異極であり、マグネット３４の下面３４ｂの磁極（Ｎ極）と同極である。
【００７５】
また、２つのマグネット３３６として、外周面３３６ｃと内周面３３６ｄを共にＮ極に着磁したものと、外周面３３６ｃと内周面３３６ｄを共にＳ極に着磁したものを組み合わせてもよい。
また、マグネット３３６は２つに限らず、３つ以上であってもよい。
【００７６】
図１７は、第四実施形態に係る磁界遮蔽機構３０５の効果（磁束密度の解析結果）を示す図である。図１７（ａ），（ｂ）は磁界遮蔽機構３０５の断面図、図１７（ｃ）は磁界遮蔽機構３０５の下面図（支持部材３８の下面３８ｂを示す図）である。
図１７において、色調が濃い（暗い）部分は磁束密度が高く、薄い（明るい）部分は磁束密度が低いことを示している。
【００７７】
図１７に示すように、第四実施形態に係る磁界遮蔽機構３０５においても、磁界遮蔽機構５，１０５，２０５と同一の効果が得られる。
すなわち、図１７（ａ），（ｂ）に示すように、支持部材３８の上面３８ａは殆ど磁化されておらず、マグネット３６に接する部分が若干磁化されていることが確認できる。また、図１７（ｃ）に示すように、支持部材３８の下面３８ｂは殆ど磁化されていないことが確認できる。
したがって、磁界遮蔽機構３０５を用いることで、磁石部３０からベース１０側への磁界の影響は遮断又は抑制（緩和）されていることが理解できる。このため、アクチュエータＡ（リニアモータ１）の機能低下を回避できる。
【００７８】
図１８は、本発明の実施形態に係るアクチュエータＡ（回転モータ２）の概略構成を示す断面図である。
上述した磁界遮蔽機構５，１０５，２０５，３０５は、全てリニアモータ１の磁石部３０に適用されるが、回転モータ２の磁石部４３０に適用してもよい。
【００７９】
図１３に示すように、回転モータ２に、磁界遮蔽機構１０５とほぼ同一構成の磁界遮蔽機構４０５が適用される。
すなわち、回転モータ２のステータである磁石部４３０の外周側に、Ｚ方向に交差する方向に着磁された環形のマグネット４３６，４３７を、円筒形のバックヨーク４３１を介して配置する。
マグネット（第二磁石）４３６は、外周面（外環面）４３６ｃ及び内周面（内環面）４３６ｄがＮ極に着磁された環形の磁石である。マグネット（第二磁石）４３７は、外周面（外環面）４３７ｃ及び内周面（内環面）４３７ｄがＳ極に着磁された環形の磁石である。
【００８０】
磁界遮蔽機構４０５によれば、コイル部４４０の回転性能を損なうことなく、簡単な構成によりハウジング４１０の磁化を確実に防止（抑制）できる。このため、アクチュエータＡ（回転モータ２）の機能低下を回避できる。
【００８１】
上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００８２】
例えば、コイル部に向けて磁界を発生する第一磁石（マグネット３３，３４）の外形と、これに対応する（重なる）第二磁石（マグネット３６，３７等）の外形を大部分において一致させる場合について説明したが、これに限らない。第一磁石（マグネット３３，３４）と第二磁石（マグネット３６，３７等）がＺ方向において一部でも重なっていればよく、外形が一致しなくてもよい。
【００８３】
また、第一磁石は、Ｘ方向に発生する磁界を正弦波に近付けるために、平行四辺形に形成してもよい。勿論、この場合には、第二磁石も平行四辺形に形成する。
【００８４】
支持部材３８として磁性体を用いる場合について説明したが、これに代えてプラスチック等の非磁性体により形成してもよい。
また、第二磁石の中空部分に非磁性体を配置してもよい。これにより、第二磁石の機械的強度を増強させることができる。
【００８５】
第一磁石及び第二磁石として焼結磁石を用いる場合について説明したが、これに限らない。いわゆるボンド磁石（ゴム磁石、塩ビ磁石、プラスチック磁石などとも呼ばれる）であってもよい。すなわち、フェライト磁石等を砕いてゴムやプラスチックに練り込んだ柔軟性のある磁石を用いてもよい。
特に、第二磁石は、比較的弱い磁力であっても磁界遮蔽機構の機能を十分に果たすことができるので、安価なボンド磁石を用いて、装置コスト低減を図ることができる。
また、第二磁石の着磁は、二層に限らず、多層であってもよい。また、第二磁石は、角環形に限らず、円環形等であってもよい。
【００８６】
また、磁気エンコーダ６０に代えて、光学式リニアエンコーダ等を設けて、ベース１０に対するテーブル２０の位置等を検出してもよい。
【００８７】
また、リニアガイド５０の転動体として複数のボール５５が用いられる場合に限らず、ローラ等の転動体を用いても構わない。また、リニアガイド５０に代えて、すべり案内機構を用いてもよい。
【００８８】
アクチュエータＡとして、リニアモータ１、回転モータ２について説明したが、これらの実施形態に限らない。例えば、コイル部が固定されて磁石部が移動する場合でもよい。つまり、磁石部とコイル部が相対移動するものであればよい。
また、アクチュエータＡ（リニアモータ１，回転モータ２）の設置方向は、実施形態に限らない。例えば、リニアモータ１を天井や壁に設置する場合であってもよい。
また、アクチュエータＡは、各種産業に用いることができる。例えば、工作機械、半導体製造装置、リニアモーターカー、髭剃り機、カメラのオートフォーカス機構等に用いることができる。
【符号の説明】
【００８９】
Ａ…アクチュエータ、  １…リニアモータ、  ２…回転モータ、  ５…磁界遮蔽機構、  ３０…磁石部、  ３１…バックヨーク（ヨーク）、  ３３，３４…マグネット（第一磁石）、  ３６…マグネット（第二磁石）、  ３６ｃ…外周面（外環面）、  ３６ｄ…内周面（内環面）、  ３７…マグネット（第二磁石）、  ３７ｃ…外周面（外環面）、  ３７ｄ…内周面（内環面）、  ３８…支持部材、  ４０…コイル部、  １０５…磁界遮蔽機構、  １３６…マグネット（第二磁石）、  １３６ｃ…外周面（外環面）、  １３６ｄ…内周面（内環面）、  ２０５…磁界遮蔽機構、  ２３６…マグネット（第二磁石）、  ２３６ｃ…外周面（外環面）、  ２３６ｄ…内周面（内環面）、  ３０５…磁界遮蔽機構、  ３３６…マグネット（第二磁石）、  ３３６ｃ…外周面（外環面）、  ３３６ｄ…内周面（内環面）、  ４０５…磁界遮蔽機構、  ４３０…磁石部、  ４４０…コイル部、  ４３１…バックヨーク（ヨーク）、  ４３６…マグネット（第二磁石）、  ４３６ｃ…外周面（外環面）、  ４３６ｄ…内周面、  ４３７…マグネット（第二磁石）、  ４３７ｃ…外周面（外環面）、  ４３７ｄ…内周面（内環面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１４】
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【図１６】
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【図１８】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１３】
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【図１５】
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【図１７】
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