(57)【要約】      （修正有）【課題】受光素子間の検出感度のバラツキをなくすことができるエンコーダを提供する。【解決手段】光源部１に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリット２ｂが形成されたスケール部２に向けて光源部から測定光を照射し、測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、移動方向に沿って配列形成され、スリットを通過した測定光を受光し、受光量に応じた受光電流Ｉ１〜Ｉ８を発生する複数の受光素子３と、受光素子ごとに設けられ、受光電流の電荷を保持する電荷保持部４と、保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部５と、電荷電圧変換部に電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチＳＷ１と、電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器６と、Ａ／Ｄ変換器の出力に基づいて変位量を求める信号処理部７とを備える。【選択図】図１
2012008080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリットが形成されたスケール部に向けて前記光源部から測定光を照射し、前記スリットを通過した前記測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、
前記光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、
前記移動方向に沿って配列形成され、前記スリットを通過した前記測定光を受光し、受光量に応じた受光電流を発生する複数の受光素子と、
この受光素子ごとに設けられ、前記受光電流の電荷を保持する電荷保持部と、
この電荷保持部に保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部と、
この電荷電圧変換部に前記電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチと、
前記電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器の出力に基づいて前記変位量を求める信号処理部と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
前記電荷保持部はコンデンサで構成されたことを特徴とする請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記電荷電圧変換部は積算回路で構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
位置検出に請求項１〜３のいずれかに記載のエンコーダを用いたことを特徴とするモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源部に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリットが形成されたスケール部に向けて前記光源部から測定光を照射し、前記スリットを通過した前記測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４〜図７を用いて従来のエンコーダを説明する。図４は従来の光学式エンコーダの一例であって位置検出の要部を示した図、図５はスケールの構成図、図６はフォトダイオードが４素子の場合の出力信号の説明図、図７は図４に示す構成の具体的な回路例を示した図である。
【０００３】
図４において、光源部１から光をスケール２へ照射する。スケール２は光を通過させるスリット２ｂと光を遮断する遮光部２ａとがたとえば円周方向に沿って交互に配置されたものであり、その中心部は回転シャフト４０に取り付けられている（図５参照）。光源部１から照射する光を散乱光とすると、受光素子としてたとえばフォトダイオードを用いた受光アレイ１３０には図６中に示すように照度が正弦波状に分布する光が加えられる。受光アレイ１３０に照射された正弦波状照度分布光の位相θはスケール２の位置または角度に応じて定まり、スケール２が移動することによりθの値も変化する。従って、このθを測定することによりスケール２の位置または角度が求められる。
【０００４】
受光アレイ１３０を構成する各フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４から出力される受光電流Ｉ１〜Ｉ４は、正弦波状照度分布光の強度に応じた値となる。受光電流Ｉ１〜Ｉ４は電流電圧変換回路１４１〜１４４により電圧変換され、サンプルホールド回路１５１〜１５４により変換電圧が保持される。このサンプルホールド回路１５１〜１５４の出力をスイッチ１０６を用いて角速度ωで順次切り替えてＡ／Ｄ変換器１０７に接続すると、サンプル値の時系列になり、図６の破線で示す正弦波状の出力ＶｏがＡ／Ｄ変換器１０７の出力として得られる。ただし、図６の破線で示すように滑らかな正弦波の出力を得るにはフォトダイオードの数をもっと増やす必要がある。図６の波形は図４の波形に相当するものであり、スケール２の移動に伴ってその位相θがシフトする。信号処理部１０８にて、Ａ／Ｄ変換器１０７の出力Ｖｏを処理して位相θを求めることにより、スケール２の位置または角度が求められる。
【０００５】
なお、サンプルホールド回路を設けず、フォトダイオードごとに逐次サンプルしていった場合には、すべてのフォトダイオードについて電圧変換が完了するまでにスケールが移動してしまい、位相誤差が発生してしまう。そのため、すべてのフォトダイオードにおいて同じ瞬間の受光量に対応した受光電流を発生させるため、図４に示すように各フォトダイオードにそれぞれサンプルホールド回路を設ける。
【０００６】
図７は、図４における光源部１、受光アレイ１３０、電流電圧変換回路１４１〜１４４、サンプルホールド回路１５１〜１５３の具体的な回路構成例を示す図である。
【０００７】
代表して、フォトダイオードＰＤ１、電流電圧変換回路１４１、サンプルホールド回路１５１と、これらの動作について説明する。
電流電圧変換回路１４１は、アンプＵ１００と、コンデンサＣ１００と、抵抗Ｒ１を備えている。アンプＵ１００の反転入力端子はフォトダイオードＰＤ１のアノード側に接続されている。アンプＵ１００の非反転入力端子は共通電位Ｖｃｏｍに接続されるとともに、コンデンサＣ１００を介して接地されている。また、アンプＵ１００の出力端子と反転入力端子はＲ１を介して接続されている。なお、フォトダイオードＰＤ１のカソード側は共通電位Ｖｃｏｍに接続されている。
【０００８】
このような構成の電流電圧変換回路１４１において、フォトダイオードＰＤ１が光源部１（常時点灯）からの光を受光して受光電流Ｉ１を発生すると、アンプＵ１００の出力端子にはこの受光電流Ｉ１に応じた電圧が発生する。
【０００９】
サンプルホールド回路１５１は、ボルテージフォロアを構成するアンプＵ１０１と、このアンプＵ１０１の非反転入力端子に接続されたホールドコンデンサＣ１０１と、このホールドコンデンサＣ１０１とアンプＵ１０１に接続され、サンプル／ホールドを切り替えるスイッチＳＷ１００を備えている。スイッチＳＷ１００の他端は電流電圧変換回路１４１のアンプＵ１００の出力端子に接続されており、このスイッチＳＷ１００が閉の状態ではサンプルモードとなり、ホールドコンデンサＣ１０１に電荷が溜まることで電流電圧変換回路１４１の出力電圧がサンプルされ、開の状態ではホールドモードとなり、アンプＵ１０１の出力電位がサンプルした出力電圧に維持される。
電流電圧変換回路１４２〜１４４およびサンプルホールド回路１５２〜１５４は、それぞれ電流電圧変換回路１４１およびサンプルホールド回路１５１と同様の構成となっている。
【００１０】
サンプルホールド回路１５１〜１５４の出力はそれぞれスイッチ１０６に入力され、順次Ａ／Ｄ変換器１０７に切り替え接続されてデジタル化され、信号処理部１０８にてスケール２の位置または角度の算出に用いられる。サンプルホールド回路１５１〜１５４、スイッチ１０６、Ａ／Ｄ変換器１０７、信号処理部１０８は、シーケンスコントローラ１０９で動作タイミングが制御される。
【００１１】
下記特許文献１、２には、コード板に光を照射する光源と、前記コード板の裏側に生じる照度分布を検出するフォトダイオードと、これらのフォトダイオードの出力に基づいてコード板の位置または角度を測定するエンコーダが記載されている。また、下記特許文献３には、光学式エンコーダを備えたモータ・ドライブ・システムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平０５−１８７８５号公報
【特許文献２】特開平０５−１０７８３号公報
【特許文献３】特開平０３−４９５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上記のような構成では、電流電圧変換回路やサンプルホールド回路をフォトダイオードごとに個別に設けなければならず、しかもそれぞれの回路が複数の素子から構成されているため、回路全体が大型化してしまう。
【００１４】
また、電流電圧変換回路の出力は電流電圧変換回路の抵抗の大きさに依存するが、たとえ抵抗Ｒ１〜Ｒ４に同じ抵抗値のものを使用しても、これらの抵抗の誤差によりフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４の受光量の検出感度にバラツキが生じてしまう。その結果、スケール２の位置または角度の算出結果に誤差が生じてしまう。
【００１５】
本発明は、受光量に応じた電荷を保持し、保持した電荷に基づいて変位量を求めることにより、従来の問題をなくし、受光素子間の検出感度のバラツキのないエンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このような課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
光源部に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリットが形成されたスケール部に向けて前記光源部から測定光を照射し、前記スリットを通過した前記測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、
前記光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、
前記移動方向に沿って配列形成され、前記スリットを通過した前記測定光を受光し、受光量に応じた受光電流を発生する複数の受光素子と、
この受光素子ごとに設けられ、前記受光電流の電荷を保持する電荷保持部と、
この電荷保持部に保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部と、
この電荷電圧変換部に前記電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチと、
前記電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器の出力に基づいて前記変位量を求める信号処理部と、
を備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載のエンコーダにおいて、
前記電荷保持部はコンデンサで構成されたことを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、
請求項１または２に記載のエンコーダにおいて、
前記電荷電圧変換部は積算回路で構成されたことを特徴とする。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、
位置検出に請求項１〜３のいずれかに記載のエンコーダを用いたことを特徴とするモータである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、
光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、移動方向に沿って配列形成され、スリットを通過した測定光を受光し、受光量に応じた受光電流を発生する複数の受光素子と、受光素子ごとに設けられ、受光電流の電荷を保持する電荷保持部と、電荷保持部に保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部と、この電荷電圧変換部に前記電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチと、電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器と、このＡ／Ｄ変換器の出力に基づいて変位量を求める信号処理部とを備えることにより、
受光量に応じた電荷を保持し、保持した電荷に基づいて変位量を求め、受光素子間の検出感度のバラツキのないエンコーダを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のエンコーダの一実施例を示す図である。
【図２】図１における光源部〜電荷電圧変換部までの具体的な回路構成例を示す図である。
【図３】各種信号のタイミングチャートである。
【図４】従来の光学式エンコーダの一例であって位置検出の要部を示した図である。
【図５】スケールの構成図である。
【図６】フォトダイオードが４素子の場合の出力信号の説明図である。
【図７】図４に示す構成の具体的な回路例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２２】
図１は本発明のエンコーダの一実施例を示す図であり、エンコーダの位置検出の要部を示した図である。なお、従来例と同じ構成要素には同じ番号を付して説明を省略する。
【００２３】
光源部１を所定の測定周期Ｔかつ所定の発光時間ｔでパルス発光させて、光をスケール２へ照射する。スケール２は光を通過させるスリット２ｂと光を遮断する遮光部２ａとがたとえば円周方向に沿って交互に配置されたものであり、その中心部は回転シャフト４０に取り付けられている（図５参照）。
【００２４】
光源部１に対向して、受光素子として８つのフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８を備えた受光アレイ３が設けられている。受光アレイ３は、図１に示すように、スリット２ｂを通過し、照度が正弦波状に分布する光が加えられる。
【００２５】
受光アレイ３に照射された正弦波状照度分布光の位相θはスケール２の位置または角度に応じて定まり、スケール２が移動することによりθの値も変化する。従って、このθを測定することによりスケール２の位置または角度が求められる。
【００２６】
光源部１を所定の測定周期Ｔかつ所定の発光時間ｔでパルス発光させることで、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８の受光期間や受光時のスケール位置などの条件が各フォトダイオード間が統一され、位相誤差を回避できる。
【００２７】
フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８の受光電流Ｉ１〜Ｉ８は、正弦波状照度分布光の強度に応じた値となる。この受光電流Ｉ１〜Ｉ８を、受光電流ごとに、各フォトダイオードにそれぞれ接続された電荷保持部４１〜４８に電荷Ｑ１〜Ｑ８として蓄える。
【００２８】
フォトダイオードＰＤ１と電荷保持部４１でチャネルＣｈ１を構成する。同様に、フォトダイオードＰＤ２〜ＰＤ８と電荷保持部４２〜４８で、それぞれチャネルＣｈ２〜チャネルＣｈ８を構成する。
【００２９】
各チャネルの電荷Ｑ１〜Ｑ８をスイッチＳＷ１を用いて角速度ωで順次切り替え、単一の電荷電圧変換部５に接続する。電荷電圧変換部５は、接続されたチャネルの電荷をその電荷量に応じた電圧に変換し、後段のＡ／Ｄ変換器６に出力する。スイッチＳＷ１を順次切り替えることにより、電荷電圧変換部５の出力電圧Ｖｏはサンプル値の時系列になり、正弦波状の電圧がＡ／Ｄ変換器１０７の出力として得られる。
電圧Ｖｏは図１の正弦波の波形に相当するものであり、スケール２の移動に伴ってその位相θがシフトする。信号処理部７にて、Ａ／Ｄ変換器６の出力を処理して位相θを求めることにより、スケール２の位置または角度が求められる。
【００３０】
図２は、図１における光源部１〜電荷電圧変換部５までの具体的な回路構成例を示す図である。
【００３１】
電荷保持部４１〜４８は、それぞれコンデンサＣ１〜Ｃ８で構成される。たとえば電荷保持部４１においては、コンデンサＣ１の一端はフォトダイオードＰＤ１のアノード側に接続され、他端は共通電位Ｖｃｏｍに接続されている。他の電荷保持部４２〜４８も電荷保持部４１と同様に構成されている。
【００３２】
フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８が光源部１からの光を受光して受光電流Ｉ１〜Ｉ８を発生すると、コンデンサＣ１〜Ｃ８に受光電流Ｉ１〜Ｉ８に応じた電荷Ｑ１〜Ｑ８が保持される。スイッチＳＷ１には、電荷保持部４１〜４８の出力として、コンデンサＣ１〜Ｃ８のフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８のアノード側に接続された一端が接続される。
【００３３】
電荷電圧変換部５は一般的な積分回路であり、アンプＵ１と、コンデンサＣ１０，Ｃ１１と、スイッチＳＷ２を備えている。アンプＵ１の非反転入力端子は共通電位Ｖｃｏｍに接続されるとともに、コンデンサＣ１１を介して接地されている。アンプＵ１の反転入力端子にはスイッチＳＷ１の出力が接続されている。また、アンプＵ１の非反転入力端子と出力端子には、コンデンサＣ１０とスイッチＳＷ２が並列接続されている。
【００３４】
このように構成された電荷保持部４１〜４８および電荷電圧変換部５において、スイッチＳＷ２を開の状態に設定しておき、スイッチＳＷ１を図２に示すように、チャネルＣｈ１である電荷保持部４１に接続すると、電荷保持部４１のコンデンサＣ１に蓄えられた電荷Ｑ１が電荷電圧変換部５のコンデンサＣ１０に移動し、コンデンサＣ１は放電する。電荷電圧変換部５は、コンデンサＣ１０に電荷Ｑ１が移動してきたことにより、アンプＵ１の出力端子に電荷Ｑ１に応じた電圧Ｖｏが発生する。このとき、電圧Ｖｏと電荷Ｑ１との間には、Ｖｏ＝Ｑ１／Ｃ１０の関係が成立する。この電圧ＶｏをＡ／Ｄ変換器６でデジタル化し、チャネルＣｈ１の受光量として信号処理部７に出力する。
【００３５】
Ａ／Ｄ変換器６による電荷Ｑ１のデジタル化が完了すると、スイッチＳＷ２を閉の状態にし、コンデンサＣ１０の両端をショートさせて電荷Ｑ１を放電する。
【００３６】
次に、再度スイッチＳＷ２を開に設定し、スイッチＳＷ１をチャネルＣｈ２である電荷保持部４２に切り替える。すると、電荷保持部４２のコンデンサＣ２に蓄えられた電荷Ｑ２が電荷電圧変換部５のコンデンサＣ１０に移動し、コンデンサＣ２は放電する。電荷電圧変換部５は、コンデンサＣ１０に電荷Ｑ２が移動してきたことにより、アンプＵ１の出力端子には電荷Ｑ２に応じた出力電圧Ｖｏが発生する。このとき、電圧Ｖｏと電荷Ｑ２との間には、Ｖｏ＝Ｑ２／Ｃ１０の関係が成立する。この電圧ＶｏをＡ／Ｄ変換器６でデジタル化し、チャネルＣｈ２の受光量として信号処理部７に出力する。以下、同様の動作をチャネルＣｈ３〜チャネルＣｈ８まで繰り返して各チャネルにおける受光量を求め、信号処理部７に出力する。
【００３７】
図３は各種信号のタイミングチャートであり、光源部１の発光タイミングと、電荷保持部４１〜４８の各コンデンサＣ１〜Ｃ８の両端に発生する電位差Ｖ１〜Ｖ８と、スイッチＳＷ１およびスイッチＳＷ２の開閉タイミングと、電荷電圧変換部５の出力電圧Ｖｏと、この出力電圧Ｖｏをサンプルすべきタイミングを示している。
【００３８】
まず、光源部１をパルス発光させ、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８に光を受光させる。コンデンサＣ１〜Ｃ８には、それぞれ電荷Ｑ１〜Ｑ８に基づいて電位差Ｖ１〜Ｖ８が発生する。なお、Ｑ１＝Ｃ１×Ｖ１、Ｑ２＝Ｃ２×Ｖ２、・・・、Ｑ８＝Ｃ８×Ｖ８の関係が成立する。
【００３９】
スイッチＳＷ１が開の状態からチャネルＣｈ１に接続し、電荷保持部４１に保持された電荷Ｑ１を電荷電圧変換部５に移動させる。これによりコンデンサＣ１にかかる電位差はゼロに戻る。一方、電荷電圧変換部５の出力電圧Ｖｏは、電荷Ｑ１の大きさに応じた電圧変化が生じる。電圧Ｖｏの電圧値が安定したところでＡ／Ｄ変換器６で電圧Ｖｏをサンプルしてデジタル化し、チャネルＣｈ１の出力値として信号処理部７に伝達する。その後スイッチＳＷ２を閉の状態にして電荷Ｑ１を放電し、電圧Ｖｏは元の電圧に戻る。
【００４０】
次に、スイッチＳＷ１をチャネルＣｈ２に切り替え接続し、電荷保持部４２に蓄えられた電荷Ｑ２を電荷電圧変換部５に移動させる。これによりコンデンサＣ２にかかる電位差はゼロに戻り、電荷電圧変換部５の出力電圧Ｖｏは電荷Ｑ２の大きさに応じた電圧変化が生じる。電圧Ｖｏの電圧値が安定したところでＡ／Ｄ変換器６で電圧Ｖｏをサンプルしてデジタル化し、チャネルＣｈ２の出力値として信号処理部７に伝達する。その後スイッチＳＷ２を閉の状態にして電荷Ｑ２を放電し、電圧Ｖｏは元の電圧に戻る。
【００４１】
以降、チャネルＣｈ３〜８まで同様の動作を繰り返し、各チャネルの出力を求め、信号処理部７に伝達する。信号処理部７は、伝達された各チャネルの出力に基づいて各チャネルの受光量を把握し、スケール２の位置または角度を算出する。
なお、光源部１を発光させてから信号処理部７にてスケールの位置または角度の算出が完了するまでの期間を最短の測定周期Ｔとする。
【００４２】
ここで、各チャネルにおける電圧Ｖｏの値は、コンデンサＣ１０の容量に依存するが、コンデンサＣ１〜Ｃ８の容量には依存しない。そのため、各チャネルにおける受光量の検出感度にバラツキが生じることはない。
【００４３】
光源部１、スイッチＳＷ１、電荷電圧変換部５、Ａ／Ｄ変換器６、信号処理部７は、シーケンスコントローラ８で動作タイミングが制御される。
【００４４】
本実施例は以上のように構成され、
光源部１に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリット２ｂが形成されたスケール部２に向けて光源部１から測定光を照射し、スリット２ｂを通過した測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、
光源部１を所定の測定周期Ｔで所定の発光時間ｔをもってパルス発光させるシーケンスコントローラ８と、前記移動方向に沿って配列形成され、スリット２ｂを通過した測定光を受光し、受光量に応じた受光電流Ｉ１〜Ｉ８を発生する複数のフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８と、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８ごとに設けられ、受光電流Ｉ１〜Ｉ８の電荷Ｑ１〜Ｑ８を保持する電荷保持部４１〜４８と、電荷保持部４１〜４８に保持された電荷Ｑ１〜Ｑ８を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部５と、この電荷電圧変換部５に電荷保持部４１〜４８を順次切り替え接続するスイッチＳＷ１と、電荷電圧変換部５の出力電圧Ｖｏをデジタル化するＡ／Ｄ変換器６と、このＡ／Ｄ変換器６の出力に基づいて前記変位量を求める信号処理部７と、を備えることにより、
受光量に応じた電荷を保持し、保持した電荷に基づいて変位量を求め、フォトダイオード間の検出感度のバラツキのないエンコーダを提供できる。
また、光源部１をパルス発光させることにより、各フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８の受光条件が統一され、従来例におけるサンプルホールド回路と同等の効果が得られる。
【００４５】
また、電荷保持部４１〜４８をそれぞれコンデンサＣ１〜Ｃ８で構成しているため、回路構成が単純で、回路全体を小型化できる。
【００４６】
また、電荷電圧変換部５も積算回路であるため、特殊な回路構成を採用する必要がなく、容易に実施できる。
【００４７】
また、本実施例のようなエンコーダをモータの位置検出に適用することによって、フォトダイオード間の検出感度のバラツキをなくし、より精度よく位置検出できるモータを提供できる。
【００４８】
なお、本実施例では、スケール部２がシャフト４０に取り付けられた回転型のスケール板であったが、スリット２ｂを直線的に並べ、リニア型としてもよい。
【００４９】
また、パルスの発光時間ｔを短くすれば、光源部の寿命を延ばすとともに、より低消費電力化を実現できる。
【００５０】
本実施例におけるフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ８は特許請求の範囲における受光素子に相当し、シーケンスコントローラ６は光源制御部に相当し、スイッチＳＷ１は電荷電圧変換部に前記電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチに相当する。
【符号の説明】
【００５１】
１    光源部
２    スケール部
２ａ  遮光部
２ｂ  スリット
３    受光アレイ
４１〜４８  電荷保持部
５    電荷電圧変換部
６    Ａ／Ｄ変換器
７    信号処理部
８    シーケンスコントローラ
ＰＤ１〜ＰＤ８  フォトダイオード
ＳＷ１，ＳＷ２  スイッチ
Ｃ１〜Ｃ８，Ｃ１０，Ｃ１１  コンデンサ
Ｉ１〜Ｉ８  受光電流
【図２】
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【図３】
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【図７】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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