(57)【要約】      （修正有）【課題】安価な低出力のレーザを利用して、高品質の識別コードや任意のパターンを形成するマーキング装置及び方法を提供する。【解決手段】感光剤が塗布された基板上の所定の位置に識別コードを露光マーキングする装置及び方法であって、識別コードに対応するドットパターン生成部と、ドットパターンのドット部を感光させるためのレーザ光線照射部と、基板の所定位置におけるドットパターンのドット部にレーザ光線を偏向させる光線偏向部とを備え、ドット部一箇所に対してレーザ光線を複数回照射でき、ドットパターンの各ドット毎に識別コードの各ドット部の径が現像後に同じになるように、レーザ光線を照射すべき回数を登録し、ドット部一箇所に対してレーザ光線を照射した回数を計数し、照射規定回数だけ各ドット部にレーザ光線を照射する機能を備えたことを特徴とする、識別コードの露光マーキング装置及び方法。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光剤が塗布された基板上の所定の位置に識別コードを露光マーキングする装置であって、
前記識別コードに対応するドットパターンを生成するドットパターン生成部と、
前記ドットパターンのドット部を感光させるためのレーザ光線を照射させるレーザ照射部と、
前記基板の所定位置における前記ドットパターンのドット部に前記レーザ光線が照射されるように前記レーザ光線を偏向させる光線偏向部とを備え、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を複数回照射でき、
前記ドットパターンの各ドット毎に、
前記識別コードの各ドット部の径が現像後に同じになるように、前記レーザ光線を照射すべき回数を登録する照射規定回数登録部と、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を照射した回数を計数する実照射回数カウント部を備え、
前記照射規定回数だけ各ドット部に前記レーザ光線を照射することを特徴とする、識別コードの露光マーキング装置。
【請求項２】
前記レーザ光線が、紫外線領域の光線であることを特徴とする
請求項１に記載の露光マーキング装置。
【請求項３】
感光剤が塗布された基板上の所定の位置に識別コードを露光マーキングする方法であって、
前記識別コードに対応するドットパターンを生成する識別コード生成ステップと、
前記ドットパターンのドット部を感光させるためにレーザ光線を照射させるレーザ光線照射ステップと、
前記基板の所定位置における前記ドットパターンのドット部に前記レーザ光線が照射されるように前記レーザ光線を偏向させる光線偏向ステップとを有し、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を複数回照射する繰り返し照射ステップをさらに有し、
前記ドットパターンの各ドット毎に、
前記識別コードの各ドット部の径が現像後に同じになるように、前記レーザ光線を照射すべき回数を登録する照射規定回数登録ステップと、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を照射した回数を計数する実照射回数カウントステップを有し、
前記照射規定回数登録ステップで登録した回数に基づいて、前記繰り返し照射ステップを行うことを特徴とする、識別コードの露光マーキング方法。
【請求項４】
前記レーザ光線が、紫外線領域のレーザ光線であることを特徴とする
請求項３に記載の露光マーキング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイや半導体チップなどに、識別コードや任意のパターンを露光マーキングする装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤ）や半導体チップの製造工程では、前記製造工程における製造条件や各種製造に関する情報の履歴がトレースできる様に、識別コードと呼ばれる固有のＩＤ（例えば、２次元コードなど）が付加されている。そして、前記識別コードは、ダイレクトマーキングや、フォトリソグラフィ方法によって付加（以下、マーキング）されている。
【０００３】
前記ＦＰＤや前記半導体チップは、一つの基板内に多数配置されて、一括して製造される場合が多い。そのため、前記ＦＰＤや前記半導体チップの識別コードは、一つの基板内に配置されたパネルやチップに対応させて、各々マーキングされている。
【０００４】
また、前記識別コードとは別に、アライメントマークや、製造元の名称やロゴマーク、マーキング対象物の品名や型式や製造ロットなどの付加情報を示す文字、数字、その他の図形や記号など、任意のパターンが、マーキングされる場合もある。
【０００５】
マーキング方式は、マーキング対象物の材質や大きさ、前記識別コードや前記任意パターンをマーキングするために与えられる時間（以下、タクト時間）などを考慮して、適宜決定される。露光マーキングに関する技術としては、特許文献１が例示される。
【０００６】
一方、樹脂基板にビアホールを形成する（いわゆるダイレクトマーキング）技術分野においては、音響光学素子の偏向効率の制御に関する技術が開示されている（例えば特許文献２）。この中では、音響光学素子に印加させる交流電圧の周波数や振幅を変化させることで、出射されるレーザ光線の進行方向を変化させたときでも、それぞれの角度のレーザ光線の出力を一定にすることが可能となっている。また、ダイレクトマーキングでは、ショット数を増やすことで、マーキングの径を一定に保ちつつ、マーキングの深さを深くする技術が開示されている（例えば特許文献３）。
【０００７】
図６は、従来の露光マーキング装置の一例を示す正面図であり、基板１０の所定の範囲に対して露光マーキングする様子を示している。
従来の露光マーキング装置１ｚは、感光剤が塗布された基板１０を載置するテーブル２３と、レーザ発振器３１ｚなどを含んで構成されている。
露光マーキング装置１ｚでは、レーザ光線３２ｚの照射方向を調節するために、音響光学偏光器を用い、第１次高調波成分を、露光エネルギーとして使用している。レーザ発振器３１ｚから照射されたレーザ光線３２ｚは、ミラー３３ｚで反射され、音響光学偏光器４８ｘ，４８ｙを通過して、基板１０に照射される。音響光学偏光器４８ｘ，４８ｙは、周波数変調器４９ｘ，４９ｙに接続されており、印加される交流電圧の周波数や振幅を変化させることで、それぞれを通過するレーザ光線の方向を１方向に変化させることができる。周波数変調器４９ｘ，４９ｙは、マーキングコントローラ４０ｚに接続されており、音響光学偏光器４８ｘ，４８ｙの偏向方向や偏向角度を制御することができる。このような構成をしているので、レーザ発振器３１ｚより照射されたレーザ光線３２ｚを、基板１０上の所定の範囲内の所定の位置に照射できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１３１３９２号
【特許文献２】特開２００８−１２９５３５号
【特許文献３】特開２０００−３４３２５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図７は、従来の装置で露光した識別コードの現像後イメージ図であり、上述の所定の範囲に対して露光された識別コード１０ｚを、現像処理した後の観察イメージを示している。レーザ３１ｚから照射されたレーザ光線３２は、音響光学偏光器４８ｘ，４８ｙは、コントローラ４０ｚから印加される交流電圧の周波数や振幅を変化させることで、通過するレーザ光線の方向を変えることができる。しかし、偏向の角度を大きくすると、音響光学偏光器の特性上、エネルギーが減少してしまう。そのため、露光エリアの中心部は露光エネルギーが最も高く、露光エリアの周辺部に近づくにつれて露光エネルギーが低くなる。
【００１０】
そのような条件の下で露光された識別コード１０ｚの各ドット部は、同じエネルギー強度のレーザ光線３２が照射されたにも関わらず、音響光学偏光器４８ｘ，４８ｙを通過して照射方向が変わることで、現像後に表れるドット部の直径が異なることになる。このとき、露光エリアの外周部のドット部１０ｚ１は最も径が小さく、外周部より内側のドット部１０ｚ２と更に内側のドット部１０ｚ３は徐々に径が大きくなり、露光エリアの中央部のドット部１０ｚ４は最も径が大きい。このように、１つの識別コード１０ｚを構成する、それぞれのドット部の大きさが異なると、コードの識別が難しい場合がある。
【００１１】
音響光学偏光器を用いた従来の露光マーキング装置１では、露光エリアの中央部以外を露光する際にレーザ光線３２ｚの直径を調節したり、大出力のレーザを用いて露光エリアの中央部を露光するときは出力を下げ、周辺部を露光するときは出力を上げて露光面での露光エネルギーを調整したりして、露光エリアの中央部と周辺部との現像後の直径の均一化を図っていた。
【００１２】
しかし、それぞれのドット部は非常に高速で連続的に露光マーキングされており、場所毎に照射パワーや照射されるレーザ光線の径を瞬時に可変調節することは難しい。また、それらが瞬時に可変調節できたとしても、可変調節機構内の光学部品の僅かな光軸のずれに起因して、基板１０上に露光されるドット部の露光位置の再現性を保つことが難しくなる。さらに、それらを補正するためには、非常に高価な機器を使用する必要がある。一方、高出力のレーザを用いると、それ自体のコストや、そのレーザパワーに耐えうる高価な光学素子を使用する必要もあった。
【００１３】
そこで本発明は、安価な低出力のレーザを利用して、高品質の識別コードや任意のパターンを形成するマーキング装置及び方法を提供すること目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
感光剤が塗布された基板上の所定の位置に識別コードを露光マーキングする装置であって、
前記識別コードに対応するドットパターンを生成するドットパターン生成部と、
前記ドットパターンのドット部を感光させるためのレーザ光線を照射させるレーザ照射部と、
前記基板の所定位置における前記ドットパターンのドット部に前記レーザ光線が照射されるように前記レーザ光線を偏向させる光線偏向部とを備え、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を複数回照射でき、
前記ドットパターンの各ドット毎に、
前記識別コードの各ドット部の径が現像後に同じになるように、前記レーザ光線を照射すべき回数を登録する照射規定回数登録部と、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を照射した回数を計数する実照射回数カウント部を備え、
前記照射規定回数だけ各ドット部に前記レーザ光線を照射することを特徴とする、識別コードの露光マーキング装置である。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、
感光剤が塗布された基板上の所定の位置に識別コードを露光マーキングする方法であって、
前記識別コードに対応するドットパターンを生成する識別コード生成ステップと、
前記ドットパターンのドット部を感光させるためにレーザ光線を照射させるレーザ光線照射ステップと、
前記基板の所定位置における前記ドットパターンのドット部に前記レーザ光線が照射されるように前記レーザ光線を偏向させる光線偏向ステップとを有し、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を複数回照射する繰り返し照射ステップをさらに有し、
前記ドットパターンの各ドット毎に、
前記識別コードの各ドット部の径が現像後に同じになるように、前記レーザ光線を照射すべき回数を登録する照射規定回数登録ステップと、
前記ドット部一箇所に対して前記レーザ光線を照射した回数を計数する実照射回数カウントステップを有し、
前記照射規定回数登録ステップで登録した回数に基づいて、前記繰り返し照射ステップを行うことを特徴とする、識別コードの露光マーキング方法である。
【００１６】
請求項１及び請求項３に記載の発明により、
ショット数を増やすことでドット部の直径を大きくすることができる。そのため、マーキングエリア内でマーキング光線のエネルギー分布が異なる場合でも、ショット数を適宜設定することで、マーキングエリア内の各ドット部の直径を均一化することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、
前記マーキング光線が、紫外線領域の光線であることを特徴とする
請求項１に記載の露光マーキング装置である。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、
前記マーキング光線が、紫外線領域のレーザ光線であることを特徴とする
請求項３に記載の露光マーキング方法である。
【００１９】
請求項２及び請求項４に記載の発明により、
光学部材やその表面のコーティングのダメージを受けやすい紫外線領域のレーザ発信器を用いても、エネルギー出力が低いものを使用することができ、ダメージを抑えることができ、長寿命化が図れる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により、安価な低出力のレーザを利用して、高品質の識別コードや任意のパターンを形成するマーキングができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。
【図３】本発明を適用させずに露光したドット部の位置と積算露光強度の相関図である。
【図４】本発明を適用させて露光したドット部の位置と積算露光強度の相関図である。
【図５】本発明を適用させて露光した識別コードの現像後イメージ図である。
【図６】従来の露光マーキング装置の一例を示す正面図である。
【図７】従来の装置で露光した識別コードの現像後イメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
各図において直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向
とする。特にＺ方向は矢印の方向を上とし、その逆方向を下と表現する。
【００２３】
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図であり、露光マーキング装置１の全体構成を示している。図２は、本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図であり、露光マーキング装置１に関するシステム構成が示されている。
露光マーキング装置１は、基板移動部２と、レーザ照射部３と、光線偏向部４と、制御部９とを含んで構成されている。ここでは、露光マーキングの対象として、ガラスに感光性樹脂（いわゆる、フォトレジスト）が塗布された基板１０を例示して説明する。
【００２４】
基板移動部２は、装置ベース１１上に取り付けられたＸ軸ステージ２１と、Ｘ軸ステージ２１上に取り付けられたＹ軸ステージ２２と、Ｙ軸ステージ２２上に取り付けられたテーブル２３とを含んで、構成されている。Ｘ軸ステージ２１は、その上に取り付けられたＹ軸ステージ２２をＸ方向に移動させることができ、Ｙ軸ステージ２２は、その上に取り付けられたテーブル２３をＹ方向に移動させることができる。
【００２５】
基板移動部２は、前記の様な構成をしているので、テーブル２３上に載置された基板１０を、ＸＹ方向に移動させたり、それぞれを任意の位置で静止させたりすることができる。テーブル２３は、表面に溝や孔が形成されており、前記溝や孔は、開閉制御用バルブを介して真空源に接続されている。テーブル２３に載置された基板１０は、負圧により吸着保持され、テーブル２３の移動中に位置ずれしないようになっている。
【００２６】
レーザ照射部３は、レーザ発振器３１と、アンプ部３０とを含んで構成されており、アンプ部３０に対して制御信号を付与すると、アンプ部３０に接続されたレーザ発振器３１から、レーザ光線３２が照射される。レーザ光線３２は、ミラー３３にて反射されて照射方向が変えられ、光線偏向部４に入射される。
【００２７】
光線偏向部４は、２つの音響光学偏光器４１ｘ、４１ｙと、周波数変調器４２ｘ，４２ｙとを含んで構成されている。音響光学偏光器４１ｘ，４１ｙは、それぞれ周波数変調器４２ｘ，４２ｙに接続されており、印加される交流電圧の周波数や振幅を変化させることで、それぞれを通過するレーザ光線の方向を１方向に変化させることができる。
周波数変調器４２ｘ，４２ｙは、マーキングコントローラ４０に接続されており、音響光学偏光器４１ｘ，４１ｙの偏向方向や偏向角度を制御することができる。
光線偏向部４は、このような構成をしているので、レーザ照射部３より照射されたレーザ光線を、基板１０上の所定の範囲内の所定の位置に照射できる。
【００２８】
図２に示すように、制御部９には、制御用コンピュータ９０と、情報入力手段９１と、情報表示手段９２と、発報手段９３と、情報記録手段９４と、機器制御ユニット９５とが接続されて含まれている。
制御用コンピュータ９０としては、マイコン、パソコン、ワークステーションなどの、数値演算ユニットが搭載されたものが例示される。
情報入力手段９１としては、キーボードやマウスやスイッチなどが例示される。
情報表示手段９２としては、画像表示ディスプレイやランプなどが例示される。
発報手段９３としては、ブザーやスピーカ、ランプなど、作業者に注意喚起をすることができるものが例示される。
情報記録手段９４としては、メモリーカードやデータディスクなどの、半導体記録媒体や磁気記録媒体や光磁気記録媒体などが例示される。
機器制御ユニット９５としては、プログラマブルコントローラやモーションコントローラと呼ばれる機器などが例示される。
レーザ発振器３０は、マーキングコントローラ４０と、制御用コンピュータ９０とに接続されている。
【００２９】
本発明に用いるレーザ発振器３１としては、Ｑスイッチ式のＹＡＧレーザやＹＶＯ４レーザを例示でき、レーザ光線３２としては、緑色（波長５３２ｎｍ付近）や紫外光（波長３５５ｎｍ付近）の波長のものが例示できる。Ｑスイッチ方式のレーザ発振器３１は、アンプ部３０にトリガー信号を与えると、予め設定されたパルス幅とピークパワーのエネルギーが、レーザ発振器３１から照射される構造をしている。
【００３０】
マーキングコントローラ４０は、アンプ部３０に対して、レーザ発振器３１からレーザ光線３２を照射させる為のトリガー信号を出力する。
制御用コンピュータ９０は、アンプ部３０に対して、レーザ発振器３１からレーザ光線３２を照射することを許可する信号（いわゆるＥＮＡＢＬＥ信号）を出力したり、レーザ発振器３１から照射されるレーザ光線３２の出力を設定する値（いわゆる電流値など）や、レーザ発振器３１内のＳＨＧ結晶及びＴＨＧ結晶などの温度設定値などの情報を送信する。
【００３１】
アンプ部３０は、前記トリガー信号に基づいて、前記所定のパルス幅とピークパワーを有するエネルギーを、レーザ発振器３１からレーザ光線３２として照射する。
アンプ部３０は、制御用コンピュータ９０に対して、アンプ部３０及びレーザ発振器３１に関するアラーム信号を出力したり、アラーム情報や、レーザ発振器３１内のＳＨＧ及びＴＨＧ温度情報、レーザ発振器３１に印可された電流値などを送信したりする。
上述の各信号や各情報の送信手段としては、電圧や電流によるアナログ信号やデジタル信号、データ通信などが上げられる。
【００３２】
制御用コンピュータ９０と機器制御ユニット９５は、マーキングコントローラ４０に接続されており、予め登録された露光用レシピファイルの内容に基づいて、基板１０上の所定の位置に識別コードの各ドット部を形成するためのレーザ光線が照射され、露光マーキングが行われる。
【００３３】
前記露光用レシピファイルの内容としては、識別コードのドットパターン、露光位置及び露光エネルギーなどが登録されている。
【００３４】
［複数回露光によるドット径の増加］
図３は、本発明を適用させずに露光したドット部の位置と積算露光強度の相関図であり、上述で図７を用いて説明した従来の識別コード１０ｚのドット部１０ｚ１〜１０ｚ４に対して、１回ずつレーザ光線がパルス状のエネルギーとして照射されたときの、エネルギー分布を示す線１０ｅ１〜１０ｅ４を例示している。各ドット部は、照射されたエネルギーの内で積算露光強度がしきい値ＳＨを超えた領域が、現像後に各ドット部１０ｚ１〜１０ｚ４として表れ、それぞれの直径はＤ１〜Ｄ４となる。
【００３５】
図４は、本発明を適用させて露光したドット部の位置と積算露光強度の相関図であり、図３を用いて説明したエネルギー分布を有するエネルギーを、露光エリア内の場所に応じて複数回パルス状のエネルギーとして照射したときの積算露光強度を例示している。
露光エリアの最外周（図中では最も左側）のドット部は、１回の露光エネルギーが少ないが、合計４回の露光エネルギーを付与することで積算露光強度が増し、エネルギー分布を示す線１０ｅ１’の様になる。
露光エリアの最外周より内側（図中では左から２つめ）のドット部は、１回の露光エネルギーが少ないが、合計３回の露光エネルギーを付与することで積算露光強度が増し、エネルギー分布を示す線１０ｅ２’の様になる。
露光エリアの中心より外側（図中では右から２つめ）のドット部は、１回の露光エネルギーが少ないが、合計２回の露光エネルギーを付与することで積算露光強度が増し、エネルギー分布を示す線１０ｅ３’の様になる。
露光エリアの中心（図中では最も右側）のドット部は、１回の露光エネルギーを付与することで所定の積算露光強度があり、エネルギー分布を示す線１０ｅ４のとおりである。
【００３６】
上述の様にして露光されたドット部は、現像すると、エネルギー分布を示す線１０ｅ１’〜１０ｅ３’及び１０ｅ４の積算露光強度がしきい値ＳＨを超えた領域がドット部として表れ、それぞれの直径は、Ｄ１’〜Ｄ３’及びＤ４となる。これら繰り返して露光したドット部の直径Ｄ１’〜Ｄ３’は、繰り返し無しで露光したドット部の直径Ｄ１〜Ｄ３よりも大きくなっている。
このとき、それぞれのドット部の直径Ｄ１’〜Ｄ３’とＤ４とが、概ね同じ直径となるように、それぞれのドット部を露光するための繰り返し露光回数を、前記露光用レシピファイルに設定しておく。
【００３７】
図５は、本発明を適用させて露光した識別コードの現像後イメージ図であり、露光エリアの最外周から中心部まで、どのドット部も同じ直径になっていることを示している。
前記露光用レシピファイルは、１つの露光エリア内に露光マーキングされるドット部に対して、どのドット部に何回ずつマーキング光線を照射するかを設定して登録するので、本発明における照射規定回数登録部に相当する。
制御コンピュータ９０は、前記照射規定回数に基づいて、ドット部一箇所に対して、何回露光したかを計測する。そのため、制御コンピュータ９０は、本発明における実照射回数カウント部としての機能を備えている。
【００３８】
上述の説明では、露光エリアの中心部のドットは、１回しか露光しない例を示したが、更に低いレーザ出力のものを用いて、複数回露光するものであっても良い。その場合、露光エリアの周辺部のドット部に対しては、さらに露光回数を増やす必要があるが、レーザの繰り返し照射ができる周波数が高く、所定の時間内に全ての露光対象部に露光でき、現像後のドット部が所望の径で形成されれば良い。
【００３９】
本発明を適用するにあたって、露光回数を変えてドット径を同じ直径にしようとしても、厳密に測定すると完全に一致していない場合がある。この場合、どの程度のドット径のばらつきの範囲を同じものとして扱うかどうかは、露光テスト及び識別テストにより決定する。その場合、露光エリア中央部の露光回数を多く設定できれば、隣接するドット部との露光回数が異なることにより起因する、外側のドット部の方が内側のドット部よりも径が大きくなる現象（いわゆる、逆転現象）を緩和することができる。
【００４０】
ここでいう、ドット部の径が同じとは、人が見て同じと判断できるかどうか、あるいは識別コードの読み取り装置にて許容し得るばらつきの範囲内であれば、厳密に測定した結果が異なっていても、ドット部の径が同じものとして取り扱う。
上述の露光エリア内のどの部分のドットを何回繰り返して露光するかという設定は、事前の露光テストにより決定し、前記露光用レシピファイルに設定する。
【００４１】
上述の説明の様に、本発明を適用した露光マーキング装置１によれば、
低出力のレーザ発振器を用いることができ、ミラー３３ｚやレンズの素材やコーティングの耐久力を過度に高める必要もなくなるため、コストダウンが図れる。また、レーザ光線のビーム径を可変調節する機構の設置も不要となり、コストダウンが図れると共に、可変調整機構に起因する光軸ずれも生じない。そのため、基板１０上に露光されるドット部の露光位置の再現性が保たれる。
【００４２】
本発明を適用した露光マーキング装置では、マーキング光線を照射する手段として繰り返し周波数の高いレーザ発振器を用いることにより、全体の露光時間の短縮も図れる。
【００４３】
本発明は、可視光領域の露光マーキングに適用できるが、紫外光領域のレーザ光線による露光マーキングに適用させることが好ましい。紫外光領域のレーザ光線を照射するレーザ発振器は、ＹＡＧレーザやＹＶＯ４レーザから照射されるエネルギー（波長１０６４ｎｍ付近）を基本波長とし、第２高調波成分を取り出すためのＳＨＧ結晶、第３高調波成分を取り出すためのＴＨＧ結晶が用いられている。さらに、深紫外光領域のレーザ光線を照射するレーザ発振器には、第４高調波成分を取り出すためのＦＨＧ結晶が用いられている。前記第３及び第４高調波成分（つまり、紫外線領域の光）は、高価であり、レーザ光線からのダメージを最小限に抑えるために、表面にコーティングが施されている。そのため、低出力のレーザを用いることにより、これらレーザ発振器内部の結晶（ＳＨＧ結晶・ＴＨＧ結晶・ＦＨＧ結晶など）や、ミラー３３に照射されるエネルギーを低く抑えることができる。そうすることで、それらの光学素子やコーティングに与えるダメージを減らすことができ、長時間安定して使用し続けることが可能となる。
上述では、基本波長を出力するレーザ発振器として、ＹＡＧレーザやＹＶＯ４レーザを例示したが、ＹＬＦ（基本波長１０５０ｎｍ前後）であっても良い。
【符号の説明】
【００４４】
１      露光マーキング装置
２      基板移動部
３      レーザ照射部
４      光線偏向部
９      制御部
１０    基板
１０ｄ  識別コード
１０ｄ１〜１０ｄ４  本発明による識別コードのドット部
１０ｅ１〜１０ｅ４    ドット部に付与されたエネルギー分布を示す線（１回露光）
１０ｅ１’〜１０ｅ３’  ドット部に付与されたエネルギー分布を示す線（複数回露光）
１０ｚ  従来の識別コード
１０ｚ１〜１０ｚ４  従来の識別コードのドット部
２１    Ｘ軸ステージ
２２    Ｙ軸ステージ
２３    テーブル
３０    アンプ部
３１    レーザ発振器
３２    レーザ光線
３３    ミラー
４０    マーキングコントローラ
４１ｘ  音響光学偏向器
４１ｙ  音響光学偏向器
４２ｘ  周波数変調器
４２ｙ  周波数変調器
９０    制御用コンピュータ
９１    情報入力手段
９２    情報出力手段
９３    発報手段
９４    情報記録手段
９５    制御ユニット
９６    画像処理ユニット
【図１】
2012206126.tif 000003
【図２】
2012206126.tif 000004
【図３】
2012206126.tif 000005
【図４】
2012206126.tif 000006
【図６】
2012206126.tif 000007
【図５】
2012206126.tif 000008
【図７】
2012206126.tif 000009