(57)【要約】【課題】再生素子とエネルギーアシスト機構を搭載した磁気記録ヘッドを用いた磁気記録装置において、高密度記録の再生を行う。【解決手段】再生素子３４の高分解能方向８１を、シングル記録マークの遷移エッジ方向とほぼ垂直になるように、スライダ走行方向８０から傾けて設定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
再生素子と記録磁極とエネルギーアシスト機構を搭載した磁気記録ヘッドを備えるスライダにおいて、
前記再生素子の空気浮上面から見た感度分布の高分解能方向を、前記スライダの磁気ディスク媒体に対する想定相対走行方向に対し斜めに設定したことを特徴とするスライダ。
【請求項２】
請求項１記載のスライダにおいて、前記スライダが磁気ディスク媒体の最内周に位置するときと最外周に位置するときの間のいずれの想定相対走行方向に対しても斜めになるように、前記再生素子の高分解方向を設定したことを特徴とするスライダ。
【請求項３】
請求項１記載のスライダにおいて、空気浮上面側から見た形状が平行四辺形状であり、鋭角部の角度が６０度よりも小さいことを特徴とするスライダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項記載のスライダにおいて、前記再生素子と前記エネルギーアシスト機構によるスポット加熱位置が前記想定相対走行方向に並んでいることを特徴とするスライダ。
【請求項５】
シングル記録とエネルギーアシスト記録の組み合わせによる高密度磁気記録方式を用いた磁気記録再生装置において、
再生素子の高分解能方向を記録トラックに対して斜めに配置し、その方向は、シングル記録によりトラックを重ね書きする方向とスライダの相対移動方向の間の方向であることを特徴とする磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光やマイクロ波などの電磁波エネルギー導入機構を有するエネルギーアシスト磁気ヘッドスライダ及びその磁気ヘッドスライダを搭載した磁気記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、１Ｔｂ／ｉｎ2以上の記録密度を実現する記録方式として、熱アシスト磁気記録方式が提案されている（非特許文献１）。従来の磁気記録装置では、記録密度が１Ｔｂ／ｉｎ2以上になると、熱揺らぎによる記録情報の消失が問題となる。これを防ぐためには、磁気記録媒体の保磁力を上げる必要があるが、記録ヘッドから発生させることができる磁界の大きさには限りがあるため、保磁力を上げすぎると媒体に記録ビットを形成することが不可能となる。これを解決するために、エネルギーアシスト記録方式では、記録の瞬間、媒体上に光などのエネルギーを照射して、エネルギー照射部の実効的な保磁力を低下させる。これにより、高保磁力媒体への記録が可能となり、１Ｔｂ／ｉｎ2以上の記録密度の実現が可能となる。
【０００３】
上記エネルギーアシスト磁気記録の中でも実用化が最有力視されている熱アシスト磁気記録方式では、記録磁界を印加する磁極近傍の記録媒体を光で加熱する必要がある。そのためには、例えば導波路を磁極脇に形成し、光源である半導体レーザの光を、磁極の先端近傍にまで導く。このとき、半導体レーザは浮上スライダ上に搭載するか、サスペンションの根元において、そこから浮上スライダまで光ファイバなどの導波路を用いて光を導く（非特許文献２）。また、半導体レーザをサスペンション上に置き、そこからスライダまで、光を自由伝播光で伝播させ、その光をグレーティングカップラで導波路に結合させてもよい（非特許文献３）。このようにして磁極の先端付近まで導かれた光により、磁極先端部付近に配置された近接場光発生素子を照射し、プラズモン共鳴の効果を利用して近接場光スポットを発生させて記録媒体の局所部分を加熱する。そして、記録媒体の加熱した部分の保磁力が下がることを利用して、局所的に加熱部のみに磁気記録を行う。したがって、この熱アシスト記録方式では記録密度（記録トラック幅）は近接場光で形成する熱スポットの大きさ（幅）で決定される。
【０００４】
磁気記録装置の情報の記録容量を増大させる別の技術として、例えば、記録媒体の円周内側から外側へと順次、隣接するデータトラックで一部を上書きしながら、板葺き屋根（shingle）のようにデータトラックを記録していく方法がある。これは、シングル（shingle）記録方式あるいは瓦書き方式と呼ばれている。このシングル記録方式の特徴は、実際の磁気ヘッドが書き込む記録幅よりも狭いデータトラックを実現できる点である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２０４５８６号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】H. Saga, H. Nemoto, H. Sukeda, and M. Takahashi, Jpn. J. Appl. Phys. 38, Part 1, pp.1839 (1999)
【非特許文献２】Kenji Kato et al., Jpn. J. Appl. Phys., Vol.42, pp.51025106 (2003)
【非特許文献３】Edward C. Gage et. Al., Technical digest of Magneto-optical Recording International Symposium 2006, p2 (2006)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のエネルギーアシスト記録においては、エネルギースポットの大きさや形状は近接場光発生素子などのエネルギー伝達機構と記録媒体間の距離に比例して増大し、また記録媒体内でのエネルギーの拡散によるエネルギースポットのにじみが起こるため、エネルギースポットを際限なく小さくすることはできない。また、エネルギースポットの形状は略円形になるため、線密度を向上させた場合に十分な再生分解能が得られないという問題もある。
【０００８】
シングル記録は、トラック密度方向の記録密度増大効果しか得られないため、高密度化のためには再生素子のトラック幅を狭くする必要があり、それに伴い信号強度が減少するため、やはり高密度化には限界がある。そこで、シングル記録とエネルギーアシスト記録の両者を組み合わせてさらなる高密度記録を実現することが考えられるが、両者の組み合わせによる記録密度の増大は、以下の理由により容易ではない。
【０００９】
上述のように高密度領域ではエネルギースポットににじみが生じるため、必然的にエネルギースポットの形状は略円形となる。このため、略円形の記録スポットにより記録した記録パターンはトラックの端付近では、円形スポットの形状に沿って大きく湾曲している。このため、トラックの端部分のみを書き残すシングル記録と組み合わせた場合に、実効的な再生分解能が低下するため十分な高密度化ができない。
【００１０】
本発明の第１の目的は、エネルギーアシスト記録とシングル記録を組み合わせて高密度記録を行うための磁気ヘッドスライダを提供することにある。
【００１１】
本発明の第２の目的は、エネルギーアシスト記録とシングル記録の組み合わせにより高密度記録を行うことの可能な磁気記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の目的を達成するために以下の手段を用いた。
（１）再生素子とエネルギーアシスト機構を搭載した磁気記録ヘッドを少なくとも有するヘッドスライダにおいて、再生素子の空気浮上面から見た感度分布は非等方的であり、該感度分布の高分解能方向を、ヘッドスライダの磁気ディスク媒体に対する想定相対走行方向に対し斜めに設定した。
【００１３】
前述のように、シングル記録とエネルギーアシスト記録を組み合わせた場合には、記録マークの磁気遷移線の方向がトラック垂直方向から大きく傾くが、本手段の適用により、再生の分解能を常に確保することが可能になる。したがって、シングル記録とエネルギーアシスト記録の組み合わせによって高密度記録を行うことが可能になる。
【００１４】
（２）さらに、ヘッドスライダがディスクの最内周に位置するときの想定相対走行方向と、最外周に位置するときの想定相対走行方向の間のいずれの想定相対走行方向に対しても斜めになるように、再生素子の高分解方向を設定した。
【００１５】
これにより、シングル記録によりトラックを元のトラックの半分以下まで狭窄した場合のように、記録マークの磁気遷移線の方向がトラック垂直方向から大きく傾いたとしても、ディスクの内周から外周までのいずれのヘッド位置（スキュー角）においても十分に高い再生分解を確保することが可能となる。すなわち、さらなる高密度化が可能となる。
【００１６】
（３）磁気記録用浮上ヘッドスライダの磁気浮上面側から見た形状が平行四辺形状となるようにし、鋭角部の角度を６０度よりも小さくした。
これにより、磁気ヘッドや再生素子が積層して形成されたヘッドスライダ流出端あるいは流入端をヘッドスライダの走行方向に対して大きく斜めにした場合においても、ヘッドスライダ側面から流入する空気の量が支配的になることがないため、内外周にわたってヘッドスライダの浮上性能が安定する。したがって、再生素子の高分解能方向を記録マークの磁気遷移の方向と合わせることが容易になる。
本発明の第２の目的を達成するために以下の手段を用いた。
【００１７】
（４）シングル記録とエネルギーアシスト記録の組み合わせによる高密度磁気記録方式を用いた磁気記録再生装置において、再生素子の高分解能方向を記録トラックに対して斜めに配置し、その方向は、シングル記録によりトラックを重ね書きする方向とヘッドスライダの相対移動方向の間の角度とした。
【００１８】
前述のように、シングル記録とエネルギーアシスト記録を組み合わせた場合には、記録マークの磁気遷移線の方向がトラック垂直方向から大きく傾くが、その遷移線の法線の方向はヘッドの走行方向とシングル記録による重ね書きの方向との間を向く。したがって、本手段の適用により、再生の分解能を常に確保することが可能になり、シングル記録とエネルギーアシスト記録の組み合わせによって高密度記録を行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、シングル記録とエネルギーアシスト記録との組み合わせにより記録した記録マークの再生分解能が向上し、高密度記録が実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の概念を示す図。
【図２】本発明のエネルギーアシストヘッドの概念図。
【図３】本発明の近接場光発生素子の形状の例を示す図。
【図４】本発明のエネルギーアシスト磁気記録装置の全体構成を示す図。
【図５】従来のエネルギーアシスト記録での記録パターンと再生ヘッドの関係を示す図。
【図６】従来のエネルギーアシスト記録ヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図。
【図７】本発明の実施例１におけるヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図。
【図８】従来例でのスライダの走行方向範囲と再生ヘッドの方向との関係を示す図。
【図９】本発明でのスライダの走行方向範囲と再生ヘッドの方向との関係を示す図。
【図１０】本発明による分解能向上効果を示す図。
【図１１】本発明と従来のエネルギーアシスト方式でのヘッドのスキュー角の設定条件とその効果を示す図。
【図１２】本発明の効果として、シングル記録でのトラック密度増倍率と線記録密度限界の関係を示す図。
【図１３】本発明による記録密度向上の効果を示す図。
【図１４】本発明の実施例２におけるヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
[実施例１]
図２に、実施例１による情報記録再生ヘッドの概略構造を示す。ヘッドスライダ３０の空気浮上面（ＡＢＳ）３０３近傍に近接場光発生素子３２を配置し、近接場光発生素子３２の近傍に手前側には主磁極（記録磁界印加素子）３６が設けられている。また、近接場光発生素子３２の奥側には、ＴＭＲ型センサ素子からなる再生素子３４が積層されて構成されている。ヘッドスライダ３０のＡＢＳ３０３とは反対側の面には、光発生・導入素子（光源）として波長７８０ｎｍの光を発する半導体レーザ（レーザダイオードユニット）３１が搭載されており、レーザダイオードユニット３１から出た光は導波路３３を通して近接場光発生素子３２に照射される。導波路３３は、波長７８０ｎｍの光に対してシングルモードになるように、長辺が５００ｎｍ、短辺が３００ｎｍの屈折率２．１のＴａ2Ｏ5のコアの周りを屈折率１．６のＡｌ2Ｏ3でできたクラッドが覆っている構造である。この導波路３３では、導波光のモード径がほぼ導波路コアのサイズと同じである。すなわち、導波される光のエネルギーは実質的にコア内に閉じ込められている。
【００２２】
本実施例の近接場光発生素子３２は、図３に示す二等辺三角柱の形状をした金（Ａｕ）でできており、底辺Ｗは１００ｎｍ、斜辺Ｌは１３０ｎｍ、高さＨは２００ｎｍである。主磁極に対向する二等辺三角柱の頂点の部分は曲率半径約１０ｎｍの円弧状に加工されており、発生する近接場光のスポット直径は約２５ｎｍ程度となる。図２に戻り、ここでは詳細は図示していないが、レーザダイオードユニット３１からの光が導波路３３に入射される際の結合効率を向上させるために、スポット径変換機構などをレーザダイオードユニット直下に形成しておくのがよい。導波路３３に結合された光の照射によって、近接場光発生素子３２はプラズモン共鳴などの原理により、ＡＢＳ３０３及び記録媒体表面に近接場光を発生させ、媒体表面の温度が上昇する。本実施例の近接場光発生素子３２に照射される光のパワーが約１０ｍＷのとき、媒体表面磁性膜の局所温度は約２００度に上昇する。
【００２３】
次に、図４を用いて実施例１による情報記録再生ヘッドを搭載した熱アシスト磁気記録装置の構成例について説明する。サスペンション１２により支持されたヘッドスライダ３０は、磁気記録媒体１１上を約３ｎｍの浮上量で空気浮上しており、トラック方向のアクセス及びトラッキングサーボのためにボイスコイルモータ（ＶＣＭ）アクチュエータ７９で駆動される。ここでは詳説しないが、より高精度なトラック位置決め精度実現のために、サスペンションなどにピエゾ素子などで構成された追加アクチュエータを設けるのがよい。また、浮上量の精密制御のためにヘッドスライダ上には熱駆動型のアクチュエータを搭載している。
【００２４】
再生時には、ヘッドスライダ上に搭載されたＴＭＲ型センサ素子（図示せず）の抵抗値を再生制御回路５１にて検出し、コントローラ（ＳＯＣ）２０に内蔵された信号検出回路２２によって等化などの前処理をした上で、信号処理回路２５に送る。信号処理回路２５は位置・アドレス検出回路２３での位置データやタイミング情報に基づき同期をとり、同期を取った信号を復調回路２４に送出する。復調回路２４では復調処理を行ない、さらに復号回路２６でエラー訂正などの最終処理をなされたデータはマイクロプロセッサ２７に送られ、上位装置９９に転送される。サーボ回路５４は、位置・アドレス検出回路２３での検出データを元にＶＣＭアクチュエータ７９を制御する。
【００２５】
記録時には、再生時と同様に、位置・アドレス検出回路２３で検出された位置・アドレス信号を基に、ＶＣＭアクチュエータ７９をサーボ制御して上位装置９９から指定されたセクタに情報記録再生ヘッドを位置付ける。その後、記録制御回路５２の指定するタイミングでヘッドスライダ３０上に搭載されたレーザユニット３１をレーザドライバ５３によって駆動するとともに、符号化処理を施されたユーザデータによりヘッドスライダ３０上に搭載された記録素子（磁気ヘッド）を駆動して熱アシスト記録を行う。その際、レーザユニットからの照射するレーザ光は適切な強度に制御する必要があるが、この制御は光強度検出回路５０により実際に照射される光の強度を検出してフィードバック制御する。
【００２６】
次に、図１を用いてシングル記録の手順について説明する。図４に示した装置を用いて記録を行う場合は、モータ７６で磁気記録媒体１１を回転させることにより、ヘッドスライダ３０は媒体面上を相対的に移動するが、媒体面から見たヘッド相対移動の方向８０に従ってアシストポット３５も図１の上方向から下方向に移動するため、その移動の軌跡として順次記録マークが形成される。シングル記録では、図１の左上から左下まで記録した後、次の周回ではエネルギースポットの幅よりも小さいトラックピッチＴＰ分だけ、シングル記録でのヘッドの移動方向６２に、ヘッドを移動させることによって、先に記録したパターンに重ね書きを行い、ＴＰの幅の記録パターンを書き残すことが出来る。このＴＰ分の移動と重ね書きを繰り返すことにより、複数の記録トラックからなる記録ブロック６０を書き残すことできる。記録ブロック６０内でのトラックの幅はＴＰであり、この幅はエネルギースポットによって記録される記録幅、すなわち、重ね書きをされる前の記録パターン６１の幅よりも小さく設定できる。このため、シングル記録では、記録トラック密度を従来の記録（図５）に対して増大することが可能となる。
【００２７】
このようにして記録されたシングル記録パターンでは、エネルギースポットが略円形であることに対応して、記録パターンの遷移エッジの角度がトラック垂直方向から傾いている。そのため、本実施例では再生ヘッド３４の傾きスキューを、記録パターンの傾きにあわせて予め設定することとした。ＴＭＲなどの再生ヘッドは、成膜のプロセスを反映して一般に扁平な形状となっているため、高分解能方向が存在する。この高分解能方向８１を記録パターンのエッジと垂直になるようにヘッドのスキューを設定することで、高分解能な再生が実現できる。
【００２８】
シングル記録でユーザデータを記録する場合は複数のトラックからなる記録ブロックにわたって重ね書きを行う必要があるが、ユーザデータが記録ブロックの大きさに満たないと記録効率が低下する。このため、上位装置９９から送られたユーザデータは、いったんメモリ２９に蓄えられたのち、まとめて記録するようにして効率の低下を抑える。
【００２９】
図６は、従来のエネルギーアシスト記録ヘッドヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図であり、図７は、本実施例におけるヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図である。本実施例での具体的なヘッドの傾きの設定方法を、図６の従来例と比較しながら説明する。図６（ａ）に示したように、一般にヘッドスライダ３０はスライダ基板部３０１の上に、スライダ積層部３０２を積層した構造となっており、部分拡大である図６（ｂ）に示したように、記録素子（主磁極）３６や再生素子３４は、この積層部中にスパッタなどの成膜プロセスとエッチングなどの加工プロセスの組み合わせにより形成される。このため、薄膜素子中で抵抗変化を検出するＴＭＲ膜などの再生素子３４は、積層された膜の垂直方向に高い再生分解能を持つ。すなわち再生素子３４の高分解能方向８１は、ヘッドウェハ積層方向８２と同方向となる。従来の通常のヘッドスライダは、この積層膜に対して垂直方向に切断加工されて形成されるため、図６（ａ）に示したように、ヘッドスライダの走行方向８０はヘッドウェハ積層方向と平行な方向となる。
【００３０】
一方、本実施例では、図７（ａ）に示したように、ヘッドスライダ３０を傾けて走行させる。斜め方向に安定走行させるためにはＡＢＳ面に形成する浮上制御のための凹凸パターン形状の最適設計が必要であるが、これは単なる設計事項であるためここでは説明は省略する。これにより、部分拡大図である図７（ｂ）に示した再生素子３４の高分解能方向８１をヘッドスライダ走行方向８０すなわちトラック方向から傾けることが可能となる。この例では部分拡大図に示したように、近接場光発生素子３２による近接場光発生部３２１と再生素子３４がヘッドスライダ走行方向８０に揃うようにした、これにより記録素子と再生素子の間のクロストラック方向の距離を小さく出来るため、データ・サーボフォーマットの効率やサーボの位置決めの精度が向上し、より大容量の実現が可能となる。
【００３１】
次に、ヘッドスライダが磁気ディスクの内周から外周まで移動することを考慮したスキューの設定について説明する。図８は、従来例でのスキューの設定を示したものである。ヘッドスライダが内周から外周に移動すると、ＶＣＭによるヘッドの回転アクセスのためスキューすなわちヘッドスライダの走行方向に対するヘッドスライダの角度が変化する。このため、従来のヘッドでは、内周から外周にわたってヘッドスライダの走行方向と再生ヘッドの高分解能方向の差の最大値が最も小さくなるように設定するのが普通である。したがって、中周位置でのヘッドスライダの走行方向８０２と再生ヘッドの高分解能方向８１が平行になるように設定する。
【００３２】
一方、本実施例においては、図９（ａ）に示したように、外周位置でのヘッドスライダの走行方向８０３と再生ヘッドの高分解能方向８１が平行になるように、あるいは図９（ｂ）に示したように、内周位置でのヘッドスライダの走行方向８０１と再生ヘッドの高分解能方向８０１が平行になるように設定する。図９（ａ）（ｂ）いずれの条件に設定するかはシングル記録の方向、すなわち外周から内周の方向に記録するか、内周から外周の方向に記録するかに依存する。
【００３３】
以下、本実施例における本発明の効果を詳説する。図１０は、シングル記録に熱アシスト記録を組み合わせて種々の記録ビット密度で記録を行った場合の再生分解能特性を、再生ヘッド方向を傾けて設定した本実施例の場合と、再生ヘッド方向を傾けない比較例の場合とで比較したものである。アシストスポット３５の直径は約８０ｎｍで、シングル記録によるトラックピッチは４０ｎｍ、再生ヘッドは磁気再生幅３０ｎｍ、ギャップ幅２０ｎｍである。横軸のビット密度の単位（ＭＦＣＩ）は２５．４ｍｍあたりに何百万回磁化反転があるかを示したもので、たとえば、１ＭＦＣＩでは、マーク長は２５．４ｎｍとなる。本実施例では、１．２５ＭＦＣＩすなわちマーク長がギャップ幅とほぼ同じ２０ｎｍになる記録密度で信号強度が半減しているが、比較例では再生ヘッドと記録パターンとの相対的な傾きにより実効的な分解能が低下しており、０．９ＭＦＣＩすなわち２８ｎｍのマーク長で再生信号出力が半減している。すなわち、本発明は比較例に対して、１．２５／０．９≒１．４倍の分解能向上効果があることが分かる。
【００３４】
図１１は、相対分解能とスキュー角度の関係を示したものである。シングル記録を行わない従来例においては、スキューを０度付近に設定することにより良好な分解能が得られる。この場合、内外周のスキュー差を考慮したスキュー角度範囲は、−１５゜〜＋１５゜程度に設定すればよかったが、本発明のシングル記録を用いる場合にはスキュー角度範囲は０〜３０度、あるいは、１５〜４５度に設定するのがよいことが分かる。この図で「シングル１／２」は、シングル記録により実効的なトラック幅を１／２にした場合、すなわちトラック密度を２倍にした場合に対応する。また、「シングル１／３」は、シングル記録により実効的なトラック幅を１／３にした場合、すなわちトラック密度を３倍にした場合に対応する。シングル記録によるトラック密度増倍率を大きくするにしたがって、傾き角を大きくすればよいことが分かる。
【００３５】
図１２は、シングル記録を用いた場合のトラック密度増倍率と最大記録線密度の関係を示した図である。ここではシングル記録によるトラック幅の縮小とあわせて再生素子のトラック幅も狭くしている。この図から、シングル記録ではトラック密度を増倍するにしたがって、最大記録線密度が低下することが分かる、特に比較例（再生ヘッドを傾けない場合）は、記録密度低下率が大きい。これは、上述の分解能低下とトラック幅削減による信号量低下の相乗効果によるものである。一方、本発明では、トラック増倍率が高い場合においても記録密度の低下はわずかに抑えられている。
【００３６】
図１３は、トラック密度増倍効果と線密度低減効果の両者を勘案したシングル記録による記録密度増倍率を、再生ヘッドを傾けない比較例と本発明とで比較したものである。比較例では、シングル記録による記録密度の増大率は最大でも１．５倍程度に抑えられているが、本発明の方法では、シングル記録によりトラック密度を３倍以上向上させた場合、最大２．５倍程度まで記録密度向上が期待されることを示している。ただし、この結果は、サーボ残渣やイレーズ帯などが無視できる理想的な場合について見積もったものであり、実際に２．５倍の密度向上が保証されるわけではないが、本発明の潜在性能を示すものである。
【００３７】
[実施例２]
図１４は、本実施例におけるヘッドスライダ上での各素子の配置を示す図である。実施例１では、図７に示したように、ヘッドスライダ全体を傾けることにより再生素子の高分解能方向を記録パターンにあわせていたが、本実施例では、図１４（ａ）に示したように、ヘッドスライダ３０の側面をヘッドウェハの積層方向８２から傾けて切断形成し、ヘッドスライダ側面をヘッドスライダ走行方向８０にほぼ平行にする。ヘッドスライダ鋭角部の角度αは６０゜以下、典型的には５０゜〜５８゜にする。これにより、磁気ヘッドや再生素子が積層して形成されたヘッドスライダ流出端あるいは流入端をヘッドスライダの走行方向に対して大きく斜めにした場合においても、ヘッドスライダ側面から流入する空気の量が支配的になることがないため、内外周にわたってヘッドスライダの浮上性能が安定する。したがって、再生素子３４の高分解能方向８１を記録マークの磁気遷移の方向と合わせることが容易になる。この例では、図１４（ｂ）の部分拡大図に示したように、近接場光発生素子３２による近接場光発生部３２１と再生素子３４がヘッドスライダ走行方向に揃うようにした、これにより記録素子３６と再生素子３４の間のクロストラック方向の距離を小さく出来るため、データ・サーボフォーマットの効率やサーボの位置決めの精度が向上しより大容量の実現が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、高密度磁気記録装置及びそれに搭載する磁気ヘッドスライダに適用することが可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１１…記録媒体、１２…サスペンション、２０…コントローラ（ＳＯＣ）、２２…信号検出回路、２３…位置・アドレス検出回路、２４…復調回路、２５…信号処理回路、２６…復号回路、２７…マイクロプロセッサ、２９…メモリ、３０…ヘッドスライダ、３０１…スライダ基板部、３０２…スライダ積層部、３０３…空気浮上面（ＡＢＳ）、３１…レーザダイオードユニット、３２…近接場光発生素子、３２１…近接場光発生部、３３…導波路、３４…再生素子、３５…アシストスポット、３６…主磁極、５０…光強度検出回路、５１…再生制御回路、５２…記録制御回路、５３…レーザドライバ、５４…サーボ回路、６０…シングル記録されたトラック、６１…シングル記録されていないトラック、６２…シングル記録でのヘッドの移動方向、７６…モータ、７９…ＶＣＭアクチュエータ、８０…スライダ走行方向、８０１…内周位置でのスライダ走行方向、８０２…中周位置でのスライダ走行方向、８０３…外周位置でのスライダ走行方向、８１…再生センサの高分解能方向、８２…ヘッドウェハ積層方向、９９…上位装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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