(57)【要約】【課題】半導体試験装置に備えられるモジュールの制御手順の設定をできる限り少なくすることを目的とする。【解決手段】本発明は、ＤＵＴ２の試験を行うために複数のピンモジュール３や電源モジュール５のモジュールを設けた半導体試験装置１であって、各モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成するシーケンス情報生成部１４と、シーケンス情報生成部１４が生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うモジュール制御部１５と、を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置であって、
前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成するシーケンス情報生成部と、
このシーケンス情報生成部が生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うモジュール制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記モジュールのうち前記被試験デバイスに電源を供給する１または複数の電源モジュールの起動を行う手順を前記設定情報に設定し、
前記モジュールのうち前記電源モジュールよりも多い数の前記被試験デバイスの試験を行うピンモジュールの起動を行う手順の一部または全部を前記設定情報に設定していないこと
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記モジュールのうち最も低速に起動するモジュールから順番に起動する手順を前記設定情報に設定し、
前記モジュールのうち最も高速に起動するモジュールを起動する手順を前記設定情報に設定していないこと
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項４】
被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置を制御する半導体試験プログラムであって、
コンピュータを、
前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成するシーケンス情報生成手段、
このシーケンス情報生成部が生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うモジュール制御手段、
として機能させることを特徴とする半導体試験プログラム。
【請求項５】
被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置を用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、
前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成し、
この生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うこと
を特徴とする半導体試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスの試験を行うためのモジュールの制御を行う半導体試験装置、半導体試験プログラムおよび半導体試験方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）の試験を行うために半導体試験装置が用いられる。半導体試験装置にはＤＵＴに接続して試験を行うための多数のピンモジュール（ピンエレクトロニクスカード）やＤＵＴに電源を供給する電源モジュールが備えられている。
【０００３】
ピンモジュールや電源モジュール（以下、総称してモジュール）はテスタコントローラにより制御がされている。テスタコントローラは半導体試験装置の全体の制御を行っており、各モジュールの制御も行っている。テスタコントローラは制御内容を設定しているテストプログラムに基づいて動作を行っており、各モジュールの制御はテストプログラムの設定内容に基づいて行われる。
【０００４】
半導体試験装置には多数のモジュールが備えられている。各モジュールは同一のタイミングで制御がされるのではなく、時間差を持たせて異なるタイミングで制御がされる。各モジュールの制御としては起動（パワーオン）の制御があり、各モジュールを同じタイミングで起動させる制御を行うのではなく、異なるタイミングで起動させる制御を行う。これにより、ＤＵＴに対して所望の試験を行うようにしている。
【０００５】
この種の技術が、特許文献１に開示されている。この技術では、電源の制御手順を予めテストプログラムに設定し、このテストプログラムに基づいてＤＵＴの制御手順を示すテーブル情報を作成して登録を行う。そして、登録を行ったテーブル情報に従ってＤＵＴに対する制御を行うことで、所定の手順で電源制御を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−５４４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
半導体試験装置に備えられるモジュール、特にピンモジュールは１０００乃至２０００程度といったように非常に多数が備えられる。テストプログラムに設定するピンモジュールの手順は全てのモジュールについて設定する必要がある。これは、テストプログラムの中にユーザが記述を行うことにより設定される。
【０００８】
テストプログラムはモジュールの手順だけではなく、実際の試験を行うための多様な制御内容を設定しなければならない。このため、モジュールの制御手順が膨大な量になると、テストプログラムの作成が極めて煩雑になり、作成ミスを生じやすくなる。また、ピンモジュールの数が多数になるため、手順の設定漏れを生じやすくなる。
【０００９】
そこで、本発明は、半導体試験装置に備えられるモジュールの制御手順の設定をできる限り少なくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の課題を解決するため、本発明の第１の半導体試験装置は、被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置であって、前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成するシーケンス情報生成部と、このシーケンス情報生成部が生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うモジュール制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この半導体試験装置によれば、設定情報に設定するモジュールの制御手順を省略することができる。これにより、設定情報に設定する情報量を少なくすることができ、設定情報の作成の手間を簡略化し、設定漏れを少なくすることができるようになる。
【００１２】
本発明の第２の半導体試験装置は、第１の半導体試験装置であって、前記モジュールのうち前記被試験デバイスに電源を供給する１または複数の電源モジュールの起動を行う手順を前記設定情報に設定し、前記モジュールのうち前記電源モジュールよりも多い数の前記被試験デバイスの試験を行うピンモジュールの起動を行う手順の一部または全部を前記設定情報に設定していないことを特徴とする。
【００１３】
この半導体試験装置によれば、ピンモジュールの起動手順の一部または全部を設定情報に設定していない。ピンモジュールは電源モジュールよりも多数になるため、設定情報の設定内容を大幅に少なくすることができるようになる。
【００１４】
本発明の第３の半導体試験装置は、第１または第２の半導体試験装置であって、前記モジュールのうち最も低速に起動するモジュールから順番に起動する手順を前記設定情報に設定し、前記モジュールのうち最も高速に起動するモジュールを起動する手順を前記設定情報に設定していないことを特徴とする。
【００１５】
この半導体試験装置によれば、最も高速なモジュールの制御の手順を設定していない。モジュールには低速に動作するモジュールが混在しており、起動制御のタイミングをずらす必要があるが、低速なモジュールについてのみ手順を設定していることから、設定内容を大幅に少なくすることができるようになる。
【００１６】
本発明の第４の半導体試験プログラムは、被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置を制御する半導体試験プログラムであって、コンピュータを、前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成するシーケンス情報生成手段、このシーケンス情報生成部が生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うモジュール制御手段、として機能させることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第５の半導体試験方法は、被試験デバイスの試験を行うために複数のモジュールを設けた半導体試験装置を用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、前記モジュールの制御を行う手順のうち最後のタイミングで制御するモジュール以外のモジュールの手順を設定した設定情報に対して、前記設定情報に設定していないモジュールを最後のタイミングで制御する手順として追加したシーケンス情報を生成し、この生成した前記シーケンス情報の手順に基づいて、前記モジュールの制御を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、最後のタイミングで制御するモジュールを設定情報から省略していることから、設定情報の内容を少なくすることができるようになる。これにより、設定情報の作成の手間を簡単にし、設定漏れを少なくすることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】半導体試験装置の構成を示すブロック図である。
【図２】設定情報を説明するための図である。
【図３】シーケンス情報を説明するための図である。
【図４】処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】シーケンステーブルを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について説明する。図１は半導体試験装置１の構成を示している。半導体試験装置１はＤＵＴ（被試験デバイス：Device Under Test）２を接続して、ＤＵＴ２の試験を行っている。半導体試験装置１はピンモジュール３とテスタコントローラ４と電源モジュール５とピン電源６とを備えて構成している。なお、ＤＵＴ２の個数は１個であってもよいが、基本的には複数のＤＵＴ２が接続されている。
【００２１】
ピンモジュール３はＤＵＴ２に対して試験を行う装置（ピン）であり、ピンエレクトロニクスカードが適用される。ピンモジュール３にはＤＵＴ２に試験信号を印加するドライバ（図示せず）やＤＵＴ２からの応答信号を比較して良否判定を行うコンパレータ（図示せず）が備えられている。通常、ピンモジュール３は多数（１０００乃至２０００程度）が備えられており、多数のピンモジュール３を用いてＤＵＴ２の試験を行う。ここでは、ピンモジュール３の個数は１５００であるとする。
【００２２】
テスタコントローラ４は半導体試験装置１の全体的な制御を行う装置である。このテスタコントローラ４としてはコンピュータを適用することができ、予め設定したテストプログラムの内容に基づいてテスタコントローラ４が動作を行う。これにより、ピンモジュール３等の動作制御がされる。実際のハードウェアとしては、テスタコントローラ４はＣＰＵを適用できる。このＣＰＵで動作するテストプログラムをメモリに展開して実行することにより、テスタコントローラ４の機能が実現される。
【００２３】
電源モジュール５はＤＵＴ２に対して電源を供給する装置である。ＤＵＴ２に電源モジュール５から電源が供給されることで、ＤＵＴ２の試験が行われる。通常、電源モジュール５は複数が備えられており、ここでは電源モジュール５は５つであるとする。なお、電源モジュール５の個数を１つとしてもよい。
【００２４】
ピン電源６は電源モジュール５とは別個に設けられており、ピンモジュール３に対して電源の供給を行う。ピンモジュール３はこの電源の供給を受けて動作を行う。ピン電源６は通常１つが設けられているが、複数のピン電源６から多数のピンモジュール３に対して電源の供給を行うようにしてもよい。
【００２５】
テスタコントローラ４はテストプログラム記憶部１１と設定情報抽出部１２とモジュール情報記憶部１３とシーケンス情報生成部１４とモジュール制御部１５とを備えて構成している。テストプログラム記憶部１１はテストプログラムを記憶する。テスタコントローラ４はこのテストプログラムの内容に基づいて動作を行う。
【００２６】
テストプログラムにはピンモジュール３および電源モジュール５（以下、総称してモジュールとする）を制御する内容が設定されている。この制御としてはピンモジュール３を制御してＤＵＴ２の試験を行う内容があるが、その他に各モジュールを起動（パワーオン）する手順が設定情報として記述されている。なお、ピンモジュール３および電源モジュール５以外のモジュールがあるときには、当該モジュールも本実施形態のモジュールに含まれる。
【００２７】
テストプログラムの中の設定情報には、全てのモジュールが同一のタイミングで起動制御をするように設定がされてはおらず、時間差を持たせた異なるタイミングで起動制御をするように設定がされている。ただし、最後のタイミングで起動制御を行うモジュールについては設定がされていない。
【００２８】
図２はテストプログラムの中の設定情報の一例を示している。この図の例では、まず電源モジュール１番から５番までが最初に起動するような手順で設定されている（シーケンス１番）。次に、ピンモジュール１番が起動するような手順で設定されている（シーケンス２番）。ピンモジュール２番から１５００番までは起動する手順が設定されていない（未定義）。
【００２９】
設定情報抽出部１２はテストプログラムの中から設定情報を抽出する。そして、抽出した設定情報をシーケンス情報生成部１４に出力する。モジュール情報記憶部１３は全てのモジュール（ピンモジュール３および電源モジュール５）についての情報をモジュール情報として記憶している。ここでは、電源モジュール１番から５番およびピンモジュール１番から１５００番までのモジュールの情報を記憶している。
【００３０】
シーケンス情報生成部１４はシーケンス情報を生成する。シーケンス情報は全てのモジュールについて起動制御を行う手順を示す情報である。シーケンス情報生成部１４は設定情報抽出部１２が出力した設定情報のモジュールとモジュール情報記憶部１３に記憶されているモジュールとを比較する。
【００３１】
そして、設定情報で「未定義」となっていたモジュール、つまり起動制御を行う手順を設定していないモジュールを最後のタイミングで起動する手順として追加した図３のようなシーケンス情報を生成する。よって、このシーケンス情報には、設定情報で「未定義」となっていたモジュールが「シーケンス３番」として追加されている。これにより、シーケンス情報では全てのモジュールについて起動制御を行う手順が設定されることになる。
【００３２】
シーケンス情報生成部１４は生成したシーケンス情報をモジュール制御部１５に出力する。モジュール制御部１５は入力したシーケンス情報に基づいて多数のピンモジュール３（１番から１５００番）および複数の電源モジュール５（１番から５番）の制御を行う。つまり、モジュール制御部１５はシーケンス情報に設定されているシーケンス情報の手順（シーケンス１番から３番）で各モジュールの起動制御を行う。
【００３３】
次に、図４のフローチャートを用いて動作について説明する。テストプログラム記憶部１１に記憶されているテストプログラムには各モジュールの起動制御を行う設定情報が記憶されている。図２に示したように、全てのモジュールは電源モジュール１番から５番およびピンモジュール１番から１５００番までで構成されている。
【００３４】
電源モジュール５はＤＵＴ２に対して電源を供給するモジュールである。ＤＵＴ２の試験を行うときには、予めＤＵＴ２に電源を供給しておき、その後にピンモジュール３による試験を開始することが望ましい。よって、電源モジュール５はピンモジュール３に先行して起動する。このために、電源モジュール１番から５番はシーケンス１として最初に起動するように制御している
【００３５】
ピンモジュール１番から１５００番はその後に起動するように制御されている。ただし、ピンモジュール１番のみを次に起動するように制御している。ピンモジュール１番はその他のピンモジュール２番から１５００番よりも起動するまでの速度が低速なタイプになる。
【００３６】
１５００個のピンモジュール３が同じタイプ（同じ種類）で構成されているとは限らず、一部に古いタイプのピンモジュール３が混在していることがある。通常は、ピンモジュール３のタイプは統一されているが、ごく一部に古いタイプのピンモジュール３を使用して、試験を行う場合もある。
【００３７】
ここでは、ピンモジュール１番が古いタイプであり、ピンモジュール２番から１５００番と比べて起動するまでに長い時間を要する。ピンモジュール３は同じタイミングで試験を開始すること望ましく、タイプによって起動するまでの時間に差を生じるときには、起動を開始するタイミングを異ならせるようにする。
【００３８】
よって、ピンモジュール１番については、シーケンス２番として設定をしている。ただし、その後に起動される手順のピンモジュール２番から１５００番については設定をしていない。ピンモジュール２番から１５００番は最後のタイミングで起動制御されるピンモジュールであり、シーケンス情報生成部１４によって自動的に最後のシーケンス３番として追加されるためである。
【００３９】
図４のフローチャートに示すように、まずテストプログラム記憶部１１が記憶しているテストプログラムの中から設定情報が抽出される（ステップＳ１）。また、シーケンス情報生成部１４はモジュール情報記憶部１３からモジュール情報を取得する（ステップＳ２）。シーケンス情報生成部１４は抽出した設定情報を入力して、モジュール情報と比較を行うことで、設定をしていないモジュール（未定義）があるか否かを検出する（ステップＳ３）。
【００４０】
最後のタイミングで起動制御を行う手順を設定情報に設定していない。ここでは、ピンモジュール２番から１５００番までが起動制御の手順を設定していない。ピンモジュール２番から１５００番といった多数（約１５００）の起動制御の手順を設定情報から省略することで、テストプログラムの設定情報の内容を大幅に少なくしている。なお、最後のタイミングで起動制御を行う手順は設定情報に設定されていないが、これを設定するようにしてもよい。この場合は、ステップＳ４は省略される。
【００４１】
未定義のモジュール２番から１５００番については、シーケンス情報生成部１４が最後のタイミングで起動するシーケンス３番として新たに追加する（ステップＳ４）。これにより、全てのモジュールについて起動制御の手順を設定したシーケンス情報が生成される（ステップＳ５）。この生成されたシーケンス情報に基づいて、図５のようなシーケンステーブルが作成される。シーケンステーブルはシーケンスの順番に並べたテーブルであり、所定の待ち時間を設けている。
【００４２】
まず、最初（１ｓｔ）にシーケンス１番（電源モジュール１番から５番）が起動制御される。次（２ｎｄ）にシーケンス２番（ピンモジュール１番）が起動制御される。最後（３ｒｄ）にシーケンス３番（ピンモジュール２番から１５００番）が起動制御される。シーケンス１番と２番との間には所定の待ち時間Ｔ１を設定し、シーケンス２番と３番との間には所定の待ち時間Ｔ２を設定し、シーケンス３番の後には所定の待ち時間Ｔ３を設定する。
【００４３】
シーケンス情報生成部１４は生成したシーケンス情報をモジュール制御部１５に出力する。モジュール制御部１５はシーケンス情報に基づいて各モジュールの制御を行う（ステップＳ６）。よって、モジュール制御部１５は最初にシーケンス１番、つまり電源モジュール１番から５番までを起動するように制御する。これにより、ＤＵＴ２に対して電源の供給が行われる。
【００４４】
所定の待ち時間Ｔ１の経過後に、モジュール制御部１５はシーケンス２番、つまりピンモジュール１番を起動するように制御する。このときには、ＤＵＴ２に対しては既に電源の供給が行われており、ＤＵＴ２の試験を安定的に開始することができる。そして、ピンモジュール１番を起動することにより、ＤＵＴ２の試験が開始される。
【００４５】
所定の待ち時間Ｔ２の経過後に、モジュール制御部１５はシーケンス３番、つまりピンモジュール２番から１５００番を起動するように制御する。このときには、既にピンモジュール１番の起動が開始されている。ピンモジュール１番は２番から１５００番よりも古いタイプのピンモジュールであり、起動するまでの時間に差異を生じている。
【００４６】
このため、ピンモジュール１番の起動よりも遅いタイミングでピンモジュール２番から１５００番までを起動させることで、全てのピンモジュール１番から１５００番は同じタイミングでＤＵＴ２に対して試験を開始することができる。このために、待ち時間Ｔ２は起動するまでの時間の差異を是正するような時間に設定している。シーケンス３番を実行することにより、全てのモジュールの起動が行われる。
【００４７】
以上説明したように、半導体試験装置１に備えられる各モジュールの起動制御の手順のうち最後のタイミングで起動するモジュール（シーケンス３番のモジュール）についてテストプログラムの設定情報から省略している。設定情報には多数のモジュールについて起動制御の手順を設定しなければならないが、そのうちの大半の設定を省略することで、設定情報の情報量を少なくすることができる。これにより、設定の手間を簡略化でき、設定漏れが生じることを抑制できる。
【００４８】
特に、各モジュールのうち電源モジュール５はＤＵＴ２に電源を供給するために予め先行して起動し、低速に起動動作を行うピンモジュール３についても先行して起動する。つまり、残りの大半のピンモジュール３（２番から１５００番）は最後のタイミングで起動するモジュールになる。よって、大半のピンモジュール３について設定情報を省略できるようになり、大幅に情報量を少なくできる。
【００４９】
以上において、シーケンス情報はシーケンス１番から３番までの３つのタイミングとしているが、勿論それよりも多い数のタイミングを設定してもよいし、２つのタイミングとしてもよい。ただし、少なくとも複数のタイミングのシーケンスを設定するものとする。
【００５０】
また、設定情報並びにシーケンス情報はモジュールを起動する制御手順について示しているが、モジュールを遮断（パワーオフ）する制御手順としてもよい。各モジュールの遮断制御を行うときにも、所定の時間差を持たせてタイミングを異ならせるようにする。この場合にも本実施形態を適用できる。よって、モジュールの制御とは起動制御だけではなく、遮断制御等の他の制御を適用することもできる。
【符号の説明】
【００５１】
１    半導体試験装置
２    ＤＵＴ
３    ピンモジュール
４    テスタコントローラ
５    電源モジュール
６    ピン電源
１１    テストプログラム記憶部
１２    設定情報抽出部
１３    モジュール情報記憶部
１４    シーケンス情報生成部
１５    モジュール制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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