(57)【要約】【課題】  非球面を用いることで、非対称な歪曲収差による像の盛り上がり現象を抑えた平行系実体顕微鏡用対物レンズを提供する。【解決手段】  対物レンズ１０２（１０２ａ）は、変倍光学系側から物体面側へ向かって順に並んだ、変倍光学系側に凹面を向けた負レンズを含み（図１ではレンズＬ１２が該当）、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、接合レンズを含み（図１ではレンズＬ２１〜Ｌ２３からなる接合レンズと、レンズＬ２４，Ｌ２５からなる接合レンズとが該当）、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ面の少なくとも１面が非球面であり（図１では第１３面と第１４面が該当）、且つ、前記非球面が以下の条件式を満足する。      ３．５  ＜  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＜  ７．５  但し、ｈｏ：前記非球面の最大画角における外側光束の主光線の高さ、ｈｉ：前記非球面の最大画角における内側光束の主光線の高さ。【選択図】  図１
2012103503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体からの光を平行光束に変換する１つの対物レンズと、前記対物レンズを射出した光を受けて左右の像を形成する左眼用と右眼用の２つの変倍光学系とを有し、視差を持たせることにより立体視が可能な平行系実体顕微鏡において、
前記対物レンズは、
前記変倍光学系側から物体面側へ向かって順に並んだ、
前記変倍光学系側に凹面を向けた負レンズを含み、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群と、
接合レンズを含み、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、
前記第２レンズ群を構成するレンズ面の少なくとも１面が非球面であり、且つ、前記非球面が以下の条件式を満足することを特徴とする平行系実体顕微鏡用対物レンズ。
３．５  ＜  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＜  ７．５
但し、
ｈｏ：前記非球面の最大画角における外側光束の主光線の高さ、
ｈｉ：前記非球面の最大画角における内側光束の主光線の高さ。
【請求項２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の平行系実体顕微鏡用対物レンズ。
０．７０  ＜｜ｈｏ／ＥＲmax｜＜  ０．９５
但し、ＥＲmax：前記対物レンズの有効最大半径。
【請求項３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の平行系実体顕微鏡用対物レンズ。
４．０  ＜  （−ｆ１）／ｆ２  ＜  ９．０
２．４  ＜  Ｌ／Ｆ  ＜  ３．０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
Ｆ  ：前記対物レンズ全系の焦点距離、
Ｌ  ：前記対物レンズの全長。
【請求項４】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の平行系実体顕微鏡用対物レンズ。
９．５  ＜  θ  ＜  １５．５
但し、θ：前記変倍光学系の最低倍率時における最大半画角。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平行系実体顕微鏡用の対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
単体物の平行系実体顕微鏡の分野では、近年ズームレンズのズーム比拡大が進み、特にマクロ観察を目的とした低倍域への拡大というニーズが高まってきている。それに伴い、組み合わせて使用する対物レンズも、より広い視野に対応できるものが求められている。
【０００３】
平行系実体顕微鏡では、左右両眼用の２本の変倍光学系で１本の対物レンズを共有する構成となっているため、変倍光学系の光軸と対物レンズの光軸が大きくずれており、対物レンズにおいて非対称な歪曲収差が発生する。特に、低倍域では非対称な歪曲収差が原因で、平面の対象物を観察しても平面に見えず、緩やかな凸面状に知覚される現象（以下、像の盛り上がり現象とも記す）が起こる（但し、歪曲収差の状況によっては、凸面状ではなく、凹面状であったり、うねりを持った立体状であったりすることもある）。このような像の盛り上がり現象については、例えば、以下の文献に記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特公平７−６０２１８号公報
【特許文献２】特開平１０−２６７２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような像の盛り上がり現象を低減させるには、対物レンズにおいて歪曲収差の発生量を抑え、視野内での非対称を減らすことである。しかしながら、従来よりも画角を広げたり、対物レンズの焦点距離を短くしたりすると、歪曲収差の補正難易度は急激に上昇し、球面系だけではレンズ構成が難しくなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、非球面を用いることで、非対称な歪曲収差による像の盛り上がり現象を抑えた平行系実体顕微鏡用対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するため、本発明は、物体からの光を平行光束に変換する１つの対物レンズと、前記対物レンズを射出した光を受けて左右の像を形成する左眼用と右眼用の２つの変倍光学系とを有し、視差を持たせることにより立体視が可能な平行系実体顕微鏡において、前記対物レンズは、前記変倍光学系側から物体面側へ向かって順に並んだ、前記変倍光学系側に凹面を向けた負レンズを含み、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群と、接合レンズを含み、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、前記第２レンズ群を構成するレンズ面の少なくとも１面が非球面であり、且つ、前記非球面が以下の条件式を満足する。
３．５  ＜  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＜  ７．５
但し、
ｈｏ：前記非球面の最大画角における外側光束の主光線の高さ、
ｈｉ：前記非球面の最大画角における内側光束の主光線の高さ。
【０００８】
なお、本発明においては、全て変倍光学系側から対物レンズへ平行光束を入射させ、物
体面上に結像する、いわゆる逆追跡の形で記述している。したがって、順追跡の場合には、歪曲収差等の符号が逆になる。
【０００９】
なお、本発明に係る対物レンズは、以下の条件式を満足することが好ましい。
０．７０  ＜｜ｈｏ／ＥＲmax｜＜  ０．９５
但し、ＥＲmax：前記対物レンズの有効最大半径。
【００１０】
また、本発明に係る対物レンズは、以下の条件式を満足することが好ましい。
４．０  ＜  （−ｆ１）／ｆ２  ＜  ９．０
２．４  ＜  Ｌ／Ｆ  ＜  ３．０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離、
ｆ２：前記第２レンズ群の焦点距離、
Ｆ  ：前記対物レンズ全系の焦点距離、
Ｌ  ：前記対物レンズの全長。
【００１１】
また、本発明に係る対物レンズは、以下の条件式を満足することが好ましい。
９．５  ＜  θ  ＜  １５．５
但し、θ：前記変倍光学系の最低倍率時における最大半画角。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、非球面を用いることで、非対称な歪曲収差による像の盛り上がり現象を抑えた平行系実体顕微鏡用対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズの横収差図である。
【図３】第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズの横収差図である。
【図５】上記対物レンズを搭載する、平行系実体顕微鏡の構成概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本実施形態について、図面を用いて説明する。まず、本実施形態に係る対物レンズを備える、平行系実体顕微鏡（平行系単対物型双眼顕微鏡）について説明する。本実施形態に係る平行系実体顕微鏡１００は、図５に示すように、物体１０１から順に並んだ、１つの対物レンズ１０２と、この対物レンズ１０２の光軸に平行に配置された右眼用と左眼用との２つの変倍光学系１０３、結像光学系１０４、及び、接眼光学系１０５とを有し、物体１０１からの光を対物レンズ１０２により平行光束に変換し、変倍光学系１０３を介して結像光学系１０４により像１０６を形成し、接眼光学系１０５にて観察する構成となっている。このような構成の実体顕微鏡１００では、凹凸のある物体を観察した場合、両眼で見た場合と同じように視差を持たせ、立体感を持って観察（いわゆる立体視）できるようになっている。
【００１５】
そして、対物レンズ１０２が、本実施形態においては図１に示すように、変倍光学系側から物体面側へ向かって順に並んだ、変倍光学系側に凹面を向けた負レンズ（図１ではレンズＬ１２が該当）を含み、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、接合レンズ（図１ではレンズＬ２１〜Ｌ２３からなる接合レンズと、レンズＬ２４，Ｌ２５からなる接合レンズとが該当）を含み、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とからなり、第２レンズ群Ｇ２を構成するレンズ面の少なくとも１面が非球面（図１では第１３面と第１４面が該当）となるように構成されている。
【００１６】
左目側の左視野端に到達する主光線は、第１レンズ群Ｇ１に含まれる負レンズによって大きく発散し、その後は第２レンズ群Ｇ２の正の屈折力により収束しながら物体面に到達する。そのため、この光線は、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２でより対物レンズの光軸から離れたところを通り、さらに第２レンズ群Ｇ２の正の屈折力はより強いため、負の歪曲収差を発生させる。
【００１７】
一方、左目側の右視野端に到達する主光線は、第１レンズ群Ｇ１の光軸付近を通るためその影響をほとんど受けず、その後の第２レンズ群Ｇ２を構成する正レンズによる収差が支配的となり、こちらも負の歪曲収差が発生する。
【００１８】
このように視野の左右どちらの主光線も負の歪曲収差が残存する傾向にあり、それは全系の焦点距離が短くなる高倍対物でより顕著となる。また、左右で大きく異なる経路を通るため、その発生量にも差が生じやすく、非対称な歪曲収差となる原因となっている。
【００１９】
そこで、本実施形態に係る対物レンズでは、非球面レンズを用いることで、歪曲収差の低減や非対称性の改善を図った。前述のように視野の左右どちらの主光線も正屈折力が相対的に強すぎるために起きているため、左右の経路の光軸からの距離にあわせてレンズの曲率を変化させ、適宜屈折力を弱めてやればよい。
【００２０】
この場合、非球面レンズは、主光線が対物レンズの光軸からより離れる面、本実施形態では第２レンズ群Ｇ２を構成する面で使用することが有効であり、特に最も物体面側に位置するレンズ、あるいはその次のレンズに使用することが望ましい（図１ではレンズＬ２６，Ｌ２５が該当）。また、複数のレンズ面を非球面化すれば（図１では第１３面及び第１４面の２つ）、視野の左右における歪曲収差の差を制御することが容易となり、補正効果をより高めることができる。
【００２１】
上記構成の下、本実施形態の対物レンズは、以下の条件式（１）を満足する。
【００２２】
３．５  ＜  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＜  ７．５  …（１）
但し、
ｈｏ：非球面の最大画角における外側光束の主光線の高さ、
ｈｉ：非球面の最大画角における内側光束の主光線の高さ。
【００２３】
条件式（１）は、非球面を適切な位置、すなわち主光線が対物レンズの光軸からより離れる面に配置するためのものであり、左右の光路での歪曲収差の差を縮小することに着目している。この条件式（１）の上限値を上回ると、視野の左右の主光線で内側を通る方の光線の高さが相対的に低くなり、歪曲収差の差を縮小するには至らない。逆に、条件式（１）の下限値を下回ると、左右の光路の光線高が近づくことになり、実体顕微鏡でそれを実現するのは難しい。
【００２４】
なお、本実施形態に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズは、以下の条件式（２）を満足することが好ましい。
【００２５】
０．７０  ＜｜ｈｏ／ＥＲmax｜＜  ０．９５  …（２）
但し、ＥＲmax：対物レンズの有効最大半径。
【００２６】
条件式（２）は、条件式（１）と同様に、非球面をより有効に働く位置に配置するためのものである。歪曲収差を制御するためには、主光線の高さが対物レンズの光軸に対してより高い位置にあることが望ましい。この条件式（２）の下限値を下回ると、主光線の高
さが低く、屈折力が小さくなるため、非球面による補正効果が希薄になる。逆に、条件式（２）の上限値を上回ると、主光線とマージナル光線の差が小さくなるため、最大画角のＮＡが小さくなる。
【００２７】
また、本実施形態に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズは、以下の条件式（３），（４）を満足することが好ましい。
【００２８】
４．０  ＜  （−ｆ１）／ｆ２  ＜  ９．０  …（３）
２．４  ＜  Ｌ／Ｆ  ＜  ３．０            …（４）
但し、
ｆ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、
ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、
Ｆ  ：対物レンズ全系の焦点距離、
Ｌ  ：対物レンズの全長。
【００２９】
条件式（３）は、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の適切な焦点距離の比を定めたものである。この条件式（３）の上限値を上回ると、相対的に第１レンズ群Ｇ１の屈折力が弱まり、歪曲収差、非点収差の補正が困難となる。また、主点位置が物体側から離れるため、十分な作動距離を確保することができなくなる。逆に、条件式（３）の下限値を下回ると、レンズ径が大きくなり、重量増やコストアップの要因となる。
【００３０】
条件式（４）は、対物レンズの全長に関するものである。この条件式（４）の上限値を上回ると、実体顕微鏡を接眼光学系により観察した場合のアイポイントが高くなり、作業性を低下させる。逆に、条件式（４）の下限値を下回ると、作動距離が短くなったり、色収差をはじめとする諸収差の補正が困難になったりする。
【００３１】
また、本実施形態に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズは、以下の条件式（５）を満足することが好ましい。
【００３２】
９．５  ＜  θ  ＜  １５．５  …（５）
但し、θ：変倍光学系の最低倍率時における最大半画角。
【００３３】
条件式（５）は、有効な画角の範囲を定めたものである。条件式（５）の上限値を上回ると、非球面の効果は高まるが、他の収差を含めて収差補正が困難になるばかりか、レンズ径が大きくなりすぎ、実体顕微鏡として実用的な範囲を逸脱してしまう。逆に、条件式（５）下限値を下回ると、非球面を使用する効果はあるが、画角が小さいために球面系のみで構成しても、実用上許容できる収差にすることは可能である。しかしながら、非球面化のコスト対効果を考慮すると、あまり有効とは言えない。
【実施例】
【００３４】
以下、本実施形態に係る各実施例について、図面に基づいて説明する。なお、前述したように、各実施例では対物レンズに続く、変倍光学系側から物体（標本）面側へ逆追跡した形式で記載している。
【００３５】
以下に、表１、表２を示すが、これらは第１、第２実施例における各諸元の表である。なお、表中の［全体諸元］において、Ｆは対物レンズ全系の焦点距離、ＮＡは変倍光学系最高倍率時における最大開口数を示す。
【００３６】
また、表中の［面データ］において、面番号は変倍光学系側から物体面へ向かって数えたレンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各光学面から次の光学面（又は
像面）までの光軸上の距離である面間隔を、ｎｄはｄ線（波長587.5620nm）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数を示す。なお、［面データ］は、逆追跡の順となっているため、最終面からのバックフォーカスの値が、実際の使用においては作動距離になる。
【００３７】
また、表中の［非球面データ］には、［面データ］に示した非球面について、その形状を次式（ａ）で示す。ここで、ｙは光軸に垂直な方向の高さを、Ｘ（ｙ）は高さｙにおける光軸方向の変位量（サグ量）を、ｒは基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）を、κは円錐定数を、Ａｎは第ｎ次の非球面係数を示す。なお、「Ｅ-n」は「×１０-n」を示し、例えば「1.234E-05」は「1.234×10-5」を示す。
【００３８】
Ｘ（ｙ）＝ｙ2／［ｒ×｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝］
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8＋Ａ10×ｙ10  …（ａ）
【００３９】
また、表中の［条件式］において、上記条件式（１）〜（５）に対応する値を示す。
【００４０】
以下、全ての諸元値において、掲載されている焦点距離Ｆ、曲率半径ｒ、面間隔ｄ、その他の長さの単位は、一般に「mm」が使われている。但し、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。
【００４１】
（第１実施例）
第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズについて、図１、図２及び表１を用いて説明する。第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズ１０２（１０２ａ）は、図１に示すように、変倍光学系側から物体面側に向かって順に並んだ、変倍光学系側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と、両凹レンズＬ１２と、両凸レンズＬ１３とを有し、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２と両凸レンズＬ２３とからなる接合レンズと、負メニスカスレンズＬ２４と両凸レンズＬ２５とからなる接合レンズと、両凸レンズＬ２６とを有し、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。
【００４２】
なお、第２レンズ群Ｇ２を構成する第１３面と第１４面が非球面である。
【００４３】
表１に第１実施例における各諸元の値を掲げる。なお、表１の［面データ］における面番号１〜１５は、図１に示す面１〜１５に対応している。
【００４４】
（表１）
［全体諸元］
Ｆ＝50.1mm，ＮＡ(max)＝0.205，Ｌ＝140mm，最大半画角θ＝10°
［面データ］
面番号        ｒ          ｄ         ｎｄ        νｄ
１      -300.0000      8.753      1.49782      82.56 
２       -49.5235      8.862      1.00000
３       -36.9191      4.000      1.78800      47.38
４       116.5590      0.500      1.00000
５        88.2912      9.851      1.78472      25.68
６      -169.8660      1.679      1.00000
７        73.4991     16.961      1.49782      82.56
８       -57.3017      4.000      1.65412      39.68
９       100.0000     10.158      1.49782      82.56
10      -300.0000      0.500      1.00000
11        65.0000      5.000      1.79504      28.69
12        44.2872     19.000      1.49782      82.56
＊13       -86.4605      0.500      1.00000
＊14        62.1817     12.236      1.49782      82.56
15      -200.0000     38.000      1.00000
［非球面データ］
（第１３面）
κ=0,A4=2.65717E-06,A6=-8.99942E-10,A8＝-9.53165E-13,A10=1.16995E-15
（第１４面）
κ=0,A4=5.59252E-09,A6=7.95366E-10,A8=-5.07575E-12,A10=3.60946E-15
［条件式］
条件式（１）  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＝  4.78（第１３面），4.66（第１４面）
条件式（２）  ｜ｈｏ／ＥＲmax｜  ＝  0.87
条件式（３）  （−ｆ１）／ｆ２  ＝  4.5
条件式（４）  Ｌ／Ｆ  ＝  2.79
条件式（５）  θ  ＝  10
【００４５】
表１に示す諸元の表から、本実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズでは、上記条件式（１）〜（５）を全て満たすことが分かる。
【００４６】
図２は、第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズの横収差図であり、上述の通り、変倍光学系側より光線を入射させて物体（標本）面上で評価したものである。その際、変倍光学系の入射瞳位置は、低倍時３８mm、高倍時１６７mmとして計算している。また、図中のｙは像高を示す。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様とし、その説明を省略する。
【００４７】
図２に示す収差図から明らかであるように、第１実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズでは、歪曲収差をはじめとする諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【００４８】
（第２実施例）
第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズについて、図３、図４及び表２を用いて説明する。第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズ１０２（１０２ｂ）は、図３に示すように、変倍光学系側から物体面側に向かって順に並んだ、両凸レンズＬ１１と、両凹レンズＬ１２と両凸レンズＬ１３とからなる接合レンズを有し、全体で負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負メニスカスレンズＬ２１と両凸レンズＬ２２とからなる接合レンズと、負メニスカスレンズＬ２３と両凸レンズＬ２４とからなる接合レンズと、正メニスカスレンズＬ２５とを有し、全体で正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。
【００４９】
なお、第２レンズ群Ｇ２を構成する第１１面と第１２面が非球面である。
【００５０】
表２に第２実施例における各諸元の値を掲げる。なお、表２の［面データ］における面番号１〜１３は、図３に示す面１〜１３に対応している。
【００５１】
（表２）
［全体諸元］
Ｆ＝80.1mm，ＮＡ(max)＝0.205，Ｌ＝140mm，最大半画角θ＝10°
［面データ］
面番号       ｒ          ｄ          ｎｄ       νｄ
１      772.4621      7.191      1.60300      65.47
２     -101.9661     11.645      1.00000
３      -41.3820      7.500      1.61266      44.46
４       42.5497     13.676      1.75520      27.51
５     -657.4673      0.500      1.00000
６      120.0000      4.000      1.73800      32.27
７       41.2199     18.000      1.49782      82.56
８     -131.4483      0.500      1.00000
９      206.9099      4.000      1.79504      28.69
10       66.3183     19.000      1.49782      82.56
＊11      -55.6580      0.500      1.00000
＊12       45.0000     15.266      1.49782      82.56
13      823.5078     38.222      1.00000
［非球面データ］
（第１１面）
κ=0,A4=2.21407E-06,A6=-1.27695E-09,A8＝1.78468E-13,A10=1.78589E-16
（第１２面）
κ=0,A4=1.10455E-06,A6=1.00787E-09,A8=-2.62802E-12,A10=1.69606E-15
［条件式］
条件式（１）  ｜ｈｏ／ｈｉ｜  ＝  4.29（第１１面），4.07（第１２面）
条件式（２）  ｜ｈｏ／ＥＲmax｜  ＝  0.93（第１１面），0.90（第１２面）
条件式（３）  （−ｆ１）／ｆ２  ＝  8.2
条件式（４）  Ｌ／Ｆ  ＝  2.79
条件式（５）  θ  ＝  10
【００５２】
表２に示す諸元の表から、本実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズでは、上記条件式（１）〜（５）を全て満たすことが分かる。
【００５３】
図４は、第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズの横収差図である。図４に示す収差図から明らかであるように、第２実施例に係る平行系実体顕微鏡用対物レンズでは、歪曲収差をはじめとする諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【００５４】
なお、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【００５５】
以上説明したように、本発明によれば、比較的短い焦点距離であっても、変倍最低倍時に広い視野を確保しつつ、非対称な歪曲収差による像の盛り上がり現象を抑えた平行系実体顕微鏡用対物レンズを実現することが可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１００  平行系実体顕微鏡
１０１  物体
１０２  対物レンズ
１０３  変倍光学系
１０４  結像光学系
１０５  接眼光学系
１０６  像
Ｇ１    第１レンズ群
Ｇ２    第２レンズ群
Ｌ      対物レンズの構成レンズ
【図１】
2012103503.tif 000003
【図２】
2012103503.tif 000004
【図３】
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【図４】
2012103503.tif 000006
【図５】
2012103503.tif 000007