(57)【要約】【課題】構造の複雑化を招くことなく、回転軸部材の軸方向にかかる力を受け止めて位置ずれを抑制する複合駆動モータを提供する。【解決手段】回転軸部材１８を、フランジ部２０と支持部２１とを有するスラスト軸受１５により軸方向から支持する。このスラスト軸受１５を駆動部１６によって軸方向に駆動することにより、回転軸部材１８を軸方向に往復移動させる。また、スラスト軸受１５のフランジ部２０および支持部２１をそれぞれ磁石で形成することにより、フランジ部２０と支持部２１との間に磁力による反発力を生じさせ、摩擦が発生しない非接触状態で回転軸部材１８を支持する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の筐体と、
前記筐体と同軸に設けられている回転軸部材を有する回転子と、
前記筐体の内側において前記回転子の外周側に前記回転子と対向して設けられ、前記回転子との間に回転力を発生する固定子と、
前記回転軸部材の軸方向において少なくとも一ヶ所に設けられ、前記筐体に前記回転軸部材を回転可能に支持するラジアル軸受けと、
磁石で形成され前記回転軸部材の軸方向の一部において前記回転軸部材と一体に設けられ径方向外側へ突出するフランジ部、および磁石で形成され前記回転軸部材の軸方向において前記フランジ部を挟む両側に設けられ前記フランジ部との間に発生する磁力により非接触で前記筐体に前記回転軸部材を軸方向へ移動可能に支持する支持部を有するスラスト軸受けと、
前記スラスト軸受けを軸方向へ往復移動する駆動部と、
を備えることを特徴とする複合駆動モータ。
【請求項２】
前記ラジアル軸受けは、気体を用いるすべり軸受けで形成されていることを特徴とする請求項１記載の複合駆動モータ。
【請求項３】
前記駆動部は、前記回転軸の軸方向に螺旋状に延びる溝部が形成された案内部材と、前記案内部材を回転駆動する案内部材駆動部と、を有し、
前記スラスト軸受けは、前記案内部材駆動部による前記案内部材の回転駆動に伴って、前記回転軸の軸方向への移動範囲内の任意の位置に移動することを特徴とする請求項１または２記載の複合駆動モータ。
【請求項４】
前記直進駆動部は、前記回転軸の軸方向に伸縮するアクチュエータを有し、
前記スラスト軸受けは、前記アクチュエータの伸縮に伴って、前記回転軸の軸方向への移動範囲内の予め定められている位置に移動することを特徴とする請求項１または２記載の複合駆動モータ。
【請求項５】
前記固定子は、前記回転子が往復移動する移動範囲の全域に渡って、前記回転子と対向して設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の複合駆動モータ。
【請求項６】
前記回転軸は、軸方向の両端が開口した中空に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の複合駆動モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転および回転軸部材の軸方向への往復移動が可能な複合駆動モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば半導体製造工程などに用いられる製造装置の高機能化や多機能化に伴って、回転および軸方向への往復移動という２つの駆動方式を複合させた複合駆動モータの需要が高まっている。一般的な複合駆動モータの場合、例えばシリンダやアクチュエータなどの直動機構に回転機構であるモータを取り付け、モータ全体を軸方向に移動する構成となっている。そのような構成の場合、モータを取り付ける機構の大形化や、モータ全体を駆動する必要があることから直動機構の大出力化や大形化などを招いている。そこで、例えば特許文献１は、回転軸部材を回転させる回転機構と、回転軸部材を軸方向に移動させるリニアモータによる直動機構とを備えた複合駆動モータを開示している。
【０００３】
ところで、単なる搬送ではなく、対象物を保持することを目的として複合駆動モータを用いる場合、例えば切削中に工具と対象物との距離が変化したり、反応中に試料と対象物との距離が変化したりすると製品の品質の低下を招くおそれがある。そのため、製造装置などに設ける複合駆動モータは、対象物を軸方向に移動させた後、その位置に対象物を保持し続ける必要がある。換言すると、複合駆動モータは、回転軸部材の軸方向にかかる力を受け止め、回転軸部材の軸方向への位置ずれを抑制する必要がある。
【０００４】
しかしながら、特許文献１の場合、回転軸部材の軸方向にかかる力を受け止める構成がないことから、上記したような回転軸部材の位置ずれを抑制することができないという問題がある。また、リニアモータにより駆動された回転軸部材の位置を特定するためにリニアスケールなどの位置検出センサが必要となり、構造の複雑化を招くという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２０９１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、構造の複雑化を招くことなく、回転軸部材の軸方向にかかる力を受け止めて位置ずれを抑制する複合駆動モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載した発明は、筒状の筐体と、前記筐体と同軸に設けられている回転軸部材を有する回転子と、前記筐体の内側において前記回転子の外周側に前記回転子と対向して設けられ、前記回転子との間に回転力を発生する固定子と、前記回転軸部材の軸方向において少なくとも一ヶ所に設けられ、前記筐体に前記回転軸部材を回転可能に支持するラジアル軸受と、磁石で形成され前記回転軸部材の軸方向の一部において前記回転軸部材と一体に設けられ径方向外側へ突出するフランジ部、および磁石で形成され前記回転軸部材の軸方向において前記フランジ部を挟む両側に設けられ前記フランジ部との間に発生する磁力により非接触で前記筐体に前記回転軸部材を軸方向へ移動可能に支持する支持部を有するスラスト軸受と、前記スラスト軸受を軸方向へ往復移動する駆動部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載した発明は、前記ラジアル軸受は、気体を用いるすべり軸受で形成されていることを特徴とする。
請求項３に記載した発明は、前記駆動部は、前記回転軸部材の軸方向に螺旋状に延びる溝部が形成された案内部材と、前記案内部材を回転駆動する案内部材駆動部と、を有し、前記スラスト軸受は、前記案内部材駆動部による前記案内部材の回転駆動に伴って、軸方向への移動範囲内の任意の位置に移動することを特徴とする。
【０００９】
請求項４に記載した発明は、前記直進駆動部は、前記回転軸部材の軸方向に伸縮するアクチュエータを有し、前記スラスト軸受は、前記アクチュエータの伸縮に伴って、軸方向への移動範囲内の予め定められている位置に移動することを特徴とする。
請求項５に記載した発明は、前記固定子は、前記回転子が往復移動する移動範囲の全域に渡って、前記回転子と対向して設けられていることを特徴とする。
請求項６に記載した発明は、前記回転軸部材は、軸方向の両端が開口した中空に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載した発明によれば、回転軸部材は、フランジ部および支持部を有するスラスト軸受により軸方向に支持されており、このスラスト軸受を軸方向へ往復移動する駆動部によって筐体に対して軸方向に相対的に移動する。このとき、回転軸部材の軸方向にかかる力である軸スラストは、フランジ部とフランジ部を移動方向の両側から挟む支持部とにより構成されたスラスト軸受により受け止められる。これにより、簡単な構造で回転軸部材の軸方向への移動を制限することが可能になる。したがって、構造の複雑化を招くことなく、回転軸部材が意図せずに軸方向にずれてしまう位置ずれを抑制することができる。
【００１１】
また、フランジ部および支持部を磁石で形成しているので、フランジ部と支持部との間には磁力による反発力が生じる。その結果、支持部は、フランジ部と反発しあった状態即ち互いに非接触な状態でフランジ部を支持する。これにより、回転軸部材の回転時における支持部とフランジ部との間の摩擦抵抗は、接触式の軸受に比べて小さくなる。したがって、回転軸部材を、回転時の損失を抑制しつつ、安定して支持することができる。
【００１２】
請求項２に記載した発明によれば、ラジアル軸受を気体を用いるすべり軸受で形成しているので、ラジアル軸受と回転軸部材との間の摩擦抵抗が所謂転がり軸受に比べて小さくなる。したがって、同じ電力であれば回転軸部材をより高速に回転することができる。
【００１３】
請求項３に記載した発明によれば、駆動部は、螺旋状に延びる溝部が形成された案内部材とその案内部材を回転駆動する案内部材駆動部とにより、スラスト軸受を回転軸部材の軸方向へ移動する。この場合、スラスト軸受の移動量は、案内部材の回転量即ち案内部材駆動部の駆動量に相関する。そのため、案内部材駆動部の駆動量からスラスト軸受の移動量を推定することが可能になる。したがって、リニアスケールなどの位置検出手段を設けることなく、スラスト軸受の位置ひいては回転軸部材の位置を容易に把握することができるとともに、移動範囲内の任意の位置に移動させることができる。
【００１４】
請求項４に記載した発明によれば、駆動部は、回転軸部材の軸方向に伸縮するアクチュエータにより、スラスト軸受を移動範囲内の予め定められている位置に移動する。この場合、移動前および移動後の位置は予め定められてしまうものの、構造の複雑化を招くことがない。また、所謂オンオフ制御により回転軸部材を移動させることができるので、制御の複雑化を招くこともない。
【００１５】
請求項５に記載した発明によれば、固定子は、回転軸部材の移動に伴う回転子の移動範囲の全域に渡って、回転子と対向して設けられている。そのため、回転軸部材が軸方向へ移動したとしても、回転子と固定子との間には回転を発生させる力が働き続ける。これにより、回転および軸方向への移動を、同時にまたは個別に行うことができる。また固定子を移動させる必要がないため、構造の複雑化を招くこともない。
【００１６】
請求項６に記載した発明によれば、回転軸部材を軸方向の両端が開口した中空に形成しているので、回転軸部材を介してセンサのケーブルなどを装置内に引き込んだり、回転軸部材を介して装置内を真空引きしたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一実施形態による複合駆動モータの概略を示す図で、（Ａ）は回転軸部材の軸方向に縮んだ状態を示す断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ領域を拡大した図
【図２】一実施形態による複合駆動モータを適用した製造装置の概略を示す図で、（Ａ）はスパッタ装置を示す模式図、（Ｂ）は加熱装置を示す模式図、（Ｃ）は真空装置を示す模式図
【図３】その他の実施形態による図１（Ａ）相当図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態による複合駆動モータを図１および図２を参照して説明する。
図１（Ａ）に示すように、複合駆動モータ１０は、筐体１１、回転子１２、固定子１３、ラジアル軸受１４、スラスト軸受１５および駆動部１６を備えている。筐体１１は、中空の円筒状に形成されており、内部に収容室１７が形成されている。回転子１２は、筐体１１と同軸に形成された回転軸部材１８と、回転軸部材１８に一体に設けられている回転子鉄心１９とを有している。回転軸部材１８は、中空の円筒状に形成されておりその両端が開口している。回転子鉄心１９は、例えば円板状の磁性鋼板を積層して形成されており、図示しないコイルが設けられている。
【００１９】
固定子１３は、収容室１７内において、回転子鉄心１９の外周側に設けられている。固定子１３は、例えば円環状の磁性鋼板を積層して形成された固定子鉄心と、磁極としての図示しない永久磁石とから構成されている。この固定子１３と回転子１２との間には、回転子鉄心１９の図示しないコイルに通電することにより、回転子１２を回転させる回転力が生じる。これら回転子１２および固定子１３は、回転駆動機構を構成している。なお、回転子１２側に永久磁石を設け、固定子１３側にコイルを設けてもよいし、永久磁石を用いない交流モータなどであってもよい。
【００２０】
ラジアル軸受１４は、筐体１１の内側において、回転子１２の回転軸部材１８を軸方向に支持している。具体的には、ラジアル軸受１４は、回転軸部材１８の軸方向に回転子鉄心１９を挟んで２ヶ所設けられている。ラジアル軸受１４は、作動流体として気体を用いたすべり軸受で形成されており、回転軸部材１８を非接触で支持する。ラジアル軸受１４の作動流体としての気体としては、空気や、例えば窒素ガスなどの不活性ガスであり、使用環境に応じて適宜選択される。本実施形態では、ラジアル軸受１４はいわゆる静圧型の空気軸受を採用しており、図示しないコンプレッサーなどにより圧縮された気体が供給され、その圧力（供給圧）によって回転軸部材１８を支持する。
【００２１】
スラスト軸受１５は、フランジ部２０と支持部２１とを有している。フランジ部２０は、希土類磁石の１つであるネオジム磁石で形成され、回転軸部材１８に一体に取り付けられている。本実施形態の場合、フランジ部２０は、回転軸部材１８の一方の端部において、回転軸部材１８の径方向外側に突出する円板状に形成されている。支持部２１は、フランジ部２０と同様にネオジム磁石で形成されている。支持部２１は、図１（Ｂ）に示すように、回転軸部材１８と同軸の円板状に形成された２枚の円盤部材２２と、円盤部材２２を接続する接続部材２３とを有している。円盤部材２２はフランジ部２０を回転軸部材１８の軸方向において挟み込むように設けられ、接続部材２３は円盤部材２２をフランジ部２０の外周側において接続している。このため、支持部２１は、断面視においてコ字状に形成されている。
【００２２】
これらフランジ部２０と支持部２１の円盤部材２２とは、対向する面が互いに同じ極性になるように配置されている。そのため、フランジ部２０は、支持部２１との間に磁力による反発力が生じた状態、即ち、回転軸部材１８の軸方向における両面が円盤部材２２と接触しない状態で支持部２１により支持されている。つまり、スラスト軸受１５は、フランジ部２０およびフランジ部２０に一体に設けられている回転軸部材１８を、非接触で軸方向から支持している。
【００２３】
駆動部１６は、案内部材としてのねじ部材２４、および案内部材駆動部としてのステッピングモータ２５を有している。ねじ部材２４は、その外周側に回転軸部材１８の軸方向に螺旋状に延びる溝を有する棒状に形成されている。ステッピングモータ２５は、その出力軸に平歯車２６が取り付けられている。この平歯車２６は、ねじ部材２４にかみ合うことにより、ステッピングモータ２５の回転をねじ部材２４に伝達する。これにより、ねじ部材２４は、ステッピングモータ２５の回転に応じて回転する。ねじ部材２４は、ステッピングモータ２５により回転駆動されることにより、スラスト軸受１５の支持部２１を回転軸部材１８の軸方向に移動させる。具体的には、スラスト軸受１５の支持部２１の外周側にねじ部材２４の溝に対応する溝を形成することにより、ねじ部材２４の回転に伴って軸方向に移動する。このとき、ステッピングモータ２５のステップ送り量とねじ部材２４が回転する回数とが互いに相関することから、ステップ送り量によってスラスト軸受１５の支持部２１の移動量を制御することができる。つまり、駆動部１６は、ステッピングモータ２５のステップ送り量を調整することにより、スラスト軸受１５の支持部２１を移動可能範囲内の任意の位置に位置決めする。
【００２４】
また、駆動部１６には、補助案内部材としてガイドレール２７を有している。ガイドレール２７は、棒状に形成されており、スラスト軸受１５の支持部２１を軸方向に貫いている。このガイドレール２７は、スラスト軸受１５の支持部２１の径方向への移動および回転を制限する。このため、支持部２１材は、ねじ部材２４が回転したとしても回転することなく、ねじ部材２４に沿って回転軸部材１８の軸方向への移動が可能になる。
【００２５】
次に、上記した構成の複合駆動モータ１０の作用について説明する。
複合駆動モータ１０は、回転子１２および固定子１３の間に発生する回転力により、回転軸部材１８を回転する。このとき、回転軸部材１８は、ラジアル軸受１４により軸方向の２ヶ所において支持されている。このラジアル軸受１４を気体を用いたすべり軸受で構成していることから、ラジアル軸受１４と回転軸部材１８との間の接触がほとんど無くなる。つまりラジアル軸受１４と回転軸部材１８との間に生じる摩擦抵抗は、小さくなる。その結果、ラジアル軸受１４は、回転軸部材１８を、高速回転時においても損失を低減しつつ安定して軸受けする。
【００２６】
この回転軸部材１８は、駆動部１６により、スラスト軸受１５とともに軸方向へ移動する。このとき、回転軸部材１８は、軸方向からスラスト軸受１５により支持されている。つまり、回転軸部材１８の軸方向にかかる力である軸スラストは、スラスト軸受１５により受け止められている。このため、回転軸部材１８は、軸方向への力が加わった場合であっても、スラスト軸受１５によって軸方向への移動が制限される。
【００２７】
また、スラスト軸受１５は、回転軸部材１８に一体に設けられたフランジ部２０を支持部２１によって非接触で支持している。そのため、回転軸部材１８とスラスト軸受１５との間の摩擦抵抗は、接触式の軸受に比べて小さくなる。つまり、スラスト軸受１５は、回転軸部材１８を、回転運動に与える影響を抑えつつ、強固に支持している。これにより、回転軸部材１８は、回転を維持したまま、駆動部１６によって軸方向へ直線的に往復移動する。
【００２８】
以上説明した複合駆動モータ１０によれば次のような効果を得ることができる。
回転軸部材１８は、フランジ部２０および支持部２１を有するスラスト軸受１５により軸方向に支持されており、スラスト軸受１５が軸方向へ往復移動することによって筐体１１に対して軸方向に移動する。これにより、複合駆動モータ１０は、回転および軸方向への往復移動が可能になる。そして、回転軸部材１８の軸方向にかかる軸スラストは、スラスト軸受１５により受け止められる。これにより、簡単な構造で回転軸部材１８の軸方向への移動を制限すること、即ち、回転軸部材１８の軸方向への位置ずれを防止することができる。
【００２９】
フランジ部２０および支持部２１を磁石で形成しているので、フランジ部２０と支持部２１との間には磁力による反発力が生じ、互いに非接触状態になる。これにより、支持部２１とフランジ部２０との間の摩擦抵抗が減少し、回転軸部材１８を、回転時の損失を抑制しつつ高速に回転することができる。また、永久磁石を用いているので、電磁石と異なり磁力の保持のために電力を必要としない。したがって、使用時の消費電力を抑制することができる。さらに、フランジ部２０と支持部２１とを常に非接触状態に保つことができるため、フランジ部２０と支持部２１とが接触することによる破損や摩擦による摩耗による埃の発生などを抑制することができる。これにより、大がかりなメンテナンスをすることなく長期的に使用することができる。
【００３０】
ラジアル軸受１４を、作動流体に気体を用いるすべり軸受で形成しているので、回転時における回転軸部材１８との間の摩擦抵抗が減少する。つまり、ラジアル軸受１４における摩擦損失が少ないことから、回転軸部材１８を、同じ電力を消費した場合により高速に回転することができる。
駆動部１６は、案内部材とステッピングモータ２５とにより、スラスト軸受１５を回転軸部材１８の軸方向へ移動する直動機構を構成している。そのため、ステッピングモータ２５のステップ送り量の調整により、スラスト軸受１５は移動可能範囲内の任意の位置に移動する。これにより、リニアスケールなどの位置検出手段を設けることなく、回転軸部材１８を移動範囲内の任意の位置に位置決めすることができる。
【００３１】
固定子１３は、回転軸部材１８の移動に伴う回転子１２の移動範囲の全域に渡って、回転子１２と対向して設けられている。これにより、回転軸部材１８が移動したとしても、回転子１２と固定子１３との間には回転を発生させる力が働くため、回転および軸方向への移動を同時に、または個別に行うことができる。
【００３２】
（その他の実施形態）
本発明は、上記した各実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲において次のように変形または拡張することができる。
回転軸部材１８の軸方向への位置ずれを抑制することにより、複合駆動モータ１０を各種の製造装置に組み込むことが可能になる。例えば、複合駆動モータ１０は、図２（Ａ）に示すように、半導体の製造工程のスパッタ装置３０に組み込むことができる。スパッタ装置３０の反応室内３１には、複合駆動モータ１０の回転軸部材１８に取り付けられた保持部３２に載置された基板３３、基板３３に薄膜を形成する材料となるターゲット３４が収容されている。保持部３２には基板３３を加熱するためのヒータ３５が埋め込まれており、ヒータ３５は、外部に設けられているヒータ電源に回転軸部材１８の内部を通るケーブルで接続されている。
【００３３】
この状態で高電圧をかけてイオン化させた希ガス元素などを衝突させることにより、ターゲット３４表面の原子がはじき飛ばされ、基板３３に到達して薄膜が形成される。このとき、基板３３は、複合駆動モータ１０によって回転および図示上下方向への移動が可能になる。これにより、基板３３とターゲット３４との距離Ｌを変化させることが可能になる。その結果、膜形成プロセスの詳細な説明は省略するものの、基板３３上に形成される薄膜の成長速度と薄膜の密度や粒度などとを同時に制御することができる。この場合、半導体の製造であることから、ラジアル軸受１４の作動流体としては窒素ガスなどを選択するとよい。
【００３４】
また、例えば図２（Ｂ）に示すように、複合駆動モータ１０を加熱装置４０に組み込むこともできる。この場合、基板３３は、加熱室４１内に設けられたヒータ４２により熱処理される。このとき、基板３３を回転および軸方向に移動させることにより、基板３３の加熱度合いを調整することができる。また、回転軸部材１８を中空に形成していることから、例えば基板３３の温度などを検出するためのセンサ４３と外部の検出器４４との間を、回転軸部材１８を介して信号ケーブル４５により接続することができる。また、例えば図２（Ｃ）に示すように、真空装置５０に組み込むこともできる。この場合、真空室５１内の気体は、中空の回転軸部材１８を介して真空ポンプ５２によって排出される。このため、真空室５１に他の排気口などを設ける必要が無くなり、真空装置５０の構造を簡略化することができる。
【００３５】
このように、回転軸部材１８を軸方向の両端が開口した中空に形成することにより、上記した図２（Ａ）〜（Ｃ）のようにケーブルなどを装置内に引き込んだり、装置内の気体の排出又は充填などに本発明による複合駆動モータ１０を適用することができる。これにより、製造装置の構造の簡略化などを図ることができるとともに、複合駆動モータ１０を用いる製造装置の適用分野を拡大することができる。また、任意の位置に移動させることができることから、上記したスパッタ装置３０や加熱装置４０などのように所望の膜厚は反応速度あるいは工程の進み具合などに応じた制御が可能になる。よって、複合駆動モータ１０の組み込みが可能な製造装置の分野を拡大することができる。勿論、回転軸部材１８を中空に形成することにより、軽量化を促進することもでき、回転駆動時の消費電力の削減や回転子１２および固定子１３の小型化などを図ることもできる。なお、これらの製造装置は例示であり、複合駆動モータ１０の適用先がこれらに限定されるものではない。
【００３６】
また、例えば図３に示すように、複合駆動モータ６０の駆動部６１をアクチュエータ６２で構成してもよい。駆動部６１は、アクチュエータ６２の駆動軸に取り付けられた可動板６３を有しており、アクチュエータ６２に通電することにより、可動板６３を回転軸部材１８の軸方向に往復移動させる。このとき、可動板６３にスラスト軸受１５の支持部２１を取り付けておくことにより、回転軸部材１８は、支持部２１とともに筐体１１に対して軸方向に移動する。これにより、一実施形態の複合駆動モータ１０と同様に、回転軸部材１８の位置ずれを防止できるなど、一実施形態と同様の効果を得ることができる。この場合、アクチュエータ６２に代えて、油圧式や空気式のシリンダや、歯車と板状の部材で構成される所謂ラックアンドピニオン機構を用いてもよい。
【００３７】
スラスト軸受１５を１つのフランジ部２０と１つの支持部２１とで構成したが、フランジ部２０或いは支持部２１を複数個設ける構成としてもよい。また、支持部２１を２枚の円盤部材２２と円盤部材２２を接続する接続部材２３とにより構成したが、それらを一体に形成してもよい。
回転軸部材１８を中空に形成したが、中実に形成してもよい。
スラスト軸受１５に用いる磁石はネオジム磁石に限らず、例えばフェライト磁石などでもよい。
【符号の説明】
【００３８】
図面中、１０、６０は複合駆動モータ、１１は筐体、１２は回転子、１３は固定子、１４はラジアル軸受、１５はスラスト軸受、１６、６１は駆動部、１８は回転軸部材、２０はフランジ部、２１は支持部、２４はねじ部材（案内部材）、２６はステッピングモータ（案内部材駆動部）、６２はアクチュエータを示す。
【図１】
2012095453.tif 000003
【図２】
2012095453.tif 000004
【図３】
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