(57)【要約】      （修正有）【課題】磁石を搭載した弁体の移動方向における寸法を正確に規定することができる構成を備えたバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブ装置１は、第１〜第４駆動コイル２７〜３０と、第１〜第４駆動コイル２７〜３０を励磁することによって移動させられる弁体２３を有する。弁体２３は、ホルダと、ホルダに収納されている第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃおよび弾性部材２３３を有する。ホルダの開口端部分に９０°以上の角度で内側に折り曲げられた下端折り曲げ部が形成されることにより、ホルダの軸線方向Ｌの寸法が予め定めた寸法に規定されるとともに、軸線方向Ｌに弾性変形して縮んだ弾性部材２３３の弾性復帰力によって第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃがホルダ内で移動しないように固定される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
永久磁石を収納した筒状のホルダを備えた可動体と、この可動体を取り囲む状態に配置され、前記可動体をその軸線方向に直線往復移動させるために励磁される駆動コイルとを有する電磁式直動アクチュエータにおいて、
前記ホルダ内で前記永久磁石が前記軸線方向に移動しないように固定する固定機構を有し、
前記固定機構は、
前記ホルダの一方の第１端部から内側に折れ曲がった形状の第１折り曲げ部と、
前記ホルダの他方の第２端部から内側に折れ曲がった形状の第２折り曲げ部と、
前記ホルダ内において、前記軸線方向に圧縮された状態で配置されている弾性部材とを備え、
前記弾性部材の弾性復帰力によって、前記永久磁石が前記第１折り曲げ部あるいは前記第２折り曲げ部に直接あるいは間接的に押し付けられていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１折り曲げ部は、前記弾性部材と前記永久磁石とを前記第２折り曲げ部の側からこの順番で前記ホルダに収納した状態で内側に９０°以上の角度に折れ曲げられることにより形成されており、
前記弾性部材は、前記第１折り曲げ部が形成されることによって圧縮されていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１折り曲げ部の内側に形成されている第１開口部と、
前記第１折り曲げ部と前記永久磁石の間に配置されて前記第１開口部をシールしている第１シール機構を有し、
前記第１シール機構は、前記第１折り曲げ部に隣接配置されて前記第１開口部を塞いでいる第１蓋部材と、前記第１蓋部材と前記ホルダの内周面との間に配置された環状の第１弾性部材とを備えていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１蓋部材は、前記ホルダの内径に等しい外径を備え前記第１開口部を塞いでいる第１大径部、および、前記第１大径部よりも小径の第１小径部を備えており、
前記第１弾性部材は前記第１小径部の外周側に配置され、前記軸線方向と直交する方向に圧縮された状態で、前記第１小径部の外周面および前記ホルダの内周面に当接していることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４において、
前記第２折り曲げ部の内側に形成されている第２開口部と、
前記第２折り曲げ部と前記永久磁石の間に配置されて前記第２開口部をシールしている第２シール機構とを備えており、
前記第２シール機構は、前記第２折り曲げ部に隣接配置されて前記第２開口部を塞いでいる前記弾性部材と、前記弾性部材に隣接配置された第２蓋部材と、前記第２蓋部材と前記ホルダの内周面との間に配置された環状の第２弾性部材とを備えていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５において、
前記第２蓋部材は、前記ホルダの内径に等しい外径の第２大径部、および、前記第２大径部よりも小径の第２小径部を備えており、
前記第２弾性部材は前記第２小径部の外周側に配置され、前記軸線方向と直交する方向に圧縮された状態で前記第２小径部の外周面および前記ホルダの内周面に当接していることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項５または６において、
前記弾性部材は、前記第２折り曲げ部と前記第２蓋部材との間に挟まれて圧縮された状態となっていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項７において、
前記弾性部材は、前記第２蓋部材の側に向って前記軸線方向に突出している突出部を備えており、
前記第２蓋部材は、前記突出部を収納する凹部を備えており、
前記突出部の端面は、凸曲面または凹曲面となっており、
前記凹部の底面は、前記突出部の前記端面と対応する凹曲面または凸曲面となっていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項９】
永久磁石を収納した筒状のホルダを備えた可動体と、この可動体を取り囲む状態に配置され、前記可動体をその軸線方向に直線往復移動させるために励磁される駆動コイルとを有する電磁式直動アクチュエータにおいて、
前記ホルダ内における前記永久磁石の前記軸線方向の位置を規定する固定機構とを有し、
前記固定機構は、
前記ホルダの一方の第１端部から内側に折れ曲がった形状の第１折り曲げ部と、
前記ホルダの他方の第２端部から内側に折れ曲がった形状の第２折り曲げ部と、
前記ホルダ内に収納されており、前記軸線方向に突出する突部を備える中間部材とを備え、
前記第１折り曲げ部は、前記永久磁石および中間部材を前記ホルダに収納した状態で内側に９０°以上の角度に折れ曲げられることにより形成されており、
前記突部が塑性変形して潰れた状態となることにより、前記永久磁石が前記第１折り曲げ部と前記第２折り曲げ部との間で前記軸線方向に移動しないように固定されていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のうちのいずれかの項において、
前記可動体の移動範囲の一方の端を規定するストッパを有し、
前記ストッパは、前記可動体が前記移動範囲の一方の端に達したときに前記可動体の前記第１折り曲げ部に当接可能な位置に設けられていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のうちのいずれかの項において、
前記永久磁石は、前記軸線方向に着磁されていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のうちのいずれかの項において、
前記可動体は、前記永久磁石の前記軸線方向の両側に隣接配置された第１磁性板および第２磁性板を備えていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のうちのいずれかの項において、
前記永久磁石として、前記軸線方向に配列された複数の永久磁石を備えており、
各永久磁石は、隣りの永久磁石と同極が対向するように配置されていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記可動体は、各永久磁石の間に配置された第３磁性板を備えていることを特徴とする電磁式直動アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のうちのいずれかの項に記載の電磁式直動アクチュエータと、
流体流通口が形成されている弁座と、
前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖する閉鎖位置と、前記弁座から離れて前記流体流通口を開放している開放位置との間を移動して前記流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記弁体は、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体であることを特徴とするバルブ装置。
【請求項１６】
請求項５ないし８のうちのいずれかの項に記載の電磁式直動アクチュエータと、
流体流通口が形成されている弁座と、
前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖する閉鎖位置と、前記弁座から離れて前記流体流通口を開放している開放位置との間を移動して前記流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記弁体は、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体であり、
前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記閉鎖位置において、前記第２開口部から露出している前記弾性部材の露出部分が前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖することを特徴とするバルブ装置。
【請求項１７】
請求項１５または１６において、
前記電磁式直動アクチュエータは、外周面に前記駆動コイルが構成されている筒状のコイルボビンを備えており、
前記コイルボビンの内側は、前記流体流通口に連通している流体流路となっており、
前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記流体流路内を前記コイルボビンの軸線方向に沿って移動可能となっていることを特徴とするバルブ装置。
【請求項１８】
請求項１７において、
前記流体流路に流体を流入させる流体流入口を有しており、
前記流体流通口は、流体を流出させる流体流出口となっており、
前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記第１蓋部材において前記第１開口部から前記ホルダの外側に露出している露出部分が前記流体流入口に対向しており、
前記露出部分には、凹部が設けられていることを特徴とするバルブ装置。
【請求項１９】
駆動コイルを励磁することによって移動させられる電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法であって、
内側に折り曲がった折り曲げ部を一方の端部に備える筒状のホルダに弾性部材を収納し、
前記可動体の移動方向となっている前記ホルダの軸線方向に沿って着磁された永久磁石を、前記ホルダ内の軸線方向において前記弾性部材とは異なる位置に配置し、
前記ホルダの他方の開口端部分を９０°以上の角度で内側に折り曲げて、前記弾性部材を軸線方向に弾性変形させて圧縮させ、
前記弾性部材の弾性復帰力によって、前記永久磁石を前記折り曲げ部あるいは折り曲げによって形成された新たな折り曲げ部に直接あるいは間接的に押し付けることを特徴とする電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法。
【請求項２０】
請求項１９において、
前記永久磁石として、複数の永久磁石を備えており、
各永久磁石を、隣りの永久磁石と同極が対向するように前記ホルダに挿入することを特徴とする電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法。
【請求項２１】
駆動コイルを励磁することによって移動させられる電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法であって、
内側に折り曲がった折り曲げ部を一方の端部に備える筒状のホルダに、前記軸線方向に向かって突出する突部を備えた中間部材を収納し、
前記可動体の移動方向となっている前記ホルダの軸線方向に沿って着磁された永久磁石を、前記ホルダ内の軸線方向において前記中間部材とは異なる位置に配置し、
前記ホルダの他方の開口端部分を９０°以上の角度で内側に折り曲げることにより前記突部を塑性変形させて潰した状態として、前記永久磁石を前記折り曲げ部と折り曲げによって形成された新たな折り曲げ部との間で前記軸線方向に移動しないように固定することを特徴とする電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法。
【請求項２２】
請求項２１において、
前記永久磁石として、複数の永久磁石を備えており、
各永久磁石を、隣りの永久磁石と同極が対向するように前記ホルダに挿入することを特徴とする電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動コイルを励磁することにより永久磁石を搭載した可動体を駆動する電磁式直動アクチュエータ、および、このような電磁式直動アクチュエータによって弁体を駆動して流体流通口の開閉を行うバルブ装置に関する。また、永久磁石を搭載している電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、永久磁石を搭載した可動体を、フレームなどに固定された環状の駆動コイルの内側に移動可能な状態で挿入し、駆動コイルを励磁することによって可動体を駆動コイルの軸線方向に移動させる電磁式直動アクチュエータが記載されている。同文献では、可動体は軸線方向に延びる筒状のホルダを備えており、永久磁石はホルダの内側にホルダと同軸状態で搭載されている。また、永久磁石は、その磁極面が軸線方向でホルダの開口端と一致するようにしてホルダに固定されており、永久磁石の磁極面が可動体の移動方向の端面となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平６−４４３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の電磁式直動アクチュエータでは、製造誤差などによって永久磁石の軸線方向の寸法が予め定めた所定の寸法となっていない場合に、永久磁石を搭載している可動体の軸線方向の寸法がばらついてしまうことがある。例えば、永久磁石の軸線方向の寸法が所定の寸法よりも長くなっていると、永久磁石の端部がホルダの開口端から外側にはみ出してしまい、可動体の軸線方向の寸法が予め定めた所定の寸法よりも長くなってしまう。
【０００５】
ここで、可動体の移動範囲は、一般的に、可動体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から可動体に当接するストッパをフレームに設けることにより規定されるが、このようなストッパによって可動体の移動範囲を規定したときに、可動体の軸線方向の寸法がばらついていると、製品毎に可動体の移動距離がばらついてしまうという問題が発生する。また、可動体の移動距離が製品毎にばらついていると、永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうので、可動体を移動させる推力が製品毎に安定しないという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、移動方向の寸法を正確に規定することができる構成を備えた可動体を搭載する電磁式直動アクチュエータを提供することにある。また、このような電磁式直動アクチュエータによって弁体を駆動して流体流通口の開閉を行うバルブ装置を提供することにある。さらに、このような電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明は、永久磁石を収納した筒状のホルダを備えた可動体と、この可動体を取り囲む状態に配置され、前記可動体をその軸線方向に直線往復移動させるために励磁される駆動コイルとを有する電磁式直動アクチュエータにおいて、
前記ホルダ内で前記永久磁石が前記軸線方向に移動しないように固定する固定機構を有し、
前記固定機構は、
前記ホルダの一方の第１端部から内側に折れ曲がった形状の第１折り曲げ部と、
前記ホルダの他方の第２端部から内側に折れ曲がった形状の第２折り曲げ部と、
前記ホルダ内において、前記軸線方向に圧縮された状態で配置されている弾性部材とを備え、
前記弾性部材の弾性復帰力によって、前記永久磁石が前記第１折り曲げ部あるいは前記第２折り曲げ部に直接あるいは間接的に押し付けられていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の電磁式直動アクチュエータによれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と弾性部材が配置されているので、製造誤差などにより永久磁石の軸線方向の寸法にばらつきが発生していても、このばらつきは弾性部材の弾性変形によって吸収される。従って、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。ここで、可動体の移動範囲は、一般的に、可動体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から可動体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、可動体の軸線方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって可動体の移動範囲を規定したときに、製品毎に可動体の移動距離がばらついてしまうことがない。また、製品毎に可動体の移動距離がばらつくことがないので、永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、可動体を移動させる推力が安定する。さらに、永久磁石は弾性部材の弾性復帰力によってホルダに固定されているので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。また、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【０００９】
本発明において、前記第１折り曲げ部は、前記弾性部材と前記永久磁石とを前記第２折り曲げ部の側からこの順番で前記ホルダに収納した状態で内側に９０°以上の角度に折れ曲げられることにより形成されており、前記弾性部材は、前記第１折り曲げ部が形成されることによって圧縮されていることが望ましい。このようにすれば、第１折り曲げ部を形成する際に、弾性部材の圧縮によって永久磁石の寸法のばらつきが吸収されるとともに、永久磁石が軸線方向でガタ付かないように固定されるので、軸線方向におけるホルダの寸法が正確なものとなる。従って、移動方向における可動体の寸法を正確に規定できる。
【００１０】
この場合において、前記第１折り曲げ部の内側に形成されている第１開口部と、前記第１折り曲げ部と前記永久磁石の間に配置されて前記第１開口部をシールしている第１シール機構を有し、前記第１シール機構は、前記第１折り曲げ部に隣接配置されて前記第１開口部を塞いでいる第１蓋部材と、前記第１蓋部材と前記ホルダの内周面との間に配置された環状の第１弾性部材とを備えていることが望ましい。筒状のホルダの端部に折り曲げ部を形成するとその内側に開口部が形成される場合がある。このような場合に、この開口部をシールするシール機構を備えていれば、ホルダ内を気密状態あるいは液密状態に保持することができるので、永久磁石の酸化や劣化を防止することができる。
【００１１】
この場合において、前記第１蓋部材は、前記ホルダの内径に等しい外径を備え前記第１開口部を塞いでいる第１大径部、および、前記第１大径部よりも小径の第１小径部を備えており、前記第１弾性部材は前記第１小径部の外周側に配置され、前記軸線方向と直交する方向に圧縮された状態で、前記第１小径部の外周面および前記ホルダの内周面に当接していることが望ましい。このようにすれば、第１弾性部材は、第１蓋部材とホルダとの間において軸線方向と直交する周方向でシール性を発揮する。従って、第１蓋部材および第１弾性部材によってホルダを確実に密封できる。
【００１２】
また、本発明において、前記第２折り曲げ部の内側に形成されている第２開口部と、前記第２折り曲げ部と前記永久磁石の間に配置されて前記第２開口部をシールしている第２シール機構とを備えており、前記第２シール機構は、前記第２折り曲げ部に隣接配置されて前記第２開口部を塞いでいる前記弾性部材と、前記弾性部材に隣接配置された第２蓋部材と、前記第２蓋部材と前記ホルダの内周面との間に配置された環状の第２弾性部材とを備えていることが望ましい。例えば、第２折り曲げ部が筒体の開口端部分を折り曲げ加工することにより形成されているものであれば、第２折り曲げ部の内側に開口部が形成されている場合がある。このような場合に、この開口部をシールするシール機構を備えていれば、ホルダ内を気密状態あるいは液密状態に保持することができるので、永久磁石の酸化や劣化を防止することができる。
【００１３】
この場合において、前記第２蓋部材は、前記ホルダの内径に等しい外径の第２大径部、および、前記第２大径部よりも小径の第２小径部を備えており、前記第２弾性部材は前記第２小径部の外周側に配置され、前記軸線方向と直交する方向に圧縮された状態で前記第２小径部の外周面および前記ホルダの内周面に当接していることが望ましい。このようにすれば、第２弾性部材は、第２蓋部材とホルダとの間において軸線方向と直交する周方向でシール性を発揮する。従って、第２蓋部材および第２弾性部材によってホルダを確実に密封できる。
【００１４】
本発明において、前記弾性部材は、前記第２折り曲げ部と前記第２蓋部材との間に挟まれて圧縮された状態となっていることが望ましい。このようにすれば、弾性部材の弾性復帰力によって第２蓋部材よりも第１折り曲げ部の側に配置されている部材の全てを第１折り曲げ部に押し付けて固定することができる。
【００１５】
この場合において、前記弾性部材は、前記第２蓋部材の側に向って前記軸線方向に突出している突出部を備えており、前記第２蓋部材は、前記突出部を収納する凹部を備えており、前記突出部の端面は、凸曲面または凹曲面となっており、前記凹部の底面は、前記突出部の前記端面と対応する凹曲面または凸曲面となっていることが望ましい。このようにすれば、弾性部材と第２蓋部材とが接触する接触面積が増えるので、弾性部材と第２蓋部材とを一体化する場合などに接着強度が向上する。
【００１６】
次に、本発明の別の形態は、永久磁石を収納した筒状のホルダを備えた可動体と、この可動体を取り囲む状態に配置され、前記可動体をその軸線方向に直線往復移動させるために励磁される駆動コイルとを有する電磁式直動アクチュエータにおいて、
前記ホルダ内における前記永久磁石の前記軸線方向の位置を規定する固定機構とを有し、
前記固定機構は、
前記ホルダの一方の第１端部から内側に折れ曲がった形状の第１折り曲げ部と、
前記ホルダの他方の第２端部から内側に折れ曲がった形状の第２折り曲げ部と、
前記ホルダ内に収納されており、前記軸線方向に突出する突部を備える中間部材とを備え、
前記第１折り曲げ部は、前記永久磁石および中間部材を前記ホルダに収納した状態で内側に９０°以上の角度に折れ曲げられることにより形成されており、
前記突部が塑性変形して潰れた状態となることにより、前記永久磁石が前記第１折り曲げ部と前記第２折り曲げ部との間で前記軸線方向に移動しないように固定されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明の電磁式直動アクチュエータによれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と、軸線方向に突出する突部を備える中間部材が配置されており、製造誤差などによる永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきは、中間部材の突部が塑性変形して潰れた状態となることにより吸収される。この結果、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。ここで、可動体の移動範囲は、一般的に、可動体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から可動体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、可動体の軸線方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって可動体の移動範囲を規定したときに、製品毎に可動体の移動距離がばらついてしまうことがない。また、製品毎に可動体の移動距離がばらつくことがないので、永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、可動体を移動させる推力が安定する。さらに、永久磁石は軸線方向に突出していた中間部材の突部が潰れた状態となることによりホルダに固定されるので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。また、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【００１８】
本発明において、可動体の移動範囲を正確に規定するためには、前記可動体の移動範囲の一方の端を規定するストッパを有し、前記ストッパは、前記可動体が前記移動範囲の一方の端に達したときに前記可動体の前記第１折り曲げ部に当接可能な位置に設けられていることが望ましい。
【００１９】
本発明において、駆動コイルを励磁することによって可動体を直線往復移動させるためには、前記永久磁石は、前記軸線方向に着磁されているものとすることができる。
【００２０】
この場合において、永久磁石の磁束を有効に利用するためには、前記可動体は、前記永久磁石の前記軸線方向の両側に隣接配置された第１磁性板および第２磁性板を備えていることが望ましい。
【００２１】
また、前記永久磁石として、前記軸線方向に配列された複数の永久磁石を備えており、各永久磁石は、隣りの永久磁石と同極が対向するように配置されていることが望ましい。このようにすれば、同極が対向している部分において磁束が集中するので、駆動コイルを励磁したときに大きな推力を得ることができる。
【００２２】
ここで、永久磁石として複数の永久磁石を備えている場合には、複数の永久磁石を軸線方向に配列すると各永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが積み上げられてしまい、全体として軸線方向における寸法のばらつきが大きくなってしまう。しかし、本発明によれば、複数の永久磁石が弾性部材とともにホルダに収納されており、積み上げられた寸法のばらつきは、弾性部材の弾性変形により吸収される。従って、ホルダ内に収納されている永久磁石の軸線方向の寸法にばらつきがあった場合でも、所定の位置に第１折り曲げ部を形成して、ホルダの軸線方向の寸法を所望の寸法とすることができる。また、複数の永久磁石が軸線方向において同極が対向するように配列されている場合には、これらの永久磁石を接着剤などで固定しようとすると永久磁石が互いに反発し合って組み立て作業の作業性が低下する。これに対して、本発明によれば、ホルダ内に弾性部材および各永久磁石を所定の順番で挿入し、しかる後に、ホルダの第１端部の開口端部分を折り曲げることにより可動体を組み立てることができる。すなわち、反発し合う永久磁石をホルダ内に保持しながら、接着剤を用いることなく可動体を組み立てることができるので、組み立て作業の作業性が向上する。
【００２３】
この場合において、永久磁石の間に集中している磁束を有効に利用するためには、前記可動体は、各永久磁石の間に配置された第３磁性板を備えていることが望ましい。
【００２４】
次に、本発明のバルブ装置は、
上記の電磁式直動アクチュエータと
流体流通口が形成されている弁座と、
前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖する閉鎖位置と、前記弁座から離れて前記流体流通口を開放している開放位置との間を移動して前記流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記弁体は、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体であることを特徴とする。
【００２５】
本発明のバルブ装置では、移動方向の寸法を正確に規定することができる構成を備えた電磁式直動アクチュエータの可動体を、流体流通路を開閉する弁体として利用している。ここで、弁体の移動範囲は、一般的に、弁体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から弁体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、弁体の移動方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって弁体の移動範囲を規定したときに、製品毎に弁体の移動距離がばらついてしまうことがない。この結果、流体流通口を開閉するための弁体の開閉ストロークを常に正確なものとすることができるので、流体流通口を開放したときの流体の流量が安定する。また、製品毎に弁体の移動距離がばらつくことがないので、弁体に搭載された永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、弁体を移動させる推力が安定する。
【００２６】
また、次に、本発明のバルブ装置は、
上記の電磁式直動アクチュエータと、
流体流通口が形成されている弁座と、
前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖する閉鎖位置と、前記弁座から離れて前記流体流通口を開放している開放位置との間を移動して前記流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記弁体は、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体であり、
前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記閉鎖位置において、前記第２開口部から露出している前記弾性部材の露出部分が前記弁座に当接して前記流体流通口を閉鎖することを特徴とする。
【００２７】
本発明のバルブ装置では、移動方向の寸法を正確に規定することができる構成を備えた電磁式直動アクチュエータの可動体を、流体流通路を開閉する弁体として利用している。ここで、弁体の移動範囲は、一般的に、弁体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から弁体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、弁体の移動方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって弁体の移動範囲を規定したときに、製品毎に弁体の移動距離がばらついてしまうことがない。この結果、流体流通口を開閉するための弁体の開閉ストロークを常に正確なものとすることができるので、流体流通口を開放したときの流体の流量が安定する。また、製品毎に弁体の移動距離がばらつくことがないので、弁体に搭載された永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、弁体を移動させる推力が安定する。さらに、ホルダに収納されている弾性部材によって流体流通口を封鎖するので、部品点数を増加させることなく、流体流通口を確実に閉鎖できる。
【００２８】
この場合において、前記電磁式直動アクチュエータは、外周面に前記駆動コイルが構成されている筒状のコイルボビンを備えており、前記コイルボビンの内側は、前記流体流通口に連通している流体流路となっており、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記流体流路内を前記コイルボビンの軸線方向に沿って移動可能となっていることが望ましい。このようにすれば、駆動コイルを構成するためのコイルボビンを利用してバルブ装置内の流体流路を設けることができるので、部品点数を削減できる。
【００２９】
この場合において、前記流体流路に流体を流入させる流体流入口を有しており、前記流体流通口は、流体を流出させる流体流出口となっており、前記電磁式直動アクチュエータの前記可動体は、前記第１蓋部材において前記第１開口部から前記ホルダの外側に露出している露出部分が前記流体流入口に対向しており、前記露出部分には、凹部が設けられていることが望ましい。このようにすれば、流体流入口側の流体圧が想定以上に上昇したときに、凹部によって圧力損失を生じさせて弁体を流体流出口の側に移動させ、流体流出口を閉じることができる。すなわち、ポンプ内に流れ込む流体の流体圧が想定以上に上昇したときに、その流体圧を利用して弁体を移動させて、流体流出口を閉じることができる。
【００３０】
次に、本発明は、駆動コイルを励磁することによって移動させられる電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法であって、
内側に折り曲がった折り曲げ部を一方の端部に備える筒状のホルダに弾性部材を収納し、
前記可動体の移動方向となっている前記ホルダの軸線方向に沿って着磁された永久磁石を、前記ホルダ内の軸線方向において前記弾性部材とは異なる位置に配置し、
前記ホルダの他方の開口端部分を９０°以上の角度で内側に折り曲げて、前記弾性部材を軸線方向に弾性変形させて圧縮させ、
前記弾性部材の弾性復帰力によって、前記永久磁石を前記折り曲げ部あるいは折り曲げによって形成された新たな折り曲げ部に直接あるいは間接的に押し付けることを特徴とする。
【００３１】
本発明によれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と弾性部材が配置されているので、製造誤差などによる永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきは、ホルダの他方の開口端部分に新たな折り曲げ部が形成される際の弾性部材の弾性変形によって吸収される。この結果、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。また、永久磁石は弾性部材の弾性復帰力によってホルダに固定されているので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。さらに、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【００３２】
この場合において、前記永久磁石として、複数の永久磁石を備えており、各永久磁石を、隣りの永久磁石と同極が対向するように前記ホルダに挿入することが望ましい。ここで、永久磁石として複数の永久磁石を備えている場合には、複数の永久磁石を軸線方向に配列すると各永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが積み上げられてしまい、全体として軸線方向における寸法のばらつきが大きくなってしまう。しかし、本発明によれば、複数の永久磁石が弾性部材とともにホルダに収納されており、積み上げられた寸法のばらつきは、弾性部材の弾性変形により吸収される。従って、ホルダ内に収納されている永久磁石の軸線方向の寸法にばらつきがあった場合でも、所定の位置に第１折り曲げ部を形成して、ホルダの軸線方向の寸法を所望の寸法とすることができる。また、複数の永久磁石が軸線方向において同極が対向するように配列されている場合には、これらの永久磁石を接着剤などで固定しようとすると永久磁石が互いに反発し合って組み立て作業の作業性が低下する。これに対して、本発明によれば、ホルダ内に弾性部材および各永久磁石を所定の順番で挿入し、しかる後に、ホルダの他方の開口端部分を折り曲げることにより可動体を組み立てることができる。すなわち、反発し合う永久磁石をホルダ内に保持しながら、接着剤を用いることなく可動体を組み立てることができるので、組み立て作業の作業性が向上する。
【００３３】
また、本発明の別の形態は、駆動コイルを励磁することによって移動させられる電磁式直動アクチュエータの可動体の組み立て方法であって、
内側に折り曲がった折り曲げ部を一方の端部に備える筒状のホルダに、前記軸線方向に向かって突出する突部を備えた中間部材を収納し、
前記可動体の移動方向となっている前記ホルダの軸線方向に沿って着磁された永久磁石を、前記ホルダ内の軸線方向において前記中間部材とは異なる位置に配置し、
前記ホルダの他方の開口端部分を９０°以上の角度で内側に折り曲げることにより前記突部を塑性変形させて潰した状態として、前記永久磁石を前記折り曲げ部と折り曲げによって形成された新たな折り曲げ部との間で前記軸線方向に移動しないように固定することを特徴とする。
【００３４】
本発明によれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と、軸線方向に突出する突部を備える中間部材が配置されており、製造誤差などによる永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきは、ホルダの他方の開口端部分に新たな折り曲げ部が形成される際の中間部材の突部の塑性変形により吸収される。この結果、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。また、永久磁石は軸線方向に突出していた中間部材の突部が潰れた状態となることによりホルダに固定されるので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。さらに、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【００３５】
この場合において、前記永久磁石として、複数の永久磁石を備えており、各永久磁石を、隣りの永久磁石と同極が対向するように前記ホルダに挿入することが望ましい。ここで、永久磁石として複数の永久磁石を備えている場合には、複数の永久磁石を軸線方向に配列すると各永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが積み上げられてしまい、全体として軸線方向における寸法のばらつきが大きくなってしまう。しかし、本発明によれば、複数の永久磁石が中間部材とともにホルダに収納されており、積み上げられた寸法のばらつきは、中間部材の突部の塑性変形により吸収される。従って、ホルダ内に収納されている永久磁石の軸線方向の寸法にばらつきがあった場合でも、所定の位置に第１折り曲げ部を形成して、ホルダの軸線方向の寸法を所望の寸法とすることができる。また、複数の永久磁石が軸線方向において同極が対向するように配列されている場合には、これらの永久磁石を接着剤などで固定しようとすると永久磁石が互いに反発し合って組み立て作業の作業性が低下する。これに対して、本発明によれば、ホルダ内に中間部材および各永久磁石を所定の順番で挿入し、しかる後に、ホルダの他方の開口端部分を折り曲げることにより可動体を組み立てることができる。すなわち、反発し合う永久磁石をホルダ内に保持しながら、接着剤を用いることなく可動体を組み立てることができるので、組み立て作業の作業性が向上する。
【発明の効果】
【００３６】
本発明の電磁式直動アクチュエータによれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と弾性部材が配置されているので、製造誤差などにより永久磁石の軸線方向の寸法にばらつきが発生していても、このばらつきは弾性部材の弾性変形によって吸収される。従って、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。ここで、可動体の移動範囲は、一般的に、可動体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から可動体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、可動体の軸線方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって可動体の移動範囲を規定したときに、製品毎に可動体の移動距離がばらついてしまうことがない。また、製品毎に可動体の移動距離がばらつくことがないので、永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、可動体を移動させる推力が安定する。さらに、永久磁石は弾性部材の弾性復帰力によってホルダに固定されているので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。また、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【００３７】
また、本発明の別の形態の電磁式直動アクチュエータによれば、可動体の移動方向の寸法、すなわち、可動体の軸線方向の寸法は、ホルダの第１折り曲げ部から第２折り曲げ部までの寸法により規定される。ここで、第１折り曲げ部と第２折り曲げ部の間には、永久磁石と、軸線方向に突出する突部を備える中間部材が配置されており、製造誤差などによる永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきは、中間部材の突部が塑性変形して潰れた状態となることにより吸収される。この結果、永久磁石の軸線方向の寸法のばらつきが可動体の移動方向の寸法に影響を及ぼすことがなく、可動体の移動方向の寸法を正確に規定することができる。ここで、可動体の移動範囲は、一般的に、可動体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から可動体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、可動体の軸線方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって可動体の移動範囲を規定したときに、製品毎に可動体の移動距離がばらついてしまうことがない。また、製品毎に可動体の移動距離がばらつくことがないので、永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、可動体を移動させる推力が安定する。さらに、永久磁石は軸線方向に突出していた中間部材の突部が潰れた状態となることによりホルダに固定されるので、ホルダ内において永久磁石が軸線方向に移動してしまうことがない。さらに、永久磁石を固定するために接着剤を用いる必要がないので、可動体の組み立て時に接着剤の膜厚を管理する必要がなく、組み立て作業が容易となる。
【００３８】
次に、本発明のバルブ装置では、移動方向の寸法を正確に規定することができる構成を備えた電磁式直動アクチュエータの可動体を、流体流通路を開閉する弁体として利用している。ここで、弁体の移動範囲は、一般的に、弁体が移動範囲の端に達したときに軸線方向から弁体に当接するストッパを設けることにより規定されるが、本発明によれば、弁体の移動方向の寸法が正確なので、このようなストッパによって弁体の移動範囲を規定したときに、製品毎に弁体の移動距離がばらついてしまうことがない。この結果、流体流通口を開閉するための弁体の開閉ストロークを常に正確なものとすることができるので、流体流通口を開放したときの流体の流量が安定する。また、製品毎に弁体の移動距離がばらつくことがないので、弁体に搭載された永久磁石と駆動コイルとの位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、弁体を移動させる推力が安定する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明を適用したバルブ装置の外観斜視図である。
【図２】本発明を適用したバルブ装置の分解斜視図である。
【図３】流路が閉じた状態となっているバルブ装置の縦断面図である。
【図４】弁体の縦断面図である。
【図５】弁体の組み立て方法を説明するための説明図である。
【図６】バルブ装置内の流路が開いた状態となっているバルブ装置の縦断面図である。
【図７】弁体の変形例を説明するための説明図である。
【図８】弁体の別の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下に図面を参照しながら、本発明を実施するための形態を説明する。
【００４１】
（全体構成）
図１は本発明を適用したバルブ装置の外観斜視図である。なお、以下の説明では、便宜上、バルブ装置の上下を図の上下に従って説明する。バルブ装置１は全体として円筒状をしており、円柱形状の胴部２と、軸線方向Ｌを胴部２から下方に同軸上に延びている流入管３と、軸線方向Ｌを胴部２から上方に同軸上に延びている流出管４を備えている。流入管３は胴部２よりも小径であり、その下端は液体や気体などの流体が流入する流入口３ａとなっている。流出管４は胴部２よりも小径であり、その上端は流体が流出する流出口４ａとなっている。胴部２の上端部分からは一対の端子ピン５が突出している。バルブ装置１は、流入口３ａから流出口４ａへと向かう流体の流れを制御する。
【００４２】
図２はバルブ装置１の分解斜視図であり、図３はその縦断面図である。図２では駆動コイルを省略して示してある。バルブ装置１は、胴部２の外壁構成している円筒形状のケース２１を有している。ケース２１の内側には樹脂製の第１流路構成部材２２が装着されており、第１流路構成部材２２の内側には軸線方向Ｌに移動可能な状態で弁体２３が挿入されている。第１流路構成部材２２の上端部分には、下端に円環状のフランジ部２４１を備える樹脂製の第２流路構成部材２４がＯリング２５を介して取り付けられている。また、第１流路構成部材２２の上方には、第１流路構成部材２２との間で第２流路構成部材２４のフランジ部２４１を挟むようにして、円環状の押さえ部材２６が配置されている。押さえ部材２６は半径方向に突出する係合部２６１を備えており、この係合部２６１がケース２１の上端開口縁２１１に設けられた凹部２１２に嵌め込まれることによってケース２１に固定されている。ケース２１および押さえ部材２６は磁性材料から形成されている。
【００４３】
第１流路構成部材２２は、内側が流体流路２２１となっている筒状胴部２２２と、筒状胴部２２２の上端で外周側に拡径して上方に突出している円環状のフランジ部２２３と、筒状胴部２２２の外周面に設けられている第１〜第４円環状突部２２２ａ〜２２２ｄと、筒状胴部２２２の下側に連続するように設けられており、流体流路２２１と流入口３ａとを連続させる流体流入路２２４が形成された流入路形成部２２５を備えている。
【００４４】
円環状のフランジ部２２３は、内周側に、筒状胴部２２２の内周面から連続する小径開口部２２３ａと、この小径開口部２２３ａの上側で当該開口部よりも大径の大径開口部２２３ｂを備えており、小径開口部２２３ａと大径開口部２２３ｂとの境界部分に円環状段部２２３ｃが構成されている。円環状段部２２３ｃには第２流路構成部材２４のフランジ部２４１がＯリング２５を介して挿入されている。
【００４５】
第１〜第４円環状突部２２２ａ〜２２２ｄは、上端に位置する第１円環状突部２２２ａとフランジ部２４１の間、および、各円環状突部２２２ａ〜２２２ｄの間が等間隔となるように設けられている。筒状胴部２２２はコイルボビンとして機能しており、フランジ部２４１と第１円環状突部２２２ａの間の区画、第１円環状突部２２２ａと第２円環状突部２２２ｂの間の区画、第２円環状突部２２２ｂと第３円環状突部２２２ｃの間の区画、および、第３円環状突部２２２ｃと第４円環状突部２２２ｄの間の区画は、それぞれコイル線が巻回されるコイル巻回部２２６として利用される。すなわち、これらのコイル巻回部２２６にコイル線が巻き回させることによって筒状胴部２２２の外周面には第１〜第４駆動コイル２７〜３０が構成されている。第１〜第４駆動コイル２７〜３０は軸線方向Ｌで同じ幅に形成されているとともに、軸線方向Ｌで隣接する駆動コイル２７〜３０同士でコイル線の巻き回し方向が逆となっている。また、第１〜第４駆動コイル２７〜３０は、２本の端子ピン５に対して電気的に直列に接続されている。ここで、ケース２１および押さえ部材２６は第１〜第４駆動コイル２７〜３０の外周側を覆うヨークとして機能している。
【００４６】
流入路形成部２２５は、筒状胴部２２２および第４円環状突部２２２ｄに連続している大径部分２２５ａと、大径部分２２５ａと同軸上に設けられた小径部分２２５ｂと、大径部分２２５ａと小径部分２２５ｂとの間に設けられた段部２２５ｃを備えている。
【００４７】
流体流入路２２４は、流入路形成部２２５を軸線方向Ｌに貫通するように設けられており、小径部分２２５ｂは流入管３となっている。また、流体流入路２２４は、流入路形成部２２５において筒状胴部２２２の内側の流体流路２２１と連続する部分に設けられた大径流路部分２２４ａと、大径流路部分２２４ａよりも小径で大径流路部分２２４ａと流入口３ａとを連通させている小径流路部分２２４ｂとを備えている。大径流路部分２２４ａおよび小径流路部分２２４ｂは流体流路２２１と同軸上に設けられており、大径流路部分２２４ａと流体流路２２１とは段差なく連続している。大径流路部分２２４ａと小径流路部分２２４ｂとの間の円環状段部２２４ｃには、周方向の複数個所にストッパ２２５ｄが設けられている。ストッパ２２５ｄは、弁体２３の移動範囲の下端を規定するものであり、弁体２３が移動範囲の下端に達したときに、下方から弁体２３に当接して、弁体２３を停止させる。
【００４８】
第２流路構成部材２４は、円柱部２４２と、この円柱部２４２の下端に形成された円環状のフランジ部２４１と、これらの中心軸線に沿って設けられた貫通穴２４３を備えている。第２流路構成部材２４は、そのフランジ部２４１が第１流路構成部材２２のフランジ部２２３の円環状段部２２３ｃに挿入されることによって貫通穴２４３と第１流路構成部材２２の筒状胴部２２２とが同軸上に位置決めされた状態で固定されており、これにより、貫通穴２４３は、流体流路２２１と同軸上で、流体流路２２１と流出口４ａを連通させる流体流出路２４４となっている。
【００４９】
第２流路構成部材２４の下端面には、流体流出路２４４の下端開口（流体流通路、流体流出口）２４４ａの周りに円環状凹部２４５が形成されている。この結果、流体流出路２４４の下端開口２４４ａの周縁は環状突部となっており、この環状突部は、流体流出路２４４の下端開口２４４ａを開閉する弁体２３の弁座２４６となっている。図３に示す状態では、弁体２３は弁座２４６に当接して流体流出路２４４の下端開口２４４ａを塞いでおり、流入口３ａから流体流入路２２４、流体流路２２１、流体流出路２４４を介して流出口４ａに至るバルブ装置１の内側の流路を閉じた状態としている。
【００５０】
ここで、弁体２３は、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを搭載しており、第１〜第４駆動コイル２７〜３０が励磁されることによって、図３に示すように、弁体２３の上端が弁座２４６に当接して流体流出路２４４の下端開口（流体流通路）２２４ａを閉鎖している閉鎖位置２３Ａと、図６に示すように、弁体２３の下端がストッパ２２５ｄに当接して流体流出路２４４の下端開口２４４ａを開放状態としている開放位置２３Ｂとの間を直動する。すなわち、弁体２３は第１〜第４駆動コイル２７〜３０によって直線駆動される可動体であり、第１〜第４駆動コイル２７〜３０および弁体２３は電磁式直動アクチュエータを構成している。
【００５１】
（弁体）
図４（ａ）は弁体２３の縦断面図であり、図４（ｂ）は弁体２３の上端部分を拡大した部分拡大図であり、図４（ｃ）は弁体２３の下端部分を拡大した部分拡大図である。弁体２３は筒状のホルダ２３２を有している。ホルダ２３２の上端部には、内側に折り曲げられた上端折り曲げ部（第２折り曲げ部）２３２ｂが形成されており、上端折り曲げ部２３２ｂの中央には上端開口（第２開口部）２３２ｃが設けられている。ホルダ２３２の下端部には、内側に折り曲げられた下端折り曲げ部（第１折り曲げ部）２３２ｄが形成されており、下端折り曲げ部２３２ｄの中央には下端開口（第１開口部）２３２ｅが設けられている。上端折り曲げ部２３２ｂおよび下端折り曲げ部２３２ｄは、その折り曲げた部分が軸線方向Ｌに直交する水平に延びている。また、下端折り曲げ部２３２ｄの下端開口２３２ｅの縁部分は９０°以上の角度で上側に折り曲げられている。
【００５２】
ホルダ２３２内には、上端折り曲げ部２３２ｂの側から軸線方向Ｌに圧縮された状態の弾性部材２３３、上側蓋部材（第２蓋部材）２３４、円柱形状の第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、下側蓋部材（第１蓋部材）２３５が収納されている。また、第１永久磁石２３１ａの上端、第３永久磁石２３１ｃの下端、および、隣り合う第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの間は、円板状の磁性板２３６ａ〜２３６ｄ（第１〜第４磁性板）が配置されている。
【００５３】
ホルダ２３２は、ステンレス鋼製であり、上端折り曲げ部２３２ｂは、所定長さに切断されたステンレスパイプの一方の端部を内側に折り曲げることによって形成されたものであり、上端開口２３２ｃは上端折り曲げ部２３２ｂが形成される際に、その内側に開いた孔部である。下端折り曲げ部２３２ｄは、ホルダ２３２内に配置された部材を治具等で上側に押し付けた状態で、ステンレスパイプの他方の端部を内側に折り曲げることによって形成されたものであり、下端開口２３２ｅは下端折り曲げ部２３２ｄが形成される際に、その内側に開いた孔部である。なお、ステンレス製の有底筒を用い、この底面を上端折り曲げ部２３２ｂとするとともに、底面の中央をプレスで打ち抜いて孔部を形成することにより、上端開口２３２ｃを設けてもよい。また、ホルダ２３２は非磁性であればよく、例えば、アルミ、チタン、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂から形成することもできる。
【００５４】
弾性部材２３３は、図４（ｂ）に示すように、大径円盤部２３３ａと、大径円盤部２３３ａから上方に同軸上に突出している上側小径円盤部２３３ｂと、大径円盤部２３３ａから下方に同軸上に突出している下側小径円盤部２３３ｃと、下側小径円盤部２３３ｃから下方に同軸上に突出する突出部２３３ｄを備えている。下側小径円盤部２３３ｃは上側小径円盤部２３３ｂよりも大径であり、突出部２３３ｄの外面は、弾性部材２３３の軸線を中心として外周側へ向って上に湾曲する凸曲面２３３ｅとなっている。大径円盤部２３３ａはホルダ２３２の上端折り曲げ部２３２ｂの内側面に当接して上端開口２３２ｃを塞いでおり、上側小径円盤部２３３ｂは、上端開口２３２ｃを介してホルダ２３２の外側に突出している。上側小径円盤部２３３ｂの外周面と上端開口２３２ｃの内周縁との間には隙間が設けられており、上側小径円盤部２３３ｂと、上端折り曲げ部２３２ｂとは非接触の状態となっている。
【００５５】
ここで、弾性部材２３３は、その材質がゴムである。本形態においては、エチレンとプロビレンとの重合体からなるエチレンプロピレンゴムに非共役ジエンをごく少量添加したＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）であり、流体として有機溶剤を使用する場合などにおいて、耐薬品性が高い。なお、弾性部材２３３としては、非共役ジエンを添加しないエチレンとプロビレンとの重合体からなるエチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、シリコーンゴム、フッ素ゴム等を用いることもできる。また、これらのゴムに耐薬品性を向上させるためのコーティングを施したものを弾性部材２３３としてもよい。
【００５６】
上側蓋部材２３４は、外径寸法がホルダ２３２の内径寸法と対応する寸法に設定されている大径部２３４ａと、この大径部２３４ａよりも小径で、大径部２３４ａから下方に同軸上に突出している小径部２３４ｂを備えている。大径部２３４ａの外周面２３４ｃはホルダ２３２の内周面２３２ａに当接している。大径部２３４ａの上端面の外周縁は切り欠かれており、これにより円環状のテーパー面２３４ｄが形成されている。大径部２３４ａの中央部分には凹部２３４ｅが設けられており、凹部２３４ｅの底面の中央部分には、中心が下方に窪む凹曲面２３４ｆが形成されている。
【００５７】
弾性部材２３３は、突出部２３３ｄの凸曲面２３３ｅと凹曲面２３４ｆが当接した状態で、下側小径円盤部２３３ｃおよび突出部２３３ｄが凹部２３４ｅに嵌り込んでいる。図４に示す状態では、弾性部材２３３は、大径円盤部２３３ａが上端折り曲げ部２３２ｂと上側蓋部材２３４との間で圧縮されており、弾性部材２３３の大径円盤部２３３ａの外周縁は、大径部２３４ａの上端面の外周縁のテーパー面２３４ｄの上方まで達している。なお、テーパー面２３４ｄが形成されることによって上側蓋部材２３４とホルダ２３２の内周面２３２ａとの間に設けられた空間は、圧縮によって弾性変形した大径円盤部２３３ａの一部分を逃す逃し空間２３２ｆとなっている。
【００５８】
上側蓋部材２３４の大径部２３４ａと小径部２３４ｂの境界部分に構成された円環状段部２３４ｇには、上側Ｏリング（環状の第２弾性部材）２３７が配置されている。上側Ｏリング２３７は、小径部２３４ｂの外周側に配置されており、図４に示す状態では、軸線方向と直交する方向に圧縮された状態で小径部２３４ｂの外周面２３４ｈおよびホルダ２３２の内周面２３２ａに当接している。この結果、上側Ｏリング２３７は、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮するものとなっている。
【００５９】
上側蓋部材２３４は有機溶剤に強く、強度があるＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）から形成されている。ここで、上側蓋部材２３４をＰＰＳから形成すればモールド成型が可能となるので、量産に適する。また、ＰＰＳには耐熱性があるので、上側蓋部材２３４をＰＰＳから形成することにより、上側蓋部材２３４と弾性部材２３３とを金型内で一体成形させる焼き付け成形により一体化しておくことができる。なお、弾性部材２３３の突出部２３３ｄの外面が凸曲面２３３ｅとなっており、突出部２３３ｄが収納される凹部２３４ｅの底面に凸曲面２３３ｅと対応する凹曲面２３４ｆが形成されていることにより、弾性部材２３３と上側蓋部材２３４の接触面積が広く確保されている。従って、弾性部材２３３と上側蓋部材２３４とを一体化しておく場合には、これらの接着強度が向上する。
【００６０】
次に、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃは、図４（ａ）に示すように、隣り合う永久磁石同士が互いに同極を相手方の永久磁石の方に向けている。より詳細には、上端の第１永久磁石２３１ａは上がＮ極、下がＳ極となるように配置されており、その下方に隣接配置されている第２永久磁石２３１ｂは上がＳ極、下がＮ極となるように配置されており、さらにその下方に配置されている第３永久磁石２３１ｃは上がＮ極、下がＳ極となるように配置されている。この結果、弁体２３では、特に同極を同士を対向して配置している磁性板２３６ｂ、２３６ｃが位置する個所では磁束が集中している。
【００６１】
下側蓋部材２３５は、図４（ｃ）に示すように、外径寸法がホルダ２３２の内径寸法と対応する寸法に設定された大径部２３５ａと、この大径部２３５ａよりも小径で、大径部２３５ａから上方に同軸上に突出している小径部２３５ｂを備えている。大径部２３５ａの外周面２３５ｃはホルダ２３２の内周面２３２ａに当接している。下側蓋部材２３５の下端面の中央部分には凹部２３５ｄが設けられている。この凹部２３５ｄの底面は、中央が上方に窪む凹曲面２３５ｈとなっている。ここで、下側蓋部材２３５は有機溶剤に強く、強度があるＰＰＳから形成されている。なお、上側蓋部材２３４をＰＰＳから形成すればモールド成型が可能となるので、量産に適する。
【００６２】
下側蓋部材２３５の大径部２３５ａと小径部２３５ｂの境界部分に構成された円環状段部２３５ｆには、下側Ｏリング（環状の第１弾性部材）２３８が配置されている。下側Ｏリング２３８は、小径部２３５ｂの外周側に配置されており、図４に示す状態では、軸線方向Ｌと直交する方向に圧縮された状態で小径部２３５ｂの外周面２３５ｇおよびホルダ２３２の内周面２３２ａに当接している。この結果、下側Ｏリング２３８は、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮するものとなっている。
【００６３】
（弁体の組み立て方法）
図５は弁体２３の組み立て方法を説明するための説明図である。弁体２３を組み立てる際には、図５（ａ）に示すように、弾性部材２３３を上側蓋部材２３４の凹部２３４ｅに装着するとともに、上側Ｏリング２３７を上側蓋部材２３４の円環状段部２３４ｇに装着した状態として、これらをホルダ２３２に収納する。
【００６４】
ここで、ホルダ２３２は、上端に軸線方向Ｌと直交するように水平に折り曲げられた上端折り曲げ部２３２ｂを備えているが、下端は開口する開口端部分２３２ｇとなっており、下端折り曲げ部２３２ｄは形成されていない。この状態では、ホルダ２３２の軸線方向Ｌの寸法は、弁体２３の軸線方向Ｌの寸法として予め定めた寸法Ｎよりもαだけ長い寸法となっている。また、弾性部材２３３は、上側蓋部材２３４から上方に突出している大径円盤部２３３ａの軸線方向Ｌの寸法が寸法Ｍ＋αとなっており、弾性部材２３３の外周縁はテーパー面２３４ｄの上方には達していない。
【００６５】
次に、磁性板２３６ａ、第１永久磁石２３１ａ、磁性板２３６ｂ、第２永久磁石２３１ｂ、磁性板２３６ｃ、第３永久磁石２３１ｃ、磁性板２３６ｄを、この順番でホルダ２３２に収納する。その後、下側Ｏリング２３８を下側蓋部材２３５の円環状段部２３５ｆに装着した状態として、これらをホルダ２３２に収納する。
【００６６】
しかる後に、図５（ｂ）に矢印で示すように、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇを内側に折り曲げる。より具体的には、ホルダ２３２内に収納した部材を治具等で上方に押し上げた状態で、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇを９０°以上の角度で内側に寸法α分だけ折り曲げて、図５（ｃ）に示すように、ホルダ２３２の軸線方向Ｌの寸法を予め定めた寸法Ｎに規定する。
【００６７】
下端折り曲げ部２３２ｄが形成されると、下端折り曲げ部２３２ｄが下側蓋部材２３５の円環状の下端面２３５ｅに当接して下側蓋部材２３５を上方に押し上げた状態となる。これにより、弾性部材２３３の大径円盤部２３３ａは軸線方向Ｌに弾性変形して寸法αだけ縮んだ状態となる。また、軸線方向Ｌに圧縮された大径円盤部２３３ａは、外周縁が上側蓋部材２３４のテーパー面２３４ｄ上に達した状態となる。すなわち、弾性変形した大径円盤部２３３ａの一部分は、逃し空間２３２ｆに逃げた状態となる。
【００６８】
弾性部材２３３が軸線方向Ｌに縮んだ状態となると、この弾性部材２３３の弾性復帰力によって、上側蓋部材２３４、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ〜２３６ｄ、および、下側蓋部材２３５がホルダ２３２内において軸線方向Ｌに移動しない状態で固定される。
【００６９】
換言すれば、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃは、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇが折り曲げられる際に軸線方向Ｌに圧縮された弾性部材２３３の弾性復帰力によって、下端折り曲げ部２３２ｄに間接的に押し付けられて固定される。この結果、ホルダ２３２における第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの搭載位置は、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃが間接的に押し付けられている下端折り曲げ部２３２ｄに基づいて規定された状態となる。すなわち、上端折り曲げ部２３２ｂ、下端折り曲げ部２３２ｄ、および、弾性部材２３３は、ホルダ２３２内における第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの軸線方向Ｌでガタ付かないように位置決め固定する固定機構として機能する。
【００７０】
また、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇが折り曲げられて、下端折り曲げ部２３２ｄが形成された状態では、弾性部材２３３、上側蓋部材２３４および上側Ｏリング２３７は、上端開口２３２ｃをシールするシール機構（第２シール機構）として機能し、下側蓋部材２３５および下側Ｏリング２３８は下端開口２３２ｅをシールするシール機構（第１シール機構）として機能する。この結果、ホルダ２３２内は気密状態あるいは液密状態に保持される。
【００７１】
より詳細には、弾性部材２３３は、圧縮された状態で上端折り曲げ部２３２ｂに当接して上端開口２３２ｃを密封しており、軸線方向Ｌにおいてシール性を発揮している。また、上側蓋部材２３４の円環状段部２３４ｇに配置された上側Ｏリング２３７は、軸線方向Ｌと直交する方向に圧縮された状態で小径部２３４ｂの外周面２３４ｈおよびホルダ２３２の内周面２３２ａに当接した状態となっており、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮している。
【００７２】
また、下側蓋部材２３５の大径部２３５ａは、弾性部材２３３の弾性復帰力によって下端折り曲げ部２３２ｄに押し付けられた状態で下端開口２３２ｅを封鎖している。下側蓋部材２３５の円環状段部２３６ｂに配置された下側Ｏリング２３８は、軸線方向Ｌと直交する方向に圧縮された状態で小径部２３５ｂの外周面２３５ｇおよびホルダ２３２の内周面２３２ａに当接した状態となっており、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮している。
【００７３】
なお、折り曲げによって形成された下端折り曲げ部２３２ｄの先端部を、下側蓋部材２３５の凹部２３５ｄの内側に向って、上方に折り曲げておいてもよい。
【００７４】
（バルブ装置の動作）
次に、図３および図６を参照してバルブ装置１の動作を説明する。図６はバルブ装置１の縦断面図であり、弁体２３が開放位置２３Ｂに位置している状態を示している。
【００７５】
まず、図３に示す状態は、第１〜第４駆動コイル２７〜３０は励磁されておらず、弁体２３は、弁体２３の永久磁石２３１ａ〜２３１ｃと、押さえ部材２６の磁気的な吸引力Ｆ１によって閉鎖位置２３Ａに保持されている状態である。閉鎖位置２３Ａでは、弁体２３は流体流路２２１の上端まで移動しており、弁体２３の弾性部材２３３が弁座２４６に当接して流体流出路２４４の下端開口２４４ａを塞いでいる。これにより、流入口３ａから流体流入路２２４、流体流路２２１、流体流出路２４４を介して流出口４ａに至るバルブ装置１の内側の流路は閉じた状態となっている。また、弁体２３は、流体流出路２４４の下端開口２４４ａが設けられている弁座２４６よりも流入口３ａの側、すなわち、流体の流通方向の上流側に位置しているので、流入口３ａからバルブ装置１へ流れ込む流体の流体圧（背圧）が弁体２３を閉鎖位置２３Ａに向かって移動させる方向に力Ｆ２を働かせている。
【００７６】
次に、バルブ装置１の内側の流路を開いた状態とする際には、第１〜第４駆動コイル２７〜３０を所定の極性に励磁する。第１〜第４駆動コイル２７〜３０が励磁されると、第１〜第４駆動コイル２７〜３０を流れる励磁電流の向きと、永久磁石２３１ａ〜２３１ｃによる磁束の軸線方向Ｌと直交する垂直成分の向きが直交する。この結果、永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの磁束と第１〜第４駆動コイル２７〜３０との間に働くローレンツ力が、弁体２３を閉鎖位置２３Ａから下方へと移動させる力Ｆ３として働く（図６参照）。
【００７７】
ここで、第１〜第４駆動コイル２７〜３０への励磁開始時点では、図３に示すように、弁体２３の磁性板２３６ａ〜２３６ｄは、対応する第１〜第４駆動コイル２７〜３０の軸線方向Ｌの中央に位置しており、永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの磁束のうち軸線方向Ｌと直交する垂直成分が第１〜第４駆動コイル２７〜３０と鎖交する磁界を効率よく形成しているので、力Ｆ３として大きな推力が発生する。従って、弁体２３は、押さえ部材２６との間の磁気的な吸引力Ｆ１、および、流入口３ａらバルブ装置１内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力Ｆ２に抗して下方の開放位置２３Ｂに移動する。
【００７８】
図６に示すように、弁体２３が開放位置２３Ｂに移動すると、弁体２３は流体流出路２４４の下端開口２４４ａから流体の流通方向の上流側に離間する。開放位置２３Ｂでは、弁体２３は、磁性板２３６ａ〜２３６ｄが、それぞれ対応する第１〜第４駆動コイル２７〜３０の下側部分に位置した状態となる。また、弁体２３は、ホルダ２３２の下端折り曲げ部２３２ｄが第１流路構成部材２２のストッパ２２５ｄに当接した状態となり、流入口３ａから流体流入路２２４、流体流路２２１、流体流出路２４４を介して流出口４ａに至る流路は開いた状態となる。この結果、流入口３ａから流体流入路２２４を介して流入した流体は、流体流路２２１において弁体２３のホルダ２３２の外周面と筒状胴部２２２の内周面との間を流れ、流体流出路２４４の下端開口２４４ａを介して、流体流出路２４４を通過して、流出口４ａから流出する。
【００７９】
ここで、弁体２３が開放位置２３Ｂに移動すると、流体流入路２２４の小径流路部分２２４ｂの上端開口（流体流入口）２２４ｄと、弁体２３の下側蓋部材２３５の凹部２３５ｄとが狭い間隔をあけて対向した状態となる。従って、流体流入路２２４の側の流体圧が想定以上に上昇すると、凹部２３５ｄによって圧力損失が生じ、弁体２３が流体流出路２４４の側に移動して流体流出路２４４の下端開口２４４ａを閉じる。すなわち、本例によれば、流入口３ａの側の流体圧が想定以上に上昇したときに、その流体圧を利用して弁体２３が移動して、流入口３ａから流出口４ａに至る流路が閉じられる。
【００８０】
次に、バルブ装置１の内側の流路を閉じた状態に戻す際には、弁体２３を閉鎖位置２３Ａから開放位置２３Ｂへ移動させる場合とは逆極性の励磁電流を第１〜第４駆動コイル２７〜３０へ供給する。これにより、弁体２３は、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃと第１〜第４駆動コイル２７〜３０との間に発生するローレンツ力、弁体２３と押さえ部材２６との間の磁気的な吸引力Ｆ１および流入口３ａからバルブ装置１へ流れ込む流体の流体圧に起因する力Ｆ２によって上方に移動して、閉鎖位置２３Ａに至る。この結果、弾性部材２３３が弁座２４６に当接して、流体流出路２４４の下端開口２４４ａを塞いだ状態となる。
【００８１】
（作用効果）
本例によれば、弁体２３の移動方向の寸法Ｎは、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇに下端折り曲げ部２３２ｄが形成されることにより正確に規定されている。また、本例によれば、弁体２３の移動方向の寸法が正確に規定されているので、ストッパ２２５ｄによって弁体２３体の移動範囲を規定したときに、弁体の移動距離が正確に規定される。この結果、流体流出路２４４の下端開口２４４ａを開閉するための弁体２３の開閉ストロークを常に正確なものとすることができるので、流体流出路２４４の下端開口２４４ａを開放したときの流体の流量が安定する。また、製品毎に弁体２３の移動距離がばらつくことがないので、弁体２３に搭載された第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃと第１〜第４駆動コイル２７〜３０との位置関係が製品毎に変化してしまうことがなく、弁体２３を移動させる推力が安定する。
【００８２】
また、本例のように弁体２３が複数の永久磁石を搭載している場合には、これら複数の永久磁石を軸線方向Ｌに配置すると、各永久磁石の軸線方向Ｌの寸法のばらつきが積み上げられてしまい、全体として軸線方向Ｌにおける寸法のばらつきが大きくなってしまう。しかし、本例によれば、ホルダ２３２には第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃとともに弾性部材２３３が収納されているので、ホルダ２３２に収納された各永久磁石の軸線方向Ｌの寸法がばらついていても、このばらつきは、下端折り曲げ部２３２ｄが形成される際における弾性部材２３３の弾性変形により吸収される。従って、ホルダ２３２内に収納されている第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの軸線方向Ｌの寸法にばらつきがあった場合でも、所定の位置に下端折り曲げ部２３２ｄを形成して、ホルダ２３２の軸線方向Ｌの寸法を所望の寸法Ｎとすることができる。
【００８３】
また、本例の弁体２３では、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃが軸線方向Ｌで同極が対向するように配置されているので、これらの永久磁石を接着剤などで固定しようとすると永久磁石が互いに反発し合って組み立て作業の作業性が低下してしまう。これに対して、本例では、ホルダ２３２に、上側蓋部材２３４、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ〜２３６ｄ、および、下側蓋部材２３５を所定の順番で挿入し、しかる後に、下端折り曲げ部２３２ｄを形成するだけで弁体２３の組み立て作業が完了する。すなわち、反発し合う第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃをホルダ２３２内に保持しながら、弁体２３を組み立てることができるので、組み立て作業の作業性が向上する。また、弾性部材２３３の弾性復帰力を利用して、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを固定しているので、弁体２３を組み立てる組み立て作業において接着剤を必要がなく、接着剤の膜厚を管理する必要もない。従って、弁体２３を組み立てる組み立て作業の作業性がよい。
【００８４】
さらに、本例では、ホルダ２３２内には、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃが軸線方向Ｌで同極が対向するように配置されている。この結果、同極が対向している部分に磁束が集中するので、第１〜第４駆動コイル２７〜３０を励磁したときに大きな推力を得ることができる。
【００８５】
また、本例によれば、ホルダ２３２の上端折り曲げ部２３２ｂの内側の上端開口２３２ｃは、弾性部材２３３、上側蓋部材２３４および下側Ｏリング２３８によって密封され、ホルダ２３２の下端折り曲げ部２３２ｄの内側の下端開口２３２ｅは下側蓋部材２３５および下側Ｏリング２３８によって密封され、これにより、ホルダ２３２内は気密状態あるいは液密状態に保持される。この結果、弁体２３が流体に晒されても、弁体２３のホルダ２３２内に収納された永久磁石の酸化や劣化を防止できるので、長期間に渡り弁体２３の推力を維持することができる。さらに、弾性部材２３３はＥＰＤＭから形成され、上側蓋部材２３４および下側蓋部材２３５がＰＰＳから形成されているので、流体として有機溶剤を使用した場合でも、ホルダ２３２内の第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを保護することができる。
【００８６】
さらに、本例では、弁体２３が開放位置２３Ｂに移動すると、流体流入路２２４の小径流路部分２２４ｂの上端開口２２４ｄと、弁体２３の下側蓋部材２３５の凹部２３５ｄとが狭い間隔をあけて対向した状態となる。従って、流体流入路２２４の側の流体圧が想定以上に上昇すると、凹部２３５ｄによって圧力損失が生じ、弁体２３が流体流出路２４４の側に移動して流体流出路２４４の下端開口２４４ａを閉じる。すなわち、本例によれば、流入口３ａの側の流体圧が想定以上に上昇したときに、その流体圧を利用して弁体２３が移動して、流入口３ａから流出口４ａに至る流路が閉じられる。
【００８７】
また、本例では、上側蓋部材２３４および下側蓋部材２３５がＰＰＳから形成されているので、強度がある。従って、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇが折り曲げられて、下端折り曲げ部２３２ｄが形成されたときに、これら上側蓋部材２３４および下側蓋部材２３５に負荷がかかっても、上側蓋部材２３４および下側蓋部材２３５が破損することがない。
【００８８】
（変形例１）
次に、図７を参照して弁体２３の変形例を説明する。図７は変形例の弁体２３´を説明するための説明図である。なお、変形例の弁体２３´は上記の弁体２３と対応する構成を備えているので、対応する部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００８９】
図７（ｂ）に示すように、変形例の弁体２３´では、弾性部材２３３´は、上側小径円盤部２３３ｂ´と、上側小径円盤部２３３ｂ´から下方に同軸上に突出している下側小径円盤部２３３ｃ´を備えている。下側小径円盤部２３３ｃ´は上側小径円盤部２３３ｂ´よりも大径となっており、下側小径円盤部２３３ｃ´の下面は、凸曲面２３３ｅ´となっている。
【００９０】
上側蓋部材（中間部材）２３４´は、大径部２３４ａの中央部分に凹部２３４ｅ´を備えている。凹部２３４ｅ´の深さ寸法は、弾性部材２３３´の下側小径円盤部２３３ｃ´の厚さ寸法と対応する寸法となっており、凹部２３４ｅ´の底面は下側小径円盤部２３３ｃ´の下面と対応する凹曲面２３４ｆ´となっている。弾性部材２３３´の下側小径円盤部２３３ｃは、凹部２３４ｅ´に嵌合した状態で収納されている。また、上側蓋部材２３４´には、上端面に軸線方向Ｌの高さ寸法がＭ＋αとなる円環状の突部２３４ｉが形成されている。
【００９１】
弁体２３´を組み立てる際には、図７（ｂ）に示すように、弾性部材２３３´および上側Ｏリング２３７を上側蓋部材２３４´に装着した状態として、これらをホルダ２３２に収納する。次に、磁性板２３６ａ、第１永久磁石２３１ａ、磁性板２３６ｂ、第２永久磁石２３１ｂ、磁性板２３６ｃ、第３永久磁石２３１ｃ、磁性板２３６ｄを、この順番でホルダ２３２に収納する。その後、下側Ｏリング２３８を下側蓋部材２３５の円環状段部２３５ｆに装着した状態として、これらをホルダ２３２に収納する。
【００９２】
ここで、本例では、図７（ａ）に示すように、上側蓋部材２３４´の上端面２３４ｄには突部２３４ｉが形成されている。従って、図７（ｃ）に示すように、上側蓋部材２３４´、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ〜２３６ｄ、および、下側蓋部材２３５が所定の順番でホルダ２３２内に挿入された状態では、上側蓋部材２３４´の突部２３４ｉの上端がホルダ２３２の上端折り曲げ部２３２ｂに当接した状態となっている。
【００９３】
しかる後に、図７（ｃ）に矢印で示すように、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇを内側に折り曲げる。より具体的には、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇを９０°以上の角度で内側に寸法α分だけ折り曲げて、図７（ｄ）に示すように、ホルダ２３２の軸線方向Ｌの寸法を予め定めた寸法Ｎに規定する。
【００９４】
ここで、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇが折り曲げられて下端折り曲げ部２３２ｄが形成されると、ホルダ２３２内における軸線方向Ｌの隙間が取り除かれて突部２３４ｉが塑性変形して寸法αだけ軸線方向Ｌに潰れた状態となり、これにより、上側蓋部材２３４´、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ〜２３６ｄ、および、下側蓋部材２３５が、上側蓋部材２３４と下端折り曲げ部２３２ｄの間で軸線方向Ｌに移動しない状態で位置決め固定される。すなわち、下側蓋部材２３５、上側蓋部材２３４および上側蓋部材２３４´が、ホルダ２３２内における第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを固定する固定機構として機能する。また、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを固定するために接着剤を用いる必要がないので、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの搭載位置を正確なものとするために接着剤の膜厚を管理する必要がない。従って、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを搭載する弁体２３の組み立て作業が容易となる。
【００９５】
また、ホルダ２３２には第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃとともに塑性変形する突部２３４ｉを備える上側蓋部材２３４´が収納されているので、ホルダ２３２に収納された第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの軸線方向Ｌの寸法がばらついていても、このばらつきは、下端折り曲げ部２３２ｄが形成される際における突部２３４ｉの塑性変形により吸収される。従って、ホルダ２３２内に収納されている第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの軸線方向Ｌの寸法にばらつきがあった場合でも、カシメによって所定の位置に下端折り曲げ部２３２ｄを形成して、ホルダ２３２の軸線方向Ｌの寸法を所望の寸法Ｎとすることができる。
【００９６】
また、本例においても、ホルダ２３２の上端折り曲げ部２３２ｂに形成された上端開口２３２ｃは、弾性部材２３３´、上側蓋部材２３４´および下側Ｏリング２３８によって密封され、ホルダ２３２の開口端部分２３２ｇは下側蓋部材２３５および下側Ｏリング２３８によって密封され、これにより、ホルダ２３２内は気密状態あるいは液密状態に保持される。従って、弁体２３´が流体に晒されても、弁体２３´のホルダ２３２内に収納された永久磁石の酸化や劣化を防止できるので、長期間に渡り弁体２３´の推力を維持することができる。
【００９７】
（変形例２）
図８は別の変形例の弁体を示す断面図である。なお、本例の弁体２３´´は上記の弁体２３と対応する構成を備えているので、対応する部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００９８】
上記の例では、いずれも、ホルダ２３２の上端折り曲げ部２３２ｂには上端開口２３２ｃが形成されているが、本例では、ホルダ２３２´の上端折り曲げ部２３２ｂは円形の端板として構成されており、上端開口２３２ｃは形成されていない。また、ホルダ２３２´の上端折り曲げ部２３２ｂの上面には、円形のゴムシート２３９が接着等の方法で取り付けられている。さらに、ホルダ２３２´内において、上端折り曲げ部２３２ｂと隣接する位置には円柱形状の弾性部材２３３´´が圧縮された状態で配置されており、上側蓋部材２３４´および上側Ｏリング２３７は配置されていない。
【００９９】
このように構成した場合でも、弁体２３´´の移動方向の寸法Ｎは、ホルダ２３２´の開口端部分２３２ｇに下端折り曲げ部２３２ｄが形成されることにより正確に規定される。また、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃは、ホルダ２３２´の開口端部分２３２ｇが折り曲げられる際に軸線方向Ｌに圧縮された弾性部材２３３´´の弾性復帰力によって、折り曲げにより形成された下端折り曲げ部２３２ｄに間接的に押し付けられて固定される。この結果、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃは、間接的に押し付けられている下端折り曲げ部２３２ｄに基づいて位置決め固定された状態となる。
【０１００】
また、ホルダ２３２´には第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃとともに弾性部材２３３´´が収納されているので、ホルダ２３２´に収納された各永久磁石の軸線方向Ｌの寸法がばらついていても、このばらつきは、下端折り曲げ部２３２ｄが形成される際における弾性部材２３３の弾性変形により吸収される。従って、ホルダ２３２´内に収納されている第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃの軸線方向Ｌの寸法にばらつきがあった場合でも、所定の位置に下端折り曲げ部２３２ｄを形成して、ホルダ２３２´の軸線方向Ｌの寸法を所望の寸法Ｎとすることができる。
【０１０１】
また、本例の弁体２３´´においても、反発し合う第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃをホルダ２３２´内に保持しながら、弁体２３を組み立てることができるので、組み立て作業の作業性が向上する。また、弾性部材２３３´´の弾性復帰力を利用して、第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃを固定しているので、弁体２３´´を組み立てる組み立て作業において接着剤を必要がなく、接着剤の膜厚を管理する必要もない。従って、弁体２３´´の組み立て作業の作業性がよい。
【０１０２】
なお、弾性部材２３３´´の替わりに、上端折り曲げ部２３２ｂの側に向かって突出する突部２３４ｉを備えた円柱形状の樹脂製の中間部材が配置してもよい。この場合には、下端折り曲げ部２３２ｄが形成されることにより、ホルダ２３２´内における軸線方向Ｌの隙間が取り除かれて突部が塑性変形して潰れた状態となり、３つの永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ、２３６ｂ、および、下側蓋部材２３５が、ホルダ２３２´内で移動しないように位置決め固定される。
【０１０３】
（その他の実施の形態）
上記の例では、上端開口２３２ｃをシールするシール機構を構成する弾性部材２３３、上側蓋部材２３４および上側Ｏリング２３７は別体とされているが、焼付けなどによりこれらを一体成型品としておくこともできる。また、下端開口２３２ｅをシールするシール機構を構成する下側蓋部材２３５および下側Ｏリング２３８についても、焼付けなどによりこれらを一体成型品としておくことができる。
【０１０４】
また、永久磁石は１つでもよく、この場合には、搭載する永久磁石の軸線方向Ｌの端に対応する位置に２つの駆動コイルを配置した構成を採用することができる。さらに、永久磁石を４つ以上備えるように構成することもできる。
【０１０５】
また、弾性部材２３３を第１〜第３永久磁石２３１ａ〜２３１ｃよりも下端折り曲げ部２３２ｄの側に配置するように構成することもできる。
【０１０６】
さらに、上側蓋部材２３４´、３つの永久磁石２３１ａ〜２３１ｃ、各磁性板２３６ａ〜２３６ｄ、および、下側蓋部材２３５をホルダ２３２´に収納する際に各部材の間に接着剤を塗布しておいて、軸線方向Ｌにおいて、これらを接着することもできる。このような場合には、接着剤を塗布する際に、その膜厚を適切に管理しておく。
【符号の説明】
【０１０７】
１・バルブ装置、２・胴部、３・流入管、３ａ・流入口、４・流出管、４ａ・流出口、５・端子ピン、２１・ケース、２２・第１流路構成部材、２３・弁体（可動体）、２３Ａ・閉鎖位置、２３Ｂ・開放位置、２４・第２流路構成部材、２５・Ｏリング、２６・押さえ部材、２７〜３０・駆動コイル、２１１・ケースの上端開口縁、２１２・凹部、２２１・流体流路、２２２・筒状胴部（コイルボビン）、２２２ａ〜２２２ｄ・円環状突部、２２３・フランジ部、２２３ａ・小径開口部、２２３ｂ・大径開口部、２２３ｃ・円環状段部、２２４・流体流入路、２２４ａ・大径流路部分、２２４ｂ・小径流路部分、２２４ｃ・円環状段部、２２４ｄ・上端開口（流体流入口）、２２５・流入路形成部、２２５ａ・大径部分、２２５ｂ・小径部分、２２５ｃ・段部、２２５ｄ・ストッパ、２２６・コイル巻回部、２３１ａ〜２３１ｃ・永久磁石、２３２・２３２´・ホルダ、２３２ａ・内周面、２３２ｂ・上端折り曲げ部（第２折り曲げ部）、２３２ｃ・上端開口（第２開口部）、２３２ｄ・下端折り曲げ部（第１折り曲げ部）、２３２ｅ・下端開口（第１開口部）、２３２ｆ・逃し空間、２３２ｇ・開口端部分、２３３・２３３´・２３３´´・弾性部材、２３３ａ・大径円盤部、２３３ｂ・２３３ｂ´・上側小径円盤部、２３３ｃ・２３３ｃ´・下側小径円盤部、２３３ｄ・突出部、２３３ｅ・凸曲面、２３４・２３４´・上側蓋部材（第２蓋部材、中間部材）、２３４ａ・大径部（第２大径部）、２３４ｂ・小径部（第２小径部）、２３４ｃ・外周面、２３４ｄ・テーパー面、２３４ｅ・２３４ｅ´・凹部、２３４ｆ・凹曲面、２３４ｇ・円環状段部、２３４ｈ・外周面、２３４ｉ・突部、２３５・下側蓋部材（第１蓋部材）、２３５ａ・大径部（第１大径部）、２３５ｂ・小径部（第１小径部）、２３５ｃ・外周面、２３５ｄ・凹部、２３５ｅ・下端面、２３５ｆ・円環状段部、２３５ｇ・外周面、２３５ｈ・凹曲面、２３６ａ〜２３６ｄ・磁性板、２３７・上側Ｏリング（第２弾性部材）、２３８・下側Ｏリング（第１弾性部材）、２３９・ゴムシート、２４１・フランジ部、２４２・円柱部、２４３・貫通穴、２４４・流体流出路、２４４ａ・下端開口（流体流通口、流体流出口）、２４６・弁座、２６１・係合部、Ｆ１〜Ｆ３・弁体に働く力、Ｌ・軸線方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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