(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドや液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄機構に残留する汚れを好適に解消できる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、この液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられ、接触時に前記吐出部を気密的に覆う凹部を備えた洗浄ヘッドと、空洞内の媒体を排出する排出路と、液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、洗浄液貯留槽に貯留された洗浄液を加圧しつつ凹部内へ送液する加圧手段と、を有することを特徴とする。液滴吐出ヘッドは、洗浄ヘッドの凹部内に送液された洗浄液によって洗浄される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられ、接触時に前記吐出部を気密的に覆う空洞を備えた洗浄ヘッドと、
前記空洞内の媒体を排出する排出路と、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽に貯留された前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液する加圧手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記加圧手段は、前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液し、前記吐出部を介して前記液滴吐出ヘッドの内部に前記洗浄液を浸入させるよう構成されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記空洞内における前記排出路の接続位置は、前記空洞内の一方の端部近傍に設けられており、
前記空洞内における前記加圧手段の接続位置は、前記空洞内の他方の端部近傍に設けられている請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記吐出部に対して前記排出路の接続位置の方が前記加圧手段の接続位置より近くなるよう、前記排出路および前記加圧手段が設置されている請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記排出路と、前記排出路の途中に設けられた吸引ポンプと、を備えた吸引手段と、
前記加圧手段と前記吸引手段とを連絡する連絡路と、を有している請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吸引手段は、吸引した前記媒体の流路を、前記排出路と前記排出路から分岐した前記連絡路とに切り替える流路選択部を備えている請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記吸引手段は、前記吸引ポンプの上流側に設けられたフィルターを備えている請求項５または６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体である請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体である請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体中に５ｖｏｌ％以上の割合で含まれる成分のうち、最も低沸点の成分より沸点の高い液体である請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられ、接触時に前記吐出部を気密的に覆う空洞を備えた洗浄ヘッドと、
前記空洞内の媒体を排出する排出路と、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、を有するものであり、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄方法。
【請求項１２】
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記空洞内の媒体を前記排出路側に吸引した後、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液する請求項１１に記載の液滴吐出装置の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。その結果、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
【０００３】
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
このようなカラーフィルターの製造においては、通常、光の三原色（赤色、緑色、青色）に対応する３色のインク（カラーフィルター用インク）が用いられる。
【０００４】
ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行うため、大量の液滴を長時間にわたって連続で吐出することが求められる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）では、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、一般に、高粘度で、固形分の含有率が高いため、インクジェットヘッドの吐出部（ノズル）や吐出面に加え、インクの流路やインクジェットヘッドのキャップなどにもインク（固形分）が残存しやすい。この結果、継続して吐出した場合、インクに含まれる成分が液滴吐出装置のインクの流路に付着し、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて組成に制限が多く、一旦析出した固形分の再分散性、再溶解性等の特性が十分ではなく、顔料粒子等の固形分が析出、あるいは凝集して、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まりを起こしやすく、液滴の飛行曲がりによる混色や吐出の不安定性による液滴重量の変化を頻発させる。このような場合、カラーフィルター用インクを所望の部位に、所望の量だけ付与することが困難となり、得られるカラーフィルターを用いて表示される画像において、色ずれ、色むら、濃度むら等を生じてしまうという問題があった。
【０００５】
このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター製造用の基板のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（つば吐き）により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法はプロセス時間とインクの消費を伴う上、この方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出部が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、液滴吐出ヘッドや液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄機構に残留する汚れを好適に解消できる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられ、接触時に前記吐出部を気密的に覆う空洞を備えた洗浄ヘッドと、
前記空洞内の媒体を排出する排出路と、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽に貯留された前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液する加圧手段と、を有することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドや液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄機構（洗浄ヘッド）に残留する汚れを好適に解消できる液滴吐出装置が得られる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記加圧手段は、前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液し、前記吐出部を介して前記液滴吐出ヘッドの内部に前記洗浄液を浸入させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの内部についても洗浄液による汚れの除去が行われる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記空洞内における前記排出路の接続位置は、前記空洞内の一方の端部近傍に設けられており、
前記空洞内における前記加圧手段の接続位置は、前記空洞内の他方の端部近傍に設けられていることが好ましい。
これにより、空洞内において排出路の接続位置と加圧手段の接続位置とが特に離れた位置に設けられることになるので、空洞内全体にわたって洗浄液の流れが行き渡ることになる。その結果、空洞内に残留するインクや汚れを確実に除去することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記吐出部に対して前記排出路の接続位置の方が前記加圧手段の接続位置より近くなるよう、前記排出路および前記加圧手段が設置されていることが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドの内部から吸い出された汚れを含む媒体が、空洞内をほとんど汚染することなく排出路に送られることとなり、除去した汚れが空洞内に再付着するのを防止することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記排出路と、前記排出路の途中に設けられた吸引ポンプと、を備えた吸引手段と、
前記加圧手段と前記吸引手段とを連絡する連絡路と、を有していることが好ましい。
これにより、連絡路を介して洗浄液を循環させることができる。その結果、洗浄液を無駄に消費することなく、液滴吐出ヘッドに付着した汚れを洗浄液の流れに曝すことができ、汚れの除去作用を増強することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引手段は、吸引した前記媒体の流路を、前記排出路と前記排出路から分岐した前記連絡路とに切り替える流路選択部を備えていることが好ましい。
これにより、吸引した媒体のうち、不要なものは排出路を介して排出し、必要なものは連絡路を介して再び洗浄ヘッドへと送液するといった媒体の流路の選択をすることができる。その結果、洗浄液を無駄に消費することなく、液滴吐出ヘッドに付着した汚れを、より清浄な洗浄液の流れに曝すことができ、汚れの除去作用を特に増強することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、前記吸引手段は、前記吸引ポンプの上流側に設けられたフィルターを備えていることが好ましい。
これにより、洗浄液を循環させる際に、汚れを含まない清浄な洗浄液を循環させることができ、液滴吐出ヘッドや洗浄ヘッドに対する汚れの再付着を防止することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体であることが好ましい。
これにより、インクの固形分が析出したとしても、再溶解または再分散により固形分を洗浄液中に取り込んで、洗い流すことができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体であることが好ましい。
これにより、洗浄液は、インクとの置換性が特に優れたものとなり、残存したインクと素早く混合させ、かつ置換することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体中に５ｖｏｌ％以上の割合で含まれる成分のうち、最も低沸点の成分より沸点の高い液体であることが好ましい。
これにより、インクに比べて洗浄液の揮発性を低下させることができるので、固形分の析出を抑制することができる。その結果、洗浄操作を行う頻度を少なくしても、固形分の析出が抑えられ、液滴吐出ヘッドを清浄状態で維持することが可能になる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出ヘッドに対して相対的に接離自在に設けられ、接触時に前記吐出部を気密的に覆う空洞を備えた洗浄ヘッドと、
前記空洞内の媒体を排出する排出路と、
前記液滴吐出ヘッドの洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、を有するものであり、
前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液することを特徴とする。
これにより、液滴吐出ヘッドや液滴吐出ヘッドを洗浄する洗浄機構（洗浄ヘッド）に残留する汚れを好適に解消することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法では、前記洗浄ヘッドを前記液滴吐出ヘッドに対して接触させた状態で、前記空洞内の媒体を前記排出路側に吸引した後、前記洗浄液を加圧しつつ前記空洞内へ送液することが好ましい。
これにより、汚れの原因となるインクが、液滴吐出ヘッドの内部や洗浄ヘッドの空洞内に残留するのを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための模式図である。
【図３】液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図である。
【図４】図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）である。
【図５】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図６】本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図７】カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図８】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【図９】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法》
まず、本発明の液滴吐出装置、および、当該液滴吐出装置を用いたカラーフィルターの製造方法の好適な実施形態について説明する。
図１は、液滴吐出装置（インクジェット装置）の好適な実施形態の一例を示す斜視図、図２は、図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の概略構成を説明するための模式図、図３は、液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図、図４は、図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）、図５、６は、本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図（縦断面図）、図７は、カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
図１〜図４に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００は、顔料粒子等の着色剤が分散媒に分散したカラーフィルター用インク１を吐出することにより、カラーフィルター１０の着色部１２を形成するのに用いられる装置である。
【００２０】
まず、カラーフィルター１０の製造の概要について説明する。図７に示すように、カラーフィルター１０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１を用意する基板用意工程（１ａ）と、図１〜図３に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００を用いて、カラーフィルター用インク１を隔壁１３で囲まれた領域に付与するインク付与工程（１ｂ）と、カラーフィルター用インク１から分散媒を除去し、固形状の着色部１２とする着色部形成工程（１ｃ）とを有する方法を用いて製造することができる。このようにして製造されるカラーフィルター１０は、通常、複数色の着色部１２を有している。図７に示す構成では、互いに異なる色の第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃを有している。
【００２１】
図１および図３に示すように、液滴吐出装置１００は、図２に示す液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド。以下、単にヘッドと呼ぶ）１１０と、ベース１３０と、テーブル１４０と、インク貯留槽１５０と、テーブル位置決め手段１７０と、ヘッド位置決め手段１８０と、制御装置１９０とを有している。
ベース１３０は、テーブル１４０、テーブル位置決め手段１７０、およびヘッド位置決め手段１８０等の液滴吐出装置１００の各構成部材を支持する台である。
【００２２】
テーブル１４０は、テーブル位置決め手段１７０を介してベース１３０に設置されている。また、テーブル１４０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１（以下、単に基板１１ともいう）を載置するものである。
テーブル位置決め手段１７０は、第１移動手段１７１と、モーター１７２とを有している。テーブル位置決め手段１７０は、ベース１３０におけるテーブル１４０の位置を決定し、これにより、ベース１３０における基板１１の位置を決定する。
【００２３】
第１移動手段１７１は、Ｙ方向と略平行に設けられた２本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第１移動手段１７１の支持台は、モーター１７２を介してテーブル１４０を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基板１１を載置するテーブル１４０は、Ｙ方向に移動および位置決めされる。
モーター１７２は、テーブル１４０を支持しており、θｚ方向にテーブル１４０を揺動および位置決めする。
【００２４】
ヘッド位置決め手段１８０は、第２移動手段１８１と、リニアモーター１８２と、モーター１８３、１８４、１８５とを有している。ヘッド位置決め手段１８０は、ヘッド１１０の位置を決定する。
第２移動手段１８１は、ベース１３０から立設する２本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、２本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド１１０を支持する支持部材（図示せず）とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド１１０は、Ｘ方向に移動および位置決めされる。
【００２５】
リニアモーター１８２は、支持部材付近に設けられており、ヘッド１１０のＺ方向の移動および位置決めをすることができる。
モーター１８３、１８４、１８５は、ヘッド１１０を、それぞれα，β，γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段１７０およびヘッド位置決め手段１８０とにより、インクジェット装置１００は、ヘッド１１０のインク吐出面１１５Ｐと、テーブル１４０上の基板１１との相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
【００２６】
図２に示すように、ヘッド１１０は、インクジェット方式（液滴吐出方式）によってインク１をノズル（突出部）１１８から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド１１０は、圧電体素子としてのピエゾ素子１１３を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク１に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。
【００２７】
ヘッド１１０は、ヘッド本体１１１と、振動板１１２と、ピエゾ素子１１３とを有している。
ヘッド本体１１１は、本体１１４と、その下端面にノズルプレート１１５とを有している。そして、本体１１４を板状のノズルプレート１１５と振動板１１２とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバー１１６およびリザーバー１１６から分岐した複数のインク室１１７が形成されている。
【００２８】
リザーバー１１６には、後述するインク貯留槽１５０よりインク１が供給される。リザーバー１１６は、各インク室１１７にインク１を供給するための流路を形成している。
また、ノズルプレート１１５は、本体１１４の下端面に装着されており、インク吐出面１１５Ｐを構成している。このノズルプレート１１５には、インク１を吐出する複数のノズル１１８が、各インク室１１７に対応して開口されている。そして、各インク室１１７から対応するノズル（吐出部）１１８に向かって、インク流路が形成されている。
【００２９】
振動板１１２は、ヘッド本体１１１の上端面に装着されており、各インク室１１７の壁面を構成している。振動板１１２は、ピエゾ素子１１３の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子１１３は、その振動板１１２のヘッド本体１１１と反対側に、各インク室１１７に対応して設けられている。ピエゾ素子１１３は、水晶等の圧電材料を一対の電極（不図示）で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路１９１に接続されている。
【００３０】
そして、駆動回路１９１からピエゾ素子１１３に電気信号を入力すると、ピエゾ素子１１３が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子１１３が収縮変形すると、インク室１１７の圧力が低下して、リザーバー１１６からインク室１１７にインク１が流入する。また、ピエゾ素子１１３が膨張変形すると、インク室１１７の圧力が増加して、ノズル１１８からインク１が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子１１３への印加電圧を制御することにより、インク１の吐出条件を制御し得るようになっている。
【００３１】
制御装置１９０は、インクジェット装置１００の各部位を制御する。例えば、駆動回路１９１で生成する印加電圧の波形を調節してインク１の吐出条件を制御したり、ヘッド位置決め手段１８０およびテーブル位置決め手段１７０を制御することにより基板１１へのインク１の吐出位置を制御する。
インク貯留槽１５０は、インク１を貯留する。
インク貯留槽１５０は、図３に示すように、インク搬送路１５１を介して、ヘッド１１０（リザーバー１１６）に接続されている。
【００３２】
インク搬送路１５１には、インク貯留槽１５０側とヘッド１１０との間に、インク１の逆流を防止するための自己封止弁１５３が設けられている。また、インク貯留槽１５０と自己封止弁１５３との間には、インク搬送路１５１を開閉する開閉弁１５２が別途設けられている。
インク貯留槽１５０に貯留されたインク１は、液滴吐出時等における必要に応じて、インク搬送路１５１に送られ、開閉弁１５２および自己封止弁１５３を介して、リザーバー１１６に供給される。
【００３３】
また、図３に示すように、液滴吐出装置１００は、ヘッド１１０を洗浄するための洗浄機構２００を備えている。
洗浄機構２００は、ヘッド１１０のノズル１１８付近を気密的に覆う凹部（空洞）２１１を備えた洗浄ヘッド２１０と、洗浄ヘッド２１０の凹部２１１内の媒体を吸引する吸引ポンプ２２０と、吸引ポンプ２２０により吸い出された媒体を回収する回収タンク２３０と、を備えている。
【００３４】
また、洗浄機構２００は、洗浄ヘッド２１０の凹部２１１から回収タンク２３０へと媒体を送液する吸引媒体搬送路（排出路）２０１を備えており、吸引ポンプ２２０はこの吸引媒体搬送路２０１の途中に設けられている。
なお、洗浄機構２００のうち、吸引媒体搬送路２０１および吸引ポンプ２２０により吸引手段が構成されている。
【００３５】
さらに、洗浄機構２００は、ヘッド１１０の洗浄に用いる洗浄液（クリーニングインク）２を貯留する洗浄液貯留槽２４０と、洗浄液貯留槽２４０から洗浄ヘッド２１０の凹部２１１へと洗浄液２を送液する洗浄液搬送路２０２と、洗浄液搬送路２０２の途中に設けられ、洗浄液２を加圧しつつ凹部２１１へと送液する加圧ポンプ２５０と、を備えている。
なお、洗浄機構２００のうち、洗浄液搬送路２０２および加圧ポンプ２５０により加圧手段が構成されている。
【００３６】
以下、洗浄機構２００の各部について詳述する。
図４は、図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図４中の上側を「上」、下側を「下」という。
洗浄ヘッド２１０は、ヘッド１１０のインク吐出面１１５Ｐに対向するよう配置される。そして、洗浄ヘッド２１０が有する凹部２１１は、インク吐出面１１５Ｐに対向する面に開口し、ノズル１１８を覆うよう構成されている。
【００３７】
また、洗浄ヘッド２１０は、インク吐出面１１５Ｐに対して相対的に接離自在に設けられており、インク吐出面１１５Ｐに対して洗浄ヘッド２１０が接触させた状態では、凹部２１１はインク吐出面１１５Ｐとともに気密空間を画成する。なお、洗浄ヘッド２１０は、インク吐出面１１５Ｐに対して相対的に接触または離間すればよいので、洗浄ヘッド２１０のみが移動する構成、ヘッド１１０のみが移動する構成、双方が移動する構成のいずれであってもよい。以下の説明では、ヘッド１１０のみが移動する場合について説明し、図４は、洗浄ヘッド２１０とインク吐出面１１５Ｐとが接触した状態を示している。
【００３８】
インク吐出面１１５Ｐに対する洗浄ヘッド２１０の接触部２１２は、洗浄ヘッド２１０の凹部２１１を囲うように、かつ上方に突出するように設けられている。そして、密着性の高い材料で構成されており、凹部２１１の気密性を確保している。密着性の高い材料としては、例えば、各種エラストマー、各種ゴム等が挙げられる。なお、凹部２１１は、洗浄液２を流すことのできる空洞であればよく、その形状は限定されない。
【００３９】
吸引ポンプ２２０は、洗浄ヘッド２１０の凹部２１１内の媒体を吸引媒体搬送路２０１を介して強制的に吸い出し、回収タンク２３０へと送液する。なお、媒体としては、空気のような気体、インク１、洗浄液のような液体、またはこれらの２種以上を含む混合物が挙げられる。
このような吸引ポンプ２２０としては、例えば、ダイヤフラム方式、ピストン方式等の吸引ポンプが用いられる。
【００４０】
一方、加圧ポンプ２５０は、洗浄液貯留槽２４０に貯留された洗浄液２を加圧しつつ、洗浄液搬送路２０２を介して凹部２１１に送液する。
このような加圧ポンプ２５０としては、例えば、ダイヤフラム方式、ピストン方式等の加圧ポンプが用いられる。
なお、開閉弁１５２、吸引ポンプ２２０および加圧ポンプ２５０は、それぞれ前述した制御装置１９０と電気的に接続されており、制御装置１９０により開閉弁１５２の開閉操作、吸引ポンプ２２０の吸引や加圧ポンプ２５０の加圧の開始や終了、あるいは吸引量や加圧量等の動作条件を制御し得るよう構成されている。
【００４１】
ここで、洗浄機構２００の動作について説明する。
図５、６は、本発明の液滴吐出装置の洗浄方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図５、６中の上側を「上」、下側を「下」という。
液滴吐出装置１００は、通常、ヘッド１１０のノズル１１８からインク１を吐出する動作を行うが、この動作を繰り返すうち、ノズル１１８やインク吐出面１１５Ｐにインク１に含まれる固形分（汚れ）が付着する。
洗浄機構２００の動作は、この通常動作の開始前・終了後や通常動作の合間等に行われ、ヘッド１１０に付着した固形分を除去するために行われる。
具体的には、まず、ヘッド１１０を降下させ、インク吐出面１１５Ｐが洗浄ヘッド２１０の上面と接する状態にする。この状態では、凹部２１１が気密的に封止される。
【００４２】
次いで、開閉弁１５２を開状態にするとともに、吸引ポンプ２２０により凹部２１１内を吸引する。これにより、凹部２１１内の圧力が低下し、それに伴い、ノズル１１８を介してヘッド１１０内およびインク搬送路１５１内のインク１が凹部２１１内に吸い出される（図５（ａ）参照）。そして、一定時間（例えば１秒以上６０秒以下程度）経過後に、開閉弁１５２を閉状態にする。これにより、凹部２１１内は減圧状態に維持される。
【００４３】
次いで、加圧ポンプ２５０により洗浄液２を加圧しつつ凹部２１１内に供給する。これにより、減圧状態にある凹部２１１内に洗浄液２が勢いよく供給されることとなる。その結果、流速の大きい洗浄液２が汚れに負荷（力）を作用させ、ノズル１１８の周辺やインク吐出面１１５Ｐに付着した汚れの除去が促進される。この際、凹部２１１内の圧力（洗浄液２の圧力）は、大気圧超とされるが、好ましくは１．０５気圧（０．１０５ＭＰａ）以上２気圧（０．２ＭＰａ）以下とされ、より好ましくは１．１気圧（０．１１ＭＰａ）以上１．５気圧（０．１５ＭＰａ）以下とされる。
【００４４】
凹部２１１内に供給された洗浄液２は、凹部２１１内を満たした後、さらにノズル１１８を介してヘッド１１０の内部（各インク室１１７およびリザーバー１１６）に流入する（図５（ｂ）参照）。これにより、ヘッド１１０の内部についても洗浄液２により汚れの除去が行われる。その後、ヘッド１１０の内部の圧力が所定圧力以上になったり、ヘッド１１０の内部が洗浄液２で充填されたとき、加圧ポンプ２５０の動作を停止する。
【００４５】
なお、凹部２１１内の圧力を前記範囲内とすることにより、洗浄液２がノズル１１８を介してヘッド１１０の内部にも確実に流入することとなる。その結果、インク吐出面１１５Ｐのみならず、ヘッド１１０の内部（各インク室１１７およびリザーバー１１６等）をも洗浄液２による洗浄が施される。ただし、凹部２１１内の圧力が前記上限値を超えると、洗浄液が外部に漏れ出したり、ヘッド１１０の耐圧性等の観点から不具合を生じるおそれもあるので好ましくない。
凹部２１１内およびヘッド１１０の内部に充填された洗浄液２は、この状態で一定時間放置されることにより、汚れに対して確実に作用する。放置時間は汚れの程度や洗浄液２の種類に応じて適宜設定されるものの、好ましくは５秒以上３０分以下程度とされ、より好ましくは１０秒以上６００秒以下程度とされる。
【００４６】
なお、吸引ポンプ２２０の上流側で吸引媒体搬送路２０１を分岐させ、その分岐路を回収タンク２３０に接続してなるバイパス路（図示せず）を設けるとともに、このバイパス路の途中に圧力調整弁（図示せず）を設けるようにしてもよい。これにより、凹部２１１内の圧力が洗浄機構２００の耐圧力を超えそうなとき、圧力調整弁を開状態にすることで、凹部２１１内の圧力を開放することができる。
【００４７】
また、加圧ポンプ２５０による洗浄液２の送液速度は、特に限定されないが、１ｍＬ／ｍｉｎ以上２００ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのが好ましく、５ｍＬ／ｍｉｎ以上１００ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的に洗浄を行うことができる。
また、上述したように吸引ポンプ２２０によりヘッド１１０の内部に残存するインク１を先に吸い出した後、加圧ポンプ２５０により凹部２１１内に洗浄液２を送液することにより、ヘッド１１０内のインク１を優先的に吸い出すことができる。これにより、汚れの原因となるインク１がヘッド１１０の内部や洗浄ヘッド２１０の凹部２１１内に残留するのを確実に防止することができる。
【００４８】
次いで、吸引ポンプ２２０を再び動作させ、凹部２１１内の洗浄液２を吸引する。そして、凹部２１１内の圧力が大気圧程度まで低下したところで吸引ポンプ２２０の動作を停止する。
次いで、図６（ａ）に示すようにヘッド１１０を上昇させ、洗浄ヘッド２１０から引き離す。この際、前述したように、凹部２１１内の圧力を大気圧に近付けておくことで、洗浄ヘッド２１０とヘッド１１０とを容易に引き離すことができる。
その後、吸引ポンプ２２０による吸引動作を再び行うことで、図６（ｂ）に示すように、凹部２１１内に残留する洗浄液２を回収タンク２３０（図示せず）へと送液する。
【００４９】
以上のようにして洗浄機構２００の一連の動作が終了する。
このような洗浄機構２００によれば、凹部２１１内のみでなく、ヘッド１１０の内部にまで洗浄液２を送液することができるので、ヘッド１１０の内部、ノズル１１８周辺、インク吐出面１１５Ｐ等に付着した汚れを洗浄液２に浸漬した状態を維持することができる。これにより、これらの部位に付着した汚れを洗浄液２で確実に除去することができる。
【００５０】
また、洗浄液２を加圧することに伴い、汚れの周囲で圧力変化が生じる。これにより、汚れを揺動する作用が働き、汚れが剥離し易くなる。
【００５１】
なお、洗浄液２を加圧する際には、一定の圧力をかけ続けるようにしてもよいが、間欠的に圧力をかけるようにしてもよい。このように加圧したとき、洗浄液２に加わる圧力も間欠的になり、汚れに対して加圧による収縮力と圧力を除去したことによる膨張力とが作用する。その結果、汚れの除去作用がより増強される。
この場合、加圧時間は、０．１秒以上５秒以下であるのが好ましく、０．３秒以上３秒以下であるのがより好ましく、０．５秒以上２秒以下であるのがさらに好ましい。これにより、汚れの除去効率が最適化される。
【００５２】
一方、非加圧時間は、動作時間の０．１倍以上１０倍以下程度であるのが好ましく、０．５倍以上５倍以下程度であるのがより好ましい。
また、間欠的に圧力をかける以外に、加圧力を一定時間ごとに変化させるようにしてもよい。具体的には、一定時間ごとに加圧力に強弱をつけることで、やはり、汚れを揺動する作用が働き、汚れが剥離し易くなる。
【００５３】
さらには、洗浄液２を加圧する加圧プロセスと凹部２１１内を減圧する減圧プロセスとを交互に行うようにしてもよい。これにより、汚れの周囲でより大きな圧力変化が生じ、汚れの除去作用と特に増強することができる。
ところで、インク１の流路内にある媒体は、ヘッド１１０が備えているピエゾ素子１１３への通電により、振動板１１２が振動し、それに伴って駆動力を受ける。この駆動力により、媒体はインク１の流路内をノズル１１８に向かって流動する。
【００５４】
上述したように加圧ポンプ２５０により洗浄液２に対して一定時間ごとに圧力をかけたとき、あるいは、吸引ポンプ２２０により洗浄液２を一定時間ごとに吸引するとき、別途、ピエゾ素子１１３による駆動の付与を行うようにしてもよい。これにより、ピエゾ素子１１３の駆動による汚れの除去作用が加わることになり、総合的な除去作用が増強されることとなる。
【００５５】
また、洗浄液２を加圧する加圧プロセスと凹部２１１内を減圧する減圧プロセスとを交互に行う場合には、減圧プロセスにおいてのみピエゾ素子１１３を駆動するのが好ましい。
また、ヘッド１１０の内部や凹部２１１内に洗浄液２を充填した後、これを吸引ポンプ２２０で吸引し、空にするというプロセスを複数回繰り返すようにしてもよい。これにより、汚れの除去作用を特に高めることができる。
【００５６】
また、ヘッド１１０の内部や凹部２１１内に洗浄液２が供給された結果、ヘッド１１０の内部や凹部２１１内に残留するインク１は洗浄液２で希釈され、分散質の濃度が低下することとなる。これにより、インク１の希釈液がヘッド１１０の内部や凹部２１１内に残留したとしても、インク１そのものが残留する場合に比べて、固形分を析出させ難くすることができる。したがって、前述した洗浄機構２００の動作を定期的に行うことで、固形分の付着が継続的に防止されることとなり、ヘッド１１０を常時清浄状態に維持することができる。また、併せて、洗浄ヘッド２１０においても固形分の付着が継続的に防止されるため、洗浄ヘッド２１０を常時洗浄状態に維持することができる。その結果、液滴吐出装置１００では、固形分の付着に伴う不具合の発生が確実に防止され、いわゆるメンテナンスフリーが実現される。
【００５７】
また、洗浄機構２００の動作が終了した後、必要に応じて、インク吐出面１１５Ｐを拭き取る（ワイピング）操作を行うようにしてもよい。これにより、洗浄液２による洗浄で除去し切れなかった汚れを確実に除去することができる。なお、この際、拭き取られる汚れは、洗浄液２に浸漬した状態に保持されていたことで、洗浄液２の浸透によって柔軟化が進んでおり、容易に除去される。
なお、洗浄機構２００において、吸引ポンプ２２０を省略するようにしてもよい。
【００５８】
また、凹部２１１内に残留するインク１やそれから析出した固形分を確実に除去するため、図４に示す洗浄ヘッド２１０では、凹部２１１内の右側の端部近傍に吸引媒体搬送路２０１（排出路）が接続されており、一方、凹部２１１内の左側の端部近傍に洗浄液搬送路２０２（加圧手段）が接続されている。このように凹部２１１内において媒体を吸引する起点と洗浄液を供給する起点とができるだけ離れた位置に設けられることにより、凹部２１１内全体にわたって洗浄液２の流れが行き渡ることになる。その結果、凹部２１１内に残留するインク１やそれから析出した固形分を確実に除去することができる。
【００５９】
また、図４に示す洗浄ヘッド２１０では、ノズル１１８が右側に位置しており、このノズル１１８にほぼ対向するように、凹部２１１における吸引媒体搬送路２０１（排出路）の接続部が位置している。このような位置関係にあると、ノズル１１８の位置と凹部２１１における吸引媒体搬送路２０１の接続位置とが相対的に近接し、一方、ノズル１１８の位置と凹部２１１における洗浄液搬送路２０２の接続位置とが相対的に離間することとなる。その結果、ヘッド１１０の内部から吸い出された汚れを含む媒体は、凹部２１１内をほとんど汚染することなく、吸引媒体搬送路２０１へと送られることとなり、除去した汚れが凹部２１１内に再付着するのを防止することができる。
【００６０】
ここで、従来、凹部２１１内に洗浄液２を供給するのではなく、空気（大気）を導入する構成の液滴吐出装置が知られていた。このような装置では、ヘッド１１０内に残留したインク１を吸い出すことはできるものの、吸い出し切れなかったインク１がヘッド１１０の内部やインク吐出面１１５Ｐに付着したり、洗浄ヘッド２１０の凹部２１１内に残留したりすることがあった。この残留インクは、比較的濃度が高いことから速やかに固形分を析出させる。そして、この固形分がノズル１１８の目詰まりを発生させたり、液滴の飛行曲がりを発生させることが問題になっていた。
【００６１】
これに対し、本発明によれば、凹部２１１内に洗浄液２を加圧しつつ供給するため、残留したインク１は確実に希釈されることとなる。このため、希釈液が残留したとしても固形分の析出が抑制されることとなり、上述したような課題が確実に解消される。また、空気に比べて洗浄液２の比重が大きいため、凹部２１１内に洗浄液２を流すことにより、汚れに対して大きな負荷（力）を加えることができる。これにより汚れを確実に除去することができるのである。
【００６２】
以上、本発明の液滴吐出装置について、好適な実施形態について説明したが、これに限定されず、例えば、図８、９に示すような液滴吐出装置であってもよい。
図８、９は、本発明の液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
本実施形態では、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の構成については、その説明を省略する。
【００６３】
図８に示す液滴吐出装置は、吸引媒体搬送路２０１の吸引ポンプ２２０と回収タンク２３０との間に設けられ、吸引媒体搬送路（排出路）２０１を２つに分岐する分岐部２０３（流路選択部）と、洗浄液搬送路２０２の加圧ポンプ２５０と洗浄液貯留槽２４０との間に設けられ、洗浄液搬送路２０２を２つに分岐する分岐部２０４（流路選択部）と、分岐部２０３と分岐部２０４とを連絡する連絡路２０５とを備えている。これにより、連絡路２０５は、吸引ポンプ２２０の下流側と加圧ポンプ２５０の上流側とを連絡している。
【００６４】
分岐部２０３は、吸引媒体搬送路２０１を流れる媒体を回収タンク２３０へと送液する第１の状態と、連絡路２０５へと送液する第２の状態とを自在にとり得るものである。
また、分岐部２０４は、洗浄液貯留槽２４０に貯留された洗浄液２を洗浄ヘッド２１０へと送液する第１の状態と、連絡路２０５から送液された媒体を洗浄ヘッド２１０へと送液する第２の状態とを選択する。
分岐部２０３および分岐部２０４においてそれぞれ第１の状態を選択した場合、洗浄機構２００の動作は前述した図５、６に基づく動作と同様になる。
【００６５】
一方、分岐部２０３および分岐部２０４においてそれぞれ第２の状態を選択した場合、洗浄液２の消費が停止され、代わりに洗浄ヘッド２１０から吸引された洗浄液２を、再び洗浄ヘッド２１０へと送液することができる。その結果、この洗浄液２は、加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０とを動作させることで、洗浄液搬送路２０２、凹部２１１、吸引媒体搬送路２０１および連絡路２０５で構成される環状の経路を循環することとなる。このようにすれば、洗浄液２の消費を抑えつつ、汚れの除去をさらに促進することができる。
【００６６】
媒体を循環させる場合、インク１を含む洗浄液２を循環させるようにしてもよいが、インク１の含有率が高い吸引開始直後の媒体については回収タンク２３０に送液し、インク１の含有率が低下したタイミングで循環を開始するのが好ましい。これにより、洗浄液２を無駄に消費することなく、ノズル１１８やインク吐出面１１５Ｐに付着した汚れをより清浄な洗浄液２の流れに曝すことができ、汚れの除去作用を特に増強することができる。
【００６７】
なお、この際、加圧ポンプ２５０や吸引ポンプ２２０の回転方向を一定時間だけ逆転させることで、洗浄液２の流れを反転させるようにしてもよい。これにより、ノズル１１８やインク吐出面１１５Ｐに付着した汚れにも反対方向の負荷が加わることになり、汚れを除去（剥離）する確率を高めることができる。
さらには、加圧ポンプ２５０や吸引ポンプ２２０の回転方向の正転と逆転とを短時間で交互に繰り返すようにしてもよい。これにより、汚れに対して両方向から小刻みに負荷を加えることができ、汚れを除去（剥離）する確率を特に高めることができる。このとき、回転方向を変更する周期は、０．１秒以上１０秒以下程度であるのが好ましく、０．３秒以上５秒以下程度であるのがより好ましい。
【００６８】
また、分岐部２０３および分岐部２０４は、制御装置１９０と電気的に接続され、その動作が制御されるよう構成されている。これにより、分岐部２０３および分岐部２０４の各動作を、加圧ポンプ２５０や吸引ポンプ２２０の吸引動作と協調的に制御することができるので、分岐部２０３および分岐部２０４を最適なタイミングで動作させ、洗浄液２の消費を最小限に抑えるとともに、汚れの除去作用を最大限に増強することができる。
【００６９】
また、吸引媒体搬送路２０１の洗浄ヘッド２１０と吸引ポンプ２２０との間（吸引ポンプ２２０の上流側）には、フィルター２６０が設けられている。このフィルター２６０により吸引媒体搬送路２０１内を流れる媒体を濾過し、含まれる汚れ（固形分）を濾別することができる。これにより、環状の経路には、汚れを含まない清浄な洗浄液２を循環させることができ、汚れの再付着を防止することができる。
フィルター２６０としては、例えば、不織布、織布からなる布帛フィルター、糸巻きフィルター、メンブレンフィルター、スポンジフィルター、金属フィルター、セラミックスフィルター等が挙げられる。
【００７０】
図９に示す液滴吐出装置は、複数の洗浄液貯留槽（図９では、３つの洗浄液貯留槽２４０１、２４０２、２４０３）を有している。また、洗浄液搬送路２０２の途中には、洗浄液搬送路２０２を分岐させる３つの分岐部２０６、２０７、２０８が設けられており、分岐部２０６から分岐した分岐路２０２１には洗浄液貯留槽２４０１が、分岐部２０７から分岐した分岐路２０２２には洗浄液貯留槽２４０２が、分岐部２０８から分岐した分岐路２０２３には洗浄液貯留槽２４０３が、それぞれ接続されている。
【００７１】
ここで、３つの洗浄液貯留槽２４０１、２４０２、２４０３には、互いに異なる種類（組成）の洗浄液２を貯留してもよく、同じ種類（組成）の洗浄液２を貯留するようにしてもよい。
前者の場合、使用したインク１の種類に応じて最適な洗浄液２を選択して、ヘッド１１０を洗浄することができる。なお、最適な洗浄液２とは、例えば、インク１が含む固形分に対して溶解性または分散性が高く、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。
【００７２】
また、異なる種類の洗浄液２を順次用いることにより、汚れの除去作用が高められたり、洗浄液２によるヘッド１１０や洗浄ヘッド２１０の変質・劣化が抑制されたりすることがある。図９に示す液滴吐出装置であれば、このような操作を、分岐部２０６、２０７、２０８により洗浄液２の流路を選択するのみで容易に行うことができる。
具体的には、汚れの除去効率に優れた洗浄液２を凹部２１１内に供給した後、次いで、インク１が含む液性媒体と同じ組成の洗浄液２を凹部２１１内に供給する。このようにすれば、ヘッド１１０や洗浄ヘッド２１０はもともとインク１に対する優れた耐久性を有していることから、洗浄液２がヘッド１１０周辺や凹部２１１内に残留したとしても、これらの変質・劣化が抑制されることとなる。その結果、ヘッド１１０や洗浄ヘッド２１０の耐久性を高めることができる。
【００７３】
また、インク１が含む着色剤や樹脂材料によっては、これらを同時に溶解または分散することができない場合もある。このような場合、着色剤と樹脂材料とを順次洗浄できるよう、それぞれを溶解または分散する２種類の洗浄液２を各洗浄液貯留槽２４０１、２４０２に貯留しておき、これらを凹部２１１内に順次供給するようにすればよい。これにより、さらに確実な汚れの除去が可能になる。
【００７４】
一方、後者の場合、洗浄液２の貯留量を増やすことができるので、洗浄液２の補充頻度を少なくすることができ、メンテナンスフリーの期間を延長することができる。
また、分岐部２０６、２０７、２０８は、それぞれ制御装置１９０と電気的に接続され、その動作が制御されるよう構成されている。これにより、分岐部２０６、２０７、２０８の各動作を、加圧ポンプ２５０の加圧動作や吸引ポンプ２２０の吸引動作と協調的に制御することができるので、分岐部２０６、２０７、２０８を最適なタイミングで動作させ、洗浄液２の消費を最小限に抑えるとともに、汚れの除去作用を最大限に増強することができる。
【００７５】
＜洗浄液＞
次に、本発明の洗浄方法（液滴吐出装置）に好適に適用することが可能な洗浄液について説明する。
本発明に適用される洗浄液（クリーニングインク）２は、カラーフィルターの製造に用いられるヘッド１１０の洗浄をするものであり、特に、後述するようなカラーフィルター用インク（以下単にインクともいう）による液滴吐出装置１００の汚れ、目詰まり等を好適に解消するものである。
【００７６】
本発明の洗浄方法に適用する洗浄液２は、前述したように、インク１が含む固形分に対する溶解性または分解性を有し、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。このような洗浄液２を用いることで、インク１が含む固形分が析出したとしても、汚れを洗浄液２中に取り込んで、洗い流すことができる。
また、洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）と共通の成分を含むものであるのが好ましく、同じ組成ものであるのがより好ましい。これにより、インク１との置換性が特に優れたものとなり、残存したインク１と素早く混合、置換することができる。
【００７７】
また、洗浄液２には、カラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）中に５ｖｏｌ％以上の割合で含まれる成分のうち、最も低沸点の成分より沸点の高いものが好ましく用いられる。これにより、インク１に比べて洗浄液２の揮発性が低下するため、固形分の析出を抑制することができる。すなわち、固形分が析出するまでにより長い時間がかかることになるため、本発明の洗浄方法を行う頻度を少なくしても、固形分の析出が抑えられ、ヘッド１１０を清浄状態で維持することができる。
【００７８】
なお、洗浄液２の沸点とカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）の低沸点成分の沸点との差は、２０℃以上１５０℃以下程度であるのが好ましく、３０℃以上１００℃以下程度であるのがより好ましい。
また、洗浄液２の沸点は、１９０℃以上３００℃以下程度であるのが好ましく、２００℃以上２８０℃以下程度であるのがより好ましい。
【００７９】
洗浄液２としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、〔１〕多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、〔２〕多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、〔３〕分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、〔４〕多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。分散媒として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシ−ｎ−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ブチルセロソルブアセテート等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８０】
＜化合物Ａ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものが好ましい。
【００８１】
【化１】
2012103388.tif 000003
【００８２】
洗浄液２が化合物Ａを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ａが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有しているためであると思われる。また、特に、化合物Ａを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、エラストマーやゴム等の材料に対しては相互作用し難いので、汚れの除去作用を低下させることなく、ヘッド１１０や洗浄ヘッド２１０の変質・劣化を抑制することができる。また、化合物Ａを含有する洗浄液２は、特に、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むインク１に対して、固形分の再溶解性および再分散性に優れているため、洗浄液として好適である。
【００８３】
上記式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、それぞれ独立に、炭素数が１〜３のアルキル基であればよいが、いずれも、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（１）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものであってもよい。
【００８４】
洗浄液２中における化合物Ａの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ａの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ａの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ａを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ａの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものである場合、化合物Ａの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００８５】
＜化合物Ｂ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものが好ましい。
【００８６】
【化２】
2012103388.tif 000004
【００８７】
洗浄液２が化合物Ｂを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｂが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｂを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、沸点が比較的高いので、固形分の析出をより確実に抑制することを可能にする。
【００８８】
上記式（２）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（２）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものであってもよい。
【００８９】
洗浄液２中における化合物Ｂの含有率は、特に限定されないが、１５ｗｔ％以上であるのが好ましく、３０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、４０ｗｔ％以上９０ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｂの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｂの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｂを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｂの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものである場合、化合物Ｂの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００９０】
＜化合物Ｃ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有するものが好ましい。
【００９１】
【化３】
2012103388.tif 000005
【００９２】
洗浄液２が化合物Ｃを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｃが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。
上記式（３）中、Ｒは、炭素数が１〜６の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜５であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜４であるのがより好ましく、Ｒがプロピル基またはブチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（３）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものであってもよい。
【００９３】
洗浄液２中における化合物Ｃの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｃの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｃの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｃを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｃの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものである場合、化合物Ｃの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００９４】
＜化合物Ｄ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有するものが好ましい。
【００９５】
【化４】
2012103388.tif 000006
【００９６】
洗浄液２が化合物Ｄを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｄが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｄを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、沸点が比較的高いので、固形分の析出をより確実に抑制することを可能にする。また、ジエーテル構造のため粘度が低く、凹部２１１内への洗浄液の充填および洗浄液の除去などが容易である。
【００９７】
上記式（４）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜３であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜２であるのがより好ましく、Ｒがメチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（４）中、ｎは、１〜３の数であればよいが、１〜２であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（４）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものであってもよい。
【００９８】
洗浄液２中における化合物Ｄの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｄの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｄの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｄを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｄの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものである場合、化合物Ｄの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００９９】
また、洗浄液２は、その他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、例えば、表面張力調整剤、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコール、チオ尿素等が挙げられる。
また、上述したような洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃での表面張力と同程度であるか、あるいは低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
【０１００】
洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃における粘度が低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。また、洗浄時において、洗浄液２は、洗浄液搬送路２０２や凹部２１１内での流速を早いものとすることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
なお、上記「同程度」とは、カラーフィルター用インクの表面張力の１倍以上１．３倍程度とされる。
【０１０１】
以下、カラーフィルター用インクについて説明する。
《カラーフィルター用インク》
次に、本発明の洗浄方法に適用される液滴吐出装置から吐出されるカラーフィルター用インクについて説明する。
カラーフィルター用インクは、基板上に着色部を形成するのに用いるインクであり、特に、液滴吐出法によってカラーフィルターの着色部を形成するのに用いるインクである。
【０１０２】
以下、カラーフィルター用インクの各構成成分について詳細に説明する。
［着色剤］
カラーフィルターは、通常、異なる複数色の着色部（一般に、ＲＧＢに対応する３色の着色部）を有している。着色剤は、通常、形成すべき着色部の色調に応じて選択される。カラーフィルター用インクを構成する着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料を用いることができる。
【０１０３】
顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２１，２２，２３，３０，３１，３２，３７，３８，４０，４１，４２，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５３：１，５７，５７：１，５７：２，５８：２，５８：４，６０：１，６３：１，６３：２，６４：１，８１，８１：１，８３，８８，９０：１，９７，１０１，１０２，１０４，１０５，１０６，１０８，１０８：１，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５１，１６６，１６８，１７０，１７１，１７２，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１５，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４３，２４５，２５４，２５５，２６４，２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，１５，１７，１８，１９，２６，５０，５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１７：１，１８，６０，２７，２８，２９，３５，３６，６０，８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，３，１２，１３，１４，１５，１６，１７，２０，２４，３１，３４，３５，３５：１，３７，３７：１，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６５，７１，７３，７４，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１６，１１７，１１９，１２０，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７，１６６，１６８，１７５，１８０，１８４，１８５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，３，１４，１６，１９，２３，２９，３２，３６，３８，５０；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１，５，１３，１４，１６，１７，２０，２０：１，２４，３４，３６，３８，４０，４３，４６，４９，５１，６１，６３，６４，７１，７３，１０４；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン７，１１，２３，２５，３３；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７や、これらの誘導体等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１０４】
また、特に、カラーフィルター用インクが、顔料（緑色顔料）として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むものであると、当該カラーフィルター用インク（緑色のカラーフィルター用インク）の発色性を特に優れたものとすることができる。また、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８は、明度に優れるという特徴を有しているものの、各種顔料の中でも、特に分散性の低い材料であるため、従来において液滴吐出に供するインクに適用する場合には、液滴吐出装置のインクの流路への付着、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【０１０５】
カラーフィルター用インク中における顔料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
カラーフィルター用インク中に含まれる顔料の平均粒径は、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であるのが好ましく、２０ｎｍ以上１８０ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料の分散安定性や、カラーフィルターインクの吐出安定性を十分に優れたものとしつつ、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性（耐光性等）を十分に優れたものとし、カラーフィルターにおける発色性、コントラスト等を特に優れたものとすることができる。
【０１０６】
一方、染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン，ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２，４，９，２３，２６，２８，３１，３９，６２，６３，７２，７５，７６，７９，８０，８１，８３，８４，８９，９２，９５，１１１，１７３，１８４，２０７，２１１，２１２，２１４，２１８，２２１，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２３２，２３３，２４０，２４１，２４２，２４３，２４７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３５，４２，５１，５２，５７，６２，８０，８２，１１１，１１４，１１８，１１９，１２７，１２８，１３１，１４３，１４５，１５１，１５４，１５７，１５８，２１１，２４９，２５４，２５７，２６１，２６３，２６６，２８９，２９９，３０１，３０５，３１９，３３６，３３７，３６１，３９６，３９７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３，１３，１７，１９，２１，２２，２３，２４，２９，３５，３７，４０，４１，４３，４５，４９，５５、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１２，１３，１４，１５，１８，２２，２３，２４，２５，２７，２９，３５，３６，３８，３９，４５，４６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット７，９，４７，４８，５１，６６，９０，９３，９４，９５，９８，１００，１０１、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット５，９，１１，３４，４３，４７，４８，５１，７５，９０，１０３，１２６、Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット１，３，４，５，６，７，８，９，１６，１７，２２，２３，２４，２６，２７，３３，３４、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１，２，３，７，１０，１５，１６，２０，２１，２５，２７，２８，３５，３７，３９，４０，４８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８，９，１１，１２，２７，２８，２９，３３，３５，３９，４１，４４，５０，５３，５８，５９，６８，８７，９３，９５，９６，９８，１００，１０６，１０８，１０９，１１０，１３０，１４２，１４４，１６１，１６３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７，１９，２３，２５，３９，４０，４２，４４，４９，５０，６１，６４，７６，７９，１１０，１２７，１３５，１４３，１５１，１５９，１６９，１７４，１９０，１９５，１９６，１９７，１９９，２１８，２１９，２２２，２２７、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，３，１３，１４，１５，１７，１８，２３，２４，２５，２６，２７，２９，３５，３７，４１，４２、Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー１，２，４，１１，１３，１４，１５，１９，２１，２３，２４，２５，２８，２９，３２，３６，３９，４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９，４５，８０，８３，９０，１８５、Ｃ．Ｉ．ベーシックオレンジ２１，２３等が挙げられる。
【０１０７】
カラーフィルター用インク中における染料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。染料の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターにおいて、より高い色濃度を確保することができ、より鮮明な画像表示に用いることができる。また、所定の色濃度の着色部を形成するのに要するカラーフィルター用インクの量を少なくすることができ、省資源の観点から有利である。また、カラーフィルターの着色部を形成する際における溶剤の揮発量を抑制することができるため、環境に対する負荷を軽減することができる。
【０１０８】
［分散媒］
分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）としては、上述した、洗浄液の分散媒（洗浄液分散媒）と同様の液体を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散媒の含有率は、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのが好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、６５ｗｔ％以上９３ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１０９】
［樹脂材料］
カラーフィルター用インクは、形成される着色部の基板に対する密着性向上等の目的で、通常、樹脂材料を含んでいる。
樹脂材料としては、硬化性樹脂を用いるのが好ましい。
カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、液滴吐出装置のノズル１１８やインク吐出面１１５Ｐへの固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
【０１１０】
硬化性樹脂は、例えば、エポキシ構造を有するものであるのが好ましい。このような構造を有する硬化性樹脂を含むカラーフィルター用インクによれば、製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、ノズル１１８やインク吐出面１１５Ｐへの固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
また、カラーフィルター用インク中における樹脂材料の含有率は、０．５ｗｔ％以上１８ｗｔ％以下であるのが好ましく、１．０ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、３．０ｗｔ％以上１２ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１１１】
［分散剤］
カラーフィルター用インクは、分散剤を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料粒子等の着色剤の分散安定性を優れたものとすることができ、より長期間にわたって安定的な液滴吐出を行うことができる。分散剤としては、上述した、洗浄液の構成成分としての分散剤と同様の材料を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散剤の含有率は、０．５ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのが好ましく、０．６ｗｔ％以上８．０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
【０１１２】
［その他の成分］
カラーフィルター用インクは、上記以外の成分（その他の成分）を含むものであってもよい。
このような成分としては、例えば、各種架橋剤、熱酸発生剤、光酸発生剤、各種重合開始剤、酸架橋剤、界面活性剤、増感剤、光安定剤、各種染料、各種分散剤、発光材料、レベリング剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、接着性改良剤、各種重合促進剤、各種光安定化剤、ガラス、ジルコニア、アルミナ、酸化チタン等のセラミックス、密着促進剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を用いることができる。
【０１１３】
カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、特に限定されないが、４ｍＰａ・ｓ以上１２ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。カラーフィルター用インクの粘度が前記範囲内の値であると、後述するようなインクジェット方式による液滴吐出において、吐出されるカラーフィルター用インクの液適量のばらつきを特に小さいものとしつつ、液滴吐出ヘッドにおける目詰まりの発生等をより確実に防止することができる。なお、カラーフィルター用インクの粘度の測定は、例えば、振動式粘度計を用いて行うことができ、特に、ＪＩＳ  Ｚ８８０９に準拠して行うことができる。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。
【実施例】
【０１１４】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
［１］洗浄液およびカラーフィルター用インクの調製
各実施例および各比較例における洗浄液およびカラーフィルター用インクは、以下のようにして製造した。
【０１１５】
［洗浄液の調製］
（洗浄液１）
洗浄液１としてジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを用意した。なお、洗浄液１の沸点は２４７℃であった。
（洗浄液２）
洗浄液２として１，３−ブチレングリコールジアセテートを用意した。なお、洗浄液２の沸点は２３２℃であった。
【０１１６】
（洗浄液３）
洗浄液３としてジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用意した。
（洗浄液４）
洗浄液４として下記式（５）で示される化合物Ａと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、３−エトキシプロピオン酸エチルの混合物を用意した。
【０１１７】
【化５】
2012103388.tif 000007
【０１１８】
（洗浄液５）
洗浄液５として下記式（６）で示される化合物Ｂと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物を用意した。
【０１１９】
【化６】
2012103388.tif 000008
【０１２０】
（洗浄液６）
洗浄液６として下記式（７）で示される化合物Ｃと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１２１】
【化７】
2012103388.tif 000009
【０１２２】
（洗浄液７）
洗浄液７として下記式（８）で示される化合物Ｄと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１２３】
【化８】
2012103388.tif 000010
【０１２４】
表１に、用意した各洗浄液の組成を示す。なお、表中、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルを「Ｓ４」で示した。３−エトキシプロピオン酸エチルを「Ｓ５」で示した。
【０１２５】
【表１】
2012103388.tif 000011
【０１２６】
［カラーフィルター用インクの調製］
（カラーフィルター用インク１）
顔料としてのＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８と、分散媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、分散剤としてのディスパービック１１１と、熱硬化性樹脂としての樹脂ａ１（エポキシ構造を有する熱硬化性樹脂）とを所定の割合で配合し、カラーフィルター用インク１（インク１）とした。
【０１２７】
樹脂ａ１の合成は以下のようにして行った。
まず、四つ口フラスコに、ｎ−ヘキサン：３２０重量部、メタアクリル酸：８６重量部、トリエチルアミン：１１１重量部を投入した後、この四つ口フラスコに、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口を取り付けた。この四つ口フラスコを、氷水で冷却しつつ、トリメチルクロルシラン：１２０重量部を滴下した。この際、反応系内の温度が２５℃以下となるようにした。その後、２５℃で１時間反応を続けた。次に、トリエチルアミンの塩酸塩を濾別し、得られたろ液から減圧下でｎ−ヘキサンを除去した後、減圧蒸留にて精製し、シリルアセテート構造を有するエチレン性不飽和単量体を得た。
【０１２８】
次に、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口が取り付けられ、溶媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート：１００重量部を仕込んだ四つ口フラスコを用意した。この四つ口フラスコ内のジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを攪拌しつつ６０℃まで昇温した後、上記エチレン性不飽和単量体：２７重量部と、メタアクリル酸グリシジル：３０重量部と、スチレン：３８重量部と、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：６重量部との混合物を１時間かけて滴下した。滴下後６０℃にて１時間保持した後、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：０．０８重量部を加え、さらに６０℃で６時間反応させ、その後、未反応のモノマーを減圧処理により除去することにより、エポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂としての樹脂ａ１を得た。
【０１２９】
（カラーフィルター用インク２〜９）
カラーフィルター用インクの各材料の種類および配合量を表１に示すように変更した以外は、前記カラーフィルター用インク１と同様にしてカラーフィルター用インク２〜９（インク２〜インク９）を得た。
表２に、製造した各カラーフィルター用インクの組成を示す。なお、表中、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を「ＰＧ５８」、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を「ＰＧ３６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を「ＰＲ２５４」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７を「ＰＲ１７７」、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０を「ＰＹ１５０」、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を「ＰＢ１５：６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を「ＰＶ２３」、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ディスパービック１１１を「ＤＡ１」、ディスパービック１６６を「ＤＡ２」、ヒノアクトＴ８０００Ｅを「ＤＡ３」、樹脂ａ１を「ａ１」で示した。
【０１３０】
【表２】
2012103388.tif 000012
【０１３１】
［液滴吐出装置に用いる洗浄液およびカラーフィルター用インクの選定］
（実施例１〜２６）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表３または表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、各実施例における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
【０１３２】
（比較例１〜３）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、比較例１〜３における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
（比較例４）
上記のように製造したカラーフィルター用インクのうち、表４に示すようにカラーフィルター用インクを選定し、比較例４におけるカラーフィルター用インクとした。
前記各カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、いずれも、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であった。
【０１３３】
また、前記の洗浄液とカラーフィルター用インクの組み合わせでは、いずれも、洗浄液の２５℃での表面張力が、カラーフィルター用インクの２５℃での表面張力と同程度か、あるいは低いものであった。
また、前記各実施例および前記各比較例では、いずれも、洗浄液の２５℃における粘度が、カラーフィルター用インクの２５℃における粘度よりも低いものであった。
【０１３４】
【表３】
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【０１３５】
【表４】
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【０１３６】
［３］液滴吐出の安定性評価（安定吐出性評価）
［３．１］洗浄操作
（実施例１〜１６）
室温２５℃、相対湿度５０％、クラス１００のクリーンルーム内に設置した図８に示すようなインクジェット装置に、前記各実施例および比較例のカラーフィルター用インクを充填し、ピエゾ素子の駆動波形を最適化した状態で、インクジェットヘッドの各ノズルから、２０００００発（２０００００滴）の液滴の連続吐出を行い、その後、６０分間、液滴の吐出を中断した（１シーケンス目）。その後、同様に、液滴の連続吐出、および、液滴の吐出の中断の操作を繰り返し行った。３０シーケンス目の液滴吐出の後、２０時間放置した。その後、前記各実施例の洗浄液にて、液滴吐出ヘッドを洗浄した。
【０１３７】
洗浄は、まず、開閉弁１５２を開状態にして、洗浄ヘッド２１０に液滴吐出ヘッド１１０を接触させ、吸引ポンプ２２０により洗浄ヘッド２１０のインク１を凹部２１１内を経て回収タンク２３０に吸引した。５秒経過後、開閉弁１５２を閉状態にし、さらに５秒経過後、加圧ポンプ２５０により洗浄液を加圧しつつ凹部２１１内に供給し、充填した。これにより、供給された洗浄液は液滴吐出ヘッド１１０の内部にも流入し、これを満たした。なお、洗浄液の供給速度（搬送速度）および加圧した洗浄液の圧力は、表３、４に示す速度および圧力とした。
【０１３８】
さらに５秒経過後、分岐部２０３と分岐部２０４とを切り替え、連絡路２０５を介して吸引した洗浄液が循環できるようにした。そして、加圧ポンプ２５０および吸引ポンプ２２０の回転方向を０．５秒ごとに逆転させる動作を１００秒間行った。
その後、加圧ポンプ２５０を停止した後、それに遅れて吸引ポンプ２２０を停止した。加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の停止後、洗浄液の圧力は、ほぼ大気圧であった。
次いで、液滴吐出ヘッド１１０を上昇させて洗浄ヘッド２１０から離し、続いて、吸引ポンプ２２０により凹部２１１内の洗浄液を排出した。
その後、上記のプロセスを１００回繰り返した。
【０１３９】
（実施例１７）
加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の回転方向をそれぞれ３秒ごとに逆転させるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
（実施例１８）
加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の回転方向をそれぞれ１０秒ごとに逆転させるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
【０１４０】
（実施例１９）
加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の回転方向を一定時間ごとに逆転させる動作を省略するようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
（実施例２０）
加圧ポンプ２５０による加圧力を３気圧（０．３ＭＰａ）に変更した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
【０１４１】
（実施例２１）
加圧ポンプ２５０による加圧力を５気圧（０．５ＭＰａ）に変更した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
（実施例２２）
加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の回転方向をそれぞれ０．５秒ごとに逆転させるとともに、加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の動作時に同期してピエゾ素子を駆動するようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。
【０１４２】
（実施例２３）
加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の回転方向をそれぞれ３秒ごとに逆転させるとともに、加圧ポンプ２５０と吸引ポンプ２２０の動作時に同期してピエゾ素子を駆動するようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。
（実施例２４）
まず、図９に示すようなインクジェット装置に図８に示す連絡路を追加したインクジェット装置を用意した。そしてこのインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として２種類を使用し、最初に洗浄液１を５０秒間送液した後、続いて洗浄液４を５０秒間送液するようにした。
【０１４３】
（実施例２５）
まず、図９に示すようなインクジェット装置に図８に示す連絡路を追加したインクジェット装置を用意した。そしてこのインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として３種類を使用し、最初に洗浄液１を３０秒間送液した後、続いて洗浄液４を３０秒間送液し、最後に洗浄液１を３０秒間送液するようにした。
（実施例２６）
図３に示すようなインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。
【０１４４】
（比較例１）
加圧ポンプ２５０を省略し、吸引ポンプ２２０を連続動作するようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。
（比較例２）
加圧ポンプ２５０を省略し、吸引ポンプ２２０を連続動作するようにした以外は、実施例２４と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。
【０１４５】
（比較例３）
加圧ポンプ２５０を省略し、吸引ポンプ２２０を連続動作するようにした以外は、実施例２５と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。
（比較例４）
図３に示すようなインクジェット装置を用いるとともに、洗浄液貯留槽２４０内を空にし、洗浄液の代わりに凹部２１１内に空気を供給するようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出と液滴吐出ヘッドの洗浄とを行った。
【０１４６】
［３．２］着弾位置精度評価
まず、上述したプロセスを１０回繰り返した時点で、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを再び充填した。充填は、インクの流路内に、カラーフィルター用インクを１．０ｍｌ／ｍｉｎの流速で、３００秒間流すことによって行った。その後、引き続きインクジェットヘッドの各ノズルから、３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを以下の６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
【０１４７】
Ａ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ未満。
Ｂ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ以上、３μｍ未満。
Ｃ：ズレ量ｄの平均値が３μｍ以上、５μｍ未満。
Ｄ：ズレ量ｄの平均値が５μｍ以上、１０μｍ未満。
Ｅ：ズレ量ｄの平均値が１０μｍ以上、１５μｍ未満。
Ｆ：ズレ量ｄの平均値が１５μｍ以上。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
【０１４８】
その後、上述したプロセスを５０回および１００回繰り返した後に、再び、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを充填した。そして、上述したのと同様にして３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを上記６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
表３、４から明らかなように、本発明の液滴吐出装置では、インクの流路における汚れを容易に除去することができ、インクの吐出安定性に優れていた。これに対し、比較例では、満足な結果が得られなかった。
【０１４９】
［３．３］残留物評価
上述したプロセスを１００回繰り返した後、インクジェット装置の液滴吐出ヘッドおよび洗浄ヘッドについて、固形分の析出（残留物）の有無を光学顕微鏡および目視にて検査した。そして、検査の結果を以下の基準に従い、評価した。
Ａ：光学顕微鏡でも残留物が認められない。
Ｂ：光学顕微鏡では残留物が認められないが、目視にてわずかに残留物が認められる。
Ｃ：目視にて多数の残留物が認められる。
Ｄ：ノズルの目詰まり、または洗浄ヘッドの目詰まりが発生する。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
【０１５０】
表３、４から明らかなように、本発明の液滴吐出装置では、ヘッドの洗浄後、インクジェット装置の液滴吐出ヘッドおよび洗浄ヘッドに、固形分の析出（残留物）がほとんど認められなかった。これに対し、各比較例では、プロセスを１０回繰り返した時点で固形分の析出が認められ、プロセスを１００回繰り返すとノズルの目詰まり、または洗浄ヘッドの目詰まりに発展した。
【符号の説明】
【０１５１】
１…カラーフィルター用インク（インク）  ２…洗浄液  １０…カラーフィルター  １１…基板  １２…着色部  １２Ａ…第１の着色部  １２Ｂ…第２の着色部  １２Ｃ…第３の着色部  １３…隔壁（バンク、遮光部）  １００…インクジェット装置（液滴吐出装置）  １１０…インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド、ヘッド）  １１１…ヘッド本体  １１２…振動板  １１３…ピエゾ素子  １１４…本体  １１５…ノズルプレート  １１５Ｐ…インク吐出面  １１６…リザーバー  １１７…インク室  １１８…ノズル（吐出部）  １３０…ベース  １４０…テーブル  １５０…インク貯留槽  １５１…インク搬送路  １５２…開閉弁  １５３…自己封止弁  １７０…テーブル位置決め手段  １７１…第１移動手段  １７２…モーター  １８０…ヘッド位置決め手段  １８１…第２移動手段  １８２…リニアモーター  １８３、１８４、１８５…モーター  １９０…制御装置  １９１…駆動回路  ２００…洗浄機構  ２０１…吸引媒体搬送路  ２０２…洗浄液搬送路  ２０２１、２０２２、２０２３…分岐路  ２０３、２０４…分岐部  ２０５…連絡路  ２０６、２０７、２０８…分岐部  ２１０…洗浄ヘッド  ２１１…凹部  ２１２…接触部  ２２０…吸引ポンプ  ２３０…回収タンク  ２４０…洗浄液貯留槽  ２４０１、２４０２、２４０３…洗浄液貯留槽  ２５０…加圧ポンプ  ２６０…フィルター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2012103388.tif 000021
【図８】
2012103388.tif 000022
【図９】
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