(57)【要約】【課題】マニホールドにコンプライアンスを確実に付与することができると共に、液体吐出特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧力発生室２１が並設された流路形成基板２２と、複数の圧力発生室２１に連通して共通の液体室となるマニホールド３２が設けられたマニホールド形成基板３１と、前記マニホールド３２を封止するコンプライアンス基板５０と、前記圧力発生室２１に連通して液体を噴射するノズル開口３４が設けられたノズルプレート３５と、が順に積層され、前記コンプライアンス基板５０の前記マニホールド３２に相対向する領域には、可撓性を有するコンプライアンス部５１が設けられ、前記ノズルプレート３５には、前記コンプライアンス部５１に相対向する領域に貫通した貫通孔６０が設けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生室が並設された流路形成基板と、
複数の圧力発生室に連通して共通の液体室となるマニホールドが設けられたマニホールド形成基板と、
前記マニホールドを封止するコンプライアンス基板と、
前記圧力発生室に連通して液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、が順に積層され、
前記コンプライアンス基板の前記マニホールドに相対向する領域には、可撓性を有するコンプライアンス部が設けられ、
前記ノズルプレートには、前記コンプライアンス部に相対向する領域に貫通した貫通孔が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ノズルプレートが、シリコン基板又は金属板で形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレートの液体噴射面側には前記ノズル開口を露出するノズル開口露出開口部が設けられたカバーヘッドが設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項４記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項７】
環境温度を検出する温度検出手段をさらに具備し、該温度検出手段が検出した環境温度に基づいて前記圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を駆動する駆動信号を補正する制御部を有することを特徴とする請求項６記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエーターユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び圧力発生室の共通のインク室となるマニホールドが設けられたマニホールド形成基板を有する流路ユニットと、を具備するものがある。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、ノズルプレートによってマニホールドを封止し、このノズルプレートのマニホールドを封止する領域をマニホールド内の圧力変化によって変形させるコンプライアンス部としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、マニホールド形成基板の底面側にマニホールド内の圧力変化によって変形するコンプライアンス部が設けられたコンプライアンス基板を具備するものがある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
この特許文献２では、コンプライアンス基板の一部の厚さを薄くする凹部を形成し、この凹部によってコンプライアンス部を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−９５７２５号公報
【特許文献２】特開２００９−２０８４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のようのノズルプレートにコンプライアンス部を設けた場合、コンプライアンス部の振動がそのままノズル開口近傍に伝わってしまうため、吐出方向や吐出特性に悪影響を及ぼしてしまうという問題がある。また、ノズルプレートはノズル開口が設けられることから薄くすることができず、また、コンプライアンス基板はコンプライアンス部に可撓性を持たせるために比較的薄くしたいという問題があり、ノズルプレートとしての機能とコンプライアンス基板としての機能との両方を１枚の基板で兼用することは困難であるという問題がある。
【０００８】
また、特許文献２などのように、コンプライアンス基板のコンプライアンス部として凹部を設けただけでは、コンプライアンス部の変形する十分な空間を確保することができず、マニホールド内の圧力変動をコンプライアンス部によって十分に吸収することができず、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。また、凹部を有する構造とするためにコンプライアンス基板が厚くなってしまうので、圧力発生室からノズル開口までの連通部（流路）が長くなり、高周波駆動に不利なインク吐出特性となってしまうこともある。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドにコンプライアンスを確実に付与することができると共に、液体吐出特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生室が並設された流路形成基板と、複数の圧力発生室に連通して共通の液体室となるマニホールドが設けられたマニホールド形成基板と、前記マニホールドを封止するコンプライアンス基板と、前記圧力発生室に連通して液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、が順に積層され、前記コンプライアンス基板の前記マニホールドに相対向する領域には、可撓性を有するコンプライアンス部が設けられ、前記ノズルプレートには、前記コンプライアンス部に相対向する領域に貫通した貫通孔が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、コンプライアンス基板がノズルプレートと別体であるため、コンプライアンス基板の振動がノズル開口に伝わるのを抑制して、液滴の吐出方向や吐出特性に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。また、コンプライアンス基板を比較的薄くすることができるため、圧力発生室とノズル開口との距離を短くして、液体吐出特性を向上することができる。さらに、貫通孔によってコンプライアンス部の変形量が制限されることがないため、マニホールド内の圧力変動をコンプライアンス部によって十分に吸収することができる。
【００１１】
ここで、前記ノズルプレートが、シリコン基板又は金属板で形成されていることが好ましい。これによれば、ノズル開口を高精度に形成することができる。
【００１２】
また、前記ノズルプレートの液体噴射面側には前記ノズル開口を露出するノズル開口露出開口部が設けられたカバーヘッドが設けられていることが好ましい。これによれば、カバープレートによって、ノズルプレートを保護し、ノズルプレートの変形や破壊を抑制することができる。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
【００１４】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニット又は液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体噴射特性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【００１５】
また、環境温度を検出する温度検出手段をさらに具備し、該温度検出手段が検出した環境温度に基づいて前記圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を駆動する駆動信号を補正する制御部を有することが好ましい。
これによれば、環境温度を測定することで、液体噴射ヘッド内の液体の実際の温度を検出することなく、液体噴射ヘッド内の液体の実際の液体の温度と同じ情報を得ることができ、液体の実際の温度に適した駆動信号で液体を吐出させることができる。したがって、温度変化による液体の吐出特性のばらつきを低減して、印刷品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの要部平面図である。
【００１８】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、このアクチュエーターユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。
【００１９】
アクチュエーターユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００２０】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０〜１２μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００２１】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するマニホールドとを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００２２】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。
【００２３】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２上に設けられた上電極膜４３とで構成されている。圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４１を各圧電体層４２毎に設けるようにしてもよい。
【００２４】
なお、アクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２５】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールド形成基板３３と、マニホールド形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側に設けられたコンプライアンス基板５０と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２６】
液体供給口形成基板３１は、厚さ６０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）の薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入口３８が設けられている。液体供給口３７と液体導入口３８とは、圧力発生室２１の長手方向、すなわち、圧力発生室２１の並設方向である一方向とは直交する方向で、後述するマニホールド３２の両端部にそれぞれ連通するように設けられている。なお、本実施形態では、１つの液体導入口３８は、詳しくは後述するマニホールド３２の圧力発生室２１の並設方向である一方向の中央部に連通するように設けられている。
【００２７】
マニホールド形成基板３３は、インク流路（液体流路）を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２８】
マニホールド３２は、複数の圧力発生室２１に亘って、すなわち、圧力発生室２１の並設方向に亘って設けられている。
【００２９】
コンプライアンス基板５０は、マニホールド形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側の面に接合されてマニホールド３２の底面を封止している。このようなコンプライアンス基板５０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属や、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の樹脂や、セラミックスなどの単体又はこれらの積層体からなり、少なくともマニホールド３２を封止する領域が可撓性を有するものを用いることができる。本実施形態では、コンプライアンス基板５０として、例えば、厚さが１２μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いた。なお、コンプライアンス基板５０が積層体からなるとは、例えば、コンプライアンス基板５０が、フィルム状の弾性膜と、厚さ方向の一部が貫通して設けられた支持基板とで構成されていることを言う。
【００３０】
また、コンプライアンス基板５０には、厚さ方向に貫通してマニホールド形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。すなわち、圧力発生室２１からのインクは、液体供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３及びコンプライアンス基板５０に設けられたノズル連通孔３６、３９及び５２を介してノズル開口３４から吐出される。
【００３１】
なお、本実施形態では、コンプライアンス基板５０として厚さが均一なものを用いるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、コンプライアンス基板５０のマニホールド３２を封止する領域のみがその他の領域に比べて薄くしたものを用いてもよい。ただし、コンプライアンス基板５０には、厚さ方向に貫通してマニホールド形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。したがって、コンプライアンス基板５０としてマニホールド３２を封止する領域のみを薄くしたものを用いた場合、ノズル連通孔５２が長くなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１との距離が離れてしまうため好ましくない。ちなみに、ノズル開口３４と圧力発生室２１との距離が離れてしまうと、流路抵抗が増大するなど、インク吐出特性に悪影響を与える虞がある。
【００３２】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼等の金属やシリコン等のセラミックス材料で形成された板状部材からなる。ノズルプレート３５には、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。
【００３３】
また、ノズルプレート３５のマニホールドに相対向する領域は、厚さ方向に貫通した貫通孔６０が設けられている。これにより、コンプライアンス基板５０の貫通孔６０によって露出された領域が、コンプライアンス部５１として機能する。言い換えると、ノズルプレート３５のコンプライアンス部５１に相対向する領域には、厚さ方向に貫通した貫通孔６０が設けられている。
【００３４】
貫通孔６０は、本実施形態では、図３に示すように、圧力発生室２１の並設方向において、複数の圧力発生室２１で構成される圧力発生室群毎に分割されて設けられている。本実施形態では、貫通孔６０をマニホールドの長手方向に沿って４つに分割して設けることで、隣り合う貫通孔６０の間にノズルプレート３５と一体化された梁部６１を設けるようにした。この梁部６１によってノズルプレート３５全体の剛性が向上し、ノズルプレート３５の変形や、ノズル開口３４近傍の振動によるインク吐出特性の低下を抑制することができる。
【００３５】
なお、ノズルプレート３５は、ノズル開口３４近傍の剛性が必要なことから、厚さを薄くすることが困難である。本実施形態では、例えば、厚さが６０μｍのステンレス鋼を用いた。このため、コンプライアンス基板５０を設けずに、貫通孔６０が設けられていないノズルプレートの一部でマニホールド３２を封止し、ノズルプレートのマニホールド３２を封止する部分をコンプライアンス部とすることはできない。なお、コンプライアンス部５１は可撓性が必要であるため、厚くすることができない。したがって、ノズルプレート３５の一部をコンプライアンス部とすることができない。
【００３６】
このような流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３、コンプライアンス基板５０及びノズルプレート３５を接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、図２では、ノズルプレート３５とコンプライアンス基板５０とを接着する接着剤６２のみを例示しているが、流路ユニット３０を構成する他の部材の間にも図示しないが接着剤が設けられている。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００３７】
そして、このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）から液体導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。
【００３８】
また、マニホールド３２にインクを取り込む際の圧力変動や、ノズル開口３４からインクを吐出した際のノズル開口３４とは反対側のマニホールド３２側への圧力変動などは、ノズルプレート３５の貫通孔６０によって形成されたコンプライアンス基板５０のコンプライアンス部５１によって吸収される。このとき、本実施形態では、コンプライアンス基板５０がノズルプレート３５と別体であるため、コンプライアンス基板５０の振動がノズル開口３４に伝わるのを抑制して、インク滴の吐出方向や吐出特性に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。また、コンプライアンス基板５０をノズルプレート３５と別体とすることで、コンプライアンス基板５０を比較的薄くすることができるため、圧力発生室２１とノズル開口３４との距離を短くして、インク吐出特性を向上することができる。さらに、貫通孔６０によってコンプライアンス部５１の変形量が制限されることがないため、マニホールド３２内の圧力変動をコンプライアンス部５１によって十分に吸収することができる。
【００３９】
また、コンプライアンス部５１がノズルプレート３５に設けられた貫通孔６０によって露出されているため、インクジェット式記録ヘッド１０の内部のインク温度、特に圧力発生室２１に近いインクが貯留されたマニホールド３２内のインクの温度を、インクジェット式記録ヘッド１０の外部の温度（環境温度）と短時間で略同じ温度にすることができる。ここで、インクの粘度は、インクの温度に応じて変化する。例えば、温度が高いとインクの粘度は低くなり、温度が低いとインクの粘度が高くなる。このため、インクの温度（粘度）に適した駆動波形で圧電素子４０を駆動し、インクを吐出させることでインク吐出特性を均一にすることができるものであるが、インクの温度は、通常、インクジェット式記録ヘッド１０の環境温度（室温）を温度センサー等の温度検出手段で測定することで取得される。このような場合、インクジェット式記録ヘッド１０の流路内部の実際のインク温度と、環境温度とに誤差が生じ、実際のインク温度に適した駆動波形でインクを吐出させることができず、インク吐出特性が低下してしまう虞がある。本実施形態では、ノズルプレート３５に貫通孔６０を設けることで、マニホールド３２を封止するコンプライアンス部５１を外部に露出させることができるため、マニホールド３２内のインクの温度を、温度測定を行う環境温度と略同じ温度に短時間で同調させることができる。すなわち、マニホールド３２内のインクは、比較的厚いノズルプレート３５を介さずに、比較的薄いコンプライアンス基板５０のみで外部と隔てられているだけなので、マニホールド３２内のインクの温度は短時間で環境温度に達しやすい。このため、環境温度を測定して駆動波形を決定するだけで、実際の流路内のインクの温度に適した駆動波形で圧電素子４０を駆動することができ、インク吐出特性を向上することができる。
【００４０】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、ノズルプレート３５のコンプライアンス基板５０とは反対側にカバープレートが設けられていないインクジェット式記録ヘッドを例示したが、特にこれに限定されず、ノズルプレート３５の外側、すなわち、コンプライアンス基板５０とは反対側にカバープレートを設けるようにしてもよい。このような例を図４に示す。なお、図４は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【００４１】
図４に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０のノズルプレート３５側には、ノズルプレート３５の表面を覆うカバープレート７０が設けられている。カバープレート７０には、複数のノズル開口３４を露出するノズル開口露出開口部７１が設けられている。また、カバープレート７０には、ノズルプレート３５の貫通孔６０に連通してコンプライアンス部５１を露出させるコンプライアンス部露出開口部７２が設けられている。勿論、カバープレート７０にコンプライアンス部露出開口部７２を設けなくても、コンプライアンス部５１とカバープレート７０との間にはノズルプレート３５の貫通孔６０によって空間が確保されるため、コンプライアンス部５１の変形を阻害しないが、カバープレート７０にコンプライアンス部露出開口部７２を設けることで、コンプライアンス部５１の大きな変形が可能となると共に、コンプライアンス部５１を介してマニホールド３２内のインクを外部の温度と略同じ温度に同調させやすくすることができる。
【００４２】
また、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーター、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。
【００４３】
また、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４４】
図５に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４５】
また、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。なお、特に図示しないが、装置本体４の内側又は外側には、環境温度である室温を測定する温度センサー等の温度検出手段が設けられていてもよい。
【００４６】
そして、これら駆動モーター６や記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂの圧力発生手段等は、図示しないＣＰＵやメモリー等で構成された制御部によって制御されて動作する。また、制御部は、温度検出手段が検出した環境温度に基づいて、インクジェット式記録ヘッド１０の圧力発生手段である圧電素子４０に印加する駆動信号を環境温度に適した駆動信号に補正する。ここで、上述したように、本実施形態では、ノズルプレート３５に貫通孔６０を設けることで、マニホールド３２を封止するコンプライアンス部５１を外部に露出させることができるため、マニホールド３２内のインクの温度を、温度測定を行う環境温度と略同じ温度に短時間で同調させることができる。したがって、環境温度を測定して駆動信号である駆動波形を補正するだけで、実際の流路内のインクの温度に適した駆動信号（駆動波形）で圧電素子４０を駆動することができ、インク吐出特性を向上することができる。
【００４７】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４８】
１０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ２５  供給連通孔、  ３０  流路ユニット、  ３１  液体供給口形成基板、  ３２  マニホールド、  ３３  マニホールド形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ３６  ノズル連通孔、  ３７  液体供給口、  ３８  液体導入口、  ３９  ノズル連通孔、  ４０  圧電素子、  ５０  コンプライアンス基板、  ５１  コンプライアンス部、  ６０  貫通孔、  ６１  梁部、  ７０  カバープレート
【図１】
2012020422.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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