(57)【要約】      （修正有）【課題】基板と感光性フィルム間の密着力を阻害する異物の発生を最小化してラミネーティングを容易に実施するようにしたラミネーターを提供する。【解決手段】基板１を垂直駆動方式で供給する基板供給部１０；前記基板１にラミネートされる感光性フィルム２を供給するためのフィルム供給部２０；及び前記基板１に感光性フィルム２をラミネートするための圧着部３０を含む。前記基板供給部１０は、垂直方向に配置されたクランプローラー１１；前記クランプローラーによる基板の移送位置を検出するセンサー１２；及び前記クランプローラー１１によって移送される基板１を圧着部３０に案内するガイドパネル１３を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を垂直駆動方式で供給する基板供給部；
前記基板にラミネートされる感光性フィルムを供給するためのフィルム供給部；及び
前記基板に感光性フィルムをラミネートするための圧着部を含むことを特徴とする、ラミネーター。
【請求項２】
前記基板供給部による基板の供給角度は４５〜９０°であることを特徴とする、請求項１に記載のラミネーター。
【請求項３】
前記基板供給部は、
垂直方向に配置されたクランプローラー；
前記クランプローラーによる基板の移送位置を検出するセンサー；及び
前記クランプローラーによって移送される基板を圧着部に案内するガイドパネルを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のラミネーター。
【請求項４】
前記センサーはクランプローラーの先端及び後端に配置されたことを特徴とする、請求項３に記載のラミネーター。
【請求項５】
前記フィルム供給部は、
ロール状に巻き取られた感光性フィルムの先端を吸着部に移送するための供給ローラー；
前記供給ローラーによって移送される感光性フィルムの先端を案内するためのスライドガイド；
前記スライドガイドによって案内された感光性フィルムからカバーを剥離し、巻き取るための剥離ガイド及びカバーローラー；
前記カバーが剥離された感光性フィルムの先端を吸着するための吸着ガイド；及び
前記感光性フィルムの張力を調節するように供給ローラーと吸着ガイドの間に配置されたテンションローラーを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のラミネーター。
【請求項６】
圧着部は一対の加圧ローラーであることを特徴とする、請求項１または２に記載のラミネーター。
【請求項７】
前記吸着ガイドは熱線を内蔵していることを特徴とする、請求項５に記載のラミネーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はラミネーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の集積化によって厚いフォトレジスト層を形成しなければならない場合、回路パターンの大きさは反対に非常に小さくなる。したがって、プリント基板の製造工程において、銅パターンの微細線幅を具現するために、回路形成工程に使われる感光性フィルムを基板にラミネートする（Ｌａｍｉｎａｔｉｎｇ）ラミネーション（Ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）工程が重要工程として認識されている。
【０００３】
ラミネーター（Ｌａｍｉｎａｔｏｒ）は前記ラミネーション工程において感光性フィルムを基板にラミネートするための装置であり、これに関連して特許文献１及び特許文献２を例としてあげることができ、これらの技術内容を簡略に説明すれば次のようである。
【０００４】
特許文献１及び特許文献２はロール（Ｒｏｌｌ）を用いて感光性フィルム（ドライフィルムとして記載）を基板にラミネートする装置であって、特許文献１の本文５頁ないし６頁、及び図５に示すように、感光性フィルムからカバーを剥いた後、上下一対の加圧ローラーの間を通過させると同時に前記加圧ローラーの間に基板を通過させることで、前記感光性フィルムを基板の上面にラミネートしている。
【０００５】
また、特許文献２は本文３頁ないし４頁、図２に示すように、コンベヤーによって水平方式で供給される基板の上下に感光性フィルムを配置して供給した後、前記基板と感光性フィルムを一対の加圧ローラーの間に通過させることで、基板の両面に感光性フィルムをラミネートしている。
【０００６】
しかし、特許文献１及び特許文献２は本文及び図面の記載から分かるように、コンベヤーによって基板を水平駆動方式で供給した後、その表面に感光性フィルムをラミネートしているため、前記感光性フィルムとの密着力を阻害する要素が発生することができ、これはラミネーション工程に悪影響を与えている。
【０００７】
前記基板と感光性フィルムの密着力を阻害する要素としては、ラミネーション工程におけるカッティング（Ｃｕｔｔｉｎｇ）の際に発生するチップなどの粒子を例としてあげることができ、このような粒子に代表される異物が基板の表面上に落ちて残存している状態で感光性フィルムを合わせるラミネーティングを実施する場合、前記基板と感光性フィルムとの密着力が低下することができる。
【０００８】
すなわち、このような異物の発生による基板と感光性フィルムとの密着力低下の問題は前記基板を水平駆動方式で供給することに密接な連関性があるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】大韓民国特許公開第１０−２００６−００２９４２２Ａ号明細書
【特許文献２】大韓民国特許公開第１０−２００９−０１１１５９５Ａ号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明は、特許文献１及び特許文献２を含み、基板を水平駆動方式で供給する従来先行技術で発生している基板と感光性フィルム間の密着力低下の問題を解決するためのものである。
【００１１】
本発明の目的は、基板と感光性フィルム間の密着力を阻害する異物の発生を最小化してラミネーティングを容易に実施するようにしたラミネーターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため、本発明は、基板を垂直駆動方式で供給する基板供給部；前記基板にラミネートされる感光性フィルムを供給するためのフィルム供給部；及び前記基板に感光性フィルムをラミネートするための圧着部を含むラミネーターを提供する。
【００１３】
前記基板供給部による基板の供給角度は４５〜９０°であってもよい。
【００１４】
前記基板供給部は、垂直方向に配置されたクランプローラー；前記クランプローラーによる基板の移送位置を検出するセンサー；及び前記クランプローラーによって移送される基板を圧着部に案内するガイドパネルを含むことができる。
【００１５】
前記センサーはクランプローラーの先端及び後端に配置されることができる。
【００１６】
前記フィルム供給部は、ロール状に巻き取られた感光性フィルムの先端を吸着部に移送するための供給ローラー；前記供給ローラーによって移送される感光性フィルムの先端を案内するためのスライドガイド；前記スライドガイドによって案内された感光性フィルムからカバーを剥離し、巻き取るための剥離ガイド及びカバーローラー；前記カバーが剥離された感光性フィルムの先端を吸着するための吸着ガイド；及び前記感光性フィルムの張力を調節するように供給ローラーと吸着ガイドの間に配置されたテンションローラーを含むことができる。
【００１７】
圧着部は一対の加圧ローラーでなることができる。
【００１８】
前記吸着ガイドは熱線を内蔵していることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、基板を垂直駆動方式で供給することにより、感光性フィルムとの密着力を阻害する異物が前記基板の表面上に残存しないか最少になって、ラミネーティングが容易に行えるようにする効果がある。
【００２０】
また、基板の供給角度が異物の自然落下を誘導することができる最小４５°から最大９０°まで自在に設定することができるようにすることで、ラミネーション工程の空間及び他の装置との関係を判断して基板供給部、フィルム供給部及び圧着部を自在に配置することができるので、前記ラミネーション工程の進行が容易になる。
【００２１】
一方、吸着ガイドに熱線が内蔵することにより、感光性フィルムの温度を初期予熱レベルに持続的に維持して密着性を向上させ、これにより、基板に感光性フィルムが付着されない不良を改善することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明によるラミネーターの実施例を示す概略図である。
【図２】本発明によるラミネーターによって基板と感光性フィルムをラミネートする過程を示す概略図である。
【図３】本発明による吸着ガイドに熱線が内蔵されたものを一部切開して示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
本発明は、基板１と感光性フィルム２間の密着力を阻害する異物の発生を最小化するために、ラミネーション（Ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）工程に配置され、前記基板１を垂直駆動方式で供給する基板供給部１０、基板１にラミネートされる感光性フィルム２を供給するために、前記ラミネーション工程に配置されたフィルム供給部２０、及び前記基板１と感光性フィルム２をラミネートするための圧着部３０を含むことをその技術的構成の基本特徴とする。
【００２５】
ここで、前記基板１と感光性フィルム２間の密着力を阻害する異物として、本発明は通常のラミネーション工程における感光性フィルム２のカットの際に発生するチップなどの粒子を目指すが、これに限定されなくてラミネーション工程で自然に発生するほこり粒子なども含む包括的用語として解釈されなければならない。
【００２６】
したがって、本発明において、異物の発生を最小化するという意味は、基板１の表面上に残存する異物の数を最小化して、空気噴射のような別の工程の追加なしに感光性フィルム２との密着力向上によってラミネーティングを容易になすようにするものである。
【００２７】
また、前記基板１は銅パネルを実施例とすることができ、感光性フィルム２の実施例としてはドライフィルム（Ｄｒｙ Ｆｉｌｍ）を用いることができるが、これは単に本発明の理解に役立てるための一例に過ぎない。
【００２８】
一方、本発明による基板供給部１０による基板１の垂直方向供給は、地面(横方向)と交差する方向である縦方向で前記基板１を供給することを意味するもので、基板１の表面上に残存している異物が前記基板１の移送過程で徐々に進行しても落下可能な角度であれば十分である。
【００２９】
より好ましくは、基板１の表面上に残存している異物が容易に自然落下することができる角度で前記基板１を供給するものであり、数値において最小供給角度は４５°、最大供給角度９０°に設定することになる。
【００３０】
したがって、ラミネーション工程が進む現場の空間または状況によって適切な基板１の供給角度を算定した後、基板供給部１０、フィルム供給部２０及び圧着部３０を配置して運用することになる。以下、実施例においては、基板１の最大供給角度９０°に設定したものを基準として説明する。
【００３１】
本発明による基板供給部１０は、図１に示すように、ラミネーション工程で垂直方向に対面するように配置されたクランプローラー１１、センサー１２及び一対のガイドパネル１３を含む。すなわち、前記クランプローラー１１は一対で構成され、垂直方向に配列されて互いに見合う配置され、その配置間隔は基板１の厚さに相応するようにする。
【００３２】
前記センサー１２はクランプローラー１１を通して垂直方向に移送される基板１の位置を検出するように前記クランプローラー１１に隣接して配置される。より好ましくは、前記基板１の投入及び排出をそれぞれ検出するようにクランプローラー１１の先端及び後端にセンサー１２が配置され、基板１の検出容易性のためにその数を増やすことができる。
【００３３】
前記ガイドパネル１３はクランプローラー１１を通過した基板１を圧着部３０に案内するように一対で構成され、前記クランプローラー１１と圧着部３０の間に配置されている。
【００３４】
本発明によるフィルム供給部２０は、ラミネーション工程において垂直方向に設置された供給ローラー２１、スライドガイド２２、剥離ガイド２３、カバーローラー２４、吸着ガイド２５及びテンションローラー２６を含む。すなわち、前記供給ローラー２１はフィルムロール（Ｆｉｌｍ Ｒｏｌｌ）から巻解された感光性フィルム２の先端を案内した後、垂直方向に供給するようにラミネーション工程の上部に配置されて運用される。
【００３５】
また、前記供給ローラー２１の下部にスライドガイド２２が垂直に配置されて感光性フィルム２の先端を案内するようにし、前記スライドガイド２２と見合うように剥離ガイド２３及びカバーローラー２４が配置されることにより、前記感光性フィルム２からカバー２ａを剥離することになる。
【００３６】
さらに、前記吸着ガイド２５は圧着部３０の上部に隣接して配置され、カバー２ａが剥離された感光性フィルム２の先端を吸着してから前記圧着部３０に供給することになる。このような吸着ガイド２５と供給ローラー２１の間にテンションローラー２６が配置されることにより感光性フィルム２の張力を調節することになり、これにより平行を維持することになる。
【００３７】
すなわち、前記テンションローラー２６によって感光性フィルム２の張力を調節して平行を維持することにより、供給ローラー２１による移送安全性、及びスライドガイド２２、剥離ガイド２３及びカバーローラー２４によるカバー２ａの容易な剥離を図ることができるものである。
【００３８】
より好ましくは、フィルムロール２ｂと供給ローラー２１の間に側長ローラー２７を配置することで、テンションローラー２６による感光性フィルム２の水平維持がより容易になるようにするものであり、このような側長ローラー２７の採択は選択的事項である。
【００３９】
本発明による圧着部３０は通常の加圧ローラー３１で構成され、垂直に供給される基板１と吸着ガイド２５によって供給される感光性フィルム２を圧着して接着を開始することになる。
【００４０】
より好ましくは、前記加圧ローラー３１が一対で構成されてガイドパネル１３を通過した基板１の一面及び吸着ガイド２５によって供給された感光性フィルム２の一面を互いに圧着して接着するものであり、これにより向上した密着力を期待することができる。
【００４１】
ここで、このような本発明の実施例によるラミネーターによる基板１と感光性フィルム２のラミネーティング過程について説明すれば次のようである。まず、図２に示すように、垂直方向に基板１を投入し、ラミネーション工程のカッティングの際に発生したチップなどの粒子などが前記基板１の表面上に残存しないように自然落下させて剥離させる。
【００４２】
また、前記基板１をクランプローラー１１の位置まで到逹するように投入し、前記クランプローラー１１に基板１が到逹してこれをセンサー１２が検出すれば、加圧ローラー３１を駆動させて接着を開始することになる。同時に、供給ローラー２１によってフィルムロール２ｂから巻解された感光性フィルム２の先端を供給することになる。
【００４３】
前記供給ローラー２１によって感光性フィルム２が供給されれば、スライドガイド２２が駆動してこれを案内した状態で、剥離ガイド２３によって感光性フィルム２からカバー２ａをむき出した後、カバーローラー２４によって巻き取ることになる。この過程で、テンションローラー２６及び側長ローラー２７によって感光性フィルム２の水平状態を維持することになる。
【００４４】
このような剥離過程を経て移送された感光性フィルム２の先端は吸着ガイド２５によって吸着した状態で加圧ローラー３１に移送することになる。
【００４５】
したがって、前記加圧ローラー３１には基板１と感光性フィルム２の先端が同時に供給された状態であるので、これらを圧着して互いに接着させる方式でラミネーティングを実施することになり、このようなラミネーティング過程で前記基板１の後端がセンサー１２によって検出されれば、供給ローラー２１が駆動してそれ以上感光性フィルム２が供給されることを遮断することになる。同時に、スライドガイド２２が初期位置に復帰することになる。
【００４６】
また、前記基板１と感光性フィルム２のラミネーティングが完了すれば、加圧ローラー３１が初期位置に復帰して後続のラミネーティングのための待機状態に入り、感光性フィルム２とのラミネーティングが完了した基板１はコンベヤーローラー４０によって排出されて露光工程のような後工程を進めることになる。
【００４７】
一方、本発明による吸着ガイド２５は、図３に示すように、熱線２５ａを内蔵して提供される。すなわち、感光性フィルム２は基板１との密着性を良くするために通常４０〜４８℃程度で初期予熱して移送することになる。
【００４８】
したがって、このような感光性フィルム２の温度を熱線２５ａが内蔵された吸着ガイド２５が持続的に維持することにより、密着性が低下することを防止し、これにより基板１に感光性フィルム２が付着しない不良を防止して信頼性関連収率の向上に寄与することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、基板と感光性フィルム間の密着力を阻害する異物の発生を最小化してラミネーティングを容易に実施するようにしたラミネーターに適用可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１    基板
２    感光性フィルム
１０    基板供給部
１１    クランプローラー
１２    センサー
１３    ガイドパネル
２０    フィルム供給部
２１    供給ローラー
２２    スライドガイド
２３    剥離ガイド
２４    カバーローラー
２５    吸着ガイド
２６    テンションローラー
３０    圧着部
３１    加圧ローラー
【図１】
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【図２】
2012039081.tif 000004
【図３】
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