(57)【要約】【課題】  霧化効率が高く、かつ製造が容易な霧化デバイスを提供する。【解決手段】  本発明の霧化デバイス１は、円筒状の圧電体５と、圧電体５の外周面に形成された第１の電極６および第２の電極７とを有し、円筒呼吸振動をする圧電振動子４と、圧電体５の軸方向における一端の開口部に、開口部を覆うように設けられた、中央部に複数の貫通孔１０ａが形成された振動体８とを備えた構成とした。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の圧電体と、前記圧電体の内周面または外周面のいずれか一方の面に形成された第１の電極および第２の電極とを有し、円筒呼吸振動をする圧電振動子と、
前記圧電体の軸方向における一端の開口部に、前記開口部を覆うように設けられた、中央部に複数の貫通孔が形成された振動体と、を備えた霧化デバイス。
【請求項２】
前記第１の電極および前記第２の電極が、それぞれ複数の電極指を有する櫛歯状に形成され、第１の電極の電極指と第２の電極の電極指とが所定の間隔を設けて前記圧電体を駆動する位置に対向して配置されている、請求項１に記載された霧化デバイス。
【請求項３】
前記第１の電極の電極指と前記第２の電極の電極指とが、交互に位置するように対向して配置されている、請求項２に記載された霧化デバイス。
【請求項４】
前記圧電体の内周面または外周面のいずれか一方の面のみに形成された第１の電極および第２の電極を有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された霧化デバイス。
【請求項５】
前記圧電体の外周面のみに形成された第１の電極および第２の電極を有する、請求項４に記載された霧化デバイス。
【請求項６】
前記圧電体の内周面のみに形成された第１の電極および第２の電極を有する、請求項４に記載された霧化デバイス。
【請求項７】
前記第１の電極および前記第２の電極に、それぞれ接続端子が固定されている、請求項１ないし６のいずれか１項に記載された霧化デバイス。
【請求項８】
前記接続端子が、前記圧電振動子の円筒呼吸振動のノード近傍の、前記第１の電極および前記第２の電極にそれぞれ固定されている、請求項７に記載の霧化デバイス。
【請求項９】
前記振動体が、中央部に開口部が形成された振動板と、前記振動板の前記開口部を覆うように設けられた、中央部に複数の貫通孔が形成されたオリフィスとで構成されている、請求項１ないし８のいずれか１項に記載された霧化デバイス。
【請求項１０】
前記振動板および前記オリフィスが、いずれも金属製である、請求項９に記載された霧化デバイス。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載された霧化デバイスと、
前記霧化デバイスが取付けられ、かつ液体を貯留する貯留部を有する霧化装置本体と、
前記貯留部に貯留されている液体を前記振動体の前記貫通孔が形成されている部分に供給する液体供給手段と、を備えた霧化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を霧化する霧化デバイスに関し、さらに詳しくは、霧化効率が高く、かつ製造が容易な霧化デバイスに関する。
【０００２】
また、本発明は、上記霧化デバイスを用いた霧化装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来から、加湿、芳香、消臭、殺虫、洗浄、成膜などの用途で、液体を霧化する霧化装置が実用化されている。
【０００４】
霧化装置は、液体を霧化する霧化デバイスを備える。霧化デバイスは、たとえば、圧電振動子などにより、中央部に複数の貫通孔（ノズル孔）が形成された振動体を振動させておき、振動体の下面側に供給された液体を、貫通孔から振動体の上面側に噴霧する構造からなる。
【０００５】
図５に、特許文献１（特表２００６−５２３５３２号公報）に開示された、霧化装置２００を示す。
【０００６】
霧化装置２００は、霧化デバイス１０１を備える。霧化デバイス１０１は、中央に開口部を有する円板形状の圧電振動子１０２を備え、その開口部に、複数の微細な貫通孔（図示せず）が形成された円板形状の金属製の振動板（オリフィス）１０３が取り付けられている。圧電振動子１０２は、その上下両面に１対の電極（図示せず）を備えており、その電極間に所定の周波数の交流電圧が印加されることにより、たとえば超音波で周方向に伸縮する。そして、圧電振動子１０２が伸縮することにより、圧電振動子１０２に取付けられた振動体１０３の中央領域が上下方向に振動する。
【０００７】
また、霧化装置２００は、液体供給手段として、多孔質スポンジなどからなる給液芯１０４を備える。給液芯１０４は、一方端１０４ａを露出させてプラグ１０５に固定され、他方端１０４ｂが液体タンク（貯留部）１０６に収容された液体１０７に含浸されている。そして、プラグ１０５が液体タンク１０６に取付けられている。給液芯１０４は、液体タンク１０６に収容された液体１０７を、毛細管現象により、その一方端１０４ａに供給する。
【０００８】
そして、給液芯１０４の一方端１０４ａは、所定の圧力で、振動体１０３の下面に圧接されている。なお、バネハウジング１０８に収容されたバネ１０９は、圧電振動子１０２の上面を弾性的に押圧するためのものである。
【０００９】
霧化装置２００は、圧電振動子１０２の電極間に交流電圧を印加することにより、振動体１０３が上下方向に振動し、給液芯１０４の一方端１０４ａに供給された液体を霧化し、振動体１０３の上面側に噴霧する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特表２００６−５２３５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した、従来の霧化デバイス１０１は、圧電振動子１０２を周方向に伸縮させ、その伸縮により、圧電振動子１０２に取付けられた振動体１０３の中央領域を上下方向に振動させるものであるため、振動体の振動ノード（節）がなく、保持により拘束され振動が漏れる。よって、振動体１０３の振動効率が低く、霧化効率の低いものであった。したがって、十分な霧化量を確保することができない、あるいは消費電力が大きいという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上述した従来の霧化デバイスの問題を解決するためになされたものである。
【００１３】
その手段として、本発明の霧化デバイスは、円筒状の圧電体と、圧電体の内周面または外周面のいずれか一方の面に形成された第１の電極および第２の電極とを有し、円筒呼吸振動をする圧電振動子と、圧電体の軸方向における一端の開口部に、開口部を覆うように設けられた、中央部に複数の貫通孔が形成された振動体とを備えた構成とした。
【００１４】
また、本発明の霧化装置は、上述した霧化デバイスと、霧化デバイスが取付けられ、かつ液体を貯留する貯留部を有する霧化装置本体と、貯留部に貯留されている液体を振動体の貫通孔が形成されている部分に供給する液体供給手段とを備えた構成とした。
【００１５】
なお、本件出願人においては、円筒状の圧電体の円筒呼吸振動により振動板を駆動する霧化デバイスおよびそれを用いた霧化装置については、既に出願済みである。ただし、本件の出願時点においては未公開である（特願２００９‐２７２２９号、ＰＣＴ／ＪＰ２００９／００５９７８、ＰＣＴ／ＪＰ２０１０／０５１３８６）。
【００１６】
図６（Ａ）、（Ｂ）に、この出願済みの霧化デバイスに用いられる圧電振動子２０１を示す。ただし、図６（Ａ）は斜視図、図６（Ｂ）は断面図である。
【００１７】
圧電振動子２０１は、円筒状の圧電体２０２を備え、圧電体２０２の内周面に第１の電極２０３が形成され、外周面に第２の電極２０４が形成されている。そして、圧電体２０２は、第１の電極２０３と第２の電極２０４を利用して、半径方向に分極されている。さらに、圧電体２０２の軸方向における一端の開口部には、図示しないが、開口部を覆うように振動体が設けられる。圧電振動子２０１は、第１の電極２０３と第２の電極２０４との間に交流信号を印加することにより、圧電体２０２が円筒呼吸振動して、振動体を上下方向に振動させる。
【００１８】
圧電振動子２０１は、圧電体２０２の円筒呼吸振動により振動板を駆動するものであるため、振動板と圧電振動子との接合部が振動のノード（節）となり、圧電振動子の広がり振動が、高い機械的変換効率で、振動板の膜振動へ変換されるため、振動効率が高くなっている。したがって、霧化効率が高く、消費電力が小さいものになっており、上述した従来の霧化デバイス１０１の有する問題を解決している。
【００１９】
しかしながら、この出願済みの霧化デバイスに用いられる圧電振動子２０１は、圧電体２０２の内周面と外周面の両方に電極が形成されているため、なお、次のような問題があった。
【００２０】
すなわち、内周面に第１の電極２０３が形成され、外周面に第２の電極２０４が形成されているため、電極の形成方法に制約があり、その工程も煩雑であるという問題があった。たとえば、円筒状の圧電体２０２の表面全体に、バレル電解めっきなどで金属膜を形成した後に、圧電体２０２の両端面を研削加工し、第１の電極２０３と第２の電極２０４とを分離するなどの工程が必要であった。
【００２１】
また、圧電体２０２の内周面に第１の電極２０３が形成され、外周面に第２の電極２０４が形成されていることにより、接続端子による引出しが難しいという問題があった。すなわち、第１の電極２０３と第２の電極２０４のそれぞれに接続端子を固定し、それらの接続端子により、電気的接続をはかるとともに、霧化デバイス全体を中空に支持しようとした場合、一方の接続端子は圧電体２０２の内周面側から、他方の接続端子は圧電体２０２の外周面側から引出すことになり、軸対称とならないため、振動バランスが崩れてしまうという問題があった。したがって、圧電体２０２の内周面に形成された第１電極２０３を、一旦、圧電体２０２の端面を経由して圧電体２０２の外周面側に引回し、そこに第１電極２０３用の接続端子を固定するなどの方策が必要であり、圧電体２０２に、非常に複雑で、加工の難しい電極を形成しなければならないという問題があった。
【００２２】
本発明の霧化デバイス（および霧化装置）は、上述した従来の霧化デバイス１０１の有する問題を解決するとともに、上述した本件出願人の出願済み（未公開）の霧化デバイスの有する問題をも解決することを目的として、上述した構成としたものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の霧化デバイスは、圧電振動子が、筒状の圧電体の円筒呼吸振動により振動板を駆動するものであるため、振動効率が高い。したがって、霧化効率が高く、消費電力が小さいものになっている。
【００２４】
また、本発明の霧化デバイスは、筒状の圧電体の外周面または内周面のいずれか一方に第１の電極および第２の電極の両方を設けたものであるため、電極形成が容易である。また、第１の電極と第２の電極のそれぞれに接続端子を固定し、それらの接続端子により、電気的接続をはかるとともに、霧化デバイス全体を中空に支持しようとした場合、接続端子の引出しが容易である。また、接続端子を軸対称に引出すことができるため、圧電振動子の良好な振動を得ることができる。
【００２５】
また、本発明の霧化装置は、上述した本発明の霧化デバイスを用いたものであるため、同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態にかかる霧化装置１００を示す断面図である。
【図２】霧化装置１００に用いた霧化デバイス１を示す分解斜視図である。
【図３】霧化装置１００（霧化デバイス１）に用いた圧電振動子４を示し、図３（Ａ）は斜視図、図３（Ｂ）は断面図、図３（Ｃ）は電極パターンの展開図である。
【図４】霧化装置１００に用いた霧化デバイス１の駆動状態を示す断面図である。なお、図４（Ａ）〜（Ｃ）は、一連の駆動状態を示す。
【図５】従来の霧化装置２００を示す断面図である。
【図６】本件出願人において出願済みの霧化装置（未公開）に用いた圧電振動子１０２を示し、図３（Ａ）は斜視図、図３（Ｂ）は断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００２８】
図１に、本発明の実施形態にかかる霧化装置１００を示す。また、図２に、霧化装置１００に用いた霧化デバイス１を示す。また、図３（Ａ）〜（Ｃ）に、霧化デバイス１に用いた圧電振動子２を示す。ただし、図１は断面図、図２は分解斜視図、図３（Ａ）は斜視図、図３（Ｂ）は断面図、図３（Ｃ）は電極パターンの展開図である。
【００２９】
霧化装置１００は、霧化デバイス１と、液体を貯留する貯留部２ａを有する霧化装置本体２と、貯留部２ａに貯留されている液体を霧化デバイス１の下面側に供給する給液芯（液体供給手段）３とを備える。
【００３０】
霧化デバイス１は、圧電振動子４と振動体８とを備える。
【００３１】
圧電振動子４は、円筒状の圧電体５を備える。圧電体５は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックなどから形成される。圧電体５の寸法は限定されないが、たとえば、外径９．６ｍｍ、内径８.０ｍｍ、高さ２．６ｍｍのものを用いることができる。
【００３２】
圧電体５の外周面には、特に図３（Ａ）〜（Ｃ）に詳細に示すように、第１の電極６と、第２の電極７とが形成されている。第１の電極６は、複数の櫛歯状の電極指６ａと、後で説明する接続端子を固定するための接続電極６ｂとを有し、複数の電極指６ａと接続電極６ｂはバスバー６ｃにより電気的に接続されている。同様に、第２の電極７は、複数の櫛歯状の電極指７ａと、後で説明する接続端子を固定するための接続電極７ｂとを有し、複数の電極指７ａと接続電極７ｂはバスバー７ｃにより電気的に接続されている。本実施形態においては、接続電極６ｂ、７ｂは、電極指６ａ、７ａよりも、若干、幅が大きく形成されている。そして、第１の電極６と第２の電極７は、櫛歯状の電極指６ａ、接続電極６ｂと、電極指７ａ、接続電極７ｂとが、間隔をあけて、交互に位置するように、対向して配置されている。第１の電極６、第２の電極７の材質は限定されないが、たとえば、Ａｇ、Ｃｕ，Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｓｎなどを用いることができる。ここで、櫛歯状の電極指６ａと電極指７ａと間にある圧電体表面に形成される円周方向の電極指が形成されない露出部の間隔、または、各電極指自体の円周方向の幅が変更されると、櫛歯状の電極指６ａ、７ａによる電界の強度を制御することができるため、第１の電極６および第２の電極７に印加される電圧が一定であっても、霧化器の霧化量または霧化高さを制御できるという効果を有する。このとき、複数の櫛歯状の電極指を有する第１および第２の電極が圧電体の内周面または外周面のいずれか一方に形成されることで、複数の櫛歯状の電極指を有する第１および第２の電極が内周面と外周面とのいずれにも形成されるときに比べて、内周面と外周面とに形成される第１および第２の電極の内周面と外周面との相対位置がずれることによる圧電体に作用する電界強度の変動が生じないため、霧化器の霧化量および霧化高さをより安定にすることができる。
【００３３】
圧電体５は、図３（Ｂ）に矢印で示すように、隣接する電極指６ａ、接続電極６ｂと、電極指７ａ、接続電極７ｂとの間で分極されている。この分極は、後で説明するように、電極指６ａ、接続電極６ｂ、電極指７ａ、接続電極７ｂを使っておこなわれる。
【００３４】
圧電体５の軸方向における一端の開口部には、開口部を覆うように振動体８が取付けられている。振動体８は、振動板９にオリフィス１０を取付けた構成からなる。
【００３５】
振動板９は、中央部に開口部９ａが形成されるとともに、後で説明する接続端子との電気的絶縁を確保するために、外周の対向する部分に１対の切欠き９ｂが形成されている。振動板９の材質は限定されないが、たとえば、４２アロイを用いることができる。その他、ばねＳＵＳ、洋泊、りん青銅、セラミックス（ジルコニア、ＰＺＴ、アルミナ）などを、振動板９の弾性材料として用いるようにしても良い。振動板９の寸法も限定されないが、たとえば、外径１０．０ｍｍ、内径１．９ｍｍ、厚み０．２５ｍｍのものを用いることができる。
【００３６】
オリフィス１０は、中央部に複数の貫通孔１０ａが形成されている。そして、オリフィス１０は、振動板９の開口部９ａを覆うように、振動板９の下面に取付けられている。オリフィス１０の材質は限定されないが、たとえば、Ｎｉ‐Ｃｏを用いることができる。その他、Ｎｉ、Ｓｉ、ガラスなどを、オリフィス１０の材質として用いることができる。オリフィス１０の寸法も限定されないが、たとえば、外径３．０ｍｍ、厚み５０μｍのものを用いることができる。オリフィス１０の貫通孔１０ａとしては、たとえば、直径８μのものが８５個形成されている。なお、貫通孔１０ａの直径は、発生させるミスト形状により決定し、貫通孔１０ａの穴数は、霧化量により決定する。たとえば、８μｍでは、５~２５μｍのミスト形状となり、これを８５個形成することにより、０．１〜２．０μ／ｓの霧化量を実現できる。
【００３７】
なお、本実施形態においては、振動板９にオリフィス１０を取付けた振動体８を用いているが、これに代えて、振動板とオリフィスとが一体的に形成された振動体、すなわち、振動体自身の中央部に貫通孔を設けた振動体を用いるようにしても良い。
【００３８】
以上のように、圧電体５の外周面に第１の電極６と第２の電極７とが形成された圧電振動子４に、振動体８を取付けた霧化デバイス１は、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、第１の電極６と第２の電極７との間に交流を印加することにより、圧電体５が径方向に振動（円筒呼吸振動）し、振動体８が上下方向に振動する。この円筒呼吸振動は、圧電体５と振動板９の取付け部分近傍がノードとなるため、圧電体５は、振動板９の取付けられていない側の軸方向端部がより大きく振動する。霧化デバイス１は、円筒呼吸振動を用いたものであり、振動効率が高く、霧化効率が高い。
【００３９】
霧化デバイス１には、図２に示すように、１対の、たとえばＬ字型の接続端子１１ａ、１１ｂが固定される。具体的には、圧電体５に形成された接続電極６ｂに接続端子１１ａが、接続電極７ｂに接続端子１１ｂが、それぞれ、はんだなどにより固定される。接続端子１１ａ、１１ｂの材質は特定されないが、たとえば、４２アロイにＮｉめっきを施したもの、リン青銅、洋白などを用いることができる。
【００４０】
霧化デバイス１は、接続端子１１ａ、１１ｂにより、駆動回路との電気的接続がはかられるとともに、中空に支持される。接続端子１１ａ、１１ｂは、振動のノード近傍（圧電体５と振動板９の取付け部分近傍）に固定されているため、接続端子１１ａ、１１ｂが、霧化デバイス１の振動に与える影響は小さい。また、接続端子１１ａ、１１ｂは、霧化デバイス１から軸対称に引出されるため、接続端子１１ａ、１１ｂが、霧化デバイス１の振動のバランスを崩す原因になることもない。
【００４１】
なお、振動板９と接続端子１１ａ、１１ｂとの電気的絶縁は、上述のとおり、振動板９に形成された切欠き９ｂにより確保されている。ただし、振動板９に切欠き９ｂを形成するのに代えて、接続端子１１ａ、１１ｂを、圧電体５の上面から、たとえば０．２ｍｍ下にずらして固定するようにして、両者の電気的絶縁を確保するようにしても良い。あるいは、振動板９に切欠き９ｂを形成するのに代えて、振動板９の接続端子１１ａ、１１ｂ近傍部分を、プレス加工により、凹形状に変形させ、接続端子１１ａ、１１ｂと接触しないようにして、両者の電気的絶縁を確保するようにしても良い。
【００４２】
そして、霧化デバイス１は、図１に示すように、霧化装置本体２上の中空に保持される。具体的には、たとえば、接続端子１１ａ、１１ｂの先端を、中央部に開口部が形成された基板（図示せず）に取付け、その基板を霧化装置本体２に取付けるようにする。この場合、霧化デバイス１は、基板の開口部内に配置されることになる。
【００４３】
霧化装置本体２は、液体を貯留するための凹形状の貯留部２ａと、貯留部２ａを塞ぐための蓋部２ｂとを有する。貯留部２ａ、蓋部２ｂは、たとえば樹脂により形成される。
【００４４】
そして、蓋部２ｂには、たとえば金属板１２を介して、給液芯（液体供給手段）３が取付けられる。給液芯３は、多孔質スポンジ、フェルト、布などからなり、一方端３ａが貯留部２ａに貯留された液体１３に含浸され、他方端３ｂがオリフィス１０の下面に当接され、毛細管現象により液体１３をオリフィス１０の下面側に供給する。なお、給液芯３の取付けに、金属板１２は必ずしも必要ではなく、給液芯３を、蓋部２ｂに直接取付けるようにしても良い。
【００４５】
かかる構造からなる、本実施形態にかかる霧化装置１００は、駆動回路（図示せず）により発生された交流電圧を、接続端子１１ａ、１１ｂを介して、第１の電極６と第２の電極７との間に印加することにより、圧電振動子４が振動され、振動体８が上下に振動され、オリフィス１０の下面側に供給された液体１３を、オリフィス１０の上面側に噴霧する。なお、圧電振動子４の振動は、自励振であっても良いし、他励振であっても良い。ただし、他励振の場合は、圧電振動子４の表面に液体が付着すると、共振周波数が変動するため、周波数を変動させないための制御回路が必要となる。したがって、圧電振動子４の振動は、自励振であることが好ましい。
【００４６】
かかる構造からなる、本実施形態にかかる霧化装置１００は、たとえば、次の方法で製造される。
【００４７】
まず、円筒状の圧電体５を形成する。具体的には、たとえば、材料となるＰＺＴセラミックなどを、所定の形状に粉体プレス成形し、所定のプロファイルで焼成して形成する。
【００４８】
次に、圧電体５の外周面または内周面のいずれか一方に、第１の電極６と第２の電極７を形成する。具体的には、たとえば、圧電体５の外周面に、所定の形状のマスクパターンを形成したうえで、Ａｇ、Ｃｕ，Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｓｎなどが含まれた導電ペーストを塗布し、マスクパターンを削除したうえで、所定の温度で焼付けて形成する。あるいは、別の方法として、圧電体５の外周面に、インクジェット印刷により、導電性ペーストを所定の形状に印刷し、所定の温度で焼付けて形成する。あるいは、別の方法として、圧電体５の外周面全面に、電解めっき、無電解めっき、導電ペーストを塗布したうえで焼付けるなどの方法により、Ａｇ、Ｃｕ，Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｓｎなどの金属膜を形成し、この金属膜をレーザートリミング、エッチングなどにより所定の形状に加工して形成する。いずれの方法によっても、第１の電極６と第２の電極７は、圧電体５の外周面または内周面の一方に設けることができる。
【００４９】
導電性ペーストのインクジェット印刷により、第１および第２の電極を圧電体５の内周面に所定の形状に形成するようにすれば、圧電体５の内周面に印刷された焼付前の導電性ペーストへの外部からの接触を、圧電体の外周面により保護することができる。すなわち、圧電体５の外周面を保持するようにすれば、焼付前の導電性ペーストに接触することがないため、製造工程において、圧電体５の搬送が容易になるという効果を有する。
【００５０】
あるいは、無電解めっきにより圧電体５の内周面または外周面のいずれか一方の全面に金属膜を形成し、しかる後に、レーザートリミングなどにより第１および第２の電極を所定の形状に形成することができる。なお、この場合において、圧電体５の寸法が小型になると、レーザトリミングのレーザ放出部を圧電体の内部に配置することが困難になるため、第１および第２の電極を圧電体５の外周面に形成する方が、レーザトリミングなどの加工工程が容易となるため好ましい。
【００５１】
次に、第１の電極６と第２の電極７を用いて、圧電体５を分極する。たとえば、４ｋＶ／ｍｍ程度の電圧を、第１の電極６と第２の電極７間に印加することにより、圧電体５は、図３（Ｂ）に矢印で示すように分極される。
【００５２】
次に、圧電体５の外周面に形成された接続電極６ｂ、７ｂに、接続端子１１ａ、１１ｂを、たとえばはんだにより固定する。
【００５３】
次に、予めプレスなどで開口部９ａと切欠き９ｂが形成された振動板９と、予めエレクトロフォーミング加工などで貫通孔１０ａが形成されたオリフィス１０とを準備し、振動板９下面の開口部９ａ周辺に、オリフィス１０を、たとえばはんだにより固定し、振動体８を形成する。
【００５４】
次に、振動体８を、圧電体５の軸方向における一端の開口部に、たとえばエポキシ接着剤により取付け、霧化デバイス１を完成させる。
【００５５】
また、上記工程とは別に、貯留部２ａと蓋部２ｂとからなる霧化装置本体２を準備する。さらに、中央部に形成された開口部に、予め給液芯３が取付けられた金属板１２を準備する。そして、金属板１２を蓋部２ｂに取付けることにより、給液芯３を霧化装置本体２に取付ける。
【００５６】
そして、最後に、霧化装置本体２上の中空に、霧化デバイス１を支持する。具体的には、たとえば、霧化デバイス１の接続端子１１ａ、１１ｂ（図２参照）の先端を、中央部に開口部が形成された基板（図示せず）に取付け、その基板を霧化装置本体２に取付ける。なお、この際、給液芯３の一方端３ａが、所定の圧力でオリフィス１０の下面に当接するように、霧化装置本体２と霧化デバイス１との距離を調整する。以上の工程により、本実施形態にかかる霧化装置１００は完成する。
【００５７】
なお、霧化装置１００を使用するに際して、給液芯３やオリフィス１０から液体が蒸発または飛散され、圧電体５の内周面に付着することがある。特に、この液体が導電性を有するときは、内周面に第１および第２の電極が形成されると、第１および第２の電極が液体によって短絡する可能性があり、たとえば、電極を被覆する絶縁膜を形成する必要があるが、第１および第２の電極が圧電体５の外周面のみに形成されれば、圧電体により導電性の液体が外周面の第１および第２の電極に付着することが抑制できるため、電極を被覆する絶縁膜の形成を省略することができる点において好ましい。
【００５８】
以上、本発明の実施形態にかかる霧化装置１００、それに用いられる霧化デバイス１、これらの製造方法の一例について説明した。しかしながら、本発明がこれらの内容に限定されることはなく、発明の主旨に沿って、種々の変更を加えることができる。
【００５９】
たとえば、振動板９にオリフィス１０を取付けた振動体８を用いているが、これに代えて、振動板とオリフィスとを一体化し、振動体自身に貫通孔（ノズル孔）を設けるようにしても良い。
【００６０】
また、霧化装置本体２が、貯留部２ａと蓋部２ｂとで構成されているが、別途、液体注入孔を設け、蓋部２ｂを有さない構成としても良い。また、給液芯３を霧化装置本体２に金属板１２を介して取付けているが、これを省略し、直接取付けるようにしても良い。
【符号の説明】
【００６１】
１：霧化デバイス（圧電振動子４、振動体８を備える）
２：霧化装置本体
２ａ：貯留部
２ｂ：蓋部
３：給液芯（液体供給手段）
４：圧電振動子（圧電体５、第１の電極６、第２の電極７を備える）
５：圧電体
６：第１の電極
６ａ：電極指
６ｂ：接続電極
６ｃ：バスバー
７：第２の電極
７ａ：電極指
７ｂ：接続電極
７ｃ：バスバー
８：振動体（振動板９、オリフィス１０を備える）
９：振動板
９ａ：開口部
９ｂ：切欠き
１０：オリフィス
１０ａ：貫通孔
１００：霧化装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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