(57)【要約】【課題】新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じて、任意波形発生装置のユーザーが複雑なテスタ言語を用いることなく仕様変更に応じた所望のデジタルデータを作成できて半導体製品の開発における任意波形発生装置のユーザーの負担を軽減でき、半導体製品を比較的短期間に開発して市場に投入できる任意波形発生装置とそれを用いた半導体試験装置を提供すること。【解決手段】複数の波形発生チャネルの波形信号を加算して出力するように構成された任意波形発生装置において、前記複数の波形発生チャネルの波形信号は、それぞれアナログ信号で加算されることを特徴とするとともに、このように構成される任意波形発生装置を用いた半導体試験装置である。【選択図】                    図１
2012103103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の波形発生チャネルの波形信号を加算して出力するように構成された任意波形発生装置において、
前記複数の波形発生チャネルの波形信号は、それぞれアナログ信号で加算されることを特徴とする任意波形発生装置。
【請求項２】
前記複数の波形発生チャネルは、加算前の比較的単純なデジタルデータを格納するデジタル部と、このデジタル部の出力データをアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器とで構成され、
一方のＤ／Ａ変換器から変換出力されるアナログ信号を他方のＤ／Ａ変換器から変換出力されるアナログ信号に加算するための信号経路が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の任意波形発生装置。
【請求項３】
前記信号経路の各波形発生チャネルの直近には、それぞれ前記信号経路をオンオフするスイッチが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の任意波形発生装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載された任意波形発生装置を用いたことを特徴とする半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意波形発生装置とそれを用いた半導体試験装置に関し、詳しくは、複数の波形信号を加算して出力する任意波形発生装置の改良に関する。
【０００２】
たとえば半導体試験装置では、２つの周波数の正弦波信号が加算されたtwo-tone波形信号や輝度信号と色信号が加算されたコンポジット信号などの、検査対象半導体の仕様に応じて複数の信号を加算した任意波形信号を出力するように構成された任意波形発生装置が用いられている。
【０００３】
図４は、従来の任意波形発生装置の一例を示す構成説明図である。図４において、２系統の波形発生チャネルＣｈ１とＣｈ２は、それぞれデジタル部１１と２１、Ｄ／Ａ変換器１２と２２、アンプ１３と２３、アッテネータ１４と２４、ローパスフィルタ１５と２５、アンプ１６と２６および出力スイッチ１７と２７が、チャネルＣｈ１とＣｈ２ごとに直列接続されて、互いに独立したものとして構成されている。
【０００４】
ここで、デジタル部１１と２１には、それぞれ出力スイッチ１７と２７を介して出力しようとする所望のアナログ波形に対応したデジタルデータが格納されている。たとえばデジタル部１１には、２つの周波数ｆ１とｆ２（ｆ１＜ｆ２）の正弦波信号が加算されたtwo-toneのアナログ波形信号を出力するためのデジタルデータがあらかじめ演算されて格納されている。
【０００５】
デジタル部１１の出力データはＤ／Ａ変換器１２に入力され、アナログ信号に変換される。Ｄ／Ａ変換器１２から変換出力されるアナログ信号はアンプ１３およびアッテネータ１４の直列回路を介してローパスフィルタ１５に入力され、周波数ｆ２を超える高周波ノイズ成分などが除去される。
【０００６】
ローパスフィルタ１５の出力信号は、アンプ１６および出力スイッチ１７の直列回路を介して外部に出力される。
【０００７】
特許文献１の図３には、波形メモリから出力される波形データを複数系統の波形データに分岐して各系統の波形データに所定の時間遅延およびフェージング折り返し特性を付加し、これら所定の時間遅延およびフェージング折り返し特性が付加された波形データを加算してＤ／Ａ変換する任意波形発生器に関する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２０４２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、図４の構成によれば、新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じて、２つの周波数ｆ１とｆ２の正弦波信号が加算されたtwo-toneのアナログ波形信号や輝度信号と色信号が加算されたコンポジット信号などの複数の信号が加算された任意波形信号を出力するためには、あらかじめ任意波形発生装置のユーザーがたとえばテスタ言語を用いて複数の信号を加算したデジタルデータを作成してデジタル部１１に格納しておかなければならない。
【００１０】
しかし、テスタ言語を用いて２種の信号が加算されたデジタルデータを作成するのにあたっては、任意波形発生装置のユーザーにかなり高度の知識と熟練度が要求されるとともに、多大の作業工数がかかってしまう。
【００１１】
この結果、任意波形発生装置のユーザーの負担が大きくなり、新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じて任意波形発生装置の仕様を変更するのにかなりの時間がかかってしまうことから、仕様変更された任意波形発生装置を用いて検査を行う半導体製品の生産開始時期も遅れることになり、これに伴って半導体製品の市場投入が遅れてしまって、半導体製品の市場競争力も低下することになる。
【００１２】
本発明は、このような従来の問題点に着目したものであり、その目的は、新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じて、任意波形発生装置のユーザーが簡単なテスタ言語を用いることで仕様変更に応じた所望のデジタルデータを作成できて半導体製品の開発における任意波形発生装置のユーザーの負担を軽減でき、半導体製品を比較的短期間に開発して市場に投入できる任意波形発生装置とそれを用いた半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成する請求項１の発明は、
複数の波形発生チャネルの波形信号を加算して出力するように構成された任意波形発生装置において、
前記複数の波形発生チャネルの波形信号は、それぞれアナログ信号で加算されることを特徴とする。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１に記載の任意波形発生装置において、
前記複数の波形発生チャネルは、加算前の比較的単純なデジタルデータを格納するデジタル部と、このデジタル部の出力データをアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器とで構成され、
一方のＤ／Ａ変換器から変換出力されるアナログ信号を他方のＤ／Ａ変換器から変換出力されるアナログ信号に加算するための信号経路が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３の発明は、請求項２に記載の任意波形発生装置において、
前記信号経路の各波形発生チャネルの直近には、それぞれ前記信号経路をオンオフするスイッチが設けられていることを特徴とする。
【００１６】
請求項４の発明は、
請求項１から請求項３のいずれかに記載された任意波形発生装置を用いたことを特徴とする半導体試験装置である。
【発明の効果】
【００１７】
これにより、任意波形発生装置のユーザーは簡単なテスタ言語を用いることで仕様変更に応じたデジタルデータを作成できるので、半導体製品の開発における任意波形発生装置のユーザーの負担を軽減できるとともに、半導体製品を比較的短期間で開発して市場に投入できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す構成説明図である。
【図４】従来の任意波形発生装置の一例を示す構成説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明について、図面を用いて説明する。図１は本発明の一実施例を示す構成説明図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けている。図１と図４の相違点は、２系統の波形発生チャネルＣｈ１とＣｈ２のそれぞれのデジタル部１１と２１には加算前の比較的単純なデジタルデータを格納していることと、２系統の波形発生チャネルＣｈ１とＣｈ２の一方のアナログ信号出力を他方のアナログ信号出力に加算して出力するように信号経路３１を設けていることである。
【００２０】
図１において、図４と同様に、２つの周波数ｆ１とｆ２の正弦波信号が加算されたtwo-toneのアナログ波形信号が出力されるものとする。チャネルＣｈ１のデジタル部１１には加算前の一方の周波数ｆ１の正弦波信号のデジタルデータが格納され、チャネルＣｈ２のデジタル部２１には加算前の他方の周波数ｆ２の正弦波信号のデジタルデータが格納されている。これら加算前のデジタルデータは、加算された波形のデジタルデータに比べて比較的簡単に短期間で編集作成できる。
【００２１】
具体的には、デジタル部１１と２１に２つの周波数ｆ１とｆ２の正弦波信号のデジタルデータをそれぞれ格納した後、チャネルＣｈ１の出力スイッチ１７をオンにしてチャネルＣｈ２の出力スイッチ２７をオフにし、各チャネルＣｈ１とＣｈ２のデジタル部１１と２１からデジタルデータを出力することにより、チャネルＣｈ１のアンプ１６から、信号経路２８を介してチャネルＣｈ１で設定された周波数ｆ１のアナログ信号波形とチャネルＣｈ２で設定された周波数ｆ２のアナログ信号波形が加算され、(ｆ１＋ｆ２)のアナログ信号波形として出力されることになる。
【００２２】
このように構成することにより、任意波形発生装置のユーザーは性質の異なる複数の波形のデジタルデータを別々に作成することができ、図４のように加算された波形のデジタルデータを作成する場合に比べて任意波形発生装置のユーザーの負担を大幅に軽減でき、デジタルデータの作成ミスも大幅に少なくできる。
【００２３】
また、任意波形発生装置のユーザーは、加算すべき複数の波形のデジタルデータを作成するのにあたり、複数の作業者が分担して別々に同時並行して作成できるので、新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じて任意波形発生装置の仕様を変更するのに要する期間を従来に比べて大幅に短縮できる。
【００２４】
そして、特にTwo-tone波形の場合は、図１に示すように２つの周波数ｆ１とｆ２の正弦波信号のデジタルデータをそれぞれのチャネルＣｈ１とＣｈ２のデジタル部１１と２１Ｃｈに設定するだけでよく、大幅な作業工数の削減が図れる。
【００２５】
図２および図３は本発明の他の実施例を示す構成説明図であり、図１と共通する部分には同一の符号を付けている。図１と図２および図３との相違点は、２系統の波形発生チャネルＣｈ１とＣｈ２の一方のアナログ信号出力を他方のアナログ信号出力に加算して出力するように設けられた信号経路３１に２個のスイッチ３２と３３を直列に設けていることである。
【００２６】
図２に示すように、２個のスイッチ３２と３３を連動してオンにすることにより、図１と同様に、チャネルＣｈ１のアンプ１６から、加算されたアナログ信号波形を出力することができる。
【００２７】
これに対し、図３に示すように、２個のスイッチ３２と３３を連動してオフにすることにより、図４と同様に、それぞれのチャネルＣｈ１とＣｈ２のアンプ１６と２６から互いに独立したアナログ信号波形を出力することができる。
【００２８】
ここで、これら２個のスイッチ３２と３３は、それぞれのチャネルＣｈ１とＣｈ２の直近に設けられる。すなわち、スイッチ３２はチャネルＣｈ１のアンプ１６の入力端子の直近に設けられ、スイッチ３３はチャネルＣｈ２のアンプ２６の出力端子の直近に設けられる。
【００２９】
これにより、高周波信号波形を出力する場合の実測例によれば、２個のスイッチ３２と３３に代えて共通する１個のスイッチを設けた構成に比べて、出力波形におけるサグを大幅に改善できる効果が得られる。
【００３０】
なお、上記実施例では、２系統の波形発生チャネルの波形信号を加算して出力する例を説明したが、３系統以上の波形発生チャネルの波形信号を加算して出力する場合にも有効である。
【００３１】
以上説明したように、本発明によれば、任意波形発生装置のユーザーは複雑なテスタ言語を用いることなく新規開発中の検査対象半導体の仕様に応じたデジタルデータを作成できるので、半導体製品開発における任意波形発生装置のユーザーの負担を軽減できる。
【００３２】
そして、このように構成される任意波形発生装置を用いた半導体試験装置で半導体製品を行うことにより、新規開発半導体製品を比較的短期間で市場に投入できる。
【符号の説明】
【００３３】
１１、２１  デジタル部
１２、２２  Ｄ／Ａ変換器
１３、２３、１６、２６  アンプ
１４、２４  アッテネータ
１５、２５  ローパスフィルタ
１７、２７  出力スイッチ
３１  信号経路
３２、３３  スイッチ
【図１】
2012103103.tif 000003
【図２】
2012103103.tif 000004
【図３】
2012103103.tif 000005
【図４】
2012103103.tif 000006