(57)【要約】【課題】テープ本体の各収納凹部内にチップ部品を順次装填してカバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞動作をした後に、不測の事態が発生したか否かを検出するようにして、収納テープの品質向上を図ること。【解決手段】接着剤９２Ａ、９２Ｂが十分に塗布されていない場合には、空気吸引源により空気流路９０Ａ、９０Ｂ内の空気が吸引されると、接着剤９２Ａ、９２Ｂが十分に塗布されていない部分は剥がれているので、カバーテープ４Ｃは上昇して、このカバーテープ４Ｃが圧着検出装置８８に形成された空気流路９０Ａ、９０Ｂの下開口部を塞ぐこととなって、各圧力センサの圧力検出値が急に高まるので、圧着が十分でないことを検出することができる。【選択図】図１１
2012046218.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記カバーテープが前記テープ本体に接着されているか否かを検出する接着検出装置を設け、この接着検出装置を空気吸引源に連通すると共に前記テープ本体とカバーテープとの接着部にその開口端部が臨む空気流路が形成された検査部と、前記空気吸引源により前記テープ本体に接着されていない前記カバーテープが前記空気流路の前記開口端部を閉塞すると検出圧力値が高まる圧力検出センサとから構成したことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記収納凹部に装填された前記チップ部品の有無及び装填方向を検査するために撮像装置と、前記閉塞動作をした後に、前記カバーテープが前記テープ本体に接着されていない箇所が有るか否かを検出する接着検出装置とを設けたことを特徴とするテーピング装置。
【請求項３】
送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記収納凹部に装填された前記チップ部品の有無及び装填方向を検査するために前記収納凹部を撮像すると共にこの撮像とは別に前記テープ本体とカバーテープとの接着部を撮像する撮像装置を設けたことを特徴とするテーピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
送り装置により送られるテープ本体（キャリアテープ）の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置は特許文献１などで広く知られている。そして、一般にテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するが、この閉塞前のチップ部品の装填の有無及び装填方向を検査していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２４０８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、何らかの要因で装填後にチップ部品が収納凹部から飛び出たり、装填方向の向きが変わることもあり、また接着剤を介してカバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するのに閉塞が不十分な事態が発生することが考えられる。
【０００５】
そこで本発明は、テープ本体の各収納凹部内にチップ部品を順次装填してカバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞動作をした後に、不測の事態が発生したか否かを検出するようにして、収納テープの品質向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記カバーテープが前記テープ本体に接着されているか否かを検出する接着検出装置を設け、この接着検出装置を空気吸引源に連通すると共に前記テープ本体とカバーテープとの接着部にその開口端部が臨む空気流路が形成された検査部と、前記空気吸引源により前記テープ本体に接着されていない前記カバーテープが前記空気流路の前記開口端部を閉塞すると検出圧力値が高まる圧力検出センサとから構成したことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記収納凹部に装填された前記チップ部品の有無及び装填方向を検査するために撮像装置と、前記閉塞動作をした後に、前記カバーテープが前記テープ本体に接着されていない箇所が有るか否かを検出する接着検出装置とを設けたことを特徴とする。
【０００８】
第３の発明は、送り装置により送られるテープ本体の各収納凹部内にチップ部品を吸着ノズルにより順次装填した後、カバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞するテーピング装置において、前記収納凹部の開口部を前記カバーテープで閉塞する閉塞動作をした後に、前記収納凹部に装填された前記チップ部品の有無及び装填方向を検査するために前記収納凹部を撮像すると共にこの撮像とは別に前記テープ本体とカバーテープとの接着部を撮像する撮像装置を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、テープ本体の各収納凹部内にチップ部品を順次装填してカバーテープで当該収納凹部の開口部を閉塞動作をした後に、不測の事態が発生したか否かを検出するようにして、収納テープの品質向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】テーピング装置を示す平面図である。
【図２】テーピング装置の正面図である。
【図３】テーピング装置の右側面図である。
【図４】部品取出し機構を説明するための図である。
【図５】部品装填機構を説明するための図である。
【図６】第１及び第２の回転盤の停止状態の平面図である。
【図７】第１及び第２の回転盤の旋回移動中の平面図である。
【図８】テープ本体の収納凹部へのチップ部品の装填及びカバーテープの被覆動作に係るテーピング装置の正面図である。
【図９】圧着検出装置の右側面図である。
【図１０】テープ本体とカバーテープとの接着が正常の状態を示す圧着検出装置の部分縦断面図である。
【図１１】テープ本体とカバーテープとの接着が異常の状態を示す圧着検出装置の部分縦断面図である。
【図１２】テープ本体とカバーテープとの接着が正常の状態を示す画像を示す図である。
【図１３】テープ本体とカバーテープとの接着が異常の状態を示す画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の移載装置としてのテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１のテーピング装置の平面図、図２の同じく正面図、図３の同じく右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。
【００１２】
１はテーピング装置本体で、この本体１の側壁部に立設されたピン２にキャリアテープ供給リール３が回転可能に係止され、当該テープ供給リール３に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）４Ａの先端が当該テープ本体４Ａに適度なテンションを与えるためのプーリ５、送りプーリ６、７及びテープ本体４Ａなどの搬送路を有する搬送レール８を介して巻取り収納リール９に固定されている。
【００１３】
そして、図示しない回転駆動系による巻取り収納リール９の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール９に巻取られて）いく間で、テープ本体４Ａの収納凹部４Ｂ内にチップ部品Ａが挿入（装填）され、更に所定位置まで搬送されて収納凹部４Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール１０から供給されるカバーテープ４Ｃで被覆した後、前記巻取り収納リール９に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納凹部４Ｂが設けられたテープ本体４Ａと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）４Ｃとで収納テープ４が形成されるが、前記テープ本体４Ａはいわゆるエンボステープである。
【００１４】
尚、前記送りプーリ６、７、搬送レール８及びカバーテープ供給リール１０などは、取付板１１に設けられている。そして、テーピング装置本体１に固定された固定板１２上にはＹ軸駆動モータ１３により駆動されてガイド１４に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル１５が設けられ、このＹテーブル１５上にはＸ軸駆動モータ１６により駆動されてガイド１７に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル１８が設けられ、このＸテーブル１８に前記取付板１１が固定されている。
【００１５】
従って、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３の駆動によりＸテーブル１８及びＹテーブル１５が移動することにより、取付板１１を介して前記搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡなどがＸＹ方向に移動できる。
【００１６】
また、テーピング装置本体１の上にはＹ軸駆動モータ２０によりＹ方向に移動可能なＹテーブル２１が設けられ、更に該Ｙテーブル２１の上にはＸ軸駆動モータ２２によりＸ方向に移動可能なＸ移動体２３を介してチップ部品供給テーブル２４が設けられる。該供給テーブル２４上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは裏面より突き上げピン（図示せず）により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル２６で吸着されて取出されるものである。
【００１７】
前記テーピング装置本体１に固定された上取付板２５にはチップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて第１駆動モータの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して間欠回転する第１の回転盤２７が設けられ、また上取付板２５にはＸ軸駆動モータ及びＹ軸駆動モータによりＸＹ方向に移動するＸＹテーブル（図示せず）を介して前記収納凹部４Ｂにチップ部品Ａを装填する吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されて第２駆動モータの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して間欠回転する第２の回転盤２９とが設けられる。
【００１８】
この第１の回転盤２７と第２の回転盤２９とは同期して間欠回転するものであり、２つの回転盤２７、２９の各ノズル２６、２８を対応させることができ、チップ部品Ａを吸着取出ノズル２６から吸着装填ノズル２８に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度（分解能）を同一にすることができる。
【００１９】
次に、部品取出機構３５について、図４に基づき詳述する。前記第１の回転盤２７の周縁部には吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各反転装置３６により各吸着取出ノズル２６は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ３７の駆動によりカップリング３８を介して駆動軸３９が回転すると、駆動軸３９に固定された取付体４０も回転し、前記取出ノズル２６は上下反転される。
【００２０】
また、前記取付体４０に設けられたガイド４１に沿ってガイド４２が上下動可能であり、このガイド４２に固定されたノズル取付体４３に取付けられた吸着取出ノズル２６は上下動可能となるが、前記取付体４０の上辺４０Ａとノズル取付体４３の下辺４３Ａとの間に張架されたスプリング４４により常時上方に付勢されているが、ストッパ４５が前記取付体４０の上辺４０Ａに係止されることにより上限は規制される。
【００２１】
また、前記吸着取出ノズル２６は、Ｚ軸駆動モータ４６の駆動によりガイド４７により上下動可能な作動体４８の作動部４８Ａがノズル取付体４３の頭部を押圧することにより下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品Ａを取出すことができる。
【００２２】
次に、部品装填機構５０について、図５に基づき詳述する。前記第２の回転盤２９の周縁部には吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各回転装置５１により吸着装填ノズル２８を偏心した位置に備えたノズル軸体２８Ａが軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ５２の駆動軸に設けられたプーリ５３と円筒体６２の周囲に固定されたプーリ５４との間に伝達ベルト５５が張架され、円筒体６２はベアリング５６を介して前記第２の回転盤２９に回動可能に設けられる。
【００２３】
また、前記吸着装填ノズル２８は、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動によりガイド５８により上下動可能な作動体５９の作動部５９Ａがノズル取付体６０の突部６０Ａに押圧することによりガイド６１に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Ａを搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納凹部４Ｂ内に装填することができる。即ち、ノズル軸体２８Ａは円筒体６２内で上下に移動可能であり且つ円筒体６２と共にθ回転可能であるので、このノズル軸体２８Ａ下部の偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８も上下に移動可能でθ回転可能である。
【００２４】
次に、図６及び図７に示すように、第１の回転盤２７の１２時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル２４から吸着取出ノズル２６がチップ部品Ａを吸着して取出す吸着取出ステーションである。この吸着取出ステーションでは、第１の回転盤２７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３で撮像して、当該チップ部品Ａの位置を認識処理装置（図示せず）で認識処理し、制御装置がこの取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル２６の直下方位置に位置するよう前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させてチップ部品供給テーブル２４を移動させ、この吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ４６の駆動により吸着取出ノズル２６が下降して吸着して取出す。
【００２５】
次に、第２駆動モータの駆動により第２のインデキシングカムユニット３１を介して第２の回転盤２９が時計方向に間欠回転すると共に第１駆動モータの駆動により第１のインデキシングカムユニット３０を介して第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させる。この第１の回転盤２７の反時計方向に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置３６により吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションであり、その次のステーションはこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ６５により撮像して前記認識処理装置で認識処理する認識ステーションである。
【００２６】
次は、反転装置３６により反転されて印字面を上面とし端子を有する面を下面としたチップ部品Ａ上に印字装置により印字する印字ステーションである。
【００２７】
次のキュアステーション７９は、前記印字装置により印字されたインクを温風装置（図示せず）による温風により乾燥させるステーションである。
【００２８】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置３６により上下反転された吸着取出ノズル２６のチップ部品Ａを第２の回転盤２９の吸着装填ノズル２８に受け渡す。この第１の回転盤２７の受渡しステーション、言い換えると、第２の回転盤２９の受継ぎステーションでは、吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａを前記部品認識カメラ６５が撮像して前記認識処理装置が認識処理した結果によるＸ方向及びＹ方向のズレが第２の回転盤２９の回転角度補正及び前記ノズル軸体２８Ａの回動による偏心した吸着装填ノズル２８の位置補正により解消される。
【００２９】
即ち、前記部品認識カメラ６５の撮像に基づく前記認識処理装置の認識処理結果に基づいて、制御装置が第２の回転盤２９を回転させる第２駆動モータ及び前記ノズル軸体２８Ａを回動させるθ軸駆動モータ５２を制御することにより、前記Ｘ方向及びＹ方向のズレを補正することができる。従って、受け渡される吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａと吸着装填ノズル２８の位置とを極力一致させることにより、第１の回転盤２７に設けられた吸着取出ノズル２６に吸着保持されたチップ部品Ａをこの吸着取出ノズル２６から第２の回転盤２９に設けられた吸着装填ノズル２８に確実に受け渡すことができる。
【００３０】
そして、この第２の回転盤２９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤２９が回転して装着ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目）において吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように両回転盤２７、２９が配設される。
【００３１】
即ち、２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように第２の回転盤２９を配設すると、両回転盤２７、２９は８分割間欠回転するので、前記装着ステーションにおける第２の回転盤２９の中心と吸着装填ノズル２８と結んだラインとテープ４の走行ラインとで作る角度は６７．５となり、第１の回転盤２７の受渡しステーションと第２の回転盤２９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤２７、２９が配設されることとなる。
【００３２】
この第２の回転盤２９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置８１によりチップ部品の特性を検査する検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値が記憶装置に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、制御装置はテープ本体４Ａに装填せずに、専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００３３】
この検査ステーションの次の認識ステーションには装填部品認識カメラ８３が配設され、吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ８３で撮像して前記認識処理装置により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、前記制御装置はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３４】
次の次のステーションは収納テープ４の収納凹部４Ｂ内に吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品を装填する装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ８３により吸着装填ノズル２８に保持されたチップ部品Ａが撮像されて前記認識処理装置により認識処理された結果に基づき、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品を装填する。
【００３５】
即ち、制御装置がθ方向のズレについてはθ軸駆動モータ５２を補正制御して円筒体６２及びノズル軸体２８Ａを介してこの軸体２８Ａに偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル２８を回動させ、平面方向のズレについては前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御してＸテーブル１８及びＹテーブル１５を補正移動させて、取付板１１を介して搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡをＸ方向に補正移動させる。
【００３６】
この場合、当該装填ステーションに移動した吸着装填ノズル２８が認識ステーションにあったときに、第１の回転盤２７の印字ステーションにあった吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを次の次の受渡しステーションで補正する第２の回転盤２９の回転補正量をも加味して（当該電子部品の認識ステーションでの認識処理結果に加えて）、第２の回転盤２９の装填ステーションにおいて制御装置がθ軸駆動モータ５２、前記Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３を補正制御するものである。
【００３７】
この装填ステーションでは、前述したように、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により吸着装填ノズル２８が下降し、チップ部品Ａをテープ本体４Ａの収納凹部４Ｂに装填するが、この装填の際、図示しない真空源に真空路を介して連通していた吸着装填ノズル２８は、ソレノイドバルブの切替え動作によりその真空を開放すると共に逆にノズル２８に形成した吸着孔より空気を吹き出すことにより収納凹部４Ｂ底面上にチップ部品Ａを落下させて、この収納凹部４Ｂ内に装填する。
【００３８】
この装填ステーションには、図６、図７及び図８に示すように、第２の回転盤２９の旋回の邪魔にならない上方位置にチップ部品Ａを装填する収納凹部４Ｂの位置を撮像する撮像装置８５が設けられ、この撮像装置８５が撮像した画像を記認識処理装置により認識処理された結果を利用して、θ方向（平面方向における角度）及び平面方向（ＸＹ方向）のズレについて補正した状態でチップ部品Ａをこの収納凹部４Ｂ内に装填する。なお、この撮像装置８５は、収納凹部認識カメラ８５Ａと、鏡筒８５Ｂと、照明装置８５Ｃとから構成される。
【００３９】
次の装填ステーションには、第２の回転盤２９の旋回の邪魔にならない上方位置にテープ本体４Ａに装填されたチップ部品Ａの有無及び装填の方向を検査する撮像装置８７が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納凹部４Ｂ内に装填されたチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置で認識処理してテープ本体４Ａに装填されたチップ部品Ａの有無及びチップ部品Ａの方向を検査する。このチップ部品Ａの装填方向については、例えば前述した印字ステーションでの印字装置によりチップ部品Ａに印字した印字の方向や、チップ部品Ａに付された印しの位置などによってわかる。
【００４０】
なお、この撮像装置８７は、有無・方向検査カメラ８７Ａと、鏡筒８７Ｂと、照明装置８７Ｃとから構成される。
【００４１】
そして、前記検査した結果が不良である場合には、以下のように制御する。即ち、認識処理装置による認識結果により、制御装置が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル２８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納凹部４Ｂよりチップ部品Ａを取出すと共にこのとき前記装填ステーションで装填しようとしていた吸着装填ノズル２８は装填せずに待機するように制御される。そして、この状態で制御装置はテープ本体４Ａを移動させずに、第２の回転盤２９を間欠回転させて、前述の如く取出されて空となった収納凹部４Ｂに次の吸着装填ノズル２８が保持していたチップ部品Ａを装填（リカバリ）するように制御する。
【００４２】
そして、前述したように、部品装填機構５０によるテープ本体４Ａの収納凹部４Ｂ内へチップ部品Ａが挿入された後は、テープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとが圧着され、収納テープとして巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００４３】
このテープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを圧着した後の下流位置には、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着（接着）が十分になされているか否かの圧着検出装置（接着検出装置）８８が配設されている。図９に示すように、圧着されて形成された収納テープ（テープ本体４Ａ）の搬送方向と直交する方向の前後端部が搬送レール８の搬送面を摺動して移動するが、その上方に一対の検査部８８Ａ、８８Ｂと、各検査部８８Ａ、８８Ｂに形成された空気流路９０Ａ、９０Ｂに流れる空気が流れなくなって圧力が高まったか否かを検出するための各圧力センサ（図示せず）とから構成される。
【００４４】
前記圧着検出装置８８について詳述すると、図１０に示すように、テープ本体４Ａの収納凹部４Ｂを跨いだ収納テープの搬送方向と直交する方向の前後端部の上方に位置する検査部８８Ａ、８８Ｂの底面は、夫々各収納凹部４Ｂ寄りの内方から外方へ向くに従って徐々にテープ本体４Ａから離れるように上昇する傾斜面９１Ａ、９１Ｂが形成される。
【００４５】
そして、検査部８８Ａ、８８Ｂの底面である傾斜面９１Ａ、９１Ｂに下面を開口せる垂直通路９０Ａ１、９０Ｂ１とこれに連通する水平通路９０Ａ２、９０Ｂ２とを備えた空気流路９０Ａ、９０Ｂが形成され、この空気流路９０Ａ、９０Ｂはてニップル９３Ａ、９３Ｂ及びこれに連通する吸引用ホースを介して常時空気を吸引する空気吸引源に連通している。この空気流路９０Ａ、９０Ｂの下面開口はテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの接着部に臨んでいる。
【００４６】
そして、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを熱圧着したときに接着するための接着剤（黒い部分）９２Ａ、９２Ｂがテープ本体４Ａにテープ本体４Ａの搬送方向に沿って帯状に塗布されているので、常時空気吸引源により空気流路９０Ａ、９０Ｂ内の空気を吸引していても、前記接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されて熱圧着が十分な場合には、図１０に示すように、接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されている部分は上昇しない。この場合、接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されていないカバーテープ４Ｃの一部分は吸引されて上昇しても、この一部分は検査部８８Ａ、８８Ｂの底面の傾斜面９１Ａ、９１Ｂまでは届かず、接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されていないカバーテープ４Ｃの前記一部分により前記空気流路９０Ａ、９０Ｂの下開口部はカバーテープ４Ｃで塞がれないので、各圧力センサの圧力検出値が高まることはなく、接着されていないとする誤検出が防止される。
【００４７】
また、図１１に示すように、接着剤９２Ａ、９２Ｂが十分に塗布されていない場合には、空気吸引源により空気流路９０Ａ、９０Ｂ内の空気が吸引されると、接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されていない部分は剥がれているので、カバーテープ４Ｃが上昇して、このカバーテープ４Ｃが前記空気流路９０Ａ、９０Ｂの下開口部を塞ぐこととなって、各圧力センサの圧力検出値が急に高まる。従って、この場合、圧力検出センサのいずれかの検出出力値が一定以上となると、この検出出力に基づいて、制御装置はテーピング装置の運転を停止するように制御する。そして、この停止後に、作業者が圧着が不十分な箇所に、接着剤を塗布して、再度熱圧着することにより、補修することができる。従って、収納テープの品質向上を図ることができる。
【００４８】
次に、図８に示すように、前記圧着検出装置８８の下流位置には、テープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを圧着した後のチップ部品Ａの有無及び装填の方向を検査する撮像装置９５が設けられる。この撮像装置９５は、水平方向に配設された有無・方向検査カメラ９５Ａと、鏡筒９５Ｂと、プリズム９５Ｃと、照明装置９５Ｄとから構成される。
【００４９】
この撮像装置９５は、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとを圧着した後のチップ部品Ａの有無及び装填の方向を検査するためのもので、このチップ部品Ａの装填方向については、例えば前述した印字ステーションでの印字装置によりチップ部品Ａに印字した印字の方向や、チップ部品Ａに付された印しの位置などによってわかる。
【００５０】
そして、撮像された画像を認識処理装置により認識処理した結果、チップ部品Ａが収納凹部４Ｂ内に装填されていない、又は装填されていても装填方向が正規でないとわかれば、制御装置はテーピング装置の運転を停止するように制御する。そして、このような不良部分を解消することにより、収納テープの品質向上を図ることができる。
【００５１】
なお、以上のように、収納凹部４Ｂ内にチップ部品Ａを装填した後の収納凹部４Ｂの上面開口をカバーテープ４Ｃで被覆した後に、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着が十分になされているか否かの検出を圧着検出装置８８が行い、前記被覆した後に撮像装置９５で収納テープを撮像してチップ部品Ａの有無及び装填の方向を検査するようにしたが、これに限らず、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着が十分になされているか否かの検出及びチップ部品Ａの有無・装填の方向の検査をするために撮像装置９５で行ってもよい。
【００５２】
即ち、有無・方向検査カメラ９５Ａでテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着が十分になされているか否かの検出のためにテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの接着部を１回目に撮像し、またチップ部品Ａの有無・装填の方向の検査をするために収納凹部４Ｂを２回目に撮像する。この場合、撮像箇所及び撮像倍率を変更して、撮像する。なお、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの接着部を撮像した後に、収納凹部４Ｂを撮像するようにしたが、この逆の順序で撮像してもよい。
【００５３】
そして、撮像した画像が、図１２に示すような画像であって、接着剤９２Ａ、９２Ｂが塗布されて熱圧着が十分であって、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着が不十分の箇所が無い画像であれば、この撮像した画像と比較する基本画像（熱圧着が不十分の箇所が無い画像）とのパターンマッチングを行うことにより、正常と制御装置（判断装置）が判断する。
【００５４】
また、撮像した画像が、図１３に示すような画像であって、接着剤９２Ａ、９２Ｂが十分に塗布されずに熱圧着が十分でない箇所Ｓがあると、この撮像した画像と比較する基本画像（熱圧着が不十分の箇所が無い画像）とのパターンマッチングを行うことにより、異常と制御装置（判断装置）が判断する。そして、異常と判断されると、このような不良部分を解消することにより、収納テープの品質向上を図ることができる。
【００５５】
以上のように本発明は、テープ本体４Ａの各収納凹部４Ｂ内にチップ部品Ａを順次装填してカバーテープ４Ｃで当該収納凹部４Ｂの上面開口部を閉塞動作をした後に、不測の事態が発生したか否か、即ち収納凹部４Ｂ内にチップ部品Ａを装填した後の収納凹部４Ｂの上面開口をカバーテープ４Ｃで閉塞する閉塞動作をした後に、テープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとの熱圧着（接着）が十分になされているか否かの検出及びチップ部品Ａの有無・装填の方向を検査するようにして、もって収納テープの品質向上を図ることができる。
【００５６】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００５７】
１              テーピング装置本体
４Ａ            テープ本体
４Ｂ            収納凹部
４Ｃ            カバーテープ
８６            テープ圧着機構
８８            圧着検出装置
８８Ａ、８８Ｂ  検査部
９２Ａ、９２Ｂ  接着剤
９５            撮像装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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