(57)【要約】【課題】圧電素子を駆動する駆動回路部材を小型化しても、駆動回路部材に信頼性の高い配線を行うことができるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、共通液室基板１０５の上面にダンパー１０６が配置されており、ダンパー１０６の上面にはダンパーフレーム１０７が配置されている。ダンパーフレーム１０７の上面には補強プレート４が配置されている。補強プレート４の上面には配線回路部材１０８を介して駆動回路部材１０９が配置されている。駆動回路部材１０９の上面には、インクを吐出する圧電素子１１０に接続する配線部材１１３の一端が圧着される。ここで補強プレート４は、ダンパーフレーム１０７に全体的に支持され、且つ、配線部材１１３の一端が駆動回路部材１０９に圧着されるときにかかる圧着力に耐えるように形成されている。【選択図】図２
2012125959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通液室基板の上面に、当該共通液室基板の上面に形成された複数の貫通穴を塞いで当該共通液室基板内に複数の共通液室を形成するダンパーが配置され、このダンパーの上面に、各共通液室と対応する貫通穴を有するダンパーフレームが配置され、このダンパーフレームの上面に、当該ダンパーフレームの複数の貫通穴を塞いで当該ダンパーフレーム内に各ダンパーの可動空間を形成する補強プレートが配置され、この補強プレートの上面に配線回路部材を介して駆動回路部材が配置され、この駆動回路部材の上面に、インクを吐出する圧電素子に接続する配線部材の一端が圧着されるインクジェット記録ヘッドであって、
前記補強プレートは、前記ダンパーフレームに全体的に支持され、且つ、前記配線部材の一端が前記駆動回路部材に圧着されるときにかかる圧着力に耐えるように形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
共通液室基板の上面に、当該共通液室基板の上面に形成された複数の貫通穴を塞いで当該共通液室基板内に複数の共通液室を形成するダンパーが配置され、このダンパーの上面に、各共通液室と対応する貫通穴を有するダンパーフレームが配置され、このダンパーフレームの上面に、当該ダンパーフレームの複数の貫通穴を塞いで当該ダンパーフレーム内に各ダンパーの可動空間を形成するプリント回路基板が配置され、このプリント回路基板の上面に駆動回路部材が実装され、この駆動回路部材の上面に、インクを吐出する圧電素子に接続する配線部材の一端が圧着されるインクジェット記録ヘッドであって、
前記プリント回路基板は、前記ダンパーフレームに全体的に支持され、且つ、前記配線部材の一端が前記駆動回路部材に圧着されるときにかかる圧着力に耐えるように形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェットプリンタ等のインクジェット記録装置は、圧電素子を用いてインク滴を用紙等の記録媒体に吐出するインクジェット記録ヘッドを備えているものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなインクジェット記録ヘッドの一例を図５に示して説明する。図５のインクジェット記録ヘッド１０１は４列一体型であり、ヘッド本体１２０と、ハウジング１３０とを備えている。ヘッド本体１２０は、下から上に順に積層されたノズル基板１０２、液室基板１０３、液体供給基板１０４、共通液室基板１０５、ダンパー１０６、ダンパーフレーム１０７と、配線回路部材１０８、駆動回路部材１０９、圧電素子１１０を備えている。
【０００４】
ノズル基板１０２には複数のノズル孔１０２ａが形成されている。液室基板１０３は、ノズル基板１０２の上面に配置されている、この液室基板１０３には、複数の加圧液室１０３ａが形成されている。各加圧液室１０３ａは各ノズル孔１０２ａと連通しており、その上壁は振動板１１１で形成されている。各加圧液室１０３ａの一方の側壁１０３ｂにはインク供給口１０３ｃが形成されている。この側壁１０３ｂには、インク供給口１０３ｃと加圧液室１０３ａとを連通する連通口（図示せず）が形成されている。また、液室基板１０３の中央部分には、各加圧液室１０３ａ，１０３ａ間に電極１１２が設置されている。この電極１１２には電極パッド１１２ａが設けられている。
【０００５】
液体供給基板１０４は、液室基板１０３の上面に配置されている。この液体供給基板１０４には、振動板１１１と対応する位置に凹部１０４ａが形成されている。この凹部１０４ａには圧電素子１１０が振動板１１１に載置した状態で配置されており、電極１１２に接続されている。また、液体供給基板１０４には、液室基板１０３のインク供給口１０３ｃと連通するようにしてインク供給口１０４ｃが形成されている。さらに液体供給基板１０４には、電極１１２、１１２と対応する位置に、配線部材１１３、１１３を通すための挿通穴１０４ｄ、１０４ｄが形成されている。
【０００６】
共通液室基板１０５は液体供給基板１０４の上面に配置されている。この共通液室基板１０５には、複数の貫通穴１０５ｃが形成されている。各貫通穴１０５ｃは、液体供給基板１０４の各インク供給口１０４ｃと連通している。また、共通液室基板１０５には、液体供給基板１０４の挿通穴１０４ｄ、１０４ｄと対応する位置に、配線部材１１３、１１３を通すための挿通穴１０５ｄ、１０５ｄが形成されている。
【０００７】
ダンパー１０６は、共通液室基板１０５の上面に各貫通穴１０５ｃを塞いで配置されている。これにより共通液室基板１０５の内部には、複数の共通液室１０５ａが形成されている。各共通液室１０５ａはインクを蓄える部分である。一方、ダンパー１０６は、各共通液室１０５ａ内に蓄えられたインクの振動を緩和するものである。また、ダンパー１０６には、共通液室基板１０５の挿通穴１０５ｄ、１０５ｄと対応する位置に、配線部材１１３、１１３を通すための挿通穴１０６ｄ、１０６ｄが形成されており、また共通液室１０５ａに連通してインクの供給口（図示せず）が形成されている。
【０００８】
ダンパーフレーム１０７はダンパー１０６の上面に配置されている。このダンパーフレーム１０７には、各共通液室１０５ａと対応する位置に貫通穴１０７ｃが形成されている。また、ダンパーフレーム１０７には、ダンパー１０６のインク供給口に連通してインク供給口（図示せず）が形成されている。このインク供給口は、外部のインクカートリッジの供給口（図示せず）に接続されている。
【０００９】
配線回路部材１０８は、ダンパーフレーム１０７の上面の中央部分に各貫通穴１０７ｃを塞ぐようにして配置されている。これによりダンパーフレーム１０７の中央部分には、ダンパー１０６の可動空間１０７ａが形成されている。この可動空間１０７ａにより、ダンパー１０６の動きが阻害されないようになっている。
【００１０】
駆動回路部材１０９は、配線回路部材１０８の上面に実装されている。この駆動回路部材１０９の両端側には電極パッド１０９ａが設けられている。この電極パッド１０９ａと、電極１１２に設けられた電極パッド１１２ａとには配線部材１１３が圧着され、この配線部材１１３を介して駆動回路部材１０９と圧電素子１１０とが接続されている。
【００１１】
ハウジング１３０は、ヘッド本体１２０を覆うようにしてダンパーフレーム１０７の両端側に接合されている。これによりダンパーフレーム１０７の両端側には、中央部分と同様にダンパー１０６の可動空間１０７ａが形成されている。また、ハウジング１３０とヘッド本体１２０とによって形成された内部空間Ｓには、配線部材１１３、１１３を保護するために封止材２００が充填されている。
【００１２】
以上のように構成されているインクジェット記録ヘッド１０１は、インクカートリッジからダンパーフレーム１０７およびダンパー１０６のインク供給口を介して共通液室１０５ａにインクが蓄えられる。そして、共通液室１０５ａから液体供給基板１０４のインク供給口１０４ｃ、液室基板１０３のインク供給口１０３ｃおよび連通口を介して各加圧液室１０３ａにインクが満たされる。この状態で、インクを吐出させたいノズル孔１０２ａに対応した圧電素子１１０に接続している電極１１２に対し、駆動回路部材１０９から電圧を印加する。すると、圧電素子１１０が変形して振動板１１１が加圧液室１０３ａ側に変形する。これにより加圧液室１０３ａ内の圧力が急激に上昇して加圧液室１０３ａのインクが加圧され、ノズル孔１０２ａからインク滴として用紙等の記録媒体に吐出される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図５に示すように、製造コスト削減のために駆動回路部材１０９を小型化すると、配線回路部材１０８はダンパーフレーム１０７とダンパー１０６とを介して共通液室１０５ａ、１０５ａ間の隔壁１０５ｇのみで支持される場合が生じ、駆動回路部材１０９は不安定に支持された状態となる。
【００１４】
このような状態で、図６に示すようにキャピラリー１４０を用いて駆動回路部材１０９の電極パッド１０９ａに配線部材１１３の一端を圧着しようとすると、駆動回路部材１０９が傾いたり、あるいは変形してしまい十分に圧着できない。その結果、シェア強度が低くなり信頼性の高い配線が出来なくなる。
【００１５】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、圧電素子を駆動する駆動回路部材を小型化しても、駆動回路部材に信頼性の高い配線を行うことができるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者等は、鋭意研究の結果、前記課題を解決するために以下のようなインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を採用した。
【００１７】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、
共通液室基板の上面に、当該共通液室基板の上面に形成された複数の貫通穴を塞いで当該共通液室基板内に複数の共通液室を形成するダンパーが配置され、このダンパーの上面に、各共通液室と対応する貫通穴を有するダンパーフレームが配置され、このダンパーフレームの上面に、当該ダンパーフレームの複数の貫通穴を塞いで当該ダンパーフレーム内に各ダンパーの可動空間を形成する補強プレートが配置され、この補強プレートの上面に配線回路部材を介して駆動回路部材が配置され、この駆動回路部材の上面に、インクを吐出する圧電素子に接続する配線部材の一端が圧着されるインクジェット記録ヘッドであって、
前記補強プレートは、前記ダンパーフレームに全体的に支持され、且つ、前記配線部材の一端が前記駆動回路部材に圧着されるときにかかる圧着力に耐えるように形成されていることを特徴とする。
【００１８】
ここで、補強プレートを使用せずに配線回路部材にプリント回路基板を使用し、このプリント回路基板を補強プレートと同様にダンパーフレームに配置するとともに、ダンパーフレームに全体的に支持され、且つ、配線部材の一端が駆動回路部材に圧着されるときにかかる圧着力に耐えるように形成しても良い。
【００１９】
また、本発明のインクジェット記録装置は、本発明のインクジェット記録ヘッドを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のインクジェット記録ヘッドでは、ダンパーフレームの上面に配置される補強プレートやプリント回路基板をダンパーフレームに全体的に支持されるように形成した。このため、これらの部材の上面側に配置される圧電素子の駆動回路部材を小型化しても駆動回路部材はダンパーフレームに安定に支持される。したがって、駆動回路部材に配線部材の一端を圧着するときに駆動回路部材が傾いてしまうことがない。
【００２１】
さらに、補強プレートやプリント回路基板は、配線部材の圧着時にかかる圧着力に耐えるように形成されているため、圧着時に補強プレートが変形することもない。したがって駆動回路部材に配線部材を十分に圧着でき、シェア強度の低下が抑えられる。よって、本発明のインクジェット記録ヘッドは、圧電素子の駆動回路部材を小型化しても駆動回路部材に信頼性の高い配線を行うことができる。また、本発明のインクジェット記録装置は、本発明のインクジェット記録ヘッドを具備することにより製造コストを抑えつつインクジェット吐出機能の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録装置内の要部の構成を示す概略斜視図である。
【図２】同実施の形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図５】従来のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図６】図５の駆動回路部材に配線部材の一端を圧着するときの状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００２３】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態のインクジェット記録装置１０内の要部の構成を示す概略斜視図である。このインクジェット記録装置１０には、装置本体１１の内部に、印字機構部１２等が収納されている。この印字機構部１２は、走査方向に移動可能なキャリッジ１３にインクカートリッジ１４が搭載されており、インクカートリッジ１４の下側に本発明のインクジェット記録ヘッドが搭載されている。
【００２４】
図２はインクジェット記録ヘッド１の断面図である。このインクジェット記録ヘッド１において、図５で説明した従来のインクジェット記録ヘッド１０１と同じ部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【００２５】
本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１は、ヘッド本体２と、ハウジング３とを備えている。ヘッド本体２は、ノズル基板１０２、液室基板１０３、液体供給基板１０４、共通液室基板１０５、ダンパー１０６、ダンパーフレーム１０７、配線回路部材１０８、駆動回路部材１０９、圧電素子１１０に加えて、補強プレート４を備えている。
【００２６】
補強プレート４は、ダンパーフレーム１０７の上面に各貫通穴１０７ｃを塞ぐようにして配置されている。これにより、配線回路部材１０８は補強プレート４の上面の中央部分に配置されている。また、ハウジング３は、ヘッド本体２を覆うようにしてダンパーフレーム１０７の両端側に接合されており、ハウジング３とヘッド本体２とによって形成された内部空間Ｓには封止材２００が充填されている。
【００２７】
補強プレート４について詳しく説明すると、補強プレート４は、ダンパーフレーム１０７に全体的に支持されるように形成されている。これにより、ダンパーフレーム１０７には、ダンパー１０６の可動空間１０７ａが複数形成されている。
【００２８】
また、補強プレート４は、ダンパーフレーム１０７の挿通穴１０７ｄ、１０７ｄと対応する位置に、配線部材１１３、１１３を通すための挿通穴４ｄ、４ｄが形成されている。さらに、補強プレート４には、ダンパーフレーム１０７のインク供給口（図示せず）と連通するインク供給口が形成されている。このインク供給口は、上記のインクカートリッジ１４の供給口（図示せず）に接続されている。
【００２９】
以上のように本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１は、ダンパーフレーム１０７に全体的に支持された補強プレート４の上面に配線回路部材１０８が配置され、この配線回路部材１０８の上面に駆動回路部材１０９が実装されている。つまり、駆動回路部材１０９は、従来と異なり補強プレート４によってダンパーフレーム１０７に全体的に支持された状態となる。このため、駆動回路部材１０９を小型化しても、駆動回路部材１０９はダンパーフレーム１０７に安定して支持されることになる。
【００３０】
したがって、駆動回路部材１０９に配線部材１１３の一端を圧着するときには、駆動回路部材１０９が傾いてしまうことがない。さらに、補強プレート４は、配線部材１１３の圧着時にかかる圧着力に耐えるように形成されている。このため、圧着時に補強プレート４が変形することもない。
【００３１】
したがって駆動回路部材１０９に配線部材１１３を十分に圧着でき、シェア強度の低下が抑えられる。よって、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１は、圧電素子１１０の駆動回路部材１０９を小型化しても駆動回路部材１０９に信頼性の高い配線を行うことができる。
【００３２】
なお、このような補強プレート４に使用される材料としては、金属、ガラス、プラスチック等が挙げられる。また、インクジェット記録装置１０（図１参照）は、このようなインクジェット記録ヘッド１を具備することにより製造コストを抑えつつインクジェット吐出機能の低下を抑えることができる。また、配線回路部材１０８には、フレキシブル配線基板を使用することにより、配線設計の自由度が増し、実装作業を簡素化することができる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図３は、本発明の第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッド５１の断面図である。このインクジェット記録ヘッド５１において、図５で説明した従来のインクジェット記録ヘッド１０１と同じ部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【００３４】
本実施の形態のインクジェット記録ヘッド５１は、ヘッド本体５２と、ハウジング５３とを備えている。ヘッド本体５２は、ノズル基板１０２、液室基板１０３、液体供給基板１０４、共通液室基板１０５、ダンパー１０６、ダンパーフレーム１０７、配線回路部材１０８、駆動回路部材１０９、圧電素子１１０に加えて、補強プレート５４を備えている。
【００３５】
この補強プレート５４は、第１の実施の形態の補強プレート４に比べて幅が狭く設定されており、ダンパーフレーム１０７の上面の中央部分に各貫通穴１０７ｃを塞ぐようにして配置されている。これにより、ダンパーフレーム１０７内には、ダンパー１０６の可動空間１０７ａが複数形成されている。
【００３６】
ここで補強プレート５４は、ダンパーフレーム１０７の上面の中央部分に配置されていても全体的に支持されるように形成されている。具体的には、中央部分の挿通穴１０７ｄと貫通穴１０７ｃとの間の部分１０７ｅ、１０７ｅ、双方の貫通穴１０７ｃ，１０７ｃの間の部分１０７ｆの３箇所で補強プレート５４は支持されている。したがって、駆動回路部材１０９は、第１の実施の形態と同様に補強プレート５４によってダンパーフレーム１０７に全体的に支持された状態となる。
【００３７】
したがって、駆動回路部材１０９を小型化しても、駆動回路部材１０９はダンパーフレーム１０７に安定して支持されるので、駆動回路部材１０９に配線部材１１３の一端を圧着するときには、駆動回路部材１０９が傾いてしまうことがない。
【００３８】
さらに、補強プレート５４は、第１の実施の形態の補強プレート４と同様に配線部材１１３の圧着時にかかる圧着力に耐えるように形成されている。このため、圧着時に補強プレート４が変形することもない。
【００３９】
したがって、駆動回路部材１０９に配線部材１１３を十分に圧着することができ、シェア強度の低下が抑えられる。よって、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１は、圧電素子１１０の駆動回路部材１０９を小型化しても駆動回路部材１０９に信頼性の高い配線を行うことができる。また、インクジェット記録装置１０（図１参照）は、このようなインクジェット記録ヘッド５１を具備することにより製造コストを抑えつつインクジェット吐出機能の低下を抑えることができる。
【００４０】
また、ハウジング５３は、ヘッド本体５２を覆うようにしてダンパーフレーム１０７の両端側に接合されている。このときに、ダンパーフレーム１０７の両側の貫通穴１０７ｃ、１０７ｃは補強プレート５４で塞がれていない。このため、ハウジング５３の天井壁５３ａの内側には、天井壁５３ａおよび側壁５３ｂ、５３ｂとでダンパー１０６の可動空間１０７ａが形成されるように隔壁５３ｃ、５３ｃが設けられている。したがって、ハウジング５３の天井壁５３ａおよび隔壁５３ｃ、５３ｃとヘッド本体５２とで内部空間Ｓが形成され、この内部空間Ｓに封止材２００が充填されることになる。よって、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド５１は、第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッド１に比べて封止材２００の使用量を減らすことができる。
【００４１】
（第３の実施の形態）
図４は、本発明の第３の実施の形態のインクジェット記録ヘッド６１の断面図である。このインクジェット記録ヘッド６１において、図５で説明した従来のインクジェット記録ヘッド１０１と同じ部分、図３で説明した第２の実施の形態のインクジェット記録ヘッド５１と同じ部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【００４２】
本実施の形態のインクジェット記録ヘッド６１は、ヘッド本体６２と、ハウジング５３とを備えている。ヘッド本体６２は、ノズル基板１０２、液室基板１０３、液体供給基板１０４、共通液室基板１０５、ダンパー１０６、ダンパーフレーム１０７、配線回路部材６８、駆動回路部材１０９、圧電素子１１０を備えている。
【００４３】
ここで、配線回路部材６８にはプリント回路基板が使用されている。さらに、この配線回路部材６８は、ダンパーフレーム１０７の上面の中央部分に各貫通穴１０７ｃを塞ぐようにして配置されている。これにより、ダンパーフレーム１０７内には、ダンパー１０６の可動空間１０７ａが複数形成されている。
【００４４】
さらに、この配線回路部材６８はダンパーフレーム１０７の上面の中央部分に配置されていても全体的に支持されるように形成されている。具体的には、中央部分の挿通穴１０７ｄと貫通穴１０７ｃとの間の部分１０７ｅ、１０７ｅ、双方の貫通穴１０７ｃ，１０７ｃの間の部分１０７ｆの３箇所で配線回路部材６８は支持されている。したがって、駆動回路部材１０９は、この配線回路部材６８によってダンパーフレーム１０７に全体的に支持された状態となる。
【００４５】
したがって、駆動回路部材１０９を小型化しても、駆動回路部材１０９はダンパーフレーム１０７に安定して支持される。このため、駆動回路部材１０９に配線部材１１３の一端を圧着するときには、駆動回路部材１０９が傾いてしまうことがない。
【００４６】
さらに、配線回路部材６８にはプリント回路基板を使用したことで、配線部材１１３の圧着時にかかる圧着力に耐えるように形成されている。このため、圧着時に配線回路部材６８が変形することもない。
【００４７】
したがって、駆動回路部材１０９に配線部材１１３を十分に圧着することができ、シェア強度の低下が抑えられる。よって、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド６１は、圧電素子１１０の駆動回路部材１０９を小型化しても駆動回路部材１０９に信頼性の高い配線を行うことができる。また、インクジェット記録装置１０（図１参照）は、このようなインクジェット記録ヘッド６１を具備することにより製造コストを抑えつつインクジェット吐出機能の低下を抑えることができる。
【００４８】
さらに、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド６１では、第１の実施の形態や第２の実施の形態のように補強プレートを使用せずに駆動回路部材１０９に信頼性の高い配線を行うことができるので、製造コストの低減化を図ることができる。これにより、インクジェット記録装置１０の製造コストの低減化も図ることができる。
【００４９】
また、ハウジング５３は、第２の実施の形態で説明したように、天井壁５３ａの内側に隔壁５３ｃ、５３ｃが設けられているので、天井壁５３ａおよび隔壁５３ｃ、５３ｃとヘッド本体６２とによって内部空間Ｓが形成され、この内部空間Ｓに封止材２００が充填される。よって、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド６１は、第１の実施の形態のインクジェット記録ヘッド１に比べて封止材２００の使用量を減らすことができる。
【００５０】
以上、本発明にかかる実施の形態を例示したが、これらの実施の形態は本発明の内容を限定するものではない。また、本発明の請求項の範囲を逸脱しない範囲であれば、各種の変更等は可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上説明したように本発明のインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置は、圧電素子を駆動する駆動回路部材を小型化しても、駆動回路部材に信頼性の高い配線を行うことができる。したがって、本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置の技術分野で十分に利用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１    インクジェット記録ヘッド
４    補強プレート
１０    インクジェット記録装置
５１    インクジェット記録ヘッド
５４    補強プレート
６１    インクジェット記録ヘッド
６８    配線回路部材
１０５    共通液室基板
１０５ａ     共通液室
１０５ｃ     貫通穴
１０６    ダンパー
１０７    ダンパーフレーム
１０７ａ    可動空間
１０７ｃ    貫通穴
１０８    配線回路部材
１０９    駆動回路部材
１１０    圧電素子
１１３    配線部材
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５３】
【特許文献１】特開２００９−２５５４４４号公報
【図１】
2012125959.tif 000003
【図２】
2012125959.tif 000004
【図３】
2012125959.tif 000005
【図４】
2012125959.tif 000006
【図５】
2012125959.tif 000007
【図６】
2012125959.tif 000008