(57)【要約】      （修正有）【課題】振動板部材の振動可能領域のバラツキを低減し、生産性、信頼性を向上した液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル４が連通する液室６を形成する流路板と、液室６の壁面を形成する振動板部材２と、振動板部材２の液室６と反対側面に設けられて、振動板部材２の振動可能領域２ａを変位させる圧電アクチュエータ１００と、流路板１に直接又は振動板部材２を介して接合された支持部材２０とを備え、支持部材２０には、隣り合う液室６間の隔壁５に対向して振動板部材２の液室６と反対側の面に接合された裏打ち部２２が設けられ、裏打ち部２２のノズル配列方向の幅Ｗ２は、液室６間の隔壁５のノズル配列方向の幅Ｗ１より広く、裏打ち部２２のノズル配列方向の幅Ｗ２により振動板部材２の振動可能領域２ａのノズル配列方向の幅Ｗ３が規定されている。【選択図】図５
2012192705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが連通する液室を形成する流路部材と、
前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材の前記液室と反対側面に設けられて、前記振動板部材の振動可能領域を変位させる圧電部材と、
前記流路部材に直接又は前記振動板部材を介して接合された支持部材と、を備え、
前記支持部材には、隣り合う液室間の隔壁に対向して前記振動板部材の前記液室と反対側の面に接合された裏打ち部が設けられ、
前記裏打ち部のノズル配列方向の幅は、前記液室間の隔壁のノズル配列方向の幅より広く、
前記裏打ち部のノズル配列方向の幅により前記振動板部材の振動可能領域のノズル配列方向の幅が規定されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記裏打ち部は、前記支持部材の基材で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記裏打ち部は、前記支持部材の基材に成膜された膜で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置（例えばインクジェット記録装置）が知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行なうものであり、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。
【０００３】
なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。また、「用紙」とは、材質を紙に限定するものではなく、上述したＯＨＰシート、布なども含み、インク滴が付着されるものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含むものの総称として用いる。また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０００４】
ところで、液体吐出ヘッドにおいては、各ビット（各ノズル）間の特性ばらつきを抑えるため、高い寸法精度が要求され、特に、圧電素子などの振動板を使用するヘッドにおける振動板幅（振動可能領域の幅）は滴吐出特性に大きく影響することから高い寸法精度が要求される。例えば３００ｄｐｉでノズルを配列した場合、各ビットの振動板幅のばらつきを±２ｕｍ以下に抑える必要がある。
【０００５】
そこで、従来、流路形成基板の圧電振動子側に接合され、その運動を阻害しない程度の空間からなる凹部を区画する区画壁を備えた裏打ち材が、その区画壁が流路形成基板の隔壁に対向するように流路形成基板に固定されている構成としたものが知られている（特許文献１）。
【０００６】
また、圧力発生室は、圧電素子側にあって当該圧電素子を構成する圧電体能動部より幅広の幅広部とこの幅広部より幅狭の幅狭部とを有し、幅広部の幅方向端部に対応する領域には、圧力発生室に対向する領域から領域外まで延設され圧電素子を構成する圧電体層とは不連続の不連続圧電体層を少なくとも有する振動規制層が設けられている構成としたものも知られている（特許文献２）。
【０００７】
また、積層型圧電柱と支柱部とを交互に配設するバイピッチ構造の圧電型ヘッドにおいて、振動板の支柱部と接合する厚肉部の幅を液室間隔壁の幅よりも広くして、振動板の変形可能領域を厚肉部の幅で規制するもの（特許文献３）、支柱部の幅を液室間隔壁よりも広く形成したもの（特許文献４）なども知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２９１４９７号公報
【特許文献２】特開２００１−２８７３６０号公報
【特許文献３】特開平１１−１０５２８３号公報
【特許文献４】特開２００８−１４９５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、振動板幅は液室加工時の加工精度に大きく影響を受けることになり、振動板幅のばらつきの要求値を満足することは困難である。また、特許文献２の開示のように、加圧液室の加工精度で振動板幅を決めるのではなく、補助的な層を第一の基板（振動板、圧電素子形成基板）に設けて、この補助的な層で振動板幅を規定することで、振動板幅ばらつきは小さくなり、ビット間の滴吐出特性のばらつきを低減できるが、本来必要としない振動板幅を規定する層（膜）を付加する必要があり、工数、コストが増加し、歩留まりが低下して、高品質、高信頼性を有するヘッドの効率的な生産が困難であるという課題がある。
【００１０】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で振動可能領域のバラツキを低減して滴吐出特性を向上させ、生産性、信頼性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが連通する液室を形成する流路部材と、
前記液室の少なくとも１つの壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材の前記液室と反対側面に設けられて、前記振動板部材の振動可能領域を変位させる圧電部材と、
前記流路部材に直接又は前記振動板部材を介して接合された支持部材と、を備え、
前記支持部材には、隣り合う液室間の隔壁に対向して前記振動板部材の前記液室と反対側の面に接合された裏打ち部が設けられ、
前記裏打ち部のノズル配列方向の幅は、前記液室間の隔壁のノズル配列方向の幅より広く、
前記裏打ち部のノズル配列方向の幅により前記振動板部材の振動可能領域のノズル配列方向の幅が規定されている
構成とした。
【００１２】
ここで、前記裏打ち部は、前記支持部材の基材で形成されている構成とできる。
【００１３】
また、前記裏打ち部は、前記支持部材の基材に成膜された膜で形成されている構成とできる。
【００１４】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、支持部材には、隣り合う液室間の隔壁に対向して振動板部材の液室と反対側の面に接合された裏打ち部が設けられ、裏打ち部のノズル配列方向の幅は、液室間の隔壁のノズル配列方向の幅より広く、裏打ち部のノズル配列方向の幅により振動板部材の振動可能領域のノズル配列方向の幅が規定されている構成としたので、簡単な構成で振動板の振動可能領域のバラツキを低減できて滴吐出特性が向上し、生産性、信頼性も向上する。
【００１６】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えている構成としたので、安定した滴吐出を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部斜視説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図３】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドをその製造工程と共に説明するノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図５】図４に続く工程の説明に供するノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図７】本発明に係る画像形成装置の一例を示す機構部の側面説明図である。
【図８】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの要部斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図３は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室短手方向）に沿う正面説明図である。
【００１９】
この液体吐出ヘッドは、第１基板である流路板（流路部材、液室基板）１と、この流路板１の一方の面に設けた振動板部材２と、流路板１の他方の面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出する複数のノズル４がそれぞれ連通する個別流路としての複数の個別液室（加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。以下、「液室」という。）６、液室６にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、この流体抵抗部７を介して液室６と連通する共通液室８を形成している。なお、各液室６のノズル配列方向は液室間隔壁５で仕切られている。
【００２０】
流路部材１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで、液室６、流体抵抗部７、連通部８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流路部材１としてはシリコン基板などを用いることもできる。
【００２１】
振動板部材２は各液室６に対応してその壁面を形成する振動可能な領域である振動可能領域（ダイアフラム部）２ａを有し、振動可能領域２ａの面外側（液室６と反対面側）に振動可能領域２ａを変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての圧電体層１２を含む圧電アクチュエータ１００を配置している。
【００２２】
この圧電アクチュエータ１００は、振動板部材２の液室６と反対側の面に成膜した共通電極膜１１と、共通電極膜１１上に形成された圧電体層１２と、圧電体層１２上に形成された個別電極膜１３とで構成されている。
【００２３】
そして、流路板１には、圧電アクチュエータ１００側に、直接又は振動板部材２を介して支持部材２０を接合している。この支持部材２０は、共通液室８に連通する共通液体供給１０と、共通液体供給流路１０に外部から液体を供給する液体供給口３０が形成されるとともに、各圧電アクチュエータ１００に対応して座グリ孔で凹部２１が形成され、凹部２１の間は、液室間隔壁５に対応する部分を裏打ちする（補強する）裏打ち部２２としている。
【００２４】
そして、裏打ち部２２のノズル配列方向の幅Ｗ２は、隣り合う液室間の隔壁５のノズル配列方向の幅Ｗ１より広く形成している。これにより、振動板部材２の振動可能領域２ａのノズル配列方向の幅Ｗ３は裏打ち部２２の幅Ｗ２により規定されている構成となっている。
【００２５】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、図示しない制御部から画像データに基づいて、滴吐出を行わせるノズル４に対応する圧電アクチュエータ１００の個別電極１３に対して駆動パルスを印加することにより、圧電体層１２自体が電歪効果によって振動板部材２と平行な方向に縮み、振動板部材２の振動可能領域２ａが液室６方向に撓むことになる。これにより、液室６内の圧力が急激に上昇してノズル４から液滴が吐出される。
【００２６】
また、この液体吐出ヘッドは圧電アクチュエータとして薄膜ピエゾを用いる構成であるので、支柱部材（裏打ち部）の幅を微細加工によって形成することができ、裏打ち部間の幅及びピッチを任意に制御することができ、高密度ノズル配置（例えば３００ｄｐｉ以上）に対応することができる。
【００２７】
次に、駆動パルス印加後は、縮んだ圧電体層１２が元に戻ることから、撓んだ振動板部材２の振動可能領域２ａが元の位置に戻り、液室６内が共通液室８内に比べて負圧となって、共通液室８から流体抵抗部７を介して液室６に供給される。これを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出され、液体吐出ヘッドに対向する被記録媒体（用紙）に画像を形成することができる。
【００２８】
ここで、この液体吐出ヘッドにおいては、裏打ち部２２の幅Ｗ２により振動板部材２の振動可能領域２ａのノズル配列方向の幅Ｗ３が規定されているので、簡単な構成で振動可能領域の幅のバラツキを低減し、生産性、信頼性を向上することができる。
【００２９】
次に、本発明の第２実施形態の液体吐出ヘッドについてその製造方法とともに図４なし図６を参照して説明する。なお、図４ないし図６はノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
図４（ａ）に示すように、流路板１を形成する面方位（１１０）のシリコン単結晶基板２０１（例えば板厚４００μｍ）に、振動板部材２の構成膜として、例えばＬＰ−ＣＶＤ法、あるいは熱処理製膜法でシリコン酸化膜２０２（例えば厚さ６００ｎｍ）を成膜し、その後振動板２の剛性調整膜として、例えば、ＬＰ−ＣＶＤ法でシリコン窒化膜２０３（例えば５００ｎｍ）、その上にＬＰ−ＣＶＤ法でシリコン酸化膜２０４（例えば厚さ６００ｎｍ）を成膜し、振動板部材２を形成する。
【００３０】
ここで、振動板部材２の構成膜は、振動板部材の機能やプロセスの整合性を鑑みて、シリコン窒化膜２０３は、例えばＺｒＯ２、Ａｌ３Ｏ２等振動板部材２の剛性を調整できるヤング率を有する膜でもよい。また、シリコン酸化膜２０２は、後の液室６を形成するエッチング時のエッチングストップ層として機能するが、機能を満たすのであれば他の材料膜でもよい。
【００３１】
次に、図４（ｂ）に示すように、ＴｉとＰｔからなる共通電極膜１１をスパッタ法で例えば各々３０ｎｍと１００ｎｍ成膜する。次に、共通電極膜１１上に圧電体層１２としてＰＺＴを例えばスパッタ法で２μｍ厚成膜し、その後、後に個別電極１３となるＰｔをスパッタ法で１００ｎｍ成膜する。ここで、圧電体層１２の成膜方法は、スパッタ法に限らず、例えばイオンプレーティング法、エアーゾル法、ゾルゲル法、あるいはインクジェット法等などで成膜してもよい。
【００３２】
次に、図４（ｃ）に示すように、リソエッチ法により、後に形成する液室６に対応する位置に圧電アクチュエータ１００を形成するため、個別電極膜１３と圧電体層１２をパターニングする。
【００３３】
次に、図示しないが、振動板部材２の共通液室８の一部を形成する部分をリソエッチ法で除去する。
【００３４】
そして、図４（ｄ）に示すように、共通液体供給流路１０、液体供給口３０、座グリ孔である凹部２１と裏打ち部２２を形成した、例えばガラス材で形成した支持部材２０を振動板部材２に接合する。接合には、接着剤による接合や直接接合等でもよいが、接着剤を使わない直接接合が好適である。
【００３５】
ここで、支持部材２０としてガラス材を適用したが、シリコン単結晶基板等でもよい。但し、シリコン単結晶基板の場合、シリコン基板２０１に液室６等をエッチングで形成するとき、支持部材２０がエッチングされないように、耐性のある膜、例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜を共通液体供給流路１０の内壁面及び支持部材２０の表面に形成しておく必要がある。
【００３６】
次に、図５（ａ）に示すように、シリコン基板２０１を所望の厚さｔ（例えば厚さ８０μｍ）になるように研磨する。研磨法以外にもエッチングなどでもよい。
【００３７】
次に、図５（ｂ）に示すように、リソ法により、液室６、前述した共通液室８及び流体抵抗部７以外の隔壁５などの部分をレジストで被覆する。その後、アルカリ溶液（ＫＯＨ溶液、あるいはＴＭＨＡ溶液）で異方性ウェットエッチングを行って、液室６、前述した共通液室８及び流体抵抗部７を形成する。ここで、裏打ち部２２の幅Ｗ２は、隔壁５の幅Ｗ１より必ず大きくなるようにする。したがって、振動板部材２の短辺長幅（ノズル配列方向の幅）は、隣接する裏打ち部２２との間隔で規定される。
【００３８】
次に、図５（ｃ）に示すように、ノズル４を開口したノズル板３を接合して、液体吐出ヘッドを完成する。
【００３９】
このように、支持部材２０の裏打ち部２２の幅Ｗ２を流路板１の液室間隔壁５の幅Ｗ１より広くすることで、振動板部材２の振動可能領域２ａの短辺長幅Ｗ３は、隣接する裏打ち部２２の間隔で規定される。
【００４０】
したがって、液室６を形成するときの寸法精度に影響を受けることなく、一義的に液室形成時よりも寸法精度の良い加工が可能な裏打ち部２２形成時の加工精度で振動板部材２の振動可能領域２ａの幅を規定でき、また、簡単な工程、工数で形成することができて、高精度、高密度で、高い信頼性のヘッドを低コストで安定して得ることができる。
【００４１】
次に、本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。なお、図６は同実施形態に係るヘッドのノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
本実施形態では、支持部材２０の裏打ち部２２の流路板１側との接合部分を支持部材２０の基材４０１に成膜した膜４０２で形成している。
【００４２】
具体的には、支持部材２０を形成する基材４０１にザグリで凹部２１を形成するときに、ザグリ形成用マスクを除去せずに残すことで膜４２を形成している。例えば、支持部材２０の基材４０１がシリコン単結晶基板の場合は、シリコン酸化膜、あるいはシリコン窒化膜をザグリ形成用マスクとして使用する。これにより、膜４０２はシリコン酸化膜、あるいはシリコン窒化膜で形成される。
【００４３】
この場合、振動板部材２の振動可能領域２ａの幅を規定するためには、ザグリ形成用マスク（膜４０２）の膜厚を少なくとも１μｍ以上とする。
【００４４】
このようにすることで、支持部材２０の凹部形成用マスク（ザグリ形成用マスク）をそのまま振動板部材２の振動可能領域２ａの短辺長幅を規定する部分として使用することができ、ザグリ形成用マスクを除去する工程を省くことができる。また、ザグリ形成用マスクを除去する場合、凹部２１の幅は、ザグリ形成用マスクの加工寸法精度と凹部（ザグリ）形成時の加工寸法精度に影響を受けるが、本実施形態では、ザグリ形成用マスクの寸法精度のみで決まるため、裏打ち部２２の幅Ｗ２の精度は第２実施形態よりも高精度になる。
【００４５】
これにより、前記第２実施形態に比べて、さらに低コスト化（ザグリ形成マスク除去工程省略）を図れ、振動板部材の振動可能領域の幅を高精度に規定することができる。
【００４６】
なお、上記各実施形態の液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに液体を供給するヘッドタンクなどを一体化することもできる。
【００４７】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同装置の機構部を説明する概略側面説明図、図８は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００４８】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００４９】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する液体吐出ヘッド２３４ａ、２３４ｂを１つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、他方のヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。
【００５０】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００５１】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００５２】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００５３】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００５４】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００５５】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００５６】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００５７】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置し、この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００５８】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２４７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００５９】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００６０】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００６１】
このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、安定した滴吐出特性が得られ、安定して高画質画像を形成することができる。
【００６２】
なお、本発明に係る液体吐出ヘッドはライン型画像形成装置にも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１  流路板（第１基板）
２  振動板部材
３  ノズル板
４  ノズル
６  液室
８  共通液室
１２  圧電体層
２０  支持部材（第２基板）
２１  凹部
２２  裏打ち部
２３３  キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ  記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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