(57)【要約】【課題】幅，高さ方向に高精度で均一な塗布ができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供する。【解決手段】各塗布ヘッド１５は、Ｘ軸方向に配列されて、４個ずつで１つのグループをなす。同じグループでは、塗布ヘッド１５がＹ軸方向の位置を異にし、グループ間では、Ｙ軸方向に同じ位置の塗布ヘッドが１つずつある。異なるグループのＹ軸方向に同じ位置の１つずつの塗布ヘッド１５は同じＺ軸保持プレート２０ｂｃに搭載されている。各塗布ヘッド１５は微動Ｚ軸駆動手段２０ａを備え、個別にＺ軸方向に移動可能である。また、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃ毎に個別Ｚ軸駆動手段２０ｂ1が設けられ、これにより、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃが個別にＺ軸方向に移動可能である。また、共通Ｚ軸駆動手段３０が設けられ、これにより、全てのＺ軸保持プレート２０ｂｃが、従って、全ての塗布ヘッド１５が同時にＺ軸方向に移動可能である。【選択図】図４
2012000553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象物を吸着保持する吸着テーブルと、該吸着テーブルに吸着保持された該塗布対象物の表面にインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら塗布する複数の塗布ヘッドと、該塗布ヘッドを該塗布対象物の上方位置で該塗布対象物の搬送方向であるＸ軸方向に水平面内で直交するＹ軸方向に移動させるガントリ構造体と、該Ｘ軸方向に該塗布ヘッドを個別に移動させるＸ軸駆動手段と、該塗布ヘッドを個別に該水平面に垂直なＺ軸方向に移動させる第１のＺ軸駆動手段と、該塗布ヘッドを個別に該水平面に平行にθ軸方向に移動させるθ軸駆動手段とを備え、該塗布ヘッドがＸＹＺθ軸方向に空間内を移動可能としたインクジェット塗布装置において、
該Ｘ軸駆動手段により、該複数の塗布ヘッド毎に個別に、該塗布ヘッドと該第１のＺ軸駆動手段とがともにＸ軸方向に移動し、
さらに、θ軸駆動手段により、該Ｘ軸駆動手段が該塗布ヘッドと該第１のＺ軸駆動手段とに一体となって回転する
ことを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェット塗布装置において、
前記塗布対象物は、帯状のフィルムであって、
前記吸着テーブルへの前記塗布対象物の搬送手段は、前記塗布対象物を巻き出して搬送する上流側のフィルムロールと、該上流側のフィルムロールと前記吸着テーブルを挟んだ位置で該塗布対象物を巻き取って搬送する下流側のフィルムロールとから構成されていることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェット塗布装置において、
前記複数の塗布ヘッドは夫々、Ｘ軸方向に順次配列された所定個数ずつの前記塗布ヘッドがグループをなして、各グループでは、夫々の前記塗布ヘッドがＹ軸方向に異なる位置に配置されているとともに、各グループの１つずつの前記塗布ヘッドのＹ軸方向の位置は同じ位置であって、
各グルーブのＹ軸方向の位置が同じ１つずつの前記塗布ヘッドからなる塗布ヘッドの組毎に、Ｚ軸方向に移動させる第２のＺ軸駆動手段を備え、
ガントリ構造体によって全ての該塗布ヘッドを同時にＹ軸方向に移動させる構成としたことを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項４】
請求項２に記載のインクジェット塗布装置において、
前記複数の塗布ヘッドは夫々、Ｘ軸方向に順次配列された所定個数ずつの前記塗布ヘッドがグループをなして、各グループでは、夫々の前記塗布ヘッドがＹ軸方向に異なる位置に配置されているとともに、各グループの１つずつの前記塗布ヘッドのＹ軸方向の位置は同じ位置であって、
各グルーブのＹ軸方向の位置が同じ１つずつの前記塗布ヘッドからなる塗布ヘッドの組毎に、Ｚ軸方向に移動させる第２のＺ軸駆動手段を備え、
さらに、全ての該第２のＺ軸駆動手段をＺ軸方向に移動させる第３のＺ軸駆動手段を備え、
ガントリ構造体によって全ての該塗布ヘッドを同時にＹ軸方向に移動させる構成としたことを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項５】
請求項２に記載のインクジェット塗布装置において、
前記塗布対象物を吸着保持する前記吸着テーブルに、前記吸着テーブルに吸着された前記塗布対象物を加熱する加熱手段を設けたことを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェット塗布装置において、
前記フィルムロールに、前記フィルムロールに巻き付けられている前記塗布対象物を予熱する加熱手段を設けたことを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項７】
ロール状に巻き付けられた帯状のフィルムである塗布対象物を巻き出して搬送する上流側のフィルムロールと、巻き出された該塗布対象物を吸着保持する吸着テーブルと、該吸着テーブルを挟んだ位置で該塗布対象物を巻き取って搬送する下流側のフィルムロールと、該吸着テーブルに吸着保持された該塗布対象物の表面にインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら塗布する複数の塗布ヘッドと、該塗布ヘッドを該塗布対象物の上方位置で該塗布対象物の搬送方向であるＸ軸方向に水平面内で直交するＹ軸方向の移動させるガントリ構造体と、該Ｘ軸方向に該塗布ヘッドを個別に移動させるＸ軸駆動手段と、該塗布ヘッドを個別に該水平面に垂直なＺ軸方向に移動させる第１のＺ軸駆動手段と、該塗布ヘッドを個別に該水平面に平行にθ軸方向に移動させるθ軸駆動手段とを備え、該塗布ヘッドがＸＹＺθ軸方向に空間内を移動可能にしたインクジェット塗布装置のインクジェット塗布方法であって、
該Ｘ軸駆動手段により、該複数の塗布ヘッド毎に個別に、該塗布ヘッドと該第１のＺ軸駆動手段がともに、Ｘ軸方向に移動し、
さらに、θ軸駆動手段により、該Ｘ軸駆動手段がさらに該塗布ヘッドと該第１のＺ軸駆動手段と一体となって回転することにより、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に投影したときの該塗布ヘッドの吐出ノズルの間隔を小さくして塗布材を塗布することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【請求項８】
請求項７に記載のインクジェット塗布方法において、
前記塗布ヘッドによる第１回目の塗布は、前記塗布対象物への塗布材の塗布パターンのうちの外周部を塗布するものであり、
第２回目〜第２回目以降の塗布は、該塗布パターンのうち外周部に囲まれた内部を塗布するものであり、塗布領域を複数分割して塗布することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【請求項９】
請求項７に記載のインクジェット塗布方法において、
前記吸着テーブルに吸着された前記塗布対象物を加熱し、加熱しながら前記塗布対象物に塗布することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【請求項１０】
請求項７に記載のインクジェット塗布方法において、
前記フィルムロールに巻き付けられている前記塗布対象物を加熱手段で予熱することを特徴とするインクジェット塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平滑な部材へのインクジェット方式による塗布材料の塗布に係り、特に、均一な塗布を安定して行なうことができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式とは、塗布ヘッドとしての気泡または圧電素子を利用したインクジェット塗布ヘッドから塗布材料としてのインク液滴を少量ずつ高精度に吐出する方式である。このインク液滴の高精度な吐出によって塗布対象とする部材にインク液滴を塗布する処理を装置化したものが、インクジェット塗布装置である。これは、インクの高精細な塗布を実現できる装置として近年注目されており、紙への印刷に限らず、あらゆる産業分野でその適用可能性が探られており、既に実用化されているものもある。
【０００３】
塗布ヘッドの下面先端には、複数のノズルが所定のピッチで設けられ、このノズルのピッチによって塗布材料である液滴の吐出間隔が決まる。幸いにして、希望する液滴の塗布間隔がノズルピッチより大きい場合には、吐出するノズルを選択することによって目的を達成することができる。しかしながら、逆に、希望する液滴の塗布間隔がノズルピッチより小さい場合には、時間的な無駄を小さくするのに塗布ヘッドの動作に何らかの工夫が必要であり、この工夫としては、従来、いくつかの提案がなされている。
【０００４】
その一例として、例えば、等間隔に同じ複数個ずつノズル孔が設けられた複数のノズルモジュールを平行に配置された塗布ヘッドを用い、かかる複数のノズルモジュールを塗布基板の移動方向（ｙ方向）に対して傾けるとともに、これらノズルモジュールをそのノズル孔の配列方向にずらすことにより、これらノズルモジュールの全てのノズル孔の塗布基板の移動方向に垂直な方向（ｙ）方向での間隔を変更させることができるようにし、かつ、基板を回転可能として、基板への塗布画像が複数の異なる方向の画像からなるものであっても、いずれも同じｙ方向に塗布が行なわれるようにした技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この特許文献１に記載の技術では、塗布画像をそのエッジを表わすエッジ画像とその内部の内部画像とに区分し、まず、エッジ画像の塗布（エッジ塗布）を行ない、塗布したエッジ画像を乾燥させた後、内部画像の塗布（内部塗布）を行なうものであるが、エッジ画像に対しては、全てのノズルモジュールのノズル孔でのｙ軸方向に隣り合う２つのノズル孔を用いて隣接した走査線に沿ってエッジ塗布が行なわれ、内部塗布は必要な全てのノズル孔を用いて行なわれる。
【０００６】
このように、エッジ塗布では、Ｙ方向に隣り合う２つのノズル孔を用いるものであるから、１つのノズル孔を用いてエッジ塗布を行なうよりも、１つのノズル孔からの液滴の吐出量を少なくすることができ、塗布線幅を狭くすることができて、塗布されたエッジ画像の乾燥を速くできて濡れ拡がりを抑えることができるものであり、内部塗布される液滴は乾燥されてエッジ画像に連結してこのエッジ画像の外側に拡がることはない、というものである。
【０００７】
また、液晶表示パネルのカラーフィルタ基板とＴＦＴ基板との間隔を保つために、カラーフィルタ基板にスペーサが設けられるが、このスペーサを溶媒に溶解したインクをインクジェットヘッドからカラーフィルタ基板に塗布するようにした技術が紹介されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
この特許文献２に記載の技術によると、インクジェットヘッドには、複数のノズルが所定のピッチで設けられており、また、カラーフィルタ基板での上記インクの塗布位置は、カラーフィルタ基板上のブラックマトリクス上に設定されており、ノズルのピッチがインクの塗布位置のピッチよりも小さいものであって、ノズルのピッチをインクの塗布位置のピッチに合わせることができるようにするために、インクジェットヘッドを回転させてノズルの配列方向を変化させ、かつカラー基板をインクジェットヘッドの回転方向とは逆方向に回転させることができるようにしている。
【０００９】
さらに、液晶セルのカラーフィルタ基板上の所定の位置に、アレイ基板との間に所定のスペースを設けるためのスペーサ粒子を形成するために、インクジェット方式を用いた技術が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【００１０】
この特許文献３に記載の技術によると、スペーサ粒子が分散媒に分散されたスペーサ粒子分散液がインクジェット方式によってカラーフィルタ基板上の所定の位置（ブラックマトリクスの位置）に吐出されるのであるが、スペーサ粒子分散液として、水及び低沸点アルコール系溶媒が用いられ、吐出後、常温で減圧乾燥させ、さらに、カラーフィルタ基板を加熱して溶媒を揮発させて、スペーサ粒子を所定の位置（カラーフィルタ基板のブラックマトリクス上の位置）に固着させるものである。これは、塗布した後に一旦減圧させ、さらに、次の工程として加熱乾燥させる塗布方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−２４６２４８号公報
【特許文献２】特開２０１０−２０１４４号公報
【特許文献３】特開２００７−４７５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記特許文献１〜３に記載の技術のように、これまでは、インクジェット塗布における高い塗布位置精度や膜厚の均一性を求める上では、目標とする塗布間隔と塗布ヘッドのノズルピッチとの相対的な位置関係が、特に、着目されていた。これは、ＸＹ平面内においる位置関係であって、２次元的なものである。
【００１３】
しかしながら、インクジェット方式の塗布を様々な分野で活用していく上では、塗布材の粘度や表面張力などの塗布材の物性や、塗布する対象物の表面状態の影響、さらには、基板やフィルムなどの塗布対象物の大型化などによっても、塗布対象物と塗布ヘッドのノズルとの間隔の管理も重要であることがわかってきた。ＸＹ平面内のみの塗布位置管理だけでは、高精度で均一な塗布を行なうことが難しくなりつつある。
【００１４】
即ち、塗布対象物と塗布ヘッドのノズルとの間隔が大きすぎると、ノズルからの塗布材の液滴の吐出方向性の精度に誤差が生じ、これによって着弾位置ずれが発生する。逆に、塗布対象物と塗布ヘッドのノズルとの間隔が小さすぎると、大型化した塗布対象物でうねりによる起伏が生ずることから、面積が広い塗布対象物の一部で突出した箇所が生ずることになる、この箇所で塗布ヘッドが塗布対象物に衝突してしまう恐れがある。
【００１５】
また、インクジェット塗布では、塗布材を無駄なく効率良く使用できる利点があるが、一方で１回当りの吐出量が微量であることから、あるいは塗布位置の間隔をさらに縮めてさらに精細な塗布が求められることから、複数回の塗布動作を行なう必要もある。このとき、複数回の塗布のうちで先に付着した塗布材の塗布対象物上での広がりを如何に抑制するかが問題となる。
【００１６】
具体的な数値例を挙げると、液晶パネルのガラス基板での多面取りでは、表示性能への配慮から、他の面との塗布干渉があってはならず、外周パターンの直線性で大よそ±０．１ｍｍ以下〜±０．５ｍｍ以下の広がりが要求される。また、高さ方向では、塗布後に凹凸が大よそ０．１ｍｍ以下〜０．３ｍｍ以下でなければ、液晶パネルの表示性能が問題となる。
【００１７】
このように、塗布後の塗布材の幅方向や高さ方向の広がりのばらつきを抑制することが極めて重要である。
【００１８】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、幅，高さ方向に高精度で均一な塗布ができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の塗布ヘッドを個別に回転可能にする手段を設けたことで、搬送方向に対して基板やフィルムなどの塗布対象物を搬送方向に対して傾けるように回転可能にする手段を備えている。さらに、複数の塗布ヘッドの高さ方向位置を調整可能にするＺ軸移動手段を設けている。さらにまた、塗布対象物を塗布動作と同時期に加熱する手段を設けている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ＸＹ平面内のみならず高さ方向となるＺ軸移動手段を設けることで３次元的な位置管理を行なうことができ、また、塗布対象物を加熱しながら塗布することで、高精度で均一な塗布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の一実施形態での概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１における塗布ヘッド及びその設置状態の一具体例を示す斜視図である。
【図３】図２における塗布ヘッドに設けられた複数のノズルの配列の一具体例を示す図である。
【図４】図１に示す実施形態の全体構成を上方から見た平面図である。
【図５】図２における塗布ヘッドのＺ軸方向駆動の具体例を示す図である。
【図６】図４に示す塗布ヘッドの配列状態で塗布ヘッドを回転させたときの状態の一具体例を示す平面図である。
【図７】フィルムの塗布エリアでの塗布軌跡が塗布ヘッドでの吐出ノズルの配列方向の間隔Ｐよりも狭くする場合の塗布ヘッドの状態を示す図である。
【図８】図１に示す実施形態でのインクジェット塗布の制御部の一具体例を示すブロック図である。
【図９】図１に示す実施形態での塗布ヘッドの吐出ノズルのＸ軸方向の間隔を塗布軌跡の間隔Ｑに等しくしてフィルム上に塗布する際の動作の流れの一具体例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
【００２３】
なお、以下に説明する実施形態は、塗布対象としてフラット・パネル・ディスプレイに用いられるガラス基板に対して液晶分子の並び方を制御するためのラビングをしたポリイミドの薄膜や電気泳動方式などを応用したフレキシブル・ディスプレイと呼ばれるしなやかに曲がる電子ペーパなど、多種多様な用途がある。この実施形態では、フィルム状のフレキシブルな部材を塗布対象物とする一例とするものであり、例えば、非シリコン系の半導体材料（例えば、ＣＩＧＳ薄膜）が施された太陽電池フィルム上に、インクジェット方式の塗布ヘッドで電極材や絶縁材を塗布することにより、電極や絶縁膜などの膜形成を行なうものとする。インクジェット方式によると、版作成経費が削減できることや塗布材料の効率的な使用が可能というメリットがあり、インクジェット方式による塗布の採用が拡大しつつある。なお、ＣＩＧＳ薄膜は、Ｃｕ（銅），Ｉｎ（インジウム），Ｇａ（ガリウム）及びＳｅ（セレン）から成る半導体材料の薄膜であって、「ＣＩＧＳ」はこれら素材の頭文字を並べたものである。
【００２４】
図１は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の一実施形態での概略構成を示す斜視図であって、１は太陽電池用積層フィルム（以下、単にフィルムという）、２は巻出側フィルムロール、３は巻取側フィルムロール、４，５はガイドロール、６，７は昇降ガイドロール、８，９は吸着バー、１０は吸着テーブル、１１は巻出側軸モータ、１２は巻取側軸モータ、１３，１４はフィルム押えバー、１５は塗布ヘッド、１６は巻出部、１７は塗布部、１８は巻取部、１９は撮像カメラ、２０ａは微動Ｚ軸駆動手段、２１はθ軸駆動手段、２２はラバーヒータ、２３はローラ用ヒータである。
【００２５】
同図において、フィルム１の長手方向（移動方向）をＸ軸方向として、このＸ軸方向に沿う空間が巻出部１６と塗布部１７と巻取部１８とに区分されている。巻出部１６には、巻出側軸モータ１１によって回転駆動される巻出側フィルムロール２や上流側のガイドロール４，昇降ガイドロール６，吸着バー８がＸ軸方向に順次配列して設けられ、巻取部１８には、下流側の吸着バー９や昇降ガイドロール７，ガイドロール５，巻取側フィルムロール３がＸ軸方向に順次配列して設けられている。
【００２６】
なお、ここでは、塗布部１７の直後に巻取部１８が設置されているものとするが、塗布部１７と巻取部１８との間に減圧部や乾燥部を設け、これらによってフィルム１への塗布直後にフィルム１に付着した塗布材（図示せず）の溶媒を蒸発させる区間を設けてもよい。
【００２７】
巻出部１６では、巻出側フィルムロール２に塗布部１７で電極材や絶縁材の塗布対象となる帯状のフィルム１がロール状に巻き付けられている。また、このフィルム１は、この巻出側フィルムロール２から巻き出されて塗布部１７を通り、巻取部１８で巻取側フィルムロール３に巻き取られている。巻出側フィルムロール２には、ローラ用ヒータ２３が加熱手段として内蔵しており、これにより、２０〜８０℃の温度範囲で塗布部１７へ巻き出すフィルム１を事前加熱できるようにしている。
【００２８】
塗布部１７には、吸着テーブル１０や塗布ヘッド１５、フィルム押えバー１３，１４が設けられており、フィルム１が吸着テーブル１０上に真空吸着によって位置固定される。塗布ヘッド１５には、撮影カメラ１９や微動Ｚ軸駆動手段２０ａ，θ軸駆動手段２１などが設けられてヘッド部をなしている。吸着テーブル１０がフィルム１の下面に吸着された状態にあるとき、フィルム１の両側辺側がカールすることによって吸着テーブル１０の表面から迫り上がることがあるが、この迫り上がった両側辺側の部分をフィルム押えバー１３，１４が上側から吸着テーブル１０を押し付けるようにしている。これにより、フィルム１のカールが矯正される。吸着テーブル１０やフィルム押えバー１３，１４の吸着動作は、真空ポンプを真空源として、真空バルブで行なわれるものであって、フィルム１の吸着固定や固定解除が行なわれる。
【００２９】
吸着テーブル１０の下面には、ラバーヒータ２２が貼り付けられており、これにより、フィルム１への塗布の動作中も含めて常時吸着テーブル１０全体が５０〜１００℃の温度範囲で加熱され、これに伴い、この吸着テーブル１０に吸着されたフィルム１も加熱される。このように、この塗布中の加熱により、塗布ヘッド１５の吐出ノズル（図示せず）から吐出されてフィルム１に付着した塗布材は短時間でその溶媒が蒸発し、フィルム１上の塗布材の濡れ広がりを抑制することができる。
【００３０】
ところで、上記のように、巻出側フィルムロール２に内蔵されたローラ用ヒータ２３により、フィムル１が巻出側フィルムロール２に巻き取られている状態で２０〜８０℃の温度範囲で事前に加熱されているが、これにより、巻出側フィルムロール２から吸着テーブル１０にフィルタ１が加熱された状態で搬送されてくることになるから、このフィルム１をその塗布開始時から加熱状態にあるようにすることができ、フィルム１が吸着テーブル１０に吸着されると直ちに塗布動作を開始しても、このフィルム１上に塗布された塗布材の濡れ広がりを抑制することができる。また、フィルム１は、吸着テーブル１０上に搬送されたときには、既にローラ用ヒータ２３によって加熱されてある程度軟らかくなっているので、フィルム押えバー１３，１４によるフィルム１の吸着テーブル１０の表面への抑え込みも円滑に行なわれることになる。
【００３１】
なお、巻出側フィルムロール２でのローラ用ヒータ２３の設定温度は、ラバーヒータ２２での設定温度よりも低くくするか、同程度にしておく方が、フィルム１の変形や位置決め精度の面から有効であるが、これに限るものではない。
【００３２】
図２は図１における塗布ヘッド１５及びその設置状態の一具体例を示す斜視図であって、２０ａ1は微動駆動部、２０ａ2はＺ軸保持板、２０ｂｃはＺ軸保持プレート、２４はＸ軸駆動手段、２５はレーザ距離計、２６は塗布材、２７はヘッド部、２８はガントリであり、図１に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【００３３】
同図において、フィルム１が移動するＸ軸方向に細長い保持プレート２０ｂｃ上に図示しないヘッド部保持板が固定され、このヘッド部保持基板上にヘッド部２７が載置されている。なお、保持プレート２０ｂｃは、後述する個別Ｚ軸駆動手段と共通Ｚ軸駆動手段とを構成するものである。
【００３４】
また、微動Ｚ軸駆動手段２０ａは、微動Ｚ軸駆動部２０ａ1とＺ軸保持板２０ａ2とからなっている。
【００３５】
このヘッド部２７は、塗布ヘッド１５や微動Ｚ軸駆動手段２０ａ，θ軸駆動手段２１，Ｘ軸駆動手段２４，レーザ距離計２５などから構成されているものであって、レーザ距離計２５は塗布ヘッド１５に取り付けられ、塗布ヘッド１５は微動Ｚ軸駆動手段２０ａの微動Ｚ軸駆動手段２０ａ1によってＺ軸方向（吸着テーブル１０の表面に垂直な方向）に微動駆動されるＺ軸保持板２０ａ2に取り付けられている。従って、微動Ｚ軸駆動部２０ａ1の駆動により、塗布ヘッド１５とレーザ距離計２５とがＺ軸方向に微動、即ち、吸着テーブル１０に吸着されたフィルム１の面に対して上下方向に微動する。
【００３６】
また、θ軸駆動手段２１は、塗布ヘッド１５やレーザ距離計２５，微動Ｚ軸駆動手段２０ａの上側に設けられており、これらをθ軸方向に回転させることにより、Ｘ軸方向に対するヘッド１５の向きを変化させる。
【００３７】
また、Ｘ軸駆動手段２４は、ヘッド部２７が取り付けられた図示しないヘッド部保持板上で、塗布ヘッド１５やレーザ距離計２５，微動Ｚ軸駆動手段２０ａ，撮影カメラ１９をＸ軸方向に移動させるものであって、これにより、塗布ヘッド１５のＸ軸方向の位置が調整される。
【００３８】
ガントリ２８は、後述するように、後述するＹ軸駆動手段を構成しており、ガントリ２８がＹ軸方向に移動するとともに、保持プレート２０ｂｃもＹ軸方向に移動し、これにより、塗布ヘッド１５が吸着テーブル１０上に吸着されたフィルム１に対してＹ軸方向に移動する。
【００３９】
なお、保持プレート２０ｂｃは、後述するように、微動Ｚ軸駆動手段２０ａとは異なるＺ軸駆動手段（個別Ｚ軸駆動手段と共通Ｚ軸駆動手段）を構成して、Ｚ軸方向に移動することができ、この保持プレート２０ｂｃのＺ軸方向の移動によっても、ヘッド部２７がＺ軸方向に移動して塗布ヘッド１５が上下動する。
【００４０】
撮像カメラ１９は、吸着テーブル１０上に吸着されたフィルム１に設けられた基準位置を示すマーク（図示せず）を撮影するものであり、この撮影結果を基に、フィルム１の位置調整がなされる。
【００４１】
なお、塗布ヘッド１５の下端面（吸着テーブル１０上に吸着されたフィルム１の面に対向する面）には、吐出ノズル（図示せず）が設けられており、吸着テーブル１０上に吸着されたフィルム１への塗布に際しては、かかる吐出ノズルから塗布材２６が吐出されてこのフィルム１上に塗布される。
【００４２】
図３はこの塗布ヘッド１５に設けられた複数のノズルの配列の一具体例を示す図であって、１５ａは塗布ヘッド１５の下端面、１５ｂは吐出ノズルである。
【００４３】
同図において、塗布ヘッド１５の下端面１５ａは細長い形状を成しており、かかる下端面１５ａに、その長手方向に沿って、複数の吐出ノズル１５ｂが一列に配列されて設けられている。この塗布ヘッド１５の下端面１５ａの長手方向は、塗布ヘッド１５がθ軸駆動手段２１で回転駆動されない状態（初期回転状態）にあるときのＸ軸方向に沿う方向である。θ軸駆動手段２１によって塗布ヘッド１５が回転すると、吐出ノズル１５ｂの配列方向は、その回転量に応じた角度だけＸ軸方向に対して傾くことになる。
【００４４】
図４は図１に示す実施形態の全体構成を上方から見た平面図であって、２０ｂは個別Ｚ軸駆動手段、２０ｂ1は個別Ｚ軸駆動部、２０ｃは共通Ｚ軸駆動手段、２０ｃ1は共通Ｚ軸駆動部、２０ｃ2はガイド、２９ａ，２９ｂはリニアレール、３０はＹ軸駆動部であり、図１，図２に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００４５】
同図において、塗布部１７には、インクジェット式の塗布ヘッド１５が複数個、ここでは、８個設けられており、夫々の塗布ヘッド１５は、上記のように、微動Ｚ軸駆動手段２０ａにより、個々に上下動可能にしている。これら塗布ヘッド１５は４個を１つのグループとし、ここでは、２つのグループが設けられている。但し、３以上のグループであってもよい。
【００４６】
そして、吸着テーブル１０を横切る方向（Ｙ軸方向）に平行な２つのリニアレール２９ａ，２９ｂを跨いでガントリ２８が架設されており、また、これらリニアレール２９ａ，２９ｂ間に４個のＺ軸保持プレート２０ｂｃがＸ軸方向に互いに平行に、かつ互いに所定の間隔を空けて設けられている。
【００４７】
かかる４個のＺ軸保持プレート２０ｂｃにおいて、最もガントリ２８側から順に１番目，２番目，３番目，４番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃとし、かつリニアレール３１ａ側のグループを第１のグループ、リニアレール３１ｂ側のグループを第２のグループとすると、１番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上には、第１，第２のグループの１つずつの塗布ヘッド１５が第１の所定の間隔で配置され、２番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上には、第１，第２のグループの他の１つずつの塗布ヘッド１５が同じ第１の所定の間隔で、かつ１番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上に配置された塗布ヘッド１５とはＸ軸方向に第２の所定間隔で配置され、３番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上には、第１，第２のグループのさらに他の１つずつの塗布ヘッド１５が同じ第１の所定の間隔で、かつ２番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上に配置された塗布ヘッド１５とは同じＸ軸方向に第２の所定間隔で配置され、さらに、４番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上には、第１，第２のグループの残りの１つずつの塗布ヘッド１５が同じ第１の所定の間隔で、かつ３番目のＺ軸保持プレート２０ｂｃ上に配置された塗布ヘッド１５とは同じＸ軸方向に第２の所定間隔で配置される。
【００４８】
これにより、これに８個の塗布ヘッド１５のＸ軸方向に見た配列では、夫々の塗布ヘッド１５は互いにＸ軸方向に位置がずらされて配置されることになるが、これら塗布ヘッド１５のＸ軸方向の間隔が等しくなるように、上記第１，第２の所定間隔が設定される。さらに具体的には、各塗布ヘッド１５は、図３に示したように、直線状に配列された複数個の吐出ノズル１５ｂを備えているが、８個の全ての塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の位置が全て等間隔となるように、上記の第１，第２の所定間隔が設定されるものである。
【００４９】
なお、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃ間には所定の間隔が設けられており、各塗布ヘッド１５は、図２に示すように、微動Ｚ軸駆動手段２０ａのＺ軸保持板２０ａ２に保持されていることにより、塗布ヘッド１５の下端面１５ａの吐出ノズル１５ｂの配列の全体が直接フィルム１の面に対向している。
【００５０】
ガントリ２８のリニアレール３１ａ側には、共通Ｚ軸駆動手段２０ｃを形成する共通Ｚ軸駆動部２０ｃ1が取り付けられており、この共通Ｚ軸駆動部２０ｃ1に４個の個別Ｚ軸駆動手段２０ｂを形成する４個の個別Ｚ軸駆動部２０ｂ1が取り付けられている。そして、これら４個の個別Ｚ軸駆動部２０ｂ1夫々にＺ軸保持プレート２０ｂｃが取り付けられている。これらＺ軸保持プレート２０ｂｃのリニアレール３１ｂ側の端部は、ガイド２０ｃ2によって支持されている。
【００５１】
そこで、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃは、共通Ｚ軸駆動部２０ｃ1などとともに、共通Ｚ軸駆動手段２０ｃを構成し、また、個別Ｚ軸駆動部２０ｂ1などとともに、個別Ｚ軸駆動手段２０ｂを構成する。そして、共通Ｚ軸駆動部２０ｃ1の駆動により、全てのＺ軸保持プレート２０ｂｃが同時に同じ距離だけＺ軸方向に上下動することになり、これにより、全ての塗布ヘッド１５が同時に同じ距離だけＺ軸方向に上下動する。また、４個の個別Ｚ軸駆動部２０ｂ1のいずれかの駆動により、その個別Ｚ軸駆動部２０ｂ1に取り付けられているＺ軸保持プレート２０ｂｃがＺ軸方向に上下動することになり、これにより、そのＺ軸保持プレート２０ｂｃに取り付けられている第１，第２のグループの１つずつの塗布ヘッド１５が同時に同じ距離だけＺ軸方向に上下動する。
【００５２】
なお、図２において、塗布ヘッド１５に設けられている微動Ｚ軸駆動部２０ａ1が駆動すると、この塗布ヘッド１５のみがＺ軸方向に上下動する。
【００５３】
このように、この実施形態では、Ｚ軸駆動手段として微動Ｚ軸駆動手段２０ａと個別Ｚ軸駆動手段２０ｂと共通Ｚ軸駆動手段２０ｃとが設けられ、これにより、指定される１つの塗布ヘッド１５だけを上下動させることができるし、指定されるＺ軸保持プレート２０ｂｃに設けられている２つの塗布ヘッド１５を同時に同じ距離だけ上下動させることができるし、全ての塗布ヘッド１５を同時に同じ距離だけ上下動させることができるものであり、フィルム１での塗布時の状況に応じていずれかのＺ軸方向の駆動を選択して行なわせることができる。
【００５４】
ここで、吸着テーブル１０に吸着されたフィルム１で塗布動作が行なわれるときには、レーザ距離計２５（図２）がこのフィルム１の表面と塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂ（図３）との距離を光学的に非接触で計測し、そのフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離が所定の距離となるように、微動Ｚ軸駆動手段２０ａが駆動動作を行なって塗布ヘッド１５をＺ軸方向に移動させてそのフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離を調整するが、フィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離が微動Ｚ軸駆動手段２０ａの駆動動作で調整できる範囲を越え、調整しきれない場合には、次に、個別Ｚ軸駆動手段２０ｂが駆動動作を開始し、フィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離を調整する。この場合、駆動対象となったＺ軸保持プレート２０ｂｃ上の一方の塗布ヘッド１５でフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離が調整できても、他方の塗布ヘッド１５でフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離が所定の距離からずれている場合には、微動Ｚ軸駆動手段２０ａが駆動動作を行なってその塗布ヘッド１５のフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離を調整する。
【００５５】
個別Ｚ軸駆動手段２０ｂの駆動動作によっても、フィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離を調整できない塗布ヘッド１５が存在する場合には、共通Ｚ軸駆動手段２０ｃが駆動動作を行なうことになるが、この共通Ｚ軸駆動手段２０ｃは、また、吸着テーブル１０にフィルム１が吸着されて塗布動作を開始する際に、塗布ヘッド１５のフィルム１，吐出ノズル１５ｂ間の距離を初期設定するためにも用いられる。
【００５６】
図５は図２における塗布ヘッド１５のＺ軸方向駆動の具体例を示す図であって、前出図面に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【００５７】
同図において、フィルム１には、その幅方向（Ｙ軸方向）に見て、フィルム１のカールなどによる段差ｄ1、事前に回路などが形成されていることによる段差ｄ2の凸部、段差ｄ3の凹部が生じているものとする。ここで、ｄ1＞ｄ2，ｄ3とし、フィルム１と塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂとの間の規定の距離をＤとする。
【００５８】
上記のように、微動Ｚ軸駆動手段２０ａは夫々の塗布ヘッド１５の機械的な取り付け誤差を吸収し、見かけ上の塗布ヘッド１５の取り付け誤差を無くすものであるが、さらに、フィルム１上に事前に形成された回路などの存在によって、フィルム１上に段差ｄ2の凸部や段差ｄ3の凹部が存在する場合もあり、かかる凹，凸部でもフィルム１と塗布ヘッド１５の吐出ノズルとの間の距離が規定の距離Ｄとなるようにするのが微動Ｚ軸駆動手段２０ａである。
【００５９】
また、フィルム１には、幅方向にカールが発生する場合がある。上記のフィルム押えバー１３，１４でフィルム１の両側辺部を押さえることにより、フィルム１のかかるカールは矯正されるものの、図示するように、段差ｄ1でフィルム１の両側辺部が上側に膨らんでうねりが発生する場合がある。このうねりは、フィルム１の幅方向で発生しやすいものの、フィルム１の長手方向では発生しにくく、かつ微動Ｚ軸駆動手段２０ａでは、対応できない場合が多いので、個別Ｚ軸駆動手段２０ｂにより、このフィルム１の主に幅方向のうねりによってフィルム１と塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂとの間の距離がばらつかないように、このうねりに沿ってＸ軸方向に配列された２つの塗布ヘッド１５、即ち、同じＺ軸保持プレート２０ｂｃに取り付けられている２つの塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂとフィルム１との間の距離を、規定の距離をＤとなるように、調整するものである。
【００６０】
なお、このうねりが微動Ｚ軸駆動手段２０ａの駆動で対応できる場合でも、このようなうねりでは、同じＺ軸保持プレート２０ｂｃでレーザ距離計２５の計測結果がほぼ同じとなることもあり、このような場合には、個別Ｚ軸駆動手段２０ｂでこれら塗布ヘッド１５を同時にＺ軸方向に移動させるようにすることもできる。
【００６１】
段取り替えでフィルム１の厚さが変更となった場合、あるいはノズル詰まり防止のために捨て打ちと称する動作を行なう場合などのメンテナンス的な動作において、全ての塗布ヘッド１５を一括して上下動させる場合には、共通Ｚ軸駆動手段２０ｃによるＺ軸方向の駆動が行なわれる。
【００６２】
なお、以上の各Ｚ軸駆動手段２０ａ〜２０ｃの役割は主たるものであって、これに限定されるものではなく、目的を多少変えてこれら３種類のＺ軸駆動手段を活用することもできる。
【００６３】
図４に戻って、リニアレール２９ａ，２９ｂには、ガントリ２８をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動手段３０が設けられている。このＹ軸駆動手段３０の駆動により、ガントリ２８がＹ軸方向に移動し、これに伴って個別Ｚ軸駆動手段２０ｂと共通Ｚ軸駆動手段２０ｃとがＹ軸方向に移動し、全てのＺ軸保持プレート２０ｂｃが互いの間隔を保ってＹ軸方向に移動する。従って、これにより、全ての塗布ヘッド１５が同時に同じ速度でＹ軸方向に移動する。
【００６４】
フィルム１での塗布がなされないときには、塗布ヘッド１５は、その吐出ノズル１５ｂ（図３）の配列方向がＸ軸方向に平行となるような状態に設定されるが、フィルム１上での塗布材２６（図２）の塗布状況に応じては、吐出ノズル１５ｂの配列方向を変更させることが必要な場合がある。このような場合には、図２に示すθ軸駆動手段２１により、塗布ヘッド１５を回転させる。
【００６５】
図６はかかる状態を示す平面図であって、前出図面に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【００６６】
同図において、θ軸駆動手段２１の駆動により、塗布ヘッド１５が角度αだけ回転させたものであって、これら塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂの配列方向は、Ｘ軸方向に対して角度αだけずれた状態になっている。このように、塗布ヘッド１５を角度αだけ回転させると、その吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向に沿う間隔は、cosα倍となって縮小される。従って、かかる塗布ヘッド１５の複数の吐出ノズル１５ｂでＹ軸方向に同時に塗布を行なうと、塗布ヘッド１５を回転される前の状態のときよりも、これら吐出ノズル１５ｂの塗布軌跡の間隔がcosα倍に狭くなり、より狭い軌跡間隔で塗布する場合にこれを利用できることになる。
【００６７】
また、図４に示すように、各塗布ヘッド１５がＸ軸方向に平行な状態（即ち、α＝０度であって、図３に示した塗布ヘッド１５での吐出ノズル１５ｂの配設方向がＸ軸に平行な方向）にあるときには、これら塗布ヘッド１５の端部がＸ軸方向で一部重なった状態にあり、これにより、第１，第２のグループの全ての塗布ヘッドでの全ての吐出ノズル１５ｂはそのＸ軸方向の間隔が全て等しい間隔となっている。例えば、図３に示すように、吐出ノズル１５ｂのその配列方向の間隔（以下、配列間隔という）をＰとすると、図４に示す状態では、ある塗布ヘッド１５の右端（あるいは左端）の吐出ノズル１５ｂとこの塗布ヘッド１５の右側（あるいは左側）に配置される他の塗布ヘッド１５の左端（あるいは右端）の吐出ノズル１５ｂとの間のＸ軸方向の間隔も、塗布ヘッド１５内の吐出ノズル１５ｂの間隔に等しく、間隔Ｐとするものである。
【００６８】
また、図６に示すように、夫々の塗布ヘッド１５を角度αだけ回転させた場合も同様であって、塗布ヘッド１５内の吐出ノズル１５ｂの間隔はＰ・cosαとなるが、このような場合でも、ある塗布ヘッド１５の右端（あるいは左端）の吐出ノズル１５ｂとこの塗布ヘッド１５の右側（あるいは左側）に配置される他の塗布ヘッド１５の左端（あるいは右端）の吐出ノズル１５ｂとの間のＸ軸方向の間隔も、Ｐ・cosαとなるようにする。これは、塗布ヘッド１５の回転とともに、塗布ヘッド１５を、Ｘ軸駆動手段２４（図２）の駆動により、Ｘ軸方向で互いに近づくように、Ｘ軸方向に移動させることによって達成されるものである。
【００６９】
塗布ヘッド１５で吸着テーブル１０に吸着されたフィルム１の領域内に塗布材２６（図２）を塗布する場合、複数の塗布ヘッド１５を用いて同時に塗布を行なう場合がある。このような場合、この領域での夫々の吐出ノズル１５ｂによる塗布軌跡の間隔を狭くすることにより、全体として均一な塗布が可能となるが、かかる塗布軌跡の間隔が塗布ヘッド１５で吐出ノズル１５ｂのその配列方向の間隔Ｐよりも狭くしなければならない場合もあり、このような場合、図６に示すように、各塗布ヘッド１５を回転させて吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔を所望とする塗布軌跡の間隔に合わせるものである。
【００７０】
なお、θ軸駆動手段２１（図２）による塗布ヘッド１５の回転可能範囲が設定されており、この回転可能範囲内で塗布ヘッド１５が回転しても、塗布ヘッド１５の下端面１５ａでの吐出ノズル１５ｂの配列は、全体としてＺ軸保持プレート２０ｂｃ間に位置し、直接フィルム１の面に対向している。
【００７１】
図７はこのように塗布軌跡が塗布ヘッド１５での吐出ノズル１５ｂの配列方向の間隔Ｐよりも狭くする場合の塗布ヘッド１５の状態を示す図であって、同図（ａ）は吸着テーブル１０上のフィルム１の一部を示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるＡの部分と各塗布ヘッド１５での吐出ノズル１５ｂとの関係を拡大して示す平面図であり、３１は塗布エリア、３２はエッジ部、３３は塗布軌跡である。なお、前出図面に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。
【００７２】
同図（ａ）において、フィルム１には、塗布図１７（図１）でそれが吸着テーブル１０に位置決めされると、所定個数の矩形状の塗布エリア３１が設定され、夫々毎に、まず、所定の塗布ヘッド１５を用いてその矩形枠状のエッジ部３２に塗布材２６が塗布され（このエッジ部３２の塗布材２６は、ラバーヒータ２２（図１）によって加熱されて固着される）、次いで、夫々の塗布エリア３１でエッジ部３２の内部に塗布材２６が塗布される。このように、矩形枠状のエッジ部３２を形成する場合には、このエッジ部３２のＹ軸方向に沿う部分では、Ｙ軸駆動手段３０により、塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、特定の塗布ヘッド１５の特定の吐出ノズル１５ｂで塗布材２６が塗布される。
【００７３】
また、エッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分では、次のように、塗布が行なわれる。即ち、各塗布ヘッド１５は、異なるＺ軸保持プレート２０ｂｃ上に配置されているため、順次Ｙ軸方向にその位置がずれている。このため、各塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させると、各塗布ヘッド１５は異なるタイミングで順番にエッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分に到達することになる。そこで、このエッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分に到達した塗布ヘッド１５の吐出ヘッド１５ｂから塗布材２６を吐出することにより、エッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分が各塗布ヘッド１５によって順番に塗布されることになり、塗布材２６が塗布されたＸ軸方向のエッジ部３２が形成される。
【００７４】
ところで、図７（ｂ）で説明するように、塗布エリア３１内では、夫々の塗布ヘッド１５でＹ軸方向に塗布が行なわれる図、このＹ軸方向に沿う塗布軌跡３３の間隔に各塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向に沿う間隔を一致させるためには、各塗布ヘッド１５を所定角度αだけ回転させた状態にする。このような場合には、同じ塗布ヘッド１５であっても、その吐出ノズル１５ｂの配列方向がＸ軸方向に対して角度αだけ傾いていることになるから、塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させた場合、同じ塗布ヘッド１５の各吐出ノズル１５ｂがエッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分に一致するタイミングが異なることになる。そこで、このように、塗布ヘッド１５を角度αだけ傾いた状態にあるときには、かかる塗布ヘッド１５でのエッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分に一致した吐出ノズル１５ｂが塗布材２６を吐出するようにする。これにより、各塗布ヘッド１５でそこに配列されている複数の吐出ヘッド１５ｂが順番にエッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分上に塗布材２６を吐出することになる。
【００７５】
このようにして、塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂの配列がＸ軸方向に対して傾いた状態にあっても、エッジ部３２のＸ軸方向に沿う部分に沿って塗布材２６が塗布されることになる。
【００７６】
次に、このエッジ部３２内の塗布材２６の塗布について、図７（ｂ）により説明する。
【００７７】
このエッジ部３２内では、Ｙ軸方向に平行な塗布軌跡３３に沿って均一に塗布が行なわれるものとする。この場合、これら塗布軌跡３３の間隔をＱとし、複数の塗布ヘッド１５を用いてエッジ部３２内を同時に塗布するものとすると、夫々の塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂの配列間隔Ｐが塗布軌跡３３の間隔Ｑよりも大きいとすると、各塗布ヘッド１５を、そのθ軸駆動手段２１により、Ｑ＝Ｐ・cosαを満足する角度αだけ回転させ、かつ、上記のように、これら塗布ヘッド１５の全体にわたって吐出ノズル１５ｂの間隔が均一に塗布軌跡３３の間隔Ｑに等しくなるように、Ｘ軸駆動手段２４により、夫々の塗布ヘッド１５のＸ軸方向の位置を調整する。
【００７８】
各塗布ヘッド１５でかかる状態を設定することにより、複数の塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、かつこれら塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのうち、塗布エリア３１のＸ軸方向の幅に含まれる吐出ノズル１５ｂにより、塗布エリア３１内の全ての塗布軌跡３３に沿って同時に塗布材２６を塗布することができる。従って、塗布ヘッド１５のＹ軸方向の１回の移動で塗布エリア３１の塗布を行なうことができる。この場合、勿論、各塗布ヘッド１５がＹ軸方向に対して傾いているから、その傾きに応じて各塗布ヘッド１５の各吐出ノズル１５ｂの塗布開始タイミングや塗布終了タイミングを異ならせることはいうまでもない。１回の移動で塗布エリア３１全体の塗布ができない場合には、フィルム１をＹ軸方向に変位させ、塗布ヘッド１５を１回目とはＹ軸の反対方向に移動させればよい。
【００７９】
また、塗布ヘッド１５をその回転可能範囲の最大限まで回転させても、吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔が塗布軌跡３３の間隔Ｑにならない場合には、さらに、塗布ヘッド１５のＸ軸方向の位置を調整して隣りどおしの塗布ヘッド１５が一部でＹ軸方向で重なるようにし、かつ重なりあった２つの塗布ヘッド１５の一方の塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔内に他方の塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の位置があるようにすることにより、これら塗布ヘッド１５全体の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔を小さくすることができ、これにより、間隔の狭い塗布軌跡３３に塗布ヘッド１５の夫々の吐出ノズル１５ｂを合わせることができる。但し、この場合には、塗布ヘッド１５の１回のＹ軸方向の移動によって同時に塗布される領域の幅が小さくなり、塗布ヘッド１５の２回以上のＹ軸方向の移動の繰り返しが必要となる。
【００８０】
従来では、塗布対象物の種類によっては、図７に示すように、塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂによる塗布軌跡の間隔を小さくして塗布する必要がある場合、Ｙ軸方向の移動によって塗布を行なうと、次に、塗布ヘッド１５をＸ軸方向に移動させて次の塗布開始位置とし、この位置から再び塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させて塗布エリアでの塗布を行なうことが既に提案されているが、処理時間が数倍となって非効率的である。
【００８１】
これに対して、この実施形態では、θ軸駆動手段２１によって塗布ヘッド１５の回転させてＸ軸方向に対して傾けることにより、塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔を変化させることができ、これにより、かかる間隔を塗布エリア３１での塗布軌跡３３の間隔と等しくすることができて、複数の吐出ノズル１５ｂを、さらにまた、複数の塗布ヘッド１５の複数の吐出ノズル１５ｂを同時に塗布動作を用いることができ、塗布作業効率が大幅に向上することになる。
【００８２】
ここで、上記の微動Ｚ軸駆動手段２０ａや個別Ｚ軸駆動手段２０ｂ，共通Ｚ軸駆動手段２０ｃ，Ｘ軸駆動手段２４，Ｙ軸駆動手段３０，θ軸駆動手段２１については、この実施形態では、全てその駆動源をサーボモータとし、ボールネジなどの動力伝達手段を介してリニアガイドによって直線動作を行なうものとするものであるが、ボールネジの潤滑剤飛散による空気清浄度合いの低下を防ぐ必要がある場合には、これらの駆動源をリニアモータとしてもよい。
【００８３】
また、この実施形態においては、フィルム１の吸着テーブル１０での位置決めの手段として、フィルム１のＸ軸方向の位置決めをする巻出部１６，巻取部１８とでのフィルムロール２，３や昇降ガイドバー６，７などの各手段をフィルム１のＸ軸駆動手段を備え、さらに、塗布ヘッド１５のフィルム１に対する位置決め手段として、Ｘ軸駆動手段２４，Ｙ軸駆動手段３０，θ軸駆動手段２１及びＺ軸駆動手段２０ａ〜２０ｃを備え、フィルム１に対して塗布ヘッド１５をＸ，Ｙ，Ｚ軸の３軸方向に調整するものである。そして、Ｚ軸駆動手段としては、Ｚ軸駆動手段２０ａ〜２０ｃの３種の手段を設け、塗布ヘッド１５のフィルム１に対するＺ軸方向の位置に応じてかかるＺ軸駆動手段２０ａ〜２０ｃのいずれかが作動するものである。
【００８４】
図８は図１に示す実施形態でのインクジェット塗布の制御部の一具体例を示すブロック図であって、３４は制御ユニット、３４ａはマイクロコンピュータ、３４ｂは外部インターフェース、３４ｃは塗布ヘッドコントローラ、３４ｄは画像処理コントローラ、３４ｅはモータコントローラ、３４ｆはデータ通信バス、３５はＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、３６はハードディスク、３７はモニタ、３８はキーボード、３９は真空ポンプ、４０は真空バルブ部、４１はエアシリンダ、４２はバルブユニット、４３はレギュレータ、４４ＸはＸ軸ドライバ、４４ＹはＹ軸ドライバ、４４θはθ軸ドライバ、４４Ｚａ〜４４ＺｃはＺ軸ドライバである。
【００８５】
同図において、制御ユニット３４は、マイクロコンピュータ３４ａと、これにデータ通信バス３４ｆを介して接続された外部インターフェース３４ｂと塗布ヘッドコントローラ３４ｃと画像処理コントローラ３４ｄとモータコントローラ３４ｅとから構成されており、データ通信バス３４ｆに接続された各部を、マイクロコンピュータ３４ａの管理のもとに、制御する。
【００８６】
また、マイクロコンピュータ３４ａの外部メモリとしてのＵＳＢメモリ３５やハードディスク３６，データ表示出力部としてのモニタ３７，操作部としてのキーボード３８が、外部インターフェース３４ｂを介して、制御ユニット３４に接続している。
【００８７】
外部インターフェース３４ｂには、さらに、レギュレータ４３やバルブユニット４２，エアシリンダ４１などのエア駆動機器、巻出側軸モータ１１や巻取側軸モータ１２、他のロール用モータが接続され、マイクロコンピュータ３４ａの制御のもとに、これらが駆動制御される。また、吸着バー８，９や吸着テーブル１０でフィルム１を真空吸着するための真空源となる真空ポンプ３９やこれからの切り替えを行なう真空バルブ部４０が外部インターフェース３４ｂに接続され、さらにまた、フィルム１の加熱を行なうラバーヒータ２２やローラ用ヒータ２３も外部インターフェース３４ｂに接続され、マイクロコンピュータ３４ａの制御のもとに駆動、あるいは、ＯＮ・ＯＦＦ制御される。
【００８８】
塗布ヘッドコントローラ３４ｃは、マイクロコンピュータ３４ａの制御のもとに、塗布ヘッド１５の各吐出ノズル１５ｂ毎の塗布材２６（図２）の吐出の有無やタイミングを制御している。
【００８９】
画像処理コントローラ３４ｄは、マイクロコンピュータ３４ａの制御のもとに、フィルム１に施された位置決めマークなどを撮像する撮像カメラ１９の視野内位置を、この撮像カメラ１９の出力を画像処理によって算出するものである。
【００９０】
モータコントローラ３４ｅは、マイクロコンピュータ３４ａの制御のもとに、塗布ヘッド１５に取り付けられたＸ軸駆動手段２４（図２）のＸ軸駆動モータを駆動するＸ軸ドライバ４４ＸやＹ軸駆動手段２５のリニアモータあるいは駆動モータを駆動するＹ軸ドライバ４４Ｙ，θ軸駆動手段２４のθ軸駆動モータを駆動するθ軸ドライバ４４θを駆動制御する。さらに、微動Ｚ軸駆動手段２０ｃのＺ軸ドライバ４４Ｚａや個別Ｚ軸駆動手段２０ｂのＺ軸ドライバ４４Ｚｂ，共通Ｚ軸駆動手段２０ｃのＺ軸ドライバ４４Ｚｃが、同様にして、モータコントローラ３４ｅによって駆動制御される。
【００９１】
レーザ距離計２５や撮像カメラ１９と一体に移動する塗布ヘッド１５のＸＹθ軸方向及びＺ軸方向の移動制御は、モータコントローラ３４ｅを介してマイクロコンピュータ３４ａが行なっており、このため、塗布ヘッド１５の現在位置と次の移動目標位置を把握している。さらに、マイクロコンピュータ３４ａは、動作シーケンスの管理から、レーザ距離計２５による計測動作のタイミングや塗布ヘッド１５の各吐出ノズル１５ｂ毎の塗布材２６の吐出タイミングも把握管理している。
【００９２】
図９は、図７に示すように、塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔を塗布軌跡３１の間隔Ｑに等しくしてフィルム１上に塗布する際の動作の流れの一具体例を示すフローチャートである。以下、前出図面を参照して説明する。
【００９３】
まず、巻出フィルムロール２内のローラ用ヒータ２３及び吸着テーブルと一体となったラバーヒータ２２を作動させて、加熱を開始する（ステップ１０１）。次いで、フィルム１を吸着テーブル１０の位置で停止させて、その仮位置決めをする（ステップ１０２）。選択指定した塗布ヘッド１５の撮像カメラ１９でフィルム１上のマーク位置を撮像し、画像処理によって仮位置決め状態のフィルム１と塗布ヘッド１５が取り付けられたガントリ２８との相対的な位置ずれ量を算出する（ステップ１０３）。算出したこの相対的な位置ずれ量に基づいて、Ｘ軸駆動手段２４の移動と塗布ヘッド１５の各吐出ノズル１５ｂ毎の塗布開始点位置と塗布終了点位置とを算出する（ステップ１０４）。
【００９４】
次に、Ｙ軸駆動手段２５で全ての塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、最終的に塗布すべき塗布パターンのうちエッジ部３２となる外周パターンを塗布する（ステップ１０５）。この外周パターンは塗布エリア３１の外周部であって、図７では、ロの字状になっている。ここで、フィルム１は巻出フィルム側ロール２内のローラ用ヒータ２３によって事前加熱されており、さらに、吸着テーブルと一体となったラバーヒータ２２によってさらに確実に、あるいはこの事前過熱よりも高い温度で加熱されることから、フィルム１のロの字状の外周部に塗布された塗布材２６では、短時間で溶媒が蒸発して乾燥することになり、エッジ部３２が精度良く形成されることになる。
【００９５】
次に、塗布エリア３１の内部のパターンをより繊細な吐出ノズル１５ｂのピッチＱで塗布する。
【００９６】
即ち、θ軸駆動手段２１で各塗布ヘッド１５を回転移動させ、その回転角度αはＸ軸への投影ピッチが目標値Ｑとなるようにする（ステップ１０６）。この状態で、Ｙ軸駆動手段２５により、全ての塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、各塗布軌跡３３に沿って同時に塗布する（ステップ１０７）。
【００９７】
ここで、θ軸駆動手段２１で各塗布ヘッド１５を、図６に示すように、回転移動させることにより、Ｘ軸方向の塗布間隔、即ち、各塗布ヘッド１５の吐出ノズル１５ｂのＸ軸方向の間隔を小さくすることができるものであるが、さらに、Ｘ軸方向の塗布間隔を小さくしたい場合には、ピッチずらし塗布が必要か否かの判断を行なった上で（ステップ１０８）、さらに、塗布間隔を小さくした塗布が必要であれば（ステップ１０８の“Ｙ”）、Ｘ軸駆動手段２４でＸ軸方向にピッチをずらし、Ｙ軸駆動手段２５で全ての塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、夫々の吐出ノズル１５ｂで夫々の塗布軌跡３３に沿って塗布し、内部パターンを描画する（ステップ１０９）。
【００９８】
また、Ｙ軸方向の塗布間隔を小さくして塗布したい場合には（ステップ１０８の“Ｎ”）、ピッチずらし塗布が必要か否かの判断を行なった上で（ステップ１１０）、さらに、間隔を小さくした塗布が必要であれば（ステップの“Ｙ”）、Ｙ軸方向にピッチをずらし、Ｙ軸方向の塗布開始点を変更した後に、Ｙ軸駆動手段２５で全ての塗布ヘッド１５をＹ軸方向に移動させ、内部パターンを塗布する（ステップ１１１）。
【００９９】
ピッチずらし塗布がすべて完了したかの判断し、完了していれば（ステップ１１２の“Ｙ”）、θ軸駆動手段２１によって全ての各塗布ヘッド１５を上記とは逆方向に回転させて元の状態（即ち、図４に示す状態）に戻し（ステップ１１３）、ローラ用ヒータ２３及びラバーヒータ２２の作動を止めて（ステップ１１４）、動作を終了する。
【０１００】
ピッチずらし塗布が全て完了していなければ（ステップ１１２の“Ｎ”）、再度判定（ステップ１０８）から動作を繰り返す。
【０１０１】
ここで、Ｙ軸駆動手段２５の駆動に伴うＹ軸方向の移動による塗布回数は、半ピッチずらしであれば、当初の塗布と１回の繰り返し塗布と計２回の塗布となり、１／４ピッチずらした塗布であれば、当初の塗布と３回の繰り返し塗布との計４回で塗布となる。このずらし量をＸ軸方向とＹ軸方向で各々決めることができるようにしている。
【０１０２】
以上のように、この実施形態では、ＸＹ平面内のみならず、高さ方向の移動を行なうＺ軸駆動手段を設けることにより、３次元的な位置管理を行なうことができ、さらにまた、塗布対象物を塗布動作と同時に加熱することができ、これにより、高精度で均一な塗布ができるようになる。
【符号の説明】
【０１０３】
１  太陽電池用積層フィルム
２  巻出側フィルムロール
３  巻取側フィルムロール
４，５  ガイドロール
６，７  昇降ガイドロール
８，９  吸着バー
１０  吸着テーブル
１１  巻出側軸モータ
１２  巻取側軸モータ
１３，１４  フィルム押えバー
１５  塗布ヘッド
１５ａ  塗布ヘッドの下端面
１５ｂ  吐出ノズル
１６  巻出部
１７  塗布部
１８  巻取部
１９  撮像カメラ
２０ａ  微動Ｚ軸駆動手段
２０ａ1  微動Ｚ軸駆動部
２０ａ2  Ｚ軸保持板
２０ｂ  個別Ｚ軸駆動手段
２０ｂ1  個別Ｚ軸駆動部
２０ｃ  共通Ｚ軸駆動手段
２０ｃ1  共通Ｚ軸駆動部
２０ｃ2  ガイド
２０ｂｃ  Ｚ軸保持プレート
２１  θ軸駆動手段
２２  ラバーヒータ
２３  ローラ用ヒータ
２４  Ｘ軸駆動手段
２５  レーザ距離計
２６  塗布材
２７  ヘッド部
２８  ガントリ
２９ａ，２９ｂ  リニアレール
３０  Ｙ軸駆動手段
３１  塗布エリア
３２  エッジ部
３３  塗布軌跡
【図１】
2012000553.tif 000003
【図２】
2012000553.tif 000004
【図３】
2012000553.tif 000005
【図４】
2012000553.tif 000006
【図５】
2012000553.tif 000007
【図６】
2012000553.tif 000008
【図７】
2012000553.tif 000009
【図８】
2012000553.tif 000010
【図９】
2012000553.tif 000011