(57)【要約】【課題】  高度耐性空気軸受面を備えるヘッドを提供する。【解決手段】  ハードディスクドライブで使用するためのヘッドスライダの手法。ヘッドスライダは、空気軸受面（ＡＢＳ）と、空気軸受面の空気流出端部に配置された電磁変換器とを含む。空気軸受面は、空気の流れの方向において電磁変換器の上流側にスリット状特徴部を含む。スリット状特徴部の物理的寸法は、磁気記録ディスクの表面を検知するためにヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするように設計されている。空気軸受面は、空気の流れの方向においてスリット状特徴部の上流側に任意選択の中空凹部をさらに含んでもよい。中空凹部のサイズおよび形状は、ハードディスクドライブの高度変化に応じたヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするように設計されている。【選択図】図１
2012133860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気軸受面を有するヘッドスライダであって、前記空気軸受面の空気流出端部に電磁変換器が配置されている、ヘッドスライダと、
スピンドルに回転自在に搭載された磁気記録ディスクと、
前記磁気記録ディスクを回転させるための、前記スピンドルに取り付けられたモータ軸を有する駆動モータと、
前記磁気記録ディスクのアクセス部分に前記ヘッドスライダを動かすように構成されたボイスコイルモータと
を含むハードディスクドライブであって、
前記空気軸受面は、空気の流れの方向において前記電磁変換器の上流側に中空凹部を備え、および
前記空気軸受面は、前記電磁変換器と前記中空凹部との間にスリット状特徴部を含む、ハードディスクドライブ。
【請求項２】
前記中空凹部のサイズおよび形状は、前記ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするように設計されている、請求項１に記載のハードディスクドライブ。
【請求項３】
前記スリット状特徴部の物理的寸法は、前記磁気記録ディスクの表面を検知するために前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするように設計されている、請求項１又は２に記載のハードディスクドライブ。
【請求項４】
前記スリット状特徴部のエッチ深さが０．１４ミクロン〜０．２ミクロンである、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハードディスクドライブ。
【請求項５】
前記中空凹部のエッチ深さが１．０ミクロン〜１．３７ミクロンである、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のハードディスクドライブ。
【請求項６】
前記中空凹部および前記スリット状特徴部の寸法および配置は、（ａ）前記ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくし、（ｂ）前記磁気記録ディスクの表面を検知するために前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を増大させないように設計されている、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のハードディスクドライブ。
【請求項７】
前記スリット状特徴部が前記空気の流れの方向に垂直に延びている、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のハードディスクドライブ。
【請求項８】
空気軸受面と、
前記空気軸受面の空気流出端部に配置された電磁変換器と
を含むヘッドスライダであって、
前記空気軸受面が、空気の流れの方向において前記電磁変換器の上流側にスリット状特徴部を備え、および前記スリット状特徴部の物理的寸法が、磁気記録ディスクの表面を検知するために前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするように設計されている、ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記空気軸受面が前記空気の流れの方向において前記電磁変換器の上流側に中空凹部をさらに含む、請求項８に記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記中空凹部のサイズおよび形状が、ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするように設計されている、請求項９に記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記スリット状特徴部のエッチ深さが０．１４ミクロン〜０．２ミクロンである、請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記中空凹部のエッチ深さが１．０ミクロン〜１．３７ミクロンである、請求項９又は１０に記載のヘッドスライダ。
【請求項１３】
前記中空凹部および前記スリット状特徴部の寸法および配置が、（ａ）ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくし、（ｂ）前記磁気記録ディスクの表面を検知するために前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を増大させないように設計されている、請求項９、１０及び１２のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１４】
前記スリット状特徴部が前記空気の流れの方向に垂直に延びている、請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１５】
空気軸受面と、
前記空気軸受面の空気流出端部に配置された電磁変換器と
を含むヘッドスライダであって、
前記空気軸受面が、空気の流れの方向において前記電磁変換器の上流側にスリット状特徴部を含み、前記スリット状特徴部の物理的寸法が、磁気記録ディスクの表面を検知するために前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするように設計されており、
前記空気軸受面が、空気の流れの方向において前記電磁変換器の上流側に中空凹部をさらに含み、および前記中空凹部のサイズおよび形状が、ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするように設計されている、ヘッドスライダ。
【請求項１６】
前記スリット状特徴部のエッチ深さが０．１４ミクロン〜０．２ミクロンである、請求項１５に記載のヘッドスライダ。
【請求項１７】
前記中空凹部のエッチ深さが１．０ミクロン〜１．３７ミクロンである、請求項１５又は１６に記載のヘッドスライダ。
【請求項１８】
前記中空凹部および前記スリット状特徴部の寸法および配置が、（ａ）前記ハードディスクドライブの高度変化に応じた前記ヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくし、（ｂ）前記磁気記録ディスクの表面を検知するのに前記ヘッドスライダの突起に必要な圧力を増大させないように設計されている、請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項１９】
前記スリット状特徴部が前記空気の流れの方向に垂直に延びている、請求項１５乃至１８のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、一般的に、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面（ＡＢＳ：ａｉｒ−ｂｅａｒｉｎｇ  ｓｕｒｆａｃｅ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、磁気面を有する１つまたは複数のディスク（ディスクはプラッタとも称することがある）上に、デジタル的に符号化されたデータを格納する不揮発性記憶装置であり、保護筐体内に収容される。ＨＤＤの作動中、各磁気記録ディスクはスピンドルシステムにより急速に回転される。アクチュエータによりディスクの特定個所の上方に位置決めされた読み取り／書き込みヘッドを使用することによって、データが磁気記録ディスクから読み取られ、それに書き込まれる。
[0100]      
【０００３】
読み取り／書き込みヘッドは、磁気記録ディスクの表面からデータを読み取るおよびそれにデータを書き込むために磁場を利用する。磁気双極子場は磁極からの距離とともに急速に弱まるので、読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の距離は厳重に制御されなければならない。磁気記録ディスクの回転中、アクチュエータは読み取り／書き込みヘッドのサスペンションの力に依存して、読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間に適切な距離を設ける。したがって読み取り／書き込みヘッドは磁気記録ディスクの表面の上方に「浮上」すると言われる。磁気記録ディスクが回転を停止すると、読み取り／書き込みヘッドは「ランディング」しなければならないか、あるいはディスク表面から離されて機械的なランディングランプ上へ移動しなければならない。
【０００４】
種々の理由で、読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の距離を一定にまたはほぼ一定に維持して、読み取り／書き込みヘッドの適切な動作を保証することが望ましい。読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の距離が変動する場合、読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の磁気双極子場の強さも変動し、磁気記録ディスクに対するデータの読み取りまたはデータの書き込みに問題を生じ得る。本発明に関連する先行技術として、例えば特許文献１があげられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２８３７４５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の海抜高度が変化すると、ヘッドスライダの浮上高さも変化することがあることが観察されている。例えば、ハードディスクドライブを海面レベルから高地へ移動させると、ヘッドスライダの浮上高さは減少する傾向にある。読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の距離が変動する場合、読み取り／書き込みヘッドと磁気記録ディスクの表面との間の磁気双極子場の強さも変動し、磁気記録ディスクに対するデータの読み取りまたはデータの書き込みに問題を生じ得る。それゆえ、高度変化に耐えるヘッドスライダが望ましい。「高度変化に耐える」とは、すなわち、ヘッドスライダの浮上高さが、従来の手法ほど高度変化に応じて変化しないということである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施形態では、ハードディスクドライブは、空気軸受面（ＡＢＳ）を備えるヘッドスライダを含む。空気軸受面は電磁変換器を有し、それは空気軸受面の空気流出端部に配置されている。空気軸受面は、空気軸受面を横切る空気の流れの方向において電磁変換器の上流側に位置決めされるスリット状特徴部をさらに含む。スリット状特徴部の物理的寸法は、磁気記録ディスクの表面を検知するためにヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするように設計されている。
【０００８】
空気軸受面は、空気の流れの方向においてスリット状特徴部の上流側に位置決めされた任意選択の中空空洞をさらに含んでもよい。中空空洞のサイズおよび形状は、ハードディスクドライブの高度変化に応じたヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするように設計されている。特定の実施形態では、スリット状特徴部と中空空洞を併用して、中空空洞を用いることの特定の欠点を、スリット状特徴部を使用することによって軽減または克服する一方で、依然として中空空洞を使用することの利点をもたらすようにしてもよい。
【０００９】
発明の概要セクションで説明した実施形態は、本願明細書で説明する全ての実施形態を提案、説明、または教示することを意図していない。それゆえ、本発明の実施形態は、このセクションで説明した特徴に対して追加的または異なる特徴を包含し得る。
【００１０】
本発明の実施形態は、添付図面において限定としてではなく一例として示され、図面中の同様の参照符号は同様な要素を指す。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態によるＨＤＤの平面図である。
【図２】本発明の実施形態による試験装置の図である。
【図３】本発明の実施形態による読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面の図である。
【図４】本発明の実施形態によるヘッドの空気軸受面の例示的な特徴を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面を高度変化により耐えるようにする手法を説明する。以下の記述では、本願明細書に記載する本発明の実施形態を完全に理解できるように多くの特定な詳細について説明する。しかしながら、本願明細書に記載する本発明の実施形態を、これら特定な詳細によらずに実施し得ることは明白である。他の例では、周知の構造および装置をブロック図の形態で示し、本願明細書に記載する本発明の実施形態を不必要に曖昧にしないようにする。
【００１３】
例示的なハードディスクドライブの物理的説明
実施形態による読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面（ＡＢＳ）を説明する前に、読み取り／書き込みヘッドのＡＢＳが用いられる背景を理解することが有益であろう。図１を参照すると、ＨＤＤ１００を平面図で示している。図１に、磁気記録ヘッド１１０ａを含むスライダ１１０ｂを含むＨＤＤ１００の構成部品の機能的な配置を示す。ＨＤＤ１００は、ヘッド１１０ａと、ヘッド１１０ａに取り付けられたリードサスペンション１１０ｃと、スライダ１１０ｂに取り付けられたロードビーム１１０ｄ（スライダ１１０ｂの遠位端部でヘッド１１０ａを含む）とを含む少なくとも１つのＨＧＡ１１０を含み；スライダ１１０ｂは、ロードビーム１１０ｄの遠位端部でロードビーム１１０ｄのジンバル部に取り付けられる。ＨＤＤ１００はまた、スピンドル１２４に回転自在に搭載された少なくとも１つの磁気記録ディスク１２０と、ディスク１２０を回転させるための、スピンドル１２４に取り付けられた駆動モータ（図示せず）とを含む。ヘッド１１０ａは、ＨＤＤ１００のディスク１２０上に格納される情報をそれぞれ書き込み、そしてそれを読み出すための書き込み素子（いわゆるライター）と、読み取り素子（いわゆるリーダー）とを含む。ディスククランプ１２８によりディスク１２０または複数のディスク（図示せず）をスピンドル１２４に固定することができる。ＨＤＤ１００はさらに、ＨＧＡ１１０に取り付けられたアーム１３２と、キャリッジ１３４と、キャリッジ１３４に取り付けられたボイスコイル１４０を含む電機子１３６を含むボイスコイルモータ（ＶＣＭ）と；ボイスコイル磁石（図示せず）を含む固定子１４４とを含む。ＶＣＭの電機子１３６はキャリッジ１３４に取り付けられ、かつ、アーム１３２およびＨＧＡ１１０をディスク１２０のアクセス部分へ動かすように構成されており、キャリッジ１３４は、挿入ピボット軸受アセンブリ１５２によりピボット軸１４８上に搭載されている。
【００１４】
図１を参照すると、電気信号（例えば、ＶＣＭのボイスコイル１４０への電流、ＰＭＲヘッド１１０ａに対する書き込み信号と読み取り信号）はフレキシブルケーブル１５６により与えられる。フレキシブルケーブル１５６とヘッド１１０ａとの間の相互接続は、他の読み取りチャネル電子部品および書き込みチャネル電子部品だけでなく、読み取り信号用内蔵前置増幅器も有し得るアーム電子回路（ＡＥ：ａｒｍ−ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）モジュール１６０により設けられてよい。フレキシブルケーブル１５６は、ＨＤＤ筐体１６８により設けられた電気的フィードスルー（図示せず）を介して電気通信を提供する電気的コネクタブロック１６４に結合される。キャスティングとも称するＨＤＤ筐体１６８は、ＨＤＤ筐体が鋳造されるどうかに依存するが、ＨＤＤカバー（図示せず）と共に、ＨＤＤ１００の情報記憶部品のための密閉保護筐体を提供する。
【００１５】
図１を参照すると、ディスクコントローラと、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）を含むサーボ電子回路とを含む他の電子部品（図示せず）は、電気信号を駆動モータ、ＶＣＭのボイスコイル１４０、およびＨＧＡ１１０のヘッド１１０ａに提供する。駆動モータに提供される電気信号は、駆動モータが回転してスピンドル１２４にトルクを与えることができるようにし、次いでトルクは、ディスククランプ１２８によりスピンドル１２４に固定されているディスク１２０に伝達される；その結果、ディスク１２０は方向１７２に回転する。情報が記録されるディスク１２０の薄い磁気記録媒体に接触することなくディスク１２０の表面の上方でスライダ１１０ｂが浮上するように、回転ディスク１２０は、スライダ１１０ｂの空気軸受面（ＡＢＳ）が乗る空気軸受として働く空気のクッションを生成する。ＶＣＭのボイスコイル１４０に提供される電気信号は、情報が記録されるトラック１７６にＨＧＡ１１０のヘッド１１０ａがアクセスできるようにする。こうして、ＶＣＭの電機子１３６は円弧１８０状に振れて、アーム１３２により電機子１３６に取り付けられたＨＧＡ１１０がディスク１２０上の様々なトラックにアクセスできるようにする。情報は、ディスク１２０上のセクター（例えば、セクター１８４）内に配置された複数の同心トラック（図示せず）でディスク１２０上に格納される。それに対応して各トラックは複数のセクターにされたトラック部、例えばセクタートラック部１８８で構成される。各セクタートラック部１８８は、記録データと、サーボバースト信号パターン（例えばＡＢＣＤサーボバースト信号パターン）、トラック１７６を特定する情報、およびエラー訂正コード情報を含むヘッダーとで構成される。トラック１７６にアクセスする際、ＨＧＡ１１０のヘッド１１０ａの読み取り素子は、位置誤差信号（ＰＥＳ：ｐｏｓｉｔｉｏｎ−ｅｒｒｏｒ−ｓｉｇｎａｌ）をサーボ電子回路に与えるサーボバースト信号パターンを読み取る。サーボ電子回路は、位置誤差信号に基づいて、ＶＣＭのボイスコイル１４０に提供される電気信号を制御して、ヘッド１１０ａがトラック１７６に追従できるようにする。トラック１７６を発見して特定のセクタートラック部１８８を識別すると、ヘッド１１０ａは、ディスクコントローラが外部エージェント（例えば、コンピュータシステムのマイクロプロセッサ）から受信した命令に依存して、トラック１７６からデータを読み出すかあるいはトラック１７６にデータを書き込む。
【００１６】
ここで図２を参照すると、ＨＧＡ１１０を含むヘッドアームアセンブリ（ＨＡＡ）を平面図で示している。図２は、ＨＧＡ１１０に対するＨＡＡの機能的な配置を示す。ＨＡＡは、アーム１３２と、ヘッド１１０ａを含むスライダ１１０ｂを含むＨＧＡ１１０とを含む。ＨＡＡは、アーム１３２でキャリッジ１３４に取り付けられる。複数ディスクまたはプラッタ（当該技術分野では時にディスクはプラッタと呼ばれる）を有するＨＤＤの場合、キャリッジ１３４は、櫛の外観を呈するアームの連動アレイ（ｇａｎｇｅｄ  ａｒｒａｙ）を保持するように配置されるので、「Ｅブロック」または櫛と呼ばれる。図２に示すように、ＶＣＭの電機子１３６をキャリッジ１３４に取り付け、ボイスコイル１４０を電機子１３６に取り付ける。図示のようにＡＥモジュール１６０をキャリッジ１３４に取り付けてもよい。キャリッジ１３４は、挿入ピボット軸受アセンブリ１５２によりピボット軸１４８に搭載される。
【００１７】
高度耐性空気軸受面
図３は、本発明の実施形態による読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面３００を示す。空気軸受面３００（以下ＡＢＳ３００）は、流入端部３１０および流出端部３２０を有する。図３に示すように、空気はＡＢＳ３００の流入端部３１０から流出端部３２０への方向に流れる。
【００１８】
ＡＢＳ３００は、流出端部３２０の中心部分に変換器３３０を備える。変換器３３０は、電流を磁場に変換し、かつその逆を行う構成部品である。変換器３３０を使用してディスクの電磁面に対してデータを読み取りかつデータを書き込む。
【００１９】
ＡＢＳ３００は、変換器３３０を首尾よく動作させるために複数の特徴部を備える。これらの特徴部は、ＡＢＳ３００を形成する複数の層にエッチングを行うことによって作製し得る。空気軸受面に特徴部を作製するために読み取り／書き込みヘッドの空気軸受面の層の部分を取り除くエッチングプロセスは当該技術分野では周知である。
【００２０】
図３に示すように、ＡＢＳ３００は、ＡＢＳ３００を形成する３つの最外層をエッチングすることによって形成される。第１の層３４０はＡＢＳ３００の最外層である。第１の層３４０の下側には第２の層３４２がある。第２の層３４２の下側には第３の層３４４がある。第３の層３４４の下側には第４の層３４６がある。それゆえ、第４の層３４６は第３の層３４４よりも深く、第３の層３４４は第２の層３４２よりも深い、などである。
【００２１】
ＡＢＳ３００は中空凹部３５０を備える。中空凹部３５０は、層３４０、３４２、および３４４を貫通する孔または中空の空洞をエッチングし、層３４６を露出させることによって形成し得る。それゆえ、一実施形態では、層３４６は中空凹部３５０の底部を形成する。一実施形態では、中空凹部３５０を両側面３６２から等距離に位置決めする。図３に示すように、中空凹部３５０をまた、ＡＢＳ３００上の空気の流れの方向において変換器３３０よりも前側に位置決めする。
【００２２】
中空凹部３５０を使用することにより、ＡＢＳ３００を高度変化に耐えるようにするという利点が生じる。詳細には、ＡＢＳ３００に中空凹部３５０を含めることによって、高度が高くなっても読み取り／書き込みヘッドの浮上高さの減少が小さくなる。中空凹部３５０は凹部空洞に空気のゾーンを与えることとなり、このゾーンは、高度に起因する周囲圧力の変化にあまり敏感でない。これにより、下流側の空気圧が高くなり、そのため伸縮性突起がディスクに接近する際のタッチダウン圧（ｔｏｕｃｈｄｏｗｎ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ）を増大させる。
【００２３】
異なる実施形態では、中空凹部３５０の寸法が、ハードディスクドライブの高度変化に応じたヘッドスライダの浮上高さの変化を小さくするという目的を達成する限り、中空凹部３５０のサイズおよび形状が異なってもよい。特定の一実施形態では、中空凹部３５０のエッチ深さは１．０ミクロン〜１．３７ミクロンである。
【００２４】
しかしながら、中空凹部３５０の使用には、タッチダウン圧を増大させる傾向もあるという欠点がある。タッチダウン圧は、較正プロセス中にＡＢＳ３００の浮上高さを判定するために使用される読み取り／書き込みヘッドの突起に加えられる圧力である。ＡＢＳ３００の浮上高さを検知するために較正プロセスにおいて伸縮性突起が使用され得る。ヒーター（図３には図示せず）に電力が供給されると、読み取り／書き込みヘッドの突起は、突起がディスクの表面に接触するまで成長し、その接触点で突起はディスクの表面を検知して、突起は後退し得る。突起が伸長する間、１枚または複数枚のディスクの回転により空気はＨＤＤ内部を循環し続ける。空気の循環によって突起に対する圧力（すなわち、タッチダウン圧）を生じる。タッチダウン圧が高すぎると、伸縮性突起はディスクと十分に相互作用せず、かつ、現在の浮上高さを正確に測定するための伸長による、ディスクの表面を適切に検知する突起の能力は低下する。他方で、タッチダウン圧が低すぎると、伸縮性突起はディスクと相互作用しすぎてディスクの表面を損傷させ得る。
【００２５】
加えて、中空凹部３５０を使用することにより、伸縮性突起の効率を低下させる傾向がある。伸縮性突起の効率とは、ヒーターへの電力の供給に応じて伸縮性突起がどの程度迅速に成長するかを指す。それゆえ、伸縮性突起の効率が低下することによって、伸縮性突起の成長速度が遅くなる。伸縮性突起の効率の低下は、最良の結果を達成するためにＡＢＳ３００の浮上高さを低くすることを必要とする。
【００２６】
中空凹部３５０を使用することに起因する、タッチダウン圧の増大に対する望ましくない影響は、一定の実施形態によりスリット状特徴部３６０を使用することによって抑えられ得ることが観察される。スリット状特徴部３６０は、層３４２を露出させるようにエッチングされたチャネルである。それゆえ、一実施形態では、スリット状特徴部３６０は中空凹部３５０ほど深くなくてもよい。図３に示すように、スリット状特徴部３６０を、（ａ）両側面３６２から等距離に、かつ（ｂ）中空凹部３５０と変換器３３０との間に位置決めし得る。スリット状特徴部３６０は、ＡＢＳ３００を横切る空気の流れの方向に垂直に延び得る。
【００２７】
スリット状特徴部３６０を使用することによって、伸縮性突起に対するタッチダウン圧を低下させるという望ましい利点が得られる。スリット状特徴部３６０を伸縮性突起の前側に位置決めして、スリット状特徴部３６０のチャネルに空気を逸らし、かつスリット状特徴部のエアチャネルが、伸縮性突起の上部で直接空気を圧縮しないようにする。これによりタッチダウン圧が低減され、かつ伸縮性突起の効率が高まる。
【００２８】
異なる実施形態では、磁気記録ディスクの表面を検知するためにヘッドスライダの突起に必要な圧力を小さくするという目的をスリット状特徴部３６０の物理的寸法が達成する限り、スリット状特徴部３６０のサイズおよび形状は異なってもよい。特定の実施形態では、スリット状特徴部３６０のエッチ深さは０．１４ミクロン〜０．２ミクロンとし得る。
【００２９】
スリット状特徴部３６０の使用は、読み取り／書き込みヘッドが高度変化を受けた場合に、読み取り／書き込みヘッドの浮上高さに全く影響を与えないという利点がある。その結果、中空凹部３５０をスリット状特徴部３６０と併用すれば、スリット状特徴部３６０は、中空凹部３５０を使用することによる欠点を補償する一方で、依然として中空凹部３５０によってもたらされる利点を達成する。
【００３０】
さらに、スリット状特徴部３６０の使用はまた、伸縮性突起の効率を改善する傾向がある。その結果、スリット状特徴部３６０を使用すると、浮上高さをより高くして、ＡＢＳ３００に最良の結果をもたらす。
【００３１】
それゆえ、中空凹部３５０およびスリット状特徴部３６０の双方を用いる図３に示す実施形態などの本発明の実施形態は、高度耐性の向上、タッチダウン検知（ＡＢＳ３００の現在の浮上高さを測定する能力）の改善、伸縮性突起の効率の向上、およびＡＢＳ３００のより高い浮上高さの支持など多くの利益を享受する。
【００３２】
本発明の特定の実施形態（図３には図示せず）では中空凹部３５０なしでスリット状特徴部３６０を用い得ることに留意されたい。
【００３３】
図４は、本発明の実施形態によるヘッドの空気軸受面の例示的な特徴を示す表４００である。表４００の行４１０は、いくつかの実施形態の層３４２、３４４、および３４６のエッチ深さのリストである。例えば、実施形態３では、層３４２のエッチ深さは０．１９０ミクロンであり、層３４４のエッチ深さは０．６７９ミクロンであり、および層３４６のエッチ深さは１．０１９ミクロンである。表４００から明らかなように、種々の実施形態において中空凹部３５０およびスリット状特徴部３６０の物理的寸法にはばらつきがあってもよい。
【００３４】
行４１２は、ＩＤ半径、ＭＤ半径およびＯＤ半径における、海面レベルと海抜高度１０ｋｆｔとの間の高度変化による浮上高さの変化を示す。
【００３５】
行４１４は、種々の実施形態での伸縮性突起の効率を示す。表４００から明らかなように、スリット状特徴部３６０を備える実施形態（実施形態１および３）は、スリット状特徴部３６０のない実施形態（対照および実施形態２）よりもタッチダウン圧が低くなる。
【００３６】
行４１６は、種々の実施形態でのタッチダウン圧を示す。表４００から明らかなように、スリット状特徴部３６０を有する実施形態（実施形態１および３）は、スリット状特徴部３６０のない実施形態（対照および実施形態２）よりもタッチダウン圧が低くなる。
【００３７】
上述の明細書では、本発明の実施形態を、実施形態毎に変化し得る多数の特定の詳細を参照して説明した。それゆえ、本発明であり本出願人により発明であることを意図しているものの唯一の指標は、特許請求の範囲が由来する特定の形式の本出願に由来する一組の特許請求の範囲であって、いかなる以後の補正も含む。このような特許請求の範囲に含まれる用語の本明細書において明示的に記載されたいかなる定義も、特許請求の範囲に使用されるような用語の意味を規定するものとする。したがって、特許請求の範囲内で明示的に記述されない限界、要素、特性、特徴、利点、または属性が、このような特許請求の範囲を決して制限してはならない。したがって本明細書と添付図面は、限定的ではなく例示的であると解釈するべきである。
【符号の説明】
【００３８】
１００  ハードディスクドライブ
１１０  ＨＧＡ
１１０ａ  磁気記録ヘッド
１１０ｂ  スライダ
１１０ｃ  リードサスペンション
１１０ｄ  ロードビーム
１２０  磁気記録ディスク
１２４  スピンドル
１２８  ディスククランプ
１３２  アーム
１３４  キャリッジ
１３６  電機子
１４０  ボイスコイル
１４４  固定子
１４８  ピボット軸
１５２  挿入ピボット軸受アセンブリ
１５６  フレキシブルケーブル
１６０  アーム電子回路モジュール
１６４  電気的コネクタブロック
１６８  ＨＤＤ筐体
１７６  トラック
１８４  セクター
１８８  セクタートラック部
３００  空気軸受面
３１０  流入端部
３２０  流出端部
３３０  変換器
３４０  第１の層
３４２  第２の層
３４４  第３の層
３４６  第４の層
３５０  中空凹部
３６０  スリット状特徴部
３６２  側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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