(57)【要約】【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに圧電部材と接合する凸部のオーバーハング形状部を小さくすると凸部高さが確保できず、接合領域が狭くなり、薄肉部を狭くすると応答性が悪くなる。【解決手段】振動板部材２は凸部２Ｂを構成する二段の電鋳膜である第２層２ｂ、第３層２ｃは、いずれも、パターンエッジ部分が薄肉部（第１層）２ａに対してオーバーハング形状で形成されているオーバーハング形状部１０１、１０２を有し、第２層２ｂ、第３層２ｃの積み重ね方向に沿う方向における断面において、第３層２ｃ（二段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０２の第２層２ｂ（一段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０１の弓形状の外周面１０１ａと対向する側（対向面）１０２ａは弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部１０２の先端１０２ｂは、第３層２ｃと第２層２ｂとの連結部分１１２よりも薄肉部２ａ側に位置している。【選択図】図３
2012192709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動板部材と、
前記振動板部材を変形させて前記液室内の液体を加圧する駆動手段と、を備え、
前記振動板部材は、
前記駆動手段が当接する凸部と、前記凸部の周囲の薄肉部とを有し、
前記凸部は、少なくとも二段の電鋳膜から形成されて、各電鋳膜のエッジ部分は前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、
前記電鋳膜の積み重ね方向に沿う方向における断面において、
二段目のオーバーハング形状部の一段目のオーバーハング形状部と対向する側は弓形状をなし、かつ、
前記二段目のオーバーハング形状部の先端は一段目の電鋳膜と二段目の電鋳膜との連結部分よりも前記薄肉部側に位置している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
一段目の電鋳膜と前記薄肉部との連結部分を第１連結部分とし、二段目の電鋳膜と一段目の電鋳膜との連結部分を第２連結部分とするとき、
前記第１連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅が、前記第２連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅より小さい
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドを製造する製造方法であって、
電鋳支持基板上に前記薄肉部となる電鋳膜を形成する工程と、
前記薄肉部となる電鋳膜上に前記凸部となる一段目の電鋳膜を形成する工程と、
前記一段目の電鋳膜上にオーバーハング形状部表面に倣うレジストパターンを形成する工程と、
前記一段目の電鋳膜上に前記凸部となる二段目の電鋳膜を形成する工程と、を行う
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置（例えばインクジェット記録装置）が知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行なうものであり、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。
【０００３】
なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。また、「用紙」とは、材質を紙に限定するものではなく、上述したＯＨＰシート、布なども含み、インク滴が付着されるものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含むものの総称として用いる。また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動板部材と、振動板部材を変形させて液室内の液体を加圧する積層型圧電素子とを備える圧電型ヘッドが知られている。
【０００５】
この圧電型ヘッドにおける振動板部材として、電鋳で形成され、駆動手段が当接する厚肉部（凸部）と、この凸部の周囲の薄肉部とを有し、凸部はパターンエッジ部分が薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であるものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−０９０２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドの振動板部材は、凸部を二段の電鋳膜で形成することによって、ノズル配列の高密度化（高集積化）に対応するものであるが、更なる高密度化を図ろうとすると、各段の電鋳膜のオーバーハング形状部を小さくしなければならない。ところが、凸部を構成する各段の電鋳膜のオーバーハング形状部を小さくするためには、各段の膜厚を薄くする他なく、十分な膜厚（凸部高さ）を確保できなくなる。
【０００８】
一方、駆動手段に対する振動板部材の応答性を確保しようとするとノズル配列を高密度化しても薄肉部は一定以上の面積が必要となる。そこで、薄肉部の面積を確保するために、凸部の幅を微細化すると、駆動手段との接合領域が減少して接合信頼性が低下することになり、安定した滴吐出特性が得られなくなる。
【０００９】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高密度化を図りつつ駆動手段との接合信頼性を確保し、安定した滴吐出特性が得られるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出するノズルが連通する液室の少なくとも一つの壁面を形成する変形可能な振動板部材と、
前記振動板部材を変形させて前記液室内の液体を加圧する駆動手段と、を備え、
前記振動板部材は、
前記駆動手段が当接する凸部と、前記凸部の周囲の薄肉部とを有し、
前記凸部は、少なくとも二段の電鋳膜から形成されて、各電鋳膜のエッジ部分は前記薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、
前記電鋳膜の積み重ね方向に沿う方向における断面において、
二段目のオーバーハング形状部の一段目のオーバーハング形状部と対向する側は弓形状をなし、かつ、
前記二段目のオーバーハング形状部の先端は一段目の電鋳膜と二段目の電鋳膜との連結部分よりも前記薄肉部側に位置している
構成とした。
【００１１】
ここで、一段目の電鋳膜と前記薄肉部との連結部分を第１連結部分とし、二段目の電鋳膜と一段目の電鋳膜との連結部分を第２連結部分とするとき、
前記第１連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅が、前記第２連結部分の液室短手方向に沿う方向の幅より小さい
構成とできる。
【００１２】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【００１３】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、
本発明に係る液体吐出ヘッドを製造する製造方法であって、
電鋳支持基板上に前記薄肉部となる電鋳膜を形成する工程と、
前記薄肉部となる電鋳膜上に前記凸部となる一段目の電鋳膜を形成する工程と、
前記一段目の電鋳膜上にオーバーハング形状部表面に倣うレジストパターンを形成する工程と、
前記一段目の電鋳膜上に前記凸部となる二段目の電鋳膜を形成する工程と、を行う
構成とした。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、振動板部材は、駆動手段が当接する凸部と、凸部の周囲の薄肉部とを有し、凸部は、少なくとも二段の電鋳膜から形成されて、各電鋳膜のエッジ部分は薄肉部に対して少なくとも二段以上のオーバーハング形状であり、電鋳膜の積み重ね方向に沿う方向における断面において、二段目のオーバーハング形状部の一段目のオーバーハング形状部と対向する側は弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部の先端は一段目の電鋳膜と二段目の電鋳膜との連結部分よりも薄肉部側に位置している構成としたので、駆動手段との接合面積を確保しつつ、オーバーハング形状部のノズル配列方向の幅を小さくでき、密度化を図りつつ駆動手段との接合信頼性を確保で、安定した滴吐出特性が得られる。
【００１５】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を形成できる。
【００１６】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、電鋳支持基板上に薄肉部となる電鋳膜を形成する工程と、薄肉部となる電鋳膜上に凸部となる一段目の電鋳膜を形成する工程と、一段目の電鋳膜上にオーバーハング形状部表面に倣うレジストパターンを形成する工程と、一段目の電鋳膜上に凸部となる二段目の電鋳膜を形成する工程と、を行う構成としたので、本発明に係る液体吐出ヘッドを容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う要部拡大断面説明図である。
【図３】ヘッドの振動板部材のノズル配列方向（液室短手方向に沿う方向）の要部拡大説明図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法と共に説明する要部断面説明図である。
【図５】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の第２実施形態の説明に供する要部断面説明図である。
【図６】本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の機構部の側面説明図である。
【図７】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図１及び図２を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う要部拡大断面説明図である。
【００１９】
この液体吐出ヘッドは、ＳＵＳ基板で形成した流路板（流路部材、液室基板）１と、この流路板１の下面に接合した振動板部材２と、流路板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出する複数のノズル４がそれぞれ連通する個別流路としての複数の液室（加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）６、液室６にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、この流体抵抗部７を介して液室６と連通する液体導入部８を形成し、液体導入部８に振動板部材２に形成した供給口９を介して後述するフレーム部材１７に形成した共通液室１０からインクを供給する。
【００２０】
流路板１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで、液室６、流体抵抗部７、液体導入部８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流路板１としてはシリコン基板などを用いることもできる。
【００２１】
振動板部材２は、電鋳膜からなる第１層２ａないし第３層２ｃの３層構造であり、各液室６に対応してその壁面を形成する第１層２ａで形成された薄肉部である各振動領域（ダイアフラム部）２Ａと、振動領域２ａの面外側（液室６と反対面側）に第２層２ｂ、第３層２ｃで形成された厚肉部である島状凸部２Ｂが設けられ、この島状凸部２Ｂに振動領域２Ａを変形させるアクチュエータ手段（駆動手段、駆動素子、圧力発生手段などともいう。）としての積層型圧電部材１２の圧電柱１２Ａの上端面（接合面）を接合している。また、積層型圧電部材１２の下端面はベース部材１３に接合している。
【００２２】
ここで、圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極をそれぞれ端面、即ち圧電部材１２の振動板部材２に略垂直な側面に引き出して、この側面に形成された端面電極（外部電極）２３、２４に接続し、端面電極（外部電極）２３、２４間に電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。ここで、外部電極２３を個別外部電極（個別電極）とし、外部電極２４を共通外部電極（共通電極）として使用する。外部電極２３、２４は例えばＡｕなどの金属膜で形成されている。
【００２３】
この圧電部材１２は、ハーフカットダイシングによって溝を加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の圧電柱１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。なお、圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動柱１２Ａとして振動板部材３の凸部２Ｂに接合し、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動柱１２Ｂとして液室間隔壁部１ａに対応する部分に接合している。
【００２４】
また、圧電部材１２には駆動柱１２Ａに駆動信号を与えるための可撓性を有する配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。
【００２５】
ノズル板３は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造している。このノズル板３には各液室６に対応して直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板１に接着剤接合している。そして、このノズル板３の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は液室６側と反対の面）には撥水層を設けている。
【００２６】
さらに、これらの圧電部材１２、ベース部材１３及びＦＰＣ１５などで構成される圧電アクチュエータ１００の外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材１７を接合している。そして、このフレーム部材１７には前述した共通液室１０を形成し、更に共通液室１０に外部から記録液を供給するための供給口１９を形成し、この供給口１９は更に図示しないサブタンクやインクカートリッジなどのインク供給源に接続される。
【００２７】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電部材１２の駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材２の振動領域２Ａが下降して液室６の容積が膨張することで、液室６内に例えばインクが流入し、その後駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動領域２Ａをノズル４方向に変形させて液室６の体積を収縮させることにより、液室６内のインクが加圧され、ノズル４からインク滴が吐出される。
【００２８】
そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域２Ａが初期位置に復元し、液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液室６内にインクが充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００２９】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。
【００３０】
次に、本発明の第１実施形態における振動板部材２の詳細について図３を参照して説明する。なお、図３は同振動板部材のノズル配列方向（液室短手方向に沿う方向）の要部拡大説明図である。
振動板部材２は、前述したように、三層の電鋳膜である第１層２ａないし第３層２ｃによって形成され、第１層２ａで振動領域２Ａを形成し、第２層２ｂ及び第３層２ｃで駆動手段としての圧電部材１２の駆動柱１２Ａが当接する凸部２Ｂを形成したものである。
【００３１】
ここで、振動板部材２の凸部２Ｂを構成する二段の電鋳膜である第２層２ｂ（これを「一段目の電鋳膜」とする。）と第３層２ｃ（これを「二段目の電鋳膜」とする。）は、いずれも、エッジ部分が薄肉部である振動領域２Ａに対してオーバーハング形状で形成されているオーバーハング形状部１０１、１０２を有している。
【００３２】
ここで、第２層２ｂ、第３層２ｃの積み重ね方向に沿う方向における断面において、第３層２ｃ（二段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０２の第２層２ｂ（一段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０１の弓形状の外周面１０１ａと対向する側（対向面）１０２ａは弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部１０２の先端１０２ｂは、第３層２ｃと第２層２ｂとの連結部分（第２連結部分）１１２よりも薄肉部２ａ側に位置している。言い換えれば、二段目の電鋳膜である第３層２ｃのオーバーハング形状部１０２ａの先端１０２ｂは、一段目の電鋳膜である第２層２ｂのオーバーハング形状部１０１との連結部分１１２よりも下方に延びている。
【００３３】
ノズル配列を高密度化した場合、必然的に凸部２Ｂ間の間隔も狭くなるが、このようなオーバーハング形状の凸部２Ｂにおいては、凸部２Ｂ間が狭くなった場合、オーバーハング形状部１０２同士が互いに接触してしまうという問題が生じる。一方で、振動板部材２の取り扱い性や凸部２Ｂに要求される剛性の点から凸部２Ｂは十分な厚さ（高さ）が必要となるが、電鋳膜において厚さの増加はオーバーハング量の増加を引き起こす。
【００３４】
このような課題を解決するため、特許文献１に記載したように凸部の二層化が行われてきたが、さらなる高密度化のためには凸部のより多層化が必要となり、製造コストの大幅な上昇を引き起こすことになる。
【００３５】
これに対し、本実施形態では、第３層２ｃを電鋳で形成する際にオーバーハング形状部１０２を水平方向に成長させるのではなく、薄肉部２ａ側に向けて成長させることにより、水平方向へのオーバーハング長さｄを水平方向に成長させた場合よりも小さくすることができる。これにより、凸部を必要以上に多層化することなく、少ない層数構成で高密度なノズル配列のヘッド形成が可能となる。
【００３６】
また、第２層２ｂと振動領域２Ａとの連結部分を第１連結部分１１１とし、第３層２ｃと第２層２ｂとの連結部分を上記のとおり第２連結部分１１２とするとき、第１連結部分１１１の液室短手方向に沿う方向の幅ｇが、第２連結部分１１２の液室短手方向に沿う方向の幅ｈより小さく（ｇ＜ｈ）形成されている。
【００３７】
これにより、電鋳時にアライメントずれや仕上がりばらつきを考慮しても確実に第１連結部分１１１を第２連結部分１１２の内側にした位置関係とすることができ、接合平坦部２Ｄを広く取ることができ、接合信頼性の向上を図ることができる。
【００３８】
つまり、接合面におけるオ−バーハング形状部１０２の弓形状は第２連結部分１１２に対応する位置から形成される。一方で、第１連結部分１１１の幅は振動板の振動領域２Ａの面積を確保するために制限される。そのため、第２連結部分１１２の幅（ｈ）を第１連結部分１１１の幅（ｇ）よりも大きくすることで、高密度に配置された第１連結部分１１１の幅（ｇ）が小さなヘッドであっても接合平坦部２Ｄの面積を稼ぐことができる。また第２層２ｂと第３層２ｃとがアライメントずれしたとしても、領域ｇが領域ｈ内に収まっていれば、接合平坦部２Ｄの面積が小さくなることはない。このような構成では第２連結部分１１２が外側に配置されるため、オーバーハング長さｄの許容量はより小さくなるが、上述の通りオーバーハング形状部１０２を薄肉部２ａ側に向けて形成することで、オーバーハング長さｄを小さく形成することができる。
【００３９】
なお、ここで第２層２ｂのエッジ部は第３層２ｃとは逆に薄肉部２ａから離れる方向に形成されているが、薄肉部２ａと平行に形成してもよい（第２実施形態として後述）。このように第２層２ｂのエッジ部を薄肉部２ａから離れる方向に形成することにより、オーバーハング形状部１０１が上方に成長し、第２層２ｂの水平方向のオーバーハング量も減少させることができる。
【００４０】
また、第１連結部分１１１の液室短手方向に沿う方向の幅ｇが、第２連結部分１１２の液室短手方向に沿う方向の幅ｈより小さく（ｇ＜ｈ）した構成においては、第２連結部分１１２が第２層２ｂのオーバーハング形状部にかかることになり、膜厚が若干減少してしまうが、図３に示すように第２層２ｂのオーバーハング形状部１０１を上方に成長させることにより、第２層２ｂの上面の平坦領域を広げることができ、ｇ＜ｈの場合であっても第２連結部分１１２を平坦領域から形成することができ、接合平坦部２Ｄの面積をより広げることができる。
【００４１】
なお、具体的には、薄肉部（振動領域）２Ａと凸部２Ｂとを合わせた振動板部材２の総厚は１０μｍ以上（後述の製造例では２７μｍ）とすることで、部品単体でのハンドリング性を確保することができる。また、その他の各部の寸法については、オーバーハング長さｄ＝９、オーバーハング高さｅ＝３、凸部幅ｇ＝１０（単位はすべてμｍ）としている。
【００４２】
このように、二段目の電鋳膜のオーバーハング形状部を一段目の電鋳膜のオーバーハング形状部に倣わせて下方に（薄肉部方向に）膜成長を促した形状とする、つまり、電鋳膜の積み重ね方向に沿う方向における断面において、二段目のオーバーハング形状部の一段目のオーバーハング形状部と対向する側は弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部の先端は一段目の電鋳膜と二段目の電鋳膜との連結部分よりも薄肉部側に位置している形状とすることで、ノズル配列方向への成長を抑制して電鋳膜のオーバーハング形状部の幅さを抑えることができ、高密度化を図れるとともに、圧電部材との接合面積を確保することができる。なお、本実施形態において「一段目」「二段目」は、隣接する段を示すものであり、多数層が積層された凸部２Ｂにおいては、任意の隣接する層（段）間で適用しても同様の効果を奏することができる。
【００４３】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の第１実施形態とともに図４を参照して説明する。なお、図４は同実施形態の説明に供する断面説明図である。
まず、図４（ａ）に示すように、シリコン基板４１の主平面側には導電層としてＴｉ４２をスパッタリングを用いて１００ｎｍ成膜し、次いで電解メッキによってＴｉ４２上に第１層２ａとなるＮｉ４３を３μｍ成膜する。
【００４４】
その後、図４（ｂ）に示すように、フォトリソグラフィによってＮｉ膜４３上に薄肉部（振動領域２Ａ）となる部分が残るようにレジストパターン４４を形成する。レジストは通常用いられるノボラック系のポジ型レジストを用い、厚さは３μｍとした。
【００４５】
次いで、図４（ｃ）に示すように、電解メッキを用いて凸部２を構成する第２層２ｂとなるＮｉ膜（一段目の電鋳膜）４５を１２μｍ成膜する。このとき、レジスト厚さが３μｍであるため、一段目の電鋳膜４５のオーバーハング量は堆積厚さからレジスト厚さを引いた９μｍとなる。
【００４６】
その後、図４（ｄ）に示すように、低粘度のレジスト（ここでは２５ＣＰのポジレジストを用いた）５３を一段目の電鋳膜４５上に塗布する。低粘度レジストを用いることにより、一段目の電鋳膜４５のオーバーハング形状部１０１表面に倣って塗布される。そして、フォトリソグラフィを用いてパターニングを行って、図４（ｅ）に示すように、一段目の電鋳膜４５のオーバーハング形状部１０１表面に倣うレジストパターン５６を形成する。
【００４７】
ここで、レジストパターン５６は、レジストパターン４４に対して（電鋳膜４５の中心に対して）距離ｊだけ後退して形成している。
【００４８】
これにより、前述したように、第１連結部分１１１の液室短手方向に沿う方向の幅ｇが第２連結部分１１２の液室短手方向に沿う方向の幅ｈより小さく（ｇ＜ｈ）することができ、マスク間のアライメントズレやパターンの仕上がりばらつきを考慮しても確実にパターン５６を内側にした位置関係とすることができ、さらに接合平坦部２Ｄ（図３参照）を広く取ることができる。
【００４９】
その後、図４（ｆ）に示すように、一段目の電鋳膜４５上に第３層２ｃとなるＮｉ膜（二段目の電鋳膜）５７を８μｍ成膜する。オーバーハングしたＮｉ膜５７はパターン５６に沿って一段目の電鋳膜４５のオーバーハング形状部１０１に倣って下方に成長する。
【００５０】
そこで、図４（ｇ）に示すように、電鋳支持基板から電鋳膜を剥離することで、振動板部材２が得られる。
【００５１】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の第２実施形態について図５を参照して説明する。なお、図５は同実施形態のうち前記第１実施形態と異なる工程の説明に供する断面説明図である。
本実施形態では、前記第１実施形態と同様にレジスト５８を一段目の電鋳膜４５までの形成を行う（図４（ａ）〜（ｃ））。
【００５２】
その後、図５（ａ）に示すように、レジスト５８を一段目の電鋳膜４５上に塗布し、図５（ｂ）に示すように、プリベークすることにより、一段目の電鋳膜４５のオーバーハング形状部１０１表面に倣うレジスト膜５９を形成して、これをパターニングして、図５（ｃ）に示すように、一段目の電鋳膜４５のオーバーハング形状部１０１表面に倣うレジストパターン５６を形成する。
【００５３】
そして、前記第１実施形態と同様に一段目の電鋳膜４５に二段目の電鋳膜５７を形成する（図４（ｆ）ことで、振動板部材２を得る（図４（ｇ））。
【００５４】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は同装置の機構部の側面説明図、図７は同じく要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００５５】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００５６】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有する液体吐出ヘッド２３４ａ、２３４ｂを１つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、他方のヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。
【００５７】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００５８】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００５９】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００６０】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００６１】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００６２】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００６３】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００６４】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置し、この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００６５】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２４７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００６６】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００６７】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００６８】
このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので、安定した滴吐出特性が得られ、安定して高画質画像を形成することができる。
【００６９】
なお、上記実施形態では本発明の画像形成装置としてシリアル型画像形成装置を例に説明しているが、ライン型画像形成装置にも同様に実施することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１  流路板
２  振動板部材
２ａ  第１層
２ｂ  第２層（一段目の電鋳膜）
２ｃ  第３層（二段目の電鋳膜）
２Ａ  振動領域（薄肉部）
２Ｂ  凸部（厚肉部）
３  ノズル板
４  ノズル
６  液室
１０  共通液室
１２  圧電部材
１２Ａ、１２Ｂ  圧電柱
１３  ベース部材
１０１  一段目のオーバーハング形状部
１０２  二段目のオーバーハング形状部
２３３…キャリッジ
２３４…記録ヘッド
【図１】
2012192709.tif 000003
【図２】
2012192709.tif 000004
【図３】
2012192709.tif 000005
【図４】
2012192709.tif 000006
【図５】
2012192709.tif 000007
【図６】
2012192709.tif 000008
【図７】
2012192709.tif 000009