(57)【要約】【課題】ＰＭＭＡフィルムの接着強度を向上させる。【解決手段】アクリル酸を含む第１反応ガスをＰＭＭＡフィルムに接触させる（第１接触工程）。次に、アルゴンプラズマをＰＭＭＡフィルムに照射する（第１照射工程）。次に、アクリル酸を含む第２反応ガスをＰＭＭＡフィルムに接触させる（第２接触工程）。次に、アルゴンプラズマをＰＭＭＡフィルムに照射する（第２照射工程）。【選択図】図１
2012207182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリメタクリル酸メチルを主成分とする樹脂フィルム（以下「ＰＭＭＡフィルム」と称す）の表面を処理するフィルム表面処理方法であって、
アクリル酸をキャリアガスに気化させてなる第１反応ガスをＰＭＭＡフィルムに接触させる第１接触工程と、
前記第１接触工程後又は前記第１接触工程と併行して、大気圧近傍下で生成したアルゴンプラズマを前記ＰＭＭＡフィルムに照射する第１照射工程と、
前記第１照射工程後にアクリル酸をキャリアガスに気化させてなる第２反応ガスを前記ＰＭＭＡフィルムに接触させる第２接触工程と、
前記第２接触工程後又は前記第２接触工程と併行して、大気圧近傍下で生成したアルゴンプラズマを前記ＰＭＭＡフィルムに照射する第２照射工程と、
を含むことを特徴とするフィルム表面処理方法。
【請求項２】
ＰＭＭＡフィルムの表面を処理するフィルム表面処理装置であって、
互いに平行に並べられ、隣り合うものどうし間のギャップに大気圧近傍下で放電を生成する第１、第２、第３のロール電極と、
前記第１ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第１反応ガスを吹き出す第１反応ガスノズルと、
前記第１ロールと前記第２ロールとの間のギャップにアルゴンを吹き出す第１放電ガスノズルを含み、
前記第２ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第２反応ガスを吹き出す第２反応ガスノズルと、
前記第２ロールと前記第３ロールとの間のギャップにアルゴンを吹き出す第２放電ガスノズルを含み、
前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１、第２、第３ロール電極に掛け回され、かつ前記第１、第２、第３ロール電極の回転によって前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１ロール電極、前記第２ロール電極、前記第３ロール電極の順に搬送されることを特徴とするフィルム表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学樹脂フィルムの表面を処理する方法及び装置に関し、特に、ポリメタクリル酸メチル（以下「ＰＭＭＡ」と称す）を主成分とする樹脂フィルム（以下「ＰＭＭＡフィルム」と称す）の接着性を向上させるのに適した表面処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１，２では、偏光板の保護フィルムの接着性を向上させるために、上記保護フィルムに重合性モノマー含有ガスを接触させるとともにプラズマを照射している。重合性モノマーとしては、例えばアクリル酸が用いられている。保護フィルムの一例として、ＰＭＭＡフィルムが挙げられている。プラズマ生成用ガスの一例として、アルゴンが挙げられている。処理済みの保護フィルムを接着剤を介して偏光フィルムと貼り合わせることで偏光板が構成される。接着剤としては、ポリビニルアルコール（以下「ＰＶＡ」と称す）系やポリエーテル系等の水系接着剤が用いられている。偏光フィルムとしては、ＰＶＡを主成分とする樹脂フィルム（以下「ＰＶＡフィルム」と称す）が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１５０３７２号公報（００１３、００１７）
【特許文献２】特開２０１０−１５０３７３号公報（００１１、００１８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ＰＭＭＡフィルムは極めて難接着性である。接着性の向上処理としてコロナ放電処理を行なったり接着剤を工夫したりすることも行なわれているが、これらの処理では接着性が不十分であった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明方法は、ＰＭＭＡフィルムの表面を処理するフィルム表面処理方法であって、
アクリル酸をキャリアガスに気化させてなる第１反応ガスをＰＭＭＡフィルムに接触させる第１接触工程と、
前記第１接触工程後又は前記第１接触工程と併行して、大気圧近傍下で生成したアルゴンプラズマを前記ＰＭＭＡフィルムに照射する第１照射工程と、
前記第１照射工程後にアクリル酸をキャリアガスに気化させてなる第２反応ガスを前記ＰＭＭＡフィルムに接触させる第２接触工程と、
前記第２接触工程後又は前記第２接触工程と併行して、大気圧近傍下で生成したアルゴンプラズマを前記ＰＭＭＡフィルムに照射する第２照射工程と、
を含むことを特徴とする。
【０００６】
第１接触工程によってＰＭＭＡフィルムの表面にアクリル酸の第１凝縮層を形成できる。次に、第１照射工程によって上記第１凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第１プラズマ重合膜を形成できる。次に、第２接触工程によって上記第１プラズマ重合膜上にアクリル酸の第２凝縮層を形成できる。次に、第２照射工程によって上記第２凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第２プラズマ重合膜を上記第１プラズマ重合膜上に積層形成できる。これら第１、第２プラズマ重合膜がＰＭＭＡフィルムの接着性促進層となる。これによって、難接着性のＰＭＭＡフィルムの接着強度を向上でき、更には接着耐久性を充分に向上させることができる。ここで、接着耐久性とは、接着後の対象物を高湿度かつ高温の湿熱環境に晒した後に接着強度が低下しない度合いを云う。
【０００７】
本発明装置は、ＰＭＭＡフィルムの表面を処理するフィルム表面処理装置であって、
互いに平行に並べられ、隣り合うものどうし間のギャップに大気圧近傍下で放電を生成する第１、第２、第３のロール電極と、
前記第１ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第１反応ガスを吹き出す第１反応ガスノズルと、
前記第１ロールと前記第２ロールとの間のギャップにアルゴンを吹き出す第１放電ガスノズルを含み、
前記第２ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第２反応ガスを吹き出す第２反応ガスノズルと、
前記第２ロールと前記第３ロールとの間のギャップにアルゴンを吹き出す第２放電ガスノズルを含み、
前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１、第２、第３ロール電極に掛け回され、かつ前記第１、第２、第３ロール電極の回転によって前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１ロール電極、前記第２ロール電極、前記第３ロール電極の順に搬送されることを特徴とする。
【０００８】
ＰＭＭＡフィルムを第１ロール電極、第２ロール電極、第３ロール電極の順に送りながら、第１ロール電極の周面上で第１反応ガスノズルから第１反応ガスをＰＭＭＡフィルムに吹き付ける。これによって、ＰＭＭＡフィルムの表面にアクリル酸の第１凝縮層を形成できる。次いで、第１、第２ロール電極間のギャップでＰＭＭＡフィルムにアルゴンプラズマを照射する。これによって、上記第１凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第１プラズマ重合膜を形成できる。続いて、第２ロールの周面上で第２反応ガスノズルから第２反応ガスをＰＭＭＡフィルムに吹き付ける。これによって、上記第１プラズマ重合膜上にアクリル酸の第２凝縮層を形成できる。その後、第２、第３ロール間のギャップでＰＭＭＡフィルムにアルゴンプラズマを照射する。これによって、上記第２凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第２プラズマ重合膜を上記第１プラズマ重合膜上に積層形成できる。この結果、難接着性のＰＭＭＡフィルムの接着強度を向上でき、更には接着耐久性を充分に向上させることができる。第１、第２、第３ロール電極は、ＰＭＭＡフィルムの支持手段及び搬送手段を兼ねる。
【０００９】
前記第１、第２反応ガスのキャリアガスが、アルゴンであることが好ましい。これによって、キャリアガスが、第１、第２照射工程を行う空間（例えばロール電極間のギャップ）内に流入したとしても、放電状態が変わるのを防止できる。また、前記キャリアガスは、ランニングコストを低減させるために、窒素でもよい。
【００１０】
前記表面処理は、大気圧近傍下にて行なうことが好ましい。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、難接着性のＰＭＭＡフィルムの接着強度を向上でき、更には接着耐久性を充分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面処理装置を示す側面図である。
【図２】上記表面処理装置の電極部及びノズル部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、本発明の第１実施形態を示したものである。被処理物は、偏光板の保護フィルム用のＰＭＭＡフィルム９である。ＰＭＭＡフィルム９は、ＰＭＭＡを主成分として含み、極めて難接着性である。ここで、ＰＭＭＡを主成分として含むとは、フィルム９に占めるＰＭＭＡの割合が６０ｗｔ％〜１００ｗｔ％であることを云う。言い換えると、フィルム原料に占めるメタクリル酸メチル（ＭＭＡ）の割合が６０ｗｔ％〜１００ｗｔ％であることを云う。フィルム９のＰＭＭＡ以外の含有成分としては、紫外線吸収剤、安定剤、滑剤、加工助剤、可塑剤、耐衝撃助剤、発泡剤、充填剤、着色剤、艶消剤等が挙げられる。
【００１４】
図１及び図２に示すように、フィルム表面処理装置１は、電極構造１０と、ガス供給手段２０〜５０を備えている。電極構造１０は、第１ロール電極１１と、第２ロール電極１２と、第３ロール電極１３を有している。これらロール電極１１〜１３は、互いに同一径、同一軸長の円筒体になっている。ロール電極１１〜１３の少なくとも外周部は金属にて構成され、かつ該金属製の外周部の外周面には固体誘電体層が被膜されている。各ロール電極１１，１２，１３の軸線が、図１の紙面と直交する水平方向（以下「処理幅方向」と称す。）に向けられている。３つのロール電極１１，１２，１３が、この順に、かつ平行に並べられている。図１において左側の第１ロール電極１１と中央の第２ロール電極１２との間の第１ギャップ１４と、中央の第２ロール電極１２と右側の第３ロール電極１３との間の第２ギャップ１５の厚さは互いに等しい。ギャップ１４，１５の最も狭い箇所の厚さは、好ましくは０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ程度である。
【００１５】
図示は省略するが、中央のロール電極１２に電源が接続され、かつ左右のロール電極１１，１３が電気的に接地されている。これに代えて、左右のロール電極１１，１３に電源がそれぞれ接続され、かつ中央のロール電極１２が電気的に接地されていてもよい。電源は、例えばパルス波状の高周波電力を出力する。この電力供給によって、左側のロール電極１１と中央のロール電極１２との間に大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電が生成され、ギャップ１４が大気圧近傍の第１放電空間になる。また、上記電力供給によって、中央のロール電極１２と右側のロール電極１３との間に大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電が生成され、ギャップ１５が大気圧近傍の第２放電空間になる。ギャップ１４，１５間の印加電圧は、Ｖｐｐ＝６．０ｋＶ〜７．０ｋＶ程度であることが好ましい。上記高周波電力の周波数は、５０ｋＨｚ〜７０ｋＨｚ程度であることが好ましい。上記パルスの立ち上がり時間及び立下り時間は、１０μｓｅｃ以下であることが好ましい。上記パルスの継続時間は１〜１０００μｓｅｃであることが好ましい。上記高周波は、パルス波に限られず、連続波でもよい。
【００１６】
ロール電極１１，１２の下方に複数（図では２つ）の前段ガイドロール１６，１６が配置されている。ロール電極１２，１３の下方に複数（図では２つ）の後段ガイドロール１７，１７が配置されている。
【００１７】
連続シート状のＰＭＭＡフィルム９が、幅方向を上記処理幅方向（図１の紙面直交方向）に向けて、３つのロール電極１１，１２，１３の上側の周面にそれぞれ半周程度掛け回されている。各ロール電極１１，１２，１３の上側の周面及びギャップ１４，１５を画成する部分を含む約半周部分が、ＰＭＭＡフィルム９にて覆われている。
【００１８】
ロール電極１１，１２間のＰＭＭＡフィルム９は、ギャップ１４から下方に垂らされ、ガイドロール１６，１６に掛け回されている。ギャップ１４とガイドロール１６，１６との間のＰＭＭＡフィルム９が、折り返し部分９ａを形成している。
【００１９】
ロール電極１２，１３間のＰＭＭＡフィルム９は、ギャップ１５から下方に垂らされ、ガイドロール１７，１７に掛け回されている。ギャップ１５とガイドロール１７，１７との間のＰＭＭＡフィルム９が、折り返し部分９ｂを形成している。
【００２０】
図示は省略するが、各ロール電極１１，１２，１３に回転機構が連結されている。回転機構は、モータ、内燃機関等の駆動部と、該駆動部の駆動力をロール電極１１，１２，１３の軸に伝達する伝達手段とを含む。伝達手段は、例えばベルト・プーリ機構やギア列にて構成されている。図１において白抜き円弧状矢印にて示すように、回転機構によって、ロール電極１１，１２，１３が、それぞれ自らの軸線まわりに、かつ互いに同期して同方向（図１において時計周り）に回転される。これにより、ＰＭＭＡフィルム９が、第１ロール電極１１、第２ロール電極１２、第３ロール電極１３の順に概略右方向へ搬送される。
電極構造１０は、ＰＭＭＡフィルム９を支持する支持手段、及びＰＭＭＡフィルム９を搬送する搬送手段としての機能を兼ねている。
【００２１】
各ロール電極１１，１２，１３には、温調手段（図示省略）が設けられている。温調手段は、例えばロール電極１１，１２，１３内に形成された温調路にて構成されている。温調路に、温調された水等の媒体を流すことにより、ロール電極１１，１２，１３を温調できる。ひいては、ロール電極１１，１２，１３の周面上のＰＭＭＡフィルム９を温調できる。ロール電極１１，１２，１３の設定温度は、好ましくは重合性モノマー（アクリル酸）の凝縮温度より低温である。ＰＭＭＡフィルム９の設定温度は、好ましくは２５℃〜４５℃程度である。
【００２２】
第１反応ガス供給手段２０は、第１反応ガスの供給源２１と、第１反応ガスノズル２３を備えている。第１反応ガスは、重合性モノマー及びキャリアガスを含有する。重合性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）が用いられている。キャリアガスとしては窒素（Ｎ２）が用いられている。第１反応ガスは、アクリル酸と窒素の混合ガスにて構成されている。
【００２３】
詳細な図示は説明するが、第１反応ガス供給源２１は、気化器を含む。気化器において、液体のアクリル酸がキャリアガス中に気化される。気化は、バブリング方式でもよく、押し出し方式でもよい。気化したアクリル酸とキャリアガスとが混合することにより、第１反応ガスが生成される。ここで、バブリング方式とは、気化器内の液体アクリル酸の液中にキャリアガスを注入し、キャリアガスの気泡中にアクリル酸を気化させる方式を云う。押し出し方式とは、気化器内の液体アクリル酸の液面より上側の空間部分にキャリアガスを導入し、上記空間部分の飽和アクリル酸蒸気をキャリアガスと混合して押し出す方式を云う。
【００２４】
第１反応ガス供給源２１が、ガス路２２を介して第１反応ガスノズル２３に接続されている。第１反応ガスノズル２３は、第１ロール電極１１の上方に配置されている。第１反応ガスノズル２３は、処理幅方向に長く延び、かつ第１ロール電極１１の周方向（図１の左右）にある程度の幅を有している。第１反応ガスノズル２３の下面には、吹出し口が設けられている。吹き出し口は、第１反応ガスノズル２３の下面の広い範囲（処理幅方向及びロール周方向）に分布するよう形成されている。第１反応ガスノズル２３の吹出し面（下面）が、第１ロール電極１１上のＰＭＭＡフィルム９に面している。第１反応ガス供給源２１からの第１反応ガスが、第１反応ガスノズル２３に供給され、第１反応ガスノズル２３内の整流部（図示省略）にて均一化されたうえで、第１反応ガスノズル２３の吹出し口から吹き出される。第１反応ガスの吹出し流は、処理幅方向に均一に分布した流れになる。
【００２５】
ガス路２２及び第１反応ガスノズル２３には、温調手段（図示省略）が設けられている。ガス路２２の温調手段はリボンヒータ等にて構成されている。第１反応ガスノズル２３の温調手段は、温調水を通す温調路にて構成されている。ガス路２２及び第１反応ガスノズル２３の設定温度は、アクリル酸の凝縮温度より高温である。これによって、アクリル酸が吹出し前に凝縮するのを防止できる。ガス路２２及び第１反応ガスノズル２３の設定温度は、好ましくは６０℃〜８０℃程度である。
【００２６】
第１反応ガスノズル２３の底部の両側には遮蔽部材２４が設けられている。遮蔽部材２４は、第１ロール電極１１の周方向に沿う円弧状の断面をなして、処理幅方向にロール電極１１とほぼ同じ長さ延びる湾曲板状になっている。遮蔽部材２４が、第１反応ガスノズル２３よりも第１ロール電極１１の周方向に延び出ている。図１において左側の遮蔽部材２４の左端部は解放されている。図１において右側の遮蔽部材２４の右端部は、後記ノズル３４に当接又は近接している。
【００２７】
第１反応ガスノズル２３と第１ロール電極１１との間に第１吹付空間２５が画成されている。第１吹付空間２５は、第１ロール電極１１の上側の周面に沿う断面円弧状の空間になっている。遮蔽部材２４によって、第１吹付空間２５が、第１反応ガスノズル２３よりも第１ロール電極１１の周方向の両側に延長されている。図１において、第１吹付空間２５の左側の端部は、ロール電極１１の左側（ロール電極１２側とは反対側）の外部空間に連なっている。図１において、第１吹付空間２５の右側の端部は、後記ノズル３４とロール電極１１との間の隙間を介してギャップ１４に連なっている。
【００２８】
第１放電ガス供給手段３０は、第１放電ガス供給源３１と、第１放電ガスノズル３３，３４を備えている。ガス供給源３１には、第１放電生成ガスとしてアルゴン（Ａｒ）が蓄えられている。
【００２９】
ガス供給源３１からのガス路３２が第１放電ガスノズル３３，３４に接続されている。第１放電ガスノズル３３，３４は、ギャップ１４を挟んで上下に一対をなしている。下側の第１放電ガスノズル３３は、ＰＭＭＡフィルム９の折り返し部分９ａの内部に配置されている。上側の第１放電ガスノズル３４は、ギャップ１４より上側のロール電極１１，１２間に配置されている。これら第１放電ガスノズル３３，３４は、処理幅方向に長く延び、かつその延び方向と直交する断面が互いの対向側に向かって先細になっている。各第１放電ガスノズル３３，３４の先端の吹き出し口がギャップ１４に臨んでいる。ガス供給源３１からのアルゴンガスが、第１放電ガスノズル３３，３４内の整流部（図示省略）にて処理幅方向に均一化されたうえで、第１放電ガスノズル３３，３４の吹出し口からギャップ１４へ向けて吹き出される。この吹出し流は、処理幅方向に均一に分布した流れになる。
【００３０】
第１放電ガスノズル３３，３４内には、図示しない温調路が設けられている。水等の温調媒体が第１放電ガスノズル３３，３４内の上記温調路に通される。これによって、第１放電ガスノズル３３，３４を温調でき、ひいてはアルゴンガス（第１放電ガス）の吹き出し温度を調節できる。第１放電ガスノズル３３，３４の設定温度は、好ましくは２５℃〜４５℃程度である。
【００３１】
第２反応ガス供給手段４０は、第２反応ガスの供給源４１と、第２反応ガスノズル４３を備えている。第２反応ガスは第１反応ガスと同一のガスにて構成されている。すなわち、第２反応ガスは、重合性モノマー及びキャリアガスを含有する。重合性モノマーとしては、アクリル酸（ＡＡ）が用いられている。キャリアガスとしては窒素（Ｎ２）が用いられている。第２反応ガスは、アクリル酸と窒素の混合ガスにて構成されている。
【００３２】
詳細な図示は説明するが、第２反応ガス供給源４１は、気化器を含む。気化器において、液体のアクリル酸がキャリアガス中に気化される。気化は、バブリング方式でもよく、押し出し方式でもよい。気化したアクリル酸とキャリアガスとが混合することにより、第２反応ガスが生成される。第１反応ガス供給源２１と第２反応ガス供給源４１が共通のアクリル酸供給源にて構成されていてもよい。
【００３３】
第２反応ガス供給源４１は、ガス路４２を介して第２反応ガスノズル４３に接続されている。第２反応ガスノズル４３は、第２ロール電極１２の上方に配置されている。第２反応ガスノズル４３は、処理幅方向に長く延び、かつ第２ロール電極１２の周方向（図１の左右）にある程度の幅を有している。第２反応ガスノズル４３の下面には、吹出し口が設けられている。吹き出し口は、第２反応ガスノズル４３の下面の広い範囲（処理幅方向及びロール周方向）に分布するよう形成されている。第２反応ガスノズル４３の吹出し面（下面）が、第２ロール電極１２上のＰＭＭＡフィルム９に面している。第２反応ガス供給源４１からの第２反応ガスが、第２反応ガスノズル４３に供給され、第２反応ガスノズル４３内の整流部（図示省略）にて均一化されたうえで、第２反応ガスノズル４３の吹出し口から吹き出される。第２反応ガスの吹出し流は、処理幅方向に均一に分布した流れになる。
【００３４】
ガス路４２及び第２反応ガスノズル４３には、温調手段（図示省略）が設けられている。ガス路４２の温調手段はリボンヒータ等にて構成されている。第２反応ガスノズル４３の温調手段は、温調水を通す温調路にて構成されている。ガス路４２及び第２反応ガスノズル４３の設定温度は、アクリル酸の凝縮温度より高温である。これによって、アクリル酸が吹出し前に凝縮するのを防止できる。ガス路４２及び第２反応ガスノズル４３の設定温度は、好ましくは６０℃〜８０℃程度である。
【００３５】
第２反応ガスノズル４３の底部には遮蔽部材４４が設けられている。遮蔽部材４４は、第２ロール電極１２の周方向に沿う円弧状の断面をなして、処理幅方向にロール電極１２とほぼ同じ長さ延びる湾曲板状になっている。遮蔽部材４４が、第２反応ガスノズル４３よりも第２ロール電極１２の周方向に延び出ている。図１において左側の遮蔽部材４４の左端部は、第１放電ガスノズル３４の側部に当接又は近接している。図１において右側の遮蔽部材４４の右端部は、後記ノズル５４に当接又は近接している。
【００３６】
遮蔽部材４４と第２ロール電極１２との間に第２吹付空間４５が画成されている。第２吹付空間４５は、第２ロール電極１２の上側の周面に沿う断面円弧状の空間になっている。遮蔽部材４４によって、第２吹付空間４５が、第２反応ガスノズル４３よりも第２ロール電極１２の周方向の両側に延長されている。図１において、第２吹付空間４５の左側の端部は、第１放電ガスノズル３４とロール電極１２との間の隙間を介して、第１放電空間１４に連なっている。図１において、第２吹付空間４５の右側の端部は、後記ノズル５４とロール電極１２との間の隙間を介してギャップ１５に連なっている。
【００３７】
第２放電ガス供給手段５０は、第２放電ガス供給源５１と、第２放電ガスノズル５３，５４を備えている。第２放電ガス供給源５１には、第２放電生成ガスとしてアルゴン（Ａｒ）が蓄えられている。第１放電ガス供給源３１と第２放電ガス供給源５１が共通のアルゴンガス供給源にて構成されていてもよい。
【００３８】
ガス供給源５１からのガス路５２が第２放電ガスノズル５３，５４に接続されている。第２放電ガスノズル５３，５４は、ギャップ１５を挟んで上下に一対をなしている。下側の第２放電ガスノズル５３は、ＰＭＭＡフィルム９の折り返し部分９ｂの内部に配置されている。上側の第２放電ガスノズル５４は、ギャップ１５より上側のロール電極１１，１２間に配置されている。これら第２放電ガスノズル５３，５４は、処理幅方向に長く延び、かつその延び方向と直交する断面が互いの対向側に向かって先細になっている。各第２放電ガスノズル５３，５４の先端の吹き出し口がギャップ１５に臨んでいる。ガス供給源５１からのアルゴンガスが、第２放電ガスノズル５３，５４内の整流部（図示省略）にて処理幅方向に均一化されたうえで、第２放電ガスノズル５３，５４の吹出し口からギャップ１５へ向けて吹き出される。この吹出し流は、処理幅方向に均一に分布した流れになる。
【００３９】
第２放電ガスノズル５３，５４内には、図示しない温調路が設けられている。水等の温調媒体が第２放電ガスノズル５３，５４内の上記温調路に通される。これによって、第２放電ガスノズル５３，５４を温調でき、ひいてはアルゴンガス（第２放電ガス）の吹き出し温度を調節できる。第２放電ガスノズル５３，５４の設定温度は、好ましくは２５℃〜４５℃程度である。
【００４０】
上記構成のフィルム表面処理装置１によってＰＭＭＡフィルム９を表面処理する方法、ひいては偏光板を製造する方法を説明する。
［支持工程、搬送工程］
ロール電極１１〜１３及びガイドロール１６，１７に、連続シート状のＰＭＭＡフィルムからなるＰＭＭＡフィルム９を掛け回す。
ロール電極１１〜１３を図１において時計周りに回転させ、ＰＭＭＡフィルム９を第１ロール電極１１、第２ロール電極１２、第３ロール電極１３の順に、図１において概略右方向へ搬送する。搬送速度は、好ましくは１ｍ／ｍｉｎ〜３０ｍ／ｍｉｎ程度である。
【００４１】
［第１接触工程］
第１反応ガス供給手段２０では、キャリアガス（Ｎ２）中にアクリル酸（ＡＡ）を気化させて第１反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）を生成する。第１反応ガス中のアクリル酸の体積濃度は、好ましくは２％〜８％である。この第１反応ガスを反応ガスノズル２３から第１吹付空間２５に吹き出す。第１反応ガスは、第１吹付空間２５内のＰＭＭＡフィルム９の表面に接触する。これによって、第１反応ガス中のアクリル酸モノマーが凝縮して、ＰＭＭＡフィルム９に付着し、ＰＭＭＡフィルム９の表面にアクリル酸モノマーからなる第１の凝縮層が形成される。
【００４２】
［第１照射工程］
第１ロール電極１１の回転に伴ない、上記第１接触工程を経たＰＭＭＡフィルム９がギャップ１４すなわち第１放電空間１４へ搬送される。第１放電ガス供給手段３０では、第１放電ガスとしてアルゴンを第１放電ガスノズル３３，３４から第１放電空間１４に吹き出す。上下両方の第１放電ガスノズル３３，３４からアルゴンを吹き出してもよく、片方の第１放電ガスノズル３３又は３４からだけアルゴンを吹き出してもよい。好ましくは、下側の第１放電ガスノズル３３からアルゴンを吹き出す。併行して、ロール電極１２に電力を供給し、第１放電空間１４内に大気圧近傍の放電を生成し、アルゴン（第１放電ガス）をプラズマ化する。このアルゴンプラズマが第１放電空間１４内のＰＭＭＡフィルム９の表面に接触する。これによって、上記第１凝縮層のアクリル酸モノマーがプラズマ重合し、ＰＭＭＡフィルム９の表面にポリアクリル酸からなる第１のプラズマ重合膜が形成される。放電ガスとしてアルゴンを用いることでプラズマ密度を高くでき、上記第１プラズマ重合膜の重合度を高くできると考えられる。ＰＭＭＡフィルム９は、ガイドロール１６にて折り返されることによって、第１放電空間１４を往復し、第１放電ガス供給手段３０にて２回処理される。
【００４３】
［第２接触工程］
その後、ＰＭＭＡフィルム９は、第２ロール電極１２に添って第２吹付空間４５へ搬送される。第２反応ガス供給手段４０では、キャリアガス（Ｎ２）中にアクリル酸（ＡＡ）を気化させて第２反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）を生成する。第２反応ガス中のアクリル酸の体積濃度は、好ましくは２％〜８％である。第２反応ガスのアクリル酸濃度は、第１反応ガスのアクリル酸濃度と同じでもよく、第１反応ガスのアクリル酸濃度より高くてもよく、第１反応ガスのアクリル酸濃度より低くてもよい。この第２反応ガスを第２反応ガスノズル４３から第２吹付空間４５に吹き出す。第２反応ガスは、第２吹付空間４５内のＰＭＭＡフィルム９の表面に接触する。この第２反応ガス中のアクリル酸モノマーが凝縮して、ＰＭＭＡフィルム９に付着し、上記第１のプラズマ重合膜の上に更にアクリル酸モノマーからなる第２の凝縮層が形成される。
【００４４】
［第２照射工程］
第２ロール電極１２の回転に伴ない、上記第２接触工程を経たＰＭＭＡフィルム９がギャップ１５すなわち第２放電空間１５へ搬送される。第２放電ガス供給手段５０では、第２放電ガスとしてアルゴンを第２放電ガスノズル５３，５４から第２放電空間１５に吹き出す。上下両方の第２放電ガスノズル５３，５４からアルゴンを吹き出してもよく、片方の第２放電ガスノズル５３又は５４からだけアルゴンを吹き出してもよい。好ましくは、下側の第２放電ガスノズル５３からアルゴンを吹き出す。第２放電空間１５内では、ロール電極１２への電力供給によって大気圧近傍の放電が生成され、アルゴン（第２放電ガス）がプラズマ化される。このアルゴンプラズマが第２放電空間１５内のＰＭＭＡフィルム９の表面に接触する。これによって、上記第１プラズマ重合膜の重合度が更に高まるとともに、上記第２凝縮層のアクリル酸モノマーがプラズマ重合し、上記第１プラズマ重合膜上に更にポリアクリル酸からなる第２のプラズマ重合膜が積層形成される。上記第１、第２のプラズマ重合膜によって接着性促進層が構成される。第１プラズマ重合膜は、第１照射工程だけでなく第２照射工程でも重合が進むから、第２プラズマ重合膜より重合度が高い。第２照射工程の放電ガスとしてアルゴンを用いることで第２放電空間１５内のプラズマ密度を高くでき、上記第１、第２プラズマ重合膜の重合度を高くできると考えられる。ＰＭＭＡフィルム９は、ガイドロール１６にて折り返されることによって、第２放電空間１５を往復し、第２放電ガス供給手段５０にて２回処理される。第２放電空間を往復後のＰＭＭＡフィルム９は、第３ロール電極１３に添って送られ、装置１から搬出される。
【００４５】
上記表面処理後のＰＭＭＡフィルム９を、ＰＶＡ系接着剤を介してＰＶＡフィルムと接着し、偏光板を作製する。接着に先立って上記表面処理を行うことによって、難接着性のＰＭＭＡフィルム９とＰＶＡ接着剤との接着強度を向上でき、更には高温かつ高湿度環境下に晒した場合の接着耐久性を充分に高めることができる。特に、反応成分の重合性モノマーとしてアクリル酸を用い、放電ガスとしてアルゴンを用いることで、上記接着強度ひいては接着耐久性を確実に高めることができる。接着耐久性に関しては、ＰＭＭＡフィルムを高温かつ高湿度環境下に晒すと、晒す前よりも却って接着強度を高くできる（後記実施例１〜４参照）。これによって、偏光板の剥がれを防止でき、品質を高めることができる。
【００４６】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の改変をなすことができる。
例えば、第１、第２反応ガスのキャリアガスは、窒素（Ｎ２）に限られず、アルゴン（Ａｒ）であってもよい。上記キャリアガスが、第１、第２放電生成ガスと同一成分であってもよい。そうすると、キャリアガス（Ａｒ）が放電空間１４，１５内に流入したとしても、放電状態が変わるのを防止でき、安定した放電を維持できる。更に、上記キャリアガスは、ヘリウム、ネオン等の他の希ガスであってもよい。
第１接触工程と第１照射工程を同時併行して行なってもよい。ガスノズル２３を省略し、ガスノズル３３，３４からアクリル酸とアルゴンを含む第１反応ガスを第１放電空間１４に吹き出してもよい。このアルゴンは、第１反応ガスのキャリアガスと第１放電生成ガスとを兼ねる。
第２接触工程と第２照射工程を同時併行して行なってもよい。ガスノズル４３を省略し、ガスノズル５３，５４からアクリル酸とアルゴンを含む第２反応ガスを第２放電空間１５に吹き出してもよい。このアルゴンは、第２反応ガスのキャリアガスと第２放電生成ガスとを兼ねる。
偏光板の製造工程において、ＰＭＭＡフィルムを高温かつ高湿度環境下に晒すことにしてもよい。これによって、ＰＭＭＡフィルムの接着耐久性を高くできる。
ロール電極を４つ以上並べ、アクリル酸含有反応ガスの吹き付け及びアルゴンプラズマ照射を３回以上行ってもよい。この場合、連続する２回のアクリル酸含有反応ガス吹き付け及びアルゴンプラズマ照射のうち、先行のアクリル酸含有反応ガス吹き付けが「第１接触工程」となり、先行のアルゴンプラズマ照射が「第１照射工程」となり、後行のアクリル酸含有反応ガス吹き付けが「第２接触工程」となり、後行のアルゴンプラズマ照射が「第２照射工程」となる。
【実施例１】
【００４７】
実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
ＰＭＭＡフィルム９として、光学用フィルム（ＯＰ−ＰＭＭＡ）を用いた。フィルム９の幅は、３２０ｍｍであった。
前処理として、Ｎ２及びＯ２の混合ガスをプラズマ化して上記ＰＭＭＡフィルム９に照射し、上記フィルム９の表面を洗浄（有機不純物の除去）した。
次に、図１の表面処理装置１と実質的に同一構造の装置を用いて、上記ＰＭＭＡフィルム９に対し第１接触工程、第１照射工程、第２接触工程、第２照射工程を順次行なった。表面処理装置１の寸法構成及び処理条件は、以下の通りであった。
ロール電極１１，１２，１３の処理幅方向の軸長：３９０ｍｍ
ロール電極１１，１２，１３の直径：３１０ｍｍ
ロール電極１２への供給電力：  ２５０Ｗ（直流電圧１２０Ｖ×直流電流２．１Ａを高周波変換）
供給周波数：  ５０ｋＨｚ
ロール電極１１，１２間、及びロール電極１２，１３間の印加電圧：Ｖｐｐ＝６．５ｋＶ
ＰＭＭＡフィルム９の搬送速度：  ２０ｍ／ｍｉｎ
ＰＭＭＡフィルム９の設定温度：  ４０℃
第１反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）の吹出し温度：７５℃
第１反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）の流量：３０ｓｌｍ
第１反応ガス中のアクリル酸の体積濃度：  ７．８％
第１放電ガスノズル３３からのアルゴン流量：１５ｓｌｍ
第１放電ガスノズル３４からのアルゴン流量：０ｓｌｍ
第２反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）の吹出し温度：７５℃
第２反応ガス（ＡＡ＋Ｎ２）の流量：３０ｓｌｍ
第２反応ガス中のアクリル酸の体積濃度：  ７．８％
第２放電ガスノズル５３からのアルゴン流量：１５ｓｌｍ
第２放電ガスノズル５４からのアルゴン流量：０ｓｌｍ
【００４８】
表面処理後のＰＭＭＡフィルム９の被処理面にＰＶＡ系接着剤を塗布し、ＰＶＡフィルムと貼り合わせた。ＰＶＡ系接着剤として、（Ａ）重合度５００のＰＶＡ  ５ｗｔ％水溶液と、（Ｂ）カルボキシメチルセルロースナトリウム  ２ｗｔ％水溶液とを混合した水溶液を用いた。（Ａ）及び（Ｂ）の混合比は、（Ａ）：（Ｂ）=２０：１とした。接着剤の乾燥条件は８０℃、５分間とした。
別途、ＴＡＣフィルムにアクリル酸を吹き付け、かつＮ２プラズマを照射した。このＴＡＣフィルムをＰＶＡフィルムの反対側の面に上記と同じＰＶＡ系接着剤にて貼り合わせた。これにより、３層構造の偏光板サンプルを複数作製した。偏光板サンプルの幅は、２５ｍｍとした。
【００４９】
［初期接着強度］
上記ＰＶＡ系接着剤が硬化した後、後述する湿熱処理を経ていない偏光板サンプルについて、ＰＭＭＡフィルム９とＰＶＡフィルムとの接着強度（「初期接着強度」と称す）を測定した。測定方法は浮動ローラー法（ＪＩＳ  Ｋ６８５４）に依った。結果は平均で２．９Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００５０】
［耐久接着強度］
残りの偏光板サンプルに対して、ＰＶＡ接着剤が硬化した後、湿熱処理した。湿熱処理槽の内部を６０℃、９５％ＲＨの高温高湿度環境にし、この湿熱処理槽内に偏光板サンプルを１時間留置した。その後、偏光板サンプルを湿熱処理槽から出し、室温下で３分間冷却した。そして、ＰＭＭＡフィルム９とＰＶＡフィルムとの接着強度（「耐久接着強度」と称す）を上記初期接着強度と同じ浮動ローラー法（ＪＩＳ  Ｋ６８５４）にて測定した。結果は８．４Ｎ／ｉｎｃｈで材破した。したがって、ＰＭＭＡフィルムを湿熱環境に晒すと却って接着強度が高くなった。
なお、実施例１では、ＰＭＭＡフィルム９の表面処理、偏光板サンプルの作製、及び評価（初期接着強度測定・耐久接着強度測定）をすべて同日中に行なった。
【実施例２】
【００５１】
実施例２では、第１反応ガス中のアクリル酸濃度を５．８％とし、かつ第２反応ガス中のアクリル酸濃度を５．８％とした。それ以外の条件は、実施例１と同じであった。表面処理後の偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順についても実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で１．８Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度の測定では、８．４Ｎ／ｉｎｃｈで材破した。
【実施例３】
【００５２】
実施例３では、ＰＭＭＡフィルム９の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとした。それ以外の条件は、実施例２と同じであった。表面処理後の偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については実施例１、２と同じであった。初期接着強度は平均で２．９Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度の測定では、８．７Ｎ／ｉｎｃｈで材破した。
【００５３】
実施例１〜実施例３の結果より、第１、第２反応ガス中のアクリル酸濃度の設定、又は搬送速度の設定によって初期接着強度を調節できることが確認された。すなわち、アクリル酸濃度を高くするか、搬送速度を遅くすることで初期接着強度を高くすることができた。また、耐久接着強度に関しては、アクリル酸濃度及び搬送速度に拘わらず、十分に高くすることができた。
【実施例４】
【００５４】
実施例４では、実施例１と同一条件でＰＭＭＡフィルム９（ＯＰ−ＰＭＭＡ）の表面処理を行なった。表面処理後のＰＭＭＡフィルム９を巻いてロール状にし、これを３８日間、室温で留置した。そして、実施例１と同じ手順で偏光板サンプルを作製し、かつ初期接着強度及び耐久接着強度を測定した。初期接着強度は平均で２．８Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度の測定では、９．９Ｎ／ｉｎｃｈで材破した。
表面処理後の経時変化は殆ど起きないことが確認された。
【００５５】
表１は、実施例１〜４の主な処理条件及び評価をまとめたものである。
【表１】
2012207182.tif 000003
【００５６】
［比較例１］
比較例１として、上記表面処理を行なっていないＰＭＭＡフィルム９（ＯＰ−ＰＭＭＡ）について、偏光板サンプルを作製し、初期接着強度及び耐久接着強度を測定した。偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で０．４Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で０．５Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００５７】
［比較例２］
比較例２として、ＰＭＭＡフィルム９（ＯＰ−ＰＭＭＡ）の表面処理において第２接触工程及び第２照射工程を省略し、第１接触工程及び第１照射工程のみを行なった。それ以外の表面処理条件、偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で１．２Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で２．７Ｎ／ｉｎｃｈであった。
上記実施例及び比較例２の結果から、アクリル酸吹き付け及びアルゴンプラズマ照射を反復することで、初期接着強度及び耐久接着強度を向上できることが確認された。
【００５８】
［比較例３］
比較例３として、第１、第２放電生成ガスとして窒素（Ｎ２）を用いた。それ以外の表面処理条件は、第１、第２放電生成ガスの流量を含めて、実施例１と同じとした。偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順についても実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で１．３Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で６．３Ｎ／ｉｎｃｈであった。
上記実施例及び比較例３の結果から、放電生成ガスとしてアルゴンを用いることで初期接着強度及び耐久接着強度を向上できることが確認された。
【００５９】
［比較例４］
比較例４では、比較例３において第２接触工程及び第２照射工程を省略し、第１接触工程及び第１照射工程のみを行なった。それ以外の表面処理条件、偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については、比較例３と同じであった。初期接着強度は平均で１．２Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で１．６Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００６０】
［比較例５］
ここまでの実施例１〜４及び比較例１〜４では、ＰＭＭＡフィルムとしてＯＰ−ＰＭＭＡを用いたが、以下の比較例５〜７では、ＰＭＭＡフィルムとして積水化学工業株式会社製ＯＳ−ＰＭＭＡを用いた。比較例５では、表面処理を行なっていないＰＭＭＡフィルム（積水化学工業株式会社製ＯＳ−ＰＭＭＡ）について、偏光板サンプルを作製し、初期接着強度及び耐久接着強度を測定した。偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で０．４Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で０．５Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００６１】
［比較例６］
比較例６では、ＰＭＭＡフィルム（積水化学工業株式会社製ＯＳ−ＰＭＭＡ）に対する表面処理において第２接触工程及び第２照射工程を省略し、第１接触工程及び第１照射工程のみを行なった。それ以外の表面処理条件、偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については、実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で２．７Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で４．８Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００６２】
［比較例７］
比較例７では、比較例６において第１放電生成ガスとして窒素（Ｎ２）を用いた。それ以外の処理条件は、第１放電生成ガスの流量を含めて、比較例６と同じとした。偏光板サンプルの作製手順、並びに初期接着強度及び耐久接着強度の測定手順については、実施例１と同じであった。初期接着強度は平均で２．７Ｎ／ｉｎｃｈであった。耐久接着強度は平均で４．８Ｎ／ｉｎｃｈであった。
【００６３】
表２は、比較例１〜７の主な処理条件及び評価をまとめたものである。表２において、「処理数」の欄の「single」は、表面処理工程として第１接触工程及び第１照射工程のみを行なったことを示し、「twin」は、表面処理工程として第１接触工程及び第１照射工程、並びに第２接触工程及び第２照射工程を行なったことを示す。
【表２】
2012207182.tif 000004
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の偏光板に適用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１      フィルム表面処理装置
９      被処理フィルム（ＰＭＭＡフィルム）
１０    電極構造
１１    第１ロール電極
１２    第２ロール電極
１３    第３ロール電極
１４    ギャップ、第１放電空間
１５    ギャップ、第２放電空間
１６    ガイドロール
１７    ガイドロール
２０    第１反応ガス供給手段
２１    第１反応ガス供給源
２２    ガス路
２３    第１反応ガスノズル
２４    遮蔽部材
２５    第１吹付空間
３０    第１放電ガス供給手段
３１    第１放電ガス供給源
３２    ガス路
３３    下側の第１放電ガスノズル
３４    上側の第１放電ガスノズル
４０    第２反応ガス供給手段
４１    第２反応ガス供給源
４２    ガス路
４３    第２反応ガスノズル
４４    遮蔽部材
４５    第２吹付空間
５０    第２放電ガス供給手段
５１    第２放電ガス供給源
５２    ガス路
５３    下側の第２放電ガスノズル
５４    上側の第２放電ガスノズル
【図１】
2012207182.tif 000005
【図２】
2012207182.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月22日(2012.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
ＰＭＭＡフィルムの表面を処理するフィルム表面処理装置であって、
互いに平行に並べられ、隣り合うものどうし間のギャップに大気圧近傍下で放電を生成する第１、第２、第３ロール電極と、
前記第１ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第１反応ガスを吹き出す第１反応ガスノズルと、
前記第１ロール電極と前記第２ロール電極との間のギャップにアルゴンを吹き出す第１放電ガスノズルと、
前記第２ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第２反応ガスを吹き出す第２反応ガスノズルと、
前記第２ロール電極と前記第３ロール電極との間のギャップにアルゴンを吹き出す第２放電ガスノズルを含み、
前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１、第２、第３ロール電極に掛け回され、かつ前記第１、第２、第３ロール電極の回転によって前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１ロール電極、前記第２ロール電極、前記第３ロール電極の順に搬送されることを特徴とするフィルム表面処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明装置は、ＰＭＭＡフィルムの表面を処理するフィルム表面処理装置であって、
互いに平行に並べられ、隣り合うものどうし間のギャップに大気圧近傍下で放電を生成する第１、第２、第３ロール電極と、
前記第１ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第１反応ガスを吹き出す第１反応ガスノズルと、
前記第１ロール電極と前記第２ロール電極との間のギャップにアルゴンを吹き出す第１放電ガスノズルと、
前記第２ロール電極の周面に面して、アクリル酸を含有する第２反応ガスを吹き出す第２反応ガスノズルと、
前記第２ロール電極と前記第３ロール電極との間のギャップにアルゴンを吹き出す第２放電ガスノズルを含み、
前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１、第２、第３ロール電極に掛け回され、かつ前記第１、第２、第３ロール電極の回転によって前記ＰＭＭＡフィルムが前記第１ロール電極、前記第２ロール電極、前記第３ロール電極の順に搬送されることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
ＰＭＭＡフィルムを第１ロール電極、第２ロール電極、第３ロール電極の順に送りながら、第１ロール電極の周面上で第１反応ガスノズルから第１反応ガスをＰＭＭＡフィルムに吹き付ける。これによって、ＰＭＭＡフィルムの表面にアクリル酸の第１凝縮層を形成できる。次いで、第１、第２ロール電極間のギャップでＰＭＭＡフィルムにアルゴンプラズマを照射する。これによって、上記第１凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第１プラズマ重合膜を形成できる。続いて、第２ロール電極の周面上で第２反応ガスノズルから第２反応ガスをＰＭＭＡフィルムに吹き付ける。これによって、上記第１プラズマ重合膜上にアクリル酸の第２凝縮層を形成できる。その後、第２、第３ロール電極間のギャップでＰＭＭＡフィルムにアルゴンプラズマを照射する。これによって、上記第２凝縮層をプラズマ重合させて、ポリアクリル酸の第２プラズマ重合膜を上記第１プラズマ重合膜上に積層形成できる。この結果、難接着性のＰＭＭＡフィルムの接着強度を向上でき、更には接着耐久性を充分に向上させることができる。第１、第２、第３ロール電極は、ＰＭＭＡフィルムの支持手段及び搬送手段を兼ねる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
詳細な図示は省略するが、第１反応ガス供給源２１は、気化器を含む。気化器において、液体のアクリル酸がキャリアガス中に気化される。気化は、バブリング方式でもよく、押し出し方式でもよい。気化したアクリル酸とキャリアガスとが混合することにより、第１反応ガスが生成される。ここで、バブリング方式とは、気化器内の液体アクリル酸の液中にキャリアガスを注入し、キャリアガスの気泡中にアクリル酸を気化させる方式を云う。押し出し方式とは、気化器内の液体アクリル酸の液面より上側の空間部分にキャリアガスを導入し、上記空間部分の飽和アクリル酸蒸気をキャリアガスと混合して押し出す方式を云う。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
詳細な図示は省略するが、第２反応ガス供給源４１は、気化器を含む。気化器において、液体のアクリル酸がキャリアガス中に気化される。気化は、バブリング方式でもよく、押し出し方式でもよい。気化したアクリル酸とキャリアガスとが混合することにより、第２反応ガスが生成される。第１反応ガス供給源２１と第２反応ガス供給源４１が共通のアクリル酸供給源にて構成されていてもよい。