(57)【要約】      （修正有）【課題】周波数が５ＭＨｚ以上の電磁波に対して電磁波遮蔽効果の高い電磁波シールド材用Ｃｕ−Ｆｅ系銅合金板材を提供する。【解決手段】Ｆｅを１０．０ｍａｓｓ％以上５０．０ｍａｓｓ％以下、Ｎｉ，Ｃｏを１種又は２種の合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下、及びＣを１０ｐｐｍ以上含むＣｕ−Ｆｅ系銅合金板材。Ｃｕ母相内にＦｅ系第二相が晶出及び析出した組織を有し、圧延方向に垂直な断面において、アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相が、板厚方向に厚さ０．０５ｍｍあたり平均１０個以上存在し、その平均アスペクト比が２０以上である。Ｐ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｚｒ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｂを１種又は２種以上の合計で０．００５〜２．０ｍａｓｓ％、Ｚｎを０．００５〜５．０ｍａｓｓ％、Ａｇ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｍｎ，Ａｕ，Ｐｔを１種又は２種以上の合計で０．００１〜５．０ｍａｓｓ％含むことができる。【選択図】図１
2012207286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｆｅを１０．０ｍａｓｓ％以上５０．０ｍａｓｓ％以下、Ｎｉ，Ｃｏを１種又は２種の合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下、及びＣを１０ｐｐｍ以上含み、残部がＣｕ及び不可避不純物からなり、Ｃｕを主体とする母相とＦｅを主体とする第二相からなる組織を有し、圧延方向に垂直な断面で観察される前記第二相のうちアスペクト比が５以上のものが、前記断面の板厚方向に厚さ０．０５ｍｍあたり平均１０個以上存在し、その平均アスペクト比が２０以上であることを特徴とする電磁波シールド材用銅合金板材。
【請求項２】
さらにＰ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｚｒ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｂを１種又は２種以上の合計で０．００５ｍａｓｓ％以上２．０ｍａｓｓ％以下含む請求項１に記載の電磁波シールド材用銅合金板材。
【請求項３】
さらにＺｎを０．００５ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下含む請求項１又は２に記載の電磁波シールド材用銅合金板材。
【請求項４】
さらにＡｇ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｍｎ，Ａｕ，Ｐｔを１種又は２種以上の合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下含む請求項１〜３のいずれかに記載の電磁波シールド材用銅合金板材。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の電磁波シールド材用銅合金において、表面にＣｕ，Ａｕ，Ａｇ，Ｎｉ，Ｚｎ，Ｓｎ，又ははんだの１種を単層めっきするか２種以上を複層めっきした電磁波シールド材用銅合金板材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電磁波遮蔽（シールド）用の素材に関係し、さらに詳しくは家庭用又は業務用の電気製品から発生する電磁波或いは製品の外部より侵入する電磁波を遮蔽することに使用される電磁波シールド材用銅合金板材に関する。さらには精密な電磁的測定を伴う医療、電磁波の回り込みを嫌う放送設備、高度な電子機器を搭載した航空機など外部からの電磁波の影響を最小化する必要がある電磁遮蔽空間を構築するために使用される電磁波シールド材用銅合金板材に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、Ｆｅ：３〜９０質量％、Ｃｕ：１０〜９７質量％からなるＣｕ−Ｆｅ二元合金に微量添加物としてＣｏ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｒを加えたＣｕ−Ｆｅ系合金が電磁波シールド材として好ましいことが記載されている。
また、特許文献２には、Ｆｅ：５〜９５質量％、Ｃｒ：０．１〜２０質量％、及び少量のＡｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｐ等を含み、残部ＣｕからなるＣｕ−Ｆｅ系合金が電磁波シールド材として好ましいことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−４９１０４号公報
【特許文献２】特開平０６−２６４１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１，２に記載されたＣｕ−Ｆｅ系合金は、いずれもＣｕ母相中にＦｅ系第二相が晶出又は析出した複合組織を有し、この複合組織により、高い導電率、電界遮蔽効果及び磁界遮蔽効果を得ようとしたものである。
しかし、特許文献１では、電磁波遮蔽特性に及ぼすＦｅ含有量の影響や、Ｆｅを含まない銅板に対する優位性については、実施例等を見ても必ずしも明確ではない。一方、特許文献２では、実施例に理解し難い部分があるほか、同文献中に記載された２５ｄＢという電磁波遮蔽効果はそれほど高くはなくかつ数値の根拠も不明、という問題がある。
【０００５】
本発明は、電磁波遮蔽効果が高いとされるＣｕ−Ｆｅ系合金板材を改良し、より優れた電磁波遮蔽効果を有するＣｕ−Ｆｅ系合金板材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る電磁波シールド材用銅合金板材（箔を含む）は、Ｆｅを１０．０ｍａｓｓ％以上５０．０ｍａｓｓ％以下、Ｎｉ，Ｃｏを１種又は２種の合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下、及びＣを１０ｐｐｍ以上含み、残部がＣｕ及び不可避不純物からなり、Ｃｕを主体とする母相とＦｅを主体とする第二相（Ｆｅ系第二相）からなる組織を有し、圧延方向に垂直な断面で観察される前記Ｆｅ系第二相のうちアスペクト比が５以上のものが、前記断面の板厚方向に厚さ０．０５ｍｍあたり平均１０個／以上存在し、その平均アスペクト比が２０以上であることを特徴とする。 
なお、前記アスペクト比は、前記断面において測定した前記Ｆｅ系第二相の板幅方向の寸法／板厚方向の寸法（最大厚さ）である。詳細については後述する。
前記Ｆｅ系第二相の板厚方向の存在数（平均）は、前記断面の組織写真における板幅方向の任意の１０箇所において板厚方向に直線を引き、該直線と交差するアスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の数をカウントし、１０箇所の平均値を算出して厚さ０．０５ｍｍあたりに換算した数値である。また、平均アスペクト比は、カウント対象となった全てのＦｅ系第二相のアスペクト比の平均値である。
【０００７】
上記銅合金は、必要に応じてさらに、（１）Ｐ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｚｒ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｂを１種又は２種以上の合計で０．００５ｍａｓｓ％以上２．０ｍａｓｓ％以下、（２）Ｚｎを０．００５ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下、（３）Ａｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔを１種又は２種以上の合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下のうち、（１）〜（３）を単独で、又は（１）〜（３）の２又は３を適宜組み合わせて含むことができる。
【発明の効果】
【０００８】
銅合金は、導電率が比較的高いという特性上、一般に高い電界遮蔽効果を有する。そのため、銅合金板材による電磁波の遮蔽には、磁界遮蔽効果の付与がカギになる。本発明によれば、銅合金（Ｃｕ−Ｆｅ系合金）により高い磁界遮蔽効果を付与することができ、電磁波遮蔽効果が高い電磁波シールド材用銅合金板材を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例のＮｏ．４の試験材の圧延方向に垂直な断面のＳＥＭ組成像である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る電磁波シールド材用銅合金（Ｃｕ−Ｆｅ系合金）板材の成分組成、組織及び製造方法について、詳細に説明する。
（Ｆｅ）
Ｆｅは、Ｃｕ母相（Ｃｕを主体とする母相）中にＦｅ系第二相（Ｆｅ単体又はＦｅ系の金属間化合物からなるＦｅを主体とする第二相）として晶出又は析出し、これにより磁界遮蔽効果が向上する。このＦｅ系第二相は透磁率が高く、電磁波に対して透過減衰能を有している。このＦｅ系第二相を十分な磁界遮蔽効果を呈する程度に形成させるには１０ｍａｓｓ％以上のＦｅ含有量が必要である。一方、Ｆｅ含有量が５０ｍａｓｓ％を越えると、ＣｕとＦｅの２液相分離現象により晶出するＦｅ系第二相が粗大となるなど鋳塊の健全性が低下し、熱間加工や冷間加工に悪影響を与え、箔製作が行い難くなる。よって、Ｆｅは１０．０ｍａｓｓ％以上５０．０ｍａｓｓ％以下とする。好ましい範囲は１２．０ｍａｓｓ％以上４０．０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましい範囲は１５．０ｍａｓｓ％以上３０．０ｍａｓｓ％以下である。
【００１１】
（Ｎｉ、Ｃｏ）
Ｎｉ、Ｃｏは、溶解鋳造中に形成するＦｅ系第二相（晶出相）の凝固収縮率を緩慢にする作用があり、鋳塊製作時の健全性確保に効果がある。この効果は、Ｎｉ，Ｃｏの１種又は２種の合計が０．００１ｍａｓｓ％以上で発揮される。また、Ｎｉ、Ｃｏは、晶出又は析出するＦｅ系第二相中のＦｅ原子と置換することにより、Ｆｅ系第二相の透磁率に影響して磁界遮蔽効果を向上させる作用もある。この作用は、Ｎｉ、Ｃｏの１種又は２種の合計が０．０１ｍａｓｓ％以上で発揮され、０．５ｍａｓｓ％以上でより効果的になる。一方、Ｎｉ，Ｃｏの１種又は２種の合計が５．０ｍａｓｓ％を超えると上記効果が飽和し、逆に磁界遮蔽効果を低下させる。
従って、Ｎｉ、Ｃｏの１種又は２種の添加は、合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下とする。好ましい範囲は、０．００５ｍａｓｓ％以上４．０ｍａｓｓ％以下、さらに好ましくは、０．０１ｍａｓｓ％以上３．０ｍａｓｓ％以下である。
【００１２】
（Ｃ）  
Ｃは、ＣｕとＦｅの２液相分離現象の効果を高め、Ｆｅ系第二相を晶出させ、Ｃｕ−Ｆｅ系合金の磁界遮蔽効果を向上させる作用がある。Ｆｅ系第二相を晶出させるにはこの２液相分離現象を活用するが、Ｃ含有量が１０ｐｐｍ（質量）未満ではこの作用は十分でない。従って、Ｃの添加は１０ｐｐｍ以上、より好ましくは２０ｐｐｍ以上とする。Ｆｅ濃度が大きいほどＣ濃度も大きくなる傾向にある。
本来、ＣはＣｕ中に１ｐｐｍ程度しか溶解できない元素であるが、原料溶解時にＣ源として木炭だけでなくφ０．１ｍｍ以下のカーボン粉を使用することで接触表面積を増大させること、同時に溶銅へのＦｅ添加を後述するＰ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｂの１種又は２種以上の添加よりも先にすることにより、１０ｐｐｍ以上の添加が可能である。添加したＣは晶出するＦｅ系第二相に入りやすく、添加量が多くなっても電磁波遮蔽効果に対する悪影響は確認されていないが、Ｆｅ系第二相の加工性に影響するため、質量％でＦｅ含有量の０．８％以下に規制することが望ましい。
Ｃは、後述するＰ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ａｌの１種又は２種以上と合わせて適切な範囲で添加することで、２液相分離現象の効果をより高めることができる。
【００１３】
（Ｐ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｂ）
一般にＣｕ−Ｆｅの２元系平衡状態図には、Ｆｅ：１．６ｍａｓｓ％程度からこの２液相分離現象が発現することが示されているが、Ｆｅ系第二相が効果的な磁界遮蔽効果を呈するレベルとするには不足であり、先に述べたとおり、Ｆｅは１０．０ｍａｓｓ％以上、好ましくは１２ｍａｓｓ％以上が必要になる。
これに対し、Ｐ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｂの１種又は２種以上と前記Ｃを適切な範囲とすることで、溶解時の２液相分離現象時の分離効率を高め、更には熱間加工時や熱処理時にＣｕ母相からのＦｅ系第二相の析出効率も高め、その結果、銅合金の磁界遮蔽効果を高めることができる。
上記元素の１種又は２種以上が０．００５ｍａｓｓ％未満では、上記作用が不十分である。一方、２．０ｍａｓｓ％を超えて添加すると、逆に磁界遮蔽効果が低下する。従って、上記元素の１種又は２種以上の添加量は、合計で０．００５ｍａｓｓ％以上２．０ｍａｓｓ％以下の範囲とし、必要に応じて添加する。望ましい範囲は０．０１ｍａｓｓ％以上１．５ｍａｓｓ％以下、更に望ましくは、０．０３ｍａｓｓ％以上１．０ｍａｓｓ％以下である。
【００１４】
（Ｚｎ）
Ｚｎは、電磁波シールド材にめっきを施す場合などに、必要に応じて添加される。めっきを施すことで、使用環境による腐食に対する耐性を持たせることができる。また、めっき自体も電磁波の遮蔽効果を有している。
めっき方法として乾式、湿式、溶融のいずれも用いることができ、Ｚｎを０．００５ｍａｓｓ％以上添加することで、めっきに対する濡れ性、拡がり性及び耐熱剥離性が向上する。なお、銅合金にＺｎを添加することにより、Ｓｎ又はＳｎ合金めっきやはんだめっき等の耐熱剥離性が向上することは、各種文献等により公知である。一方、５．０ｍａｓｓ％以上のＺｎの添加は、銅合金の磁気遮蔽効果を低下させ、さらに溶融Ｓｎや溶融はんだめっき時の濡れや拡がり性を低下させる。従って、Ｚｎの添加は、０．００５ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下とする。好ましくは０．０１ｍａｓｓ％以上４．０ｍａｓｓ％以下、更に好ましくは０．０５ｍａｓｓ％以上３．０ｍａｓｓ％である。
【００１５】
（Ａｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔ）
電磁波シールド材をコネクタに使用した際の外套部、電線に巻きつける部材、回路基板の基材などに使用する場合には、単にシールド特性だけでなく強度、ばね性、屈曲性が必要となる。Ａｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔは、母相の強度やばね性、屈曲性などを上げる作用を有し、必要に応じて添加される。
上記元素を添加することで、前述の遮蔽効果を変えることなく、母相の強度、ばね性、屈曲性を向上させることが可能であり、必要に応じて添加される。上記元素の１種又は２種以上を合計で０．００１ｍａｓｓ％以上添加することで屈曲性が向上し、強度、ばね性は０．０１ｍａｓｓ％以上の添加で向上する。一方、合計で５．０ｍａｓｓ％以上の添加は、磁界遮蔽効果を低下させることから好ましくない。従って、上記元素の１種又は２種以上の添加は、合計で０．００１ｍａｓｓ％以上５．０ｍａｓｓ％以下とする。好ましくは０．０１ｍａｓｓ％以上２．０ｍａｓｓ％以下、更に好ましくは、０．０５ｍａｓｓ％以上１．０ｍａｓｓ％以下である。
【００１６】
（不可避不純物）
本Ｃｕ−Ｆｅ系銅合金の不可避不純物には、Ｃｄ、Ｂｅ、Ｈｆ、Ｔｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｓｒ、Ｐｄ、Ｗ、Ｓ、Ｎｂ、Ｖ、Ｙ、Ｍｏ、Ｐｂ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｔｅ、Ｏ、Ｈ等が考えられる。Ｃｄ、Ｂｅ、Ｈｆ、Ｔｈ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｓｒ、Ｐｄ、Ｗ、Ｓ、Ｎｂ、Ｖ、Ｙ、Ｍｏ、Ｐｂ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｔｅは、合計で０．００５ｍａｓｓ％を超えて含まれると、本Ｃｕ−Ｆｅ系銅合金がＰ、Ｓｉを含む場合にＦｅ−Ｐ系析出、Ｆｅ−Ｓｉ系析出に影響し、磁界遮蔽効果を低減させる。ただし、これらの成分の通常の不可避不純物レベルは極めて低く問題になることはない。Ｏ、Ｈは、通常の不可避不純物レベル（Ｏ：２００ｐｐｍ以下、Ｈ：１０ｐｐｍ以下）において、Ｃと同様に、Ｐ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｃｒ、ＡｌとともにＦｅ系相の２液相分離現象の効果を高める作用を有する。
【００１７】
（銅合金板材の組織）
本発明に係る銅合金板材の組織はＣｕ母相（Ｃｕを主体とする相）及びＦｅ系第二相（Ｆｅを主体とする相）からなる。圧延と焼鈍を繰り返す工程により、Ｃｕ母相中に晶出及び析出していたＦｅ系第二相はせん断変形して形状が偏平化され、圧延方向及び板幅方向に伸展する。Ｆｅ系第二相内部に生じる反磁性は形状が偏平であるほど小さくなるため、偏平なＦｅ系第二相は軟磁性の性質を示し、より高い透磁率が得られる。従って、銅合金板材中においてＦｅ系第二相が偏平なほど、効率的な電磁波の遮蔽効果（反射と吸収の効果）が得られる。 このような偏平なＦｅ系第二相が、銅合金板材の板厚方向に層状に多数存在するとき、電磁波の遮蔽効果がより高くなると考えられる。
【００１８】
アスペクト比はＦｅ系第二相の偏平化の指標となるものであり、本発明では、この値が５以上のとき偏平とみなしている。そして、本発明では、銅合金板材の圧延方向に垂直な断面で観察されるアスペクト比が５以上のＦｅ系第二相が、前記断面の板厚方向に厚さ０．０５ｍｍあたり平均１０個（１０層）以上存在する、と規定しており、この規定を満たすとき、銅合金板材は優れた電磁波遮蔽効果（特に磁界遮蔽効果）を有する。
この個数（層数）は多いほど望ましく、例えば２０以上であることが望ましい。この個数（層数）は合金組成や製造方法、鋳塊厚さ、最終板厚等によっても変化するので、上限値を規定する意味はない。しかし、仮に実操業レベルの鋳塊（スラブ）に実施例の条件を適用すれば、２５０個（層）程度は可能と思われる。
Ｆｅ系第二相のアスペクト比は、前記断面において測定したＦｅ系第二相の板幅方向の寸法をＷとし、板厚方向の寸法の最大値（最大厚さ）をｔとしたとき、Ｗ／ｔで表される。ただし、Ｆｅ系第二相の中には板幅方向に長く伸張して、ＳＥＭ組成像（組織写真）の一方端又は両端を超えて伸張しているものも多い。そこで、本発明では、図１に示すように、ＳＥＭ組成像のうち板厚方向にＴ（Ｔ：板厚）、板幅方向に１．６６×Ｔの矩形領域を測定範囲とし、この測定範囲の一方端又は両端を超えて伸張するＦｅ系第二相については、前記測定範囲内で実際に観察される板幅方向の寸法（長さ）を、板幅方向の寸法Ｗとみなし、前記測定範囲内で実際に観察される板厚方向の寸法の最大値を、板厚方向の寸法の最大値ｔとみなす。アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の板厚方向の存在数の測定も同じ測定範囲で行うものとする。
【００１９】
圧延方向に垂直な断面において、Ｆｅ系第二相のアスペクト比は大きい方（偏平化の程度が大きい）がより望ましく、アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の平均アスペクト比は２０以上が望ましく、さらに５０以上が望ましい。この平均アスペクト比の上限は規定しないが、実施例の平均アスペクト比からみて、本発明の組成及び製造方法による実現可能な上限値として２００〜２５０程度を挙げることができる。
アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相は、銅合金板材に均一に分散することで、効率的な電磁波遮蔽効果が得られる。Ｆｅ系第二相の均一分散の指標となるのが、圧延方向に垂直な断面の各測定箇所（１０箇所）で測定されたＦｅ系第二相の最大個数（層数）と最小個数（層数）の比である。この比は小さい方が望ましく、具体的には、１．００〜２．００が望ましく、さらに１．００〜１．６０が望ましい。
【００２０】
後述する実施例にみられるように、圧延方向に垂直な断面において、アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の板厚方向の平均個数（層数）、及びアスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の平均アスペクト比の各数値が、上記範囲（それぞれ１０以上、２０以上）を満たすとき、Ｆｅ系第二相が伸張しやすい圧延方向に平行な断面（板面に垂直）でも、前記各数値は前記範囲をほぼ同様に満たす。上記の点は、アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の最大個数（層数）と最小個数（層数）の比についても同様である。従って、本発明では、アスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の板厚方向の平均個数、及び平均アスペクト比の数値は、圧延方向に垂直な断面で規定したデータを用いて規定した。なお、圧延方向に平行な断面（板面に垂直）におけるＦｅ系第二相のアスペクト比の測定は、先に述べた圧延方向に垂直な断面におけるＦｅ系第二相のアスペクト比の測定と同じ要領で行った。
【００２１】
（めっき）                               
銅合金に広範囲の周波数帯域の電磁波シールド効果を付与させるには、表面に異なった金属をめっきすることも簡素で有効な方法である。また、シールド材に使用環境による腐食などの耐性を高いレベルで持たせるためには、銅合金の表面に各種めっきを施すことが有効である。乾式、湿式、溶融などのめっき手法を問わず表面にＣｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｓｎ、はんだの１種を単層めっきするか、２種以上を複層めっき（２種以上を順次積層）することができる。
【００２２】
（製造条件）
上記電磁波シールド材用銅合金板材の好ましい製造方法は次のとおりである。
上記組成の銅合金の鋳塊を９００℃以上で３０分以上加熱した後、８００℃以下７００℃以上の温度域で減面率５０％以上の熱間圧延を３０秒以上行い、続いて冷却速度：５〜２００℃／分の放冷又は徐冷を行い、６５０℃以下５５０℃以上の温度域から５０℃／秒以上の速度で冷却した後、下記（１）と（２）の工程を１回又は２回以上繰り返し、さらに減面率２５％以上９０％以下の冷間圧延を行う。
（１）減面率２５％以上９５％以下の冷間圧延。
（２）（ａ）５５０℃以上６５０℃以下の温度で１０分以上加熱保持した後に、（ｂ）４５０℃以上５５０℃以下の温度まで０．１℃／分以上１℃／分以下の速度で冷却し、（ｃ）４５０℃以上５５０℃以下の温度で１時間以上の時間を保持する、一連の再固溶及び析出熱処理。
【００２３】
上記製造方法は、上記組成の銅合金において、高い導電率と磁界遮蔽効果を得るためのものである。製造工程の複数の段階でＦｅ系第二相を晶出又は析出させることで、種々のサイズのＦｅ系第二相がＣｕ母相中に形成される。
まず、前記鋳塊加熱により、溶解鋳造時に形成した２液相分離現象に起因するＦｅ系第二相の一部を固溶させる。鋳塊加熱の条件は、望ましくは９３０℃以上で６０分以上、更に望ましくは９５０℃以上で１２０分以上である。ここで固溶したＦｅ系第二相は、次段以降の工程で再びＦｅ系第二相として析出する。
【００２４】
次に、前記熱間圧延により、２液相分離現象では得られない、より微細なＦｅ系第二相を多数析出させる。前記温度域で加工歪を加えることで、Ｆｅ系第二相の動的析出が効率的に誘発される。なお、熱間圧延の時間が３０秒以上というのは、熱間圧延を施している合計の時間が３０秒以上あればよいということであり、途中で熱間圧延を施さない時間（上記温度域での保持）があってもよい。
熱間圧延後の放冷又は徐冷の冷却過程で、やや大きめのサイズのＦｅ系第二相を析出させ、続く急冷により、それまでに得られたＣｕ母相とＦｅ系第二相の組織状態を保持する。放冷又は徐冷の過程で、Ｆｅ系第二相の析出と並行して再結晶が生じ、続く冷間圧延時の加工性が確保される。
【００２５】
上記（１）の冷間圧延と、続く（２）の一連の再固溶及び析出熱処理により、再結晶と、さらに微細なＦｅ系第二相の析出が効率よく行われる。冷間圧延の減面率の望ましい範囲は、３０％以上９０％以下、更に望ましくは、４０％以上、８０％以下である。
上記（２）（ａ）の加熱保持のステップでは、上記（１）の冷間圧延により導入された歪みを駆動力とする再結晶が生じ、上記（２）（ｃ）のステップ後の冷間圧延時の延性が確保される。また、これまでに生成していたＦｅ系第二相の一部が再固溶し、このとき再固溶したＦｅ系第二相は、続く（２）（ｂ）、（２）（ｃ）のステップで新たなＦｅ系第二相として析出する。保持時間はコスト面から１０時間以下が望ましい。
上記（２）（ｂ）の冷却のステップでは、（２）（ａ）のステップで再固溶した状態を維持し、続く（２）（ｃ）のステップでは、再固溶したＦｅを新たなＦｅ系第二相として微細析出させる。
【００２６】
続く冷間圧延（最後の冷間圧延）は調質圧延の意味合いを持ち、銅合金板の板厚、平坦度、強度、ばね性、曲げ加工性などを考慮して行われる。望ましい範囲は、３０％以上９０％以下、更に望ましくは、４０％以上８０％以下である。
【実施例】
【００２７】
次に、本発明に係わる電磁波シールド材用銅合金板材の実施例について説明する。
【実施例１】
【００２８】
表１に示すＮｏ．１〜１０，１２〜１７の銅合金について、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏを炉中で溶解した後、Ｃ量を所定の範囲に調整するために、平均粒径がφ０．０６ｍｍのカーボン粉末を投入し溶湯表面を被覆して溶湯とカーボン粉末を接触させ、その後、残る元素を添加し溶解した。Ｎｏ．１１の銅合金についてはカーボン粉末の投入を行わなかった。続いて、溶湯をブックモールドに鋳造し、５０ｍｍ×８０ｍｍ×２００ｍｍの鋳塊を作製した。
【００２９】
この鋳塊を約９５０℃×１Ｈｒ加熱し、１５ｍｍまで熱間圧延した。この熱間圧延は赤外線放射式の温度計にて材料温度を測定しながら実施し、４０ｍｍｔから１５ｍｍｔまでの圧下（減面率：６２．５％）を行う際に、７００〜８００℃の温度域で加工時間が３０秒以上となるように圧延速度を調整した。１５ｍｍｔの時点で６００℃まで放冷した後、直ちに水中急冷して厚さ１５ｍｍの熱延材を作製した。
【００３０】
この熱延材の表面の酸化スケールを除去するため、１４ｍｍｔまで表面切削した後、２ｍｍｔまで冷間圧延（減面率：８５．７％）を実施し、続いて、前記（２）（ａ）〜（ｃ）の一連の再固溶及び析出熱処理と減面率９２．５％の冷間圧延（０．１５ｍｍｔ）、さらに前記（２）（ａ）〜（ｃ）の一連の再固溶及び析出熱処理と減面率６６．７％の冷間圧延の工程を実施し、５０μｍｔの試験材を作製した。
なお、表１のＮｏ．１〜１７の銅合金において、Ｏは５０〜９０ｐｐｍ、Ｈは１ｐｐｍであった。また、Ｎｏ．１〜１７以外に導電率と透磁率が既知の参考例１，２（いずれも厚さ５０μｍｔ）を用意した。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
Ｎｏ．１〜１７の試験材について、Ｆｅ系第二相の組織形態（平均層数、層数比、平均アスペクト比）を下記要領で測定した。その結果を表２に示す。
圧延方向に垂直な断面と、圧延方向に平行な板幅中央部断面（板面に垂直）を、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いて１５００倍の倍率で観察し、得られた組成像（組織写真）の任意の１０箇所において板厚方向に直線を引き、該直線と交差するアスペクト比が５以上のＦｅ系第二相の個数（層数）をカウントした。Ｆｅ系第二相の実際の測定範囲は、先に述べたとおりＴ×１．６６Ｔの範囲、すなわち板厚方向にＴ（＝５０μｍ）、板幅方向（圧延方向に垂直な断面の場合）又は圧延方向（圧延方向に平行な断面の場合）に１．６６×Ｔ（＝８３μｍ）の範囲である。得られたデータから、Ｎｏ．１〜１７の試験材毎に、平均層数（１０箇所の個数の平均値）、及び層数比（最大個数と最小個数の比）を算出した。また、Ｎｏ．１〜１７の試験材毎に、カウントした全てのＦｅ系第二相のアスペクト比を平均して、平均アスペクト比を算出した。
なお、Ｎｏ．４の圧延方向に垂直な断面のＳＥＭ組成像を図１に示す。
【００３３】
【表２】
2012207286.tif 000004
【００３４】
また、Ｎｏ．１〜１７の試験材と参考例１，２について下記要領で電磁遮蔽能を測定した。その結果を表３に示す。
電磁遮蔽能の測定は、最終板厚（５０μｍｔ）の試験材１〜１７と参考例１，２を試料とし、社団法人  関西電子工業振興センターが開発したＫＥＣ法を用いた。試験材−磁界発生源間の距離を４．８ｍｍとした。電磁波の周波数を連続的に変化させ、電界、磁界が５、１０、５０、１００、５００ＭＨｚ、５ＧＨｚの時点での電磁遮蔽能を読み取った。
ただし、磁界遮蔽能は、周波数が５０ＭＨｚ以上ではごく一部を除いて試験機の測定限界を超えたため、表３において、シェルクノフの式により算出した計算値を実測値に併記し、又は実測値に代えて記載した。表３のカッコ内の数値が計算値である。表３に示すように、実測値と計算値の一致性が高く、シェルクノフの式の信頼性は高いといえる。
一方、電界遮蔽能は、５〜５００ＭＨｚ及び５ＧＨｚの全ての周波数において試験機の測定限界を超えたため適正な実測値が存在せず、シェルクノフの式により算出した。その計算値は、全ての試験材及び参考例においてかつ上記全ての周波数において、２００ｄＢを超える高い数値となった。従って、試験材１〜１７及び参考例１，２の電界遮蔽能は、いずれも高水準にあると判断した。表３には電界遮蔽能の計算値を示していない。
【００３５】
シェルクノフの式は下記［数１］のとおりである。シェルクノフの式により電界遮蔽能及び磁界遮蔽能を計算するにあたり、試験材１〜１７について導電率及び透磁率を測定した。導電率は、０．１５ｍｍｔの段階の試験材を試料とし、ＪＩＳＨ０５０５の方法により測定した。透磁率の測定は、０．１５ｍｍｔの段階の試験材を試料とし、振動試料型磁力計（理研電子製、ＢＨＶ−５）を用いて行った。数値は磁力曲線より得られた最大透磁率を採用した。
測定した導電率σ、透磁率μ、試料板厚ｔ（０．０５×１０−３ｍ）、周波数ｆ（５、１０、５０、１００、５００ＭＨｚ、５ＧＨｚ）、距離ｒ（４．８×１０−３ｍ）を下記式に代入し、試験材１〜１７及び参考例１，２の電界遮蔽能及び磁界遮蔽能を計算した。
【００３６】
【数１】
2012207286.tif 000005
【００３７】
【表３】
2012207286.tif 000006
【００３８】
表２，３に示すように、成分組成が本発明の規定を満たすＮｏ．１〜１０は、Ｆｅ系第二相の組織形態についても本発明の規定を満たし、実測値同士及び計算値同士で比較すると、磁界遮蔽能はどの周波数でも従来材である参考例１に比べて高く、参考例２（導電率が低いため放熱性が劣る）とほぼ同レベルである。
一方、Ｃ含有量が不足するＮｏ．１１は、Ｆｅ系第二相の組織形態についても本発明の規定を満たさない。本発明例であるＮｏ．１〜１０は、実測値同士及び計算値同士で比較すると、磁界遮蔽能はどの周波数でもＮｏ．１１に比べて高い。これは、Ｎｏ．１〜１０ではＦｅ系第二相の晶析出がより効果的に行われたためと考えられる。
また、Ｎｏ．１２はＦｅ含有量が不足し、Ｆｅ系第二相の組織形態が本発明の規定を満たさず、磁界遮蔽能が低い。
Ｎｏ．１３はＦｅ含有量が過剰なため、Ｎｏ．１４はＮｉとＣｏの１種又は２種の含有量が不足するため、いずれも箔製作が可能なほど鋳塊の健全性が良くなかった。
Ｎｏ．１５はＮｉ含有量が過剰なためか、磁界遮蔽能が低い。
Ｎｏ．１６はＦｅ含有量が不足し、Ｆｅ系第二相の組織形態が本発明の規定を満たさず、磁界遮蔽能が低い。
Ｎｏ．１７はＰ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｚｒ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｂの１種又は２種以上の合計が過剰なためか、磁界遮蔽能が低い。
【実施例２】
【００３９】
表４に示すＮｏ．１８〜３１の銅合金を、実施例１と同様の手順で溶解（カーボン粉末で溶湯表面を被覆）、鋳造及び加工熱処理し、５０μｍｔの試験材を作製した。
なお、表４のＮｏ．１８〜３１の銅合金において、Ｏは５０〜９０ｐｐｍ、Ｈは１ｐｐｍであった。なお、Ｎｏ．２８はＺｎ含有量が不可避不純物レベルであり、Ｎｏ．３０はＳｎ（Ａｇ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔも）含有量が不可避不純物レベルである。
【００４０】
【表４】
2012207286.tif 000007
【００４１】
Ｎｏ．１８〜３１の試験材について、Ｆｅ系第二相の組織形態（平均層数、層数比、平均アスペクト比）を実施例１と同じ要領で測定した。その結果を表５に示す。
【００４２】
【表５】
2012207286.tif 000008
【００４３】
また、Ｎｏ．１８〜３１の試験材について、引張強度及び電磁波遮蔽能を測定した。
引張強度は、最終板厚（５０μｍｔ）の各試験材から圧延方向に採取したＪＩＳ５号引張試験片を用い、ＪＩＳＺ２２４１の規定に準じて引張試験を行って求めた。引張強度は５５０ＭＰａ以上を優れる（Ａｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔの添加効果がある）と評価した。
電磁遮蔽能の測定は最終板厚（５０μｍｔ）の試験材を用い、実施例１と同様に行った。
【００４４】
また、めっき性の評価のため、最終板厚（５０μｍｔ）の試験材に弱活性ロジン系フラックスを塗布した後、厚さ１０μｍの溶融Ｓｎめっきを実施し、めっき直後の健全性を目視評価し、更にこの溶融Ｓｎめっきを施した試験材を１５０℃×１０００Ｈｒｓの条件で加熱経時を行い、内側Ｒが１ｍｍＲの曲げ戻しによって曲げ部分のめっき剥離状態を目視で観察した。めっき健全性（外観）は、めっきの濡れている面積（付いている面積）が溶融めっき中に浸漬したエリアの９５％以上の場合を合格（良好）と評価し、めっき耐熱剥離性は曲げ戻し部分に剥離がない場合を合格（剥離せず）と評価した。
【００４５】
Ｎｏ．１８〜３１の試験片の引張強度、Ｓｎめっき特性及び磁界遮蔽能の測定値を表６に示す。磁界遮蔽能は、周波数が５０ＭＨｚ以上ではごく一部を除いて試験機の測定限界に達したため、表６において、シェルクノフの式により算出した計算値を実測値に併記し、又は実測値に代えて記載した。表６のカッコ内の数値が計算値である。電界遮蔽能については、実施例１と同じ理由で実測値が存在せず、シェルクノフの式により算出した。その結果、Ｎｏ．１８〜３１の電界遮蔽能は、いずれも高水準にあると判断した。表６には電界遮蔽能の計算値を示していない。 
なお、シェルクノフの式により磁界遮蔽能及び電界遮蔽能を計算するにあたり、実施例１と同じく０．１５ｍｍｔの段階の試験材を試料とし、実施例１と同じ要領で導電率及び透磁率を測定した。
【００４６】
【表６】
2012207286.tif 000009
【００４７】
表５，６に示すように、成分組成が本発明の規定を満たすＮｏ．１８〜２７は、Ｆｅ系第二相の組織形態についても本発明の規定を満たす。また、本発明例であるＮｏ．１８〜２７は、引張強度が高く、めっき外観及びめっき耐熱剥離性も優れている。なお、Ｚｎ、（Ａｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔ）の添加に伴い、実施例１のＮｏ．１〜１０に比べて磁界遮蔽効果がやや低下している。
一方、Ｎｏ．２８はＺｎの含有量が不可避不純物レベルで、めっきの剥離が生じている。Ｎｏ．３０はＳｎ（Ａｇ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔも）の含有量が不可避不純物レベルで、強度が向上しておらず、いずれも添加効果が確認できない。
Ｎｏ．２９はＺｎ含有量が過剰であり、磁界遮蔽効果が低い。めっき外観も劣る。
Ｎｏ．３１はＡｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｕ、Ｐｔの含有量が過剰であり、Ｆｅ系第二相の組織形態についても本発明の規定を満たさず、磁界遮蔽効果が低い。
【実施例３】
【００４８】
Ｃｕ−１５Ｆｅ−０．５Ｎｉ−０．２Ｃｏ−０．０３Ｐ−０．０４Ｓｉ−０．１Ｚｎ−０．１Ｓｎの組成の銅合金を、実施例１と同様の手順で溶解（カーボン粉末で溶湯表面を被覆）し、２００ｍｍ×５００ｍｍ×２０００ｍｍの鋳塊を作製した。Ｃ量は４０ｐｐｍであった。
この鋳塊を８０ｍｍ×２００ｍｍのサイズに切断し（厚さは表７の開始厚の欄に記載）、表７に記載した条件にて熱間圧延とその後の冷間圧延を実施した。
【００４９】
【表７】
2012207286.tif 000010
【００５０】
Ｎｏ．３２，３４では、熱間圧延は、材料温度を赤外線放射式の温度計にて測定しながら、表７に記載した温度域で時間と減面率を制御して実施し、冷却開始温度まで放冷した後にミスト散布により所定の冷却速度で室温まで冷却して熱延材とした。続いてＮｏ．３２では、表面の酸化スケールを除去するため片面０．５ｍｍを表面切削し、Ｎｏ．３４では、熱間圧延に続く冷間圧延の加工率を調整するために、酸化スケール除去の面削に加え板厚が２．４ｍｍｔになるまで切削除去した。
一方、Ｎｏ．３３は、圧延前加熱後、熱間圧延を省略してそのまま放冷した。
【００５１】
続いて、Ｎｏ．３２〜３４について、厚さ２．０ｍｍまで冷間圧延を実施した後、前記（２）（ａ）〜（ｃ）の一連の再固溶及び析出熱処理を行い、圧下率９２．５％の冷間圧延にて０．１５ｍｍｔとし、続いて同じく再固溶及び析出熱処理を行い、圧下率６６．７％にて５０μｍｔの試験材を製作した。
【００５２】
Ｎｏ．３２〜３４の試験材について、Ｆｅ系第二相の組織形態（平均層数、層数比、平均アスペクト比）を実施例１と同じ要領で測定した。その結果を表８に示す。
【００５３】
【表８】
2012207286.tif 000011
【００５４】
また、電磁波遮蔽能の測定を、最終板厚（５０μｍｔ）の試験材を用いて、実施例１と同様に行った。その結果を表９に示す。
磁界遮蔽能は、周波数が５０ＭＨｚ以上ではごく一部を除いて試験機の測定限界を超えたため、表９において、シェルクノフの式により算出した計算値を実測値に併記し、又は実測値に代えて記載した。表９のカッコ内の数値が計算値である。電界遮蔽能については、実施例１と同じ理由で実測値が存在せず、シェルクノフの式により算出した。その結果、Ｎｏ．３２〜３４の電界遮蔽能は、いずれも高水準にあると判断した。表９には電界遮蔽能の計算値を示していない。 
なお、シェルクノフの式により磁界遮蔽能及び電界遮蔽能を計算するにあたり、実施例１と同じく０．１５ｍｍｔの段階の試験材を試料とし、実施例１と同じ要領で導電率及び透磁率を測定した。
【００５５】
【表９】
2012207286.tif 000012
【００５６】
表７〜９に示すように、先に示した好ましい条件で製造したＮｏ.３２は、Ｆｅ系第二相の組織形態が本発明の規定を満たす。
一方、規定の熱間圧延を行わなかったＮｏ．３３、熱間圧延後の冷間圧延の減面率が小さかったＮｏ．３４は、Ｆｅ系第二相の組織形態が本発明の規定を満たさず、磁界遮蔽効果が相対的に低い。
【図１】
2012207286.tif 000013