(57)【要約】【課題】複数の導入路を通過する液体を均一な温度に加熱して、吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケース４と、を具備し、前記導入路５６が、前記ケース４に複数並設されており、前記ケース４の前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路５６の並設方向に沿って加熱手段７０が設けられており、前記導入路５６は、当該導入路５６の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段７０に相対向する面積が広くなるように設けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、
該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケースと、を具備し、
前記導入路が、前記ケースに複数並設されており、
前記ケースの前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路の並設方向に沿って加熱手段が設けられており、
前記導入路は、当該導入路の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段に相対向する面積が広くなるように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記導入路が、長穴の開口形状を有し、前記導入路は、長穴の長軸が前記加熱手段が設けられた側面の面方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
複数の導入路は、同等の開口面積となるように設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項４記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する複数の圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧力発生手段とを具備するものがある。
【０００３】
このような記録ヘッドから吐出する液体には、液体の種類に応じて吐出に適した粘度がある。液体の粘度は、温度と相関関係にあるため、温度が低いほど粘度が高くなり、温度が高いほど粘度が低くなる特性がある。そのため、通常使用する液体の粘度に適するように設計された記録ヘッドが、低温（高温）環境に置かれた場合や、粘度の高い（低い）液体を吐出する場合などには、液体を加熱（冷却）する必要がある。具体的には、導入路などの流路が設けられたケースに加熱手段を設け、加熱手段によってインクを加熱することでインクの粘度を低下させて、良好なインクの吐出特性を得るようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−０２３２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、加熱手段はフィルム状等の平板形状を有し、ケースの側面側や内部などに平面的に配置されるため、熱分布に偏りが生じ、複数の流路のインクを均一な温度に温めることができず、吐出されるインクの粘度に偏りが生じ、インク吐出特性にばらつきが生じて印刷品質が低下してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、複数の導入路を通過する液体を均一な温度に加熱して、吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケースと、を具備し、前記導入路が、前記ケースに複数並設されており、前記ケースの前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路の並設方向に沿って加熱手段が設けられており、前記導入路は、当該導入路の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段に相対向する面積が広くなるように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、加熱手段の熱分布によって加熱され難い領域に設けられた導入路を通過する液体を加熱されやすい領域の導入路を通過する液体と同じように加熱することができるため、温度を均一化して均一な粘度で液体を供給することができる。これにより、液体の吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる。
【０００９】
ここで、前記導入路が、長穴の開口形状を有し、前記導入路は、長穴の長軸が前記加熱手段が設けられた側面の面方向に沿って配置されていることが好ましい。これによれば、導入路の加熱手段に相対向する面積をさらに広げて、導入路を通過する液体を効率よく加熱することができる。
【００１０】
また、複数の導入路は、同等の開口面積となるように設けられていることが好ましい。これによれば、導入路を通過する液体の流路抵抗を均一化して供給特性を均一化することができるため、液体の吐出特性を均一化することができる。
【００１１】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、均一な粘度の液体を吐出して吐出特性を均一化することができると共に所望の吐出特性で液体を吐出させることができるため、印刷品質を向上した液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
【００１２】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニット又は液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、印刷品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの上面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す上面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの上面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図及びそのＢ−Ｂ′線断面図であり、図４は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、一対（２つ）のアクチュエーターユニット２と、アクチュエーターユニット２を内部に収容可能な収容部３が設けられたケース４と、ケース４の先端面（固定面）に接合された流路ユニット５と、を具備する。
【００１６】
図３に示すように、本実施形態のアクチュエーターユニット２は、本実施形態のアクチュエーターである複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。
【００１７】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００１８】
この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列が形成されている。なお、圧電素子１１の列の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子１１と同様に、圧電素子形成部材１３で形成されているが、実質的に駆動されない非駆動振動子であり、アクチュエーターユニット２を記録ヘッド１に組み込む際に、位置決め部１９をケース４に設けられた収容部３の側面に当接させて、アクチュエーターユニット２を高精度に位置決めするためのものである。
【００１９】
ここで、圧電素子１１の固定板１４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板１４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電素子１１の先端面が、後述する振動板４６の島部４９に接着剤等を介して固定される。
【００２０】
また、アクチュエーターユニット２の各圧電素子１１には、当該圧電素子１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２９が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３０が接続されている。
【００２１】
流路ユニット５は、流路形成基板４０、振動板４６及びノズルプレート４８を具備する。
【００２２】
流路形成基板４０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁によって画成された圧力発生室４２がその幅方向（短手方向）に並設された列が２列設けられている。
【００２３】
また、各圧力発生室４２の長手方向一端部側には、各圧力発生室４２に液体の一例であるインクを供給するための液体溜まりであるマニホールド４４が液体供給路の一例であるインク供給路４５を介して連通されている。本実施形態では、２列の圧力発生室４２の両外側に圧力発生室４２の各列に連通するマニホールド４４を設けた。また、流路形成基板４０の圧力発生室４２の開口面側は振動板４６で封止され、他方面側にはノズル開口４７が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート４８が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。ノズルプレート４８のノズル開口４７と圧力発生室４２とは、流路形成基板４０を貫通して設けられたノズル開口連通孔４３を介して連通している。
【００２４】
振動板４６は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜４６ａと、この弾性膜４６ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板４６ｂとの複合板で形成されており、弾性膜４６ａ側が流路形成基板４０に接合されている。例えば、本実施形態では、第１の部材である弾性膜４６ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、第２の部材である支持板４６ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【００２５】
また、振動板４６の各圧力発生室４２に対向する領域内には、圧電素子１１の先端部が当接する島部４９が設けられている。すなわち、振動板４６の各圧力発生室４２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部５０が形成され、この薄肉部５０の内側にそれぞれ島部４９が設けられている。このような島部４９には、上述したアクチュエーターユニット２の圧電素子１１の先端部が例えば、接着剤等を介して固定される。
【００２６】
また、振動板４６のマニホールド４４に対向する領域には、薄肉部５０と同様に、支持板４６ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜４６ａのみで構成されるコンプライアンス部５４が設けられている。なお、このコンプライアンス部５４は、マニホールド４４内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部５４の弾性膜４６ａが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド４４内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００２７】
なお、本実施形態では、振動板４６を弾性膜４６ａと支持板４６ｂとで構成し、島部４９の周辺部及びコンプライアンス部５４を弾性膜４６ａのみで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板として、１枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部５０等を設けることで、島部４９及びコンプライアンス部５４を形成するようにしてもよい。
【００２８】
このようにインクを吐出するノズル開口４７に連通する圧力発生室４２が設けられた流路ユニット５と、圧力発生室４２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段であるアクチュエーターユニット２と、が本実施形態のヘッド本体を構成している。
【００２９】
ケース４は、図１及び図２に示すように、流路形成基板４０の振動板４６上に固定されたものであり、図示しないインクタンクやインクカートリッジ等の液体貯留手段が接続されて、マニホールド４４にインクを供給する導入路５６（第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆ）が厚さ方向に貫通して設けられている。
【００３０】
また、ケース４には、厚さ方向に貫通する２つの収容部３が設けられており、各収容部３にアクチュエーターユニット２が位置決めされて固定されている。
【００３１】
このようなケース４の収容部３は、図１に示すように、固定板１４が固定される側に固定板１４の幅よりも幅広に設けられた固定板保持部３ａと、圧電素子形成部材１３側に固定板保持部３ａよりも幅狭で且つ圧電素子形成部材１３よりも若干幅広に設けられた圧電素子保持部３ｂとを有する。なお、ここで言う幅は、圧電素子１１（圧力発生室４２）の並設方向のことである。また、図３に示すように、収容部３の固定板保持部３ａには、貫通方向において振動板４６側が幅狭となるように段差部３ｃが設けられており、固定板１４は、圧電素子１１が突出する端面が段差部３ｃに当接して固定される。
【００３２】
また、ケース４は、収容部３が開口する一方面が振動板４６に固定される固定面となっており、この固定面とは交差する一対の側面側には、厚さ方向に貫通する複数の導入路５６（第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆ）が設けられている。本実施形態では、流路ユニット５のマニホールド４４の並設方向両側の側面側に導入路５６を３つずつ設けるようにした。ここで導入路５６が厚さ方向に貫通するとは、導入路５６がケース４の流路ユニット５と接合される固定面及び固定面とは反対の面とに開口していることを言う。そして、ケース４の一方の側面側に設けられた３つの第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃは、一方のマニホールド４４に連通し、他方の側面側に設けられた３つの第４導入路５６ｄ〜第６導入路５６ｆは他方のマニホールド４４に連通している。ちなみに、３つの第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃや第４導入路５６ｄ〜第６導入路５６ｆは、圧力発生室４２の並設方向に並んで配置されている。したがって、図４に示すように、インクを３つの導入路５６ａ〜５６ｃからマニホールド４４内に圧力発生室４２の並設方向に亘って均一な圧力で供給することができ、各圧力発生室４２へのインク供給特性を均一化して、吐出特性を均一化することができる。また、詳しくは後述するが、ケース４に加熱手段７０を設け、導入路５６を通過するインクを加熱手段７０によって温める場合、導入路５６が複数設けられていることで、加熱手段７０が効率良く加熱できると共に、マニホールド４４内のインクの温度に偏りが生じるのを抑制することができる。ちなみに、例えば、マニホールド４４に導入路５６が１つだけ連通している場合、導入路５６から遠い圧力発生室４２には低い圧力でインクが供給され、導入路５６から近い圧力発生室４２には高い圧力でインクが供給される。このような構成では、ノズル開口４７の多列化によって圧力発生室４２の列が長くなり、マニホールド４４が長くなった場合などに、供給特性のばらつきによるインク吐出特性のばらつきが大きくなってしまう。また、１つの導入路５６を通過するインクを加熱手段７０によって温めるため、導入路５６から遠い圧力発生室４２にインクが達するまでにインクが冷める虞もある。本実施形態では、１つのマニホールド４４に３つの第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃ又は第４導入路５６ｄ〜第６導入路５６ｆからインクを供給するようにしたため、供給特性のばらつきを減少させて、インク吐出特性を均一化することができると共に、導入路５６内のインクを効率よく加熱してマニホールド４４内のインク温度のばらつきを減少させることができる。
【００３３】
また、ケース４の第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃが設けられた側面と、第４導入路５６ｄ〜第６導入路５６ｆが設けられた側面とには、それぞれ側面に沿って加熱手段７０が設けられている。このような加熱手段７０は、本実施形態では、フィルム状のものからなり、側面に密着して設けられている。なお、フィルム状の加熱手段７０とは、例えば、発熱抵抗体を樹脂等のシートで挟み込んだ面状ヒーターなどが挙げられる。
【００３４】
このようなケース４では、加熱手段７０の両端部側に加熱手段７０が設けられていない側面が存在することから、熱分布に偏りが生じる。具体的には、加熱手段７０の両端部側は、加熱手段７０が設けられていない側面からの放熱も相俟って中央部側に比べて加熱される温度が低くなってしまう。このため、本実施形態では、加熱手段７０の両端部側の第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆを開口が長穴（楕円）となるように形成し、長穴となる開口の長軸が加熱手段７０の面方向、すなわち、第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃの並設方向に沿って配置するようにした。ちなみに、中央部に設けられた第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅは、開口が単穴（真円）となるように形成している。
【００３５】
このような第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆは、図５に示すように、中央部に設けられた第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅの加熱手段７０に相対向する周方向の幅Ｗ１に比べて、加熱手段７０に相対向する周方向の幅Ｗ２が広くなる。したがって、第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆは、加熱手段７０に相対向する面積が広がる。これにより、第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆを通過するインクは、第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅを通過するインクに比べて加熱手段７０に相対向する面積が広がることから、短時間で所望の温度に温まりやすくなり、各マニホールド４４（図１参照）に３つの第１導入路５６ａ〜第３導入路５６ｃ及び第４導入路５６ｄ〜第６導入路５６ｆから供給するインクの温度を均一化して、マニホールド４４内でインクの温度に偏りが生じるのを抑制することができる。したがって、インクの粘度に偏りが生じるのを抑制して、均一な吐出特性でインクを吐出させることができ、印刷品質を向上することができる。
【００３６】
なお、第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆは、それぞれ加熱手段７０までの距離が略同じ距離となるように配置されている。ここで、第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆが加熱手段７０まで同じ距離であるとは、例えば、各導入路５６ａ〜５６ｆと加熱手段７０との最短距離が同じことを言う。このように、各導入路５６ａ〜５６ｆが加熱手段７０まで略同じ距離で設けられていることで、第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆを通過するインクを、中央部に設けられた第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅを通過するインクと同様の時間で所望の温度に達するまで加熱することができる。
【００３７】
また、このような本実施形態の構成では、加熱する温度が低くなってしまう領域に設けられた第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆを通過するインクを加熱手段７０によって効率良く加熱することができるため、加熱手段７０の電力を低電力化することができる。
【００３８】
なお、長穴である第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆの開口面積と、単穴である第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅの開口面積とは、同じ開口面積とするのが好ましい。これにより、第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆを通過するインクの流路抵抗を均一化して、インク供給特性を均一にすることができる。
【００３９】
なお、本実施形態では、加熱手段７０の両端部の第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆを開口が長穴（楕円）となるように形成したが、特にこれに限定されない。ここで、その他の例を図６に示す。なお、図６は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す上面図である。
【００４０】
図６に示すように、ケース４Ａには、第１導入路５６ａ〜第６導入路５６ｆが設けられており、加熱手段７０の両端部側の第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆは、中央部側の第２導入路５６ｂ及び第５導入路５６ｅに比べて大きな開口面積で形成されている。このように、第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆの開口面積を広げることでも、第１導入路５６ａ、第３導入路５６ｃ、第４導入路５６ｄ及び第６導入路５６ｆの加熱手段７０に相対向する面積を増大させて、通過するインクを加熱手段７０によって温めやすくすることができる。
【００４１】
また、ケース４には、コンプライアンス部５４に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間５５が設けられている。このコンプライアンス空間５５によってコンプライアンス部５４は変形可能に保持される。
【００４２】
このようなケース４は、樹脂材料によって形成されている。また、ケース４は、成形することで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００４３】
このような記録ヘッド１では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１１及び振動板４６の変形によって各圧力発生室４２の容積を変化させて所定のノズル開口４７からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからケース４に設けられた導入路５６を介して温められたインクがマニホールド４４に供給されると、インク供給路４５を介して各圧力発生室４２にインクが分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板４６が圧電素子１１と共に変形されて圧力発生室４２の容積が広げられ、圧力発生室４２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口４７に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板３０を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１１の電極１６、１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板４６も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室４２の容積が収縮して圧力発生室４２内の圧力が高まりノズル開口４７からインク滴が吐出される。
【００４４】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４５】
例えば、上述した実施形態１では、導入路５６の加熱手段７０に相対向する面積を広げるために、導入路５６の開口形状を変更したり、開口面積を広げるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、導入路５６の長さ（固定面から固定面とは反対側の面までの長さ）を傾斜させるなどして変更することで、加熱手段７０に相対向する面積を増減させるようにしてもよい。
【００４６】
また、上述した実施形態１では、加熱手段７０として、フィルム状のものを用いて、加熱手段７０をケース４、４Ａの側面に密着させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、棒状の加熱手段や、ランプ状の赤外線ヒーターなどを用いてもよく、また、加熱手段７０とケース４、４Ａとの間に隙間が設けられていてもよい。
【００４７】
さらに、上述した実施形態１では、導入路５６をケース４の両側面に３個ずつ、合計６個設けるようにしたが、導入路５６の数及び配置は特にこれに限定されず、導入路５６をケース４、４Ａの一側面側に４個以上設けるようにしてもよく、導入路５６の間隔は不均一であってもよい。また、導入路５６の開口形状も特に限定されず、円形状、三角形状、矩形状、多角形状等何れの形状であってもよい。
【００４８】
また、上述した実施形態１では、導入路５６の加熱手段７０に相対向する面積を２段階に変更するようにしたが、特にこれに限定されず、導入路５６の加熱手段７０に相対向する面積を３段階以上に変更するようにしてもよい。すなわち、導入路５６を並設方向の両端部に向かって加熱手段に相対向する面積を漸大させるようにしてもよい。
【００４９】
さらに、上述した実施形態１では、流路（圧力発生室４２）に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子１１を例示したが、圧力発生手段は、特にこれに限定されるものではなく、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
【００５０】
また、圧力発生手段としては、例えば、下電極、圧電材料からなる圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法によって形成した薄膜型の圧電素子を用いてもよく、また、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を使用することもできる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるものなども使用することができる。
【００５１】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５２】
図７に示すインクジェット式記録装置２００において、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット２０２（以下、単にヘッドユニット２０２とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２０２Ａ及び２０２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット２０２は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５３】
そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン２０８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５４】
また、上述したインクジェット式記録装置２００では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０２がキャリッジ２０３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５５】
また、上述した例では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０２をインクジェット式記録装置２００に搭載するようにしたが、ヘッドユニット２０２には、それぞれ１つの記録ヘッド１が搭載されていてもよく、また、単数又は複数の記録ヘッド１が直接インクジェット式記録装置２００に搭載されていてもよい。
【００５６】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５７】
１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  アクチュエーターユニット、  ３  収容部、  ４、４Ａ  ケース、  ５  流路ユニット、  １１  圧電素子（アクチュエーター）、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定板、  １６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  ３０  回路基板、  ４０  流路形成基板、  ４２  圧力発生室、  ４４  マニホールド、  ４６  振動板、  ４７  ノズル開口、  ４８  ノズルプレート、  ４９  島部、  ５６、５６ａ〜５６ｆ  導入路、  ２００  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ２０２  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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