(57)【要約】【課題】液化ガス容器群を構成する少なくとも２本の液化ガス容器における液相部の減少の仕方を同じにする流体供給システムを提供する。【解決手段】液相部及び気相部を含む液化ガス容器に対して断熱配管を接続し、断熱配管を通じて液化ガス容器の中から液相部を取り出すことを行う流体供給システムであって、流体供給システムは、２のｍ乗本（ここでｍは１以上の自然数）の第一液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｍ乗個の第一断熱配管を有する第一配管群と、２のｎ乗本（ここでｎは１以上の自然数）の第二液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｎ乗個の第二断熱配管を有する第二配管群と、を備えるとともに、第一配管群と第二配管群とを並列に接続するように構成されており、第一断熱配管のそれぞれが同じ第一配管長を有するとともに、第二断熱配管のそれぞれが同じ第二配管長を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液相部及び気相部を含む液化ガス容器に対して断熱配管を接続し、前記断熱配管を通じて前記液化ガス容器の中から前記液相部を取り出すことを行う流体供給システムであって、
前記流体供給システムは、
２のｍ乗本（ここでｍは１以上の自然数）の第一液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｍ乗個（ここでｍは１以上の自然数）の第一断熱配管を有する第一配管群と、２のｎ乗本（ここでｎは１以上の自然数）の第二液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｎ乗個（ここでｎは１以上の自然数）の第二断熱配管を有する第二配管群と、を備えるとともに、前記第一配管群と第二配管群とを並列に接続するように構成されており、
前記第一断熱配管のそれぞれが同じ第一配管長を有するとともに、前記第二断熱配管のそれぞれが同じ第二配管長を有することを特徴とする流体供給システム。
【請求項２】
前記第一配管長及び前記第二配管長が同じであることを特徴とする、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項３】
前記第一配管群と前記第二配管群とを並列に接続するまでの配管長が同じであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の流体供給システム。
【請求項４】
前記第一配管群と第二配管群との間の切替操作は、自動切替装置によって行うことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の流体供給システム。
【請求項５】
前記第一液化ガス容器群においては前記気相部を取り出すための配管が並列に接続された第一気相部用配管を備えており、前記第二液化ガス容器群においては前記気相部を取り出すための配管が並列に接続された第二気相部用配管を備えていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載の流体供給システム。
【請求項６】
前記自動切替装置は、前記第一配管群の下流側に接続された第一配管群用開閉弁と、前記第二配管群の下流側に接続された第二配管群用開閉弁と、から構成されていることを特徴とする、請求項４又は５に記載の流体供給システム。
【請求項７】
前記第一配管群用開閉弁の開閉は前記第二気相部用配管での気相圧力を利用し、第二配管群用開閉弁の開閉は前記第一気相部用配管での気相圧力を利用することを特徴とする、請求項６に記載の流体供給システム。
【請求項８】
前記自動切替装置による切替操作は、前記第一気相部用配管及び第二気相部用配管のそれぞれに取り付けられた圧力センサによる圧力検出に基づいて行うことを特徴とする、請求項４乃至７のいずれか一つに記載の流体供給システム。
【請求項９】
前記液化ガス容器の数を表すｍ，ｎは、１、２又は３であることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一つに記載の流体供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２本の液化ガス容器を有する二つの液化ガス容器群を切り替え可能に接続した流体供給システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の流体供給システムでは、複数本の液化ガス容器が並列に接続された第一液化ガス容器群と、該第一液化ガス容器群と同じ形態で並列に接続された第二液化ガス容器群とを、自動切替装置を介して接続することが行われている。第一液化ガス容器群及び第二液化ガス容器群の各液化ガス容器の重量を測定することにより、液化ガス容器内の液相部の残量を把握している。一方の液化ガス容器群での液相部残量が所定量まで少なくなると、満充填された他方の液化ガス容器群に接続を切り替えるとともに、液相部残量の少なくなった一方の液化ガス容器群の全ての液化ガス容器を満充填のものに交換することが行われている。（例えば、特許文献１を参照のこと。）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１９３１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液相部及び気相部を含む複数本の液化ガス容器が並列に接続された場合において、ある液化ガス容器と他の液化ガス容器とが合流する合流点までの配管長が長くなるほど、圧力損失が大きくなるので、当該配管長の長い液化ガス容器における液相部の減少の仕方が小さくなるために、複数本の液化ガス容器が接続されるとき、当該配管長の長短により、各液化ガス容器における液相部の減少の仕方が異なる。
【０００５】
また、同じ型式の液化ガス容器であっても、液化ガス容器毎にその出来具合が微妙に異なるために、各液化ガス容器における液相部の減少の仕方が、液化ガス容器毎に異なる。
【０００６】
これらの様々な要因により、ある液化ガス容器群の全ての液化ガス容器の開閉バルブを同時に開状態にしたとしても、当該液化ガス容器群での全ての液化ガス容器の液相部が同じタイミングで所定量まで減少することはなく、液化ガス容器毎に液相部の減少の仕方が異なる。
【０００７】
したがって、最適なタイミングで液化ガス容器の交換を行うためには、重量秤を用いて液化ガス容器での液相部残量を正確に把握することが必要になるが、高価な重量秤を液化ガス容器の数に対応する数だけ準備しなければならないために、非常にコストがかかるという問題がある。
【０００８】
さらに、第一液化ガス容器群又は第二液化ガス容器群を構成する複数本の液化ガス容器における液相部の減少の仕方が個々に異なるために、第一液化ガス容器群と第二液化ガス容器群との間での切替操作をいつのタイミングで行うべきかの判断が困難であるという問題もある。
【０００９】
したがって、本発明の解決すべき技術的課題は、液化ガス容器群を構成する少なくとも２本の液化ガス容器における液相部の減少の仕方を同じにする流体供給システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するために、本発明によれば、以下の流体供給システムが提供される。
【００１１】
すなわち、本発明の請求項１に係る流体供給システムは、
液相部及び気相部を含む液化ガス容器に対して断熱配管を接続し、前記断熱配管を通じて前記液化ガス容器の中から前記液相部を取り出すことを行う流体供給システムであって、
前記流体供給システムは、
２のｍ乗本（ここでｍは１以上の自然数）の第一液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｍ乗個（ここでｍは１以上の自然数）の第一断熱配管を有する第一配管群と、２のｎ乗本（ここでｎは１以上の自然数）の第二液化ガス容器群をトーナメント式に接続するための２のｎ乗個（ここでｎは１以上の自然数）の第二断熱配管を有する第二配管群と、を備えるとともに、前記第一配管群と第二配管群とを並列に接続するように構成されており、
前記第一断熱配管のそれぞれが同じ第一配管長を有するとともに、前記第二断熱配管のそれぞれが同じ第二配管長を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２に係る流体供給システムは、
前記第一配管長及び前記第二配管長が同じであることを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項３に係る流体供給システムは、
前記第一配管群と前記第二配管群とを並列に接続するまでの配管長が同じであることを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項４に係る流体供給システムは、
前記第一配管群と第二配管群との間の切替操作は、自動切替装置によって行うことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項５に係る流体供給システムは、
前記第一液化ガス容器群においては前記気相部を取り出すための配管が並列に接続された第一気相部用配管を備えており、前記第二液化ガス容器群においては前記気相部を取り出すための配管が並列に接続された第二気相部用配管を備えていることを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項６に係る流体供給システムは、
前記自動切替装置は、前記第一配管群の下流側に接続された第一配管群用開閉弁と、前記第二配管群の下流側に接続された第二配管群用開閉弁と、から構成されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項７に係る流体供給システムは、
前記第一配管群用開閉弁の開閉は前記第二気相部用配管での気相圧力を利用し、第二配管群用開閉弁の開閉は前記第一気相部用配管での気相圧力を利用することを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項８に係る流体供給システムは、
前記自動切替装置による切替操作は、前記第一気相部用配管及び第二気相部用配管のそれぞれに取り付けられた圧力センサによる圧力検出に基づいて行うことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項９に係る流体供給システムは、
前記液化ガス容器の数を表すｍ，ｎは、１、２又は３であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に係る本発明は、第一配管群及び第二配管群において、液化ガス容器から液相部を取り出すための断熱配管が、それぞれトーナメント式に接続されているとともに、第一配管群における全ての第一断熱配管の配管長が同じ第一配管長を有し、第二配管群における全ての第二断熱配管の配管長が同じ第二配管長を有するように構成されているので、各液化ガス容器群における液化ガス容器の液相部は、第一断熱配管及び第二断熱配管のそれぞれにおいて同じように減少する。したがって、各液化ガス容器群における全ての液化ガス容器における液相部の減少の仕方を同じにすることができるという効果を奏する。
【００２１】
請求項２に係る本発明は、ほぼ同じようなタイミングで各液化ガス容器の液相部が減少するので、第一液化ガス容器群と第二液化ガス容器群との間での切替・交換のタイミングを把握しやすいという効果を奏する。
【００２２】
請求項３に係る本発明は、第一液化ガス容器群と第二液化ガス容器群との間での切替・交換のタイミングをより把握しやすいという効果を奏する。
【００２３】
作業員が手動で切替操作を行うこともできるが、請求項４に係る本発明は、自動化により省力化できるという効果を奏する。
【００２４】
請求項５に係る本発明は、気相部用配管の構成をシンプルにできるという効果を奏する。
【００２５】
請求項６に係る本発明は、設計の自由度を高めることができるという効果を奏する。
【００２６】
請求項７に係る本発明は、気相圧力を用いた強い駆動力により確実な開閉動作を提供するという効果を奏する。
【００２７】
請求項８に係る本発明は、圧力センサにより正確に且つ低コストで液化ガス容器における液相部の減少をモニターすることができるという効果を奏する。
【００２８】
大容量の液相部を必要とする場合には貯蔵タンク等の大規模設備の方が好ましいが、請求項９に係る本発明は、小容量乃至中容量の液相部を貯蔵する小規模又は中規模な設備を必要とする場合に、最適なコストパフォーマンスを提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体供給システムを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に、本発明に係る流体供給システム１の実施形態を、図１を参照しながら詳細に説明する。本願発明では、流体供給システム１において、液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８，Ｂ１，・・・，Ｂ８）の側を上流側、ガス供給先４２及びゼロサブ装置４４の側を下流側と呼んでいる。
【００３１】
図１において、流体供給システム１は、流体供給システム１の上流側に設けられた流体供給装置３と、流体供給システム１の下流側に設けられたガス供給先４２及びゼロサブ装置４４と、流体供給装置３とガス供給先４２及びゼロサブ装置４４とを接続するための各種配管ＧＧ，ＧＧ１，ＧＧ２，ＬＬ，ＬＬ１，ＬＬ２と、を備えている。
【００３２】
流体供給装置３は、少なくとも２本の液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８）からなる第一液化ガス容器群１０をトーナメント式に接続するための第一配管群１２と、少なくとも２本の液化ガス容器（Ｂ１，・・・，Ｂ８）からなる第二液化ガス容器群２０をトーナメント式に接続するための第二配管群２２と、を備えている。
【００３３】
図１に示した実施形態では、第一液化ガス容器群１０は、Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ａ７，Ａ８の８本（すなわち２３本）の液化ガス容器から構成されている。同様に、第二液化ガス容器群２０は、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６，Ｂ７，Ｂ８の８本（すなわち２３本）の液化ガス容器から構成されている。第一液化ガス容器群１０における８本の液化ガス容器は同じ型式のものである。同様に、第二液化ガス容器群２０における８本の液化ガス容器も同じ型式のものである。第一液化ガス容器群１０の液化ガス容器と第二液化ガス容器群２０の液化ガス容器とは、異なる型式のものでも構わないが、好ましくは、同じ型式のものである。
【００３４】
図１に示した実施形態では、第一液化ガス容器群１０及び第二液化ガス容器群２０が、同じ８本の液化ガス容器から構成されている。第一液化ガス容器群１０及び第二液化ガス容器群２０を構成する液化ガス容器の本数は、必ずしも同じである必要は無いが、液化ガス容器の交換管理上、同じ本数であることが好ましい。第一液化ガス容器群１０での液化ガス容器の数は２のｍ乗本（ここでｍは１以上の自然数）であり、ｍの値は、１，２，３であることが好ましい。また、第二液化ガス容器群２０での液化ガス容器の数は２のｎ乗本（ここでｎは１以上の自然数）であり、ｎの値は、１，２，３であることが好ましい。ｍやｎの値は、４以上の数値とすることもできるが、ｍやｎの値が４ということは、液化ガス容器群１０，２０の中にそれぞれ１６本の液化ガス容器を有することになり、各液化ガス容器群１０，２０が、大容量の液相部５を貯蔵することになる。しかしながら、大容量の液相部５を貯蔵するには、貯蔵タンク等の大規模設備の方が好ましいことが多い。したがって、本発明の流体供給システム１では、一方の液化ガス容器群が１本乃至８本の液化ガス容器を備えて、小容量乃至中容量の液相部５を貯蔵する小規模又は中規模な設備の場合に、最適なコストパフォーマンスを発揮することができる。
【００３５】
これらの液化ガス容器の内部には、液相部５と気相部６とを含んでいる。具体的には、液化窒素、液化炭酸、液化酸素、液化アルゴン、液化プロパン又は液化ＬＰＧ等の超低温の液化ガスを貯蔵することができるように、液化ガス容器は断熱構造（例えば真空断熱構造）を備えている。液化ガス容器は、例えば、１７５リッターの内容積を有し、液相部５の供給量は、液化ガス容器一本当たり１０乃至３０Ｎｍ３／時間である。液化ガス容器の上部には、液相部５を充填したり取り出したりするための液出入口（図示しない）と、気相部６を取り出すためのガス使用口（図示しない）と、安全弁（図示しない）と、が配置されている。
【００３６】
第一液化ガス容器群１０の各液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８）の液出入口に対しては、断熱配管（Ｌ１，・・・，Ｌ８）がそれぞれ接続されている。同様に、第二液化ガス容器群２０の各液化ガス容器（Ｂ１，・・・，Ｂ８）の液出入口に対しては、断熱配管（Ｌ９，・・・，Ｌ１６）がそれぞれ接続されている。これらの断熱配管は、液相部５が流通する内管と外管との間に真空空間を有する断熱配管であって、配管内で液相部５が気化することを防止する構造になっている。
【００３７】
図１に示すように、第一配管群１２において、断熱配管Ｌ１と断熱配管Ｌ２とが合流部５１で接続され、断熱配管Ｌ３と断熱配管Ｌ４とが合流部５２で接続され、断熱配管Ｌ５と断熱配管Ｌ６とが合流部５３で接続され、断熱配管Ｌ７と断熱配管Ｌ８とが合流部５４で接続され、それらの断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）の配管長が全て同じであるように構成されている。また、合流部５１と合流点６１との間の断熱配管の配管長と、合流部５２と合流点６１との間の断熱配管の配管長と、合流部５３と合流点６２との間の断熱配管の配管長と、合流部５４と合流点６２との間の断熱配管の配管長とが、全て同じであるように構成されている。さらに、合流部６１と合流点６５との間の断熱配管の配管長と、合流部６２と合流点６５との間の断熱配管の配管長とが、同じであるように構成されている。したがって、第一配管群１２における全ての断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）の配管長が全て同じ第一配管長であるように構成されている。
【００３８】
上記構成によれば、第一配管群１２において、液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８）から液相部５を取り出すための断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）の全てが、同じ第一配管長を有するようにトーナメント式に接続されているので、各断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）での液相部５が同じように減少する。
【００３９】
同様に、第二配管群２２において、断熱配管Ｌ９と断熱配管Ｌ１０とが合流部５５で接続され、断熱配管Ｌ１１と断熱配管Ｌ１２とが合流部５６で接続され、断熱配管Ｌ１３と断熱配管Ｌ１４とが合流部５７で接続され、断熱配管Ｌ１５と断熱配管Ｌ１６とが合流部５８で接続され、それらの断熱配管（Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）の配管長が全て同じであるように構成されている。また、合流部５５と合流点６３との間の断熱配管の配管長と、合流部５６と合流点６３との間の断熱配管の配管長と、合流部５７と合流点６４との間の断熱配管の配管長と、合流部５８と合流点６４との間の断熱配管の配管長とが、全て同じであるように構成されている。さらに、合流部６３と合流点６６との間の断熱配管の配管長と、合流部６４と合流点６６との間の断熱配管の配管長とが、同じであるように構成されている。したがって、第二配管群２２における全ての断熱配管（Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）の配管長が全て同じ第二配管長であるように構成されている。
【００４０】
上記構成によれば、第二配管群２２においても、液化ガス容器（Ｂ１，・・・，Ｂ８）から液相部５を取り出すための断熱配管（Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）の全てが、同じ第二配管長を有するようにトーナメント式に接続されているので、各断熱配管（Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）での液相部５が同じように減少する。
【００４１】
なお、第一配管群１２における各断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）の第一配管長と、第二配管群２２における各断熱配管Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）の第二配管長とが必ずしも同じである必要は無い。しかしながら、両者の配管長を同じにすると、第一配管群１２と第二配管群２２との間で、同じようなタイミングで液相部５が減少するので、第一液化ガス容器群１０と第二液化ガス容器群２０との間での切替・交換のタイミングを把握しやすいという効果を奏する。
【００４２】
そして、第一配管群１２の合流点６５と第二配管群２２の合流点６６とは、合流部７０で接続されている。合流部６５と合流点７０との間の断熱配管Ｌａの配管長と、合流部６６と合流点７０との間の断熱配管Ｌｂの配管長とが必ずしも同じである必要は無い。しかしながら、両者の断熱配管Ｌａ，Ｌｂの配管長を同じにすると、第一配管群１２と第二配管群２２との間で、同じようなタイミングで液相部５が減少するので、第一液化ガス容器群１０と第二液化ガス容器群２０との間での切替・交換のタイミングをより正確に把握できるという効果を奏する。
【００４３】
なお、本願発明では、２のべき乗本（すなわち、２ｍ本、２ｎ本）の液化ガス容器を準備し、一対（２本）の液化ガス容器を並列に接続して複数の液化ガス容器の小群を作成し、当該液化ガス容器の小群を順次並列に接続して複数の液化ガス容器の中群を作成する。このようにして作成された液化ガス容器の中群をさらに並列に接続することを繰り返すことにより作成されるピラミッド状の接続構造を、トーナメント式配管構造と称している。
【００４４】
第一液化ガス容器群１０の各液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８）のガス使用口に対しては、気相部用配管（Ｇ１，・・・，Ｇ８）がそれぞれ接続されている。これらの気相部用配管（Ｇ１，・・・，Ｇ８）は、並列に接続されていて、第一気相部用配管Ｇａに合流している。第一気相部用配管Ｇａには、第一液化ガス容器群１０における気相部６の圧力を検出するための圧力センサ３１が取り付けられている。
【００４５】
同様に、第二液化ガス容器群２０の各液化ガス容器（Ｂ１，・・・，Ｂ８）のガス使用口に対しては、気相部用配管（Ｇ９，・・・，Ｇ１６）がそれぞれ接続されている。これらの気相部用配管（Ｇ９，・・・，Ｇ１６）は、並列に接続されていて、第二気相部用配管Ｇｂに合流している。第二気相部用配管Ｇｂには、第二液化ガス容器群２０における気相部６の圧力を検出するための圧力センサ３２が取り付けられている。
【００４６】
第一気相部用配管Ｇａは、逆止弁ＣＶ１を介して減圧調整弁３６に接続される気相部用配管ＧＧと、第二配管群用開閉弁３４に接続される気相駆動配管Ｇａ１と、に分岐されている。第一液化ガス容器群１０の気相部用配管（Ｇ１，・・・，Ｇ８）と、第一気相部用配管Ｇａと、気相駆動配管Ｇａ１とが連通しており、第一液化ガス容器群１０の気相部６の気相圧力により、第二配管群用開閉弁３４を開閉駆動する。すなわち、第二液化ガス容器群２０における気相部６の圧力が所定の圧力（例えば、大略０．８ＭＰａの圧力）に低下したことを圧力センサ３２が検出すると、第一液化ガス容器群１０での気相部６の気相圧力を利用して第二配管群用開閉弁３４を閉じる。
【００４７】
同様に、第二気相部用配管Ｇｂは、逆止弁ＣＶ２を介して減圧調整弁３６に接続される気相部用配管ＧＧと、第一配管群用開閉弁３３に接続される気相駆動配管Ｇｂ１と、に分岐されている。第二液化ガス容器群２０の気相部用配管（Ｇ９，・・・，Ｇ１６）と、第二気相部用配管Ｇｂと、気相駆動配管Ｇｂ１とが連通しており、第二液化ガス容器群２０での気相部６の気相圧力により、第一配管群用開閉弁３３を開閉駆動する。すなわち、第一液化ガス容器群１０での気相部６の圧力が所定の圧力（例えば、大略０．８ＭＰａの圧力）に低下したことを圧力センサ３１が検出すると、第二液化ガス容器群２０での気相部６の気相圧力を利用して第一配管群用開閉弁３３を閉じる。
【００４８】
本実施形態では、第一配管群用開閉弁３３及び第二配管群用開閉弁３４の駆動源として、第二液化ガス容器群２０及び第一液化ガス容器群１０での気相部６の気相圧力をそれぞれ利用している。これは気相圧力を駆動源に用いた方がより大きな駆動力が得られて故障率が小さいからである。なお、第一配管群用開閉弁３３及び第二配管群用開閉弁３４の駆動源として電磁力だけを用いることも可能である。
【００４９】
減圧調整弁３６には、エコノマイザー（図示しない）が接続され、気相部用配管ＧＧの下流側には、減圧調整弁ＧＶ２０や圧力計ＰＧ１等が接続されたあと、気相部用配管ＧＧ２に接続され、気相部用配管ＧＧ１と合流してガス供給先４２にガスを供給している。
【００５０】
第一配管群１２の下流側であって合流部６５と合流部７０との間の断熱配管Ｌａには、上述した第一配管群用開閉弁３３が配置されている。同様に、第二配管群２２の下流側であって合流部６６と合流部７０との間の断熱配管Ｌｂには、上述した第二配管群用開閉弁３４が配置されている。合流部７０の下流側にある断熱配管ＬＬは、蒸発器（ベーパライザー）４０に接続される断熱配管ＬＬ１と、サブゼロ装置４４に接続される断熱配管ＬＬ２と、に分岐されている。蒸発器４０は、加熱手段により、断熱配管ＬＬ１等を通じて搬送された液相部５を加熱して気化させてガスを作成するための装置である。蒸発器４０の下流側には、減圧調整弁ＧＶ２１や圧力計ＰＧ３等が接続されたあと、気相部用配管ＧＧ１に接続され、気相部用配管ＧＧ２と合流してガス供給先４２にガスを供給する。
【００５１】
サブゼロ装置４４は、機械部品等の鉄鋼材を超低温に冷却することで通常の焼入れによる硬化をさらに進めること、すなわち、液体窒素（沸点−１９６℃）や液化炭酸（沸点−７８．５℃）等の超低温冷媒を用いて超低温下で一定時間保持して、未変態のオーステナイト組織をマルテンサイト組織に変態させるというサブゼロ処理を行うための装置である。第一液化ガス容器群１０や第二液化ガス容器群２０に含まれた液相部５が、第一配管群１２や第二配管群２２、断熱配管Ｌａ，Ｌｂ、ＬＬ、ＬＬ２の内管を流通しながらサブゼロ装置４４に供給されて、超低温冷媒として用いられる。
【００５２】
図１においては、第一配管群１２における断熱配管（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８）や、第二配管群２２における断熱配管Ｌ９，Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ１５，Ｌ１６）が、上方に延在する態様で図示されているが、これらの断熱配管が下方に延在する態様であってもよいことは言うまでもない。
【００５３】
また、第一液化ガス容器群１０の各液化ガス容器（Ａ１，・・・，Ａ８）及び第二液化ガス容器群２０の各液化ガス容器（Ｂ１，・・・，Ｂ８）に含まれる液相部５は、当該液化ガス容器内に充満している気相部６の圧力により押し出される。
【００５４】
さらに、液相部５を供給するために使用される各種の断熱配管は、直管状のものに限られず、断熱配管の途中に液相部５を溜めることのできる液溜め部分を備える構成であってもよい。
【００５５】
なお、本発明を理解しやすくするために具体的数値を示しながら説明したが、これらの数値はあくまでも例示であって本願発明の保護範囲を制限するものではない。
【符号の説明】
【００５６】
１：流体供給システム
３：流体供給装置
５：液相部
６：気相部
１０：第一液化ガス容器群
１２：第一配管群
２０：第二液化ガス容器群
２２：第二配管群
３１：圧力センサ
３２：圧力センサ
３３：第一配管群用開閉弁
３４：第二配管群用開閉弁
４０：蒸発器
４２：ガス供給先
４４：サブゼロ装置
６５：第一配管群の合流部
６６：第二配管群の合流部
７０：全配管群の合流部
【図１】
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