(57)【要約】【課題】ロール状に巻かれたテープ状部材を走行させながら洗浄ガスによって洗浄する洗浄装置を提供することにある。【解決手段】テープ状部材が巻装された供給リール２９と、供給リールに巻装されたテープ状部材を巻き取る巻取りリールと、巻取りリールと供給リールとの間に設けられ内部にテープ状部材が通されていて、巻取りリールによって巻き取られることでテープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管２及び洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、紫外光照射部によって生成された洗浄ガスでテープ状部材の洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段を具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状部材を洗浄する洗浄装置であって、
上記テープ状部材が巻装された供給リールと、
この供給リールに巻装された上記テープ状部材を巻取る巻取りリールと、
この巻取りリールと上記供給リールとの間に設けられ内部に上記テープ状部材が通されていて、上記巻取りリールによって巻取られることで上記テープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、
この洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管及び上記洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、この紫外光照射部によって生成された洗浄ガスで上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄装置。
【請求項２】
上記洗浄チャンバには上記テープ状部材の走行方向の上流側と下流側とにこのテープ状部材を通す流入口と流出口が形成されていて、
上記洗浄チャンバの上記上流側と下流側とには、上記流入口と流出口から上記洗浄チャンバ内に外気が流入して上記洗浄ガス供給手段によって上記洗浄チャンバ内に供給される気体の純度が低下するのを防止する外気排出チャンバが設けられていることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項３】
上記洗浄ガス供給手段は、上記洗浄チャンバ内を走行する上記テープ状部材を洗浄した洗浄ガスを排出する気体排出管及びこの気体排出管から排出された上記洗浄ガスを上記気体供給管を通じて上記洗浄チャンバ内に戻す気体戻し管をさらに有することを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項４】
上記洗浄ガス供給手段は、上記洗浄チャンバ内の圧力を正圧に維持するよう上記気体供給管を通じて上記洗浄チャンバ内に供給する上記気体の供給量を制御することを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項５】
上記紫外光照射部は上記洗浄チャンバ内の上部に設けられ、
上記洗浄チャンバ内の上部の上記紫外光照射部と対向する部位には、上記紫外光照射部からの紫外光に照射されて生成された洗浄ガスを、上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分に対して均一に接触するよう拡散させる拡散部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項６】
ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄チャンバ内で洗浄する洗浄方法であって、
供給リールに巻回された上記テープ状部材を巻取りリールで巻き取るとともに、このテープ状部材の上記供給リールと上記巻取りリールの間の部分を上記洗浄チャンバ内に走行させる工程と、
上記洗浄チャンバ内に気体を紫外光によって励起して生成された洗浄ガスを供給する工程と、
上記洗浄チャンバ内に供給された上記洗浄ガスによって上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法。
【請求項７】
上記洗浄チャンバ内に外気が流入するのを阻止する工程をさらに有することを特徴とする請求項６記載のテープ状部材の洗浄方法。
【請求項８】
ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄する洗浄装置であって、
内部にロール状に巻かれた複数のテープ状部材が設置される洗浄チャンバと、
この洗浄チャンバ内に気体を供給する気体供給管と、
この気体供給管によって上記洗浄チャンバ内に供給される気体に紫外光を照射して上記洗浄チャンバ内に設置された複数のテープ状部材を洗浄する洗浄ガスを生成する紫外光照射部と、
上記洗浄チャンバ内に供給されてこの洗浄チャンバ内のテープ状部材を洗浄した洗浄ガスを排出する気体排出管と、
この気体排出管から排出された上記洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に戻す気体戻し管と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄装置。
【請求項９】
上記気体供給管は上記洗浄チャンバの上部に接続され、上記気体排出管は上記洗浄チャンバの下部に接続され、上記気体戻し管は一端が上記排気管に接続され他端が上記気体供給管に接続されていて、
上記気体供給管には上記洗浄チャンバに対する上記気体の供給及び遮断を切り換える第１の切り換え弁が設けられ、上記気体排出管には上記洗浄チャンバで上記テープ状部材を洗浄した洗浄ガスの排出及び遮断を切り換える第２の切り換え弁が設けられていて、
上記気体戻し管には上記気体供給管からの気体の供給が遮断され、第２の切り換え弁によって上記気体排出管からの洗浄ガスの排出が遮断されたときに、上記気体排出管からの洗浄ガスを上記気体戻し管を通して上記洗浄チャンバに戻す第３の切り換え弁が設けられていることを特徴とする請求項８記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項１０】
上記洗浄チャンバ内には上記テープ状部材が設置されて駆動源によって回転駆動される設置体が設けられていることを特徴とする請求項８記載のテープ状部材の洗浄装置。
【請求項１１】
ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄する洗浄方法であって、
内部にロール状に巻かれた複数のテープ状部材を洗浄チャンバ内に設置する工程と、
上記洗浄チャンバ内に気体を供給するとともに、その気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する工程と、
上記洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に設置された上記テープ状部材に噴射して上記テープ状部材を洗浄する工程と、
上記テープ状部材を洗浄して上記洗浄チャンバから排出される洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に戻して循環させる工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はたとえば基板としての液晶表示パネルに実装される電子部品としての多数のＴＣＰ（Tape Carrier Package）が形成されたテープ状部材を、このテープ状部材から上記ＴＣＰを打ち抜く前に洗浄するテープ状部材の洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板としての液晶表示パネルを製造する場合、その液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰを実装装置によって実装するということが行われる。上記実装装置は箱型状の装置本体を有する。この装置本体内にはキヤリアテープから上記ＴＣＰを打ち抜く打ち抜き装置が設けられている。打ち抜き装置によって打ち抜かれたＴＣＰは受け渡し手段を構成する受け体によって受け取られる。
【０００３】
上記受け体は打ち抜かれたＴＣＰを所定の位置まで搬送し、その位置で所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに設けられた複数の保持ヘッドに受け渡す。保持ヘッドは上下方向に駆動可能に設けられている。
【０００４】
インデックステーブルの保持ヘッドに受け渡されたＴＣＰは、このインデックステーブルの間欠回転に応じて上記ＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングしてから、この端子部に異方性導電部材からなる粘着テープを所定の長さに切断して貼着した後、実装位置に位置決めされる。実装位置にはＴＣＰが実装される基板がテーブル装置によって位置決めされて待機している。
【０００５】
そして、インデックステーブルの間欠回転によってＴＣＰを保持した上記保持ヘッドが実装位置に位置決めされると、その保持ヘッドは下方向に駆動される。それによって、保持ヘッドに保持された上記ＴＣＰが基板の側辺部に実装されるようになっている。
【０００６】
すなわち、従来は、基板の側辺部の全長にわたって異方性導電部材からなる粘着テープを貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしていた。しかしながら、基板の側辺部の全長にわたって粘着テープを貼着したのでは、粘着テープのＴＣＰが実装されない部分が無駄となったり、ＴＣＰが実装されていない部分に塵埃が付着するので好ましくないなどのことがある。
【０００７】
そこで、上記ＴＣＰを上記基板の側辺部に実装する際、上記粘着テープを基板に貼着せずに、上記ＴＣＰの端子部に貼着することで、粘着テープに無駄が生じないようにしている。
【０００８】
その際、上記ＴＣＰの端子部にたとえば有機物などの汚れが付着していると、このＴＣＰの端子部に上記粘着テープを確実に貼着することができないということがある。そのため、上記ＴＣＰの端子部に上記粘着テープを貼着する前に、上記インデックステーブルにクリーニングポジションを設け、このクリーニングポジションで上記ＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングするようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−０８０８７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、インデックステーブルにクリーニングポジションを設け、このクリーニングポジションで粘着テープを貼着する前のＴＣＰの端子部をクリーンニングするようにしたのでは、そのクリーニングポジションを設けることによって、キヤリアテープからＴＣＰを打ち抜いてから、そのＴＣＰを基板に実装するまでのタクトタイムが長くなるから、生産性が低下するということがあった。
【００１１】
しかも、インデックステーブルのクリーニングポジションで回転ブラシによってＴＣＰの端子部を擦ってクリーニングするようにしたのでは、回転テーブルによって端子部から除去された汚れが周囲に飛散し、クリーニングが終了したＴＣＰの端子部に再付着したり、ＴＣＰの端子部に貼着された粘着テープに付着したり、さらには実装装置内に搬送された基板の上記ＴＣＰが実装される部分に付着するなどして、実装不良の原因になるということがあった。
【００１２】
この発明は、テープ状部材から電子部品を打ち抜く前に、このテープ状部材全体を確実に、しかも能率よく洗浄することができるようにしたテープ状部材の洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、テープ状部材を洗浄する洗浄装置であって、
上記テープ状部材が巻装された供給リールと、
この供給リールに巻装された上記テープ状部材を巻き取る巻取りリールと、
この巻取りリールと上記供給リールとの間に設けられ内部に上記テープ状部材が通されていて、上記巻取りリールによって巻き取られることで上記テープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、
この洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管及び上記洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、この紫外光照射部によって生成された洗浄ガスで上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄装置にある。
【００１４】
上記洗浄チャンバには上記テープ状部材の走行方向の上流側と下流側とにこのテープ状部材を通す流入口と流出口が形成されていて、
上記洗浄チャンバの上記上流側と下流側とには、上記流入口と流出口から上記洗浄チャンバ内に外気が流入して上記洗浄ガス供給手段によって上記洗浄チャンバ内に供給される気体の純度が低下するのを防止する外気排出チャンバが設けられていることが好ましい。
【００１５】
上記洗浄ガス供給手段は、上記洗浄チャンバ内を走行する上記テープ状部材を洗浄した洗浄ガスを排出する気体排出管及びこの気体排出管から排出された上記洗浄ガスを上記気体供給管を通じて上記洗浄チャンバ内に戻す気体戻し管をさらに有することが好ましい。
【００１６】
上記洗浄ガス供給手段は、上記洗浄チャンバ内の圧力を正圧に維持するよう上記気体供給管を通じて上記洗浄チャンバ内に供給する上記気体の供給量を制御することが好ましい。
【００１７】
上記紫外光照射部は上記洗浄チャンバ内の上部に設けられ、
上記洗浄チャンバ内の上部の上記紫外光照射部と対向する部位には、上記紫外光照射部からの紫外光に照射されて生成された洗浄ガスを、上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分に対して均一に接触するよう拡散させる拡散部材が設けられていることが好ましい。
【００１８】
この発明は、ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄チャンバ内で洗浄する洗浄方法であって、
供給リールに巻回された上記テープ状部材を巻取りリールで巻き取るとともに、このテープ状部材の上記供給リールと上記巻取りリールの間の部分を上記洗浄チャンバ内に走行させる工程と、
上記洗浄チャンバ内に気体を紫外光によって励起して生成された洗浄ガスを供給する工程と、
上記洗浄チャンバ内に供給された上記洗浄ガスによって上記テープ状部材の上記洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法にある。
【００１９】
上記洗浄チャンバ内に外気が流入するのを阻止する工程をさらに有することが望ましい。
【００２０】
この発明は、ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄する洗浄装置であって、
内部にロール状に巻かれた複数のテープ状部材が設置される洗浄チャンバと、
この洗浄チャンバ内に気体を供給する気体供給管と、
この気体供給管によって上記洗浄チャンバ内に供給される気体に紫外光を照射して上記洗浄チャンバ内に設置された複数のテープ状部材を洗浄する洗浄ガスを生成する紫外光照射部と、
上記洗浄チャンバ内に供給されてこの洗浄チャンバ内のテープ状部材を洗浄した洗浄ガスを排出する気体排出管と、
この気体排出管から排出された上記洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に戻す気体戻し管と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄装置にある。
【００２１】
上記気体供給管は上記洗浄チャンバの上部に接続され、上記気体排出管は上記洗浄チャンバの下部に接続され、上記気体戻し管は一端が上記排気管に接続され他端が上記気体供給管に接続されていて、
上記気体供給管には上記洗浄チャンバに対する上記気体の供給及び遮断を切り換える第１の切り換え弁が設けられ、上記気体排出管には上記洗浄チャンバで上記テープ状部材を洗浄した洗浄ガスの排出及び遮断を切り換える第２の切り換え弁が設けられていて、
上記気体戻し管には上記気体供給管からの気体の供給が遮断され、第２の切り換え弁によって上記気体排出管からの洗浄ガスの排出が遮断されたときに、上記気体排出管からの洗浄ガスを上記気体戻し管を通して上記洗浄チャンバに戻す第３の切り換え弁が設けられていることが好ましい。
【００２２】
上記洗浄チャンバ内には上記テープ状部材が設置されて駆動源によって回転駆動される設置体が設けられていることが好ましい。
【００２３】
この発明は、ロール状に巻かれたテープ状部材を洗浄する洗浄方法であって、
内部にロール状に巻かれた複数のテープ状部材を洗浄チャンバ内に設置する工程と、
上記洗浄チャンバ内に気体を供給するとともに、その気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する工程と、
上記洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に設置された上記テープ状部材に噴射して上記テープ状部材を洗浄する工程と、
上記テープ状部材を洗浄して上記洗浄チャンバから排出される洗浄ガスを上記洗浄チャンバ内に戻して循環させる工程と
を具備したことを特徴とするテープ状部材の洗浄方法にある。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、洗浄ガスが生成された洗浄チャンバ内に、テープ状部材を走行させて通過させるようにしたため、上記洗浄ガスによる上記テープ状部材の洗浄を確実に、しかも連続して能率よく行なうことが可能となる。
【００２５】
この発明によれば、テープ状部材を洗浄して洗浄チャンバから排出された洗浄ガスを、上記洗浄チャンバに戻すようにしたことで、洗浄ガスが紫外光によって繰り返し励起されて上記洗浄チャンバ内における洗浄ガスの活性度合が上昇するから、洗浄ガスによるテープ状部材の洗浄を確実に、しかも能率よく行なうことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明の第１の実施の洗浄装置の概略的構成を示す側断面図。
【図２】上記洗浄装置に設けられた各種の機器の制御系統を示す図。
【図３】洗浄ガスに対するの照射時間と、粘着テープの貼着強度の関係を示すグラフ。
【図４】この発明尾第２の実施の形態の洗浄装置の概略的構成を示す側断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１乃至図３はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１は洗浄装置の概略的構成を示す断面図である。この洗浄装置は洗浄チャンバ１を備えている。この洗浄チャンバ１は上面が開口した容器部１ａ及びこの容器部１ａの上面開口を気密に閉塞した蓋体部１ｂによって構成されている。
【００２９】
上記蓋体部１ｂには上記洗浄チャンバ１内に気体を供給する気体供給管２の一端が接続されている。この気体供給管２の他端は気体供給源３に接続されていて、中途部には上記気体供給源３から洗浄チャンバ１内に供給される気体の流量を調整する流量調整弁４が設けられている。
【００３０】
上記気体供給源３から上記洗浄チャンバ１に供給される気体の種類は、この洗浄チャンバ１内で洗浄処理される後述するテープ状部材Ｗの汚れの種類によって選択される。たとえば、テープ状部材Ｗの汚れが有機物系である場合には酸素が供給され、汚れが酸化膜である場合にはギ酸や水素を含むギ酸などの還元性ガスが供給される。この実施の形態では上記テープ状部材Ｗの酸化膜を洗浄除去するため、上記気体供給源３から洗浄チャンバ１には酸素が供給されるようになっている。
【００３１】
上記洗浄チャンバ１内の上部、つまり上記蓋体部１ｂの内面にはエキシマランプなどの照射部５が設けられている。この照射部５は上記気体供給管２によって上記洗浄チャンバ１内に供給された酸素を励起して活性化する紫外光を放射するようになっている。それによって、上記洗浄チャンバ１内に供給された酸素から活性酸素を含む洗浄ガスが生成される。この洗浄ガスは有機物と酸化反応してその有機物を上記テープ状部材Ｗから除去する作用を有する。
【００３２】
なお、上記テープ状部材Ｗはその一方の面にＴＣＰ用の電子回路がプリントされた、たとえばキヤリアテープであって、電子回路がプリントされた一方の面が洗浄されてから、電子回路がプリントされた部分を打ち抜いてＴＣＰが形成される。
【００３３】
上記照射部５と対向する、上記洗浄チャンバ１内の上部には多数の透孔６ａが規則的に形成された拡散部材６が設けられている。上記照射部５によって生成された洗浄ガスは上記拡散部材６を通過することで、洗浄チャンバ１内の断面方向に対して均一に分散するようになっている。
【００３４】
また、上記テープ状部材Ｗが紫外光の直射を嫌う材料である場合、紫外光を上記拡散部材６によって拡散させることで、紫外光の直射を避けることができる。
【００３５】
上記洗浄チャンバ１の上記容器部１ａの底部には気体排出管７の一端が接続されている。この気体排出管７の他端は洗浄ガス排出ポンプ８に接続されている。それによって、上記拡散部材６を通過した洗浄ガスは上記気体排出管７から外部に排出されるようになっている。
【００３６】
上記気体排出管７の一端部には第１の開閉弁１２が設けられている。上記気体排出管７の一端部の上記第１の開閉弁１２よりも上流側の部分には気体戻し管１１の第２の開閉弁１３が設けられた一端が接続されている。この気体戻し管１１の他端には第３の開閉弁１４が設けられ、この他端は上記気体供給管２の一端部の上記流量調整弁４よりの下流側の部分に接続されている。上記気体戻し管１１の中途部には循環ポンプ１５が設けられている。
【００３７】
したがって、上記流量調整弁４から上記洗浄チャンバ１内に導入された酸素を照射部５からの紫外光で励起して洗浄ガスを生成した後、上記流量調整弁４をたとえば全閉にするなどして流量を絞って上記洗浄チャンバ１内への酸素の導入を遮断し、さらに第１の開閉弁１２を閉じて第２、第３の開閉弁１２，１３を開放して上記循環ポンプ１５を作動させれば、上記洗浄チャンバ１内で生成されて上記気体排出管７から排出される洗浄ガスを上記気体戻し管１１を通して上記洗浄チャンバ１内に戻す、という循環が繰り返される。
【００３８】
この実施の形態では、上記気体供給管２、気体排出管７及び上記気体戻し管１１によって洗浄ガス供給手段を構成している。
【００３９】
洗浄ガスを上記気体戻し管１１を通して循環させ、紫外光による励起を繰り返せば、上記洗浄チャンバ１内における洗浄ガスの活性度合が次第に上昇するから、上記洗浄チャンバ１内での洗浄ガスによるテープ状部材Ｗの洗浄効果を増大させることができる。
【００４０】
上記洗浄チャンバ１の対向する一対の側壁の一方には上記テープ状部材Ｗが挿通されるスリット状の流入口１６が開口形成され、他方には上記流入口１６から挿通されて洗浄チャンバ１内を搬送された上記テープ状部材Ｗが導出される同じくスリット状の流出口１７が形成されている。
【００４１】
上記洗浄チャンバ１の、上記テープ状部材Ｗの送り方向の上流側に位置する一側外面には第１の外気排出チャンバ１８が配置され、下流側となる他側外面には第２の外気排出チャンバ１９が配置されている。各外気排出チャンバ１８，１９は洗浄チャンバ１と同様、上面が開口した容器部１８ａ，１９ａと、この容器部１８ａ，１９ａの上面開口を閉塞した蓋体部１８ｂ，１９ｂからなる。
【００４２】
各容器部１８ａ，１９ａ内には、上記テープ状部材Ｗの搬送方向の中途部に仕切り壁１８ｃ，１９ｃが設けられ、これらの仕切り壁１８ｃ，１９ｃによって各容器部１８ａ，１９ａの内部を２つの空間部２１ａ，２１ｂ及び２２ａ，２２ｂに区画している。
【００４３】
各外気排出チャンバ１８，１９の蓋体部１８ｂ，１９ｂには、一端が各空間部２１ａ，２１ｂ及び２２ａ，２２ｂに接続され、中途部にそれぞれ排気ポンプ２３ａ〜２３ｄを有する排気管２４ａ〜２４ｄが設けられている。
【００４４】
各排気ポンプ２３ａ〜２３ｄを作動させれば，各空間部２１ａ，２１ｂ及び２２ａ，２２ｂをそれぞれ減圧することができるようになっている。それによって、上記第１の外気排出チャンバ１８の後述する上流側の通路口２７及び上記第２の外気排出チャンバ１９の下流側の通路口２７から、各外気排出チャンバ１８，１９内に流入する外気が洗浄チャンバ１へ流れ、この洗浄チャンバ１に供給される気体である酸素に他の気体が混入するのを防止している。
【００４５】
なお、上記第１、第２の外気排出チャンバ１８，１９の内部をそれぞれ２つの空間部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂに区画し、各空間部からそれぞれ外気を排出するようにしたことで、上記洗浄チャンバ１内への外気の侵入をより一層確実に防止することが可能となる。
【００４６】
上記第１、第２の外気排出チャンバ１８，１９の内部にはそれぞれ２つの空間部２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂを区画形成したが、空間部の数は２つに限定されず、１つ或いは３つ以上であってもよい。
【００４７】
上記第１の外気排出チャンバ１８及び第２の外気排出チャンバ１９の対向する一対の側壁及び仕切り壁１８ｃ，１９ｃには、それぞれ上記洗浄チャンバ１の対向する一対の側壁に形成された流入口１６及び流出口１７と同じ高さでスリット状の上記通路口２７が形成されている。
【００４８】
一方、上記第１の外気排出チャンバ１８側には、図２に示す供給用駆動源２８によって回転駆動される供給リール２９が設けられている。この供給リール２９には上記テープ状部材Ｗが巻装されていて、上記供給リール２９から引き出された上記テープ状部材Ｗは転接する一対の摩擦ローラ２６間を通されてから、上記第１の外気排出チャンバ１８の通路口２７、上記洗浄チャンバ１の流入口１６及び流出口１７、上記第２の外気排出チャンバ１９の通路口２７を順次通され、上記第２の外気排出チャンバ１９の外部に導出される。
【００４９】
なお、第１の外気排出チャンバ１８と第２の外気排出チャンバ１９のそれぞれ２つの空間部２１ａ，２１ｂ、２２ａ，２２ｂ及び上記洗浄チャンバ１の内部空間には、これらの内部に挿通された上記テープ状部材Ｗを支持する搬送路ローラ２５が軸線を水平にして回転可能に設けられている。
【００５０】
上記第２の外気排出チャンバ１９の外部に導出された上記テープ状部材Ｗは図２に示す送り駆動源３０ａによって回転駆動される上下一対の送りローラ３０によって挟持されて搬送され、巻取りリール３１に巻取られる。この巻取りリール３１は図２に示す巻取り用駆動源３２によって回転駆動されるようになっている。
【００５１】
上記供給リール２９が回転駆動されるとともに、上記巻取りリール３１が回転駆動されれば、上記供給リール２９から繰り出されたテープ状部材Ｗが上記洗浄チャンバ１内を走行して上記巻取りリール３１に巻取られる。それによって、上記洗浄チャンバ１内で、上記テープ状部材Ｗに付着した有機物系の汚れが上記洗浄チャンバ１内で生成された活性酸素を含む洗浄ガスによって洗浄除去されることになる。
【００５２】
上記供給リール２９から繰り出された上記テープ状部材Ｗは下方に向かって弛まされてから、上記第１の外気排出チャンバ１８に導入される。上記テープ状部材Ｗのたるみ量は、第１の上限センサ３３と第１の下限センサ３４によって検出され、その信号は図２に示す制御装置３５に出力される。なお、各センサ３３，３４はたとえば投光器と受光器によって形成されている。
【００５３】
上記テープ状部材Ｗのたるみ量が上記第１の上限センサ３３によって検出される高さよりも高くなると、上記供給用駆動源２８が作動して供給リール２９からテープ状部材Ｗが繰り出される。上記テープ状部材Ｗのたるみ量が第１の下限センサ３４によって検出される高さになると、上記供給用駆動源２８の作動が停止する。それによって、上記供給リール２９によるテープ状部材Ｗの繰り出しが停止され、上記テープ状部材Ｗのたるみ量が所定量に維持されるようになっている。
【００５４】
上記テープ状部材Ｗは上記巻取りリール３１に巻取られる前にウエイトローラ３７によって弛まされている。このウエイトローラ３７はガイド部材３８に沿って上下動可能に設けられていて、上記テープ状部材Ｗのたるみ量に応じて上下動するようになっている。
【００５５】
上記ウエイトローラ３７は所定位置まで上昇したときには第２の上限センサ３９によって検出され、所定位置まで下降したときには第２の下限センサ４０によって検出される。そして、上記ウエイトローラ３７が上昇方向に移動して上記テープ状部材Ｗのたるみ量が所定以下となったことが上記第２の上限センサ３９によって検出されると、上記巻取りリール３１による巻取りが停止される。
【００５６】
上記ウエイトローラ３７が下降方向に動いて上記テープ状部材Ｗのたるみ量が所定以上となったことが上記第２の下限センサ４０によって検出されると、上記巻取りリール３１による巻取りが開始されるようになっている。
【００５７】
なお、上記制御装置３５は上記流量調整弁４、照射部５、洗浄ガス排出ポンプ８、第１乃至第３の開閉弁１２〜１４、循環ポンプ１５、４つの排気ポンプ２３ａ〜２３ｄ，供給用駆動源２８、送り駆動源３０ａ、巻取り用駆動源３２の駆動を制御するとともに、上記各センサ３３，３４，３９，４０からの検出信号が入力されるようになっている。
【００５８】
上記実施の形態では、第２の外気排出チャンバ１９の通路口２７から導出されて巻取りリール３１によって巻き取られるテープ状部材Ｗは外気に直接、接触することになるが、上記巻取りリール３１やウエイトローラ３７を外気から遮断するカバー（図示せず）で覆い、その内部の雰囲気を窒素ガスなどの不活性ガス等に置換し、上記通路口２７から導出されたテープ状部材Ｗを外気に接触させずに上記巻取りリール３１によって巻取るようにしてもよい。
【００５９】
このようにすれば、洗浄ガスによって洗浄されたテープ状部材Ｗが外気に接触して汚染されたり、酸化するのを防止することができる。
【００６０】
上記構成の洗浄装置によれば、供給リール２９から繰り出されたテープ状部材Ｗは第１の外気排出チャンバ１８、洗浄チャンバ１及び第２の外気排出チャンバ１９内を順次通されて巻取りリール３１によって巻取られる。それによって、上記テープ状部材Ｗは回路パターンが印刷された被洗浄面を上に向けて上記洗浄チャンバ１の内部を走行することになる。
【００６１】
上記洗浄チャンバ１内には気体供給管２によって酸素が供給される。それと同時に気体排出管７から洗浄チャンバ１内の大気が排出される。そして、上記気体供給管２から上記洗浄チャンバ１内に供給された酸素は、この洗浄チャンバ１内に設けられた照射部５からの紫外光によって照射される。それによって、洗浄チャンバ１内には活性化された酸素を含む洗浄ガスが生成されるから、その洗浄ガスによって上記テープ状部材Ｗの上記洗浄チャンバ１内を走行する部分が洗浄処理されることになる。
【００６２】
このように、上記テープ状部材Ｗを走行させながら洗浄処理することができるため、その洗浄処理を能率よく行なうことが可能となる。しかも、上記テープ状部材Ｗを洗浄ガスが充満した洗浄チャンバ１内を走行させながら洗浄するため、その洗浄を確実に行なうことが可能となる。
【００６３】
上記テープ状部材Ｗを上記洗浄チャンバ１内に走行させるために、上記洗浄チャンバ１の側壁に流入口１６と流出口１７を開口形成している。そのため、これら流入口１６と流出口１７から外気が流入し、紫外光によって活性化されることで生成される洗浄ガスの純度が低下する、つまり洗浄性能が低下する虞がある。
【００６４】
しかしながら、上記洗浄チャンバ１の上流側と下流側には、それぞれの空間部２１ａ，２１ｂ、２２ａ，２２ｂが減圧される第１の外気排出チャンバ１８と第２の外気排出チャンバ１９を並設し、上記洗浄チャンバ１の流入口１６と流出口１７から外気が内部に流入するのを防止している。
【００６５】
そのため、洗浄チャンバ１内に供給されて酸素に酸素以外のガスを含む外気が混合して洗浄チャンバ１内の酸素の純度が低下するのを防止できるから、洗浄チャンバ１内では純度の高い洗浄ガスを生成することができる。
【００６６】
それによって、洗浄ガスの活性度合も高くなるから、洗浄能力の高い洗浄ガスによってテープ状部材Ｗを洗浄することができる。つまり、テープ状部材Ｗの洗浄をより一層、確実に行なうことが可能となる。
【００６７】
上記洗浄チャンバ１内に、酸素を活性化することで生成された洗浄ガスで充満したならば、流量調整弁４及び第１の開閉弁１２を閉じて上記気体供給管２からの酸素の供給を停止するとともに、上記気体排出管７からの洗浄ガスの排出を停止した後、第２、第３の開閉弁１３，１４を開いて気体戻し管１１の中途部に設けられた循環ポンプ１５を作動させる。
【００６８】
それによって、気体排出管７から外部に排出されていた洗浄ガスが上記気体戻し管１１を通って上記洗浄チャンバ１内を繰り返して循環することになり、その洗浄ガスは循環する毎に上記洗浄チャンバ１内で紫外光で照射されるから、洗浄ガスの活性度合が高まることになる。
【００６９】
したがって、洗浄チャンバ１内を搬送されるテープ状部材Ｗは活性度合が高まった洗浄ガスによって更に確実かつ迅速に洗浄されることになる。
【００７０】
上記テープ状部材Ｗは上記洗浄チャンバ１内で洗浄する際の温度は、常温（室温）であってもよいが、たとえば上記洗浄チャンバ１内にヒータを設け、その内部温度を上記テープ状部材Ｗの寝室が劣化しない範囲の温度、たとえば４０〜８０℃に加熱してもよい。洗浄チャンバ１内の温度を高くすれば、洗浄ガスの活性度合をより一層、高めることが可能となるから、上記テープ状部材Ｗに対する洗浄効果を向上させることができる。
【００７１】
図３は、横軸に洗浄ガスに対する紫外光の照射時間を示し、縦軸にそれぞれの照射時間によって生成された洗浄ガスで洗浄されたテープ状部材Ｗ（キヤリアテープ）からＴＣＰを打ち抜き、そのＴＣＰに粘着テープを貼着したときの粘着テープの貼着強度を示すグラフである。
【００７２】
このグラフに示す実験によって、酸素（洗浄ガス）に対する紫外光の照射時間が長い方がＴＣＰに貼着された粘着テープの貼着強度が向上することが確認された。つまり、洗浄ガスに対する紫外光の照射時間を長くすれば、その洗浄ガスを用いたテープ状部材Ｗの洗浄効果が向上することになる。
【００７３】
したがって、洗浄チャンバ１に供給された酸素を紫外光で照射して洗浄ガスを生成したならば、その洗浄ガスを気体戻し管１１を通して上記洗浄チャンバ１に繰り返して循環させ、その都度、洗浄チャンバ１で洗浄ガスに照射部５からの紫外光を照射し、上記洗浄ガスの紫外光による照射時間を増大させれば、図３の縦軸に示すように接着強度が向上することになる。
【００７４】
しかも、気体排出管７から排出された洗浄ガスを気体戻し管１１を通して洗浄チャンバ１に戻すようにしたことで、酸素の使用量が減少するから、ランニングコストを低減することができる。
【００７５】
上記第１の実施の形態では洗浄チャンバ１の上流側と下流側にそれぞれ第１の外気排出チャンバ1８と第２の外気排出チャンバ1９を設けることで、上記洗浄チャンバ１内に外気が流入するのを防止した。
【００７６】
これに代わって、上記洗浄チャンバ１内に供給される酸素の圧力が大気の圧力よりもわずかに高い、正圧になるよう気体供給管２に設けられた流量調整弁４によって上記洗浄チャンバ１に供給される酸素の流量を制御するようにしてもよい。
【００７７】
そのようにすれば、洗浄チャンバ１の上流側と下流側にそれぞれ第１の外気排出チャンバ1８と第２の外気排出チャンバ1９を設けなくとも、上記洗浄チャンバ１に外気が流入するのを阻止することができる。
【００７８】
なお、洗浄ガスを気体戻し管１１に流して循環させる場合であっても、気体供給管２に設けられた流量調整弁４の開度を調整して洗浄チャンバ１に酸素を供給することで、洗浄チャンバ１内の圧力を正圧に維持するようにすればよい。
【００７９】
また、上記各実施の形態では、洗浄チャンバ１の蓋体部１ｂの内面に紫外光照射部５を設けて洗浄ガスを生成させるようにしているが、洗浄チャンバ１の外部に設けられた気体供給管２に上記紫外光照射部５を設けるようにしてもよい。
【００８０】
このようにすれば、拡散晩６がなくとも、紫外光が洗浄チャンバ１内を搬送されるテープ状部材Ｗを直接、照射するのを防止することができる。
【００８１】
図４はこの発明の第２の実施の形態を示す。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。すなわち、第２の実施の形態の洗浄チャンバ１は、第１の実施の形態と同様、上面が開口した容器部１ａと、この容器部１ａの上面開口を閉塞した蓋体部１ｂによって構成されている。  
上記蓋体部１ｂの内面には照射部５が設けられ、この照射部５に対向して拡散部材６が設けられている。
【００８２】
上記容器部１ａの側壁上部、つまり上記拡散部材６よりも上方の箇所には気体供給管２が接続され、下部には気体排出管７が接続されている。上記気体供給管２と気体排出管７には気体戻し管１１が接続されている。
【００８３】
上記洗浄チャンバ１の内部には載置台５１が設けられている。この載置台５１は上記洗浄チャンバ１の外底面に配置された駆動源５２によって回転駆動されるようになっている。上記載置台５１の上面には網状部材によって筒状に形成された籠５３が載置されている。この籠５３の内部はパンチングメタルなどの通気性を有する材料によって形成された複数の仕切り棚５４によって上下方向に区画されていて、各仕切り棚５４にはそれぞれロール状に巻装された複数のテープ状部材Ｗが載置されている。
【００８４】
このような構成の洗浄装置においては、気体供給管２から洗浄チャンバ１内に供給された気体としての酸素は照射部５によって照射されて活性化されて洗浄ガスとなり、その洗浄ガスは洗浄チャンバ１の上部から拡散部材６によって水平方向に均一に分散されながら、下部に向かって流れて気体排出管７から排出される。
【００８５】
このようにして、洗浄ガスが洗浄チャンバ１内を流れることで、蓋体部５３内の各仕切り棚５４に載置されたロール状のテープ状部材Ｗが洗浄されることになる。このとき、上記蓋体部５３が設けられた載置台５１を駆動源５２によって回転させることで、各仕切り棚５４に載置されたテープ状部材Ｗの洗浄処理が均一に行なわれることになる。
【００８６】
上記洗浄チャンバ１内に洗浄ガスが充満したならば、その洗浄ガスを気体排出管７に設けられた第１の開閉弁１２を閉じ、洗浄ガスを外部に排出させずに、気体戻し管１１に流して循環させる。このとき、流量調整弁４は閉じ、新たな酸素が洗浄チャンバ１内に供給されないようにする。
【００８７】
それによって、洗浄ガスが照射部５からの紫外光によって繰り返して照射されることになるから、洗浄ガスの活性度合が向上し、その洗浄ガスによる洗浄効果も向上することになる。
【００８８】
しかも、気体排出管７から排出された洗浄ガスを気体戻し管１１に通して洗浄チャンバ１に戻すようにしたことで、酸素の使用量が減少するから、ランニングコストを低減することができる。
【符号の説明】
【００８９】
１…洗浄チャンバ、２…気体供給管、５…照射部、６…拡散部材、７…気体排出管、１１…気体戻し管、１８…第１の外気排出チャンバ、１９…第２の外気排出チャンバ、２９…供給リール、３１…巻取りリール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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