(57)【要約】【課題】容器本体と蓋体とが張り付いても蓋体を容器本体から容易に取り外すことができる薄板収納容器を提供する。【解決手段】薄板収納容器１は、正面に開口部４を有する容器本体２と、開口部４に嵌め合わされて当該開口部４をシール可能に閉鎖する蓋体３と、を備えており、蓋体３は、蓋体本体１１と、蓋体本体１１に形成された出没孔１３から出没する係止部８を備えた施錠機構７と、を備えている。そして、蓋体本体１１のシール用溝２７に、容器本体２と蓋体３との間をシールする枠体３０及びリップ部３１と、リップ部３１に接続されて出没孔１３に延び、出没孔１３を出没する係止部８のローラ部２５に変位される被操作リブ３２と、を備えるガスケット２６を嵌め込む。【選択図】図１６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有して基板を収納する容器本体と、施錠機構を備えて前記開口部に嵌め合わされる蓋体と、前記開口部と前記蓋体との間をシールするシール部材と、を有する薄板収納容器であって、
前記施錠機構の開錠操作により前記シール部材が変形して前記開口部と前記蓋体との間に隙間が形成される、薄板収納容器。
【請求項２】
前記シール部材は、前記開口部と前記蓋体との間をシールするシール本体と、前記シール本体から延びる突片と、を備え、
開錠操作が行われる前記施錠機構により前記突片が変位される、請求項１に記載の薄板収納容器。
【請求項３】
前記突片が、前記施錠機構の移動経路上に配置される、請求項２に記載の薄板収納容器。
【請求項４】
前記施錠機構は、前記施錠機構の開錠操作により前記シール部材を変形させる操作部を備える、請求項１に記載の薄板収納容器。
【請求項５】
前記シール部材は、前記操作部に係合される被係合部を備える、請求項４に記載の薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板を収納して保管、搬送、輸送に使用される薄板収納容器であって、特に、薄板収納容器から蓋体を取り外すときに蓋体がシール部材により容器本体に張り付くことを防止する薄板収納容器の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の薄板収納容器は、開口部を備えた容器本体と、開口部をシール可能に閉鎖する蓋体とを備えており、容器本体の内部に、１又は複数の基板を整列して収納することが可能となっている。この薄板収納容器は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の基板の保管、工程内搬送、外部への輸送に用いられている。
【０００３】
また、現在、半導体業界で主流となっている直径３００ｍｍ厚さ７７５μｍのシリコンウェーハを収納する薄板収納容器には、加工装置側から自動で操作可能な施錠機構が内蔵された蓋体が使用されている。これにより、容器本体と蓋体とが着脱自在に係合することが可能となっている。
【０００４】
このように構成される薄板収納容器は、一般的に、航空機によって輸送される。しかしながら、薄板収納容器の内外に生じる圧力差により、薄板収納容器内部が減圧状態となり、蓋体が開けにくくなる。これにより、蓋体開閉装置により容器本体から蓋体を取り外すことができなくなり、半導体部品の生産性が低下するという問題がある。
【０００５】
そこで、特許文献１では、複数のウェーハを収納する容器において、シール部材、容器本体又は蓋体に微小な凹凸と形成することで、気圧変動時に気密を損なわせることが提案されている。
【０００６】
また、特許文献２では、複数の基板を収納する基板収納容器において、内外圧力差を解消するためのフィルタを設けることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１４５３１１号公報
【特許文献２】特開２００９−１０５２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載されている容器は、内外圧力差を緩和することはできるものの、容器本体から蓋体を自動で取り除くときに、シール部材のリップの先端が張り付いてしまうという問題を解決するものではない。
【０００９】
また、特許文献２に記載されている基板収納容器も、シール部材が張り付くことに関して何らの開示もない。
【００１０】
そこで、本発明は、容器本体と蓋体とが張り付いても蓋体を容器本体から容易に取り外すことができる薄板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る薄板収納容器は、開口部を有して基板を収納する容器本体と、施錠機構を備えて開口部に嵌め合わされる蓋体と、開口部と蓋体との間をシールするシール部材と、を有する薄板収納容器であって、施錠機構の開錠操作によりシール部材が変形して開口部と蓋体との間に隙間が形成される。
【００１２】
本発明に係る薄板収納容器によれば、シール部材が容器本体及び蓋体に張り付いたとしても、施錠機構の開錠操作により、シール部材が変形して開口部と蓋体との間に隙間が形成されるため、容器本体から蓋体を取り外す際の抵抗が小さくなる。これにより、小さな力で蓋体を容器本体から取り外すことができるため、蓋体開閉装置が停止することなく安定的に容器本体から蓋体を取り外すことができ、半導体部品の生産性を向上することができる。
【００１３】
そして、シール部材は、開口部と蓋体との間をシールするシール本体と、シール本体から延びる突片と、を備え、開錠操作が行われる施錠機構により突片が変位されることが好ましい。このように構成することで、施錠時は、シール本体により開口部と蓋体に密着して容器本体と蓋体との間が完全にシールされるが、施錠機構を開錠操作すると、この施錠機構により突片が変位させられるため、シール本体が突片に引っ張られて変形する。これにより、開口部からシール本体が部分的に引き剥がされるため、容器本体から蓋体を取り外す際の抵抗が小さくなり、小さな力で蓋体を容器本体から取り外すことができる。
【００１４】
この場合、突片が、施錠機構の移動経路上に配置されることが好ましい。このように構成することで、施錠機構に変更を加えることなく、容易かつ確実に突片を変位させることができる。
【００１５】
また、施錠機構は、施錠機構の開錠操作によりシール部材を変形させる操作部を備えることが好ましい。このように構成することで、施錠機構を開錠操作することで、操作部によりシール部材を変形させることができる。これにより、開口部からシール本体が部分的に引き剥がされるため、容器本体から蓋体を取り外す際の抵抗が小さくなり、小さな力で蓋体を容器本体から取り外すことができる。
【００１６】
この場合、シール部材は、操作部に係合される被係合部を備えることが好ましい。このように、シール部材に被係合部を設けることで、シール部材を確実に変形させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、容器本体と蓋体とが張り付いても蓋体を容器本体から容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係る薄板収納容器の展開斜視図である。
【図２】容器本体の開口部を示す一部断面図である。
【図３】蓋体裏面側を示す斜視図である。
【図４】施錠機構の施錠状態を示す断面図である。
【図５】施錠機構の開錠状態を示す断面図である。
【図６】蓋体本体の出没孔周辺を示す一部拡大図である。
【図７】ガスケットを示す斜視図である。
【図８】図７に示すガスケットの一部拡大図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】施錠機構が施錠状態の蓋体を示す斜視図である。
【図１１】図１０の一部拡大図である。
【図１２】図１０の状態における蓋体の貫通孔周辺を示す一部拡大図である。
【図１３】施錠状態におけるラッチ機構とガスケットとの関係を示す断面図である。
【図１４】施錠機構が開錠状態の蓋体を示す斜視図である。
【図１５】図１４の一部拡大図である。
【図１６】図１４の状態における蓋体の貫通孔周辺を示す一部拡大図である。
【図１７】開錠状態におけるラッチ機構とガスケットとの関係を示す断面図である。
【図１８】第２の実施形態に係る薄板収納容器の施錠状態を示す一部拡大図である。
【図１９】図１８の状態における操作部とガスケットとの関係を示す図である。
【図２０】第２の実施形態に係る薄板収納容器の施錠状態を示す一部拡大図である。
【図２１】図２０の状態における操作部とガスケットとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明に係る薄板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、上下左右は、薄板収納容器の上下左右を示す。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００２０】
［第１の実施形態］
図１は、実施形態に係る薄板収納容器の展開斜視図である。図１に示すように、実施形態に係る薄板収納容器１は、内部に直径３００ｍｍのウェーハ（基板）を収納するものである。薄板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、を備えている。
【００２１】
容器本体２は、正面に開口部４を有するフロントオープン型の容器である。容器本体２には、対向する両側壁の内側に、基板を水平に支持するための一対の支持部材５が設けられている。支持部材５は、開口部４から奥側にかけて延びる板状の支承部が上下方向に一定間隔で配列されており、各支承部の開口部４側終端部に、基板の飛び出しを防止する段差部が形成されている。また、容器本体２の奥側の側壁には、基板の挿入限界を規制する位置規制壁が形成されている。
【００２２】
図２は、容器本体の開口部を示す一部断面図である。図１及び図２に示すように、開口部４は、角が丸く湾曲した正面視矩形状に形成されている。この開口部４は、断面略Ｌ字状に形成されており、蓋体３の周端面に向けられて蓋体３が嵌め合わされる開口周面部４ａと、蓋体３の裏面に向けられて蓋体３とのシールを形成する開口正面部４ｂと、を備える。
【００２３】
開口周面部４ａの上面及び下面には、蓋体３を容器本体２に対して施錠するための係止凹部６が２箇所ずつ形成されている。この係止凹部６は、後述する施錠機構７の係止部８を係止するために、開口周面部４ａを部分的に窪ませて形成されている。
【００２４】
図１に示すように、容器本体２の天面には、搬送用のロボティックフランジ９が取り付けられており、容器本体２の底面には、薄板収納容器１を搭載する加工装置に位置決めするための断面逆Ｖ字状の台座部材１０が取り付けられている。
【００２５】
このように構成される容器本体２は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂を用いて形成される。そして、これらの樹脂には、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどの導電性付与剤等が適宜添加される。
【００２６】
蓋体３は、容器本体２の開口部４に嵌め合わされて当該開口部４をシール可能に閉鎖するものである。蓋体３は、矩形の薄い板状に形成されており、蓋体３が容器本体２の開口部４に嵌め合わされた際に薄板収納容器１の内部に向けられる面側を、蓋体３の裏面側といい、蓋体３が容器本体２の開口部４に嵌め合わされた際に薄板収納容器１の外部に向けられる面側を、蓋体３の表面側という。また、蓋体３の各外周面から蓋体３の内側に向かう方向を、蓋体３の内側方向といい、蓋体３の各外周面から外側に向かう方向を、蓋体３の外側方向という。
【００２７】
この蓋体３は、蓋体本体１１と、蓋体本体１１の裏面側に取り付けられたリテーナ１４と、蓋体本体１１の表面側に取り付けられた施錠機構７と、施錠機構７を覆うように蓋体本体１１の表面側に取り付けられた表面プレート１２と、を備えている。なお、蓋体３の裏面側とは、蓋体３が容器本体２の開口部４に嵌め合わされた際に薄板収納容器１の内側に配置される側をいい、蓋体３の表面側とは、蓋体３が容器本体２の開口部４に嵌め合わされた際に薄板収納容器１の外側に配置される側をいう。
【００２８】
このように構成される蓋体３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂を用いて形成される。そして、これらの樹脂には、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどの導電性付与剤等が適宜添加される。
【００２９】
蓋体本体１１は、蓋体３の本体を構成するものである。蓋体本体１１は、角が丸く面取りされた正面視矩形状に形成されており、その外周面に、容器本体２の開口部４に嵌め合わされる外周面部１１ａが形成されている。外周面部１１ａの上下面には、後述する施錠機構７の係止部８が出没する一対の出没孔１３が形成されている。
【００３０】
図３は、蓋体の裏面側を示す斜視図である。図３に示すように、蓋体本体１１の裏面側には、容器本体２に収納されている基板の開口部４側周縁を保持するリテーナ１４が取り付けられている。リテーナ１４は、枠体１５と、枠体１５から内側に向けて短冊状に延びる弾性部１６と、を備えている。弾性部１６は、容器本体２に収納される基板と向き合う方向に張り出しており、その先端に、基板と接触する断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の保持溝１７が形成されている。なお、弾性部１６は、枠体１５に片持ち支持されるが、対向する一対の弾性部１６を連結して枠体１５に両持ち支持されるものとしてもよい。また、弾性部１６の先端に、保持溝１７の変わりに、又は、保持溝１７とともに、基板を保持する別の保持部を設けてもよい。
【００３１】
図１に示すように、表面プレート１２には、薄板収納容器１を搭載する加工装置に設けられた蓋体開閉装置により、施錠機構７の施錠操作及び開錠操作を可能とするための操作孔１８が形成されている。
【００３２】
施錠機構７は、容器本体２に対する蓋体３の施錠及び開錠を行うものであり、蓋体本体１１の表面側において左右方向に２組並設されている。この施錠機構７は、それぞれ、回転部材１９と、回転部材１９に連結される一対の連結バー２０と、各連結バー２０に連結されて蓋体本体１１の出没孔１３から出没する係止部８と、を備えている。
【００３３】
回転部材１９は、円板状に形成されており、蓋体本体１１に回転可能に支持されている。この回転部材１９には、表面プレート１２の操作孔１８を通して挿入された操作キーと嵌合する被操作凹部２２が形成されている。また、回転部材１９には、回転により連結バー２０を進退させる案内溝２３が形成されている。なお、案内溝２３は、回転部材１９を正転（図１において左回転）させると、回転部材１９の中心からの距離が長くなり、回転部材１９を反転（図１において右回転）させると、回転部材１９の中心からの距離が短くなるように形成されている。
【００３４】
連結バー２０は、長尺の矩形板状に形成されており、蓋体本体１１に上下方向（蓋体３の内側方向及び外側方向）に進退可能に支持されている。この連結バー２０は、内側端部が、回転部材１９の案内溝２３に遊嵌されており、外側端部が、係止部８に連結されている。このため、操作キーにより回転部材１９を回転させることで、連結バー２０を進退させることが可能となっている。
【００３５】
図４は、施錠機構の施錠状態を示す断面図である。図５は、施錠機構の開錠状態を示す断面図である。図４及び図５に示すように、係止部８は、上方に向けて屈曲した略Ｌ字状に形成されている。係止部８は、蓋体３の表面側に位置する基端部（図３及び図４において、左側の端部）が、蓋体本体１１に固定されて左右方向に延びる回転軸２４に、揺動自在に軸支されている。係止部８には、蓋体３の内側に位置する先端部（図３及び図４において、右側の端部）に、容器本体２の係止凹部６に係止される一対の円筒状のローラ部２５が回動自在に取り付けられている。また係止部８には、凸状に屈曲する中央部に、連結バー２０の外側端部が揺動自在に連結されている。
【００３６】
このため、図４に示すように、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を正転させる施錠機構７の施錠操作を行うと、進行する連結バー２０によって係止部８が押し出され、回転軸２４を軸とした係止部８の円弧運動により、ローラ部２５が蓋体本体１１の出没孔１３から出現する。これにより、開口部４の開口周面部４ａに形成された係止凹部６に、ローラ部２５が係止される。
【００３７】
一方、図５に示すように、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を反転させる施錠機構７の開錠操作を行うと、後退する連結バー２０によって係止部８が引き戻され、回転軸２４を軸とした円弧運動により、ローラ部２５が蓋体本体１１の出没孔１３に没入する。これにより、係止凹部６に対するローラ部２５の係止が解除される。
【００３８】
このように構成される施錠機構７は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタールなどの合成樹脂により形成される。
【００３９】
図６は、蓋体本体の出没孔周辺を示す一部拡大図である。図１〜図６に示すように、蓋体本体１１には、裏面側の周縁部に、開口部４の開口正面部４ｂと蓋体本体１１との間のシールを行うガスケット２６が嵌め込まれるシール用溝２７が形成されている。シール用溝２７は、開口が蓋体３の外側方向に向けられている。また、蓋体本体１１には、シール用溝２７から出没孔１３に貫通されて、蓋体本体１１の外周面部１１ａからシール用溝２７の底面に至るスリット２８が形成されている。このスリット２８は、係止部８の各ローラ部２５と一対一に対応して形成されている。このため、スリット２８は、出没孔１３ごとに２箇所ずつ形成されており、蓋体本体１１で８箇所形成されている。
【００４０】
図７は、ガスケットを示す斜視図である。図８は、図７に示すガスケットの一部拡大図である。図９は、図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。図３及び図７〜図９に示すように、開口部４の開口正面部４ｂと蓋体本体１１との間のシールを行うガスケット２６は、矩形枠状に形成される枠体３０と、枠体３０から延びるリップ部３１と、リップ部３１の反対方向に延びて係止部８のローラ部２５に操作される被操作リブ３２と、を備えている。
【００４１】
枠体３０は、シール用溝２７に嵌め込まれることにより蓋体本体１１に固定されて、ガスケット２６と蓋体本体１１との間のシールを行う部位である。枠体３０は、断面略矩形状に形成されており、シール用溝２７に当接される少なくとも一方の側周面に、シール用溝２７からの脱落を防止するための嵌合リブ３３が形成されている。
【００４２】
リップ部３１は、開口正面部４ｂに密着されることにより、ガスケット２６と開口正面部４ｂとの間のシールを行う部位である。リップ部３１は、枠体３０の全周面から、開口正面部４ｂに向かうように湾曲しながら延びている。リップ部３１は、開口正面部４ｂとの密着性を向上させるために、断面が薄く形成されるとともに、その先端部が丸く膨らんでいる。そして、リップ部３１は、開口正面部４ｂに向けられるシール面３１ａが凸状に湾曲しており、シール面３１ａの反対側の裏面３１ｂが凹状に湾曲している。
【００４３】
被操作リブ３２は、係止部８のローラ部２５と一対一に対応して設けられており、リップ部３１に接続される第一リブ部３２ａと、第一リブ部３２ａから蓋体本体１１の出没孔１３に向けて延びる第二リブ部３２ｂと、を備えている。
【００４４】
第一リブ部３２ａは、リップ部３１の基端から先端部に至る裏面３１ｂに接続されている。このため、第一リブ部３２ａがリップ部３１の裏面３１ｂ側から引っ張られると、リップ部３１が第一リブ部３２ａにより持ち上げられる。
【００４５】
第二リブ部３２ｂは、第一リブ部３２ａと一体的に形成されており、断面矩形の棒状に形成されている。第二リブ部３２ｂは、スリット２８に挿入されることにより、その先端部が係止部８内に配置される。係止部８内に配置される第二リブ部３２ｂの先端部は、施錠機構７の操作により出没孔１３を出没するローラ部２５の移動経路上に達している。また、係止部８内に配置される第二リブ部３２ｂは、連結バー２０の両側壁の外側であって、施錠機構７を施錠状態としたときにローラ部２５に当接しない位置に配置される。
【００４６】
このように構成されるガスケット２６は、変位可能な素材で形成されており、例えば、フッ素系ゴム、ＮＢＲゴムなどのゴムや、ポリオレフィン系、ポリスチレン系、ポリエステル系などの各種熱可塑性エラストマーにより形成される。このため、ガスケット２６は、枠体３０に対する被操作リブ３２及びリップ部３１の変形が可能となっている。
【００４７】
次に、容器本体２に対する蓋体３の開閉動作について説明する。
【００４８】
まず、図１０〜図１３を参照して、施錠機構７の施錠操作を行うときの薄板収納容器１の動作について説明する。図１０は、施錠機構が施錠状態の蓋体を示す斜視図である。図１１は、図１０の一部拡大図である。図１２は、図１０の状態における蓋体の貫通孔周辺を示す一部拡大図である。図１４は、施錠機構が開錠状態の蓋体を示す斜視図である。なお、図１０及び図１１では、蓋体３から表面プレート１２を取り外した状態を示している。
【００４９】
図１０〜図１３に示すように、施錠機構７の施錠操作を行う際は、まず、蓋体３を容器本体２の開口部４に嵌め合わせる。すると、ガスケット２６のリップ部３１が開口正面部４ｂに押圧されて密着し、容器本体２と蓋体３との間がシールされる。
【００５０】
そして、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を正転させる施錠操作を行う。すると、回転部材１９の正転により連結バー２０が蓋体３の外側方向に進行するため、回転軸２４を軸とした係止部８の円弧運動により、ローラ部２５が出没孔１３から押し出される。そして、ローラ部２５が係止凹部６に入り込み、ローラ部２５が係止凹部６に係止される。これにより、容器本体２に対する蓋体３の施錠が完了する。
【００５１】
このとき、ローラ部２５は第二リブ部３２ｂに接触しないため、リップ部３１と容器本体２との間のシールが適切に保持される。
【００５２】
次に、図１４〜図１７を参照して、施錠機構７の開錠操作を行うときの薄板収納容器１の動作について説明する。図１４は、施錠機構が開錠状態の蓋体を示す斜視図である。図１５は、図１４の一部拡大図である。図１６は、図１４の状態における蓋体の貫通孔周辺を示す一部拡大図である。図１７は、開錠状態におけるラッチ機構とガスケットとの関係を示す断面図である。なお、図１４及び図１５では、蓋体３から表面プレート１２を取り外した状態を示している。
【００５３】
図１４〜図１７に示すように、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を反転させる開錠操作を行う。すると、回転部材１９の反転により連結バー２０が蓋体３の内側方向に後退するため、回転軸２４を軸とした係止部８の円弧運動により、ローラ部２５が係止凹部６から抜き出されて出没孔１３に没入する。これにより、係止凹部６に対するローラ部２５の係止が解除され、施錠機構７による開錠が完了する。
【００５４】
このとき、第二リブ部３２ｂの先端部が出没孔１３を出没するローラ部２５の移動系路上に配置されているため、第二リブ部３２ｂは、出没孔１３に没入移動するローラ部２５により蓋体３の内側方向に押し倒されて変位する。すると、変位する第二リブ部３２ｂにより第一リブ部３２ａが引っ張られるため、第一リブ部３２ａに接続されているリップ部３１は、部分的に持ち上げられるように変形し、開口正面部４ｂから部分的に引き剥がされる。
【００５５】
これにより、リップ部３１と開口正面部４ｂとの間に隙間が生じ、リップ部３１と開口正面部４ｂとの間のシールが解除されるため、容器本体２と蓋体３との密着力が小さくなる。なお、図１６に示すように、同じ出没孔１３に配置される一対の被操作リブ３２は近接しているため、この一対の被操作リブ３２の間の区間全体において、リップ部３１が開口正面部４ｂから引き剥がされる。
【００５６】
このように、本実施形態に係る薄板収納容器１によれば、施錠時は、リップ部３１の全面が開口正面部４ｂに密着して容器本体２と蓋体３との間が完全にシールされるが、施錠機構７を開錠操作すると、ローラ部２５により被操作リブ３２が変位させられるため、リップ部３１が被操作リブ３２に引っ張られて変形する。これにより、開口正面部４ｂからリップ部３１が部分的に引き剥がされるため、容器本体２から蓋体３を取り外す際の抵抗が小さくなる。その結果、蓋体開閉装置が停止することなく安定的に容器本体２から蓋体３を取り外すことができ、半導体部品の生産性を向上することができる。
【００５７】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態に係る薄板収納容器は、第１の実施形態に係る薄板収納容器と基本的に同一であり、施錠機構における係止部の構成とガスケットの形状のみ第１の実施形態に係る薄板収納容器と相違する。このため、以下の説明では、第１の実施形態に係る薄板収納容器と相違する事項のみ説明し、第１の実施形態に係る薄板収納容器と同一の事項の説明を省略する。
【００５８】
図１８は、第２の実施形態に係る薄板収納容器の施錠状態を示す一部拡大図である。図１９は、図１８の状態における操作部とガスケットとの関係を示す図である。図２０は、第２の実施形態に係る薄板収納容器の施錠状態を示す一部拡大図である。図２１は、図２０の状態における操作部とガスケットとの関係を示す図である。
【００５９】
図１８〜図２１に示すように、第２の実施形態に係る薄板収納容器４０の蓋体３には、施錠機構４１が取り付けられており、蓋体本体１１のシール用溝２７に、蓋体３と容器本体２との間のシールを行うとともに施錠機構４１に係合されるガスケット４５が嵌め込まれている。
【００６０】
施錠機構４１は、回転部材１９と、回転部材１９に連結される一対の連結バー２０と、各連結バーに連結されて蓋体本体１１の出没孔１３から出没する係止部４２と、を備えている。
【００６１】
係止部４２は、連結バー２０の延長線上に延びる棒状に形成されている。係止部４２の先端部には、円筒状のローラ部４３が取り付けられている。また、係止部４２の胴部には、ガスケット４５を変形させるための操作部４４が取り付けられている。
【００６２】
操作部４４は、係止部４２に対する垂直方向であって、ガスケット４５に向けて延びている。操作部４４は、棒状に形成されており、係止部４２の進退に伴い蓋体本体１１のスリット２８内を進退する。
【００６３】
ガスケット４５は、矩形枠状に形成される枠体３０と、枠体３０から延びるリップ部３１と、操作部４４に係合される被係合部４８と、を備えている。
【００６４】
被係合部４８は、操作部４４と一対一に対応して設けられており、リップ部３１に接続される第一被係合部４８ａと、操作部４４に係合される第二被係合部４８ｂと、を備えている。
【００６５】
第一被係合部４８ａは、リップ部３１の基端から先端部付近に至る裏面３１ｂに接続されている。このため、第一被係合部４８ａがリップ部３１の裏面３１ｂ側から引っ張られると、リップ部３１が第一被係合部４８ａにより持ち上げられる。
【００６６】
第二被係合部４８ｂは、第一被係合部４８ａからリップ部３１の反対方向に突出しており、スリット２８に挿入される。そして、第二被係合部４８ｂには、係止部４２側の側面に、後退する操作部４４に係合される係合凹部４９が形成されている。
【００６７】
係合凹部４９は、後退する操作部４４が内部に入り込めるとともに、進行する操作部４４の障害とならないように、蓋体３の表面側の方向及び蓋体３の外側方向に向けて開口している。このため、施錠時は、操作部４４が係合凹部４９に係合されない。また、係合凹部４９の進退方向における深さは、操作部４４が完全に後退し終える前に操作部４４が係合凹部４９の底面に当接する深さとなっている。このため、開錠時は、被係合部４８が操作部４４により蓋体３の内側方向に押圧された状態となる。
【００６８】
次に、容器本体２に対する蓋体３の開閉動作について説明する。
【００６９】
まず、施錠機構４１の施錠操作を行うときの薄板収納容器４０の動作について説明する。図１８及び図１９に示すように、施錠機構４１の施錠操作を行う際は、まず、蓋体３を容器本体２の開口部４に嵌め合わせる。すると、ガスケット４５のリップ部３１が開口正面部４ｂに押圧されて密着し、容器本体２と蓋体３との間がシールされる。
【００７０】
そして、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を正転させる施錠操作を行う。すると、回転部材１９の正転により連結バー２０が蓋体３の外側方向に進行するため、係止部４２のローラ部４３が出没孔１３から押し出される。そして、ローラ部４３が係止凹部６に入り込み、ローラ部４３が係止凹部６に係止される。これにより、容器本体２に対する蓋体３の施錠が完了する。
【００７１】
このとき、操作部４４は係合凹部４９に係合しないため、リップ部３１と容器本体２との間のシールが適切に保持される。
【００７２】
次に、施錠機構４１の開錠操作を行うときの薄板収納容器４０の動作について説明する。図２０及び図２１に示すように、蓋体開閉装置の操作キーにより回転部材１９を反転させる開錠操作を行う。すると、回転部材１９の反転により連結バー２０が上下方向に後退するため、ローラ部４３が係止凹部６から抜き出されて出没孔１３に没入する。これにより、係止凹部６に対するローラ部４３の係止が解除され、施錠機構４１による開錠が完了する。
【００７３】
このとき、蓋体３の内側方向に後退する操作部４４が係合凹部４９に係合され、更に、操作部４４が係合凹部４９を蓋体３の内側方向に押圧するため、第二被係合部４８ｂが蓋体３の内側方向に撓むように変形する。すると、変形する第二被係合部４８ｂにより第一被係合部４８ａが引っ張られるため、第一被係合部４８ａに接続されているリップ部３１は、部分的に持ち上げられるように変形し、開口正面部４ｂから部分的に引き剥がされる。
【００７４】
これにより、リップ部３１と開口正面部４ｂとの間に隙間が生じ、リップ部３１と開口正面部４ｂとの間のシールが解除されるため、容器本体２と蓋体３との密着力が小さくなる。
【００７５】
このように、本実施形態に係る薄板収納容器４０によれば、施錠機構４１を開錠することで、操作部４４により被係合部４８を押圧変形させて、リップ部３１を変形させることができる。これにより、開口正面部４ｂからリップ部３１が部分的に引き剥がされるため、容器本体２から蓋体３を取り外す際の抵抗が小さくなり、容器本体２から蓋体３を取り外す際の抵抗が小さくなる。その結果、蓋体開閉装置が停止することなく安定的に容器本体２から蓋体３を取り外すことができ、半導体部品の生産性を向上することができる。
【００７６】
また、被係合部４８に係合凹部４９を形成することで、被係合部４８を確実に変形させることができる。
【００７７】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態では、ガスケットが蓋体に嵌め込まれるものとして説明したが、容器本体に嵌め込まれるものとしてもよい。更に、上記実施形態では、シール部材としてガスケット２６、４５を用いるものとして説明したが、容器本体２と蓋体３との間をシールすることができれば、如何なる部材を用いてもよい。
【００７８】
また、第１の実施形態では、突片である被操作リブ３２が棒状であるものとして説明したが、出没孔１３に挿入されてローラ部２５により変位される形状であれば、如何なる形状であってもよい。更に、第１の実施形態では、施錠機構７のローラ部２５で被操作リブ３２を変位させるものとして説明したが、施錠機構７の如何なる部位で被操作リブ３２を変異させてもよい。
【００７９】
また、第２の実施形態では、操作部４４が棒状であるものとして説明したが、施錠機構４１に取り付けられるとともに開錠操作により被係合部４８を変形させることができれば、弾性片や別部材など、如何なる形状、素材、構造のもので操作部４４を構成してもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１…薄板収納容器、２…容器本体、３…蓋体、４…開口部、４ａ…開口周面部、４ｂ…開口正面部、５…支持部材、６…係止凹部、７…施錠機構、８…係止部、９…ロボティックフランジ、１０…台座部材、１１…蓋体本体、１１ａ…外周面部、１２…表面プレート、１３…出没孔、１４…リテーナ、１５…枠体、１６…弾性部、１７…保持溝、１８…操作孔、１９…回転部材、２０…連結バー、２２…被操作凹部、２３…案内溝、２４…回転軸、２５…ローラ部、２６…ガスケット（シール部材）、２７…シール用溝、２８…スリット、３０…枠体（シール本体）、３１…リップ部（シール本体）、３１ａ…シール面、３１ｂ…裏面、３２…被操作リブ（突片）、３２ａ…第一リブ部、３２ｂ…第二リブ部、３３…嵌合リブ、４０…薄板収納容器、４１…施錠機構、４２…係止部、４３…ローラ部、４４…操作部、４５…ガスケット（シール部材）、４８…被係合部、４８ａ…第一被係合部、４８ｂ…第二被係合部、４９…係合凹部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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