(57)【要約】【課題】優れたガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を有する電子デバイス用積層フィルムを提供する。【解決手段】透明樹脂で構成された基材フィルム２５の一方の面に、ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーを含む重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層２４、金属又は金属化合物を含むバリア層２３、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層２２、無機化合物で構成された透明導電層２１をこの順序で順次形成する。前記ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーは、少なくともシリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーを含む。この積層フィルム２０は、前記基材フィルムの他方の面に防眩層２６が形成されていてもよい。この積層フィルム２０は、電子ペーパーのインク層に対して表示面側に配置される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明樹脂で構成された基材フィルムの一方の面に、ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーを含有する重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層、金属又は金属化合物を含むバリア層、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層、導電性無機化合物で構成された透明導電層がこの順序で順次形成された電子デバイス用積層フィルムであって、前記ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーが少なくともシリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーを含む電子デバイス用積層フィルム。
【請求項２】
ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーが、シリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーと、珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーとで構成されている請求項１記載の積層フィルム。
【請求項３】
珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーが、ウレタン（メタ）アクリレートである請求項２記載の積層フィルム。
【請求項４】
シリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーと、珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーとの割合（重量比）が、前者／後者＝１／９９〜３０／７０である請求項２又は３のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項５】
バリア層が、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、化学的気相法から選択された一種の成膜方法により形成され、かつバリア層の厚みが２０〜３００ｎｍである請求項１〜４のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項６】
エッチング保護層が、（メタ）アクリル系重合性組成物の硬化物、炭化珪素、炭化フッ素又は酸化チタンで構成されている請求項１〜５のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項７】
導電性無機化合物が金属酸化物である請求項１〜６のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項８】
基材フィルムの他方の面に機能層が形成されている請求項１〜７のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項９】
機能層が防眩層である請求項８記載の積層フィルム。
【請求項１０】
防眩層が、１又は複数のポリマーと、１又は複数の硬化した硬化性樹脂前駆体とを含み、かつ表面に凹凸形状を有する相分離構造で構成されている請求項９記載の積層フィルム。
【請求項１１】
電子デバイスの視認側に配置するためのフィルムである請求項１〜１０のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項１２】
基材フィルムの少なくとも一方の面にアンカー層をコーティングで形成した後、バリア層、エッチング保護層、透明導電層を物理的又は化学的気相法で順次形成する請求項１〜１０のいずれかに記載の積層フィルムの製造方法。
【請求項１３】
フィルムをロール状に巻き取る工程を含む請求項１２記載の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１１のいずれかに記載の積層フィルムを備えた電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ペーパーや有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（有機ＥＬ）などの電子（表示）デバイスの視認側に配置するための積層フィルム及びその製造方法並びに電子デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの一種として、液晶表示装置を有する携帯情報端末（ＰＤＡ）が今日広く用いられている。このＰＤＡでは表示装置が液晶ディスプレイであり、入力装置としてタッチパネルを備えてタッチペンで入力可能な装置が主流である。このようなＰＤＡにおいて、液晶表示装置は表示装置として優れている一方で、自己発光型や反射光利用型ではないために、消費電力が大きいことが問題となっており、特に携帯に適したように小型化している場合には、消費電力を小さくすることが求められている。このため、液晶ディスプレイ以外の電子デバイスも提案されており、電子ペーパーや有機ＥＬがその代表である。
【０００３】
電子ペーパーは、通常、基板の上にインク層（表示層）が形成され、さらにこのインク層の上に透明電極が積層された構造を有している。このような電子ペーパーは、近年、前記インク層として、電気泳動や磁気泳動などの物理現象を利用した電子インクが開発され、視認性や薄肉性などの特性が向上するとともに急速に普及している。しかし、前記電子インクは水分により機能が低下し易いため、電子ペーパーには水蒸気バリア性が要求される。さらに、紙と同じように反射光を利用して表示を行うため、視野角が広く直射日光に当たっても見易く目に対する負担が少ないように表示層の視認性を向上させる機能も要求される。このような視認性を得るために、電子ペーパーの視認側の最表層には、アンチグレアー機能層（防眩層）を形成するのが一般的である。また、上記の通り視認側は透明電極であり、透明なフィルムでかつ導電性があり、回路を形成することが必要となる。透明電極で回路を形成するためには、部分的にマスキングしたＩＴＯなどの導電層をエッチングすることにより形成され、詳細には、マスキングされていない部分の導電層を除去するとともに、マスキングされている部分の導電層が残存して回路が形成される。
【０００４】
現在の技術ではこの電子ペーパー用の視認側のフィルムは複雑な構成となっている。すなわち、視認側の最表層から、防眩層／ＰＥＴ（基材）フィルム（１）、酸化珪素の蒸着膜で形成されたバリア層を有するＰＥＴフィルム（２）、ＩＴＯ層を有するＰＥＴフィルム（３）の３枚のフィルムを作成した上で、フィルム（１）とフィルム（２）とを粘着剤で貼り合せ、更にこの積層フィルムにフィルム（３）を貼り合せて形成されている。このような方法では、貼り合せ工程を経る必要があり、製品の生産性が低下する。また、粘着剤での貼り合せ工程の前に貼り合せ面に付着した異物は物理的に除去不可能であり、層間に入り込んだ異物が製品の欠点となる問題点がある。
【０００５】
一方、有機ＥＬでは、陰極及び陽極に電圧を負荷することにより各々の極から電子と正孔を注入する。注入された電子及び正孔は、それぞれの電子輸送層・正孔輸送層を通過し、発光層で結合するのが有機ＥＬの発光原理である。このような有機ＥＬでは、発光体の有機物が通電及び湿気の影響により徐々に劣化するため、輝度が低下する問題がある。このため、有機ＥＬでは、水蒸気バリア性が要求される。さらに、有機ＥＬでは、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などのアクティブ素子を各画素に配置して駆動（アクティブ・マトリクス駆動）させる必要があるため、透明なフィルムでかつ導電性があり、回路を形成することが必要となる。さらに、有機ＥＬでの視認性を向上させるためには、視認側の最表層に防眩層を形成することが望ましい。また、有機ＥＬをＰＤＡに使用する場合、タッチペンでの入力に耐えるハードコート層を視認側の最表層に形成することが望ましい。
【０００６】
しかし、このような電子デバイス（特に有機ＥＬ）に使用できるフィルム、すなわち透明性が高く、かつ防湿性が高いフィルムは現在まで提案されていない。
【０００７】
ＷＯ２００４／０００９２０号公報（特許文献１）には、ＥＬディスプレイ用基板、電子ペーパー用基板、太陽電池用基板として、ポリエチレンナフタレート基板の上に、ポリエステルとアクリル樹脂と濡れ剤とで構成された塗布層、ハードコート層、酸化珪素の蒸着膜で形成されたバリア層、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）の蒸着膜で形成された透明導電膜を順次積層した積層フィルムが開示されている。
【０００８】
また、特開２００８−３３０９５号公報（特許文献２）には、液晶表示パネル、有機又は無機ＥＬ表示パネル、電子ペーパーなどの表示部を、表示駆動回路基板と透明電極基板との間に狭持した表示パネルをガスバリア性部材で被覆した表示装置が開示されている。この文献には、好適なガスバリア性フィルムとして、透明樹脂基材上に金属又は金属化合物からなるガスバリア性薄膜、ガスバリア性を有する有機樹脂が形成された積層体が記載されている。さらに、ガスバリア特性について、４０℃、９０％ＲＨの環境下でモコン法により測定した透湿度は、実用的には０．３ｇ／ｍ２／ｄａｙ以下が望ましいと記載されている。
【０００９】
しかし、これらの積層フィルムや積層体ではガスバリア性が十分でない。また、前述の通り、回路を形成するためにエッチングを施した場合には、エッチングによりＩＴＯ層の下層にあるバリア層がダメージを受けるためにガスバリア性が低下する。さらに、これらの積層フィルムや表示装置では、防眩層がないため光の透過性には優れるものの、ギラツキやチラツキが発生し、視認性が十分でない。そして、表示駆動回路基板と透明電極基板との間に狭持した表示パネルをガスバリア性部材で被覆するために、工程も複雑となる。
【００１０】
特開２００７−１８７７４６号公報（特許文献３）には、ポリマーで構成され、かつ相分離した複数のドメインを有する防眩層を備えたフィルムであって、前記ドメインとマトリックスとの間が凹凸状に形成され、ドメイン内に相分離により生成し、かつ少なくとも１つの凹凸部が形成されている防眩性フィルムが開示されている。しかし、この文献には、単に防眩層の一つの技術が開示されているのみであり、表示デバイスとして用いた場合に好適なバリア性を如何にして得るのかについては全く記載されていない。そして、エッチングによりＩＴＯの下層にあるバリア層がダメージを受けるためにバリア性が低下する現象について何ら記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】ＷＯ２００４／０００９２０号公報（特許請求の範囲、実施例５）
【特許文献２】特開２００８−３３０９５号公報（特許請求の範囲、段落［００２４］［００２５］）
【特許文献３】特開２００７−１８７７４６号公報（特許請求の範囲）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従って、本発明の目的は、優れたガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を有する積層フィルム及びその製造方法並びに前記フィルムを備えた電子デバイスを提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、酸やアルカリでエッチング処理してもガスバリア性の低下を抑制できる積層フィルム及びその製造方法並びに前記フィルムを備えた電子デバイスを提供することにある。
【００１４】
本発明のさらに他の目的は、ガスバリア性が高く、かつギラツキやチラツキが抑制された鮮明な画像を表示可能な積層フィルムを効率良く生産できる方法を提供することにある。
【００１５】
本発明の別の目的は、表面に凹凸構造を有する防眩層を形成したフィルムをロール状に巻き取ってもバリア層の損傷や劣化を抑制できる積層フィルム及びその製造方法並びに前記フィルムを備えた電子デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明者らは、前記課題を達成するため鋭意検討した結果、基材フィルムの一方の面（視認側と反対面）に特定のビニル系重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層、金属又は金属化合物を含むバリア層、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層、導電性無機化合物で構成された透明導電層をこの順序で順次形成することにより、優れたガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を有し、電子ペーパーや有機ＥＬなどの電子デバイスに適する積層フィルムが得られることを見出し、本発明を完成した。
【００１７】
すなわち、本発明の積層フィルムは、透明樹脂で構成された基材フィルムの一方の面に、ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーを含有する重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層、金属又は金属化合物を含むバリア層、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層、導電性無機化合物で構成された透明導電層がこの順序で順次形成された積層フィルムであって、前記ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーが少なくともシリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーを含む。前記ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーは、シリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーと、珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーとで構成されていてもよい。前記珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーは、ウレタン（メタ）アクリレートであってもよい。前記シリコーン（メタ）アクリレートモノマー及び／又はプレポリマーと、珪素非含有ビニル系モノマー及び／又はプレポリマーとの割合（重量比）は、前者／後者＝１／９９〜３０／７０であってもよい。前記バリア層は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、化学的気相法から選択された一種の成膜方法により形成され、かつバリア層の厚みが２０〜３００ｎｍであってもよい。前記エッチング保護層は、耐エッチング性ビニル系重合体、炭化珪素、フッ素樹脂、炭化フッ素又は酸化チタンで構成されていてもよい。前記透明導電層において、導電性無機化合物は金属酸化物であってもよい。本発明の電子デバイス用積層フィルムは、前記基材フィルムの他方の面に機能層が形成されていてもよい。前記機能層は、防眩層、例えば、１又は複数のポリマーと、１又は複数の硬化した硬化性樹脂前駆体とを含み、かつ表面に凹凸形状を有する相分離構造で構成された防眩層であってもよい。本発明の機能層はハードコート層例えば１又は複数のポリマーと、１又は複数の硬化した硬化性樹脂前駆体とを含むハードコート層であってもよい。本発明の積層フィルムは、電子デバイスの視認側に配置するためのフィルムであってもよい。
【００１８】
本発明には、基材フィルムの少なくとも一方の面にアンカー層をコーティングで形成した後、バリア層、エッチング保護層、透明導電層を物理的又は化学的気相法でこの順序で順次形成する前記積層フィルムの製造方法も含まれる。この製造方法は、フィルムをロール状に巻き取る工程を含んでいてもよい。
【００１９】
さらに、本発明には、前記積層フィルムを備えた電子デバイスも含まれる。この電子デバイスには、電子ペーパー、有機ＥＬも含まれる。
【００２０】
なお、本願明細書において、「有機ＥＬ」とは表示装置としての有機ＥＬディスプレイのみならず、照明用の単純な回路を備えた有機ＥＬ照明を含む意味で用いる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、基材フィルムの一方の面に、特定のビニル系重合性組成物の硬化物で構成されたアンカー層、金属又は金属化合物を含むバリア層、酸又はアルカリに対して耐性を有するエッチング保護層、導電性無機化合物で構成された透明導電層がこの順序で順次形成されているため、優れたガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を有している。また、エッチング保護層が形成されているため、酸やアルカリでエッチング処理しても、バリア層の劣化が抑制され、ガスバリア性の低下を抑制できる。また、基材フィルムの他方の面に防眩層を形成することにより、高いガスバリア性が発現するとともに、ギラツキやチラツキが抑制された鮮明な画像を表示可能な電子デバイス用積層フィルムを効率良く生産できる。さらに、前記防眩層を相分離構造で凹凸形状を形成することにより、表面に凹凸構造を有する防眩層を形成したフィルムをロール状に巻き取ってもバリア層の損傷や劣化を抑制できる。また、基材フィルムの他方の面にハードコート層を設けることで、タッチペンで入力した場合でも最表面に傷が残り難い。このような積層フィルムは、電子デバイスの視認側に配置するための積層フィルム、例えば、電子ペーパーのインク層（表示層）に対して表示面側に配置するための積層フィルムや、有機ＥＬの視認側フィルムとして配置するための積層フィルムに適している。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、積層フィルムの光透過散乱特性（透過散乱光の角度分布）を測定するための装置を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の電子ペーパーの一例を示す概略模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
［積層フィルム］
本発明の積層フィルムは、基材フィルムの一方の面に、アンカー層、バリア層、エッチング保護層、透明導電層が順次形成されている。
【００２４】
（基材フィルム）
基材フィルムは、透明で柔軟性を有するフィルムであれば特に限定されず、用途に応じて適宜選択できるが、通常、透明樹脂で構成される。透明樹脂としては、熱可塑性樹脂であってもよく、無色であれば熱硬化性樹脂であってもよい。より好適には熱可塑性樹脂である。具体的には、オレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、非晶質ポリオレフィンなど）、スチレン系樹脂（ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体など）、ポリエステル系樹脂（ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、シクロヘキサンジメタノールをジオール成分として含むＰＥＴ系共重合体（ＰＥＴ−Ｇ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などのポリアルキレンアリレート系樹脂、ポリアリレート系樹脂、液晶性ポリエステルなど）、ポリアミド系樹脂（ポリアミド６、ポリアミド６６、ポリアミド１２など）、塩化ビニル系樹脂（ポリ塩化ビニルなど）、ポリカーボネート系樹脂（ビスフェノールＡ型ポリカーボネートなど）、ポリビニルアルコール系樹脂、セルロースエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリフェニレンスルファイド系樹脂、フッ素樹脂などが例示できる。
【００２５】
これらの透明樹脂は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらのプラスチックのうち、ポリエステル系樹脂及びポリカーボネート系樹脂から選択された少なくとも一種のプラスチックが好ましく、ＰＥＴ、ＰＥＮなどのポリアルキレンアリレート系樹脂がより好ましい。更に、ＰＥＴ、ＰＥＮなどのポリアルキレンアリレート系樹脂を二軸延伸したフィルムがより好ましい。
【００２６】
基材フィルムには、必要に応じて、安定化剤（酸化防止剤、紫外線吸収剤、耐光安定剤、熱安定化剤など）、結晶核剤、難燃剤、難燃助剤、充填剤、可塑剤、耐衝撃改良剤、補強剤、着色剤、分散剤、帯電防止剤、発泡剤、抗菌剤などを添加してもよい。これらの添加剤は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００２７】
基材フィルムは、未延伸フィルムであってもよく、延伸（一軸又は二軸）フィルムであってもよい。また、基材フィルムの表面には、接着性を向上させるため、コロナ放電やグロー放電などの放電処理、酸処理、焔処理などの表面処理を施してもよい。
【００２８】
基材フィルムの厚みは、例えば、１〜５００μｍ（例えば１０〜５００μｍ）、好ましくは５０〜４００μｍ、さらに好ましくは１００〜２５０μｍ程度であってもよい。
【００２９】
（アンカー層）
アンカー層は、基材層とバリア層との密着性の点から、接着性樹脂で構成されており、バリア層のガスバリア性を向上できる点から、少なくともシリコーン（メタ）アクリレート成分を含むビニル系重合性組成物の硬化物で構成されている。前記重合性組成物は、通常、ビニル系成分と重合開始剤とを含んでいる。
【００３０】
（１）ビニル系成分
ビニル系成分は、少なくともシリコーン（メタ）アクリレート成分を含んでおり、シリコーン（メタ）アクリレート成分単独で構成してもよいが、通常、シリコーン（メタ）アクリレート成分と、珪素非含有ビニル系［特に、珪素非含有（メタ）アクリル系］モノマー及び／又はプレポリマー［以下「珪素非含有ビニル系成分（珪素非含有（メタ）アクリル系成分）」と総称する場合がある］とで構成されている。
【００３１】
珪素非含有ビニル系成分とシリコーン（メタ）アクリレート成分とを組み合わせることにより、ガスバリア性（例えば、水蒸気バリア性）を著しく向上できる。その理由は定かではないが、例えば、基材フィルムとバリア層との強固な接着、表面性の向上、バリア層の緻密性の向上などが要因になると推定できる。
【００３２】
（Ａ）シリコーン（メタ）アクリレート成分
シリコーン（メタ）アクリレート成分としては、珪素原子と（メタ）アクリロイル基とを有する化合物（硬化性化合物）である限り、特に限定されないが、通常、オルガノシロキサン単位［−Ｓｉ（−Ｒ）２−Ｏ−］（基Ｒは置換基を示す）を有している。Ｓｉ原子（又はオルガノシロキサン単位）の数は、１分子中に１以上（例えば、１〜３０、好ましくは１〜２０、さらに好ましくは１〜１５程度）であってもよい。また、（メタ）アクリロイル基の数は、１分子中に１以上（例えば、１〜２０、好ましくは１〜１５、さらに好ましくは１〜１０程度）であってもよい。
【００３３】
シリコーン（メタ）アクリレート成分は、モノマーであってもよく、オリゴマー（又はプレポリマー）であってもよく、モノマー及びオリゴマーを組み合わせて使用してもよい。また、オリゴマー（プレポリマー）は、複数の（−Ｓｉ−Ｏ）結合を有するポリシロキサン系オリゴマーであってもよく、加水分解縮合性基（例えば、メトキシ、エトキシなどのＣ１−４アルコキシ基、塩素原子などのハロゲン原子など）を有するシリコーン（メタ）アクリレートモノマーの加水分解縮合による２量体、３量体などの多量体であってもよい。
【００３４】
代表的なシリコーン（メタ）アクリレート成分としては、１分子中に１つのＳｉ原子を有するシリコーンモノ乃至テトラ（メタ）アクリレート、１分子中に２つのＳｉ原子を有するシリコーンテトラ乃至ヘキサ（メタ）アクリレートなどが例示できる。
【００３５】
これらのシリコーン（メタ）アクリレート成分は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらのシリコーン（メタ）アクリレート成分のうち、１分子中に複数（例えば、２〜１０個、好ましくは２〜８個、さらに好ましくは２〜６個程度）の（メタ）アクリロイル基と、１又は複数（例えば、１〜２０個、好ましくは１〜１０個、さらに好ましくは１〜６個程度）のＳｉ原子を有するシリコーン（メタ）アクリレート成分［例えば、シリコーンジ乃至ヘキサ（メタ）アクリレート、好ましくはシリコーンジ乃至テトラ（メタ）アクリレート、特にシリコーンジ（メタ）アクリレートなどのシリコーンジ乃至トリ（メタ）アクリレート］が好ましい。なお、シリコーンジ（メタ）アクリレートは、商品名「ＥＢＥＣＲＹＬ３５０」（ダイセル・サイテック（株）製）などとして入手でき、シリコーンヘキサ（メタ）アクリレートは、商品名「ＥＢＥＣＲＹＬ１３６０」（ダイセル・サイテック（株）製）などとして入手できる。
【００３６】
シリコーン（メタ）アクリレート成分の粘度は、２５℃において、１００〜５０００ｍＰａ・ｓ、好ましくは２００〜４０００ｍＰａ・ｓ、さらに好ましくは３００〜３０００ｍＰａ・ｓ程度であってもよい。
【００３７】
シリコーン（メタ）アクリレート成分の含有量は、添加剤（重合開始剤など）を含む重合性組成物全体に対して、５０重量％以下（例えば、１〜３０重量％）の範囲から選択でき、０．０１〜２５重量％（例えば、０．０５〜２０重量％）、好ましくは０．１〜１５重量％（例えば、０．５〜１０重量％）、さらに好ましくは１〜５重量％（例えば、２〜４重量％）程度であってもよい。
【００３８】
（Ｂ）珪素非含有ビニル系成分
珪素非含有ビニル系成分としては、珪素原子を含まず、α，β−エチレン性不飽和二重結合を有する化合物（硬化性化合物）である限り、特に限定されない。α，β−エチレン性不飽和二重結合［特に（メタ）アクリロイル基］の数は、１分子中に１以上（例えば、１〜２０、好ましくは１〜１５、さらに好ましくは１〜１０程度）であってもよい。
【００３９】
珪素非含有ビニル系成分は、モノマーであっても、オリゴマー（又はプレポリマー）であってもよく、モノマー及びオリゴマーを組み合わせて使用してもよい。
【００４０】
珪素非含有ビニル系モノマーには、単官能ビニル系モノマー［単官能（メタ）アクリレート（又はモノ（メタ）アクリレート）類など］、二官能ビニル系モノマー［二官能（メタ）アクリレート（又はジ（メタ）アクリレート）類など］、３官能以上のビニル系モノマー［３官能以上の多官能（メタ）アクリレート（又はポリ（メタ）アクリレート）類など］が含まれる。
【００４１】
単官能ビニル系モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレートなどのＣ１−２４アルキル（メタ）アクリレート；シクロヘキシル（メタ）アクリレートなどのシクロアルキル（メタ）アクリレート；ジシクロペンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレートなどの橋架け環式（メタ）アクリレート；フェニル（メタ）アクリレート、ノニルフェニル（メタ）アクリレートなどのアリール（メタ）アクリレート；ベンジル（メタ）アクリレートなどのアラルキル（メタ）アクリレート；ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシＣ２−１０アルキル（メタ）アクリレート又はＣ２−１０アルカンジオールモノ（メタ）アクリレート；トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、ヘキサフルオロイソプロピル（メタ）アクリレートなどのフルオロＣ１−１０アルキル（メタ）アクリレート；メトキシエチル（メタ）アクリレートなどのアルコキシアルキル（メタ）アクリレート；フェノキシエチル（メタ）アクリレートなどのアリールオキシアルキル（メタ）アクリレート；フェニルカルビトール（メタ）アクリレート、ノニルフェニルカルビトール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレートなどのアリールオキシ（ポリ）アルコキシアルキル（メタ）アクリレート；フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどのアリールオキシヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートなどのポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート；グリセリンモノ（メタ）アクリレートなどのアルカンポリオールモノ（メタ）アクリレート；２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−ｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどのアミノ基を有する（メタ）アクリレート；グリシジル（メタ）アクリレートなどが例示できる。
【００４２】
二官能ビニル系モノマーとしては、例えば、アリル（メタ）アクリレート；エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどのアルカンジオールジ（メタ）アクリレート；グリセリンジ（メタ）アクリレートなどのアルカンポリオールジ（メタ）アクリレート；ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリオキシテトラメチレンエーテルグリコールジ（メタ）アクリレートなどのポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート；２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパンなどのビスフェノール類（ビスフェノールＡ、Ｓなど）のＣ２−４アルキレンオキサイド付加体のジ（メタ）アクリレート；脂肪酸変性ペンタエリスリトールなどの酸変性アルカンポリオールのジ（メタ）アクリレート；トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、アダマンタンジ（メタ）アクリレートなどの橋架け環式ジ（メタ）アクリレートなどが例示できる。
【００４３】
多官能ビニル系モノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどのアルカンポリオールポリ（メタ）アクリレート；前記アルカンポリオールのＣ２−４アルキレンオキサイド付加体のポリ（メタ）アクリレート；トリス（２−ヒドキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレートなどのトリアジン環を有するトリ（メタ）アクリレートなどが例示できる。
【００４４】
これらのモノマーは、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００４５】
珪素非含有ビニル系オリゴマーとしては、ポリエステル（メタ）アクリレート［例えば、多価カルボン酸とポリオールと（メタ）アクリル酸及び／又はヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートとの反応により生成する脂肪族又は芳香族ポリエステル（メタ）アクリレートなど］；アルキド樹脂；エポキシ（メタ）アクリレート［例えば、複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物（多価アルコール型、多価カルボン酸型、ビスフェノールＡ、Ｆ、Ｓなどのビスフェノール型、ノボラック型などのエポキシ樹脂）に（メタ）アクリル酸が開環付加したエポキシ（メタ）アクリレートなど］；ウレタン（メタ）アクリレート；ポリアクリル（メタ）アクリレート［例えば、（メタ）アクリル系単量体とグリシジル（メタ）アクリレートとの共重合体に（メタ）アクリル酸をエポキシ基に開環付加したポリアクリル（メタ）アクリレートなど］；ポリエーテル（メタ）アクリレート［ビスフェノールＡ−アルキレンオキサイド付加体の（メタ）アクリレートなど］；ポリブタジエン系（メタ）アクリレート；メラミン（メタ）アクリレート；ポリアセタール（メタ）アクリレートなどが例示できる。これらのオリゴマーは、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００４６】
これらの珪素非含有ビニル系成分のうち、柔軟性などの点から、ウレタン（メタ）アクリレートなどのオリゴマーが好ましい。
【００４７】
ウレタン（メタ）アクリレートは、特に限定されず、例えば、ポリイソシアネート成分［又はポリイソシアネート成分とポリオール成分との反応により生成し、遊離のイソシアネート基を有するプレポリマー］に活性水素原子を有する（メタ）アクリレート［例えば、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートなど］を反応させることにより得られたウレタン（メタ）アクリレートであってもよい。
【００４８】
ポリイソシアネート成分としては、脂肪族ポリイソシアネート［例えば、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート（ＴＭＤＩ）、リジンジイソシアネート（ＬＤＩ）などの脂肪族ジイソシアネート；１，６，１１−ウンデカントリイソシアネートメチルオクタン、１，３，６−ヘキサメチレントリイソシアネートなどの脂肪族トリイソシアネートなど］、脂環族ポリイソシアネート［例えば、シクロヘキサン１，４−ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、水添キシリレンジイソシアネート、水添ビス（イソシアナトフェニル）メタンなどの脂環族ジイソシアネート；ビシクロヘプタントリイソシアネートなどの脂環族トリイソシアネートなど］、芳香族ポリイソシアネート［例えば、フェニレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、テトラメチルキシリレンジイソシアネート（ＴＭＸＤＩ）、ナフタレンジイソシアネート（ＮＤＩ）、ビス（イソシアナトフェニル）メタン（ＭＤＩ）、トルイジンジイソシアネート（ＴＯＤＩ）、１，３−ビス（イソシアナトフェニル）プロパンなどの芳香族ジイソシアネート；トリフェニルメタントリイソシアネートなどの芳香族トリイソシアネートなど］などが例示できる。これらのポリイソシアネート成分は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００４９】
ポリオール成分としては、特に限定されず、例えば、低分子量ポリオール［脂肪族ポリオール（エチレングリコール、プロピレングリコール、テトラメチレンエーテルグリコールなどのＣ２−１０アルカンジオール；グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールなどのＣ３−１２脂肪族ポリオールなど）、脂環族ポリオール（１，４−シクロヘキサンジオールなどのシクロアルカンジオール類、水添ビスフェノールＡなどの水添ビスフェノール類、又はこれらのＣ２−４アルキレンオキサイド付加体など）、芳香族ポリオール（キシリレングリコールなどの芳香脂肪族ジオール、ビスフェノールＡ、Ｓ、Ｆなどのビスフェノール類、又はこれらのＣ２−４アルキレンオキサイド付加体など）］、ポリマーポリオール類［例えば、ポリエーテルポリオール（ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコールなどのポリＣ２−４アルキレングリコールなど）、ポリエステルポリオール（アジピン酸などの脂肪族ジカルボン酸と脂肪族ジオールとのポリエステルポリオールなど）、ポリカーボネートポリオール］などが挙げられる。これらのポリオール成分は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００５０】
ポリイソシアネート成分と活性水素原子を有する（メタ）アクリレート（又はポリオール成分）とは、通常、イソシアネート基と活性水素原子が略当量となる割合（イソシアネート基／活性水素原子＝０．８／１〜１．２／１程度）で組み合わせて用いられる。
【００５１】
なお、これらのウレタン（メタ）アクリレートの製造方法について、特開２００８−７４８９１号公報などが参照できる。
【００５２】
ウレタン（メタ）アクリレートの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）において、ポリスチレン換算で、５００〜１００００、好ましくは６００〜９０００、さらに好ましくは７００〜８０００程度であってもよい。
【００５３】
シリコーン（メタ）アクリレート成分と、珪素非含有ビニル系成分［例えば、ウレタン（メタ）アクリレートなどの珪素非含有（メタ）アクリル系成分］との割合（重量比）は、前者／後者＝０．０１／９９．９９〜５０／５０（例えば、１／９９〜３０／７０）程度の範囲から選択でき、０．０１／９９．９９〜３０／７０（例えば、０．０５／９９．９５〜２５／７５）、好ましくは０．１／９９．９〜２０／８０（例えば、０．５／９９．５〜１５／８５）、さらに好ましくは１／９９〜１０／９０（例えば１．５／９８．５〜８／９２、特に２／９８〜５／９５）程度であってもよい。本発明では、シリコーン（メタ）アクリレート成分の含有量が少なくてもガスバリア性（水蒸気バリア性）を大きく向上できる。
【００５４】
（２）重合開始剤
重合開始剤は、熱重合開始剤（ベンゾイルパーオキサイドなどの過酸化物などの熱ラジカル発生剤）であってもよく光重合開始剤（光ラジカル発生剤）であってもよい。好ましい重合開始剤は、光重合開始剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン類（ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類など）、フェニルケトン類［例えば、アセトフェノン類（例えば、アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノンなど）、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノンなどのアルキルフェニルケトン類；１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのシクロアルキルフェニルケトン類など］、アミノアセトフェノン類｛２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノアミノプロパノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１など｝、アントラキノン類（アントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノンなど）、チオキサントン類（２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントンなど）、ケタール類（アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなど）、ベンゾフェノン類（ベンゾフェノンなど）、キサントン類、ホスフィンオキサイド類（例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなど）などが例示できる。これらの光重合開始剤は単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００５５】
重合開始剤の割合は、ビニル系成分（（メタ）アクリル系成分）１００重量部に対して０．０１重量部〜１０重量部、好ましくは０．０５〜５重量部、さらに好ましくは０．１〜２．５重量部程度であってもよい。
【００５６】
なお、光重合開始剤は、光増感剤と組み合わせてもよい。光増感剤としては、慣用の成分、例えば、第３級アミン類［例えば、トリアルキルアミン、トリアルカノールアミン（トリエタノールアミンなど）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸アミルなどのジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（ミヒラーズケトン）、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノンなどのビス（ジアルキルアミノ）ベンゾフェノンなど］、トリフェニルホスフィンなどのホスフィン類、Ｎ，Ｎ−ジメチルトルイジンなどのトルイジン類、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどのアントラセン類などが挙げられる。光増感剤は、単独で又は二種以上組み合わせてもよい。
【００５７】
光増感剤の使用量は、前記光重合開始剤１００重量部に対して、例えば、０．１〜１００重量部、好ましくは０．５〜８０重量部程度であってもよい。
【００５８】
アンカー層の厚みは、特に限定されず、例えば、０．１〜１５μｍ、好ましくは０．５〜１２μｍ、さらに好ましくは１〜１０μｍ（例えば、２〜８μｍ）程度であってもよい。アンカー層の厚みが小さ過ぎると、均一なアンカー層が形成されない傾向がある。
【００５９】
（バリア層）
バリア層は、通常、金属又は金属化合物を含んでおり、薄膜（特に、透明性薄膜）を形成可能な金属又は金属化合物で構成されているのが好ましい。このような金属には、例えば、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムなどの周期表２Ａ族元素；チタン、ジルコニウム、ルテニウム、ハフニウム、タンタル、銅などの遷移元素；亜鉛などの周期表２Ｂ族元素；アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウムなどの周期表３Ｂ族元素；珪素、ゲルマニウム、錫などの周期表４Ｂ族元素；セレン、テルルなどの周期表６Ｂ族元素などが例示できる。また、金属化合物としては、前記金属の酸化物、窒化物、酸化窒化物、ハロゲン化物、又は炭化物などが例示できる。これらの金属又は金属化合物は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらの金属又は金属化合物のうち、ガスバリア性のみならず透明性も向上できる点から、アルミニウムなどの周期表３Ｂ族元素、珪素などの周期表４Ｂ族元素、チタンなどの遷移元素の金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化物が好ましい。なかでも、酸化アルミニウム［組成式ＡｌｘＯｙ（ｘ，ｙ＞０）］、珪素窒化物［組成式ＳｉｘＮｙ（ｘ，ｙ＞０）］、珪素酸化窒化物［組成式ＳｉｘＯｙＮｚ（ｘ，ｙ，ｚ＞０）］が好ましい。
【００６０】
バリア層の厚みは、成膜方法に応じて適宜選択でき、例えば、１０〜３００ｎｍ（例えば２０〜３００ｎｍ）、好ましくは１５〜２５０ｎｍ（例えば、２０〜２００ｎｍ）、さらに好ましくは２５〜１５０ｎｍ（例えば３０〜１００ｎｍ、特に４０〜９０ｎｍ）程度であってもよい。特に、クラックなどの発生を防止し、均一な膜を形成してガスバリア性を保持する点から、物理的気相法では、バリア層の厚みを１０〜１００ｎｍ（例えば１５〜８０ｎｍ、特に２０〜６０ｎｍ）程度に調整することが好ましく、化学的気相法では、バリア層の厚みを５０〜４００ｎｍ（例えば、６０〜３５０ｎｍ、特に１００〜３００ｎｍ）程度に調整することが好ましい。用途に応じて、厚みを選択してもよく、例えば、電子ペーパーの場合、例えば、１０〜３００ｎｍ（特に２０〜２５０ｎｍ）程度であってもよく、有機ＥＬの場合、例えば、３０〜４００ｎｍ（特に４０〜３００ｎｍ）であってもよい。
【００６１】
（エッチング保護層）
エッチング保護層は、透明導電層に対するエッチング処理により、前記バリア層が酸又はアルカリにより劣化又は腐食するのを抑制するために形成される。エッチング保護層としては、酸又はアルカリ（特に、酸）に対する耐性を有し、かつ透明であれば特に限定されないが、例えば、耐酸性及び耐アルカリ性樹脂（例えば、ポリオレフィン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、フッ素樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ樹脂、ビフェニルテトラカルボン酸系ポリイミドなど）、耐アルカリ性樹脂（例えば、スチレン系樹脂、ポリアミド樹脂、セルロースエステルなど）、耐酸性樹脂（例えば、ポリカーボネート、フェノール樹脂など）、フッ素化合物（例えば、炭化フッ素など）、珪素化合物（例えば、炭化珪素など）、ホウ素化合物（例えば、炭化ホウ素、窒化ホウ素など）、チタン化合物（例えば、酸化チタンなど）などが挙げられる。
【００６２】
これらのうち、透明性及び耐エッチング性に優れる点から、耐エッチング性ビニル系重合体、炭化珪素（珪素炭化物）、フッ素樹脂、炭化フッ素（フッ素炭化物）、酸化チタンが特に好ましい。好ましい保護層の特性としては全光線透過度が高いことである。また透明度が高く、無色に近い色目の層を形成できる保護層が特に好適である。更には、少なくとも酸性に対する耐性が優れる保護層が特に好適である。
【００６３】
耐エッチング性ビニル系重合体としては、例えば、前記アンカー層で例示された珪素非含有ビニル系成分やシリコーン（メタ）アクリレートなどのビニル系成分、及び重合開始剤を含む組成物の硬化物などを利用できる。前記珪素非含有ビニル系成分のうち、ウレタン（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレートなどであってもよい。（メタ）アクリル系硬化物は、特開２００９−２３２８４号公報に記載のフラッシュ蒸着で形成された硬化層であってもよい。
【００６４】
炭化珪素としては、各種の結晶形を有する慣用の炭化珪素［組成式ＳｉｘＣｙ］を利用でき、例えば、アチソン法により作製される六方晶系のα−炭化珪素、２０００℃以下の温度条件で作製される立方晶系のβ−炭化珪素、これらの炭化珪素の混合物などを利用できる。炭化珪素は、例えば、特許第３９２８９８９号公報、特許第４１７８３３９号公報に記載の炭化珪素であってもよい。さらに、炭化珪素は、慣用の方法により製膜化でき、例えば、前記文献に記載の方法で製膜化してもよい。
【００６５】
さらに、炭化珪素は、珪素含有カーボン、珪素含有グラファイト、珪素含有ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などであってもよい。これらのうち、珪素含有ＤＬＣが好ましい。珪素含有ＤＬＣは、黒鉛（グラファイト）構造とダイアモンド構造との中間であるアモルファス構造を有するＤＬＣに珪素を含有させた化合物であり、珪素含有ＤＬＣ中における珪素の含有割合は、例えば、１〜５０原子％、好ましくは２〜４０原子％、さらに好ましくは５〜３０原子％程度であってもよい。珪素含有ＤＬＣは、例えば、特開２００９−２２１５１８号公報、特開２００１−１４０６０８号公報に記載の珪素含有ＤＬＣであってもよい。さらに、珪素含有ＤＬＣは、慣用の方法により製膜化でき、例えば、前記文献に記載された方法、例えば、テトラメチルシランを原料として用いる方法などで製膜化してもよい。
【００６６】
フッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）などの単独重合体；テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体などの共重合体が例示される。これらのフッ素樹脂は単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらのフッ素樹脂の中で、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰなどが汎用される。
【００６７】
炭化フッ素は、フッ素含有カーボン、フッ素含有グラファイト、フッ素含有ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）などであってもよい。これらのうち、フッ素含有ＤＬＣが好ましい。フッ素含有ＤＬＣ中におけるフッ素の含有割合は、例えば、１〜５０原子％、好ましくは２〜４０原子％、さらに好ましくは５〜３０原子％程度であってもよい。フッ素含有ＤＬＣは、例えば、特開２００７−２１３７１５号公報に記載のフッ素含有ＤＬＣであってもよい。さらに、フッ素含有ＤＬＣは、慣用の方法により製膜化でき、例えば、前記文献に記載された方法、例えば、フッ素化炭化水素を含むガスを原料として用いる方法などで製膜化してもよい。
【００６８】
酸化チタンとしては、慣用の酸化チタン［組成式ＴｉｘＯｙ］を利用でき、二酸化チタン、Ｔｉ２Ｏ５、Ｔｉ２Ｏ３などを利用できるが、通常、二酸化チタンを主成分とする。さらに、酸化チタンは、アナターゼ型、ルチル型、ブルッカイト型などの結晶系であってもよいが、ルチル型の二酸化チタンが好ましい。このような酸化チタンは、例えば、特開２０１０−３７６４８号公報、特開２００７−１８５６４１号公報、特開２００８−１３７８８８号公報に記載の酸化チタンであってもよい。さらに、酸化チタンは、慣用の方法により製膜化でき、例えば、前記文献に記載の方法で製膜化してもよい。
【００６９】
耐エッチング性ビニル系重合体、炭化珪素、フッ素樹脂、炭化フッ素、酸化チタンを物理気相成長法、化学気相成長法を用いて形成する場合、エッチング保護層の厚みは、材質や成膜方法に応じて適宜選択でき、炭化珪素や炭化フッ素、酸化チタンなどの無機化合物の場合、例えば、１〜５０ｎｍ、好ましくは２〜３０ｎｍ、さらに好ましくは３〜２５ｎｍ（特に５〜２０ｎｍ）程度である。例えば、（メタ）アクリル系硬化物では、例えば、１００〜２０００ｎｍ、好ましくは１５０〜１０００ｎｍ、さらに好ましくは１８０〜７００ｎｍ（特に２００〜６００ｎｍ）程度である。
【００７０】
（透明導電層）
透明導電層は、透明電極として利用されている慣用の透明導電層、例えば、金属酸化物［例えば、酸化インジウム（ＩｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２複合酸化物（ＩＴＯ）など）、酸化錫（ＳｎＯ２、ＳｎＯ２−Ｓｂ２Ｏ５複合酸化物、フッ素ドープ酸化錫（ＦＴＯ）など）、酸化亜鉛（ＺｎＯ、ＺｎＯ−Ａｌ２Ｏ３複合酸化物など）］、金属（例えば、金、銀、白金、パラジウム）などの導電性無機化合物で構成されている。このような透明導電層は、例えば、特開２００９−７６５４４号公報、特許４１６５１７３号公報、特開２００４−１４９８８４号公報に記載の透明導電層であってもよい。
【００７１】
透明導電層の表面抵抗は、例えば、１０〜１０００Ω、好ましくは１５〜５００Ω、さらに好ましくは２０〜３００Ω程度であってもよい。
【００７２】
透明導電層の厚みは、特に限定されず、１〜１０００ｎｍ、好ましくは５〜５００ｎｍ、さらに好ましくは１０〜４００ｎｍ（特に２０〜３００ｎｍ）程度であってもよい。
【００７３】
（機能層）
本発明の積層フィルムは、前記基材フィルムの他方の面に、さらに機能層が形成されていてもよい。機能層としては、慣用の機能層、例えば、光散乱層、防眩層、反射防止層、ハードコート層、低屈折率層などが挙げられる。これらのうち、ハードコート層、防眩層などが汎用される。ハードコート層としては、透明で耐擦傷性の高い材質であれば特に限定されないが、硬化性樹脂が好ましく、例えば、前記アンカー層で例示された珪素非含有ビニル系成分及び重合開始剤を含む組成物の硬化物などを利用できる。さらに、前記珪素非含有ビニル系成分のうち、電子デバイスに要求される透明性、柔軟性（フレキシブル性）、耐擦傷性を兼ね備える点から、ウレタン（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００７４】
さらに、本発明では、電子デバイスの視認性を向上できる点から、機能層として防眩層を形成するのが特に好ましい。防眩層（アンチグレア層）は、透明で防眩性を有している限り、特に限定されないが、表面に凹凸構造を有する層が好ましい。本発明では、防眩層を形成することにより、電子デバイスの表示部におけるギラツキやチラツキを抑制でき、視認性を向上できる。表面に凹凸構造を有する防眩層としては、例えば、複数のポリマー成分（又はその前駆体）の相分離により凹凸構造を形成した層（相分離を利用した防眩層）、ポリマー成分（又はその前駆体）中に粒子を配合することにより凹凸構造を形成した層（粒子を配合した防眩層）、鋳型を用いて凹凸構造を形成した層などが挙げられる。これらのうち、簡便に高い防眩性を発現できる点から、相分離を利用した層、粒子を配合した層が好ましい。
【００７５】
（１）相分離を利用した防眩層
相分離を利用した層は、１又は複数のポリマーと、１又は複数の硬化した硬化性樹脂前駆体とを含み、かつ表面に凹凸形状（凹凸構造）を有する相分離構造で構成されていてもよい。防眩層の相分離構造は、液相からのスピノーダル分解（湿式スピノーダル分解）により形成されている。すなわち、ポリマーと硬化性樹脂前駆体と溶媒とで構成された樹脂組成物を用い、この樹脂組成物の液相（又は均一溶液やその塗布層）から、溶媒を乾燥などにより除去する過程で、濃縮に伴って、スピノーダル分解による相分離が生じ、相間距離が微細で比較的規則的な相分離構造を形成できる。より具体的には、前記湿式スピノーダル分解は、通常、１又は複数のポリマーと１又は複数の硬化性樹脂前駆体と溶媒とを含む混合液又は樹脂組成物（均一溶液）を基材フィルムにコーティングし、形成された塗布層から溶媒を蒸発させることにより行うことができる。このような相分離構造による凹凸構造は、微粒子による凹凸構造と比較して微細であり、かつ硬質な微粒子を用いなくとも凹凸構造を形成できる。さらに、この凹凸構造は、微細な構造に加えて、規則的で滑らか（又はなだらか）な表面構造を有しているため、ロール状に巻き取って巻き締めても防眩層と接触したバリア層が損傷又は劣化されるのを抑制できる。
【００７６】
（Ａ）ポリマー成分
ポリマー成分としては、通常、熱可塑性樹脂が使用される。熱可塑性樹脂としては、スチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、有機酸ビニルエステル系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ハロゲン含有樹脂、オレフィン系樹脂（脂環式オレフィン系樹脂を含む）、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、熱可塑性ポリウレタン樹脂、ポリスルホン系樹脂（ポリエーテルスルホン、ポリスルホンなど）、ポリフェニレンエーテル系樹脂（２，６−キシレノールの重合体など）、セルロース誘導体（セルロースエステル類、セルロースカーバメート類、セルロースエーテル類など）、シリコーン樹脂（ポリジメチルシロキサン、ポリメチルフェニルシロキサンなど）、ゴム又はエラストマー（ポリブタジエン、ポリイソプレンなどのジエン系ゴム、スチレン−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴムなど）などが例示できる。これらの熱可塑性樹脂は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００７７】
これらの熱可塑性樹脂のうち、スチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ビニルエーテル系樹脂、ハロゲン含有樹脂、脂環式オレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、セルロース誘導体、シリコーン系樹脂、及びゴム又はエラストマーなどが好ましい。さらに、熱可塑性樹脂としては、通常、非結晶性であり、かつ有機溶媒（特に複数のポリマーや硬化性化合物を溶解可能な共通溶媒）に可溶な樹脂が使用される。特に、成形性又は製膜性、透明性や耐候性の高い樹脂、例えば、スチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、脂環式オレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、セルロース誘導体（セルロースエステル類など）などが好ましい。
【００７８】
スチレン系樹脂には、スチレン系単量体の単独又は共重合体（ポリスチレン、スチレン−α−メチルスチレン共重合体、スチレン−ビニルトルエン共重合体など）、スチレン系単量体と他の重合性単量体［（メタ）アクリル系単量体、無水マレイン酸、マレイミド系単量体、ジエン類など］との共重合体などが含まれる。スチレン系共重合体としては、例えば、スチレン−アクリロニトリル共重合体（ＡＳ樹脂）、スチレンと（メタ）アクリル系単量体との共重合体［スチレン−メタクリル酸メチル共重合体、スチレン−メタクリル酸メチル−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−メタクリル酸メチル−（メタ）アクリル酸共重合体など］、スチレン−無水マレイン酸共重合体などが挙げられる。好ましいスチレン系樹脂には、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル系単量体との共重合体［スチレン−メタクリル酸メチル共重合体などのスチレンとメタクリル酸メチルを主成分とする共重合体］、ＡＳ樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体などが含まれる。
【００７９】
（メタ）アクリル系樹脂としては、（メタ）アクリル系単量体の単独又は共重合体、（メタ）アクリル系単量体と共重合性単量体との共重合体などが使用できる。（メタ）アクリル系単量体としては、例えば、前記アンカー層における珪素非含有ビニル系成分（Ｂ）として例示された単官能ビニル系モノマーなどが例示できる。共重合性単量体には、前記スチレン系単量体、ビニルエステル系単量体、無水マレイン酸、マレイン酸、フマル酸などが例示できる。これらの単量体は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【００８０】
（メタ）アクリル系樹脂としては、例えば、ポリメタクリル酸メチルなどのポリ（メタ）アクリル酸エステル、メタクリル酸メチル−（メタ）アクリル酸共重合体、メタクリル酸メチル−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸メチル−アクリル酸エステル−（メタ）アクリル酸共重合体、（メタ）アクリル酸エステル−スチレン共重合体（ＭＳ樹脂など）、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸メチル−（メタ）アクリル酸イソボルニルなどが挙げられる。好ましい（メタ）アクリル系樹脂としては、ポリ（メタ）アクリル酸メチルなどのポリ（メタ）アクリル酸Ｃ１−６アルキル、特にメタクリル酸メチルを主成分（５０〜１００重量％、好ましくは７０〜１００重量％程度）とするメタクリル酸メチル系樹脂が挙げられる。さらに、（メタ）アクリル系樹脂は、シリコーン含有（メタ）アクリル系樹脂であってもよい。
【００８１】
脂環式オレフィン系樹脂としては、環状オレフィン（ノルボルネン、ジシクロペンタジエンなど）の単独又は共重合体（例えば、立体的に剛直なトリシクロデカンなどの脂環式炭化水素基を有する重合体など）、前記環状オレフィンと共重合性単量体との共重合体（エチレン−ノルボルネン共重合体、プロピレン−ノルボルネン共重合体など）などが例示できる。脂環式オレフィン系樹脂は、例えば、商品名「トパス（ＴＯＰＡＳ）」、商品名「アートン（ＡＲＴＯＮ）」、商品名「ゼオネックス（ＺＥＯＮＥＸ）」などとして入手できる。
【００８２】
ポリエステル系樹脂は、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリＣ２−４アルキレンテレフタレートやポリＣ２−４アルキレンナフタレートなどのホモポリエステルなどであってもよいが、溶媒溶解性の点から、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸を用いた芳香族コポリエステル［Ｃ２−４アルキレンアリレート単位（Ｃ２−４アルキレンテレフタレート及び／又はＣ２−４アルキレンナフタレート単位）を主成分（例えば、５０重量％以上）として含むコポリエステルなど］などが好ましい。コポリエステルとしては、ポリＣ２−４アルキレンアリレートの構成単位のうち、Ｃ２−４アルキレングリコールの一部を、ポリオキシＣ２−４アルキレングリコール、Ｃ５−１０アルキレングリコール、脂環式ジオール（シクロヘキサンジメタノール、水添ビスフェノールＡなど）、芳香環を有するジオール（９，９−ビス（４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル）フルオレン、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＡ−アルキレンオキサイド付加体など）などで置換したコポリエステル、芳香族ジカルボン酸の一部を、フタル酸、イソフタル酸などの非対称芳香族ジカルボン酸、アジピン酸などの脂肪族Ｃ６−１２ジカルボン酸などで置換したコポリエステルが含まれる。ポリエステル系樹脂には、アジピン酸などの脂肪族ジカルボン酸を用いた脂肪族ポリエステル、ε−カプロラクトンなどのラクトンの単独又は共重合体も含まれる。好ましいポリエステル系樹脂は、通常、非結晶性コポリエステル（例えば、Ｃ２−４アルキレンアリレート系コポリエステルなど）などのように非結晶性である。
【００８３】
セルロース誘導体のうち、セルロースエステル類としては、例えば、脂肪族有機酸エステル（セルロースジアセテート、セルローストリアセテートなどのセルロースアセテート；セルロースプロピオネート、セルロースブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレートなどのＣ１−６有機酸エステルなど）、芳香族有機酸エステル（セルロースフタレート、セルロースベンゾエートなどのＣ７−１２芳香族カルボン酸エステル）、無機酸エステル類（例えば、リン酸セルロース、硫酸セルロースなど）が例示でき、酢酸・硝酸セルロースエステルなどの混合酸エステルであってもよい。セルロース誘導体には、セルロースカーバメート類（例えば、セルロースフェニルカーバメートなど）、セルロースエーテル類（例えば、シアノエチルセルロース；ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースなどのヒドロキシＣ２−４アルキルセルロース；メチルセルロース、エチルセルロースなどのＣ１−６アルキルセルロース；カルボキシメチルセルロース又はその塩、ベンジルセルロース、アセチルアルキルセルロースなど）も含まれる。
【００８４】
ポリマー成分としては、硬化反応に関与する官能基（又は硬化性化合物と反応可能な官能基）を有するポリマーを用いることもできる。前記ポリマーは、官能基を主鎖に有していてもよく、側鎖に有していてもよい。前記官能基は、共重合や共縮合などにより主鎖に導入されてもよいが、通常、側鎖に導入される。このような官能基としては、縮合性基や反応性基（例えば、ヒドロキシル基、酸無水物基、カルボキシル基、アミノ基又はイミノ基、エポキシ基、グリシジル基、イソシアネート基など）、重合性基（例えば、ビニル、プロペニル、イソプロペニル、ブテニル、アリルなどのＣ２−６アルケニル基、エチニル、プロピニル、ブチニルなどのＣ２−６アルキニル基、ビニリデンなどのＣ２−６アルケニリデン基、又はこれらの重合性基を有する基（（メタ）アクリロイル基など）など）などが挙げられる。これらの官能基のうち、重合性基が好ましい。
【００８５】
重合性基を側鎖に導入する方法としては、例えば、反応性基や縮合性基などの官能基を有する熱可塑性樹脂と、前記官能基との反応性基を有する重合性化合物とを反応させる方法を用いることができる。
【００８６】
官能基を有する熱可塑性樹脂としては、カルボキシル基又はその酸無水物基を有する熱可塑性樹脂、ヒドロキシル基を有する熱可塑性樹脂、アミノ基を有する熱可塑性樹脂、エポキシ基を有する熱可塑性樹脂などが例示できる。また、官能基を有さない熱可塑性樹脂に、前記官能基を共重合やグラフト重合で導入した樹脂であってもよい。
【００８７】
重合性化合物としては、カルボキシル基又はその酸無水物基を有する熱可塑性樹脂の場合は、エポキシ基やヒドロキシル基、アミノ基、イソシアネート基などを有する重合性化合物などを用いることができる。ヒドロキシル基を有する熱可塑性樹脂の場合は、カルボキシル基又はその酸無水物基やイソシアネート基などを有する重合性化合物などが挙げられる。アミノ基を有する熱可塑性樹脂の場合は、カルボキシル基又はその酸無水物基やエポキシ基、イソシアネート基などを有する重合性化合物などが挙げられる。エポキシ基を有する熱可塑性樹脂の場合は、カルボキシル基又はその酸無水物基やアミノ基などを有する重合性化合物などが挙げられる。
【００８８】
前記重合性化合物のうち、エポキシ基を有する重合性化合物としては、例えば、エポキシシクロヘキセニル（メタ）アクリレートなどのエポキシシクロＣ５−８アルケニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテルなどが例示できる。ヒドロキシル基を有する化合物としては、例えば、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシＣ１−４アルキル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノ（メタ）アクリレートなどのＣ２−６アルキレングリコール（メタ）アクリレートなどが例示できる。アミノ基を有する重合性化合物としては、例えば、アミノエチル（メタ）アクリレートなどのアミノＣ１−４アルキル（メタ）アクリレート、アリルアミンなどのＣ３−６アルケニルアミン、４−アミノスチレン、ジアミノスチレンなどのアミノスチレン類などが例示できる。イソシアネート基を有する重合性化合物としては、例えば、（ポリ）ウレタン（メタ）アクリレートやビニルイソシアネートなどが例示できる。カルボキシル基又はその酸無水物基を有する重合性化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸や無水マレイン酸などの不飽和カルボン酸又はその無水物などが例示できる。
【００８９】
代表的な例としては、カルボキシル基又はその酸無水物基を有する熱可塑性樹脂とエポキシ基含有化合物、特に（メタ）アクリル系樹脂（（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体など）とエポキシ基含有（メタ）アクリレート（エポキシシクロアルケニル（メタ）アクリレートやグリシジル（メタ）アクリレートなど）の組み合わせが挙げられる。具体的には、（メタ）アクリル系樹脂のカルボキシル基の一部に重合性不飽和基を導入したポリマー、例えば、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体のカルボキシル基の一部に、３，４−エポキシシクロヘキセニルメチルアクリレートのエポキシ基を反応させて、側鎖に光重合性不飽和基を導入した（メタ）アクリル系ポリマー（サイクロマーＰ、ダイセル化学工業（株）製）などが使用できる。
【００９０】
熱可塑性樹脂に対する硬化反応に関与する官能基（特に重合性基）の導入量は、熱可塑性樹脂１ｋｇに対して、０．００１〜１０モル、好ましくは０．０１〜５モル、さらに好ましくは０．０２〜３モル程度である。
【００９１】
これらのポリマーは適宜組み合わせて使用できる。すなわち、ポリマーは複数のポリマーで構成されていてもよい。複数のポリマーは、液相スピノーダル分解により、相分離可能であってもよい。また、複数のポリマーは、互いに非相溶であってもよい。複数のポリマーを組み合わせる場合、第１の樹脂と第２の樹脂との組み合わせは特に制限されないが、加工温度付近で互いに非相溶な複数のポリマー、例えば、互いに非相溶な２つのポリマーとして適当に組み合わせて使用できる。例えば、第１の樹脂がスチレン系樹脂である場合、第２の樹脂は、セルロース誘導体、（メタ）アクリル系樹脂、脂環式オレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂などであってもよい。また、例えば、第１のポリマーがセルロース誘導体である場合、第２のポリマーは、スチレン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂（特に、重合性基を有する（メタ）アクリル系樹脂）、脂環式オレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂などであってもよい。複数の樹脂の組合せにおいて、少なくともセルロースエステル類（例えば、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースアセテートブチレートなどのセルロースＣ２−４アルキルカルボン酸エステル類）を用いてもよい。
【００９２】
なお、スピノーダル分解により生成された相分離構造（隆起した表面の凹凸形状）は、活性光線（紫外線、電子線など）や熱などにより最終的に硬化し、硬化樹脂を形成する。そのため、硬化樹脂で構成された防眩層の存在により、基材フィルムがポリエチレンテレフタレートなどのプラスチックである場合、基材フィルムの内部から熱によりオリゴマーなどの低分子成分が析出することも抑制できる。
【００９３】
硬化後の耐久性（耐擦傷性）などの観点から、複数のポリマーのうち、少なくとも一つのポリマー、例えば、互いに非相溶なポリマーのうち一方のポリマー（第１の樹脂と第２の樹脂とを組み合わせる場合、特に両方のポリマー）が硬化性樹脂前駆体と反応可能な官能基を側鎖に有するポリマーであるのが好ましい。
【００９４】
第１のポリマーと第２のポリマーとの割合（重量比）は、例えば、前者／後者＝１／９９〜９９／１、好ましくは５／９５〜９５／５、さらに好ましくは１０／９０〜９０／１０程度の範囲から選択でき、通常、２０／８０〜８０／２０程度、特に３０／７０〜７０／３０程度である。
【００９５】
なお、相分離構造を形成するためのポリマーとしては、前記非相溶な２つのポリマー以外にも、前記熱可塑性樹脂や他のポリマーが含まれていてもよい。
【００９６】
ポリマーのガラス転移温度は、例えば、−１００〜２５０℃、好ましくは０〜２００℃、さらに好ましくは５０〜１８０℃程度（特に１００〜１７０℃程度）であってもよい。ポリマーの重量平均分子量は、例えば、１，０００，０００以下、好ましくは１，０００〜５００，０００程度の範囲から選択できる。
【００９７】
（Ｂ）硬化性樹脂前駆体
硬化性樹脂前駆体は、熱や活性エネルギー線（紫外線や電子線など）などにより反応する官能基を有する化合物であり、熱や活性エネルギー線などにより硬化又は架橋して樹脂（特に硬化又は架橋樹脂）を形成可能な種々の硬化性化合物、例えば、熱硬化性化合物又は樹脂［エポキシ基、重合性基、イソシアネート基、アルコキシシリル基、シラノール基などを有する低分子量化合物（例えば、エポキシ系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂など）］、活性光線（紫外線など）により硬化可能な光硬化性化合物（光硬化性モノマー、オリゴマーなどの紫外線硬化性化合物など）などが例示でき、光硬化性化合物は、ＥＢ（電子線）硬化性化合物などであってもよい。なお、光硬化性モノマー、オリゴマーや低分子量であってもよい光硬化性樹脂などの光硬化性化合物を、単に「光硬化性樹脂」という場合がある。
【００９８】
光硬化性化合物には、例えば、単量体、オリゴマー（又は樹脂、特に低分子量樹脂）が含まれる。単量体は、例えば、１つの重合性基を有する単官能単量体と、少なくとも２つの重合性基を有する多官能単量体とに分類できる。
【００９９】
単官能単量体としては、例えば、前記アンカー層における珪素非含有ビニル系成分（Ｂ）として例示された単官能ビニル系モノマー、ビニルピロリドンなどのビニル系単量体などが挙げられる。多官能単量体には、２〜８程度の重合性基を有する多官能単量体が含まれ、２官能単量体としては、例えば、前記アンカー層における珪素非含有ビニル系成分（Ｂ）として例示された二官能ビニル系モノマーなどが挙げられる。３〜８官能単量体としては、例えば、前記アンカー層における珪素非含有ビニル系成分（Ｂ）として例示された多官能ビニル系モノマーなどが挙げられる。
【０１００】
オリゴマー又は樹脂としては、前記アンカー層における珪素非含有ビニル系成分（Ｂ）として例示された珪素非含有ビニル系オリゴマー、シリコーン（メタ）アクリレートなどが例示できる。これらの（メタ）アクリレートオリゴマー又は樹脂には、前記ポリマー成分における（メタ）アクリル系樹脂の項で例示された共重合性単量体が含まれていてもよい。これらの光硬化性化合物は単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【０１０１】
さらに、硬化性樹脂前駆体は、ヘイズ値を低下できるとともに、層の強度も向上できる点から、透明性や強度を向上する点などから、フッ素原子や無機粒子を含有していてもよい。フッ素原子を含有する前駆体（フッ素含有硬化性化合物）としては、前記単量体及びオリゴマーのフッ化物、例えば、フッ化アルキル（メタ）アクリレート［例えば、パーフルオロオクチルエチル（メタ）アクリレートやトリフルオロエチル（メタ）アクリレートなど］、フッ化（ポリ）アルキレングリコールジ（メタ）アクリレート［例えば、フルオロエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、フルオロプロピレングリコールジ（メタ）アクリレートなど］、フッ素含有エポキシ樹脂、フッ素含有ウレタン系樹脂などが挙げられる。無機粒子を含有する前駆体としては、例えば、表面に重合性基を有する無機粒子（例えば、重合性基を有するシランカップリング剤で表面を修飾したシリカ粒子など）などが例示できる。表面に重合性基を有するナノサイズのシリカ粒子としては、例えば、ＪＳＲ（株）製から、多官能ハイブリッド系ＵＶ硬化剤（Ｚ７５０１）が市販されている。
【０１０２】
好ましい硬化性樹脂前駆体は、短時間で硬化できる光硬化性化合物、例えば、紫外線硬化性化合物（モノマー、オリゴマーや低分子量であってもよい樹脂など）、ＥＢ硬化性化合物である。特に、実用的に有利な樹脂前駆体は、紫外線硬化性樹脂である。さらに、繰り返しの使用（打鍵）に対する耐久性を向上させるため、光硬化性樹脂は、２官能以上（好ましくは２〜１０官能、さらに好ましくは３〜８官能程度）の光硬化性化合物、特に、多官能（メタ）アクリレート、例えば、３官能以上（特に４〜８官能）の（メタ）アクリレートを含むのが好ましい。
【０１０３】
さらに、本発明では、硬化性樹脂前駆体は、５〜７官能（メタ）アクリレートと、３〜４官能（メタ）アクリレートとを組み合わせてもよい。両者の割合（重量比）は、例えば、前者／後者＝１００／０〜１０／９０、好ましくは９９／１〜３０／７０、さらに好ましくは９０／１０〜５０／５０（特に８０／２０〜４０／６０）程度である。
【０１０４】
また、多官能（メタ）アクリレートと前記フッ素含有硬化性化合物（特に、フッ化アルキル鎖を含む（メタ）アクリレートなどのフッ素原子及び（メタ）アクリロイル基を有する単量体）とを組み合わせる場合、フッ素含有硬化性化合物の割合は、多官能（メタ）アクリレート１００重量部に対して、例えば、０．０１〜５重量部、好ましくは０．０５〜１重量部、さらに好ましくは０．１〜０．５重量部程度である。
【０１０５】
硬化性樹脂前駆体の分子量としては、ポリマーとの相溶性を考慮して５０００以下、好ましくは２０００以下、さらに好ましくは１０００以下程度である。
【０１０６】
硬化性樹脂前駆体は、その種類に応じて、硬化剤を含んでいてもよい。例えば、熱硬化性樹脂では、アミン類、多価カルボン酸類などの硬化剤を含んでいてもよく、光硬化性樹脂では光重合開始剤を含んでいてもよい。光重合開始剤としては、慣用の成分、例えば、アセトフェノン類又はプロピオフェノン類、ベンジル類、ベンゾイン類、ベンゾフェノン類、チオキサントン類、アシルホスフィンオキシド類などが例示できる。光硬化剤などの硬化剤の含有量は、硬化性樹脂前駆体１００重量部に対して０．１〜２０重量部、好ましくは０．５〜１０重量部、さらに好ましくは１〜８重量部（特に１〜５重量部）程度であり、３〜８重量部程度であってもよい。
【０１０７】
さらに、硬化性樹脂前駆体は硬化促進剤を含んでいてもよい。例えば、光硬化性樹脂は、光硬化促進剤、例えば、第三級アミン類（ジアルキルアミノ安息香酸エステルなど）、ホスフィン系光重合促進剤などを含んでいてもよい。
【０１０８】
少なくとも１つのポリマー及び少なくとも１つの硬化性樹脂前駆体のうち、少なくとも２つの成分が、加工温度付近で互いに相分離する組み合わせで使用される。相分離する組み合わせとしては、特に限定されないが、通常、複数のポリマー同士の組み合わせや、ポリマーと硬化性樹脂前駆体との組み合わせであり、特に、複数のポリマー同士の組み合わせが好ましい。相分離させる両者の相溶性が高い場合、溶媒を蒸発させるための乾燥過程で両者が有効に相分離せず、防眩層としての機能が低下する。
【０１０９】
なお、ポリマーと硬化性樹脂前駆体（又は硬化樹脂）とは、互いに相溶であってもよく、非相溶であってもよい。ポリマーと硬化性樹脂前駆体とが非相溶で相分離する場合に、ポリマーとして複数のポリマーを用いてもよい。複数のポリマーを用いる場合、少なくとも１つのポリマーが樹脂前駆体（又は硬化樹脂）に対して非相溶であればよく、他のポリマーは前記樹脂前駆体と相溶してもよい。
【０１１０】
ポリマーを互いに非相溶な複数のポリマーで構成して相分離する場合、硬化性樹脂前駆体は、非相溶な複数のポリマーのうち、少なくとも１つのポリマーと加工温度付近で互いに相溶する組合せで使用される。すなわち、互いに非相溶な複数のポリマーを、例えば、第１のポリマーと第２のポリマーとで構成する場合、硬化性樹脂前駆体は少なくとも第１の樹脂又は第２の樹脂のどちらかと相溶すればよく、好ましくは両方のポリマー成分と相溶してもよい。両方のポリマー成分に相溶する場合、第１の樹脂及び硬化性樹脂前駆体を主成分とした混合物と、第２の樹脂及び硬化性樹脂前駆体を主成分とした混合物との少なくとも二相に相分離する。
【０１１１】
具体的には、複数のポリマーがセルロース誘導体と重合性基を有する（メタ）アクリル系樹脂の組み合わせであり、かつ硬化性樹脂前駆体が多官能（メタ）アクリレートである場合、ポリマー同士が非相溶で相分離するとともに、重合性基を有する（メタ）アクリル系樹脂と多官能（メタ）アクリレートとの組み合わせも非相溶で相分離し、セルロース誘導体と多官能（メタ）アクリレートとが相溶であってもよい。
【０１１２】
選択した複数のポリマー及び硬化性樹脂前駆体の相溶性が高い場合、溶媒を蒸発させるための乾燥過程でポリマー同士又はポリマーと前駆体とが有効に相分離せず、防眩層としての機能が低下する。複数のポリマーや前駆体の相分離性は、双方の成分に対する良溶媒を用いて均一溶液を調製し、溶媒を徐々に蒸発させる過程で、残存固形分が白濁するか否かを目視にて確認することにより簡便に判定できる。
【０１１３】
さらに、ポリマーと硬化又は架橋樹脂との屈折率の差、複数のポリマーの屈折率の差（第１の樹脂と第２の樹脂との屈折率の差）は、例えば、０．００１〜０．２、好ましくは０．０５〜０．１５程度であってもよい。
【０１１４】
スピノーダル分解において、相分離の進行に伴って共連続相構造を形成し、さらに相分離が進行すると、連続相が自らの表面張力により非連続化し、液滴相構造（球状、真球状、円盤状や楕円体状などの独立相の海島構造）となる。従って、相分離の程度によって、共連続相構造と液滴相構造との中間的構造（上記共連続相から液滴相に移行する過程の相構造）も形成できる。防眩層の相分離構造は、海島構造（液滴相構造、又は一方の相が独立または孤立した相構造）、共連続相構造（又は網目構造）であってもよく、共連続相構造と液滴相構造とが混在した中間的構造であってもよい。これらの相分離構造により溶媒乾燥後には防眩層の表面になだらかで微細な凹凸構造を形成できる。
【０１１５】
このように、相分離によって表面に凹凸形状を形成した防眩層のヘイズは、用途に応じて、０．１〜５０％程度の範囲から選択でき、例えば、０．１〜３０％、好ましくは０．５〜２０％、さらに好ましくは１〜１５％（特に２〜８％）程度である。例えば、電子ペーパーの場合、１〜３０％、好ましくは５〜２０％、さらに好ましくは１０〜１５％程度であってもよい。
【０１１６】
さらに、相分離を利用した防眩層は、粒子を配合する方法で形成した防眩層と異なり、層の内部で散乱を引き起こすような微粒子を防眩層内に含まない。このため、層の内部におけるヘイズ（層の内部で散乱を引き起こす内部ヘイズ）は低く、例えば、０〜１％程度であり、好ましくは０〜０．８％（例えば、０．０１〜０．８％）、さらに好ましくは０〜０．５％（例えば、０．１〜０．５％）程度である。なお、内部ヘイズは、防眩層の表面凹凸を平坦化するように上から樹脂層をコートするか、透明粘着層を介して平滑な透明フィルムと防眩層の表面凹凸を貼り合わせて、ヘイズを測定することにより測定できる。
【０１１７】
前記相分離構造において、表面凹凸構造を形成し、かつ表面硬度を高める点からは、少なくとも島状ドメインを有する液滴相構造であるのが有利である。なお、ポリマーと前記前駆体（又は硬化樹脂）とで構成された相分離構造が海島構造である場合、ポリマー成分が海相を形成してもよいが、表面硬度の観点から、ポリマー成分が島状ドメインを形成するのが好ましい。なお、島状ドメインの形成により、乾燥後には防眩層の表面に微細な凹凸を形成できる。
【０１１８】
さらに、前記相分離構造のドメイン間の平均距離は、通常、実質的に規則性又は周期性を有している。例えば、ドメインの平均相間距離は、例えば、１〜７０μｍ（例えば、１〜４０μｍ）、好ましくは２〜５０μｍ（例えば、３〜３０μｍ）、さらに好ましくは５〜２０μｍ（例えば、１０〜２０μｍ）程度であってもよい。
【０１１９】
ポリマーと硬化性樹脂前駆体との割合（重量比）は、特に制限されず、例えば、前者／後者＝５／９５〜９５／５程度の範囲から選択でき、表面硬度の観点から、好ましくは５／９５〜６０／４０程度であり、さらに好ましくは１０／９０〜５０／５０、特に１０／９０〜４０／６０程度である。特に、ポリマーの全部又は一部にセルロース誘導体を用いる場合、ポリマーと硬化性樹脂前駆体との割合（重量比）は、例えば、前者／後者＝１０／９０〜８０／２０、好ましくは２０／８０〜７０／３０、さらに好ましくは３０／７０〜５０／５０程度である。
【０１２０】
（２）粒子を配合した防眩層
粒子を配合した防眩層は、前記相分離を利用した防眩層で例示されたポリマー成分又は硬化性樹脂前駆体中に粒子を配合することにより、粒子由来の凹凸構造が形成されている。前記ポリマー成分又は硬化性樹脂前駆体としては、透明性及び機械的特性などの点から、（メタ）アクリル系重合組成物が好ましく、例えば、ウレタン（メタ）アクリレートなどが好ましい。
【０１２１】
粒子には、有機微粒子及び無機微粒子が含まれる。有機微粒子を構成する樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂（例えば、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレンやスチレン−アクリロニトリル共重合体などのスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂など）、架橋熱可塑性樹脂［例えば、架橋オレフィン系樹脂（例えば、架橋ポリエチレン、架橋ポリプロピレンなど）、架橋スチレン系樹脂（例えば、架橋ポリスチレン、架橋ポリジビニルベンゼン、架橋ポリビニルトルエン、架橋スチレン−メタクリル酸メチル共重合体など）、架橋アクリル系樹脂（例えば、架橋ポリメタクリル酸メチルなど）など］、熱硬化性樹脂（メラミン樹脂、尿素樹脂、アミノベンゾグアナミン樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタンなど）などが例示できる。これらの有機微粒子は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。
【０１２２】
無機微粒子を構成する無機化合物としては、例えば、金属単体、金属酸化物、金属硫酸塩（硫酸カルシウム、硫酸バリウムなど）、金属珪酸塩（珪酸カルシウム、珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム、アルミノ珪酸マグネシウムなど）、金属リン酸塩（リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム等）、金属炭酸塩（炭酸マグネシウム、重質炭酸カルシウム、軽質炭酸カルシウムなど）、金属水酸化物（水酸化アルミニウム、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウムなど）、ケイ素化合物（ホワイトカーボン、ガラスなど）、天然鉱物（ゼオライト、ケイソウ土、焼成珪成土、アルミナ、タルク、マイカ、カオリン、セリサイト、ベントナイト、モンモリロナイト、スメクタイト、クレーなど）などが挙げられる。
【０１２３】
これらの粒子は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらの粒子のうち、透明性やポリマー成分又は硬化性樹脂前駆体との親和性など点から、（架橋）スチレン系樹脂粒子、（架橋）アクリル系樹脂粒子、ポリカーボネート粒子などが好ましい。
【０１２４】
粒子の形状は、特に限定されず、球状、楕円体状、多角体形（多角錘状、正方体状、直方体状など）、板状、棒状、不定形などが挙げられるが、表面に均一な凹凸構造を形成する点から、略球状などの等方形状が好ましい。
【０１２５】
粒子の屈折率は、ポリマー成分又は硬化性樹脂前駆体の種類に応じて選択できるが、例えば、１．４０〜１．６０、好ましくは１．４２〜１．５９、さらに好ましくは１．４５〜１．５８程度であってもよい。
【０１２６】
粒子の平均粒径は、例えば、０．１〜１０μｍ、好ましくは１〜８μｍ、さらに好ましくは２〜６μｍ（特に３〜５μｍ）程度である。
【０１２７】
粒子の割合は、ポリマー成分又は硬化性樹脂前駆体中１００重量部に対して、例えば、１〜５０重量部、好ましくは３〜４０重量部、さらに好ましくは５〜３０重量部（特に１０〜２０重量部）程度である。
【０１２８】
粒子を配合した防眩層は、溶融混練や溶媒を用いて混合する方法などの慣用の方法で製造でき、例えば、特開平６−１８７０６号公報に記載の製造方法で製造してもよい。
【０１２９】
本発明では、前記防眩層のうち、均一で滑らかな凹凸形状を形成でき、防眩性に優れるとともに、ロール状に巻き取ってもバリア層の劣化を抑制できる点から、相分離を利用した防眩層が特に好ましい。
【０１３０】
防眩層には、種々の添加剤、例えば、安定剤（酸化防止剤、紫外線吸収剤など）、界面活性剤、水溶性高分子、充填剤、架橋剤、カップリング剤、着色剤、難燃剤、滑剤、ワックス、防腐剤、粘度調整剤、増粘剤、レベリング剤、消泡剤などが含まれていてもよい。
【０１３１】
防眩層の厚み（凹凸形状における凸部の頂点との間の厚み）は、例えば、０．３〜２０μｍ程度、好ましくは１〜１８μｍ（例えば、３〜１６μｍ）程度であってもよく、通常、５〜１５μｍ（特に７〜１３μｍ）程度である。なお、防眩層以外の機能層の厚みも同程度の厚みであってもよい。
【０１３２】
（積層フィルムの特性）
本発明の積層フィルムは、ガスバリア性（特に、水蒸気バリア性）に優れる。例えば、温度４０℃、湿度９０％ＲＨ雰囲気下での水蒸気透過度は、１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（例えば、０．００００１〜１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ程度）、好ましくは１．０ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（例えば、０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下）、さらに好ましくは０．０１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（例えば、０．００５ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下）、特に０．００１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下（例えば、０．０００１〜０．００１ｇ／ｍ２・ｄａｙ）程度であってもよい。本発明の積層フィルムは、後述の水蒸気透過度評価試験に供しても、実質的に検出限界以下を示す場合があり、極めて小さいバリア性を示す。なお、水蒸気透過度は、慣用の測定装置［例えば、「ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ」「ＡＱＵＡＴＲＡＮ」（ｍｏｃｏｎ社製）など］により測定できる。
【０１３３】
本発明の積層フィルムは、透明性にも優れており、全光線透過率は、ＪＩＳ  Ｋ７１０５に準拠して、８０％以上（例えば８０〜９９．９％程度）、好ましくは８２％以上（例えば８２〜９９％程度）、さらに好ましくは８５％以上（例えば８５〜９８％程度）であってもよい。
【０１３４】
さらに、防眩層を形成した本発明の電子デバイス用積層フィルムは、表面に凹凸構造が形成されており、防眩性を発現するが、特に、表面に前記相分離構造に対応した微細な凹凸構造が多量に形成された防眩層の場合、透過像の鮮明性も高いため、電子デバイスの表示部に対して、ギラツキやチラツキが抑制された鮮明な画像を表示できる。
【０１３５】
さらに、前記のように、相分離を利用した防眩層は、相分離構造において、ドメインの平均相間距離は実質的に規則性又は周期性を有している。そのため、積層フィルムに入射して透過する光は、相間平均距離（又は表面凹凸構造の周期性）に対応したブラッグ反射により、直進透過光とは離れた特定角度に散乱光極大を示す。すなわち、相分離を利用した防眩層を備えた積層フィルムは、入射光を等方的に透過して散乱又は拡散するものの、散乱光（透過散乱光）は、散乱中心からシフトした散乱角［例えば、０．１〜１０°、好ましくは０．２〜８°、さらに好ましくは０．３〜５°（特に、０．５〜３°）程度］で光強度の極大値を示す。従って、直進透過光のプロファイルに対して表面凹凸による散乱光が悪影響を及ぼすことがなく、画像に対してギラツキも解消できる。
【０１３６】
透過光散乱強度の極大値の判定としては、散乱光強度の角度分布プロファイルにおいて、ピーク状に分離した場合に加えて、ショルダー状ピークや平坦状ピークである場合も極大値を有するとみなして、その角度をピーク角度とした。
【０１３７】
防眩層を有する積層フィルムのヘイズは、０．１〜５０％程度の範囲から選択でき、例えば、１〜４０％、好ましくは２〜３５％、さらに好ましくは３〜３０％（特に５〜２５％）程度であってもよい。
【０１３８】
防眩層を有する積層フィルムの写像（透過像）鮮明度は、０．５ｍｍ幅の光学櫛を使用した場合、例えば、１０〜７０％であり、好ましくは１５〜６０％、さらに好ましくは２０〜５０％（特に２５〜４５％）程度である。０．２５ｍｍ幅の光学櫛を使用した場合は、例えば、１０〜７０％であり、好ましくは２０〜６０％、さらに好ましくは２５〜５０％程度である。
【０１３９】
透過像鮮明度とは、膜を透過した光のボケや歪みを定量化する尺度である。透過像鮮明度は、膜からの透過光を移動する光学櫛を通して測定し、光学櫛の明暗部の光量により値を算出する。すなわち、膜が透過光をぼやかす場合、光学櫛上に結像されるスリットの像は太くなるため、透過部での光量は１００％以下となり、一方、不透過部では光が漏れるため０％以上となる。透過像鮮明度の値Ｃは光学櫛の透明部の透過光最大値Ｍと不透明部の透過光最小値ｍから次式により定義される。
【０１４０】
Ｃ（％）＝［(Ｍ−ｍ)／(Ｍ＋ｍ)］×１００
すなわち、Ｃの値が１００％に近づく程、積層フィルムによる像のボケが小さい［参考文献；須賀、三田村，塗装技術，１９８５年７月号］。
【０１４１】
防眩層を有する積層フィルムは、表面の凹凸構造について、前述の規則に加えて、均一で微小な凹凸構造が形成されている。ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に準拠した測定方法において、算術平均粗さＲａは、例えば、０．００５〜０．５μｍ、好ましくは０．０１〜０．４μｍ、さらに好ましくは０．０３〜０．３μｍ（特に０．０５〜０．２５μｍ）程度である。凸部の頂部間平均間隔Ｓｍは、例えば、１０〜５００μｍ、好ましくは２０〜３００μｍ、さらに好ましくは３０〜２００μｍ程度である。
【０１４２】
［積層フィルムの製造方法］
本発明の積層フィルムは、慣用の方法を利用して製造でき、積層構造に応じて積層順序も特に限定されず、機能層を形成する場合、機能層を形成した後にアンカー層を形成してもよく、またアンカー層などを形成した後に防眩層を形成してもよいが、得られた積層フィルムを連続的にロール状に巻き取り易い点から、基材フィルムの一方の面に機能層を形成した後、他方の面にアンカー層、バリア層、エッチング保護層、透明導電層を順次形成する方法であってもよい。
【０１４３】
（相分離を利用した防眩層の形成方法）
機能層として、相分離を利用した防眩層を形成する場合、防眩層は、ポリマーと硬化性樹脂前駆体と溶媒とを含む液相（又は液状組成物）から、前記溶媒の蒸発に伴うスピノーダル分解により、相分離構造を形成する相分離工程と、前記硬化性樹脂前駆体を硬化させ、防眩層を形成する硬化工程とを経て製造できる。
【０１４４】
前記相分離工程は、通常、前記ポリマーと硬化性樹脂前駆体と溶媒とを含む混合液（特に均一溶液などの液状組成物）を前記支持体に塗布又は流延する工程と、塗布層又は流延層から溶媒を蒸発させて規則的又は周期的な平均相間距離を有する相分離構造を形成する工程とで構成されている。好ましい態様では、前記混合液として、前記熱可塑性樹脂と、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、前記熱可塑性樹脂および光硬化性化合物を可溶な溶媒とを含む組成物が使用でき、スピノーダル分解により形成された相分離構造の光硬化成分を光照射により硬化することにより防眩層が形成される。また、他の好ましい態様では、前記混合液として、前記互いに非相溶な複数のポリマーと、光硬化性化合物と、光重合開始剤と、溶媒とを含む組成物が使用でき、スピノーダル分解により形成された相分離構造の光硬化成分を光照射により硬化することにより防眩層が形成される。
【０１４５】
湿式スピノーダル分解において、溶媒は、前記ポリマー及び硬化性樹脂前駆体の種類及び溶解性に応じて選択でき、少なくとも固形分（複数のポリマー及び硬化性樹脂前駆体、反応開始剤、その他添加剤）を均一に溶解できる溶媒であればよい。そのような溶媒としては、例えば、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなど）、エーテル類（ジオキサン、テトラヒドロフランなど）、脂肪族炭化水素類（ヘキサンなど）、脂環式炭化水素類（シクロヘキサンなど）、芳香族炭化水素類（トルエン、キシレンなど）、ハロゲン化炭素類（ジクロロメタン、ジクロロエタンなど）、エステル類（酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなど）、水、アルコール類（エタノール、イソプロパノール、ブタノール、シクロヘキサノールなど）、セロソルブ類（メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル（１−メトキシ−２−プロパノール）など）、セロソルブアセテート類、スルホキシド類（ジメチルスルホキシドなど）、アミド類（ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミドなど）などが例示できる。また、溶媒は混合溶媒であってもよい。
【０１４６】
これらの溶媒のうち、常圧で沸点１００℃以上の溶媒を用いるのが好ましい。さらに、表面に微細で規則的な凹凸構造を形成する点から、溶媒が少なくとも２種類の沸点の異なる溶媒で構成されているのが好ましい。また、高沸点の溶媒の沸点は１００℃以上であり、通常、１００〜２００℃程度であり、好ましくは１０５〜１５０℃、さらに好ましくは１１０〜１３０℃程度である。特に、沸点１００℃以上の溶媒を少なくとも１種と、沸点１００℃未満の溶媒を少なくとも１種とを組み合わせて用いるのが好ましい。このような混合溶媒を用いると、低沸点の溶媒が、蒸発に伴う上層と下層との温度差を発生させ、高沸点の溶媒が塗膜中に残留し、流動性を維持する。
【０１４７】
常圧で沸点１００℃以上の溶媒としては、例えば、アルコール類（ブタノール、ペンチルアルコール、ヘキシルアルコールなどのＣ４−８アルキルアルコールなど）、アルコキシアルコール類（メトキシプロパノール、ブトキシエタノールなどのＣ１−６アルコキシＣ２−６アルキルアルコールなど）、アルキレングリコール類（エチレングリコールやプロピレングリコールなどのＣ２−４アルキレングリコールなど）、ケトン類（シクロヘキサノンなど）などが挙げられる。これらの溶媒は、単独で又は二種以上組み合わせて使用できる。これらのうち、ブタノールなどのＣ４−８アルキルアルコール、メトキシプロパノールやブトキシエタノールなどのＣ１−６アルコキシＣ２−６アルキルアルコール、エチレングリコールなどのＣ２−４アルキレングリコールなどが好ましい。
【０１４８】
沸点の異なる溶媒の比率としては、特に限定されないが、沸点１００℃以上の溶媒と、沸点１００℃未満の溶媒を併用した場合（それぞれ、２種以上併用した場合は合計の重量比として）、例えば、前者／後者＝１０／９０〜７０／３０、好ましくは１０／９０〜５０／５０、さらに好ましくは１５／８５〜４０／６０（特に２０／８０〜４０／６０程度）である。
【０１４９】
また、混合液又は塗布液を基材フィルムに塗布する場合、基材フィルムの種類に応じて、基材フィルムを溶解や侵食、又は膨潤させない溶媒を選択してもよい。例えば、基材フィルムとしてトリアセチルセルロースフィルムを用いる場合、混合液又は塗布液の溶媒として、例えば、テトラヒドロフラン、メチルエチルケトン、イソプロパノール、トルエンなどを用いると、フィルムの性質を損なうことなく、積層フィルムを形成できる。
【０１５０】
混合液中の溶質（ポリマー及び硬化性樹脂前駆体、反応開始剤、その他添加剤）の濃度は、相分離が生じる範囲及び流延性やコーティング性などを損なわない範囲で選択でき、例えば、１〜８０重量％、好ましくは５〜６０重量％、さらに好ましくは１５〜４０重量％（特に１５〜３５重量％）程度である。
【０１５１】
塗布方法としては、慣用の方法、例えば、ロールコーター、エアナイフコーター、ブレードコーター、ロッドコーター、リバースコーター、バーコーター、コンマコーター、ディップ・スクイズコーター、ダイコーター、グラビアコーター、マイクログラビアコーター、シルクスクリーンコーター法、ディップ法、スプレー法、スピナー法などが挙げられる。これらの方法のうち、バーコーター法やグラビアコーター法などが汎用される。なお、必要であれば、塗布液は複数回に亘り塗布してもよい。
【０１５２】
溶液の塗布厚みは、例えば、１０〜２００μｍ、好ましくは１５〜１００μｍ、さらに好ましくは２０〜５０μｍ程度である。
【０１５３】
前記混合液を流延又は塗布した後、溶媒の沸点よりも低い温度（例えば、溶媒の沸点よりも１〜１２０℃、好ましくは５〜８０℃、さらに好ましくは１０〜６０℃、特に１０〜５０℃程度低い温度）で溶媒を蒸発させることにより、スピノーダル分解による相分離を誘起することができる。溶媒の蒸発は、通常、乾燥、例えば、溶媒の沸点に応じて、例えば、３０〜２００℃（例えば、３０〜１００℃）、好ましくは４０〜１２０℃、さらに好ましくは５０〜８０℃程度の温度で乾燥させることによリ行うことができる。
【０１５４】
表面に微細な凹凸構造を形成するためには、基材フィルム上に塗布して流延又は塗布させた後、直ちにオーブンなどのなどの乾燥機に投入して乾燥させるのではなく、一定時間（例えば、１秒〜１分間、好ましくは３〜３０秒間、さらに好ましくは５〜２０秒間程度）、常温又は室温（例えば、０〜４０℃、好ましくは５〜３０℃程度）で放置した後に、乾燥機に投入してもよい。また、乾燥風量は、特に限定されないが、風量が強すぎると、凹凸構造が形成される前に乾燥して固化するため、乾燥風量は５０ｍ／分以下（例えば、１〜５０ｍ／分）、好ましくは１〜３０ｍ／分、さらに好ましくは１〜２０ｍ／分程度であってもよい。
【０１５５】
このような溶媒の蒸発を伴うスピノーダル分解により、相分離構造のドメイン間の平均距離に規則性又は周期性を付与できる。
【０１５６】
スピノーダル分解により形成された相分離構造は、硬化工程において、前駆体を硬化させることにより直ちに固定化できる。前駆体の硬化は、硬化性樹脂前駆体の種類に応じて、加熱、光照射など、あるいはこれらの方法の組合せにより行うことができる。加熱温度は、前記相分離構造を有する限り、適当な範囲、例えば、５０〜１５０℃程度から選択でき、前記相分離工程と同様の温度範囲から選択してもよい。
【０１５７】
光照射は、光硬化成分などの種類に応じて選択でき、通常、放射線（ガンマー線、Ｘ線など）、紫外線、可視光線などの光エネルギー線、電子線などが利用できる。汎用的な露光源は、通常、紫外線照射装置である。紫外線照射装置としては、例えば、Ｄｅｅｐ  ＵＶ  ランプ、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、ハロゲンランプ、レーザー光源（ヘリウム−カドミウムレーザー、エキシマレーザーなどの光源）などを用いることができる。照射光量（照射エネルギー）は、塗膜の厚みにより異なるが、例えば、５０〜１００００ｍＪ／ｃｍ２、好ましくは７０〜７０００ｍＪ／ｃｍ２、さらに好ましくは１００〜５０００ｍＪ／ｃｍ２程度であってもよい。なお、光照射は、必要であれば、不活性ガス雰囲気中で行ってもよい。
【０１５８】
（アンカー層の形成方法）
アンカー層を形成する方法において、重合性組成物の塗布方法は特に限定されず、前述の防眩層の塗布方法と同様の方法を利用できる。塗布後は、必要に応じて乾燥を行ってもよい。乾燥は、例えば、５０〜１５０℃、好ましくは６０〜１４０℃、さらに好ましくは７０〜１３０℃程度の温度で行ってもよい。
【０１５９】
重合性組成物は、重合開始剤の種類に応じて加熱して硬化させてもよいが、通常、活性エネルギー線を照射することにより硬化できる。活性エネルギー線として、熱及び／又は光エネルギー線を利用でき、特に光エネルギー線を利用するのが有用である。光エネルギー線の照射方法は、前述の防眩層の照射方法と同様の方法を利用できる。
【０１６０】
なお、機能層として、粒子を配合した防眩層、ハードコート層、低屈折率層などを形成する場合、アンカー層と同様の方法で形成できる。
【０１６１】
（バリア層の形成方法）
バリア層は、金属又は金属化合物を含む薄膜を形成可能な方法であれば、特に限定されず、慣用の成膜方法を利用して形成できる。成膜方法としては、例えば、物理的気相法（ＰＶＤ）［例えば、真空蒸着法、フラッシュ蒸着法、電子ビーム蒸着法、イオンビーム蒸着法、イオンプレーティング法（例えば、ＨＣＤ法、エレクトロンビームＲＦ法、アーク放電法など）、スパッタリング法（例えば、直流放電法、高周波（ＲＦ）放電法、マグネトロン法など）、分子線エピタキシー法、レーザーアブレーション法など］、化学的気相法（ＣＶＤ）［例えば、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法（有機金属気相成長法）、光ＣＶＤ法など］、イオンビームミキシング法、イオン注入法などが例示できる。これらの成膜方法のうち、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの物理的気相法、化学的気相法などが汎用され、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法（特にスパッタリング法）が好ましい。
【０１６２】
さらに、エッチング保護層、透明導電層もバリア層と同様の方法で形成できる。なお、エッチング保護層を（メタ）アクリル系重合性組成物の硬化物で形成する場合、前記アンカー層と同様の方法やフラッシュ蒸着法などで形成できる。
【０１６３】
（透明導電層のエッチング処理）
エッチング保護層の上に形成された透明導電層は、通常、サイズの調整やパターンの形成などのために、慣用のエッチング処理を行い、透明導電層の一部を除去する。エッチング処理は、酸又はアルカリを用いて行われ、通常、酸性又はアルカリ性溶液に積層フィルムを浸漬することにより行われる。酸性溶液に含まれる酸としては、例えば、酢酸などの有機酸、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸などが挙げられる。アルカリ性溶液に含まれるアルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属水酸化物などが挙げられる。透明導電層がＩＴＯ膜である場合、塩酸溶液でエッチングする場合が多い。エッチング処理液中における酸又はアルカリの濃度は、例えば、１〜３０重量％、好ましくは２〜２０重量％、さらに好ましくは３〜１０重量％程度である。浸漬時間は、例えば、１０秒〜３０分、好ましくは２０秒から１０分、さらに好ましくは３０秒〜５分（特に４０秒〜３分）程度である。エッチング処理の温度は、例えば、０〜８０℃、好ましくは１０〜６０℃、さらに好ましくは１５〜４０℃程度である。本発明では、このような条件でエッチング処理してもバリア層が劣化せず、積層フィルムのエッチング後の水蒸気透過度は、エッチングの前の水蒸気透過度に対して、例えば、８０％以上（例えば、８０〜１００％）、好ましくは９０％以上（例えば、９０〜１００％以上）、さらに好ましくは９９％以上（例えば、９９〜１００％）である。
【０１６４】
なお、水蒸気透過度の測定方法としては、慣用のカルシウム腐食法を用いて測定できる。カルシウム腐食法としては、特開２００６−１１９０６９号公報、特開２００６−２５０８１６号公報、特許第４４０７４６６号公報などに記載の測定方法を利用できる。
【０１６５】
（ロール巻き取り）
本発明では、表面凹凸構造を有する防眩層を形成した場合に、積層フィルムの製造工程においてロール状に巻き取る工程を含んでいても、バリア層の劣化が抑制される。従って、本発明では、機能層やアンカー層をコーティングで形成したフィルムをそのままロール・ツー・ロール方式で連続的に巻き取って製造できるため、生産性が高い。例えば、ロール・ツー・ロール方式で生産する場合、グラビアコーティング法により、防眩層及びアンカー層を形成したフィルムのアンカー層に、スパッタ法などでバリア層、エッチング保護層、透明導電層を順次形成して生産されるが、本発明の積層フィルムは、例えば、引張強度５〜２０ｋｇｆ（特に７〜１５ｋｇｆ）程度で巻き締められても、バリア層の損傷又は劣化が抑制される。具体的には、巻き取りの前後で水蒸気透過度の低下が少なく、積層フィルムの巻き取り後の水蒸気透過度は、巻き取りの前の水蒸気透過度に対して、例えば、８０％以上（例えば、８０〜１００％）、好ましくは９０％以上（例えば、９０〜１００％以上）、さらに好ましくは９９％以上（例えば、９９〜１００％）である。さらに、巻き締められたロールを高温多湿の条件下で長時間保管してもバリア層の劣化を抑制できる。
【０１６６】
［電子デバイス］
本発明の電子デバイスは、前記積層フィルムをガスバリア性部材として含んでいる。このような電子デバイスは、例えば、液晶素子、薄膜太陽電池素子、電子ペーパー、有機ＥＬなどであってもよい。これらのうち、水蒸気バリア性が極めて高く、光学特性にも優れる点から、電子ペーパー、有機ＥＬに特に好適である。
【０１６７】
（電子ペーパー）
本発明の電子ペーパーは、前記積層フィルムを、インク層（表示層）に対して表示面側に備えている。図２は、本発明の電子ペーパーの一例を示す概略模式断面図である。この例では、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）基板１１の上に、マイクロカプセルなどで構成されたインク（表示）層１２が積層され、このインク層１２の上に積層フィルム２０が配置されている。さらに、この積層フィルム２０は、インク層１２と接触させて配置された透明電極２１、エッチング保護層２２、バリア層２３、アンカー層２４、基材フィルム２５及び防眩層２６をこの順序で順次積層して形成されている。
【０１６８】
前記電子ペーパーにおいて、マイクロカプセルで構成されたインク層は、マイクロカプセル中に油成分とともに封入された顔料粒子を電界によって移動させる電気泳動方式を採用しているが、前記インク層は、電気泳動方式に限定されず、例えば、電子粉流体方式、液晶方式、エレクトロウェッティング方式、化学変化方式などの方式であってもよい。本発明の積層フィルムは、ガスバリア性に優れるため、前記方式のうち、水分により表示機能が劣化し易い方式、例えば、電気泳動法式、電子粉流体方式のインク層を有する電子ペーパーに特に有効である。電気泳動方式のインク層としては、例えば、Ｅｉｎｋ社の電子インクなどが市販され、電子粉流体方式のインク層としては、ジリコンメディア社のジリコンビーズなどが市販されている。
【０１６９】
（有機ＥＬ）
有機ＥＬは、発光層が有機化合物からなる発光ダイオード（ＬＥＤ）を構成しており、有機化合物中に注入された電子と正孔の再結合によって生じた励起子（エキシトン）によって発光する。発光層に使用される発光材料は、ポリマー状の分子を用いた高分子材料であってもよく、低分子材料であってもよい。また、有機ＥＬは、各画素ごとに発光素子が構成されており、この発光素子は、通常、金属などの陰電極／電子注入層／電子輸送層／発光層／正孔輸送層／正孔注入層／ＩＴＯなどの陽電極／ガラス板や透明のプラスチック板などの基板で形成されている。さらに、有機ＥＬは、ヘテロ構造を有しており、電子と正孔とをそれぞれ別の層に閉じ込めている。各層の材料としては、通常、ジアミン、アントラセン、金属錯体などの有機物などが使用される。電極間の各層の厚みは数ｎｍから数百ｎｍであり、全体で１μｍ以下程度の厚みを有していればよい。駆動方式としては、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などのアクティブ素子を各画素に配置して駆動するアクティブ・マトリクス駆動方式か、直交させたストライプ電極にタイミングを合わせて電流を流すことでその交点の各画素を順次駆動するパッシブ・マトリクス駆動方式のいずれかの駆動方式を用いることができる。電極としては、通常、陽極としてＩＴＯなどが用いられ、陰極としてＡｌ、Ｍｇ、ＡｇやＬＩ合金などが用いられる。デバイス構造はヘテロ構造であればよく、ダブルへテロ構造であってもよい。正孔輸送材料としてはオキサジアゾール・トリアゾールなどでよく。正孔阻止層としてはフェナントリン誘導体であってもよい。ドーパント材料としてはＤＣＭ２［４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（ｐ−ジチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン］、クマリン６、ペリレンなどであってもよい。
【０１７０】
有機ＥＬの製造方法としては、素子を構成する材料に応じて、慣用の方法を利用でき、例えば、低分子化合物を材料とする発光素子の薄膜を製造する場合、真空のチャンバー内で、原料化合物を加熱し蒸発させることで製造できる。すなわち、真空チャンバー内に置かれた基板の上に、低分子化合物を数ｎｍ〜数百ｎｍ程度の薄膜状に蒸着してもよく、赤、緑、青と塗り分ける際にはスリットを用いてもよい。高分子化合物を材料とする発光素子では、インクジェット技術などの印刷技術を利用し、インク状にした発光材料を基板上で薄膜にして発光素子を作製成してもよく、画素の区分けはシャドーマスクを用いてもよい。本発明の有機ＥＬは、例えば、このようにして基板上に形成された発光素子に対して、本発明の積層フィルムを貼り合せることより作製してもよい。
【実施例】
【０１７１】
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。実施例及び比較例で得られた積層フィルムを以下の項目で評価した。
【０１７２】
［ヘイズ及び全光線透過率］
ヘイズメーター（日本電色（株）製、商品名「ＮＤＨ−５０００Ｗ」）を用いて、ＪＩＳ  Ｋ７１３６に準拠して測定した。なお、ヘイズの測定は、凹凸構造を有する表面が受光器側となるように配置して測定した。
【０１７３】
［表面構造］
ＪＩＳ  Ｂ０６０１に準拠して、接触式表面粗さ計（東京精密（株）製、サーフコム５７０Ａ）を用いて、走査範囲３ｍｍ、走査回数２回の条件で、算術平均粗さＲａを測定した。
【０１７４】
［写像鮮明度］
写像鮮明度を、写像測定器（スガ試験機（株）製、商品名「ＩＣＭ−１Ｔ」）を用いて、光学櫛（櫛歯の幅＝０．５ｍｍ）で、ＪＩＳ  Ｋ７１０５に基づいて測定した。
【０１７５】
［防眩性］
防眩性については、外光の照らす光環境下で、得られた積層フィルムを、それぞれ、Ｅ−ｉｎｋ方式の電子ペーパーパネル（アマゾン・ドット・コム・インク社販売「Ｋｉｎｄｌｅ  ＤＸ」）の表面に実装し、以下の基準で目視評価した。
【０１７６】
○：映り込みがない
△：わずかな映り込みがある
×：映り込みが激しい。
【０１７７】
［水蒸気透過度（ＷＶＴＲ）］
水蒸気透過度（ＷＶＴＲ）は、ＭＯＣＯＮ水蒸気透過率測定装置（ｍｏｃｏｎ社製「ＡＱＵＡＴＲＡＮ」）又はカルシウム腐食法で測定した。なお、測定条件は４０℃、相対湿度９０％ＲＨである。
【０１７８】
実施例１
側鎖に重合性不飽和基を有するアクリル樹脂［（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体のカルボキシル基の一部に、３，４−エポキシシクロヘキセニルメチルアクリレートを付加させた化合物；ダイセル化学工業（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ）３２０Ｍ、固形分４４．２重量％、溶剤：１−メトキシ−２−プロパノール（ＭＭＰＧ）（沸点１１９℃）］６．１１重量部、セルロースアセテートプロピオネート（アセチル化度＝２．５％、プロピオニル化度＝４６％、ポリスチレン換算数平均分子量７５，０００；イーストマン社製、ＣＡＰ−４８２−２０）０．８重量部、多官能アクリル系ＵＶ硬化モノマー（ダイセル・サイテック（株）製、ＤＰＨＡ）３．９重量部、多官能アクリル系ＵＶ硬化モノマー（ダイセル・サイテック（株）製、ＰＥＴＩＡ）２．６重量部、光開始剤（チバスペシャルティーケミカルズ社製、イルガキュア１８４）０．５重量部をメチルエチルケトン（ＭＥＫ）２４．３重量部、１−ブタノール（ＢｕＯＨ）４．８重量部、１−メトキシ−２−プロパノール５．１重量部に溶解した。この溶液を、グラビアコーティング法により、ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「Ａ４３００」、厚み１８８μｍ）ロールから巻き出したＰＥＴフィルム上にウエット（ＷＥＴ）膜厚が３０μｍになるように塗布し、７０℃の乾燥炉を通過させることにより乾燥して、表面凹凸構造を有する厚さ約１０μｍのコート層を形成させた。そして、コート層に、メタルハライドランプにより３００ｍＪの紫外線を照射させて、ＵＶ硬化処理した後にロールに巻き取って、ハードコート性及び表面凹凸構造を有する防眩性フィルムロールを作製した。
【０１７９】
得られた防眩性フィルムの防眩層が形成された側と反対の面に、ロールから巻き出しながら、珪素非含有ビニル系成分としてのウレタンアクリレート（ダイセル・サイテック（株）製、「ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０」）と、シリコーン（メタ）アクリレート成分としてのシリコーンジ（メタ）アクリレート（ダイセル・サイテック（株）製、「ＥＢＥＣＲＹＬ３５０」）と、重合開始剤（チバジャパン（株）製、「イルガキュア１８４」）と、メチルエチルケトンとを、４７／２／１／５０（重量比）の割合で混合したコーティング液を、グラビアコーティング法により塗工し、７０℃の乾燥炉を通過させることにより乾燥させた後、メタルハライドランプにより３００ｍＪ／ｃｍ２でＵＶを照射して硬化させることにより、厚みが７μｍのアンカー層を形成した後に、ロールに巻き取って、防眩層及びアンカー層を有するフィルムロールを作製した。
【０１８０】
得られた防眩層及びアンカー層を有するフィルムのアンカー層の上に、ロールから巻き出しながら、スパッタリング法により酸化アルミニウム［組成ＡｌｘＯｙ］薄膜（厚み５０ｎｍのバリア層）、珪素含有ダイアモンドライクカーボン［組成ＳｉｘＣｙ］薄膜（厚み１５ｎｍのエッチング保護層）、ＩＴＯ薄膜（厚み３０ｎｍの透明導電層）をこの順序で連続的に順次形成した後に、再度ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取って電子デバイス積層フィルムロールを作成した。
【０１８１】
得られた積層フィルムの特性を評価した結果を表１に示す。また、得られた積層フィルムロールについて、ロール状に巻き取る前後の水蒸気透過度を測定した結果を表２に示す。さらに、得られた積層フィルムを４重量％水溶液の塩酸水溶液に１分間浸漬した後、引き上げて水洗し、酸を洗い流した。酸に浸漬した前後における積層フィルムの水蒸気透過度を測定した結果を表３に示す。
【０１８２】
実施例２
ウレタンアクリレート系モノマー（新中村化学工業（株）製、商品名「Ｕ６ＨＡ」）５０重量部に、平均粒子径４μｍのポリスチレンビーズ８重量部、光重合開始剤（チバスペシャルティーケミカルズ社製、商品名「イルガキュア１８４」）２重量部を混合し、トルエンにて固形分３５重量％となるように希釈し、粒子分散塗工溶液を作成した。この分散液を、グラビアコーティング法により、ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「Ａ４３００」、厚み１８８μｍ）ロールから巻き出したＰＥＴフィルム上にウエット膜厚２０μｍになるように塗布し、７０℃の乾燥炉を通過させて乾燥させて、表面凹凸構造を有する厚さ約７μｍのコート層を形成した。そして、コート層に、メタルハライドランプにより３００ｍＪの紫外線を照射させて、ＵＶ硬化処理した後に、ロールに巻き取って、防眩層を有するフィルムロールを作製した。得られた防眩性フィルムに対して、実施例１と同様に、アンカー層、バリア層、エッチング保護層及び透明導電層を形成し、電子デバイス用積層フィルムを製造した。得られた電子デバイス用積層フィルムの特性及び酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表１及び表３に示す。
【０１８３】
【表１】
2012000812.tif 000003
【０１８４】
表１の結果から、実施例１の電子デバイス用積層フィルムは、実施例２の電子デバイス用積層フィルムに対して、優れた光学特性を示す。
【０１８５】
実施例３
エッチング保護層として、珪素含有ダイアモンドライクカーボン薄膜の代わりに、酸化チタン［組成ＴｉＯ２］薄膜（厚み１５ｎｍのエッチング保護層）をスパッタリングで形成する以外は、実施例１と同様にして電子デバイス用積層フィルムを製造した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１８６】
実施例４
実施例１と同様にして得られた防眩層及びアンカー層を有するフィルムのアンカー層の上に、ロールから巻き出しながら、プラズマＣＶＤ法により珪素酸化窒化物［組成ＳｉｘＯｙＮｚ］（厚み１００ｎｍのバリア層）を蒸着させた後、ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取り、さらにロールから巻き出しながら、スパッタリング法により、珪素含有ダイアモンドライクカーボン［組成ＳｉｘＣｙ］薄膜（厚み１５ｎｍのエッチング保護層）、ＩＴＯ薄膜（厚み３０ｎｍの透明導電層）を連続的に順次形成した後に、再度ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取って、電子デバイス用積層フィルムロールを作成した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１８７】
実施例５
実施例１と同様にして得られた防眩層及びアンカー層を有するフィルムのアンカー層の上に、ロールから巻き出しながら、真空蒸着により珪素窒化物［組成ＳｉｘＮｙ］］（厚み６０ｎｍのバリア層）を蒸着させた後、ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取り、さらにロールから巻き出しながら、プラズマＣＶＤ法により酸化チタン［組成ＴｉＯ２］薄膜（厚み１５ｎｍのエッチング保護層）を蒸着させた後、ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で再度巻き取り、さらにロールから巻き出しながら、スパッタリング法によりＩＴＯ薄膜（厚み３０ｎｍの透明導電層）を形成した後に、再度ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取って、電子デバイス用積層フィルムロールを作成した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１８８】
実施例６
ウレタンアクリレート（ダイセル・サイテック（株）製、「ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０」）と、重合開始剤（チバジャパン（株）製、「イルガキュア１８４」）と、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）とを、４０／１／５９（重量比）の割合で混合したコーティング液を、グラビアコーティング法により、ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「Ａ４３００」、厚み１８８μｍ）ロールから巻き出したＰＥＴフィルム上にウエット（ＷＥＴ）膜厚が１０μｍになるように塗布し、７０℃の乾燥炉を通過させることにより乾燥して、厚み４μｍのコート層を形成させた。そして、コート層に、メタルハライドランプにより３００ｍＪの紫外線を照射させて、ＵＶ硬化処理した後にロールに巻き取って、ハードコート性を有するフィルムロールを作製した。得られたフィルムロールに対して、アンカー層の厚みを４μｍにする以外は、実施例１と同様に、アンカー層、バリア層、エッチング保護層及び透明導電層を形成し、電子デバイス用積層フィルムを製造した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１８９】
実施例７
実施例６と同様にして得られたハードコート層を有するフィルムロールに対して、実施例６と同様に、アンカー層、バリア層を形成した後、ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取り、さらにロールから巻き出しながら、ウレタンアクリレート（ダイセル・サイテック（株）製、「ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０」）と、重合開始剤（チバジャパン（株）製、「イルガキュア１８４」）と、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）とを、４／０．１／９６（重量比）の割合で混合したコーティング液を、グラビアコーティング法により、フィルムロールから巻き出したバリア層上にウエット（ＷＥＴ）膜厚が５μｍになるように塗布し、７０℃の乾燥炉を通過させることにより乾燥して、厚さ約０．２μｍ（２００ｎｍ）のコート層を形成した。そして、コート層に、メタルハライドランプにより３００ｍＪの紫外線を照射させて、エッチング保護層を有するフィルムロールを作製した。得られたフィルムロールに対して、実施例６と同様に、透明導電層を形成し、電子デバイス用積層フィルムを製造した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１９０】
実施例８
アンカー層のコーティング液として、シリコーンジ（メタ）アクリレートの代わりに、シリコンヘキサ（メタ）アクリレート（ダイセル・サイテック（株）製、「ＥＢＥＣＲＹＬ１３６０」）を用いる以外は、実施例１と同様にして電子デバイス用積層フィルムを製造した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１９１】
比較例１
ウレタンアクリレート系モノマー（新中村化学工業（株）製、商品名「Ｕ６ＨＡ」）５０重量部に、平均粒子径４μｍのポリスチレンビーズ８重量部、光重合開始剤（チバスペシャルティーケミカルズ社製、商品名「イルガキュア１８４」）２重量部を混合し、トルエンにて固形分３５重量％となるように希釈し、粒子分散塗工溶液を作成した。この分散液を、グラビアコーティング法により、ＰＥＴフィルム（東洋紡績（株）製、商品名「Ａ４３００」、厚み１８８μｍ）ロールから巻き出したＰＥＴフィルム上にウエット膜厚２０μｍになるように塗布し、７０℃の乾燥炉を通過させて乾燥させて、表面凹凸構造を有する厚さ約７μｍのコート層を形成した。そして、コート層に、メタルハライドランプにより３００ｍＪの紫外線を照射させて、ＵＶ硬化処理した後に、ロールに巻き取って、防眩層を有するフィルムロールを作製した。
【０１９２】
得られた防眩性フィルムの防眩層が形成された側と反対の面に、ロールから巻き出しながら、スパッタリング法により酸化アルミニウム［組成ＡｌｘＯｙ］薄膜（厚み４０ｎｍのバリア層）、ＩＴＯ薄膜（厚み３０ｎｍの透明導電層）を連続的に順次形成した後に、再度ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取って、電子デバイス用積層フィルムロールを作成した。得られた電子デバイス用積層フィルムのロール状に巻き取る前後の水蒸気透過度及び酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表２及び表３に示す。
【０１９３】
比較例２
実施例１と同様にして得られた防眩性フィルムの防眩層が形成された側と反対の面（ＰＥＴフィルム面）に、ロールから巻き出しながら、スパッタリング法により酸化アルミニウム［組成ＡｌｘＯｙ］薄膜（厚み４０ｎｍのバリア層）、ＩＴＯ薄膜（厚み３０ｎｍの透明導電層）を連続的に順次形成した後に、再度ロールに１０ｋｇｆ程度の引張強度で巻き取って、電子デバイス用積層フィルムロールを作成した。得られた電子デバイス用積層フィルムの酸浸漬処理前後の水蒸気透過度を評価した結果を表３に示す。
【０１９４】
【表２】
2012000812.tif 000004
【０１９５】
表２の結果から、実施例はロール状に巻き取り前後で水蒸気透過度に変化がないのに対して、比較例ではロール状に巻き取ると水蒸気透過度が低下する。
【０１９６】
【表３】
2012000812.tif 000005
【０１９７】
表３の結果から、実施例は酸による浸漬処理前後で水蒸気透過度に変化がないのに対して、比較例では酸で浸漬処理すると水蒸気透過度が低下する。
【産業上の利用可能性】
【０１９８】
本発明の積層フィルムは、水蒸気バリア性に優れ、透明性も高いため、ガスバリア性部材として電子デバイス（例えば、液晶素子、薄膜太陽電池素子、有機ＥＬ素子、電子ペーパー、タッチパネルなど）に利用できる。特に、光の透過性を妨げることなく、ギラツキやチラツキを抑制して、画像の視認性を向上させるとともに、外部からの水蒸気を遮断できるため、電子ペーパー（特に、電気泳動法式などの電子インクを利用した電子ペーパー）のインク層に対して表示面側に配置するための透明電極基板、有機ＥＬの視認側フィルムとして配置するための透明電極基板として有用である。
【符号の説明】
【０１９９】
１…白色平行光源
２…ＮＤフィルター
３…試料
４…検出器
１１…ＴＦＴ基板
１２…インク層
２０…積層フィルム
２１…透明電極
２２…エッチング保護層
２３…バリア層
２４…アンカー層
２５…基材フィルム
２６…防眩層
【図１】
2012000812.tif 000006
【図２】
2012000812.tif 000007