(57)【要約】【課題】被描画媒体上に形成された画像を構成する膜が、端部から剥がされて被描画媒体から剥がされることを抑制できる描画方法、及び電子部品の製造方法、並びにマーキング画像を提供する。【解決手段】描画方法は、液状体を液滴として吐出して、被描画媒体上に着弾させ、被描画媒体上に液状体の液滴が硬化した着弾液滴膜から成る画像膜を形成することで、被描画媒体上に、画像膜から成る画像を描画する描画方法であって、第一の液状体を被描画媒体上に着弾させて、被描画媒体上に第一の液状体の液滴が硬化した第一着弾液滴膜から成る第一画像膜を形成する第一描画工程と、第二の液状体を第一画像膜の周囲に着弾させて、第一画像膜の周囲に第二の液状体の液滴が硬化した第二着弾液滴膜から成る第二画像膜を形成する第二描画工程と、を有し、第二着弾液滴膜の体積を、第一着弾液滴膜より小さくする。【選択図】図４
2012192653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出して、被描画媒体上に着弾させ、前記被描画媒体上に前記液状体の前記液滴が硬化した着弾液滴膜から成る画像膜を形成することで、前記被描画媒体上に、前記画像膜から成る画像を描画する描画方法であって、
第一の液状体を前記被描画媒体上に着弾させて、前記被描画媒体上に前記第一の液状体の前記液滴が硬化した第一着弾液滴膜から成る第一画像膜を形成する第一描画工程と、
第二の液状体を前記第一画像膜の周囲に着弾させて、前記第一画像膜の周囲に前記第二の液状体の前記液滴が硬化した第二着弾液滴膜から成る第二画像膜を形成する第二描画工程と、を有し、
前記第二着弾液滴膜の体積を、前記第一着弾液滴膜より小さくすることを特徴とする描画方法。
【請求項２】
前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、少なくとも前記第一着弾液滴膜の色調より、視認し難い色調となる前記液状体であることを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項３】
前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、無色透明となる前記液状体であることを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項４】
前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、前記被描画媒体の面と略同じ色調となる前記液状体であることを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項５】
前記第二描画工程では、前記第二着弾液滴膜を隙間なく連ねて前記第二画像膜を形成することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項６】
前記第二描画工程では、前記第二着弾液滴膜の一部が、前記第一画像膜において前記第二着弾液滴膜に臨む位置に形成された前記第一着弾液滴膜の端に重なる位置に、前記第二着弾液滴膜を形成することを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項７】
前記第二描画工程を前記第一描画工程より先に実施し、前記第一描画工程では、前記第一画像膜において前記第二着弾液滴膜に臨む位置に形成される前記第一着弾液滴膜を、当該第一着弾液滴膜が臨む位置に形成されている前記第二着弾液滴膜の端に重なる位置に形成することを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項８】
液状体を液滴として吐出し、電子部品の上に着弾させ、前記電子部品の上に前記液状体の前記液滴が硬化した着弾液滴膜から成る画像膜を形成することで、前記電子部品上に、前記画像膜から成る画像を描画する電子部品の製造方法であって、
第一の液状体を前記電子部品上に着弾させて、前記電子部品上に前記第一の液状体の前記液滴が硬化した第一着弾液滴膜から成る第一画像膜を形成する第一描画工程と、
第二の液状体を前記第一画像膜の周囲に着弾させて、前記第一画像膜の周囲に前記第二の液状体の前記液滴が硬化した第二着弾液滴膜から成る第二画像膜を形成する第二描画工程と、を有し、
前記第二着弾液滴膜の体積を、前記第一着弾液滴膜より小さくすることを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項９】
液滴として吐出された液状体が、被描画媒体上に着弾して硬化した着弾液滴膜を有する画像膜を備えるマーキング画像であって、
第一着弾液滴膜から成る第一画像膜と、
前記第一画像膜の周囲に配設された第二着弾液滴膜から成る第二画像膜と、を備え、
前記第二着弾液滴膜の体積が、前記第一着弾液滴膜より小さいことを特徴とするマーキング画像。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出して被描画媒体上に着弾させることによって、被描画媒体上に液状体を配置し、配置した液状体を硬化させることによって被描画媒体上に画像を描画する描画方法に関する。また、電子部品上に液状体を配置し、配置した液状体を硬化させることによって電子部品上に画像を形成する電子部品の製造方法に関する。さらに、液状体を吐出して被描画媒体上に着弾させることによって、被描画媒体上に液状体を配置し、配置した液状体を硬化させることによって形成されたマーキング画像に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、製品上に数字や文字や図形などのマーキング画像を形成することで、製品の名称や型番などの表示や、製品のロット番号や個体の識別用の表示などを、製品に記載することが行われている。
例えば、半導体装置においては、半導体パッケージに型番や識別番号を、レーザーマーキング装置を用いて刻印することが行われている。しかし、レーザーマーキング装置を用いて形成される図形などは、視認性が良くないことが課題となっている。さらに、半導体パッケージの薄型化に伴い、刻印することが中の半導体装置にダメージを与える可能性が高くなっている。
【０００３】
中の半導体装置にダメージを与える可能性が実質的になく、視認性に優れるマーキング画像を形成する方法として、インクジェット装置を用いてマーキング画像を形成する方法が、レーザーマーキング装置を用いる方法の代替技術として期待されている。インクジェット装置を用いるマーキング画像の形成では、インクジェット装置から吐出されたインクなどの機能液が定着し易いことが必要であり、マーキングパターンの形成面にインク（機能液）受容層を形成するなどの工夫がなされている。
特許文献１では、透明又は半透明基材上に白色顔料を含有する放射線硬化性インクを塗設後、白色顔料塗設部の少なくとも一部の上に白色以外の色材を含む放射線硬化性インクを吐出することで、高解像度で滲みがなく定着性の良い画像を記録できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１４５７４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、被描画媒体上に形成された画像は、液状体（インク）に含有された樹脂成分などが硬化して形成された膜であって、当該膜が被描画媒体から剥れる可能性がある。特に、被描画媒体に対して被描画媒体面を擦るように相対移動する物体が膜の端に当たった場合などのように、画像の膜の端に、被描画媒体の面との角度が鋭角である方向から力が加えられると、膜は剥れ易い。特許文献１に記載されたように、定着性の良い画像であっても、角部分が被描画媒体面に接触した状態で被描画媒体面に沿って移動した部材が画像の膜の端面に衝突すると、画像（膜）が容易に被描画媒体から剥離する可能性があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる描画方法は、液状体を液滴として吐出して、被描画媒体上に着弾させ、前記被描画媒体上に前記液状体の前記液滴が硬化した着弾液滴膜から成る画像膜を形成することで、前記被描画媒体上に、前記画像膜から成る画像を描画する描画方法であって、第一の液状体を前記被描画媒体上に着弾させて、前記被描画媒体上に前記第一の液状体の前記液滴が硬化した第一着弾液滴膜から成る第一画像膜を形成する第一描画工程と、第二の液状体を前記第一画像膜の周囲に着弾させて、前記第一画像膜の周囲に前記第二の液状体の前記液滴が硬化した第二着弾液滴膜から成る第二画像膜を形成する第二描画工程と、を有し、前記第二着弾液滴膜の体積を、前記第一着弾液滴膜より小さくすることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる描画方法によれば、第一画像膜の周囲に、第二画像膜が形成される。この構成により、被描画媒体に対して被描画媒体面を擦るように相対移動する物体が、第二画像膜に衝突することで、第一画像膜の端に衝突することを抑制することができる。これにより、物体が第一画像膜の端に衝突することによって、第一画像膜が被描画媒体から剥がされることを抑制することができる。
また、第二着弾液滴膜の体積は第一着弾液滴膜の体積より小さい。このため、被描画媒体に対して被描画媒体面を擦るように相対移動する物体が衝突した際には、第一着弾液滴膜にくらべて、第二着弾液滴膜の方が、力が伝わり難い。これにより、被描画媒体に対して被描画媒体面を擦るように相対移動する物体が衝突した際の、第二着弾液滴膜の耐剥がれ性を、第一着弾液滴膜にくらべて、高くすることができる。
例えば、第二画像膜によらず、第一画像膜のみで情報を表示する画像を構成すると、第二画像膜が剥がれるなどしても、画像が表示する情報が損なわれることはない。これにより、画像を構成する膜が剥がれることによって、画像が表示する情報が損なわれることを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、少なくとも前記第一着弾液滴膜の色調より、視認し難い色調となる前記液状体であることが好ましい。
【００１０】
この描画方法によれば、第二画像膜を構成する第二着弾液滴膜の色調は、第一画像膜を構成する第一着弾液滴膜の色調より、視認し難い色調である。これにより、第二画像膜の存在を目立ち難くすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、無色透明となる前記液状体であることが好ましい。
【００１２】
この描画方法によれば、第二画像膜を構成する第二着弾液滴膜の色調が、無色透明であって、第二画像膜は無色透明である。無色透明の膜は視認され難いため、第二画像膜の存在を目立ち難くすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二の液状体は、前記第二着弾液滴膜の色調が、前記被描画媒体の面と略同じ色調となる前記液状体であることが好ましい。
【００１４】
この描画方法によれば、第二画像膜を構成する第二着弾液滴膜の色調が、被描画媒体の面と略同じ色調であって、第二画像膜は被描画媒体の面と略同じ色調である。被描画媒体の面上に形成された被描画媒体の面と略同じ色調の膜は視認され難いため、第二画像膜の存在を目立ち難くすることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二描画工程では、前記第二着弾液滴膜を隙間なく連ねて前記第二画像膜を形成することが好ましい。
【００１６】
この描画方法によれば、第二画像膜は、第二着弾液滴膜が隙間なく連なって形成される。これにより、第二着弾液滴膜が間隔をあけて形成されている構成にくらべて、第二画像膜の耐剥がれ強度を高くすることができる。また、被描画媒体の面を濡れ広がる液状の物体が、第一画像膜の端に至ることを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二描画工程では、前記第二着弾液滴膜の一部が、前記第一画像膜において前記第二着弾液滴膜に臨む位置に形成された前記第一着弾液滴膜の端に重なる位置に、前記第二着弾液滴膜を形成することが好ましい。
【００１８】
この描画方法によれば、第二着弾液滴膜の一部が、第一着弾液滴膜の端に重なっており、第一着弾液滴膜の端の一部が第二着弾液滴膜によって覆われている。第二着弾液滴膜によって覆われている部分に、液状の物体が接触することを抑制することができる。液状の物体が第一着弾液滴膜の端の部分に接触し、当該部分から第一着弾液滴膜と被描画媒体との間に浸入することによって、第一画像膜が被描画媒体から剥がされ易くなることを抑制することができる。特に、第二着弾液滴膜を隙間なく連ねて第二画像膜を形成し、第一画像膜の外周の全てを第二着弾液滴膜で覆うことによって、より確実に、液状の物体が第一着弾液滴膜と被描画媒体との間に浸入することによって、第一画像膜が被描画媒体から剥がされ易くなることを抑制することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる描画方法において、前記第二描画工程を前記第一描画工程より先に実施し、前記第一描画工程では、前記第一画像膜において前記第二着弾液滴膜に臨む位置に形成される前記第一着弾液滴膜を、当該第一着弾液滴膜が臨む位置に形成されている前記第二着弾液滴膜の端に重なる位置に形成することが好ましい。
【００２０】
この描画方法によれば、第二着弾液滴膜に臨む位置に形成される第一着弾液滴膜の端は、少なくとも一部が、当該第一着弾液滴膜が臨む位置に形成されている第二着弾液滴膜の上に位置している。第一着弾液滴膜と第二着弾液滴膜とは、液滴として吐出された液状体が硬化したものであり、組成などが似ている可能性が高い。一般的に、組成などが似ている物質間の耐剥がれ力は大きくなる。このため、第一着弾液滴膜の端が第二着弾液滴膜から、すなわち第二着弾液滴膜が固着されている被描画媒体から、第一着弾液滴膜の端が全て被描画媒体に直接固着されている場合にくらべて、剥がされ難くすることができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例にかかる電子部品の製造方法は、液状体を液滴として吐出し、電子部品の上に着弾させ、前記電子部品の上に前記液状体の前記液滴が硬化した着弾液滴膜から成る画像膜を形成することで、前記電子部品上に、前記画像膜から成る画像を描画する電子部品の製造方法であって、第一の液状体を前記電子部品上に着弾させて、前記電子部品上に前記第一の液状体の前記液滴が硬化した第一着弾液滴膜から成る第一画像膜を形成する第一描画工程と、第二の液状体を前記第一画像膜の周囲に着弾させて、前記第一画像膜の周囲に前記第二の液状体の前記液滴が硬化した第二着弾液滴膜から成る第二画像膜を形成する第二描画工程と、を有し、前記第二着弾液滴膜の体積を、前記第一着弾液滴膜より小さくすることを特徴とする。
【００２２】
本適用例にかかる電子部品の製造方法によれば、第一画像膜の周囲に、第二画像膜が形成される。この構成により、電子部品に対して電子部品の面を擦るように相対移動する物体が、第二画像膜に衝突することで、第一画像膜の端に衝突することを抑制することができる。これにより、物体が第一画像膜の端に衝突することによって、第一画像膜が電子部品の面から剥がされることを抑制することができる。
また、第二着弾液滴膜の体積は第一着弾液滴膜の体積より小さい。このため、電子部品に対して電子部品の面を擦るように相対移動する物体が衝突した際には、第一着弾液滴膜にくらべて、第二着弾液滴膜の方が、力が伝わり難い。これにより、電子部品の面を擦るように相対移動する物体が衝突した際の、第二着弾液滴膜の耐剥がれ性を、第一着弾液滴膜にくらべて、高くすることができる。
例えば、第二画像膜によらず、第一画像膜のみで情報を表示する画像を構成すると、第二画像膜が剥がれるなどしても、画像が表示する情報が損なわれることはない。これにより、画像を構成する膜が剥がれることによって、画像が表示する情報が損なわれることを抑制することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例にかかるマーキング画像は、液滴として吐出された液状体が、被描画媒体上に着弾して硬化した着弾液滴膜を有する画像膜を備えるマーキング画像であって、第一着弾液滴膜から成る第一画像膜と、前記第一画像膜の周囲に配設された第二着弾液滴膜から成る第二画像膜と、を備え、前記第二着弾液滴膜の体積が、前記第一着弾液滴膜より小さいことを特徴とする。
【００２４】
本適用例にかかるマーキング画像によれば、第一画像膜の周囲に、第二画像膜が配設されている。この構成により、被描画媒体に対して被描画媒体の面を擦るように相対移動する物体が、第二画像膜に衝突することで、第一画像膜の端に衝突することを抑制することができる。これにより、物体が第一画像膜の端に衝突することによって、第一画像膜が被描画媒体の面から剥がされることを抑制することができる。
また、第二着弾液滴膜の体積は第一着弾液滴膜の体積より小さい。このため、被描画媒体に対して被描画媒体面を擦るように相対移動する物体が衝突した際には、第一着弾液滴膜にくらべて、第二着弾液滴膜の方が、力が伝わり難い。これにより、被描画媒体の面を擦るように相対移動する物体が衝突した際の、第二着弾液滴膜の耐剥がれ性を、第一着弾液滴膜にくらべて、高くすることができる。
例えば、第二画像膜によらず、第一画像膜のみで、マーキング画像によって表示する情報を表す画像を構成すると、第二画像膜が剥がれるなどしても、画像が表示する情報が損なわれることはない。これにより、マーキング画像を構成する着弾液滴膜が剥がれることによって、マーキング画像が表示する情報が損なわれることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニット及び一次硬化ユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】（ａ）は、半導体チップ及びマーキング画像を示す説明図。（ｂ）は、マーキング画像を構成する画像膜を示す部分拡大図。（ｃ）は、画像膜を構成する着弾液膜を示す拡大図。（ｄ）は、画像膜を構成する着弾液膜を示す断面図。
【図５】（ａ）は、着弾液膜の配置を示す部分拡大平面図。（ｂ）は、（ａ）に示した、部分拡大平面図に対応する着弾液膜の配置を示す部分拡大断面図。
【図６】（ａ）は、着弾液膜の配置を示す部分拡大平面図。（ｂ）は、（ａ）に示した、部分拡大平面図に対応する着弾液膜の配置を示す部分拡大断面図。
【図７】（ａ）は、着弾液膜の配置を示す部分拡大平面図。（ｂ）は、（ａ）に示した、部分拡大平面図に対応する着弾液膜の配置を示す部分拡大断面図。
【図８】（ａ）は、着弾液膜の配置を示す部分拡大平面図。（ｂ）は、（ａ）に示した、部分拡大平面図に対応する着弾液膜の配置を示す部分拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、描画方法、及び電子部品の製造方法、並びにマーキング画像の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、紫外線硬化型の機能液を吐出して半導体装置上に着弾させることによって半導体装置上に画像を描画する、液滴吐出装置及び当該液滴吐出装置を用いた描画方法を例にして説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッド及び紫外線照射装置を備え、液滴吐出ヘッドによって機能液の液滴を吐出し、被吐出媒体上の所定の位置に機能液を配置し、当該機能液を、紫外線照射装置によって紫外線を照射することで硬化させることによって、画像を形成する装置である。紫外線硬化型の機能液が、液状体に相当する。半導体装置が、被描画媒体、又は電子部品に相当する。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２７】
＜液滴吐出法＞
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００２８】
また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００２９】
液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００３０】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置１について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３１】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５と、硬化ユニット１０と、を備えている。ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有している。液滴吐出ヘッド２０は、紫外線硬化性を有する機能液を液滴として吐出する。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３３を有している。機能液供給部４は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド２０に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。さらに、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８によって支持されており、扁平な略直方体形状を有する定盤９とを備えている。定盤９のヘッド機構部２及びワーク機構部３が配設されている面は、略長方形の平面形状を有している。当該略長方形の一辺の延在方向をＸ軸方向、当該一辺に略直交する他の一辺に略平行であってＸ軸方向に直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向と表記する。
【００３２】
ヘッド機構部２は、ヘッドキャリッジ２２と、Ｙ軸移動機構２６と、移動枠２７と、を備えている。ヘッドキャリッジ２２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、一次硬化ユニット９５（図３参照）と、を備えている。移動枠２７は、Ｙ軸移動機構２６によってＹ軸方向に摺動自在であって任意の位置に保持可能に支持されている。ヘッドキャリッジ２２は、移動枠２７に懸吊されている。ヘッドキャリッジ２２が備えるヘッドユニット２１が有する液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５（図２参照）を下側に向けて、保持されている。移動枠２７を、Ｙ軸移動機構２６によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した位置に保持することができる。
【００３３】
ワーク機構部３は、ワーク載置台３３とＸ軸移動機構３６とを備えている。ワーク載置台３３は、Ｘ軸移動機構３６によってＸ軸方向に摺動自在であって任意の位置に保持可能に支持されている。ワーク載置台３３を、Ｘ軸移動機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３３に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させることができる。また、移動した位置に保持することができる。
【００３４】
硬化ユニット１０は、紫外線を射出するＵＶ（Ultraviolet）ランプ１５を備えている。ＵＶランプ１５は、Ｘ軸移動機構３６に臨んで配設されている。ＵＶランプ１５は、Ｘ軸移動機構３６によってＵＶランプ１５に臨む位置に移動させられたワーク載置台３３に載置されたワークＷに紫外線を照射することができる。
【００３５】
液滴吐出装置１において、最初に、ワーク載置台３３を、Ｘ軸移動機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３３に載置されたワークＷを、液滴吐出ヘッド２０の下方に位置させる。次に、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に移動させながら、液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する吐出走査を実施する。これにより、ユニットノズル列２４０Ａ（図３参照）の長さの範囲で、任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。吐出走査においては、着弾させた液滴に、一次硬化ユニット９５によって紫外線を照射することで、着弾した機能液を仮硬化させる。Ｘ軸移動機構３６によるワークＷのＸ軸方向の移動（改行）と、吐出走査とを繰り返すことで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
所望する平面形状に機能液を配置したワークＷを、ワーク載置台３３をＸ軸移動機構３６によってＸ軸方向に移動させることで、硬化ユニット１０のＵＶランプ１５に臨む位置に移動させる。当該位置で、ＵＶランプ１５によって紫外線をワークＷ上に配置された機能液に照射することで、配置された位置において機能液を硬化させる。
【００３６】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図２に示したＸ軸方向、及びＺ軸方向は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＸ軸方向、又はＺ軸方向と一致している。
【００３７】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＸ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＸ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｘ軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば１４０μｍであり、半ノズルピッチは、７０μｍである。
【００３８】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００３９】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列２４Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル２４がもう１列のノズル列２４Ａを形成している。当該ノズル列２４Ａに対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００４０】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００４１】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
圧電素子５９の活性部が縮む量は、印加される駆動電圧の電圧によって異なる。このため、印加する駆動電圧を調整することによって、吐出する液滴の大きさ（重量）を調整することができる。
【００４２】
＜ヘッドユニット及び一次硬化ユニット＞
次に、ヘッド機構部２のヘッドキャリッジ２２が備えるヘッドユニット２１及び一次硬化ユニット９５の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニット及び一次硬化ユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、ヘッドユニット２１及び一次硬化ユニット９５が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸方向又はＹ軸方向と一致している。
【００４３】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。２個の一次硬化ユニット９５が、Ｙ軸方向において、ヘッドユニット２１を挟んで両側にそれぞれ１個ずつ、配設されている。
液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図３は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｘ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｘ軸方向に延在している。
【００４４】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｘ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。一つのヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０のＹ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｘ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｙ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｘ軸方向に半ノズルピッチの等間隔に並んで一直線上に着弾する。
【００４５】
ノズル列２４Ａは、例えば１８０個の吐出ノズル２４を有しており、液滴吐出ヘッド２０は、３６０個の吐出ノズル２４を有している。９個の液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１は、３２４０個の吐出ノズル２４を有している。一つのヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０が有する１８列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、３２４０個の吐出ノズル２４を有している。ユニットノズル列２４０Ａのそれぞれの吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｙ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が半ノズルピッチのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００４６】
一次硬化ユニット９５は、支持枠（図示省略）と、ＵＶＬＥＤ（Ultraviolet  Light  Emitting  Diode）９６と、ＬＥＤ筐体９７と、を備えている。ＵＶＬＥＤ９６は、紫外線を射出するＬＥＤである。
ＬＥＤ筐体９７は、ユニットプレート２３のＹ軸方向の側面に支持枠を介して固定されている。ＬＥＤ筐体９７は、略直方体形状の外形を有し、内部に略直方体形状で一面が開口した筐体室が形成されている。筐体室は、ワーク載置台３３に臨む側が開口している。筐体室には、ＵＶＬＥＤ９６が、開口側に紫外線を射出する状態で固定されている。複数のＵＶＬＥＤ９６が、Ｘ軸方向に並んで配設されている。複数のＵＶＬＥＤ９６は、Ｘ軸方向において、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド２０が機能液を配置可能な幅を包含する範囲に、紫外線を照射することができる。
【００４７】
上述したように、一次硬化ユニット９５は、Ｙ軸方向（吐出走査方向）において、９個の液滴吐出ヘッド２０を挟んで両側に、９個の液滴吐出ヘッド２０に関して略対称な状態で、配設されている。
ヘッドユニット２１がＹ軸方向に走査されて機能液を吐出する際には、液滴吐出ヘッド２０に並んで配設されたＵＶＬＥＤ９６から、略並行して、紫外線を照射させる。
走査方向において、ヘッドユニット２１の後側に位置するＵＶＬＥＤ９６から紫外線を照射することで、吐出されて着弾させられた機能液に、着弾した直後に紫外線を照射することができる。機能液に紫外線を照射することで、機能液を硬化させることができる。機能液の硬化率に影響を及ぼす要因は、走査速度、ＵＶＬＥＤ９６の照射領域のＹ軸方向における幅、ＵＶＬＥＤ９６の照射強度、などである。これらの要因について、適切な値に設定することで、着弾させられた機能液を適切な硬化率に硬化させることができる。一次硬化ユニット９５から紫外線を照射させることで、例えば、着弾した機能液を仮硬化させる。仮硬化は、硬化ユニット１０を用いて充分に硬化させる本硬化の前に、着弾した機能液が流動することを抑制するための硬化である。
【００４８】
＜マーキング画像＞
次に、半導体装置のベアチップに形成されるマーキング画像について、図４を参照して説明する。図４は、半導体チップのマーキング画像を示す説明図である。図４（ａ）は、半導体チップ及びマーキング画像を示す説明図であり、図４（ｂ）は、マーキング画像を構成する画像膜を示す部分拡大図であり、図４（ｃ）は、画像膜を構成する着弾液膜を示す拡大図であり、図４（ｄ）は、画像膜を構成する着弾液膜を示す断面図である。
【００４９】
図４（ａ）に示すように、半導体チップ１００の上面にマーキング画像６０が形成されている。半導体チップ１００は半導体装置のベアチップである。マーキング画像６０は、例えば半導体装置の製造者を示す図形文字や、半導体装置の型番を示す文字や数字や、半導体装置の製造ロットを示す文字や数字などの、所定の形状を有する画像である。図４（ａ）に示した例では、「ＡＢＣＤ１２３４５６７８９０」という文字と数字とが記載されている。半導体チップ１００が、被描画媒体又は電子部品に相当する。マーキング画像６０が、画像、又はマーキング画像に相当する。
【００５０】
機能液４１ａ、及び機能液４３ａの液滴が半導体チップ１００などに着弾したものを、着弾液膜４１、又は着弾液膜４３と表記する。機能液４１ａ、及び機能液４３ａの液滴は、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４から吐出される液滴である。半導体チップ１００に着弾した直後の機能液４１ａ、及び機能液４３ａも、一次硬化ユニット９５によって仮硬化させられた状態のものも、硬化ユニット１０によって本硬化させられた状態のものも、着弾液膜４１、又は着弾液膜４３と表記する。機能液４１ａ、及び機能液４３ａが、液状体に相当する。着弾液膜４１及び着弾液膜４３が、着弾液滴膜に相当する。
着弾液膜４１などは、半導体チップ１００の表面などに接触する面は、半導体チップ１００の表面などの形状に倣った形状となる。着弾液膜４１などの上面は、図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示したように、略半球状の形状である。略半球形状の形状は、着弾液膜４１などの、着弾した半導体チップ１００などに対する濡れ特性によって定まる接触角によって定まる形状である。
【００５１】
図４（ｂ）に示すように、２点鎖線で囲って示した画像区画６１Ａの範囲に、着弾液膜４１を有する主画像膜６１が形成されている。同様に、破線で囲って示した画像区画６３Ａの範囲に、着弾液膜４３を有する副画像膜６３が形成され、１点鎖線で囲って示した画像区画６４Ａの範囲に、着弾液膜４３を有する副画像膜６４が形成されている。主画像膜６１と、副画像膜６３と、副画像膜６４とで、マーキング画像６０の一部を構成する部分画像６０Ａが形成されている。
機能液４１ａが、第一の液状体に相当する。機能液４３ａが、第二の液状体に相当する。着弾液膜４１が、第一着弾液滴膜に相当する。着弾液膜４３が、第二着弾液滴膜に相当する。主画像膜６１が、第一画像膜に相当する。副画像膜６３及び副画像膜６４が、第二画像膜に相当する。マーキング画像６０が画像、又はマーキング画像に相当するとともに、部分画像６０Ａが、画像、又はマーキング画像に相当する。主画像膜６１を形成する工程が、第一描画工程に相当する。副画像膜６３及び副画像膜６４を形成する工程が、第二描画工程に相当する。
【００５２】
着弾液膜４１は、例えば白色であり、主画像膜６１は、白色の文字として視認される。着弾液膜４３は、例えば無色透明であり、副画像膜６３及び副画像膜６４は、無色透明の膜であって、視認され難い。着弾液膜４３は、着弾液膜４１より体積が小さく、高さ及び平面方向の径も、着弾液膜４１より小さい。主画像膜６１と、副画像膜６３及び副画像膜６４と、で構成されている部分画像６０Ａは、白色の主画像膜６１の形状が文字として視認され易い。
【００５３】
図４（ａ）に示した、マーキング画像６０を構成する「Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，１，２，３，４，５，６，７，８，９，０」という文字と数字とは、主画像膜６１と同様に着弾液膜４１で形成された主画像膜６１０を含んでおり、主画像膜６１０が白色の文字や数字として視認される。マーキング画像６０を構成する、副画像膜６３及び副画像膜６４と同様に着弾液膜４３で形成された膜を、副画像膜６３０又は副画像膜６４０と表記する。
【００５４】
図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示したように、主画像膜６１は、画像区画６１Ａの範囲に、着弾液膜４１が面状に隙間なく並べられて形成されている。副画像膜６３及び副画像膜６４は、主画像膜６１の外周に沿って着弾液膜４３が列状に並べられて形成されている。
【００５５】
＜マーキング画像の形成＞
マーキング画像６０は、上述した液滴吐出装置１を用いて半導体チップ１００に描画される。機能液４１ａは、ヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０の中の、６個の液滴吐出ヘッド２０に供給されて、吐出される。機能液４３ａは、ヘッドユニット２１が備える９個の液滴吐出ヘッド２０の中の、他の３個の液滴吐出ヘッド２０に供給されて、吐出される。
【００５６】
図４（ｂ）に２点鎖線で囲って示した画像区画６１Ａのように、主画像膜６１などの主画像膜６１０を形成する領域に向けて、液滴吐出ヘッド２０から機能液４１ａの液滴を吐出して、着弾させる。機能液４１ａの液滴は、図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示したように、着弾液膜４１が面状に隙間なく並べられて形成されるように、着弾させる。隙間なく並べられて形成された着弾液膜４１によって、主画像膜６１などの主画像膜６１０が形成される。
次に、図４（ｂ）に破線で囲って示した画像区画６３Ａや、１点鎖線で囲って示した画像区画６４Ａのように、主画像膜６１０を形成する領域の周囲に位置し、副画像膜６３０又は副画像膜６４０を形成する領域に向けて、液滴吐出ヘッド２０から機能液４３ａの液滴を吐出して、着弾させる。機能液４３ａの液滴は、図４（ｃ）及び図４（ｄ）に示したように、着弾液膜４３が線状に隙間なく並べられて形成されるように、着弾させる。主画像膜６１０の周囲に線状に並べて形成された着弾液膜４３によって、副画像膜６３又は副画像膜６４などの副画像膜６３０及び副画像膜６４０が形成される。画像区画６４Ａのように主画像膜６１０に囲まれる位置に位置する領域であっても、主画像膜６１０の端に臨む位置に位置する領域は、本実施形態においては、主画像膜６１０の周囲に位置する領域と表記する。
【００５７】
＜他のマーキング画像＞
次に、上述したマーキング画像６０とは、マーキング画像を構成する主画像膜や副画像膜の構成が一部異なるマーキング画像について説明する。当該マーキング画像は、マーキング画像を構成する部分画像が、部分画像６０Ａとは、一部の構成が異なっている。ここでは、部分画像６０Ａとは、一部の構成が異なっている部分画像について、図５、図６、図７、及び図８を参照して説明する。
図５、図６、図７、及び図８は、部分画像を構成する画像膜における着弾液膜の配置を示す部分拡大図である。図５（ａ）、図６（ａ）、図７（ａ）、及び図８（ａ）は、着弾液膜の配置を示す部分拡大平面図であり、図５（ｂ）、図６（ｂ）、図７（ｂ）、及び図８（ｂ）は、図５（ａ）、図６（ａ）、図７（ａ）、又は図８（ａ）に示した、部分拡大平面図に対応する着弾液膜の配置を示す部分拡大断面図である。
【００５８】
図５に示すように、部分画像６０１Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３２とを備えている。主画像膜６１は、上述した主画像膜６１であって、着弾液膜４１が隙間なく面状に配設されて形成されている。副画像膜６３２は、上述した副画像膜６３や副画像膜６４と同様に、着弾液膜４３が列状に並べられて形成されている。部分画像６０１Ａにおいては、副画像膜６３２は、主画像膜６１と隙間を隔てて形成されている。主画像膜６１を構成する着弾液膜４１と、副画像膜６３２を構成する着弾液膜４３とは、接触しない位置関係で配設されている。
部分画像６０１Ａが、画像、又はマーキング画像に相当する。主画像膜６１が、第一画像膜に相当する。副画像膜６３２が、第二画像膜に相当する。
【００５９】
図６に示すように、部分画像６０２Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３４とを備えている。主画像膜６１は、上述した主画像膜６１であって、着弾液膜４１が隙間なく面状に配設されて形成されている。副画像膜６３４は、上述した副画像膜６３や副画像膜６４と同様に、着弾液膜４３が列状に並べられて形成されている。副画像膜６３４は、着弾液膜４３が列方向において、間隔を隔てて配設されていることが、副画像膜６３や副画像膜６４と異なっている。部分画像６０２Ａにおいては、副画像膜６３４は、主画像膜６１の周囲に隙間を隔てて配設された着弾液膜４３で構成されている。
部分画像６０２Ａが、画像、又はマーキング画像に相当する。主画像膜６１が、第一画像膜に相当する。副画像膜６３４が、第二画像膜に相当する。
【００６０】
図７に示すように、部分画像６０３Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３６とを備えている。主画像膜６１は、上述した主画像膜６１であって、着弾液膜４１が隙間なく面状に配設されて形成されている。副画像膜６３６は、上述した副画像膜６３や副画像膜６４と同様に、着弾液膜４３が列状に並べられて形成されている。部分画像６０３Ａにおいては、副画像膜６３６は、端が主画像膜６１の端に乗り上げて形成されている。副画像膜６３６を構成する着弾液膜４３の主画像膜６１側の端は、主画像膜６１を構成する着弾液膜４１の副画像膜６３６側の端の上に被せる状態で配設されている。
部分画像６０３Ａが、画像、又はマーキング画像に相当する。主画像膜６１が、第一画像膜に相当する。副画像膜６３６が、第二画像膜に相当する。
【００６１】
図８に示すように、部分画像６０４Ａは、主画像膜６１８と、副画像膜６３８とを備えている。主画像膜６１８は、上述した主画像膜６１と同様に、着弾液膜４１が隙間なく面状に配設されて形成されている。副画像膜６３８は、上述した副画像膜６３や副画像膜６４と同様に、着弾液膜４３が列状に並べられて形成されている。主画像膜６１８を構成する着弾液膜４１の副画像膜６３８側の端は、副画像膜６３８を構成する着弾液膜４３の主画像膜６１８側の端の上に被せる状態で配設されている。部分画像６０４Ａにおいては、主画像膜６１８は、端が副画像膜６３８の端に乗り上げて形成されている。
部分画像６０４Ａが、画像、又はマーキング画像に相当する。主画像膜６１８が、第一画像膜に相当する。副画像膜６３８が、第二画像膜に相当する。
【００６２】
部分画像６０４Ａを描画する際には、最初に、副画像膜６３８を形成する。主画像膜６１８を形成する領域の周囲に向けて、液滴吐出ヘッド２０から機能液４３ａの液滴を吐出して、着弾させる。このとき、形成される着弾液膜４３の一部が主画像膜６１８を形成する領域に入る位置に、機能液４３ａの液滴を着弾させる。次に、主画像膜６１８を形成する領域に向けて、液滴吐出ヘッド２０から機能液４１ａの液滴を吐出して、着弾させる。隙間なく並べられて形成された着弾液膜４１によって、主画像膜６１８が形成される。主画像膜６１８の周縁を形成する着弾液膜４１の端は、着弾液膜４３の主画像膜６１８を形成する領域に入って配設されている部分の上に被せる状態で形成される。
主画像膜６１８を形成する工程が、第一描画工程に相当する。副画像膜６３８を形成する工程が、第二描画工程に相当する。
【００６３】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）部分画像６０Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３及び副画像膜６４と、で構成されている。副画像膜６３は、主画像膜６１の周りを囲んで配設されている。この構成によって、半導体チップ１００に対して半導体チップ１００の面を擦るように相対移動する物体が、主画像膜６１より先に副画像膜６３に衝突することで、主画像膜６１の端に衝突することを抑制することができる。物体が主画像膜６１の端に衝突することに起因して、主画像膜６１が損なわれることを抑制することができる。
【００６４】
（２）部分画像６０Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３及び副画像膜６４と、で構成されている。副画像膜６３は、主画像膜６１の周りを囲んで配設されている。主画像膜６１は、着弾液膜４１で構成されており、副画像膜６３及び副画像膜６４は、着弾液膜４１より体積が小さい着弾液膜４３で構成されている。着弾液膜４１より体積が小さい着弾液膜４３は、物体に衝突された際に、着弾液膜４１より力を受け難いため、着弾液膜４１より剥がされ難い。部分画像６０Ａは、周囲に副画像膜６３を配設することで、主画像膜６１のみで構成された膜より剥がされ難くすることができる。
【００６５】
（３）部分画像６０Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３及び副画像膜６４と、で構成されている。主画像膜６１は、白色の着弾液膜４１で構成されており、副画像膜６３及び副画像膜６４は、無色透明の着弾液膜４３で構成されている。これにより、部分画像６０Ａの形状として、主画像膜６１の形状が視認され易くすることができる。着弾液膜４３は視認され難いため、副画像膜６３又は副画像膜６４を構成する着弾液膜４３が剥ぎ取られるなどして欠落した場合に、部分画像６０Ａの形状の変化として視認され難くすることができる。
【００６６】
（４）部分画像６０２Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３４とを備えている。副画像膜６３４は、主画像膜６１の周囲に隙間を隔てて配設された着弾液膜４３で構成されている。この構成により、着弾液膜４３を連ねて副画像膜を形成する構成にくらべて、副画像膜を形成するために要する時間を抑制することができる。
【００６７】
（５）部分画像６０３Ａは、主画像膜６１と、副画像膜６３６とを備えている。副画像膜６３６を構成する着弾液膜４３の主画像膜６１側の端は、主画像膜６１を構成する着弾液膜４１の副画像膜６３６側の端の上に被せる状態で配設されている。この構成により、着弾液膜４１の端と半導体チップ１００の面との接触部は、着弾液膜４３に覆われている。このため、着弾液膜４１の端と半導体チップ１００の面との接触部の付近に、物体が衝突して、着弾液膜４１の端を半導体チップ１００の面から剥がすような力が加えられることを抑制することができる。また、着弾液膜４１の端と半導体チップ１００の面との接触部に液状物質が浸入することを抑制して、液状物質が浸入することに起因して着弾液膜４１が半導体チップ１００の面から剥がれ易くなることを抑制することができる。
【００６８】
（６）部分画像６０４Ａは、主画像膜６１８と、副画像膜６３８とを備えている。主画像膜６１８を構成する着弾液膜４１の副画像膜６３８側の端は、副画像膜６３８を構成する着弾液膜４３の主画像膜６１８側の端の上に被せる状態で配設されている。着弾液膜４１は、半導体チップ１００の組成より着弾液膜４３の組成に近い組成を有している。このため、着弾液膜４１が着弾液膜４３に固着した場合の耐剥がれ力は、着弾液膜４１が半導体チップ１００に固着した場合の耐剥がれ力より大きくなる。主画像膜６１８を構成する着弾液膜４１の端が着弾液膜４３に載っていることで、主画像膜６１８の耐剥がれ特性を向上させることができる。
【００６９】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００７０】
（変形例１）前記実施形態においては、第二着弾液滴膜に相当する着弾液膜４３は無色透明であったが、第二着弾液滴膜が無色透明であることは必須ではない。第二着弾液滴膜は、被描画媒体の面の色調に近い色調であってもよい。第二着弾液滴膜の色調を、被描画媒体の面の色調に近い色調にすることで、被描画媒体の面上において、第二着弾液滴膜を、視認され難くすることができる。
【００７１】
（変形例２）前記実施形態においては、第二着弾液滴膜に相当する着弾液膜４３は無色透明であったが、第二着弾液滴膜が無色透明であることは必須ではない。第二着弾液滴膜は、視認し難い色調であってもよい。視認し難い色調は、例えば、被描画媒体の色調と同色系の色調や、淡色系の色調などである。
【００７２】
（変形例３）前記実施形態においては、文字「Ａ」の形状を有する部分画像６０Ａにおける、主画像膜６１に囲まれた画像区画６４Ａにも副画像膜６４を形成していた。しかし、第一画像膜の周囲の全てに第二画像膜を形成することは必須ではない。第一画像膜における、主画像膜６１に囲まれた画像区画６４Ａのような外周部には第二画像膜を形成しない描画方法、又はマーキング画像であってもよい。
【００７３】
（変形例４）前記実施形態においては、第二画像膜に相当する副画像膜６３、副画像膜６４、副画像膜６３２、副画像膜６３４、副画像膜６３６、及び副画像膜６３８は、着弾液膜４３を１列に並べて形成されていた。しかし、第二画像膜の幅が、第二着弾液滴膜を１個並べた幅であることは必須ではない。第二画像膜は、幅方向に複数の第二着弾液滴膜が並ぶ構成であってもよい。
【００７４】
（変形例５）前記実施形態においては、主画像膜６１と、副画像膜６３と、副画像膜６４とで、マーキング画像６０の一部を構成する部分画像６０Ａが形成されていた。しかし、マーキング画像を構成する部分画像のそれぞれに、第二画像膜に相当する副画像膜を配設することは必須ではない。部分画像を第一画像膜のみで形成し、複数の分画像を囲んで第二画像膜を配設する構成であってもよい。例えば、マーキング画像６０を構成する「Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，１，２，３，４，５，６，７，８，９，０」の形状を、主画像膜６１０で形成し、主画像膜６１０で形成された「Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，１，２，３，４，５，６，７，８，９，０」の全体を囲む副画像膜６３０を形成してもよい。
【００７５】
（変形例６）前記実施形態においては、着弾液膜４１及び着弾液膜４３を構成するために用いる機能液４１ａ、及び機能液４３ａは、紫外線を照射されることによって硬化される紫外線硬化型の機能液であった。しかし、画像膜を形成するために用いる液状体が紫外線硬化型であることは必須ではない。液状体は、液滴吐出装置を用いて吐出して精度よく配置することが可能であり、硬化手段を適用することで迅速に硬化させることが可能であれば、熱硬化型の機能液など、他の硬化促進手段によって硬化させる液状体であってもよい。
【００７６】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、機能液を硬化させるための紫外線を照射する装置として、一次硬化ユニット９５及び硬化ユニット１０を備えていた。しかし、描画装置が硬化促進手段を複数種類備えることは必須ではない。一次硬化ユニット９５のような装置、又は硬化ユニット１０のような装置を、一種類備える構成であってもよい。
【００７７】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドキャリッジ２２を１個備えていた。しかし、液滴吐出装置が備えるヘッドキャリッジが１個であることは必須ではない。描画装置が備えるヘッドキャリッジは、何個であってもよい。
【００７８】
（変形例９）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
【００７９】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを２列備えていたが、液滴吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。また、液滴吐出ヘッド２０が備える吐出ノズル２４は、ノズル列２４Ａの延在方向において互いの位置がずれていたが、液滴吐出ヘッドは、ノズル列の延在方向において、略同一位置に位置する吐出ノズルを複数備える構成であってもよい。
【００８０】
（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、機能液４１ａを６個の液滴吐出ヘッド２０を用いて吐出し、機能液４３ａを３個の液滴吐出ヘッド２０を用いて吐出していた。しかし、１個の液滴吐出ヘッドが１種類の液状体を吐出することは必須ではない。液状体の種類は、液滴吐出装置が複数のヘッドユニットを備えて、ヘッドユニットごとに異ならせてもよいし、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、ノズル列ごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに液状体を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる液状体を吐出してもよい。
【００８１】
（変形例１２）前記実施形態においては、Ｘ軸移動機構３６によってワーク載置台３３をＸ軸方向に移動させることで半導体チップ１００などのワークＷをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸移動機構２６によって、液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）をＹ軸方向に移動させることで、ワークＷと液滴吐出ヘッド２０とを平面方向において相対移動させていた。被描画媒体と液滴吐出ヘッドとを相対移動させるために被描画媒体と液滴吐出ヘッドとの両方を移動させることは必須ではない。被描画媒体と液滴吐出ヘッドのいずれか一方を平面方向に移動させることで、被描画媒体と吐出ヘッドとを相対移動させる構成であってもよい。
【００８２】
（変形例１３）前記実施形態においては、マーキング画像６０は、半導体チップ１００のような半導体装置のベアチップに描画される製品型番などを示す文字列であった。しかし、描画に際して上述した描画方法が好適に機能する画像は、文字列などに限らない。ロゴマークのような図形や、絵画のような画像などであってもよい。
【００８３】
（変形例１４）前記実施形態においては、半導体チップ１００は、半導体装置のベアチップであった。しかし、上述した描画方法が好適に機能する描画の対象物は、半導体装置のベアチップに限らない。画像を形成することが必要であり、液滴吐出法を用いて描画することができる被描画媒体であれば、どのような被描画媒体であってもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、１０…硬化ユニット、１５…ＵＶランプ、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２２…ヘッドキャリッジ、２４…吐出ノズル、２６…Ｙ軸移動機構、２７…移動枠、３３…ワーク載置台、３６…Ｘ軸移動機構、４１，４３…着弾液膜、４１ａ，４３ａ…機能液、６０…マーキング画像、６０Ａ…部分画像、６１…主画像膜、６１Ａ…画像区画、６３…副画像膜、６３Ａ…画像区画、６４…副画像膜、６４Ａ…画像区画、９５…一次硬化ユニット、１００…半導体チップ、６０１Ａ，６０２Ａ，６０３Ａ，６０４Ａ…部分画像、６１０…主画像膜、６１８…主画像膜、６３２，６３４，６３６，６３８，…副画像膜、６３０，６４０…副画像膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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