(57)【要約】【課題】位相差フィルムを効率よく製造する。【解決手段】流延ダイ５６は、エンドレスバンド３９に向けてドープ１２を流出する。ドープ１２からなる流延膜２１がエンドレスバンド３９に形成される。第１乾燥ユニット６１は、流延膜２１の表面に第１乾燥風６９をあてる。流延膜２１の表面に、乾燥層が形成される。第２乾燥ユニット６２は上方ユニット７５と下方ユニット７６とを有する。上方ユニット７５は、流延膜２１に第２上方乾燥風８２をあてる。下方ユニット７６は、流延膜２１を支持するエンドレスバンド３９に下方乾燥風８８をあてる。こうして、第２乾燥ユニット６２は、流延膜２１の表面とエンドレスバンド３９の裏面３９ｂとの温度差が小さくなるようにして、流延膜２１から溶剤を蒸発させる。【選択図】図４
2012166549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に配された第１ローラ及び第２ローラに掛け渡され、前記第１ローラから前記第２ローラへ移動する支持体と、
前記第１ローラにより支持された前記支持体の表面にポリマーと溶剤とを含むドープが流延されることにより形成された流延膜の表面にプレ乾燥風をあて、前記溶剤の蒸発により生成し厚み方向における前記ポリマー分子の配向性が前記流延膜の内部よりも高い乾燥層を前記流延膜の表面側に形成するプレ乾燥手段と、
前記乾燥層を有する前記流延膜が自立して搬送可能な状態となるまで前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる本乾燥手段とを備え、
前記本乾燥手段は、
前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体に支持された前記流延膜の表面へ表面乾燥風をあてる膜表面乾燥手段と、
前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体に支持された前記流延膜の裏面を加熱する膜裏面加熱手段と、
前記流延膜の表面と裏面との温度差が小さくなるように、前記膜表面乾燥手段及び前記膜裏面加熱手段を制御する制御部とを有することを特徴とする流延膜の乾燥装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記プレ乾燥風の温度以下の前記表面乾燥風が前記流延膜の表面にあたるように、前記膜表面乾燥手段を制御することを特徴とする請求項１記載の流延膜の乾燥装置。
【請求項３】
前記膜裏面加熱手段は、前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体の裏面を加熱することにより前記流延膜の裏面を加熱することを特徴とする請求項１または２記載の流延膜の乾燥装置。
【請求項４】
前記膜裏面加熱手段は、前記ドープが流延される前記支持体の流延位置における表面の温度よりも高温になるまで、前記支持体の裏面を加熱することを特徴とする請求項３記載の流延膜の乾燥装置。
【請求項５】
前記本乾燥手段は、前記第１ローラから前記第２ローラに向かう前記支持体の移動路に沿って設けられることを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の流延膜の乾燥装置。
【請求項６】
互いに平行に配された第１ローラ及び第２ローラに掛け渡され前記第１ローラから前記第２ローラへ移動する支持体であって、前記第１ローラに支持された前記支持体の表面に向けて、ポリマー及び溶剤を含むドープを流出し、前記支持体の表面上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、
前記溶剤の蒸発により生成し厚み方向における前記ポリマー分子の配向性が前記流延膜の内部よりも高い乾燥層が前記流延膜の表面側に形成するまで前記流延膜の表面にプレ乾燥風をあてるプレ乾燥工程と、
前記プレ乾燥工程後に行われ、前記流延膜が自立して搬送可能な状態となるまで、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる本乾燥工程とを有し、
前記本乾燥工程では、
前記流延膜の表面へ表面乾燥風をあて、
前記流延膜の裏面を加熱し、
前記流延膜の表面と裏面との温度差が小さくなるように、前記表面乾燥風の温度及び前記流延膜の裏面の加熱による温度を調節することを特徴とする流延膜の乾燥方法。
【請求項７】
前記本乾燥工程では、前記プレ乾燥風の温度以下の前記表面乾燥風を前記流延膜の表面にあてることを特徴とする請求項６記載の流延膜の乾燥方法。
【請求項８】
前記支持体の加熱により前記流延膜の裏面の加熱を行うことを特徴とする請求項６または７記載の流延膜の乾燥方法。
【請求項９】
前記ドープが流延される前記支持体の流延位置における表面の温度よりも高温になるまで前記流延膜の裏面を加熱することを特徴とする請求項８記載の流延膜の乾燥方法。
【請求項１０】
含有溶剤量が１５０質量％以上２５０質量％以下の前記流延膜に対して前記本乾燥工程を行うことを特徴とする請求項６ないし９のうちいずれか１項記載の流延膜の乾燥方法。
【請求項１１】
前記第１ローラから前記第２ローラに向かう前記支持体上の前記流延膜に対して、前記本乾燥工程を行うことを特徴とする請求項６ないし１０のうちいずれか１記載の流延膜の乾燥方法。
【請求項１２】
請求項６ないし１１のうちのうちいずれか１記載の流延膜の乾燥方法の後に行われ、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、
前記湿潤フィルムから前記溶剤を蒸発させてフィルムとする湿潤フィルム乾燥工程とを有することを特徴とする溶液製膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流延膜の乾燥装置、流延膜の乾燥方法及び溶液製膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光透過性を有するポリマーフィルム（以下、フィルムと称する）は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置の構成部材である光学フィルム（例えば、位相差フィルムや偏光板保護フィルム等）に用いられている。
【０００３】
フィルムの主な製造方法として溶液製膜方法が知られている。溶液製膜方法では、膜形成工程と流延膜自立化工程と剥取工程と湿潤フィルム乾燥工程とを順次行う。膜形成工程では、流延ダイを用いて、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液（以下、ドープと称する）を流し、移動する支持体上に流延膜を形成する。流延膜自立化工程では、流延膜が自立して搬送可能になるまで所定の処理を行う。剥取工程では、流延膜自立化工程を経た流延膜を支持体から剥がして湿潤フィルムとする。湿潤フィルム乾燥工程では、湿潤フィルムの表面及び裏面の両側に乾燥風をあてて、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。
【０００４】
流延膜自立化工程では、流延膜の表面に乾燥風をあてて、流延膜から溶剤を蒸発させる工程（以下、膜乾燥工程と称する）と、流延膜の冷却により流延膜をゲル化させる工程（以下、冷却ゲル化工程と称する）とのいずれかが行われる（例えば、特許文献１）。膜乾燥工程を行う乾燥方式と冷却ゲル化工程を行う冷却ゲル化方式とを比べると、後者の方が製造効率の点で著しく優位にある。したがって、光学フィルムを効率よく製造するためには、後者のほうが適していると考えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２３８６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、後者の方式により得られるフィルムは、面内レターデーションＲｅや厚み方向のレターデーションＲｔｈが、前者の方式により得られるフィルムに比べて低い。そこで、前者の方式で得られたフィルムに対し、特許文献１に記載の延伸工程を行うことにより、面内レターデーションＲｅや厚み方向のレターデーションＲｔｈを増大させることが可能になる。しかしながら、特許文献１に記載の延伸方法を行う場合、フィルムのヘイズが悪化しやすくなるため、厚み方向のレターデーションＲｔｈの絶対値の増大量には限界がある。こうした経緯から、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｎｇｎｍｅｎｔ）型液晶表示装置向け位相差フィルム等、面内レターデーションＲｅや厚み方向のレターデーションＲｔｈが比較的高いフィルムをつくる場合には、前者、すなわち膜乾燥工程を行う溶液製膜方法が適している。
【０００７】
このように、膜乾燥工程を行う溶液製膜方法において、位相差フィルムの生産効率の向上を図るためには、流延膜や湿潤フィルムにおける溶剤の蒸発を効率よく行うことが必要となる。膜乾燥工程において乾燥効率の向上を図るため、乾燥風の温度を高くする、または、乾燥風の風速を増大させる方法が考えられる。しかしながら、このような乾燥方法の膜乾燥工程の後に、剥取工程及び湿潤フィルム乾燥工程を行うと、得られたフィルムの厚み方向のレターデーションＲｔｈは比較的小さいものとなってしまう。
【０００８】
一方、乾燥効率の向上が見込みにくい膜乾燥工程における乾燥負荷の一部を、乾燥効率の向上が見込める湿潤フィルム乾燥工程にまわすために、剥取工程の前倒しを行うという方法が考えられる。剥取工程の前倒しとは、剥ぎ取りのタイミングを早めることである。しかしこの方法の場合には、所望の面内レターデーションＲｅ，厚み方向のレターデーションＲｔｈが得られない、または、光学軸の向きが幅方向や長手方向においてばらつく等、最終的に得られる位相差フィルムの光学特性に悪影響が出る。前者は、含有する溶剤量が大きい流延膜を支持体から剥ぎ取ると、ポリマー分子の配向性が変わりやすいことに起因する。また、後者は、湿潤フィルム乾燥工程において乾燥に起因する収縮量が大きくなることに起因する。このため、剥取工程の前倒しにより、位相差フィルムを効率よく製造することができない。
【０００９】
本発明はこのような課題を解決するものであり、位相差フィルムを効率よく製造することができる流延膜の乾燥装置、流延膜の乾燥方法及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の流延膜の乾燥装置は、互いに平行に配された第１ローラ及び第２ローラに掛け渡され、前記第１ローラから前記第２ローラへ移動する支持体と、前記第１ローラにより支持された前記支持体の表面にポリマーと溶剤とを含むドープが流延されることにより形成された流延膜の表面にプレ乾燥風をあて、前記溶剤の蒸発により生成し厚み方向における前記ポリマー分子の配向性が前記流延膜の内部よりも高い乾燥層を前記流延膜の表面側に形成するプレ乾燥手段と、前記乾燥層を有する前記流延膜が自立して搬送可能な状態となるまで前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる本乾燥手段とを備え、前記本乾燥手段は、前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体に支持された前記流延膜の表面へ表面乾燥風をあてる膜表面乾燥手段と、前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体に支持された前記流延膜の裏面を加熱する膜裏面加熱手段と、前記流延膜の表面と裏面との温度差が小さくなるように、前記膜表面乾燥手段及び前記膜裏面加熱手段を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【００１１】
前記制御部は、前記プレ乾燥風の温度以下の前記表面乾燥風が前記流延膜の表面にあたるように、前記膜表面乾燥手段を制御することが好ましい。
【００１２】
前記膜裏面加熱手段は、前記第１ローラから離れ前記第２ローラへ向かう前記支持体の裏面を加熱することにより前記流延膜の裏面を加熱することが好ましく、前記膜裏面加熱手段は、前記ドープが流延される前記支持体の流延位置における表面の温度よりも高温になるまで、前記支持体の裏面を加熱することがより好ましい。前記本乾燥手段は、前記第１ローラから前記第２ローラに向かう前記支持体の移動路に沿って設けられることが好ましい。
【００１３】
本発明の流延膜の乾燥方法は、互いに平行に配された第１ローラ及び第２ローラに掛け渡され前記第１ローラから前記第２ローラへ移動する支持体であって、前記第１ローラに支持された前記支持体の表面に向けて、ポリマー及び溶剤を含むドープを流出し、前記支持体の表面上に前記ドープからなる流延膜を形成する膜形成工程と、前記溶剤の蒸発により生成し厚み方向における前記ポリマー分子の配向性が前記流延膜の内部よりも高い乾燥層が前記流延膜の表面側に形成するまで前記流延膜の表面にプレ乾燥風をあてるプレ乾燥工程と、前記プレ乾燥工程後に行われ、前記流延膜が自立して搬送可能な状態となるまで、前記流延膜から前記溶剤を蒸発させる本乾燥工程とを有し、前記本乾燥工程では、前記流延膜の表面へ表面乾燥風をあて、前記流延膜の裏面を加熱し、前記流延膜の表面と裏面との温度差が小さくなるように、前記表面乾燥風の温度及び前記流延膜の裏面の加熱による温度を調節することを特徴とする。
【００１４】
前記本乾燥工程では、前記プレ乾燥風の温度以下の前記表面乾燥風を前記流延膜の表面にあてることが好ましい。
【００１５】
前記支持体の加熱により前記流延膜の裏面の加熱を行うことが好ましく、前記ドープが流延される前記支持体の流延位置における表面の温度よりも高温になるまで前記流延膜の裏面を加熱することがより好ましい。
【００１６】
含有溶剤量が１５０質量％以上２５０質量％以下の前記流延膜に対して前記本乾燥工程を行うことが好ましい。前記第１ローラから前記第２ローラに向かう前記支持体上の前記流延膜に対して、前記本乾燥工程を行うことが好ましい。
【００１７】
本発明の溶液製膜方法は、上記の流延膜の乾燥方法の後に行われ、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、前記湿潤フィルムから前記溶剤を蒸発させてフィルムとする湿潤フィルム乾燥工程とを有することを特徴とする溶液製膜方法。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、流延膜から溶剤を蒸発する過程において、ポリマー分子の配向性が高い乾燥層を生成させる。更に、流延膜から溶剤を蒸発する過程において、この乾燥層が成長するように、流延膜の表面及び裏面の温度条件を調節する。本発明によれば、位相差フィルムを効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】溶液製膜方法の概要を示すフローチャートである。
【図２】溶液製膜設備の概要を示す説明図である。
【図３】流延装置の概要を示す説明図である。
【図４】第１乾燥ユニット及び第２乾燥ユニットの概要を示す側面図である。
【図５】第１乾燥ユニット及び第２乾燥ユニットの概要を示す斜視図である。
【図６】第１乾燥ユニットの断面図である。
【図７】形成直後の流延膜を模式的に示す断面図である。
【図８】乾燥層が表面側に生成した流延膜を模式的に示す断面図である。
【図９】表面側の乾燥層が成長したときの流延膜を模式的に示す断面図である。
【図１０】流延膜の厚み方向全域に乾燥層が成長したときの流延膜を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（溶液製膜方法）
図１に示すように、溶液製膜方法１０は、ドープ１２からフィルム１３をつくるものであり、膜形成工程１６と、プレ乾燥工程１７と、本乾燥工程１８と、剥取工程１９と、湿潤フィルム乾燥工程２０とが順次行われる。膜形成工程１６では、フィルム１３の原料となるポリマーが溶剤に溶解したドープ１２を支持体に流出し、ドープ１２からなる流延膜２１を支持体上に形成する。プレ乾燥工程１７では、溶剤の蒸発により生成する乾燥層を流延膜２１の表面側に形成する。本乾燥工程１８では、流延膜２１が自立して搬送可能な状態となるまで、流延膜２１から溶剤を蒸発させる。剥取工程１９では、自立して搬送可能な状態となった流延膜２１を支持体から剥ぎ取って、湿潤フィルム２２とする。湿潤フィルム乾燥工程２０では、湿潤フィルム２２から溶剤を蒸発させて、フィルム１３とする。
【００２１】
（溶液製膜設備）
図２に示すように、溶液製膜方法が行われる溶液製膜設備３０は、ドープ１２から湿潤フィルム２２をつくる流延装置３１と、湿潤フィルム乾燥工程２０（図１参照）が行われる乾燥装置３２と、フィルム１３を巻き芯に巻き取る巻取装置３３とを有する。
【００２２】
（流延装置）
図３に示すように、流延装置３１は、ケーシング３６と、ケーシング３６内に収容され、同一水平面にて互いに平行な水平ローラ３７、３８とを有する。なお、水平ローラ３７と水平ローラ３８とは、互いに平行に配されていれば良い。水平ローラ３７は、駆動軸３７ａと、駆動軸３７ａに固定されたローラ本体３７ｂとからなる。水平ローラ３８は、軸３８ａと、軸３８ａに固定されたローラ本体３８ｂとからなる。水平ローラ３７、３８には環状のエンドレスバンド３９が巻きかけられる。エンドレスバンド３９は、シート材の両端を連結することにより得られる。こうして、エンドレスバンド３９は、水平ローラ３７、３８により、裏面３９ｂ（図４参照）側から支持される。
【００２３】
駆動軸３７ａは、ローラ駆動用モータ４２と接続する。制御部４３は、ローラ駆動用モータ４２を制御して、水平ローラ３７を所定の速度で回転させる。水平ローラ３７の回転に伴い所定の方向へ循環移動し、水平ローラ３８は、エンドレスバンド３９の移動に従って回転する。以下、エンドレスバンド３９の移動方向をＸ方向と称し、エンドレスバンド３９の幅方向をＹ方向と称し、垂直方向をＺ方向と称する。
【００２４】
エンドレスバンド３９の表面３９ａの移動速度Ｖ３９ａは２００ｍ／分以下であることが好ましい。移動速度Ｖ３９ａが２００ｍ／分を超えると、ビードを安定して形成することが困難となる。移動速度Ｖ３９ａの下限値は、目標とするフィルムの生産性を考慮すればよい。移動速度Ｖ３９ａの下限値は例えば１０ｍ／分、すなわち移動速度Ｖ３９ａは例えば１０ｍ／分以上である。
【００２５】
エンドレスバンド３９は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。エンドレスバンド３９の幅は、例えば、ドープ１２の流延幅の１．１倍以上２．０倍以下であることが好ましい。エンドレスバンド３９の長さは、例えば、２０ｍ以上２００ｍ以下であることが好ましく、エンドレスバンド３９の厚みは、例えば、０．５ｍｍ以上〜２．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、エンドレスバンド３９は、厚みムラが全体の厚みに対して０．５％以下のものが好ましい。表面３９ａは、研磨されていることが好ましく、表面３９ａの表面粗さは０．０５μｍ以下であることが好ましい。
【００２６】
図４に示すように、水平ローラ３７には、ローラ本体３７ｂの温度を所定の範囲に調節する温度調節器４７が取り付けられる。同様に、水平ローラ３８には、ローラ本体３８ｂの温度を所定の範囲に調節する温度調節器４８が取り付けられる。温度調節器４７は、制御部４３の制御の下、所定の温度に調節された伝熱媒体を、ローラ本体３７ｂ内に設けられた流路へ流す。更に、温度調節器４７は、流路を流れた伝熱媒体を回収し、回収した伝熱媒体の温度を所定の温度に調節する。このように、温度調節器４７は、ローラ本体３７ｂを通して、所定の温度の伝熱媒体を循環させることにより、ローラ本体３７ｂの温度を所定のものに調節することができる。温度調節器４８も、温度調節器４７と同様の構造を有し、ローラ本体３８ｂを通して、所定の温度の伝熱媒体を循環させることにより、ローラ本体３８ｂの温度を所定の温度に調節することができる。
【００２７】
図３に示すように、ケーシング３６内には、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、第１〜第３シール部材５１〜５３が順次配される。第１〜第３シール部材５１〜５３により、ケーシング３６内は、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、流延室３６ａ、乾燥室３６ｂ、及び剥取室３６ｃに仕切られる。そして、流延室３６ａの気密性は、第１〜第２シール部材５１〜５２により維持される。また、乾燥室３６ｂの気密性は、第２〜第３シール部材５２〜５３により維持される。
【００２８】
第１シール部材５１は、ケーシング３６に取り付けられた遮風板５１ａと、遮風板５１ａに取り付けられたラビリンスシール５１ｂとからなる。遮風板５１ａは、ケーシング３６内の気体の流れを遮る遮風面を有する。遮風板５１ａは、ケーシング３６の内壁面から突出し、エンドレスバンド３９の表面３９ａに向かって延設される。ラビリンスシール５１ｂは、表面３９ａと近接するように、遮風板５１ａの先端に設けられる。第２シール部材５２、第３シール部材５３は、第１シール部材５１と同様の構造を有する。第１シール部材５１のラビリンスシール５１ｂや第２シール部材５２のラビリンスシールは、エンドレスバンド３９のうちローラ本体３７ｂに巻き掛けられた部分の表面３９ａと近接するように設けられることが好ましい。
【００２９】
（流延室）
流延室３６ａには、流延ダイ５６と減圧ユニット５７とが設けられる。流延ダイ５６は、ドープ１２を流出するドープ流出口５６ａを有する。ドープ流出口５６ａは、エンドレスバンド３９のうちローラ本体３７ｂに巻き掛けられた部分と正対する。また、流延ダイ５６には、温度調節機（図示しない）が取り付けられる。温度調節機は、流延ダイ５６の温度を所定の範囲となるように調節する。更に、流延ダイ５６には、ドープ１２を貯留するストックタンク５９が接続する。ストックタンク５９は、ドープ１２の温度を所定の範囲となるように調節する。
【００３０】
流延ダイ５６は、ドープ流出口５６ａからエンドレスバンド３９に向けてドープ１２を流出する。ドープ流出口５６ａから流出し表面３９ａに到達するまでのドープ１２は、ビードを形成する。表面３９ａに到達したドープ１２は、Ｘ方向にて流れ延ばされる結果、帯状の流延膜２１を形成する。図示しない温調装置により、流延ダイ５６の温度が所定の範囲内となるように調節されている。なお、エンドレスバンド３９のドープ１２が到達する位置を、流延位置と称し、図３において符号ＰＣを付す。
【００３１】
減圧ユニット５７は、ビードのＸ方向の上流側を減圧するためのものであり、流延ダイ５６のドープ流出口５６ａよりもＸ方向の上流側に配置される減圧チャンバ５７ａと、減圧チャンバ５７ａ内の気体を吸引するための減圧ファン５７ｂと、減圧ファン５７ｂ及び減圧チャンバ５７ａとを接続する吸引管５７ｃとを有する。減圧ユニット５７は、ビードのＸ方向上流側の圧力がビードのＸ方向下流側の圧力よりも低い状態をつくることができる。ビードのＸ方向上流側及びＸ方向下流側の圧力差ΔＰは、１０Ｐａ以上２０００Ｐａ以下であることが好ましい。
【００３２】
（乾燥室）
乾燥室３６ｂには、流延膜２１に所定の乾燥風を供給する第１乾燥ユニット６１〜第３乾燥ユニット６３が、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、順次設けられる。第１乾燥ユニット６１及び第２乾燥ユニット６２は、エンドレスバンド３９の移動路のうち水平ローラ３７から水平ローラ３８へ向かう部分に沿って配される。第３乾燥ユニット６３は、エンドレスバンド３９の移動路のうち水平ローラ３８から水平ローラ３７へ向かう部分に沿って配される。
【００３３】
（第１乾燥ユニット）
図４及び図５に示すように、第１乾燥ユニット６１は、エンドレスバンド３９の表面３９ａに近接するように配され、第１給気ダクト６６と、第１給気ノズル６７と、カバー６８とを有する。第１給気ダクト６６とカバー６８とは、Ｘ方向上流側から下流側に向けて順次設けられる。第１給気ノズル６７は第１給気ダクト６６に設けられる。
【００３４】
図４及び図５に示すように、第１給気ダクト６６は、第１乾燥風６９が流通するものであり、Ｘ方向においては第２シール部材５２に近接し、Ｚ方向においては流延膜２１から離隔して配される。第１給気ノズル６７は、第１給気ダクト６６の下面６６ａに突出して設けられ、先端には、第１乾燥風６９が送り出される第１給気口６７ａが形成されている。第１給気ノズル６７は、表面３９ａに近づくに従ってＸ方向上流側から下流側へ延びる。第１給気口６７ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延びたスリットである。
【００３５】
カバー６８は、第１給気口６７ａから送り出された第１乾燥風６９をＸ方向下流側へ案内するものであり、Ｚ方向においては流延膜２１から離れた状態で、流延膜２１を覆う。カバー６８は、板状に形成され、Ｘ方向においては第１給気ノズル６７から第２乾燥ユニット６２近傍まで、Ｙ方向においては流延膜２１の一の端から他の端まで延設される。カバー６８は、下方に、流延膜２１の表面と略平行となるガイド面６８ａを有する。カバー６８は、ガイド面６８ａが第１給気ノズル６７の先端とほぼ同じ高さとなるように配されることが好ましい。
【００３６】
図４及び図６に示すように、第１乾燥ユニット６１に１対のサイド遮風板７０を設けても良い。１対のサイド遮風板７０は、Ｙ方向に並べられ、各サイド遮風板７０は、第１給気ダクト６６の上流端の下方側端部からカバー６８のＸ方向下流側端部にかけて延びている。サイド遮風板７０は、ガイド面６８ａから表面３９ａに向けて延びている。サイド遮風板７０のＹ方向内側の面７０ａは、第１給気ノズル６７の内面６７ｂと面一であることが好ましい。第１給気口６７ａからカバー６８のＸ方向下流側端部にかけて、ガイド面６８ａと表面３９ａと１対のサイド遮風板７０とにより囲まれる部分には、図６に示すように、第１給気口６７ａから送り出された第１乾燥風６９の第１乾燥風路７１が形成される。Ｚ方向における第１乾燥風路７１の幅Ｗ７１ｚは、例えば、２０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下であることが好ましい。Ｙ方向における第１乾燥風路７１の幅Ｗ７１Ｙは、例えば、流延膜２１のＹ方向の幅の０．８倍以上１倍以下であればよい。Ｘ方向における第１乾燥風路７１の長さは、製造条件（エンドレスバンド３９の表面３９ａの移動速度Ｖ３９ａ等）に応じて決定すればよく、例えば、１０００ｍｍ以上５０００ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３７】
なお、カバー６８及びサイド遮風板７０の下流に、後述の第２上方排気ダクト７９と同様の排気ダクト（図示無し）を設けてもよい。
【００３８】
（第２乾燥ユニット）
図４及び図５に示すように、複数の第２乾燥ユニット６２は、連なってＸ方向に並べられる。第２乾燥ユニット６２は、エンドレスバンド３９の上方、すなわち表面３９ａ側に配される上方ユニット７５と、エンドレスバンド３９の下方、すなわち裏面３９ｂ側に配される下方ユニット７６とを有する。
【００３９】
上方ユニット７５は、第２上方給気ダクト７８と、第２上方排気ダクト７９と、第２上方給気ノズル８０と、第２上方排気ノズル８９と、検出器８１とを有する。第２上方給気ダクト７８は、第２上方乾燥風８２が流通するものであり、第２上方乾燥風８２を送り出す第２上方給気ノズル８０を備える。第２上方給気ノズル８０は、第２上方給気ダクト７８の下面から、表面３９ａに向かって延びている。流延膜２１に近接する第２上方給気ノズル８０の先端には、第２上方乾燥風８２が送り出される第２上方給気口８０ａが設けられる。第２上方給気口８０ａと流延膜２１との間隔は、例えば、５０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であることが好ましい。第２上方給気口８０ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延設される。
【００４０】
第２上方排気ダクト７９は、第２上方乾燥風８２を吸引する第２上方排気ノズル８９を有し、第２上方給気ダクト７８よりもＸ方向下流側に配される。第２上方排気ノズル８９は、第２上方排気ダクト７９の下面に突出して設けられ、先端には、第１乾燥風６９が入る第２上方排気口８９ａが形成されている。第２上方排気ノズル８９は、表面３９ａに近づくに従ってＸ方向下流側から上流側へ延びる。第２上方排気口８９ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延びたスリットである。第２上方排気ダクト７９は、吸引した第２上方乾燥風８２を排気する。
【００４１】
上方ユニット７５は、第２上方給気ダクト７８と、第２上方排気ダクト７９とを、それぞれひとつづつ備えるが、この態様に限られない。例えば、上方ユニット７５は、第２上方給気ダクト７８と第２上方排気ダクト７９とをＸ方向にて交互に配したものであってもよい。また、スリット状の第２上方排気口８９ａをもつ第２上方排気ノズル８９に代えて、例えば管状のノズル（図示無し）を用いてもよい。この場合には管状のノズルの先端に形成された第２上方排気口（図示無し）を、流延膜２１の側縁が通過する位置の上方に配することが好ましい。
【００４２】
検出器８１は、表面温度センサ（図示無し）と膜厚センサ（図示無し）とを備え、表面２１ａに正対する姿勢で、第２上方排気ダクト７９の下面に設けられる。表面温度センサは、流延膜２１の表面２１ａの温度を検知する。膜厚センサは、流延膜２１の厚みｄ０を測定（検出）する。図では、１つの検出器８１を示しているが、検出器８１をＸ方向に並べることが好ましい。
【００４３】
下方ユニット７６は、下方給気ダクト８３と、下方排気ダクト８４と、下方給気ノズル８５と、下方排気ノズル９３と、裏面温度センサ８６とを有する。下方給気ダクト８３は、下方乾燥風８８が流通するものであり、下方乾燥風８８を送り出す下方給気ノズル８５を備える。下方給気ノズル８５は、下方給気ダクト８３の上面から、裏面３９ｂに向かって延びている。裏面３９ｂに近接する下方給気ノズル８５の先端には、下方乾燥風８８が送り出される下方給気口８５ａが設けられる。下方給気口８５ａと裏面３９ｂとの間隔は、例えば、５０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であることが好ましい。下方給気口８５ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延設される。
【００４４】
なお、下方給気口８５ａは、エンドレスバンド３９を介して第２上方給気口８０ａと正対することが好ましい。
【００４５】
下方排気ダクト８４は、下方乾燥風８８を吸引する下方排気ノズル９３を有し、下方給気ノズル８５よりもＸ方向下流側に配される。下方排気ノズル９３の先端には、第２上方排気口８９ａと同様なスリット状の下方排気口９３ａが形成されている。下方排気ダクト８４は、吸引した下方乾燥風８８を排気する。
【００４６】
下方ユニット７６は、下方給気ダクト８３と、下方排気ダクト８４とを、それぞれひとつづつ備えるが、この態様に限られない。例えば、下方ユニット７６は、下方給気ダクト８３と下方排気ダクト８４とをＸ方向にて交互に配したものであってもよい。また、スリット状の下方排気口９３ａをもつ下方排気ノズル９３に代えて、例えば管状のノズル（図示無し）を用いてもよい。この場合には管状のノズルの先端に形成された下方排気口（図示無し）を、流延膜２１の側縁が通過する位置の下方に配することが好ましい。
【００４７】
裏面温度センサ８６は、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂの温度を検知するものであり、裏面３９ｂに正対する姿勢で、下方排気ダクト８４の上面に設けられる。図では、１つの裏面温度センサ８６を示しているが、裏面温度センサ８６をＸ方向に並べることが好ましい。
【００４８】
（第３乾燥ユニット）
図３に示すように、第３乾燥ユニット６３は、Ｘ方向上流側から下流側に向かって順次設けられる第３排気ダクト９１と第３給気ダクト９２とを有する。第３排気ダクト９１及び第３給気ダクト９２は、それぞれ流延膜２１よりも下方に離隔して配される。第３排気ダクト９１には、第３乾燥風９４を排気する第３排気口９１ａが設けられる。Ｘ方向下流側に向かって開口する第３排気口９１ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延設される。第３給気ダクト９２には、第３乾燥風９４が送り出される第３給気口９２ａが設けられる。Ｘ方向上流側に向かって開口する第３給気口９２ａは、Ｙ方向において流延膜２１の一の端から他の端まで延設される。
【００４９】
図４に示すように、第１乾燥ユニット６１には、第１乾燥風６９の温度や風量を調節する第１調節装置９６が接続する。第１調節装置９６は、第１乾燥風６９の温度を所定の範囲内に調節する温調機９６ａと、所定の風量で第１乾燥風６９を第１給気ダクト６７へ送る送風ファン９６ｂとを有する。
【００５０】
上方ユニット７５には、第２上方乾燥風８２の温度や風量を調節する第２上方調節装置９７が接続する。第２上方調節装置９７は、第２上方乾燥風８２の温度を所定の範囲内に調節する温調機９７ａと、所定の風量で第２上方乾燥風８２を第２上方給気ダクト７８へ送る送風ファン９７ｂとを有する。同様に、下方ユニット７６には、下方乾燥風８８の温度や風量を調節する下方調節装置９８が接続する。下方調節装置９８は、下方乾燥風８８の温度を所定の範囲内に調節する温調機９８ａと、所定の風量で下方乾燥風８８を下方給気ダクト８３へ送る送風ファン９８ｂとを有する。
【００５１】
図３に示すように、第３乾燥ユニット６３には、第３乾燥風９４の温度や風量を調節する第３調節装置９９が接続する。第３調節装置９９は、第３乾燥風９４の温度を所定の範囲内に調節する温調機９９ａと、所定の風量で第３乾燥風９４を第３給気ダクト９２へ送る送風ファン９９ｂとを有する。
【００５２】
図３及び図４に示すように、制御部４３は、検出器８１と裏面温度センサ８６と第１調節装置９６と第２上方調節装置９７と下方調節装置９８と第３調節装置９９と接続する。
【００５３】
（剥取室）
図３に示すように、剥取室３６ｃには、剥取ローラ８６が設けられる。剥取ローラ８６は、自立して搬送可能な状態となった流延膜２１をエンドレスバンド３９から剥ぎ取って湿潤フィルム２２とし、剥取室３６ｃに設けられた出口２３ｏから湿潤フィルム２２を送り出す。
【００５４】
ケーシング３６内の雰囲気に含まれる溶剤を凝縮する凝縮装置（図示無し）、凝縮した溶剤を回収する回収装置（図示無し）を、流延装置３１に設けてもよい。これにより、ケーシング３６内の雰囲気に含まれる溶剤の濃度を一定の範囲に保つことができる。
【００５５】
図２に戻って、湿潤フィルム乾燥装置３２は、流延装置３１から巻取装置３３に向かって順次並べられる、クリップテンタ１０５と乾燥室１０６とを有する。
【００５６】
クリップテンタ１０５は、ケーシング１０５ａ内に配されたレールとクリップ１０５ｂとを有する。ケーシング１０５ａには、湿潤フィルム２２の搬送路が設けられる。レールは、湿潤フィルム２２の搬送路の両側に設けられる。レールに沿って並ぶ複数のクリップ１０５ｂは、湿潤フィルム２２の幅方向両側縁部を把持する把持状態と幅方向両側縁部の把持を解除する解除状態との間で遷移自在である。各クリップ１０５ｂは、レールに沿って移動自在に取り付けられる。この複数のクリップ１０５ｂは、図示しないチェーンにより環状に連結される。クリップ１０５ｂがレール上の把持開始位置を通過すると、クリップ１０５ｂが解除状態から把持状態へ変わる。こうして、クリップ１０５ｂは、湿潤フィルム２２の幅方向両側縁部を把持する。また、クリップ１０５ｂがレール上の把持解除位置を通過すると、クリップ１０５ｂが把持状態から解除状態へ変わる。こうして、クリップ１０５ｂは、湿潤フィルム２２の幅方向両側縁部の把持を解除する。
【００５７】
把持開始位置から把持解除位置に向かうに従い、レールの間隔は漸増する。把持開始位置における湿潤フィルム２２の幅をＷ０とし、把持開始位置から把持解除位置までの間において湿潤フィルム２２の最大幅をＷ１とするときに、Ｗ１／Ｗ０は、１．０５以上１．５以下であることが好ましい。把持開始位置から把持解除位置までの間には、湿潤フィルム２２に乾燥風をあてる乾燥風供給機１０５ｃが設けられる。乾燥風供給機１０５ｃは、湿潤フィルム２２の搬送路の上方及び下方に設けられる。
【００５８】
乾燥室１０６は、ケーシング１０６ａ内において千鳥状に並べられたローラ１０６ｂと、ケーシング１０６ａ内の雰囲気の温度や湿度を調節する空調機１０６ｃとを有する。ローラ１０６ｂは、ケーシング１０６ａ内に、湿潤フィルム２２の搬送路を形成する。
【００５９】
流延装置３１とクリップテンタ１０５との間の渡り部には、湿潤フィルム２２を支持する支持ローラ１０８が複数並べられている。支持ローラ１０８は、図示しないモータにより、軸を中心に回転する。支持ローラ１０８は、流延装置３１から送り出された湿潤フィルム２２を支持して、ケーシング１０５ａ内の湿潤フィルム２２の搬送路へ案内する。なお、図２では、渡り部に２つの支持ローラ１０８を並べた場合を示しているが、本発明はこれに限られず、渡り部に１つ、または３つ以上の支持ローラ１０８を並べてもよい。また、支持ローラ１０８は、フリーローラでもよい。なお、流延装置３１から案内されてきた湿潤フィルム２２の両側縁部分には、反りが発生しやすく、この両側縁部分の反りの程度によってはクリップ１０５ｂで把持できない場合がある。そこで、耳切装置（図示しない）をクリップテンタ１０５の上流に配し、クリップ１０５ｂによる把持の前に湿潤フィルム２２の両側縁部分を切り離してもよい。
【００６０】
クリップテンタ１０５と乾燥室１０６との間には耳切装置１１０が設けられている。耳切装置１１０に送り出された湿潤フィルム２２の幅方向の両端部分は、クリップ１０５ｂによって形成された把持跡が形成されている。耳切装置１１０は、この把持跡を有する両端部分を切り離す。この切り離された部分は、送風によりカットブロワ（図示しない）及びクラッシャ（図示しない）へ順次に送られて、細かく切断され、ドープ等の原料として再利用される。
【００６１】
乾燥室１０６及び巻取装置３３の間には、上流側から順に、冷却室１１２、除電バー（図示しない）、ナーリング付与ローラ１１３、及び耳切装置（図示しない）が設けられる。冷却室１１２は、フィルム１３の温度が略室温となるまで、フィルム１３を冷却する。除電バーは、冷却室１１２から送り出され、帯電したフィルム１３から電気を除く除電処理を行う。ナーリング付与ローラ１１３は、フィルム１３の幅方向両端に巻き取り用のナーリングを付与する。耳切装置は、切断後のフィルム１３の幅方向両端にナーリングが残るように、フィルム１３の幅方向両端を切断する。
【００６２】
巻取装置３３は、プレスローラ３３ａと巻き芯３３ｂを有する。巻取装置３３に送られたフィルム１３は、プレスローラ３３ａによって押し付けられながら巻き芯３３ｂに巻き取られ、ロール状となる。
【００６３】
次に、本発明の作用を説明する。図３に示すように、第１〜第３シール部材５１〜５３により、ケーシング３６内には、気密性を有する各室３６ａ〜３６ｂが形成される。エンドレスバンド３９は、各室３６ａ〜３６ｃを順次通過する。
【００６４】
（膜形成工程）
流延室３６ａでは、エンドレスバンド３９上にドープ１２からなる流延膜２１を形成する膜形成工程１６（図１参照）が行われる。流延ダイ５６は、温度が一定の範囲内に維持されたドープ１２をドープ流出口５６ａから連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ５６からエンドレスバンド３９にかけてビードを形成し、エンドレスバンド３９上にて流れ延ばされる。こうして、エンドレスバンド３９上には、ドープ１２からなる流延膜２１（図７参照）が形成される。
【００６５】
流延ダイ５６から流出するドープ１２における溶剤の含有量は、３００質量％以上４５０質量％以下であることが好ましい。流延ダイ５６から流出するドープ１２における溶剤の含有量が、３００質量％未満であると、ドープ１２の粘度が高くなり、安定した流延が行えなくなるためである。流延ダイ５６から流出するドープ１２における溶剤の含有量が、４５０質量％を超えると、乾燥室３６ｂにおける乾燥負荷が大きくなる結果、生産効率が下がるため好ましくない。
【００６６】
流延ダイ５６から流出するドープ１２の温度は、２０℃以上であって、溶剤の沸点以下であることが好ましい。流延ダイ５６から流出するドープ１２の温度が２０℃未満である場合には、ドープ１２の粘度が高くなり、安定した流延が行えなくなるためである。また、流延ダイ５６から流出するドープ１２の温度が、溶剤の沸点を超える場合には、ドープ１２の発泡が起こるため好ましくない。
【００６７】
（膜乾燥工程）
乾燥室３６ｂでは、所定の乾燥風を流延膜２１にあてて、流延膜２１から溶剤を蒸発させる膜乾燥工程が行われる。膜乾燥工程では、プレ乾燥工程１７（図１参照）、本乾燥工程１８（図１参照）が順次行われる。プレ乾燥工程１７及び本乾燥工程１８の詳細は後述する。
【００６８】
（剥取工程）
剥取室３６ｃでは、剥ぎ取り可能な状態となった流延膜２１をエンドレスバンド３９から剥ぎ取る剥取工程１９（図１参照）が行われる。剥取ローラ９０は、剥ぎ取り可能な状態となった流延膜２１をエンドレスバンド３９から剥ぎ取って湿潤フィルム２２とし、剥取室３６ｃに設けられた出口２３ｏから湿潤フィルム２２を送り出す。幅方向や長手方向における光学軸の向きのばらつきを抑えるため、剥取工程は、溶剤の含有量が４２質量％以下の流延膜２１に対して行うことが好ましい。生産効率の観点から、剥取工程は、溶剤の含有量が３０質量％以上の流延膜２１に対して行うことが好ましい。
【００６９】
ここで、溶剤の含有量は、流延膜や各フィルム中に含まれる溶剤の量を乾量基準で示したものであり、対象のフィルムからサンプルを採取し、このサンプルの重量をｘ、サンプルを乾燥した後の重量をｙとするとき、｛（ｘ−ｙ）／ｙ｝×１００と表される。
【００７０】
流延膜２１が剥ぎ取られた後のエンドレスバンド３９は、流延室３６ａへ戻る。ここで、膜乾燥工程により高温となったエンドレスバンド３９に対し、そのままドープ１２を流出すると、ドープ１２の発泡が起こってしまう。このため、水平ローラ３７との接触によりエンドレスバンド３９が冷却されるように、水平ローラ３７の温度が調節されている。水平ローラ３７の温度は、溶剤の沸点以下であることが好ましい。この水平ローラ３７により、膜形成工程１６でのドープ１２の発泡を防ぐことができる。水平ローラ３７の温度は、例えば、５℃以上４０℃以下であることが好ましく、１０℃以上４０℃以下であることがより好ましい。この水平ローラ３７の温度が低いほど、ドープ１２が流延される流延位置ＰＣにおけるエンドレスバンド３９の温度は低くなる。ドープ１２の温度は、円滑な流延を図るために高めに設定し、エンドレスバンド３９の流延位置ＰＣにおける表面３９ａの温度は、流延膜２１の発泡防止を図るために低めに設定することが多い。このため、水平ローラ３７の温度は低めに設定され、エンドレスバンド３９よりも高い温度のドープ１２が流延されることになる。このようにしてエンドレスバンド３９よりも高い温度のドープ１２が流延される場合には、本発明は特に顕著な効果が得られる。
【００７１】
（湿潤フィルム乾燥工程）
クリップテンタ１０５や乾燥室１０６では、湿潤フィルム２２から溶剤を蒸発させる湿潤フィルム乾燥工程が行われる。
【００７２】
クリップテンタ１０５に導入された湿潤フィルム２２は、クリップ１０５ｂにより幅方向両端部を把持された状態で、搬送される。乾燥風供給機１０５ｃは、把持開始位置から把持解除位置までの間において、湿潤フィルム２２の表面及び裏面のそれぞれに対し、所定の乾燥風をあてる。こうして、湿潤フィルム２２から溶剤を蒸発させることができる。また、レールの間隔が把持開始位置から把持解除位置に向かうに従い漸増するため、クリップ１０５ｂによる搬送により、湿潤フィルム２２に対し延伸処理を行うことができる。延伸処理により、面内レターデーションＲｅや厚み方向レターデーションＲｔｈの調節が可能となる。
【００７３】
乾燥室１０６に導入された湿潤フィルム２２は、複数のローラ１０６ｂに巻き掛けられながら搬送される。ケーシング１０６ａ内の雰囲気の温度や湿度の調節により、ケーシング１０６ａ内を搬送される湿潤フィルム２２から溶剤が蒸発する。こうして、湿潤フィルム２２は、フィルム１３となる。
【００７４】
次に、プレ乾燥工程１７及び本乾燥工程１８について説明する。
【００７５】
（プレ乾燥工程）
プレ乾燥工程１７では、流延膜２１（図７参照）の表面２１ａ側に乾燥した皮膜のような乾燥層２１ｘ（図８参照）が形成するまで、流延膜２１から溶剤を蒸発させる。図４に示すように、プレ乾燥工程１７では、第１乾燥ユニット６１は、第１乾燥風６９を第１吸気口６７ａから送り出す。第１吸気口６７ａから送り出された第１乾燥風６９の方向とＺ１方向とがなす各の角度θ１は、３０°以上６０°以下であることが好ましく、４５°であることがより好ましい。カバー６８により、第１吸気口６７ａから送り出された第１乾燥風６９は、Ｘ方向上流側から下流側へ案内される。
【００７６】
流延膜２１に近接するカバー６８により、流延膜２１の表面２１ａ近傍では、第１乾燥風６９の渦状流れが生じやすくなる。渦状流れが生成した箇所では、第１乾燥風６９の熱エネルギーが流延膜２１に伝わりやすいため、第１乾燥風６９の渦状流れにより、流延膜２１の表面２１ａでは、溶剤の蒸発が促進される。この第１乾燥工程により、流延膜２１は、乾燥層２１ｘと湿潤層２１ｙとを有するものとなる（図８参照）。乾燥層２１ｘは、流延膜２１の表面側に生成され、乾燥層２１ｘよりもエンドレスバンド３９側に位置する湿潤層２１ｙに比べて乾燥が進んだ部分である。したがって、乾燥層２１ｘの溶剤の含有量は湿潤層２１ｙに比べて低い。
【００７７】
また、乾燥層２１ｘの表面は平滑に形成される。乾燥層２１ｘを有するものとなった流延膜２１について所定の乾燥工程を行った場合には、乾燥層２１ｘの表面が、得られた流延膜２１の表面となる。したがって、形成直後の流延膜２１において乾燥層２１ｘを形成することにより、表面が平滑な流延膜２１を得ることができる。更に、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子は厚み方向において配向しており、その配向性は、湿潤層２１ｙに含まれるポリマー分子に比べ高い。
【００７８】
乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子が厚み方向において配向する条件は、以下の（１）〜（２）である。したがって、以下の（１）〜（２）を満たすことが好ましい。
（１）溶剤の蒸発に起因する流延膜２１の膜厚の減少により、流延膜２１内のポリマー分子が厚み方向において圧縮される。
（２）乾燥層２１ｘにおいて、分子配向速度が分子配向緩和速度よりも速い。
ここで、分子配向速度は、圧縮歪みと圧縮応力とでより決まる。そして、分子配向速度は、圧縮歪みが大きくなるに従い大きくなる。分子配向速度は、圧縮応力が大きくなるに従い大きくなる。また、分子配向緩和速度は、分子の熱運動エネルギーにより決まるものであり、乾燥層２１ｘが高温になるに従い大きくなる。
【００７９】
プレ乾燥工程１７は、溶剤の含有量が２５０質量％以上４００質量％以下の流延膜２１に対して行うことが好ましく、溶剤の含有量が３００質量％以上３５０質量％以下の流延膜２１に対して行うことがより好ましい。第１乾燥風６９の温度は、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向が緩和しない程度のものであればよく、例えば、３０℃以上８０℃以下の範囲であることが好ましい。また、第１乾燥風６９の風速は５ｍ／秒以上２５ｍ／秒以下の範囲であることが好ましい。
【００８０】
（本乾燥工程）
本乾燥工程１８（図１参照）では、図４に示すように、流延膜２１が自立して搬送可能な状態となるまで、流延膜２１から溶剤を蒸発させる。本乾燥工程１８では、配向性増大工程１８ａ（図１参照）と自立化工程１８ｂ（図１参照）とが行われる。
【００８１】
（配向性増大工程）
配向性増大工程１８ａでは、図４に示すように、エンドレスバンド３９を介して正対する上方ユニット７５及び下方ユニット７６を組にして行う。
【００８２】
配向性増大工程１８ａでは、第２上方乾燥風８２を用いて流延膜２１から溶剤を蒸発させる。第２上方給気ノズル８０は、第２上方乾燥風８２を流延膜２１にあてる。第２上方乾燥風８２が流延膜２１の表面２１ａにあたると、第２上方乾燥風８２の熱エネルギーが流延膜２１の表面２１ａに伝わる。この結果、流延膜２１のうち、乾燥層２１ｘや乾燥層２１ｘの近傍にある溶剤が表面２１ａ側へ拡散し、拡散した溶剤が流延膜２１の表面から蒸発する。なお、第２上方乾燥風８２は、流延膜２１の表面２１ａに対して垂直にあててもよい。
【００８３】
また、配向性増大工程１８ａでは、加熱された温風である下方乾燥風８８を用いて、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂを加熱する。下方給気ノズル８５は、下方乾燥風８８を裏面３９ｂに対しあてる。下方乾燥風８８が裏面３９ｂにあたると、下方乾燥風８８の熱エネルギーがエンドレスバンド３９を介して、流延膜２１の裏面２１ｂに伝わりやすい。この結果、湿潤層２１ｙに含まれる溶剤が表面２１ａ側へ拡散し、拡散した溶剤が流延膜２１の表面から蒸発する。なお、下方乾燥風８８は、裏面３９ｂに対して垂直にあててもよい。
【００８４】
更に、配向性増大工程１８ａでは、制御部４３は、第２上方排気ダクト７９に設けられた検出器８１の表面温度センサから、第２上方排気ダクト７９に正対する流延膜２１の表面２１ａの温度Ｔ２１ａを読み取る。また、検出器８１の膜厚センサから、流延膜２１の厚みｄ０を読み取る。制御部４３は、下方排気ダクト８４に設けられた裏面温度センサ８６から、下方排気ダクト８４に正対するエンドレスバンド３９の裏面３９ｂの温度Ｔ３９ｂを読み取る。
【００８５】
加えて、制御部４３は、流延膜２１の厚みｄ０から、流延膜２１における溶剤の含有量ＺＹを算出する。溶剤の含有量ＺＹは、フィルム１３の厚みをｄとしたときに、次式のように表される。
ＺＹ＝１００×（ｄ０−ｄ）／ｄ
【００８６】
なお、エンドレスバンド３９はステンレス等の金属から構成される場合には熱伝導率が極めて高い。このため、エンドレスバンド３９の表面３９ａは裏面３９ｂと同じ温度とみなしてよい。また、エンドレスバンド３９の表面３９ａと流延膜２１の裏面２１ｂとは接しているので、流延膜２１の裏面２１ｂはエンドレスバンド３９の表面３９ａと同じ温度とみなしてよい。ここで、膜形成工程１６では、エンドレスバンド３９の表面３９ａに向けて流出する。前述のように、エンドレスバンド３９の表面３９ａの温度の方が、ドープ１２の温度よりも低い場合が多い。このような場合には、エンドレスバンド３９の表面３９ａよりも高温のドープ２１から、流延膜２１を形成する。したがって、このように膜形成工程１６において形成した流延膜２１は、表面２１ａに近づくに従い高温となり、裏面２１ｂに近づくに従い低くなる。また、プレ乾燥工程１７では、表面２１ａに第１乾燥風６９があたるため、厚み方向における温度分布の傾向は、膜形成工程１６のときと同様である。このため、本乾燥工程１８における流延膜２１の乾燥効率を向上させるために、第２上方乾燥風８２や下方乾燥風８８の温度を上げると、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向が緩和してしまう。
【００８７】
そこで、制御部４３は、配向性増大工程１８ａにて、流延膜２１の表面２１ａとエンドレスバンド３９の裏面３９ｂとの温度差が小さくなるように温調機９７ａ及び温調機９８ａを制御する。これにより、流延膜２１の表面の温度から流延膜２１の裏面の温度を減じた温度差が小さくなる。この結果、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向状態を維持したまま、流延膜２１の乾燥を効率よく行うことができる。このようにして、湿潤層２１ｙに比べてポリマー分子の配向性が高い乾燥層２１ｘを厚くすることができる（図９参照）。なお、流延膜２１の表面２１ａとエンドレスバンド３０の裏面３９ｂとの温度差とは、流延膜２１の表面２１ａの温度Ｔ２１ａからエンドレスバンド３９の裏面３９ｂの温度Ｔ３９ｂを減じたものであり、（Ｔ２１ａ−Ｔ３９ｂ）で求める値である。
【００８８】
（Ｔ２１ａ−Ｔ３９ｂ）は、０℃以上７℃以下であることが好ましく、０℃以上５℃以下であることがより好ましい。
【００８９】
（Ｔ２１ａ−Ｔ３９ｂ）の値が小さくなるように温調機９７ａ及び温調機９８ａを制御することにより、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向状態を維持したまま、流延膜２１を乾燥させることができる理由は次のように推測される。乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向状態を維持するための条件としては、「Ｔ２１ａがポリマー分子の配向緩和温度Ｔｘを超えないこと」が必要となる。ポリマー分子の配向緩和温度Ｔｘは、流延膜２１全体の溶剤の含有量が低くなるに従って、高くなるものと考えられる。また、ポリマー分子の配向緩和温度Ｔｘとして、ポリマーのガラス転移温度Ｔｇを用いても良い。なお、ポリマーのガラス転移温度Ｔｇは、試料を封入するセルが密閉されているクローズドセル方式の示差走査熱量測定（ＤＳＣ）にて測定することができる。
【００９０】
また、任意の温度Ｔｙの第１乾燥風６９との接触により生成した乾燥層２１ｘにおいて、少なくとも温度Ｔｙでは配向しにくいと考えられる。なぜならば、乾燥層２１ｘが生成した後も、溶剤は流延膜２１から蒸発していることから、ポリマー分子の配向緩和温度Ｔｘが上昇する、すなわち乾燥層２１ｘに含まれたポリマー分子の配向が安定化するためである。このため、流延膜２１の表面に比べ流延膜２１の裏面を優先的に加熱することにより、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向状態を維持したまま、流延膜２１の乾燥を効率よく行うことができる。
【００９１】
配向性増大工程１８ａは、溶剤の含有量が１５０質量％以上２５０質量％以下の流延膜に対して行うことが好ましい。また、配向性増大工程１８ａでは、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂが、膜形成工程１６におけるエンドレスバンド３９の表面３９ａの温度、すなわち、流延ダイ５６から流出したドープ１２が到達した部分である流延位置の表面３９ａの温度よりも高温になるまで、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂを加熱することが好ましい。なお、配向性増大工程１８ａ、特に序盤では、第２上方乾燥風８２を、第１乾燥風６９の温度と等しい温度または第１乾燥風６９の温度よりも低い温度にすることが好ましい。
【００９２】
第２上方乾燥風８２の温度は、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向が緩和しない程度の温度であればよく例えば、溶剤の含有量が１５０質量％以上２５０質量％以下の流延膜に対して、２５℃以上５０℃以下であることが好ましい。また、第２上方乾燥風８２の風速は５ｍ／秒以上２５ｍ／秒以下であることが好ましい。
【００９３】
下方乾燥風８８の温度は、乾燥層２１ｘに含まれるポリマー分子の配向が緩和しない程度の温度であればよい。また、下方乾燥風８８の温度は、第２上方乾燥風８２の温度よりも高いことが好ましい。下方乾燥風８８の温度は、例えば、溶剤の含有量が１５０質量％以上２５０質量％以下の流延膜に対して、５０℃以上１００℃以下であることが好ましい。また、下方乾燥風８８の風速は５ｍ／秒以上２５ｍ／秒以下であることが好ましい。
【００９４】
なお、本実施形態では、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂを、下方ユニット７５により加熱しているが、この態様に限られない。例えば、下方ユニット７５に代えて、赤外線を射出する赤外線ヒータや、加熱された温水をエンドレスバンド３９の裏面３９ｂに供給して裏面３９ｂを加熱する温水供給式ヒータを用いてもよい。
【００９５】
（自立化工程）
自立化工程１８ｂは、第３乾燥風９４を用いて、自立して搬送可能な状態となるまで流延膜２１から溶剤を蒸発させる（図２参照）。第３乾燥ユニット６３は、流延膜２１の表面に沿って、Ｘ方向下流側から上流側に向かって第３乾燥風９４を流す。このように、第３乾燥風９４をＸ方向と逆向きに流すことにより、Ｘ方向に流す場合に比べて溶剤の蒸発が促進される。このようにして、ポリマー分子の配向性が高い乾燥層２１ｘが成長する結果、流延膜２１全体が乾燥層２１ｘとなり、ポリマー分子の配向性が高い流延膜２１を得ることができる（図１０参照）。第３乾燥風９４の温度は４０℃以上８０℃以下の範囲であることが好ましい。また、第３乾燥風９４の風速は５ｍ／秒以上２５ｍ／秒以下の範囲であることが好ましい。
【００９６】
上記実施形態では、配向性増大工程１８ａにて、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂに下方乾燥風８８をあてている。しかし、流延膜２１の裏面２１ｂの加熱方法としては、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂに温水や蒸気を接触させる方法や、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂに赤外線を照射する方法であってもよい。
【００９７】
上記実施形態では、水平ローラ３７から水平ローラ３８に向かうエンドレスバンド３９に支持された流延膜２１に対し、配向性増大工程１８ａを行っている。しかし、配向性増大工程１８ａは、水平ローラ３８に巻き掛けられた状態のエンドレスバンド３９に支持された流延膜２１や、水平ローラ３８から水平ローラ３７に向かうエンドレスバンド３９に支持された流延膜２１に対して行っても良い。前者の場合には、水平ローラ３８に巻き掛けられた状態のエンドレスバンド３９に支持された流延膜２１に乾燥風をあてる乾燥装置を設け、乾燥風の温度及び水平ローラ３８の温度を調節すればよい。水平ローラ３８の温度は、例えば、２５℃以上５０℃以下であることが好ましい。後者の場合には、水平ローラ３８から水平ローラ３７に向かうエンドレスバンド３９の裏面３９ｂ側に、エンドレスバンド３９を加熱する加熱手段を設け、この加熱温度及び第３乾燥風９４の温度を調節すればよい。
【００９８】
本実施形態では流延ダイ５６の設置位置を水平ローラ３７の上方としているが、本発明はこれに限られない。例えば、エンドレスバンド３９に巻きかけられた２つのローラの間にサポートローラを設け、第１，第２シール部材５１，５２をサポートローラに支持されたエンドレスバンド３９の部分と近接するように設ける場合がある。このような場合には、流延ダイ５６の設置位置をサポートローラの上方としても良い。この場合には、サポートローラが上記実施形態における水平ローラ３７であり、２つのローラのうちいずれか一方が上記実施形態における水平ローラ３８となる。
【００９９】
本発明により得られるフィルム１３は、特に、位相差フィルムや偏光板保護フィルムに用いることができる。
【０１００】
フィルム１３の幅は、６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下の範囲であることがより好ましい。また、本発明は、フィルム１３の幅が２５００ｍｍより大きい場合にも効果がある。またフィルム１３の膜厚は、３０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましい。
【０１０１】
また、フィルム１３の面内レターデーションＲｅは、４５ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることが好ましく、フィルム１３の厚み方向レターデーションＲｔｈは、１１５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であることが好ましい。フィルム１３の配向角のばらつきΔφは、０°以上１．３°以下の範囲であることが望ましい。
【０１０２】
（ポリマー）
上記実施形態では、ポリマーフィルムの原料となるポリマーは、特に限定されず、例えば、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等がある。
【０１０３】
（セルロースアシレート）
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）の９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ）      ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ）    １．０≦  Ａ  ≦３．０
（ＩＩＩ）  ０    ≦  Ｂ  ≦２．０
【０１０４】
アシル基の全置換度Ａ＋Ｂは、２．２０以上２．９０以下であることがより好ましく、２．４０以上２．８８以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度Ｂは、０．３０以上であることがより好ましく、０．５以上であることが特に好ましい。
【０１０５】
セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター，パルプのどちらから得られたものでも良い。
【０１０６】
本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、ｉｓｏ−ブタノイル、ｔ−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、ｔ−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。
【０１０７】
（溶剤）
ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶剤に溶解または分散して得られるポリマー溶液，分散液を意味している。
【０１０８】
これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ポリマーの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し２重量％〜２５重量％が好ましく、５重量％〜２０重量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【０１０９】
ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素原子数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。
【０１１０】
なお、セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４０］段落から［０１９５］段落に記載されている。これらの記載も本発明にも適用できる。また、溶剤及び可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤（ＵＶ剤），光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤，剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されている。
【０１１１】
上記実施形態では、本発明を用いて流延膜を形成したが、本発明はこれに限られず、支持体に塗布液を塗布し、支持体上に塗布膜を形成する場合にも適用可能である。すなわち、本発明によれば、表面が平滑な塗布膜を効率よく形成することが可能となる。
【実施例】
【０１１２】
次に、本発明の効果の有無を確認するために、実験１〜６を行った。詳細な説明は実験１で行い、実験２〜６については、実験１と同じ条件の箇所の説明は省略し、異なる部分のみを説明する。
【０１１３】
（実験１）
セルローストリアセテート（置換度２．８）を混合溶剤に溶解して、セルローストリアセテートの濃度が２２質量％のドープ１２を調製した。混合溶剤の成分及び処方は、ジクロロメタン９０質量％、メタノール１０質量％である。
【０１１４】
図２に示す溶液製膜設備３０にてドープ１２からフィルム１３を製造した。ドープ１２の温度を３４℃で略一定となるように調整するために、流延ダイ５６にジャケット（図示しない）を設けてジャケット内に供給する伝熱媒体の温度を調節した。水平ローラ３７の駆動により、水平ローラ３７、３８を掛け渡されたエンドレスバンド３９を循環移動させた。表面３９ａの移動速度Ｖ３９ａは４０ｍ／分以下であった。
【０１１５】
温度調節器４７により、水平ローラ３７の温度を１８℃に調節した。温度調節器４８により、水平ローラ３８の温度を３９℃に調節した。流延ダイ５６は、表面の温度が２４℃のエンドレスバンド３９に向けて、温度が３４℃のドープ１２を流出した。エンドレスバンド３９の表面３９ａには、ドープ１２からなる流延膜２１が形成した。
【０１１６】
第１乾燥ユニット６１は、流延膜２１の表面２１ａに向けて、吹き出し風速１０ｍ／秒の第１乾燥風６９を送り出した。第１乾燥風６９の温度は５０℃であった。
【０１１７】
Ｘ方向に並べられた３つの第２乾燥ユニット６２を用いて、本乾燥工程１８を行った。上方ユニット７５は、流延膜２１の表面２１ａに向けて、温度Ｔａ８２の第２上方乾燥風８２を吹き出し風速Ｖ８２で送り出した。下方ユニット７６は、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂに向けて、温度Ｔａ８８の下方乾燥風８８を吹き出し風速Ｖ８８で送り出した。
【０１１８】
制御部４３は、各第２乾燥ユニット６２の上流端において、流延膜２１の表面の温度Ｔｆ１１〜１３、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂの温度Ｔｂ１１〜１３、流延膜２１の厚みを測定した。また、制御部４３は、流延膜２１の厚みの測定値から、流延膜２１における溶剤の含有量ＺＹ１１〜１３を測定した。
【０１１９】
同様にして、制御部４３は、Ｘ方向最下流の第２乾燥ユニット６２の下流端において、流延膜２１の表面の温度Ｔｆ１４、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂの温度Ｔｂ１４、流延膜２１の厚みを測定した。また、制御部４３は、流延膜２１の厚みの測定値から、流延膜２１における溶剤の含有量ＺＹ１４を測定した。
【０１２０】
本乾燥工程１８における各条件を表１に示す。
【０１２１】
【表１】
2012166549.tif 000003
【０１２２】
第３乾燥ユニット６３は、温度７０℃の第３乾燥風９４を、３００ｍ３／分の風量で流した。
【０１２３】
剥取ローラ９０は、エンドレスバンド３９から流延膜２１を剥ぎ取って、湿潤フィルム２２とした。エンドレスバンド３９から剥ぎ取られる際、流延膜２１における溶剤の含有量ＺＹｈは、表２に示すとおりである。溶剤の含有量ＺＹｈは、流延膜２１の厚みｄ０とフィルム１３の厚みｄとを用いて算出した。
【０１２４】
【表２】
2012166549.tif 000004
【０１２５】
クリップテンタ１０５にて、湿潤フィルム２２の幅方向へ３０％延伸した後、乾燥室１０６を経てフィルム１３を得た。得られたフィルム１３の厚みｄは６０μｍであった。
【０１２６】
（実験２〜６）
表１に示すこと以外は、実験１と同様にしてフィルム１３をつくった。なお、実験４〜６では、エンドレスバンド３９の裏面３９ｂへの下方乾燥風８８の吹き出しを行っていない。
【０１２７】
（評価）
実験１〜６で得られたフィルム１３について、以下の項目を測定した。実験１〜６における各項目の測定結果を表２に示す。
【０１２８】
１．面内レターデーションＲｅ
フィルムを温度２５℃，湿度６０％ＲＨで２時間調湿し、自動複屈折率計（ＫＯＢＲＡ２１ＡＤＨ  王子計測（株））にて５８９．３ｎｍにおける垂直方向から測定したレターデーション値の外挿値より次式に従い算出した。
Ｒｅ＝｜ｎＸ−ｎＹ｜×ｄ
ｎＸは、遅相軸方向における屈折率，ｎＹは進相軸方向の屈折率，ｄはフィルムの厚み（膜厚）を表す。
【０１２９】
２．厚み方向レターデーションＲｔｈ
フィルムを温度２５℃，湿度６０％ＲＨで２時間調湿し、自動複屈折率計（ＫＯＢＲＡ２１ＡＤＨ  王子計測（株））にて５８９．３ｎｍにおける垂直方向から測定した値と、フィルム面を傾けながら同様に測定したレターデーション値の外挿値とから下記式に従い算出した。
Ｒｔｈ＝｛（ｎＸ＋ｎＹ）／２−ｎＺ｝×ｄ
ｎＺは厚み方向の屈折率を表す。
【０１３０】
３．配向角のばらつき
位相差測定装置（王子計測機器（株）ＫＯＢＲＡ  ２１ＡＤＨまたはＷＲ）を用いて、帯状のフィルム１３において、１４０箇所の測定点を設定し、各測定点における配向角を測定した。そして、測定した配向角の最大値から最小値を減じた値を、配向角のばらつきΔφとした。
【０１３１】
測定点は、設定方法は、次の通りである。長手方向に１０ｍ間隔で２０本の測定線を設定する。次に、それぞれの測定線上において幅方向に２５０ｍｍ間隔で７箇所の測定点を設定する。
【符号の説明】
【０１３２】
１０  溶液製膜方法
１２  ドープ
１３  フィルム
１６  膜形成工程
１７  プレ乾燥工程
１８  本乾燥工程
１９  剥取工程
２０  湿潤フィルム乾燥工程
【図１】
2012166549.tif 000005
【図２】
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【図３】
2012166549.tif 000007
【図４】
2012166549.tif 000008
【図５】
2012166549.tif 000009
【図６】
2012166549.tif 000010
【図７】
2012166549.tif 000011
【図８】
2012166549.tif 000012
【図９】
2012166549.tif 000013
【図１０】
2012166549.tif 000014