(57)【要約】【課題】固有振動周波数を適切に検出でき、投影画像の輝度ムラや画像歪みの発生を抑えて画質を向上できる画像表示装置を提供する。【解決手段】表示コントローラ５が検出用フレームデータを出力したことに応動して、システムコントローラ１４は、ミラー部１６の共振を打ち消す駆動信号（負帰還）を停止する。又、位置検出部１２を介して、ミラー部１６の固有振動周波数を測定する。これにより、現時点での固有振動周波数を精度良く検出できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、入力された画像データに基づいて前記レーザ光源を駆動する駆動手段と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームをスクリーンの水平方向及び垂直方向に走査する走査部と、を有する画像表示装置において、
前記走査部は、前記レーザビームを反射しつつ傾動するミラーと、前記ミラーを駆動する駆動部とを有し、
更に、前記駆動手段において所定の検出用フレームが生じたことに応じて、前記ミラーの共振周波数を検出する検出手段を備えていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
前記所定の検出用フレームが生じたときは、前記駆動手段は前記レーザ光源からのレーザビームの出射を停止することを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記所定の検出用フレームとは、所定の光量以下の暗いシーンの画像であることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記ミラーの共振周波数を検出している間は、前記ミラーの共振を制限する前記走査部への負帰還を停止することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項５】
所定数のフレーム毎に、前記駆動手段に前記所定の検出用フレームを割り込ませることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項６】
所定の温度変化が生じたときに、前記駆動手段に前記所定の検出用フレームを割り込ませることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレーザビーム等を走査して画像を表示する画像表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光等の光線を偏光・走査する光走査装置は、画像投影装置やレーザプリンタ等の光学機器に利用されている。この光走査装置については、多角柱ミラーをモータで回転させて反射光を走査するポリゴンミラーや、平面ミラーを電磁アクチュエータによって回転振動させるガルバノミラー等を有するものがある。しかし、このような光走査装置においては、ミラーやモータを電磁アクチュエータで駆動する機械的な駆動機構が必要となるが、その駆動機構はサイズが比較的大きく、また高価であることから、光走査装置の小型化を阻害するとともに高価格化を招くといった問題がある。
【０００３】
そこで、光走査装置の小型化、低価格化及び生産性の向上を図るために、半導体製造技術を応用したシリコンやガラスを微細加工するマイクロマシニング技術を用いてミラーや弾性梁等の構成部品が一体成形されたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）の光走査装置（いわゆる、ＭＥＭＳミラー）の開発が進んでいる。
【０００４】
このようなＭＥＭＳミラーを用いた１次元走査の光走査装置を２組配置し、各々のミラーで反射される光線をそれぞれ水平走査、垂直走査することにより、投影面に２次元画像を表示させる画像投影装置が開発されている。また、水平走査及び垂直走査ができる２次元走査の光走査装置を用いれば、単体でラスター走査（水平走査及び垂直走査）でき、小型化及び低価格化に繋がる。
【０００５】
ところで、ＭＥＭＳミラーを用いたレーザ走査式の画像表示装置では、一般に垂直走査にはノコギリ波を用いて駆動を行うが、最下部からの折り返しにおいてミラー動作にリンギングが生じる場合がある。ＭＥＭＳミラーは一種の超小型精密の板バネであり、固有振動のＱ値が非常に高く、わずかな衝撃により大きな振動が生じ、これがリンギングとなって現れ出力画像を乱す（輝度ムラ、画像歪み）要因となる。
【０００６】
特許文献１には、ＭＥＭＳミラーの共振振動をキャンセルするための補償信号を生成し、制御信号の変化点付近に補償信号を付加した駆動信号を生成して、ＭＥＭＳミラーに出力する駆動回路とを備えたものが開示されている。
【０００７】
特許文献２には、ＭＥＭＳミラーの周波数特性と逆の重み付けをした駆動波形で駆動することにより共振を打ち消す技術が開示されている。より具体的には、ＭＥＭＳミラーのセンサ出力を２回微分して得られる共振成分をリアルタイムに負帰還し、機械共振に制動をかけている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−２７９８８８号公報
【特許文献２】特開２０１０−９９８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかるに、上述したように共振を打ち消す方法は種々考えられるが、個体差、環境温度、経時変化等により実際の固有振動周波数ｆ０は変わりうるので、現時点での固有振動周波数を何らかのタイミングで検知する必要がある。
【００１０】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、固有振動周波数を適切に検出でき、投影画像の輝度ムラや画像歪みの発生を抑えて画質を向上できる画像表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の画像表示装置は、レーザ光源と、入力された画像データに基づいて前記レーザ光源を駆動する駆動手段と、前記レーザ光源から出射されたレーザビームをスクリーンの水平方向及び垂直方向に走査する走査部と、を有する画像表示装置において、
前記走査部は、前記レーザビームを反射しつつ傾動するミラーと、前記ミラーを駆動する駆動部とを有し、
更に、前記駆動手段において所定の検出用フレームが生じたことに応じて、前記ミラーの共振周波数を検出する検出手段を備えていることを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、前記検出手段が、前記駆動手段において所定の検出用フレームが生じたことに応じて、前記ミラーの共振周波数を検出するので、画像を表示する合間に又は表示している間に、適切なタイミングで前記ミラーの固有振動周波数を求めることができる。前記ミラーの固有振動周波数を求めることが出来れば、上述したような制御方法により共振を打ち消すことが出来、投影画像の輝度ムラや画像歪みの発生を抑えて画質を向上できる。
【００１３】
請求項２に記載の画像表示装置は、請求項１に記載の発明において、前記所定の検出用フレームにて、前記レーザ光源からのレーザビームの出射を停止することを特徴とする。これにより測定条件を一定に近づけて、正確に前記ミラーの固有振動周波数を検出できる。
【００１４】
請求項３に記載の画像表示装置は、請求項１に記載の発明において、前記所定の検出用フレームとは、所定の光量以下の暗いシーンの画像であることを特徴とする。これにより表示される画像にあまり影響なく、正確に前記ミラーの固有振動周波数を検出できる。
【００１５】
請求項４に記載の画像表示装置は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記ミラーの共振周波数を検出している間は、前記ミラーの共振を制限する前記走査部への負帰還を停止することを特徴とする。これにより、正確に前記ミラーの固有振動周波数を検出できる。
【００１６】
請求項５に記載の画像表示装置は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、所定数のフレーム毎に、前記駆動手段に前記所定の検出用フレームを割り込ませることを特徴とする。これにより環境温度等に応じて変化する前記ミラーの固有振動周波数を検出できる。
【００１７】
請求項６に記載の画像表示装置は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明において、所定の温度変化が生じたときに、前記駆動手段に前記所定の検出用フレームを割り込ませることを特徴とする。これにより環境温度等に応じて変化する前記ミラーの固有振動周波数を検出できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、固有振動周波数を適切に検出でき、投影画像の輝度ムラや画像歪みの発生を抑えて画質を向上できる画像表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明にかかる実施の形態の画像表示装置１の全体構成を示すブロック図である。
【図２】画像表示装置１の斜視図である。
【図３】光スキャナ９の詳細な構成を示す平面図である。
【図４】２次元走査ミラー１５の図２のIV-IV方向の断面図である。
【図５】２次元走査ミラー１５を用いたレーザビームＷの偏向を行う状態を表示する図である。
【図６】ミラー部１６の斜視図である。
【図７】ミラー部１６に付与される駆動波形の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態による画像表示装置１の全体構成を示すブロック図である。図２は、画像表示装置１の斜視図である。画像表示装置１は、例えば光スキャナプロジェクタに搭載され、レーザ光源７（７ｒ，７ｇ，７ｂ）、コリメータＣＬ（ＣＬｒ、ＣＬｇ、ＣＬｂ）、レーザ制御部１００、ダイクロミラー８（８ｒ，８ｇ，８ｂ）、ハーフミラーＨＦ、検出器ＰＤ、光スキャナ９（走査部）、位相検出部１１０、及び同期信号出力部１２０を備えている。
【００２１】
駆動手段としてのレーザ制御部１００は、フレームメモリ２、画像処理用メモリ３，ラインバッファメモリ４、表示コントローラ５、駆動部である変調器６（６ｒ，６ｇ，６ｂ）、ドライバ１３及びシステムコントローラ１４を備え、レーザ光源７を制御する。
【００２２】
フレームメモリ２は、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、主画像の画像データ（以下、「主画像データ」と表す。）を１フレーム単位で一時的に記憶する。ここで、主画像としては、例えば、映画、テレビ番組等が挙げられる。なお、主画像データは、例えばＲ，Ｇ，Ｂの色成分からなるカラーの画像データとするが、モノクロの画像データであってもよい。
【００２３】
画像処理用メモリ３に記憶された画像データは、表示画像の歪みを補正する処理等を施される。
【００２４】
ラインバッファメモリ４は、画像処理用メモリ３の第１の領域と第２の領域から交互に、水平方向の複数ライン単位で順次に出力される主画像データを記憶する。
【００２５】
表示コントローラ５は、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、フレームメモリ２への１フレームの主画像データの書き込み制御、画像処理用メモリ３における画像処理、画像処理用メモリ３からラインバッファメモリ４への画像データの書き込み制御、及びラインバッファメモリ４から画像データを１画素単位で順次に変調器６に出力させる制御等を行う。ここで、ライバッファメモリ４に記憶された画像データは、Ｒ色成分が変調器６ｒに出力され、Ｇ色成分が変調器６ｇに出力され、Ｂ色成分が変調器６ｂに出力される。
【００２６】
具体的には、表示コントローラ５は、同期信号出力部１２０から垂直同期信号が入力されると、１フレーム分の主画像データをフレームメモリ２に記憶させる。また、ラインバッファメモリ４に、キャラクターメモリ３に記憶された副画像データの先頭の１ライン分を記憶させる。そして、ラインバッファメモリ４に記憶された副画像データを１画素単位で順次に変調器６に出力させる。
【００２７】
そして、水平同期信号が入力されると、ラインバッファメモリ４に次の１ライン分の副画像データを記憶させ、ラインバッファメモリ４から次の１ライン分の副画像データを１画素単位で順次に変調器６に出力させる。これにより、スクリーン１０に主画像データで強度が変調されたレーザビームがラスター走査され、主画像が表示されることになる。ラスター走査が画面右下まで行われれば、再びレーザビームを画面左上まで戻す。その間に、フレームバッファ２には新たな画像データが読み込まれ、上述のようにして、次の画像を表示する準備がなされる。以上を繰り返すことで、複数枚の画像を表示できる。
【００２８】
変調器６（６ｒ，６ｇ，６ｂ）は、それぞれラインバッファメモリ４から１画素単位で順次に出力される画像データのＲ，Ｇ，Ｂ成分を用いて、レーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂから射出されるＲ，Ｇ，Ｂのレーザビームの強度を変調する。
【００２９】
レーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂは、例えば、レーザダイオードにより構成され、それぞれ、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のレーザビームを射出する。コリメータＣＬｒ、ＣＬｇ、ＣＬｂは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のレーザビームを平行ビームに変換する。
【００３０】
ダイクロミラー８（８ｒ，８ｇ，８ｂ）は、レーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂから射出されたレーザビームを合波して、一本のレーザビームＷにする。検出器ＰＤは、図２に示すような検出面を有し、ハーフミラーＨＦにより反射されたレーザビームＷの一部を検出する。
【００３１】
光スキャナ９は、例えば２次元の光スキャナにより構成され、水平同期信号及び垂直同期信号に基づいて、レーザビームＷを２次元的に走査（ラスター走査）し、スクリーン１０に画像を表示する。スクリーン１０は、ラスター走査されるレーザビームＷが投影されて、画像を表示させる。
【００３２】
検出器ＰＤは、レーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂから射出されるレーザビームの強度を各々モニタし、モニタ信号を変調器６ｒ，６ｇ，６ｂに出力する機能も有する。なお、変調器６ｒ，６ｇ，６ｂは、このモニタ信号から、レーザビームの強度の時間平均値が既定値になるようにレーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂをＡＰＣ（auto power control）制御する。これにより、レーザビームの発振強度が安定化されると共に、レーザ光源７の破損が防止される。
【００３３】
センサである位置検出部（ＰＲ）１２は、例えば赤外発光ダイオード等の発光素子及びフォトトランジスタ等の受光素子を含むフォトリフレクタにより構成され、発光素子から出力された光を対象物であるミラー部１６（図６参照）に当て、反射光を受光素子で検出し、ミラー部１６の水平方向及び垂直方向の傾斜角度を示す検出信号をシステムコントローラ１４及び位相検出部１１０に出力する。尚、位置検出部１２は、光スキャナ９の圧電素子（ピエゾ）の抵抗を測定するタイプのものでも良い。
【００３４】
システムコントローラ１４は、主画像を表示しない場合、画像を表示しない黒画像を表示するように表示コントローラ５に指示する。又、システムコントローラ１４は、ドライバ１３を介して光スキャナ９への駆動信号を出力すると共に、位置検出部１２の検出した信号について、例えばＦＦＴ解析を行うなどして、ミラーの固有振動周波数を求めることができるようになっている。つまり、位置検出部１２とシステムコントローラ１４とで検出手段を構成する。尚、表示コントローラ５は、後述する検出用フレームデータを記憶しており、所定のタイミングで検出用フレームデータを画像処理用メモリ３に出力する。
【００３５】
位相検出部１１０は、位置検出部１２により検出された検出信号を用いてミラー部１６の水平方向及び垂直方向の傾斜角度を検出する。
【００３６】
同期信号出力部１２０は、位相検出部１１０により検出されたミラー部１６の傾斜角度に基づいて水平同期信号及び垂直同期信号を表示コントローラ５に出力する。ここで、同期信号出力部１２０は、位相検出部１１０により検出された水平方向の傾斜角度が１ラインの走査を開始する角度となった場合に水平同期信号を出力すればよい。また、同期信号出力部１２０は、位相検出部１１０により垂直方向の傾斜角度が１フレームの先頭の１ラインの走査を開始する角度となった場合に垂直同期信号を出力すればよい。又、システムコントローラ１４は、位置検出部１２の検出した信号の解析結果に基づいて、ドライバ１３を介して、ミラー部１６の共振を打ち消すために、例えば逆位相の駆動信号（負帰還）を出力する。
【００３７】
次に、光スキャナ９の動作について説明する。図３は、光スキャナ９の詳細な構成を示す平面図である。光スキャナ９は、２次元走査ミラー１５により構成され、２次元走査ミラー１５を図５の筐体ＢＸに固定する固定枠７０と、固定枠７０の内側に可動部分として枠状に形成された可動枠３０と、可動枠３０の内側に形成された方形状のミラー部１６とを備えている。
【００３８】
ミラー部１６は、ミラー部１６の中心を通るＹ軸に沿って外方へ延びるトーションバー２１，２２を介して、Ｙ軸方向の両側から可動枠３０に弾性的に支持されている。また、可動枠３０は、Ｙ軸に直交し、ミラー部１６の中心を通るＸ軸近傍の端部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄのそれぞれに一端が接続された曲がり梁４１，４２，４３，４４により、Ｘ軸の両側から固定枠７０に弾性的に支持されている。これらの固定枠７０、曲がり梁４１〜４４、可動枠３０、ミラー部１６、及びトーションバー２１，２２は、シリコン基板の異方性エッチングにより一体的に形成されている。
【００３９】
また、ミラー部１６の表面には、金やアルミニウム等の金属薄膜による反射膜が形成されており、入射光線の反射率が高められている。また、曲がり梁４１，４２，４３，４４の表面には、電気−機械変換素子である圧電素子５１，５２，５３，５４が接着等により貼り付けられ、４つのユニモルフ部６１，６２，６３，６４が形成されている。曲がり梁４１〜４４は、圧電素子５１〜５４の曲げ変形により、可動枠３０にＹ軸及びＸ軸回りに独立に傾動トルクを作用させ、可動枠３０をＹ軸及びＸ軸を２軸で回動させる。
【００４０】
ここで、可動枠３０の回動動作について図４を用いて説明する。図４（ａ）〜（ｅ）は２次元走査ミラー１５の図３のIV-IV方向の断面図である。なお、図４（ａ）は静止時を示し、図４（ｂ）〜（ｅ）は駆動時を示している。
【００４１】
図４（ａ）に示すように、圧電素子５１，５２の表裏には、それぞれ上部プラス（＋）電極５１１，５２１、下部マイナス（−）電極５１２、５２２が設けられており、上部（＋）電極５１１（５２１）と下部（−）電極５１２（５２２）との間に分極反転を起こさない範囲で交流電圧を印加することで、圧電素子５１、５２を伸縮させ、ユニモルフ部６１，６２を厚み方向に変位させる。同様に、圧電素子５３，５４の表裏には、それぞれ上部（＋）電極５３１，５４１（図略）、下部（−）電極５３２，５４２（図略）が設けられている。
【００４２】
最初に、Ｘ軸回りの回動動作について説明する。ドライバ１３が圧電素子５１に伸びる方向の電圧を印加し、圧電素子５２に圧電素子５１と逆位相の縮む方向の電圧を印加すると、ユニモルフ部６１，６２の一端は、固定枠７０に固定・保持されているので、図４（ｂ）に示すように、ユニモルフ部６１は下方に曲がり、一方、ユニモルフ部６２は上方に曲がる。同様に、圧電素子５３，５４にも圧電素子５１，５２とそれぞれ同じ位相の電圧を印加すると、ユニモルフ部６３は下方に曲がり、一方、ユニモルフ部６４は上方に曲がる。
【００４３】
これにより、可動枠３０にはＸ軸を中心とした傾動トルクが作用し、可動枠３０はＸ軸を中心として矢印Ｐ方向に傾く。また、圧電素子５１〜５４に、図４（ｂ）の場合とは逆位相の電圧を印加すると、前述と同様の原理で、図４（ｃ）に示すように、可動枠３０にはＸ軸を中心とした傾動トルクが作用し、Ｘ軸を中心として矢印Ｑ方向に傾く。そして、圧電素子５１〜５４にこのような位相関係を保った交流電圧を印加すると、ユニモルフ部６１〜６４は、交流電圧に追従して上下方向の振動を繰り返し、可動枠３０にシーソー的な傾動トルクが作用され、可動枠３０はＸ軸を中心として所定変位角度まで回転振動する。
【００４４】
次に、Ｙ軸回りの回動動作についついて説明する。ドライバ１３が圧電素子５１，５２のいずれにも伸びる方向の電圧を印加すると、それぞれのユニモルフ部６１，６２の一端は、固定枠７０に固定・保持されているので、図４（ｄ）に示すように、いずれも下方に曲がる。一方、圧電素子５３、５４に圧電素子５１、５２と逆位相の縮む方向の電圧を印加すると、図４（ｅ）に示すように、ユニモルフ部６３、６４はいずれも上方に曲がる。これにより、可動枠３０にはＹ軸を中心とした傾動トルクが作用し、可動枠３０はＹ軸を中心として傾く。
【００４５】
そして、圧電素子５１〜５４にこのような位相関係を保った交流電圧を印加すると、ユニモルフ部６１〜６４は、交流電圧に追従して上下方向の振動を繰り返し、可動枠３０にシーソー的な傾動トルクが作用し、可動枠３０はＹ軸を中心として所定変位角度まで回転振動する。
【００４６】
このように、ドライバ１３から４つのユニモルフ部６１〜６４にそれぞれ所定の電圧を印加することにより、可動枠３０によって支持されているミラー部１６のＸ軸及びＹ軸周りの傾きを任意に制御することができる。また、曲がり梁４１〜４４は、Ｙ軸及びＸ軸を挟んで対称に配置され、曲がり梁４１〜４４に設けられたそれぞれの圧電素子５１〜５４は、同じ位相あるいは互いに１８０度異なる逆位相の駆動信号で駆動されるようにしたので、可動枠３０を片振れなしにＹ軸及びＸ軸の２軸で独立して回動させることができる。
【００４７】
次に、２次元走査ミラー１５を用いたレーザビームＷの偏向を行う方法について、図５を用いて説明する。レーザ光源７から射出されたレーザビームＷを２次元走査ミラー１５でラスター走査して画像を生成する。
【００４８】
ここで、水平方向の走査周波数は例えば３０ｋＨｚ、垂直方向の走査周波数は例えば６０Ｈｚ程度である。また、ミラー部１６の水平、垂直方向の傾斜角度はそれぞれほぼ±１０度である。また、ミラー部１６の水平走査は正弦波の駆動電圧を用いた機械共振振動を行うことから、水平方向の走査領域の左右の周辺部は水平走査速度が極端に低下する。そのため、図５に示すように、画像表示領域１７の水平域は、走査領域１８の全てを使用せずに少し内側の領域としている。
【００４９】
図７において、一点鎖線がミラー部１６の駆動電圧であるのに対し、実線が実際のミラー部１６の垂直方向傾動変化量を示しているが、このように垂直走査はノコギリ波の駆動電圧を用いて行われていることから、Ｑ値が高くリンギングを生じやすい。そこで、ミラー部１６の駆動に負帰還を与えて共振を抑えるようにしている。又、ミラー部１６の走査の直線性の良好な領域のみを通常の画像表示に使用するため、水平走査と同様、通常の画像表示領域１７の垂直域は、走査領域１８の全てを使用せずに少し内側の領域としている。
【００５０】
次に、画像表示装置１の動作について説明する。電源が投入されると、システムコントローラ１４は、表示コントローラ５に、黒画像データをラインバッファメモリ４へ出力するように指示する。
【００５１】
上述したように、入力される画像データに応じて、ラインバッファメモリ４への画像データが書き込まれる。
【００５２】
変調器６は、レーザ光源７を発振させ、ラインバッファメモリ４から画像データを１画素単位で読み出し、読み出した画像データを用いてレーザ光源７から射出されるレーザビームを変調する。
【００５３】
レーザ光源７から射出された３本のレーザビームはダイクロミラー８により一本のレーザビームＷに合波され、ミラー部１６に入射する。
【００５４】
レーザビームＷは、走査駆動されるミラー部１６によりラスター走査され、スクリーン１０上に投影され、これにより高精細な画像を形成できる。
【００５５】
ここで、不図示のタイマにより前回の固有振動周波数の検出から所定時間が経過した場合、又は不図示の温度センサにより環境温度が閾値以上変化したと判断すると、表示コントローラ５が検出用フレームデータを、画像処理用メモリ３に出力する（即ち検出用フレームを割り込ませる）。ここでは、検出用フレームデータは全ての画素値がゼロであり、レーザ光源を停止するものとする。
【００５６】
更に、表示コントローラ５が検出用フレームデータを出力したことに応動して、システムコントローラ１４は、ミラー部１６の共振を打ち消す駆動信号（負帰還）の出力を停止する。又、位置検出部１２からの信号の解析結果に応じてシステムコントローラ１４が、ミラー部１６の固有振動周波数を演算する。これにより、現時点での固有振動周波数を精度良く検出できる。かかる検出結果は、ドライバ１３にフィードバックされて、これに基づき共振を打ち消す駆動信号が変更される。その後、再びフレームメモリ２から画像処理用メモリ３に本来の画像データが入力され、変更された駆動信号を用いて負帰還を再開しつつ画像表示が行われる。
【００５７】
本実施の形態の変形例としては、検出用フレームにおける画素値をゼロとする代わりに、一様な画素値としても良い。或いは、輝度値が所定位置以下の暗いシーンのフレームになったとき、システムコントローラ１４は、ミラー部１６の共振を打ち消す駆動信号（負帰還）を停止して、位置検出部１２を介して、ミラー部１６の固有振動周波数を測定してもよい。このような極端なシーンの場合には、負帰還を停止しても画質の低下が気にならないからである。
【００５８】
図１に示す変調器６として、ＡＯＭ（Acoustic Optical Modulator）を採用してもよい。この場合、変調器６ｒ，６ｇ，６ｂをレーザ光源７ｒ，７ｇ，７ｂとダイクロミラー８ｒ，８ｇ，８ｂとの間に設置すればよい。又、ＭＥＭＳミラーの代わりに、ガルバノミラー等を用いることができる。
【符号の説明】
【００５９】
２  フレームメモリ
３  画像処理用メモリ
４  ラインバッファメモリ
６，６ｒ，６ｇ，６ｂ 変調器
７，７ｒ，７ｇ，７ｂ レーザ光源
８，８ｒ，８ｇ，８ｂ ダイクロミラー
９ 光スキャナ
１０ スクリーン
１２  位置検出部
１４ システムコントローラ
１５ ２次元走査ミラー
１６ ミラー部
１７ 画像表示領域
１８ 走査領域
１００ レーザ制御部
１２０ 同期信号出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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