(57)【要約】【課題】本発明は、板状体の生産性を高めることができる板状体の研磨装置を提供する。【解決手段】本発明は、ステージ１６において、キャンバス１４のバックプレート３８に貼り付けられた吸着シート３９にガラス板Ｇを貼着させる。次に、このキャンバス１４をステージ１８に搬送し、キャリア５２に水平に保持させる。次いで、キャンバス１４と研磨パッド５８、６０とを相対的に近接させて、ガラス板Ｇを研磨パッド５８、６０に圧縮空気の圧力によって押し付けるとともに、キャンバス１４及び研磨パッド５８、６０をガラス板Ｇの研磨面に沿って相対的に移動させてガラス板Ｇの研磨面を研磨する。本発明では、膜体を使用せずキャンバス１４を使用してガラス板Ｇを研磨する。よって、ガラス板Ｇの生産工程から膜体の交換工程を省くことができる。【選択図】図４
2012192470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体を貼着する板状体貼着部と、
前記板状体貼着部を保持する板状体保持部と、
前記板状体貼着部に対向して配置され、前記板状体貼着部によって貼着される前記板状体の研磨面を研磨する研磨具と、
を有する板状体の研磨装置において、
前記板状体貼着部は前記研磨具の対向面に平面部分を有し、該平面部分に板状体の貼着部を備え、
前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、
前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することを特徴とする板状体の研磨装置。
【請求項２】
前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、
前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、
前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項１に記載の板状体の研磨装置。
【請求項３】
前記板状体保持部及び前記板状部材が接する箇所に封止部を有する請求項１又は２に記載の板状体の研磨装置。
【請求項４】
前記平面部分は、開口面を有する箱状体の平面部分から構成され、
前記箱状体が前記開口面を介して前記板状体保持部で保持されている請求項１に記載の板状体の研磨装置。
【請求項５】
前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項４に記載の板状体の研磨装置。
【請求項６】
前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、
前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有する請求項４に記載の板状体の研磨装置。
【請求項７】
前記板状体保持部及び前記箱状体が接する箇所に封止部を有する請求項５又は６に記載の板状体の研磨装置。
【請求項８】
前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の上方に前記研磨具が配置されている請求項１〜６のいずれか一項に記載の板状体の研磨装置。
【請求項９】
前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の下方に前記研磨具が配置されている請求項１〜６のいずれか一項に記載の板状体の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状体の研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用に適用されるガラス板は、その表面の微小な凹凸やうねりが画像に歪みを与える原因となるため、その微小な凹凸やうねりが研磨装置にて除去される。このような研磨装置として、研磨定盤に設けられた研磨パッドに、キャリアに保持されたガラス板を押し当てるとともに、研磨定盤及びキャリアを相対的に回転させてガラス板を研磨する研磨装置が一般的に知られている。
【０００３】
特許文献１に開示された研磨装置は、ガラス板を吸着して保持する吸着シートが膜体に取り付けられ、この膜体がキャリアに張設されている。また、前記膜体と前記キャリアとの間には、加圧流体が供給され、前記吸着シートに保持されたガラス板が前記加圧流体の圧力によって研磨パッドに押し付けられる。これにより、特許文献１の研磨装置によれば、前記加圧流体によってガラス板の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板を平坦に研磨しながらガラス板の表面の微小凹凸を除去できるという利点がある。
【０００４】
前記吸着シートは発泡ポリウレタン製であり、ポリカーボネイト等の中間シートを介して前記膜体に接着され、この中間シートの引っ張り方向の剛性が、前記吸着シートの引っ張り方向の剛性よりも高く設定されている。これにより、特許文献１の研磨装置では、吸着シートが中間シートから剥がれなくなるので、吸着シートが剥がれて捲り上がることを防止できるという利点がある。また、膜体は、樹脂層と繊維層とからなる二層構造に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２００７／０２０８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１の膜体は、加圧流体を直接受けてガラス板に研磨圧力を伝達する機能と、ガラス板の研磨中に相対的に回転しているガラス板と研磨パッドとの間に生じる研磨抵抗を受ける機能とを有している。すなわち、膜体は、加圧流体によって膨張される方向の力、及び研磨抵抗によって繰り返し引っ張り方向に伸縮される力を受ける。このため、膜体の寿命は短く、膜体の交換を頻繁に行う必要があるため、ガラス板の生産性を高めることができないという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の生産性を高めることができる板状体の研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記目的を達成するために、板状体を貼着する板状体貼着部と、前記板状体貼着部を保持する板状体保持部と、前記板状体貼着部に対向して配置され、前記板状体貼着部によって貼着される前記板状体の研磨面を研磨する研磨具と、を有する板状体の研磨装置において、前記板状体貼着部は前記研磨具の対向面に平面部分を有し、該平面部分に板状体の貼着部を備え、前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することを特徴とする板状体の研磨装置を提供する。
【０００９】
本発明によれば、まず、板状体貼着部の平面部分に備えられた貼着部に板状体を貼着させ、次に、この板状体貼着部を板状体保持部に保持させる。そして、板状体保持部と研磨具とを相対的に近接させて、板状体を研磨具に押し付けるとともに、板状体保持部及び研磨具を板状体の研磨面に沿って相対的に移動させて板状体の研磨面を研磨する。
【００１０】
本発明では、膜体を使用せず板状体を研磨するので、板状体の生産性を高めることができる。板状体貼着部の平面部分は、研磨抵抗によって繰り返し引っ張り方向に伸縮される力を受けるため、剛性の高い金属製であることが好ましい。また、剛性は、ヤング率などの弾性率が大きい金属を使用する、又は板厚を厚くすることで高めることができる。
【００１１】
また、本発明によれば、板状部材と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。
【００１２】
本発明の前記平面部分は、前記板状体保持部によって保持される板状部材から構成され、前記板状部材と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。
【００１３】
本発明によれば、膜体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、膜体が膨張することにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。
【００１４】
また、本発明の板状体の研磨装置は、従来の研磨装置の如く膜体を有するが、本発明の膜体は、板状体を研磨具に加圧する機能のみ備えたものである。すなわち、研磨中に生じる研磨抵抗は、板状体貼着部の平面部分（板状部材）が受ける。つまり本発明は、板状体を研磨具に加圧する部材（膜体）と、研磨抵抗を受ける部材（平面部分：板状部材）とを別部品としたので、膜体の長寿命化を図ることができる。
【００１５】
本発明は、前記板状体保持部及び前記板状部材が接する箇所に封止部を有することが好ましい。
【００１６】
本発明によれば、加圧流体供給手段から供給された加圧流体の洩れを封止部によって防止できるので、加圧流体の圧力を効率よく板状体に伝達することができる。
【００１７】
本発明の前記平面部分は、開口面を有する箱状体の平面部分から構成され、前記箱状体が前記開口面を介して前記板状体保持部で保持されていることが好ましい。
【００１８】
本発明によれば、まず、板状体貼着部を構成する箱状体の平面部分に備えられた貼着部に板状体を貼着させ、次に、この箱状体を板状体保持部に開口面を介して保持させる。そして、板状体保持部と研磨具とを相対的に近接させて、板状体を研磨具に押し付けるとともに、板状体保持部及び研磨具を板状体の研磨面に沿って相対的に移動させて板状体の研磨面を研磨する。本発明においても、膜体を使用せず板状体を研磨するので、板状体の生産性を高めることができる。
【００１９】
本発明は、前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。
【００２０】
本発明によれば、箱状体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、箱状体が研磨具に向けて移動されることにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。
【００２１】
本発明は、前記箱状体と前記板状体保持部との間の空間に、前記板状体保持部に取り付けられた膜体が配置され、前記膜体と前記板状体保持部との間の空間に加圧流体を供給する加圧流体供給手段を有することが好ましい。
【００２２】
本発明によれば、膜体と板状体保持部との間の空間に、加圧流体供給手段から加圧流体が供給されると、膜体が膨張することにより、前記貼着部に貼着された板状体が前記加圧流体の圧力によって研磨具に押し付けられる。これにより、本発明によれば、前記加圧流体によって板状体の各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、板状体を平坦に研磨しながら板状体の表面の微小凹凸を除去できる。
【００２３】
また、本発明は、従来の研磨装置の如く膜体を有するが、この膜体は、板状体を研磨具に加圧するだけの機能を備えたものである。すなわち、研磨中に生じる研磨抵抗は、箱状体の平面部分が受ける。つまり本発明は、板状体を研磨具に加圧する部材（膜体）と、研磨抵抗を受ける部材（平面部分）とを別部品としたので、膜体の長寿命化を図ることができる。
【００２４】
本発明は、前記板状体保持部及び前記箱状体が接する箇所に封止部を有することが好ましい。
【００２５】
本発明によれば、加圧流体供給手段から供給された加圧流体の洩れを封止部によって防止できるので、加圧流体の圧力を効率よく板状体に伝達することができる。
【００２６】
本発明の前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の上方に前記研磨具が配置されていることが好ましい。
【００２７】
本発明によれば、平面部分の上方に研磨具が配置された形態の研磨装置、すなわち、板状体保持部の上方に研磨具が開示された研磨装置でもよい。この研磨装置であって、箱状体が開口面を介して板状体保持部に保持される研磨装置の場合、箱状体の開口面（雌）に板状体保持部（雄）が嵌合される入れ子式の嵌合部を備えた構造となる。この場合、板状体の研磨に使用された研磨液は、そのまま落下するので、前記入れ子式の嵌合部から板状体保持部の内側に研磨液が浸入することを防止できる。
【００２８】
本発明の前記平面部分は水平に配置され、該平面部分の下方に前記研磨具が配置されていることが好ましい。
【００２９】
本発明によれば、平面部分の下方に研磨具が配置された形態の研磨装置、すなわち、板状体保持部の下方に研磨具が開示された研磨装置でもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の板状体の研磨装置によれば、板状体の生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施の形態の研磨装置の全体構造を示す平面図
【図２】キャリアとキャンバスの組立斜視図
【図３】研磨ステージの実施の形態を示す側面図
【図４】キャリアに対するキャンバスの取付構造を示した要部拡大断面図
【図５】研磨定盤の構成を示した一部破断部を含む斜視図
【図６】膜体を使用した研磨部の他の構成を示した要部拡大断面図
【図７】箱状体を使用した研磨部の他の構成を示した模式図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付図面に従って本発明に係る研磨装置の好ましい実施の形態を詳説する。
【００３３】
図１は、実施の形態の研磨装置１０の全体構造を示す平面図である。図２は、キャリア５２とキャンバス１４の組立斜視図である。図３は、研磨ステージの実施の形態を示す側面図である。
【００３４】
図１に示す実施の形態の研磨装置１０は、例えば一辺が１０００ｍｍを超え、厚みが０．２ｍｍ〜０．７ｍｍの大型のガラス板Ｇの研磨面を液晶ディスプレイ用ガラス板に必要な平坦度に研磨する研磨装置である。研磨対象のガラス板Ｇの大きさは、一辺の長さが１０００ｍｍ超が好ましく、２０００ｍｍ以上（２２００ｍｍ×２５００ｍｍ以上）がより好ましく、２８００ｍｍ以上（２８００ｍｍ×３０００ｍｍ以上）がさらに好ましい。
【００３５】
研磨装置１０は、研磨前のガラス板Ｇを搬入するガラス板搬入用コンベア１２、ガラス板Ｇをキャンバス（板状体貼着部）１４に貼着するガラス板貼着ステージ１６、第１の研磨ステージ１８、第２の研磨ステージ２０、研磨完了したガラス板Ｇをキャンバス１４から取り外すガラス板取り外しステージ２２、ガラス板搬出用コンベア２４、キャンバス洗浄ステージ２６、キャンバス乾燥ステージ２８、及びキャンバス返送コンベア３０を主として備えている。
【００３６】
以下、説明を簡略するために、ガラス板貼着ステージ１６、第１の研磨ステージ１８、第２の研磨ステージ２０、ガラス板取り外しステージ２２、キャンバス洗浄ステージ２６、及びキャンバス乾燥ステージ２８については、単にステージ１６、１８、２０、２２、２６、２８と記載する。
【００３７】
研磨装置１０には、ステージ１６からステージ１８にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５０、ステージ１８からステージ２０にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５２、及びステージ２０からステージ２２にキャンバス１４を搬送する搬送装置１５４が設けられている。これらの搬送装置１５０、１５２、１５４は、同一構成であって研磨装置１０を統括制御する制御部２００によってその動作が制御されており、図１上で左右方向に同期して往復移動される。
【００３８】
ガラス板搬入用コンベア１２によって搬入されてきた研磨前のガラス板Ｇは、ロボット３２のアーム３３に設けられた吸着パッド３４に吸着保持される。そして、アーム３３の回転動作によってガラス板搬入用コンベア１２からコンベア３６に移載され、コンベア３６によってステージ１６に搬送される。
【００３９】
ステージ１６において、研磨前のガラス板Ｇがキャンバス１４に貼着される。この貼着方法について説明すると、キャンバス１４はステージ１６において、不図示の昇降装置に保持されており、キャンバス１４の下方にガラス板Ｇが位置したところで、キャンバス１４が昇降装置により下降移動され、図２に示すキャンバス１４のバックプレート（平面部分：板状部材）３８に取り付けられた発泡ポリウレタン製の吸着シート（貼着部）３９がガラス板Ｇの非研磨面に押し付けられる。この押圧力によってガラス板Ｇの非研磨面がバックプレート３８に吸着シート３９を介して着脱自在に貼着される。その後、キャンバス１４が図１の搬送装置１５０に保持されて、図３のステージ１８に搬送され、ここで研磨ヘッド５０のキャリア（板状体保持部）５２に保持される。
【００４０】
図２に示すように、キャンバス１４は、矩形状のバックプレート３８を、同じく矩形状の上枠４０と下枠４２との間で張設した後、上枠４０と下枠４２とを不図示のボルトによって締結することによって構成される。バックプレート３８、上枠４０、及び下枠４２は、研磨時における研磨圧力及びガラス板Ｇの研磨抵抗に十分に耐え得る材質、例えばアルミニウム等の金属で構成されている。また、バックプレート３８の厚さは、２〜４ｍｍ程度が好適である。バックプレート３８の厚さが２ｍｍ以上であれば、前記研磨圧力及び前記研磨抵抗に十分に耐えることができる。バックプレート３８の厚さが４ｍｍ以内であれば、後述する圧縮空気（加圧流体）による研磨圧力をガラス板Ｇに伝達し易くなる。
【００４１】
次に、図３に示した研磨ヘッド５０について説明する。なお、ステージ１８の研磨ヘッド５０及びステージ２０の研磨ヘッド５０は同一構造なので、同一の符号を付して説明する。
【００４２】
研磨ヘッド５０は、本体ケーシング５１を備えており、本体ケーシング５１には不図示の公転駆動機構部が内蔵されている。この公転駆動機構部は、プラネタリーギア機構部とモータとによって構成され、このモータで駆動されるプラネタリーギア機構部の出力軸が、鉛直方向に垂下されたスピンドル５６に連結されている。また、このスピンドル５６にキャリア５２が連結されている。したがって、前記プラネタリーギア機構部が駆動されると、キャリア５２及びキャンバス１４は所定の公転中心を中心に公転される。
【００４３】
更に、本体ケーシング５１は、スライダ１５８を介して昇降機構１５６に連結されている。この昇降機構１５６によって本体ケーシング５１がスライダ１５８に対して昇降されることにより、キャリア５２がステージ１８の円形の研磨パッド（研磨具）５８、及びステージ２０の円形の研磨パッド（研磨具）６０に対し進退移動されるとともに、図４の如くバックプレート３８の吸着シート３９に貼着されたガラス板Ｇの研磨面が、図３の研磨パッド５８、６０に所定の研磨圧力で押圧される。
【００４４】
なお、研磨装置１０からスライダ１５８を取り外し、本体ケーシング５１が昇降機構１５６に直接連結されてもよい。
【００４５】
研磨パッド５８は、図５の如く研磨定盤６２の上面に貼り付けられる。この研磨定盤６２は、研磨テーブル６４に軸受６５を介して回転自在に支持されており、その回転中心は研磨パッド５８の中心軸と同軸上に設定されている。また、研磨定盤６２の側面にはギヤ部６６が設けられ、このギヤ部６６に、モータ６８によって回転されるギヤ６７が噛合されている。更に、ギヤ部６６は、研磨パッド５８の中心軸を中心とする円弧状に構成されている。したがって、モータ６８を駆動することにより、研磨パッド５８がその中心軸を中心に回動（自転）される。
【００４６】
また、研磨テーブル６４は、平行に配置された一対のガイドレール６９、６９にスライド移動自在に支持されている。研磨テーブル６４をガイドレール６９、６９に沿って往復動作させる駆動部（不図示）を備えることにより、研磨パッド５８が必要時において水平方向に揺動される。研磨パッド５８の揺動方向は、図１の搬送装置１５０による搬送方向に対して直交する方向でもよく、この搬送方向に平行な方向でもよい。すなわち、研磨パッド５８を水平方向に揺動させる方向であればよい。
【００４７】
なお、図５の研磨定盤６２には、研磨パッド５８の裏側にスラリを供給するための多数のホース（不図示）が連結されている。これらのホースを絡めさせないために、研磨パッド５８は所定の基準位置から所定の角度範囲で旋回するようにその回転が規制されている。前記ホースから研磨パッド５８の裏側に供給されたスラリは、研磨パッド５８の内部を貫通するスラリ供給孔を通過して研磨パッド５８の表面に供給される。
【００４８】
また、研磨パッド５８の旋回角度の範囲、旋回速度等の旋回動作、単位時間当たりの公転回転数等の公転動作は、図１の制御部２００によって独立して制御されている。
【００４９】
研磨パッド６０の各部構成については、上述した研磨パッド５８の構成と同一なので、ここではその説明を省略する。
【００５０】
一方、図３の如くステージ１８のスライダ１５８には、直動ガイド７０、７０が取り付けられている。直動ガイド７０、７０はガイドレール７２、７２に嵌合されている。このガイドレール７２、７２は、図１の破線の如くステージ１８のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７４に向けて配設されている。
【００５１】
また、図３の如くステージ２０のスライダ１５８にも同様に、直動ガイド７０、７０が取り付けられ、直動ガイド７０、７０はガイドレール１６０、１６０に嵌合されている。このガイドレール１６０、１６０は、図１の破線の如くステージ２０のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７６に向けて配設されている。
【００５２】
なお、研磨装置１０からスライダ１５８を取り外し、直動ガイド７０、７０が昇降装置１５６に直接取り付けられてもよい。
【００５３】
次に、図２、図４に示すキャリア５２について説明する。図４は、キャリア５２に対するキャンバス１４の取付構造を示した要部拡大断面図である。
【００５４】
キャリア５２の４辺部には、キャリア５２にキャンバス１４を保持させるための複数の保持部８０、８０…が設けられている。保持部８０は、図４の如くキャリア５２の４辺部の端部５２Ａを押圧する円盤８２と、キャンバス１４の上枠４０の４辺部の端部４０Ａを押圧する円盤８４と、円盤８２と円盤８４とを連結するピン８６とから構成される。円盤８２及び円盤８４を前記の如く押圧させる押圧手段は、キャリア５２に内設されており、例えばシリンダのピストンをピン８６に連結し、ピストンを収縮させることにより、円盤８２及び円盤８４を引き寄せて円盤８２を端部５２Ａに押圧させるとともに、円盤８４を端部４０Ａに押圧させる。なお、前記押圧手段は、前記シリンダに限定されるものではなく、また、保持部８０の形態も本例に限定されるものではない。すなわち、キャリア５２にキャンバス１４を着脱自在に保持できる構成であれば、如何なるものでもよい。
【００５５】
一方、キャリア５２の下面の周縁の内側には、周縁に沿ったマウント８８が形成されており、そのマウント８８の下面にシール部材（封止部）９０が取り付けられている。キャリア５２にキャンバス１４が保持部８０に保持されて、ガラス板Ｇが研磨パッド５８、６０に押圧された際に、バックプレート３８の上面がシール部材９０に圧接される。これにより、キャリア５２とキャンバス１４との間に気密性のよい空気室（空間）５４が形成される。気密性のよい空気室５４が形成されると、ガラス板Ｇの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Ｇを平坦に研磨しながらガラス板Ｇの表面の微小凹凸を除去できる。
【００５６】
キャリア５２には、空気室５４に圧縮空気（加圧流体）を噴出する噴射口９８、９８…が開口されている。これらの噴射口９８、９８…は、キャリア５２の上面に備えられた空気室１００を介して、図３上の破線で示す空気供給路１０２に連通される。空気供給路１０２は、研磨ヘッド５０に取り付けられた不図示のロータリジョイントを介して研磨ヘッド５０の外部に延設され、バルブ１０４を介して空気ポンプ（加圧流体供給手段）１０６に接続されている。したがって、バルブ１０４を開放すると、空気ポンプ１０６からの圧縮空気が空気供給路１０２、図４の空気室１００、及び噴射口９８を介して空気室５４に供給される。これにより、圧縮空気の圧力がバックプレート３８を介してガラス板Ｇに伝達され、この圧力によってガラス板Ｇの研磨面が図３の研磨パッド５８、６０に押し付けられて研磨される。また、空気室５４に供給された圧縮空気は、シール部材９０によって空気室５４が密閉されているので、空気室５４からの洩れが抑えられている。これによって、圧縮空気の圧力が効率よくガラス板Ｇに伝達される。
【００５７】
図１に示したステージ２０でガラス板Ｇの研磨が終了すると、ここでキャンバス１４がキャリア５２から取り外されて搬送装置１５４によりステージ２２に搬送される。そして、ステージ２２では、キャンバス１４から、研磨終了したガラス板Ｇを取り外す。取り外されたガラス板Ｇは、コンベア１３８によって搬送され、そして、ロボット１４０のアーム１４２に取り付けられた吸着ヘッド１４４に吸着され、ロボット１４０の動作によってガラス板搬出用コンベア２４に移載され、研磨装置１０の外部に搬出される。
【００５８】
また、ガラス板Ｇが取り外されたキャンバス１４はコンベア１４６によってステージ２６に搬送され、ここで水洗浄される。洗浄終了したキャンバス１４は、コンベア１４８によってステージ２８に搬送され、ここで加熱されて乾燥される。そして、乾燥終了したキャンバス１４は、キャンバス返送コンベア３０によってステージ１６に搬送され、ガラス板Ｇの貼着に再使用される。以上が研磨装置１０の全体構成である。
【００５９】
なお、研磨ステージは、用途により一つであっても、二つ以上であってもよい。効率やコストを考慮すると、粗研磨ステージと仕上研磨ステージの二つのステージを備えることが好ましいが、場合によって高品質目的のために仕上研磨ステージを追加してもよい。
【００６０】
次に、前記の如く構成された研磨装置１０の作用について説明する。
【００６１】
まず、ステージ１６において、キャンバス１４のバックプレート３８に貼り付けられた吸着シート３９にガラス板Ｇを貼着させる。次に、このキャンバス１４をステージ１８に搬送し、キャリア５２に水平に保持させる。次いで、キャンバス１４と研磨パッド５８、６０とを相対的に近接させて、ガラス板Ｇを研磨パッド５８、６０に圧縮空気の圧力によって押し付けるとともに、キャンバス１４及び研磨パッド５８、６０をガラス板Ｇの研磨面に沿って相対的に移動させてガラス板Ｇの研磨面を研磨する。
【００６２】
図４は、ステージ１８、２０に設置された研磨部の構成を示した一部断面図である。前記研磨部は、キャリア５２の空気室５４に供給された圧縮空気の圧力を、キャンバス１４のバックプレート３８及び吸着シート３９を介してガラス板Ｇに伝達し、ガラス板Ｇの研磨面を研磨パッド５８、６０によって研磨する。
【００６３】
実施の形態の研磨装置１０では、膜体を使用せずキャンバス１４を使用してガラス板Ｇを研磨するので、ガラス板Ｇの生産工程から膜体の交換工程を省くことができる。これにより、ガラス板Ｇの生産性が向上する。
【００６４】
なお、実施の形態では、圧縮空気の圧力によってガラス板Ｇを研磨する例を示したが、これに限定されるものではなく、研磨パッド５８、６０に対するキャリア５２の進出力によってガラス板Ｇに研磨圧力を与える研磨装置にも適用することができる。
【００６５】
図６は、研磨圧力をガラス板Ｇに伝達する部材として膜体９２を使用した他の研磨部の形態が示されている。
【００６６】
前記研磨部は、キャリア５２の空気室５４に供給された圧縮空気の圧力によって膜体９２を膨張させ、膨張した膜体９２の押圧力を、キャンバス１４のバックプレート３８及び吸着シート３９を介してガラス板Ｇに伝達し、ガラス板Ｇの研磨面を研磨パッド５８、６０によって研磨する。この研磨部においても、圧縮空気の圧力によってガラス板Ｇの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Ｇを平坦に研磨しながらガラス板Ｇの表面の微小凹凸を除去できる。
【００６７】
本例では膜体９２を有するが、本例の膜体９２はキャリア５２に取り付けられたものであり、ガラス板Ｇを研磨パッド５８、６０に加圧する機能のみ備えたものである。すなわち、ガラス板Ｇの研磨中に生じる研磨抵抗は、キャンバス１４のバックプレート３８が受ける。つまり本例は、ガラス板Ｇを研磨パッド５８、６０に加圧する部材（膜体９２）と、研磨抵抗を受ける部材（バックプレート３８）とを別部品としたので、特許文献１の膜体よりも、その寿命を延ばすことができる。
【００６８】
図６に示した形態においても、キャリア５２のマウント８８に図４に示したシール部材９０を設けてもよい。これにより、空気室５４の気密性が向上する。
【００６９】
なお、図１〜図６に示した形態では、水平に配置されたバックプレート３８の下方に研磨パッド５８、６０が配置された研磨装置１０を例示したが、バックプレート３８の上方に研磨パッド５８、６０が配置された研磨装置にも適用できる。
【００７０】
図７は、箱体（箱状体）９４を使用した研磨部の他の構成を示した模式図である。
【００７１】
同図に示す研磨部は、水平に配置されたバックプレート３８の上方に研磨パッド５８、６０が配置されている。
【００７２】
バックプレート３８は、下面に開口面を有する箱体９４の上面（平面部分）に取り付けられている。このバックプレート３８の上面に吸着シート３９が接着され、吸着シート３９の上面にガラス板Ｇの非研磨面が貼着されている。
【００７３】
箱体９４の開口面から箱体９４の内部空間部に、キャリア５２が入れ子式に嵌合される。そして、キャリア５２の上面縁部にはシール部材９０が取り付けられており、このシール部材９０は、箱体９４の上壁の内側面に接触される。これにより、キャリア５２と箱体９４との間に空気室５４が形成される。この空気室５４に圧縮空気を供給すると、箱体９４が研磨パッド５８、６０に向けて上昇し、吸着シート３９に貼着されたガラス板Ｇが圧縮空気の圧力によって研磨パッド５８、６０に押し付けられる。これにより、この研磨部においても、圧縮空気によってガラス板Ｇの各部分にかかる圧力が均一な圧力となるので、ガラス板Ｇを平坦に研磨しながらガラス板Ｇの表面の微小凹凸を除去できる。
【００７４】
なお、キャリア５２に二点鎖線で示す膜体９２を取り付けて、膜体９２とキャリア５２との間の空気室５４に圧縮空気を供給してもよい。また、圧縮空気を使用せず、キャリア５２の上昇力によって研磨圧力を得るようにしてもよい。
【００７５】
また、図７の研磨部は、箱体９４の開口面（雌）にキャリア５２の上部（雄）が嵌合される入れ子式の嵌合部を備えた構造である。この場合、ガラス板Ｇの研磨に使用されたスラリ（研磨液）は、そのまま落下するので、前記入れ子式の嵌合部からキャリア５２の内側の空気室５４にスラリが浸入することを防止できる。
【００７６】
なお、本例の研磨部は、水平に配置されたバックプレート３８の上方に研磨パッド５８、６０を配置したが、バックプレート３８の下方に研磨パッド５８、６０が配置された研磨装置にも本例を適用することができる。
【００７７】
ステージ１８、２０の仕様の一例を下記に示す。
【００７８】
研磨圧力              ：２ｋＰａ〜２５ｋＰａ
研磨スラリ            ：酸化セリウムを水に分散させた研磨スラリを研磨定盤のスラリ供給孔から供給
研磨パッド５８        ：発泡ポリウレタン製で表面にスラリを流す溝有り（溝ピッチ４．５ｍｍ、溝幅１．５ｍｍ、溝深さ１〜５ｍｍ）
研磨パッド６０        ：軟質ウレタン製スエード状で表面にスラリを流す溝有り（溝ピッチ４．５ｍｍ、溝幅１．５ｍｍ、溝深さ１〜５ｍｍ）
ガラス板Ｇの厚み    ：０．２ｍｍ〜０．７ｍｍ
ガラス板Ｇの形状    ：一辺が１０００ｍｍを超えた矩形状ガラス板
ガラス板Ｇの非研磨面：キャンバス１４のバックプレート３８に貼り付けられたポリウレタン製の吸着パッドにて密着保持
キャンバス１４のバックプレート３８は、長期間の使用においても劣化、損傷とも無く、よって、キャンバス１４の交換作業を激減できることを実験にて確認できた。これにより、ガラス板の生産性が向上することも把握できた。
【符号の説明】
【００７９】
Ｇ…ガラス板、１０…研磨装置、１２…ガラス板搬入用コンベア、１４…キャンバス、１６…ガラス板貼着ステージ、１８…第１の研磨ステージ、２０…第２の研磨ステージ、２２…ガラス板取り外しステージ、２４…ガラス板搬出用コンベア、２６…キャンバス洗浄ステージ、２８…キャンバス乾燥ステージ、３０…キャンバス返送コンベア、３２…ロボット、３３…アーム、３４…吸着パッド、３６…コンベア、３８…バックプレート、３９…吸着シート、４０…上枠、４２…下枠、５０…研磨ヘッド、５１…本体ケーシング、５２…キャリア、５４…空気室、５６…スピンドル、５８…研磨パッド、６０…研磨パッド、６２…研磨定盤、７０…直動ガイド、７２…ガイドレール、７４…メンテナンスステージ、７６…メンテナンスステージ、８０…保持部、８２、８４…円盤、８６…ピン、８８…マウント、９０…シール部材、９２…膜体、９４…箱体、９８…噴射口、１００…空気室、１０２…空気供給路、１０４…バルブ、１０６…空気ポンプ、１３８…コンベア、１４０…ロボット、１４２…アーム、１４４…吸着ヘッド、１４６、１４８…コンベア、１５０、１５２、１５４…搬送装置、１６０…ガイドレール、２００…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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