(57)【要約】【課題】液体貯留部材の揺動等に起因して発生する衝撃による圧力変動が流路内の液体を伝播することによりメニスカスが破壊されることを抑制でき、容易に製造することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体貯留部材３内の液体を液体導入部１２から液体流路を通じて圧力室３４側に導入し、圧力発生手段４４の作動によって圧力室内の液体をノズル２１から液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、液体流路内に、気体を内封し、弾性変形して容積変化可能な緩衝体５４が設けられた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が導入される液体導入部から液体流路を通じて圧力室に液体を供給し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
前記液体流路内に、気体を内封し、弾性変形して容積変化可能な緩衝体が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記液体流路のうち液体導入部の内部に形成された導入部流路には、前記液体流路内の液体を濾過するフィルターを備えたフィルター室が形成され、
該フィルター室のフィルターより上流側に、前記緩衝体が配置されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記導入部流路は、前記液体貯留部材内の液体を導入する導入孔と、該導入孔と上流側が連通し、下流側が前記フィルター室と連通する貫通路と、が形成され、
前記緩衝体の外径を前記貫通路の内径よりも大きくしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記貫通路の少なくともフィルター室に連通する側の端部の内面に、溝が形成されたことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記緩衝体の表面に、緩衝体の前記変形に拘らず液体が通過可能な溝が形成されたことを特徴とする請求項１または請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
液体貯留部材内の液体が導入される液体導入部から液体流路を通じて圧力室に液体を供給し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射装置であって、
前記液体流路内に、気体を内封し、弾性変形して容積変化可能な緩衝体が設けられたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、液体貯留部材に貯留された液体を液体導入針等の導入部を介して圧力室に導入し、この圧力室内に導入した液体をノズルから液滴として吐出する液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として噴射させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレイなどのカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。
【０００３】
例えば、上記のような記録ヘッドでは、図６に示すように、液体状のインクを封入した液体貯留部材としてのインクカートリッジ９１に、液体導入針の一種であるインク導入針９２を挿入することで、このインク導入針９２から記録ヘッド９３内のインク流路（インク導入針９２内からケース流路９５、リザーバー９６、インク供給口９７を介して圧力室９８に至る一連の流路）を通じてインクカートリッジ９１内のインクを圧力室９８側に導入している。そして、圧力発生手段（図示せず）の作動によって圧力室９８内のインクをノズル９９から液滴として噴射している。
【０００４】
ところが、インクカートリッジ９１にインク導入針９２を挿入する際に発生するインクカートリッジ９１の振動（揺動）や（図６（ａ）に示す破線がインクカートリッジ９１の揺動を表している）、インク導入針９２をインクカートリッジ９１に挿入した後のインクカートリッジ９１に加わる外的作用（衝撃）等により、インク導入針９２に衝撃が加えられるおそれがある（図６（ａ）の白矢印）。この衝撃による圧力が、インク導入針９２内のインクに伝播し、さらにインク流路を介してノズル９９に伝播することにより（図６（ｂ）の白矢印）、ノズル９９に形成されているメニスカス１００が破壊されるおそれがあった。その結果、インクの噴射（吐出）不良が起きるおそれがあった。
【０００５】
上記のような不具合を防止するための方法として、ノズルになるべく衝撃が伝播しないように、インク流路内の衝撃を緩和することが挙げられる。このような構造として、例えば、特許文献１には、リザーバー内に発泡性弾性材料を設けた構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１７１９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のような構造では、ディスペンサー等でリザーバー内に発泡性弾性材料を塗布する必要があるため、製造し難く、コストアップに繋がっていた。特に、近年では、高解像度に対応するためノズルピッチを狭ピッチにするとともに、これに対応してリザーバーを小さくした記録ヘッドが開発されており、このような記録ヘッドのリザーバーに発泡性弾性材料を安定して配設することは困難であった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体貯留部材の揺動等に起因して発生する衝撃が流路内の液体を伝播することによりメニスカスが破壊されることを抑制でき、容易に製造することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体が導入される液体導入部から液体流路を通じて圧力室に液体を供給し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
前記液体流路内に、気体を内封し、弾性変形して容積変化可能な緩衝体が設けられたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、液体貯留部材を液体導入部に挿入する際に発生する液体貯留部材の振動（揺動）や、液体貯留部材を液体導入部に挿入した後の液体貯留部材に加わる外的作用（衝撃）等により、液体導入部に急激な圧力変動が発生したとしても、緩衝体によって圧力変動を緩和（吸収）することができ、この圧力変動がノズルに伝播することを抑制することができる。これにより、ノズルに形成されているメニスカスが破壊されることを防止でき、液体の噴射（吐出）不良を防止できる。また、別個に緩衝体を作成し、液体流路内に封入すれば良いため、製造が容易である。
【００１１】
上記構成において、前記液体流路のうち液体導入部の内部に形成された導入部流路には、前記液体流路内の液体を濾過するフィルターを備えたフィルター室が形成され、
該フィルター室のフィルターより上流側に、前記緩衝体が配置された構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、緩衝体が液体流路内を流下して液体流路の一部を塞ぐことを防止できる。また、液体導入部を液体噴射ヘッドに組み付ける際に、緩衝体を封入すれば良いため、製造が一層容易である。
【００１２】
上記各構成において、前記導入部流路は、前記液体貯留部材内の液体を導入する導入孔と、該導入孔と上流側が連通し、下流側が前記フィルター室と連通する貫通路と、が形成され、
前記緩衝体の外径を前記貫通路の内径よりも大きくした構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、緩衝体が貫通路内に流入することが防止され、これにより、緩衝体によって導入孔が塞がれることを防止できる。
【００１３】
上記構成において、前記貫通路の少なくともフィルター室に連通する側の端部の内面に、溝が形成された構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、緩衝体により貫通路の入り口が塞がれたとしても、液体が溝を通ることができるので、液体の流れが阻害されることを防止することができる。
【００１４】
また、前記緩衝体の表面に、緩衝体の前記変形に拘らず液体が通過可能な溝が形成された構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、緩衝体により貫通路の入り口が塞がれたとしても、液体が溝を通ることができるので、液体の流れが阻害されることを防止することができる。
【００１５】
そして、本発明の液体噴射装置は、液体が導入される液体導入部から液体流路を通じて圧力室に液体を供給し、圧力発生手段の作動によって圧力室内の液体をノズルから液滴として噴射可能な液体噴射装置であって、
前記液体流路内に、気体を内封し、弾性変形して容積変化可能な緩衝体が設けられたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】インクカートリッジを装着した状態における記録ヘッドの断面図である。
【図３】記録ヘッド本体の断面図である。
【図４】（ａ）インク導入針の拡大断面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【図５】発泡体の種々の実施形態を示した図である。
【図６】従来の記録ヘッドを説明する図であり、（ａ）記録ヘッド内の流路の模式図、（ｂ）領域Ｂ拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を例に挙げて説明する。
【００１８】
プリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、単に記録ヘッドという）が取り付けられると共に、記録ヘッド２が取り付けられると共に、液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（ノズル２１から噴射された液体が着弾する着弾対象の一種）の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構７と、紙幅方向に直交する方向である紙送り方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８等を備えている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向（記録ヘッド２の往復移動方向）であり、紙送り方向とは、副走査方向（即ち、記録ヘッド２の走査方向に直交する方向）である。
【００１９】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１０によって検出され、検出信号が位置情報として制御部（図示せず）に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー１０からの位置情報に基づいてキャリッジ４（記録ヘッド２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド２による記録動作（噴射動作）等を制御することができる。
【００２０】
次に、記録ヘッド２の構成について説明する。ここで、図２は、インクカートリッジ３を装着した状態における記録ヘッド２の断面図、図３は、記録ヘッド本体１５の断面図である。例示した記録ヘッド２は、カートリッジ装着部１３にインク導入針１２（本発明における液体導入部に相当）を有する導入針ホルダー１４と、この導入針ホルダー１４の下部に接続される記録ヘッド本体１５と、を備えている。なお、図２は、インクカートリッジ３からノズル２１に至る流路を分かり易く示すために、記録ヘッド２を模式的に示しているため、各部分の形状、位置関係、大きさ等が実際とは異なる場合がある。
【００２１】
導入針ホルダー１４は、例えば合成樹脂によって作製されており、図２に示すように、その上面には複数のカートリッジ装着部１３が設けられている。各カートリッジ装着部１３には、インク導入針１２が、先端を上方に突出させた状態でそれぞれ取り付けられている。このインク導入針１２の内部には、インクを濾過するフィルター１７を内部に備えた導入針流路１８（本発明における導入部流路に相当）が形成されている。なお、インク導入針１２の詳しい構成は後述する。また、これらのカートリッジ装着部１３には、各種インク（例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインク、ブラックインク）を貯留したインクカートリッジ３が装着される。カートリッジ装着部１３にインクカートリッジ３を装着すると、インク導入針１２がインクカートリッジ３の内部に挿入される。これにより、インクカートリッジ３内部のインク貯留空間３ａと記録ヘッド２内部のインク流路とが、導入針流路１８を介して連通し、インク貯留空間３ａ内に貯留されているインクが記録ヘッド２内に導入される。なお、インクカートリッジ３としては、本実施形態のようにキャリッジ４に装着するタイプには限らず、プリンター１の筐体側に装着されてインク供給チューブを通じて記録ヘッド２側にインクを供給するタイプを採用することも可能である。
【００２２】
また、上記カートリッジ装着部１３とは反対側となるインク導入針１２の下面には、複数のインク導入針１２に対応して、記録ヘッド本体１５に向けて管状の流路形成管１９が複数形成されている。この流路形成管１９の内部には、上流側で導入針流路１８に連通し、下流側で後述するヘッドケース２４のケース流路２６と連通する連通流路１９ａが形成されている。本実施形態では、連通流路１９ａはケース流路２６に向けて、副走査方向および主走査方向に傾斜している。
【００２３】
記録ヘッド本体１５は、図３に示すように、ノズル２１に連通するインク流路を形成する流路ユニット２２と、流路内に圧力変動を生じさせる圧力発生手段を有する振動子ユニット２３と、この子振動子ユニット２３を内部に備えたヘッドケース２４と、から構成されている。
【００２４】
ヘッドケース２４は、中空箱体状部材であり、その上面には、導入針ホルダー１４が装着されている。また、導入針ホルダー１４とは反対側の下面には、ノズルプレート２８（後述）を露出させた状態で流路ユニット２２が固定されている。さらに、ヘッドケース２４の内部には、振動子ユニット２３を収容するための収容空部２５と、上流側（導入針ホルダー１４側）からのインクをリザーバー３２に供給するためのケース流路２６と、がその高さ方向を貫通して形成されている。ケース流路２６は、複数のリザーバー３２に対応して複数形成されており、その上端が連通流路１９ａと、下端がインク導入口３７（後述）を介してリザーバー３２とそれぞれ液密に連通している。
【００２５】
次に、流路ユニット２２について説明する。流路ユニット２２は、ヘッドケース２４の下側（記録紙６側）に取り付けられる薄板状の部材である。この流路ユニット２２は、ノズルプレート２８、流路形成基板２９、及び振動板３０から構成され、ノズルプレート２８を流路形成基板２９の一方の表面に、振動板３０をノズルプレート２８とは反対側となる流路形成基板２９の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで構成されている。
【００２６】
記録ヘッド２の底面に配置されるノズルプレート２８は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば、１８０ｄｐｉ）で複数のノズル２１を主走査方向に沿って開設した薄い金属板である。また、ノズル２１は、ノズルプレート２８に対して軸が垂直となるように形成されて内径が一定のストレート部と、流路形成基板２９側から流路形成基板２９とは反対側（記録紙６側）に向けて内径が縮径したテーパー部と、を有している。テーパー部の一端は、ノズルプレート２８における流路形成基板２９側の面に開口し、テーパー部の他端はノズルプレート２８厚方向の途中に位置する。ストレート部の一端は、テーパー部の他端と連通し、ストレート部の他端はノズルプレート２８における記録紙６側の面に開口している。そして、このストレート部にメニスカスが形成されている。さらに、本実施形態では、例えば、１８０個のノズル２１を列状に開設し、これらのノズル２１によってノズル列を構成している。
【００２７】
流路形成基板２９は、リザーバー３２、インク供給口３３、及び圧力室３４からなる一連の流路を形成する板状部材である。具体的には、この流路形成基板２９は、各ノズル２１に対応させて圧力室３４となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成すると共に、インク供給口３３およびリザーバー３２となる空部を形成した板状の部材である。そして、本実施形態の流路形成基板２９は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力室３４は、ノズル列方向に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口３３は、圧力室３４とリザーバー３２との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー３２は、インクカートリッジ３に貯留されたインクを各圧力室３４に供給するための室であり、インク供給口３３を通じて対応する各圧力室３４に連通している。なお、本実施形態では、インク導入針１２の導入針流路１８から、連通流路１９ａ、ケース流路２６、インク導入口３７、リザーバー３２、およびインク供給口３３を介して圧力室３４に至る一連のインク流路が本発明の液体流路に相当する。
【００２８】
振動板３０は、ステンレス鋼等の金属製の支持板３５上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム３６をラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板３０には、上下方向に貫通させたインク導入口３７を各リザーバー３２に対応して複数開設しており、リザーバー３２とケース流路２６を繋げている。また、振動板３０の圧力室３４に対応する部分には、圧力室３４の一方の開口面を封止してこの圧力室３４の容積を変動させるためのダイヤフラム部３８を有している。ダイヤフラム部３８は、圧力室３４に対応した部分の支持板３５にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して後述する圧電振動子４４の自由端部の先端を接合するための島部３９を形成することで構成されている。この島部３９は、圧力室３４の平面形状と同様に、ノズル列方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部３９の周りの樹脂フィルム３６が弾性体膜として機能する。さらに、振動板３０のリザーバー３２に対応する部分には、リザーバー３２の一方の開口面を封止するコンプライアンス部４０が形成されている。すなわち、コンプライアンス部４０は、リザーバー３２の開口形状に倣って支持板３５がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム３６のみとなっている。
【００２９】
次に、振動子ユニット２３について説明する。振動子ユニット２３は、複数の圧電振動子４４（圧力発生手段の一種）からなる圧電振動子群４２、フレキシブルケーブル４３（配線部材）等から構成されている。圧電振動子群４２を構成する圧電振動子４４は、縦方向に細長い櫛歯状に形成されており、数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けられている。そして、この圧電振動子４４は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子４４として構成されている。各圧電振動子４４は、固定端部を固定板４５上に接合することにより、自由端部を固定板４５の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子４４における自由端部の先端は、前述したように、それぞれ流路ユニット２２におけるダイヤフラム部３８を構成する島部３９に接合される。また、各圧電振動子４４を支持する固定板４５は、圧電振動子４４からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成される。本実施形態では、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。さらに、フレキシブルケーブル４３は、一端が固定板４５とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子４４と電気的に接続され、他端が図示しない制御基板に接続されている。これにより、制御部からの信号を制御基板、フレキシブルケーブル４３を介して圧電振動子４４に送ることができ、圧電振動子４４の伸縮を制御している。
【００３０】
このように構成された記録ヘッド２では、島部３９に圧電振動子４４の先端面が接合されているので、この圧電振動子４４の自由端部を伸縮させることで圧力室３４の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力室３４内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド２は、この圧力変動を利用して、圧力室３４内のインクをノズル２１からインク滴として噴射（吐出）させる。
【００３１】
次に、インク導入針１２の構成について説明する。図４に示すように、インク導入針１２は、内部空間を導入針流路１８とした部材である。本実施形態では、導入針ホルダー１４に取り付けられる中空針状の針部材４７と、その下方の部分（針部材４７に対応する導入針ホルダー１４の上面）と、が一体となってインク導入針１２を形成している。針部材４７は、内部に上流側フィルター室５２（後述）を有し、下流側（フィルター１７側）に向かって拡径した略円錐形の拡径部４７ａと、拡径部４７ａの上部に形成された円筒部４７ｂと、円筒部４７ｂの先端において先細り形状に形成された円錐形状の尖端部４７ｃと、を有しており、この尖端部４７ｃにインク導入針１２の外部と内部とを連通（インク貯留空間３ａと後述する貫通路４９とを連通）する導入孔４８が複数開設されている。また、針部材４７の尖端部４７ｃおよび円筒部４７ｂの内部には、上端部が導入孔４８の下端部（下流側）に連通する貫通路４９が形成されている。本実施形態では、この貫通路４９における円筒部４７ｂの内面に、円筒部４７ｂの高さ方向（インクの流下方向）に沿って筋状に形成したチョーク防止溝５０が、円筒部４７ｂの円周に沿って所定の間隔を空けて複数本形成されている（図４（ｂ）参照）。なお、チョーク防止溝５０は、円筒部４７ｂの高さ方向の全部に設ける必要はなく、少なくとも下流側の端部（フィルター室５１との境界部）に形成されていれば良く、また、フィルター室５１の内壁まで連続する状態に形成されても良い。
【００３２】
また、貫通路４９の下端部には、導入針流路１８内のインクを濾過して異物や気泡等を除去するためのフィルター１７を備えたフィルター室５１が連通している。本実施形態のフィルター１７は、細かな網目を有する金属製の平板状網材からなり、網目を通してインクを濾過する。フィルター室５１は、貫通路４９との連通口からフィルター１７に向けて内径を次第に拡径させた上流側フィルター室５２と、これとフィルター１７を挟んで反対側（下流側）に位置し、フィルター１７から下端部に連通する連通流路１９ａに向けて内径を次第に縮径させた下流側フィルター室５３と、から構成されている。このように、インク導入針１２の内部には、導入孔４８、貫通路４９、上流側フィルター室５２、および、下流側フィルター室５３によって一連の導入針流路１８が構成されている。したがって、インク導入針１２の尖端部４７ｃをインクカートリッジ３の内部に挿入すると、インク貯留空間３ａ内のインクが、導入針流路１８を通じて連通流路１９ａに送られる。
【００３３】
そして、上流側フィルター室５２の内部には、気体を内封（内包）した球形の発泡体５４（本発明における緩衝体に相当）を設けている（図４（ａ）、図５（ａ）参照）。また、本実施形態では、発泡体５４の外径（球の直径）を、貫通路４９の内径（上流側フィルター室５２との連通口の開口径）よりも大きくしている。このような発泡体５４は、シリコーンゴム等の弾性変形し易い部材を用いて、球の表面に相当する部分を薄膜状に形成し、内部に少なくとも１つ以上設けられた独立空間にガスや空気等の気体を内包することで形成される。そして、発泡体５４は、針部材４７を導入針ホルダー１４に取り付けてインク導入針１２を作成する際に、上流側フィルター室５２内に封入される。なお、発泡体５４は、導入針流路１８内に固定されず、インクの流れ等に応じて上流側フィルター室５２内を自由に移動することができるが、その直径を貫通路４９の開口径よりも大きくしているため、貫通路４９内に進入することは無く、またフィルター１７により区画されているため、下流側フィルター室５３内に進入することも無い。なお、発泡体５４の表面には、防腐処理や撥水処理を施すこともできる。
【００３４】
このように、上流側フィルター室５２の内部に発泡体５４を設けたので、インクカートリッジ３をインク導入針１２に挿入する際に発生するインクカートリッジ３の振動（揺動）や、インクカートリッジ３をインク導入針１２に挿入した後のインクカートリッジ３に加わる外的作用（衝撃）等により、インク導入針１２に急激な圧力変動が発生したとしても、発泡体５４の弾性変形（流路内の圧力が高まったときには圧縮され、流路内の圧力が低くなったときには弾性により膨張されること）によって圧力変動を緩和（吸収）することができ、この圧力変動がノズル２１に伝播することを抑制することができる。これにより、ノズル２１に形成されているメニスカスが破壊されることを防止でき、インクの噴射（吐出）不良を防止できる。また、別個に発泡体５４を作成し、上流側フィルター室５２内に封入すれば良いため、製造が容易である。さらに、発泡体５４が液体流路内を流下して液体流路を塞ぐことを防止できる。
【００３５】
また、発泡体５４の外径を貫通路４９の内径よりも大きくしたので、発泡体５４が貫通路４９内に流入することにより、導入孔４８が塞がれることを防止できる。さらに、貫通路４９の少なくともフィルター室５１に連通する側の端部の内面に、チョーク防止溝５０を形成したので、図４（ａ）に示すように、発泡体５４により貫通路４９の開口（上流側フィルター室５２の入口）が塞がれたとしても発泡体５４とチョーク防止溝５０との間に隙間が確保されるため、この部分をインクが通過することができるので、インクの流れが阻害されることなく下流側にスムーズに流すことができる。
【００３６】
ところで、上記第１の実施形態では、１つの発泡体５４を球形に形成したが、これには限らず、種々の形状を取ることができる。例えば、図５（ｂ）〜（ｄ）に、その他の実施形態における発泡体５４の形状を示す。図５（ｂ）に示す、第２の実施形態の発泡体５４は、複数の小さい単位発泡体５４ａを球状に集めて１つの発泡体５４としたものである。このようにすれば、インク内の異物等により、単位発泡体５４ａの１つが傷つけられて内部の気泡が漏れたとしても、発泡体５４の衝撃緩和効果を維持することができる。また、図５（ｃ）に示す、第３の実施形態の発泡体５４は、単位発泡体５４ａを第２の実施形態の単位発泡体５４ａよりも大きく構成し、これらを球状に集めて１つの発泡体５４としたものである。この場合は、単位発泡体５４ａが比較的大きく、また作成する単位発泡体５４ａの数も少なくてよいため、発泡体５４を容易に製造することができる。なお、単位発泡体５４ａ同士は、シリコーン接着剤等を用いて接着することができる。
【００３７】
さらに、図５（ｄ）に示す、第４の実施形態の発泡体５４は、第１の実施形態と同様に１つの発泡体５４により球状に形成されているが、その表面には、円周に沿った溝５５が形成されている。本実施形態では、球の両極を結ぶ円周上およびこれと垂直に交わる円周上に、緩衝体の変形に拘らず液体が通過可能な溝５５を形成している。これにより、図４（ａ）に示すように、発泡体５４が貫通路４９の入り口を塞いだとしても、この溝５５によって貫通路４９との間に間隙が形成されるため、ここからインクが流過することができ、下流側にインクをスムーズに流すことができる。もっとも、発泡体５４の溝５５や貫通路４９のチョーク防止溝５０が形成されていない場合において、発泡体５４により隙間無く貫通路４９の開口が塞がれたとしても、本実施形態の発泡体５４は軽量であるため、インクカートリッジ３からのインクの流入により浮力に抗して発泡体５４を下流側に押し流すことで、インクが記録ヘッド２内に流入することができる。しかしながら、前記のように発泡体５４の溝５５や貫通路４９のチョーク防止溝５０を設けた場合は、発泡体５４を押し流す際に、チョーク防止溝５０または溝５５から円滑にインクが通過することができるため、インクをよりスムーズに流すことができる。なお、発泡体５４の溝５５には、第３の実施形態のように単位発泡体５４ａ同士の間に形成される谷間（隙間）も含まれる。
【００３８】
また、上記実施形態では、発泡体５４を上流側フィルター室５２の内部に封入したが、これには限られない。要は、記録ヘッドのインク流路内に発泡体を設ければよい。例えば、リザーバーの内部に発泡体を封入することもできる。この場合は、インク導入口およびインク供給口の開口幅より大きい径に形成することが望ましい。このようにすれば、発泡体がインク導入口およびインク供給口に流入することを抑制できる。また、第４の実施形態のように、発泡体に溝を形成することが望ましい。このようにすれば、発泡体がリザーバー内を移動してインク導入口またはインク供給口の入口を塞いだとしても、この溝によりインクを流すことができる。さらに、ノズルプレート、流路形成基板、及び振動板を積層して流路形成基板を形成する際に、発泡体をリザーバー内に封入すればよいため、容易に製造することができる。そして、発泡体の衝撃緩和効果により、上流側に発生した衝撃による圧力変動がノズルに伝播することを抑制することができ、ノズルに形成されているメニスカスが破壊されることを防止できる。その結果、液体の噴射（吐出）不良を防止できる。
【００３９】
なお、以上の説明では、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、液体導入針を有する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，１２…インク導入針，１７…フィルター，１８…導入針流路，１９ａ…連通流路，２１…ノズル，２６…ケース流路，３４…圧力室，４８…導入孔，４９…貫通路，５０…チョーク防止溝，５１…フィルター室，５２…上流側フィルター室，５４…発泡体，５５…溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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