(57)【要約】【課題】基材フィルムの切断作業を繰り返しても接着剤が切断部分や本体部分に付着しにくいフィルムカッタを提供する。【解決手段】切断部分１２０で切断される基材フィルムから接着剤が付着しにくい非粘着性に少なくとも本体部分１１０の一部が表面処理されているので、フィルムカッタ１００に付着した接着剤のために基材フィルムの切断が困難となることを防止でき、フィルムカッタ１００に滞積した接着剤が切断された基材フィルムにダマや糸状に付着してウェハへの接着を阻害することを防止でき、フィルムカッタ１００に滞積した接着剤がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、
本体部分の先縁部位に前記基材フィルムを前記接着剤とともに切断する先鋭な切断部分が形成されており、
前記切断部分で切断される前記基材フィルムから前記接着剤が付着しにくい非粘着性に少なくとも前記本体部分の一部が表面処理されているフィルムカッタ。
【請求項２】
少なくとも前記本体部分の一部の表面に樹脂が被覆されている請求項１に記載のフィルムカッタ。
【請求項３】
前記樹脂が、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、シリコン樹脂、フッ素樹脂、からなる群の少なくとも一つからなる請求項２に記載のフィルムカッタ。
【請求項４】
少なくとも前記本体部分の一部の表面に微粒子が分散された樹脂が被覆されている請求項１に記載のフィルムカッタ。
【請求項５】
前記微粒子が、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、ボロンナイトライド、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、ナイロン、ポリイミド、シリコン、セラミック、からなる群の少なくとも一つからなる請求項４に記載のフィルムカッタ。
【請求項６】
前記樹脂が、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、からなる群の少なくとも一つからなる請求項４または５に記載のフィルムカッタ。
【請求項７】
少なくとも前記本体部分の一部の表面が所定の粗度の粗面とされている請求項１に記載のフィルムカッタ。
【請求項８】
少なくとも前記本体部分の一部の表面がブラスト処理されている請求項７に記載のフィルムカッタ。
【請求項９】
少なくとも前記本体部分の一部の表面が所定の粗度の粗面とされており、
前記粗面に所定の皮膜が被覆されている請求項１に記載のフィルムカッタ。
【請求項１０】
前記皮膜が、トシカルエスコーティング、アドロン、からなる群の少なくとも一つからなる請求項９に記載のフィルムカッタ。
【請求項１１】
前記切断部分に隣接する前記本体部分の先端部位が薄肉に形成されている請求項１ないし１０の何れか一項に記載のフィルムカッタ。
【請求項１２】
前記基材フィルムに穿刺される穿刺部分と、
前記穿刺部分に所定角度で連続していて前記基材フィルムを切断する前記切断部分と、
を有する請求項１ないし１１の何れか一項に記載のフィルムカッタ。
【請求項１３】
前記基材フィルムの表面と直交する基準線に対して前記穿刺部分が鋭角に形成されており、
前記基準線に対して前記切断部分が鈍角に形成されている請求項１２に記載のフィルムカッタ。
【請求項１４】
ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、
本体部分の先縁部位に前記基材フィルムを前記接着剤とともに切断する先鋭な切断部分が形成されており、
前記切断部分に隣接する前記本体部分の先端部位が薄肉に形成されているフィルムカッタ。
【請求項１５】
ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、
基材フィルムに穿刺される穿刺部分と、
前記穿刺部分に所定角度で連続していて前記基材フィルムを切断する切断部分と、
を有するフィルムカッタ。
【請求項１６】
前記基材フィルムの表面と直交する基準線に対して前記穿刺部分が鋭角に形成されており、
前記基準線に対して前記切断部分が鈍角に形成されている請求項１５に記載のフィルムカッタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体装置の製造工程の一つとしてウェハの一面に基材フィルムを接着することがある。その場合、接着剤が一面に成膜されている基材フィルムをフィルムカッタでウェハと同一形状に切断している。
【０００３】
そのフィルムカッタ１０は、図５に示すように、長方形状の金属板の本体部分１１の上端部を三角形に形成し、その先縁部に先鋭な切断部分１２が形成されている。このようなフィルムカッタ１０は、例えば、全長２５ｍｍ、板厚０．４ｍｍ、切断部分１２の長手方向の長さ７ｍｍ、この切断部分１２以外の本体部分１１の長さ１８ｍｍ、などに形成されている。
【０００４】
このようなフィルムカッタ１０を利用した基材フィルム２０の切断作業は、図６に示すように、基材フィルム２０を上側として接着剤２１を下側とし、フィルムカッタ１０を下側から穿刺して切断する。図７に示すように、このように切断された基材フィルム２０はウェハ３０と同一の円形となるので、この基材フィルム２０が接着剤２１でウェハ３０の一面に接着される。
【０００５】
現在、上述のようなフィルムカッタとして各種の提案がある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−２８３６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述のようなフィルムカッタ１０で何枚もの基材フィルム２０を切断してゆくと、接着剤２１がフィルムカッタ１０の切断部分１２や本体部分１１に付着して滞積する。すると、フィルムカッタ１０に付着した接着剤２１のために基材フィルム２０の切断が困難となる。また、フィルムカッタ１０に滞積した接着剤２１が、切断された基材フィルム２０にダマや糸状に付着し、基材フィルム２０を汚染してウェハ３０への接着を阻害することがある。さらに、フィルムカッタ１０に滞積した接着剤２１がダマや糸状にカッタ装置本体(図示せず)に付着し、カッタ装置本体を汚染することがある。
【０００８】
本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、基材フィルムの切断作業を繰り返しても、接着剤が切断部分や本体部分に付着しにくい、または、付着する接着剤が基材フィルムに接触する位置に滞積しにくい、フィルムカッタを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第一のフィルムカッタは、ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、本体部分の先縁部位に基材フィルムを接着剤とともに切断する先鋭な切断部分が形成されており、切断部分で切断される基材フィルムから接着剤が付着しにくい非粘着性に本体部分の少なくとも一部が表面処理されている。従って、本発明のフィルムカッタでは、本体部分の少なくとも一部が非粘着性に表面処理されているので、切断する基材フィルムから接着剤が付着しにくい。
【００１０】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、本体部分の少なくとも一部の表面に樹脂が被覆されていてもよい。
【００１１】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、樹脂が、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、シリコン樹脂、フッ素樹脂、からなる群の少なくとも一つからなってもよい。
【００１２】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、本体部分の少なくとも一部の表面に微粒子が分散された樹脂が被覆されていてもよい。
【００１３】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、微粒子が、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、ボロンナイトライド、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、ナイロン、ポリイミド、シリコン、セラミック、からなる群の少なくとも一つからなってもよい。
【００１４】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、樹脂が、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、からなる群の少なくとも一つからなってもよい。
【００１５】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、本体部分の少なくとも一部の表面が所定の粗度の粗面とされていてもよい。
【００１６】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、本体部分の少なくとも一部の表面がブラスト処理されていてもよい。
【００１７】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、本体部分の少なくとも一部の表面が所定の粗度の粗面とされており、粗面に所定の皮膜が被覆されていてもよい。
【００１８】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、皮膜が、トシカルエスコーティング、アドロン、からなる群の少なくとも一つからなてもよい。
【００１９】
また、上述のようなフィルムカッタにおいて、切断部分に隣接する本体部分の先端部位が薄肉に形成されていてもよい。
【００２０】
本発明の第二のフィルムカッタは、ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、本体部分の先縁部位に基材フィルムを接着剤とともに切断する先鋭な切断部分が形成されており、切断部分に隣接する本体部分の先端部位が薄肉に形成されている。
【００２１】
従って、本発明のフィルムカッタでは、切断部分に隣接する本体部分の先端部位が薄肉に形成されているので、通常の肉厚のカッターよりも刃の進行方向の断面積が小さくなり、接着剤が刃に掻き取られにくく、付着しにくくなる。
【００２２】
本発明の第三のフィルムカッタは、ウェハに接着される接着剤が一面に成膜されている基材フィルムを切断するフィルムカッタであって、基材フィルムに穿刺される穿刺部分と、穿刺部分に所定角度で連続していて基材フィルムを切断する切断部分と、を有する。
【００２３】
従って、本発明のフィルムカッタでは、基材フィルムへの穿刺と切断とが各々適切な角度で実行され、切断する基材フィルムから付着する接着剤が基材フィルムと接触する位置に滞積しにくい。
【００２４】
なお、本発明の各種の構成要素は、必ずしも個々に独立した存在である必要はなく、複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等でもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の第一および第二のフィルムカッタでは、切断する基材フィルムから接着剤が付着しにくいので、フィルムカッタに付着した接着剤のために基材フィルムの切断が困難となることを防止でき、フィルムカッタに滞積した接着剤が切断された基材フィルムにダマや糸状に付着してウェハへの接着を阻害することを防止でき、フィルムカッタに滞積した接着剤がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。
【００２６】
本発明の第三のフィルムカッタでは、基材フィルムへの穿刺と切断とを各々適切な角度で実行することができ、切断する基材フィルムから付着する接着剤が基材フィルムに接触する位置に滞積しないので、フィルムカッタに付着した接着剤のために基材フィルムの切断が困難となることを防止でき、フィルムカッタに滞積した接着剤が切断された基材フィルムにダマや糸状に付着してウェハへの接着を阻害することを防止でき、フィルムカッタに滞積した接着剤がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の第一の形態のフィルムカッタの構造を示す模式的な側面図である。
【図２】一変形例のフィルムカッタの構造を示す模式的な側面図である。
【図３】本発明の実施の第二の形態のフィルムカッタの構造を示す模式的な側面図である。
【図４】本発明の実施の第三の形態のフィルムカッタの構造を示す模式的な側面図である。
【図５】一従来例のフィルムカッタの構造を示す模式的な側面図である。
【図６】フィルムカッタで基材フィルムを切断する状態を示す模式的な斜視図である。
【図７】切断された基材フィルムをウェハに接着する状態を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明の実施の第一の形態を図１を参照して以下に説明する。ただし、以下の実施の形態に関して前述した一従来例と同一の部分は、同一の名称および符号を使用して詳細な説明は省略する。
【００２９】
本実施の形態のフィルムカッタ１００は、ウェハ３０に接着される接着剤２１が一面に成膜されている基材フィルム２０を切断する。このため、本実施の形態のフィルムカッタ１００は、本体部分１１０の先縁部位に基材フィルム２０を接着剤２１とともに切断する先鋭な切断部分１２０が形成されており、切断部分１２０で切断される基材フィルム２０から接着剤２１が付着しにくい非粘着性に少なくとも本体部分１１０の一部が表面処理されている。
【００３０】
より具体的には、本実施の形態のフィルムカッタ１００では、全体の表面に樹脂１３０が被覆されており、その樹脂１３０が、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、シリコン樹脂、フッ素樹脂、からなる群の少なくとも一つからなる。
【００３１】
上述のような構成において、本実施の形態のフィルムカッタ１００を利用した基材フィルム２０の切断作業でも、従来と同様に、図６に示すように、基材フィルム２０を上側として接着剤２１を下側とし、フィルムカッタ１０を下側から穿刺して切断する。図７に示すように、このように切断された基材フィルム２０はウェハ３０と同一の円形となるので、この基材フィルム２０が接着剤２１でウェハ３０の一面に接着される。
【００３２】
ただし、本実施の形態のフィルムカッタ１００では、接着剤２１が付着しにくい樹脂１３０で全体が被覆されている。このため、切断する基材フィルム２０から接着剤２１が付着しにくい。
【００３３】
従って、本実施の形態のフィルムカッタ１００では、付着した接着剤２１のために基材フィルム２０の切断が困難となることを防止でき、滞積した接着剤２１が切断された基材フィルム２０にダマや糸状に付着してウェハ３０への接着を阻害することを防止でき、滞積した接着剤２１がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。
【００３４】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態では接着剤２１が付着しにくい樹脂１３０でフィルムカッタ１００の全体が被覆されていることを例示した。
【００３５】
しかし、図２に例示するフィルムカッタ２００のように、接着剤２１を切断する位置より下方の本体部分１１０の部位のみ樹脂１３０が被覆されていてもよい。この場合でも切断する基材フィルム２０から接着剤２１がフィルムカッタ２００の本体部分１１０に付着して滞積することを防止できる。
【００３６】
また、上記形態では切断部分１２０で切断される基材フィルム２０から接着剤２１が付着しにくい非粘着性の表面処理として樹脂１３０が被覆されていることを例示した。しかし、少なくとも本体部分１１０の一部の表面に微粒子が分散された樹脂１３０が被覆されていてもよい。
【００３７】
その場合、微粒子は、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、ボロンナイトライド、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、ナイロン、ポリイミド、シリコン、セラミック、からなる群の少なくとも一つからなり、樹脂１３０は、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００３８】
さらに、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされていてもよい。その場合、少なくとも本体部分１１０の一部の表面がブラスト処理されていればよい。このようなフィルムカッタ(図示せず)でも、切断する基材フィルム２０から接着剤２１が本体部分１１０に付着して滞積することを防止できる。
【００３９】
また、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされており、粗面に所定の皮膜が被覆されていてもよい。この場合、皮膜が、トシカルエスコーティング、アドロン、からなる群の少なくとも一つからなればよい。このようなフィルムカッタ(図示せず)でも、切断する基材フィルム２０から接着剤２１が本体部分１１０に付着して滞積することを防止できる。
【００４０】
つぎに、本発明の実施の第二の形態のフィルムカッタ３００を図３に基づいて以下に説明する。本実施の形態のフィルムカッタ３００では、切断部分１２０に隣接する本体部分１１０の先端部位１１１が薄肉に形成されている。
【００４１】
上述のような構成において、本実施の形態のフィルムカッタ３００を利用した基材フィルム２０の切断作業でも、従来と同様に、図６に示すように、基材フィルム２０を上側として接着剤２１を下側とし、フィルムカッタ１０を下側から穿刺して切断する。図７に示すように、このように切断された基材フィルム２０はウェハ３０と同一の円形となるので、この基材フィルム２０が接着剤２１でウェハ３０の一面に接着される。
【００４２】
ただし、本実施の形態のフィルムカッタ３００では、切断部分１２０に隣接する本体部分１１０の先端部位１１１が薄肉に形成されている。このため、切断する基材フィルム２０から接着剤２１が本体部分１１０に付着しにくい。
【００４３】
従って、本実施の形態のフィルムカッタ３００では、付着した接着剤２１のために基材フィルム２０の切断が困難となることを防止でき、滞積した接着剤２１が切断された基材フィルム２０にダマや糸状に付着してウェハ３０への接着を阻害することを防止でき、滞積した接着剤２１がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。
【００４４】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態ではフィルムカッタ３００が表面処理されていないことを想定した。しかし、上述のようなフィルムカッタ３００で、接着剤２１が付着しにくい非粘着性に少なくとも本体部分１１０が表面処理されていてもよい。
【００４５】
その場合、例えば、全体の表面に樹脂１３０が被覆されており、その樹脂１３０が、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、シリコン樹脂、フッ素樹脂、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００４６】
また、図２に例示するフィルムカッタ２００のように、接着剤２１を切断する位置より下方の本体部分１１０の部位のみ樹脂１３０が被覆されていてもよい。この場合、薄肉に形成されている先端部位１１１から下方のみ樹脂１３０が被覆されていればよい。
【００４７】
さらに、少なくとも本体部分１１０の一部の表面に微粒子が分散された樹脂１３０が被覆されていてもよい。その場合、微粒子は、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、ボロンナイトライド、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、ナイロン、ポリイミド、シリコン、セラミック、からなる群の少なくとも一つからなり、樹脂１３０は、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００４８】
また、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされていてもよい。その場合、少なくとも本体部分１１０の一部の表面がブラスト処理されていればよい。さらに、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされており、粗面に所定の皮膜が被覆されていてもよい。この場合、皮膜が、トシカルエスコーティング、アドロン、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００４９】
つぎに、本発明の実施の第三の形態のフィルムカッタ４００を図４を参照して以下に説明する。本実施の形態のフィルムカッタ４００は、基材フィルム２０に穿刺される穿刺部分４１０と、穿刺部分４１０に所定角度で連続していて基材フィルム２０を切断する切断部分１２０と、を有する。
【００５０】
基材フィルム２０の表面と直交する基準線に対して穿刺部分４１０が鋭角に形成されており、基準線に対して切断部分１２０が鈍角に形成されている。このフィルムカッタ４００は、例えば、基材フィルム２０を上側で接着剤２１を下側としたときに、切断部分１２０で切断される基材フィルム２０から付着する接着剤２１が下側に変位する形状に形成されている。より具体的には、切断部分１２０が上側から下側へと基材フィルム２０の進行方向に傾斜している。
【００５１】
上述のような構成において、本実施の形態のフィルムカッタ４００を利用した基材フィルム２０の切断作業では、例えば、基材フィルム２０を上側として接着剤２１を下側とし、最初に穿刺部分４１０で基材フィルム２０に穿刺されることで、切断部分１２０が基材フィルム２０の位置まで移動する。
【００５２】
このような状態で、図６に示すように、従来と同様にフィルムカッタ１０を切断する。図７に示すように、このように切断された基材フィルム２０はウェハ３０と同一の円形となるので、この基材フィルム２０が接着剤２１でウェハ３０の一面に接着される。
【００５３】
ただし、本実施の形態のフィルムカッタ４００では、基材フィルム２０の穿刺と切断とが各々適切な角度で実行される。また、切断部分１２０が上側から下側へと基材フィルム２０の進行方向に傾斜している。このため、切断する基材フィルム２０から付着する接着剤２１が下方に滞積する。
【００５４】
従って、本実施の形態のフィルムカッタ４００では、滞積した接着剤２１のために基材フィルム２０の切断が困難となることを防止でき、滞積した接着剤２１が切断された基材フィルム２０にダマや糸状に付着してウェハ３０への接着を阻害することを防止でき、滞積した接着剤２１がダマや糸状にカッタ装置本体を汚染することを防止できる。
【００５５】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態ではフィルムカッタ４００が表面処理されていないことを想定した。しかし、上述のようなフィルムカッタ４００で、接着剤２１が付着しにくい非粘着性に少なくとも本体部分１１０が表面処理されていてもよい。
【００５６】
その場合、例えば、全体の表面に樹脂１３０が被覆されており、その樹脂１３０が、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、シリコン樹脂、フッ素樹脂、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００５７】
また、図２に例示するフィルムカッタ２００のように、接着剤２１を切断する位置より下方の本体部分１１０の部位のみ樹脂１３０が被覆されていてもよい。さらに、少なくとも本体部分１１０の一部の表面に微粒子が分散された樹脂１３０が被覆されていてもよい。
【００５８】
その場合、微粒子は、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、グラファイト、ボロンナイトライド、四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン、四フッ化エチレン共重合体、ナイロン、ポリイミド、シリコン、セラミック、からなる群の少なくとも一つからなり、樹脂１３０は、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００５９】
また、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされていてもよい。その場合、少なくとも本体部分１１０の一部の表面がブラスト処理されていればよい。さらに、少なくとも本体部分１１０の一部の表面が所定の粗度の粗面とされており、粗面に所定の皮膜が被覆されていてもよい。この場合、皮膜が、トシカルエスコーティング、アドロン、からなる群の少なくとも一つからなればよい。
【００６０】
なお、当然ながら、上述した実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態および変形例では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１０    フィルムカッタ
１１    本体部分
１２    切断部分
２０    基材フィルム
２１    接着剤
３０    ウェハ
１００    フィルムカッタ
１１０    本体部分
１１１    先端部位
１２０    切断部分
１３０    樹脂
２００    フィルムカッタ
３００    フィルムカッタ
４００    フィルムカッタ
４１０    穿刺部分
【図１】
2012161875.tif 000003
【図２】
2012161875.tif 000004
【図３】
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【図４】
2012161875.tif 000006
【図５】
2012161875.tif 000007
【図６】
2012161875.tif 000008
【図７】
2012161875.tif 000009