(57)【要約】【課題】  水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続されるように圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（２１）と外枠（２２）とを有し第１キャスタレーション（２０４）が形成される圧電フレーム（２０）と、接着剤（１３）により外枠に接合され第２キャスタレーション（１２４）が形成されるベース部（１２）と、リッド部（１１）とを備える。圧電フレームは、励振電極と第２引出電極と、第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有する。ベース部は、第２キャスタレーションに形成された第２側面電極と、外部電極とを有する。第１及び第２キャスタレーションには、第１側面電極又は第１引出電極と第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極（１４）が形成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加により振動する圧電振動片と、前記圧電振動片を囲んで前記圧電振動片と一体に形成され一主面と他主面とを含む外枠と、前記外枠の外周の縁部に形成される一対の第１キャスタレーションとを有する圧電フレームと、
第１面と、その第１面の反対側の第２面と、外周の縁部に形成される一対の第２キャスタレーションとを有し、前記第１面が非導電性接着剤により前記外枠の前記一主面に接合されるベース部と、
前記非導電性接着剤により前記外枠の前記他主面に接合され、前記ベース部とともに前記圧電振動片を密閉するリッド部と、を備え、
前記圧電フレームは、前記圧電振動片の前記一主面及び前記他主面に形成された一対の励振電極と、前記一主面側の励振電極から前記第１キャスタレーションまで引き出された前記一主面の第１引出電極及び前記他主面側の励振電極から前記第１キャスタレーションまで引き出された前記他主面の第２引出電極と、前記第２引出電極に電気的に接続され前記第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有し、
前記ベース部は、前記第１側面電極又は前記第１引出電極にそれぞれ電気的に接続され前記一対の第２キャスタレーションに形成された一対の第２側面電極を有し、
前記第１及び第２キャスタレーションには、前記第１側面電極又は前記第１引出電極と前記第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極が形成されている圧電デバイス。
【請求項２】
前記第１及び第２キャスタレーションには前記接続電極を覆うように前記非導電性接着剤が形成されている圧電デバイス。
【請求項３】
前記一主面から前記他主面への方向から見ると、前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は四角形であり、前記第１及び第２キャスタレーションは前記四角形の角部に形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電振動デバイス。
【請求項４】
前記一主面から前記他主面への方向から見ると、前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は四角形であり、前記第１及び第２キャスタレーションは前記四角形の辺に形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電振動デバイス。
【請求項５】
前記圧電振動片は、厚みすべり振動モードを有する圧電振動片であり、
前記外枠の外周及び前記ベース部の外周は長い長辺とその長辺より短い短辺とを有する四角形であり、
前記第１及び第２キャスタレーションが前記短辺に沿って形成される請求項４に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
一対の前記第１キャスタレーションは、前記圧電振動片の中心を通り前記長辺に平行である中心線の前記短辺方向の両側に形成され、
一対の前記第２キャスタレーションは、前記ベース部の中心を通り前記長辺に平行である中心線の前記短辺方向の両側に形成されている請求項５に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記接着剤は、前記ベース部及び前記リッド部の融点よりも低い低融点ガラス又はポリイミド樹脂を含む請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記圧電振動片は、厚みすべり振動モードを有する圧電振動片又は一対の振動腕を有する音叉型圧電振動片である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
一主面と他主面とを有する圧電振動片と前記圧電振動片の周囲を囲み且つ前記圧電振動片を支持する外枠とを有する圧電フレームを複数含み、隣り合う前記外枠間に前記一主面から前記他主面まで貫通する少なくとも一対の第１貫通孔が形成された圧電ウエハを用意する第１用意工程と、
前記一主面と前記他主面とに形成される一対の励振電極と、前記一対の励振電極から前記一対の第１貫通孔までそれぞれ引き出された一対の引出電極と、前記第１貫通孔に形成され前記引出電極と電気的に接続される第１側面電極とを形成する第１電極形成工程と、
第１面及びその第１面と反対側の第２面とを有するベース部を複数含み、前記圧電ウエハと接合する際に前記一対の第１貫通孔と一致し且つ隣り合う前記ベース部間に前記ベース部を貫通する少なくとも一対の第２貫通孔が形成された第１ウエハを用意する第２用意工程と、
前記第２貫通孔に形成され前記第１側面電極と電気的に接続される第２側面電極を形成する第２電極形成工程と、
前記圧電ウエハの前記一主面に前記第１ウエハの前記第１面を接着剤により接合する第１接合工程と、
前記第１接合工程の後に、前記第１及び第２キャスタレーションに前記第１側面電極及び前記第２側面電極を覆うように接続電極を形成する第３電極形成工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。
【請求項１０】
前記第２電極形成工程又は前記第３電極形成工程で、前記第１ウエハの前記第２面に形成され前記第２側面電極に電気的に接続される一対の外部電極が形成される請求項９に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項１１】
前記圧電フレームの前記外枠に接合するリッド部を複数含む第２ウエハを用意する第３用意工程と、
前記第１接合工程及び前記第３電極形成工程後、前記圧電ウエハの前記他主面に前記第２ウエハを前記接着剤により接合する第２接合工程を備え、
前記第２接合工程で、前記接続電極が前記接着剤で覆われるように、溶融した前記接着剤が前記第１及び第２貫通孔に流れ込む請求項９又は請求項１０に記載の圧電デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚みすべり振動モードを有するＡＴカット型の圧電振動片又は一対の振動腕を有する音叉型の圧電振動片をキャビティ内に有する圧電デバイス及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子やＳＡＷフィルタなどの圧電デバイスは、表面実装型（ＳＭＤ：Surface Mounted Device）タイプのパッケージが主に用いられている。パッケージは、エッチングにより形成された水晶などの圧電材料を用いた水晶パッケージまたはガラスを用いたガラスパッケージが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示された圧電デバイスは、ウエハ状態で製造できるように圧電素子（水晶フレーム）とベース基体（ベース部）との四隅にキャスタレーションが形成され、キャスタレーションに電極としての金属膜が形成されている。これにより、キャスタレーションに形成された金属膜を介して実装端子部（外部電極）と励振電極から引き出された引出電極とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００７／０２３６８５公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された圧電デバイスは水晶フレームのキャスタレーションに形成された金属膜とベース部のキャスタレーションに形成された金属膜とはその金属膜の厚さで接続されている。このため、水晶フレームの金属膜とベース側の金属膜とが十分に接続できず断線が生じるおそれがある。
【０００６】
本発明は、水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続されるように圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電デバイスは、電圧の印加により振動する圧電振動片と、圧電振動片を囲んで圧電振動片と一体に形成され一主面と他主面とを含む外枠と、外枠の外周の縁部に形成される一対の第１キャスタレーションとを有する圧電フレームと、第１面とその第１面の反対側の第２面と外周の縁部に形成される一対の第２キャスタレーションとを有し第１面が非導電性接着剤により外枠の一主面に接合されるベース部と、非導電性接着剤により外枠の他主面に接合され、ベース部とともに圧電振動片を密閉するリッド部とを備える。圧電フレームは、圧電振動片の一主面及び他主面に形成された一対の励振電極と、一主面側の励振電極から第１キャスタレーションまで引き出された一主面の第１引出電極及び他主面側の励振電極から第１キャスタレーションまで引き出された他主面の第２引出電極と、第２引出電極に電気的に接続され第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有する。ベース部は、第１側面電極又は第１引出電極にそれぞれ電気的に接続され一対の第２キャスタレーションに形成された一対の第２側面電極を有する。第１及び第２キャスタレーションには、第１側面電極又は第１引出電極と第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極が形成されている。
【０００８】
第２観点の圧電デバイスにおいて、第１及び第２キャスタレーションには接続電極を覆うように接着剤が形成されている。
【０００９】
第３観点の圧電デバイスは、一主面から他主面への方向から見ると、外枠の外周及びベース部の外周は四角形であり、第１及び第２キャスタレーションは四角形の角部に形成される。
【００１０】
第４観点の圧電デバイスは、一主面から他主面への方向から見ると、外枠の外周及びベース部の外周は四角形であり、第１及び第２キャスタレーションは四角形の辺に形成される。
【００１１】
第５観点の圧電デバイスにおいて、圧電振動片は厚みすべり振動モードを有する圧電振動片であり、外枠の外周及びベース部の外周は長い長辺とその長辺より短い短辺とを有する四角形であり、第１及び第２キャスタレーションが短辺に沿って形成される。
【００１２】
第６観点の圧電デバイスにおいて、一対の第１キャスタレーションは圧電振動片の中心を通り長辺に平行である中心線の短辺方向の両側に形成され、一対の第２キャスタレーションはベース部の中心を通り長辺に平行である中心線の短辺方向の両側に形成されている。
【００１３】
第７観点の圧電デバイスにおいて、接着剤はベース部及びリッド部の融点よりも低い低融点ガラス又はポリイミド樹脂を含む。
【００１４】
第８観点の圧電デバイスにおいて、圧電振動片は厚みすべり振動モードを有する圧電振動片又は一対の振動腕を有する音叉型圧電振動片である。
【００１５】
第９観点の圧電デバイスの製造方法は、一主面と他主面とを有する圧電振動片と圧電振動片の周囲を囲み且つ圧電振動片を支持する外枠とを有する圧電フレームを複数含み隣り合う外枠間に一主面から他主面まで貫通する少なくとも一対の第１貫通孔が形成された圧電ウエハを用意する第１用意工程と、一主面と他主面とに一対の励振電極と一対の励振電極から一対の第１貫通孔までそれぞれ引き出された一対の引出電極と第１貫通孔に形成され引出電極と電気的に接続される第１側面電極とを形成する第１電極形成工程と、第１面及びその第１面と反対側の第２面とを有するベース部を複数含み圧電ウエハと接合する際に一対の第１貫通孔と一致し且つ隣り合うベース部間にベース部を貫通する少なくとも一対の第２貫通孔が形成された第１ウエハを用意する第２用意工程と、第２貫通孔に形成され第１側面電極と電気的に接続される第２側面電極を形成する第２電極形成工程と、圧電ウエハの一主面に第１ウエハの第１面を接着剤により接合する第１接合工程と、第１接合工程の後に、第１及び第２キャスタレーションに第１側面電極及び第２側面電極を覆うように接続電極を形成する第３電極形成工程とを備える。
【００１６】
第１０観点の圧電デバイスの製造方法は、第２電極形成工程又は第３電極形成工程で、第１ウエハの第２面に形成され第２側面電極に電気的に接続される一対の外部電極が形成される。
【００１７】
第１１観点の圧電デバイスの製造方法は、ベース部と同じ形状のリッド部を複数含む第２ウエハを用意する第３用意工程と、第１接合工程及び第３電極形成工程後、圧電ウエハの他主面に第２ウエハを接着剤により接合する第２接合工程を備える。また第２接合工程で、接続電極が接着剤で覆われるように、溶融した接着剤が第１及び第２貫通孔に流れ込む。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続された圧電デバイス及びその製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１水晶振動子１００の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。  （ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は、水晶側面電極２０３とベース側面電極１２３との断線を示した図で、図２（ａ）の点線Ｂに囲まれた部分の拡大図である。
【図３】第１水晶振動子１００の製造を示したフローチャートである。
【図４】第１実施形態のリッドウエハ１１Ｗの平面図である。
【図５】第１実施形態の水晶ウエハ２０Ｗの平面図である。
【図６】第１実施形態のベースウエハ１２Ｗの平面図である。
【図７】第２実施形態の第２水晶振動子２００の断面図で、図１のＡ−Ａ断面に対応される。
【図８】第３水晶振動子３００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されている。
【図９】第３実施形態の水晶ウエハ３０Ｗの平面図である。
【図１０】第３実施形態の変形例である第３水晶振動子３００’の分解斜視図で、接着剤１３が省略されている。
【図１１】第３実施形態の変形例の水晶ウエハ３０Ｗの平面図である。
【図１２】第３実施形態の変形例のベースウエハ３２Ｗの平面図である。
【図１３】第４水晶振動子４００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されている。
【図１４】第４実施形態の水晶ウエハ４０Ｗの平面図である。
【図１５】第５水晶振動子５００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されている。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
＜第１水晶振動子１００の全体構成＞
第１水晶振動子１００の全体構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。
図１は、第１水晶振動子１００の分解斜視図である。図１は、後述する接続電極１４ａ、１４ｂ及び接着剤１３が省略されて描かれている。図２（ａ）は図１のＡ−Ａ断面図で、図２（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）は水晶側面電極２０３とベース側面電極１２３との断線を示した図で図２（ａ）の点線Ｂに囲まれた部分の拡大図である。
【００２１】
第１水晶振動子１００は、水晶振動片としてＡＴカットの水晶振動片を有している。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。このため、第１実施形態及び以降の第２〜第４実施形態ではＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。つまり、第１実施形態において第１水晶振動子１００の長手方向をＸ軸方向、第１水晶振動子１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００２２】
図１に示されたように、第１水晶振動子１００は、リッド凹部１１１を有する矩形のリッド部１１と、ベース凹部１２１を有するベース部１２と、リッド部１１及びベース部１２に挟まれる矩形の水晶フレーム２０とを備える。
【００２３】
ベース部１２はガラス又は水晶材料で形成され、その表面（＋Ｙ’側の面）にベース凹部１２１の周囲に形成された第２接続面Ｍ２を有している。ベース部１２の四隅には、ベース貫通孔ＢＨ１（図６を参照）を形成した際のＸＺ’平面で１／４円弧に窪んだベースキャスタレーション１２４（１２４ａ、１２４ｂ）が形成されている。ベース部１２において、実装面（水晶振動子の実装面）のＸ軸方向の両側には一対の外部電極１２２ａ、１２２ｂがそれぞれ形成されている。また、ベースキャスタレーション１２４にはベース側面電極１２３が形成されている。ベース側面電極１２３ａ、１２３ｂの一端は外部電極１２２ａ、１２２ｂに接続する。ここで、ベース側面電極１２３ａ、１２３ｂの他端はベース部１２の第２接続面Ｍ２にまで伸びて接続パッド１２３Ｍが形成されることが好ましい。接続パッド１２３Ｍは後述する水晶側面電極２０３に確実に電気的に接続する。
【００２４】
水晶フレーム２０はＡＴカットされた水晶材料で形成され、ベース部１２の第２接続面Ｍ２に接合され、＋Ｙ’側の表面Ｍｅと−Ｙ’側の裏面Ｍｉとを有している。水晶フレーム２０は水晶振動部２１と水晶振動部２１を囲む外枠２５とで構成されている。また、水晶振動部２１と外枠２５との間には、表面Ｍｅから裏面Ｍｉまで貫通する「Ｕ」字型の間隙部２３が形成される。間隙部２３が形成されていない部分が水晶振動部２１と外枠２５との連結部２４となっている。水晶振動部２１の表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉには励振電極２０１ａ、２０１ｂがそれぞれ形成され、連結部２４及び外枠２５の両面には励振電極２０１ａ、２０１ｂとそれぞれ導電された引出電極２０２ａ、２０２ｂが形成されている。さらに、水晶フレーム２０の四隅には、水晶貫通孔ＣＨ１（図５を参照）を形成した際の水晶キャスタレーション２０４（２０４ａ、２０４ｂ）が形成されている。
【００２５】
水晶フレーム２０の裏面Ｍｉに形成された引出電極２０２ｂはベース側面電極１２３ｂに電気的に接続されている。また、水晶キャスタレーション２０４ａには水晶側面電極２０３ａが形成され、水晶側面電極２０３ａは引出電極２０２ａとベース側面電極１２３ａとに電気的に接続されている。ここで、水晶側面電極２０３ａは水晶フレーム２０の裏面Ｍｉまで伸びて接続パッド２０３Ｍが形成されることが好ましい。接続パッド２０３Ｍはベース側面電極１２３ａと確実に電気的に接続する。
【００２６】
第１水晶振動子１００は、水晶フレーム２０の表面Ｍｅに接合されるガラス又は水晶材料である水晶からなるリッド部１１をさらに備えている。リッド部１１はリッド凹部１１１の周囲に形成された第１接続面Ｍ１を有している。図２（ａ）に示されたように、リッド部１１、水晶フレーム２０の外枠２５及びベース部１２により水晶振動部２１を収納するキャビティＣＴが形成される。キャビティＣＴは窒素ガスで満たされたり又は真空状態にされたりする。
【００２７】
リッド部１１と、水晶フレーム２０と、ベース部１２とは例えば低融点ガラスなどの非導電性接着剤（以下は接着剤と称する）１３により接合される。低融点ガラスは、３５０℃〜４００℃で溶融する鉛フリーのバナジウム系ガラスを含む。バナジウム系ガラスはバインダーと溶剤とが加えられペースト状であり、溶融された後固化されることで他の部材と接着する。バナジウム系ガラスの融点は水晶材料又はガラスなどで形成されたリッド部１１及びベース部１２の融点より低く、また、このバナジウム系ガラスは接着時の気密性と耐水性・耐湿性などの信頼性が高い。バナジウム系ガラスは空気中の水分がキャビティＣＴ内に進入したりキャビティＣＴ内の真空度を低下させたりすることを防止する。さらに、バナジウム系ガラスはガラス構造を制御することにより熱膨張係数も柔軟に制御できるので、水晶又はガラスなどの熱膨張係数に合わせることができる。
【００２８】
図２に示されたように、第１水晶振動子１００は、ベースキャスタレーション１２４及び水晶キャスタレーション２０４の外側に接続電極１４（１４ａ，１４ｂ）を有する。接続電極１４ａは、外部電極１２２ａの全部又は一部、ベース側面電極１２３ａ及び水晶側面電極２０３ａを覆うように形成される。また接続電極１４ｂは、外部電極１２２ｂの全部又は一部、ベース側面電極１２３ｂ及び水晶キャスタレーション２０４を覆うように形成される。これにより、外部電極１２２ａ、１２２ｂは、ベース側面電極１２３ａ、１２３ｂ、水晶側面電極２０３ａ及び引出電極２０２ａ、２０２ｂを介して、励振電極２０１ａ、２０１ｂと確実に電気的に接続される。
【００２９】
例えば、図２（ｂ）の点線Ｃで囲まれているように、製造不良によって水晶側面電極２０３ａがベース部１２側の角部で断線する場合がある。また、図２（ｃ）の点線Ｃで囲まれているように、ベース側面電極１２３ａが水晶フレーム２０側の角部で断線する場合がある。さらに図２（ｄ）の点線Ｃで囲まれているように、接続パッド１２３Ｍと接続パッド２０３Ｍとの間に接着剤１３が入り込む場合がある。このとき、ベース側面電極１２３ａ及び水晶側面電極２０３ａを接続する接続電極１４ａが形成されることで、外部電極１２２ａがベース側面電極１２３ａ及び水晶側面電極２０３ａを介して引出電極２０２ａに確実に接続することができる。
【００３０】
第１実施形態において、外部電極１２２ａ、１２２ｂの下側（―Ｙ’側）に接続電極１４ａ、１４ｂが形成されているが、接続電極１４ａ、１４ｂが形成されなくてもよい。
【００３１】
また、第１水晶振動子１００の一対の外部電極１２２ａ、１２２ｂ又は接続電極１４ａ、１４ｂに交番電圧（正負を交番する電位）が印加される。外部電極１２２ａ、ベース側面電極１２３ａ、接続電極１４ａ、水晶側面電極２０３ａ、引出電極２０２ａ及び励振電極２０１ａが同じ極性となり、外部電極１２２ｂ、ベース側面電極１２３ｂ、接続電極１４ｂ、引出電極２０２ｂ及び励振電極２０１ｂが同じ極性となる。
【００３２】
さらに、第１実施形態では接着剤１３として低融点ガラスが用いられているが、低融点ガラスの代わりにポリイミド樹脂などが用いられてもよい。
【００３３】
＜第１水晶振動子１００の製造方法＞
図３は、第１水晶振動子１００の製造を示したフローチャートである。図３において、リッド部１１の製造ステップＳ１１と、水晶フレーム２０の製造ステップＳ１２と、ベース部１２の製造ステップＳ１３とは別々に並行して行うことができる。また、図４は第１実施形態のリッドウエハ１１Ｗの平面図で、図５は第１実施形態の水晶ウエハ２０Ｗの平面図で、図６は第１実施形態のベースウエハ１２Ｗの平面図である。
【００３４】
ステップＳ１１では、リッド部１１が製造される。ステップＳ１１はステップＳ１１１及びＳ１１２を含んでいる。
ステップＳ１１１において、図４に示されたように、均一厚さの水晶平板のリッドウエハ１１Ｗにリッド凹部１１１が数百から数千個形成される。リッドウエハ１１Ｗには、エッチング又は機械加工によりリッド凹部１１１が形成され、リッド凹部１１１の周囲には第１接続面Ｍ１が形成される。
【００３５】
ステップＳ１１２において、図４に示されたように、スクリーン印刷でリッドウエハ１１Ｗの第１接続面Ｍ１に接着剤１３として低融点ガラスが形成される。その後、低融点ガラスを仮硬化することで、低融点ガラス膜がリッドウエハ１１Ｗの第１接続面Ｍ１に形成される。低融点ガラス膜は水晶貫通孔ＣＨ１（水晶キャスタレーション２０４）に対応する箇所１１３には形成されていない。
【００３６】
ステップＳ１２では、水晶フレーム２０が製造される。ステップＳ１２はステップＳ１２２及びＳ１２２を含んでいる。
ステップＳ１２１において、図５に示されたように、均一の水晶ウエハ２０Ｗにエッチングにより複数の水晶フレーム２０の外形が形成される。すなわち、水晶振動部２１と、外枠２５と、間隙部２３とが形成される。同時に、各水晶フレーム２０の四隅には水晶ウエハ２０Ｗを貫通するように円形の水晶貫通孔ＣＨ１が形成される。水晶貫通孔ＣＨ１が４分割されると１つの水晶キャスタレーション２０４（図１を参照）になる。
【００３７】
ステップＳ１２２において、まずスパッタリングまたは真空蒸着によって水晶ウエハ２０Ｗの両面及び水晶貫通孔ＣＨ１に金属層が形成される。そして、金属層の全面にフォトレジストが均一に塗布される。その後、露光装置（不図示）を用いて、フォトマスクに描かれた励振電極２０１ａ、２０１ｂ、引出電極２０２ａ、２０２ｂ及び水晶側面電極２０３ａのパターンが水晶ウエハ２０Ｗに露光される。次に、フォトレジストから露出した金属層がエッチングされる。これにより、水晶ウエハ２０Ｗ両面には励振電極２０１ａ、２０１ｂ及び引出出極２０２ａ、２０２ｂが形成され、水晶貫通孔ＣＨ１には水晶側面電極２０３が形成される（図１及び図２を参照）。
【００３８】
ステップＳ１３では、ベース部１２が製造される。ステップＳ１３はステップＳ１３１〜Ｓ１３３を含んでいる。
ステップＳ１３１において、図６に示されたように、均一厚さの水晶平板のベースウエハ１２Ｗにベース凹部１２１が数百から数千個形成される。ベースウエハ１２Ｗには、エッチング又は機械加工によりベース凹部１２１が形成され、ベース凹部１２１の周囲には第２接続面Ｍ２が形成される。同時に、各ベース部１２の四隅にはベースウエハ１２Ｗを貫通するように円形のベース貫通孔ＢＨ１が形成される。ベース貫通孔ＢＨ１が４分割されると１つのベースキャスタレーション１２４（図１を参照）になる。
【００３９】
ステップＳ１３２では、ステップＳ１２２で説明されたスパッタ及びエッチング方法によって図６に示されたようにベース部１２の実装面に一対の外部電極１２２ａ、１２２ｂが形成される。同時に、ベース貫通孔ＢＨ１にはベース側面電極１２３が形成される（図１及び図２を参照）。
【００４０】
ステップＳ１３３において、スクリーン印刷でベースウエハ１２Ｗの第２接続面Ｍ２に接着剤１３として低融点ガラスが形成される。その後、低融点ガラスを仮硬化することで、低融点ガラスがベースウエハ１２Ｗの第２接続面Ｍ２に形成される。
【００４１】
ステップＳ１４では、接着剤１３が加熱され水晶ウエハ２０Ｗとベースウエハ１２Ｗとが加圧される。そして水晶ウエハ２０Ｗとベースウエハ１２Ｗとが接着剤１３により接合する。
【００４２】
ステップＳ１５では、外部電極１２２ａ、１２２ｂ、ベース側面電極１２３及び水晶側面電極２０３を覆うように一対の接続電極１４ａ、１４ｂが形成される。詳しく説明すると、接合された水晶ウエハ２０Ｗとベースウエハ１２Ｗとは水晶ウエハ２０Ｗが下向きになるようにテーブル（図示しない）に載置される。その後、外部電極１２２ａ、１２２ｂに対応する領域及びベース貫通孔ＢＨ１に対応する領域に開口が形成されたマスク（図示しない）が、ベースウエハ１２Ｗの実装面側に配置される。そして、スパッタ又は真空蒸着されることで、接続電極１４ａ、１４ｂが形成される。これにより、ステップＳ１３２で形成されたベース側面電極１２３とステップＳ１２２で形成された水晶側面電極２０３とが確実に電気的に接続される（図２（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）を参照）。
【００４３】
ステップＳ１６では、接着剤１３が加熱されリッドウエハ１１Ｗと水晶ウエハ２０Ｗとが加圧される。そしてリッドウエハ１１Ｗが接着剤１３により水晶ウエハ２０Ｗの表面Ｍｅに接合される。
【００４４】
ステップＳ１７では、接合されたリッドウエハ１１Ｗと、水晶ウエハ２０Ｗと、ベースウエハ１２Ｗとが個々に切断される。切断工程では、レーザーを用いたダイシング装置、または切断用ブレードを用いたダイシング装置などを用いて図４〜図６に示された一点鎖線のスクライブラインＳＬに沿って第１水晶振動子１００を単位として個片化する。これにより、数百から数千の第１水晶振動子１００が製造される。
【００４５】
図３で説明された第１水晶振動子１００の製造方法では、接合する前に接着剤１３がリッドウエハ１１Ｗ及びベースウエハ１２Ｗに形成されているが、水晶ウエハ２０Ｗの両面に形成されてもよい。また、例えば接着剤１３としてポリイミド樹脂が用いられる場合においてはスクリーン印刷でもよいし、感光性のポリイミド樹脂であれば露光して接続面Ｍに接着剤１３を形成することもできる。
【００４６】
（第２実施形態）
＜第２水晶振動子２００の全体構成＞
図７は、第２実施形態の第２水晶振動子２００の断面図で、図１のＡ−Ａ断面に対応される。なお、第１実施形態と同じ構成要件については同じ符号を付して説明する。
【００４７】
図７に示されたように、第２水晶振動子２００は第１実施形態で説明された第１水晶振動子１００とほぼ同じ構成となっている。但し、第２水晶振動子２００においてリッド部１１と水晶フレーム２０とを接合した接着剤１３は、接続電極１４ａ、１４ｂを覆う。以降は、接続電極１４ａ、１４ｂを覆う接着剤１３を接着剤１３’として説明する。
【００４８】
図３のステップＳ１１２に示されたように、スクリーン印刷でリッドウエハ１１Ｗの第１接続面Ｍ１に接着剤１３が形成された。図４では接着剤１３は水晶貫通孔ＣＨ１（水晶キャスタレーション２０４）に対応する箇所１１３には形成されていなかったが、第２実施形態では、第１接続面Ｍ１全面に接着剤１３が形成される。また接着剤１３が第１実施形態より厚く形成されている。
【００４９】
図３のステップＳ１６に示されたように、接着剤１３が加熱されリッドウエハ１１Ｗと水晶ウエハ２０Ｗとが加圧される際に、溶けた接着剤１３は自重により垂れて水晶キャスタレーション２０４及びベースキャスタレーション１２４まで流れ込む。そして、接続電極１４ａ、１４ｂを覆った接着剤１３’が室温まで冷やされて固化する。
【００５０】
接着剤１３’が接続電極１４ａ、１４ｂを覆って保護するので、さらに外部電極１２２ａ、１２２ｂと励振電極２０１ａ、２０１ｂとの断線を防止できる。また、接着剤１３’が形成されているので、耐衝撃性が高まる。
【００５１】
（第３実施形態）
＜第３水晶振動子３００の全体構成＞
図８は、第３水晶振動子３００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されて描かれている。なお、第１実施形態と同じ構成要件については同じ符号を付して説明する。
【００５２】
図８に示されたように、第３水晶振動子３００は、リッド部１１と、ベース凹部１２１を有する矩形のベース部３２と、リッド部１１及びベース部３２に挟まれる矩形の水晶フレーム３０とを備える。
【００５３】
水晶フレーム３０は、その四隅に水晶貫通孔ＣＨ３（図９を参照）を形成した際のＸＺ’平面においてＺ’軸方向に伸びた矩形の水晶キャスタレーション３０４が形成されている。これは、エッチング液で水晶結晶をエッチングするとき、結晶方位によってエッチング速度が大きく異なるからである。つまり、水晶結晶においてはＸ軸方向がエッチングしにくい性質があるので、水晶キャスタレーション３０４を形成するとき、Ｘ軸方向と垂直な方向であるＺ’軸方向に沿ってエッチングすることが好ましい。
【００５４】
さらに、水晶キャスタレーション３０４がＸＺ’平面においてＺ’軸方向に伸びている。このため、外枠３５に形成された引出電極３０２ａと水晶側面電極３０３ａとはより大きい接続幅で接触してより確実に電気的に接続する。
【００５５】
第３実施形態において、ベース部３２は水晶から形成されている。また、ベース部３２の四隅には水晶フレーム３０の水晶キャスタレーション３０４と対応するように、ベース貫通孔（図示しない）を形成した際のＸＺ’平面でＺ’軸方向に伸びた矩形となったベースキャスタレーション３２４が形成されている。ここで、ベースキャスタレーション３２４がＸＺ’平面においてＺ’軸方向に伸びているので、外部電極３２２ａ、３２２ｂとベース側面電極３２３ａ、３２３ｂとはより大きい接続幅で接触してより確実に電気的に接続することができる。別言すれば、ベースキャスタレーション３２４が四角形状であるため、円形に比べてメッキ幅を確保でき導通を保障できる。
【００５６】
また、第３水晶振動子３００はベースキャスタレーション３２４のベース側面電極３２３及び水晶キャスタレーション３０４の水晶側面電極３０３を覆うように接続電極３４が形成されている。ここで、接続電極３４ａはベース側面電極３２３ａと水晶側面電極３０３ａとを接続し、接続電極３４ｂはベース側面電極３２３ｂと水晶側面電極３０３ｂ（引出電極３０２ｂ）とを接続する。これにより、外部電極３２２ａ、３２２ｂは励振電極２０１ａ、２０１ｂに確実に電気的に接続される。
【００５７】
ここで、接続電極３４はベース側面電極３２３及び水晶側面電極３０３のみを覆うように形成されているが、外部電極３２２ａ、３２２ｂの全部又は一部まで覆ってもよい。
【００５８】
さらに、第３水晶振動子３００は第２実施形態で説明されたようにリッド部１１と水晶フレーム３０とを接合した接着剤１３が接続電極３４を覆うようにしてもよい。このような構成よれば、接着剤１３’（図２を参照）が接続電極３４をカバーして保護するので、耐衝撃性を高めることができる。
【００５９】
＜第３水晶振動子３００の製造方法＞
第３水晶振動子３００の製造方法は、第１実施形態の図３で説明されたフローチャートと同じである。但し、水晶ウエハ３０Ｗ及びベースウエハ（図示しない）における貫通孔の形状が異なる。図９は、第３実施形態の水晶ウエハ３０Ｗの平面図である。
【００６０】
図９に示されたように、各水晶フレーム３０の四隅には水晶ウエハ３０Ｗを貫通するように矩形でＺ’軸方向に長辺を有する水晶貫通孔ＣＨ３が形成される。水晶貫通孔ＣＨ３が４分割されると１つの水晶キャスタレーション３０４（図８を参照）になる。
【００６１】
ベースウエハについて説明しないが、ベースウエハも図９に示された水晶ウエハ３０Ｗと対応するように、各ベース部３２の四隅にはベースウエハを貫通するように矩形のベース貫通孔（図示しない）が形成される。ベース貫通孔が４分割されると１つのベースキャスタレーション３２４（図８を参照）になる。
【００６２】
（第３実施形態の変形例）
＜第３水晶振動子３００’の全体構成＞
図１０は、第３実施形態の変形例である第３水晶振動子３００’の分解斜視図で、接着剤１３が省略されている。なお、第３実施形態と同じ構成要件については同じ符号を付して説明する。
【００６３】
図１０に示されたように、第３水晶振動子３００’は、リッド部１１と、ベース部３２’と、リッド部１１及びベース部３２’に挟まれる水晶フレーム３０’とを備える。
【００６４】
水晶フレーム３０’は、Ｘ軸方向の両辺に水晶貫通孔ＣＨａ、ＣＨｂ（図１１を参照）を形成した際のＸＺ’平面においてＺ’軸方向に伸びた矩形の水晶キャスタレーション３０４ａ’、３０４ｂ’が形成されている。ここで、水晶キャスタレーション３０４ａ’、３０４ｂ’は水晶フレーム３０’の中心を通るＸ軸方向に伸びる中心線（図示しない）Ｚ’軸方向の両側に配置されている。また、水晶キャスタレーション３０４ａ’、３０４ｂ’のＺ’軸方向の長さは０．４ｍｍ程度である。
【００６５】
ベース部３２’のＸ軸方向の両辺には、水晶フレーム３０’の水晶キャスタレーション３０４ａ’、３０４ｂ’と対応するように、ベース貫通孔ＢＨａ、ＢＨｂ（図１２を参照）を形成した際のＸＺ’平面でＺ’軸方向に伸びた矩形となったベースキャスタレーション３２４ａ’、３２４ｂ’が形成されている。ここで、ベースキャスタレーション３２４ａ’、３２４ｂ’はベース部３２’の中心を通るＸ軸方向に伸びる中心線（図示しない）Ｚ’軸方向の両側に配置されている。
【００６６】
第３水晶振動子３００’は、ベースキャスタレーション３２４ａ’、３２４ｂ’のベース側面電極３２３ａ’、３２３ｂ’及び水晶キャスタレーション３０４ａ’、３０４ｂ’の水晶側面電極３０３ａ’、３０３ｂ’を覆うように接続電極３４ａ、３４ｂが形成されている。ここで、接続電極３４ａはベース側面電極３２３ａ’と水晶側面電極３０３ａ’とを接続し、接続電極３４ｂはベース側面電極３２３ｂ’と水晶側面電極３０３ｂ’（引出電極３０２ｂ’）とを接続する。これにより、外部電極３２２ａ’、３２２ｂ’は引出電極３０２ａ’、３０２ｂ’を介して励振電極２０１ａ、２０１ｂに確実に電気的に接続される。別言すれば、ベースキャスタレーション３２４ａ’、３２４ｂ’が四角形状であるため、円形に比べてメッキ幅を確保でき導通を保障できる。
【００６７】
ここで、接続電極３４ａ、３４ｂはベース側面電極３２３ａ’、３２３ｂ’及び水晶側面電極３０３ａ’、３０３ｂ’のみを覆うように形成されているが、外部電極３２２ａ’、３２２ｂ’の全部又は一部まで覆ってもよい。
【００６８】
＜第３水晶振動子３００’の製造方法＞
第３水晶振動子３００’の製造方法は、第１実施形態の図３で説明されたフローチャートと同じである。但し、水晶ウエハ３０Ｗ及びベースウエハ３２Ｗにおける貫通孔の形状が異なる。図１１は第３実施形態の変形例の水晶ウエハ３０Ｗの平面図で、図１２は第３実施形態の変形例のベースウエハ３２Ｗの平面図である。
【００６９】
図１１及び図１２に示されたように、水晶貫通孔ＣＨａ及びベース貫通孔ＢＨａは水晶フレーム３０’又はベース部３２’の＋Ｘ軸方向の＋Ｚ’軸側に形成され、水晶貫通孔ＣＨｂ及びベース貫通孔ＢＨｂは水晶フレーム３０’又はベース部３２’の−Ｘ軸方向の−Ｚ’軸側に形成されている。また、隣り合った水晶貫通孔ＣＨａ、ＣＨｂ同士、及び隣り合ったベース貫通孔ＢＨａ、ＢＨｂ同士はＸ軸方向で離れて形成される。
【００７０】
このような構成によれば、図３のステップＳ１７においてスクライブラインＳＬ１は水晶貫通孔ＣＨａ及びベース貫通孔ＢＨａのみを通り、スクライブラインＳＬ２は水晶貫通孔ＣＨｂ及びベース貫通孔ＢＨｂのみを通ることになる。これにより、図１０に示された第３水晶振動子３００’が形成される。
【００７１】
（第４実施形態）
＜第４水晶振動子４００の全体構成＞
第４水晶振動子４００の全体構成について、図１３を参照しながら説明する。図１３は、第４水晶振動子４００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されて描かれている。なお、第１実施形態と同じ構成要件には同じ符号を付して説明する。
【００７２】
図１３に示されたように、第４水晶振動子４００は、リッド部１１と、ベース凹部１２１を有するベース部４２と、リッド部１１及びベース部４２に挟まれる矩形の水晶フレーム４０とを備える。
【００７３】
水晶フレーム４０は、両面に励振電極２０１ａ、２０１ｂが形成された水晶振動部４１と、水晶振動部４１を囲む外枠４５とで構成されている。また、水晶振動部４１と外枠４５との間には、水晶振動部４１からＸ軸方向の両側に沿ってそれぞれ伸びるように外枠４５と連結した一対の連結部４６ａ、４６ｂを有している。このため、水晶振動部４１と外枠４５との間に２つの「Ｌ」字型の間隙部４３ａ、４３ｂが形成される。水晶フレーム４０のＸ軸方向に配置されたＺ’軸方向に伸びる両辺には、角丸長方形の水晶貫通孔ＣＨ４（図１４を参照）を形成した際の水晶キャスタレーション４０４ａ、４０４ｂが形成されている。水晶キャスタレーション４０４には水晶側面電極４０３が形成されている。
【００７４】
また、連結部４６ａ及び外枠４５の表面Ｍｅには励振電極２０１ａから引き出し水晶キャスタレーション４０４ａの水晶側面電極４０３ａと接続された引出電極４０２ａが形成され、連結部４６ｂ及び外枠４５の裏面Ｍｉには励振電極２０１ｂから引き出し後述するベースキャスタレーション４２４ｂのベース側面電極４２３ｂと接続された引出電極４０２ｂ（水晶側面電極４０３ｂ）が形成されている。
【００７５】
ベース部４２は、実装面のＸ軸方向の両側に一対の外部電極４２２ａ、４２２ｂがそれぞれ形成されている。水晶フレーム４０の水晶キャスタレーション４０４ａ、４０４ｂと対応するように、Ｘ軸方向の両辺に角丸長方形のベース貫通孔（図示しない）を形成した際のベースキャスタレーション４２４ａ、４２４ｂが形成されている。また、ベースキャスタレーション４２４ａには一端が外部電極４２２ａに接続され、他端が水晶フレーム４０の水晶キャスタレーション４０４ａに接続されたベース側面電極４２３ａが形成されている。ベースキャスタレーション４２４ｂには一端が外部電極４２２ｂに接続され、他端が水晶フレーム４０の引出電極４０２ｂに接続されたベース側面電極４２３ｂが形成されている。
【００７６】
これにより、励振電極２０１ａ、２０１ｂは引出電極４０２ａ、４０２ｂ、水晶側面電極４０３ａ、ベース側面電極４２３ａ、４２３ｂを介して第４水晶振動子４００の実装面に形成された外部電極４２２ａ、４２２ｂにそれぞれ接続される。
【００７７】
また、第４水晶振動子４００はベースキャスタレーション４２４のベース側面電極４２３及び水晶キャスタレーション４０４の水晶側面電極４０３を覆うように接続電極４４が形成されている。ここで、接続電極４４ａはベース側面電極４２３ａと水晶側面電極４０３ａとを接続し、接続電極４４ｂはベース側面電極４２３ｂと引出電極４０２ｂ（水晶側面電極４０３ｂ）とを接続する。これにより、外部電極４２２ａ、４２２ｂは励振電極２０１ａ、２０１ｂと確実に電気的に接続される。
【００７８】
さらに、第４水晶振動子４００は第２実施形態で説明されたようにリッド部１１と水晶フレーム４０とを接合した接着剤１３が接続電極４４を覆うようにしてもよい。このような構成よれば、接着剤１３’（図２を参照）が接続電極４４を保護する。
【００７９】
＜第４水晶振動子４００の製造方法＞
第４水晶振動子４００の製造方法は、第１実施形態の図３で説明されたフローチャートと同じである。但し、水晶ウエハ４０Ｗ及びベースウエハ（図示しない）における貫通孔の形状が異なる。図１４は、第４実施形態の水晶ウエハ４０Ｗの平面図である。
【００８０】
図１４に示されたように、各水晶フレーム４０のＸ軸方向の両側には水晶ウエハ４０Ｗを貫通するように角丸長方形の水晶貫通孔ＣＨ４が形成される。水晶貫通孔ＣＨ４が半分割されると１つの水晶キャスタレーション４０４（図１３を参照）になる。
【００８１】
ベースウエハについて説明しないが、ベースウエハも図１４に示された水晶ウエハ４０Ｗと対応するように、各ベース部４２のＸ軸方向の両側にはベースウエハを貫通するように角丸長方形のベース貫通孔（図示しない）が形成される。ベース貫通孔が半分割されると１つのベースキャスタレーション４２４（図１３を参照）になる。
【００８２】
（第５実施形態）
＜第５水晶振動子５００の全体構成＞
第５水晶振動子５００の全体構成について、図１５を参照しながら説明する。図１５は、第５水晶振動子５００の分解斜視図で、接着剤１３が省略されて描かれている。図１５に示された第５水晶振動子５００は音叉型の水晶振動片６０を有しているので、その座標系は第１〜第４実施形態のＡＴカットで示された座標系と異なる。つまり、図１５では第１〜第４実施形態と同じＸ軸が用いられ、振動腕５２が伸びる方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸方向とする。また、第１実施形態と同じ構成要件には同じ符号を付して説明する。
【００８３】
図１５に示されたように、第５水晶振動子５００は、リッド部１１と、ベース部１２と、リッド部１１及びベース部１２に挟まれる水晶フレーム５０とを備える。
【００８４】
水晶フレーム５０は、その中央領域に形成された音叉型の水晶振動片６０と、その外側に形成された外枠５５と、音叉型の水晶振動片６０と外枠５５とを連結する一対の支持腕５４と有している。音叉型の水晶振動片６０と外枠５５と一対の支持腕５４との間には間隙部５３が形成されている。音叉型の水晶振動片６０の外形を規定する間隙部５３はウェットエッチングにより形成されている。音叉型の水晶振動片６０は、外枠５５及び一対の支持腕５４と同じ厚さで形成されている。
【００８５】
また、音叉型の水晶振動片６０は−Ｙ側に形成されＺ軸方向から見てほぼ矩形形状の基部５１と、基部５１の一辺から＋Ｙ軸方向に沿って伸びた一対の振動腕５２とを備えている。一対の振動腕５２の断面はほぼ矩形形状であり、表面、裏面及び両側面には励振電極５０１ａ、５０１ｂが形成されている。ただし、図１５には音叉型の水晶振動片６０の表面と片側の側面しか描かれていない。一対の振動腕５２の表面および裏面には、Ｙ軸方向に伸びる溝部５７が形成されていてもよい。その溝部５７に励振電極が形成されると、振動腕５２に発生する電界が大きくなりＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の上昇が抑えられる。さらに、振動腕５２の＋Ｙ側の先端には錘部５６がそれぞれ形成されてもよい。錘部５６は音叉型の水晶振動片６０の一対の振動腕５２が振動しやすくなるための錘であり、且つ周波数調整のために設けられている。音叉型の水晶振動片６０は、たとえば３２．７６８ｋＨｚで振動する振動片で、極めて小型の振動片となっている。
【００８６】
また、一対の支持腕５４から外枠５５に渡って水晶フレーム５０の表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉには引出電極５０２ａ、５０２ｂが形成されている。引出電極５０２ａは＋Ｘ側から外枠５５に引き出され、引出電極５０２ｂは−Ｘ側から外枠５５に引き出される。さらに、引出電極５０２ａ、５０２ｂはそれぞれに一対の振動腕５２に形成された励振電極５０１ａ、５０１ｂに電気的に接続されている。
【００８７】
さらに、第５実施形態において引出電極５０２ａ、５０２ｂが水晶フレーム５０の両面に形成されるので、水晶キャスタレーション２０４ａ、２０４ｂには水晶側面電極５０３ａ、５０３ｂがそれぞれ形成されている。その他の構成は第１実施形態と同じであるので、説明を省略する。
【００８８】
＜第５水晶振動子５００の製造方法＞
第５水晶振動子５００の製造方法は、第１実施形態の図３で説明されたフローチャートと同じである。但し、水晶フレームを製造するステップＳ１２では音叉型の水晶振動片が形成される。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。たとえば、本発明は、水晶振動子以外にも、発振回路を組み込んだＩＣなどをキャビティ内に収容した水晶発振器にも適用できる。また、水晶以外にタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料を利用することができる。また、本明細書ではリッドウエハと水晶ウエハとベースウエハとが低融点ガラス、ポリイミド樹脂などの非導電性接着剤により接合されるが、陽極接合又は共晶金属により接合されてもよい。
【符号の説明】
【００９０】
１１  …  リッド部、  １１Ｗ  …  リッドウエハ
１２、３２、３２’、４２  …  ベース部、  １２Ｗ  …  ベースウエハ
２０、３０、３０’、４０、５０  …  水晶振動片、  ２０Ｗ、３０Ｗ、４０Ｗ  …  水晶ウエハ
１３、１３’  …  接着剤
１４ａ、１４ｂ、３４ａ、３４ｂ、４４ａ、４４ｂ  …  接続電極
１００、２００、３００、３００’、４００、５００  …  水晶振動子
１２２ａ、１２２ｂ、３２２ａ、３２２ｂ、３２２ａ’、３２２ｂ’、４２２ａ、４２２ｂ  …  外部電極
１２３ａ、１２３ｂ、３２３ａ、３２３ｂ、３２３ａ’、３２３ｂ’、４２３ａ、４２３ｂ  …  ベース側面電極
１２４ａ、１２４ｂ、３２４ａ、３２４ｂ、３２４ａ’、３２４ｂ’、４２４ａ、４２４ｂ  …  ベースキャスタレーション
２０１ａ、２０１ｂ  …  励振電極
２０２ａ、２０２ｂ、３０２ａ、３０２ｂ、３０２ａ’、３０２ｂ’、４０２ａ、４０２ｂ、５０２ａ、５０２ｂ  …  引出電極
２０３ａ、２０３ｂ、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ａ’、３０３ｂ’、４０３ａ、４０３ｂ  …  水晶側面電極
２０４ａ、２０４ｂ、３０４ａ、３０４ｂ、３０４ａ’、３０４ｂ’、４０４ａ、４０４ｂ  …  水晶キャスタレーション
【図１】
2012060628.tif 000003
【図２】
2012060628.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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