(57)【要約】【課題】データ容量削減に寄与しつつ簡便に印刷データが生成できる印刷装置を提供する。【解決手段】複数の印刷領域が設定された基材に対して、所定の印刷データに基づいて液体の液滴を吐出して印刷を行う。複数の印刷領域に対応した複数のレイアウト情報７２Ａ及び複数の画像情報７２Ｂを保持する保持部７２と、複数のレイアウト情報から選択された１のレイアウト情報において、複数の印刷領域の各々に対応する画像情報を、複数の画像情報から選択して、１のレイアウト情報及び選択された画像情報に基づいて印刷データを生成する印刷データ生成部７１と、を有する。【選択図】図３
2012254576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の印刷領域が設定された基材に対して、所定の印刷データに基づいて液体の液滴を吐出して印刷を行う印刷装置であって、
前記複数の印刷領域に対応した複数のレイアウト情報及び複数の画像情報を保持する保持部と、
前記複数のレイアウト情報から選択された１のレイアウト情報において、前記複数の印刷領域の各々に対応する画像情報を、前記複数の画像情報から選択して、前記１のレイアウト情報及び選択された画像情報に基づいて前記印刷データを生成する印刷データ生成部と、
を有することを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
請求項１記載の印刷装置において、
前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を表示する表示部を備えることを特徴とする印刷装置。
【請求項３】
請求項２記載の印刷装置において、
前記表示部は、前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を入力させる入力部を備えることを特徴とする印刷装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の印刷装置において、
前記レイアウト情報は、前記複数の印刷領域が配置される位置情報と、前記複数の印刷領域に印刷される画像情報に関する画像パターン情報とを含むことを特徴とする印刷装置。
【請求項５】
請求項４記載の印刷装置において、
前記印刷データ生成部は、前記画像パターン情報と選択された前記画像情報とに基づいて、前記複数の印刷領域に関する印刷データを一括的に生成することを特徴とする印刷装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の印刷装置において、
前記保持部と前記印刷データ生成部との少なくともいずれか一方は、前記印刷が行われる印刷装置本体と分離して設けられ、該印刷装置本体とネットワークを介して接続されることを特徴とする印刷装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の印刷装置において、
前記液体は、活性光線で硬化する液体であることを特徴とする印刷装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の印刷装置において、
前記印刷領域は、前記基材に設けられた半導体装置に設定されることを特徴とする印刷装置。
【請求項９】
複数の印刷領域が設定された基材に対して、液体の液滴を吐出して印刷を行う印刷装置の印刷データ生成方法であって、
前記複数の印刷領域に対応した複数のレイアウト情報及び複数の画像情報を保持部に保持させる保持ステップと、
前記複数のレイアウト情報から選択された１のレイアウト情報において、前記複数の印刷領域の各々に対応する画像情報を、前記複数の画像情報から選択して、前記１のレイアウト情報及び選択された画像情報に基づいて前記印刷データを生成するデータ生成ステップと、
を含むことを特徴とする印刷データ生成方法。
【請求項１０】
請求項９記載の印刷データ生成方法において、
前記データ生成ステップでは、前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を表示部に表示することを特徴とする印刷データ生成方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の印刷データ生成方法において、
前記表示部に設けた入力部により前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を入力することを特徴とする印刷データ生成方法。
【請求項１２】
請求項９から１１のいずれか一項に記載の印刷データ生成方法において、
前記レイアウト情報は、複数の前記印刷領域が配置される位置情報と、前記複数の印刷領域に印刷される画像情報に関する画像パターン情報とを含むことを特徴とする印刷データ生成方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の印刷データ生成方法において、
前記データ生成ステップでは、前記画像パターン情報と選択された前記画像情報とに基づいて、前記複数の印刷領域に関する印刷データを一括的に生成することを特徴とする印刷データ生成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置及び印刷データ生成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、紫外線照射によって硬化する紫外線硬化型インクを用いて記録媒体に画像またはパターンを形成する印刷装置が注目されている。紫外線硬化型インクは、紫外線を照射するまでは硬化が非常に遅く、紫外線を照射すると急速に硬化するという、印刷インクとして好ましい特性を有する。また、硬化にあたって溶剤を揮発させることがないので、環境負荷が小さいという利点もある。
【０００３】
さらに、紫外線硬化型インクは、ビヒクルの組成により種々の記録媒体に高い付着性を発揮する。また、硬化した後は化学的に安定で、接着性、耐薬剤性、耐候性、耐摩擦性等が高く、屋外環境にも耐える等、優れた特性を有する。このため、紙、樹脂フィルム、金属箔等の薄いシート状の記録媒体の他、記録媒体のレーベル面、テキスタイル製品等、ある程度立体的な表面形状を有するものに対しても画像を形成できる。上記の紫外線硬化型インクを液滴吐出方式で、基板上のＩＣに製造番号や製造会社等の属性情報を印刷する技術が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
上記の属性情報を印刷する際には属性情報が多岐に亘るため、上記の印刷装置において全ての属性情報を記憶手段に登録して保持させると、データ容量が増大してしまうという問題が生じてしまう。
そこで、特許文献２には、各ＩＣチップに描画する文字、記号、図形について、印字データとしてサブファイルを生成し、当該サブファイルと印字位置とを記録したメインファイルを記憶しておき、印刷処理時にはＩＣチップに対応するメインファイルを指定することにより、文字、記号、図形等のデータの重複を避けてデータ容量を削減する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−０８０６８７号公報
【特許文献２】特開２００３−０８８９６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
生産効率の観点から、ＩＣチップは基板上に複数設けられることが多いが、特許文献２においては、各ＩＣチップに属性情報を印刷する場合、すなわち印刷データの管理単位がＩＣチップ単位である場合のデータ容量削減については考慮されていない。また、特許文献２においては、各印刷データに対応するメインファイルを都度記録している。そのため、複数のＩＣチップを設け、各ＩＣチップに対する印刷データ及び印刷位置のメインファイルを記録すると、データ容量が膨大になるとともに、ＩＣチップの数が増加するのに伴ってメインファイルの生成に多大な時間がかかるという問題が生じてしまう。
この問題は、ＩＣチップが複数設けられる場合に限られず、基材上に複数の印刷領域が設定される場合に同様に生じる。
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、データ容量削減に寄与しつつ簡便に印刷データが生成できる印刷装置及び印刷データ生成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の印刷装置は、複数の印刷領域が設定された基材に対して、所定の印刷データに基づいて液体の液滴を吐出して印刷を行う印刷装置であって、前記複数の印刷領域に対応した複数のレイアウト情報及び複数の画像情報を保持する保持部と、前記複数のレイアウト情報から選択された１のレイアウト情報において、前記複数の印刷領域の各々に対応する画像情報を、前記複数の画像情報から選択して、前記１のレイアウト情報及び選択された画像情報に基づいて前記印刷データを生成する印刷データ生成部と、を有することを特徴とするものである。
【０００９】
従って、本発明の印刷装置では、例えばＩＣチップ等の印刷領域が複数設定される基材に対して画像情報を印刷する際に、印刷領域のレイアウト情報を一つ選択し、当該印刷領域に対応する画像情報を保持部から選択することにより、各印刷領域に印刷するための印刷データを簡便に生成することができる。また、本発明では、各画像情報を選択することにより印刷データが生成されるため、各印刷データを保存する必要がなくデータ容量の削減に寄与できる。
【００１０】
上記構成においては、前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を表示する表示部を備える構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、１のレイアウト情報及び画像情報を視覚的に確認することが可能になり、印刷領域における画像情報の選択・設定等をより確実に実行することができる。
【００１１】
上記構成における表示部としては、前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を入力させる入力部を備える構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、表示部に表示された１のレイアウト情報及び画像情報を用いて直接的且つ迅速な選択・設定が可能になる。
【００１２】
上記発明における前記レイアウト情報としては、前記複数の印刷領域が配置される位置情報と、前記複数の印刷領域に印刷される画像情報に関する画像パターン情報とを含む構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、同一の画像情報が複数の印刷領域に印刷される場合等には、用いられる画像情報に対応する画像パターン情報として、各印刷領域に対応付けることにより、複数の印刷領域に対して同一の画像情報が印刷される場合に当該画像情報を容易に設定することができる。例えば、同一の画像情報が印刷される複数の印刷領域に対して「画像パターン−１」という情報を画像パターン情報として設定し、他の画像情報が印刷される複数あるいは単数の印刷領域に「画像パターン−２」という情報を画像パターン情報としてレイアウト情報として設定することにより、各印刷領域に直接的に画像情報を設定するのではなく、「画像パターン−１」、「画像パターン−２」にそれぞれ該当する画像情報を設定することにより、設定回数も少なくなり作業効率を図ることができる。
【００１３】
上記構成において、前記印刷データ生成部としては、前記画像パターン情報と選択された前記画像情報とに基づいて、前記複数の印刷領域に関する印刷データを一括的に生成する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、同一の画像情報が印刷される複数の印刷領域に対して、画像パターン情報を介して画像情報が設定されたときに、当該複数の印刷領域に対応する印刷データを一括的に生成することができ、効率的なデータ生成処理を実現できる。
【００１４】
上記構成における前記保持部と前記印刷データ生成部との少なくともいずれか一方としては、前記印刷が行われる印刷装置本体と分離して設けられ、該印刷装置本体とネットワークを介して接続される構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、レイアウト情報及び画像情報を作成して保持部に保持させる作業が印刷装置本体と離れた場所、装置でも可能となる。また、本発明では、複数の印刷装置本体が保持部と印刷データ生成部との少なくともいずれか一方がネットワークを介して共用することも可能となる。
【００１５】
また、本発明では、前記液体が、活性光線で硬化する液体である構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、印刷データを簡便に生成することができ、また、データ容量の削減に寄与しつつ、迅速且つ小さな環境負荷で高精度の液滴吐出処理を実行することができる。
【００１６】
また、本発明では、前記印刷領域が、前記基材に設けられた半導体装置に設定される構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、基材に設けられた半導体装置に印刷処理を行う場合、印刷データを簡便に生成することができ、また、データ容量の削減に寄与できる。
【００１７】
一方、本発明の印刷データ生成方法は、複数の印刷領域が設定された基材に対して、液体の液滴を吐出して印刷を行う印刷装置の印刷データ生成方法であって、前記複数の印刷領域に対応した複数のレイアウト情報及び複数の画像情報を保持部に保持させる保持ステップと、前記複数のレイアウト情報から選択された１のレイアウト情報において、前記複数の印刷領域の各々に対応する画像情報を、前記複数の画像情報から選択して、前記１のレイアウト情報及び選択された画像情報に基づいて前記印刷データを生成するデータ生成ステップと、を含むことを特徴とするものである。
【００１８】
従って、本発明の印刷データ生成方法では、例えばＩＣチップ等の印刷領域が複数設定される基材に対して画像情報を印刷する際に、印刷領域のレイアウト情報を選択し、当該印刷領域に対応する画像情報を保持部から選択することにより、各印刷領域に印刷するための印刷データを簡便に生成することができる。また、本発明では、各画像情報を選択することにより印刷データが生成されるため、各印刷データを保存する必要がなくデータ容量の削減に寄与できる。
【００１９】
上記発明における前記データ生成ステップでは、前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を表示部に表示する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、１のレイアウト情報及び画像情報を視覚的に確認することが可能になり、印刷領域における画像情報の選択・設定等をより確実に実行することができる。
【００２０】
また、本発明では、前記表示部に設けた入力部により前記１のレイアウト情報及び選択された前記画像情報を入力する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、表示部に表示された１のレイアウト情報及び画像情報を用いて直接的且つ迅速な選択・設定が可能になる。
【００２１】
上記構成における前記レイアウト情報は、複数の前記印刷領域が配置される位置情報と、前記複数の印刷領域に印刷される画像情報に関する画像パターン情報とを含む構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、同一の画像情報が複数の印刷領域に印刷される場合等には、用いられる画像情報に対応する画像パターン情報として、各印刷領域に対応付けることにより、複数の印刷領域に対して同一の画像情報が印刷される場合に当該画像情報を容易に設定することができる。例えば、同一の画像情報が印刷される複数の印刷領域に対して「画像パターン−１」という情報を画像パターン情報として設定し、他の画像情報が印刷される複数あるいは単数の印刷領域に「画像パターン−２」という情報を画像パターン情報としてレイアウト情報として設定することにより、各印刷領域に直接的に画像情報を設定するのではなく、「画像パターン−１」、「画像パターン−２」にそれぞれ該当する画像情報を設定することにより、設定回数も少なくなり作業効率を図ることができる。
【００２２】
上記構成における前記データ生成ステップでは、前記画像パターン情報と選択された前記画像情報とに基づいて、前記複数の印刷領域に関する印刷データを一括的に生成する構成を好適に採用できる。
これにより、本発明では、同一の画像情報が印刷される複数の印刷領域に対して、画像パターン情報を介して画像情報が設定されたときに、当該複数の印刷領域に対応する印刷データを一括的に生成することができ、効率的なデータ生成処理を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）は半導体基板を示す模式平面図、（ｂ）は印刷装置を示す模式平面図。
【図２】（ａ）は、塗布部の構成を示す概略斜視図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｃ）は、ヘッドユニットを示す模式平面図、（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】印刷装置における制御ブロック図。
【図４】レイアウト情報の一例を示す図。
【図５】画像情報の一例を示す図。
【図６】ＵＩ表示部９２に表示される一例を示す図
【図７】ＵＩ表示部９２に表示される一例を示す図
【図８】ＵＩ表示部９２に表示される一例を示す図
【図９】別形態における印刷装置における制御ブロック図。
【図１０】別形態における印刷装置における制御ブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の印刷装置及び印刷データ生成方法の実施の形態を、図１ないし図１０を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００２５】
本実施形態では、本発明の特徴的な印刷装置とその制御方法の例について、図１〜図９に従って説明する。なお、本実施形態では、半導体基板に設けられた半導体装置を印刷対象（印刷領域）とし、紫外線の照射により硬化する液体の液滴を吐出して、半導体基板の属性情報等を示す各種マークを形成する例について説明する。
【００２６】
（半導体基板）
まず、印刷装置を用いて描画（印刷）する対象の一例である半導体基板について説明する。
図１（ａ）は半導体基板を示す模式平面図である。図１（ａ）に示すように、基材としての半導体基板１は基板２及び半導体装置３を備えている。基板２は耐熱性があり半導体装置３を実装可能であれば良く、基板２にはガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、紙エポキシ基板等を用いることができる。被記録媒体としての半導体装置３は、パッケージ基材であってもよいし、半導体基材であってもよい。
【００２７】
基板２上には半導体装置３が複数（図１（ａ）では１０個）実装されている。そして、半導体装置３上には会社名マーク、機種コード、製造番号等のマーク（画像情報）４が描画されている。これらのマーク４が後述する印刷装置によって描画される。
【００２８】
（印刷装置）
図１（ｂ）は印刷装置を示す模式平面図である。
図１（ｂ）に示すように、印刷装置７は主に供給部８、前処理部９、塗布部（印刷部）１０、冷却部１１、収納部１２、搬送部１３、後処理部１４の各種印刷に関連する処理を行う複数の処理装置を含む印刷装置本体ＨＴと、印刷装置本体ＨＴを統括的に制御する制御部ＣＯＮＴから構成されている。なお、供給部８、収納部１２が並ぶ方向、及び前処理部９、冷却部１１、後処理部１４が並ぶ方向をＸ方向とする。Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向には塗布部１０、冷却部１１、搬送部１３が並んで配置されている。そして、鉛直方向をＺ方向とする。
【００２９】
供給部８は、複数の半導体基板１が収納された収納容器を備えている。そして、供給部８は中継場所８ａを備え、収納容器から中継場所８ａへ半導体基板１を供給する。中継場所８ａには、Ｘ方向に延びＹ方向に間隔をあけて設けられた一対のレール８ｂが、収納容器から送り出される半導体基板１の高さと略同一の高さに設けられている。
【００３０】
前処理部９は、半導体装置３の表面を加熱しながら改質する機能を有する。前処理部９により半導体装置３は吐出された液滴の広がり具合及び印刷するマークの密着性が調整される。前処理部９は第１中継場所９ａ及び第２中継場所９ｂを備え、処理前の半導体基板１を第１中継場所９ａまたは第２中継場所９ｂから取り込んで表面の改質を行う。その後、前処理部９は処理後の半導体基板１を第１中継場所９ａまたは第２中継場所９ｂに移動して、半導体基板１を待機させる。第１中継場所９ａ及び第２中継場所９ｂを合わせて中継場所９ｃとする。そして、前処理部９の内部で前処理が行われる場所を処理場所９ｄとする。
【００３１】
冷却部１１は、塗布部１０の中継場所に配置されており、前処理部９で加熱及び表面改質が行われた半導体基板１を冷却する機能を有している。冷却部１１は、それぞれが半導体基板１を保持して冷却する処理場所１１ａ、１１ｂを有している。処理場所１１ａ、１１ｂは、適宜、処理場所１１ｃと総称するものとする。
【００３２】
塗布部１０は、半導体装置３に液滴を吐出してマークを描画（印刷）するとともに、描画されたマークを固化または硬化する機能を有する。塗布部１０は中継場所としての冷却部１１から描画前の半導体基板１を移動させて描画処理及び硬化処理を行う。その後、塗布部１０は描画後の半導体基板１を冷却部１１に移動させて、半導体基板１を待機させる。
【００３３】
図２（ａ）は、塗布部の構成を示す概略斜視図である。塗布部１０により半導体基板１に液滴が吐出される。図２（ａ）に示すように、塗布部１０には、直方体形状に形成された基台３７を備えている。液滴を吐出するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とが相対移動する方向を主走査方向とする。そして、主走査方向と直交する方向を副走査方向とする。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向である。本実施形態ではＸ方向を主走査方向とし、Ｙ方向を副走査方向とする。
【００３４】
基台３７の上面３７ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３８がＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台３７の上側には、一対の案内レール３８に対応する図示しない直動機構を備えたステージ３９が取付けられている。そのステージ３９の直動機構は、リニアモーターやネジ式直動機構等を用いることができる。本実施形態では、例えば、リニアモーターを採用している。そして、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動または復動するようになっている。往動と復動を繰り返すことを走査移動と称す。さらに、基台３７の上面３７ａには、案内レール３８と平行に副走査位置検出装置４０が配置され、副走査位置検出装置４０によりステージ３９の位置が検出される。
【００３５】
そのステージ３９の上面には載置面４１が形成され、その載置面４１には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。載置面４１上に半導体基板１が載置された後、半導体基板１は基板チャック機構により載置面４１に固定される。
【００３６】
ステージ３９が−Ｙ方向に位置するときの載置面４１の場所が中継場所１０ａとなっている。この載置面４１は把持部１３ａの動作範囲内に露出するように設置されている。従って、搬送部１３は容易に半導体基板１を載置面４１に載置することができる。半導体基板１に塗布が行われた後、半導体基板１は中継場所１０ａである載置面４１上にて待機する。従って、搬送部１３の把持部１３ａは容易に半導体基板１を把持して移動することができる。
【００３７】
基台３７のＸ方向両側には一対の支持台４２が立設され、その一対の支持台４２にはＸ方向に延びる案内部材４３が架設されている。案内部材４３の下側にはＸ方向に延びる案内レール４４がＸ方向全幅にわたり凸設されている。案内レール４４に沿って移動可能に取り付けられるキャリッジ４５は略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ４５は直動機構を備え、その直動機構は、例えば、ステージ３９が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、キャリッジ４５がＸ方向に沿って走査移動する。案内部材４３とキャリッジ４５との間には主走査位置検出装置４６が配置され、キャリッジ４５の位置が計測される。キャリッジ４５の下側にはヘッドユニット４７が設置され、ヘッドユニット４７のステージ３９側の面には図示しない液滴吐出ヘッドが凸設されている。
【００３８】
図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図である。図２（ｂ）に示すようにキャリッジ４５の半導体基板１側にはヘッドユニット４７と一対の照射部としての硬化ユニット４８が配置されている。ヘッドユニット４７の半導体基板１側には液滴を吐出する３個の液滴吐出ヘッド４９が凸設されている。液滴吐出ヘッド４９の個数や配置は特に限定されず、吐出する機能液の種類や描画パターンに合わせて設定できる。
【００３９】
硬化ユニット４８の内部には吐出された液滴を硬化させる紫外線を照射する照射装置が配置されている。硬化ユニット４８は主走査方向においてヘッドユニット４７を挟んだ位置に配置されている。照射装置は発光ユニットと放熱板等から構成されている。発光ユニットには多数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）素子が配列して設置されている。このＬＥＤ素子は、電力の供給を受けて紫外線の光である紫外光を発光する素子である。
【００４０】
キャリッジ４５の図中上側には収容タンク５０が配置され、収容タンク５０には機能液が収容されている。液滴吐出ヘッド４９と収容タンク５０とは図示しないチューブにより接続され、収容タンク５０内の機能液がチューブを介して液滴吐出ヘッド４９に供給される。
【００４１】
機能液は樹脂材料、硬化剤としての光重合開始剤、溶媒または分散媒を主材料とする。この主材料に顔料または染料等の色素や、親液性または撥液性等の表面改質材料等の機能性材料を添加することにより固有の機能を有する機能液を形成することができる。本実施形態では、例えば、白色の顔料を添加している。機能液の樹脂材料は樹脂膜を形成する材料である。樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによりポリマーとなる材料であれば特に限定されない。さらに、粘性の小さい樹脂材料が好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。モノマーの形態であればさらに好ましい。光重合開始剤はポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤であり、例えば、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール等を用いることができる。溶媒または分散媒は樹脂材料の粘度を調整するものである。機能液を液滴吐出ヘッドから吐出し易い粘度にすることにより、液滴吐出ヘッドは安定して機能液を吐出することができるようになる。
【００４２】
図２（ｃ）は、ヘッドユニットを示す模式平面図である。図２（ｃ）に示すように、ヘッドユニット４７には液滴吐出ヘッド４９が配置され、液滴吐出ヘッド４９の表面にはノズルプレート５１が配置されている。ノズルプレート５１には複数のノズル５２が配列して形成されている。ノズル５２及びヘッドの数及び配置は特に限定されず吐出するパターンに合わせて設定される。本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート５１にはノズル５２の配列が１列形成され、１つの列には１５個のノズル５２が配置されている。
【００４３】
硬化ユニット４８の下面には、照射口４８ａが形成されている。そして、照射装置が発光する紫外光が照射口４８ａから半導体基板１に向けて照射される。
【００４４】
図２（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド４９はノズルプレート５１を備え、ノズルプレート５１にはノズル５２が形成されている。ノズルプレート５１の上側であってノズル５２と相対する位置にはノズル５２と連通するキャビティ５３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド４９のキャビティ５３には機能液５４が供給される。
【００４５】
キャビティ５３の上側には上下方向に振動してキャビティ５３内の容積を拡大縮小する振動板５５が設置されている。振動板５５の上側でキャビティ５３と対向する場所には上下方向に伸縮して振動板５５を振動させる圧電素子５６が配設されている。圧電素子５６が上下方向に伸縮して振動板５５を加圧して振動し、振動板５５がキャビティ５３内の容積を拡大縮小してキャビティ５３を加圧する。それにより、キャビティ５３内の圧力が変動し、キャビティ５３内に供給された機能液５４はノズル５２を通って吐出される。
【００４６】
液滴吐出ヘッド４９が圧電素子５６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子５６が伸張して、振動板５５がキャビティ５３内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド４９のノズル５２から縮小した容積分の機能液５４が液滴５７となって吐出される。機能液５４が塗布された半導体基板１に対しては、照射口４８ａから紫外光が照射され、硬化剤を含んだ機能液５４を固化または硬化させるようになっている。
【００４７】
図１に戻り、後処理部１４は、塗布部１０で描画処理が施された後、冷却部１１に載置された半導体基板１に対して後処理として再加熱処理を行うものである。後処理部１４は、第１中継場所１４ａ及び第２中継場所１４ｂを備えている。第１中継場所１４ａ及び第２中継場所１４ｂを合わせて中継場所１４ｃとする。
【００４８】
収納部１２は、半導体基板１を複数収納可能な収納容器を備えている。そして、収納部１２は中継場所１２ａを備え、中継場所１２ａから収納容器へ半導体基板１を収納する。中継場所１２ａには、Ｘ方向に延びる一対のレール１２ｂが、半導体基板１を収容する収納容器と略同一の高さに設けられている。操作者は半導体基板１が収納された収納容器を印刷装置７から搬出する。
【００４９】
印刷装置７の中央の場所には、搬送部１３が配置されている。搬送部１３は腕部１３ｂを備えたスカラー型ロボットが用いられている。そして、腕部１３ｂの先端には半導体基板１を裏面（下面）から支持しつつ、側縁を片持ちで把持する把持部１３ａが設置されている。中継場所８ａ，９ｃ，１１、１４ｃ、１２ａは把持部１３ａの移動範囲内に位置している。従って、把持部１３ａは中継場所８ａ，９ｃ，１１、１４ｃ、１２ａ間で半導体基板１を移動することができる。制御部ＣＯＮＴは、印刷装置７の全体の動作を制御する装置であり、印刷装置７の各部の動作状況を管理する。そして、搬送部１３に半導体基板１を移動する指示信号を出力する。これにより、半導体基板１は各部を順次通過して描画されるようになっている。
【００５０】
図３に示すように、制御部ＣＯＮＴは、印刷データ生成部７１と、データベース（保持部）７２と、インターフェイス７３とを備えており、キーボードやマウス（他のポインティングデバイスでもよい）などを含むＵＩ入力部９１、液晶ディスプレイなどのＵＩ表示部９２が接続されている。なお、タッチパネル方式の液晶ディスプレイ等を用いて、ＵＩ入力部９１とＵＩ表示部９２とを統合させる構成としてもよい。
インターフェース７３は、印刷装置本体ＨＴと接続するためのインターフェースである。
【００５１】
データベース７２には、半導体基板１に配置される印刷領域となる複数の半導体素子３のレイアウト情報７２Ａと、半導体装置３に印刷されるマーク４の画像情報７２Ｂとが保持される。
【００５２】
レイアウト情報７２Ａとしては、図１（ａ）、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、基板２における半導体装置３の位置情報と、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、半導体装置３に印刷されるマーク４の画像パターン情報とが保持される。画像パターン情報としては、マーク４の画像内容を具体的に示すものではなく、各半導体装置３に印刷される画像情報の種類の情報を示すものである。
【００５３】
図４（ａ）には、全ての半導体装置３に同一の画像情報が印刷される場合のレイアウト情報Ｌ１が模式的に示されている。この図に示すように、全ての半導体装置３には、画像パターンIMG-Aに対応付けられた画像情報が印刷されることが示されている。同様に、図４（ｂ）に示すレイアウト情報Ｌ２には、上側に位置する半導体装置３に、画像パターンIMG-Aに対応付けられた画像情報が印刷され、下側に位置する半導体装置３に、画像パターンIMG-Bに対応付けられた画像情報が印刷されことが示されている。さらに、図４（ｃ）に示すレイアウト情報Ｌ３には、全ての半導体装置３について、互いに異なる種類の画像パターンIMG-A〜IMG-Jが印刷されことが示されている。
【００５４】
図５（ａ）〜（ｃ）には、画像情報７２Ｂとして保持されるマークの例が示されている。データベース７２には、半導体装置３に印刷されるマーク４の画像情報Ｇ１〜Ｇ３が予め登録されて保持されている。
【００５５】
印刷データ生成部７１は、選択されたレイアウト情報及び画像情報に基づいて、上述した液滴吐出ヘッド４９から各半導体装置３に液滴を吐出してマーク４を印刷するための印刷データを生成する。生成された印刷データは、インターフェイス７３を介して印刷装置本体ＨＴ（塗布部１０）に出力される。
【００５６】
続いて、上記構成の印刷装置７により、印刷データを生成する方法について具体的に説明する。
図６乃至図８は、印刷データを作成する際にＵＩ表示部９２に表示される一例を示す図である。なお、データベース７２には、レイアウト情報７２Ａ及び画像情報７２Ｂが予め登録されて保持されているものとする。
【００５７】
図６に示すように、まず、データベース７２のレイアウト情報７２Ａが参照されて、ＵＩ表示部９２に選択可能なレイアウト情報が表示され、所定のレイアウト情報をＵＩ入力部９１により入力・選択する。そして、例えば、レイアウトＬ１を選択するとデータベース７２の画像情報７２Ｂが参照されて、図７に示すように、レイアウトＬ１に対応して設定される１種類の画像パターンIMG-Aの候補として、画像情報Ｇ１〜Ｇ３が表示される。
【００５８】
そして、画像パターンIMG-Aとして、例えば、画像情報Ｇ１を選択してＵＩ入力部９１により入力すると、図８に示すように、レイアウト情報Ｌ１における複数の半導体装置（印刷領域）３の配置、及び当該半導体装置３に印刷される画像情報Ｇ１が表示される。この表示をＵＩ入力部９１を介して確認すると、印刷データ生成部７１は設定されたレイアウト情報及び画像情報に基づいて、１０個の半導体装置３に対する印刷データを一括的に作成・生成し、印刷装置本体ＨＴ（塗布部１０）に出力する。
【００５９】
なお、レイアウト情報の選択時に、例えば、図４（ｂ）に示したレイアウト情報Ｌ２を選択した場合には、画像情報の設定時に画像パターンIMG-A、IMG-Bの２種類にそれぞれ対応する画像情報の選択・設定が要求される。同様に、レイアウト情報の選択時に、例えば、図４（ｃ）に示したレイアウト情報Ｌ３を選択した場合には、画像情報の設定時に画像パターンIMG-A〜IMG-Jの１０種類にそれぞれ対応する画像情報の選択・設定が要求される。
【００６０】
印刷データが生成されて塗布部１０に出力されると、液滴吐出ヘッド４９の走査移動中に、ステージ３９上の半導体基板１に対して液滴吐出ヘッド４９からインクが吐出され、走査移動方向の後方側に位置する  硬化ユニット４８から紫外線が照射されて硬化する。
そして、Ｙ方向の走査移動による半導体基板１に対するインク吐出と、ステージ３９に対してＸ方向（副走査方向）への相対移動とを繰り返すことにより、半導体基板１に対して上述したマーク４が印字される。
【００６１】
続いて、別の半導体基板１に印刷処理を行う場合には、例えば、レイアウト情報は同じで別の画像情報を印刷する場合には、上述と同様にレイアウト情報Ｌ１を選択した後に、画像パターンIMG-Aとして、例えば、画像情報Ｇ２を選択してＵＩ入力部９１により入力すればよい。
【００６２】
以上のように、本実施形態では、予めデータベース７２に保持してあるレイアウト情報７２Ａ及び当該レイアウト情報に対応する画像情報７２Ｂを選択することで印刷データが生成されるため、各半導体装置３に印刷するための印刷データを簡便に生成できるとともに、半導体基板１の種類毎にメインファイルを作成・記録する必要がなくデータ容量の削減に寄与できる。
【００６３】
また、本実施形態では、レイアウト情報７２Ａ及び画像情報７２Ｂを選択・設定する際に、ＩＵ表示部９２に各情報が明示的に表示されるため、レイアウト情報及び画像情報を視覚的に確認することが可能になり、半導体装置３に対する画像情報の選択・設定等をより確実に実行することができる。特に、タッチパネル方式等を採用してＩＵ表示部９２にＩＵ入力部９１を設けることにより、表示されたレイアウト情報及び画像情報を用いて直接的且つ迅速な選択・設定が可能になる。
【００６４】
また、本実施形態では、半導体装置３に対する画像情報を設定する際に、レイアウト情報に含まれる画像パターンに対応付けられる画像情報を選択するため、選択・設定作業が容易になり、作業効率を図ることができる。しかも、本実施形態では、同一の画像情報が印刷される複数の半導体装置３に対して、画像パターン情報を介して画像情報が設定されたときに、当該複数の半導体装置３に対応する印刷データを一括的に生成することができ、効率的なデータ生成処理を実現できる。
【００６５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６６】
例えば、上記実施形態では、基材上の印刷領域として半導体装置３を例示したが、これに限定されるものではなく、ラベルプリンタのように、複数箇所に画像情報を印刷するものであれば広く適用可能である。
【００６７】
また、上記実施形態では、データベース７２を印刷装置本体ＨＴに付属して設ける構成としたが、これに限られるものではなく、例えば図９に示すように、印刷装置本体ＨＴと分離して設け、ネットワークを介して印刷装置７に接続される構成としてもよい。
この構成では、レイアウト情報や画像情報の作成・登録を印刷装置７とは離れた箇所でＰＣを用いて作業することや管理することも可能となる。
さらに、図１０に示すように、データベース７２に加えて、ＵＩ入力部９１及びＵＩ表示部９２を印刷装置本体ＨＴと分離して設け、ネットワークを介して印刷装置７に接続される構成としてもよい。
この構成では、レイアウト情報や画像情報の作成・登録のみならず、レイアウト情報や画像情報の選択・設定作業や、印刷データの生成、印刷処理の開始等の指示・管理も印刷装置７とは離れた箇所で行うことができる。
この場合には、ネットワークを介してデータベース７２、ＵＩ入力部９１及びＵＩ表示部９２と接続された複数の印刷装置７を一括的に管理することも可能になり、さらなる生産効率の向上を図ることができる。
【００６８】
また、上記実施形態では、ＵＶインクとして紫外線硬化型インクを用いたが、本発明はこれに限定されず、可視光線、赤外線を硬化光として使用することができる種々の活性光線硬化型インクを用いることができる。
また、光源も同様に、可視光等の活性光を射出する種々の活性光光源を用いること、つまり活性光線照射部を用いることができる。
【００６９】
ここで、本発明において「活性光線」とは、その照射によりインク中において開始種を発生させうるエネルギーを付与することができるものであれば、特に制限はなく、広く、α線、γ線、Ｘ線、紫外線、可視光線、電子線などを包含するものである。中でも、硬化感度及び装置の入手容易性の観点からは、紫外線及び電子線が好ましく、特に紫外線が好ましい。従って、活性光線硬化型インクとしては、本実施形態のように、紫外線を照射することにより硬化可能な紫外線硬化型インクを用いることが好ましい。
【００７０】
上記実施形態における基材としての半導体基板１は、半導体装置３が実装された基板２であったが、シリコンなどの半導体で形成された基板であってもよい。被記録媒体としての半導体装置３は、樹脂でモールドした半導体装置であってもよいし、半導体装置そのものであってもよい。
【００７１】
また、上記実施形態においては、記録媒体上に紫外線硬化型インクを吐出し、記録媒体に着弾した紫外線硬化型インクに対して紫外線照射を行って該紫外線硬化型インクを硬化させ、記録媒体上に画像や各種の模様等のパターンを描画するものであったが、これに限られない。例えば、熱により硬化するインクを用いてもよい。
また、液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造における色材を吐出する液滴吐出装置に適用してもよいし、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の製造における電極形成のための液滴吐出装置に適用してもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１…半導体基板（基材）、  ３…半導体装置（印刷領域）、  ４…マーク（画像情報）、  ７…印刷装置、  ７１…印刷データ生成部、  ７２…データベース（保持部）、  ＨＴ…印刷装置本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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