(57)【要約】      （修正有）【課題】装置全体のセキュリティ性の向上を図ることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置の主コントローラは、ログインする際に入力されるユーザ名が予め指定されているユーザ名に含まれているかを判断し、予め指定されているユーザ名以外であると判断された場合に、ログインを拒否し、且つ操作画面にエラーメッセージを表示し、予め指定されているユーザ名であると判断された場合に、続いて入力されるパスワードが予め設定されているパスワードと一致しているかを判断し、パスワードが一致していないと判断された場合に、ログインを拒否し、且つ操作画面にエラーメッセージを表示し、パスワードが一致していると判断された場合に、ログインを有効とする。【選択図】図５
2012133438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理するためのファイルの作成又は編集を含む所定の入力を受けつける操作画面を備えた操作部を少なくとも有する制御手段を備えた基板処理装置であって、
前記制御手段は、
ログインする際に入力されるユーザ名が予め指定されているユーザ名に含まれているかを判断し、
予め指定されているユーザ名以外であると判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、予め指定されているユーザ名であると判断された場合に、続いて入力されるパスワードが予め設定されているパスワードと一致しているかを判断し、
パスワードが一致していないと判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、パスワードが一致していると判断された場合に、ログインを有効とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハやガラス基板等の基板を処理する基板処理装置に関し、特にユーザの不正なログインを防止する基板処理装置の安全性の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から基板処理装置にユーザがログインする際に、ユーザ登録情報（例えばユーザ名、パスワード）をチェックする（即ち基板処理装置が、ユーザ認証を経てユーザがアクセスできるか否かを決定する）技術が行われている。例えば、特許文献１には、初期画面からログインする際に、ユーザＩＤとパスワード入力画面に入力することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１１２９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の装置では、ユーザの登録情報は一度登録してしまうと、それ以降変更の必要がなく無期限で使用することが可能であった。その場合、パスワードを知らないユーザであっても繰り返しパスワードを入力することによって最終的には正しいパスワードを見つけ出すことも可能であり、他のユーザに成りすましてログインすること（以下、適宜「不正なログイン」と略称する）が可能であった。即ち、セキュリティ性が弱いとの問題点があった。
【０００５】
本発明は上述の問題点を解決し、装置全体のセキュリティ性の向上を図ることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一の態様によれば、基板を処理するためのファイルの作成又は編集を含む所定の入力を受けつける操作画面を備えた操作部を少なくとも有する制御手段を備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、ログインする際に入力されるユーザ名が予め指定されているユーザ名に含まれているかを判断し、予め指定されているユーザ名以外であると判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、予め指定されているユーザ名であると判断された場合に、続いて入力されるパスワードが予め設定されているパスワードと一致しているかを判断し、パスワードが一致していないと判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、パスワードが一致していると判断された場合に、ログインを有効とする基板処理装置を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、装置のセキュリティ性の向上を図るため、不正なログインを防止することができ、更に、ユーザのパスワードを定期的に変更させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理装置を含む基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。
【図３】図２に示される基板処理装置の左側面側の断面を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る基板処理装置の制御手段を中心とした構成の一例を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行されるログイン処理のフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるログイン画面を例示する図である。
【図７】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるアルファベットキーボードを例示する図である。
【図８】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるユーザ未存在のエラーダイアログを例示する図である。
【図９】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるログイン失敗のエラーダイアログを例示する図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるパスワード情報を含むログイン画面を例示する図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るパスワードチェック処理の一とする入力ミス回数チェック処理のフローチャートである。
【図１２】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるログインボタンが押下不可となるログイン画面を例示する図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるパスワード入力ミスチェック回数到達のエラーダイアログを例示する図である。
【図１４】本発明の実施形態に係るパスワードチェック処理の一とする登録有効日数チェック処理のフローチャートである。
【図１５】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示される経過日数が有効日数に到達した時のログイン画面を例示する図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示される有効期限超過のエラーダイアログを例示する図である。
【図１７】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示される経過日数が警告日数に到達した時のログイン画面を例示する図である。
【図１８】本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示される有効期限警告のエラーダイアログを例示する図である。
【図１９】本発明の実施形態に係る登録有効日数チェック処理の一実行過程における、ログイン中に警告日数に到達した時点を経過するログイン状態及び操作可能状態の経過を表すタイミングチャートである。
【図２０】本発明の実施形態に係る登録有効日数チェック処理の一実行過程における、ログイン中に有効日数に到達した時点を経過するログイン状態及び操作可能状態の経過を表すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜実施形態の構成＞
次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
始めに、図１乃至図３を参照しながら、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成について説明する。ここに、図１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を含む基板処理システム１の概略構成を示す図であり、図２は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を示す斜視図であり、図３は、図２に示される基板処理装置１０の左側面側の断面を示す断面図である。
【００１１】
図１に示されるように、基板処理システム１は、基板処理装置１０と、第２の操作装置として用いられる外部操作装置３０とを有し、これらが、例えば、スイッチングハブ４２を有するＬＡＮ等の通信ネットワーク４０によって互いに接続されている。
【００１２】
基板処理装置１０は、本発明の実施形態に係る基板処理装置として用いられ、例えば、半導体装置（ＩＣ）の製造方法を実施する半導体製造装置として構成されている。以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置に適用した場合について述べる。
【００１３】
基板処理装置１０は、図１に示すように、例えば２つ等、基板処理システム１に複数個を設けても良いし、基板処理システム１に１つの基板処理装置１０を設けても良い。
【００１４】
基板を処理する基板処理機構（ユニット）として用いられる基板処理装置１０は、それぞれが、基板処理装置本体１１１を有し、基板処理装置本体１１１内に、基板を処理する処理部として用いられる処理炉２０２（図１において不図示、図２参照）と、主コントローラ１４と、スイッチングハブ１５とが設けられている。また、基板処理装置本体１１１の外壁には、例えば基板処理装置１０の背面側（図１における左側）に、第１の操作装置として用いられる主操作装置１６が装着されている。また、基板処理装置１０には、スイッチングハブ１５を介して主コントローラ１４に接続されるようにして、第３の操作装置として用いられる副操作装置５０が取り付けられている。
【００１５】
主操作装置１６は、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されている。主操作装置１６は、この実施形態のように基板処理装置本体１１１に装着するようにして、基板処理装置１０と一体として固定する。
【００１６】
ここで、主操作装置１６が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に主操作装置１６が配置されていることをいう。例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。
【００１７】
主操作装置１６は、第１の表示部として用いられる主表示装置１８を有する。主表示装置１８は、例えば、液晶表示パネルからなる。また、主表示装置１８には、少なくとも基板処理装置１０を操作するための第１の操作画面として用いられる主操作画面１８ａが表示される。
【００１８】
また、主表示装置１８には、基板処理装置１０に関する各種パラメータの設定をするためのパラメータ設定画面として用いられる主パラメータ設定画面１８ｂが表示される。ここで、基板処理装置１０に関する各種パラメータは、多種多様である。例えば、本実施形態において、基板処理装置１０を操作するユーザ（操作者）毎にユーザ登録情報（ユーザ名、パスワード）をリスト化したパラメータ(ユーザパラメータ)や、後述するパスワードチェック機能を無効とするか否かのパラメータが少なくとも含まれる。
【００１９】
副操作装置５０は、第３の表示部として用いられる副表示装置５２を有する。副表示装置５２は、例えば、液晶表示パネルからなる。副表示装置５２には、少なくとも基板処理装置１０を操作するための第３の操作画面として用いられる副操作画面５２ａが表示される。また、副表示装置５２には、上述の基板処理装置１０に関する各種パラメータの設定をするためのパラメータ設定画面として用いられる副パラメータ設定画面５２ｂが表示される。
【００２０】
副操作装置５０は、例えば、ＷＢＴ（Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）  Ｂａｓｅｄ  Ｔｅｒｍｉｎａｌ）からなる。ここで、ＷＢＴとは、マイクロソフト社のマイクロソフト社のＯＳであるＷＴＳ（Ｗｉｎｄｏｗｓ  Ｔｅｒｍｉｎａｌ  Ｓｅｒｖｅｒ）が動作しているサーバにネットワーク経由等で接続して処理を行なう専用端末機であり、入出力のための最低限の処理を行なうことができるように構成されているものである。
【００２１】
また、副操作装置５０は、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されている。副操作装置５０は、基板処理装置本体１１１に固定される。ここで、副操作装置５０が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に副操作装置５０が配置されていることをいう。主操作装置１６の場合と同様に、例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。但し、主操作装置１６と同じ側に配置される必要はなく、基板処理装置本体１１１近傍であって、主操作装置１６から目が届かない位置に配置される。主操作装置１６は、基板処理装置本体１１１の前面に設置され、副操作装置５０は、基板処理装置本体１１１の後側に配置される。
【００２２】
外部操作装置３０は、第２の表示部として用いられる外部表示装置３２を有する。外部表示装置３２は、例えば、液晶表示パネルからなる。また、外部表示装置３２には、少なくとも処理部２０２を操作するための第２の操作画面として用いられる外部操作画面３２ａが表示される。さらに、外部表示装置３２にも、上述の基板処理装置１０に関する各種パラメータの設定をするためのパラメータ設定画面として用いられる外部パラメータ設定画面３２ｂを表示するようにしてもよい。
【００２３】
また、外部操作装置３０は、副操作装置５０と同様に、ＷＢＴ（Ｗｉｎｄｏｗｓ  Ｂａｓｅｄ  Ｔｅｒｍｉｎａｌ）からなり、先述のように通信ネットワーク４０を介して主コントローラ１４に接続可能である。このため、外部操作装置３０は、基板処理装置１０から離間した位置に配置することが可能である。例えば、基板処理装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合であっても、外部操作装置３０はクリーンルーム外の事務所等に配置することが可能である。
【００２４】
主コントローラ１４は、基板処理システム１の動作全体を制御可能に構成された電子制御ユニットである。主コントローラ１４は、本発明に係る「制御手段」の一例であり、例えばＲＯＭ等の記憶手段を有し、該記憶手段に格納された制御用のプログラムに従って、後述するログイン処理、パスワードチェック処理としての入力ミス回数チェック処理及び登録有効日数チェック処理を実行可能に構成されている。
【００２５】
主コントローラ１４は、主操作装置１６と、例えば、ビデオケーブル２０を用いて接続されている。尚、主コントローラ１４と主操作装置１６とをビデオケーブル２０を用いて接続することに替えて、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４と主操作装置１６とを接続しても良い。
【００２６】
主コントローラ１４には、例えば、先述のＷＴＳがインストールされている。ＷＴＳは、マイクロソフト社のＯＳであるＷｉｎｄｏｗｓ ＮＴ  Ｓｅｒｖｅｒに、マルチユーザ機能を付加したものである。ＷＴＳは、１台のサーバに対して、複数の端末を、ネットワークを通じて同時に接続することができ、これらの複数の端末から処理を行なうことができる。この際、全てのアプリケーションソフトの処理は、サーバ上で実行され、端末側には画面の転送がされる。
【００２７】
また、主コントローラ１４には、主操作装置１６、副操作装置５０、及び外部操作装置３０からログインして、主コントローラ１４で複数の同じプログラムを起動させることができる。結果的に主表示装置１８、副表示装置５２、及び外部表示装置３２に、それぞれに異なる操作画面が表示され、主表示装置１８、副表示装置５２、及び外部表示装置３２から、それぞれに異なる指示をすることが可能となる。
【００２８】
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウェハ２００を処理する。図２及び図３に示されているように、基板処理装置１０では、ウェハ２００を収納したウェハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下ポッドという）１１０が使用されている。また、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１１を備えている。
【００２９】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。尚、図示しないが、上側の正面メンテナンス扉１０４近傍に副操作装置５０が設置される。主操作装置１６は、背面側のメンテナンス扉近傍に配置される。
【００３０】
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が基板処理装置本体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
【００３１】
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００３２】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００３３】
基板処理装置本体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００３４】
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウェハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウェハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウェハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウェハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００３５】
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウェハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウェハ移載機構１２５は、ウェハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウェハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウェハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウェハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウェハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウェハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウェハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウェハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウェハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウェハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００３６】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
【００３７】
図２に模式的に示されているように、耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００３８】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウェハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００３９】
また、図２に模式的に示されているように移載室１２４のウェハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウェハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウェハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
【００４０】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウェハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、基板処理装置本体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００４１】
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
【００４２】
図２及び図３に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって基板処理装置本体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００４３】
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウェハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００４４】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウェハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウェハ出し入れ口を開放される。
【００４５】
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウェハ２００はポッド１１０からウェハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウェハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウェハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウェハ２００を受け渡したウェハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウェハをボート２１７に装填する。
【００４６】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウェハ移載機構１２５によるウェハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００４７】
予め指定された枚数のウェハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウェハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
【００４８】
ローディング後は、処理炉２０２にてウェハ２００に任意の処理が実施される。
【００４９】
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置でのウェハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウェハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払出される。
【００５０】
次に、図４を参照しながら、基板処理システム１における主コントローラ１４を中心としたハードウエア構成について説明する。ここに、図４は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の主コントローラ１４を中心としたハードウエアの概略構成を示すブロック図である。
【００５１】
図４に示されるように、基板処理装置１０の基板処理装置本体１１１内に、先述の主コントローラ１４、スイッチングハブ１５とあわせて、搬送制御部２３０と、プロセス制御部２３２とが設けられている。搬送制御部２３０とプロセス制御部２３２とは、基板処理装置本体１１１内に設けることに替えて、基板処理装置本体１１１外に設けても良い。
【００５２】
搬送制御部２３０は、例えばＣＰＵ等からなる搬送系コントローラ２３４を有し、プロセス制御部２３２は、例えばＣＰＵ等からなるプロセス系コントローラ２３６を有する。搬送系コントローラ２３４とプロセス系コントローラ２３６とは、スイッチングハブ１５を介して、主コントローラ１４にそれぞれ接続されている。
【００５３】
また、図４に示されるように、主操作装置１６内には、主表示装置１８（図１参照）の表示を制御するため等に用いられる主表示制御部２４０が設けられている。主表示制御部２４０は、例えば、ビデオケーブル２０を用いて、主コントローラ１４に接続されている。
【００５４】
また、図４に示されるように、副操作装置５０内には、副表示装置５２（図１参照）の表示を制御するため等に用いられる副表示制御部２４２が設けられている。副表示制御部２４２は、スイッチングハブ１５を介して主コントローラ１４に接続されている。
【００５５】
また、図４に示されるように、外部操作装置３０内には、外部表示装置３２の表示を制御するため等に用いられる外部表示制御部２４４が設けられている。外部表示制御部２４４は、スイッチングハブ４２を有する通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４に接続されている。
【００５６】
以上のように構成された基板処理システム１においては、主操作装置１６（或いは副操作装置５０、外部操作装置３０）の主表示装置１８（副表示装置５２、外部表示装置３２）に表示される主操作画面１８ａ、主パラメータ設定画面１８ｂ（或いは副操作画面５２ａ、外部操作画面３２ａ）等の種々の画面から、図示しない入力部を介して、ユーザの登録情報（例えばユーザ名、パスワード）が入力されると、該登録情報（例えばユーザ名、パスワード）は、主表示装置１８に表示されるとともに、図示しない一時記憶部に格納され、さらに主表示制御部２４０によって、主コントローラ１４に送信される。主コントローラ１４は、例えばＲＯＭなどの記憶手段に格納されたプログラムに従って、後述するログイン処理などを実行する。
【００５７】
＜実施形態の動作＞
続いて、図５乃至図９を参照しながら、本発明の実施形態に係る基板処理システム１のログイン処理について説明する。ここに、図５は、本発明の実施形態に係る基板処理システムにおいて実行されるログイン処理のフローチャートであり、図６は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるログイン画面３００を例示する図であり、図７は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるアルファベットキーボード３１０を例示する図であり、図８は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるユーザ未存在のエラーダイアログ３２０を例示する図であり、図９は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの表示装置に表示されるログイン失敗のエラーダイアログ３３０を例示する図である。
【００５８】
まず、ユーザが主コントローラ１４とビデオケーブル２０で接続されている主操作装置１６の主表示装置１８に表示されている主操作画面１８ａ上のログインボタンを押下する（ステップＳ１０１）と、主表示装置１８（図１参照）にログイン画面３００（図６参照）が表示される（ステップＳ１０２）。
【００５９】
なお、本実施形態では、本発明に係る「操作部」及び「操作画面」それぞれの一例たる主操作装置１６及び主操作画面１８ａが例示されているが、本発明に係る「操作部」及び「操作画面」は特に限定されず、例えば上述した副操作装置５０及び副操作画面５２ａ、外部操作装置３０及び外部操作画面３２ａであってもよい。
【００６０】
次に、ユーザ名の入力を受け付ける、即ちユーザがログイン画面３００のユーザ名入力エリア３０１を押下すると、ユーザ名を入力するためのアルファベットキーボード３１０（図７参照）が表示される（ステップＳ１０３）。
【００６１】
ユーザがアルファベットキーボード３１０でユーザ名を入力した後、入力ボタン３１１を押下すると、ログイン画面３００で入力されたユーザ名がユーザ管理情報に登録されているか否かを検索する、即ちログインする際に入力されるユーザ名が予め指定されているユーザ名に含まれているか否かを判断する（ステップＳ１０４）。この際、ログイン画面３００のユーザ名エリアには入力された文字（即ちユーザ名）が表示される。
【００６２】
ステップＳ１０４の検索結果として、入力されたユーザ名がユーザ管理情報に登録されていない場合（ステップＳ１０４：ＮＯ）、「このユーザは存在しません。」とのエラーダイアログ３２０（図８参照）がポップアップ表示され（ステップＳ１０５）。即ち、この際にログインが拒否され、ユーザの次回のログイン動作を待つ状態となり、ログイン処理の一連の処理が繰り返される。
【００６３】
一方、ステップＳ１０４検索結果として、入力されたユーザ名がユーザ管理情報に登録されている場合（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）、予め設定されたパラメータに基づいて、本実施形態に係るパスワードチェック機能を無効にしているか否かを判断する（ステップＳ１０６）。ここで、本実施形態に係るパスワードチェック機能は、通常有効に設定されているが、一般的に半導体製造ライン（クリーンルーム）はセキュリティ機能を有しているため、装置のセキュリティ機能が必要ない顧客に対応するため、当該パスワードチェック機能を有効にするかしないかはパラメータとして提供する。パスワードチェック処理を有効にするかしないかをパラメータ化することにより、顧客のニーズにフレキシブルに対応することができ、実践上極めて有益である。ここで、パラメータを有効にしない場合は、従来のセキュリティ機能を有する装置と同等の動作となる。
【００６４】
パスワードチェック機能が無効にしている場合（ステップＳ１０６：ＹＥＳ）、パスワードの入力を受け付ける、即ちユーザがログイン画面３００のパスワード入力エリア３０２を押下すると、パスワードを入力するためのアルファベットキーボード３１０（図７参照）が表示される（ステップＳ１０７）。
【００６５】
ユーザがアルファベットキーボード３１０でパスワードを入力した後、入力ボタン３１１を押下すると、ログイン画面３００で入力されたパスワードと、ユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致するか否かを判断する（ステップＳ１０８）。この際、上述した入力されたユーザ名が表示されることと異なって、ログイン画面３００のパスワードエリア３０２には、入力された文字（即ちパスワード）が「＊」で表示される。
【００６６】
ログイン画面３００で入力されたパスワードとユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致すると判断された、即ち正しいユーザ名とパスワードが入力された場合（ステップＳ１０８：ＹＥＳ）、当該ユーザのログインを許可する（ステップＳ１０９）。即ちこの際にログイン画面３００のログインボタン３０３を押下すると、主コントローラ１４にログインすることができる。この場合、ログイン処理の一連の処理が終了される。
【００６７】
一方、ログイン画面３００で入力されたパスワードとユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致していないと判断された、即ち主コントローラ１４のユーザ管理情報に登録されていないパスワードが入力された場合（ステップＳ１０８：ＮＯ）、「ログインに失敗しました。」とのエラーダイアログ３３０（図９参照）がポップアップ表示され（ステップＳ１１０）。即ち、この際にログインが拒否され、ユーザの次回のログイン動作を待つ状態となり、ログイン処理の一連の処理が繰り返される。
【００６８】
一方、パスワードチェック機能が無効にしていない場合（ステップＳ１０６：ＮＯ）、パスワードチェックに関する情報とするパスワードチェック情報３４０（後述の図１０参照）が表示されて（ステップＳ１１１）、後述するパスワードチェックを行う（ステップＳ１１２）。
【００６９】
ここで、本実施形態に係るログインチェック、即ち入力されたユーザ名の検索（ステップＳ１０４の動作）及び入力されたパスワードの判断（ステップＳ１０８の動作）は、ユーザ名の入力時及びパスワード入力時に行っている。これによって、一般的なユーザログインのチェックではユーザ名、パスワードの確定時にチェックが行われることと比較して、不正にログインしようと試みる者にとっては、不正なユーザ名を入力した時点でエラーと判定されると、不正なログインを行う者に対して精神的ダメージが大きいため、装置全体のセキュリティ性を向上することができる。
【００７０】
続いて、本発明の実施形態に係るパスワードチェック処理の詳細について説明する。まず、図１０を参照しながらログイン画面３００に表示されるパスワードチェック情報３４０の内容について説明する。ここに、図１０は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示されるパスワードチェック情報３４０を含むログイン画面３００を例示する図である。
【００７１】
図１０において、パスワードチェック情報３４０は、パスワードチェックの一種類とする入力ミス回数に基づいてパスワードチェックを行うための入力ミス回数情報３４１と、パスワードチェックの一種類とする登録有効日数に基づいてパスワードチェックを行うための登録有効日数情報３４４を有する。
【００７２】
入力ミス回数情報３４１は、入力ミスチェック回数３４２及び入力ミス回数３４３を有する。入力ミスチェック回数３４２は、パスワードの入力ミスが当該値に到達した場合にエラーとするチェック値であり、特に限定されずユーザが予め登録することが可能な固定値であってもよいし、またその値は、予め実験的に、経験的に、理論的に又はシミュレーション等により、不正なログインを可及的に防止し得るように設定されていてもよい。
【００７３】
入力ミス回数３４３は、実際にパスワードの入力ミスした回数を表示している。即ち、入力ミス回数３４３が入力ミスチェック回数３４２に到達した場合にエラーとなりログインが不可能となる。
【００７４】
登録有効日数情報３４４は、警告日数３４５、有効日数３４６及び経過日数３４７を有する。警告日数３４５は、ユーザがパスワードを設定（即ち登録）又は再設定してからの経過日数が当該値に到達した場合に警告とするチェック値であり、特に限定されずユーザが予め登録することが可能な固定値であってもよいし、またその値は、予め実験的に、経験的に、理論的に又はシミュレーション等により、不正なログインを可及的に防止し得るように設定されていてもよい。ここで、「警告」とは、この警告日数３４５に到達してもまだログインすることが可能である。
【００７５】
有効日数３４６は、ユーザがパスワードを設定（即ち登録）又は再設定してからの経過日数が当該値に到達した場合にエラーとするチェック値であり、警告日数３４５と同様に特に限定されず、ユーザが予め登録することが可能な固定値であってもよいし、またその値は、予め実験的に、経験的に、理論的に又はシミュレーション等により、不正なログインを可及的に防止し得るように設定されていてもよい。ここで、「有効」とは、この有効日数３４６に到達した場合はログインが不可能となる。
【００７６】
経過日数３４７は、実際にパスワードが設定（即ち登録）又は再設定されてからの経過日数を表示している。即ち、経過日数３４７が警告日数３４５に到達した場合に、後述する警告のダイアログとする有効期限警告のエラーダイアログ３７０がポップアップ表示され、有効日数３４６に到達した場合に、後述するエラーのダイアログとする有効期限超過のエラーダイアログ３６０がポップアップ表示されてログインが不可能となる。
【００７７】
なお、本実施形態では、ログイン画面３００には、パスワードチェック情報３４０の入力ミス回数情報３４１及び登録有効日数情報３４４が両方表示されている（この際、後述のパスワードチェック処理として、入力ミス回数チェック処理及び登録有効日数チェック処理両方が行われる）が、本発明に係るパスワードチェックは、不正なログインを可及的に防止することが可能である限りにおいて、特に限定されず各種の態様を有してよい。例えば入力ミス回数情報３４１と登録有効日数情報３４４はそれぞれ独立してパラメータ化されており、即ちログイン画面３００には、パスワードチェック情報３４０の入力ミス回数情報３４１のみが表示されてもよいし（この際、後述の入力ミス回数チェック処理のみが行われる）、ログイン画面３００には、パスワードチェック情報３４０の登録有効日数情報３４４のみが表示されてもよい（この際、後述の登録有効日数チェック処理のみが行われる）。当然、どちらもチェックしない、どちらもチェックすることも可能である。このように、入力ミス回数チェック処理及び登録有効日数チェック処理を独立してパラメータ化することにより、顧客のニーズにフレキシブルに対応することができ、実践上極めて有益である。
【００７８】
また、本実施形態では、入力ミス回数情報３４１及び登録有効日数情報３４４などのパスワードチェック情報３４０は、ログイン画面３００に表示されているが、特に限定されず主操作画面１８ａ、副操作画面５２ａ又は外部操作画面３２ａ等に表示されてもよい。
【００７９】
なお、本実施形態では、ログインするユーザの操作レベルに応じてパスワードチェック情報３４０の表示内容が変更、或いはカスタマイズされたログイン画面３００に切替表示されてもよい。例えば装置のユーザレベルには保守ユーザ（最高特権ユーザ）、管理者ユーザ（顧客特権ユーザ）、一般ユーザの３種類が存在しており、保守ユーザのユーザ名が入力された場合はパスワード情報が表示されない。
【００８０】
続いて、図１１乃至図１３を参照しながら、本発明の実施形態に係る入力ミス回数チェック処理について説明する。図１１は、本発明の実施形態に係るパスワードチェック処理の一とする入力ミス回数チェック処理のフローチャートであり、図１２は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示されるログインボタン３０３が押下不可となるログイン画面３００を例示する図であり、図１３は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示されるパスワード入力ミスチェック回数到達のエラーダイアログ３５０を例示する図である。なお、図１１において、図５と重複する箇所には同一の符合を付してその説明を適宜省略することとする。
【００８１】
まず、ログイン画面３００に入力ミスチェック回数３４２と入力ミス回数３４３が表示される（ステップＳ２０１）。
【００８２】
次に、この時点で入力ミス回数３４３が入力ミスチェック回数３４２に到達していないか否かを判断する（ステップＳ２０２）。この時点で入力ミス回数３４３が入力ミスチェック回数３４２に到達していたと判断された場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）、ログイン画面３００のパスワード入力エリア３０２を入力不可、ログインボタン３０３を押下不可（図１２参照）にする（ステップＳ２０３）。これと同時に、「このユーザはログインできません。（パスワード入力ミスチェック回数到達）システム管理者に連絡してください。」とのエラーダイアログ３５０（図１３参照）がポップアップ表示され（ステップＳ２０４）、主操作画面１８ａ上に「パスワード入力エラー」との旨のアラームが表示される（ステップＳ２０５）。
【００８３】
一方、この時点で入力ミス回数３４３が入力ミスチェック回数３４２に到達していないと判断された、即ち入力ミス回数３４２が上限値に到達していない場合（ステップＳ２０２：ＹＥＳ）、パスワードの入力を受け付ける（ステップＳ２０６）。
【００８４】
パスワードが入力された場合、ログイン画面３００で入力されたパスワードと、ユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致するか否かを判断する（ステップＳ２０７）。ログイン画面３００で入力されたパスワードとユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致していないと判断された、即ち主コントローラ１４のユーザ管理情報に登録されていないパスワードが入力された場合（ステップＳ２０７：ＮＯ）、本実施形態に係る基板処理システム１に設けられる共有メモリ（不図示）上に配置してある当該ユーザのパスワード入力ミス回数３４３をインクリメントする（即ち１増やす演算を行う）（ステップＳ２０８）。
【００８５】
一方、ログイン画面３００で入力されたパスワードとユーザ管理情報に登録されているパスワードとが一致すると判断された、即ち正しいユーザ名とパスワードが入力された場合（ステップＳ２０７：ＹＥＳ）、共有メモリ上に配置してある当該ユーザのパスワード入力ミス回数３４３をクリアして（ステップＳ２０９）、ログインを許可する（ステップＳ２１０）。
【００８６】
本実施形態では、パスワードの入力ミス回数３４３が共有メモリ上に配置される、即ちユーザがログインする際にすべての操作部（例えば主操作装置１６、副操作装置５０及び外部操作装置３０など）における入力ミス回数が管理（即ち計数）され、入力ミス回数チェック処理が行われる際に共有メモリ上の入力ミス回数３４３が参照される。従って、それぞれの操作部でパスワードの入力ミス回数を管理（即ち計数）するものと比較して、各操作部の入力ミス回数が共有の合計値に到達した時点でパスワードの入力を不可にすることで、セキュリティ性を更に向上できる。また、この際にログイン画面３００には、各操作部の接続状態、各操作部の入力ミス回数などが表示されてもよい。
【００８７】
続いて、図１４乃至図１８を参照しながら、本発明の実施形態に係る登録有効日数チェック処理の流れについて説明する。図１４は、本発明の実施形態に係るパスワードチェック処理の一とする登録有効日数チェックのフローチャートであり、図１５は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示される経過日数が有効日数に到達した時のログイン画面３００を例示する図であり、図１６は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示される有効期限超過のエラーダイアログ３６０を例示する図であり、図１７は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示される経過日数が警告日数に到達した時のログイン画面３００を例示する図であり、図１８は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の表示装置に表示される有効期限警告のエラーダイアログ３７０を例示する図である。なお、図１４において、図５又は図１１と重複する箇所には同一の符合を付してその説明を適宜省略することとする。
【００８８】
まず、ログイン画面３００に警告日数３４５、有効日数３４６及び経過日数３４７が表示される（ステップＳ３０１）。ここで、表示された経過日数３４７は、ログインしようとするユーザ及びパスワードを登録した時点から主コントローラ１４の内部タイマによりカウントアップし始めるとされている。
【００８９】
次に、この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の有効日数３４６に到達したか否かを判断する（ステップＳ３０２）。この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の有効日数３４６に到達していたと判断された場合（ステップＳ３０２：ＹＥＳ）、ログイン画面３００のパスワード入力エリア３０２を入力不可、ログインボタン３０３を押下不可（図１５参照）にする（ステップＳ３０３）。これと同時に、「パスワードの有効期限が過ぎています。システム管理者に連絡してください。」とのエラーダイアログ３６０（図１６参照）がポップアップ表示され（ステップＳ３０４）、主操作画面１８ａ上に「有効日数エラー」との旨のアラームが表示される（ステップＳ３０５）。
【００９０】
一方、この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の有効日数３４６に到達していないと判断された場合（ステップＳ３０２：ＮＯ）、この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の警告日数３４５に到達したか否かを判断する（ステップＳ３０６）。
【００９１】
この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の警告日数３４５のみに到達していたと判断された場合（ステップＳ３０６：ＹＥＳ）、「パスワードの有効期限が近づいています。パスワードを再登録してください。」とのエラーダイアログ３７０（図１６参照）がポップアップ表示され（ステップＳ３０７）、主操作画面１８ａ上に「警告日数エラー」との旨のアラームが表示される（ステップＳ３０８）。なお、この時点ではまだ装置へのログインは可能であり、装置にログインしてパスワードを変更すると経過日数は初期化される。
【００９２】
一方、この時点でユーザ登録してからの経過日数３４７が登録有効日数の警告日数３４５に到達していないと判断された場合（ステップＳ３０６：ＮＯ）、登録有効日数チェック処理が終了される。
【００９３】
ここで、図１９及び図２０を参照し、本実施形態に係る登録有効日数チェック処理の効果について説明する。図１９は、本発明の実施形態に係る登録有効日数チェック処理の一実行過程における、ログイン中に警告日数に到達した時点を経過するログイン状態及び操作可能状態の経過を表すタイミングチャートであり、図２０は、本発明の実施形態に係る登録有効日数チェック処理の一実行過程における、ログイン中に有効日数に到達した時点を経過するログイン状態及び操作可能状態の経過を表すタイミングチャートである。
【００９４】
図１９及び図２０それぞれにおいて、上段から順に、ログイン状態（即ちログインしているか否か）及び操作可能状態（即ち現在ログインしているユーザの権限で操作部の操作が可能であるか否か）についての経過日数推移が表されている。
【００９５】
図１９に示されるように、ユーザが警告日数に到達した時点より以前の時点Ｔ１にログインして、警告日数に到達した時点と有効日数に到達した時点との間の時点Ｔ２にログアウトする、即ちログイン中（図示ログイン状態）に警告日数に到達した時点を経過する場合、エラーダイアログ３７０（図１８参照）が警告日数に到達した時点において一回のみポップアップ表示されるが、強制的にログアウトさせることはしない。即ち図示操作可能状態は有効日数に到達した時点まで操作が可能である。
【００９６】
また、図２０に示されるように、ユーザが警告日数に到達した時点と有効日数に到達した時点との間の時点Ｔ３にログインして、有効日数に到達した時点より以降の時点Ｔ４にログアウトする、即ちログイン中（図示ログイン状態）に有効日数に到達した時点を経過する場合、エラーダイアログ３６０（図１６参照）が有効日数に到達した時点において一回のみポップアップ表示されるが、警告の場合と同様に、強制的にログアウトさせることはしない。即ち、図示操作可能状態はログアウト時点Ｔ４まで操作が可能である。ただし、この場合には、有効日数に到達した時点より以降の時点で一旦ログアウトすると、先述のように再度ログインが不可能となる。
【００９７】
なお、ログイン中に警告日数及び有効日数を経過しても、ログアウトする前にログインしているユーザのパスワードを変更、再登録又は再設定すれば、経過日数はクリアされる。
【００９８】
以上説明したように、本実施形態に係る基板処理システム１及びログイン処理によれば、入力ミス回数チェック処理により基板処理システム１への不正なログインを防止することで、装置のセキュリティ向上を図ることができ、登録有効日数チェック処理により、ユーザのパスワードを定期的に変更させることで、基板処理システム１のセキュリティ向上を図ることができる。
【００９９】
また、本実施形態では、パスワードチェック処理を有効にするかしないかをパラメータ化し、パスワードチェック処理とする入力ミス回数チェック処理及び登録有効日数チェック処理を独立してパラメータ化することにより、顧客のニーズにフレキシブルに対応することができ、実践上極めて有益である。
【０１００】
〔付記〕
以下に、本実施形態に係る好ましい態様を付記する。
【０１０１】
〔付記１〕
基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面を備えた操作部と、前記ファイルを実行するよう制御する制御手段と、を備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、ログインする際に入力されるユーザ名が予め指定されているユーザ名に含まれているかを判断し、予め指定されているユーザ名以外であると判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、予め指定されているユーザ名であると判断された場合に、続いて入力されるパスワードが予め設定されているパスワードと一致しているかを判断し、パスワードが一致していないと判断された場合に、ログインを拒否し、且つ前記操作画面にエラーメッセージを表示し、パスワードが一致していると判断された場合に、ログインを有効とする基板処理装置。
【０１０２】
〔付記２〕
付記１において、前記制御手段は、前記操作画面上でログインボタンの押下を受け付けると、所定のログイン画面を表示し、入力されたユーザの操作レベルに応じてカスタマイズされたログイン画面に切替表示されるよう構成される基板処理装置。
【０１０３】
〔付記３〕
付記１又は２において、前記制御手段は、ログインする際の入力ミス回数の設定値と現在値及びログイン後の有効日数の設定値と現在値のうち少なくとも一方を前記操作画面に表示し、前記入力ミス回数の現在値が前記入力ミス回数の設定値に達した場合及び／又は前記有効日数の現在値が前記有効日数の設定値に達した場合に、前記操作画面にエラーメッセージを表示する基板処理装置。
【０１０４】
〔付記４〕
付記３において、前記所定のログイン画面には、ログインする際の入力ミス回数の設定値と現在値及びログイン後の有効日数の設定値と現在値のうち少なくとも一方が表示される基板処理装置。
【０１０５】
〔付記５〕
付記１乃至４のいずれかにおいて、前記所定のログイン画面には、少なくとも全ての操作パネルの接続状態が表示される基板処理装置。
【０１０６】
〔付記６〕
付記５において、前記全ての操作パネルにおける入力回数が計数される基板処理装置。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明に係る基板処理装置は、半導体ウェハやガラス基板等の基板を処理する基板処理装置、特にユーザログイン時に、ユーザの登録情報の整合性をチェックする基板処理装置に利用可能である。
【符号の説明】
【０１０８】
１      基板処理システム
１０    基板処理装置
１４    主コントローラ
１６    主操作装置
１８    主表示装置
１８ａ  主操作画面
１８ｂ  主パラメータ設定画面
３０    外部操作装置
３２    外部表示装置
３２ａ  外部操作画面
５０    副操作装置
５２    副表示装置
５２ａ  副操作画面
３００  ログイン画面
３０１  ユーザ名入力エリア
３０２  パスワード入力エリア
３０３  ログインボタン
３２０  ユーザ未存在のエラーダイアログ
３３０  ログイン失敗のエラーダイアログ
３４０  パスワードチェック情報
３４１  入力ミス回数情報
３４２  入力ミスチェック回数
３４３  入力ミス回数
３４４  登録有効日数情報
３４５  警告日数
３４６  有効日数
３４７  経過日数
３５０  パスワード入力ミスチェック回数到達のエラーダイアログ
３６０  有効期限警告のエラーダイアログ
３７０  有効期限超過のエラーダイアログ
【図１】
2012133438.tif 000003
【図２】
2012133438.tif 000004
【図３】
2012133438.tif 000005
【図４】
2012133438.tif 000006
【図５】
2012133438.tif 000007
【図１１】
2012133438.tif 000008
【図１４】
2012133438.tif 000009
【図１９】
2012133438.tif 000010
【図２０】
2012133438.tif 000011
【図６】
2012133438.tif 000012
【図７】
2012133438.tif 000013
【図８】
2012133438.tif 000014
【図９】
2012133438.tif 000015
【図１０】
2012133438.tif 000016
【図１２】
2012133438.tif 000017
【図１３】
2012133438.tif 000018
【図１５】
2012133438.tif 000019
【図１６】
2012133438.tif 000020
【図１７】
2012133438.tif 000021
【図１８】
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