(57)【要約】【課題】既存の単列リフロー装置の構造にはなんら変更を加えることなく、通常基板の複数列搬送を可能にする。【解決手段】リフロー炉内の平行搬送チェーンに載置される一対の互いに平行な外側の基板支持桟と、前記基板支持桟の間にこれらと平行に配置された１以上の中間の基板支持桟と、前記基板支持桟の下面側に接続されて各基板支持桟を連結する横架桟とを具備し、隣り合う前記基板支持桟の上面側に設けた係合部に基板の対辺部をそれぞれ支持させて２枚以上の基板を横並びに保持できるように構成した。【選択図】図２
2012124337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフロー炉内の平行搬送チェーンに載置される一対の互いに平行な外側の基板支持桟と、前記基板支持桟の間にこれらと平行に配置された１以上の中間の基板支持桟と、前記各基板支持桟を連結する横架桟とを具備し、
前記基板支持桟には支持部が設けられて、隣り合う基板支持桟の支持部によって基板の対辺部をそれぞれ支持することで、２枚以上の基板を横並びに支持できるように構成してあるとともに、前記横架桟が、前記基板支持桟に支持された基板に対してその上下いずれかに所定距離離間するように架け渡してあることを特徴とする基板搬送パレット。
【請求項２】
前記横架桟が、隣り合う基板支持桟間の距離を基板の幅に応じて変更できるように、長さ変更可能に構成してある請求項１記載の基板搬送パレット。
【請求項３】
前記横架桟が、各基板支持桟の下面からそれぞれ垂下する支柱部材と、前記支柱部材の下端部間に架け渡された、基板支持桟と直交する方向に延びる横架部材とを具備したものであり、前記横架部材が互いにスライド可能に接続された複数のスライド要素からなる長さ調節可能なものである請求項２記載の基板搬送パレット。
【請求項４】
前記支持部が、隣りの基板支持桟に対向する面に設けられた、基板の対辺部が嵌入する幅を有する凹溝である請求項１乃至３いずれか記載の基板搬送パレット。
【請求項５】
前記基板支持桟が、上桟要素と下桟要素とを具備したものであり、基板の対辺部がそれら上桟要素と下桟要素とに挟みこまれるように構成してある請求項４記載の基板搬送パレット。
【請求項６】
隣り合う基板支持桟の間に配置されて基板の底面に当接する補助桟をさらに具備している請求項１乃至５いずれか記載の基板搬送パレット。
【請求項７】
前記基板支持桟における隣りの基板支持桟と対向する部位に、前記基板の対辺部下面が載置される上向き面と、該上向き面から起立して前記基板の対辺部側面と対向する起立面とを設けてこれら上向き面及び起立面から前記支持部を構成するとともに、前記起立面の高さを基板の厚みよりも小さくして基板支持桟における上向き面より上側の厚みが、基板の厚みよりも小さくなるように構成してある請求項１記載の基板搬送パレット。
【請求項８】
請求項１乃至７記載のパレットに基板を装填する基板装填装置であって、
前記基板が所定姿勢で載置される基板載置台と、
前記基板載置台から基板を所定方向に送り出す基板送出機構と、
前記基板支持桟が前記所定方向と平行になるようにパレットを支持するパレット支持台と、
前記パレット支持台を、前記基板載置台と隣り合う位置であって前記基板送出機構によって基板載置台から基板が送り出された場合に該基板の対辺部がパレットの隣り合う基板支持桟にそれぞれ支持される位置である基板装填位置と、前記基板載置台から離間した位置であってパレットを受け取る位置であるパレット受け取り位置との間で移動させるパレット支持台移動機構と、
前記パレット支持台からパレットを所定方向に送り出すパレット送出機構とを具備していることを特徴とする基板装填装置。
【請求項９】
請求項１乃至７記載のパレットから基板を抜脱する基板抜脱装置であって、
基板が所定姿勢で載置される基板載置台と、
前記基板載置台から基板を所定方向に送り出す基板送出機構と、
前記基板支持桟が前記所定方向と平行になるようにパレットを支持するパレット支持台と、
前記パレット支持台を、前記基板載置台と隣り合う位置であって前記基板送出機構によって基板載置台から基板が送り出された場合に該基板の対辺部がパレットの隣り合う基板支持桟にそれぞれ支持される位置である基板装填位置と、前記基板載置台から離間した位置であってパレットを受け取る位置であるパレット受け取り位置との間で移動させるパレット支持台移動機構と、
前記パレット支持台からパレットを所定方向に送り出すパレット送出機構とを具備していることを特徴とする基板装填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リフロー装置を用いて基板に電子部品をハンダ付け搭載する部品実装設備及びこれに用いられる基板搬送機構等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の部品実装設備としては、例えば、図に示すように、印刷装置、部品搭載装置、リフロー装置、検査装置を一列に並べたライン型のものが知られている。各装置間はコンベア等の搬送装置で接続されており、この搬送装置に元基板を次々投入するだけで、元基板がプリント配線基板になり、電子部品が搭載されてハンダ付けされ、最後に欠陥品が取り除かれて、完成品、すなわち部品搭載基板を製造することができる。
【０００３】
ところで、このような部品実装設備での製造効率を向上させるためのネックとなるのがリフロー装置である。リフロー装置では、ハンダ付けのための十分な時間が必要であることから、基板の搬送速度を他の装置ほど上げることができず、ここが律速段階となる。
【０００４】
そこで、特許文献１に示すように、２列の搬送機構を具備した複列リフロー装置が開発されている。各搬送機構は、それぞれ一対のチェーンベルトからなり、基板はその対辺部をチェーンベルトに載置されてリフロー炉内を移動していく。チェーンベルトの離間距離は変えることができ、種々の大きさの基板を搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１５７６３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、複列リフロー装置は、単列リフロー装置に比べ、搬送機構が複雑で大きくなるので、その分、炉内の温度管理が難しく、精密な温度プロファイルを実現しにくいという問題点がある。
【０００７】
また、当然のことながら、機構が複雑になる分、価格も高くなり、既存の単列リフロー装置を、複列リフロー装置に置き換えるには、多大な投資が必要となし、複列リフロー装置は、幅方向に大きくなりがちで、フットプリントの増大を避けることも難しい。
【０００８】
一方、特許文献２に示すように、基板搬送パレットを用いて、単列リフロー装置に基板を投入することができるようにしたものがある。このようなものであれば、基板が小さければ、基板搬送パレットに複数枚の基板を置くことで、見かけ上、複数列での基板搬送が可能である。
【０００９】
しかしながら、この種の基板搬送パレットは、基板の対辺だけを支持する通常のチェーン式の搬送機構では搬送できない。また、極めて剛性の低い特殊なフレキシブル基板に対応すべく考えられたものであるから、基板搬送パレットに底板を設けてその底板に基板を置く構造が必須となる。したがって、逆に、表裏面に電子部品が搭載されるような一般的な両面基板には対応できないという不具合がある。
【００１０】
そこで、本発明は、既存の単列リフロー装置の構造にはなんら変更を加えることなく、通常基板の複数列搬送を可能にして、上記問題点を一挙に解決すべく図ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち本発明に係る基板搬送パレットは、リフロー炉内の平行搬送チェーンに載置される一対の互いに平行な外側の基板支持桟と、前記基板支持桟の間にこれらと平行に配置された１以上の中間の基板支持桟と、前記各基板支持桟を連結する横架桟とを具備し、
前記基板支持桟には支持部が設けられて、隣り合う基板支持桟の支持部によって基板の対辺部をそれぞれ支持することで、２枚以上の基板を横並びに支持できるように構成してあるとともに、前記横架桟が、前記基板支持桟に支持された基板に対してその上下いずれかに所定距離離間するように架け渡してあることを特徴とするものである。
【００１２】
このような構成によれば、パレットに基板を複列装填でき、しかもこのパレットは既存の単列リフロー装置で搬送可能なものであるため、既存の単列リフロー装置を用いて、基板の複列リフローができるようになり、省エネルギーを実現しながら、リフロー効率を高めることができるようになる。また、このパレットは基板の辺部を支持するだけで、基板の上下には空間を確保するから、部品を両面に実装する基板にも対応できる。
【００１３】
種々の基板に対応できるようにするには、前記横架桟が、隣り合う基板支持桟間の距離を基板の幅に応じて変更できるように、長さ変更可能に構成してあるものが好ましい。
【００１４】
具体的な態様としては、前記横架桟が、各基板支持桟の下面からそれぞれ垂下する支柱部材と、前記支柱部材の下端部間に架け渡された、基板支持桟と直交する方向に延びる横架部材とを具備したものであり、前記横架部材が互いにスライド可能に接続された複数のスライド要素からなる長さ調節可能なものを挙げることができる。
【００１５】
前記支持部は、隣りの基板支持桟に対向する面に設けられた、基板の対辺部が嵌入する幅を有する凹溝であるものが好ましい。このようなものであれば、基板の辺部に亘ってその上下を支持できるので、基板のリフロー中の反りを好適に抑えられる。また、部品実装装置に投入された場合は、凹溝の上面（下向き面）が基準となり、リフロー装置や検査装置に投入された場合は、凹溝の下面（上向き面）が基準となって基板を支持することができる。
【００１６】
より確実に基板の反りを抑えるには、前記基板支持桟が、上桟要素と下桟要素とを具備したものであり、基板の対辺部がそれら上桟要素と下桟要素とに挟みこまれるように構成してあるものが好ましい。
【００１７】
また、隣り合う基板支持桟の間に配置されて基板の底面に当接する補助桟をさらに具備しているものであれば。大基板や薄い基板でも反りを好適に抑えられ、従前のリフロー炉で必要とされた中間支持チェーンを不要にできる。
【００１８】
前記基板支持桟における隣りの基板支持桟と対向する部位に、前記基板の対辺部下面が載置される上向き面と、該上向き面から起立して前記基板の対辺部側面と対向する起立面とを設けてこれら上向き面及び起立面から前記支持部を構成するとともに、前記起立面の高さを基板の厚みよりも小さくして基板支持桟における上向き面より上側の厚みが、基板の厚みよりも小さくなるように構成してあるものであれば、印刷装置に搬送する場合に、パレットが基板上面よりも下になるので、印刷の邪魔にならない。
【発明の効果】
【００１９】
このように、本発明によれば、パレットに基板を複列装填でき、しかもこのパレットは既存の単列リフロー装置で搬送可能なものであるため、既存の単列リフロー装置を用いて、基板の複列リフローができるようになる。また、このことによって、従来の一枚の基板をリフローする電力で、複数枚のリフローすることが可能になり省エネルギ化を実現できる。さらに、このパレットは基板の辺部を支持するだけで、基板の上下には空間を確保するから、部品を両面に実装する基板にも対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る部品実装設備の全体模式図。
【図２】同実施形態における基板搬送パレットの斜視図。
【図３】同実施形態における基板搬送パレットの平面図。
【図４】同実施形態における基板搬送パレットの正面図。
【図５】同実施形態の基板搬送パレットの内部構造を示す部分斜視図。
【図６】同実施形態における基板搬送パレットの動作説明図。
【図７】同実施形態における基板搬送パレットの動作説明図。
【図８】同実施形態における基板搬送パレットの動作説明図。
【図９】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１０】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１１】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１２】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１３】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１４】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１５】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１６】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１７】同実施形態における基板の受け渡しを説明する基板受け渡し図。
【図１８】本発明の他の実施形態における基板搬送パレットの横断面図。
【図１９】本発明のさらに他の実施形態における基板搬送パレットの部分正面図。
【図２０】同実施形態におけるリフロー装置の平行搬送チェーンを示す斜視図。
【図２１】従来の部品実装設備の全体模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る部品実装設備の一実施形態について、図面を参照して説明する。
＜全体装置構成＞
【００２２】
本実施形態に係る部品実装設備は、図１に示すように、印刷装置、部品搭載装置、リフロー装置、検査装置を一列に並べ設けたもので、各装置間には、基板搬送のための中間搬送装置が配備されている。この中間搬送装置は、各装置に付属する基板搬送機構と連続するように設けられた、例えば一対の平行ベルトからなるコンベア式のものであり、基板の対辺部を支持してこれを搬送する。
【００２３】
かかる部品実装設備によれば、背景技術欄でも述べたが、搬送装置にプリント配線や電子部品搭載がなされていない基板を次々投入するだけで、基板が装置直列方向に略水平に搬送され、その過程で、前記基板がプリント配線基板になり、電子部品が搭載されてハンダ付けされ、最後に欠陥品が取り除かれて、完成品、すなわち部品搭載基板を製造することができる。
しかして、この実施形態の部品実装設備は、リフロー装置に主として用いられる基板複列搬送システムをさらに具備している。
＜リフロー装置構成＞
【００２４】
この基板複列搬送システムの説明に先立ち、リフロー装置の構成を簡単に説明する。このリフロー装置は、互いに異なる温度に調節可能な複数のゾーンを水平に直列させたリフロー炉と、部品が載置されたプリント基板を搬送して、前記炉内を一定速度で通過させる基板搬送機構とを具備したものであり、この基板搬送機構によって部品載置基板が炉内を通過する過程で加熱され、部品が基板にハンダ付けされる。
【００２５】
前記基板搬送機構は、図１８に示すように、環状をなす一対の平行搬送チェーンと、これら搬送チェーンを張設するとともに同期して循環走行させるスプロケットなどのローラ部材（図示しない）と、このローラ部材を回転駆動するモータ（図示しない）とを具備したものである。この平行搬送チェーンは、互いに回転自在に連結されて環状のチェーン本体を形成するチェーン要素と、前記チェーン要素から対向する搬送チェーンに向かって延びる基板載置ピンとからなるもので、図１８に示す搬送チェーン案内レールによって形成された上側の水平軌道部分において、基板の対辺部をピンに支持させて該基板を搬送する。なお、この水平軌道部分は、リフロー炉の入口及び出口から若干突出させてある。また、幅サイズの異なる基板にも対応できるように、搬送チェーン間の離間距離は、対向するローラ部材の離間距離をねじ送り機構（図示しない）などによって変えることにより調整可能に構成してある。
＜基板複列搬送システム構成＞
【００２６】
しかして、前記基板複列搬送システムは、このリフロー装置の前後に跨るように設けられたものであって、図７等に示すように、基板搬送パレット、基板装填装置、基板抜脱装置及びパレット循環装置を具備する。以下に各部を詳述する。
（・基板搬送パレット）
【００２７】
基板搬送パレットは、図２〜図４に示すように、前記リフロー炉内の平行搬送チェーンに載置される一対の互いに平行な外側の基板支持桟と、前記基板支持桟の間にこれらと平行に配置された１本の中間の基板支持桟と、前記各基板支持桟を連結する横架桟とを具備したものである。
【００２８】
前記基板支持桟は、断面が矩形状をなす長尺棒状のものであり、外側の基板支持桟には、その上端面からさらに外側方に延出する帯状の鍔部が設けてある。隣りの基板支持桟を向く側面には、基板の辺部が嵌入する有底凹溝がその長手方向に延びるように設けてあり、この凹溝内の複数箇所には、図３、図５に示すように、基板の辺部側面に当接してこれを対向する凹溝方向に付勢し、該基板を基板支持桟と直交する方向にガタ無く保持するための付勢部材（ここでは板バネ）が配設してある。また、凹溝の端部においては、凹溝底面を斜めに傾斜させて、基板を挿入しやすくしている。
【００２９】
一方、この基板支持桟は、上桟要素、下桟要素及びこれらを連結する連結機構からなり、上桟要素と下桟要素とが上下に離間することによって、前記凹溝の上下開口幅が大きくなるようにも構成してある。前記連結機構は、例えば上桟要素の底面から垂下するピンが、下桟要素を上下に貫通する貫通孔を挿通するように構成したものであり、下桟要素に対して上桟要素が上下動できる。さらに、このピンの下端部には大径部が形成してあり、この大径部の上向き面と下桟要素の下面との間に配設した弾性バネの伸長力により、上桟要素と下桟要素が近づく向きに弾性付勢されるようにしてある。この連結機構は、１つの基板支持桟について例えば複数（ここでは２つ）が長手方向に離間して設けてある。
【００３０】
ところで、この実施形態では、基板の対辺部を支持する対向する凹溝において、一方の凹溝（ここでは中間基板支持桟の凹溝）の最小開口幅を、使用対象となる基板の厚みよりも小さく設定してあり、他方を大きく設定してある。つまり、基板は、一方の片辺部のみが弾性バネによる凹溝の幅縮小によって上下から密着押圧され、他方の片辺部は、上下にわずかに隙間を有して凹溝内に嵌入している状態となる。このことによって、寸法誤差や製作誤差、リフロー装置内での熱による膨張や収縮などを吸収して、無理な応力が基板に作用しないようにし、基板の反りや変形を防止している。
【００３１】
横架桟は、各基板支持桟の端部下面からそれぞれ垂下する所定長さの支柱部材と、前記支柱部材の下端部間に架け渡された、基板支持桟と直角方向に延びる棒状の横架部材とを具備したものである。しかして前記横架部材は、各基板支持桟に対応するように設けた３本の直列するスライド要素から構成したものであり、隣り合うスライド要素が、互いに長手方向にスライド可能に嵌合して、該横架部材の長さを調節可能に構成してある。中央のスライド要素は、前記支柱部材を介して中間の基板支持桟に結合され、両端のスライド部材はそれぞれ外側の基板支持桟に前記支柱部材を介して結合されている。この構成によって、スライド要素をスライドさせれば、隣り合う基板支持桟間の離間距離をそれぞれ調節できるようにしてある。なお、スライド部材は、止めねじなどによってスライド不能に固定することができる。
(・基板装填装置）
【００３２】
基板装填装置は、リフロー装置の入口とその前段に配置された前記中間搬送装置との間に設置されたものであり、床等に固定された基礎台と、この基礎台上に固定された基板載置台と、前記基礎台に取り付けられた基板送出機構と、パレットを支持するパレット支持台と、基礎台上に設置したパレット支持台移動機構とを具備する。
【００３３】
前記基板載置台は、平面視矩形状をなす枠体と、この枠体に設けられた搬送機構とから構成してある。この搬送機構は、一対の平行搬送ベルトと、該搬送ベルトを張設して支持するスプロケットなどのローラ部材と、このローラ部材に連結されて搬送ベルトを回転駆動するモータ等の駆動機とを具備するものである。平行搬送ベルトは、前記中間搬送装置に設けられている平行搬送ベルトと略同じ構造のものであり、１枚の基板の対辺部を支持してこれを搬送する。各ベルトの側方には、基板が搬送中にずれたり、落ちたりしないようにするための起立板が設けてある。この平行搬送ベルトは、中間搬送装置の平行搬送ベルトと略連続する位置に配設してあって、中間搬送装置の平行搬送ベルトから送出された基板は、基板載置台の平行搬送ベルトに乗り移って同方向に進行する。また、平行搬送ベルト間の距離を基板幅に応じて変更できるように、対向するローラ部材を長さ変更可能なシャフトで連結してある。
【００３４】
基板送出機構は、中間搬送装置から基板載置台に載置された基板をさらに前方に送り込むものである。具体的にこのものは、スライド体と、基板載置台又は基礎台に固定されて前記スライド体を当該基板載置台の上方で前記基板進行方向（以下、前後方向とも言い、この前後方向と直交する水平方向を左右方向とも言う。）に沿って進退させるネジ送り構造などを利用したプッシャー前後駆動機構と、板状をなす前記プッシャーが下端部に取り付けられたものであって、該プッシャーを基板の搬送軌道に干渉する基板送り込み位置と、基板の搬送軌道よりも上方に退避した退避位置との間で上下動させるプッシャー上下駆動機構とを具備したものである。
【００３５】
パレット支持台は、平面視矩形状をなす枠体と、この枠体に設けられた搬送機構とを具備し、この搬送機構上に、前記パレットをその基板支持桟が基板進行方向と平行となるように支持するものである。前記搬送機構は、一対の平行搬送ベルトを張設して支持するスプロケットなどのローラ部材と、このローラ部材に連結されて搬送ベルトを回転駆動するモータ等の駆動機とを具備するものである。前記平行搬送ベルトは、前記中間搬送装置に設けられている平行搬送ベルトと略同じ構造のものであり、パレットの外側基板支持桟を支持してこれを搬送する。各ベルトの側方には、パレットが搬送中にずれたり、落ちたりしないようにするための起立板が設けてある。また、平行搬送ベルト間の距離をパレット幅に応じて変更できるように、対向するローラ部材を長さ変更可能なシャフトで連結してある。ここでは、一方の搬送ベルトは固定され、他方の搬送ベルトが前記一方に対して遠近移動する。このとき、起立板も同様に動くため、パレットを支持した状態で他方の搬送ベルトを固定側の搬送ベルトに接近移動させることにより、該パレットをガタ無く挟み込んで、左右方向すなわち基板支持桟と直交する方向に位置決めすることもできる。
このパレット支持台には、さらに基板固定解除機構、パレット位置決め機構及び基板位置決め機構が設けられている。
【００３６】
前記基板固定解除機構は、前記連結機構を操作して基板支持桟における凹溝の上下幅を拡縮させるものである。より具体的にこのものは、上端が上下動できる姿勢で枠体に支持されたシリンダ機構と、このシリンダ機構の上端部に設けた押圧子とを具備したものであり、この押圧子が前記連結機構のピンの下端を押圧し、凹溝の上下幅を基板の厚みよりも大きくする解除位置と、ピンの下端から離間する固定位置との間で上下に移動できるように構成してある。
【００３７】
パレット位置決め機構は、後述するが、パレット受け取り位置においてパレット循環機構からパレット支持台上に送り込まれてきたパレットが、パレット支持台の所定位置よりも深く行き過ぎないように係止するものであり、例えば起立板片状をなすパレットストッパと、このパレットストッパを、パレットの端面に当接可能な係止位置と、それより下方のパレットに干渉しない退避位置との間で上下動させるシリンダ機構等の駆動機構とを具備する。この駆動機構は枠体によって、パレットよりも下方に支持されている。
【００３８】
基板位置決め機構は、後述するが、基板装填位置において基板載置台からパレットに送り込まれてくる基板が、パレットの所定位置よりも深く行き過ぎないように係止するものであり、例えば起立板片状をなす基板ストッパと、この基板ストッパを、基板の端面に当接可能な係止位置と、それより下方の基板に干渉しない退避位置との間で上下動させるシリンダ機構等の駆動機構とを具備する。この駆動機構は枠体によって、パレットよりも下方で左右に移動可能に固定されている。なお、基板ストッパはパレットにおける基板進行方向の前方、パレットストッパは、パレットが基板とは逆方向から送り込まれてくることから、基板進行方向の後方に配置してある。
【００３９】
パレット支持台移動機構は、いわゆる水平ステージであって、前記基板載置台とリフロー装置の入口の搬送機構との間に設置してある。そしてこのものは、この上に取り付けられた前記パレット支持台を、基板が装填される基板装填位置と、前記基板載置台から離間した位置であってパレットを受け取るパレット受け取り位置との間で左右方向に移動させる。基板装填位置とは、パレット支持台と基板載置台とが隣接し、対向する基板支持桟の凹溝対して、基板載置台に載置されている基板の対辺部が臨む直列する位置である。この実施形態では、基板支持桟が３本あるので、基板装填位置は、図に示すように２つ存在する。パレット受け取り位置は、この基板装填位置から水平側方に一定距離離間した位置に設定してあり、この位置にパレット循環装置の一端が臨んで配置されている。
(・基板抜脱装置）
【００４０】
基板抜脱装置は、リフロー装置の出口とその後段に配置された前記中間搬送装置との間に設置されたものであり、床等に固定された基礎台と、この基礎台上に固定された基板載置台と、前記基礎台に取り付けられた基板引込機構と、パレットを支持するパレット支持台と、基礎台上に設置したパレット支持台移動機構とを具備する。
【００４１】
これら各機構は、前記基板装填装置と同じであり、基板装填装置の構成要素をそのまま用いることができる。相違点は、パレット支持台及びパレット支持台移動機構と、基板支持台との位置が逆ということである。なお、基板引込機構は、前記基板送出機構に相当する。
(・パレット循環装置）
【００４２】
パレット循環装置は、前記基板装填装置と基板抜脱装置との間に設けられて、基板抜脱装置において基板を抜脱されたパレットを基板装填装置に搬送するものであり、パレットを搬送するパレット搬送機構を具備する。このパレット搬送機構は、一対の平行搬送ベルトと、該搬送ベルトを張設して支持するスプロケットなどのローラ部材と、このローラ部材に連結されて搬送ベルトを回転駆動するモータ等の駆動機とを具備するものである。また、平行搬送ベルト間の距離をパレット幅に応じて変更できるように、対向するローラ部材を長さ変更可能なシャフトで連結してある。
＜動作＞
次に、かかる構成の基板複列搬送システムの動作について説明する。
【００４３】
基板がリフロー装置に送り込まれる際には、基板装填装置でパレットに基板が装填される。まず、パレット受け取り位置にあるパレット支持台に対し、パレット循環装置からパレットが送り込まれてくる。このとき、パレットストッパは、上動してパレットを制止可能なパレット制止位置に設定されており、このパレットストッパにパレットが当接すると、パレット支持台における搬送ベルトの回転が止まるとともに、一方の搬送ベルトが他方の搬送ベルトに向かって動き、付随している起立板によってパレットを左右から挟み込んで固定する。
次に、パレット支持台が第１の基板装填位置に移動する。
【００４４】
その後、前記基板固定解除機構の押圧子が上動して、パレットのピンの下端を押圧し、基板支持桟における凹溝の上下幅を拡大させる。また、基板ストッパは上動して、基板を制止可能な基板制止位置に設定される。
【００４５】
一方、中間搬送装置から基板載置台に基板が送り込まれてくると、基板の後端に対向する位置までプッシャーが下動し、その後、前方に動いて基板を前記基板ストッパに当接するまで押し込み、パレットの一方の基板支持桟間、より具体的には、対向する凹溝に基板の対辺部を嵌め込む。
【００４６】
次に、パレット支持台が第２の基板装填位置に移動する。この間に、次の基板が中間搬送装置から基板載置台に基板が送り込まれ、前記同様、プッシャーによってパレットの他方の基板支持桟間に嵌め込まれる。
【００４７】
そして、パレット支持台の基板搬送機構が動作して、基板が２枚左右に装填されたパレットを、リフロー装置の入口側の平行搬送チェーンに送出する。このときパレットの鍔部が搬送チェーン上に乗る。
一方、リフロー装置から出てきた基板は、基板抜脱装置でパレットから抜脱され、次の検査装置に送られる。
具体的に説明する。
【００４８】
リフロー装置からパレットが出てくると、パレット受け取り位置にあるパレット支持台に載置される。このとき、パレットストッパは、上動してパレットを制止可能なパレット制止位置に設定されており、このパレットストッパにパレットが当接すると、パレット支持台における搬送ベルトの回転が止まるとともに、一方の搬送ベルトが他方の搬送ベルトに向かって動き、付随している起立板によってパレットを左右から挟み込んで固定する。
次に、前記基板固定解除機構の押圧子が上動して、パレットのピンの下端を押圧し、基板支持桟における凹溝の上下幅を拡大させる。
【００４９】
そして、基板の後端に対向する位置までプッシャーが下動し、その後、前方に動いて基板を基板載置台に送り込む。基板載置台では搬送ベルトが回転しているので、該基板は、さらにその先の中間搬送装置を介して検査装置に送り込まれる。プッシャはこの後、基板及びパレットよりも上方に移動する。
次に、パレットに装填されているもう一枚の基板が基板載置台に臨む位置に、パレット支持台が移動する。
【００５０】
そして、前記同様、基板の後端に対向する位置までプッシャーが下動し、その後、前方に動いて基板を基板載置台に送り込む。基板載置台では搬送ベルトが回転しているので、該基板は、さらにその先の中間搬送装置を介して検査装置に送り込まれる。
【００５１】
このようにして、基板を単列化して前方に送り込んだ後、パレット支持台は、基板が抜かれたパレットを載置しながら側方のパレット送出位置まで移動する。そこで、パレット支持台の搬送ベルトが回転し、該パレットをパレット循環装置に送り込む。
【００５２】
その他の変形例を図１６〜図１８に示す。また、基板支持桟は３本以上でもよいし、基板支持桟間に基板が縦列して２枚以上挟まっても構わない。このパレットは、リフローのみならず印刷装置や検査装置全体に流れるようなものでもよい。
【符号の説明】
【００５３】
Ｆ・・・基板複列搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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