(57)【要約】      （修正有）【課題】３次元の検出が可能で、高温環境でも使用できる加速度計を提供する。【解決手段】プルーフマスを支持するばね取付け要素３０は、径方向の内周および径方向の外周をもつ内側リング１１１０と、径方向の内周および径方向の外周を有する外側リング１１３０とを有する。複数の支持要素１１２０は、内側リング１１１０の径方向の外周と外側リング１１３０の径方向の内周に対称に配置されて取り付けられる。複数の支持要素１１２０により、内側リング１１１０は３次元で動くことができる。【選択図】図１１
2012118065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
径方向の内周および径方向の外周を有する内側リング（１１１０）と、
径方向の内周および径方向の外周を有する外側リング（１１３０）と、
前記内側リングの前記径方向の外周に取り付けられ、前記径方向の外周の周りで対称に配置され、前記外側リングの前記径方向の内周に取り付けられた複数の支持要素（１１２０）とを備え、
前記複数の支持要素（１１２０）により、前記内側リングが３次元で動くことができる、
ばね取付け要素（３０）。
【請求項２】
前記複数の支持要素がそれぞれ、ばね状の弓形部材から構成される、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項３】
前記複数の支持要素が、交互に互い違いに構成され、前記複数の支持要素のうち円周方向に隣接する支持要素が、前記内側リングおよび前記外側リングの反対側に位置する、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項４】
前記複数の支持要素がそれぞれ、
アルミニウム、クロム、コバルト、鉄、マグネシウム、モリブデン、ニッケル、鋼鉄、チタン、タングステン、およびバナジウムの１つまたは組合せを含む、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項５】
前記外側リングが、複数の分割されたタブ（１３３１）から構成される、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項６】
前記複数の分割されたタブ（１３３１）の隣接するタブが、互いにつなぎ合わされる、請求項５記載のばね取付け要素。
【請求項７】
前記内側リングが、放射状に内方へ突出する鍵（１５１１）を含む、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項８】
前記内側リングが、複数の開口（１６１１）を含む、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項９】
前記内側リングが、少なくとも１つの開口（１７１１）を含む、請求項１記載のばね取付け要素。
【請求項１０】
実質上同一のプロファイルおよび表面積の凹状の第１の表面（１５）および第２の表面（１６）であって、前記第１の表面が前記第２の表面に面する、第１の表面（１５）および第２の表面（１６）と、
前記第１および第２の表面それぞれの対応する一部分上の少なくとも１つの導電性領域と、
ばね取付け要素（３０）であって、
径方向の内周および径方向の外周を有する内側リング（１１１０）と、
径方向の内周および径方向の外周を有する外側リング（１１３０）と、
前記内側リングの前記径方向の外周に取り付けられ、前記径方向の外周の周りで対称に配置され、前記外側リングの前記径方向の内周に取り付けられた複数の支持要素（１１２０）とを備えるばね取付け要素（３０）と、
前記ばね取付け要素に取り付けられ、前記第１および第２の表面間を動くように前記第１および第２の表面間に支持されるプルーフマス（２０）であって、前記プルーフマスの少なくとも一部分が導電性である、プルーフマス（２０）とを備え、
前記ばね取付け要素（３０）により、前記プルーフマス（２０）が３次元で動くことができる、
加速度計（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度計およびばね取付け要素に関し、より詳細には、極限の条件、特に高温に耐性がある容量性加速度計およびばねに関する。
【背景技術】
【０００２】
加速度計は、加速度を測定するために使用され、いくつかの形式がある。容量性加速度計は、２つの導電板間でばね上に懸架された震動性または慣性プルーフマスと呼ばれる導体塊を有する。マスと板の間の空間を、空気または非反応性の気体などの気体が占める。この構成は２つのキャパシタを形成し、各板とプルーフマスの間に１つのキャパシタが位置し、気体は誘電体として作用する。デバイスが加速度を受けると、プルーフマスはどちらか一方の板に近づき、プルーフマスと一方の板の間の間隙を低減させるのに対して、プルーフマスと他方の板の間の距離を増大させ、キャパシタ内の静電容量を変化させる。これらの静電容量を比較することによって、加速度の方向および大きさを求めることができる。しかし、大部分の容量性加速度計は、その構造上、１つの軸に沿って加速度を測定することしかできない。２つ以上の軸に沿って加速度を測定するには、当該の軸ごとに１つの加速度計を提供しなければならず、複雑になる可能性がある。さらに、その材料および構造上、容量性加速度計は、ガスタービン内で受ける場合のように、高温で故障しやすい傾向がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１０／００７７８６１号明細書
【発明の概要】
【０００４】
本発明の一態様では、径方向の内周および径方向の外周をもつ内側リングと、径方向の内周および径方向の外周を有する外側リングとを有するばね取付け要素が提供される。内側リングの径方向の外周に複数の支持要素が取り付けられ、その周りで対称に配置され、また外側リングの径方向の内周に取り付けられる。複数の支持要素により、内側リングは３次元で動くことができる。
【０００５】
本発明の別の態様では、加速度計が提供される。加速度計は、実質上同一のプロファイルおよび表面積の凹状の第１および第２の表面を有し、第１の表面は第２の表面に面する。第１および第２の表面それぞれの対応する一部分上に、少なくとも１つの導電性領域が位置する。ばね取付け要素が、径方向の内周および径方向の外周を有する内側リングと、径方向の内周および径方向の外周を有する外側リングとを含む。内側リングの径方向の外周に複数の支持要素が取り付けられ、その周りで対称に配置され、またこれらの複数の支持要素は、外側リングの径方向の内周に取り付けられる。ばね取付け要素にはプルーフマスが取り付けられ、第１および第２の表面間を動くように、第１および第２の表面間に支持されており、プルーフマスの少なくとも一部分は導電性である。ばね取付け要素により、プルーフマスは３次元で動くことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の一態様による加速度計の斜視図である。
【図２】本発明の一態様による加速度計の斜視分解図である。
【図３】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図４】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図５】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図６】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図７】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図８】本発明の態様による加速度計の半球形の表面の概略図である。
【図９】本発明の一態様による調整回路の概略図である。
【図１０】本発明の一態様による調整回路の概略図である。
【図１１】本発明の一態様によるばね取付け要素の斜視図である。
【図１２】本発明の一態様によるばね取付け要素の側面図である。
【図１３】本発明の一態様によるばね取付け要素の上面図である。
【図１４】本発明の一態様によるばね取付け要素の上面図である。
【図１５】本発明の一態様によるばね取付け要素の上面図である。
【図１６】本発明の一態様によるばね取付け要素の上面図である。
【図１７】本発明の一態様によるばね取付け要素の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
添付の図を参照すると、本発明の態様による加速度計およびばね取付け要素の例が開示されている。説明の目的で、本発明の態様の完全な理解を提供するために、多数の特定の詳細について図面に示し、以下の詳細な説明で述べる。図示および記載の詳細は例示的であり、本発明の範囲に関して限定するものではない。しかし、これらの特定の詳細がなくても本発明の態様を実施できることは明らかであろう。他の例では、図面を簡略化するために、周知の構造およびデバイスは、概略的に示す。
【０００８】
図１および２に示すように、一態様による加速度計１０が、第１の板１３および第２の板１４内に形成された半球形の凹状の第１の表面１１および第２の表面１２を含み、第１の表面１１は第２の表面１２に面する。例示的な態様では半球形の表面を示すが、第１および第２の表面が実質上同一のプロファイルおよび表面積を有する限り、それだけに限定されるものではないが、多角形の表面、長円形の表面、双曲線形の表面、および放物線形の表面、ならびに任意の他の適した表面などの他の構成を使用することもできる。第１の表面１１と第２の表面１２は、曲率半径、表面積、ならびにそれだけに限定されるものではないが、深さ、および板１３、１４の表面における周囲の長さなどの他の寸法が、実質上同一である。第１の表面１１と第２の表面１２はそれぞれ、導電性領域であり、または導電性領域を保持する少なくとも一部分を有し、各導電性領域は、対応する部分の表面中心の周りで中心に位置決めされる。第１の表面１１と第２の表面１２の間には、屈曲板および／またはばねなどの実質上全方向性のばね状取付け要素３０によって震動性または慣性プルーフマス２０が懸架され、したがってプルーフマス２０は、複数の次元で運動することができる。例示的な態様では球形のプルーフマス２０を示すが、本発明の範囲内では、それだけに限定されるものではないが、多角形、長円形、双曲線形、および放物線形のプロファイルなどの他の構成またはプロファイルを使用することもできる。ばね取付け要素３０により、１次元、２次元、または３次元のプルーフマスの運動を可能にする。知られているように、多次元空間における物体の運動は、軸に沿った運動成分によって説明することができる。たとえば、２次元の運動は、２つの相互に直角の軸に沿った運動成分によって説明することができる。同様に、たとえば３次元の運動は、３つの相互に直角の軸に沿った運動成分によって説明することができる。
【０００９】
プルーフマス２０の少なくとも一部分は、導電性である。プルーフマス２０と第１の表面１１および第２の表面１２の間の空間２５は、誘電体として作用する気体で充填される。一態様では、気体は、ヘリウムなど、非反応性であり、または高温で低い反応性を有するが、本明細書に開示する目的に適した低い反応性を有する限り、他の気体を使用することもできる。ばねの偏向を可能にするため、第１および第２の板はそれぞれ、対応する半球形の表面１１、１２の開口の周りに、切頭円錐形の切抜き１５、１６などの切抜きを含む。第１の板１３および第２の板１４の係合表面１７、１８の残りの部分は、屈曲板に係合して保持する。本発明のいくつかの態様では、第１の板１３および第２の板１４、ばね取付け要素３０、ならびにプルーフマス２０は、非導電性の材料から作られる。第１の板１１および第２の板１２ならびにプルーフマス２０の導電性部分は、板１３、１４の第１の表面１１および第２の表面１２ならびにプルーフマス２０に金属または導電性被覆を施すことによって形成される。そのような被覆は厚さを有するが、厚さが実質上均一である限り、厚さの影響は均衡であり、かつ／または無視できるほどである。高温の用途では、金属被覆は、加速度計およびばねが露出される高温で被覆が乱されないように、融点の高い金属から作られる。
【００１０】
高温の用途で第１の板１３および第２の板１４が作られる材料は、高温に耐えるセラミック材料とすることができる。他の用途には、本発明の範囲内で適宜、他の材料を用いることもできる。図１および２では、板１３、１４を円筒形として示すが、態様では、他の形状を用いることもできる。同様に、ばね取付け要素３０の運動を可能にする切抜き部分１５、１６を切頭円錐形として示すが、ばね取付け要素３０の適当な運動に対応する限り、他の形状を適用することもできる。震動性または慣性プルーフマス２０が作られる材料もまた、特に高温の用途ではセラミック材料とすることができるが、他の適した材料を使用することもできる。
【００１１】
図１に示すように、ばね取付け要素３０は、ばね取付け要素３０の内周部がプルーフマス２０とともに動くように、プルーフマス２０に取り付けられる。外周部では、ばね取付け要素３０は、上部板１３および下部板１４の端部１７、１８によって保持される。この組立て体をともに保持し、封止されたチャンバを提供して誘電体の気体を保持するために、外側筐体４０を含むことができる。外側筐体は、ステンレス鋼、セラミック、または高温の用途の態様に適した別の耐熱性の材料とすることができる。図１に示す外側筐体４０は一例にすぎず、本発明の様々な態様の範囲から逸脱することなく、外側筐体の他の形状、寸法、タイプ、および組立てを使用することもできる。
【００１２】
図３および４に見られるように、それぞれの半球形の表面１１、１２の一部分は、対応する導電性領域３１０、３２０を保持する。図３および４に示す態様では、各表面１１、１２全体を金属で被覆して導電性領域３１０、３２０を形成するが、導電性領域３１０、３２０が同じ寸法であり、導電性領域３１０、３２０の中心が、導電性領域３１０、３２０を付着させる対応する表面の表面中心と一致する限り、より小さい被覆面積を用いて導電性領域３１０、３２０を形成することもできる。各導電性領域３１０、３２０は、プルーフマス２０とともにキャパシタを形成する。各表面上に単一の被覆部分３１０、３２０が位置するとき、加速度計１０は、単一の軸に沿って加速度成分を測定することができ、それは、加速度計１０がその軸に沿って加速度または少なくとも加速度成分を受けるとき、プルーフマス２０の偏向によって引き起こされる静電容量の変化によって行われる。たとえば、図３に見られるように、ｚ軸と標示する単一の測定軸が、半球の中心を通過する。
【００１３】
図５および６に見られるように、一態様では、それぞれの半球形の表面１１、１２内で４つの部分を用いており、これらの部分は、導電性領域４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０、４７０、および４８０であり、またはこれらの導電性領域を保持する。これらの領域の組合せを用いて、加速度または加速度成分を３次元で測定する。８つの導電性領域４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０、４７０、および４８０は、これらの導電性領域のうち隣接する領域から電気的に分離される。電気的な分離は、たとえば、表面のうち被覆されていない部分を残して領域間に境界を形成することによって実現される。各導電性領域は、隔置されたプルーフマスとともにキャパシタを効果的に形成する。領域の対向ペアは、対向キャパシタを形成し、これらのキャパシタは、対応する対向ペアを通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することができる。さらに、領域セットまたはグループの対向ペアを使用して、領域グループの対応する対向ペアを通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することもできる。たとえば、態様では、図５および６に見られるように８つの導電性領域の組合せを使用することで、たとえば３つの相互に直角のデカルト軸に沿って加速度成分を測定することによって、空間における加速度の測定を可能にする。図６に標示するｙ軸に沿った加速度成分の測定は、第１のセットの領域４１０および４５０の総静電容量と第２のセットの領域４３０および４７０の総静電容量を比較することによって実現することができ、図６に標示するｘ軸に沿った加速度成分の測定は、第３のセットの領域４２０および４６０の総静電容量と第４のセットの領域４４０および４８０の総静電容量を比較することによって実現することができ、またｚ軸に沿った加速度成分の測定は、第５のセットの領域４１０〜４４０の総静電容量と第６のセットの領域４５０〜４８０の総静電容量を比較することによって実現することができる。他のセットおよび向きを使用して、類似の結果を提供することもできる。
【００１４】
一態様では、上記で論じた半球形の表面ごとに単一の導電性領域をもつ場合と同様に、導電性領域は、各導電性領域の中心が、導電性領域を付着させる対応する部分の表面中心と一致する限り、表面のうち導電性領域を付着させる対応する部分より小さくすることができる。さらに、導電性領域はすべて、実質上同じ寸法にするべきである。
【００１５】
より一般的な原則は、対向する導電性領域または対向する対称形の導電性領域セットもしくはグループおよびプルーフマスによって形成されるキャパシタの対向セットは、最初の位置で対向する電気的部分の中心およびプルーフマスの中心を通過する軸に沿って、加速度を測定できることである。したがって、本発明は、上述のように半球形の表面ごとに１つまたは４つの導電性領域に限定されるものではなく、所与の状況に対して適宜、２つ、３つ、５つ、またはそれ以上の導電性領域を有することができる。
【００１６】
図７および８に見られるように、一態様による代替の３軸加速度計では、互いから電気的に分離された６つの導電性領域６１０、６２０、６３０、６４０、６５０、６６０を用いており、それぞれの半球形の表面１１、１２内に３つずつ存在する。この場合も、電気的な分離は、表面のうち被覆されていない部分を残して領域間に境界を形成することによって実現することができる。半球１１、１２は、実質上同一の構成の導電性領域を有するが、ｘ−ｙ平面内で一方を他方に対して１８０度回転させて、上部半球１１の領域６１０、６２０、６３０を、下部半球１２の対応する領域６４０、６５０、６６０からプルーフマス２０の反対側に配置する。各領域は、隔置されたプルーフマス２０とともに対応するキャパシタを効果的に形成し、これらの領域の対向ペア６１０／６６０、６２０／６５０、および６３０／６４０は、対応する対向ペアの領域の中心を通過する軸に沿って、加速度または少なくとも加速度成分を測定することができる。図７および８に見られるように３つの対向ペアを使用することで、３つの軸に沿った測定を可能にし、したがって調整回路ならびに／または処理ハードウェアおよび／もしくはソフトウェア内で加速度計１０の正しい向きおよび／または適当な補正係数を適用することによって、３つの相互に直角のデカルト軸に沿った加速度成分を測定することができる。
【００１７】
半球形の表面ごとに１つおよび４つの導電性領域を用いる上記で論じた態様と同様に、態様の導電性領域は、各導電性領域の中心が、導電性領域を付着させる対応する部分の表面中心と一致する限り、表面のうち導電性領域を付着させる対応する部分より小さくすることができる。さらに態様では、導電性領域はすべて、同じ寸法にするべきである。
【００１８】
上記で論じた態様では、プルーフマスおよびキャパシタの対向ペアまたはキャパシタの対称形の対向セットもしくはグループは、調整回路に接続される。調整回路は、各キャパシタまたはキャパシタグループとプルーフマスの間の静電容量を監視し、キャパシタの対向ペアまたはキャパシタの対称形の対向セットもしくはグループ間の微分静電容量を示す電圧など、対応する信号を提供する。各信号は、加速度計によって受ける加速度の大きさおよび／または方向を、監視される静電容量が初期値から変化した程度の関数として表す。
【００１９】
したがって、図９に見られるように、加速度の単軸測定は、第１のキャパシタまたはキャパシタセットを含む第１の静電容量９１０および第２のキャパシタまたはキャパシタセットを含む第２の静電容量９２０を調整回路９３０へ接続することによって実現することができる。調整回路９３０は、第１の静電容量９１０と第２の静電容量９２０の間の微分静電容量を示す信号９４０を提供する。信号９４０は、加速度計によって受ける加速度の大きさおよび／または方向を、第１の静電容量９１０および第２の静電容量９２０が初期値から変化した程度の関数として示す。
【００２０】
同様に、図１０に見られるように、加速度の３軸測定は、第１の静電容量１０１０、第２の静電容量１０２０、第３の静電容量１０３０、第４の静電容量１０４０、第５の静電容量１０５０、および第６の静電容量１０６０を調整回路１０７０に接続することによって実現することができる。上記のように、各静電容量は、単一のキャパシタまたは１組のキャパシタとすることができる。調整回路１０７０は、第１の静電容量１０１０と第２の静電容量１０２０の間の微分静電容量を示す第１の信号１０８０、第３の静電容量１０３０と第４の静電容量１０４０の間の微分静電容量を示す第２の信号１０８５、および第５の静電容量１０５０と第６の静電容量１０６０の間の微分静電容量を示す第３の信号１０９０を提供する。
【００２１】
図１１は、本発明の一態様によるプルーフマス２０を保持するために使用できるばね取付け要素３０の斜視図を示す。ばね取付け要素は、内側リング１１１０、複数の支持要素１１２０、および外側リング１１３０から構成される。内側リング１１１０は、プルーフマス２０に取り付けられる。支持要素１１２０は、内側リング１１１０の周辺部または外周の周りに対称に配置されてそこに取り付けられた弓形の材料片から構成することができる。支持要素はまた、外側リング１１３０の内周に取り付けられる。
【００２２】
外側リングは、上部板１３および下部板１４の端部１７、１８（図２参照）によって固定することができる。プルーフマスは、内側リング１１１０に固定され、支持要素１１２０によって３次元で全方向に動くことができる。支持要素の数および形状は、特定の用途で望みに応じて、設計で変更させることができる。内側リング１１１０および外側リング１１３０ならびに支持要素１１２０は、それだけに限定されるものではないが金属、金属合金、プラスチックを含む任意の適した材料から作ることができる。たとえば、高温の用途では、材料は、アルミニウム、クロム、コバルト、鉄、マグネシウム、モリブデン、ニッケル、鋼鉄、チタン、タングステン、およびバナジウムの１つまたは組合せから選択することができる。
【００２３】
支持要素１１２０は、全方向性のばねとして協働して機能する半円形または弓形の材料片から構成することができる。図１２に示すように、支持要素のアレイは、互い違いに構成することができる。一例のみとして、複数の支持要素１１２０の周りを時計回りに進むと、第１の支持要素は、軸方向に上方（＋ｚ軸）へ突出するように構成することができ、時計回り方向に次の支持要素は、軸方向に下方（−ｚ軸）へ突出するように構成することができ、このパターンは、すべての支持要素が内側リングと外側リングの間に配置されるまで繰り返すことができる。言い換えれば、支持要素は、交互に互い違いに構成することができ、隣接する支持要素は、内側リングおよび外側リングの反対側に位置する。
【００２４】
複数の支持要素１１２０は、実質上放射状の向きであり、運動中に３次元でプルーフマス２０を効果的かつ予測可能に支持する。支持要素１１２０の構成および形状は、１組の支持要素（たとえば、＋ｚ軸要素）の膨張または収縮が、対向する組の支持要素（たとえば、−ｚ軸要素）によって打ち消されるため、温度の影響に対する感度を低減させる。さらに、片側（たとえば、左側）の要素は、反対側（たとえば、右側）の要素の膨張または収縮を打ち消す。図１１および１２に見られるように、ばね取付け要素３０は、３つの次元すべてにおいて対称とすることができ、複数の支持要素１１２０の対称の性質により、ばね取付け要素３０の直線性を高める。
【００２５】
図１３は、本発明の別の態様によるプルーフマス２０を支持するために使用できるばね取付け要素１３００の上面図を示す。図１３は、製造中で、支持要素１３２０が半円形の形状に形成される前のばね取付け要素１３００を示す。ばね取付け要素１３００は、打抜きまたは機械加工された半加工品から形成することができ、内側リング１３１０、複数の支持要素１３２０、および外側リング１３３０を含む。外側リング内には、複数の分割されたタブ１３３１が形成され、隣接するタブ間に間隙または空間が形成される。
【００２６】
図１４は、支持要素１３２０が半円形の形状に形成された後のばね取付け要素１３００の上面図を示す。支持要素１３２０を「カーブ」または湾曲させて所望の形状にした後、タブ１３３１を含む外側リング要素は、内側リング１３１０の方へ放射状に内方へ動くことが分かる。それぞれの隣接する支持要素１３２０は、ある支持要素が＋ｚ軸方向に突出するのに対して、隣接する支持要素が−ｚ軸方向に突出するという点で、図１１および１２に示す要素と同様に構成することができる。タブ１３３１は、それだけに限定されるものではないが、溶接および接着の用途を含む任意の適した方法によって、直接的に、または外側の支持リング（複数可）によって、互いにつなぎ合わせることができ、あるいはタブは、特定の用途で望みに応じて、離したままにすることができる。
【００２７】
外側リング１３３０は、上部板１３および下部板１４の端部１７、１８（図２参照）によって固定することができる。さらに、端部１７、１８は、複数の円周方向に配置された支柱および孔（図示せず）を含むことができる。たとえば、支柱は、端部１８上に配置して上方へ延ばすことができ、対向する孔は、端部１７内に形成し、支柱の位置と位置合わせすることができる。１つまたは複数のタブ１３３１は、任意選択の孔１３４０を有することができ、孔１３４０もまた、端部１７、１８内の支柱および孔と位置合わせされる。外側リング１３３０は、支柱の上に配置することができ、これらの支柱は、ばね取付け要素の望ましくない動きを防止するのを助けるはずである。少数の孔１３４０だけを示すが、孔１３４０は、周囲のタブ１３３１の１つまたは複数の中に存在しうることを理解されたい。
【００２８】
外側リング１３３０（およびタブ１３３１）はまた、２次外側リング（図示せず）につなぎ合わせることができる。２次外側リングは、外側リング１３３０の少なくとも片側を覆うように、タブ１３３１の上および／または下に配置されるはずであり、次いで任意の適した方法（たとえば、溶接、接着など）で、２つの要素をつなぎ合わせることができる。次いで端部１７と端部１８の間に、２つの層（２次外側リングおよび外側リング１３３０／タブ１３３１によって形成される）を挟むことができる。
【００２９】
プルーフマス２０は、固体の単一の要素として構成することができ、または複数の部品（たとえば、２つ以上）からなる要素とすることができる。非限定的な一例のみとして、プルーフマスは、２つの半体によって形成することができ、２つの半体は、ばね支持要素上の対応する部材に係合するために使用される１つまたは複数の部材を含むことができる。
【００３０】
図１５は、内側リング１５１０、支持要素１５２０、および外側リング１５３０を有するばね取付け要素１５００の上面図を示す。内側リング１５１０は、鍵要素１５１１を含む。この鍵要素は、放射状に内方へ（図示の通り）、放射状に外方へ、または特定の用途で望みに応じて、任意の他の適した方向に突出するように構成することができる。鍵要素１５１１は、プルーフマス２０内に形成された対応する凹部に係合するように設計される。
【００３１】
図１６は、内側リング１６１０、支持要素１６２０、および外側リング１６３０を有するばね取付け要素１６００の上面図を示す。内側リング１６１０は、１つまたは複数の開口１６１１を含む。開口１６１１は、特定の用途で望みに応じて、任意の適した形状および数で構成することができる。開口１６１１は、プルーフマス２０内の対応する突出部に係合するように設計される。
【００３２】
図１７は、内側リング１７１０、支持要素１７２０、および外側リング１７３０を有するばね取付け要素１７００の上面図を示す。内側リング１７１０は、円形でない開口１７１１を含む。開口１７１１は、特定の用途で望みに応じて、任意の適した形状（たとえば、方形、多角形、楕円形）を構成することができる。開口１７１１は、プルーフマス２０内の１つまたは複数の対応する突出部に係合するように設計される。
【００３３】
本明細書に開示する態様を適用することによって、小型の頑丈な加速度計が提供される。具体的には、ガスタービン内に位置する場合などの極限の温度に耐える多軸加速度計が提供される。さらに、ばね取付け要素は、物体または組立て体が３次元で高精度のばね支持を必要とするときはいつでも使用することができる。
【００３４】
本開示について、１つまたは複数の例示的な態様を参照して説明したが、本開示の範囲から逸脱することなく、様々な変更を加えることができ、本開示の要素を等価物に置き換えることができることが、当業者には理解されるであろう。さらに、本開示の範囲から逸脱することなく、特定の状況または材料を本開示の教示に適合させるために、多くの修正を加えることができる。したがって、本開示は、本発明を実施するために企図される最良の形態として開示する特定の態様（複数可）に限定されるものではなく、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲内に入るすべての態様を含むものとする。
【符号の説明】
【００３５】
１０  加速度計
１１  第１の表面
１２  第２の表面
１３  第１の板
１４  第２の板
１５  切抜き
１６  切抜き
１７  端部
１８  端部
２０  プルーフマス
３０  ばね取付け要素
３１０  導電性領域
３２０〜６６０  導電性領域
９１０  第１の静電容量
９２０  第２の静電容量
９３０  調整回路
９４０  信号
１０１０〜１０６０  静電容量
１０７０  調整回路
１０８０  信号
１０８５  信号
１０９０  信号
１１１０  内側リング
１１２０  支持要素
１１３０  外側リング
１３００  ばね取付け要素
１３１０  内側リング
１３２０  支持要素
１３３０  外側リング
１３３１  タブ
１３４０  孔
１５００  ばね取付け要素
１５１０  内側リング
１５１１  鍵
１５２０  支持要素
１５３０  外側リング
１６００  ばね取付け要素
１６１０  内側リング
１６１１  開口
１６２０  支持要素
１６３０  外側リング
１７００  ばね取付け要素
１７１０  内側リング
１７１１  開口
１７２０  支持要素
１７３０  外側リング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【外国語明細書】
2012118065000001.pdf