(57)【要約】【課題】本発明は、移動部材等に仕上げ加工をしなくても移動部材が駆動軸を摺動する際の抵抗を小さくでき、移動部材を円滑に摺動させることができるアクチュエータの提供を目的とする。【解決手段】電気機械変換素子である圧電素子２と、四角柱状の駆動軸３と、駆動軸３の外側壁を摺動する移動部材５と、前記駆動軸３を保持した保持部材４とを備えている。移動部材５は、駆動軸３の第１外側壁３１を摺動する第１摺動部６２と、駆動軸３の第２外側壁３２を摺動する第２摺動部６３とを備えている。また、第１摺動部６２には、凹部６４が設けられ、凹部６４によって、第２摺動部６３に摺動凸部６５が区画形成されている。【選択図】図５
2012120254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に伸縮する電気機械変換素子と、その電気機械変換素子に連結され前記電気機械変換素子の伸縮により前記軸方向に振動する駆動軸と、その駆動軸に設けられた被摺動部に摩擦係合して摺動する摺動部を有する移動部材とを備えたアクチュエータであって、
前記駆動軸の被摺動部と前記移動部材の摺動部とのいずれか一方又は両方に、当該被摺動部又は摺動部から窪まされるように形成された凹部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記凹部が形成された被摺動部と摺動部とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも３つの摺動凸部が区画形成され、
前記３つの摺動凸部は、互いに所定の距離を隔てているとともに、それらの夫々の略中心を結ぶ線が三角形をなすように配設されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記駆動軸は、四角柱状のものから構成され、
前記被摺動部は、前記駆動軸における互いに隣接した第１外側壁と第２外側壁との２つの外側壁に形成され、
前記移動部材は、前記第１外側壁を摺動する第１内側壁と、前記第２外側壁を摺動する第２摺動部とを備え、
前記凹部は、前記第１外側壁と第２外側壁と第１摺動部と第２摺動部との少なくとも１つに形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第１外側壁は、前記第２外側壁よりも面積が大きく、
前記第１摺動部は、前記第２摺動部よりも面積が大きく、
前記第１外側壁と第１摺動部とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも３つの第１摺動凸部が区画形成され、
前記３つの第１摺動凸部は、互いに所定の距離を隔てているとともに、それらの夫々の略中心を結ぶ線が三角形をなすように配設され、
前記第２外側壁と第２摺動部とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも１つの第２摺動凸部が区画形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品等を駆動させるアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光学部品等を駆動させるアクチュエータとして、例えば電圧の印加によって伸縮する圧電素子と、圧電素子の伸縮によって振動する駆動軸と、駆動軸に対して摩擦係合されて当該駆動軸をその軸方向に摺動する移動部材とを備えたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
又、このようなアクチュエータにおいて、移動部材を駆動軸に対して適宜な摩擦力で係合させることが必要なことから、例えば図１８に示すようして移動部材ａを駆動軸ｂに組付けたものが従来から実施されている。
【０００４】
詳しくは、移動部材ａは、コの字状の受容凹部ａ１を有するものから構成されており、その受容凹部ａ１に四角柱状の駆動軸ｂを受容させるとともに、受容凹部ａ１の第１内側壁ａ２とその第１内側壁ａ２に隣接する第２内側壁ａ３とを摺動部とし、それらを、駆動軸ｂの被摺動部としての第１外側壁ｂ１、第２外側壁ｂ２夫々に当接させて摺動させるようにしたものである。尚、移動部材ａと駆動軸ｂとの組付けについては、更に後述する。
【０００５】
又、移動部材ａを、鋳造法の一種であるダイキャスト法で製造すれば受容凹部ａ１を有する形状に成型できることから移動部材ａをダイキャスト法で成型されている場合が多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−２１９１８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、移動部材ａをダイキャストで成型したままの状態では、受容凹部ａ１の第１内側壁ａ２及び第２内側壁ａ３の面粗さが大きく、駆動軸ｂの外側壁ｂ１、ｂ２を摺動する際の抵抗が大きくなって円滑に摺動し難い。そのため、従来、受容凹部ａ１の第１内側壁ａ２及び第２内側壁ａ３を研磨加工等の機械加工を施して仕上げ加工しているが、このような仕上げ加工のために、移動部材ａの製作に時間を要してしまっていると共に、製作コストが高くなっている。特に、第１内側壁ａ２と第２内側壁ａ３とは、それらによってＬ字状をなしているため、仕上げ加工に時間を要する。
【０００８】
本発明は、移動部材等に仕上げ加工をしなくても移動部材が駆動軸を摺動する際の抵抗を小さくでき、移動部材を円滑に摺動させることができるアクチュエータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のアクチュエータは、軸方向に伸縮する電気機械変換素子と、その電気機械変換素子に連結され前記電気機械変換素子の伸縮により前記軸方向に振動する駆動軸と、その駆動軸に設けられた被摺動部に摩擦係合して摺動する摺動部を有する移動部材とを備えたアクチュエータであって、前記駆動軸の被摺動部と前記移動部材の摺動部とのいずれか一方又は両方に、当該被摺動部又は摺動部から窪まされるように形成された凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、凹部によって、被摺動部と摺動部との接触面積を少なくでき、摺動する際の抵抗を小さくできる。これにより、摺動部を被摺動部に対して円滑に摺動させることができる。従って、例えば駆動軸の被摺動部と移動部材の摺動部を、研磨等の仕上げ加工を不要にすることも可能になり、移動部材の摺動面等を容易に短時間で形成でき、アクチュエータを低コストで製作可能になる。
【００１１】
他の一態様では、上述のアクチュエータにおいて、前記凹部が形成された被摺動部と摺動部とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも３つの摺動凸部が区画形成され、前記３つの摺動凸部は、互いに所定の距離を隔てているとともに、それらの夫々の略中心を結ぶ線が三角形をなすように配設されていることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、３つの摺動凸部が摺動するため、摺動する際の抵抗を、より小さくでき、摺動部を被摺動部に対して、より円滑に摺動させることができる。また、その際、３つの摺動凸部を結ぶ線が三角形をなすように配設されているため、摺動部を被摺動部に対して常時安定した状態で摺動させることができる。
【００１３】
他の一態様では、上述のアクチュエータにおいて、前記駆動軸は、四角柱状のものから構成され、前記被摺動部は、前記駆動軸における互いに隣接した第１外側壁と第２外側壁との２つの外側壁に形成され、前記移動部材は、前記第１外側壁を摺動する第１内側壁と、前記第２外側壁を摺動する第２内側壁とを備え、前記凹部は、前記第１外側壁と第２外側壁と第１内側壁と第２内側壁との少なくとも１つに形成されていることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、凹部を、第１外側壁と第２外側壁と第１内側壁と第２内側壁との少なくとも１つに形成すればよく、駆動軸及び移動部材を、容易に短時間で製作できる。
【００１５】
他の一態様では、上述のアクチュエータにおいて、前記第１外側壁は、前記第２外側壁よりも面積が大きく、前記第１内側壁は、前記第２内側壁よりも面積が大きく、前記第１外側壁と第１内側壁とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも３つの第１摺動凸部が区画形成され、前記３つの第１摺動凸部は、互いに所定の距離を隔てているとともに、それらの夫々の略中心を結ぶ線が三角形をなすように配設され、前記第２外側壁と第２内側壁とのいずれか一方又は両方に、前記凹部によって、少なくとも１つの第２摺動凸部が区画形成されていることを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、例えば面積の大きい第１外側壁と第１内側壁とのいずれか一方又は両方に、３つの第１摺動凸部を区画形成し、面積の小さい第２外側壁と第２内側壁とのいずれか一方又は両方に１つの第２摺動凸部を区画形成するようにすれば、摺動する際の抵抗を、より一層、小さくできるとともに、摺動部を被摺動部に対して常時安定した状態で摺動させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、仕上げ加工をしなくても移動部材が駆動軸を摺動する際の抵抗を小さくでき、移動部材を円滑に摺動させることができるアクチュエータを提供し得たものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態のアクチュエータの平面図である。
【図２】第１実施形態のアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】第１実施形態のアクチュエータの移動部材における移動部材本体と第１押圧板と第１付勢部材との分解斜視図である。
【図４】第１実施形態のアクチュエータの移動部材における移動部材本体と第２付勢部材との分解斜視図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】第１実施形態のアクチュエータの移動部材本体の底面図である。
【図７】第２実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図８】第３実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図９】第３実施形態のアクチュエータの移動部材本体の底面図である。
【図１０】第４実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図１１】第４実施形態のアクチュエータの移動部材本体の底面図である。
【図１２】第５実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図１３】第５実施形態のアクチュエータの移動部材本体の底面図である。
【図１４】第６実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図１５】第６実施形態のアクチュエータの移動部材本体の底面図である。
【図１６】第７実施形態のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【図１７】第７実施形態のアクチュエータの駆動軸の平面図である。
【図１８】従来例のアクチュエータの駆動軸と移動部材との組付け状態を表した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態の平面図、図２は、第１実施形態のアクチュエータの分解斜視図、図３は、第１実施形態のアクチュエータの移動部材における移動部材本体と第１押圧板と第１付勢部材との分解斜視図である。また、図４は、第１実施形態のアクチュエータの移動部材における移動部材本体と第２付勢部材との分解斜視図、図５は、図１のＶ−Ｖ線断面図である。
【００２０】
第１実施形態のアクチュエータ１は、電気機械変換素子である圧電素子２と、圧電素子２に連結された駆動軸３と、圧電素子２及び駆動軸３を保持した保持部材４と、駆動軸３を移動する移動部材５とを備えている。
【００２１】
圧電素子２は、複数の圧電層が積層されるようにして四角柱状体に形成されたものから構成されている。そして、電圧が印加されることによって、その軸方向（図１のＸ−Ｘ方向）に伸縮する。
【００２２】
駆動軸３は、四角柱状体（直方体）から構成されており、図２の上側の第１外側壁３１と、その第１外側壁３１と隣接して直交し第１外側壁３１よりも面積の小さいた第２外側壁３２及び第３外側壁３３と、それらの第２外側壁３２及び第３外側壁３３夫々と隣接して直交した第４外側壁３４とを備えている。これらの外側壁３１〜３４は、移動部材５が摺動する被摺動部を構成する。
【００２３】
このように構成された駆動軸３の軸方向の第１端３ａの端面は、上記圧電素子２の軸方向の第１端２ａの端面に連結されている。
【００２４】
保持部材４は、上記駆動軸３の第１端３ａ及び圧電素子２の第１端２ａを受容する軸受容部４０を備えている。この軸受容部４０は、図２に示すように上方が開放されたコの字状を呈するものから構成されている。
【００２５】
そして、このように構成された保持部材４の軸受容部４０に、図１に示すように駆動軸３の第１端３ａが圧電素子２の第１端２ａとともに受容される。そして、この状態で、接着剤によって、駆動軸３の第１端３ａと圧電素子２の第１端２ａとの夫々の端面同士が接着されるとともに、駆動軸３の外側壁３２〜３４と保持部材４の内側壁とが接着され、更に、圧電素子２の外側壁と保持部材４の内側壁とが接着される。これにより、駆動軸３及び圧電素子２が保持部材４に接着剤を介して保持される。
【００２６】
このように圧電素子２と駆動軸３とを保持した保持部材４の下端は、例えば支持部材８（図１に２点鎖線で示す）に支持され、その支持部材８が小型カメラやレーザーモジュールなどの光学装置内に取り付けられることによりこのアクチュエータ１が光学装置に装着される。
【００２７】
次に、移動部材５について説明する。この実施形態の移動部材５は、図２に示すように移動部材本体６と、２つの押圧板７１、７２と、２つの付勢部材８１、８２とを備えている。
【００２８】
移動部材本体６は、図５に示すように、駆動軸３を受容する正面視でコの字状の受容凹部６１を備えている。この受容凹部６１は、受容した駆動軸３の第１外側壁３１と対向して摺動する第１摺動部６２と、第１摺動部６２よりも面積が小さく駆動軸３の第２外側壁３２と対向して摺動する第２摺動部６３とを備えている。
【００２９】
第１摺動部６２には、図５、図６に示すように第１摺動部６２から所定の深さで窪まされるようにして、上記受容した駆動軸３の軸方向に延ばされた４つの凹部６４が設けられている。そして、これらの互いに隣接する２つの凹部６４、６４によって、その間に、受容した駆動軸３の軸方向に延ばされた３つの四角柱状の第１摺動凸部６５が区画形成されている。
【００３０】
一方、第２摺動部６３は、この第１実施形態では、駆動軸３の第２外側壁３２の略全体に当接して摺動するように、平面状に形成されている。
【００３１】
また、このように構成された移動部材本体６は、この実施形態では、ダイキャストにより成形されており、上記第１摺動部６２及び第２摺動部６３は、その成形により形成されている。
【００３２】
押圧板７１、７２は、駆動軸３の第３外側壁３３に当接して摺動する第１押圧板７１と、駆動軸３の第４外側壁３４に当接して摺動する第２押圧板７２とを備えている。
【００３３】
第１押圧板７１は、図２、図３に示すように一対の突片７１ａを備えている。そして、これらの突片７１ａが、図５に示すように移動部材本体６に設けられた突片嵌挿溝６９に嵌挿されて、上記第２摺動部６３と退行及び接近する方向に移動可能とされている。
【００３４】
第２押圧板７２は、図２に示すように係止片７２ａを備えている。そして、この係止片７２ａが、図５に示すように移動部材本体６に設けられた係止片嵌挿溝６６に嵌挿されて、上記第１摺動部６２と退行及び接近する方向に移動可能とされている。
【００３５】
付勢部材８１、８２は、図２、図４及び図５に示すようにコイルバネからなる第１付勢部材８１と、正面視でＭ字状を呈する第２付勢部材８２とを備えている。
【００３６】
第１付勢部材８１は、その第１端が移動部材本体６に設けられたバネ収納部６７の内壁に当接するとともに、第２端が第１押圧板７１に当接された状態でバネ収納部６７に収納されている。これにより、第１押圧板７１が上記第２摺動部６３側に押圧されて駆動軸３の第３外側壁３３に当接するとともに、駆動軸３の第２外側壁３２が第２摺動部６３に押圧されている。
【００３７】
第２付勢部材８２は、図２、図４に示すように、その両端に、移動部材本体６の両端夫々に係止される係止部としての係止孔８２ａを備え、その中間部に、第２押圧板７２を押圧する押圧部８２ｂを備えている。
【００３８】
そして、図５に示すように係止孔８２ａが移動部材本体６の両端夫々に設けられた係止突片６８に係止され、その状態で押圧部８２ｂが第２押圧板７２を上記第１摺動部６２側に押圧して駆動軸３の第４外側壁３４に当接させるとともに、駆動軸３の第１側壁３１が第１摺動部６２に押圧されている。
【００３９】
又、このように構成された移動部材５には、例えば光学装置に装着される際にレンズ（図示せず）が移動部材５と共に可動するように連結される。
【００４０】
以上のように構成された第１実施形態のアクチュエータ１は、圧電素子２に矩形波を与えることで、駆動軸３を軸方向（Ｘ−Ｘ方向）に振動させるとともに、電圧上昇時（伸長時）と下降時（圧縮時）とで振動速度差が生じるように略三角波状に変位させる。又、矩形波のデューティ比を変えることで、駆動軸３の振動速度を制御する。そして、この駆動軸３の振動によって移動部材５の第１摺動部６２と第２摺動部６３との夫々が駆動軸３の第１外側壁３１と第２外側壁３２との夫々を軸方向に摺動する。
【００４１】
その際、移動部材５の第１摺動部６２は、３つの摺動凸部６５が駆動軸３の第１外側壁３１を摺動する。これにより、摺動する際の抵抗が、例えば第１摺動部６２の全体が第１外側壁３１に当接して摺動する場合に比して小さいため、円滑に摺動できる。従って、摺動凸部６５を、ダイキャストで成型した状態のままで、研磨加工等の仕上げ加工を施さなくてもよいものにでき、第１摺動部６２を容易に形成でき、アクチュエータ１を低コストで製作できる。
【００４２】
次に、第２実施形態のアクチュエータ２００について、図７に基づいて説明する。第２実施形態のアクチュエータ２００における第２摺動部２６３に、第２摺動部２６３から所定の深さで窪まされるようにして、受容した駆動軸２０３の軸方向に延ばされた２つの凹部２６４が設けられている。
【００４３】
そして、これらの２つの凹部２６４、２６４によって、その間に、受容した駆動軸２０３の軸方向に延ばされた四角柱状の摺動凸部２６５が区画形成されている。その他は、先の第１実施形態のものと同構成を採っている。
【００４４】
このように構成すれば、移動部材２０５の第２摺動部２６３も、摺動凸部２６５が駆動軸２０３の第２外側壁２３２を摺動し、その摺動する際の抵抗が、例えば先の第１実施形態のように第２摺動部６３の全体が第２外側壁３２に当接して摺動する場合に比して小さくなるため、移動部材２０５を、より一層、円滑に摺動させることができる。
【００４５】
次に、第３実施形態のアクチュエータ３００について、図８、図９に基づいて説明する。第３実施形態のアクチュエータ３００における移動部材３０５の第１摺動部３６２には、先の第１実施形態のものと同様に、第１摺動部３６２から所定の深さで窪まされるようにして形成された凹部３６４が設けられており、凹部３６４によって３つの四角柱状の摺動凸部３６５が区画形成されているが、この第３実施形態の摺動凸部３６５は、その軸方向の長さが第１摺動部３６２の長さの半分程度のものから構成されている。
【００４６】
より詳しくは、摺動凸部３６５の内の両側の２つは、第１摺動部３６２における軸方向（図９のＸ−Ｘ）の第１端から、軸方向の略中央まで延ばされている。他の１つは、第１摺動部３６２における駆動軸３の軸方向の第２端から、軸方向の略中央まで延ばされており、３つの摺動凸部３６５の軸方向の中心を結ぶ線が三角形になるように配設されている。
【００４７】
このように構成すれば、第１摺動部３６２を、例えば第１実施形態の第１摺動部６２に比して駆動軸３０３の第１外側壁３３１を摺動する際の摺動抵抗を小さくでき、より一層、円滑に摺動させることができるとともに、第１摺動部３６２が駆動軸３０３の第１外側壁３３１を安定した状態で摺動することができる。
【００４８】
次に、第４実施形態のアクチュエータ４００について、図１０、図１１に基づいて説明する。第４実施形態のアクチュエータ４００の移動部材４０５における第１摺動部４６２及び第２摺動部４６３の夫々には、先の第３実施形態と同様に、凹部４６４によって、摺動凸部４６５が区画形成されているが、この第４実施形態における摺動凸部４６５は、夫々、断面半円形状の半円柱状のものから構成されている。その他は、先の第３実施形態のものと同構成を採っている。
【００４９】
このように構成すれば、第１摺動部４６２と第２摺動部４６３とを、例えば第３実施形態の第１摺動部３６２に比して駆動軸４０３の第１外側壁４３１と第２外側壁４３２との夫々を摺動する際の摺動抵抗を小さくでき、より一層、円滑に摺動させることができる。
【００５０】
次に、第５実施形態のアクチュエータ５００について、図１２、図１３に基づいて説明する。第５実施形態のアクチュエータ５００の移動部材５０５における第１摺動部５６２及び第２摺動部５６３の夫々には、先の第４実施形態と同様に、凹部５６４によって、摺動凸部５６５が区画形成されているが、この第５実施形態の摺動凸部５６５は、夫々、半球状のものから構成されている。
【００５１】
また、これらの摺動凸部５６５は、その両側の２つは、第１摺動部３６２における軸方向（図のＸ−Ｘ）の第１端に、互いに距離を持って配設されている。他の１つは、第１摺動部３６２における軸方向の第２端であって、上記両側の２つのほぼ中央に配設され、３つの摺動凸部５６５の中心を結ぶ線が三角形になるようになっている。その他は、先の第４実施形態のものと同構成を採っている。
【００５２】
このように構成した第５実施形態によれば、第１摺動部５６２及び第２摺動部５６３を、例えば第４実施形態の第１摺動部４６２及び第２摺動部４６３よりも、駆動軸５０３の第１外側壁５３１と第２外側壁５３２との夫々を摺動する際の摺動抵抗を更に小さくでき、より一層、円滑に摺動させることができる。
【００５３】
次に、第６実施形態のアクチュエータ６００について、図１４、図１５に基づいて説明する。第６実施形態のアクチュエータ６００の移動部材６０５における第１摺動部６６２及び第２摺動部６６３の夫々には、先の第４実施形態と同様に、凹部６６４によって、摺動凸部６６５が区画形成されているが、この第６実施形態の摺動凸部６６５は、夫々、円錐状のものから構成されている。その他は、先の第５実施形態のものと同構成を採っている。
【００５４】
このように構成した第６実施形態においても、第１摺動部６６２及び第２摺動部６６３を、例えば第４実施形態の第１摺動部４６２及び第２摺動部４６３よりも、駆動軸６０３の第１外側壁６３１と第２外側壁６３２との夫々を摺動する際の摺動抵抗を更に小さくでき、より一層、円滑に摺動させることができる。
【００５５】
尚、第６実施形態において、摺動凸部６６５を、三角錐、四角錐等の角錐状のものから構成してもよく、適宜変更できる。
【００５６】
次に、第７実施形態のアクチュエータ７００について、図１６、図１７に基づいて説明する。第７実施形態のアクチュエータ７００における移動部材７０５の第１摺動部７６２及び第２摺動部７６３は、凹部を有しない平滑面に形成されているが、駆動軸７０３の第１外側壁７３１に、その第１外側壁７３１から所定の深さで、軸方向に沿う凹部７６３が設けられている。
【００５７】
そして、互いに隣接する２つの凹部７６３、７６３によって、それらの間に、軸方向に沿う３つの第１被摺動凸部７６５が区画形成されている。その他は、先の第１実施形態のものと同構成を採っている。
【００５８】
このように構成した第７実施形態においても、移動部材７０５の第１摺動部７６２と駆動軸７０３の第１外側壁７３１との接触面積を少なくでき、移動部材７０５の第１摺動部７６２が駆動軸７０３の第１外側壁７３１を摺動する際の抵抗を小さくでき、円滑に摺動させることができる。尚、この第７実施形態において、駆動軸７０３の第２外側壁７３２に凹部を設け、凹部によって、軸方向に沿う１または複数の被摺動凸部が区画形成するようにしてもよい。
【００５９】
尚、上記実施形態では、凹部によって、移動部材の第１摺動部または第２摺動部、或いは駆動軸の第１外側壁または第２外側壁に、摺動凸部を区画形成したが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。
【００６０】
例えば凹部によって、移動部材の第１摺動部と駆動軸の第１外側壁との接触面積、或いは移動部材の第２摺動部と駆動軸の第２外側壁との接触面積を、全体が接触した場合の接触面積よりも少なくなるものであればよい。従って、凹部を、移動部材の第１摺動部と第２摺動部と駆動軸の第１外側壁と第２外側壁との少なくとも１つの一部に設ければよい。
【００６１】
また、摺動凸部の数量や形状は、上記実施形態のものに限らず、適宜変更でき、例えば摺動凸部を、移動部材の第１摺動部に１つ設け、第２摺動部に２つ以上、設けるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１、２００、３００、４００、５００、６００、７００    アクチュエータ
２    圧電素子（電気機械変換素子）
３、２０３、３０３、４０３、５０３、６０３、７０３    駆動軸
４    保持部材
５    移動部材
３１、２３１、３３１、４３１、５３１、６３１、７３１    第１外側壁（被摺動部）
３２、２３２、３３２、４３２、５３２、６３２、７３２    第２外側壁（被摺動部）
６２、２６２、３６２、４６２、５６２、６６２、７６２    第１摺動部
６３、２６３、３６３、４６３、５６３、６６３、７６３    第２摺動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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