(57)【要約】【課題】外部制御装置と搬送ロボットとの間のハンドシェイクの回数を削減し、外部制御装置が複雑な処理を行わなくても済むようにし、搬送の全体の処理時間も短縮する。【解決手段】搬送ロボットシステムは、外部制御装置から現時点の装置の状態、つまりカセットのランクの割付やランク情報、未検査品の有り無しといった情報を受け取り、そのデータに基づいて自身が次に実行すべき動作を判断し動作する。これによって、外部制御装置が逐一与えていたコマンドや動作のスケジューリングの演算を搬送ロボット自体に行わせ、自分自身で判断し動作を実行することができるので、外部の制御装置から一つ一つ動作の指令を受けなくとも、特定の情報を取得するだけで、自動で動作を行うことができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部からの指令及び自ら取得した周辺情報に基づき演算処理を実行し被搬送物を前記演算処理の結果に応じて搬送する搬送ロボット手段と、
前記搬送ロボット手段に通信回線を介して前記指令を送信する外部制御手段と
を備えたことを特徴とする搬送ロボットシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送ロボットシステムにおいて、前記搬送ロボット手段は、光学検査機にディスクを搬送し、前記光学検査機に前記ディスクの表面を検査させ、その検査の結果に応じて前記ディスクのランク分けを行い、そのランク及び自ら取得した前記ディスクの収納処理に関する周辺情報に応じて各収納カセットにランク分けされた前記ディスクを収納することを特徴とする搬送ロボットシステム。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送ロボットシステムにおいて、搬送ロボット手段は前記ディスクの収納処理に関する周辺情報として、未検査ディスク収納部における未検査ディスクの有無情報、前記光学検査機の試料台における未検査ディスクの有無情報、前記光学検査機の試料台における検査終了ディスクの有無情報、並びに検査終了ディスク収納部における収納カセットの有無情報を取得することを特徴とする搬送ロボットシステム。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送ロボットシステムにおいて、前記搬送ロボット手段が、アームシリンダ及びハンドを用いてディスクのチャック及びアンチャックを行い、未検査ディスク収納部から未検査ディスクを取り出し、取り出した未検査ディスクを前記光学検査機の試料台に配置し、前記光学検査機の検査が終了するのを待ち、検査が終了した時点で、前記光学検査機の試料台から検査終了ディスクを取り出し、取り出された検査終了ディスクを検査終了ディスク収納部に収納することを特徴とする搬送ロボットシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスクなどのワークを各装置間で搬送する搬送ロボットシステムに係り、特に、上位通信機器との間の通信に応じて搬送を実行する搬送ロボットシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業ロボットで多用される搬送ロボットは、一般的に外部の制御装置と接続され、制御装置からの指令に応じて動作する。搬送ロボットと制御装置の双方は通信機能を備えており、ハンドシェイクにより相互に通信が可能である。例えば、ディスク検査装置で使用される搬送ロボットは、外部の制御装置から１つずつコマンドを受取り、そのコマンドによってロボットが動作を行うというものである。つまり従来は、１回の動作ごとにハンドシェイクを取らなければならなかった。そこで、最近では、現コマンドの実行中に並行して次のコマンドを読み込み、これを現コマンドに引き続いて実行させる。これにより、一度のハンドシェイクで複数のコマンドを連続して実行することが可能な搬送ロボットが特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２０１５７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の発明は、一度のハンドシェイクで複数のコマンドを実行可能ではあるが、外部の制御装置は搬送ロボットの全てのコマンドを把握し、それに応じて指令を与えなければならない。従って、外部の制御装置の演算の負担を軽減できないという問題があった。
【０００５】
例えば、ディスク検査装置で使用される搬送ロボットでは、検査したディスクのランクに応じて収納するカセットが異なる。また、収納するカセットは、人が操作するオペレーションによって、カセットを取り出し、割当てているランクの変更などを行うため、ディスク収納のたびに最適なスケジューリングを行わなければならない。そして、どのカセットの何枚目に移動というコマンドから、ディスクをチャック、アンチャックするといった動作全てにおいて、指示を与えてやらなければならない。従って、搬送ロボットと制御装置との間のハンドシェイクの回数は減らせても、実際は制御装置がコマンドの指令を逐一与えているため、動作が複雑になればなるほど、スループットに影響を与えてしまう。また、収納するカセットが多くなればなるほど、その演算量も増加し、外部の制御装置は、搬送ロボットの制御以外のタスクにかける時間が押してしまい、全工程のスループットにも影響が出てしまう。
【０００６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、外部制御装置と搬送ロボットとの間のハンドシェイクの回数を削減し、外部制御装置が複雑な処理を行わなくても済むようにし、搬送の全体の処理時間も短縮することが可能な搬送ロボットシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送ロボットシステムの第１の特徴は、外部からの指令及び自ら取得した周辺情報に基づき演算処理を実行し被搬送物を前記演算処理の結果に応じて搬送する搬送ロボット手段と、前記搬送ロボット手段に通信回線を介して前記指令を送信する外部制御手段とを備えたことにある。この発明では、従来、外部の制御装置が逐一与えていたコマンドや動作のスケジューリングの演算を、外部からの指令及び自ら取得した周辺情報に基づき演算することによって搬送ロボット手段自体に行わせ、自分自身で判断し動作を実行することができるようにした。すなわち、本発明の搬送ロボットシステムは、外部の制御装置から現時点の装置の状態、つまりカセットのランクの割付やランク情報、未検査品の有り無しといった情報を受け取り、そのデータに基づいて自身が次に実行すべき動作を判断するプログラムを備えたことにある。
【０００８】
本発明の搬送ロボットシステムの第２の特徴は、前記第１の特徴に記載の搬送ロボットシステムにおいて、前記搬送ロボット手段が、光学検査機にディスクを搬送し、前記光学検査機に前記ディスクの表面を検査させ、その検査の結果に応じて前記ディスクのランク分けを行い、そのランク及び自ら取得した前記ディスクの収納処理に関する周辺情報に応じて各収納カセットにランク分けされた前記ディスクを収納することにある。これは、搬送ロボットシステムがディスク検査における光学検査機に対してディスクを搬送し、検査結果のランク分けに応じて所定の収納カセットに収納するものであることを明確にしたものである。
【０００９】
本発明の搬送ロボットシステムの第３の特徴は、前記第２の特徴に記載の搬送ロボットシステムにおいて、搬送ロボット手段が前記ディスクの収納処理に関する周辺情報として、未検査ディスク収納部における未検査ディスクの有無情報、前記光学検査機の試料台における未検査ディスクの有無情報、前記光学検査機の試料台における検査終了ディスクの有無情報、並びに検査終了ディスク収納部における収納カセットの有無情報を取得することにある。これは、搬送ロボット手段が自ら取得するディスクの収納処理に関する周辺情報を具体的にしたものである。
【００１０】
本発明の搬送ロボットシステムの第４の特徴は、前記第３の特徴に記載の搬送ロボットシステムにおいて、前記搬送ロボット手段が、アームシリンダ及びハンドを用いてディスクのチャック及びアンチャックを行い、未検査ディスク収納部から未検査ディスクを取り出し、取り出した未検査ディスクを前記光学検査機の試料台に配置し、前記光学検査機の検査が終了するのを待ち、検査が終了した時点で、前記光学検査機の試料台から検査終了ディスクを取り出し、取り出された検査終了ディスクを検査終了ディスク収納部に収納することにある。これは、搬送ロボット手段の構成を具体的にしたものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、外部制御装置と搬送ロボットとの間のハンドシェイクの回数を削減し、外部制御装置が複雑な処理を行わなくても済むようにし、搬送の全体の処理時間も短縮することができ、また、浮いた時間を他のタスクに費やすことで、搬送の全体の処理時間も短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の搬送ロボットシステムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の搬送ロボットが実行する動作の一例を示すフローチャートである。
【図３】図２における搬送動作（サブルーチン）の詳細を示すフローチャートである。
【図４】図１の搬送ロボットシステムの具体的な構成例を示す図である。
【図５】図４における６軸ロボットが、検査後ディスクをディスク収納カセットへ収納する場合のディスク収納カセット優先スケジューリング処理の一例を示すフローチャートである。
【図６】図５におけるＮＧカセットＮｏ．ｉが有る場合の処理（ステップＳ５０５）の動作の詳細を示すフローチャートである。
【図７】図５におけるＮＧカセットＮｏ．ｉが無い場合の処理（ステップＳ５０６）の動作の詳細を示すフローチャートである。
【図８】図５におけるランクごとに収納できるカセットＮｏを抽出する処理（ステップＳ５０６）の動作の詳細を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の搬送ロボットシステムの概略構成を示す図である。この実施の形態に係る搬送ロボットシステムは、ディスク表面を検査し、傷・汚れの具合によってランク分けを行い、そのランクによって各収納カセットにディスクを収納していく機能を有するものである。図１において、搬送ロボットシステムは、搬送ロボット１０１と外部制御装置１０２とから構成される。搬送ロボットシステムにおいて、搬送ロボット１０１と外部制御装置１０２は互いに通信を行い、搬送ロボット１０１は外部制御装置１０２から周辺情報を取得して、自動で演算及び動作を実行する。
【００１４】
搬送ロボット１０１は、アームシリンダとハンドのチャック・アンチャック操作により未検査ディスク収納部１０３から未検査ディスクを取り出し、取り出した未検査ディスクを光学検査機１０４の試料台に配置する。光学検査機１０４の検査が終了するのを待ち、検査が終了した時点で、搬送ロボット１０１は、光学検査機１０４の試料台から検査終了ディスクを取り出し、取り出された検査終了ディスクを収納する検査終了ディスク収納部１０５に収納する。
【００１５】
図２は、搬送ロボット１０１が実行する動作の一例を示すフローチャートである。まず、ステップＳ２０１では、動作の開始後、搬送ロボット１０１は、外部制御装置１０２から周辺情報を取得する。ここでの周辺情報は、未検査ディスク収納部１０３における未検査ディスク有無，光学検査機１０４の試料台における未検査ディスクの有無，光学検査機１０４の試料台における検査終了ディスクの有無，検査終了ディスク収納部１０５における収納カセットの有無などである。ステップＳ２０２では、周辺情報を取得した搬送ロボット１０１は、その情報をもとに、搬送ロボット１０１に取り付けてあるハンドのディスク有無の情報から次に実行する処理を判断し、搬送動作を自動で実行する。ステップＳ２０３では、搬送ロボット１０１は、外部制御装置１０２からの終了要求を受け取ったか否かの判定を行い、終了要求を受け取ったｙｅｓの場合は搬送処理を終了し、受け取っていないｎｏの場合はステップ２０１に戻り、上述の処理を繰り返す。
【００１６】
図３は、図２における搬送動作（サブルーチン）の詳細を示すフローチャートである。ステップＳ３０１では、搬送動作開始後、搬送ロボット１０１は、ステップＳ２０１で取得した周辺情報に基づいて未検査ディスク取り出し条件に一致するか否かの判定を行い、判定結果がｙｅｓの場合はステップＳ３０２の取り出し動作を実行し、ｎｏの場合はステップＳ３０３の光学検査機供給動作条件の判定処理に進む。ステップＳ３０３では、光学検査機供給動作条件に一致するか否かの判定を行い、判定結果がｙｅｓの場合はステップＳ３０４の光学検査機供給動作を実行し、ｎｏの場合はステップＳ３０５の光学検査機排出動作条件の判定処理に進む。ステップＳ３０５では、光学検査機排出動作条件に一致するか否かの判定を行い、判定結果がｙｅｓの場合はステップＳ３０６の光学検査機排出動作を実行し、ｎｏの場合はステップＳ３０７の検査終了ディスク収納条件の判定処理に進む。ステップＳ３０７では、検査終了ディスク収納条件に一致するか否かの判定を行い、判定結果がｙｅｓの場合はステップＳ３０８の検査終了ディスク収納動作を実行し、ｎｏの場合は何も行わず、搬送動作を終了する。
【００１７】
図４は、図１の搬送ロボットシステムの具体的な構成例を示す図である。未検査ディスク収納部１０３は、未検査ディスク収納カゴ４０２〜４０４及びＡランク専用ディスク収納カセット４０５〜４０９を備えている。未検査ディスク収納カゴ４０２〜４０４は未検査のディスクを約１００枚収納しているカゴであり、未検査ディスク収納カゴ４０２の位置から未検査ディスク収納カゴ４０３の位置へ搬送される。未検査ディスク収納カゴ４０３の位置に搬送された時点で、６軸ロボット４０１は未検査ディスク収納カゴ４０３内の未検査ディスクにアクセスし、取り出し動作を行う。未検査ディスク収納カゴ４０３は、未検査ディスクが全て取り出されたら、未検査ディスク収納カゴ４０４の位置へ移動後、そこから排出される。
【００１８】
Ａランク専用ディスク収納カセット４０５〜４０９は、光学検査機４１０で検査した後、良品と判定されたディスクが収納されるカセットである。これはカセット２個が１セットとして移動し、Ａランク専用ディスク収納カセット４０５の位置からＡランク専用ディスク収納カセット４０６の位置へ、Ａランク専用ディスク収納カセット４０６の位置からＡランク専用ディスク収納カセット４０７の位置へと順次移動していく。Ａランク専用ディスク収納カセット４０７の位置に６軸ロボット４０１がアクセスし、Ａランクディスクを順次収納する。
【００１９】
光学検査機４１０は、未検査ディスク収納カゴ４０３から取り出された未検査ディスクをセットし、ディスクの傷・汚れの検査を行い、検査結果（どのランクのディスクに属するかの情報）を外部の外部制御装置１０２（図４では図示せず）に送信する。６軸ロボット４０１は、未検査ディスク収納カゴ４０３にアクセスして未検査ディスクを取り出し、光学検査機４１０に供給すると共に検査終了後のディスクをＡランク専用ディスク収納カセット４０７に収納して排出するという動作を行う。また、光学検査機４１０の検査の結果、ディスクのランクが決定するので、図１の外部制御装置１０２は、６軸ロボット４０１にこの情報をリアルタイムに供給する。６軸ロボット４０１は、この情報を基にどの収納カセットに検査終了ディスクを収納するのかを演算する。
【００２０】
ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４２８は、人が任意でランクを割当てた収納カセットである。すなわち、ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４２８は、良品以外のＮＧランクのディスクを収納するものである。ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８は、６軸ロボット４０１が検査終了後のディスクを収納するためにアクセスするカセットである。ＮＧランクディスク収納カセット４２１〜４２８は、満杯カセットと空カセットを人為的操作によって交換するためのカセットである。６軸ロボット４０１は、光学検査機４１０の検査結果のランクに応じて、演算を行い、どのＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８に収納するのかを自分で判断し、収納動作を行う。ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８が満杯になった場合、それをＮＧランクディスク収納カセット４２１〜４２８へ移動させる。その後作業者は、ＮＧランクディスク収納カセット４２１〜４２８から満杯カセットを取り出して、新たな空のカセットをセットする。
【００２１】
図５は、図４における６軸ロボット４０１が、検査後ディスクをカセットに収納する動作において、特に検査後のディスクを収納するＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８へ収納する場合のディスク収納カセット優先スケジューリング処理の一例を示すフローチャートである。ステップＳ５０１では、動作開始時、６軸ロボット４０１は、上位通信機器である外部制御装置１０２から各ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８のランクの割当情報を取得する。例えば、ＮＧランクディスク収納カセット４１１にＢランクの割当てがされたとき、ディスク検査の判定がＢランクなら、このＮＧランクディスク収納カセット４１１に収納する。ランクの割当ては、作業者が任意に設定できる。
【００２２】
ステップＳ５０２では、６軸ロボット４０１は、外部制御装置１０２から各ＮＧランクディスク収納カセットがセットされているかどうかの情報を取得する。ＮＧランクディスク収納カセット４１１とＮＧランクディスク収納カセット４２１、ＮＧランクディスク収納カセット４１２とＮＧランクディスク収納カセット４２２というようにそれぞれ対になっているので、いずれか一方にしかカセットが存在しないので、ＮＧランクディスク収納カセットがロボット側すなわち、ＮＧランクディスク収納４１１〜４１８にセットされている場合は、カセットがセットされていると見なし、そのカセットナンバーＮｏ情報を取得する。ステップＳ５０３では、６軸ロボット４０１は、外部制御装置１０２から検査後ディスクのランク情報を取得する。
【００２３】
ステップＳ５０４〜ステップＳ５０７では、ＮＧランクディスク収納カセットを特定するためのナンバーＮｏ．ｉ（変数ｉ＝１〜８）がセットされている場合の処理（ステップＳ５０４）と、セットされていない場合の処理（ステップＳ５０５）をカセットの個数（変数ｉの数）だけループ処理を繰り返す。ＮＧランクディスク収納カセットがセットされていれば、ステップＳ５０５の処理にてランクの優先順位を設定し、セットされていなければ、ステップＳ５０６の処理にてランクの優先順位を外す。
【００２４】
ステップＳ５０８〜ステップＳ５１０では、６軸ロボット４０１は、ランクごとの収納できるカセットＮｏを抽出するステップＳ５０９の処理をカセットの個数（変数ｉの数）だけループ処理を繰り返し、最終的に、どのランクだったらどのカセットに収納すればよいのかを導き出す。これは、ランクごとに優先順位結果の入った配列があり、ランクごとに優先順位の一番高いカセットＮｏだけを抽出し、ＢランクならカセットＮｏ．１、ＣランクならカセットＮｏ．４といったように、ランクごとの収納できるカセットＮｏを抽出する。
【００２５】
図６は、図５におけるＮＧカセットＮｏ．ｉが有る場合の処理（ステップＳ５０５）の動作の詳細を示すフローチャートである。ステップＳ６０１では、６軸ロボット４０１は、動作開始時に各ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８までの各ランクの割当情報を取得し、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉにランクが割当てられているかどうかを判定し、割り当てられている（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ６０２に進み、割り当てられていない（ｎｏ）場合は、このカセットにはディスクを収納することができないので、優先順位無と判断し、処理を終了し、リターンする。
【００２６】
ステップＳ６０２では、６軸ロボット４０１は、各ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８がセットされているかどうかの情報を取得し、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉがセットされ、現在ＮＧカセットＮｏ．ｉに優先順位が入っているかどうかを判定し、入っている（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ６０３に進み、入っていない（ｎｏ）場合は、カセットがセットされていないか、優先順位が入っていないと判断し、処理を終了し、リターンする。
【００２７】
ステップＳ６０３では、６軸ロボット４０１は、ランクの収納カセット可能数に１を足す。収納カセット可能数は、現在特定のランクにどれだけ収納可能のカセットがあるかの個数である。例えば、カセットＮｏ．１とＮｏ．４にはＢランクが割当てられているとして、カセットＮｏ．４がセットされた場合、収納カセット可能数は１となる。さらにカセットＮｏ．１がセットされたら、収納カセット可能数は２となる。この値がそのまま優先順位となる。つまり、この収納カセット可能数の値が「１」に近いほど優先順位が高くなる。
【００２８】
ステップＳ６０４では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉの優先順位格納を行う。これは前の処理で算出した収納カセット可能数が、Ｎｏ．ｉの優先順位の値なので、そのまま代入する。これにより、現在セットされているＮＧレーンのカセットにランクごとの優先順位が設定される。優先順位がない場合は「０」が入る。
【００２９】
図７は、図５におけるＮＧカセットＮｏ．ｉが無い場合の処理（ステップＳ５０６）の動作の詳細を示すフローチャートである。ステップＳ７０１では、６軸ロボット４０１は、動作開始時に各ＮＧランクディスク収納カセット４１１〜４１８までのランクの割当情報を取得し、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉにランクが割当てられているかどうかを確認し、割り当てられている（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ７０２に進み、割り当てられていない（ｎｏ）場合は何もせずに処理を終了し、リターンする。
ステップＳ７０２では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉのディスク収納枚数が例えば２５枚収納済みかどうかを判定し、収納済み（ｙｅｓ）の場合は次のステップＳ７０３に進み、未収納（ｎｏ）の場合は何もせずに処理を終了し、リターンする。
ステップＳ７０３では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉに優先順位が設定されているかどうかを判定し、設定されている（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ７０４に進み、設定されていない（ｎｏ）場合は何もせずに処理を終了し、リターンする。
【００３０】
ステップＳ７０４及びステップＳ７０８では、６軸ロボット４０１は、変数ｊ＝１〜８までの繰り返し処理で、各カセットの優先順位を更新する処理を行う。
ステップＳ７０５では、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｊに割当てられているランク情報とＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉに割当てられているランク情報が等しいかどうかを判定し、等しい（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ７０６に進み、等しくない（ｎｏ）場合は次のカセットＮｏ．ｊに対して同様の比較処理を行う。
ステップＳ７０６では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｊの優先順位の方がＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉの優先順位より高いかどうかを判定し、高い（ｙｅｓ）場合は次のステップＳ７０７に進み、等しいか高くない（ｎｏ）場合は次のカセットＮｏ．ｊに対して同様の比較処理を行う。
ステップＳ７０７では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｊの優先順位を「−１」に設定する。これにより、優先順位が更新される。
ステップＳ７０９では、ステップＳ７０４〜ステップＳ７０８のループ処理終了後に、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉの優先順位を「０」に設定する。これは、カセットＮｏ．ｉがセットされていないため、優先順位を「０」すなわち無にしておくためである。
ステップＳ７１０では、６軸ロボット４０１は、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉに割付けられているランクの収納カセット可能数を「−１」に設定し、リターンする。
【００３１】
図８は、図５におけるランクごとに収納できるカセットＮｏを抽出する処理（ステップＳ５０６）の動作の詳細を示すフローチャートである。ステップＳ８０１及びステップＳ８０４では、６軸ロボット４０１は、変数ｉ＝１〜８までの繰り返し処理を行う。ステップＳ８０２では、６軸ロボット４０１は、動作開始時にＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉの優先順位が「１」か、すなわち優先順位が最も高い順位かどうかを判定し、ｙｅｓの場合は次のステップＳ８０３に進み、ｎｏの場合は何もせずに終了し、リターンする。ステップＳ８０３では、ＮＧレーンのカセットＮｏ．ｉに割当てられているランクのランクごとに収納できる収納カセットとしてこのカセットＮｏ．ｉを格納する。この処理により、最終的なランクごとの収納するカセットＮｏを割り出すことがきる。
【符号の説明】
【００３２】
１０１…搬送ロボット、
１０２…外部制御装置、
１０３…未検査ディスク収納部、
１０４…光学検査機、
１０５…検査終了ディスク収納部、
４０１…６軸ロボット、
４０２〜４０４…未検査ディスク収納カゴ、
４０５〜４０９…Ａランク専用ディスク収納カセット、
４１０…光学検査機、
４１１〜４２８…ＮＧランクディスク収納カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2012254503.tif 000009
【図８】
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