(57)【要約】【課題】  無人搬送車から載置装置へ被載置物を移載するための移載機において、その幅が被載置物の幅に比べて小さい場合、移載中に被載置物を落下させてしまうが、載置装置や被載置物の寸法が種々異なる場合に、移載機の幅が被載置物の幅に比べて小さくならざるをえない事態が生じてしまい、移載中に被載置物を落下させてしまうことがあった。【解決手段】  本発明にかかる移載機の移載テーブルは、補助機構を突出させることにより、その幅を自在に可変できるものである。【選択図】        図３
2012056647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能な搬送車と、載置装置のワーク載置部上との間で被搬送物を移載するための移載機であって、
前記ワーク載置部に伸びる移載アームと、
前記移載アームと接続して、補助機構を有する移載テーブルとを備え、
前記補助機構が突出することにより、
前記移載テーブルの実効幅を増大させることを特徴とする移載機。
【請求項２】
前記補助機構は、前記移載テーブルの両側から突出し、
少なくとも一方の側からは複数が突出することにより、
前記移載テーブルの実効幅を増大させることを特徴とする
請求項１に記載の移載機。
【請求項３】
請求項１または２に記載の移載機を用いることにより、
移動可能な搬送車と、載置装置のワーク載置部上との間で被搬送物を移載するための移載方法であって、
前記移載アームを前記ワーク載置部に伸ばす工程と、
前記補助機構が突出して前記移載テーブルの実効幅を増大させる工程と、
前記補助機構が突出した後に前記被搬送物を前記移載テーブル上に載置する工程と
を備えたことを特徴とする移載方法。
【請求項４】
請求項３に記載の移載方法であって、
前記移載アームを前記ワーク載置部に伸ばした後に、
前記ワーク載置部の干渉物を回避するようにして補助機構が突出することを特徴とする
移載方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の移載機を備えたことを特徴とする無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、載置装置から無人搬送車に載置するためにカセット等の被載置物（ワーク）を移載する移載機と、当該移載機を用いたワークの移載方法に関するもので、特に液晶工場または半導体工場における無人搬送車と載置装置間でのガラス基板またはウエハを収納したカセットの移載方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶工場または半導体工場においては、工程ごとに製造加工装置が離散して配置されているため、ある製造加工装置で処理を終えたガラス基板やウエハを次の工程の製造加工装置に搬送させる必要がある。その際、無人化や搬送効率の向上も考慮して、ガラス基板やウエハを収納したカセット等の被載置物（ワーク）の搬送手段として無人搬送車を用いるのが一般的である。（特許文献１をご参照）
【０００３】
搬送は次のように行なわれる。まず、図９に記載されているように、製造加工装置における載置装置１１のワーク載置部１２上にはカセットである被載置物１３が載っている。そして、無人搬送車１４が載置装置の前にやってきて停止する。無人搬送車１４には移載アーム１５ａと移載テーブル１５ｂとを有する移載機１５が備えられており、この移載機１５は伸び縮みできるようになっている。停止した無人搬送車１４から移載機１５を載置装置１１のワーク載置部１２まで伸ばした後に上昇させると、被載置物１３がワーク載置部１２から直上方向で離れる。そして、移載機１５を縮めることにより、被載置物１３は無人搬送車１４に移載される。
【０００４】
その後は、無人搬送車１４は次の製造工程における製造加工装置の載置装置の前まで行き、移載機１５の伸縮と上下運動により、同様にして被載置物１３を製造加工装置の載置装置に移載する。なお、載置装置１１のワーク載置部１２には移載機１５が進入するために必要なスペースが設けられているが、このスペースの幅は、移載機１５の幅よりも広い箇所を有する必要がある。そうしないと移載機１５がワーク載置部１２に進入できないからである。
【０００５】
ここで、載置装置が製造加工装置ごとに仕様が異なる場合には、無人搬送車の移載機の幅との関係で以下のような問題が生じていた。製造加工装置の中には、移載機が進入するために必要なスペースが狭い場合があり、その場合には移載機の幅も狭くする必要があった。
しかし、移載機の幅が被載置物の幅に比べて小さい場合、移載中に被載置物を落下させてしまうことがあった。また、被載置物の寸法が種々異なる場合にも、移載機の幅が被載置物の幅に比べて小さくなってしまう事態が生じてしまい、移載中に被載置物を落下させてしまうことがあった。
【０００６】
上記の問題を解決するには、幅の異なる移載機を複数本備えておき、適宜選択して使い分けることが考えられるが、機構が複雑になり無人搬送車の重量も重くなってしまうといった問題が生ずることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２２１７８４号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
載置装置の寸法が製造加工装置ごとに異なる場合、もしくは、寸法が種々異なる被載置物を搬送する場合において、無人搬送車が１本の移載機によって被載置物の移載を行なう際には、被載置物の幅と移載機の幅との大小関係によって、被載置物を落下させてしまう問題が生じてしまう。本発明はこのような問題を解決するためのものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる移載機の移載テーブルは、補助機構を突出させることにより、その幅を自在に可変できるものである。また、複数個の突起部を突出／収納させることにより、テーブルの実効的な幅を増減させるものである。さらには、複数個の突起部が突出する際には、載置装置の干渉部と干渉部との間のスペースに突出するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる移載機の移載テーブルは、その幅を可変できるので、載置装置の寸法が製造加工装置ごとに異なる場合、もしくは、寸法が種々異なる被載置物を搬送する場合においても、被載置物の落下を抑制できる。また、複数個の突起部を突出／収納させることにより、テーブルの実効的な幅を増減させるので、アームの重量をさほど増やさずに、寸法が種々異なる被載置物を搬送する場合においても、被載置物の落下を抑制できるという効果を得ることができる。さらには、複数個の突起部が突出する際には、載置装置の干渉部を避けるように突出するので、干渉部と干渉部との間のスペースまで活用できるので、より効率的に被載置物の落下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１にかかる移載機の構成を示す図である。
【図２】実施の形態１にかかる移載機の動作を示した図である。
【図３】実施の形態１による移載機の移載テーブルの幅を変更する方法を説明する図である。
【図４】水平方向に回転する機構を使用した実施の形態１の動作を説明する図である。
【図５】垂直方向に回転する機構を使用した実施の形態１の動作を説明する図である。
【図６】駆動機器を使用しない実施の形態１の動作を説明する図である。
【図７】実施の形態２を使用する必要のあるワーク載置部にローラーコンベヤを有した載置装置の図である。
【図８】実施の形態２を使用した状態を示す図である。
【図９】従来の形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施の形態１．
以下に、図１から図３を用いて、本実施の形態１にかかる移載機について説明する。図１において、１は載置装置、２は載置装置１のワーク載置部、３は載置装置１のワーク載置部２に上に載置される被載置物(ワーク)、４は無人搬送車、５は無人搬送車が有する移載機で５ａの移載アーム、５ｂの移載テーブルを備えている。移載機５においては、移載アーム５ａの伸縮動作と移載機５の昇降動作との組合せにより、無人搬送車４とワーク載置部２との間で被載置物３の受け渡しを行うことができ、これについては図２を用いて説明する。
【００１３】
図２は、図１に示した構成についての動作を示した図である。図２（ａ）において、ワーク載置部２に載置された被載置物３を無人搬送車４が受け取る場合、移載機５はまず被載置物３の下のワーク載置部２まで伸びる。その後、図２（ｂ）に示すように、移載機５は上昇して被載置物３を移載テーブル５ｂに載置する。その後、図２（ｃ）に示すように、移載機５の移載アーム５ａを縮めることにより被載置物３を無人搬送車４の内部に取り込み、さらに図２（ｄ）に示すように移載機５を下降させた後、無人搬送車４の内部で安定するように載置される。無人搬送車４からワーク載置部２に被載置物３を受け渡す場合は、この一連の動作を逆に行うことになる。
【００１４】
図３は、本発明の実施の形態１にかかる移載機を説明するための平面図である。まず、図３（ａ）から説明する。図３（ａ）は、動作としては図２（ａ）に示した状況と同じであり、ワーク載置部２へと移載機５が伸びた状況を示している。すなわち、移載アーム５ａは載置装置１の間にあるワーク載置部２に伸びており、移載テーブル５ｂがワーク載置部２に位置している。なお、ここで、移載テーブル５ｂ内には補助機構６が収納されている。
【００１５】
次に、図３（ｂ）について説明する。図３（ｂ）は、動作としては図２（ａ）と図２（ｂ）との間に相当する状況であり、ワーク載置部２へと移載機５が伸びた後に、移載機５が上昇することにより被載置物３を持ち上げる直前の状況を示している。図３（ａ）では移載テーブル５ｂ内に収納されていた補助機構６が、図３（ｂ）においては移載テーブル５ｂから突出されていることに注目されたい。この補助機構６は、モーターや空圧、油圧などの圧力機器等の駆動機器７を動作させ、電線、パイプ、チューブ等の伝達系統８を介してエネルギーを伝えることにより突出するようになっている。
【００１６】
ここで、図３（ｂ）において、移載に影響する移載テーブル５ｂの幅とは、もともとの幅Ｗに加えて、移載テーブル５ｂの両側で補助機構６が突出している長さを追加したものに相当するため、ここでは区別するために実効幅Ｗｓと呼ぶ。言い換えれば、実効幅Ｗｓとは、移載アーム５ａが伸縮する方向と垂直方向について、移載テーブル５ｂが占める最長の幅ともいえる。したがって、図３（ａ）のように、補助機構６が突出する前においては、実効幅Ｗｓは移載テーブル５ｂの幅Ｗと等しい。本実施の形態１においては、移載テーブル５ｂの外部へ補助機構６を突出させることにより、移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓを増大させることができることとなる。
【００１７】
すなわち、本実施の形態１では、移載機５が上昇し被載置物３を移載テーブル５ｂ上に載せる前に、図３（ｂ）に示すような可動式の補助機構６にて移載テーブル５ｂの実効幅を増大させることを特徴としている。
【００１８】
なお、図３においては、補助機構６を突出させる時期は、移載アーム５ａを伸ばしてワーク載置部２に移載テーブル５ｂを位置させた後、つまり図２（ａ）で示す動作の後としているが、これに限定する必要はない。移載アーム５ａを載置装置１へと伸ばしている最中に補助機構６を突出させてもよく、その場合には、移載アーム５ａを伸ばすための所要時間と補助機構６を突出させるための所要時間とを重複させることができ、被載置物３の移載効率を高めることができる。もちろん、無人搬送車４内のスペースが許すなら、移載アーム５ａを載置装置１へと伸ばし始める前から突出させておいてもよい。
【００１９】
補助機構６を動作させることにより移載テーブル５ｂの実効幅を変えることができるので、たとえばワーク載置部２の幅が狭く被載置物３も小さい場合は、補助機構６を動作させずに移載を行なう一方、ワーク載置部２の幅が広く被載置物３も大きい場合は、補助機構６を動作させて移載テーブル５ｂの実効幅を増大させて、大きな被載置物でも落下させることなく安定して移載できる。すなわち、おのおののワーク載置部２に応じて寸法や重量が種々異なる被載置物３であっても、本実施の形態にかかる移載機を用いることにより落下させることなく安定して受け取ることができるという効果を奏するのである。
【００２０】
また、図３においては、移載テーブル５ｂの片側から補助機構が複数飛び出ているが、所望の被載置物３を移載できるのに充分な長さや幅を有した単一の板状の部材であってもよい。この場合、図３に示すような形態と比べて、補助機構６の重量が重くなってしまうものの、おのおののワーク載置部２に応じて寸法や重量が種々異なる被載置物３であっても安定して受け取ることができるという効果を奏するのは同様である。いいかえれば、図３に示すように、補助機構６を複数設けることにより、移載アーム５ａの重量をさほど増やすことなく同様の効果を奏することができる。
【００２１】
図４と図５とは、本発明の実施の形態１の動作についての別の方式を説明するための図である。補助機構６は、図４のように移載テーブル５ｂのエッヂに設けられた回転軸９ａを支点にして水平方向に回転動作し、移載テーブル５ｂの幅を変更する機構でも良い。なお、ここで、水平方向とは移載テーブル５ｂの上面と平行な面内において水平であるという意味である。また、図５に示すように、回転軸９ｂを支点にして垂直方向に回転動作する方法により補助機構６を突出させても良い。
【００２２】
図６は、本発明の実施の形態１について、駆動機器を使用せずに動作させる方式の一例を説明するための図である。実施の形態１においては、駆動機器７を使用せず、単なる機械部品のみで構成されても良い。図６に示すように複数の部品にて構成されたリンク機構１０を移載テーブル５ｂに設置し、被載置物３を移載テーブル５ｂに載せる際に、被載置物３にてリンク機構１０aを押すことで、連動してリンク機構１０ｂ、１０ｃも押され、それにより補助機構６がスライドし、移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓを増大させることができる。
【００２３】
そして、被載置物３を移載することにより、移載テーブル５ｂから被載置物３が離れたらバネ等の復元機構（図示せず）によりリンク機構１０は元の状態に復帰して、移載テーブル５ｂの幅も元通りの状態に戻る。このように駆動機器７を使用せず、機械的構造のみで実施の形態１を実現することで、より軽量化することができるようになる。
【００２４】
また、補助機構６の突出の長さを可変的に調整する機構を設けてもよい。たとえば、移載機５に、センサ等を設けることによりワーク載置部２の位置関係を認識し、センサの認識結果をフィードバックすることにより補助機構６の突出の具合を微妙に調整して、ワーク載置部２の隙間を最大限に有効に活用させることも可能である。
【００２５】
実施の形態２．
実施の形態２は、載置装置のワーク載置部と干渉することを避けるような形状や配置を補助機構が有することを特徴とするものである。図７、８を用いて、実施の形態２を説明する。まず、図７においては、載置装置１がワーク載置部２にローラーコンベヤ１６等の干渉物を有するような場合について示している。
【００２６】
実施の形態１においては、補助機構６により移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓを変更する際、左右のローラーコンベヤ１６の間の最も狭い隙間であるｘ１の寸法を上限とすることになる。ここで、ｘ１とは、ワーク載置部２における最小の隙間とも言い換えられる。しかし、ローラーコンベヤ１６のあるローラーと隣接するローラーとの間には隙間があり、この隙間も活用することによって、さらなる実効幅Ｗｓの増大を見込むことができる。
【００２７】
図８において、実施の形態２にかかる移載機を示す。図８において、補助機構６は、ローラーコンベヤ１６のあるローラーと隣接するローラーとの隙間に伸びている。これにより、移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓは、左右のローラーコンベヤ１６の間の最も狭い隙間であるｘ１よりも大きい値とすることができる。具体的には、ローラーコンベヤ１６が無いとした場合のワーク載置部２の隙間ｘ２まで上限を広げることができる。このように、ローラーコンベヤ１６の間隔を有効に利用することで、より大きな被載置物３を移載することができるという効果を奏する。また、実施の形態２は、載置装置が有する干渉物がある場合においても、補助機構６が干渉物を避けるように配置することで、被載置物３をより安定して移載テーブル５ｂ上に載せることができる。
【００２８】
次に、図８についての動作を説明する。まず、実施の形態２にかかる移載機においても、図２（ａ）に示すように、移載アーム５ａが載置装置１の方に伸びていき、移載テーブル５ｂがワーク載置部２に位置する。ここで、移載アーム５ａが載置装置１の方に伸びていく間、移載テーブル５ｂの幅は左右のローラーコンベヤ１６の間の隙間であるｘ１よりも小さくなければならない。
【００２９】
その後、図８に示すように、ローラーコンベヤ１６の各ローラーを回避し、かつ、各ローラー間の隙間へと補助機構６を突出させる。このとき、移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓは、ｘ１よりも大きくｘ２よりも小さな値とすることができる。
【００３０】
なお、補助機構６の突出の方法としては、図３や図６で示したように文字通り補助機構６が飛び出すような形で行ってもよい。また、ローラーコンベヤ１６と干渉しなければ、図５に示すような動作であってもよい。ただし、図４に示す動作においてはローラーコンベヤ１６との干渉が生じないように、補助機構６の突出動作エリアを設定する必要がある。
【００３１】
その後、図２（ｂ）に示すように移載機５を上昇させることにより、被載置物３を移載テーブル５ｂに載せる。これ以降は、実施の形態１と同様である。
【００３２】
このように本実施の形態２においては、補助機構６が、ワーク載置部２の干渉物であるローラーコンベヤ１６を回避するような位置になるように動作させた状態を経て、被載置物３を移載テーブル５ｂに載せることを特徴としている。具体的には、移載テーブル５ｂの実効幅Ｗｓを、ワーク載置部２の最小幅ｘ１よりも大きく、かつ、ワーク載置部２の最大幅ｘ２よりも小さくするように補助機構６を突出させる。そして、干渉部と干渉部との間のスペースまで活用できるので、より効率的に被載置物の落下を防止できる。
【符号の説明】
【００３３】
１、１１  載置装置、
２、１２  ワーク載置部、
３、１３  被載置物(ワーク)
４、１４  無人搬送車
５、１５  移載機
５ａ  移載アーム、５ｂ  移載テーブル
６  補助機構
７  駆動機器
８  伝達系統
９  回転軸
１０  リンク機器
１６  ローラーコンベヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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