(57)【要約】【課題】多自由度の超音波モータの薄型化を実現する超音波振動子、及び該超音波振動子を利用した超音波モータを提供すること。【解決手段】複数の駆動方向に被駆動体20を駆動する為の超音波振動子10を、次のように構成する。枠体10fと、枠体10fにより両持支持された複数の梁部を構成する枝部10-A,10-B,10-C,10-Dと、を備える弾性体10と、弾性体10のうち被駆動体20に対向する面に設けられた駆動子A1d,B1d,C1d,D1dと、梁部のうち被駆動体20との対向面に設けられた複数の圧電素子A1,B1,C1,D1と、その裏面に設けられた複数の圧電素子A2,B2,C2,D2と、を具備させる。弾性体10の複数の梁部は、それぞれ互いに異なる駆動方向に対応した方向に延びて互いに交差しており、弾性体10のうち交差に係る部位には、複数の圧電素子A1,B1,C1,D1,A2,B2,C2,D2の伸縮振動により楕円振動が励起される。【選択図】図１
2012120370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の駆動方向に被駆動体を駆動する為の超音波振動子であって、
枠体と、該枠体により両持支持された複数の梁部と、を備える弾性体と、
前記弾性体のうち前記被駆動体に対向する面に設けられた駆動子と、
前記梁部のうち前記被駆動体との対向面及びその裏面に設けられた複数の圧電部と、
を具備し、
前記弾性体の前記複数の梁部は、それぞれ互いに異なる駆動方向に対応した方向に延びて互いに交差しており、
前記弾性体のうち前記交差に係る部位には、前記複数の圧電部の伸縮振動により楕円振動が励起される
ことを特徴とする超音波振動子。
【請求項２】
前記圧電部は、前記梁部のうち前記交差に係る部位の交差点について点対称に配置されており、且つ、前記対向面と前記裏面とで同様の配置態様で配置されている
ことを特徴とする請求項１記載の超音波振動子。
【請求項３】
複数方向に駆動可能に配設された被駆動体と、
枠体と、該枠体により両持支持された複数の梁部と、を備える弾性体と、
前記弾性体のうち前記被駆動体に対向する面に設けられ、前記被駆動体に対して圧接している駆動子と、
前記梁部のうち前記被駆動体との対向面及びその裏面に設けられた複数の圧電部と、
を具備し、
前記弾性体の前記複数の梁部は、それぞれ互いに異なる駆動方向に対応した方向に延びて互いに交差しており、
前記弾性体のうち前記交差に係る部位には、前記複数の圧電部の伸縮振動により楕円振動が励起され、
前記被駆動体は、前記楕円振動を駆動源として、前記駆動子により摩擦駆動される
ことを特徴とする超音波モータ。
【請求項４】
前記圧電部は、前記梁部のうち前記交差に係る部位の交差点について点対称に配置されており、且つ、前記対向面と前記裏面とで同様の配置態様で配置されている
ことを特徴とする請求項３記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧電素子等の振動子を用いた超音波振動子及び超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、圧電素子等の振動子の振動を利用した超音波モータが注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギア無しで低速高推力が得られる点、保持力が高い点、高分解能である点、静粛性に富む点、及び磁気的ノイズを発生させない点等の利点を有している。
【０００３】
具体的には、振動子に所定の交番電圧を印加して楕円振動を励起し、該楕円振動を駆動源として被駆動部材を摩擦駆動するタイプの超音波モータが知られている。このような超音波モータに関連する技術としては、例えば特許文献１に次のような技術が開示されている。
【０００４】
すなわち、特許文献１に開示されている超音波モータは、複数の電極部を有する圧電素子と、振動体と、該振動体と接して回転運動する回転体（被駆動体）と、前記振動体と前記回転体とに加圧を与える加圧部材（押圧機構）と、から成る。そして、前記複数の電極部のうち少なくとも一つの電極部を選択して電圧を印加することにより、前記振動体に励起される屈曲振動の屈曲方向が決定される。このような構成を採ることで、特許文献１に開示されている超音波モータでは、単数の振動体で複数の方向へ駆動することを実現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２９５６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に開示されている技術では、振動体の長手方向における端面側に被駆動体（回転体）及び押圧機構（加圧部材）が配置されている。この為、被駆動体の駆動方向に垂直な方向に長く（寸法が大きく）なってしまう。従って、当該超音波モータの薄型化が非常に困難である。
【０００７】
なお、振動体の上述の長手方向については、駆動に屈曲振動を用いるという制限上、短く構成することは非常に困難である。
本発明は、前記の事情に鑑みて為されたものであり、多自由度の超音波モータの薄型化を実現する超音波振動子、及び該超音波振動子を利用した超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による超音波振動子は、
複数の駆動方向に被駆動体を駆動する為の超音波振動子であって、
枠体と、該枠体により両持支持された複数の梁部と、を備える弾性体と、
前記弾性体のうち前記被駆動体に対向する面に設けられた駆動子と、
前記梁部のうち前記被駆動体との対向面及びその裏面に設けられた複数の圧電部と、
を具備し、
前記弾性体の前記複数の梁部は、それぞれ互いに異なる駆動方向に対応した方向に延びて互いに交差しており、
前記弾性体のうち前記交差に係る部位には、前記複数の圧電部の伸縮振動により楕円振動が励起される
ことを特徴とする。
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明の第２の態様による超音波モータは、
複数方向に駆動可能に配設された被駆動体と、
枠体と、該枠体により両持支持された複数の梁部と、を備える弾性体と、
前記弾性体のうち前記被駆動体に対向する面に設けられ、前記被駆動体に対して圧接している駆動子と、
前記梁部のうち前記被駆動体との対向面及びその裏面に設けられた複数の圧電部と、
を具備し、
前記弾性体の前記複数の梁部は、それぞれ互いに異なる駆動方向に対応した方向に延びて互いに交差しており、
前記弾性体のうち前記交差に係る部位には、前記複数の圧電部の伸縮振動により楕円振動が励起され、
前記被駆動体は、前記楕円振動を駆動源として、前記駆動子により摩擦駆動される
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、多自由度の超音波モータの薄型化を実現する超音波振動子、及び該超音波振動子を利用した超音波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波振動子を適用した超音波モータの一構成例を示す図。
【図２】図１に示す超音波モータの上面図。
【図３】図１に示す超音波モータの下面図。
【図４】図１に示す超音波モータの側面図。
【図５】図２に示すＮ−Ｎ断面の矢視図。
【図６】Ｘ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図。
【図７】図２に示すＭ−Ｍ断面の矢視図。
【図８】Ｚ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図。
【図９】圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号の一例を示す図。
【図１０】圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加する駆動信号の一例を示す図。
【図１１】図２に示すＭ−Ｍ断面の矢視図。
【図１２】Ｙ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図。
【図１３】図２に示すＮ−Ｎ断面の矢視図。
【図１４】Ｚ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る超音波振動子を適用した超音波モータの一構成例を示す図である。図２は、同超音波モータの上面図である。図３は、同超音波モータの下面図である。図４は、同超音波モータの側面図（図２及び図３において矢印Ｅ１で示す方向から観た側面図）である。
【００１３】
本一実施形態に係る超音波モータは、弾性体１０と、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２と、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄと、被駆動体２０と、を具備する。
前記弾性体１０は、枠体１０ｆと、枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄと、を具備する。この弾性体１０の材料としては、例えば真鍮やステンレス等を挙げることができる。
【００１４】
前記枠体１０ｆは、平面視正方形状の外形を呈し（図２及び図３参照）、中央部近傍に中空領域が形成されている枠体である。
前記枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄは、枠体１０ｆの中空領域において十字形状を呈するように連結されている枝部である。
【００１５】
前記圧電素子Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１は、それぞれ各枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄ上面に、例えば接着等により固定された圧電素子である（図２参照）。
前記圧電素子Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２は、それぞれ各枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄ下面に、例えば接着等により固定された圧電素子である（図３参照）。
【００１６】
ここで、圧電素子Ａ１と圧電素子Ａ２とは、枝部１０−Ａの上下面において互いに対応する位置に配設されている。圧電素子Ｂ１と圧電素子Ｂ２とは、枝部１０−Ｂの上下面において互いに対応する位置に配設されている。圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｃ２とは、枝部１０−Ｃの上下面において互いに対応する位置に配設されている。圧電素子Ｄ１と圧電素子Ｄ２とは、枝部１０−Ｄの上下面において互いに対応する位置に配設されている。
【００１７】
換言すれば、前記圧電素子Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２は、枝部１０−Ａと枝部１０−Ｂとから成り枠体１０ｆに両持支持された梁部と、枝部１０−Ｃと枝部１０−Ｄとから成り枠体１０ｆに両持支持された梁部とによって構成される十字部材のうち十字交差に係る部位（十字交差部ＣＲ）の中心点（交差点）について点対称に配置されており、且つ、当該弾性体１０の上面と下面とで同様の配置態様で配置されている。
【００１８】
前記駆動子Ａ１ｄは、枝部１０−Ａ上面の十字交差部ＣＲ近傍において、圧電素子Ａ１に並設された駆動子である。前記駆動子Ｂ１ｄは、枝部１０−Ｂ上面の十字交差部ＣＲ近傍において、圧電素子Ｂ１に並設された駆動子である。前記駆動子Ｃ１ｄは、枝部１０−Ｃ上面の十字交差部ＣＲ近傍において、圧電素子Ｃ１に並設された駆動子である。前記駆動子Ｄ１ｄは、枝部１０−Ｄ上面の十字交差部ＣＲ近傍において、圧電素子Ｄ１に並設された駆動子である。
【００１９】
これら駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄは、一方面がそれぞれ枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄに対して例えば接着等により固定されており、他方面は被駆動体２０に対して接触する。
本一実施形態に係る超音波振動子は、上述の弾性体１０と、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２と、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄと、により構成されている。
【００２０】
ところで、本一実施形態に係る超音波振動子では、三種類の振動モード（十字交差部ＣがＸ方向に振動する“Ｘ方向振動モード”、Ｙ方向に振動する“Ｙ方向振動モード”、及びＺ方向に振動する“Ｚ方向振動モード”）が存在し、それらの固有振動数が略同じ値となるように、弾性体１０の厚さ、枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄの長さ等の各種寸法が設定されている。
【００２１】
詳細は後述するが、前記の各振動モードは各圧電素子が伸縮することで励起され、各振動モードが適宜組み合わせて同時に励起されることで、各駆動子近傍に楕円振動が励起される。
前記被駆動体２０は、弾性体１０の上面側に配設され、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄに対して接触している。この被駆動体２０は、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄによって摩擦駆動される。なお、被駆動体２０と駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄとは、例えば被駆動体２０の自重等により圧接状態となっている。
【００２２】
なお、被駆動体２０は、不図示のガイド機構により、図１乃至図３に示すＸＹ方向に（Ｘ−Ｙ面内で）駆動可能に支持されている。
なお、上述の枠体１０ｆには、その四隅に固定孔１０ｈ１，１０ｈ２，１０ｈ３，１０ｈ４が形成されている。これら固定孔１０ｈ１，１０ｈ２，１０ｈ３，１０ｈ４を利用して、被駆動体２０への駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄの押圧力を更に強める為の不図示の押圧機構（例えばコイルバネ等で押圧しながら螺子締結する機構）を組み付けることも可能である。
【００２３】
以下、本一実施形態に係る超音波モータの一駆動方法例について詳細に説明する。Ｘ−Ｙ面上での被駆動体２０の駆動方法について、Ｘ方向への駆動とＹ方向への駆動とに分けて詳細に説明する。
《Ｘ方向への駆動》
図５は、図２に示すＮ−Ｎ断面の矢視図である。図６は、Ｘ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図である。図７は、図２に示すＭ−Ｍ断面の矢視図である。図８は、Ｚ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図である。図９は、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号の一例を示す図である。図１０は、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加する駆動信号の一例を示す図である。ここで、各々の圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２には、駆動信号として印加する電圧Ｖが正の値のときには伸び変形が生じ、電圧Ｖが負の値のときには縮み変形が生じるものとする。
【００２４】
以下、図５及び図６に示すＸ方向振動モードと、図７及び図８に示すＺ方向振動モードとを利用して、被駆動体２０を駆動する例を説明する。
図９に示すように、圧電素子Ａ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ａ２に印加する駆動信号とを同相に設定し、且つ、圧電素子Ｂ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ｂ２に印加する駆動信号とを同相に設定する。また、圧電素子Ａ１，Ａ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号とが、図９に示すように互いに逆相となるように設定する。
【００２５】
このような駆動信号を圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加することで、図５に示すようにＸ軸方向に配置されている圧電素子Ａ１と圧電素子Ａ２とを同時に伸縮させ、且つ、圧電素子Ｂ１と圧電素子Ｂ２とを圧電素子Ａ１，Ａ２とは逆相に同時に伸縮させる。結果として、図５及び図６において両矢印Ｘで示す方向に、弾性体１０を変形させることができる。
【００２６】
換言すれば、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に上述の駆動信号を印加することで、図５及び図６に示すように十字交差部ＣＲが並進する変形が弾性体１０に生じ、該変形がＸ方向についての加振力となり、Ｘ方向振動モードが励起される。
一方、図９及び図１０に示すように、圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｄ１とには圧電素子Ａ１，Ａ２に印加する駆動信号と同位相の駆動信号を印加し、且つ、圧電素子Ｃ２と圧電素子Ｄ２とには圧電素子Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号と同位相の駆動信号を印加する。
【００２７】
このような駆動信号を圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加することで、図７に示すように圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｃ２とを互いに逆相に伸縮させ、且つ、圧電素子Ｄ１と圧電素子Ｄ２とを互いに逆相に伸縮させることができる。ここで、圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｄ１とについては同相で伸縮させ、且つ、圧電素子Ｃ２と圧電素子Ｄ２とについては同相で伸縮させる。
【００２８】
結果として、図７及び図８において両矢印Ｚで示す方向に、弾性体１０を変形させることができる。これにより、図７及び図８に示すようにＺ軸方向に各枝部が屈曲する変形が生じ、該変形がＺ方向についての加振力となり、Ｚ方向振動モードが励起される。
【００２９】
そして、図５及び図６に示すＸ方向振動モードと、図７及び図８に示すＺ方向振動モードとの位相差（圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加する駆動信号との位相差）を適宜設定することで、十字交差部ＣＲ近傍に、ＸＺ面内の楕円振動が発生し、被駆動体２０をＸ方向に駆動することが可能となる。
【００３０】
詳細には、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１、Ｄ２に印加する駆動信号との位相差を９０度に設定する。これにより、十字交差部ＣＲ近傍にＸＺ面内の楕円振動が発生し、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄによって被駆動体２０をＸ方向に摩擦駆動することができる。
《Ｙ方向への駆動》
図１１は、図２に示すＭ−Ｍ断面の矢視図である。図１２は、Ｙ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図である。図１３は、図２に示すＮ−Ｎ断面の矢視図である。図１４は、Ｚ方向振動モード時の弾性体の変形状態の一例を示す斜視図である。
【００３１】
図１１に示すように、圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｃ２とを同相で伸縮させ、且つ、圧電素子Ｄ１と圧電素子Ｄ２とを同相で伸縮させる。また、圧電素子Ｃ１及び圧電素子Ｃ２と、圧電素子Ｄ１及び圧電素子Ｄ２とが互いに逆相で伸縮するように設定する。
すなわち、圧電素子Ｃ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ｃ２に印加する駆動信号とを同相に設定し、且つ、圧電素子Ｄ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ｄ２に印加する駆動信号とを同相に設定する。そして、圧電素子Ｃ１，Ｃ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｄ１，Ｄ２に印加する駆動信号とについては、互いに逆相となるように設定する。
【００３２】
このような駆動信号を圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加して、図１１に示すように圧電素子Ｃ１と圧電素子Ｃ２とを同時に伸縮させ、且つ、圧電素子Ｄ１と圧電素子Ｄ２とを圧電素子Ｃ１，Ｃ２とは逆相に同時に伸縮させる。結果として、図１１及び図１２において両矢印Ｙで示す方向に、弾性体１０を変形させることができる。
【００３３】
換言すれば、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に上述の駆動信号を印加することで、図１１及び図１２に示すように十字交差部ＣＲが並進する変形が弾性体１０に生じ、該変形がＹ方向についての加振力となり、Ｙ方向振動モードが励起される。
一方、図１３に示すように、圧電素子Ａ１と圧電素子Ａ２とを互いに逆相に伸縮させ、且つ、圧電素子Ｂ１と圧電素子Ｂ２とを互いに逆相に伸縮させる。また、圧電素子Ａ１と圧電素子Ｂ１とが同相となるように、且つ、圧電素子Ａ２と圧電素子Ｂ２とが同相となるように設定する。
【００３４】
すなわち、圧電素子Ａ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ｂ１に印加する駆動信号とを同相に設定し、且つ、圧電素子Ａ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｂ２に印加する駆動信号とを同相に設定する。ここで、圧電素子Ａ１，Ｂ１に印加する駆動信号と、圧電素子Ａ２，Ｂ２に印加する駆動信号とについては、互いに逆相となるように設定する。
【００３５】
このような駆動信号を圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加することで、結果として、図１３及び図１４において両矢印Ｚで示す方向に、弾性体１０を変形させることができる。これにより、図１３及び図１４に示すようにＺ軸方向に各枝部が屈曲する変形が生じ、該変形がＺ方向についての加振力となり、Ｚ方向振動モードが励起される。
【００３６】
換言すれば、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に上述の駆動信号を印加することで、図１４に示すように十字交差部ＣＲが並進する変形が弾性体１０に生じ、該変形がＺ方向についての加振力となり、図１４に示すようなＺ方向振動モードが励起される。
そして、図１１及び図１２に示すＹ方向振動モードと、図１３及び図１４に示すＺ方向振動モードとの位相差（圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２に印加する駆動信号との位相差）を適宜設定することで、十字交差部ＣＲ近傍に、ＹＺ面内の楕円振動が発生し、被駆動体２０をＹ方向に駆動することが可能となる。
【００３７】
詳細には、圧電素子Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２に印加する駆動信号と、圧電素子Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１、Ｄ２に印加する駆動信号との位相差を９０度に設定する。これにより、十字交差部ＣＲ近傍にＹＺ面内の楕円振動が発生し、駆動子Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄによって被駆動体２０をＹ方向に摩擦駆動することができる。
【００３８】
以上説明したように、本一実施形態によれば、多自由度の超音波モータの薄型化を実現する超音波振動子、及び該超音波振動子を利用した超音波モータを提供することができる。
すなわち、８つの圧電素子Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２を上述したように適宜組み合わせて伸縮させることで、被駆動体をＸ方向及びＹ方向に選択的に駆動することができ、非常に簡略な構成で薄型化を実現した多自由度の超音波モータが実現した。
【００３９】
換言すれば、十字形状を呈する部位（枝部１０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄ）を有する弾性体（弾性体１０）の表面及び裏面に、それぞれ圧電素子（Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２）を固着し、これら圧電素子の伸縮の組み合わせにより、当該十字形状における十字交差部位（十字交差部ＣＲ）に楕円振動を発生させる。そして、この楕円振動する十字交差部位に加圧接触させた被駆動体（被駆動体２０）を２自由度に駆動する。このような構成を採ることで、薄型且つ多自由度の超音波モータが実現する。
【００４０】
以上、一実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、種々の変形及び応用が可能なことは勿論である。
例えば、弾性体に設ける枝部の数は４つに限られず、枝部が呈する形状も十字形状でなくともよい。また、枝部に設ける圧電素子の数は８つに限られず、枝部が呈する形状に応じて適宜設ければよい。さらに、駆動子についても、枝部及び圧電素子の配設態様に応じて適宜設ければよい。
【００４１】
さらに、上述した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示した複数の構成要件の適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示す全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【符号の説明】
【００４２】
Ａ１ｄ，Ｂ１ｄ，Ｃ１ｄ，Ｄ１ｄ…駆動子、  Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２…圧電素子、  ＣＲ…十字交差部、  １０…弾性体、  １０ｆ…枠体、  １０−Ａ，１０−Ｂ，１０−Ｃ，１０−Ｄ…枝部、  １０ｈ１，１０ｈ２，１０ｈ３，１０ｈ４…固定孔、  ２０…被駆動体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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