(57)【要約】【課題】  複数のスリット状の開口を持つ蒸着マスクにおいて、隣接するスリット状の開口間の箔が互いに接触して密着し、スリット状開口部が塞がって成膜パターンの不良を引き起こしてしまう。【解決手段】連続して配置された少なくとも３つの前記開口の少なくとも一方の端部を、前記開口の長手方向に互いにずらして配置する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスリット状の開口を有するマスク箔がマスクフレームに固定された蒸着マスクであって、連続して配置された少なくとも３つの前記開口の少なくとも一方の端部は、前記開口の長手方向に互いにずれて配置されていることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項２】
連続して配置された少なくとも３つの前記開口の両端は、前記開口の長手方向に互いにずれて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
【請求項３】
連続して配置された少なくとも３つの前記開口の長さは、互いに異なっていることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスク。
【請求項４】
有機ＥＬ表示パネルの製造方法であって、
基板に駆動回路を形成する工程と、
前記基板に請求項１に記載の蒸着マスクを用いて有機ＥＬ膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
蒸着に用いる蒸着マスクに関する。中でも有機ＥＬ表示装置の作製に使用するスリット状の開口部を有する蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子を用いた表示デバイスの作製時、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の有機化合物層を選択的に成膜するため、金属製のマスク箔に開口部を設けた蒸着マスクが広く用いられている。近年は、表示装置の高解像度化の要求にともない、精細な開口パターンを有するマスク箔を、テンションを加えた状態でフレームに固定した、テンションマスクが主流となっている。
【０００３】
特許文献１には、一般的なスリット状開口パターンの蒸着マスクが開示されている。特許文献１の蒸着マスクは、互いに形状の等しいスリット状の開口が、開口端部の位置を揃えて一定のピッチで複数配置されている。特許文献１の蒸着マスクの場合、成膜前後のマスク搬送や基板とのアライメントなどの工程で蒸着マスクに加わる外力により、複数のスリット状開口間の箔部（以下、リブと称する）が振動して、互いに接触して密着し、開口が塞がってしまうという課題が発生する。蒸着マスクに堆積する蒸着材料の量が増加すると振動が大きくなり、スリット状開口部が塞がる傾向がより増加する。
【０００４】
そこで、特許文献２は、リブの変形を防止するため、スリット状開口の数か所にブリッジを設け、ブリッジによって仕切られた各開口の位置を奇数列と偶数列で食い違うように配列することにより、マスクの変形を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４１７３７２２号
【特許文献２】特開２００３−３３２０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１における蒸着マスクの場合、互いに隣接するリブの形状及び配置が等しいため、搬送等の最に加わる外力によって最終的に互いに等しい定常振動に収束する。定常振動の状態では、互いに隣接するリブの振動の振幅および節の位置が一致する。そのため、定常振動に収束するまでの間に互いに接触し密着してしまったリブは、定常振動で同じ振動を繰り返すため離れることはない。
【０００７】
特許文献２における蒸着マスクはブリッジ形成により振動による箔部分の変形が起こり難いが、ブリッジの位置を考慮して有機化合物層の成膜領域、即ち画素（発光部）の配置を決めなければならない。さらに、ブリッジの分だけ画素を配置することのできる領域が減少するため発光面積が小さくなり、ブリッジを設けない場合に比べて消費電力が増加し、寿命が短くなる恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するため、本発明にかかる蒸着マスクは、複数のスリット状の開口を有するマスク箔がマスクフレームに固定されており、連続して配置された少なくとも３つの前記開口の少なくとも一方の端部は、前記開口の長手方向に互いにずれて配置されていることを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明は有機ＥＬ表示パネルの製造方法であって、基板に駆動回路を形成する工程と、前記蒸着マスクを用いて有機ＥＬ膜を形成する工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる蒸着マスクは、蒸着される領域となる開口を大きく設けることができ、さらに振動によって複数のスリット状開口間の箔部が接触してスリット状開口が塞がるのを防止することができる。従って、本発明にかかる蒸着マスクを用いることにより、発光面積の大きい有機ＥＬ表示パネルを収率よく製造することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明にかかる蒸着マスクおよび実施例１で用いた蒸着マスクを説明する図。
【図２】実施例２で用いた蒸着マスクに設けられた開口を説明する図
【図３】従来の蒸着マスクに設けられた開口を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を用いて本発明にかかる実施形態を説明する。説明に用いる各図面は、実際とは異なる縮尺で描かれている。
【００１３】
図１は、本発明にかかる蒸着マスク１で、一枚の基板から複数の有機ＥＬ表示パネルを作製する際に好適な蒸着マスクの例である。図１（ａ）はマスク箔側から見た斜視図で、蒸着マスク１は、マスク箔２がテンションを加えられた状態でマスクフレーム３に溶接等で固定されている。マスク箔２には、１つの有機ＥＬ表示パネルに対応する領域Ａごとに、有機化合物層を選択的に形成するためのスリット状開口が設けられている。
【００１４】
図１（ｂ）は、領域Ａを拡大した平面図である。領域Ａのそれぞれには、同じ長さ（長手方向の長さ）のスリット状開口４（単に開口と記載することもある）が設けられており、開口４とその隣の開口４との間の箔部を、リブ５と呼ぶ。マスク箔２に加えられるテンションは、開口４の短手方向のテンション成分によってスリット状の開口の端部、即ち開口端部４Ｅが変形しない程度の大きさであることが好ましく、開口の短手方向よりも長手方向に強くなっている。領域Ｂは、有機ＥＬ表示パネルの画像表示領域を示しており、各開口端部４Ｅは画像表示領域の外側に位置するように設けられている。
【００１５】
図１（ｂ）に示したように、連続して配置された少なくとも３つの開口において、それぞれの開口端部４Ｅ−１、４Ｅ−２、４Ｅ−３は、開口４の両端で開口の長手方向に互いにずれて配置されている。このような構造により、外力によってリブ５に生じる定常振動（固有振動）の節の位置を、隣接するリブ５間で互いに異ならせることができる。
【００１６】
一般的なテンションマスクの場合、マスク箔２の厚さよりもリブ５の幅の方が大きいため、リブ５は、他の方向よりもマスク箔２の面の法線方向（重力方向）に大きく振動する。互いに隣接する３つのリブの短手方向に並んだ点Ｘ１、Ｙ１、Ｚ１が、振動によってマスク箔２の面の法線方向に変位する量は、リブ５が最終的に定常振動となるため互いに異なる大きさとなる。すると、Ｘ１とＹ１あるいはＹ１とＺ１とが接触して密着した場合に、Ｘ１とＹ１あるいはＹ１とＺ１とを互いを引き離す力が働くことになる。即ち、Ｘ１とＹ１あるいはＹ１とＺ１が互いに接触して密着することがあっても、最終的にはＸ１とＹ１あるいはＹ１とＺ１とを引き離すことができる。
【００１７】
連続して配置された２つの開口４の開口端部４Ｅ−１、４Ｅ−２の位置だけが互いに異なっている場合の蒸着マスク１の領域Ａを、図３に示す。隣接するリブ５は、間にある開口４に対して互いに対称な形状となり、互いに等しい定常振動に収束するため、隣接するリブ５の隣接点Ｘ２とＹ２のマスク箔２の面の法線方向に変位する量は互いに等しくなる。すると、一旦、外力を受けて互いに接触してしまったＸ２とＹ２は、最終的に互いに等しい定常振動を繰り返すため接触し、密着したまま離れることがない。隣接するリブ５の密着によって開口が塞がれたままの状態の蒸着マスク１を用いて成膜が行われると、基板にはパターン不良の膜が形成されてしまう。全ての開口４の開口端部が同じ位置に配置されている場合も同様である。従って、本発明にかかる蒸着マスクは、連続する少なくとも３つの開口間で、開口端部の位置が互いに異なっている必要がある。
【００１８】
図１（ａ）のように、マスク箔２に設ける複数の開口４の長さＬを互いに等しくした場合、定常振動の節と節の長さｄは、ｄ＝２Ｌ／ｍ（ｍは自然数）となる。もし、開口端部４Ｅのずれ量がλに等しくなると、互いに隣接するリブ５の短手方向に並んだ近接点Ｘ１とＹ１の振動が互いに等しくなってしまう。従って、開口端部４Ｅの位置のずれ量は僅かでも良いが、定常振動の節と節の長さｄの整数倍にならないようにする必要がある。
【００１９】
図１（ｂ）では、開口４の長手方向の長さを等しくしているが、図２のように連続して配置された少なくとも３つの開口４の長手方向の長さを変える場合は、少なくとも一方の開口端部４Ｅの位置が互いに異なっていれば良い。この場合、隣接するリブ５間の定常振動の節と節の長さが異なるため、図１（ａ）と同様に、リブ５が定常振動に収束した時には、Ｘ１とＹ１とＺ１がマスク箔２の面の法線方向に変位する量を互いに異ならせることができる。ただし、一方の開口端部４Ｅの位置だけを異ならせるより、両方の開口端部４Ｅの位置を同じように異ならせる方が好ましい。なぜなら、複数の開口４を、領域Ａの中心に対して点対称、もしくは領域Ａ面内における長手方向に垂直な中心線に対して線対称な形状に配置することができるため、マスク箔の開口４長手方向に均等にテンションを加えることが可能となるからである。
【００２０】
本発明にかかる蒸着マスクは、様々な蒸着に用いることができるが、特に有機ＥＬ表示パネルの製造に好適に用いることができる。
【００２１】
（実施例１）
本実施例では、図１に示した開口を有する蒸着マスク１と、この蒸着マスク１を用いて１枚の基板に３．２インチサイズの有機ＥＬ表示パネルを複数形成する例を説明する。
【００２２】
マスク箔２の厚さを４０μｍ、スリット状の開口４の幅を４０μｍ、開口長さを５５０００μｍ、開口ピッチを１２０μｍとした。開口４は、図１（ｂ）に示すように、開口端部４Ｅを２０μｍずつずらした３本の開口を１セットとして、繰り返し設けた。
【００２３】
次に、１００枚のガラス製の基板に、ＴＦＴからなる駆動回路と下部電極とを形成した。続いて基板を蒸着装置に順次搬送し、図１の蒸着マスク１を用いて、基板に形成された下部電極の上に膜厚４０μｍの有機ＥＬ膜を成膜した。有機ＥＬ膜が形成された基板から順次スパッタ装置に搬送して上部電極を形成し、さらにＣＶＤ装置に搬送して上部電極の上に無機膜からなる保護膜を形成した。有機ＥＬ表示パネルには、公知の構成、公知の材料を採用することができる。
【００２４】
蒸着マスク１を蒸着装置から取り出して開口４を観察したところ、リブ５が接触して開口塞がっている箇所は無かった。また、基板に形成された有機ＥＬ膜のパターンを観察しても、開口部が塞がれた形状のパターンはなく、いずれも蒸着マスクの設けた開口４と同様のパターンが形成されていた。
【００２５】
（実施例２）
本実施例で用いる蒸着マスクを、図２のように、開口の長さが５５０００μｍ、５４９８０μｍ、５４９６０μｍのスリット状の開口４を、開口端部４Ｅの位置を互いに１０μｍずつずらして順に並べて１セットとし、繰り返し設けた点で、実施例１と異なる。
【００２６】
この蒸着マスクを用いて、実施例１と同様にして１００枚の有機ＥＬ表示パネルを形成した。成膜後の蒸着マスクの開口４を観察したところ、リブ５が接触して開口塞がっている箇所は無かった。基板に形成された有機ＥＬ膜のパターンを観察しても、開口部が塞がれた形状のパターンはなく、いずれも蒸着マスクに設けられた開口４と同様のパターンが形成されていた。
【００２７】
（比較例）
開口端部４Ｅの位置を２０μｍずらした２本のスリット状の開口４を１セットとして繰り返し設けた蒸着マスク（図３）を用いた点を除いて、実施例１と同様にして１００枚の有機ＥＬ表示パネルを形成した。
【００２８】
成膜後の蒸着マスクの開口を観察したところ、リブ５が接触して開口４が塞がっている箇所がほぼすべての領域Ａにおいて複数箇所発生していた。また、基板に形成された有機ＥＬ膜のパターンを観察すると、マスク開口部が塞がれた結果、蒸着マスクに設けられた開口４と異なるパターンが形成され、本来形成されるべき所に有機ＥＬ膜が形成されていない不良箇所が見られた。成膜パターンの不良は、成膜開始２０枚目から発生し始め、５０枚目以降はほぼすべての領域Ａにおいて不良が観察された。
【符号の説明】
【００２９】
１  蒸着マスク
２  マスク箔
３  マスクフレーム
４  開口
４Ｅ  開口端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
2012124127.tif 000005