(57)【要約】【課題】需給調整と生産設備能力や資材供給計画などの操業制約を満たすだけではなく、生産工程のスケジュールに影響を与えるプロセス条件面の制約を盛り込んで、製品の高品質を確保しつつ、生産ラインの効率的活用を図る簡便な生産工程スケジューリング方法を提供すること。【解決手段】複数の工程からなる製品の生産計画を作成し、ネットワークを通じて生産計画表を提供する生産工程スケジューリング方法であって、工程の開始時刻を決める条件として、プロセス条件面の制約を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の工程からなる製品の生産計画を作成し、ネットワークを通じて生産計画表を提供する生産工程スケジューリング方法であって、工程の開始時刻を決める条件として、プロセス条件面の制約を含むことを特徴とする生産工程スケジューリング方法。
【請求項２】
前記プロセス条件に、該当工程から次工程までの製品の工程間滞留時間を含むことにより次工程の開始時刻を決めることを特徴とする請求項１に記載の生産工程スケジューリング方法。
【請求項３】
前記プロセス条件に、該当工程にて使用する特定装置の使用可能開始時刻を含むことにより該当工程の開始時刻を決めることを特徴とする請求項１または２に記載の生産工程スケジューリング方法。
【請求項４】
前記生産計画表を自動作成するために、生産管理用コンピュータからの指示に基いてスケジューラサーバを働かせ、各工程の開始予定／実績を一覧表にて提示し、修正可能とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の生産工程スケジューリング方法。
【請求項５】
前記生産工程が、光電変換素子上に入射光を色分解して選択的に取り込むための着色画素を形成してカラー固体撮像デバイスを形成するオンチップカラーフィルタ生産工程であって、前記開始時刻を決める条件を含む該当工程が塗布工程と露光工程のいずれか一方または両方に関することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の生産工程スケジューリング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産ラインにおいて工程間の滞留時間の制約または装置使用上の制約がある場合に、ラインの稼働を円滑に行うための生産工程スケジューリング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や電子部品の製造に関わる生産ラインを始めとして、近年、製造業における多種多様な仕様や製造条件の異なるロットを組み合わせて投入するような複雑な生産形態が多くなってきた。上記の複雑な生産形態に対応して、特許文献１に提案される生産工程スケジューラを利用して、製造装置やオペレータ等のライン上の資源を効率的に割り当てることができるようになった。
【０００３】
また、ほぼ確定した工程フローの確定ロットの他に、研究開発の実験結果を反映させることを想定してライン投入時にはまだ工程フローが確定されていない未確定ロットが存在する場合もある。特許文献２では、上記のように未確定ロットを含む場合に、確定ロットに対しては生産工程スケジューラを用いてその製造スケジュールを自動作成し、未確定ロットに対しては手入力によりその製造スケジュールを手動作成し、この自動作成した製造スケジュールと手動作成した製造スケジュールとを結合し、修正を加えて、全ロットに対する製造スケジュールを完成させる方法が提案された。
【０００４】
さらに、納期の充足など生産に伴う制約条件を満たしながら、同時により少ないオペレータ配置で生産可能な生産工程スケジュールを得ることを可能にする２段階の生産工程スケジューリング方法が提案された（特許文献３参照）。
【０００５】
上記の生産工程スケジューリング方法に関する従来技術は、様々な組み立てラインからなる生産工程に対して、需給調整と生産設備能力や資材供給計画などの操業制約を満たして、装置または人の効率的活用を図るための最適化に対して有効である。しかし、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化物半導体）等の光電変換素子を形成した基板上に入射光を色分解して選択的に取り込むための着色画素を形成してカラー固体撮像デバイスを形成するオンチップカラーフィルタ生産ラインにおいては、フォトリソグラフィー法の工程間の滞留時間や使用する装置固有の性能差が、使用材料の特性に応じて、製品の出来上がり品質に影響を及ぼすことがある。
【０００６】
特に、図２の模式断面図に示すカラー固体撮像デバイス１を製造する例で、光電変換素子３上の各色の着色画素５に対応させて効率良く入射光を取り込むためのマイクロレンズ７を画素上に形成する場合は、その形成工程において、材料レジストの塗布から露光までの滞留時間や露光後現像までの滞留時間が変化すると、使用材料の特性に応じて、マイクロレンズの平面サイズや高さのサブミクロンレベルでの変化が避けられない。しかも、比較的後の工程であるため、不具合が生じた場合のやり直し再生は特に負荷が大きかったり、不可能であったりして、最終製品の製造コストに与える影響も大きい。
【０００７】
従来は、前記カラー固体撮像デバイス用のカラーフィルタ生産ラインのように特別の事情がある場合には、一般的な生産工程スケジューリング方法により生産工程スケジュールを形成した後に、工程間の滞留時間に制約を課したり、塗布や露光の条件出しで使用した装置と同一の装置を各ロットのマイクロレンズを含めた各色毎の同一工程で使用する等の制約を満たすように、手作業により改めてスケジュール修正を行う。修正後のスケジュールを用いて実際の運用を行うことにより、パターン形成されるマイクロレンズ付き画素形状の品質を均一に揃え、カラー固体撮像デバイスを良好な品質の製品として生み出すこと
ができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−３２４６６４号公報
【特許文献２】特開平８−８８１５７号公報
【特許文献３】特開平７−２４４６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述のように、一般の組み立てラインとは異なり、生産工程のスケジュールに影響を与えるプロセス条件を考慮しなければならないパターン形成ラインからなるような生産工程において、例えば、上記の工程間の滞留時間の制約や同一の装置使用の条件等の生産工程のスケジュールに影響を与えるプロセス条件を盛り込んで、生産ラインの効率的活用を図る簡便な方式の生産工程スケジューリング方法は完成されておらず、個別のスケジュール修正に頼って対応していたため、生産工程スケジューリング方法が繁雑で熟練を要するものとなり、スケジューリングに対応する人の制約と時間的負荷が大きかった。
【００１０】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、需給調整と生産設備能力や資材供給計画などの操業制約を満たすだけではなく、生産工程のスケジュールに影響を与えるプロセス条件面の制約を盛り込んで、製品の高品質を確保しつつ、生産ラインの効率的活用を図る簡便な生産工程スケジューリング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、複数の工程からなる製品の生産計画を作成し、ネットワークを通じて生産計画表を提供する生産工程スケジューリング方法であって、工程の開始時刻を決める条件として、プロセス条件面の制約を含むことを特徴とする生産工程スケジューリング方法である。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、前記プロセス条件に、該当工程から次工程までの製品の工程間滞留時間を含むことにより次工程の開始時刻を決めることを特徴とする請求項１に記載の生産工程スケジューリング方法である。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、前記プロセス条件に、該当工程にて使用する特定装置の使用可能開始時刻を含むことにより該当工程の開始時刻を決めることを特徴とする請求項１または２に記載の生産工程スケジューリング方法である。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明は、前記生産計画表を自動作成するために、生産管理用コンピュータからの指示に基いてスケジューラサーバを働かせ、各工程の開始予定／実績を一覧表にて提示し、修正可能とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の生産工程スケジューリング方法である。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、前記生産工程が、光電変換素子上に入射光を色分解して選択的に取り込むための着色画素を形成してカラー固体撮像デバイスを形成するオンチップカラーフィルタ生産工程であって、前記開始時刻を決める条件を含む該当工程が塗布工程と露光工程のいずれか一方または両方に関することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の生産工程スケジューリング方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、プロセス条件面の制約を反映させて関連する工程の開始時刻を決めるように、生産工程をスケジューリングする方法を提供するので、製品の高品質を確保しつつ、生産ラインを効率的に活用することができる。
特に、請求項５によれば、カラー固体撮像デバイス用のカラーフィルタを均一で良好な品質で効率良く安定生産するための生産工程スケジュールを容易に作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の生産工程スケジューリング方法の主な手順を示して説明するためのフロー図である。
【図２】本発明の適用例として、カラー固体撮像デバイスの生産工程を説明するためのカラー固体撮像デバイスの模式断面図である。
【図３】本発明により提供される生産計画表の一例を示す模式図である。
【図４】本発明の生産工程スケジューリング方法の中で、該当工程から次工程までの工程開始時刻の関係を時系列で説明するための概念図である。
【図５】本発明を実行するためのネットワーク連結を説明するためのブロック構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、カラー固体撮像デバイス用のカラーフィルタの生産工程スケジューリング方法を一例として、図面に従って、本発明を実施するための形態について説明する。
【００１９】
カラー固体撮像デバイスは、図２の模式断面図でその一部を拡大して示すように、光電変換素子３が形成された半導体基板２上に、入射光を色分解して選択的な波長範囲の光を取り込むための着色画素５の繰り返し色配列からなるカラーフィルタをフォトリソグラフィー法により製造するものである。前記生産工程は、着色顔料を含む感光性樹脂の塗布、乾燥、パターン露光、現像、の各工程を、例えば赤色（Ｒ）層５１、緑色（Ｇ）層５２、青色（Ｂ）層５３の各色からなる着色画素の配列パターンを繰り返すが、カラーフィルタの色としては、上記のように赤色（Ｒ）、青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）の３色の色層で構成された３原色系、の他に、シアン色（Ｃ）、マゼンタ色（Ｍ）、イエロー色（Ｙ）の３色の色層で構成された補色系が一般的に用いられるが、限定されない。
【００２０】
固体撮像デバイスは、一般に入射する光への感度を向上させることが重要である。一方、撮影した画像の情報量を多くするためには受光部となる光電変換素子３を微細化して高集積化する必要があり、カラー固体撮像デバイスでは、光電変換素子３に対応して配置される着色画素５も高集積化されて一辺が数μｍの微細なパターンとすることが多い。上記のような微細化された固体撮像デバイスの光の入射効率を高めて感度の向上を図るための手段として、光電変換素子に効率良く光を取り込むために、対象物から入射される光を集光して光電変換素子３に導くマイクロレンズ７を形成することが通常行われている。マイクロレンズ７で光を集光して、受光部としての光電変換素子３に導くことで、受光部の見かけ上の開口率（面積）を大きくすることが可能になり、固体撮像デバイスの感度を向上させることが可能になる。本発明の生産工程スケジューリング方法を適用する例として挙げるカラー固体撮像デバイス１においても、上記の理由でマイクロレンズ７を構成に含み、カラーフィルタ部分の生産工程の中で、マイクロレンズ７を形成するために、適正な屈折率を有する透明材料からなる感光性樹脂を用いて、着色画素５の形成工程と同様に、塗布、乾燥、パターン露光、現像、の各工程を含む。なお、上記各工程の区分けは便宜的であって、スケジューリングを実施する上で、工程区切りの新設や統合は自在に行うことができる。
【００２１】
また、上記着色画素５およびマイクロレンズ７の形成に先立って、微細なパターンを形状良く形成するための準備として下地の凹凸を平坦化する目的で、透明平坦化層（下部）
４および透明平坦化層（上部）６を形成することが多い。なお、上記デバイスの電気的接続端子およびデバイス全体を覆う外装部もカラー固体撮像デバイスの構成に含むが、説明を省略し、図示しない。
【００２２】
図１は、本発明の生産工程スケジューリング方法の主な手順を示して説明するためのフロー図であって、需給調整と生産設備能力や資材供給計画などの操業制約を満たして、装置または人の効率的活用を図るための従来の生産工程スケジューラに、図１に示す本発明の手順を組み込んで、プロセス条件面の制約を反映させて関連する工程の開始時刻を決めるように、機能向上を図ることが可能である。また、従来の生産工程スケジューラにより一旦導いた生産計画表を、プロセス条件面の制約に基いて修正するツールとして利用することもできる。すなわち、本発明は、上述のような複数の工程からなる製品の生産計画を作成し、ネットワークを通じて生産計画表を提供する生産工程スケジューリング方法であって、工程の開始時刻を決める条件として、プロセス条件面の制約を含むことを特徴とする生産工程スケジューリング方法である。
【００２３】
複数の工程からなる生産工程において、一般に第ｎ工程の工程開始時刻をＳｎとする。工程開始時刻Ｓｎは、特別のプロセス条件面の制約がなければ、前工程の工程能力により、通常は前の工程から順送りに決められる。なお、時刻とは、年／月／日を含む広範囲の時系列の一点を意味する。
【００２４】
プロセス条件面の制約の一つとして、第ｎ工程で使用する装置が限定されており、該当する装置の使用可能開始時刻Ｍｎが、前述のように仮設定された第ｎ工程の工程開始時刻Ｓｎより早い場合（等しい場合も含める）を、Ｍｎ≦Ｓｎで表すと、上記の関係が成り立つ場合は次の計算手順に進む（Ｈ１）が、Ｍｎ＞Ｓｎ（該当する装置の使用可能開始時刻Ｍｎが仮設定された第ｎ工程の工程開始時刻Ｓｎより遅い場合）では第ｎ工程の工程開始時刻Ｓｎを改めてＭｎに遅らせることを目的として、Ｓｎの時刻として新たにＭｎの時刻を代入する（Ｓ１）。
【００２５】
次に、第ｎ工程の次工程である第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１の決め方について、本発明の生産工程スケジューリング方法の中で、該当工程から次工程までの工程開始時刻の関係を時系列で説明するための概念図である図４に従って別途説明する。
【００２６】
なお、各工程の中での状態の呼称を第ｎ工程を例に述べると、投入可能時刻Ｉｎ、工程開始時刻Ｓｎ、工程終了時刻Ｅｎが時間経過を時刻順に配列した上方右向き矢印で示す時系列直線ｔに沿って並び、工程終了時刻Ｅｎは次の第ｎ＋１工程の投入可能時刻Ｉｎ＋１と同一点を指す。工程投入から工程開始までの太い点線で示した時間は、準備等に必要な間接時間Ａｎであって、Ａｎは０であることも可能である。また、工程開始時刻Ｓｎから工程終了時刻Ｅｎに至る太い実線の区間が実稼働時間であり、投入ロット枚数がＸの時、工程の単位処理時間をａｎとすると、一般に実稼働時間はａｎＸに等しい。
【００２７】
次の第ｎ＋１工程に相当する次工程開始時刻Ｓｎ＋１の決め方は、図４に示すとおり、（ａ）（ｂ）（ｃ）の３通りが可能である。すなわち、（ａ）は、本発明で考慮すべきプロセス条件面の制約を結果的に受けない場合であって、投入可能時刻Ｉｎ＋１に間接時間Ａｎ＋１（太い点線）を加えたＳｎ＋１をそのまま工程開始時刻として設定できる。また、（ｂ）は、プロセス条件面の制約の一つとしての工程滞留時間の下限値がＴｎ（太い破線）と設定される場合は最速でも、ＳｎからＴｎの滞留時間を経過した後に、第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓ’ｎ＋１を設定できる。但しＴｎの設定時間がａｎＸ＋Ａｎ＋１より小さい場合は、後述のように後者が律速となり、上記（ａ）の場合と同じ結果になることは容易に判る。最後に（ｃ）は、第ｎ＋１工程で使用予定の装置の使用可能開始時刻Ｍｎ＋１が前述の（ａ）（ｂ）で仮設定された第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１やＳ’ｎ
＋１より早い場合を、Ｍｎ＋１≦Ｓｎ＋１で表すと、上記の関係が成り立つ場合はＳｎ＋１を変える必要はない。しかし、Ｍｎ＋１＞Ｓｎ＋１（該当する装置の使用可能開始時刻Ｍｎ＋１が仮設定された第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１より遅い場合）では、第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１を改めてＭｎ＋１に遅らせるために、Ｓｎ＋１の時刻としてＭｎ＋１の時刻を設定し直す必要がある。
【００２８】
上記の説明に基き、図１のフロー図に戻って本発明の生産工程スケジューリング方法の主な手順を辿る。第ｎ工程の工程開始時刻Ｓｎを確定させた後、工程滞留時間Ｔｎの指定が該当する工程でなされるかを確認する（Ｈ２）。指定がある場合には、Ｔｎが下限値を指示しているかどうかを問い（Ｈ３）、下限値の場合には、Ｔｎ≧ａｎＸ＋Ａｎ＋１を判定し（Ｈ４）、いずれも肯定される場合には、Ｓｎ＋１＝Ｓｎ＋Ｔｎと設定する（Ｓ２）。また、Ｈ２でＴｎの指定がなされない場合や、Ｔｎ≧ａｎＸ＋Ａｎ＋１が否定される場合は、次工程の開始時刻に工程滞留時間Ｔｎを反映させる必要はなく、Ｓｎ＋１＝Ｓｎ＋ａｎＸ＋Ａｎ＋１と設定する（Ｓ４）。さらに、Ｈ３において、Ｔｎが下限値でない場合は、通常はＴｎ≧ａｎＸ＋Ａｎ＋１を満たす（Ｈ５）ので、Ｓｎ＋１＝Ｓｎ＋ａｎＸ＋Ａｎ＋１と設定する（Ｓ４）。Ｈ５において万一、Ｔｎ＜ａｎＸ＋Ａｎ＋１となる場合には、Ｔｎは上限値として意味を成さないことになり、工程能力からもこのままのＴｎの設定値で遂行することができない。従って、Ｔｎの設定ミスを修正するか、間接時間も含めた工程能力を見直すかの何らかの条件異常処理を行うことが求められる（Ｓ３）。その上で、Ｓｎ＋１＝Ｓｎ＋ａｎＸ＋Ａｎ＋１と設定する（Ｓ４）。
【００２９】
次に、第ｎ＋１工程で使用する装置が限定されており、該当する装置の使用可能開始時刻Ｍｎ＋１が前述のように仮設定された第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１より早い場合を、Ｍｎ＋１≦Ｓｎ＋１で表すと、上記の関係が成り立つ場合（Ｈ６）は、適用している範囲の手順を終了する。一方、Ｍｎ＋１＞Ｓｎ＋１の場合（次工程で使用する装置の使用可能開始時刻Ｍｎ＋１が仮設定された第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１より遅い場合）では第ｎ＋１工程の工程開始時刻Ｓｎ＋１を改めてＭｎ＋１に遅らせるために、Ｓｎ＋１の時刻としてＭｎ＋１の時刻を代入して（Ｓ５）適用している範囲の手順を終了する。
【００３０】
本発明を適用する具体的な例として、前記フォトリソグラフィー法を用いてカラー固体撮像デバイスを形成するオンチップカラーフィルタの生産工程の場合について述べる。上記第ｎ工程がレジスト塗布工程であったり、パターン露光工程であり、特に前述のように、平面サイズや高さのサブミクロンレベルでの変化を避けたいマイクロレンズの形成工程における場合には、工程滞留時間Ｔｎが、塗布から露光までの滞留時間と露光から現像までの滞留時間のいずれか一方または両方に相当し、使用開始可能時刻Ｍｎが、特定使用したい塗布装置や露光装置のいずれか一方または両方の使用開始可能時刻に相当する。
【００３１】
通常は、上記の工程滞留時間に関して、塗布から露光までの滞留時間は１〜３時間程度を下限値とし、露光から現像までの滞留時間は１２時間程度を上限値とすることが多い。具体的な設定数値はレジストの加工特性に基いて経験的に決めることができる。また、塗布装置や露光装置において、使用する装置固有の性能差に特に注目するのは、数ロットの処理を連続して行う同一グループに属する製品群であって、これらのグループ内では、製品の性能検査を代表する１ロットにて行うため、グループ内では特定した装置を使うことを原則とし、代替装置使用の場合の製品の性能差を同一グループ内から排除することができる。
【００３２】
なお、例外的なトラブル等により、次工程の限定使用装置の使用開始可能時刻Ｍｎ＋１が大幅に延長される場合には、該当工程から次工程までの滞留時間の上限を超えないことをチェックする必要が生じる。上記のような特殊状態では、本発明のフローから外れた運
用も必要になるが、例えば、図１のＨ５の判定をＮｏとするように、次工程の間接時間であるＡｎ＋１をトラブルによる影響時間を見込んだ大きい値に再入力して、条件異常処理（Ｓ３）に導くことにより、トラブルから一定時間経過した後の手作業により自動運用と連動させることも可能である。
【００３３】
次に、本発明を実施するためのシステム構成について述べる。図５は、本発明を実行するためのネットワーク連結を説明するためのブロック構成図である。
本発明の方法により生産工程のスケジューリングを行い、その結果を生産計画表として自動作成するために、生産管理用コンピュータ３１からの指示に基いてスケジューラサーバ３２を働かせ、各工程の開始予定／実績を一覧表にて提示し、修正可能とすることができる。
【００３４】
生産管理用コンピュータ３１は、ネットワーク３４による通信により、スケジューラサーバ３２への指示のための入力と、スケジューリング結果としての生産計画表ないしはその途中段階の各工程の開始予定／実績の一覧表を出力することができる。複数台のコンピュータを適宜配置することにより、生産ライン内の複数箇所から、また、生産管理のための集中管理室等からのアクセスが可能である。
【００３５】
スケジューラサーバ３２は、別に設けたデータベースサーバ３３とのネットワーク３４による通信により、製品ロットに関するＩＤ情報や品名、納期、に加えて、工程と人員の配置に関する情報や工程条件等の諸情報を適宜集めることができ、各種情報を用いて、スケジューラとして組み込まれた従来のプログラムおよび本発明の新たに組み込まれた追加プログラムに従って、スケジューリングを実行する。また、生産管理用コンピュータ３１からの実績値および修正データの入力を受け入れることができる。結果の出力は前述のように生産管理用コンピュータ３１に送出するとともに、必要に応じて、データベースサーバ３３にもフィードバックすることができる。
【００３６】
ネットワーク３４は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）等の回線によるものが一般に利用できるが、ＬＡＮに限定されず、公衆回線を含む各種回線を利用でき、接続された要素間で相互に通信可能な構成とする。
【００３７】
図３は、本発明により提供される生産計画表の一例を示す模式図である。
生産計画表は、ロット番号毎に時系列の工程線表で表示し、あるロットが特定の工程に投入される日時を一覧できる形態のものが使われる。表示例以外に、複数のロットを組み合わせてグループ構成とし、各グループの第一ロットを、グループを代表して特性検査の対象として、そのロットのみ検査工程を別に設けることも可能である。また、図示する生産計画表と同様の形態で、スケジューリングの途中段階の各工程の開始予定／実績の一覧表として表示し、修正を行うためのツールとして使うことができる。
【００３８】
なお、本発明は、必要に応じて各工程の稼働状態を監視する機構を追加して、前記ネットワーク３４により、スケジューラサーバ３２に接続することにより、稼働実績を直接入力して、スケジューリングの予定と修正予定が実際にどのように実行されたかをチェックし、工程のトラブル等による遅延異常に対しても早急な対応を取れるようなシステムで運用することが可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・・カラー固体撮像デバイス
２・・・・半導体基板
３・・・・光電変換素子
４・・・・透明平坦化層（下部）
５・・・・着色画素
６・・・・透明平坦化層（上部）
７・・・・マイクロレンズ
３１・・・生産管理用コンピュータ
３２・・・スケジューラサーバ
３３・・・データベースサーバ
３４・・・ネットワーク
５１・・・赤色（Ｒ）層
５２・・・緑色（Ｇ）層
５３・・・青色（Ｂ）層
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図２】
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【図５】
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