(57)【要約】【課題】簡単な機構で、測定中の作業性の低下を防ぐことができる測定装置を提供すること。【解決手段】測定の対象である測定対象物を保持して二次元に移動可能なステージと、前記ステージの位置を検出する検出手段と、手動操作により前記ステージを駆動するための軸部材と、前記軸部材の軸方向に延在し、手動により姿勢変更可能な手動駆動力の伝達部材と、前記伝達部材の姿勢に応じて、前記測定を制御する制御信号を発生する制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする測定装置。【選択図】図４
2012118127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定の対象である測定対象物を保持して二次元に移動可能なステージと、
前記ステージの位置を検出する検出手段と、
手動操作により前記ステージを駆動するための軸部材と、
前記軸部材の軸方向に延在し、手動により姿勢変更可能な手動駆動力の伝達部材と、
前記伝達部材の姿勢に応じて、前記測定を制御する制御信号を発生する制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記測定の情報を表示する表示部を更に備え、
前記表示部は、測定者が前記手動操作を行いながら目視可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記手動操作は、前記軸部材の端部に設けられたハンドルの回転操作であり、前記伝達部材は、前記軸部材の軸方向に移動することで前記制御信号発生手段を作動させることを特徴とする請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記軸部材は軸方向に貫通する中空部を備え、前記伝達部材は該中空部に配置されていることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項５】
前記軸部材は、前記ステージの二次元の移動方向に応じて２つ設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項６】
前記制御信号発生手段は押しボタンスイッチであることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学測定装置である測定顕微鏡や投影機における測定方法の一つとして、図９に示す測定顕微鏡のように、ステージ３０４のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を検出可能なエンコーダ３１６を備えた手動のステージ３０４と、エンコーダ３１６の座標をカウントするカウンタ３１９と、カウンタ３１９のカウント量を表示する表示手段３２２とを用いて、ステージ３０４の移動量からステージ上の物体の寸法を求めるものがある。このような手動のステージ３０４は、例えば特許文献１に示すような送り機構によってステージをＸ軸方向およびＹ軸方向へ移動している。
【０００３】
このような測定顕微鏡において、物体の互いに平行な２辺間の距離（長さ）を測定する場合、具体的には図１０に示すような手順で測定を行っていた。まず、寸法測定したい物体をステージ上に置き、観察光学系の焦点を合わせる。その上で、手順１．物体の一辺がテンプレートの十字線と平行になるように当該物体の位置を合わせる。手順２．カウンタのリセットスイッチをＸ軸、Ｙ軸とも押して、カウンタの表示をゼロにリセットする。手順３．ステージのＸ軸ハンドルおよびＹ軸ハンドルを操作してステージを移動させ、物体のもう一辺を十字線に合わせる。手順４．このときにカウンタに表示されている値が２辺間の距離の測定値となる。
【０００４】
これと同様の測定を、測定データの記憶機能や測定コードの選択機能を有するデータ処理装置を備えた測定顕微鏡のＳＥＮＤボタン（ピッチの間隔等を連続して測定するときに、直前の測定結果の座標をゼロにリセットせずに次の測定点に送るためのボタン）を用いて行う場合は、データ処理装置の測定コードキーを操作して測定したい形状（この場合２点間の距離）を選択した後、上記２．の段階でＳＥＮＤボタンを押し、さらに４．の段階でＳＥＮＤボタンを押すことで２点間の距離が算出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２７７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
測定中にこのようなリセットボタンやＳＥＮＤボタンを押すためには、測定者はステージのハンドルから一旦手を離し、これらのボタンを押す操作を行わなければならない。このとき、ボタンの位置を目視で確認するために接眼レンズから目を離す場合もある。そのため、測定の作業性が落ちてしまうという問題がある。作業性を低下させないように、例えば図１１に示すように、ハンドルの近傍にリセットボタンを設けたものもあるが、ハンドルから手を離さなければならないということに変わりはない。
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、簡単な機構で、測定中の作業性の低下を防ぐことができる測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る測定装置は、測定の対象である測定対象物を保持して二次元に移動可能なステージと、前記ステージの位置を検出する検出手段と、手動操作により前記ステージを駆動するための軸部材と、前記軸部材の軸方向に延在し、手動により姿勢変更可能な手動駆動力の伝達部材と、前記伝達部材の姿勢に応じて、前記測定を制御する制御信号を発生する制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、簡単な機構で、測定中の作業性の低下を防ぐことができる測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態に係る光学測定装置の外観図である。
【図２】第１実施形態に係る光学測定装置のステージの要部を示す斜視図である。
【図３】図３は、測定者側から見た駆動機構の構成を示す図である。
【図４】（ａ）は、駆動機構の左方側端部近傍の拡大図であり、（ｂ）は、駆動機構の右方側端部近傍の拡大図である。
【図５】第２実施形態に係る測定顕微鏡の駆動機構の構成を示す図である。
【図６】（ａ）は、第２実施形態に係る駆動機構の左方側端部近傍の拡大図であり、（ｂ）は、ハンドル側から見たスイッチ部の拡大図である。
【図７】第３実施形態に係る駆動機構の右方側端部近傍の拡大図である。
【図８】ハンドル側から見たスイッチ部の拡大図である。
【図９】従来の測定顕微鏡の外観図である。
【図１０】従来の測定顕微鏡の測定手順を示す図である。
【図１１】従来の測定顕微鏡において、ハンドルの近傍に設けられたリセットボタンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本明細書においては、特に断らない限り、前後および左右方向は、測定者が光学測定装置に向かって通常に測定する状態で、測定者から見た方向をいう。また、Ｘ軸方向は測定者から見て左右方向のことをいい、Ｙ軸方向は測定者から見て前後方向のことをいう。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る光学測定装置の外観図である。また、図２は、第１実施形態に係る光学測定装置のステージの要部を示す斜視図である。
【００１２】
本実施形態に係る光学測定装置は測定顕微鏡である。測定顕微鏡１は測定の対象となる物体（図示省略）を載置し、二次元すなわちＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な手動のステージ４と、ステージ４上の物体を観察するための観察光学系７と、物体を照明するための照明光学系１０とを備えている。ステージ４は、Ｘ軸方向に対応したハンドル１３ａおよびＹ軸方向に対応したハンドル１３ｂを操作することでＸ軸方向およびＹ軸方向へ移動させることができる。観察光学系７および照明光学系１０は、物体の通常の観察および撮像に必要な装備を備えているが、本願においては詳細な説明は省略する。ステージ４にはＸ軸方向に沿ってリニアエンコーダ１６ａが備えられ、さらにＹ軸方向に沿ってリニアエンコーダ１６ｂが備えられており、ステージ４の現在の位置が検出可能となっている。また、測定顕微鏡１は、リニアエンコーダ１６ａ、１６ｂの座標をカウントするカウンタ１９と、カウンタ１９のカウント量を表示する表示部２２とを備え、測定者は表示部２２を見ながらステージ４を移動させ、ステージ４の移動量からステージ４上の物体の寸法を求めることができるようになっている。
【００１３】
例えば、物体の互いに平行な２辺間の距離（長さ）を測定する場合、具体的には次のような手順で測定を行う。まず、寸法測定したい物体をステージ４の上に置き、観察光学系７の焦点を当該物体に合わせる。その上で、手順１．物体の一辺がテンプレート（図示省略）の十字線と平行になるように当該物体の位置を合わせる。手順２．リセットスイッチをＸ軸、Ｙ軸とも押して、カウンタ１９の表示をゼロにリセットする。手順３．ステージ４のＸ軸ハンドル１３ａおよびＹ軸ハンドル１３ｂを操作してステージ４を移動させ、物体のもう一辺を十字線に合わせる。４．このときにカウンタ１９の表示部２２に表示されている値が２辺間の距離の測定値となる。
【００１４】
本実施形態は、このようなボタン操作、すなわちＸ軸およびＹ軸のリセット操作を測定の作業性を低下させずに行うことができるように構成されている。以下、ステージ４の構成も含めて詳細に説明する。
【００１５】
図２に示すように、ステージ４は、測定顕微鏡１の本体に固定される最も下部の下板２５と、下板２５の上に配設された中間板２８と、中間板２８の上に配設された上板３１とを備えている。中間板２８は、中間板２８と下板２５との間に設けられたガイド３４ａを介して、下板２５に対してＸ軸方向に移動可能となっている。上板３１は、上板３１と中間板２８との間に設けられたガイド３４ｂを介して、中間板２８に対してＹ軸方向に移動可能となっている。測定の対象となる物体は上板３１に載置される。中間板２８の測定者側の側面には中間板２８をＸ軸方向に移動するための駆動機構３７ａが設けられている。また、測定者側から見て上板３１の左側面には、上板３１をＹ軸方向に移動するための駆動機構３７ｂが設けられている。さらに、ステージ４には上板３１の下板２５に対するＸ軸方向の相対位置を検出するリニアエンコーダ１６ａおよびＹ軸方向の相対位置を検出するリニアエンコーダ１６ｂが備えられている。ステージ４と、駆動機構３７ａ、３７ｂと、リニアエンコーダ１６ａ、１６ｂと、カウンタ１９と、表示部２２とで載物機構を構成している。このような構成なので、ステージ４は、下板２５を基準として中間板２８がＸ軸方向にスライド移動し、さらに中間板２８を基準として上板３１がＹ軸方向にスライド移動する。そしてリニアエンコーダ１６ａ、１６ｂにより、上板３１の下板２５に対する相対位置を検出することができるようになっている。
【００１６】
図３は、測定者側から見た駆動機構３７ａの構成を示す図である。図４（ａ）は駆動機構３７ａの左方側端部近傍の拡大図であり、図４（ｂ）は駆動機構３７ａの右方側端部近傍の拡大図である。
【００１７】
駆動機構３７ａは、中間板２８の測定者側の側面の右端近傍および左端近傍にそれぞれ測定者側に突出して設けられたねじ支持部４０ａ、４０ｂと、これらのねじ支持部４０ａ、４０ｂにそれぞれ設けられたベアリング（図示省略）と、Ｘ軸方向に延在し、当該ベアリング（図示省略）を介してねじ支持部４０ａ、４０ｂに対して回転自在に支持された軸部材である送りねじ４３とを備えている。ねじ支持部４０ａ、４０ｂと送りねじ４３とは保護カバー４６に覆われている。保護カバー４６は中間板２８の測定者側の側面に固定されている。送りねじ４３は中空に構成されている。送りねじ４３の右端は保護カバー４６の右側端面から突出し、送りねじ４３を回転操作するための円形のハンドル１３ａが一体に取り付けられている。
【００１８】
送りねじ４３の中間部には、一対の直方体形状のハーフナット４９、４９が送りねじ４３の両側から送りねじ４３を挟むように対向して設けられている。一対のハーフナット４９、４９の互いに対向する側の面には、それぞれ断面が半円状の凹溝（図示省略）が送りねじ４３と平行に設けられ、凹溝には雌ねじ（図示省略）が形成されている。一対のハーフナット４９、４９はバネ等の弾性部材で閉じる方向に付勢されており、これにより送りねじ４３を挟持している。一対のハーフナット４９、４９が送りねじ４３を挟持している状態では、一対のハーフナット４９、４９の雌ねじと送りねじ４３とは螺合している。一対のハーフナット４９、４９はブロック部材５２に支持され、ブロック部材５２は下板２５に固定されている。このような構成により、ハンドル１３ａを回転させると送りねじ４３が回転し、送りねじ４３と一対のハーフナット４９、４９との螺合により、中間板２８は下板２５に対してＸ軸方向に移動し、中間板２８と一体に上板３１もＸ軸方向に移動する。一対のハーフナット４９、４９が送りねじ４３を挟持している状態においては、ハンドル１３ａを回転させることによりステージ４をＸ軸方向に微動移動させることができる。
【００１９】
一対のハーフナット４９、４９はそれぞれ図示しないカム駆動部と係合している。レバー５３を操作することによって該カム駆動部を駆動させ、これにより一対のハーフナット４９、４９を開く方向に駆動し、送りねじ４３の挟持を解くことができるようになっている。送りねじ４３の挟持を解くと、一対のハーフナット４９、４９と送りねじ４３との螺合も解除される。一対のハーフナット４９、４９と送りねじ４３との螺合が解除されている状態においては、ステージ４はＸ軸方向に大きく移動、すなわち粗動移動させることができる。
【００２０】
Ｙ軸方向に対応する駆動機構３７ｂも駆動機構３７ａと同様の構成である。駆動機構３７ｂにあっては、送りねじ（図示省略）を支持するねじ支持部（図示省略）は測定者から見て上板３１の左側面に設けられ、ハーフナット（図示省略）を支持するブロック部材（図示省略）は中間板２８に固定されている。このような構成の駆動機構３７ａと駆動機構３７ｂとを用いて、ステージ４をＸ軸方向およびＹ軸方向に粗動移動あるいは微動移動させ、所望の位置に移動させることができるようになっている。
【００２１】
本実施形態においては、中間板２８の測定者側の側面の左端近傍には、測定者側に突出してスイッチ支持部５５が設けられている。スイッチ支持部５５は左側のねじ支持部４０ｂよりも左方に位置し、さらに送りねじ４３の左端よりも左方に位置している。スイッチ支持部５５の右側の面、すなわち送りねじ４３を支持している左側のねじ支持部４０ｂに対向する面には、カウンタ１９のＸ座標をゼロにリセットするための押しボタンスイッチ５８が設けられている。押しボタンスイッチ５８は測定者側から見て左方向に押すように設けられており、左方向に押されると、カウンタ１９のＸ座標をゼロにリセットする電気信号（制御信号）が流れる。押しボタンスイッチ５８には復帰用ばね（図示省略）が内蔵されており、左方向に押された押しボタンスイッチ５８は、左方向に押す力を解除すると自動的に右方向に戻るようになっている。
【００２２】
本実施形態では、送りねじ４３の中空部にはシャフト６１が貫通して配設され、シャフト６１の両端部は送りねじ４３の左右の端部からそれぞれ左方向および右方向に突出している。シャフト６１は送りねじ４３の軸方向と同方向に延在して配設されている。シャフト６１の右端部はさらにハンドル１３ａの中心部に設けられた孔（図示省略）を貫通してハンドル１３ａの右側に突出している。シャフト６１の右方側は、ハンドル１３ａの孔によって左右方向に移動可能に支持されている。シャフト６１の右端部にはフランジ部６４ａが形成されている。したがってハンドル１３ａとフランジ部６４ａとは同軸であり、ハンドル１３ａの右側の面とフランジ部６４ａの左側の面とは対向している。シャフト６１の左方側は、中間板２８の測定者側の側面に設けられたシャフト支持部６７にブッシュ等の軸受けを介して左右方向に移動可能に支持されている。なお、シャフト６１の左方側は、送りねじ４３の内径側に支持しても良い。シャフト６１はこのように支持されているので、送りねじ４３の中空部を左右方向に移動可能となっている。シャフト６１の右端のフランジ部６４ａはシャフト６１を左右方向に移動させるための操作部となっている。なお、シャフト６１は送りねじ４３と共に回転するようにしても良いし、回転しないようにしても良い。
【００２３】
ハンドル１３ａの右側の面とフランジ部６４ａの左側の面との間には複数の圧縮バネ７０、７０が介装されている。フランジ部６４ａに測定者側から見て左方向の力を加えない状態であれば、これらの圧縮バネ７０、７０は自由長に伸びた状態となっている。シャフト６１の左端部は押しボタンスイッチ５８と対向しており、フランジ部６４ａを左方向に押すとシャフト６１が送りねじ４３の中空部を左方向に移動して、押しボタンスイッチ５８を押すようになっている。言い換えると、フランジ部６４ａに加えられた力がシャフト６１の姿勢が変化することによって直線運動として伝達され、押しボタンスイッチ５８を押す。このとき、ハンドル１３ａとフランジ部６４ａとの間の圧縮バネ７０、７０が縮み、ハンドル１３ａとフランジ部６４とは互いに離れる方向に付勢される。フランジ部６４ａを左方向に押す力を解除すると、左方向に移動していたシャフト６１は、ハンドル１３ａとフランジ部６４ａとの間に介装された圧縮バネ７０、７０が元の長さに戻るので、これに伴い右方向に戻る。つまり元の姿勢に戻る。シャフト６１が右方向に戻ると、押しボタンスイッチ５８を左方向に押す力が解除され、押しボタンスイッチ５８に内蔵された復帰バネにより、押しボタンスイッチ５８も右方向に戻り、スイッチの状態はオフとなる。
【００２４】
駆動機構３７ｂも同様の構成であり、送りねじ（図示省略）の中空部に配設されたシャフト（図示省略）を、フランジ部６４ｂを測定者側から見て前方へ押すことにより移動させ、押しボタンスイッチ（図示省略）を押すようになっている。駆動機構３７ｂに設けられた押しボタンスイッチは、カウンタのＹ軸のリセットボタンである。
【００２５】
第１実施形態はこのような構成となっているので、測定者は右手でハンドル１３ａを回転操作してステージ４をＸ軸方向に移動し、カウンタのＸ軸をリセットするための押しボタンスイッチ５８を押すときは、ハンドル１３ａから手を離さずに右手の手の平でフランジ部６４ａを左方向に押すことにより、押しボタンスイッチ５８を押すことができる。同様に、左手でハンドル１３ｂを回転操作してステージ４をＹ軸方向に移動し、カウンタのＹ軸をリセットするためのボタンを押すときは、ハンドル１３ｂから手を離さずに左手の手の平でフランジ部６４ｂを前方向に押すことにより、ボタンを押すことができる。その結果、リセットボタンを押すためにハンドル１３ｂから手を離す必要がなくなり、測定の作業性が低下することがない。
【００２６】
なお、本実施形態では、各駆動機構に押しボタンスイッチを１つ設けているので、例えば駆動機構３７ａにおいては１つの機能（カウンタのＸ軸のリセット）を作動させることができるが、押しボタンスイッチを多段階の押しボタンスイッチとし、当該多段階の押しボタンスイッチとシャフト６１の左端部とを連結させ、フランジ部６４ａの押し込み動作と引き動作とによってシャフト６１を移動させ、多段階の押しボタンスイッチを操作する構成とすることもできる。そうすれば、シャフト６１の移動量すなわち姿勢の変化量によって複数の機能、例えばカウンタのＸ軸のリセットとＸ軸のＳＥＮＤ、を作動させることができる。また、押しボタンスイッチに代えて多段階のトグルスイッチを用い、当該トグルスイッチとシャフト６１の端部とを連結させ、フランジ部６４ａの押し込み動作と引き動作によってシャフト６１を移動させ、トグルスイッチを操作する構成としても同様に複数の機能を作動させることができる。
【００２７】
また、押しボタンスイッチ５８に内蔵された復帰バネの力が充分に強い場合は、ハンドル１３ａとフランジ部６４ａとの間に圧縮バネ７０、７０を介装しなくても良い。
【００２８】
（第２実施形態）
次に本発明の第２実施形態について説明する。
【００２９】
本実施形態に係る光学測定装置も第１実施形態と同様の測定顕微鏡である。第２実施形態に係る測定顕微鏡が第１実施形態と異なるところは、主に駆動機構に設けられた押しボタンスイッチの構成とその作動機構である。第２実施形態は第１実施形態と異なるところを中心に説明し、第１実施形態と同様の構成については同じ符号を用いて説明する。また、説明はＸ軸方向に対応する駆動機構３７ａについて記載しているが、Ｙ軸方向に対応する駆動機構３７ｂについても、駆動機構３７ａと同様の構成である。
【００３０】
図５は、第２実施形態に係る測定顕微鏡の駆動機構３７ａの構成を示す図である。また、図６（ａ）は、駆動機構３７ａの左方側端部近傍の拡大図であり、図６（ｂ）は、ハンドル１３ａ側から見たスイッチ部の拡大図である。
【００３１】
第２実施形態では、図５および図６（ａ）に示すように、送りねじ４３の中空部に送りねじ４３の軸方向と同方向に延在してシャフト６１が配設され、シャフト６１の左方側端部には、シャフト６１の外径方向に突出する突出部７３が設けられている。突出部７３の左方側端部はシャフト６１の左方側端部よりも左側に突出している。本実施形態では、シャフト６１は左方側のシャフト支持部６７および右方側のハンドル１３ａの孔（図示省略）にそれぞれベアリング（図示省略）を介して相対回転可能に支持されているが、左右方向の移動は規制されている。
【００３２】
スイッチ支持部５５には２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂが設けられている。２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂは、例えば一方の１５８ａがカウンタのＸ軸のリセットボタンであり、他方の１５８ｂがＸ軸のＳＥＮＤボタンである。これら２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂは、図６（ｂ）に示すように、シャフト６１の突出部７３を挟んでシャフト６１の周方向に対向し、シャフト６１が回転したときの突出部７３の回転軌跡上に設けられている。シャフト６１は、突出部７３が２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂの間の中心位置となるように、図示しないトーションバネ等によって付勢されている。つまり、シャフト６１に外力が加わっていない状態では、シャフト６１の突出部７３は２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂの間の中心に位置し、ハンドル１３ａを回転させてもシャフト６１は回転しない。
【００３３】
シャフト６１に外力が加わり、一方の方向に回転するように姿勢が変化すると、シャフト６１と共に突出部７３も一方の方向に回転し、突出部７３の回転の軌跡上にある一方側の押しボタンスイッチ（例えば１５８ａ）を当該突出部７３が押す。また、シャフト６１が他方の方向に回転するように姿勢が変化すると、突出部７３も他方の方向に回転し、突出部７３の回転の軌跡上にある他方側の押しボタンスイッチ（例えば１５８ｂ）を当該突出部７３が押す。２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂにはそれぞれ復帰バネ（図示省略）が内蔵されており、押す力が解除されると復帰するようになっている。
【００３４】
このような構成なので、第２実施形態ではステージ４の移動および２つの押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂの操作は例えば次のように行う。測定者は右手の指でハンドル１３ａの右側からハンドル１３ａを握る。ステージ４をＸ軸方向に移動させるときは指でハンドル１３ａの外周側を掴んで回転させる。このとき、フランジ部６４ａは回転させないように、手の平とフランジ部６４ａとの間に間隔を空けてハンドル１３ａを回転させる。押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂを操作するときは手の平をフランジ部６４ａに接触させ、同時に指をハンドル１３ａの外周側から離し、手の平でフランジ部６４ａを一方側へ回転させる。するとシャフト６１の突出部７３がシャフト６１と共に一方側へ回転して当該回転方向に位置する例えば押しボタンスイッチ１５８ａを押す。シャフト６１は周方向の双方向に回転が可能なので、フランジ部６４ａを所望の押しボタンスイッチ１５８ａまたは１５８ｂの方向へ回転させることでリセットボタンまたはＳＥＮＤボタンを操作することができる。言い換えると、フランジ部６４ａに加えた回転力がシャフト６１の姿勢の変化によって回転運動として伝達され、押しボタンスイッチ１５８ａ、１５８ｂを押す。フランジ部６４ａの操作が終わったら手の平をフランジ部６４ａから離し、同時に右手の指でハンドル１３ａを握る。このようにすれば、測定者はハンドル１３ａからほとんど手を離さずにリセットボタンまたはＳＥＮＤボタンを操作することができ、測定中の作業性が低下することを防止することができる。あるいは、手の平でフランジ部６４ａを操作するとき、ハンドル１３ａが回転しない程度に指が軽くハンドル１３ａの外周に触れていても良い。このようにすれば、測定者はハンドル１３ａから手を離さずにリセットボタンまたはＳＥＮＤボタンを操作することができる。
【００３５】
（第３実施形態）
次に本発明の第３実施形態について説明する。
【００３６】
本実施形態に係る光学測定装置も第１および第２実施形態と同様の測定顕微鏡である。第３実施形態は、主に駆動機構に設けられた押しボタンスイッチおよびシャフトの構成と押しボタンスイッチの作動機構が第１および第２実施形態と異なっている。第３実施形態は第１および第２実施形態と異なるところを中心に説明し、第１および第２実施形態と同様の構成については、同じ符号を用いて説明する。また、説明はＸ軸に対応する駆動機構３７ａについて記載しているが、Ｙ軸に対応する駆動機構３７ｂについても、駆動機構３７ａと同様の構成である。
【００３７】
図７は、第３実施形態に係る駆動機構３７ａの右方側端部近傍の拡大図であり、図８は、ハンドル１３ａ側から見たスイッチ部の拡大図である。
【００３８】
本実施形態では、送りねじ４３を覆っている保護カバー４６の右側端面に、図７、図８に示すように、４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄが設けられている。４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄは、例えばカウンタのＸ軸のリセットスイッチ、Ｘ軸のＳＥＮＤスイッチ、表示スケールの切替えスイッチ、ファンクションキーである。これら４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄは、保護カバー４６の右側端面に設けられた送りねじ４３を挿通するための孔（図示省略）の周りに、周方向に等間隔に設けられている。４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄは、測定者側から見ると、送りねじの上下に１つずつおよび前後方向に１つずつ設けられている。ハンドル１３ａ側から見ると、保護カバー４６の送りねじ４３を挿通するための孔を中心に上下左右に１つずつ設けられている。４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄは、測定者側から見て、左方向に押すとスイッチがオンになり、左方向に押す力が解除されると、復帰バネ（図示省略）によって右方向に戻るようになっている。
【００３９】
押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄとハンドル１３ａとの間には円筒形状のシャフト２６１が配置され、送りねじ４３は当該シャフト２６１の中空部に挿通されている。送りねじ４３とシャフト２６１とは同じ方向に延在して配置されている。シャフト２６１の中空部の直径、すなわち内径は、送りねじ４３の外径よりも大きく形成されている。なお、本実施形態では送りねじ４３は中空でなくても良い。シャフト２６１の右端にはフランジ部２６４ａが一体に形成されている。フランジ部２６４ａとハンドル１３ａとの間には、４本の圧縮バネ２７０が周方向に等間隔に介装されている。シャフト２６１とフランジ部２６４ａとは、これら４本の圧縮バネ２７０によってハンドル１３ａの左側面に支持されている。したがってハンドル１３ａを回転させると、ハンドル１３ａと共にシャフト２６１も回転する。また、シャフト２６１の内径は送りねじ４３の外径よりも大きく形成されているので、シャフト２６１は内周面が送りねじ４３の外周側から所定間隔を隔ててハンドル１３ａに支持されている。
【００４０】
フランジ部２６４ａとハンドル１３ａとの間に介装された４本の圧縮バネ２７０が全て自由長の状態にあっては、フランジ部２６４ａは測定者側から見ると直立状態であり、シャフト２６１の左端は各押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄの右側に隣接している。この状態からフランジ部２６４ａの上部を右側すなわちハンドル１３ａに近づく方向に引くと、上側に位置する圧縮バネ２７０ａは縮み、下側に位置する圧縮バネ２７０ｃには伸びる方向の力が加わる。そうすると、図７に示す矢印のように、フランジ部２６４ａは上部がハンドル１３ａに近づく方向に移動し、下部がハンドル１３ａから離れる方向に移動するので、測定者側から見るとフランジ部２６４ａは元の直立状態から右に傾いた状態となる。シャフト２６１はフランジ部２６４ａと一体に構成されているので、フランジ部２６４ａと共に傾く。この場合、シャフト２６１は左端が上方を向くように傾く。すなわち、シャフト２６１の左端の上部が上部押しボタンスイッチ２５８ａから離れる方向に移動し、左端の下部が下部押しボタンスイッチ２５８ｃに近づく方向に移動するように、首を振るように回転する。そして、シャフト２６１の左端の下部は、移動に伴って下部の押しボタンスイッチ２５８ｃを押すこととなる。言い換えると、フランジ部２６４ａの周縁部の一方側を引く力がシャフト２６１の姿勢の変化によってシャフト２６１の軸方向に対して傾く方向の回転運動として伝達され、押しボタンスイッチを押す。フランジ部２６４ａの上部をハンドル１３ａに近づく方向に引く力を解除すると、圧縮バネ２７０ａおよび２７０ｃは元の自由長に戻り、フランジ部２６４ａも元の直立状態に戻る。その結果、シャフト２６１の傾き、すなわち姿勢も元の状態に戻り、下部の押しボタンスイッチ２５８ｃは復帰ばねにより右方向に戻り、スイッチがオフとなる。
【００４１】
同様に、フランジ部２６４ａの下部をハンドル１３ａ側に引くと、シャフト２６１は左端が下方を向くように回転し、シャフト２６１の左端の上部によって上部の押しボタンスイッチ２５８ａが左方に押されてオンになる。また、測定者側から見てフランジ部２６４ａの前方側（ハンドル１３ａ側から見てフランジ部２６４ａの右側部）をハンドル１３ａ側に引くと、シャフト２６１は左端が前方を向くように回転し、シャフト２６１の後方側端部によって後方側の押しボタンスイッチ２５８ｄがオンになる。また、測定者側から見てフランジ部２６４ａの後方側（ハンドル１３ａ側から見てフランジ部２６４ａの左側部）をハンドル１３ａ側に引くと、シャフト２６１は左端が後方を向くように回転し、シャフト２６１の前方側端部によって前方側の押しボタンスイッチ２５８ｂがオンになる。
【００４２】
このような構成なので、第３実施形態ではステージ４の移動および４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄの操作は例えば次のように行う。測定者は右手でハンドル１３ａの右側からハンドル１３ａを握る。ステージ４をＸ軸方向に移動させるときは指でハンドル１３ａの外周側を掴んで回転させる。スイッチを操作するときは、指を伸ばし、フランジ部２６４ａの上下前後（ハンドル１３ａ側から見ると上下左右）の何れかの部分をハンドル１３ａ側に引き付ける。そうすると、上述したようにシャフト２６１が所定の方向に回転し、４つの押しボタンスイッチ２５８ａ、２５８ｂ、２５８ｃ、２５８ｄの何れかを操作することができる。押しボタンスイッチの操作が終わったら、フランジ部２６４ａをハンドル１３ａ側に引く力を解除すると、フランジ部２６４ａおよびシャフト２６１は元の直立状態に戻り、押しボタンスイッチはオフとなる。このようにすれば、測定者はハンドル１３ａから手を離さずにリセットボタンまたはＳＥＮＤボタン等を操作することができ、作業性の低下を防止することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、シャフト２６１は円筒形状であるが、フランジ部２６４ａと共に傾いて押しボタンスイッチを押すためのストローク、すなわちシャフト２６１の左端部の軸方向への移動距離が最大となるような形状、例えば円錐形状あるいは径の異なる複数の筒で段付き状にしたもの等であっても良い。
【００４４】
以上で具体的な実施形態の説明を終えるが、本発明の構成は上記各実施形態に限定されるものではない。例えば、上記各実施形態ではステージ４の駆動機構に送りねじ４３と一対のハーフナット４９、４９とを用いた構成としているが、これらに代えて中空棒とツイストローラを用いた構成としても良い。また、押しボタンスイッチによって作動させる機能も上記実施形態に限定されることはなく自由に選択することが可能である。このように本発明の構成は適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１  測定顕微鏡
４  ステージ
７  観察光学系
１０  照明光学系
１３ａ、１３ｂ  ハンドル
１６ａ、１６ｂ  リニアエンコーダ
１９  カウンタ
２２  表示部
２５  下板
２８  中間板
３１  上板
３４ａ、３４ｂ  ガイド
３７ａ、３７ｂ  駆動機構
４０ａ、４０ｂ  ねじ支持部
４３  送りねじ
４６  保護カバー
４９  ハーフナット
５２  ブロック部材
５５  スイッチ支持部
５８、１５８、２５８  押しボタンスイッチ
６１、２６１  シャフト
６４ａ、６４ｂ  フランジ部
６７  シャフト支持部
７０、２７０  圧縮バネ
７３  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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