(57)【要約】【課題】  研削面にムシレ及び割れを生じることなく硬質脆性材料を所望の厚みに研削可能な研削ホイールを提供することである。【解決手段】  被加工物を研削する研削ホイールであって、ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設されたダイアモンド砥粒にホウ素化合物を添加して構成された複数の研削砥石と、を具備したことを特徴とする。ホウ素化合物は、Ｂ４Ｃ、ＨＢＮ、又はＣＢＮの何れかから構成される【選択図】図５
2012056013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を研削する研削ホイールであって、
ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、
該環状基台の自由端部にリング状に配設されたダイアモンド砥粒にホウ素化合物を添加して構成された複数の研削砥石と、
を具備したことを特徴とする研削ホイール。
【請求項２】
該ホウ素化合物は、Ｂ４Ｃ、ＨＢＮ及びＣＢＮからなる群から選択される請求項１記載の研削ホイール。
【請求項３】
該研削砥石は、ダイアモンド砥粒及びホウ素化合物をレジンボンド、ビトリファイドボンド、メタルボンドの何れかに混錬して焼結した焼結砥石から構成される請求項１又は２記載の研削ホイール。
【請求項４】
該切削砥石は、ダイアモンド砥粒及びホウ素化合物をニッケルメッキで固定した電鋳砥石から構成される請求項１又は２記載の研削ホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬質脆性材料を研削するのに適した研削ホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の数多くのデバイスが表面に形成され、且つ個々のデバイスが格子状に形成された分割予定ライン（ストリート）によって区画されたシリコンウエーハは、切削ブレードを備えたダイシング装置によって分割予定ラインを切削して個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、ＬＥＤ（発光ダイオード）、ＬＤ（レーザダイオード）等の数多くの発光デバイスが表面に形成され、且つ個々の発光デバイスが分割予定ライン（ストリート）によって区画されたサファイアウエーハは、レーザビームを照射するレーザ加工装置によって個々の発光デバイスに分割され、分割された発光デバイスは電球、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される（例えば、特開平１０−３０５４２０号公報参照）。
【０００４】
シリコンウエーハ又はサファイアウエーハは、ダイシング装置又はレーザ加工装置を使用して個々のデバイスに分割する前に研削装置によって裏面が研削され、放熱性、輝度の向上を図るために薄く加工される（例えば、特開２０１０−４６７４４号公報参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３０５４２０号公報
【特許文献２】特開２０１０−４６７４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特にサファイアウエーハをダイアモンド砥粒を主成分とする複数の研削砥石が環状基台の自由端部にリング状に配設された研削ホイールで研削すると、研削面にムシレが生じ、更にサファイアウエーハが１００μｍ以下の厚みに研削されると割れが生じて品質を著しく低下させるという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、サファイアウエーハのような硬質脆性材料であっても研削面にムシレ及び割れを生じることなく所望の厚みに研削可能な研削ホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると、被加工物を研削する研削ホイールであって、ホイールマウントに装着されるホイールマウント装着面を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設されたダイアモンド砥粒にホウ素化合物を添加して構成された複数の研削砥石と、を具備したことを特徴とする研削ホイールが提供される。
【０００９】
好ましくは、ホウ素化合物は、Ｂ４Ｃ、ＨＢＮ又はＣＢＮの何れかから構成される。好ましくは、研削砥石は、ダイアモンド砥粒及びホウ素化合物をレジンボンド、ビトリファイドボンド、メタルボンドの何れかに混錬して焼結した焼結砥石から構成される。或いは、研削砥石は、ダイアモンド砥粒及びホウ素化合物をニッケルメッキで固定した電鋳砥石から構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ホウ素化合物には潤滑性があり離形剤として使用されること及び熱伝導性が良好であることに着目し、ダイアモンド砥粒にホウ素化合物を添加して研削砥石を形成し、この研削砥石を環状基台の自由端部に複数配設して研削ホイールを構成したので、サファイアウエーハ、ＳｉＣウエーハ、ガラス板等の硬質脆性材料を研削しても、潤滑性と放熱性によって衝撃力が緩和され、ムシレ及び割れを生じることなく硬質脆性材料を所望の厚みに研削することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の研削ホイールを具備した研削装置の外観斜視図である。
【図２】サファイアウエーハの表面に保護テープを貼着する様子を示す斜視図である。
【図３】図３（Ａ）は第１実施形態の研削ホイールの斜視図、図３（Ｂ）はその縦断面図である。
【図４】研削時におけるチャックテーブルと研削ホイールとの位置関係を示す斜視図である。
【図５】図５（Ａ）は第２実施形態の研削ホイールの斜視図、図５（Ｂ）はその縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明実施形態の研削ホイールを具備した研削装置２の外観斜視図を示している。４は研削装置２のハウジング（ベース）であり、ハウジング４の後方にはコラム６が立設されている。コラム６には、上下方向に伸びる一対のガイドレール８が固定されている。
【００１３】
この一対のガイドレール８に沿って研削ユニット（研削手段）１０が上下方向に移動可能に装着されている。研削ユニット１０は、スピンドルハウジング１２と、スピンドルハウジング１２を保持する支持部１４を有しており、支持部１４が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１６に取り付けられている。
【００１４】
研削ユニット１０はスピンドルハウジング１２中に回転可能に収容されたスピンドル１８と、スピンドル１８の先端に固定されたホイールマウント２０と、ホイールマウント２０にねじ締結され環状に配設された複数の研削砥石を有する研削ホイール２２と、スピンドル１８を回転駆動する電動モーターを含んでいる。
【００１５】
研削装置２は、研削ユニット１０を一対の案内レール８に沿って上下方向に移動するボールねじ２８とパルスモータ３０とから構成される研削ユニット送り機構３２を備えている。パルスモータ３０を駆動すると、ボールねじ２８が回転し、移動基台１６が上下方向に移動される。
【００１６】
ハウジング４の上面には凹部４ａが形成されており、この凹部４ａにチャックテーブル機構３４が配設されている。チャックテーブル機構３４はチャックテーブル３６を有し、図示しない移動機構によりウエーハ着脱位置Ａと、研削ユニット１０に対向する研削位置Ｂとの間でＹ軸方向に移動される。３８，４０は蛇腹である。ハウジング４の前方側には、研削装置２のオペレータが研削条件等を入力する操作パネル４２が配設されている。
【００１７】
図２を参照すると、サファイアウエーハ１１の表面側斜視図が示されている。サファイアウエーハ１１の表面１１ａには複数の分割予定ライン１３が格子状に形成され、これらの分割予定ライン１３によって区画された各領域にＬＥＤ（発光ダイオード）、ＬＤ（レーザダイオード）等の発光デバイス１５が形成されている。
【００１８】
サファイアウエーハ１１は、その表面１１ａに複数の発光デバイス１５が形成されたデバイス領域１７と、デバイス領域１７を囲繞する外周余剰領域１９を有している。サファイアウエーハ１１の研削に先立ち、その表面１１ａには発光デバイス１５を保護する目的で保護テープ２３が貼着される。
【００１９】
図３（Ａ）を参照すると、本発明第１実施形態の研削ホイール２２の斜視図が示されている。図３（Ｂ）はその縦断面図である。研削ホイール２２は、ホイールマウント２０に装着されるホイールマウント装着面２２ａを有する環状基台２４と、環状基台２４の自由端部に環状に配設された複数の研削砥石２６とから構成される。
【００２０】
研削砥石２６は直方体形状に形成されたレジンボンド砥石であり、その厚さｔは約３〜５ｍｍである。環状基台２４には、ホイールマウント２０にねじ締結するための４個のねじ穴２７と、複数の研削水供給孔４４が形成されている。
【００２１】
レジンボンドは、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等から構成される。本実施形態では、レジンボンドとしてフェノール樹脂を使用し、ダイアモンド砥粒及びＢ４Ｃをフェノール樹脂に混錬して直方体形状に成形し、焼結温度１８０℃〜２００℃で７乃至８時間焼結して焼結研削砥石２６を製造した。
【００２２】
焼結研削砥石２６はレジンボンド焼結砥石に限定されるものではなく、メタルボンド焼結砥石又はビトリファイドボンド焼結砥石も採用可能である。メタルボンド焼結砥石は、ダイアモンド砥粒及びＢ４Ｃをメタルボンドに混錬して直方体形状に成形し、焼結温度６００℃〜７００℃で約１時間焼結して製造する。ここで、メタルボンドとしては、銅と錫合金であるブロンズを主成分とし、コバルト、ニッケル等を微量混入したものを採用するのが好ましい。
【００２３】
ビトリファイドボンド焼結砥石は、ダイアモンド砥粒及びＢ４Ｃをビトリファイドボンドに混錬して直方体形状に成形し、焼結温度７００℃〜８００℃で約１時間焼結して製造する。ここで、ビトリファイドボンドとしては、二酸化珪素（ＳｉＯ2）を主成分とし、長石等を微量混入したものを採用するのが好ましい。
【００２４】
このように構成された研削装置２の研削作業について以下に説明する。保護テープ２３を下にしてチャックテーブル３６に吸引保持されたサファイアウエーハ１１が図１の研削位置Ｂに位置づけられると、図４に示すように、チャックテーブル３６を矢印ａ方向に３０〜５００ｒｐｍで回転しつつ、研削ホイール２２をチャックテーブル３６と同一方向に、即ち矢印ｂ方向に例えば１０００ｒｐｍで回転させるとともに、研削ユニット送り機構３２を作動して研削砥石２６をウエーハ１１の裏面１１ｂに接触させる。
【００２５】
そして、研削ホイール２２を所定の研削送り速度（例えば０．２〜３．０μｍ／秒）で下方に所定量研削送りして、ウエーハ１１の研削を実施する。図示しない接触式又は非接触式の厚み測定ゲージによってウエーハの厚みを測定しながらウエーハを所望の厚み、例えば１００μｍに仕上げる。
【００２６】
ウエーハ１１の研削時には、図３（Ｂ）の拡大図に示すように、研削水供給孔４４を介して研削領域に研削水を供給しながらサファイアウエーハ１１の研削を実行する。研削面を観察したところ、鏡面になっていることが判明した。
【００２７】
図５（Ａ）を参照すると、本発明第２実施形態の研削ホイール２２Ａの斜視図が示されている。図５（Ｂ）はその縦断面図である。本実施形態の研削砥石２２Ａは、環状基台２４Ａの自由端部に複数の研削砥石挿入穴４５を有し、この研削砥石挿入穴４５中にパイプ形状電鋳砥石４６が挿入固定されて構成されている。
【００２８】
パイプ形状電鋳砥石４６は、例えばダイアモンド砥粒とＢ４Ｃ粒子を混入したニッケルメッキ液中にアルミニウムの線材を挿入し、アルミニウムの線材の表面にダイアモンド砥粒とＢ４Ｃ粒子を含有したニッケルメッキを成長させ、その後アルミニウムの線材を溶解して除去することにより形成される。Ｂ４Ｃ粒子に替えて、他のホウ素化合物、例えばＨＢＮ（Ｈｅｘａｇｏｎａｌ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ：六方晶窒化ホウ素）、ＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ：立方晶窒化ホウ素）をダイアモンド砥粒とともにニッケルメッキ中に混入するようにしてもよい。
【００２９】
図５（Ｂ）の部分拡大図において、パイプ形状電鋳砥石４６の直径Ｄは２〜５ｍｍ、パイプの厚さｔは０．１〜１．０ｍｍ、電鋳砥石４６の基台２２Ａからの突出量Ｐは１〜１０ｍｍが好ましい。
【００３０】
本実施形態の研削ホイール２２Ａは、パイプ形状電鋳砥石４６が硬いので、サファイアウエーハ等の硬質脆性材料の研削に特に適している。研削時に研削ホイール２２Ａの研削水供給孔４４Ａを介して供給された研削水は、矢印ａ及びｂに示すように二手に分かれて研削領域に供給される。
【実施例１】
【００３１】
フェノール樹脂からなるレジンボンドに粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１０〜２０％と粒径１μｍのＢ４Ｃ粒子を体積比で４５〜２０％混入し直方体形状に成形した。これを１８０℃の焼結温度で約８時間焼結してレジンボンド砥石を形成した。
【００３２】
このレジンボンド砥石を複数個環状基台２４の自由端部に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、スピンドルの回転数１０００ｒｐｍ、チャックテーブルの回転数５００ｒｐｍ、研削ホイールの送り速度０．２μｍ／秒の加工条件で厚さ３００μｍのサファイアウエーハを研削した。その結果、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく９０μｍの厚さまで研削できた。
【実施例２】
【００３３】
ブロンズを主成分とするメタルボンドに粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１０〜２０％と粒径１μｍのＨＢＮ粒子を体積比で４５〜２０％混入し直方体形状に成形した。これを７００℃の焼結温度で約１時間焼結してメタルボンド砥石を形成した。
【００３４】
このメタルボンド砥石を複数個環状基台２４の自由端部に環状に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例１と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく９０μｍの厚さまで研削できた。
【実施例３】
【００３５】
二酸化珪素を主成分とするビトリファイドボンドに粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１０〜２０％と粒径１μｍのＣＢＮ粒子を体積比で４５〜２０％混入し直方体形状に成形した。この成形体を７００℃の焼結温度で約１時間焼結してビトリファイドボンド砥石を形成した。
【００３６】
この砥石を複数個環状基台２４の自由端部に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例１と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく９０μｍの厚さまで研削できた。
【００３７】
（比較例１）
フェノール樹脂から形成されたレジンボンドに粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１０〜２０％と粒径１μｍのＳｉＣ粒子を体積比で３５〜２５％混入して直方体形状に成形した。この成形体を１８０℃の焼結温度で約８時間焼結してレジンボンド砥石を形成した。
【００３８】
このレジンボンド砥石を複数個環状基台２４の自由端部に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例１と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレが生じるとともに厚さが１５０μｍに達すると割れが発生した。その結果、従来のレジンボンド砥石ではサファイアウエーハの研削に適していないことが判明した。
【実施例４】
【００３９】
粒径５μｍのダイアモンド砥粒と粒径１μｍのＢ４Ｃ粒子を適宜の比率で混入したニッケルメッキ液を作成した。このニッケルメッキ液中にアルミニウムの線材を挿入して電気鋳造した。電気鋳造後アルミニウムの線材を溶解して粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１２〜１８％含有し、粒径１μｍのＢ４Ｃ粒子を体積比で１５〜１０％含有したパイプ形状電鋳砥石を形成した。
【００４０】
この電鋳砥石を複数個環状基台２４Ａの自由端部に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、スピンドルの回転数１０００ｒｐｍ、チャックテーブルの回転数３０ｒｐｍ、研削ホイールの送り速度３μｍ／秒の加工条件で厚さ３００μｍのサファイアウエーハを研削した。その結果、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく７０μｍの厚さまで研削できた。
【実施例５】
【００４１】
粒径５μｍのダイアモンド砥粒と粒径１μｍのＨＢＮ粒子を適宜の比率で混入したニッケルメッキ液を作成した。このニッケルメッキ液中にアルミニウムの線材を挿入して電気鋳造した。電気鋳造後アルミニウムの線材を溶解して粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１２〜１８％含有し、粒径１μｍのＨＢＮ（六方晶窒化ホウ素）粒子を体積比で１５〜１０％含有したパイプ形状電鋳砥石を形成した。
【００４２】
この電鋳砥石を複数個環状基台２４Ａの自由端部に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例４と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく７０μｍの厚さまで研削できた。
【実施例６】
【００４３】
粒径５μｍのダイアモンド砥粒と粒径１μｍのＣＢＮ粒子を適宜の比率で混入したニッケルメッキ液を作成した。このニッケルメッキ液中にアルミニウムの線材を挿入して電気鋳造した。電気鋳造後アルミニウムの線材を溶解して粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１２〜１８％含有し、粒径１μｍのＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）粒子を体積比で１５〜１０％含有したパイプ形状電鋳砥石を形成した。
【００４４】
この電鋳砥石を複数個環状基台２４Ａの自由端部に環状に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例４と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレ及び割れを生じることなく７０μｍの厚さまで研削できた。
【００４５】
（比較例２）
粒径５μｍのダイアモンド砥粒を混入してニッケルメッキ液を作成した。このニッケルメッキ液中にアルミニウムの線材を挿入して電気鋳造した。電気鋳造後アルミニウムの線材を溶解して粒径５μｍのダイアモンド砥粒を体積比で１５〜２０％含有したパイプ形状電鋳砥石を形成した。
【００４６】
この電鋳砥石を複数個環状基台２４Ａの自由端部に環状に固定して研削ホイールを形成した。この研削ホイールをホイールマウント２０に装着して、実施例４と同一条件でサファイアウエーハを研削したところ、サファイアウエーハにムシレが生じるとともに厚さが１１０μｍに達すると割れが発生した。よって、このパイプ形状電鋳砥石はサファイアウエーハの研削に適していないことが判明した。
【符号の説明】
【００４７】
２    研削装置
１０    研削ユニット
１１    サファイアウエーハ
１８    スピンドル
２０    ホイールマウント
２２，２２Ａ    研削ホイール
２３    保護テープ
２４，２４Ａ    環状基台
２６    研削砥石（レジンボンド砥石）
３６    チャックテーブル
４６    パイプ形状電鋳砥石
【図１】
2012056013.tif 000003
【図２】
2012056013.tif 000004
【図３】
2012056013.tif 000005
【図４】
2012056013.tif 000006
【図５】
2012056013.tif 000007