(57)【要約】【課題】電子線露光システムによる露光描画中に環境変動が生じた場合における生産性の低下を防止する。【解決手段】回転ステージ３１上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤８を回転ステージ３１を回転させることにより回転させつつ、原盤８に電子線を照射してディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する際に、環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる共に、停止した際の原盤の回転角度を記憶し、その後、記憶されている回転角度に基づいて原盤上の描画停止位置から描画を再開する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置と、
該電子線露光装置に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して該露光装置による描画を制御する制御装置とを備え、
該制御装置が、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて、前記描画を一時停止させると共に、該停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、該回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開する一時停止制御部とを有していることを特徴とする電子線露光システム。
【請求項２】
前記制御装置が、前記描画設計データに基づいて各半径位置の周方向の所定領域毎の描画データ信号群を生成し、該描画データ信号群のデータ信号を前記所定領域毎に前記描画データ信号として前記電子線露光装置に順次送出するものであり、
前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が入力された際に描画中の前記描画データ信号群のデータ信号に基づく描画終了後に描画を一時停止させるものであることを特徴とする請求項１記載の電子線露光システム。
【請求項３】
前記制御装置に接続された前記環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置を備え、
該環境値測定装置が、測定した前記環境値が予め定められた範囲外である場合に、前記環境の異常に関する情報を前記制御装置に入力するものであることを特徴とする請求項１または２記載の電子線露光システム。
【請求項４】
前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置から前記環境の異常に関する情報が所定時間連続して入力された場合に、前記描画を一時停止させるものであることを特徴とする請求項３記載の電子線露光システム。
【請求項５】
前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置において測定された環境値が前記定められた範囲内に戻った後に、前記描画を再開させるものであることを特徴とする請求項３または４記載の電子線露光システム。
【請求項６】
前記制御装置が、広域ネットワークと接続されており、該広域ネットワークから前記環境の異常に関する情報が入力されるものであることを特徴とする請求項１または２記載の電子線露光システム。
【請求項７】
前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が地震に関する情報である場合には、前記一時停止の後、所定時間経過後に前記描画を再開させるものであることを特徴とする請求項６記載の電子線露光システム。
【請求項８】
回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光方法であって、
環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる共に、停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、
その後、前記回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開することを特徴とする電子線露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク状記録媒体用のインプリントモールドや磁気転写用マスター担体などの原盤を作製する際に、所望の微細パターンを描画するための電子線露光装置を備えたシステムおよび電子線露光方法に関するものであり、特に、地震などの環境異常時における制御に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディスク状記録媒体には、サーボパターン等の微細パターンが凹凸パターンまたは磁化パターンなどによって形成されている。このディスク状記録媒体を製造するための磁気転写用マスター担体やナノインプリントの原盤などに、ディスク状記録媒体に形成されるパターンに応じた原盤パターンを電子線による露光描画するための電子線露光装置や露光方法が提案されている。この電子線露光方法としては、レジストが塗布された基板（ディスク状記録媒体用の原盤）を回転ステージ上に載置し、該回転ステージを回転させることにより基板を回転させながら、パターン形状に対応した電子ビームを照射することによってパターン描画を行う方法が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
通常、電子線露光装置は、設置仕様書等において規定されている一定の環境下に設置されて使用される。一方、振動（地震）、磁界および温度など環境値が一定の範囲以上に変動すると、装置における電子ビームと原盤との位置関係が変動するために描画パターンに欠陥が生じる。例えば、地震では１００シリンダ（トラック）以上の広範囲に亘る描画パターンに影響がでる場合もある。また、装置の設置場所が、幹線道路沿いあるいは電車の線路沿いである場合には、トラックや電車の通過により磁場が大きく変動する場合があり、磁場の変動が許容範囲を超えるような場合には、電子ビームの照射位置ズレが生じて描画パターンに欠陥が生じる恐れがある。磁気記録媒体の原盤としては、このような一時的な環境変動による一部の欠陥により不良品と扱われる。磁気記録媒体の１枚の原盤に所定の微細パターンを描画するのに、数日から１０日程度かかるため、一時的な環境変動による欠陥のために原盤そのものが不良と扱われることは生産性の著しい低下を招くこととなる。
【０００４】
特許文献３においては、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体素子の製造に使用される半導体露光装置について、地震検知用のセンサを備え、センサにより地震を検知すると、装置の動作を停止する手段、およびその後、動作の再開を行う手段を備えて地震対策を行った半導体露光装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１５８２８７号公報
【特許文献２】特開２００６−１８４９２４号公報
【特許文献３】特開平６−２０４１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献３に記載されているような半導体露光装置の場合には、パターン描画は、Ｘ−Ｙステージ上に載置されたウエハに対して行われる。したがって、描画途中で一時停止を行い、その後描画開始を行うのは、単なるビームのオフおよびオン（ブランクのオンおよびオフ）を行うのみでよい。
【０００７】
一方、ディスク状記録媒体の原盤用の電子線露光装置は、原盤を回転させつつ電子線を照射して露光描画しているため、単なる電子ビームのオフおよびオンの制御では、原盤上における描画停止位置から描画を再開することができず、所望のパターンを連続的に描画することができない。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、回転させている原盤上に電子線描画を行う電子線露光システムであって、一時的な異常環境変動が生じた場合においても、不良な原盤とならないように制御可能な電子線露光システムおよび電子線露光方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電子線露光システムは、回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置と、
該電子線露光装置に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して該露光装置による描画を制御する制御装置とを備え、
該制御装置が、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて、前記描画を一時停止させると共に、該停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、該回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開する一時停止制御部とを有していることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の電子線露光システムにおいては、前記制御装置が、前記描画設計データに基づいて各半径位置の周方向の所定領域毎の描画データ信号群を生成し、該描画データ信号群のデータ信号を前記所定領域毎に前記描画データ信号として前記電子線露光装置に順次送出するものであり、
前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が入力された際に描画中の前記描画データ信号群のデータ信号に基づく描画終了後に描画を一時停止させるものであることが好ましい。
【００１１】
ここで、「前記環境の異常に関する情報が入力された際」とは、描画を終了すべき時点であり、環境の異常に関する情報が入力された直後に限らず、該情報が所定時間後に地震の発生を予告する地震に関する予測情報などである場合には、情報が入力された直後から発生予告されている所定時間後までの間を含むものとする。
【００１２】
前記制御装置に接続された前記環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置を備え、
該環境値測定装置は、測定した前記環境値が予め定められた範囲外である場合に、前記環境の異常に関する情報を前記制御装置に入力するものとすることができる。
【００１３】
本発明の電子線露光システムが環境値測定装置を備えている場合、前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置から前記環境の異常に関する情報が所定時間連続して入力された場合に、前記描画を一時停止させるものとすることが好ましい。
【００１４】
また、前記一時停止制御部が、前記環境値測定装置において測定された環境値が前記定められた範囲内に戻った後に、前記描画を再開させるものであることが好ましい。
【００１５】
本発明の電子線露光システムは、前記制御装置が、広域ネットワークと接続されており、該広域ネットワークから前記環境の異常に関する情報が入力されるものとすることもできる。
【００１６】
本発明の電子線露光システムが広域ネットワークと接続されている場合、前記一時停止制御部が、前記環境の異常に関する情報が地震に関する情報である場合には、前記一時停止の後、所定時間経過後に前記描画を再開させるものであることが好ましい。
【００１７】
本発明の電子線露光方法は、回転ステージ上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤を前記回転ステージを回転させることにより回転させつつ、該原盤に電子線を照射して前記ディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光方法であって、
環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる共に、停止した際の前記原盤の回転角度を記憶し、
その後、前記回転角度に基づいて前記原盤上の描画停止位置から前記描画を再開することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の電子線露光システムおよび電子線露光方法によれば、環境の異常に関する情報に基づいて描画を一時的に停止させる場合に、回転させている原盤の回転角度を記憶し、その回転角度に基づいて原盤上の描画停止位置から描画を再開するので、原盤への露光描画中に地震などによる一時的な環境変動が発生した場合においても、露光中の原盤を無駄にすることなく、欠陥の発生を未然に防ぐまたは最小限に抑えることができる。また、これにより生産性の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る電子線露光システムの概略構成を示すブロック図
【図２】ディスク状記録媒体用の原盤パターンを示す模式図
【図３】図２の原盤パターンの一部を拡大して示した拡大図
【図４】描画データメモリに蓄積される描画データ信号群の構造を示す模式図
【図５】本発明の第２の実施形態に係る電子線露光システムの概略構成を示すブロック図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００２１】
まず、本発明の第１の実施形態に係る電子線露光システムについて説明する。図１は本発明の第１の実施形態に係る電子線露光システム１の概略構成を示すブロック図である。
電子線露光システム１は、回転ステージ３１上に載置されたディスク状記録媒体用の原盤８を回転ステージ３１を回転させることにより回転させつつ、原盤８に電子線（電子ビーム）を照射してディスク状記録媒体の原盤パターンを描画する電子線露光装置１０と、電子線露光装置１０に描画設計データに基づく描画データ信号を送出して露光装置１０による描画を制御する制御装置５０とを備えている。
【００２２】
電子線露光装置１０は、原盤８に対して電子ビームを照射する電子ビーム照射部２０と、原盤を回転および直線移動させる機械駆動部３０とを備えている。
【００２３】
電子ビーム照射部２０は、鏡筒１８内に電子ビームを出射する電子銃２１、電子ビームを半径方向Ｙおよび円周方向Ｘへ偏向させるとともに円周方向Ｘに一定の振幅で微小往復振動させる偏向手段２２，２３、電子ビームの照射をオン・オフするためのブランキング手段２４としてアパーチャ２５およびブランキング２６（偏向器）を備えており、電子銃２１から出射された電子ビームは偏向手段２２、２３および図示しない電磁レンズ等を経て、原盤８上に照射される。
【００２４】
ブランキング手段２４における上記アパーチャ２５は、中心部に電子ビームが通過する透孔を備え、ブランキング２６は電子ビーム照射オン信号（ブランキングオフ）時には電子ビームを偏向させることなくアパーチャ２５の透孔を通過させて照射させ、一方、電子ビーム照射のオフ信号（ブランキングオン）時には電子ビームを偏向させてアパーチャ２５の透孔を通過させることなくアパーチャ２５で遮断して、電子ビームの照射を行わないように作動する。
【００２５】
機械駆動部３０は、鏡筒１８が上面に配置された筐体１９内に原盤を支持する回転ステージ３１および回転ステージを回転駆動させるスピンドルモータからなる回転駆動機構３２とを備えた回転ステージユニット３３と、回転ステージユニット３３を回転ステージ３１の一半径方向に直線移動させるための直線移動手段３４とを備えている。直線移動手段３４は、回転ステージユニット３３の一部に螺合された精密なネジきりが施されたロッド３５と、このロッド３５を正逆回転駆動させるパルスモータ３６とを備えている。また、ステージユニット３３には、回転ステージ３１の回転角度に応じたエンコーダ信号を出力する図示しないエンコーダが設置されている。エンコーダは、スピンドルモータのモータ軸に取り付けられる、多数の放射状のスリットが形成された回転板と、そのスリットを光学的に読み取り、エンコーダ信号を出力する光学素子とを備えている。
【００２６】
制御装置５０は、描画データ信号群のデータ信号を制御信号として電子線露光装置１０に順次送出するものである。制御信号は、電子ビームを偏向するための偏向信号出力、電子線の出力ＯＮ／ＯＦＦ信号（ブランキングのＯＦＦ／ＯＮ信号）、回転ステージを制御する回転基準パルス信号などからなる。
【００２７】
制御装置５０は、描画すべきパターン（ディスク状記録媒体の原盤パターン）に関する設計データ（描画パターンや描画タイミングを示すデータなど）に基づいて、原盤パターンの各半径位置の周方向の所定領域毎に生成された描画データ信号群を蓄える描画データメモリ５２と、描画タイミングを計るためのインデックス(INDEX)信号を生成するインデックス信号生成部５４と、メモリ５２上の描画データ信号群から制御信号を生成し、電子線露光装置１０に送出する制御回路（コントロールＩＣ）５６と、外部から入力された環境の異常に関する情報に基づいて一時停止信号を生成すると共に、その後、描画を再開するための再開信号を生成する一時停止／再開信号生成部５８とを備えている。ここでは、インデックス信号生成部５４、制御回路５６および一時停止／再開信号生成部５８により一時停止制御部が構成されている。なお、制御装置５０は、具体的には、所謂フォーマッタ、あるいはフォーマッタとそれに接続されたパーソナルコンピュータにより構成することができる。
【００２８】
制御回路５６による制御信号の出力タイミングは、インデックス信号生成部５４からのインデックス信号によって制御される。
【００２９】
インデックス信号生成部５４において、インデックス信号は、回転ステージユニット３３に備えられているエンコーダの出力（Ａ／Ｂ／Ｚ相信号）および制御部内部で生成される描画クロックから生成される。例えば、各所定領域の直前に生じるエンコーダ信号を基準とし、そのエンコーダ信号から所定クロック数後にインデックス信号が生じるように設定されている。
【００３０】
図２は、ディスク状記録媒体の原盤パターン（描画パターン）と描画開始インデックスとの関係を模式的に示す図であり、図３はその原盤パターンの一部を拡大した模式図である。ここでは、ディスク状記録媒体として、ディスクリートトラックメディアの原盤パターンを示している。図２および図３に示すように、原盤パターンは、周方向にサーボ領域Ｓ、データ領域Ｄが交互に配置された構成を有している。サーボ領域Ｓは、同心円中心部からほぼ放射方向に延びる細幅の領域である。一般には、サーボ領域は半径方向に延びる円弧状に形成されているが、ここでは模式的に直線状に示している。サーボ領域Ｓには、プレアンブル、アドレス、サーボ等の微細パターン（微細パターンは図示していない。）が設けられており、データ領域Ｄには、トラックＴ間を分離するグルーブパターンＧが設けられている。本実施形態においては、１つのサーボ領域とそれに隣接する１つのデータ領域からなる１セクタを所定領域として、この所定領域毎にインデックス信号を基準に描画を開始するものとしている。
【００３１】
図４は、描画データメモリ５２に蓄積される描画データ信号群の構造を模式的に示す図である。描画データメモリ５２には、各所定領域毎の描画データ信号群として、図４に示すように、１セクタ分のデータ列がインデックスフラグＩを先頭に、出力データ１、出力データ２・・・として蓄積されている。この描画データ信号群は、予め作成されたデータ列としてメモリ５２に蓄えられたものであってもよいし、描画動作中に生成されたデータ列として順次メモリ５２に蓄えられるものであってもよい。
【００３２】
ここでは、インデックスフラグＩをセクタ単位で設定するものとしているが、トラック単位で設定してもよいし、１セクタよりも細かく設定してもよい。
【００３３】
制御回路５６は、インデックス信号生成部５４からインデックス信号が入力されると、メモリ５２から所定のインデックスフラグが付されている１セクタ分の描画データを読み出し、制御信号として順次露光装置１０に送出し、次のインデックス信号が入力されると、次のインデックスフラグが付されている１セクタ分の描画データを読み出して順次露光装置１０に送出する。
【００３４】
また、インデックス信号生成部５４は、描画を一時停止させた際の原盤８の回転角度を記憶するメモリ５５を備えている。具体的には、回転角度に同期した信号、すなわちエンコーダ信号をカウントし、一時停止させた際のエンコーダ信号を記憶することにより間接的に原盤の回転角度を記憶するよう構成されていればよい。なお、インデックス信号生成部５４は、描画再開時には、このメモリ５５に記憶されている回転角度に基づいて、原盤上の描画が停止された位置から描画が再開されるように、インデックス信号を生成し制御回路５６に出力する。
【００３５】
さらに、本実施形態の電子線露光システム１は、制御装置５０に接続された、システム１が配置されている環境の所定の環境値を測定する環境値測定装置７０を備えている。環境値測定装置７０は、機械駆動部３０の筐体１９上に配置されたセンサ７１と、該センサ７１により測定された測定値を収集し、その値が予め定められた範囲外である場合に、その測定値あるいは警告などの環境の異常に関する情報を制御装置５０に入力するデータロガー７２とを備えてなる。
【００３６】
環境値としては、振動、磁場、温度、湿度などが挙げられる。センサ７１は、これらのいずれかあるいは複数の環境値を測定可能なものであればよく、具体的には震度計、磁場測定器、温度計、湿度計などである。
センサ７１は、電子線露光装置１０に接するように配置されていることが好ましい。特に、電子線照射位置となる原盤設置箇所に近い場所に配置されているのが好ましい。
【００３７】
本実施形態の電子線露光システム１を用いた露光方法において、環境異常発生時の動作について説明する。
【００３８】
原盤パターンの描画中に、センサ７１により測定された環境値はデータ収集装置であるデータロガー７２に蓄えられる。データロガー７２は、センサ７１から取得した環境値（環境値の測定値）が予め設定された所定の範囲（上限および／または下限）を超えた場合、制御装置５０に環境の異常に関する情報を通知する。この環境の異常に関する情報は、測定値自体であってもよいし、異常を知らせる警報などであってもよい。
【００３９】
環境値として振動を測定する場合、例えば、加速度0.15ｃｍ/s2以下を正常値（予め定められた範囲）とし、この値を超えると、データロガー７２から制御装置５０に環境の異常に関する情報が通知されるものとすればよい。
また、環境値として磁場を測定する場合、例えば、交流磁界0.1μＴ以下を正常値とし、この値を超えると、環境の異常に関する情報が通知されるものとすればよい。
【００４０】
データロガー７２から環境の異常に関する情報を受け取った制御装置５０は一時停止可能な位置まで描画をした後、描画を一時停止させると共に、描画を停止した位置（原盤の回転角度）をメモリに記憶する。
【００４１】
より具体的には、環境の異常に関する情報は制御装置５０の一時停止／再生信号生成部５８に入力され、ここで、異常状態による一時停止の是非が判断される。一時停止／再生信号生成部５８は、環境の異常に関する情報が入力された瞬間に一時停止信号を生成するよう構成されていてもよいし、環境の異常に関する情報が一定時間以上連続して受信した場合に生成するように構成されていてもよい。
【００４２】
例えば、環境値が振動である場合には１秒以上連続して受信したとき、磁場である場合には０．５秒以上、温度である場合には１０分以上、湿度である場合には１０分以上のときに一時停止信号を生成するなどである。
【００４３】
一時停止／再生信号生成部５８において生成された一時停止信号は、インデックス信号生成部５４に入力される。インデックス信号生成部５４は、インデックス信号の生成を停止する。制御回路５６は一時停止信号受信時に描画している所定領域の描画データ群に基づく制御信号は全て露光装置１０へ送信し、露光装置１０ではその所定領域内の描画は最後まで行う。例えば、一時停止信号受信時に図４に示す最初のインデックスフラグＩに続く出力データ１、出力データ２が露光装置１０に送出されていた場合、次のインデックスフラグＩの直前までの出力データまでは送出を続ける。インデックス信号生成部５４からの新たなインデックス信号が入力されないため、制御回路５６はこの描画データ群の送出後、ブランクＯＮ（ビームＯＦＦ）信号のみを露光装置１０に送出し、露光装置１０による描画を実質的に停止させる。
【００４４】
その後、環境異常が回復し、データロガー７２から環境の異常に関する情報の入力がなくなった場合、一時停止／再開信号生成部５８が再開信号を生成する。再開信号生成部５８は、データロガー７２からの環境の異常に関する情報が入力されなくなった瞬間に再開信号を生成するように構成されていてもよしい、一定時間以上連続して入力されなかった場合に再開信号を生成するように構成されていてもよい。
【００４５】
再開信号はインデックス信号生成部５４に入力され、インデックス信号生成部５４で描画を一時停止した時の次のインデックス信号を生成し、インデックス信号生成部５４から制御回路５６にインデックス信号が出力されて描画が再開される。このとき、メモリ５５に記憶されている描画を一時停止した際の原盤の回転角度（エンコーダ信号）に基づいて、原盤上の描画を一時停止した箇所から、一時停止前に描画データの送出が完了した描画データ群の次のインデックスフラグが付された描画データ列に基づく描画が開始される。
【００４６】
このように、本電子線露光システム１によれば、環境の異常が生じた際に、速やかに一時停止を行うことができるので、環境変動による欠陥の発生を未然に防ぐ、または欠陥の発生を最小限に抑えることが可能となる。また、回転されている原盤上の一時停止した箇所から引き続き描画を再開することができるため、パターン重なりや、欠如等の欠陥をさらに抑制することができる。
【００４７】
なお、一時停止が数十分程度以上続く場合には、電子線露光装置において電子ビームと原盤との位置関係に大きなズレが生じる懸念があるため、一定時間（例えば、３０分）経過後に異常が回復しない場合、描画の一時停止から描画終了処理へ移行するように設定することが望ましい。
具体的には、環境値として温度を測定した場合に、温度が所定の範囲より高い状態が１０分以上続くような場合、まず一時停止処理を行う。その後、温度が所定の範囲より高い状態が連続して３０分以上継続している場合には描画処理を終了させる。
【００４８】
また、１枚の原盤の描画において、異常状態が規定回数（例えば３回、あるいは５回など）発生した場合には、規定回数目に描画終了処理へ移行するように設定することが望ましい。異常状態が複数回に及ぶことにより、原盤中の欠陥が無視できなくなり、原盤として不良となると考えられるからである。
【００４９】
これらの描画終了処理は、描画を続けても不良な原盤となる確率が高い場合に行うように設定すれば、結果として生産性の低下の抑制に繋がる。
【００５０】
なお、本実施形態においては一時停止／再開信号生成部５８を備えるものとしたが、制御装置５０の外部からの環境の異常に関する情報の入力信号を一時停止信号としてインデックス信号生成部５４に入力するものとしてもよい。
【００５１】
次に、本発明の第２の実施形態に係る電子線露光システムについて説明する。図５は本発明の第２の実施形態に係る電子線露光システム２の概略構成を示すブロック図である。図５において図１に示した電子線露光システム１の構成要素と同等の要素には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００５２】
本実施形態の電子線露光システム２は、環境値測定装置を備えていない点で第１の実施形態の電子線露光システムと異なる。電子線露光システム２は、制御装置５０が広域ネットワーク（インターネット）と接続されており、インターネットから環境の異常に関する情報を受信するよう構成されている。
【００５３】
インターネットから入力される環境の異常に関する情報としては、緊急地震速報が挙げられる。
【００５４】
電子線露光システム２においては、インターネットからの緊急地震速報を受信すると、その情報をもとに、一時停止／再開信号生成部５８において一時停止信号を生成する。一時停止信号に基づく一時停止処理は第１の実施形態の場合と同様である。
緊急地震速報受信によりすぐさま一時停止信号を生成して一時停止処理を行ってもよいし、地震発生場所が電子線露光システム２の設置場所に近い場合には終了処理を行っても良い。
【００５５】
なお、地震による揺れの継続時間は長くて数分程度であるため、緊急地震速報により一時停止処理をした場合には、一定時間（例えば、１０分）経過後に、一時停止／再開信号生成部５８において再開信号を生成し、描画を再開するようにすればよい。
【００５６】
本実施形態の電子線露光システム２は、環境の異常が生じた際、あるいは生じる前に、速やかに描画の一時停止を行うことができるので、環境変動による欠陥の発生を未然に防ぐ、または欠陥の発生を最小限に抑えることが可能となる。また、回転されている原盤上の一時停止した箇所から引き続き描画を再開することができるため、パターン重なりや、パターン欠如等の欠陥をさらに抑制することができる。
【００５７】
なお、露光描画システムとしては、環境値測定装置７０を備え、さらに、制御装置５０が広域ネットワークと接続されていてもよく、環境値測定装置７０からの情報および広域ネットワークの少なくとも一方の情報をもとに描画の一時停止処理を行うように構成することもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１、２    電子線露光システム
８    ディスク状記録媒体用の原盤
１０    電子線露光装置
１８、１９  筐体
２０    電子線露光部
２１    電子銃
２２、２３    偏向手段
２４    ブランキング手段
２５    アパーチャ
２６    ブランキング
３０    機械駆動部
３１    回転ステージ
３２    回転駆動機構
３３    回転ステージユニット
３４    直線移動手段
５０    制御装置
５２    描画データメモリ
５４    インデックス信号生成部
５６    制御回路
５８    一時停止／再開信号生成部
７０    環境値測定装置
７１    センサ
７２    データロガー
Ｓ    サーボ領域
Ｄ    データ領域
Ｇ    グルーブ
【図１】
2012208140.tif 000003
【図２】
2012208140.tif 000004
【図３】
2012208140.tif 000005
【図５】
2012208140.tif 000006
【図４】
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