(57)【要約】【課題】複雑化している作業手順を簡易化し、操作性の高い荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】各操作画面を起動する順番および、次のステップへ進むための条件を作業手順として設定，登録し、作業者は予め登録しておいた作業手順を選択，実行することで自動的に操作画面の起動が行われ、また作業内容を確認することが可能であるため、操作性が向上する。同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料室内に保持された試料に対して荷電粒子線を照射して荷電粒子線画像を撮像する機能を備えた荷電粒子線装置本体と、当該荷電粒子線装置本体を制御する制御ユニットと、前記荷電粒子線装置本体の制御条件を設定する操作画面が表示されるディスプレイと、当該操作画面を介して入力された情報を前記制御ユニットに伝送する情報処理装置と、当該情報処理装置で実行されるプログラムを格納する情報記憶装置とを備える荷電粒子線装置における前記情報処理装置上で実行されるプログラムであって、
複数の前記操作画面を前記ディスプレイ上に表示させる第１のプログラムと、
当該複数の操作画面の起動順序が予め設定された順序に沿うよう管理する第２のプログラムとを記憶した情報記憶装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプログラムを記憶した情報記憶装置において、
前記プログラムが、以下の操作画面を前記ディスプレイ上に表示させることを特徴とする前記プログラムを記憶した情報記憶装置。
（１）前記試料室内に試料を搬入させる処理における条件を設定する試料搬送制御画面
（２）前記試料に対するアライメント条件を設定するステージ制御画面
（３）前記荷電粒子線画像の撮像条件を設定画面を含むレシピ管理画面
【請求項３】
請求項２に記載のプログラムを記憶した情報記憶装置において、
前記プログラムの実行により、前記試料搬送制御画面に引き続き、前記搬入される試料が格納されているスロットから棚番号を選択するための操作画面が前記ディスプレイ上に表示されることを特徴とする前記プログラムを記憶した情報記憶装置。
【請求項４】
試料室内に保持された試料に対して荷電粒子線を照射して荷電粒子線画像を撮像する機能を備えた荷電粒子線装置本体と、
当該荷電粒子線装置本体を制御する制御ユニットと、
前記荷電粒子線装置本体の制御条件を設定する操作画面が表示されるディスプレイと、
当該操作画面を介して入力された情報を前記制御ユニットに伝送する情報処理装置と、当該情報処理装置で実行されるプログラムを格納する情報記憶装置とを備え、
前記情報処理装置は、複数の前記操作画面を前記ディスプレイ上に表示させ、当該複数の操作画面の起動順序が与えられた順序に沿うよう管理することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
前記操作画面は、荷電粒子線画像の撮像条件を設定するレシピ設定画面または当該レシピ設定を実行するために必要な前処理条件を設定する前処理条件設定画面の一部を構成し、
前記情報処理装置は、当該操作画面上において装置ユーザが実行する作業内容および当該作業の順序を登録するための作業手順登録画面を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項５に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、前記作業手順登録画面上で登録された作業順序に沿って、前記操作画面を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項５に記載の荷電粒子線装置において、
前記前処理条件設定画面は、前記試料室内に試料を搬入させる処理における条件を設定する試料搬送制御画面または前記試料に対するアライメント条件を設定するステージ制御画面を含むことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
前記ディスプレイ上に、前記複数の操作画面を介して行われる作業のうち現在実行中の作業を示す作業手順管理モニタが表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項５に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、１の操作画面上で装置ユーザが行った操作により呼び出される他の操作画面と前記１の操作画面との排他関係を判断し、
前記１の操作画面と前記他の操作画面とが排他関係にある場合には、前記他の操作画面の呼び出しを実行しないことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、
前記他の操作画面の呼び出し不実行時に前記ディスプレイ上にアラーム表示を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置における作業手順管理、特にレシピ作成時の操作画面の自動起動、および操作者との対話形式によるＧＵＩ制御方式に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場で使用される製造装置あるいは計測／検査装置においては、電子線やイオンビームなど荷電粒子線を応用した装置が多数存在する。これらの荷電粒子線装置は、運用動作条件が完全に確定してしまえば、多くの場合無人運転が可能である。しかしながら、運用条件が確定する以前の準備段階においては、装置オペレータに頼ったマニュアル運転が行われており、特に、計測／検査を行うためのレシピ作成処理は、微細化や多品種少量生産等による条件設定複雑化という要因により、未だオペレータの介在なしには行えていないのが現状である。
【０００３】
上記の荷電粒子線装置においては、システム運用上、多数のアプリケーションが使用されており、使用されるアプリケーション数は、システムの多機能化に伴い増大の一途をたどっている。また、ＧＵＩの普及により、アプリケーションを操作する場合には、ＧＵＩ上に表示される何らかの操作画面を介して使用することが常識となっている。一般に、アプリケーションを操作する際には、各種操作画面の機能を組合せて作業を行う。従って、一連の作業を行う際、各操作画面の起動や終了を含め、多くの画面操作を行う必要があり、装置オペレータは、多数の操作画面を用いて荷電粒子線の操作・運用を行っている。
【０００４】
特開２００７−２３４７９８号公報には、検査レシピの設定項目を、対話形式で順次ユーザが入力するように操作画面を構成した発明が開示されている。ここで検査レシピとは、検査あるいは計測を実行するために必要な装置動作の設定情報の集合物のことである。本発明によれば、欠陥確認画面上に表示されるＧＵＩボタンを用いて、ユーザが複数のウィンドウを見ながらレシピを設定することができ、検査レシピ設定の手順をある程度容易化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２３４７９８号公報（米国特許７４２３７４６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の通り、荷電粒子線装置においては多数のアプリケーションが使用されており、かつ使用されるアプリケーションの組み合わせは装置ユーザの目的に応じてさまざまである。また、アプリケーションの処理条件の設定内容および処理条件を設定するための作業手順は、装置の運用によって全く異なる。従って、ＧＵＩの汎用性を考慮すると、各ＧＵＩを機能単位で分割し、各機能を組合せて運用する形態が荷電粒子線装置においては一般的である。
【０００７】
上記の通り、アプリケーションの処理条件を設定するための作業手順は装置の運用によって全く異なるため、各機能の組合せパターンの数は膨大なものとなる。また、装置に同じ処理を実行されるための処理手順は、必ずしも一つのみの手順に一意に定まるわけではなく、違う手順によっても同じ処理を実行させることが可能であり、いずれの手順を選択するかは、装置オペレータにより変わる。
【０００８】
ＧＵＩの機能の組合せパターンの数が膨大であるということは、ＧＵＩが機能に応じて分割された複数の操作画面で構成されており、かつレシピ設定時に多数の操作画面を開かなければならないことを意味する。しかしながら、汎用性を持たせる必要上、特定の操作画面の組み合わせパターンを事前に想定してＧＵＩのソフトウェアを構成することは困難である。
【０００９】
また、汎用性を確保する都合上、各操作画面は互いにリンクできるようにＧＵＩを構成する必要がある。このように、ディスプレイ上に表示される操作画面の数が膨大という状況下でＧＵＩがある操作画面から他の任意の操作画面が開けるように構成されている場合、次に操作すべき画面がどれか、あるいは次に操作するべき画面をどのように呼び出せばよいかを装置オペレータが視覚的に認識することが困難である。また、無駄な操作による効率の低下や誤った操作による結果不正が生じやすくなる。このような効率低下や誤操作による結果不正は、装置オペレータが装置に不慣れである場合には特に深刻となる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
レシピ作成手順は、実際にＳＥＭの撮像条件を設定する段階と、その前段階となる前処理段階とに大別することができ、前処理段階であればある程度の定型化が可能である。
【００１１】
そこで本発明では、レシピ設定手順を、前処理段階と、レシピ内容の具体的な設定を行うレシピファイル設定段階とに大別し、少なくとも前処理段階については、実行するべき大まかな作業順序および作業内容を登録できるようにＧＵＩを構成した。装置ユーザがＧＵＩを操作する際には、レシピ設定時に装置ユーザが作業を行う操作画面の起動順序が、上記設定された順序となるように起動順序を管理する。これにより、無駄な操作による効率の低下や誤操作による結果不正という上記の課題を解決する。起動順序を管理するための具体的な装置構成については実施例で説明される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、予め登録した作業手順に従い、自動的にＧＵＩを起動し、対話形式で次の作業を指示することで、作業者の操作手順が明確になり、作業効率が向上する。また、同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施例の荷電粒子線装置の全体構成を示す模式図。
【図２】マンマシン部の内部構成を示す概略図。
【図３】本実施例の荷電粒子線装置における操作画面のレイアウトの一例。
【図４】ウェハ搬送画面の一例。
【図５】スロット選択画面の一例。
【図６】ステージ制御画面の一例。
【図７】レシピ設定画面の一例。
【図８】作業手順登録画面の一例。
【図９】作業内容新規登録画面の一例。
【図１０】図９に示した作業内容登録画面の登録完了時の状態を示す図。
【図１１】作業手順管理モニタの一例。
【図１２】作業手順ディスプレイ，ウィンドウマネージャおよびＧＵＩの間のソケット通信シーケンスを示す図。
【図１３】ソケット通信シーケンスにおけるウィンドウマネージャの機能を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本実施例では、荷電粒子線装置として、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いた欠陥レビュー装置を想定した実施形態について説明する。欠陥レビュー装置とは、他の装置で取得された、試料の欠陥候補位置の座標情報に基づき当該位置のＳＥＭ画像を取得し、与えられた規準で欠陥を分類する処理を実行する装置のことである。
【００１５】
図１は、欠陥レビュー装置の荷電粒子線装置の全体構成を示す模式図である。図１に示した欠陥レビュー装置は、大きく分けてＳＥＭ本体１と、コントローラ部２に大別される。
【００１６】
ＳＥＭ本体１は、一次電子線をレビュー対象となる試料上に走査し、検出される二次電子あるいは反射電子由来の信号を出力する機能を持つ電子光学カラム１０１，レビュー対象となるウェハが格納される試料室１０２，ロードロック室１０３，試料を試料室内に搬入するためのロードポート１０６などにより構成される。
【００１７】
電子光学カラム１０１は、一次電子線を発生させる電子銃１０５、当該一次電子線の照射により発生する二次電子あるいは後方散乱される反射電子を検出するトップ像検出器１０８、一次電子線の照射点から左側に出射された二次電子あるいは散乱された反射電子を検出するＬ検出器１０９、右側に出射された二次電子あるいは散乱された反射電子を検出するＲ検出器１１０などを含んで構成される。光学顕微鏡１１１は試料に対して光を照射し、散乱光あるいは反射光を検出して信号出力する機能を有し、試料の粗アライメント時に使用される。図示されていないが、トップ像検出器１０８，Ｌ検出器１０９，Ｒ検出器１１０，暗視野顕微鏡１１１の出力信号はＡＤ変換器によりデジタル信号に変換されてハードウェア制御部１１７に出力される。
【００１８】
レビュー対象となるウェハは、試料ステージ１１２上に保持されており、試料ステージ１１２はロードロック室１０３と試料室１０２の間を移動する。ロードポート１０６にはウェハを格納するカセット１０５が設置されており、ウェハは搬送ロボット１０４により試料ステージ１１２に移設される。すなわち、ロードポートからロードロック室へのウェハの搬入あるいは搬出は、搬送ロボット１０４により実行される。
【００１９】
コントローラ部２は、取得画像のデータやレシピファイルが格納される記憶装置１１３、ＧＵＩの操作画面や観察した画像を表示するためのディスプレイ１１４、キーボードやマウスなどの入力装置１１５、ＳＥＭ本体１を構成する電子光学カラム１０１の動作や試料ステージ１１２、ロードポート１０６からロードロック室１０３あるいは試料室１０２間のウェハの搬送など、ハードウェアの動作制御を行うハードウェア制御部１１７、ハードウェア制御部の更に上位の制御を行い、レビューＳＥＭ全体を統括的に制御するマンマシン制御部１１６などにより構成される。
【００２０】
ハードウェア制御部１１７は、ＳＥＭ本体側から出力されてくる、トップ像検出器１０８，Ｌ検出器１０９，Ｒ検出器１１０，暗視野顕微鏡１１１の各デジタル信号を受信し、欠陥レビューに必要な画像処理を実行する画像演算部１１８，ロードポート１０６からロードロック室１０３へのウェハ搬送を制御するウェハ搬送制御部１１９，ロードロック室１０３から試料室１０２へのウェハ移動あるいは試料室１０２内でのウェハ移動を制御するステージ制御部１２０などを含んで構成されている。
【００２１】
図２には、図１に示したマンマシン制御部１１６の内部構成図を示す。
【００２２】
マンマシン制御部１１６は、ハードウェア的には、マンマシン制御部の持つ機能を実現するソフトウェアを実行するプロセッサ２０１，主記憶２０２，上記ソフトウェアが格納される二次記憶装置２０３などにより構成されている。
【００２３】
次に、マンマシン制御部１１６上に実現される機能について説明する。
【００２４】
「発明が解決しようとする課題」欄に記載した通り、荷電粒子線装置のレシピ設定時には膨大な数の操作画面を開く必要がある。これらの操作画面の起動，終了を実行するのが操作画面処理部であり、図２ではＧＵＩ−ｘ（ｘは任意の自然数を示す）で示されている。
【００２５】
ディスプレイ上に表示される操作画面ないしＧＵＩ画面は、互いに全て独立しているわけでなく、操作画面と操作画面間に何らかの従属関係がある場合がある。例えば、ある操作画面が特定の操作画面からしか呼び出せないように構成されている場合や、ある操作画面は特定の操作画面上でしか使用されないような場合である。
【００２６】
図２中では、参照番号２０９で示したＧＵＩ−１から参照番号２１０のＧＵＩ−ｎまでが独立した操作画面処理部を示しており、参照番号２１１で示したＧＵＩ−（ｎ＋１）から参照番号２１４の操作画面までがツリー構造の相互関係を持つ操作画面処理部の例を示している。例えば、ＧＵＩ−（ｎ＋１）−１からＧＵＩ−（ｎ＋１）−３に示した操作画面処理部２１２は、ＧＵＩ−（ｎ＋１）の操作画面処理部２１１の子の操作画面処理部になっており、ＧＵＩ上では、ＧＵＩ−（ｎ＋１）−１からＧＵＩ−（ｎ＋１）−３に対応する操作画面は、ＧＵＩ−（ｎ＋１）に対応する操作画面のサブウィンドウになっていることに相当する。ＧＵＩ−（ｎ＋１）−１からツリー状に伸びた操作画面２１３あるいは２１４との関係も同様である。
【００２７】
ウィンドウマネージャ２０５は、これら操作画面処理部の起動（ディスプレイ上への表示）や終了（ディスプレイからの消去）の指示，状態管理などを実行している。また、上記ＧＵＩ−ｘで示される多数の操作画面処理部間の内部通信は、ソケット通信処理部２０４により実行され、ウィンドウマネージャ２０５と操作画面処理部、および作業手順モニタ２０６と操作画面処理部間の内部通信もソケット通信処理部２０４を介して実行される。図中の矢印は内部通信のパスを示す。
【００２８】
各操作画面は、必要に応じて起動，終了するため、図中の矢印で示される内部通信パスも操作画面処理部の起動，終了に応じて生成，接続終了を繰り返す。ソケット通信処理部２０４は、操作画面あるいはウィンドウの新規起動命令がウィンドウマネージャ２０５から出力された場合には、所定操作画面処理部への通信パスを新たに生成し、略同操作画面処理部へウィンドウマネージャからの起動命令を転送する。操作画面あるいはウィンドウの終了命令がウィンドウマネージャ２０５から出力された場合には、所定操作画面処理部からの操作画面シャットダウン完了報告を待ち、内部通信パスの接続を終了する。これにより、イベント駆動方式で処理を実行することが可能となる。
【００２９】
作業手順モニタ２０７は、装置ユーザが設定した作業順序および作業内容を登録する機能を備え、新規操作画面の生成あるいは操作画面の終了時にウィンドウマネージャによって参照される。また、作業手順モニタ２０７は、ＧＵＩを構成する操作画面の一つであり、起動，終了はウィンドウマネージャ２０５によって管理されるが、本発明では特に重要な操作画面であるため、図２では、他の操作画面処理部とは別に表示している。
【００３０】
以上説明したソケット通信処理部２０５，ウィンドウマネージャ２０６，作業手順モニタ２０７および操作画面処理部の機能を実現するプログラムは二次記憶装置２０３内に格納されており、マンマシン制御部１１２の起動時に主記憶２０４に読み込まれ、プロセッサ２０１により実行される。これにより、図２に示した機能ブロックがマンマシン制御部内に仮想的に構成される。なお、以上の説明では、上記の各機能ブロックが単一のプロセッサがプログラムを実行することにより実現されるとしたが、図２に示した機能ブロックが実装形態を問わず実現可能であることは言うまでも無い。例えば、各機能ブロックを実現するソフトウェアを複数のプロセッサで並列処理しても良いし、各機能ブロックを専用チップで構成するハードウェア実装の形で実現してもよい。あるいは、ＦＰＧＡなど、ハードウェア実装とソフトウェア実装の中間的な実装形態を取ることも可能である。
【００３１】
以下、図面を用いて本実施例の荷電粒子線装置を用いたレシピ設定手順について説明する。
【００３２】
まず、荷電粒子線装置を用いてレシピ設定を行う際の基本的な作業手順について説明する。
【００３３】
最初は、ＳＥＭ本体内にはレビュー対象であるウェハは格納されていないため、ロードポート１０６内のカセットからロードロック室１０３経由で試料室１０２内にウェハを搬入するプロセスが必要となる。以下の説明では、このプロセスを「ウェハ搬送制御」と称する。
【００３４】
試料室１０２内にウェハが搬入されても、この状態では試料ステージは任意の視野移動を実行することはできない。ステージ制御部１２０はウェハの原点座標を知らないためである。そこで、ウェハ上の適当な位置の光学顕微鏡画像を用いてステージ制御部の持つ座標系（相対座標系）とウェハ上の物理座標（絶対座標系）との座標マッチングが実行される。以下の説明では、このプロセスを「ステージ制御」と称する。
【００３５】
ステージ制御プロセスが終了すると、一次電子線をウェハ上の任意位置に走査し、走査電子顕微鏡画像を画面表示することが可能となる。この時点で、装置ユーザは、光学顕微鏡あるいはＳＥＭ，任意の画像を一旦画面表示させ、どのような画像が取得可能か確認する。以下の説明では、このプロセスを「画像表示」と称する。この後、ＳＥＭの具体的な撮像条件を設定登録するレシピ設定が実行可能となる。以下の説明では、このプロセスを「レシピ管理」と称する。
【００３６】
以上の通り、レシピ設定時の基本的な作業手順は、ウェハ搬送→ステージ制御→画像表示→レシピ管理、という３つに大別される。本実施例の場合、ウェハ搬送から画像表示までの工程が前処理段階、ＳＥＭの具体撮像条件を設定するレシピ管理の工程が、前述のレシピファイル管理段階に相当する。各プロセスの詳細設定は、各プロセスの専用設定画面あるいはそのサブウィンドウを呼び出すことにより行われる。
【００３７】
図３には、レシピ設定時にディスプレイ１１４上に表示される操作画面の一例を示したものある。図３に示すＧＵＩは、画面下部にウィンドウマネージャ３０１が表示され、画面上部に操作画面表示エリア３０２が表示されている。マンマシン制御部１１６を立ち上げた初期状態では、ウィンドウマネージャ３０１と作業手順管理モニタ３１２のみが表示されており、ウィンドウマネージャ３０１内に表示されたウェハ搬送制御表示３０３，ステージ搬送制御画面表示３０４，画像表示画面表示３０５，レシピ管理画面表示３０６の各ボタンをクリックすることにより、対応するウェハ搬送制御画面３０７，ステージ制御画面３０９，画像表示画面３１０，レシピ管理画面３１１および作業手順管理モニタ３１２がディスプレイ上に表示されるようになっている。これらの各操作画面は、各々対応する操作画面処理部に対しウィンドウマネージャ２０５がＧＵＩ上でボタンがクリックされたことをソケット通信処理部２０４を介して伝達することにより起動される。
【００３８】
ウェハ搬送制御画面３０７，ステージ制御画面３０９，画像表示画面３１０，レシピ管理画面３１１および作業手順管理モニタ３１２の各画面は、互いに重ねられて表示されており、現在アクティブな操作画面は一番上に表示される。図３に示す例では、レシピ管理画面３１１がアクティブな状態になっている。
【００３９】
図４は、ウェハ搬送制御画面の例を示す。ウェハ搬送を実行するためには、初めに、カセット１０５に格納されたウェハのいずれを搬送するか選択する必要がある。スロット選択ボタン４０２をクリックすると、カセット内のウェハを選択するためのスロット選択画面が表示される。スロット選択画面の構成例は図５に示した。スロット選択画面には、スロット選択部５０２，５０３と画面終了ボタン５０１とが表示され、スロット選択部５０２，５０３の左側には対応するカセットのスロット番号が表示されており、スロット番号右側の矩形をクリックすることで、選択，解除を行うことができる。
【００４０】
ウェハ搬送開始ボタン４０３をクリックすることで、スロット選択部５０２，５０３で選択済みのスロットのウェハロードを開始し、ウェハ搬送終了ボタン４０４をクリックすることで、処理中のウェハのアンロードを開始する。また、処理中の全ウェハに対して、中止ボタン４０５をクリックすると、装置内にある処理中のウェハすべてに対し、アンロードを行う。
【００４１】
図６は、ステージ制御画面の例を示す。画面上には、図中矩形で示されたチップレイアウトを含むウェハマップが表示される。通常、ウェハ上の適当な位置にはアライメントマークが形成されており、装置ユーザは、ウェハマップ上に表示されたチップレイアウトの中からウェハアライメント（祖アライメント）に使用するチップを選択する。装置ユーザがウェハアライメントに使用するチップを選択すると、ステージ制御部１２０は、装置ユーザの選択したチップ位置が光学顕微鏡１１１の光照射位置に位置するようにステージ移動を実行する。その後、光学顕微鏡１１１画像によりアライメントマークの光学顕微鏡画像が取得され、画像演算部１１８によりアライメントマーク位置と取得した光学顕微鏡画像の視野中心とのずれ量が計算される。計算されたずれ量を補正したステージ制御の座標位置がウェハの物理座標位置であり、ステージ制御系の原点とウェハの物理座標の原点とのずれ量も計算されたずれ量に等しい。
【００４２】
図７には、画像表示画面の一例を示す。図７に示す画像表示画面７０１で、装置ユーザがＯＭボタン７０３あるいはＳＥＭボタン７０４をクリックすると、ステージ制御画面中のステージＸ座標６０３，ステージＹ座標６０２で設定されている座標位置が光学顕微鏡画像あるいはＳＥＭ画像の取得位置に位置するようにステージ移動が実行され、光学顕微鏡画像あるいはＳＥＭ画像が撮像され、画像表示領域７０２に表示される。図１で説明した通り、本実施例のＳＥＭは、トップ像検出器１０８，Ｌ検出器１０９，Ｒ検出器１１０の３つの検出器を備えており、これら３つの検出器由来の画像を選択して表示させることが可能である。このため、図７の画像表示画面は、３つの検出器由来の画像を選択するためのＳ像選択ボタン７０５，Ｌ像選択ボタン７０６，Ｒ像選択ボタン７０７を備えている。倍率設定欄７０８，加速電圧設定欄７０９，ビーム電流値設定欄７１０には、現在使用中の倍率，加速電圧，一次電子線のビーム電流が表示されており、各設定欄へ数値を入力することにより、倍率，加速電圧値，一次電子線のビーム電流値を調整することができる。
【００４３】
図３の示したレシピ管理画面表示ボタン３０６をクリックすると、記憶装置１１３に格納されたレシピファイルが読み込まれ、レシピ管理画面３１１に表示されるが、図１１には、作業手順モニタの一例を示す。作業手順モニタ１１０１は、前処理条件およびレシピ設定の進捗状況を表示する機能を有する画面であり、順番表示欄１１０２，対象ウィンドウ表示欄１１０３，処理内容表示欄１１０４，終了条件表示欄１１０，コメント表示欄１１０７などを含んで構成される。終了条件表示欄１１０７の画面右側にはスクロールバー１１０６が表示されており、装置ユーザはスクロールバーの操作により、画面の表示内容を上下にスクロールさせることができる。
【００４４】
各表示欄に表示させる内容は装置ユーザにより事前設定されたものであり、現在実行中の処理は、対応する各表示欄がハイライト表示される。これにより、装置ユーザは現在自分が実行している処理を視覚的に確認することができる。また、コメント表示欄１１０７には、次に実行するべき操作内容が表示され、操作画面を操作する際のガイダンスとして機能する。これにより、登録した作業手順の自動実行が不可能な場合も、コメントを補助に装置ユーザが操作を行うことが可能となる。コメントは、作業手順管理モニタ上に表示しても良いし、別のＧＵＩに表示しても良い。また、コメント表示の他、音声による通知機能を装置に搭載してもよい。
【００４５】
ウィンドウマネージャ２０５が各操作画面を起動あるいは終了する際には、作業手順モニタ２０６を参照して装置ユーザの行った操作が妥当かどうか判断しており、もし装置ユーザが事前設定された操作順序とは異なる操作を行った場合、ディスプレイ１１４上にアラームを表示する。実行中の作業は、作業中止ボタン１１０９をクリックすることで中止することができる。また、作業を再開したい場合は、作業再開ボタン１１０８をクリックすることで、再開することができる。更に、作業手順管理モニタの表示を終了する場合には、作業終了ボタン１１１０をクリックする。
【００４６】
なお、作業手順管理モニタの機能は、必ずしも新規のＧＵＩとして登録する必要はなく、既存のＧＵＩに同様の機能を搭載し管理することも可能である。
【００４７】
次に、作業手順モニタに表示させる作業の順序および内容を設定する方法について説明する。
【００４８】
まず、図８に示す作業手順登録画面の新規登録ボタン８０４をクリックし、図９に示す作業内容新規登録画面を表示する。次に作業名称入力欄９０２に適当な作業名称を入力する。作業名称は、作業手順実行時に判りやすいユニークな作業名称であるとよい。次に、作業内容登録部９０３に含まれる作業順番入力欄９０４，対象ウィンドウ名入力欄９０５，処理内容入力欄９０６，終了条件入力欄９０７の各入力欄に、作業の順番，処理対象ウィンドウ名，処理内容，終了条件等の作業内容を順次入力する。各入力欄への内容設定方法は、マニュアル入力しても良いし、対象となる画面名や処理内容，終了条件を予め登録しておき、プルダウンメニューなどの形式で選択できるようにすることも有用である。
【００４９】
作業内容の設定が終了したら、保存ボタン９０９をクリックすることで、作業内容新規登録画面を終了し、設定した作業内容をファイル形式で記憶装置や外部記憶媒体に保存する。また、設定した作業内容はファイルに保存する以外に、メモリ上に保持しても良い。
【００５０】
キャンセルボタン９１０をクリックすると、設定した内容を保存せずに作業内容新規登録画面を終了する。
【００５１】
保存した作業内容は、登録済み作業一覧表示部８０２に表示される。登録した作業は、登録済み作業一覧表示部８０２で選択し、登録ボタン８０７をクリックすると、選択した作業が実行可能作業一覧表示部８０１にコピーされ、実行可能な作業として登録される。
【００５２】
逆に、実行可能な作業としては登録しておく必要のない作業は、実行可能作業一覧表示部８０１から該当する作業を選択し、登録解除ボタン８０８をクリックすることで、登録済み作業一覧表示部８０２に移動することができる。
【００５３】
不要となった登録済み作業手順は、登録済み作業一覧表示部８０２で該当する作業手順を選択し、登録削除ボタン８０６をクリックすることで、削除される。また、登録済み作業一覧表示部８０２に表示されている登録済みの作業手順を選択し、編集ボタン８０５をクリックすることで、編集が可能となる。
【００５４】
図１０には、一連の作業の入力が終わった状態の作業内容新規登録画面を示す。この状態で保存ボタン９０９をクリックすると、入力した作業手順，内容，終了条件が二次記憶装置２０３に保存され、図８の作業手順登録画面に戻る。また、装置ユーザが図８の作業実行ボタン８０３をクリックすると、実行可能作業一覧表示部８０１に表示された作業内容の実行が開始され、ディスプレイ１１４上に表示されるＧＵＩが図３に示す画面に遷移する。
【００５５】
図１２には、図２に示したソケット通信処理部２０４，ウィンドウマネージャ２０５および作業手順モニタ２０６間で送受信される内部通信のシーケンスを示す。
【００５６】
図１２（Ａ）に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャが作業手順モニタに対して、現在進捗中の作業および装置ユーザが行った操作を示すステータス情報の通知要求を発行し、作業手順モニタがステータス情報をウィンドウマネージャに通知し、ウィンドウマネージャが通知されたステータス情報を元に各操作画面処理部に画面の起動／終了指示を行うシーケンスであり、最も一般的なシーケンスである。ウィンドウマネージャが通知要求発行を行わずに、ステータス情報に何らかの変化があった際に作業手順モニタがステータスをウィンドウマネージャに対して自動的に通知するシーケンスにしてもよい。また、各ＧＵＩからの画面の起動／終了報告は、一斉同報通信（ブロードキャスト）を使用することも有用である。
【００５７】
図１２（Ｂ）に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャを介さずに、作業手順管理モニタが起動対象となる操作画面の担当処理部に対し、直接起動要求を行うシーケンスである。起動要求は、登録された作業手順に従って実行され、画面の起動を完了した操作画面処理部が、作業手順管理モニタへ画面の起動完了報告を行う。これにより、作業手順管理モニタで各ＧＵＩの起動／終了状態を管理することが可能となる。本シーケンスは、事前設定された作業手順をマンマシン制御部が自動実行する際に使用される。
【００５８】
例えば、図１１に示される作業手順管理モニタで、ある作業名称の作業に対する終了条件としてウェハのアンロード完了を設定した場合、順番９で示されたウェハアンロードの終了報告を作業手順管理モニタで受信（トリガーを認識）できるようにしておくことで、次のステップへ処理を進めることが可能となる。
【００５９】
図１２（Ｃ）に示すシーケンス例は、ウィンドウマネージャを使用し画面の起動／終了を行うシーケンスである。ウィンドウマネージャが画面の起動／終了の起点となる点は従来と同様であるが、各操作画面処理部は、画面の起動要求に対してウィンドウマネージャと作業手順管理モニタの両者に起動完了報告を通知する点が従来と異なる。これにより、作業手順管理モニタで各ＧＵＩの起動状態を管理することが可能となる。
【００６０】
図１３にはアラーム発生時の処理を示す。前述の通り、ウィンドウマネージャ２０５は、作業手順モニタ２０６から通知されるステータスの変化を監視しており、各操作画面の起動，終了要求が妥当かどうかを判断している。また、ある作業を実行とＳＥＭ本体の現在のステータスとの間に排他関係が成立する場合がある。例えば、図４に示すウェハ搬送制御画面において、レビュー済みのウェハがＳＥＭ本体内に格納されているのに（＝ウェハアンロードが完了していないのに）ウェハ搬送開始ボタン４０３をクリックすることは不合理であり、現在のステータス（この場合はアンロード未完了）から見て許容されない操作である。つまり、図５に示すスロット選択画面は、アンロード未完了というステータスからみて表示が許容されない操作画面に相当する。
【００６１】
図２に示す二次記憶装置２０３には、各操作画面間の組み合わせパターンに対して、このような排他関係を記述したテーブルが格納されており、ウィンドウマネージャ２０５は、作業手順モニタ２０６からステータス情報の通知がある度に、排他関係テーブルを参照して、起動要求あるいは終了要求のあった操作画面が現在のステータスからみて妥当かどうかを判断する。
【００６２】
図１３では、作業手順モニタから通知されたステータス情報に操作画面１の起動要求が含まれており、操作画面１の起動完了後、作業手順モニタから操作画面２の起動要求を含むステータス情報が通知された例を示している。ウィンドウマネージャは、操作画面１の起動完了という現ステータスと操作画面２の起動要求の排他関係を判断し、排他関係ありと判断した場合には、アラームに対応する操作画面の起動を中止し、作業手順モニタ２０６にアラームを通知する。アラームが通知されると、図１１に示す作業手順モニタのコメント欄にはアラーム発生の旨が表示され、更に本来行うべき正しい作業内容および作業手順（リカバリー手順）が表示される。
【００６３】
排他関係なしと判断した場合には、操作画面２に対応する操作画面処理部に画面の起動要求を転送する。その後、ウィンドウマネージャは、画面２の起動完了報告を受信すると、作業手順モニタに軌道完了報告を転送する。
【００６４】
予め、作業手順管理モニタでアラームが発生することが判断できる場合は、作業手順管理モニタでアラームにしても良いし、ウィンドウマネージャや各ＧＵＩが判断しアラームを発生させても良い。
【符号の説明】
【００６５】
１  ＳＥＭ本体
２  コントローラ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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