(57)【要約】【課題】帯状のワークを巻き取りリールに巻き取る時、一様にテンションがかかった状態で巻き取ることができ、巻き取られたワークに粗密が生じないようにすること。【解決手段】巻き出しリール１に巻かれた帯状ワークＷは、たるみ部Ａ１等を経て露光部３に送られ、露光光が照射されて露光される。露光が終わると、ワークＷは、たるみ部Ａ２、テンションローラＴＲ等を経て巻き取りリール２に巻き取られる。テンションローラＴＲには、制動力の大きさが可変なブレーキ機構８が設けられる。ワークＷのたるみ量が大きいときは、テンションローラＴＲの制動力は小さな値Ｌｏに設定され、ワークＷは一定のテンションをかけられながら巻き取りリール２に巻き取られる。ワークＷのたるみ量が小さくなると、上記ブレーキ機構８の制動力を大きい値Ｈｉ（Ｈｉ＞Ｌｏ）に設定し、テンションローラＴＲの回転を停止させ、巻き取りリール２の巻き取りを停止する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺帯状のワークを回転と停止を繰り返しながら巻き取る巻き取りリールと、
該巻き取りリールを回転させる巻き取りリール駆動機構と、
上記巻き取りリールの上流側に設けられ、上記巻き取りリールに巻き取られる上記ワークに回転摩擦負荷によりテンションをかけるテンションローラと、
上記テンションローラに設けられ、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラ・ブレーキ機構と、
上記テンションローラの上流側に設けられたワークのたるみ部における、ワークのたるみ量を検出するセンサと、
上記センサからの信号に基づき、上記巻き取りリール駆動機構とテンションローラ・ブレーキ機構の動作を制御する制御部とを備えた帯状ワークの巻き取り装置において、
上記巻き取りリールの回転を停止する際、上記テンションローラ・ブレーキ機構の制動力を、上記巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定する
ことを特徴とする帯状ワークの巻き取り装置。
【請求項２】
露光光を照射する光照射部と、
パターンを形成したマスクを支持するマスクステージと、
巻き出しリールから巻きだした長尺帯状のワークを、該ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、
ワーク搬送機構により搬送した帯状ワークを保持するワークステージと、
上記搬送機構により上記ワークステージから搬出された帯状ワークを巻き取る巻き取り機構とを備え、
ワークステージに保持した帯状ワークに対して、光照射部からの露光光をマスクを介して照射することにより、マスクに形成したパターンを上記帯状ワークに露光する帯状ワークの露光装置において、
上記巻取り機構は、請求項１に記載の帯状ワークの巻き取り装置である
ことを特徴とする帯状ワークの露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば長尺の帯状ワークにパターンを露光する露光装置において、露光後のワークの巻取りを行うための機構である帯状ワークの巻き取り装置、およびこの巻き取り装置を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶等のディスプレイパネル、携帯電話、デジタルカメラ、ＩＣカード等では、厚さ２５μｍ〜１２５μｍ程度のポリエステルやポリイミド等の樹脂フィルム上に集積回路を実装したフィルム回路基板が用いられている。フィルム回路基板は、その製造工程においては、例えば幅５００ｍｍ、厚さ１００μｍ、長さ数百ｍの長尺帯状のワークであり、通常リールに巻かれている。
また、フィルム回路基板は、上記の樹脂フィルム上に、導電体（例えば銅箔）が貼り付けられている。フィルム回路基板の製造は、レジストを塗布する工程、所望の回路パターンを転写する露光工程、レジストの現像工程、不要の導電体を除去するエッチング工程等を、例えば４回から５回繰り返すことにより行なわれる。各工程においては、フィルム回路基板がリールから巻き出され、処理加工され、再びリールに巻き取られる。以下このようなフィルム回路基板のことを帯状ワークと呼ぶ。上記帯状ワークの露光装置としては、例えば特許文献１に記載のものが知られている。
【０００３】
図５に帯状ワークの露光装置の一例を示す。
帯状ワークＷ（以下、単にワークＷともいう）は、巻き出しリール１にロール状に巻かれている。
巻き出しロール１から出た帯状ワークＷは、第１のたるみ部Ａ１、第１のガイドローラＲ２を経てエンコーダローラＲ３と押さえロールＲ３’により狭持される。エンコーダローラＲ３は、ワーク搬送時、後述する搬送ローラにおいてスリップが生じていないか確認するためのロールである。
帯状ワークＷは、搬送ローラＲ４と第２の押さえローラＲ４’によって狭持され、搬送ローラＲ４が回転することにより設定された所定量搬送され、露光部３のワークステージ１０上に送られる。
【０００４】
露光部３上には、ランプ４ａと集光ミラー４ｂなどから構成される光照射部４と、ワークＷに露光するパターン（マスクパターン）を有するマスクＭおよびマスクＭを保持するマスクステージ１１と、投影レンズ５が設けられている。また、ワークステージ１０はワークステージ駆動機構６上に取り付けられており、上下、左右方向に駆動可能であるとともに、ワークステージ１０面に垂直な軸を中心として回転可能である。
露光部３で、帯状ワークＷは、露光される領域の裏面側が、ワークステージ１０の表面に不図示の真空吸着等の保持手段により保持される。
帯状ワークＷは、ワークステージ１０に吸着保持された後、マスクＭと位置合せが行われる。位置合わせ終了後、光照射部４から放射される露光光がマスクＭ、投影レンズ５を介してワークＷに照射され、マスクパターンがワークＷに転写される。
露光が終わると、帯状ワークＷは搬送ロールＲ４と押さえロールＲ４’によって狭持され、次のワークＷの次の露光領域がワークステージ１０上に来るように搬送され、搬送後露光される。
このようにして帯状ワークＷは順次露光され、第２のたるみ部Ａ２、ガイドローラＲ５を経て、ワークＷは、回転摩擦負荷を持ったテンションローラＴＲにより一定のテンション（張力）をかけられながら巻き取りリール２に巻き取られる。
巻き取りリール２は、巻き取りリール駆動機構７により回転停止の動作を行う。巻き取りリール駆動機構の動作は、装置の制御部２０により制御される。
【０００５】
図６は第２のたるみ部Ａ２における動作を説明する図であり、巻き取りリール２によるワークＷの巻き取りは、次のようにして行われる。
図５、図６に示すように、第２のたるみ部Ａ２には、ワークＷの有無（ワークＷのたるみの大きさ）を検出するセンサＳ１，Ｓ２が上下に２個所配置されている。
図６（ａ）に示すように上センサＳ１，下センサＳ２がワーク無し（センサＯＮ）を検出すると、制御部２０は巻き取りリール駆動機構に対して停止信号を送出し、巻き取りリール２は回転を停止する。これにより、ワークＷがたるみはじめるが、同図（ｂ）に示すように上センサＳ１がワーク有り（センサＯＦＦ）を検出しても巻き取りリール２は停止を継続する。
ワークＷがさらにたるみ、同図（ｃ）に示すように、上センサＳ１、下センサＳ２がワーク有り（センサＯＦＦ）を検出（ワークＷのたるみが多い状態を検出）すると、制御部２０は巻き取りリール駆動機構７に動作信号を送り、巻き取りリール２が回転してワークＷの巻取りを開始する。
【０００６】
ワークＷが巻き取られ、同図（ｄ）に示すようにした下センサＳ２がワーク無し（センサＯＮ）を検出しても巻き取りリール２は回転を継続し、同図（ａ）に示すよう上下両方のセンサＳ１，Ｓ２がワークＷ無しを検出（ワークＷのたるみが少ない状態を検出）すると、制御部２０は巻き取りリール駆動機構７に停止信号を送り、巻き取りリール２は回転を停止し、ワークＷの巻取りを停止する。
上記のように、上下のセンサＳ１，Ｓ２のうち上のセンサＳ１がワークＷ有りを、下のセンサＳ２がワークＷ無しを検出している場合は、制御部２０は巻き取りリール駆動機構に対して動作中であれば動作の信号を、停止中であれば停止の信号を送る。
このような帯状のワークの巻き取り方法については、特許文献１に記載されている。
このように、巻き取りリール２は、回転と停止を繰り返しながら（間歇的な動作を繰り返しながら）ワークＷを巻き取る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平２−１０００３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように、露光を終えた帯状ワークＷは、巻き取りリール２の上流側に設けられた、回転摩擦負荷を持ったテンションローラＴＲに掛けられて、一定のテンションがかかった状態にして、巻き取りリール２により巻き取られる。しかし、このようにして巻き取りリール２に巻き取ったワークＷにおいて、テンションがかかっている部分とテンションがかかっていないゆるい部分とが生じ、巻かれている状態に粗密が生じるという状態が生じた。
図７に、ワークＷが、粗密が生じた状態でリールに巻かれたイメージ図を示す。例えば約３００ｍのワークの場合、リールに巻かれると直径が４００ｍｍ程度になるが、巻かれている状態に粗密が生じると縦横の直径で１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度の差が出る。
このようにリールに巻き取られた状態に粗密が生じると、次の工程でこのリールからワークを巻き出すときに、搬送に緩急がつくために搬送トラブルが生じることがある。また、リールから巻きだすときに、テンションがかかっていない部分でワークにインパクトがかかり、ワークを伸ばしてしまうことや、リール内でワークがスリップして、ワーク同士が擦れ、傷がつくことも考えられる。
本発明は上記問題点を解決するものであって、本発明の目的は、帯状のワークを巻き取りリールに巻き取る時、一様にテンションがかかった状態で巻き取ることができるようにし、巻き取られたワークに粗密が生じないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
テンションローラＴＲを介して巻き取っているのに、巻き取られたワークＷに一様にテンションがかからないのはなぜなのか、発明者は鋭意検討した結果、以下のようなことが原因であることを突き止めた。
上記したように、テンションローラＴＲは回転摩擦負荷を持ったローラである。しかし、それ自体には回転摩擦負荷（回転に対する制動力）を制御する機構は備わっていない。
そのため、巻き取りリール２がワークＷの巻き取り開始から終了まで一定の速度で回転していれば、ワークＷに一様なテンションをかけることができる。しかし、上記従来例で示したような、巻き取りリール２を間歇的に動作させる（回転と停止を繰り返して巻き取る）場合は、以下のようになる。図８を用いて説明する。図８は、図５の装置において、テンションローラＴＲと巻き取りリール２の部分を拡大して示したものである。
【００１０】
図８（ａ）に示すように、巻き取りリール２が回転しワークＷを巻き取っている時。テンションローラＴＲがワークＷに一定の負荷をかけながら回転している。巻き取りリール２には一定のテンションがかかった状態でワークが巻き取られる。
しかし、第２のたるみ部Ａ２において、ワークＷのたるみが少なくなると、たるみ部Ａ２のセンサＳ１，Ｓ２の信号に基づき、制御部２０は巻き取りリール２の回転を停止する。巻き取りリール２が停止すると、ワークＷの巻き取りは停止するが、テンションローラＴＲは慣性によりすぐには止まらず惰性で回転し、ワークＷを押し出す。そのため、図８（ｂ）に示すように、テンションローラＴＲと巻き取りリール２の間でワークＷがたるむ。
そして、第２のたるみ部Ａ２において、ワークＷのたるみが多くなると、たるみ部Ａ２のセンサＳ１，Ｓ２の信号に基づき、制御部２０は巻き取りリール２の回転を開始する。この時、巻き取りリール２が回転を再開すると、図８（ｃ）に示すように、まず、上記において巻き取りリール２とテンションローラＴＲの間でたるんだワークＷが、テンションがかからないままリール２に巻き取られる。その後、ワークＷはテンションローラＴＲによりテンションがかけられてリール２に巻き取られる。
このようにして、巻き取りリール２に巻き取られるワークＷに、テンションがかかっている部分と、かかっていない部分が生じる。
【００１１】
この問題を解決するために、本発明においては、テンションローラＴＲに、テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラ・ブレーキ機構を設け、制御部２０によりそのブレーキ動作を制御できるようにした。
すなわち、ワークの巻取りに際し、テンションローラＴＲのブレーキ機構と巻き取りリール２の動作を次のように制御する。
（ｉ）図２（ａ）に示すように、巻き取りリール２が回転し、ワークＷを巻き取っている時は、テンションローラＴＲのブレーキ機構の制動力を小さな値Ｌｏに設定する。これにより、ワークＷは、小さな制動力（回転摩擦負荷）Ｌｏが与えられたテンションローラＴＲにより一定のテンション（張力）をかけられながら巻き取りリール２に巻き取られる。
この状態は、前記図７（ａ）と同じ状態であり、テンションローラＴＲはワークＷに一定の負荷をかけながら回転している。
【００１２】
（ｉｉ）図２（ｂ）に示すように、第２のたるみ部Ａ２におけるワークのたるみが少なくなり、第２のたるみ部Ａ２に設けた上下２個のセンサＳ１，Ｓ２がワークＷを検出しない状態になると、制御部２０は、巻き取りリール２の回転を停止する段階になったことを検出する。
（ｉｉｉ）制御部２０は、巻き取りリール駆動機構７に停止信号を送り、図２（ｃ）に示すように、巻き取りリール２の回転を停止する。また、上記巻き取りリール２の回転を停止する際、テンションローラＴＲのブレーキ機構の制動力を大きい値Ｈｉ（Ｈｉ＞Ｌｏ）に設定する。これにより、テンションローラＴＲの回転は停止する。
すなわち、上記テンションローラＴＲのブレーキ機構の制動力を上記巻き取りリール２が回転しているときの制動力より大きな値Ｈｉに設定する。
これにより、テンションローラＴＲは図７（ｂ）に示したように惰性で回転することなく停止する。このため、テンションローラＴＲと巻き取りリール２の間でワークＷがたるむことがなく、ワークＷは巻き取りリール２に、テンションがかかっていないゆるい部分が生ずることなく、巻き取られる。
（ｉｖ）ワークＷのたるみが多くなり、第２のたるみ部Ａ２に設けた上下２個のセンサＳ１，Ｓ２がワークＷを検出した状態になると、図２（ｄ）に示すように、制御部２０はテンションローラＴＲの制動力を小さな値Ｌｏに設定し、巻き取りリール２の回転を開始する。
これにより、前記したようにワークＷは、テンションローラＴＲにより一定のテンションをかけられながら巻き取りリール２に巻き取られる。
【００１３】
なお、上記（ｉｉｉ）において、制御部２０からの、テンションローラＴＲの制動力を大きい値Ｈｉに設定する信号の送出と、巻き取りリール２の回転停止信号の送出は、同時であってもよいが、テンションローラＴＲが慣性によりすぐには停止しないこと等を考慮して、テンションローラＴＲの制動力を大きい値Ｈｉに設定した後に、巻き取りリール２の回転停止信号を送出するのが好ましいと考えられる。
【００１４】
すなわち、本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。
（１）長尺帯状のワークを回転と停止を繰り返しながら巻き取る巻き取りリールと、該巻き取りリールを回転させる巻き取りリール駆動機構と、上記巻き取りリールの上流側に設けられ、上記巻き取りリールに巻き取られる上記ワークに回転摩擦負荷によりテンションをかけるテンションローラと、上記テンションローラに設けられ、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラ・ブレーキ機構と、上記テンションローラの上流側に設けられたワークのたるみ部における、ワークのたるみ量を検出するセンサと、上記センサからの信号に基づき、上記巻き取りリール駆動機構とテンションローラ・ブレーキ機構の動作を制御する制御部とを備えた帯状ワークの巻き取り装置において、上記巻き取りリールの回転を停止する際、上記テンションローラ・ブレーキ機構の制動力を、上記巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定する。
（２）露光光を照射する光照射部と、パターンを形成したマスクを支持するマスクステージと、巻き出しリールから巻きだした長尺帯状のワークを、該ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構により搬送した帯状ワークを保持するワークステージと、上記搬送機構により上記ワークステージから搬出された帯状ワークを巻き取る巻き取り機構とを備え、ワークステージに保持した帯状ワークに対して、光照射部からの露光光をマスクを介して照射することにより、マスクに形成したパターンを上記帯状ワークに露光する帯状ワークの露光装置において、上記巻取り機構として、上記（１）の帯状ワークの巻き取り装置を用いる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）巻き取りリールが回転を停止する際に、テンションローラの制動力を、巻き取りリールが回転しているときの制動力より大きな値に設定したので、巻き取りリールが回転を停止したときに、テンションローラが惰性で回転せず、テンションローラと巻き取りリールの間でワークがたるまない。
（２）このため、巻取りを再開した時に、テンションがかからない状態でワークが巻き取られることはなく、巻き取りリールには、ワークが常に一定のテンションがかかった状態で巻き取られる。
したがって、巻き取られたワークに粗密が生じることがなく、リールからワークを巻き出すときに、搬送に緩急がつき搬送トラブルが生じたり、リールから巻きだすときに、ワークを伸ばしてしまったり、リール内でワークがスリップして、ワーク同士が擦れ、傷がつくことを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例の搬送機構を備えた、帯状ワークの露光装置の構成例を示す図である。
【図２】本発明におけるテンションローラのブレーキ機構と巻き取りリールの動作を説明する図である。
【図３】図１のテンションローラＴＲと巻き取りリール２の部分を拡大して示した斜視図である。
【図４】本発明の実施例の搬送機構の動作を示すタイムチャートである。
【図５】帯状ワークの露光装置の一例を示す図である。
【図６】図５に示す第２のたるみ部Ａ２における動作を説明する図である。
【図７】ワークＷが粗密が生じた状態でリールに巻かれた状態を示すイメージ図である。
【図８】巻き取りリールを間歇的に動作させる場合におけるテンションローラと巻き取りリールの間のワークの状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１は本発明の実施例の搬送機構を備えた、帯状ワークの露光装置の構成例を示す図である。前記図５との違いは、テンションローラＴＲに、ローラに与える制動力を可変にできるブレーキ機構を設けていることと、制御部がそのブレーキ動作を制御できる点であり、その他の点は図５と同様である。
図１において、図５と同様、帯状ワークＷ（ワークＷ）は、巻き出しリール１にロール状に巻かれている。巻き出しロール１から出た帯状ワークＷは、たるみ部Ａ１、第１のガイドローラＲ２を経てエンコーダローラＲ３と押さえロールＲ３’により狭持される。
帯状ワークＷは、搬送ローラＲ４と第２の押さえローラＲ４’によって狭持され、搬送ローラＲ４が回転することにより、ワークＷは設定された所定量搬送され、露光部３のワークステージ１０上に送られる。
【００１８】
露光部３上には、前記したように光照射部４と、マスクＭおよびマスクＭを保持するマスクステージ１１と、投影レンズ５が設けられている。また、ワークステージ１０はワークステージ駆動機構６上に取り付けられており、上下、左右方向に駆動可能であるとともに、ワークステージ１０面に垂直な軸を中心として回転可能である。
露光部３で、帯状ワークＷは、露光される領域の裏面側が、ワークステージ１０の表面に不図示の真空吸着等の保持手段により保持され、マスクＭと位置合せが行われる。位置合わせ終了後、光照射部４から放射される露光光がマスクＭ、投影レンズ５を介してワークＷに照射され、マスクパターンがワークＷに転写される。
露光が終わると、帯状ワークＷは搬送ロールＲ４と押さえロールＲ４’によって狭持され、次のワークＷの次の露光領域がワークステージ１０上に来るように搬送され、搬送後露光される。
【００１９】
このようにして帯状ワークＷは順次露光され、たるみ部Ａ２、ガイドローラＲ５、テンションローラＴＲを経て、巻き取りリール２に巻き取られる。
テンションローラＴＲには、該テンションローラに対する制動力の大きさが可変なテンションローラ・ブレーキ機構８が設けられ、テンションローラＴＲの制動力は、制御部２０により制御される。また、巻き取りリール２は、前記したように、巻き取りリール駆動機構７により回転停止の動作を行う。巻き取りリール駆動機構７の動作は、装置の制御部２０により制御される。
【００２０】
図３は、図１のテンションローラＴＲと巻き取りリール２の部分を拡大して示した斜視図である。
テンションローラＴＲの回転軸には、その制動力が可変なテンションローラ・ブレーキ機構８が設けられ、このブレーキ機構８の制動力は制御部２０により制御される。上記制動力が可変なテンションローラ・ブレーキ機構８としては、例えば電磁力により制動力を制御することができる電磁ブレーキ等を用いることができる。
帯状のワークＷは、上記テンションローラＴＲを介して巻き取りリール２に巻き取られる。また、巻き取りリール２の回転軸には、巻き取りリール駆動機構７が設けられている。
制御部２０は、前記したように第２のたるみ部Ａ２に設けたセンサＳ１，Ｓ２からの信号に基づき、テンションローラＴＲのブレーキ機構８の動作（制動力の大きさ）を制御する。また、巻き取りリール駆動機構２の動作（巻き取りリールの回転と停止）も制御する。
【００２１】
本発明の帯状ワークの巻き取り動作の制御について、前記図２と図４のタイムチャートを使って説明する。
（１）第２のたるみ部Ａ２において、上下２個のセンサＳ１，Ｓ２によりワーク有が検出される。図２（ａ）に示すように、制御部２０は、テンションローラＴＲのブレーキ機構８に制動力を小さな値Ｌｏに設定する信号を送るとともに、巻き取りリール駆動機構７にも巻き取り開始の信号を送る。
上記制動力Ｌｏは、ワークＷが巻き取りリール２に巻き取られるときに、ワークＷに加わるテンションの値が適切な値（ワークに過度なテンションが加わらず、巻き取り径が所望の大きさとなる値）になるような大きさであり、後述する制動力Ｈｉより小さい値である。
これにより、テンションローラＴＲの制動力がＬｏとなり、巻き取りリール２が回転する。ワークＷには、テンションローラＴＲに加わる制動力Ｌｏ（回転摩擦負荷）により一定のテンションがかり、巻き取りリール２に巻かれる（図４のＡ参照）。
【００２２】
（２）ワークＷの巻取りが進み、第２のたるみ部Ａ２において、上下２個のセンサＳ１，Ｓ２によりワーク無しが検出される。制御部２０は、テンションローラＴＲのブレーキ機構８に制動力を大きな値Ｈｉに設定する信号を送る。これにより、図２（ｂ）に示すようにテンションローラＴＲの回転が停止する。しかし、巻き取りリール２の回転（巻き取り動作）はこの段階では継続する（図４のＢ参照）。
そのため、テンションローラＴＲが惰性で回転することによるワークＷの押し出しはなく、テンションローラＴＲと巻き取りリール２の間でのワークのたるみは生じない。
（３）制御部２０は、テンションローラＴＲのブレーキ機構８に制動力を大きな値Ｈｉに設定する信号を送ってから所定時間後（例えば０．１秒から０．２秒後）に、巻き取りリール駆動機構７に対して巻き取り停止の信号を送る。これにより図２（ｃ）に示すように、巻き取りリール２の回転（巻き取り動作）が停止する（図４のＣ参照）。
（４）巻き取り動作が停止している間に、露光部からワークＷが送られてきて、ワークＷのたるみが多くなると、第２のたるみ部Ａ２において、上下２個のセンサＳ１，Ｓ２によりワーク有が検出される。
このため、図２（ａ）と同様に、制御部２０は、テンションローラＴＲのブレーキ機構８に制動力を小さな値Ｌｏに設定する信号を送るとともに、巻き取りリール駆動機構７にも巻き取り開始の信号を送る。これにより、図２（ｄ）に示すように、ワークＷの巻き取り動作が開始される（図４のＤ参照）
【００２３】
なお、上記では、テンションローラＴＲの制動力を大きい値Ｈｉに設定する信号を送出してから、巻き取りリール２の回転停止信号の送出するまでの遅れ時間を、例えば０．１秒から０．２秒後にしているが、このおくれ時間は、テンションローラＴＲの慣性力、装置の動作遅れ時間等に応じて、ワークのテンションが最適な値になるように適宜設定すればよい。
【符号の説明】
【００２４】
１      巻き出しリール
２      巻き取りリール
３      露光部
４      光照射部
４ａ    ランプ
４ｂ    集光ミラー
５      投影レンズ
６      ワークステージ駆動機構
７      巻き取りリール駆動機構
８      テンションローラ・ブレーキ機構
１０    ワークステージ
１１    マスクステージ
２０    制御部
Ａ１    第１のたるみ部
Ａ２    第２のたるみ部
Ｍ      マスク
Ｒ２    第１のガイドローラ
Ｒ３    エンコーダローラ
Ｒ３’  押さえロール
Ｒ５    ガイドローラ
Ｓ１，Ｓ２  センサ
ＴＲ    テンションローラ
Ｗ      帯状ワーク（ワーク）
【図１】
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【図２】
2012254842.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2012254842.tif 000007
【図６】
2012254842.tif 000008
【図７】
2012254842.tif 000009
【図８】
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