(57)【要約】【課題】分散素子による偏波依存性損失を低減でき、出力される光信号のＳ／Ｎを向上できる波長選択スイッチを提供する。【解決手段】  入力ポート１０ａ−１０ｄと、入力光を分散する第１分散部３０ａ，３０ｂと、分散される光を偏向する偏向部５０と、偏向部５０で偏向された光を波長多重する第２分散部３２と、波長多重された光を出力する出力ポート１０ｅと、を備え、第１分散部３０は、入力ポート１０ａ−１０ｄからの光を分散する第１分散素子３１ａ，３１ｂを備え、第２分散部３２は、偏向部５０により偏向された光を分散して出力ポート１０ｅに入射させる第２分散素子３３を有し、第２分散素子３３は、第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺するような偏光特性を有する。【選択図】図１Ａ
2012168288.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの入力ポートと、
該入力ポートから入力される光を分散する第１分散部と、
該第１分散部により分散される光を偏向する偏向部と、
該偏向部で偏向された光を波長多重する第２分散部と、
該第２分散部で波長多重された光を出力する少なくとも一つの出力ポートと、を備え、
前記第１分散部は、前記入力ポートからの光を分散する第１分散素子を備え、前記第２分散部は、前記偏向部により偏向された光を波長多重して前記出力ポートに入射させる第２分散素子を備え、前記第２分散素子は、前記第１分散素子の偏光特性を相殺するような偏光特性を有する、
ことを特徴とする波長選択スイッチ。
【請求項２】
前記第１および第２分散素子は、同一の基板上に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載の波長選択スイッチ。
【請求項３】
前記第１および第２分散素子は、同一の光学部材に形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の波長選択スイッチ。
【請求項４】
前記第１および第２分散素子は、透過型の分散素子からなり、
前記第１および第２分散部は、透過型の前記分散素子と反射素子とを備え、前記分散素子により分散される光を前記反射素子により反射させて再び前記分散素子に入射させるリットマン・メトカルフ構造からなる、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長選択スイッチに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の波長選択スイッチとして、例えば特許文献１に開示のものが知られている。図８は、特許文献１に開示された波長選択スイッチを示すものである。図８において、入力ポート１０１から入力される波長多重された光信号は、集光レンズ１０２を経て反射型の分散素子１０３により波長毎の光信号に分散されて反射される。分散素子１０３により分散された光信号は、集光レンズ１０２により各光信号の波長に対応する偏向素子１０４−１−１０４−ｎに集光されてそれぞれ独立して偏向される。そして、再び集光レンズ１０２を経て分散素子１０３により波長多重されて、集光レンズ１０２を経て入力ポート１０１とともに紙面垂直方向に配列された図示しない出力ポートから出力される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第６，３８１，３８７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、分散素子は、一般に、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分とで波長に対する透過率や反射率（回折格子では回折効率）が異なる偏光特性を有している。そのため、図８に示した波長選択スイッチにおけるように、入力ポート１０１から入力されて出力ポートに出力する光信号が、分散素子１０３により往路と復路とで分散作用を受ける場合、全体としての偏光特性は２回分が重畳されたものとなる。例えば、分散素子１０３が、図９Ａに示すような波長λに対する反射率Ｒの偏光特性を有する場合、全体としての偏光特性は、図９Ｂに示すように、図９Ａの偏光特性が往復の２回分積み重なったものとなる。
【０００５】
その結果、分散素子１０３によるＰ偏光成分とＳ偏光成分との効率差が大きく生じることになる。これにより、光信号の偏波依存性損失（PDL: Polarization Depending Loss）が増大することが懸念される。このような現象は、透過型の分散素子を用いて、往路と復路とで分散素子を透過させる場合も、分散素子がＰ偏光成分とＳ偏光成分とで透過率（回折格子では回折効率）が異なる偏光特性を有するため、同様に生じるものである。
【０００６】
したがって、かかる観点に鑑みてなされた本発明の目的は、分散素子による偏波依存性損失を低減できる波長選択スイッチを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する波長選択スイッチの発明は、
少なくとも一つの入力ポートと、
該入力ポートから入力される光を分散する第１分散部と、
該第１分散部により分散される光を偏向する偏向部と、
該偏向部で偏向された光を波長多重する第２分散部と、
該第２分散部で波長多重された光を出力する少なくとも一つの出力ポートと、を備え、
前記第１分散部は、前記入力ポートからの光を分散する第１分散素子を備え、前記第２分散部は、前記偏向部により偏向された光を波長多重して前記出力ポートに入射させる第２分散素子を備え、前記第２分散素子は、前記第１分散素子の偏光特性を相殺するような偏光特性を有する、
ことを特徴とするものである。
【０００８】
前記第１および第２分散素子は、同一の基板上に設けられている、のが好ましい。
【０００９】
前記第１および第２分散素子は、同一の光学部材に形成されている、のが好ましい。
【００１０】
前記第１および第２分散素子は、透過型の分散素子からなり、
前記第１および第２分散部は、透過型の前記分散素子と反射素子とを備え、前記分散素子により分散される光を前記反射素子により反射させて再び前記分散素子に入射させるリットマン・メトカルフ構造からなる、のが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、入力ポートからの光を分散する第１分散部の第１分散素子における偏光特性を、偏向部により偏向された光を波長多重する第２分散部の第２分散素子の偏光特性によって相殺、つまり打ち消されるので、分散素子による偏波依存性損失を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１Ａ】本発明の第１実施の形態に係る波長選択スイッチを第１および第２分散部による波長分散方向から見た概略構成図である。
【図１Ｂ】図１Ａの波長選択スイッチを第１および第２分散部による波長分散方向と直交する方向から見た概略構成図である。
【図２】図１Ａの第１および第２分散部、集光レンズおよび偏向部の部分の概略斜視図である。
【図３Ａ】図１Ａの第１分散部の第１分散素子における回折効率の偏光特性を示す図である。
【図３Ｂ】図１Ａの第２分散部の第２分散素子における回折効率の偏光特性を示す図である。
【図３Ｃ】図１Ａの第１および第２分散素子による往復の回折効率の偏光特性を示す図である。
【図４Ａ】図１Ａの第１および第２分散部の好適構成の一例を示す斜視図である。
【図４Ｂ】図１Ａの第１および第２分散部の好適構成の他の例を示す斜視図である。
【図５Ａ】本発明の第２実施の形態に係る波長選択スイッチを第１および第２分散部による波長分散方向から見た概略構成図である。
【図５Ｂ】図５Ａの波長選択スイッチを第１および第２分散部による波長分散方向と直交する方向から見た概略構成図である。
【図６】図５Ａの第１および第２分散部、集光レンズおよび偏向部の部分の概略斜視図である。
【図７】本発明の第３実施の形態に係る波長選択スイッチの概略構成図である。
【図８】従来の技術を説明するための図である。
【図９Ａ】図８の分散素子の偏光特性を示す図である。
【図９Ｂ】図８の分散素子により２回分散される場合の偏光特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る波長選択スイッチについて、図を参照して説明する。
【００１４】
（第１実施の形態）
図１Ａおよび図１Ｂは、本発明の第１実施の形態に係る波長選択スイッチの概略構成図である。この波長選択スイッチは、４つの入力ポート１０ａ−１０ｄ、１つの出力ポート１０ｅ、第１分散部３０ａ，３０ｂ、第２分散部３２、集光レンズ４０、偏向部５０を備え、４つの入力ポート１０ａ−１０ｄから入力されるそれぞれ異なる波長の光信号を選択的に多重して、１つの出力ポート１０ｅから出射するものである。以下、説明の便宜上、入力ポート１０ａ−１０ｄおよび出力ポート１０ｅを、適宜、入出力ポート１０ａ−１０ｅとまとめて表記する。
【００１５】
入出力ポート１０ａ−１０ｅは、出力ポート１０ｅを中央としてＹ方向に直線状に配列されている。入出力ポート１０ａ−１０ｅは、対応する光ファイバ１１ａ−１１ｅとそれらの後段に配置されたマイクロレンズアレイ１２とを備える。マイクロレンズアレイ１２は、光ファイバ１１ａ−１１ｅと対応する球面または非球面のマイクロレンズを備える。
【００１６】
入力ポート１０ｃの光ファイバ１１ｃから入力される光信号（入力光）は、対応するマイクロレンズにより平行光に変換されて対応する第１分散部３０ｂに入射される。第１分散部３０ｂは、例えば透過型回折格子からなる第１分散素子３１ｂを有し、入力ポート１０ｃからの入力光を波長に応じて分散する。なお、入力ポート１０ｄから光信号が入力される場合も、同様にして第１分散部３０ｂの第１分散素子３１ｂにより分散される。また、他の入力ポート１０ａ，１０ｂから光信号が入力される場合は、同様に、第１分散部３０ａの例えば透過型回折格子からなる第１分散素子３１ａにより波長に応じて分散される。図１Ｂは、第１分散部３０ｂが、５つの波長の光信号を分散可能な場合を例示している。
【００１７】
集光レンズ４０は、その前側焦点位置が第１分散部３０ａ，３０ｂの分散基点にほぼ一致するように配置されて、第１分散部３０ａ，３０ｂで波長分散された光信号を偏向部５０に集光する。ここで、入力光が複数の離散的な波長で波長分割多重されている場合は、波長分散された光信号は、偏向部５０に波長毎に分離して集光する。また、集光レンズ４０により集光される複数の光信号は、波長分散方向に対して垂直な方向から見たときに、偏向部５０に対してほぼ垂直に入射することが好ましい。すなわち、集光レンズ４０は、像側テレセントリックレンズとして構成されていることが好ましい。
【００１８】
偏向部５０は、第１分散部３０ａ，３０ｂの波長分散方向に直線状に配列された複数の偏向素子を備える。本実施形態では、偏向部５０は、５つの偏向素子５１ａ−５１ｅを備える場合を例示しているがこの数に限定されない。偏向素子５１ａ−５１ｅは、第１分散部３０ａ，３０ｂにより分散されて集光される５波長に対応しており、各々独立して駆動可能に構成されている。これにより、偏向部５０に入射する波長毎の光信号がそれぞれ偏向される。このようなアレイ状の偏向素子５１ａ−５１ｅを備える偏向部５０は、例えば、ＭＥＭＳミラー、液晶素子、光学結晶などを用いて構成される。
【００１９】
偏向部５０により偏向された波長毎の光信号は、集光レンズ４０を経て第２分散部３２に入射される。第２分散部３２は、例えば透過型回折格子からなる第２分散素子３３を有し、偏向部５０により偏向された光信号を波長多重させて出力ポート１０ｅに入射させる。これにより、４つの入力ポート１０ａ−１０ｄから入力されるそれぞれ異なる波長の光信号が選択的に１つの出力ポート１０ｅから出力光として出力される。
【００２０】
図１Ａは、第１分散部３０ａ，３０ｂによる波長分散方向（Ｘ方向）から見た図であり、図１Ｂは、波長分散方向と直交する方向（Ｙ方向）から見た図である。また、図中、Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向を示している。
なお、現実の波長選択スイッチの光路中に、図示しないミラー、プリズム等の偏向部材が光路を折り曲げるために配置されている場合には、Ｘ方向及びＹ方向との説明は、このような偏向部材が無いものとした仮想的な光学系を前提として用いられることとする。
【００２１】
次に、第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２について、さらに詳細に説明する。図２は、第１分散部３０ａ，３０ｂ、第２分散部３２、集光レンズ４０および偏向部５０の部分の概略斜視図である。第１分散部３０ａは、入力ポート１０ａ，１０ｂに対応する第１分散素子３１ａを有する。第１分散部３０ｂは、入力ポート１０ｃ，１０ｄに対応する第１分散素子３１ｂを有する。第２分散部３２は、出力ポート１０ｅに対応する第２分散素子３３を有する。そして、入力ポート１０ａ，１０ｂからの入力光は、往路において第１分散部３０ａの第１分散素子３１ａで分散される。同様に、入力ポート１０ｃ，１０ｄからの入力光は、往路において第１分散部３０ｂの第１分散素子３１ｂで分散される。また、偏向部５０により偏向された光は、復路において第２分散部３２の第２分散素子３３で波長多重される。
なお、図２は、模式図であり、実際には、光が直線的に進行するわけではない。すなわち、ＸＺ面内において、光は、第１分散部３０ａ，３０ｂに斜めに入射し、斜めに出射される。同様に、ＸＺ面内において、光は、第２分散部３２に斜めに入射し、斜めに出射される。
【００２２】
ここで、第１分散部３０ａ，３０ｂの第１分散素子３１ａ，３１ｂは、例えば、図３Ａに示すような波長λに対する回折効率Ｅの偏光特性を有する。また、第２分散部３２の第２分散素子３３は、第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺あるいは補償するような、すなわち打ち消すような、図３Ｂに示す偏光特性を有する。これにより、第１分散素子３１ａまたは３１ｂと第２分散素子３３とによる往復（合計）での偏光特性は、図３Ｃに示すようになり、使用波長帯域において、Ｐ偏光成分とＳ偏光成分との回折効率差を小さくでき、偏波依存性損失（ＰＤＬ）を低減できる。
【００２３】
このような第１分散素子３１ａ，３１ｂおよび第２分散素子３３を有する第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２は、好ましくは、例えば、図４Ａまたは図４Ｂに示すように構成される。図４Ａは、同一の透明基板３４上に、第１分散素子３１ａ，３１ｂと、第２分散素子３３とを接着等により貼付して、第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２を構成した場合を例示している。
【００２４】
また、図４Ｂは、同一の光学部材３５に第１分散素子３１ａ，３１ｂおよび第２分散素子３３をリソグラフィー等により一体に形成して、第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２を構成した場合を例示している。なお、第１分散素子３１ａ，３１ｂおよび第２分散素子３３の偏光特性は、例えば格子の深さやデューティー比，格子材料の組成を変える等の公知の手法により、偏光特性を制御することが可能である。また、第１分散素子３１ａ，３１ｂおよび第２分散素子３３は、第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２が同じ分散量を持つように、格子溝間隔が同一になるように構成されている。この点については、他の実施形態でも同様である。
【００２５】
本実施の形態に係る波長選択スイッチによると、偏向部５０により偏向された光を分散する第２分散部３３の第２分散素子３３が、入力ポートからの光を分散する第１分散部３０ａ，３０ｂの第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺するような偏光特性を有するので、偏波依存性損失を低減できる。また，回折格子の製造上のバラつき等により、回折格子の偏光特性にもバラつきが生じる場合がある．図４Ａに示す構成ではバラついた偏光特性の回折格子の内からより良い組み合わせの第１分散素子３１ａ，３１ｂと第２分散素子３３を選択できる。このため，回折格子を製造する際、製造上のバラつきの影響を受けにくいという利点がある．
【００２６】
なお、図１Ａには、４つの入力ポート１０ａ−１０ｄと１つの出力ポート１０ｅとが例示されているが、出力ポート１０ｅが入力ポートとなり、入力ポート１０ａ−１０ｄが出力ポートとなる場合もある。また、入力ポートおよび出力ポートの数は、例示に限らず適宜設定される。これらの点については、他の実施形態でも同様である。つまり、本発明に係る波長選択スイッチは、上述したように、波長毎の複数の入力光を分割多重して出力する場合に限らず、波長分割多重された入力光を波長毎に分散して出力するように使用される場合もある。また，図１Ｂには，偏向部５０に５つの偏向素子５１ａ−５１ｅが例示されているが，実際には偏向素子の数は，伝播される信号の周波数間隔（チャネル間隔）および周波数帯域幅（チャネル数）により決められる．この点については、他の実施形態でも同様である。
【００２７】
また、第１分散部３０ａ，３０ｂおよび第２分散部３２において、入力光と出力光とを確実に分離できるように、入力ポートと出力ポートとのポート間隔を変えてもよい。例えば、図１Ａにおいて、入力ポート１０ａ，１０ｂの間隔および入力ポート１０ｃ，１０ｄの間隔をそれぞれｄ１とし、入力ポート１０ｂと出力ポート１０ｅとの間隔および入力ポート１０ｃと出力ポート１０ｅとの間隔をそれぞれｄ２とするとき、ｄ２≧ｄ１とすることができる。
【００２８】
（第２実施の形態）
図５Ａおよび図５Ｂは、本発明の第２実施の形態に係る波長選択スイッチの概略構成図である。この波長選択スイッチは、図１Ａおよび図１Ｂに示した構成において、４つの入力ポート１０ａ−１０ｄおよび１つの出力ポート１０ｅに代えて、４つの出力ポート１５ａ−１５ｄおよび１つの入力ポート１５ｅを備え、入力ポート１５ｅが一端に位置するようにＹ方向に直線状に配列されている。これら出力ポート１５ａ−１５ｄおよび入力ポート１５ｅは、第１実施の形態と同様に、対応する光ファイバ１１ａ−１１ｅとそれらの端面に配置されたマイクロレンズアレイ１２とを備える。また、出力ポート１５ａ−１５ｄに対応する一つの第１分散部３０と、入力ポート１５ｅに対応する一つの第２分散部３２とを備える。
【００２９】
図６は、第１分散部３０、第２分散部３２、集光レンズ４０および偏向部５０の部分の概略斜視図である。第１実施の形態の場合と同様に、入力ポート１５ｅに対応する第１分散部３０は、第１分散素子３１を有する。また、出力ポート１５ａ−１５ｄに対応する第２分散部３２は、第２分散素子３３を有する。そして、第２分散素子３３は、第１分散素子３１の偏光特性を相殺あるいは補償するような、すなわち打ち消すような偏光特性を有する。これらの第１分散素子３１を有する第１分散部３０および第２分散素子３３を有する第２分散部３２は、図４Ａや図４Ｂと同様に構成される。なお、図５Ａは、図１Ａと同様に、第１分散素子３１による波長分散方向（Ｘ方向）から見た図であり、図５Ｂは、図１Ｂと同様に、波長分散方向と直交する方向（Ｙ方向）から見た図である。その他の構成は、図１Ａおよび図１Ｂと同様であるので、同一作用をなす構成要素には、同一参照符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３０】
かかる構成において、入力ポート１５ｅから入力される波長多重された光信号（入力光）は、往路において、第１分散部３０の第１分散素子３１で波長分散された後、集光レンズ４０により偏向部５０の波長に対応する偏向素子５１ａ−５１ｅに入射して偏向される。そして、偏向部５０により偏向された波長毎の光信号は、復路において、集光レンズ４０を経て第２分散部３２の第２分散素子３３で分散される。この際、第１実施の形態の場合と同様に、往路における偏光特性が相殺される。そして、第２分散素子３３により波長多重された光信号が、出力ポート１５ａ−１５ｄから選択的に出力される。なお、図５Ａは、１つの出力ポート１５ｃに光信号が入射される場合を例示している。
【００３１】
したがって、本実施の形態に係る波長選択スイッチにおいても、第１実施の形態の場合と同様に、偏波依存性損失を低減できる。また、本実施の形態では、第１実施の形態と比較して、第１分散部３０および第２分散部３２がそれぞれ一つで済むので、構成を簡単にでき、コストダウンが図れる利点がある。なお、図５Ａには、４つの出力ポート１５ａ−１５ｄと１つの入力ポート１５ｅとが例示されているが、入力ポート１５ｅが出力ポートとなり、出力ポート１５ａ−１５ｄが入力ポートとなる場合もある。
【００３２】
（第３実施の形態）
図７は、本発明の第３実施の形態に係る波長選択スイッチの概略構成図である。この波長選択スイッチは、紙面垂直方向（Ｙ方向）に直線状に配列された、少なくとも一つの入力ポートと少なくとも一つの出力ポートとを有する。ここでは、説明の便宜上、第２実施の形態に示した４つの出力ポート１５ａ−１５ｄおよび１つの入力ポート１５ｅを備え、入力ポート１５ｅが一端に位置するようにＹ方向に配列されているものとする。
【００３３】
入力ポート１５ｅから入力される波長多重された光信号（入力光）は、往路において、一次集光レンズ６０により集光された後、集光レンズ４０により第１分散部３０に入射される。集光レンズ４０は、その前側焦点位置が一次集光レンズ６０による集光点に位置するように配置される。
【００３４】
第１分散部３０は、透過型回折格子を有する第１分散素子３１と、反射素子である折返しミラー３６とを備え、第１分散素子３１による分散光を折返しミラー３６により反射させて再び第１分散素子３１に入射させるリットマン・メトカルフ構造を有している。第１分散素子３１は、その分散基点が、集光レンズ４０の後側焦点位置近傍に位置するように配置される。
【００３５】
集光レンズ４０により第１分散部３０に入射される入力ポート１５ｅからの光信号は、第１分散素子３１で分散された後、折返しミラー３６で反射されて再び第１分散素子３１で分散されて第１分散部３０から出射される。第１分散部３０から出射された光信号は、集光レンズ４０により偏向部５０の波長に対応する偏向素子５１ａ−５１ｅに集光されて、各々独立して偏向される。偏向部５０は、集光レンズ４０に関して、第１分散部３０と反対側、つまり入出力ポート１５ａ−１５ｅと同一側に配置されている。
【００３６】
そして、偏向部５０により各々独立して偏向された光信号は、復路において、集光レンズ４０を経て第２分散部３２に入射される。第２分散部３２は、透過型回折格子を有する第２分散素子３３（図示せず）と、第１分散部３０とともに使用される折返しミラー３６とを備える。このように、折返しミラー３６は、第１分散部３０および第２分散部３２に共用される。第２分散素子は、第１分散素子３１の偏光特性を相殺するような偏光特性を有し、第１分散素子３１とともに、図７の紙面垂直方向において、図４Ａや図４Ｂと同様に構成される。そして、偏向部５０により偏向された光信号は、第２分散部３２の第２分散素子３３および折返しミラー３６によりＸＺ平面において往路と逆順に作用して波長多重される。その後、光信号は、集光レンズ４０および一次集光レンズ６０を経て、所望の出力ポート１５ａ−１５ｄに出力光として出力される。なお、図７は、第１分散素子３１による波長分散方向（Ｘ方向）と直交する方向から見た図であり、第１分散素子３１により３つの波長に分散された場合を例示している。
【００３７】
本実施の形態に係る波長選択スイッチによれば、上記実施の形態と同様に、偏波依存性損失を低減することができる。しかも、第１分散部３０および第２分散部３２は、折返しミラー３６を有するリットマン・メトカルフ構造を有しているので、大きな分散を得ることができ、波長選択スイッチを小型化することが可能となる。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変形または変更が可能である。例えば、分散素子は、透過型のものに限らず、反射型のものや、Ｇｒｉｓｍ、スーパープリズム等を用いる構成でも本発明を有効に適用することができる。
また、各実施の形態において、マイクロレンズアレイ１２は、必ずしも配置されなくても構わない。
また、集光レンズ４０および一次集光レンズ６０は、集光作用を奏すればよく、集光ミラーや、回折型集光素子等を用いることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１０ａ−１０ｄ  入力ポート
１０ｅ  出力ポート
１１ａ−１１ｅ  光ファイバ
１２  マイクロレンズアレイ
１５ａ−１５ｄ  出力ポート
１５ｅ  入力ポート
３０，３０ａ，３０ｂ  第１分散部
３１，３１ａ，３１ｂ  第１分散素子
３２  第２分散部
３３  第２分散素子
３４  透明基板
３５  光学部材
３６  折返しミラー
４０  集光レンズ（集光素子）
５０  偏向部
５１ａ−５１ｅ  偏向素子
６０  一次集光レンズ
【図１Ａ】
2012168288.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２】
2012168288.tif 000005
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
2012168288.tif 000009
【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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