(57)【要約】【課題】帯電静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料などの用途に好適な均質で高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できる方法を提供する。【解決手段】亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも１種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを流動し、それぞれの流動方向が９０度以上の角度で前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させることによって混合する混合工程と、該混合工程で混合された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化工程とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造方法であって、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が３．０〜１０．０ミリ秒以下であることを特徴とする。【選択図】図４
2012211042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも１種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを流動し、それぞれの流動方向が９０度以上の角度で前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させることによって混合する混合工程と、
該混合工程で混合された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化工程とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造方法であって、
前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が３．０〜１０．０ミリ秒以下であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造方法。
【請求項２】
亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気を流動させる亜鉛含有蒸気流動路と、
塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも１種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気を流動させるハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路と、
前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を流動させる混合蒸気流動路と、
該混合蒸気流動路の下流に設けられ、流動された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造装置であって、
前記亜鉛含有蒸気流動路と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路は、それらの下流側でそれぞれの流動方向が９０度以上の角度で合流して、前記混合蒸気流動路の上流側に連通しており、
前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が３．０〜１０．０ミリ秒以下になるように調整できることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性酸化亜鉛粉末の製造方法及びその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
酸化亜鉛は、六方晶ウルツ鉱型構造を持つ白色粉末であり、多機能で資源的にも豊富で無公害、かつ安価であることから、ゴムの加硫促進剤及び増量剤、顔料、陶磁器、電線、医療、印刷インキ用の古典的なものから、バリスタ、表面弾性波フィルター、電子写真用感光剤、メタノール合成用触媒、ガスセンサー、蛍光体などのファインセラミックスのカテゴリーに入るものまで多方面で応用されている。この中でも帯電、静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料としての用途において、導電性酸化亜鉛が求められている。
【０００３】
帯電防止フィラーや導電ペースト材料としては、金属微粒子、カーボンブラック或いは酸化インジウムスズ、酸化アンチモンスズ、酸化カドミウムのような導電性酸化物微粒子が挙げられる。しかし、金属微粒子やカーボンブラックは、フィラーとしてプラスチックなどと混練すると、黒色を呈するので多くの用途で好まれない。一方、導電性酸化物微粒子は、適度な導電性をもち白色を呈するので、色の面では好まれる。しかし、酸化インジウムスズはインジウムが希少金属で資源枯渇が懸念されることと、酸化アンチモンスズや酸化カドミウムはそれぞれアンチモンとカドミウムに毒性があるという問題がある。このような状況の中、導電性酸化亜鉛は、クラーク数の高い元素からなり毒性もなく、白色性も高く適度な導電性を持つことから、静電防止を目的としたフィラーや透明導電膜形成のための導電ペースト材料に適しているといえる。
【０００４】
従来から、様々な導電性酸化亜鉛粉末の製造方法が提案されている。例えば、特許文献１乃至３では、粉末状の酸化亜鉛に酸化アルミニウムのような特定の化合物を添加し、固体炭素の存在下で焼成する方法が記載されている。また、特許文献４乃至７には、亜鉛塩並びにアルミニウムなどの特定金属の塩を含有する溶液を中和、共沈せしめ、還元焼成する方法が記載されている。しかし、これらの方法は、高温で焼成する工程を含むため、粒子同士の凝着、異常粒成長などの粉末形状を悪化させる原因となり、フィラーやペーストとして使用したときの性能を悪化させてしまう。
【０００５】
一方、特許文献８には、亜鉛蒸気と、亜鉛の沸点以下の沸点を有し、且つ酸素を含有しないドーパント形成金属化合物との混合蒸気を酸化性ガスにより酸化させる方法が記載されている。気相反応法はフィラーやペーストなどに適した分散性が良く、均質な微粒子を作ることができる。
【０００６】
特許文献８には、金属ドーパントとしてＡｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｓｉ等が、酸化亜鉛に対しドーパント形成金属の酸化物として０．００５〜５重量％含まれた導電性酸化亜鉛の製造方法が示されている。このように、ドーパントには複数の金属が挙げられているが、価格や資源的な面からアルミニウムが最も適しているといえる。アルミニウム形成化合物には、金属アルコキシド、β−ジケトン、アルキルアルミニウム等のような有機金属化合物があるが、いずれも不安定であり、取扱いに注意を要するものが多く、価格も高いので、安価な導電性酸化亜鉛を製造するという意味で不適である。一方、ハロゲン化アルミニウムは非常に安価であり、取扱いも特に注意を要しないので、アルミニウム形成化合物として適している。亜鉛の沸点よりも低いことが求められることから、アルミニウム形成化合物には塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、沃化アルミニウムが適している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５４−１６１５９８号公報
【特許文献２】特開昭５５−１０４７８号公報
【特許文献３】特開昭５８−１５０６８号公報
【特許文献４】特開昭５６−６９２６６号公報
【特許文献５】特開昭５８−１６１９２３号公報
【特許文献６】特開平１−１２６２２８号公報
【特許文献７】特開平３−１１５１２２号公報
【特許文献８】特開平６−１４４８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献８に記載の製造方法には、導電性酸化亜鉛粉末の導電性能に関して、さらに改善する余地がある。そこで、本発明は、帯電静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料などの用途に好適な均質で高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できる方法及びその製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、導電性酸化亜鉛粉末の安定製造に関して鋭意研究を重ねたところ、先ず、以下の問題があるとの知見に至った。即ち、亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気とからなる混合蒸気を酸化性ガスにより酸化させて導電性酸化亜鉛粉末を得ることができるが、亜鉛の沸点以上の高温で亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気を不用意に混合すると、ハロゲンと亜鉛が反応してハロゲン化亜鉛が生成し、それが酸化性ガスと接触して酸化されると、塩基性ハロゲン化亜鉛が生成してしまう。塩基性ハロゲン化亜鉛は、酸化亜鉛の導電性を低下させてしまうし、酸化亜鉛粉末の中に塩素が残っているとフィラーやペーストなどとして使用したときに悪影響を及ぼすという問題が発生する。
【００１０】
そして、本発明者らは、上記問題を解決すべく、さらに鋭意研究を重ねた結果、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流する際の角度と、合流してから酸化性ガスと接触するまでの時間とを調整することによって、高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できることを見出した。すなわち、本発明は、亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも１種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを流動し、それぞれの流動方向が９０度以上の角度で前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させることによって混合する混合工程と、該混合工程で混合された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化工程とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造方法であって、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が３．０〜１０．０ミリ秒以下であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造方法である。
【００１１】
また、本発明は、亜鉛を加熱して得られる亜鉛含有蒸気を流動させる亜鉛含有蒸気流動路と、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、あるいは沃化アルミニウムのうち、少なくとも１種類以上を加熱して得られるハロゲン化アルミニウム含有蒸気を流動させるハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路と、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を流動させる混合蒸気流動路と、該混合蒸気流動路の下流に設けられ、流動された混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽とを備えた導電性酸化亜鉛粉末の製造装置であって、前記亜鉛含有蒸気流動路と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気流動路は、それらの下流側でそれぞれの流動方向が９０度以上の角度で合流して、前記混合ガス流動路の上流側に連通しており、前記亜鉛含有蒸気と前記ハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が３．０〜１０．０ミリ秒以下になるように調整できることを特徴とする導電性酸化亜鉛粉末の製造装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、帯電静電防止を目的としたフィラー用途、更には透明導電膜形成のための導電ペースト原料などの用途に好適な均質で高導電性の酸化亜鉛粉末を安定して製造できる方法及びその製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の製造方法に用いる装置の一例を示す概略図である。
【図２】本実施形態に係る円筒型第１流動筒及び第２流動筒の概念図である。
【図３】本実施形態に係る円筒型第１流動筒及び第２流動筒の概念図である。
【図４】本実施形態に係る円筒型第１流動筒及び第２流動筒の概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造方法及び製造装置の実施形態について図面に基づいて説明する。本実施形態に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造装置は、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合蒸気を酸化性ガスと接触させることによって酸化させる酸化反応槽１０と、上流側（下方）から亜鉛蒸気が導入され、下流側（上方）が酸化反応槽１０に連通する第１流動筒１２と、上流側からハロゲン化アルミニウム含有蒸気が導入され、下流側が第１流動筒１２に連通する第２流動筒１４とを備えている。
【００１５】
第１流動筒１２は、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とを混合して、その混合蒸気を酸化性ガス雰囲気に噴出する役割を持つが、その形状は円筒型が好ましい。第１流動筒１２の上流側は、亜鉛含有蒸気噴出ノズル１６を介して亜鉛含有蒸気発生部１８に連通している。亜鉛含有蒸気発生部１８は、金属亜鉛を加熱することにより亜鉛含有蒸気を発生させ、そこに接続されたキャリアガス導入管２０から導入されたアルゴンなどのキャリアガスとともに、亜鉛含有蒸気を亜鉛含有蒸気噴出ノズル１６を介して第１流動筒１２の上流側に導入するように構成されている。また、第１流動筒１２の下流側には、混合蒸気噴出口２８が設けられており、第１流動筒１２内で混合された混合蒸気が混合蒸気噴出口２８から酸化反応槽１０内に噴出するよう構成されている。第１流動筒１２において、第２流動筒１４の連通位置よりも上流側（下方）が亜鉛蒸気流動路として機能し、下流側（上方）が混合蒸気流動路として機能する。
【００１６】
本発明において、亜鉛含有蒸気の原料となる金属亜鉛としては、その純度が９９．９質量％以上であることが好ましく、例えば、市販の電気亜鉛のような３Ｎ（スリーナイン）レベルの純度の金属亜鉛を使用することができる。
【００１７】
第２流動筒１４の上流側は、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル２２を介してハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部２４に連通している。ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部２４は、ハロゲン化アルミニウムを加熱することによりハロゲン化アルミニウム含有蒸気を発生させ、そこに接続されたキャリアガス導入管２６から導入されたアルゴンなどのキャリアガスとともに、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気をハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル２２を介して第２流動筒１４の上流側に導入するように構成されている。第２流動筒１４の下流側は、第１流動筒１２の流動方向の中程に連通している。
【００１８】
また、本発明において、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気に用いられるハロゲン化アルミニウムは、亜鉛の沸点以下の沸点を有するものを使用することができる。ハロゲン化アルミニウムの沸点が亜鉛の沸点よりも高いと、ハロゲン化アルミニウムの蒸気が、より沸点の低い亜鉛蒸気と混合されたときに凝縮してしまうので、アルミニウムが酸化アルミニウムとして析出しやすく、アルミニウムが導電性に寄与しなくなる。亜鉛よりも沸点の低いハロゲン化アルミニウムとして、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、沃化アルミニウムが挙げられる。
【００１９】
第１流動筒１２と第２流動筒１４は、それぞれに流動する亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が、流動方向が９０度以上の角度で合流するように連通している。両蒸気が合流する角度を混合角度という。例えば、図２に示すように上方に流動する亜鉛含有蒸気に対して、斜め上方からハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させても良く、また図３に示すように水平方向に流動する亜鉛含有蒸気に対して、水平方向反対（混合角度が１８０度）からハロゲン化アルミニウム含有蒸気を合流させても良い。さらに、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気の導入方法の例として、図４のように円筒型第１流動筒１２の断面に対して接線方向から導入する方法も採用できる。このようにして導入すると第１流動筒１２内で両蒸気が旋回するので混合性が高まって好ましい。なお、本実施形態においては、第１流動筒１２に亜鉛含有蒸気を導入し、第２流動筒１４にハロゲン化アルミニウム含有蒸気を導入したが、その逆であっても良い。
【００２０】
本実施形態に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造装置において、第１流動筒１２の下流から導入された亜鉛含有蒸気は、上方に流動し、第２流動筒１４から導入されたハロゲン化アルミニウム含有蒸気と合流し、混合され、混合蒸気が混合蒸気噴出口２８から酸化反応槽１０に噴出され、酸化反応槽１０内の酸化性ガスと接触する。混合蒸気は、酸化性ガスと接触すると、酸化され導電性酸化亜鉛粉末が生成する。生成した導電性酸化亜鉛粉末は、バグフィルターなどの製品捕集器（図示せず）により捕集される。
【００２１】
第１流動筒１２の下流から導入される亜鉛含有蒸気の濃度は、１０〜５０体積％であることが好ましい。１０体積％未満では、酸化反応温度が低くなり亜鉛が十分に酸化されないため好ましくない。また、濃度が５０体積％を超えると、混合蒸気噴出口２８の出口で析出が起こり、噴出口２８が閉塞して安定製造できないため好ましくない。また、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の混合の際の両者の混合比は、酸化亜鉛として計算して１００重量部の酸化亜鉛に対して、ドーパント形成性金属の酸化物として計算して０．００５〜５重量部のアルミニウムとなるように調節することが好ましい。アルミニウム含有量が上記の範囲よりも少ない場合には充分な導電性が得られない。一方、上記の範囲よりも多く添加しても添加量に応じた添加効果の増加が得られない。
【００２２】
亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気は、酸化性ガスと接触する前に充分混合されていることが好ましく、第１流動筒１２において、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間が、３．０〜１０．０ミリ秒の範囲であることが好ましい。
【００２３】
混合時間が３．０ミリ秒未満の場合、両蒸気が第１流動筒１２内で十分に混合されず、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気がそれぞれ分離した状態で酸化され、酸化亜鉛と酸化アルミニウムの混合粉末が製造される。このような粉末は導電性を示さなくなるため好ましくない。また、混合時間が１０．０ミリ秒を超えると、第１流動筒１２の噴出口から酸化性ガス雰囲気に噴出されて酸化される前に、第１流動筒１２内で亜鉛蒸気とハロゲン化アルミニウム蒸気が反応し、ハロゲン化亜鉛が生成する。生成したハロゲン化亜鉛は、酸化性雰囲気に噴出され酸化されて塩基性ハロゲン化亜鉛となり、導電性酸化亜鉛粉末中に取り込まれる。塩基性ハロゲン化亜鉛は酸化亜鉛の導電性を阻害するため、得られた導電性酸化亜鉛粉末の導電性が著しく低下するため好ましくない。
【００２４】
亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気とが合流開始してから酸化性ガスと接触するまでの時間とは、第１流動筒１２内で亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流し、混合され、混合蒸気噴出口２８から酸化性雰囲気中に噴出されるまでの時間（以下、「混合時間」という）である。混合時間は、例えば、下記数１で示されるように、混合距離、第１流動筒１２の断面積、及び第１流動筒１２内に導入されるガス量から算出することができ、また、それらにより混合時間を調節することができる。ここで、混合距離とは、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気が合流する地点から混合蒸気噴出口２８までの距離をいい、本実施形態においては、図１に示すように第１流動筒１２の第２流動筒１４が連通する開口の上端から混合蒸気噴出口２８までの距離をいう。また、全ガス流量は、例えば、下記数２に示すように各ガスの流量や第１流動筒の温度から算出することができ、全ガス流量は、第１流動筒１２内の温度などによって調整することができる。
【００２５】
【数１】
2012211042.tif 000003
【００２６】
【数２】
2012211042.tif 000004
【００２７】
ここで、混合距離は、０．０２〜０．５０ｍが好ましい。混合距離が０．０２ｍ未満では、十分な導電性能が得られない。０．５０ｍを超えると、第１流動筒内のガス流速が速くなりすぎてフレームが立たなくなる。また、第１流動筒１２の内径は、５〜５０ｍｍの範囲が好ましい。５ｍｍよりも短いと混合蒸気噴出口２８が析出物により閉塞に至りやすく安定製造できない。５０ｍｍよりも長いと第１流動筒１２の径方向の混合距離が長くなって亜鉛蒸気とアルミニウム蒸気の混合が不十分になり、十分な導電性が得られなくなる。また、第１流動筒１２内の温度は、亜鉛の沸点以上である必要があり、９５０〜１２００℃が好ましい。９５０℃未満の温度では、亜鉛蒸気がノズル内で凝縮してしまうため好ましくない。１２００℃を超えると、材料的にも経済的にも見合わなくなってしまうため好ましくない。
【００２８】
本発明に係る導電性酸化亜鉛粉末の製造方法において、両蒸気を第１流動筒１２に導く過程に、キャリアガスとしてヘリウム、ネオン、アルゴンなどのような不活性ガスを使用しても良い。
【００２９】
また、混合時間を調整する目的と、亜鉛含有蒸気とハロゲン化アルミニウム含有蒸気の第１流動筒１２内での混合性を高める目的のため、混合ガスを用いることができる。混合ガスとしては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンなどのような不活性ガスが挙げられる。混合ガスは、図１に示すように第１流動筒１２内の混合性を高めるため、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル２２の途中に接続された混合ガス導入ノズル３０を介して、あらかじめハロゲン化アルミニウム含有蒸気と混合されて第１流動筒１２に導入されることが好ましい。このような形状にすることにより、ハロゲン化アルミニウムの蒸発速度に影響を与えることなく、混合ガスを導入することができる。別途、混合ガスを導入するノズルを設置しても良いが、第１流動筒１２形状が複雑になるので、加工性やコストの面から好ましくない。
【実施例】
【００３０】
以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。亜鉛及びハロゲン化アルミニウムの蒸発速度、キャリアガス流量、導電性酸化亜鉛粉末中のアルミニウム含有量、体積抵抗率及び比表面積は、以下の方法で測定した。
【００３１】
（蒸発速度）
亜鉛及びハロゲン化アルミニウムの蒸発速度は、実験中の重量変化により算出した。
【００３２】
（キャリアガス流量）
キャリアガス流量は、マスフロメーター（０℃、１気圧体積流量）で測定した。
【００３３】
（アルミニウム含有量）
導電性酸化亜鉛粉末中のアルミニウム含有量は、ＩＣＰ発光分析で分析した。
【００３４】
（体積抵抗率）
アルミニウム含有導電性酸化亜鉛粉末の体積抵抗率は、以下の方法で測定した。導電性酸化亜鉛粉末を一軸加圧で２００ＭＰａ圧粉体に成形し、抵抗値をデジタルマルチメーター（ケースレイ２０００）で測定し、体積抵抗率を算出した。
【００３５】
（比表面積）
導電性酸化亜鉛粉末の比表面積は、窒素ガス吸着によるＢＥＴ１点法により測定した。
【００３６】
（実施例１〜３）
まず、図１に示す装置を使い、表１に示す条件で導電性酸化亜鉛粉末を製造した。亜鉛含有蒸気発生部１８内に収容された金属亜鉛（（株）高純度化学研究所製：純度９９．９％以上）を１１００℃に加熱し、アルゴンガス１ＮＬ／ｍｉｎをキャリアガス導入管２０より供給した。生成した亜鉛含有蒸気は、亜鉛含有蒸気噴出ノズル１６から第１流動筒１２に導かれた。亜鉛蒸気は、２．５ｇ／ｍｉｎで発生した。同時に、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部２４内に収容された塩化アルミニウム（和光純薬工業（株）製、試薬特級）を２００℃に加熱し、アルゴンガス０．５ＮＬ／ｍｉｎをキャリアガス導入管２６より供給した。生成した塩化アルミニウム含有蒸気は、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル２２から第１流動筒１２に導かれた。塩化アルミニウム蒸気は０．１５〜０．１７ｇ／ｍｉｎで発生した。混合ガスとして、アルゴンガス１．３〜４．０Ｌ／ｍｉｎを混合ガス導入ノズル３０からハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル２２の上流に導入した。
【００３７】
第１流動筒１２は、図２に示す円筒型第１流動筒１２で混合角度９０度のものを使用した。第１流動筒１２の内径は、１２ｍｍφ、混合距離は２５ｍｍであった。第１流動筒１２の温度は、１０００℃であった。このときの混合時間は、５．７〜９．９ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率が２．１Ωｃｍ以下の高導電性酸化亜鉛粉末を得た。
【００３８】
【表１】
2012211042.tif 000005
【００３９】
【表２】
2012211042.tif 000006
【００４０】
（実施例４）
表１に示すように、ハロゲン化アルミニウムが臭化アルミニウム（和光純薬工業（株）製、試薬特級）で、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部２４の加熱温度が２９０℃であること以外は、実施例２と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、８．３ミリ秒であった。結果を表２に示す。体積抵抗率が１．５Ωｃｍの高導電性酸化亜鉛粉末を得た。
【００４１】
（実施例５）
表１に示すように、ハロゲン化アルミニウムが沃化アルミニウム（和光純薬工業（株）製、試薬特級）で、ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部２４の加熱温度が４００℃であること以外は、実施例２と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、８．３ミリ秒であった。結果を表２に示す。体積抵抗率が１．７Ωｃｍの高導電性酸化亜鉛粉末を得た。
【００４２】
（実施例６〜８）
混合ガスとしてのアルゴン量を０．２〜０．７Ｌ／ｍｉｎとしたことと、第１流動筒１２の内径を６ｍｍφにしたこと以外は、実施例１〜３と同様の方法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、３．１〜３．８ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率が４．３Ωｃｍ以下の高導電性酸化亜鉛粉末を得た。
【００４３】
（比較例１、２）
混合ガスとしてアルゴン量を０．５〜１．０Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は、実施例１〜３と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、１０．７〜１２．５ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率は５４０Ωｃｍ以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。
【００４４】
（比較例３、４）
混合ガスとしてアルゴン量を１．５〜４．０Ｌ／ｍｉｎとしたこと以外は、実施例６〜８と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、１．５〜２．５ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率は９８０Ωｃｍ以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。
【００４５】
（実施例９〜１１）
第１流動筒１２の混合角度を１２０〜１８０度に変えたこと以外は、実施例２と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、８．３ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率が０．８５Ωｃｍ以下の導電性酸化亜鉛粉末を得た。
【００４６】
（比較例５〜７）
第１流動筒１２の混合角度を０〜６０度に変えたこと以外は、実施例２と同様の手法で導電性酸化亜鉛粉末を得た。このときの混合時間は、８．３ミリ秒であった。結果を表２に示す。いずれも体積抵抗率は１３０Ωｃｍ以上であり、著しく導電性の低い酸化亜鉛であった。
【符号の説明】
【００４７】
１０    酸化反応槽
１２    第１流動筒
１４    第２流動筒
１６    亜鉛含有蒸気噴出ノズル
１８    亜鉛含有蒸気発生部
２０    キャリアガス導入管
２２    ハロゲン化アルミニウム含有蒸気噴出ノズル
２４    ハロゲン化アルミニウム含有蒸気発生部
２６    キャリアガス導入管
２８    混合蒸気噴出口
３０    混合ガス導入ノズル
【図１】
2012211042.tif 000007
【図２】
2012211042.tif 000008
【図３】
2012211042.tif 000009
【図４】
2012211042.tif 000010