(57)【要約】【課題】  ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを引張張力により好適に破断することが可能なダイシング・ダイボンドフィルムを提供すること。【解決手段】  基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、ステルスダイシング（登録商標）に使用されるものであり、基材は、半導体ウェハを貼り付ける部分に対応するウェハ貼付部を有しており、ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚みをＡ（μｍ）、ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、基材のウェハ貼付部における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であるダイシング・ダイボンドフィルム。【選択図】  図１
2012222002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、
半導体ウェハにレーザー光を照射して改質領域を形成した後、前記半導体ウェハを前記改質領域にて破断することにより半導体ウェハから半導体素子を得る方法に使用されるものであり、
前記基材は、半導体ウェハを貼り付ける部分に対応するウェハ貼付部を有しており、
前記ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚みをＡ（μｍ）、前記ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、前記基材の前記ウェハ貼付部における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。
【請求項２】
前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和が、９０以上５００未満であることを特徴とする請求項１に記載のダイシング・ダイボンドフィルム。
【請求項３】
前記ダイシングフィルムの前記基材は、ダイシングリングを貼り付ける部分に対応するリング貼付部を外周部分に有するとともに、前記リング貼付部よりも内側に前記ウェハ貼付部を有しており、さらに、前記リング貼付部と前記ウェハ貼付部との間に、突き上げ治具の外周が接触する接触部を有しており、
前記基材の前記接触部における２５℃での引張強度が、１５Ｎ以上８０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が８０％以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイシング・ダイボンドフィルム。
【請求項４】
前記基材の前記ウェハ貼付部における２５℃での引張強度が、７０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が３０％以上であり、
前記ダイボンドフィルムの２５℃での破断伸び率が４０％より大きく５００％以下であることを特徴とする請求項３に記載のダイシング・ダイボンドフィルム。
【請求項５】
基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムを用いた半導体装置の製造方法であって、
前記基材は、半導体ウェハを貼り付けるウェハ貼付部を有しており、
前記ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚みをＡ（μｍ）、前記ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、前記基材の前記ウェハ貼付部における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であり、
前記半導体装置の製造方法は、
半導体ウェハの分割予定ラインにレーザー光を照射して改質領域を形成する工程と、
前記ダイシング・ダイボンドフィルムの前記ダイボンドフィルム上に、改質領域形成後の半導体ウェハをマウントする工程と、
ダイシング・ダイボンドフィルムに引張張力を加えることによって、半導体ウェハとダイボンドフィルムとを破断し、半導体チップを形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンドフィルムとダイシングフィルムとが積層されたダイシング・ダイボンドフィルムに関する。また、本発明は、当該ダイシング・ダイボンドフィルムを用いた半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置の製造過程に於いてリードフレームや電極部材への半導体チップの固着には、銀ペーストが用いられている。かかる固着処理は、リードフレームのダイパッド等の上にペースト状接着剤を塗工し、それに半導体チップを搭載してペースト状接着剤層を硬化させて行う。
【０００３】
しかしながら、ペースト状接着剤はその粘度挙動や劣化等により塗工量や塗工形状等に大きなバラツキを生じる。その結果、形成されるペースト状接着剤厚は不均一となるため半導体チップに係わる固着強度の信頼性が乏しい。即ち、ペースト状接着剤の塗工量が不足すると半導体チップと電極部材との間の固着強度が低くなり、後続のワイヤーボンディング工程で半導体チップが剥離する。一方、ペースト状接着剤の塗工量が多すぎると半導体チップの上までペースト状接着剤が流延して特性不良を生じ、歩留まりや信頼性が低下する。この様な固着処理に於ける問題は、半導体チップの大型化に伴って特に顕著なものとなっている。そのため、ペースト状接着剤の塗工量の制御を頻繁に行う必要があり、作業性や生産性に支障をきたす。
【０００４】
このペースト状接着剤の塗工工程に於いて、ペースト状接着剤をリードフレームや形成チップに別途塗布する方法がある。しかし、この方法では、ペースト状接着剤層の均一化が困難であり、またペースト状接着剤の塗布に特殊装置や長時間を必要とする。このため、ダイシング工程で半導体ウェハを接着保持するとともに、マウント工程に必要なチップ固着用の接着剤層をも付与するダイシングフィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このダイシングフィルムは、支持基材上に接着剤層を剥離可能に設けてなるものであり、その接着剤層による保持下に半導体ウェハをダイシングしたのち、支持基材を延伸して形成チップを接着剤層とともに剥離し、これを個々に回収してその接着剤層を介してリードフレーム等の被着体に固着させるようにしたものである。
【０００６】
ダイシングフィルム上にダイボンドフィルムが積層されたダイシング・ダイボンドフィルムを使用し、半導体ウェハをダイボンドフィルムの保持下でダイシングする場合、このダイボンドフィルムを半導体ウェハと同時に切断する必要がある。ところが、ダイヤモンドブレードを用いた一般的なダイシング方法においては、ダイシング時に発生する熱の影響によるダイボンドフィルムとダイシングフィルムとの癒着、切削屑の発生による半導体チップ同士の固着、半導体チップ側面への切削屑の付着等が懸念されるため、切断速度を遅くする必要があり、コストの上昇を招いていた。
【０００７】
そこで、近年、半導体ウェハにおける分割予定ラインにレーザー光を照射して改質領域を形成することにより、半導体ウェハを分割予定ラインにて容易に分割可能とした後、引張張力を加えることによりこの半導体ウェハを破断して、個々の半導体チップを得る方法（例えば、特許文献２〜８参照、以下「ステルスダイシング（登録商標）」ともいう）が提案されている。この方法によれば、特に半導体ウェハの厚さが薄い場合にチッピング等の不良が発生することを低減することを可能とするとともに、カーフ幅を従来に比して狭くして半導体チップの収率向上を図ることができる。
【０００８】
ダイボンドフィルムの保持下において、上記方法によりダイボンドフィルム付の個々の半導体チップを得るためには、引張張力によりダイボンドフィルムを破断する必要がある。
【０００９】
特許文献６には、ダイシングテープ一体型接着シートにおいて、ダイシングテープの厚さＡと接着シートの厚さＢとの比Ａ／Ｂを２〜３０とすることにより、柔らかく伸びやすい接着シートを半導体ウェハと共に破断性よく切断することができることが開示されている。
【００１０】
しかしながら、接着シートと半導体ウェハとを破断性する際に関与するダイシングテープの物性は、主としてダイシングテープを構成する基材に起因するものである。そのため、特許文献６のように、基材と粘着剤層とから構成されるダイシングテープの全体の厚さ（ダイシングテープの厚さＡ）と接着シートの厚さＢとの比を特定しても、ダイシングテープの厚さＡに占める基材の厚さが厚い場合や薄い場合があるため、接着シートと半導体ウェハとを破断性する際に関与するダイシングテープの物性は一定ではない。そのため、特許文献６のようなダイシングテープ一体型接着シートは、必ずしも接着シートと半導体ウェハとを破断性よく切断することができるとはいえない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開昭６０−５７６４２号公報
【特許文献２】特開２００２−１９２３７０号公報
【特許文献３】特開２００３−３３８４６７号公報
【特許文献４】国際公開第２００４／１０９７８６号
【特許文献５】特開２００７−５３３２５号公報
【特許文献６】特開２００９−２８３９２５号公報
【特許文献７】特開２００９−２３８７７０号公報
【特許文献８】特開２０１０−７４１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを引張張力により好適に破断することが可能なダイシング・ダイボンドフィルムを提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを引張張力により好適に破断させることができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本願発明者等は、前記従来の問題点を解決すべく、ダイシング・ダイボンドフィルムについて検討した。その結果、ステルスダイシングにおいては、ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚み、ダイボンドフィルムの厚み、及び、ダイシングフィルムを構成する基材の厚みの相互の関係を特定の範囲内とすることにより、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを引張張力により好適に破断することが可能なことを見出して、本発明を完成させるに至った。
【００１５】
すなわち、本発明に係るダイシング・ダイボンドフィルムは、基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、半導体ウェハにレーザー光を照射して改質領域を形成した後、前記半導体ウェハを前記改質領域にて破断することにより半導体ウェハから半導体素子を得る方法に使用されるものであり、前記基材は、半導体ウェハを貼り付ける部分に対応するウェハ貼付部を有しており、前記ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚みをＡ（μｍ）、前記ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、前記基材の前記ウェハ貼付部における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であることを特徴とする。
【００１６】
ステルスダイシングにより半導体ウェハから半導体素子（例えば、半導体チップ）を得る際には、基材と粘着剤層とを有するダイシングフィルムに引張張力を加え、ダイシングフィルムを破断させない状態でダイボンドフィルムと半導体ウェハとを破断させる必要がある。
【００１７】
前記構成によれば、Ｃ／Ａが０．４以上であり、半導体ウェハの厚みに対して、基材のウェハ貼付部における厚みは、一定以上である。従って、基材に加えられた引張応力を、基材を破断させることなく半導体ウエハに伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハを破断することができる。また、Ｃ／Ａが２０以下であり、基材のウェハ貼付部における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具（例えば、ピックアップニードル）により基材側から半導体素子を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、半導体ウエハを破断するために基材に加える力を一定以下とすることができる。
【００１８】
また、前記構成によれば、Ｃ／Ｂが０．８以上であり、ダイボンドフィルムの厚みに対して、基材のウェハ貼付部における厚みは、一定以上である。従って、基材に加えられた引張応力を、基材を破断させることなくダイボンドフィルムに伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハを破断することができる。また、Ｃ／Ｂが６７以下であり、基材のウェハ貼付部における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具（例えば、ピックアップニードル）により基材側から半導体素子を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、ダイボンドフィルムを破断するために基材に加える力を一定以下とすることができる。
【００１９】
ダイボンドフィルムは、一般的に厚みが厚いほど破断性が悪い。そこで、前記構成によれば、Ａ／Ｂが０．１以上であり、半導体ウェハの厚みに対して、ダイボンドフィルムの厚みは、一定以下である。従って、ダイボンドフィルムを好適に破断することができる。また、Ａ／Ｂが６７以下であり、ダイボンドフィルムの厚みが薄すぎることはない。従って、半導体ウエハとダイボンドフィルムの間で剥離することを防止することができる。
【００２０】
このように、前記構成によれば、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であるため、基材を破断させることなく半導体ウエハとダイボンドフィルムとを好適に破断することができる。
【００２１】
前記構成においては、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和が、９０以上５００未満であることが好ましい。前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を９０以上とすることにより、ダイシングフィルムの厚みをある程度厚くすることができ、半導体ウエハを破断する際に必要な引張応力を持たせることができる。一方、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を５００未満とすることにより、ダイシングフィルムの厚みが厚くなりすぎないため、ピックアップの際のピックアップ性を維持することができる。すなわち、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を９０以上５００未満とすることにより、半導体ウエハを破断する際に必要な引張応力をダイシングフィルムに持たせることができるとともに、ピックアップ性を維持することができる。
【００２２】
前記構成において、前記ダイシングフィルムの前記基材は、ダイシングリングを貼り付ける部分に対応するリング貼付部を外周部分に有するとともに、前記リング貼付部よりも内側に前記ウェハ貼付部を有しており、さらに、前記リング貼付部と前記ウェハ貼付部との間に、突き上げ治具の外周が接触する接触部を有しており、前記基材の前記接触部における２５℃での引張強度が、１５Ｎ以上８０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が８０％以上であることが好ましい。
また、前記構成において、前記基材の前記ウェハ貼付部における２５℃での引張強度が、７０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が３０％以上であり、前記ダイボンドフィルムの２５℃での破断伸び率が４０％より大きく５００％以下であることが好ましい。
【００２３】
ステルスダイシングにより半導体ウェハから半導体素子（例えば、半導体チップ）を得る場合、半導体ウェハが貼り付けられたダイシングフィルムの基材側から突き上げ治具を突き上げて、ダイシングフィルムに引張張力を加える。
【００２４】
前記構成によれば、基材の接触部における２５℃での引張強度が、１５Ｎ以上であるため、引張張力を加えた際に接触部で基材が破断したり塑性変形したりすることを防止でき、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとに引張応力を伝えることができる。その結果、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを正常に破断することができる。また、前記引張強度が８０Ｎ以下であるため、引張張力を加える装置に過度の負荷を与えることなくダイボンドフィルムと半導体ウェハとを破断することができる。また、基材の接触部における２５℃での降伏点伸度が８０％以上であるため、基材の塑性変形を抑えつつ、拡張することができる。また、ウェハ貼付部における２５℃での引張強度が７０Ｎ以下あるため、引張張力を加えた際に、ウェハ貼付部において適度な拡張が起こり、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを破断することができる。また、ウェハ貼付部の降伏点伸度が３０％以上であるため、引張張力を加えた際にウェハ貼付部において適度な拡張が起こり、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを破断することができる。また、ダイボンドフィルムの破断伸び率が４０％より大きいため、容易に破断するのを防止し、取り扱い性を向上させることができる。また、前記破断伸び率が５００％以下であるため、拡張させた際に過度に伸長するのを防止し、好適に破断することができる。
特に、基材の接触部における２５℃での引張強度が、１５Ｎ以上８０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が８０％以上であり、前記ダイシングフィルムの前記ウェハ貼付部における２５℃での引張強度が７０Ｎ以下であり、且つ、降伏点伸度が３０％以上であると、引張張力を加えることにより、基材（ダイシングフィルム）を破断させることなく拡張させることができるとともに、ダイボンドフィルムと半導体ウェハとを破断させることができる。
【００２５】
また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムを用いた半導体装置の製造方法であって、前記基材は、半導体ウェハを貼り付けるウェハ貼付部を有しており、前記ダイボンドフィルムに貼り付けられる半導体ウェハの厚みをＡ（μｍ）、前記ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、前記基材の前記ウェハ貼付部における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であり、前記半導体装置の製造方法は、半導体ウェハの分割予定ラインにレーザー光を照射して改質領域を形成する工程と、前記ダイシング・ダイボンドフィルムの前記ダイボンドフィルム上に、改質領域形成後の半導体ウェハをマウントする工程と、ダイシング・ダイボンドフィルムに引張張力を加えることによって、半導体ウェハとダイボンドフィルムとを破断し、半導体チップを形成する工程とを具備することを特徴とする。
【００２６】
前記構成によれば、Ｃ／Ａが０．４以上であり、半導体ウェハの厚みに対して、基材のウェハ貼付部における厚みは、一定以上である。従って、基材に加えられた引張応力を、基材を破断させることなく半導体ウエハに伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハを破断することができる。また、Ｃ／Ａが２０以下であり、基材のウェハ貼付部における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具（例えば、ピックアップニードル）により基材側から半導体素子を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、半導体ウエハを破断するために基材に加える力を一定以下とすることができる。
【００２７】
また、前記構成によれば、Ｃ／Ｂが０．８以上であり、ダイボンドフィルムの厚みに対して、基材のウェハ貼付部における厚みは、一定以上である。従って、基材に加えられた引張応力を、基材を破断させることなくダイボンドフィルムに伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハを破断することができる。また、Ｃ／Ｂが６７以下であり、基材のウェハ貼付部における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具（例えば、ピックアップニードル）により基材側から半導体素子を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、ダイボンドフィルムを破断するために基材に加える力を一定以下とすることができる。
【００２８】
ダイボンドフィルムは、一般的に厚みが厚いほど破断性が悪い。そこで、前記構成によれば、Ａ／Ｂが０．１以上であり、半導体ウェハの厚みに対して、ダイボンドフィルムの厚みは、一定以下である。従って、ダイボンドフィルムを好適に破断することができる。また、Ａ／Ｂが６７以下であり、ダイボンドフィルムの厚みが薄すぎることはない。従って、半導体ウエハとダイボンドフィルムの間で剥離することを防止することができる。
【００２９】
このように、前記構成によれば、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であるため、基材を破断させることなく半導体ウエハとダイボンドフィルムとを好適に破断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図であり、（ｂ）は、その平面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、他の実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。
【図４】本実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
【図５】本実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、本実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
【図７】本実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。
【図８】動摩擦係数の測定方法を説明するための図である。
【図９】動摩擦係数を測定する際の引張距離と摩擦力との関係を模式的に示す図である。
【図１０】動摩擦係数を測定する際の垂直効力と動摩擦力との関係を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
（ダイシング・ダイボンドフィルム）
本実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムについて以下に説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図であり、図１（ｂ）は、その平面図である。図２は、本発明の他の実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。
【００３２】
ダイシング・ダイボンドフィルム１０は、ダイシングフィルム１１上にダイボンドフィルム３が積層された構成を有する。ダイシングフィルム１１は基材１上に粘着剤層２を積層して構成されており、ダイボンドフィルム３はその粘着剤層２上に設けられている。ダイボンドフィルム３は、粘着剤層２の半導体ウェハ貼り付け部分に対応する部分２ａにのみ形成されている。なお、本発明においては、図２に示すダイシング・ダイボンドフィルム１２のように、ダイシングフィルム１１の表面全体にダイボンドフィルム３’を形成した構成であってもよい。
【００３３】
図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、基材１は、外周部分に、ダイシングリング３１を貼り付ける部分に対応するリング貼付部１３を有するとともに、リング貼付部１３よりも内側に、半導体ウェハ４を貼り付ける部分に対応するウェハ貼付部１５を有している。また、リング貼付部１３とウェハ貼付部１５との間には、突き上げ治具３３の外周が接触する接触部１４を有している。
【００３４】
ダイシング・ダイボンドフィルム１０は、ダイボンドフィルム３に貼り付けられる半導体ウェハ４の厚みをＡ（μｍ）記ダイボンドフィルム３の厚みをＢ（μｍ）、基材１のウェハ貼付部１５における厚みをＣ（μｍ）としたとき、Ｃ／Ａが０．４以上であり、半導体ウェハ４の厚みに対して、基材１のウェハ貼付部１５における厚みは、一定以上である。従って、基材１に加えられた引張応力を、基材１を破断させることなく半導体ウエハ４に伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハ４を破断することができる。また、Ｃ／Ａが２０以下であり、基材１のウェハ貼付部１５における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具３３により基材１側から半導体チップ５（図６（ｂ）参照）を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、ダイボンドフィルム３を破断するために基材１に加える力を一定以下とすることができる。前記Ｃ／Ａは、０．４以上２０以下であることが好ましく、１以上１５以下であることがより好ましい。
【００３５】
また、ダイシング・ダイボンドフィルム１０は、Ｃ／Ｂが０．８以上であり、ダイボンドフィルム３の厚みに対して、基材１のウェハ貼付部１５における厚みは、一定以上である。従って、基材１に加えられた引張応力を、基材１を破断させることなくダイボンドフィルム３に伝えることができる。その結果、好適に半導体ウエハ４を破断することができる。また、Ｃ／Ｂが６７以下であり、基材１のウェハ貼付部１５における厚みが厚すぎることはない。従って、ピックアップの際に、突き上げ治具３３により基材１側から半導体チップ５（図６（ｂ）参照）を持ち上げることが容易となる。その結果、ピックアップが容易となる。また、ダイボンドフィルム３を破断するために基材１に加える力を一定以下とすることができる。前記Ｃ／Ｂは、０．８以上６７以下であることが好ましく、２以上６０以下であることがより好ましい。
【００３６】
ダイボンドフィルムは、一般的に厚みが厚いほど破断性が悪い。そこで、ダイシング・ダイボンドフィルム１０は、Ａ／Ｂが０．１以上であり、半導体ウェハ４の厚みに対して、ダイボンドフィルム３の厚みは、一定以下である。従って、ダイボンドフィルム３を好適に破断することができる。また、Ａ／Ｂが６７以下であり、ダイボンドフィルム３の厚みが薄すぎることはない。従って、半導体ウエハ４とダイボンドフィルム３の間で剥離することを防止することができる。前記Ａ／Ｂは、０．１以上６７以下であることが好ましく、２以上６０以下であることがより好ましい。
【００３７】
このように、ダイシング・ダイボンドフィルム１０によれば、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８以上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であるため、基材１を破断させることなく半導体ウエハ４とダイボンドフィルム３とを好適に破断することができる。
【００３８】
ダイシング・ダイボンドフィルム１０は、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和が、９０以上５００未満であることが好ましい。前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を９０以上とすることにより、ダイシングフィルム１１の厚みをある程度厚くすることができ、半導体ウエハ４を破断する際に必要な引張応力を持たせることができる。一方、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を５００未満とすることにより、ダイシングフィルム１１の厚みが厚くなりすぎないため、ピックアップの際のピックアップ性を維持することができる。すなわち、前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和を９０以上５００未満とすることにより、半導体ウエハ４を破断する際に必要な引張応力をダイシングフィルム１１に持たせることができるとともに、ピックアップ性を維持することができる。前記Ａと前記Ｂと前記Ｃとの和は、９０以上５００未満であることがより好ましく、１００以上４００未満であることがさらに好ましい。
【００３９】
基材１の接触部１４における２５℃の条件下での引張強度は、１５Ｎ以上８０Ｎ以下であることが好ましく、１８Ｎ以上７０Ｎ以下であることがより好ましく、２０Ｎ以上６０Ｎ以下であることがさらに好ましい。基材１の接触部１４における２５℃の条件下での引張強度が、１５Ｎ以上であると、引張張力を加えた際に、接触部１４で基材１（ダイシングフィルム１１）が破断したり塑性変形したりすることを防止でき、ダイボンドフィルム３と半導体ウェハ４とを正常に破断することができる。また、前記引張強度が８０Ｎ以下であると、引張張力を加える装置に過度の負荷を与えることなく、ダイボンドフィルム３と半導体ウェハ４とを破断することができる。
【００４０】
基材１の接触部１４における２５℃での降伏点伸度は、８０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましく、１００％以上であることがさらに好ましい。また、基材１の接触部１４における２５℃での降伏点伸度は、大きいほど好ましいが、例えば、３３０％以下、３００％以下、２９０％以下、２６０％以下、２５０％以下等とすることができる。基材１の接触部１４における２５℃での降伏点伸度が８０％以上であると、基材１（ダイシングフィルム１１）の塑性変形を抑え、基材１（ダイシングフィルム１１）の破断を防止することができる。
【００４１】
基材１のウェハ貼付部１５における２５℃での引張強度は、７０Ｎ以下であることが好ましく、5０Ｎ以下であることがより好ましく、４０Ｎ以下であることがさらに好ましい。ウェハ貼付部１５における２５℃での引張強度が７０Ｎ以下であると、引張張力を加えた際に、ウェハ貼付部１５において適度な拡張が起こり、ダイボンドフィルム３と半導体ウェハ４とを破断することができる。また、基材１のウェハ貼付部１５における２５℃での引張強度は、１０Ｎ以上であることが好ましく、１１Ｎ以上であることがより好ましく、１２Ｎ以上であることがさらに好ましい。基材１のウェハ貼付部１５における２５℃での引張強度が、１０Ｎ以上であると、引張応力をダイボンドフィルム３に良好に伝えることができる。
【００４２】
基材１のウェハ貼付部１５における２５℃での降伏点伸度は、３０％以上であることが好ましく、４０％以上であることがより好ましい。また、基材１のウェハ貼付部１５における２５℃での降伏点伸度は、大きいほど好ましいが、例えば、３３０％以下、３００％以下、２９０％以下、２６０％以下、２５０％以下等とすることができる。ウェハ貼付部１５の降伏点伸度が３０％以上であるため、引張張力を加えた際に、ウェハ貼付部１５において適度な拡張が起こり、ダイボンドフィルム３と半導体ウェハ４とを破断することができる。
【００４３】
ステルスダイシングにより半導体ウェハから半導体素子（例えば、半導体チップ）を得る際には、ダイシングフィルム１１に引張張力を加え、ダイシングフィルム１１を破断させない状態でダイボンドフィルム３と半導体ウェハ４とを破断させる必要がある。そのため、引張張力を加える際、突き上げ治具の接触する接触部１４の方が、突き上げ治具の接触しないウェハ貼付部１５よりも引張強度が少なくとも同じか強い必要がある。そこで、基材１においては、［（接触部１４の引張強度）−（ウェハ貼付部１５の引張強度）］が０Ｎ以上６０Ｎ以下であることが好ましく、０Ｎ以上５８Ｎ以下であることがより好ましく、０Ｎ以上５５Ｎ以下であることがさらに好ましい。
【００４４】
前記引張強度は、試料の幅２５ｍｍ、チャック間距離１００ｍｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎでの１０％延び時の強度である。また、前記降伏点伸度は、２５℃の条件下において、試料の幅１０ｍｍ、チャック間距離５０ｍｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎで測定した際に得られる応力−ひずみ曲線の降伏点における伸び率である。なお、本発明では、降伏点を有さないダイシングフィルムについては、破断伸度を降伏点伸度とする。降伏点を有するダイシングフィルムとは、２５℃の条件下で、試料の幅１０ｍｍ、チャック間距離５０ｍｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎで引張試験を行い、歪みをｘ軸、応力をｙ軸にしてプロットした場合に、傾きｄｙ／ｄｘが正の値から０又は負の値に変化するものをいう。
【００４５】
前記基材１は紫外線透過性を有するものが好ましく、ダイシング・ダイボンドフィルムの強度母体となるものである。例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属（箔）、紙等が挙げられる。
【００４６】
また基材１の材料としては、前記樹脂の架橋体等のポリマーが挙げられる。前記プラスチックフィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。延伸処理等により熱収縮性を付与した樹脂シートによれば、ダイシング後にその基材１を熱収縮させることにより粘着剤層２とダイボンドフィルム３、３’との接着面積を低下させて、半導体チップ（半導体素子）の回収の容易化を図ることができる。
【００４７】
基材１の表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高める為、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗剤（例えば、後述する粘着物質）によるコーティング処理を施すことができる。前記基材１は、同種又は異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしたものを用いることができる。また、基材１には、帯電防止能を付与する為、前記の基材１上に金属、合金、これらの酸化物等からなる厚さが３０〜５００Å程度の導電性物質の蒸着層を設けることができる。基材１は単層あるいは２種以上の複層でもよい。
【００４８】
基材１の厚さは、特に制限されず適宜に決定できるが、一般的には５〜２００μｍ程度である。基材１が厚すぎるとピックアップ性が劣る場合がある。
【００４９】
ダイシングフィルム１１は、少なくとも接触部１４において、基材１と補強部材とが積層された構造を有してしてもよい。以下この場合について説明する。
【００５０】
図３（ａ）は、他の実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。
図３（ａ）に示すダイシング・ダイボンドフィルム２０においては、ダイシングフィルム１８は、基材１上に粘着剤層２が積層され、さらに、その上に補強部材１６ａが積層された構造を有している。補強部材１６ａは、ウェハ貼付部１５に対向しない範囲において、接着剤層２上に設けられ、接触部１４とリング貼付部１３との両方に含まれるように設けられている。なお、補強部材１６ａは、接触部１４のみにだけ含まれるように設けられていてもよい。補強部材１６ａが接着剤層２上に設けられる構成とする場合、図３（ａ）に示すように、補強部材１６ａ上にダイシングリングを貼り付けるための接着剤層１７ａを設けた構成とすることができる。
【００５１】
図３（ｂ）は、他の実施形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムを示す断面模式図である。
図３（ｂ）に示すダイシング・ダイボンドフィルム２１においては、ダイシングフィルム１９は、基材１上に粘着剤層２が積層され、基材１の裏面には、補強部材１６ｂが積層された構造を有している。補強部材１６ｂは、ウェハ貼付部１５に対向しない範囲において、基材１の裏面に設けられ、接触部１４とリング貼付部１３との両方に含まれるように設けられている。なお、補強部材１６ｂは、接触部１４のみにだけ含まれるように設けられていてもよい。補強部材１６ｂが基材１の裏面に設けられる構成とする場合、図３（ｂ）に示すように、補強部材１６ｂを基材１の裏面に貼り付けるための接着剤層１７ｂが設けられた構成とすることができる。
【００５２】
補強部材１６（補強部材１６ａ、補強部材１６ｂ）の材質としては、基材１と同様のものを使用することができる。
【００５３】
補強部材１６の厚さは、特に制限されず適宜に決定できるが、５〜７０μｍが好ましく、８〜４０μｍがより好ましく、１０〜２０μｍがさらに好ましい。
また、補強部材１６の引張強度は、１５Ｎ以上８０Ｎ以下であることが好ましく、２０Ｎ以上６０Ｎ以下であることがより好ましく、２５Ｎ以上５０Ｎ以下であることがさらに好ましい。補強部材１６の引張強度は、ダイシングフィルム１１と同様の方法により測定することができる。
【００５４】
接触部１４の動摩擦係数は、０〜０．０２であることが好ましく、０〜０．０１９であることがより好ましく、０〜０．０１８であることがさらに好ましい。接触部１４の動摩擦係数が、０．０２以下あると、引張張力を加える際の突き上げ治具３３との摩擦を低減させることができ、ダイボンドフィルム１１を正常に破断することができる。なお、図３（ａ）に示すように、基材１が突き上げ治具３３と接触する場合には、基材１の接触部１４における動摩擦係数が、上記数値範囲であることが好ましい。また、図３（ｂ）に示すように、補強部材１６ｂが突き上げ治具３３と接触する場合には、補強部材１６ｂの接触部１４における動摩擦係数が、上記数値範囲であることが好ましい。
【００５５】
接触部１４の表面粗さＲａは、０．０３μｍ以上１．５μｍ以下であることが好ましく、０．０５μｍ以上１．４μｍ以下であることがより好ましい。接触部１４の表面粗さＲａが０．０３μｍ以上であると、引張張力を加える際の突き上げ治具３３との摩擦をより好適に低減させることができ、ダイボンドフィルム１１を正常に破断することができる。前記表面粗さＲａは、エンボス処理によりコントロールすることができる。なお、図１（ｂ）、図３（ａ）に示すように、基材１が突き上げ治具３３と接触する場合には、基材１の接触部１４における表面粗さＲａが、上記数値範囲であることが好ましい。また、図３（ｂ）に示すように、補強部材１６ｂが突き上げ治具３３と接触する場合には、補強部材１６ｂの接触部１４における表面粗さＲａが、上記数値範囲であることが好ましい。
【００５６】
接触部１４は、潤滑剤処理されていることが好ましい。潤滑剤としては、従来公知のものを採用でき、例えば、シリコーン系、フッ素系のものを挙げることができる。接触部１４が潤滑剤処理されていると、引張張力を加える際の突き上げ治具３３との摩擦をより好適に低減させることができ、ダイボンドフィルムを正常に破断することができる。
【００５７】
基材１は、接触部１４に相当する部分とウェハ貼付部１５に相当する部分とを異なる材料から構成することができる。これにより、接触部１４とウェハ貼付部１５との引張強度や、降伏点伸度に差を設けることができる。接触部１４に相当する部分とウェハ貼付部１５に相当する部分とが異なる材料から構成される基材１の製造方法としては例えば、ウェハ貼付部１５に相当する部分が切り抜かれた基材に、引張強度及び／又は降伏点伸度の異なる基材を嵌め込む方法が挙げられる。また、他の方法としては、基材１を製膜する際に接触部１４に相当する部分とウェハ貼付部１５とを予め塗り分ける方法が挙げられる。
【００５８】
粘着剤層２の形成に用いる粘着剤としては特に制限されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤を用いることができる。前記感圧性粘着剤としては、半導体ウェハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性等の点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００５９】
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル等のアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル等）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステル等）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー等が挙げられる。尚、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
【００６０】
前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性等の改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。この様なモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等のリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。
【００６１】
更に、前記アクリル系ポリマーは、架橋させる為、多官能性モノマー等も、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。この様な多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
【００６２】
前記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、更に好ましくは４０万〜３００万程度である。
【００６３】
また、前記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高める為、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤等のいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法が挙げられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、更には、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、前記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部程度以下、更には０．１〜５重量部配合するのが好ましい。更に、粘着剤には、必要により、前記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤等の添加剤を用いてもよい。
【００６４】
前記粘着剤層２は紫外線硬化型粘着剤により形成することができる。紫外線硬化型粘着剤は、紫外線の照射により架橋度を増大させてその粘着力を容易に低下させることができ、図１に示す粘着剤層２の半導体ウェハ貼り付け部分に対応する部分２ａのみを紫外線照射することにより他の部分２ｂとの粘着力の差を設けることができる。
【００６５】
また、図１に示すダイボンドフィルム３に合わせて紫外線硬化型の粘着剤層２を硬化させることにより、粘着力が著しく低下した前記部分２ａを容易に形成できる。硬化し、粘着力の低下した前記部分２ａにダイボンドフィルム３が貼付けられる為、粘着剤層２の前記部分２ａとダイボンドフィルム３との界面は、ピックアップ時に容易に剥がれる性質を有する。一方、紫外線を照射していない部分は十分な粘着力を有しており、前記部分２ｂを形成する。
【００６６】
図２に示すダイシング・ダイボンドフィルム１２では、未硬化の紫外線硬化型粘着剤により形成されている前記部分２ｂはダイボンドフィルム３’と粘着し、ダイシングする際の保持力を確保できる。この様に紫外線硬化型粘着剤は、半導体チップを基板等の被着体にダイボンドする為のダイボンドフィルム３’を、接着・剥離のバランスよく支持することができる。図１に示すダイシング・ダイボンドフィルム１０の粘着剤層２に於いては、前記部分２ｂがウェハリングを固定することができる。
【００６７】
前記紫外線硬化型粘着剤は、炭素−炭素二重結合等の紫外線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。紫外線硬化型粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤に、紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の紫外線硬化型粘着剤を例示できる。
【００６８】
前記感圧性接着剤としては、半導体ウェハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性等の点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００６９】
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル等のアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル等）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステル等）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー等が挙げられる。尚、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
【００７０】
前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性等の改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。この様なモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等のリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。
【００７１】
更に、前記アクリル系ポリマーは、架橋させる為、多官能性モノマー等も、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。この様な多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
【００７２】
前記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、更に好ましくは４０万〜３００万程度である。
【００７３】
また、前記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高める為、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤等のいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法が挙げられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、更には、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、前記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部以下が好ましい。また、下限値としては０．１重量部以上であることが好ましい。更に、粘着剤には、必要により、前記成分のほかに、各種の粘着付与剤、老化防止剤等の添加剤を用いてもよい。
【００７４】
配合する前記紫外線硬化性のモノマー成分としては、例えば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また紫外線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系等種々のオリゴマーがあげられ、その分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、前記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部、好ましくは７０〜１５０重量部程度である。
【００７５】
また、紫外線硬化型粘着剤としては、前記説明した添加型の紫外線硬化型粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖又は主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の紫外線硬化型粘着剤が挙げられる。内在型の紫外線硬化型粘着剤は、低分子量成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、又は多くは含まない為、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができる為好ましい。
【００７６】
前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。この様なベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、前記例示したアクリル系ポリマーが挙げられる。
【００７７】
前記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。例えば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基及び炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の紫外線硬化性を維持したまま縮合又は付加反応させる方法が挙げられる。
【００７８】
これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基等が挙げられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、前記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと前記化合物のいずれの側にあってもよいが、前記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、前記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げられる。また、アクリル系ポリマーとしては、前記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物等を共重合したものが用いられる。
【００７９】
前記内在型の紫外線硬化型粘着剤は、前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に前記紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。紫外線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。
【００８０】
前記紫外線硬化型粘着剤には、紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させる。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α’−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェノン−１，１―プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば０．０５〜２０重量部程度である。
【００８１】
また紫外線硬化型粘着剤としては、例えば、特開昭６０−１９６９５６号公報に開示されている、不飽和結合を２個以上有する付加重合性化合物、エポキシ基を有するアルコキシシラン等の光重合性化合物と、カルボニル化合物、有機硫黄化合物、過酸化物、アミン、オニウム塩系化合物等の光重合開始剤とを含有するゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤等が挙げられる。
【００８２】
前記粘着剤層２に前記部分２ａを形成する方法としては、基材１に紫外線硬化型の粘着剤層２を形成した後、前記部分２ａに部分的に紫外線を照射し硬化させる方法が挙げられる。部分的な紫外線照射は、半導体ウェハ貼り付け部分３ａ以外の部分３ｂ等に対応するパターンを形成したフォトマスクを介して行うことができる。また、スポット的に紫外線を照射し硬化させる方法等が挙げられる。紫外線硬化型の粘着剤層２の形成は、セパレータ上に設けたものを基材１上に転写することにより行うことができる。部分的な紫外線硬化はセパレータ上に設けた紫外線硬化型の粘着剤層２に行うこともできる。
【００８３】
ダイシング・ダイボンドフィルム１２の粘着剤層２に於いては、（前記部分２ａの粘着力）＜（その他の部分２ｂの粘着力）、となるように粘着剤層２の一部を紫外線照射してもよい。即ち、基材１の少なくとも片面の、半導体ウェハ貼り付け部分３ａに対応する部分以外の部分の全部又は一部が遮光されたものを用い、これに紫外線硬化型の粘着剤層２を形成した後に紫外線照射して、半導体ウェハ貼り付け部分３ａに対応する部分を硬化させ、粘着力を低下させた前記部分２ａを形成することができる。遮光材料としては、支持フィルム上でフォトマスクになりえるものを印刷や蒸着等で作製することができる。これにより、効率よくダイシング・ダイボンドフィルム１２を製造可能である。
【００８４】
粘着剤層２の厚さは特に限定されないが、チップ切断面の欠け防止や接着層の固定保持の両立性等の点から、１〜５０μｍ程度が好ましく、より好ましくは２〜３０μｍ、更に好ましくは５〜２５μｍである。
【００８５】
粘着剤層２の−１０℃〜３０℃における引張貯蔵弾性率は、１×１０４〜１×１０１０Ｐａであることが好ましい。粘着剤層２の前記引張貯蔵弾性率が前記数値範囲内であると、ウェハ破断する際にチッピングの発生を防止することができるとともに、ダイボンドフィルム付の半導体チップをピックアップする際のチップ飛びやズレの発生を防止することができる。
【００８６】
ダイボンドフィルム３、３’は、熱硬化前における２５℃での破断伸び率が４０％より大きく５００％以下であることが好ましい。熱硬化前における２５℃での破断伸び率が４０％より大きいと、ステルスダイシングにより半導体ウェハ４から半導体チップ５を得る際に、ダイシング・ダイボンドフィルム１２に引張張力を加えると、ダイボンドフィルム３、３’と半導体ウェハ４とを同時に破断することが可能となり、ダイボンドフィルム３、３’と半導体ウェハ４とを分割予定ライン４Ｌにて確実に破断することができる。前記破断伸び率は、８０％より大きく４５０％以下であることがより好ましい。なお、ダイボンドフィルム３、３’が長尺の場合、前記破断伸び率は、流れ方向（ＭＤ）又は幅方向（ＴＤ）の少なくとも一方向において、上記数値範囲を満たせばよい。
【００８７】
ダイシングフィルム１１の粘着剤層２とダイボンドフィルム３との剥離強度（２３℃、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分）は、０．０２Ｎ／２０ｍｍ〜０．２Ｎ／２０ｍｍの範囲が好ましく、０．０３Ｎ／２０ｍｍ〜０．１５Ｎ／２０ｍｍの範囲がより好ましく、０．０４Ｎ／２０ｍｍ〜０．１Ｎ／２０ｍｍの範囲がさらに好ましい。前記剥離強度を０．０２Ｎ／２０ｍｍ以上にすることにより、引張張力を加えた際に、ダイボンドフィルム３がダイシングフィルム１１から剥離してしまうことを防止することができる。その一方、前記剥離強度を０．２Ｎ／２０ｍｍ以下にすることにより、半導体素子をピックアップする際に、当該半導体素子の剥離が困難になったり、糊残りが発生するのを防止することができる。
【００８８】
一方、ダイボンドフィルム３と半導体ウェハとの剥離強度（２３℃、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分）は、０．０２Ｎ／２０ｍｍ〜０．５Ｎ／２０ｍｍの範囲が好ましく、０．０３Ｎ／２０ｍｍ〜０．３Ｎ／２０ｍｍの範囲がより好ましく、０．０４Ｎ／２０ｍｍ〜０．２Ｎ／２０ｍｍの範囲がさらに好ましい。
【００８９】
また、ダイボンドフィルム３、３’は、−２０℃〜３０℃での引張貯蔵弾性率が０．１ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下であることが好ましく、０．２ＧＰａ以上９．５ＧＰａであることがより好ましく、０．５ＧＰａ以上９ＧＰａであることがさらに好ましい。−２０℃〜３０℃での引張貯蔵弾性率を０．１ＧＰａ以上とすることにより、拡張させた際のダイボンドフィルム３、３’の破断性が向上する。また、前記引張貯蔵弾性率を１０ＧＰａ以下とすることにより、半導体ウェハへのダイボンドフィルム３、３’のラミネート性が向上する。
【００９０】
ダイボンドフィルムの積層構造は特に限定されず、例えば、ダイボンドフィルム３、３’（図１〜図３参照）のように接着剤層の単層のみからなるものや、コア材料の片面又は両面に接着剤層を形成した多層構造のもの等が挙げられる。前記コア材料としては、フィルム（例えばポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム等）、ガラス繊維やプラスチック製不織繊維で強化された樹脂基板、シリコン基板又はガラス基板等が挙げられる。ダイボンドフィルムが多層構造のものである場合、多層構造のダイボンドフィルム全体として、前記破断伸び率、前記引貯蔵弾性率、及び、前記損失弾性率等が前記数値範囲内であればよい。
【００９１】
前記ダイボンドフィルム３、３’を構成する接着剤組成物としては、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂を併用したものが挙げられる。
【００９２】
前記熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、又は熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。特に、半導体素子を腐食させるイオン性不純物等の含有が少ないエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。
【００９３】
前記エポキシ樹脂は、接着剤組成物として一般に用いられるものであれば特に限定は無く、例えばビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオンレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型等の二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂、又はヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型若しくはグリシジルアミン型等のエポキシ樹脂が用いられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのエポキシ樹脂のうちノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型樹脂又はテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、硬化剤としてのフェノール樹脂との反応性に富み、耐熱性等に優れるからである。
【００９４】
更に、前記フェノール樹脂は、前記エポキシ樹脂の硬化剤として作用するものであり、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレン等が挙げられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのフェノール樹脂のうちフェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂が特に好ましい。半導体装置の接続信頼性を向上させることができるからである。
【００９５】
前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂との配合割合は、例えば、前記エポキシ樹脂成分中のエポキシ基１当量当たりフェノール樹脂中の水酸基が０．５〜２．０当量になるように配合することが好適である。より好適なのは、０．８〜１．２当量である。即ち、両者の配合割合が前記範囲を外れると、十分な硬化反応が進まず、エポキシ樹脂硬化物の特性が劣化し易くなるからである。
【００９６】
前記熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６−ナイロンや６，６−ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴ等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はフッ素樹脂等が挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらの熱可塑性樹脂のうち、イオン性不純物が少なく耐熱性が高く、半導体素子の信頼性を確保できるアクリル樹脂が特に好ましい。
【００９７】
前記アクリル樹脂としては、特に限定されるものではなく、炭素数３０以下、特に炭素数４〜１８の直鎖若しくは分岐のアルキル基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステルの１種又は２種以上を成分とする重合体（アクリル共重合体）等が挙げられる。前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、へプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、又はドデシル基等が挙げられる。
【００９８】
上記アクリル樹脂のなかでも、凝集力向上の理由で、アクリル共重合体が特に好ましい。上記アクリル共重合体としては、例えば、アクリル酸エチルとメチルメタクリレートとの共重合体、アクリル酸とアクリロニトリルとの共重合体、アクリル酸ブチルとアクリロニトリルとの共重合体を挙げることができる。
【００９９】
また、前記重合体を形成する他のモノマーとしては、特に限定されるものではなく、例えばアクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸若しくはクロトン酸等の様なカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸若しくは無水イタコン酸等の様な酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル若しくは（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）−メチルアクリレート等の様なヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート若しくは（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等の様なスルホン酸基含有モノマー、又は２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等の様な燐酸基含有モノマーが挙げられる。
【０１００】
前記熱硬化性樹脂の配合割合としては、所定条件下で加熱した際にダイボンドフィルム３、３’が熱硬化型としての機能を発揮する程度であれば特に限定されないが、５〜６０重量％の範囲内であることが好ましく、１０〜５０重量％の範囲内であることがより好ましい。
【０１０１】
前記ダイボンドフィルム３、３’は、熱硬化前のガラス転移温度（Ｔｇ）が２５〜６０℃であることが好ましく、２５〜５５℃であることがより好ましく、２５〜５０℃であることがさらに好ましい。熱硬化前のガラス転移温度を２５〜６０℃とすることにより、良好にウェハをラミネートすることが可能となる。なお、ガラス転移温度は、動的粘弾性測定装置を用いて、−３０〜２８０℃での損失正接（ｔａｎδ）を周波数１０Ｈｚ、昇温速度５℃／分の条件下にて測定し、その際のｔａｎδのピーク値により得られる値である。
ダイボンドフィルム３、３’の熱硬化前のガラス転移温度を２５〜６０℃とするには、例えば、前記エポキシ樹脂と前記フェノール樹脂との少なくとも一方に、融点が５０℃以上の樹脂を１種類以上含ませることにより達成できる。融点が５０℃以上のエポキシ樹脂としては、ＡＥＲ−８０３９（旭化成エポキシ製、融点７８℃）、ＢＲＥＮ−１０５（日本化薬製、融点６４℃）、ＢＲＥＮ−Ｓ（日本化薬製、融点８３℃）、ＣＥＲ−３０００Ｌ（日本化薬製、融点９０℃）、ＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学製、融点８０℃）、ＥＰＰＮ−５０１ＨＹ（日本化薬製、融点６０℃）、ＥＳＮ−１６５Ｍ（新日鉄化学製、融点７６℃）、ＥＳＮ−１７５Ｌ（新日鉄化学製、融点９０℃）、ＥＳＮ−１７５Ｓ（新日鉄化学製、融点６７℃）、ＥＳＮ−３５５（新日鉄化学製、融点５５℃）、ＥＳＮ−３７５（新日鉄化学製、融点７５℃）、ＥＳＰＤ−２９５（住友化学製、融点６９℃）、ＥＸＡ−７３３５（大日本インキ製、融点９９℃）、ＥＸＡ−７３３７（大日本インキ製、融点７０℃）、ＨＰ−７２００Ｈ（大日本インキ製、融点８２℃）、ＴＥＰＩＣ−ＳＳ（日産化学製、融点１０８℃）、ＹＤＣ−１３１２（東都化成製、融点１４１℃）、ＹＤＣ−１５００（東都化成製、融点１０１℃）、ＹＬ−６１２１ＨＮ（ＪＥＲ製、融点１３０℃）、ＹＳＬＶ−１２０ＴＥ（東都化成製、融点１１３℃）、ＹＳＬＶ−８０ＸＹ（東都化成製、融点８０℃）、ＹＸ−４０００Ｈ（ＪＥＲ製、融点１０５℃）、ＹＸ−４０００Ｋ（ＪＥＲ製、融点１０７℃）、ＺＸ−６５０（東都化成製、融点８５℃）、エピコート１００１（ＪＥＲ製、融点６４℃）、エピコート１００２（ＪＥＲ製、融点７８℃）、エピコート１００３（ＪＥＲ製、融点８９℃）、エピコート１００４（ＪＥＲ製、融点９７℃）、エピコート１００６ＦＳ（ＪＥＲ製、融点１１２℃）を挙げることができる。なかでも、ＡＥＲ−８０３９（旭化成エポキシ製、融点７８℃）、ＢＲＥＮ−１０５（日本化薬製、融点６４℃）、ＢＲＥＮ−Ｓ（日本化薬製、融点８３℃）、ＣＥＲ−３０００Ｌ（日本化薬製、融点９０℃）、ＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学製、融点８０℃）、ＥＰＰＮ−５０１ＨＹ（日本化薬製、融点６０℃）、ＥＳＮ−１６５Ｍ（新日鉄化学製、融点７６℃）、ＥＳＮ−１７５Ｌ（新日鉄化学製、融点９０℃）、ＥＳＮ−１７５Ｓ（新日鉄化学製、融点６７℃）、ＥＳＮ−３５５（新日鉄化学製、融点５５℃）、ＥＳＮ−３７５（新日鉄化学製、融点７５℃）、ＥＳＰＤ−２９５（住友化学製、融点６９℃）、ＥＸＡ−７３３５（大日本インキ製、融点９９℃）、ＥＸＡ−７３３７（大日本インキ製、融点７０℃）、ＨＰ−７２００Ｈ（大日本インキ製、融点８２℃）、ＹＳＬＶ−８０ＸＹ（東都化成製、融点８０℃）、ＺＸ−６５０（東都化成製、融点８５℃）、エピコート１００１（ＪＥＲ製、融点６４℃）、エピコート１００２（ＪＥＲ製、融点７８℃）、エピコート１００３（ＪＥＲ製、融点８９℃）、エピコート１００４（ＪＥＲ製、融点９７℃）が好ましい。これらのエポキシ樹脂は、融点が高すぎない（１００℃未満である）ため、ダイボンドフィルムに使用した際のウェハラミネート性が良好である。
融点が５０℃以上のフェノール樹脂としては、ＤＬ−６５（明和化成製、融点６５℃）、ＤＬ−９２（明和化成製、融点９２℃）、ＤＰＰ−Ｌ（日本石油製、融点１００℃）、ＧＳ−１８０（群栄化学製、融点８３℃）、ＧＳ−２００（群栄化学製、融点１００℃）、Ｈ−１（明和化成製、融点７９℃）、Ｈ−４（明和化成製、融点７１℃）、ＨＥ−１００Ｃ−１５（住友ケミカル製、融点７３℃）、ＨＥ−５１０−０５（住友ケミカル製、融点７５℃）、ＨＦ−１（明和化成製、融点８４℃）、ＨＦ−３（明和化成製、融点９６℃）、ＭＥＨ−７５００（明和化成製、融点１１１℃）、ＭＥＨ−７５００−３Ｓ（明和化成製、融点８３℃）、ＭＥＨ−７８００−３Ｌ（明和化成製、融点７２℃）、ＭＥＨ−７８５１（明和化成製、融点７８℃）、ＭＥＨ−７８５１−３Ｈ（明和化成製、融点１０５℃）、ＭＥＨ−７８５１−４Ｈ（明和化成製、融点１３０℃）、ＭＥＨ−７８５１Ｓ（明和化成製、融点７３℃）、Ｐ−１０００（荒川化学製、融点６３℃）、Ｐ−１８０（荒川化学製、融点８３℃）、Ｐ−２００（荒川化学製、融点１００℃）、ＶＲ−８２１０（三井化学製、融点６０℃）、ＸＬＣ−３Ｌ（三井化学製、融点７０℃）、ＸＬＣ−４Ｌ（三井化学製、融点６２℃）、ＸＬＣ−ＬＬ（三井化学製、融点７５℃）、を挙げることができる。なかでも、ＤＬ−６５（明和化成製、融点６５℃）、ＤＬ−９２（明和化成製、融点９２℃）、ＧＳ−１８０（群栄化学製、融点８３℃）、Ｈ−１（明和化成製、融点７９℃）、Ｈ−４（明和化成製、融点７１℃）、ＨＥ−１００Ｃ−１５（住友ケミカル製、融点７３℃）、ＨＥ−５１０−０５（住友ケミカル製、融点７５℃）、ＨＦ−１（明和化成製、融点８４℃）、ＨＦ−３（明和化成製、融点９６℃）、ＭＥＨ−７５００−３Ｓ（明和化成製、融点８３℃）、ＭＥＨ−７８００−３Ｌ（明和化成製、融点７２℃）、ＭＥＨ−７８５１（明和化成製、融点７８℃）、ＭＥＨ−７８５１Ｓ（明和化成製、融点７３℃）、Ｐ−１０００（荒川化学製、融点６３℃）、Ｐ−１８０（荒川化学製、融点８３℃）、ＶＲ−８２１０（三井化学製、融点６０℃）、ＸＬＣ−３Ｌ（三井化学製、融点７０℃）、ＸＬＣ−４Ｌ（三井化学製、融点６２℃）、ＸＬＣ−ＬＬ（三井化学製、融点７５℃）、が好ましい。これらのフェノール樹脂は、融点が高すぎない（１００℃未満である）ため、ダイボンドフィルムに使用した際のウェハラミネート性が良好である。
【０１０２】
前記ダイボンドフィルム３、３’のなかでも、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、及び、アクリル樹脂を含有し、前記エポキシ樹脂と前記フェノール樹脂との合計重量をＸとし、前記アクリル樹脂の重量をＹとしたとき、Ｘ／（Ｘ＋Ｙ）が０．３以上０．９未満であることが好ましく、０．３５以上０．８５未満であることがより好ましく、０．４以上０．８未満であることがさらに好ましい。エポキシ樹脂及びフェノール樹脂は、含有量が多くなるにつれて破断され易くなる一方、半導体ウェハ４への接着性が低下する。また、アクリル樹脂は、含有量が多くなるにつれて貼り合わせの際やハンドリングの際にダイボンドフィルム３、３’が割れ難くなり作業性が良好となる一方、破断され難くなる。そこで、Ｘ／（Ｘ＋Ｙ）を０．３以上とすることにより、ステルスダイシングにより半導体ウェハ４から半導体素子５を得る際に、ダイボンドフィルム３、３’と半導体ウェハ４とを同時に破断することがより容易となる。また、Ｘ／（Ｘ＋Ｙ）を０．９未満とすることより、作業性を良好とすることができる。
【０１０３】
本発明のダイボンドフィルム３、３’を予めある程度架橋をさせておく場合には、作製に際し、重合体の分子鎖末端の官能基等と反応する多官能性化合物を架橋剤として添加させておくことができる。これにより、高温下での接着特性を向上させ、耐熱性の改善を図ることができる。
【０１０４】
前記架橋剤としては、従来公知のものを採用することができる。特に、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、多価アルコールとジイソシアネートの付加物等のポリイソシアネート化合物がより好ましい。架橋剤の添加量としては、前記の重合体１００重量部に対し、通常０．０５〜７重量部とするのが好ましい。架橋剤の量が７重量部より多いと、接着力が低下するので好ましくない。その一方、０．０５重量部より少ないと、凝集力が不足するので好ましくない。また、この様なポリイソシアネート化合物と共に、必要に応じて、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物を一緒に含ませるようにしてもよい。
【０１０５】
また、ダイボンドフィルム３、３’には、その用途に応じてフィラーを適宜配合することができる。フィラーの配合は、導電性の付与や熱伝導性の向上、弾性率の調節等を可能とする。前記フィラーとしては、無機フィラー、及び、有機フィラーが挙げられるが、取り扱い性の向上、熱電導性の向上、溶融粘度の調整、チキソトロピック性付与等の特性の観点から、無機フィラーが好ましい。前記無機フィラーとしては、特に制限はなく、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ほう酸アルミウィスカ、窒化ほう素、結晶質シリカ、非晶質シリカ等が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。熱電導性の向上の観点からは、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ほう素、結晶質シリカ、非晶質シリカが好ましい。また、上記各特性のバランスがよいという観点からは、結晶質シリカ、又は、非晶質シリカが好ましい。また、導電性の付与、熱電導性の向上等の目的で、無機フィラーとして、導電性物質（導電フィラー）を用いることとしてもよい。導電フィラーとしては、銀、アルミニウム、金、胴、ニッケル、導電性合金等を球状、針状、フレーク状とした金属粉、アルミナ等の金属酸化物、アモルファスカーボンブラック、グラファイト等が挙げられる。
【０１０６】
前記フィラーの平均粒径は、０．００５〜１０μｍであることが好ましく、０．００５〜１μｍであることがより好ましい。前記フィラーの平均粒径を０．００５μｍ以上とすることにより、被着体への濡れ性、及び、接着性を良好とすることができるからである。また、１０μｍ以下とすることにより、上記各特性の付与のために加えたフィラーの効果を十分なものとすることができるとともに、耐熱性を確保することができる。なお、フィラーの平均粒径は、例えば、光度式の粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製、装置名；ＬＡ−９１０）により求めた値である。
【０１０７】
前記接着剤層は、前記エポキシ樹脂と前記フェノール樹脂と前記アクリル樹脂との合計重量をＡとし、前記フィラーの重量をＢとしたとき、Ｂ／（Ａ＋Ｂ）が０．１以上０．７以下であることが好ましく、０．１以上０．６５以下であることがより好ましく、０．１以上０．６以下であることがさらに好ましい。上記値を０．７以下とすることにより、引張貯蔵弾性率が高くなるのを防止することができ、被着体への濡れ性、及び、接着性を良好とすることができる。また、上記値を０．１以上とすることにより、ダイボンドフィルムを引張張力により好適に破断することができる。
【０１０８】
尚、ダイボンドフィルム３、３’には、前記フィラー以外に、必要に応じて他の添加剤を適宜に配合することができる。他の添加剤としては、例えば難燃剤、シランカップリング剤又はイオントラップ剤等が挙げられる。前記難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、臭素化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。前記シランカップリング剤としては、例えば、β−（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。前記イオントラップ剤としては、例えばハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス等が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。
【０１０９】
ダイボンドフィルム３、３’の厚さ（積層体の場合は、総厚）は特に限定されないが、例えば、１〜２００μｍの範囲から選択することができ、好ましくは５〜１００μｍ、より好ましくは１０〜８０μｍである。
【０１１０】
前記ダイシング・ダイボンドフィルム１０、１２のダイボンドフィルム３、３’は、セパレータにより保護されていることが好ましい（図示せず）。セパレータは、実用に供するまでダイボンドフィルム３、３’を保護する保護材としての機能を有している。また、セパレータは、更に、粘着剤層２にダイボンドフィルム３、３’を転写する際の支持基材として用いることができる。セパレータはダイシング・ダイボンドフィルムのダイボンドフィルム３、３’上にワークを貼着する際に剥がされる。セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙等も使用可能である。
【０１１１】
（ダイシング・ダイボンドフィルムの製造方法）
本実施の形態に係るダイシング・ダイボンドフィルム１０、１２は、例えば、次の通りにして作製される。
先ず、基材１は、従来公知の製膜方法により製膜することができる。当該製膜方法としては、例えばカレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Ｔダイ押出法、共押出し法、ドライラミネート法等が例示できる。
【０１１２】
次に、基材１上に粘着剤組成物溶液を塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ（必要に応じて加熱架橋させて）、粘着剤層２を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度８０〜１５０℃、乾燥時間０．５〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、前記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて粘着剤層２を形成してもよい。その後、基材１上に粘着剤層２をセパレータと共に貼り合わせる。これにより、ダイシングフィルム１１が作製される。
【０１１３】
ダイボンドフィルム３、３’は、例えば、次の通りにして作製される。
先ず、ダイボンドフィルム３、３’の形成材料である接着剤組成物溶液を作製する。当該接着剤組成物溶液には、前述の通り、前記接着剤組成物やフィラー、その他各種の添加剤等が配合されている。
【０１１４】
次に、接着剤組成物溶液を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ、接着剤層を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度７０〜１６０℃、乾燥時間１〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物溶液を塗布して塗布膜を形成した後、前記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて接着剤層を形成してもよい。その後、基材セパレータ上に接着剤層をセパレータと共に貼り合わせる。
【０１１５】
続いて、ダイシングフィルム１１及び接着剤層からそれぞれセパレータを剥離し、接着剤層と粘着剤層とが貼り合わせ面となる様にして両者を貼り合わせる。貼り合わせは、例えば圧着により行うことができる。このとき、ラミネート温度は特に限定されず、例えば３０〜５０℃が好ましく、３５〜４５℃がより好ましい。また、線圧は特に限定されず、例えば０．１〜２０ｋｇｆ／ｃｍが好ましく、１〜１０ｋｇｆ／ｃｍがより好ましい。次に、接着剤層上の基材セパレータを剥離し、本実施の形態に係るダイシング・ダイボンドフィルムが得られる。
【０１１６】
（半導体装置の製造方法）
次に、図４〜図７を参照しながらダイシング・ダイボンドフィルム１０を用いた半導体装置の製造方法について説明する。図４〜図７は、本実施形態に係る半導体装置の一製造方法を説明するための断面模式図である。まず、半導体ウェハ４の分割予定ライン４Ｌにレーザー光を照射して分割予定ライン４Ｌ上に改質領域を形成する。本方法は、半導体ウェハの内部に集光点を合わせ、格子状の分割予定ラインに沿ってレーザー光を照射し、多光子吸収によるアブレーションにより半導体ウェハの内部に改質領域を形成する方法である。レーザー光照射条件としては、以下の条件の範囲内で適宜調整すればよい。
＜レーザー光照射条件＞
（Ａ）レーザー光
レーザー光源              半導体レーザー励起Ｎｄ：ＹＡＧレーザー
波長                      １０６４ｎｍ
レーザー光スポット断面積  ３．１４×１０−８ｃｍ２
発振形態                  Ｑスイッチパルス
繰り返し周波数            １００ｋＨｚ以下
パルス幅                  １μｓ以下
出力                      １ｍＪ以下
レーザー光品質            ＴＥＭ００
偏光特性                  直線偏光
（Ｂ）集光用レンズ
倍率                                １００倍以下
ＮＡ                                ０．５５
レーザー光波長に対する透過率        １００％以下
（Ｃ）半導体基板が載置される裁置台の移動速度  ２８０ｍｍ／秒以下
なお、レーザー光を照射して分割予定ライン４Ｌ上に改質領域を形成する方法については、特許第３４０８８０５号公報や、特開２００３−３３８５６７号公報に詳述されているので、ここでの詳細な説明は省略することとする。
【０１１７】
次に、図５に示すように、ダイボンドフィルム３上に、改質領域形成後の半導体ウェハ４を圧着し、これを接着保持させて固定する（マウント工程）。本工程は、圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行う。マウントの際の貼り付け温度は特に限定されないが、４０〜８０℃の範囲内であることが好ましい。半導体ウェハ４の反りを効果的に防止することができるとともに、ダイシング・ダイボンドフィルム１０の伸縮の影響を低減することができるからである。
【０１１８】
次に、ダイシング・ダイボンドフィルム１０（ダイシングフィルム１１）に引張張力を加えることによって、半導体ウェハ４とダイボンドフィルム３とを分割予定ライン４Ｌにて破断し、半導体チップ５を形成する（チップ形成工程）。本工程には、例えば、市販のウェハ拡張装置を用いることができる。具体的には、図１（ａ）、図６（ａ）に示すように、半導体ウェハ４が貼り合わせられたダイシング・ダイボンドフィルム１０のリング貼付部１３に対応する部分にダイシングリング３１を貼り付けた後、ウェハ拡張装置３２に固定する。次に、図６（ｂ）に示すように、突き上げ治具３３を上昇させて、ダイシングフィルム１１に張力をかける。
【０１１９】
このチップ形成工程は、−５０℃〜１０℃の条件下において実行することができ、−２０℃〜３０℃であることがより好ましく、−１０℃〜２５℃であることがさらに好ましい。
【０１２０】
また、チップ形成工程において、エキスパンド速度（突き上げ部が上昇する速度）は１００〜４００ｍｍ／秒であることが好ましく、１００〜３５０ｍｍ／秒であることがより好ましく、１００〜３００ｍｍ／秒であることがさらに好ましい。エキスパンド速度を１００ｍｍ／秒以上とすることにより、半導体ウェハ４とダイボンドフィルム３とを略同時に容易に破断することができる。また、エキスパンド速度を４００ｍｍ／秒以下とすることより、ダイシングフィルム１１が破断することを防止することができる。
【０１２１】
また、チップ形成工程において、エキスパンド量は、６〜１２％であることが好ましい。前記エキスパンド量は、前記数値範囲内において、形成されるチップサイズに応じて適宜調整すればよい。なお、本発明において、エキスパンド量とは、エキスパンド前のダイシングフィルムの表面積を１００％としてエキスパンドにより増加した表面積の値（％）である。エキスパンド量を６％以上とすることにより、半導体ウェハ４、及び、ダイボンドフィルム３の破断を容易とすることができる。また、エキスパンド量を１２％以下とすることより、ダイシングフィルム１１が破断することを防止することができる。
【０１２２】
このように、ダイシング・ダイボンドフィルム１０に引張張力を加えることにより、半導体ウェハ４の改質領域を起点として半導体ウェハ４の厚さ方向に割れを発生させるとともに、半導体ウェハ４と密着するダイボンドフィルム３を破断させることができ、ダイボンドフィルム３付きの半導体チップ５を得ることができる。
【０１２３】
次に、ダイシング・ダイボンドフィルム１０に接着固定された半導体チップ５を剥離する為に、半導体チップ５のピックアップを行う（ピックアップ工程）。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の半導体チップ５をダイシング・ダイボンドフィルム１０側からニードルによって突き上げ、突き上げられた半導体チップ５をピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。
【０１２４】
ここでピックアップは、粘着剤層２が紫外線硬化型である場合、該粘着剤層２に紫外線を照射した後に行う。これにより、粘着剤層２のダイボンドフィルム３に対する粘着力が低下し、半導体チップ５の剥離が容易になる。その結果、半導体チップ５を損傷させることなくピックアップが可能となる。紫外線照射の際の照射強度、照射時間等の条件は特に限定されず、適宜必要に応じて設定すればよい。また、紫外線照射に使用する光源としては、前述のものを使用することができる。
【０１２５】
次に、図７に示すように、ピックアップした半導体チップ５を、ダイボンドフィルム３を介して被着体６にダイボンドする（仮固着工程）。被着体６としては、リードフレーム、ＴＡＢフィルム、基板又は別途作製した半導体チップ等が挙げられる。被着体６は、例えば、容易に変形されるような変形型被着体であってもよく、変形することが困難である非変形型被着体（半導体ウェハ等）であってもよい。
【０１２６】
前記基板としては、従来公知のものを使用することができる。また、前記リードフレームとしては、Ｃｕリードフレーム、４２Ａｌｌｏｙリードフレーム等の金属リードフレームやガラスエポキシ、ＢＴ（ビスマレイミド−トリアジン）、ポリイミド等からなる有機基板を使用することができる。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体素子を接着固定し、半導体素子と電気的に接続して使用可能な回路基板も含まれる。
【０１２７】
ダイボンドフィルム３の仮固着時における２５℃での剪断接着力は、被着体６に対して０．２ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは０．２〜１０ＭＰａである。ダイボンドフィルム３の剪断接着力が少なくとも０．２ＭＰａ以上であると、ワイヤーボンディング工程の際に、当該工程に於ける超音波振動や加熱により、ダイボンドフィルム３と半導体チップ５又は被着体６との接着面でずり変形を生じることが少ない。即ち、ワイヤーボンディングの際の超音波振動により半導体素子が動くことが少なく、これによりワイヤーボンディングの成功率が低下するのを防止する。また、ダイボンドフィルム３’の仮固着時における１７５℃での剪断接着力は、被着体６に対して０．０１ＭＰａ以上であることが好ましく、より好ましくは０．０１〜５ＭＰａである。
【０１２８】
次に、被着体６の端子部（インナーリード）の先端と半導体チップ５上の電極パッド（図示しない）とをボンディングワイヤー７で電気的に接続するワイヤーボンディングを行う（ワイヤーボンディング工程）。前記ボンディングワイヤー７としては、例えば金線、アルミニウム線又は銅線等が用いられる。ワイヤーボンディングを行う際の温度は、８０〜２５０℃、好ましくは８０〜２２０℃の範囲内で行われる。また、その加熱時間は数秒〜数分間行われる。結線は、前記温度範囲内となる様に加熱された状態で、超音波による振動エネルギーと印加加圧による圧着工ネルギーの併用により行われる。本工程は、ダイボンドフィルム３の熱硬化を行うことなく実行することができる。また、本工程の過程でダイボンドフィルム３により半導体チップ５と被着体６とが固着することはない。
【０１２９】
次に、封止樹脂８により半導体チップ５を封止する（封止工程）。本工程は、被着体６に搭載された半導体チップ５やボンディングワイヤー７を保護する為に行われる。本工程は、封止用の樹脂を金型で成型することにより行う。封止樹脂８としては、例えばエポキシ系の樹脂を使用する。樹脂封止の際の加熱温度は、通常１７５℃で６０〜９０秒間行われるが、本発明はこれに限定されず、例えば１６５〜１８５℃で、数分間キュアすることができる。これにより、封止樹脂を硬化させると共に、ダイボンドフィルム３を介して半導体チップ５と被着体６とを固着させる。即ち、本発明に於いては、後述する後硬化工程が行われない場合に於いても、本工程に於いてダイボンドフィルム３による固着が可能であり、製造工程数の減少及び半導体装置の製造期間の短縮に寄与することができる。
【０１３０】
前記後硬化工程に於いては、前記封止工程で硬化不足の封止樹脂８を完全に硬化させる。封止工程に於いてダイボンドフィルム３が完全に熱硬化していない場合でも、本工程に於いて封止樹脂８と共にダイボンドフィルム３の完全な熱硬化が可能となる。本工程に於ける加熱温度は、封止樹脂の種類により異なるが、例えば１６５〜１８５℃の範囲内であり、加熱時間は０．５〜８時間程度である。
【０１３１】
上述した実施形態では、ダイボンドフィルム３付き半導体チップ５を被着体６に仮固着した後、ダイボンドフィルム３を完全に熱硬化させることなくワイヤーボンディング工程を行う場合について説明した。しかしながら、本発明においては、被着体６に、ダイボンドフィルム３付き半導体チップ５を仮固着時した後、ダイボンドフィルム３を熱硬化させ、その後、ワイヤーボンディング工程を行う通常のダイボンド工程を行うこととしてもよい。この場合、熱硬化後のダイボンドフィルム３は、１７５℃において０．０１ＭＰａ以上の剪断接着力を有していることが好ましく、０．０１〜５ＭＰａがより好ましい。熱硬化後の１７５℃における剪断接着力を０．０１ＭＰａ以上にすることにより、ワイヤーボンディング工程の際の超音波振動や加熱に起因して、ダイボンドフィルム３と半導体チップ５又は被着体６との接着面でずり変形が生じるのを防止できるからである。
【０１３２】
なお、本発明に係るダイシング・ダイボンドフィルムは、上述した実施形態のように、ステルスダイシングに用いられるのみならず、半導体ウェハの表面に溝を形成し、その後、裏面研削を行うことにより、個々の半導体チップを得る方法（ＤＢＧ（Ｄｉｃｉｎｇ  Ｂｅｆｏｒｅ  Ｇｒｉｎｄｉｎｇ法））（例えば、特開２００３−００７６４９号公報参照）に用いてもよい。
【実施例】
【０１３３】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の要旨をそれらのみに限定する趣旨のものではない。なお、以下において、部とあるのは特記がない限り重量部を意味する。
【０１３４】
＜ダイシングフィルム用の基材の準備＞
（基材Ａ）
厚さが８０μｍの塩化ビニルフィルム（三菱樹脂（株）社製、アルトロン＃３３００）を基材Ａとして準備した。
【０１３５】
（基材Ｂ）
厚さが２００μｍの塩化ビニルフィルム（三菱樹脂（株）社製、アルトロン＃３３００）を基材Ｂとして準備した。
【０１３６】
（基材Ｃ）
厚さが２５０μｍの塩化ビニルフィルム（三菱樹脂（株）社製、アルトロン＃３３００）を基材Ｃとして準備した。
【０１３７】
＜基材の引張強度の測定＞
基材Ａ〜Ｃを、それぞれ幅２５ｍｍの試料に加工した。次に、これらの試料について、１０％延び時の引張強度を測定した。測定は、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用い、２５℃、チャック間距離１００ｍｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で行った。結果を表１に示す。
なお、本実施例における基材Ａ〜Ｃの引張強度の値は、ウェハ貼付部、接触部、リング貼付部のすべての箇所において同一の値である。すなわち、表１に示す測定結果は、ウェハ貼付部の引張強度であり、接触部の引張強度であり、且つ、リング貼付部の引張強度である。また、測定した引張強度は、ＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）方向の引張強度である。
【０１３８】
＜基材の降伏点伸度の測定＞
基材Ａ〜Ｃを、それぞれ幅１０ｍｍ、長さ６０ｍｍの試料に加工した。次に、これらの試料について、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて２５℃、引張速度３００ｍｍ／分、チャック間距離５０ｍｍの条件下で応力−ひずみ曲線を測定し、下記式により降伏点伸度を得た。
降伏点伸度（％）＝（（（降伏時のチャック間長さ（ｍｍ））−５０）／５０）×１００
結果を表１に示す。
なお、本実施例における基材Ａ〜Ｃの降伏点伸度の値は、ウェハ貼付部、接触部、リング貼付部のすべての箇所において同一の値である。すなわち、表１に示す測定結果は、ウェハ貼付部の降伏点伸度であり、接触部の降伏点伸度であり、且つ、リング貼付部の降伏点伸度である。また、測定した降伏点伸度は、ＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）方向の引張強度である。
【０１３９】
【表１】
2012222002.tif 000003
【０１４０】
＜基材の動摩擦係数の測定＞
基材Ａ〜Ｃの動摩擦係数を測定した。動摩擦係数は以下のようにして測定した。なお、本実施例における基材Ａ〜Ｃの動摩擦係数の値は、ウェハ貼付部、接触部、リング貼付部のすべての箇所において同一の値である。すなわち、測定結果は、ウェハ貼付部の動摩擦係数であり、接触部の動摩擦係数であり、且つ、リング貼付部の動摩擦係数である。
【０１４１】
図８は、動摩擦係数の測定方法を説明するための図である。まず、図８に示すように、２００ｍｍ×５００ｍｍのステンレス製の板１００を用意し、この板１００と、２００ｍｍ×５００ｍｍの測定対象１１０（ダイシングフィルム）とを、粘着剤層側を貼り合わせ面にして貼り合わせた。一方、５０ｍｍ×５０ｍｍの重り１０１に５０ｍｍ×５０ｍｍのすべり片１０２を貼り付けたものを用意した。なお、重り１０１には、すべり片１０２を貼り付けた状態で１００Ｎ、２００Ｎ、３００Ｎとなる３つを用意した。また、すべり片１０２としては、日東電工社製の製品名「ニトフロン  ＮＯ．９０３ＵＬ」を用いた。
【０１４２】
次に、すべり片１０２付きの重り１０１を測定対象１１０上に裁置し、引張試験機１０３にて引っ張り、引張試験機１０３のロードセルにかかる力を検出した。このとき、静摩擦力のピークは無視し、接触面間の相対ずれ運動を開始した後の力を動摩擦力（Ｎ／５０ｍｍ）とした（図９参照）。引張試験機１０３には、島津製作所社製の製品名、テンシロンを用い、引張条件は、引張速度３００ｍｍ／分、引張移動距離１００ｍｍとした。上記の測定を、１００Ｎ、２００Ｎ、３００Ｎの重り１０１に対して行い、用いた重りと測定した動摩擦力との関係を図１０に示すようにプロットした。そして、プロットした３点により近似直線を作成し、その傾きを動摩擦係数とした。その結果、基材Ａ〜Ｃのいずれの動摩擦係数も、０．０１７となった。
【０１４３】
＜ダイシングフィルム用の粘着剤層の作製＞
冷却管、窒素導入管、温度計、及び、撹拌装置を備えた反応容器に、アクリル酸−２−エチルヘキシル（以下、「２ＥＨＡ」ともいう。）８８．８部、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル（以下、「ＨＥＡ」ともいう。）１１．２部、過酸化ベンゾイル０．２部、及び、トルエン６５部を入れ、窒素気流中で６１℃にて６時間重合処理をし、重量平均分子量８５万のアクリル系ポリマーＡを得た。２ＥＨＡとＨＥＡとのモル比は１００ｍｏｌ対２０ｍｏｌとした。
【０１４４】
アクリル系ポリマーＡに２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（以下、「ＭＯＩ」ともいう。）１２部（ＨＥＡに対して８０ｍｏｌ％）を加え、空気気流中で５０℃にて４８時間、付加反応処理をし、アクリル系ポリマーＡ’を得た。
【０１４５】
次に、アクリル系ポリマーＡ’１００部に対し、ポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン（株）製）８部、及び、光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）５部を加えて、粘着剤組成物溶液Ａを得た。
【０１４６】
粘着剤組成物溶液Ａを、ＰＥＴ剥離ライナーのシリコーン処理を施した面上に塗布し、１２０℃で２分間加熱乾燥し、厚さ１０μｍの粘着剤層Ｘを形成した。その後、５０℃にて２４時間加熱した。
【０１４７】
<ダイボンドフィルムの作製>
表２に示す配合にて、下記（ａ）〜（ｅ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
（ｂ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート８２７）
（ｃ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ−４Ｌ）
（ｄ）アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（ナガセケムテックス（株）製、ＷＳ−０２３）
（ｅ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ−２５Ｒ）
【０１４８】
この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、表２に示した通りの厚さを有するダイボンドフィルムＡ〜Ｉを得た。
【０１４９】
【表２】
2012222002.tif 000004
【０１５０】
＜ダイボンドフィルムの破断伸び率の測定＞
ダイボンドフィルムＡ〜Ｉについて、それぞれ幅１０ｍ、長さ３０ｍｍ、厚さ４０μｍの短冊状の測定片となる様に切断した。次に、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて２５℃の条件下において、引張速度０．５ｍｍ／分、チャック間距離２０ｍｍで延伸し、破断伸び率を下記式により得た。結果を表３に示す。
破断伸び率（％）＝（（（破断時のチャック間長さ（ｍｍ））−２０）／２０）×１００
【０１５１】
【表３】
2012222002.tif 000005
【０１５２】
＜半導体ウェハの準備＞
半導体ウェハとして、厚さ１０μｍのシリコンウェハＡ（外径８インチ）と、厚さ２００μｍのシリコンウェハＢ（外径８インチ）とを準備した。次に、各シリコンウェハにレーザー光を照射して、シリコンウェハの内部に改質領域を形成した。具体的には、レーザー加工装置として株式会社東京精密製、ＭＬ３００−Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎを用いてシリコンウェハの内部に集光点を合わせ、格子状（１０ｍｍ×１０ｍｍ）の分割予定ラインに沿ってシリコンウェハの表面側からレーザー光を照射し、シリコンウェハの内部に改質領域を形成した。また、レーザー光照射条件は、下記のようにして行った。
（Ａ）レーザー光
レーザー光源              半導体レーザー励起Ｎｄ：ＹＡＧレーザー
波長                      １０６４ｎｍ
レーザー光スポット断面積  ３．１４×１０−８ｃｍ２
発振形態                  Ｑスイッチパルス
繰り返し周波数            １００ｋＨｚ
パルス幅                  ３０ｎｓ
出力                      ２０μＪ／パルス
レーザー光品質            ＴＥＭ００  ４０
偏光特性                  直線偏光
（Ｂ）集光用レンズ
倍率                                      ５０倍
ＮＡ                                      ０．５５
レーザー光波長に対する透過率              ６０％
（Ｃ）半導体基板が載置される裁置台の移動速度    １００ｍｍ／秒
【０１５３】
＜実施例、及び、比較例に係るサンプル作製＞
粘着剤層を基材に貼り合わせた。次に、ウェハ貼付部にのみ紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）にて３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を基材側から照射し、ダイシングフィルムを得た。このダイシングフィルムにダイボンドフィルムを貼り合わせ、ダイシング・ダイボンドフィルムを得た。このダイシング・ダイボンドフィルムに、改質領域を形成したシリコンウェハを貼り付け、実施例、及び、比較例に係るサンプルを得た。基材Ａ〜基材Ｃ、ダイボンドフィルムＡ〜Ｉ、及び、シリコンウェハＡ〜Ｂの組合せは、下記表４に示す通りである。なお、粘着剤層には、粘着剤層Ｘを用いた。また、表４には、基材の厚さ、ダイボンドフィルムの厚さ、及び、シリコンウェハの厚さも合わせて記載した。また、表５には、シリコンウェハの厚みをＡ（μｍ）、ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、基材の厚み（基材のウェハ貼付部における厚み）をＣ（μｍ）としたときのＣ／Ａ、Ｃ／Ｂ、及び、Ａ／Ｂの値を示した。
【０１５４】
【表４】
2012222002.tif 000006
【０１５５】
【表５】
2012222002.tif 000007
【０１５６】
（破断性）
実施例、及び、比較例に係るサンプルについて、破断試験を行った。破断試験におけるエキスパンド条件は、エキスパンド条件は、室温（２５℃）、エキスパンド速度４００ｍｍ／秒、エキスパンド量２０ｍｍとした。破断試験の結果、破断不良の箇所がなかった場合を○、破断不良の箇所があった場合を×とした。結果を表６に示す。
【０１５７】
（ピックアップ性）
前記破断試験の後、ダイシングフィルム側からニードルで突き上げて、破断により得られた半導体チップをダイボンドフィルムとともに粘着剤層からピックアップした。ピックアップ条件は、下記のとおりである。下記条件にて、すべての半導体チップをピックアップできたものを○、できなかったものを×とした。結果を表６に示す。
［ピックアップ条件］
ピックアップ装置：商品名「ＳＰＡ−３００」株式会社新川社製
ピックアップニードル本数：９本
ニードル突き上げ速度：５ｍｍ／ｓ
ニードル突き上げ量  ：  ６００μｍ
ピックアップ時間：１秒
エキスパンド量  :  １２．５ｍｍ
ニードル型：  Ｆ０．７＊１５ｄｅｇ＊１０ｌ＊３５０μｍ
コレット：  ＭＩＣＲＯ−ＭＥＣＨＡＮＩＣＳ社製、製品名「ＲＵＢＢＥＲ  ＴＩＰ」、品番１３−０３４−１２６
【０１５８】
【表６】
2012222002.tif 000008
【０１５９】
（結果）
実施例１〜８では、Ｃ／Ａが０．４以上２０以下であり、Ｃ／Ｂが０．８上６７以下であり、且つ、Ａ／Ｂが０．１以上６７以下であるため、基材を破断させることなく半導体ウエハとダイボンドフィルムとを好適に破断することができた。一方、比較例１では、Ｃ／Ａが２５、Ｃ／Ｂが８３．３であり、基材の厚みが厚いため、ピックアップの際に、突き上げ治具により基材側から半導体素子を持ち上げることができなかった。また、比較例２では、Ｃ／Ｂが０．５３であり、基材の厚みが薄いため、基材に引張応力を加えた際に、破断してしまった。
【０１６０】
（実施例９〜１３）
まず、以下のようにしてダイボンドフィルムＢ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、E−１を作製した。
＜ダイボンドフィルムの作製＞
（ダイボンドフィルムＢ−１）
下記（ａ）〜（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
１１３重量部
（ｂ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ−４Ｌ）
１２１重量部
（ｃ）アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（ナガセケムテックス（株）製、ＷＳ−０２３）                １００重量部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ−２５Ｒ）          ２２２重量部
【０１６１】
この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、厚さ２５μｍのダイボンドフィルムＢ−１を作製した。
【０１６２】
（ダイボンドフィルムＣ−１）
下記（ａ）〜（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００４）
１１３重量部
（ｂ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ−４Ｌ）
１２１重量部
（ｃ）アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（ナガセケムテックス（株）製、ＷＳ−０２３）                １００重量部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ−２５Ｒ）            ３７重量部
【０１６３】
この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、厚さ２５μｍのダイボンドフィルムＣ−１を作製した。
【０１６４】
（ダイボンドフィルムＤ−１）
下記（ａ）〜（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００１）
３２重量部
（ｂ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ＭＥＨ７８５１）
３４重量部
（ｃ）アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（ナガセケムテックス（株）製、ＷＳ−０２３）                １００重量部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ−２５Ｒ）          １１０重量部
【０１６５】
この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、厚さ２５μｍのダイボンドフィルムＤ−１を作製した。
【０１６６】
（ダイボンドフィルムＥ−１）
下記（ａ）〜（ｄ）をメチルエチルケトンに溶解させ、濃度２３．６重量％の接着剤組成物溶液を得た。
（ａ）エポキシ樹脂（ＪＥＲ（株）製、エピコート１００１）
３２重量部
（ｂ）フェノール樹脂（三井化学（株）製、ミレックスＸＬＣ−４Ｌ）
３４重量部
（ｃ）アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（ナガセケムテックス（株）製、ＷＳ−０２３）                １００重量部
（ｄ）球状シリカ（アドマテックス（株）製、ＳＯ−２５Ｒ）            １８重量部
【０１６７】
この接着剤組成物溶液を、シリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム（剥離ライナー）上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させた。これにより、厚さ２５μｍのダイボンドフィルムＥ−１を作製した。
【０１６８】
次に、以下のようにしてダイシングフィルム用の基材Ａ−１、Ｂ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、Ｊ−１を準備した。
＜ダイシングフィルム用の基材の準備＞
（基材Ａ−１）
ポリプロピレンとエチレン−プロピレンラバーとの混合樹脂からなる層（厚み８０μｍ）と、ＬＬＤＰＥ（直鎖状低密度ポリエチレン）からなる層（厚み２０μｍ）とを積層させたオレフィン系多層フィルム（厚み１００μｍ、背面（ＬＬＤＰＥ層側）にエンボス処理あり）を準備した。このオレフィン系多層フィルムの接触部に相当する部分に表面から生ペットフィルム（帝人デュポン社製、製品名「テイジンテトロンフィルム」、厚さ１６μｍ）を貼り合わせた。
【０１６９】
（基材Ｂ−１）
ＳＥＢＳ（スチレン系エラストマー）及びＭＢＳ（メタクリル酸エステル‐ブタジエン‐スチレンからなる共重合体樹脂）からなる層（厚さ１０５μｍ）と、ＳＥＢＳからなる層（厚さ３０μｍ）と、ＰＥ（ポリエチレン）からなる層（厚さ１５μｍ）とをこの順に積層させた多層フィルム（厚さ１５０μｍ、背面（ＰＥ層側）にエンボス処理あり）を準備した。
【０１７０】
（基材Ｃ−１）
塩化ビニルフィルム（三菱樹脂社製、製品名「アルトロン＃２８００」、厚さ１００μｍ）の背面にエンボス処理を行ったものを準備した。
【０１７１】
（基材Ｄ−１）
塩化ビニルフィルム（三菱樹脂社製、製品名「アルトロン＃２８００」、厚さ１００μｍ）を準備した（エンボス処理なし）。
【０１７２】
（基材Ｊ−１）
基材Ａ−１（オレフィン系多層フィルム）を準備した。このオレフィン系多層フィルムの接触部に相当する部分に背面から、片面がシリコーン処理されたペットフィルム（帝人デュポン社製、製品名「テイジンテトロンフィルム」、厚さ１６μｍ）を、シリコーン処理面が背面となるように貼り合わせた。なお、基材Ａ−１の背面とペットフィルムとの貼り合わせには、下記の粘着剤層Ｘ−１（厚さ１０μｍ）を用いた。
【０１７３】
＜ダイシングフィルム用の粘着剤層＞
冷却管、窒素導入管、温度計、及び、撹拌装置を備えた反応容器に、アクリル酸−２−エチルヘキシル（以下、「２ＥＨＡ」ともいう。）８８．８部、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル（以下、「ＨＥＡ」ともいう。）１１．２部、過酸化ベンゾイル０．２部、及び、トルエン６５部を入れ、窒素気流中で６１℃にて６時間重合処理をし、重量平均分子量８５万のアクリル系ポリマーＡ−１を得た。２ＥＨＡとＨＥＡとのモル比は１００ｍｏｌ対２０ｍｏｌとした。
【０１７４】
アクリル系ポリマーＡ−１に２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（以下、「ＭＯＩ」ともいう。）１２部（ＨＥＡに対して８０ｍｏｌ％）を加え、空気気流中で５０℃にて４８時間、付加反応処理をし、アクリル系ポリマーＡ’−１を得た。
【０１７５】
次に、アクリル系ポリマーＡ’−１の１００部に対し、ポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン（株）製）８部、及び、光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）５部を加えて、粘着剤組成物溶液Ａ−１を得た。
【０１７６】
粘着剤組成物溶液Ａ−１を、ＰＥＴ剥離ライナーのシリコーン処理を施した面上に塗布し、１２０℃で２分間加熱乾燥し、厚さ１０μｍの粘着剤層Ｘ−１を形成した。その後、５０℃にて２４時間加熱した。
【０１７７】
＜実施例・比較例サンプルの作製＞
粘着剤層Ｘ−１を基材Ａ−１、Ｂ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、Ｊ−１にそれぞれ貼り合わせ、ウェハ貼付部にのみ紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）にて３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を基材側から照射し、ダイシングフィルムを得た。このダイシングフィルムにダイボンドフィルムＢ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、E−１を貼り合わせ、ダイシング・ダイボンドフィルムを得た。このダイシング・ダイボンドフィルムに、改質領域を形成したシリコンウェハを貼り付け、実施例９〜１３に係るサンプルを得た。基材Ａ−１、Ｂ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、Ｊ−１とダイボンドフィルムＢ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、E−１との組合せは、下記表７に示す通りである。また、シリコンウェハは、厚さ２５μｍのものを用いた。また、表７には、には、シリコンウェハの厚みをＡ（μｍ）、ダイボンドフィルムの厚みをＢ（μｍ）、基材の厚み（基材のウェハ貼付部における厚み）をＣ（μｍ）としたときのＣ／Ａ、Ｃ／Ｂ、及び、Ａ／Ｂの値を示した。
【０１７８】
＜ダイボンドフィルムの破断伸び率の測定＞
ダイボンドフィルムＢ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、E−１について、それぞれ幅１０ｍ、長さ３０ｍｍ、厚さ４０μｍの短冊状の測定片となる様に切断した。次に、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて２５℃の条件下において、引張速度０．５ｍｍ／分、チャック間距離２０ｍｍで延伸し、破断伸び率を下記式により得た。結果を表７に示す。
破断伸び率（％）＝（（（破断時のチャック間長さ（ｍｍ））−２０）／２０）×１００
【０１７９】
＜引張貯蔵弾性率の測定＞
ダイボンドフィルムＢ−１、Ｃ−１、Ｄ−１、E−１について、それぞれ厚さ２００μｍ、幅１０ｍｍの短冊状とした。次に、固体粘弾性測定装置（ＲＳＡ（ＩＩＩ）、レオメトリックサイエンティフィック社製）を用いて、−５０〜３００℃での引張貯蔵弾性率を周波数１Ｈｚ、昇温速度１０℃／分の条件下にて測定した。その際の、２５℃における引張貯蔵弾性率を表７に示す。
【０１８０】
＜ダイシングフィルムの基材の降伏点伸度の測定＞
基材のウェハ貼付部と、基材の接触部を含む部分とをそれぞれ幅１０ｍｍ、長さ６０ｍｍの試料に作製した。次に、これらの試料について、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて２５℃、引張速度３００ｍｍ／分、チャック間距離５０ｍｍの条件下で応力−ひずみ曲線を測定し、降伏点伸度を得た。
降伏点伸度（％）＝（（（降伏時のチャック間長さ（ｍｍ））−５０）／５０）×１００
【０１８１】
＜ダイシングフィルムの基材の引張強度の測定＞
基材のウェハ貼付部と基材の接触部を含む部分とを、それぞれ幅２５ｍｍの試料に作製した。次に、この試料について、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて２５℃、チャック間距離１００ｍｍ、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎでの１０％延び時の引張強度を得た。なお、測定した引張強度は、ＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）方向の引張強度である。結果を表７に示す。
【０１８２】
＜引張強度の差の算出＞
［基材（接触部）の引張強度］−［基材（ウェハ貼付部）の引張強度］を算出した。結果を表７に示す。
【０１８３】
＜動摩擦係数の測定＞
得られたダイシングフィルムの接触部の動摩擦係数を測定した。なお、測定方法は、実施例１〜８と同様とした。結果を表７に示す。
【０１８４】
＜表面粗さＲａの測定＞
得られたダイシングフィルムを平滑なミラーウェハに貼り合わせて固定し、接触部の表面粗さＲａを表面粗さ測定機（ミツトヨ社製、製品名「サーフテストＳＪ−３０１」）を用いてＭＤ方向に測定して求めた。結果を表７に示す。
【０１８５】
＜ダイボンドフィルムとダイシングフィルムとの剥離強度の測定＞
ダイシング・ダイボンドフィルムのウェハ貼付部を１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさに切り出し、ダイボンドフィルムの表面側にペットフィルム（日東電工社製、製品名「ＢＴ−３１５」、厚さ７０μｍ）を貼り合わせた。その後、引っ張り試験機（テンシロン、島津製作所社製）を用いて、ダイシングフィルム側から剥離し、そのときの剥離強度を測定した。そして、得られた値を５で除することにより、２０ｍｍ幅での剥離強度を算出した。測定条件は、２３℃、剥離角度１８０度、剥離速度３００ｍｍ／分とした。結果を表７に示す。
【０１８６】
（破断性）
実施例９〜１３に係るサンプルについて、破断試験を行った。破断試験は、実施例１〜８と同様とした。結果を表７に示す。
【０１８７】
（ピックアップ性）
実施例９〜１３に係るサンプルについて、前記破断試験の後、ピックアップ性の評価を行った。ピックアップ性の評価は、実施例１〜８と同様とした。結果を表７に示す。
【０１８８】
【表７】
2012222002.tif 000009
【符号の説明】
【０１８９】
１  基材
２  粘着剤層
３  ダイボンドフィルム
４  半導体ウェハ
５  半導体チップ
６  被着体
７  ボンディングワイヤー
８  封止樹脂
１０、１２、２０、２１  ダイシング・ダイボンドフィルム
１１、１８、１９  ダイシングフィルム
１３  リング貼付部
１４  接触部
１５  ウェハ貼付部
３１  ダイシングリング
３３  突き上げ治具
【図１】
2012222002.tif 000010
【図２】
2012222002.tif 000011
【図３】
2012222002.tif 000012
【図４】
2012222002.tif 000013
【図５】
2012222002.tif 000014
【図６】
2012222002.tif 000015
【図７】
2012222002.tif 000016
【図８】
2012222002.tif 000017
【図９】
2012222002.tif 000018
【図１０】
2012222002.tif 000019