(57)【要約】【課題】加熱や吸着するための作業部と部品との位置合わせ、作業部と基板との位置合わせなどを精度よく行うことができるリワーク装置を提供する。【解決手段】作業ユニット２０では、複数の作業部２１〜２４が予め定められた軌道Ｔ１に沿って一体的に動作して各作業部の位置が変更されることにより作業軸Ａ上に配置される作業部が複数の作業部から選択される。観察部３０は、作業軸Ａを中心に回動可能な回動機構３１と、回動機構３１に支持され、回動機構３１の回動に伴って作業軸Ａを中心とする円弧軌道Ｔ２に沿って移動して作業ポイントＰを観察する方向が変更される観察部本体３２とを備えている。【選択図】図１
2012248650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に接合材によって接合された部品を取り外す作業及び前記基板上に部品を取り付ける作業を行うリワーク装置であって、
前記基板が作業軸と交わるように前記基板を保持する基板保持部と、
前記部品を吸着する吸着作業部及び前記接合材を加熱する加熱作業部を含む複数の作業部を有する作業ユニットと、
前記作業軸と前記基板とが交わる作業ポイントを拡大観察する観察部と、を備え、
前記作業ユニットでは、前記複数の作業部が予め定められた軌道に沿って一体的に動作して各作業部の位置が変更されることにより前記作業軸上に配置される作業部が前記複数の作業部から選択され、
前記観察部は、前記作業軸を中心に回動可能な回動機構と、前記回動機構に支持され、前記回動機構の回動に伴って前記作業軸を中心とする円弧軌道に沿って移動して前記作業ポイントを観察する方向が変更される観察部本体と、を備え、
前記作業を単一の前記作業軸上において行うリワーク装置。
【請求項２】
前記観察部本体は、前記作業ポイントを斜め上方から観察可能な姿勢で前記回動機構に支持されており、前記回動機構の回動に伴って斜め上方からの観察姿勢を維持しつつ前記円弧軌道に沿って移動して前記作業ポイントを観察する方向が変更される、請求項１に記載のリワーク装置。
【請求項３】
前記観察部は、前記観察部本体が前記作業ポイントを観察するときの水平方向に対する傾斜角度を変更可能な傾斜角度調節機構をさらに備えている、請求項１に記載のリワーク装置。
【請求項４】
前記作業ユニットは、前記作業軸に平行な支軸と、前記支軸を中心に回動可能に前記支軸に支持されたユニット本体とをさらに有し、
前記複数の作業部は、前記支軸を中心とする周方向に沿って互いに間隔をあけて配置された状態で前記ユニット本体に支持されており、前記ユニット本体の回動に伴って前記支軸を中心とする円軌道に沿って一体的に動作する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のリワーク装置。
【請求項５】
前記作業ユニットは、前記作業軸上に配置される作業部の位置を前記作業軸方向に微調整する微調整機構をさらに有している、請求項１〜４のいずれか１項に記載のリワーク装置。
【請求項６】
前記基板上に取り付けるための部品が載置される部品テーブルをさらに備え、
前記部品テーブルは、前記作業軸と交わる作業位置と、前記作業軸とは交わらない退避位置との間を移動可能であり、かつ前記作業位置において前記作業軸を中心に少なくとも９０°回動可能である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のリワーク装置。
【請求項７】
前記作業軸を通る光軸を有するレーザーポインタをさらに備えている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のリワーク装置。
【請求項８】
前記基板保持部に保持された前記基板を補助的に加熱するための補助加熱機構をさらに備えている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のリワーク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に接合された電子部品を取り外す作業及び基板上に電子部品を取り付ける作業を行うためのリワーク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に電子部品がはんだ付けされた電子回路基板において基板から不良部品を取り外し、その部位に新しい部品を取り付けるためのリワーク装置が知られている。近年の部品は、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍのサイズや０．４ｍｍ×０．２ｍｍのサイズなどのように非常に微小なサイズを有している。したがって、部品の取り外し作業及び取り付け作業において、部品の位置などを肉眼により正確に判別するのは困難である。
【０００３】
そこで、特許文献１には、肉眼では判別できない程の小さな部品を正確に保持し、基板上における実装部品の交換作業が容易に行えることを目的としたリワーク装置が開示されている。このリワーク装置は、撮影装置を備えている。この撮影装置では、基板取付台上の基板表面の画像と、保持具先端に保持された部品の画像とをともに撮影し、これらの画像を合成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２２８１３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のリワーク装置では、保持具先端に保持される部品と基板表面との位置合わせの精度が必ずしも高くない。
【０００６】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加熱や吸着するための作業部と部品との位置合わせ、作業部と基板との位置合わせなどを精度よく行うことができるリワーク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明は、基板上に接合材によって接合された部品を取り外す作業及び前記基板上に部品を取り付ける作業を行うリワーク装置に関するものである。前記リワーク装置は、前記基板が作業軸と交わるように前記基板を保持する基板保持部と、前記部品を吸着する吸着作業部及び前記接合材を加熱する加熱作業部を含む複数の作業部を有する作業ユニットと、前記作業軸と前記基板とが交わる作業ポイントを拡大観察する観察部と、を備えている。前記作業ユニットでは、前記複数の作業部が予め定められた軌道に沿って一体的に動作して各作業部の位置が変更されることにより前記作業軸上に配置される作業部が前記複数の作業部から選択される。前記観察部は、前記作業軸を中心に回動可能な回動機構と、前記回動機構に支持され、前記回動機構の回動に伴って前記作業軸を中心とする円弧軌道に沿って移動して前記作業ポイントを観察する方向が変更される観察部本体と、を備えている。前記作業は単一の前記作業軸上において行われる。
【０００８】
この構成では、部品の取り外し作業及び取り付け作業において、吸着作業部により部品を吸着して部品の配置及び移動を行うことができ、また、加熱作業部によりはんだなどの接合材を加熱溶融させて部品を基板上に接合し、又は部品を基板から取り外すことができる。また、作業ユニットでは、前記複数の作業部が予め定められた軌道に沿って一体的に動作して各作業部の位置が変更されることにより前記作業軸上に配置される作業部を前記複数の作業部から選択可能であるので、各作業の作業性に優れ、しかも複数の異なる作業工程（吸着工程、加熱工程など）を単一の装置により実現できる。
【０００９】
また、この構成では、観察部によって作業ポイントを拡大観察しながら微小部品のリワーク作業を行うことができる。しかも、この観察部の観察部本体は、回動機構の回動に伴って前記円弧軌道に沿って移動して作業ポイントを観察する方向が変更される。すなわち、観察部本体を前記円弧軌道上の異なる位置に配置することができ、これらの位置において作業ポイントをそれぞれ観察することによって作業ポイントを異なった方向から観察できる。したがって、この構成では、加熱や吸着するための作業部と部品との位置合わせ、作業部と基板との位置合わせなどを精度よく行うことができる。
【００１０】
（２）前記リワーク装置において、前記観察部本体は、前記作業ポイントを斜め上方から観察可能な姿勢で前記回動機構に支持されており、前記回動機構の回動に伴って斜め上方からの観察姿勢を維持しつつ前記円弧軌道に沿って移動して前記作業ポイントを観察する方向が変更されるのが好ましい。
【００１１】
この構成では、観察部本体は、回動機構の回動に伴って斜め上方からの観察を維持しつつ前記円弧軌道に沿って移動するので、例えば水平方向に作業ポイントを観察する場合に比べて作業ポイントに位置する部品、基板、作業部及び接合材をより立体的に観察することができる。これにより、位置合わせの精度をより高めることができる。また、斜め上方からの観察であるので、基板上に供給される接合材の量や形状、部品が基板上に接合された後の接合材の形状（フィレット）などの接合材の状態を立体的に正確に判別することができる。
【００１２】
（３）前記リワーク装置において、前記観察部は、前記観察部本体が前記作業ポイントを観察するときの水平方向に対する傾斜角度を変更可能な傾斜角度調節機構をさらに備えているのが好ましい。
【００１３】
この構成では、傾斜角度の変更に伴って作業ポイントを観察する角度を変更することができる。
【００１４】
（４）前記リワーク装置において、前記作業ユニットは、前記作業軸に平行な支軸と、前記支軸を中心に回動可能に前記支軸に支持されたユニット本体とをさらに有し、前記複数の作業部は、前記支軸を中心とする周方向に沿って互いに間隔をあけて配置された状態で前記ユニット本体に支持されており、前記ユニット本体の回動に伴って前記支軸を中心とする円軌道に沿って一体的に動作するのが好ましい。
【００１５】
この構成では、ユニット本体を回動させることにより作業軸上に配置する作業部を選択できるので、例えば複数の作業部が一方向に直線状に配列され、この一方向の直線軌道に沿って複数の作業部を一体的に動作させる場合に比べて、複数の作業部を配置するのに必要なスペースが前記一方向に大きくなるのを抑制でき、コンパクト化を図ることができる。また、作業ユニットが作業軸と平行な支軸を中心に回動する構造であるので、この作業ユニットにその周方向に沿って複数の作業部を支持させれば、各作業部は、作業ユニットの回動時に必ず作業軸を通過する構成にすることができる。
【００１６】
（５）前記リワーク装置において、前記作業ユニットは、前記作業軸上に配置される作業部の位置を前記作業軸方向に微調整する微調整機構をさらに有しているのが好ましい。この構成では、各作業部の位置をより精度よく調整できる。
【００１７】
（６）前記リワーク装置において、前記基板上に取り付けるための部品が載置される部品テーブルをさらに備え、前記部品テーブルは、前記作業軸と交わる作業位置と、前記作業軸とは交わらない退避位置との間を移動可能であり、かつ前記作業位置において前記作業軸を中心に少なくとも９０°回動可能であるのが好ましい。
【００１８】
この構成では、退避位置において部品テーブル上に部品が載置され、この部品が作業位置において吸着作業部によって吸着される。この作業位置では、部品が吸着される前に、作業軸を中心に部品テーブルを少なくとも９０°の範囲で回動させることができるので、吸着時の部品の向きを所望の向きに予め調節できる。
【００１９】
（７）前記リワーク装置において、前記作業軸を通る光軸を有するレーザーポインタをさらに備えているのが好ましい。この構成では、レーザーポインタによっておおまかな作業軸を目視できるので、予め手作業によっておおまかな位置調整が可能となり、作業性がさらに向上する。
【００２０】
（８）前記リワーク装置において、前記基板保持部に保持された前記基板を補助的に加熱するための補助加熱機構をさらに備えているのが好ましい。この構成では、補助加熱機構をさらに備えているので、加熱に要する時間を短縮できる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、部品と基板と部品の吸着や接合材の加熱を行うための作業部とを精度よく位置合わせすることができ、しかも接合材の状態を正確に判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るリワーク装置を斜め上方から見た状態を示す斜視図である。
【図２】前記リワーク装置を背面側の斜め上方から見た状態を示す斜視図である。
【図３】前記リワーク装置の作業ユニットを示す斜視図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｅ）は、前記作業ユニットの各作業部を示す図である。
【図５】前記リワーク装置の観察部の傾斜角度が調節される状態を示す側面図である。
【図６】前記リワーク装置の観察部が回動される状態を示す平面図である。
【図７】（Ａ）は、前記リワーク装置における基板保持部と部品テーブルとを示す平面図であり、（Ｂ）は前記基板保持部と基板とを示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施形態に係るリワーク装置について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
＜リワーク装置の全体構造＞
図１及び図２に示すように、本実施形態に係るリワーク装置１１を示す斜視図である。このリワーク装置１１は、基板１３（図７（Ｂ）参照）上における部品１７の取り付け作業又は取り外し作業、並びに部品テーブル４３上の部品１７の取り出し作業（吸着作業）を作業軸Ａ上において行う。作業軸Ａは、リワーク装置１１における作業の基準となる単一の基準線（仮想線）であり、本実施形態では鉛直方向に向いている。図１及び図２において、前方Ｆ、後方Ｂ、右方Ｒ、左方Ｌ、上方Ｕ及び下方Ｄは、図中にそれぞれ示す矢印で示す通りである。
【００２５】
リワーク装置１１は、ベース４１と、このベース４１から起立する支持部と、この支持部に平行な作業軸Ａを中心に回動可能な観察部３０と、前記支持部に平行な支軸２６を中心に回動可能な作業ユニット２０とを備えている。具体的には、前記支持部は、ベース４１から起立する支柱８１と、この支柱８１から横方向に延びるアーム部とを含む。このアーム部は、後述する第１アーム部８２と、第２アーム部８４とを含む。リワーク装置１１は、スライド機構９２と、基板保持部１９と、レーザーポインタ５１と、部品テーブル４３とをさらに備えている。
【００２６】
ベース４１は、平面視で矩形状の外形を有する板状の部材であり、中央部には上下方向に貫通する矩形状の貫通部４１ａが形成されている。ベース４１は、各部材を安定して支持することができる大きさを有している。ベース４１の下面には、複数の脚部４１Ａが取り付けられていてもよい（図５参照）。また、ベース４１の貫通部４１ａの下方には、赤外線ヒータ、熱風ヒータなどの補助加熱機構５３を配置して熱量を増加させてもよい（図５参照）。この補助加熱機構５３は、基板保持部１９に保持された基板１３を補助的に加熱するためのものであり、省略することもできる。
【００２７】
支柱８１は、ベース４１における後方Ｂの部位に配設されている。支柱８１は、円柱形状を有し、ベース４１の上面から上方に延びている。支柱８１の下端は、ベース４１の上面に固定されている。
【００２８】
スライド機構９２は、後述する作業ユニット２０と観察部３０とレーザーポインタ５１とを一体的に上下方向に第１アーム部８２に対してスライド移動させることができる。これにより、部品ピックアップ位置（上端位置）と、部品着脱位置（下端位置）とが切り換えられる。スライド機構９２は、第１アーム部８２と、ガイドレール８７と、嵌合部８６と、上下レバー９１と、スライド軸９３と、水平プレート９４と、鉛直プレート８３と、第２アーム部８４とを含む。
【００２９】
第１アーム部８２は、支柱８１の上端部に設けられており、支柱８１から前方Ｆに延びる直方体形状を有している。この第１アーム部８２は、作業ユニット２０、観察部３０、レーザーポインタ５１などを支持する役割と、内部にスライド機構９２の一部の部品を収容するケースとしての役割とを果たしている。
【００３０】
ガイドレール８７は、第１アーム部８２の前面（前端）に固定されている。このガイドレール８７は、上下方向に細長く延び、前後方向の厚みが左右方向の幅よりも小さい扁平な形状を有している。嵌合部８６は、ガイドレール８７に嵌合する凹部を有しており、ガイドレール８７に沿って上下方向にスライド移動可能である。
【００３１】
上下レバー９１は、軸部９１ａと、この軸部９１ａの一端（外端）に取り付けられ、軸部９１ａに直交する方向に延びる把持部９１ｂとを有している。軸部９１ａは、第１アーム部８２の左側面に設けられた図略の貫通孔を通じて第１アーム部８２内に挿入されている。軸部９１ａの他端（内端）は、第１アーム部８２内に配置されている。
【００３２】
スライド軸９３は、軸部９１ａとガイドレール８７との間に位置し、上下方向に延びる柱状の部材である。スライド軸９３の一部は、第１アーム部８２の上面に設けられた貫通孔を通じて第１アーム部８２内に挿入されている。そして、スライド軸９３の上下動作と軸部９１ａの回動動作とは、例えば第１アーム部８２内に設けられた図略のギアなどによって連動するように構成されている。
【００３３】
水平プレート９４は、水平方向に延びる板状の部材であり、スライド軸９３の上端と鉛直プレート８３の上端との間に架け渡されており、これらを連結している。鉛直プレート８３は、鉛直方向に延びる板状の部材である。鉛直プレート８３の下部は、その内面（後方Ｂの表面）が嵌合部８６の外面（前方Ｆの表面）に固定されている。
【００３４】
第２アーム部８４は、鉛直プレート８３の上部に支持されている。具体的には、第２アーム部８４の後方Ｂの端部は、鉛直プレート８３の上部における前方Ｆの表面に固定されている。第２アーム部８４は、鉛直プレート８３から前方Ｆに延び、前端部から右方Ｒに屈曲しており、平面視でＬ字形状を有している。第２アーム部８４の屈曲部８４ａには、後述する作業ユニット２０が取り付けられている。第２アーム部８４の屈曲部８４ａから右方Ｒに延びた先端部である右端部８４ｂには、後述する観察部３０とレーザーポインタ５１とが取り付けられている。
【００３５】
以上のような構成を有していることにより、作業者は、把持部９１ｂを持って軸部９１ａを回動させることにより、スライド軸９３を上下動させ、作業ユニット２０と観察部３０とレーザーポインタ５１とを一体的に上下方向にスライド移動させることができる。これにより、作業者は、後述する部品ピックアップ位置（上端位置）と、部品着脱位置（下端位置）とを切り換えることができる。
【００３６】
＜基板保持部＞
基板保持部１９は、基板１３と作業軸Ａとが交わるように基板１３を保持することができる。基板保持部１９は、ベースレール部６７と、第１調整機構６９と、第２調整機構７０と、一対の支持レール部６８（６８Ａ，６８Ｂ）とを備えている。
【００３７】
ベースレール部６７は、４つのレールがベース４１の貫通部４１ａの４つの縁に沿って矩形状に配置され、隣り合う端部同士が互いに固定されることにより一体化されたものである。貫通部４１ａの右方Ｒに配置されたレールと左方Ｌに配置されたレールには、上面に長手方向に沿って延びる上溝部６５が形成されている。
【００３８】
第１調整機構６９は、ベース４１に対するベースレール部６７の左右方向の位置を微調整するためのものであり、第２調整機構７０は、ベース４１に対するベースレール部６７の前後方向の位置を微調整するためのものである。
【００３９】
第１調整機構６９は、ベース４１の上面に固定された固定部材６１５と、ベースレール部６７の外側面に固定された可動部材６１６と、固定部材６１５と可動部材６１６との間の間隔を調整する調整機構とを有している。固定部材６１５は、Ｌ字形状の断面を有する板状の部材である。調整機構は、固定部材６１５と可動部材６１６との間に設けられ、両サイドに配置された一対の付勢部材を含む。これらの付勢部材は、例えばばねなどによって構成されており、固定部材６１５に対して可動部材６１６が離れる方向に可動部材６１６を付勢している。前記調整機構は、固定部材６１５の起立部に設けられた貫通孔に挿通された軸部材６１９をさらに含む。この軸部材６１９の外面には雄ねじが形成されている。前記調整機構は、軸部材６１９に螺合されたナット部材６１７をさらに含む。
【００４０】
軸部材６１９の内端部（可動部材６１６側の端部）は、可動部材６１６の平板部に固定されたナット６１８に螺合されている。軸部材６１９の外端部は、固定部材６１５の起立部よりも外側に突出しており、この突出部分にナット部材６１７が螺合されている。このナット部材６１７を右回転又は左回転させることにより、固定部材６１５と可動部材６１６との距離が調整され、それに伴ってベース４１に対するベースレール部６７の左右方向の位置が微調整される。
【００４１】
なお、第２調整機構７０は、ベース４１に対するベースレール部６７の前後方向の位置を微調整する点を除き、第１調整機構６９と同様の構造を有しているので、詳細な説明は省略する。第２調整機構７０のナット部材６１７を右回転又は左回転させることにより、固定部材６１５と可動部材６１６との距離が調整され、それに伴ってベース４１に対するベースレール部６７の前後方向の位置が微調整される。
【００４２】
支持レール部６８Ａ，６８Ｂは、ベースレール部６７に対してスライド移動可能にベースレール部６７に支持されている。各支持レール６８は、上面に長手方向に沿って延びる溝部７１を有している。
【００４３】
各支持レール６８の溝部７１には、この溝部７１に沿って長手方向にスライド移動可能な一対の載置部７２，７２が設けられている。各載置部７２は、上部にねじを有しており、このねじの右回転又は左回転によって、支持レール６８に対して固定された状態又はスライド移動可能な状態となる。各載置部７２は、内側に棒状に突出する突出部６３と、突出部６３に隣接する上部に設けられた板ばね部６４とをさらに有している。したがって、基板保持部１９は、合計４つの突出部６３と、合計４つの板ばね部６４とを有している。
【００４４】
基板１３の大きさ及び基板１３上の部品１７の位置に応じて各支持レール６８の位置が支持レール調節ノブ６２２により調節され、各載置部７２の位置が調節される。そして、基板１３は、その周縁部が４つの突出部６３上に載置されるとともに、板ばね部６４によって内側に付勢される。これにより、基板１３は基板保持部１９に安定した状態で保持される。
【００４５】
＜作業ユニット＞
図３に示すように、作業ユニット２０は、支軸２６と、ユニット本体２７と、４つのヘッド装着部２９と、各ヘッド装着部２９の位置を微調整するための微調整機構２８（２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃ）と、複数の作業ヘッドとを有している。複数の作業ヘッドは、部品１７を吸着する吸着作業部としての吸着ヘッド２２と、はんだを加熱する加熱作業部としての加熱ヘッド２１とを含む。
【００４６】
支軸２６は、上下方向に延びる柱状の部材である。その上端部が第２アーム部８４の屈曲部８４ａに固定されており、屈曲部８４ａから下方に延びている。支軸２６の延びる方向は、作業軸Ａに平行である。
【００４７】
ユニット本体２７は、支軸２６を中心に回動可能に支軸２６に支持されている。ユニット本体２７は、作業軸Ａにほぼ平行な４つの側面を有する角柱形状を有している。これらの側面には、ヘッドスライド機構９５を介してヘッド装着部２９がそれぞれ支持されている。
【００４８】
４つのヘッド装着部２９には、図４（Ａ）〜（Ｅ）に示すような作業ヘッドが装着される。これらのヘッド装着部２９は、支軸２６を中心とする周方向に沿って互いに間隔をあけた状態でユニット本体２７に支持されている。隣り合うヘッド装着部２９同士は、支軸２６を中心とする角度が９０°となる位置に配置されている。これらのヘッド装着部２９は、ユニット本体２７の回動に伴って支軸２６を中心とする円軌道Ｔ１（図６参照）に沿って一体的に動作する。ヘッド装着部２９は、上下方向に貫通する装着孔２９ａを有している。各作業ヘッドは、装着孔２９ａに挿入される。
【００４９】
各ヘッドスライド機構９５は、ユニット本体２７の各側面に設けられたガイドレール９５１と、ガイドレール９５１に嵌合する凹部を有する嵌合部９５２と、ヘッド装着部２９を退避位置（上位置）において係止するためのストッパ９５３と、このストッパ９５３の先端が入り込む係止穴９５４とを含む。各ガイドレール９５１は、上下方向に延びている。嵌合部９５２は、ガイドレール９５１に沿って上下方向にスライド移動可能である。図３は、各ヘッド装着部２９が作業位置（下位置）に配置されている状態を示している。
【００５０】
各微調整機構２８は、第１板部材２８１、第２板部材２８２、第３板部材２８３、ねじ部材Ｂ１及びカムＣ１，Ｃ２を備えている。各微調整機構２８は、ヘッド装着部２９の上下方向の位置を微調整する第１機構２８Ａと、ヘッド装着部２９の水平方向の位置を微調整する第２機構２８Ｂと、この第２機構２８Ｂに対して直交する方向においてヘッド装着部２９の水平方向の位置を微調整する第３機構２８Ｃとを含む。各微調整機構２８は、作業ヘッドの先端部の位置を作業ポイントＰに正確に調整可能である。
【００５１】
第１板部材２８１は、ユニット本体２７の下面から下方に延びている。第１板部材２８１は、ガイドレール９５１の内側に隣接して配置され、ユニット本体２７の対応する側面に平行な姿勢で配置された板状の部材である。第１板部材２８１は、その下端部において屈曲し、外側に向かって突出する突出部２８１ａを有している。
【００５２】
第２板部材２８２は、嵌合部９５２の外面に平行な姿勢でこの外面に固定されている。第２板部材２８２は、その下端部において屈曲し、内側に向かって突出する突出部２８２ａを有している。第２板部材２８２の突出部２８２ａは、第１板部材２８１の突出部２８１ａの上方に位置しており、第１板部材２８１の突出部２８１ａと上下方向に対面するように配置されている。
【００５３】
第３板部材２８３は、第２板部材２８２の外側に隣接して配置されている。この第３板部材２８３は、第２板部材２８２に平行であり第２板部材２８２に面接触している当接部２８３ａと、この当接部２８３ａの両サイドから外側に突出する一対の突出片２８３ｂ，２８３ｃとを有している。
【００５４】
第３板部材２８３は、当接部２８３ａ内に位置する回動中心Ｒ１において第２板部材２８２に対して回動可能に第２板部材２８２に支持されている。一対の突出片２８３ｂ，２８３ｃは、互いに所定の間隔をあけて対向配置され、作業ヘッドが作業軸Ａ上にあるときに左右方向に平行な板状の部位であり、これらの間にはヘッド装着部２９が配置されている。ヘッド装着部２９は、一方の突出片２８３ｂ内に位置する回動中心Ｒ２と、他方の突出片２８３ｃ内に位置する回動中心Ｒ３において、第３板部材２８３に対して回動可能に第３板部材２８３に支持されている。
【００５５】
ねじ部材Ｂ１は、上下方向に延びる棒状の部材であり、外面に雄ねじが形成されている。このねじ部材Ｂ１は、第２板部材２８２の突出部２８２ａに設けられた貫通孔に挿通されている。この貫通孔には雌ねじが形成されている。ねじ部材Ｂ１の下端部は、第１板部材２８１の突出部２８１ａの上面に固定されている。
【００５６】
したがって、作業者は、ねじ部材Ｂ１を回動させることにより、第１板部材２８１に対して第２板部材２８２を上下方向に移動させることができる。これにより、第１機構２８Ａでは、第３板部材２８３を介して第２板部材２８２に支持されたヘッド装着部２９の上下方向（作業軸Ａ方向）の位置を微調整することができる。
【００５７】
カムＣ１は、中心軸が偏心した円形を有しており、回動中心Ｒ４が水平方向の一方に偏心した位置にある。カムＣ１は、第２板部材２８２に回動可能に支持されている。第３板部材２８３の当接部２８３ａの一部（上部）は、突出片２８３ｂを超えた位置まで延びており、この部位には、カムＣ１の外周面の一部を包み込むようにカムＣ１に嵌り込む凹部（嵌合部）が形成されている。この凹部は、カムＣ１の円形状の外周面よりも若干大きな内周面を有している。第３板部材２８３は、前述した回動中心Ｒ１とカムＣ１とにおいて第２板部材２８２に支持されている。
【００５８】
したがって、作業者は、上記のように偏心したカムＣ１を回動中心Ｒ４において回動させることにより、回動中心Ｒ４の反対側の部位が上方又は下方に変位して第３板部材２８３の凹部の内周面を押圧し、第３板部材２８３が回動中心Ｒ１を中心に上下方向に移動する。これにより、第２機構２８Ｂでは、ヘッド装着部２９の水平方向の位置を微調整することができる。
【００５９】
カムＣ２は、カムＣ１と同様に、中心軸が偏心した円形を有しており、回動中心Ｒ５が水平方向の一方に偏心した位置にある。カムＣ２は、ヘッド装着部２９に回動可能に支持されている。第３板部材２８３の突出片２８３ｂの先端部には、カムＣ２の外周面の一部を包み込むようにカムＣ２に嵌り込む凹部（嵌合部）が形成されている。この凹部は、カムＣ２の中心軸が偏心した円形の外周面よりも若干大きな内周面を有している。ヘッド装着部２９は、前述した回動中心Ｒ２，Ｒ３とカムＣ２とにおいて第３板部材２８３に支持されている。
【００６０】
したがって、作業者は、上記のように偏心したカムＣ２を回動中心Ｒ５において回動させることにより、回動中心Ｒ５の反対側の部位が上方又は下方に変位して第３板部材２８３の突出片２８３ｂにおける凹部の内周面を押圧し、ヘッド装着部２９が回動中心Ｒ２，Ｒ３を中心に上下方向に移動する。これにより、第３機構２８Ｂでは、第２機構２８Ｂに対して直交する方向においてヘッド装着部２９の水平方向の位置を微調整することができる。
【００６１】
ストッパ９５３は、第２板部材２８２に対して直交する方向に延びる棒状の部材であり、その長手方向において第２板部材２８２に対して変位可能に第２板部材２８２に支持されている。具体的には、ストッパ９５３は、第２板部材２８２よりも外側に突出する部位、すなわち作業者が把持する把持部位と、第２板部材２８２よりも内側に突出する部位とを有している。ストッパ９５３は、図略のばねなどの付勢部材によって第２板部材２８２よりも内側に付勢されている。
【００６２】
各ヘッドスライド機構９５の係止穴９５４は、ユニット本体２７の側面に形成されている。係止穴９５４は、ストッパ９５３の上方に位置している。ユニット本体２７の側面には、ストッパ９５３と係止穴９５４の間に領域に下方に向かうほど内側に位置するように傾斜する傾斜面２７ａが形成されている。
【００６３】
したがって、作業者は、ヘッドスライド機構９５のガイドレール９５１に沿ってヘッド装着部２９を上下方向にスライド移動させることができる。そして、作業者は、部品ピックアップ作業、部品取り付け作業又は取り外し作業に使用しない作業ヘッドを上方にスライド移動させ、ストッパ９５３を係止穴９５４に嵌合させることにより、このヘッド装着部２９に装着された作業ヘッドを退避位置（上位置）に退避させることができる。作業ヘッドの上方への移動時には、ストッパ９５３の内端部が傾斜面２７ａに当接しながら傾斜面２７ａに押圧されて内側への突出量が減少しながら係止穴９５４に導かれる。
【００６４】
また、作業者は、部品ピックアップ作業、部品着脱作業（部品取り付け作業又は取り外し作業）に使用する作業ヘッドについては、ストッパ９５３の前記把持部位を持って引き動作をすることにより、ストッパ９５３と係止穴９５４との係合を解除し、ヘッド装着部２９を下方にスライド移動させることにより、このヘッド装着部２９に装着された作業ヘッドを作業位置（下位置）に配置することができる。
【００６５】
図４（Ａ）は、加熱ヘッド２１がヘッド装着部２９に装着された状態を示す側面図である。図４（Ｂ）〜（Ｅ）は、ユニット本体２７の４つのヘッド装着部２９に装着された作業ヘッドの組合せ例を示す平面図であり、図４（Ｆ）〜（Ｉ）は、その正面図である。具体的には、図４（Ｂ），（Ｆ）は加熱ヘッド２１を示し、図４（Ｃ），（Ｇ）は吸着ヘッド２２を示し、図４（Ｄ），（Ｈ）ははんだ塗布ヘッド２３を示し、図４（Ｅ），（Ｉ）ははんだ吸取ヘッド２４を示している。各図において、作業軸Ａと基板１３又は部品テーブル４３とが交わる部位は、各作業が行われる作業ポイントＰである。
【００６６】
図４（Ａ）に示すように、加熱ヘッド２１は、ヘッド装着部２９の装着孔２９ａに挿入されて支持される柱状のヘッド本体２１１と、このヘッド本体２１１から下方に延びる加熱部２１２と、ヘッド本体２１１から上方に延びる熱源供給部２１３とを有している。図４（Ａ），（Ｂ），（Ｆ）に示す加熱ヘッド２１としては、例えばホットエアヘッド２１、はんだこてヘッド２１などを用いることができる。
【００６７】
この加熱ヘッド２１は、基板１３に部品１７を接合するはんだを溶融させるための熱源である。ホットエアヘッド２１の場合、はんだ、部品１７及び基板１３に対して非接触の状態ではんだに熱を供給することができる。具体的には、ホットエアヘッド２１の加熱部２１２の先端（下端）をはんだに近接する位置に配置し、この状態で熱源供給部２１３を通じて供給されるホットエアを加熱部２１２からはんだに向けて供給すればよい。はんだこてヘッド２１を用いる場合には、はんだこてヘッド２１の加熱部２１２の先端（下端）をはんだに当接する位置に配置し、この状態で熱源供給部２１３を通じて供給される電力により昇温された加熱部２１２の先端からはんだに熱を供給すればよい。なお、ホットエアヘッド２１とはんだこてヘッド２１とは、ヘッド本体２１１を共用し、先端の加熱部２１２のみを交換する構造を採用することもできる。
【００６８】
図４（Ｃ），（Ｇ）に示す吸着ヘッド２２は、先端（下端）又はその近傍に空気を吸い込む図略の吸着部を有している。吸着ヘッド２２の上端部は、図略のチューブによって図５に示す吸引手段（バキューム）９７に接続されている。吸引手段９７を作動させることにより、吸着ヘッド２２の吸着部から空気が吸い込まれるので、部品１７を吸着部に吸着することができる。
【００６９】
図４（Ｄ），（Ｈ）に示す塗布ヘッド２３は、クリームはんだ（フラックス）を基板１３や部品１７に塗布するためのものである。この塗布ヘッド２３の上端部は、図略のチューブによって図略のクリームはんだ供給手段に接続されている。この供給手段から塗布ヘッド２３にクリームはんだを送り込むことにより、塗布ヘッド２３の先端（下端）からクリームはんだが吐出される。これにより、基板１３や部品１７にクリームはんだを塗布することができる。
【００７０】
図４（Ｅ），（Ｉ）に示すはんだ吸取ヘッド２４は、基板１３又は部品１７に付着したはんだを吸い取るためのものである。吸取ヘッド２４は、前述の吸着ヘッド２２と同様に、吸引手段に接続されており、先端（下端）からはんだを吸い込むことができる。
【００７１】
作業ユニット２０では、これらの４つの作業ヘッド２１〜２４が支軸２６を中心とする円軌道Ｔ１に沿って一体的に動作して各作業ヘッド部の位置が変更される。これにより作業軸Ａ上に配置される作業ヘッドが複数の作業ヘッド２１〜２４から選択される。
【００７２】
＜観察部＞
図１及び図２に示すように、観察部３０は、回動機構３１と、観察部本体としてのカメラ（映像撮影装置）３２とを備えている。カメラ３２は、回動機構３１に支持されている。カメラ３２は、作業ポイントＰを斜め上方から観察可能な姿勢で回動機構３１に支持されている。カメラ３２としては、例えばマイクロスコープなどを用いることができる。カメラ３２によって撮影された画像は、作業者がリアルタイムで確認できるように、例えば図略のモニターに映し出される。また、観察部３０は、カメラ３２が作業ポイントＰを斜め上方から観察するときの水平方向に対する傾斜角度を変更可能な傾斜角度調節機構をさらに備えている。
【００７３】
図５に示すように、観察部３０は、作業軸Ａと基板１３又は部品テーブル４３とが交わる作業ポイントＰを拡大観察する。作業ポイントＰは、作業軸Ａと基板１３とが交わる作業ポイントＰ１と、作業軸Ａと部品テーブル４３とが交わる作業ポイントＰ２とを含む。
【００７４】
図４（Ａ）に示すように、作業ユニット２０、観察部３０及びレーザーポインタ５１が部品着脱位置（下位置）にあるときには、基板１３に部品１７が取り付け又は取り外しされるので、作業ポイントＰ１においてこれらの作業が行われる。一方、図５に示すように、作業ユニット２０、観察部３０及びレーザーポインタ５１が部品ピックアップ位置（上位置）にあるときには、部品テーブル４３から部品１７がピックアップされるので、作業ポイントＰ２においてこの作業が行われる。
【００７５】
回動機構３１は、第２アーム部８４に対して上下方向の中心軸を中心として回動可能であり、かつカメラ３２を支持可能な部材である。具体的には、回動機構３１は、第２アーム部８４の上面に載置された水平板３１ａと、この水平板３１ａの側縁に固定され、下方に延びる鉛直板３１ｂとを含む。水平板３１ａは、作業軸Ａに一致する回動中心において図略のシャフトなどの支持部材を介して第２アーム部８４の右端部８４ｂに回動可能に支持されている。鉛直板３１ｂの下端部には、作業ポイントＰを中心とする円弧に沿った円弧状のスリット３１ｃが形成されている。
【００７６】
カメラ３２は、鉛直板３１ｂに固定される基端部３２ａと、この基端部３２ａから斜め下方に延びる円柱形状のカメラレンズ組品３２ｂと、一対のガイドピン３２ｃ，３２ｄと、止めねじ３２ｅとを含む。このカメラレンズ組品３２ｂは、作業ポイントＰに向かって延びている。一対のガイドピン３２ｃ，３２ｄ及び止めねじ３２ｅは、基端部３２ａの側部に取り付けられている。
【００７７】
一対のガイドピン３２ｃ，３２ｄは、鉛直板３１ｂのスリット３１ｃに挿通され、互いに間隔をあけて配置されており、スリット３１ｃの範囲内においてスライド移動可能である。ガイドピン３２ｃ，３２ｄは、基端部３２ａ及びカメラレンズ組品３２ｂを回動機構３１に連結している。スリット３１ｃは、作業ポイントＰを中心とする円弧形状であるので、例えば図５に示すようにガイドピン３２ｃ，３２ｄのスライド移動前の位置３２Ａ、スライド移動後の位置３２Ｂ、及びこれらの間の位置において、カメラ３２は、作業ポイントＰを観察可能である。
【００７８】
前記傾斜角度調節機構は、スリット３１ｃ、ガイドピン３２ｃ，３２ｄ、止めねじ３２ｅを含む。この傾斜角度調節機構を備えていることにより、カメラ３２のカメラレンズ組品３２ｂの傾斜角度を、作業ポイントＰを中心とするスリット３１ｃの円弧軌道に沿って変更することができる。カメラ３２のカメラレンズ組品３２ｂの傾斜角度及びその変更範囲については特に限定されるものではない。具体例を挙げると、水平方向に対するカメラレンズ組品３２ｂの傾斜角度は、１０°〜８０°の範囲で調整できるのが好ましく、２０°〜７０°の範囲で調整できるのがより好ましい。図５に示す実施形態では、前記傾斜角度が４０°〜６５°の範囲で調整できる場合を例示している。
【００７９】
止めねじ３２ｅは、一対のガイドピン３２ｃ，３２ｄの間に配置されている。止めねじ３２ｅは、スリット３１ｃに挿通され、外面に雄ねじが形成された軸部と、この軸部の端部に螺合された雌ねじが内面に形成されたと把持部とを有している。この把持部を右回転又は左回転させることにより、一対のガイドピン３２ｃ，３２ｄのスライド移動が規制又は規制解除され、カメラ３２が回動機構３１に対して固定又は固定解除される。
【００８０】
図６に示すように、回動機構３１は作業軸Ａを中心に回動する。カメラ３２は、回動機構３１の回動に伴って作業軸Ａを中心とする円弧軌道Ｔ２に沿って移動して作業ポイントＰを観察する方向が変更される。カメラ３２は、回動機構３１の回動中において斜め上方からの観察姿勢を維持する。本実施形態の回動機構３１では、図６に示すように作業軸Ａを中心に回動可能な角度が１８０°である。これにより、例えば正面、背面、側面などの広範囲から作業ポイントＰを観察できる。
【００８１】
レーザーポインタ５１は、第２アーム部８４及び回動機構３１の水平板３１ａの上方に配置されている。レーザーポインタ５１の下方に位置する第２アーム部８４、水平板３１ａなどの部材は、レーザー光が作業ポイントＰに届くように、作業軸Ａに沿った貫通孔を有している。レーザーポインタ５１の下端部からは作業軸Ａに一致し作業ポイントＰを通るレーザー光が下方に向かって出される。したがって、作業者は、このレーザー光によって作業ポイントＰのおおまかな位置を目視で確認できる。
【００８２】
＜部品テーブル＞
図１及び図２に示すように、部品テーブル４３は、第３アーム部８８を介して支柱８１に支持されている。第３アーム部８８の基端部は、支柱８１を中心に回動可能に支柱８１に支持されている。部品テーブル４３は、作業軸Ａを中心に回動可能に第３アーム部８８の先端部に支持されている。第３アーム部８８の基端部には、この第３アーム部８８の回動の規制及び規制解除をするレバー９８が設けられている。
【００８３】
図７（Ａ）に示すように、部品テーブル４３は、作業軸Ａと交わる作業位置４３Ａと、作業軸Ａとは交わらない退避位置４３Ｂとの間を移動可能である。本実施形態では、支柱８１を中心とする第３アーム部８８の回動範囲は約９０°である。部品テーブル４３の上面には、複数の新しい部品１７が配列されたテープ１８を載置する載置凹部が形成されている。載置凹部に載置されたテープ１８は、載置凹部にまたがるように配設された一対の留め具によって位置決めされている。部品テーブル４３は、作業軸Ａを中心に少なくとも９０°回動可能である。これにより、作業位置４３Ａにおいて新しい部品１７を所望の向きに調節できる。
【００８４】
部品テーブル４３は、左右方向の位置を微調整するための微調整機構４４と、前後方向の位置を微調整するための微調整機構４５とを備えている。これにより、作業位置４３Ａにおいて、載置凹部に載置されたテープ１８上の部品１７を作業軸Ａに正確に一致させることができる。
【００８５】
＜リワーク作業の流れ＞
次に、上記したリワーク装置１１を用いたリワーク作業の一例について説明する。
【００８６】
（１）作業者は、基板保持部１９に基板１３をセットする。
ついで、作業者は、レーザーポインタ５１によってレーザー光を照射し、作業ポイントＰに対する基板１３のおおまかな位置を合わせる。
【００８７】
（２）作業者は、上下レバー９１を操作し、第２アーム部８４を部品着脱位置（下端位置）へ移動させる。
ついで、作業者は、観察部３０を用いて、作業軸Ａ上の作業ポイントＰに基板１３の作業対象部位（リワークポイント）があるか否か確認する。このとき、回動機構３１を０°〜１８０°の範囲において回動させ、例えば正面、背面、側面などの３方向から観察し、ずれがある場合には、第１調整機構６９及び第２調整機構７０を用いて前後方向、左右方向の基板１３の位置調整を行う。
次に、基板１３上の部品１７を取り外す作業が必要な場合には、作業者は、下記作業（３），（４）を行い、基板１３上の部品１７を取り外す作業が不要である場合には、作業者は、作業（３），（４）を省略し、下記作業（５）を行う。
なお、以下の作業において、微小な位置ずれを調整するとき、基板１３上のランドを選択するとき等には、基板保持部１９、部品テーブル４３の微調整機構４４，４５を用いて位置を微調整する。
【００８８】
（３）作業者は、作業ユニット２０を回動させ、はんだこてヘッド２１、ホットエアヘッド２１などの加熱ヘッド２１を作業軸Ａ上に配置する。この状態では、ユニット本体２７に装着された４つの作業ヘッドは、すべて退避位置（上位置）に配置されている。ついで、作業者は、加熱ヘッド２１に対応するストッパ９５３を引いてストッパ９５３と係止穴９５４との係合を解除して加熱ヘッド２１を作業位置（下位置）にスライド移動させる。
ついで、作業者は、観察部３０を用いて、加熱ヘッド２１の先端の位置と、作業対象の部品１７の位置とを確認しながら、各微調整機構２８を用いて加熱ヘッド２１の位置を微調整する。はんだこてヘッド２１を用いる場合には、その先端を作業対象の部品１７に当接させる。ホットエアヘッド２１を用いる場合には、その先端を作業対象の部品１７に近接させる。これにより、加熱ヘッド２１の熱により部品１７と基板１３とを接合するはんだが溶融する。はんだが溶融すると、そのはんだの表面張力により部品１７が加熱ヘッド２１の先端に付着するので、この状態で加熱ヘッド２１を上昇させることにより部品１７を基板１３から取り外すことができる。
【００８９】
（４）作業者は、作業ユニット２０を回動させ、吸取ヘッド２４を作業軸Ａ上に配置する。ついで、作業者は、吸取ヘッド２４に対応するストッパ９５３を引いてストッパ９５３と係止穴９５４との係合を解除して吸取ヘッド２４を作業位置（下位置）にスライド移動させる。
ついで、作業者は、観察部３０を用いて、吸取ヘッド２４の先端の位置と、部品１７が取り外された領域のランドの位置とを確認しながら、各微調整機構２８を用いて吸取ヘッド２４の先端をランドに当接させる。そして、ランドに残存しているはんだを吸取ヘッド２４によって吸い取って基板１３上から除去する。
【００９０】
（５）作業者は、作業ユニット２０を回動させ、塗布ヘッド２３を作業軸Ａ上に配置する。ついで、作業者は、観察部３０を用いて、塗布ヘッド２３の先端の位置と、ランドの位置とを確認しながら、各微調整機構２８を用いて塗布ヘッド２３の位置を調整した後、ランドにクリームはんだを塗布する。
【００９１】
（６）作業者は、上下レバー９１を操作し、第２アーム部８４を部品ピックアップ位置（上端位置）へ移動させる。ついで、作業者は、第３アーム部８８を回動させ、部品テーブル４３を作業位置４３Ａに配置する。
ついで、作業者は、観察部３０を用いて、作業軸Ａ上に対象の部品１７（ピックアップポイント）があるか否かを確認する。このとき、回動機構３１を０°〜１８０°の範囲において回動させ、例えば正面、背面、側面などの３方向から観察し、これらの位置関係にずれがある場合には、微調整機構４４，４５を用いて、部品テーブル４３の前後方向及び左右方向の位置調整を行う。
【００９２】
（７）作業者は、作業ユニット２０を回動させ、吸着ヘッド２２を作業軸Ａ上に配置する。ついで、作業者は、観察部３０を用いて、吸着ヘッド２２の先端（吸着部）の位置と、テープ１８上の新しい部品１７の位置とを確認しながら、各微調整機構２８を用いて吸着ヘッド２２の位置を調整した後、吸着ヘッド２２により部品１７を吸着する。このように部品１７を吸着した状態で、各微調整機構２８を用いて吸着ヘッド２２を上方に少し上昇させる。
【００９３】
（８）作業者は、第３アーム部８８を回動させ、部品テーブル４３を退避位置４３Ｂに配置する。ついで、作業者は、上下レバー９１を操作し、第２アーム部８４を部品着脱位置（下端位置）へ移動させる。
ついで、作業者は、観察部３０を用いて、吸着ヘッド２２に吸着された部品１７の位置と、ランドの位置とを確認しながら、各微調整機構２８を用いてこれらの位置を合わせ、各微調整機構２８を用いて吸着ヘッド２２を下方に少し下降させることによりランドに部品１７を配置する。
【００９４】
（９）作業者は、作業ユニット２０を回動させ、加熱ヘッド２１を作業軸Ａ上に配置する。前述と同様にして加熱ヘッド２１と部品１７との位置を調整した後、加熱ヘッド２１の熱によりはんだを溶融させ、部品１７を基板１３にはんだ付けする。なお、加熱ヘッド２１による加熱工程では、前述した補助加熱機構５３を併用してもよい。
【００９５】
＜実施形態の概要＞
以上の実施形態をまとめると次のようになる。
【００９６】
本実施形態では、部品の取り外し作業及び取り付け作業において、吸着ヘッド２２により部品１７を吸着して部品１７の配置及び移動を行うことができ、また、加熱ヘッド２１によりはんだなどの接合材を加熱溶融させて部品１７を基板１３上に接合し、又は部品１７を基板１３から取り外すことができる。また、作業ユニット２０では、前記複数の作業ヘッドが予め定められた軌道に沿って一体的に動作して各作業ヘッドの位置が変更されることにより前記作業軸Ａ上に配置される作業ヘッドを前記複数の作業ヘッドから選択可能であるので、各作業の作業性に優れ、しかも複数の異なる作業工程（吸着工程、加熱工程など）を単一の装置により実現できる。
【００９７】
また、本実施形態では、観察部３０によって作業ポイントＰを拡大観察しながら微小部品１７のリワーク作業を行うことができる。しかも、この観察部３０の観察部本体３２は、回動機構３１の回動に伴って前記円弧軌道Ｔ２に沿って移動して作業ポイントＰを観察する方向が変更される。すなわち、観察部本体３２を前記円弧軌道Ｔ２上の異なる位置に配置することができ、これらの位置において作業ポイントＰをそれぞれ観察することによって作業ポイントＰを異なった方向から観察できる。したがって、この構成では、部品１７、基板１３及び作業ヘッドの位置を精度よく合わせることができる。
【００９８】
また、本実施形態では、観察部本体３２は、回動機構３１の回動に伴って斜め上方からの観察を維持しつつ前記円弧軌道Ｔ２に沿って移動するので、例えば水平方向に作業ポイントＰを観察する場合に比べて作業ポイントＰに位置する部品１７、基板１３、作業ヘッド及び接合材をより立体的に観察することができる。これにより、位置合わせの精度をより高めることができる。また、斜め上方からの観察であるので、基板１３上に供給される接合材の量や形状、部品１７が基板１３上に接合された後の接合材の形状（フィレット）などの接合材の状態を立体的に正確に判別することができる。
【００９９】
また、本実施形態では、リワーク装置１１において、観察部３０は、観察部本体３２が作業ポイントＰを観察するときの水平方向に対する傾斜角度を変更可能な傾斜角度調節機構をさらに備えているので、傾斜角度の変更に伴って作業ポイントを観察する角度を変更することができる。
【０１００】
また、本実施形態では、ユニット本体２７を回動させることにより作業軸Ａ上に配置する作業ヘッドを選択できるので、例えば複数の作業ヘッドが一方向に直線状に配列され、この一方向の直線軌道に沿って複数の作業ヘッドを一体的に動作させる場合に比べて、複数の作業ヘッドを配置するのに必要なスペースが前記一方向に大きくなるのを抑制でき、コンパクト化を図ることができる。また、作業ユニット２０が作業軸Ａと平行な支軸を中心に回動する構造であるので、この作業ユニット２０にその周方向に沿って複数の作業ヘッドを支持させれば、円軌道Ｔ１上を移動する各作業ヘッドは、作業ユニット２０の回動時に必ず作業軸Ａを通過する。
【０１０１】
また、本実施形態では、回動機構３１の回動可能な角度が１８０°であることにより、例えば正面、背面、側面などの広範囲から作業ポイントＰを観察できるので、死角となる領域が少なくなり、基板１３上に部品１７を接合する接合材の状態をさらに正確に判別することができる。
【０１０２】
また、本実施形態では、作業ユニット２０は、前記作業軸Ａ上に配置される作業ヘッドの位置を前記作業軸Ａ方向に微調整する微調整機構を有しているので、各作業ヘッドの位置をより精度よく調整できる。
【０１０３】
また、本実施形態では、退避位置において部品テーブル上に部品が載置され、この部品１７が作業位置において吸着ヘッド２２によって吸着される。この作業位置では、部品１７が吸着される前に、作業軸Ａを中心に部品テーブル４３を少なくとも９０°の範囲で回動させることができるので、吸着時の部品１７の向きを所望の向きに予め調節できる。
【０１０４】
また、本実施形態では、レーザーポインタ５１によっておおまかな作業軸Ａの位置を目視できるので、予め手作業によっておおまかな位置調整が可能となり、作業性がさらに向上する。
【０１０５】
また、本実施形態では、補助加熱機構５３をさらに備えているので、加熱に要する時間を短縮できるので作業のスピードアップが図れ、また、リワーク範囲を広げることができる。
【０１０６】
本実施形態の他の利点としては、次の項目が挙げられる。
【０１０７】
前記作業ユニット２０が円軌道Ｔ１に沿って一体的に動作する構成の場合、前記回動機構３１における前記作業軸Ａを中心に回動可能な最大角度を１８０°又はこれより大きくすることが可能になる。例えば、複数の作業ヘッドが前記一方向に直線状に配列されている構成の場合には、この直線軌道が邪魔になるので回動機構の回動可能な最大角度を１８０°未満にせざるを得ない。
【０１０８】
回動機構３１の回動可能な最大角度が１８０°又はこれより大きいことにより、例えば正面、背面、側面などの広範囲から作業ポイントＰを観察できるので、死角となる領域が少なくなり、基板１３上に部品１７を接合する接合材の状態をさらに正確に判別することができる。
【０１０９】
また、本実施形態では、一連の作業を行う各作業ヘッドが支軸を中心にユニット本体２７に取り付けられており、作業軸Ａの位置に移動させることができるコンパクトな構造を有しており、また、本実施形態では、各作業ヘッドはヘッド装着部２９に固定されているわけではなく、適宜組み合わせを変えることができる。また、市販の工具をヘッド装着部２９に取り付けることもできる。
【０１１０】
本実施形態では、カメラは１台であるが、作業軸Ａを中心に０°〜１８０°の範囲において回転観察可能であり、部品ピックアップポイント、作業ポイントでの前後方向及び左右方向の位置確認が容易である。これにより、各作業のスピードアップが可能になる。
【０１１１】
以上、本発明の実施形態に係る表面処理装置について説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更、改良等が可能である。
【０１１２】
前記実施形態では、作業ユニットが支軸を中心に回動する構成を例示したが、これに限定されない。作業ユニットは、例えば複数の作業ヘッドが一方向に直線状に配列され、この一方向の直線軌道に沿って複数の作業ヘッドを一体的に動作させるような構成であってもよい。
【０１１３】
前記実施形態では、観察部本体が作業ポイントを斜め上方から観察する場合を例示したが、これに限定されない。例えば、観察部本体が作業ポイントを水平方向に観察するような形態であってもよい。
【０１１４】
前記実施形態では、単一のスライド機構９２によって作業ユニット２０と観察部３０とレーザーポインタ５１とが一体的に上下方向にスライド移動する場合を例示したが、これに限定されない。作業ユニット２０、観察部３０及びレーザーポインタ５１は、別々のスライド機構によって上下方向に移動する形態であってもよい。また、作業軸Ａと基板１３とが交わる作業ポイントＰ１と、作業軸Ａと部品テーブル４３とが交わる作業ポイントＰ２とが同じ位置にある場合には、スライド機構９２を省略して作業ユニット２０、観察部３０及びレーザーポインタ５１が上下方向に移動しない形態であってもよい。
【０１１５】
前記実施形態では、部品テーブル４３を備えている場合を例示したが、この部品テーブル４３は、必ずしもリワーク装置１１に含まれていなくてもよい。
【０１１６】
前記実施形態では、観察部３０の回動機構３１が０〜１８０°の範囲で回動する場合を例示したが、円弧軌道上の複数箇所において観察できればよいので、回動機構３１の回動範囲は、１８０°未満（例えば０〜９０°の範囲など）であってもよい。
【符号の説明】
【０１１７】
１１  リワーク装置
１３  基板
１７  部品
１９  基板保持部
２０  作業ユニット
２６  支軸
２７  ユニット本体
２８  微調整機構
３０  観察部
３１  回動機構
３２  観察部本体
４１  ベース
４３  部品テーブル
５１  レーザーポインタ
５３  補助加熱機構
Ａ  作業軸
Ｐ  作業ポイント
【図１】
2012248650.tif 000003
【図２】
2012248650.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2012248650.tif 000007
【図６】
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【図７】
2012248650.tif 000009