(57)【要約】【課題】過去に取得したデータを含めて、再度のシュムーデータの取得なしに複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向を把握することが容易なデバイステスタを提供。【解決手段】本発明の構成は、被試験デバイス（ＤＵＴ１４０）の電気的試験を行うデバイステスタ１００であって、被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部２２０と、取得したシュムーデータをファイルに保存するデータ保存部２２２と、ファイルからシュムーデータを読み出すデータ読出部２２８と、取得したシュムーデータおよびファイルから読み出したシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部２２６と、選択された１または２以上のシュムーデータ同士をプロット単位で論理計算し、計算された重畳シュムーデータを表示部２１２に表示する重畳表示部２３０と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタであって、
前記被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、
取得したシュムーデータをファイルに保存するデータ保存部と、
ファイルからシュムーデータを読み出すデータ読出部と、
取得したシュムーデータおよびファイルから読み出したシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、
前記選択された１または２以上のシュムーデータ同士をプロット単位で論理計算し、計算された重畳シュムーデータを表示部に表示する重畳表示部と、
を備えることを特徴とするデバイステスタ。
【請求項２】
前記データ選択部は複数のファイルを指定可能であって、かつ各ファイルに含まれる複数のシュムーデータの一部を選択可能であることを特徴とする請求項１に記載のデバイステスタ。
【請求項３】
前記重畳表示部は、プロットの値ごとに色を設定可能であって、複数のシュムーデータでプロットの値が異なる場合には、各値に設定された色の中間色を表示することを特徴とする請求項１に記載のデバイステスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シュムーツールを利用してシュムーデータを閲覧することが可能なデバイステスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。かかる集積回路を有するデバイスでは、集積回路の高密度化に伴って、電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。このような電気的機能試験を実行するデバイステスタでは、被試験デバイス（Device Under Test：以下「ＤＵＴ」という。）、例えば各種マイコンやメモリに対して、アクセスタイムマージン等の機能試験が行われている。
【０００３】
デバイステスタにおいては、ＤＵＴに設定された電圧や入出力タイミング等の試験パラメータを変化させてＤＵＴの電気的特性を導出するシュムー（例えば、特許文献１参照）を実行することができる。また、デバイステスタには、単一のＤＵＴに対するシュムーだけでなく、複数のＤＵＴをまとめて試験し、各ＤＵＴの電気的特性をそれぞれ独立して導出するマルチシュムー機能も装備されている。このようなシュムーの結果データであるシュムーデータをグラフィカルに選択表示するシュムーツールを用いて、ユーザは視覚的にＤＵＴの特性を把握することが可能となる。
【０００４】
また出願人は、複数のＤＵＴをまとめて試験し、複数のシュムーデータを同時にプレビューまたは重ね合わせて表示させることにより、複数のシュムーデータを同時に視認可能とする技術を提案している（特許文献２）。これにより、上述したマルチシュムー機能を用いてまとめて試験した複数のＤＵＴのシュムーデータを同時に表示して比較することが可能となるため、複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向の把握が容易となり、シュムーツールによる解析時間の削減ひいてはデバイス試験効率の向上が図れた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３１５４１８号公報
【特許文献２】特開２００８−１４５１５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２の技術であると、まとめて試験した複数のシュムーデータは同時に表示できるものの、その複数のシュムーデータと、過去のシュムー時に取得したシュムーデータとを同時に表示することはできない。したがって、それらを同時に表示して比較したい場合には、過去にシュムーデータを取得したＤＵＴに対して再度のシュムーを行い改めてシュムーデータを取得する必要があった。このため、特許文献２のデバイステスタでは、過去に取得したシュムーデータとの比較が困難であり、デバイス試験効率の向上において更なる改善の余地があった。
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑み、過去に取得したデータを含めて、再度のシュムーデータの取得なしに複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向を把握することが容易なデバイステスタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明にかかるデバイステスタの代表的な構成は、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタであって、被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、取得したシュムーデータをファイルに保存するデータ保存部と、ファイルからシュムーデータを読み出すデータ読出部と、取得したシュムーデータおよびファイルから読み出したシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、選択された１または２以上のシュムーデータ同士をプロット単位で論理計算し、計算された重畳シュムーデータを表示部に表示する重畳表示部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、取得されたシュムーデータはデータ保存部によってファイルに保存され、保存されたファイルをデータ読出部によって読み出すことができる。そして、重畳表示部によって、取得したシュムーデータ（新たに取得したシュムーデータ）、およびファイルから読み出したシュムーデータ（過去に取得したシュムーデータ）が論理計算された重畳シュムーデータが表示部に表示される。したがって、過去にシュムーデータを取得済みのＤＵＴに対して再度測定を行うことなく、過去に取得したシュムーデータと、新たに取得したシュムーデータとの比較が可能となる。これにより、それらのシュムーデータの全体的傾向を把握することが容易となり、解析時間ひいてはデバイス試験効率の更なる向上が図れる。
【００１０】
上記のデータ選択部は複数のファイルを指定可能であって、かつ各ファイルに含まれる複数のシュムーデータの一部を選択可能であるとよい。かかる構成によれば、複数のファイルに保存されたシュムーデータと、新たに取得したシュムーデータとを任意に組み合わせて比較することができる。また指定したファイルに複数のシュムーデータが含まれている場合であっても、ユーザがその中から任意のシュムーデータを選択することができる。このため、ユーザの利便性を向上させることができる。
【００１１】
上記の重畳表示部は、プロットの値ごとに色を設定可能であって、複数のシュムーデータでプロットの値が異なる場合には、各値に設定された色の中間色を表示するとよい。これにより、同時に表示される複数のシュムーデータ間におけるプロットの値の差異を目視で認識可能となる。したがって、シュムーデータの全体的傾向およびシュムーデータ同士の相違点を把握することが容易となる。また、プロットに異なる値が存在する場合に中間色を用いることにより、パス／フェイル等の値ごとに色を設定しておけばよく、設定項目を減らして使用上の便宜を図ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、過去に取得したデータを含めて、再度のシュムーデータの取得なしに複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向を把握することが容易なデバイステスタを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態にかかるデバイステスタの構成を示す概略図である。
【図２】デバイステスタのハードウェア構成を示した機能ブロック図である。
【図３】本実施形態にかかるデバイステスタを用いたデバイステスト方法の流れを示したフローチャートである。
【図４】シュムーツールのユーザインターフェースを示す図である。
【図５】シュムーツールのユーザインターフェースを示す図である。
【図６】過去データリストを例示する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値などは、発明の理解を容易とするための例示に過ぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１５】
本発明の実施形態にかかるデバイステスタは、ＤＵＴをセットした後、試験順を記したパターンプログラムに従ってＤＵＴに試験信号を印加し、それに応じてＤＵＴから出力される信号を取得する。また、デバイステスタに設けられたシュムーツールは、ＤＵＴに設定された電圧や入出力タイミング等の試験パラメータを変化させてＤＵＴの電気的特性を導出する。このようなＤＵＴの試験に関する理解を容易にするため、まず、デバイステスタの全体的な構造を説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態にかかるデバイステスタ１００の構成を示す概略図である。図１に示すデバイステスタ１００は、被試験デバイス（ＤＵＴ１４０）の電気的試験を行うテスタであり、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。本体１１０には、ユーザによって予め設定された試験工程を実行する中央制御部１１４が設けられている。中央制御部１１４に対しては、後述する表示部２１２や操作部２１４を有するユーザインターフェース１１２（汎用のコンピュータを用いて実現することができる）を介してユーザが操作を行うことができる。テストヘッド１２０には、ＤＵＴ１４０の各デバイス端子に接続されるテスト端子と、テスト端子に接続され試験機能を実行するピンモジュール（ともに不図示）を備える中継カード１２２（ＰＥ（Pin Electronics）カードともいう。）が設けられる。かかる中継カード１２２は、本体１１０からの機能試験に関する指令をＤＵＴ１４０のテスト端子に反映する。
【００１７】
テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上にＤＵＴ１４０が取り付けられる。パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に装着可能かつＤＵＴ１４０を取り付け可能な構造となっており、中継カード１２２のテスト端子をＤＵＴ１４０のデバイス端子に電気的に接続する。
【００１８】
本実施形態では、中央制御部１１４が中継カード１２２を介してＤＵＴ１４０に試験信号を印加するとともに、ＤＵＴ１４０からの信号を取り込む。このとき、デバイステスタ１００は、試験対象であるＤＵＴ１４０が、所望するタイミングで所望する電圧を出力しているかどうか（パス／フェイル）を判断する。
【００１９】
ＤＵＴ１４０をパスさせるための許容範囲は、そのＤＵＴ１４０が正常動作していると判断できる範囲でなくてはならないが、ＤＵＴ１４０内の様々な電気的要素が複雑に影響しているため、その範囲を計算により一義的に決定するのは困難である。そこで、本実施形態によるシュムーツールを用いて、複数のＤＵＴ１４０の電気的特性を抽出して、適切な試験パラメータを導出し、また、そのような試験パラメータによる判定が適切に行われているかを確認する。
【００２０】
図２は、デバイステスタ１００のハードウェア構成を示した機能ブロック図である。中央制御部１１４は、ＣＰＵ等の集積回路からなり、デバイステスタ１００全体を管理および制御する。また試験実行のためのテストプログラムに応じて、中継カード１２２のＤＵＴ１４０に対する試験信号の入出力を制御する。さらに、ＤＵＴ１４０に設定された電圧や入出力タイミング等の試験パラメータを変化させてＤＵＴ１４０の電気的特性を導出するシュムーを実行することができる。なお、中央制御部１１４に含まれる各部の詳細については後述する。
【００２１】
表示部２１２は、カラーまたはモノクロのディスプレイで構成され、デバイス試験の試験結果や、シュムーツールのユーザインターフェースを介してシュムーデータをグラフィカルに確認することができる。操作部２１４は、マウス、キーボード、十字キー、ジョイスティック等のスイッチから構成され、ユーザの操作入力を受け付ける。
【００２２】
テスタメモリ２１６は、ＲＡＭ等で構成され、シュムーの実行により取得されたシュムーデータを一時的に記憶する。記憶部２１８は、フラッシュメモリ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive））等で構成され、取得されたシュムーデータを半永久的に記憶する。なお、本実施形態においては、記憶部２１８は必ずしもデバイステスタ１００内に設けられる構成としたが、これに限定するものではなく、ＣＤ−ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ等のデバイステスタ１００とは別体の記憶媒体としてもよい。
【００２３】
図２および図３を参照して、中央制御部１１４の構成とデバイステスト方法をあわせて説明する。図３は、本実施形態にかかるデバイステスタ１００を用いたデバイステスト方法の流れを示したフローチャートである。
【００２４】
図３に示すように、当該デバイステスタ１００を用いてＤＵＴ１４０の新規の試験を行う場合（ステップ４０２のＹＥＳ）、デバイステスタ１００では、まず操作部２１４からシュムーツールを用いて試験パラメータが設定される（ステップ４０４）。そして、ユーザによるシュムーの開始信号を受けてデバイステスタ１００はＤＵＴ１４０を試験し、シュムー取得部２２０はシュムーを実行してＤＵＴ１４０のシュムーデータを取得する（ステップ４０６）。
【００２５】
シュムーは、ＤＵＴ１４０の入出力の妥当性を判断するために判定範囲を順次変化させパス／フェイルにどのような影響がでるかを調べるプログラムである。シュムーはＤＵＴ１４０の入力信号または出力信号のどちらでも定義することができる。また、取得されたシュムーデータは、このようなプロット観察の下、妥当な範囲を見極めて量産時の試験範囲をどのようにするかを決定するための参考データとなる。
【００２６】
図４は、シュムーツールのユーザインターフェース３００を示す図であり、特に１つのシュムーデータをプロットした場合のユーザインターフェースを例示している。シュムーツールは、中央制御部１１４で処理され、このユーザインターフェース３００によってシュムーデータを表示する。ユーザインターフェース３００には、表示するＤＵＴ１４０を指定するための表示ＤＵＴボックス３０２と、そのＤＵＴ１４０のシュムーデータをグラフィカルに表すメインエリア３０４とが設けられている。かかる表示ＤＵＴボックス３０２に、例えば「２」を入力すると、デバイス番号として「２」が付されているＤＵＴ１４０のシュムーデータがメインエリア３０４に表示される。
【００２７】
図４の例では、シュムーツールが電圧パラメータとタイミングパラメータとを自動的に変更し、そのパラメータが示す範囲内に実際の電圧が出ているかどうか（パス／フェイル）が検査される。具体的には、ＤＵＴ１４０への所定の入力信号から所定範囲（ＳＴＢ０）０〜３２０ｎｓｅｃ後に検知した出力電圧が、許容範囲に入っているかが検査される。例えば、デバイス番号「２」のＤＵＴ１４０では、所定の入力信号から１７６ｎｓｅｃ遅れた時点のＤＵＴの出力が許容範囲内に入っていたので、ＳＴＢ０＝１７６ｎｓｅｃ、ＶＯＨ＝３Ｖのプロット３０６は「パス」となっている。このようにシュムーデータは、プロットとしての複数のセルをマス目状に配列して形成され、パスしたプロットとフェイルしたプロットとが相異する色で表される。
【００２８】
測定の順番としては、例えば、範囲の上限（ＶＯＨ）から適切な電圧を選び、その電圧範囲においてＳＴＢ０を順次シフトさせて出力信号を測定する。ＳＴＢ０のシフトが一通り完了すると、範囲の上限（ＶＯＨ）を変化させて、ＳＴＢ０のシフトを最初から繰り返す。
【００２９】
上述したように取得されたシュムーデータはテスタメモリ２１６に記憶される（ステップ４０８）。そして、全シュムーデータが取得されるまでステップ４０６からステップ４０８が繰り返される（ステップ４１０のＮＯ）。全シュムーデータの取得が終了したら（ステップ４１０のＹＥＳ）、取得したシュムーデータを保存する場合（ステップ４１２のＹＥＳ）は、データ保存部２２２は、テスタメモリ２１６に記憶されているシュムーデータを記憶部２１８に格納されるファイルに保存する（ステップ４１４）。
【００３０】
図５は、シュムーツールのユーザインターフェース３００を示す図であり、特に複数のシュムーデータをプロットした場合のユーザインターフェース３００を例示している。なお、理解を容易にするために以下の説明では、ステップ４０６における試験において取得され、ステップ４０８でテスタメモリ２１６に記憶されたシュムーデータを「新規シュムーデータ」と称する。
【００３１】
続いて、操作部２１４を介したユーザ入力により図５に示す複数プロットタブ３００ａが選択されたら、新規データリスト表示部２２４は、テスタメモリ２１６に記憶されている新規シュムーデータをリスト化し、新規シュムーデータリストをユーザインターフェース３００の新規リストエリア３１０に表示する（ステップ４１６）。本実施形態では特に、新規データリスト表示部２２４は新規リストエリア３１０に表示される新規シュムーデータを読み出してシュムーデータ（プロット画像）を生成する。そして、各々のシュムーデータを縮小してサムネイル化したアイコン３１２として並べて表示している。これにより、ユーザがシュムーデータ選択する際に、データ名だけでなくシュムーデータの形状をもプレビューとして参照することができ、所望するシュムーデータを迅速に特定可能となる。
【００３２】
なお、本実施形態においては、新規シュムーデータのサムネイル（プレビュー画像）で表示したが、これに限定するものではなく、単にデータ名（ＤＵＴ番号など）のみを表示してもよい。またステップ４１６では、必ずしも新規データリスト表示部２２４が新規シュムーデータをリスト化する必要はなく、シュムー取得部２２０に新規シュムーデータのデータ名が保持されている場合には、シュムー取得部２２０から新規データリスト表示部２２４にデータ名をリスト化して送る構成としてもよい。
【００３３】
新規リストエリア３１０に新規シュムーデータリストが表示されたら、データ選択部２２６は、操作部２１４を介してユーザに新規シュムーデータを選択させる（ステップ４１８）。選択方法については、操作部２１４を操作することにより選択したいアイコン３１２にポインタを合わせて、そのアイコンを重畳エリア３０５の選択リストエリア３４０やプロットエリア３６０にドラッグドロップしたり、かかるアイコンをダブルクリックしたりする等、任意に設定することが可能である。ステップ４１８において選択された新規シュムーデータは、選択リストエリア３４０に反映される。
【００３４】
次に、ステップ４１８において選択された新規シュムーデータと、記憶部２１８に格納されるファイルに保存されたシュムーデータすなわち過去の取得されたシュムーデータ（以下、過去シュムーデータと称する。）を比較する場合や複数の過去シュムーデータを比較する場合（ステップ４０２のＮＯ）等、過去シュムーデータを読み出す場合（ステップ４２０のＹＥＳ）、データ読出部２２８は、まず記憶部２１８に格納されているフォルダを読み出し、フォルダリストをフォルダリストエリア３２０に表示する（ステップ４２２）。続いて、操作部２１４を介したユーザ入力によって、表示されたフォルダリストの中から任意のフォルダが選択されたら、データ読出部２２８は、そのフォルダに保存されているファイルを読み出し、ファイルリストをファイルリストエリア３３０に表示する（ステップ４２４）。
【００３５】
ステップ４２４においてファイルリストが表示されたら、データ選択部２２６は、操作部２１４によってユーザに任意のファイルを選択させ、選択されたファイルに保存された過去シュムーデータが１つのみであったら（ステップ４２６のＮＯ）、データ選択部２２６はそのファイルに保存されている過去シュムーデータが選択されたと判断し、重畳エリア３０５内の選択リストエリア３４０に反映する（ステップ４３０）。
【００３６】
なお、ステップ４２６では、データ選択部は複数のファイルを選択（指定）させることが可能である。これにより、複数のファイルに保存された過去のシュムーデータと、新規シュムーデータとを任意に組み合わせて比較することができる。またステップ４２６におけるファイル選択においても、上述したステップ４１８と同様にドラッグドロップ等、任意の操作を設定可能である。
【００３７】
図６は、過去データリストを例示する図である。選択されたファイルに過去シュムーデータが複数保存されていたら（ステップ４２６のＹＥＳ）、データ読出部２２８は、そのファイルに保存されている複数の過去シュムーデータを読み出し、過去データリストを表示する（ステップ４２８）。本実施形態では、ステップ４２８において図６に示すようにユーザインターフェース３００とは別のダイアログ３５０として過去データリストを表示する。そして、データ選択部２２６は、操作部２１４を介してユーザに過去シュムーデータを選択させる（ステップ４３０）。ステップ４３０において選択された過去シュムーデータは選択リストエリア３４０に反映される。
【００３８】
上記のダイアログ３５０における選択方法としては、操作部２１４を操作することにより、過去シュムーデータの番号３５２の下に設けられているチェックボックス３５４にポインタを合わせてクリックすることでチェックボックス３５４にチェックを入れて（オン）選択する。チェックを入れたチェックボックス３５４を再度クリックするとチェックは解除される（オフ）。図６では、番号「１」「２」「３」「５」の過去シュムーデータをチェック（選択）している状態を例示している。このようにチェックボックス３５４へのチェックによりファイルに含まれる複数のシュムーデータの一部を選択可能とすることで、選択（指定）したファイルに複数のシュムーデータが含まれている場合であっても、ユーザがその中から任意のシュムーデータを選択することができ、ユーザの利便性を向上させることができる。
【００３９】
なお、本実施形態においては、過去データリストをダイアログ３５０として表示したが、これに限定するものではなく、フォルダリストやファイルリストを表示するときと同様にユーザインターフェース３００に表示エリアを設けて表示してもよいし、他の態様としてもよい。またダイアログ３５０の表示形式および選択方法においても上述した構成は例示にすぎず、例えばチェックボックス３５４ではなく、過去シュムーデータ名が一覧表示され、その過去シュムーデータ名をダブルクリックしたりドラッグドロップしたりすること等により選択される構成としてもよい。
【００４０】
ステップ４１８およびステップ４３０を経て、シュムーデータの選択が終了しない場合（ステップ４３２のＮＯ）には、選択が終了するまでステップ４１８〜ステップ４３０を繰り返す。シュムーデータの選択が終了したら（ステップ４３２のＹＥＳ）、選択リストエリア３４０には選択済みの新規シュムーデータおよび過去シュムーデータのリストが表示される。
【００４１】
上記説明したように、本実施形態では、データ選択部２２６は、新規シュムーデータ（新たに取得したシュムーデータ）および過去シュムーデータ（ファイルから読み出したシュムーデータ）から複数のシュムーデータをユーザに選択させることができる。したがって、過去にシュムーデータを取得済みのＤＵＴ１４０に対して再度測定を行うことなく、そのシュムーデータと、新たに取得したシュムーデータとの比較が可能となる。
【００４２】
なお、本実施形態では、選択リストエリア３４０においても、表示されるシュムーデータ３４２ごとにチェックボックス３４４が設けられている。これにより、ユーザは、上述したように操作部２１４を操作してチェックのオンオフを切り替え可能となり、例えば、選択したものの一時的に一部のシュムーデータを除外するなど、操作の利便性を高めることができる。
【００４３】
ステップ４３２においてシュムーデータの選択が終了したら、重畳表示部２３０は、データ選択部２２６によって選択されたシュムーデータ同士、換言すれば選択リストエリア３４０に表示されチェックがオンになっているシュムーデータ同士をプロット単位で論理計算し（ステップ４３４）、計算された重畳シュムーデータを重畳エリア３０５内のプロットエリア３６０（表示部２１２）に表示する（ステップ４３６）。
【００４４】
本実施形態では、重畳表示部２３０は、プロットの値ごとに色を設定可能であり、重畳した複数のシュムーデータでプロットの値が異なる場合には、各値に設定された色の中間色を表示する。これにより、同時に表示される複数のシュムーデータ間におけるプロットの値の差異を目視で認識可能となるため、シュムーデータの全体的傾向およびシュムーデータ同士の相違点を把握することが容易となる。またプロットに異なる値が存在する場合に中間色を用いることにより、パス／フェイル等の値ごとに色を設定しておけばよく、設定項目を減らして使用上の便宜を図ることができる。
【００４５】
具体的な例を挙げると、パスを青色、フェイルを赤色と設定すれば、パスとフェイルとを一目で認識することができる。そして、かかる設定において複数のデータが重畳されると、複数のシュムーデータ間においてプロットの値が異なる場合に、そのプロットは赤色と青色の中間色である紫色で表示されることとなる。図面はモノクロであるため、図５では、プロットエリア３６０に表示された重畳シュムーデータのうち、パス（青色）のプロット３６２ａは塗りつぶし、フェイル（赤色）のプロット３６２ｂは斜線、異なる値が重畳されている（紫）のプロット３６２ｃは網掛けとしている。
【００４６】
なお、上記の中間色とは、単一の中間色（５０％：５０％）でもよいが、３以上のシュムーデータを重ねた場合には値の数の比率に応じた中間色としてもよい。例えば、パスが１回、フェイルが３回重なっている場合には、パスの色：フェイルの色＝２５％：７５％で中間色を表示させることができる。
【００４７】
上述したようにステップ４３６において重畳シュムーデータが表示された後、再度ＤＵＴ１４０の新規試験を行ったり、シュムーデータの比較を行ったりする場合、すなわち終了しない場合（ステップ４３８のＮＯ）は、ステップ４０２に戻り以降のステップを繰り返す。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態にかかるデバイステスタ１００によれば、データ保存部２２２およびデータ読出部２２８によって、シュムー取得部２２０が取得したシュムーデータの保存および読出ができる。このため、重畳表示部２３０によって、新たに取得した新規シュムーデータおよびファイルから読み出した過去シュムーデータが論理計算された重畳シュムーデータを表示可能となる。これにより、過去にシュムーデータを取得済みのＤＵＴ１４０に対して再度測定を行うことなく過去シュムーデータと新規シュムーデータとを比較することができるため、それらのシュムーデータの全体的傾向の把握が容易となり、解析時間の削減ひいてはデバイス試験効率の更なる向上が図れる。
【００４９】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。なお、本明細書のデバイステスト方法における各処理は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はなく、並列的あるいはサブルーチンによる処理を含んでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、シュムーツールを利用してシュムーデータを閲覧することが可能なデバイステスタに利用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１００…デバイステスタ、１１０…本体、１１２…ユーザインターフェース、１１４…中央制御部、１２０…テストヘッド、１２２…中継カード、１３０…パフォーマンスボード、１４０…ＤＵＴ、２１２…表示部、２１４…操作部、２１６…テスタメモリ、２１８…記憶部、２２０…シュムー取得部、２２２…データ保存部、２２４…新規データリスト表示部、２２６…データ選択部、２２８…データ読出部、２３０…重畳表示部、３００…ユーザインターフェース、３０２…表示ＤＵＴボックス、３０４…メインエリア、３０５…重畳エリア、３１０…新規リストエリア、３１２…アイコン、３２０…フォルダリストエリア、３３０…ファイルリストエリア、３４０…選択リストエリア、３４２…シュムーデータ、３４４…チェックボックス、３５０…ダイアログ、３５２…番号、３５４…チェックボックス、３６０…プロットエリア、３６２ａ…プロット、３６２ｂ…プロット、３６２ｃ…プロット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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