(57)【要約】【課題】分光特性が良好で、かつ解像度の高い着色層のパターン形成ができる固体撮像素子用着色感光性組成物とそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも、（Ａ）着色剤、（Ｂ）モノマー、（Ｃ）ポリマー、（Ｄ）光開始剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）重合禁止剤からなる着色感光性組成物であって、全固形分に対する（Ａ）着色剤の含有量が４０質量％〜６０質量％、（Ｆ）重合禁止剤が１．０×１０−３質量％〜１．０×１０−１質量％であり、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｂ）モノマーの質量の割合が０．１％〜５．０％で、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｄ）光開始剤の質量の割合が０．２５％〜３０％であることを特徴とする着色感光性組成物である。【選択図】図１
2012118443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、（Ａ）着色剤、（Ｂ）モノマー、（Ｃ）ポリマー、（Ｄ）光開始剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）重合禁止剤からなる着色感光性組成物であって、全固形分に対する（Ａ）着色剤の含有量が４０質量％〜６０質量％、（Ｆ）重合禁止剤が１．０×１０−３質量％〜１．０×１０−１質量％であり、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｂ）モノマーの質量の割合が０．１％〜５．０％で、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｄ）光開始剤の質量の割合が０．２５％〜３０％であることを特徴とする着色感光性組成物。
【請求項２】
前記着色感光性組成物を、支持体上に塗布する工程と、マスクを介して露光する工程と、さらに現像する工程からパターン形成することを特徴とする固体撮像装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の製造方法を用いてなることを特徴とする固体撮像装置用カラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するのに好適な着色感光組成物、それを用いた固体撮像装置用カラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤやＣＭＯＳなどの固体撮像装置は、二次元的に配列した複数画素を含んでいる。カラー画像を読み取る固体撮像装置では、例えば、入射光をカラーフィルタの緑、青及び赤色着色層に通過させることによって緑、青及び赤色の３色の光へと色分解し、これら着色光の強度を各画素が含んでいる光電変換素子で検出する。固体撮像装置は、このようにして、色情報を含んだ画像信号を出力する。
【０００３】
特許文献１に記載されているように、カラーフィルタは、フォトリソグラフィ法を利用して形成することができる。例えば、着色顔料を含んだ感光性組成物を下地上に塗布し、塗膜をパターン露光し、その後、この塗膜を現像し、残った塗膜をベークする。これにより、複数のフィルタセグメントからなる着色層を得る。このようにして第１番目の着色層を形成し、その後、同様の方法により、第２及び第３番目の着色層を順次形成する。
【０００４】
人間の視感度は、青色光及び赤色光と比較して緑色光の方が高い。そのため、パターン形成された緑色着色層のパターン寸法及びパターン形状精度は、青色及び赤色着色層のパターン寸法及びパターン形状精度と比較して、再生画像の画質に及ぼす影響が大きい。したがって、多くの場合、緑色着色層を第１番目に形成している。
【０００５】
市松模様のベイヤー配列では、先に緑色着色層を形成するので、緑色着色層の解像度が、そのまま固体撮像素子のカラーフィルタの解像度にひびく。特に近年は固体撮像素子の高精細化の要求の強く、付随するカラーフィルタの画素サイズは１．４μｍ以下のものも多くなってきており、このような微細パターンでは解像性が低下しやすいという問題がある。
【０００６】
ここで、ベイヤー配列のカラーフィルタの厚みは、例えば画素サイズが３μｍ×３μｍの場合、好ましくは０．８ないし１．２μｍであり、画素サイズが２μｍ×２μｍ以下では好ましくは１．０μｍ以下、より好ましくは０．４μｍないし０．８μｍである。これは、アスペクト比との関係のためで、画素サイズが小さくなっても厚みがそのままであると、解像性が低下し、また、受光素子までの距離が相対的に長くなる傾向があることによる。薄いカラーフィルタであれば、解像度が高いため生産性に優れ、かつ、集光のために設けられるマイクロレンズと受光素子との距離が近くなるのでデバイス特性が向上し得る。しかし、膜厚が薄くなっても分光特性を保とうとすれば顔料濃度が高くなり、通常解像度は低下しやすい。そのため分光特性が良好で、かつ解像度の高い緑色着色層の形成が強く求められていた。
【０００７】
一方、感光性組成物にて経時安定性を付与するために、各種重合禁止剤を添加する技術が種々開示されている（例えば、特許文献２〜４参照）。また、着色剤含有量を向上させると、重合禁止剤に由来する感度低下の影響が大きくなり、低露光量にて現像時にパターンが剥がれる問題を無視することができない（例えば、特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−５４１９号公報
【特許文献２】特開平８−２９２５６６号公報
【特許文献３】特開２０００−２１４５８０号公報
【特許文献４】特開２００３−１７７５１７号公報
【特許文献５】特開２００９−９８６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、着色剤含有量が高くとも、低露光量にて現像時の画素パターン剥離の発生が抑制され、かつ解像性が良好な固体撮像素子用着色感光性組成物、並びにそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、本発明に係る請求項１に記載の発明は、少なくとも、（Ａ）着色剤、（Ｂ）モノマー、（Ｃ）ポリマー、（Ｄ）光開始剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）重合禁止剤からなる着色感光性組成物であって、全固形分に対する（Ａ）着色剤の含有量が４０質量％〜６０質量％、（Ｆ）重合禁止剤が１．０×１０−３質量％〜１．０×１０−１質量％であり、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｂ）モノマーの質量の割合が１．０％〜９．０％で、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｄ）光開始剤の質量の割合が２．０％〜３０％であることを特徴とする着色感光性組成物である。
【００１１】
本発明に係る請求項２に記載の発明は、前記着色感光性組成物を、支持体上に塗布する工程と、マスクを介して露光する工程と、さらに現像する工程からパターン形成することを特徴とする固体撮像装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００１２】
本発明に係る請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の製造方法を用いてなることを特徴とする固体撮像装置用カラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、着色剤含有量が高くとも、低露光量にて現像時の画素パターン剥離の発生が抑制され、かつ解像性が良好な固体撮像素子用着色感光性組成物、並びにそれを用いた固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一態様に係る技術により製造可能な固体撮像装置の一例を概略的に示す断面図。
【図２】図１の固体撮像装置が含んでいるカラーフィルタを概略的に示す平面図。
【図３】画素パターンのテーパー長さを示す断面図。
【図４】図１に対し解像性が悪い場合を概略的に示す断面図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の態様について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、全ての図面を通じて、同様又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１６】
図１は、本発明の一態様に係る技術により製造可能な固体撮像装置の一例を概略的に示す断面図である。図２は、図１の固体撮像装置１を構成するカラーフィルタ４を概略的に示す平面図である。
【００１７】
図１に示す固体撮像装置１は、例えば、ＣＣＤイメージセンサ及びＣＭＯＳイメージセンサなどの二次元イメージセンサである。この固体撮像装置１は、半導体チップ２と平坦化層３とカラーフィルタ４とマイクロレンズアレイ５とを含んでいる。半導体チップ２は、平面視で二次元的に配列した複数の画素を含んでいる。各画素は、入射した光の量に応じた信号電荷を発生する光電変換素子２１を含んでいる。光電変換素子２１は、例えば、画素電極と対向電極とそれらの間に介在した半導体層とを含んだフォトダイオードである。
【００１８】
半導体チップ２は、図示しない読出し回路をさらに含んでいる。読出し回路は、光電変換素子２１が発生した電荷を読み出す。光電変換素子２１は、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳデバイスなどで構成することができる。平坦化層３は、半導体チップ２上に形成されている。平坦化層３は、カラーフィルタ４に平坦な下地を提供する。平坦化層３は、光透過性を有しており、典型的には無色透明である。また、典型的には、平坦化層３は、紫外線吸収特性を有している。平坦化層３は、例えば透明樹脂からなる。平坦化層３の厚さは、例えば０．８μｍ以下である。なお、半導体チップ２が表面平坦性に優れている場合や、固体撮像装置１の厚みを薄くしたい場合などには、平坦化層３は省略することができる。カラーフィルタ４は、平坦化層３上に設置されている。カラーフィルタ４は、緑色着色層と青色着色層と赤色着色層とを含んでいる。
【００１９】
この例では、緑色着色層は、平面視で市松模様状の配列パターンを形成している複数の緑色フィルタセグメントＧからなる。青色着色層は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の青色フィルタセグメントＢからなる。赤色着色層は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の赤色フィルタセグメントＲからなる。フィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲは、面内方向に隣り合っており、ここでは、正方配列を採用している。これらフィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲは、それぞれ画素と向き合っている。
【００２０】
フィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲの平面視での縦横の寸法は、例えば約０．９μｍないし約１０μｍの範囲内にあり、典型的には約１．１μｍないし約２．５μｍの範囲内にある。なお、一般的な液晶表示装置における画素の寸法は、数１００μｍである。これらの比較から明らかなように、固体撮像装置用のカラーフィルタには、表示装置用のカラーフィルタと比較して、遥かに高い寸法及び形状精度が要求される。
【００２１】
本態様に係る組成物を用いて形成する緑色着色層の厚さを、例えば０．４ないし２．５μｍの範囲内、典型的には０．５μｍないし１．５μｍの範囲内とする。緑色着色層及び青色着色層及び赤色着色層の厚さとほぼ等しい。また、緑色着色層は、例えば、４００ｎｍ及び７００ｎｍの波長についての分光透過率が２０％以下であり、５０％の分光透過率を示す波長が４８５ないし５２５ｎｍ及び５７５ないし６１５ｎｍの範囲内にあり、５４５ｎｍの波長についての分光透過率が７５％以上である。かかる分光透過率を有する緑色着色層では、緑領域の波長の透過率が高く、他の色の波長域では透過率が低いので、色分離性に優れたものとなる。そのため、他色の混色の少ない画像が得られる。
【００２２】
カラーフィルタ４上には、マイクロレンズアレイ５が形成されている。マイクロレンズアレイ５は、例えば、画素の行若しくは列に対応して複数のシリンドリカルレンズを並べた構造を有しているか、又は、画素に対応して複数の半球レンズを並べた構造を有している。この固体撮像装置１は、例えば、以下の方法により製造する。
【００２３】
まず、半導体チップ２上に、平坦化層３を形成する。次に、平坦化層３上に、緑色着色層を形成する。即ち、緑色顔料を含んだ感光性組成物を平坦化層３上に塗布し、塗膜をパ
ターン露光し、その後、塗膜を現像し、更に例えば２２０℃程度の温度でベークを行う。パターン露光には、例えば紫外線を使用し、現像には例えばアルカリ現像液を使用する。これにより、パターン露光の際に未露光部とした部分が開口部となった緑色着色層を得る。なお、緑色着色層の平面視での形状は、図２に示すように市松模様とするのが一般的である。次いで、平坦化層３上に、緑色着色層について説明したのと同様の方法により、青色着色層及び赤色着色層を形成する。青色着色層及び赤色着色層は、どちらを先に形成してもよい。これにより、カラーフィルタ４を得る。その後、このようにして得られたカラーフィルタ４上に、マイクロレンズアレイ５を形成する。以上のようにして、図１に示す固体撮像装置１を完成する。
【００２４】
画素寸法が１．４μｍより小さくなっても解像性が良好な場合には図１に示すように破線で示す入射角Xの光を光電素子２１は問題なく画像信号として受光する。しかしながら解像性が良好でない場合、すなわち図３で示すように画素の形状が丸まりテーパーGT（緑色画素のテーパーの略）が大きくなると、図４で示すように入射角Xで入射してきた光の一部は隣接した他の色のフィルタセグメントも透過してしまうことになり混色することで、再生画像に黒キズと呼ばれる表示ムラを生じる可能性がある。
【００２５】
本発明に係る着色感光性組成物は、図１の破線で示す入射角Xの光を、光電素子２１が正しく画像信号として受光することが出来るような解像性の良好な着色層を形成できるものであり、すくなくとも、（Ａ）着色剤、（Ｂ）モノマー、（Ｃ）ポリマー、（Ｄ）光開始剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）重合禁止剤からなる、通常、ネガ型の感光性組成物である。
【００２６】
上記（Ａ）着色剤としては、顔料や染料が、以下の赤色着色剤、緑色着色剤及び青色着色剤として用いられ、その含有量は、全固形分に対して４０〜６０質量％が好ましい。着色剤の含有量が全固形分の４０質量％未満であると、着色層に要求される分光特性を薄膜で達成することが難しい。一方、着色剤の含有量が６０質量％以上であると、着色層の露光感度低下が生じると共に、その形状精度が低下する。
【００２７】
緑色着色剤としては、緑色顔料または緑色染料あるいはそれらの中間体が使用可能である。例えばＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７、５８、緑色染料としては、例えばＣ．Ｉ．Ａｃｉｄグリーン２５、４１を単独で、または混合して使用することができる。
【００２８】
青色着色剤として、例えばＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６、２２、６０等の青色顔料、例えばＣ．Ｉ．Ａｃｉｄブルー４１、８３、９０、１１３、１２９等の青色染料を使用することができる。
【００２９】
赤色着色剤として、赤色顔料例えばＣ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、１５５、１６８、１７７、１８０、２１７、２２０、２５４、及び赤色染料例えばＣ．Ｉ．Ａｃｉｄレッド３７、５０、１１１、１１４、２５７、２６６を用いることができる。
【００３０】
さらに、赤色着色層及び緑色着色層には、黄色着色剤を添加、あるいは黄色着色層を重ねることができる。黄色着色剤として、黄色顔料例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、及びＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５を、黄色染料例えばＣ．Ｉ．Ａｃｉｄイエロー１７、４９、６７、７２、１２７、１１０等を単独でまたは混合して使用することができる。
【００３１】
（Ｂ）モノマーとしては、３官能アクリルモノマーが好ましい。４官能モノマーや５官能モノマーなどの一般的な感光性樹脂に使用されているアクリルモノマーを使用すると、感光性樹脂の感度が過剰に高くなることなどの不具合が生じる場合がある。
【００３２】
例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性（ｎ＝１）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性（ｎ＝２）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性（ｎ＝１）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性（ｎ＝２）トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性シトリアクリレート、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００３３】
（Ｃ）ポリマーとしては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー硬化性樹脂、又はそれらの２つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００３４】
好ましくは酸価が６０ないし１００の範囲内にあり、重量平均分子量が１万ないし５万の範囲内にあるものを使用する。酸価が大きいと、現像が過剰に速く進行し、その制御が難しい。酸価が小さいと、現像が過剰に遅く進行し、緑色着色層の表面に荒れを生じると共に、その形状精度が低下する。また、重量平均分子量が小さいと、着色感光性組成物の塗布時に塗布ムラを生じ易い。重量平均分子量が大きいと、高い解像性を達成するのが困難である。
【００３５】
前記熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレン−マレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン（ＨＤＰＥ、ＬＤＰＥ）、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００３６】
また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００３７】
またさらに、活性エネルギー硬化性樹脂としては、例えば、水酸基、カルボキシル基及びアミノ基などの反応性置換基を有する線状高分子に、イソシアネート基、アルデヒド基及びエポキシ基などの反応性置換基を有するアクリル化合物若しくはメタクリル化合物又は桂皮酸を反応させて、先の線状高分子にアクリロイル基若しくはメタクリロイル基又はスチリル基光架橋性基を導入してなるものを使用することができる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合体及びα−オレフィン−無水マレイン酸共重合体などの酸無水物を含む線状高分子を、ヒドロキシアルキルアクリレート及びヒドロキシアルキルメタクリレートなどの水酸基を有するアクリル化合物又はメタクリル化合物によってハーフエステル化してなるものを使用してもよい。
【００３８】
（Ｄ）光開始剤としては、例えば、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、及び２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オンなどのアセトフェノン系光重合、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、及びベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、及び４−ベンゾイル−４‘−メチルジフェニルサルファイドなどのベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、及び２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系光重合開始剤、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−クロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシーナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（ピペロニル）−６−トリアジン、及び２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジンなどのトリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００３９】
（Ｅ）溶剤としては、例えば、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００４０】
（Ｆ）重合禁止剤は前記着色感光性組成物の感度を適正に制御し、且つ、経時安定性を左右するものであり、全固形分に対する含有量は、１．０×１０−３〜１．０×１０−１質量％が好ましい。重合禁止剤の全固形分に対する含有量が、１．０×１０−３未満であると、１．４μｍ以下の画素では形状が丸まり、テーパーが長くなる問題が生じ、また、１．０×１０−１質量％以上であると、感度低下の問題が生じる。
【００４１】
また、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｂ）モノマーの質量の割合は、感度に影響を及ぼし、その割合は、０．１％〜５．０％が好ましい。０．１％未満だと、解像度向上の効果がみられず、また、５．０％以上であると、感度低下の問題が生じる。
【００４２】
また、（Ｆ）重合禁止剤と（Ｄ）光開始剤の質量の割合は、感度に影響を及ぼし、その割合は、０．２５％〜３０．０％が好ましい。０．２５％未満だと、解像度向上の効果がみられず、また、３０．０％以上であると、感度低下の問題が生じる。
【００４３】
（Ｆ）重合禁止剤としては、フェノール系化合物が好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、カテコール、ｔ−ブチルカテコール、４，４‘−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２‘−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（６−ｔ−ブチル−ｍ−クレゾール）等が挙げられる。中でも、感度と経時安定性の両立の点で、下記化学式（Ｉ）で表される熱重合禁止剤が最も好ましい。下記化学式（Ｉ）中、Ｒ１は水酸基またはアルコキシ基を、Ｒ２はＣｎＨ２ｎ＋１（ただし、ｎ＝０〜４）をそれぞれ示す。
【００４４】
【化１】
2012118443.tif 000003
【００４５】
また、本発明に係る着色感光性組成物には、添加剤としては、例えば、界面活性剤、貯蔵安定剤、又はそれらの混合物を使用することができる。
【００４６】
界面活性剤としては、例えば、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステアリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、及びポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、及びポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤、アルキル４級アンモニウム塩及びそのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン及びアルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、シリコン系界面活性剤、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００４７】
貯蔵安定剤としては、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸及びシュウ酸などの有機酸、そのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィン及びトリフェニルホスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩、又はそれらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明について実施例により具体的に説明する。なお、実施例においては、前記着色感光性組成物として、緑色感光性組成物を例として説明する。
【００４９】
《実施例１》
下記組成の混合物を均一に攪拌した後、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色顔料分散体（１）を調製した。
緑色顔料：Ｃ．I．Ｐｉｇｍｅｎｎｔ  Ｇｒｅｅｎ５８      ・・・  １６重量部
黄色顔料：Ｃ．I．Ｐｉｇｍｅｎｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０  ・・・    ８重量部
分散剤  ：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６３                   ・・・    ２重量部
（ビックケミー社製）
ポリマー：アクリルワニス                               ・・・１０２重量部
（固形分２０質量％）
【００５０】
その後、上記緑色顔料分散体（１）に下記材料を加え、均一になるように攪拌混合した後、０．４５μｍのフィルタで濾過して緑色感光性組成物（１）を得た。
緑色顔料分散体（１）：                                  ・・・・７４重量部
モノマー           ：                                  ・・・・・２重量部
（東亞合成社製：アロニクスＭ３５０、  Ｍ１とする）
（東亞合成社製：アロニクスＭ４０２、  Ｍ２とする）
光開始剤           ：                                  ・・１．３５重量部
（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製：ＯＸＥ−０１、  I1とする）
（チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製：ＯＸＥ−０２、  I２とする）
重合禁止剤         ：メチルハイドロキノン              ・・・・２重量部
（１％シクロヘキサノン溶液）
溶剤               ：ＰＧＭＡｃ                        ・・・１９重量部
【００５１】
上記緑色感光性組成物（１）、着色剤、モノマー、重合禁止剤を用いて、表１に示す配合比以外は実施例１と同じ方法で、＜実施例２〜１２＞及び＜比較例１〜４＞を実施してそれぞれの緑色感光性組成物を調整した。
【００５２】
【表１】
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【００５３】
次に、＜実施例１〜１２＞及び＜比較例１〜４＞で得られたそれぞれの緑色感光性組成物を用いて、６インチシリコンウエハ上に、以下の方法で塗布、マスク露光、現像を行い緑色パターンを形成し、解像性（形状）、露光感度及び密着性を評価した。その結果を表１に記載した。
【００５４】
＜緑色パターンの形成＞
６インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液をスピンコートで塗布し、１００℃のホットプレートで１分間加熱し、その後２３０℃で６分間加熱処理し０．１μｍの平坦化膜を形成した。上記で得られた緑色の感光性組成物を平坦化膜付シリコンウエハ上に塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで１分間加熱した。次に、ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．６μｍ、露光量５０００Ｊ／ｍ２で露光を行った。露光後の塗膜を有機アルカリ現像液（ＡＤＥＫＡ製ＯＤ−２６０Ｃ）で１分間現像し、その後１分間水洗し、スピン乾燥で乾燥させた。得られた緑色着色パターンを２３０℃で４分間熱処理を行い緑色パターンを得た。形成した緑色パターンをＡＦＭで測定したところ膜厚は０．８５μｍであった。
【００５５】
＜解像性（形状）＞
形成した緑色パターンをＳＥＭ（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製ｅＣＤ２−ＸＰ）で観察し評価した。形成した緑色パターン部のテーパー長さ（上底線幅と下底線幅の差）が０．３μｍ以下の場合は○、０．３μｍ以上の場合は×とした。
【００５６】
＜露光感度＞
ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．６μｍ、露光量１０００以上１００００Ｊ／ｍ２以下の範囲で１０００Ｊ／ｍ２間隔で露光し、現像水洗、２３０℃で４分の焼成後の上底線幅が１．１μｍになる露光量を適正感度とし、適正感度が５０００Ｊ／ｍ２以下の場合に○、５０００Ｊ／ｍ２より大きい場合は×とした。
【００５７】
＜密着性＞
ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．６μｍ、露光量１０００以上１００００Ｊ／ｍ２以下の範囲で１０００Ｊ／ｍ２間隔で露光し、現像水洗後に露光量３０００Ｊ／ｍ２以上でパターンが残存している場合○、パターンが残存していない場合は×とした。
【００５８】
＜比較結果＞
上記実施例１〜１２の実施例品は、解像性（形状）、露光感度及び密着性において、比較例１〜４の比較例品に比べて、いずれも良好な結果を示した。
【符号の説明】
【００５９】
１・・固体撮像装置、２・・半導体チップ、３・・平坦化層、４・・カラーフィルタ、５・・マイクロレンズアレイ、２１・・光電変換素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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