(57)【要約】【課題】本発明は収納用トレー、これを利用した検査装置及び検査方法に関する。【解決手段】本発明の一側面は、電源の印加時に光を発する複数の光源が収納されるトレーと、上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれから出力される光を受信する複数の光受信ユニットと、上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれに電源を印加する複数のプローブユニットと、上記複数のプローブユニットに印加される電源を選択的に制御する電源制御ユニットと、上記光受信ユニットから受信された光信号の特性を分析する光特性分析ユニットを含む検査装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源の印加時に光を発する複数の光源が収納されるトレーと、
上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれから出力される光を受信する複数の光受信ユニットと、
上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれに電源を印加する複数のプローブユニットと、
上記複数のプローブユニットに印加される電源を選択的に制御する電源制御ユニットと、
上記光受信ユニットから受信された光信号の特性を分析する光特性分析ユニットと
を含む検査装置。
【請求項２】
上記電源制御ユニットは、上記複数の光源のそれぞれに異なるタイミングに電源が印加されるように制御することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
上記光特性分析ユニットは、上記光が受信されるタイミングを通じて上記光と対応する光源を区別して認識することを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
同じ光源に対応する上記プローブユニットと上記光受信ユニットとは、一体に結合されたことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
上記光特性分析ユニットで検査された結果により、上記複数の光源を区別して分類する分類ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
上記光受信ユニットで受信した光を収集して前記光特性分析ユニットに誘導する積分球を含むことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
上記光受信ユニットで受信した光は光ファイバーを通じて上記積分球に誘導されることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
上記光受信ユニットは、上記光源の上面のうち少なくとも一部領域に接触し、上記光源から放出される光を上部方向に反射する反射部と、上記反射部から反射された光を誘導する光ファイバー部を含むことを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
上記反射部は光ファイバーで形成され、上記光ファイバー部と一体に形成されることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
上記プローブユニットは、収納されている対応する上記光源と接触して電源を印加することを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１１】
上記トレーは、収納されている上記光源と電気的に連結される伝導性連結部を含むことを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１２】
上記プローブユニットは、上記伝導性連結部と接触して電源を印加することを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
上記トレーは、収納されている上記光源が装着される領域の少なくとも一部を厚さ方向に貫通する貫通ホールを含むことを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１４】
上記プローブユニットは、上記貫通ホールを通じて上記光源と接触して電源を印加することを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
上記光源は、ＬＥＤパッケージであることを特徴とする請求項１から１４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１６】
上記光源は、ＬＥＤパッケージが回路基板に実装されたＬＥＤパッケージモジュールであることを特徴とする請求項１から１４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１７】
複数の光源をトレーに収納する段階と、
上記光源と対応するように整列されたプローブユニットを上記光源と電気的に連結させる段階と、
上記プローブユニットを通じて上記光源に電源を印加する段階と、
上記光源と対応するように整列された光受信ユニットを通じて、動作する光源から光信号を受信する段階と、
上記受信された光信号の特性を分析する光特性分析段階と
を含む光源検査方法。
【請求項１８】
上記光特性分析段階で検査された結果により、上記複数の光源を区別して分類する分類段階をさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の光源検査方法。
【請求項１９】
上記光源に電源を印加する段階は、上記複数の光源のそれぞれに、異なるタイミングで電源が印加されるように制御することを特徴とする請求項１７または１８に記載の光源検査方法。
【請求項２０】
上記複数の光源のそれぞれに電源が印加されるタイミングは順次、かつ連続的であることを特徴とする請求項１９に記載の光源検査方法。
【請求項２１】
上記光信号を受信する段階は、上記光信号が受信されるタイミングを通じて上記光と対応する光源を区別して認識することを特徴とする請求項１７から２０の何れか１項に記載の光源検査方法。
【請求項２２】
トレー本体と、
上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容される収納部と、
上記収納部の一部領域に上記トレー本体を厚さ方向に貫通するように形成され、上記半導体パッケージの少なくとも一部を上記トレー本体の他面方向に露出させる貫通ホールと
を含む収納用トレー。
【請求項２３】
上記半導体パッケージはソルダーボールを含み、上記ソルダーボールの少なくとも一部が上記トレー本体の内部に挿入されるように貫通ホールが形成されたことを特徴とする請求項２２に記載の収納用トレー。
【請求項２４】
トレー本体と、
上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容され、上記半導体パッケージが装着される底面と、上記底面から延長された側面を含む収納部と、
上記側面と上記底面の間を連結し、上記半導体パッケージが置かれて固定されるように上記底面側へ向かうほど幅が狭くなる傾斜面と
を含む収納用トレー。
【請求項２５】
トレー本体と、
上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容される収納部と、
上記収納部内に備えられ、半導体パッケージの表面を真空吸着して固定する固定手段と
を含む収納用トレー。
【請求項２６】
トレー本体と、
上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容される収納部と、
上記収納部上に備えられ、上記半導体パッケージを上記トレーの本体方向に押して固定する固定手段と
を含む収納用トレー。
【請求項２７】
上記固定手段は、上記半導体パッケージと接触する部分に衝撃吸収層が形成されたことを特徴とする請求項２６に記載の収納用トレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は収納用トレー、これを利用した検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体パッケージ特性の検査方法は、トレー上に配置されている個別半導体パッケージを検査ソケットに移して検査を行った後、品質等級別に、再びトレーに移す過程で行われる。従って、高価の検査ソケットを各半導体パッケージ毎に別途に備えなければならず、検査のためにはトレー上に置かれた半導体パッケージを検査ソケットに移す非生産的な段階が必要であった。
【０００３】
また、ＬＥＤパッケージの検査の場合、単一の積分球を配置し、その下部に光源を１つずつ位置させ、測定装置である積分球とＬＥＤパッケージの整列及び積分球またはＬＥＤパッケージが垂直移動することで積分球とＬＥＤパッケージを締結して測定を行う。このような機械的動作が個別ＬＥＤパッケージ毎に行われるため、測定に多くの時間がかかる。
【０００４】
従って、大量生産に効率的に対応するためには従来技術の問題点である測定装備の低生産性を克服し、単位時間当りの測定遂行能力を向上させることができる収納トレーの設計方案、検査装置及び検査方法が要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、収納用トレー上で直接、被検査対象を検査することができるトレー及び、上記収納用トレーを利用して単位時間当りの検査遂行能力を向上させることができる検査装置及び検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記技術的課題を実現するため、本発明の一側面は、電源の印加時に光を発する複数の光源が収納されるトレーと、上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれから出力される光を受信する複数の光受信ユニットと、上記複数の光源と対応するように配列され、上記複数の光源のそれぞれに電源を印加する複数のプローブユニットと、上記複数のプローブユニットに印加される電源を選択的に制御する電源制御ユニットと、上記光受信ユニットから受信した光信号の特性を分析する光特性分析ユニットを含む検査装置を提供する。
【０００７】
本発明の一実施例における上記電源制御ユニットは、上記複数の光源のそれぞれに異なるタイミングの電源が印加されるように制御することができる。
【０００８】
本発明の一実施例における上記光特性分析ユニットは、上記光が受信されるタイミングによって該当光源を区別して認識することができる。
【０００９】
本発明の一実施例における上記プローブユニットと上記光受信ユニットは、一体に結合されることができる。
【００１０】
本発明の一実施例における上記光特性分析ユニットで検査された結果により上記複数の光源を区別して収納する分類ユニットをさらに含むことができる。
【００１１】
本発明の一実施例において、上記光受信ユニットで受信した光を収集して光特性分析ユニットに誘導する積分球を含むことができる。
【００１２】
この場合、上記光受信ユニットで受信した光は光ファイバーを通じて上記積分球に誘導されることができる。
【００１３】
本発明の一実施例における上記光受信ユニットは、上記光源の上面のうち少なくとも一部領域に接触し、上記光源路から放出される光を上部方向に反射する反射部と、上記反射部から反射された光を誘導する光ファイバー部を含むことができる。
【００１４】
この場合、上記反射部は光ファイバーで形成され、上記光ファイバー部と一体に形成されることができる。
【００１５】
本発明の一実施例における上記プローブユニットは、収納された上記光源と接触して電源を印加することができる。
【００１６】
本発明の一実施例における上記トレーは、収納された上記光源と電気的に連結される伝導性連結部を含むことができる。
【００１７】
この場合、上記プローブユニットは上記伝導性連結部と接触して電源を印加することができる。
【００１８】
本発明の一実施例における上記トレーは、収納された上記ＬＥＤパッケージが装着される領域の少なくとも一部を厚さ方向に貫通する貫通ホールを含むことができる。
【００１９】
この場合、上記プローブユニットは上記貫通ホールを通じて上記光源と接触して電源を印加することができる。
【００２０】
本発明の一実施例における上記光源はＬＥＤパッケージであることができる。
【００２１】
本発明の一実施例における上記光源はＬＥＤパッケージが回路基板に実装されたＬＥＤパッケージモジュールであることができる。
【００２２】
本発明の他の側面は、少なくとも１つの光源をトレーに収納する段階と、上記光源と対応するように整列されたプローブユニットを上記光源と電気的に連結させる段階と、上記プローブユニットを通じて上記光源に電源を印加する段階と、上記光源と対応するように整列された光受信ユニットを通じて動作する光源路から光信号を受信する段階と、上記受信された光信号の特性を分析する光特性分析段階を含む光源検査方法を提供する。
【００２３】
本発明の一実施例において、上記光特性分析ユニットで検査された結果により、上記複数の光源を区別して収納する分類段階をさらに含むことができる。
【００２４】
本発明の一実施例における上記光源に電源を印加する段階は、上記複数の光源のそれぞれに、異なるタイミングで電源を印加させることができる。
【００２５】
この場合、上記複数の光源のそれぞれに電源が印加されるタイミングは順次、かつ連続的であることができる。
【００２６】
本発明の一実施例における上記光信号を受信する段階は、上記光信号が受信されるタイミングによって該当光源を区別して認識することができる。
【００２７】
本発明のさらに他の側面は、トレー本体と、上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容される収納部と、上記収納部の一部領域に上記トレー本体を厚さ方向に貫通するように形成され、上記半導体パッケージの少なくとも一部を上記トレー本体の他面方向に露出させる貫通ホールを含む収納用トレーを提供する。
【００２８】
本発明の一実施例における上記半導体パッケージはソルダーボールを含み、上記ソルダーボールの少なくとも一部が上記トレー本体の内部に挿入されるように貫通ホールが形成されることができる。
【００２９】
本発明のさらに他の側面は、トレー本体と、上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容され、上記半導体パッケージが装着される底面と上記底面から延長した側面とを含む収納部と、上記側面と上記底面の間を連結して上記半導体パッケージが置かれて固定されるように幅が下方へ向かうほど狭くなる傾斜面を含む収納用トレーを提供する。
【００３０】
本発明のさらに他の側面は、トレー本体と、上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容され、上記半導体パッケージが装着される底面と上記底面から延長した側面とを含む収納部と、上記収納部内に備えられ、半導体パッケージの表面を真空吸着して固定する固定手段を含む収納用トレーを提供する。
【００３１】
本発明のさらに他の側面は、トレー本体と、上記トレー本体の一面が内側に凹み、少なくとも１つの半導体パッケージが収容され、上記半導体パッケージが装着される底面と、上記底面から延長した側面を含む収納部と、上記収納部上に備えられ、上記半導体パッケージを上記トレーの本体方向に押して固定する固定手段を含む収納用トレーを提供する。
【００３２】
本発明の一実施例における上記固定手段は、上記半導体パッケージと接触する部分に衝撃吸収層が形成されることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明で提案する収納用トレー、これを利用した検査装置及び検査方法を使用すると、収納用トレー上で検査を行い、単位時間当りの検査遂行能力が向上するという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態による検査装置を概略的に示したブロック図である。
【図２】本発明による検査装置のうち、プローブユニット及びトレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。
【図３】本発明による検査装置のうち、プローブユニット及びトレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。
【図４】本発明による検査装置のうち、プローブユニット及びトレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。
【図５】本発明による検査装置のうち、プローブユニット及びトレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。
【図６】本発明による検査装置のうち、プローブユニット及びトレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。
【図７】本発明で提案した光受信ユニットの構成のうち、光源から発生する光を受信する光受信ユニットの構造を概略的に示した断面図である。
【図８】本発明で提案した光受信ユニットの構成のうち、光源から発生する光を受信する光受信ユニットの構造を概略的に示した断面図である。
【図９】本発明で提案した検査装置の構成のうち、光受信ユニットで受信した光信号が光特性分析ユニットに誘導される過程を概略的に示したブロック図である。
【図１０】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【図１１】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【図１２】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【図１３】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【図１４】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【図１５】本発明で提案した収納用トレーの構造を概略的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は当該技術分野で平均的な知識を有する者に、本発明をより完全に説明するために提供されるものである。従って、図面における要素の形状及び大きさなどは明確な説明のために誇張されることがあり、図面上に同じ符号で示す要素は同じ要素である。
【００３６】
図１は、本発明の一実施形態による検査装置を概略的に示したブロック図である。
【００３７】
図１を参照すると、本実施形態で提供される検査装置は、複数の光源１１が収納されるトレー１３、上記複数の光源１１と対応するように配列され、上記複数の光源１１のそれぞれの光信号を受信する複数の光受信ユニット１５、上記複数の光源１１と対応するように配列され、上記複数の光源１１のそれぞれに電源を印加する複数のプローブユニット１４、上記プローブユニット１４に入力される電源を制御する電源制御ユニット１８、上記光受信ユニット１５から受信された光信号の特性を分析する光特性分析ユニット１９を含む形態で提供されることができる。
【００３８】
また、図示しなかったが、上記光特性分析ユニット１９で得られた結果により、上記複数の光源を区別して分類する分類ユニットをさらに含むこともできる。分類ユニットは、光信号の特性に基づいて分類した光源のグループを、トレーに再収納してもよく、また、光信号の特性に応じたマークを光源に付してもよい。また、光源１１に印加される電圧または電流のレベルを光受信ユニット１５から受信された光信号のレベルと比較して、被検査対象光源１１の電気的特性を検査することができる別途の構成を含む形態で提供されることもできる。
【００３９】
また、本実施例で提案するトレー１３は、移送用としても使用可能な形態で提供される。即ち、光源１１はトレー１３に収納されて運搬され、検査過程になって別途のソケットなどに移されることなく、収納された状態で検査を行うことができるように提供されることができる。
【００４０】
また、上記光源１１は発光ダイオード（ＬＥＤ）パッケージであることが好ましい。
【００４１】
以下では上述した本発明の一実施形態による検査装置を構成する各構成要素について図面を参照し詳しく説明する。
【００４２】
図１を参照すると、上記プローブユニット１４及び光受信ユニット１５は、それぞれの光源１１毎に対応するように配列されており、１つのトレー１３に収納される複数の光源と１対１に対応する形態で提供されることが好ましい。これにより、従来の検査装置のように、複数の光源１１毎に電源の印加及び光信号の受信のためにプローブユニット１４及び光受信ユニット１５を順に移動させ、再配列する過程を省略することができるため、生産効率が増大する効果を奏することができる。即ち、上記プローブユニット１４及び光受信ユニット１５を複数個備え、プローブユニット１４、光受信ユニット１５及び光源１１の物理的移動を最大限減らすか、好ましくは移動過程を除去して電源及び光信号の伝達経路のみを制御することで、複数の光源１１を速い速度で検査することが可能となる。上記信号伝逹経路を制御する詳細な構成は後述する。
【００４３】
しかし、本発明は光源１１の数と正確に一致する光受信ユニット１５を備える構成に限定されず、光源１１より多い数の光受信ユニット１５が備えられた検査装置で構成したり、または光源１１の数より少ない複数の光受信ユニット１５を備え、光源１１をグループに分けて検査を行う形態で提供されることができる。但し、上記トレー１３に収納可能な光源１１の数と一致する数の光受信ユニット１５を備えることが好ましい。
【００４４】
上記電源制御ユニット１８は、上述のようにプローブユニット１４に入力される電源を制御する機能を行う。これにより、１つの光特性分析ユニット１９で複数の光源１１の検査を同時に行うことができる。具体的には、上記電源制御ユニット１８は複数の光源１１に複数の電源を印加することができるが、これは同時に行われず、時間差を置いて行われることができる。即ち、一定のタイミングにはそれに該当する１つの光源１１に電源を印加させ、他のタイミングにはそれに該当する他の１つの光源１１に電源を印加させて全光源１１に順に電源が印加されるように構成されることができる。この場合、光源１１と電源が印加されるタイミングの対応関係は、例えば、上記複数の光源１１が収納された上記トレー上の一定位置と対応することができる。
【００４５】
このように時間差を置いた電源の印加により、上記光源１１のそれぞれは一定の時差を置いて順に動作することができる。従って、これによる光信号も一定の時差を置いて受信されることができる。このとき、上記光信号ユニット１５により受信した光信号は上記光特性分析ユニット１９でその特性を検査することができ、受信された光信号が上記複数の光源１１のうちいずれの光源から出力されたものか（または、光源と電源が印加されるタイミングの対応関係が上記複数の光源１１が収納された上記トレー上の一定の位置と対応する場合、上記トレーの何れかの位置に収納されたものか）を光信号が受信されたタイミングで認知することができる。
【００４６】
即ち、このような構成は、上記複数の光源１１の検査を行うにおいて、光特性分析ユニット１９に光信号を伝達する経路は単一に維持し、各光源１１に該当する信号を時差を置いて伝達させて区分すると要約することができる。これにより、上記光特性分析ユニット１９は上記複数の光源１１を同時に並列的に検査する必要がなく、従来の検査装置と同様に受信される光信号を１つずつ検査すればよい。
【００４７】
図２から図６は、本発明の一実施形態による検査装置のうち、トレーの構成に対する様々な実施形態を概略的に示した断面図である。特に、本実施例では、トレーに光源が装着されるように内側に凹んで形成された収納部を含む形態で提供されるが、これに限定されず、光源を収納することができる様々な形態の収納部を採用することができる。
【００４８】
図２を参照すると、本実施例では、トレー２３及びプローブユニット２４が最も簡単な形態で構成された形態を示す。即ち、トレー２３に光源２１が収納され、上記光源２１のリードフレーム２２にプローブユニット２４が直接接触して電気的に連結される構成で提供される。この場合には、トレー２３上に、電気導通のための別途の回路構成等を必要としないため、トレー２３の製作が容易で、費用が節減されるという長所がある。
【００４９】
図３を参照すると、本実施形態によるトレー３３には、収納された上記光源３１のリードフレーム３２と電気的に連結され、その一端が上記収納部の外部まで延長される伝導性連結部３５を有する形態で提供される。
【００５０】
このように伝導性連結部３５を形成することで、光源３１及びリードフレーム３２が様々な形態を有する場合でも、容易に光源３１とプローブユニット３４間の電気的連結を保障することができ、また、プローブユニット３４が光源３１と直接接触して物理的損傷や変形を齎すことを防止することができる。
【００５１】
また、上記伝導性連結部３５は、単にプローブユニット３４が接触する空間を拡張する機能だけではなく、上記トレー３３上に収納された複数の光源３１を電気的に連結する役割を行うことができる。例えば、同列に収納された光源３１の間に共通する伝導性連結部３５を利用して直列、あるいは並列連結を構成し、１つのプローブユニット３４で複数の光源３１に同時に電源を印加する形態も可能である。
【００５２】
図４を参照すると、本実施形態による上記トレー４３は収納された上記光源４１のリードフレーム４２が装着される領域を厚さ方向に貫通する貫通ホール４５を含む形態で提供される。これにより、プローブユニット４４がトレー４３の上面ではない下面で接触するようになるため、トレー４３の上面側の空間確保が容易であるという長所がある。
【００５３】
図５は、本実施形態による上記光源の代わりに複数の光源５１が装着された回路基板５２を含む光源モジュールが実装された構成であることを除き、上記図２に示した構成と同様である。本実施形態の場合は、プローブユニット５４と回路基板５２に形成された電極が接触する構成で提供される。この場合、上記回路基板は印刷回路基板（ＰＣＢ）で提供されることが好ましい。また、本実施形態は、光源が１つの回路基板に複数個実装される形態で提供されたが、１つの光源を実装しＣｈｉｐ−Ｏｎ−Ｂｏａｒｄの形態でも構成することができ、該当技術分野で通常の知識を有する者であれば、容易に実施できる。
【００５４】
図６を参照すると、本実施形態による光受信ユニット６５とプローブユニット６４が結合し、プローブユニット６４が光源のリードフレーム６２と整列されて接触できるとともに、光受信ユニット６５も光源６１と整列されて光信号及び光信号を受信する形態で提供されることができる。これにより、光受信ユニット６５とプローブユニット６４を光源と接触させてから分離させる駆動部をそれぞれ設ける必要がない。
【００５５】
図７から図８は、本実施形態による検査装置の構成うち、光源７１、８１から発生する光を受信する光受信ユニットの構造を概略的に示す。
【００５６】
図７を参照すると、本実施形態による光受信ユニットは光源７１の上面うち少なくとも一部領域に接触し、側方向に放出される光Ｌが上部方向に反射されるように反射層が形成された反射部７３及び上記反射部７３で集光された光が全反射により光受信ユニットの外部に誘導する光ファイバー部７４を含む構成で提供されることができる。
【００５７】
また、図８を参照すると、光受信ユニットのさらに他の実施形態として、光ファイバー部８４が延長されて上記光源８１と接触する構成で提供されることができる。
【００５８】
これにより、上記光源７１、８１から放出される光を光受信ユニットの内部で損失することを防止し、光ファイバーを通じて光特性分析ユニットに円滑に伝達することができる。
【００５９】
図９は本発明で提案した検査装置の構成のうち、光受信ユニット９５で受信した光信号が光特性分析ユニット９９に誘導される過程を概略的に示したブロック図である。
【００６０】
図９を参照すると、トレー９３に収納された複数の光源９１から放出された光は、上記複数の光源９１と対応するように配置された複数の光受信ユニット９５で光信号として受信する。これは上述のように光ファイバーを通じて積分球９７に誘導される構成で提供されることができる。上記積分球９７は特定方向から放出される光を内部の球面全体に均一に広がるようにし、その一部領域の光束を検出することで、光源全体の光束が分かるようにする装置であり、該当技術分野で通常の知識を有する者であれば、積分球の機能及び本発明における構成について容易に理解し実施できる。
【００６１】
特に、上記積分球９７は複数の光受信ユニット９５から複数の光信号が誘導される構造で提供されることができる。即ち、それぞれの光源９１毎に積分球を備えることなく、上述のように、受信された光信号が上記複数の光源９１のうちどの光源から出力されたものであるかを、光信号が受信されたタイミングによって認知する構成を利用することで、上記光源９１より少ない数、好ましくは１つのトレー９３に１つの積分球９７を備え、構成を単純化することができる。
【００６２】
また、この場合、上記積分球９７、複数の光受信ユニット９５及び光特性分析ユニット９９間の連結は全て光ファイバー９６で行われることが好ましい。これにより、光が誘導される過程で発生する光損失を最小化し、より精密な光特性検査が可能である。
【００６３】
以下では、上述のような検査装置を利用した検査方法について説明する。
【００６４】
図１を参照して説明すると、本実施形態で提供される光源検査方法は、少なくとも１つの光源１１をトレー１３に収納する段階と、上記光源１１と対応するように整列されたプローブユニット１４を上記光源１１と電気的に連結させる段階と、上記プローブユニット１４を通じて上記光源１１に電源を印加する段階と、上記光源１１と対応するように整列された光受信ユニット１５を通じて光源１１から光信号を受信する段階と、上記受信された光信号の特性を分析する光特性分析段階を含む形態で提供されることができる。
【００６５】
この場合、本発明は光源１１の数と正確に一致する光受信ユニット１５を備える構成に限定されず、光源１１より多い数の光受信ユニット１５が備えられた検査装置を利用して検査するか、または光源１１の数より少ない複数の光受信ユニット１５を備え、光源１１をグループに分けて検査を行う形態で提供されることができる。
【００６６】
また、上記プローブユニット１４を上記光源１１と電気的に連結させる段階は、上述のようにプローブユニット１４と光受信ユニット１５が結合されて光源との結合／分離が同時に行われる形態で提供されることができる。
【００６７】
また、上記光源１１に電源を印加する段階は、上記複数の光源のそれぞれに、予め設定された規則に従って異なるタイミングで電源が印加されるように制御し、異なるタイミングで光信号を発生させるようにし、上記複数の光源１１のそれぞれに対する電源は、順次、且つ連続的に印加されることができる。このように電源の間に間隔のない連続的な信号を利用した検査を行うことで、上記複数の光源１１に対する単位時間当りの測定遂行能力を向上させることができる。
【００６８】
また、上記光特性分析段階は、上記光信号が受信されるタイミングを通じて該当光源１１を区別して認識し、上記認識された光源１１と光信号の分析結果を対応させることができるということは上述した。
【００６９】
また、図示しなかったが、上記光特性分析ユニット１９から得られた結果により、上記複数の光源１１を区別して収納する分類段階をさらに含むこともでき、また、光源１１に印加される電圧または電流のレベルを光受信ユニット１５から受信した光信号のレベルと比較して被検査対象光源１１の電気的特性を検査することができる別途の検査段階を含む形態で提供されることができる。
【００７０】
また、本実施例で提案するトレー１３は移送用としても使用可能な形態で提供される。即ち、光源１１はトレー１３に収納されて運搬され、検査過程になって別途のソケットなどに移されることなく、収納された状態のまま検査段階に入れるように提供されることができる。
【００７１】
図１０から図１５は、本発明の他の実施形態による半導体パッケージの検査のためのプローブユニット及び収納用トレーの構成を概略的に示した断面図である。
【００７２】
以下の実施例における構成は、上述の実施例で提示された検査装置にも利用することができる。また、上述の図２から図６と同様に、本実施例でも収納用トレーに半導体パッケージが装着されるように内側に凹んで形成された収納部を含む形態で提供されるが、これに限定されず、半導体パッケージを収納することができる多様な収納部の形態を採用することができる。
【００７３】
図１０を参照すると、本実施形態による半導体パッケージ１０１は複数のソルダーボール１０２が上面に配置され、下面が平らな形態で提供される。この場合、上記収納用トレー１０３はトレー本体に形成された収納部の底面が半導体パッケージと対応する幅を有して平らに形成され、上記半導体パッケージ１０１の下面と上記収納部の底面が密着する形態で提供されることができる。
【００７４】
また、上記収納部は上記半導体パッケージ１０１が収納される底面と、上記底面を取り囲む側面を含み、上記底面と上記側面が接する境界の少なくとも一部領域は上記底面方向に向かうほど上記収納部の幅が狭くなるように傾斜面１０５を形成し、この傾斜面は固定手段として提供される。これにより、上記収納部の側面より上記半導体パッケージ１０１の幅が狭くても、上記傾斜面１０５と上記半導体パッケージ１０１の下面の端が接触することで、堅固に収納されることができる。
【００７５】
図１１を参照すると、本実施形態による収納用トレー１１３はトレー本体及び上記トレー本体の下面に収納された半導体パッケージ１０１の中心に該当する領域に固定手段１１５を含む形態で提供される。上記半導体パッケージ１１１は一時的に収納されるものであって、固定または実装されるものではないため、外部の衝撃や振動によりその収納位置が間違って整列されることができる。このような場合、プローブユニット及び光受信ユニットなどの整列及び接触、受信等に問題が生じるため、上記収納用トレー１１３は、重力の他に、上記収納された半導体パッケージ１１１を固定させる固定手段１１５を備えることができる。
【００７６】
本実施形態では半導体パッケージ１１１の下面の空気を吸着し、固定手段１１５の内外部の空気圧差により半導体パッケージ１１１を固定する形態、すなわち真空吸着して固定する形態が例示されている。
【００７７】
図１２を参照すると、本実施形態による収納用トレー１２３はプローブユニット１２４が収納用トレーに形成された貫通ホール１２５を通じて下面から半導体パッケージ１２１と連結され、収納された半導体パッケージ１２１を上面で押止する固定手段１２６を含む形態で提供される。固定手段１２６が行う役割及び効果は上記図１１の固定手段１１５の役割と同一である。但し、固定方法が半導体パッケージ１２１を上記収納用トレー１２３の方向に押して固定させる点で差がある。
【００７８】
また、この場合、上記収納された半導体パッケージ１２１と接触する固定手段１２６の表面には緩衝装置が配置されることができる。例えば、固定手段の半導体パッケージと接触する部分に衝撃吸収層を形成するとよい。これにより、上記半導体パッケージ１２１の損傷を防止することができる。
【００７９】
図１３を参照すると、本実施形態による半導体パッケージ１３１は上面にソルダーボールを有する形態で提供され、プローブユニット１３４は半導体パッケージ１３１のソルダーボール１３２と対応して半導体パッケージの上面に配置され、上記プローブユニット１３４の端部は上記ソルダーボール１３２の大きさ及び形態と対応するように内側に凹んだ曲面を有することができる。
【００８０】
図１４を参照すると、本実施形態による収納用トレー１４３は収納された上記半導体パッケージ１４１のソルダーボール１４２に対応する領域を厚さ方向に貫通して貫通ホールを含み、上記貫通ホールは上記ソルダーボール１４２の大きさより広い幅で形成され、上記ソルダーボール１４２が上記貫通ホール内部に完全に挿入されるように提供される。これにより、上記半導体パッケージ１４１は別途の固定手段がなくても堅固に固定されることができる。
【００８１】
しかし、本発明はこのような実施形態に限定されず、図１５に示したように、上記貫通ホールがプローブユニット１５４が十分通過できる幅を有する場合であれば、例えば、上記ソルダーボール１５２の大きさより狭い幅で形成し、上記ソルダーボール１５２が上記貫通ホールの内部に一部のみ挿入されるように提供されることもできる。
【００８２】
本発明は上述した実施形態及び添付の図面により限定されず、添付の請求の範囲により限定される。従って、請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な形態の置換、変形及び変更が可能であるということは当技術分野の通常の知識を有する者には自明であり、これも添付の請求の範囲に記載された技術的思想に属する。
【符号の説明】
【００８３】
１１、２１、３１、４１、５１、６１、７１、８１、９１  光源
１０１、１１１、１２１、１３１、１４１、１５１  半導体パッケージ
２２、３２、４２、６２、７２、８２、１０２、１１２、１２２、１３２、１４２、１５２  リードフレーム
５２  回路基板
１３、２３、３３、４３、５３、６３、７３、８３、９３、１０３、１１３、１２３、１３３、１４３、１５３  トレー
１４、２４、３４、４４、５４、６４、７４、８４、１０４、１１４、１２４、１３４、１４４、１５４  プローブユニット
１５、６５、９５  光受信ユニット
１２５  貫通ホール
１０５、１１５、１２６  固定手段
９６  光ファイバー
９７  積分球
１８  電源制御ユニット
１９、９９  光特性分析ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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