(57)【要約】【課題】比較的安価な手段によって、搬送車と軌道の走行面が接触する部分から発生する塵埃によるクリーンルームの汚染を防止する。【解決手段】搬送車システム１は、走行面２３ａを有する軌道５と、軌道５に沿って走行する搬送車７とを備えている。搬送車７は、載置部３５と、走行輪４５および従動輪４７と、カバー５３と、ファンフィルタユニット５９とを備えている。走行輪４５および従動輪４７は、軌道５の走行面２３ａに接触する。カバー５３は、軌道５の走行面２３ａと、車輪４５とを覆うように配置されている。ファンフィルタユニット５９は、カバー５３に取り付けられ、カバー５３に覆われた下部空間５１の空気を清浄化して排出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行面を有する軌道と、
前記軌道に沿って走行する搬送車とを備えており、
前記搬送車は、
本体と、
前記本体に取り付けられ前記軌道の前記走行面に接触する車輪と、
前記軌道の前記走行面と、前記車輪とを覆うように配置されたカバーと、
前記カバーに取り付けられ、前記カバーに覆われた空間の空気を清浄化して排出する清浄装置とを有している、
搬送車システム。
【請求項２】
前記カバーは、前記軌道側に向かって側方に延びる延長部を有している、請求項1に記載の搬送車システム。
【請求項３】
前記カバーの前記延長部は、前記軌道の前記走行面の裏側に延びている、請求項２に記載の搬送車システム。
【請求項４】
前記軌道の前記走行面は上側を向いており、
前記清浄装置は、前記カバーの下部に取り付けられ、前記カバーに覆われた空間の空気を下方に排出する、請求項３に記載の搬送車システム。
【請求項５】
前記搬送車は、前記カバーに覆われた空間の走行方向後側を覆うフィルタをさらに有している、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車システム、特に、搬送車が軌道に沿って走行する有軌道搬送車システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で物品を搬送する無人搬送車において、搬送中の物品の汚染を防止するために物品を囲む筒状の部材を設けた構造が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１６８１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の無人搬送車は、ファンフィルタユニットをさらに有しており、それによりクリーンエアを筒状の部材内に供給できる。
【０００５】
一方、無人搬送車では、走行ローラおよびガイドローラが軌道の走行面およびガイド面に接触するので、その接触部分から塵埃が発生している。この塵埃によってクリーンルームが汚染されることを防止するために、例えば、軌道の周囲をカバーで囲み、カバーに、ファンフィルタユニットを設けた従来技術も知られている。
しかし、軌道の周囲にカバーを設けると、必要なカバーの量が多くなり、コスト面から好ましくない。
【０００６】
本発明の課題は、比較的安価な手段によって、搬送車と軌道の走行面が接触する部分から発生する塵埃によるクリーンルームの汚染を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
【０００８】
本発明の一見地に係る搬送車システムは、走行面を有する軌道と、軌道に沿って走行する搬送車とを備えている。搬送車は、本体と、車輪と、カバーと、清浄装置とを備えている。車輪は、本体に取り付けられ、軌道の走行面に接触する。カバーは、軌道の走行面と、車輪とを覆うように配置されている。清浄装置は、カバーに取り付けられ、カバーに覆われた空間の空気を清浄化して排出する。
このシステムでは、車輪と軌道の走行面が接触する部分から生じる塵埃は、搬送車のカバーに取り付けられた清浄装置によって除去される。したがって、比較的安価な手段を用いて、クリーンルームの清浄度を維持できる。
【０００９】
カバーは、軌道側に向かって側方に延びる延長部を有していてもよい。この場合、カバー内の塵埃がカバーの外方に漏れにくくなっている。その結果、クリーンルームの清浄度をより高くできる。
【００１０】
カバーの延長部は、軌道の走行面の裏側に延びてもよい。この場合、カバー内の塵埃がカバーの外方に漏れにくくなっている。その結果、クリーンルームの清浄度をより高くできる。
【００１１】
軌道の走行面は上側を向いており、清浄装置は、カバーの下部に取り付けられ、カバーに覆われた空間の空気を下方に排出してもよい。
この場合、塵埃は重力によって常に下方移動するので、清浄装置は塵埃を効率よく除去できる。また、清浄化された空気は下方に排出されるので、清浄化された空気がクリーンルーム内のダウンフローを乱すことがない。
【００１２】
搬送車は、カバーに覆われた空間の走行方向後側を覆うフィルタをさらに有してもよい。
この場合、カバーに覆われた空間内の空気は、搬送車が走行中に、フィルタを通ってカバーから排出される。つまり、フィルタによって、走行車輪と軌道の接触部分から生じる塵埃が搬送車の後方に排出されにくくなっている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る搬送車システムでは、比較的安価な手段によって、搬送車と軌道の走行面が接触する部分から発生する塵埃によるクリーンルームの汚染を減らせる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】搬送車システムの縦断面概略図。
【図２】搬送車と軌道の関係を示す平面図。
【図３】他の実施形態における搬送車と軌道の縦断面概略図。
【図４】さらに他の実施形態における搬送車と軌道の縦断面概略図。
【図５】さらに他の実施形態における搬送車と軌道の縦断面概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（１）有軌道台車システム
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る搬送車システム１は、例えば、カセットに露出して収納された大型のガラス基板等の物品Ｓを搬送するシステムである。搬送車システム１は、ダウンフローを吹き出す吹き出し口３を有するクリーンルーム内に配置される。搬送車システム１は、軌道５と、搬送車７と、を備えている。
【００１６】
軌道５は、図２に示すように、一方向に延びており、その上を搬送車７が走行可能になっている。軌道５は、天井９から吊り下げられている。具体的には、図１に示すように、天井９から吊り部材１１が延びており、吊り部材１１によって軌道支持フレーム１３が吊り下げられており、軌道５は軌道支持フレーム１３上に配置されている。軌道５のレイアウトは、例えば長円形のループ形状であり、軌道５に沿って図示しない処理装置が配置されている。搬送車７は、軌道５上を例えば一方向に走行して、物品Ｓを処理装置間で搬送する。
【００１７】
軌道５は、周囲から閉ざされた走行空間１５に配置されている。走行空間１５は、天井９と、底カバー１７と、一対の側方カバー１９とによって画定されており、搬送車７および軌道５を囲むように形成されている。底カバー１７は、軌道５の底部を覆うように水平方向に沿って配置されている。底カバー１７は、例えば、ステンレス鋼板製であり、軌道支持フレーム１３の上方に形成されている。側方カバー１９は、搬送車７および軌道５の側方を覆うように垂直に立って配置されている。側方カバー１９は、例えば、クリーンルーム用の壁パネルを用いており、吊り部材１１の外側で軌道５の両側方を覆うように左右一対配置されている。側方カバー１９は、天井９まで延びている。
【００１８】
吹き出し口３は走行空間１５に対応して設けられており、それにより天井９からのダウンフローＤＦが走行空間１５に導入される。吹き出し口３には、図２に示すように、ダウンフロー用ファンフィルタユニット２１が設けられている。ファンフィルタユニット２１は、天井９内の空気の塵埃を除去して、清浄な空気を走行空間１５に吹き出す。
【００１９】
軌道５は、図１に示すように、レール部材２３と、支持部材２５とから構成されている。レール部材２３は、一方向に延びる板状の部材である。レール部材２３は、走行面２３ａと、ガイド面２３ｂと、裏面２３ｃとを有している。走行面２３ａは、レール部材２３の上面である。ガイド面２３ｂは、レール部材２３の側面である。裏面２３ｃは、レール部材２３の下面である。支持部材２５は、レール部材２３の延びる方向に沿って連続して又は複数配置されている。支持部材２５は、軌道支持フレーム１３に固定されて、レール部材２３を下方から支持している。
【００２０】
底カバー１７には、グレーチングまたはパンチングメタルの形態で、排出口３１が設けられている。排出口３１は、吹き出し口３から導入されたダウンフローＤＦが走行空間１５から排出される通路である。排出口は、側方カバー１９に設けられていてもよい。
【００２１】
（２）搬送車
搬送車７は、図１に示すように、物品Ｓを載置可能な載置部３５と、軌道５を走行可能な走行部３７とを有している。載置部３５は矩形枠形状の部材である。載置部３５は、載置面３５ａを有している。載置面３５ａは、載置部３５の上面である。
【００２２】
走行部３７は、図２に示すように、支持部３９と、車輪４５とを有している。支持部３９は、載置部３５の下方に配置されている。車輪４５は、前後左右に並んで配置され、支持部３９によって支持されている。車輪４５を駆動するためのモータ等は図示されていない。さらに、走行部３７は、二対のガイドローラ４９を有している。ガイドローラ４９は、レール部材２３のガイド面２３ｂに当接している。
走行部３７の近傍には、非接触給電線（図示せず）からの電力を受けるピックアップユニット（図示せず）が取り付けられている。
【００２３】
この搬送車システム１では、搬送車７は、天井９と底カバー１７と側方カバー１９とで囲まれた走行空間１５を走行して物品Ｓを搬送する。この走行空間１５に吹き出し口３からダウンフローＤＦが導入される。導入されたダウンフローＤＦは、排出口３１から排出される。
【００２４】
ここでは、塵埃発生原因となる走行する搬送車７に対して天井９からダウンフローＤＦが当たるため、搬送車７上に露出して物品Ｓを配置しても物品に塵埃が付着しにくくなる。このため、クリーンルーム内で搬送される物品Ｓの汚染を可及的に防止できる。
【００２５】
（３）下部空間
走行部３７より具体的には支持部３９の下方には、下部空間５１が形成されている。下部空間５１は、レール部材２３の周囲、より具体的には、走行面２３ａおよびガイド面２３ｂを囲う空間である。下部空間５１は、カバー５３と載置部３５によって画定されている。
カバー５３は、一対の側壁５５と、一対の底壁５７とを有している。側壁５５は、支持部３９の両側部から下方に延びている。底壁５７は、側壁５５の下端から左右方向内側に延びている。側壁５５は、前後方向には載置部３５全体にわたって延びている。側壁５５は、上下方向には、車輪４５の下部、レール部材２３、ガイドローラ４９の側方に対応して延びている。その結果、側壁５５の下端の上下方向位置は、レール部材２３の裏面２３ｃの上下方向位置より低くなっている。底壁５７は、前後方向には、側壁５５全体にわたって延びている。底壁５７は、左右方向には、ガイドローラ４９およびレール部材２３の左右両側端部に対応して延びている。この実施形態では、底壁５７の左右方内側端部は、レール部材２３の真下に配置されている。なお、底壁５７は、軌道５側に向かって側方に延びる延長部であり、先端が支持部材２５に近接している。
【００２６】
底壁５７には、ファンフィルタユニット５９が設けられている。ファンフィルタユニット５９は、下部空間５１内の空気を吸引し、塵埃を除去して清浄な空気を外部に排出する。したがって、ファンフィルタユニット５９は、下部空間５１内で発生した塵埃を除去できる。
【００２７】
なお、底壁５７の左右内側端は、レール部材２３の左右外側端と上下方向に見た場合に重なる位置まで延びている。このため、底壁５７と載置部３５とで上下方向において重なり合う部分が形成される。このようにして、底壁５７と載置部３５により限定された空間が形成され、ファンフィルタユニット５９による吸引を助けて、塵埃のカバー５３外への流出を減少させることができる。
【００２８】
カバー５３は、下部空間５１の左右部分、つまりレール部材２３の左右方向外側部分の前後方向を覆う前後壁部材（図示せず）を有している。なお、前後壁部材は設けられていなくてもよい。
【００２９】
軌道５の近傍には、図示しない非接触給電線が配置されている。非接触給電線は、下部空間５１内に配置されている。
【００３０】
（４）有軌道台車システムの動作
このような構成の第１実施形態に係る搬送車システム１では、搬送車７が軌道５上を走行するとき、吹き出し口３からダウンフローＤＦが搬送車７上に吹き付けられ、それが排出口３１から排出される。これにより、物品Ｓに塵埃が付着しにくくなる。
しかも、搬送車７にカバー５３を設けたので、下部空間５１内の空気が載置部３５側に流れにくくなる。さらに、カバー５３にファンフィルタユニット５９を設けたので、搬送車７の下部で車輪４５と軌道５との接触により生じるおそれがある塵埃が除去され、さらに物品Ｓが汚染されにくくなる。
【００３１】
（５）特徴
上記実施形態の特徴は下記の通りである。
【００３２】
搬送車システム１は、走行面２３ａを有する軌道５と、軌道５に沿って走行する搬送車７とを備えている。搬送車７は、載置部３５と、車輪４５と、カバー５３と、ファンフィルタユニット５９とを備えている。車輪４５は、軌道５の走行面２３ａに接触する。カバー５３は、軌道５の走行面２３ａと、車輪４５とを覆うように配置されている。ファンフィルタユニット５９は、カバー５３に取り付けられ、カバー５３に覆われた下部空間５１の空気を清浄化して排出する。
このシステムでは、車輪４５と軌道５の走行面２３ａが接触する部分から生じる塵埃は、搬送車７のカバー５３に取り付けられたファンフィルタユニット５９によって除去される。したがって、比較的安価な手段を用いて、クリーンルームの清浄度を維持できる。
【００３３】
カバー５３は、軌道５側に向かって側方に延びる延長部としての底壁５７を有していてもよい。この場合、カバー５３内の塵埃がカバー５３の外方に漏れにくくなっている。その結果、クリーンルームの清浄度をより高くできる。
【００３４】
カバー５３は、軌道５の走行面２３ａの裏側に延びている。この場合、カバー５３内の塵埃がカバー５３の外方に漏れにくくなっている。その結果、クリーンルームの清浄度をより高くできる。
【００３５】
軌道５の走行面２３ａは上側を向いており、ファンフィルタユニット５９は、カバー５３の下部に取り付けられ、カバー５３に覆われた下部空間５１の空気を下方に排出している。
この場合、塵埃は重力によって常に下方に移動するので、ファンフィルタユニット５９は塵埃を効率よく除去できる。また、清浄化された空気は下方に排出されるので、清浄化された空気がクリーンルーム内のダウンフローを乱すことがない。
【００３６】
（６）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
【００３７】
（Ａ）前記実施形態ではカバーは走行レールの走行面の裏側にまで延びているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
例えば、図３ではレール部材１２７の側面１２７ｂが上下方向に直線状に延びており、カバー５３の底壁５７’はレール部材１２７の側面１２７ｂに近接する位置まで延びている。この場合も前記実施形態と同様の効果が得られる。なお、図３では、走行空間を構成するための底カバーおよび一対の側方カバーは実際には存在するが図示していない。
【００３８】
（Ｂ）前記実施形態ではカバーの底壁は水平方向に延びているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。カバーの底壁は他の形状であってもよいし、例えば走行レールの側面に対して斜めに接近するように延びていてもよい。
【００３９】
（Ｃ）前記実施形態ではファンフィルタユニットはカバーの底壁に設けられていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、カバーの側壁にファンフィルタユニットが設けられていてもよい。
【００４０】
（Ｄ）前記実施形態では走行レールは一枚の板状部材であるが、本発明はそのような実施形態に限定されない。走行レールは左右に分かれた一対のレールから構成されていてもよい。
【００４１】
（Ｅ）前記実施形態では搬送車軌道の上面に形成された軌道の上を走行しているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
例えば、図４に示すように、天井に固定された軌道に吊り下げられた形で走行する搬送車であってもよい。なお、図３では、走行空間を構成するための底カバーおよび一対の側方カバーは実際には存在するが図示していない。
軌道１０５は、図４に示すように、レール部材１２３と、支持部材１２５とから構成されている。レール部材１２３は、一方向に延びる板状の部材である。レール部材１２３は、走行面１２３ａと、ガイド面１２３ｂとを有している。走行面１２３ａは、レール部材１２３の上面である。ガイド面１２３ｂは、レール部材１２３の側面である。支持部材１２５は、レール部材１２３の延びる方向に沿って連続して又は複数配置されている。支持部材１２５は、天井から延びてレール部材１２３を吊り下げている。
【００４２】
搬送車１０７は、物品Ｓを保持可能な保持部１３５と、軌道１０５を走行可能な走行部１３７とを有している保持部１３５は、上面１３５ａを有している。
【００４３】
走行部１３７は、図４に示すように、支持部１３９と、車輪１４５とを有している。支持部１３９は、載置部１３５の上方に配置されている。車輪１４５は、前後左右に並んで配置され、支持部３９によって支持されている。車輪１４５は、レール部材１２３の走行面１２３ａに当接している。さらに、走行部１３７は、二対のガイドローラ１４９を有している。ガイドローラ１４９は、レール部材１２３のガイド面１２３ｂに当接している。
走行部１３７の近傍には、非接触給電線（図示せず）からの電力を受けるピックアップユニット（図示せず）が取り付けられている。
【００４４】
走行部１３７の上方には、周囲から隔離された上部空間１５１が形成されている。上部空間１５１は、レール部材１２３の周囲、より具体的には、走行面１２３ａおよびガイド面１２３ｂを囲う空間である。上部空間１５１は、保持部１３５の上面とカバー１５３によって画定されている。カバー１５３は、一対の側壁１５５と、一対の上壁１５７とを有している。側壁１５５は、保持部１３５の両側部から上方に延びている。一対の上壁１５７は、側壁１５５の上端から左右方向内側に延びている。側壁１５５は、前後方向には保持部１３５全体にわたって延びている。側壁１５５は、上下方向には、車輪１４５の上部、レール部材１２３、ガイドローラ１４９の側方に対応して延びている。上壁１５７は、前後方向には、側壁１５５全体にわたって延びている。上壁１５７は、左右方向には、ガイドローラ１４９およびレール部材１２３の左右両側端部（図４では、車輪１４５が配置された部分）に対応して延びている。この実施形態では、上壁１５７の左右方内側端部は、車輪１４５の真上に配置されている。なお、なお、上壁１５７は、軌道５側に向かって側方に延びる延長部であり、先端が支持部材１２５に近接している。
【００４５】
上壁１５７には、ファンフィルタユニット１５９が設けられている。ファンフィルタユニット１５９は、上部空間１５１内の空気を吸引し、塵埃を除去して清浄な空気を外部に排出する。したがって、ファンフィルタユニット１５９は、上部空間１５１内で発生した塵埃を除去できる。
【００４６】
カバー１５３は、上部空間１５１の左右部分、例えばレール部材１２３の左右方向外側部分の前後方向を覆う前後壁部材（図示せず）を有している。なお、前後壁部材は設けられていなくてもよい。
【００４７】
ファンフィルタユニットは、側壁１５５に設けられていてもよいし、保持部１３５の上部（上部空間１５１に接する部分）に設けられていてもよい。
【００４８】
（Ｆ）前記実施形態では、下部空間または上部空間の前後方向はカバーの前後壁部材（図示せず）によって覆われていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、カバーは、カバーに覆われた空間の走行方向後側を覆うフィルタをさらに有してもよい。
【００４９】
図５に示す実施形態では、カバー５３は、図１に示す搬送車において、下部空間５１の走行方向後側に配置されたフィルタ１６１を有している。
【００５０】
この場合、カバー５３に覆われた下部空間５１内の空気は、搬送車７が走行中に、ファンフィルタユニット５９によって下方に排出されるとともに、さらにフィルタ１６１を通ってカバー５３から排出される。つまり、フィルタ１６１によって、車輪４５と軌道５の走行面２３ａとが接触する部分から生じる塵埃が、搬送車７の後方に排出されにくい。
【００５１】
（Ｇ）前記実施形態では、吹き出し口３にダウンフロー用ファンフィルタユニット２１を配置した。しかし本発明はこれに限定されず、吹き出し口は、清浄なダウンフローＤＦを走行空間１５内に導入できればよく、ファンフィルタユニットを設けなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、搬送車が軌道に沿って走行する有軌道搬送車システムに広く適用できる。
【符号の説明】
【００５３】
１        搬送車システム
３        吹き出し口
５        軌道
７        搬送車
９        天井
１１      吊り部材
１３      軌道支持フレーム
１５      走行空間
１７      底カバー
１９      側方カバー
２１      ファンフィルタユニット
２３      レール部材
２３ａ    走行面
２３ｂ    ガイド面
２３ｃ    裏面
２５      支持部材
３１      排出口
３５      載置部（本体）
３５ａ    載置面
３７      走行部
３９      支持部
４５      車輪
４９      ガイドローラ
５１      下部空間（空間）
５３      カバー
５５      側壁
５７      底壁
５９      ファンフィルタユニット（清浄装置）
１０５    軌道
１０７    搬送車
１２３    レール部材
１２３ａ  走行面
１２３ｂ  ガイド面
１２５    支持部材
１２７    レール部材
１２７ｂ  側面
１３５    保持部
１３５ａ  上面
１３７    走行部
１３９    支持部
１４５    車輪
１４９    ガイドローラ
１５１    上部空間
１５３    カバー
１５５    側壁
１５７    上壁
１５９    ファンフィルタユニット
１６１    フィルタ
ＤＦ      ダウンフロー
Ｓ        物品
【図１】
2012035948.tif 000003
【図２】
2012035948.tif 000004
【図３】
2012035948.tif 000005
【図４】
2012035948.tif 000006
【図５】
2012035948.tif 000007