(57)【要約】      （修正有）【課題】流体流路内に挿入された弁体と流体流路を構成している部材との間のクリアランスを一定の状態とすることが容易な構成を備えたバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブ装置１は、流体流入路２４が形成されている底部２１、および、底部２１の外周縁から筒状に延びる胴部２２を備える第１流路構成部材２０を備える。第１流路構成部材２０の胴部２２の内側は流体流路２３となっており、ここには弁体５０が挿入されている。胴部２２の開放端に設けられた円環状のフランジ部の上端の内側部分には、胴部２２を補強するための環状の補強部材８０が取り付けられている。補強部材８０により胴部２２の円筒度を高めることができるので、胴部２２の内周面と胴部２２の内側に挿入された弁体５０の外周面との間のクリアランスを一定の状態にすることができる。【選択図】図３
2012077829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流体流通口が形成されている底部、および、前記底部の外周縁から筒状に延びる胴部を備え、前記胴部の内側が流体流路となっている流路構成部材と、
第２流体流通口を備える弁座面が形成されており、前記胴部の開放端に取り付けられている弁座と、
前記胴部の内側に前記弁座面に接近する方向および離れる方向に移動可能な状態で挿入されており、前記第２流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記胴部の開放端部分の内側には、前記胴部を補強するための環状の補強部材が取り付けられていることを特徴とするバルブ装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記弁体は、永久磁石を搭載しており、
前記胴部の外周面には、前記弁体を軸線方向に駆動するための駆動コイルが巻き回されていることを特徴とするバルブ装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記補強部材は、前記弁体に当接して当該弁体の移動範囲の前記弁座の側の端を規定するストッパとなっていることを特徴とするバルブ装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記弁座面および前記弁体の当該弁座面に当接する当接部分の少なくとも一方は弾性部材から形成されており、
前記弁体が前記弁座面に当接して前記第２流体流路を閉鎖する閉鎖位置は、前記弁体の移動範囲の前記弁座の側の端よりも前記底部の側に位置していることを特徴とするバルブ装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記補強部材は、周方向の一部分から前記底部の側に突出する突部を備えており、
前記突部が前記弁体に当接可能となっていることを特徴とするバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体流路内に配置した弁体を駆動して、流体流通口の開閉を行うバルブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動コイルが巻き回されている筒状の胴部を備えるボビンの内側に、軸線方向に移動可能な状態で永久磁石を搭載した弁体を挿入し、駆動コイルを励磁することによって弁体を駆動して、胴部の開放端の前方に設けられた流体流通口の開閉を行うバルブ装置は、特許文献１に記載されている。同文献では、胴部の開放端とは反対側の端は、後部（底部）によって封鎖状態とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−５３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように、底部および底部の外周縁から筒状に延びる胴部を備える部材の内側に弁体を配置する構成では、胴部の開放端の側が底部の側と比較して変形しやすいので、弁体の外周面と胴部の内周面との間のクリアランスを一定の状態に管理することが難しいという問題がある。ここで、底部に流体流入口或いは流体流出口を形成することにより、胴部の内側を流体流路として利用する場合には、胴部の内側に配置した弁体の外周面と胴部の内周面との間のクリアランスが一定になるように管理しておかなければ、流体が流れたときに弁体の挙動が不安定となり、弁体による流体流通口のシール性が低下する可能性がある。
【０００５】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、流体流路内に挿入された弁体と流体流路を構成している部材との間のクリアランスを一定の状態にすることが容易な構成を備えたバルブ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明のバルブ装置は、
第１流体流通口が形成されている底部、および、前記底部の外周縁から筒状に延びる胴部を備え、前記胴部の内側が流体流路となっている流路構成部材と、
第２流体流通口を備える弁座面が形成されており、前記胴部の開放端に取り付けられている弁座と、
前記胴部の内側に前記弁座面に接近する方向および離れる方向に移動可能な状態で挿入されており、前記第２流体流通口を開閉する弁体とを有し、
前記胴部の開放端部分の内側には、前記胴部を補強するための環状の補強部材が取り付けられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、胴部の開放端部分の内側に環状の補強部材が取り付けられているので、胴部の開放端の側の部位の変形を抑制することができる。また、補強部材を配置することによって、胴部の円筒度を高めることができるので、胴部の内周面と胴部の内側に挿入された弁体の外周面との間のクリアランスを一定の状態にすることが容易となる。この結果、弁体の外周面と胴部の内周面の間を流体が流れたときの弁体の挙動が安定するので、弁体によって流体流通口を確実に閉鎖できる。
【０００８】
本発明において、前記弁体は、永久磁石を搭載しており、前記胴部の外周面には、前記弁体を軸線方向に駆動するための駆動コイルが巻き回されていることが望ましい。このような構成では、胴部の外周面に巻き回した駆動コイルの締め付けによって胴部の変形が発生してしまうことがある。これに対して、本発明は補強部材を備えているので、駆動コイルの巻き回しに起因する変形を回避することができる。
【０００９】
本発明において、前記補強部材は、前記弁体に当接して当該弁体の移動範囲の前記弁座の側の端を規定するストッパとなっていることが望ましい。このようにすれば、部品点数を増加させることなく、弁体の移動範囲を規定するストッパを設けることができる。
【００１０】
本発明において、前記弁座面および前記弁体の当該弁座面に当接する当接部分の少なくとも一方は弾性部材から形成されており、前記弁体が前記弁座面に当接して前記第２流体流路を閉鎖する閉鎖位置は、前記弁体の移動範囲の前記弁座の側の端よりも前記底部の側に位置していることが望ましい。このようにすれば、弁体が閉鎖位置にある状態では、弁体は補強部材に当接しない。従って、閉鎖位置において弁体が弁座面に当接することにより形成される流体流通口の閉鎖状態が、弁体と補強部材の当接によって損なわれてしまうことがない。また、このようにすれば、弁体が衝撃などによって弁座面に衝突して弾性部材が著しく変形した状態となり、弁体の位置が閉鎖位置よりも弁座の側に達したときに、補強部材と弁体とを当接させて弁体を停止させることができるので、弁体の弾性部材の変形を弾性ひずみ内に抑えることができる。従って、弾性部材の破損を回避できる。
【００１１】
本発明において、前記補強部材は、周方向の一部分から前記底部の側に突出する突部を備えており、前記突部が前記弁体に当接可能となっていることが望ましい。このようにすれば、弁体を、補強部材の端面全体に当接させる場合と比較して、流体流路の流体流通口近傍の流路部分を広く確保できるので、流体流通口が開き状態となっている場合における流体の圧力損失を抑制できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、胴部の開放端部分の内側に環状の補強部材が取り付けられているので、胴部の開放端の側の部位の変形を抑制することができる。また、補強部材を配置することによって、胴部の円筒度を高めることができるので、胴部の内周面と胴部の内側に挿入された弁体の外周面との間のクリアランスを一定の状態にすることが容易となる。この結果、弁体の外周面と胴部の内周面の間を流体が流れたときの弁体の挙動が安定するので、弁体によって流体流通口を確実に閉鎖できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明を適用したバルブ装置の外観斜視図である。
【図２】本発明を適用したバルブ装置の分解斜視図である。
【図３】本発明を適用したバルブ装置の縦断面図である。
【図４】第１流路構成部材の斜視図、側面図、および縦断面図である。
【図５】第２流路構成部材を上方および下方から見た斜視図、並びに、縦断面図である。
【図６】弁座を上方および下方から見た斜視図、並びに、縦断面図である。
【図７】補強部材を上方および下方から見た斜視図、並びに、縦断面図である。
【図８】第１流路構成部材、弁座および第２流路構成部材の連結部分を拡大して示す部分断面図である。
【図９】弁体の縦断面図、並びに、弁体の上端部分および下端部分の部分断面図である。
【図１０】弁体が弁座面から離れている状態のバルブ装置の縦断面図である。
【図１１】弁体が弁座面に衝突した場合を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に図面を参照しながら、本発明を実施するための形態を説明する。
【００１５】
（全体構成）
図１は本発明を適用したバルブ装置の外観斜視図である。なお、以下の説明では、便宜上、バルブ装置の上下を図の上下に従って説明する。バルブ装置１は、円柱形状の胴部２と、軸線方向Ｌを胴部２から下方に同軸上に延びている流入管３と、軸線方向Ｌを胴部２から上方に同軸上に延びている流出管４を備えている。流入管３は胴部２よりも小径であり、その下端面には液体や気体などの流体が流入する流入口３ａが形成されている。流出管４は胴部２よりも小径であり、その上端面には流体が流出する流出口４ａが形成されている。胴部２の下端部分には一対の端子ピン５、６が径方向外側に向けて突出するように取り付けられた端子台７が設けられている。バルブ装置１は、下端の流入口３ａと上端の流出口４ａの間に構成されているバルブ装置内流路８を通過する流体の流れを制御する。
【００１６】
図２はバルブ装置１の分解斜視図である。図３（ａ）はバルブ装置１の縦断面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）と直交する平面で切断したバルブ装置１の縦断面図である。バルブ装置１は、胴部２の外壁を構成している磁性材料からなる円筒形状のケース１０を有している。ケース１０は、その内側に、流入管３、端子ピン５、６および端子台７を備える流入側流路構成部材（流路構成部材）２０と、流出管４を備える流出側流路構成部材４０を保持している。ケース１０の下端開口１１からは流入管３が突出しており、ケース１０の上端開口１２からは流出管４が突出している。ケース１０の下端部分には切欠部１３が形成されており、切欠部１３からは端子台７が軸線方向Ｌと直交する方向に突出している。
【００１７】
流入側流路構成部材２０は、流入管３および端子台７を備える底部２１と、この底部２１から円筒状に延びる胴部２２を備えている。胴部２２の内側は流体流路２３となっており、底部２１には、図３に示すように、流入管３を貫通して流入口３ａと流体流路２３とを連通させる流体流入路２４が形成されている。胴部２２の外周面には第１〜第４駆動コイル２５〜２８が軸線方向Ｌに並んで巻き回されている。ここで、ケース１０は、第１〜第４駆動コイル２５〜２８の外周側を覆うヨークとしても機能している。
【００１８】
胴部２２の内側、すなわち、流体流路２３には、軸線方向Ｌに移動可能な状態で弁体５０が挿入されている。弁体５０は、軸線方向Ｌに配列された第１〜第３永久磁石５１〜５３を搭載している。
【００１９】
流出側流路構成部材４０は、流入側流路構成部材２０の上端に同軸上に取り付けられている。流出側流路構成部材４０には、流出管４を貫通して延びる流体流出路４１が形成されている。
【００２０】
流入側流路構成部材２０と流出側流路構成部材４０との間には、これら２つの部材の間に挟まれた状態で弁座６０が固定されている。弁座６０には、流体流路２３と流体流出路４１を連通させるオリフィス６１と、弁体５０がオリフィス６１を閉じる際に、その当接面となる弁座面６２が形成されている。
【００２１】
弁座６０の外周側にはＯリング７０が配置されている。Ｏリング７０は流入側流路構成部材２０、流出側流路構成部材４０および弁座６０の全てに当接しており、流入口３ａから流体流入路２４に流入し、流体流路２３、オリフィス６１および流体流出路４１を介して流出口４ａに至るバルブ装置内流路８を流通する流体が漏れないようにシールしている。Ｏリング７０は、例えば、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）からなる。
【００２２】
流入側流路構成部材２０の胴部２２の上端の内側部分には、円環状の補強部材８０が配置されている。流入側流路構成部材２０の胴部２２の上端部分の外側には、半円弧形状をした一対の磁性板９０が、軸線方向Ｌと直交する径方向の外側から嵌め込まれている。
【００２３】
第１〜第４駆動コイル２５〜２８に電流を流すことにより、弁体５０は、軸線方向Ｌを上下方向に直動移動する。弁体５０が弁座面６２に当接してオリフィス６１を閉状態とすると、流入口３ａから流出口４ａへの流体の流れは停止する。弁体５０が弁座面６２から離れてオリフィス６１を開放状態とすると、流入口３ａから流出口４ａへ流体が流れる。図３に示す状態では、弁体５０は弁座面６２に当接してオリフィス６１を閉状態とする閉位置５０Ａにある。
【００２４】
（流入側流路構成部材）
図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ流入側流路構成部材２０の斜視図、側面図、および縦断面図である。流入側流路構成部材２０は、樹脂製であり、有機溶剤に強く、強度があるＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）で形成されている。流入側流路構成部材２０の胴部２２は、胴部２２の上端において外周側に拡径して上方に突出する円環状のフランジ部２９と、胴部２２の外周面に設けられている第１〜第４円環状突部３０〜３３を備えている。第４円環状突部３３の下側には底部２１が連続しており、底部２１には、第１〜第４駆動コイル２５〜２８のコイル線の端末部分を接続するための端子ピン５、６を固定している端子台７が設けられている。底部２１の下側部分は胴部２２よりも小径となっており、この下端部分は流入管３となっている。
【００２５】
フランジ部２９の上端部分の内側には、円環状段部２９１が設けられている。円環状段部２９１は、フランジ部２９の上端面２９ａに胴部２２の内径よりも大きな内径を備える円形凹部を胴部２２と同軸上に設けることによって形成されている。図８に示すように、円環状段部２９１には、補強部材８０が嵌め込まれる。フランジ部２９の外周側には内側に窪む円環状凹部２９２が形成されている。この円環状凹部２９２には、図２に示すように、一対の磁性板９０が径方向の外側から嵌め込まれる。
【００２６】
フランジ部２９の上端面２９ａには、上方の突出する円環状突部２９３が設けられている。図４（ａ）、（ｃ）に示すように、円環状突部２９３の先端面２９３ａの径方向の内側の縁部分および外側の縁部分には、面取りによるテーパー面２９３ｂ、２９３ｃが形成されている。円環状突部２９３は後述する流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４に挿入される。
【００２７】
第１〜第４円環状突部３０〜３３は、上端に位置する第１円環状突部３０とフランジ部２９の間、および、各円環状突部３０〜３３の間が等間隔となるように設けられている。第４円環状突部３３の下側には、第４円環状突部３３と連続するように端子台７が一体に設けられている。ここで、胴部２２はコイルボビンとして機能しており、フランジ部２９と第１円環状突部３０の間の区画、第１円環状突部３０と第２円環状突部３１の間の区画、第２円環状突部３１と第３円環状突部３２の間の区画、および、第３円環状突部３２と第４円環状突部３３の間の区画は、それぞれコイル線が巻回される第１〜第４コイル巻回部３４〜３７として利用される。すなわち、図３に示すように、これら第１〜第４コイル巻回部３４〜３７にコイル線が巻き回させることによって、胴部２２の外周面には第１〜第４駆動コイル２５〜２８が構成されている。第１〜第４駆動コイル２５〜２８は軸線方向Ｌで同じ幅に形成されているとともに、軸線方向Ｌで隣接する第１〜第４駆動コイル２５〜２８同士でコイル線の巻き回し方向が逆となっている。また、第１〜第４駆動コイル２５〜２８は、２本の端子ピン５、６に対して電気的に直列に接続されている。
【００２８】
第１〜第３円環状突部３０〜３２には、これら第１〜第３円環状突部３０〜３２を挟んで上下に隔てられている第１〜第４コイル巻回部３４〜３７を連通させる第１〜第３溝部３０１、３１１、３２１がそれぞれ形成されている。第１〜第３溝部３０１、３１１、３２１は、第１〜第３円環状突部３０〜３２のそれぞれにおいて１８０°離れた角度位置に２つ設けられている。また、一体に形成された第４円環状突部３３と端子台７には、第３円環状突部３２と第４円環状突部３３の間の第４コイル巻回部３５から軸線方向Ｌに延びて端子台７の中央部分を通過する第４溝部３３１が形成されている。また、端子台７の下端部分には、第４溝部３３１のよりも幅の広い第５溝部３３２が、第４溝部３３１と連続するように形成されている。
【００２９】
第１〜第４駆動コイル２５〜２８を連続して形成する際には、一方の端子ピン５に端末部分を接続したコイル線を、第５溝部３３２および第４溝部３３１を介して第４コイル巻回部３７の側に引き出し、第４コイル巻回部３７に巻き回して第４駆動コイル２８を形成する。次に、第３溝部３２１を介してコイル線を隣の第３コイル巻回部３６に引き出して、第３駆動コイル２５を形成する。その後、同様にして、第２コイル巻回部３５と第１コイル巻回部３４に、第２駆動コイル２６と第１駆動コイル２５をこの順番で形成する。しかる後に、コイル線の端末部分を第１溝部３０１、第２溝部３１１、第３溝部３２１、第４溝部３３１および第５溝部３３２を通過するように引き回して他方の端子ピン６に接続する。
【００３０】
ここで、端子台７において端子ピン５、６が突出している端面７ａは、第１〜第４駆動コイル２５〜２８に電流を供給するためのフレキシブルプリント基板などの給電基板（図示省略）と端子ピン５、６とを電気的に接続する際に、この給電基板を載せる基板載置面となっているが、本例では、コイル線の端末部分が、この端面７ａよりも低い第４溝部３３１および第５溝部３３２を通過して端子ピン５、６の近傍まで引き回されているので、端子台７と給電基板との間にコイル線の端末部分を挟みこんで断線することを防止あるいは低減できる。また、コイル線の端末部分が端子台７の中央部分に形成された第４溝部３３１および端子台７の下端部分に形成された第５溝部３３２を介して端子ピン５、６に接続されているので、端子台７を外側に露出させるためにケース１０に形成されている切欠部１３の縁に第１〜第４駆動コイル２５〜２８の端末部分が接触して、断線することを回避できる。
【００３１】
底部２１において、胴部２２の内側に露出している円環状端面２１ａには、図４（ｃ）に示すように、周方向の一部分から流体流路２３内に向って突出するストッパ２１１が設けられている。ストッパ２１１は、胴部２２の内側に挿入された弁体５０が、移動範囲の下側の端に達したときに弁体５０に流体流入路２４の側から当接して、弁体５０の移動範囲の下側の端（上流端）を規定する。
【００３２】
（流出側流路構成部材）
図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ流出側流路構成部材４０を上方から見た斜視図、下方から見た斜視図、および縦断面図である。流出側流路構成部材４０は、ＰＰＳなどの樹脂製であり、円柱部４２と、この円柱部４２の下端に形成された円盤部４３を備えている。円柱部４２は流出管４を構成している部分であり、図５（ｃ）に示すように、流体流出路４１は、円柱部４２および円盤部４３と同軸状態でこれらを貫通している。円盤部４３の下面には上方に窪む円環状凹部４４が形成されている。円環状凹部４４は流体流出路４１と同軸上に形成されており、その径方向の断面形状は矩形である。
【００３３】
円環状凹部４４より内側の内側下端面部分４３ａの中央には流体流出路４１の下端開口４１ａが露出している。下端開口４１ａは流出口４ａよりも大径となっており、流体流出路４１には、下端開口４１ａの側から軸線方向Ｌに沿って、下端開口４１ａから遠ざかるに連れて、すなわち、流出口４ａ側に向けて内径が減少している第１流路部分４１１と、この第１流路部分４１１よりも小径の第２流路部分４１２が形成されている。第２流路部分４１２の内径は流出口４ａの内径と同一となっている。第２流路部分４１２は、円柱部４２を貫通して円盤部４３の軸線方向の中程まで達している。第１流路部分４１１の内周面は、内側下端面部分４３ａから上方に向って内側に傾斜するテーパー面となっており、第２流路部分４１２の内周面に連続している。ここで、内側下端面部分４３ａは、円環状凹部４４より外側の外側下端面部分４３ｂよりも僅かに上方に位置している。
【００３４】
（弁座）
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ弁座６０を上方から見た斜視図、下方から見た斜視図、および縦断面図である。弁座６０は、非磁性であり、かつ、防錆性の強いステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの金属板をプレス成形することにより形成されている。弁座６０は、台座部６３と、台座部６３の中心部分から下方に突出する突出部６４を有している。台座部６３は、突出部６４の上端から軸線方向Ｌと直交する方向に広がる一定厚さの円盤状の端板部６５と、端板部６５の外周縁から立ち上がる円環状壁６６を備えている。突出部６４は、下端側から、円筒形状部６４１と、この円筒形状部６４１に連続する円錐台形状部６４２を備えており、円錐台形状部６４２は端板部６５に繋がっている。円錐台形状部６４２は円筒形状部６４１の側から端板部６５の側に近づくに連れてその肉厚が厚くなっている。
【００３５】
オリフィス６１は、台座部６３および突出部６４を同軸上に貫通して延びている。突出部６４の先端には、オリフィス６１の下端開口（第２流体流通口）６１ａが露出しており、この下端開口６１ａを取り囲んで平坦な弁座面６２が形成されている。オリフィス６１には、下端開口６１ａの側から軸線方向Ｌに沿って、下端開口６１ａと同一径で延びる第１オリフィス部分６１１と、第１オリフィス部分６１１よりも大径の第２オリフィス部分６１２と、第２オリフィス部分６１２よりも大径の第３オリフィス部分６１３が形成されている。第２オリフィス部分６１２は、第１オリフィス部分６１１から遠ざかるに連れて内径が増加しており、円錐状となっている。
【００３６】
端板部６５の上端面６５ａには、第２オリフィス部分６１２より大きな内径の一定深さの円形凹部６７が形成されており、この円形凹部６７が第３オリフィス部分６１３となっている。より具体的には、円形凹部６７の内周面によって第３オリフィス部分６１３の内周面が規定されており、円形凹部６７の上端開口によってオリフィス６１の上端開口（後端開口）６１ｂが規定されている。円形凹部６７の中心部分には、第２オリフィス部分６１２が開口している。また、円形凹部６７が形成されることにより、円形凹部６７が形成されている部分における端板部６５の板厚が他の部分の板厚に比べて薄くなっている。すなわち、端板部６５における突出部６４の形成部分の板厚が他の部分の板厚よりも薄くなっている。
【００３７】
ここで、弁座６０は、円形の金属板を絞り加工することにより、円環状壁６６、円形凹部６７、突出部６４、および、第２オリフィス部分６１２を形成する。また、突出部６４、および、第２オリフィス部分６１２が形成された後に、穴抜き加工を行い、第１オリフィス部分６１１を形成する。その後、突出部６４の先端面に研磨、研削、バレル、化学研磨などの後加工を施し、弁座面６２の面精度を向上させる。
【００３８】
（補強部材）
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ補強部材８０を上方から見た斜視図、上方から見た斜視図側面図、図７（ａ）のＡ−Ａ線における縦断面図、および図７（ａ）のＢ−Ｂ線における縦断面図である。補強部材８０は樹脂製であり、ＰＰＳから形成されている。補強部材８０は、円環状板部８１と、円環状板部８１の外周縁から下方に延びる円環状壁８２を備えている。円環状板部８１の下面の周方向の一部分には下方に突出する突部８３が設けられている。本例では、２つの突部８３が周方向において互いに１８０度離れた位置に形成されており、各突部８３の外周縁は円環状壁８２の内周面に連続している。突部８３は、弁体５０に当接して弁体５０の移動範囲の弁座６０の側の端を規定するストッパとなるものである。なお、突部８３が円環状壁８２に連続するように形成されていることにより、円環状壁８２の強度の向上が図られている。
【００３９】
円環状板部８１の内周面は、下面の側から、下端部分が外側に拡径するテーパー面となっている拡径部分８１ａと、内径が一定の一定径部分８１ｂを備えている。補強部材８０の外径寸法および高さ寸法は、流入側流路構成部材２０の円環状段部２９１に嵌合する寸法となっている。
【００４０】
なお、補強部材８０は、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの金属から形成することもできる。
【００４１】
（流入側流路構成部材、流出側流路構成部材および弁座の連結）
図８は、流入側流路構成部材２０、弁座６０および流出側流路構成部材４０の連結部分を拡大して示す部分断面図である。流入側流路構成部材２０、流出側流路構成部材４０および弁座６０を連結して、流入口３ａから流出口４ａに至るバルブ装置内流路８を形成する際には、まず、流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４に弁座６０の円環状壁６６を挿入して、弁座６０の端板部６５を流出側流路構成部材４０の内側下端面部分４３ａに当接させた状態とする。
【００４２】
ここで、流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４の内周面のうち外側を向いている内周面部分４４ａは位置決め面として機能しており、この内周面部分４４ａに弁座６０の円環状壁６６の内側面６６ａを当接させながら円環状壁６６を円環状凹部４４に挿入することによって、弁座６０と流出側流路構成部材４０が同軸上に配置される。この結果、流出側流路構成部材４０の内側下端面部分４３ａに露出している下端開口４１ａと、弁座６０の端板部６５の上端面６５ａに露出しているオリフィス６１の上端開口６１ｂが重ねられ、流出側流路構成部材４０に形成されている流体流出路４１と弁座６０に形成されているオリフィス６１が同軸上に配置されて連通した状態となる。
【００４３】
この結果、オリフィス６１の先端開口６１ａから流出口４ａまでの間は、先端開口６１ａと同一径で延びる第１オリフィス部分６１１、第１オリフィス部分６１１の上端から連続して上方に向かって径が拡大している第２オリフィス部分６１２、第２オリフィス部分６１２よりも大きな径を備え、同一径で延びる第３オリフィス部分６１３、第３オリフィス部分６１３の上端から連続して上方に向って径が縮小している第１流路部分４１１、および、第１流路部分４１１の上端から連続して流出口４ａと同一径で延びる第２流路部分４１２により接続される。また、オリフィス６１の第３オリフィス部分６１３と流体流出路４１の第１流路部分４１１によって、オリフィス６１の先端開口６１ａから流出口４ａに至る流路の途中に、他の部分よりも径の大きな流路部分が形成される。
【００４４】
なお、弁座６０の円環状壁６６の高さ寸法は、円環状凹部４４の高さ寸法よりも短く設定されており、弁座６０の端板部６５が流出側流路構成部材４０の内側下端面部分４３ａ部分に当接させた状態となるまで円環状壁６６を円環状凹部４４に挿入した状態において、円環状壁６６の上端面６６ｂと円環状凹部４４の底面４４ｂとの間には隙間が形成されている。
【００４５】
次に、弁座６０の円環状壁６６の外周面６６ｃと、円環状凹部４４の内周面のうち内側を向いている内周面部分４４ｃの間にＯリング７０を配置する。Ｏリング７０は、弁座６０と流出側流路構成部材４０に当接するとともに、これらの間で径方向に圧縮された状態で配置される。
【００４６】
ここで、流入側流路構成部材２０の円環状段部２９１に補強部材８０を嵌め込む。補強部材８０が流入側流路構成部材２０の内側に取り付けられると、補強部材８０の上端面８０ａと、流入側流路構成部材２０のフランジ部２９の上端面２９ａとが同一平面上に位置した状態となる。
【００４７】
しかる後に、流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４に流入側流路構成部材２０の円環状突部２９３を挿入して、流入側流路構成部材２０のフランジ部２９の上端面２９ａの外周縁部分を、流出側流路構成部材４０の外側下端面部分４３ｂに当接させた状態とする。
【００４８】
ここで、既に流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４に挿入されている弁座６０の円環状壁６６の外周面６６ｃは位置決め面として機能しており、この外周面６６ｃに円環状突部２９３の外周面のうち内側を向いている内周面部分２９３ｄを当接させながら円環状突部２９３を円環状凹部４４に挿入することによって、流入側流路構成部材２０が、弁座６０および流出側流路構成部材４０と同軸上に配置される。また、補強部材８０が弁座６０および流出側流路構成部材４０と同軸上に配置され、補強部材８０の上端面８０ａが、弁座６０の端板部６５に当接した状態となる。これにより、流入側流路構成部材２０に形成されている流体流入路２４および流体流路２３は、弁座６０に形成されているオリフィス６１および流出側流路構成部材４０に形成されている流体流出路４１と同軸上に配置され、流入口３ａから、流体流入路２４、流体流路２３、オリフィス６１および流体流出路４１を介して流出口４ａに至るバルブ装置１内のバルブ装置内流路８が構成される。
【００４９】
また、流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４に流入側流路構成部材２０の円環状突部２９３が挿入されることによって、Ｏリング７０は、流入側流路構成部材２０と流出側流路構成部材４０との間で軸線方向Ｌに圧縮された状態となる。すなわち、流入側流路構成部材２０の円環状突部２９３の高さ寸法は、円環状凹部４４の高さ寸法よりも短く設定されており、流入側流路構成部材２０のフランジ部２９の上端面２９ａの外周縁部分を、流出側流路構成部材４０の外側下端面部分４３ｂに当接させた状態となるまで円環状壁６６を円環状凹部４４に挿入すると、Ｏリング７０は流入側流路構成部材２０の円環状凹部４４の底面４４ｂと、流出側流路構成部材４０の円環状突部２９３の先端面２９３ａの間に挟まれて、弾性変形した状態となる。
【００５０】
なお、ゴム製のＯリング７０は圧縮によって体積が変化しないので、円環状凹部４４には圧縮により変形したＯリング７０の変形部分を逃がすスペースが必要となるが、このようなスペースは、円環状壁６６の上端面６６ｂと円環状凹部４４の底面４４ｂとの間の隙間として確保されている。また、円環状突部２９３の先端面２９３ａの径方向の両側部分にはテーパー面２９３ｂ、２９３ｃが形成されているので、テーパー面２９３ｂと弁座６０の円環状壁６６の外周面６６ｃとの間の隙間、および、テーパー面２９３ｃと円環状凹部４４の内側を向いている内周面部分４４ｃとの間の隙間として確保されている。
【００５１】
ここで、Ｏリング７０が配置されている空間、すなわち、流出側流路構成部材４０の円環状凹部４４、弁座６０の円環状壁６６、および、流入側流路構成部材２０の円環状突部２９３によって形成されているＯリング配置用の空間の断面積は、Ｏリング７０の断面積とほぼ同一としておくことが好ましい。
【００５２】
（弁体）
図９（ａ）は弁体５０の縦断面図であり、図９（ｂ）は弁体５０の上端部分を拡大して示す部分断面図であり、図９（ｃ）は弁体５０の下端部分を拡大して示す部分断面図である。弁体５０は非磁性材料の樹脂あるいは金属から形成された筒状のホルダ５４を有している。ホルダ５４の上端部には、内側に直角に折り曲げられた上端折り曲げ部５４１が形成されており、上端折り曲げ部５４１の中央には上端開口５４２が設けられている。ホルダ５４の下端部には、内側に直角に折り曲げられた下端折り曲げ部５４３が形成されており、下端折り曲げ部５４３の中央には下端開口５４４が設けられている。
【００５３】
ホルダ５４には、上端折り曲げ部５４１の側から、軸線方向Ｌに圧縮された状態の弾性部材５５、上側蓋部材５６、円柱形状の第１〜第３永久磁石５１〜５３、下側蓋部材５７が収納されている。また、第１永久磁石５１の上端、第３永久磁石５３の下端、および、隣り合う第１〜第３永久磁石５１〜５３の間には、円板状の磁性板５８ａ〜５８ｄが配置されている。上側蓋部材５６、第１〜第３永久磁石５１〜５３、下側蓋部材５７、磁性板５８ａ〜５８ｄは、弾性部材５５の弾性復帰力によって、下端折り曲げ部５４３の側に押し付けられて固定されている。
【００５４】
弾性部材５５はゴム製であり、本例では、ＥＰＤＭからなる。図９（ｂ）に示すように、弾性部材５５は、大径円盤部５５１と、大径円盤部５５１から上方に同軸上に突出している上側小径円盤部５５２と、大径円盤部５５１から下方に同軸上に突出している下側小径円盤部５５３と、下側小径円盤部５５３から下方に同軸上に突出する突出部５５４を備えている。下側小径円盤部５５３は上側小径円盤部５５２よりも大径であり、突出部５５４の外面は、弾性部材５５の軸線を中心として外周側へ向って上に湾曲する凸曲面となっている。大径円盤部５５１はホルダ５４の上端折り曲げ部５４１に当接して上端開口５４２をシールしており、上側小径円盤部５５２は、上端開口５４２を介してホルダ５４の外側に突出している。上側小径円盤部５５２の外周面と上端開口５４２の内周縁との間には隙間が設けられており、上側小径円盤部５５２と、上端折り曲げ部５４１とは非接触の状態となっている。
【００５５】
上側蓋部材５６は、外径寸法がホルダ５４の内径寸法と対応する寸法に設定されている大径部５６１と、この大径部５６１よりも小径で、大径部５６１から下方に同軸上に突出している小径部５６２を備えている。大径部５６１の外周面５６１ａはホルダ５４の内周面５４ａに当接している。大径部５６１の上端面の外周縁は切り欠かれており、これにより円環状のテーパー面５６１ｂが形成されている。大径部５６１の中央部分には凹部５６１ｃが設けられており、凹部５６１ｃの底面の中央部分には、中心が下方に窪む凹曲面５６１ｄが形成されている。
【００５６】
ここで、弾性部材５５は、下側小径円盤部５５３および突出部５５４が上側蓋部材５６の凹部５６１ｃおよび凹曲面５６１ｄに嵌り込んでいる。図９に示す状態では、弾性部材５５は、大径円盤部５５１が上端折り曲げ部５４１と上側蓋部材５６との間で圧縮されており、弾性部材５５の大径円盤部５５１の外周縁は、大径部５６１のテーパー面５６１ｂの上方まで達している。なお、テーパー面５６１ｂが形成されることによって上側蓋部材５６とホルダ５４の内周面５４ａとの間に設けられた空間は、圧縮によって弾性変形した大径円盤部５５１の一部分が移動する空間となっている。
【００５７】
上側蓋部材５６の大径部５６１と小径部５６２の境界部分に構成された円環状段部５６３には、上側Ｏリング５９ａが配置されている。上側Ｏリング５９ａは、小径部５６２の外周側に配置されており、図９に示す状態では、軸線方向Ｌと直交する方向に圧縮された状態で小径部５６２の外周面５６２ａおよびホルダ５４の内周面５４ａに当接している。上側Ｏリング５９ａは、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮している。
【００５８】
次に、第１〜第３永久磁石５１〜５３は、図９（ａ）に示すように、隣り合う永久磁石同士が互いに同極を相手方の永久磁石の方に向けている。より詳細には、上端の第１永久磁石５１は上がＮ極、下がＳ極となるように配置されており、その下方に隣接配置されている第２永久磁石５２は上がＳ極、下がＮ極となるように配置されており、さらにその下方に配置されている第３永久磁石５３は上がＮ極、下がＳ極となるように配置されている。この結果、弁体５０では、特に同極を同士を対向して配置している磁性板５８ｃ〜５８ｄが位置する個所では磁束が集中している。
【００５９】
下側蓋部材５７は、図９（ｃ）に示すように、外径寸法がホルダ５４の内径寸法と対応する寸法に設定された大径部５７１と、この大径部５７１よりも小径で、大径部５７１から上方に同軸上に突出している小径部５７２を備えている。大径部５７１の外周面５７１ａはホルダ５４の内周面５４ａに当接している。大径部５７１の下端面５７１ｂの中央部分には凹部５７１ｃが設けられている。この凹部５７１ｃの底面は、中央が上方に窪む凹曲面５７１ｄとなっている。
【００６０】
下側蓋部材５７の大径部５７１と小径部５７２の境界部分に構成された円環状段部５７３には、下側Ｏリング５９ｂが配置されている。下側Ｏリング５９ｂは、小径部５７２の外周側に配置されており、図９に示す状態では、軸線方向Ｌと直交する方向に圧縮された状態で小径部５７２の外周面５７２ａおよびホルダ５４の内周面５４ａに当接している。下側Ｏリング５９ｂは、軸線方向Ｌと直交する周方向でシール性を発揮している。
【００６１】
（バルブ装置の動作）
次に、図３および図１０を参照してバルブ装置１の動作を説明する。図１０（ａ）はバルブ装置１の縦断面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）と直交する平面で切断したバルブ装置１の縦断面図である。図１０（ａ）の縦断面図は図３（ａ）の縦断面図と対応しており、図１０（ｂ）の縦断面図は図３（ｂ）の縦断面図と対応している。図１０は、弁体５０が弁座面６２から離れている状態のバルブ装置１を示している。
【００６２】
図３に示す状態は、第１〜第４駆動コイル２５〜２８は励磁されておらず、弁体５０は、弁体５０の永久磁石５１〜５３と、一対の磁性板９０の磁気的な吸引力Ｆ１によって、閉位置５０Ａに保持されている状態である。すなわち、弁体５０の弾性部材５５が弁座面６２に当接してオリフィス６１の下端開口６１ａを塞いでおり、これにより、流入口３ａから流出口４ａへ至るバルブ装置内流路８は閉じられている。
【００６３】
ここで、弁体５０は、弁座面６２よりも流入口３ａの側、すなわち、流体の流通方向の上流側に位置しているので、流入口３ａからバルブ装置１へ流れ込む流体の流体圧（背圧）が弁体５０を閉位置５０Ａに向かって移動させる方向に力Ｆ２を働かせている。
【００６４】
また、閉位置５０Ａは、補強部材８０の突部８３によって規定される弁体５０の移動範囲の上側の端よりも下方に設定されており、図３（ｂ）に示すように、閉位置５０Ａにおいてオリフィス６１の下端開口６１ａを塞いでいる弁体５０と、補強部材８０の突部８３とは隙間を開けて対向しており、当接していない。従って、閉位置５０Ａにおいて弁体５０が弁座面６２に当接することにより形成されているオリフィス６１の下端開口６１ａの閉状態が、弁体５０が補強部材８０に当接することによって損なわれてしまうことがない。
【００６５】
次に、バルブ装置内流路８を開放する際には、第１〜第４駆動コイル２５〜２８に電流を流して、各駆動コイル２５〜２８に所定の極性とする。これにより、第１〜第４駆動コイル２５〜２８を流れる電流の向きと、永久磁石５１〜５３による磁束の軸線方向Ｌと直交する垂直成分の向きが直交する。この結果、図１０に示すように、永久磁石５１〜５３の磁束と第１〜第４駆動コイル２５〜２８との間に働くローレンツ力が、弁体５０を閉位置５０Ａから下方へと移動させる力Ｆ３として働く。
【００６６】
ここで、第１〜第４駆動コイル２５〜２８への電流供給開始時点では、図３に示すように、弁体５０の磁性板５８ａ〜５８ｄは、対応する第１〜第４駆動コイル２５〜２８の軸線方向Ｌの中央に位置しており、永久磁石５１〜５３の磁束のうち軸線方向Ｌと直交する垂直成分が第１〜第４駆動コイル２５〜２８と鎖交する磁界を効率よく形成しているので、力Ｆ３として大きな推力が発生する。従って、弁体５０は、一対の磁性板９０との間の磁気的な吸引力Ｆ１、および、流入口３ａらバルブ装置１内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力Ｆ２に抗して、下方に移動する。この結果、図１０に示すように、弁体５０は、弁座面６２から離れて下端開口６１ａを開放状態とする開位置５０Ｂに至る。
【００６７】
弁体５０が開位置５０Ｂに移動すると、弁体５０は弁座面６２から流体の流通方向の上流側に離れる。開位置５０Ｂでは、弁体５０は、磁性板５８ａ〜５８ｄが、それぞれ対応する第１〜第４駆動コイル２５〜２８の下側部分に位置した状態となる。また、弁体５０は、ホルダ５４の下端折り曲げ部５４３が流入側流路構成部材２０のストッパ２１１に当接した状態となり、流入口３ａから流体流入路２４、流体流路２３、オリフィス６１、流体流出路４１を介して流出口４ａに至るバルブ装置１の内部のバルブ装置内流路８は開放状態となる。この結果、流入口３ａから流体流入路２４を介して流入した流体は、流体流路２３において弁体５０の外周面と胴部２２の内周面との間を流れ、オリフィス６１および流体流出路４１を介して流出口４ａから流出する。
【００６８】
ここで、弁体５０が開位置５０Ｂに移動すると、図１０（ｂ）に示すように、流体流入路２４の上端開口（第２流体流通口）２４１と、弁体５０の下側蓋部材５７の凹部５７１ｃとが狭い間隔をあけて対向した状態となる。従って、流体流入路２４の側の流体圧が想定以上に上昇すると、凹部５７１ｃによって圧力損失が生じ、弁体５０が流体流出路４１の側に移動して弁座面６２に当接し、オリフィス６１の下端開口６１ａを閉じる。
【００６９】
次に、バルブ装置内流路８を閉状態に戻す際には、弁体５０を閉位置５０Ａから開位置５０Ｂへ移動させる場合とは逆方向の電流を第１〜第４駆動コイル２５〜２８へ供給する。これにより、弁体５０は、第１〜第３永久磁石５１〜５３と第１〜第４駆動コイル２５〜２８との間に発生するＦ３とは反対方向のローレンツ力（不図示）、弁体５０と一対の磁性板９０との間の磁気的な吸引力Ｆ１および流入口３ａからバルブ装置１へ流れ込む流体の流体圧に起因する力Ｆ２によって上方に移動して、閉位置５０Ａに至る。この結果、弁体５０が流体流出路４１の側に移動して、弁座面６２に当接し、オリフィス６１の下端開口６１ａを閉じる。
【００７０】
なお、バルブ装置内流路８を閉状態に戻す際には、第１〜第４駆動コイル２５〜２８への電流の供給を停止してもよい。第１〜第４駆動コイル２５〜２８への電流の供給を停止した場合には、弁体５０の永久磁石５１〜５３と、一対の磁性板９０の磁気的な吸引力Ｆ１、および、流入口３ａらバルブ装置１内へ流れ込む流体の流体圧（背圧）に起因する力Ｆ２により、弁体５０は閉位置５０Ａに移動する。
【００７１】
（弁体が弁座面に衝突した場合）
ここで、バルブ装置１に衝撃が加わることにより弁体５０が弁座面６２に衝突した場合、あるいは、流体流入路２４の側の流体圧が想定以上に上昇して弁体５０が弁座面６２に衝突した場合には、弁体５０と補強部材８０の突部８３とが当接して、弁体５０の軸線方向Ｌの移動を移動範囲の上側の端で停止させる。図１１は弁体が弁座面に衝突した場合を説明するための説明図である。
【００７２】
すなわち、弁体５０が弁座面６２に衝突すると、図１１（ａ）に示すように、弁体５０の弾性部材５５が著しく変形して、弁体５０は全体として図１１（ｂ）に示す閉位置５０Ａよりも上方に移動する。これに対して、本例では、弁体５０の移動範囲の上側の端が閉位置５０Ａよりも僅かに上方に設定してあり、弁体５０がこの移動範囲の上側の端に到達すると、補強部材８０の突部８３と弁体５０のホルダの上側折り曲げ部５４１とが当接して、それよりも上方に移動しようとする弁体５０の移動を阻止する。この結果、弁体５０が弁座面６２に衝突したときの弾性部材５５の変形を弾性ひずみ内に抑えることができるので、弾性部材５５の破損を回避できる。
【００７３】
また、弾性部材５５が著しく変形した場合には、弾性部材５５が弁座６０の突出部６４の円錐台形状部６４２に当接するので、弾性部材５５が突出部６４に深く食い込んでしまうことが回避される。
【００７４】
（作用効果）
本例によれば、胴部２２の開放端部分に設けられたフランジ部２９の内側に環状の補強部材８０が取り付けられているので、胴部２２の開放端の側の部位の変形を抑制することができる。また、補強部材８０を配置することによって、胴部２２の円筒度を高めることができるので、胴部２２の内周面と胴部２２の内側に挿入された弁体５０の外周面との間のクリアランスを一定の状態とすることが容易となる。この結果、弁体５０の外周面と胴部２２の内周面の間を流体が流れたときの弁体５０の挙動が安定するので、弁体５０によってオリフィス６１の下端開口６１ａを確実に閉鎖できる。さらに、本例では、胴部２２の外周面に巻き回した第１〜第４駆動コイル２５〜２８の締め付けによって胴部２２の開口端の側の変形が発生しやすくなっているが、補強部材８０を備えているので、第１〜第４駆動コイル２５〜２８の巻き回しに起因する変形を回避することができる。
【００７５】
また、本例では、補強部材８０の突部８３は、弁体５０に当接して弁体５０の移動範囲の上側の端を規定するストッパ２１１となっている。補強部材８０を弁体５０の移動範囲を規定するストッパ２１１として兼用できるので、部品点数の増加を抑制できる。また、弁体５０を補強部材８０の端面全体に当接させる場合と比較して、オリフィス６１の下端開口６１ａの近傍における流体流路２３を広く確保できるので、オリフィス６１の下端開口６１ａが開いた状態となっている場合における流体の圧力損失を抑制できる。
【００７６】
また、本例では、補強部材８０の円環状板部８１が、弁座６０の端板部６５に当接しているので、補強部材８０によって弁座６０も補強されている。
【００７７】
次に、本例によれば、弁座６０に形成されているオリフィス６１は、オリフィス６１の下端開口６１ａと同一径の第１オリフィス部分６１１と、この第１オリフィス部分６１１よりも大径の第２オリフィス部分６１２を備えている。また、第２オリフィス部分６１２は、第１オリフィス部分６１１から遠ざかるに連れて内径が増加している。従って、オリフィス６１が、先端開口６１ａと同一の一定の内径で形成されている場合と比較して、流体がオリフィス６１を通過する際に発生する圧力損失を低減させることができる。
【００７８】
また、オリフィス６１において、下端開口６１ａに連続する第１オリフィス部分６１１は下端開口６１ａと同一径で延びているので、弁座６０に対してオリフィス６１の先端部分を形成する加工が容易である。この結果、突出部６４の先端における下端開口６１ａの位置および内径を精度よく形成できるので、弁体５０が弁座面６２に当接したときに、弁体５０による下端開口６１ａのシール性が向上する。
【００７９】
さらに、弁座面６２は、突出部６４は先端の小径の円筒形状部６４１に設けられているので、弁体５０と弁座面６２の当接面積が小さい。従って、弁体５０による単位面積当たりの閉止圧力を高めることができ、シール性を向上させることができる。また、弁体５０の弾性部材５５の粘着性に拘わらず、弁体５０を弁座面６２から離すことができる。
【００８０】
ここで、本例のバルブ装置１のように、弁座６０に対して弁体５０が流体の流通方向の上流側に位置するように配置されている場合には、流体の圧力（背圧）と受圧面積（弁座６１と弁体５０との当接面積）との積が弁体５０の推力よりも小さくないと弁体５０を移動させることが困難となり、オリフィス６１を開放状態とすることができなくなる。流路が開かなくなってしまう。また、受圧面積が変動してしまうと、弁体５０によるオリフィス６１の開閉が不安定なものとなる。これに対して、突出部６４はオリフィス６１の先端開口６１ａの側に円筒形状部６４１を備えているので、オリフィス６１を閉じる際に、弾性部材５５からなる弁体５０の当接部分が流体の圧力を受けて弾性変形の範囲で突出部６４の先端に食い込んでも、弁座６１と弁体５０との当接面積が増加しない。よって、弁体５０によるオリフィス６１の開閉が安定し、弁体５０が移動できなくなることもない。
【００８１】
また、突出部６４は先端の小径の円筒形状部６４１に連続して円錐台形状部６４２を備えているので、衝撃などによって弁体５０の弾性部材５５が突出部６４に想定以上に食い込むような場合には、弾性部材５５が食い込むほどに、円錐台形状部６４２によって弾性部材５５が広い面で力を受ける。従って、弾性部材５５の損傷を防ぐことができる。
【００８２】
さらに、本例によれば、弁座６０は金属製であり、プレス加工により成形されているので、微細なオリフィス６１を形成する際に、その内径寸法などの精度を向上させることができる。また、弁座６０が金属製であれば、後加工によって突出部６４の先端面、すなわち弁座面６２の面精度を向上させることができるので、弁体５０によるシール性を向上させることができる。
【００８３】
また、本例によれば、端板部６５において突出部６４が突出する側とは反対側に円形凹部６７が形成されているので、流出側流路構成部材４０と弁座６０とを連結する際に位置ずれが発生した場合でも、流体流出路４１とオリフィス６１の連通状態を確保できる。また、円形凹部６７を形成することによって、端板部６５において突出部６４が形成されている板部分が薄くなり、その剛性を低下させているので、弁体５０が弁座面６２に衝突した場合などにおいて、弁座６０を弾性変形させることができ、弁座６０が破損することを回避できる。
【００８４】
また、次に、本例によれば、１つのＯリング７０を、第１流路構成部材２０、第２流路構成部材４０、および、弁座６０に圧縮させられた状態で当接させて、流体が漏れないようにシールしている。従って、従来と比較して少ない部品点数により、弁座６０を２つの流路構成部材２０、４０の間に挟み込む構成を実現することができる。また、１つのＯリング７０で流体が漏れないようにシールしているので、複数のＯリング７０を用いてシールする場合と比較して、Ｏリング７０を配置するためのスペースを削減することができる。よって、バルブ装置１の小型化を図ることができる。
【００８５】
また、本例によれば、Ｏリング７０は、弁座６０および第２流路構成部材４０に、径方向で圧縮させられた状態で当接するとともに、第１流路構成部材２０および第２流路構成部材４０に軸線方向Ｌで圧縮させられた状態で当接しているので、Ｏリング７０と各部材との当接面積を増加させて、Ｏリング７０と各部材とを確実に密着させることができる。よって、Ｏリング７０が１つであっても、流体の漏れを確実に防止できる。
【符号の説明】
【００８６】
１・バルブ装置、２・胴部、３・流入管、３ａ・流入口、４・流出管、４ａ・流出口、５・端子ピン、６・端子ピン、７・端子台、７ａ・端面、８・バルブ装置内流路、１０・ケース、１１・下端開口、１２・上端開口、１３・切欠部、２０・流入側流路構成部材（流路構成部材）、２１ａ・円環状端面、２１・底部、２２・胴部、２３・流体流路、２４・流体流入路、２５・２８・第１〜第駆動コイル、２９・フランジ部、２９ａ・上端面、３０・３３・第１〜第４円環状突部、３４・３７・第１〜第４コイル巻回部、４０・流出側流路構成部材、４１・流体流出路、４１ａ・下端開口、４２・円柱部、４３・円盤部、４３ａ・内側下端面部分、４３ｂ・外側下端面部分、４４・円環状凹部、４４ａ・内周面部分、４４ｂ・底面、４４ｃ・内周面部分、５０Ａ・閉鎖位置、５０Ｂ・開放位置、５０・弁体、５１・５３・第１〜第３永久磁石、５４・ホルダ、５４ａ・内周面、５５・弾性部材、５６・上側蓋部材、５７・下側蓋部材、５８ａ・５８ｄ・第１〜第４磁性板、５９ａ・上側Ｏリング、５９ｂ・下側Ｏリング、６０・弁座、６１・オリフィス、６１ａ・下端開口（第１流体流通口）、６１ｂ・上端開口、６２・弁座面、６３・台座部、６４・突出部、６５・端板部、６５ａ・上端面、６６・円環状壁、６６ａ・内側面、６６ｂ・上端面、６６ｃ・外周面、６７・円形凹部、７０・Ｏリング、８０・補強部材、８０ａ・上端面、８１・円環状板部、８１ａ・テーパー面、８２・円環状壁、８３・突部、９０・磁性板、２１１・ストッパ、２４１・上端開口（第２流体流通口）、２９１・円環状段部、２９２・円環状凹部、２９３・円環状突部、２９３ａ・先端面、２９３ｂ・テーパー面、２９３ｃ・テーパー面、２９３ｄ・内周面部分、３０１・第１溝部、３１１・第２溝部、３２１・第３溝部、３３１・第４溝部、３３２・第５溝部、４１１・第１流路部分、４１２・第２流路部分、５４１・上端折り曲げ部、５４２・上端開口、５４３・下端折り曲げ部、５４４・下端開口、５５１・大径円盤部、５５２・上側小径円盤部、５５３・下側小径円盤部、５５４・突出部、５６１・大径部、５６１ａ・外周面、５６１ｂ・テーパー面、５６１ｃ・凹部、５６１ｄ・凹曲面、５６２・小径部、５６２ａ・外周面、５６３・円環状段部、５７１・大径部、５７１ａ・外周面、５７１ｂ・下端面、５７１ｃ・凹部、５７１ｄ・凹曲面、５７２・小径部、５７２ａ・外周面、５７３・円環状段部、６１１・第１オリフィス部分、６１２・第２オリフィス部分、６１３・第３オリフィス部分、６４１・円筒形状部、６４２・円錐台形状部、Ｌ・軸線方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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