(57)【要約】【課題】検査精度を向上させつつ検査効率を向上させる。【解決手段】検査対象の抵抗器１００に交流定電流Ｉｍを供給して抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行する測定部１４と、上下限値Ｒａ，Ｒｂと抵抗値Ｒｍとを比較して抵抗器１００に対する良否検査を実行する制御部１９とを備え、制御部１９は、測定部１４によって測定処理が実行される測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３以下のときには、良品サンプル１００ａが回路基板に搭載されている状態において測定されるべき第１抵抗値Ｒｒ１と測定部１４によって測定された良品サンプル１００ａの第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして求め、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを補正値Ｒｃで補正する補正処理を実行し、補正後の抵抗値Ｒｍを用いて良否検査を実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板に搭載される検査対象体に対する良否検査を実行する検査装置であって、
回路基板に搭載されていない状態の前記検査対象体に測定用信号を供給して当該検査対象体の抵抗値を測定する測定処理を実行すると共に当該測定処理における測定レンジを複数の測定レンジの中から切り替え可能に構成された測定部と、前記検査対象体に対して予め決められた規定範囲と前記測定部によって測定された抵抗値とを比較して前記検査対象体に対する良否検査を実行する検査部とを備え、
前記測定部は、前記複数の測定レンジのうちの前記規定範囲における上限値に予め対応付けられている測定レンジで前記測定処理を実行し、
前記検査部は、前記測定部によって前記測定処理が実行される測定レンジの上限値が予め決められた規定値以下のときには、良品の前記検査対象体が前記回路基板に搭載されている状態において測定されるべき抵抗値として予め決められた第１抵抗値と前記測定部によって測定された当該良品の検査対象体の抵抗値としての第２抵抗値との差分値、または当該第１抵抗値と当該第２抵抗値との比率を補正値として求め、前記測定部によって測定された前記検査対象体の抵抗値および前記規定範囲のいずれか一方を前記補正値で補正する補正処理を実行し、当該いずれか一方を用いて前記良否検査を実行する検査装置。
【請求項２】
前記補正値を求めた後に実行した前記測定処理の回数が予め決められた規定回数以上となったときに前記補正値を求める処理の再実行を促す報知処理を実行する請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記検査部は、前記良否検査を同種類の複数の前記検査対象体に対して実行する際に、前記複数の検査対象体のうちの一部の検査対象体に対する前記良否検査が終了した中間時点における当該検査対象体の不良率が予め決められた規定率以上のときに、前記中間時点以後の良否検査において前記補正処理を実行する請求項１または２記載の検査装置。
【請求項４】
回路基板に搭載される検査対象体に対する良否検査を実行する検査方法であって、
回路基板に搭載されていない状態の前記検査対象体に測定用信号を供給して当該検査対象体の抵抗値を測定する測定処理を複数の測定レンジの中から切り替えた測定レンジで実行し、前記検査対象体に対して予め決められた規定範囲と前記測定した抵抗値とを比較して前記検査対象体に対する良否検査を実行する際に、
前記複数の測定レンジのうちの前記規定範囲における上限値に予め対応付けられている測定レンジで前記測定処理を実行し、
前記測定処理を実行する測定レンジの上限値が予め決められた規定値以下のときには、良品の前記検査対象体が前記回路基板に搭載されている状態において測定されるべき抵抗値として予め決められた第１抵抗値と当該良品の検査対象体について測定した抵抗値としての第２抵抗値との差分値、または当該第１抵抗値と当該第２抵抗値との比率を補正値として求め、前記測定した検査対象体の抵抗値および前記規定範囲のいずれか一方を前記補正値で補正する補正処理を実行し、当該いずれか一方を用いて前記良否検査を実行する検査方法。
【請求項５】
前記補正値を求めた後に実行した前記測定処理の回数が予め決められた規定回数以上となったときに前記補正値を求める処理の再実行を促す報知処理を実行する請求項４記載の検査方法。
【請求項６】
前記良否検査を同種類の複数の前記検査対象体に対して実行する際に、前記複数の検査対象体のうちの一部の検査対象体に対する前記良否検査が終了した中間時点における当該検査対象体の不良率が予め決められた規定率以上のときに、前記中間時点以後の良否検査において前記補正処理を実行する請求項４または５記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象体の抵抗値を測定すると共にその抵抗値と基準値とを比較して検査対象体の良否を検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
抵抗値（インピーダンス）を４端子法で測定する測定装置として、特開２０１０−１２７７２４号公報において出願人が開示したインピーダンス測定装置が知られている。この種の測定装置では、測定対象体とプローブ（端子）との間の接触抵抗や測定回路とプローブとの間の抵抗の影響を少なくすることができるため、測定対象体の抵抗値を比較的正確に測定することが可能となっている。このため、この測定装置は、低抵抗の検査対象体の良否検査を抵抗値に基づいて行う検査装置に組み込まれる。このような検査装置では、検査対象体の抵抗値を測定装置によって測定し、その抵抗値と予め決められた上下限値とを比較し、抵抗値が上下限値の範囲内のときにはその検査対象体を良品と判定して、抵抗値が上下限値の範囲外のときには、その検査対象体を不良品と判定する。
【０００３】
ここで、回路基板に搭載（実装）される低抵抗の抵抗器のような検査対象体では、電極を平面的に形成することで、回路基板の導体パターンと電極との接触面積を大きくして、これによって導体パターンと電極との接触抵抗の低減が図られている。また、上記した上下限値は、回路基板に搭載した状態における検査対象体の抵抗値が適正であるか否かを判定するためのものであるため、良品の検査対象体を回路基板に搭載した状態で測定したときに測定されるべき抵抗値の許容範囲がこの上下限値として規定されている。一方、例えば、上記した抵抗器のような検査対象体を製造する工場において、その検査対象体に対して出荷時の良否検査を行う際には、検査対象体を回路基板に搭載した状態では検査できないため、回路基板に搭載されていない単体の状態の検査対象体における電極にプローブを接触させて抵抗値を測定する。
【０００４】
この場合、一般的に、回路基板に搭載した状態の抵抗器を流れる電流は、抵抗器内（抵抗器の内部抵抗）をほぼ一様に流れる。一方、プローブを用いて測定装置によって抵抗器内を流れる電流を測定する場合には、抵抗器内を流れる電流の流れ方が一様とはならないことがある。そして、この現象は、抵抗器の抵抗値が低ければ低いほど顕著である。このため、抵抗器の抵抗値が低ければ低いほど、回路基板に搭載した状態での抵抗値と、プローブを用いて測定装置によって測定される抵抗値との差が大きくなる。したがって、上記の測定装置が組み込まれた検査装置では、低抵抗の検査対象体の検査に際して、予め決められた上下限値を、測定装置やプローブ毎に異なる補正値で補正して、補正後の上下限値と測定した抵抗値とを比較して良否の判定を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２７７２４号公報（第５頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記の検査装置には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、上記の検査装置では、上下限値を測定装置やプローブ毎に異なる補正値で補正した補正後の上下限値と抵抗値とを比較して検査対象体の良否を判定している。この場合、例えば、複数の検査装置を用いて数多くの検査対象体に対する良否検査を行うときには、上下限値を補正する（計算する）作業や、補正した上下限値を入力する作業が多くなり、計算誤りや入力誤りなどの人為的なミスが発生する可能性が高くなり、これに起因して、検査精度が低下するおそれがある。また、数多くの検査対象体の検査を連続して行うときには、プローブが摩耗して、これに起因して抵抗値が変化することがある。この場合、その変化量が大きいときには、検査開始前に補正して入力した上下限値を、新たに補正し直した上下限値に更新する必要があり、検査効率が低下するという課題も存在する。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査精度を向上させつつ検査効率を向上し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、回路基板に搭載される検査対象体に対する良否検査を実行する検査装置であって、回路基板に搭載されていない状態の前記検査対象体に測定用信号を供給して当該検査対象体の抵抗値を測定する測定処理を実行すると共に当該測定処理における測定レンジを複数の測定レンジの中から切り替え可能に構成された測定部と、前記検査対象体に対して予め決められた規定範囲と前記測定部によって測定された抵抗値とを比較して前記検査対象体に対する良否検査を実行する検査部とを備え、前記測定部は、前記複数の測定レンジのうちの前記規定範囲における上限値に予め対応付けられている測定レンジで前記測定処理を実行し、前記検査部は、前記測定部によって前記測定処理が実行される測定レンジの上限値が予め決められた規定値以下のときには、良品の前記検査対象体が前記回路基板に搭載されている状態において測定されるべき抵抗値として予め決められた第１抵抗値と前記測定部によって測定された当該良品の検査対象体の抵抗値としての第２抵抗値との差分値、または当該第１抵抗値と当該第２抵抗値との比率を補正値として求め、前記測定部によって測定された前記検査対象体の抵抗値および前記規定範囲のいずれか一方を前記補正値で補正する補正処理を実行し、当該いずれか一方を用いて前記良否検査を実行する。
【０００９】
また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記補正値を求めた後に実行した前記測定処理の回数が予め決められた規定回数以上となったときに前記補正値を求める処理の再実行を促す報知処理を実行する。
【００１０】
また、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記検査部は、前記良否検査を同種類の複数の前記検査対象体に対して実行する際に、前記複数の検査対象体のうちの一部の検査対象体に対する前記良否検査が終了した中間時点における当該検査対象体の不良率が予め決められた規定率以上のときに、前記中間時点以後の良否検査において前記補正処理を実行する。
【００１１】
また、請求項４記載の検査方法は、回路基板に搭載される検査対象体に対する良否検査を実行する検査方法であって、回路基板に搭載されていない状態の前記検査対象体に測定用信号を供給して当該検査対象体の抵抗値を測定する測定処理を複数の測定レンジの中から切り替えた測定レンジで実行し、前記検査対象体に対して予め決められた規定範囲と前記測定した抵抗値とを比較して前記検査対象体に対する良否検査を実行する際に、前記複数の測定レンジのうちの前記規定範囲における上限値に予め対応付けられている測定レンジで前記測定処理を実行し、前記測定処理を実行する測定レンジの上限値が予め決められた規定値以下のときには、良品の前記検査対象体が前記回路基板に搭載されている状態において測定されるべき抵抗値として予め決められた第１抵抗値と当該良品の検査対象体について測定した抵抗値としての第２抵抗値との差分値、または当該第１抵抗値と当該第２抵抗値との比率を補正値として求め、前記測定した検査対象体の抵抗値および前記規定範囲のいずれか一方を前記補正値で補正する補正処理を実行し、当該いずれか一方を用いて前記良否検査を実行する。
【００１２】
また、請求項５記載の検査方法は、請求項４記載の検査方法において、前記補正値を求めた後に実行した前記測定処理の回数が予め決められた規定回数以上となったときに前記補正値を求める処理の再実行を促す報知処理を実行する。
【００１３】
また、請求項６記載の検査方法は、請求項４または５記載の検査方法において、前記良否検査を同種類の複数の前記検査対象体に対して実行する際に、前記複数の検査対象体のうちの一部の検査対象体に対する前記良否検査が終了した中間時点における当該検査対象体の不良率が予め決められた規定率以上のときに、前記中間時点以後の良否検査において前記補正処理を実行する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の検査装置、および請求項４記載の検査方法では、測定レンジの上限値が予め決められた規定値以下のときには、第１抵抗値と測定部によって測定された良品の第２抵抗値との差分値、または第１抵抗値と第２抵抗値との比率を補正値として求め、測定した検査対象体の抵抗値および規定範囲のいずれか一方を補正値で補正する補正処理を実行する。つまり、この検査装置および検査方法では、測定部の特性やプローブの形状等に拘わらず検査対象体に対して予め決められた同じ規定範囲を入力して、測定した検査対象体の抵抗値および入力した規定範囲のいずれか一方を補正して、補正したいずれか一方を用いて検査対象体の良否を検査する。このため、この検査装置および検査方法によれば、複数の検査装置を用いて複数の抵抗器に対する良否検査を行う場合や、プローブを交換した場合であっても、検査装置やプローブ毎に異なる補正値で規定範囲を補正したり、検査装置やプローブ毎に異なる補正値を入力したりする作業を不要とすることによって人為的なミスの発生を十分に低く抑えることができる結果、検査精度を十分に向上させることができる。また、これらの作業を不要とすることができる分、検査効率を十分に向上させることができる。
【００１５】
また、請求項２記載の検査装置、および請求項５記載の検査方法によれば、補正値を求めた後に実行した測定処理の回数が予め決められた規定回数以上となったときに補正値を求める処理の再実行を促す報知処理を実行することにより、数多くの良否検査（測定処理）を実行することによってプローブが摩耗して、プローブと検査対象体との接触抵抗が変化したときに、その接触抵抗の変化に起因して検査結果が不正確となる事態を確実に防止することができる。
【００１６】
また、請求項３記載の検査装置、および請求項６記載の検査方法によれば、同種類の複数の検査対象体のうちの一部の検査対象体に対する良否検査が終了した中間時点における検査対象体の不良率が予め決められた規定率以上のときに、中間時点以後の良否検査において補正処理を実行することにより、例えば、測定レンジの上限値が規定値よりも大きいために補正処理を実行しなかったことが原因で、不良率が実態とは異なる高い値となっているときに、補正処理を実行することでその不良率を実態に即した正しい値とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】抵抗器１００の構成を示す斜視図である。
【図３】検査処理５０のフローチャートである。
【図４】第１入力画面Ｇ１の表示画面図である。
【図５】抵抗器１００に対するプロービング状態を説明する説明図である。
【図６】補正値算出処理７０のフローチャートである。
【図７】第２入力画面Ｇ２の表示画面図である。
【図８】搭載状態における抵抗値と非搭載状態における抵抗値との関係を示す関係図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、検査装置および検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、検査装置１の構成について説明する。図１に示す検査装置１は、検査対象体の一例としての抵抗器１００の良否を検査する良否検査を実行可能に構成されている。ここで、抵抗器１００は、例えば、抵抗値が１０ｍΩ〜１００ｍΩ程度に規定された低抵抗のシャント抵抗器であって、図２に示すように、回路基板２００の導体パターン２０１に電極１０１が接続された状態で回路基板２００に搭載される。また、この抵抗器１００では、電極１０１を平面的に形成することにより、回路基板２００の導体パターン２０１と電極１０１との接触面積を大きくして、これによって導体パターン２０１と電極１０１との間の接触抵抗の低減が図られている。
【００２０】
一方、検査装置１は、図１に示すように、一対の電流供給用のプローブ１１ａ，１１ｂ（以下、区別しないときには「プローブ１１」ともいう）、一対の電圧検出用のプローブ１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「プローブ１２」ともいう）、プロービング機構１３、測定部１４、記憶部１５、操作部１６、表示部１７、搬送機構１８および制御部１９を備えて構成されている。
【００２１】
プローブ１１ａ，１１ｂは、後述する測定部１４の電源部４１に接続されている。プローブ１２ａ，１２ｂは、後述する測定部１４の電圧検出部４２に接続されている。プロービング機構１３は、制御部１９の制御に従い、抵抗器１００の電極１０１，１０１に対してプローブ１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂをプロービング（接触）させる（図５参照）。
【００２２】
測定部１４は、図１に示すように、単体の状態（回路基板２００に搭載されていない状態であって、以下「非搭載状態」ともいう）の抵抗器１００にプローブ１１ａ，１１ｂを介して測定用信号（交流定電流Ｉｍ）を供給して、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行可能に構成されている。具体的には、測定部１４は、同図に示すように、電源部４１、電圧検出部４２および演算回路４３を備えて構成されている。
【００２３】
電源部４１は、交流定電流Ｉｍを生成して出力する。この場合、電源部４１から出力された交流定電流Ｉｍは、プローブ１１ａ，１１ｂを介して抵抗器１００の電極１０１，１０１に供給される。電圧検出部４２は、図１に示すように、抵抗器１００の電極１０１，１０１に交流定電流Ｉｍが供給されたときに生じる電圧信号Ｖｍを、プローブ１２ａ，１２ｂを介して入力してその電圧値を検出する。また、電圧検出部４２は、切り替え可能な複数のレンジ抵抗を備えて構成され、このレンジ抵抗を切り替えることで、測定処理の実行時における測定レンジを複数の測定レンジの中から切り替えて設定することが可能となっている。一例として、この検査装置１では、０〜１００ｍΩ、０〜１Ω、０〜１０Ω、０〜５０Ωおよび０〜１００Ωの５つの測定レンジの１つに切り替えて設定することが可能に構成されている。演算回路４３は、交流定電流Ｉｍの電流値および電圧信号Ｖｍの電圧値に基づいて抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを算出（測定）する。
【００２４】
記憶部１５は、測定部１４によって測定される抵抗値Ｒｍを記憶する。また、記憶部１５は、上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂ（以下、上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂを併せて「上下限値Ｒａ，Ｒｂ」ともいう）を記憶する。この上下限値Ｒａ，Ｒｂは、制御部１９によって実行される検査処理５０（図３参照）において抵抗器１００の良否を判定する際に用いられる値であって、操作部１６に対する操作（第１入力操作）によって入力される。なお、上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂは、抵抗器１００毎に予め決められている。
【００２５】
また、記憶部１５は、操作部１６に対する操作によって入力された（予め決められた）規定値Ｒｒ３を記憶する。この場合、上記した上限値Ｒａがこの規定値Ｒｒ３以下のときには、検査処理５０において、後述する補正値算出処理７０（図６参照）が実行される。ここで、補正値算出処理７０は、プローブ１１，１２と検査対象体との接触抵抗等に起因して高めに測定される抵抗値Ｒｍを補正するのに必要な補正値を算出する処理であり、抵抗器１００のような低抵抗の検査対象体の良否検査を正確に行うには、この補正値算出処理７０を実行させて抵抗値Ｒｍを補正する必要がある。一方、プローブ１１，１２と検査対象体との接触抵抗に比べて十分に高抵抗の検査対象体を検査するとき、つまり、抵抗値Ｒｍを補正しなくても良否検査を十分正確に行うことができるときには、処理効率の観点から、補正値算出処理７０を省略して、補正自体を省略するするのが好ましい。このため、補正値算出処理７０の実行を必要する低い値（例えば、５００ｍΩ程度の値）が規定値Ｒｒ３として決められている。
【００２６】
さらに、記憶部１５は、第１抵抗値Ｒｒ１を記憶する。この第１抵抗値Ｒｒ１は、検査対象の抵抗器１００の良品サンプル１００ａ（ゴールデンサンプル）を回路基板２００に搭載している状態（図２に示す状態であって、以下「搭載状態」ともいう）で測定したときに測定されるべき抵抗値であって、操作部１６に対する操作（第２入力操作）によって入力される。また、記憶部１５は、測定部１４によって測定される良品サンプル１００ａの抵抗値Ｒｍを第２抵抗値Ｒｒ２として記憶する。この第１抵抗値Ｒｒ１および第２抵抗値Ｒｒ２は、補正値算出処理７０において用いられる。また、記憶部１５は、補正値算出処理７０において算出された補正値Ｒｃを記憶する。また、記憶部１５は、抵抗器１００に対する良否検査の結果を記憶する。
【００２７】
操作部１６は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号Ｓｏを出力する。表示部１７は、制御部１９の制御に従い、各種の画面や画像を表示する。具体的には、表示部１７は、上記した上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂを入力するための第１入力画面Ｇ１（図４参照）、および上記した第１抵抗値Ｒｒ１を入力するための第２入力画面Ｇ２（図７参照）を表示する。また、表示部１７は、測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍや制御部１９によって行われる抵抗器１００に対する良否検査の結果を表示する。搬送機構１８は、制御部１９の制御に従い、検査対象の抵抗器１００を供給位置から検査位置に搬送すると共に、検査が終了した抵抗器１００を検査位置から取り出し位置に搬送する。
【００２８】
制御部１９は、操作部１６から出力される操作信号Ｓｏに従ってプロービング機構１３、測定部１４および表示部１７を制御する。また、制御部１９は、検査部として機能して、図３に示す検査処理（良否検査）５０を実行する。この場合、制御部１９は、この検査処理５０において、上記した上下限値Ｒａ，Ｒｂによって規定される規定範囲と測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍとを比較して抵抗器１００の良否を検査する。
【００２９】
次に、検査装置１を用いて、抵抗器１００に対する良否検査を行う検査方法、およびその際の検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００３０】
この検査装置１では、操作部１６に対して検査開始の操作がされたときに、制御部１９が、図３に示す検査処理５０を実行する。この検査処理５０では、制御部１９は、まず、表示部１７を制御して、図４に示す第１入力画面Ｇ１を表示させる（ステップ５１）。次いで、この第１入力画面Ｇ１の案内に従って操作部１６を操作（第１入力操作）して、検査対象の抵抗器１００に対して予め決められた上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂを入力する。この際に、操作部１６が第１入力操作に応じた操作信号Ｓｏを出力し、制御部１９が操作信号Ｓｏに従い、上下限値Ｒａ，Ｒｂを記憶部１５に記憶させる（ステップ５２）。
【００３１】
また、制御部１９は、測定部１４による測定処理の実行時における測定レンジを特定する測定レンジ特定処理を実行する（ステップ５３）。この測定レンジ特定処理では、制御部１９は、５つの測定レンジの中から上限値Ｒａ（規定範囲の上限値）が属する測定レンジを特定し、その測定レンジが複数存在するときにはそれらのうちの最小の測定レンジ（規定範囲の上限値に予め対応付けられている測定レンジの一例）を測定処理の実行時における測定レンジとして特定する。この場合、例えば、上限値Ｒａに予め決められた余裕分（例えば、上限値Ｒａの１．５倍の値）を加えた値が属する測定レンジのうちの最小の測定レンジ（規定範囲の上限値に予め対応付けられている測定レンジの他の一例）を測定処理の実行時における測定レンジとして特定することもできる。
【００３２】
続いて、制御部１９は、特定した測定レンジの上限値が予め入力されている（予め決められた）規定値Ｒｒ３以下であるか否かを判別する（ステップ５４）。この場合、例えば、上記した第１入力操作によって入力された上限値Ｒａが５２ｍΩで下限値Ｒｂが４８ｍΩのときには、制御部１９は、上記したステップ５３において、０〜１００ｍΩの測定レンジを測定処理の実行時における測定レンジとして特定する。また、規定値Ｒｒ３が例えば５００ｍΩのときには、制御部１９は、ステップ５４において、特定した測定レンジの上限値（１００ｍΩ）が規定値Ｒｒ３（５００ｍΩ）以下であると判別して、補正値算出処理７０（図６参照）を実行する（ステップ５５）。
【００３３】
この補正値算出処理７０では、制御部１９は、表示部１７を制御して、図７に示す第２入力画面Ｇ２を表示させる（ステップ７１）。次いで、この第２入力画面Ｇ２の案内に従って操作部１６を操作（第２入力操作）して、検査対象の抵抗器１００の良品サンプル１００ａに対して予め決められた第１抵抗値Ｒｒ１（良品サンプル１００ａが回路基板２００に搭載されている状態において測定されるべき抵抗値Ｒｍ）を入力したときには、制御部１９が、操作部１６から出力される操作信号Ｓｏに従い、第１抵抗値Ｒｒ１を記憶部１５に記憶させる（ステップ７２）。続いて、搬送機構１８に抵抗器１００の良品サンプル１００ａをセットして、操作部１６に対してセット完了を示す操作を行う。
【００３４】
次いで、制御部１９は、操作部１６からの操作信号Ｓｏに応じて搬送機構１８を制御して、良品サンプル１００ａを検査位置に搬送させる。続いて、制御部１９は、測定部１４に対して、特定した測定レンジでの測定処理の実行を指示する（ステップ７３）。これに応じて、測定部１４では、電源部４１が交流定電流Ｉｍを生成して出力する。次いで、制御部１９は、プロービング機構１３を制御して、図５に示すように、プローブ１１ａ，１１ｂおよびプローブ１２ａ，１２ｂを良品サンプル１００ａの電極１０１，１０１に接触させる。この際に、交流定電流Ｉｍがプローブ１１ａ，１１ｂを介して良品サンプル１００ａに供給される。続いて、測定部１４の電圧検出部４２が、交流定電流Ｉｍの供給に伴って生じた電圧信号Ｖｍをプローブ１２ａ，１２ｂを介して入力して、その電圧値を検出する。
【００３５】
次いで、演算回路４３が、交流定電流Ｉｍの電流値、および電圧検出部４２によって検出された電圧信号Ｖｍの電圧値に基づいて良品サンプル１００ａの抵抗値Ｒｍを算出する。続いて、制御部１９は、演算回路４３によって算出された抵抗値Ｒｍを第２抵抗値Ｒｒ２として記憶部１５に記憶させる（ステップ７４）。次いで、制御部１９は、補正値Ｒｃを算出する（ステップ７５）。この場合、制御部１９は、一例として、第２抵抗値Ｒｒ２から第１抵抗値Ｒｒ１を減算して、その値（両者の差分値（Ｒｒ２−Ｒｒ１））を補正値Ｒｃとする（図８参照）。なお、同図では、測定部１４によって測定される抵抗器１００の抵抗値Ｒｍ（つまり、非搭載状態における抵抗値Ｒｍ）と、搭載状態における抵抗値とが等しいとき（両者が１：１のとき）の両者の関係を破線で図示し、非搭載状態における抵抗値Ｒｍの方が搭載状態における抵抗値よりも大きいときの両者の関係を実線で図示している。
【００３６】
続いて、制御部１９は、ステップ７５で算出した補正値Ｒｃを記憶部１５に記憶させて、補正値算出処理７０（検査処理５０のステップ５５）を終了する。次いで、制御部１９は、表示部１７を制御して、補正値算出処理７０が終了した旨を表示させると共に、搬送機構１８を制御して、良品サンプル１００ａを検査位置から取り出し位置に搬送させる。続いて、搬送機構１８に検査対象の抵抗器１００をセットして、操作部１６に対してセット完了を示す操作を行う。次いで、制御部１９は、操作部１６からの操作信号Ｓｏに応じて搬送機構１８を制御して、抵抗器１００を検査位置に搬送させる。続いて、制御部１９は、検査処理５０のステップ５６を実行して、測定部１４に対して、上記した測定レンジでの測定処理の実行を指示する。
【００３７】
これに応じて、測定部１４が測定処理を実行して、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する。次いで、制御部１９は、判定処理を実行する（ステップ５７）。この判定処理では、制御部１９は、記憶部１５から補正値Ｒｃを読み出して、続いて、測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍ（以下、この時点（補正前）の抵抗値Ｒｍを「抵抗値Ｒｍ１」ともいう）を補正値Ｒｃで補正する補正処理を実行する。具体的には、制御部１９は、この補正処理において、抵抗値Ｒｍ１から補正値Ｒｃを差し引いて抵抗値Ｒｍ１を補正する（以下、補正後の抵抗値Ｒｍを「抵抗値Ｒｍ２」ともいう：図８参照）。次いで、制御部１９は、記憶部１５から上下限値Ｒａ，Ｒｂを読み出して、抵抗値Ｒｍ２と上下限値Ｒａ，Ｒｂ（規定範囲）とを比較する。この場合、制御部１９は、抵抗値Ｒｍ２が上下限値Ｒａ，Ｒｂの範囲内のときには、抵抗器１００を良好と判定して、抵抗値Ｒｍ２が上下限値Ｒａ，Ｒｂの範囲外のときには、抵抗器１００を不良と判定する。続いて、制御部１９は、判定結果を記憶部１５に記憶させると共に、判定結果を表示部１７に表示させる。また、制御部１９は、搬送機構１８を制御して、抵抗器１００を検査位置から取り出し位置に搬送させる。
【００３８】
次いで、制御部１９は、検査終了が指示されたか否か（その旨の操作信号Ｓｏが出力されたか否か）を判別する（ステップ５８）。制御部１９は、このステップ５８において、検査終了が指示されたと判別したときには、検査処理５０を終了する。また、制御部１９は、検査終了が指示されていないと判別したきには、操作部１６からセット完了を示す操作信号Ｓｏが出力されるまで待機して、その操作信号Ｓｏが出力されたときに、次の抵抗器１００に対して上記したステップ５６〜５８、つまり測定処理の実行指示、補正処理および判定処理を実行すると共に、判定結果の記憶および表示、並びに抵抗器１００の搬送を実行させる。以後、制御部１９は、この処理を繰り返すことにより、複数の抵抗器１００に対する検査を連続的に実行する。
【００３９】
ここで、抵抗器１００における電極１０１とプローブ１１，１２との間の接触抵抗は、一般的に、抵抗器１００が搭載される回路基板２００の導体パターン２０１と電極１０１との間の接触抵抗と比較すると大きい。このため、測定部１４によって測定される抵抗器１００の抵抗値Ｒｍ（つまり、非搭載状態における抵抗値Ｒｍ）と搭載状態における抵抗値との関係は、両者が等しい関係（図８に破線で示す関係）とはならず、同図に実線で示すように、接触抵抗が大きい分、非搭載状態における抵抗値Ｒｍの方が搭載状態における抵抗値よりも大きい関係となる。一方、抵抗器１００の良否判定に用いる上下限値Ｒａ，Ｒｂは、搭載状態における抵抗器１００の抵抗値が適正であるか否かを判定するためのものである。このため、搭載状態で測定したときに測定されるべき良品サンプル１００ａの抵抗値Ｒｍの許容範囲、具体的には、良品サンプル１００ａの電極１０１と回路基板２００の導体パターン２０１とを半田付け等によって接続してその導体パターン２０１を測定部１４の電源部４１および電圧検出部４２に繋いで（つまり、プローブ１１，１２を用いることなく）測定したときの抵抗値Ｒｍの許容範囲がこの上下限値Ｒａ，Ｒｂとして規定されている。したがって、抵抗器１００の良否を正確に判定するためには、非搭載状態における抵抗値Ｒｍと搭載状態における抵抗値との差分値（つまり、同図に示す補正値Ｒｃ）に基づいて何らかの補正を行う必要がある。
【００４０】
この場合、従来の検査装置では、抵抗器１００のような低抵抗の検査対象体の良否検査に際しては、測定部１４の特性やプローブ１１，１２の形状などに応じた補正値で上下限値Ｒａ，Ｒｂを補正して、その補正後の上下限値Ｒａ，Ｒｂと測定した抵抗値Ｒｍとを比較して良否の判定を行っている。このため、例えば、数多くの抵抗器１００に対する良否検査を、従来の検査装置を複数用いて行うときには、上下限値Ｒａ，Ｒｂを各検査装置毎に異なる補正値で補正（計算）したり、補正した上下限値Ｒａ，Ｒｂを入力する作業が多くなる結果、計算誤りや入力誤りなどの人為的なミスが発生する可能性が高くなり、これに起因して、検査精度が低下するおそれがある。また、これらの作業に起因して、検査効率が低下する。
【００４１】
これに対して、この検査装置１では、測定部１４の特性やプローブ１１，１２の形状等に拘わらず、検査対象体に対して予め決められた同じ上下限値Ｒａ，Ｒｂを入力して、入力した上下限値Ｒａ，Ｒｂをそのままとし（補正せずに）、測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍ１を制御部１９が自動的に補正して補正後の抵抗値Ｒｍ２と上下限値Ｒａ，Ｒｂとを比較して抵抗器１００の良否を検査する。このため、この検査装置１では、複数の検査装置１を用いて数多くの抵抗器１００に対する良否検査を行う場合や、プローブ１１，１２を交換した場合であっても、検査装置１やプローブ１１，１２毎に異なる補正値で上下限値Ｒａ，Ｒｂを補正したり、検査装置１やプローブ１１，１２毎に異なる補正値を入力したりする作業が不要となって人為的なミスの発生が十分に低く抑えられる結果、検査精度を十分に向上させることが可能となっている。また、これらの作業が不要な分、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。
【００４２】
一方、上記した検査処理５０のステップ５４において、特定した測定レンジの上限値が予め決められた規定値Ｒｒ３を超えている（規定値Ｒｒ３以下ではない）と判別したときには、制御部１９は、ステップ５５（補正値算出処理７０）を実行することなくステップ５６を実行して測定部１４に対して測定処理の実行を指示する。また、制御部１９は、特定した測定レンジの上限値が予め決められた規定値Ｒｒ３を超えていると判別したときには、ステップ５７（判定処理）において、測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍを補正することなく、上下限値Ｒａ，Ｒｂと比較する。したがって、特定した測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３を超えているとき、つまり、抵抗値Ｒｍを補正しなくても良否検査を十分正確に行うことができる程度に検査対象体が高抵抗のときに、補正値算出処理７０の実行を省略することで、処理効率を十分に高めることが可能となる。
【００４３】
このように、この検査装置１および検査方法では、測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３以下のときには、第１抵抗値Ｒｒ１と測定部１４によって測定された良品サンプル１００ａの第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして求め、その補正値Ｒｃで測定部１４によって測定された抵抗器１００の抵抗値Ｒｍ１を補正する補正処理を実行する。つまり、この検査装置１では、測定部１４の特性やプローブ１１，１２の形状等に拘わらず検査対象体に対して予め決められた同じ上下限値Ｒａ，Ｒｂを入力して、入力した上下限値Ｒａ，Ｒｂをそのままとし、測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍ１を制御部１９が自動的に補正して、補正後の抵抗値Ｒｍ２と上下限値Ｒａ，Ｒｂとを比較して抵抗器１００の良否を検査する。このため、この検査装置１によれば、複数の検査装置１を用いて複数の抵抗器１００に対する良否検査を行う場合や、プローブ１１，１２を交換した場合であっても、検査装置１やプローブ１１，１２毎に異なる補正値で上下限値Ｒａ，Ｒｂを補正したり、検査装置１やプローブ１１，１２毎に異なる補正値を入力したりする作業を不要とすることによって人為的なミスの発生を十分に低く抑えることができる結果、検査精度を十分に向上させることができる。また、これらの作業を不要とすることができる分、検査効率を十分に向上させることができる。
【００４４】
なお、上記した検査装置１および検査方法は、一例であって、適宜変更することができる。例えば、補正値算出処理７０および補正処理において、第１抵抗値Ｒｒ１と第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして、その補正値Ｒｃを測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍ１から差し引くことによって抵抗値Ｒｍ１を補正する構成例について上記したが、第１抵抗値Ｒｒ１と第２抵抗値Ｒｒ２との比率で抵抗値Ｒｍ１を補正する構成および方法を採用することもできる。具体的には、第１抵抗値Ｒｒ１と第２抵抗値Ｒｒ２との比率（例えば、Ｒｒ１／Ｒｒ２）を補正値（補正率）として、その補正値を測定部１４によって測定された抵抗値Ｒｍ１に乗算して（つまり、Ｒｍ１×（Ｒｒ１／Ｒｒ２））抵抗値Ｒｍ１を補正する。この構成においても、上記した検査装置１と同様の効果を実現することができる。
【００４５】
また、補正値Ｒｃを抵抗値Ｒｍ１から差し引く構成および方法に代えて、上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂに補正値Ｒｃをそれぞれ加えて上下限値Ｒａ，Ｒｂ（規定範囲）を補正し、その補正後の規定範囲と抵抗値Ｒｍとを比較して良否検査を実行する構成および方法を採用することもできる。さらに、上記した補正値（補正率）としての第１抵抗値Ｒｒ１と第２抵抗値Ｒｒ２との比率（例えば、Ｒｒ１／Ｒｒ２）で上限値Ｒａおよび下限値Ｒｂを除算して上下限値Ｒａ，Ｒｂ（規定範囲）を補正し、その補正後の規定範囲と抵抗値Ｒｍとを比較して良否検査を実行する構成を採用することもできる。
【００４６】
また、上記した検査処理５０において、補正値算出処理７０を実行して補正値Ｒｃを求め、その後に同種類の複数の抵抗器１００に対する良否検査を繰り返して行い、その検査回数（抵抗値Ｒｍを測定する測定処理の回数）が予め決められた規定回数以上となったときに、補正値Ｒｃを求める処理の再実行を促す報知処理を実行する構成および方法を採用することもできる。この構成によれば、数多くの良否検査（測定処理）を実行することによってプローブ１１，１２が摩耗して、プローブ１１，１２と電極１０１との接触抵抗が変化したときに、その接触抵抗の変化に起因して検査結果が不正確となる事態を確実に防止することができる。
【００４７】
また、同種類の複数の抵抗器１００に対して良否検査を実行する際に、複数の抵抗器１００のうちの一部の抵抗器１００に対する良否検査が終了した中間時点における抵抗器１００の不良率が予め決められた規定率以上のときに、その中間時点以後の良否検査において補正処理を実行する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、例えば、上限値Ｒａ（規定範囲の上限値）が属する測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３よりも大きいために補正処理を実行しなかったことが原因で、不良率が実態とは異なる高い値となっているときに、補正処理を実行することでその不良率を実態に即した正しい値とすることができる。
【００４８】
また、検査対象体としての低抵抗の抵抗器１００に対して検査を行う例について上記したが、これには限定されず、スイッチ等の各種の電気部品を検査対象体とすることができるのは勿論である。
【符号の説明】
【００４９】
１  検査装置
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ  プローブ
１４  測定部
１９  制御部
５０  検査処理
７０  補正値算出処理
１００  抵抗器
１００ａ  良品サンプル
２００  回路基板
Ｉｍ  交流定電流
Ｒａ，Ｒｂ  上下限値
Ｒｃ  補正値
Ｒｍ  抵抗値
Ｒｒ１  第１抵抗値
Ｒｒ２  第２抵抗値
Ｒｒ３  規定値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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