(57)【要約】【課題】従来よりも搬送によりガラス基板につく傷をなるべく少なくするガラス基板搬送装置を提供する。【解決手段】ガラス基板の洗浄工程において前記ガラス基板を略水平状態で搬送するガラス基板搬送装置１００であって、回転軸１０１と、駆動部と、リング部材１０２とを備える。回転軸１０１は、ｊ個（ｊは４以上の整数）ある。回転軸１０１は、搬入側から搬出側に向かって第１、第２、・・・、第ｊ回転軸１０１と並ぶ。リング部材１０２は、第１状態となるように配置される。第１状態とは、直線Ｌ１および直線Ｌ２それぞれと第ｍ回転軸１０１（ｍは２より大きく、かつ、ｊより小さい整数）とが直交する点Ｐ１および点Ｐ２上にリング部材１０２が装着されておらず、かつ、第ｍ回転軸１０１上のＰ１およびＰ２の間にリング部材１０２が１つ装着されている状態である。【選択図】図８
2012035943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の洗浄工程において前記ガラス基板を略水平状態で搬送するガラス基板搬送装置（１００）であって、
前記ガラス基板の搬送方向と水平に直交し、搬入側から搬出側に向かって第１、第２、・・・、第ｊ回転軸と並ぶｊ個（ｊは４以上の整数）の回転軸（１０１）と、
前記回転軸を回転させる駆動部と、
前記ｊ個の回転軸それぞれに前記ガラス基板の搬送方向に見て右端から左端に向かって第１、第２、・・・、第ｋリング部材と並んで装着されるｋ個（ｋは回転軸ごとに設定される３以上の整数）のリング部材（１０２）と、
を備え、
前記リング部材（１０２）は、
直線Ｌ１および直線Ｌ２それぞれと前記第ｍ回転軸（１０１）（ｍは２より大きく、かつ、ｊより小さい整数）とが直交する点Ｐ１および点Ｐ２上に前記リング部材（１０２）が装着されておらず、かつ、前記第ｍ回転軸（１０１）上の前記Ｐ１および前記Ｐ２の間に前記リング部材（１０２）が１つ装着される、第１状態となるように配置されており、
前記直線Ｌ１は、前記第ｍ−１回転軸（１０１）に前記第ｎリング部材（１０２）（ｎは１より大きく、かつ、ｋ−１より小さい整数）が装着される点において前記第ｍ−１回転軸と水平に直交する直線であり、
前記直線Ｌ２は、前記第ｍ−１回転軸（１０１）に前記第ｎ＋１リング部材（１０２）が装着される点において前記第ｍ−１回転軸（１０１）と水平に直交する直線である、
ガラス基板搬送装置（１００）。
【請求項２】
前記リング部材（１０２）の１０％以上が前記第１状態になるように配置される、
請求項１に記載のガラス基板搬送装置（１００）。
【請求項３】
前記ガラス基板に接触する前記リング部材（１０２）の前記ガラス基板搬送方向に直交する幅が４ｍｍ以下である、
請求項１または２に記載のガラス基板搬送装置（１００）。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のガラス基板搬送装置（１００）と、
前記ガラス基板を超音波洗浄する超音波洗浄機（２０４）と、
を備える、
ガラス基板洗浄ユニット（２００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用のガラス基板を取り扱う工程において、ガラス基板を水平に搬送するガラス基板搬送装置がある。ガラス基板搬送装置は、例えば、特許文献１（特開２００８−６３１４４号公報）に記載されているように、ガラス基板を下からコロあるいはＯリングと呼ばれるリング部材で支え、当該リング部材を回転させることによりガラス基板を水平方向に搬送する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ガラス基板を、上記のようなリング部材を用いた搬送装置を用いて搬送すると、リング部材の先端に付着したガラスの破片等の硬いゴミによりガラス基板に傷がつくことがある。近年、ガラス基板が大型化し、また、薄くなってきており、それに伴ってガラス基板搬送装置のリング部材の数も増えると、ガラス基板につく傷も増加するようになった。傷は、ガラス製品の品質として好ましいものではない。特に高品質が要求される液晶ディスプレイ用のガラス基板にとっては、致命的な品質上の欠陥となる。そこで、なるべくガラス基板につく傷が減るようにガラス基板を搬送することが課題となっていた。
【０００４】
本発明の課題は、搬送によりガラス基板につく傷をなるべく少なくするガラス基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１観点に係るガラス基板搬送装置は、ガラス基板の洗浄工程において前記ガラス基板を略水平状態で搬送するガラス基板搬送装置であって、回転軸と、駆動部と、リング部材とを備える。回転軸は、ｊ個あり、ｊは４以上の整数である。回転軸は、ガラス基板の搬送方向と水平に直交し、搬入側から搬出側に向かって第１、第２、・・・、第ｊ回転軸と並ぶ。駆動部は、回転軸を回転させる。リング部材は、各回転軸にｋ個装着されているが、ｋは回転軸ごとに設定される３以上の整数である。つまり、装着されるリング部材の数は、全ての回転軸において同じとは限らない。リング部材は、第１状態となるように配置される。第１状態とは、直線Ｌ１および直線Ｌ２それぞれと第ｍ回転軸（ｍは２より大きく、かつ、ｊより小さい整数）とが直交する点Ｐ１および点Ｐ２上にリング部材が装着されておらず、かつ、第ｍ回転軸上のＰ１およびＰ２の間にリング部材が１つ装着されている状態である。直線Ｌ１は、第ｍ−１回転軸に第ｎリング部材（ｎは１より大きく、かつ、ｋ−１より小さい整数）が装着される点において第ｍ−１回転軸と水平に直交する直線である。直線Ｌ２は、第ｍ−１回転軸に第ｎ＋１リング部材が装着される点において第ｍ−１回転軸と水平に直交する直線である。
【０００６】
このガラス基板搬送装置では、リング部材は、第１状態となるように配置されている。第１状態では、所定の部分において、１つの回転軸上に連続して並ぶ任意の２つのリング部材は、そのガラス搬送方向における隣に位置する回転軸に装着されているリング部材とガラス基板搬送方向に一直線上に並んで配置されていない。第１状態では、１つの回転軸上に連続して並ぶ任意の２つのリング部材の間には、当該回転軸のガラス搬送方向における隣の回転軸上に１つのリング部材が装着されている。ガラス基板は、下方からこの３つのリング部材により、全ての内角が鋭角の三角形をなすような３点で支えられる。なお、所定の部分とは、ガラス基板の搬入側および搬出側の両端に位置する回転軸に装着されているリング部材と、それ以外の各回転軸の両端に装着されているリング部材とを除いた部分である。
【０００７】
このようにリング部材を配置することにより、ガラス基板を搬送中に破損することなくリング部材の数を少なくできる。これによりリング部材との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができる。
【０００８】
なお、当該ガラス基板搬送装置は、特に、厚さ０．７ｍｍ以下のガラス基板の搬送に効果がある。
【０００９】
本発明の第２観点に係るガラス基板搬送装置は、第１観点に係るガラス基板搬送装置であって、リング部材の１０％以上が第１状態になるように配置される。
【００１０】
このガラス基板搬送装置では、全ての回転軸に装着されている全リング部材に占める第１状態になるように配置されているリング部材の数が１０％以上である。このようにリング部材を配置することにより、ガラス基板を搬送中に破損することなくリング部材の数を少なくできる。これによりリング部材との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができる。
【００１１】
なお、３５％以上のリング部材が第１状態になるように配置されていると、より効果があり、好ましい。
【００１２】
本発明の第３観点に係るガラス基板搬送装置は、第１観点又は第２観点に係るガラス基板搬送装置であって、ガラス基板に接触するリング部材のガラス基板搬送方向に直交する幅が４ｍｍ以下である。
【００１３】
このガラス基板搬送装置では、リング部材のガラス基板に接触する部分の幅が４ｍｍ以下である。当該幅とは、リング部材のガラス基板に接触する部分のガラス基板搬送方向に水平に直交する方向の長さである。この幅が４ｍｍ以下と小さいので、ガラス基板に接触するリング部材の面積も小さくできる。これにより、リング部材との接触によりガラス基板につく傷をさらに減らすことができる。
【００１４】
本発明の第４観点に係るガラス基板洗浄ユニットは、第１観点から第３観点のいずれかに係るガラス基板搬送装置と、超音波洗浄機とを備える。超音波洗浄機は、ガラス基板を超音波洗浄する。
【００１５】
このガラス基板洗浄ユニットでは、超音波洗浄機においてガラス基板は、第１観点から第３観点のいずれかに係るガラス基板搬送装置により搬送される。これにより、超音波洗浄機を備えるガラス基板洗浄ユニットにおいて、ガラス基板搬送中にリング部材との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の第１観点から第３観点に係るガラス基板搬送装置では、ガラス基板につく傷を減らすことができる。
【００１７】
本発明の第４観点に係るガラス基板洗浄ユニットでは、ガラス基板搬送中にガラス基板につく傷を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス基板洗浄ユニットの概略図。
【図２】本発明の実施形態に係るガラス基板搬送装置のＯリングの配置図（洗浄機）。
【図３】本発明の実施形態に係るガラス基板搬送装置のＯリングの配置図（加工ユニット）。
【図４】本発明の実施形態に係るガラス基板搬送装置のＯリングの配置図（加工ユニット）。
【図５】本発明の実施形態に係るガラス基板搬送装置のＯリングの配置図（超音波洗浄機）。
【図６】本発明の実施形態に係るガラス基板搬送装置のＯリングの図。
【図７】ガラス基板搬送装置のＯリングの従来および改善後の配置図。
【図８】本発明に係るガラス基板搬送装置のＯリングの配置についての説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（１）ガラス基板洗浄ユニット２００の構成
まず、本発明にかかるガラス基板搬送装置１００を備えた各種機器から構成されるガラス基板洗浄ユニット２００について図１を用いて説明する。
【００２０】
ガラス基板洗浄ユニット２００は、ガラス基板の洗浄工程においてガラス基板を取り扱う一連の機器からなる。具体的には、ガラス基板洗浄ユニット２００は、受入機２０１、洗浄機２０２、加工ユニット２０３、および、超音波洗浄機２０４からなる。
【００２１】
前工程から搬送されてきたガラス基板は、まず受入機２０１に受け入れられ、その後、ガラス基板搬送装置１００によりガラス基板洗浄ユニット２００内を、本実施形態においては、水平方向に搬送されていく。ガラス基板は、受入機２０１から洗浄機２０２に搬送され、ここでシャワーにより水等をかけられ洗浄される。
【００２２】
次に、ガラス基板は、加工ユニット２０３に搬送され、端面加工される。加工ユニット２０３は、ガラス基板の端面を削って加工する一つ以上の加工機とガラス基板を９０度反転させる一つ以上の反転機からなる。ガラス基板は、反転機において、シャワーにより水等がかけられる。
【００２３】
次に、ガラス基板は、超音波洗浄機２０４へ搬送される。超音波洗浄機２０４では、ガラス基板は洗浄槽において水等の液体に浸される。超音波洗浄機２０４は、ガラス基板が浸されている液体に超音波を照射することにより当該液体を振動させ、ガラス基板に付着しているゴミ等の汚れを落とす。超音波は、２０ｋＨｚ以上の耳に聞こえない音波であり、電気振動を発生させる発振器と当該電気振動を機械振動に変換する振動子により生成される。振動子は、洗浄槽に取り付けられており、洗浄槽内の液体に振動を与える。
【００２４】
（２）搬送装置１００の構成
（２−１）搬送装置１００
次にガラス基板搬送装置１００について説明する。
【００２５】
ガラス基板搬送装置は、複数のＯリング１０２と呼ばれるリング部材を有する複数の回転軸１０１と当該回転軸１０１を回転駆動する駆動部を有する。
【００２６】
なお、本明細書では、ガラス基板搬送装置１００を、ガラス基板搬送装置１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、および、１００ｄのいずれか又は全てを指すものとして用いている。また、回転軸１０１を、回転軸１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ、および、１０１ｅのいずれか又は全てを指すものとして用いている。また、Ｏリング１０２を、Ｏリング１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ、および、１０２ｅのいずれか又は全てを指すものとして用いている。
【００２７】
（２−１−１）回転軸１０１
回転軸１０１は、円柱状の棒である。回転軸１０１は、ガラス基板の搬送方向と水平に直交し、搬入側から搬出側に向かって第１、第２、・・・、第ｊ回転軸１０１とｊ個（ｊは４以上の整数）並ぶように設置されている。回転軸１０１それぞれには、ｋ個（ｋは回転軸１０１ごとに設定される３以上の整数）のＯリング１０２が、ガラス基板の搬送方向に見て右端から左端に向かって第１、第２、・・・、第ｋＯリング１０２と並んで装着されている。
【００２８】
（２−１−２）Ｏリング１０２
Ｏリング１０２は、図６に示されているとおり、円環状の部材、すなわち、リング部材である。Ｏリング１０２は、その中心に回転軸１０１が通された状態で回転軸１０１に装着されている。Ｏリング１０２は、下からガラス基板に接触し支える。Ｏリング１０２の大きさは、様々である。本実施形態においては、洗浄ユニット２００の超音波洗浄機２０４以外の機器においては、Ｏリング１０２は、直径１０ｃｍであり、プラスチック製で、図６の１０４で示す先端部分に樹脂を装着している。超音波洗浄機２０４以外の機器においては、Ｏリング１０２の幅（図６のＢ）は、３ｍｍである。Ｏリング１０２のガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅（図６のＡ）は、１ｍｍである。洗浄ユニット２００の超音波洗浄機２０４においては、Ｏリング１０２は、直径６ｃｍであり、樹脂製である。超音波洗浄機２０４においては、ガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅（図６のＡ）は、４ｍｍである。なお、Ｏリング１０２の先端は、ガラス基板の重みにより押されることにより平坦になるので、Ｏリング１０２のガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅は、図６のAで示されている部分になる。
【００２９】
（２−１−３）駆動部
駆動部は、電気モーター、歯車、および、ベルト等からなる。電気モーターにより生成された回転運動は、歯車及びベルト等により回転軸１０１に伝えられ、回転軸１０１を回転させる。駆動部により回転軸１０１が回転されると、ガラス基板を下から支えているＯリング１０２が回転し、ガラス基板は、ガラス基板とＯリング１０２の接触面におけるＯリング１０２の回転方向に押し出される。
【００３０】
（３）Ｏリング１０２の配置
（３−１）従来の配置
従来、Ｏリング１０２は、図７に示されているガラス基板搬送装置１００ｅの１０３ａの部分のように配置されていた。すなわち、各回転軸１０１は、全て同じ数のＯリング１０２を有し、１つの回転軸１０１上の各Ｏリング１０２が装着されている点において当該回転軸１０１と水平に直交する各直線上に他の全ての回転軸１０１上のＯリング１０２が並んでいた。
【００３１】
（３−２）従来の配置の問題
ところで、Ｏリング１０２を用いたガラス基板搬送装置１００ｅによりガラス基板を搬送すると、Ｏリング１０２の先端に付着したガラスの破片等の硬いゴミによりガラス基板のＯリング１０２との接触面に線状等の傷がつくことがある。特に、近年、ガラス基板が大型化し、また、薄くなってきており、それに伴ってガラス基板搬送装置１００ｅのＯリング１０２の数も増えると、ガラス基板につく傷も増加するようになった。傷は、ガラス製品の品質として好ましいものではない。特に高品質が要求される液晶ディスプレイ用のガラス基板にとっては、致命的な品質上の欠陥となる。そこで、なるべくガラス基板につく傷が減るようにガラス基板を搬送することが課題となっていた。
【００３２】
（３−３）改善後（本願発明）の配置
そこで、ガラス基板搬送装置１００ｅによる搬送中にガラス基板につく傷を減らす方策を色々と検討した結果、本発明にかかるガラス基板搬送装置１００を想到するに至った。
【００３３】
傷は、Ｏリング１０２の先端に付着したガラスの破片等の硬いゴミが原因で発生するものであるからＯリング１０２の数を減らせばよいことになる。しかし、Ｏリング１０２の数を減らすと大型でしかも薄いガラス基板が搬送中に撓み、割れる危険性が大きくなる。特に、Ｏリング１０２の数を減らすために回転軸１０１の数を減らし、回転軸１０１間の間隔を開けると搬送中のガラス基板の先頭の端が垂れ下がり、その前方に位置するＯリング１０２に先端があたって割れることが多くなる。そこで、回転軸１０１の数およびその間隔は従来のまま変えずに、Ｏリング１０２の配置を次のようにすればＯリング１０２の数を減らすことができ、かつ、ガラス基板が撓まないように搬送することができることに想到するに至った。
【００３４】
すなわち、図７に示されているように、ガラス基板搬送装置１００ｅのガラス基板の搬入側および搬出側の両端に位置する回転軸１０１と、それ以外の各回転軸１０１の両端と、に装着されているＯリング１０２を除いたＯリング１０２（図７の点線１０３ａにより囲まれた範囲にあるＯリング１０２）を図７の点線１０３ｂで囲まれた範囲のように各回転軸１０１において一つ置きにＯリング１０２を取り除いたような配置にすれば、ガラス基板につく傷の発生を減少させることができることがわかった。
【００３５】
当該Ｏリング１０２の配置について、図８を用いて具体的に詳述すると次のようになる。すなわち、Ｏリング１０２は、直線Ｌ１および直線Ｌ２それぞれと第ｍ回転軸１０１（ｍは２より大きく、かつ、ｊより小さい整数）とが直交する点Ｐ１および点Ｐ２上にＯリング１０２が装着されておらず、かつ、第ｍ回転軸１０１上のＰ１およびＰ２の間にＯリング１０２が１つ装着される状態（第１状態）となるように配置される。直線Ｌ１は、第ｍ−１回転軸１０１に前記第ｎＯリング１０２（ｎは１より大きく、かつ、ｋ−１より小さい整数）が装着される点において前記第ｍ−１回転軸１０１と水平に直交する直線であり、直線Ｌ２は、第ｍ−１回転軸１０１に第ｎ＋１Ｏリング１０２が装着される点において第ｍ−１回転軸１０１と水平に直交する直線である。なお、ｍは２より大きく、かつ、ｊより小さい整数、ｎは１より大きく、かつ、ｋ−１より小さい整数、となっているのは、Ｏリング１０２のうち、ガラス基板搬送装置１００のガラス基板の搬入側および搬出側の両端に位置する回転軸１０１に装着されているＯリング１０２と、それ以外の各回転軸１０１の両端に装着されているＯリング１０２とを除くＯリング１０２を指すためである。
【００３６】
Ｏリング１０２は、上記の第１状態となるように配置される。しかし、Ｏリング１０２の全てがこの第１状態となるように配置される必要はない。前述のガラス基板洗浄ユニット２００のどの部分におけるガラス基板搬送装置１００であるかにより、Ｏリング１０２が前述の第１状態となるように配置される割合を適宜決めてよい。本実施形態にかかるガラス基板洗浄ユニット２００においては、洗浄機２０２におけるガラス基板搬送装置１００のＯリング１０２は、図２に示すように４８個のうち１７個、つまり、約３５％のＯリング１０２が第１状態となるように配置されている。加工ユニット２０３の反転機においては、ガラス基板搬送装置１００のＯリング１０２は、図３あるいは図４に示すように、それぞれ、約５２％（６８個のうち３６個）および約３７％（５４個のうち２０個）のＯリング１０２が第１状態となるように配置されている。超音波洗浄機２０４におけるガラス基板搬送装置１００のＯリング１０２は、図５に示すように５２個のうち２２個、つまり、約４２％のＯリング１０２が第１状態となるように配置されている。
【００３７】
（３−４）改善（本願発明）の効果
本発明にかかるガラス基板搬送装置１００を用いた結果、従来のガラス基板搬送装置１００ｅを用いた時と比べてガラス基板につく傷の発生を４０％削減することができた。そして、本発明にかかるガラス基板搬送装置１００を用いても６５ｖ型ワイド（１４２．８ｃｍ×８０．４ｃｍ／１６３．９ｃｍ）を含む現存するあらゆるサイズの液晶ディスプレイ画面用の厚さ０．７ｍｍおよび０．５ｍｍのガラス基板を割らずに搬送することができている。これは、ガラス基板を下から支えるＯリング１０２の数は減ったものの、上記の第１状態をなす３つのＯリング１０２が全ての内角が鋭角の三角形をなすような３点でガラス基板を安定して支えているからであると考えられる。また、さらに、本発明にかかるガラス基板搬送装置１００は、各回転軸１０１に装着されているＯリング１０２間の間隔が従来のガラス基板搬送装置１００ｅのそれよりも開いているので、掃除等のメンテナンス作業を行ないやすくなり、作業を早くできるようになった。また、従来のガラス基板搬送装置１００ｅでは、掃除等のメンテナンス作業中にＯリング１０２に付着したガラスの破片等により手を切るという災害がよく発生していたが、本発明にかかるガラス基板搬送装置１００では、Ｏリング１０２間の間隔がより開いているので、そのような災害の発生が減少した。また、さらに、Ｏリング１０２の数が減ったので、その分コストも減少した。
【００３８】
（４）特徴
（４−１）
上記の実施形態に係るガラス基板搬送装置１００においては、Ｏリング１０２は、第１状態になるように配置されているため、従来よりもＯリング１０２の数を少なくすることができている。そして、Ｏリング１０２の数を少なくしても現存するあらゆるサイズの液晶ディスプレイ画面用のガラス基板を破損することなく搬送出来ている。これにより、ガラス基板につく傷の発生を４０％削減することができている。すなわち、Ｏリング１０２との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができている。
【００３９】
（４−２）
上記の実施形態に係るガラス基板搬送装置１００においては、全ての回転軸１０１に装着されているＯリング１０２全体に占める第１状態になるように配置されているＯリング１０２の数が１０％以上である。そして、このようにＯリング１０２の数を少なくしても現存するあらゆるサイズの液晶ディスプレイ画面用のガラス基板を破損することなく搬送出来ている。これにより、ガラス基板につく傷の発生を４０％削減することができている。すなわち、Ｏリング１０２との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができている。
【００４０】
（４−３）
上記の実施形態に係るガラス基板搬送装置１００においては、ガラス基板に接触するＯリング１０２のガラス基板搬送方向に直交する幅が４ｍｍ以下である。そして、現存するあらゆるサイズの液晶ディスプレイ画面用のガラス基板を破損することなく搬送出来ている。ガラス基板につく傷の発生を４０％削減することができている。すなわち、Ｏリング１０２との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができている。
【００４１】
（４−４）
上記の実施形態に係るガラス基板洗浄ユニット２００においては、超音波洗浄機２０４におけるガラス基板搬送装置１００では、４２％のＯリング１０２、すなわち１０％以上のＯリング１０２が第１状態になるように配置されている。したがって、従来よりもＯリング１０２の数を少なくすることができている。そして、Ｏリング１０２の数を少なくしても現存するあらゆるサイズの液晶ディスプレイ画面用のガラス基板を破損することなく搬送出来ている。これにより、ガラス基板につく傷の発生を４０％削減することができている。すなわち、ガラス基板搬送中にＯリング１０２との接触によりガラス基板につく傷を減らすことができている。
【００４２】
上述した本発明の実施形態はいずれも例示であって本発明の範囲を制限するものではない。
【００４３】
（５）変形例
（５−１）ガラス基板の搬送状態の変形例
上記実施形態においては、ガラス基板は、水平方向に搬送されている。しかし、他の実施形態においては、ガラス基板を少し傾けて略水平方向に搬送しても良い。この場合でも、Ｏリング１０２が上記第１状態に配置されていれば、そのように配置されていない場合に比べてガラス基板の傷を減らし、かつ、ガラス基板を破損せずに搬送可能である。
【００４４】
（５−２）Ｏリングのサイズの変形例
上記実施形態においては、洗浄ユニット２００の超音波洗浄機２０４以外の機器においては、Ｏリング１０２は、直径１０ｃｍであり、幅（図６のＢ）は、３ｍｍ、ガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅（図６のＡ）は、１ｍｍである。洗浄ユニット２００の超音波洗浄機２０４においては、Ｏリング１０２は、直径６ｃｍであり、樹脂製である。超音波洗浄機２０４においては、ガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅（図６のＡ）は、４ｍｍである。しかし、他の実施形態においては、これより大きい又はより小さいサイズのＯリング１０２を用いても良い。特に、ガラス基板のサイズがより大きくなるにつれてサイズの大きいＯリングが用いられる。例えば、ガラス基板との接触面のガラス基板搬送方向と直角をなす方向の幅（図６のＡ）が３ｍｍ、あるいは、１０ｍｍのＯリング１０２を用いても良い。この場合でも、Ｏリング１０２が上記第１状態に配置されていれば、そのように配置されていない場合に比べてガラス基板の傷を減らし、かつ、ガラス基板を破損せずに搬送可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明にかかるガラス基板搬送装置１００は、液晶ディスプレイ用のガラス基板を取り扱う工程においてなるべく傷を付けずにガラス基板を搬送するために利用可能である。
【００４６】
本発明にかかるガラス基板洗浄ユニット２００は、液晶ディスプレイ用のガラス基板を超音波洗浄機２０４等を用いて洗浄するときになるべくガラス基板に傷を付けないようにするために利用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１００ ガラス基板搬送装置
１０１ 回転軸
１０２ Ｏリング（リング部材）
２００ ガラス基板洗浄ユニット
２０４ 超音波洗浄機
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４８】
【特許文献１】特開２００８−６３１４４号公報
【図１】
2012035943.tif 000003
【図２】
2012035943.tif 000004
【図３】
2012035943.tif 000005
【図４】
2012035943.tif 000006
【図５】
2012035943.tif 000007
【図６】
2012035943.tif 000008
【図７】
2012035943.tif 000009
【図８】
2012035943.tif 000010