(57)【要約】      （修正有）【課題】光束の検出器への入射位置の変化が微小な場合においても感度良く光束の位置の変化を検出することが可能となる光束の位置変化検出装置を提供する。【解決手段】光束１０１の位置変化検出装置であって、検出装置は、２つ以上の画素を有し、光束１０１の光照射量を信号値として検出する検出器１０２によって構成され、検出器１０２で検出された信号値に基づき、２つ以上の画素に入射する光束１０１が第１の入射位置から第２の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う演算手段１０３を備え、演算手段１０３は、重み付け係数Ｓ／Ｎ２をＩに乗じた演算値に基づいて演算するように構成されている。Ｓ：位置変化によって生じると想定される検出器１０２の各画素における信号値の変化量、Ｎ：光束１０１が第１の入射位置にあるときの検出器１０２の各画素で検出される信号値の標準偏差、Ｉ：検出器１０２の各画素で検出される信号値【選択図】図１
2012173203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束を検出する検出器を備え、該検出器で検出された光束の検出器上での位置の変化を検出する光束の位置変化検出装置であって、
前記検出器は、２つ以上の画素を有し、前記光束の光照射量を信号値として検出する検出器によって構成され、
前記検出器で検出された前記信号値に基づき、前記２つ以上の画素に入射する光束が第１の入射位置から第２の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う演算手段を備え、
前記演算手段は、重み付け係数Ｓ／Ｎ２をＩに乗じた演算値に基づいて演算するように構成されていることを特徴とする光束の位置変化検出装置。
但し、
Ｓ：前記位置変化によって生じると想定される前記検出器の各画素における信号値の変化量
Ｎ：前記光束が前記第１の入射位置にあるときの前記検出器の各画素で検出される信号値の標準偏差
Ｉ：前記検出器の各画素で検出される信号値
【請求項２】
前記検出器は、複数の光束が同じ前記画素に入射しないように離散的に入射するように構成され、
前記演算手段は、前記複数の光束に対して前記位置変化を検出するように構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光束の位置変化検出装置。
【請求項３】
前記光束を検出する検出器は、Ｘ線領域の波長の光束を検出する検出器であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光束の位置変化検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光束の位置変化検出装置に関し、特に、光束を検出器で検出してその光束の検出器上での位置の変化を感度良く検出する光束の位置変化検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光束を物体表面に投光し、光束の位置を距離位置等の計測点とすることが測量技術で開発されている。
このような測量技術の一つとして、特許文献１では長距離の投光では拡がって大きな面積を有する光束となることを利用し、この拡がった光束の位置を演算する方法が提案されている。
この方法では、座標値に信号値又はその増加函数を重みとして平均値を求め、光束の位置を演算する。
そして、光束の位置の変化を検出する場合、光束の位置を演算し、位置の変化前後での演算値の差により検出する。
【０００３】
一方、特許文献２では、Ｘ線の物体による屈折効果を利用したＸ線撮像方法が提案されている。
この方法では、Ｘ線源から発生したＸ線を物体に照射し、物体からの透過Ｘ線をＸ線光学手段によって、検出器上の２画素以上の画素領域にまたがり、かつ離散的にＸ線を集光する。
物体によるＸ線の屈折により、物体がある状態と物体が無い状態では、検出器へのＸ線の入射位置が異なる。
隣接する２画素間の出力差と出力和の比を、物体のない状態と物体のある状態で比較することにより、物体によるＸ線の屈折効果に関する像を得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１８５５２０号公報
【特許文献２】特開２００８−２００３５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のものにおける方法では、光束の検出器への入射位置の変化が微小であった場合、その変化を感度良く検出する上で課題を有している。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑み、光束の検出器への入射位置の変化が微小な場合においても感度良く光束の位置の変化を検出することが可能となる光束の位置変化検出装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光束の位置変化検出装置は、光束を検出する検出器を備え、該検出器で検出された光束の検出器上での位置の変化を検出する光束の位置変化検出装置であって、
前記検出器は、２つ以上の画素を有し、前記光束の光照射量を信号値として検出する検出器によって構成され、
前記検出器で検出された前記信号値に基づき、前記２つ以上の画素に入射する光束が第１の入射位置から第２の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う演算手段を備え、
前記演算手段は、重み付け係数Ｓ／Ｎ２をＩに乗じた演算値に基づいて演算するように構成されていることを特徴とする。
但し、
Ｓ：前記位置変化によって生じると想定される前記検出器の各画素における信号値の変化量
Ｎ：前記光束が前記第１の入射位置にあるときの前記検出器の各画素で検出される信号値の標準偏差
Ｉ：前記検出器の各画素で検出される信号値
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光束の検出器への入射位置の変化が微小な場合においても感度良く光束の位置の変化を検出することが可能となる光束の位置変化検出装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態における検出装置の構成例を説明する図。
【図２】本発明の実施形態における検出器に入射する光束について説明する図。
【図３】本発明の実施形態における検出結果の例について説明する図。
【図４】本発明の実施例における検出装置の構成例を説明する図。
【図５】本発明の実施例における分割素子について説明する図。
【図６】本発明の実施例における検出器について説明する図。
【図７】本発明の実施例におけるＸ線の入射位置の変化について説明する図。
【図８】本発明の実施例における検出器の一部について説明する図。
【図９】本発明の実施例における光束の位置変化検出装置を用いて作成した像の一部分のラインプロファイルについて説明する図。
【図１０】本発明の実施例における像の一部分について説明する図。
【図１１】特許文献１の演算方法を利用して作成した像の一部分のラインプロファイルについて説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施形態では、１つの光束の検出器への入射位置が、第１の入射位置から第２の入射位置に変化した時の位置変化を検出する光束の位置変化検出装置の構成例について、図１を用いて説明する。
本実施形態の光束の位置変化検出装置は、図１に示すように、光束１０１が検出器１０２に入射するように構成されている。
そして、この検出器１０２の出力はコンピュータ等の演算手段１０３に接続され、演算手段１０３の出力はモニタやプリンタ等の表示手段１０４に接続されている。
光束１０１が入射する検出器１０２は、例えばＣＣＤカメラ等から選択される。また、検出器に入射する光束１０１は、例えばレーザー投光器で発生したレーザー光や自然光等に適用できる。
ここで、本実施形態における光束の位置変化検出装置は、２つ以上の画素を有し、前記光束の光照射量を信号値として検出する検出器と、演算手段を備え、検出器で検出された光束の検出器上での位置の変化を検出するように構成されている。
そして、上記演算手段は、検出器で検出された上記信号値に基づき、２つ以上の前記画素に入射する光束が第１の入射位置から第２の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う。
この演算は、重み付け係数Ｓ／Ｎ２をＩに乗じた演算値に基づいて行われる。
【００１１】
但し、
Ｓ：前記位置変化によって生じると想定される前記検出器の各画素における信号値の変化量、
Ｎ：前記光束が前記第１の入射位置にあるときの前記検出器の各画素で検出される信号値の標準偏差、
Ｉ：前記検出器の各画素で検出される信号値、
である。
【００１２】
図２は、画素２０１、２０２、２０３、２０４の４画素にわたって光束２０５が入射するようにされた構成例について説明する図である。
この光束２０５は、円状であるが、例えば四角状のものであってもよい。
以下に、さらに詳細に説明すると、上記演算手段によって、具体的には、つぎように演算が行われる。
光束２０５が第１の入射位置にある状態で複数回の検出を行うことにより、画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４で検出される信号値の標準偏差Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４を演算する。
光束が第１の入射位置から第２の入射位置に変化することによって生じると想定される画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４で検出される信号値の変化量をＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４とする。
例えば、光束が第１の入射位置にある状態で複数回の検出を行うことにより、画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４で検出される信号値の平均値Ｈ１１、Ｈ１２、Ｈ１３、Ｈ１４と、
光束が第２の入射位置にある状態で複数回の検出を行うことにより、画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４で検出される信号値の平均値Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ２３、Ｈ２４と、を演算する。
そして、Ｓ１＝Ｈ１１−Ｈ２１、Ｓ２＝Ｈ１２−Ｈ２２、Ｓ３＝Ｈ１３−Ｈ２３、Ｓ４＝Ｈ１４−Ｈ２４から、信号値の変化量を求める。
光束が第１、第２の入射位置にある状態は、検出器や光源の移動等により、検出器上の光束の入射位置を変化させて実現する。
また、物体による屈折を利用して、光束を屈折させ、検出器上の光束の入射位置を変化させて実現することも可能である。
【００１３】
本実施形態の検出装置においては、このようにして取得した、各画素で検出される信号値の標準偏差Ｎと、光束が第１の入射位置から第２の入射位置に変化することによって生じると想定される各画素で検出される信号値の変化量Ｓを用いる。そして、各画素で検出される信号値に対して重み付けを行う。
画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４の信号値に対する重みはＳ１／Ｎ１２、Ｓ２／Ｎ２２、Ｓ３／Ｎ３２、Ｓ４／Ｎ４２となる。
次に、光束が検出器に入射している状態で、画素２０１、画素２０２、画素２０３、画素２０４で検出される信号値Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４を検出する。
式（１）によってＡの値を演算し、表示手段１０４に演算結果を表示する。
2012173203.tif 000003
【００１４】
図３のグラフは、前述の演算結果を説明するために、１００回の計測例を、検出回数５０回目以外は光束が第１の入射位置にあり、検出回数５０回目では光束が第２の入射位置にあるように、シミュレーションを用いてデータ列を作成した。
本実施形態の検出装置では、一例として、図３のような検出結果が得られた。
【００１５】
つぎに、本検出装置により、第１の入射位置から第２の入射位置への光束の位置の変化を感度良く検出できる理由について説明する。
式（１）における、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４に対する重み付け係数をｋ１、ｋ２、ｋ３、ｋ４とし、式（２）によってＡの値を演算するとする。
2012173203.tif 000004
【００１６】
光束が第１の入射位置にある時のＩ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４を、式（２）に代入した時の演算値をＡ１とすると、誤差の伝搬式から、Ａ１の標準偏差σ（Ａ１）は次の式（３）として表すことが出来る。このσ（Ａ１）の値は、図３における検出回数５０回目以外のＡの標準偏差に対応している。
2012173203.tif 000005
【００１７】
光束が第１の入射位置から第２の入射位置に変化した時のＡの変化量ΔＡは次の式（４）として表す事が出来る。このΔＡの値は、図３における検出回数５０回目以外の時のＡと検出回数５０回目の時のＡの差分に対応している。
2012173203.tif 000006
【００１８】
ΔＡ／σ（Ａ１）が大きい程、第１の入射位置から第２の入射位置への光束の位置の変化は検出しやすいと考えられる。
2012173203.tif 000007
【００１９】
式（５）を解く事によって、ΔＡ／σ（Ａ１）を最大にするｋ１、ｋ２、ｋ３、ｋ４を算出することができ、その条件はｋ１＝Ｓ１／Ｎ１２、ｋ２＝Ｓ２／Ｎ２２、ｋ３＝Ｓ３／Ｎ３２、ｋ４＝Ｓ４／Ｎ４２となる。
これらの重み付け係数を式（２）に代入すると、式（１）になる。これにより、本検出装置を用いることにより、ΔＡ／σ（Ａ１）の値が最大となり、第１の入射位置から第２の入射位置への光束の位置変化を感度良く検出できることが分かる。
なお、本実施形態において、特許文献２に記載されている、光束の位置変化を検出する式は式（６）のように表すことができる。
ここで、Ｍは（Ｉ１＋Ｉ２＋Ｉ３＋Ｉ４）の値である。
Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４に対する重み付け係数はそれぞれ、１／Ｍ、１／Ｍ、−１／Ｍ、−１／Ｍである。この重み付け係数は、前述で説明したΔＡ／σ（Ａ１）を最大とする重み付け係数Ｓ１／Ｎ１２、Ｓ２／Ｎ２２、Ｓ３／Ｎ３２、Ｓ４／Ｎ４２と等しくならない。
よって、特許文献２に記載されている、光束の位置変化を検出する式の重み付け係数ではΔＡ／σ（Ａ１）は最大にならず、本検出装置の方が、感度が良いことが分かる。
また、特許文献１に記載されている、光束の位置変化を検出する式の重み付け係数も同様にΔＡ／σ（Ａ１）は最大にならず、本検出装置の方が、感度が良いことが分かる。
2012173203.tif 000008
【００２０】
例えば、光束が第１の入射位置にある状態が、物体がない状態であり、光束が第２の入射位置にある状態が、物体によって屈折した後の状態である場合には、物体による屈折を感度良く検出することができる。
【００２１】
つぎに、第１の入射位置が既知であり、第２の入射位置が未知の場合について説明する。
つまり、第１の入射位置から第２の入射位置への位置変化の方向と位置変化量が未知の場合について説明する。
この場合、光束が第２の入射位置にある状態で複数回の検出を行い、各画素で検出される信号値の平均値を求め、この平均値を用いる事によって、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４の値を求めることができない。
そこで、適当なＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４を設定し、式（１）を用いて演算を行う。
再度、前述とは異なる値のＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４を設定し、演算を行う。
このような処理を複数回繰り返すことにより、図３に示したような検出結果を複数得る。
この検出結果から、最もピークが際立っている検出結果を本検出装置で得た検出結果として採用する。
【００２２】
また、第１の入射位置の検出回数の範囲（図３においては検出回数５０回目以外）と、第２の入射位置の検出回数の範囲（図３においては検出回数５０回目）が既知である場合、得た検出結果に対して、
第１の入射位置の時のＡの値の標準偏差σ（Ａ）と、
第１、第２の入射位置の時のＡの値の平均値の差分ΔＡとから、ΔＡ／σ（Ａ）を計算し、この値が最大になる検出結果を本検出結果で得た検出結果として採用しても良い。
例えば、光束の入射位置を任意の位置に合わせる場合、本検出装置を利用することにより、精度良く合わせることができる。
光束が第１の入射位置にある状態を、光束が合わせる入射位置にある状態とし、光束が第２の入射位置にある状態を、光束が合わせる位置から変化した入射位置にある状態として、前述の検出を行う。
これにより、光束の合わせる位置からの位置の変化を感度良く検出することができる。
この検出結果を参照して、例えば検出器や光源の移動を行うことにより、光束の入射位置を任意の位置に精度よく合わせることができる。
【実施例】
【００２３】
以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例においては、分割素子とＸ線領域の波長の光束を検出する検出器を用い、物体各点によるＸ線の屈折から像を得るＸ線撮像装置の構成例について、図４を用いて説明する。
本実施例のＸ線撮像装置においては、図４に示されるように、Ｘ線を発生させて物体４０３に対して照射するＸ線発生源としてのＸ線源４０１を備える。
Ｘ線源４０１は、ターゲットがＭｏのものを使用し、管電圧を４０ｋＶ、管電流を２０ｍＡに設定した。
そして、このＸ線の光軸上に、分割素子４０２、検出器４０４が配置されている。
Ｘ線発生手段としてのＸ線源４０１から発生したＸ線は、Ｘ線の光軸方向であるＺ方向と垂直な方向である、Ｙ方向やＸ方向に空間的に分割され、物体４０３の一部分を透過する。
【００２４】
各機器の配置として、Ｘ線源４０１から分割素子４０２の間の距離は１５７ｃｍ、分割素子４０２から物体４０３の間の距離は２ｃｍ、物体４０３から検出器４０４の間の距離は２６ｃｍとした。
分割素子４０２の模式図を図５に示す。分割素子の基材５０１はＸ線を遮蔽する効果を有し、Ｘ線の吸収率が高いＰｔのものを用いる。
この他にも、Ａｕ、Ｐｂ、Ｔａ、Ｗやこれらの材料の化合物等を用いても良い。基材５０１には、Ｘ線を透過する円状、直径５０μｍの穴５０２がＸ軸方向に１７０μｍ、Ｙ軸方向に１７０μｍの間隔で周期的に形成されている。
また、穴５０２はＸ軸方向に２６０個、Ｙ軸方向に２６個形成されている。
穴５０２は、Ｘ線を透過する形態であれば、光学素子の基板５０１を貫通していなくても良い。
また、穴５０２は、円状のものであるが、例えば四角状のものであってもよい。分割素子４０２によって分割されたＸ線は、物体４０３によって屈折される。物体４０３を透過したＸ線は検出器４０４に照射される。検出器は、画素サイズが５０μｍのＸ線フラットパネル検出器を用いた。
この他にも、Ｘ線ＣＣＤカメラや直接変換型Ｘ線２次元検出器、Ｘ線ラインセンサ、Ｘ線ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ  ｄｅｌａｙ  ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）検出器などを用いても良い。
物体４０３と検出器４０４との間に、Ｘ線屈折レンズアレイを設けても良い。このＸ線屈折レンズアレイは、集光力を有する多数のＸ線屈折レンズが所定の周期で面内方向に配列されているものである。このＸ線屈折レンズアレイを用いれば、検出器４０４上のＸ線のスポット径を小さくすることができるため、Ｘ線の入射位置の変化に対するＸ線の強度変化が大きくなる。
【００２５】
図６に、検出器４０４の模式図を示す。
検出器４０４は複数の画素６０１によって構成されている。分割素子４０２によって分割されたＸ線６０２は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に検出器における４画素の間隔で周期的に、複数の画素６０１にわたって入射する。
また、Ｘ線６０２は検出器４０４にＸ軸方向に２６０個、Ｙ軸方向に２６個入射する。それぞれのＸ線は、同じ画素に入射しないように離散的に入射する。
検出器４０４はこの照射されたＸ線の各画素における信号値を検出する。
また、分割素子４０２は、移動手段４０５を有する。移動手段４０５は、分割素子４０２のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の移動を行う機構を備える。検出器４０４により得たＸ線に関する情報はコンピュータ等の演算手段４０６により演算され、モニタ等の表示手段４０７に出力される。
ここで、各分割されたＸ線に対して番号をつける。検出器上には、Ｘ軸方向に２６０個、Ｙ軸方向に２６個の合計６７６０個の分割されたＸ線が検出器４０４に入射しており、１〜６７６０の番号ｈをＸ線に対してつける。
【００２６】
図７に、Ｘ線の屈折による検出器上での入射位置の変化について説明する模式図を示す。
基準Ｘ線７０１（図内実線）は、物体４０３の存在しない状態の時の分割されたＸ線を示し、検出器４０４の画素６０１の複数の画素にわたって照射されている。
Ｘ線７０２（図内点線）は物体４０３を透過することによって屈折したＸ線を示している。
Ｘ線７０２は基準Ｘ線７０１に対して屈折によって検出器４０４への入射位置が変化する。
【００２７】
図８に、物体が存在しない状態の時の、検出器４０４の一部分について説明する模式図を示す。
Ｘ線８０１は複数の画素にわたって入射するＸ線を表す。検出器４０４に入射する６７６０個のＸ線はＸ軸方向、Ｙ軸方向に検出器における４画素の間隔で周期的に入射しており、各Ｘ線に対して同じ模式図となる。
ここで、図８の８０２で示される１６画素に対して、１〜１６の番号ｂを付ける。番号ｈのＸ線に対して、番号ｂで検出される信号値をＩｈｂのように表す。
【００２８】
本実施例の検出装置を用いて、物体各点によるＸ線の屈折から像を作成する方法について説明する。
まず、物体が存在する状態の時に検出を行い、各画素で検出される信号値をＩ２ｈｂと表す。
つぎに、物体が存在しない状態の時に５０回検出を行い、各画素で検出される信号値の平均値Ｈ１ｈｂと標準偏差Ｎｈｂを演算する。
Ｘ線の物体に対する複素屈折率ｎは式（７）で表される。ここで、式（７）における実部は屈折に関係する項であり、虚部は吸収に関係する項である。
2012173203.tif 000009
【００２９】
物体による屈折角度は式（８）、式（９）を用いて求めることができる。ここで、θｘ、θｙは被検知物による屈折のＸ方向、Ｙ方向への屈折角度、ｔはＸ線が透過した物体の厚さである。
2012173203.tif 000010
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【００３０】
物体の存在しない状態での分割されたＸ線の入射位置を第１の入射位置とする。物体によって屈折したＸ線の入射位置については、Ｘ線が物体各点を透過する事により、複数の入射位置が存在する。この複数の入射位置の中から、感度良く第１の入射位置からの位置変化を検出する入射位置を設定し、第２の入射位置とする。
本実施例においては、図４に示す物体４０３として、カプトンテープを選択した。ここでは、第２の入射位置を、カプトンテープの端部により屈折したＸ線の入射位置に設定した。
第１の入射位置を原点とした時、第２の入射位置のＸ方向の位置ｘ２、Ｙ方向の位置ｙ２は式（１０）、式（１１）を用いて求めることができる。
ここで、Ｌは物体４０３から検出器４０４までの距離である。
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【００３１】
物体が存在しない状態の時に、Ｘ線が第２の入射位置に入射するように移動手段４０５を用いて、分割素子４０２を移動する。
つまり、Ｘ線がＸ軸方向にｘ２、Ｙ軸方向にｙ２の位置に入射するように、分割素子４０２の位置を調整する。
この時に、複数回信号値の検出を行い、各画素で検出される信号値の平均値Ｈ２ｈｂを演算する。Ｓｈｂ＝Ｈ２ｈｂ−Ｈ１ｈｂにより、Ｓｈｂを演算する。
本実施例においては、物体が存在する状態の時に検出した信号値Ｉ２ｈｂに対して、物体が存在しない状態の時に検出した信号値に基づいて求めたＳｈｂとＮｈｂを用いて重み付け演算を行い、像を作成する。
式（１２）を用いて、Ａｈの値を演算する。番号ｈが１〜６７６０のＸ線に対して演算を行う事により、６７６０個のＡｈの値が求められる。
ここで、Ａｈの値をコントラストとし、分割素子の穴の位置に対応させて２次元的にＡｈの値をプロットする事により６７６０画素の像を作成する。この像が本実施例で得る像となる。
2012173203.tif 000014
【００３２】
本検出装置を用いて像を作成し、像の一部分Ｐのラインプロファイルを図９に示した。
ここで、Ｐとは作成した像内における、図１０に示したカプトンテープ１００１の端部をまたぐ、直線１００２の部分である。
図９は１０画素分のラインプロファイルであるが、Ｘ＝５画素にカプトンテープの端部による屈折のピークが見られる。
【００３３】
一方、比較例として、特許文献１に記載されている方法で光束の入射位置を演算し、演算値に基づいて像を作成した。
特許文献１では、座標値に信号値を重みとして平均値を求め、検出器に入射した光束の入射位置を演算する。
図８に示した画素８０２の座標値を原点とし、各画素の座標値を（ｘｈｂ、ｙｈｂ）と表す。
ｘｈｂ、ｙｈｂは０〜３の値を持つ。番号ｈのＸ線の入射位置（Ｔｘｈ、Ｔｙｈ）を式（１３）、式（１４）により演算する。
式（１５）により、原点からＸ線の入射位置の間の距離Ｂｈを演算する。番号ｈが１〜６７６０のＸ線に対して演算を行う事により、６７６０個のＢｈの値が求められる。
ここで、Ｂｈの値をコントラストとし、分割素子の穴の位置に対応させて２次元的にＢｈの値をプロットすることにより６７６０画素の像を作成する。
【００３４】
本実施例と同様に、比較例のものにおける像の一部分Ｐのラインプロファイルを図１１に示した。
カプトンテープの端部による屈折のピークは見られない。
図９と図１１を比較することにより、本発明の方が、Ｘ線の屈折による検出器上の入射位置の変化を感度良く検出できることが分かる。
2012173203.tif 000015
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【符号の説明】
【００３５】
１０１：光束
１０２：検出器
１０３：演算手段
１０４：表示手段
２０１：画素
２０２：画素
２０３：画素
２０４：画素
２０５：光束
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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