(57)【要約】【課題】スクライブホイールと分断ホイールの間の適切な距離を得ることができる設定治具を提供する。【解決手段】基板表面にスクライブラインを形成して該基板を分断する基板分断装置に用いられる設定治具１において、スクライブホイール５を保持するスクライブホルダ３と、分断ホイール９をスクライブホイール５の走行方向に沿ったスクライブホルダ３の後方で保持する分断ホルダ６とを備える。ホルダジョイント２に、分断ホルダ６を保持する位置を変更することで、スクライブホルダ３と分断ホルダ６との間の距離を変更する分断ホルダ保持部１１を備えて、スクライブホルダ３及び分断ホルダ６を保持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面にスクライブラインを形成して該基板を分断する基板分断装置に用いられ、
基板上を走行することで当該基板表面にスクライブラインを形成するスクライブホイールと、
前記スクライブホイールを保持するスクライブホルダと、
前記形成されたスクライブラインを押圧することで該スクライブラインに沿って前記基板を分断する分断ホイールと、
前記分断ホイールを、前記スクライブホイールの走行方向に沿った前記スクライブホルダの後方で保持する分断ホルダと、
前記スクライブホルダ及び分断ホルダを保持するホルダジョイントと、を具備する設定治具であって、
前記ホルダジョイントは、
前記分断ホルダを保持する位置を変更することで、前記スクライブホルダと前記分断ホルダとの間の距離を変更する保持位置変更手段を有する設定治具。
【請求項２】
前記保持位置変更手段は、前記分断ホルダの保持位置を無段階で変更するものである請求項１に記載の設定治具。
【請求項３】
前記保持位置変更手段は、直線状のガイドを有するものであって、前記分断ホルダの保持位置を当該ガイドに沿って変更するものである請求項２に記載の設定治具。
【請求項４】
前記ホルダジョイントは、前記基板分断装置と接続するための接続手段を備えるものである請求項１〜３のいずれか１項に記載の設定治具。
【請求項５】
前記接続手段は、前記スクライブホルダの上方に備えられている請求項４に記載の設定治具。
【請求項６】
前記分断ホイールは、円板形状の部材であって、当該円板形状の軸芯を通る支持部材によって該軸芯回りに回転可能となるように保持されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の設定治具。
【請求項７】
前記基板は、脆性材料基板である請求項１〜６のいずれか１項に記載の設定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断に用いられる基板分断ユニットの設定治具に関するものであって、特に、スクライブホイールと分断ホイールを有すると共に、両ホイール間の距離が可変であるホイール間距離設定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、脆性材料基板であるガラス基板等を分断する場合には、スクライブ装置でガラス基板にスクライブライン（ケガキ線）を形成し、その筋線に沿ってクラックを形成する「スクライブ工程」を行う。その後、形成したスクライブラインに沿って該ガラス基板にせん断力を加えて押し割り分断する「ブレイク工程」を行っている。
【０００３】
このように、ガラス基板は、スクライブ工程とブレイク工程との複数の工程を経てブレイク（分断）されるものとなっており、加えてブレイク工程は人手に頼る部分が多く、省力化のネックとなっていた。
【０００４】
そこで、特許文献１は、第１の回転カッターと第２の回転カッターとを直列に配置した切断装置を開示している。第１の回転カッターは、ガラス基板上に塑性変形によってＶ字形の溝を形成するためのものであり、第２の回転カッターは、塑性変形をさらに進展させてガラス基板の裏面に到達する溝を形成するためのものである。
【０００５】
特許文献１に開示の切断装置は、上述のブレイク工程を経ずにガラス基板を割断することを目的としたものであり、第１の回転カッターが形成したＶ字形の溝を第２の回転カッターでガラス基板の裏面までさらに進展させることで、ガラス基板を割断しようとするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３９３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年のようにテレビ等が大型化するのに伴って、テレビのディスプレイに用いられるガラス基板の硬質化や、ガラス基板のマザーガラスの大型化が進んでいる。
【０００８】
しかしながら、このような大型のガラス基板（特に硬質のガラス基板）等に対して、特許文献１の切断装置を適用した場合、１度の工程でガラス基板を分断するのは困難であることが現場の実績として挙がってきている。なぜならば、特許文献１の切断装置では、第１の回転カッターによってガラス基板に付加できる荷重は、水平クラックやマイクロクラックを発生させない程度に小さくなければならず、自ずと上限が決まっている。
【０００９】
よって、第１の回転カッターが形成したＶ字形の溝を第２の回転カッターがさらに塑性変形させても、第２の回転カッターの荷重不足から、Ｖ字形の溝は必ずしもガラス基板の裏面まで進展しない場合がある。
【００１０】
これに関して、特許文献１は、第１の回転カッターと第２の回転カッターに加えて、更なる回転カッターを用いて順次塑性変形を進展させることも開示している。しかし、いくつもの回転カッターを走行させるには、多くのカッターを走行させるための複雑な機構が必要となるとともに、多くのカッターを走行させるための時間も必要となり、当該工程に要する時間が長くなる。
【００１１】
このような特許文献１が有する課題を解決すべく、本願発明者は、図１に示すような、スクライブホイールと分断ホイールとを有する基板分断ユニット３０を既に開発している。
【００１２】
この基板分断ユニットは、高浸透型のスクライブホイール（ケガキホイール）によって脆性材料基板にスクライブラインを形成してクラックを浸透させ、分断ホイールが、形成されたスクライブライン上を走行することで、クラックをさらに浸透させて脆性材料基板を分断するものである。
【００１３】
本願発明者らが開発したこのような基板分断ユニットにより、ガラス基板を一度の工程で分断することが可能となっている。とはいえ、一度の工程で確実にガラス基板を分断するにあたっては、基板分断ユニットの形状や寸法（例えば、スクライブホイール〜分断ホイール間の距離）などの見直しや最適化が必要となる場合がある。この見直し及び最適化作業を通じ、例えば、スクライブホイール〜分断ホイール間の最適な距離を見い出すことができれば、より確実なガラス基板の分断を行える。
【００１４】
本発明はこのような課題に着目してなされたものであって、スクライブホイールと分断ホイールの間の最適な距離を得ることができる設定治具を提供するものである。この設定治具を用いることで、スクライブホイール〜分断ホイール間の最適距離を見い出す。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この課題を解決するために、本発明の設定治具は、基板表面にスクライブラインを形成して該基板を分断する基板分断装置に用いられ、基板上を走行することで当該基板表面にスクライブラインを形成するスクライブホイールと、前記スクライブホイールを保持するスクライブホルダと、前記形成されたスクライブラインを押圧することで該スクライブラインに沿って前記基板を分断する分断ホイールと、前記分断ホイールを、前記スクライブホイールの走行方向に沿った前記スクライブホルダの後方で保持する分断ホルダと、前記スクライブホルダ及び分断ホルダを保持するホルダジョイントと、を具備する設定治具であって、前記ホルダジョイントは、前記分断ホルダを保持する位置を変更することで、前記スクライブホルダと前記分断ホルダとの間の距離を変更する保持位置変更手段を有するものである。
【００１６】
ここで、前記保持位置変更手段は、前記分断ホルダの保持位置を無段階で変更するものであってもよい。
【００１７】
また、前記保持位置変更手段は、直線状のガイドを有するものであって、前記分断ホルダの保持位置を当該ガイドに沿って変更するものであってもよい。
【００１８】
ここで、前記ホルダジョイントは、前記基板分断装置と接続するための接続手段を備えていてもよい。
【００１９】
また、前記接続手段は、前記スクライブホルダの上方に備えられていてもよい。
【００２０】
さらに、前記分断ホイールは、円板形状の部材であって、当該円板形状の軸芯を通る支持部材によって該軸芯回りに回転可能となるように保持されていてもよい。
【００２１】
加えて、前記基板は、脆性材料基板であってもよい。
【００２２】
以上のような本発明の設定治具は、分断ホルダ取付手段の位置を変えることで、スクライブホイールと分断ホイールの間の距離を調整できることを特徴としている。
この特徴を有するが故に、本発明の設定治具は、作業環境や脆性材料基板の種類によらず、１度の工程で確実に脆性材料基板を分断することができるスクライブホイールと分断ホイールの間の距離を得ることができる。
【００２３】
図９を参照して、スクライブホイールと分断ホイールの間の距離を調整する必要性について説明する。
図９は、ガラス基板のある１点における、スクライブホイールの刃先通過後の時間経過と、ガラス厚みに対する垂直クラック量との関係を表すグラフである。
【００２４】
図９において、（ａ）で示すグラフは、従来から用いられている通常のノーマルホイールにより得られた結果を示しており、（ｂ）で示すグラフは、本発明の実施形態による高浸透型のスクライブホイールにより得られた結果を示している。尚、ガラス基板の厚みは０．７ｍｍ、スクライブ荷重は１１Ｎ、スクライブ速度（スクライブホイールの走行速度）は１００ｍｍ／ｓである。
【００２５】
ノーマルホイールによる図９のグラフ（ａ）を参照すると、スクライブホイールの刃先が通過した直後から１秒後まで、垂直クラックの量（深さ）は変化していない。しかし、高浸透型のスクライブホイールによる図９のグラフ（ｂ）を参照すると、スクライブホイールの刃先の通過直後から垂直クラックの伸展が確認され、０．０２秒後にはガラス基板の厚さのおよそ６０％に達している。
【００２６】
高浸透型のスクライブホイールによると、ガラス基板の厚さに対し垂直クラックが６０％程度に達するまではその伸展速度が高く、その後急激に減速する。０．１秒後から１秒後まで、垂直クラックの伸展速度はほぼ定速である。
【００２７】
高浸透型のスクライブホイールによってこのように伸展するクラックに対して、垂直クラック量がおよそ６０％から７０％に向かう途中のタイミングで、スクライブライン上からクラック進展方向に押圧力（以下、分断押圧力という）を付加すると、クラックの伸展速度の急激な減速を回避することができる。これによって垂直クラック量が１００％に達し、ガラス基板が分断されることが本願発明者らの実験及び研究によって明らかになっている。
【００２８】
本発明の設定治具に用いる分断ホイールは、この分断押圧力をスクライブラインに付加するために備えられたものであるため、スクライブホイールの刃先がある点を通過してクラックが伸展すると、分断ホイールは、垂直クラック量がおよそ６０％から７０％に向かう途中の最適又は適切なタイミングで同一点を通過しなくてはならない。
【００２９】
しかし、垂直クラック量がおよそ６０％から７０％となる時間は、スクライブホイールの押圧力やスクライブ速度などの作業条件やガラス基板の材質などに依存して異なる。よって、分断ホイールが、垂直クラック量が６０％から７０％に向かう途中の最適又は適切なタイミングでスクライブライン上を走行するように、スクライブホイール〜分断ホイール間の距離を調整しなければならない。  
【００３０】
実際に本発明の設定治具を用いる際には、分断ホルダ取付手段の位置を変更しながら脆性材料基板の分断を何度か試みて、１度の工程で脆性材料基板を分断することができるスクライブホイールと分断ホイールの間の距離を見つけ出して、その距離をスクライブホイールと分断ホイールの間の最適距離とする。
【００３１】
最適距離が見つかれば、そのまま本設定治具を用いて脆性材料基板の分断作業を続ければよいが、本設定治具を当該最適距離を見つけるためのゲージとして用いるだけとし、実際の分断作業には、当該最適距離を有するように製造された従来構成の基板分断ユニットを製作して用いてもよい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、スクライブホイールと分断ホイールの間の最適な距離を得ることができると共に、１度の工程でガラス基板等の脆性材料基板を確実に分断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本願発明者らによる基板分断ユニットを示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態による設定治具を示す斜視図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態による設定治具を示す側面図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態による設定治具を示す上面図である。
【図５】図５は、本発明の実施形態によるスクライブホルダの斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態による設定治具を示す後面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態による設定治具の使用状態を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態による設定治具を用いたスクライブ装置の動作のフローチャートを示す図である。
【図９】図９は、スクライブホイールの刃先通過後の時間経過と垂直クラック量との関係を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下に、図面を参照して、本発明の実施形態による設定治具１について説明する。
本実施形態による設定治具１は、ガラス基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライブ装置（基板分断装置）で用いられるものである。
【００３５】
スクライブ装置は、スクライブ装置の設置面に固定されるスクライブ基台を有しており、該スクライブ基台上には、可動テーブルがスライド可能に設けられている。該スクライブ基台に固定されたフレーム部材には、該可動テーブルに対してその上に載置された脆性材料基板の位置を調整する位置調整装置が取り付けられ、該スクライブ基台には、上記可動テーブル上に載置された脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ機構が設けられている。
【００３６】
このようなスクライブ装置のスクライブ機構は、図１に示す基板分断ユニット３０を用いて脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する。
この基板分断ユニット３０は、外周面に刃先が形成されたスクライブホイール３１を固定するスクライブホルダ３２と、分断ホイール３３をスクライブホイール３１よりも基板に近い位置に保持する分断ホルダ３４とを備えるものである。さらに基板分断ユニット３０は、スクライブホルダ３２及び分断ホルダ３４を取付けるホルダジョイント３５と、分断ホルダ３４をホルダジョイント３５に弾性的に保持する弾性保持手段（図示せず）と、を備えている。
【００３７】
このような基板分断ユニット３０は、スクライブ装置のスクライブ機構に取り付けられて脆性材料基板上を走行することで、スクライブホイール３１が脆性材料基板面にスクライブラインを形成すると共に、形成したスクライブラインに沿って、分断ホイール３３が該脆性材料基板を分断するものである。
【００３８】
本発明の実施形態による設定治具１は、この基板分断ユニット３０を使用する前にスクライブ装置のスクライブ機構に用いられるものであり、スクライブホルダ３２と分断ホルダ３４との間の最適距離を見つけるためのものである。以下にその詳細を説明する。尚、以下では、脆性材料基板の一例としてガラス基板を用いて説明する。
【００３９】
図２と図３を参照して、設定治具１の構成について概略を説明する。図２は、本実施形態による設定治具１を示す斜視図であり、図３は、設定治具１を示す側面図である。
【００４０】
図２を参照すると、設定治具１は、ホルダジョイント２を本体として、このホルダジョイント２に、後述するスクライブホルダ３が取り付けられたスクライブホルダ取付手段４、スクライブホイール５の走行方向に沿ったスクライブホルダ３の後方において分断ホルダ６を保持する分断ホルダ取付手段７、及び設定治具１をスクライブ装置に接続するための接続手段８を取り付けて構成されている。
【００４１】
スクライブホルダ３は、ガラス基板面にスクライブラインを形成するためのスクライブホイール５を保持するものであり、分断ホルダ６は、形成されたスクライブラインを押圧するための分断ホイール９を保持するものである。
【００４２】
図２及び図３を参照して、本実施形態による設定治具１のホルダジョイント２について説明する。
【００４３】
ホルダジョイント２は、例えば、一般的な鋼材で構成されており、図２及び図３に示すように、形の異なる２つの直方体を一体に組み合わせた形状を有している。図３の側面図において、図中右側の紙面上下方向に厚みが大きい部分はスクライブホルダ取付手段４が固定されるスクライブホルダ保持部１０であり、図中左側の紙面上下方向に厚みが小さい部分は、分断ホルダ取付手段７が取り付けられる分断ホルダ保持部１１である。尚、紙面奥行き方向における幅は、スクライブホルダ保持部１０も分断ホルダ保持部１１も同じである。
【００４４】
このようなスクライブホルダ保持部１０と分断ホルダ保持部１１が、図中下方向を向く面（ホルダジョイント２の下面）が面一となると共に、互いの幅の両端を一致させるように一体となってホルダジョイント２を構成している。ホルダジョイント２の下面は、設定治具１がスクライブ装置に取り付けられたときに、ガラス基板と対向する面である。
【００４５】
このようなホルダジョイント２のスクライブホルダ保持部１０において、図中上方向を向く面（ホルダジョイント２の上面）には接続手段８が取り付けられると共に、接続手段８の下方でホルダジョイント２の下面にはスクライブホルダ取付手段４が固定される。
【００４６】
図２に示すように、ホルダジョイント２の下面には、ホルダジョイント２の長手方向の縁に沿って所定幅のガイド壁１２が設けられている。ガイド壁１２の側面は、ホルダジョイント２の長手方向の縁に対して、ほぼ平行となっている。
【００４７】
設定治具１が脆性材料基板上を走行する際は、走行方向に沿って常にスクライブホルダ保持部１０が先頭で分断ホルダ保持部１１が後方の位置となる。
【００４８】
このようなホルダジョイント２を構成するスクライブホルダ保持部１０と分断ホルダ保持部１１のうち、スクライブホルダ保持部１０は、図１に示す基板分断ユニット３０においてスクライブホイール５のホルダが取り付けられる部分の構成とほぼ同様の構成を有するものである。本実施形態による設定治具１は、分断ホルダ保持部１１の構成に固有の特徴を有するものである。
【００４９】
まず、図２〜図５を参照して、スクライブホルダ保持部１０について説明する。
図２及び図３に示すように、スクライブホルダ保持部１０の下面にはスクライブホルダ取付手段４が取り付けられている。
【００５０】
ホルダジョイント２に取り付けられたスクライブホルダ取付手段４は、例えば円柱形の部材であって、後述するスクライブホルダ３を位置決めして保持するものである。スクライブホルダ取付手段４は、ホルダジョイント２の下面から内部に向かって設けられた孔部に挿入されて固定されていると共に、スクライブホルダ３を保持する保持孔が軸芯に沿って形成されている。
【００５１】
図３に破線で示すように、該保持孔の最上部にはマグネットが埋設され、保持孔の内部には、保持孔の軸芯から設定治具１の走行方向に離れた位置に、ホルダジョイント２の幅方向沿ってピンが設けられている。このピンは、スクライブホルダ３の傾斜部１５に接することで、スクライブホルダ３が設定治具１の走行方向に向くように位置決めするものである。
【００５２】
以下に、スクライブホルダ取付手段４に取り付けられるスクライブホルダ３について説明する。本実施形態によるスクライブホルダ３は、国際公開ＷＯ２００７／０６３９７９に示されたものを用いている。図５に斜視図で示すように、スクライブホルダ３はスクライブホイール５を保持する略円筒形の部材である。スクライブホルダ３の下方には、ピン１６を貫通させることにより、円板状のスクライブホイール５が回転自在に保持されている。スクライブホルダ３の上方であってスクライブホルダ取付手段４の保持孔に挿入される部分には、スクライブホルダ取付手段４のピンと当接する傾斜部１５とスクライブホルダ３の軸芯と平行な平坦部１７とを有する。
【００５３】
スクライブホイール５としては、日本特許第３０７４１４３号に示されている高浸透型のスクライビングホイールを用いることが好ましく、本実施形態においてもこの高浸透型のスクライビングホイールを用いるものとする。スクライビングホイールの材質としては、焼結ダイヤモンド（ＰＣＤ）、超硬合金等を使用できるが、スクライビングホイールの寿命を考慮すると、焼結ダイヤモンド（ＰＣＤ）が好ましい。
【００５４】
一方、スクライブホルダ保持部１０の上面には接続手段８が取り付けられている。
接続手段８は、ベアリング１３と円筒形のカラー１４を備えると共に、ベアリング１３の回転軸心とカラー１４の軸芯が互いに一致するように接続されたものであり、ホルダジョイント２全体が、ベアリング１３の軸芯回りに回動可能となっている。しかしベアリング１３は、ホルダジョイント２が常にスクライブの方向に向かうように、回動角度をある程度制限するように構成されている。
【００５５】
この接続手段８は、自身の回転軸芯と、スクライブホルダ取付手段４に保持されるスクライブホルダ３の軸芯（つまり、スクライブホルダ取付手段４の軸芯）とが互いに平行となるように、且つ接続手段８の回転軸芯が、該保持孔内又は保持孔近傍を通る位置に配置される。
【００５６】
図４に示すように、接続手段８は、ホルダジョイント２を上面から見た平面視において、接続手段８の占める領域とスクライブホルダ取付手段４の占める領域が少なくとも一部で重なり合う位置に配置される。
【００５７】
続いて、本実施形態による設定治具１固有の特徴的な構成である分断ホルダ保持部１１及び分断ホルダ取付手段７の構成を以下に説明する。
図２に示すように、分断ホルダ保持部１１の下面には、分断ホルダ保持部１１の長手方向に沿って形成された、直線状のガイド溝１８が形成されている。このガイド溝１８は、分断ホルダ保持部１１の上面まで通じており、図４に示す上面図において、分断ホルダ保持部１１の長手方向に沿って細長い開口となっている。
【００５８】
図４において一点鎖線で示すように、ガイド溝１８は、ガイド溝１８の長手方向に平行な中心軸とスクライブホルダ取付手段４の軸芯とが直交するように形成されている。
図４に示すように、分断ホルダ保持部１１の上面には、スクライブホルダ取付手段４からの距離を示す目盛りが、ガイド溝１８に沿って刻まれている。
【００５９】
上述のように形成されたガイド溝１８には、分断ホルダ取付手段７が取り付けられる。
図２〜図４に示すように、分断ホルダ取付手段７は、例えば円柱形の部材の側面の一部に互いに平行な平面を形成した部材であって、後述する分断ホルダ６を位置決めして保持するものである。分断ホルダ取付手段７は、一方の端面から内部に向かって分断ホルダ６を保持する保持孔が軸芯に沿って形成されている。
【００６０】
スクライブホルダ取付手段４と同様に、保持孔の最上部には図示しないマグネットが埋設されている。保持孔内部には、保持孔の軸芯から図面右側方向（設定治具の走行方向）に離れた位置で、分断ホルダ取付手段７の側面に形成された平行な平面に対して垂直となる方向に沿って図示しないピンが設けられている。ピンは、後述する分断ホルダ６の傾斜部に接することで、分断ホルダ６が走行方向に向くように位置決めするためのものである。
【００６１】
分断ホルダ取付手段７の他方の端面には、ガイド溝１８の幅よりも若干小さな径を有する円柱状の支柱１９が取り付けられている。この支柱１９は、自身の軸芯が分断ホルダ取付手段７の軸芯と一致するように下方の端面が分断ホルダ取付手段７に固定されており、当該支柱１９の上方の端面には、支柱１９の軸芯位置に内部に向かってネジ孔が切られている。
【００６２】
このような構成の分断ホルダ取付手段７の支柱１９を、分断ホルダ取付手段７の側面に形成された平面の一方がホルダジョイント２のガイド壁１２に当接する方向に、分断ホルダ保持部１１の下面側からガイド溝１８に挿入する。支柱１９の取り付け面と該下面が当接する位置まで分断ホルダ取付手段７の支柱１９をガイド溝１８に挿入する。
【００６３】
図３に示すように、この挿入位置において、分断ホルダ保持部１１の上面側から支柱１９に切られたネジ穴に向かって、ワッシャ２０を介して固定用ボルト２１を螺合させる。この後、ガイド溝１８に沿って所望の位置に分断ホルダ取付手段７を移動させて、固定用ボルト２１を締める。これによって、図４に示すように、分断ホルダ取付手段７の側面に形成された平面がガイド壁１２と当接した状態で、分断ホルダ取付手段７を所望の位置に無段階で変更し固定させることができる。
【００６４】
次に分断ホルダ６について説明する。本実施形態による分断ホルダ６は、図５に示すスクライブホルダ３とほぼ同様の構成のものである。分断ホルダ６は、分断ホイール９を保持する略円筒形の部材である。分断ホルダ６の下方には、ピンを貫通させることにより、円板状の分断ホイール９が回転自在に保持される。分断ホルダ６の上方であって分断ホルダ取付手段７の保持孔に挿入される部分には、分断ホルダ取付手段７のピンと当接する傾斜部と分断ホルダ６の軸芯と平行な平坦部とを有する。
【００６５】
図６を参照して、分断ホイール９について説明する。図６は、本実施形態による設定治具１を示す後面図である。分断ホイール９としては、日本特許第３０７４１３号に示されている高浸透型のスクライビングホイールを用いてもよいが、本実施の形態においては、通常のスクライビングホイール、又は、図６に示すような円板状であってガラス基板と接する面が平坦なホイール部材を用いる。当該ホイール部材には、単に弾性を有する円板状のローラを用いて分断ホイール９とすることもできるが、ウレタンなどの硬質ゴム、ポリエーテルエーテルケトン樹脂などのエンジニアリングプラスチックのように比較的硬質な材質によって構成されると好ましい。
【００６６】
分断ホイール９のガラス基板と接する面は、必ずしも平坦でなくてよい。形成されたスクライブライン上からクラック内に効率的に押圧力を加えることができる形状であれば、ガラス基板に対して凹形状や凸形状、又は凹凸を組み合わせた形状であってもよい。
【００６７】
尚、本実施形態では分断ホイール９の径を、スクライビングホイールの径とほぼ同一としているが、これらの径は同一でなくてもよく、分断ホイール９の径がスクライブホイール５の径よりも若干小さくても大きくてもよい。また、分断ホイール９が分断対象の脆性材料基板に適切な押圧力を付加することができる範囲であれば、分断ホイール９の下端が、スクライブホイール５の下端よりもわずかに所定間隔上方又は下方に設定されていてもよい。
【００６８】
以上に説明したように、ホルダジョイント２に、接続手段８、スクライブホルダ取付手段４、及び分断ホルダ取付手段７を取り付けて、さらに、スクライブホルダ取付手段４にスクライブホイール５を有するスクライブホルダ３を取り付けると共に、分断ホルダ取付手段７に分断ホイール９を有する分断ホルダ６を取り付ける。これによって、本実施形態による設定治具１が構成される。
【００６９】
上述の分断ホルダ保持部１１において、分断ホルダ６の位置を変更してスクライブホルダ３と分断ホルダ６との間の距離を変更するための手段を保持位置変更手段という。具体的に保持位置変更手段は、ガイド溝１８、分断ホルダ取付手段７、分断ホルダ取付手段７に固定された支柱１９、ワッシャ２０、及び固定用ボルト２１で構成されるものである。
【００７０】
次に、図７及び図８を参照して、本実施形態による設定治具１を用いたスクライブ装置の動作について説明する。図７は、ガラス基板上を走行する設定治具１を示す側面図であり、図８は、スクライブ装置の動作のフローチャートを示す図である。
【００７１】
図８を参照して、まず、分断ホルダ取付手段７を任意の位置で固定した後に、本実施形態による設定治具１の接続手段８をスクライブ装置に取り付ける（ステップＳ１）。
【００７２】
次に、設定治具１を取り付けたスクライブ装置の可動テーブル上にガラス基板を載置し、図示しない真空吸着手段等で当該ガラス基板を保持する（ステップＳ２）。
【００７３】
可動テーブル上に載置したガラス基板上に設定治具１を降下させて、スクライブホイール５と分断ホイール９とをガラス基板の表面に圧接し、この状態でスクライブ装置の相対移動部により設定治具１を、図７中矢印で右向きに示すように、スクライブホルダ保持部１０を先頭にして移動させてガラス基板を分断する（ステップＳ３）。
【００７４】
ステップＳ３の終了後、ガラス基板が分断されたか否かを判断する（ステップＳ４）。
【００７５】
ステップＳ３の動作においてガラス基板が分断されておらず、ステップＳ４で、ガラス基板が分断されていないと判断された場合、ガラス基板に形成されたクラックの状態に応じて、分断ホルダ取付手段７をスクライブホルダ取付手段４に近づける方向か、スクライブホルダ取付手段４から遠ざけける方向にガイド溝１８に沿ってスライド移動させて、分断ホルダ取付手段７とスクライブホルダ取付手段４との間の距離を調整する（ステップＳ５）。
【００７６】
ステップＳ５でスクライブホルダ取付手段４と分断ホルダ取付手段７との間の距離を新たな距離に調整した後は、ステップＳ３に戻り、ステップＳ４においてガラス基板が分断されたと判断されるまでステップＳ５及びステップＳ３を繰り返す。
ステップＳ４で、ガラス基板が分断されたと判断された場合、図４に示すように、ホルダジョイント２に刻まれた目盛りｌａを読んで、分断ホルダ取付手段７とスクライブホルダ取付手段４との間の最適な距離Ｌｏ（＝ｌａ＋ｌｂ）を得ることができる。この最適な距離をホイル間最適値Ｌｏとして決定する（ステップＳ６）。
【００７７】
スクライブホルダ取付手段４と分断ホルダ取付手段７が決定されたホイル間最適値Ｌｏで固定された、図１に示す基板分断ユニット３０を用意してスクライブ装置に取り付け、ガラス基板の分断作業を継続する（ステップＳ７）。
【００７８】
又は、ステップＳ６において、ホイル間最適値Ｌｏとなるようにスクライブホルダ取付手段４と分断ホルダ取付手段７が調整された設定治具１をそのまま用いて、ガラス基板の分断作業を継続する（ステップＳ８）。
【００７９】
継続的に行われる分断作業において、分断対象となるガラス基板の種類や製造ロットが変わると、図１に示す基板分断ユニット３０を用意してステップＳ７を経る場合、ステップＳ１に戻って取り付けられている基板分断ユニット３０を設定治具１に交換してステップＳ６までの動作を繰り返す。
【００８０】
一方、設定治具１をそのまま用いてステップＳ８を経る場合、スクライブホルダ取付手段４と分断ホルダ取付手段７との間の距離を調整してステップＳ２に戻り、ステップＳ６までの動作を繰り返す。
【００８１】
ステップＳ７及びステップＳ８のいずれのステップを経るかについては、実際の操業上の条件によって選択される。
【００８２】
今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００８３】
分断ホルダ取付手段７は、分断ホルダ保持部１１を切削して形成されたガイド溝１８内で支柱１９を摺動（スライド）させることで、分断ホルダ取付手段７の位置を無段階で変更できるようにしている。
しかし、このように分断ホルダ保持部１１を切削しなくとも、分断ホルダ保持部１１を外包する、又は分断ホルダ保持部１１に外嵌される部材に分断ホルダ取付手段７を取り付けてスライド機構を構成し、当該部材をスライドさせることで分断ホルダ取付手段７の位置を無段階で変更できるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１  設定治具
２  ホルダジョイント
３  スクライブホルダ
４  スクライブホルダ取付手段
５  スクライブホイール
６  分断ホルダ
７  分断ホルダ取付手段
８  接続手段
９  分断ホイール
１０  スクライブホルダ保持部
１１  分断ホルダ保持部
１２  ガイド壁
１３  ベアリング
１４  カラー
１５  傾斜部
１６  ピン
１７  平坦部
１８  ガイド溝
１９  支柱
２０  ワッシャ
２１  固定用ボルト
３０  基板分断ユニット
３１  スクライブホイール
３２  スクライブホルダ
３３  分断ホイール
３４  分断ホルダ
３５  ホルダジョイント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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