(57)【要約】【課題】塗布製品の品質を向上させる。【解決手段】液滴塗布装置４は、塗布液を貯留する液室１１ａ、その液室１１ａ内の塗布液を吐出するための吐出口Ｐ２及び液室１１ａと吐出口Ｐ２とをつなぐノズル１１ｂを有する本体部１１と、液室１１ａ内に設けられノズル１１ｂの液室１１ａ側の開口部Ｐ１に対して当接及び離間して開口部Ｐ１を開閉するプランジャ１２と、そのプランジャ１２をノズル１１ｂの液室１１ａ側の開口部Ｐ１に対して当接及び離間させる吐出駆動部１４と、液室１１ａ内の塗布液を撹拌する撹拌部１５とを備える。【選択図】図２
2012135702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を貯留する液室、前記液室内の前記塗布液を吐出するための吐出口及び前記液室と前記吐出口とをつなぐ吐出流路を有する本体部と、
前記液室内に設けられ、前記吐出流路の前記液室側の開口部に対して当接及び離間して前記開口部を開閉するプランジャと、
前記プランジャを前記開口部に対して当接及び離間させる吐出駆動部と、
前記液室内の前記塗布液を撹拌する撹拌部と、
を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項２】
前記プランジャは端部が前記開口部に当接する円柱形状に形成されており、
前記撹拌部は前記プランジャの周面から突出する突起部であることを特徴とする請求項１記載の液滴塗布装置。
【請求項３】
前記突起部は板状の突起部であることを特徴とする請求項２記載の液滴塗布装置。
【請求項４】
前記板状の突起部は前記プランジャの軸方向に複数配列されていることを特徴とする請求項３記載の液滴塗布装置。
【請求項５】
前記突起部は棒状の突起部であり、
前記棒状の突起部は前記プランジャの周面に螺旋状に複数配列されていることを特徴とする請求項２記載の液滴塗布装置。
【請求項６】
前記プランジャの軸を回転中心として前記プランジャを回転させる回転駆動部を備えることを特徴とする請求項２、３、４又は５記載の液滴塗布装置。
【請求項７】
前記本体部は、前記液室内に外部から複数の液体を供給可能に形成されており、
前記撹拌部は、前記液室内に供給された前記複数の液体を撹拌して混合し、前記液室内で前記塗布液を生成することを特徴とする請求項１記載の液滴塗布装置。
【請求項８】
前記撹拌部は、
前記本体部を回転可能に支持する本体支持部と、
前記本体支持部により支持された前記本体部を回転させる本体回転駆動部と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物に液滴を塗布する液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴塗布装置は、塗布液を貯留するシリンジやそのシリンジ内で上下移動可能なプランジャなどを備えており、シリンジの下部につながるノズルの吐出口からプランジャの上下移動により塗布液を液滴として吐出する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この吐出動作について詳述すると、液滴塗布装置は、ノズルのシリンジ側の開口部を塞いだ状態のプランジャを上昇させ、その上昇により生成された隙間に塗布液が供給された後、プランジャを下降させ、ノズルのシリンジ側の開口部に衝突させて塗布液をノズルの吐出口から液滴として吐出する。塗布液としては、例えば、フィラー（増粘材や増量材など）を含む粘性液体が用いられることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２８２７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述の液滴塗布装置においてフィラーを含む粘性液体を用いた場合には、シリンジ内の塗布液中のフィラーが時間経過と共に分離したり、あるいは、沈殿したりする。このため、塗布対象物に所望の濃度（密度）で塗布液を塗布することは困難となり、塗布製品の品質が低下してしまう。
【０００６】
本発明は上記を鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布製品の品質を向上させることができる液滴塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態に係る液滴塗布装置は、塗布液を貯留する液室、液室内の塗布液を吐出するための吐出口及び液室と吐出口とをつなぐ吐出流路を有する本体部と、液室内に設けられ、吐出流路の液室側の開口部に対して当接及び離間して開口部を開閉するプランジャと、プランジャを開口部に対して当接及び離間させる吐出駆動部と、液室内の塗布液を撹拌する撹拌部とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、塗布製品の品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す塗布装置が備える液滴塗布装置の概略構成を示す断面図である。
【図３】図２に示す液滴塗布装置の変形例を示す断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す断面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す断面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。
【００１１】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係る塗布装置１は、基板などの塗布対象物Ｗが載置されるステージ２と、そのステージ２を移動させるステージ移動装置３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗに向けて塗布液を吐出する液滴塗布装置４と、その液滴塗布装置４の吐出確認や撹拌動作時に塗布液を受け取る液受け部５と、各部を制御する制御装置６とを備えている。
【００１２】
ステージ２は、塗布対象物Ｗが載置される載置面を有しており、ステージ移動装置３上に設けられている。このステージ２には、ロボットハンドなどの搬送装置との塗布対象物Ｗの受け渡しのため、棒状のリフトピン（図示せず）が昇降可能に複数個設けられている。
【００１３】
ステージ移動装置３は、ステージ２をＸ軸方向に案内して移動させる移動機構及びＹ軸方向に案内して移動させる移動機構を有しており、ステージ２を支持してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。このステージ移動装置３は制御装置６に電気的に接続されており、その駆動が制御装置６により制御される。移動機構としては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の移動機構などが用いられる。
【００１４】
液滴塗布装置４は、ステージ２上の塗布対象物Ｗに向けて塗布液を液滴として吐出（噴射）する塗布ヘッドである（詳しくは、後述する）。この液滴塗布装置４は、ステージ移動装置３により移動するステージ２上の塗布対象物Ｗに液滴を吐出可能にＹ軸方向にのびるコラムなどの支持部材（図示せず）に設けられており、さらに、その支持部材に沿ってＹ軸方向に移動可能に形成されている。液滴塗布装置４は制御装置６に電気的に接続されており、その駆動が制御装置６により制御される。なお、塗布液としては、例えば、フィラー（増粘材や増量材など）を含む粘性液体が用いられる。
【００１５】
液受け部５は、例えば箱形状に形成されており、液滴塗布装置４の吐出確認や撹拌動作時に液滴塗布装置４から吐出された液滴を収容する。この液受け部５は、ステージ移動装置３に隣接する位置であって、Ｙ軸方向に移動する液滴塗布装置４の移動直線の真下に設けられている。
【００１６】
制御装置６は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータ、さらに、各種情報や各種プログラムなどを記憶する記憶部、操作者からの操作を受け付ける操作部（いずれも図示せず）を備えている。各種情報には、塗布パターンや塗布対象物Ｗの移動速度などの塗布情報が含まれている。
【００１７】
次に、前述の液滴塗布装置４の構成について図２を参照して詳しく説明する。
【００１８】
図２に示すように、液滴塗布装置４は、シリンジなどの本体部１１と、その本体部１１の内部に設けられた棒状のプランジャ１２と、そのプランジャ１２を本体部１１の上端で支持する支持部１３と、プランジャ１２を上下移動及び回転させる駆動部１４と、本体部１１の内部の塗布液を撹拌する撹拌部１５とを備えている。
【００１９】
本体部１１は、塗布液を貯留する液室１１ａと、液室１１ａ内の塗布液を吐出するためのノズル１１ｂとを備えている。液室１１ａは、本体部１１の内部の空間であり、塗布液を収容している。ノズル１１ｂは、液室１１ａにつながる開口部Ｐ１と塗布液を吐出するための吐出口Ｐ２とを有しており、液室１１ａ内の塗布液を吐出するときに塗布液が流れる吐出流路として機能する。なお、開口部Ｐ１は吐出流路の液室１１ａ側の開口であり、吐出口Ｐ２は吐出流路の外部側の開口である。
【００２０】
プランジャ１２は、吐出流路となるノズル１１ｂの開口部Ｐ１に対して当接及び離間してその開口部Ｐ１を開閉可能に液室１１ａ内に設けられている。このプランジャ１２は、その端部１２ａがノズル１１ｂの開口部Ｐ１に当接する円柱形状に形成されている。プランジャ１２は上下移動可能であり、ノズル１１ｂの開口部Ｐ１を塞いだ状態から上昇し、その上昇により生成された隙間に塗布液が供給された後、下降し、その端部１２ａをノズル１１ｂの開口部Ｐ１に衝突させる。これにより、塗布液がノズル１１ｂの吐出口Ｐ２から液滴として吐出される。
【００２１】
ここで、プランジャ１２が上昇すると、その上昇により生成された隙間に塗布液がスムーズに供給されるが、これは、前述の液室１１ａの上方の空間、すなわち液室１１ａ内において塗布液が存在していない空間に外部から気体が供給されており、その気体圧力により塗布液が加圧されているためである。
【００２２】
支持部１３は、プランジャ１２を本体部１１の液室１１ａの上端で上下移動及び回転可能に支持する支持部材であり、本体部１１の上端部に着脱可能に設けられている。この支持部１３は本体部１１の上端部に設けられると、その底面により液室１１ａの上壁を形成することになる。
【００２３】
駆動部１４は、プランジャ１２をノズル１１ｂの開口部Ｐ１に対して当接及び離間させる吐出駆動部１４ａと、プランジャ１２の軸を回転中心としてプランジャ１２を回転させる回転駆動部１４ｂとを備えている。これらの吐出駆動部１４ａ及び回転駆動部１４ｂは制御装置６に電気的に接続されており、その駆動が制御装置６により制御される。
【００２４】
撹拌部１５は、プランジャ１２の周面から突出する複数の突起部１５ａである。これらの突起部１５ａは板状に、例えば直角三角形の板状にそれぞれ形成されている。この撹拌部１５は、プランジャ１２が上下移動あるいは回転することにより液室１１ａ内の塗布液を撹拌する。これにより、液室１１ａ内の塗布液が混ぜられるため、塗布液の濃度（密度）は液室１１ａ内で均一となる。なお、撹拌部１５の撹拌力は、制御装置６が吐出駆動部１４ａや回転駆動部１４ｂに対する出力（印加電圧や印加電流など）を変更することで調整可能である。ただし、塗布時における吐出駆動部１４ａに対する出力は所定の吐出力を発生させる所定値に設定される。
【００２５】
このような構成の塗布装置１は、制御装置６による制御に応じて、ステージ移動装置３及び液滴塗布装置４により、ステージ２と液滴塗布装置４とを相対移動させながら、ステージ２上の塗布対象物Ｗの被塗布面に向けてノズル１１ｂの吐出口Ｐ２から液滴を吐出して塗布を行い、塗布対象物Ｗの被塗布面上に所定の塗布パターンを形成する。
【００２６】
この塗布動作において、液滴塗布装置４は、吐出駆動部１４ａを用いて、ノズル１１ｂの開口部Ｐ１を塞いだ状態のプランジャ１２を上昇させ、その上昇により生成された隙間に塗布液が供給されることを待った後、プランジャ１２を下降させてその端部１２ａをノズル１１ｂの開口部Ｐ１に衝突させ、その衝撃により塗布液をノズル１１ｂの吐出口Ｐ２から液滴として吐出する。このとき、プランジャ１２は吐出駆動部１４ａにより上下に移動することになるが、このプランジャ１２の上下移動により撹拌部１５の各突起部１５ａも上下に移動し、撹拌部１５は液室１１ａ内の塗布液を撹拌することになる。
【００２７】
このように塗布中のプランジャ１２の上下移動により液室１１ａ内の塗布液が撹拌されて混ぜられるので、塗布中でも液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度（密度）で均一に保つことが可能となる。これにより、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００２８】
一方、待機中などの塗布中以外のときには、プランジャ１２の回転により液室１１ａ内の塗布液を強く撹拌するため、液滴塗布装置４は液受け部５に対向する位置までＹ軸方向に移動する。液滴塗布装置４が液受け部５に対向すると、プランジャ１２の端部１２ａが吐出駆動部１４ａにより所定距離だけノズル１１ｂの開口部Ｐ１から離間し、その状態でプランジャ１２は回転駆動部１４ｂにより軸を回転中心として所定時間回転する。このプランジャ１２の回転により撹拌部１５の各突起部１５ａもプランジャ１２の回転方向に回転し、撹拌部１５は液室１１ａ内の塗布液を撹拌することになる。
【００２９】
このとき、プランジャ１２の端部１２ａはノズル１１ｂの開口部Ｐ１から所定距離だけ離間しているため、その隙間から塗布液が漏れ出すこともあるが、このような場合には、漏れ出した塗布液は液受け部５により回収される。これにより、装置の汚染や塗布対象物Ｗの汚染などを防止することができる。
【００３０】
このようにプランジャ１２の回転により液室１１ａ内の塗布液が強く撹拌されて混ぜられるので、待機中などの塗布中以外のときにも液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度（密度）でより均一に保つことが可能となる。これにより、常に液室１１ａ内の塗布液の濃度が均一になるので、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を確実に塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００３１】
また、プランジャ１２を回転させる場合には、プランジャ１２の端部１２ａを所定距離だけ離間させてから回転させている。これにより、プランジャ１２の端部１２ａとノズル１１ｂの開口部Ｐ１との摩耗を防止することが可能となるので、この摩耗が原因となる吐出不良の発生を抑止することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００３２】
以上説明したように、本発明の第１の実施形態によれば、液室１１ａ内の塗布液を撹拌する撹拌部１５を設けることによって、液室１１ａ内の塗布液が撹拌されて混ぜられる。これにより、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度（密度）で均一に保つことが可能となるので、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００３３】
また、プランジャ１２は端部１２ａがノズル１１ｂの開口部Ｐ１に当接する円柱形状に形成されており、撹拌部１５はプランジャ１２の周面から突出する突起部１５ａであることから、上下方向に移動するプランジャ１２に突起部１５ａを設けることで撹拌部１５を形成することが可能となるので、簡単な構成で撹拌部１５を形成することができる。その結果、装置の複雑化や装置の大型化、コストアップなどを防止することができる。
【００３４】
また、撹拌部１５の突起部１５ａが板状の突起部であることから、液室１１ａ内の塗布液と突起部１５ａとの抵抗を大きくすることが可能であり、撹拌力を向上させることができる。したがって、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度で均一に確実に保つことが可能であり、その結果、より確実に塗布製品の品質を向上させることができる。
【００３５】
また、プランジャ１２の軸を回転中心としてそのプランジャ１２を回転させる回転駆動部１４ｂを設けることによって、プランジャ１２が液室１１ａ内で回転することになり、このプランジャ１２の回転により撹拌部１５は液室１１ａ内の塗布液を強く撹拌することが可能となる。これにより、塗布中以外の待機中などの場合でも液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度（密度）でより均一に保つことが可能となり、常に液室１１ａ内の塗布液の濃度が均一になるので、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を確実に塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００３６】
なお、前述の第１の実施形態においては、撹拌部１５として直角三角形の板形状の突起部１５ａを用いているが、これに限るものではなく、例えば、図３に示すように、長方形であって一辺が外に向かって湾曲している板形状の突起部１５ａを用いるようにしても良く、突起部１５ａの形状は限定されるものではない。
【００３７】
また、前述の第１の実施形態においては、撹拌部１５として複数の突起部１５ａを設けているが、これに限るものではなく、撹拌部１５として突起部１５ａを一つだけ設けるようにしても良く、その突起部１５ａの数は限定されるものではない。
【００３８】
また、前述の第１の実施形態においては、待機中などの塗布中以外のときにプランジャ１２の回転により液室１１ａ内の塗布液を撹拌しているが、これに限るものではなく、塗布液の種類などに応じて塗布中以外のときに液室１１ａ内の塗布液を強く撹拌する必要がない場合には、プランジャ１２の回転にかえてプランジャ１２の上下移動により液室１１ａ内の塗布液を撹拌するようにしても良い。
【００３９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について図４を参照して説明する。
【００４０】
本発明の第２の実施形態は基本的に第１の実施形態と同様である。第２の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
【００４１】
図４に示すように、本発明の第２の実施形態に係る液滴塗布装置４では、複数の突起部１５ａがプランジャ１２の軸方向に配列されている。例えば、図４では、二つの突起部１５ａがプランジャ１２の軸方向に配列されており、この配列が二つ設けられている。これにより、撹拌時における液室１１ａ内の塗布液の流動を激しくすることができる。
【００４２】
以上説明したように、本発明の第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、板状の突起部１５ａをプランジャ１２の軸方向に複数配列することによって、プランジャ１２の軸方向に突起部１５ａを一つだけ設けた場合に比べ、撹拌時における液室１１ａ内の塗布液の流動が激しくなるので、撹拌力を向上させることが可能となる。これにより、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度で均一に確実に保つことができ、その結果、より確実に塗布製品の品質を向上させることができる。
【００４３】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態について図５を参照して説明する。
【００４４】
本発明の第３の実施形態は基本的に第１の実施形態と同様である。第３の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
【００４５】
図５に示すように、本発明の第３の実施形態に係る液滴塗布装置４では、複数の突起部１５ａは棒状の突起部であり、それらの棒状の突起部１５ａがプランジャ１２の周面に螺旋状に配列されている。これにより、撹拌時における液室１１ａ内の塗布液の流動を激しくすることができる。
【００４６】
なお、駆動部１４は吐出駆動部１４ａのみを備えている。これは、棒状の突起部１５ａが螺旋状に複数設けられているので、プランジャ１２の上下移動により十分に液室１１ａ内の塗布液を撹拌することができるためである。ただし、必ずしも駆動部１４を吐出駆動部１４ａのみで構成する必要は無く、第１の実施形態と同様に吐出駆動部１４ａに加えて回転駆動部１４ｂを設けても良い。この場合には、さらに撹拌力を向上させることができる。
【００４７】
以上説明したように、本発明の第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、棒状の突起部１５ａをプランジャ１２の周面に螺旋状に複数配列することによって、撹拌時における液室１１ａ内の塗布液の流動が激しくなるので、より撹拌力を向上させることが可能となる。これにより、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度で均一に確実に保つことができ、その結果、より確実に塗布製品の品質を向上させることができる。
【００４８】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態について図６を参照して説明する。
【００４９】
本発明の第４の実施形態は基本的に第１の実施形態と同様である。第４の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
【００５０】
図６に示すように、本発明の第４の実施形態に係る液滴塗布装置４では、本体部１１が外部から液室１１ａ内に異なる種類の複数の液体、例えば二つの液体を供給可能に形成されている。さらに、撹拌部１５が、液室１１ａ内に供給された複数の液体を撹拌して混合し、液室１１ａ内で塗布液を生成する。
【００５１】
本体部１１には、第１の貫通孔Ｈ１及び第２の貫通孔Ｈ２が形成されている。これらの第１の貫通孔Ｈ１及び第２の貫通孔Ｈ２は本体部１１の液室１１ａの上端側に設けられている。第１の貫通孔Ｈ１には第１の供給流路２１が接続されており、第２の貫通孔Ｈ２には第２の供給流路２２が接続されている。これらの第１の供給流路２１及び第２の供給流路２２はチューブなどの配管により構成されている。
【００５２】
第１の供給流路２１の一端が第１の貫通孔Ｈ１に嵌められて液室１１ａに接続されており、その他端部が第１の液体を供給する第１の液体供給部（図示せず）に接続されている。同様に、第２の供給流路２２の一端が第２の貫通孔Ｈ２に嵌められて液室１１ａに接続されており、その他端部が第２の液体を供給する第２の液体供給部（図示せず）に接続されている。これにより、第１の液体及び第２の液体が液室１１ａ内に供給される。
【００５３】
このような構成の液滴塗布装置４は、第１の液体及び第２の液体が液室１１ａ内に供給されると、プランジャ１２の回転により液室１１ａ内の第１の液体及び第２の液体を撹拌する。このとき、液滴塗布装置４は液受け部５に対向しており、プランジャ１２の端部１２ａが吐出駆動部１４ａにより所定距離だけノズル１１ｂの開口部Ｐ１から離間し、その状態でプランジャ１２は回転駆動部１４ｂにより軸を回転中心として回転する。このプランジャ１２の回転により撹拌部１５の各突起部１５ａもプランジャ１２の回転方向に回転し、撹拌部１５は、液室１１ａ内の第１の液体及び第２の液体を撹拌して混合し、液室１１ａ内で塗布液を生成する。
【００５４】
以上説明したように、本発明の第４の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、液室１１ａ内で複数の液体を撹拌して塗布液を生成することによって、複数液の混合により塗布液の性質が徐々に変わるような場合（例えば、徐々に硬化する場合）でも、使用直前に液の混合を行うことが可能となる。したがって、このような場合でも、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度で均一に確実に保つことができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００５５】
なお、前述の第４の実施形態においては、プランジャ１２の回転により液室１１ａ内の第１の液体及び第２の液体を撹拌して混合しているが、これに限るものではなく、塗布液の種類などに応じてプランジャ１２の上下移動により液室１１ａ内の第１の液体及び第２の液体を撹拌して混合することが可能であれば、プランジャ１２の回転にかえてプランジャ１２の上下移動により液室１１ａ内の第１の液体及び第２の液体を撹拌して混合するようにしても良い。
【００５６】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態について図７を参照して説明する。
【００５７】
本発明の第５の実施形態は基本的に第１の実施形態と同様である。第５の実施形態では、第１の実施形態との相違点について説明し、第１の実施形態で説明した部分と同一部分は同一符号で示し、その説明も省略する。
【００５８】
図７に示すように、本発明の第５の実施形態に係る液滴塗布装置４では、撹拌部１５は、本体部１１を回転可能に支持する本体支持部３１と、その本体支持部３１により支持された本体部１１を回転させる本体回転駆動部３２とを備えている。
【００５９】
本体支持部３１は、複数の回転補助部３１ａと、それらの回転補助部３１ａを介して本体部１１を支持する支持体３１ｂとにより構成されている。各回転補助部３１ａは、本体部１１を回転可能にする部材であり、支持体３１ｂの内面に固定されて設けられている。これらの回転補助部３１ａとしては、例えば、ベアリングなどが用いられる。支持体３１ｂは筒状に、さらに、その底面から本体部１１のノズル１１ｂが突出するように形成されており、塗布液の吐出が可能に本体部１１を支持している。この支持体３１ｂはコラムなどの支持部材に固定されている。
【００６０】
本体回転駆動部３２は、本体部１１を挟み込む回転アーム３２ａと、本体部１１の軸を回転中心として回転アーム３２ａを回転させるアーム回転駆動部３２ｂとを備えている。このアーム回転駆動部３２ｂは制御装置６に電気的に接続されており、その駆動が制御装置６により制御される。本体回転駆動部３２は、回転アーム３２ａにより本体部１１を保持し、保持した本体部１１をアーム回転駆動部３２ｂにより回転させ、本体部１１の液室１１ａ内の塗布液を撹拌する。なお、撹拌部１５の撹拌力は、制御装置６がアーム回転駆動部３２ｂに対する出力（印加電圧や印加電流など）を変更することで調整可能である。
【００６１】
このような構成の液滴塗布装置４は、塗布前に撹拌部１５により液室１１ａ内の塗布液を所定時間撹拌する。撹拌部１５は、本体支持部３１により支持された本体部１１を本体回転駆動部３２により所定時間回転させる。この回転による遠心力により、液室１１ａ内の塗布液が撹拌されて混ぜられる。その後、液滴塗布装置４は、液室１１ａ内の塗布液をノズル１１ｂの吐出口Ｐ２から液滴として吐出させ、ステージ２上の塗布対象物Ｗに対する塗布を行う。
【００６２】
このとき、本体部１１を回転させることで液室１１ａ内の塗布液を撹拌することが可能になるので、第１の実施形態に比べ、プランジャ１２の端部１２ａを所定距離だけ離間させてから回転させる必要がなくなる。このため、ノズル１１ｂの吐出口Ｐ２から塗布液が漏れ出すことがなくなるので、液受け部５を省くことができる。
【００６３】
以上説明したように、本発明の第５の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。特に、撹拌部１５により本体部１１の軸を中心として本体部１１を回転させることによって、この回転による遠心力により、液室１１ａ内の塗布液が撹拌されて混ぜられる。これにより、液室１１ａ内の塗布液の濃度を所定の濃度（密度）で均一に保つことが可能となるので、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００６４】
なお、前述の第５の実施形態においては、塗布中以外の待機中などの場合に本体回転駆動部３２により本体部１１を回転させているが、これに限るものではなく、塗布中の本体部１１の回転が液滴の塗布不良を生じさせない場合には、塗布中に本体部１１を回転させるようにしても良い。この場合には、常に液室１１ａ内の塗布液の濃度が均一になるので、塗布対象物Ｗに対して所望の濃度で塗布液を確実に塗布することができ、その結果、塗布製品の品質を向上させることができる。
【００６５】
（他の実施形態）
本発明に係る前述の実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。前述の実施形態は種々変更可能であり、例えば、前述の実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても良く、さらに、異なる実施形態に係る構成要素が適宜組み合わされても良い。
【００６６】
前述の実施形態においては、フィラーを含有する塗布液を用いているが、これに限るものではなく、樹脂などの高分子材料の微粒子や金属などの微粒子を含有する塗布液、あるいは、互いに溶け難い液体同士を混合した塗布液などを用いるようにしても良い。
【００６７】
また、回転による攪拌を行なう場合、その回転は、一方向への連続回転でも良いし、所定の角度ずつの往復回転（回動）でも良い。
【００６８】
また、突起部の形状や配置も上述の第１〜第３の実施形態に例示したものに限られるものではなく、種々変更が可能であり、第１〜第３の実施形態の構成要素を適宜組み合わせても良い。
【００６９】
例えば、板状の長尺の突起部を、プランジャ１２の外周に、第３の実施形態の如くに、螺旋状に巻きつける如くに配置しても良い。
【００７０】
また、プランジャ１２の外周に、板状の突起部をフランジ状にして設けても良く、また、複数本の棒状の突起部を、プランジャ１２の軸心に対して放射状に設けても良い。このようにする場合、フランジ状の板状の突起部や放射状の棒状の突起部をプランジャ１２の軸心に沿う方向に複数個配置するようにしても良い。また、フランジ状の板状の突起部や放射状の棒状の突起部を１つだけ設ける場合であって、塗布液が沈降し易い微粒子を含有する塗布液の場合には、プランジャ１２の先端側、すなわち、液室１１ａの底部側に配置すると、沈降した微粒子に対する攪拌効率が向上するので好ましい。
【符号の説明】
【００７１】
４      液滴塗布装置
１１    本体部
１１ａ  液室
１１ｂ  ノズル（吐出流路）
１２    プランジャ
１４ａ  吐出駆動部
１４ｂ  回転駆動部
１５    撹拌部
１５ａ  突起部
３１    本体支持部
３２    本体回転駆動部
Ｐ１    開口部
Ｐ２    吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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