(57)【要約】【課題】  液滴を吐出することなく、吐出口の開口の状態をより正確に確認することができる液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】  エネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。【選択図】  図３
2012061849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、
前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、
を備え、
前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記部材は、エポキシ樹脂の硬化物からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の貫通孔は、前記部材の前記面と対向する第１の面に設けられた第１の開口部と、前記第１の面の裏面である第２の面に設けられた第２の開口部と、を連通して設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数の貫通孔は、感光性を有する樹脂材料に露光及び現像を行うことにより、複数個一括して形成されたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記受光素子は、該受光素子に対応して設けられた前記貫通孔を前記面に投影した領域を含む領域に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
２２０ｎｍ以上３６０ｎｍ以下の波長の光に対して、前記部材の前記貫通孔の外周部の透過率は、５％以上９５％以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記受光素子は、光を受光して抵抗値が変化する材料からなる複数の配線で設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド
【請求項８】
前記材料は、化合物半導体、非晶質半導体及び多結晶半導体のいずれか１つであることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記受光素子は、光を受光することで電荷が蓄積する半導体素子からなることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記受光素子は、ＣＣＤ素子又はＣＭＯＳ素子であることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置であって、
前記液体吐出ヘッドの前記部材の上側から光を照射する手段を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを検査する液体吐出ヘッドの検査方法であって、
前記一部の貫通孔を通して前記受光素子に向かって光を照射し、前記受光素子から出力される電流値を検査することを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出することで記録動作を行う液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの検査方法、液体吐出ヘッドを搭載する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドに代表される液体吐出ヘッドは、液体を吐出口から吐出することで記録動作を行うことができる。吐出口は、液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた液体吐出ヘッド用基板の上に設けられた吐出口部材に設けられる。吐出される液滴の大きさは、吐出口の開口部の面積に大きく依存するため、開口部の面積がばらつくと液滴の大きさが異なり、被記録媒体に記録した画像にムラが生じてしまうことになる。
【０００３】
実際に液滴を吐出することなく、吐出口の開口部の面積を確認する手法が、特許文献１及び特許文献２に開示されている。特許文献１に開示される液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口のほかに、ダミー吐出口を備えており、ダミー吐出口の画像の画素をカウントすることで吐出口の開口部の面積を見積もることができる。
【０００４】
特許文献２では、図１０に示されるように、吐出口１２１と流路１２２を有する部材１２０が、発熱素子１１１を有する液体吐出ヘッド用基板１１４の上に設けられている。吐出口１２１を形成するために用いられる露光マスクには、吐出口１２１に対応する開口の近傍に幅の異なる複数のスリットが設けられているため、このような露光マスクを用いて露光・現像を行うと部材１２０に、吐出口１２１と複数のスリット１２３が設けられる。このスリット１２３の数やスリット１２３の幅を測定して、吐出口１２１の径を見積もることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１５４２０２号公報
【特許文献２】特開２００７−０９８７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、本発明者らの検討によれば、特許文献１に開示される方法では、顕微鏡にて液体吐出ヘッドの画像取り込み、画像処理にて画素を２値化してカウントするとことが必要であり、開口径を見積もるのに時間がかかり、大量生産に不向きであるという懸念があった。
【０００７】
また、特許文献２に開示される方法は、吐出口の開口形状をスリットの形状に置き換えて確認するという間接的な測定法である。吐出口の開口形状に影響を与える要因が、常に同程度にスリットの形状にも影響を与えるわけではなく、吐出口の形状によっては高精度な評価が困難な場合がある。
【０００８】
本発明は、このような課題を鑑みて発明されたものであり、液滴を吐出することなく、吐出口の開口の状態をより正確に確認することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記複数の貫通孔の一部の貫通孔に対向する部分の上には、受光する光の強度によって出力する電流値が変化する受光素子が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように第２の貫通孔と対向する位置に、光を受光することで出力される電流値が変化する受光素子を設けることにより、液体を吐出することなく、より正確に吐出口の形状を確認できる信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る液体吐出装置及びヘッドユニットの斜視図である。
【図２】本発明に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図３】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部透かしの斜視図である。
【図４】流路壁部材の吸光度の測定結果の一例である。
【図５】第１の実施形態に係る受光素子の回路配線を示す図である。
【図６】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図及び、液体吐出ヘッドの一部透かしの斜視図である。
【図７】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの切断面図及び測定される電流値プロファイルである。
【図８】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの一部透かしの斜視図及びＣＣＤ素子の模式図である。
【図９】本発明に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図１０】従来の液体吐出ヘッドの一部透かしの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。
【００１３】
本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００１４】
さらに「インク」とは広く解釈されるべきものであり、被記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、被記録媒体の加工、或いはインクまたは被記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは被記録媒体の処理としては、例えば、被記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【００１５】
図１（ａ）は、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置を示す概略図である。図１（ａ）に示すように、リードスクリュー５００４は、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５０１１，５００９を介して回転する。キャリッジＨＣはヘッドユニット４０を載置可能であり、リードスクリュー５００４の螺旋溝５００５に係合するピン（不図示）を有しており、リードスクリュー５００４が回転することによって矢印ａ，ｂ方向に往復移動される。
【００１６】
図１（ｂ）は、図１（ａ）のような液体吐出装置に搭載可能なヘッドユニット４０の斜視図である。液体吐出ヘッド４１は、電極端子１１と接続するフレキシブルフィルム配線基板４３により、液体吐出装置と接続するコンタクトパッド４４に導通している。また、ヘッド４１は、支持基板に接合されることでインクタンク４２と接合されることで一体化されヘッドユニット４０を構成している。に支持されている。ここで例として示しているヘッドユニット４０は、インクタンク４２とヘッド４１とが一体化したヘッド４１の一例を示しているものであるが、インクタンクを分離できる分離型とすることもできる。
【００１７】
図２（ａ）と（ｂ）は、本発明の特徴部である液体吐出ヘッド４１に係る斜視図である。本発明の液体吐出ヘッド４１は、エネルギー発生素子２を備えた液体吐出ヘッド用基板５と、液体吐出ヘッド用基板の上に設けられた流路壁部材４とを有している。流路壁部材４は、光透過可能な樹脂材料からなる透過性部材で設けられている。このような透過性部材としては、エポキシ樹脂等の硬化物を用いることができる。さらに流路壁部材４は、エネルギー発生素子２が設けられた液体吐出ヘッド用基板５の面と対向する対向部を貫通して設けられた複数の貫通孔を有している。このような樹脂材料は感光性を有して設けられおり、複数の貫通孔は樹脂材料を露光・現像することで一括して設けられている。ここで、流路壁部材４に設けられた貫通孔は、エネルギー発生素子２が設けられた液体吐出ヘッド用基板５の面と対向する位置（第１の面）に開口する第１の開口部３６ａと、液体を吐出する側（第１の面の裏面である第２の面）に設けられた第２の開口部３６ｂと、を連通することで設けられている。
【００１８】
複数の貫通孔の一部の貫通孔（第１の貫通孔）は、エネルギー発生素子２により発生されるエネルギーを利用して液体を吐出する吐出口３として用いられ、エネルギー発生素子に対応して設けられている。エネルギー発生素子に対応して設けられるとは、例えばエネルギー発生素子と対向して設けられることをいう。これら吐出口が所定のピッチで一列に配列し、吐出口列を構成されている。
【００１９】
さらに、複数の貫通孔の他の一部の貫通孔（第２の貫通孔）は、記録動作には用いられないダミー吐出口６として用いられる。第２の貫通孔は、第１の貫通孔と実質的に互いに同じ寸法及び形状で設けることで、さらに信頼性高く用いることができる。
【００２０】
図２（ａ）に示すように、吐出口列に沿って連続してダミー吐出口６設けることで、吐出口３の状態とほぼ同じ状態にすることができる。また図２（ｂ）のように、液体吐出ヘッドに複数のダミー吐出口６を吐出口列の近傍に複数設けることで、液体吐出ヘッド全体の状態を確認することができる。これにより、さらに細かく液体吐出ヘッド全体の吐出口３の状態を見積もることができる。ここで、”近傍”とは、隣り合う吐出口３の距離程度のことをいう。
【００２１】
吐出口列に対向する位置の液体吐出ヘッド用基板には、複数のエネルギー発生素子２が設けられており、複数配列することで素子列となっている。エネルギー発生素子２としては、電気熱変換素子や圧電素子等を用いることができる。２つの素子列の間の領域には、シリコンからなる液体吐出ヘッド用基板５を貫通し、エネルギー発生素子２に液体を供給する供給口４５が設けられている。供給口４５は、エネルギー発生素子２が設けられた液体吐出ヘッド用基板の表面と裏面とを貫通して設けられている。
【００２２】
ここでは、供給口４５が一つ設けられた液体吐出ヘッドを用いて説明するが、複数の供給口４５を有する液体吐出ヘッドでも同様に本発明を適用することができる。さらに流路壁部材４には、吐出口３やダミー吐出口６と連通する流路４６の凹部が設けられており、流路壁部材４と液体吐出ヘッド用基板５とが接することで、流路４６が設けられている。
【００２３】
図３に示すように、ダミー吐出口６として用いられる貫通孔と対向する位置の液体吐出ヘッド用基板には、吐出口の形状を評価するために用いられる半導体材料からなる、受光する光の強度に伴い出力する電流値が異なる受光素子１が設けられている。受光素子１としては、光を受光することで抵抗値が変化する配線９や、光の強度に伴い蓄積される電荷を電流として出力するＣＭＯＳ素子やＣＣＤ素子といった半導体素子を用いることができる。
【００２４】
図３（ａ）は、このような液体吐出ヘッド４１に設けられている１つのダミー吐出口６の一部透かしの斜視図の一例である。流路壁部材４の液体吐出ヘッド用基板と接する側とは反対側、すなわちダミー吐出口６側に光源１２の光を照射すると、流路壁部材４を透過した光が受光素子１で受光される。
【００２５】
受光素子１は光の強度の差を認識することができ、第１の開口部３６ａの開口面積（第１の開口面積）、第２の開口部３６ｂの開口面積（第２の開口面積）、吐出口部分の流路壁部材４の厚み（Ｚ１、以下吐出口厚みとも称する）が変化するのに伴い、光の強度が変化する。光の強度の差を形状に置き換えることでダミー吐出口６の第１の開口部と第２の開口部とテーパー部の状態を確認することができ、流路壁部材４に設けられた貫通孔の立体的な形状を確認することができる。製造時においてダミー吐出口６と吐出口３とは、貫通孔を複数個一括して形成することで設けられており、ばらつきが少なくほぼ同じ形状で形成されるため、ダミー吐出口６の形状から吐出口３の形状を見積もることができる。そのため、ダミー吐出口６の立体的な形状をもとに液体吐出ヘッド４１のランクをつけ、この結果をヘッドユニットの情報記録媒体（不図示）に書込み、これをもとに液体吐出装置で制御を行うことができる。これにより液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。
【００２６】
なお、上記のような受光素子を有する液体吐出ヘッドを用意し、液体吐出装置搭載し、さらに液体吐出装置に光を照射する手段を設けることで、液体吐出装置に液体吐出ヘッドを搭載した後に、液体吐出ヘッドのランクを検査することもできる。
【００２７】
以下、このような受光素子１を有する液体吐出ヘッドを具体的に示す。
【００２８】
（第一の実施形態）
本実施形態では受光素子１として、受光する光の強度により抵抗値が変化する半導体材料からなる膜１４を、一定領域に渡って線状に等間隔で配置した配線状に設けた構成を示す。膜１４に用いるこのような材料としては、光を照射することにより抵抗が下がる材料を用いることができる。具体的には硫化カドミウム、酸化亜鉛、ガリウムヒ素、リン化インジウム、窒化ガリウムなどに代表される化合物半導体、シリコンやゲルマニウムなどに代表される非晶質半導体及び多結晶半導体などを用いることができる。このような膜は、蒸着法やスパッタリング法及びＣＶＤ法を用いて約１００ｎｍ程度の膜厚となるように設け、フォトリソグラフィ−法やドライエッチング法を用いて配線９の形状に形成することができる。配線９は、例えばＢＰＳＧ（Ｂｏｒｏｎ  Ｐｈｏｓｐｈｏｒ  Ｓｉｌｉｃａｔｅ  Ｇｌａｓｓ：ホウ素燐ケイ酸ガラス）などの光を透過し液体に対して耐性のある保護層１７で被覆しておくことが好ましい。
【００２９】
図３（ｂ）は、ダミー吐出口６の一部透かしの斜視図である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＡ−Ａ’に沿って液体吐出ヘッド用基板の面に垂直に液体吐出ヘッド４１を切断した場合の切断面の状態を模式的に示している。
【００３０】
受光素子１は、液体吐出ヘッド用基板をダミー吐出口６が設けられた側から見たときに、流路壁部材４の下側に位置するように設けられている。さらに製造時のばらつきにより、ダミー吐出口６の開口の大きさは変化する可能性があるため、受光素子１は、ダミー吐出口６を投影した領域を含む領域、即ち投影した領域をカバーする領域に設けることが好ましい。この場合、受光素子を設ける領域の面積は、投影した領域の面積以上となる。さらに、図３（ｂ）に示すように液体吐出ヘッド用基板５の流路壁部材４が接している部分にも受光素子１を設けることが好ましい。これにより、受光素子１上の流路壁部材４の厚み（Ｚ２、以下流路壁厚みとも称する）、及び受光素子１と第１の開口部３６ａとの間の距離（Ｚ３、以下吐出口の高さとも称する）を確認することができる。
【００３１】
流路壁部材４は光源１２の光を透過するような材料で設けられており、具体的にはエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂を硬化させて硬化物として設けることができる。このような樹脂は、光の波長に応じた吸収率（透過率）を有しており、膜厚が厚くなると吸収する光吸収量が変わるため、吐出口の開口部と流路壁部材の部分では受光素子１に当たる光の強度が変わる。半導体材料からなる受光素子１は、７００ｎｍ以下の波長の光を受光することで光導電効果を起こすため、光導電効果により光の強度の差を認識することで、Ｘ方向ないしＹ方向の形状を決定することができる。また、光の受光強度と流路壁部材４の膜厚との関係が分かっていれば、受光素子１で認識される値から流路壁部材４の厚みを知ることができる。
【００３２】
図４に、膜厚１１μｍのエポキシ樹脂の硬化物、すなわち流路壁部材４における吸光度の測定データの一例を示す。ここから流路壁部材４は３６０ｎｍ以下の波長の光に対して吸収を持つことがわかる。そのため光源１２の光は３６０ｎｍ以下の波長であることが好ましいといえる。
【００３３】
具体的には、流路壁部材４のダミー吐出口６の外周部の流路壁厚みを、２２０ｎｍ以上３６０ｎｍ以下の波長を有する光源で、透過率が５％以上９５％以下となるように設けることが好ましい。また、受光素子の受光強度と抵抗の関係より、受光素子の抵抗は受光強度が１０分の１になることで抵抗率は最大で５倍に変化する特性を有することから、１０％以上９０％以下の透過率を有するように設けると、さらに信頼性の高い検査を行うことができる。
【００３４】
次に、液体吐出ヘッドの検査工程について説明する。
【００３５】
流路壁部材４が液体吐出ヘッド用基板に接する側とは反対側、すなわち第２の開口部の上側から、ダミー吐出口６に向けて光源１２の光を照射すると、流路壁部材４を透過した光が受光素子１となる半導体膜の配線９にて受光される。ここでは配線９は、硫化カドミウムを用いた例で説明する。硫化カドミウムは、受光する光の量が強いほど抵抗値が下がる。つまり受光素子１の各配線の抵抗値は、受光する光の量によって吐出口の第１の開口部３６ａ及び第２の開口部３６ｂの面積、テーパー部の形状、流路壁厚みの変化に伴って変化する。
【００３６】
この抵抗値の変化からダミー吐出口６の第１の開口部３６ａ及び第２の開口部３６ｂの面積及び、流路壁厚み、吐出口高さ、を求めることでダミー吐出口６の立体的な形状を液体を吐出することなく確認することができる。この立体的な形状をもとに、液体吐出ヘッドのランクを決定することにより、信頼性の高い記録動作を行うことができる。
【００３７】
受光素子１は、図５に模式的に示すように抵抗測定用スイッチ素子１３を介して抵抗測定用の電極端子１１とアルミニウム（Ａｌ）などからなる配線層２６で接続されている。このスイッチ素子１３を用いて回路を順番に切り替えながら、端子１１間の抵抗値を測定する。抵抗値が一定の領域では流路壁厚さが一様の場所であり、抵抗が急激に変化する領域では吐出口などが存在し流路壁部材の厚さに変化がある場所となる。
【００３８】
測定は配線毎に行われることから配線のピッチ（繰り返し幅）が吐出口形状の認識精度となる。このような配線ピッチは精度良く設けることができるように細かく設けることが好ましい。また吐出口６の第１の開口部３６ａの幅が約２０μｍ、第２の開口部３６ｂの幅が約１０μｍで設けられている場合、片側のテーパー部の幅は約５μｍとなるため、少なくともテーパー部を２箇所以上測定できるように、２μｍピッチ以下となるように配線ピッチが設けられていることが好ましい。なお、配線のパターニング精度を保つために、配線ピッチは約０．０５μｍ以上とすることが好ましい。
【００３９】
さらに、一つ一つの配線の抵抗値を均一にするために全ての配線の長さを一定に設ける。抵抗値は吐出口厚み（Ｚ１）が等しければ抵抗値はいずれの配線でも同じ数値を示す。吐出口が存在し立体的な形状が変わる部分では受光量が変わるため抵抗値が変化することから、抵抗値の差を読み取ることで立体的な形状を認識することができる。図３（ｂ）のように受光素子１を流路壁部材４の直下にまで設けることで流路壁厚み（Ｚ２）を知ることができる。
【００４０】
図６（ａ）のように第一の受光素子１ａを有する第１のダミー吐出口６ａ（図６（ｂ））の隣接する部分に、第１の受光素子の配線と直交する配線からなる第二の受光素子１ｂを有する第２のダミー吐出口６ｂを設けても良い（図６（ｃ））。このように配線の延伸する向きが直交する２つの受光素子１を隣接して設け、２種類の抵抗値から吐出口３の立体的な形状を見積もることで、楕円などの真円でない吐出口３の面積に対しても正確に見積もることができる。
【００４１】
図７に光源１２から光を照射した場合の抵抗値の変化を示す。図７（ａ）は図６（ａ）のダミー吐出口６ａを基板の面に垂直に液体吐出ヘッド４１をＢ−Ｂ’に沿って切断した場合の切断面図、及び配線の抵抗値プロファイル８ａをプロットしたものである。図７（ｂ）は図６（ａ）のダミー吐出口６ｂを基板の面に垂直に液体吐出ヘッド４１をＣ−Ｃ’に沿って切断した場合の切断面図、及び配線の抵抗値プロファイル８ｂをプロットしたものである。第２の開口部３６ｂの内側には、流路壁部材４が無いため光源１２からの光は吸収されることなく受光素子１ａに届く。そのため、抵抗値プロファイル８の領域２２の抵抗値は一番下がっている状態となる。第１の開口部３６ａと第２の開口部３６ｂとの間のテーパー部に対応する領域２３は、流路の上面に対応する領域２４から領域２２にかけて、抵抗値が同様に徐々に変化していく。さらに、受光素子１と流路壁部材４とが接している部分に対応する抵抗値プロファイル８ａの領域２５は、一番流路壁部材４の膜厚が厚くいため高抵抗となっている。
【００４２】
このような抵抗値プロファイル８ａと抵抗値プロファイル８ｂとの抵抗値の変化から、図７（ｃ）に示すように吐出口３の第１の開口部３６ａの面積、第２の開口部３６ｂの面積、吐出口厚み、流路壁厚み、吐出口高さなどの立体的な形状２８を見積もることができる。この立体的な形状２８から液体吐出ヘッドのランク付けを行うことができる。
【００４３】
この検査結果をもとに、液体吐出ヘッドの状態を液体吐出装置の情報記録媒体（不図示）等に書込み、これに則して液体吐出ヘッド毎に吐出制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。
【００４４】
液体吐出ヘッドは１枚のウエハーに複数の液体吐出ヘッドを、半導体プロセスを用いて一括して作成し、ウエハーから切り出して用いられる。このような液体吐出ヘッドにおいて、流路壁部材４は受光素子１に比べて膜厚が厚いため、ウエハー面内で製造時にばらつきが生じやすく、液体吐出ヘッドごとに吐出口３（ダミー吐出口６）の大きさがばらつきやすい。そのため、ばらつきの小さい受光素子１を用いて、ダミー吐出口６の開口状態を立体的に確認することで、吐出口３部分の体積すなわち吐出されるであろう液体の量を確実に評価することができる。これにより、実際に液体を吐出することなく液体吐出装置に搭載した際に記録物の色ムラを防止するための制御を行うことができる、信頼性の液体吐出ヘッドを提供することができる。
【００４５】
また、図９のように複数の液体吐出ヘッド４１を１つのヘッドユニット４０に設ける場合には、液体吐出ヘッドのランクをそろえ、液体吐出ヘッド毎に制御を行って吐出量を均一にすることで、記録物の記録品位の向上させることもできる。
【００４６】
（第２の実施形態）
本実施形態においては受光素子１としてＣＣＤ素子（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ：電荷結合素子）などの半導体素子を用いた場合を説明する。それ以外の構成は第１の実施形態と同様である。
【００４７】
図８（ａ）に示すように受光素子１としてＣＣＤ素子を用いた場合も、ＣＣＤ素子の１画素が測定の最小単位となり、１画素の大きさがそのまま吐出口形状の認識精度となる。このようなＣＣＤ素子を用いることにより、Ｘ方向とＹ方向の両方向のプロファイルを同時に見積もることができる。図８（ｂ）にインターライン型と呼ばれるＣＣＤ素子の模式図を示す。この図を用いてＣＣＤ素子の動作を簡単に説明する。受光素子１を構成する複数のフォトダイオード１０９は夫々トランスファーゲート１００を介して電荷転送を行う垂直転送ＣＣＤ１０１と接続して設けられている。この複数のフォトダイオード１０９と垂直転送ＣＣＤ１０１とは、交互に配置されており垂直列を形成している。複数の垂直転送ＣＣＤ１０１の端部は水平転送ＣＣＤ１０２に接続されて設けられている。フォトダイオード１０９で、光を受光すると電荷が発生し、トランスファーゲート１００を開くことで電荷を垂直転送ＣＣＤ１０１へと転送する。垂直転送ＣＣＤ１０１へ送られた電荷は水平転送ＣＣＤ１０２へと転送され、さらにこの電荷をＣＤＳ（Ｃｏｒｒｅｌａｔｅｄ  Ｄｏｕｂｌｅ  Ｓａｍｐｌｉｎｇ）部１０３へ転送する。
【００４８】
つまりフォトダイオード１０９が受光する光の強度に応じて、転送される電荷すなわち出力される電流値に違いが生じるため、ダミー吐出口６の流路壁部材４の膜厚に応じて、出力される電流の値が変化することになる。この電流値の変化からダミー吐出口６の開口部の面積及び、流路壁厚み、吐出口高さ、を見積もることでダミー吐出口６の立体的な形状、すなわち吐出されるであろう液滴の量を確認することができる。これにより液滴を吐出すること無くその液体吐出ヘッドのランクを決定することができる。以上の動作を経て、光の強度と領域からダミー吐出口６の立体的な形状を知ることができる。
【００４９】
なお、ＣＣＤ素子の代わりに、ＣＭＯＳ素子（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ：相補型金属酸化膜半導体）を用いて同様に立体的な形状を確認することもできる。
【図１】
2012061849.tif 000003
【図２】
2012061849.tif 000004
【図３】
2012061849.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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