(57)【要約】【課題】アプリケーション起動中に電力供給が停止することに起因する実害を未然に防ぐ情報処理装置を提供する。【解決手段】外部電源２と該外部電源２からの電力供給が停止された場合に電力を供給するＵＰＳ１７とに接続される情報処理装置１であって、前記外部電源２からの電力供給が停止されているか否かを判断し、前記情報処理装置１の起動中に、前記外部電源２からの電力供給が停止されていると判断した場合、前記情報処理装置１を停止する停電検知部１０１とを備えた。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第２の電源とに接続される情報処理装置であって、
前記第１の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する判断部と、
前記情報処理装置の起動中に、前記第１の電源からの電力供給が停止されていると前記判断部により判断された場合、前記情報処理装置を停止する停止部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＵＰＳ（Uninterruptible Power Supply）や停電検知リレー回路が接続される情報処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を処理する半導体製造装置等の基板処理装置やパーソナルコンピュータ等の情報処理装置には、ＵＰＳ（無停電電源装置）や停電検知リレー回路を具備するものがある。例えば、半導体製造装置を制御するコントローラがある。特にＨＤＤ（Hard disk drive）を有しているコントローラは、装置内のＵＰＳや、半導体製造工場のＵＰＳバックアップ電源から電力が供給されている。これにより、半導体製造工場の停電時に、コントローラへの電力供給が即座に停止されることを防止し、コントローラの構成部品やＨＤＤ、ファイル等が破損することを防いでいる。半導体製造工場のＵＰＳバックアップ電源は一般的にＣＶＣＦ（Constant Voltage Constant Frequency）が用いられ、電圧、周波数等が一定に保たれている。
【０００３】
図５は、半導体製造装置８内のＵＰＳ８１を用いて電力供給を受ける場合のコントローラ８２への電源供給及び停電検知用の信号線の構成例を示す模式図である。図５に示されるように、半導体製造装置８は、ＵＰＳ８１及び複数のコントローラ８２を有する。ＵＰＳ８１は半導体製造工場の一般電源から電力の供給を受ける。各コントローラ８２は夫々ＵＰＳ８１から電力供給を受ける。ＵＰＳ８１と各コントローラ８２はシリアル回線またはＤＩ／Ｏ（Digital Input/Output）を用いた信号線で接続されている。ここで、半導体製造工場の一般電源からＵＰＳ８１への電力供給が停止した場合、ＵＰＳ８１は電力供給の停止、即ち停電を検知する。ＵＰＳ８１は、電力供給が停止された状態が、予め定められた無感応時間継続した後、信号線を経由して各コントローラ８２へ停電検知を通知する。
【０００４】
図６は、半導体製造工場のＵＰＳバックアップ電源から電力供給を受ける場合のコントローラ９２への電力供給及び停電検知用の信号線の構成例を示す模式図である。図６に示されるように、半導体製造装置９は、停電検知リレー回路９１と複数のコントローラ９２を有している。停電検知リレー回路９１および各コントローラ９２は、半導体製造工場のＵＰＳバックアップ電源から電力の供給を受ける。停電検知リレー回路９１は、電源ケーブルを介し、半導体製造工場の一般電源と接続している。停電検知リレー回路９１と各コントローラ９２はシリアル回線またはＤＩ／Ｏを用いた信号線で接続されている。半導体製造工場の一般電源からの半導体製造装置９への電力供給が停止した場合、停電検知リレー回路９１は停電を検知する。停電検知リレー回路９１は、電力供給が停止された状態が無感応時間継続した後、信号線を経由して各コントローラ９２へ停電検知を通知する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したような半導体製造装置のコントローラで動作する従来の各アプリケーションプログラム（以後、アプリケーションと称する）は、コントローラの起動に伴い、起動する仕組みである。ある一つのアプリケーションが停電検知の役割を持ち、停電を検知した場合に他のアプリケーションへ終了要求を通知する。各アプリケーションは終了要求に応じてシャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウンを実行する。
【０００６】
しかしながら、このような場合、コントローラの起動時にすでに停電が検知された状態であっても、各アプリケーションは一旦起動し、シャットダウン用の前処理を実行して終了する。その為、各アプリケーションが一旦起動しシャットダウン用の前処理を実行して終了する間に、ＵＰＳの電力枯渇や故障等により電力供給が停止した場合、コントローラの構成部品やＨＤＤ、ファイル等が破損する問題がある。例えば、アプリケーションの起動に伴い、ＯＳ（Operating System）のアップデートや、セキュリティパッチ等の更新を含む場合、更新処理が中断することとなり、ＯＳが正常に動作しないなどの問題がある。
【０００７】
本発明は、アプリケーション起動中に電力供給が停止することに起因する実害を未然に防ぐ情報処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するため、本発明の情報処理装置は、第１の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第２の電源とに接続される情報処理装置であって、前記第１の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する判断部と、前記情報処理装置の起動中に、前記第１の電源からの電力供給が停止されていると前記判断部により判断された場合、前記情報処理装置を停止する停止部とを有する。
【０００９】
また、前記情報処理装置と前記第２の電源との接続方法を定義する定義ファイルを予め記憶する記憶部と、前記定義ファイルが定義する接続方法に応じて第２の電源との通信を行い、第２の電源から電力の供給状態を示す給電情報を取得する取得部とを更に備え、前記判断部は、前記給電情報に基づいて第１の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断する。
【００１０】
また、前記判断部により第１の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、第２の電源に対し、電力供給を停止するよう指示を行う指示部を更に有する。
【００１１】
また、本発明の一態様にかかる情報処理装置の停電監視方法は、第１の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第２の電源とに接続される情報処理装置の停電監視方法であって、第１の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断し、前記情報処理装置の起動時に、第１の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、前記情報処理装置を停止する。
【００１２】
また、本発明の一態様にかかる情報処理装置の停電監視プログラムは、第１の電源と該電源からの電力供給が停止された場合に電力を供給する第２の電源とに接続される情報処理装置の停電監視プログラムであって、第１の電源からの電力供給が停止されているか否かを判断し、前記情報処理装置の起動時に、第１の電源からの電力供給が停止されていると判断された場合、前記情報処理装置を停止することをコンピュータに実行させる。
【００１３】
また、本発明の一態様にかかる基板処理装置は、基板に対し所定の処理を施す基板処理装置であって、前記情報処理装置を少なくとも一台備え、前記情報処理装置が実行するプログラムは、前記所定の処理を実行するプログラムである。
【００１４】
また、前記情報処理装置は、基板の温度を制御する温度制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内に供給されるガスの流量を制御するガス流量制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内の圧力を制御する圧力制御手段、及び、基板を搬送する際に各搬送機構を制御する搬送手段からなる群から選択される少なくとも一つの手段を適宜制御する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することに起因する実害を未然に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態１に係る情報処理装置１のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図２】実施の形態１に係る情報処理装置１の機能を示す機能ブロック図である。
【図３】実施の形態１に係る情報処理装置１の停電監視処理を示すフローチャートである。
【図４】実施の形態２に係る半導体製造装置３のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図５】半導体製造装置８内のＵＰＳ８１を用いて電力供給を受ける場合のコントローラ８２への電源供給及び停電検知用の信号線の構成例を示す模式図である。
【図６】半導体製造工場のＵＰＳバックアップ電源から電力供給を受ける場合のコントローラ９２への電力供給及び停電検知用の信号線の構成例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、実施の形態１に係る情報処理装置１について図面を参照しつつ説明する。なお、以下では、実施の形態１の説明で用いるために必要な図のみ用いている。このため、本発明はこれらの図に限定されるものではない。また、以下では、ＵＰＳを用いて電力が供給される形態について説明する。
【００１８】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る情報処理装置１のハードウェア構成を示すブロック図である。図１に示されるように、情報処理装置１は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)１１と、主記憶装置１２と、ＨＤＤ１３（記憶部）とを有する。ＣＰＵ１１は主記憶装置１２に展開されるＯＳ(Operating System)、ＢＩＯＳ(Basic Input/Output System)、アプリケーション等の各種プログラムを実行し、情報処理装置１の制御を行う。主記憶装置１２はいわゆるＲＡＭ(Random Access Memory)などの揮発性のメモリであり、実行されるプログラムの作業領域として利用される。ＨＤＤ１３はハードディスクを不揮発性の記憶媒体として有しており、後述する停電通知通信定義ファイル１３２を含む停電監視プログラム１３１及び各種アプリケーションが記憶されている。
【００１９】
情報処理装置１はさらに、シリアル回線を用いてシリアル回線通信を行う通信ポートであるＣＯＭ１４及び１５と、ＤＩ／Ｏ通信を行うＤＩ／Ｏポート１６と、外部電源２と接続されたＵＰＳ１７とを有している。実施の形態１において情報処理装置１は、ＣＯＭ１４にＵＰＳ１７が接続されている。このＵＰＳ１７を介して情報処理装置１は外部電源２からの電力供給を受ける。ＤＩ／Ｏポート１６は図示しない停電検知リレー回路（例えば、図６に示される停電検知リレー回路９１）が接続可能な通信ポートである。なお、ＣＰＵ１１、主記憶装置１２、ＨＤＤ１３、ＣＯＭ１４及び１５、ＤＩ／Ｏポート１６の夫々は、バス１８に接続されている。
【００２０】
次に、図２を用いて実施の形態１に係る情報処理装置１の機能構成を説明する。図２は、実施の形態１に係る情報処理装置１の機能を示す機能ブロック図である。図２に示されるように、情報処理装置１は、機能として、停電検知部１０１（指示部，取得部）と、シリアル回線通信部１０２と、ＤＩ／Ｏ通信部１０３と、アプリケーション通信部１０４とを有する。実施の形態１において情報処理装置１は、ＣＰＵ１１や主記憶装置１２等のハードウェア資源が協働してＨＤＤ１３に予め格納してある停電監視プログラム１３１を実行することにより、これら機能を実現する。停電監視プログラム１３１は情報処理装置１の起動時（ＯＳの起動時）にサービスとして起動される。
【００２１】
停電検知部１０１は、外部電源２からの電力供給が停止されているか否かを判断し、情報処理装置１の起動時に、外部電源２からの電力供給が停止されていると判断した場合、ＯＳによるプログラムの起動に先立ってＯＳをシャットダウンすることで情報処理装置１を停止する。
【００２２】
具体的には、停電検知部１０１は、情報処理装置１が起動状態である場合、停電検知通信定義ファイル１３２を読み込む。停電検知通信定義ファイル１３２は、情報処理装置１がＵＰＳ１７との接続であるか図示しない停電検知リレー回路との接続であるかが定義されたデータである。さらに、停電検知通信定義ファイル１３２には、ＵＰＳ１７との接続の場合、シリアル回線接続であるかＤＩ／Ｏ接続であるかが定義されている。実施の形態１においては、停電検知通信定義ファイル１３２には、ＣＯＭ１４を用いたＵＰＳ１７とのシリアル回線接続が定義されている。
【００２３】
停電検知部１０１は、停電検知通信定義ファイル１３２にＵＰＳ１７とのシリアル回線接続が定義されていた場合、ＵＰＳ１７とのシリアル回線通信用プログラムを有効にする。一方、ＵＰＳ１７とのＤＩ／Ｏ接続が定義されていた場合、ＵＰＳ１７とのＤＩ／Ｏ通信用プログラムを有効にする。また、図示しない停電検知リレー回路とのＤＩ／Ｏ接続が定義されていた場合、当該停電検知リレー回路とのＤＩ／Ｏ通信用プログラムを有効にする。
【００２４】
停電検知部１０１は、シリアル回線通信部１０２またはＤＩ／Ｏ通信部１０３のいずれかを介して、ＵＰＳ１７または図示しない停電検知リレー回路と通信を行い、ＵＰＳ１７または当該停電検知リレー回路から停電検知の通知（停電通知）を含む給電状態データ（給電情報）を取得することで停電を検知する。また、停電検知部１０１は、停電を検知した場合、アプリケーション通信部１０４へアプリケーションの終了を要求する。また、停電検知部１０１は、シリアル回線通信部１０２またはＤＩ／Ｏ通信部１０３のいずれかを介して、バックアップ用の電力供給の停止を示す停止通知をＵＰＳ１７へ送信し、ＯＳをシャットダウンすることで情報処理装置１を停止する。
【００２５】
シリアル回線通信部１０２は、シリアル回線通信用プログラムが有効にされた場合に実現される機能であり、情報処理装置１がＰＣ／ＡＴ互換機の場合、ＣＯＭ１４または１５を介してＵＰＳ１７と通信を行う。
【００２６】
ＤＩ／Ｏ通信部１０３は、ＤＩ／Ｏ通信用プログラムが有効にされた場合に実現される機能であり、ＤＩ／Ｏポート１６を介してＵＰＳ１７または図示しない停電検知リレー回路と通信を行う。
【００２７】
アプリケーション通信部１０４は、停電検知部１０１からのアプリケーション起動の要求に応じて、各種アプリケーションを起動する。アプリケーション通信部１０４は、動作中の各アプリケーションへ終了要求を送信し、各アプリケーションの終了を監視する。各アプリケーションは終了要求を受信すると、シャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウン前処理完了後、自身のプログラムを終了する。アプリケーション通信部１０４は、各アプリケーションの終了を監視し、アプリケーション終了後に停電検知部１０１へアプリケーションの終了を通知する。
【００２８】
次に、図３を用いて、情報処理装置１の停電監視処理の詳細を説明する。図３は、実施の形態１に係る情報処理装置１の停電監視処理を示すフローチャートである。まず、停電監視プログラム１３１が起動されると、停電検知部１０１は、停電監視プログラム１３１の状態が起動状態であるか否かを判断する（Ｓ１０１）。なお、停電監視プログラム１３１起動時、ｍａｉｎ関数が呼び出されるため、停電検知部１０１は当該ｍａｉｎ関数が呼び出されたか否かにより起動状態か否かの判断を行う。起動状態である場合（Ｓ１０１，ＹＥＳ）、停電検知部１０１は、停電検知通信定義ファイル１３２をＨＤＤ１３から取得する（Ｓ１０２）。
【００２９】
取得後、停電検知部１０１は、取得した停電検知通信定義ファイル１３２の内容に従って、シリアル回線通信部１０２へ停電中か否かを示す給電状態データの取得を要求し、シリアル回線通信部１０２が給電状態データをＵＰＳ１７から取得する（Ｓ１０３）。取得後、停電検知部１０１は、取得した給電状態データが停電を示しているか否かを判断する（Ｓ１０４）。停電を示している場合（Ｓ１０４，ＹＥＳ）、停電検知部１０１は、シリアル回線通信部１０２を介して、停止通知をＵＰＳ１７へ送信する（Ｓ１０５）。ここで、停止通知を受信したＵＰＳ１７は、所定のシャットダウン猶予時間（例えば、３分）経過後に電力供給を停止する。停止通知送信後、停電検知部１０１は、ＨＤＤ１３に記憶されている各種アプリケーションを起動させずに、ＯＳへシャットダウン要求を行い（Ｓ１０６）、本フローは終了となる。
【００３０】
一方、停電を示していない場合（Ｓ１０４，ＮＯ）、停電検知部１０１は、アプリケーション通信部１０４にアプリケーション起動の要求を行う。アプリケーション通信部１０４は要求に応じてアプリケーションを起動させる（Ｓ１０７）。アプリケーション通信部１０４は、全アプリケーションが起動したか否かを判断する（Ｓ１０８）。全アプリケーションが起動したと判断された場合（Ｓ１０８，ＹＥＳ）、停電検知部１０１は、停電監視状態へ移行し（Ｓ１０９）、本フローは終了となる。一方、全アプリケーションが起動していないと判断された場合（Ｓ１０８，ＮＯ）、再度、ステップＳ１０７のアプリケーションを起動させる処理へ移行する。
【００３１】
また、ステップＳ１０１の起動状態であるか否かを判断する処理において、起動状態でない、即ち、停電監視状態であると判断された場合（Ｓ１０１，ＮＯ）、停電検知部１０１は、停電監視状態を継続し、本フローは終了となる。
【００３２】
このような停電監視処理は情報処理装置１において定期的に実行される。停電監視状態では、情報処理装置１が起動中に定期的に、停電検知部１０１により給電状態データが取得され、外部電源２の電力供給が停止されているか否かが判断される。停電監視状態において取得した給電状態データが停電を示している場合、停電検知部１０１により起動中の各アプリケーションに終了要求がなされ、各アプリケーションは、終了要求を受信すると、シャットダウン用の前処理を実行し、シャットダウン前処理完了後、自己のプログラムを終了する。各アプリケーションのシャットダウン終了後、停電検知部１０１は、ＵＰＳ１７へ停止通知を送信し、ＯＳをシャットダウンする。
【００３３】
なお、実施の形態１においては、全アプリケーションが起動したと判断された場合（Ｓ１０８，ＹＥＳ）、停電監視状態へ移行したが、この停電監視状態の処理を廃し、停電の監視を他のプログラムが行うようにしてもよい。
【００３４】
また、情報処理装置１がＵＰＳ１７を有していると説明したが、情報処理装置１がＵＰＳ１７を構成要件として有していなくてもよい。また、停電監視プログラム１３１に停電検知通信定義ファイル１３２が含まれていると説明したが、これらが個別にＨＤＤ１３内に記憶されていてもよいし、停電検知通信定義ファイル１３２がサーバ等の外部装置から受信されるようにしてもよい。
【００３５】
また、シリアル回線通信用プログラム及びＤＩ／Ｏ通信用プログラムは予めＨＤＤ１３に格納されていてもよく、停電検知通信定義ファイル１３２に対応付けられていてもよい。これらプログラムはサーバ等の外部装置から受信されるようにしてもよい。
【００３６】
また、ＨＤＤ１３が記憶する各種アプリケーションには、ＯＳの起動に伴い、自動で起動するアプリケーションが含まれている場合がある。そのため、情報処理装置１は、アプリケーションの起動を抑制する抑制部を機能として更に有してもよい。この場合、ステップＳ１０１の停電監視プログラム１３１の状態が起動状態であるか否かを判断する処理において、起動状態であると判断された直後に抑制部による各種アプリケーションの起動を抑制する処理が行われる。
【００３７】
また、実施の形態１においては、情報処理装置１がＣＯＭ１４を用いたＵＰＳ１７とのシリアル回線接続である場合を説明した。しかしながら、情報処理装置１がＤＩ／Ｏポート１６を用いたＵＰＳ１７とのＤＩ／Ｏ接続またはＤＩ／Ｏポート１６を用いた停電検知リレー回路とのＤＩ／Ｏ接続であっても、前述した機能を実現できることは言うまでもない。この場合、シリアル回線通信部１０２に代わり、ＤＩ／Ｏ通信部１０３がステップＳ１０７及びＳ１０８の処理を行う。
【００３８】
実施の形態１によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することによる情報処理装置１のハードウェア資源の破損、ファイルやデータの損失等の実害を未然に防ぐことができ、もって停電復旧時の情報処理装置の安定稼働に貢献できる。
【００３９】
実施の形態２．
前述した実施の形態１では、情報処理装置１について説明した。実施の形態２では、情報処理装置１をコントローラとして複数有する基板処理装置について図を参照しつつ説明する。ここで、実施の形態２では、基板処理装置として、半導体（IC）の製造における成膜処理等の処理工程を実施する半導体製造装置を例にとり説明を行う。なお、実施の形態１と同一符号は実施の形態１で説明したものと同一又は相当物を示しており、重複する説明は割愛する。
【００４０】
図４は、実施の形態２に係る半導体製造装置３のハードウェア構成を示すブロック図である。図４に示されるように、半導体製造装置３は、コントローラ３１を複数有している。コントローラ３１は、夫々ＣＰＵ１１と、主記憶装置１２と、ＨＤＤ１３と、ＣＯＭ１４及び１５と、ＤＩ／Ｏポート１６とを有する。これらコントローラ３１は、それぞれ停電監視プログラム１３１を有しており、情報処理装置１と同様の機能を実現できる。なお、コントローラ３１のそれぞれは、図２及び図３にて説明した情報処理装置１と同様の機能を有しているため、コントローラ３１の停電監視処理の説明は割愛する。
【００４１】
更に、コントローラ３１の夫々は、前述した各機能に加え、ハードウェア資源を協働させてＨＤＤ１３に記憶されている各種プログラムを起動することにより、基板の温度を制御する温度制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内に供給されるガスの流量を制御するガス流量制御手段、基板に所定の処理を施す際に処理室内の圧力を制御する圧力制御手段、及び、基板を搬送する際に各搬送機構を制御する搬送手段等から選択される少なくとも一つの手段を実行する。
【００４２】
半導体製造装置３は、前述した各手段の処理中において、ＵＰＳ１７のバックアップ用の電力が枯渇した場合、例えば、成膜処理等の処理が中断されるため、甚大な被害を受ける可能性が高い。しかしながら、実施の形態２によれば、アプリケーション起動中に電力供給が停止することによる半導体製造装置３等の基板処理装置のハードウェア資源の破損やファイルやデータの損失、処理が中断されることによる甚大な被害等の実害を未然に防ぐことができる。よって、停電復旧時の半導体製造装置等の基板処理装置の安定稼働に貢献できる。
【００４３】
前述した実施の形態２においては、半導体製造装置３が情報処理装置１をコントローラとして有していると説明した。しかしながら、半導体製造装置に外部から情報処理装置１を接続し、半導体製造装置３において情報処理装置１が有する停電監視プログラム１３１を実行させて半導体製造装置３に各機能を持たせてもよい。
【００４４】
また、半導体製造装置３を複数接続し、半導体製造装置３夫々の情報を一元管理する群管理装置が情報処理装置１をコントローラとして有していてもよい。なお、郡管理装置は、当該コントローラに加え、タッチパネルディスプレイやキーボード等の操作部、及び、ディスプレイ等の表示部を有する。この場合、郡管理装置が有する停電監視プログラム１３１は、半導体製造装置３の起動時に、各ハードウェア資源が協働することにより実行され、郡管理装置上に置いて各機能を実現することができる。即ち、郡管理装置上の停電検知部１０１が半導体製造装置と接続されているＵＰＳまたは図６に示されるような停電検知リレー回路９１と夫々通信を行い、各半導体製造装置の停電の検知及びＯＳのシャットダウンといった停電監視処理を行うことが出来る。
【００４５】
ここで、シリアル回線通信部１０２及びＤＩ／Ｏ通信部１０３の通信対象は、群管理装置の各半導体製造装置３におけるＵＰＳ１７または図示しない停電検知リレー回路となる。また、アプリケーション通信部１０４の通信対象は各半導体製造装置３が記憶するアプリケーションとなる。
【００４６】
なお、このような郡管理装置は、半導体製造装置と同じフロア（例えばクリンルーム）に郡管理装置を配置する必要はなく、例えば、ＬＡＮ接続され、事務所に配置してもよい。また、郡管理装置において、ＨＤＤ等の格納部やＣＰＵ等の制御部と、操作部や表示部を一体にする必要はなく、夫々を別体にして、フロア上に配置された半導体製造装置を遠隔で事務所に配置された操作部により操作できるように構成してもよい。
【００４７】
前述した実施の形態２では、基板処理装置として半導体製造装置を用いて説明した。しかしながら、実施の形態２に係る基板処理装置はＬＣＤ(Liquid Crystal Display)装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。この他、基板処理装置には、例えば、露光装置、リソグラフ装置、塗布装置、プラズマを利用したＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)装置が含まれる。成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ(Physical Vapor Deposition)、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理などが含まれる。更に、成膜処理には、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理なども含まれる。
【００４８】
また、停電監視プログラム１３１を、コンピュータにより読み取り可能な可搬型の記録媒体に記憶させ、当該記録媒体を情報処理装置や基板処理装置のコントローラに読み込ませることにより、前述した機能を情報処理装置や基板処理装置に実現させることができる。コンピュータにより読み取り可能な可搬型の記録媒体としては、例えば、ＣＤディスク、ＤＶＤディスク、フラッシュメモリ、ＩＣカードが挙げられる。
【００４９】
なお、特許請求の範囲に記載の第１の電源は、例えば前述の実施の形態１における外部電源２に対応し、第２の電源は、例えばＵＰＳ１７または停電検知リレー回路９２に対応する。情報処理装置は、例えば情報処理装置１やコントローラ３１に対応し、起動部は、例えばＣＰＵ１１やＯＳに対応する。判断部及び停止部は、例えば停電検知部１０１に対応する。
【符号の説明】
【００５０】
１  情報処理装置、２  外部電源、３，８及び９  半導体製造装置、１１  ＣＰＵ、１２  主記憶装置、１３  ＨＤＤ、１４及び１５  ＣＯＭ、１６  ＤＩ／Ｏポート、１７及び８１  ＵＰＳ、１８  バス、３１，８２及び９２  コントローラ、９１  停電検知リレー回路、１０１  停電検知部、１０２  シリアル回線通信部、１０３  ＤＩ／Ｏ通信部、１０４  アプリケーション通信部、１３１  停電監視プログラム、１３２  停電検知通信定義ファイル。
【図１】
2012174027.tif 000003
【図２】
2012174027.tif 000004
【図３】
2012174027.tif 000005
【図４】
2012174027.tif 000006
【図５】
2012174027.tif 000007
【図６】
2012174027.tif 000008