(57)【要約】【課題】粘度の高いインクであっても安定して吐出することが可能なインクジェット描画方法を提供すること。【解決手段】本発明のインクジェット描画方法は、複数の振動板と、当該振動板に対応する位置に設けられた複数の液滴吐出ノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット装置を用いてインクを吐出して描画するインクジェット描画方法であって、前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクの吐出が生じない振動を印加する微振動印加工程と、前記微振動印加工程の後に、前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクを吐出する振動を印加する吐出振動印加工程と、を有することを特徴とする。【選択図】無し【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の振動板と、当該振動板に対応する位置に設けられた複数の液滴吐出ノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット装置を用いてインクを吐出して描画するインクジェット描画方法であって、
前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクの吐出が生じない振動を印加する微振動印加工程と、
前記微振動印加工程の後に、前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクを吐出する振動を印加する吐出振動印加工程と、を有することを特徴とするインクジェット描画方法。
【請求項２】
前記振動板は、圧電体素子の振動に応じて振動するものである請求項１に記載のインクジェット描画方法。
【請求項３】
前記液滴吐出ヘッドは、吐出する前記インクを貯留するインク室を有し、
前記微振動印加工程において、前記インク室内での前記インクの固有周期と略同等の周期で、前記圧電体素子に電圧を複数回、印加する請求項２に記載のインクジェット描画方法。
【請求項４】
前記微振動印加工程において前記圧電体素子に印加する電圧の最大電圧をＢ［Ｖ］、前記吐出振動印加工程において前記圧電体素子に印加する電圧の最大電圧をＡ［Ｖ］としたとき、０．２≦Ｂ／Ａ≦０．６の関係を満足する請求項２または３に記載のインクジェット描画方法。
【請求項５】
前記インクは、金属粒子を水系分散媒に分散してなる分散液である請求項１ないし４のいずれかに記載のインクジェット描画方法。
【請求項６】
前記インク室内での前記インクの固有周期は、５．０μｓ以上１４．０μｓ以下である請求項１ないし５のいずれかに記載のインクジェット描画方法。
【請求項７】
前記インクの２５℃における粘度は、２．０ｍＰａ・ｓ以上１６．０ｍＰａ・ｓ以下である請求項１ないし６のいずれかに記載のインクジェット描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット描画方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電子回路または集積回路などに使われる配線の製造には、フォトリソグラフィ法が用いられている。このフォトリソグラフィ法は、予め導電膜を塗布した基板上にレジストと呼ばれる感光材を塗布し、回路パターンを照射して現像し、レジストパターンに応じて導電膜をエッチングすることで導体パターンからなる配線を形成するものである。このフォトリソグラフィ法は真空装置などの大掛かりな設備と複雑な工程を必要とし、また材料使用効率も数％程度でそのほとんどを廃棄せざるを得ず、製造コストが高い。
【０００３】
これに対して、液体吐出ヘッドから液体材料を液滴状に吐出する液滴吐出法、いわゆるインクジェット法を用いて導体パターン（配線）を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、導電性微粒子（金属微粒子）を分散させた導体パターン形成用インクを基板に直接パターン塗布し、その後、溶媒を除去して導体パターン前駆体を得、焼結させることにより導体パターンに変換する。この方法によれば、フォトリソグラフィが不要となり、プロセスが大幅に簡単なものになるとともに、原材料の使用量も少なくてすむというメリットがある。また、この方法によれば、従来の方法と比較して、微細な導体パターンを形成することが可能であり、回路密度の向上に有利である。
【０００４】
ところで、導体パターンの形成に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行うため、複数の液滴吐出ヘッドから大量の液滴を長時間にわたって連続で吐出することが求められる。また、近年の配線密度の増大（配線の細線化）に伴い、液滴を吐出する間隔が短くなってきているため、耐久性が高く、また、吐出性能に優れた液滴吐出ヘッドの開発が行われている。
しかしながら、このような液滴吐出装置において、通常、液滴吐出ヘッドから吐出可能なインクは、比較的粘度の低いものに限られている。そのため、使用できるインクの組成にも制限があるといった問題があった。また、吐出するインクの粘度上昇に伴い、吐出に必要な駆動電圧が上昇してしまうといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−８４３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、粘度の高いインクであっても安定して吐出することが可能なインクジェット描画方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のインクジェット描画方法は、複数の振動板と、当該振動板に対応する位置に設けられた複数の液滴吐出ノズルとを有する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット装置を用いてインクを吐出して描画するインクジェット描画方法であって、
前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクの吐出が生じない振動を印加する微振動印加工程と、
前記微振動印加工程の後に、前記インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクを吐出する振動を印加する吐出振動印加工程と、を有することを特徴とする。
これにより、粘度の高いインクであっても安定して吐出することが可能なインクジェット描画方法を提供することができる。
【０００８】
本発明のインクジェット描画方法では、前記振動板は、圧電体素子の振動に応じて振動するものであることが好ましい。
これにより、熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないとともに、熱による液滴の吐出量や吐出速度への影響をより小さいものとすることができる。
本発明のインクジェット描画方法では、前記液滴吐出ヘッドは、吐出する前記インクを貯留するインク室を有し、
前記微振動印加工程において、前記インク室内での前記インクの固有周期と略同等の周期で、前記圧電体素子に電圧を複数回、印加することが好ましい。
これにより、インクの粘度を低い値で安定させることができ、比較的高粘度のインクであってもより安定して吐出することができる。
【０００９】
本発明のインクジェット描画方法では、前記微振動印加工程において前記圧電体素子に印加する電圧の最大電圧をＢ［Ｖ］、前記吐出振動印加工程において前記圧電体素子に印加する電圧の最大電圧をＡ［Ｖ］としたとき、０．２≦Ｂ／Ａ≦０．６の関係を満足することが好ましい。
これにより、微振動印加工程における不本意なインクの吐出を効果的に防止しつつ、インクが比較的高粘度であっても安定して吐出することができる。
【００１０】
本発明のインクジェット描画方法では、前記インクは、金属粒子を水系分散媒に分散してなる分散液であることが好ましい。
このような金属粒子を含む分散液は比較的粘度が高くなる傾向があるが、本発明のインクジェット描画方法を用いることにより安定して吐出することができる。
本発明のインクジェット描画方法では、前記インク室内での前記インクの固有周期は、５．０μｓ以上１４．０μｓ以下であることが好ましい。
これにより、インクをより安定して吐出することができる。
本発明のインクジェット描画方法では、前記インクの２５℃における粘度は、２．０ｍＰａ・ｓ以上１６．０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。
このように比較的粘度の高いインクであっても、本発明のインクジェット描画方法を用いることにより安定して吐出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成の一例を示す斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成の一例を示す断面図である。
【図３】圧電体素子（ピエゾ素子）に印加する電圧の周波数波形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《液滴吐出装置および描画方法》
本発明のインクジェット描画方法に適用される液滴吐出装置の好適な実施形態および本発明のインクジェット描画方法の好適な実施形態について説明する。
以下、液滴吐出装置から吐出するインクとして、銀粒子が分散媒に分散した導体パターン形成用インクを用いた場合について説明するが、インクはこれに限定されない。
【００１３】
図１は、インクジェット装置（液滴吐出装置）の概略構成を示す斜視図、図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成の一例を示す断面図、図３は、圧電体素子（ピエゾ素子）に印加する電圧の周波数波形を示す図である。
液滴吐出装置（インクジェット装置）１００は、基材Ｓ（本実施形態ではセラミックス成形体１５）上に導体パターン形成用インク１を吐出し、導体パターンを形成するための装置である。
【００１４】
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、図２に示す液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド。以下、単にヘッドと呼ぶ）１１０と、ベース１３０と、テーブル１４０と、制御装置１９０と、テーブル位置決め手段１７０と、ヘッド位置決め手段１８０とを有している。
ベース１３０は、テーブル１４０、テーブル位置決め手段１７０、およびヘッド位置決め手段１８０等の液滴吐出装置１００の各構成部材を支持する台である。
【００１５】
テーブル１４０は、テーブル位置決め手段１７０を介してベース１３０に設置されている。また、テーブル１４０は、基材Ｓ（本実施形態ではセラミックス成形体１５）を載置するものである。
また、テーブル１４０の裏面には、ラバーヒータ（図示せず）が配設されている。テーブル１４０上に載置されたセラミックス成形体１５は、その上面全体がラバーヒータにて所定の温度に加熱されるようになっている。
【００１６】
セラミックス成形体１５に着弾したインク（後述する導体パターン形成用インク）１は、その表面側から水系分散媒の少なくとも一部が蒸発する。このとき、セラミックス成形体１５は加熱されているので、水系分散媒の蒸発が促進される。そして、セラミックス成形体１５に着弾したインク１は、乾燥とともにその表面の外縁から増粘し、つまり、中央部に比べて外周部における固形分（粒子）濃度が速く飽和濃度に達することから表面の外縁から増粘していく。外縁の増粘したインク１は、セラミックス成形体１５の面方向に沿う自身の濡れ広がりを停止するため、着弾径しいては線幅の制御が容易になる。
セラミックス成形体１５の加熱温度としては、例えば、４０℃以上１００℃以下で行うのが好ましく、５０℃以上７０℃以下で行うのがより好ましい。このような条件とすることにより、水系分散媒が蒸発した際に、クラックが発生するのをより効果的に防止することができる。
【００１７】
テーブル位置決め手段１７０は、第１移動手段１７１と、モータ１７２とを有している。テーブル位置決め手段１７０は、ベース１３０におけるテーブル１４０の位置を決定し、これにより、ベース１３０におけるセラミックスグリーンシート１５の位置を決定する。
第１移動手段１７１は、Ｙ方向と略平行に設けられた２本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第１移動手段１７１の支持台は、モータ１７２を介してテーブル１４０を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基材Ｓを載置するテーブル１４０は、Ｙ方向に移動および位置決めされる。
【００１８】
モータ１７２は、テーブル１４０を支持しており、θｚ方向にテーブル１４０を揺動および位置決めする。
ヘッド位置決め手段１８０は、第２移動手段１８１と、リニアモータ１８２と、モータ１８３、１８４、１８５とを有している。ヘッド位置決め手段１８０は、ヘッド１１０の位置を決定する。
第２移動手段１８１は、ベース１３０から立設する２本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、２本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド１１０を支持する支持部材（図示せず）とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド１１０は、Ｘ方向に移動および位置決めされる。
【００１９】
リニアモータ１８２は、支持部材付近に設けられており、ヘッド１１０のＺ方向の移動および位置決めをすることができる。
モータ１８３、１８４、１８５は、ヘッド１１０を、それぞれα，β，γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段１７０およびヘッド位置決め手段１８０とにより、インクジェット装置１００は、ヘッド１１０のインク吐出面１１５Ｐと、テーブル１４０上の基材Ｓとの相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
【００２０】
図２に示すように、ヘッド１１０は、インクジェット方式（液滴吐出方式）によってインク１を複数の液滴吐出ノズル（突出部）１１８から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド１１０は、圧電体素子としてのピエゾ素子１１３を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク１に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。
【００２１】
ヘッド１１０は、ヘッド本体１１１と、複数の振動板１１２と、複数のピエゾ素子１１３と、複数の液滴吐出ノズル１１８とを有している。振動板１１２と、ピエゾ素子１１３と、液滴吐出ノズル１１８とは、１対１の関係で存在する。
ヘッド本体１１１は、本体１１４と、その下端面にノズルプレート１１５とを有している。そして、本体１１４を板状のノズルプレート１１５と振動板１１２とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバ１１６およびリザーバ１１６から分岐した複数のインク室１１７が形成されている。
【００２２】
リザーバ１１６には、図示せぬインクタンクよりインク１が供給される。リザーバ１１６は、各インク室１１７にインク１を供給するための流路を形成している。
また、ノズルプレート１１５は、本体１１４の下端面に装着されており、インク吐出面１１５Ｐを構成している。このノズルプレート１１５には、インク１を吐出する複数のノズル１１８が、各インク室１１７に対応して開口されている。そして、各インク室１１７から対応するノズル１１８に向かって、インク流路が形成されている。
【００２３】
振動板１１２は、ヘッド本体１１１の上端面に装着されており、各インク室１１７の壁面を構成している。振動板１１２は、ピエゾ素子１１３の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子１１３は、その振動板１１２のヘッド本体１１１と反対側に、各インク室１１７に対応して設けられている。ピエゾ素子１１３は、水晶等の圧電材料を一対の電極（不図示）で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路１９１に接続されている。
【００２４】
そして、駆動回路１９１からピエゾ素子１１３に電気信号を入力すると、ピエゾ素子１１３が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子１１３が収縮変形すると、インク室１１７の圧力が低下して、リザーバ１１６からインク室１１７にインク１が流入する。また、ピエゾ素子１１３が膨張変形すると、インク室１１７の圧力が増加して、液滴吐出ノズル１１８からインク１が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子１１３への印加電圧を制御することにより、インク１の吐出条件を制御し得るようになっている。
【００２５】
ところで、このような液滴吐出装置において、通常、液滴吐出ヘッドから吐出可能なインクは、比較的粘度の低いものに限られている。そのため、使用できるインクの組成にも制限があるといった問題があった。また、吐出するインクの粘度上昇に伴い、吐出に必要な駆動電圧が上昇してしまうといった問題があった。
これに対して、本発明のインクジェット描画方法では、インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクの吐出が生じない振動を印加する微振動印加工程と、当該微振動印加工程の後に、インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応する振動板にインクを吐出する振動を印加する吐出振動印加工程と点に特徴を有している。このような特徴を有することにより、比較的粘度の高いインクであっても、安定して吐出することができる。すなわち、インクを吐出する前に、インクに微振動を加えることで、インクの粘度を低下させ、その結果、比較的高粘度のインクであっても、安定して吐出することができる。また、粘度上昇に伴う圧電体素子の駆動電圧の上昇を効果的に抑制することができる。
【００２６】
本実施形態では、上述したように振動板１１２が、圧電体素子としてのピエゾ素子１１３の振動に応じて振動可能となっている。これにより、熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないとともに、熱による液滴の吐出量や吐出速度への影響をより小さいものとすることができる。その結果、より安定してインクを吐出することができる。
液滴を吐出するピエゾ素子１１３に印加する電圧波形の例を、図３に示す。なお、本明細書において、インクの吐出をともなう印加電圧の波形を吐出波形といい、インクの吐出を生じない印加電圧の波形を微振動波形という。
【００２７】
また、微振動印加工程において、インク室１１７内のインク１の固有周期と略同等の周期で、ピエゾ素子１１３に電圧を複数回、印加するのが好ましい。このように複数回印加することにより、インク１の粘度を低い値で安定させることができ、比較的高粘度のインクであってもより安定して吐出することができる。なお、固有周期とは、振動系に外力で初期変位を与え、外力を除いた後に振動系が安定的に振動する周期のことを言い、インクとヘッド構造によって決まる固有の周期を言う。
【００２８】
インク１の固有周期は、５．０μｓ以上１４．０μｓ以下であるのが好ましく、６．０μｓ以上１０．０μｓ以下であるのがより好ましい。これにより、比較的高粘度のインクであっても、より安定して吐出することができる。
微振動印加工程において、ピエゾ素子１１３に印加する電圧の最大電圧をＢ［Ｖ］、吐出振動印加工程においてピエゾ素子１１３に印加する電圧の最大電圧をＡ［Ｖ］としたとき、０．２≦Ｂ／Ａ≦０．６の関係を満足するのが好ましく、０．３≦Ｂ／Ａ≦０．５の関係を満足するのがより好ましい。これにより、微振動印加工程における不本意なインク１の吐出を効果的に防止しつつ、インク１が比較的高粘度であっても安定して吐出することができる。
【００２９】
また、インク１の粘度は、２．０ｍＰａ・ｓ以上１６．０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、５．０ｍＰａ・ｓ以上１４．０ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。このように比較的粘度の高いインクであっても、本発明のインクジェット描画方法を用いることにより安定して吐出することができる。なお、インク１の粘度の測定は、例えば、Ｅ型粘度計（例えば、東機産業社製ＲＥ-０１）を用いて行うことができ、特に、ＪＩＳ  Ｚ８８０３に準拠して行うことができる。
【００３０】
制御装置１９０は、インクジェット装置１００の各部位を制御する。例えば、駆動回路１９１で生成する印加電圧の波形を調節してインク１の吐出条件を制御したり、ヘッド位置決め手段１８０およびテーブル位置決め手段１７０を制御することにより基板Ｓへのインク１の吐出位置を制御する。
以上のようなインクジェット装置１００を用いることにより、インク１を、セラミックス成形体１５（基材Ｓ）上の所望する場所に所望の量、精度良く吐出し、配することができる。
【００３１】
《導体パターン形成用インク》
本発明のインクジェット描画方法に適用されるインクとしては、特に限定されないが、以下に示すような、金属粒子を水系分散媒に分散してなる分散液（導体パターン形成用インク）であるのが好ましい。このようなインクには、配線のクラック防止やインクの乾燥抑制のため、高分子のバインダーや乾燥抑制剤が添加される。このため、比較的粘度が高く、安定して吐出するのが困難であったが、本発明のインクジェット描画方法を適用することにより、安定して吐出することができる。
導体パターン形成用インクは、前述した液滴吐出ヘッドから、導体パターン前駆体を形成するために吐出されるインクである。
なお、本実施形態では、金属粒子を水系分散媒に分散してなる分散液として、銀粒子が分散した分散液を用いた場合について代表的に説明する。
【００３２】
以下、導体パターン形成用インクの各構成成分について詳細に説明する。
［水系分散媒］
まず、水系分散媒について説明する。
本明細書において、「水系分散媒」とは、水および／または水との相溶性に優れる液体（例えば、２５℃における水１００ｇに対する溶解度が３０ｇ以上の液体）で構成されたもののことを指す。このように、水系分散媒は、水および／または水との相溶性に優れる液体で構成されたものであるが、主として水で構成されたものであるのが好ましく、特に、水の含有率が７０ｗｔ％以上のものであるのが好ましく、９０ｗｔ％以上のものであるのがより好ましい。
【００３３】
水系分散媒の具体例としては、例えば、水、メタノール、エタノール、ブタノール、プロパノール、イソプロパノール等のアルコール系溶媒、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）等のエーテル系溶媒、ピリジン、ピラジン、ピロール等の芳香族複素環化合物系溶媒、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡ）等のアミド系溶媒、アセトニトリル等のニトリル系溶媒、アセトアルデヒド等のアルデヒド系溶媒等が挙げられ、これらのうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
また、導体パターン形成用インク中における水系分散媒の含有量は、２５ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下であることが好ましく、３０ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下であることがより好ましい。これにより、インクの粘度を好適なものとしつつ、分散媒の揮発による粘度の変化を少ないものとすることができる。
【００３４】
［銀粒子］
次に、銀粒子（金属粒子）について説明する。
銀粒子は、形成される導体パターンの主成分であり、導体パターンに導電性を付与する成分である。
また、銀粒子は、インク中において分散している。
銀粒子の平均粒径は、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であるのが好ましく、１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性をより高いものとすることができるとともに、微細な導体パターンを容易に形成することができる。なお、本明細書では、「平均粒径」とは、特に断りのない限り、体積基準の平均粒径のことを指すものとする。
【００３５】
また、インク中において、銀粒子の平均粒子間距離は、１．７ｎｍ以上３８０ｎｍ以下であるのが好ましく、１．７５ｎｍ以上３００ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの粘度をより適度なものとすることができ、吐出安定性に特に優れたものとなる。
また、インク中に含まれる銀粒子（分散剤が表面に吸着していない銀粒子（金属粒子））の含有量は、０．５ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下であるのが好ましく、１０ｗｔ％以上４５ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターンの断線をより効果的に防止することができ、より信頼性の高い導体パターンを提供することができる。
また、銀粒子（金属粒子）は、その表面に分散剤が付着した銀コロイド粒子（金属コロイド粒子）として、水系分散媒中に分散していることが好ましい。これにより、銀粒子の水系分散媒への分散性が特に優れたものとなり、インクの吐出安定性が特に優れたものとなる。
【００３６】
分散剤としては、特に限定されないが、ＣＯＯＨ基とＯＨ基とを合わせて３個以上有し、かつ、ＣＯＯＨ基の数がＯＨ基と同じか、それよりも多いヒドロキシ酸またはその塩を含むことが好ましい。これらの分散剤は、銀粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するＣＯＯＨ基の電気的反発力によって銀コロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定してインク中に存在することにより、より容易に微細な導体パターンを形成することができる。また、インクによって形成されたパターン（前駆体）において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のＣＯＯＨ基とＯＨ基の数が３個未満であったり、ＣＯＯＨ基の数がＯＨ基の数よりも少ないと、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
このような分散剤としては、例えば、クエン酸、りんご酸、クエン酸三ナトリウム、クエン酸三カリウム、クエン酸三リチウム、クエン酸三アンモニウム、りんご酸二ナトリウム、タンニン酸、ガロタンニン酸、五倍子タンニン等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３７】
また、分散剤は、ＣＯＯＨ基とＳＨ基とを合わせて２個以上有するメルカプト酸またはその塩を含んでいてもよい。これらの分散剤は、メルカプト基が銀微粒子の表面に吸着してコロイド粒子を形成し、分散剤中に存在するＣＯＯＨ基の電気的反発力によってコロイド粒子を水溶液中に均一に分散させてコロイド液を安定化する働きを有する。このように、銀コロイド粒子が安定してインク中に存在することにより、より容易に微細な導体パターンを形成することができる。また、インクによって形成されたパターン（前駆体）において銀粒子が均一に分布し、クラック、断線等が発生しにくいものとなる。これに対して、分散剤中のＣＯＯＨ基とＳＨ基の数が２個未満すなわち片方のみであると、銀コロイド粒子の分散性が十分に得られない場合がある。
【００３８】
このような分散剤としては、例えば、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、チオジプロピオン酸、メルカプトコハク酸、チオ酢酸、メルカプト酢酸ナトリウム、メルカプトプロピオン酸ナトリウム、チオジプロピオン酸ナトリウム、メルカプトコハク酸二ナトリウム、メルカプト酢酸カリウム、メルカプトプロピオン酸カリウム、チオジプロピオン酸カリウム、メルカプトコハク酸二カリウム等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
インク中における銀コロイド粒子の含有量は、１ｗｔ％以上６０ｗｔ％以下であるのが好ましく、１０ｗｔ％以上５０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。銀コロイド粒子の含有量が前記下限値未満であると、銀の含有量が少なく、導体パターンを形成した際、比較的厚い膜を形成する場合に、複数回重ね塗りする必要が生じる。一方、銀コロイド粒子の含有量が前記上限値を超えると、銀の含有量が多くなり、分散性が低下し、これを防ぐためには攪拌の頻度が高くなる。
【００４０】
また、銀コロイド粒子の熱重量分析における５００℃までの加熱減量は、１ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下が好ましい。コロイド粒子（固形分）を５００℃まで加熱すると、表面に付着した分散剤、後述する還元剤（残留還元剤）等が酸化分解され、大部分のものはガス化されて消失する。残留還元剤の量は、僅かであると考えられるので、５００℃までの加熱による減量は、銀コロイド粒子中の分散剤の量にほぼ相当すると考えられる。加熱減量が１ｗｔ％未満であると、銀粒子に対する分散剤の量が少なく、銀粒子の充分な分散性が低下する。一方、２５ｗｔ％を超えると、銀粒子に対する残留分散剤の量が多なり、導体パターンの比抵抗が高くなる。但し、比抵抗は、導体パターンの形成後に加熱焼結して有機分を分解消失させることである程度改善することができる。そのため、より高温で焼結されるセラミックス基板等に有効である。
【００４１】
［有機バインダー］
また、導体パターン形成用インクは、有機バインダーを含んでいてもよい。有機バインダーは、導体パターン形成用インクによって形成された導体パターン前駆体１０において、銀粒子の凝集を防止するものである。すなわち、形成された導体パターン前駆体１０において、有機バインダーは、銀粒子同士の間に存在することで銀粒子同士が凝集して、パターンの一部に亀裂（クラック）が生じることを防止できる。また、焼結時においては、有機バインダーは、分解されて除去されることができ、導体パターン前駆体１０中の銀粒子同士は、結合して導体パターンを形成する。
【００４２】
有機バインダーとしては、特には限定されないが、例えば、ポリエチレングリコール＃２００（重量平均分子量２００）、ポリエチレングリコール＃３００（重量平均分子量３００）、ポリエチレングリコール＃４００（平均分子量４００）、ポリエチレングリコール＃６００（重量平均分子量６００）、ポリエチレングリコール＃１０００（重量平均分子量１０００）、ポリエチレングリコール＃１５００（重量平均分子量１５００）、ポリエチレングリコール＃１５４０（重量平均分子量１５４０）、ポリエチレングリコール＃２０００（重量平均分子量２０００）等のポリエチレングリコール、ポリビニルアルコール＃２００（重量平均分子量：２００）、ポリビニルアルコール＃３００（重量平均分子量：３００）、ポリビニルアルコール＃４００（平均分子量：４００）、ポリビニルアルコール＃６００（重量平均分子量：６００）、ポリビニルアルコール＃１０００（重量平均分子量：１０００）、ポリビニルアルコール＃１５００（重量平均分子量：１５００）、ポリビニルアルコール＃１５４０（重量平均分子量：１５４０）、ポリビニルアルコール＃２０００（重量平均分子量：２０００）等のポリビニルアルコール、ポリグリセリン、ポリグリセリンエステル等のポリグリセリン骨格を有するポリグリセリン化合物が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。また、ポリグリセリンエステルとしては、例えば、ポリグリセリンのモノステアレート、トリステアレート、テトラステアレート、モノオレエート、ペンタオレエート、モノラウレート、モノカプリレート、ポリシノレート、セスキステアレート、デカオレエート、セスキオレエート等が挙げられる。
この中でも、有機バインダーとして、ポリグリセリン化合物を用いた場合、以下のような効果が得られる。
【００４３】
ポリグリセリン化合物は、導体パターン形成用インクによって形成された導体パターン前駆体１０を乾燥（脱分散媒）した際に、導体パターン前駆体１０にクラックが発生するのを特に好適に防止することができる。これは、以下のように考えられる。導体パターン形成用インク中にポリグリセリン化合物が含まれることにより、銀粒子（金属粒子）の間に高分子鎖が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を適度なものとすることができる。さらに、ポリグリセリン化合物は比較的沸点が高いため、水系分散媒の除去時においては除去されず、銀粒子の周囲に付着する。以上により、水系分散媒除去時において、ポリグリセリン化合物が銀粒子を包み込んだ状態が長く続き、水系分散媒の揮発による急激な体積収縮が避けられるとともに銀の粒成長（凝集）が妨げられる結果、導体パターン前駆体１０中のクラックの発生が抑制されると考えられる。
【００４４】
また、ポリグリセリン化合物は、導体パターンを形成する際の焼結時において、断線が発生するのをより確実に防止することができる。これは、以下のように考えられる。ポリグリセリン化合物は、比較的沸点あるいは分解温度が高い。このため、導体パターン形成用インクから導体パターンを形成する過程において、水系分散媒が蒸発した後、比較的高い温度まで、ポリグリセリン化合物を、蒸発或いは熱（酸化）分解せずに、導体パターン前駆体１０中に存在させることができる。したがって、ポリグリセリン化合物が蒸発或いは熱（酸化）分解するまでは、銀粒子の周囲にポリグリセリン化合物が存在し、銀粒子同士の接近と凝集とを抑制することができ、ポリグリセリン化合物が分解した後には、より均一に銀粒子同士を接合させることができる。さらに、焼結時においてパターン中の銀粒子（金属粒子）の間に高分子鎖（ポリグリセリン化合物）が存在することとなり、ポリグリセリン化合物が銀粒子同士の距離を保つことができる。また、このポリグリセリン化合物は、適度な流動性を有している。このため、ポリグリセリン化合物を含むことにより、導体パターン前駆体１０は、セラミックス成形体の温度変化による膨張・収縮への追従性が優れたものとなる。
【００４５】
以上より、形成された導体パターンに断線が生じることをより確実に防止することができると考えられる。
また、このようなポリグリセリン化合物を含むことにより、インクの粘度をより適度なものとすることができ、インクジェットヘッドからの吐出安定性をより効果的に向上させることができる。また、成膜性も向上させることができる。
【００４６】
ポリグリセリン化合物としては、上述した中でも、ポリグリセリンを用いるのが好ましい。ポリグリセリンは、セラミックス成形体の温度変化による膨張・収縮への追従性が特に優れるとともに、セラミックス成形体の焼結後には、導体パターン中からより確実に除去することができる成分である。その結果、導体パターンの電気的特性をより高いものとすることができる。さらに、ポリグリセリンは、水系分散媒への溶解度も高いので、好適に用いることができる。
【００４７】
有機バインダーは、その重量平均分子量が３００以上３０００以下であるのが好ましく、４００以上１０００以下であるのがより好ましく、４００以上６００以下であるのがさらに好ましい。これにより、導体パターン形成用インクによって形成されたパターンを乾燥した際に、クラックの発生をより確実に防止することができる。これに対し、有機バインダーの重量平均分子量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、水系分散媒を除去する際に有機バインダーが分解しやすい傾向があり、クラックの発生を防止する効果が小さくなる。また、有機バインダーの重量平均分子量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、排除体積効果等によりインク中への溶解性、分散性が低下する場合がある。
【００４８】
また、インク中に有機バインダーの含有量は、１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下であるのが好ましく、５ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性を特に優れたものとしつつ、クラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。これに対して、有機バインダーの含有量が前記下限値未満であると、有機バインダーの組成によっては、クラックの発生を防止する効果が小さくなる場合がある。また、有機バインダーの含有量が前記上限値を超えると、有機バインダーの組成によっては、インクの粘度を十分に低いものとすることが困難な場合がある。
【００４９】
［乾燥抑制剤］
また、導体パターン形成用インクは、乾燥抑制剤を含んでいてもよい。乾燥抑制剤は、インク中の水系分散媒の不本意な揮発を防止するものである。その結果、インクジェット装置の吐出部付近において水系分散媒が揮発することを防止でき、インクの粘度の上昇、乾燥が抑えられる。導体パターン形成用インクは、このような乾燥抑制剤を含む結果、インクの液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。すなわち、インクの液滴の重量のばらつきが小さいものとなり、目詰まり、飛行曲がり等が少ないものとなる。
このような乾燥抑制剤としては、下記式（Ｉ）で示される化合物、糖アルコール、アルカノールアミン等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５０】
【化１】
2012130821.tif 000002
（ただし、Ｒ、Ｒ’は、それぞれ、Ｈまたはアルキル基である。）
【００５１】
上記式（Ｉ）で表される化合物は、水素結合性の高い成分である。このため、水との親和性が高く、適度な水分を保持することができ、導体パターン形成用インクの水系分散媒の不本意な揮発を防止することができる。
また、上記化合物は、比較的燃焼しやすく、導体パターンを形成する際には導体パターン内からより容易に除去（酸化分解）することができる。
【００５２】
また、導体パターン形成用インクによって形成されたパターンを乾燥（脱分散媒）する際に、水系分散媒が揮発とともに、上記化合物の濃度が上昇する。これにより、導体パターンの前駆体の粘度が上昇するため、前駆体を構成するインクの不本意な部位への流れ出しがより確実に防止される。その結果、形成される導体パターンをより高い精度で所望の形状とすることができる。
また、上述したような化合物は、金属粒子（銀粒子）が前述したように表面に分散剤が付着したコロイド粒子である場合、表面の分散剤と水素結合により結合し、金属粒子の分散安定性を向上させる効果を有している。これにより、導体パターン形成用インクの吐出安定性に優れるとともに、保存安定性にも優れたものとなる。
【００５３】
上述したように、本発明で用いる上記式（Ｉ）で表される化合物中における、Ｒ、Ｒ’は、それぞれ、水素またはアルキル基であるが、Ｒ、Ｒ’は、ともに水素であるのが好ましい。すなわち、尿素であるのが好ましい。これにより、上述したような保湿性を特に高いものとすることができ、特に優れた吐出安定性を得ることができる。また、金属粒子が上述したようなコロイド粒子として存在する場合に、特に優れた分散安定性を示すものとなる。
【００５４】
このような上記式（Ｉ）で表される化合物のインク中における含有量は、５ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、８ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましく、１０ｗｔ％以上１８ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの不本意な乾燥をより効率よく防止することができる。その結果、インクの吐出安定性を特に優れたものとすることができる。
【００５５】
アルカノールアミンは、保湿性の高い成分であるとともに、金属粒子が前述したようなコロイド粒子である場合に、コロイド粒子表面の分散剤の官能基を活性化させることができ、金属粒子の分散安定性をより高いものとすることができる。
アルカノールアミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン等各種のものを挙げることができる。
【００５６】
また、アルカノールアミンは、第３級アミンであるのが好ましい。第３級アミンは、アルカノールアミンの中でも、特に保湿性が高く、上記効果をより顕著なものとすることができる。
また、第３級アミンの中でも、取り扱いやすさや、保湿性の高さ等の観点から、特に、トリエタノールアミンを用いるのが好ましい。
導体パターン形成用インク中におけるアルカノールアミンの含有量は、１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上７ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの吐出安定性をより効果的に優れたものとすることができる。
【００５７】
糖アルコールは、糖類のアルデヒド基およびケトン基を還元して得られるものである。
また、糖アルコールは、高い保湿性を有する化合物である。また、糖アルコールは、分子量あたりの酸素数が多いため、雰囲気が糖アルコールの分解温度に達すると、容易に分解して除去される。このため、導体パターンを形成する際には、導体パターンの温度を糖アルコールの分解温度よりも高くすることで、導体パターン内から糖アルコールを確実に除去（酸化分解）することができる。
【００５８】
糖アルコールとしては、例えば、トレイトール、エリスリトール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、アラビトール、リビトール、キシリトール、ソルビトール、マンニトール、スレイトール、グリトール、タリトール、ガラクチトール、アリトール、アルトリトール、ドルシトール、イディトール、グリセリン（グリセロール）、イノシトール、マルチトール、イソマルチトール、ラクチトール、ツラニトール等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５９】
上述したような糖アルコールの、導体パターン形成用インク中における含有量は、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのが好ましく、５ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクの水系分散媒の揮発をより確実に抑制することができ、導体パターン形成用インクは、より長期にわたって液滴の吐出安定性が特に優れたものとなる。
【００６０】
［表面張力調整剤］
また、導体パターン形成用インクには、表面張力調整剤を含んでいてもよい。
表面張力調整剤は、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の角度に調整するために用いられる。
表面張力調整剤としては、各種界面活性剤を用いることができ、１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、アセチレングリコール系化合物を含むことが好ましい。
【００６１】
アセチレングリコール系化合物は、少ない添加量で、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲に調整することができる。このように、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲に調整することにより、より微細な導体パターンを形成することができる。また、吐出した液滴内に気泡が混入した場合であっても、速やかに気泡を除去することができる。その結果、形成される導体パターンでのクラック、断線の発生をより効果的に防止することができる。
【００６２】
アセチレングリコール系化合物としては、例えば、サーフィノール１０４シリーズ（１０４Ｅ、１０４Ｈ、１０４ＰＧ−５０、１０４ＰＡ等）、サーフィノール４００シリーズ（４２０、４６５、４８５等）、オルフィンシリーズ（ＥＸＰ４０３６、ＥＸＰ４００１、Ｅ１０１０等）（「サーフィノール」および「オルフィン」は、日信化学工業株式会社の商品名）等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
また、インク中には、ＨＬＢ値が異なる２種以上のアセチレングリコール系化合物を含んでいるのが好ましい。導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
【００６３】
特に、インク中に含まれる２種以上のアセチレングリコール系化合物のうち、最もＨＬＢ値が高いアセチレングリコール系化合物のＨＬＢ値と、最もＨＬＢ値が低いアセチレングリコール系化合物のＨＬＢ値との差が、４以上１２以下であるのが好ましく、５以上１０以下であるのがより好ましい。これにより、より少ないアセチレングリコール系化合物の添加量で、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角を所定の範囲により容易に調整することができる。
【００６４】
インク中に２種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もＨＬＢ値の高いアセチレングリコール系化合物のＨＬＢ値は、８以上１６以下であるのが好ましく、９以上１４以下であるのがより好ましい。
また、インク中に２種以上のアセチレングリコール系化合物を含むものを用いる場合、最もＨＬＢ値の低いアセチレングリコール系化合物のＨＬＢ値は、２以上７以下であるのが好ましく、３以上５以下であるのがより好ましい。
インク中に含まれる表面張力調整剤の含有量は、０．００１ｗｔ％以上１ｗｔ％以下であるのが好ましく、０．０１ｗｔ％以上０．５ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角をより効果的に所定の範囲に調整することができる。
【００６５】
［その他の成分］
なお、導体パターン形成用インクの構成成分は、上記成分に限定されず、上記以外の成分を含んでいてもよい。
例えば、導体パターン形成用インクには、上記成分の他、１，３−プロパンジオールが含まれていてもよい。これにより、インクジェットヘッドの吐出部付近における水系分散媒の揮発をより効果的に抑制することができるとともに、インクの粘度をより適度なものとすることができ、吐出安定性がさらに向上する。
【００６６】
インク中に１，３−プロパンジオールを含む場合、その含有量は、０．５ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのが好ましく、２ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。これにより、インクの吐出安定性をより効果的に向上させることができる。
また、例えば、導体パターン形成用インクは、エチレングリコール、１，３−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコールを含んでいてもよい。導体パターン形成用インクは、上述した尿素以外にも、チオ尿素を含んでいてもよい。
【００６７】
導体パターン形成用インクとセラミックス成形体との接触角は、特に限定されないが、４０°以上８０°以下であることが好ましく、５０°以上８０°以下であることがより好ましい。接触角が小さすぎると、微細な線幅の導体パターンを形成するのが困難となる場合がある。一方、接触角が大きすぎると、吐出条件等によっては、均一な線幅の導体パターンを形成するのが困難となる場合がある。また、着弾した液滴とセラミックス成形体との接触面積が小さくなりすぎてしまい、着弾した液滴が着弾位置からずれてしまう場合がある。
【００６８】
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
前述した実施形態では、インクとして導体パターンを形成するための導体パターン形成用インクを用いる場合について説明したが、本発明に適用されるインクはこれに限定されない。
前述した実施形態では、金属粒子を溶媒に分散してなる分散液として、コロイド液を用いる場合について説明したが、コロイド液でなくてもよい。
【００６９】
また、前述した実施形態では、導体パターン形成用インクは、銀粒子が分散したものとして説明したが、銀以外のものであってもよい。金属粒子に含まれる金属としては、例えば、銀、銅、パラジウム、白金、金、または、これらの合金等が挙げられ、これらのうち１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。金属粒子が合金である場合、前記金属が主とするもので、多の金属を含む合金であってもよい。また、上記金属同士が任意の割合で混ざった合金であってもよい。また、混合粒子（例えば、銀粒子と銅粒子とパラジウム粒子とが任意の比率で存在するもの）が液中に分散したものであってもよい。これら金属は、抵抗率が小さく、かつ、加熱処理によって酸化されない安定なものであるから、これらの金属を用いることにより、低抵抗で安定な導体パターンを形成することが可能になる。
【実施例】
【００７０】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
［１］インク（導体パターン形成用インク）の調製
導体パターン形成用インクは、以下のようにして製造した。
１０Ｎ−ＮａＯＨ水溶液を３ｍＬ添加してアルカリ性にした水５０ｍＬに、クエン酸３ナトリウム２水和物１７ｇ、タンニン酸０．３６ｇを溶解した。得られた溶液に対して３．８７ｍｏｌ／Ｌ硝酸銀水溶液３ｍＬを添加し、２時間攪拌を行い銀コロイド液を得た。得られた銀コロイド液に対し、導電率が３０μＳ／ｃｍ以下になるまで透析することで脱塩を行った。透析後、３０００ｒｐｍ、１０分の条件で遠心分離を行うことで、粗大金属コロイド粒子を除去した。
【００７１】
この銀コロイド液に、キシリトールと、ポリグリセリンと、アセチレングリコール系化合物としてのサーフィノール１０４ＰＧ−５０（日信化学工業社製）およびオルフィンＥＸＰ４０３６（日信化学工業社製）とを添加し、さらに濃度調整用のイオン交換水を添加して調整し、導体パターン形成用インク（以下単にインクとも言う）１とした。インク中における銀コロイド粒子の含有量は４０ｗｔ％、キシリトールの含有量は９ｗｔ％、ポリグリセリンの含有量は１４ｗｔ％、サーフィノール１０４ＰＧ−５０の含有量は０．０２ｗｔ％、オルフィンＥＸＰ４０３６の含有量は０．００６ｗｔ％、水の含有量は３６．９７４ｗｔ％であった。得られたインクの２５℃における粘度は、１０．７ｍＰａ・ｓであった。また、インク室内でのインクの固有周期は、８．０μｓであった。
【００７２】
［２］液滴の連続吐出
（実施例１）
室温２５℃、相対湿度５０％、クラス１００のクリーンルーム内に設置した図１、図２に示すようなインクジェット装置に、上記導体パターン形成用インクを充填した。また、装置テーブルに印字用紙をセットした。
【００７３】
インクを吐出する液滴吐出ノズルに対応するピエゾ素子に、周波数：５ｋＨｚ、最大電圧：２６Ｖの条件の吐出波形の電圧を印加した。また、吐出と吐出の間に、周波数：１２５ｋＨｚ、最大電圧：１１Ｖの条件の微振動波形の電圧を印加した。なお、上記インクの固有周期と同じ周期で、ピエゾ素子に微振動波形の電圧を５回、印加した。
上記条件において、テーブルを１００ｍｍ／ｓの速度で移動させながら、全液滴吐出ノズルによる１０００発の印字を行った。
【００７４】
（実施例２〜４）
キシリトールやポリグリセリンの含有量を調整することにより、インクの２５℃における粘度および固有周期が表１に示す値のインクを吐出した以外は、前記実施例１と同様にして印字を行った。
（比較例）
ノズルに微振動波形を印加しなかった以外は、前記実施例１と同様にして印字を行った。
上記各実施例および比較例の吐出波形と微振動波形の各条件を表１に示した。
【００７５】
【表１】
2012130821.tif 000003
【００７６】
［３］着弾位置精度評価
上記各実施例および比較例における、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された１０００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、以下の４段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が小さく、吐出が安定していると言える。
Ａ：ズレ量ｄの平均値が２．０μｍ未満。
Ｂ：ズレ量ｄの平均値が２．０μｍ以上、４．０μｍ未満。
Ｃ：ズレ量ｄの平均値が４．０μｍ以上、６．０μｍ未満。
Ｄ：ズレ量ｄの平均値が６．０μｍ以上。
【００７７】
［４］吐出状態安定性評価
上記各実施例および比較例において、印字領域内におけるミストの発生数Mdをカウントした。ここでミストとは、着弾液滴とは別の箇所に着弾している微小液滴のことを言う。以下の４段階の基準に従い、吐出状態の安定性を評価した。Mdの値が小さいほど、液滴吐出の安定性に優れていると言える。
Ａ：Mdの値が、１０未満。
Ｂ：Mdの値が、１０以上２０未満。
Ｃ：Mdの値が、２０以上３０未満。
Ｄ：Mdの値が、４０以上。
【００７８】
これらの結果を表１に示す。
表１から解るように、本発明のインクジェット描画方法を用いた実施例では、粘度の高いインクであっても、着弾位置精度が高く、またミストも抑制でき、インクを安定して吐出することが可能であった。これに対して、比較例では、着弾位置精度も低く、また、ミストも多発した。
【符号の説明】
【００７９】
１…導体パターン形成用インク（インク）  １５…セラミックス成形体（セラミックスグリーンシート）  １００…インクジェット装置（液滴吐出装置）  １１０…インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド、ヘッド）  １１１…ヘッド本体  １１２…振動板  １１３…ピエゾ素子  １１４…本体  １１５…ノズルプレート  １１５Ｐ…インク吐出面  １１６…リザーバ  １１７…インク室  １１８…ノズル（突出部）  １３０…ベース  １４０…テーブル  １７０…テーブル位置決め手段  １７１…第１移動手段  １７２…モータ  １８０…ヘッド位置決め手段  １８１…第２移動手段  １８２…リニアモータ  １８３、１８４、１８５…モータ  １９０…制御装置  １９１…駆動回路  Ｓ…基材
【図１】
2012130821.tif 000004
【図２】
2012130821.tif 000005
【図３】
2012130821.tif 000006