(57)【要約】【課題】電子部品の電極に対して十分に接触することができ、プローブの交換頻度が少なく、かつプローブを容易に交換することができる電子部品の特性測定装置および特性測定方法を提供する。【解決手段】電子部品の特性測定装置１２Ａは、導電性線材１２ｓをコイル状に巻付けてなるコイル部１２ａと、コイル部１２ａの中空部に充填された導電性接着剤１２ｄとを含むプローブ１２と、プローブ１２を支持するインピーダンスコントロール基板Ｃ１と、インピーダンスコントロール基板Ｃ１上に載置されプローブ１２を収納する収納孔１３ａを有する位置決めプレート１３とを備えている。位置決めプレート１３上には、プローブ１２の一部が外方へ突出する開口１４ａを有する抜け止めプレート１４が設けられている。コイル部１２ａの一対の端部１２ｓ１、１２ｓ２は抜け止めプレート１４に当接する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の特性測定装置において、
一対の端部を有し、弾性材からなる導電性線材をコイル状に巻付けることにより形成された中空部を含むコイル部と、コイル部の中空部に充填された導電性接着剤とを有するプローブと、
プローブを支持する導電性部材と、
基板上に載置されプローブを収納する収納孔を有する位置決めプレートと、
位置決めプレート上に載置され、プローブの一部が外方へ突出する開口を有する抜け止めプレートとを備え、
コイル部の一対の端部は抜け止めプレート側を向き、抜け止めプレートに当接されて抜け止めが防止されることを特徴とする電子部品の特性測定装置。
【請求項２】
導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の特性測定装置。
【請求項３】
導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の特性測定装置。
【請求項４】
コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、Ｎ＋０．５（Ｎは自然数）であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の特性測定装置。
【請求項５】
コイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の９時の位置から１２時の位置を経由して３時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする請求項１記載の電子部品の特性測定装置。
【請求項６】
請求項１記載の電子部品の特性測定装置を用いた電子部品の特性測定方法において、
特定測定装置の規制プレートの開口から突出するプローブの一部上に電子部品を当接させる工程と、
電子部品をプローブ側へ押圧して電子部品をプローブを介して導電性部材に接触させて電子部品の特性測定を行なう工程と、を備えたことを特徴とする電子部品の特定測定方法。
【請求項７】
導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする請求項６記載の電子部品の特性測定方法。
【請求項８】
導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする請求項６記載の電子部品の特性測定方法。
【請求項９】
コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、Ｎ＋０．５（Ｎは自然数）であることを特徴とする請求項６記載の電子部品の特性測定方法。
【請求項１０】
コイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の９時の位置から１２時の位置を経由して３時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする請求項６記載の電子部品の特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の特性測定装置および特性測定方法に係り、とりわけ１ＭＨｚ〜６０ＧＨｚ程度の高周波帯で動作するチップ形電子部品の測定をする際、高周波における測定精度を確保するために電子部品の電極に対して十分な接触が可能で、プローブの交換頻度が小さくかつプローブの交換が容易な電子部品の特性測定装置および特性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来よりチップ形電子部品の特性測定装置として、電子部品に当接可能に設けられたプローブと、プローブを支持する導電性部材とを有するものが知られている。
【０００３】
この場合、プローブはバネ材からなり、導電性部材にハンダ付けられて設けられている。このためプローブの摩耗によりプローブを交換する場合、導電性部材とともにプローブを交換する必要があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、電子部品の電極に対してプローブを確実に接触させることができ、プローブ交換の頻度が小さく、かつプローブ自体の交換を容易に行なうことができる電子部品の特性測定装置および特性測定方法を提供することを目的とする。
【発明を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、電子部品の特性測定装置において、一対の端部を有し、弾性材からなる導電性線材をコイル状に巻付けることにより形成された中空部を含むコイル部と、コイル部の中空部に充填された導電性接着剤とを有するプローブと、プローブを支持する導電性部材と、基板上に載置されプローブを収納する収納孔を有する位置決めプレートと、位置決めプレート上に載置され、プローブの一部が外方へ突出する開口を有する抜け止めプレートとを備え、コイル部の一対の端部は抜け止めプレート側を向き、抜け止めプレートに当接されて抜け止めが防止されることを特徴とする電子部品の特性測定装置である。
【０００６】
本発明は、導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする電子部品の特性測定装置である。
【０００７】
本発明は、導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする電子部品の特性測定装置である。
【０００８】
本発明は、コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、Ｎ＋０．５（Ｎは自然数）であることを特徴とする電子部品の特性測定装置である。
【０００９】
本発明はコイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の９時の位置から１２時の位置を経由して３時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする電子部品の特性測定装置である。
【００１０】
本発明は、上記記載の電子部品の特性測定装置を用いた電子部品の特性測定方法において、特定測定装置の規制プレートの開口から突出するプローブの一部上に電子部品を当接させる工程と、電子部品をプローブ側へ押圧して電子部品をプローブを介して導電性部材に接触させて電子部品の特性測定を行なう工程と、を備えたことを特徴とする電子部品の特定測定方法である。
【００１１】
本発明は、導電性部材はプリントパターンを有するインピーダンスコントロール基板であることを特徴とする電子部品の特性測定方法である。
【００１２】
本発明は、導電性部材はインピーダンスコントロールされた同軸状部材であることを特徴とする電子部品の特性測定方法である。
【００１３】
本発明は、コイル部を構成する導電性線材の巻付け回数は、Ｎ＋０．５（Ｎは自然数）であることを特徴とする電子部品の特性測定方法である。
【００１４】
本発明は、コイル部は電子部品が上方にあるとき、時計の９時の位置から１２時の位置を経由して３時の位置のいずれかの位置で電子部品と当接することを特徴とする電子部品の特性測定方法である。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように本発明によれば、プローブが線材をコイル状に巻付けることにより形成されたコイル部と、コイル部の、中空部に充填された導電性接着剤とを有するため、電子部品とプローブとが１点で当接し、その際に導電性接着剤の作用により反発力が大きくなる。このため、高周波信号で動作する電子部品について、十分な測定精度を確保できる接触荷重を発生させることができる。また、電子部品との当接によってプローブにクラックが発生した場合に、導電性接着剤の作用によりクラックが拡大することを抑制することができ、かつプローブの交換も容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明を適用した電子部品の測定システムを示す平面図。
【図２】図２は、本発明による電子部品の特性測定装置のプローブを示す正面図。
【図３】図３は、図２の矢印Ｅ方向から見た図。
【図４】図４は、図２の矢印Ｇ方向から見た図。
【図５】図５は、本発明による電子部品の特性測定装置のプローブをインピーダンスコントロール基板の信号パターン上に載置した状態を示す図。
【図６】図６は、図５のインピーダンスコントロール基板上に位置決めプレートを載置した状態を示す図。
【図７】図７は、図６の位置決めプレート上に抜け止めプレートを載置した状態を示す図。
【図８】図８は、図７の領域Ｓ４を矢印Ｈ３の方向から見た図。
【図９】図９は、図７の領域Ｓ４を矢印Ｈ２の方向から見た図。
【図１０】図１０（ａ）は、図６の領域Ｓ３を矢印Ｈ１の方向から見た図であり、図１０（ｂ）は、図７の領域Ｓ４を矢印Ｈ１の方向から見た透視図。
【図１１】図１１は、本発明による電子部品の特性測定装置のプローブにクラックが発生した状態を示す図。
【図１２】図１２は、ワークの一例を示す図。
【図１３】図１３は、図１２のワークの電極とプローブとの当接状態を示す図。
【図１４】図１４は、図１２のワークの電極とプローブとの当接状態を示す図。
【図１５】図１５は、ワークの他の例を示す図。
【図１６】図１６は、図１５のワークの電極とプローブとの当接状態を示す図。
【図１７】図１７は、図１５のワークの電極とプローブとの当接状態を示す図。
【図１８】図１８は、測定部の動作説明図。
【図１９】図１９は、測定部の動作説明図。
【図２０】図２０は、測定部の動作説明図。
【図２１】図２１は、測定部の動作説明図。
【図２２】図２２は、本発明による電子部品の特性測定装置のプローブをインピーダンスコントロールされた同軸状部材に載置した状態を示す図。
【図２３】図２３は、同軸ケーブルを示す図。
【図２４】図２４は、インピーダンスコントロール基板を示す図。
【図２５】図２５は、図２４の領域Ｓ１の拡大図。
【図２６】図２６は、インピーダンスコントロール基板と同軸ケーブルの接続状態を示す図。
【図２７】図２７は、インピーダンスコントロール基板と同軸ケーブルの接続状態を示す図。
【図２８】図２８は、インピーダンスコントロール基板の信号パターンにワークの電極を当接させた状態を示す図。
【図２９】図２９は、板バネ式プローブの説明図。
【図３０】図３０は、板バネ式プローブの説明図。
【図３１】図３１は、テコ形コンタクトプローブの説明図。
【図３２】図３２は、テコ形コンタクトプローブの説明図。
【図３３】図３３は、テコ形コンタクトプローブの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施の形態
以下、図１乃至図２２を用いて本発明の実施の形態について説明する。ここで図１は本発明による特性測定装置が組込まれた電子部品測定システムを示す平面図である。
【００１８】
電子部品測定システム５０は、固定されたテーブルベース１と、テーブルベース１上に回転自在に設置された搬送テーブル２とを備え、搬送テーブル２の外周部にはワークを個別に収納する複数のワーク収納孔３が、搬送テーブル２の外側に向けて開口して配置されている。搬送テーブル２は図示されない駆動機構の作用により、中心軸４の周囲に時計回り（矢印Ａの方向）に間歇回転する。
【００１９】
搬送テーブル２の周縁には、供給部８、測定部９、排出部１０およびテーピング部１１が設けられ、ワーク収納孔３の上面は、供給部８、測定部９、排出部１０、テーピング部１１を除いて、テーブルカバー５により覆われている。また、搬送テーブル２の外側は、上記の供給部８、測定部９、排出部１０、テーピング部１１を除いて、ガード壁６により覆われている。
【００２０】
また搬送テーブル２の外側には搬送テーブル２に向けてワークＷを一列で搬送するリニアフィーダ７が配置されている（図１）。リニアフィーダ７の終端部はワーク収納孔３の開口部に対向しており、そこにワークＷをリニアフィーダ７からワーク収納孔３に個別に収納する供給部８が接続されている。
【００２１】
また上述のように、供給部８の下流側に、搬送テーブル２の回転方向に沿って、ワーク収納孔３内のワークＷの電気的特性を測定する測定部９と、測定部９における測定結果に基づいて不良と判定されたワークＷをワーク収納孔３から排出する排出部１０と、測定部９における測定結果に基づいて良品と判定されたワークＷをワーク収納孔３から図示されないキャリアテープの凹部に個別に収納するテーピング部１１とが、この順に配置されている。
【００２２】
次に電子部品測定システム５０により測定されるチップ型電子部品（ワーク）について説明する。
【００２３】
図１２に示すように、チップ型電子部品（ワーク）Ｗは６面体形状をもち、その一面Ｗａに２個の平面形状の電極Ｗ１、Ｗ２を有している。面Ｗａの電極Ｗ１、Ｗ２以外の部分及びＷａ以外の面は、すべて誘電体（絶縁体）により覆われている。ワークＷの電気的特性を測定する際には、測定器に接続された測定用のプローブを電極Ｗ１、Ｗ２に当接させる。特に、１ＭＨｚ〜６０ＧＨｚ程度の高周波帯の信号で動作するワークの電気的特性の測定においては、プローブと測定器との間の電気信号の伝送方法について、細心の注意が必要となる。
【００２４】
その例を以下に説明する。１ＭＨｚ〜６０ＧＨｚ程度の高周波帯の信号の伝送に使用される伝送媒体として、同軸ケーブルが知られている。同軸ケーブルの斜視図を図２３に示す。同軸ケーブルＣ２は、一対の内部導体Ｃ２ｉと外部導体Ｃ２ｏとにより略円筒形に形成された可撓性のケーブルである。内部導体Ｃ２ｉは銅等の導電体の線材により形成され、高周波信号を伝送する。外部導体Ｃ２ｏは編組線状（多数の細い線材を編んだもの）或いは箔状に形成した銅等の導電体を略円筒形に成形したもので、接地することにより、内部導体Ｃ２ｉを遮蔽して高周波信号を外部の電磁波による影響から防御する機能を有している。
【００２５】
内部導体Ｃ２ｉと外部導体Ｃ２ｏとの間にはポリエチレン等の誘電体Ｃ２ｄが充填されている。
【００２６】
１ＭＨｚ〜６０ＧＨｚ程度の高周波帯の信号においては、信号伝送に使用される伝送媒体の大きさが信号の波長に対して無視できなくなる。このような高周波の信号伝送は、エネルギー損失を最小にした場合（理論的には損失をゼロとした場合）に伝送媒体上の電圧と電流の比が一定値となるように伝送されることが知られている。この比を特性インピーダンスと呼び、図２３に示す同軸ケーブルＣ２の特性インピーダンスは５０Ωとなっている。
【００２７】
同軸ケーブルＣ２の一端が図示されないコネクタにより測定器に接続され、同軸ケーブルＣ２の他端が図１２のワークＷの電極Ｗ１またはＷ２に当接されることにより、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。その際に、当接のための手段となる測定インタフェース回路を同軸ケーブルＣ２の他端に接続する必要が生じる。ここで、測定インタフェース回路の特性インピーダンスが同軸ケーブルＣ２の特性インピーダンスである５０Ωと異なる値であると、接続点においてエネルギー損失が増加して正しい測定ができなくなる。このため、特性インピーダンスを５０Ωにした測定インタフェース回路が考案されている。その一例であるインピーダンスコントロール基板を図２４に示す。
【００２８】
図２４において、インピーダンスコントロール基板Ｃ１は、エポキシ等の誘電体からなる厚さｈの基板Ｃ１ｘと、この基板Ｃ１ｘの両面に形成された銅等の導電体からなる信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂとを有する。すなわち基板Ｃ１ｘの上面側には、信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂが短手方向幅Ｌ１の長方形状に形成され、それぞれの周囲は基板Ｃ１ｘが露出しており、さらにその外周に表面アースパターンＣ１ｃが形成されている。
【００２９】
基板Ｃ１ｘが露出する幅は、信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂの長手方向両端と表面アースパターンＣ１ｃとの間がＬ２、短手方向両端と表面アースパターンＣ１ｃとの間がＬ３である。信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂの長手方向の一端近傍には、基板Ｃ１ｘ内を貫通してその下面に向かうスルーホールＣ１ａｈ及びＣ１ｂｈが形成されている。スルーホールＣ１ａｈの付近である領域Ｓ１を、基板Ｃ１ｘの上面側（矢印Ｂ１方向）及び基板Ｃ１ｘの下面側（矢印Ｂ２方向）から見た拡大図として、それぞれ図２５（ａ）、（ｂ）に示す。ただし、図２５（ａ）、（ｂ）においては、図２４における矢印Ｂ３の位置を下側として記載している。
【００３０】
図２５（ｂ）に示すように、基板Ｃ１ｘの下面側には、図２５（ａ）に示す上面側のスルーホールＣ１ａｈが基板Ｃ１ｘ内を貫通して開口し、その周囲には基板Ｃ１ｘの上面側の信号パターンＣ１ａと電気的に導通する円形のプリントパターンＣ１ａｕが形成されている。そして、プリントパターンＣ１ａｕの外周にはわずかに基板Ｃ１ｘが露出し、さらにその外周に裏面アースパターンＣ１ｄが形成されている。
【００３１】
スルーホールＣ１ｂｈについても同様のプリントパターンが、基板Ｃ１ｘの下面側に形成されている。基板Ｃ１ｘの厚さｈと信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂの短手方向幅Ｌ１の比、ならびに信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂと表面アースパターンＣ１ｃとの距離Ｌ２、Ｌ３の比を最適に設定することにより、信号パターンＣ１ａと表面アースパターンＣ１ｃ及び裏面アースパターンＣ１ｄ又は信号パターンＣ１ｂと表面アースパターンＣ１ｃ及び裏面アースパターンＣ１ｄとにより形成される伝送媒体の特性インピーダンスを、いずれも５０Ωとすることができる。
【００３２】
以上のようなインピーダンスコントロール基板Ｃ１を同軸ケーブルＣ２の他端に接続する様子を、図２６に示す。矢印Ｙで示されるように、図２３に示す同軸ケーブルＣ２の内部導体Ｃ２ｉをスルーホールＣ１ａｈに基板Ｃ１ｘの下面側から挿入する。これを矢印Ｂ１方向から見た透視図として、図２７に示す。
【００３３】
内部導体Ｃ２ｉはスルーホールＣ１ａｈ内に挿入され、外部導体Ｃ２ｏの端面Ｃ２ｏｓは裏面アースパターンＣ１ｄに当接している。そして、内部導体Ｃ２ｉとスルーホールＣ１ａｈすなわち信号パターンＣ１ａとは、ハンダ付けにより電気的に接続される。また、外部導体Ｃ２ｏの端面Ｃ２ｏｓと裏面アースパターンＣ１ｄとは、同様にハンダ付けにより電気的に接続される。
【００３４】
なお、図２７において、ハンダは図示されていない。また、図２６及び図２７においてはスルーホールＣ１ａｈについて示しているが、スルーホールＣ１ｂｈについても同様の接続が行われる。これらの接続を行うことにより、図２４に示す信号パターンＣ１ａ及びＣ１ｂは図２３に示す同軸ケーブルＣ２の内部導体Ｃ２ｉに接続され、併せて図２４に示す裏面アースパターンＣ１ｄは図２３に示す同軸ケーブルＣ２の外部導体Ｃ２ｏに接続される。
【００３５】
そして、図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１と図２３に示す同軸ケーブルＣ２とは、いずれも特性インピーダンスが５０Ωであるから、図２４に示す信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂに、図１２に示すワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を直接或いはプローブ経由で当接させて、ワークＷの電気的特性の測定を精度良く行うことができる。
【００３６】
次に電子部品測定システム５０の測定部に組込まれる本発明による電子部品の特性測定装置について述べる。電子部品の特性測定装置１２Ａは図２乃至図４、および図５乃至図９に示すように、弾性材からなる導電性線材１２ｓをコイル状に複数回巻付けてなるとともに中空部１２ｈを含むコイル部（コンタクト部ともいう）１２ａと、コイル部１２ａの中空部１２ｈに充填された導電性接着剤１２ｂとを有するプローブ１２と、プローブ１２を支持する導電性部材Ｃ１と、導電性部材Ｃ１上に載置されプローブ１２を収納する収納孔１３ａを有する位置決めプレート１３と、位置決めプレート１３上に載置されプローブ１２の上部が外方へ突出する開口１４ａを有する抜け止めプレート１４とを備えている。
【００３７】
次にプローブ１２について、図２乃至図４により詳述する。図２はプローブ１２の正面図であり、図３は図２の矢印Ｅ方向から見た平面図であり、図４は図２の矢印Ｇ方向から見た側面図である。図２及び図３に示すように、プローブ１２は上述のように、導電体である直径ｄの線材１２ｓを互いに密着させて、断面が図４に示すような直径Ｒの円形となるように巻付けて（巻回して）形成した略円筒形のコイル部（コンタクト部）１２ａと、コンタクト部１２ａの内側の中空部１２ｈに充填して固化させた導電性接着剤１２ｂとを有する。
【００３８】
導電性接着剤１２ｂとしては、エポキシ系の基材に銀粉や銅粉或いはカーボンファイバー等の導電性の良い材料を混合したものが市販されている。固化したときの硬度はＪＩＳの鉛筆硬度表記で示され、様々な硬度のものが存在するが、硬度４Ｈ〜７Ｈ程度の導電性接着剤を使用することが好ましい。
【００３９】
ここで、図２乃至図４に示すように、コンタクト部１２ａを形成する際の線材の巻回方法は、線材１２ｓの一対の端部１２ｓ１、１２ｓ２が同一方向を向くようになっている。すなわち、プローブ１２を図２のように見たとき、コンタクト部１２ａの下半分側は上半分側よりも巻付け回数（巻回数）が多い。
【００４０】
図２においてコンタクト部１２ａ全体の巻回数は３回半となっているが、同様の巻回方法をとった場合の一般的な巻回数は、Ｎを自然数としたときにＮ回半（Ｎ＋０．５）となる。Ｎが大きい程、図３に示すコンタクト部１２ａの円筒形の軸方向の長さＵは大きくなる。
【００４１】
また、コンタクト部１２ａを形成する線材１２ｓは互いに密着して巻回されているため、コンタクト部１２ａの内側の中空部に充填して固化させた導電性接着剤１２ｂはコンタクト部１２ａの外側に概ね漏れ出すことなく、コンタクト部１２ａの外周部は線材が露出した状態となっている。なお、説明上、図２乃至図４においては、導電性接着剤１２ｂに網掛けを施して表記しているが、プローブ１２を表記した他の図においては、説明上特に必要がない場合には導電性接着剤１２ｂの表記を適宜省略している。
【００４２】
インピーダンスコントロール基板Ｃ１の信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂ（図２４参照）上にプローブ１２を載置した様子を、図５に示す。図５に示すように、プローブ１２は信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂから取り外し自在になっている。ここで、プローブ１２は、コンタクト部１２ａを形成する線材１２ｓの一端である１２ｓ１と他端である１２ｓ２とが、インピーダンスコントロール基板Ｃ１と逆方向を向くように、すなわち、コンタクト部１２ａの巻回数が多い側がインピーダンスコントロール基板Ｃ１側となるように載置されている。
【００４３】
図６は図５の状態からインピーダンスコントロール基板Ｃ１上に、各プローブ１２の周囲を囲むように四角形の２つの収納孔１３ａを有する誘電体からなる位置決めプレート１３を載置した状態を示す。これにより、プローブ１２の位置決めが行われる。図６において、プローブ１２の線材１２ｓの両端部１２ｓ１、１２ｓ２は、いずれも位置決めプレート１３の上面よりも下方に位置している。
【００４４】
図６の領域Ｓ３を矢印Ｈ１の方向から見た様子を図１０（ａ）に示す。ただし、図１０（ａ）においては、図６における矢印Ｈ２の位置を下側として記載している。
【００４５】
図１０（ａ）に示すように、位置決めプレート１３には、コンタクト部１２ａの外形よりもやや大きい収納孔１３ａを有し、収納孔１３ａによりプローブ１２の位置決めが行われている。
【００４６】
図７は図６の状態から位置決めプレート１３上に、２個のプローブ１２のコンタクト部１２ａの上端近傍が上方に突出するように四角形の２つの開口１４ａを有する誘電体からなる抜け止めプレート１４を載置した状態を示す。図７において、プローブ１２の線材の一端１２ｓ１と他端１２ｓ２とは、いずれも抜け止めプレート１４により覆われている。
【００４７】
図７の領域Ｓ４を矢印Ｈ１の方向から見た透視図を図１０（ｂ）に示す。ただし、図１０（ｂ）においては、図７における矢印Ｈ２の位置を下側として記載している。また、図７の領域Ｓ４を矢印Ｈ２の方向から見た透視図を図９に、矢印Ｈ３の方向から見た透視図を図８に示す。
【００４８】
図８、図９、図１０（ｂ）に示すように、抜け止めプレート１４にはコンタクト部１２ａにおける線材の巻回数が少ない上側の外形よりもやや大きい開口１４ａが形成されている。このため、図７における矢印Ｈ１の方向から見ると、コンタクト部１２ａにおける線材１２ｓの巻回数が多い下側に位置する線材１２ｓの一端部１２ｓ１と他端部１２ｓ２とは、いずれも抜け止めプレート１４の下側に隠れている。これにより、コンタクト部１２ａに上向きの力が印加された場合には、抜け止めプレート１４の下面１４ｓに線材１２ｓの一端部１２ｓ１と他端部１２ｓ２とが当接して、コンタクト部１２ａが抜け止めプレート１４よりも上に抜け出さないようになっている。
【００４９】
なお、インピーダンスコントロール基板Ｃ１、位置決めプレート１３、抜け止めプレート１４は、図示されないねじ止め機構により相互に連結されている。このように、位置決めプレート１３及び抜け止めプレート１４はプローブ１２の規制プレートとして機能し、インピーダンスコントロール基板Ｃ１、プローブ１２、位置決めプレート１３、抜け止めプレート１４が一体となって、本発明による電子部品の特性測定装置１２Ａを構成し、この特性測定装置１２Ａは、図１に示す測定部９に対応するテーブルベース１内に設置されている。
【００５０】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。まず図１に示す電子部品測定システム５０において、図示されないパーツフィーダからリニアフィーダ７に図１２の形状を有するワークＷが供給され、リニアフィーダ７の作用により、搬送テーブル２に向けて一列で搬送される。
【００５１】
リニアフィーダ７の終端部は搬送テーブル２の外周部に設けられたワーク収納孔３の開口部に対向しており、そこに設置された供給部８の作用により、ワークＷはリニアフィーダ７からワーク収納孔３に個別に収納される。そして、搬送テーブル２が時計回り（矢印Ａの方向）に間歇回転し、ワーク収納孔３に収納されたワークＷは測定部９に搬送され、測定部９においてワーク収納孔３内のワークＷの電気的特性を測定する。次に再び搬送テーブル２が間歇回転して、ワークＷは排出部１０に搬送され、測定部９における測定結果に基づいて不良と判定されたワークＷを、図示されない排出機構によりワーク収納孔３から排出する。
【００５２】
再び搬送テーブル２が間歇回転して、ワークＷはテーピング部１１に搬送され、測定部９における測定結果に基づいて良品と判定されたワークＷをワーク収納孔３から図示されないキャリアテープの凹部に個別に収納する。テーピング部１１を通過したワーク収納孔３は空になり、搬送テーブル２の間歇回転により供給部８へ到達した空のワーク収納孔３には、再びリニアフィーダ７により搬送されたワークＷが収納される。
【００５３】
なお、ワーク収納孔３の上面及び下面は解放されているが、供給部８、測定部９、排出部１０、テーピング部１１等の間を搬送テーブル２の間歇回転によりワークＷを搬送する際には、ワーク収納孔３の上面はテーブルカバー５により覆われ、ワーク収納孔３の下面はテーブルベース１に接している。さらに、搬送テーブル２の外側に向けたワーク収納孔３の開口部の外側はガード壁６により覆われている。このため、搬送テーブル２の間歇回転に伴う振動や遠心力によってワークＷがワーク収納孔３から飛び出すことはない。
【００５４】
この間、電子部品測定システム５０の測定部９において、ワークＷに対して特性測定が行なわれる。測定部９の作用を図１におけるＸ−Ｘ´方向断面図として示した図１８乃至図２１を用いて説明する。図１に示すように、測定部９において測定部ブロック９１が搬送テーブル２の上側及び外側を覆っている。図１８は、搬送テーブル２のワーク収納孔３に収納されたワークＷが測定部９に到達して、搬送テーブル２が停止したときの様子である。
【００５５】
測定部９において、搬送テーブル２の上側は、ワーク収納孔３の上側も含めて測定部ブロック９１により覆われており、測定部ブロック９１内のワーク収納孔３直上にはワークＷを吸引保持する機能を有する吸着ノズル９２が設置されている。吸着ノズル９２の下面はワーク収納孔３の上面と略同一平面となっている。吸着ノズル９２の内部には図示されない真空源に連通する真空吸引孔９２ａが形成され、常時矢印Ｊの方向に真空吸引が行われている。
【００５６】
図１８の状態における吸着ノズル９２の位置を初期位置と呼ぶ。吸着ノズル９２は図示されない駆動機構の作用により、搬送テーブル２に対して垂直方向、すなわち図１８における上下方向に進退自在である。この上下方向の進退における最上位置が初期位置である。
【００５７】
また、測定部９において、搬送テーブル２の外側は測定部ブロック９１により覆われており、そのテーブルベース１に近い側には図示されない真空源に連通する真空吸引孔９１ａが設けられ、矢印Ｋの方向に常時真空吸引が行われている。さらに、測定部９において、テーブルベース１内には本発明による電子部品の特性測定装置１２Ａが設置されている。
【００５８】
特性測定装置１２Ａの設置位置は、プローブ１２のコンタクト部１２ａの最上部が、測定部９において搬送テーブル２が停止したときのワーク収納孔３の直下になるように、かつ図７における矢印Ｈ３の方向が搬送テーブル２の半径方向に一致するようになっている。
【００５９】
図１８において搬送テーブル２が停止すると、ワーク収納孔３の下面は解放されてワーク収納孔３は特性測定装置１２Ａの直上位置にくる。このときワーク収納孔３内のワークＷは、真空吸引孔９１ａ、９２ａからの真空吸引の作用により、吸着ノズル９２の下面及び搬送テーブル２の外側の測定部ブロック９１に吸着固定される。次に図１９に示すように、図示されない駆動機構の作用により、吸着ノズル９２はワークＷを吸着した状態で、初期位置から矢印Ｐの方向に下降する。そして、図２０に示すように、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２がコンタクト部１２ａの最上部に当接すると、吸着ノズル９２はその位置で停止するが、停止後も矢印Ｆｄで示す押圧力をコンタクト部１２ａの最上部に対して印加し続ける。
【００６０】
図２０に示す状態で、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２はコンタクト部１２ａ及び信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂ、あるいは同軸ケーブル（図２６参照）を経由して、図示されない測定器に接続されて、ワークＷの電気的特性の測定が行われる。
【００６１】
測定が終了すると、図２１に示すように、図示されない駆動機構の作用により、吸着ノズル９２はワークＷを吸着した状態で、初期位置に向けて矢印Ｑの方向に上昇する。このとき、図２０の矢印Ｆｄで示す押圧力が原因で、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２とコンタクト部１２ａとが貼着した状態となっているため、吸着ノズル９２の上昇に伴って、コンタクト部１２ａも上昇する。しかし、上述のように、コンタクト部１２ａが上昇しても、抜け止めプレート１４の下面１４ｓに線材１２ｓの一端部１２ｓ１と他端部１２ｓ２とが当接して、コンタクト部１２ａは抜け止めプレート１４よりも上に抜け出すことなく、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２から離間して信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂ上に戻る。
【００６２】
そして、吸着ノズル９２は図１８に示す初期位置に戻って停止し、この位置においてワークＷは、真空吸引孔９１ａ、９２ａからの真空吸引の作用により、吸着ノズル９２の下面及び搬送テーブル２の外側の測定部ブロック９１に吸着固定される。次に、搬送テーブル２が間歇回転を開始し、このように吸着固定されていたワーク収納孔３内のワークＷは、搬送テーブル２の回転力によって測定部９における吸着固定から強制的に解放され、排出部１０に向けて搬送される。
【００６３】
プローブ１２は、図２乃至図４に示すように、コンタクト部１２ａの内側の中空部に導電性接着剤１２ｂを充填して固化させている。この固化した導電性接着剤１２ｂの硬さにより、ワークの電極をコンタクト部１２ａに当接させたときにコンタクト部１２ａが変形することを抑制し、かつ反発力が増加するので、当接の際の接触荷重が大きくなる。これにより、高周波帯の信号を用いた測定における測定精度を確保することができる十分な圧力を得ることができる。
【００６４】
ここで、ワークの電極との当接を繰り返すことが原因となって、図１１に示すようにコンタクト部１２ａの一部にクラック１２ｄが生じることがある。そのような場合に、コンタクト部１２ａの内側の中空部において固化した導電性接着剤１２ｂの接着力により、クラック１２ｄがそれ以上に拡大することを防止することができる。このため、クラック１２ｄが発生しても線材１２ｓの整列状態が固定され、接触荷重の変化が抑制される。また、導電性接着剤１２ｂの導電性によって電気的経路の変化が抑えられる。すなわち、クラック１２ｄが発生しても、測定精度が維持されやすく、プローブ１２の交換頻度を小さくすることができる。
【００６５】
また、図７に示すように特性測定装置１２Ａのインピーダンスコントロール基板Ｃ１と、位置決めプレート１３と、抜け止めプレート１４はねじ止め機構により相互に連結されている。従って、当該ねじ止め機構の接続を解除すれば、図５のようにプローブ１２が信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂを有するインピーダンスコントロール基板Ｃ１上に載置された状態となり、プローブ１２を容易に交換することができる。
【００６６】
ところで図７の状態で、コンタクト部１２ａの上端に図１２に示すワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を当接させて、ワークＷの電気的特性の測定が行われるが、この状態を図７の矢印Ｈ２の方向から見た様子を図１３に、また矢印Ｈ１の方向から見た透視図を図１４に示す。
【００６７】
図１３及び図１４に示すように、ワークＷの下面に設けられた電極Ｗ１、Ｗ２は、それぞれ線材の巻回数が少ない側に相当するコンタクト部１２ａの略最上部、すなわち時計の略１２時の位置に当接している。ワークの電極の配置の他の例を図１５に示す。ワークＷｍは、一面Ｗｍａの対向する２辺近傍からＷｍａに隣接する面を経由してＷｍａに対向する面までコの字形の電極Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３、Ｗ１４及びＷ２１、Ｗ２２、Ｗ２３、Ｗ２４が形成されている。このようなワークＷｍの測定時における電極とプローブとの当接の様子を、図７の矢印Ｈ２の方向から見た様子を図１６に、また矢印Ｈ１の方向から見た透視図を図１７に示す。図１６及び図１７に示すように、ワークＷｍの各電極が形成されている２辺と、プローブ１２ｘのコンタクト部１２ｘａの線材の巻回数が少ない側に相当する上側における時計の略２時及び略１０時の位置とが当接している。
【００６８】
このように、コンタクト部１２ｘａが円筒形に形成されているため、ワークの電極との当接位置を、時計の略９時の位置から１２時の位置を経由して略３時の位置までの範囲で自在に設定することが可能であるという効果を有する。
【００６９】
また、図１７に示すように、コンタクト部１２ｘａの線材の巻回数は１回半である。この巻回数は、コンタクト部１２ｘａを円筒形に形成するための最小値であるが、このように巻回数を少なくすることにより、コンタクト部１２ｘａの円筒形の軸方向の長さ（図３におけるＵ）を短くすることができ、隣接する電極の間隔が小さいワークにも確実に当接させることが可能となる。
【００７０】
本発明におけるプローブ１２は、図１３及び図１６に示すように、コンタクト部１２ａの外周上の１点においてワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２、Ｗ１１、Ｗ２１等に当接している。このため、コンタクト部１２ａとワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２、Ｗ１１、Ｗ２１等との間に働く反発力がこの１点に集中して大きくなり、当接の際に発生する接触荷重が大きくなる。これにより、高周波帯の信号を用いた測定における測定精度を確保することができる十分な接触荷重を得ることができる。
【００７１】
また、プローブ１２ａは、図３においてＵで示した円筒形の軸方向の長さが線材１２ｓの巻回数によって決定され、さらに図４においてＲで示した円筒形の直径が図２に示す線材１２ｓの直径ｄによって決定される。これは、小型のプローブが容易に製作可能であることを意味する。プローブ１２を小さくすることにより、図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１の信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂとワークの電極との間をプローブで接続したときに、接続点においてエネルギー損失が増加して５０Ωの特性インピーダンスが確保できなくなるといった問題が生じなくなる。
【００７２】
また、上述のように、図１５に示す形状の、多数の電極Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３、Ｗ１４及びＷ２１、Ｗ２２、Ｗ２３、Ｗ２４が並んで形成されたワークＷｍの測定を行う場合には、図１７に示すような巻回数が１回半のプローブ１２ｘを使用すればよい。この場合、プローブ１２ｘの内側の中空部には図２乃至図４に示す導電性接着剤１２ｂが充填されているため、巻回数が少なくても十分な硬さを有している。このため、ワークの電極Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３、Ｗ１４及びＷ２１、Ｗ２２、Ｗ２３、Ｗ２４と当接する際にプローブ１２ｘの変形を抑制するとともに、十分な接触荷重を確保できる反発力を得ることが可能である。
【００７３】
また、図２乃至図４に示すようなプローブ１２を製作する際には、互いに密着させて巻回した線材の中空部に導電性接着剤１２ｂを充填する作業が行われるが、導電性接着剤１２ｂはわずかな粘性を有する流動体であるため、この作業は容易に行うことができる。
【００７４】
以上の説明においては、図２３に示す特性インピーダンス５０Ωの同軸ケーブルＣ２をワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２に接続するための測定インタフェース回路として、図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１を使用するものとした。
【００７５】
他の測定インタフェース回路の例を図２２に示す。図２２は、図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１と同様に、特性インピーダンス５０Ωとなるようにインピーダンスコントロールされた同軸状部材Ｃ２ｍにプローブ１２を載置した様子を示した図である。同軸状部材Ｃ２ｍは、プローブ１２を載置するために上面を平面状に形成した銅等の導電体からなる内部コンタクトパターンＣ２ｍ１及び外部コンタクトパターンＣ２ｍ３を最上面に有する。これらは、図２３に示す同軸ケーブルＣ２における内部導体Ｃ２ｉ及び外部導体Ｃ２ｏに対応する。
【００７６】
内部コンタクトパターンＣ２ｍ１と外部コンタクトパターンＣ２ｍ３との間はわずかな隙間を有し、それぞれの上に２個のプローブ１２が近接して載置されている。内部コンタクトパターンＣ２ｍ１及び外部コンタクトパターンＣ２ｍ３の下側は、それぞれ銅等の導電体からなる内部導体パターンＣ２ｍ２及び外部導体パターンＣ２ｍ４に接続されている。内部導体パターンＣ２ｍ２の直径は内部コンタクトパターンＣ２ｍ１よりもやや小さく、内部導体パターンＣ２ｍ２と外部導体パターンＣ２ｍ４との間にはポリエチレン等の誘電体Ｃ２ｍｄが充填されている。そして、内部導体パターンＣ２ｍ２の最下部から内部導体パターンＣ２ｍ２の直径よりもやや細い、銅等の導電体からなる接続プラグＣ２ｍｐが突出している。
【００７７】
この接続プラグＣ２ｍｐと外部導体パターンＣ２ｍ４の下面とに、図２３の同軸ケーブルＣ２の一端を接続した図示されないコネクタが矢印Ｚの方向から嵌合する。同軸ケーブルＣ２の他端は図示されない測定器に接続される。これにより、プローブ１２から測定器までが、特性インピーダンス５０Ωで接続される。なお、実際にはプローブ１２の周囲に図７に示す本発明による特性測定装置１２Ａが設けられているが、図２２においては省略してある。
【００７８】
以上の説明においては、搬送テーブル２の回転方向に沿って、供給部８、測定部９、排出部１０、テーピング部１１が配置されているとしたが、排出部１０及びテーピング部１１の代わりに、測定部９の測定結果に対応してワークＷの特性を等級別に分類して各等級毎に個別の排出箱に排出する分類排出部を配置しても良い。また、測定部９の数は１個に限定されるものではない。
【００７９】
また、以上の説明においては搬送テーブル２が水平に設置されているものとしたが、本発明は搬送テーブル２が垂直に設置されている場合、或いは傾斜して設置されている場合においても、適用することができる。
【００８０】
比較例
次に本発明の比較例について図２８乃至図３３により説明する。
【００８１】
図２８は図２４においてインピーダンスコントロール基板Ｃ１の信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂに図１２に示すワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を直接当接させた様子を、図２４の矢印Ｂ３ａ方向から見た断面図として示したものである。図２８において、ワークＷの上側には吸着ノズル９２が位置し、内部に形成された真空吸引孔９２ａが図示されない真空源に連通して、矢印Ｊの方向に真空吸引を行い、ワークＷを吸着している。そして、この吸着ノズル９２は、ワークＷを吸着した状態で、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２に矢印Ｆａで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークＷの電極Ｗ１は信号パターンＣ１ａに当接し、電極Ｗ２は信号パターンＣ１ｂに当接している。
【００８２】
このように、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂに直接当接させた場合には、以下のような問題を生じる。ワークＷの電極Ｗ１と信号パターンＣ１ａとの間に働く押圧力と、ワークＷの電極Ｗ２と信号パターンＣ１ｂとの間に働く押圧力は、図２８においては同一の矢印Ｆａで示されているが、実際にはワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２や信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂの寸法の偏差により、異なる大きさになる場合が多い。
【００８３】
そうすると、各押圧力のバラツキにより、いずれかの電極と信号パターンとの接触が不安定になり、測定精度に影響することがある。特に、図１５に示すような、一面Ｗｍａの対向する長手方向の２辺近傍からＷｍａに隣接する面を経由してＷｍａに対向する面までコの字形の電極Ｗ１１、Ｗ１２、Ｗ１３、Ｗ１４及びＷ２１、Ｗ２２、Ｗ２３、Ｗ２４が形成されているワークＷｍを測定する場合には、ワークＷｍの電極の数が８個であることに対応して、インピーダンスコントロール基板に形成される信号パターン数も８個となるので、上記の各押圧力のバラツキの度合いはさらに大きくなる。このような押圧力のバラツキに起因する電極と信号パターンとの接触の不安定を防止するためには、押圧力をできるだけ大きくすることになり、ワークにダメージを与える可能性が大きくなる。
【００８４】
また、押圧力を大きくすると信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂの摩耗が激しくなり、インピーダンスコントロール基板Ｃ１を頻繁に交換する必要が生じる。これは、装置のコストアップにつながるとともに、交換時に装置を停止させることによる稼働率の低下を招く。
【００８５】
上記のように、ワークの電極を信号パターンに直接当接させる方法において生じる問題を解決するために、ワークの電極と信号パターンとの間に弾性を有するプローブを挿入して、各押圧力のバラツキを吸収して均一化をはかることが考えられている。ただし、プローブの条件として、寸法ができるだけ小さいことが望まれる。その理由は、寸法が大きいプローブをインピーダンスコントロール基板に接続すると、接続点においてエネルギー損失が増加して５０Ωの特性インピーダンスが確保できなくなるためである。
【００８６】
そのような条件を満足する小型のプローブの一例を図２９及び図３０を用いて説明する。図２９は、図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１の信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂに板バネ式プローブ１００を取り付けたものである。板バネ式プローブ１００は、弾性を有する銅等の導電体を用いて、基部１００ａと当接部１００ｂとによりＬ字形に形成されている。基部１００ａの下端は信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂにハンダ付けにより固定されている。
【００８７】
当接部１００ｂは基部１００ａの上端から略直角に水平方向に張り出しており、そこに図１２に示すワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２が当接する。その様子を、図２９の矢印Ｂ方向から見た断面図として、図３０に示す。
【００８８】
図３０において、ワークＷの上側には図２８と同様に吸着ノズル９２が位置し、ワークＷを吸着した状態で、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２に矢印Ｆｂで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２は当接部１００ｂの上面かつ先端付近に当接している。このとき、基部１００ａと当接部１００ｂとがＬ字形に形成されていることに基づく当接部１００ｂの弾性によって、押圧力Ｆｂに対する反発力が生じる。
【００８９】
この反発力によって、電極Ｗ１、Ｗ２と当接部１００ｂとの間に接触荷重が発生して両者間の接触が確保され、かつ押圧力間のバラツキが吸収されて均一化される。しかし、板バネ式プローブ１００の基部１００ａはハンダ付けによって信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂに固定されているため、当接部１００ｂの摩耗により板バネ式プローブ１００を交換する必要がある場合には、インピーダンスコントロール基板Ｃ１全体を交換しなくてはならず、交換の容易性の点で問題がある。
【００９０】
このような交換時の問題点を解決するために、テコ形コンタクトプローブと呼ばれるプローブ単体の交換が可能な小型のプローブが市販されている。図３１乃至図３３を用いてテコ形コンタクトプローブについて説明する。図２４に示すインピーダンスコントロール基板Ｃ１の信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂ上にテコ形コンタクトプローブ１０１を載置した様子を、図３１に示す。
【００９１】
図３１に示すように、テコ形コンタクトプローブ１０１は信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂから取り外し自在になっている。テコ形コンタクトプローブ１０１は、弾性を有する銅等の導電体を一端の上面が他端よりも高い位置にあるＪ形に形成したコンタクト部１０１ａと、弾性を有するゴム等の誘電体を円筒形に形成したエラストマ１０１ｂとからなる。エラストマ１０１ｂはコンタクト部１０１ａの窪み部分に長手方向を沿わせて置かれている。
【００９２】
図３２は図３１の状態からインピーダンスコントロール基板Ｃ１上に、各テコ形コンタクトプローブ１０１の周囲を囲むように四角形の穴を２個設けた誘電体からなる規制プレートとしての位置決めプレート１０２を載置し、かつ各テコ形コンタクトプローブ１０１の間にストッパ１０３を設置した状態を示す。
【００９３】
図３２において、ストッパ１０３により、テコ形コンタクトプローブ１０１の位置決めが行われる。この状態でコンタクト部１０１ａの一端の上面に、図１２に示すワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を当接させて、ワークＷの電気的特性の測定を行う。この様子を図３２の矢印Ｂ方向から見た透視図として、図３３に示す。
【００９４】
図３３において、ワークＷの上側には図２８と同様に吸着ノズル９２が位置し、ワークＷを吸着した状態で、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２に矢印Ｆｃで示す向きに押圧力を印加している。この押圧力によって、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２はコンタクト部１０１ａの一端の上面に当接している。
【００９５】
このとき、コンタクト部１０１ａの他端は位置決めプレート１０２の第１の壁面１０２ｓ１に当接し、エラストマ１０１ｂは位置決めプレート１０２の天井１０２ｓ２及び第２の壁面１０２ｓ３に当接する。そして、コンタクト部１０１ａとエラストマ１０１ｂが弾性を有するため、これらの弾性によって押圧力Ｆｃに対する反発力が生じる。この反発力によって、電極Ｗ１、Ｗ２と当接部１００ｂとの間に接触荷重が発生して両者間の接触が確保され、かつ押圧力間のバラツキが吸収されて均一化される。
【００９６】
なお、ストッパ１０３は、押圧力Ｆｃが過大になった際に、上記位置決めプレート１０２の第１の壁面１０２ｓ１、天井１０２ｓ２、第２の壁面１０２ｓ３等に当接する力が過大になって位置決めプレート１０２が損傷することを防止するために、コンタクト部１０１ａが一定長さ以上下方に移動しないように規制する機能を有する。ここで、インピーダンスコントロール基板Ｃ１と位置決めプレート１０２とは、図示されないねじ止め機構により互いに接続されている。
【００９７】
この接続を解除すれば、図３１のようにテコ形コンタクトプローブ１０１が信号パターンＣ１ａ、Ｃ１ｂ上に載置された状態となっているので、プローブ単体での交換を容易に行うことができる。
【００９８】
ここで、エラストマ１０１ｂはゴム等の弾性を有する誘電体であることから、エラストマ１０１ｂが当接用プレート１０３の天井１０３ｓに当接する際の反発力は、上述の板バネ式プローブ１００における当接部１００ｂ（銅等の導電体により構成されている）の反発力に比べて小さい。従って、テコ形コンタクトプローブ１０１のコンタクト部１０１ａがワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２に当接する際の接触荷重を大きくすることが困難になる。
【００９９】
ここで、電極Ｗ１、Ｗ２とコンタクト部１０１ａとが当接すると、ワークＷの電極Ｗ１、Ｗ２を覆っているハンダや電極Ｗ１、Ｗ２周辺部の誘電体が剥離して、細かい粉状になってコンタクト部１０１ａの上面に付着することがある。その場合、電極Ｗ１、Ｗ２とコンタクト部１０１ａとの当接における接触荷重を大きくして十分な接触を確保しないと、コンタクト部１０１ａの上面に付着した粉状のハンダや誘電体の影響によって、高周波帯の信号を用いた測定において測定精度の低下を招きやすい。このため、テコ形コンタクトプローブ１０１の場合は、上述の板バネ式プローブ１００に比べて、プローブ交換の頻度が大きくなる。
【０１００】
これに対して本発明によれば、上述のようにワークＷの電極Ｗ１，Ｗ２に対してプローブ１２を確実に接触させることができ、かつプローブ１２自体を容易かつ簡単に交換することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
１  テーブルベース
２  搬送テーブル
３  ワーク収納孔
５  テーブルカバー
６  ガード壁
７  リニアフィーダ
８  供給部
９  測定部
１０  排出部
１１  テーピング部
１２  プローブ
１２ａ  コンタクト部
１２ｂ  導電性接着剤
１２ｄ  クラック
１３  位置決めプレート
１３ａ  収納孔
１４  抜け止めプレート
１４ａ  開口
５０  電子部品測定システム
Ｃ１  インピーダンスコントロール基板
Ｃ２  同軸ケーブル
Ｗ、Ｗｍ  ワーク
【図１】
2012173169.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
2012173169.tif 000033
【図３２】
2012173169.tif 000034
【図３３】
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