(57)【要約】【課題】保持部に対する基板の位置合わせを正確に行う。【解決手段】基板保持部によって基板を保持させる際に基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を位置合わせ可能に構成され、各々の基端部３２同士が回動可能に連結されると共に各基端部３２と基板保持部との位置関係が固定された状態で基板保持部に取り付けられる一対のアーム３１ａ，３１ｂ、および各々の先端部４２同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部４５が各アーム３１ａ，３１ｂの各中間部位３５に対して回動可能にそれぞれ連結されて各アーム３１ａ，３１ｂを連結する一対の連結部４１ａ，４１ｂを有するリンク機構２１ａ，２１ｂと、各連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と各アーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離を変化させて各アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を伸縮させる駆動機構２３とを備えている。【選択図】図６
2012174880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、
各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第１アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第１アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第１アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、
駆動機構とを備え、
前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第１アームの前記各基端部との離間距離を変化させて当該各第１アームの各先端部間の距離を伸縮させる位置合わせ装置。
【請求項２】
一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、
前記各リンク機構は、各々の前記第１アーム同士が互いに対向するように配置され、
前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第１アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第１アームの前記先端部間に掛け渡されている請求項１記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、
各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第１アーム、各々の基端部が当該各第１アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第２アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第１アームの前記先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第１アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、
駆動機構と、
付勢機構を備え、
前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第１アームの前記各基端部との離間距離を変化させて前記各第１アームの前記各先端部間の距離を伸縮させ、
前記付勢機構は前記各第２アームの各先端部間の距離が縮まる向きに当該第２アームを付勢する位置合わせ装置。
【請求項４】
一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、
前記各リンク機構は、各々の前記第１アーム同士および各々の前記第２アーム同士が互いに対向するように配置され、
前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第２アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第２アームの前記先端部間に掛け渡されている請求項３記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記各当接部は、前記基板の角部を形成する互いに隣接する二面に当接可能な平面視Ｌ字状にそれぞれ形成されている請求項１から４のいずれかに記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の位置合わせ装置と、前記基板保持部と、前記基板が供給される供給位置から当該基板に対する検査が実行される検査位置に前記基板保持部を移動させる移動機構とを備えて当該基板を搬送可能に構成され、
前記位置合わせ装置は、前記基板保持部と共に前記移動機構によって移動させられる基板搬送装置。
【請求項７】
請求項６記載の基板搬送装置と、当該基板搬送装置によって検査位置に搬送された基板に対して検査を実行する検査部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板保持部によって基板を保持させる際に基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を位置合わせする位置合わせ装置、その位置合わせ装置を備えた基板搬送装置、およびその基板搬送装置を備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特開２０１０−２３９０号公報において出願人が開示した基板検査装置が知られている。この基板検査装置は、基板固定装置、搬送装置およびプロービング装置などを備え、基板に対する電気的検査を実行可能に構成されている。基板固定装置は、載置台と載置台に配設された固定部とを備えて構成されている。この場合、固定部は、駆動部（エアシリンダ）、スライダ、アームおよび移動機構を備え、載置台に載置された基板の中心部と載置台の中心部とを位置合わせした状態で基板を載置台に固定するように構成されている。また、上記の基板検査装置を含むこの種の基板検査装置では、一般的に、吸着によって基板を保持する保持部を用いて、供給位置に供給された検査対象の基板を検査位置（載置台の中央部）に載置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２３９０号公報（第４−５頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の基板検査装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、供給位置に供給された検査対象の基板を吸着によって保持する際に、保持部に対する基板の位置合わせを基板検査装置上の位置合わせ専用箇所に置いて行う必要があったり、搬送先が基板の位置ずれを許容できる構造にする必要があったりする。また位置合わせを行わない場合は、例えば、保持部に対して基板が大きく位置ずれしているときには、保持部の吸着面が基板から外れて確実に吸着されなかったり、保持部に対して位置ずれした状態で吸着された基板が載置台に載置されることにより、基板が載置台の中央部から大きく位置ずれして固定部による位置合わせが困難となったりするおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、基板保持部に対する基板の位置合わせを正確に行い得る位置合わせ装置、基板搬送装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の位置合わせ装置は、基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第１アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第１アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第１アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構とを備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第１アームの前記各基端部との離間距離を変化させて当該各第１アームの各先端部間の距離を伸縮させる。
【０００７】
また、請求項２記載の位置合わせ装置は、請求項１記載の位置合わせ装置において、一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第１アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第１アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第１アームの前記先端部間に掛け渡されている。
【０００８】
また、請求項３記載の位置合わせ装置は、基板保持部によって基板を保持させる際に当該基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように当該基板を位置合わせする位置合わせ装置であって、各々の基端部同士が回動可能に連結されると共に当該各基端部と前記基板保持部との位置関係が固定された状態で当該基板保持部に取り付けられる一対の第１アーム、各々の基端部が当該各第１アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第２アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が前記各第１アームの前記先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結されて当該各第１アームを連結する一対の連結部を有するリンク機構と、駆動機構と、付勢機構を備え、前記駆動機構は、前記各連結部の前記各先端部と前記各第１アームの前記各基端部との離間距離を変化させて前記各第１アームの前記各先端部間の距離を伸縮させ、前記付勢機構は前記各第２アームの各先端部間の距離が縮まる向きに当該第２アームを付勢する。
【０００９】
また、請求項４記載の位置合わせ装置は、請求項３記載の位置合わせ装置において、一対の前記リンク機構と、前記基板の端面に当接して当該基板を位置決めする一対の当接部とを備え、前記各リンク機構は、各々の前記第１アーム同士および各々の前記第２アーム同士が互いに対向するように配置され、前記一対の当接部の一方は、前記一対のリンク機構における各々の一方の前記第２アームの前記先端部間に掛け渡され、前記一対の当接部の他方は、前記一対のリンク機構における各々の他方の前記第２アームの前記先端部間に掛け渡されている。
【００１０】
また、請求項５記載の位置合わせ装置は、請求項１から４のいずれかに記載の位置合わせ装置において、前記各当接部は、前記基板の角部を形成する互いに隣接する二面に当接可能な平面視Ｌ字状にそれぞれ形成されている。
【００１１】
また、請求項６記載の基板搬送装置は、請求項１から５のいずれかに記載の位置合わせ装置と、前記基板保持部と、前記基板が供給される供給位置から当該基板に対する検査が実行される検査位置に前記基板保持部を移動させる移動機構とを備えて当該基板を搬送可能に構成され、前記位置合わせ装置は、前記基板保持部と共に前記移動機構によって移動させられる。
【００１２】
また、請求項７記載の基板検査装置は、請求項６記載の基板搬送装置と、当該基板搬送装置によって検査位置に搬送された基板に対して検査を実行する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の位置合わせ装置では、各々の基端部同士が回動可能に連結された一対の第１アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が各第１アームの中間部位に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部を有するリンク機構と、各連結部の各先端部と各第１アームの各基端部との離間距離を変化させて各第１アームの各先端部間の距離を伸縮させる駆動機構とを備えている。このため、この位置合わせ装置によれば、基板保持部に取り付けることで、例えば、位置ずれした状態で基板が供給位置に供給されていたときには、各第１アームの各先端部間の距離を縮ませた際に、各先端部が基板における対向する２つの端面に当接し、これによって基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を正確に位置合わせし、その状態の基板を基板保持部によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板保持部の吸着面が基板から外れることなく、基板保持部によって基板を確実に保持させることができると共に、基板保持部によって保持された基板を検査位置に正確に搬送させることができる。
【００１４】
また、請求項２記載の位置合わせ装置では、各々の第１アーム同士が互いに対向するように配置された一対のリンク機構における各々の一方の第１アームの先端部に当接部が掛け渡され、一対のリンク機構における各々の他方の第１アームの先端部に当接部が掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば棒状に形成した各当接部が互いに平行に対向した状態を維持しつつ各当接部間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板における対向する２つの端面全体に各当接部をそれぞれ当接させることができる結果、基板を回転させることなく、基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように、基板の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置によれば、各当接部によって一対のリンク機構が連結されているため、１つの駆動機構で２つのリンク機構の第１アームの先端部間の距離を伸縮させることができる。
【００１５】
また、請求項３記載の位置合わせ装置では、各々の基端部同士が回動可能に連結された一対の第１アーム、各々の基端部が各第１アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の第２アーム、および各々の先端部同士が回動可能に連結されると共に各々の基端部が各第１アームの先端部側に対して回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部を有するリンク機構と、各連結部の各先端部と各第１アームの各基端部との離間距離を変化させて各第１アームの各先端部間の距離を伸縮させる駆動機構と、各第２アームの各先端部間の距離が縮まる向きに第２アームを付勢する付勢機構とを備えている。このため、この位置合わせ装置によれば、基板保持部に取り付けることで、例えば、位置ずれした状態で基板が供給位置に供給されていたときには、各第２アームの各先端部間の距離を縮ませた際に、各先端部が基板における対向する２つの端面に当接し、これによって基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように基板を正確に位置合わせし、その状態の基板を基板保持部によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板保持部の吸着面が基板から外れることなく、基板保持部によって基板を確実に保持させることができると共に、基板保持部によって保持された基板を検査位置に正確に搬送させることができる。また、この位置合わせ装置によれば、各第２アームの各基端部が各第１アームの各先端部に対して回動可能にそれぞれ連結されているため、各第１アームが回動したときに、各第２アームが各第１アームに対して傾斜することで、各第２アームの各先端部の移動量に拘わらず、各第１アームの各基端部から各第２アームの各先端部までの垂直方向に沿った距離を一定に維持することができる。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば、基板を載置台に載置した状態において、各第２アームの各先端部を載置台の載置面に沿わせつつ（接触させつつ）各先端部を移動させることができるため、基板の大きさに拘わらず、載置台に載置された基板の端面を確実に押圧して位置合わせを正確に行うことができる。
【００１６】
また、請求項４記載の位置合わせ装置では、各々の第１アーム同士および各々の第２アーム同士が互いに対向するように配置された一対のリンク機構における各々の一方の第２アームの先端部に当接部が掛け渡され、一対のリンク機構における各々の他方の第２アームの先端部に当接部が掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置によれば、例えば棒状に形成した各当接部が互いに平行に対向した状態を維持しつつ各当接部間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置によれば、基板における対向する２つの端面全体に各当接部をそれぞれ当接させることができる結果、基板を回転させることなく、基板保持部に対して予め決められた位置関係となるように、基板の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置によれば、各当接部によって一対のリンク機構が連結されているため、１つの駆動機構で２つのリンク機構の第２アームの先端部間の距離を伸縮させることができる。
【００１７】
また、請求項５記載の位置合わせ装置によれば、各当接部を平面視Ｌ字状にそれぞれ形成したことにより、矩形の基板における互いに対向する２つの角部に各当接部の屈曲部分を当接させることで、基板が基板保持部の中心軸に対して直交する平面（水平面）内におけるいずれの方向に位置ずれしていたとしても、その位置ずれを修正して、例えば、基板保持部の中心軸を通る垂直平面内に基板の中心が位置するように（予め決められた位置関係となるように）、基板の位置合わせを正確に行うことができる。
【００１８】
また、請求項６記載の基板搬送装置は、上記の位置合わせ装置を備えたことにより、上記の位置合わせ装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【００１９】
また、請求項７記載の基板検査装置によれば、上記の基板搬送装置を備えたことにより、上記の基板搬送装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板搬送装置２の構成を示す構成図である。
【図３】固定部材１２を介して基板保持部１１に位置合わせ装置１３を取り付けた状態の斜視図である。
【図４】基板保持部１１の構成を示す斜視図である。
【図５】固定部材１２の構成を示す斜視図である。
【図６】位置合わせ装置１３の構成を示す斜視図である。
【図７】位置合わせ装置１３の動作を説明するための第１の説明図である。
【図８】位置合わせ装置１３の動作を説明するための第２の説明図である。
【図９】位置合わせ装置１１３の構成を示す斜視図である。
【図１０】位置合わせ装置２１３の構成を示す斜視図である。
【図１１】位置合わせ装置２１３の動作を説明するための第１の説明図である。
【図１２】位置合わせ装置２１３の動作を説明するための第２の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明に係る位置合わせ装置、基板搬送装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２２】
最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。図１に示す基板検査装置１は、基板搬送装置２および検査部３を備え、基板１００（図３参照）に対する電気的検査を実行可能に構成されている。この場合、基板１００は、一例として、電子部品が実装されていないベアボードであって、矩形に形成されると共にその表面に導体パターン（図示せず）が形成されて構成されている。
【００２３】
基板搬送装置２は、図２に示すように、基板保持部１１、固定部材１２（図３参照）、位置合わせ装置１３および移動機構１４を備え、検査部３における後述する制御部１７の制御に従い、検査部３における後述する基板保持台１５の載置面の中央部（検査位置Ｐ２：図１参照）に基板１００を搬送可能に構成されている。
【００２４】
基板保持部１１は、図３，４に示すように、一例として、吸着面（両図における下面）に複数の吸気孔１１ａ（図４参照）が形成された有底円筒状に構成されている。また、基板保持部１１は、吸気口１１ｂ（同図参照）に接続された吸気管１１ｃ（図３参照）を介して図外の吸気ポンプによって内部が負圧に維持されることにより、吸気孔１１ａからの吸気によって基板１００を吸着して保持可能に構成されている。
【００２５】
固定部材１２は、図３に示すように、位置合わせ装置１３を基板保持部１１に固定するための部材であって、図５に示すように、２つのフレーム１２ａ、および複数（この例では６つ）の梁１２ｂ〜１２ｄを組み合わせることによって略直方体状に構成されている。
【００２６】
位置合わせ装置１３は、基板保持部１１によって基板１００を保持させる際に、基板保持部１１に対して予め決められた位置関係となるように基板１００を位置合わせ可能に構成されている。具体的には、位置合わせ装置１３は、図６に示すように、一対のリンク機構２１ａ，２１ｂ、一対の当接部２２ａ，２２ｂ、駆動機構２３、およびガイド機構２４を備えて構成されている。
【００２７】
リンク機構２１ａ，２１ｂは、図６に示すように、一対のアーム（第１アーム）３１ａ，３１ｂ、および一対の連結部４１ａ，４１ｂをそれぞれ備えて構成されている。
【００２８】
アーム３１ａ，３１ｂは、図６，７に示すように、同じ長さの板状（棒状）にそれぞれ形成されている。また、アーム３１ａ，３１ｂは、各々の基端部３２に形成されている各挿通孔３３に挿通されたねじ３４によって各基端部３２同士が回動可能に連結されると共に、図３に示すように、各々の基端部３２がねじ３４によって固定部材１２に固定されることにより、固定部材１２を介して基板保持部１１に固定される。
【００２９】
連結部４１ａ，４１ｂは、図６，７に示すように、同じ長さの板状（棒状）にそれぞれ形成されている。この場合、連結部４１ａ，４１ｂの長さは、一例として、アーム３１ａ，３１ｂの長さの１／４程度の長さに規定されている。また、連結部４１ａ，４１ｂは、各々の先端部４２に形成されている挿通孔４３に挿通されたねじ４４によって各先端部４２同士が回動可能に連結されている。また、連結部４１ａ，４１ｂは、各々の基端部４５に形成されている挿通孔４６に挿通されたねじ４７によって各アーム３１ａ，３１ｂの中間部位３５に対して回動可能にそれぞれ連結されている。
【００３０】
また、各リンク機構２１ａ，２１ｂは、図６に示すように、各々のアーム３１ａ，３１ｂが互いに対向するように配置されている。また、各リンク機構２１ａ，２１ｂは、各々のアーム３１ａ，３１ａ（一方のアーム）の各先端部３７に形成されている挿通孔３８に挿通されたねじ３９によって各先端部３７に取り付けられた（掛け渡された）当接部２２ａと、各々のアーム３１ｂ，３１ｂ（他方のアーム）の各先端部３７に形成されている挿通孔３８に挿通されたねじ３９によって各先端部３７に取り付けられた（掛け渡された）当接部２２ｂとによって互いに連結されている。この場合、当接部２２ａ，２２ｂは、一例として、断面が矩形の棒状にそれぞれ形成されている。
【００３１】
駆動機構２３は、一例として、図外のコンプレッサから供給される圧縮空気によってロッド２３ａ（図６参照）を伸縮させる（ロッド２３ａの突出量を変化させる）エアシリンダで構成され、図３に示すように、固定部材１２に固定されている。この場合、図６に示すように、駆動機構２３におけるロッド２３ａの先端部は、リンク機構２１ａにおける連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２にねじ４４によって取り付けられている連結部材２３ｂに連結されている。この構成により、駆動機構２３は、ロッド２３ａの伸縮によって連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２とリンク機構２１ａにおけるアーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離を変化をさせることで、アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を伸縮させる。
【００３２】
ガイド機構２４は、図６に示すように、固定部材１２に固定されたガイドパイプ２４ｃ（図３参照）と、ガイドパイプ２４ｃ内に挿入されてガイドパイプ２４ｃに対してスライド可能なロッド２４ａと、リンク機構２１ｂにおける連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２に取り付けられると共にロッド２４ａの先端部が連結された連結部材２４ｂとを備えて構成されている。このガイド機構２４は、リンク機構２１ａにおける連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２が駆動機構２３によって移動（上下動）させられるのに伴ってリンク機構２１ｂの連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２が上下動する際の横振れを防止する機能を有している。
【００３３】
この場合、上記したように当接部２２ａ，２２ｂによってリンク機構２１ａ，２１ｂが互いに連結されているため、駆動機構２３によって一方のリンク機構２１ａにおけるアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離が伸縮するのに伴い、他方のリンク機構２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離、および各当接部２２ａ，２２ｂ間の距離も伸縮する。また、このリンク機構２１ａ，２１ｂでは、アーム３１ａ，３１ｂが互いに同じ長さに形成され、連結部４１ａ，４１ｂが互いに同じ長さに形成されているため、基板保持部１１の中心軸１１ｄ（図４参照）、およびアーム３１ａ，３１ｂの挿通孔３３（アーム３１ａ，３１ｂにおける基端部３２の連結部位）を通って水平面と垂直をなす垂直平面Ａ（図７，８参照）に対して対称（両図において左右対称）にアーム３１ａ，３１ｂが回動する。
【００３４】
移動機構１４は、基板１００が供給される供給位置Ｐ１（図７参照）から基板１００に対する検査が実行される検査位置Ｐ２（図１参照）に、基板保持部１１と、固定部材１２を介して基板保持部１１に固定された位置合わせ装置１３とを移動させる。
【００３５】
検査部３は、基板搬送装置２によって検査位置Ｐ２に搬送された基板１００に対して検査を実行する。具体的には、検査部３は、図１に示すように、基板保持台１５、プロービング機構１６および制御部１７を備えて構成されている。基板保持台１５は、載置面に吸気孔が形成された箱状に構成され、図外の吸気ポンプによって内部が負圧に維持されることにより、載置面に載置されている基板１００を、吸気孔からの吸気によって吸着して固定可能に構成されている。
【００３６】
プロービング機構１６は、制御部１７の制御に従い、基板保持台１５によって保持されている基板１００の導体パターンに対して検査用プローブ６１をプロービングさせる。制御部１７は、基板保持台１５による吸着（吸気）を制御すると共に、プロービング機構１６によるプロービングを制御する。また、制御部１７は、基板搬送装置２の基板保持部１１および移動機構１４を制御すると共に、基板搬送装置２の位置合わせ装置１３における駆動機構２３に対する圧縮空気の供給を制御する。また、制御部１７は、検査用プローブ６１を介して入力した電気信号に基づいて物理量を測定すると共に、その物理量に基づいて基板１００の良否を検査する検査処理（例えば、絶縁検査処理や導通検査処理）を実行する。
【００３７】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法について、添付図面を参照して説明する。この場合、初期状態においては、図７に示すように、駆動機構２３のロッド２３ａが縮長した状態（下側に突出する長さが短い状態）に維持され、リンク機構２１ａ，２１ｂにおけるアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離（当接部２２ａ，２２ｂ間の距離）が基板１００の幅よりも長い状態に維持されているものとする。また、検査対象の基板１００は、図７，８に示すように、基板供給用の載置台２００上の予め決められた供給位置Ｐ１に供給されるものとする。なお、図７，８および後述する図１１，１２では、発明の理解を容易とするため、固定部材１２の図示を省略する。
【００３８】
この基板検査装置１では、検査の開始が指示されたときに、検査部３の制御部１７が基板搬送装置２の移動機構１４を制御して、図７に示すように、基板１００が供給されている供給位置Ｐ１の上方に基板保持部１１、固定部材１２および位置合わせ装置１３を移動させる。次いで、制御部１７は、基板搬送装置２における位置合わせ装置１３の駆動機構２３に対する圧縮空気の供給を制御して、駆動機構２３のロッド２３ａを伸長させる。
【００３９】
この際に、図８に示すように、ロッド２３ａに連結された連結部材２３ｂが取り付けられているリンク機構２１ａにおける連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と、リンク機構２１ａにおけるアーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離が伸びる向きに各先端部４２が移動させられる（各先端部４２が押し下げられる）。また、連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２の移動に伴い、連結部４１ａ，４１ｂの各基端部４５に連結されているアーム３１ａ，３１ｂの各中間部位３５間の距離が縮まる向きにアーム３１ａ，３１ｂが引っ張られ、これによってアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離が縮まる向きにアーム３１ａ，３１ｂが回動する。また、当接部２２ａ，２２ｂによってリンク機構２１ａ，２１ｂが互いに連結されているため、リンク機構２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂも同じ向きに回動する。さらに、リンク機構２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂの回動に伴ってリンク機構２１ｂの連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２が下向きに移動させられる。この場合、各先端部４２の下向きの移動がガイド機構２４（図６参照）によってガイドされるため、各先端部４２の横振れが防止される結果、リンク機構２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂがスムーズに回動する。
【００４０】
また、図８に示すように、両リンク機構２１ａ，２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂの回動により、各先端部３７にそれぞれ取り付けられている当接部２２ａ，２２ｂが基板１００における対向する２つの端面（同図における左右の端面）に当接する。この場合、同図に示すように、アーム３１ａ，３１ｂは、上記した垂直平面Ａに対して左右対称に回動する。このため、例えば、基板１００の中心が垂直平面Ａに対して位置ずれ（同図における左右方向への位置ずれ）しているときには、当接部２２ａ，２２ｂの当接により、基板１００の中心が垂直平面Ａ内に位置するように（予め決められた位置関係となるように）正確に位置合わせが行われる。次いで、制御部１７は、基板保持部１１による吸気を制御して（吸気を開始させて）、基板１００を保持（吸着）させる。これにより、基板１００の中心が垂直平面Ａ内に位置するように（基板１００が基板保持部１１に対して予め決められた位置関係となるように）正確に位置合わせされた状態で基板保持部１１によって基板１００が保持される。
【００４１】
次いで、制御部１７は、基板搬送装置２における位置合わせ装置１３の駆動機構２３に対する圧縮空気の供給を制御して、駆動機構２３のロッド２３ａを縮長させる。この際に、連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と、アーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離が縮まる向きに各先端部４２が移動させられ（各先端部４２が引き上げられ）、これに伴って連結部４１ａ，４１ｂの各基端部４５に連結されているアーム３１ａ，３１ｂの各中間部位３５間の距離が伸びる向きにアーム３１ａ，３１ｂが押し広げられる。これにより、リンク機構２１ａ，２１ｂにおける各々のアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離が伸びる向きにアーム３１ａ，３１ｂが回動し、各先端部３７に取り付けられている当接部２２ａ，２２ｂが基板１００の端面から離反する。
【００４２】
続いて、制御部１７は、移動機構１４を制御して、検査部３の基板保持台１５における検査位置Ｐ２（図１参照）の上方（基板保持部１１によって保持されている基板１００の下面が基板保持台１５の載置面に近接する位置）に基板保持部１１、固定部材１２および位置合わせ装置１３を移動させる。続いて、制御部１７は、基板保持部１１を制御して（吸気を停止させて）基板１００の保持を解除させる。また、制御部１７は、基板保持台１５による吸気を開始させる。これにより、基板１００が基板保持台１５に吸着されて保持される。この場合、基板１００が基板保持部１１に対して予め決められた位置関係となった状態で基板保持部１１によって保持されて検査位置Ｐ２の上方に移動されるため、基板保持台１５上の検査位置Ｐ２に正確に位置合わせされた状態で基板１００が基板保持台１５によって保持される。
【００４３】
次いで、制御部１７は、移動機構１４を制御して、基板保持部１１、固定部材１２および位置合わせ装置１３を初期位置に移動させる。続いて、制御部１７は、プロービング機構１６を制御して、基板１００の導体パターンに検査用プローブ６１を接触（プロービング）させる。この場合、検査位置Ｐ２に位置合わせされた状態で基板１００が基板保持台１５に固定されているため、基板１００の各導体パターンに検査用プローブ６１が確実に接触される。
【００４４】
次いで、制御部１７は、検査用プローブ６１を介して入力した電気信号に基づいて基板１００についての電気的検査を実行する。この後、基板１００についての検査を終了したときには、制御部１７は、プロービング機構１６を制御して検査用プローブ６１を基板１００から離反させる。これにより、基板１００に対する検査が終了する。続いて、図外の取り出し装置を制御して、検査が終了した基板１００を基板保持台１５から保管場所に移動させる。この後、上記した各処理を繰り返して実行して他の基板１００に対する検査を行う。
【００４５】
このように、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１では、各基端部３２同士が回動可能に連結された一対のアーム３１ａ，３１ｂ、および各先端部４２同士が回動可能に連結されると共に各基端部４５が各アーム３１ａ，３１ｂの各中間部位３５に回動可能にそれぞれ連結された一対の連結部４１ａ，４１ｂを有するリンク機構２１ａ，２１ｂと駆動機構２３とを備え、駆動機構２３が各連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と各アーム３１ａ，３１ｂの各基端部３２との離間距離を変化させて各アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を伸縮させる。このため、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１によれば、位置合わせ装置１３を基板保持部１１に取り付けることで、位置ずれした状態で基板１００が供給位置Ｐ１に供給されていたときには、各アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を縮ませた際に、各先端部３７間に掛け渡されている当接部２２ａ，２２ｂが基板１００における対向する２つの端面に当接し、これによって基板保持部１１に対して予め決められた位置関係となるように基板１００を正確に位置合わせし、その状態の基板１００を基板保持部１１によって保持させることができる。したがって、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１によれば、基板保持部１１の吸着面が基板１００から外れて保持が不完全となったり、基板保持部１１に対して位置ずれした状態で吸着された基板１００が検査位置Ｐ２に搬送されることによって基板１００が検査位置Ｐ２から位置ずれする事態を確実に防止することができる。
【００４６】
また、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１では、各々のアーム３１ａ，３１ｂ同士が互いに対向するように配置した一対のリンク機構２１ａ，２１ｂにおける各々の一方のアーム３１ａの各先端部３７に当接部２２ａが掛け渡され、リンク機構２１ａ，２１ｂにおける各々の他方のアーム３１ｂの各先端部３７に当接部２２ｂが掛け渡されている。このため、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１によれば、例えば棒状に形成した当接部２２ａ，２２ｂが互いに平行に対向した状態を維持しつつ当接部２２ａ，２２ｂ間の距離を伸縮させることができる。したがって、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１によれば、基板１００における対向する２つの端面全体に当接部２２ａ，２２ｂをそれぞれ当接させることができる結果、基板１００を回転させることなく基板１００の中心が垂直平面Ａ内に位置するように、基板１００の位置合わせをより正確に行うことができる。また、この位置合わせ装置１３、基板搬送装置２および基板検査装置１によれば、当接部２２ａ，２２ｂによって両リンク機構２１ａ，２１ｂが連結されているため、１つの駆動機構２３で２つのリンク機構２１ａ，２１ｂのアーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７間の距離を伸縮させることができる。
【００４７】
なお、基板検査装置の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、上記した位置合わせ装置１３に代えて、図９に示す位置合わせ装置１１３を採用することができる。なお、以下に参照する図９〜１２において、上記した基板検査装置１の構成要素と同一の機能を有するものには同一の符号を付して重複する説明を省略する。この場合、位置合わせ装置１１３は、位置合わせ装置１３の各リンク機構２１ａ，２１ｂに設けられている真っ直ぐな形状の（直方体状の）当接部２２ａ，２２ｂに代えて、当接部１２２ａ，１２２ｂを備えて構成されている。この場合、当接部１２２ａ，１２２ｂは、中央部が直角に屈曲して、基板１００の角部を形成する互いに隣接する二面にその屈曲した部分がそれぞれ当接可能な平面視Ｌ字状に形成されている。この位置合わせ装置１１３では、同図に示すように、矩形の基板１００における互いに対向する２つの角部に当接部１２２ａ，１２２ｂの屈曲部分を当接させることで、基板１００が基板保持部１１の中心軸１１ｄ（図４参照）に対して直交する平面（水平面）内におけるいずれの方向に位置ずれしていたとしても、その位置ずれを修正して、中心軸１１ｄおよびアーム３１ａ，３１ｂの各挿通孔３３を通る垂直平面Ａ内に基板１００の中心が位置するように（予め決められた位置関係となるように）、基板１００の位置合わせを正確に行うことができる。
【００４８】
また、上記した位置合わせ装置１３に代えて、図１０に示す位置合わせ装置２１３を採用することもできる。この位置合わせ装置２１３は、上記したリンク機構２１ａ，２１ｂに代えてリンク機構２２１ａ，２２１ｂを備えて構成されている。リンク機構２２１ａ，２２１ｂは、アーム３１ａ，３１ｂに代えて、第１アーム２３１ａ，２３１ｂおよび第２アーム３３１ａ，３３１ｂを備えてそれぞれ構成されている。この場合、第１アーム２３１ａ，２３１ｂは、図１０，１１に示すように、同じ長さの板状（棒状）に形成されている。また、第１アーム２３１ａ，２３１ｂは、各々の基端部２３２に形成されている各挿通孔２３３に挿通されたねじ３４（図６参照）によって各基端部２３２同士が回動可能に連結されると共に、各基端部２３２が固定部材１２を介して基板保持部１１に固定される。また、第２アーム３３１ａ，３３１ｂは、各々の基端部３３２に形成されている各挿通孔３３３に挿通されたねじ３３４によって各基端部３３２が各第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各先端部２３７に対して回動可能にそれぞれ連結されている。
【００４９】
また、このリンク機構２２１ａ，２２１ｂでは、図１０，１１に示すように、連結部４１ａ，４１ｂにおける各々の基端部４５が各第１アーム２３１ａ，２３１ｂの先端部２３７側に対して回動可能にそれぞれ連結されている。また、駆動機構２３が連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と各第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各基端部２３２との離間距離を変化させて各第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各先端部２３７間の距離を伸縮させる。さらに、この位置合わせ装置２１３では、第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各中間部位３３５の間に、コイルばねで構成された付勢機構２２４が掛け渡されており、この付勢機構２２４によって各先端部３３７間の距離が縮まる向きに第２アーム３３１ａ，３３１ｂが付勢されている。また、この位置合わせ装置２１３では、当接部２２ａ，２２ｂに代えて、当接部２２２ａ，２２２ｂが各第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７に取り付けられている（掛け渡されている）。この場合、当接部２２２ａ，２２２ｂには、挿通孔２２５がそれぞれ形成され、各挿通孔２２５には、ロッド２２６が挿通されている。
【００５０】
この位置合わせ装置２１３では、駆動機構２３のロッド２３ａが伸長したときに、図１２に示すように、ロッド２３ａに連結された連結部材２３ｂが取り付けられているリンク機構２２１ａにおける連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２と、リンク機構２２１ａにおける第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各基端部２３２との離間距離が伸びる向きに各先端部４２が移動させられる。また、連結部４１ａ，４１ｂの各先端部４２の移動に伴い、連結部４１ａ，４１ｂの各基端部４５にそれぞれ連結されている第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各先端部２３７側の間の距離が縮まる向きに第１アーム２３１ａ，２３１ｂが引っ張られ、これによってリンク機構２２１ａ，２２１ｂにおける各第１アーム２３１ａ，２３１ｂがこの向きに回動する。
【００５１】
また、図１２に示すように、第１アーム２３１ａ，２３１ｂの回動に伴って第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各基端部３３２間の距離が縮まる向きに引っ張られ、また、付勢機構２２４によって各先端部３３７間の距離が縮まる向きに第２アーム３３１ａ，３３１ｂが付勢されているため、第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７にそれぞれ取り付けられている当接部２２２ａ，２２２ｂ間の距離が縮まる向きに当接部２２２ａ，２２２ｂが移動して、基板１００における対向する２つの端面（同図における左右の端面）に当接する。
【００５２】
この場合、第２アーム３３１ａ，３３１ｂが第１アーム２３１ａ，２３１ｂに対して回動しない（第１アームと第２アームとが１本アームで構成されている）構成では、第１アーム２３１ａ，２３１ｂが回動したときに、第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７が第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各基端部２３２（各基端部２３２の連結部分）を中心として円弧を描くように移動するため、第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各基端部２３２から第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７（当接部２２２ａ，２２２ｂの下面）までの垂直方向に沿った距離が変化する（具体的には、各先端部３３７同士が近づけば近づくほど垂直方向に沿った距離が長くなる）。
【００５３】
これに対して、この位置合わせ装置２１３では、第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各基端部３３２が第１アーム２３１ａ，２３１ｂの各先端部２３７に対して回動可能にそれぞれ連結されているため、第１アーム２３１ａ，２３１ｂが回動したときに、第２アーム３３１ａが第１アーム２３１ａに対して傾斜し、かつ第２アーム３３１ｂが第１アーム２３１ｂに対して傾斜することで、第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７の移動量に拘わらず、第１アーム２３１ａ，２３１ｂの基端部２３２から各先端部３３７（当接部２２２ａ，２２２ｂの下面）までの垂直方向に沿った距離を一定に維持することができる。このため、この位置合わせ装置２１３によれば、各当接部２２２ａ，２２２ｂの下面を載置台２００の上面に接触させつつ（各先端部３３７を載置台２００の上面に沿わせつつ）各当接部２２２ａ，２２２ｂを移動させることができるため、基板１００の大きさに拘わらず、載置台２００に載置された基板１００の端面を確実に押圧して位置合わせを正確に行うことができる。
【００５４】
また、この位置合わせ装置２１３によれば、各当接部２２２ａ，２２２ｂに形成されている各挿通孔２２５にロッド２２６が挿通されているため、第１アーム２３１ａの基端部２３２から当接部２２２ａの下面までの垂直方向に沿った距離と第１アーム２３１ｂの基端部２３２から当接部２２２ｂの下面までの垂直方向に沿った距離とを同じ距離に維持することができる。
【００５５】
また、一対のリンク機構２１ａ，２１ｂを備えた構成、および一対のリンク機構２２１ａ，２２１ｂを備えた構成について上記したが、リンク機構を３つ以上備えた構成を採用することもできるし、リンク機構を１つだけ備えた構成を採用することもできる。この場合、リンク機構を２つ以上備えた構成では、各リンク機構に対して駆動機構２３を１つずつ設けて、各リンク機構の双方における連結部４１ａ，４１ｂの先端部４２を個別に移動させる構成を採用することもできる。
【００５６】
さらに、当接部２２ａ，２２ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，２２２ａ，２２２ｂを備えずに、アーム３１ａ，３１ｂの各先端部３７、または第２アーム３３１ａ，３３１ｂの各先端部３３７を基板１００における対向する２つの端面に対して直接当接させ、これによって基板保持部１１に対して予め決められた位置関係となるように基板１００を正確に位置合わせする構成を採用することもできる。また、この構成を採用した場合においては、先端部３７，３３７の形状を、基板１００の端面に面的または線的に接触可能な形状とすることで、先端部３７，３３７を基板１００の端面に確実に当接させることができる。
【００５７】
また、駆動機構２３としてエアシリンダを用いた例について上記したが、エアシリンダに代えて、油圧シリンダやモータ等を用いる構成を採用することもできる。また、コイルばねで構成された付勢機構２２４を用いた例について上記したが、コイルばねに代えて、板ばねやねじりばねを用いることもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１  基板検査装置
２  基板搬送装置
３  検査部
１１  基板保持部
１３，１１３，２１３  位置合わせ装置
１４  移動機構
２１ａ，２１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ  リンク機構
２２ａ，２２ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，２２２ａ，２２２ｂ  当接部
２３  駆動機構
３１ａ，３１ｂ  アーム
３２，２３２，３３２  基端部
３５  中間部位
３７，２３７，３３７  先端部
４１ａ，４１ｂ  連結部
４２  先端部
４５  基端部
１００  基板
２２４  付勢機構
２３１ａ，２３１ｂ  第１アーム
３３１ａ，３３１ｂ  第２アーム
Ｐ１  供給位置
Ｐ２  検査位置
【図１】
2012174880.tif 000003
【図２】
2012174880.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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