(57)【要約】【課題】本発明の目的は、工場等から排出される高沸点溶剤を含む被処理ガスから該溶剤を低コスト且つ効率よく回収する溶剤回収装置を提供することである。【解決手段】沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤の蒸気を含む被処理ガスを一次冷却する熱交換器１１と、前記一次冷却後の被処理ガスＧ１を冷水にて二次冷却する冷却器１３を備える冷却回収部１０と、前記冷却回収部１０で冷却後の被処理ガスＧ１に残存する該高沸点溶剤の蒸気を、吸着材に吸収させて該被処理ガスＧ１から該溶剤を分離回収する吸着回収部２０と、を備え、該被処理ガスＧ１を一次冷却する前記熱交換器１１は、循環用冷媒の冷却に外気Ａを利用することを特徴とする溶剤回収装置。【選択図】図１
2012130875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤の蒸気を含む被処理ガスを一次冷却する循環型熱交換器と、前記一次冷却後の該被処理ガスを冷水にて二次冷却する冷却器とから構成される冷却回収部と、
前記冷却回収部で冷却後の該被処理ガスに残存する該高沸点溶剤の蒸気を吸着材に吸収させて、該被処理ガスから該溶剤を分離回収する吸着回収部と、を備え、
該被処理ガスを一次冷却する前記循環型熱交換器は、循環用冷媒の冷却に外気を利用することを特徴とする、溶剤回収装置。
【請求項２】
請求項１に記載された溶剤回収装置において、前記冷却回収部で冷却され、前記吸着回収部に導入される該被処理ガスの温度は、２０℃以下である、ことを特徴とする溶剤回収装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載された溶剤回収装置において、該被処理ガスを一次冷却する前記循環型熱交換器を第一の熱交換器とし、
前記第一の熱交換器で一次冷却される前の該被処理ガスを冷却する第二の熱交換器を備え、
前記第二の熱交換器は、前記冷却回収部および前記吸着回収部により処理された処理済ガスにて該被処理ガスを冷却することを特徴とする溶剤回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工場等から排出される、沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤を含む被処理ガスから該溶剤を効率的且つ低コストで回収する溶剤回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場等で使用されるＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、シクロヘキサノン、引火点の高い炭化水素類等の高沸点溶剤は、環境に対して有害であるため、工場等から排出される溶剤を含む空気から該高沸点溶剤を分離回収する必要がある。
【０００３】
従来、高沸点溶剤を回収する方法としては、溶剤を含有する被処理ガスを直接冷却する冷却法が採用されている。しかし、この方法によって冷却のみで沸点が１５０〜３００℃程度の高沸点溶剤をほぼ完全に凝縮させるには、多大なエネルギーを必要とする。例えば、ＮＭＰの場合、２０℃における空気中の飽和濃度は約４００ｐｐｍである。これを冷却だけで９０％以上凝縮させようとすると、−１０℃に冷却させる必要があり、現実的ではない。
【０００４】
また、他の方法として活性炭等を使った吸着法がある。しかし、この方法は脱着の熱源として水蒸気を使用するため、高沸点溶剤の脱着容量が小さく再生が不十分となり易い。また、活性炭が可燃性であるために高温での脱着ができず、再生が不十分となる。この理由から、活性炭等を使った吸着法は主に低沸点溶剤の回収に対して使用されている。
【０００５】
この問題を解決するために、被処理ガスを冷却器で冷却して溶剤を凝縮回収した後、残存溶剤を含む該被処理ガスをさらに吸着剤を用いて残存溶剤を吸着除去する回収装置が提案されている（例えば、特許文献１）。しかしこの方法は、被処理ガスを直接冷却器で冷却するため、高温の被処理ガスを冷却する場合、多量の冷水が必要になり、運転コストが高くなる。
【０００６】
少ない冷却水及び冷水で被処理ガスを冷却する手段として、被処理ガスを循環型熱交換器で冷却し、該循環型熱交換器の冷却用冷媒として外気を先に温調する方法が考えられる。しかしこの方法は、循環型熱交換器の性能上、被処理ガスの冷却に限界があり、溶剤の冷却回収を適切に行うことができない。そのような場合、吸着回収部に導入される被処理ガスの残存溶剤のガス濃度が高くなる傾向がある。被処理ガスの残存溶剤のガス濃度が高くなり、吸着回収部の吸着性能を超えると、所望の溶剤浄化性能を得ることができなくなる。従って、この方法は好ましくない。
【０００７】
冷却水及び冷水を使用しない被処理ガスの冷却手段として、ガス・ガス熱交換器の導入や循環型熱交換器を連続２段設置することが考えられる。しかし、工場から排出される高沸点溶剤を含む被処理ガスは大風量であるため、該ガス・ガス熱交換器の導入は物理的にもシステム的にも現実的ではない。また循環型熱交換器の２段設置は系外への放熱が難しく、循環熱媒の温度が上昇しシステム破綻を起こすおそれがあるため好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１７３７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、工場等から排出される高沸点溶剤を含む被処理ガスから該高沸点溶剤を低コスト且つ効率よく回収する溶剤回収装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の溶剤回収装置は、沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤の蒸気を含む被処理ガスを一次冷却する循環型熱交換器と、前記一次冷却後の該被処理ガスを冷水にて二次冷却する冷却器とから構成される冷却回収部と、前記冷却回収部で冷却後の該被処理ガスに残存する該高沸点溶剤の蒸気を吸着材に吸収させて、該被処理ガスから該溶剤を分離回収する吸着回収部と、を備え、該被処理ガスを一次冷却する前記循環型熱交換器は、循環用冷媒の冷却に外気を利用することを特徴とする溶剤回収装置である。
【００１１】
また本発明の溶剤回収装置は、前記冷却回収部で冷却され、前記吸着回収部に導入される該被処理ガスの温度は、２０℃以下であることを特徴とする溶剤回収装置である。
【００１２】
また本発明の溶剤回収装置は、該被処理ガスを一次冷却する前記循環型熱交換器を第一の熱交換器とし、前記第一の熱交換器で一次冷却される前の該被処理ガスを冷却する第二の熱交換器を備え、前記第二の熱交換器は、前記冷却回収部および前記吸着回収部により処理された処理済ガスにて該被処理ガスを冷却することを特徴とする溶剤回収装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、工場から排出され、沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤の蒸気を含む被処理ガスの一次冷却に循環型熱交換器を使用する。該循環型熱交換器の循環用冷媒の冷却には、外気をそのまま利用する。これにより、該被処理ガスが高温である場合や大風量である場合にも、該熱交換器の循環用冷媒の冷却に多量の冷水を必要とすることなく、該被処理ガスを十分に一次冷却することができる。そのため、被処理ガス中の高沸点溶剤を適切に冷却回収することができる。
【００１４】
その結果、冷却回収後の該被処理ガスは、残存溶剤濃度が低い状態で吸着回収部に導入される。したがって、吸着回収部でも効果的に残存溶剤を回収することができる。
【００１５】
本発明は、一次冷却の熱交換器に冷水を利用しないため、被処理ガスの全量を冷水で冷却する場合と比較し、冷却回収に必要な冷水量を軽減することができる。特に、該熱交換器は外気をそのまま利用するため、外気温が低い夜間や冬期に稼働させる場合には迅速かつ効果的に一次冷却を行うことができる。その場合、二次冷却に必要となる冷水量を一層軽減することができる。
【００１６】
一次冷却は熱交換器に冷水を連続供給するための冷却塔を必要とせず、熱交換器と、外気をそのまま導入するための送風ファンのみで運転できる簡潔な装置構成である。従って従来の装置に比してメンテナンスフリーで、被処理ガスの冷却にかかる運転コストを低減できる。
【００１７】
さらに、一次冷却前の被処理ガスを予め熱交換器で予冷することにより、冷却回収部による溶剤回収をより速やかに行うことができる。該予冷に使用する熱交換器の熱交換に、吸着回収部を経て溶剤が回収された低温の処理済ガスを利用する場合は、低コストを維持したまま迅速な冷却回収を行うことができる。
【００１８】
本発明は、熱交換に使用した後の温風を生産設備中で必要になった際に、系外に放流せずにそのまま供給し有効利用が可能である。
【００１９】
上記のとおり本発明は、冷却回収と吸着回収を組み合わせた溶剤回収を、多量の冷水を要することなく、低コストで、かつ効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の溶剤回収装置の一例を示すフローシートである。
【図２】従来の溶剤回収装置の一例を示すフローシートである。
【図３】冷却器を外気温調用に設けた溶剤回収装置の一例を示すフローシートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の溶剤回収装置は、沸点が１５０℃以上の高沸点溶剤の蒸気を含む被処理ガスを一次冷却する循環型熱交換器と、前記一次冷却後の該被処理ガスを冷水にて二次冷却する冷却器とから構成される冷却回収部と、前記冷却回収部で冷却後の該被処理ガスに残存する該高沸点溶剤の蒸気を吸着材に吸収させて、該被処理ガスから該溶剤を分離回収する吸着回収部と、を備え、該被処理ガスを一次冷却する前記循環型熱交換器は、循環用冷媒の冷却に外気を利用することを特徴とする。
【００２２】
本発明の溶剤回収装置の処理対象ガス（被処理ガス）は、空気又は不活性ガスに高沸点溶剤を含むものである。該被処理ガスに含まれ、本発明で好適に回収される高沸点溶剤とは、沸点が１５０℃以上、好ましくは１５０〜３００℃の有機溶剤であり、例えばＮＭＰ、シクロヘキサノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）などが挙げられる。
【００２３】
冷却回収部は、被処理ガスに対し、循環用冷媒の冷却に外気をそのまま利用して一次冷却を行う循環型熱交換器と、一次冷却後の被処理ガスに対し、冷水を利用して二次冷却を行う冷却器とから構成される実施形態が好ましい。
【００２４】
一次冷却前に被処理ガスを予冷しておくことも、迅速な冷却回収を促進し、好ましい。冷却回収部および吸着回収部で溶剤が回収された処理済ガスは低温であるため、一次冷却前の該被処理ガスに対し、該処理済ガスを利用した熱交換による予冷を行うことにより、一層低コスト化を図ることができる。
【００２５】
一次冷却後の被処理ガスの温度は、２０〜４０℃とすることが好ましく、２０〜３０℃とすることがより好ましく、２０〜２５℃とすることがさらに好ましい。
【００２６】
循環型熱交換器の循環用冷媒としては、運転条件・環境により異なるが、例えば代替フロン、メタノール、アンモニア、純水などが挙げられる。中でも、気・液二相間の変換の容易さ、液相における表面張力の低さ、化学的・熱的な安定性及び比重の大きさなどの特性により、代替フロンを用いることが好ましい。
【００２７】
二次冷却に用いられる冷却用媒体としては、２〜１０℃の冷水を用いることが好ましく、５〜７℃の冷水を用いることがより好ましい。冷水としては、純水またはエチレングリコール水溶液を用いることが好ましい。
【００２８】
二次冷却後の被処理ガスの温度は、２０℃以下であることが好ましい。二次冷却後、吸着回収部に導入される前の被処理ガスの温度が２０℃より高いと、冷却回収を適切に行うことができず、被処理ガスの濃度を十分に低減できない。そのため、吸着剤への吸着効率が低下する傾向がある。
【００２９】
吸着回収部に使用される吸着回収装置のシステムとしては、特に限定はされないが、例えば特開平９−１７３７５８号公報に開示された回転式有機溶剤蒸気吸着装置を用いることが好ましい。
【００３０】
同装置の吸着回収部は、円筒状に形成され、円筒軸を中心に回転可能である。該円筒軸は、被処理ガスの供給方向に配置されており、該円筒軸と直交する円形の端面部は、ケーシングと耐熱シールによって、該円筒軸の軸点を中心とした放射状に区分されている。区分された各ゾーンは、それぞれ吸着ゾーンと、再生ゾーンと、冷却ゾーンである。吸着ゾーンは、被処理ガスに含まれる溶剤を吸着剤で吸着回収する。再生ゾーンは、吸着剤に吸着された溶剤を高温の加熱空気で脱着させ吸着剤を再生する。冷却ゾーンは、再生処理により加熱された吸着剤を冷却する。
【００３１】
使用される吸着剤としては、例えば、疎水性ゼオライト、活性炭、活性炭素繊維、シリカゲル、活性アルミナなどが挙げられる。中でも、疎水性ゼオライトが好ましい。疎水性ゼオライトは、不燃性、高耐熱性という特性により高温再生が可能であり、且つ不活性であることよりシクロヘキサノン等の熱重合性の高い溶剤も処理可能である。
【００３２】
吸着ゾーンと、再生ゾーンと、冷却ゾーンとに区分された吸着回収部は、円筒軸を中心に連続的に回転する。この回転により、吸着回収部に対し、被処理ガスの供給と処理済ガスの供給が各ゾーンに応じて交互に行われ、吸着処理、再生処理および冷却処理を連続的に行うことができる。以下に、回転式溶剤吸着装置の吸着回収部の構成を説明する。
【００３３】
吸着ゾーンでは、冷却回収後の被処理ガスが通過することにより高沸点溶剤を吸着回収する。吸着回収部が回転すると、吸着回収部の高沸点溶剤を吸着回収した部分は、吸着ゾーンから再生ゾーンへ移動する。再生ゾーンには、吸着ゾーンを通過した処理済ガスの一部が加熱された状態で供給されている。吸着回収部の再生ゾーンに移動した部分は、加熱後の処理済ガスが供給されることにより、吸着した高沸点溶剤を脱着し、再生処理される。吸着回収部がさらに回転すると、再生処理された部分は、再生ゾーンから冷却ゾーンへ移動する。冷却ゾーンには、吸着ゾーンを通過した処理済ガスの一部が供給されている。吸着回収部の冷却ゾーンに移動した部分は、該処理済ガスが供給されることにより、冷却され、再び吸着処理を行うことができるようになる。吸着回収部がさらに回転すると、冷却処理された部分は、冷却ゾーンから再び吸着ゾーンへ移動する。このように、本発明の吸着回収部は吸着処理、再生処理、冷却処理を連続的に行うことができる。
【００３４】
再生ゾーン又は冷却ゾーンに供給される処理済ガスとしては、処理済ガスの１／１０〜１／３を使用するのが好ましい。再生ゾーンに処理済ガスを供給する場合、蒸気等を用いる熱交換器により、処理済ガスを１００〜２００℃に加熱し、再生ゾーンに供給することが、溶剤の脱着効率を向上させるために好ましい。
【００３５】
吸着剤を冷却するために冷却ゾーンを通過させた後の処理済ガスは、吸着剤との熱交換により温度が上昇している。従って、引き続き再生ゾーンに供給するガスとして使用する場合、再生ゾーンにガスを供給する際の熱交換器の蒸気負荷を軽減できる。
【００３６】
再生ゾーンでは、吸着ゾーンで吸着剤に吸着された有機溶剤を被処理ガス流量よりも少ない流量の加熱空気で脱着させる。この操作により、被処理ガスよりも高濃度で高沸点溶剤を含有する脱着排ガスを得ることができる。装置上の吸脱着による高沸点溶剤蒸気の濃縮倍率Ｘは単位時間当たりの被処理ガス流量Ｖと脱着用ガス流量ｖとの比率によって決まり、Ｘ＝Ｖ／ｖの関係がある。通常、装置定数と運転条件は濃縮倍率が約５〜１５になるように選ばれる。
【００３７】
回転式有機溶剤蒸気吸着装置を本発明に用いる場合、再生ゾーン及び冷却ゾーンの好適な大きさは、被処理ガスが含有する有機溶剤の種類、濃度、用いる吸着剤の吸脱着特性、所望する濃縮倍率、ローターの回転速度等によって異なるが、通常、面積比で約１／１０〜１／３を再生ゾーンに使用し、冷却ゾーンを有する場合はこれを再生ゾーンと同程度ないし約１／２にするのが好ましい。
【００３８】
また、熱交換器において、熱交換に使用した後の温風を生産設備中で必要になった場合、系外に放流せずにそのまま供給し有効利用できる。
【実施例】
【００３９】
本発明を図面に基づいて、さらに詳細に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。
［実施例］
図１は、本発明の溶剤回収装置のフローシートの一例を示している。
＜予冷＞
工場などの生産工程から排出された被処理ガスＧ１は、９００Ｎｍ３／ｍｉｎ、１３０℃で２０００ｐｐｍのＮＭＰを含む。被処理ガスＧ１は、処理済ガスＧ２との熱交換によって約５０℃に冷却される(Ｔ１)。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０から排出され、第二の熱交換器３１で、生産工程に戻し入れられたガスである。
＜＜冷却回収＞＞
＜一次冷却＞
予冷後、第二の熱交換器３１から排出された被処理ガスＧ１は、第一の熱交換器１１での熱交換により約２０〜４０℃（外気温により変動）に一次冷却される（Ｔ２）。第一の熱交換器１１はファン１２によって外気Ａを導入し、導入された外気Ａをそのまま第一の熱交換器１１の循環用冷媒の冷却に利用している。
＜二次冷却＞
一次冷却後の被処理ガスＧ１は、冷却器１３にて冷水を冷却用媒体として、１８℃にまで二次冷却される（Ｔ３）。二次冷却後の被処理ガスＧ１に含まれるＮＭＰは約４００ｐｐｍであった。
【００４０】
一次冷却、二次冷却を合わせたこの冷却回収部で、１時間に使用された冷却水の量は、冷却器１３で使用された３２ｍ３（外気温により変動するため年平均値）のみであり、冷却水は一切使用しなかった。
＜＜吸着回収＞＞
二次冷却後の被処理ガスＧ１は、残存するＮＭＰをさらに除去するため、ゼオライトを吸着剤とする吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着ゾーンに送られ、ＮＭＰを分離回収される。吸着回収処理後の処理済ガスＧ２のＮＭＰ残存量は２０ｐｐｍ以下であった。
＜＜吸着回収後＞＞
吸着回収後の処理済ガスＧ２の一部は、吸着回収部２０（回転式吸着装置２１）の冷却ゾーンに導入され、冷却用媒体として利用される。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０の冷却処理における熱交換により温度が上昇している。温度が上昇した処理済ガスＧ２は、再生処理に利用するため、蒸気を加熱用媒体とする熱交換器２２に導入され、１４０℃に加熱される。加熱された処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着剤の脱着用加熱空気（吸着剤に吸収されていた溶剤を脱着するためのガス）として、吸着回収部２０（回転式吸着回収装置２１）の再生ゾーンに導入される。
【００４１】
吸着剤から溶剤を脱着した後の溶剤を含むガスＧ３は、一次冷却前の被処理ガスＧ１と合流する。合流後のガスは、冷却回収および吸着回収により高沸点溶剤が回収される。
【００４２】
吸着回収後の処理済ガスＧ２の他の一部は、被処理ガスを予冷するときに第二の熱交換器３１の冷却用媒体として利用された後、生産工程に戻される。
［比較例１］
図２は、従来の溶剤回収装置のフローシートの一例を示している。図２によれば、該装置における一次冷却は、冷却水を利用した熱交換により行われ、外気Ａを利用しない。
＜予冷＞
工場などの生産工程から排出された被処理ガスＧ１は、９００Ｎｍ３／ｍｉｎ、１３０℃で２０００ｐｐｍのＮＭＰを含む。被処理ガスＧ１は、処理済ガスＧ２と第二の熱交換器３１での熱交換によって約５０℃に冷却される（Ｔ１）。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０から排出され、生産工程に戻し入れられたガスである。
＜＜冷却回収＞＞
＜一次冷却＞
予冷後、第二の熱交換器３１から排出された被処理ガスＧ１は、一次冷却器１４にて熱交換により約４０℃に冷却される（Ｔ４）。一次冷却器１４で用いられる冷却用媒体は、冷却塔から連続的に供給される冷却水である。
＜二次冷却＞
一次冷却後の被処理ガスＧ１は、二次冷却器１３’にて冷水を冷却用媒体として、１８℃にまで冷却される（Ｔ５）。二次冷却後の被処理ガスＧ１に含まれるＮＭＰは約４００ｐｐｍであった。
【００４３】
比較例１の冷却回収部で、１時間に使用された冷却水及び冷水の量は、一次冷却器１４で使用された冷却水が４７ｍ３であり、二次冷却器１３’で使用された冷水が７２ｍ３（外気温により変動するため年平均値）であった。実施例と比較して、冷却水が必要且つ、冷水量は２倍以上要しており、多大な運転コストを要した。
＜＜吸着回収＞＞
二次冷却後の被処理ガスＧ２は、残存するＮＭＰをさらに除去するため、ゼオライトを吸着剤とする吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着ゾーンに送られ、ＮＭＰを分離回収される。吸着回収処理後の処理済ガスＧ２のＮＭＰ残存量は２０ｐｐｍ以下であった。
＜＜吸着回収後＞＞
吸着回収後の処理済ガスＧ２の一部は、吸着回収部２０（回転式吸着装置２１）の冷却ゾーンに導入され、冷却用媒体として利用される。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０の冷却処理における熱交換により温度が上昇している。温度が上昇した処理済ガスＧ２は、再生処理に利用するため、蒸気を加熱用媒体とする熱交換器２２に導入され、１４０℃に加熱される。加熱された処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着剤の脱着用加熱空気（吸着剤に吸収されていた溶剤を脱着するためのガス）として、吸着回収部２０（回転式吸着回収装置２１）の再生ゾーンに導入される。
【００４４】
吸着剤から溶剤を脱着した後の溶剤を含むガスＧ３は、一次冷却前の被処理ガスＧ１と合流する。合流後のガスは、冷却回収および吸着回収により高沸点溶剤が回収される。
【００４５】
吸着回収後の処理済ガスＧ２の他の一部は、被処理ガスを予冷するときに第二の熱交換器３１の冷却用媒体として利用された後、生産工程に戻される。
［比較例２］
図３は、冷却器１５を外気温調用に設けた溶剤回収装置のフローシートの一例を示している。図３によれば、該装置における冷却回収は一度だけ行われる。該冷却に使用される熱交換器（第一の熱交換器）１１は、循環用冷媒の冷却に冷却器１５で温調された外気Ａを利用している。
＜予冷＞
工場などの生産工程から排出された被処理ガスＧ１は、９００Ｎｍ３／ｍｉｎ、１３０℃で２０００ｐｐｍのＮＭＰを含む。被処理ガスＧ１は、処理済ガスＧ２と第二の熱交換器３１での熱交換によって約５０℃に冷却される（Ｔ１）。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０から排出され、生産工程に戻し入れられたガスである。
＜＜冷却回収＞＞
予冷後、第二の熱交換器３１から排出された被処理ガスＧ１は、第一の熱交換器１１での熱交換により約２２℃まで冷却される（Ｔ６）。第一の熱交換器１１は、冷却器１５によって温調された外気Ａを循環用冷媒の冷却に利用している。該冷却器１５の冷却用媒体は冷水である。冷却後の被処理ガスＧ１に含まれるＮＭＰは約４８０ｐｐｍであった。
＜＜吸着回収＞＞
冷却後の被処理ガスＧ１は、残存するＮＭＰをさらに除去するため、ゼオライトを吸着剤とする吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着ゾーンに送られ、ＮＭＰを分離回収される。吸着回収処理後の処理済ガスＧ１のＮＭＰ残存量は２０ｐｐｍ以上であった。
【００４６】
比較例２の溶剤回収装置の第一の熱交換器１１は、その性能上被処理ガスＧ１を約２２℃まで冷却するのが限界であった。その結果、該装置は冷却回収を適切に行うことができず、吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）に導入されるガス濃度が高すぎた（約４８０ｐｐｍ）。そのため比較例２の溶剤回収装置は、本発明の実施例と比較して溶剤浄化性能が十分ではなかった。
＜＜吸着回収後＞＞
吸着回収後の処理済ガスＧ２の一部は、吸着回収部２０（回転式吸着装置２１）の冷却ゾーンに導入され、冷却用媒体として利用される。処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０の冷却処理における熱交換により温度が上昇している。温度が上昇した処理済ガスＧ２は、再生処理に利用するため、蒸気を加熱用媒体とする熱交換器２２に導入され、１４０℃に加熱される。加熱された処理済ガスＧ２は、吸着回収部２０（回転式溶剤吸着装置２１）の吸着剤の脱着用加熱空気（吸着剤に吸収されていた溶剤を脱着するためのガス）として、吸着回収部２０（回転式吸着回収装置２１）の再生ゾーンに導入される。
【００４７】
吸着剤から溶剤を脱着した後の溶剤を含むガスＧ３は、一次冷却前の被処理ガスＧ１と合流する。合流後のガスは、冷却回収および吸着回収により高沸点溶剤が回収される。
【００４８】
吸着回収後の処理済ガスＧ２の他の一部は、被処理ガスを予冷するときに第二の熱交換器３１の冷却用媒体として利用された後、生産工程に戻される。
【符号の説明】
【００４９】
１０  冷却回収部、１１（第一の）熱交換器、１２  ファン、１３  冷却器、
１３’二次冷却器、１４  一次冷却器、１５  冷却器、２０  吸着回収部、
２１  回転式溶剤吸着装置、２２  熱交換器、３１（第二の）熱交換器、
Ｇ１  被処理ガス、Ｇ２  処理済ガス、Ｇ３  溶剤を含むガス  Ａ  外気
【図１】
2012130875.tif 000003
【図２】
2012130875.tif 000004
【図３】
2012130875.tif 000005