(57)【要約】【課題】多数の液室を効率よく有すると共に、更なる小型化を図った液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、複数のノズル１６を備えたノズル板１１と、ノズル板１１に接合して設けられ、ノズル１６の位置に対応して複数の液室１８を連通させて区分けする液室基板１２と、液室基板１２と接合して設けられる振動板１３と、液室基板１２の反対側に、各液室１８に対応して設けられるＰＺＴ膜２１と、振動板１３と接合して設けられるインク供給基板１４とを有し、ノズル板１１と液室基板１２と振動板１３とインク供給基板１４とにより、インクＩが液室１８に供給される液体供給通路２８が形成され、ＰＺＴ膜２１に電圧を印加することで各液室１８に圧力を発生させ、インクＩをノズル１６から吐出する液滴吐出ヘッドであり、インクＩを複数の液室１８に直列に供給する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを備えたノズル板と、
前記ノズル板に接合して設けられ、前記ノズルの設けられている位置に対応するように複数の液室を連通させて区分けする液室基板と、
前記液室基板と接合して設けられる振動板と、
前記振動板を挟んで前記液室基板の反対側にあり、各液室に対応して設けられる電気機械変換素子と、
前記振動板と接合して設けられ、前記電気機械変換素子を囲うように形成された液体供給基板とを有し、
前記ノズル板と前記液室基板と前記振動板と前記液体供給基板とにより、液体が前記液室に供給される液体供給通路が形成され、
前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより各々の前記液室に圧力を発生させ、前記液体を前記ノズルから吐出する液滴吐出ヘッドであり、
前記液体を複数の液室に直列に供給することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
複数の液室から液体を排出する液体排出通路が設けられ、前記液体供給通路と前記液体排出通路とにより液体を循環させる循環流路が形成され、前記循環流路は、前記液体を前記液体供給通路から複数の前記液室を通過して前記液体排出通路から排出することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
複数の液室を連通する連通流路は、流体抵抗部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記振動板の反対側に前記液体供給基板と接合する緩衝板が設けられ、
前記液体供給基板は前記ノズル同士の間に貫通した開口部を有し、
前記開口部と前記緩衝板とで液体溜め部を形成し、
前記連通流路は、前記液体溜め部を有し、前記流体抵抗部材が前記液体溜め部内に設けられることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液体供給基板の前記振動板の反対側に、前記電気機械変換素子と対応するように、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材がフリップチップ実装されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記駆動回路部材と前記振動板との間をワイヤーボンディング実装したことを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記液室は、前記液体が供給される前流側に設けられる液室と、前記前流側に設けられる液室より後流側に設けられる液室とを、千鳥状に配置することを特徴とする請求項１から６のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の液室は、第１の液室と第２の液室とを有し、前記第１の液室と前記第２の液室は、前記液体供給通路を介して対向するように設けられ、前記液体供給通路は、前記第１の液室と前記第２の液室とに前記液体を分岐させて供給することを特徴とする請求項１から７のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１の液室と前記第２の液室とが、千鳥状に配置されることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク（液滴）吐出ヘッドを搭載したプリンタは、画質のきれいさ、値段の安さ、ノズルの数を増減することで印刷速度が速いプリンタから遅いが安いプリンタまで対応可能な高速対応性が評価され、インクジェットプリンタとして普及が進んでいる。
【０００３】
近年、インクジェットプリンタの更なる普及の促進を図るため、液滴吐出ヘッドの更なる画質向上、高速化、コストの低減、小型化が要求されてきている。画質の向上を図るためには、ノズル数が増加するため、液滴吐出ヘッド自体が大型化し、液滴吐出ヘッドを備えるインクジェット記録装置もそれに伴い大型化してしまうことが余儀なくされている。また、ノズル数が増加するほど、異物、気泡等によりノズル詰まりを生じてインクの不吐出などを生じるため、インクジェットプリンタとして信頼性の低下を防止することも強く要求されてきている。
【０００４】
液滴吐出ヘッドの作製方法は、切削やプレスなど機械加工を主とした作製方法から、半導体プロセス、微細加工技術を用いて液滴吐出ヘッドを量産する作製方法に変化してきている。このような液滴吐出ヘッドの作製方法の変更により、コストの低減を図る方法として、液滴吐出ヘッドを小型化する方法がある。たとえば、１枚のシリコン基板からより多くの液滴吐出ヘッドが作製できるようにする。そのためには、液滴吐出ヘッドを構成する液室部材、液体供給基板、電気機械変換素子などを更に小さくする必要がある。
【０００５】
図２２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す平面図である。図２２に示すように、従来の液滴吐出ヘッド１００は、供給通路１０１に個別に液室１０２を並列に設け、供給通路１０１側に設けられる液室１０２の数を多くしている。インク１０３が供給される共通の一つの供給通路１０１に対し、供給通路１０１から並列に設けた個々の液室１０２にインク１０３が分岐して供給され、各々の液室１０２のノズルからインク１０３が吐出噴射される。これにより、単位面積当たりの液滴吐出ヘッド１００の数を増加し、液滴吐出ヘッド１００の小型化を図っている。上述した液滴吐出ヘッドにかかる従来技術としては、特許文献１、２が知られている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術では、ノズルの数を更に増加しようとする場合、単位面積当たりで作製される液滴吐出ヘッドの数を十分増加させることはできないため、単位面積当たりで作製される液滴吐出ヘッドの更なる小型化を図ることはできない、という問題がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、多数の液室を効率よく有すると共に、更なる小型化を図った液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数のノズルを備えたノズル板と、前記ノズル板に接合して設けられ、前記ノズルの設けられている位置に対応するように複数の液室を連通させて区分けする液室基板と、前記液室基板と接合して設けられる振動板と、前記振動板を挟んで前記液室基板の反対側にあり、各液室に対応して設けられる電気機械変換素子と、前記振動板と接合して設けられ、前記電気機械変換素子を囲うように形成された液体供給基板とを有し、前記ノズル板と前記液室基板と前記振動板と前記液体供給基板とにより、液体が前記液室に供給される液体供給通路が形成され、前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより各々の前記液室に圧力を発生させ、前記液体を前記ノズルから吐出する液滴吐出ヘッドであり、前記液体を複数の液室に直列に供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、多数の液室を効率よく有すると共に、更なる小型化を図ることができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図である。
【図２】図２は、図１中のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３は、図１中のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図４は、液滴吐出ヘッドの他の構成の図１中のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図５は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。
【図６】図６は、図５中のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図７は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図である。
【図９】図９は、図８中のＡ−Ａ断面図である。
【図１０】図１０は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッド構成を簡略に示す断面図である。
【図１２】図１２は、液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。
【図１３】図１３は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。
【図１４】図１４は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。
【図１６】図１６は、従来の液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。
【図１７】図１７は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の配置の他の一例を示す図である。
【図１８】図１８は、本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す図である。
【図１９】図１９は、本実施形態にかかるインクジェットを搭載したインクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。
【図２０】図２０は、インクジェット記録装置の機構部の全体構成を示す概略構成図である。
【図２１】図２１は、インクジェット記録装置の機構部の要部を示す平面図である。
【図２２】図２２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置の一実施形態を詳細に説明する。
【００１２】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図であり、図２は、図１中のＡ−Ａ断面図であり、図３は、図１中のＢ−Ｂ断面図を示す。図１に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、ノズル板１１と、液室基板１２と、振動板１３と、液体供給基板（インク供給基板）１４と、天板１５とを有するものである。尚、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向をＸ、幅方向をＹ、厚さ方向をＺとする。
【００１３】
ノズル板１１は、例えば樹脂、金属、ステンレス等で形成され、液室基板１２の一方の面に接着剤等によって接着されている。また、ノズル板１１は、複数のノズル１６を備えている。ノズル板１１のノズル面には、複数のノズル１６が等間隔で設けられ、複数のノズル１６は、平行に２列で設けられている。
【００１４】
液室基板１２は、ノズル板１１と接合して設けられている。液室基板１２は、隔壁１７によって区画された複数の液室１８を有している。液室基板１２は、複数のノズル１６の設けられている位置に対応するように複数の液室１８を連通させて区分けする。液室１８は、図２に示すように、隔壁１７により各ノズル１６ごとに対応して個別に区切られており、幅方向（図２中、Ｙ軸方向）に相互に平行に２列並設され、長さ方向（図１、２中、Ｘ軸方向）に各々直列に２つ設けられている。液室１８は、後述するように、インクＩが供給される前流側に設けられる液室１８−１と、後流側に設けられる液室１８−２とにより構成されている。液室１８−１と液室１８−２とは、連通流路３２を介して連通している。液室基板１２は、ガラスや薄い金属板、またはその積層体、好ましくはシリコン基板などを用いて作製される。
【００１５】
振動板１３は、ノズル板１１に対向する液室基板１２の反対側の面に形成され、液室基板１２と接合して設けられている。振動板１３は、ＳＯＩ(Silicon  On  Insurator)基板のＳｉＯ2層で形成され、シリコン基板をエッチングして液室１８を形成するときのエッチングストップ層として用いることができる。振動板１３は、ＳｉＯ2、ＳｉＮなどで成膜した振動板にすることにより、ＳＯＩ基板より安価となるため、コストを低減することができる。
【００１６】
振動板１３を挟んで液室基板１２と反対側の面には、Ｐｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ3（ＰＺＴ膜）を含む材料を薄膜に成型して得られるＰＺＴ膜２１が設けられている。ＰＺＴ膜２１は、電気機械変換素子として機能する。ＰＺＴ膜２１は、具体的にはスパッタリングやゾルゲル(sol-gel)法などの加工方法によって形成される。ＰＺＴ膜２１は、各液室１８に対応して設けられ、振動板１３の上に並列に６列設けられ、各々直列に２列で配置されている。ＰＺＴ膜２１は、圧電素子を形成する薄膜の１つである。振動板１３の液室基板１２と反対側の面には、密着層が形成され、前記密着層の上に、下部電極、ＰＺＴ膜２１及び上部電極の薄膜を積層してなる圧電素子が設けられる。前記下部電極および上部電極は、ＰＺＴ膜２１に電気的入力を行う電極である。ＰＺＴ膜２１は、前記下部電極および上部電極による電気的入力を機械的な変形に変換する。
【００１７】
インク供給基板１４は、振動板１３の液室基板１２側とは反対側の面上に設けられ、内側に凹状に形成されたＰＺＴ膜２１を収容するための収容部１４ａが各液室１８に対応して設けられている。インク供給基板１４は、振動板１３に例えば接着剤等により接合して設けられている。インク供給基板１４は、例えば、樹脂、シリコン基板、金属、又はガラスなどで形成される。インク供給基板１４を形成する材料としては、好ましくは比較的安く、加工精度もあり、かつ熱膨張率が液室基板１２、振動板１３と同程度であり、厚さも比較的自由に選択することが可能であるなどの観点からガラスを用いるのが好ましい。
【００１８】
ＰＺＴ膜２１は、振動板１３の液室基板１２側とは反対側の面上であって収容部１４ａ内に、各液室１８に対応して設けられている。ＰＺＴとはジルコン酸鉛(ＰｂＺｒＯ３)とチタン酸鉛(ＰｂＴｉＯ３)の固溶体であり、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成は、ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率が５３：４７の割合で、化学式で示すとＰｂ（Ｚｒ０．５３，Ｔｉ０．４７）Ｏ３、一般にＰＺＴ（５３／４７）と示される。酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物の出発材料は、この化学式に従って秤量される。ＰＺＴは、酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させ均一溶液を作製し、ＰＺＴ前駆体溶液を得る。また、金属アルコキシド化合物は大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、ＰＺＴ前駆体溶液に安定剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどの安定剤を適量、添加してもよい。
【００１９】
ＰＺＴ以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。
【００２０】
下地となる基板全面にＰＺＴ膜を得る場合、スピンコートなどの溶液塗布法により塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施す。塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うので、クラックフリーなＰＺＴ膜２１を得るには一度の工程で１００ｎｍ以下の膜厚が得られるように前駆体濃度の調整が必要になる。ＰＺＴ膜２１の膜厚は１μｍから２μｍが要求される。スピンコートなどの溶液塗布法により１μｍから２μｍのＰＺＴ膜２１の膜厚を得るにはスピンコートなどを十数回繰り返し行う。
【００２１】
インク供給基板１４は、ＰＺＴ膜２１同士の間に天板１５側から振動版１３側に貫通（図１中、Ｚ軸方向）した開口部２２を有する。開口部２２の幅方向Ｙの長さは、並列に配置される液室１８の数に応じて調整される。図２に示すように、直列に配置された液室１８−１、１８−２は、Ｙ方向に並列に長く配置されているため、図３に示すように、開口部２２もＹ軸方向に並列に配置される液室１８の数に応じてＹ方向に長く形成されている。
【００２２】
天板１５は、インク供給基板１４の上面側に設けられ、内側に凹状に形成された駆動ＩＣ２３を収容するための収容部１５ａを有する。天板１５は、開口部２２と対応するように、収容部１５ａから外部に貫通した封止口２４を有する。駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４の上面側に固定されている。天板１５および駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４に接合されている。
【００２３】
駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４上にワイヤーボンディングで実装されており、駆動ＩＣ２３とＰＺＴ膜２１の電極（図示していない）とはワイヤー２５により接続されている。駆動ＩＣ２３と接続されたワイヤー２５は、収容部１５ａから開口部２２を通過して振動板１３に接続される。ワイヤー２５により駆動ＩＣ２３からＰＺＴ膜２１に電圧などの入力情報が伝達される。
【００２４】
封止口２４から封止材が注入される。封止材としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが挙げられる。開口部２２と収容部１５ａとを封止材で封止することで、外部から温度、湿度、応力などの影響からワイヤー２５と電極（図示していない）との接続を安定に保つ。
【００２５】
天板１５は、インク供給基板１４と連通するように天板１５の両端部両側で流入口２６、流出口２７と連通している。
【００２６】
液滴吐出ヘッド１０Ａは、ノズル板１１と液室基板１２と振動板１３とインク供給基板１４とにより、インクＩが液室１８に供給される液体供給通路２８を有すると共に、複数の液室１８からインクＩを排出する液体排出通路２９を有する。本実施形態では、液体供給通路２８と液体排出通路２９とによりインクＩを循環させる循環流路３０が形成される。循環流路３０は、液体供給通路２８から並列に配置された複数の液室１８を通過した後、液体排出通路２９からインクＩを排出する。具体的には、インクＩは、図示しない供給タンクからポンプなどの圧力制御手段により一定の圧力で流入口２６に送り込まれる。インクＩは、循環流路３０を矢印Ｃ方向に循環する。インクＩは、流入口２６から液体供給通路２８を通過し、図２中、矢印Ｄ、Ｅに示すように、並列に配置された各液室１８−１に供給された後、各液室１８−１の後流側に直列に設けられている各々の液室１８−２を通過する。その後、図２中、矢印Ｆに示すように、各液室１８−２を通過したインクＩは、液体排出通路２９を通過し、流出口２７から排出される。流出口２７から排出されたインクＩは、図示していないポンプなどの圧力制御手段により、一定の圧力で前記供給タンクに循環させる。この供給タンクに供給されたインクＩは、再度、流入口２６に供給され、流出口２７から循環流路３０を循環する。
【００２７】
画像を記録するための電気信号が駆動ＩＣ２３に入力されると、ＰＺＴ膜２１に電圧が印加され、振動板１３を変位させる。この振動板１３の変位により、液室１８内の圧力を変化させ、インク滴をノズル１６より吐出する。
【００２８】
直列に配置された液室１８−１と液室１８−２とを連通する連通流路３２は、流路幅を狭く形成した流体抵抗部材３３を有する。流体抵抗部材３３は、連通流路３２の流路幅を狭くしているため、液室１８−１から液室１８−２に流れるインクＩの流れの抵抗を高くしている。このため、液室１８−１から液室１８−２に流れるインクＩの吐出効率を向上させることができる。また、ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室１８−１、１８−２内に発生する圧力が各々の液室１８−１、１８−２に影響を与えることを抑制し、液室１８−１、１８−２内における圧力変動を緩和でき、クロストークを抑制することができる。
【００２９】
インクＩの供給は循環流としているため、インクＩは、円滑に液室１８−１、１８−２内に供給することができるため、吐出する応答周波数も高く設定することができる。また、気泡やごみなどの異物によってノズル１６からインクＩが不吐出となるなど急な不具合が生じても、インクＩの供給は循環流としているため、ノズル１６に詰まった異物を速やかに回収し、ノズル１６を吐出状態に回復することができる。さらに、液体供給通路２８からインクＩを連続的に供給し、インクＩの循環流を形成することにより、ノズル１６の前後においても循環流が形成されているため、ノズル１６から空気をインクＩに引き込んでインクＩ内に発生する空気を除去することができると共に、発生する熱を放散することができる。
【００３０】
このように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、並列に設けた複数の液室１８−１に更に直列に液室１８−２を設けるようにしている。液体供給通路２８に並列に複数設けた液室１８を、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向Ｘに複数設ける場合、長さ方向Ｘに設けた液室１８ごとに液体供給通路２８および液体排出通路２９を設ける必要がある。そのため、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向Ｘに設けた液室１８ごとに要する液体供給通路２８および液体排出通路２９の面積の分だけ液滴吐出ヘッドに設置面積が必要になる。これに対し、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、並列に設けた複数の液室１８に更に直列に液室１８を設けているため、液体供給通路２８および液体排出通路２９を１つ設けるだけで足りる。
【００３１】
このため、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａによれば、並列に設けた複数の液室１８−１に更に直列に液室１８−２を設けることで、並列に設けた複数の液室１８−１ごとに液体供給通路２８および液体排出通路２９を設ける必要がないため、単位面積当たりに設けられる液室１８を増加することができると共に、更なる小型化を図ることができる。また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、液滴吐出ヘッド１０Ａを小型にすることで、コストの低減を図ることができる。さらに、複数の液室１８に対して液体供給通路２８および液体排出通路２９が１つで足りるため、全ての液室１８にインクＩを循環させるために要するインクＩの流通量を減少させることができる。したがって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、高密度に液室及びノズルが配置できるので、小型としてコストを低減しつつ、集積度が高く、高速、高画質の液滴吐出ヘッドとすることができる。
【００３２】
また、インクＩの供給を循環流とすることで、異物、気泡に起因してノズル１６からインクＩが不吐出となることを抑制することができ、インクＩの不吐出が発生しても速やかに回復することができるため、安定して高画質での印刷が可能となり、インクジェットプリンタとしての信頼性を維持することができると共に、高速化を図ることができる。
【００３３】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、液室１８−１、１８−２同士の間に流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設けるようにしているが、本実施形態はこれに限定されるものではない。図４は、液滴吐出ヘッドの他の構成における図１中のＡ−Ａ断面図である。図４に示すように、液室１８−１の前流側と、液室１８−２の後流側とに、流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設けるようにしてもよい。液室１８−１の前流側および液室１８−２の後流側に流体抵抗部材３３を設けることにより、ＰＺＴ膜２１により液室１８内に発生する圧力を効率よくインクＩの吐出に使用することができる。
【００３４】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、流入口２６から供給されたインクＩを流出口２７から排出して循環流路３０を形成し、インクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。図５は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図であり、図６は、図５中、Ａ−Ａ断面図である。図５、６に示すように、液室１８−１の前流側に、更に流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設ける。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、連通流路３２、液室１８−１、連通流路３２、液室１８−２の順に供給される。各液室１８−１、１８−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。
【００３５】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、液室１８を２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液室１８を２つ以上設けるようにしてもよい。図７は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図７に示すように、液室１８−１〜１８−４を設けるようにしてもよい。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、連通流路３２、液室１８−１、連通流路３２、液室１８−２、連通流路３２、液室１８−３、連通流路３２、液室１８−４の順に供給される。これにより、ノズルを更に高集積に配置し、小型にすることができると共に、高画質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。
【００３６】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図７で例示した液滴吐出ヘッド１０Ａの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図８は、本発明の第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図であり、図９は、図８中のＡ−Ａ断面図である。図８、９に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂは、インク供給基板１４の振動板１３との反対側にインク供給基板１４と接合する緩衝板４１を設けている。緩衝板４１は、インク供給基板１４に接着して固定されている。緩衝板４１は、樹脂などを用いて形成されたものである。樹脂は弾性を有するため、緩衝板４１として樹脂などを用いることで、液室１８−１、１８−２内でインクＩに圧力が加わった際、インクＩがインク溜め部４２に伝播されると、インクＩに加わった圧力を吸収できる。緩衝板４１を形成するために用いる材料としては、延伸部材であれば特に限定されるものではないが、緩衝板４１を形成するのに樹脂を用いる場合、樹脂としては、延伸部材であって、耐熱性、耐薬品性のあるポリイミドを樹脂材料として用いるのが好ましい。インク供給基板１４には、ＰＺＴ膜２１同士の間の開口部２２とその一部が緩衝板４１で形成されたインク溜め部（液体溜め部）４２が形成されている。
【００３７】
連通流路３２は、インク溜め部４２を更に有し、流体抵抗部材４３は液室基板１２のインク溜め部４２内に設けられる。本実施形態では、インクＩは液室１８−１を通り、流体抵抗部材４３により流路が変更されてインク溜め部４２を通り、さらに液室１８−２を通過した後、液体排出通路２９を通過して流出口２７から排出される。
【００３８】
駆動ＩＣ２３は緩衝板４１上に設けられている。インク供給基板１４は、ＰＺＴ膜２１のインク溜め部４２とは反対側の位置に開口部４４を有する。駆動ＩＣ２３はワイヤー２５により配線実装される。駆動ＩＣ２３はワイヤー２５により開口部４４から露出している振動板１３と接続されている。
【００３９】
ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室基板１２内のインクＩは流体抵抗部材４３によりインク溜め部４２側に流れる。緩衝板４１は樹脂等の柔軟な部材で構成されているため、インク溜め部４２に流入したインクＩは緩衝板４１により、インクＩの圧力が緩衝される。これにより、インク溜め部４２から流出するインクＩの圧力は、インク溜め部４２に流入したときよりも弱められる。このため、インク溜め部４２と緩衝板４１は、ＰＺＴ膜２１を駆動したときに液室１８−１、１８−２内に発生する圧力がそれぞれの液室１８−１、１８−２に与える影響を抑制し、液室１８−１、１８−２内における圧力変動を緩和でき、クロストークを抑制することができる。
【００４０】
よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂによれば、ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室１８−１、１８−２内で発生するインクＩの圧力は流体抵抗部材４３によりインク溜め部４２側に伝播させ、緩衝板４１により緩衝することができるので、液室１８−１内で発生するインクＩの圧力が、液室１８−２に与える影響を抑制することができると共に、液室１８−２内で発生するインクＩの圧力が液室１８−１に与える影響を抑制し、クロストークを抑制することができる。
【００４１】
実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂにおいては、液室１８を２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液室１８を２つ以上設けるようにしてもよい。図１０は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１０に示すように、液室１８を４つ直列に設けるようにしてもよい。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、液室１８−１、インク溜め部４２、液室１８−２、インク溜め部４２、液室１８−３、インク溜め部４２、液室１８−４の順に供給される。これにより、ノズルを更に高集積に配置し、小型にすることができると共に、高画質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。
【００４２】
［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態および第２の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１０で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態および第２の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１１は、本発明の第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッド構成を簡略に示す断面図であり、図１２は、液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。図１１、１２に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、図１に示す第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａが液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けたものである。即ち、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとを有し、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂは、液体供給通路２８を介して対向するように設けるものである。第１の液室１８Ａは、液室１８Ａ−１と液室１８Ａ−２とを直列に配置して構成され、第２の液室１８Ｂは、液室１８Ｂ−１と液室１８Ｂ−２とを直列に配置して構成されている。
【００４３】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、天板１５の中央部にインクＩの流入口２６を設けると共に、天板１５の両側に流出口２７を設けている。これにより、流入口２６から供給されたインクＩが液体供給通路２８から第１の液室１８Ａを通過して流出口２７から排出される循環流路３０−１と、インクＩが液体供給通路２８から第２の液室１８Ｂを通過して流出口２７から排出される循環流路３０−２とを形成した。液体供給通路２８に供給されたインクＩは、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとに各々分割して供給される。これにより、多数の第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂをコンパクトに形成でき、１つの液体供給通路２８からインクＩを第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとに効率よく供給することができる。よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１によれば、ノズルの集積度を向上させることができ、更に小型とすることができ、製造コストを低減することができると共に、高集積化が可能となり、画質向上、高速化が可能となる。
【００４４】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、流入口２６から供給されたインクＩを流出口２７から排出して循環流路３０−１、３０−２を形成し、インクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。図１３は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１３に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１では、流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた液室１８Ａ−１、１８Ｂ−１に供給される。液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ａ−１、連通流路３２、液室１８Ａ−２の順に供給される。各液室１８Ａ−１、１８Ａ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。一方、液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ｂ−１、連通流路３２、液室１８Ｂ−２の順に供給され、各液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。
【００４５】
また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、図１に示す第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａを液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではない。図１４は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１４に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−２のように、図８に示す第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂを液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けるようにしてもよい。
【００４６】
［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態ないし第３の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１４で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第３の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１５は、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。図１５に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄは、１つの液体供給通路２８に対し、片側に設けた複数の第１の液室１８Ａを千鳥状に配置したものである。第２の液室１８Ｂについても、同様に、複数の第２の液室１８Ｂを千鳥状に配置してもよい。第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士の間隔、第２の液室１８Ｂにおける液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２のノズル１６同士の間隔をＬ１とする。従来の液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図を図１６に示す。図１６に示すように、従来の液滴吐出ヘッドでは、液体供給通路２８に対して液室１８が並列に複数設けられており、各々の液室１８のノズル１６同士の間隔をＬ２とする。
【００４７】
液体供給通路２８に対して一方に設けられる第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士または第２の液室１８Ｂのノズル１６同士の間隔Ｌ１を従来の液滴吐出ヘッドの液室１８のノズル１６同士の間隔Ｌ２の１／２程度の大きさにすることができるため、配置されるノズル１６の集積度を２倍に向上させることができる。
【００４８】
よって、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドによれば、第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士または第２の液室１８Ｂにおける液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２のノズル１６同士の間隔Ｌ１を、従来の液滴吐出ヘッドの液室１８のノズル１６同士の間隔Ｌ２より小さくすることができるため、配置されるノズル１６の集積度を更に向上させることができる。
【００４９】
また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、複数の第１の液室１８Ａと複数の第２の液室１８Ｂとを液体供給通路２８を介して対向して並列に設けているが、本実施形態はこれに限定されるものではない。図１７は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の配置の他の一例を示す図である。図１７に示すように、１つの液体供給通路２８に対し、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとを千鳥状に配置してもよい。
【００５０】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄにおいては、液体供給通路２８に供給されたインクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。このとき、液体供給通路２８に供給されたインクＩは並列に設けられた液室１８Ａ−１、１８Ｂ−１に供給される。液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ａ−１、連通流路３２、液室１８Ａ−２の順に供給される。各液室１８Ａ−１、１８Ａ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。一方、液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ｂ−１、連通流路３２、液室１８Ｂ−２の順に供給され、各液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。
【００５１】
本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄにおいては、液体供給通路２８に供給されたインクＩを液室１８Ａ、１８Ｂの両方に供給するようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄは、図１に示す本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのように、液室１８を１つのみとし、液体供給通路２８に供給されたインクＩを液室１８Ａまたは１８Ｂの一方のみに供給するようにしてもよい。
【００５２】
［第５の実施形態］
本発明の第５の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態ないし第４の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１７で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第４の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１８は、本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す図である。図１８に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｅは、インク供給基板１４の開口部２２内であって、振動板１３上に、ＰＺＴ膜２１を駆動する駆動ＩＣ２３がフリップチップ実装されている。具体的には、インク供給基板１４の中央部の開口部２２に、駆動ＩＣ２３が設けられている。駆動ＩＣ２３にはフリップチップ実装に必要なバンプ４５が金メッキなどで形成され、振動板１３には駆動ＩＣ２３のバンプ４５と対応する位置に同様のバンプが形成されて駆動ＩＣ２３はフリップチップ接合されている。
【００５３】
駆動ＩＣ２３を振動板１３の上に設けることで、天板１５の厚さ（Ｚ軸方向）を小さくすることができる。また、天板１５の厚さを小さくすることができるため、循環流路３０の長さを短くすることができる。
【００５４】
よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｅによれば、駆動ＩＣ２３を振動板１３の上に設けることで、天板１５の厚さ（Ｚ軸方向）を小さくすることができると共に、天板１５の厚さを小さくすることができるため、循環流路３０の長さを短くすることができ、更なる小型化を図ることができると共に、コストを低減することができる。
【００５５】
［第６の実施形態］
本発明の第６の実施形態に係るインクジェット記録装置を説明する。なお、インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットは、第１の実施形態ないし第５の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１８で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第５の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１９は、本実施形態にかかるインクジェットを搭載したインクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。図１９に示すように、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０は、装置本体５１と、装置本体５１に装着した、記録媒体である用紙を装填するための給紙トレイ５２と、画像が記録（形成）された用紙をストックするための排紙トレイ５３とを有している。
【００５６】
更に、装置本体５１の前面５４の一端部側には、前面５４から前方側に突き出し、上面５５よりも低くなったカートリッジ装填部５６を有し、このカートリッジ装填部５６の上面に操作キーや表示器などの操作部５７を配置している。カートリッジ装填部５６には、液体保管用タンク（メインタンク）であるインクカートリッジ５８の脱着を行うための開閉可能な前カバー５９を有している。
【００５７】
次に、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０の機構部について、図２０、２１を参照して説明する。なお、図２０は、インクジェット記録装置５０の機構部の全体構成を示す概略構成図であり、図２１は、インクジェット記録装置５０の機構部の要部を示す平面図である。両図において、図１９と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。
【００５８】
図２０、２１に示すように、キャリッジ６１は、左右の側板（図示せず）に横架したガイド部材であるガイドロッド６２とステー６３とで主走査方向（キャリッジ走査方向）に摺動自在に保持され、主走査モータ（図示せず）によって図２１の矢示方向に移動走査する。
【００５９】
キャリッジ６１には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する４個の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド６４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。
【００６０】
記録ヘッド６４を構成する液滴吐出ヘッドとしては、上述の第１の実施形態ないし第５の実施形態に係る液滴吐出ヘッドが用いられ、圧電素子などの圧電アクチュエータをエネルギー発生手段に用いたヘッドが搭載されている。すなわち、記録ヘッド６４は、並列に設けた複数の液室に更に直列に液室を設けている。これにより、並列に設けた複数の液室ごとに液体排出通路を設ける必要がないため、各液体排出通路を設けることで要する循環流路を流れるインクの流通量を減少することができる。また、記録ヘッド６４は、単位面積当たりで更に多数の個別の液室を有することができると共に、更なる小型化を図ることができ、コストの低減を図ることが可能となる。また、本実施形態は、これに限定されるものではなく、圧電素子などの圧電アクチュエータの他に、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどの、インク滴を吐出するためのエネルギー発生手段として備えたものなどを使用できる。また、記録ヘッド６４としては各色の液滴を吐出するための複数のノズル列を有する１つの液滴吐出ヘッドで構成することもできる。
【００６１】
また、キャリッジ６１には、記録ヘッド６４に各色のインクを供給するための各色の液体容器であるサブタンク６５を搭載している。サブタンク６５にはインク供給チューブ６６を介して前述した各色のメインタンクであるインクカートリッジ５８からインクが補充供給される。
【００６２】
ここで、インクカートリッジ５８は、それぞれ各色に対応してイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインクを収容しているが、ブラックインクを収容するインクカートリッジ５８は、他のカラーインクを収容するインクカートリッジ５８よりもインクの収容容量を大きくしている。
【００６３】
一方、排紙トレイ５３の用紙積載部（圧板）６７上に積載した用紙６８を給紙するための給紙部として、用紙積載部６７から用紙６８を１枚づつ分離給送する給紙コロ（半月コロ）６９及び給紙コロ６９に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド７０を備え、この分離パッド７０は給紙コロ６９側に付勢されている。
【００６４】
そして、この給紙部から給紙された用紙６８を記録ヘッド６４の下方側で搬送するための搬送部として、用紙６８を静電吸着して搬送するための搬送ベルト７１と、給紙部からガイド７２を介して送られる用紙６８を搬送ベルト７１との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ７３と、略鉛直上方に送られる用紙６８を略９０°方向転換させて搬送ベルト７１上に倣わせるための搬送ガイド７４と、押さえ部材７５で搬送ベルト７１側に付勢された先端加圧コロ７６とを備えている。また、搬送ベルト７１表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ７７を備えている。
【００６５】
ここで、搬送ベルト７１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ７８とテンションローラ７９との間に掛け渡されて、図２１のベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。
【００６６】
帯電ローラ７７は、搬送ベルト７１の表層に接触し、搬送ベルト７１の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。また、搬送ベルト７１の裏側には、装置本体５１の機内の湿度を検出する湿度センサ８０と、記録ヘッド６４による印写領域に対応してガイド部材８１を配置している。
【００６７】
ガイド部材８１は、上面が搬送ベルト７１を支持する２つのローラ（搬送ローラ７８とテンションローラ７９）の接線よりも記録ヘッド６４側に突出している。これにより、搬送ベルト７１は印写領域ではガイド部材８１の上面にて押し上げられてガイドされるので、高精度な平面性が維持される。
【００６８】
更に、ガイド部材８１の搬送ベルト７１の裏面と接触する面側には、主走査方向、すなわち搬送方向と直交する方向に複数の溝を形成して、搬送ベルト７１との接触面積を少なくし、搬送ベルト７１がスムーズにガイド部材８１の表面に沿って移動できるようにしている。
【００６９】
また、記録ヘッド６４で記録された用紙６８を排紙するための排紙部として、搬送ベルト７１から用紙６８を分離するための分離爪８２と、排紙ローラ８３及び排紙コロ８４とを備え、排紙ローラ８３の下方に排紙トレイ５３を備えている。ここで、排紙ローラ８３と排紙コロ８４との間から排紙トレイ５３までの高さは排紙トレイ５３にストックできる量を多くするためにある程度高くしている。
【００７０】
更に、装置本体５１の背面部には両面給紙ユニット８５が着脱自在に装着されている。両面給紙ユニット８５は搬送ベルト７１の逆方向回転で戻される用紙６８を取り込んで反転させて再度カウンタローラ７３と搬送ベルト７１との間に給紙する。また、両面給紙ユニット８５の上面には手差し給紙部８６を設けている。
【００７１】
また、図２１に示すように、キャリッジ６１の走査方向片側の非印字領域には、記録ヘッド６４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構（以下「サブシステム」という）８７が配置されている。
【００７２】
サブシステム８７には、記録ヘッド６４のノズル面をキャッピングするためのキャップ部材８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄと、ノズル面をワイピングするためのワイパーブレード８９等とを備えている。
【００７３】
なお、サブシステム８７では、記録領域側に最も近いキャップ部材８８ａを吸引ポンプ（図示しない）に接続した吸引及び保湿キャップとし、他のキャップ部材８８ｂ、８８ｃ、８８ｄは単なる保湿キャップとしている。
【００７４】
更に、キャリッジ６１の主走査方向の逆側非印字領域には、記録動作中に不使用ノズル内部のインクが乾燥し、吐出不良となることを未然に防ぐことを目的とした印字中空吐出動作の受け皿となり、記録ヘッド６４の各ノズルに対応して設けられているスリット９０を有する空吐出受け機構９１が配置されている。
【００７５】
このように構成した本実施形態に係るインクジェット記録装置５０においては、給紙トレイ５２から用紙６８が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙６８はガイド７２で案内され、搬送ベルト７１とカウンタローラ７３との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド７４で案内されて先端加圧コロ７６で搬送ベルト７１に押し付けられ、略９０°搬送方向が転換される。
【００７６】
このとき、制御回路（図示しない）によって高圧電源から帯電ローラ７７に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト７１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。
【００７７】
このプラス、マイナスを交互に帯電した搬送ベルト７１上に用紙６８が給送されると、用紙６８が搬送ベルト７１に静電的に吸着され、搬送ベルト７１の周回移動によって用紙６８が副走査方向に搬送される。
【００７８】
そこで、キャリッジ６１を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド６４を駆動することにより、停止している用紙６８にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙６８を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙６８の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙６８を排紙トレイ５３に排紙する。
【００７９】
また、印字（記録）待機中にはキャリッジ６１はサブシステム８７側に移動されて、キャップ部材８８ａ〜８８ｄで記録ヘッド６４をキャッピングし、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止し、また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインク滴を吐出する回復動作を行って安定した吐出性能を維持する。
【００８０】
なお、この回復動作を行うときにはキャップ部材８８ａのみが吸引キャップであるので、このキャップ部材８８ａの位置に目的とする記録ヘッド６４を移動してキャッピングする。
【００８１】
更に、負圧レバー位置検出センサ９２は、サブタンク６５の負圧状態を負圧状態表示手段としての負圧レバー９３の変位として負圧レバー９３の検知端９３ａを検出する。なお、負圧レバー位置検出センサ９２はフォトインタラプタであってもよく、これにより負圧レバー９３の存在を検出することができる。
【００８２】
負圧レバー位置検出センサ９２が負圧レバー９３の検知端９３ａを検出する仕組みは、以下のとおりである。キャリッジ６１の位置情報を検出する図示されていないシステム、すなわちエンコーダとフォトインタラプタなどの組合せによって、負圧レバー位置検出センサ９２によって負圧レバー９３の検知端９３ａを検出したときのキャリッジの位置情報に基づいて負圧レバー９３の位置を検出することができる。
【００８３】
このように、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０では、記録ヘッド６４は単位面積当たりにおける液室を更に増大させ、更なる小型化を図り、コストの低減を図ることができると共に、用いるインクの流量を減少することができる。したがって、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０は、記録ヘッド６４として上述の第１の実施形態ないし第５の実施形態に係る液滴吐出ヘッドを搭載することにより、小型であり、高速、かつ高画質な印刷を可能とし、使用者の使い勝手の良いインクジェット記録装置を実現できる。
【００８４】
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、オフィスやパーソナルで使用するプリンタの場合について説明したが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、例えば、イメージスキャナ、ファクシミリ、産業用や商業用として使用される高速デジタル印刷機、複写機（MultiFunction  Printer/Product/Peripheral；ＭＦＰ)、インクジェット技術を使った３次元造形機などに用いることができる。
【符号の説明】
【００８５】
１０Ａ〜１０Ｅ  液滴吐出ヘッド
１１  ノズル板
１２  液室基板
１３  振動板
１４  液体供給基板（インク供給基板）
１５  天板
１６  ノズル
１７  隔壁
１８  液室
２１  ＰＺＴ膜（電気機械変換素子）
２２、４４  開口部
２３  駆動ＩＣ
２４  封止口
２５  ワイヤー
２６  流入口
２７  流出口
２８  液体供給通路
２９  液体排出通路
３０  循環流路
３２  連通流路
３３、４４  流体抵抗部材
４１  緩衝板
４２  インク溜め部（液体溜め部）
４５  バンプ
５０  インクジェット記録装置
５１  装置本体
５２  給紙トレイ
５３  排紙トレイ
５４  前面
５５  上面
５６  カートリッジ装填部
５７  操作部
５８  インクカートリッジ
５９  前カバー
６１  キャリッジ
６２  ガイドロッド
６３  ステー
６４  記録ヘッド
６５  サブタンク
６６  インク供給チューブ
６７  用紙積載部（圧板）
６８  用紙
６９  給紙コロ（半月コロ）
７０  分離パッド
７１  搬送ベルト
７２  ガイド
７３  カウンタローラ
７４  搬送ガイド
７５  押さえ部材
７６  先端加圧コロ
７７  帯電ローラ
７８  搬送ローラ
７９  テンションローラ
８０  湿度センサ
８１  ガイド部材
８２  分離爪
８３  排紙ローラ
８４  排紙コロ
８５  両面給紙ユニット
８６  手差し給紙部
８７  維持回復機構（サブシステム）
８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ  キャップ部材
８９  ワイパーブレード
９０  スリット
９１  空吐出受け機構
９２  負圧レバー位置検出センサ
９３  負圧レバー
９３ａ  検知端
Ｉ  インク
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８６】
【特許文献１】特開２００３−１８１８号公報
【特許文献２】特開２００９−１４３１６８号公報
【図１】
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【図２】
2012061717.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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