(57)【要約】【課題】現在進行中のワークの搬送行程を表示し、搬送装置の停止からの復旧処理を柔軟に行うことができる表示装置及び搬送システムを提供する。【解決手段】タッチパネルは、基板Ｗを搬送する搬送装置の動作状態を表示する表示装置であって、搬送装置は、基板Ｗを支持し駆動するワーク駆動部を複数備え、各ワーク駆動部の協働により基板Ｗを移動させるものであり、搬送装置による基板Ｗの搬送行程に含まれる行程を、第１〜第５ブロックとして設定すると共に、どのブロックが搬送装置で現在進行中であるかを表示し、更に同時に、現在進行中のブロックにおける更に詳細な進行状況として、ワーク駆動部の各動作を１動作ごとに表示する。【選択図】図３
2012174786.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送する搬送装置の動作状態を表示する表示装置であって、
前記搬送装置は、前記ワークを支持し駆動するワーク駆動部を複数備え、各ワーク駆動部の協働により前記ワークを移動させるものであり、
前記搬送装置による前記ワークの搬送行程に含まれる行程を、所定の分類で分類して設定すると共に、分類設定された前記行程のうち何れの行程が前記搬送装置で現在進行中であるかを表示し、
更に同時に、前記現在進行中の行程における更に詳細な進行状況として、前記ワーク駆動部の各動作を１動作ごとに表示することを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表示装置と、前記搬送装置と、を備え、
前記表示装置は、
ユーザによる指示入力を受け付け、前記搬送行程における前記ワーク駆動部の各動作を、１動作ずつ前記ワーク駆動部に実行させるステップ実行指示部を、有することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
前記表示装置は、
ユーザによる指示入力を受け付け、前記搬送行程における前記ワーク駆動部の各動作と逆の動作を、１動作ずつ逆順で前記ワーク駆動部に実行させる逆順ステップ実行指示部を、更に有することを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記表示装置は、
前記搬送装置における搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、
前記ユーザの操作を前記指示入力として受け付ける操作受付手段と、を備えたことを特徴とする請求項２又は３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記表示装置は、前記ディスプレイ画面と前記操作受付手段とを含むタッチパネルディスプレイ装置を有し、
前記ステップ実行指示部は、
前記タッチパネルディスプレイ装置に画面表示されたタッチ入力部であり、タッチ入力によって前記指示入力を受け付けることを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
請求項２〜５の何れか１項に記載の搬送システムと、
前記搬送システムで搬送されるワークに対向して、マスクを保持し駆動するマスク駆動部と、
前記マスクを通じて前記ワークに照射光を照射する照射部と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置、搬送システム及び露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術として、下記特許文献１に記載の技術が知られている。この文献の露光装置は、基板を浮上させて支持すると共に、所定方向に搬送する基板搬送機構と、複数のマスクをそれぞれ保持し、所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に二列配置された複数のマスク保持部と、マスク保持部を駆動するマスク駆動部と、複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部と、スキャン露光装置の各作動部分の動作を制御する制御部と、を主に備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２６２２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の露光装置に用いられる基板搬送装置は、基板を水平に搬送するのみならず、基板の位置合わせ等の機能も有しており、基板を駆動するための各駆動部が所定の手順で複雑な動作を行うことで、基板の搬送・位置合わせ等を実現している。しかも、露光装置では、基板が連続的に搬送され複数の基板が装置内に滞留している状態である。従って、例えば、何らかのエラーによって搬送装置が停止した場合などは、停止時における駆動部の状態を把握することが難しく、復旧処理を柔軟に行うことはできない。すなわち、基板を搬送下流側に排出するといった画一的な復旧処理を行うしかなく、基板の無駄が発生する場合もある。
【０００５】
本発明は、現在進行中のワークの搬送行程を表示し、搬送装置の停止からの復旧処理を柔軟に行うことができる表示装置、搬送システム及び露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の表示装置は、ワークを搬送する搬送装置の動作状態を表示する表示装置であって、搬送装置は、ワークを支持し駆動するワーク駆動部を複数備え、各ワーク駆動部の協働によりワークを移動させるものであり、搬送装置によるワークの搬送行程に含まれる行程を、所定の分類で分類して設定すると共に、分類設定された行程のうち何れの行程が搬送装置で現在進行中であるかを表示し、更に同時に、現在進行中の行程における更に詳細な進行状況として、ワーク駆動部の各動作を１動作ごとに表示することを特徴とする。
【０００７】
この表示装置が用いられる搬送装置では、複数のワーク駆動部の協働でワークが移動される。そして、表示装置には、搬送装置における現在進行中の行程が表示され、更に同時に、現在進行中の行程におけるワーク駆動部の各動作が１動作ごとに表示される。よって、ワーク駆動部の動作ごとの単位で搬送行程の進行状況を細かく把握することができる。従って、例えば、何らかのエラーにより搬送装置が停止した場合においても、停止時における搬送行程の進行状態を把握することができ、当該停止時における進行状況に応じて柔軟な復旧処理が可能になる。
【０００８】
本発明の搬送システムは、上記の表示装置と、搬送装置と、を備え、表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、搬送行程におけるワーク駆動部の各動作を、１動作ずつワーク駆動部に実行させるステップ実行指示部を、有することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、例えば、搬送装置の停止からの復旧処理において、ユーザは、ステップ実行指示部からの指示入力によって、ワーク駆動部の１動作ずつ行程を進め、搬送システムを所望の状態まで進めて搬送処理を再開させることができる。従って、搬送装置の柔軟な復旧処理が可能になる。
【００１０】
また、表示装置は、ユーザによる指示入力を受け付け、搬送行程におけるワーク駆動部の各動作と逆の動作を、１動作ずつ逆順でワーク駆動部に実行させる逆順ステップ実行指示部を、更に有することとしてもよい。
【００１１】
この構成によれば、例えば、搬送装置の停止からの復旧処理において、ユーザは、ステップ実行指示部からの指示入力によって、ワーク駆動部の１動作ずつ行程を戻し、搬送システムを所望の状態まで戻して搬送処理を再開させることもできる。従って、搬送装置の更に柔軟な復旧処理が可能になる。
【００１２】
また、表示装置は、搬送装置における搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、ユーザの操作を指示入力として受け付ける操作受付手段と、を備えたこととしてもよい。
【００１３】
また、表示装置は、ディスプレイ画面と操作受付手段とを含むタッチパネルディスプレイ装置を有し、ステップ実行指示部は、タッチパネルディスプレイ装置に画面表示されたタッチ入力部であり、タッチ入力によって指示入力を受け付けることとしてもよい。表示装置にタッチパネルディスプレイ装置を用いることにより、画面のタッチ入力による容易な操作が可能になる。
【００１４】
本発明の露光装置は、上記の何れかの搬送システムと、搬送システムで搬送されるワークに対向して、マスクを保持し駆動するマスク駆動部と、マスクを通じてワークに照射光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の表示装置、搬送システム及び露光装置によれば、現在進行中のワークの搬送行程を表示し、搬送装置の停止からの復旧処理を柔軟に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の露光装置の一例を示す側面図である。
【図２】図１の露光装置が備える搬送システムを示すブロック図である。
【図３】図２のタッチパネルディスプレイ装置の画面表示を示す図である。
【図４】図２のタッチパネルディスプレイ装置の他の画面表示を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る表示装置、搬送システム及び露光装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の露光装置１００を示す側面図である。なお、図に示すように、Ｚ軸を鉛直軸としＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ座標系を設定し、Ｘ、Ｙ、Ｚを便宜的に以下の説明に用いる場合がある。図に示すように、露光装置１００は、搬送システム１と、マスク駆動部３と、照射部５と、を備えている。搬送システム１は、基板（例えば、液晶ディスプレイ用基板としてのカラーフィルタ基板）Ｗを浮上させＸ方向に搬送する。搬送システム１は、例えば、吸排気エアパッド等からなる公知の浮上ユニット１ａ等を備える。
【００１９】
マスク駆動部３は、露光処理位置Ｐにおいて、基板Ｗに対向する露光マスクＭを駆動し、基板Ｗとの位置合わせを行う。照射部５は、マスク駆動部３の上方に配置されており、露光用の紫外線（照射光）Ｕを基板Ｗに照射する。搬送システム１で露光処理位置Ｐに搬送された基板Ｗに対し、照射部５からの紫外線がマスクＭを通して照射されることで、基板Ｗ上に配向部が形成される。マスク駆動部３及び照射部５としては、公知のものを採用すればよいので、マスク駆動部３及び照射部５についての更なる詳細な説明は省略する。
【００２０】
本実施形態の搬送システム１には、基板Ｗの搬送路に沿って上記のような露光処理位置Ｐが複数箇所（例えば４箇所）設定されており、それぞれの露光処理位置Ｐの上方にマスク駆動部３及び照射部５が設置されている。図１には、１箇所の露光処理位置Ｐのみを拡大して示しているが、他の露光処理装置Ｐも同等の構成を有しているので、他の露光処理装置Ｐについては図示を省略し、重複する説明を省略する。
【００２１】
図２に示すように、搬送システム１は、基板Ｗを実際に搬送する搬送装置７と、当該搬送装置７の動作状態を画面表示すると共に操作パネルとして機能するタッチパネルディスプレイ装置（表示装置）９と、搬送装置７及びタッチパネルディスプレイ装置（以下「タッチパネル」という）９の制御を行うコンピュータ１１と、を備えている。搬送装置７は、互いに協働して基板Ｗを駆動するワーク駆動部を複数備えている。具体的には、搬送装置７は、搬送軸ＷＸと、第１回動軸ＰＹ１と、露光搬送軸ＰＸと、第２回動軸ＰＹ２と、を主たるワーク駆動部として備えている。搬送軸ＷＸと、第１回動軸ＰＹ１と、露光搬送軸ＰＸと、第２回動軸ＰＹ２と、は、互いの間で基板Ｗを受け渡ししながら基板Ｗを搬送する。以下、搬送軸ＷＸ、第１回動軸ＰＹ１、露光搬送軸ＰＸ、及び第２回動軸ＰＹ２をはじめとして、協働して基板Ｗを駆動する駆動部分を総称して「ワーク駆動部」という。
【００２２】
搬送軸ＷＸは、基板Ｗを吸着により保持してＸ方向に移動することで基板ＷをＸ方向に搬送し、露光処理位置Ｐの直ぐ上流側の位置（以下、「第１ポジション」という）まで移動させる。第１回動軸ＰＹ１は、第１ポジションにおいて基板Ｗを吸着により保持し、基板Ｗを水平面上で回動させる。これにより、露光処理前における基板Ｗの回転位置（以下、「θ位置」という）の位置補正が行われる。露光搬送軸ＰＸは、基板Ｗを吸着により保持し、照射部５による紫外線照射中にＸ方向に移動することで、露光処理中の基板ＷをＸ方向に搬送する。これにより、基板ＷはＸ方向に移動しながら露光処理される。露光搬送軸ＰＸは、最終的に基板Ｗを露光処理位置Ｐの直ぐ下流側の位置（以下、「第２ポジション」という）まで移動する。
【００２３】
第２回動軸ＰＹ２は、第２ポジションにおいて基板Ｗを吸着により保持し、基板Ｗを水平面上で回動させる。これにより、後段の処理部に引き渡す前に、基板Ｗのθ位置の位置補正が行われる。ここで、後段の処理部とは、例えば、下流側の次の露光処理位置Ｐに設置された露光搬送軸ＰＸ等が該当する。そしてこの場合、第２回動軸ＰＹ２によるθ位置補正は、下流側の次の露光処理位置Ｐにおける露光処理前のθ位置補正である。第１回動軸ＰＹ１及び第２回動軸ＰＹ２としては、例えば、Ｙ方向に駆動する複数のアクチュエータを備えた構成を採用することができる。搬送軸ＷＸ、第１回動軸ＰＹ１、及び第２回動軸ＰＹ２は、それぞれ搬送路に向かって昇降し、上昇位置において搬送路上の基板Ｗを吸着保持し、下降位置に移動することで吸着保持を解除する。
【００２４】
更に、搬送装置７は、基板Ｗの一部位を下方から支持し基板Ｗの搬送をガイドするガイドローラ（図示せず）を複数有している。そして搬送装置７は、上記のようなガイドローラを上下させて搬送路上に出没させる複数のシリンダＣを有している。また、搬送装置７は、搬送路上の基板Ｗを検出し、基板Ｗの現在位置を検知可能とするセンサ類Ｓを有している。また、このセンサ類Ｓにより、基板Ｗの向き（搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるか）も検知可能である。また、センサ類Ｓには、基板Ｗの厚み等を検知する厚みセンサ等も含まれている。
【００２５】
以上の構成に基づき、搬送システム１では、各ワーク駆動部の以下のような動作によって、基板Ｗの搬送処理が行われる。
【００２６】
まず、搬送軸ＷＸで吸着保持された基板Ｗが、当該搬送軸ＷＸの移動によって、前段の処理部から第１ポジションに搬送される（以下「第１ステップ」という）。
次に、第１回動軸ＰＹ１が上昇する（以下「第２ステップ」という）。
次に、第１回動軸ＰＹ１が基板Ｗを吸着保持する（以下「第３ステップ」という）。
次に、搬送軸ＷＸが基板Ｗの吸着保持を解除する（以下「第４ステップ」という）。
次に、搬送軸ＷＸが下降する（以下「第５ステップ」という）。
次に、第１回動軸ＰＹ１が基板Ｗを回動させて露光処理前のθ位置補正を行う（以下「第６ステップ」という）。
【００２７】
次に、露光搬送軸ＰＸが基板Ｗを吸着保持する（以下「第７ステップ」という）。
次に、第１回動軸ＰＹ１が基板Ｗの吸着保持を解除する（以下「第８ステップ」という）。
次に、第１回動軸ＰＹ１が下降する（以下「第９ステップ」という）。
次に、露光搬送軸ＰＸが基板ＷをＸ方向に移動させる（以下「第１０ステップ」という）。この移動で基板Ｗは露光処理位置Ｐを通過し、移動中の基板Ｗに対して露光処理が行われる。基板Ｗは第２ポジションに到達する。
【００２８】
次に、第２回動軸ＰＹ２が上昇する（以下「第１１ステップ」という）。
次に、第２回動軸ＰＹ２が基板Ｗを吸着保持する（以下「第１２ステップ」という）。
次に、露光搬送軸ＰＸが基板Ｗの吸着保持を解除する（以下「第１３ステップ」という）。
次に、第２回動軸ＰＹ２が基板Ｗを回動させて露光処理前のθ位置補正を行い、その後、第２回動軸ＰＹ２から後段の搬送軸に基板Ｗが引き渡され、基板Ｗは更に後段の露光処理位置Ｐに搬送されていく。
【００２９】
コンピュータ１１には、搬送装置７による搬送処理の各行程が、上記の第１〜第１３ステップのように、１つのワーク駆動部の１つの動作ごとに分類され（第１分類）、細分化されて設定されている。更に、コンピュータ１１には、第１分類よりも更に上位階層の分類方法（第２分類）によっても基板搬送行程が分類され、設定されている。具体的には、第２分類は、基板Ｗを取り扱う処理ごとに基板搬送行程を分けたものであり、以下の第１〜第５ブロックに基板搬送行程を分類するものである。
【００３０】
第１ブロックは、搬送軸ＷＸから第１回動軸ＰＹ１へ基板Ｗを受け渡す行程であり、上記第１〜第５ステップが第１ブロックに含まれる。
第２ブロックは、露光処理前の基板Ｗのθ位置補正行程であり、上記第６ステップが第２ブロックに含まれる。
第３ブロックは、第１回動軸ＰＹ１から露光搬送軸ＰＸへ基板Ｗを受け渡す行程であり、上記第７〜第９ステップが第３ブロックに含まれる。
第４ブロックは、露光処理中における基板Ｗの搬送行程であり、上記第１０ステップが第４ブロックに含まれる。
第５ブロックは、露光搬送軸ＰＸから第２回動軸ＰＹ２へ基板Ｗを受け渡す行程であり、上記第１１〜第１３ステップが第５ブロックに含まれる。
【００３１】
以上のような搬送処理の各工程の分類設定が、コンピュータ１１の記憶装置に電子情報として記憶されている。
【００３２】
タッチパネル９は、各露光処理位置Ｐに設置されており、図３に示すように、各露光処理位置Ｐで行われる搬送処理について、現在進行中の行程をリアルタイムで画面表示する。
【００３３】
図３に示す画面領域Ａ１には、露光処理位置Ｐ近傍における基板Ｗの現在位置と、現在どのワーク駆動部が基板Ｗを保持しているかといった情報と、がリアルタイムで表示される。画面領域Ａ１は、露光処理位置Ｐ近傍の平面図のイメージを示すものであり、基板Ｗの搬送が画面の左から右に向かうように設定されている。画面領域Ａ１中に破線で示した四角枠の基板表示Ｗ１’〜Ｗ６’のうちの何れかが点灯することで、基板Ｗが存在する搬送路上の位置が表される。そして、基板Ｗの移動に対応して、画面上に示される基板表示の表示も移動することになる。本実施形態では、基板Ｗが第１ポジションよりも上流側の位置にある場合（Ｗ１’又はＷ２’）、基板Ｗが第１ポジションにある場合（Ｗ３’又はＷ４’）、基板Ｗが第２ポジションにある場合（Ｗ５’又はＷ６’）の３段階に対応して、基板表示の位置が３段階で移動する。
【００３４】
また、基板表示Ｗ’の長方形の向き（画面上で縦長の長方形であるか横長の長方形であるか）も、搬送路上の基板Ｗの向き（搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるか）に対応して表示される。すなわち、搬送方向と基板Ｗの長辺方向が一致する場合には、横長の長方形の基板表示Ｗ１’、Ｗ３’、又はＷ５’が表示され、搬送方向と基板Ｗの短辺方向が一致する場合には、縦長の長方形の基板表示Ｗ２’、Ｗ４’、又はＷ６’が表示される。従って、基板Ｗを９０°水平回転させるステージが搬送路に存在する場合には、基板Ｗの回転に対応して基板表示も９０°回転する。
【００３５】
また、画面領域Ａ１には、露光処理位置ＰにおけるマスクＭの着脱状態や、マスク駆動部の駆動状態を示すマスク状態表示Ｍ’も一緒に示されている。更に、画面領域Ａ１には、各センサ類Ｓによる基板Ｗの検出状態が基板検出表示Ｓ’として示されている。すなわち、各位置のセンサ類Ｓが基板Ｗを検出しているときに、基板検出表示Ｓ’が点灯する。なお、更に、シリンダＣの動作状態を、画面領域Ａ１に表示するようにしてもよい。
【００３６】
更に、画面領域Ａ１には、各ワーク駆動部の動作状態が表示される。表示される動作状態には、各ワーク駆動部が基板Ｗを保持しているか否か、上昇位置にあるか下降位置にあるか、といった情報が含まれる。例えば、画面上の第１回動軸表示ＰＹ１’は、第１回動軸ＰＹ１が基板Ｗを吸着保持している場合に点灯表示され、第１回動軸ＰＹ１が基板Ｗを吸着保持していない場合には消灯表示される。また、第１回動軸ＰＹ１が上昇位置にある場合には、画面上の第１回動軸表示ＰＹ１’内の”ＵＰ”の表示が点灯表示され、第１回動軸ＰＹ１が下降位置にある場合には、上記”ＵＰ”の表示が消灯表示される。なお、他のワーク駆動部の動作状態についても、画面上の表示の規則は同様であるので、重複する説明は省略する。
【００３７】
なお、露光搬送軸ＰＸに対応して、３箇所（左、中央、右）の露光搬送軸表示ＰＸ’が存在する。このうち、左の露光搬送軸表示ＰＸ’が点灯している場合には、基板Ｗが露光処理前であることを示し、中央の露光搬送軸表示ＰＸ’が点灯している場合には、基板Ｗが露光処理中であることを示し、右の露光搬送軸表示ＰＸ’が点灯している場合には、基板Ｗが露光処理後であることを示す。従って、ユーザは、何らかのエラー（例えば、基板Ｗの吸着の失敗など）で搬送処理が停止した場合においても、タッチパネル９の画面表示を確認することにより、基板Ｗの露光処理が完了済みか否かを知ることができる。よって、基板Ｗの露光処理が完了済みか否かに応じた適切な復旧処理を選択することができる。
【００３８】
更に、このタッチパネル９において、ユーザが画面上のワーク駆動部の動作状態表示ＷＸ’、ＰＹ１、ＰＸ’、ＰＹ２をタッチした場合には、そのワーク駆動部が搬送中の基板Ｗに関する情報が別ウインドウで表示される。基板Ｗに関する情報（以下、「基板情報」という）としては、基板Ｗごとにユニークに採番された基板ＩＤ、基板Ｗの厚み、露光方向（長手方向に搬送しながら露光するか短手方向に搬送しながら露光するか）、露光状態（露光処理が完了しているか否か）等が含まれる。基板情報は、露光装置１００への導入前にコンピュータ１１に予め登録され、基板情報のうち一部の情報は、搬送や露光処理の進行に従って順次更新されていく。
【００３９】
例えば、センサ類Ｓによって測定された基板Ｗの厚みと、基板情報に示される基板Ｗの厚みとの間に不整合があった場合には、エラーとしてユーザへの警告を画面表示してもよい。また、センサ類Ｓによって検出された基板Ｗの向き（搬送方向に対して縦長の長方形であるか横長の長方形であるか）と、基板情報に示される露光方向との間に不整合があった場合には、エラーとしてユーザへの警告を画面表示してもよい。
【００４０】
以上のような画面表示により、ユーザは、搬送装置７の露光処理位置Ｐにおける状態を、リアルタイムに、各ワーク駆動部の動作単位で詳細に把握することができる。従って、例えば、何らかのエラーにより搬送装置７が停止した場合においても、停止時における搬送行程の進行状態を把握することができ、当該停止時における進行状況に応じて柔軟な復旧処理が可能になる。
【００４１】
タッチパネル９の画面領域Ａ２には、現在進行中の基板搬送行程が、前述の第１〜第５ブロックの何れの行程に該当するかといった情報が表示される。すなわち、画面上の第１〜第５ブロックに対応する数字が記載された矢印表示の何れかが点灯することにより、現在進行中のブロックを表示する。画面領域Ａ３には、現在進行中の基板搬送行程が、前述の第１〜第１３ステップの何れの行程に該当するかといった情報が表示される。すなわち、画面上の第１〜第１３ステップに対応する数字が記載された四角枠の何れかが点灯することにより、現在進行中の行程を表示する。
【００４２】
このような表示により、ユーザは、基板搬送行程における現在の搬送装置７の状態を、リアルタイムで、画像として直感的に把握することができる。また、タッチパネル９には、第１〜第５ブロックのブロック単位で進行状況が表示されるばかりでなく、ブロック内における更に詳細な進行状況として、第１〜第１３ステップの何れのステップが進行中であるかといった情報も同時に画面表示される。この第１〜第１３ステップは、ワーク駆動部の１動作単位で設定されているので、ワーク駆動部のどのような動作が現在進行中であるかといった情報を、ユーザが画面表示から得ることができる。
【００４３】
よって、何らかのエラーで搬送処理が停止した場合においても、ユーザは、タッチパネル９の画面表示を確認し、停止直前における搬送処理の進行状況の詳細をブロック単位で、或いは更に細かいステップ単位で（ワーク駆動部の１動作単位で）把握することができる。また、センサ類Ｓによる基板検出表示Ｓ’を確認することにより、停止時の基板Ｗの位置及び向きを把握することができる。よって、ユーザは、より適切な復旧処理を選択することができる。
【００４４】
画面領域Ａ４には、ユーザの操作を受け付ける操作ボタン（タッチ入力部）が表示される。ユーザは、画面表示された操作ボタンにタッチすることで、各種の指示入力を行うことができる。操作ボタンには、ステップ運転ボタン（ステップ実行指示部）Ｂ１、戻すボタン（逆順ステップ実行指示部）Ｂ２、ブロック動作ボタンＢ３が含まれる。何らかのエラーによって、搬送処理が停止した場合には、上記操作ボタンが有効化される。搬送処理が停止した状態でステップ運転ボタンＢ１をタッチした場合、前述の第１〜第１３ステップ単位で細分化されたワーク駆動部の動作を、１ステップずつ実行させることができる。
【００４５】
また、搬送処理が停止した状態で戻すボタンＢ２をタッチした場合、前述の第１〜第１３ステップ単位で細分化されたワーク駆動部の動作と逆の動作を、１ステップずつ逆順で実行することができる。また、搬送処理が停止した状態でブロック動作ボタンＢ３をタッチした場合、前述の第１〜第５ブロック単位に細分化されたワーク駆動部の動作を、１ブロックずつ一纏めで実行させることができる。
【００４６】
上記のような機能によれば、停止した搬送処理の復旧処理において、ユーザは、ステップ運転ボタンＢ１からの指示入力によって、ワーク駆動部の動作ごとに１ステップずつ行程を進め、搬送装置７を所望の状態まで進めて搬送処理を再開させることができる。このとき、ブロック動作ボタンＢ３からの指示入力によって、１ブロック分の行程を一纏めで進めることもできる。また、ユーザは、戻すボタンＢ２からの指示入力によって、ワーク駆動部の動作ごとに１ステップずつ行程を戻し、搬送装置７を停止前の所望の状態に戻して搬送処理を再開させることもできる。
【００４７】
以上のような指示入力機能を用いることで、搬送装置７の柔軟な復旧処理が可能になる。例えば、通常の画一的な復旧処理では、基本的に基板を下流側に排出するので、排出された露光未完了の基板は無駄になってしまう場合がある。これに対し、搬送システム１によれば、ユーザの判断によって、例えば、露光処理が未完了の基板Ｗについて、露光処理前の所定の状態から搬送処理を再開することで、基板Ｗの無駄を避けることができる。
【００４８】
また、画面領域Ａ５には、全体ボタンＢ４が表示されている。搬送処理の進行中において全体ボタンＢ４をタッチした場合、図４に示すように、画面全体が搬送装置７全体を示す表示画面に切り替わる。この全体表示画面では、複数箇所（例えば４箇所）の露光処理位置Ｐをすべて含む搬送装置７全体が表示される。図４では細密な点の図示は省略しているが、他の露光処理位置Ｐにおける各ワーク駆動部についても、先に説明した第１回動軸表示ＰＹ１’の表示と同様の規則で、基板Ｗの位置・向きやワーク駆動部の動作状態等が縮小して表示される。このような機能によれば、ユーザは、比較的大きい装置である露光装置１００の状態を、１箇所の露光処理位置Ｐで確認することができる。
【００４９】
なお、例えばタッチパネル９の画面上に「初期化」ボタン等を表示し、ユーザの初期化指示に基づいて、所定の画一的な初期化処理を行うようにしてもよい。例えば、画一的な初期化処理では、基本的に基板を下流側に排出する処理が行われる。また、前述した画面領域Ａ１〜Ａ５を１画面中にすべて表示することは必須ではなく、タッチパネル９の画面表示を階層構造として、メイン画面から、正常時に運転状態を示す画面や、停止からの復旧に必要な操作画面を呼び出す構成としてもよい。
【００５０】
また、上述の実施形態では、基板搬送行程の進行状況を画面表示するディスプレイ画面と、ユーザの指示入力の操作を受け付ける操作受付手段と、を併せ持つタッチパネルディスプレイ装置を採用しているが、本発明の表示装置は、この構成には限定されない。すなわち、例えば、基板搬送行程の進行状況を画面表示する機能を通常のディスプレイ画面で実現すると共に、操作受付手段をマウス、キーボードといった通常のポインタ・操作入力デバイスで構成してもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１…搬送システム、３…マスク駆動部、５…照射部、７…搬送装置、９…タッチパネルディスプレイ装置（表示装置）、１００…露光装置、Ｂ１…ステップ運転ボタン（ステップ実行指示部）、Ｂ２…戻すボタン（逆順ステップ実行指示部）、ＷＸ…搬送軸（ワーク駆動部）、ＰＹ１…第１回動軸（ワーク駆動部）、ＰＸ…露光搬送軸（ワーク駆動部）、ＰＹ２…第２回動軸（ワーク駆動部）、Ｍ…マスク、Ｗ…基板（ワーク）。
【図１】
2012174786.tif 000003
【図２】
2012174786.tif 000004
【図３】
2012174786.tif 000005
【図４】
2012174786.tif 000006