(57)【要約】【課題】装置の外部から観察し、ガラス基板の搬送や位置決めを行うための搬送ロボットのティーチング作業に好適な真空チャンバ装置を提供する。【解決手段】壁部材１１により周囲を取り囲んでその内部に真空環境を形成すると共に、当該真空環境内に、少なくとも、ガラス基板１００の表面に蒸着処理を行うための蒸着ステージ３０と共に、ガラス基板を蒸着ステージへ搬送するための搬送ロボット２０を収納した真空チャンバ装置において、壁部材の一部に覗き窓（ビューポート）４０を備え、かつ、当該覗き窓は略半球状で均一の肉厚で形成した窓部材４１を備え、そして、半球状の部分が真空環境側に突出する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の壁部材により周囲を取り囲んでその内部に真空環境を形成する真空チャンバ装置であって、
前記壁部材の一部に窓を備えており、かつ、当該窓は、その一部に、窓部材を備えており、当該窓部材が前記真空環境側に突出するような形状であることを特徴とする真空チャンバ装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載した真空チャンバ装置において、チャンバ内部に被処理物を搬送するための搬送機構を備えていることを特徴とする真空チャンバ装置。
【請求項３】
前記請求項１又は２に記載した真空チャンバ装置において、前記窓は、全体が半球形状に形成されていることを特徴とする真空チャンバ装置。
【請求項４】
前記請求項１〜３の何れか一つに記載した真空チャンバ装置において、前記窓部材の内径を、当該内部に人間の頭部が容易に挿入可能な程度に設定したことを特徴とする真空チャンバ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバ装置の構造に関し、特に、その内部で、例えば、有機ＥＬパネルや液晶パネル等を製造するための真空蒸着を行う真空チャンバ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬパネルや液晶パネル等を製造するためには、一般に、ガラス基板の表面に成膜を施すことが必要であり、そのため、成膜を行うための真空蒸着機構は、通常、真空チャンバ内に配置される。更に、その自動化を図るため、即ち、当該真空チャンバ内においてガラス基板の自動的な搬送や位置決めを行うため、所謂、搬送機構も、やはり、当該真空チャンバ内に配置されることが多い。
【０００３】
かかる真空チャンバでは、その内部の真空度（密閉度）を高める必要があり、かつ、その加工や組み立てを必要最小限に抑制することが要求されることから、一般に、鉄板等の金属板を所定の形状に切り出して壁部材を製作し、当該壁部材を現地にて組み立てることにより、真空蒸着を行うための真空チャンバを完成していた。そのため、一般に、完成した真空チャンバには、その内部を覗くための大きな窓（所謂、ビューポート）を設けることは、一般的ではなかった。
【０００４】
ところで、以下の特許文献１によれば、半導体製造装置の真空チャンバ装置であり、当該真空チャンバ壁面に装着する内部観察用観測窓を備えたものが既に知られている。なお、この真空チャンバ壁面に装着する内部観察用観測窓は、当該真空チャンバ内に浮遊する不純物粒子を観察・計測するものであり、真空チャンバの壁面の一部に観察窓を装着し、当該観察窓の一面に、レンズ作用を備えた回折パターン板を傾けた状態に配置し、一体化したものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−１８３１２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしならが、上述した従来技術になる内部観察用観測窓では、真空チャンバの内部を一部拡大して観察することには優れているが、これを、その内部に真空蒸着装置と共に搬送ロボットを備えた真空チャンバ装置内においてガラス基板の搬送や位置決めを行うための搬送ロボットの動きを当該装置の外部から観察し、ティーチング作業を行うには不向きであった。
【０００７】
そこで、本発明は、上述した従来技術における問題点に鑑みて達成されたものであり、その内部に真空蒸着装置と共に搬送ロボットを備えた真空チャンバ装置内において、特に、当該装置内部の真空蒸着装置や搬送ロボットの動きを当該装置の外部から観察し、又は、ガラス基板の搬送や位置決めを行うための搬送ロボットのティーチング作業に好適な真空チャンバ装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明によれば、まず、複数の壁部材により周囲を取り囲んでその内部に真空環境を形成すると共に、当該真空環境内に、少なくとも、ガラス基板の表面に蒸着処理を行うための蒸着装置と共に、当該ガラス基板を前記蒸着装置へ搬送するための搬送ロボットを収納した真空チャンバ装置であって、前記壁部材の一部に窓を備えており、かつ、当該窓は、その一部に、略半球状に形成した窓部材を備えており、当該半球状の部分が前記真空環境側に突出するように取り付けられている真空チャンバ装置が提供される。
【０００９】
また、本発明では、前記に記載した真空チャンバ装置において、前記窓は、全体が半球形状に形成されていることが好ましく、又は、前記略半球状に形成した窓部材の内径を、当該内部に人間の頭部が容易に挿入可能な程度に設定したことが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
上述した本発明では、その内部に真空蒸着装置と共に搬送ロボットを備えた真空チャンバ装置であって、当該装置内部の真空蒸着装置や搬送ロボットの動きを当該装置の外部から観察し、又は、ガラス基板の搬送や位置決めを行うための搬送ロボットのティーチング作業、更には、そのモニタ等にも好適な構造の真空チャンバ装置を提供することを可能とするという、実用的にも優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態になる真空蒸着装置の外観を示すための一部斜視図である。
【図２】上記真空蒸着装置の内部をも合わせて示すため、壁部材の一部を除去して示した斜視図である。
【図３】上記真空蒸着装置の覗き窓（ビューポート）の詳細構造を示す展開斜視図である。
【図４】上記真空蒸着装置の利用形態の一例を示す図である。
【図５】上記真空蒸着装置の利用形態の他の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態になる真空チャンバ装置について、添付の図面を参照しながら、詳細に説明する、
【００１３】
まず、添付の図１には、その内部で有機ＥＬパネルを製造するための真空チャンバ装置の外観が示されており、図にも示すように、当該装置１０は、例えば、鉄板等を所定の形状に切り出して作成した複数（合計６枚）の壁部材１１、１１…により、略方形に組み立てられている。そして、添付の図２には、当該真空チャンバ装置の内部が、上記壁部材１１、１１…の一部を切り欠いて示されている。
【００１４】
即ち、当該真空チャンバ装置の内部（真空環境）では、有機ＥＬパネルを自動的に製造するため、図示しない搬送ラインにより搬送された大型（例えば、第６世代、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）のガラス基板１００は、搬送用のロボット２０（例えば、その一対のアーム）により水平に保持され、図に矢印で示すように、蒸着ステージ３０に運ばれる。より具体的には、当該蒸着ステージを構成する支持部２１の上に運ばれて保持・固定される。その後、当該支持部を回転させることによりガラス基板１００を垂直に立てた状態でマスク装置３２の裏面に接触しながら所定の位置に位置決が行われ、そして、マスク装置の表面側に設けられた蒸着源（本例では、有機ＥＬの蒸着源）３３を垂直及び水辺方向に設けられたガイド３４、３４に沿って移動しながら（スキャニング：図の矢印を参照）、ガラス基板１００の表面に有機ＥＬ部材を所定のパターンで形成する。
【００１５】
そして、本発明では、これらの図からも明らかなように、上記方形状に組み立てられた真空チャンバ装置１０の一部、特に、その側壁を構成する壁部材１１、１１…の一部には、以下に詳述する覗き窓（ビューポート）４０、４０が設けられている。
【００１６】
添付の図３は、上記真空チャンバ装置１０の壁部材１１に形成した覗き窓（ビューポート）４０の一つ詳細構造の一例が示されている。即ち、壁部材１１の一部に、円形の開口部１２を形成し、その周囲には、複数（本例では、例えば、８個）のネジ穴１３、１３…が形成されている。そして、当該開口部には、その外形略半球状の窓部４１が挿入して取り付けられている。なお、この略半球状の窓部４１は、例えば、強化ガラス等の透明部材により、半球状に、均一の肉厚（ｄ）で形成したものであり、その外径（図のＤ＋２ｄ）が上記開口部１２の径と一致するように形成されている。なお、肉厚（ｄ）は、装置内部の真空環境などによって破損されないように設定される。
【００１７】
また、図にも明らかなように、その外周には円環状の鍔部４２が形成されており、当該鍔部４２には、複数のネジ穴４３、４３…が形成されている。更に、当該鍔部４２とほぼ同様の寸法で、例えば、ゴムや金属板によりリング状に形成された気密封止のためのシール部材４４が、壁部材１１と覗き窓（ビューポート）４０との間に挿入される。（なお、本例では、シール部材４４にもネジ穴が形成されている。）
【００１８】
即ち、図からも明らかなように、上述した覗き窓（ビューポート）４０は、その略半球状の窓部４１を、壁部材１１の一部に形成した円形の開口部１２に、シール部材４４を介して、挿入し、その後、複数の固定部材であるネジ４５、４５…により固定することにより形成される。その結果、図からも明らかなように、覗き窓（ビューポート）４０を構成する略半球状の窓部４１は、真空チャンバ装置１０の内部（真空環境）に突出した状態で設けられることとなる。
【００１９】
以上では、上述した覗き窓（ビューポート）４０は、その外径が略半球状であるものとして説明したが、しかしながら、本発明は、これに限定されることなく、例えば、略角錐形状の外形を有し（例えば、鍔部を正方形）、その一部（特に、先端部）に、半球状でかる均一の肉厚に形成した窓部４１を備えていればよい。
【００２０】
続いて、上記に詳細構造を説明した覗き窓（ビューポート）４０の利用形態について、以下に説明する。
【００２１】
まず、添付の図４は、上記覗き窓（ビューポート）４０を利用して、真空チャンバ装置１０内に設けられた設備、例えば、搬送用のロボット２０に対してティーチングを行う場合について説明する。
【００２２】
この例では、操作者Ｐが立った状態で搬送用のロボット２０に対してティーチングを行っている状態を示している。そして、図に破線で示すように、操作者Ｐは、真空環境に突出した略半球状の窓部４１により、真空チャンバ装置１０の内部を、広い視野角（θ）で観察することが可能となる。即ち、ガラス基板の搬送や位置決めを行うための搬送ロボットのティーチング作業などに好適である。なお、図の符号５０は、操作者Ｐが搬送ロボットに対してティーチングを行う際に使用するための操縦装置を示しており、例えば、ジョイスティック等を利用することも可能であろう。
【００２３】
また、上述したように、操作者Ｐが覗き窓（ビューポート）４０から装置の内部を覗き込むことから、上記覗き窓（ビューポート）４０の、特に、その半球状の窓部４１の内径（上記図３の「Ｄ」を参照）は、人間の頭部が容易に入る程度の大きさにすることが好ましく、例えば、３０ｃｍ〜５０ｃｍ程度に設定することが好ましいであろう。また、覗き窓（ビューポート）４０を取り付ける位置は、例えば、上述したように、立った状態で覗き込む場合には、操作者Ｐが容易に覗き込める高さ（上記図１の「Ｈ」）を、例えば、Ｈ＝１２０ｃｍ〜１５０ｃｍ程度に設定することが好ましく、又は、しゃがみ込んだり、椅子に座って行う場合には、それよりも低い高さに設定することが好ましいであろう。
【００２４】
更に、添付の図５には、覗き窓（ビューポート）４０の利用形態が示されている。この例は、上記の覗き窓（ビューポート）４０を介して、真空チャンバ装置１０内に設けられた設備を監視するものであり、特に、カメラからなるモニタ装置を利用したものである。この図からも明らかなように、このモニタ装置６０は、カメラ（例えば、監視用のＣＣＤカメラ）６１と共に、マイクロフォン６２を備えており、これらを上記覗き窓（ビューポート）４０の半球状窓部４１の内部又は装置壁面に配置する。特に、上記のカメラ６１としては、その撮像部（先端部）が自在に設定可能な構成であることが好ましく、そして、カメラ６１は、例えば、図示しないスタンド等により、上記覗き窓（ビューポート）４０の半球状の窓部４１の略中央部に位置するように配置することが好ましく、または、その位置を、例えば、カメラ操作用のジョイスティックなどにより、図の矢印方向に、自在に遠隔操作することが可能にすることも好ましいであろう。なお、上記のモニタ装置６０は、図示のように、ＨＵＢ装置を介して複数個を設置することも可能であり、そして、得られたモニタ映像や音は、例えば、汎用のＰＣ（パーソナルコンピュータ）へ転送され、そこで、画像ボード、オーディオボード、キャプチャー処理が行われる。
【符号の説明】
【００２５】
１０…真空チャンバ装置、１１…壁部材、２０…搬送用のロボット、３０…蒸着ステージ、４０…覗き窓（ビューポート）、４１…半球状の窓部、１００…ガラス基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2012012627.tif 000006
【図５】
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