(57)【要約】【課題】測定値を表す第一のグラフと制御信号を表す第二のグラフを用いて測定値を正確に分析できる技術を提供する。【解決手段】本発明では、同じファイル名称で特定される第一、第二のグラフは互いに関連づけられており、画面１００上に表示される測定値の第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄと、第二のグラフ１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄのうち、所望のものを選択し、移動対象にすると、関連づけられた第一、第二のグラフが一緒に移動するようになっている。従って、測定値の第一のグラフとタイミングチャートである第二のグラフの間の関係は、移動があっても維持されるので、分析ミスが発生することがない。【選択図】図４
2012003431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、
前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、
前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する分析プログラムであって、
前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とに変換し、
前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、
前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に配置して第一のグラフを表示し、
前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフを表示し、
同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフを関連づけておき、
前記第一、第二のグラフのうち、所望の前記第一、第二のグラフを選択できるようにし、
関連づけられた第一又は第二のグラフのうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、
横方向の移動量を入力できるようにし、
前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフを前記画面上で横方向に移動させるプログラム。
【請求項２】
前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができる請求項１記載のプログラム。
【請求項３】
前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する請求項１又は請求項２記載のプログラム。
【請求項４】
前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のプログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
【０００３】
真空処理技術によって製品を量産する場合には、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うことが多いが、製造条件が同一であっても、真空処理装置の状態や、前処理の状態の相違から、品質にはバラツキがあるのが普通である。
【０００４】
品質のバラツキが大きい場合は、大きなバラツキが生じた原因を分析し、再発を防止する製造工程管理が重要であり、実際に製品を量産しているときも、動作中の真空処理装置の温度や圧力、投入電力や処理に要する時間等を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。
【０００５】
特に、真空処理装置から得られた測定結果をロット間や真空処理装置間で比較しようとする場合は、製品製造の際に測定した測定結果に、真空処理装置やロットが分かるようにファイル名称を付し、測定結果をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−８０８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、多数のロット間の測定値をグラフ化して比較することが困難であり、簡単で正確な比較をおこなうことができるプログラムや分析装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する分析プログラムであって、前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻を、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とに変換し、前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に配置して第一のグラフを表示し、前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフを表示し、同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフを関連づけておき、前記第一、第二のグラフのうち、所望の前記第一、第二のグラフを選択できるようにし、関連づけられた第一又は第二のグラフのうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、横方向の移動量を入力できるようにし、前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフを前記画面上で横方向に移動させるプログラムである。
本発明は、前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができるプログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示するプログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示するプログラムである。
本発明は、上記いずれかのプログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置である。
【発明の効果】
【０００９】
測定値を画面上に表示した第一のグラフと、その測定値に対応する制御信号を表示した第二のグラフとをＸ軸上の同一方向同一距離移動させるので、測定値と制御信号の相対的な関係を維持することができ、分析ミスを防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図
【図２】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（１）
【図３】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（２）
【図４】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（３）
【図５】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（４）
【図６】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（５）
【図７】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（６）
【図８】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面（７）
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０と制御部２１とを有している。
真空処理部２０は、真空槽１１を有しており、真空槽１１には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群２３が設けられている。
【００１２】
処理機器群２３は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源３４と、蒸着源３４に電子線を照射するＥＢガン３３と、蒸着源３４の上方に配置された保持装置３１と、保持装置３１の内部に配置されたヒータ３２とが含まれる。
【００１３】
図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源３４に向けて保持装置３１に保持されている。
真空槽１１の外部には周辺機器群２４と制御部２１とが配置されている。
周辺機器群２４は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系３６と、ガス導入系３７と、ヒータ用電源３８と、蒸着用電源３９とが含まれている。
【００１４】
真空排気系３６とガス導入系３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができ、ガス導入系３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系３７から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。
【００１５】
ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９は、ヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９からヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ電力を供給する。
【００１６】
ヒータ３２は供給された電力で発熱し、保持装置３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガン３３は供給された電力で蒸着源３４に電子ビームを照射し、蒸着源３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
【００１７】
周辺機器群２４には、処理機器群２３に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源３８や蒸着用電源３９等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
【００１８】
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値を測定した測定時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。
【００１９】
制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、周辺機器群２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
コンピュータ４０は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置４３に記憶される。
【００２０】
真空槽１１で基板１５の真空処理が終了すると、真空処理がされた基板１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
【００２１】
同一条件で連続して真空処理された複数枚の基板は一ロットに属するようにされており、一ロットごとに異なるロット番号が付与されており、真空処理された基板はロット番号が分かるように、測定値はロット番号と共に記憶装置４３に記憶される。
【００２２】
ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示も含まれている。
従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理の内容に対応付けられ、処理された内容が分かるようになっている。
【００２３】
他方、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ４１からは、周辺機器群２４や処理機器群２３に対して出力され、動作の開始と停止を制御しながら周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。
【００２４】
制御信号は、周辺機器群２４に含まれる周辺機器３６〜３９や処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。また、シーケンサ４１からコンピュータ４０には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された動作開始時刻と、動作信号の出力が停止され、停止信号の出力が開始されて動作が停止した動作停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号には、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、動作開始時刻と動作停止時刻と共に記憶される。
【００２５】
この真空処理装置１では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の動作開始時刻と動作停止時刻とが記憶されている。
制御信号は、ここではハイとローの二値であり、動作信号の信号状態はハイを示す数値として記憶され、停止信号の信号状態はローを示す数値として記憶されている。
【００２６】
ここでは一つのファイル名称に対応したデータは、同一ロットのものであり、一ロット中に含まれる複数の測定値と、各測定値毎に対応した測定時刻と、測定値が得られた真空処理を制御するための制御信号の信号状態を示す値と、信号状態の値が変化したときの時刻とが含まれている。測定時刻は、測定値が一定の時間間隔で測定されていれば、基準となる基準時刻と、測定値の測定順序と、測定の時間間隔の値とがファイル名称で示したデータ中に含まれていて、測定時刻は演算によって求められるものでもよい。
【００２７】
複数の真空処理の測定結果を比較して分析するために、コンピュータから成る本発明の分析装置４０の操作手順について説明する。
記憶装置４３には、真空処理の分析を行う本発明のプログラムが記憶されており、分析を行う操作者がそのプログラムを起動すると、演算装置４２は、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に読み込み、演算して、後述する第一、第二のグラフを生成する。
【００２８】
分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器３１〜３４又は周辺機器３６〜３９の測定結果であり、同じ物理量である。測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、真空処理間でも一定値であるようにされている。
【００２９】
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。動作開始時刻と動作停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かる。
【００３０】
図２の符号１００は、分析装置４０に接続された表示装置４４の画面を示している。分析装置４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
その画面１００には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、制御信号特定欄１２０とが設けられている。
【００３１】
測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、画面１００の他の領域は、測定値のグラフである第一のグラフを表示する曲線表示領域１３０と、制御信号のグラフである第二のグラフを表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。
【００３２】
測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称１５１で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、読み込みを行った測定値のファイル名称１５１と、読み込みを行った制御信号の値のファイル名称１６１とを、縦一列に表示する第一、第二の名称表示列１１１、１２１がそれぞれ設けられている。
【００３３】
一ファイル名称で測定値と制御信号が読み込まれるから、第二の名称表示列１２１には、第一の名称表示列１１１に表示されたファイル名称１５１と同じ内容のファイル名称１６１が表示されている。
また、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、第一、第二の表示指示列１１４、１２４が設けられている。
【００３４】
第一、第二の表示指示列１１４、１２４には、チェックボックス１５４、１６４が、チェックボックス１５４、１６４とファイル名称１５１、１６１とが一対一に対応するように、ファイル名称１５１、１６１と同じ高さに縦一列にそれぞれ表示されている。
【００３５】
チェックボックス１５４、１６４のうち、画面１００上にグラフとして表示させたいファイル名称１５１、１６１と同じ高さに位置し、そのファイル名称１５１、１６１に対応するチェックボックス１５４、１６４にチェックを付すと、対応するファイル名称１５１、１６１の測定値と制御信号とが、後述するように、第一、第二のグラフとしてそれぞれ表示される。
【００３６】
このような第一、第二の表示指示列１１４、１２４のチェックボックス１５４、１６４以外のチェックボックスを含め、画面１００上のチェックボックスへのチェックは、画面上でチェックボックスの上にマウスのポインタの先端を位置させ、マウスの左ボタンを押下することで行うことが出来る。
【００３７】
表示装置４４の画面１００は四角形であり、その四角形の四辺のうち、水平方向に配置される一辺と鉛直方向に配置される一辺に沿って、行列状に画素が配置されている。
曲線表示領域１３０には、水平方向の辺に沿ったＸ軸と、鉛直方向に沿ったＹ軸とから成るＸＹ座標が表示され、タイミングチャート表示領域１４０には、Ｘ軸と平行な時間軸１４１が表示される。符号１３１は、ＸＹ座標の原点である。
【００３８】
Ｘ軸は、時刻を示す軸線であり、Ｘ軸上の一時刻を現在時刻とすると、Ｘ軸上、画面左方側が過去、右方側が未来である。Ｙ軸は、測定値の大きさが表示される。
分析装置４０には、複数のファイル名称１５１のデータに含まれる測定値と、その測定値に対応する制御信号とが区別して読み込まれて記憶されている。
【００３９】
読み込まれたデータのファイル名称１５１、１６１は、画面１００上に表示されており、それらファイル名称１５１、１６１のうち、分析を行う操作者によって所望のものが選択されてチェックボックス１５４、１６４にチェックが付されると、選択されたファイル名称１５１、１６１の測定値と制御信号の値とが、測定時刻と共に、曲線表示領域１３０とタイミングチャート表示領域１４０に、第一、第二のグラフとして表示される。
【００４０】
ここでは、図３に示すように、曲線表示領域１３０には、読み込んだ測定値から生成された複数の第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄが表示されているが、それらは画面１００上に表示された部分の多くが重なり合っている。
曲線表示領域１３０に表示した測定値に対応した制御信号のチェックボックス１５４、１６４はチェックされている。
【００４１】
タイミングチャート表示領域１４０には、曲線表示領域１３０に表示されたＸ軸が平行移動されて時間軸１４１が表示されている。
制御信号の値は、時間軸１４１上で、Ｘ軸と平行な横方向に伸びる横線分であってハイがローよりも上に配置されたタイミングチャートが第二のグラフ１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄとして、異なる高さに配置されている。
【００４２】
制御信号中の測定時刻には、制御信号の動作開始の時刻を示す動作開始時刻と、動作停止の時刻を示す動作停止時刻とがあり、それらの測定時刻や、測定値と対応した測定時刻は、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随していて、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になる。従って、同一装置の異なる測定値は、異なる測定時刻に対応されている。
【００４３】
それに対し、異なる時刻である基準時刻が真空処理毎に設定されており、本例でも、読み込んだ測定値に対応された測定時刻は、その測定値の基準時刻からの時間である換算時刻に換算され、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶される。
【００４４】
上記第一、第二のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄの表示方法を説明すると、基準時刻については、各測定値の最初の動作開始時刻以前の時刻に設定されており、基準時刻のＸ軸上の位置は、画面上の所定の位置(ここではＸ軸の原点)である。
画面１００上の水平方向の距離は時間を表し、水平方向の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力される。又は、読み込む測定値の時間などから算出することもできる。
【００４５】
従って、各測定値のＸ軸上の位置は、基準時刻の画面上の位置と、水平方向の単位長さ当たりの時間とにより、各測定値の換算時刻から、各測定値のＸ軸上の位置が算出される。
また、Ｙ軸上の単位長さあたりの値と原点の値から、各測定値のＹ軸上の位置が算出される。
【００４６】
その結果、各測定値は、対応するＸ−Ｙ軸上の位置に表示され、測定値が表示された位置のうち、隣接する位置を結ぶ線分によって、上記の第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄが表示される。
【００４７】
制御信号については、ハイを示す横線分の左端が動作開始時刻であり右端が動作停止時刻であり、ローを示す横線分の左端が動作終了時刻、右端が動作開始時刻であり、動作開始時刻と動作停止時刻は換算時刻に変換され、動作開始換算時刻と動作停止終了時刻にされて、第二のグラフ１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄが時間軸１４１上に表示される。
【００４８】
ハイの右端部とローの左端部とハイの左端部とローの右端部とは、同一時刻に位置しており、同一時刻の端部は縦線分１４８、１４９で結ばれており、その縦線分１４８、１４９の時間軸１４１上の位置が、動作開始時刻又は動作停止時刻を示している。
【００４９】
第二のグラフ１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄでは、制御信号のローからハイに転じる立ち上り位置が動作開始時刻であり、ハイからローに転じる立ち下がり位置が動作停止時刻である。動作開始時刻から動作停止時刻の間が動作信号である。
【００５０】
なお、制御信号は真空処理装置１が起動した後の最初の動作信号が出力されるまで停止信号にされており、本例では、最初の動作信号が出力される時刻が最初の動作開始時刻である。
【００５１】
各周辺機器３６〜３９又は処理機器３１〜３４は、各器機３１〜３４、３６〜３９毎に一定の時間間隔で測定値を送信しており、従って、同じ器機３１〜３４、３６〜３９が測定した測定値は、一定の時間間隔の測定時刻で測定されている。
【００５２】
この一定の時間間隔は、測定対象の物理量が同じであれば、真空処理が異なっても同じ時間間隔にされており、従って、測定時刻の一つを基準時刻とし、基準時刻を基準に換算時刻を算出させると、複数のファイル名称１５１の測定値を読み込むと、一個の換算時刻に各ファイル名称１５１の測定値が対応されることになる。
【００５３】
測定値の画面上の垂直方向の位置は、原点の位置と、垂直方向の単位長さあたりの値とにより、測定値を垂直方向Ｙ軸上の位置に換算することで求められている。原点は基準時刻を通る垂線であるＹ軸上に位置している。
【００５４】
動作開始時刻と動作停止時刻も、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間である換算時刻に換算されている。
Ｘ軸と時間軸１４１の両方に交差するＹ軸と平行な直線は、Ｘ軸と時間軸１４１と、同じ換算時刻で交差する。
【００５５】
次に、本データ解析プログラムを用い、グラフを移動させる手順について説明する。
図３では、複数の第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄが重なって表示されている。
【００５６】
本発明の解析プログラムは、画面１００上に表示された第一、第二のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄのうち、コンピュータ４０の操作者が所望のものを選択できるようにされている。
【００５７】
同じファイル名称１５１、１６１の第一、第二のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄは、互いに関連づけられており、操作者が第一のグラフ１３４ａを選択して移動対象にすると、それに関連づけられた第二のグラフ１４４ａも異動対象にされる。逆に、第二のグラフ１４４ａを選択して移動対象にすると、それに関連づけられた第一のグラフ１３４ａも移動対象にされる。このように、同じファイル名称１５１、１６１の第一、第二のグラフ１３４ａ、１４４ａは、一方が選択されて移動対象にされると他方も移動対象にされる。
【００５８】
選択に関し、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、第一、第二の移動指示列１１７、１２７がそれぞれ設けられており、その第一、第二の移動指示列１１７、１２７には、ファイル名称１５１、１６１に対応されたチェックボックス１５７、１６７が縦一列にそれぞれ配置されている。
【００５９】
第一又は第二の移動指示列１１７、１２７のチェックボックス１５７、１６７に操作者がチェックすることで、チェックされたチェックボックス１５７、１６７に対応するファイル名の第一又は第二のグラフ１３４ａ、１４４ａが移動対象になる。
【００６０】
また、操作者は、表示された第一、第二のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄのうち、画面１００上で、移動させる第一又は第二のグラフ１３４ａ、１４４ａ上にマウスのポインタの先端を位置させ、マウスの左ボタンを押下して選択することができる。
【００６１】
このとき、マウスの左ボタンを押下した後、押下の状態を維持しながらマウスを移動させ、ポインタをＸ軸に沿って移動させ、所望位置で左ボタンの押下を終了させると、ポインタの移動量が、移動させる距離になる。ポインタの移動に伴って、ポインタ先端が位置した状態でマウスの左ボタンが押下された第一、第二のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ａ、１４４ｃ、１４４ｄをポインタと共に、表示しながらＸ軸に沿って移動するようにしてもよい。
【００６２】
移動量については、操作者は、キーボードでも入力することができるようにされており、画面上の移動距離を直接入力することができ、移動量がＸ軸上の移動時間で入力されると、画面上の距離に換算することができる。
【００６３】
操作者が選択する方法については、表示装置の画面１００に表示された指示用の図形(不図示)上にマウスのポインタを位置させ、その状態でマウスの左ボタンを押下して、名称を入力する画面を表示させ、キーボードを用いてファイル名称を入力することもできる。
【００６４】
いずれにしろ、選択された第一、第二のグラフ１３４ａ、１４４ａは、分析装置４０内では、選択されなかった第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ｃ、１４４ｄと区別される。
【００６５】
図４の符号１３４ａ’、１４４ａ’は、入力された移動距離を移動された第一、第二のグラフを示しており、その画面からは、移動前の第一、第二のグラフ１３４ａ、１４４ａは消去されている。
【００６６】
移動量は、未来方向(右方向)への移動を正、過去方向(左方向)への移動を負としてＸ軸の移動距離と時間の関係から修正時間に変換され、修正時間が換算時刻に加算されて修正換算時刻が求められる。
【００６７】
第一のグラフ１３４ａ中の各測定点や第二のグラフ１４４ａ中の各点は、修正換算時刻の値に対応するＸ軸の位置上又は時間軸１４１の位置上に表示される。
【００６８】
移動後の第一のグラフ１３４ａ’は、移動後の測定点を示す隣接する点間が、直線や曲線で結んで表示される。移動後の第二のグラフ１４４ａ’は、動作開始時刻と動作停止時刻に、修正時間を加算した移動後動作開始時刻と移動後動作停止時刻が算出されている。
【００６９】
移動された第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’に対応する換算時刻の値は変化はなく、移動前と同じであるから、移動後は、移動後のグラフの各測定点の換算時刻は、各測定点の真下位置のＸ軸上換算時刻とは異なっている。
【００７０】
移動後の第二のグラフ１４４ａ’の表示方法は、移動前の第二のグラフ１４４ａの場合と同じであり、時間軸１４１上でハイの表示とローの表示が移動され、移動後動作開始時刻と移動後動作停止時刻において、一つの停止信号の端部と動作信号の端部とが画面上で結ばれる。
【００７１】
移動後の第一のグラフ１３４ａ’と、移動後の第二のグラフ１４４ａ’との間の相対的な位置関係は、移動前の第一、第二のグラフ１３４ａ、１４４ａ間の位置関係と変わらないので、第二のグラフ１４４ａ、１４４ａ’に示された動作開始時刻や動作停止時刻に対する第一のグラフ１３４ａ、１３４ａ’との関係も変わらず、第一のグラフ１３４ａ、１３４ａ’のピークの位置と第二のグラフの信号値変化の位置との関係も変わらない。
【００７２】
移動後の各グラフの測定値や制御信号の値の確認方法について説明すると、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、第一、第二のメジャー指示列１１３、１２３がそれぞれ設けられており、第一、第二のメジャー指示列１１３、１２３には、チェックボックス１５３、１６３がファイル名称１５１、１６１に対応付けて設けられている。
【００７３】
操作者が第一、第二のメジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３にチェックを付すと、チェックを付されたファイル名称１５１の測定値と制御信号に対応したメジャー線が表示される。
【００７４】
図５では、移動しない複数組の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１４４ｃ、１３４ｄ、１４４ｄのうち、一組の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１４４ｃのファイル名称１５１、１６１のチェックボックス１５３、１６３と、移動した第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’のファイル名称１５１、１６１のチェックボックス１５３、１６３にチェックが付されており、合計四項のチェックボックス１５３、１６３にチェックが付され、四個の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ａ’、１４４ｃ、１４４ａ’に対応したメジャー線１０１、１０２、１０３、１０４が表示されている。
【００７５】
各メジャー線１０１、１０２、１０３、１０４は画面１００上で、Ｘ軸とは垂直な方向に伸びる直線であり、各メジャー線１０１、１０２、１０３、１０４は、操作者のキーボードやマウスによる移動距離の入力によって、Ｘ軸に沿った方向に移動することができる。
【００７６】
各メジャー線１０１、１０２、１０３、１０４は移動可能であり、各メジャー線１０１、１０２、１０３、１０４が表示されたとき又は移動したときに、対応する第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ａ’、１４４ｃ、１４４ａ’上の所望の点と交差できるように配置されており、各メジャー線１０１、１０２、１０３、１０４が、対応する第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ａ’、１４４ｃ、１４４ａ’と交差したときには、第一のグラフ１３４ｃ、１３４ａ’との交差では、交点の測定値と換算時刻とが表示され、第二のグラフ１４４ｃ、１４４ａ’との交差では、交点の制御信号の値(ハイ又はロー）と、交点に対応する時間軸１４１上の換算時刻が表示される。
【００７７】
交点の換算時刻、測定値、制御信号の値はそれらが得られるメジャー線１０１〜１０４の近くに表示される。測定値には、交点を区別するための記号(ここでは、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の符号)を付して表示される。
【００７８】
移動後の第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’は、曲線表示領域１３０上の重なっていた位置から別の位置に移動するから、移動した第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’と、移動しなかった第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ｃ、１４４ｄとの形状比較が容易になる。
【００７９】
移動した第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’の間の位置関係と、移動しなかった第一、第二のグラフ１３４ｃ、１４４ｃの間の位置関係とを比較することも容易になる。
【００８０】
なお、メジャー線１０１〜１０４の移動は、ポインタ先端を移動させたいメジャー線１０１〜１０４に乗せ、マウス左ボタンを押下したままマウスを移動させると、ポインタと共に移動させたいメジャー線１０１〜１０４も移動するように構成されており、所望位置で押下を終了すれば、所望のメジャー線１０１〜１０４を移動させることができる。
【００８１】
また、第一のグラフ１３４ａが移動するときは、その第一のグラフ１３４ａに対応した第二のグラフ１４４ａも移動しており、移動後の第一のグラフ１３４ａ’と交差するメジャー線１０２と、移動後の第二のグラフ１４４ａ’と公差するメジャー線１０４とを一直線配置すると、同じ換算時刻の測定値と、それに対応した制御信号の値を読み取ることができる。
【００８２】
以上は、重なった第一のグラフ１３４ａ、１３４ｃ、１３４ｄのうち、所望の第一のグラフ１３４ａを移動させる場合であったが、離間したグラフを一致させることも出来る。
【００８３】
図６は、上記移動した第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’の表示を指示したチェックボックス１５７、１６７と、メジャー線１０１〜１０４を表示させたチェックボックス１５３、１６３とに対し、付与されたチェックを消去することで、対応する第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’とメジャー線１０１〜１０４の表示を画面１００上から消去すると共に、第一、第二の表示指示列１１４、１２４のチェックボックス１５４、１６４にチェックを付与し、表示していなかった一つのファイル名称１５１、１６１の第一、第二のグラフ１３４ｂ、１４４ｂを新しく表示させたところである。
【００８４】
この図６では、第一、第二のグラフ１３４ｂ〜１３４ｄ、１４４ｂ〜１４４ｄは、制御信号中の最初の信号の立上りを検出し、その換算時刻よりも所定時間前の時刻を基準時刻としており、第一、第二のグラフ１３４ｂ〜１３４ｄ、１４４ｂ〜１４４ｄでは、基準時刻をＸＹ座標又は時間軸上の原点に位置させて表示させている。
【００８５】
図３〜図５でも表示されていた第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ｃ、１４４ｄは、動作信号中の最初の動作開始時刻が最初の立上り時刻として検出されているのに対し、新しく表示した第二のグラフ１４４ｂの測定信号には、最初の動作開始時刻よりも前の時刻にノイズ１４７が含まれており、ノイズ１４７の立上りが最初の立上り時刻として検出され、それよりも一定時間前の時刻が基準時刻にされている。
【００８６】
その結果、新しく表示した第一、第二のグラフ１３４ｂ、１４４ｂは、他の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ｄ、１４４ｃ、１４４ｄから離間している。他方、図３〜図５でも表示されていた第二のグラフ１４４ｃ、１４４ｄは、最初の動作開始時刻を示す縦線分が縦一直線に並んでいる。
【００８７】
各第一のグラフ１３４ｂ〜１３４ｄのピーク位置を一致させるために、先ず、新らしく表示した第二のグラフ１４４ｂを上述のように選択し、移動させて、図７に示すように、各第二のグラフ１４４ｂ〜１４４ｄを一直線状に配置する。第一のグラフ１３４ｂは第二のグラフ１４４ｂと一緒に移動する。図７の符号１３４ｂ’、１４４ｂ’は移動後の第一、第二のグラフを指している。
【００８８】
移動の時、移動量は、符号付き修正時間に換算されて、修正時間を換算時刻に加算して修正換算時刻が求められている。
ノイズ１４７の立上りの換算時刻と、最初の動作開始時刻の換算時刻との間の時間の距離だけ移動すると、移動した第二のグラフ１４４ｂ’の最初の動作開始時刻の修正換算時刻と、移動しなかった第二のグラフ１４４ｃの最初の動作開始時刻の換算時刻は同じ時刻になる。
【００８９】
そして、最初の動作開始時刻からピークの時刻までの時間が同じであれば、移動した第一のグラフ１３４ｂ’のピークのＸ軸上の位置と、移動しなかった第一のグラフ１３４ｃのピークのＸ軸上の位置は同じになる。
【００９０】
換算時刻が表示される位置には、換算時刻に替えて修正換算時刻を表示させることが可能であり、図８では移動した第一、第二のグラフ１３４ｂ’、１４４ｂ’とメジャー線１０２、１０４の交点の近くに、測定値、制御信号の値と、修正換算時刻とが表示されている。
【００９１】
換算時刻を見ながら第一、第二のグラフ１３４ｂ、１４４ｂを移動させたり、修正換算時刻を見ながらメジャー線１０２、１０４を移動させることができるので、第二のグラフ１４４ｂ’、１４４ｃ、１４４ｄの位置を簡単に揃えることができる。その結果、第一のグラフ１３４ｂ’、１３４ｃ、１３４ｄのピーク位置やグラフの形状を簡単に比較することが出来る。
【００９２】
このように、本発明では、表示された第一、第二のグラフ１３４ａ〜１３４ｄ、１４４ａ〜１４４ｄのうち、同一ファイル名称１５１、１６１の測定値と制御信号から得られた第一、第二のグラフは互いに関連づけられて、関連づけられた第一、第二のグラフは別々に移動できないようになっている。
【００９３】
従って、一方が移動されても、他方も同一方向同距離移動するので、測定値とタイミングチャート(第二のグラフ)の相対的な関係は維持され、移動後の測定値が誤って解釈されることがないようになっている。従って、真空処理により得られるデータについて、正確な分析を行うことが出来る。
【００９４】
なお、上記実施例では、互いに関連づけられた第一、第二のグラフと交差できるメジャー線は別々には移動できないようになっており、一直線に配置されている。その状態で、第一、第二のグラフのうち、一方と交差できるメジャー線を移動させると、他方と交差できるメジャー線も同一方向に同距離移動するようになっている。
それとは異なり、本発明では、メジャー線は各々独立に移動できるようにしてもよい。
【００９５】
また、上記実施例では、互いに関連づけられた一組の第一、第二のグラフ１３４ａ、１４４ａ又は１３４ｂ、１４４ｂを移動対象にして移動させたが、互いに関連づけられた複数の組の第一又は第二のグラフを選択し、それらの組の第一、第二のグラフを移動対象とすることもできる。この場合、マウスやキーボードによって、一個の移動量を入力するだけで、移動対象にした全部の第一、第二のグラフをＸ軸に沿った同一方向に、Ｘ軸上で同距離移動させることができる。
【００９６】
なお、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には彩色指示列１１２、１２２が設けられており、ファイル名称１５１、１６１に対応し、彩色指示列１１２、１２２内に表示された色彩１５２、１６２を変更することで第一、第二のグラフの色彩を変更することが出来る。
【符号の説明】
【００９７】
１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３……処理機器群
２４……周辺機器群
３１〜３４……処理機器
３６〜３９……周辺機器
４０……分析装置(コンピュータ)
４１……シーケンサ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
１０１〜１０４……メジャー線
１３４ａ〜１３４ｄ……第一のグラフ
１４４ａ〜１４４ｄ……第二のグラフ
【図１】
2012003431.tif 000003
【図２】
2012003431.tif 000004
【図３】
2012003431.tif 000005
【図４】
2012003431.tif 000006
【図５】
2012003431.tif 000007
【図６】
2012003431.tif 000008
【図７】
2012003431.tif 000009
【図８】
2012003431.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月21日(2011.6.21)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する表示プログラムであって、前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻とを、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とにそれぞれ変換し、前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に表示することで第一のグラフを表示し、前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフを表示し、同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフを関連づけておき、前記第一、第二のグラフのうち、所望の前記第一、第二のグラフを選択できるようにし、関連づけられた第一又は第二のグラフのうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、横方向の移動量を入力できるようにし、前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフを前記画面上で横方向に移動させる表示プログラムである。
本発明は、前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができる表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する表示プログラムである。
本発明は、上記いずれかの表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と、測定値を測定した測定時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
この一定の時間間隔は、測定対象の物理量が同じであれば、真空処理が異なっても同じ時間間隔にされており、従って、測定時刻の一つを基準時刻とし、基準時刻を基準に換算時刻を算出し、複数のファイル名称１５１の測定値を読み込むと、一個の換算時刻に各ファイル名称１５１の測定値が対応されることになる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
図５では、移動しない複数組の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１４４ｃ、１３４ｄ、１４４ｄのうち、一組の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１４４ｃのファイル名称１５１、１６１のチェックボックス１５３、１６３と、移動した第一、第二のグラフ１３４ａ’、１４４ａ’のファイル名称１５１、１６１のチェックボックス１５３、１６３にチェックが付されており、合計四個のチェックボックス１５３、１６３にチェックが付され、四個の第一、第二のグラフ１３４ｃ、１３４ａ’、１４４ｃ、１４４ａ’に対応したメジャー線１０１、１０２、１０３、１０４が表示されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、
前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、
前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する表示プログラムであって、
前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻とを、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とにそれぞれ変換し、
前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、
前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に表示することで第一のグラフを表示し、
前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフを表示し、
同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフを関連づけておき、
前記第一、第二のグラフのうち、所望の前記第一、第二のグラフを選択できるようにし、
関連づけられた第一又は第二のグラフのうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、
横方向の移動量を入力できるようにし、
前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフを前記画面上で横方向に移動させる表示プログラム。
【請求項２】
前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができる請求項１記載の表示プログラム。
【請求項３】
前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の表示プログラム。
【請求項４】
前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の表示プログラム。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置。