(57)【要約】【課題】ワークを搬送しながらマスクとワークのＸ，Ｙ，θ方向のズレをリアルタイムで補正することができ、露光精度を向上することができるマスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法を提供する。【解決手段】マスクＭに形成されたマスク側アライメントマーク４１は、Ｘ方向に対して互いに異なる角度α°、−α°でそれぞれ傾斜した２本の斜線部４２ａ，４２ｂと、Ｘ方向に沿って延びる直線部４３ａ、４３ｂとを有する。また、このマスクＭを使用して、近接スキャン露光装置１では、撮像手段によって検出されたマスク側アライメントマーク４１とワーク側アライメントマークＷａとのズレ量が、ワークＷの搬送中、ワーク搬送機構１０、マスク駆動部１２、照射部１４の少なくとも一つによって補正される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク用基板にマスクパターンが設けられたマスクであって、
前記マスクパターンに対して所定の方向における前記マスク用基板の側方には、マスク側アライメントマークが形成されており、
該マスク側アライメントマークは、該所定の方向に対して互いに異なる角度でそれぞれ傾斜した、少なくとも２本の斜線部と、前記所定の方向に沿って延びる、少なくとも１本の直線部と、を有することを特徴とするマスク。
【請求項２】
前記マスク側アライメントマークの前記直線部は、前記所定の方向と直交する方向において、前記２本の斜線部の外側に、前記所定の方向に沿って延びる２本の直線部を有することを特徴とする請求項１に記載のマスク。
【請求項３】
前記マスク側アライメントマークは、前記マスクパターンに対して所定の方向における前記マスク用基板の側方に形成された窓部内に設けられ、
前記斜線部及び前記直線部は、前記窓部内に遮光領域を形成することで構成されることを特徴とする請求項１に記載のマスク。
【請求項４】
所定の方向に沿ってワークを搬送可能なワーク搬送機構と、
請求項１に記載の複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記各マスクに設けられた前記マスク側アライメントマークと前記ワークに設けられたワーク側アライメントマークとを撮像可能な撮像手段と、
を備え、前記搬送されるワークに対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記ワークに前記各マスクのマスクパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記撮像手段によって検出された前記マスク側アライメントマークと前記ワーク側アライメントマークとのズレ量が、前記ワークの搬送中、前記ワーク搬送機構、前記マスク駆動部、前記照射部の少なくとも一つによって補正されることを特徴とする近接スキャン露光装置。
【請求項５】
前記ズレ量は、前記ワーク搬送機構と前記マスク駆動部の少なくとも一つによって、前記マスクと前記ワークとを相対移動させることで補正されることを特徴とする請求項４に記載の近接スキャン露光装置。
【請求項６】
前記複数のマスク駆動部は、前記複数のマスク保持部を前記所定の方向、前記直交方向、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りの回転方向にそれぞれ駆動可能で、
前記マスク駆動部は、前記ワークの搬送中、前記ズレ量を補正するように前記マスク保持部を駆動することを特徴とする請求項４または請求項５に記載の近接スキャン露光装置。
【請求項７】
前記ワーク搬送機構は、前記ワークを保持するワーク保持部材と、前記ワーク保持部材を前記所定の方向に搬送するための第１の送り機構と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第１及び第２の駆動部を備えて、該ワーク保持部材を前記直交方向に移動可能、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能な第２の送り機構と、を有し、
前記第２の送り機構は、前記ワークの搬送中、該ズレ量を補正するように前記ワーク保持部材を駆動することを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか１項に記載の近接スキャン露光装置。
【請求項８】
前記複数の照射部は、フラッシュ光源を備え、
前記所定の方向におけるズレ量は、前記ワークの搬送中、前記フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで補正されることを特徴とする請求項４から請求項７のいずれか１項に記載の近接スキャン露光装置。
【請求項９】
所定の方向に沿ってワークを搬送可能なワーク搬送機構と、
請求項１に記載の複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記各マスクに設けられた前記マスク側アライメントマークと前記ワークに設けられたワーク側アライメントマークとを撮像可能な撮像手段と、
を備え、前記搬送されるワークに対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記ワークに前記各マスクのマスクパターンを露光する近接スキャン露光装置の近接スキャン露光方法であって、
前記ワークを搬送する工程と、
前記搬送工程中、前記撮像手段によって前記マスク側アライメントマークと前記ワーク側アライメントマークとを撮像して、該量マークのズレ量を検出する工程と、
前記搬送工程中、前記撮像手段によって検出されたズレ量を、前記ワーク搬送機構、前記マスク駆動部、前記照射部の少なくとも一つによって補正する工程と、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光方法。
【請求項１０】
前記補正工程は、前記ワーク搬送機構と前記マスク駆動部の少なくとも一つによって、前記マスクと前記ワークとを相対移動させることで前記ズレ量を補正することを特徴とする請求項９に記載の近接スキャン露光方法。
【請求項１１】
前記複数のマスク駆動部は、前記複数のマスク保持部を前記所定の方向、前記直交方向、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りの回転方向にそれぞれ駆動可能で、
前記補正工程は、前記マスク駆動部によって、前記ワークを搬送しながら、前記ズレ量を補正するように前記マスク保持部を駆動することを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の近接スキャン露光方法。
【請求項１２】
前記ワーク搬送機構は、前記ワークを保持するワーク保持部材と、前記ワーク保持部材を前記所定の方向に搬送するための第１の送り機構と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第１及び第２の駆動部を備えて、該ワーク保持部材を前記直交方向に移動可能、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能な第２の送り機構と、を有し、
前記補正工程は、前記第２の送り機構によって、前記ワークを搬送しながら、該ズレ量を補正するように前記ワーク保持部材を駆動することを特徴とする請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載の近接スキャン露光方法。
【請求項１３】
前記複数の照射部は、フラッシュ光源を備え、
前記補正工程は、所定の方向におけるズレ量を、前記ワークを搬送しながら、前記フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで補正することを特徴とする請求項９から請求項１２のいずれか１項に記載の近接スキャン露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
大型の薄形テレビ等に用いられる液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイは、ワーク上にマスクのパターンを分割逐次露光方式で近接露光転写することで製造されている。この種の分割逐次露光方法としては、マスクを細分化して、これらマスクを保持する複数のマスク保持部を千鳥状に配置し、ワークを一方向に移動させながら露光を行うスキャン露光方式が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この露光方式では、ワークに形成されるパターンに、ある程度繰り返される部位があることを前提として、これをつなぎ合わせることで大きなパターンを形成できることを利用したものである。この場合、マスクは、パネルに合わせて大きくする必要がなく、比較的安価なマスクを用いることができる。
【０００３】
特許文献１に記載の近接スキャン露光装置では、マスクにおける、複数のマスクパターンの並び方向側方に、マスク側アライメントマークと、ワークの表面を観察可能な覗き窓とが形成される。そして、ラインセンサによって、マスク側アライメントマークと、覗き窓を介してワーク側アライメントマークとを撮像して、各マーク間の距離を検出することで、スキャン方向（以下、Ｘ方向と称す。）と直交する方向（以下、Ｙ方向と称す。）におけるマスクとワークのズレを補正し、ワークの基準パターンに対する露光パターンの重ね合わせ精度を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１０２０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のような近接スキャン露光装置では、Ｙ方向におけるマスクとワークのズレを補正することはできるが、露光パターンが複雑な場合、Ｘ、Ｙ方向と直交する法線回りの回転方向（以下、θ方向と称す。）のズレがそのまま露光精度となってしまうため、ワークの搬送機構のとおり精度に依存してしまうという課題がある。
【０００６】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークを搬送しながらマスクとワークのＸ，Ｙ，θ方向のズレをリアルタイムで補正することができ、露光精度を向上することができるマスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  マスク用基板にマスクパターンが設けられたマスクであって、
前記マスクパターンに対して所定の方向における前記マスク用基板の側方には、マスク側アライメントマークが形成されており、
該マスク側アライメントマークは、該所定の方向に対して互いに異なる角度でそれぞれ傾斜した、少なくとも２本の斜線部と、前記所定の方向に沿って延びる、少なくとも１本の直線部と、を有することを特徴とするマスク。
（２）  前記マスク側アライメントマークの前記直線部は、前記所定の方向と直交する方向において、前記２本の斜線部の外側に、前記所定の方向に沿って延びる２本の直線部を有することを特徴とする（１）に記載のマスク。
（３）  前記マスク側アライメントマークは、前記マスクパターンに対して所定の方向における前記マスク用基板の側方に形成された窓部内に設けられ、
前記マスク側アライメントマークは、前記窓部内に遮光領域を形成することで構成されることを特徴とする（１）に記載のマスク。
【０００８】
（４）  所定の方向に沿ってワークを搬送可能なワーク搬送機構と、
（１）に記載の複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記各マスクに設けられた前記マスク側アライメントマークと前記ワークに設けられたワーク側アライメントマークとを撮像可能な撮像手段と、
を備え、前記搬送されるワークに対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記ワークに前記各マスクのマスクパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記撮像手段によって検出された前記マスク側アライメントマークと前記ワーク側アライメントマークとのズレ量が、前記ワークの搬送中、前記ワーク搬送機構、前記マスク駆動部、前記照射部の少なくとも一つによって補正されることを特徴とする近接スキャン露光装置。
（５）前記ズレ量は、前記ワーク搬送機構と前記マスク駆動部の少なくとも一つによって、前記マスクと前記ワークとを相対移動させることで補正されることを特徴とする（４）に記載の近接スキャン露光装置。
（６）  前記複数のマスク駆動部は、前記複数のマスク保持部を前記所定の方向、前記直交方向、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りの回転方向にそれぞれ駆動し、
前記マスク駆動部は、前記ワークの搬送中、前記ズレ量を補正するように前記マスク保持部を駆動することを特徴とする（４）または（５）に記載の近接スキャン露光装置。
（７）  前記ワーク搬送機構は、前記ワークを保持するワーク保持部材と、前記ワーク保持部材を前記所定の方向に搬送するための第１の送り機構と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第１及び第２の駆動部を備えて、該ワーク保持部材を前記直交方向に移動可能、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能な第２の送り機構と、を有し、
前記第２の送り機構は、前記ワークの搬送中、該ズレ量を補正するように前記ワーク保持部材を駆動することを特徴とする（４）から（６）のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
（８）前記複数の照射部は、フラッシュ光源を備え、
前記所定の方向におけるズレ量は、前記ワークの搬送中、前記フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで補正されることを特徴とする（４）から（７）のいずれかに記載の近接スキャン露光装置。
【０００９】
（９）  所定の方向に沿ってワークを搬送可能なワーク搬送機構と、
（１）に記載の複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記各マスクに設けられた前記マスク側アライメントマークと前記ワークに設けられたワーク側アライメントマークとを撮像可能な撮像手段と、
を備え、前記搬送されるワークに対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記ワークに前記各マスクのマスクパターンを露光する近接スキャン露光装置の近接スキャン露光方法であって、
前記ワークを搬送する工程と、
前記搬送工程中、前記撮像手段によって前記マスク側アライメントマークと前記ワーク側アライメントマークとを撮像して、該量マークのズレ量を検出する工程と、
前記搬送工程中、前記撮像手段によって検出されたズレ量を、前記ワーク搬送機構、前記マスク駆動部、前記照射部の少なくとも一つによって補正する工程と、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光方法。
（１０）  前記補正工程は、前記ワーク搬送機構と前記マスク駆動部の少なくとも一つによって、前記マスクと前記ワークとを相対移動させることで前記ズレ量を補正することを特徴とする（９）に記載の近接スキャン露光方法。
（１１）  前記複数のマスク駆動部は、前記複数のマスク保持部を前記所定の方向、前記直交方向、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りの回転方向にそれぞれ駆動可能で、
前記補正工程は、前記マスク駆動部によって、前記ワークを搬送しながら、前記ズレ量を補正するように前記マスク保持部を駆動することを特徴とする（９）または（１０）に記載の近接スキャン露光方法。
（１２）  前記ワーク搬送機構は、前記ワークを保持するワーク保持部材と、前記ワーク保持部材を前記所定の方向に搬送するための第１の送り機構と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第１及び第２の駆動部を備えて、該ワーク保持部材を前記直交方向に移動可能、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能な第２の送り機構と、を有し、
前記補正工程は、前記第２の送り機構によって、前記ワークを搬送しながら、該ズレ量を補正するように前記ワーク保持部材を駆動することを特徴とする（９）から（１１）のいずれかに記載の近接スキャン露光方法。
（１３）  前記複数の照射部は、フラッシュ光源を備え、
前記補正工程は、所定の方向におけるズレ量を、前記ワークを搬送しながら、前記フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで補正することを特徴とする（９）から（１２）のいずれかに記載の近接スキャン露光方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のマスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法によれば、マスクに形成されたマスク側アライメントマークが、所定の方向（本実施形態では、Ｘ方向）に対して互いに異なる角度でそれぞれ傾斜した、少なくとも２本の斜線部と、所定の方向に沿って延びる、少なくとも１本の直線部と、を有するので、ワークを搬送しながらマスクとワークのＸ，Ｙ，θ方向のズレをリアルタイムで補正することができ、露光精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態である近接スキャン露光装置を、照射部を取り外した状態で示す平面図である。
【図２】図１における近接スキャン露光装置の正面図である。
【図３】図１におけるマスク保持部の要部拡大図である。
【図４】マスク側アライメントマークを示す、図３のＩＶ部拡大図である。
【図５】撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す正面図である。
【図６】（ａ）は、撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す平面図であり、（ｂ）は撮像手段によって検出された各距離を表す図である。
【図７】（ａ）は、撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す平面図であり、（ｂ）は撮像手段によって検出された各距離を表す図である。
【図８】（ａ）は、撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す平面図であり、（ｂ）は撮像手段によって検出された各距離を表す図である。
【図９】（ａ）は、撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す平面図であり、（ｂ）は撮像手段によって検出された各距離を表す図である。
【図１０】（ａ）は、撮像手段によってワーク側アライメントマーク及びマスク側アライメントマークを撮像する状態を示す平面図であり、（ｂ）は撮像手段によって検出された各距離を表す図である。
【図１１】マスク側アライメントマークの変形例を示す図である。
【図１２】本発明の第２実施形態である近接スキャン露光装置を、照射部を取り外した状態で示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係るマスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
先ず、第１実施形態の近接スキャン露光装置１の構成について概略説明する。図１及び図２に示すように、本実施形態の近接スキャン露光装置１は、ワーク（例えば、液晶ディスプレイ用基板としてのカラーフィルタ基板）Ｗを浮上させて支持すると共に、所定の方向（図１のＸ方向）に搬送するワーク搬送機構１０と、複数のマスクＭをそれぞれ保持し、所定の方向と直交する方向（図１のＹ方向）に沿って千鳥状に二列配置された複数（図１に示す実施形態において、左右それぞれ６個）のマスク保持部１１と、複数のマスク保持部１１をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部１２と、複数のマスク保持部１１の上部にそれぞれ配置されて露光用光を照射する複数の照射部１４（図２参照）と、近接スキャン露光装置１の各作動部分の動作を制御する制御部１５と、を主に備える。
【００１４】
ワーク搬送機構１０は、ワークＷをＸ方向に搬送する領域、即ち、複数のマスク保持部１１の下方領域、及びその下方領域からＸ方向両側に亘る領域に設けられた浮上ユニット１６と、ワークＷのＹ方向一側（図１において上辺）を保持してＸ方向に搬送するワーク駆動ユニット１７とを備える。浮上ユニット１６は、複数のフレーム１９上にそれぞれ設けられた排気のみ或いは排気と吸気を同時に行なう複数のエアパッド２０を備える。
【００１５】
ワーク駆動ユニット１７は、図１に示すように、浮上ユニット１６によって浮上、支持されたワークＷの一端を保持する吸着パッド（ワーク保持部材）２２を備え、モータ２３、ボールねじ２４、及びナット（図示せず）からなる第１の搬送機構であるボールねじ機構２５によって、ガイドレール２６に沿ってワークＷをＸ方向に搬送する。なお、図２に示すように、複数のフレーム１９は、床面にレベルブロック１８を介して設置された装置ベース２７上に他のレベルブロック２８を介して配置されている。また、ワークＷは、ボールねじ機構２５の代わりに、リニアサーボアクチュエータによって搬送されてもよい。
【００１６】
マスク駆動部１２は、フレーム（図示せず）に取り付けられ、マスク保持部１１をＸ方向に沿って駆動するＸ方向駆動部３１と、Ｘ方向駆動部３１の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をＹ方向に沿って駆動するＹ方向駆動部３２と、Ｙ方向駆動部３２の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をθ方向（Ｘ，Ｙ方向からなる水平面の法線回り）に回転駆動するθ方向駆動部３３と、θ方向駆動部３３の先端に取り付けられ、マスク保持部１１をＺ方向（Ｘ，Ｙ方向からなる水平面の鉛直方向）に駆動するＺ方向駆動部３４と、を有する。これにより、Ｚ方向駆動部３４の先端に取り付けられたマスク保持部１１は、マスク駆動部１２によってＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に駆動可能である。なお、Ｘ，Ｙ，θ，Ｚ方向駆動部３１，３２，３３，３４の配置の順序は、適宜変更可能である。
【００１７】
また、図１に示すように、Ｙ方向に沿ってそれぞれ直線状に配置された上流側及び下流側の各マスク保持部１１ａ，１１ｂ間には、各マスク保持部１１のマスクＭを同時に交換可能なマスクチェンジャ２が配設されている。マスクチェンジャ２により搬送される使用済み或いは未使用のマスクＭは、マスクストッカ３，４との間でマスクローダー５により受け渡しが行なわれる。なお、マスクストッカ３とマスクチェンジャ２とで受け渡しが行なわれる間にマスクプリアライメント機構（図示せず）によってマスクＭのプリアライメントが行なわれる。
【００１８】
図２に示すように、マスク保持部１１の上部に配置される照射部１４は、紫外線を含んだ露光用光ＥＬを放射する、超高圧水銀ランプからなる光源６１と、光源６１から照射された光を集光する凹面鏡６２と、この凹面鏡６２の焦点近傍に光路方向に移動可能な機構を有するオプチカルインテグレータ６３と、光路の向きを変えるための平面ミラー６５及び球面ミラー６６と、この平面ミラー６５とオプチカルインテグレータ６３との間に配置された照射光路を開閉制御するシャッター６４と、を備える。なお、光源６１としては、エキシマレーザやフラッシュ光源としてのＹＡＧフラッシュレーザであってもよい。
【００１９】
また、図３に示すように、マスク保持部１１に保持される各マスクＭでは、マスク基板にＸ方向に並べて配置された２つのパターンＰ１、Ｐ２が形成されている。また、パターンＰ１，Ｐ２のＸ方向における外側には、それぞれ監視用の窓部４０が設けられている。２つのパターンＰ１，Ｐ２を有するマスクＭは、マスク保持部１１に保持されるとき、１８０°回転させて保持させることにより、２つのパターンＰ１，Ｐ２の露光の使い分けが可能となっている。
【００２０】
また、監視用の窓部４０内には、図４に示すようなマスク側アライメントマーク（追従マーク）４１が設けられている。このマスク側アライメントマーク４１は、窓部４０内に遮光領域を形成することで構成され、Ｘ方向に対して互いに異なる角度、即ち、本実施形態では、Ｘ方向に対して角度α°、−α°でそれぞれ傾斜した２本の斜線部４２ａ，４２ｂと、これら斜線部４２ａ，４２ｂのＹ方向両側で、Ｘ方向に沿って延びる２本の直線部４３ａ，４３ｂと、を有し、略Ｍ字形に形成されている。
【００２１】
マスクＭの上方、または、ワークＷの下方には、マスクＭの有効露光エリア内において、マスクＭとワークＷとの間のギャップを測定するギャップセンサ（図示せず）が設けられている。
【００２２】
また、マスク保持部１１の下方に配置されたフレーム１９には、ワークＷとマスクＭの相対位置を検知する撮像手段であるラインカメラ３９（図２参照）が、マスクＭの窓部を観測可能な位置で、複数のマスク保持部１１ごとに配置されている。ラインカメラ３９としては、公知の構成のものが適用され、図５に示すように、搬送されるワークＷに予め形成されたワーク側アライメントマークＷａ（Ｒ，Ｇ，Ｂを露光する場合には、ブラックマトリクスの基準線）と、各マスクＭに設けられたラインカメラ用のマスク側アライメントマーク４１とを、それぞれ同一視野に捕らえて撮像するものであり、光を受光する多数の受光素子を一直線上に並べて備えた受光面としてのラインＣＣＤと、ワーク側アライメントマークＷａやマスク側アライメントマーク４１をラインＣＣＤ上に結増させる集光レンズ等を備える。
【００２３】
このような近接スキャン露光装置１は、浮上ユニット１６のエアパッド２０の空気流によってワークＷを浮上させて保持し、ワークＷの一端をワーク駆動ユニット１７で吸着してＸ方向に搬送する。そして、後述するアライメント処理を施しながら、各マスクＭの下方に搬送されたワークＷに対して、照射部１４からの露光用光ＥＬがワークＷに近接するマスクＭを介して照射され、マスクＭのパターンをワークＷに塗布されたレジストに転写する。
【００２４】
ここで、図６〜図１０を参照して、ワークＷを搬送しながらアライメント処理が行われる工程について説明する。
【００２５】
該アライメント処理では、ワークＷが搬送されている状態で、ラインカメラ３９がマスク側アライメントマーク４１とワーク側アライメントマークＷａとを撮像し、制御部１５は、両マーク４１，Ｗａのズレ量を検出する。そして、制御部１５は、ワークＷを搬送しながら、ラインカメラ３９によって検出されたズレ量を、マスク駆動部１２、もしくは照射部１４によってリアルタイムに補正する。従って、搬送されているワークＷには、アライメント処理によってズレ量が補正された状態で、マスクＭのパターンが露光転写される。
【００２６】
図６（ａ）に示すように、ワークＷがマスクＭに対してＸ方向、Ｙ方向、及びθ方向にズレがない状態で搬送されている場合には、ラインカメラ３９は、図６（ｂ）に示すような画像を撮像し、制御部１５は、ワーク側アライメントマークＷａと直線部４３ａとの距離Ｌ１、直線部４３ａと斜線部４２ａとの距離Ｌ２、両斜線部４２ａ，４２ｂ間の距離Ｌ３、斜線部４２ａの幅Ｌ４、斜線部４２ｂの幅Ｌ５が設計値と等しい値を検出する。
【００２７】
次に、図７（ａ）に示すように、ワークＷがマスクＭに対してＹ方向にズレが生じた状態で搬送されている場合には、ラインカメラ３９は、図７（ｂ）に示すような画像を撮像する。制御部１５は、設定値の各距離Ｌ１〜Ｌ５に対して、ワーク側アライメントマークＷａと直線部４３ａとの距離Ｌ１のみが設計値から変化した（距離Ｌ１→Ｌ１´）ことを検出する。そして、制御部１５は、ワークＷを搬送しながら、当該距離Ｌ１が設計値となるようにマスク駆動部１２を駆動して、マスクＭをワークＷに対してＹ方向にリアルタイムに移動させる。
【００２８】
次に、図８（ａ）に示すように、ワークＷがマスクＭに対してＸ方向にズレが生じた状態で搬送されている場合には、ラインカメラ３９は、図８（ｂ）に示すような画像を撮像する。制御部１５は、設定値の各距離Ｌ１〜Ｌ５に対して、直線部４３ａと斜線部４２ａとの距離Ｌ２、両斜線部４２ａ，４２ｂ間の距離Ｌ３が設計値から変化した（距離Ｌ２→Ｌ２´、距離Ｌ３→Ｌ３´）ことを検出する。そして、制御部１５は、ワークＷを搬送しながら、当該距離Ｌ２またはＬ３が設計値となるようにマスク駆動部１２を駆動して、マスクＭをワークＷに対してＸ方向にリアルタイムに移動させる。
なお、各照射部１４の光源６１がフラッシュ光源である場合には、制御部１５は、マスク駆動部１２を駆動する代わりに、ワークＷを搬送しながら、フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで、Ｘ方向のズレをリアルタイムで補正してもよい。
【００２９】
また、図９（ａ）に示すように、ワークＷがマスクＭに対してθ方向にズレが生じた状態で搬送されている場合には、ラインカメラ３９は、図９（ｂ）に示すような画像を撮像する。制御部１５は、設定値の各距離Ｌ１〜Ｌ５に対して、斜線部４２ａの幅Ｌ４、斜線部４２ｂの幅Ｌ５が設計値から変化した（距離Ｌ４→Ｌ４´、距離Ｌ５→Ｌ５´）ことを検出する。そして、制御部１５は、ワークＷを搬送しながら、当該距離Ｌ４またはＬ５が設計値となるようにマスク駆動部１２を駆動して、マスクＭをワークＷに対してθ方向にリアルタイムに移動させる。なお、直線部４３ａと斜線部４２ａとの距離Ｌ２、両斜線部４２ａ，４２ｂ間の距離Ｌ３も設計値から変化している（距離Ｌ２→Ｌ２´、距離Ｌ３→Ｌ３´）ので、これらの値を利用して補正を行ってもよい。
【００３０】
さらに、図１０に示すように、本実施形態では、ラインカメラ３９が各直線部４３ａ，４３ｂを撮像した際に、制御部１５から検出される直線部４３ａ，４３ｂ間の距離Ｃがカメラ撮像基準値Ｄと異なる場合には、制御部１５は、距離Ｃに対して倍率補正を行い、ラインカメラ３９による測定精度を向上することができる。なお、マスク側アライメントマーク４１のＹ方向中心から各直線部４３ａ，４３ｂまでの距離Ａ，Ｂを算出することで、より精度良く倍率補正を行うことができる。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態のマスクＭによれば、マスクＭに形成されたマスク側アライメントマーク４１が、Ｘ方向に対して互いに異なる角度α°、−α°でそれぞれ傾斜した２本の斜線部４２ａ，４２ｂと、Ｘ方向に沿って延びる直線部４３ａ、４３ｂとを有するので、ワークＷを搬送しながらマスクＭとワークＷのＸ，Ｙ，θ方向のズレをリアルタイムで補正することができ、露光精度を向上することができる。
【００３２】
また、マスク側アライメントマーク４１は、Ｙ方向において、２本の斜線部４２ａ，４２ｂの外側に、Ｘ方向に沿って延びる２本の直線部４３ａ，４３ｂを有するので、制御部１５は、２本の直線部４３ａ，４３ｂの測定値（距離Ｃ）を用いて、倍率補正を行うことができ、精度の良いズレ量の補正を行うことができる。
【００３３】
さらに、マスク側アライメントマーク４１は、マスクパターンＰ１，Ｐ２に対してＸ方向におけるマスク用基板の側方に形成された窓部４０内に設けられ、マスク側アライメントマーク４１は、窓部４０内に遮光領域を形成することで構成されるので、マスクＭのサイズを変更することなく、マスクＭを設計することができる。
【００３４】
また、本実施形態の近接スキャン露光装置１及び近接スキャン露光方法によれば、Ｘ方向に沿ってワークＷを搬送可能なワーク搬送機構１０と、上述の複数のマスクＭをそれぞれ保持する複数のマスク保持部１１と、複数のマスク保持部１１をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部１２と、複数のマスク保持部１１の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部１４と、各マスクＭに設けられたマスク側アライメントマーク４１とワークＷに設けられたワーク側アライメントマークＷａとを撮像可能なラインカメラ３９と、を備え、搬送されるワークＷに対して複数のマスクＭを介して露光用光を照射し、ワークＷに各マスクＭのマスクパターンを露光する。この際、ラインカメラ３９によって検出されたマスク側アライメントマーク４１とワーク側アライメントマークＷａとのズレ量が、ワークＷの搬送中、マスク駆動部１２を駆動することで補正されるので、既存装置を用いて露光精度を向上することができる。
また、フラッシュ光源の場合には、Ｘ方向におけるズレ量は、ワークＷの搬送中、フラッシュ光源の点滅タイミングを変更することで補正されるので、簡単に露光精度を向上することができる。
【００３５】
なお、本実施形態では、マスク側アライメントマークを略Ｍ字形状に形成しているが、本発明のマスク側アライメントマークは、所定の方向に対して互いに異なる角度でそれぞれ傾斜した、少なくとも２本の斜線部と、所定の方向に沿って延びる、少なくとも１本の直線部と、を有する形状であれば、任意に設計することができる。例えば、図１１に示すように、Ｘ方向に沿って延びる直線部４３ａは、図１１に示すように、一本であってもよい。また、本実施形態では、各斜線部４２ａ，４２ｂと各直線部４３ａ，４３ｂとは、互いに離間しているが、各斜線部４２ａ，４２ｂと各直線部４３ａ，４３ｂは端部で結合していてもよい。
【００３６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るマスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法について、図１２を参照して説明する。なお、第１実施形態と同一または同等部分については、同一符号を付して説明を省略或いは簡略化する。
【００３７】
図１２に示す近接スキャン露光装置１では、ワーク搬送機構１０は、第１実施形態と同様に、ワーク保持部材としての吸着パッド２２と、第１の送り機構としてのボールねじ機構２５及びガイドレール２６と、を有するのに加え、ボールねじ機構２５及びガイドレール２６によってＸ方向に沿って往復搬送される移動基台５２と、移動基台５２上に配設される第２の送り機構であるＹ方向搬送機構５４と、を備える。
【００３８】
Ｙ方向搬送機構５４は、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第１及び第２の駆動部である第１及び第２のボールねじ機構５５，５６をそれぞれ備えている。そして、吸着パッド２２の両端部は、ボールねじ機構５５，５６のナット（図示せず）にベアリング（図示せず）を介して回転自在に支持されている。これにより、Ｙ方向搬送機構５４は、吸着パッド２２を移動基台５２に対してＹ方向に移動可能、且つ、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能とする。
【００３９】
従って、本実施形態では、ワーク搬送機構１０は、吸着パッド２２をＸ，Ｙ，θ方向に駆動することができ、複数のマスクＭとワークＷとの各アライメント処理において、同じようなＸ，Ｙ，θ方向のズレ量が検出された場合には、ワークＷの搬送中、該ズレ量を補正するようにワーク搬送機構１０によって吸着パッド２２を駆動することができる。従って、ワークＷを各マスクＭに対して相対移動させることで、一括してズレ量を補正して露光精度の向上を図ることができる。
【００４０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、適宜、変更、改良等が可能である。
本発明の近接スキャン露光装置は、本実施形態のものに限定されるものでなく、任意のものに適用可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１  近接スキャン露光装置
２  マスクチェンジャ
１０  ワーク搬送機構
１１  マスク保持部
１２  マスク駆動部
１４  照射部
１５  制御部
４０  窓部
４１  マスク側アライメントマーク
４２ａ，４２ｂ  斜線部
４３ａ，４３ｂ  直線部
６１  超高圧水銀ランプ（光源）
６４  シャッター
ＥＬ  露光用光
Ｍ  マスク
Ｗ  カラーフィルタ基板（ワーク）
Ｗａ  ワーク側アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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