(57)【要約】【課題】塵埃により受ける影響がより少ない流量測定装置を実現する。【解決手段】本発明の流量測定装置１は、流体が流れる主流路５と、流体が主流路５から分流され、流量検出素子１２に供された後、主流路５に戻される副流路部２０とを備え、副流路部２０は、流体が主流路５から分流され、流量検出素子１２に供されることなく、主流路５に戻される分流路２３と、分流路２３から分流され、流量検出素子１２に供される検出路２７とを備え、分流路２３は、主流路５と接続する両端部の間を流体が滑らかに流れる滑流部４５と、滑流部４５に隣接し、流体の流れを妨げるように設けられた仕切り４３によって分けられた第１房部４１および第２房部４２を備え、第１房部４１および第２房部４２には、検出路２７の両端部がそれぞれ接続している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる主流路と、該流体が該主流路から分流され、流量を測定するための検出素子に供された後、上記主流路に戻される副流路とを備えた流量測定用構造体において、
上記副流路は、
上記主流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供されることなく、上記主流路に戻される第１支流路と、
上記第１支流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供される第２支流路とを備えており、
上記第１支流路は、
上記主流路と接続する両端部の間を上記流体が滑らかに流れる滑流部と、
上記滑流部に隣接し、上記流体の流れを妨げるように設けられた仕切りによって分けられた第１房部および第２房部を備えており、
上記第１房部および上記第２房部には、上記第２支流路の両端部がそれぞれ接続していることを特徴とする流量測定用構造体。
【請求項２】
上記滑流部には、流体の進行方向を滑らかに変える２つの湾曲部が備えられ、
上記第２支流路の両端部は、上記第１房部および上記第２房部における、上記湾曲部の曲率中心に接続していることを特徴とする請求項１に記載の流量測定用構造体。
【請求項３】
上記第２支流路の両端部は、上記第１房部および上記第２房部の中央に接続していることを特徴とする請求項１に記載の流量測定用構造体。
【請求項４】
上記第１支流路は、上記第２支流路を挟んで２つ備えられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の流量測定用構造体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の流量測定用構造体における第２支流路に流量を測定するための検出素子を配置した流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路を流れる流体の流量を測定する装置、特に、主流路から分流した副流路を流れる流体の流量から、流路を流れる流体の総流量を求める流量測定用構造体、および流量測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、流量測定装置には、直管型と分流型とが存在している。直管型流量測定装置は、図１１（ａ）に示すように、測定対象の気体または液体である流体が流れている配管２０１に直接、流量検出素子２０２が配置された構成となっている。
【０００３】
また、分流型流量測定装置は、図１１（ｂ）に示すような、主流管２１１に分流路２１２への導入孔を設け、分流路２１２に流量検出装置２１３が配置された構成か、または、図１１（ｃ）に示すように、主流管２１５の内部に分流路２１６を設け、分流路２１６に流量検出装置２１７が配置された構成となっている。
【０００４】
一般に、直管型流量測定装置では、配管に流れる流体をそのまま測定するため、大流量の流体を測定する場合、流量検出素子の測定可能領域まで流速を低くする必要がある。そのためには、配管の直径を大きくする必要があり、装置の小型化に限界が生じてしまう。
【０００５】
そこで、大流量の流体を測定する場合は、分流型流量測定装置が用いられる。分流型流量測定装置は、主流路から分流路を分岐させ、分流路に流れる流体の流速を流量検出素子で測定し、主流路と分流路との分流比、および分流路における流速より総流量を求めている。
【０００６】
特許文献１には、以下に示す分流型の流量測定装置１００が記載されている。具体的には、特許文献１には、図１２（ａ）に示すように、主流路１１２の外周面を跨ぐようにして主流路１１２の上に副流路１１４が設けられた流量測定装置１００が記載されている。流量測定装置１００は、主流路１１２の内壁の、オリフィス（図示せず）よりも上流側の左右両側に導入孔１１５が設けられるとともに、オリフィスよりも下流側の左右両側に排出孔１１６が設けられている。そして、導入孔１１５から上方へ延びた導入流路１１７の上端部と、排出孔１１６から上方に延びた排出流路１１８の上端部とが第１副流路１１９でつながれて連通されている。また、左右の導入流路１１７の上端間を第２副流路１２０でつながれて連通されるとともに、左右の排出流路１１８の上端間を第２副流路１２１でつながれて連通されている。さらに、第２副流路１２０、１２１の中央部同士が水平な検出流路１２２でつながれて連通され、検出流路１２２内に、気体の流速を測定するための流量検出素子（図示せず）が設けられている。
【０００７】
そして、検出流路１２２を通過する気体の流速を測定し、測定した検出流路１２２における流速、および主流路１１２と検出流路１２２との分流比から、流量測定測定装置１００を流れる気体の総流量を求めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−３０８５１８号公報（２００６年１１月９日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献１に記載の構成では、以下の問題を生じる。すなわち、特許文献１の構成では、導入孔１１５から導入流路１１７に入り込んだ塵埃のほとんどは、第１副流路１１９、排出流路１１８、排出孔１１６とは流れていかずに、第２副流路１２０、検出流路１２２と流れてしまう。なぜならば、図１２（ｂ）に示すように、導入流路１１７と第１副流路１１９とは直角に接続しており、導入孔１１５から入り込んだ塵埃は、慣性力により、そのまま直進する（すなわち、導入流路１１７を第２副流路１２０の方向へ進む）可能性が高いためである。なお、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の領域１３１の部分を拡大し、模式的に示した図である。
【００１０】
そして、これにより、検出流路１２２に備えられている流量検出素子１２５に塵埃１２７が付着し、流量検出素子１２５の測定精度が低下してしまう（図１２（ｃ）参照）。
【００１１】
また、特許文献１の構成では、導入流路１１７と第２副流路１２０とも直角に接続されているため、導入流路１１７と第２副流路１２０との接続箇所において、塵埃が蓄積されてしまう可能性が高い。これにより、第２副流路１２０を流れる気体の量が変化し、主流路１１２と検出流路１２２との分流比に変化が起こり、流量測定装置１００が正確に気体の総流量を測定できなくなる可能性がある。
【００１２】
模式的に図１３を用いて説明する。図１３は、分流型の流量測定措置を模式的に示す図であり、図１３（ａ）は、主流路１５１中を流れる気体の量がａ、副流路１５２を流れる気体の量がｂであることを示している。そして、副流路１５２に流量検出素子１５３が設けられている。分流型の流量測定装置では、上述したように、流量検出素子１５３で検出した副流路１５２の流量と、主流路１５１と副流路１５２との分流比（ここではａ：ｂ）とを用いて総流量を算出する。
【００１３】
しかしながら、図１３（ｂ）に示すように、副流路１５２に塵埃１５４が堆積すると、副流路１５２に流れる気体の流量が、ｂ→ｂ´に変化するとともに、主流路１５１に流れる気体の流量もａ→ａ´に変化してしまう。よって、この状態で分流比がａ：ｂであるとして、総流量を求めると、実際の分流比はａ´：ｂ´となってしまっているため、誤差が生じてしまう。
【００１４】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、塵埃により受ける影響がより少ない流量測定装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明に係る流量測定用構造体は、流体が流れる主流路と、該流体が該主流路から分流され、流量を測定するための検出素子に供された後、上記主流路に戻される副流路とを備えた流量測定用構造体において、上記副流路は、上記主流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供されることなく、上記主流路に戻される第１支流路と、上記第１支流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供される第２支流路とを備えており、上記第１支流路は、上記主流路と接続する両端部の間を上記流体が滑らかに流れる滑流部と、上記滑流部に隣接し、上記流体の流れを妨げるように設けられた仕切りによって分けられた第１房部および第２房部を備えており、上記第１房部および上記第２房部には、上記第２支流路の両端部がそれぞれ接続していることを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、第１支流路に入った流体は、滑流部を滑らかに流れて主流路に戻るので、第１支流路に塵埃が堆積しにくい。
【００１７】
さらに、第１支流路に入った流体の一部は、仕切りにより、第１房部または第２房部に接続している端部から第２支流路に流れる。一方、第１支流路に入った塵埃は、流れ易さにより、滑流部を通過していくので、第２支流路には、入りにくい。
【００１８】
以上のように、上記の構成によれば、第１支流路に入った塵埃は、堆積せず、そのまま主流路に流れて行きやすく、また、第２支流路には入りにくいので、第２支流路に配置された流量を測定するための検出素子に付着しにくい。
【００１９】
よって、検出素子によって検出された結果は、塵埃による影響をほとんど受けることがなく、塵埃によって生じる誤差の少ない流量測定用構造体を実現することができる。
【００２０】
本発明に係る流量測定構造体では、上記滑流部には、流体の進行方向を滑らかに変える２つの湾曲部が備えられ、上記第２支流路の両端部は、上記第１房部および上記第２房部における、上記湾曲部の曲率中心に接続してもよい。
【００２１】
上記の構成によれば、第１支流路に入った塵埃は、遠心力により湾曲部近傍を通過し、湾曲部の曲率中心へは行きにくい。よって、塵埃は、湾曲部の曲率中心に端部が接続された第２支流路には入りにくい。
【００２２】
これにより、第２支流路に塵埃が入ることを防止することができ、塵埃によって生じる誤差の少ない流量測定用構造体を実現することができる。
【００２３】
本発明に係る流量測定用構造体では、上記の第２支流路の両端部は、上記第１房部および上記第２房部の中央に接続していてもよい。
【００２４】
上記の構成によれば、第２支流路の端部は、流体の進行方向に面している壁面から離れた位置となるので、塵埃が上記壁面に沿って流れたとしても、第２支流路に塵埃が入ることを防止することができる。
【００２５】
これにより、より塵埃によって生じる誤差の少ない流量測定用構造体を実現することができる。
【００２６】
本発明に係る流量測定用構造体では、上記第１支流路は、上記第２支流路を挟んで２つ備えられていてもよい。
【００２７】
上記の構成によれば、第２支流路には、２つの第１支流路から流体が入り込む。よって、主流路において、流体が偏って流れていたとしても、副流路において流体の流れが平均化されるので、偏りのない測定結果を算出することができる。
【００２８】
上記流量測定用構造体における第２支流路に、流量を測定するための検出素子を配置した流量測定装置でも、上述した効果を奏することができる。
【発明の効果】
【００２９】
以上のように、本発明に係る流量測定装置は、流体が流れる主流路と、該流体が該主流路から分流され、流量を測定するための検出素子に供された後、上記主流路に戻される副流路とを備え、上記副流路は、上記主流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供されることなく、上記主流路に戻される第１支流路と、上記第１支流路から上記流体が分流され、上記検出素子に供される第２支流路とを備えており、上記第１支流路は、上記主流路と接続する両端部の間を上記流体が滑らかに流れる滑流部と、上記滑流部に隣接し、上記流体の流れを妨げるように設けられた仕切りによって分けられた第１房部および第２房部を備えており、上記第１房部および上記第２房部には、上記第２支流路の両端部がそれぞれ接続している構成である。
【００３０】
これにより、第１支流路に入った塵埃は、堆積せず、そのまま主流路に流れて行きやすく、また、第２支流路には入りにくいので、塵埃によって生じる誤差の少ない流量測定用構造体を実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態である流量測定装置の副流路の構成を説明するための図である。
【図２】上記流量測定装置の構成および外観を示す図である。
【図３】上記流量測定装置における気体および塵埃の流れを示す図である。
【図４】本実施の形態と従来の構成とにおける、通過粒子の数の違いを示す図である。
【図５】上記流量測定装置における流量検出素子の構造を説明するための図である。
【図６】上記副流路部の構成の一形態を説明するための図である。
【図７】上記副流路部の構成の一形態を説明するための図である。
【図８】本発明の他の実施の形態における、副流路部の流路の形態を説明するための図である。
【図９】本発明のさらに他の実施の形態における、副流路部の流路の構成を示す図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施の形態における副流路部の構成を説明するための図である。
【図１１】本発明の背景技術を説明するための図である。
【図１２】従来技術を説明するための図である。
【図１３】分流型の流量測定措置における課題を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
（実施の形態１）
本発明の一実施の形態について図１から図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００３３】
本実施の形態に係る流量測定装置（流量測定用構造体）１は、いわゆる分流型の流量測定装置であり、以下に示す構造を備えることにより、流路内に塵埃が堆積することを防止するとともに、流量検出素子に塵埃が付着することを防止し、測定精度を維持することができるものである。なお、以下では、流量測定装置１の測定対象は気体として説明するが、これに限られるものではなく、測定対象は液体でもよい。
【００３４】
（流量測定装置の基本構成および外観）
まず、図２を用いて、流量測定装置１の基本構成および外観を説明する。図２は、流量測定装置１の構成および外観を示す図であり、図２（ａ）は、流量測定装置１の基本構成を示し、図２（ｂ）は、流量測定装置１の外観を示す図である。
【００３５】
図２（ａ）に示すように、流量測定装置１は、主流路５を有する主流管１０の外周面に副流路部２０を形成するための副流路形成部１６を一体成形した合成樹脂製のベース部材１７と、ゴムなどの絶縁材からなる環状のシール部材１１と、ベース部材１７側の面に流量検出素子（検出素子）１２が設けられた回路基板１３と、回路基板１３を覆うカバー１４とで構成されている。
【００３６】
そして、図２（ｂ）に矢印で示すように、主流路５を気体が流れると、気体の一部が副流路形成部１６内に設けられた副流路（後述する）を流れ、副流路内に設けられた流量検出素子１２で流量が測定されることにより、流量測定装置１を流れる気体の総流量が求められる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、主流管１０において気体が流れる方向をｚ方向、主流管１０の垂直断面で、副流路形成部１６が形成されている方向をｙ方向、ｙ方向と垂直な方向をｘ方向と呼ぶ。また、ｘ方向とｙ方向とは互いに垂直な方向であり、ｚ方向は、ｘ方向とｙ方向とを含む平面に垂直な方向である。
【００３８】
（副流路の構成）
次に、図１を用いて、副流路形成部１６内に形成されている副流路（分流路導入孔２１、導入路２２、分流路（第１支流路）２３、検出路導入孔２４、第１連通路（第２支流路）２５、第２連通路（第２支流路）２６、検出路（第２支流路）２７、第３連通路（第２支流路）２８、第４連通路（第２支流路）２９、検出路排出孔３０、分流路排出孔３１）について説明する。図１は、副流路の構成を説明するための図であり、図１（ａ）は、流量測定装置１の断面を示す図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す断面図の副流路部２０の部分を拡大した図であり、図１（ｃ）は、副流路部２０の斜視図である。
【００３９】
図１（ａ）に示すように、主流路５には、抵抗体（オリフィス）１５が設けられており、抵抗体１５の上流側に副流路への導入孔が設けられ、抵抗体１５の下流側に副流路からの排出孔が設けられている。
【００４０】
より詳細に、図１（ｂ）、および図１（ｃ）を用いて説明する。図示のように、主流路５の抵抗体１５の上流側に副流路への導入孔である分流路導入孔２１が設けられている。そして、分流路導入孔２１は、導入路２２を介して分流路２３と接続している。
【００４１】
分流路２３は、主流管１０から遠い位置にある壁面が、主流管１０に対して垂直となる方向（ｙ方向）から主流管１０と並行となる方向（ｚ方向）に気体が流れるように、導入路２２近傍で円弧を描く構造（湾曲部）となっている。また、分流路排出孔３１近傍では、主流管１０と並行となる方向（ｚ方向）から主流管１０と垂直となり、かつ主流管１０に向かう方向（マイナスｙ方向）に気体が流れるように、円弧を描く構造（湾曲部）となっている。
【００４２】
これにより、分流路２３の主流管１０から遠い位置にある壁面に沿う流路（滑流部４５）では、気体が滑らかに流れるとともに、分流路２３に入った塵埃は、慣性力により上記壁面に沿って流れるため、主流路５に戻りやすい。
【００４３】
また、主流管１０に近い位置にある壁面は、主流管１０に沿うように構成されており、中央付近は、分流路２３の流路が狭くなるように主流管１０から遠い位置にある側壁と主流管１０に近い位置にある側壁との距離が狭くなり仕切り４３となっている。また、主流管１０に沿う部分と、分流路２３の流路が狭くなっている部分との間は、弧状に形成されている。
【００４４】
なお、本実施の形態では、上記滑流部と上記仕切りとに挟まれる領域のうち、分流路導入孔２１に近い側を第１房部４１、分流路排出孔３１に近い側を第２房部４２と呼ぶ。
【００４５】
さらに、導入路２２近傍の円弧のほぼ中心（曲率中心）に相当し、分流路２３の主流管１０に近い位置にある側壁に面する箇所に、円弧に対し直角となる方向（マイナスｘ方向）で、検出路導入孔２４が設けられ、分流路排出孔３１近傍の円弧のほぼ中心（曲率中心）に相当し、分流路２３の主流管１０に近い位置にある側壁に面する箇所に、円弧に対して直角となる方向（マイナスｘ方向）で、検出路排出孔３０が設けられている。検出路導入孔２４には、分流路２３に流れ込んだ気体の一部を検出路２７へ導くための第１連通路２５が接続されている。第１連通路２５は、マイナスｘ方向からマイナスｚ方向に気体が流れるように弧状の湾曲部を有し、第２連通路２６に接続している。第２連通路２６はｙ方向に設けられており、検出路２７と接続している。
【００４６】
検出路２７は、ｚ方向に設けられた流路であり、中央部分の流路の幅が端部よりも広い構造となっている。そして、中央部分に、回路基板１３に設けられた流量検出素子１２が配置されるようになっている。そして、検出路２７は、ｙ方向に設けられた第３連通路２８と接続し、第３連通路２８は、第４連通路２９と接続している。第４連通路２９は、ｚ方向からｘ方向に気体が流れるように弧状の湾曲部を有している。そして、第４連通路２９は検出路排出孔３０と接続している。
【００４７】
以上のように、分流路導入孔２１に流れ込んだ気体の一部は、図１に矢印で示すように、導入路２２→分流路２３→検出路導入孔２４→第１連通路２５→第２連通路２６→検出路２７→第３連通路２８→第４連通路２９→検出路排出孔３０→分流路排出孔３１と流れる。なお、気体の流れはこれに限られず、逆方向であっても、流量測定装置１は気体の流量を測定可能である。
【００４８】
これにより、検出路２７に流れ込んだ気体の流量を流量検出素子１２で測定し、主流管１０を流れる気体と検出路２７を流れる気体との分流比を用いて、流量測定装置１を流れる気体の総流量を求めることができる。
【００４９】
また、分流路２３の壁面が円弧状を有していることにより、塵埃が堆積することを防止することができる。さらに、検出路導入孔２４が、円弧状である分流路２３の側壁の当該円弧の中心に位置することにより、検出路２７に流入する塵埃を減少させることができる。これにより、流量検出素子１２に塵埃が付着すること防止することができ、流量測定装置１の測定精度を維持することができる。
【００５０】
具体的に、図３を用いて説明する。図３は、流量測定装置１における気体および塵埃の流れを示す図であり、図３（ａ）は流量測定装置１の断面において、気体および塵埃の流れを示す図であり、図３（ｂ）は副流路部２０の断面において気体および塵埃の流れを示す図であり、図３（ｃ）は副流路部２０の全体において気体および塵埃の流れを示す図であり、図３（ｄ）は副流路部２０の断面において気体の流れをシミュレーションした結果を示す図である。
【００５１】
図３（ａ）に示すように、主流路５を流れる気体および塵埃の一部が分流路導入孔２１から副流路部２０に流れ込むと、図３（ｂ）に示すように、塵埃は分流路２３の壁面に近い部分を通過して、分流路排出孔３１の方向へ進む。これは、分流路導入孔２１から流れ込んだ塵埃は、流れやすい方向に流れるためである。よって、塵埃は、検出路導入孔２４に流れ込む可能性は低い。
【００５２】
一方、気体の一部は、分流路２３の中央付近の流路が狭くなっている箇所で、主流管１０に近い位置にある壁面（仕切り４３）に当たり、そのまま検出路導入孔２４へと流れ込む。検出路導入孔２４へと流れ込んだ気体は、図３（ｃ）に示すように、検出路２７へ流れ、検出路排出孔３０を介して分流路２３へ戻る。
【００５３】
次に、図４を用いて、本実施の形態と従来の構成とにおいて、検出路に流れ込む塵埃の量を解析した結果について説明する。図４は、本実施の形態と従来の構成とにおける通過粒子の数を比較した結果を示す図である。なお、この解析では、気体の流入流量は１００Ｌ／ｍｉｎで、流入させる粒子は、径が０．１μｍ、比重が３０００ｋｇ／ｍ３で、その数は、１００００００個である。
【００５４】
解析した結果を図４に示す。図４において、破線は、従来の構成におけるカウント数を示し、実線は本実施の形態におけるカウント数を示す。図４に示すように、従来の構成では、０．０３秒を過ぎたあたりから急激にカウントされる粒子が増えているが、本実施の形態では、０．０６秒あたりから、微増する程度である。このように、本実施の形態では、粒子（すなわち塵埃）が検出路に入り込むことを防止することができる。
【００５５】
（流量検出素子の構造）
次に、図５を用いて、流量検出素子１２の構造について説明する。図５は、流量検出素子１２の構造を説明するための図であり、図５（ａ）は、気体が流れていない状態を示す図であり、図５（ｂ）は、気体が流れている状態を示す図である。
【００５６】
流量検出素子１２は、気体の流速を測定できるものであれば、特にその種類は問わないが、本実施の形態では、ヒータとサーモパイルを有するフローセンサを用いている。
【００５７】
図５（ａ）に示すように、流量検出素子１２は、エッチングによって基板３６の一方の面にキャビティ３５を形成し、キャビティ３５の上に絶縁性薄膜３７を張って絶縁性薄膜３７の縁を基板３６で保持している。絶縁性薄膜３７の中央部には、ポリシリコンによってヒータ３３を形成し、ヒータ３３の上流側と下流側にそれぞれサーモパイル３２、３４
を設けている。サーモパイル３２、３４は、Ａｌの線素とポリシリコンの線素を交互につないでジグザグに配置したものである。サーモパイル３２、３４はヒータ３３に関して対称に配置してあり、ヒータ３３の両側の対称な位置の温度を計測する。
【００５８】
そして、測定時には、ヒータ３３は所定温度で発熱しており、ヒータ３３の周囲には所定の温度分布α（温度勾配）が生じている。サーモパイル３２、３４は対称な配置となっているため、ヒータ３３の上を気体が流れない場合には、サーモパイル３２、３４の検知温度は等しく、温度差はゼロになる。
【００５９】
一方、図５（ｂ）に示すように、ヒータ３３の上に気体の流れが生じると、ヒータ３３の熱が下流側へ輸送され温度分布αが下流側へシフトするので、下流側のサーモパイル３４の検知温度が上昇するとともに、上流側のサーモパイル３２の検知温度が下降して、サーモパイル３２、３４の検知温度に温度差が生じる。この温度差の変化は、気体の質量流量と比例しており、温度差の変化から、気体の質量流量を求めることができる。よって、求めた質量流量と、主流路５と副流路部２０との分流比とから流量測定装置１における総流量を求めることができる。
【００６０】
（副流路部の構成）
次に、副流路部２０の一形態について、図６、７を用いて説明する。図６は、副流路部２０の構成の一形態を説明するための図であり、図６（ａ）は、副流路部２０を含む流量測定装置の斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の領域９９を拡大した図である。
【００６１】
図６に示すように、副流路部２０は、検出路２７をベース部材１７に形成し、分流路２３、検出路導入孔２４、第１連通路２５、第２連通路２６、第３連通路２８、第４連通路２９、検出路排出孔３０を含む部分を副流路部９６として中間部材で形成してもよい。
【００６２】
これは、流量検出素子１２が回路基板１３上に実装され，回路基板１３はベース部材１７に何らかの方法で結合されている場合は問題ないが、流量検出素子１２が中間部材に配置されるような構成の場合、中間部材の位置ずれ等により流量検出素子１２と検出路２７との位置関係が崩れ特性変化を生じる可能性があるためである。
【００６３】
上記の構成によれば、流量検出素子１２が配置される検出路２７は回路基板１３が結合されるベース部材１７側に形成されることになるので、中間部材の位置ずれが起こったとしても、その影響を抑えることができる。
【００６４】
また、図７は、副流路部２０の構成の一形態を説明するための図であり、図７（ａ）は、副流路部２０を含む流量測定装置の斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の領域８０を拡大した図である。
【００６５】
副流路部２０は、図７に示すように、ベース部材１７と、第１連通路２５、第２連通路２６、検出路２７、第３連通路２８、第４連通路２９を備えた第１副流路部９７と、分流路導入孔２１、導入路２２、分流路２３、検出路導入孔２４、検出路排出孔３０、分流路排出孔３１を備えた第２副流路部９８と、に分けて形成されていてもよい。
【００６６】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態について、図８を用いて説明する。図８は、副流路部２０の流路の他の形態を説明するための図であり、図８（ａ）は、本実施の形態における副流路部２０の側面図であり、図８（ｂ）は、本実施の形態における副流路部２０の斜視図であり、図８（ｃ）は、上記実施の形態における気体の流れを示す図である。本実施の形態において、上記実施の形態と異なるのは、検出路導入孔２４および検出路排出孔３０の位置である。
【００６７】
上記実施の形態では、図８（ｃ）に示すように、検出路導入孔２４および検出路排出孔３０は、分流路２３の壁面が円弧状となっており、該円弧の中心に相当し、主流管１０に近い位置にある壁面に面する位置に設けられている。
【００６８】
これに対し、本実施の形態では、検出路導入孔２４および検出路排出孔３０は、図８（ａ）に示すように、上記実施の形態の位置から主流管１０から離れる方向（ｙ方向）に、検出路導入孔２４の径の距離程度ずれた位置、すなわち、第１房部４１の中央および第２房部４２の中央に配置されている。したがって、本実施の形態では、検出路導入孔２４および検出路排出孔３０は、分流路２３の主流管１０に近い位置にある壁面に面していない。
【００６９】
これにより、仮に、図８（ｂ）に矢印で示すように、壁面沿いに塵埃が流れてきたとしても、検出路導入孔２４から流入することを防止することができる。よって、検出路２７への塵埃の流入を、より防止することができる。
【００７０】
また、本実施の形態のように、検出路導入孔２４および検出路排出孔３０を形成する場合、副流路部２０の部品のみで形成することは金型成形上困難である。そこで、主流管１０側の部材に突起を形成し（図８（ｂ））、副流路部２０の部品に形成された凹部と組み合わせれば、実現することが可能である。
【００７１】
（実施の形態３）
次に、本発明のさらに他の実施の形態について、図９を用いて説明する。図９は、副流路部２０の流路の他の構成を示す図であり、図９（ａ）は、本実施の形態の副流路部２０の構成を示す斜視図であり、図９（ｂ）は、本実施の形態の副流路部２０の構成を示す上面図である。
【００７２】
本実施の形態において、上記の実施の形態とは異なるのは、副流路部２０に含まれる、分流路ブロック（分流路導入孔２１、導入路２２、分流路２３、検出路導入孔２４、第１連通路２５、第３連通路２８、第４連通路２９、検出路排出孔３０、および分流路排出孔３１）の数である。すなわち、本実施の形態では、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、分流路ブロックが２つ設けられており、それぞれは、検出路２７の両側（ｘ方向およびマイナスｘ方向）に設けられている。
【００７３】
これにより、主流管１０を流れる気体に偏りがあったとしても、検出路２７を流れる気体の流速分布が偏ってしまうことを防止することができる。
【００７４】
なお、分流路ブロックは２つに限られず、検出路２７に対し、対になるように構成されていればいくつであってもよい。
【００７５】
（実施の形態４）
次に、本発明のさらに他の実施の形態について、図１０を用いて説明する。図１０は、本実施の形態における副流路部９１の構成を説明するための図であり、図１０（ａ）は、副流路部９１の斜視図であり、図１０（ｂ）は、副流路部９１の上面図である。
【００７６】
本実施の形態において、上記の実施の形態と異なるのは、分流路９２には分流路２３のｘ方向側の側壁に相当するものが存在しない点、および検出路導入孔９３から検出路９４への流路において、第１連通路２５に相当するものが存在しない点である。
【００７７】
本実施の形態では、分流路２３のｘ方向の側壁に相当するものが存在しないので、ベース部材１７に形成された凹部の壁面が、分流路９２の側壁を形成することになる。
【００７８】
本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
塵埃が混入した気体であっても、その流量を正確に測定することができるので、塵埃が混入しやすい場所等で用いられる流量測定装置、例えば、工場等に設置されるガスメータ等に好適である。
【符号の説明】
【００８０】
１    流量測定装置（流量測定用構造体）
５    主流路
１０    主流管
１２    流量検出素子（検出素子）
２０    副流路部（副流路）
２１    分流路導入孔
２２    導入路
２３    分流路（第１支流路）
２４    検出路導入孔
２５    第１連通路（第２支流路）
２６    第２連通路（第２支流路）
２７    検出路（第２支流路）
２８    第３連通路（第２支流路）
２９    第４連通路（第２支流路）
３０    検出路排出孔
３１    分流路排出孔
４１    第１房部
４２    第２房部
４３    仕切り
４５    滑流部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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