(57)【要約】      （修正有）【課題】ねじれ１次〜３次モードの共振の発生を可及的に防止する。【解決手段】ロードビーム本体部３１の側縁は第１傾斜角で傾斜された基端領域３１ａと第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で傾斜された先端領域３１ｂとを含む。支持部１０の先端部とディンプル３３との間の長手方向距離をＬとした場合に支持部の先端部と先端領域及び基端領域間の変曲点との間の長手方向距離ａが０．４４×Ｌ≦ａ≦０．７８×Ｌを満たす。ロードビーム本体部の下面に固着されたサポート板７０の側縁はサスペンション幅方向に関し基端領域の基端部及び先端領域の先端部を結ぶ仮想線より内方且つ基端領域及び先端領域よりも外方に位置し、サスペンション長手方向に関し変曲点を跨いでいる。【選択図】図３
2012003794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータによって直接又は間接的にディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部の先端部に連結された荷重曲げ部と、基端部が前記荷重曲げ部の先端部に連結され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、基端部が前記荷重曲げ部に連結され且つ前記ディスク面と対向する下面に前記フレクシャ部のフレクシャ基板が固着されるプレート状の本体部と前記本体部の左右側縁から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部とを有し、
前記本体部の左右の側縁の各々は、基端側から先端側へ行く従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように前記中心線に対して第１傾斜角で傾斜する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域の先端部に連結される基端側から先端側へ行くに従って前記中心線に近接するように前記中心線に対して前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で傾斜する先端領域とを含み、
前記支持部の先端部と前記ロードビーム部に設けられたディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に、前記支持部の先端部と前記変曲点との間のサスペンション長手方向距離ａが０．４４×Ｌ≦ａ≦０．７８×Ｌを満たし、
前記ロードビーム部は、さらに、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に固着されたサポート板を有しており、
前記サポート板は、前記本体部の基端縁と略一致するように配置された基端縁と前記基端縁の両端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の側縁と前記一対の側縁の先端部同士を連結する先端縁とを有し、
前記サポート板の側縁は、サスペンション幅方向に関し前記基端領域の基端部及び前記先端領域の先端部を結ぶ仮想線より内方側で且つ前記基端領域及び前記先端領域よりも外方側に位置しており、サスペンション長手方向に関し前記変曲点を跨いでいることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記ロードビーム部は、前記本体部の基端縁に前記ディスク面とは反対側へ延びるように設けられた基端側フランジ部を有していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記サポート板は、前記本体部の前記下面に固着される平面部と前記平面部の基端縁から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた折り曲げ部とを有し、
前記折り曲げ部が前記基端側フランジ部を形成していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記ロードビーム部の前記本体部の基端縁は前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられて前記基端側フランジ部を形成していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記ロードビームの前記本体部には前記ディスク面とは反対側へ膨出された膨出部が設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記ロードビーム部の前記本体部における前記ディスク面とは反対側の上面には制振材が固着されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記ロードビーム部の前記本体部は、前記ディスク面とは反対側に向けて厚肉とされた厚肉領域を有していることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記制振材又は前記厚肉領域は、基端部が前記本体部の基端側エッジと略同一位置に位置し且つ先端部と前記支持部の先端部との間のサスペンション長手法距離が０．６×Ｌ以上で且つ０．７５×Ｌ以下であることを特徴とする請求項６又は７に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記フレクシャ基板が前記サポート板として作用していることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って、磁気ヘッドサスペンションには、磁気ヘッドスライダを目的トラック上に迅速に位置させるべく揺動中心回りにより速い速度で揺動されたとしても前記磁気ヘッドスライダの目的トラックからの位置ズレを防止し得ることが求められている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、平板状の本体部と前記本体部の両側縁からディスク面とは反対側へ延びる左右一対のリブ（フランジ部）とを有するロードビーム部を備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部がサスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従って幅狭となるように前記本体部の両側縁をサスペンション長手方向中心線に対して傾斜させつつ、ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において前記リブが少なくとも部分的に湾曲されてくびれを形成している磁気ヘッドサスペンションが記載されている。
【０００４】
前記特許文献１に記載の前記磁気ヘッドサスペンションは、前記くびれの形成によって前記ロードビーム部の質量を低減させて、前記ロードビーム部の共振周波数をこれまで以上に高めることができるとされている。
【０００５】
このように、前記特許文献１には、前記ロードビーム部のフランジ部にくびれを形成することで共振周波数を高め得ることは記載されているが、磁気ヘッドサスペンションに生じ得る種々の振動モードのうちのどの振動モードの共振周波数に着目しているのか不明である。
【０００６】
下記特許文献２には、弾性変形部及び前記弾性変形部から前方へ延びた本体部を有し、前記本体部は前方へ行くに従って幅狭とされ且つ左右側縁にフランジを有する第１部材と、基端縁にフランジが設けられた幅広部及び前記幅広部から前方へ延びた幅狭部を有し、前記幅狭部は前記本体部よりも幅狭とされ且つ左右側縁にフランジを有する略Ｔ字状の第２部材とを備えた磁気ヘッドサスペンションが開示されている。
【０００７】
前記特許文献２においては、前記第１及び第２部材が接合されてなるアッセンブリが荷重曲げ部及びロードビーム部を一体的に形成する。
即ち、前記弾性変形部が前記荷重曲げ部を形成し、前記本体部及び前記第２部材が前記ロードビーム部を形成する。
【０００８】
詳しく説明すると、前記本体部の側縁は、フランジを有しつつ前方へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜されている。前記幅狭部の側縁はフランジを有しつつ前記本体部の側縁よりもサスペンション長手方向中心線に近接した位置で前記中心線に略平行に延びている。
【０００９】
従って、前記本体部及び前記第２部材によって形成されるロードビーム部の左右側縁の各々は、長手方向略全域に亘ってフランジを有しつつ、基端側においては前方へ行くに従って前記中心線に近接するように前記中心線に対して第１傾斜角で傾斜され且つ先端側においては前記中心線に略平行とされている。
【００１０】
前記特許文献２に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の先端側が前記幅狭部によって形成される為、前記ロードビーム部の幅を従前より狭めることができ、これにより、前記ロードビーム部の前記中心線回りの慣性モーメントを低減させてねじれ１次モードの共振周波数を高めることができるとされている。
【００１１】
ところで、磁気ヘッドサスペンションに発生し得るねじれモードの振動には、ねじれ１次モードの他に、ねじれ２次モード及びねじれ３次モードが存在する。
しかしながら、前記特許文献２は、ねじれ１次モードの振動以外のねじれ２次及び３次モードの振動を考慮していない。
【００１２】
詳しく説明すると、前記磁気ヘッドスライダを目的トラック上により迅速に位置させるべく前記アクチュエータの駆動信号の周波数を高めていくと、前記駆動信号の周波数がある周波数（以下、第１共振周波数という）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションにはねじれ１次モードの共振が生じる。
【００１３】
そして、前記駆動信号の周波数を前記第１共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（以下、第２共振周波数という）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションにはねじれ２次モードの共振が生じ、前記駆動信号の周波数を前記第２共振周波数からさらに高めていくと、ある周波数（以下、第３共振周波数という）に達した時点で、前記磁気ヘッドサスペンションにはねじれ３次モードの共振が生じる。
【００１４】
ここで、ねじれ１次モードの共振とは、前記荷重曲げ部の位置及び前記ロードビーム部のディンプルの位置がディスク面に直交するｚ方向の変位ゼロ（即ち、節）とされた状態でサスペンション長手方向に関し前記２つの節の略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主としてロードビーム部のみがサスペンション長手方向中心線回りに捩れる形態の振動である。
【００１５】
ねじれ２次モードの共振とは、支持部のうちｚ方向に関し強固に固定される位置（前記支持部がベースプレートの場合には、アクチュエータに連結されたキャリッジアームにかしめを介して固定されるボス部の位置であり、以下、支持部固定位置という）と前記ディンプルの位置と前記支持部固定位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部の中途位置との３箇所が節とされた状態で、サスペンション長手方向に関し前記支持部固定位置及び前記ロードビーム部の中途位置の間の略中央部分とサスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部の中途位置及び前記ディンプルの位置の間の略中央部分との２箇所が腹となるように、前記支持部の先端側，前記荷重曲げ部及び前記ロードビーム部がサスペンション長手方向中心線回りに捩れる形態の振動である。
【００１６】
ねじれ３次モードとは、前記支持部固定位置と前記荷重曲げ部の位置と前記ディンプルの位置と前記荷重曲げ部の位置及び前記ディンプル位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部の中途位置との４箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記荷重曲げ部の位置の間に位置する第１部分がサスペンション長手方向中心線回り一方側の第１方向にねじれ、前記荷重曲げ部の位置及び前記ロードビーム部の中途位置の間に位置する第２部分が前記中心線回り他方側の第２方向にねじれ、前記ロードビーム部の中途位置及び前記ディンプル位置の間の第３部分が前記中心線回りに前記第１方向に捩れる形態の振動である。
【００１７】
従って、前記磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度を良好に維持しつつ、前記アクチュエータによる前記磁気ヘッドサスペンションの揺動中心回りの揺動速度を高めて前記磁気ヘッドスライダの目的トラック上への移動時間の可及的な短縮化を図る為には、ねじれ１次モードの共振周波数のみならず、ねじれ２次及び３次モードの共振周波数も可及的に高めて、前記磁気ヘッドサスペンションにねじれ１次〜３次モードの共振が発生し難いようにする必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００５−０３２３９３号公報
【特許文献２】特開２００８−０２１３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ねじれ１次モードの共振のみならず、ねじれ２次及び３次モードの共振の発生を可及的に防止し得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的にディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部の先端部に連結された荷重曲げ部と、基端部が前記荷重曲げ部の先端部に連結され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されたフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、基端部が前記荷重曲げ部に連結され且つ前記ディスク面と対向する下面に前記フレクシャ部のフレクシャ基板が固着されるプレート状の本体部と前記本体部の左右側縁から前記ディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部とを有し、前記本体部の左右の側縁の各々は基端側から先端側へ行く従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように前記中心線に対して第１傾斜角で傾斜する基端領域と変曲点を挟んで前記基端領域の先端部に連結される基端側から先端側へ行くに従って前記中心線に近接するように前記中心線に対して前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で傾斜する先端領域とを含み、前記支持部の先端部と前記ロードビーム部に設けられたディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に前記支持部の先端部と前記変曲点との間のサスペンション長手方向距離ａが０．４４×Ｌ≦ａ≦０．７８×Ｌを満たし、前記ロードビーム部は、さらに、前記本体部における前記ディスク面と対向する下面に固着されたサポート板を有しており、前記サポート板は、前記本体部の基端縁と略一致するように配置された基端縁と前記基端縁の両端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の側縁と前記一対の側縁の先端部同士を連結する先端縁とを有し、前記サポート板の側縁はサスペンション幅方向に関し前記基端領域の基端部及び前記先端領域の先端部を結ぶ仮想線より内方側で且つ前記基端領域及び前記先端領域よりも外方側に位置しており、サスペンション長手方向に関し前記変曲点を跨いでいる磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００２１】
好ましくは、前記ロードビーム部は、前記本体部の基端縁に前記ディスク面とは反対側へ延びるように設けられた基端側フランジ部を有し得る。
一形態においては、前記サポート板は、前記本体部の前記下面に固着される平面部と前記平面部の基端縁から前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられた折り曲げ部とを有するものとされる。この場合、前記折り曲げ部が前記基端側フランジ部を形成する。
他形態においては、前記ロードビーム部の前記本体部の基端縁は前記ディスク面とは反対側へ折り曲げられて前記基端側フランジ部を形成する。
【００２２】
好ましくは、前記ロードビームの前記本体部には前記ディスク面とは反対側へ膨出された膨出部が設けられる。
【００２３】
好ましくは、前記ロードビーム部の前記本体部における前記ディスク面とは反対側の上面には制振材が固着される。
【００２４】
好ましくは、前記ロードビーム部の前記本体部は、前記ディスク面とは反対側に向けて厚肉とされた厚肉領域を有し得る。
【００２５】
好ましくは、前記制振材又は前記厚肉領域は、基端部が前記本体部の基端側エッジと略同一位置に位置し且つ先端部と前記支持部の先端部との間のサスペンション長手法距離が０．６×Ｌ以上で且つ０．７５×Ｌ以下とされる。
前記種々の構成において、好ましくは、前記フレクシャ基板が前記サポート板として作用するように構成し得る。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロードビーム部の本体部の側縁が基端側から先端側へ行く従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように第１傾斜角で傾斜された基端領域と変曲点を挟んで前記基端領域の先端部に連結される基端側から先端側へ行くに従って前記中心線に近接するように前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で傾斜された先端領域とを含み、支持部の先端部とディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をＬとした場合に前記支持部の先端部と前記変曲点との間のサスペンション長手方向距離ａが０．４４×Ｌ≦ａ≦０．７８×Ｌを満たすように前記変曲点の位置が設定され、前記本体部における前記下面に固着されたサポート板の側縁がサスペンション幅方向に関し前記基端領域の基端部及び前記先端領域の先端部を結ぶ仮想線より内方側で且つ前記基端領域及び前記先端領域よりも外方側に位置した状態でサスペンション長手方向に関し前記変曲点を跨いでいる。
斯かる構成によれば、ねじれ１次モードのみならず、ねじれ２次モード及びねじれ３次モードの共振周波数を上昇させることができ、これにより、ねじれ１次〜３次モードの共振の発生を有効に防止することができる。従って、磁気ヘッドスライダを目的トラック上に迅速に位置させるべく揺動中心回りにより速い速度で揺動されたとしても前記磁気ヘッドスライダが目的トラックから位置ズレすることを有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２Ａは前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図であり、図２Ｂは前記磁気ヘッドサスペンションにおけるサポート板の下面図である。
【図３】図３Ａは第１及び第２解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの上面図である。  図３Ｂは図３Ａにおける3B-3B線に沿った断面図である。
【図４】図４Ａ〜Ｇは前記第１及び第２解析に用いた磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部の上面図である。
【図５】図５は前記第１解析の結果を示すグラフである。
【図６】図６は前記第２解析の結果を示すグラフである。
【図７】図７Ａ〜Ｃは第３及び第４解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの模式上面図である。
【図８】図８は前記第３解析の結果を示すグラフである。
【図９】図９は前記第４解析の結果を示すグラフである。
【図１０】図１０Ａは本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１０Ｂは図１０Ａにおける10B-10B線に沿った断面図である。
【図１１】図１１Ａは本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１１Ｂは図１１Ａにおける11B-11B線に沿った断面図である。
【図１２】図１２Ａは本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１２Ｂ及びＣはそれぞれ図１２Ａにおける12B-12B線及び12C-12C線に沿った断面図である。
【図１３】図１３Ａ〜Ｃは第５及び第６解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１４】図１４は前記第５解析の結果を示すグラフである。
【図１５】図１５は前記第６解析の結果を示すグラフである。
【図１６】図１６Ａ〜Ｅは第７及び第８解析に用いた磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１７】図１７は前記第７解析の結果を示すグラフである。
【図１８】図１８は前記第８解析の結果を示すグラフである。
【図１９】図１９Ａは本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１９Ｂ及びＣはそれぞれ図１９Ａにおける19B-19B線及び19C-19C線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２Ａに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図２Ａにおける○印は溶接点を示している。
【００２９】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２Ａに示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的にディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０の先端部に連結された荷重曲げ部２０と、基端部が前記荷重曲げ部２０の先端部に連結され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されたフレクシャ部４０とを備えている。
【００３０】
前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３１】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３２】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３３】
本実施の形態においては、図１に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３４】
図１に示すように、前記本体部３１の左右の側縁の各々は、サスペンション長手方向に関し基端側に位置する基端領域３１ａと前記基端領域３１ａからサスペンション長手方向先端側へ延びる先端領域３１ｂとを有している。
【００３５】
前記基端領域３１ａは、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記中心線ＣＬに対して第１傾斜角θ１で傾斜されている。
【００３６】
一方、前記先端領域３１ｂは、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従って前記中心線ＣＬに近接するように前記中心線ＣＬに対して前記第１傾斜角θ１よりも小さい第２傾斜角θ２で傾斜されている。
【００３７】
即ち、前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂは何れも先端側へ行くに従って前記中心線ＣＬに近接するように傾斜されているが、両者の間に変曲点Ｐが存在するように前記先端領域３１ｂの第２傾斜角θ２が前記基端領域３１ａの第１傾斜角θ１よりも小さくされている。
なお、前記変曲点Ｐが存在するように前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂの傾斜角が異ならせる場合には、前記変曲点近傍において前記フランジ部３２に歪みが生じ易い。この点に関し、好ましくは、平面視において前記変曲点Ｐがサスペンション幅方向外方へ開く湾曲形状を有するように構成することができ、これにより、前記フランジ部３２の歪みを低減させることができる。
【００３８】
前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４１５の上面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４１５に伝達される。
【００３９】
さらに、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、図１及び図２Ａに示すように、前記本体部３１における前記ディスク面と対向する下面に溶接等によって固着されたサポート板７０を有している。
【００４０】
図２Ｂに、前記サポート板７０の下面図を示す。
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、前記サポート板７０は、前記本体部３１の基端縁と略一致するように配置された基端縁７１と、前記基端縁７１の両端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる左右一対の側縁７２と、前記一対の側縁７２の先端部同士を連結する先端縁７３とを有している。
【００４１】
前記サポート板７０の側縁は、図１及び図２Ａに示すように、サスペンション幅方向に関し前記基端領域３１ａの基端部及び前記先端領域３１ｂの先端部を結ぶ仮想線ＩＬより内方側で且つ前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂよりも外方側に位置しており、サスペンション長手方向に関し前記変曲点Ｐを跨いでいる。
【００４２】
即ち、前記サポート板７０の先端縁７３は前記変曲点Ｐよりもサスペンション長手方向先端側に位置しており、前記サポート板７０の側縁７２は、前記仮想線ＩＬ、前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂによって画される平面視略三角形の領域内に位置した状態で、平面視において先端側が前記先端領域３１ｂと交差し且つ基端側が前記基端領域３１ａと交差している。
【００４３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１が前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００４４】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４５】
図１及び図２Ａに示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態で前記中心線ＣＬを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ２１を有している。
【００４６】
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１が前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に所定の曲げ位置で予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１の前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００４７】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０の前記本体部及び前記フランジ部と一体形成されている。
【００４８】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１及び前記フランジ部３１と前記荷重曲げ部２０とを一体形成するロードビーム／荷重曲げ形成体を有しており、前記ロードビーム／荷重曲げ形成体は、前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部１０に溶接によって接合されている。
当然ながら、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１及び前記フランジ部３２とは別部材によって形成し、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１に溶接等によって連結させることも可能である。
【００４９】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。
【００５０】
詳しくは、前記フレクシャ部４０はフレクシャ金属プレート４１０を有している。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、図１Ｂに示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記ロードビーム部３０は、前記本体部３１の下面に固着された前記サポート板７０を有している。
従って、前記ロードビーム部固着領域４１２は、前記サポート板７０に固着されている。
【００５２】
前記ヘッド搭載領域４１５は、図１Ｂに示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００５３】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００５４】
本実施の形態においては前記フレクシャ部４０は、図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０を一体的に有している。
【００５５】
詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含んでいる。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層（図示せず）を有し得る。
【００５６】
ここで、前記変曲点Ｐのサスペンション長手方向に関する位置と前記磁気ヘッドサスペンション１のねじれ１次モードの共振周波数との関係に関して行った第１解析について説明する。
図３Ａに、前記第１解析に用いた磁気ヘッドサスペンション１の上面図を示す。
又、図３Ｂに、図３Ａにおける3B-3B線に沿った断面図を示す。
【００５７】
なお、ねじれ１次モードとは、前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ディンプル３３の位置がディスク面に直交するｚ方向の変位ゼロ（即ち、節）とされた状態で、サスペンション長手方向に関し前記２つの節の略中央部分がｚ方向変位最大（即ち、腹）となるように主として前記ロードビーム部２０のみがサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる振動モードである。
【００５８】
本解析においては、前記支持部１０，前記ロードビーム部３０の前記本体部３１，前記サポート板７０及び前記フレクシャ金属プレート４１０を、それぞれ、厚さ０．１７ｍｍ，０．０３ｍｍ，０．０２５ｍｍ及び０．０２ｍｍのステンレスとした。
【００５９】
又、前記支持部１０のうち前記ディスク面に直交するｚ方向に関し固定される位置（本実施の形態におけるように前記支持部１０がベースプレートの場合には、前記アクチュエータに連結された前記キャリッジアームにかしめを介して固定される前記ボス部１５の位置であり、以下、支持部固定位置という）と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向長さを１１ｍｍとし、前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向長さＬを６．２ｍｍとし、前記荷重曲げ部２０のサスペンション長手方向長さ（即ち、前記支持部１０の先端エッジと前記ロードビーム部３０の基端部との間のサスペンション長手方向長さ）を０．０６５Ｌ（＝０．４０ｍｍ）とし、前記支持部１０の先端エッジのサスペンション幅方向長さを０．７Ｌ（＝４．３ｍｍ）とした。
【００６０】
又、前記ロードビーム部３０の前記フランジ部３２は、図３Ｂに示すように、前記本体部３１に対する傾斜角が７５度で且つｚ方向高さが０．２６ｍｍに構成した。
【００６１】
前記構成を有し且つ前記第２傾斜角θ２（前記先端領域３１ｂのサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角）が５°に固定された状態で、前記第１傾斜角θ１（前記基端領域３１ａの前記中心線ＣＬに対する傾斜角）を前記第２傾斜角θ２より大きい範囲で変化させて前記基端領域３１ａと前記先端領域３１ｂとの間の前記変曲点Ｐのサスペンション長手方向位置を異ならせた複数の磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｆを用意し、前記複数の磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｆのそれぞれのねじれ１次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
【００６２】
又、前記基端領域３１ａの前記第１傾斜角θ１及び前記先端領域３１ｂの前記第２傾斜角θ２が同一となるように（即ち、前記本体部３１の左右側縁のそれぞれがサスペンション長手方向全域に亘って直線状となるように）前記第１傾斜角θ１及び前記第２傾斜角θ２が設定された磁気ヘッドサスペンション１ｇを用意し、この磁気ヘッドサスペンション１ｇのねじれ１次モードの共振周波数についても有限要素法を用いて求めた。
【００６３】
具体的には、前記磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｆにおいては、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａを、それぞれ、０．３９Ｌ（＝２．４５ｍｍ）、０．５２Ｌ（＝３．２５ｍｍ）、０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）、０．７８Ｌ（＝４．８５ｍｍ）、０．９１Ｌ（＝５．６５ｍｍ）及び１．０５Ｌ（＝６．４９ｍｍ）とした。
【００６４】
図４Ａ〜図４Ｇに、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｇの前記ロードビーム部３０の上面図を示す。
【００６５】
図５に、前記第１解析の結果を示す。
図５から、ねじれ１次モードの共振周波数は、前記距離ａを０．４４Ｌ（＝２．７ｍｍ）以上で且つ０．８３Ｌ（＝４．８ｍｍ）以下とすることで上昇されることが理解される。
【００６６】
さらに、第２解析として、前記磁気ヘッドサスペンション１ａ〜１ｇのＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
図６に、前記第２解析の結果を示す。
なお、ＳＷＡＹモードとは、シーク方向の振動を主とした磁気ヘッドサスペンションの主共振モードである。
【００６７】
図６から、ＳＷＡＹモードの共振周波数は、前記距離ａを０．６５Ｌ（＝４．０ｍｍ）以上とすることで上昇されることが理解される。
【００６８】
次に、前記サポート板７０の形状とねじれ２次モードの共振周波数との関係に関して行った第３解析について説明する。
【００６９】
ねじれ２次モードとは、前記支持部固定位置、前記ディンプル３３の位置及び前記支持部固定位置と前記ディンプル３３の位置との間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置の３箇所が節とされた状態で、サスペンション長手方向に関し前記支持部固定位置及び前記ロードビーム部３０の中途位置の間の略中央部分、並びに、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル３３の位置の間の略中央部分の２箇所が腹となるように前記支持部１０の前記支持部固定位置より先端側に位置する部分，前記荷重曲げ部２０及び前記ロードビーム部３０がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる振動モードである。
【００７０】
図７Ａ〜Ｃに、前記第３解析に用いた磁気ヘッドサスペンション１ｃ(1)〜１ｃ(3)の模式図を示す。
本解析においては、前記支持部１０，前記ロードビーム部３０の前記本体部３１，前記サポート板７０及び前記フレクシャ金属プレート４１０を、それぞれ、厚さ０．１７ｍｍ，０．０３ｍｍ，０．０２５ｍｍ及び０．０２ｍｍのステンレスとした。
【００７１】
又、図７Ａ〜７Ｃに示すように、前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向長さＬを６．２ｍｍとし、前記荷重曲げ部２０のサスペンション長手方向長さを０．０６５Ｌ（＝０．４０ｍｍ）とし、前記支持部１０の先端エッジのサスペンション幅方向長さを０．７Ｌ（＝４．３ｍｍ）とした。
【００７２】
前記ロードビーム部３０の前記フランジ部３２は、前記本体部３１に対する傾斜角が７５度で且つｚ方向高さが０．２６ｍｍとなるように構成した。
そして、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａを０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）とした。
【００７３】
前記構成を備えつつ、前記サポート板７０として、前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離ｂが０．８７Ｌ（＝５．４ｍｍ）とされ且つ側縁が前記仮想線ＩＬよりもサスペンション幅方向外方に位置されたサポート板７０(1)を有する磁気ヘッドサスペンション１ｃ(1)（図７Ａ参照）のねじれ２次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
【００７４】
又、前記構成を備えつつ、前記サポート板７０として、前記距離ｂが０．８７Ｌ（＝５．４ｍｍ）で、側縁が前記仮想線ＩＬよりサスペンション幅方向内方側で且つ前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂよりサスペンション幅方向外方に位置されたサポート板７０(2)を有する磁気ヘッドサスペンション１ｃ(2)（図７Ｂ参照）のねじれ２次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
【００７５】
さらに、前記構成を備えつつ、前記サポート板７０として、前記距離ｂが０．８７Ｌ（＝５．４ｍｍ）で、側縁が前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂよりサスペンション幅方向内方に位置されたサポート板７０(3)を有する磁気ヘッドサスペンション１ｃ(3)（図７Ｃ参照）のねじれ２次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
図８に前記第３解析の結果を示す。
【００７６】
さらに、第４解析として、前記磁気ヘッドサスペンション１ｃ(1)〜１ｃ(3)のねじれ３次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
図９に前記第３解析の結果を示す。
【００７７】
ねじれ３次モードとは、前記支持部固定位置と前記荷重曲げ部２０の位置と前記ディンプル３３の位置と前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ディンプル３３の位置の間のサスペンション長手方向略中央に位置するロードビーム部３０の中途位置との４箇所が節とされた状態で、前記支持部固定位置及び前記荷重曲げ部２０の位置の間に位置する第１部分がサスペンション長手方向中心線ＣＬ回り一方側の第１方向にねじれ、前記荷重曲げ部２０の位置及び前記ロードビーム部３０の中途位置の間に位置する第２部分が前記中心線ＣＬ回り他方側の第２方向にねじれ、前記ロードビーム部３０の中途位置及び前記ディンプル３３の位置の間の第３部分が前記中心線ＣＬ回りに前記第１方向に捩れる振動モードである。
【００７８】
図８及び図９から、側縁がサスペンション幅方向に関し前記仮想線ＩＬより内方側で且つ前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂよりも外方側に位置している前記サポート板７０(2)を備えた磁気ヘッドサスペンション１ｃ(2)は、側縁が前記仮想線ＩＬよりサスペンション幅方向外方に位置している前記サポート板７０(1)を備えた磁気ヘッドサスペンション１ｃ(1)、及び、側縁が前記基端領域３１ａ及び前記先端領域３１ｂよりもサスペンション幅方向内方側に位置している前記サポート板７０(3)を備えた磁気ヘッドサスペンション１ｃ(3)に比して、ねじれ２次モード及びねじれ３次モードの共振周波数を向上させ得ることが理解される。
【００７９】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１０Ａに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２の上面図を示す。
又、図１０Ｂに、図１０Ａにおける10B-10B線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００８０】
図１０Ａ及びＢに示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２は、前記ロードビーム部３０Ｂの本体部３１の基端縁に基端側フランジ部３５が設けられている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【００８１】
詳しくは、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１に比して、前記ロードビーム部３０の代わりにロードビーム部３０Ｂを有している。
【００８２】
前記ロードビーム部３０Ｂは、前記ロードビーム部３０に比して、前記サポート板７０の代わりにサポート板７０Ｂを有している。
即ち、前記ロードビーム部３０Ｂは、前記本体部３１及び前記一対のフランジ部３２に加えて、前記本体部３１の下面に固着される前記サポート板７０Ｂを有している。
【００８３】
前記サポート板７０Ｂは、前記本体部３１の下面に固着される平面部７５と、サスペンション幅方向に関し前記一対の板バネ２１の間において前記ロードビーム部３０Ｂの前記本体部３１の基端縁に設けられた前記基端側フランジ部３５を形成するように前記平面部７５の基端縁からディスク面とは反対側へ折り曲げられた折り曲げ部７６とを有している。
【００８４】
前記サポート板７０Ｂの前記折り曲げ部７６のサスペンション幅方向長さを２．０ｍｍで、前記平面部に対する傾斜角を８０度で、且つ、ｚ方向高さを０．３ｍｍとした状態で、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａを０．５２Ｌ（＝３．２５ｍｍ）、０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）、０．７８Ｌ（＝４．８５ｍｍ）とした磁気ヘッドサスペンション２ｂ〜２ｄのねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
その算出結果を図５及び図６に併せて示す。
【００８５】
図５及び図６から明らかなように、前記本体部３１の基端縁に前記基端側フランジ部３５を設けることにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ、これにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振の発生を防止することができる。
【００８６】
なお、本実施の形態においては、前記平面部７５及び前記折り曲げ部７６を備えた前記サポート板７０Ｂが備えられ、前記サポート板７０Ｂの前記折り曲げ部７６が前記基端側フランジ部３５を形成しているが、これに代えて、前記ロードビーム部３０Ｂの前記本体部３１の基端縁をディスク面とは反対側へ折り曲げて前記基端側フランジ部３５を形成することも可能である。
【００８７】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１１Ａに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３の上面図を示す。
又、図１１Ｂに、図１１Ａにおける11B-11B線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１又は２におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００８８】
図１１Ａ及びＢに示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３は、ロードビーム部３０Ｃの本体部３１Ｃの基端側に膨出部３６が設けられている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【００８９】
詳しくは、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１に比して、前記ロードビーム部３０の代わりにロードビーム部３０Ｃを有している。
前記ロードビーム部３０Ｃは、前記ディスク面と略平行な本体部３１Ｃと前記本体部３１Ｃの両側縁から前記ディスク面とは反対側へ延在された前記一対のフランジ部３２とを有している。
【００９０】
前記本体部３１Ｃは、基端側に前記膨出部３６を有している。
前記膨出部３６は、前記ディスク面とは反対側へ膨出され且つサスペンション幅方向に沿っている。
【００９１】
前記膨出部３６を備えることによっても前記磁気ヘッドサスペンション３のねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ、これにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振の発生を防止することができる。
【００９２】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２Ａに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４の上面図を示す。
又、図１２Ｂ及び１２Ｃに、それぞれ、図１２Ａにおける12B-12B線及び12C-12C線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００９３】
図１２Ａ〜１２Ｃに示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４は、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の上面に制振材６０が固着されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【００９４】
前記制振材６０は、前記本体部３１のディスク面とは反対側の上面に固着される粘弾性材からなる第１層６１と、前記第１層６１のディスク面とは反対側の上面に固着される第２層６２とを有し得る。
【００９５】
前記第１層６１としては、例えば、アクリルポリマーやシリコンが好適に使用される。
前記第２層６２としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。
樹脂材料を用いて前記第２層６２を形成することにより、金属材料を用いて前記第２層６２を形成する場合に比して、質量低減による磁気ヘッドサスペンション４の耐衝撃性の向上を図ることができる。
【００９６】
前記制振材６０が前記第１層６１として厚さ５０μｍのアクリルポリマーを有し且つ前記第２層６２として厚さ５０μｍのステンレスを有しており、前記本体部３１の基端縁からサスペンション長手方向先端側へ０．４０Ｌ（＝２．４５ｍｍ）の位置に亘って前記本体部３１のディスク面とは反対側の上面の略全域を覆うような大きさを有している複数の磁気ヘッドサスペンション４ｂ〜４ｄであって、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａがそれぞれ０．５２Ｌ（＝３．２５ｍｍ）、０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）、０．７８Ｌ（＝４．８５ｍｍ）とされた磁気ヘッドサスペンション４ｂ〜４ｄのねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
その算出結果を図５及び図６に併せて示す。
【００９７】
図５及び図６から明らかなように、前記本体部３１のディスク面とは反対側の上面に前記制振材６０を備えることにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ、これにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振の発生を防止することができる。
【００９８】
ここで、前記支持部固定位置と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向長さを１１ｍｍとし、前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向長さＬを６．２ｍｍとし、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａを０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）とした磁気ヘッドサスペンションを用いて、前記制振材６０の固着位置とねじれ１次モードの共振周波数との関係に関して行った第５解析、及び、前記固着位置とＳＷＡＹモードの共振周波数との関係に関して行った第６解析について説明する。
【００９９】
図１３Ａ〜Ｃに、前記第５及び第６解析に用いた磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１）〜４ｃ（３）の上面図を示す。
なお、前記第５及び第６解析においては、前記制振材６０は、前記第１層６１として厚さ５０μｍのアクリルポリマーを有し且つ前記第２層６２として厚さ５０μｍのステンレスを有している。
【０１００】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１）は、前記制振材６０として、前記本体部３１の基端縁からサスペンション長手方向先端側へ長さ０．４Ｌ（＝２．４５ｍｍ）に亘って前記本体部３１のディスク面とは反対側の上面の略全域を覆うような制振材６０（１）を有している。
【０１０１】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１）の前記制振材６０（１）は、基端部と前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離ｅが０．０６５Ｌ（＝０．４ｍｍ）となるように前記基端部の位置が設定されており、さらに、サスペンション長手方向に沿った長さが０．４Ｌ（＝２．４５ｍｍ）とされている。
【０１０２】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（２）は、前記制振材６０（１）と同一面積（６．５ｍｍ２）を有しつつ、前記制振材６０（１）よりもサスペンション長手方向先端側に配置された制振材６０（２）を有している。
【０１０３】
詳しくは、前記制振材６０（２）は、基端部と前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離ｅが０．１Ｌ（＝０．６２ｍｍ）となるように前記基端部の位置が設定されており、さらに、前記制振材６０（１）と同一面積を有するようにサスペンション長手方向に沿った長さが０．４４Ｌ（＝２．７５ｍｍ）とされている。
【０１０４】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（３）は、前記制振材６０（１），６０（２）と同一面積（６．５ｍｍ２）を有しつつ、前記制振材６０（２）よりもサスペンション長手方向先端側に配置された制振材６０（３）を有している。
【０１０５】
詳しくは、前記制振材６０（３）は、基端部と前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離ｅが０．２Ｌ（＝１．２４ｍｍ）となるように前記基端部の位置が設定されており、さらに、前記制振材６０（１），６０（２）と同一面積を有するようにサスペンション長手方向に沿った長さが０．８４Ｌ（＝５．１８ｍｍ）とされている。
【０１０６】
前記第５解析として、前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１）〜４ｃ（３）の各々に対して、有限要素法を用いて前記制振材６０の固着位置（即ち、前記距離ｅ）とねじれ１次モードの共振周波数との関係を求めた。前記第５解析の結果を図１４に示す。
【０１０７】
前記第６解析として、前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１）〜４ｃ（３）の各々に対して、有限要素法を用いて前記制振材６０の固着位置（即ち、前記距離ｅ）とＳＷＡＹモードの共振周波数との関係を求めた。前記第６解析の結果を図１５に示す。
【０１０８】
図１４及び図１５から、同一面積の制振材６０を用いる場合には、前記制振材６０を前記本体部３１の基端側に可及的に位置させることによって、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの双方の共振周波数を上昇させ得ることが理解される。
【０１０９】
次に、前記制振材６０のサスペンション長手方向長さとねじれ１次モードの共振周波数との関係を求める為に行った第７解析、及び、前記長さとＳＷＡＹモードの共振周波数との関係を求める為に行った第８解析について説明する。
【０１１０】
前記第７及び第８解析は、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａが０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）とされ、且つ、基端部が前記本体部３１の基端縁に略一致するように前記本体部３１に固着された前記制振材６０を備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記制振材６０のサスペンション長手方向長さが種々に変更された磁気ヘッドサスペンションを用いて行った。
図１６Ａ〜１６Ｅに、それぞれ、前記第７及び第８解析に用いた磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１１）〜４ｃ（１５）の上面図を示す。
【０１１１】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１１）は、前記支持部１０の先端エッジと先端部との間のサスペンション長手方向長さｆが０．２６Ｌ（＝１．６２ｍｍ）となるような制振材６０（１１）を有している。
【０１１２】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１２）は、前記支持部１０の先端エッジと先端部との間のサスペンション長手方向長さｆが０．４６Ｌ（＝２．８５ｍｍ）となるような制振材６０（１２）を有している。
【０１１３】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１３）は、前記支持部１０の先端エッジと先端部との間のサスペンション長手方向長さｆが０．６４Ｌ（＝３．９５ｍｍ）となるような制振材６０（１３）を有している。
【０１１４】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１４）は、前記支持部１０の先端エッジと先端部との間のサスペンション長手方向長さｆが０．８１Ｌ（＝５．０５ｍｍ）となるような制振材６０（１４）を有している。
【０１１５】
前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１５）は、前記支持部１０の先端エッジと先端部との間のサスペンション長手方向長さｆが１．０８Ｌ（＝６．７０ｍｍ）となるような制振材６０（１５）を有している。
【０１１６】
前記第７解析として、前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１１）〜（１５）の各々のねじれ１次モードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。前記第７解析の結果を図１７に示す。
前記第８解析として、前記磁気ヘッドサスペンション４ｃ（１１）〜（１５）の各々のＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。前記第８解析の結果を図１８に示す。
【０１１７】
図１７から、前記長さｆを０．６Ｌ以上とすることでねじれ１次モードの共振周波数を実質的に最高状態とすることができ、さらに、前記長さｆが０．６Ｌ以上であれば前記長さｆをそれ以上に長くしてもねじれ１次モードの共振周波数は上昇しないことが理解される。
【０１１８】
又、図１８から、前記長さｆが０．３５Ｌ≦ｆ≦０．７５Ｌの条件を満足する場合には、ＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ得ることが理解される。
【０１１９】
以上の点から、前記制振材６０は、基端部が前記本体部３１の基端エッジと略同一位置に位置するように前記本体部３１の基端側に可及的に配置させることが好ましく、さらには、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの双方の共振周波数を上昇させる為には先端部と前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向長さｆが０．６Ｌ≦ｆ≦０．７５Ｌを満たすように前記制振材６０の長さを設定することが好ましい。
【０１２０】
実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１９Ａに、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション５の上面図を示す。
又、図１９Ｂ及び１９Ｃに、それぞれ、図１９Ａにおける19B-19B線及び19C-19C線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【０１２１】
図１９Ａ〜１９Ｃに示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション５は、ロードビーム部３０Ｅの本体部３１Ｅが厚肉領域３７を有している点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１と相違している。
【０１２２】
詳しくは、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１に比して、前記ロードビーム部３０の代わりに前記ロードビーム部３０Ｅを備えている。
【０１２３】
前記ロードビーム部３０Ｅは、基端部が前記荷重曲げ部２０に連結された状態で板面が前記ディスク面に略平行とされた平板状の前記本体部３１Ｅと、前記本体部３１Ｅの左右側縁から前記ディスク面とは反対側へ延在された左右一対の前記フランジ部３２とを備えている。
なお、前記ロードビーム部３０Ｅは、前記各実施の形態におけると同様に、さらに、前記リフトタブ３４を有している。
【０１２４】
図１９Ｂ及び１９Ｃに示すように、前記厚肉領域３７は、前記本体部３１Ｅにおける前記ディスク面とは反対側の上面の一部が前記ディスク面とは反対側へ膨出されることで形成されている。
【０１２５】
前記厚肉領域３７を備えた前記ロードビーム部３０Ｅは、少なくとも前記厚肉領域３７の厚さを有するロードビーム部形成板を用意する工程と、前記厚肉領域３７とそれ以外の領域とがそれぞれ所定の厚みを有するように前記ロードビーム部形成板に対して前記ディスク面とは反対側の上面から対応したエッチング量でエッチングを行う工程とを含む製造方法によって容易に形成され得る。
【０１２６】
前記厚肉領域３７の基端部が前記本体部３１Ｅの基端部と略同一位置に位置し且つ先端部が前記支持部１０の先端エッジからサスペンション長手方向に０．４６Ｌ（＝２．８５ｍｍ）だけ離間されるように前記厚肉領域３７のサスペンション長手方向位置が設定され、さらに、前記厚肉領域３７以外の前記本体部３１Ｅの厚みが０．０３ｍｍとされ且つ前記厚肉領域３７の厚みが０．０８ｍｍとされた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部１０の先端エッジと前記変曲点Ｐとの間のサスペンション長手方向距離ａがそれぞれ０．５２Ｌ（＝３．２５ｍｍ）、０．６５Ｌ（＝４．０５ｍｍ）、０．７８Ｌ（＝４．８５ｍｍ）とされた磁気ヘッドサスペンション５ｂ〜５ｄのねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を有限要素法を用いて求めた。
その算出結果を図５及び図６に併せて示す。
【０１２７】
図５及び図６から明らかなように、前記本体部３１Ｅに前記厚肉領域３７を設けることにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振周波数を上昇させ、これにより、ねじれ１次モード及びＳＷＡＹモードの共振の発生を防止することができる。
【０１２８】
さらに、補強構造としての前記厚肉領域３７及び前記制振材６０の共通性から判断すると、基端部が前記本体部３１Ｅの基端エッジと略同一位置に位置するように前記厚肉領域３７を形成するのが好ましく、さらには、先端部と前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向長さが０．６Ｌ以上で且つ０．７５Ｌ以下となるように前記厚肉領域３７を形成することが好ましい。
【０１２９】
なお、前記各実施の形態においては、前記フレクシャ基板とは別体とされた前記サポート板７０が備えられているが、これに代えて、前記フレクシャ基板が前記サポート板として作用するように構成することも可能である。斯かる構成によれば、質量低減化による耐衝撃性の向上を図ることができる。
【符号の説明】
【０１３０】
１〜５                                磁気ヘッドサスペンション
１０                                  支持部
２０                                  荷重曲げ部
３０，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｅ          ロードビーム部
３１，３１Ｃ，３１Ｅ                  本体部
３１ａ                                基端領域
３１ｂ                                先端領域
３２                                  フランジ部
３３                                  ディンプル
３５                                  基端側フランジ部
３６                                  膨出部
３７                                  厚肉領域
４０                                  フレクシャ部
５０                                  磁気ヘッドスライダ
６０                                  制振材
７０，７０Ｂ                          サポート板
７１                                  基端縁
７２                                  側縁
７３                                  先端縁
７５                                  平面部
７６                                  折り曲げ部
Ｐ                                    変曲点
ＣＬ                                  サスペンション長手方向中心線
ＩＬ                                  仮想線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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