(57)【要約】【課題】ガスケットを所定に位置に位置決めできるとともに、脱落なども防止できるガスケットホルダおよびこれを用いた流体制御装置を提供する。【解決手段】第１流路を有する第１部材と、この第１部材に接合され第１流路に連通する第２流路を有する第２部材との接合面間において、第１流路と第２流路との間に配置されるガスケットを保持するガスケットホルダであって、第１部材と第２部材の接合面間において、ガスケット５１の外周を保持するガスケット保持片部６１と、このガスケット保持片部６１の一端に設けられた連結片部６５と、この連結片部６５を介してガスケット保持片部６１と対向して設けられ第２部材を挟持する挟持片部６６とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流路を有する第１部材と、この第１部材に接合され前記第１流路に連通する第２流路を有する第２部材との接合面間において、前記第１流路と第２流路との間に配置されるガスケットを保持するガスケットホルダであって、
前記第１部材と前記第２部材の接合面間において、前記ガスケットの外周を保持するガスケット保持片部と、
このガスケット保持片部の一端に設けられた連結片部と、
この連結片部を介して前記ガスケット保持片部と対向して設けられ前記第２部材を挟持する挟持片部とを備えた、ことを特徴とするガスケットホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスケットホルダにおいて、
前記ガスケット保持片部、前記連結片部および前記挟持片部は、弾性を有する１枚の板材をコ字形に折り曲げて形成されている、ことを特徴とするガスケットホルダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスケットホルダにおいて、
前記ガスケット保持片部の略中央には前記ガスケットを保持するガスケット保持孔が形成され、
前記ガスケット保持片部および前記挟持片部には、前記ガスケット保持孔を中心とした両側に前記第１部材および第２部材を固定するための締付ボルトの挿通孔が形成され、
前記ガスケット保持片部に形成された挿通孔および前記挟持片部に形成された挿通孔のうち、少なくとも一方の挿通孔の内周面には、前記締付ボルトのねじ溝内に突出し係合する３つの係合爪が形成されている、ことを特徴とするガスケットホルダ。
【請求項４】
流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、
前記流体制御機器の流体流路が形成された面と、この面に接合される部材の面との間に、請求項１〜請求項３のいずれかに記載のガスケットホルダに保持されたガスケットが配置される、ことを特徴とする流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに連通される流路間に介在されるガスケットを保持するガスケットホルダおよびこれを用いた流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備などにおいて、ガスなどの流体の供給を制御する装置として、複数の流体制御機器を一列に連結した集積化ガススティックや、この集積化ガススティックをベースプレート上に多数並設した集積化ガスパネルなどが知られている。
【０００３】
例えば、取付板上に複数の流体制御機器を一列に配列するとともに、取付板と流体制御機器との間に、隣接する流体制御機器間に跨って流路ブロックを配置し、この流路ブロックを通じて隣接する流体制御機器に流体を流通させるようにした集積弁（集積化ガススティック）が知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
このような流体制御機器と流路ブロックとの接合面間には、一般に、ガスケットホルダに保持されたガスケットが配置される。
従来、この種の接合面間に用いられるガスケットホルダは、図６に示すように、平板状で、中央にガスケット５１を保持するガスケット保持孔７１が形成され、このガスケット保持孔７１を挟む両側に締付ボルトが挿通する挿通孔７２が形成された構造である（例えば、非特許文献１参照）。挿通孔７２の１２０°間隔位置には、挿通孔７２内に突出し、締付ボルトのねじ溝に係合する３つの係合爪７３が形成されている。
【０００５】
図７に示すように、第１流路８１Ａを有する第１部材８１と、この第１部材８１に接合され第１流路８１Ａに連通する第２流路８２Ａを有する第２部材８２との接合面間において、第１流路８１Ａと第２流路８２Ａとの間にガスケットホルダ７０に保持されたガスケット５１を配置する場合、第２部材８２の接合面にガスケット５１を保持したガスケットホルダ７０を配置するとともに、第２部材８２の両側の挿通孔８２Ｂから締付ボルト５０を挿通し、この締付ボルト５０のねじ溝をガスケットホルダ７０の係合爪７３に螺合させる。すると、２本の締付ボルト５０によってガスケットホルダ７０が第２部材８２の接合面に保持されるとともに、ガスケット５１が第２流路８２Ａに位置決めされる。
【０００６】
この状態において、第２部材８２を第１部材８１の真上に位置させたのち、締付ボルト５０を第１部材８１のねじ孔８１Ｂに螺合していくと、第１部材８１と第２部材８２とが接合されるとともに、これらの接合面間にガスケットホルダ７０が保持され、かつ、このガスケットホルダ７０に保持されたガスケット５１が第１流路８１Ａと第２流路８２Ａとの間に保持される。これにより、第１流路８１Ａと第２流路８２Ａとの間の隙間がシールされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−６５４６２号公報
【０００８】
【非特許文献１】マイクロフレックス  テクノロジーズ社（Microflex  Technologies）  カタログ  ’Low Flow Sealing Systems’［online］［平成２２年６月８日検索］＜インターネットURL:http://www.microflexseals.com/products_catalog.htm＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、従来の構造では、組み立て時に、２本の締付ボルト５０でガスケットホルダ７０を第２部材８２の接合面に保持する際、締付ボルト５０のねじ溝をガスケットホルダ７０の係合爪７３に螺合させて保持する構造であるため、ガスケットホルダ７０が第２部材８２の接合面に対して傾いて保持される場合がある。すると、ガスケット５１も第１流路８１Ａおよび第２流路８２Ａの位置からずれて位置決めされる結果、リーク不良が発生しやすい。
【００１０】
また、メンテナンス時において、２本の締付ボルト５０を第１部材８１から外して、第２部材８２を第１部材８１から取り外す際、締付ボルト５０を第１部材８１のねじ孔８１Ｂから外れる方向に回転させる。締付ボルト５０が第１部材８１から外れたのち、更に回転させると、締付ボルト５０はガスケットホルダ７０の係合爪７３からも外れてしまうため、ガスケットホルダ７０が脱落するという問題がある。
とくに、この種の流体制御機器が集積化された流体制御装置の場合、流体制御機器の間には狭い隙間しかないため、ガスケットホルダ７０が脱落してこの隙間に入ると、これを取り出すことが極めて難しい。
【００１１】
本発明の目的は、このような従来の課題を解消し、ガスケットを所定に位置に位置決めできるとともに、脱落なども防止できるガスケットホルダおよびこれを用いた流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のガスケットホルダは、第１流路を有する第１部材と、この第１部材に接合され前記第１流路に連通する第２流路を有する第２部材との接合面間において、前記第１流路と第２流路との間に配置されるガスケットを保持するガスケットホルダであって、前記第１部材と前記第２部材の接合面間において、前記ガスケットの外周を保持するガスケット保持片部と、このガスケット保持片部の一端に設けられた連結片部と、この連結片部を介して前記ガスケット保持片部と対向して設けられ前記第２部材を挟持する挟持片部とを備えた、ことを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、ガスケットの外周を保持するガスケット保持片部と、このガスケット保持片部に連結片部を介してガスケット保持片部と対向して設けられた挟持片部とで、第２部材を挟持する構造であるため、ガスケットを第２部材に対して所定の位置、つまり、第２流路位置に正確に位置決めできる。従って、組立時に、互いに連通される第１流路と第２流路との間にガスケットを正確に位置させることができるから、ガスケットの位置がずれてリーク不良が発生する問題を解消できる。
また、メンテナンス時などにおいて、第１部材と第２部材とを分離しても、ガスケット保持片部と、このガスケット保持片部に連結片部を介してガスケット保持片部と対向して設けられた挟持片部とで、第２部材を挟持する構造であるため、ガスケットホルダおよびガスケットが第２部材から脱落するのを防止できる。
【００１４】
本発明のガスケットホルダにおいて、前記ガスケット保持片部、前記連結片部および前記挟持片部は、弾性を有する１枚の板材をコ字形に折り曲げて形成されている、ことが好ましい。
この発明によれば、ガスケット保持片部、連結片部および挟持片部が、弾性を有する１枚の板材をコ字形に折り曲げて形成されているから、プレス折り曲げ加工により製造できる。従って、簡単かつ安価に構成できる。
【００１５】
本発明のガスケットホルダにおいて、前記ガスケット保持片部の略中央には前記ガスケットを保持するガスケット保持孔が形成され、前記ガスケット保持片部および前記挟持片部には、前記ガスケット保持孔を中心とした両側に前記第１部材および第２部材を固定するための締付ボルトの挿通孔が形成され、前記ガスケット保持片部に形成された挿通孔および前記挟持片部に形成された挿通孔のうち、少なくとも一方の挿通孔の内周面には、前記締付ボルトのねじ溝内に突出し係合する３つの係合爪が形成されている、ことが好ましい。
【００１６】
この発明によれば、ガスケット保持片部および挟持片部には、ガスケット保持孔を中心とした両側に締付ボルトの挿通孔が形成されているから、ガスケット保持片部および挟持片部をガスケット保持孔を中心とした両側で第１部材および第２部材に固定することができる。従って、ガスケット保持孔に保持されたガスケットも傾くことなく正しい姿勢に位置させることができる。
また、ガスケット保持片部に形成された挿通孔および挟持片部に形成された挿通孔のうち、少なくとも一方の挿通孔の内周面には、締付ボルトのねじ溝内に突出し係合する３つの係合爪が形成されているから、締付ボルトを基準にガスケット保持片部または挟持片部を位置決めできる。そのため、ガスケットも所定位置に正確に位置決めできる。
【００１７】
本発明の流体制御装置は、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、前記流体制御機器の流体流路が形成された面と、この面に接合される部材の面との間に、上記いずれかのガスケットホルダに保持されたガスケットが配置される、ことを特徴とする。
この発明によれば、流体を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する流体制御装置において、ガスケットを所定位置に位置決めできるとともに、脱落なども防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る流体制御装置の実施形態を示す一部切り欠き正面図。
【図２】同上実施形態の平面図。
【図３】同上実施形態において、マスフローコントローラと流路ブロックとの接合部分を示す断面図。
【図４】同上実施形態のガスケットホルダを示す斜視図。
【図５】図２のV-V線断面図。
【図６】従来のガスケットホルダを示す斜視図。
【図７】従来のガスケットホルダに保持されたガスケットを配置する際の図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本実施形態は、流体（ガス）を一列に配列された複数の流体制御機器を通して制御する集積化ガススティックに適用した例である。
＜集積化ガススティックの説明＞
集積化ガススティックは、図１および図２に示すように、ベースプレート１と、このベースプレート１の上に一列に配列された複数の流体制御機器、ここでは、マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５よびマニュアルバルブ６と、これら流体制御機器とベースプレート１との間に隣接する流体制御機器間に跨って配置された複数の流路ブロック１１，１２，１３，１４，１５，１６と、これら流路ブロック１１〜１６のうち始端側の流路ブロック１１に連結され流体を流路ブロック１１を介してマニュアルバルブ２に供給する配管１７と、流路ブロック１１〜１６のうち終端側の流路ブロック１６に連結されマニュアルバルブ６からの流体を半導体製造設備などに供給する配管１８とを備える。
【００２０】
マニュアルバルブ２，６は、マニュアルバルブ本体２１と、このマニュアルバルブ本体２１の下部に設けられた継手部２２とを備える。マニュアルバルブ本体２１は、手動操作によって弁２１Ａを後述する弁座２４に対して昇降させる構造である。継手部２２は、上面中央位置にマニュアルバルブ本体２１の下端部を取り付けるための取付穴２３および弁座２４が形成されているとともに、内部に弁座２４を介して互いに連通するとともに継手部２２の下面に開口する流体流入用流路２５Ａおよび流体流出用流路２５Ｂが形成されている。取付穴２３の内周面には雌ねじが形成されている。
【００２１】
エアーバルブ３，５は、エアーバルブ本体３１と、このエアーバルブ本体３１の下部に設けられた継手部３２とを備える。エアーバルブ本体３１は、エアーの供給・遮断を制御することによって弁３１Ａを後述する弁座３４に対して昇降させる構造である。継手部３２は、上面中央位置にエアーバルブ本体３１の下端部を取り付けるための取付穴３３および弁座３４が形成されているとともに、内部に弁座３４を介して互いに連通するとともに継手部３２の下面に開口する流体流入用流路３５Ａおおよび流体流出用流路３５Ｂが形成されている。
【００２２】
マスフローコントローラ４は、マスフローコントローラ本体４１と、このマスフローコントローラ本体４１に設けられマスフローコントローラ本体４１よりも配列前後方向へ突出する突出部４２Ａ，４２Ｂを有する継手部４２とを備える。マスフローコントローラ本体４１は、詳細構造を図示していないが、流体の流量を検出する流量検出部と、この流量検出部で検出された流量と設定された流量とを比較し、検出流量が設定流量になるように流体の流量を制御する制御部とを備える。継手部４２は、マスフローコントローラ本体４１に連通するとともに、継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂの下面に開口する第２流路としての流体流入用流路４５Ａおよび流体流出用流路４５Ｂを備える。
【００２３】
流路ブロック１１には、配管１７とマニュアルバルブ２の流体流入用流路２５Ａとを連通させる流路１１ＡがＬ字状の形成されている。流路ブロック１２には、マニュアルバルブ２の流体流出用流路２５Ｂとエアーバルブ３の流体流入用流路３５Ａとを連通させる流路１２ＡがＶ字状に形成されている。流路ブロック１３には、エアーバルブ３の流体流出用流路３５Ｂとマスフローコントローラ４の流体流入用流路４５Ａとを連通させる第１流路としての流路１３ＡがＶ字状に形成されている。流路ブロック１４には、マスフローコントローラ４の流体流出用流路４５Ｂとエアーバルブ３の流体流入用流路３５Ａとを連通させる第１流路としての流路１４ＡがＶ字状に形成されている。流路ブロック１５には、エアーバルブ３の流体流出用流路３５Ｂとマニュアルバルブ２の流体流入用流路２５Ａとを連通させる流路１５ＡがＶ字状に形成されている。流路ブロック１６には、マニュアルバルブ２の流体流出用流路２５Ｂと配管１８とを連通させる流路１６ＡがＬ字状の形成されている。
【００２４】
各流路ブロック１１〜１６と各流体制御機器（マニュアルバルブ２，エアーバルブ３，マスフローコントローラ４，エアーバルブ５，マニュアルバルブ６）とは、上下に重ね合わされた部分において、２本の締付ボルト５０によってベースプレート１に固定さている。
また、各流路ブロック１１〜１６と各流体制御機器（マニュアルバルブ２，エアーバルブ３，マスフローコントローラ４，エアーバルブ５，マニュアルバルブ６）の接合面間において、互いに連通される流路の間には、ガスケット５１が配置されている。ここで、マスフローコントローラ４と流路ブロック１３，１４との接合面間に配置されるガスケット５１については、図３に示すように、ガスケットホルダ６０に保持された状態で配置されている。
【００２５】
ガスケットホルダ６０は、図４に示すように、第１部材としての流路ブロック１３，１４と第２部材としてのマスフローコントローラ４との接合面間において、ガスケット５１の外周を保持するガスケット保持片部６１と、このガスケット保持片部６１の一端に直角に設けられた連結片部６５と、この連結片部６５の先端に直角にかつガスケット保持片部６１と対向して設けられた挟持片部６６とを備えたＬ字形状に形成されている。具体的には、厚みがガスケット５１の厚みよりも十分に薄く、かつ、幅寸法がマスフローコントローラ４の継手部４２の幅寸法と略同じ寸法の長方形状で、弾性を有する１枚の板材をコ字形に折り曲げて、ガスケット保持片部６１、連結片部６５および挟持片部６６が形成されている。
【００２６】
ガスケット保持片部６１は、その略中央にガスケット５１を保持するガスケット保持孔６２およびこのガスケット保持孔６２の１２０°間隔位置にガスケット保持孔６２内に突出する３つの保持爪６３を有し、ガスケット保持孔６２を中心とした両側に締付ボルト５０の挿通孔６４を備えている。なお、３つの保持爪６３のうち２つの保持爪６３の両側にはスリットが形成され、大きく弾性変形ができるようになっている。また、挿通孔６４は、ガスケット保持片部６１の両側辺に開口された形状に形成されている。
連結片部６５は、高さ寸法がマスフローコントローラ４の継手部４２の高さ寸法と略同じ寸法に形成されている。
挟持片部６６は、両側、つまり、ガスケット保持片部６１に形成された挿通孔６４を中心とした両側に締付ボルト５０の挿通孔６７を備えている。挿通孔６７の内周面１２０°間隔位置には、挿通孔６７内に突出し締付ボルト５０のねじ溝に係合する３つの円弧状の係合爪６８が形成されている。
【００２７】
＜組立、分解方法の説明＞
組み立てにあたっては、ベースプレート１の上に流路ブロック１１〜１６を配置し、これらの流路ブロック１１〜１６に跨るように流体制御機器、つまり、マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、マニュアルバルブ６を一列に配列する。
このとき、各流路ブロック１１〜１６と各流体制御機器（マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、マニュアルバルブ６）の接合面間において、互いに連通される流路の間には、ガスケット５１を配置しておく。
【００２８】
また、マスフローコントローラ４と流路ブロック１３，１４との接合面間に配置されるガスケット５１については、初めに、図４に示すように、ガスケットホルダ６０のガスケット保持孔６２にガスケット５１を配置するとともに、３つの保持爪６３でガスケット５１の外周溝５１Ａを保持しておく。
この状態のガスケットホルダ６０をマスフローコントローラ４の継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂに挟持させる。つまり、ガスケットホルダ６０のガスケット保持片部６１と挟持片部６６とで、突出部４２Ａ，４２Ｂの上下面を挟持させる。この後、マスフローコントローラ４を流路ブロック１３，１４の上に重ね合わせる。
【００２９】
このようにして、各流路ブロック１１〜１６に跨って各流体制御機器（マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、マニュアルバルブ６）を配置したのち、各２本の締付ボルト５０を各流体制御機器および流路ブロック１１〜１６を通してベースプレート１に螺合すると、各流路ブロック１１〜１６の上面と各流体制御機器（マニュアルバルブ２、エアーバルブ３、マスフローコントローラ４、エアーバルブ５、マニュアルバルブ６）の下面との接合面において、互いに連通される流路の間に挿入されたガスケット５１が圧縮されるため、流路間を確実にシールすることができる。
【００３０】
このとき、ガスケットホルダ６０は、図５に示すように、ガスケット５１の厚みよりも十分薄い板材によって構成されているから、マスフローコントローラ４と流路ブロック１３，１４との間に介在されたガスケット５１についても、確実に圧縮することができる。つまり、流路１３Ａ，４５Ａ間および流路４５Ｂ，１４Ａ間を確実にシールすることができる。
【００３１】
一方、メンテナンスなどにあたって、マスフローコントローラ４を取り外す場合、締付ボルト５０を緩めてベースプレート１から外すと、流路ブロック１３，１４に対してマスフローコントローラ４を分離することができる。
このとき、ガスケットホルダ６０は、マスフローコントローラ４の継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂを挟持しているから、ガスケットホルダ６０がマスフローコントローラ４の継手部４２から外れることがない。従って、ガスケットホルダ６０に保持されたガスケット５１が脱落するのを防止できる。
【００３２】
＜実施形態の効果＞
（１）本実施形態のガスケットホルダ６０によれば、ガスケット５１の外周を保持するガスケット保持片部６１と、このガスケット保持片部６１に連結片部６５を介してガスケット保持片部６１と対向して設けられた挟持片部６６とで、マスフローコントローラ４の継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂを挟持する構造であるため、ガスケット５１をマスフローコントローラ４の継手部４２に対して所定の位置、つまり、流路４５Ａ，４５Ｂの位置に正確に位置決めできる。従って、組立時に、互いに連通される流路１３Ａ，４５Ａおよび流路４５Ｂ，１４Ａの間にガスケット５１を正確に位置させることができるから、ガスケット５１の位置がずれてリーク不良が発生する問題を解消できる。
【００３３】
（２）また、メンテナンス時などにおいて、流路ブロック１３，１４に対してマスフローコントローラ４を分離しても、ガスケット保持片部６１と、このガスケット保持片部６１に連結片部６５を介して連結された挟持片部６６とで、マスフローコントローラ４の継手部４２の突出部４２Ａ，４２Ｂを挟持する構造であるため、ガスケットホルダ６０およびガスケット５１がマスフローコントローラ４から脱落するのを防止できる。
【００３４】
（３）ガスケット保持片部６１、連結片部６５および挟持片部６６が、弾性を有する１枚の板材をコ字形に折り曲げて形成されているから、プレス折り曲げ加工により製造できる。従って、簡単かつ安価に構成できる。
【００３５】
（４）ガスケット保持片部６１および挟持片部６６には、ガスケット保持孔６２を中心とした両側に締付ボルト５０の挿通孔６４，６７が形成されているから、ガスケット保持片部６１および挟持片部６６をガスケット保持孔６２を中心とした両側で流路ブロック１３，１４およびマスフローコントローラ４に固定することができる。従って、ガスケット保持孔６２に保持されたガスケット５１も傾くことなく正しい姿勢に位置させることができる。
また、挟持片部６６に形成された挿通孔６７の内周面には、締付ボルト５０のねじ溝に係合する３つの係合爪６８が形成されているから、締付ボルト５０を基準に挟持片部６６、つまり、ガスケットホルダ６０を位置決めできる。そのため、ガスケット５１も所定位置に正確に位置決めできる。
【００３６】
＜変形例＞
本発明は、前述の実施形態に限定されるものでなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
前記実施形態のガスケットホルダ６０は、ガスケット保持片部６１、連結片部６５および挟持片部６６がコの字形状に形成されていたが、これに限られない。ガスケット保持片部６１と挟持片部６６とでマスフローコントローラ４の継手部４２を挟持できる形状であればよい。つまり、挟持する部材の形状に適した形に形成すればよい。
【００３７】
前記実施形態のガスケットホルダ６０においては、挟持片部６６の両側に形成した挿通孔６７に３つの係合爪６８を形成したが、係合爪６８については、ガスケット保持片部６１の両側に形成した挿通孔６４に設けてもよい。あるいは、ガスケット保持片部６１および挟持片部６６の挿通孔６４，６７にそれぞれ設けてもよい。
前記実施形態のガスケットホルダ６０においては、ガスケット保持片部６１の中央にガスケット保持孔６２および保持爪６３を設け、これにより、ガスケット５１を変位可能に保持したが、ガスケット５１を変位可能に保持する構造については、これに限られない。例えば、図６に示す構造であってもよい。
【００３８】
前記実施形態では、マスフローコントローラ４の継手部４２にガスケットホルダ６０を挟持する例について説明したが、他の流体制御機器に適用してもよい。あるいは、流路ブロック１１〜１６側に設けるようにしてもよい。
【００３９】
前記実施形態の流体制御装置では、５つの流体制御機器を一列に配列した例に説明したが、流体制御機器の数については、前記実施形態に限られない。例えば、マスフローコントローラ４と、これに隣接して接続される２つのバルブとで構成してもよい。あるいは、複数の流体制御機器を一列に配列した集積化ガススティックを、ベースプレート１の上に複数並設して集積化ガスパネルとしてもよい。
【００４０】
前記実施形態では、流体の流量を制御するシステムについて説明したが、これに限らず、流体の圧力を制御する流体制御装置であってもよい。
また、流体としては、ガスに限らず、液体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、例えば、半導体製造設備などにおいて、流体の流量を制御する装置や、流体の圧力を制御する装置などに利用できる。
【符号の説明】
【００４２】
２，６…マニュアルバルブ（流体制御機器）、  
３，５…エアーバルブ（流体制御機器）、
４…マスフローコントローラ（流体制御機器、第２部材）、
１３，１４…流路ブロック（第１部材）、
１３Ａ，１４Ａ…流路（第１流路）、
４５Ａ…流体流入用流路（第２流路）、
４５Ｂ…流体流出用流路（第２流路）、
５０…締付ボルト、
５１…ガスケット、
６０…ガスケットホルダ、
６１…ガスケット保持片部、
６２…ガスケット保持孔、
６３…保持爪、
６４…挿通孔、
６５…連結片部、
６６…挟持片部、
６７…挿通孔、
６８…係合爪。
【図１】
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【図２】
2012077867.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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