(57)【要約】【課題】  部品の状態を早期の段階で知ることができる点検方法を提供する。【解決手段】  処理量の変化を生じさせる操作を行うことでこの処理対象の状態を目標状態に保つ状態制御装置の点検方法において、この状態制御装置を構成する部品のうち、状態制御装置の使用中に生じる部品劣化が処理対象の状態に影響する部品を表すリストを作成するリスト作成ステップ（Ｓ１１）と、状態制御装置による操作の操作量を定期的に点検する操作量点検ステップ（Ｓ１２）と、操作量点検ステップで操作量の異常が見つかった場合に、リストに表された各部品について部品劣化を点検する部品点検ステップ（Ｓ１４）とを有することを特徴とする。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象を処理した結果として該処理対象の状態を制御する状態制御装置であって、処理量の変化を生じさせる操作を行うことで該処理対象の状態を目標状態に保つ状態制御装置を構成する部品のうち、該状態制御装置の使用中に生じる部品劣化が該処理対象の状態に影響する部品を表すリストを作成するリスト作成ステップと、
前記状態制御装置による前記操作の操作量を定期的に点検する操作量点検ステップと、
前記操作量点検ステップで操作量の異常が見つかった場合に、前記リストに表された各部品について部品劣化を点検する部品点検ステップとを有することを特徴とする点検方法。
【請求項２】
前記状態制御装置が、空気を媒体と熱交換させる処理の結果として該空気の温度を制御する温度制御装置であって、熱交換量に直接に影響する媒体流量をバルブで操作することで該空気の温度を目標温度に保つ温度制御装置であり、
前記操作量点検ステップが、前記バルブの操作量を点検するステップであることを特徴とする請求項１記載の点検方法。
【請求項３】
前記状態制御装置が、空気を水分吸収媒体と接触させる処理の結果として該空気の湿度を制御する湿度制御装置であって、水分吸収量に直接に影響する媒体温度をバルブで操作することで該空気の湿度を目標湿度に保つ湿度制御装置であり、
前記操作量点検ステップが、前記バルブの操作量を点検するステップであることを特徴とする請求項１記載の点検方法。
【請求項４】
前記状態制御装置が、空気に水蒸気を加える処理の結果として該空気の湿度を制御する湿度制御装置であって、水蒸気量をバルブで操作することで該空気の湿度を目標湿度に保つ湿度制御装置であり、
前記操作量点検ステップが、前記バルブの操作量を点検するステップであることを特徴とする請求項１記載の点検方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象の状態を目標状態に保つ装置の点検方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば工業製品を製造するプラントに代表される、多数の部品で構成された装置の運用では、運転中断による製品品質や製造効率の低下を抑えるため、保守点検が重視されている。
【０００３】
部品故障による装置の運転中断を抑える方法として、各部品について、例えばバスタブ曲線によって表される標準的な寿命を把握しておき、標準寿命に対し余裕を見込んだ短い期間で無条件に交換していく方法がある。しかし、この方法では、個々の部品は、実際の劣化が考慮されずに交換されていくため、部品の無駄な廃棄が避けられない。
【０００４】
また、別の方法として、装置を構成する個々の部品すべての状態を点検し、状態が劣化した部品を交換する方法も知られている。しかし、工場のプラントのような大規模な装置は多数の部品で構成されている。これらすべての部品の状態を点検しようとすると、点検項目が膨大となり、点検周期が部品劣化の進行に追いつかず、却って故障を招くおそれがある。また、個々の部品の点検には、装置の動作停止中といった期間に限られるものも多い。
【０００５】
このように、全ての部品の劣化状態を点検して、その結果によって、装置の保守を行う、いわゆる結果系管理では、部品の無駄または点検漏れのリスクが大きい。そこで、装置の機能を検査することによって、原因としての劣化部品を探る、いわゆる原因系管理が考えられている。
【０００６】
例えば、プラント監視装置において、プラントを階層的に整理した機能階層モデルの各ノードで、各プラント機能が正常か異常かを判断するための知識を管理することが知られている（例えば、特許文献１参照。）。このプラント監視装置は、温度、圧力といった処理対象の状態を表すプロセスデータが制限値から逸脱したか否かによりプラント機能が正常か異常かを判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１３７９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、プラントといった装置では、通常、処理対象の状態を目標状態に保つように処理対象を処理する制御が実行されている。このため、処理対象の状態を監視する場合、処理対象の異常状態が見つかった時点では、装置としては重い故障状態に至ってしまっている可能性がある。つまり、処理対象の状態監視では、装置が重い故障状態となる前に部品の異常を知ることは困難である。
【０００９】
本発明は上記問題点を解決し、部品の異常を早期の段階で知ることができる点検方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する本発明の点検方法は、処理対象を処理した結果としてこの処理対象の状態を制御する状態制御装置であって、処理量の変化を生じさせる操作を行うことでこの処理対象の状態を目標状態に保つ状態制御装置を構成する部品のうち、この状態制御装置の使用中に生じる部品劣化がこの処理対象の状態に影響する部品を表すリストを作成するリスト作成ステップと、
上記状態制御装置による上記操作の操作量を定期的に点検する操作量点検ステップと、
上記操作量点検ステップで操作量の異常が見つかった場合に、上記リストに表された各部品について部品劣化を点検する部品点検ステップとを有することを特徴とする。
【００１１】
状態制御装置における処理対象の状態は、通常、処理量の変化を生じさせる操作を行うことで目標状態に保たれており、処理対象の状態の異常は、状態制御装置の機能が損なわれた故障状態を意味する。本発明の点検方法によれば、処理対象の状態ではなく操作の操作量を定期的に点検するので、処理対象の状態を目標状態に保つことができる程度には状態制御装置が機能している期間でも、部品劣化の影響を見つけることができる。また、操作量の異常に対応するリストの各部品について部品劣化を点検することで、効率よく部品劣化を検知することができる。
【００１２】
ここで、上記本発明の点検方法において、
上記状態制御装置が、空気を媒体と熱交換させる処理の結果としてこの空気の温度を制御する温度制御装置であって、熱交換量に直接に影響する媒体流量をバルブで操作することでこの空気の温度を目標温度に保つ温度制御装置であり、
上記操作量点検ステップが、上記バルブの操作量を点検するステップであることが好ましい。
【００１３】
上記の温度制御装置では、バルブの操作を介して空気の温度が目標温度に保たれているため、温度を点検するだけでは温度制御装置の機能が損なわれるまで異常が検知されないが、バルブの操作量を定期的に点検することで、温度制御装置の機能が損なわれる前の早期の段階で、空気の温度に影響を与える部品の異常を検知することができる。
【００１４】
また、上記本発明の点検方法において、
上記状態制御装置が、空気を水分吸収媒体と接触させる処理の結果としてこの空気の湿度を制御する湿度制御装置であって、水分吸収量に直接に影響する媒体温度をバルブで操作することでこの空気の湿度を目標湿度に保つ湿度制御装置であり、
上記操作量点検ステップが、上記バルブの操作量を点検するステップであることが好ましい。
【００１５】
上記の湿度制御装置では、バルブの操作を介して空気の湿度が目標温度に保たれているため、湿度を点検するだけでは湿度制御装置の機能が損なわれるまで異常が検知されないが、バルブの操作量を定期的に点検することで、湿度制御装置の機能が損なわれる前の早期の段階で、空気の湿度に影響を与える部品の異常を検知することができる。
【００１６】
また、上記本発明の点検方法において、
上記状態制御装置が、空気に水蒸気を加える処理の結果としてこの空気の湿度を制御する湿度制御装置であって、水蒸気量をバルブで操作することでこの空気の湿度を目標湿度に保つ湿度制御装置であり、
上記操作量点検ステップが、上記バルブの操作量を点検するステップであってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、部品の状態を早期の段階で知ることができる点検方法が実現する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態である点検方法の点検対象である装置を示す構成図である。
【図２】図１に示す調湿調温装置の制御を説明するブロック図である。
【図３】図１に示す空調装置の構成を示す図である。
【図４】空調装置の制御を説明するブロック図である。
【図５】冷却装置を点検する点検方法を示すフローチャートである。
【図６】冷却装置における、空気の温度に影響する部品を表すリストである。
【図７】加湿装置における、空気の湿度に影響する部品を表すリストである。
【図８】空調装置における、空気の湿度に影響する部品を表すリストである。
【図９】空調装置における日常の点検項目を示すリストである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態である点検方法の点検対象である装置を示す構成図である。
【００２１】
図１に示す装置Ｐは、連続したウエブ表面に複数の層を形成することによって印画紙を製造するプラントである。装置Ｐは、第１工程装置１、第２工程装置２、第３工程装置３、第４工程装置４、第５工程装置５、第６工程装置６、第７工程装置７、空調装置８、および、調湿調温装置９を備えている。
【００２２】
装置Ｐは、一連に続いた長尺のウエブＷを第１工程装置１から第７工程装置７まで送って、第１工程装置１から第７工程装置７までの工程を順次通過させる。ウエブＷは、第１工程装置１から第７工程装置７に至るまで１つに繋がっている。
【００２３】
第１工程装置１は、ウエブＷを１つに繋ぎあわせて他の工程装置に供給する供給装置であり、旋回自在なターレット１１を備えている。ターレット１１が備える不図示の２つの送出軸には、原料となるウエブＷが巻いたロール１２，１３が２つ装着される。ロール１２，１３は、ターレット１１に対し回転自在に装着されている。第１工程装置１は、２つのウエブのロール１２，１３のうち一方のウエブのロール１２からウエブを引き出して、第２工程装置２に供給する。ロール１２は矢印Ａの向きに回転する。この一方のロール１２からウエブの最後の端が引き出されると、ターレット１１が矢印Ｂの向きに半回転分旋回し、今度は他方のロール２３からウエブの引き出しが開始する。第１工程装置１には接合機１５が備えられており、接合機１５は、後から引き出されたウエブの先端を、先に引き出されたウエブの後端に接続する。上記他方のロール２３からウエブが引き出されている間に、ターレット１１には、ウエブの引き出しが完了したロールに替えて、新たなロールが装着される。このようにして、第１工程装置１は、エンドレスに繋がったウエブＷを供給する。ウエブＷは矢印Ｃの向きに搬送される。
【００２４】
第２工程装置２は、ウエブＷの搬送速度を調整する装置であり、ダンサー２１、テンション検知器２２、および駆動装置２３を備えている。ダンサー２１は、矢印Ｃに示すウエブＷの搬送方向と交わる方向（図では上下方向）に移動自在なロールを有し、ロールはウエブＷを下向きに引き出すよう付勢されている。ダンサー２１は、第１工程装置１から供給されるウエブＷの速度のムラを吸収する。駆動装置２３は、ウエブＷを矢印Ｃの向きに搬送し、テンション検知器２２は、ウエブＷに生じている張力を検知する。
【００２５】
第３工程装置３は、ウエブＷの位置を調整する装置であり、ダンサー３１、テンション検知器３２，３５、エッジポジション制御装置３３、および駆動装置３４を備えている。これらのうち、エッジポジション制御装置３３は、ウエブＷの、矢印Ｃに示す搬送方向に直角な幅方向の端の位置を検知しながら、ウエブＷの幅方向の位置を調整する。
【００２６】
第４工程装置４は塗布装置であり、ウエブＷの表面に例えば乳剤といった液剤を塗布する。
【００２７】
第５工程装置５は、乾燥装置であり、ウエブＷに塗布された液剤を乾燥して、表面の層を形成する。第５工程装置５は、空調装置８、および調湿調温装置９によって、温度および湿度が調整された空気をウエブＷに当てることで、液剤に適した速度で乾燥を行う。
【００２８】
第６工程装置６は、第３工程装置３と同様にウエブＷの位置を調整する装置であり、テンション検知器６１，６５、ダンサー６２、エッジポジション制御装置６３、および駆動装置６４を備えている。
【００２９】
第７工程装置７は、第６工程装置６までによって処理が完了したウエブを巻き取る装置であり、旋回自在なターレット７１を備えている。ターレット７１が備える不図示の２つの巻取り軸には、ウエブＷを巻き取るロール７２，７３が２つ装着される。一方のロール７２についてウエブＷの巻取りが完了すると、ターレット７１が半回転分旋回し、今度は他方のロール７３に、ウエブＷの続きが巻き取られる。この間、巻取りが完了したロール７２はターレット７１から取り外される。
【００３０】
このようにして、第１工程装置１から供給されたウエブＷが、第２工程装置２から第６工程装置６によって順に処理され、第７工程装置７によって巻き取られる。
【００３１】
第５工程装置５に空気を供給する調湿調温装置９は、クーラー９１および加湿スプレー９２を備えている。調湿調温装置９には、空調装置８から、所定の湿度まで水分が除去された空気（処理風）が供給される。調湿調温装置９は、空調装置８から供給された空気に加湿することで湿度の微調整を行い、また、空気の冷却も行う。
【００３２】
クーラー９１は、空気の通路に配置されフィンが取り付けられたチューブに冷水を通すことで、チューブやフィンの周囲を通る空気から熱を奪い、空気の温度を低下させる。クーラー９１に供給される冷水量は、冷水バルブ９１１で操作される。冷水バルブ９１１は電磁バルブであり、制御装置１０によって電気的に制御される。制御装置１０には、調湿調温装置９から送出される空気の温度を測定する温度センサ９１２からの温度信号が供給されている。制御装置１０は、温度センサ９１２からの信号によって表される温度と目標値とに応じ、冷水量を冷水バルブ９１１で操作する。この結果、空気の温度が目標値に近づくよう調整される。
【００３３】
温度センサ９１２と、クーラー９１と、冷水バルブ９１１を制御する制御装置１０との組合せで、冷却装置９Ａが構成される。
【００３４】
加湿スプレー９２は、スプレーノズルから水蒸気を放出させることで、空気に水蒸気を加える。加湿スプレー９２に供給される水蒸気量は、水蒸気バルブ９２１で操作される。水蒸気バルブ９２１は電磁バルブであり、制御装置１０によって電気的に制御される。制御装置１０には、調湿調温装置９から送出される空気の湿度を測定する湿度センサ９２２からの湿度信号が供給されている。制御装置１０は、コンピュータを有しており、空気の湿度の目標値が設定されている。制御装置１０は、湿度センサ９２２の信号によって表される湿度と目標値とに応じ、水蒸気量を水蒸気バルブ９２１で操作する。この結果、空気の湿度が目標値に近づくよう調整される。
【００３５】
湿度センサ９２２と、加湿スプレー９２と、水蒸気バルブ９２１を制御する制御装置１０との組合せで、加湿装置９Ｂが構成される。
【００３６】
［調湿調温装置での制御］
ここで、調湿調温装置９による制御の内容について説明する。
【００３７】
図２は、調湿調温装置９の制御を説明するブロック図である。
【００３８】
制御装置１０は、冷水バルブ９１１を制御する温度制御部（Ｔｅｍｐｒｅｔｕｒｅ  Ｉｎｄｉｃａｔｉｎｇ  Ｃｏｎｔｒｏｌ：ＴＩＣ）１１と、水蒸気バルブ９２１を制御する湿度制御部（Ｍｏｉｓｔｕｒｅ  Ｉｎｄｉｃａｔｉｎｇ  Ｃｏｎｔｒｏｌ：ＭＩＣ）１２とを有する。
【００３９】
先に、冷却装置９Ａを制御する温度制御部１１について説明する。温度制御部１１には、調湿調温装置９から送出される空気について、第５工程装置５（図１参照）における乾燥工程で求められる温度の最適値である温度目標値ＳＶ１が設定されている。温度目標値ＳＶ１は操作者の目標設定操作によって設定され、温度制御部１１の内部に記憶されている。また、温度制御部１１には、温度センサ９１２から温度信号が供給されている。温度信号から、調湿調温装置９から送出される空気の温度を示す温度指標値ＰＶ１が得られる。温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１が、温度目標値ＳＶ１に保たれるように、クーラー９１に流れる冷水流量を冷水バルブ９１１で操作する。冷水バルブ９１１で操作される冷水流量を操作量ＭＶ１とする。より具体的には、温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１によるフィードバック制御を実施しており、温度センサ９１２の温度信号から得られた温度指標値ＰＶ１を常時監視し、温度指標値ＰＶ１と、温度目標値ＳＶ１とのずれを抑制するように、操作量ＭＶ１を変化させる。さらに具体的には、温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１が、温度目標値ＳＶ１を超えている場合に、操作量ＭＶ１を、温度指標値ＰＶ１と温度目標値ＳＶ１との差に応じた量だけ増加させる。この結果、冷水バルブ９１１がより大きく開かれ、冷水流量が増加し、クーラーを通過する空気の温度が低下して、温度目標値ＳＶ１に近づく。温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１が温度目標値ＳＶ１に近づくに従い、冷水バルブ９１１で操作される冷水流量の操作量ＭＶ１を低下させる。温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１と温度目標値ＳＶ１とに基づくＰＩＤ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏｎａｌ  Ｉｎｔｅｇｒａｌ  Ｄｅｒｉｖａｔｉｏｎ）制御方式によって操作量ＭＶ１を制御しており、ＰＩＤ制御の各係数は温度指標値ＰＶ１の変動に適切に追従するように設定されている。
【００４０】
冷却装置９Ａでは、このようにして、空気との熱交換量に直接に影響する冷水流量をバルブで操作することで、空気の温度が、温度目標値ＳＶ１が示す目標温度に保たれている。
【００４１】
次に、加湿装置９Ｂを制御する湿度制御部１２について説明する。湿度制御部１２には、調湿調温装置９から送出される空気について、第５工程装置５（図１参照）における乾燥工程で求められる湿度の最適値である湿度目標値ＳＶ２が設定されている。湿度目標値ＳＶ２は操作者の目標設定操作によって設定され、湿度制御部１２の内部に記憶されている。また、湿度制御部１２には、湿度センサ９２２から湿度信号が供給されている。湿度信号から、調湿調温装置９から送出される空気の湿度を示す湿度指標値ＰＶ２が得られる。湿度制御部１２は、湿度指標値ＰＶ２が、湿度目標値ＳＶ２に保たれるように、加湿スプレー９２に供給される水蒸気量を水蒸気バルブ９２１で操作する。より具体的には、湿度制御部１２は、湿度センサ９２２の湿度信号から得られた湿度指標値ＰＶ２を常時監視しており、湿度指標値ＰＶ２と、湿度目標値ＳＶ２とのずれを抑制するように、水蒸気量である操作量ＭＶ２を変化させる。さらに具体的には、湿度制御部１２は、湿度指標値ＰＶ２が、湿度目標値ＳＶ２を下回っている場合に、操作量ＭＶを湿度指標値ＰＶ２と湿度目標値ＳＶ２との差に応じた量だけ増加させる。この結果、水蒸気バルブ９２１がより大きく開かれ、水蒸気の流量が増加し、加湿スプレー９２から放出される水蒸気量が増加して、湿度目標値ＳＶ２に近づく。湿度制御部１２は、湿度指標値ＰＶ２が湿度目標値ＳＶ２に近づくに従い、水蒸気バルブ９２１で操作される水蒸気量の操作量ＭＶ２を低下させる。湿度制御部１２は、湿度指標値ＰＶ２と湿度目標値ＳＶ２とに基づくＰＩＤ制御方式によって操作量ＭＶ２を制御しており、ＰＩＤ制御の各係数は湿度指標値ＰＶ２の変動に適切に追従するように設定されている。
【００４２】
加湿装置９Ｂでは、このようにして、空気に加える水蒸気量を水蒸気バルブ９２１で操作することで、空気の湿度が、湿度目標値ＳＶ２が示す目標湿度に保たれている。
【００４３】
［空調装置］
空調装置８は、上述した調湿調温装置９に空気を供給するが、供給する空気の湿度を調湿調温装置９による微調整のみで最適値にできるように、あらかじめ所定の湿度に抑えて供給する。
【００４４】
図３は、図１に示す空調装置の構成を示す図である。
【００４５】
図３に示す空調装置８は、湿式除湿方式の除湿装置である。空調装置８は、より詳細にはいわゆるカサバ方式の装置であり、空気を、水分吸収媒体である液体と接触させる処理の結果として湿度を制御する。水分吸収媒体には化学的安定性の高い塩化リチウム水溶液（カセーン液）が用いられる。
【００４６】
空調装置８は、調湿器８１、調湿タンク８２、再生タンク８３、再生器８４、３つの熱交換器８５，８６，８７、防塵フィルタ８８、およびファン８９を備えている。
【００４７】
調湿器８１は、水分吸収媒体である塩化リチウム水溶液を上方から散水しながら、この中を、空気（処理風）を通過させる。水分吸収媒体は、調湿器８１に入った空気から、水分吸収媒体における温度および塩化リチウム濃度に応じた量の水分を取り出す。水分吸収媒体の温度が低いほど、多くの水分が空気から取り出され、空気は乾燥する。
【００４８】
調湿タンク８２には、調湿器８１に供給される水分吸収媒体が収容されている。調湿タンク８２に収容された水分吸収媒体は、調湿タンク８２に設けられた調湿ポンプ８２１によって送出され、熱交換器８５を経由して調湿器８１に供給され、調湿器８１から排出された水分吸収媒体は調湿タンク８２に戻る。
【００４９】
熱交換器８５は、水分吸収媒体を通す管と、冷水を通す管とが熱的に結合された状態で配備されており、水分吸収媒体から冷水に熱が奪われることで、水分吸収媒体が冷却される。水分吸収媒体の冷却量は、熱交換器８５に流れる冷水の流量に対応しており、冷水の流量は、冷水バルブ８５１による操作によって制御される。冷水バルブ８５１は電磁バルブであり、制御装置８０によって電気的に制御される。制御装置１０には、調湿器８１から送出される空気の湿度を測定する湿度センサ８５２からの湿度信号が供給されており、制御装置８０は、湿度センサ８５２から供給された信号が表す湿度に基づいて、冷水バルブ８５１を制御する。冷水バルブ８５１は、熱交換器８５に流れる冷水の流量を介して、水分吸収媒体の温度を操作する。このようにして、制御装置８０は、空気の湿度に基づき、冷水バルブ８５１で水分吸収媒体の温度を操作することで空気の湿度を目標湿度に保つ。
【００５０】
なお、制御装置８０には、調湿器８１から送出される空気の温度を測定する温度センサ８５３から温度信号も供給されており、空気の温度異常が検出されるようになっている。なお、制御装置８０は、図１に示す制御装置１０と共通のコンピュータで実現する構成も採用可能である。
【００５１】
調湿ポンプ８２１によって調湿タンク８２から送出された水分吸収媒体の一部は、再生タンク８３に供給される、再生タンク８３に収容された水分吸収媒体は、再生タンク８３のポンプ８３１によって、熱交換器８７を経由して再生器８４に送出される。熱交換器８７には水蒸気が供給されており、水分吸収媒体は水蒸気から熱を受け取ることで加熱される。
【００５２】
再生器８４は、調湿器８１と同様の基本構造を有しており、水分吸収媒体である塩化リチウム水溶液を上方から散水しながら、この中に外気を通過させる。防塵フィルタ８８を経由した外気は、ファン８９によって再生器８４に供給される。熱交換器８７で加熱された水分吸収媒体は、水分を放出することで、水分を吸収しやすい濃度に再生され、再生タンク８３に戻る。ポンプ８３１によって再生タンク８３から送出された水分吸収媒体の一部は、調湿タンク８２に戻り、調湿器８１で空気（処理風）からの水分吸収に用いられる。
【００５３】
調湿タンク８２と再生タンク８３との間に配備された熱交換器８６は、水分吸収媒体の熱を再利用して加熱および冷却をより効率よく行うためのものである。熱交換器８６は、調湿タンク８２の水分吸収媒体を、再生タンク８３の水分吸収媒体が有する熱によって加熱してから再生タンク８３に供給すると同時に、再生タンク８３の水分吸収媒体を調湿タンク８２の水分吸収媒体によって冷却してから調湿タンク８２に供給している。
【００５４】
このようにして、空調装置８は、内部を循環する水分吸収媒体によって、調湿調温装置９（図１参照）に供給する空気（処理風）の吸湿を行っており、空気の湿度に応じ、冷水バルブ８５１で水分吸収媒体の温度を操作することで空気の湿度を目標湿度に保つ。
【００５５】
冷水バルブ８５１は電磁バルブであり、制御装置８０によって電気的に制御される。制御装置８０には、空調装置８から送出される空気の湿度を測定する湿度センサ８５２から湿度信号が供給されている。制御装置８０は、湿度センサ８５２の信号から得られる湿度の指標値と目標値とに応じ、冷水量を冷水バルブ８５１で操作する。この結果、空気の湿度が制御される。
【００５６】
上述した冷却装置９Ａ、加湿装置９Ｂ、および空調装置８が、本発明の点検方法に係る状態制御装置の一例に相当する。
【００５７】
［空調装置における除湿制御］
図４は、空調装置８の制御を説明するブロック図である。
【００５８】
制御装置８０は、冷水バルブ８５１を制御する湿度制御部（ＤＰＩＣ）１１を有する。
【００５９】
湿度制御部８０１には、空調装置８から送出する空気についての湿度目標値ＳＶ３が設定されている。湿度目標値ＳＶ３は、調湿調温装置９における湿度の微調整だけで第５工程装置５（図１参照）に求められる湿度を得られるような値である。より具体的には、調湿調温装置９では加湿のみを行うので、湿度制御部８０１における湿度目標値ＳＶ３は、第５工程装置５（図１参照）に求められる湿度の最適値よりもわずかに低い値に設定される。湿度目標値ＳＶ３は操作者の目標設定操作によって設定され、湿度制御部８０１の内部に記憶されている。また、湿度制御部８０１には、湿度センサ８５２から湿度信号が供給されている。湿度信号からは、空調装置８から送出される空気の湿度を示す湿度指標値ＰＶ３が得られる。湿度制御部８０１は、湿度指標値ＰＶ３が、湿度目標値ＳＶ３に保たれるように、熱交換器８５に流れる冷水流量を冷水バルブ８５１で操作する。冷水バルブ８５１で操作される冷水流量を操作量ＭＶ３とする。より具体的には、湿度制御部８０１は、湿度センサ８５２からの湿度度信号が表す湿度指標値ＰＶ３を常時監視しており、湿度指標値ＰＶ３と、湿度目標値ＳＶ３とのずれを抑制するように、水分吸収媒体の温度である操作量ＭＶ３を変化させる。さらに具体的には、湿度制御部８０１は、湿度指標値ＰＶ３が、湿度目標値ＳＶ３を超えている場合に、操作量ＭＶ３を、湿度指標値ＰＶ３と湿度目標値ＳＶ３との差に応じた量だけ増加させる。つまり、冷水バルブ８５１がより大きく開かれ、冷水流量が増加し、熱交換器８５を通過する水分吸収媒体の温度が低下する結果、水分吸収媒体が空気からより多くの水分を奪い、空気の湿度が湿度目標値ＳＶ３に近づく。湿度制御部８０１は、湿度指標値ＰＶ３と湿度目標値ＳＶ３とに基づくＰＩＤ制御方式によって操作量ＭＶ３を制御しており、ＰＩＤ制御の各係数は、湿度指標値ＰＶ３の変動に適切に追従するように設定されている。
【００６０】
空調装置８では、このようにして、空気から水分を吸収する水分吸収媒体の水分吸収量に直接に影響する媒体温度を冷水バルブ８５１で操作することで、空気の湿度が、湿度目標値ＳＶ３が示す目標湿度に保たれている。
【００６１】
［冷却装置の点検方法］
図１に示す装置Ｐは、上述したように連続体であるウエブを搬送しながら第１工程装置１〜第７工程装置７で処理するため、一部の装置による処理を行いつつ残りの装置による処理を停止するといったことができない。このことは、空調装置８および調湿調温装置９についても同様であり、空調装置８および調湿調温装置９のいずれを停止しても装置Ｐの処理を実行することはできない。装置Ｐの点検では、空調装置８および調湿調温装置９が備える多数の部品のそれぞれの劣化を、空調装置８および調湿調温装置９の機能が損なわれる前に検知することが求められる。
【００６２】
ここで、本発明の点検方法の第１実施形態である、調湿調温装置９の冷却装置９Ａを点検する点検方法を説明する。
【００６３】
図５は、冷却装置９Ａを点検する点検方法を示すフローチャートである。
【００６４】
図５に示す点検方法は、リスト作成ステップ（Ｓ１１）、操作量点検ステップ（Ｓ１２）、および、部品点検ステップ（Ｓ１４）を有する。
【００６５】
第１実施形態の点検方法では、まず、リスト作成ステップ（Ｓ１１）で、冷却装置９Ａの部品を表す部品リストを作る。冷却装置９Ａは、空気との熱交換量に直接に影響する冷水流量をバルブで操作することで、空気の温度を、温度目標値ＳＶ１が示す目標温度に保っている。リスト作成ステップ（Ｓ１１）では、劣化が空気温度に影響する部品のリストを作成する。具体的には、冷却装置９Ａを構成する部品のリストを作成し、部品のそれぞれについて、劣化したらどのような症状が表れるか、また、その結果として冷却装置９Ａの機能にどのような具体的な変化が現れるかを挙げる。そして、冷却装置９Ａの具体的な変化が、空気の温度であるものを選択する。このようにして、冷却装置９Ａを構成する部品のうち、冷却装置９Ａの使用中に生じる部品劣化が空気の温度に影響する部品を表すリストが作成される。
【００６６】
図６は、冷却装置９Ａにおける、空気の温度に影響する部品を表すリストである。
【００６７】
図６に示すリストでは、冷却装置９Ａを構成するクーラーに設けられた、チューブ、フィン、配管、およびストレーナーが選択されている。例えば、チューブが劣化すると水漏れする結果、空気から熱を奪う冷水の量が減少し、空気の温度が上昇する。また、フィンが劣化すると熱交換の能力が低下する結果、空気の温度が上昇する。また、配管が劣化すると水漏れする結果、空気から熱を奪う冷水の量が減少し、空気の温度が上昇する。また、ストレーナーが劣化すると冷水の詰まりが生じ、冷水の流量（流速）が低下するので、空気の温度が上昇する。図６のリストには、劣化が空気の温度に影響する部品が示される。
【００６８】
次に、第１実施形態の点検方法の操作量点検ステップ（Ｓ１２）で、冷却装置９Ａの冷水バルブ９１１で操作される冷水の流量である操作量ＭＶ１（図３参照）を定期的に点検する。この操作量点検ステップでは、処理対象の状態である温度指標値ＰＶ１（図３）ではなく、冷水バルブ９１１で操作される操作量ＭＶ１を点検する。冷水の流量は冷水バルブ９１１の開閉量に対応するので、操作量は、冷水バルブ９１１の開閉量を点検することで間接的に点検される。具体的には、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、例えば数十分から数時間ごとといった定時に、操作量ＭＶ１を表す冷水バルブ９１１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。
【００６９】
先に説明したように、温度制御部１１は、温度指標値ＰＶ１によるフィードバック制御を実施しており、温度指標値ＰＶ１が温度目標値ＳＶ１からずれると、このずれを抑制するように、操作量ＭＶ１を変化させる。温度指標値ＰＶ１のずれは、冷却装置９Ａに供給されてくる空気の温度の変化や、冷水の温度の変化といった環境の変化（外乱）によって生じるが、部品劣化による各種状態の変化よっても生じる。ただし、環境の変化や部品の劣化による温度指標値ＰＶ１の変化は、温度制御部１１によるフィードバック制御によって短時間のうちに目標値ＳＶ１に合わせて調整されてしまうため、捉えることが容易でない。仮に温度指標値ＰＶ１が制御可能な範囲を逸脱する状態は、冷却装置９Ａの機能が損なわれている故障状態を意味し、装置Ｐ（図１参照）の全体を停止させる必要がある状態を意味する。この一方で、操作量ＭＶ１は、温度制御部１１が制御を実行した結果、環境の変化や部品劣化による変化をそのまま反映した量となっている。空気の温度の変化や、冷水の温度の変化といった環境の変化は、例えば気候や日内周期に対する仕様といった、冷却装置９Ａにおける通常運転時の仕様として想定された想定範囲内にあり、環境の変化による操作量ＭＶ１もこの想定範囲内を周期的に変動することが多い。しかし、部品劣化による変化は、想定範囲を逸脱して単純増加または単純減少することが多い。そこで、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、冷水の流量である操作量ＭＶ１を表す冷水バルブ９１１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。これによって、冷却装置９Ａを構成する部品の劣化を検知することができる。
【００７０】
次に、第１実施形態の点検方法における部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量点検ステップ（Ｓ１２）で操作量ＭＶ１の異常が見つかった場合に（Ｓ１３でＹｅｓ）、図６に示すリストに表された各部品について部品劣化を点検する。部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量の異常に対応するリストによって絞られている部品のみの劣化を点検すればよく、冷却装置９Ａの全ての部品を点検する場合に比べ、点検の時間が短縮される。
【００７１】
第１実施形態の点検方法によれば、温度指標値ＰＶ１で表される空気の温度ではなく、操作量ＭＶ１を定期的に点検するので、温度指標値ＰＶ１を温度目標値ＳＶ１に保つ冷却装置９Ａが機能している期間、すなわち、冷却装置９Ａが重い故障となる前の期間でも、部品劣化の影響を見つけることができる。また、操作量ＭＶ１の異常が生じた場合にも、図６に示すリストに示された部品を点検するだけで、部品の劣化を効率よく見つけることができる。
【００７２】
［加湿装置の点検方法］
続いて、本発明の点検方法の第２実施形態である、加湿装置９Ｂを点検する点検方法を説明する。
【００７３】
加湿装置９Ｂを点検する点検方法のフローチャートは、冷却装置９Ａの点検方法のフローチャート（図５参照）と同じであるので、このまま図５を流用して説明する。
【００７４】
第２実施形態である加湿装置９Ｂの点検方法は、リスト作成ステップ（Ｓ１１）、操作量点検ステップ（Ｓ１２）、および、部品点検ステップ（Ｓ１４）を有する。
【００７５】
第２実施形態の点検方法では、まず、リスト作成ステップ（Ｓ１１）で、加湿装置９Ｂの部品を表す部品リストを作る。加湿装置９Ｂは、空気に加える水蒸気量を水蒸気バルブ９２１で操作することで空気の湿度を、湿度目標値ＳＶ２が示す目標湿度に保っている。リスト作成ステップ（Ｓ１１）では、部品劣化が空気の湿度に影響する部品のリストを作成する。具体的には、加湿装置９Ｂを構成する部品のリストを作成し、部品のそれぞれについて、劣化したらどのような症状が表れるか、また、その結果として加湿装置９Ｂの機能にどのような具体的な変化が現れるかを挙げる。そして、加湿装置９Ｂの具体的な変化が、空気の湿度であるものを選択する。このようにして、加湿装置９Ｂを構成する部品のうち、加湿装置９Ｂの使用中に生じる部品劣化が空気の湿度に影響する部品を表すリストが作成される。
【００７６】
図７は、加湿装置９Ｂにおける、空気の湿度に影響する部品を表すリストである。
【００７７】
図７に示すリストでは、加湿装置９Ｂに設けられた、ＯＮ−ＯＦＦ弁のダイヤフラム、弁のスプリング、電磁弁の本体、および加湿スプレーのスプレーノズルが選択されている。例えば、ダイヤフラムが劣化して穴があくと、蒸気量が不足して湿度が低下する。また、ダイヤフラムやダイヤフラムを固定するボルトナットが劣化して隙間等から漏れが生じても、蒸気量が不足して湿度が低下する。図７のリストには、劣化が空気の湿度に影響する部品が示される。
【００７８】
次に、第２実施形態の点検方法の操作量点検ステップ（Ｓ１２）で、加湿装置９Ｂの水蒸気バルブ９２１で操作される水蒸気量である操作量ＭＶ２（図３参照）を定期的に点検する。この操作量点検ステップでは、処理対象の状態である湿度指標値ＰＶ２（図３）ではなく、水蒸気バルブ９２１で操作される操作量ＭＶ２を点検する。水蒸気量は水蒸気バルブ９２１の開閉量に対応するので、操作量ＭＶ２は、水蒸気バルブ９２１の開閉量を点検することで間接的に点検される。具体的には、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、例えば数十分から数時間ごとといった定時に、操作量ＭＶ２を表す水蒸気バルブ９２１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。
【００７９】
先に説明したように、湿度制御部１２は、湿度指標値ＰＶ２によるフィードバック制御を実施しており、湿度指標値ＰＶ２が湿度目標値ＳＶ２からずれると、このずれを抑制するように、操作量ＭＶ２を変化させる。湿度指標値ＰＶ２のずれは、加湿装置９Ｂに供給されてくる空気の湿度の変化といった環境の変化（外乱）によって生じるが、部品劣化による各種状態の変化よっても生じる。ただし、環境の変化や部品の劣化による湿度指標値ＰＶ２の変化は、湿度制御部１２による制御によって短時間のうちに目標値ＳＶ２に合わせて調整されてしまうため、捉えることが容易でない。仮に湿度指標値ＰＶ２が制御可能な範囲を逸脱する状態は、加湿装置９Ｂの機能が損なわれている故障状態を意味し、装置Ｐ（図１参照）の全体を停止させる必要がある状態を意味する。この一方で、操作量ＭＶ２は、湿度制御部１２の制御を行った結果、環境の変化や部品劣化による変化を反映した量となっている。空気の湿度の変化といった環境の変化は、加湿装置９Ｂの通常運転時の仕様として想定された想定範囲内にあり、環境の変化による操作量ＭＶ２もこの想定範囲内を周期的に変動することが多い。しかし、部品劣化による変化は、想定範囲を逸脱して単純増加または単純減少することが多い。そこで、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、操作量ＭＶ２を表す水蒸気バルブ９２１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。これによって、加湿装置９Ｂを構成する部品の劣化を検知することができる。
【００８０】
次に、第２実施形態の点検方法における部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量点検ステップ（Ｓ１２）で操作量ＭＶ２の異常が見つかった場合に、図７に示すリストに表された各部品について部品劣化を点検する。部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量の異常に対応するリストによって絞られている部品のみの劣化を点検すればよく、加湿装置９Ｂの全ての部品を点検する場合に比べ、点検の時間が短縮される。
【００８１】
第２実施形態の点検方法によれば、湿度指標値ＰＶ２で表される空気の湿度ではなく、操作の操作量ＭＶ２を定期的に点検するので、湿度指標値ＰＶ２を湿度目標値ＳＶ２に保つ加湿装置９Ｂが機能している期間、すなわち、加湿装置９Ｂが重い故障となる前の期間でも、部品劣化の影響を見つけることができる。また、操作量ＭＶ２の異常が生じた場合にも、図７に示すリストに示された部品を点検するだけで部品の劣化を効率よく見つけることができる。
【００８２】
［空調装置の点検方法］
続いて、本発明の点検方法の第３実施形態である、空調装置８を点検する点検方法を説明する。
【００８３】
空調装置８を点検する点検方法のフローチャートは、冷却装置９Ａの点検方法のフローチャート（図５参照）と同じであるので、このまま図５を流用して説明する。
【００８４】
第３実施形態である空調装置８の点検方法もまた、リスト作成ステップ（Ｓ１１）、操作量点検ステップ（Ｓ１２）、および、部品点検ステップ（Ｓ１４）を有する。
【００８５】
第２実施形態の点検方法では、まず、リスト作成ステップ（Ｓ１１）で、空調装置８の部品を表す部品リストを作る。空調装置８は、水分吸収媒体の水分吸収量に直接に影響する媒体温度を冷水バルブ８５１で操作することで空気（処理風）の湿度を、湿度目標値ＳＶが示す目標湿度に保っている。リスト作成ステップ（Ｓ１１）では、部品劣化が空気の湿度に影響する部品のリストを作成する。具体的には、空調装置８を構成する部品のリストを作成し、部品のそれぞれについて、劣化したらどのような症状が表れるか、また、その結果として空調装置８の機能にどのような具体的な変化が現れるかを挙げる。そして、空調装置８の具体的な変化が、空気の湿度であるものを選択する。このようにして、空調装置８を構成する部品のうち、空調装置８の使用中に生じる部品劣化が空気の湿度に影響する部品を表すリストが作成される。
【００８６】
図８は、空調装置８における、空気の湿度に影響する部品を表すリストである。
【００８７】
図８に示すリストでは、空調装置８に設けられた、調湿器８１の本体および散布ノズル、水分吸収媒体（カセイン）、調湿ポンプ８２１の本体およびインペラー、並びに、調湿タンク８２の本体およびバブル管といった部品が選択されている。例えば、調湿器８１の本体が劣化すると水分吸収媒体（カセイン）が漏れ、水分吸収媒体の量が減少する結果、空気（処理風）の湿度が上昇する。また、調湿器８１の散布ノズルが劣化して詰まりが生じても、散布に必要な圧力が上昇し、散布される水分吸収媒体の量が減少する結果、湿度が上昇する。図８のリストには、劣化が空気の湿度に影響する部品が示される。
【００８８】
次に、第３実施形態の点検方法の操作量点検ステップ（Ｓ１２）で、空調装置８の冷水バルブ８５１で操作される水分吸収媒体温度である操作量ＭＶ３（図４参照）を定期的に点検する。この操作量点検ステップでは、処理対象の状態である空気の湿度指標値ＰＶ３（図４）ではなく、冷水バルブ８５１で操作される操作量ＭＶ３を点検する。水分吸収媒体温度は冷水バルブ８５１の開閉量に対応するので、操作量は、冷水バルブ８５１の開閉量を点検することで間接的に点検される。具体的には、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、例えば数十分から数時間ごとといった定時に、操作量ＭＶ３を表す冷水バルブ８５１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。
【００８９】
先に説明したように、湿度制御部８０１は、湿度指標値ＰＶ３によるフィードバック制御を実施しており、湿度指標値ＰＶ３が湿度目標値ＳＶ３からずれると、このずれを抑制するように、操作量ＭＶ３を変化させる。湿度指標値ＰＶ３のずれは、空調装置８に取り入れられてくる空気の湿度の変化といった環境の変化（外乱）によって生じるが、部品劣化による各種状態の変化よっても生じる。ただし、環境の変化や部品の劣化による湿度指標値ＰＶ３の変化は、湿度制御部８０１による制御によって短時間のうちに目標値ＳＶ３に合わせて調整されてしまうため、捉えることが容易でない。仮に湿度指標値ＰＶ３が制御可能な範囲を逸脱する状態は、空調装置８の機能が損なわれている故障状態を意味し、装置Ｐ（図１参照）の全体を停止させる必要がある状態を意味する。この一方で、操作量ＭＶ３は、湿度制御部８０１の制御を行った結果、環境の変化や部品劣化による変化を反映した量となっている。空気の湿度の変化といった環境の変化は、空調装置８の通常運転時の仕様として想定された想定範囲内にあり、環境の変化による操作量ＭＶ３もこの想定範囲内を周期的に変動することが多い。しかし、部品劣化による変化は、想定範囲を逸脱して単純増加または単純減少することが多い。そこで、操作量点検ステップ（Ｓ１２）では、水分吸収媒体温度である操作量ＭＶ３を表す冷水バルブ８５１の開閉量が、通常採り得る範囲を逸脱しているか否かを点検する。これによって、空調装置８を構成する部品の劣化を検知することができる。
【００９０】
次に、第３実施形態の点検方法における部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量点検ステップ（Ｓ１２）で操作量ＭＶ３の異常が見つかった場合に、図８に示すリストに表された各部品について部品劣化を点検する。部品点検ステップ（Ｓ１４）では、操作量の異常に対応するリストによって絞られている部品のみの劣化を点検すればよく、空調装置８の全ての部品を点検する場合に比べ、点検の時間が短縮される。
【００９１】
第３実施形態の点検方法によれば、湿度指標値ＰＶ３で表される空気の湿度ではなく、操作の操作量ＭＶ３を定期的に点検するので、湿度指標値ＰＶ３を湿度目標値ＳＶ３に保つ空調装置８が機能している期間、すなわち、空調装置８が重い故障となる前の期間でも、部品劣化の影響を見つけることができる。また、操作量ＭＶ３の異常が生じた場合にも、図８に示すリストに示された部品を点検するだけで部品の劣化を効率よく見つけることができる。
【００９２】
図９は、空調装置８における日常の点検項目を示すリストである。
【００９３】
空調装置８の全体を網羅する定期的な点検は、第３実施形態の点検方法で説明した冷水バルブ（ＡＯＶ）８５１の操作量ＭＶ３の点検に加え、蒸気量を操作する蒸気バルブ（ＡＯＶ）の操作量点検、水分吸収媒体（カセイン）のレベル点検、水分吸収媒体の液温点検、空調装置８の異音・目視点検、防塵フィルタ８８の差圧圧力点検、および、ファン８９を含む各種ファンの異音・目視点検に集約される。このように、日常的には、上記第３実施形態の点検方法を含む少ない項目の点検によって異常を検知し、異常の項目に該当する部品を点検することによって、点検すべき項目を絞り込むことができ、絞り込んだ点検項目によって、個々の部品の状態を網羅した検査を短い周期で実行することができる。
【００９４】
なお、上述した実施形態では、本発明にいう状態制御装置の例として、ウエブを乾燥する装置に空気を供給する冷却装置９Ａ、加湿装置９Ｂ、および空調装置８を示したが、本発明は、処理量の変化を生じさせる操作を行うことでこの処理対象の状態を目標状態に保つ装置であればこれに限られるものではなく、例えば、物品の位置を目標位置に調整する装置であってもよい。
【符号の説明】
【００９５】
８    空調装置
９Ａ    冷却装置
９Ｂ    加湿装置
１０    制御装置
１１    温度制御部
１２    湿度制御部
８０    制御装置
８１    調湿器
８０１    湿度制御部
Ｓ１１    リスト作成ステップ
Ｓ１２    操作量点検ステップ
Ｓ１４    部品点検ステップ
【図１】
2012027583.tif 000003
【図２】
2012027583.tif 000004
【図３】
2012027583.tif 000005
【図４】
2012027583.tif 000006
【図５】
2012027583.tif 000007
【図６】
2012027583.tif 000008
【図７】
2012027583.tif 000009
【図８】
2012027583.tif 000010
【図９】
2012027583.tif 000011