(57)【要約】【課題】シリンダの外部における液溜まりの発生を防止することができる流体供給装置を提供する。【解決手段】粘性流体Ｌが封入されて、粘性流体Ｌの供給口が設けられたシリンダ１と、シリンダ内に設けられ、軸方向において、前進することにより粘性流体Ｌを供給口から押出すピストンロッド２と、シリンダ１における反供給口側の開口部８を密封するとともに、径方向からピストンロッド２を押付る密封機構４とを備えた液体供給装置である。密封機構４のピストンロッド２に対する押付力を、ピストンロッド２前進時とピストンロッド２後退時とで差をもたせた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性流体が封入されて、粘性流体の供給口が設けられたシリンダと、このシリンダ内に設けられ、軸方向において、前進することにより粘性流体を供給口から押出すピストンロッドと、シリンダにおける反供給口側の開口部を密封するとともに、径方向からピストンロッドを押付る密封機構とを備えた液体供給装置であって、
前記密封機構のピストンロッドに対する押付力を、ピストンロッド前進時とピストンロッド後退時とで差をもたせたことを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記密封機構は、ピストンロッドの前進時の押付力を小及び／又はピストンロッドの後退時の押付力を大とするものであることを特徴とする請求項１の液体供給装置。
【請求項３】
前記密封機構は、前記開口部を塞ぎ、前記ピストンロッドを径方向から押圧するシール部材と、このシール部材に軸方向から押圧する押圧手段とを備え、押圧手段の軸方向の押付力を変位させることにより、密封機構のピストンロッドに対する押付力を変位させることを特徴とする請求項１又は請求項２の液体供給装置。
【請求項４】
前記押圧手段は、前記シール部材を軸方向に押圧する押圧体と、この押圧体にエア圧を供給して押圧体の軸方向の押付力を調節するエア供給部とを備えたことを特徴とする請求項３の液体供給装置。
【請求項５】
前記シール部材は、ピストンロッドの外周面が摺動する孔部を有する加圧シールと、前記加圧シールのシリンダ内部側を固定する固定シールとを備え、
前記加圧シールの先端に形成される先端くさび部のシリンダ内部側を、前記固定シールにてピストンロッドに押し付けて、先端くさび部からピストンロッドへの押付力をシリンダ内部側で大とし、シリンダ外部側で小としたことを特徴とする請求項３又は請求項４の液体供給装置。
【請求項６】
前記加圧シールは、内径面の反固定シール側に設けられて、シリンダ内部に向かって隙間寸法が小さくなる断面三角形状の切欠部を有することを特徴とする請求項５の液体供給装置。
【請求項７】
前記加圧シールを樹脂にて構成したことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項の液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤等の粘性流体を供給する液体供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装分野においては、基板に電子部品を固着する際に、基板に接着剤としての粘性流体が塗布される。接着剤などの粘性流体は、液体供給装置に封入され、この液体供給装置の供給口から所定量ずつ基板に供給される（特許文献１）。
【０００３】
液体供給装置は、図５に示すように、粘性流体Ｌが封入され、粘性流体の供給口（図示省略）が設けられたシリンダ１０１と、このシリンダ内に設けられ、軸方向に往復動することにより粘性流体Ｌを押出すピストンロッド１０２と、シール部材１０３と、シリンダ１０１の反供給口側を密封するプレート１０９とを備えている。ピストンロッド１０２が、図５の矢印Ｂの向きに前進（供給口側へ移動）すると、シリンダ１０１の供給口側では、粘性流体Ｌを図示省略の基板上に押出す。また、ピストンロッド１０２は、矢印Ａの向きに後退（反供給口側へ移動）することができる。
【０００４】
一方、シリンダ１０１の反供給口側には、シリンダ１０１とピストンロッド１０２との間にシール部材１０３を設けて密封し、このシール部材１０３（例えば、Ｏリング１０４）にてシリンダ内部からの粘性流体Ｌの漏れを防止している。電子部品実装分野において、一般的には基板に供給される粘性流体Ｌは僅かな量であるため、ピストンロッドは１ｍｍ〜３ｍｍ程度の径の小さいものが用いられることが多い。このため、径の小さなピストンロッド側にシール機構を設けることは困難であり、シリンダ側（固定側）にシール機構を設けるようにしている。すなわち、シリンダ１０１の内周面に周方向に沿って溝１０５を設けて、この溝１０５にシール部材を嵌合している。
【０００５】
この場合、シール部材１０３の締め付け力が大き過ぎると、ピストンロッド１０２が摺動できない。このため、ピストンロッド１０２を滑らかに摺動させるためには、シール部材１０３が適度にピストンロッド１０２の締め付けを行い、かつ、シール部材１０３とピストンロッド１０２との間に潤滑剤を介在させる必要がある。ところが、供給物が流体であると、シール部材１０３とピストンロッド１０２との間に液体である潤滑剤を介在させることができない。そこで、粘性流体Ｌの一部をシール部材１０３とピストンロッド１０２との間に介在させて、ピストンロッド１０２が滑らかに摺動するようにしている。すなわち、ピストンロッド１０２が摺動すると、ピストンロッド１０２の表面に付着した粘性流体Ｌが潤滑剤となって、ピストンロッド１０２を滑らかに摺動させる。このようにして、シール部材１０３にて粘性流体Ｌの漏れを防止しつつ、ピストンロッド１０２を滑らかに摺動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２４４７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記のように、シール部材１０３をピストンロッド１０２に押し付けてシールするものでは、ピストンロッド１０２が矢印Ａの向きに後退した際、ピストンロッド１０２表面に付着した粘性流体Ｌは、完全にシリンダ内に止めることができず（かき取ることができず）、外部に漏れ出る。
【０００８】
これは、図６に示すように、Ｏリング１０４の内部側と外部側とで、ピストンロッド１０２に対するＯリング１０４の接触角θ３、θ４が等しく、Ｏリング１０４からピストンロッド１０２に対して付与する圧力分布は、Ｏリング１０４の軸方向中心軸Ｃに対して対称であることに起因するためである。すなわち、図６に示すように、Ｏリング１０４の軸方向中心Ｃにおいて、Ｏリング１０４からピストンロッド１０２に付与する圧力は最大であり、軸方向中心Ｃからシリンダ内部側へ向かって圧力は小となるとともに、軸方向中心Ｃからシリンダ外部側へ向かって圧力は小となる。そして、Ｏリング１０４とピストンロッド１０２との当接箇所の端部１０７、１０８において圧力は最小となる。これにより、Ｏリング１０４をピストンロッド１０２に押し付けるだけでは往復動いずれの方向にもシールする能力は等しくなる。特に、Ｏリング１０４は、シリンダ内部側の端部１０７においてピストンロッド１０２との接触角θ３が鋭角であり小さいため粘性流体Ｌをせき止める能力が低く、粘性流体Ｌが外部へ漏れ出る。このように、外部へ漏れ出た粘性流体Ｌがシリンダ内部に戻ることなく外部に付着すると、プレート１０９の外部側において、ピストンロッド１０２の外周面に液溜まりが発生して装置が汚れるという問題がある。
【０００９】
また、電子部品実装分野では、基板に供給される粘性流体Ｌの供給量を所定量、精度良く供給する必要がある。この場合、シール部材１０３としてＯリング等の弾性材を用いると、Ｏリング１０４が変形して、粘性流体Ｌの押し出し精度が悪くなる。このため、シール部材１０３としては、硬さを有するもの（変形しにくいもの）を用いることが望ましいが、硬い材料ではピストンロッド１０２を加圧しにくいという問題がある。また、弾性材が摩耗すると押付力が弱くなって、弾性材の取替等のメンテナンスが必要であり、手間がかかるという問題があった。
【００１０】
本発明は上記問題点に鑑みて、シリンダの外部における液溜まりの発生を防止することができる流体供給装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液体供給装置は、粘性流体が封入されて、粘性流体の供給口が設けられたシリンダと、このシリンダ内に設けられ、軸方向において、前進することにより粘性流体を供給口から押出すピストンロッドと、シリンダにおける反供給口側の開口部を密封するとともに、径方向からピストンロッドを押付る密封機構とを備えた液体供給装置であって、前記密封機構のピストンロッドに対する押付力を、ピストンロッド前進時とピストンロッド後退時とで差をもたせたものである。
【００１２】
本発明の液体供給装置によれば、密封機構のピストンロッドに対する押付力を、ピストンロッドの移動向きにより変更することができる。すなわち、ピストンロッドが後退する際、密封機構のピストンロッドへの押付力を大とするため、シリンダ内部の粘性流体はシリンダ外部に出にくくなる。一方、ピストンロッドが前進する際、密封機構のピストンロッドへの押付力を小とするため、潤滑剤として使われてシリンダ外部に出た粘性流体は、シリンダ内部に引き込まれやすくなる。ここで、ピストンロッドの前進とは、ピストンロッドが供給口側へ移動することをいい、後退とは、ピストンロッドが反供給口側へ移動することをいう。
【００１３】
前記構成において、前記密封機構は、ピストンロッドの前進時の押付力を小及び／又はピストンロッドの後退時の押付力を大とすることができる。
【００１４】
前記密封機構は、前記開口部を塞ぎ、前記ピストンロッドを径方向から押圧するシール部材と、このシール部材に軸方向から押圧する押圧手段とを備え、押圧手段の軸方向の押付力を変位させることにより、密封機構のピストンロッドに対する押付力を変位させることができる。
【００１５】
前記押圧手段は、前記シール部材を軸方向に押圧する押圧体と、この押圧体に高圧エアを供給して押圧体の軸方向の押付力を調節するエア供給部とを備えることができる。これにより、ピストンロッドの粘性流体の付着状態やシール部材の性能によりエアの圧力量を調節して、押圧手段による押付力を調節することができる。
【００１６】
前記シール部材は、ピストンロッドの外周面が摺動する孔部を有する加圧シールと、前記加圧シールのシリンダ内部側を固定する固定シールとを備え、前記加圧シールの先端に形成される先端くさび部のシリンダ内部側を、前記固定シールにてピストンロッドに押し付けて、先端くさび部からピストンロッドへの押付力をシリンダ内部側で大とし、シリンダ外部側で小とすることができる。
【００１７】
前記加圧シールは、内径面の反固定シール側に設けられて、シリンダ内部に向かって隙間寸法が小さくなる断面三角形状の切欠部を有するものとできる。これにより、ピストンロッドの表面に付着して外部に漏れ出た粘性流体は、いわゆるくさび膜効果によって切欠部に引き込まれ、シリンダ内部に戻りやすくなる。ここで、くさび膜効果とは、運動方向に狭まっているくさび状隙間内に、流体が粘性によって引き込まれて圧力を発生する効果をいう。
【００１８】
加圧シールを樹脂にて構成することができる。これにより、加圧シールは摺動性と柔軟性を兼ね備えることができ、ピストンロッドを滑らかに摺動させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の液体供給装置は、ピストンロッドが後退する際、シリンダ内部の粘性流体はシリンダ外部に出にくくなるとともに、ピストンロッドが前進する際、シリンダ外部に漏れ出た粘性流体はシリンダ内部に入りやすくなって、シリンダ外部の液溜まりの発生を防止することができる。
【００２０】
前記密封機構は、前記ピストンロッドを径方向から押圧するシール部材と、このシール部材に軸方向から押圧する押圧手段とを備えたものとすると、簡単な構成でシール部材に径方向への押付力を発生させることができる。
【００２１】
前記押圧手段は、押圧体とエア供給部とを備えたものとすると、エアの圧力量を調節して押圧手段による押付力を調節することができるため、シール部材の性能に応じて押圧体による押付力を任意に設定しやすいものとなる。これにより、例えばシール部材が摩耗してもエアの供給量を調節することで押付量を調節できることから、シール部材を取替る頻度が少なくなり、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
【００２２】
前記シール部材は、先端に先端くさび部が形成されるとともに、シリンダ内部に向かって隙間寸法が小さくなる断面三角形状の切欠部を有する加圧シールと、前記加圧シールを固定する固定シールとを備えると、シール部材の押付力を軸方向に沿って段階的に相違するものとでき、また切欠部にて前進時での粘性流体の引き込み効果を備えたものとできる。これにより、シリンダ内の粘性流体が外部に漏れるのを一層防止できるとともに、シリンダ外部に漏れ出た粘性流体はシリンダ内部に一層入りやすくなって、効果的に液溜まりの発生を防止することができる。
【００２３】
加圧シールを樹脂にて構成すると、効果的にピストンロッドを滑らかに摺動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態を示す液体供給装置の要部簡略断面図である。
【図２】前記図１の液体供給装置の断面図であり、（ａ）はピストンロッドの後退時、（ｂ）はピストンロッドの前進時である。
【図３】本発明の第２実施形態の液体供給装置の要部簡略断面図であり、（ａ）はピストンロッドの後退時、（ｂ）はピストンロッドの前進時である。
【図４】本発明の第３実施形態の液体供給装置の要部簡略断面図であり、（ａ）はピストンロッドの後退時、（ｂ）はピストンロッドの前進時である。
【図５】従来の液体供給装置の要部断面図である。
【図６】従来の液体供給装置の要部拡大断面図、及びピストンロッドにかかる圧力分布を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。
【００２６】
この液体供給装置は、半導体チップ等の電子部品を回路基板に実装するために、基板上に塗布される接着剤を供給する装置である。すなわち、液体供給装置に、例えばエポキシやシリコン等の接着剤としての粘性流体Ｌが封入されたシリンダ１の供給口５１（図２参照）から粘性流体Ｌを押し出して基板等の接着部位上に塗布するものである。シリンダ１は、図２に示すように、粘性流体Ｌを供給するためのシリンジ５０と、粘性流体Ｌの供給口５１となるノズルとに連結されている。このシリンジ５０とノズル５１とは、シリンダ室５に設けられた公知公用のロータリーバルブ５２を介して連結されている。ロータリーバルブ５２は、シリンダ室５と、シリンジ５０又はノズル５１とのいずれかとの連通を切換可能とする。
【００２７】
この液体供給装置は、図２に示すように、粘性流体Ｌが封入されるシリンダ１と、このシリンダ内に設けられ、軸方向において、前進させることにより粘性流体Ｌを供給口５１から押出すピストンロッド２と、シリンダ１における反供給口側の開口部８を密封する密封機構４とを備えている。そして、粘性流体Ｌの一部が密封機構４とピストンロッド２との間に介在することにより、粘性流体Ｌが潤滑剤となって、ピストンロッド２が滑らかに往復動するものである。ここで、ピストンロッド２の前進とは、図１の矢印Ｂのように、ピストンロッド２が供給口側へ移動することをいい、後退とは、図１の矢印Ａのように、ピストンロッド２が反供給口側へ移動することをいう。
【００２８】
シリンダ１は、図１に示すように、内周に軸方向に延びるシリンダ室５を備え、粘性流体Ｌは、このシリンダ室５に封入される。
【００２９】
ピストンロッド２は、軸方向に延びる円柱体であり、シリンダ室５を矢印Ａ及び矢印Ｂの方向に往復動して、粘性流体Ｌを図２に示すような供給口５１から押し出すものである。ピストンロッド２の直径は例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍのような細い径としている。従って、特に、１回の粘性流体Ｌの供給量が少なく、供給量を精密に制御することが必要である場合に最適となる。ピストンロッド２の径は、シリンダ室５の径よりも小さくなっている。
【００３０】
密封機構４は、シリンダ１の外部側の端面に装着されている。密封機構４は、内部に中径の第１孔部１０ａと大径の第２孔部１０ｂと小径の第３孔部１０ｃを有するケース部材９と、シリンダ１の開口部８を塞ぎ、ピストンロッド２を径方向から押付るシール部材６と、このシール部材６を軸方向（シリンダ外部側からシリンダ内部側）へ押圧する押圧手段７とを備える。
【００３１】
シール部材６は、図１に示すように、ケース部材９の第１孔部１０ａに内嵌され、ピストンロッド２の外周面が摺動する孔部１６を有する加圧シール１２と、この加圧シール１２のシリンダ内部側を固定し、シリンダ１の開口部端部に設けられる固定シール１１とから構成される。加圧シール１２の材質としては、例えばポリイミド系樹脂のように、摺動性を有するとともに、若干の柔軟性を有するものが望ましい。加圧シール１２の一方の先端部（内部側）には、シリンダ外部側から内部側に向かって縮径するテーパ形状となる先端くさび部１７が形成されている。また、加圧シール１２の内径面の反固定シール側に、シリンダ内部に向かって隙間寸法が小さくなる断面三角形状の切欠部１８を設けている。すなわち、シリンダ外部側から内部側に向かって縮径するテーパ形状を有している。自由状態において、加圧シール１２のシリンダ外部側の端面は、第２孔部１０ｂ内にまで達している。
【００３２】
固定シール１１は、金属や樹脂（ゴム等の力が分散される材料を除く）にて構成され、図１に示すように、その外周側はケース部材９の小径孔部１０ａの外径面に当接し、シリンダ内部側の端面はシリンダ１の開口部側に当接している。固定シール１１の内周面は、加圧シール１２の先端くさび部１７の外周面の一部に当接している。これにより、固定シール１１は、加圧シール１２の先端くさび部１７において、径方向外方から内方に向かって締め付け力を付与する。
【００３３】
シール部材６を前記のような構成とすることにより、先端くさび部１７のシリンダ内部側を、固定シール１１にてピストンロッド２に押し付けて、先端くさび部１７からピストンロッド２への押付力をシリンダ内部側で大とし、シリンダ外部側で小とする。すなわち、加圧シール１２が最も肉薄であるシリンダ内部側端面において、加圧シール１２のピストンロッド２に対する圧力は最大となる。そこから、シリンダ外部側に向かって加圧シール１２は次第に肉厚となることにより、加圧シール１２のピストンロッド２に対する圧力は次第に小となる。そして、シリンダ外部側においては、加圧シール１２は固定シール１１に拘束されないので、加圧シール１２のピストンロッド２に対する圧力はさらに小となり、シリンダ外部側端面では最も小となる。このようにして、加圧シール１２のピストンロッド２に対する押付力は、軸方向に沿って段階的に相違するものとなる。
【００３４】
さらに、加圧シール１２の切欠部１８にて、引き込み構造とすることができる。引き込み構造は、ピストンロッド２が前進すると、潤滑剤としてピストンロッド２の表面に付着してシリンダ外部に漏れ出た粘性流体Ｌを、シリンダ内部に引き込むものである。すなわち、粘性流体Ｌは、いわゆるくさび膜効果によって切欠部１８に引き込まれ、シリンダ内部に戻りやすくなる。ここで、くさび膜効果とは、運動方向に狭まっているくさび状隙間内に、流体が粘性によって引き込まれて圧力を発生する効果をいう。
【００３５】
押圧手段７は、シール部材６を軸方向に押圧する押圧体１３と、この押圧体１３にエア圧を供給して押圧体１３の軸方向の押付力を調節するエア供給部（図示省略）とを備える。すなわち、押圧体１３は、周方向に連続する大径部１３ａと小径部１３ｂと有するブロック体にて構成されており、大径部１３ａがケース部材９の第２孔部１０ｂに内嵌されるとともに、小径部１３ｂがケース部材９の第３孔部１０ｃに内嵌されている。
【００３６】
エア供給部は、ケース部材９において、第２孔部１０ｂの反シリンダ側に連通する貫通孔１４を介して第２孔部１０ｂにエアを供給するエア供給源（図示省略）にて構成されている。これにより、エア供給源を作動させると、貫通孔１４を介して第２孔部１０ｂにエアが供給される。これにより、押圧体１３が第２孔部１０ｂ内をシリンダ側へ移動して、加圧シール１２を押圧する。
【００３７】
前記シール部材６と押圧手段７とで、ピストンロッド２に対する押付力を、ピストンロッド前進時で小とし、ピストンロッド後退時で大とする押付力変位構造を構成する。すなわち、図２（ａ）に示すように、反供給口側に設けられた駆動源（図示省略）にてピストンロッド２が矢印Ａの方向に後退する際、エア供給源からエアを供給する。これにより、エアが大径孔部１０ｂに供給され、矢印Ｃのように押圧体１３が加圧シール１２をシリンダ側へ押圧するとともに、矢印Ｄのように固定シール１１が加圧シール１２を押付る。これにより、加圧シール１２のピストンロッド２への押付力が大となって、シリンダ内部の粘性流体Ｌはシリンダ外部に出にくくなる。さらに、加圧シール１２のピストンロッド２への押付力はシリンダ内部側で大となり、シリンダ外部側で小となるため、シリンダ内部の粘性流体Ｌはシリンダ外部に出にくくなる。
【００３８】
一方、図２（ｂ）に示すように、駆動源にてピストンロッド２が矢印Ｂの方向に前進する際、貫通孔１４からエアを抜く、又は、図２（ａ）のピストンロッド２の後退時よりも低いエア圧を供給する。これにより、押圧体１３による加圧シール１２への押圧状態が、図２（ａ）のピストンロッド２の後退時よりも小さくなるため、加圧シール１２のピストンロッド２への押付力が小となって、潤滑剤として使われてシリンダ外部に出た粘性流体Ｌは、シリンダ内部に引き込まれやすくなる。加えて、粘性流体Ｌは、切欠部１８に引き込まれてシリンダ内部に戻る。このようにして、ピストンロッド前進時とピストンロッド後退時とで押圧手段７の軸方向の押付力を変位させることにより、密封機構４のピストンロッド２に対する押付力を変位させる。
【００３９】
本発明では、ピストンロッド２が後退する際、シリンダ内部の粘性流体Ｌはシリンダ外部に出にくくなるとともに、ピストンロッド２が前進する際、シリンダ外部に漏れ出た粘性流体Ｌはシリンダ内部に入りやすくなって、シリンダ外部の液溜まりの発生を防止することができる。
【００４０】
密封機構４は、ピストンロッド２を径方向から押圧するシール部材６と、このシール部材６に軸方向から押圧する押圧手段７とを備えたものとすると、簡単な構成でシール部材６に径方向への押付力を発生させることができる。
【００４１】
シール部材６は、先端に先端くさび部１７が形成されるとともに、シリンダ内部に向かって隙間寸法が小さくなる断面三角形状の切欠部１８を有する加圧シール１２と、加圧シール１２を固定する固定シール１１とを備えると、シール部材６の押付力を軸方向に沿って段階的に相違するものとでき、また、前進時での粘性流体Ｌの引き込み効果を備えたものとできる。これにより、シリンダ内の粘性流体Ｌが外部に漏れるのを一層防止できるとともに、シリンダ外部に漏れ出た粘性流体Ｌはシリンダ内部に一層入りやすくなって、効果的に液溜まりの発生を防止することができる。
【００４２】
押圧手段７は、押圧体１３とエア供給部とを備えたものとすると、エアの供給量を調節して、押圧手段７による押付力を調節することができるため、シール部材６の性能に応じて押圧体１３による押付力を任意に設定しやすいものとなる。これにより、例えばシール部材６が摩耗してもエアの供給量を調節することで押付量を調節できることから、シール部材６を取替る頻度が少なくなって、メンテナンスの頻度を少なくすることができる。
【００４３】
加圧シール１２を樹脂にて構成すると、効果的にピストンロッド２を滑らかに摺動させることができる。
【００４４】
図３は、本発明の液体供給装置の第２実施形態を示す。図３に示すように、シリンダ２１は、内周に軸方向に延びるシリンダ室２５を備える。シリンダ室２５は、供給口側（シリンダ内部側）に設けられるシリンダ室本体２６と、シリンダ室本体２６よりも反供給口側（シリンダ外部側）に設けられる開口部２８と、シリンダ室本体２６と開口部２８との間に介在する段差部２７とから構成されている。粘性流体Ｌは、主にシリンダ室本体２６に封入されている。
【００４５】
シール部材２３は、加圧シール２９と、この加圧シール２９のシリンダ内部側に設けられる固定シール３０とから構成される。これら加圧シール２９及び固定シール３０は、前記第１実施形態と同様の構成としている。固定シール３０は、シリンダ室２５の開口部２８内に設けられ、シリンダ内部側の端部は段差部２７に当接している。加圧シール２９のシリンダ外部側の端部は、シリンダ２１の端面から外部に突出している。
【００４６】
加圧シール２９のシリンダ外部側の端部には、加圧シール２９を軸方向（シリンダ外部側からシリンダ内部側）に押圧する押圧手段３１が設けられている。この押圧手段３１は、マグネット及び電磁コイル等からなる押圧体（電磁アクチュエータ）３２と、電磁コイルに電流を供給する電流供給部（図示省略）とを備える。押圧体３２の軸方向への押付力は、電磁コイルに供給される電流に応じて決定される。
【００４７】
第２実施形態においても、前記第１実施形態と同様に、シール部材２３と押圧手段３１とで、ピストンロッド２２に対する押付力をピストンロッド前進時で小とし、ピストンロッド後退時で大とする押付力変位構造を構成する。すなわち、図３（ａ）に示すように、反供給口側に設けられた駆動源（図示省略）にてピストンロッド２が矢印Ａの方向に後退する際、電流供給部から電流を供給する。これにより、矢印Ｃのように押圧体３１が加圧シール２９をシリンダ側へ押圧し、矢印Ｄのように固定シール３０が加圧シール２９を押付る。一方、図３（ｂ）に示すように、駆動源にてピストンロッド２２が矢印Ｂの方向に前進する際、図３（ａ）のピストンロッド２２の後退時とは電流供給部へ逆向きの電流を供給する、又はピストンロッド２２の後退時よりも少ない電流を供給する。このようにして、押圧手段３１の軸方向の押付力を変位させることにより、シール部材２３のピストンロッド２に対する押付力を変位させる。
【００４８】
前記構成において、図４に示すように、シール部材４３をＯリングにて構成してもよい。これによりシール部材４３を簡単な構成とすることができる。なお、図４に示す液体供給装置において、図３の液体供給装置と同一の構成については同一符号を付してその説明を省略する。
【００４９】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、押圧手段としては、油圧機構、ねじ機構、リニア機構等種々のものを採用することができる。加圧シール１２に設けられる切欠部１８は、面状とすることなく、ピストンロッド側に凸となるアール状であっても構わない。面状とすると、加工が容易であるとの利点があり、アール状とすると、切欠部１８が狭くなって、引き込み効果を最大限に発揮することができる。シリンダ１やピストンロッド２の大きさは種々の大きさとすることができ、断面形状は円形に限らず、楕円形、三角形、多角形であってもよい。
【００５０】
前記実施形態では、ピストンロッド２の前進時及び後退時の両方の場合に、密封機構４によるピストンロッド２の押付力を変化させたが、前進時又は後退時のいずれか一方の場合にのみ、密封機構４の押付力を変化させてもよい。すなわち、ピストンロッド２の前進時のみ密封機構４を調節してピストンロッド２の押付力を小としたり、ピストンロッド２の後退時のみ密封機構４を調節してピストンロッド２の押付力を大としてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
１      シリンダ
２      ピストンロッド
４      密封機構
６      シール部材
７      押圧手段
８      開口部
１１    固定シール
１２    加圧シール
１３    押圧体
１７    先端くさび部
１８    切欠部
５１    供給口
Ｌ      粘性流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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