(57)【要約】【課題】コスト削減を図りつつ、被検査基板を正しい搬送姿勢のもとで汚さずに搬送することができるほか、耐久性にも富む基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構の提供。【解決手段】被検査基板５１を搬送する一対の無端搬送ベルト１３，１４と、基板搬送面１９を間に挟んで配置される基準側基板ガイド２３と可動側基板ガイド３３とを備え、基準側基板ガイド２３の内側面２４には、前上がりのガイド斜面２６を設け、可動側基板ガイド３３の前部内側面３４ａには、その面高が後部内側面３４ｂの面高より低い段差面３６を設け、該段差面３６には、前傾させて縦列配置した複数個の薄板ばね材３８からなる弾性当接部３７を配設し、該弾性当接部３７を介して基準側基板ガイド側に幅寄せしながら被検査基板５１の向きと位置とを正して検査カメラ４２方向への送り込みを可能とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向での下流側に配置された検査カメラによる外観検査を可能に被検査基板を搬送する一対の無端搬送ベルトと、これら無端搬送ベルト相互間に確保される基板搬送面を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイドと、他方の側に前記基準側基板ガイドとの間の幅調整を可能に配置される可動側基板ガイドとを少なくとも備え、
前記基準側基板ガイドの内側面には、前記被検査基板が導入される導入始端から適宜長さの下流方向へと向かう前上がりのガイド斜面を設け、
前記可動側基板ガイドの内側面のうち、その導入始端を含む上流側に位置する前部内側面には、その面高を下流側に位置するその余の後部内側面の面高より低くくした段差面を設け、
該段差面の長さ方向には、下流方向へと前傾させて縦列配置した複数個の薄板ばね材からなる弾性当接部を配設し、
該弾性当接部を介して基準側基板ガイドの前記内側面方向に幅寄せしながら前記被検査基板の向きと位置とを正して前記検査カメラ方向への送り込みを可能としたことを特徴とする基板外観検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
【請求項２】
前記段差面の長さは、予め用意される各種サイズの前記被検査基板のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端が前記導入始端に到達した際に、その前端側が未達となる長さである請求項１に記載の基板外観検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
【請求項３】
前記薄板ばね材は、その先端部に前記被検査基板の搬送方向で対向する側端面に面接触する折曲ガイド部を備える請求項１または２に記載の基板外観検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
【請求項４】
前記薄板ばね材の先端位置と前記段差面との間の離間距離は、前記後部内側面の面高位置と略一致する長さである請求項１ないし３のいずれかに記載の基板外観検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
【請求項５】
一対の前記無端搬送ベルトは、前記被検査基板を前記導入始端側から前記基板搬送面方向へと導入する一対の無端導入ベルト部と、これらの無端導入ベルト部の下流側に配置されて前記被検査基板を前記検査カメラ方向へと送り込む一対の無端送込みベルト部との二分割構成とした請求項１ないし４のいずれかに記載の基板外観検査装置のための基板幅寄せ搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板のキズ、汚れ、異物等の欠陥の有無を検査カメラを用いて最終的に外観検査する基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板からなる被検査基板の外観上の適否を検査する外観検査手法には、人間が目視確認する検査手法のほか、例えば特許文献１に開示されている「プリント基板の穴充填部欠陥検査システム」などのような被検査基板外観検査用撮像ユニットを用いる検査手法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１２４３０６号公報
【０００４】
そして、特許文献１に開示されている被検査基板外観検査用撮像ユニットによる検査手法は、スルーホールに充填材料が充填されたプリント基板を被検査基板とし、該被検査基板の穴充填部に形成される凹部の深さを高精度に検出して、欠陥の有無を高精度に判定できるようにしようとするものである。
【０００５】
この場合、搬送手段を介して検査位置を通過するように搬送される被検査基板は、検査位置にてライン状照射体からのライン状の照射光を受け、その反射光を検査カメラによりライン状に撮像した上で欠陥の有無が判定されることになる。
【０００６】
また、この場合、被検査基板外観検査用撮像ユニットが備える検査カメラに対しては、撮像される画像に位置ずれが生じないように被検査基板を幅寄せして正確に位置決めして送り込む必要がある。
【０００７】
特許文献２には、特許文献１の被検査基板外観検査用撮像ユニットなどのために必要な基板搬送装置が開示されている。
【０００８】
そして、該基板搬送装置は、基板を幅寄せして正確に位置決めするための幅寄せ機構を備えている。この場合における幅寄せ機構は、基板の幅方向端部に接触する基板押し治具と、該基板押し治具を幅方向中央に向けて押すバネとを備えて構成されている。
【０００９】
【特許文献２】特開２００９−８５７１９号公報
【００１０】
また、特許文献３には、大形の液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルに用いられるガラス基板に適用される基板搬送装置ではあるが、搬送方向とは直交する方向での一方の側から基準側である他方の側へと押し込んで幅寄せして正確に位置決めするための幅寄せローラを備える幅寄せ機構が開示されている。
【００１１】
【特許文献３】特開２００２−１７６０９１号公報
【００１２】
一方、図４は、特許文献３と同様に幅寄せローラを備える基板幅寄せ搬送機構の他の従来例を示す斜視図であり、エンドレスで回転制御されて被検査基板Ｐを搬送する無端搬送ベルト１，１と、該無端搬送ベルト１，１の移動方向での往路側搬送面２を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイド３と、他方の側に該基準側基板ガイド３との間で幅調整を可能に配置される可動側基板ガイド４とを備えて構成されている。
【００１３】
しかも、可動側基板ガイド４には、投入された被検査基板Ｐを徐々に基準側基板ガイド３側に寄せていくためのガイド斜面５が形成されているほか、該ガイド斜面５の下流側にモータで回転駆動される２個のローラ７，８を備えた幅寄せローラユニット６が配置されている。
【００１４】
この場合、投入された被検査基板Ｐは、ガイド斜面５を介して徐々に基準側基板ガイド３側へと寄せられていくことになるが、このとき被検査基板Ｐはやや斜め方向を向いて搬送される結果、間隔が狭くなっている基準側基板ガイド３と可動側基板ガイド４との間で詰まりやすくなってしまうことになる。
【００１５】
このため、被検査基板Ｐは、回転している２個のローラ７，８により基準側基板ガイド３側へと強制的に押し付けられながら詰まらせることなく搬送方向へと円滑に送り出すことができることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、特許文献２に開示されている幅寄せ機構による場合には、搬送手段とは別途に用意されて１枚以上の被検査基板を載置して昇降するフラップ部に基板押し治具とバネとからなる幅寄せ機構を配設する必要があり、それだけ機構自体が複雑化してコスト上昇を招いてしまう不都合があった。
【００１７】
また、特許文献３に示されているような幅寄せローラを用いる場合は、搬送されてくる被検査基板の向きによっては、幅寄せローラにより被検査基板が搬送路から飛び出してしまったり、該幅寄せローラで被検査基板を基準側の基板ガイドに押し付けることから、該基板ガイドの消耗が早くなるなどの不都合があるほか、幅寄せ機構自体が高価であるという問題もあった。
【００１８】
さらに、図４に示されている幅寄せローラユニット６を用いる場合には、搬送されてくる被検査基板Ｐの向きによっては基準側基板ガイド３に乗り上げてしまったり、２個のローラ７，８の力で被検査基板Ｐを基準側基板ガイド３に押し付けることから該基準側基板ガイド３側の摩耗を早めたり、被検査基板Ｐの厚さや大きさによってはローラ７，８の向きや高さを調整する必要が生じたり、被検査基板Ｐが２個のローラ７，８に接触した際に汚されてしまうなどの不都合があるほか、幅寄せローラユニット６自体の設置コストが高いという問題もあった。
【００１９】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、被検査基板の幅寄せに必要な機構を簡素化することで、コスト削減を図りつつ、被検査基板を幅寄せしながら安定的に、かつ、汚すことなく搬送することができるほか、耐久性にも富む基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、搬送方向での下流側に配置された検査カメラによる外観検査を可能に被検査基板を搬送する一対の無端搬送ベルトと、これら無端搬送ベルト相互間に確保される基板搬送面を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイドと、他方の側に前記基準側基板ガイドとの間の幅調整を可能に配置される可動側基板ガイドとを少なくとも備え、前記基準側基板ガイドの内側面には、前記被検査基板が導入される導入始端から適宜長さの下流方向へと向かう前上がりのガイド斜面を設け、前記可動側基板ガイドの内側面のうち、導入始端を含む上流側に位置する前部内側面には、その面高を下流側に位置するその余の後部内側面の面高より低くくした段差面を設け、該段差面の長さ方向には、下流方向へと前傾させて縦列配置した複数個の薄板ばね材からなる弾性当接部を配設し、該弾性当接部を介して基準側基板ガイドの前記内側面方向に幅寄せしながら前記被検査基板の向きと位置とを正して前記検査カメラ方向への送り込みを可能としたことを最も主要な特徴とする。
【００２１】
この場合、前記段差面の長さは、予め用意される各種サイズの前記被検査基板のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端が前記導入始端に到達した際に、その前端側が未達となる長さとするのが好ましい。
【００２２】
また、前記薄板ばね材は、その先端部に前記被検査基板の搬送方向で対向する側端面に面接触する折曲ガイド部を備えているのが望ましい。さらに、前記薄板ばね材の先端位置と前記段差面との間の離間距離は、前記後部内側面の面高位置と略一致する長さとするのが望ましい。
【００２３】
また、一対の前記無端搬送ベルトは、前記被検査基板を前記導入始端側から前記基板搬送面方向へと導入する一対の無端導入ベルト部と、これらの無端導入ベルト部の下流側に配置されて前記被検査基板を前記検査カメラ方向へと送り込む一対の無端送込みベルト部との二分割構成とすることもできる。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１に係る発明によれば、被検査基板の面サイズの如何に拘わらず、基準側基板ガイドのガイド斜面と可動側基板ガイドの後部内側面に備える弾性当接部とを介してその向きと位置とを正した上で、安定的に検査カメラを通過させることができる。また、被検査基板の幅寄せに必要な機構は、簡素な構成とすることができるので、コスト削減を図りつつ、被検査基板を安定的に、かつ、汚すことなく幅寄せすることができるほか、耐久性にも富んだものとすることができる。
【００２５】
請求項２に係る発明によれば、可動側基板ガイド３３の前部内側面である段差面の長さは、予め用意される各種サイズの被検査基板のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端が導入始端に到達した際に、その前端側が未達となる長さとなっているので、搬送方向での長さが最も長い被検査基板であっても、基準側基板ガイドの内側面側へと円滑に幅寄せすることができる。
【００２６】
請求項３に係る発明によれば、弾性当接部を構成している薄板ばね材は、被検査基板の搬送方向で対向する側端面に面接触する折曲ガイド部を備えているので、該折曲ガイド部を介して側端面に弾性的に接触させながら傷付けることなく基準側基板ガイド側へと円滑に幅寄せすることができる。
【００２７】
請求項４に係る発明によれば、薄板ばね材は、その先端位置と段差面との間の離間距離が後部内側面の面高位置と略一致する長さとなった弾性当接部として配置されているので、被検査基板の搬送方向にて対向する位置関係にある側端面に接触させながら後部内側面方向に被検査基板を円滑に送り込むことができる。
【００２８】
請求項５に係る発明によれば、一対の無端搬送ベルトは、一対の無端導入ベルト部と、被検査基板を検査カメラ方向へと送り込む一対の無端送込みベルト部とに二分割されて構成されているので、被検査基板の基板搬送面１９方向への導入・送り込みをより円滑に行うことができることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の概略構成例を示す斜視図。
【図２】図１における基板幅寄せ手段の構成例を示す平面図。
【図３】図２において可動側基板ガイドが備える弾性当接部の構成例をやや上向きにして示す斜視図。
【図４】従来からある基板幅寄せ搬送機構の概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１および図２からも明らかなように、本発明に係る基板外観検査装置１１の一部を構成する基板幅寄せ搬送機構１２は、搬送方向での下流側に配置された検査カメラ４２よる外観検査を可能に被検査基板５１を搬送する一対の無端搬送ベルト１３，１４と、これら無端搬送ベルト１３，１４相互間に確保される基板搬送面１９を間に挟んでその一方の側に固定配置される基準側基板ガイド２３と、他方の側に基準側基板ガイド２３との間の幅調整を可能に配置される可動側基板ガイド３３とを少なくとも備えている。
【００３１】
このうち、一方の無端搬送ベルト１３は、基準側基板ガイド２３の内側面２４近傍にて常に固定的に寄り添うような位置関係のもとで配置され、他方の無端搬送ベルト１３は、可動側基板ガイド３３の内側面３４近傍にて該可動側基板ガイド３３の幅方向への動きに従動する位置関係のもとで配置されている。
【００３２】
この場合における一対の無端搬送ベルト１３，１４は、図１によれば被検査基板５１を導入始端２５，３５側から基板搬送面１９方向へと導入する一対の無端導入ベルト部１５，１６と、これらの無端導入ベルト部１５，１６の下流側に配置されて被検査基板５１を図２に示す検査カメラ４２方向へと送り込む一対の無端送込みベルト部１７，１８とに二分割されて構成されており、このように二分割することで被検査基板５１の基板搬送面１９方向への導入をより円滑に行うことができるようになっている。
【００３３】
しかも、一対の無端搬送ベルト１３，１４（一対の無端導入ベルト部１５，１６および一対の無端送込みベルト部１７，１８）は、例えば布ベルトなどのように摩擦係数の高い素材を用いて形成されているものを好適に用いることができ、モータＭ，Ｍを備える駆動側ベルト車２０，２０と従動側ベルト車２２との間に架け渡されてエンドレスで回転させることができるようにして配設されている。
【００３４】
また、基板外観検査装置１１の装置本体（図示せず）側に固定配置される基準側基板ガイド２３の内側面２４には、被検査基板５１が導入される導入始端２５から適宜長さの下流方向へと向かう前上がりのガイド斜面２６が設けられている。
【００３５】
一方、基板外観検査装置１１の装置本体（図示せず）側に位置移動可能に配置される可動側基板ガイド３３の内側面３４のうち、導入始端３５を含む上流側に位置する前部内側面３４ａには、その面高を下流側に位置するその余の後部内側面３４ｂの面高より低くくした段差面３６が設けられている。
【００３６】
この場合、段差面３６は、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さａが最も長いものの後端５１ａが導入始端３５に到達した際に、その前端５１ｂ側が未達となる長さが付与されて形成されている。
【００３７】
しかも、段差面３６の長さ方向には、下流方向へと前傾させて縦列配置した複数の薄板ばね材３８からなる弾性当接部３７が配設されている。ずなわち、図３に示す詳細例によれば、弾性当接部３７は、等間隔に縦列配置された複数個の薄板ばね材３８の全体で形成されている。
【００３８】
この場合、各薄板ばね材３８は、段差面３６にねじ止めなどの適宜の固定手法を用いて固定される基端部３８ａと、該基端部３８ａの前端縁から前傾姿勢で延設された前傾本体部３８ｂと、該前傾本体部３８ｂの開放端縁から基端部３８ａと略平行な前方向（下流方向）に向けて延設された折曲ガイド部３８ｃとで形成されている。
【００３９】
しかも、各薄板ばね材３８の全体は、折曲ガイド部３８ｃが位置する先端位置と段差面３６との間の離間距離が後部内側面３４ｂの面高位置と略一致する長さとなった弾性当接部３７として配置されており、これにより折曲ガイド部３８ｃを被検査基板５１の搬送方向にて対向する位置関係にある側端面５２に面接触させながら後部内側面３４ｂ方向に被検査基板５１を円滑に送り込むことができることになる。
【００４０】
したがって、被検査基板５１は、弾性当接部３７を介して基準側基板ガイド２３の内側面２４方向に幅寄せしながらその向きと位置とを正されて検査カメラ４２方向へと送り込むことができることになる。
【００４１】
なお、可動側基板ガイド３３の位置移動は、基準側基板ガイド２３との間に確保される横幅をその時々の被検査基板５１の横幅に対応させるために行うものであり、例えばベルト車６１，６２相互間に無端ベルト６３を掛け渡し、一方のベルト車６２に連結させたハンドル６４を回転させ、この回転運動に図示しないボールネジを従動回転させることで基準側基板ガイド２３に対し平行に進退移動させるなどして行われる
【００４２】
つまり、被検査基板５１は、下流側に位置する基板搬送面１９上の所定位置に設置されている検査カメラ４２のもとを通過させる際、既に基準側基板ガイド２３の内側面２４と可動側基板ガイド３３の弾性当接部３７との間でその向きと位置とを正しておくことができることになる。
【００４３】
次に、上記構成からなる本発明の作用効果を説明すれば、まず、可動側基板ガイド３３を位置移動させて基準側基板ガイド２３との間の間隔を今回検査分の被検査基板５１の横幅に対応させておく。
【００４４】
基準側基板ガイド２３に対する可動側基板ガイド３３側の間隔調整を終えた後は、導入始端２５，３５の内側に被検査基板５１をその前端５１ｂ側から送り込み、無端導入ベルト部１５，１６相互間に確保される基板搬送面１４へと導入して載置する。
【００４５】
該基板搬送面１４に載置された被検査基板５１は、無端導入ベルト部１５，１６の動きに応じて下流方向への移動を開始する。
【００４６】
この場合における被検査基板５１の移動には、導入されてきた被検査基板５１が基準側基板ガイド２３のガイド斜面２６に接触しながら移動するパターンと、導入されてきた被検査基板５１が基準側基板ガイド２３のガイド斜面２６に接触しないで移動するパターンとの２パターンがある。
【００４７】
このうち前者のパターンの場合には、基準側基板ガイド２３のガイド斜面２６により被検査基板５１が可動側基板ガイド３３側へと寄せられながら搬送される。
【００４８】
そして、可動側基板ガイド３３側へと寄せられた被検査基板５１は、弾性当接部３７を構成している個々の板バネ材３８における各折曲ガイド部３８ｃにその側端面５２が順次、弾性的に接触していくことにより、徐々に基準側基板ガイド２３側に寄せられながら搬送されることになる。
【００４９】
しかも、弾性当接部３７は、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端５１ａが前記導入始端２５に到達した際に、その前端５１ｂ側が未達となる長さの範囲にまで配置されているので、被検査基板５１のサイズの別に柔軟に対応させながら確実に基準側基板ガイド２３側へと幅寄せすることができる。
【００５０】
かくして、弾性当接部３７を通過した後の被検査基板５１は、一対の無端導入ベルト部１５，１６の後段に位置する一対の無端送込みベルト部１７，１８を介することで、平行な基準側基板ガイド２３の内側面２４と可動側基板ガイド３３の後部内側面３４ｂとの間に挟まれてその向きと位置とが正された安定した搬送姿勢をとって、検査カメラ４２が撮影する検査位置Ｔ１〜Ｔ３を通過させることができることになる。
【００５１】
一方、後者のパターンの場合には、搬入された被検査基板５１が可動側基板ガイド３３において弾性当接部３７を構成している薄材ばね材３８側にまずその側端面５２が弾性的に接触する。
【００５２】
このように弾性当接部３７を構成している個々の薄材ばね材３８側に順次接触していく被検査基板５１は、各折曲ガイド部３８ｃに案内されて徐々に基準側基板ガイド２３側に寄せられながら搬送される。
【００５３】
しかも、弾性当接部３７は、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端５１ａが前記導入始端２５に到達した際に、その前端５１ｂ側が未達となる長さの範囲にまで配置されているので、被検査基板５１のサイズの別に柔軟に対応させながら確実に基準側基板ガイド２３側へと幅寄せすることができる。
【００５４】
かくして、前者のパターンにおけると同様に、弾性当接部３７を通過した後の被検査基板５１は、一対の無端導入ベルト部１５，１６の後段に位置する一対の無端送込みベルト部１７，１８を介することで、平行な基準側基板ガイド２３の内側面２４と可動側基板ガイド３３の後部内側面３４ｂとの間に挟まれてその向きと位置とが正された安定した搬送姿勢をとって、検査カメラ４２が撮影する検査位置Ｔ１〜Ｔ３を通過させることができることになる。
【００５５】
このため、本発明によれば、被検査基板の面サイズの如何に拘わらず、基準側基板ガイド２３のガイド斜面２６と可動側基板ガイド３３の後部内側面３４ｂに備える弾性当接部３７とを介してその向きと位置とを正した上で、安定的に検査カメラ４２を通過させることができる。
【００５６】
また、被検査基板の幅寄せに必要な機構は、図４に示されているような幅寄せローラユニット６を必要としない簡素な構成とすることができるので、コスト削減を図りつつ、被検査基板５１を安定的に、かつ、汚すことなく幅寄せすることができるほか、耐久性にも富んだものとすることができる。
【００５７】
さらに、可動側基板ガイド３３の前部内側面３４ａである段差面３６の長さは、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端５１ａが導入始端３５に到達した際に、その前端５１ｂ側が未達となる長さとなっているので、搬送方向での長さが最も長い被検査基板５１であっても、基準側基板ガイド２３の内側面２４側へと円滑に幅寄せすることができる。
【００５８】
さらにまた、弾性当接部３７を構成している薄板ばね材３８は、その先端部に被検査基板５１の搬送方向で対向する側端面５２に面接触する折曲ガイド部３８ｃを備えているので、該折曲ガイド部３８ｃを介して側端面５２に弾性的に接触させながら傷付けることなく基準側基板ガイド２３の内側面２４側へと円滑に幅寄せすることができる。
【００５９】
また、薄板ばね材３８の全体は、折曲ガイド部３８ｃが位置する先端位置と段差面３６との間の離間距離が後部内側面３４ｂの面高位置と略一致する長さとなった弾性当接部３７として配置されているので、折曲ガイド部３８ｃを被検査基板５１の搬送方向にて対向する位置関係にある側端面５２に弱い圧力で面接触させながら後部内側面３４ｂ方向に被検査基板５１を円滑に送り込むことができる。
【００６０】
しかも、一対の無端搬送ベルト１３，１４は、被検査基板５１を導入始端２５，３５側から基板搬送面１９方向へと導入する一対の無端導入ベルト部１５，１６と、被検査基板５１を検査カメラ４２方向へと送り込む一対の無端送込みベルト部１７，１８とに二分割されて構成されているので、被検査基板５１の基板搬送面１９方向への導入・送り込みをより円滑に行うことができることになる。
【００６１】
以上は、本発明を図１ないし図３に基づいて説明したものであり、本発明の要旨はこれに限定されるものではない。例えば、一対の無端搬送ベルト１３，１４は、図１に示すように一対の無端導入ベルト部１５，１６と一対の無端送込みベルト部１７，１８とに二分割することなく、必要に応じて搬送方向での全長にわたり一体にして構成することもできる。
【００６２】
また、各薄板ばね材３８が配列される段差面３６の長さは、予め用意される各種サイズの被検査基板５１のうち、搬送方向での長さが最も長いものの後端５１ａが前記導入始端３５に到達した際に、その前端５１ｂ側が可動側基板ガイド３３の後部内側面３４ｂに到達している長さのものであってもよい。
【００６３】
さらに、弾性当接部３７を構成する各薄板ばね材３８は、必要により必ずしも等間隔をおいて配列することなく配置しておくこともできる。また、各薄板ばね材３８は、所望により折曲ガイド部３８ｃを有しない基端部３８ａと前傾本体部３８ｂとで形成することもできる。さらに、各板ばね材３８は、被検査基板５１の搬送方向で対向する側端面５２に接触する長さを備えているものであれば、可動側基板ガイド３３の後部内側面３４ｂの面高からやや突出する長さのものであってもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１１  基板外観検査装置
１２  基板幅寄せ搬送機構
１３，１４  無端搬送ベルト
１５，１６  無端導入ベル部
１７，１８  無端送込みベルト部
１９  基板搬送面
２０  駆動側ベルト車
２１  従動側ベルト車
２３  基準側ベルト部
２４  内側面
２５  導入始端
２６  ガイド斜面
３３  可動側基板ガイド
３４  内側面
３４ａ  前部内側面
３４ｂ  後部内側面
３５  導入始端
３６  段差面
３７  弾性当接部
３８  薄板ばね材
３８ａ  基端部
３８ｂ  前傾本体部
３８ｃ  折曲ガイド部
４２  検査カメラ
５１  被検査基板
５１ａ  後端
５１ｂ  前端
５２  側端面
６１，６２  ベルト車
６３  無端ベルト
６４  ハンドル
Ｔ１〜Ｔ３  検査位置
Ｍ  モータ
【図１】
2012194025.tif 000003
【図２】
2012194025.tif 000004
【図３】
2012194025.tif 000005
【図４】
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