(57)【要約】【課題】複数の基板を搬送して処理する技術を提供する。【解決手段】搬送室１１内に複数の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃを配置し、搬出入室１２から基板を搬入し、隣接する基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃ間で基板を受け渡し、各基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃにより、各板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの片側に位置する処理室２１ａ〜２４ａと、反対側に位置する処理室２１ｂ〜２４ｂに基板を搬入して真空処理し、真空処理が終了した基板も隣接する基板搬送装置の間で受け渡し、搬出入室１２に戻す。設置面積は大きくならず、基板の搬送も滞らない。【選択図】図１
2012049404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に第一のハンド部が設けられた第一の腕部と、先端に第二のハンド部が設けられた第二の腕部とを有する複数の基板搬送ロボットと、
細長の搬送室とを有し、
前記搬送室の長手方向端部には、前記搬送室に接続された搬出入室が設けられ、
前記搬送室の内部には、前記基板搬送ロボットが前記搬出入室に近い位置から一列に配置され、
前記搬送室の一長辺には、前記搬送室に接続された複数の処理室が前記基板搬送ロボットと同方向に一列に配置されて前記基板搬送ロボットは異なる前記処理室との間で基板を搬出入するように構成され、
前記搬出入室に配置された前記基板を、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットで取り出して前記搬送室内に搬入し、搬入した前記基板を隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡して、各前記基板搬送ロボットの第一又は第二のハンド部上に配置し、
各前記基板搬送ロボットは、空の第一又は第二のハンド部を前記処理室内に搬入して前記処理室から処理が終了した前記基板を取り出した後、第一又は第二のハンド部上に配置された基板を前記処理室内に搬入し、
前記処理室から取り出した前記基板は隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡し、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットによって前記搬出入室に搬入させるように構成された真空処理装置。
【請求項２】
前記搬送室の両長辺に、前記処理室がそれぞれ一列に配置され、
前記第一、第二のハンド部は、それぞれ上側ハンドと下側ハンドを有し、前記第一、第二のハンド部は、二枚の前記基板を上下に配置できるように構成され、
前記処理室にはピンが配置され、
一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室に挿入可能に構成され、
前記ピンと前記第一又は第二のハンド部とを上下方向に相対移動させ、前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上と、前記ピン上との間で前記基板の受け渡しができるように構成された請求項１記載の真空処理装置。
【請求項３】
先端に第一のハンド部が設けられた第一の腕部と、先端に第二のハンド部が設けられた第二の腕部とを有する複数の基板搬送ロボットと、
細長の搬送室とを有し、
前記搬送室の長手方向端部の位置には、前記搬送室に接続された搬出入室が設けられ、
前記搬送室の内部には、前記基板搬送ロボットが前記搬出入室に近い位置から一列に配置され、
前記搬送室の一長辺には、前記搬送室に接続された複数の処理室が、前記搬送室と並んで、前記基板搬送ロボットと同方向に一列に配置され、前記基板搬送ロボットは、前記処理室と前記処理室の間、又は、異なる前記処理室の間とで基板を搬出入するように構成され、
前記搬出入室に配置された前記基板を、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットで取り出して前記搬送室内に搬入し、搬入した前記基板を隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡して、各前記基板搬送ロボットの第一又は第二のハンド部上に配置し、
各前記基板搬送ロボットは、空の第一又は第二のハンド部を処理室内に搬入して前記処理室から処理が終了した前記基板を取り出した後、第一又は第二のハンド部上に配置された基板を前記処理室内に搬入し、
前記処理室から取り出した前記基板は隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡し、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットによって前記搬出入室に搬入させるように構成された真空処理装置。
【請求項４】
前記搬送室の両長辺に、前記搬出入室と並んで前記処理室がそれぞれ一列に配置され、
前記第一、第二のハンド部は、それぞれ上側ハンドと下側ハンドを有し、前記第一、第二のハンド部は、二枚の前記基板を上下に配置できるように構成され、
前記処理室にはピンが配置され、
一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記搬出入室に挿入可能に構成され、
一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室に挿入可能に構成され、
前記ピンと前記第一又は第二のハンド部とを上下方向に相対移動させ、前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上と、前記ピン上との間で前記基板の受け渡しができるように構成された請求項３記載の真空処理装置。
【請求項５】
制御装置を有し、
前記制御装置は、二台の前記処理室の前記ピン上にそれぞれ配置された基板を、前記第一又は第二のハンド部のうち、一方のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上に移動させ、
他方のハンド部の上側ハンドと下側ハンドにそれぞれ配置された基板を前記処理室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室の前記ピン上にそれぞれ一枚ずつ配置させるように動作させる請求項２又は請求項４のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項６】
各前記ピンは上下移動可能に構成され、各前記ピンの上端が前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンドの指の間と前記下側ハンドの指の間を通って前記上側ハンドよりも上方に突き出されるように構成され、
前記第一、第二のハンド部は、前記ピンが前記指の間を通った状態で、前記処理室から前記搬送室に移動できる形状に形成された請求項２、４又は５のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記第一のハンド部は、上下移動可能に構成され、
前記制御装置は、隣接する前記基板搬送ロボットのうち、一方の前記基板搬送ロボットの前記第一のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上に基板がそれぞれ配置され、他方の前記基板搬送ロボットの前記第一のハンド部には基板が配置されていない状態で、
前記基板が配置された前記上側ハンドが他方の前記上側ハンドの上方に位置し、
前記基板が配置された前記下側ハンドが他方の前記上側ハンドと前記下側ハンドの間の高さに位置するようにいずれか一方又は両方の前記ハンド部同士を相対的に上下方向に移動させ、
前記第一の腕部を伸ばし、前記第一のハンド部同士が重なる位置で静止させ、
一方の前記第一のハンド部の指が、他方の前記第一のハンド部の前記指の間を通るように前記上側ハンド同士の上下の位置と、前記下側ハンド同士の上下の位置を入れ替え、一方の前記第一のハンド部上の前記基板を、他方の前記第一のハンド部上に移動させる請求項２乃至請求項６のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記第一、第二のハンド部は、平面に設置し、平面内で１８０°対向させた場合において、設置する基板の中心を合わせた場合において重ならない形状にしたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送室に処理室が複数接続された真空処理装置に係り、特に、搬送室に基板搬送ロボットを配置して、各処理室と搬送室との間で基板を搬出入する真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、図２２に示すような、真空処理装置１０１は広く用いられている。この真空処理装置１０１はマルチチャンバ型と呼ばれており、搬送室１１１に基板搬送ロボット１２７が配置され、搬送室１１１には複数の処理室１２１〜１２６が接続されている。
ここでは、搬送室１１１の平面形状は四辺形に形成され、搬送室１１１の三辺に、一辺当たり二台ずつ処理室１２１〜１２６が接続され、他の一辺には二台の搬出入室１１２ａ、１１２ｂが配置されている。
搬出入室１１２ａ、１１２ｂには、大気ロボット室１１３を介して、複数の基板が配置された基板配置室１１４ａ、１１４ｂが接続されており、基板配置室１１４ａ、１１４ｂ内の基板を、大気ロボット室１１３内に配置された基板搬出入ロボットによって取り出し、搬出入室１１２ａ、１１２ｂ内に、一乃至複数枚配置する。
【０００３】
搬出入室１１２ａ、１１２ｂと、搬送室１１１と、処理室１２１〜１２６は、それぞれ真空排気装置に接続されており、内部を真空排気できるように構成されている。
各室１１２ａ、１１２ｂ、１１１、１２１〜１２６が真空排気されて真空雰囲気が形成された後、搬送室１１１内に配置された基板搬送ロボット１２７によって、搬出入室１１２ａ、１１２ｂ内から基板を取り出し、搬送室１１１内を移動させ、処理室１２１〜１２６内に搬入する。
【０００４】
各処理室１２１〜１２６と搬送室１１１との間の真空バルブを閉じ、処理室１２１〜１２６内で、加熱、表面処理、薄膜形成、又はエッチング等の真空処理を行った後、真空バルブを開け、基板搬送ロボット１２７によって、真空処理が終了した基板を処理室１２１〜１２６から取り出し、搬送室１１１内を移動させて搬出入室１１２ａ、１１２ｂ内に配置する。
搬出入室１１２ａ、１１２ｂ内に、真空処理された基板が所定枚数配置されると、搬出入室１１２ａ、１１２ｂと搬送室１１１との間の真空バルブが閉じられ、搬出入室１１２ａ、１１２ｂと大気ロボット室１１３のとの間の扉が開けられ、基板搬出入ロボットによって搬出入室１１２ａ、１１２ｂから基板が取り出され、基板配置室１１４ａ、１１４ｂに配置される。
このように、基板配置室１１４ａ、１１４ｂに配置された基板は、処理室１２１〜１２６内で真空処理された後、基板配置室１１４ａ、１１４ｂに戻されるようになっており、複数の基板を連続して処理することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１５４７０５
【特許文献２】特表２００７−５１１１０４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような真空処理装置に対して処理室を増やすためには、搬送室を大きくして四辺形より多辺の多角形にする必要があり、設置面積が増大し、また、基板搬送ロボットのアームも長くする必要が生じて無駄が多くなってしまう。
また、一台の基板搬送ロボットが多数の処理室との間で基板の搬出入を行おうとすると、基板搬送の時間が真空処理の時間に大きな影響を与えるようになってしまう。
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、設置面積が過度に大きくならずに複数の処理室を用いることができる真空処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、真空処理装置であって、先端に第一のハンド部が設けられた第一の腕部と、先端に第二のハンド部が設けられた第二の腕部とを有する複数の基板搬送ロボットと、細長の搬送室とを有し、前記搬送室の長手方向端部には、前記搬送室に接続された搬出入室が設けられ、前記搬送室の内部には、前記基板搬送ロボットが前記搬出入室に近い位置から一列に配置され、前記搬送室の一長辺には、前記搬送室に接続された複数の処理室が前記基板搬送ロボットと同方向に一列に配置されて前記基板搬送ロボットは異なる前記処理室との間で基板を搬出入するように構成され、前記搬出入室に配置された前記基板を、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットで取り出して前記搬送室内に搬入し、搬入した前記基板を隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡して、各前記基板搬送ロボットの第一又は第二のハンド部上に配置し、各前記基板搬送ロボットは、空の第一又は第二のハンド部を前記処理室内に搬入して前記処理室から処理が終了した前記基板を取り出した後、第一又は第二のハンド部上に配置された基板を前記処理室内に搬入し、前記処理室から取り出した前記基板は隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡し、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットによって前記搬出入室に搬入させるように構成された真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、前記搬送室の両長辺に、前記処理室がそれぞれ一列に配置され、前記第一、第二のハンド部は、それぞれ上側ハンドと下側ハンドを有し、前記第一、第二のハンド部は、二枚の前記基板を上下に配置できるように構成され、前記処理室にはピンが配置され、一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室に挿入可能に構成され、前記ピンと前記第一又は第二のハンド部とを上下方向に相対移動させ、前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上と、前記ピン上との間で前記基板の受け渡しができるように構成された真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、先端に第一のハンド部が設けられた第一の腕部と、先端に第二のハンド部が設けられた第二の腕部とを有する複数の基板搬送ロボットと、細長の搬送室とを有し、前記搬送室の長手方向端部の位置には、前記搬送室に接続された搬出入室が設けられ、前記搬送室の内部には、前記基板搬送ロボットが前記搬出入室に近い位置から一列に配置され、前記搬送室の一長辺には、前記搬送室に接続された複数の処理室が、前記搬送室と並んで、前記基板搬送ロボットと同方向に一列に配置され、前記基板搬送ロボットは、前記処理室と前記処理室の間、又は、異なる前記処理室の間とで基板を搬出入するように構成され、前記搬出入室に配置された前記基板を、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットで取り出して前記搬送室内に搬入し、搬入した前記基板を隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡して、各前記基板搬送ロボットの第一又は第二のハンド部上に配置し、各前記基板搬送ロボットは、空の第一又は第二のハンド部を処理室内に搬入して前記処理室から処理が終了した前記基板を取り出した後、第一又は第二のハンド部上に配置された基板を前記処理室内に搬入し、前記処理室から取り出した前記基板は隣接する前記基板搬送ロボット間で受け渡し、前記搬出入室に一番近い前記基板搬送ロボットによって前記搬出入室に搬入させるように構成された真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、前記搬送室の両長辺に、前記搬出入室と並んで前記処理室がそれぞれ一列に配置され、前記第一、第二のハンド部は、それぞれ上側ハンドと下側ハンドを有し、前記第一、第二のハンド部は、二枚の前記基板を上下に配置できるように構成され、前記処理室にはピンが配置され、一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記搬出入室に挿入可能に構成され、一台の前記基板搬送ロボットは、第一、第二のハンド部を、前記搬送室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室に挿入可能に構成され、前記ピンと前記第一又は第二のハンド部とを上下方向に相対移動させ、前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上と、前記ピン上との間で前記基板の受け渡しができるように構成された真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、制御装置を有し、前記制御装置は、二台の前記処理室の前記ピン上にそれぞれ配置された基板を、前記第一又は第二のハンド部のうち、一方のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上に移動させ、他方のハンド部の上側ハンドと下側ハンドにそれぞれ配置された基板を前記処理室の片側と反対側に位置する二台の前記処理室の前記ピン上にそれぞれ一枚ずつ配置させるように動作させる真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、各前記ピンは上下移動可能に構成され、各前記ピンの上端が前記第一又は第二のハンド部の前記上側ハンドの指の間と前記下側ハンドの指の間を通って前記上側ハンドよりも上方に突き出されるように構成され、前記第一、第二のハンド部は、前記ピンが前記指の間を通った状態で、前記処理室から前記搬送室に移動できる形状に形成された真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、前記第一のハンド部は、上下移動可能に構成され、前記制御装置は、隣接する前記基板搬送ロボットのうち、一方の前記基板搬送ロボットの前記第一のハンド部の前記上側ハンド上と前記下側ハンド上に基板がそれぞれ配置され、他方の前記基板搬送ロボットの前記第一のハンド部には基板が配置されていない状態で、前記基板が配置された前記上側ハンドが他方の前記上側ハンドの上方に位置し、前記基板が配置された前記下側ハンドが他方の前記上側ハンドと前記下側ハンドの間の高さに位置するようにいずれか一方又は両方の前記ハンド部同士を相対的に上下方向に移動させ、前記第一の腕部を伸ばし、前記第一のハンド部同士が重なる位置で静止させ、一方の前記第一のハンド部の指が、他方の前記第一のハンド部の前記指の間を通るように前記上側ハンド同士の上下の位置と、前記下側ハンド同士の上下の位置を入れ替え、一方の前記第一のハンド部上の前記基板を、他方の前記第一のハンド部上に移動させる真空処理装置である。
本発明は、真空処理装置であって、前記第一、第二のハンド部は、平面に設置し、平面内で１８０°対向させた場合において、設置する基板の中心を合わせた場合において重ならない形状にしたことを特徴とする真空処理装置である。
【発明の効果】
【０００８】
大量の基板を連続して素早く処理することができる。
長い搬送室の長手方向に沿って、搬送室の両側に処理室を設けることができるので、設置面積が小さくて済む。
基板搬送ロボット間で直接基板を受け渡すので、受け渡し速度が速く、また、受け渡しのために基板を一時的に置く台を設けなくて済むので、搬送室を小さくすることができる。
真空処理が終了した基板と未処理の基板を搬入する場所から取り出すことができるので、装置の配置を設計しやすい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第一例の真空処理装置を説明するための図
【図２】本発明の第二例の真空処理装置を説明するための図
【図３】(ａ)：基板搬送ロボットの平面図    (ｂ)：基板搬送ロボットの側面図  (ｃ)：基板を受け渡す際の隣接する二台の基板搬送ロボットのハンドの位置関係を説明するための図
【図４】(ａ)：第一例の搬出入室の内部側面図    (ｂ)：第二例の搬出入室の内部側面図    (ｃ)：第三例の搬出入室の内部側面図    (ｄ)：第四例の搬出入室の内部側面図
【図５】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(１)
【図６】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(２)
【図７】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(３)
【図８】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(４)
【図９】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(５)
【図１０】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(６)
【図１１】隣接する基板搬送ロボット間で基板を受け渡す動作を説明するための図(７)
【図１２】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(１)
【図１３】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(２)
【図１４】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(３)
【図１５】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(４)
【図１６】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(５)
【図１７】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(６)
【図１８】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(７)
【図１９】基板搬送ロボットと、搬出入室との間で基板を受け渡す動作を説明するための図(８)
【図２０】本発明の第三例の真空処理装置を説明するための図
【図２１】本発明の第四例の真空処理装置を説明するための図
【図２２】従来技術を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜真空処理装置＞
図１は本発明の真空処理装置１を示している。
この真空処理装置１は、大気側搬出入装置１３と、搬出入室１２と、搬送室１１と、複数の処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂとを有している。
搬送室１１は、細長に形成されており、搬出入室１２は、搬送室１１の長手方向の一端部に接続されており、複数の処理室２１ａ〜２４ａが、搬送室１１の長手方向の片側に、搬出入室１２の位置から順番に一列に接続されており、また、それら処理室２１ａ〜２４ａと同数の処理室２１ｂ〜２４ｂが、長手方向の反対側に、搬出入室１２の位置から順番に一列に接続されている。
大気側搬出入装置１３は、搬出入室１２に接続された大気ロボット室５１と、大気ロボット室５１に接続された複数の基板配置室５３〜５５とを有している。
【００１１】
大気ロボット室５１内には、搬出入ロボット５２が配置されており、搬出入ロボット５２により、基板配置室５３〜５５と搬出入室１２の間で、基板を移動できるように構成されている。
搬出入室１２と搬送室１１の間と、搬送室１１と各処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂの間と、搬出入室１２と大気ロボット室５１の間とには、それぞれ真空バルブが設けられている。
搬出入室１２と搬送室１１と処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂとには、それぞれ真空排気装置(不図示)が接続されており、各真空バルブをそれぞれ閉じ、真空排気装置を動作させると、搬出入室１２と搬送室１１と処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂの内部は真空排気され、各室１１、１２、２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内を真空雰囲気にできるようにされている。
【００１２】
処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂは、スパッタ室、蒸着室、エッチング室、アニール室等の真空雰囲気中で基板を処理する装置であり、内部には、後述するように載置台が配置され、載置台上に配置された基板の表面に、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤによる成膜や、イオン照射によるエッチングや、基板加熱のアニール等の真空処理が行われる。
搬送室１１の内部では、片側の処理室２１ａ〜２４ａ一台と、反対側の処理室２１ｂ〜２４ｂ一台の間の位置に、それぞれ基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃが一台ずつ配置されている。
【００１３】
図３(ａ)は、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃを上方から見た平面図、同図(ｂ)は、横方向から見た側面図である。
この基板搬送ロボットは、基板搬送ロボット本体３８上から回転軸３７が突き出されている。この回転軸３７は同芯の三軸構造となっており、第一、第二の腕部３０1、３０2の根本部分は異なる二軸にそれぞれ取り付けられ、更に第一、第二の腕部３０1、３０2は不図示のリンク機構を介して残りの一軸に取り付けられており、回転軸３７の各軸の回転によって、第一、第二の腕部３０1、３０2は伸縮と回転移動をし、第一、第二の腕部３０1、３０2の先端に取り付けられた第一、第二のハンド部３１1、３１2が、搬送室１１内の所望の位置に移動でき、また、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの両側に位置する処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内に出入りできるようにされている。
【００１４】
第一、第二のハンド部３１1、３１2は回転軸３７の各三軸の回転角度差によって、回転軸を中心に水平面内で回転移動する。ここでは、第一、第二の腕部３０1、３０2は、それぞれ３枚のリンク３２1〜３４1、３２2〜３４2が回転軸３７側から一枚ずつ接続されて構成されており、回転軸３７に接続された一枚目のリンク３２1、３２2は回転軸３７に固定され、一枚目と二枚目のリンク３２1、３２2、３３1、３３2の間の角度と、二枚目と三枚目のリンク３３1、３３2、３４1、３４2の間の角度は、回転軸３７の回転によって変化するようになっている。
【００１５】
第一、第二の腕部３０1、３０2は、各リンク３２1〜３４1、３２2〜３４2間の角度が変化することで伸縮する。また、回転軸３７に接続されたリンク３２1、３２2が回転することで、回転移動するようになっている。
回転軸３７に固定された第一、第二の腕部３０1、３０2の二枚の一枚目のリンク３２1、３２2は、回転軸３７に異なる高さで取り付けられており、また、二枚目のリンク３３1、３３2との間には、厚みのあるスペーサ３９1、３９2が挿入され、第一、第二のハンド部３１1、３１2は、一方よりも他方の方が高くされており、衝突しないようにされている。ここでは第一のハンド部３１1よりも第二のハンド部３１2の方が高くされている。
また、第一、第二のハンド部３１1、３１2には、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2とがそれぞれ異なる高さで上下二段に設けられており、上下二段に基板を配置できるようにされている。
【００１６】
＜ハンド部間受け渡し＞
真空処理装置１には、制御装置１０が設けられており、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃと、搬出入ロボット５２や、ゲートバルブ、真空排気装置は、制御装置１０によって制御されている。
各基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃは、回転軸３７を上下移動させ、第一、第二のハンド部３１1、３１2を上下に移動させる昇降装置を有しており、第一、第二の腕部３０1、３０2は回転軸３７の上下移動によって上下方向に移動でき、また、第一、第二のハンド部３１1、３１2は、第一、第二の腕部３０1、３０2の上下移動に伴って、上下移動するように構成されている。
【００１７】
第一、第二の腕部３０1、３０2の伸縮や、上下移動等は制御装置１０によって制御されており、制御装置１０によって、隣接する二台の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一のハンド部３１1同士、又は、第二のハンド部３１2同士が、搬送室１１内の同じ場所で異なる高さに静止させることができるようになっている。
第一、第二のハンド部３１1、３１2は、複数の指を有しており、隣接する二台の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの、一方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの指を、他方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの指の間に挿入できるようにされている。
【００１８】
図３(ｃ)は、隣接する二台の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2上段(３６Ｕ1)同士又は下段(３６Ｕ2)同士、又は、下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の上段(３６Ｌ1)同士、又は下段(３６Ｌ2)同士の重なりを説明するための図である。
一方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2の上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2又は下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2と、他方の基板搬送ロボット２２ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2の上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2又は下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2とは、同一の水平面内に位置するときでも、ハンドの指同士が噛み合って受け渡すべき基板５の真下に位置するようにすることができる。このとき、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2又は下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の真上に、受け渡すべき基板５の中心Ａを位置させることができる。
【００１９】
従って、互いに重なり合う場所でも、高さの異なる位置に二個の第一のハンド部３１1を配置することができ、重なり合った二個の第一のハンド部３１1のうち、一方又は両方を上下方向に相対的に移動させ、一方の第一のハンド部３１1の指を他方の一のハンド部３１1の指の間を通過させて、二個の第一のハンド部３１1の上下の位置を逆にすることができる。
このような第一、第二のハンド部３１1、３１2の相対的な上下移動の動作によって、基板５を一時的に配置する台を用いずに、隣接する二台の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの間で直接基板５を受け渡しすることができる。受け渡しは、隣接する二台の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一のハンド部３１1同士の間でも、第二のハンド部３１2同士の間でも行うことができる。
【００２０】
図５〜図１１は、その受け渡し動作を説明するための図であり、以下に説明する基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃや、後述するピン４１、４２の上下移動等は、制御装置１０によって制御されている。
図５〜図１１の上側は、基板５Ｕ、５Ｌ、６Ｕ、６Ｌと基板搬送ロボット２１ｃ、２２ｃの相対位置関係を示すための側面図、下側は側面図である。
各基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃは、一直線上に等間隔に並んでおり、図５〜１１の符号２９は、各基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃが配置された直線を示している。
【００２１】
先ず、図５を参照し、ここでは、隣接する基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃのうち、搬出入室１２に近い基板搬送ロボット２１ｃの第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1と下側ハンド３６Ｌ1に一枚ずつ基板５Ｕ、５Ｌが配置されており、その隣の基板搬送ロボット２２ｃの第一ハンド部３１1には基板は配置されていない。
また、その二台の基板搬送ロボット２１ｃ、２２ｃのうち、搬出入室１２から遠い基板搬送ロボット２２ｃの第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ2には一枚ずつ基板６Ｕ、６Ｌが配置されており、他方の基板搬送ロボット２１ｃの第二のハンド部３１2には基板は配置されていない。
【００２２】
搬出入室１２に近い方の基板搬送ロボット２１ｃの基板５Ｕ、５Ｌは、処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内での処理がされていない未処理の状態であり、搬出入室１２から遠い方の基板搬送ロボット２２ｃの基板６Ｕ、６Ｌは、いずれかの処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内での処理が終了した状態である。
第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1と下側ハンド３６Ｌ1の間の距離や、第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ2の間の距離は、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2や下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2が基板５Ｕ、５Ｌ、６Ｕ、６Ｌが配置された状態で挿入できる大きさにされている。
【００２３】
未処理の基板５Ｕ、５Ｌを受け渡すためには、基板５Ｕ、５Ｌが配置されていてる方(渡し側)の第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1を基板が配置されていない(受け側)第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1よりも高くすると共に、渡し側の第一のハンド部３１1の下側ハンド３６Ｌ1を、受け側の第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1と下側ハンド３６Ｌ1の間の高さにする。
【００２４】
そして、図６に示すように、隣接する基板搬送ロボット２１ｃ、２２ｃの第一の腕部３０1を同じ場所に向けて伸ばし、渡し側の第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1を受け側の第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1の上方に配置し、渡し側の第一のハンド部３１1の下側ハンド３６Ｌ1を、受け側の第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1と下側ハンド３６Ｌ1の間に挿入して配置する。
【００２５】
このとき、上下移動させても上側ハンド３６Ｕ1の指同士や、下側ハンド３６Ｌ1の指同士が当たらないように、二台の第一のハンド部３１1の位置をずらしておき、上方に位置する渡し側の第一のハンド部３１1を下降させ、下方に位置する受け側の第一のハンド部３１1を上昇させ、上昇する指は下降する指の間を通過させ、下降する指は上昇する指の間を通過させ、図７に示すように、二台の上側ハンド３６Ｕ1の上下関係と、二台の下側ハンド３６Ｌ1の上下関係とを入れ替えると、二枚の基板５Ｕ、５Ｌは、渡し側の上側ハンド３６Ｕ1の上と下側ハンド３６Ｌ1の上とから、受け側の上側ハンド３６Ｕ1の上と下側ハンド３６Ｌ1の上とに移動し、搬出入室１２から近い方の基板搬送ロボット２１ｃから遠い方の基板搬送ロボット２２ｃに渡される。
そして、渡し側と受け側の第一の腕部３０1を縮め、図８に示すように、受け取った基板５Ｕ、５Ｌを回転軸３７の上下近くで静止させる。
【００２６】
次に、第一のハンド部３１1と同様に、隣接する基板搬送ロボット２１ｃ、２２ｃの第二のハンド部３１2の高さを変え、図９に示すように、第二の腕部３０2を同じ場所に向けて伸ばし、渡し側の第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2を受け側の第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2の上方に配置し、渡し側の第二のハンド部３１2の下側ハンド３６Ｌ2を、受け側の第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ2の間に挿入して配置する。
【００２７】
次に、図１０に示すように、指同士を接触させずに、二台の上側ハンド３６Ｕ2同士の上下の位置と、二台の下側ハンド３６Ｌ2同士の上下の位置とをそれぞれ入れ替えると、処理済みの二枚の基板６Ｕ、６Ｌは、渡し側の上側ハンド３６Ｕ2の上と下側ハンド３６Ｌ2の上とから、受け側の上側ハンド３６Ｕ2の上と下側ハンド３６Ｌ2の上とに移動し、搬出入室１２から遠い方の基板搬送ロボット２２ｃから近い方の基板搬送ロボット２１ｃに、一緒に渡される。
図１１は、第二の腕部３０2を縮めたところである。
【００２８】
なお、上記受け渡し動作では、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃでは、隣接する二台のうち、一方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2が上昇し、他方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2が下降して、高さが入れ替わっていたが、一方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2が上昇又は下降し、他方の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2が静止していて基板を受け渡してもよい。
また、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃについて、隣接した基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃ間で基板を受け渡す構成に限定しなくてもよい。例えば、隣接する三台の基板搬送ロボットのうち、真ん中の基板搬送ロボットを降下させ、降下した基板搬送ロボットの両側に位置する基板搬送ロボットの間で基板の受け渡しをすることも出来る。
【００２９】
＜ハンド部と処理室との間の受け渡し＞
上述したように、複数の基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃのうち、隣接する基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの間で基板５Ｕ、５Ｌ、６Ｕ、６Ｌの受け渡しが行われており、本発明では、それに加え、各処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂと、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃとの間でも、次のように基板の受け渡しが行われる。
図１２の符号４８ａ、４８ｂは、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃによって搬入された基板が配置される載置台であり、載置台４８ａ、４８ｂには三個以上の孔が形成され、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃとの間で基板の受け渡しを行うピン４１ａ、４１ｂが各孔内にそれぞれ挿通されている。
各ピン４１ａ、４１ｂは上下移動可能に構成されており、図１２では、各ピン４１ａ、４１ｂの上端は、同じ高さで載置台４８ａ、４８ｂ上に突き出されており、搬送室１１の片側の処理室２１ａ〜２４ａのピン４１ａ上と、反対側の処理室２１ｂ〜２４ｂのピン４１ｂ上には、基板７ａ、７ｂが一枚ずつそれぞれ配置されている。
【００３０】
なお、各ピン４１ａ、４１ｂは、同じ高さを維持しながら上昇と下降の移動をすることができ、各ピン４１ａ、４１ｂを下降させた状態で、基板が配置された第一又は第二のハンド３１1、３１2をピン４１ａ、４１ｂ上の所定位置に移動させ、各ピン４１ａ、４１ｂを上昇させると、各ピン４１ａ、４１ｂは、第一又は第二のハンド３１1、３１2の指の間を通って指上の基板の裏面に上端が当接し、上端上に基板を乗せることができる。
その状態で第一又は第二のハンド３１1、３１2をピン４１ａ、４１ｂ間から抜去すると、基板はピン４１ａ、４１ｂ上に残る。
【００３１】
次いで、基板が乗せられたピン４１ａ、４１ｂを下降させ、上端を載置台４８ａ、４８ｂの表面よりも下方に位置させると、基板は載置台４８ａ、４８ｂ上に乗せられ、処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂと搬送室１１との間の真空バルブを閉じ、載置台４８ａ、４８ｂ上の基板を真空処理し、真空処理が終了し、各処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内を真空排気して真空バルブを開け、ピン４１ａ、４１ｂを上昇させ、真空処理が終了した基板を持ち上げることができる。
図１２は、向かい合う二台の処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂのピン４１ａ、４１ｂ上に、真空処理が終了した基板７ａ、７ｂを持ち上げた状態である。
【００３２】
ここでは、向かい合う二台の処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂの間に位置する基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一の腕部３０1と第二の腕部３０2は共通して一台で表し、又、第一、第二のハンド部３１1、３１2も共通して一台で表す。
第一又は第二のハンド部３１1、３１2を下方に移動させ、第一又は第二のハンド部３１1、３１2を基板７ａよりも下方に位置させる。
次いで、第一又は第二の腕部３０1、３０2を伸ばし、図１３のように、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の両方の指を、ピン４１ａ間に挿入し、第一又は第二のハンド部３１1、３１2を一方の基板７ａの真下に位置させる。
次いで、第一又は第二のハンド部３１1、３１2を上昇させると、図１４のように、基板７ａは、ピン４１ａ上から第一又は第二のハンド部３１1、３１2の上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2上に移載される。
【００３３】
次に、図１５に示すように、第一又は第二の腕部３０1、３０2を縮め、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2上に基板７ａを乗せた第一又は第二のハンド部３１1、３１2を回転軸３７に近づけて静止させ、図１６に示すように、第一又は第二のハンド部３１1、３１2を１８０°水平に回転移動させ、ピン４１ｂ上に配置されたもう一方の基板７ｂ側に向けると共に、第一又は第二のハンド部３１1、３１2の高さを、基板７ｂが、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の間に位置するようにし、次いで、第一又は第二の腕部３０1、３０2を伸ばし、図１７のように、下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の指を、基板７ｂを支持するピン４１ｂ間に挿入する。このとき、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2はピン４１ｂ上の基板７ｂの真上に離間して位置する。
【００３４】
その状態で、下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2がピン４１ｂの上端よりも高くなる位置まで第一又は第二のハンド部３１1、３１2を上昇させ、図１８のように、ピン４１ｂ上の基板７ｂを下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の上に移載すると、二枚の基板７ａ、７ｂが、第一又は第二のハンド部３１1、３１2上に配置される。図１９は、第一又は第二の腕部３０1、３０2を縮めた状態である。
なお、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2よりも先に下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2の上に基板７ｂを移載した場合は、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2をピン４１ａ上の基板７ａの下に位置するように、第一又は第二のハンド部３１1、３１2をピン４１ａ間に挿入しようとすると、下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2上の基板７ｂがピン４１ａに衝突するため、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2の上に基板７ａを移載できなくなる。
【００３５】
本発明は、先に上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2の上に基板７ａを移載し、次に、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2をピン４１ｂ上の基板７ｂよりも高くして下側ハンド３６Ｌ1、３６Ｌ2をピン４１ｂ間に挿入するので、上側ハンド３６Ｕ1、３６Ｕ2の上の基板７ａはピン４１ｂには衝突せず、ピン４１ａ、４１ｂ上の二枚の基板７ａ、７ｂを、第一又は第二のハンド部３１1、３１2に移載することができる。
【００３６】
＜連続処理＞
各配置室５３〜５５には、真空処理装置１で真空処理を行う複数の基板が配置されている。配置室５３〜５５内の基板は、大気ロボット室５１内の搬出入ロボット５２によって取り出され、一枚以上が搬出入室１２に配置される。
図４(ａ)は、搬出入室１２の内部を側方から見た図であり、搬出入室１２内には棚１２ｃが上下に複数段設けられており、搬出入室１２と搬送室１１との間の真空バルブを閉じ、搬出入室１２と大気ロボット室５１との間の真空バルブを開け、搬出入ロボット５２によって、配置室５３〜５５内の基板を搬出入室１２内の各棚１２ｃに移動させる。
所定枚数の基板の移動後、大気ロボット室５１と搬出入室１２との間の真空バルブを閉じ、搬出入室１２内を真空排気した後、搬出入室１２と搬送室１１との間の真空バルブを開け、搬出入室１２に最も近い基板搬送ロボット２１ｃの第一又は第二のハンド部３１1、３１2を搬出入室１２内に挿入し、搬出入室１２内の基板を搬送室１１内に取り出す。
ここでは、各基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第一のハンド部３１1を未処理の基板の搬送に用い、第二のハンド部３１2を真空処理済みの基板の搬送に用いるものとする。
【００３７】
搬出入室１２に近い方を上流側、遠い方を下流側とすると、搬出入室１２内の基板は、第一のハンド部３１1の上側ハンド３６Ｕ1と下側ハンド３６Ｌ1に一枚ずつ乗せて取り出され、その基板搬送ロボット２１ｃの両側に位置する処理室２１ａ、２１ｂ内に搬入されるか、又は、隣接する下流側の基板搬送ロボット２２ｃの第一のハンド部３１1上に渡される。
そして、上側ハンド３６Ｕ1上と下側ハンド３６Ｌ1上とに基板を一枚ずつ受けた基板搬送ロボット２２ｃは、両側に位置する処理室２２ａ、２２ｂ内に基板を搬入するか、又は、隣接する下流側の基板搬送ロボット２３ｃの第一のハンド部３１1上に基板を渡す。
このように、上流側の基板搬送ロボット２１ｃ〜２３ｃに配置された基板は、処理室２１ａ〜２３ａ、２１ｂ〜２３ｂ内に搬入されるか、又は、下流側の基板搬送ロボット２２ｃ〜２４ｃに渡される。最下流の基板搬送ロボット２４ｃは、受けた基板を処理室２４ａ、２４ｂ内に搬入させる。
【００３８】
そして、処理室２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ内で真空処理が終了した基板は、基板搬送ロボット２１ｃ〜２４ｃの第二のハンド部３１2の上側ハンド３６Ｕ2と下側ハンド３６Ｌ2に一枚ずつ乗せて取り出され、下流側の基板搬送ロボット２２ｃ〜２４ｃは、上流側の基板搬送ロボット２１ｃ〜２３ｃの第二のハンド部３１2に渡し、最上流の基板搬送ロボット２１ｃは、渡された基板を搬出入室１２内に搬入して棚１２ｃに配置する。
【００３９】
制御装置１０は、真空処理を終了した基板が搬出入室１２内に規定枚数配置されたことを検出すると、搬出入室１２と搬送室１１との間の真空バルブを閉じ、搬出入室１２内に気体を導入し、内部が大気圧となった後、搬出入室１２と大気ロボット室５１との間の真空バルブを開ける。
搬出入室１２内の基板は、搬出入ロボット５２によって取り出され、配置室５３〜５５内に移動され、未処理の基板と交換されて、真空処理が続行される。
【００４０】
なお、上記搬送室１１は一台であったが、図２の真空処理装置２のように、二台以上の搬送室１１1、１１2を真空バルブ２８を介して接続し、基板が隣接する搬送室１１1、１１2間を移動するようにしてもよい。
また、図４(ｂ)に示すように、搬出入室１２を上段１２ａと下段１２ｂに分離し、一方を未処理の基板、他方を処理済みの基板を配置するようにしてもよい。
【００４１】
搬出入室１２に直近の基板搬送ロボット２１ｃは４枚の基板を同時に移動することができるから、上段１２ａと下段１２ｂには、棚１２ｃを４枚設け、基板が一枚ずつ配置可能にしておくとよい。
搬送室１１の長辺の片側に処理室２１ａ〜２４ａが複数配置されている場合は、本発明の基板搬送ロボットは、第一又は第二の腕部３０1、３０2のうち、いずれか一方の腕部だけ設けられてもよく、その場合、図４(ｃ)に示すように、一つの搬出入室１２内に未処理基板用の棚１２ｃと処理済み基板用の棚１２ｃとを二枚ずつ配置し、一枚の棚１２ｃに一枚の基板を配置するようにしてもよい。
また、図４(ｄ)のように、処理室１２の上段１２ｄと下段１２ｅのうち、一方の段に未処理基板用の棚１２ｃを二枚配置し、他方の段に処理済み基板用の棚１２ｃを二枚配置してもよい。
【００４２】
また、上記実施例では、ピン４１ａ又は４１ｂと、第一又は第二のハンド部３１1、３１2との間で基板を移動させるときに、第一又は第二のハンド部３１1、３１2を上下移動させたが、第一又は第二のハンド部３１1、３１2の指をピン４１ａ間又は４１ｂ間に挿入した状態でピン４１ａ、４１ｂを降下させ、ピン４１ａ、４１ｂ上の基板を第一又は第二のハンド部３１1、３１2上に移動させてもよいし、基板が配置された第一又は第二のハンド部３１1、３１2をピン４１ａ、４１ｂ上に配置し、ピン４１ａ、４１ｂを上昇させてピン４１ａ、４１ｂの上端を基板の裏面に当接させ、第一又は第二のハンド部３１1、３１2上から持ち上げるようにしても良い。
また、ピン４１ａ又は４１ｂと第一又は第二のハンド部３１1、３１2の両方を上下に移動させて基板を受け渡すようにしても良い。
要するに、ピン４１ａ、４１ｂと第一、第二のハンド部３１1、３１2を相対的に上下移動させて基板を受け渡せばよい。
【００４３】
なお、図１、２の真空処理装置１、２では、搬出入室１２は搬送室１１の長手方向の一端に配置されていたが、本発明では、図２０、２１の真空処理装置３、４のように、搬送室１１の長辺の一端部の位置に、ゲートバルブを介して搬出入室１２ａ、１２ｂをそれぞれ設け、各搬出入室１２ａ、１２ｂは、扉を介して大気側搬出入装置１３に接続することができる。
この場合、搬送装置１１の内部では、二室の搬出入室１２ａ、１２ｂの間の位置に搬出入用ロボット２１ｄを配置し、搬出入用ロボット２１ｄによって搬出入室１２ａ、１２ｂ内と搬送室１１内との間で基板を搬送し、また、搬出入用ロボット２１ｄと直近の基板搬送ロボット２１ｃとの間で基板を受け渡すようにする。
【００４４】
二台の搬出入室１２ａ、１２ｂを有する場合、大気ロボット室５１内には、搬出入ロボット５２を一台(図２０)、又は２台(図２２)配置してもよい。
なお、搬出入用ロボット２１ｄと、搬送室１１の搬出入用ロボット２１ｄが配置された部分と、２室の搬出入室１２ａ、１２ｂとで、一室の搬出入室１２’が構成されているとしてもよく、その搬出入室１２’は搬送室１１の長手方向の一端部に設けられ、大気ロボット室５１に扉を介して接続されているとしてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１〜４……真空処理装置
５Ｕ、５Ｌ、６Ｕ、６Ｌ、７ａ、７ｂ……基板
１１……搬送室
１２、１２ａ、１２ｂ、１２’……搬出入室
２１ａ〜２４ａ、２１ｂ〜２４ｂ……処理室
３０1……第一の腕部
３０2……第二の腕部
３１1……第一のハンド部
３１2……第二のハンド部
３６Ｕ1、３６Ｕ2……上側ハンド
３６Ｌ1、３６Ｌ2……下側ハンド
２１ｃ〜２４ｃ……基板搬送ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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