(57)【要約】【課題】雄螺子が装着される箇所における上方に配設された部材との間隔が狭い場合でも雄螺子を容易に回動することができる雄螺子着脱工具を提供する。【解決手段】頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子を回動するための雄螺子着脱工具であって、係合凹部に係合する断面が非円形の係合凸部と、係合凸部と連続して形成された軸部と、軸部に径方向に形成され該係合凸部より大きい直径を有する円形状のトルク生成部とを備え、トルク生成部の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されている。【選択図】図３
2012045657.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子を回動するための雄螺子着脱工具であって、
該係合凹部に係合する断面が非円形の係合凸部と、該係合凸部と連続して形成された軸部と、該軸部に径方向に形成され該係合凸部より大きい直径を有する円形状のトルク生成部とを備え、該トルク生成部の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されている、
ことを特徴とする雄螺子着脱工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、締結ボルト等の雄螺子を回動して締め付けまたは弛めるための雄螺子着脱工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。
【０００３】
上述したようにして分割される半導体ウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚みに加工される。半導体ウエーハの裏面を研削する研削装置は、半導体ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面上に保持された半導体ウエーハを研削する研削手段と、該研削手段をチャックテーブルの保持面に垂直な方向（研削送り方向）に研削送りする研削送り手段とを具備している。研削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持されスピンドルハウジングの下端から突出して配設された回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に取り付けられる研削ホイールとからなっている。この研削ホイールは、環状の砥石基台と、該砥石基台の下面に装着された研削砥石とによって構成されており、砥石基台が雄螺子である締結ボルトによってホイールマウントに着脱可能に取り付けられる。（例えば、特許文献１参照。）
【０００４】
上述した研削装置のホイールマウントに着脱可能に取り付けられる研削ホイールは、被加工物の種類に対応して適宜交換されるとともに、研削砥石が磨耗した際に新たな研削ホイールと交換される。従って、研削ホイールをホイールマウントに着脱する際には、締結ボルトを回動して締め付けまたは弛める作業を実施しなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２４８２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントの上面と回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの下面との間隔が狭いため、締結ボルトの締め付けまたは弛める作業が必ずしも容易ではない。即ち、研削ホイールの砥石基台をホイールマウントに取り付ける雄螺子である締結ボルトの頭部がドライバーによって回動する形態の場合、ドライバーを締結ボルトに係合しずらいという問題がある。また、上記雄螺子である締結ボルトの頭部がスパナによって回動する形態の場合、締結ボルトによる締結を解除する際に、スパナによって締結ボルトをある程度弛めた後は締結ボルトを手指によって回動した方が速いが、上述したようにホイールマウントの上面とスピンドルハウジングの下面との間隔が狭いために締結ボルトの回動操作が困難となる。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、雄螺子が装着される箇所における上方に配設された部材との間隔が狭い場合でも雄螺子を容易に回動することができる雄螺子着脱工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子を回動するための雄螺子着脱工具であって、
該係合凹部に係合する断面が非円形の係合凸部と、該係合凸部と連続して形成された軸部と、該軸部に径方向に形成され該係合凸部より大きい直径を有する円形状のトルク生成部とを備え、該トルク生成部の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されている、
ことを特徴とする雄螺子着脱工具が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明による雄螺子着脱工具は、雄螺子の頭部に設けられた断面が非円形の係合凹部に係合する断面が非円形の係合凸部と、該係合凸部と連続して形成された軸部と、軸部に径方向に形成され該係合凸部より大きい直径を有する円形状のトルク生成部とを備え、トルク生成部の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されているので、螺子を弛める場合には、係合凸部を雄螺子の頭部に形成された係合凹部に係合させ、トルク生成部の外周面にプライヤーを係合し回動することにより、締結状態にある雄螺子を弛める。このとき、トルク生成部の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されているので、プライヤーが滑ることなく雄螺子着脱工具を確実に回動することができる。そして、雄螺子が手指で回動することができる状態まで弛められたならば、雄螺子着脱工具のトルク生成部を手指によって迅速に回動することにより雄螺子を抜き取ることができる。このとき、トルク生成部の外周面には上述したように軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝が形成されているので、手指が滑ることなく雄螺子着脱工具を確実に回動することができる。
また、雄螺子を締結する場合には、雄螺子着脱工具の係合凸部を雄螺子の頭部に形成された係合凹部に係合し、トルク生成部を手指によって回動することにより雄螺子をある程度締結し、その後プライヤーによってトルク生成部を回動して雄螺子を確実に締結することができる。
このように、雄螺子着脱工具の係合凸部を雄螺子の頭部に形成された係合凹部に係合させ、トルク生成部を回動することにより雄螺子を弛めるまたは締めることができるので、雄螺子が装着される箇所における上方に配設された部材との間隔が狭い場合でも雄螺子の回動作業を容易に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明による雄螺子着脱工具によって回動される頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子が用いられた研削装置の研削手段としてのスピンドルユニットの要部斜視図。
【図２】図１に示すスピンドルユニットに用いられている頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子の斜視図。
【図３】本発明に従って構成された雄螺子着脱工具の斜視図。
【図４】図３に示す雄螺子着脱工具の係合凸部を図1に示すスピンドルユニットに用いられている雄螺子の頭部に形成された係合凹部に係合した状態を示す説明図。
【図５】図３に示す状態から雄螺子着脱工具のトルク生成部をプライヤーによって回動する状態を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された雄螺子着脱工具の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１には、本発明による雄螺子着脱工具によって回動される頭部に断面が非円形の係合凹部を備えた雄螺子が用いられた研削装置の研削手段としてのスピンドルユニットの要部斜視図が示されている。
図１に示す研削装置の研削手段としてのスピンドルユニット２は、スピンドルハウジング２１と、該スピンドルハウジング２１にエアーベアリング等の軸受け手段によって回転自在に支持されスピンドルハウジング２１の下端から突出して配設された回転スピンドル２２と、該回転スピンドル２２の下端に設けられたホイールマウント２３と、該ホイールマウント２３の下面に取り付けられる研削ホイール２４とからなっている。この研削ホイール２４は、環状の砥石基台２５と、該砥石基台２５の下面に装着された研削砥石２６とによって構成されており、砥石基台２５が締結ボルトとしての雄螺子３によってホイールマウント２３に着脱可能に取り付けられる。なお、雄螺子３は、図２に示すように頭部３１に断面が六角形状の係合凹部３１１を備えている。なお、係合凹部３１１は、断面が六角形状に限ることはなく、断面が四角形状あるいはセレーション加工であってもよく、断面が非円形であればよい。
【００１２】
次に、上記頭部３１に断面が六角形状の係合凹部３１１を備えた雄螺子３を回動して弛めるまたは締めるための、本発明に従って構成された雄螺子着脱工具について、図３を参照して説明する。
図３に示す雄螺子着脱工具５は、上記雄螺子３の頭部３１に形成された断面が六角形状の係合凹部３１１に係合する断面が六角形状に形成された係合凸部５１と、該係合凸部５１と連続して形成された軸部５２と、該軸部５２に径方向に形成され係合凸部５１より大きい直径を有する円形状のトルク生成部５３とを備えている。このトルク生成部５３の外周面には、軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝５３１が形成されている。このように複数の溝５３１が形成されたトルク生成部５３の外周面は、谷と峰が交互に設けられることにより、トルク生成部５３を軸部５２を中心として回動する際に滑り止めとして機能する。なお、雄螺子着脱工具５を構成する係合凸部５１は、雄螺子３の頭部３１に形成された断面が非円形の係合凹部３１１に対応した非円形の断面形状に形成される。
【００１３】
図示の実施形態における雄螺子着脱工具５は以上のように構成されており、以下、雄螺子着脱工具５を用いて上記研削装置の研削手段としてのスピンドルユニット２を構成するホイールマウント２３に研削ホイール２４を取り付けた雄螺子３を弛める作業について説明する。
上記ホイールマウント２３に研削ホイール２４を取り付けた雄螺子３を弛めるは、先ず図４に示すように雄螺子着脱工具５の係合凸部５１を雄螺子３の頭部３１に形成された係合凹部３１１に係合させる。次に、図５に示すように雄螺子着脱工具５のトルク生成部５３の外周面にプライヤー６を係合し、矢印で示す方向に作動することにより、雄螺子着脱工具５を回動して締結状態にあった雄螺子３を弛める。このとき、トルク生成部５３の外周面には軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝５３１が形成されているので、プライヤー６が滑ることなく雄螺子着脱工具５を確実に回動することができる。この操作を数回実施することにより雄螺子３が手指で回動することができる状態まで弛められたならば、雄螺子着脱工具５のトルク生成部５３を手指によって迅速に回動して雄螺子３を抜き取ることができる。このとき、トルク生成部５３の外周面には上述したように軸方向に沿って滑り止め用の複数の溝５３１が形成されているので、手指が滑ることなく雄螺子着脱工具５を確実に回動することができる。
【００１４】
以上のように、雄螺子着脱工具５の係合凸部５１を雄螺子３の頭部３１に形成された係合凹部３１１に係合させ、トルク生成部５３を回動することにより雄螺子３を弛めることができるので、雄螺子３が装着されるホイールマウント２３とスピンドルハウジング２１との間隔が狭い場合でも雄螺子３の回動作業を容易に実施することができる。また、雄螺子３が手指で回動することができる状態まで弛められたならば、雄螺子着脱工具５のトルク生成部５３を手指によって迅速に回動することができる。
【００１５】
なお、ホイールマウント２３に研削ホイール２４を取り付けるために雄螺子３を締結する場合には、上述した雄螺子３を弛める作業と逆の順序で実施すればよい。即ち、雄螺子着脱工具５の係合凸部５１を雄螺子３の頭部３１に形成された係合凹部３１１に係合し、トルク生成部５３を手指によって回動することにより雄螺子３をある程度締結し、その後プライヤーによってトルク生成部５３を回動して雄螺子３を確実に締結する。
【符号の説明】
【００１６】
２：スピンドルユニット
２１：スピンドルハウジング
２２：回転スピンドル
２３：ホイールマウント
２４：研削ホイール
２５：砥石基台
２６：研削砥石
３：雄螺子
３１：雄螺子の頭部
３１１：係合凹部
５：雄螺子着脱工具
５１：係合凸部
５２：軸部
５３：トルク生成部
５３１：複数の溝
【図１】
2012045657.tif 000003
【図２】
2012045657.tif 000004
【図３】
2012045657.tif 000005
【図４】
2012045657.tif 000006
【図５】
2012045657.tif 000007