(57)【要約】【課題】インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑える。【解決手段】内接型遊星歯車減速機２０は、インナギア２２及びアウタギア２４を備えている。このインナギア２２及びアウタギア２４は、互いの噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化している。この構成によれば、インナギア２２及びアウタギア２４の軸方向のがたつきを抑制することができるので、インナギア２２とアウタギア２４との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化しても、インナギア２２の噛合面２２Ａとアウタギア２４の噛合面２４Ａとの噛合状態が確保されているので（噛合面２２Ａ，２４Ａ同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、
前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、
を備え、
前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化している、
内接型遊星歯車減速機。
【請求項２】
入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、
前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、
を備え、
前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している、
内接型遊星歯車減速機。
【請求項３】
入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、
前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、
を備え、
前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径及び前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している、
内接型遊星歯車減速機。
【請求項４】
前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する、
請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項５】
前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少する、
請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項６】
前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なっている、
請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項７】
前記インナギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、
前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する、
請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項８】
前記インナギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、
前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加する、
請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項９】
前記インナギア及び前記アウタギアは、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっている、
請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機。
【請求項１０】
前記入力軸としてのモータシャフトを有するモータ部と、
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有すると共に、前記インナギア及び前記アウタギアの間の隙間が圧力室とされ、且つ、前記圧力室と連通される吸入ポート及び吐出ポートが形成されたポンプ部と、
を備えた歯車ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内接型遊星歯車減速機及び歯車ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内周面に円弧歯を備えるアウタロータと、外周面にトロコイド歯を有するインナロータとを備えたトロコイドギアが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−１８７８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この種の内接型遊星歯車減速機及びこれを備えた歯車ポンプでは、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることが課題とされる。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる内接型遊星歯車減速機及び歯車ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化している。
【０００７】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、互いの噛合面の直径が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、互いの噛合面の直径が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので（噛合面同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【０００８】
請求項２に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している。
【０００９】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、歯の歯厚が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので（噛合面同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【００１０】
請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機は、入力軸に偏芯状態で取り付けられ、前記入力軸の回転に伴って偏芯回転されるインナギアと、前記インナギアが内接噛合するアウタギアと、を備え、前記インナギア及び前記アウタギアは、互いの噛合面の直径及び前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化している。
【００１１】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径及び互いの噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向に変化しているので、インナギア及びアウタギアの軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面の直径及び歯の歯厚が軸方向に変化しても、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面との噛合状態が確保されているので（噛合面同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【００１２】
請求項４に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する構成である。
【００１３】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に変化する構成であるので、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面とを容易に形成することができる。
【００１４】
請求項５に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少する構成である。
【００１５】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少するので、インナギア及びアウタギアの軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。
【００１６】
請求項６に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項１又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なっている構成である。
【００１７】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面の直径が軸方向中間部を境に異なるという簡単な構成であるので、インナギア及びアウタギアを容易に製造することができる。
【００１８】
請求項７に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する構成である。
【００１９】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に減少し、アウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から他端部に向けて徐々に増加する構成であるので、インナギアの噛合面とアウタギアの噛合面とを容易に形成することができる。
【００２０】
請求項８に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加する構成である。
【００２１】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に減少し、アウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向一端部から中間部に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部から他端部に向けて徐々に増加するので、インナギア及びアウタギアの軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。
【００２２】
請求項９に記載の内接型遊星歯車減速機は、請求項２又は請求項３に記載の内接型遊星歯車減速機において、前記インナギア及び前記アウタギアが、前記噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっている構成である。
【００２３】
この内接型遊星歯車減速機によれば、インナギア及びアウタギアは、噛合面に形成された歯の歯厚が軸方向中間部を境に異なっているという簡単な構成であるので、インナギア及びアウタギアを容易に製造することができる。
【００２４】
また、前記課題を解決するために、請求項１０に記載の歯車ポンプは、前記入力軸としてのモータシャフトを有するモータ部と、請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有すると共に、前記インナギア及び前記アウタギアの間の隙間が圧力室とされ、且つ、前記圧力室と連通される吸入ポート及び吐出ポートが形成されたポンプ部と、を備えている。
【００２５】
この歯車ポンプによれば、ポンプ部に、請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の内接型遊星歯車減速機を有するので、インナギアとアウタギアとの噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第一実施形態に係る歯車ポンプの一部断面を含む側面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る内接型遊星歯車減速機の分解斜視図である。
【図３】図２に示される内接型遊星歯車減速機を組み合わせた状態を示す片側半分の斜視図である。
【図４】図３の４−４線断面図である。
【図５】図３の５−５線断面図である。
【図６】本発明の第二実施形態に係る内接型遊星歯車減速機の分解斜視図である。
【図７】図６に示される内接型遊星歯車減速機を組み合わせた状態を示す片側半分の斜視図である。
【図８】図６に示される内接型遊星歯車減速機の片側半分の分解斜視図である。
【図９】本発明の第三実施形態に係る内接型遊星歯車減速機の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
［第一実施形態］
以下、本発明の第一実施形態について説明する。
【００２８】
図１に示されるように、本発明の第一実施形態に係る歯車ポンプ１０は、モータ部１２と、ポンプ部１４とを備えている。モータ部１２は、後述する内接型遊星歯車減速機２０への入力軸として、モータシャフト１６を有している。
【００２９】
ポンプ部１４は、ハウジング１８の内部に設けられた内接型遊星歯車減速機２０を有している。内接型遊星歯車減速機２０は、インナギア２２とアウタギア２４とを備えている。
【００３０】
インナギア２２は、モータシャフト１６に偏芯状態で取り付けられており、モータシャフト１６の回転に伴って偏芯回転される。アウタギア２４には、インナギア２２が内接噛合されている。このインナギア２２及びアウタギア２４は、ハウジング１８に内嵌されたスペーサ２６により径方向の動きが規制されており、また、ケーシング２８及びカバー３０により軸方向の動きが規制されている。
【００３１】
このインナギア２２及びアウタギア２４の間の隙間は、圧力室３２とされている。また、カバー３０及びケーシング２８には、圧力室３２と連通される吸入ポート３４及び吐出ポート３６がそれぞれ形成されている。
【００３２】
そして、このポンプ部１４では、インナギア２２が偏芯回転されると共に、アウタギア２４が回転されることに伴って、圧力室３２の位置が変化し、これにより、吸入ポート３４を介して外部から圧力室３２に流体が吸入され、この流体が圧力室３２から吐出ポート３６を介して外部に吐出される。
【００３３】
ここで、上述の内接型遊星歯車減速機２０を構成するインナギア２２とアウタギア２４とは、より具体的には、次のように構成されている。すなわち、図２〜図５に示されるように、インナギア２２は、噛合面２２Ａの直径Ｄ１が軸方向一端部２２Ｂ１から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に小さくなるように変化している。同様に、アウタギア２４は、噛合面２４Ａの直径Ｄ２が軸方向一端部２４Ｂ１から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に小さくなるように変化している。この直径Ｄ１，Ｄ２の変化の割合は、インナギア２２とアウタギア２４とで同一となっている。つまり、噛合面２２Ａ，２４Ａは、平行に形成されている。
【００３４】
さらに、インナギア２２は、噛合面２２Ａに形成された歯２２Ｃの歯厚（円ピッチ上の歯の厚さ）Ｔ１が軸方向一端部２２Ｂ１から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に減少しており、アウタギア２４は、噛合面２４Ａに形成された歯２４Ｃの歯厚Ｔ２が軸方向一端部２４Ｂ１から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に増加している。この歯厚Ｔ１，Ｔ２の変化の割合も、インナギア２２とアウタギア２４とで同一となっている。
【００３５】
次に、本発明の第一実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３６】
この内接型遊星歯車減速機２０によれば、インナギア２２及びアウタギア２４は、互いの噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化しているので、インナギア２２及びアウタギア２４の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア２２とアウタギア２４との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化しても、インナギア２２の噛合面２２Ａとアウタギア２４の噛合面２４Ａとの噛合状態が確保されているので（噛合面２２Ａ，２４Ａ同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【００３７】
また、インナギア２２及びアウタギア２４は、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向一端部２２Ｂ１，２４Ｂ１から他端部２２Ｂ２，２４Ｂ２に向けて徐々に小さくなるように変化する構成である。また、インナギア２２は、歯２２Ｃの歯厚Ｔ１が軸方向一端部２２Ｂ１から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に減少し、アウタギア２４は、歯２４Ｃの歯厚Ｔ２が軸方向一端部２４Ｂ１から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に増加する構成である。従って、インナギア２２の噛合面２２Ａとアウタギア２４の噛合面２４Ａとを容易に形成することができる。
【００３８】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
【００３９】
本発明の第二実施形態では、上述の内接型遊星歯車減速機２０（図２〜図５）に代えて、図６〜図８に示される内接型遊星歯車減速機４０が用いられている。
【００４０】
この内接型遊星歯車減速機４０において、インナギア２２は、噛合面２２Ａの直径Ｄ１が軸方向一端部２２Ｂ１から中間部２２Ｂ３に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部２２Ｂ３から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に減少している。同様に、アウタギア２４は、噛合面２４Ａの直径Ｄ２が軸方向一端部２４Ｂ１から中間部２４Ｂ３に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部２４Ｂ３から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に減少している。この直径Ｄ１，Ｄ２の変化の割合は、インナギア２２とアウタギア２４とで同一となっている。つまり、噛合面２２Ａ，２４Ａは、平行に形成されている。
【００４１】
さらに、インナギア２２は、歯２２Ｃの歯厚Ｔ１が軸方向一端部２２Ｂ１から中間部２２Ｂ３に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部２２Ｂ３から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に減少し、アウタギア２４は、歯２４Ｃの歯厚Ｔ２が軸方向一端部２４Ｂ１から中間部２４Ｂ３に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部２４Ｂ３から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に増加している。この歯厚Ｔ１，Ｔ２の変化の割合も、インナギア２２とアウタギア２４とで同一となっている。
【００４２】
なお、アウタギア２４は、図８に示されるように、軸方向中間部２４Ｂ３にて第一部材４２及び第二部材４４に分割されている。
【００４３】
次に、本発明の第二実施形態の作用及び効果について説明する。
【００４４】
この内接型遊星歯車減速機４０によっても、インナギア２２及びアウタギア２４は、互いの噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化しているので、インナギア２２及びアウタギア２４の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア２２とアウタギア２４との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２及び歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に変化しても、インナギア２２の噛合面２２Ａとアウタギア２４の噛合面２４Ａとの噛合状態が確保されているので（噛合面２２Ａ，２４Ａ同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【００４５】
また、インナギア２２及びアウタギア２４は、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向一端部２２Ｂ１，２４Ｂ１から中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３から他端部２２Ｂ２，２４Ｂ２に向けて徐々に減少する構成である。また、インナギア２２は、歯２２Ｃの歯厚Ｔ１が軸方向一端部２２Ｂ１から中間部２２Ｂ３に向けて徐々に増加すると共に軸方向中間部２２Ｂ３から他端部２２Ｂ２に向けて徐々に減少し、アウタギア２４は、歯２４Ｃの歯厚Ｔ２が軸方向一端部２４Ｂ１から中間部２４Ｂ３に向けて徐々に減少すると共に軸方向中間部２４Ｂ３から他端部２４Ｂ２に向けて徐々に増加する構成である。従って、インナギア２２及びアウタギア２４の軸方向両側へのがたつきを抑制することができる。
【００４６】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態について説明する。
【００４７】
本発明の第三実施形態では、上述の内接型遊星歯車減速機２０（図２〜図５）に代えて、図９に示される内接型遊星歯車減速機５０が用いられている。
【００４８】
この内接型遊星歯車減速機５０において、インナギア２２及びアウタギア２４は、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３を境に異なっている。つまり、インナギア２２における噛合面２２Ａの直径Ｄ１は、軸方向一端部２２Ｂ１から中間部２２Ｂ３までの方が軸方向中間部２２Ｂ３から他端部２２Ｂ２までよりも小さくなっている。同様に、アウタギア２４における噛合面２４Ａの直径Ｄ２は、軸方向一端部２４Ｂ１から中間部２４Ｂ３までの方が軸方向中間部２４Ｂ３から他端部２４Ｂ２までよりも小さくなっている。
【００４９】
なお、アウタギア２４は、軸方向中間部２４Ｂ３にて第一部材４２及び第二部材４４に分割されている。
【００５０】
次に、本発明の第三実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５１】
この内接型遊星歯車減速機２０によっても、インナギア２２及びアウタギア２４は、互いの噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向に変化しているので、インナギア２２及びアウタギア２４の軸方向のがたつきを抑制することができる。これにより、インナギア２２とアウタギア２４との噛み合いに伴って発生する振動を抑えることができる。しかも、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向に変化しても、インナギア２２の噛合面２２Ａとアウタギア２４の噛合面２４Ａとの噛合状態が確保されているので（噛合面２２Ａ，２４Ａ同士が面接触するので）、単位面積あたりの衝撃が少なくなり、振動を更に抑えることができる。
【００５２】
また、インナギア２２及びアウタギア２４は、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３を境に異なるという簡単な構成であるので、インナギア２２及びアウタギア２４を容易に製造することができる。
【００５３】
なお、インナギア２２及びアウタギア２４は、歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向に均一でも良いが、歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３を境に異なっていても良い。このように構成されていても、インナギア２２及びアウタギア２４を容易に製造することができる。
【００５４】
また、インナギア２２及びアウタギア２４は、噛合面２２Ａ，２４Ａの直径Ｄ１，Ｄ２が軸方向に均一とされた上で、歯２２Ｃ，２４Ｃの歯厚Ｔ１，Ｔ２が軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３を境に異なっていても良い。
【００５５】
また、インナギア２２は、軸方向中間部２２Ｂ３，２４Ｂ３にて第一部材及び第二部材に分割されていても良い。
【００５６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・歯車ポンプ、１６・・・モータシャフト（入力軸）、２０，４０，５０・・・内接型遊星歯車減速機、２２・・・インナギア、２４・・・アウタギア、２２Ａ，２４Ａ・・・噛合面、２２Ｃ，２４Ｃ・・・歯、２６・・・スペーサ、２８・・・ケーシング、３０・・・カバー、３２・・・圧力室、３４・・・吸入ポート、３６・・・吐出ポート、４２・・・第一部材、４４・・・第二部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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