(57)【要約】【課題】本発明は、引出電極が形成される外枠部の幅を広く形成し、引出電極の幅を広くして引出電極の電気抵抗が低くされた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電振動片（１３０）は、励振電極（１３４）を有する圧電振動部（１３１）と、互いに向かい合う第１枠体（１３２ａ）及び第２枠体（１３２ｂ）並びに第１枠体及び第２枠体と交差する第３枠体（１３２ｃ）及び第４枠体（１３２ｄ）からなり、圧電振動部を囲む外枠部（１３２）と、圧電振動部の一辺又は角部から第１枠体又は第１枠体と第３枠体又は第４枠体との角部まで伸びて圧電振動部と外枠部とを連結する連結部（１３３）と、励振電極から外枠部に引き出される一対の引出電極（１３５）と、を備え、一対の引出電極の一方は第１枠体まで引き出され、他方は第３枠体を介して第２枠体まで引き出されており、第３枠体の枠幅（ＷＲ）は第４枠体の枠幅（ＷＬ）よりも広い。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
四辺からなる矩形形状を有し、この矩形形状の中央領域の表裏面に一対の励振電極を有する圧電振動部と、
互いに向かい合う第１枠体及び第２枠体並びに互いに向かい合い前記第１枠体及び前記第２枠体と交差する第３枠体及び第４枠体からなり、前記圧電振動部を囲む外枠部と、
前記圧電振動部の一辺又は該一辺を含む角部から伸び前記第１枠体又は該第１枠体と前記第３枠体又は前記第４枠体との角部まで伸びて前記圧電振動部と前記外枠部とを連結する連結部と、
前記一対の励振電極から前記連結部を通って前記外枠部に引き出される一対の引出電極と、を備え、
前記一対の引出電極の一方は前記第１枠体又は前記第１枠体を介して前記第４枠体まで引き出されており、前記一対の引出電極の他方は前記第３枠体を介して前記第２枠体まで引き出されており、前記第３枠体の枠幅は前記第４枠体の枠幅よりも広い圧電振動片。
【請求項２】
前記第３枠体に形成される引出電極の幅は、前記第３枠体の枠幅に等しい請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片の前記外枠部の一方の主面に封止材を介して接合され、前記第１枠体まで引き出された引出電極及び前記第２枠体まで引き出された引出電極にそれぞれ電気的に接続される一対の電極パッドを有するベースと、
前記圧電振動片の他方の主面に封止材を介して接合されるリッドと、により構成され、
前記圧電振動部が、前記ベース、前記リッド、及び前記外枠部により形成される密閉されたキャビティに載置されている圧電デバイス。
【請求項４】
前記第４枠体に形成される封止材は、前記第４枠体側の前記キャビティの側面、又は前記キャビティの側面に反対側の外側の側面の少なくとも一方の側面に前記封止材がはみ出して、前記第４枠体の側面と前記リッド又は前記ベースの側面とを接合する請求項３に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記第３枠体又は前記第４枠体の少なくとも一方は段差が形成された主面を有し、前記ベース及び前記リッドの前記外枠部に面する主面に、前記段差にかみ合う凸部が形成されている請求項３又は請求項４に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外枠部を有する圧電振動片及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動数で振動する圧電振動部と圧電振動部を囲む外枠部とを有する圧電振動片が知られており、このような圧電振動片はベース及びリッドに挟まれて圧電デバイスが形成される。ベースには圧電デバイスがプリント基板等に実装されるための一対の実装端子が形成される。また圧電振動片には、圧電振動部の表裏面に励振電極が形成され外枠部に励振電極から引き出された一対の引出電極が形成される。一対の引出電極は一対の実装端子にそれぞれ電気的に接続される。このとき、励振電極の一方の側に引き出される引出電極はベースの他方の側に形成される実装端子に接続されるため、引出電極が長い距離に渡って形成される。このような引出電極は電極が形成される距離に比例して引出電極の電気抵抗が大きくなり、圧電デバイスのクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値が大きくなる。そのため引出電極は、引出電極の面積が広く形成される等のことにより引き出し電極の電気抵抗が小さくされることが望ましい。例えば特許文献１では、振動部と振動部の周囲に形成された周辺部との間の段差部分に引き出された引出電極の面積が広く形成された圧電振動片が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３１１０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし特許文献１では引出電極の全体の経路の短い一部分が広く形成されているのみであり、引出電極全体の電気抵抗の減少は示されていない。
【０００５】
そこで本発明は、引出電極が形成される外枠部の幅を広く形成して引出電極の幅を広くして引出電極の電気抵抗が低くされた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１観点の圧電振動片は、四辺からなる矩形形状を有し、この矩形形状の中央領域の表裏面に一対の励振電極を有する圧電振動部と、互いに向かい合う第１枠体及び第２枠体並びに互いに向かい合い第１枠体及び第２枠体と交差する第３枠体及び第４枠体からなり、圧電振動部を囲む外枠部と、圧電振動部の一辺又は一辺を含む角部から伸び第１枠体又は第１枠体と第３枠体又は第４枠体との角部まで伸びて圧電振動部と外枠部とを連結する連結部と、一対の励振電極から連結部を通って外枠部に引き出される一対の引出電極と、を備え、一対の引出電極の一方は第１枠体又は第１枠体を介して第４枠体まで引き出されており、一対の引出電極の他方は第３枠体を介して第２枠体まで引き出されており、第３枠体の枠幅は第４枠体の枠幅よりも広い。
【０００７】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、第３枠体に形成される引出電極の幅が、第３枠体の枠幅に等しい。
【０００８】
第３観点の圧電デバイスは、第１観点又は第２観点の圧電振動片と、圧電振動片の外枠部の一方の主面に封止材を介して接合され、第１枠体まで引き出された引出電極及び第２枠体まで引き出された引出電極にそれぞれ電気的に接続される一対の電極パッドを有するベースと、圧電振動片の他方の主面に封止材を介して接合されるリッドと、により構成され、圧電振動部が、ベース、リッド、及び外枠部により形成される密閉されたキャビティに載置されている。
【０００９】
第４観点の圧電デバイスは、第３観点において、第４枠体に形成される封止材が、第４枠体側のキャビティの側面、又はキャビティの側面に反対側の外側の側面の少なくとも一方の側面に封止材がはみ出して、第４枠体の側面とリッド又はベースの側面とを接合する。
【００１０】
第５観点の圧電デバイスは、第３観点又は第４観点において、第３枠体又は第４枠体の少なくとも一方が段差が形成された主面を有し、ベース及びリッドの外枠部に面する主面に、段差にかみ合う凸部が形成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、引出電極が形成される外枠部の幅を広く形成し、引出電極の幅を広くして引出電極の電気抵抗が低くされた圧電振動片及び圧電デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。  （ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】（ａ）は、リッド１１０の平面図である。  （ｂ）は、ベース１２０の平面図である。
【図４】（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１３０の平面図である。
【図５】（ａ）は、圧電デバイス２００の断面図である。  （ｂ）は、圧電デバイス３００の断面図である。  （ｃ）は、圧電デバイス４００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１４】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は表面実装型の圧電デバイスであり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電デバイス１００は主に、リッド１１０と、ベース１２０と、圧電振動片１３０とにより構成されている。リッド１１０及びベース１２０には、水晶材及びガラス等の電気を通さない絶縁材が用いられる。また、圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００において圧電デバイス１００の長手方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００１５】
圧電振動片１３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１及び外枠部１３２を連結する一対の連結部１３３とを有している。また、圧電振動部１３１と外枠部１３２との間には圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の主面には、それぞれ励振電極１３４が形成されている。また外枠部１３２には、各励振電極１３４から連結部１３３を介して引き出される引出電極１３５が形成されている。
【００１６】
リッド１１０は、−Ｙ’軸側の面に、凹部１１１と、凹部１１１を囲む接合面１１２とが形成されている。接合面１１２は、圧電振動片１３０の外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に封止材１４０（図２参照）を介して接合される。
【００１７】
ベース１２０は、＋Ｙ’軸側の面に、凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面１２２と、＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に配置される電極パッド１２３とが形成されている。接合面１２２は、圧電振動片１３０の外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に封止材１４０（図２参照）を介して接合される。また、ベース１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。さらに、ベース１２０の側面の四隅にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側に形成されているキャスタレーション電極１２５は、電極パッド１２３と一対の実装端子１２４とをそれぞれ電気的に接続している。
【００１８】
図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側にリッド１１０が配置され、−Ｙ’軸側にベース１２０が配置されている。また圧電デバイス１００の内部にはリッド１１０の凹部１１１とベース１２０の凹部１２１とによりキャビティ１５０が形成されており、キャビティ１５０には圧電振動部１３１が配置される。キャビティ１５０は、リッド１１０の接合面１１２及び外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面と、ベース１２０の接合面１２２及び外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面とのそれぞれの間に封止材１４０が形成されることにより密封されている。外枠部１３２とベース１２０との接合時には、同時に外枠部１３２に形成される引出電極１３５とベース１２０に形成される電極パッド１２３とが電気的に接続される。
【００１９】
図２（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面図である。圧電デバイス１００に形成されるキャスタレーション１５０は、圧電デバイス１００の−Ｚ’軸側に寄って形成されている。そのため、キャスタレーション１５０の−Ｚ’軸側に形成される圧電デバイス１００の壁の厚さが幅ＷＬに形成され、キャスタレーション１５０の＋Ｚ’軸側に形成される圧電デバイス１００の壁の厚さが幅ＷＲに形成されているとすると、幅ＷＬは幅ＷＲよりも狭い。
【００２０】
図３（ａ）は、リッド１１０の平面図である。リッド１１０は、Ｘ軸方向に長く、Ｚ’軸方向に短い矩形状に形成されている。また、リッド１１０の−Ｙ’軸側の面に形成される凹部１１１もＸ軸方向に長くＺ’軸方向に短い矩形状に形成されている。凹部１１１はリッド１１０の−Ｙ’軸側の面で−Ｚ’軸側に寄って形成されており、−Ｚ’軸側の接合面１１２のＺ’軸方向の幅は幅ＷＬに形成され、＋Ｚ’軸側の接合面１１２のＺ’軸方向の幅は幅ＷＲに形成されている。図２（ｂ）で示されたように、幅ＷＬは幅ＷＲよりも狭い。
【００２１】
図３（ｂ）は、ベース１２０の平面図である。ベース１２０は、Ｘ軸方向に長く、Ｚ’軸方向に短い矩形状に形成されている。また、ベース１２０の＋Ｙ’軸側の面に形成される凹部１２１もＸ軸方向に長くＺ’軸方向に短い矩形状に形成されている。凹部１２１はベース１２０の＋Ｙ’軸側の面で−Ｚ’軸側に寄って形成されており、−Ｚ’軸側の接合面１２２のＺ’軸方向の幅は幅ＷＬに形成され、＋Ｚ’軸側の接合面１１２のＺ’軸方向の幅は幅ＷＲに形成されている。図２（ｂ）で示されたように、幅ＷＬは幅ＷＲよりも狭い。ベース１２０の四隅にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５（図１及び図２（ａ）参照）が形成されている。また、ベース１２０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側にはそれぞれ実装端子１２４（図２（ａ）参照）が形成されており、ベース１２０の＋Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角と−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角とには電極パッド１２３が形成されている。＋Ｘ軸側に形成される電極パッド１２３及び実装端子１２４は＋Ｘ軸側に形成されるキャスタレーション電極１２５により電気的に接続され、−Ｘ軸側に形成される電極パッド１２３及び実装端子１２４は−Ｘ軸側に形成されるキャスタレーション電極１２５により電気的に接続される。
【００２２】
図４（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１と外枠部１３２とを連結する一対の連結部１３３と、により構成されている。また、外枠部１３２は、圧電振動部１３１の−Ｘ軸側に配置される第１枠体１３２ａと、圧電振動部１３１の＋Ｘ軸側に配置される第２枠体１３２ｂと、圧電振動部１３１の＋Ｚ’軸側に配置される第３枠体１３２ｃと、圧電振動部１３１の−Ｚ’軸側に配置される第４枠体１３２ｄと、により構成されている。圧電振動部１３１は、一対の連結部１３３により、圧電振動部１３１の−Ｘ軸側で第１枠体１３２ａに連結されている。一対の連結部１３３は、圧電振動部１３１の一方の辺のみに連結されていることにより、圧電振動部１３１で発生させられる所定の振動が外枠部１３２等に逃げづらくなり、より安定した振動が得られるため好ましい。また、第３枠体１３２ｃのＺ’軸方向の幅は幅ＷＲに形成され、第４枠体１３２ｄのＺ’軸方向の幅は幅ＷＬに形成されている。図２（ｂ）で示されたように、幅ＷＬは幅ＷＲよりも狭い。
【００２３】
図４（ａ）には、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されている。圧電振動片１３０の圧電振動部１３１には励振電極１３４が形成されている。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成された励振電極１３４からは、＋Ｚ’軸側の連結部１３３を介して外枠部１３２の第１枠体１３２ａ側に引出電極１３５が引き出されている。また、貫通溝１３６の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角には、貫通溝１３６の側面に形成され、引出電極１３５の一部を成す側面電極１３７が形成されている。
【００２４】
図４（ｂ）は、圧電振動片１３０の平面図である。図４（ｂ）には、圧電振動片１３０を＋Ｙ’軸側から−Ｙ’軸側に見た平面図が示されている。また、図４（ｂ）には、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されている。圧電振動部１３１の−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４が形成されており、−Ｙ’軸側の励振電極１３４からは−Ｚ’軸側の連結部１３３を介して外枠部１３２の第１枠体１３２ａの−Ｚ’軸側の端又は第４枠体１３２ｄの−Ｘ軸側の端まで引出電極１３５が引き出されている。また側面電極１３７から第３枠体１３２ｃを介して第２枠体１３２ｂまでには、＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４に電気的に接続される引出電極１３５が形成されている。第３枠体１３２ｃに形成されている引出電極１３５のＺ’軸方向の幅は、幅ＷＲに形成されている。
【００２５】
圧電デバイス１００の作製方法では、まず、図３（ａ）、図３（ｂ）及び図４に示されたリッド１１０、ベース１２０及び圧電振動片１３０が、それぞれ異なるウエハ上に複数形成され、各ウエハを互いに封止材１４０を介して接合することにより、ウエハに複数の圧電デバイス１００を形成する。さらに、ウエハをダイシングにより切断して圧電デバイス１００を互いに切り離すことにより、個々の圧電デバイス１００が作製される。
【００２６】
図４（ｂ）に示されたように、圧電振動片１３０では第３枠体１３２ｃのＺ’軸方向の幅が広く形成されていることにより、第３枠体１３２ｃに形成される引出電極１３５の幅も広く形成することができる。そのため、第２枠体１３２ｂまで引き出されている引出電極１３５の電気抵抗を下げることができ、圧電デバイス１００のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値を下げることができる。また、圧電デバイス１００では、キャビティ１５０及びキャビティ１５０内に形成される圧電振動部１３０等の寸法を従来の圧電デバイスと同様にすることで、従来の圧電デバイスとキャビティ内の電気的な特性を変えることなく設計することができるため、設計が容易である。
【００２７】
（第２実施形態）
圧電デバイスでは、キャビティの封止が容易に破れないことが望ましい。以下に、圧電デバイス１００の変形例として、圧電デバイスに形成されるキャビティの封止が破れにくい圧電デバイスを、図５（ａ）から図５（ｃ）を参照して説明する。また以下の説明では、第１実施形態と同じ部分には同じ記号を用い、その説明を省略する。さらに図５（ａ）から図５（ｃ）では、図２（ｂ）に示された圧電デバイス１００の断面に相当する断面の断面図が示されている。
【００２８】
＜圧電デバイス２００＞
図５（ａ）は、圧電デバイス２００の断面図である。圧電デバイス２００は、圧電デバイス１００と同様に、キャスタレーション１５０の−Ｚ’軸側に形成される圧電デバイス２００の壁の厚さが幅ＷＬに形成され、キャスタレーション１５０の＋Ｚ’軸側に形成される圧電デバイス２００の壁の厚さが幅ＷＬよりも狭い幅ＷＲに形成されている。そのため、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側の壁の封止は、キャビティ１５０の＋Ｚ’軸側の壁の封止よりも破れやすい可能性がある。圧電デバイス２００では、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側の側面に封止材１４０がはみ出して形成されている。図５（ａ）では、このキャビティ１５０内にはみ出した封止材が封止材１４０ａとして示されている。圧電デバイス２００では、封止材１４０ａが第４枠体１３２ｄの＋Ｚ’軸側の側面とリッド１１０又はベース１２０の側面とを互いに接合している。そのため、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側の封止は、圧電デバイス１００に比べて破れにくい。
【００２９】
＜圧電デバイス３００＞
図５（ｂ）は、圧電デバイス３００の断面図である。圧電デバイス３００は、平板状に形成されたリッド３１０及びベース３２０と、圧電振動部１３１及び圧電振動部１３１の厚さよりも厚く形成された外枠部３３２を有する圧電振動片３３０と、により形成されている。圧電デバイス３００では、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の角にキャビティ１５０内にはみ出した封止材１４０ｂが形成されている。封止材１４０ｂは、圧電デバイス２００の封止材１４０ａと同様に、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側で外枠部３３２、リッド３１０、及びベース３２０を互いに接合しており、キャビティ１５０の−Ｚ’軸側の封止を破れにくくしている。また、封止材１４０ｂは、キャビティ１５０の角に形成されているため、安定した状態で形成されることができる。
【００３０】
＜圧電デバイス４００＞
図５（ｃ）は、圧電デバイス４００の断面図である。圧電デバイス４００は、リッド４１０と、ベース４２０と、圧電振動片４３０とにより構成されている。また圧電振動片４３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１よりもＹ’軸方向の厚さが厚い外枠部４３２とを有している。＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の外枠部４３２は、外枠部４３２のキャビティ１５０側の厚さがキャビティ１５０の反対側の厚さよりも薄く形成されている。そのため、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の外枠部４３２の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面には、段差が形成されている。また、リッド４１０及びベース４２０には、外枠部４３２に形成されている段差にかみ合うように、それぞれ凸部４１３及び凸部４２３が形成されている。圧電デバイス４００では、外枠部４３２に段差が形成され、リッド４１０及びベース４２０にそれぞれ凸部４１３及び凸部４２３が形成されることにより、外枠部４３２とリッド４１０又はベース４２０とが互いに接合される面の面積が広くなっている。そのため、キャビティ１５０の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の壁の封止が破れにくくなっている。また、段差の分だけ＋Ｚ’軸側の外枠部４３２に形成される引出電極１３５の面積を広くすることができ、引出電極１３５の電気抵抗を減らすことができるため好ましい。圧電デバイス４００の外枠部４３２は、キャビティ１５０側の厚さがキャビティ１５０の反対側の厚さよりも薄く形成されていたが、キャビティ１５０側の厚さがキャビティ１５０の反対側の厚さよりも厚く形成されていても良い。
【００３１】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００３２】
例えば、圧電振動片１３０の連結部１３３は圧電振動部１３１の−Ｘ軸側の辺と第１枠体１３２ａとを連結していたが、圧電振動部１３１の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の角部と、第１枠体と第３枠体又は第４枠体との角部とを連結していてもよい。
【００３３】
また、圧電振動片はＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットなどであっても同様に適用できる。また圧電振動片は水晶材料のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材料に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００３４】
１００、２００、３００、４００  …  圧電デバイス
１１０、３１０、４１０  …  リッド
１１１、１２１  …  凹部
１１２、１２２  …  接合面
１２０、３２０、４２０  …  ベース
１２３  …  電極パッド
１２４  …  実装端子
１２５  …  キャスタレーション電極
１２６  …  キャスタレーション
１３０  …  圧電振動片
１３１  …  圧電振動部
１３２、３３２、４３２  …  外枠部
１３２ａ  …  第１枠体
１３２ｂ  …  第２枠体
１３２ｃ  …  第３枠体
１３２ｄ  …  第４枠体
１３３  …  連結部
１３４  …  励振電極
１３５  …  引出電極
１３６  …  貫通溝
１３７  …  側面電極
１４０  …  封止材
１５０  …  キャビティ
【図１】
2012235364.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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