(57)【要約】【課題】回転子の表面上の異物を含む潤滑剤が回転子の回転軸へ流れるのを防ぐことによりその寿命の向上を図る振動アクチュエータを提供することを課題とする。【解決手段】振動アクチュエータ１０１は、振動子２と、振動子２に接触させて設けられ且つローラ軸１ｃを中心に回転可能なローラ１と、ローラ１を振動子２に加圧する予圧部材８と、振動子２を振動させる圧電素子３と、振動子２及びローラ１に潤滑剤を供給可能な潤滑剤供給体１０とを備える。ローラ１は内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂを有し、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、振動子２とローラ１とが接触する領域からローラ軸１ｃに向かう経路の途中にある。【選択図】図２
2012016184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
前記振動子に接触させて設けられ且つ回転軸を中心に回転可能な回転子と、
前記回転子を前記振動子に加圧する予圧手段と、
前記振動子を振動させる振動手段と、
前記振動子及び前記回転子に潤滑剤を供給可能な潤滑手段とを備え、
前記回転子は潤滑剤阻止部を有し、
前記潤滑剤阻止部は、前記振動子と前記回転子とが接触する領域から前記回転軸に向かう経路の途中にあることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
前記潤滑剤阻止部は帯状であって、前記潤滑剤阻止部の先端は前記回転軸から離れる方向に傾いている請求項１に記載の振動アクチュエータ。
【請求項３】
前記回転子の前記回転軸は、前記予圧手段に回転可能に連結されている請求項１または２に記載の振動アクチュエータ。
【請求項４】
前記回転子は、前記回転軸によって互いに連結される第一ローラ部及び第二ローラ部を有し、
前記第一ローラ部は、前記振動子が接触する曲面状の第一ローラ面と、前記第一ローラ面及び前記回転軸の間に且つ前記第一ローラ面に対して前記回転軸が前記予圧手段と連結されている側に位置する第一側面とを有し、
前記第二ローラ部は、前記振動子が接触する曲面状の第二ローラ面と、
前記第二ローラ面及び前記回転軸の間に且つ前記第二ローラ面に対して前記回転軸が前記予圧手段に連結されている側に位置する第二側面とを有し、
前記潤滑剤阻止部は、前記第一ローラ部の前記第一側面及び前記第二ローラ部の前記第二側面に設けられる請求項３に記載の振動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータに係り、特に、回転子の回転軸への異物の侵入を防止する振動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボットのハンドやアームの関節等のように、多自由度であり、且つ高トルクな駆動を要求される部位に使用されるアクチュエータとして、超音波振動を発生して駆動する振動アクチュエータが使用されている。
振動アクチュエータには、超音波振動を発生する圧電素子等の振動手段と、振動手段に接触させて固定された振動子と、振動子に接触させて配置された回転子とが設けられている。振動子は、振動手段の発生する超音波振動からなる複合振動によって回転子との接触部に振動を発生させ、回転子は、この振動する接触部との間に発生する摩擦力によって、回転移動される。このような振動アクチュエータでは、回転子が振動子と接触した状態で回転されるため、これらの接触部分に摩耗が発生する。そこで、回転子と振動子との間の接触部分の摩耗を低減する技術が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、球体の回転子（ロータ）を回転移動させる振動アクチュエータが記載されている。この振動アクチュエータでは、振動手段及び振動子（ステータ）が互いに連結されて円柱状の外形を形成し、振動子における振動手段との接触面と反対側の面に円筒状の凹部が形成され、この凹部の環状をした角部に回転子が接触配置されている。また、回転子には、凹部と反対側から、予圧部によって振動子に押し付けられる方向に予圧がかけられている。さらに、振動子の凹部には、グリス等の潤滑剤が収容されており、振動子の凹部から振動子と回転子との間に潤滑剤が供給されて潤滑される。
【０００４】
また、振動アクチュエータとして、特許文献２には、回転軸（ローラ軸）で連結された２つの略円筒状のローラを回転子として有するものが記載されている。この振動アクチュエータでは、振動手段（圧電素子）及び振動子（固定子）が互いに連結されて円柱状の外形を形成し、振動手段及び振動子を貫通する支持部材に回転子の回転軸を回転自在に連結し、支持部材に予圧をかけることにより、回転子を振動子に押し付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２０６２５１号公報
【特許文献２】国際公開第２０１０／００７８３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２の振動アクチュエータでは、回転子は支持部材に対して回転し、回転軸及び支持部材が互いに摺動する部位には、摩擦による摩耗粉が発生し回転子の表面等に付着する。
さらに、振動アクチュエータは、ロボットのハンドやアームの関節等において様々な姿勢で使用されるため、特許文献２の振動アクチュエータにおいて特許文献１のように振動子と回転子との間に潤滑剤を供給すると、回転子の表面上の潤滑剤が流れ、表面上に付着している摩耗粉を混入させてしまうことがある。さらに、摩耗粉を含んだ潤滑剤が回転軸に流れてしまうと、回転軸と支持部材との間に潤滑剤に含まれる摩耗粉が侵入し、摩耗粉が回転子の回転の障害となって振動アクチュエータが所望の動作及び駆動力を得られなくなるという問題がある。また、回転軸と支持部材との間に摩耗粉が侵入することにより、回転軸及び支持部材の摩耗が促進し、振動アクチュエータの寿命が低下するという問題もある。
【０００７】
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、回転子の表面上の異物を含む潤滑剤が回転子の回転軸へ流れるのを防ぐことにより振動アクチュエータの寿命の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る振動アクチュエータは、振動子と、振動子に接触させて設けられ且つ回転軸を中心に回転可能な回転子と、回転子を振動子に加圧する予圧手段と、振動子を振動させる振動手段と、振動子及び回転子に潤滑剤を供給可能な潤滑手段とを備え、回転子は潤滑剤阻止部を有し、潤滑剤阻止部は、振動子と回転子とが接触する領域から回転軸に向かう経路の途中にある。
【０００９】
潤滑剤阻止部は帯状であって、潤滑剤阻止部の先端は回転軸から離れる方向に傾いていてもよい。
回転子の回転軸は、予圧手段に回転可能に連結されていてもよい。
さらに、回転子は、回転軸によって互いに連結される第一ローラ部及び第二ローラ部を有し、第一ローラ部は、振動子が接触する曲面状の第一ローラ面と、第一ローラ面及び回転軸の間に且つ第一ローラ面に対して回転軸が予圧手段と連結されている側に位置する第一側面とを有し、第二ローラ部は、振動子が接触する曲面状の第二ローラ面と、第二ローラ面及び回転軸の間に且つ第二ローラ面に対して回転軸が予圧手段に連結されている側に位置する第二側面とを有し、潤滑剤阻止部は、第一ローラ部の第一側面及び第二ローラ部の第二側面に設けられてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、振動アクチュエータは、回転子の表面上の異物を含む潤滑剤が回転子の回転軸へ流れるのを防ぐことによりその寿命を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータの構成を示す斜視図である。
【図２】図１のｘ２−ｘ２線及びｚ２−ｚ２線を含む面をＩＩの方向より見た模式断面側面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面を示す模式断面側面図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータの構成の要部を示す模式断面側面図である。
【図５】本発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータの構成の要部を示す模式断面側面図である。
【図６】本発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータの構成の要部を示す模式断面側面図である。
【図７】本発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータの構成の要部を示す模式断面側面図である。
【図８】本発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータの構成の要部を示す模式断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、この発明の実施の形態について、添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
まず、図１〜３を用いて、この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータ１０１の構成を示す。
【００１３】
図１を参照すると、振動アクチュエータ１０１は、円筒状をした一対の第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂを備えている。第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂは、同形状をして対向して設けられている。また、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂは、ローラ軸１ｃによって連結されて、ローラ軸１ｃを中心に一体に回転動作することができ、第一ローラ部１ａ、第二ローラ部１ｂ及びローラ軸１ｃは、１つの回転子であるローラ１を形成している。
さらに、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂには、それぞれの円筒面１ａａ及び１ｂａにおいて、柱状のアーム部材６が連結されている。よって、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂがローラ軸１ｃを中心に紙面上で時計回りの方向Ｐ又は反時計回りの方向Ｑに回転すると、アーム部材６が、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと共に、方向Ｐ又は方向Ｑに回転移動する。
【００１４】
また、振動アクチュエータ１０１は、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａに接触するようにして配置された略円筒状の振動子２を有している。振動子２には、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂ側となる端面２ｃにおいて、帯状に突出する第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂが平行に形成されている。そして、第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂは、これらの間に溝部２ａｂを形成している。また、第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂはそれぞれ、溝部２ａｂ側の角部が面取りされており、この面取りされた部分が第一当接面２ａ１及び第二当接面２ｂ１を形成している。よって、振動子２は、第一突出爪部２ａの第一当接面２ａ１及び第二突出爪部２ｂの第二当接面２ｂ１を、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａと接触させている。
ここで、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａはそれぞれ、第一ローラ面及び第二ローラ面を構成している。
【００１５】
また、振動アクチュエータ１０１は、振動子２における第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと反対側の端面に、円筒状の圧電素子３を有しており、振動子２と圧電素子３とは互いに連結・固定されている。圧電素子３は、図示しない駆動回路に電気的に接続された複数の圧電素子板を積層した構造を有している。そして、圧電素子３の複数の圧電素子板は、交流電圧を印加されることによって超音波振動を発生する。ここで、圧電素子３は、振動手段を構成している。
さらに、圧電素子３における振動子２と反対側の端面には、円筒状をした第一基部ブロック４及び第二基部ブロック５が順次設けられ、これらは互いに固定されている。
【００１６】
また、ローラ軸１ｃには、予圧部材８が回転自在に設けられている。予圧部材８は、ローラ軸１ｃに対してその周りを取り囲むようにして回転自在に取り付けられた取付部８ａと、取付部８ａに連結されて振動子２、圧電素子３及び第一基部ブロック４を貫通する棒状の軸部８ｂと、第二基部ブロック５に設けられて取付部８ａと反対側で軸部８ｂに連結された付勢部８ｃとを有している。付勢部８ｃは、軸部８ｂに対して取付部８ａと反対側の方向Ｆに引張する力を加える。よって、予圧部材８の付勢部８ｃの引張力によって、ローラ軸１ｃは方向Ｆに引き付けられ、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂが、振動子２に押し付けられている、すなわち、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂは、振動子２に対して加圧する予圧力が付与されて、振動子２に対して固定されている。なお、予圧部材８は、予圧手段を構成している。
ここで、説明の便宜上、第二基部ブロック５からローラ軸１ｃへ向かう予圧部材８の軸部８ｂの軸方向をｚ軸正方向と規定し、ｚ軸に対して垂直であるローラ軸１ｃの軸方向にｘ軸が、ｘ軸及びｚ軸に対して垂直にｙ軸がそれぞれ延びているものとする。
【００１７】
また、振動アクチュエータ１０１は、振動子２の溝部２ａｂに、ｘ軸方向に延びる略直方体状をした潤滑剤供給体１０を有している。潤滑剤供給体１０は、振動子２の第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂに隣接するようにして設けられ、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと接触している。ここで、潤滑剤供給体１０は、潤滑手段を構成している。
【００１８】
また、潤滑剤供給体１０は、可撓性及び／又は弾性を有する多孔質性の樹脂部材に、オイルやグリスなどの潤滑剤を含浸させたものである。なお、以下の実施の形態では、潤滑剤としてオイルやグリスなどの潤滑剤を使用するものとする。
そして、潤滑剤供給体１０は、予圧力により振動子２に押し付けられる第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと接触し且つこれらによって押し潰され、円筒面１ａａ及び１ｂａの形状にならうように変形している。
また、潤滑剤供給体１０の樹脂部材は、多孔質による連続気孔体構造の毛細管現象を用いて樹脂部材に潤滑剤を吸収・保持しており、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと接触すると、表面張力によるポンプ効果で潤滑剤を第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａに放出・供給する。
【００１９】
また、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂの間には、樹脂製の内側侵入防止カバー１１が嵌め込まれている。内側侵入防止カバー１１は、第一ローラ部１ａにおける第二ローラ部１ｂに対向する内側面１ａｂに隙間を有さないように当接し且つローラ軸１ｃの周りを囲むようにして延びる、帯状の第一突起部１１ａを有している。さらに、内側侵入防止カバー１１は、第二ローラ部１ｂにおける第一ローラ部１ａに対向する内側面１ｂｂに隙間を有さないように当接し且つローラ軸１ｃの周りを囲むようにして延びる、帯状の第二突起部１１ｂを有し、そして、第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂの両端同士を連結する２つの連結部１１ｃを有している。第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂのそれぞれの両端は、アーム部材６まで延び、アーム部材６との間に隙間を有さないように当接している。なお、内側侵入防止カバー１１は、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂに対して取り外し可能となっており、その材料は、樹脂に限定されず金属であってもよい。
ここで、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂは第一側面を構成し、第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂは、第二側面を構成している。
【００２０】
また、第二ローラ部１ｂの外側面１ｂｃには、ローラ軸１ｃの端部を覆うようにして、円形蓋の形状をした樹脂製の第二カバー１２ｂが取り付けられて突出している。さらに、第一ローラ部１ａの外側面１ａｃには、ローラ軸１ｃの端部を覆うようにして、円形蓋の形状をした樹脂製の第一カバー１２ａ（図２参照）が取り付けられて突出している。第一カバー１２ａ及び第二カバー１２ｂは、外側侵入防止カバー１２を構成している。なお、第一カバー１２ａ及び第二カバー１２ｂはそれぞれ、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂに対して取り外し可能となっており、その材料は、樹脂に限定されず金属であってもよい。
ここで、内側侵入防止カバー１１及び外側侵入防止カバー１２は、潤滑剤阻止部を構成している。
【００２１】
さらに、図２を参照すると、振動アクチュエータ１０１の模式断面側面図が示されている。
内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａは、への字状の断面形状を有し、予圧部材８の取付部８ａより第一ローラ部１ａの半径方向外側に位置している。第一突起部１１ａの断面は、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに当接して内側面１ａｂに沿ってローラ軸１ｃから離れる方向に延びる当接部１１ａ２と、ローラ軸１ｃから離れる方向に当接部１１ａ２から延びてローラ軸１ｃから離れるにしたがい内側面１ａｂから離れるようにして延びる返し部１１ａ１とによって形成されている。すなわち、第一突起部１１ａは、当接部１１ａ２が内側面１ａｂに当接しつつ第一ローラ部１ａの半径方向外側に向かって延び、返し部１１ａ１が、ローラ軸１ｃから離れるにしたがい内側面１ａｂから離れるようにして第一ローラ部１ａの半径方向外側に向かって延びる断面形状を有している。換言すれば、返し部１１ａ１は、その先端１１ａ１１がローラ軸１ｃから離れる方向に傾くようにして、内側面１ａｂから突出している。
そして、第一突起部１１ａは、返し部１１ａ１と第一ローラ部１ａの内側面１ａｂとの間に、楔状の断面形状を有する空間１１ａａを形成している。
【００２２】
また、内側侵入防止カバー１１の第二突起部１１ｂも、第一突起部１１ａと同様の構成を有し、返し部１１ｂ１及び当接部１１ｂ２によって形成されており、返し部１１ｂ１は、その先端１１ｂ１１がローラ軸１ｃから離れる方向に傾くようにして、内側面１ｂｂから突出している。さらに、第二突起部１１ｂは、返し部１１ｂ１と第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂとの間に、楔状の断面形状を有する空間１１ｂａを形成している。よって、第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、これらの間を通るｙｚ平面に関して鏡像の関係になっている。
【００２３】
また、図３を参照すると、振動アクチュエータ１０１の図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った模式断面側面図が示されている。
内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａは、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ上で、ローラ軸１ｃの周りを円弧状に延び、両端でアーム部材６に当接している。これにより、ローラ軸１ｃ及び予圧部材８の取付部８ａは、第一突起部１１ａ及びアーム部材６によって周囲を囲まれる。また、第一突起部１１ａは、アーム部材６との当接部位の近傍で連結部１１ｃと一体に連結され、連結部１１ｃは、紙面上で奥から手前に向かう方向のｘ軸正方向に延びて、第二突起部１１ｂ（図２参照）と一体に連結されている。
【００２４】
これにより、第一突起部１１ａ、第二突起部１１ｂ及び連結部１１ｃは一体となって内側侵入防止カバー１１を形成し、第一ローラ部１ａと第二ローラ部１ｂ（図２参照）との間に嵌め込むことによって取り付けられ、反対に、例えば、連結部１１ｃを摘んで引き抜くことによって取り外すことができる。そして、内側侵入防止カバー１１が第一ローラ部１ａと第二ローラ部１ｂとの間に取り付けられているとき、連結部１１ｃが第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂを支持して、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂの間から外れることを防ぐ。
【００２５】
また、第一ローラ部１ａは、方向Ｐ又は方向Ｑに回転可能であり、アーム部材６が振動子２の第二突出爪部２ｂ又は第一突出爪部２ａに接触するまで回転することができる。このとき、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａは、方向Ｐへの回転時、第二突出爪部２ｂの第二当接面２ｂ１と境界Ｂまで接触し、方向Ｑへの回転時、第一突出爪部２ａの第一当接面２ａ１と境界Ａまで接触する。このため、円筒面１ａａは、境界Ａ及びＢを結ぶ領域Ｒで第一当接面２ａ１、第二当接面２ｂ１又は潤滑剤供給体１０と接触する。
よって、第一突起部１１ａは、少なくとも領域Ｒからローラ軸１ｃの中心Ｃに向かう経路を遮断するように形成されている。
また、第一突起部１１ａは、予圧部材８の取付部８ａに対して第一ローラ部１ａの半径方向外側に配置されているため、第一ローラ部１ａが方向Ｐ又はＱに回転した場合であっても、取付部８ａに接触することはない。
また、第二突起部１１ｂ（図２参照）も、第一突起部１１ａと同様にして形成されている。
【００２６】
次に、図１〜３を用いて、この発明の実施の形態１に係る振動アクチュエータ１０１の動作を示す。
図１を参照すると、圧電素子３は、その内部の各圧電素子板に図示しない駆動回路によって交流電圧が印加されると、各圧電素子板が振動方向の異なる超音波振動を発生する。さらに、これらの超音波振動の複合振動が振動子２に伝達され、振動子２の第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂの先端には、ｘ軸回りの楕円振動が発生する。第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂのそれぞれは、その先端の第一当接面２ａ１及び第二当接面２ｂ１においてｘ軸回りの超音波楕円振動を行うことによって、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａを引っ掻くようにして、これらを方向Ｐ又は方向Ｑに回転させる。これにより、振動アクチュエータ１０１では、アーム部材６が、ローラ１を中心として、振動子２、圧電素子３、第一基部ブロック４及び第二基部ブロック５に対して、屈折するように動作する。なお、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂの回転方向は、圧電素子３に印加する交流電圧を制御することによって、制御される。
【００２７】
また、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａに潤滑剤供給体１０が接触することによって、潤滑剤供給体１０の潤滑剤は、表面張力のポンプ効果で円筒面１ａａ及び円筒面１ｂａに途切れることなく供給されている。さらに、供給された潤滑剤は、振動子２を介して超音波振動が与えられている第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂでは、超音波振動の腹である最も振動している箇所に集まる特性を有している。このため、円筒面１ａａ及び１ｂａでは、供給された潤滑剤が、振動の腹、すなわち振動子２との接触部である第一当接面２ａ１及び第二当接面２ｂ１に集まり、円筒面１ａａ及び１ｂａと第一当接面２ａ１及び第二当接面２ｂ１との間に浸透し油膜を形成する。
【００２８】
さらに、図３を参照すると、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａは、第一当接面２ａ１、第二当接面２ｂ１又は潤滑剤供給体１０と、領域Ｒで接触することができるため、円筒面１ａａの領域Ｒには、潤滑剤が付着する。
また、振動アクチュエータ１０１は、ロボットのハンドやアームの関節等に使用されて、振動子２及び圧電素子３が図示の姿勢を維持し続けることがなく、ｘ軸、ｙ軸又はｚ軸の周りに回転した姿勢になり得る。このため、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａに付着した潤滑剤は、内側面１ａｂ又は外側面１ａｃ（図２参照）に流れ、さらに、第一ローラ部１ａが方向Ｐ又はＱに回転するため、内側面１ａｂ又は外側面１ａｃに付着した潤滑剤のうち、重力によりローラ軸１ｃに向かって流れるものがある。
【００２９】
また、振動アクチュエータ１０１では、第一ローラ部１ａ、第二ローラ部１ｂ（図２参照）及びローラ軸１ｃが回転すると、特に、潤滑剤等で潤滑されていないローラ軸１ｃと予圧部材８の取付部８ａとの間には、互いに対する摺動により、摩耗粉が発生する。発生した摩耗粉は、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに付着しやすい。また、第一ローラ部１ａの外側面１ａｃには、ホコリなどの微細な異物が付着することがある。
【００３０】
第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに付着した摩耗粉が、内側面１ａｂ上を流れる潤滑剤に含まれ、潤滑剤と共にローラ軸１ｃへ向かって流れる場合、摩耗粉を含む潤滑剤は、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａによってその流れが遮られる。
そして、第一突起部１１ａが、少なくとも領域Ｒからローラ軸１ｃの中心Ｃに向かう経路を遮断するように形成されて、アーム部材６と共にローラ軸１ｃの周囲を囲っているため、摩耗粉を含む潤滑剤のローラ軸１ｃへの流れの全てが遮られる。さらに、図２に示すように、第一突起部１１ａは返し部１１ａ１を有しており、第一突起部１１ａに流れた潤滑剤は、返し部１１ａ１によって空間１１ａａ内で堰き止められるが、返し部１１ａ１が有する形状の作用によって潤滑剤が返し部１１ａ１を越えにくくなっているため、堰き止められた潤滑剤は重力により返し部１１ａ１に沿って下方に流れる。これにより、ローラ軸１ｃへの潤滑剤及び摩耗粉の侵入が防がれ、ローラ軸１ｃ及び予圧部材８の取付部８ａの間に摩耗粉が侵入することが防止される。
【００３１】
また、図２を参照すると、第一ローラ部１ａの外側面１ａｃに付着したホコリ等の異物が、外側面１ａｃ上を流れる潤滑剤に含まれ、潤滑剤と共にローラ軸１ｃへ向かって流れる場合、異物を含む潤滑剤は、ローラ軸１ｃを囲んで突出する外側侵入防止カバー１２の第一カバー１２ａによってその流れが遮られ、重力により第一カバー１２ａに沿って下方に流れる。これにより、ローラ軸１ｃへの潤滑剤及び異物の侵入が阻止され、異物が第一ローラ部１ａとローラ軸１ｃとの間に侵入することが防止される。
【００３２】
また、第二ローラ部１ｂにおいても、第一ローラ部１ａと同様にして、内側侵入防止カバー１１の第二突起部１１ｂ及び外側侵入防止カバー１２の第二カバー１２ｂによって、異物を含む潤滑剤がローラ軸１ｃへ流れることが防止される。
【００３３】
このように、実施の形態１に係る振動アクチュエータ１０１は、振動子２と、振動子２に接触させて設けられ且つローラ軸１ｃを中心に回転可能なローラ１と、ローラ１を振動子２に加圧する予圧部材８と、振動子２を振動させる圧電素子３と、振動子２及びローラ１に潤滑剤を供給可能な潤滑剤供給体１０とを備え、ローラ１は内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂを有し、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、振動子２とローラ１とが接触する領域Ｒからローラ軸１ｃに向かう経路の途中にある。
【００３４】
これによって、ローラ１の内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂはそれぞれ、ローラ１において、ローラ１が回転する際にローラ１が振動子２と接触する領域Ｒとローラ軸１ｃとの間に設けられているため、ローラ１の表面に付着した潤滑剤のローラ軸１ｃへの流通を遮断することができる。よって、ローラ１の表面上の潤滑剤が異物を含んでいる場合であっても、潤滑剤がローラ軸１ｃへ流れるのを防ぐことにより、ローラ軸１ｃに異物が付着して摺動することを防ぐことができるため、ローラ軸１ｃの損傷を防ぎ振動アクチュエータ１０１の寿命を向上させることが可能になる。さらに、潤滑剤に含まれる異物がローラ軸１ｃと予圧部材８の取付部８ａとの間に侵入することが防がれ、異物の侵入による振動アクチュエータ１０１の駆動力の低下を低減することが可能になる。
【００３５】
また、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは帯状であって、第一突起部１１ａの先端１１ａ１１及び第二突起部１１ｂの先端１１ｂ１１はローラ軸１ｃから離れる方向に傾いている。これによって、内側侵入防止カバー１１の帯状の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂのそれぞれにおいて、返し部１１ａ１の先端１１ａ１１及びの返し部１１ｂ１の先端１１ｂ１１がローラ軸１ｃから離れる方向に傾いているため、ローラ軸１ｃに向かって流れる潤滑剤が、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａの返し部１１ａ１及び第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１を越えてローラ軸１ｃに流れることをさらに防ぐことが可能になる。
【００３６】
また、ローラ１のローラ軸１ｃは、予圧部材８に回転可能に連結されており、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、振動子２とローラ１とが接触する領域Ｒからローラ軸１ｃに向かう経路の途中にある。これによって、互いに摺動して摩耗粉を発生する予圧部材８の取付部８ａが連結されたローラ軸１ｃへ潤滑剤が流れることを防ぐことによって、発生した摩耗粉を含んだ潤滑剤がローラ軸１ｃと予圧部材８の取付部８ａとの間の摺動部分に侵入することを防ぐことが可能になる。
【００３７】
また、ローラ１は、ローラ軸１ｃによって互いに連結される第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂを有している。さらに、第一ローラ部１ａは、振動子２が接触する曲面状の円筒面１ａａと、円筒面１ａａ及びローラ軸１ｃの間に且つ円筒面１ａａに対してローラ軸１ｃが予圧部材８と連結されている側に位置する内側面１ａｂとを有し、第二ローラ部１ｂは、振動子２が接触する曲面状の円筒面１ｂａと、円筒面１ｂａ及びローラ軸１ｃの間に且つ円筒面１ｂａに対してローラ軸１ｃが予圧部材８に連結されている側に位置する内側面１ｂｂとを有し、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂはそれぞれ、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂに設けられている。
これによって、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、ローラ１が回転する際に、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａと振動子２との接触、及び、第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａと振動子２との接触の障害とならないため、振動アクチュエータ１０１の動作に悪影響を与えない。さらに、第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂは、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａ上の潤滑剤がローラ軸１ｃと予圧部材８の取付部８ａとの間の摺動部分に侵入することを確実に防ぐことが可能になる。
【００３８】
実施の形態２．
この発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータ１０２は、実施の形態１の第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂにおいて、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａの返し部１１ａ１及び第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１と対向する部位に溝を設けたものである。
なお、以下の実施の形態において、前出した図における参照符号と同一の符号は、同一または同様な構成要素であるので、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
図４を参照すると、振動アクチュエータ１０２の第一ローラ部１ａの内側面１ａｂには、内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａの返し部１１ａ１と対向する部位に第一溝部１３ａが形成されている。第一溝部１３ａは、返し部１１ａ１と対向するようにして円弧状に延びている。そして、第一溝部１３ａは、返し部１１ａ１と内側面１ａｂとの間の空間１１ａａの容積を増大させている。
【００４０】
また、第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂにも、第一溝部１３ａと同様にして、第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１と対向するようにして円弧状に延びる第二溝部１３ｂが形成され、第二溝部１３ｂは、返し部１１ｂ１と内側面１ｂｂとの間の空間１１ｂａの容積を増大させている。
また、この発明の実施の形態２に係る振動アクチュエータ１０２のその他の構成及び動作は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００４１】
このように、実施の形態２に係る振動アクチュエータ１０２において、上記実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様な効果が得られる。
また、振動アクチュエータ１０２では、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂのそれぞれに付着した潤滑剤が、第一突起部１１ａの返し部１１ａ１及び第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１によって空間１１ａａ及び１１ｂａ内で堰き止められても、空間１１ａａ及び１１ｂａはそれぞれ第一溝部１３ａ及び第二溝部１３ｂの容積だけ容積が増大しているため、潤滑剤が返し部１１ａ１及び１１ｂ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れるオーバーフローが低減される。さらに、第一溝部１３ａ及び第二溝部１３ｂに流入した潤滑剤は、第一溝部１３ａ及び第二溝部１３ｂがガイドとなって、重力により下方に容易に流れる。よって、振動アクチュエータ１０２は、実施の形態１の振動アクチュエータ１０１より、ローラ軸１ｃへの潤滑剤の流入を低減することができる。
【００４２】
実施の形態３．
この発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータ１０３は、実施の形態１の内側侵入防止カバー１１の返し部１１ａ１及び１１ｂ１の形状を変更したものである。
【００４３】
図５を参照すると、振動アクチュエータ１０３の内側侵入防止カバー３１の第一突起部３１ａは、略Ｚ字状の断面形状を有している。すなわち、第一突起部３１ａの当接部３１ａ２は、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに当接しつつ第一ローラ部１ａの半径方向外側に向かって延びる断面形状を有している。当接部３１ａ２に続く返し部３１ａ１は、ローラ軸１ｃから離れる方向の第一ローラ部１ａの半径方向外側に向かって延びるが、ローラ軸１ｃから離れるにしたがい第一ローラ部１ａの内側面１ａｂから離れるようにして延びた後、内側面１ａｂにほぼ平行に延びる断面形状を有している。このとき、返し部３１ａ１と内側面１ａｂとの間には略台形状の断面形状を有する空間３１ａａが形成される。よって、空間３１ａａに潤滑剤が流入した場合、潤滑剤は、返し部３１ａ１によって紙面上で右方向となるｘ軸正方向への流れが遮られるため、返し部３１ａ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れることが低減される。
【００４４】
なお、内側侵入防止カバー３１の第二突起部３１ｂも、第一突起部３１ａと同様の構成を有している。
また、この発明の実施の形態３に係る振動アクチュエータ１０３のその他の構成及び動作は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００４５】
このように、実施の形態３に係る振動アクチュエータ１０３において、上記実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様な効果が得られる。
また、振動アクチュエータ１０３では、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂのそれぞれに付着した潤滑剤が、第一突起部３１ａの返し部３１ａ１及び第二突起部３１ｂの返し部３１ｂ１によって空間３１ａａ及び３１ｂａ内で堰き止められても、返し部３１ａ１及び３１ｂ１が予圧部材８の軸部８ｂ方向への潤滑剤の移動を遮るため、潤滑剤が返し部３１ａ１及び３１ｂ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れるオーバーフローが低減される。よって、振動アクチュエータ１０３は、実施の形態１の振動アクチュエータ１０１より、ローラ軸１ｃへの潤滑剤の流入を低減することができる。
【００４６】
実施の形態４．
この発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータ１０４は、実施の形態１の内側侵入防止カバー１１の返し部の１１ａ１及び１１ｂ１の形状を変更したものである。
【００４７】
図６を参照すると、振動アクチュエータ１０４の内側侵入防止カバー４１の第一突起部４１ａは、返し部４１ａ１が、ローラ軸１ｃから離れる方向の第一ローラ部１ａの半径方向外側に向かって延びて、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ側と反対の方向であるｘ軸正方向に膨らむように湾曲した弧状の断面形状を有している。このとき、返し部４１ａ１と内側面１ａｂとの間には、略半円状の断面形状を有する空間４１ａａが形成される。そして、空間４１ａａでは、紙面上で下方向となるｚ軸負方向の入口４１ａｂが形成され、入口４１ａｂは、そのｘ軸方向の幅が、内部空間の幅より狭くなっている。よって、空間４１ａａに潤滑剤が流入した場合、潤滑剤は、空間４１ａａ内で捕捉されて、入口４１ａｂから流出しにくくなっており、そのまま空間４１ａａ内を重力によって下方に流れる。これにより、潤滑剤が、返し部４１ａ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れることが低減される。
【００４８】
なお、内側侵入防止カバー４１の第二突起部４１ｂも、第一突起部４１ａと同様の構成を有している。
また、この発明の実施の形態４に係る振動アクチュエータ１０４のその他の構成及び動作は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００４９】
このように、実施の形態４に係る振動アクチュエータ１０４において、上記実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様な効果が得られる。
また、振動アクチュエータ１０４では、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂのそれぞれに付着した潤滑剤が、第一突起部４１ａの返し部４１ａ１及び第二突起部４１ｂの返し部４１ｂ１によって空間４１ａａ及び４１ｂａ内で堰き止められると、これらの内部の幅に対して入口４１ａｂ及び４１ｂｂの幅が狭くなっているため、振動アクチュエータ１０４がどのような姿勢であっても、空間４１ａａ及び４１ｂａ内から流出しにくくなっている。このため、空間４１ａａ及び４１ｂａ内の潤滑剤は、重力によって空間４１ａａ及び４１ｂａ内を下方に流れ、返し部４１ａ１及び４１ｂ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れるオーバーフローが低減される。よって、振動アクチュエータ１０４は、実施の形態１の振動アクチュエータ１０１より、ローラ軸１ｃへの潤滑剤の流入を低減することができる。
【００５０】
また、実施の形態４の内側侵入防止カバー４１では、第一突起部４１ａの返し部４１ａ１及び第二突起部４１ｂの返し部４１ｂ１は、弧状の断面形状を有していたがこれに限定れるものでなく、矩形状又は三角形状であってもよい。
【００５１】
実施の形態５．
この発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータ１０５は、実施の形態１の内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａ及び第二突起部１１ｂのそれぞれに潤滑剤吸収材５１ａ及び５１ｂを設けたものである。
【００５２】
図７を参照すると、振動アクチュエータ１０５の内側侵入防止カバー１１の第一突起部１１ａには、返し部１１ａ１における第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに対向する面に潤滑剤吸収材５１ａが取り付けられている。そして、返し部１１ａ１に取り付けられた潤滑剤吸収材５１ａは、内側面１ａｂとの間に楔状の断面形状を有する空間５１ａａを形成している。
なお、潤滑剤吸収材５１ａの材料は、潤滑剤を吸収可能な材料であればどのようなものでもよく、例えば、多孔質性の樹脂、フェルト等を使用することができる。
【００５３】
よって、空間５１ａａに摩耗粉を含む潤滑剤が流入した場合、潤滑剤は、潤滑剤吸収材５１ａによって吸収されるため、返し部１１ａ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れることが低減される。さらに、空間５１ａａに流入した潤滑剤は、摩耗粉と共に潤滑剤吸収材５１ａによって吸収されるため、空間５１ａａから再び流出して第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び潤滑剤供給体１０に戻ることが防がれる。よって、摩耗粉を含む汚れた潤滑剤が円筒面１ａａ又は潤滑剤供給体１０に戻り、円筒面１ａａと振動子２の第二当接面２ｂ１との間に供給されることが防止される。
【００５４】
なお、内側侵入防止カバー１１の第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１にも、第一突起部１１ａと同様にして、潤滑剤吸収材５１ｂが取り付けられている。
また、この発明の実施の形態５に係る振動アクチュエータ１０５のその他の構成及び動作は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００５５】
このように、実施の形態５に係る振動アクチュエータ１０５において、上記実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様な効果が得られる。
【００５６】
また、振動アクチュエータ１０５では、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂのそれぞれに付着した潤滑剤が、第一突起部１１ａの返し部１１ａ１及び第二突起部１１ｂの返し部１１ｂ１によって空間５１ａａ及び５１ｂａ内で堰き止められると、潤滑剤吸収材５１ａ及び５１ｂによって吸収される。このため、空間５１ａａ及び５１ｂａ内の潤滑剤は、返し部１１ａ１及び１１ｂ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れるオーバーフローが低減される。よって、振動アクチュエータ１０５は、実施の形態１の振動アクチュエータ１０１より、ローラ軸１ｃへの潤滑剤の流入を低減することができる。さらに、空間５１ａａ及び５１ｂａ内で堰き止められた摩耗粉を含む潤滑剤は潤滑剤吸収材５１ａ及び５１ｂによって吸収されて、第一ローラ部１ａの円筒面１ａａ及び第二ローラ部１ｂの円筒面１ｂａと振動子２の第二当接面２ｂ１との間に供給されないため、第一ローラ部１ａ、第二ローラ部１ｂ及び振動子２の損傷を低減して耐久性を向上させることができる。また、潤滑剤吸収材５１ａ及び５１ｂを交換可能とすることで、第一ローラ部１ａ、第二ローラ部１ｂ及び振動子２の耐久性をさらに向上させることができる。
【００５７】
実施の形態６．
この発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータ１０６は、実施の形態１において、内側侵入防止カバー１１を第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと予圧部材８の取付部８ａとの間に設けたものである。
【００５８】
図８を参照すると、振動アクチュエータ１０６は、実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様の構成を有しているが、予圧部材６８の構成が異なっている。すなわち、予圧部材６８の取付部６８ａは、その側面６８ａａと第一ローラ部１ａの内側面１ａｂとの間に間隙６８ｇａを有し、側面６８ａｂと第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂとの間に間隙６８ｇｂを有している。
【００５９】
さらに、振動アクチュエータ１０６は、間隙６８ｇａに、筒状をした第一内側侵入防止カバー６１ａを有し、第一内側侵入防止カバー６１ａは、ローラ軸１ｃの円筒面１ｃ１を取り囲むようにして円筒面１ｃ１に近接して設けられている。また、振動アクチュエータ１０６は、間隙６８ｇｂに、筒状をした第二内側侵入防止カバー６１ｂを有し、第二内側侵入防止カバー６１ｂは、ローラ軸１ｃの円筒面１ｃ１を取り囲むようにして円筒面１ｃ１に近接して設けられている。
【００６０】
第一内側侵入防止カバー６１ａは、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂに取り付けられ、その貫通穴６１ａ５をローラ軸１ｃが通り、第一ローラ部１ａと一体に回転する。さらに、第一内側侵入防止カバー６１ａは、第二ローラ部１ｂに向かって拡がる略台形状の断面形状をした略円錐台状の外形を有し、内側面１ａｂに取り付けられる上底面６１ａ２と、取付部６８ａの側面６８ａａに対向する下底面６１ａ３と、上底面６１ａ２及び下底面６１ａ３を結ぶ筒状の斜面６１ａ４とを有している。また、斜面６１ａ４は、下底面６１ａ３に向かって窪むように湾曲している。よって、第一内側侵入防止カバー６１ａの斜面６１ａ４は、ローラ軸１ｃから離れるにしたがい内側面１ａｂから離れるようにして延び、内側面１ａｂとの間に、空間６１ａａを形成している。そして、斜面６１ａ４と下底面６１ａ３とで返し部６１ａ１を形成している。
【００６１】
よって、空間６１ａａに潤滑剤が流入した場合、潤滑剤は、返し部６１ａ１によってｘ軸正方向への流れが遮られるため、返し部６１ａ１を越えてローラ軸１ｃに向かって流れることが低減される。
なお、第二内側侵入防止カバー６１ｂも、第一内側侵入防止カバー６１ａと同様の構成を有している。
また、この発明の実施の形態６に係る振動アクチュエータ１０６のその他の構成及び動作は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００６２】
このように、実施の形態６に係る振動アクチュエータ１０６において、上記実施の形態１の振動アクチュエータ１０１と同様な効果が得られる。
また、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂのそれぞれと予圧部材６８の取付部６８ａとの間隙６８ｇａ及び６８ｇｂが広くなる場合、間隙６８ｇａ及び６８ｇｂのそれぞれに第一内側侵入防止カバー６１ａ及び第二内側侵入防止カバー６１ｂを挟むようにして設けることによって、第一内側侵入防止カバー６１ａ及び第二内側侵入防止カバー６１ｂが、スペーサーとして機能して、取付部６８ａがローラ軸１ｃの軸方向に移動することを防ぐことができる。よって、第一内側侵入防止カバー６１ａ及び第二内側侵入防止カバー６１ｂが、ローラ軸１ｃへ潤滑剤の流入阻止だけでなくスペーサーとしても機能するため、部品点数を低減しコストを低減することが可能になる。さらに、第一内側侵入防止カバー６１ａ及び第二内側侵入防止カバー６１ｂを摩擦係数の低い材料で形成することによって、取付部６８ａとの間の摺動抵抗が低減し、それにより、振動アクチュエータ１０６の駆動力の低下を低減することができる。
【００６３】
また、実施の形態６において、第一内側侵入防止カバー６１ａの返し部６１ａ１及び第二内側侵入防止カバー６１ｂの返し部６１ｂ１をそれぞれ、実施の形態１、３及び４の第一突起部１１ａ，３１ａ，４１ａ及び第二突起部１１ｂ，３１ｂ，４１ｂの返し部と同様の形状としてもよい。また、実施の形態６において、空間６１ａａ内の第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び空間６１ｂａ内の第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂに、実施の形態２のように溝を形成してもよい。
【００６４】
また、実施の形態１〜５の内側侵入防止カバー１１，３１，４１において、第一突起部１１ａ，３１ａ，４１ａ及び第二突起部１１ｂ，３１ｂ，４１ｂを、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと別体としていたが、これに限定されるものでなく、一体であってもよい。すなわち、各返し部１１ａ１，３１ａ１，４１ａ１及び１１ｂ１，３１ｂ１，４１ｂ１が、第一ローラ部１ａの内側面１ａｂ及び第二ローラ部１ｂの内側面１ｂｂのそれぞれから突出する突起として、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと一体に形成されてもよい。また、実施の形態６において、第一内側侵入防止カバー６１ａ及び第二内側侵入防止カバー６１ｂを、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと一体に形成してもよい。
また、実施の形態１〜６において、外側侵入防止カバー１２の第一カバー１２ａ及び第二カバー１２ｂはそれぞれ、第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂと別体としていたが、これに限定されるものでなく、一体であってもよい。
【００６５】
また、実施の形態１〜６において、ローラ１は円筒状であったが、これに限定されるものでなく、回転軸を中心に回転する球体であってもよい。
また、実施の形態１〜６において、予圧部材８，６８は、ローラ１の内側となる第一ローラ部１ａ及び第二ローラ部１ｂの間においてローラ軸１ｃに連結されていたが、これに限定されるものでなく、ローラ１の外側、すなわち第一ローラ部１ａの外側面１ａｃ側及び第二ローラ部１ｂの外側面１ｂｃ側でローラ軸１ｃに連結されてもよい。
【００６６】
また、実施の形態１〜６において、潤滑剤供給体１０は、振動子２の溝部２ａｂに設けられていたが、これに限定されるものでない。潤滑剤供給体１０は、振動子２の第一突出爪部２ａ及び第二突出爪部２ｂの外側に配置されてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１  ローラ（回転子）、１ａ  第一ローラ部（回転子）、１ｂ  第二ローラ部（回転子）、１ｃ  ローラ軸（回転軸）、１ａａ  円筒面（第一ローラ部の第一ローラ面）、１ａｂ  内側面（第一ローラ部の第一側面）、１ｂａ  円筒面（第二ローラ部の第二ローラ面）、１ｂｂ  内側面（第二ローラ部の第二側面）、２  振動子、３  圧電素子（振動手段）、８，６８  予圧部材（予圧手段）、１０  潤滑剤供給体（潤滑手段）、１１，３１，４１  内側侵入防止カバー（潤滑剤阻止部）、１１ａ，３１ａ，４１ａ  第一突起部（潤滑剤阻止部）、１１ａ１１，１１ｂ１１  先端（潤滑剤阻止部の先端）、１１ｂ，３１ｂ，４１ｂ  第二突起部（潤滑剤阻止部）、１２  外側侵入防止カバー（潤滑剤阻止部）、１２ａ  第一カバー（潤滑剤阻止部）、１２ｂ  第二カバー（潤滑剤阻止部）、６１ａ  第一内側侵入防止カバー（潤滑剤阻止部）、６１ｂ  第二内側侵入防止カバー（潤滑剤阻止部）、Ｒ  領域（振動子と回転子とが接触する領域）、１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６  振動アクチュエータ。
【図１】
2012016184.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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