(57)【要約】【課題】切削ブレードの外周端部に切削液を供給するノズルを備えた切削加工装置において、外的な力がかかった場合において従来よりもノズルの角度がずれないようにする。【解決手段】ボルト８２１とナット８２２で前部カバー７３のステー部７３５に回転可能に固定されるノズル支持部８１を回転させることで、ノズル支持部８１に一体に形成された外周ノズル８１１の角度を可変とする構成において、固定状態で互いに圧接状態となるステー部７３５の端面７３７とノズル支持部８１の端面とに凹凸７３８，８１４をそれぞれ形成し、固定時には凹凸７３８，８１４が噛み合うことによりノズル支持部８１の固定状態を保持して外周ノズル８１１の角度をずれにくくする。【選択図】図７
2012096334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持する保持手段と、
該保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、該切削ブレードを覆うブレードカバーと、該切削ブレードの外周端部に切削液を供給するノズル手段と、を備えた加工手段と、
を含む切削加工装置であって、
前記ノズル手段は、
前記切削ブレードの回転軸と平行な方向を回転軸としてノズルを回転可能に支持するノズル支持部と、
該ノズル支持部側の端面と前記ブレードカバー側の端面とを圧接させる圧接部と、を有し、
前記ブレードカバー側の端面および前記ノズル支持部側の端面にはドット状の凹凸が形成されていることを特徴とする切削加工装置。
【請求項２】
前記圧接部は、少なくともボルトまたはナットを用いた締め付け機構によって構成されることを特徴とする請求項１に記載の切削加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハや各種電子部品の基板といった薄板状のワークを切削ブレードによって切断加工したり溝加工したりする切削加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェーハ等のワークを分割加工するダイシング装置等の精密切削装置においては、高速回転する回転軸の先端に装着された切削ブレードをワークに切り込ませて該ワークを切削加工する構成となっている。この種の切削加工装置では、切削ブレードの外周部を覆うようにしてブレードカバーが配設されている。そしてこのブレードカバーには、切削ブレードや加工点を冷却したり切削屑を洗い流したりするために、切削ブレードの両側面に対して側方から切削液を供給する一対の側面ノズルが設けられている。また、この側面ノズルに加えて、切削ブレードの外周端部に切削液を供給する外周ノズルを設置したものもある。この外周ノズルは、通常、切削ブレードの外周面と対向するようにして切削方向の前方に配設される（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１８７８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記外周ノズルを追加設置した場合には、切削ブレードへの切削液の供給状況を最も適したものとするために、切削ブレードに対して外周ノズルを様々な角度に調整して切削液を供給する必要がある。しかしながら、切削ブレードに対し外周ノズルの精密な角度合わせを行って該外周ノズルをボルト等の固定手段で固定しても、外周ノズルに接続された切削液の供給配管の応力などの外的な力が外周ノズルに作用することにより、角度がずれてしまう場合があった。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その主な技術的課題は、外的な力がかかった場合において従来よりもノズルの角度がずれにくい切削加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、該切削ブレードを覆うブレードカバーと、該切削ブレードの外周端部に切削液を供給するノズル手段と、を備えた加工手段と、を含む切削加工装置であって、前記ノズル手段は、前記切削ブレードの回転軸と平行な方向を回転軸としてノズルを回転可能に支持するノズル支持部と、該ノズル支持部側の端面と前記ブレードカバー側の端面とを圧接させる圧接部と、を有し、前記ブレードカバー側の端面および前記ノズル支持部側の端面にはドット状の凹凸が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、ノズル支持部によりノズルが回転させられて該ノズルの切削ブレードの外周端部に対する角度が調整される。そして、圧接部により、ノズル支持部側の端面がブレードカバー側の端面に圧接されることによりノズルの角度が固定され、その固定状態がこれら端面に形成された凹凸が噛み合うことにより保持される。よって、従来よりもノズルの角度がずれにくくなる。
【０００８】
本発明では、前記圧接部は、少なくともボルトまたはナットを用いた締め付け機構によって構成されることを含む。
【０００９】
なお、本発明で言うワークは特に限定はされないが、例えば、シリコン、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等からなる半導体ウェーハ、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）系の無機材料基板、液晶表示装置を制御駆動するＬＣＤドライバ等の各種電子部品、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料等が挙げられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、外的な力がかかった場合において従来よりもノズルの角度がずれにくい切削加工装置が提供されるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る切削加工装置およびワークを示す斜視図である。
【図２】同装置が具備する切削手段の斜視図である。
【図３】同装置が具備する切削ブレードでワークを切削加工している状態を示す側面図である。
【図４】切削手段の上部カバーおよび側面カバーがブレード着脱位置に位置付けられている状態を示す斜視図である。
【図５】切削手段の側面図である。
【図６】前部カバーのステー部に固定されるノズル手段の側面図であって、（ａ）ノズル手段のノズル支持部が最も下方に位置付けられている状態、（ｂ）ノズル支持部が最も上方に位置付けられている状態を示している。
【図７】ノズル手段を示す分解斜視図である。
【図８】ノズル支持部の締め付け機構の別形態を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
図１は、一実施形態の切削加工装置１０を示している。該装置１０は、同図に示すワーク１を切削加工して多数のデバイスに分割する装置である。
【００１３】
（１）ワーク
まず、ワーク１を説明する。ワーク１は半導体ウェーハ等であって、厚さが例えば１００〜７００μｍ程度の円板状のものである。ワーク１の表面には格子状のストリートによって多数の矩形状のデバイス領域２が区画されている。各デバイス領域２の表面には、例えばＩＣやＬＳＩ等による図示せぬ電子回路等が形成されている。
【００１４】
ワーク１は、環状のフレーム３の内側に粘着テープ４を介して同心状に一体に支持された状態で、切削加工装置１０に供給される。粘着テープ４は片面が粘着面となっており、その粘着面にフレーム３とワーク１の裏面が貼り付けられる。フレーム３は、金属等の板材からなる剛性を有するものであり、このフレーム３を支持することによりワーク１は搬送される。
【００１５】
（２）切削加工装置
（２−１）切削加工装置の構成
続いて、図１に示す切削加工装置１０の構成を説明する。この切削加工装置１０は、基台１１上に一対の切削手段（加工手段）６１，６２を互いに対向配置した２軸対向型である。基台１１の中央には、長手方向がＸ方向に延びる長方形状の凹所１２が形成されており、この凹所１２には、テーブルベース２５を介して円板状のチャックテーブル（保持手段）２０がＸ方向に移動自在に設けられている。基台１１上の後側（Ｘ２側）には、凹所１２をまたぐ門型コラム３０が固定されている。
【００１６】
チャックテーブル２０は、長方形状のテーブルベース２５上に、鉛直方向であるＺ方向を回転軸として回転自在に支持されており、テーブルベース２５に設けられた図示せぬ回転駆動機構によって時計方向あるいは反時計方向に回転させられる。テーブルベース２５は、凹所１２内に配設された図示せぬ移動機構によってＸ方向に往復移動可能に支持されている。すなわちチャックテーブル２０は、テーブルベース２５とともにＸ方向に往復移動する。テーブルベース２５のＸ方向の両端部には、切削加工時に生じる切削屑や使用される切削液が凹所１２内に落下することを防ぐ伸縮自在な蛇腹状のカバー２６が取り付けられている。
【００１７】
チャックテーブル２０は一般周知の真空チャック式であり、水平な上面の周縁部を残した大部分が、ワーク１を負圧作用で吸着、保持する円形状の保持面２１となっている。保持面２１の直径はワーク１の直径とほぼ同じであり、ワーク１は全体が保持面２１に粘着テープ４を介して同心状に載置されて保持される。チャックテーブル２０の周囲には、フレーム３を着脱自在に保持する複数のクランプ２２がチャックテーブル２０に固定されて配設されている。
【００１８】
門型コラム３０は、凹所１２の両側にＹ方向に並んで立設された一対の脚部３１と、これら脚部３１の上端部間に水平に架け渡された梁部３２とを有している。梁部３２の図１で前面側（Ｘ１側）には、Ｙ軸ガイド３３を介して第１Ｙ軸スライダ４１と第２Ｙ軸スライダ４２とがそれぞれＹ方向に移動自在に取り付けられている。第１Ｙ軸スライダ４１は、図示せぬ第１Ｙ軸送りモータによって作動する第１Ｙ軸ボールねじ送り機構４１２によりＹ軸ガイド３３に沿って往復移動させられる。また、第２Ｙ軸スライダ４２は、第２Ｙ軸送りモータ４２１によって作動する第２Ｙ軸ボールねじ送り機構４２２によりＹ軸ガイド３３に沿って往復移動させられる。
【００１９】
第１Ｙ軸スライダ４１の前面側にはＺ軸ガイド３４を介して第１Ｚ軸スライダ５１がＺ方向に昇降自在に取り付けられ、第２Ｙ軸スライダ４２の前面側にはＺ軸ガイド３４を介して第２Ｚ軸スライダ５２がＺ方向に昇降自在に取り付けられている。第１Ｚ軸スライダ５１は、第１Ｚ軸送りモータ５１１によって作動する図示せぬ第１Ｚ軸ボールねじ送り機構によりＺ軸ガイド３４に沿って昇降させられる。また、第２Ｚ軸スライダ５２は、第２Ｚ軸送りモータ５１２によって作動する図示せぬ第２Ｚ軸ボールねじ送り機構によりＺ軸ガイド３４に沿って昇降させられる。
【００２０】
第１Ｚ軸スライダ５１の下端部には、第１ブラケット６１１を介して第１切削手段６１が固定されており、第２Ｚ軸スライダ５２の下端部には、第２ブラケット６２１を介して第２切削手段６２が固定されている。各切削手段６１，６２は同一構成であって、図２に示すように（図２は第１切削手段６１を示している）、直方体状のハウジング６３内に、サーボモータ等によって高速回転する図示せぬ回転軸が収容され、ハウジング６３の先端開口から突出する該回転軸の先端部に、円板状の切削ブレード６５が支持されたものである。
【００２１】
これら切削手段６１，６２は上記回転軸がＹ方向と平行、かつ互いに同軸的で、切削ブレード６５が取り付けられた先端どうしが向かい合う状態に、ハウジング６３が各ブラケット６１１，６２１の下端部に固定されている。切削手段６１，６２は、それぞれＹ軸スライダ４１，４２と一体にＹ方向に移動させられ、Ｙ方向に互いに接近したり離間したりする。
【００２２】
図３に示すように、本装置１０においては、チャックテーブル２０をＸ２方向に移動させながら切削ブレード６５の下端の刃先をワーク１に切り込ませて切削加工を施す。したがって切削ブレード６５のワーク１に対する加工送りの方向は、相対的にはＸ１方向となる。図３に示すように、切削ブレード６５は、ワーク１に切り込む加工点においては矢印Ａ方向、すなわち上方から下方に回転しながらワーク１に切り込んでいくダウンカットでワーク１を切削加工する。なお、以下の説明での前後の方向は、加工送りに基づく方向であり、前方はＸ１方向、後方はＸ２方向とする。
【００２３】
図２に示すように、各切削手段６１，６２のハウジング６３の先端側には、切削ブレード６５を覆うブレードカバーユニット７０が設けられている。また、ハウジング６３の前面であってブレードカバーユニット７０に近接する箇所には、ワーク１の表面を撮像して切削領域を検出する撮像手段９０が固定されている。
【００２４】
図４および図５に示すように、ブレードカバーユニット７０は、ハウジング６３の先端に固定されているベース部７１を有している。このベース部７１の、切削手段６１，６２どうしの対向面側（図２および図４でＹ１側）における前方には、切削ブレード６５の前方斜め上方の外周端部を覆う側面視三角形状の三角カバー７２が固定されており、さらにこの三角カバー７２には、切削ブレード６５の前方の外周端部を覆う前部カバー（本発明で言うブレードカバー）７３が固定されている。また、ベース部７１には、切削ブレード６５の上方から後方にわたる外周端部を覆う上部カバー７４が設けられ、さらにこの上部カバー７４には、切削ブレード６５の後方の外周端部および外側の側面の後部を覆う側面カバー７５が固定されている。ブレードカバーユニット７０は、ベース部７１、三角カバー７２、前部カバー７３、上部カバー７４および側面カバー７５で構成されている。
【００２５】
側面カバー７５には、先端部がＸ方向に延びる平行な２本の側面ノズル７５１が、切削ブレード６５の両側に配設される状態に取り付けられている。これら側面ノズル７５１には複数のスリット７５２が形成されており、これらスリット７５２から切削液が切削ブレード６５の側面に向けて供給されるようになっている。上部カバー７４には、側面ノズル７５１に切削液を供給する図示せぬ配管が接続される接続管７５３が取り付けられている。
【００２６】
ベース部７１の上部は、エアシリンダ部７１１となっている。図４に示すように、このエアシリンダ部７１１の後面には、Ｘ２方向に対して伸縮する上下一対のピストンロッド７１２が挿入されている。そしてこれらピストンロッド７１２の先端に、ブラケット７１３を介して上部カバー７４が固定されている。ベース部７１の上面には、エアシリンダ部７１１内に空気を供給／排出してピストンロッド７１２を伸縮させるための図示せぬエア配管が接続される一対の接続管７１４が取り付けられている。上部カバー７４、および上部カバー７４に固定されている側面カバー７５は、ピストンロッド７１２が伸縮することによりＸ方向に往復動する。
【００２７】
上部カバー７４および側面カバー７５は、図４に示すように、ピストンロッド７１２が伸張するとＸ２方向に移動してブレード着脱位置に位置付けられる。上部カバー７４および側面カバー７５がブレード着脱位置に位置付けられると、側面ノズル７５１に干渉することなく切削ブレード６５を上記回転軸に対して着脱することができるようになっている。また、ピストンロッド７１２がＸ１方向に縮退すると、図２に示す切削ブレード６５を覆うカバー位置に位置付けられる。
【００２８】
図４および図５に示すように、前部カバー７３の下面の前部には、切削液をワーク１の加工点の前方に供給する一対の前方ノズル７３１が、Ｙ方向に並列して設けられている。前部カバー７３の上面には、前方ノズル７３１に切削液を供給する図示せぬ配管が接続される接続管７３２が取り付けられている。また、前部カバー７３の下面における前方ノズル７３１の後側には、直方体状のステー部７３５が下方に延びており、このステー部７３５に、切削ブレード６５の前方の外周端部に切削液を供給するノズル手段８０が設けられている。
【００２９】
ノズル手段８０は、図６および図７に示すように、外周ノズル（本発明で言うノズル）８１１が一体に形成されたノズル支持部８１と、このノズル支持部８１をステー部７３５に圧接させて固定状態とする六角穴付きボルト８２１およびナット８２２からなる締め付け機構（圧接部）８２とを有している。ノズル支持部８１は中心にボルト挿通孔８１２を有する円筒状のもので、その外周面に、切削ブレード６５の前側の外周端部に向けて前方から切削液を供給する外周ノズル８１１が設けられている。
【００３０】
ステー部７３５には、Ｙ方向に貫通し、かつ前上がりに傾斜する方向に延びる長孔７３６が形成されている。ステー部７３５における長孔７３６の両側の開口面は、Ｘ・Ｙ方向に沿った平な端面となっている。そしてこれら端面のうちの切削手段６１，６２どうしの対向面側の端面７３７における長孔７３６の開口の周囲には、ドット状の凹凸７３８が形成されている。この凹凸７３８は、端面７３７における長孔７３６のやや上方の部分から下端までの領域に形成されている。
【００３１】
ノズル支持部８１は、外周ノズル８１１が切削ブレード６５の配設されている後方、かつ斜め下方に向く状態で、ボルト８２１のねじ部８２１ａがボルト挿通孔８１２および長孔７３６に挿通され、長孔７３６から突出するねじ部８２１ａに螺合させたナット８２２をねじ込んで締め付けることにより、ステー部７３５に固定される。ノズル支持部８１には、外周ノズル８１１に切削液を供給する図示せぬ配管が接続される。
【００３２】
ボルト８２１のねじ部８２１ａは、切削ブレード６５の回転軸と平行な方向であるＹ方向に延びている。ノズル支持部８１は、ボルト８２１およびナット８２２による締結力を緩めるとねじ部８２１ａを回転軸として回転し、これにより外周ノズル８１１は、図６に示すように矢印Ｂ−Ｃ方向に回転可能に支持されている。また、ボルト８２１のねじ部８２１ａを長孔７３６に沿って移動させることにより、ノズル支持部８１の装着位置を、概ね切削ブレード６５の外周に沿って上下方向に調整可能となっている。図６（ａ）はノズル支持部８１が最も下方に位置付けられた状態を示し、図６（ｂ）はノズル支持部８１が最も上方に位置付けられた状態を示している。
【００３３】
ナット８２２を締め付けると、ノズル支持部８１のステー部７３５に対向する端面８１３（図７に示す）はステー部７３５の端面７３７に圧接させられる。図７に示すように、このノズル支持部８１側の端面８１３の全面にも、ステー部７３５の凹凸７３８と同様の凹凸８１４が形成されている。したがって、凹凸７３８，８１４がそれぞれ形成された端面７３７，８１３どうしが圧接する状態でノズル支持部８１はステー部７３５に固定される。これら凹凸７３８，８１４が形成された各端面７３７，８１３の面粗さは、例えばＲａで１０〜５００μｍとされる。凹凸７３８，８１４は、例えばサンドブラスト等の手法で形成される。
【００３４】
（２−２）切削加工装置の動作概要
以上が一実施形態に係る切削加工装置１０の構成であり、この切削加工装置１０によれば、次のようにしてワーク１が切削加工される。
【００３５】
ワーク１は、上記のように粘着テープ４を介してフレーム３に支持された状態で、チャックテーブル２０上に吸着、保持され、チャックテーブル２０が図１でＸ２方向に移動することにより、各切削手段６１，６２の下方位置に当たる加工位置に搬送される。そしてこの加工位置において、まず撮像手段９０によりワーク１の表面が撮像され、デバイス領域２間の切削領域である格子状のストリートが検出される。次いで、一方向に延びる全てのストリートが順次切削加工され、次いで、切削加工されたストリートに直交する他方向に延びる全てのストリートが順次切削加工される。これによりワーク１は多数のデバイス領域２すなわちデバイスに分割される。
【００３６】
切削加工されるストリートは、チャックテーブル２０を回転させてワーク１を自転させることにより、Ｘ方向と平行に定められる。また、切削加工するストリートの選択は、切削手段６１，６２をＹ方向に移動させる割り出し送りによってなされる。切削加工は、チャックテーブル２０をＸ２方向に移動させながら、下端の刃先が所定の切り込み高さに設定された回転する切削ブレード６５を、ストリートに対しＸ２側の端部からＸ１側の端部に向けて切り込ませる加工送りをすることによってなされる。切削加工の形態としては、１回の加工送りでワーク１の厚さを貫通するフルカットや、１回目の加工送りは溝加工で２回目の加工送りでフルカットを果たす２段階切削などが挙げられる。また、溝加工のみとする場合があり、その場合には、次の工程において溝に外力を付与することにより、ワーク１は各デバイスに割断される。
【００３７】
上記のように切削加工されて分割されたワーク１は多数のデバイスの集合体となって粘着テープ４に貼り付いたままとなっており、この後、ピックアップ工程に移されてデバイスが粘着テープ４から剥離される。
【００３８】
（２−３）ブレードカバーユニットの動作
ブレードカバーユニット７０は、切削加工中においては、上部カバー７４および側面カバー７５が上記カバー位置に位置付けられる。そして、側面カバー７５の２本の側面ノズル７５１のスリット７５２から切削液が切削ブレード６５の側面に供給される。また、前部カバー７３の前方ノズル７３１から切削液がワーク１の表面における加工点の前方に供給される。さらに、前部カバー７３に固定されたノズル手段８０の外周ノズル８１１から、切削ブレード６５の前方の外周端部に切削液が供給される。各ノズル７５１，７３１，８１１から供給される切削液により、切削ブレード６５やワーク１の加工点が冷却され、また、切削屑が洗い流される。
【００３９】
（２−４）外周ノズルを備えるノズル手段の作用ならびに効果
上記ノズル手段８０においては、長孔７３６に対するノズル支持部８１の固定位置を変更することにより外周ノズル８１１の上下位置を調整することができ、また、ノズル支持部８１を図６に示すＢ方向またはＣ方向に回転させることにより、切削ブレード６５に対する外周ノズル８１１の角度すなわち矢印Ｌで示す切削液の供給方向を調整することができる。そしてこのような外周ノズル８１１の上下位置の調整と角度の調整を行うことにより、切削ブレード６５への切削液の供給状況を最も適したものとすることができる。
【００４０】
さて、上記のように、ノズル支持部８１には、外周ノズル８１１に切削液を供給する図示せぬ配管が接続されるが、従来では、この切削液の供給配管の応力などの外的な力が作用することにより、外周ノズル８１１の角度がずれてしまう場合があった。しかしながら本実施形態では、ボルト８２１にねじ込んだナット８２２を締め付けると互いに圧接状態となる前部カバー７３側の端面７３７とノズル支持部８１側の端面８１３には凹凸７３８，８１４がそれぞれ形成されており、ノズル支持部８１をステー部７３５に固定した状態で、これら凹凸７３８，８１４どうしが噛み合うことになる。凹凸７３８，８１４はいずれも各端面７３７，８１３においてドット状に形成されていることから、外周ノズル８１１の向きを調整するためにノズル支持部８１を回転させても、あるいは外周ノズル８１１の上下位置を調整するためにノズル支持部８１を長孔７３６に沿って直線的に移動させても、その調整後の位置において各端面７３７，８１３どうしを圧接させた際には凹凸７３８，８１４どうしの噛み合う状態が確保される。このため、ノズル支持部８１は回転しにくくなって固定状態が保持され、よって外周ノズル８１１の角度がずれにくくなるとともに、ノズル支持部８１のステー部７３５への固定位置が保持される。その結果、外周ノズル８１１の角度および上下位置を調整して設定した切削ブレード６５に対する最も適した切削液の供給状況を、保持することができる。
【００４１】
（３）ノズル支持部の締め付け機構の別形態
上記一実施形態では、ボルト８２１およびナット８２２により、本発明の圧接部を構成する締め付け機構８２を構成しているが、締め付け機構としては、図８（ａ）に示すように、ノズル支持部８１の上記ボルト挿通孔８１２をねじ孔８１２ａに変更し、このねじ孔８１２ａに、長孔７３６に通したボルト８２１のねじ部８２１ａを直接ねじ込んで締め付ける構成としてもよい。また、この他には、図８（ｂ）に示すように、ノズル支持部８１の、凹凸８１４が形成された端面８１３の中心からねじ部８１５を突出形成し、このねじ部８１５を長孔７３６に通してナット８２２で締め付ける構成としてもよい。
【００４２】
また、本発明の圧接部としては、ボルトやナットを用いた締め付け機構に限らず、ノズル支持部８１の端面８１３を前部カバー７３のステー部７３５の端面７３７に圧接させて凹凸７３８，８１４を互いに噛み合わせることができるものであれば、いかなる構成のものであってよい。
【符号の説明】
【００４３】
１…ワーク
１０…切削加工装置
２０…チャックテーブル（保持手段）
６１，６２…切削手段（加工手段）
６５…切削ブレード
７３…前部カバー（ブレードカバー）
７３７…前部カバー側の端面
７３８…前部カバー側の端面の凹凸
８０…ノズル手段
８１…ノズル支持部
８１１…外周ノズル（ノズル）
８１３…ノズル支持部側の端面
８１４…ノズル支持部側の端面の凹凸
８２…締め付け機構（圧接部）
８２１…ボルト
８２１ａ…ボルトのねじ部（ノズル支持部の回転軸）
８２２…ナット
【図１】
2012096334.tif 000003
【図２】
2012096334.tif 000004
【図３】
2012096334.tif 000005
【図４】
2012096334.tif 000006
【図５】
2012096334.tif 000007
【図６】
2012096334.tif 000008
【図７】
2012096334.tif 000009
【図８】
2012096334.tif 000010