(57)【要約】【課題】機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】電圧供給部３１は、各チャンネル溝２毎に個別に駆動電圧を供給する。電圧制御部３０は、チャンネル間距離に基づいて各チャンネル溝２毎に供給する駆動電圧を制御する。したがって、チャンネル溝２の断面形状のアスペクト比に関係なく、チャンネル溝２の変形量を電圧出力側から設定することが可能となり、各チャンネル溝２の形状に依存することなく、全ノズル孔５において吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ一定、または任意に設定することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延在し並列に配列された複数のチャンネル溝を有する圧電基板と、
上記複数のチャンネル溝を覆うように配置されると共に上記チャンネル溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと、
上記チャンネル溝の両側面を形成する隔壁を駆動して上記チャンネル溝を変形するための駆動電圧を上記各チャンネル溝毎に個別に供給する電圧供給部と
を備え、
少なくとも一組の隣り合う上記チャンネル溝における一方の上記チャンネル溝の幅の中心線と他方の上記チャンネル溝の幅の中心線との間のチャンネル間距離は、他の組の隣り合う上記チャンネル溝における上記チャンネル間距離と異なり、
上記チャンネル間距離に基づいて上記各チャンネル溝毎に供給する駆動電圧を制御する電圧制御部を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
少なくとも一つの上記チャンネル溝の幅は、他の上記チャンネル溝の幅と異なり、
上記電圧制御部は、上記チャンネル溝の幅が小さいほど、上記チャンネル溝に供給する駆動電圧を小さくすることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
全ての上記チャンネル溝の深さは、同じであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
全ての上記隔壁の幅は、同じであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
全ての上記ノズル孔の径は、同じであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１から５の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズル孔の中心線は、上記チャンネル溝の幅の中心線に一致することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記チャンネル溝の数量は、奇数であり、
全ての上記チャンネル溝の配列ピッチは、上記全てのチャンネル溝のうちの配列方向の中央に位置するチャンネル溝を中心として、左右対称であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１から６の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記チャンネル溝の数量は、偶数であり、
全ての上記チャンネル溝の配列ピッチは、上記全ての隔壁のうちの配列方向の中央に位置する隔壁を中心として、左右対称であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被印刷物に対して、着色、付与加工等を行う液体吐出装置に設けられたインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタや印刷装置に搭載されるインクジェットヘッドにおいては、特に、印字に必要なインク滴のみを噴射するというドロップ・オン・デマンド型が噴射効率の良さ、低コスト化の容易さなどから注目されている。
【０００３】
上記ドロップ・オン・デマンド型のインクジェットヘッドの方式において、近年では圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式が提案されている。この方式は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）に代表される圧電材料からなるインクチャンネル壁の両側面に形成した電極を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードでチャンネル壁を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用して、別途構成部品であるノズルよりインク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【０００４】
最近はこのシェアモード変形を利用したインクジェットヘッドを産業用途に利用することが盛んに行われ始めている。例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のインクを吐出させることによってカラーフィルタを作製したり、熱硬化性または紫外線（ＵＶ）硬化性のインクを吐出させることによって、マイクロレンズといった３次元構造物を作製するといった応用が進められている。
【０００５】
特に昨今の生産装置用途の高機能インクには、機能材料としてガラス材や金属材を用いたものや、樹脂性のビーズといった粒子状の個体物を含有するものも多い。なかには、その粒径が数μｍといった大きな規模となる場合もあり、機能性の維持のために従来とは取扱いに注意を要するインク溶媒も実際に使用が開始されている。また、産業用途のインクジェット装置において、機能性インクの吐出による着色や付与加工といった被印刷物に対する工程時間は、その被印刷物を使用する製品の品質やコストに大きく影響を及ぼすことが知られている。
【０００６】
インクジェットヘッドからインクを吐出するノズル孔にインクを供給する手段として、インクを一時的に貯留するインク貯留袋を持った圧力調整室を有し、圧力調整室とインクジェットヘッドの共通のインク室を連通させる方法がある。上記圧力調整室でインクに作用する圧力を負圧状態にすることで、インクはノズル孔でメニスカスを維持し、インクジェットヘッドからの不要なインクの漏出を防止している。また吐出するインク体積を一定にするためには各ノズル孔にかかる負圧状態を一定に保つ必要がある。しかし、ノズル径は約数十μm程度と非常に微小であり、上記のような微小領域においてはノズル孔周辺からのインクの揮発による影響が顕著である。例えばインク自体の増粘化や、機能性インクに含有される固形成分がノズル孔周辺に残留し、インク吐出時に被印刷物の品質の悪化や、付与機能を満足させることが困難になるという背景がある。そのため、１つの被印刷物に対する処理時間を短縮することで、上記のようなインクジェットヘッドの空走時間を可能な限り短縮する必要がある。また、インクジェットヘッドの空走時間が増えると、１つの被印刷物に対する処理時間が増加し、その分被印刷物が部品として組み込まれる製品のコストに大きく影響を及ぼすことになる。
【０００７】
上述のような工程時間の短縮のために、ノズルの高密度化によってインク滴を高精細に吐出させるという要求の他に、ノズル間ピッチを被印刷物の形状・機能構成に合わせて変則的ピッチ間隔とする要求も現れ始めている。ここでノズルの変則的ピッチ間隔を有するインクジェットヘッドとは、特開平６−２３８９１７号公報（特許文献１）にあるような、インクジェットヘッドのノズル列方向に対して、ノズル間のピッチが不等間隔であることを意味し、ノズル列方向とは一般的に主走査方向とは９０°異なる副走査方向のことを指す。特開平６−２３８９１７号公報（特許文献１）では、ノズル間ピッチを変則的な不等間隔にすることで、処理後の被印刷物の信頼性を向上させている。
【０００８】
このような状況を踏まえると、被印刷物に対する処理においてインクジェットヘッドが被印刷物上を走査する回数を大きく減らし、かつ被印刷物の機能性、信頼性を維持することが、インクジェットヘッドの構成要素として必須となっている。
【０００９】
図１０に示すように、上記インクジェットヘッドは、被印刷物である記録媒体の搬送量誤差により第一の記録領域と第二の記録領域の間に発生する記録の不連続を識別しにくくすることを目的として、インクジェットヘッドの複数の記録素子の副走査方向の各素子間の間隔を少なくとも２箇所以上、不等間隔に配列したものである。
【００１０】
上記インクジェットヘッドは、記録素子１０１の副走査方向、すなわちノズル列方向の各素子間の間隔を予め設定して不等間隔に配列することで、記録領域内に記録する記録ドットの副走査方向（Ｘ軸方向）の間隔を意図的にわずかにずらして配置することによって、記録媒体の搬送誤差により各記録領域間の異なる間隔の記録部分が一箇所に集中して現れることによって発生する、記録の不連続が知覚されにくくなるとしている。
【００１１】
また、上記インクジェットヘッドのｎ個の記録素子１０１の配列は、各記録素子間の平均値を予め設定した基準の素子間隔ｐと等しく設定し、基準の素子間隔ｐを任意の値とすることで従来の如何なるインクジェットヘッドとも互換性を得ることができるとしている。
【００１２】
しかしながら、図１０に示した構成においては、隣接する記録素子のピッチ間隔によっては、記録素子１０１内の圧力発生室の容積に制限を受ける場合がある。また、記録素子１０１のインクの吐出構造が圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式である場合においても、構造上、上記優位性が維持できない問題がある。
【００１３】
また、特開２００６−１４２５０９号公報（特許文献２）に記載のシェアモード型のインクジェットヘッドは、複数の溝を形成した圧電基板を長円形の凹部を有するマニホールドに収め、複数個のノズル孔を有するノズルプレートを被せることによって組立てられている。
【００１４】
このインクジェットヘッドで用いられている圧電基板には次のような溝が形成されている。まず、ノズルプレートを被せることによって圧力発生室となる複数の平行な溝がある。この圧力発生室となる溝の内壁には電極が形成されており、外部から電圧が印加されることによりこの圧力発生室となる溝の隔壁がシェアモード変形し、ノズルからインクを吐出する。
【００１５】
すなわち、シェアモード型のインクジェットヘッドでは、ノズルの配列を全チャンネル吐出可能な不等間隔とした場合、圧力発生室の断面形状が不等間隔という変則的なピッチ間隔によって、圧力発生室の断面形状が各チャンネル毎に変化することとなる。
【００１６】
シェアモード型のインクジェットヘッドでは、インクの吐出体積および吐出速度が上記圧力室の断面形状のアスペクト比に影響するため、ノズルの配列を不等間隔とすることは吐出されたインク滴の体積や吐出速度に影響を及ぼし、インク滴の着弾時のインク処理の信頼性低下や精度の劣化、更にはインクジェットヘッド毎の吐出性能のバラつきにも繋がり、信頼性を大きく損なうという問題がある。
【００１７】
また、各チャンネル溝の断面形状がノズル毎に異なるということは、各チャンネル溝内を流通するインクの流路抵抗が各チャンネル溝間で変動するという問題を引き起こす。これは、インクジェット内にインク充填する際に、相対的に断面形状の小さいチャンネル溝、すなわち流路抵抗の高いチャンネル溝には気泡が溜まりやすく、かつインクジェットヘッドをキャッピングした状態でのノズル孔吸引動作に代表されるメンテナンス時においても、他の流路抵抗が低いチャンネル溝に優先的にインクが流入して供給され、チャンネル溝内の気泡を除去しにくくなるという問題もある。
【００１８】
ここで、圧力発生室であるチャンネル溝の断面形状において、その溝深さを不等間隔であるノズル配列ピッチに合わせて変化させる方法もある。つまり、ノズルの不等間隔配列内において、ノズル間ピッチが狭小である場合には、圧力発生室の断面形状において溝幅が相対的に狭くなるため、インク滴の吐出体積が減少、及びノズルからの吐出タイミングが短縮されるという問題がある。よって全チャンネルの吐出体積・タイミングを一定とするためには、圧力発生室の断面形状において断面のアスペクト比を一定とする必要がある。すなわち上記狭小ピッチ間隔のノズル形態においては、そのチャンネル溝深さを他のチャンネル溝と比較して相対的に浅くしなければならない。同様にノズルの不等間隔配列内において、ノズル間ピッチが幅広である場合には、チャンネル溝深さを相対的に深くすることによって、同じく圧力発生室の断面形状のアスペクト比を統一し、インク滴の吐出体積や吐出タイミング、速度を全チャンネルのノズルにおいて一定としなければならない。
【００１９】
上記の場合、圧電基板に対する溝加工時において、各チャンネル溝毎に加工深さを変える必要があり、圧電基板加工の生産タクトの増加および加工工程の煩雑化による歩留りの低下が発生するという問題がある。
【００２０】
また、逆にチャンネル溝の断面形状のアスペクト比の固定を優先させると、各チャンネル溝を区切る隔壁の厚みが、各チャンネル溝毎に変化するという問題がある。これは電圧印加時に圧力発生室となる各チャンネル溝の隔壁の変形量が各チャンネル溝毎に異なってくるため、例えば厚い隔壁に挟まれたチャンネル溝では変形量が小さくなり、吐出に必要な電圧が増加する問題がある。また、例えば両端の隔壁の厚みが異なる場合、電圧印加時の両端の隔壁の変形量が異なるため、圧力波の形成が不安定になりインクの吐出性能が劣化する。
【００２１】
ここで、上記問題のため、圧力発生室となる各チャンネル溝の隔壁の変形量および圧力発生室の断面形状を一定にすると、ノズルの不等間隔ピッチ化に大きく制限を受けるのみならず、ノズル配列内においてインク滴を吐出できないダミーのインク室を設ける必要性も発生する。これは、ノズル間隔の狭ピッチ化を困難にし、高精細の描画が困難となる。
【００２２】
各チャンネル溝の断面形状の変化を、ノズルの孔径やノズル形状である程度補完することも可能である。しかしチャンネル溝の断面形状と、それに合わせたノズル径、ノズル形状の最適な相関関係を割り出すことは極めて煩雑であり、ノズルプレートの加工自体においても、その加工難度を増大させる要因にもなる。
【００２３】
更には、特開昭６３−２４７０５１号公報（特許文献３）に記載のシェアモード型のインクジェットヘッドは、隔壁の変形方向側面に複数個のノズル孔を有するノズルプレートを貼り付けることによって、チャンネル溝を形成し、インク滴を吐出するサイドシューター型インクジェットヘッドであるが、上記構成のインクジェットヘッドにおいて複数のノズルを変則ピッチ間隔とした場合、各チャンネル溝側断面のアスペクト比を統一しようとすると、上記構成のインクジェットヘッドの加工工程上、一方の基板の厚みは不変であることが前提となるため、ノズル孔の中心がチャンネル溝側面の断面の中心に位置することが困難になる。
【００２４】
つまり、隔壁の変形によって発生する圧力波の伝達からインク滴の吐出までに要するチャンネル溝空間にバラつきが発生し、吐出電圧の増加や吐出性能が劣化するという課題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開平６−２３８９１７号公報
【特許文献２】特開２００６−１４２５０９号公報
【特許文献３】特開昭６３−２４７０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
そこで、この発明の課題は、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、ノズル孔間ピッチを変則的に構成させることが可能となるため、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができるインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記課題を解決するため、この発明のインクジェットヘッドは、
一方向に延在し並列に配列された複数のチャンネル溝を有する圧電基板と、
上記複数のチャンネル溝を覆うように配置されると共に上記チャンネル溝に対応する位置にノズル孔を有するノズルプレートと、
上記チャンネル溝の両側面を形成する隔壁を駆動して上記チャンネル溝を変形するための駆動電圧を上記各チャンネル溝毎に個別に供給する電圧供給部と
を備え、
少なくとも一組の隣り合う上記チャンネル溝における一方の上記チャンネル溝の幅の中心線と他方の上記チャンネル溝の幅の中心線との間のチャンネル間距離は、他の組の隣り合う上記チャンネル溝における上記チャンネル間距離と異なり、
上記チャンネル間距離に基づいて上記各チャンネル溝毎に供給する駆動電圧を制御する電圧制御部を有することを特徴としている。
【００２８】
この発明のインクジェットヘッドによれば、上記電圧供給部は、上記各チャンネル溝毎に個別に駆動電圧を供給し、上記電圧制御部は、上記チャンネル間距離に基づいて上記各チャンネル溝毎に供給する駆動電圧を制御するので、チャンネル溝の断面形状のアスペクト比に関係なく、チャンネル溝の変形量を電圧出力側から設定することが可能となり、各チャンネル溝の形状に依存することなく、全ノズル孔において吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ一定、または任意に設定することができる。
【００２９】
この結果、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、ノズル孔間ピッチを変則的に構成させることが可能となるため、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【００３０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、少なくとも一つの上記チャンネル溝の幅は、他の上記チャンネル溝の幅と異なり、上記電圧制御部は、上記チャンネル溝の幅が小さいほど、上記チャンネル溝に供給する駆動電圧を小さくする。
【００３１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記電圧制御部は、上記チャンネル溝の幅が小さいほど、上記チャンネル溝に供給する駆動電圧を小さくするので、全ノズル孔において吐出速度を一定にできる。
【００３２】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、全ての上記チャンネル溝の深さは、同じである。
【００３３】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記全てのチャンネル溝の深さは、同じであるので、チャンネル溝における断面形状のアスペクト比の維持のために、圧電基板の加工時に各チャンネル溝毎に深さを変えて加工する必要がなく、圧電基板の加工の生産タクトの増加および加工工程の煩雑化による歩留りの低下を抑制することが可能となる。
【００３４】
また、各チャンネル溝毎における流路抵抗値の差を、相対的に低減、またはコントロールすることができ、吸引動作に代表されるメンテナンス時おいて、確実かつ効率的なメンテナンスを行うことができる。
【００３５】
また、全てのチャンネル溝の深さは、同じであるため、チャンネル溝の底部から引き出される電極の長さを全て統一することができる。最も深いチャンネル溝に合わせて圧電基板の側面の電極の長さを決定していた従来の構成に対して、結果的に、圧電基板を薄く統一することができ、圧電基板の簡素化とコストを抑えることができる。
【００３６】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、全ての上記隔壁の幅は、同じである。
【００３７】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記全ての隔壁の幅は、同じであるので、隔壁の変形によるチャンネル溝内での圧力生成にチャンネル毎の差が発生しなくなり、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【００３８】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、全ての上記ノズル孔の径は、同じである。
【００３９】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記全てのノズル孔の径は、同じであるので、各チャンネル溝の断面形状に影響を受けることなく、同一のノズル孔を有するノズルプレートを使用することができる。この結果、ノズル加工工程を単純化することができ、ノズル加工の歩留りおよびノズル形状の信頼性を向上させることができる。したがって、インクジェットヘッド全体の信頼性、精度の向上を図ることができる。
【００４０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ノズル孔の中心線は、上記チャンネル溝の幅の中心線に一致する。
【００４１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記ノズル孔の中心線は、上記チャンネル溝の幅の中心線に一致するので、チャンネル溝の変形によるチャンネル溝内での圧力生成時において最も効率良くインク滴を吐出させることが可能となり、吐出性能の劣化を引き起こすことなく吐出電圧全体を引き下げることができる。
【００４２】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記チャンネル溝の数量は、奇数であり、
全ての上記チャンネル溝の配列ピッチは、上記全てのチャンネル溝のうちの配列方向の中央に位置するチャンネル溝を中心として、左右対称である。
【００４３】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記全てのチャンネル溝の配列ピッチは、中央のチャンネル溝を中心として、左右対称であるので、圧電基板の加工時に、電極を成膜した後の圧電基板から効率的にチップとして切り出すことが可能となり、インクジェットヘッドの生産性を向上させることができる。
【００４４】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記チャンネル溝の数量は、偶数であり、
全ての上記チャンネル溝の配列ピッチは、上記全ての隔壁のうちの配列方向の中央に位置する隔壁を中心として、左右対称である。
【００４５】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記全てのチャンネル溝の配列ピッチは、中央の隔壁を中心として、左右対称であるので、圧電基板の加工時に、電極を成膜した後の圧電基板から効率的にチップとして切り出すことが可能となり、インクジェットヘッドの生産性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００４６】
この発明のインクジェットヘッドによれば、上記電圧供給部は、上記各チャンネル溝毎に個別に駆動電圧を供給し、上記電圧制御部は、上記チャンネル間距離に基づいて上記各チャンネル溝毎に供給する駆動電圧を制御するので、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、ノズル孔間ピッチを変則的に構成させることが可能となるため、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】圧電基板の側面の電極の引出し部を示す斜視図である。
【図４】図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図５】チャンネル溝、隔壁およびノズル孔のピッチを説明する説明図である。
【図６】圧電基板の製造方法の第１工程を説明する説明図である。
【図７】圧電基板の製造方法の第２工程を説明する説明図である。
【図８】圧電基板の製造方法の第３工程を説明すると共にチャンネル溝の数量が奇数で有る場合の圧電基板を説明する説明図である。
【図９】チャンネル溝の数量が偶数で有る場合の圧電基板を説明する説明図である。
【図１０】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００４９】
（第１の実施形態）
図１は、この発明のインクジェットヘッドの第１実施形態である斜視図を示している。図２は、インクジェットヘッドの分解斜視図を示し、図３は、圧電基板の側面の斜視図を示し、図４は、図１のＡ−Ａ”断面図を示す。図１〜図４に示すように、上記インクジェットヘッド１００は、圧電基板１とノズルプレート４と電圧生成部１８とを有する。
【００５０】
上記圧電基板１は、一方向（Ｙ方向）に延在し（Ｘ方向に）並列に配列された複数のチャンネル溝２を有する。上記ノズルプレート４は、複数のチャンネル溝２を覆うように配置されると共にチャンネル溝２に対応する位置にノズル孔５を有する。
【００５１】
電圧生成部１８は、電圧制御部３０と電圧供給部３１とを有する。電圧供給部３１は、チャンネル溝２の両側面を形成する隔壁３，３を駆動してチャンネル溝２を変形するための駆動電圧を各チャンネル溝２毎に個別に供給する。
【００５２】
全ての上記チャンネル溝２の深さは、同じである。全ての上記隔壁３の幅は、同じである。全ての上記ノズル孔５の径は、同じである。ノズル孔５の中心線は、チャンネル溝２の幅の中心線に一致する。
【００５３】
少なくとも一組の隣り合う上記チャンネル溝２，２における一方のチャンネル溝２の幅の中心線と他方のチャンネル溝２の幅の中心線との間のチャンネル間距離Ｌ（図４参照）は、他の組の隣り合うチャンネル溝２，２におけるチャンネル間距離Ｌと異なる。少なくとも一つのチャンネル溝２の幅は、他のチャンネル溝２の幅と異なる。
【００５４】
上記電圧制御部３０は、チャンネル間距離Ｌに基づいて各チャンネル溝２毎に供給する駆動電圧を制御する。電圧制御部３０は、チャンネル溝２の幅が小さいほど、チャンネル溝２に供給する駆動電圧を小さくする。
【００５５】
上記電圧生成部１８は、例えば、特開２００９−６１７３２号公報に示されるような構成である。つまり、電圧供給部３１は、ＤＣ電圧生成部であり、電圧制御部３０は、ＤＰＮ（Drive per Nozzle）回路である。そして、各チャンネル溝２の特性を補正した駆動電圧データを作成し、均一な吐出速度で吐出可能なように、各チャンネル溝２に印加する駆動電圧をＤＰＮ回路に設定して、各チャンネル溝２の駆動電圧を個別に制御する。
【００５６】
上記ノズルプレート４は、印刷物に対向する。上記ノズル孔５は、Ｘ方向に間隔を空けて直線上に配置されている。この実施形態では、Ｚ軸方向が重力方向となる。
【００５７】
上記インクジェットヘッド１００には、ノズル孔５にインクを供給するための供給配管１１と、インクを排出するための廃液管１２とが接続されている。そして、図示しないインク貯留袋を有する圧力調製室から供給配管１１を通ってインクジェットヘッド１００にインクが供給され、インク貯留袋を負圧状態に維持することによって、ノズル孔５に滞在するインクにメニスカスを形成させ、重力によるインクの漏出を防止している。また、廃液管１２の先には図示しない廃液タンクが接続され、不要インクやメンテナンスによるインクの回収に使用される。
【００５８】
上記圧電基板１には、ノズルプレート４に形成されたノズル孔５と対応する位置に、それぞれチャンネル溝２を有する。チャンネル溝２は隔壁３によって互いに隔てられ、かつ内面に電極３ａが設けられ、圧電基板１のノズルプレート４の接着面側に配置される。なお、ノズルプレート４は接着剤を介して、圧電基板１に接着固定されている。ここで、上記接着剤とは、例えば弾性接着剤、エポキシ系接着剤が挙げられる。
【００５９】
上記各チャンネル溝２は、主走査方向であるY軸方向に延在して両端が開口している。また、複数のチャンネル溝２は、主走査方向に直交する副走査方向であるX軸方向にノズル孔５の間隔に対応する形で互いに間隔をおいて平行に配列されている。チャンネル溝２の両端は、圧電基板１の両端面に開口している。
【００６０】
また、上記圧電基板１の主走査方向であるＹ軸方向の長さはチャンネル溝２の長さであるため、例えば、チャンネル溝２の長さが５ｍｍの場合には、圧電基板１の主走査方向であるＹ軸方向の長さは５ｍｍあればよい。圧電基板１の副走査方向であるＸ軸方の長さは、上記チャンネル溝２の数や幅、またはピッチ間隔によって異なる。
【００６１】
さらに、上記圧電基板１には、チャンネル溝２の深さ方向における略中央において、分極方向が対向する２枚の圧電材料が予め接着剤で貼り合わされている。この実施形態において、チャンネル溝２の深さが０．２０ｍｍ、圧電基板１の厚さが４．００ｍｍである場合、ノズルプレート４側を上面側とする０．１０ｍｍの薄板と、圧電基板ベース６側を下面側とする３．９０ｍｍの厚板とが貼り合わせられており、チャンネル溝２はノズルプレート４側からチャンネル溝の深さ分加工して形成されている。
【００６２】
上記圧電基板１にインクを供給、またはインクを排出する手段としてマニホールド７がある。マニホールド７は、第１部材７ａと第２部材７ｂとからなる。また、第１部材７ａは第１共通インク室８ａ、第２部材７ｂは第２共通インク室８ｂを有する。第１共通インク室８ａは、複数のチャンネル溝２の一端側において複数のチャンネル溝２と連通する。同様に、第２共通インク室８ｂは、複数のチャンネル溝２の他端側において複数のチャンネル溝２と連通する。また、マニホールド７は接着剤を介して、圧電基板１に接着固定されている。ここで接着剤とは、例えば弾性接着剤、エポキシ系接着剤が挙げられる。
【００６３】
上記マニホールド７は、第１部材７ａにインク流入口９、第２部材７ｂにインク排出口１０を有する。インク流入口９は供給配管１１を通じて図示しないインク貯留袋を有する圧力調整室に連通している。一方、インク排出口１０は廃液管１２を通じて図示しない廃液タンクに連通しており、この実施形態におけるインクジェットヘッドでは、供給タンクから供給配管１１を通して第１共通インク室８ａにインクが供給され、このインクは各チャンネル溝２を通って第２共通インク室８ｂに流入し、廃液管１２を通して廃液タンクへ流れる仕組みとなる。
【００６４】
上記ノズルプレート４は、複数のチャンネル溝２、第１共通インク室８ａおよび第２共通インク室８ｂを覆って封止するように配置される。
【００６５】
上記圧電基板１の一方の端面には各チャンネル溝２に対応するように、電極引き出し部１４が形成されている。圧電基板１には導電膜形成工程を行い、圧電基板１の各チャンネル溝２の内面に電極膜（電極３ａ）を形成すると共に、圧電基板１におけるチャンネル溝２の両端が開口する片端面に電極引出し部１４を形成する。ここで、圧電基板１のノズルプレート４の接着面においてのみ、成膜した導電膜を除去する。この構成により、電極引き出し部１４は各チャンネル溝２の内面と電気的に接続される構造となる。なお、この実施形態では、導電膜形成工程において銅をスパッタ法により成膜したが、導電性材料ならば銅に限定されることはない。
【００６６】
上記圧電基板１の電極引出し部１４において、各隔壁３の中央部にそって電極分離加工を行う。この実施形態では、分離溝１３の幅を２０μｍ、深さを２５μｍとした。この方法をとることで、チャンネル溝２と電極引出し部１４は、隣接するチャンネル溝２同士を電気的に分断させ、各チャンネル溝２の内面が独立してそれぞれが対応する電極引出し部１４と電気的に接続される。
【００６７】
上記電極引き出し部１４から電圧生成部１８にフレキシブル基板１５を圧着接続させることで電気的に接続させ、外部に持つ電圧生成部１８から各チャンネル溝２にそれぞれ個別に電圧を印加することが可能となっている。なお、この実施形態では、圧電基板１における電極引き出し部１４とフレキシブル基板１５の接続をＡＣＦ接続により行った。電圧生成部１８とフレキシブル基板１５とは、中継基板１６を介して、電気的に接続されている。電圧生成部１８は、カバー１９により覆われている。なお、図中、カバー１９を透明にて示す。
【００６８】
外部より電極引き出し部１４を通じて電圧を印加した際にチャンネル溝２の薄板部分１ａと厚板部分１ｂとが反対方向に変形する。チャンネル溝２とノズルプレート４とで囲まれた領域が圧力発生室として機能し、圧力発生室内で圧力波を発生させインクをノズル孔５から吐出する。ここで、ノズル孔５は、チャンネル溝２の副走査方向であるＸ軸方向における略中心に位置する。これは、ノズル孔５がチャンネル溝２の副走査方向における略中心に位置したときが、チャンネル溝２に電圧を印加した際に、チャンネル溝において圧力波の伝達効率が最良となり、低い吐出電圧、即ち隔壁３の変形量を吐出条件内で最小とした状態でインクを吐出できるためである。
【００６９】
ここで、この実施形態では、被印刷物のインク滴描画における面積の最適パターン幅がＮμｍであり、さらに副走査方向への上記パターンの繰り返し描画が要求される場合において、要求されるインクジェットヘッドのノズル列のピッチ構成の例を、図５を用いて説明する。なお、図５では、電極３ａを省略して描いている。
【００７０】
図５に示すように、ノズルのピッチ間隔を第１のノズル孔５ａと第２のノズル孔５ｂのピッチ間隔をＮ１μｍとし、第２のノズル孔５ｂと第３のノズル孔５ｃのピッチ間隔をＮ２μｍとし、第３のノズル孔５ｃと第４のノズル孔５ｄのピッチ間隔をＮ３μｍとし、第４のノズル孔５ｄと第５のノズル孔５ｅのピッチ間隔をＮ４μｍとし、第５のノズル孔５ｅと第６のノズル孔５ｆのピッチ間隔をＮ５μｍとし、第６のノズル孔５ｆと第７のノズル孔５ｇのピッチ間隔をＮ６μｍとし、第７のノズル孔５ｇと第８のノズル孔５ｈのピッチ間隔をＮ７μｍとし、第８のノズル孔５ｈと第９のノズル孔５ｉのピッチ間隔をＮ８μｍとする。
【００７１】
ノズルプレート４の各ノズル孔５の位置に対応するように、チャンネル溝２が加工された圧電基板１を配置する。この実施形態では図５に示すように第１のノズル孔５ａに対応する第１のチャンネル溝の幅をＶ１μｍとし、チャンネル溝の幅の中心にノズル孔５ａが配置される。
【００７２】
また、第１のチャンネル溝Ｖ１の端面からＷ１μｍの隔壁を挟み第２のノズル孔５ｂに対応するチャンネル溝の幅をＶ２μｍとし、第２のチャンネル溝の端面からＷ２μｍの隔壁を挟み第３のノズル孔５ｃに対応するチャンネル溝の幅をＶ３μｍとし、第３のチャンネル溝の端面からＷ３μｍの隔壁を挟み第４のノズル孔５ｄに対応するチャンネル溝の幅をＶ４μｍとし、第４のチャンネル溝の端面からＷ４μｍの隔壁を挟み第５のノズル孔５ｅに対応するチャンネル溝の幅をＶ５μｍとし、第５のチャンネル溝の端面からＷ５μｍの隔壁を挟み第６のノズル孔５ｆに対応するチャンネル溝の幅をＶ６μｍとし、第６のチャンネル溝の端面からＷ６μｍの隔壁を挟み第７のノズル孔５ｇに対応するチャンネル溝の幅をＶ７μｍとし、第７のチャンネル溝の端面からＷ７μｍの隔壁を挟み第８のノズル孔５ｈに対応するチャンネル溝の幅をＶ８μｍとし、第８のチャンネル溝の端面からＷ８μｍの隔壁を挟み第９のノズル孔５ｉに対応するチャンネル溝の幅をＶ９μｍとする。
【００７３】
また、所望の吐出描画領域の走査に必要な吐出インクの体積および速度は、外部の電源から電圧生成部１８を介して全ノズルに対応したチャンネル溝２に個々の印加電圧量を調整する。この実施形態におけるインクジェットヘッド１００の各隔壁３の変形量は、印加される電圧により調節が可能であるため各チャンネル溝２毎の断面形状に合った変形量を予め設定し、インク滴の吐出時には隔壁３が最適な変形量となるようそれぞれのチャンネル溝２に電圧を印加し、吐出体積および吐出速度を個別に調整する。
【００７４】
上記構造をとることで、第１のノズル孔５ａから、第８のノズル孔５ｈまでの距離はＮμｍの一つの単位となり、被印刷物に対するインク吐出描画の最適なノズルのピッチ間隔とすることが可能になる。同時に上記のようなＮμｍの描画領域を満たすための、変則的なノズル孔５のピッチの構成において発生するチャンネル溝２の幅や隔壁３の幅の違いについては、電圧生成部１８によって吐出するインク滴の体積、速度の変動をキャンセルできる。
【００７５】
よって、この実施形態において上記構造をとることで、インクジェットヘッドの１回の走査でＮμｍ単位での描画が一度で可能となり、被印刷物の機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【００７６】
下記の［表１］は、この実施形態におけるインクジェットヘッド１の電圧生成部１８の電圧制御部３０の有無によるインクの吐出速度の関係の具体例である。
【００７７】
この［表１］では、図５におけるノズルプレート４内に開口したノズル孔５の出口径直径は２０μｍと一定値とし、第１のノズル孔５ａと第２のノズル孔５ｂとの距離Ｎ１を１５０μｍ、同様にＮ２＝１８０μｍ、Ｎ３＝２００μｍ、Ｎ４＝２００μｍ、Ｎ５＝２００μｍ、Ｎ６＝２００μｍ、Ｎ７＝１８０μｍ、Ｎ８＝１５０μｍ、とした。
【００７８】
また、第１のノズル孔５ａと対応する位置にある第１のチャンネル溝Ｖ１の幅を７０μｍ、第１のチャンネル溝Ｖ１と第２のチャンネル溝Ｖ２とを隔てる隔壁の幅Ｗ１を７５μｍ、以下同様に各ノズルに対応する位置に各チャンネル溝Ｖ２＝８０μｍ、Ｗ２＝９５μｍ、Ｖ３＝９０μｍ、Ｗ３＝１１０μｍ、Ｖ４＝９０μｍ、Ｗ４＝１１０μｍ、Ｖ５＝９０μｍ、Ｗ５＝１１０μｍ、Ｖ６＝９０μｍ、Ｗ６＝１１０μｍ、Ｖ７＝９０μｍ、Ｗ７＝９５μｍ、Ｖ８＝８０μｍ、Ｗ８＝７５μｍ、Ｖ９＝７００μｍとした。
【００７９】
なお、上記９つのノズル孔の位置はそれぞれが対応するチャンネル溝の中心の同軸上に位置し、各ノズル孔の直径は２５μｍとした。
【００８０】
［表１］
2012045497.tif 000003
【００８１】
続いて、第９のノズル孔５ｉから１８０μｍ離れた図示しない第１０のノズル孔５ｊと基準として、同様にピッチ間隔で８ノズル分毎に繰り返す。また同様に図示しない第１７のノズル孔５ｑから１８０μｍ離れた図示しない第１８のノズル孔５ｒを基準として、同様にピッチ間隔で８ノズル分毎に繰り返したものである。つまり、２００μｍピッチの間隔でノズル孔が５つ並び、ピッチ単位の間に１８０μｍ＋１５０μｍ＋１８０μｍの狭ピッチ領域が存在するノズル列構成のヘッドとなる。
【００８２】
［表１］は上記３サイクル分の各ノズルに対応したチャンネル溝における電圧印加に対する吐出速度を表している。吐出速度は全ノズルにおいて６．３０ｍ／ｓｅｃをインクの吐出基準とし、表１において吐出速度が６．１５ｍ／ｓｅｃ以上、６．４５ｍ／ｓｅｃ未満の範囲で○、吐出速度が６．４６ｍ／ｓｅｃ以上６．５５ｍ／ｓｅｃ未満の範囲で△、吐出速度が６．５５ｍ／ｓｅｃ以上を超える範囲であれば×と表記した。
【００８３】
吐出電圧は２００μｍピッチのノズル孔群に対応したチャンネル溝（Ｖ３〜Ｖ７）のアスペクト比およびノズル孔直径の組み合わせにおいて、吐出速度が６．３ｍ／ｓｅｃとなるような各隔壁の変形量を満たす電圧量として、２０．５Ｖを一定印加した。尚、この実施形態におけるインクジェットヘッドは２０．５Ｖの電圧が電圧生成部１８を介して圧電基板１の各チャンネル溝２に印加される仕組みである。
【００８４】
［表１］より上記方法によれば、電圧生成部１８の電圧制御部３０が無く直接２０．５Ｖ一定の電圧を印加した場合では、ノズル孔５同士のピッチ間隔が２００μｍ、すなわちチャンネル溝２の幅が９９μｍ、隔壁３の幅が９５μｍである場合には吐出速度が所望の値となるが、ノズル孔５同士のピッチ間隔が小さい、すなわちチャンネル溝２の幅がチャンネル溝と比較して相対的に狭い場合においては吐出速度が大きくなる。対して電圧生成部１８の電圧制御部３０により各チャンネル溝２に印加する電圧を制御したこの実施形態におけるインクジェットヘッドの場合では、吐出速度が全てのチャンネル溝２で所望の値を満たしている。すなわちノズルピッチの異なるヘッドにおいても電圧生成部１８によってヘッドの構造や工程を大幅に変えることなく、吐出特性を均一にすることができた。
【００８５】
なお、この実施形態におけるノズルの変則的ピッチ間隔は上記ノズル間に限定されるものではなく、全ノズルのピッチ間隔が規則性のないランダムピッチであるノズルにおいても同様であり、全ノズルのピッチ間隔が規則性のないランダムピッチである場合には、ノズルに対応した間隔でチャンネル溝を形成し、結果的には被印刷物の所望の描画領域内にノズルピッチを収めればよい。
【００８６】
上記構成のインクジェットヘッドによれば、上記電圧供給部３１は、各チャンネル溝２毎に個別に駆動電圧を供給し、電圧制御部３０は、チャンネル間距離に基づいて各チャンネル溝２毎に供給する駆動電圧を制御するので、チャンネル溝２の断面形状のアスペクト比に関係なく、チャンネル溝２の変形量を電圧出力側から設定することが可能となり、各チャンネル溝２の形状に依存することなく、全ノズル孔５において吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ一定、または任意に設定することができる。
【００８７】
この結果、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、ノズル孔５間ピッチを変則的に構成させることが可能となるため、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【００８８】
また、上記電圧制御部３０は、チャンネル溝２の幅が小さいほど、チャンネル溝２に供給する駆動電圧を小さくするので、全ノズル孔５において吐出速度を一定にできる。
【００８９】
また、上記全てのチャンネル溝２の深さは、同じであるので、チャンネル溝２における断面形状のアスペクト比の維持のために、圧電基板１の加工時に各チャンネル溝２毎に深さを変えて加工する必要がなく、圧電基板１の加工の生産タクトの増加および加工工程の煩雑化による歩留りの低下を抑制することが可能となる。また、各チャンネル溝２毎における流路抵抗値の差を、相対的に低減、またはコントロールすることができ、吸引動作に代表されるメンテナンス時おいて、確実かつ効率的なメンテナンスを行うことができる。
【００９０】
また、上記全てのチャンネル溝２の深さは、同じであるため、チャンネル溝２の底部から引き出される電極の長さを全て統一することができる。最も深いチャンネル溝２に合わせて圧電基板１の側面の電極の長さを決定していた従来の構成に対して、結果的に、圧電基板１を薄く統一することができ、圧電基板１の簡素化とコストを抑えることができる。
【００９１】
また、上記全ての隔壁３の幅は、同じであるので、隔壁３の変形によるチャンネル溝２内での圧力生成にチャンネル毎の差が発生しなくなり、インク滴の吐出体積、吐出速度、吐出タイミングをそれぞれ最適条件に維持しつつ、インク滴の吐出領域を被印刷物の形状や機能に対応させることが可能になり、機能性、信頼性を維持したまま処理に要する工程時間を短縮することができる。
【００９２】
また、上記全てのノズル孔５の径は、同じであるので、各チャンネル溝２の断面形状に影響を受けることなく、同一のノズル孔５を有するノズルプレートを使用することができる。この結果、ノズル加工工程を単純化することができ、ノズル加工の歩留りおよびノズル形状の信頼性を向上させることができる。したがって、インクジェットヘッド全体の信頼性、精度の向上を図ることができる。
【００９３】
また、上記ノズル孔５の中心線は、チャンネル溝２の幅の中心線に一致するので、チャンネル溝２の変形によるチャンネル溝２内での圧力生成時において最も効率良くインク滴を吐出させることが可能となり、吐出性能の劣化を引き起こすことなく吐出電圧全体を引き下げることができる。
【００９４】
（第２の実施形態）
次に、この発明のインクジェットヘッドの第２の実施形態では、チャンネル溝２の総数が奇数の場合は、チャンネル溝２の列方向すなわち副走査方向における中心のチャンネル溝２を基点に、左右対称形となるようにチャンネル溝列を配置する。一方、チャンネル溝２の総数が偶数の場合は、チャンネル溝２の列方向すなわち副走査方向における中心の隔壁３を基点に、左右対称形となるようにチャンネル溝列を配置する。なお、その他の構造は、上記第１の実施形態と同様であるため、その説明は省略する。
【００９５】
まず、インクジェットヘッドの製造方法について、図６を用いて説明する。図６は、元の圧電基板１を表す。元の圧電基板１の各チャンネル溝形成工程について、ダイシングブレード２０を複数回一定方向（主走査方向）に走査して複数のチャンネル溝２を形成する。チャンネル溝２の幅は、使用するダイシングブレード２０のブレード厚、チャンネル溝２の深さはダイシングブレード２０の切り込み量を変えることにより変更することができる。また各チャンネル溝２の幅が異なる変則的ピッチ間隔においては、ダイシングブレード２０の幅の値を最小単位として、１つのチャンネル溝２に対するダイシングブレード２０の走査を複数回行うことで可能であり、ダイシングブレード２０を多種用意する必要はない。チャンネル溝２の加工に続いて圧電基板１を副走査方向（Ｂ−Ｂ’）に沿って規定幅に分断する。なお、副走査方向の分断においても、ダイシングブレード２０を用いて圧電基板１を分断した。
【００９６】
次に、図７に示すように、副走査方向（Ｂ−Ｂ’）に沿って規定幅に分断された圧電基板１に対して導電膜形成工程を行う。図７は、図６における圧電基板１を副走査方向（Ｂ−Ｂ’）に沿って分断した圧電基板１を表す。この実施形態では銅をスパッタ法により成膜した。このとき成膜した銅の膜厚は、チャンネル溝２内におけるもっとも薄い部分で２μｍとなるようにした。上記成膜工程により、図７における圧電基板１の側面を含む表面全域とチャンネル溝２の内部全域が電気的に接続された状態となる。なお、図７では、成膜箇所を斜線にて示す。
【００９７】
続いて導電膜形成工程で形成された、圧電基板１のチャンネル溝２を形成した面における不要な導電膜を除去するための除去工程を行う。この除去工程は、例えば図７における斜線に表した圧電基板１の上部表面をダイシングブレード２０で複数回走査することで行うことができる。このとき、圧電基板１のチャンネル溝２形成面において隣接するチャンネル溝２同士が確実に絶縁するように、ダイシングブレード２０により圧電基板１の表面もわずかに研削することが好ましい。除去工程後の圧電基板１には、チャンネル溝２の内壁に形成された電極３ａと、圧電基板１の側面とに導電膜が形成されている。導電膜形成の工程に続いて圧電基板１を副走査方向（Ｃ−Ｃ’）に沿って分断する。尚、副走査方向の分断においても、ダイシングブレードを用いて圧電基板１を分断した。
【００９８】
次に、図８に示すように、副走査方向（Ｃ−Ｃ’）に沿って対称に分断された圧電基板１に対して、圧電基板１の側面に形成されている導電膜に対してダイシングブレード２０を複数回一定方向に走査して分離溝１３を形成する分離工程を行う。図８は、図７における圧電基板１を副走査方向（Ｃ−Ｃ’）に沿って分断した圧電基板１を表す。この分離工程により、チャンネル溝２にそれぞれ対応した電極引き出し部１４を形成した圧電基板１において、チャンネル溝２の内壁に形成された電極３ａと電極引き出し部１４とは、チャンネル溝２が開口する圧電基板１の側面において電気的に接続されている。
【００９９】
ここで、チャンネル溝２の数の合計で奇数量あるものとし、中央チャンネル溝（Ｅ−Ｅ’）を基点として、変則ピッチ単位が副走査方向において対称形となるよう加工する。つまり、チャンネル溝２の数量は、奇数であり、全てのチャンネル溝２の配列ピッチは、全てのチャンネル溝２のうちの配列方向（図２のＸ方向）の中央に位置するチャンネル溝２を中心として、左右対称である。したがって、圧電基板１の加工時に、電極３ａを成膜した後の圧電基板１から効率的にチップとして切り出すことが可能となり、インクジェットヘッドの生産性を向上させることができる。
【０１００】
一方、図９に示すように、チャンネル溝２の数の合計で偶数量あるものとし、中央隔壁（Ｆ−Ｆ’）を基点として、変則ピッチ単位ｊ、変則ピッチ単位ｋ、変則ピッチ単位ｌ、変則ピッチ単位ｍ、が副走査方向において対称形となるよう加工する。つまり、チャンネル溝２の数量は、偶数であり、全てのチャンネル溝２の配列ピッチは、全ての隔壁３のうちの配列方向の中央に位置する隔壁３を中心として、左右対称である。したがって、圧電基板１の加工時に、電極３ａを成膜した後の圧電基板１から効率的にチップとして切り出すことが可能となり、インクジェットヘッドの生産性を向上させることができる。
【０１０１】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記第１、上記第２の実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。また、全てのチャンネル溝の深さは、同じでなくてもよく、また、全ての隔壁の幅は、同じでなくてもよく、また、全てのノズル孔の径は、同じでなくてもよい。また、ノズル孔の中心線は、チャンネル溝の幅の中心線に一致しなくてもよい。なお、少なくとも一つの隔壁の幅が、他の隔壁の幅と異なっていてもよい。
【符号の説明】
【０１０２】
１  圧電基板
１ａ  薄板部分
１ｂ  厚板部分
２  チャンネル溝
３  隔壁
３ａ  電極
４  ノズルプレート
５  ノズル孔
６  圧電基板ベース
７  マニホールド
７ａ  第１部材
７ｂ  第２部材
８ａ  第１共通インク室
８ｂ  第２共通インク室
９  インク流入口
１０  インク排出口
１１  供給配管
１２  廃液管
１３  分離溝
１４  電極引出し部
１５  フレキシブル基板
１６  中継基板
１８  電圧生成部
１９  カバー
２０  ダイシングブレード
３０  電圧制御部
３１  電圧供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2012045497.tif 000011
【図９】
2012045497.tif 000012
【図１０】
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