(57)【要約】【課題】より的確に画像不良の有無を検査できる光学走査装置の特性検査装置を提供する。【解決手段】ポリゴンミラー８２の回転周期で発生するビームの主走査方向の位置ずれ及び副走査方向の位置ずれを検出するためのタイムインターバルを、ポリゴンミラー８２の１面で１走査が行われるごとに取得するデータ取得手段（ジッタセンサ１Ａ，１Ｂ、計測部１Ｃ）と、前記データ取得手段により取得された各走査に対応するタイムインターバルをＦＦＴ解析し、ポリゴンミラー８２の面数とビーム本数とにより特定される周波数と、振幅スペクトルの大きさとの関係を導出するデータ処理部１Ｄと、を備える。【選択図】図８
2012194479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像情報に基づいて変調されたビームを出射する光源手段と、前記ビームを偏向する回転多面鏡とを備えた光学走査装置における前記ビームの位置ずれを検査する光学走査装置の特性検査装置において、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの主走査方向の位置ずれ及び副走査方向の位置ずれを検出するための時間データを、前記回転多面鏡の１面で１走査が行われるごとに取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段により取得された各走査に対応する時間データをＦＦＴ解析し、前記回転多面鏡の面数とビーム本数とにより特定される周波数と、振幅スペクトルの大きさとの関係を導出するデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする光学走査装置の特性検査装置。
【請求項２】
前記データ取得手段は、
前記回転多面鏡に偏向された前記ビームを第１検知部で検知する第１検知手段と、
前記第１検知部よりも前記ビームの主走査方向下流の第２検知部で前記ビームを検知する第２検知手段と、
を有し、
前記データ取得手段により取得される時間データは、前記回転多面鏡に偏向された前記ビームが、前記第１検知手段で検知されてから前記第２検知手段で検知されるまでの時間であり、
前記第１検知部及び前記第２検知部は、主走査方向における前記第１検知部と前記第２検知部との間の距離が、副走査方向で異なるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学走査装置の特性検査装置。
【請求項３】
前記データ取得手段は、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの主走査方向の位置ずれを検出するための時間データを、前記回転多面鏡の１面で１走査が行われるごとに取得する第１データ取得手段と、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの副走査方向の位置ずれを検出するための時間データを、前記回転多面鏡の１面で１走査が行われるごとに取得する第２データ取得手段と、
を有し、
前記データ取得手段により取得される時間データは、前記第１データ取得手段により取得される時間データと、前記第２データ取得手段により取得される時間データとを、前記回転多面鏡の鏡面ごとに組み合わせて得られた時間データであることを特徴とする請求項１に記載の光学走査装置の特性検査装置。
【請求項４】
前記光学走査装置は、前記回転多面鏡の複数の鏡面のうち前記ビームを偏向する鏡面を、予め定められた面数おきとする面飛ばしを行うことが可能に構成されており、
前記データ処理手段は、
前記回転多面鏡の１面で１走査が行われるごとに前記データ取得手段により取得された時間データを、面飛ばしが行われる際の鏡面の使用順に従って並べ替え、
この並べ替えで得られた各走査に対応する時間データをＦＦＴ解析することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光学走査装置の特性検査装置。
【請求項５】
画像情報に基づいて変調されたビームを出射する光源手段と、前記ビームを偏向する回転多面鏡とを備えた光学走査装置における前記ビームの主走査方向あるいは副走査方向の位置ずれを検査する光学走査装置の特性検査装置において、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの主走査方向あるいは副走査方向の位
置ずれを毎走査単位で時間を表す離散的な数値データとして複数回取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段により取得された各走査に対応する複数の数値データをＦＦＴ解析し、前記回転多面鏡の面数とビーム本数により特定される周波数と、振幅スペクトルの大きさとの関係を導出するデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする光学走査装置の特性検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学走査装置の特性検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子写真装置に用いられる光学走査装置が有する性能の一つとしてレーザ光を所定位置に精度良く照射することが重要である。特に、回転多面鏡を高速で駆動する光偏向装置においては、回転多面鏡の１回転周期で生じるレーザ光の走査方向（主走査方向）の位置ずれと、主走査方向と直交する副走査方向の位置ずれを検査する必要があった。
これらの光学走査装置の検査方法として、主走査方向のレーザ光の位置ずれを検査するジッタ測定方法が特許文献１などで考案されている。この特許文献１では、レーザ光の走査時間を２つのセンサからの出力信号の時間差として測定し、その出力信号のパルス幅を電圧に変換し、電圧の変化を周波数分析することにより光学走査装置起因のみを抽出するジッタ測定方法である。
さらに、副走査方向のレーザ光の位置ずれを検査する面倒れ測定方法が特許文献２などで考案されている。この特許文献２では、レーザ光の受光手段の前に移動可能な遮光手段を配置し、遮光手段の移動量と受光手段の受光素子からの出力信号からレーザ光の副走査方向の振れ幅を算出し、光偏向装置の動的面倒れを測定する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６４−０２８５３５号公報
【特許文献２】特開昭６４−０６３９１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、中間調処理（ハーフトーン処理）によって豊かな濃度表現（階調性）を実現するカラー画像形成装置において、線数、スクリーン角、ドットの成長等が規定されたディザパターンによっては、画質に影響を与える場合があることが分かって来ている。すなわち、主走査方向のレーザ光の位置ずれ（ジッタ量）と副走査方向のレーザ光の位置ずれ（面倒れ量）の両方がディザパターンと干渉し、いわゆるモアレと呼ばれる画像不良に影響していることが分かって来ている。
【０００５】
例えば図１９（ａ）に示すような図１９（ａ）に示すように印字位置ずれがなければ略一様にムラ無く見えていたものが、この例のように主走査方向、副走査方向の位置ずれによって縞模様となって現れる現象がモアレと呼ばれる画像不良である。
図１８は主走査方向（Ｘ方向）のずれ、副走査方向（Ｙ方向）のずれがそれぞれ生じた際に、どのようなモアレが発生するかを示している。図１９と異なる点は、主走査方向と副走査方向のずれを同時に与えた場合を示している点である。ＸＹ軸の＋方向は図に示すような方向に与えており、Ｓｉｎ波状の印字位置ずれが生じている場合を示している。例えば、Ｘ方向に＋のずれが生じている状態とはＸ＋の方向に先にずれるＳｉｎ波が生じている場合であり、−のずれが生じている場合とは、＋にずらした場合の位相を反転（位相＋１８０°）させたものを示している。
【０００６】
本発明者は、モアレに関して次のような現象が発生する場合があることを確認している。それは、図１８（ａ），（ｉ）に示すように、Ｘが−でＹが＋、或いはＸが＋でＹが−の時にモアレは強めあい、図１８（ｃ），（ｇ）に示すように、Ｘが＋でＹも＋、或いはＸが−でＹも−の時にモアレは弱めあうという現象である。
これに対し、上記のような従来技術の場合には、主走査方向のレーザ光の位置ずれと副走査方向のレーザ光の位置ずれの両方がディザパターンと干渉することによって発生する画像不良を検査することはできなかった。
【０００７】
また、特にジッタを周波数解析する場合、２つのセンサから生成される原波形を周波数解析する場合に、精度と分解能・処理速度などを十分に両立させることが難しい。
例えば、アナログ信号として原波形を受け取り周波数解析をする場合には、アナログ回路特有の問題として、ノイズや温度変化などの外部変化や素子ばらつき等の影響を受けやすく、安定して精度の良い結果が得られにくい。このような事情により測定機器はデジタルが主流になっている。
一方、デジタル信号として原波形を受け取り周波数解析をする場合には、分解能と処理速度の兼ね合いが問題となる。図２０（ａ）に示すグラフはサイン波のアナログ信号を模式的に表現したものである。これをデジタル信号で表現すると、図２０（ｂ）に示すようなグラフになる。
このように原波形のアナログ信号は連続信号であって、デジタル化によって離散化すると、１周期分の信号が多数の点によって表現される。
ジッタ測定においては、２つのセンサによって得られる１回の走査のデータで１周期であるから、例えば数百走査のデータとなるとその量は膨大である。１回の走査時間が３００μｓとして、これを１μｓの分解能でデジタル化すると、１周期のデータで３００個のデータとなる。例えばこれを５００走査分取り込むならば、データ数は３００×５００＝１５０，０００となる。
一方、Ａ４サイズの紙媒体に印刷するとして印字領域が幅２１０ｍｍとすれば、これを３００μｓで走査するならば、走査速度は２１０ｍｍ÷３００μｓ＝７００ｍ/ｓとなる
。仮に、画像形成装置の解像度が６００ｄｐｉとすると、ドット間隔は２５．４ｍｍ÷６００＝約４２．３μｍとなる。仮に、１/２ドットの位置ズレを検知するならば、４２．
３÷２＝約２１．２μｍの分解能が最低限必要である。
これを走査速度を用いて時間に換算すれば、２１．２μｍ÷７００ｍ/ｓ＝約３０ｎｓ
となり、先程述べた１μｓの分解能では全く検知できない。もし３０ｎｓの最低限の必要分解能を確保して、１周期３００μｓの波形をデジタル化すれば、１周期のデータが１０，０００個のデータとなり、５００走査分取り込むならば５，０００，０００個のデータを処理しなければならない。
この膨大なデータを周波数分析処理するには、その処理時間も膨大なものとなる。光学走査装置の製造において、秒単位でタクトを管理しているのに対し、このような処理時間を確保するのは厳しく、相当数の検査装置を並べて並列処理を行わねばならない。すると設備投資額も莫大になりそれによる減価償却費がコストを押し上げ、製品競争力を低減させてしまい、周波数分析を行うことによる品質向上効果を打ち消してしまう恐れがある。
本発明は上記したような事情に鑑みてなされたものであり、より的確に画像不良の有無を検査できる光学走査装置の特性検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明にあっては、
画像情報に基づいて変調されたビームを出射する光源手段と、前記ビームを偏向する回転多面鏡とを備えた光学走査装置における前記ビームの位置ずれを検査する光学走査装置の特性検査装置において、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの主走査方向の位置ずれ及び副走査方向の位置ずれを検出するための時間データを、前記回転多面鏡の１面で１走査が行われるごとに取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段により取得された各走査に対応する時間データをＦＦＴ解析し、前記回転多面鏡の面数とビーム本数とにより特定される周波数と、振幅スペクトルの大きさとの関係を導出するデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、画像情報に基づいて変調されたビームを出射する光源手段と、前記ビームを偏向する回転多面鏡とを備えた光学走査装置における前記ビームの主走査方向あるいは副走査方向の位置ずれを検査する光学走査装置の特性検査装置において、
前記回転多面鏡の回転周期で発生する前記ビームの主走査方向あるいは副走査方向の位置ずれを毎走査単位で時間を表す離散的な数値データとして複数回取得するデータ取得手段と、
前記データ取得手段により取得された各走査に対応する複数の数値データをＦＦＴ解析し、前記回転多面鏡の面数とビーム本数により特定される周波数と、振幅スペクトルの大きさとの関係を導出するデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、より的確に画像不良の有無を検査できる光学走査装置の特性検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施例１の画像形成装置の概略構成を示す断面図
【図２】実施例１の光学走査装置の光学的な概略構成を示す斜視図
【図３】実施例１の光偏向装置の概略構成を示す図
【図４】実施例１の光偏向装置の概略断面図
【図５】画像形成装置による印字位置ずれを説明するイメージ図
【図６】パワースペクトルの対数値とジッタとの相関を検証した結果を示す図
【図７】光学走査装置におけるジッタ測定のための構成を説明する概略斜視図
【図８】実施例１の特性検査装置における信号の処理系の構成を示す概略図
【図９】特性検査装置で計測されたタイムインターバルのデータの一例を示す図
【図１０】タイムインターバル波形をＦＦＴ解析した結果を示す図
【図１１】従来のジッタセンサの主要部品の構成を説明する概略斜視図
【図１２】ジッタセンサのスリット穴を説明する図
【図１３】パワースペクトルの対数値とジッタとの相関を検証した結果を示す図
【図１４】ジッタセンサの変形例の概略構成を示す斜視図
【図１５】面倒れスリットとフォトダイオードの動作を説明するための図
【図１６】面倒れデータとジッタデータをグラフとして示す図
【図１７】面飛ばしにおけるジッタ性能を検査する手段について説明するための図
【図１８】主走査方向、副走査方向のずれが生じた際に発生するモアレを示す図
【図１９】主走査方向、副走査方向のずれが生じた場合に現れる濃淡むらを示す図
【図２０】アナログ信号とデジタル信号の違いを示す図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきものであり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。本実施形態は、レーザビームプリンタやデジタル複写機、デジタルＦＡＸ等の電子写真装置においてレーザ光を使用して光書き込みを行う光学走査装置の特性検査装置に関する。
【００１３】
（実施例１）
以下に、実施例１について説明する。
図１は、本実施例のカラー画像形成装置の概略構成を示す断面図である。画像情報に基
づいて各々光変調されたビームＬｃ，Ｌｍ，Ｌｙ，Ｌｋが光学走査装置３１から出射され、各々対応する感光ドラム３２ｃ，３２ｍ，３２ｙ，３２ｋの表面上を照射して静電潜像が形成される。
この静電潜像は、一次帯電器３３ｃ，３３ｍ，３３ｙ，３３ｋによって各々一様に帯電している感光ドラム３２ｃ，３２ｍ，３２ｙ，３２ｋの表面上に形成されている。そして、この静電潜像は、現像器３４ｃ，３４ｍ，３４ｙ，３４ｋによって各々シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの画像に可視像化され、転写ベルト３９上に送り出される。
そして、転写ベルト３９上を精度良く搬送されている間に感光ドラム３２ｃ，３２ｍ，３２ｙ，３２ｋの表面上に形成されたシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの画像が順に記録材３６上に転写されてカラー画像が形成される。駆動ローラ４０は転写ベルト３９の送りを精度良く行っており、記録材３６上に形成されたカラー画像は定着器３７によって熱定着された後、排出ローラ３８等によって搬送されて装置外に出力される。
【００１４】
図２は、本実施例のカラー画像形成装置に具備された光学走査装置３１の光学的な概略構成を示す斜視図である。
光源手段としての半導体レーザ５１ｃ，５１ｍ，５１ｙ，５１ｋから出射されたビーム（光線）は、コリメータレンズ５４ｃ，５４ｍ，５４ｙ，５４ｋによって各々平行光化された後、シリンドリカルレンズ４７ｃ，４７ｍ，４７ｙ，４７ｋを通過する。その後、回転する回転多面鏡（以下、ポリゴンミラー）８２によって２本ずつのビームが互いに異なる方向へ偏向走査される。ポリゴンミラー８２は光偏向装置４２に回転可能に設けられている。
その後、２本ずつのビームはそれぞれにＦθレンズ４３ｃ，４３ｍ，４３ｙ，４３ｋを透過し、折り返しミラー７２ｃ，７０ｍ，７１ｍ，７０ｙ，７１ｙ，７２ｋによってそれぞれ反射されて、最終的に感光ドラム３２ｃ，３２ｍ，３２ｙ，３２ｋ上に結像する。
偏向走査されたビームの一部は光書き込みの前のタイミングでＢＤミラー４５によって折り返された後、ＢＤセンサ４６によって検知される。カラー画像形成装置においてはＢＤセンサ４６の出力信号を毎走査ごとにモニタし、この信号を取得してから所定時間後に光書き込みを開始するようにしている。このようにすることで、毎走査ごとの走査方向の印字位置ずれを高精度に制御している。
【００１５】
図３（ａ）は、光学走査装置３１に具備された光偏向装置４２の内部構成を示す概略断面図である。光偏向装置４２はスキャナモータユニットと呼び替えてもよい。
ポリゴンミラー８２を回転させる駆動モータは、固定スリーブ８８に支承された回転軸８３を有する。また、回転軸８３と一体に固定されている支持部材８５には、カシメ等で一体的に結合されたヨーク９１及びロータマグネット９２を備えたロータ８６を具備している。
【００１６】
また、モータ基板８７には、モータ基板８７に固定されたステータコア９３、ステータコア９３に周回されたステータコイル９４からなるステータ８９が備えられている。支持部材８５は、回転軸８３の外周に対し圧入或いは焼嵌め等の方法で固定された真鍮又はアルミ等からなる金属部材である。高純度のアルミを切削して製作されているポリゴンミラー８２は、弾性部材８４と固定リング９０によって支持部材８５に押圧固定され、回転軸８３及びロータ８６と一体的に回転する。
【００１７】
図３（ｂ）は、ポリゴンミラー８２の概略上面図である。ポリゴンミラー８２が回転軸ｏまわりに矢印Ｒ方向に回転すると、６つの鏡面はＦ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５，Ｆ６の順に使用されて、光書き込みがなされる。もし鏡面Ｆ１が破線Ａのように凸であったり一点鎖線Ｂのように凹であったりすると、ビームの走査速度が変化する。もし破線Ａのように凸であれば走査速度が速くなり、一点鎖線Ｂのように凹であれば走査速度が遅くなる。具体的にはビームＬｉが矢印Ｒ方向に走査される速度が速くなったり遅くなったりする
ということを指す。
【００１８】
他の鏡面Ｆ２〜Ｆ６についても同様であり、結果として走査速度はＦ１〜Ｆ６まで６通りに長短が発生し、走査速度に面間差が生ずる可能性がある。この走査速度の面間差が生じた場合には、ＢＤセンサ４６からの出力信号を基準に所定時間後に光書き込みを行なっても、ポリゴンミラー８２の１回転周期で走査方向の印字位置ずれが生ずる。
ある印字位置に相当する位置にセンサを配置して、ＢＤセンサ４６の出力信号を基準に当該センサの出力信号まで時間差を取得すると、ポリゴンミラー８２の１回転に相当する周期で走査時間の変動が生ずる。これがポリゴンミラー８２の鏡面形状に起因するジッタであり、このジッタによって感光ドラム３２面上においてポリゴンミラー８２の１回転周期の主走査方向の位置ずれが生ずる。ここで、主走査方向とはポリゴンミラー８２の回転軸に垂直な方向であり、ポリゴンミラー８２で走査される走査線の方向を示す。また、副走査方向とはポリゴンミラー８２の回転軸と平行な方向を示す。
【００１９】
図４は、図３（ａ）と同様な光偏向装置４２の概略断面図であるが、こちらは光偏向装置４２の面倒れ特性を説明するための図である。図４では面倒れ特性の悪化要因の１つを例として挙げ、説明を行う。図４ではポリゴンミラー８２が傾いて取り付けられている場合を示している。
図４において実線で示すようにポリゴンミラー８２が傾いて取り付けられてしまうと、ビーム（入射ビーム）ＬｐはＬｐｄで示す矢印のように下方向に反射されてしまう。このポリゴンミラー８２が回転して、例えば１８０°（度）回転すると図４にて破線で示すように逆方向に傾くようになる。すると、ビームＬｐは今度はＬｐｕで示す矢印のように上方向に反射されてしまう。
【００２０】
このように、ポリゴンミラー８２の取り付け姿勢などによって、鏡面ごとに反射されたビームの方向が主走査方向と垂直な方向に倒れるように変化する現象が面倒れである。この面倒れによって結果として感光ドラム３２面上においてポリゴンミラー８２の１回転周期の副走査方向の位置ずれが生ずる。光学走査装置３１ではポリゴンミラー８２の鏡面位置と感光ドラム３２表面とを光学的に共役関係とすることで面倒れをある程度補正しているものの、高精細なカラー画像形成装置においては、このような面倒れ要因によってもモアレが発生する。
【００２１】
図５は、画像形成装置による印字位置ずれを説明するイメージ図である。図５においては、丸印の１つ１つが印字位置を示し、画像形成装置の解像度に応じて丸印が示されているものとする。仮にポリゴンミラー８２の鏡面数が６つであるとし、縦に６つのドットを並べて印字するとする。印字位置ずれが無い場合には、図５（ａ）に示すように、直線上に等間隔で６つのドットが印字される。
ここで、ポリゴンミラー８２の鏡面数周期の印字位置がＳｉｎ波状にずれたとする。この時、主走査方向の位置ずれがあると図５（ｂ）に示すように横波状の印字位置ずれとなり、副走査方向の位置ずれがあると図５（ｃ）に示すように縦波状の印字位置ずれとなる。
【００２２】
前述したように、モアレはディザパターンとこのポリゴンミラー８２の面数周期の位置ずれとの干渉によって発生しているので、モアレ発生の有無やどのようなモアレ干渉縞が現れるかは、ディザパターンの線数・スクリーン角などによって異なる。また、ポリゴンミラー８２の鏡面数や光学走査装置３１のビーム数などによっても異なる。このモアレは各色ごとに起こる単色のモアレを説明したものであるが、さらに複数色重ね合わせ、例えばイエローとシアンの重ね合わせによるグリーンの二次色のモアレなどもポリゴンミラー周期の位置ずれによって発生することが確認されている。
【００２３】
そこで、このモアレがどのくらい強く人間の目に見えるかを、実際に印刷した画像をイメージスキャナで取り込み、画像濃淡のむらを２次元ＦＦＴ（高速フーリエ変換）解析し、実際のモアレの方向と空間周波数におけるパワースペクトルを算出した。すると、このパワースペクトルの強弱とモアレの見えやすさとは凡そ一致した。
【００２４】
図６は、モアレの強弱を示す前記パワースペクトルの対数値と、ジッタとの相関を実験において本発明者が検証した結果を示す図である。ここで示すジッタは、ジッタ波形をＦＦＴ解析してポリゴンミラー８２の鏡面数周期の振幅スペクトルで表している。
先に記載したように、このモアレはディザパターンとポリゴンミラーの面数周期によって発生している。
したがって、ポリゴンミラー要因によって発生するジッタをＦＦＴ解析して鏡面数周期の振幅スペクトルを求めることにより、次のようなことが検証された。すなわち、モアレの２次元ＦＦＴ解析結果のパワースペクトルの対数値とジッタ波形をＦＦＴ解析した振幅スペクトルとの間におよそリニアな相関が得られることが検証された。
【００２５】
以下に、本実施例におけるジッタ測定の方法について図７から図１０を用いて説明する。
図７は、光学走査装置３１におけるジッタ測定のための構成を説明するための概略斜視図である。
ここでは、光学走査装置３１から出射される４本のビームのうち、ビームＬｋにおいての測定方法を説明するが、他のＬｃ，Ｌｍ，Ｌｙについても測定の仕方は同様である。ビームＬｋは矢印Ｌｓで示すように直線状に等速で走査される。
【００２６】
ビームＬｋは画像形成装置上では感光ドラム３２ｋ（図１に図示）上で結像して等速に走査されているので、感光ドラム３２ｋの表面相当位置に測定工具のセンサを配置して測定する。測定は２つのジッタセンサ１Ａ，１Ｂを用いる。ここで、ジッタセンサ１Ａは第１検知手段に相当し、ジッタセンサ１Ｂはジッタセンサ１Ａよりもビームの主走査方向下流でビームを検知する第２検知手段に相当する。
ビームＬｋは毎走査回ごとに書き出し側のジッタセンサ１Ａで検知された後、書き終わり側のジッタセンサ１Ｂで検知される。このジッタセンサ１Ａで検知されて出力される信号からジッタセンサ１Ｂで検知され出力される信号までの時間、いわゆるタイムインターバル（時間データ）を測定する。
【００２７】
図８は、本実施例の光学走査装置の特性検査装置における信号の処理系の構成を示す概略図である。ビームＬｋがジッタセンサ１Ａ，１Ｂに入射すると信号が出力され、その信号は計測部１Ｃに入力される。ここで、ジッタセンサ１Ａ，１Ｂ、計測部１Ｃはデータ取得手段を構成している。
計測部１Ｃにはタイムインターバルアナライザ等を使用することにより、ジッタセンサ１Ａの出力信号からジッタセンサ１Ｂの出力信号までの時間を計測できる。これにより、デジタルな数値データ（時間データ、時間を表す離散的な数値データ）として毎走査毎（ポリゴンミラーの１面で１走査が行われるごと、毎走査単位）の計測が可能である。
計測部１Ｃから出力される時間データはデータ処理部（データ処理手段）１Ｄに入力され、データ処理部１Ｄで後述する計算が行われる。ここで、光学走査装置の特性検査装置は、ジッタセンサ１Ａ，１Ｂ、計測部１Ｃ及びデータ処理部１Ｄで構成されている。なお、データ処理部１Ｄはパーソナルコンピュータなどで構成されるものであってもよい。
【００２８】
図９は、タイムインターバルアナライザで計測されたタイムインターバルのデータの一例を示す。図９において、横軸が走査回数、すなわち測定されたデータ数を示し、縦軸がジッタセンサ１Ａからジッタセンサ１ＢまでビームＬｋの走査する時間、つまりタイムインターバルを示している。この各走査に対応するタイムインターバル（図１０に示される
タイムインターバル波形）がデータ処理部１ＤでＦＦＴ解析される。
ここで、データ計測部１Ｃにて得られるデータは、毎走査ごとのジッタセンサ１Ａの出力信号からジッタセンサ１Ｂの出力信号までの時間であって、毎走査ごとにデジタルな数値データ（時間データ）として得られる。タイムインターバルアナライザを用いれば１００ｐｓ（＝０．０００１μｓ）程度の分解能が得られるので、例えば走査時間が平均３００μｓの光学走査装置であって、１回目の走査時間が３００．００２０ｓであったなら、３００．００２０という数値データが１個得られる。２回目が２９９．９９５４μｓであったなら、２つ目のデータとして２９９．９９５４という数値が得られる。例えば５１２走査分のデータを取得すると、このような数値データが５１２個得られ（複数回取得され）、それを走査回数を横軸に、縦軸を走査時間としてプロットしたものが図９のようになるのである。ＦＦＴ解析はこの５１２個のデータを元に行われることになる。５１２個程度のデータに対するＦＦＴ解析であれば、現在のＰＣの処理能力のレベルであれば処理時間はほぼ一瞬である。
【００２９】
このように走査時間をデジタルな数値データとして取得することで、毎回の走査時間の取得時の分解能が向上する。そして、５１２回の走査分のデータを取得しても、それは５１２個というわずかなデータ数で済む。これにより処理に必要なデータ数も少なく、処理時間も少なく、分解能も良好になり、これらの両立が図れる。上記説明では５１２走査分のデータとしているが、取得する走査回数は任意である。但し、取得するデータ数を多くすると、その量に応じてリニアに測定時間が延びる。これは、その分のビーム走査が終わるまで物理的に測定が終了できないからである。そのため、あまりデータ数を多くするとタクトが延び、製造設備の生産性に影響する恐れがあるから注意が必要である。また、逆にデータ数を少なくすると、ＦＦＴ解析後の分解能に影響が出てくる。５１２個の離散データをＦＦＴ解析すると５１２個のデータが得られ、そのうち半分は残り半分の繰り返しデータであるから有効なデータ数は半分の２５６個のデータである。
ここで、測定によって得られる周波数範囲は０Ｈｚから２走査分のＢＤ周期の逆数までであり、この範囲を得られたデータ数で分割した結果となる。つまり、あまりにデータ数が少なければその分周波数分解能が低下することとなる。
尚、ＦＦＴ解析は通常２のＮ乗個のデータに対して行うことによって演算速度を高めているものなので、これまでの説明ではデータ数を２のＮ乗個としている。そのため５１２データから増やそうと思えば次は１０２４走査分のデータが必要となり、減らそうとすれば次は２５６走査分となる。つまりデータ数と分解能も離散的に変化するのであって、必要な精度とタクト等を勘案して取得データ数を決めることとなる。
【００３０】
図１０は、タイムインターバル波形をＦＦＴ解析した結果を示す図である。
図１０において、横軸が周波数、縦軸が振幅スペクトルである。横軸の周波数とは１走査当たりのポリゴンミラーの回転数であって、本波形の例では鏡面数が６なので、１／６＝０．１６７（ｃｙｃｌｅ／走査）がポリゴンミラーの１回転周期相当の周波数である。このときの振幅スペクトルが図１０において矢印Ｐで示すピークである。このようにして導出されたピーク値とモアレのパワースペクトルの対数値との間に前述の図６で示すおおよそリニアな相関が検証された。ここで、データ数が不十分であると矢印Ｐで示すピークの検出精度が低下するので注意が必要である。
【００３１】
さらに本実施例では、主走査方向の位置ずれに加えて、ポリゴンミラーの面倒れによる副走査方向の位置ずれによって発生するモアレについても、上述のジッタ測定方法を改善することにより検査可能とし、これによりモアレの検出精度を高めている。この点について以下に説明する。
【００３２】
図１１は、従来のジッタセンサ１Ａ，１Ｂの主要部品の構成を説明する概略斜視図である。図１１における本実施例と同様の構成部分においては、説明の便宜上、本実施例の構
成部分と同一の符号を付している。
ジッタセンサ１Ａ，１Ｂには、スリット板３が設けられている。スリット板３の中央には矩形穴形状のスリット穴４が設けられている。このスリット板３をビーム（走査線）Ｌｔが横切ると、スリット穴４をビームが通過している間のみ、フォトダイオード２にビームが入射する。このフォトダイオード２にビームが入射することで光電変換され、図示しない電気回路基板によって波形整形されて電気信号が出力される。
【００３３】
図１２は、ジッタセンサ１Ａ，１Ｂのスリット穴４Ａ，４Ｂを説明する図であり、（ａ）は従来例について示し、（ｂ）は本実施例について示している。図１２（ａ）における本実施例と同様の構成部分においては、説明の便宜上、本実施例の構成部分と同一の符号を付している。ここで、スリット穴４Ａは第１検知部に相当し、スリット穴４Ｂは第２検知部に相当する。
図１２（ａ）に示すように、従来例では、スリット穴４Ａ，４Ｂはジッタセンサ１Ａ，１Ｂ共にビームＬｔと直交するように設けられている。
これに対して、本実施例では、書き終わり側のジッタセンサ１Ｂ側のスリット穴４Ｂを図１２（ｂ）に示すように、副走査方向に対して（図１２（ｂ）においてビームＬｔに対して直交する方向に対して）角度θ分傾けて構成したことを特徴としている。
【００３４】
図１２（ａ）のようにスリット穴４ＢがビームＬｔに直交していると、面倒れによってビームＬｔの高さが鏡面ごとに変化しても走査時間の変化はない。例えばビームＬｔの高さが破線に示す位置まで変化しても２つのスリット穴４Ａ，４Ｂを横切る距離Ｊは変化しない。そのためジッタによる走査時間変化だけを検知することになるが、図１２（ｂ）のようにスリット穴４Ｂが（副走査方向に対して）角度θ分傾いていると、その面倒れの大きさとスリット穴４Ｂの傾け量に応じ、走査時間が変化する。
例えば、ビームＬｔの高さ（副走査方向の位置）が破線に示す位置まで変化すると、ビームＬｔが２つのスリット穴４Ａ，４Ｂを横切る距離Ｊ’は距離Ｊよりも短くなる。これは、ジッタセンサ１Ｂのスリット穴４Ｂが、副走査方向に対して角度θ分傾けて構成されることで、主走査方向におけるスリット穴４Ａ，４Ｂ間の距離が、副走査方向で異なるためである。
このような構成によって、主走査方向と副走査方向のドットずれ、つまりドットの横ずれと縦ずれを同時に検知することが可能となる。
【００３５】
このように、斜めに傾けられたスリット穴４Ｂを用いて、これまで説明したのと同様にタイムインターバルを測定し、タイムインターバル波形をＦＦＴ解析することで、ビームの主走査方向と副走査方向の位置ずれを同時に検出することが可能となる。タイムインターバル波形をＦＦＴ解析することで、図１０に示すようなポリゴンミラー面周期の振幅スペクトルを求めることができ、図１０のようなグラフから検査者（検査装置の使用者）が、画像不良の有無を判定することができる。例えば図１０に示すグラフの場合には、ポリゴンミラーの１回転周期相当の周波数に対する振幅スペクトル（矢印Ｐで示すピーク）の大きさが、閾値以上かどうかをみることにより、検査者は画像不良の有無を判定することができる。
また、このようなタイムインターバル波形をＦＦＴ解析すると、従来のジッタセンサ構成よりモアレの強さと良い相関結果が得られる。この点について以下に説明する。
【００３６】
図１３は、図６と同様に、実際に印刷して得られた画像をイメージスキャナで取り込み、モアレを２次元ＦＦＴ解析した結果のパワースペクトルの対数値と、ジッタ波形をＦＦＴ解析した後の振幅スペクトルの関係を示したものである。ここで、図１３においては、ジッタセンサ１Ｂのスリット穴４Ｂを３通りに傾けた結果を示している。図１３（ｂ）はスリット穴４Ｂが走査方向に垂直な結果であって図６と全く同じである。図１３（ｃ）はスリット穴４Ｂを４０°傾けた結果であって、図１３（ａ）はスリット穴を図１３（ｃ）
の場合とは逆方向に−４０°傾けた結果である。各グラフにおいて一次の近似直線とその相関係数（Ｒ２乗値）を示している。
【００３７】
図１３（ｂ）の状態、すなわちスリット角度０°では相関係数が約０．７３なのに対し、図１３（ｃ）の状態、すなわちスリット角度４０°では相関係数が約０．８１と向上している。また、図１３（ａ）の状態、すなわちスリット角度−４０°では相関係数が約０．６８と、スリット角度０°に対して悪化している。
図１３において横軸はおよそモアレの強さであり、縦軸が実測値であるから、相関係数が高いほどモアレの強さを適切に検知できていることとなる。つまり、スリット穴４Ｂは適切な方向の適切な角度に傾けることで、モアレの強さに対し、より適切な測定結果を得ることができる。
【００３８】
このスリット穴４Ｂの最適な傾け方向と最適な傾け角度は、シミュレーションによって導出できる。具体的には、意図的に印字位置ずれが生じている状態をシミュレーションによって再現してモアレの強めあい、弱めあいを確認して傾け方向を求める。次に、シミュレーション結果を２次元フーリエ解析してピークを算出することによって、主走査方向と副走査方向の効き率を算出し、その比率に応じた角度をスリット穴４Ｂの傾け角度とするのである。
【００３９】
傾け方向について簡単に説明すると、図１８に示す場合では、Ｘが＋方向、Ｙが−方向の組合せ、或いはＸが−方向、Ｙが＋方向の組合せでモアレが強めあう。Ｘが＋の方向が主走査方向、Ｙが＋の方向が副走査方向であるとすると、Ｘが＋にずれることは走査速度が速くなることが、副走査方向と逆方向にずれることと同義と考えることができて、モアレの斜めの縞と同方向にスリット穴４Ｂを傾けるとよいことになる。
【００４０】
図１４は、ジッタセンサ１Ｂの変形例の概略構成を示す斜視図である。
ジッタセンサ１Ｂは、図１４に示すような構成としてもよい。ビームが図１４において矢印Ｚのように走査されるものとして、ビームＬｕが矢印に示す位置に来たとする。ハーフミラー６によって透過ビームＬｖと反射ビームＬｗに分割され、透過ビームＬｖは矩形穴の開いたスリット板３を通過してフォトダイオード２Ａに受光される。反射ビームＬｗは三角穴の開いた面倒れスリット５を通過してフォトダイオード２Ｂに受光される。すると、フォトダイオード２Ａからはジッタセンサ１Ａ（図示していない）からのタイムインターバルとして面倒れによらない走査時間波形が得られる。
また、フォトダイオード２Ｂからは三角穴を横切る時間をモニタすることによって面倒れ量に応じたパルス幅の信号波形が得られる。面倒れスリット５及びフォトダイオード２Ｂは面倒れ量の検知のためのセンサであって、例えばラインセンサなどの他の形態も取り得る。
【００４１】
このようにして同時に得られたジッタ特性と面倒れ特性を前述のスリット穴４Ｂの傾け角と同じ効き率で組み合わせることによって、前述のスリット穴４Ｂを傾けるのと同じ効果を得ることができる。
ここで、ジッタセンサ１Ａ、フォトダイオード２Ａ、スリット板３、計測部１Ｃは第１データ取得手段を構成している。また、ジッタセンサ１Ａ、フォトダイオード２Ｂ、面倒れスリット５、計測部１Ｃは第２データ取得手段を構成している。
【００４２】
ここで、面倒れスリット５を用いた面倒れ計測について説明する。
図１５は、面倒れスリット５とフォトダイオード２Ｂの動作を説明するための図であり、（ａ）は面倒れスリット５とフォトダイオード２Ｂを示す概略斜視図、（ｂ）は（ａ）において矢印Ｇで示す方向から見た図である。
図１５（ａ）に示すように、ビームは設計中心であれば、ビームＬｐｃ（実線で示す矢
印）のようにフォトダイオード２Ｂの中心を通りながら、矢印Ｓ方向に走査されるとする。しかし、実際には図４で示したように、ポリゴンミラー８２には面倒れが厳密には存在する。そのため、走査されるビームが矢印γ方向にばらつくこととなる。ここで、ビームは、ポリゴンミラー８２の鏡面毎にγ方向の位置（高さ）が変化し、ビームＬｐｕ（破線で示す矢印）からビームＬｐｄ（一点鎖線で示す矢印）の範囲でばらつくものとする。
【００４３】
ビームＬｐｃ，Ｌｐｕ，Ｌｐｄは、面倒れスリット５上では、それぞれビームＬｐｃ’（実線で示す矢印）、ビームＬｐｕ’（破線で示す矢印）、ビームＬｐｄ’（一点鎖線で示す矢印）で示すように直線的に走査される。フォトダイオード２Ｂは受光面７に光が当たると光電変換して電流を発生させるので、面倒れスリット５の三角穴上をビームが走査されると三角穴を通過している間の時間だけ電流が出力される。この点について、図１５（ｂ）を用いて以下に詳細に説明する。
【００４４】
図１５（ｂ）に示すように、破線で示す矢印のようにビームＬｐｕ’が走査されると距離Ｍｐｕの間だけ出力が生じ、一点鎖線で示す矢印のようにビームＬｐｄ’が走査されると距離Ｍｐｄの間だけ出力が生ずる。
本実施例において、面倒れスリット５の三角穴は、頂角を下に底辺を上とした二等辺三角形を成しており、底辺は走査方向と平行である。ここで、三角穴は二等辺三角形で無くともよいし、頂角が上でもよいし、底辺は走査方向と平行で無くともよいが、計算が煩雑になるので本実施例では上記形態として説明する。
【００４５】
距離Ｍｐｕ，Ｍｐｄはそれぞれ電流出力が生じている時間に、面倒れスリット５上を走査されるビームの走査速度を乗ずることで求めることができる。
ここで、面倒れはビームＬｐｕ’とビームＬｐｄ’の高さの差、つまり図１５（ｂ）においてｈで示す量である。図１５（ｂ）に示すように、二等辺三角形状の三角穴の頂角をψとすると、ｈは次のように求めることができる。
ｈ＝（Ｍｐｕ−Ｍｐｄ）／（２ｔａｎ（ψ／２））・・・（１）
例えば、Ｎ回の走査分の出力電流をモニタすると、ｈはＮ個のデータとして得られる。ポリゴンミラー８２の鏡面数が６個であれば、１面目、２面目、と順にデータが得られ、７番目以降のデータはおよそ１番目のデータから６番目までのデータの繰り返しとなる。
【００４６】
以上の内容を踏まえて、図１４に示すような構成を用いた場合の手順について、図１６を用いて説明する。
図１６（ａ）は上述のように、面倒れスリット５とフォトダイオード２Ｂを用いて面倒れを測定した結果（面倒れデータ）をグラフとして示している。図１６（ａ）においては、縦軸が面倒れであって平均値に対する差分が、実際の印字の際に副走査方向への印字位置ずれとして現れる。
図１６（ｂ）は、ジッタ測定用のスリット板３とフォトダイオード２Ａを用いてジッタを測定した結果（ジッタデータ）をグラフとして示している。図１６（ｂ）においては、縦軸がジッタであって平均値に対する差分が、実際の印字の際に主走査方向への印字位置ずれとして現れる。
この２つのデータをポリゴンミラーの鏡面ごとに組み合わせる、すなわち重み付けを考慮して足し合わせると、既に説明した図９と同様なグラフとなり、それをＦＦＴ解析すると図１０で示したようなグラフとなって、既に説明した場合と同様な効果が得られる。
【００４７】
ここで、重み付けを考慮して足し合わせる、という点について説明する。
重み付けを考慮して足し合わせるとは、図１６（ａ）に示す面倒れデータがＭ１，Ｍ２，Ｍ３，…，Ｍｎとし、図１６（ｂ）に示すジッタデータがＮ１，Ｎ２，Ｎ３，…，Ｎｎとして、添え字の同じデータをある比率でもって足し合わせることを指す。
例えば、足し合わせ後のデータをＳ１，Ｓ２，Ｓ３，…，Ｓｎとして、α、βを係数と
した時、
Ｓｎ＝α×Ｍｎ＋β×Ｎｎ・・・（２）
というようにｎ個のデータについてそれぞれ合算して求めることを具体的には指している。
【００４８】
係数のα、βの値は図１３で説明したスリット角度と相関するパラメータであり、αとβの比率がスリット角度と相関する。スリット角度やα・βの比率は、画像形成装置における中間調表現の仕方により変化する。
具体的には、スリット角度やα・βの比率は、ディザにより表現される中間調表現において、ディザベクトルの大きさ・方向、及びドットの成長方法に依存する。
ここで、画像形成時のドット成長パターンと光学走査装置における走査線周期との２次元的な干渉によりモアレが生じる。
このように、ディザが変わればスリット角度やα・βの比率は変化し、また、光学走査装置のポリゴンミラー８２の鏡面数や同時に走査されるレーザビームの本数などによってもスリット角度やα・βの比率は変化する。したがって、組合せ毎にスリット角度やα・βの比率を導出することとする。
カラー画像形成装置においては色毎にディザが異なるのが通常であるから、色毎に最適なスリット角度やα・βの比率は異なる。
【００４９】
以上説明したように、主走査方向の位置ずれと副走査方向の位置ずれを検知して、これをＦＦＴ解析してポリゴンミラー面周期の振幅スペクトルを求めることにより、モアレによる画像不良をより正確に検出することができる。
また、ディザによっては主走査方向とズレによってモアレを生ずるが副走査方向のズレに対してはモアレを生じないもの、あるいは、副走査方向のズレによってモアレを生ずるが主走査方向のズレによってはモアレを生じないものとがある。その場合には主走査方向のみあるいは副走査方向のみ位置ずれを検知して、これをＦＦＴ解析をしてポリゴンミラー面周期の振幅スペクトルを求めることにより、モアレによる画像不良をより正確に検出することができる。
なお、図７で示した書き出し側のジッタセンサ１Ａの代わりに、光学走査装置３１のＢＤセンサ４６にビームＬｋが入射して水平同期信号を生成している場合には、この水平同期信号を基準にジッタ測定することにより、より検出精度を高めることができる。
また、タイムインターバル波形をＦＦＴ解析した結果において、ポリゴンミラーの１回転周期相当の周波数（基本波）のピークだけでなく、逓倍波のピークを合わせて用いてもよい。その際には視覚の空間周波数特性に基づいて決定されるＶＴＦ（視覚伝達関数）を用いてもよい。
尚、１つの感光体に付き複数のビームを走査するマルチビーム光学系においては、光学走査装置特有の周波数成分は、ポリゴンミラー面数とビーム本数により特定される周波数成分、すなわちポリゴンミラー面数×ビーム本数周期が基本となる。
また、本実施例では、タイムインターバル波形をＦＦＴ解析することで、ポリゴンミラー面周期の振幅スペクトルを求め、例えば図１０に示すようなグラフから検査者が、画像不良の有無を判定するものであるが、これに限るものではない。すなわち、図１０に示すような周波数と振幅スペクトルとの関係から、予め定められた周波数（ポリゴンミラーの１回転周期相当の周波数）における振幅スペクトルの大きさが閾値以上かどうかをデータ処理部１Ｄで判定するように構成してもよい。そして、その振幅スペクトルの大きさが閾値以上の場合に、画像不良が有ると判定し、画像不良が有ることを報知（表示）する手段が設けられるものであってもよい。
【００５０】
（実施例２）
以下に、実施例２について説明する。
本実施例では、画像形成装置でスループットを変更する場合について説明するものであ
り、実施例１と同様の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
カラー画像形成装置では、記録材の種類によらず最良の画質を実現するために、選択された記録材によって印刷速度（スループット）を変更する場合がある。例えば厚紙に印刷する場合に定着性能の低下を防止し、高グロスを維持するために印刷速度を下げる。そのときに通常はポリゴンミラーの回転数を同じ比率で下げるのであるが、もし同じ比率で下げると元々の回転数と大きく違ってしまう場合に、ポリゴンミラーの回転駆動精度が大きく悪化する恐れがある。例えばポリゴンミラーを駆動するモータの軸受が流体軸受である場合、流体軸受は回転によって発生する動圧によって軸を支持するので、回転数を下げすぎると動圧不足になり、ジッタ・振動・寿命・騒音など諸性能が設計目標を満たさなくなってしまう恐れがある。
【００５１】
そこで、印刷速度を下げる場合でもポリゴンミラーの回転数を下げる代わりにポリゴンミラーの複数の鏡面のうちビームを偏向する鏡面を１つずつ飛ばして使用する場合がある。以下、これを面飛ばしと称する。この面飛ばしでは例えば５つの鏡面を有する回転多面鏡で１面目を使用したら、次は２面目を使用せずに３面目を使用し、その後は５面目を使用し、そして２面目、４面目と移り、１面目に戻るのである。すると、ポリゴンミラーの回転数を下げず、記録材の送り速度を半分にした場合にも、同一の解像度（元の状態と同じ副走査方向の解像度）で光書き込みを行うことが可能になる。
ところが、このポリゴンミラーの面飛ばし走査を行なった時のみモアレが発生し、通常のレーザ光の走査とは異なる不具合が発生することを本発明者は確認している。
【００５２】
そこで、本実施例では、この面飛ばしにおけるジッタ性能を検査する手段を改善している。この点について、以下に説明する。図１７は、面飛ばしにおけるジッタ性能を検査する手段について説明するための図である。
ここでは、ポリゴンミラー８２の鏡面数が５の場合を例にとって説明する。実施例１で説明した方法でタイムインターバルを取り込んだ結果を図１７（ａ）に示す。図１７（ａ）では、図９と同様に、横軸を走査回数、縦軸をタイムインターバルとしている。面飛ばしをしない場合は、図１７（ａ）に示すような波形になる。
鏡面を１つずつ飛ばす、いわゆる面飛ばしを行うと、その結果は図１７（ｂ）に示すようになる。面飛ばしを行った場合には、図１７（ｂ）に示すように、図１７（ａ）に示す結果に対して、データ数は半分になり粗い結果となる。この波形に対してＦＦＴ解析を行うとデータ数が分解能に対しリニアに影響するので分解能が低下してしまう。
そこで、本実施例では、面飛ばしをしない場合のタイムインターバル波形に所定の処理を加えてから、ＦＦＴ解析を行うこととしている。
【００５３】
図１７（ｃ）は、図１７（ａ）の波形の一部を拡大したものと、それに所定の処理を加えたものとを示す。
図１７（ｃ）においてＣで示す波形が、図１７（ａ）の波形そのものである。それに所定の処理を加えた波形が図１７（ｃ）においてＤで示す波形である。ここで、加えた所定の処理とは、タイムインターバルのデータの並べ替えである。元々の波形Ｃを並べ替えることによって波形Ｄを得ている。
【００５４】
ポリゴンミラー８２の鏡面数が５であって、ポリゴンミラーの回転方向にＦ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５という５つの鏡面がある場合に、鏡面を１面飛ばしすると、Ｆ１，Ｆ３，Ｆ５，Ｆ２，Ｆ４の順に使用されＦ１に戻る。
そのため、面飛ばしをしない場合のデータをポリゴンミラーの回転方向に順に、ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４，ｄ５，ｄ６，ｄ７，ｄ８，ｄ９，ｄ１０，・・・，ｄ１００とした場合に、測定データを次のように並べ替えるのである。すなわち、ｄ１，ｄ３，ｄ５，ｄ２，ｄ４，ｄ６，ｄ８，ｄ１０，ｄ７，ｄ９，・・・，ｄ９７，ｄ９９と並べ替えるのである。
このように、面飛ばしする時の鏡面の使用順と同様にデータを並べ替えた結果をタイムインターバルの測定データとして使用することにより、データ数を減らすことなく、面飛ばしの場合においても十分な分解能で検査をすることが可能になる。
【００５５】
ここで、ポリゴンミラー８２の鏡面数が奇数であれば、鏡面数が５でなくとも適用は可能である。ポリゴンミラー８２の鏡面に対して、ポリゴンミラーの回転方向に順にナンバーを割り当てたとき、まず奇数番目のデータを並べ、次に偶数番目のデータを並べる。これをポリゴンミラー８２の鏡面数周期で繰り返すことにより、上記同様の効果を得ることができる。
【００５６】
更に言えば、鏡面数がＴ、飛ばす面の数に１を加えたものをＫとした時、ＴがＫで割り切れない場合には、ポリゴンミラー８２の鏡面数周期でデータを並べ替えることにより、上記同様の効果を得ることができる。ＴがＫで割り切れる場合には、Ｔ／Ｋの面数しか光書き込みで使用しないため、この手法は適用できない。
例えば、鏡面数Ｔ＝４で１面飛ばす（Ｋ＝２）場合だと、１面目と３面目しか使用しない（Ｔ／Ｋ＝２個の鏡面しか使用しない）。また、鏡面数Ｔ＝９で２面飛ばす（Ｋ＝３）場合だと、１，４，７面目しか使用しない（Ｔ／Ｋ＝３個の鏡面しか使用しない）。
このように、Ｔ／Ｋが割り切れる場合は適用できないが、それ以外の場合には適用が可能である。
例えば、鏡面数Ｔ＝１１で２面飛ばす（Ｋ＝３）場合だと、１，４，７，１０，２，５，８，１１，３，６，９面目の順にデータ並び替えを、ポリゴン鏡面数周期で行えばよい。
【００５７】
このように、走査時間のデータを鏡面数周期で並び替える操作を行うことによって、鏡面を飛ばして印字するモードにおいても、並び替えたデータをＦＦＴ解析することにより、モアレによる画像不良をより正確に検出することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１Ａ，１Ｂ…ジッタセンサ、１Ｃ…計測部、１Ｄ…データ処理部、３１…光学走査装置、５１ｃ，５１ｍ，５１ｙ，５１ｋ…半導体レーザ、８２…ポリゴンミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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