(57)【要約】【課題】テープフィーダを使用する部品実装において高精度かつ安定して部品を実装可能に供給する。【解決手段】テープフィーダ２１のメモリ部３３には、個々の収納凹部２２ａが部品取出位置ＰＯ１に配置される回転位置になるようにホイール２４が回転移動したときの収納凹部２２ａの実際の位置ＰＯ２と部品取出位置ＰＯ１とのずれ量ΔＸ，ΔＹが記憶されている。部品実装装置１の制御部１５は、メモリ部３３から読み込んだずれ量ΔＸ，ΔＹに基づいて、部品取出位置ＰＯ１にある収納凹部２２ａから部品１００を吸着保持する際の吸着ノズル１１の位置を補正する。【選択図】図５Ｂ
2012049451.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を取り出し可能に収納する収納部と送り穴とが、それぞれ長手方向に一定間隔で形成された帯状の部品供給体と、前記送り穴と嵌合可能な複数の送り爪を外周に備える送り回転体と、前記送り回転体を回転させて前記部品供給体を送って前記収納部を前記部品を供給可能となる部品取出位置に順次配置させる回転駆動部と、個々の前記収納部が前記部品取出位置に配置される回転位置に前記送り回転体が回転移動したときの前記収納部の実際の位置と前記部品取出位置とのずれ量を予め記憶した記憶部とを備える、装置本体に着脱可能な部品供給装置と、
部品を解除可能に吸着保持する吸着ノズルを備え、前記部品取出位置にある前記収納部の前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持して基板の実装位置に実装する実装ヘッドと、
前記装置本体に設置された前記部品供給装置の前記記憶部から取得した前記ずれ量に基づいて、前記部品取出位置にある前記収納部から前記部品を吸着保持する際の前記吸着ノズルの位置を補正するように実装ヘッドを制御する制御部と
を備える、部品実装装置。
【請求項２】
前記部品供給装置の前記記憶部に記憶されたずれ量は、
前記収納部の実際の位置の前記部品取出位置に対する前記部品供給体の送り方向のずれ量と、
前記収納部の実際の位置の前記部品取出位置に対する前記部品供給体の幅方向のずれ量と
を含む、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記部品供給装置の前記記憶部に記憶されたずれ量は、
前記部品供給装置を前記装置本体に設置したときの前記収納部の実際の位置の高さ方向のずれ量を含む、請求項２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
部品を取り出し可能に収納する収納部と送り穴とが、それぞれ長手方向に一定間隔で形成された帯状の部品供給体と、前記送り穴と嵌合可能な複数の送り爪を外周に備える送り回転体と、前記送り回転体を回転させて前記部品供給体を送って前記収納部を前記部品を供給可能となる部品取出位置に順次配置させる回転駆動部とを備える部品供給装置を準備し、
個々の前記収納部が前記部品取出位置に配置される回転位置に前記送り回転体が回転移動したときの前記収納部の実際の位置と前記部品取出位置との少なくとも水平方向のずれ量を計測して前記部品供給装置の記憶部に予め記憶させ、
前記部品を解除可能に吸着保持する吸着ノズルを備える実装ヘッドを有する部品実装装置の装置本体に前記部品供給装置を着脱可能に設置し、
前記部品取出位置にある前記収納部の前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持して基板の実装位置に実装し、
前記部品取出位置にある前記収納部から前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持する際に、前記装置本体に設置された前記部品供給装置の前記記憶部に記憶された前記ずれ量に基づいて前記吸着ノズルの位置を補正するように実装ヘッドを制御する、部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の部品が一定の間隔で連続的に収納された帯状の部品供給体により供給される部品を基板に実装する部品実装装置及び部品実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置では、テープフィーダを使用した部品供給が広く採用されている。キャリアテープには部品が定ピッチで収納されると共に、送り孔が定ピッチで設けられている。テープフィーダは、外周に送り爪を定ピッチで設けたホイールを備える。送り爪を送り孔に嵌合させつつホイールを回転駆動することで、キャリアテープが間欠的に送られる。この送り動作により部品取出位置に位置決めされた部品が、実装ヘッドが備える吸着ノズルにより吸着保持される。その後、実装ヘッドは吸着ノズルにより吸着保持された部品を基板へ移送して実装する。
【０００３】
吸着ノズルでテープフィーダから部品を吸着保持する際には、吸着ノズルを部品取出位置にある部品に対して正確に位置合わせする必要がある。一方、個々のテープフィーダ間の精度ばらつき（例えば送り爪の形成ピッチのばらつき）に起因して、部品取出位置に位置しているはずの実際の部品の位置が、部品取出位置に対してずれを生じる。吸着ノズルを部品取出位置にある部品に対して正確に位置合わせするには、この位置ずれを補正する必要がある。特許文献１〜３には、キャリアテープの送り方向（Ｙ方向）の精度ばらつきに起因する位置ずれを補正する機能を備えた部品実装装置が開示されている。しかし、特許文献１〜３に開示されたものを含む従来の部品実装装置では、テープフィーダ間のキャリアテープの送り方向以外の方向（Ｘ方向等）の精度ばらつきに起因する位置ずれを補正することは、十分に考慮されていない。近年の電子部品の微細化の更なる進展に伴い、吸着ミスをなくして高精度かつ安定して部品を実装可能に供給するには、キャリアテープの送り方向以外の方向についても位置ずれを補正する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２３５５６４号公報
【特許文献２】特開平１０−６３５９４号公報
【特許文献３】特開２００８−４２０２９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、複数の部品が一定の間隔で連続的に収納された帯状の部品供給体により供給される部品を基板に実装する部品実装において、高精度かつ安定して部品を実装可能に供給し、特に、微小化された部品の供給に対応することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、部品を取り出し可能に収納する収納部と送り穴とが、それぞれ長手方向に一定間隔で形成された帯状の部品供給体と、前記送り穴と嵌合可能な複数の送り爪を外周に備える送り回転体と、前記送り回転体を回転させて前記部品供給体を送って前記収納部を前記部品を供給可能となる部品取出位置に順次配置させる回転駆動部と、個々の前記収納部が前記部品取出位置に配置される回転位置に前記送り回転体が回転移動したときの前記収納部の実際の位置と前記部品取出位置とのずれ量を予め記憶した記憶部とを備える、装置本体に着脱可能な部品供給装置と、部品を解除可能に吸着保持する吸着ノズルを備え、前記部品取出位置にある前記収納部の前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持して基板の実装位置に実装する実装ヘッドと、前記装置本体に設置された前記部品供給装置の前記記憶部から取得した前記ずれ量に基づいて、前記部品取出位置にある前記収納部から前記部品を吸着保持する際の前記吸着ノズルの位置を補正するように実装ヘッドを制御する制御部とを備える、部品実装装置を提供する。
【０００７】
収納部の実際の位置と部品取出位置とのずれ量を部品供給装置の記憶部に予め記憶させておく。実装ヘッドを制御する制御部は、記憶部に予め記憶されたずれ量を取得し、それに基づいて収納部から前記部品を吸着保持する際の吸着ノズルの位置を補正する。収納部の実際の位置と部品取出位置とのずれ量には、部品供給装置間で固有機差があるだけでなく、送り回転体の回転位置によっても変化する。個々の部品供給装置の記憶部にずれ量を予め記憶させておくことで、個々の部品供給装置におけるずれ量に対し吸着ノズルの位置を確実に補正でき、部品が微小な部品であっても吸着ミスを低減して高精度かつ安定した実装を実現できる。
【０００８】
具体的には、前記部品供給装置の前記記憶部に記憶されたずれ量は、前記収納部の実際の位置の前記部品取出位置に対する前記部品供給体の送り方向のずれ量と、前記収納部の実際の位置の前記部品取出位置に対する前記部品供給体の幅方向のずれ量とを含む。
【０００９】
部品供給体間の精度ばらつきに起因する位置ずれのうち、部品供給体の送り方向（Ｙ方向）の位置ずれを補正するだけでなく、部品供給体の幅方向（Ｘ方向）の位置ずれも補正することで、微小な部品でもあっても吸着ノズルが部品取出位置にある収納部の部品を吸着保持する際の吸着ミスを大幅に低減できる。
【００１０】
前記部品供給装置の前記記憶部に記憶されたずれ量は、前記部品供給装置を前記装置本体に設置したときの前記収納部の実際の位置の高さ方向のずれ量を含む。
【００１１】
この構成により、吸着ノズルが部品取出位置にある収納部の部品を吸着保持する際の吸着ミスをより一層低減できる。
【００１２】
本発明の第２の態様は、部品を取り出し可能に収納する収納部と送り穴とが、それぞれ長手方向に一定間隔で形成された帯状の部品供給体と、前記送り穴と嵌合可能な複数の送り爪を外周に備える送り回転体と、前記送り回転体を回転させて前記部品供給体を送って前記収納部を前記部品を供給可能となる部品取出位置に順次配置させる回転駆動部とを備える部品供給装置を準備し、個々の前記収納部が前記部品取出位置に配置される回転位置に前記送り回転体が回転移動したときの前記収納部の実際の位置と前記部品取出位置との少なくとも水平方向のずれ量を計測して前記部品供給装置の記憶部に予め記憶させ、前記部品を解除可能に吸着保持する吸着ノズルを備える実装ヘッドを有する部品実装装置の装置本体に前記部品供給装置を着脱可能に設置し、前記部品取出位置にある前記収納部の前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持して基板の実装位置に実装し、前記部品取出位置にある前記収納部から前記部品を前記吸着ノズルで吸着保持する際に、前記装置本体に設置された前記部品供給装置の前記記憶部に記憶された前記ずれ量に基づいて前記吸着ノズルの位置を補正するように実装ヘッドを制御する、部品実装方法を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の部品実装装置及びその方法では、部品供給装置の記憶部に予め記憶しておいた部品供給体の収納部の実際の位置と部品取出位置とのずれ量に基づいて、収納部から部品を吸着保持する際の吸着ノズルの位置を部品実装装置の制御部が補正する。その結果、個々の部品供給装置におけるずれ量（固有機差があるだけでなく送り回転体の回転位置により変化する）に対し吸着ノズルの位置を確実に補正でき、部品が微小な部品であっても吸着ミスを低減して高精度かつ安定した実装を実現できる。特に、部品供給体の送り方向（Ｙ方向）の位置ずれを補正するだけでなく、部品供給体の幅方向（Ｘ方向）の位置ずれも補正することで、微小な部品でもあっても吸着ミスを大幅に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る部品実装装置を示す模式的な斜視図。
【図２】テープフィーダの要部を示す側面図。
【図３】テープフィーダのホイールの側面図。
【図４】キャリアテープを示す模式図。
【図５Ａ】テープフィーダを示すブロック図（ずれ量計測時）。
【図５Ｂ】テープフィーダを示すブロック図（実装動作時）。
【図６】ずれ量のデータを概念的に示す図。
【図７】ずれ量計測を説明するための模式的な斜視図。
【図８】Ｘ方向の部品ずれ量と吸着ミス率の関係を示すグラフ。
【図９】Ｙ方向の部品ずれ量と吸着ミス率の関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１を参照すると、部品実装装置１は、実装ヘッド２、ヘッド位置決め装置３、基板保持テーブル４、基板搬送部５、及び部品供給部６を基台７上に備える。
【００１７】
実装ヘッド２はヘッド位置決め装置３によってＸＹ方向に移動して位置決めされる。実装ヘッド２は、部品１００を吸着保持する複数の吸着ノズル１１と、下向きの視野を有する撮像カメラ１４とを備える。個々の吸着ノズル１１はＺ方向に昇降可能であり、かつそれ自体の軸線（Ｚ方向）周りに回転可能である。Ｘ方向とＹ方向は共に基板１０１の表面沿いの方向（本実施形態では実質的に水平面内）であって互いに直交する。Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向に直交する方向（本実施形態では実質的に鉛直方向）である。なお、図１では図において手前側の実装ヘッドとその位置決め装置の図示を省略している。
【００１８】
ヘッド位置決め装置３は、実装ヘッド２がＸ方向に移動するＸビーム１２と、実装ヘッド２を搭載したＸビーム１２がＹ方向に移動するＹビーム１３とを備える。
【００１９】
基板搬送部５により搬入された基板１０１が基板保持テーブル４に保持される。実装ヘッド２はヘッド位置決め装置３により部品供給部６へ移動し、後述する部品取出位置ＰＯ１（部品１００が取出可能に配置されている）に対して吸着ノズル１１が位置合わせされる。位置合わせ後に吸着ノズル１１が降下して部品１００を吸着保持する。その後、ヘッド位置決め装置３により実装ヘッド２が基板保持テーブル４上の基板１０１へ移動し、吸着ノズル１１が基板１０１上の実装位置に対して位置合わせされる。位置合わせ後、吸着ノズル１１に吸着保持された部品１００が実装位置に実装される。搬入された基板１０１に対して部品実装装置１による実装対象であるすべての部品１００の実装が完了するまで、部品供給部６における吸着ノズル１１による部品１００の吸着保持と、それに続く基板１０１への部品１００の実装とが繰り返される。実装完了後の基板１０１は基板搬送部５によって基板保持テーブル４から搬出される。実装ヘッド２、ヘッド位置決め装置３、基板保持テーブル４、基板搬送部５、及び部品供給部６についてそれ自体の動作を制御するローカルの制御部が設けられている。また、これらの制御部を統括して部品実装装置１の全体の動作を制御する装置本体の制御部１５が設けられている。
【００２０】
部品供給部６には、複数のテープフィーダ（部品供給装置）２１がＸ方向に互いに隣接して整列配置されている。個々のテープフィーダ２１は、部品供給部６における基台７の上面に対し、位置決めされて着脱可能に設置されている。部品供給部６に設置された複数のテープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１は、Ｘ方向に沿って、一定の間隔で一列に配列される。なお、以下の説明では特に言及しない限り図１において手前右端のテープフィーダ２１に着目する。
【００２１】
図１から図３を参照すると、テープフィーダ２１は、細長い帯状のキャリアテープ２２に収納された態様で供給される多数の部品１００をそれぞれ、実装ヘッド２の吸着ノズル１１によって吸着保持して取出可能となるように予め設定された部品取出位置ＰＯ１に順次配置する。図４を併せて参照すると、キャリアテープ２２には、それぞれ部品１００を取出可能に収納した多数の収納凹部（収納部）２２ａが長手方向に一定のピッチＰ１で設けられている。また、キャリアテープ２２には、本実施形態では円形である厚み方向に貫通する多数の送り孔２２ｂが長手方向に一定のピッチＰ２で設けられている。
【００２２】
テープフィーダ２１は、キャリアテープ２２を巻回したテープリール２３（図１にのみ示す）を備える。テープリール２３はＸ方向に延びる回転軸２３ａで回転可能であり、キャリアテープ２２をそのテープ送り方向に送るホイール２４の回転により、キャリアテープ２２が巻き出されて予め設定された部品取出位置ＰＯ１に向けて送られる。本実施形態では、キャリアテープ２２の送り方向（テープリール２３からの巻き出し方向）はＹ方向であり、キャリアテープ２２の幅方向はＸ方向と一致する。
【００２３】
テープフィーダ２１は、テープリール２３の部品１００の収納凹部２２ａからからＸ方向に離れた位置に円板状のホイール（送り回転体）２４を備え、テープリール２３とホイール２４との間であったホイール２４に比較的隣接した固定された位置に、キャリアテープ２２の収納凹部２２ａから部品１００が取り出される部品取出位置ＰＯ１がある。図３を参照すると、ホイール２４の外周にはキャリアテープ２２の送り孔２２ｂに嵌合する複数の送り爪２４ａが径方向外向きに突出するように設けられてる。隣接する送り爪２４ａ間のピッチＰ３は一定に設定されている。ホイール２４の回転軸２４ｂはＸ方向に延びている。ホイール２４はホイール回転駆動部２５によって駆動されて回転軸２４ｂを中心に回転する。ホイール回転駆動部２５は、間欠的にホイール２４を回転駆動し、収納凹部２２ａのピッチＰ１でキャリアテープ２２を間欠的にテープ送り方向であるＹ方向に送り、それによって収納凹部２２ａを部品取出位置ＰＯ１に順次配置させる。本実施形態におけるホイール回転駆動部２５はラチェット機構によりホイール２４を間欠的に回転駆動させる。しかし、一定のピッチＰ１でキャリアテープ２２を送ることができる限り、ホイール回転駆動部２５の具体的な構造は特に限定されない。
【００２４】
テープリール２３に巻回された状態のキャリアテープ２２の収納凹部２２ａの開口側の面（キャリアテープ２２から巻き出されたときの上面）は、カバーテープ２６で覆われている。キャリアテープ２２がテープリール２３から巻き出されて収納凹部２２ａが部品取出位置ＰＯ１に配置される前に、図示しない機構によりキャリアテープ２２からカバーテープ２６が剥離されて巻き取られる。従って、部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａは開口が開放され、内部に収容した部品１００を吸着ノズル１１により取り出し可能となっている。
【００２５】
図５Ａ及び図５Ｂはテープフィーダ２１のブロック図を示す。これらの図に示すように、テープフィーダ２１は、前述のホイール回転駆動部２５に加え、ホイール位置検出部３１、ローカルの制御部３２、メモリ部３３、及び外部データ入出力部３４を備える。
【００２６】
ホイール位置検出部３１は、前述のようにホイール回転駆動部２５により回転駆動されるホイール２４の回転位置（回転軸２４ｂ回りの回転の回転角度位置）を検出する。例えば、ホイール位置検出部３１は、回転軸２４ｂに連結されたエンコーダによりホイール２４の回転位置を直接的に検出する。また、ホイール位置検出部３１は、ホイール２４に取り付けられた被検出体の位置をセンサにより検出し、それに基づいてホイール２４の回転位置を検出するものでもよい。
【００２７】
制御部３２は、後述するずれ量を計測する際及び部品実装装置１に着脱可能に設置して部品供給に使用する際に、ホイール回転駆動部２５を含むテープフィーダ２１の動作を制御する。
【００２８】
メモリ部３３には、部品１００の種類等の識別情報、部品１００の残数等に加え、図６に概念的に示すずれ量ΔＸ，ΔＹ，ΔＺが記憶されている。ずれ量ΔＸ，ΔＹ，ΔＺについては後に詳述する。ずれ量ΔＸ，ΔＹ，ΔＺを含むメモリ部３３に記憶された情報ないしデータは、外部データ入出力部３４によりテープフィーダ２１の外部の機器、すなわち後述するずれ量計測器３６や装置本体の制御部１５との間で、入力及び出力が可能である。
【００２９】
次に、本実施形態の部品実装装置１を使用した部品実装方法を説明する。この部品実装方法は、概ね２つの作業、すなわちずれ量計測と実際の部品１００の実装とを含む。
【００３０】
まず、ずれ量及びその計測について説明する。
【００３１】
図４を参照してずれ量ΔＸ，ΔＹについて説明する。テープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１は固定された一定の位置であり、ホイール２４の回転でキャリアテープ２２を一定のピッチＰ１で送ることで順に部品取出位置ＰＯ１へ送られるキャリアテープ２２の収納凹部２２ａは、理想的には、実際に送られたキャリアテープの収納凹部２２ａの中央位置に相当する実際の収納凹部２２ａの位置Ｐ０２が、固定された一定の位置である部品取出位置ＰＯ１と一致する。しかし、収納凹部２２ａが部品取出位置ＰＯ１に配置される回転位置にホイール２４が回転移動したときの収納凹部２２ａの実際の位置ＰＯ２は、固定された一定の位置である部品取出位置ＰＯ１と一致せず、部品取出位置ＰＯ１に対してＸ方向及びＹ方向に対してずれ量ΔＸ，ΔＹを有する。
【００３２】
この収納凹部２２ａの実際の位置のずれ量ΔＸ，ΔＹには、キャリアテープ２２自体の精度ばらつき（送り孔２２ｂや収納凹部２２ａのピッチの誤差）に起因するずれだけでなく、個々のテープフィーダ２１に固有の精度ばらつきに起因するずれが含まれる。具体的には、ホイール２４が備える送り爪２４ａの形成ピッチの誤差（固有機差がある）は、Ｙ方向のずれ量ΔＹに含まれる。また、ホイール２４の送り爪２４ａは理想的にはＸＺ平面と平行な共通の平面内に位置し、すべての送り爪２４ａのＸ方向の位置は理想的には同一である。しかし、実際には、加工精度や組立上の誤差等に起因するホイール２４のＺ方向の歪み（いわゆる面振れ）のために、個々の送り爪２４ａのＸ方向の位置に誤差があり同一ではない。この送り爪２４ａのＸ方向の位置に誤差は、Ｘ方向のずれ量ΔＸに含まれる。
【００３３】
本実施形態では、図７に示すように、例えばスチール等の金属製の薄い帯状であって送り孔２２ｂや収納凹部２２ａのピッチの誤差がない（精度ばらつきがない）、あるいは極めて少ないとみなせるキャリアテープ（基準テープ３５）を使用し、収納凹部２２ａが固定された一定の位置の部品取出位置ＰＯ１に配置される回転位置にホイール２４が回転移動したときの、収納凹部２２ａの実際の位置ＰＯ２の部品取出位置ＰＯ１に対するＸ方向及びＹ方向のずれ量ΔＸ，ΔＹを予め実際に計測して記憶する。図５Ａを併せて参照すると、ずれ量ΔＸ，ΔＹの計測時には、ずれ量計測器３６がテープフィーダ２１の外部データ入出力部３４に接続される。ずれ量計測器３６は部品取出位置ＰＯ１及び／又は収納凹部２２ａの実際の位置Ｐ０２を撮像する撮像カメラ３７と、撮像カメラ３７で得られた画像に基づいてずれ量ΔＸ，ΔＹを演算してテープフィーダ２１へ出力する演算部３８とを備える。テープフィーダ２１の制御部３２は、ホイール回転駆動部２５によりホイール２４を一定ピッチで間欠的に回転させる。具体的には、収納凹部２２ａのピッチＰ１と同一ピッチで基準テープ３５が送られ、それによって個々の収納凹部２２ａが順に部品取出位置ＰＯ１へ配置されるようにホイール２４が回転駆動される。例えば、収納凹部２２ａのピッチＰ１がホイール２４の送り爪２４ａ間のピッチＰ３’（爪と爪との間の距離）より小さい、例えば１ｍｍであれば、１ｍｍピッチで基準テープ３５を送るようにホイール２４が回転駆動される。
【００３４】
ずれ量計測器３６の撮像カメラ３７は部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａを撮像する。演算部３８は、得られた画像に基づいて実際の収納凹部２２ａの位置ＰＯ２の部品取出位置ＰＯ１に対するずれ量ΔＸ，ΔＹを算出する。演算部３８が算出したずれ量ΔＸ，ΔＹはその時点でのホイール２４の回転位置に関連付けてテープフィーダ２１のメモリ部３３に記憶される。少なくともホイール２４が１回転するまでこのずれ量ΔＸ，ΔＹの計測が行われる。図６に概念的に示すように、テープフィーダ２１のメモリ部３３には、ホイール２４の１回転分に相当するホイール２４の複数の回転位置１，２，３・・・について、Ｘ方向及びＹ方向のずれ量ΔＸ，ΔＹが記憶される。なお、基準テープ３５の収納凹部２２ａは、収納凹部２２ａのピッチ毎の基準位置が検出できる限り、部品１００が実際に入らないサイズの凹部形状、貫通穴形状、認識マーク等であってもよい。
【００３５】
テープフィーダ２１を部品供給部６に設置したときの部品取出位置Ｐ０１の高さ方向のずれの量、すなわちＺ方向のずれ量ΔＺを計測し、その結果もテープフィーダ２１のメモリ部３３に記憶される。このＺ方向のずれ量ΔＺは、Ｘ方向及びＹ方向のずれ量と異なり、ホイール２４の回転位置に依存しない。従って、図６に概念的に示すように、個々のテープフィーダ２１毎にすべての回転位置１，２，３・・・のＺ方向のずれ量ΔＺは同一である。
【００３６】
次に、実際の部品１００の実装を説明する。テープフィーダ２１が新たに部品供給部６に設置されると、装置本体の制御部１５はテープフィーダ２１のメモリ部３３から、ホイール２４の１回転分の各回転位置１，２，３・・・のＸ方向及びＹ方向のずれ量ΔＸ，ΔＹとＺ方向のずれ量ΔＺとを読み込む。制御部１５によるずれ量ΔＸ，ΔＹ，ΔＺの読み込みは、個々の基板１０１毎の実装作業の開始前や、自動運転への切換直後にも実行してもよい。
【００３７】
また、テープフィーダ２１の部品供給部６への設置完了後、実装ヘッド２がそのテープフィーダ２１の上方に移動し、実装ヘッド２に搭載された撮像カメラ１４がテープフィーダ２１の部品取出基準あるいは設置基準の位置を撮像する。装置本体の制御部１５は得られた画像に基づいて新たに部品供給部６に設置されたテープフィーダ２１の部品取出基準としての部品取出位置ＰＯ１あるいはテープフィーダ２１の部品供給部６の設置基準としての認識マークを認識する。実装ヘッド２が最初に部品１００を取り出す前であれば、新たに部品供給部６へテープフィーダ２１を設置した際の撮像カメラ１４を使用した部品取出位置ＰＯ１あるいは設置基準の認識マークの認識を実行するタイミングは、特に限定されない。これにより、テープフィーダ２１の部品供給部６への設置位置の補正量を装置本体の制御部１５が取得する。
【００３８】
個々のテープフィーダ２１では、部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａから実装ヘッド２の吸着ノズル１１により部品１００が取り出されると、収納凹部２２ａのピッチＰ１だけキャリアテープ２２を送るように回転駆動部２５がホイール２４を一定角度だけ回転させ、次の収納凹部２２ａが部品取出位置ＰＯ１に配置される。個々のテープフィーダ２１のローカルの制御部３２は、ホイール２４が回転駆動される度に現時点のホイール２４の回転位置（図６の回転角度位置１，２，３，・・・）を外部データ入出力部３４を介して装置本体の制御部１５に送る。
【００３９】
装置本体の制御部１５は、ヘッド位置決め装置３により実装ヘッド２をＸＹ方向に移動させることで、吸着ノズル１１をいずれかのテープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａに対して位置合わせする。位置合わせ後、吸着ノズル１１がＺ方向に降下してその収納凹部２２ａに収納された部品１００を吸着保持する。吸着保持後、ヘッド位置決め装置３により実装ヘッド２が基板１０１の上方に移動して実装位置に対して吸着ノズル１１に保持された部品１００が位置合わせされる。位置合わせ後、吸着ノズル１１が降下して部品１００が実装位置に実装される。
【００４０】
いずれかのテープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａに対して吸着ノズル１１を位置合わせする際、装置本体の制御部１５は部品取出位置ＰＯ１を、予め取得したテープフィーダ２１の部品供給部６に対する設置位置の補正量及び予め取得したそのテープフィーダ２１のホイール２４の現時点の回転位置に対応するＸ方向及びＹ方向のずれ量ΔＸ，ΔＹで補正する。そして、制御部１５は、この補正により得られたＸ方向及びＹ方向の位置に吸着ノズル１１が位置するように実装ヘッド２を移動させる。収納凹部２２ａの実際の位置ＰＯ２の部品取出位置ＰＯ１に対するずれ量ΔＸ，ΔＹには、テープフィーダ２１間で固有機差があり、１台のテープフィーダ２１についてもホイール２４の回転位置によって変化する。しかし、テープフィーダ２１のメモリ部３３から読み込んだ個々のテープフィーダ２１毎、かつホイール２４の回転位置毎のずれ量ΔＸ，ΔＹを使用することで、吸着ノズル１１の位置を確実に補正でき、部品１００が微小であっても吸着ミスを低減できる。なお、予め取得する実際の収納凹部２２ａの位置Ｐ０２の部品取出位置Ｐ０１に対するずれ量（ΔＸ，ΔＹ）の撮像（検出）は、実装ヘッド２の収納凹部２２ａからの部品１００の取出前であれば、テープフィーダ２１の部品供給部６に対する設置の前後いずれであってもよい。
【００４１】
また、本実施形態では、キャリアテープ２２の送り方向（Ｙ方向）の位置ずれを補正するだけでなく、キャリアテープ２２の幅方向（Ｘ方向）の位置ずれも実装ヘッド２が移動することで補正しており、この点でも微小な部品１００でもあっても吸着ミスを大幅に低減できる。キャリアテープ２２の幅方向（Ｘ方向）の位置ずれは、テープフィーダ２１のホイール２４の回転量の制御では不可能である。本実施形態では、テープフィーダ２１のメモリ部３３から読み込んだＸ方向のずれ量ΔＸに応じて実装ヘッド２で吸着ノズル１１の位置を補正することで、テープフィーダ２１側では不可能なキャリアテープ２２の幅方向（Ｘ方向）の位置ずれの補正を実現している。
【００４２】
以上のように、本実施形態では、実装ヘッド２側でずれ量ΔＸ，ΔＹの両方をまとめて補正している。しかし、実装ヘッド２側ではずれ量ΔＸのみを補正し、ずれ量ΔＹはテープフィーダ２１側でホイール２４がキャリアテープ２２を送る時に、その送りの量で補正してもよい。
【００４３】
部品取出位置ＰＯ１に配置された収納凹部２２ａ内の部品１００の吸着保持のために吸着ノズル１１を降下させる際、装置本体の制御部１５はそのテープフィーダ２１における部品取出位置ＰＯ１のＺ方向のずれ量ΔＺに応じて降下量を補正する。これによっても吸着ミスが低減される。
【００４４】
本実施形態では、テープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１から部品１００を取り出すたびに、部品取出位置ＰＯ１の収納凹部２２ａやそれに収納された部品１００を撮像カメラ１４を使用して認識することなく、テープフィーダ２１を部品供給部６に新たに設置した際の部品取出位置ＰＯ１の認識結果をテープフィーダ２１のメモリ部３３から読み込んだずれ量ΔＸ，ΔＹを使用して吸着ノズル１１の位置を補正することで、認識回数を大幅に減らしながら、確実かつ安定した吸着ノズル１１による部品１００のキャリアテープ２２の収納凹部２２ａからの取り出しと吸着保持を実現している。ただし、テープフィーダ２１の部品取出位置ＰＯ１から部品１００を取り出すたびに、テープフィーダ２１のメモリ部３３から読み込んだずれ量ΔＸ，ΔＹにより補正した移動量で撮像カメラ１４を搭載した実装ヘッド２を部品取出位置Ｐ０１の収納凹部２２ａの部品１００と対向するよう上方に移動させ、それに続いて部品取出位置ＰＯ１の収納凹部２２ａやそれに収納された部品１００を撮像カメラ１４を使用して高精度に認識し、微小な位置補正量をより低減して吸着ノズル１１の位置合わせを実行してもよい。この場合、部品１００がさらに微小化された場合でも、確実かつ安定した吸着ノズル１１による吸着保持を実現できる。
【００４５】
図８及び図９は、０４０２サイズ、０６０３サイズ、１００５サイズ、及び１６０８サイズの部品について、部品取り出しの対象となる収納凹部２２ａ内の部品１００の位置（平面視での図心位置）の吸着ノズル１１に対するＸ方向及びＹ方向のずれ量（部品ずれ量）と、吸着ミス率との関係を示す。許容される吸着ミス率を０．０３％以下とすると、１００５サイズ、０６０３サイズ、及び０４０２サイズの部品について許容されるＸ方向及びＹ方向の部品ずれ量は以下の表１に示す通りである。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
これに対して、キャリアテープ２２自体の精度ばらつき、収納凹部２２ａ内での部品１００の位置ばらつきや、通常での個々のテープフィーダ２１に固有の精度ばらつき、及び吸着ノズル１１のばらつきをすべて考慮した部品１００の位置の部品取出位置ＰＯ１に対するずれ量（供給ずれ量）は、Ｘ方向に１１８．５μmでＹ方向に１３３．６μmである。従って、表１を参照すれば明らかなように、１００５サイズ以上の部品の場合には、供給ずれ量は部品ずれ量の許容範囲内にある。しかし、０６０３サイズ以下の部品の場合、Ｙ方向の供給ずれ量が部品ずれ量の許容範囲を上回るだけでなく、Ｘ方向の供給ずれ量は部品ずれ量の許容範囲に対して微小差ないしは上回っており、吸着ノズルの位置を補正しなければ、吸着ミスが頻繁に起こる。このため、特に０４０２サイズ以下の部品の場合、許容される吸着ミス率以下の部品ずれ量とするために、精度ばらつきの小さいテープフィーダ２１等を選別して部品供給部６に設置する等の煩雑な作業が必要となる。また、許容される吸着ミス率はさらなる低減化が望まれる。これに対し、本実施形態の部品実装装置１によれば、部品１００を吸着保持する際の吸着ノズル１１の位置を実装ヘッド２によってＸ方向及びＹ方向の両方について補正するので、前述のような煩雑な作業を低減又は排除しつつ、０６０３サイズや０４００２サイズ以下の微小な部品の場合の吸着ミスを極めて有効に低減できる。
【００４８】
本発明は、前記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、Ｙ方向のずれ量ΔＹは、実装ヘッド２ではなくテープフィーダ２１のホイール回転駆動部２５によるホイール２４の回転量の制御で補正してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１  部品実装装置
２  実装ヘッド
３  ヘッド位置決め装置
４  基板保持テーブル
５  基板搬送部
６  部品供給部
７  基台
１１  吸着ノズル
１２  Ｘビーム
１３  Ｙビーム
１４  撮像カメラ
１５  制御部
２１  テープフィーダ
２２  キャリアテープ
２２ａ  収納凹部
２２ｂ  送り孔
２３  テープリール
２３ａ  回転軸
２４  ホイール
２４ａ  送り爪
２４ｂ  回転軸
２５  ホイール回転駆動部
２６  カバーテープ
３１  ホイール位置検出部
３２  制御部
３３  メモリ部
３４  外部データ入出力部
３５  基準テープ
３６  ずれ量計測器
３７  撮像カメラ
３８  演算部
１００  部品
１０１  基板
ＰＯ１  部品取出位置
ＰＯ２  実際の収納凹部の位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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