(57)【要約】【課題】空気の噴流によりワークを浮上させ搬送する搬送装置において、ワークを浮上させる浮上装置がワークをほぼ均一な圧力にて傾斜させることなく浮上させるとともに、空気消費量が少ない経済的な搬送装置を提供すること。【解決手段】  空気箱の上面の浮上させるワークを載置した天板上に前記ワークにほぼ一定の圧力で支持するエアクッション室を形成するように、前記天板の周辺部に気体を噴出する対向して空気を噴出するように形成された細長孔の開口部を設けた。【選択図】図３
2012101897.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面上の板状体を浮搬送方向へ搬送する搬送装置にあって、前記搬送方向に並んであって、空気流を用いて浮上させる複数の浮上装置と、前記浮上装置で浮上する板状体を搬送するために、前記板状体を移動させる手段を有し、
各浮上装置は、空気箱の上面の天板の周辺部に設けられた細長の、空気を噴出する空気噴出孔とを有し、各浮上装置の空気噴出孔における少なくとも前記天板の上面側は、前記空気噴出孔の全長に亘って、前記天板のうち前記空気噴出孔の開口部によって囲まれる領域の内側を向くようになってあることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置において、天板に設けられた細長の空気噴出孔に挟まれた断続部の内側に、前記断続部の長さとほぼ同じ長さの空気噴出孔を設けたことを特徴とする浮上装置。
【請求項３】
請求項１記載の搬送装置において前期浮上装置周辺にベルヌーイチャックを配設したことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板、太陽電池フィルム、プラスチック板、鋼板等の板状体を空気流により浮上させ、搬送する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、平板体に設けた多数の小径のノズルあるいは多孔質のセラミック板より空気を搬送する板状体ワークに向かって噴出することにより、板状体を浮上させ非接触にて  板状体を搬送する搬送装置がある。
【特許文献１】特開２０００−６２９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前期従来技術の浮上装置では、板状体を浮上させるための圧力の形成を浮上装置より噴出した噴出気流が板状体と浮上装置との間を流れて、大気に排出するまでの間で
空気流により板状体を浮上させているので、浮上装置全域に亘り噴出気流が均一でなく、そのため板状体を支持する不均一となり、均一な力で、かつ高く浮上させることが困難であるという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、空気噴流により板状体を浮上させて搬送する搬送装置において、板状体を均一な支持力にて浮上させ、かつ高く搬送することができ、かつランニングコストが低く、装置価格の低い経済的な搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、平面上の板状体を空気噴流を用いて浮上させ搬送方向に搬送する搬送装置において、空気噴流を用いて浮上させる複数の浮上装置と、前記浮上装置で浮上する板状体を搬送するために、前記板状体に力を加える推進機構とを有し、各浮上装置は、平面上の上面を備えた天板と、開口部が前期天板の上面に設けられ、前期板状体が天板上に載置されたとき、前記板状体を圧力室型エアクション作用にて、ほぼ一定の流体圧力で支持する領域であるエアクション室が形成されるように、空気を噴出する空気噴出孔とを有する浮上装置であることを特徴とする。
【０００６】
請求項２項に記載の発明は、請求項１に記載の搬送装置において、天板に設けられた空気噴出孔間の断続部の内側に、前記断続部の長さとほぼ同じ長さの空気噴出孔を設け、ほぼ一定の流体圧力で支持する領域であるエアクッション室が形成されるように、空気を噴出する空気噴出孔とを有する浮上装置であることを特徴とする。
【０００７】
請求項３は、請求項１に浮上装置により浮上して搬送される板状体を浮上装置の周囲にベルヌーイチャックを配設し、ベルヌーイチャックにより板状体を吸引することにより各浮上装置により浮上した板状体の浮上高さを一定にする搬送装置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の効果は下記の通りである。
１．空気噴出によりエアクッション室を形成しているので、浮上装置全面に亘り均一の圧力範囲が形成される。
２．板状体全面をほぼ均一な圧力で浮上させるため板状体が撓むことがない。
３．浮上高さが高い。
４．薄い板状体も均一に浮上する。
５．空気噴出量が少なくランニングコストが低い。
６．板状体の浮上量が高いため搬送装置に設置する浮上装置の価格が低く、かつ設置数量が少なくて済み、設備費が低く経済的である。
７．浮上高さを定距離に保持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る搬送装置Ａの概略構成を示す平面図である。
【図２】搬送装置Ａの概略構成を示す側面図である。
【図３】浮上装置Ｃの上平面図である。
【図４】図４（ａ）は浮上装置Ｃのア−ア断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に対応した浮上装置のクッション室４の圧力分布を示す図である。
【図５】浮上装置Ｄの上平面図である。
【図６】浮上装置Ｄのイ−イ断面図である。
【図７】空気噴出孔の変形例を示す図である。
【図８】別の実施形態に係る搬送装置Ｂの概略構成を示す平面図である。
【図９】搬送装置Ｂの概略構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
平面上の板状体Ｇを空気噴流を用いて浮上させ搬送方向Ｆに搬送する搬送装置Ａにおいて、空気噴流を用いて浮上させる複数の浮上装置Ｃと、前記浮上装置Ｃで浮上する板状体Ｇを搬送するために、前記板状体Ｇに力を加える推進機構Ｈとを有し、各浮上装置Ｃは、平面上の上面を備えた天板１と、開口部６が前期天板１の上面に設けられ、前期板状体Ｇが天板１上に載置されたとき、前記板状体Ｇをほぼ一定の流体圧力で支持する領域であるエアクッション室４が形成されるように、空気を噴出する空気噴出孔２とを有する浮上装置Ｃであることにより実現した。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置Ａの概略構成を示す平面図であり、図２は、搬送装置Ａの概略構成を示す側面図である。
【００１２】
搬送装置Ａは、板状体（例えば、液晶ガラス基板）を空気噴流を用いて浮上させつつ、Ｆの方向に搬送する装置であり、浮上装置Ｃと推進機構Ｈとを備えている。
【００１３】
前記浮上装置Ｃは、圧縮空気Ｋを供給する空気送入口９を下面に設けた箱体３の上部に平面状の上面に天板１を備えており、この天板１の外周内側には、圧縮空気Ｋを噴出する細長の空気噴出孔２が短い断続部６を挟んで、全周に亘り設けられている。
【００１４】
次に浮上装置Ｃについて詳細に説明する。
【００１５】
図４(a)は、浮上装置Ｃの断面図（図３におけるア−ア断面を示す図）である。
【００１６】
図４（ｂ）は、図４(a)に対応した浮上装置Ｃのクッション室４の圧力分布を示す図である。
【００１７】
前記空気噴出孔２は、天板１に図３に示すように狭い幅で長くの形成されており、短い断続部７を挟んで全周に亘り設けられている。
【００１８】
前記空気噴出孔２は、前記天板１の少なくとも上面側（少なくとも上面近傍）では、図４に示すごとく、開口部６で囲まれたエアクッション室４の内側を向くようになっている。換言すれば、平面視した場合、前記気体噴出孔２の深い箇所のほうが浅い箇所の方よりも天板１の外縁に近いところにある。
【００１９】
また、前記天板１の前記エアクッション室４領域の外側は、狭い幅に形成されている。
【００２０】
搬送装置Ａは、複数の浮上装置Ｃを備えており、前記天板１は、図示しない基台に互いが近接し、それぞれの天板１上面が１つの平面状になるように水平方向に複数個並べて設けられている。
【００２１】
図示しない圧縮空気供給装置から天板１の空気噴出孔２の下方から圧縮空気Ｋが供給され、前記空気噴出孔２の開口部６より噴出されるようになっている。
【００２２】
また前記浮上装置Ｃで浮上している板状体Ｇを搬送するために、前記板状体Ｇに水平方向の力を加えるための前記推進機構Ｈについて説明する。
【００２３】
前記推進機構Ｈは、図１や図２で示すように複数のローラ５を備えている。
これらの各ローラ５は、前記搬送装置Ｃの両側で、板状体Ｇの搬送方向に並び、前記搬送装置Ｃの前記基台に対して回転自在に設けられている。また、これらの各ローラ５は、チェーン等の動力伝達部材（図示せず）を介してモータ等のアクチュエータによって回転するようになっている。
【００２４】
前記各ローラ５の上端部は１つの水平面上にに存在しており、前記各ローラ５に板状体Ｇが載置され、ローラ５が回転して前記板状体Ｇを搬送するようになっている。
【００２５】
また、図２に示すように、前記各ローラ５の上端部は、前記天板１の上面より僅かに上側に設けられている。
【００２６】
なお、推進機構Ｈを、前述したようにローラで構成する代わりに、ベルトコンベアで構成し、または板状体Ｇをクランプして搬送するような構成しても良い。
【００２７】
次に、搬送装置Ａの動作について説明する。
【００２８】
図１に示すように、搬送装置Ａで板状体Ｇを搬送している状態においては、前記浮上装置Ｃによって板状体Ｇが浮上している。
【００２９】
この浮上している状態について説明する。
【００３０】
図４（ａ）に示すように、空気噴出孔２を通って圧縮空気Ｋは天板１の上面の開口部６より噴出する。
【００３１】
空気噴出孔２から噴出した圧縮空気Ｋによって環状のエアーカーテンが形成され、図４（ｂ）に示すように、前記エアクション室４において圧力がほぼ一定の圧力形成部Ｍが形成される。そしてこの圧力形成部Ｍにより板状体Ｇが支持され前記板状体Ｇが浮上する。
【００３２】
浮上装置Ｃによれば、空気噴出孔２の開口部６が前記天板１の上面のうちエアクッション室４を囲むように設けられているので、板状体Ｇを前記天板１上に載置し前記開口部６から圧縮空気Ｋをした場合、前記空気噴射孔２によって環状のエアーカーテンが形成される。
【００３３】
そして、従来のように、前記板状体Ｇを浮上させるための圧力の生成を板状体Ｇと天板１との間の流路圧損に依存することがほとんど無くなり、代わりに前記板状体Ｇをほぼ一定の流体圧力で支持する圧力形成部Ｍが、４で前記板状体Ｇと前記天板１との間のエアクッション室４に形成されるので、前記板状体Ｇはほぼ均一な力で浮上させることができる。
【００３４】
このように板状体Ｇをほぼ均一な力で浮上させることができることにより、剛性の小さな板状体が浮上している際でも、この板状体の撓みを小さくすることができる。
【００３５】
また、従来のように流路圧損に依存して板状体を支持している場合と異なり、空気圧力がほぼ一定であるエアクッション室４によって板状体Ｇを支持しているので、少ない圧縮空気の噴出量で、板状体Ｇと天板１との距離を大きくすることが容易になり、板状体Ｇを高く浮上させることができる。
【００３６】
このように板状体Ｇと天板の距離を大きくすることができることにより、前記板状体Ｇが前記天板１に接触する恐れを回避することができる。
【００３７】
また浮上装置Ｃでは、空気噴出孔２がクッション室４の内側に向くように形成されているので、少ない空気量にて効率よく、ほぼ均一な圧力形成部Ｍが形成でき、板状体Ｇを天板１との間隙に大きく保ち支持することが可能になるので、板状体Ｇがエアクション室４を外れても、天板１の端部に接触することはない。
【００３８】
また、図７（ａ）に示すように空気噴出孔２ａの角度を天板１ａに対して、ほぼ直角にしてもよい。  また図７（ｂ）、図（Ｃ）に示すように天板１，１ａの対向するどちらかの辺に設けられた空気噴出孔２，２ａ，２ｂだけでも良い。
【００３９】
また、前記搬送装置Ａでは、板状体Ｇを水平方向に搬送する場合の例を示したが、水平方向に対して傾斜した方向に板状体Ｇを搬送することも可能である。
【実施例２】
【００４０】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る搬送装置に使用される浮上装置Ｄの概略構成を示す上平面図であり、図６は、図５におけるイ−イ視図である。  
【００４１】
実施例２に係る搬送装置の浮上装置Ｄは、空気噴出孔２ａの前記断続部７ａとほぼ同じ長さ空気噴出孔２ｂを前記断続部６ａの天板１ａの中央よりに設けた点が、実施例１の搬送装置Ａの浮上装置Ｃとは異なり、その他の点は、浮上装置Ｃとほぼ同じように構成されている。
【００４２】
すなわち、図５および図６に示すように浮上装置Ｄは、平面状の上面を備えた天板１ａを備えており、この天板１ａの外周内側には、圧縮空気Ｋを噴出する細長の空気噴出孔２ａが短い断続部６ａを挟んで、全周に亘り設けられている。
【００４３】
さらに浮上装置Ｄには、前記空気噴出孔２ａ，２ａとの間に形成される断続部７ａの天板１ａの中心よりに前記断続部７ａとほぼ同じ長さの空気噴出孔２ｂが前記断続部６ａの空気噴流Ｋを補間するために形成されている。
【００４４】
浮上装置Ｄに設けられた空気噴出孔２ｂの効果は、前記断続部７ａからの空気噴出がないため、その分エアクッション室４ａの圧力形成量が少なくなるのを回避するため設けたものである。
なお、前記断続部２ｂは、断続部７ａの天板１ａの外周より、すなわち空気噴出孔２ａの外周よりに形成してもよい。
【実施例３】
【００４５】
図８は、本発明の第１の実施形態に係る搬送装置Ｂの概略構成を示す平面図であり、図９は、搬送装置Ｂの概略構成を示す側面図である。
【００４６】
実施例３に係る搬送装置Ｂは、図８および図９に示すように、実施例１に示す搬送装置Ａの構成と同じく、平板状体Ｇ（例えば、液晶ガラス基板）を空気噴流を用いて浮上させつつ、Ｆの方向に搬送する装置であり、浮上装置Ｃ、Ｄと推進機構Ｈとを備えおり、それに加えて板状体Ｇを支持するベルヌーイチャック８が浮上装置Ｃの周囲に基台（図示せず）に装着して配設している。
【００４７】
ベルヌーイチャック８の板状体Ｇに対向する吸引面９は、搬送される板状体Ｇの下方、かつ浮上装置Ｃの天板１より上方に配設されている。
【００４８】
ベルヌーイチャック８は高速空気を板状体Ｇに噴出することにより、板状体Ｇと前記吸引面９との間隙を流れる高速空気流により生じる減圧作用により板状体Ｇを吸引し、狭い一定間隙を保持して、非接触状態にて板状体Ｇを支持する機能を有している。  
【００４９】
浮上装置Ｃでは空気噴出量の変動によりエアクッション室４に形成される圧力形成量が変動し、そのため板状体Ｇ浮上高さが変動する。
【００５０】
これに対し、ベルヌーイチャック８は、 噴出空気量が多少の変動した場合でも、前記ベルヌーイチャック８と板状体Ｇとで形成される前記間隙の変動量は少なく、板状体Ｇとベルヌーイチャック８の吸引面１０との支持距離はほぼ一定である。
【００５１】
そのため搬送装置Ｂでは、浮上装置Ｃにより浮上した板状体Ｇをベルヌーイチャック８により吸引し、常に板状体Ｇの浮上高さを常に一定距離に保持し、常に板状体Ｇの浮上高さを同じ高さにすることが可能である。
【００５２】
尚、搬送装置Ｂにおいて、浮上装置Ｃの周囲にベルヌーイチャック８を配設する領域は、搬送装置Ｂ全体ではなく、板状体Ｇを定距離の浮上状態の保持を必要とする範囲（例えば、前記範囲で光の反射により板状体Ｇ表面の性状検査をする範囲、あるいはカメラの焦点距離の範囲）に限定しても良い。
【００５３】
また浮上装置Ｃとベルヌーイチャック８の配設の位置および数量は本例に限定されず、浮上装置Ｃおよび板状体Ｇにより最適状態の配設する。  
【００５４】
本例では、ベルヌーイチャック８は、板状態Ｇを下方より支持しているが、板状体Ｇの上面より支持することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
液晶ディスプレイ用大型ガラス基板、フィルム、高級鋼板を傷、汚れを付着させずに非接触にて搬送する搬送装置および前記ガラス基板の表面性状検査装置の搬送装置に利用可能性は高い。
【符号の説明】
【００５６】
１，１ａ    天板
２，２ａ，２ｂ    空気噴出孔
３  空気箱
４  エアクッション室
５  ローラ
６  開口部
７、７ａ  断続部
８  ベルヌーイチャック
９  空気送入口
Ａ，Ｂ  搬送装置
Ｃ、Ｄ  浮上装置
Ｋ  高圧空気
Ｈ  推進機構
【図１】
2012101897.tif 000003
【図２】
2012101897.tif 000004
【図３】
2012101897.tif 000005
【図４】
2012101897.tif 000006
【図５】
2012101897.tif 000007
【図６】
2012101897.tif 000008
【図７】
2012101897.tif 000009
【図８】
2012101897.tif 000010
【図９】
2012101897.tif 000011