(57)【要約】 【課題】バーンイン試験に要する全体的な時間を短縮する。【解決手段】バーンインボードＢＩＢ上に、プログラマブルロジック装置１５０を設け、バーンイン試験の際には、このプログラマブルロジック装置１５０に、テストパターン信号と論理値を供給する。テストパターン信号は、プログラマブルロジック装置１５０から、さらに複数の被試験デバイスＤＵＴに供給され、被試験デバイスＤＵＴからの出力信号は、プログラマブルロジック装置１５０で論理値と比較され、その比較結果は、試験結果として、プログラマブルロジック装置１５０に格納される。このため、テスト制御装置１００から、高い周波数でテストパターン信号を供給することができ、また、テスト制御装置１００が被試験デバイスＤＵＴからの出力信号を直接読み込む必要が無くなる。【選択図】図６
2012002730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、テスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納し、
試験結果格納部に格納されている試験結果を、前記テスト制御装置に出力する、
ことを特徴とするバーンインボード。
【請求項２】
前記回路構成設定プログラムは、バーンイン試験の開始前に、予め、前記プログラマブルロジック装置に入力され、前記プログラマブルロジック装置の回路構成の設定がなされている、ことを特徴とする請求項１に記載のバーンインボード。
【請求項３】
前記テスト制御装置は、選択信号を、前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに供給して、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数の被試験デバイスに対する試験結果を、前記試験結果格納部から切り換えながら読み出す、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のバーンインボード。
【請求項４】
前記被試験デバイスからの出力信号が入力される前記プログラマブルロジック装置のＩ／Ｏピンと、前記被試験デバイスが出力信号を出力するソケットのＩ／Ｏピンとの間は、１対１の対応関係で接続されており、前記被試験デバイスが出力する出力信号は並列して同時にプログラマブルロジック装置が読み込み可能である、ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のバーンインボード。
【請求項５】
前記プログラマブルロジック装置が前記テストパターン信号を出力するドライバピンと、前記被試験デバイスに前記テストパターン信号を入力するためのソケットのドライバピンとの間も、１対１の対応関係で接続されている、ことを特徴とする請求項４に記載のバーンインボード。
【請求項６】
前記プログラマブルロジック装置が前記テストパターン信号を出力するドライバピンの数と、前記被試験デバイスに前記テストパターン信号を入力するためのソケットのドライバピンの数との比は、１対２である、ことを特徴とする請求項４に記載のバーンインボード。
【請求項７】
１又は複数のバーンインボードが挿入されるバーンイン装置であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、当該バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とするバーンイン装置。
【請求項８】
１又は複数のバーンインボードと、前記バーンインボードが挿入されるバーンイン装置とを備える、バーンインシステムであって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
前記バーンイン装置には、テスト制御装置が設けられており、
バーンイン試験の際に、前記テスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とするバーンインシステム。
【請求項９】
１又は複数のバーンインボードが挿入されるバーンイン装置の制御方法であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、当該バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とするバーンイン装置の制御方法。
【請求項１０】
１又は複数のバーンインボードと、前記バーンインボードが挿入されるバーンイン装置とを備える、バーンインシステムの制御方法であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、前記バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とするバーンインシステムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バーンインボード、バーンイン装置、及び、バーンインシステムに関し、特に、半導体装置のバーンイン試験を行うバーンインボード、バーンイン装置、及び、バーンインシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等の半導体装置の初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（Burn-In）試験を行う装置として、バーンイン装置が知られている。このバーンイン装置は半導体テスト装置の一種であり、被試験デバイス（Device Under Test）である半導体装置を複数装着したバーンインボードをバーンイン装置内に収容し、被試験デバイスに、電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、恒温槽内部の空気を加熱して所定の温度の熱ストレスを与えることにより、初期不良を顕在化させる。また、このバーンイン試験においては、被試験デバイスに、所定のテスト信号を供給して、被試験デバイスの動作テストを行い、被試験デバイスが正常に動作しているかどうかを試す試験を行う。
【０００３】
このようなバーンイン装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに装着するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン装置に収納して、バーンイン試験を行うのが一般的である（例えば、特許文献１：特開２００５−２６５６６５号公報参照）。
【０００４】
バーンイン試験を行う際に必要となるテストパターン信号は、バーンイン装置で生成されて、バーンインボード上に装着された被試験デバイスに供給される。そして、このテストパターン信号に基づいて被試験デバイスを動作させ、その動作結果である被試験デバイスからの出力信号を、バーンイン装置がバーンインボードから読み出す。バーンイン装置では、読み出した出力信号を論理値と比較し、被試験デバイスが正常に動作しているかどうかを判定する。判定結果は、例えば、被試験デバイスがバーンイン試験をパスしたのか、それともフェイルしたかを示しており、この判定結果が順次、試験結果としてバーンイン装置内のメモリに蓄積される。この判定結果は、例えば、バーンイン装置に設けられたディスプレイに試験結果として表示される。
【０００５】
しかし、被試験デバイスである半導体装置の小型化から、１枚のバーンインボード上に載せることのできる被試験デバイスの数が増大している。また、１枚のバーンインボード上に数多くの被試験デバイスを装着すれば、全体的なバーンイン試験時間の短縮を図ることができ、製造コストの抑制を図ることができる。このため、１枚のバーンインボードに装着できる被試験デバイスが増大することは、一般に望ましいと言える。
【０００６】
その一方で、バーンイン装置とバーンインボードとを接続するコネクタのピンの数は限られている。このため、バーンイン装置から、バーンインボード上にあるすべての被試験デバイスにテスト信号を同時に供給し、同時に出力信号を読み出すことは事実上、不可能である。このため、１枚のバーンインボード上に載せられている複数の被試験デバイスを、所定数の被試験デバイス毎に区分して、複数のグループを構成し、グループ単位で、順次、被試験デバイスに、テストパターン信号を供給するとともに、被試験デバイスからの出力信号をバーンイン装置が読み込んで、動作判定を行い、判定結果を蓄積する。つまり、グループ毎に、順次切り替えて、被試験デバイスからの出力信号を読み出して、バーンイン試験を行う必要がある。このため、１枚あたりのバーンインボードに装着される被試験デバイスの数が増大することは、グループ数が増大することを意味しており、バーンイン試験に要する時間が長くなることを意味している。
【０００７】
また、バーンインボード上に載せられる被試験デバイスの数が増大すると、テストパターン信号を被試験デバイスに供給するための信号配線の本数も増大する。信号配線の本数が増大すると、信号配線の分岐数も多くなり、信号波形に歪みが生じやすくなってしまう。信号波形に生じる歪みを抑制するためには、バーンイン試験の際に被試験デバイスに供給するクロック周波数を低く抑える必要が生じ、これもまた、バーンイン試験に要する時間を長くする要因となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−２６５６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、バーンイン試験に要する時間の短縮を図ることのできるバーンインボード、バーンイン装置、及び、バーンインシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明に係るバーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、テスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納し、
試験結果格納部に格納されている試験結果を、前記テスト制御装置に出力する、
ことを特徴とする。
【００１１】
この場合、前記回路構成設定プログラムは、バーンイン試験の開始前に、予め、前記プログラマブルロジック装置に入力され、前記プログラマブルロジック装置の回路構成の設定がなされているようにしてもよい。
【００１２】
また、前記テスト制御装置は、選択信号を、前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに供給して、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数の被試験デバイスに対する試験結果を、前記試験結果格納部から切り換えながら読み出すようにしてもよい。
【００１３】
また、前記被試験デバイスからの出力信号が入力される前記プログラマブルロジック装置のＩ／Ｏピンと、前記被試験デバイスが出力信号を出力するソケットのＩ／Ｏピンとの間は、１対１の対応関係で接続されており、前記被試験デバイスが出力する出力信号は並列して同時にプログラマブルロジック装置が読み込み可能であるようにしてもよい。
【００１４】
さらに、前記プログラマブルロジック装置が前記テストパターン信号を出力するドライバピンと、前記被試験デバイスに前記テストパターン信号を入力するためのソケットのドライバピンとの間も、１対１の対応関係で接続されているようにしてもよい。
【００１５】
或いは、前記プログラマブルロジック装置が前記テストパターン信号を出力するドライバピンの数と、前記被試験デバイスに前記テストパターン信号を入力するためのソケットのドライバピンの数との比は、１対２であるようにしてもよい。
【００１６】
本発明に係るバーンイン装置は、
１又は複数のバーンインボードが挿入されるバーンイン装置であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、当該バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るバーンインシステムは、
１又は複数のバーンインボードと、前記バーンインボードが挿入されるバーンイン装置とを備える、バーンインシステムであって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
前記バーンイン装置には、テスト制御装置が設けられており、
バーンイン試験の際に、前記テスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とする。
【００１８】
本発明に係るバーンイン装置の制御方法は、
１又は複数のバーンインボードが挿入されるバーンイン装置の制御方法であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、当該バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とする。
【００１９】
本発明に係るバーンインシステムの制御方法
１又は複数のバーンインボードと、前記バーンインボードが挿入されるバーンイン装置とを備える、バーンインシステムの制御方法であって、
前記バーンインボードは、
回路構成設定プログラムに基づいて、回路構成を変更することができる、複数のプログラマブルロジック装置と、
被試験デバイスが装着される複数のソケットであって、前記複数のプログラマブルロジック装置のいずれか１つに接続される複数のソケットと、
を備えており、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれには、複数の前記ソケットが接続されており、
バーンイン試験の際に、前記バーンイン装置に設けられたテスト制御装置から前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれに、テストパターン信号と論理値とが供給され、
前記複数のプログラマブルロジック装置のそれぞれは、
供給されたテストパターン信号を、そのプログラマブルロジック装置に接続されている複数のソケットに供給することにより、これら複数のソケットに装着されている被試験デバイスに供給し、
テストパターン信号に基づく被試験デバイスの動作結果である出力信号を前記ソケットを介して取得し、この被試験デバイスの出力信号を、供給された論理値と比較して、その比較結果を、試験結果として、試験結果格納部に格納するとともに、
前記テスト制御装置は、前記試験結果格納部に格納されている試験結果を読み出して取得する、
ことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るバーンインシステムにおけるバーンイン装置の全体的な正面図。
【図２】図１のバーンイン装置にバーンインボードを収納した状態における内部構成の一例を説明するための正面レイアウト図。
【図３】図１のバーンイン装置において、必要な制御信号や出力信号をバーンイン装置と被試験デバイスとの間で遣り取りするための内部構成の一例を示すブロック図。
【図４】本発明の一実施形態に係るバーンインボードの平面レイアウト図。
【図５】図４に示すバーンインボードにおける１つのプログラマブルロジック装置と、これに接続された１０個のソケットと、これらソケットに装着された被試験デバイスの配置を説明するためのブロック図。
【図６】バーンインボード上に設けられたプログラマブルロジック装置の内部回路をプログラムを用いて設定した場合における回路構成の一例を説明するブロック図。
【図７】図１のバーンインシステムにおいて実行されるバーンイン試験実行シーケンスの内容の一例を説明するフローチャートを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な正面図であり、ドア２０を閉じた状態を示している。図２は、バーンイン装置１０の内部構成の要部を説明するための正面レイアウト図であり、バーンイン装置１０にバーンインボードＢＩＢを挿入した状態を示している。これら図１及び図２に示したバーンイン装置１０は、半導体テスト装置の一種であり、バーンイン装置１０とバーンインボードＢＩＢとにより、本実施形態に係るバーンインシステムが構成されている。
【００２３】
これら図１及び図２に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０の内部には、断熱壁３０で区画された空間により、チャンバ４０が形成されている。このチャンバ４０の内部には、１又は複数のバーンインボードＢＩＢが収納される。
【００２４】
本実施形態においては、図２に示すように、キャリアラックＣＲごと、バーンインボードＢＩＢがチャンバ４０に収納される。すなわち、各キャリアラックＣＲには、バーンインボードＢＩＢを支持するためのスロット５０が形成されており、このスロット５０にバーンインボードＢＩＢを挿入した状態で、チャンバ４０にキャリアラックＣＲが格納される。本実施形態においては、１つのキャリアラックＣＲには、１５枚のバーンインボードＢＩＢを挿入することが可能であるように構成されている。
【００２５】
また、本実施形態においては、４台のキャリアラックＣＲを、チャンバ４０に格納することが可能なように構成されている。したがって、４台のキャリアラックＣＲをチャンバ４０内に収納することにより、合計６０枚のバーンインボードＢＩＢを、チャンバ４０内に収納することが可能である。但し、このチャンバ４０内に収納可能なキャリアラックＣＲの台数や配置、キャリアラックＣＲ内のバーンインボードＢＩＢの枚数や配置は、任意に変更可能である。
【００２６】
さらには、キャリアラックＣＲを用いることなく、バーンインボードＢＩＢを直接、チャンバ４０内に収納するようにしてもよい。この場合、チャンバ４０内にスロット５０を形成し、このスロット５０にバーンインボードＢＩＢを直接挿入することとなる。
【００２７】
図１に示すように、このバーンイン装置１０には、２枚のドア２０が設けられており、ドア２０を開状態にすることにより、キャリアラックＣＲをチャンバ４０から出し入れできるようになる。また、このドア２０にも断熱材が組み込まれており、ドア２０を閉状態にすることにより、周囲から熱的に遮断された空間であるチャンバ４０が構成される。
【００２８】
さらに、図２に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０には、加熱ヒーター６０と、冷却ユニット７０が設けられている。また、チャンバ４０内には、その左側、上側、右側と延びる空気循環ダクトＤＴが設けられており、この空気循環ダクトＤＴに設けられたファン８０により、空気循環ダクトＤＴ内の空気が循環し、チャンバ内の温度が均一になるように空気が循環、攪拌するように構成されている。
【００２９】
冷却ユニット７０は、２台の冷却コンプレッサ７２と、２台の熱交換器７４とにより、構成されている。本実施形態においては、この冷却ユニット７０は、冷媒を用いた冷却方式を採用している。冷却コンプレッサ７２は、冷媒を循環するためのコンプレッサであり、熱交換器７４は、冷媒の冷熱を、チャンバ４０の内部の空気と交換するための交換器である。２台の熱交換器７４は、空気循環ダクトＤＴ内に設けられている。このため、ファン７０により空気を循環させることにより、循環された空気が熱交換器７４で冷却され、チャンバ４０の内部の温度を下げることができる。
【００３０】
また、ヒーター６０は、例えば電熱ヒーターにより構成されており、ヒーター６０に電源が供給されると発熱するように構成されている。ヒーター６０が発熱している状態で、空気循環ダクトＤＴ内の空気を循環させることにより、チャンバ４０内の空気の温度を上げることができる。
【００３１】
一方、バーンイン装置１０の右側には、制御部ＣＬが設けられている。この制御部ＣＬは、予め定められた設定やシーケンスにしたがって、このバーンイン装置１０を制御し、バーンイン試験を行う。本実施形態においては、特に、バーンイン試験の際に、ヒーター６０や冷却ユニット７０を制御して、バーンインボードＢＩＢの周囲の温度が、ユーザなどにより設定された目標温度になるようにする。また、詳しくは後述するが、制御部ＣＬは、バーンイン試験の際に、プログラマブルロジック装置の回路構成を定義した後、このプログラマブルロジック装置にバーンイン試験を行わせ、その後、試験結果として、各被試験デバイスの判定結果を読み出すバーンイン試験実行シーケンスを行う。
【００３２】
図３は、必要な制御信号や出力信号をバーンイン装置１０と被試験デバイスとの間で遣り取りするための内部構成の一例を示すブロック図である。この図３に示すように、バーンイン装置１０には、テスト制御装置１００と、バッファーボード１１０と、ドライバーボード１２０と、エクステンションボード１３０とが設けられている。これらテスト制御装置１００と、バッファーボード１１０とは、例えば、制御部ＣＬの内部に設けられており、ドライバーボード１２０とエクステンションボード１３０は、チャンバ４０内に設けられている。
【００３３】
テスト制御装置１００は、このバーンイン装置１０で行われるバーンイン試験における全体的な制御を行う。本実施形態においては、このテスト制御装置１００は、例えば、上述した制御部ＣＬに設けられたパーソナルコンピューターなどの独立したコンピューターで構成されている。このテスト制御装置１００の制御にしたがって、バーンイン試験は実行される。バーンイン試験の実行のために必要な制御信号は、出力バッファであるバッファーボード１１０を介して、複数のドライバーボード１２０に出力される。
【００３４】
ドライバーボード１２０とエクステンションボード１３０は、チャンバ４０内において、各スロット５０毎に対応して配設されている。すなわち、本実施形態においては、１枚のバーンインボードＢＩＢに対応して、１組のドライバーボード１２０とエクステンションボード１３０とが設けられている。したがって、図１及び図２に示したバーンイン装置１０においては、６０組のドライバーボード１２０とエクステンションボード１３０とが設けられていることになる。ドライバーボード１２０に供給された制御信号は、エクステンションボード１３０を介して、最終的にバーンインボードＢＩＢに供給される。
【００３５】
これとは逆に、バーンインボードＢＩＢから出力された試験結果に関するデータなどの出力信号は、エクステンションボード１３０、ドライバーボード１２０、バッファボード１１０を介して、テスト制御装置１００に入力される。これにより、テスト制御装置１００は、各種の試験結果に関するデータを取得することができる。
【００３６】
図４は、本実施形態に係るバーンインボードＢＩＢの平面レイアウトの一例を示す図である。この図４に示すように、バーンインボードＢＩＢの挿入方向端部には、挿入エッジ１４０が設けられている。この図４の例では、３箇所に、挿入エッジ１４０が配置されている。
【００３７】
バーンインボードＢＩＢがチャンバ４０内に収納されると、エクステンションボード１３０に設けられたコネクタに、この挿入エッジ１４０が挿入される。挿入エッジには、複数の信号パッドが形成されており、また、エクステンションボード１３０側のコネクタにも、複数の信号ピンが形成されている。これら信号ピンと信号パッドとがそれぞれ対応するように配置されており、信号ピンと信号パッドとが電気的に接続される。これにより、バーンインボードＢＩＢがエクステンションボード１３０に電気的に接続され、バーンイン装置１０とバーンインボードＢＩＢとの間の信号の遣り取りが可能となる。そして、バーンイン試験が終了した場合、このバーンインボードＢＩＢは抜去方向に抜去され、バーンインボードＢＩＢ側の挿入エッジ１４０と、エクステンションボード１３０側のコネクタとが切り離される。
【００３８】
バーンインボードＢＩＢ上には、２０個のプログラマブルロジック装置１５０が設けられている。この図４の例では、挿抜方向に５個、幅方向に４個の配置で、並べられている。また、１つのプログラマブルロジック装置１５０に対して、１０個の被試験デバイスＤＵＴが割り当てられるような配置で、ソケットＳＫが設けられており、このソケットＳＫに被試験デバイスＤＵＴが装着される。すなわち、都合、２０個×１０個＝２００個の被試験デバイスＤＵＴが、１枚のバーンインボードＢＩＢ上に装着される。
【００３９】
図５は、１つのプログラマブルロジック装置１５０に接続されるソケットＳＫの配置関係を図示するブロック図である。この図５に示すように、１つのプログラマブルロジック装置１５０の周囲には、１０個のソケットＳＫが配置されており、このソケットＳＫのそれぞれに被試験デバイスＤＵＴが装着される。この図５の例では、プログラマブルロジック装置１５０の横方向に３個、縦方向に４個の配置で、ソケットＳＫが設けられている。
【００４０】
そして、これら１０個のソケットＳＫに装着された１０個の被試験デバイスＤＵＴに、この１つのプログラマブルロジック装置１５０からテストパターン信号が供給され、各被試験デバイスＤＵＴはその動作結果である出力信号を、この１つのプログラマブルロジック装置１５０に出力する。
【００４１】
このプログラマブルロジック装置１５０は、事後的にその回路構成を変更することができるコンフィギュラブルデバイスであり、例えば、ＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）により、構成することができる。但し、このプログラマブルロジック装置１５０は、ＣＰＬＤに限られるものではなく、例えば、ＣＰＬＤよりも機能性の高いＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）により、構成することもできる。
【００４２】
本実施形態においては、このプログラマブルロジック装置１５０の内部構成を変更するための回路構成設定プログラムが、図４に示すバーンインボードＢＩＢにおけるプログラムポート１６０から入力される。すなわち、このバーンインボードＢＩＢの使用を開始する前に、ユーザが、プログラム書き込み装置を使って、プログラムポート１６０から回路構成設定プログラムを各プログラマブルロジック装置１５０に入力する。或いは、ユーザが、このバーンイン装置１０の制御部ＣＬから指示入力することにより、テスト制御装置１００から、各バーンインボードＢＩＢに回路構成設定プログラムが出力されるようにして、各バーンインボードＢＩＢ上の各プログラマブルロジック装置１５０に回路構成設定プログラムが入力されるようにする。この回路構成設定プログラムを各プログラマブルロジック装置１５０に入力することにより、各プログラマブルロジック装置１５０の内部構成は、種々に変更することができる。
【００４３】
回路構成設定プログラムを使って一旦書き込んだ内部構成は、不揮発的に保持されるので、ユーザは、同じ種類の被試験デバイスＤＵＴをソケットＳＫに挿入して、同じバーンイン試験を行う限り、回路構成設定プログラムを使って回路構成を再び書き込まずとも、そのままバーンインボードＢＩＢを使用し続けることができる。一方、被試験デバイスＤＵＴの種類が変更されたり、被試験デバイスＤＵＴの設計が変更された場合には、ユーザは、再びプログラムポート１６０から、回路構成設定プログラムを入力し、プログラマブルロジック装置１５０の内部構成を変更することにより、このバーンインボードＢＩＢを再利用することができる。
【００４４】
また、バーンインボードＢＩＢ上には、回路構成設定プログラムにより設定したプログラマブルロジック装置１５０の回路が、正常に動作しているか否かを検証できるように、ロジックアナライザアダプタ１６２が設けられている。このロジックアナライザアダプタ１６２にロジックアナライザからの接続インターフェースを接続することにより、ユーザは、ロジックアナライザを用いて、プログラマブルロジック装置１５０に設定した回路の動作波形を解析することができる。
【００４５】
本実施形態においては、このプログラマブルロジック装置１５０は、テスト制御装置１００から供給されたテストパターン信号を、１０個の被試験デバイスＤＵＴに分配して供給する機能を有している。また、プログラマブルロジック装置１５０は、テストパターン信号に基づいて動作させた被試験デバイスＤＵＴの動作結果である出力信号を、１０個の被試験デバイスＤＵＴからそれぞれ取得し、論理値と比較する機能を有している。
【００４６】
図５は、１つのプログラマブルロジック装置１５０と、その周囲に設けられた１０個のソケットＳＫの配置と接続関係を説明するためのブロック図である。この図５に示すように、本実施形態においては、横方向に３個、縦方向に４個のソケットＳＫが並ぶように配置されており、このソケットＳＫのそれぞれに被試験デバイスＤＵＴが装着される。図４のバーンインボードＢＩＢ上には、図５に示すようなプログラマブルロジック装置１５０とソケットＳＫのセットが、２０組、設けられていることになる。
【００４７】
また、この図５の例においては、プログラマブルロジック装置１５０のピンと、被試験デバイスＤＵＴのピンとは、１対１の対応関係で接続されている。すなわち、テストパターン信号を供給するためのプログラマブルロジック装置１５０のドライバピンと、被試験デバイスＤＵＴのドライバピンに接続されるソケットＳＫのドライバピンとが、１対１の対応関係で接続されている。このため、プログラマブルロジック装置１５０から出力されたテストパターン信号は、信号配線による分岐で歪むことなく、被試験デバイスＤＵＴに入力される。さらに、被試験デバイスＤＵＴの動作結果である出力信号を出力するための被試験デバイスＤＵＴのＩ／Ｏピンに接続されるソケットＳＫのＩ／Ｏピンと、プログラマブルロジック装置１５０のＩ／Ｏピンとが、１対１の対応関係で接続されている。このため、プログラマブルロジック装置１５０は、被試験デバイスＤＵＴが出力する出力信号を、並列して、同時に、読み込み可能である。
【００４８】
但し、プログラマブルロジック装置１５０のピンと、被試験デバイスＤＵＴのピンとは、１対複数の対応関係で接続されるようにしてもよい。例えば、プログラマブルロジック装置１５０がテストパターン信号を出力するドライバピンの数と、被試験デバイスＤＵＴにテストパターン信号を入力するためのソケットＳＫのドライバピンの数との比を、１対２となるようにすることができる。この場合、プログラマブルロジック装置１５０から出力されたテストパターン信号は、途中の信号配線で１回分岐されて、２つのソケットＳＫのドライバピンに供給されることとなる。すなわち、プログラマブルロジック装置１５０のドライバピンと、ソケットＳＫのドライバピンとの間の信号配線には、分岐が１つ存在することとなる。しかし、１つ程度の分岐では、テストパターン信号の歪みは、それほど大きくならず、被試験デバイスＤＵＴを駆動するクロック周波数を抑制させる要因にはならないと考えることもできる。
【００４９】
図６は、本実施形態に係るプログラマブルロジック装置１５０の内部回路構成の一例を説明するためのブロック図である。すなわち、ＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）に回路構成設定プログラムを書き込むことにより、図６に示すような回路が形成される。
【００５０】
この図６に示すように、本実施形態に係るプログラマブルロジック装置１５０は、入出力コントロール回路２００と、ドライバー回路２１０と、パス／フェイル判定回路２２０と、データセレクタ２３０とを、備えて構成されている。ドライバー回路２１０とパス／フェイル判定回路２２０は、被試験デバイスＤＵＴが装着されるソケットＳＫのそれぞれに対応して、設けられている。したがって、本実施形態においては、１つのプログラマブルロジック装置１５０に、１０組のドライバー回路２１０とパス／フェイル判定回路２２０とが設けられている。
【００５１】
入出力コントロール回路２００には、テスト制御装置１００から、テストパターン信号と論理値とが供給される。入出力コントロール回路２００は、この供給されたテストパターン信号を、各ドライバー回路２１０に供給する。すなわち、本実施形態においては、入出力コントロール回路２００は、１０個のドライバー回路２１０に、テストパターン信号を供給する。また、入出力コントロール回路２００は、供給された論理値を、各パス／フェイル判定回路２２０に供給する。すなわち、本実施形態においては、入出力コントロール回路２００は、１０個のパス／フェイル判定回路２２０に、論理値を供給する。
【００５２】
テストパターン信号が供給された各ドライバー回路２１０は、これをソケットＳＫを介して、被試験デバイスＤＵＴに供給する。これにより、被試験デバイスＤＵＴに、バーンイン試験を行うために必要なテストパターン信号が供給される。このテストパターン信号に基づいて、被試験デバイスＤＵＴは試験駆動し、その駆動結果としての出力信号は、ソケットＳＫを介してプログラマブルロジック装置１５０に出力される。
【００５３】
プログラマブルロジック装置１５０に出力された被試験デバイスＤＵＴからの出力信号は、パス／フェイル判定回路２２０に入力される。すなわち、本実施形態においては、１０個の被試験デバイスＤＵＴから出力された出力信号が、１０個のパス／フェイル判定回路２２０にそれぞれ入力される。
【００５４】
上述したように、パス／フェイル判定回路２２０には、入出力コントロール回路２００から論理値も入力されている。このため、パス／フェイル判定回路２２０は、被試験デバイスＤＵＴから出力された出力信号の値と、入出力コントロール回路２００から出力された論理値とを比較し、両者が一致するか否かを判断する。この判断の結果、出力信号と論理値が一致した場合はパスと判定し、出力信号と論理値とが一致しなかった場合はフェイルと判定する。この判定結果は、試験結果として、データセレクタ２３０に出力される。すなわち、本実施形態においては、１０個の試験結果が、データセレクタ２３０に出力される。
【００５５】
データセレクタ２３０は、この入力された試験結果を格納する試験結果格納部２３２が設けられている。この試験結果格納部２３２は、例えば、ＲＡＭにより構成することができる。このため、データセレクタ２３０は、所定量の試験結果を格納し保持することができる。
【００５６】
データセレクタ２３０には、テスト制御装置１００から、選択信号が入力されている。データセレクタ２３０は、テスト制御装置１００からの指示に基づいて、入力された選択信号に応じて、試験結果を試験結果格納部２３２から読み出して、入出力コントロール回路２００に出力する。本実施形態においては、１０個の被試験デバイスＤＵＴの試験結果が試験結果格納部２３２に格納されるので、データセレクタ２３０は、選択信号に基づいて、その中から、１つの被試験デバイスＤＵＴの試験結果を選択して、入出力コントロール回路２００に出力する。
【００５７】
入出力コントロール回路２００は、この試験結果に関する情報をテスト制御装置１００に出力する。本実施形態においては、選択信号を１０回切り換えることにより、すべての被試験デバイスＤＵＴの試験結果をテスト制御装置１００が取得できることとなる。
【００５８】
上述した動作は、バーンイン試験の間、テスト制御装置１００の制御の下、各プログラマブルロジック装置１５０で実行される。このバーンイン試験の間、テスト制御装置１００は、各プログラマブルロジック装置１５０にテストパターン信号と論理値と供給すればよく、各被試験デバイスＤＵＴまで供給する必要はない。また、テスト制御装置１００は、各プログラマブルロジック装置１５０からパス又はフェイルの試験結果に関する情報だけを取得すればよく、各被試験デバイスＤＵＴから出力信号を取得する必要はない。このため、テスト制御装置１００とバーンインボードＢＩＢとの間で遣り取りする信号の数が削減される。すなわち、プログラマブルロジック装置１５０の数の方が、被試験デバイスＤＵＴの数より多いので、プログラマブルロジック装置１５０を介在させることにより、テスト制御装置１００とバーンインボードＢＩＢとの間で遣り取りする信号数を削減することができ、必要な信号配線の本数を少なくすることができる。
【００５９】
例えば、本実施形態においては、１つのプログラマブルロジック装置１５０から１０個の被試験デバイスＤＵＴにテストパターン信号が供給され、且つ、１０個の被試験デバイスＤＵＴから１つのプログラマブルロジック装置１５０に出力信号が出力されるので、テスト制御装置１００とバーンインボードＢＩＢとの間で遣り取りされる信号数は、およそ１０分の１となる。これにより、バーンインボードＢＩＢの挿入エッジ１４０と、エクステンションボード１３０のコネクタとの間で遣り取りできる信号の数に限りがあるが、この制限の範囲内に、必要な信号配線の本数を抑えることができるのである。
【００６０】
無論、テスト制御装置１００については、バーンインボードＢＩＢ上の信号配線に分岐を設けることにより、テスト制御装置１００からバーンインボードＢＩＢに供給するテストパターン信号の数を削減することは可能である。しかし、信号配線上に数多くの分岐を設けると、テストパターン信号の波形が歪みやすくなり、高い周波数で被試験デバイスＤＵＴを駆動することが不可能になってしまう。このため、本実施形態においては、プログラマブルロジック装置１５０を設け、そして、このプログラマブルロジック装置１５０にドライバー回路２１０を設けることにより、高い周波数のテストパターン信号をテスト制御装置１００に出力からバーンインボードＢＩＢに供給しても、被試験デバイスＤＵＴに供給されるテストパターン信号に歪みが生じないようにできるのである。
【００６１】
次に、図７に基づいて、バーンイン試験の際にテスト制御装置１００で実行されるバーンイン試験実行シーケンスについて、説明する。このバーンイン試験実行シーケンスは、テスト制御装置１００のハードディスクドライブやＲＯＭに格納されているシーケンスプログラムである。このシーケンスプログラムを、テスト制御装置１００のＣＰＵが実行することにより、図７に示すバーンイン試験実行シーケンスが実現される。
【００６２】
このバーンイン試験実行シーケンスが開始されると、まず、テスト制御装置１００は、バーンインボードＢＩＢへの電源の供給を開始する（ステップＳ１０）。これにより、プログラマブルロジック装置１５０と被試験デバイスＤＵＴとに、駆動用の電源が供給される。
【００６３】
次に、テスト制御装置１００は、試験条件データを、各プログラマブルロジック装置１５０に送信する（ステップＳ２０）。この試験条件データを各プログラマブルロジック装置１５０に送信することにより、各プログラマブルロジック装置１５０内の各種の設定が行われる。
【００６４】
次に、テスト制御装置１００は、各プログラマブルロジック装置１５０に、テストパターン信号と論理値の供給を開始する（ステップＳ３０）。これにより、各プログラマブルロジック装置１５０を介して、テストパターン信号が被試験デバイスＤＵＴのそれぞれに供給される。
【００６５】
上述したように、このテストパターン信号による被試験デバイスＤＵＴの動作結果は、出力信号として、被試験デバイスＤＵＴからプログラマブルロジック装置１５０に出力される。プログラマブルロジック装置１５０では、出力信号と、テスト制御装置１００から供給された論理値とを比較し、その判定結果を、各被試験デバイスＤＵＴに対する試験結果として、データセレクタ２３０の試験結果格納部２３２に順次格納しておく。
【００６６】
このような被試験デバイスＤＵＴの動作試験を行っている間、テスト制御装置１００は、チャンバ４０内の温度を制御して、被試験デバイスＤＵＴに温度負荷を与える。すなわち、上述したように、ヒーター６０や冷却ユニット７０を制御して、バーンインボードＢＩＢの周囲の温度が、ユーザなどにより設定された目標温度になるようにする。
【００６７】
定められた一連のテストパターン信号の供給と論理値の供給が完了した時点で、テスト制御装置１００は、試験結果の読み出しを行う（ステップＳ４０）。すなわち、テスト制御装置１００は、選択信号を、各プログラマブルロジック装置１５０のデータセレクタ２３０に供給し、試験結果格納部２３２に格納されている試験結果を順次読み出す。
【００６８】
次に、テスト制御装置１００は、すべてのバーンイン試験が終了したかどうかを判断する（ステップＳ５０）。すべてのバーンイン試験が終了していない場合（ステップＳ５０：ＮＯ）には、テスト制御装置１００は、上述したステップＳ２０に戻り、次のテストパターン信号を供給をするために必要となる設定を行う。
【００６９】
一方、ステップＳ５０において、すべてのバーンイン試験が終了したと判断した場合（ステップＳ５０：ＹＥＳ）には、テスト制御装置１００は、このバーンイン試験実行シーケンスを終了する。
【００７０】
以上のように、本実施形態に係るバーンインシステムによれば、バーンインボードＢＩＢ上に、プログラマブルロジック装置１５０を設け、バーンイン試験の際には、このプログラマブルロジック装置１５０に、テストパターン信号を供給して、このプログラマブルロジック装置１５０から、さらに複数の被試験デバイスＤＵＴに、テストパターン信号を供給することとした。このため、従来のように、テスト制御装置１００から各被試験デバイスＤＵＴに直接供給する場合と比べて、テストパターン信号を供給するためのテスト制御装置１００とバーンインボードＢＩＢとの間の信号配線の本数を削減することができる。
【００７１】
また、テスト制御装置１００から、テストパターン信号とともに、論理値を、各プログラマブルロジック装置１５０に供給して、各プログラマブルロジック装置１５０が各試験デバイスＤＵＴからの出力信号を取り込んで、論理値と比較することとした。このため、従来のように、テスト制御装置１００が、複数の被試験デバイスＤＵＴを、グループ毎に順次切り替えて、出力信号を読み込む必要がなくなり、被試験デバイスＤＵＴの出力信号を読み込むのに要する時間を短縮することができる。これにより、バーンイン試験時間全体の短縮を図ることができる。
【００７２】
また、パス／フェイル判定回路２２０の判定結果である試験結果は、一時的に、データセレクタ２３０の試験結果格納部２３２に格納され、図７のステップＳ４０において、この試験結果を一括して読み出すこととした。このようにすることで、被試験デバイスＤＵＴの出力信号をバーンインボードＢＩＢからテスト制御装置１００が読み出すよりも、読み出すべき情報量の削減を図ることができ、バーンインボードＢＩＢからの読み出し時間の短縮を図ることもできる。このような観点からも、本実施形態に係るバーンインシステムは、バーンイン試験時間全体の短縮を図ることができる。
【００７３】
また、バーンインボードＢＩＢから読み出すべき情報量が削減されることから、１枚のバーンインボードＢＩＢに多くの被試験デバイスＤＵＴを載せられるようにしても、従来のエクステンションボード１３０のコネクタの信号ピン数や、バーンインボードＢＩＢの挿入エッジ１４０の信号パッドの数を増やす必要がなく、既存のバーンイン装置１０をそのまま利用することができる。
【００７４】
また、バーンインボードＢＩＢ上には、プログラマブルロジック装置１５０を設けて、このプログラマブルロジック装置１５０を用いて、被試験デバイスＤＵＴの出力信号を論理値と比較するようにしたので、このプログラマブルロジック装置１５０の回路構成を、回路構成設定プログラムを用いて書き換えることにより、様々なバーンイン試験を行うことができる。このため、被試験デバイスＤＵＴの設計が変更されたり、その種類が変わったりした場合でも、バーンインボードＢＩＢを有効に活用することができる。
【００７５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されずに種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態において、プログラマブルロジック装置１５０の仕様が、回路構成設定プログラムにより設定された回路構成を、電源がオフになった後には記憶保持できない仕様である場合には、バーンイン試験を開始する都度、テスト制御装置１００からプログラマブルロジック装置１５０に回路構成設定プログラムを供給して、プログラマブルロジック装置１５０の回路構成を設定するようにしてもよい。この場合、例えば、図７のバーンイン試験実行シーケンスにおけるステップＳ１０の後に、この回路構成設定プログラムをプログラマブルロジック装置１５０に供給するステップを挿入すればよい。
【符号の説明】
【００７６】
１０  バーンイン装置
２０  ドア
３０  断熱壁
４０  チャンバ
５０  スロット
６０  加熱ヒーター
７０  冷却ユニット
８０  ファン
１００  テスト制御装置
１１０  バッファボード
１２０  ドライバーボード
１３０  エクステンションボード
１４０  挿入エッジ
１５０  プログラマブルロジック装置
ＢＩＢ  バーンインボード
ＤＵＴ  被試験デバイス
ＤＴ  空気循環ダクト
ＣＬ  制御部
【図１】
2012002730.tif 000003
【図２】
2012002730.tif 000004
【図３】
2012002730.tif 000005
【図４】
2012002730.tif 000006
【図５】
2012002730.tif 000007
【図６】
2012002730.tif 000008
【図７】
2012002730.tif 000009