(57)【要約】      （修正有）【課題】有機層の性能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造し得る有機機能性素子の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材２１上に有機層を形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、前記ノズルの開口部９ａａと前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材３１を有する蒸着量調整部材を用い、基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材を配置し、前記線部材間において前記開口部から吐出された有機層形成材料を通過させつつ、前記蒸着工程を行う。【選択図】図４
2012233245.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、
前記ノズルの開口部と前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材を有する蒸着量調整部材を用い、
基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材を配置し、
前記線部材間において前記開口部から吐出された有機層形成材料を通過させつつ、前記蒸着工程を行うことを特徴とする有機機能性素子の製造方法。
【請求項２】
前記線部材における少なくとも前記開口部の中央部を通過するように配置された１つが、前記開口部における前記基材移動方向両端辺と交差するように前記線部材を配置することを特徴とする請求項１に記載の有機機能性素子の製造方法。
【請求項３】
前記開口部の基材移動方向の長さをＬ（ｍｍ）、基材幅方向の長さをＷ（ｍｍ）とし、前記基材移動方向に対する前記線部材の交差角度をθ（°）とするとき、式０＜θ≦ａｒｃｔａｎ（Ｗ／Ｌ）を満たすように構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の有機機能性素子の製造方法。
【請求項４】
気化された有機層形成材料をノズルから吐出することにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着源を備えた有機機能性素子の製造装置であって、
前記ノズルの開口部と前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材を有する蒸着量調整部材が設けられ、
基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材が配置されたことを特徴とする有機機能性素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材上に有機層が形成された有機機能性素子の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、地球への環境負荷等の観点から、有機機能性素子に注目が集まっている。かかる有機機能性素子は、基材上に有機層を有しており、該有機層を形成する材料（有機層形成材料）の性質等に応じて、発光機能や光電変換機能等の機能を発揮するようになっている。
【０００３】
例えば、発光機能を有する有機機能性素子としては、有機発光材料から形成された有機発光層（有機層）を有する有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子等が挙げられ、光電変換機能を有する有機機能性素子としては、有機光電変換材料から形成された有機光電変換層（有機層）を有する有機太陽電池素子等が挙げられる。
【０００４】
このような有機機能性素子の製造方法において、基材上に有機層を形成する方法としては、一般的に真空蒸着法や塗布法が知られているが、これらのうち、有機層形成材料の純度を高めることができ、高寿命が得られ易いことから、真空蒸着法が主として用いられている。
【０００５】
上記した真空蒸着法では、蒸着装置の真空チャンバー内において基材と対向する位置に設けられた蒸着源を用いて蒸着を行うことで有機層を薄膜として形成するようになっており、かかる有機層に対応する蒸着源が設けられている。具体的には、蒸着源に配置された加熱部で有機層形成材料を加熱してこれを気化させ、気化された有機層形成材料（気化材料）を上記蒸着源に設けられたノズルから吐出して、基材上に有機層形成材料を蒸着する。
【０００６】
かかる真空蒸着法においては、いわゆるバッチプロセスやロールプロセスが採用されている。バッチプロセスとは、基材１枚ごとに基材上に有機層を蒸着するプロセスである。また、ロールプロセスとは、ロール状に巻き取られた帯状の基材を連続的に（いわゆるロールトゥロールで）繰り出し、繰り出された基材を回転駆動するキャンロールの表面で支持してその回転と共に移動させつつ、基材上に連続的に有機層を蒸着し、該有機層が蒸着された基材をロール状に巻き取るプロセスである。これらのうち、低コスト化を図る観点から、ロールプロセスを用いて有機機能性素子を製造することが望ましい。
【０００７】
しかし、このように真空蒸着法においてロールプロセスを採用した場合には、有機機能性素子内において有機層が本来発揮すべき機能（例えば上記発光機能や光電変換機能等）の変動（バラツキ）が生じてしまい、低品質の有機機能性素子が製造される場合がある。
【０００８】
一方、真空蒸着法では長寿命化の観点から有機層に取り込まれる水分量を少なくすべく、蒸着源と基材との間の距離を小さくする技術が提案されているが（特許文献１参照）、このように蒸着源と基材との距離を小さくすると、基材の幅方向において中央部から両端部に向かう程、有機層形成材料の付着量（蒸着量）が少なくなり、これに伴って有機層の膜厚も該中央部よりも両端部が小さくなる。このため、上記した発光機能や光電変換機能等が特に幅方向において所望の性能から変動した低品質の有機機能性素子が、より一層製造され易くなる。
【０００９】
そこで、ロールプロセスにおいて、蒸着源のノズルの開口部を、基材の移動方向と平行な流量補正部材により基材の幅方向に２以上の領域に分割し、該流量補正部材によって形成されたスリットを通して有機層形成材料を吐出することによって、基材の幅方向における中央部と両端部との間で有機層形成材料の蒸着量の差を小さくする技術が提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００８−２８７９９６号公報
【特許文献２】特開２００９−３０２０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、上記流量補正部材を設けると、該流量補正部材によって遮蔽される分だけノズルの開口面積が実質的に小さくなるため、有機層の形成速度が遅延し、有機機能性素子の生産効率の低下を招くおそれがある。また、流量補正部材によって、有機層形成材料が基材の移動方向に沿って遮蔽されるため、基材の幅方向において有機層形成材料の蒸着量が小さくなり過ぎる領域が形成され、これに起因して有機層の膜厚が変動するおそれもある。
【００１２】
本発明は、上記問題点に鑑み、有機層によって発揮される機能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造し得る有機機能性素子の製造方法及び製造装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明者が鋭意検討したところ、ノズルの開口部と基材との間に、互いに並列し且つ基材の移動方向に対して交差する方向に配置した複数の線部材を有する蒸着量調整部材を介在させ、基材移動方向と垂直なノズル開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部に向かう程、線部材の間隔が大きくなるように線部材を配置しつつ、基材上に有機層を蒸着することによって、有機層における基材の幅方向中央部と両端部との膜厚の差を小さくすることができ、有機層によって発揮される機能の変動が抑制された有機層を製造し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１４】
すなわち、本発明に係る有機機能性素子の製造方法は、
気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、
前記ノズルの開口部と前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材を有する蒸着量調整部材を用い、
基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材を配置し、
前記線部材間において前記開口部から吐出された有機層形成材料を通過させつつ、前記蒸着工程を行うことを特徴とする。
【００１５】
これにより、基材上での蒸着量における基材の幅方向中央部と両端部との差、すなわち、有機層における上記幅方向中央部と両端部との膜厚の差を小さくし、該膜厚を上記幅方向において均一に近づけることができるため、有機層によって発揮される機能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造することが可能となる。
【００１６】
また、本発明は、前記線部材における少なくとも前記開口部の中央部を通過するように配置された１つが、前記開口部における前記移動方向両端辺と交差するように前記線部材を配置することが好ましい。
【００１７】
これにより、有機層における上記幅方向中央部と両端部との膜厚の差を、より小さくすることができるため、有機機能性素子によって発揮される機能の変動がより抑制された、より高品質な有機機能性素子を製造することができる。
【００１８】
また、本発明は、前記開口部の基材移動方向の長さをＬ（ｍｍ）、基材幅方向の長さをＷ（ｍｍ）とし、前記基材移動方向に対する前記線部材の交差角度をθ（°）とするとき、式０＜θ≦ａｒｃｔａｎ（Ｗ／Ｌ）を満たすように構成されたことが好ましい。
【００１９】
これにより、有機機能性材層における上記幅方向中央部と両端部との膜厚の差を、より小さくすることができるため、有機機能性素子によって発揮される機能の変動がより抑制された、より高品質な有機機能性素子を製造することができる。
【００２０】
また、本発明に係る有機機能性素子の製造装置は、
気化された有機層形成材料をノズルから吐出することにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着源を備えた有機機能性素子の製造装置であって、
前記ノズルの開口部と前記基材との間に介在され、互いに並列し且つ前記基材の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材を有する蒸着量調整部材が設けられ、
基材移動方向と垂直な開口部幅方向において、該開口部の中央部から両端部へ向かう程、前記線部材同士の間隔が大きくなるように前記線部材が配置されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
以上の通り、本発明によれば、有機層によって発揮される機能の変動が抑制された、高品質な有機機能性素子を効率的に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置を模式的に示す概略側面断面図
【図２】図１の蒸着量調整部材近傍の斜視図
【図３】蒸着量調整部材の上面図
【図４】蒸着量調整部材と基材及び開口部との配置関係を示す模式的な平面図
【図５】基材の移動方向に対する線部材の交差角度が３０°のときの開口部と線部材との配置関係を示す図
【図６】基材の移動方向に対する線部材の交差角度が４５°のときの開口部と線部材との配置関係を示す図
【図７】基材の移動方向に対する線部材の交差角度が６０°のときの開口部と線部材との配置関係を示す図
【図８】基材の移動方向に対する線部材の交差角度が７５°のときの開口部と線部材との配置関係を示す図
【図９】線部材が、開口部の対角線上に配置された状態と、基材移動方向と平行に配置された状態とを示す図
【図１０】有機ＥＬ素子の層構成を模式的に示す概略側面断面図であって、図１０（ａ）は、有機層が１層の場合、図１０（ｂ）は、有機層が３層の場合、図１０（ｃ）は、有機層が５層の場合を示す図
【図１１】真空チャンバー内に蒸着源が複数設けられた状態を模式的に示す概略側面断面図
【図１２】本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置に用いられる線部材と、開口部と、の配置関係を示す模式的な平面図
【図１３】本発明の第３実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置に用いられる蒸着量調整部材と、基材及び開口部と、の配置関係を示す模式的な平面図
【図１４】本発明の第４実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置に用いられる蒸着量調整部材と、基材及び開口部と、の蒸着開始時における配置関係を模式的に示す平面図
【図１５】本発明の第４実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置に用いられる蒸着量調整部材と、基材及び開口部と、の蒸着開始時から所定時間経過後の配置関係を模式的に示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に本発明に係る有機機能性素子の製造方法及び有機機能性素子の製造装置について、有機機能性素子が、発光機能を有する有機ＥＬ素子である場合について例を挙げて図面を参照しつつ説明する。
【００２４】
まず、本発明の第１実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置及び製造方法について説明する。図１に示すように、有機ＥＬ素子の製造装置１は、真空チャンバー３を有する蒸着装置であり、真空チャンバー３内には、大まかには、基材供給手段たる基材供給装置５と、キャンロール７と、蒸着源９と、基材回収装置６とが配置されている。
【００２５】
真空チャンバー３は、不図示の真空発生装置により、その内部が減圧状態にされ、内部に真空領域を形成することができるようになっている。かかる真空チャンバー内の真空度は、有機層を形成するための材料（有機層形成材料）２２の種類等に応じて適宜設計することができ、例えば、１０-5Ｐａ以上１０-3Ｐａ以下とすることが好ましい。
【００２６】
基材供給装置５としては、ロール状に巻き取られた帯状の基材２１を繰り出す供給ローラ５が備えられている。前記基材回収装置６としては、繰り出された基材２１を巻き取る巻取ローラ６が備えられている。即ち、供給ローラ５から繰り出した基材２１はキャンロール７に供給された後、巻取ローラ６によって巻き取られる、所謂ロールトゥロール方式となっている。
【００２７】
キャンロール７は、円筒状のステンレスから形成されており、回転駆動するようになっている。かかるキャンロール７は、供給ローラ５から繰り出され（供給され）、巻取ローラ６に巻き取られる基材２１が所定の張力で巻き架けられるような位置に配置されており、キャンロール７の周面（表面）で基材２１の非電極層側（一面側、具体的には、陽極層の設けられた側と反対の側）を支持するようになっている。また、キャンロール７が回転（図１の反時計回りに回転）することにより、巻き掛けられた（支持された）基材２１をキャンロール７と共に回転方向に移動させることができるようになっている。
【００２８】
かかるキャンロール７は、内部に冷却機構等の温度調整機構を有していることが好ましく、これにより、後述する基材２１上での有機層の成膜中において、基材２１の温度を安定させることができる。キャンロール７の外径は、例えば、３００〜２０００ｍｍに設定することができる。
【００２９】
そして、キャンロール７が回転すると、その回転に応じて供給ローラ５から基材２１が順次繰り出され、繰り出された基材２１がキャンロール７の周面に当接して支持されつつその回転方向に移動すると共に、キャンロール７から離れた基材２１が巻取ローラ６によって巻き取られる。
【００３０】
基材２１の形成材料としては、キャンローラ７に巻き架けられても損傷しないような可撓性を有する材料が用いられ、このような材料として、例えば、金属材料、非金属無機材料や樹脂材料を挙げることができる。
【００３１】
上記金属材料としては、例えば、ステンレス、鉄−ニッケル合金等の合金、銅、ニッケル、鉄、アルミニウム、チタン等を挙げることができる。また、上記した鉄−ニッケル合金としては、例えば３６アロイや４２アロイ等を挙げることができる。これらのうち、ロールプロセスに適用し易いという観点から、上記金属材料は、ステンレス、銅、アルミニウムまたはチタンであることが好ましい。また、かかる金属材料から形成された基材の膜厚は、取り扱い性や基材の巻き取り性の観点から、５〜２００μｍであることが好ましい。
【００３２】
上記非金属無機材料としては、例えば、ガラスを挙げることができ、かかるガラスから形成された基材として、例えば、フレキシブル性を持たせた薄膜ガラスを挙げることができる。また、非金属無機材料から形成された基材の厚みは、十分な機械的強度および適度な可塑性の観点から、５〜５００μｍであることが好ましい。
【００３３】
上記樹脂材料としては、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂などの合成樹脂を挙げることができ、かかる合成樹脂として、例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン（ＡＢＳ）共重合体樹脂、ポリカーボネート樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等を挙げることができる。また、樹脂材料から形成された基材として、例えば、上記合成樹脂のフィルムを用いることができる。また、該基材の膜厚は、十分な機械的強度および適度な可塑性の観点から、５〜５００μｍであることが好ましい。
【００３４】
基材２１の幅は、形成される有機ＥＬ素子の大きさに応じて適宜設計され、特に限定されるものではないが、例えば、５ｍｍ〜１０００ｍｍであることが好ましい。
【００３５】
基材２１として具体的には、スパッタリングによって予め陽極層２３（図１０参照）を形成したものを用いることができる。
陽極層２３を形成するための材料としては、インジウム−亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）等の各種透明導電材料や、金、銀、白金などの金属や合金材料を用いることができる。
【００３６】
蒸着源９は、発光層（有機層２５ａ）を含む少なくとも１層の有機層（図１０参照）を形成するためのものであり、形成すべき有機層に対応して１つ以上設けられている。本実施形態では、１層の有機層２５ａを形成するために蒸着源９が１つ設けられている。蒸着源９は、キャンロール７の周面における基材２１の支持領域と対向する位置に配置されており、基材２１上に形成された陽極層２３上に有機層形成材料２２を蒸着させることにより、該基材２１上に形成された陽極層２３上に有機層（図１０参照）を形成するようになっている。
【００３７】
かかる蒸着源９の構成は、加熱等により気化された有機層形成材料２２を基材２１に向けて吐出可能なノズルを有していれば、特に限定されるものではない。例えば、蒸着源９は、有機層形成材料２２を収容することができるようになっており、図２に示すように、ノズル９ａと、加熱部（不図示）とを有している。ノズル９ａは、キャンロール７における基材２１の支持領域と、対向するように配置されている。上記加熱部は、有機層形成材料２２を加熱して気化させるようになっており、気化された有機層形成材料２２は、ノズル９ａから外部に吐出されているようになっている。加熱時の蒸着源９内の温度は、有機層形成材料２２の種類等に応じて適宜設計することができ、例えば、２５０℃以上３２０℃以下であることが好ましい。
【００３８】
また、蒸着源９のノズル９ａの開口部９ａａと基材２１との間には、蒸着量調整部材３０が配置されている。該蒸着量調整部材３０の詳細については後述する。
【００３９】
そして、蒸着源９内で有機層形成材料２２が加熱されると、該有機層形成材料２２が気化され、気化された有機層形成材料２２が、ノズル９ａから基材２１に向かって吐出されて、基材２１上に蒸着される。このように気化された有機層形成材料２２が基材２１に蒸着されることにより、図２及び図１０（ａ）に示すように、基材２１上に形成された陽極層２３上に有機層２５ａが形成される。
【００４０】
発光機能を有する有機層は、少なくとも発光層（有機層２５ａ）を有していれば特に限定されるものではなく、また、必要に応じて、複数の有機層が形成されるようにすることができる。例えば図１０（ｂ）に示すように、正孔注入層（有機層２５ｂ）、発光層（有機層２５ａ）及び電子注入層（有機層２５ｃ）をこの順に積層して、有機層を３層積層することもできる。その他、必要に応じて、上記図１０（ｂ）に示す発光層（有機層２５ａ）と正孔注入層（有機層２５ｂ）の間に正孔輸送層（有機層２５ｄ、図１０（ｃ）参照）を挟むことによって、または、発光層（有機層２５ａ）と電子注入層（有機層２５ｃ）との間に電子輸送層（有機層２５ｅ、図１０（ｃ）参照）を挟むことによって、有機層を４層積層することもできる。
【００４１】
さらに、図１０（ｃ）に示すように、正孔注入層（有機層２５ｂ）と発光層（有機層２５ａ）との間に正孔輸送層（有機層２５ｄ）、発光層（有機層２５ａ）と電子注入層（有機層２５ｃ）との間に電子輸送層（有機層２５ｅ）を挟むことによって、有機層を５層積層することもできる。また、各有機層の膜厚は、通常、数ｎｍ〜３００ｎｍ程度までの間で設計されるが、かかる膜厚は、有機層形成材料２２や、発光特性等に応じて適宜設計されるものであり、特に限定されない。
【００４２】
上記発光層を形成するための材料としては、例えば、トリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ３）、イリジウム錯体（Ｉｒ（ｐｐｙ）３）をドープした４，４’−Ｎ，Ｎ’−ジカルバゾニルビフェニル（ＣＢＰ）等を用いることができる。
【００４３】
上記正孔注入層を形成するための材料としては、例えば、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）、４，４’−ビス［Ｎ−４−（Ｎ，Ｎ−ジ−ｍ−トリルアミノ）フェニル］−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（ＤＮＴＰＤ）等を用いることができる。
【００４４】
上記正孔輸送層を形成するための材料としては、例えば、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，１’ビフェニル−４，４’ジアミン（ＴＰＤ）等を用いることができる。
【００４５】
上記電子注入層を形成するための材料としては、例えば、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化セシウム（ＣｓＦ）、酸化リチウム（Ｌｉ2Ｏ）等を用いることができる。
【００４６】
上記電子輸送層を形成するための材料としては、例えば、トリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ３）、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）−４−フェニルフェノラト−アルミニウム（ＢＡｌｑ）、ＯＸＤ−７（１，３−ビス［５−（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール−２−イル］）ベンゼン等を用いることができる。
【００４７】
また、蒸着源９は、上記したような基材２１の陽極層２３上に形成される有機層の積層構成や積層数量に応じて１つ以上配置されることができる。例えば、図１０（ｂ）に示すように有機層を３層積層する場合には、図１１に示すように、キャンローラ７の回転方向に沿って３つの蒸着源を配置することができる。このようにキャンロール７の回転方向に沿って複数の蒸着源９が設けられた場合、該回転方向に対し最も上流側に配置された蒸着源９によって陽極層２３上に１層目の有機層が蒸着された後、下流側の蒸着源９によって１層目の有機層上に順次２層目以降の有機層が蒸着されて、積層されるようになっている。
【００４８】
上記したように基材２１上に形成された陽極層２３上に有機層を蒸着した後、有機層の最上面に陰極層２７を不図示のスパッタ装置等の真空成膜装置を用いて形成することによって、図１０に示すように、基材２１上に、陽極層２３、有機層２５ａ及び陰極層２７がこの順に積層された有機ＥＬ素子２０が形成（製造）されるようになっている。陰極層２７としては、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、ＩＴＯ、アルカリ金属、または、アルカリ土類金属を含む合金等を用いることができる。
【００４９】
なお、真空チャンバー３内のキャンロール７における基材２１の支持領域と対向する位置において、キャンロール７の回転方向に対し有機層２５ａを形成するための蒸着源９の上流側に陽極層２３を形成するための真空成膜装置、下流側に陰極層２７を形成するための真空成膜装置を配置し、キャンロール７に支持されつつ移動する基材２１に陽極層２３を成膜した後、有機層２５ａを蒸着し、さらに陰極層２７を成膜することもできる。
【００５０】
また、その他、陽極層２３及び陰極層２７の材料として、蒸着源によって蒸着可能な材料を用いた場合には、真空チャンバー３内に陽極層２３及び陰極層２７用の蒸着源を配置し、基材２１上に、陽極層２３、有機層２５ａ、陰極層２７をこの順に連続して蒸着することによって、有機ＥＬ素子２０を形成することもできる。
【００５１】
このようにして形成された有機ＥＬ素子２０において、陽極層２３及び陰極層２７にそれぞれ陽極及び陰極の電圧を印加することにより、有機層２５ａたる発光層が発光し、発光機能を発揮する。
【００５２】
次に、蒸着量調整部材３０について説明する。
【００５３】
図２〜図４に示すように、蒸着量調整部材３０は、ノズル９ａの開口部９ａａと基材２１との間に介在され、互いに並列し且つ基材２１の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材３１を有しており、該線部材３１間において開口部９ａａから吐出された有機層形成材料２２を通過させるようになっている。
【００５４】
具体的には、図２に示すように、本実施形態では、蒸着量調整部材３０の線部材３１は、開口部９ａａと基材２１との間において、開口部９ａａと平行な平面上に配置されている。なお、線部材３１は、必ずしも該平面上に配置される必要はない。
【００５５】
図３に示すように、本実施形態では、複数の線部材３１は、互いに平行に配置されており、また、該線部材３１は、１４本設けられている。かかる線部材３１は、互いに同じ外径を有している。また、線部材３１同士の間隔は、線部材３１の長手方向と垂直方向（図３の左右方向）に対し中央部から両端部に向かう程大きくなるように設定されている。すなわち、開口部９ａａにおいて線部材３１によって遮蔽される領域は、上記垂直方向中央部では比較的密に分布しているのに対し、両端部に向かう程（外側に向かう程）、比較的疎に分布している。
【００５６】
さらに、このように分布した遮蔽領域分布を有する線部材３１は、図４に示すように、基材２１の移動方向（基材移動方向、白抜き矢印）に対して交差して配置されている。すなわち、基材移動方向と垂直な開口部９ａａ幅方向（図４の左右方向）において、該開口部９ａａの中央部から両端部に向かう程、線部材３１同士の間隔が大きくなるように線部材３１が配置されている。これにより、有機層形成材料２２の蒸着量を、基材２１の幅方向（基材幅方向、図４の左右方向）中央部の方が、両端部よりも小さくなるようにすることができる。なお、開口部９ａａの幅方向と基材幅方向とは、同じ方向である。
【００５７】
加えて、基材２１の基材移動方向への移動に伴って、基材２１上の蒸着されるべき幅方向全域がそれぞれ、開口部９ａａにおける線部材３１によって遮蔽されない領域（線部材３１間の隙間）を、必ず通過することができる。これにより、線部材３１による遮蔽に起因して有機層形成材料２２の蒸着量が基材幅方向において部分的に減少することを、抑制することができる。
【００５８】
このように、線部材３１が基材移動方向に対して交差し、開口部９ａａ幅方向において、該開口部９ａａの中央部から両端部に向かう程、線部材３１同士の間隔が大きくなるように線部材３１が配置されていることにより、基材２１上への有機層形成材料２２の蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることができる。すなわち、有機層の基材幅方向中央部と両端部との膜厚の差を小さくすることができる。従って、該膜厚を幅方向に均一に近づけることができるため、膜厚の変動に起因する有機層の発揮する機能の変動を、抑制することができる。
【００５９】
また、図２〜４に示すように、蒸着量調整部材３０は、さらに、繰り出し部３３、巻き取り部３５及びガイド部材３７を有している。
【００６０】
繰り出し部材３３は、ローラ状に形成されており、かかる繰り出し部材３３の周面には、上記した線部材３１の数量及び間隔に対応した溝部３３ａが設けられている。かかる溝部３３ａには、各線部材３１が巻回されて収容されており、また、繰り出し部材３３が回転することにより、巻回された線部材３１を繰り出すようになっている。
【００６１】
巻き取り部材３５は、上記繰り出し部材３３と同様、ローラ状に形成されており、かかる巻き取り部材３５の周面には、上記した線部材３１の数量及び間隔に対応した溝部３５ａが設けられている。巻き取り部材３５が回転することにより、繰り出し部材３３から繰り出された各線部材３１を巻き取って収容するようになっている。
【００６２】
また、繰り出し部材３３及び巻き取り部材３５の配置は、開口部９ａａに対する線部材３１の上記配置関係を維持したまま、線部材３１を繰り出し及び巻き取りすることができるように設定されている。また、本実施形態では、１つの繰り出し部材３３から全ての線部材３１が一斉に繰り出され、１つの巻き取り部材３５によって一斉に巻き取られるようになっている。そして、かかる繰り出し部材３３及び巻き取り部材３５によって、線部材３１が順次連続して開口部９ａａと対向する領域（蒸着領域）を通過するようになっている。
【００６３】
ガイド部材３７は、繰り出し部材３３と巻き取り部材３５との間において、開口部９ａａよりも外側に一対設けられている。かかるガイド部材３７は、繰り出し部材３３から繰り出された線部材３１を、上記の配置関係を維持しながら巻き取り部材３５へと案内するためのものであり、該ガイド部材３７には、各線部材３１に対応した溝部３７ａが形成されている。また、ガイド部材３７は、開口部９ａａから吐出された有機層形成材料２２の基材２１側への飛翔を妨げないような位置において、真空チャンバー３内に支持されている。
【００６４】
次に、上記製造装置を用いた本実施形態の有機機能性素子の製造方法について説明する。
【００６５】
本実施形態に係る有機ＥＬ素子（有機機能性素子）の製造方法は、気化された有機層形成材料２２をノズル９ａから吐出させることにより、該ノズル９ａに対して相対的に移動する基材２１上に有機層２５ａを形成する蒸着工程を含む有機機能性素子の製造方法であって、ノズル９ａの開口部９ａａと基材２１との間に介在され、互いに並列し且つ基材２１の移動方向に対して交差する方向に配置された複数の線部材３１を有する蒸着量調整部材３０を用い、基材移動方向と垂直な開口部９ａａ幅方向において、該開口部９ａａの中央部から両端部へ向かう程、線部材３１同士の間隔が大きくなるように線部材３１を配置し、線部材３１間において開口部９ａａから吐出された有機層形成材料２２を通過させつつ、蒸着工程を行う。
【００６６】
具体的には、蒸着に先立って、上記の通り線部材３１の配置等を設定し、基材２１と蒸着源９のノズル９ａとの間に、かかる線部材３１が備えられた蒸着量調整部材３０を介在させておく。
【００６７】
そして、かかる蒸着量調整部材３０を設置後、減圧雰囲気下、スパッタリング等によって一面側に予め陽極層２３が形成され、ロール状に巻き取られた基材２１を供給ローラ５から繰り出す。また、開口部９ａａと基材２１との間に介在された蒸着量調整部材３０において、繰り出し部材３３から線部材３１を、順次繰り出して蒸着領域を通過させつつ、巻き取り部材３５によって順次巻き取る。
【００６８】
次に、上記した供給ローラ５から繰り出された基材２１を、陽極層２３が形成された側と反対の側をキャンロール７の表面に当接させて移動させつつ、キャンロール７と対向して配置された蒸着源９によって有機層２５ａ（図３参照）を含む有機層形成材料２２を気化させ、気化された有機層形成材料２２を、ノズル９ａからキャンロール７に支持された基材２１上の陽極層２３上に、蒸着領域を順次通過する線部材３１を介して蒸着させる。
【００６９】
そして、基材２１上に有機層２５ａを形成した後、有機層２５ａが蒸着された基材２１を巻取ローラ６によって巻き取る。さらに、巻き取られた基材２１上に形成された有機層２５ａ上に、不図示のスパッタ装置によって陰極層２７を形成することにより、基材２１に、陽極層２３、有機層２５ａ及び陰極層２７がこの順に積層された有機ＥＬ素子２０を形成することができる。
【００７０】
このようにして有機ＥＬ素子を製造することにより、上記した様に、基材２１上における有機層２５ａの膜厚の、基材２１の幅方向中央部と両端部との差を小さくすることができる。従って、有機層２５ａの発揮する機能の変動が抑制された、高品質な有機ＥＬ素子を効率的に製造することが可能となる。
【００７１】
上記した線部材３１の形状は、特に限定されるものでなく、例えば円柱状や矩形柱状等とすることができるが、円柱状であることが好ましい。これにより、線部材３１に対する有機層形成材料２２の付着量を少なくすることができる。
【００７２】
また、上記したように、本実施形態では、線部材３１の外径が同じであることにより、線部材３１を加工することが容易となるため、効果的である。また、線部材３１の数量や間隔は、上記蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが可能であれば、特に限定されるものではない。
【００７３】
これら線部材３１の形状、外径、数量や間隔は、有機層形成材料２２の種類、開口部９ａａの大きさや形状等に応じて適宜設計することができる。例えば、これら形状、外径、数量や間隔は、蒸着量調整部材３０を設けることなく基材２１上に有機層２５ａを形成し、形成された有機層２５ａにおける基材２１の幅方向の膜厚分布を測定し、得られた膜厚分布の実測値に基づいて、補正に必要な開口率、すなわち、開口部の面積に対する開口部が線部材３１によって遮蔽されない面積の比率を計算することにより、設計することができる。
【００７４】
例えば、開口部９ａａは、幅５ｍｍ〜１０００ｍｍの矩形状とすることができ、線部材３１の形状は、円柱状、外径は、１０μｍ〜５００μｍ、数量は、２〜４０本、とすることができる。また、線部材３１の間隔は、例えば、上記開口部幅方向中央部から外側に向かう程広くなる（線部材が疎になる）ように設定することができる。また、線部材３１の長さは、開口部９ａａから吐出される有機層形成材料２２の基材２１側への通過量を調整して、基材２１上での蒸着量を調整可能であれば、特に限定されるものではない。
【００７５】
また、基材移動方向に対する線部材３１の交差の程度は、基材２１上への有機層形成材料２２の蒸着量における、基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが可能であれば、特に限定されるものではなく、上記した線部材３１の形状、外径、数量や間隔と同様、例えば膜厚分布の実測値に基づいて設計することができる。
【００７６】
但し、図５〜図８に示すように、交差の程度が、例えば交差角度θとして３０°から７５°へと大きくなる程、線部材３１の配置が基材幅方向（開口部幅方向）に対して平行に近づき、有機層形成材料２２の蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが困難となる傾向にある。一方、交差角度が小さくなる程、線部材３１による遮蔽に起因する、部分的な膜厚の減少が生じ易くなる傾向にある。
【００７７】
また、基材移動方向に対する線部材３１の交差角度については、開口部９ａａの形状が基材幅方向に比較的長い長辺を有する矩形状の場合には、比較的大きな交差角度でも、線部材３１における少なくとも上記開口部９ａａの中央部を通過する１つが、開口部９ａａにおける上記移動方向両端辺と交差し易くなって、上記蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくし易くなる。一方、開口部９ａａの形状が基材移動方向に比較的長い長辺を有する矩形状の場合には、比較的小さな交差角度で、上記線部材３１の少なくとも１つが上記両端部と交差し難くなって、上記蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくし難くなる。
【００７８】
従って、例えば上記観点を考慮して、線部材３１の基材移動方向に対する配置を適宜設計することができ、例えば、本実施形態のように開口部９ａａが矩形状のとき、線部材３１における少なくとも開口部９ａａの中央部を通過するように配置された１つが、開口部９ａａにおける基材移動方向（図４の上下方向）両端辺と交差することが好ましい。これにより、基材幅方向における線部材３１による蒸着量の調整作用を、より有効に発揮させることができる。
【００７９】
また、例えば、図９に示すように、開口部９ａａの基材移動方向の長さをＬ（ｍｍ）、基材幅方向の長さをＷ（ｍｍ）とし、線部材３１が、ノズル９ａの開口部９ａａの対角線Ｒ上に配置されたとする。このとき、交差角度θは、開口部９ａａの基材移動方向に沿った辺と対角線との角度Φと等しくなる。また、角度Φは、Φ＝ａｒｃｔａｎ（Ｗ／Ｌ）で表される。そして、線部材３１が、かかる対角線よりも基材２１の幅方向（図９の左右方向）に傾斜する、すなわち、交差角度θが角度Φよりも大きい場合には、有機層形成材料２２の蒸着量における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが困難となる。従って、交差角度θ（°）は、式θ≦ａｒｃｔａｎ（Ｗ／Ｌ）を満たすことが好ましい。一方、線部材３１が基材移動方向と交差するため、交差角度θは、θ＞０°である。なお、ａｒｃｔａｎの計算結果として得られる角度の単位はラジアンであるため、従来公知の換算方法、すなわち得られた角度に（１８０°／π）を掛けることにより、該角度の単位を度（°）に換算する。
【００８０】
開口部９ａａに対する各線部材３１の配置については、上記した膜厚分布の実測値に応じて設計されるものであり、有機層の基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが可能であれば特に限定されるものではない。例えば、線部材３１が、開口部９ａａの中心Ｒ（図５参照）に対し点対称に配置されていることが好ましい。これにより、基材２１上における基材幅方向中央部を挟んだ両側において、同様にして蒸着量を調整することができる。
【００８１】
基材２１と開口部９ａａとの間における線部材３１の配置については、例えば、線部材３１は、基材２１よりも開口部９ａａに近い位置に配置されることが好ましく、線部材３１が開口部９ａａと近接するように配置されることがより好ましい。また、線部材３１を開口部９ａａと当接させることもできる。線部材３１が基材２１よりも開口部９ａａに近い位置に配置されることにより、線部材３１間を通過後において、有機層形成材料２２が拡散するための空間領域が確保され易くなるため、線部材３１による遮蔽に起因する、部分的な膜厚の減少を防止することができる。
【００８２】
また、線部材３１が介在される、基材２１と開口部９ａａとの間の距離については、１５ｍｍ以下であることが好ましく、１０ｍｍ以下であることが好ましく、５ｍｍ以下であることが好ましい。かかる距離が小さい程、有機層の膜厚が基材幅方向に変動し易い傾向にある。従って、上記距離を１５ｍｍ以下とすることにより、有機層の膜厚が基材幅方向に変動し易い条件下であっても、該膜厚の基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることができるため、より効果的である。
【００８３】
線部材３１の材質については、線部材３１が、有機層形成材料２２を気化させるための加熱によって蒸着源９の内部が温度上昇した際の蒸着源９内の温度に対して、耐久性を有することが好ましい。かかる耐熱性を有することにより、開口部９ａａ周辺の温度や加熱された有機層形成材料２２との接触によって線部材３１が破損等することを防止することができる。また、線部材３１は、蒸着源９と同じ熱伝導性を有していることが好ましい。これにより、開口部９ａａ周辺よりも線部材３１の温度が低下することを防止し、かかる温度低下に起因して有機層形成材料２２が線部材３１に付着し易くなることを、防止することができる。
【００８４】
このように蒸着源９と同じ熱伝導性を有する、という観点からすれば、線部材３１は、蒸着源９と同じ材質から形成されていることがより好ましい。このような耐久性及び熱伝導性を有する線部材３１として、例えば、アルミニウム、ステンレス、銅、金、ニクロム、タングステン、タンタル、モリブデン等が挙げられる。
【００８５】
また、図１０の有機ＥＬ素子２０内部において有機層の膜厚の変動を抑制する程、電気特性の差や光学特性の差に基づく該素子の発光面における輝度ムラ（機能の変動）を抑制することができる。かかる観点を考慮すれば、有機層の幅方向における膜厚誤差を、膜厚誤差＝（各測定位置での膜厚−中央部での膜厚）／中央部での膜厚×１００によって算出するとき、該膜厚誤差≦５％となる領域が、有機層の幅方向全域に対して６５％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましい。このように、膜厚誤差≦５％となる領域が６５％以上であることにより、上記発光色（発光機能）の変動をより確実に抑制することができるため、より高品質な有機ＥＬ素子を製造することが可能となる。
【００８６】
本実施形態では、上記のように、繰り出し部材３３及び巻き取り部材３５が設けられているため、有機層形成材料２２が付着していないフレッシュな線部材３１が、蒸着源９と基材２１との間に順次連続して介在される。これにより、線部材３１上に有機層形成材料２２が蓄積されることを防止できるため、線部材３１上に蓄積された有機層形成材料２２が基材２１上へと落下して不測の不具合が発生することを防止することができる。また、ガイド部材３７が設けられているため、開口部９ａａと対向する位置を通過する線部材３１の配置の変動を防止することができる。
【００８７】
しかし、これら繰り出し部材３３、巻き取り部材３５及びガイド部材３７は、本発明の必須構成要素ではなく、これらを設けない構成とすることもできる。
【００８８】
次に、本発明の第２実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置及び製造方法について説明する。
【００８９】
図１２に示すように、本実施形態では、開口部９ａａ幅方向において、開口部９ａａの中央部から両端部に向かう程、線部材３１の外径が小さくなるように構成されている。また、線部材３１における断面の中心同士の間隔が、一定となるように配置されている。これにより、上記幅方向中央部から両端部に向かう程、線部材３１の間隔が大きくなっている。また、かかる線部材３１の外径は、上記第１実施形態と同様に、例えば、蒸着量調整部材３０を用いることなく有機層２５ａを形成したときの、膜厚分布の実測値に基づいて設計することができる。その他の構成については第１実施形態と同様であるため説明を省略する。
【００９０】
本実施形態によれば、線部材３１の外径を調整することによって、線部材３１の中心同士の間隔を一定に保つことができるため、線部材３１の位置決めが容易となる。また、本実施形態で示すように線部材３１の外径を調整することに加え、線部材３１の間隔を調整すれば、線部材３１の径と線部材３１の中心間間隔との両方で線部材３１同士の間隔を調整できるため、該線部材３１の間隔のより詳細な調整が可能となり、一層効果的である。
【００９１】
次に、本発明の第３実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置及び製造方法について説明する。
【００９２】
本実施形態では、図１３に示すように、蒸着量調整部材３０に繰り出し部３３及び巻き取り部３５が設けられておらず、線部材３１の長手方向両端部が一対の支持部材３９に支持されている。その他の構成については第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００９３】
本実施形態に示すように、線部材３１が固定され、開口部９ａａに対して移動しない場合であっても、上記第１実施形態と同様、基材２１上での有機層における基材幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが可能である。
【００９４】
次に、本発明の第４実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造装置及び製造方法について説明する。
【００９５】
図１４に示すように、本実施形態では、線部材３１が一対の支持部材３９に支持されている。また、線部材３１は、該線部材３１の長手方向において開口部９ａａの２倍以上の長さを有している。さらに、支持部材３９は、線部材３１の長手方向に沿って、線部材３１を伴って移動できるようになっている。
【００９６】
そして、１４に示すように、蒸着開始から所定時間が経過するまでは、例えば線部材３１の長手方向一端部側が蒸着領域に配置されており、蒸着開始から所定時間経過後に、図１５に示すように、線部材３１における有機層形成材料２２が未だ付着されていない領域が蒸着領域に配置されるように、支持部材３９と線部材３１とが移動する。また、かかる線部材３１及び支持部材３９の移動前後で、開口部９ａａに対する各線部材３１の配置関係が維持されるようになっている。その他の構成は、第３実施形態と同様であるため説明を省略する。
【００９７】
本実施形態により、所定時間経過後に、線部材３１のうち有機層形成材料２２が未だ付着していないフレッシュな部分が蒸着領域に配置されるため、線部材３１上への有機層形成材料２２の蓄積を防止することが可能となる。なお、蒸着開始から、支持部材３９及び線部材３１が、線部材３１の長手方向に沿って順次移動するような構成とすることもできる。
【００９８】
本発明の有機機能性素子の製造方法及び製造装置は、有機ＥＬ素子を例として説明した上記の通りであるが、本発明は上記各実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。例えば、上記各実施形態では、蒸着源９内で有機層形成材料２２を気化させたが、別途の装置で気化された有機層形成材料２２を蒸着源９内に導入し、該蒸着源９のノズル９ａから吐出することもできる。
【００９９】
また、上記各実施形態では、基材供給装置５を真空チャンバー３内に配置したが、基材２１をキャンローラ７へと繰り出すことが可能であれば、キャンローラ７への供給方法は特に限定されるものではない。また、上記実施形態では、蒸着工程が終了した基材２１を巻き取ったが、かかる基材２１を巻き取ることなく、裁断等の工程に供することもできる。
【０１００】
また、上記各実施形態では、線部材３１が互いに平行に配置されているが、線部材３１は、互いに並列しており、有機層の膜厚における基材２１の幅方向中央部と両端部との差を小さくすることが可能であれば、必ずしも平行に配列される必要はない。
【０１０１】
また、上記各実施形態では、本発明の有機機能性素子を有機ＥＬ素子に適用したが、本発明が適用される有機機能性素子は、その他、有機太陽電池素子等、それぞれの機能を発揮させるための有機層を形成する材料を基材上に有する素子であれば、特に限定されることなく適用することができる。かかる場合において、それぞれの機能を発揮させることが可能な有機層形成材料を蒸着源から上記した蒸着量調整部材を介して、それぞれの機能を発揮させるのに適した基材上に付着させばよい。
【０１０２】
例えば、有機太陽電池素子に適用する場合には、フラーレン、銅フタロシアニン等の有機層形成材料を、ガラス、プラスチック、メタルフォイル（金属箔）等の基材上に蒸着することによって、光電変換機能を有する有機層を形成すればよい。
【０１０３】
また、上記第１及び第２実施形態では、全ての線部材３１が１つの繰り出し部材３３及び１つの巻き取り部材３５によって移動可能に構成しているが、その他、各線部材３１に対してそれぞれ、繰り出し部及び巻き取り部を設けることもできる。また、全ての線部材３１を２つや３つのグループに分け、それぞれのグループごとに繰り出し部材及び巻き取り部材を設けること等もできる。
【実施例】
【０１０４】
次に実施例を挙げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１０５】
実施例１
第１実施形態と同様の有機ＥＬ製造装置を用い、基材２１上に有機層を形成し、膜厚変動を測定した。有機層の膜厚変動を精度良く測定するために、基材上に直接、有機層を形成し、形成された有機層の膜厚分布を測定した。
【０１０６】
すなわち、上記した第１実施形態に係る製造装置１において蒸着源９を１つ配置し、発光層たる有機層を形成するための材料としてトリス（８−ハイドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ３）、基材２１として幅２０ｍｍ、全長１３０ｍのフレキシブルガラス基板（基材）を用いた。材質がステンレスのノズル９ａを用い、ノズル９ａの開口部９ａａを、幅が２０ｍｍ、長さが３５ｍｍの矩形状とした。また、蒸着量調整部材として、材質がステンレス、外径が５０μｍ、形状が円柱形状、長さが４０ｍｍの線部材が、４０本、基材移動方向に対する交差角度が３０°となるように配置されたものを用いた。
【０１０７】
そして、蒸着源９内に１ｇのＡｌｑ３を添加し、チャンバー３内を、真空度が５．０×１０-5Ｐａとなるように真空排気した後、蒸着源９内が３００℃に達するまで加熱し、上記の通り線部材が順次連続して移動する蒸着量調整部材３０を介して、ノズル９ａの開口部９ａａからフレキシブルガラス基板上に、Ａｌｑ３を吐出して、基材２１と同じ幅（２０ｍｍ）となるように、また、膜厚が２００ｎｍとなるように蒸着して、有機層を形成した。
【０１０８】
形成された有機層の膜厚について、ＵＬＶＡＣ社製の触針式表面形状測定器Ｄｅｋｔａｋを用い、該測定器を形成された有機層の表面に接触させて、有機層における基材２１の長手方向中央において、幅方向に１ｍｍおきに測定し、各測定位置について膜厚誤差＝（各測定位置での膜厚−中央部での膜厚）／中央部での膜厚×１００（％）によって、膜厚誤差を算出し、幅方向における膜厚誤差分布を得た。得られた膜厚誤差分布から、中央部との膜厚誤差Ｓが、｜Ｓ｜≦１０％となる領域、｜Ｓ｜≦５％となる領域、｜Ｓ｜≦３％となる領域を、各領域が占める幅方向長さ（ｍｍ）として求めた。さらに、それぞれ求めた幅方向長さの、有機層の幅方向全域（基材長さ、２０ｍｍ）に対する百分率（％）を算出した。そして、｜Ｓ｜≦５％となる領域に相当する幅方向長さが、基材の幅方向長さに対して８０％以上である場合を◎、８０％未満６５％以上である場合を○、６５％未満である場合を△として、膜厚誤差の小ささを評価した。結果を表１に示す。
【０１０９】
実施例２
【０１１０】
第３実施形態と同様の製造装置を用い、蒸着量調整部材の線部材を移動させることなく固定して蒸着を行うこと以外は実施例１と同様にして有機層を形成し、幅方向における膜厚誤差を算出した。結果を表１に示す。
【０１１１】
比較例１
【０１１２】
蒸着量調整部材を用いなることなく蒸着を行うこと以外は実施例１と同様にして有機層を形成し、幅方向における膜厚誤差を算出した。結果を表１に示す。
【０１１３】
【表１】
2012233245.tif 000003
【０１１４】
表１に示すように、蒸着量調整部材を用いた実施例１、２は、蒸着量調整部材を用いない比較例１よりも、膜厚誤差が小さいことが認められた。また、実施例１と２では、線部材を順次連続して繰り出し及び巻き取る実施例１の方が、膜厚誤差が小さいことが認められた。これにより、開口部と基材との間に常に新鮮な線部材が介在することにより、有機層形成材料の付着による影響を回避することができるため、膜厚誤差を小さくできることが示された。
【０１１５】
上記の結果、本発明に係る有機機能性素子の製造方法及び有機機能性素子の製造装置により、基材上に形成される有機層の膜厚の変動を幅方向に抑制でき、有機層が発揮する性能の変動を抑制できることがわかった。
【符号の説明】
【０１１６】
１：有機ＥＬ素子（有機機能性素子）の製造装置、３：真空チャンバー、５：基材供給装置、７：キャンロール、９：蒸着源、９ａ：ノズル、９ａａ：開口部、２０：有機ＥＬ素子、２１：基材、２２：有機層形成材料、２５ａ：有機層、３０：蒸着量調整部材、３１：線部材、３３：繰り出し部材、３５：巻き取り部材、３７：ガイド部材、３９：支持部材
【図２】
2012233245.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１】
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【図１１】
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