(57)【要約】      （修正有）【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ（１０）であって、
釣合い手段を含むロータ（２０）と、
前記ロータを回転させる駆動装置（３８、４０）と、
前記ロータを支持するための軸受（４４、５０；６０、６２、６４、６６、６８、７０）と、
前記ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット（１３４）と協働して前記釣合い状態（２３２）の変化を検出するためのセンサ手段と
を備え、
前記真空ポンプは、前記ロータの位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット（１３２）と協働し、
前記釣合い状態の変化に対処するために前記釣合い手段の調整が可能なように、前記ロータの位置に前記釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている
真空ポンプ。
【請求項２】
前記軸受の１つが、前記ロータ（２０）を径方向に支持する玉軸受（５０）を含む、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記軸受が、能動的ラジアル磁気軸受（６０、６２、６４、６６）を含む、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記センサ手段は、振動センサ（５２）を含み、該センサ手段は、少なくとも１つの空間方向内の振動を測定するように設けられている、請求項１ないし３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記センサ手段は、ラジアル軸受隙間センサ（６２、６６）を含む、請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記釣合い状態は、不釣合い（２０８）の絶対値および位置を含む、請求項１ないし５のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記釣合い状態は、不釣合い（２０８）の相対変化を含む、請求項１ないし５のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記割当て手段は、前記ロータ上のマーキングを含む、請求項１ないし７のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記マーキングは、前記ロータ上の凹み（１００）を含む、請求項８に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記釣合い手段は、それぞれ１つの釣合いおもり（１０４、１０８；１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄ）を受け入れるための、前記ロータ上に分布された複数の釣合い内孔（１０２、１０６；１１０、１１２、１１４、１５６）を含む、請求項１ないし９のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
前記割当て手段は、前記釣合い手段の非回転対称形状として、特に前記釣合い内孔（１１４）の非回転対称分布として形成されている、請求項１０に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
前記釣合い手段、特に前記釣合い内孔（１０２、１０６；１１０、１１２、１１４、１５６）は、プロセス堆積物から保護されている、請求項１０または１１に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
前記割当て手段は、前記ロータの要素の１つへの前記釣合い手段の一義的割当てが行われるように、他の方法により前記釣合い手段として回転軸線の周りに分布されている前記ロータの要素を含む、請求項１ないし１２のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項１４】
真空ポンプ（１０）を備えたシステムであって、
前記真空ポンプは、
釣合い手段を含むロータ（２０）と、
前記ロータを回転させる駆動装置（３８、４０）と、
前記ロータを支持するための軸受（４４、５０；６０、６２、６４、６６、６８、７０）と、
前記ロータの釣合い状態（２３２）を測定するためのセンサ手段と、
前記釣合い状態を検出するように適合されている評価ユニット（１３４）と、
前記ロータ位置を決定するためのロータ位置検出ユニット（１３２）と、
前記釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、前記ロータの位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段と
を備えたシステム。
【請求項１５】
初期釣合い状態（２３２）にもたらされている、真空ポンプ（１０）のロータ（２０）の釣合いをとる方法であって、
前記ロータの釣合い状態がモニタリングされ、
釣合い状態がロータ位置に割り当てられ、
前記釣合い状態が変化したとき、該釣合い状態を改善するために前記ロータに設けられている釣合い手段が修正される、真空ポンプのロータの釣合いをとる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の真空ポンプ、請求項１４の上位概念に記載の装置および請求項１５の上位概念に記載の方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプ、特に高速回転ロータを有する真空ポンプの運転性能は、それに対応して、１つまたは複数のロータの釣合い精度に大きく依存する。真空ポンプの製造工程においては、釣合い過程は、最善の条件下で且つ一部特殊な装置内で実行されるので、きわめて高い釣合い精度が達成可能である。
【０００３】
さらに、真空ポンプ、特に分子真空ポンプおよびターボ分子真空ポンプは、できるだけ低い最終圧力が必要とされる清浄な用途においてのみ使用されてきた。今日では、真空ポンプは全く別の条件下で使用されている。真空ポンプが、ロータ上およびポンプ・システム内に一部多量のプロセス堆積物を導くプロセス・ガスを吸引するために利用されることが、ますます多くなってきた。汚染度が高い場合、僅か数カ月以内で、新たに釣合いをとらないかぎり継続運転が不可能なほどに、真空ポンプの釣合い精度が低下することがある。
【０００４】
この問題に対する対策は、従来技術において既知である。
【０００５】
この対策の１つは適切な温度管理である。この場合、堆積物を回避するために、真空ポンプの個々の領域において加熱処理が行われる。
【０００６】
堆積物を制限するための他の方法は、不活性ガスを供給することである。この目的は、プロセス成分を真空ポンプの表面から十分に遮断するか、または、ポンプ通過速度を加速させることである。
【０００７】
表面の機能的なコーティング並びにガス案内形状の最適化もまた使用される。
【０００８】
結局、これらの対策は、堆積過程を減速させることにより、この避けられない事態を遅らせるにすぎない。釣合い精度は、さらに低下し、且つ、いずれは釣合い精度が改善されなければならない状態に到達する。これは、一般に、真空ポンプの交換、即ち交換のためにプロセスが停止されるので、高い材料費および時間損失を意味する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
したがって、本発明の課題は、不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプにより、請求項１４の特徴を有する装置により、および請求項１５の特徴を有する方法により解決される。請求項２ないし１３は有利な変更態様を与える。
【００１１】
請求された特徴は、その釣合い精度が簡単に改善可能な真空ポンプを提供する。釣合い精度の改善は、客先の現場において提供可能である。本発明は、真空ポンプを客先の装置から取り外すことなく実行可能である。場合により、真空ポンプの解体を伴うコストのかかる交換の代わりに、プロセスの休止中に、迅速な釣合い修正が可能である。これにより、コストおよび時間に関して、きわめて有利となる。
【００１２】
幾つかの実施例およびそれらの変更態様により、本発明を詳細に説明し、且つ、それらの利点を解明することとする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、真空ポンプを備えた装置を略図で示す。
【図２】図２は、転がり軸受および磁気軸受内に支持されたロータを有する真空ポンプの構成部品を略図で示す。
【図３】図３は、第５の軸線内の磁気軸受により能動的に支持されたロータを有する真空ポンプの構成部品を略図で示す。
【図４】図４は、釣合い状態を示すための原理図を示す。
【図５】図５は、釣合い状態の変化を説明するための原理図を示す。
【図６】図６は、釣合い内孔を有する釣鐘状ロータの断面図を示す。
【図７】図７は、釣合い手段を有する釣鐘状ロータの平面図を示す。
【図８】図８は、釣合い手段の高さ内における釣鐘状ロータの断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は、真空ポンプを備えた装置を略図で示す。例えば、その中でコーティング・プロセスが行われる室２は、室フランジ４を有し、室フランジに、真空ポンプ１０が気密をなして着脱可能に固定されている。真空ポンプは、その内部にロータ２０を内包する。真空ポンプ内で供給され、且つ、圧縮されるガスは、ガス出口配管６に移送され、ガス出口配管は、例えば、図示されていない背圧真空ポンプに連絡し、背圧真空ポンプは、次にガスを大気圧まで圧縮する。真空ポンプは、ポンプ電子装置１２を有し、ポンプ電子装置は、真空ポンプに直接フランジ接続されていてもよい。ポンプ電子装置の内部に種々の役目をなす電子装置構成部品１４、例えば、駆動装置構成部品、インタフェース操作部品等が設けられている。ポンプ電子装置に指示要素１６が結合され、指示要素は、ポンプ電子装置のハウジング内の画像スクリーンとして、着脱可能に結合された、光信号計器を有する手動装置として、またはインタフェースを介して結合されたコンピュータとして形成されていてもよい。
【００１５】
真空ポンプの内部機構の第１の実施形態が図２に略図で示されている。ロータ２０は、軸２２を有し、軸は少なくとも１つのディスク・ハブ２４を支持し、ディスク・ハブに羽根２６のリムが固定されている。軸の第１の端部は、軸受ステータ４６および軸受ロータ４８を含むラジアル永久磁気軸受４４により支持される。拘束軸受３６は、きわめて大きなたわみを導く高い力がロータにかかった場合に、軸受ステータと軸受ロータとの接触を阻止する。
【００１６】
軸の第２の端部は、第１の端部の反対側に存在する。軸の第２の端部付近において、軸は、転がり軸受５０により回転可能に軸方向および径方向に支持される。
【００１７】
永久磁気軸受と転がり軸受との間において、軸上にモータ磁石４０が装着され、モータ磁石は、通電されるモータ・ステータ３８と協働して軸を回転軸線２００の周りに高速回転させる。
【００１８】
ディスク・ハブとモータ磁石との間に、ロータは、軸と共に回転可能に結合されたホルベック・ハブ３０を有し、ホルベック・ハブは、ホルベック・シリンダ３２を支持する。
【００１９】
ロータの釣合いをとるために、ロータは釣合い手段を有している。釣合い手段は、図２の例においては、釣合い内孔、およびその中に装着された、例えば、ねじ込まれた釣合いおもりを含む。釣合いおもり１０４を有する第１の数の釣合い内孔１０２が永久磁気軸受の付近に設けられている。釣合いおもり１０８を有する第２の数の釣合い内孔１０６がホルベック・ハブ内に設けられている。
【００２０】
モータ・ステータの通電は、通電ライン１４０を介してモータ・ステータと結合された駆動装置制御ユニット１３０により行われる。ロータ位置検出ユニット１３２は、位置検出分岐ライン１４２を介して通電ラインと結合され、且つ、通電ラインの信号、例えば、モータ磁石により誘導された逆起電力からロータ位置を評価する。ホール・センサ等の使用が考えられるが、図示の例は、部品を省略することによりコスト的な利点を有し、且つ、誤差の原因を排除する。ロータ位置検出ユニットは、駆動装置制御ユニットの構成部品であってもよく、また、例えば、正弦状に整流された同期モータの場合には、ロータ位置を決定するために、駆動装置制御ユニット内において実行されるモータ・モデルを使用してもよい。
【００２１】
転がり軸受に振動センサ５２が結合され、振動センサは、転がり軸受の振動を測定する。この振動信号内にロータ２０の不釣合いに関する情報が含められている。振動センサは、センサ・ライン１４４を介して評価ユニット１３４と作動結合されている。評価ユニットは、さらに、位置検出ライン１４８を介してロータ位置検出ユニットと作動結合されている。
【００２２】
評価ユニットは、振動信号から不釣合いに関する情報を生成し、且つ、ロータ位置に関する情報に割り当てるように形成されている。ロータ上の割当て手段、例えば、ホルベック・ハブに設けられた切込み１００により、不釣合いに関する情報を釣合い内孔および釣合いおもりに一義的に割り当てることが可能である。
【００２３】
部品の協働作用および方法を詳細に説明する前に、図３は、真空ポンプ１０の内部機構の同様に適切な形態を示している。
【００２４】
この例においては、ロータ２０は、軸２２のほかに、しばしば略して釣鐘と呼ばれる釣鐘状本体２８を含み、釣鐘状本体は羽根２６を支持している。釣鐘により中空空間が形成され、中空空間内に軸が配置されている。軸を包囲して、中空空間は、第５の軸線内に、ロータを支持するための磁気軸受の構成部品の少なくとも一部を含んでいる。
【００２５】
ロータは、釣合い手段を有し、釣合い手段は、釣合い内孔および釣合いおもりを含む。第１の釣合い面の釣合い内孔１０２およびその中に存在する釣合いおもり１０４は、釣鐘の正面側、即ち、軸を避けた外側に存在する。第２の釣合い面の釣合い内孔１０６およびその中に存在する釣合いおもり１０８は、釣鐘の外筒上の２つの羽根列の間に設けられている。ロータを長時間運転して、これにより堆積物が発生した後における釣合いおもりへのアクセス可能性を保証するために、釣合い内孔および釣合いおもりが保護されていてもよい。このために、カバー８０が設けられ、カバー８０は、第１の面の釣合い内孔を保護し、且つ、釣鐘と着脱可能に結合されている。羽根列の間にカバー８２が設けられていてもよく、カバー８２は、例えば、釣鐘を包囲するメタルバンドとして形成されている。
【００２６】
例えば、小さな切込み１００として凹みの形に形成されている割当て手段は、モータ磁石の位置に対する釣合い内孔の割当て、および、これにより釣合い内孔に対するロータの釣合い状態の割当てを可能にする。
【００２７】
堆積物から保護するために、割当て手段、図示の例においては切込みが、釣合い内孔と同様にカバーされていてもよい。図３に一代替態様が示され、この代替態様は釣合い内孔および釣合いおもりにも使用可能である。遮断ガス入口８４から釣鐘の下側に遮断ガスが導入され、これにより、釣鐘のみならず、磁気軸受もまたプロセス・ガスから保護される。ここで、遮断ガスがマーキングの上を流動して、プロセス堆積物がマーキング上に堆積されないように、マーキングが釣鐘上に配置されている。
【００２８】
磁気軸受装置は、軸の釣鐘側端部に付属された上部ラジアル軸受ステータ６０、上部ラジアル・センサ６２、下部ラジアル軸受ステータ６４並びに下部ラジアル・センサ６６を含む。これらのラジアル軸受により、それぞれ直角な２つの空間方向内において支持が行われる。ラジアル・センサは、ラジアル軸受ステータの内部における軸の位置に関する情報を与える。
【００２９】
残りの第５の軸線は、回転軸線２００に沿って配置され、且つ、アキシアル軸受により支持される。アキシアル軸受ステータ６８およびロータ側のアキシアル軸受ディスク７０がアキシアル軸受として働く。
【００３０】
ラジアル軸受ステータおよびアキシアル軸受ステータのコイルの通電は、ラジアル・センサおよびアキシアル・センサの信号に従って、センサおよびコイルと結合された磁気軸受制御ユニット１３６から調節される。センサの信号はロータの不釣合い状態に関する情報を含む。
【００３１】
十分な数の拘束軸受３６は、軸受が通電されていないときの軸支持を保証する。
【００３２】
駆動装置は、軸にしたがってロータを高速で回転させ、且つ、モータ・ステータ３８およびモータ・ロータ４０を含む。モータ・ステータの通電は、駆動装置制御ユニット１３０により通電ライン１４０を介して行われる。
【００３３】
適切な形でロータの回転位置を検出するロータ位置検出ユニット１３２が設けられている。図示の例において、位置検出分岐ライン１４２が設けられ、位置検出分岐ラインを介して、モータ・ロータのモータ磁石により誘導された逆起電力から、軸受情報が決定される。
【００３４】
評価ユニット１３４は、ロータ位置検出ユニット１３２および磁気軸受制御ユニット１３６と作動結合されている。評価ユニットは、ロータ位置が磁気軸受センサ信号から決定されたロータの釣合い状態に割り当てられるように形成されている。マーキングに基づき、次に、釣合い状態が釣合い内孔および釣合いおもりに一義的に割り当てられている。
【００３５】
図２および３に示した上記の部品の協働作用を図４により詳細に説明することとする。第１の釣合い面２０４および第２の釣合い面２０６が略図で示され、これらの釣合い面内に釣合いおもり１０４および１０８が設けられている。これらの釣合いおもりを用いて、ロータは、製造時にできるだけ良好に釣合いがとられ、これにより、回転軸線２００の周りの規則回転が得られる。
【００３６】
モータ・ロータは、例えば、モータ磁石の磁化方向から決定される代表方向２０２を有している。モータ・ロータおよび釣合い内孔はロータ上に位置固定であるので、この方向は、釣合い内孔の位置に固定して割り当てられている。同様に、マーキング１００もまた、ロータ上において位置が固定されている。
【００３７】
運転中に、例えば、ロータ上に堆積物が形成されてくる。このような堆積物は完全に回転対称に形成されないので、堆積物は釣合い状態を変化させ、このことが、図４に、不釣合い面２１０内の１つの不釣合い２０８により示されている。不釣合いは、回転軸線の周りに不規則回転を発生させる。ここでは、種々の釣合い面の釣合いおもりを変化させることにより、この不釣合いを修正することが目的である。
【００３８】
不釣合いの影響はセンサ信号内に含まれている。この検定は、回転軸線に垂直な２つの方向内のセンサにより検出可能である。代替態様として、１つの方向のみを測定する１つのセンサが設けられていてもよく、また、不釣合いは、回転軸線の周りの回転の間に、あるときはセンサ方向に、且つ、あるときはセンサ方向に直角に存在するので、この信号が次に位相解析される。
【００３９】
ここで、評価ユニットは、不釣合いによって変化された釣合い状態から、釣合い面内の個々の釣合いおもりの必要な変化を導き、且つ、これをロータ位置に割り当てるように形成されている。この場合、不釣合いの絶対値が出力されてもよい。しかしながら、より簡単な形態は、ポンプの製造後の釣合い状態に対して釣合い状態の相対変化のみを決定するように評価ユニットを形成する設計がなされている。これから、釣合い手段の必要な変化が行われ、図示の例においては、個々の釣合いおもりの必要な変化が行われる。この変化は、はじめに、ロータ位置に割り当てられ、即ち、方向２０２に割り当てられている。この方向は、割当て手段に対して固定の関係にあるので、変化はこの割当て手段にも割り当てられている。指示要素１６を介して釣合いおもりの必要な変化を出力したのち、指示要素は、それに対応して釣合い手段の変化に関する情報を出力するように適合されているので、サービス・エンジニアは、ロータの割当て手段、例えば、切込みを探し出し、これから出発して個々の釣合い内孔を探し出し、且つ、その中に存在する釣合いおもりを調整することにより、必要な変化を行うことが可能である。この調整は、釣合いおもりの単なる交換であってもよい。
【００４０】
釣合い状態の経過および釣合いをとる方法を、図５に示す二次元の場合に対する略図で詳細に説明することとする。
【００４１】
釣合い面２０４内に釣合いおもり１０４ａ−１０４ｄが設けられ、釣合いおもりは、ロータの周囲に分布され、且つ、回転軸線２００に対し間隔をなして配置されている。第１の空間方向２１２およびそれに垂直な第２の空間方向２１４は釣合い面を形成する。
【００４２】
ロータは、質量重心が回転軸線と一致するように正確に製造可能ではない。したがって、ロータは、はじめに製造時釣合い状態２３０内に存在し、この釣合い状態は、高い要求回転数においてロータの規則回転を可能にするものではない。このために、質量重心が回転軸線に十分に近接して存在するような初期釣合い状態２３２を達成するように、釣合いおもりが設けられている。この場合、質量は、初期状態２４０ａ−２４０ｄ内に使用され、この方法ステップの後、ロータは初期釣合い状態内に存在する。
【００４３】
ポンプを使用中、次第に堆積物が形成され、堆積物２３４による釣合い状態が達成されるまで、堆積物は、釣合い経過２５０にしたがって釣合い状態を変化させる。この釣合い状態は、ポンプの以後の運転に対して、ロータの釣合い修正を必要とする。
【００４４】
前記のように、釣合い状態はセンサ信号内に含まれている。評価ユニットは、釣合い手段の変化を計算し、これをロータ位置に割り当て、且つ、割当て手段により釣合い手段に割り当てるように設計され、且つ、形成されている。代替態様として、不釣合いの絶対値が計算され、且つ、出力されてもよい。両方の場合、方法の一部として、ロータの釣合い状態がモニタリングされ、且つ、ロータ位置に割り当てられる。
【００４５】
ここで、本方法は、例えば、上記堆積物によって釣合い状態が変化したとき、釣合い状態を改善するためにロータに設けられた釣合い手段が変化されるように行われる。一例として、質量変化２４４ａ−２４４ｄにより、釣合いおもりが釣合い後の質量２４２ａ−２４２ｄとされる。この結果、ロータの以後の運転を可能にする新たな釣合い状態２３６が達成される。
【００４６】
図６は、釣合い状態の一変更態様を、図３のロータの断面図として示し、この場合、この方法は、図２のロータにも使用可能である。周方向に伸長する羽根２６の列が平面図で示されている。羽根は釣鐘２８に固定されている。釣鐘の周囲に沿って釣合い内孔１０６が分布されている。釣合い内孔の全てまたはその一部は、釣合い内孔１１２のように貫通して形成されていてもよい。
【００４７】
割当て手段は、図２および３に示されている切込みの代わりに、または、これに追加して、より大きい直径を有する釣合い内孔１１０を含んでいてもよい。
【００４８】
割当て手段の他の一変更態様は、周方向内に、釣合いおもりの非回転対称分布を有している。図６にこれが示されている。釣合い内孔１０６は通常の間隔２２０内に存在し、この場合、非対称に配置された内孔１１４が設けられ、これらの内孔は、隣接する釣合い内孔の少なくとも１つに対して短縮された間隔２２２を有している。
【００４９】
図７および８は割当て手段の他の実施形態を示す。
【００５０】
図７に釣鐘２８を有するロータ２０の平面図が示され、釣鐘の外周に羽根２６が配置されている。回転軸線２００の付近の内部領域内に回転軸線に対し間隔２６０をなして結合ねじ１５０が設けられ、結合ねじにより、釣鐘は図３に示されている軸に固定されている。この例においては、割当て手段は非対称結合ねじ１５２を含む。この非対称は、回転軸線に対するより短い間隔２６２により達成される。代替態様または追加態様として、この結合ねじは他の直径を有していてもよい。例えば、ワッシャ、マーキング、色識別等を用いて、これらの非対称結合ねじを他の結合ねじに対して区別する他のタイプもまた考えられる。釣合い手段は、この例においては、周囲に分布されている調節位置１５４を含む。この位置において、例えば、切削または研磨により材料が削り取られ、これにより、ロータの釣合い状態が適切に変化される。非対称結合ねじは、調節位置の１つに一義的に割り当てられ、これにより、割当て手段によって釣合い手段が一義的にロータ位置に割り当てられている。
【００５１】
図８に、釣合い内孔１１２の高さにおける、釣鐘２８を有するロータの断面図が示されている。ロータの外周に羽根２６が固定されている。羽根の数および釣合い内孔の数は、余りを有して割算可能な比をなし、図示の例においては、８つの羽根および５つの釣合い内孔が設けられている。この数の比により、例えば１つの羽根の羽根端縁１５８に一義的に割り当てられている、割り当てられた釣合い内孔１５６を提供することが可能である。割当て手段は、この例においては、ロータの要素、即ち、羽根を含み、羽根は釣合い手段、即ち、釣合い内孔とは異なる形で回転軸線２００の周りに分布されているので、釣合い手段の、要素の１つへの一義的な割当てが形成される。
【００５２】
釣合い内孔および調節位置のほかに、従来技術においては、例えば、偏心して形成された釣合いリングのような手段もまた既知であり、これを回転軸線の周りに回転させることにより、釣合い状態が適切に変化される。本発明は、この方法にも使用可能である。
【符号の説明】
【００５３】
２・・・室
４・・・室フランジ
６・・・ガス出口配管
１０・・・真空ポンプ
１２・・・ポンプ電子装置
１４・・・電子装置構成部品
１６・・・指示要素
２０・・・ロータ
２２・・・軸
２４・・・ディスク・ハブ
２６・・・羽根
２８・・・釣鐘状本体（釣鐘）
３０・・・ホルベック・ハブ
３２・・・ホルベック・シリンダ
３６・・・拘束軸受
３８・・・モータ・ステータ
４０・・・モータ磁石（モータ・ロータ）
４４・・・永久磁気軸受
４６・・・軸受ステータ
４８・・・軸受ロータ
５０・・・転がり軸受（玉軸受）
５２・・・振動センサ
６０・・・上部ラジアル軸受ステータ
６２・・・上部ラジアル・センサ（ラジアル軸受隙間センサ）
６４・・・下部ラジアル軸受ステータ
６６・・・下部ラジアル・センサ（ラジアル軸受隙間センサ）
６８・・・アキシアル軸受ステータ
７０・・・アキシアル軸受ディスク
８０、８２・・・カバー
８４・・・遮断ガス入口
１００・・・凹み（マーキング、切込み）
１０２、１０６、１１０、１１２、１１４、１５６・・・釣合い内孔
１０４、１０４ａ−１０４ｄ、１０８・・・釣合いおもり
１３０・・・駆動装置制御ユニット
１３２・・・ロータ位置検出ユニット
１３４・・・評価ユニット
１３６・・・磁気軸受制御ユニット
１４０・・・通電ライン
１４２・・・位置検出分岐ライン
１４４・・・センサ・ライン
１４６・・・ライン
１４８・・・位置検出ライン
１５０・・・結合ねじ
１５２・・・非対称結合ねじ
１５４・・・調節位置
１５８・・・羽根端縁
２００・・・回転軸線
２０２・・・代表方向
２０４、２０６・・・釣合い面
２０８・・・不釣合い
２１０・・・不釣合い面
２１２、２１４・・・空間方向
２２０・・・内孔間隔
２２２・・・短縮された間隔
２３０・・・製造時釣合い状態
２３２・・・初期釣合い状態
２３４・・・堆積物
２３６・・・新たな釣合い状態
２４０ａ−２４０ｄ・・・初期状態
２４２ａ−２４２ｄ・・・釣合い後の質量
２４４ａ−２４４ｄ・・・質量変化
２５０・・・釣合い経過
２６０・・・間隔
２６２・・・より短い間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
2012233477.tif 000005
【図４】
2012233477.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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