(57)【要約】【課題】本発明は収納容器の各収納部にガラス基板を一枚ずつ確実に挿入することを課題とする。【解決手段】ガラス基板装填装置１０は、移動テーブル２０と、固定ベース３０と、ガラス基板挿入機構４０と、テーブル駆動用空気シリンダ５０と、収納容器送り機構６０とを有する。ガラス基板挿入機構４０は、ガラス基板保持部１７０を昇降駆動用空気シリンダ１８０により昇降させると共に、昇降動作に連動してガラス基板Ｗを保持または開放する。収納容器送り機構６０は、移動テーブル２０がテーブル駆動用空気シリンダ５０の駆動力により複数の収納部７２の整列方向に移動する際、収納容器７０を一つの収納部７２の間隔（１ピッチ分）ずつ移動させるように、固定ベース３０に対する移動テーブル２０の移動位置（距離）を位置決めする。【選択図】図１
2012096903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板を所定間隔で整列させた状態に収納する複数の収納部を有する収納容器に前記ガラス基板を装填するガラス基板装填装置において、
前記収納容器が固定される移動テーブルと、
前記移動テーブルを移動可能に支持する固定ベースと、
前記収納容器の前記複数の収納部のうち前記ガラス基板が未挿入になっている一の前記収納部に前記ガラス基板を挿入するガラス基板挿入機構と、
前記移動テーブルを前記収納容器と共に前記複数の収納部の整列方向に移動させるテーブル駆動用空気シリンダと、
前記移動テーブルが前記テーブル駆動用空気シリンダの駆動力により前記複数の収納部の整列方向に移動する際、前記収納容器の前記複数の収納部のうち前記ガラス基板が挿入されていない未挿入の前記収納部を前記基板挿入機構の挿入口に対向させるように、前記移動テーブルの移動位置を位置決めする収納容器送り機構と、
を備えたことを特徴とするガラス基板装填装置。
【請求項２】
前記収納容器送り機構は、
前記複数の収納部に前記ガラス基板が挿入されると信号を出力するスイッチと、
前記テーブル駆動用空気シリンダの駆動力により移動された前記移動テーブルが移動前の位置に戻らないように前記固定ベースに係止するロック機構と、
前記移動テーブルを前記複数の収納部のうち一つ分の距離を移動させるように前記テーブル駆動用空気シンリンダのピストンロッドのストロークを制限する移動位置制限機構と、
を備える請求項１に記載のガラス基板装填装置。
【請求項３】
前記移動位置制限機構は、
前記固定ベースに設けられた前記移動方向に延在形成された送り用ラックと、
前記テーブル駆動用空気シリンダのピストンロッドの先端に設けられ、前記移動テーブルを前記収納部の一つ分の距離を移動させるときに前記送り用ラックに係合する送り用ラチェットと、を有し、
前記ロック機構は、
前記移動テーブルに設けられた前記移動方向に延在形成された戻り防止用ラックと、
前記移動テーブルが前記収納部の一つ分の距離を移動した後に前記戻り防止用ラックに係合する戻り防止用ラチェットと、を有する請求項１又は２に記載のガラス基板装填装置。
【請求項４】
前記スイッチは、空気圧式スイッチからなり、前記テーブル駆動用空気シリンダに供給される圧縮空気の供給経路を切り替える空気圧制御系統に接続され、押圧操作により空気信号を前記空気圧制御系統に出力する請求項１乃至３の何れかに記載のガラス基板装填装置。
【請求項５】
前記スイッチは、前記ガラス基板挿入機構に供給された前記ガラス基板が前記収納容器の前記収納部に挿入されたことを検出すると共に、前記信号を出力する請求項１乃至４の何れかに記載のガラス基板装填装置。
【請求項６】
前記ガラス基板挿入機構は、
前記移動テーブルに固定された前記収納容器の上方に昇降可能に設けられ、前記ガラス基板を保持または開放するように開閉動作するガラス基板保持部と、
該ガラス基板保持部を昇降させる昇降駆動用空気シリンダと、
該昇降駆動用空気シリンダにより前記ガラス基板保持部が前記収納容器に接近されると共に、前記ガラス基板保持部に保持された前記ガラス基板を開放させ、前記収納容器の前記収納部に投下させる開閉機構と、
を有する請求項１乃至５の何れかに記載のガラス基板装填装置。
【請求項７】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１乃至６の何れかに記載のガラス基板装填装置。
【請求項８】
ガラス基板を製造する各工程におけるガラス基板の装填方法において、
前記工程の作業が終了した前記ガラス基板を、前記請求項１乃至７の何れかに記載されたガラス基板装填装置を用いて収納容器の複数の収納部の夫々に装填するガラス基板の装填方法。
【請求項９】
板形状を有するガラス素基板を加工してガラス基板を製造する各工程間で、前記ガラス基板を収納容器に収納して移送するガラス基板の製造方法において、
前記工程の作業が終了した前記ガラス基板を、前記請求項１乃至７の何れかに記載されたガラス基板装填装置により前記複数の収納部の夫々に装填し、前記複数の収納部に前記ガラス基板が装填された前記収納容器を次の工程へ移動させるガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を収納容器の複数の収納部に収納させるガラス基板装填装置及びガラス基板の装填方法及びガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、磁気記録用ディスクの基材として用いられるガラス基板の製造工程においては、樹脂製の収納容器の内部に形成された各収納部に複数のガラス基板を一枚ずつ収納し、複数のガラス基板を当該収納容器と共に研削、研磨、洗浄、乾燥、検査などの各工程間を移送している。
【０００３】
ガラス基板用の収納容器としては、例えば、特許文献１、２にみられるように、内部に複数の収納部が整列されており、各収納部にガラス基板が挿入されると、上部開口を蓋により密閉するように構成されたものが用いられる。
【０００４】
また、特許文献１に記載された上記収納容器では、一枚のガラス基板が二つの収納部に斜め挿入されたり、あるいは複数の収納部を順番に挿入できずに未挿入の収納部が残ってしまうことを防止するため、ガラス基板の挿入位置をひとつ置きの位置にガイドするガイド部材を収納容器の上部開口に装着するものがある。そして、収納容器の内壁に形成された複数の収納部のうち例えば、偶数列の収納部にガラス基板が挿入されると、上記ガイド部材を一つ分ずらして奇数列の収納部にガラス基板を挿入している。
【０００５】
また、特許文献２に記載された収納容器では、各収納部間を仕切るガイド板が設けられたガイド部材を当該収納容器の上部開口に装着し、ガラス基板の挿入位置をガイドすると共に、収納部の挿入されたガラス基板同士が接触しないようにガイド板に保護材を設けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２６１５９４号公報
【特許文献２】特開２００７−９５２００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記収納容器にガラス基板を一枚ずつ挿入する際は、各収納部に薄くて透明なガラス基板が挿入されていることを上方から視認しづらいので、上記ガイド部材によって挿入位置がガイドされていても既にガラス基板が挿入されている収納部に間違えて別のガラス基板を挿入してガラス基板を損傷させてしまうという問題があった。
【０００８】
また、ガイド部材によってガイドされた位置にガラス基板を挿入する際に、間違えて一つ飛ばして隣りの収納部に挿入してしまうと、未挿入の収納部が残ってしまうことになる。
【０００９】
また、ガラス基板の製造工程においては、ガラス基板の表面が乾燥している状態で微細な塵埃が付着してしまうと洗浄工程でも除去できないケースがあるので、収納容器を水槽に沈めた状態でガラス基板を挿入し、ガラス基板の表面が乾燥しないようにしている。そのため、収納容器を電動モータにより駆動し、当該モータを電気系統で制御するように構成された装置を用いて自動的に収納容器の各収納部に装填させようとしても、当該装置及び電動モータや電装部品が水に浸ることになるので、電気制御を必要とする構成の装填装置を用いるには、防水など特別な処理が必要であった。
【００１０】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決したガラス基板装填装置及びガラス基板の装填方法及びガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数のガラス基板を所定間隔で整列させた状態に収納する複数の収納部を有する収納容器に前記ガラス基板を装填するガラス基板装填装置において、
前記収納容器が固定される移動テーブルと、
前記移動テーブルを移動可能に支持する固定ベースと、
前記収納容器の前記複数の収納部のうち前記ガラス基板が未挿入になっている一の前記収納部に前記ガラス基板を挿入するガラス基板挿入機構と、
前記移動テーブルを前記収納容器と共に前記複数の収納部の整列方向に移動させるテーブル駆動用空気シリンダと、
前記移動テーブルが前記テーブル駆動用空気シリンダの駆動力により前記複数の収納部の整列方向に移動する際、前記収納容器の前記複数の収納部のうち未だ前記ガラス基板が挿入されていない前記収納部を前記基板挿入機構の底部開口に対向させるように、前記移動テーブルの移動位置を位置決めする収納容器送り機構と、
を備えたことを特徴とする。
（２）本発明の前記収納容器送り機構は、
前記複数の収納部に前記ガラス基板が挿入されると信号を出力するスイッチと、
前記テーブル駆動用空気シリンダの駆動力により移動された前記移動テーブルが移動前の位置に戻らないように前記固定ベースに係止するロック機構と、
前記移動テーブルを前記複数の収納部のうち一つ分の距離を移動させるように前記テーブル駆動用空気シンリンダのピストンロッドのストロークを制限する移動位置制限機構と、
を備えたことを特徴とする。
（３）本発明の前記移動位置制限機構は、
前記固定ベースに設けられた前記移動方向に延在形成された送り用ラックと、
前記テーブル駆動用空気シリンダのピストンロッドの先端に設けられ、前記移動テーブルを前記収納部の一つ分の距離を移動させるときに前記送り用ラックに係合する送り用ラチェットと、を有し、
前記ロック機構は、
前記移動テーブルに設けられた前記移動方向に延在形成された戻り防止用ラックと、
前記移動テーブルが前記収納部の一つ分の距離を移動した後に前記戻り防止用ラックに係合する戻り防止用ラチェットと、を有することを特徴とする。
（４）本発明の前記スイッチは、空気圧式スイッチからなり、前記テーブル駆動用空気シリンダに供給される圧縮空気の供給経路を切り替える空気圧制御系統に接続され、押圧操作により空気信号を前記空気圧制御系統に出力することを特徴とする。
（５）本発明の前記スイッチは、前記ガラス基板挿入機構に供給された前記ガラス基板が前記収納容器の前記収納部に挿入されたことを検出すると共に、前記信号を出力することを特徴とする。
（６）本発明の前記ガラス基板挿入機構は、
前記移動テーブルに固定された前記収納容器の上方に昇降可能に設けられ、前記ガラス基板を保持または開放するように開閉動作するガラス基板保持部と、
該ガラス基板保持部を昇降させる昇降駆動用空気シリンダと、
該昇降駆動用空気シリンダにより前記ガラス基板保持部が前記収納容器に接近されると共に、前記ガラス基板保持部に保持された前記ガラス基板を開放させ、前記収納容器の前記収納部に投下させる開閉機構と、
を有することを特徴とする。
（７）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
（８）本発明は、ガラス基板を製造する各工程におけるガラス基板の装填方法において、
前記工程の作業が終了した前記ガラス基板を、前記請求項１乃至７の何れかに記載されたガラス基板装填装置を用いて収納容器の複数の収納部の夫々に装填することを特徴とする。
（９）本発明は、板形状を有するガラス素基板を加工してガラス基板を製造する各工程間で、前記ガラス基板を収納容器に収納して移送するガラス基板の製造方法において、
前記工程の作業が終了した前記ガラス基板を、前記請求項１乃至７の何れかに記載されたガラス基板装填装置により前記複数の収納部の夫々に装填し、前記複数の収納部に前記ガラス基板が装填された前記収納容器を次の工程へ移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、移動テーブルがテーブル駆動用空気シリンダの駆動力により複数の収納部の整列方向に移動する際、収納容器の複数の収納部のうち未だガラス基板が挿入されていない収納部をガラス基板挿入機構の底部開口に対向させるように、固定ベースに対する移動テーブルの移動位置を制限するため、収納容器の各収納部にガラス基板を一枚ずつ確実に挿入でき、同じ収納部に２枚目のガラス基板を挿入したり、あるいは未挿入の収納部を残して次の収納部にガラス基板を挿入してしまうことや、２つの収納部に一枚のガラス基板を斜めに挿入することを防止できる。また、収納容器に収納されたガラス基板が乾燥しないように水槽に浸した状態でも電気的な部品や配線がないので安定的に動作してガラス基板を一枚ずつ複数の収納部の夫々に挿入させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によるガラス基板装填装置の一実施例の概略構成を示す正面図である。
【図２】図１に示すガラス基板装填装置の側面図である。
【図３Ａ】ガラス基板挿入機構のガラス基板保持部を説明するための平面図である。
【図３Ｂ】ガラス基板挿入機構の開閉機構を説明するための斜視図である。
【図４Ａ】ガラス基板挿入機構の動作前を説明するための正面図である。
【図４Ｂ】ガラス基板挿入機構の動作後を説明するための正面図である。
【図５】ガラス基板挿入機構の動作後を説明するための側面図である。
【図６Ａ】収納容器送り機構の動作前を説明するための図である。
【図６Ｂ】収納容器送り機構の送り動作を説明するための図である。
【図６Ｃ】収納容器送り機構のテーブル移動後の次の動作を説明するための図である。
【図７】空気圧制御系統の構成を示す系統図である。
【図８】空気圧制御系統の変形例を示す系統図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１５】
〔ガラス基板装填装置の構成〕
図１は本発明によるガラス基板装填装置の一実施例の概略構成を示す正面図である。図２は図１に示すガラス基板装填装置の側面図である。
【００１６】
図１及び図２に示されるように、ガラス基板装填装置１０は、移動テーブル２０と、固定ベース３０と、ガラス基板挿入機構４０と、テーブル駆動用空気シリンダ５０と、収納容器送り機構６０とを有する。
【００１７】
移動テーブル２０は、Ｘ１、Ｘ２方向にスライド可能に支持されており、上面に収納容器７０が固定される凹部２１を有しており、当該凹部２１により収納容器７０の固定位置が位置決めされる。収納容器７０は、ガラス基板Ｗが１枚ずつ収納可能とされた複数の収納部７２がＸ１、Ｘ２方向に整列されるように形成され、且つ上側がガラス基板Ｗの挿入または取出し操作が行えるように開口になっている。また、収納容器７０は、収納部７２の内部にガラス基板Ｗの表面が乾燥しないように水を注入しても良い。あるいは、収納容器７０全体が水槽内に水没されることで収納部７２に収納されたガラス基板Ｗの乾燥を防止する構成としても良い。
【００１８】
尚、収納容器７０の複数の収納部７２は、収納容器７０の内壁両側及び底部側から中心に向かって突出する仕切り部７４によって仕切られており、当該仕切り部７４の中心部分は、Ｕ字状に形成された空間がＸ１、Ｘ２方向に貫通するように構成されているので、注入された水が各収納部７２を流通するように構成されている。また、各収納部７２の底部にも開口が設けられており、この底部側の開口によっても各収納部７２が連通されている。
【００１９】
ガラス基板Ｗは、例えば磁気記録用ディスクに用いられ、外径及び内径が各ディスクサイズに応じた所定の寸法に形成されている。
【００２０】
固定ベース３０は、移動テーブル２０の下側に配され、移動テーブル２０の両側に突出する張り出し部２２を移動可能に支持する支持部３２を有する。
【００２１】
ガラス基板挿入機構４０は、固定ベース３０の支持部３２の上面に起立するように設けられ、収納容器７０の複数の収納部７２のうちガラス基板Ｗが未挿入になっている一の収納部７２にガラス基板Ｗを一枚ずつ挿入するように構成されている。尚、ガラス基板挿入機構４０の詳細な構成については、後述することとする。
【００２２】
テーブル駆動用空気シリンダ５０は、移動テーブル２０を収納容器７０と共に複数の収納部７２の整列方向（Ｘ１、Ｘ２方向）に移動させる駆動力を発生する駆動源であり、移動テーブル２０の下面に取り付けられている。また、テーブル駆動用空気シリンダ５０の本体５４の端部には、移動テーブル２０を１ピッチずつ移動させる際の移動距離（各収納部７２の間隔に対応する距離）に応じてピストンロッド５２のストロークを調整するストローク調整部５６が設けられている。
【００２３】
収納容器送り機構６０は、移動テーブル２０がテーブル駆動用空気シリンダ５０の駆動力により複数の収納部７２の整列方向（Ｘ１、Ｘ２方向）に移動する際、収納容器７０を一つの収納部７２の間隔（１ピッチ分）ずつ移動させるように、固定ベース３０に対する移動テーブル２０の移動位置（距離）を位置決めするように構成されている。
〔移動収納容器送り機構６０の構成〕
図２に示されるように、移動収納容器送り機構６０は、送りスイッチ８０と、ロック機構９０と、移動位置制限機構１００とを有する。
【００２４】
送りスイッチ８０は、空気圧式スイッチからなり、収納容器７０の収納部７２にガラス基板Ｗが挿入され、手動操作によりオンになると、所定圧力の空気信号を出力する。
【００２５】
また、送りスイッチ８０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０に供給される圧縮空気の供給経路を切り替える空気圧制御系統２００（図７を参照）に接続され、押圧操作により空気信号を空気圧制御系統２００に出力する。
【００２６】
ロック機構９０は、戻り防止用ラック１１０と、戻り防止用ラチェット１２０と、コイルバネ１３０とを有する。
【００２７】
戻り防止用ラック１１０は、複数の歯１１２が連続して移動方向（Ｘ１、Ｘ２方向）に延在形成され、戻り防止ギヤとして移動テーブル２０の下面に設けられている。また、戻り防止用ラック１１０は、各歯１１２がのこ歯形状に形成され、Ｘ１方向側が傾斜し、Ｘ２方向側が垂直になるように形成されている。各歯１１２の間隔（ピッチ）は、移動テーブル２０に固定された収納容器７０の移動方向（Ｘ１、Ｘ２方向）における各収納部７２の間隔と同じ寸法に形成されている。
【００２８】
戻り防止用ラチェット１２０は、固定ベース３０より起立したブラケット１２２の軸１２２ａにより上下方向に回動可能に支持されており、軸１２２ａよりＸ２方向に延在する一端に爪部１２０ａが設けられ、軸１２２ａよりＸ１方向に延在する他端にコイルバネ１３０が掛止されている。また、戻り防止用ラチェット１２０は、コイルバネ１３０のバネ力により上方（反時計方向）に付勢されているので、爪部１２０ａが歯１１２の垂直側と係合するロック位置に保持されている。
【００２９】
また、テーブル駆動用空気シリンダ５０の駆動力により移動テーブル２０がＸ１方向に移動する際、戻り防止用ラチェット１２０の爪部１２０ａは、歯１１２の傾斜側に押されて下方に押し下げられるため、移動テーブル２０のＸ１方向の移動を妨げないように設けられている。
【００３０】
このとき、移動テーブル２０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０の本体５４が固定されているため、ピストンロッド５２が縮み方向（Ｘ２方向）に移動すると共に、その反力でＸ１方向に移動する。また、テーブル駆動用空気シリンダ５０の駆動力により移動テーブル２０をＸ１方向に移動させようとすると、前記ロック機構９０の戻り防止用ラチェット１２０の爪部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の垂直側により移動テーブル２０が係止される。
【００３１】
戻り防止用ラチェット１２０は、移動テーブル２０がＸ１方向に移動する際に、爪部１２０ａが戻り防止ラック１１０の歯１１２の傾斜側に押されて下方（時計方向）に回動することで、歯１１２を乗り越えることができる。移動テーブル２０がＸ２方向に移動する際は、部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の垂直側に当接する。
【００３２】
ロック機構９０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０が作動しない停止状態のとき、戻り防止用ラチェット１２０が歯１１２の垂直側に当接することで、移動テーブル２０がＸ２方向に戻らないように移動テーブル２０を係止すると共に、１ピッチ分の移動位置（距離）を位置決めする。
【００３３】
移動位置制限機構１００は、テーブル駆動用空気シリンダ５０の上記駆動により移動テーブル２０がＸ１方向に移動する際に、移動テーブル２０を複数の収納部７２のうち一つ分の距離を移動させるように移動テーブル２０の移動量を制限するように構成されている。
〔移動位置制限機構１００の構成〕
図２及び図６Ａに示されるように、移動位置制限機構１００は、送り用ラック１４０と、送り用ラチェット１５０と、コイルバネ１５８とを有する。
【００３４】
送り用ラック１４０は、複数の歯１４２が連続して移動方向（Ｘ１、Ｘ２方向）に延在形成され、送りギヤとして固定ベース３０の上面に設けられている。また、送り用ラック１４０は、各歯１４２がのこ歯形状に形成され、Ｘ２方向側が傾斜し、Ｘ１方向側が垂直になるように形成されており、送り用ラチェット１５０が各歯１４２の垂直側と係合するように設けられている。各歯１４２の間隔（ピッチ）は、収納容器７０の移動方向（Ｘ１、Ｘ２方向）における各収納部７２の間隔と同じ寸法に形成されている。
【００３５】
送り用ラック１４０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が縮む方向（Ｘ２方向）に移動する際に、歯１４２の垂直側が送り用ラチェット１５０に係止される。このとき、移動テーブル２０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０の本体５４が固定されているため、ピストンロッド５２が縮む方向（Ｘ２方向）に移動すると共に、その反力でＸ１方向に移動する。尚、移動テーブル２０がＸ１方向に移動する際は、前記ロック機構９０による係止が解除される。
【００３６】
送り用ラチェット１５０は、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２の先端に支持された支持部材１５２により回動可能に支持され、コイルバネ１５８のバネ力により下方に付勢されている。また、支持部材１５２は、Ｘ１、Ｘ２方向に延在する長孔１５２ａと、当該長孔１５２ａに嵌合する軸１５２ｂとを有する。軸１５２ｂは、送り用ラチェット１５０の基端部に結合されており、送り用ラチェット１５０を上下方向に回動可能に支持している。
【００３７】
従って、送り用ラチェット１５０の先端下側に突出する爪部１５０ａは、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が縮む方向（Ｘ２方向）に移動する際に、送り用ラック１４０の歯１４２の垂直側に当接し、ピストンロッド５２が伸び方向（Ｘ１方向）に移動する際には送り用ラック１４０の歯１４２の傾斜側に押されて上方に回動することで、歯１４２を乗り越えることができる。
【００３８】
尚、送り用ラチェット１５０の裏側には、移動テーブル２０をスタート位置に復帰させる際に送り用ラチェット１５０を上方に回動させた状態に保持する送り用ラチェット保持機構が設けられている。この送り用ラチェット保持機構は、移動テーブル２０をＸ２方向に移動させてスタート位置に戻す際に、送り用ラチェット１５０を上方に回動させて送り用ラチェット１５０が送り用ラック１４０に係合しないように退避させるように動作する。
【００３９】
また、移動収納容器送り機構６０では、送り用ラック１４０の歯１４２、戻り防止用ラック１１０の歯１１２ならびにテーブル駆動用空気シリンダ５０のストローク選定により、収納容器７０の収納部の間隔（３ｍｍ〜１５ｍｍ）に対して任意のピッチとなるように容易に対応できる。
〔ガラス基板挿入機構４０の構成〕
図１に示されるように、ガラス基板挿入機構４０は、下動位置検出スイッチ１６０と、ガラス基板保持部１７０と、昇降駆動用空気シリンダ１８０と、開閉機構１９０とを有する。ガラス基板保持部１７０は、昇降駆動用空気シリンダ１８０によりガラス基板Ｗが挿入されるガラス基板保持位置（ＺＡ）からガラス基板Ｗを収納容器７０に投下するガラス基板投下位置（ＺＢ）との間を昇降する。
【００４０】
下動位置検出スイッチ１６０は、空気圧式スイッチからなり、ガラス基板Ｗが挿入されたガラス基板保持部１７０がガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下したとき、押圧されて空気信号を検出信号として出力する。
【００４１】
ガラス基板保持部１７０は、昇降駆動用空気シリンダ１８０により移動テーブル２０に固定された収納容器７０の上方で昇降可能に設けられ、昇降動作に連動してガラス基板Ｗを保持または開放するように開閉可能に構成されている。
【００４２】
昇降駆動用空気シリンダ１８０は、本体１８１が固定ベース３０の支持部３２の上面に起立した状態に取付けられている。また、昇降駆動用空気シリンダ１８０は、ピストンロッド１８２の先端に設けられた連結部１８４がガラス基板保持部１７０を支持しており、ピストンロッド１８２の上下動によりガラス基板保持部１７０を上下方向に駆動する。
【００４３】
図３Ａ、図３Ｂに示されるように、ガラス基板保持部１７０は、連結部１８４に支持された固定側の第１の保持部１７４と、第１の保持部１７４に対して水平方向に移動可能に支持された第２の保持部１７６とを有する。
【００４４】
第１の保持部１７４及び第２の保持部１７６は、夫々ガラス基板Ｗの左半分、右半分を覆うように形成されると共に、上方からみると内部にガラス基板Ｗが挿入される空間を有するようにコ字状に形成されている。また、第２の保持部１７６は、後述する開閉機構１９０により第１の保持部１７４に対してＹ１、Ｙ２方向にスライドして開動作又は閉動作し、ガラス基板Ｗを収納容器７０の複数の収納部７２のうち未挿入の各収納部７２に順番にガラス基板Ｗを順次挿入する。
【００４５】
第１の保持部１７４の裏面には、ブラケット１７１が固定されている。このブラケット１７１とピストンロッド１８２の先端に設けられた連結部１８４との間には、水平方向に延在する第１のロッド１７２及び第２のロッド１７３が横架されている。
【００４６】
また、一対のロッド１７２、１７３は、Ｙ１、Ｙ２方向にスライドするスライド部材１７５を支持している。スライド部材１７５の裏面には、可動側カムフォロアー１９４が設けられている。可動側カムフォロアー１９４は、例えば、回転ローラからなり、後述する固定側ガイドカム１９２のカム面に沿って移動しながらスライド部材１７５をＹ１方向又はＹ２方向に移動させる。
【００４７】
また、ブラケット１７１とスライド部材１７５との間には、コイルバネ１７９が張設されている。スライド部材１７５は、一対のロッド１７２、１７３により移動方向をガイドされると共に、コイルバネ１７９のバネ力によってＹ２方向に付勢されている。
【００４８】
すなわち、第２の保持部１７６は、コイルバネ１７９のバネ力により可動側カムフォロアー１９４を固定側ガイドカム１９２のカム面に押圧するようにＹ２方向に付勢されている。また、第２の保持部１７６は、第１の保持部１７４に近接するＹ１方向に移動した保持状態にあるとき、ガラス基板Ｗの外周をテーパ状の内壁で保持している。
【００４９】
図３Ｂに示されるように、開閉機構１９０は、固定部材（図示せず）により支持された固定側ガイドカム１９２と、固定側ガイドカム１９２に摺接する可動側カムフォロアー１９４とよりなる。また、固定側ガイドカム１９２は、ガラス基板保持部１７０がガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下する過程で可動側カムフォロアー１９４が摺接する第１のカム面１９２ａと、ガラス基板保持部１７０がガラス基板保持位置（ＺＡ）に上昇しているときに可動側カムフォロアー１９４が摺接する第２のカム面１９２ｂとを有する。
【００５０】
図４Ａはガラス基板挿入機構４０の動作前を説明するための正面図である。図４Ｂはガラス基板挿入機構４０の動作後を説明するための正面図である。図５はガラス基板挿入機構４０の動作後を説明するための側面図である。尚、図４Ａ、図４Ｂにおいて、固定ベース３０及び移動収納容器送り機構６０を省略している。
【００５１】
図４Ａ及び図４Ｂに示されるように、開閉機構１９０は、昇降駆動用空気シリンダ１８０によりガラス基板保持部１７０が収納容器７０に接近するガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下されると共に、可動側カムフォロアー１９４が固定側ガイドカム１９２のカム面１９２ａに摺接する。尚、図４Ａ及び図４Ｂにおいて、上記可動側カムフォロアー１９４は、第２のロッド１７３の裏面側に隠れて見えない。
【００５２】
ガラス基板保持部１７０は、第１の保持部１７４及び第２の保持部１７６にガラス基板Ｗが挿入されると、ガラス基板保持位置（ＺＡ）からガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下すると共に、開閉機構１９０の可動側カムフォロアー１９４が固定側ガイドカム１９２の第２のカム面１９２ｂに摺接する。これにより、第２の保持部１７６はＹ２方向にスライドして第１の保持部１７４とのＹ方向の間隔を広げる。このとき、ガラス基板保持部１７０の底部開口１７１は、ガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下したとき収納容器７０の複数の収納部７２のうちＸ１方向側の未挿入の収納部７２の上方に近接し、対向する位置にある。
【００５３】
そして、上記第２の保持部１７６の開放動作により、ガラス基板保持部１７０の底部開口１７１のＹ方向の横幅がガラス基板Ｗの直径よりも幅広に拡幅された時点でガラス基板Ｗが収納容器７０の収納部７２に投下される。そのため、ガラス基板保持部１７０に保持されたガラス基板Ｗは、第２の保持部１７６がＹ２方向にスライドすると共に、ガラス基板保持部１７０の底部開口１７１から収納容器７０の収納部７２に投下される。
【００５４】
ここで、上記ガラス基板挿入機構４０の動作について説明する。
【００５５】
ガラス基板に対する当該工程での作業が終了すると、図４Ａに示されるように、ガラス基板Ｗはガラス基板保持位置（ＺＡ）に上昇しているガラス基板保持部１７０に上方から挿入される。このとき、図３Ｂに示されるように、可動側カムフォロアー１９４が固定側ガイドカム１９２の第１のカム面１９２ａに摺接するため、第２の保持部１７６が第１の保持部１７４に近接した位置に保持されており、ガラス基板Ｗの落下が阻止される。
【００５６】
図４Ｂ及び図５に示されるように、送りスイッチ８０が押圧操作されて空気信号が空気圧制御系統２００に供給されると共に、昇降駆動用空気シリンダ１８０のピストンロッド１８２が縮み方向（Ｚ２方向）に駆動されてガラス基板保持部１７０を降下させる。ガラス基板保持部１７０がガラス基板保持位置（ＺＡ）からガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下する過程において、可動側カムフォロアー１９４が固定側ガイドカム１９２の第２のカム面１９２ｂに摺接するため、第２の保持部１７６がＹ２方向にスライドして第１の保持部１７４と第２の保持部１７６とのＹ方向の間隔が広がり、ガラス基板Ｗが開放されて収納容器７０の収納部７２に落下する。このガラス基板Ｗが挿入される収納部７２は、後述するように移動収納容器送り機構６０によりガラス基板Ｗがまだ挿入されていない未挿入の収納部である。
【００５７】
また、ガラス基板保持部１７０がガラス基板保持位置（ＺＡ）からガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下した時点で、昇降駆動用空気シリンダ１８０の連結部１８４が下動位置検出スイッチ１６０を押圧し、昇降駆動用空気シリンダ１８０のピストンロッド１８２の降下動作を停止させる。そして、昇降駆動用空気シリンダ１８０は、空気圧制御系統２００により空気圧の供給先が切り替えられると共に、ピストンロッド１８２を伸び方向（Ｚ１方向）に移動させ、ガラス基板保持部１７０をガラス基板保持位置（ＺＡ）に上昇させる（図４Ａを参照）。
〔収納容器送り機構６０の動作〕
図６Ａは収納容器送り機構６０の動作前を説明するための図である。図６Ａに示されるように、送り用ラチェット１５０は、先端下側に突出する爪部１５０ａをコイルバネ１５８のバネ力により送り用ラック１４０の歯１４２−１の垂直側に当接させている。この状態で、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が縮む方向（Ｘ２方向）に駆動されると、その反力がテーブル駆動用空気シリンダ５０の本体５４が固定された移動テーブル２０をＸ１方向に移動させる駆動力として作用する。
【００５８】
図６Ｂは収納容器送り機構６０の送り動作を説明するための図である。図６Ｂに示されるように、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が縮み方向（Ｘ２方向）に駆動された場合、上記のように送り用ラチェット１５０の爪部１５０ａが送り用ラック１４０の歯１４２−１の垂直側を押圧して移動テーブル２０をＸ１方向に移動させる駆動力（反力）が発生するため、移動テーブル２０はＸ１方向に移動する。
【００５９】
そして、移動テーブル２０がＸ１方向に移動すると、前述したロック機構９０の戻り防止用ラチェット１２０は、爪部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の傾斜側に押されて下方に回動し、移動テーブル２０が収納容器７０の一ピッチ分（収納部７２の一つ分の距離）移動した時点でコイルバネ１３０のバネ力により付勢された爪部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の垂直側に係合して一ピッチ分の移動位置を位置決めする。
【００６０】
図６Ｃは収納容器送り機構６０のテーブル移動後の次の動作を説明するための図である。図６Ｃに示されるように、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が伸び方向（Ｘ１方向）に駆動されると、送り用ラチェット１５０の爪部１５０ａが送り用ラック１４０の歯１４２−１の傾斜側を押圧されて上方に回動することで、歯１４２−１を乗り越えることができる。そして、送り用ラチェット１５０の爪部１５０ａは、移動テーブル２０が収納容器７０の一ピッチ分（収納部７２の一つ分の距離）移動した時点で、コイルバネ１５８のバネ力によりＸ１方向側に隣接された歯１４２−２の垂直部に係合する。
【００６１】
このピストンロッド５２の伸び方向の動作により、テーブル駆動用空気シリンダ５０においては、次のテーブル移動動作による一ピッチ分の移動ストロークが確保される。
〔空気圧制御系統２００の構成〕
図７は空気シリンダに圧縮空気を供給するための空気圧制御系統２００を示す図である。図７に示されるように、空気圧制御系統２００は、圧縮空気が貯蔵されたエア源２１０からの空気信号（圧縮空気）の供給先を切り替えるように構成されており、送りスイッチ８０と、シリンダ用切替弁２２０とを有する。エア源２１０としては、例えば、圧縮空気が蓄圧されたタンクや小型ボンベ、あるいは圧縮空気を生成する空気圧縮機などが用いられる。
【００６２】
エア源２１０の圧縮空気は、空気配管Ｈ１、Ｈ２を介して送りスイッチ８０及びシリンダ用切替弁２２０に供給される。シリンダ用切替弁２２０は、送りスイッチ８０、または下動位置検出スイッチ１６０からの空気信号（圧縮空気）の供給によって切り替わり、テーブル駆動用空気シリンダ５０及び昇降駆動用空気シリンダ１８０の供給先（シリンダ室）を切り替える。
【００６３】
また、テーブル駆動用空気シリンダ５０及び昇降駆動用空気シリンダ１８０の各シンリンダ室に連通する空気配管Ｈ３〜Ｈ６には、圧縮空気の流量を絞る可変絞りＫと逆流防止弁Ｇとを並列に配した流量調整部２３０、２４０、２５０、２６０が設けられている。尚、流量調整部２３０、２４０、２５０、２６０は、圧縮空気をテーブル駆動用空気シリンダ５０及び昇降駆動用空気シリンダ１８０に供給する際は、可変絞りＫ及び逆流防止弁Ｇから供給し、ピストン動作により圧縮空気をテーブル駆動用空気シリンダ５０及び昇降駆動用空気シリンダ１８０からの空気を排気する際は、逆流防止弁Ｇが閉止し、可変絞りＫにより設定された流量で排気される。そのため、テーブル駆動用空気シリンダ５０及び昇降駆動用空気シリンダ１８０では、可変絞りＫの絞り量に応じた空気流量によってピストン動作速度が調整される。
【００６４】
送りスイッチ８０は、例えば、４ポート２位置弁からなり、操作部８２が押圧操作されないときは、空気配管Ｈ１を遮断（閉止）している。また、送りスイッチ８０は、上端の操作部８２が押圧されると、圧縮空気をシリンダ用切替弁２２０に供給（開放）するように切り替わり、操作部８２への押圧力が解除されると共にバネ８４のバネ力によって操作前の状態に復帰してシリンダ用切替弁２２０への圧縮空気の供給を停止する。
【００６５】
シリンダ用切替弁２２０は、例えば、５ポート２位置弁からなり、送りスイッチ８０からの圧縮空気の圧力によって切り替わり、空気配管Ｈ４、Ｈ５を介してテーブル駆動用空気シリンダ５０の第２のシリンダ室５０Ｂ及び昇降駆動用空気シリンダ１８０の第１のシリンダ室１８０Ａに圧縮空気を供給する。また、シリンダ用切替弁２２０は、下動位置検出スイッチ１６０が配された空気配管Ｈ７からの空気信号（圧縮空気）が供給されると、テーブル駆動用空気シリンダ５０の第１のシリンダ室５０Ａ及び昇降駆動用空気シリンダ１８０の第２のシリンダ室１８０Ｂに圧縮空気を供給するように切り替わる。
【００６６】
下動位置検出スイッチ１６０は、例えば、３ポート２位置弁からなり、ガラス基板保持部１７０が上昇しているときは、空気配管Ｈ７を遮断（閉止）している。また、下動位置検出スイッチ１６０は、昇降駆動用空気シリンダ１８０のピストンロッド１８２が縮み方向（Ｚ２方向）に駆動されてガラス基板保持部１７０を降下させたときに連結部１８４に当接する当接部１６２と、弁部復帰用のバネ１６４とを有する。
【００６７】
そのため、ガラス基板保持部１７０が降下して連結部１８４が下動位置検出スイッチ１６０の当接部１６２に当接すると、下動位置検出スイッチ１６０は、空気配管Ｈ７からの空気信号（圧縮空気）をシリンダ用切替弁２２０に供給（開放）するように切り替わる。これにより、シリンダ用切替弁２２０は、作動前の状態に復帰すると共に、空気配管Ｈ４、Ｈ５を介してテーブル駆動用空気シリンダ５０の第１のシリンダ室５０Ａ及び昇降駆動用空気シリンダ１８０の第２のシリンダ室１８０Ｂに圧縮空気を供給する。これにより、昇降駆動用空気シリンダ１８０のピストンロッド１８２が伸び方向（Ｚ１方向）に駆動される。そして、連結部１８４が当接部１６２から離間すると、下動位置検出スイッチ１６０は、バネ１６４のバネ力により復帰してシリンダ用切替弁２２０への圧縮空気の供給を停止する。これにより、テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２及び昇降駆動用空気シリンダ１８０のピストンロッド１８２を動作前の状態に復帰させる。
【００６８】
また、テーブル駆動用空気シリンダ５０の右端に設けられたストローク調整部５６は、ロッド５６ａの挿入長さを調整することでピストン５１及びピストンロッド５２のストロークを任意の長さに調整できる。
〔空気圧制御系統２００の動作手順〕
ここで、上記空気圧制御系統２００における空気信号（圧縮空気）の流れと共に、各部の動作手順について図７を参照して説明する。
（手順１）：作業者は、図４Ａに示すように各工程における作業が終了したガラス基板Ｗをガラス基板保持部１７０に挿入した後、送りスイッチ８０の操作部８２を押圧操作する。このとき、ガラス基板保持部１７０は、ガラス基板保持位置（ＺＡ）に上昇している（図１、図２を参照）。
（手順２）：送りスイッチ８０は、空気配管Ｈ１を連通し、空気源２１０からの空気信号（圧縮空気）をシリンダ用切替弁２２０に供給する。これにより、シリンダ用切替弁２２０は、空気配管Ｈ３、Ｈ６に圧縮空気を供給するように切り替わると共に、他の空気配管Ｈ４、Ｈ５を大気開放（大気圧）とする。
（手順３）：空気配管Ｈ３から供給された圧縮空気は、流量調整部２３０によって調整された流量によって昇降駆動用空気シリンダ１８０の第１のシリンダ室１８０Ａに供給される。これと共に、空気配管Ｈ６から供給された圧縮空気は、流量調整部２６０の可変絞りＫによって調整された流量によってテーブル駆動用空気シリンダ５０の第２のシリンダ室５０Ｂに供給される。
【００６９】
これにより、テーブル駆動用空気シリンダ５０は、第２のシリンダ室５０Ｂの圧力上昇によりピストン５１及びピストンロッド５２をＸ１方向に駆動する。このとき、ピストンロッド５２の先端部に設けられた送り用ラチェット１５０は、爪部１５０ａが送り用ラック１４０の歯１４２−１の傾斜側を押圧されて上方に回動することで、歯１４２を乗り越えた後、爪部１５０ａがコイルバネ１５８のバネ力によりＸ１方向側に隣接された歯１４２の垂直部に係合する。従って、送り用ラチェット１５０は、一ピッチ分（収納部７２の一つ分の距離）移動した位置の歯１４２の垂直部に係合する。
（手順４）：昇降駆動用空気シリンダ１８０は、第１のシリンダ室１８０Ａの圧力上昇によりピストン１８５及びピストンロッド１８２を降下させて、ガラス基板保持部１７０をガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下させる。（図４Ｂ、図５を参照）
ガラス基板保持部１７０は、ガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下する過程において、可動側カムフォロアー１９４が固定側ガイドカム１９２の第２のカム面１９２ｂに摺接するため、第２の保持部１７６がＹ２方向にスライドして第１の保持部１７４と第２の保持部１７６とのＹ方向の間隔が広がり、ガラス基板保持部１７０に保持されたガラス基板Ｗが開放されて収納容器７０の未挿入の収納部７２に挿入される。
（手順５）：ガラス基板保持部１７０がガラス基板投下位置（ＺＢ）に降下すると共に、連結部１８４が下動位置検出スイッチ１６０の当接部１６２に当接する。これにより、下動位置検出スイッチ１６０は、空気配管Ｈ７を連通して空気源２１０からの空気信号（圧縮空気）をシリンダ用切替弁２２０に供給する。これにより、シリンダ用切替弁２２０は、送りスイッチ８０が操作される前の状態に戻される。
（手順６）：シリンダ用切替弁２２０は、空気配管Ｈ３、Ｈ６を大気開放（大気圧）とすると共に、他の空気配管Ｈ４、Ｈ５に圧縮空気を供給するように切り替わる。
【００７０】
そして、空気配管Ｈ４から供給された圧縮空気は、流量調整部２４０によって調整された流量によって昇降駆動用空気シリンダ１８０の第２のシリンダ室１８０Ｂに供給される。そのため、昇降駆動用空気シリンダ１８０は、第２のシリンダ室１８０Ｂの圧力上昇によりピストン１８５及びピストンロッド１８２をＺ１方向に駆動してガラス基板保持部１７０をガラス基板保持位置（ＺＡ）に上昇させる（図４Ａを参照）。
【００７１】
これと共に、空気配管Ｈ５から供給された圧縮空気は、流量調整部２５０によって調整された流量によってテーブル駆動用空気シリンダ５０の第１のシリンダ室５０Ａに供給される。そのため、テーブル駆動用空気シリンダ５０は、第１のシリンダ室５０Ａの圧力上昇によりピストン５１及びピストンロッド５２をＸ２方向に駆動する。
【００７２】
テーブル駆動用空気シリンダ５０のピストンロッド５２が縮み方向（Ｘ２方向）に駆動されると、送り用ラチェット１５０の爪部１５０ａが送り用ラック１４０の歯１４２の垂直側を押圧する。その反力で移動テーブル２０がＸ１方向に移動する。（図６Ａ、図６Ｂを参照）
そして、移動テーブル２０がＸ１方向に移動すると、前述したロック機構９０の戻り防止用ラチェット１２０は、爪部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の傾斜側に押されて下方に回動した後、移動テーブル２０が収納容器７０の一ピッチ分（収納部７２の一つ分の距離）移動した時点でコイルバネ１３０のバネ力により爪部１２０ａが戻り防止用ラック１１０の歯１１２の垂直側に係合して一ピッチ分の移動位置を位置決めする。
【００７３】
よって、収納容器７０の未挿入の収納部７２がガラス基板保持部１７０の降下によるガラス基板挿入位置（Ｘ１方向の停止位置）に移動して、当該ガラス基板挿入位置に位置決めされる。これで、収納容器７０の未挿入の収納部７２は、次に挿入されるガラス基板Ｗを収納可能とする待機状態となる。
【００７４】
この後は、上記手順１に戻り、手順１〜手順６を繰り返す。このように、空気圧制御系統２００により収納容器７０の各収納部７２にガラス基板Ｗを１枚ずつ確実に挿入でき、同じ収納部７２に２枚目のガラス基板Ｗを挿入したり、あるいは未挿入の収納部７２を残して次の収納部７２にガラス基板Ｗを挿入してしまうことや、２つの収納部７２に一枚のガラス基板Ｗを斜めに挿入することがなくなる。また、収納容器７０に収納されたガラス基板Ｗが乾燥しないように水槽に浸した状態でも電気的な部品や配線がないので安定的に動作してガラス基板Ｗを一枚ずつ複数の収納部７２の夫々に挿入させることができる。
【００７５】
また、上記手順１〜手順６によって収納容器７０の全ての収納部７２のガラス基板Ｗが挿入完了した場合には、移動テーブル２０をＸ２方向にスライド操作して初期位置に戻す。その際、図示しない送り用ラチェット保持機構により、送り用ラチェット１５０は爪部１５０ａが歯１４２と干渉しないように送り用ラック１４０の歯１４２の上方に回動させた状態に保持される。
〔変形例〕
図８は空気圧制御系統の変形例を示す系統図である。図８において、上記図７と共通部分には、同一符合を付してその説明を省略する。
【００７６】
図８に示されるように、変形例の空気圧制御系統２００Ａでは、ガラス基板保持部１７０の第１の保持部１７４の内壁に小型化された圧力スイッチ８０Ａが設けられている。圧力スイッチ８０Ａは、上記送りスイッチ８０と同じ機能を有するものであり、ガラス基板Ｗが挿入されていないときは空気配管Ｈ１を遮断（閉止）し、ガラス基板Ｗがガラス基板保持部１７０に挿入されると配管Ｈ７を連通して圧縮空気（空気信号）をシリンダ用切替弁２２０に供給（開放）するように切り替わる。
【００７７】
従って、圧力スイッチ８０Ａは、ガラス基板Ｗがガラス基板保持部１７０に挿入されると、圧縮空気（空気信号）をシリンダ用切替弁２２０に供給するため、上記送りスイッチ８０のように作業者が押圧操作をする必要がなく、作業効率を高めることができる。
【００７８】
また、空気圧制御系統２００Ａによる動作手順は、送りスイッチ８０が圧力スイッチ８０Ａに置き換わることで、上記手順１〜手順６と同じなので、その説明は省略する。
〔磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について〕
一般に、磁気ディスク用ガラス基板（「磁気記録媒体用ガラス基板」とも称す）及び磁気ディスクの製造工程は、以下の工程を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法またはプレス成形法で成形されたガラス素基板を、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する。
（工程２）ガラス基板の側面部と面取り部を端面研磨する。
（工程３）ガラス基板の主平面を研磨する。研磨工程は、１次研磨のみでもよく、１次研磨と２次研磨を行ってもよく、２次研磨の後に３次研磨を行ってもよい。
（工程４）ガラス基板の精密洗浄を行い、磁気ディスク用ガラス基板を得る。
（工程５）磁気ディスク用ガラス基板の上に磁性層などの薄膜を形成し、磁気ディスクを製造する。
【００７９】
上記磁気ディスク用ガラス基板及び磁気ディスクの製造工程において、（工程２）端面研磨工程の前後のうち少なくとも一方で主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）を実施してもよく、各工程間にガラス基板の洗浄（工程間洗浄）やガラス基板表面のエッチング（工程間エッチング）を実施してもよい。なお、主平面のラップ（例えば、遊離砥粒ラップ、固定砥粒ラップなど）は広義の主平面の研磨である。
【００８０】
さらに、磁気ディスク用ガラス基板に高い機械的強度が求められる場合、ガラス基板の表層に強化層を形成する強化工程（例えば、化学強化工程）を研磨工程前、または研磨工程後、あるいは研磨工程間で実施してもよい。
【００８１】
本発明において、磁気ディスク用ガラス基板は、アモルファスガラスでもよく、結晶化ガラスでもよく、ガラス基板の表層に強化層を有する強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）でもよい。また、本発明のガラス基板のガラス素基板は、フロート法で造られたものでもよく、フュージョン法で造られたものでもよく、プレス成形法で造られたものでもよい。
【００８２】
本発明は、磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、上記各工程で加工されたガラス基板を収納容器に装填する際に適用される。収納容器に装填されたガラス基板は次工程に移送される、又は保管される。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
上記実施例では、磁気記録媒体用のガラス基板を製造する工程を例に挙げて説明したが、これに限らず、これ以外の用途で使用されるガラス基板を加工する各工程にも本発明を適用できるのは勿論である。
【符号の説明】
【００８４】
１０  ガラス基板装填装置
２０  移動テーブル
２１  凹部
２２  張り出し部
３０  固定ベース
３２  支持部
４０  ガラス基板挿入機構
５０  テーブル駆動用空気シリンダ
５０Ａ  第１のシリンダ室
５０Ｂ  第２のシリンダ室
５１  ピストン
５２  ピストンロッド
５４  本体
５６  ストローク調整部
６０  収納容器送り機構
７０  収納容器
７２  収納部
７４  仕切り部
８０  送りスイッチ
８０Ａ  圧力スイッチ
８２  操作部
８４  バネ
９０  ロック機構
１００  移動位置制限機構
１１０  戻り防止用ラック
１１２  歯
１２０  戻り防止用ラチェット
１２０ａ  爪部
１２２  ブラケット
１２２ａ  軸
１３０  コイルバネ
１４０  送り用ラック
１４２  歯
１５０  送り用ラチェット
１５０ａ  爪部
１５２  支持部材
１５２ａ  長孔
１５２ｂ  軸
１５８  コイルバネ
１６０  下動位置検出スイッチ
１６２  当接部
１６４  バネ
１７０  ガラス基板保持部
１７１  底部開口
１７２  第１のロッド
１７３  第２のロッド
１７４  第１の保持部
１７６  第２の保持部
１７９  コイルバネ
１８０  昇降駆動用空気シリンダ
１８０Ａ  第１のシリンダ室
１８０Ｂ  第２のシリンダ室
１８１  本体
１８２  ピストンロッド
１８４  連結部
１９０  開閉機構
１９２  固定側ガイドカム
１９２ａ  第１のカム面
１９２ｂ  第２のカム面
１９４  可動側カムフォロアー
２００、２００Ａ  空気圧制御系統
２１０  エア源
２２０  シリンダ用切替弁
２３０、２４０、２５０、２６０  流量調整部
Ｈ１〜Ｈ７  空気配管
Ｗ  ガラス基板
【図１】
2012096903.tif 000003
【図２】
2012096903.tif 000004
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2012096903.tif 000006
【図４Ａ】
2012096903.tif 000007
【図４Ｂ】
2012096903.tif 000008
【図５】
2012096903.tif 000009
【図６Ａ】
2012096903.tif 000010
【図６Ｂ】
2012096903.tif 000011
【図６Ｃ】
2012096903.tif 000012
【図７】
2012096903.tif 000013
【図８】
2012096903.tif 000014