(57)【要約】      （修正有）【課題】歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】一の共通液室１０を介して複数の個別液室５１にインクを供給し、インクを個別液室５１に連通するノズル孔１１から吐出するインクジェットヘッドであって、複数の個別液室５１は、共通液室１０と連通する部分に、共通液室１０から供給されるインク中の異物を除去するためのフィルタ８と、フィルタ８の近傍に、ノズル孔１１から供給される洗浄液を排出するための液排出口９と、を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の共通液室を介して複数の個別液室にインクを供給し、前記インクを前記個別液室に連通するノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、
前記複数の個別液室は、
前記共通液室と連通する部分に、前記共通液室から供給されるインク中の異物を除去するためのフィルタと、
前記フィルタの近傍に、前記ノズル孔から供給される洗浄液を排出するための液排出口と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記液排出口は、前記共通液室が形成される際に閉塞されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記フィルタ及び前記液排出口は、前記個別液室に供給されたインクを加圧するための振動板に形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記振動板は、電鋳法で成形されることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記振動板は、多段電鋳で成形され、
前記フィルタは、厚みが５μｍ以下であることを特徴とする請求項３又は４記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記フィルタの開口面積は、前記ノズル孔の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記液排出口の開口面積は、前記ノズル孔の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記ノズル孔が形成されるノズル板及び前記ノズル板の下面に接合された流路板とで形成される前記個別液室を前記ノズル孔の開口中心軸と直交するように設けて、吐出される前記インクの流れ方向を前記ノズル孔の開口中心軸と直角になるように構成したサイドシューター方式であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
記録信号に応じて駆動されるアクチュエータの発生する駆動エネルギーに応じて吐出孔からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置であって、
請求項１から８のいずれかに記載のインクジェットヘッドを少なくとも１つ備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物を除去するためのフィルタをインク流路に備えたインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インクジェット記録装置（画像形成装置の一例）に用いられるインクジェットヘッド（記録液滴吐出ヘッドの一例）は、口径数１０μｍの多数のノズル孔、及び、液室により構成されている。このようなインクジェット記録装置において、インクジェットヘッドの製造過程で混入した異物や、インクカートリッジ中に混入していた異物が、インク（記録液の一例）によって流されてきてインクジェットヘッド内に侵入すると、ノズルが詰まり、吐出不良を起こし、記録品質を低下させていた。近年、パソコン等の情報処理装置の処理能力が向上したことにより、それと連携して画像形成を行うインクジェット記録装置にも高速化が求められている。そのため、高速化の対応としてノズル数の増加が求められており、それに伴って、異物を除去するための手段をさらに改善する必要性が発生している。
【０００３】
このような事情から、インクジェット記録装置においては、インクジェットヘッドのノズルが異物などによって閉塞することを防ぐため、インクカートリッジからノズルまでインクを供給する共通インク流路（共通液室）に、異物や気泡を排除する手段としてフィルタを設けているものがある（例えば特許文献１）。
【０００４】
特許文献１の発明は、その図３、図４に示されているように、共通液室（共通インク流路）にフィルタが設置された構成であり、そのフィルタの下流側に、異物を排出するための液排出口（洗浄口）が設けられた構成となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
これまでの調査・量産経験から得られた図１５のグラフから明らかなように、インクジェットヘッド内に侵入した異物は、インクジェットヘッドの端部に多いことが判っている。これら端部の異物は、分析結果より個別液室の異物ではなく、個別液室より上流側の異物であることが判っている。また、流体シミュレーション結果においても、インクジェットヘッドの洗浄において、個別液室上流は、その形状（３次元的に非対称性）から洗浄液の淀みが発生する箇所が存在し、仮に個別液室上流での洗浄不良が発生した場合、インク吐出時の液の流れは端部から順次中央チャンネル方向に満たされることが判っており、異物は端部に集中してしまう。これらは、量産経験から得られた事実と一致している。しかしながら、上記特許文献１の発明では、液排出口を共通液室に設けているため、その構造上、インクジェットヘッド内部を淀みなく洗浄することは難しい。
【０００６】
そこで、液排出口を共通液室ではなく、個別液室に設ける必要が出てくる。しかし、個別液室にフィルタを設置する例は多数知られているものの、それらの例はいずれも、異物を閉じこめてしまうので、歩留まりを低減させてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、個別液室にフィルタ及び液排出口を設けることにより、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドは、一の共通液室を介して複数の個別液室にインクを供給し、インクを個別液室に連通するノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、複数の個別液室は、共通液室と連通する部分に、共通液室から供給されるインク中の異物を除去するためのフィルタと、フィルタの近傍に、ノズル孔から供給される洗浄液を排出するための液排出口と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明のインクジェット記録装置は、記録信号に応じて駆動されるアクチュエータの発生する駆動エネルギーに応じて吐出孔からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を記録するインクジェット記録装置であって、本発明のインクジェットヘッドを少なくとも１つ備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの概略を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの概略を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの詳細な構成（第１の構成例）を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの詳細な構成（第２の構成例）を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの詳細な構成（第３の構成例）を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第１の構成例を適用した場合における振動板の例を示す平面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第２の構成例を適用した場合における流路形成プレートの例を示す平面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第３の構成例を適用した場合における流路板の例を示す平面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第１の構成例を適用した場合における個別液室の洗浄例を示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第２の構成例を適用した場合における個別液室の洗浄例を示す断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの第３の構成例を適用した場合における個別液室の洗浄例を示す断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドにサイドシューター方式を用いた例を示す断面図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを備えた、本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置の要部構成を示す斜視図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを備えた、本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置の要部構成を示す側断面図である。
【図１５】インクジェットヘッドにおいて、異物により閉塞されたノズル数とチャンネル位置との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態（実施形態）について添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
まず、図１及び図２を参照して、本実施形態のインクジェットヘッドの概略について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットヘッドの概略を示す断面図である。図２は、本実施形態のインクジェットヘッドの概略を示す分解斜視図である。
【００１４】
流路板１は、複数の貫通孔と、インク流路となる各個別液室５１とを形成したシリコン基板などからなる。流路板１の上面には、Ｎｉ電鋳などで複数のノズル孔（吐出孔）１１が形成されたノズル板２が接合される。また、流路板１の下面には、Ｎｉ電鋳などで形成した振動板３が接合される。振動板３の下面には、金属で形成されたベース部材４上に積層型の圧電素子５が２列設けられたアクチュエータ部が接合されている。共通液室（共通インク流路）１０が形成されたフレーム部材６が振動板３と接合されることで、各個別液室５１へインクが供給される。
【００１５】
以上のように構成された本実施形態のインクジェットヘッドでは、圧電素子５に駆動電圧が印加されることにより、圧電素子５の積層方向（図の上下方向）に変位が生じ、振動板３が各個別液室５１側へ変形変位して液室の容積が減少し、液室内圧が上昇してノズル板２のノズル孔１１よりインク滴が吐出される。
【００１６】
次に、図３及び図４、図５を参照して、上述した本実施形態のインクジェットヘッドの詳細な構成について説明する。図３は、第１の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図であり、図４は、第２の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図であり、図５は、第３の構成例としてのインクジェットヘッドの断面図及び平面図である。
【００１７】
図３に示す第１の構成例では、フィルタ８及び液排出口９は振動板３に形成されており、共通液室１０が形成される際に、液排出口９が封止される。フィルタ８は、インクの流れ１３に沿って共通液室１０を流れてくるインク中の異物１２（例えばインクカートリッジ中に混入していた異物）を、インクの流れ１３の上流側（共通液室１０側）で捕捉する。なお、フィルタ８は、振動板３と同一の部材であってもよい。
【００１８】
図４に示す第２の構成例では、フィルタ８は流路形成プレート７に形成され、液排出口９は振動板３及び流路形成プレート７に形成されており、共通液室１０が形成される際に、流路形成プレート７の液排出口９のみが封止される。フィルタ８は、インクの流れ１３に沿って共通液室１０を流れてくるインク中の異物１２（例えばインクカートリッジ中に混入していた異物）を、インクの流れ１３の上流側（共通液室１０側）で捕捉する。なお、フィルタ８は、流路形成プレート７と同一の部材であってもよい。
【００１９】
図３、図４において、液排出口９は、フィルタ８の左右に１つずつ形成されているが、どちらか１つだけであってもよい。
【００２０】
図５に示す第３の構成例では、フィルタ８は流路形成プレート７に形成され、液排出口９は流路板１に形成され、共通液室１０が形成される際に別途、接着剤５２によって封止される。フィルタ８は、インクの流れ１３に沿って共通液室１０を流れてくるインク中の異物１２（例えばインクカートリッジ中に混入していた異物）を、インクの流れ１３の上流側（共通液室１０側）で捕捉する。なお、フィルタ８は、流路形成プレート７と同一の部材であってもよい。また、フィルタ８は図３に示す様に振動板３に形成されていてもよく、振動板３と同一の部材であってもよい。
【００２１】
図５において、液排出口９は、流路板１の両端に形成されているが、どちらか１つだけであってもよい。
【００２２】
図３に示す第１の構成例では、フィルタ８がノズル孔１１に対して比較的近傍にあるため、フィルタ８の流体抵抗により吐出不良が発生するおそれがある。これに対し、図４に示す第２の構成例では、フィルタ８が、インクの流れ１３の上流側（共通液室１０側）に設置されるので、上記フィルタ８の流体抵抗による吐出不良の発生を回避することが可能である。なお、第２の構成例においても、流体抵抗の高さが問題になる場合は、図７に示すように、フィルタ部分の面積を大きく取ることで、上述した吐出不良の発生を回避することができる。図６は、図３に示す第１の構成例を適用した場合における振動板３の平面図であり、図７は、図４に示す第２の構成例を適用した場合における流路形成プレート７の平面図であり、図８は、図５に示す第３の構成例を適用した場合における流路板１の平面図である。
【００２３】
フィルタ８は、電鋳膜の第１層（５μｍ以下。好ましくは約３μｍ程度）であることが好ましい。フィルタ８も同様に、電鋳膜が厚くなるにつれて、流体抵抗値が上がってしまい、インク吐出の妨げになることから電鋳膜の第１層であることが好ましい。
【００２４】
第１、第２及び第３の構成例において、フィルタ８（の開口面積。フィルタ８に形成された各開口部の面積）はノズル孔１１（の開口面積）よりも小さい。このため、異物１２はノズル孔１１に達することはなく、インクを吐出することができる。また、フィルタ８がノズル近傍に配置されることから、インクジェットヘッド内の異物を除去する際に、洗浄領域をフィルタ８の個別液室５１側に限定することが可能であり、洗浄面において有効である。
【００２５】
また、第１、第２及び第３の構成例において、液排出口９（の開口面積）はノズル孔１１（の開口面積）よりも大きい。
【００２６】
次に、第１、第２及び第３の構成例において、インクジェットヘッドの製造時に個別液室５１側に混入してしまった異物を洗浄する例について、図９、図１０及び図１１を参照してそれぞれ説明する。図９は、第１の構成例における洗浄例を示し、図１０は、第２の構成例における洗浄例を示し、図１１は、第３の構成例における洗浄例を示す。
【００２７】
図９、図１０及び図１１において、アセトン、エタノール等の洗浄液は、ノズル孔１１から注入され、洗浄液の流れ１５（図３、図４、図５に示すインクの流れ１３の反対）に沿って個別液室５１内を流れ、液排出口９から排出される。これにより、個別液室５１内の異物１４（例えばインクジェットヘッドの製造過程で混入した異物）は、洗浄液とともに液排出口９から排出される。
【００２８】
なお、図９、図１０及び図１１に示す洗浄時において、異物１４が、液排出口９から排出されずにフィルタ８（の個別液室側）に捕捉されてしまうといった問題が生じうる。これに対しては、一度フィルタ８及び液排出口９に洗浄液を充填した状態から、洗浄液を図９、図１０及び図１１に示す洗浄液の流れ１５とすることで、フィルタ８付近の流れの抑制が可能となり、上記問題を回避することができる。
【００２９】
以上のように、洗浄液による洗浄を実施した後で、フレーム６又は接着剤５２により液排出口９を封止することで、異物のない個別液室５１を形成することができる。
【００３０】
以上説明した本実施形態のインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド、記録ヘッド）を備えたインクジェット記録装置（画像形成装置）は、記録液（インク）滴の吐出不良を生じることを防いで、安定した記録を行うことができる。また、ノズル（ノズル孔）から吐出する記録液滴を安定して供給することができるから、ノズルから同時に多数チャンネル吐出を行って記録を高速に行うことができる。本実施形態のインクジェット記録装置の詳細については、図１３、図１４を用いて後述する。
【００３１】
なお、上記説明では、記録ヘッドのアクチュエータ部に圧電素子５を設けて吐出エネルギーを発生する場合について説明したが、これに限定されない。例えば、発熱抵抗対により気泡を生じさせて記録液滴を加圧する方式や、記録液滴流路壁面を形成する振動板とこれに対抗する電極との間の静電力で振動板を変位させて記録液滴を加圧する方式などをも適用することもできる。
【００３２】
また、上記説明では、振動板３による吐出エネルギーが作用した記録液滴の流れ方向をノズル孔１１の開口中心軸に沿うようにしたエッジシューター方式で記録ヘッドを構成した場合について説明したが、これに限定されない。例えば、図１２の部分断面図に示すように、天板１６（ノズル板）にノズル１７（ノズル孔）を設け、天板１６と流路板１８で形成される流路１９（個別液室）を、ノズル１７の開口中心軸と直交するように設けて、吐出エネルギーが作用した記録液滴の流れ方向２０をノズル１７の開口中心軸と直角になるように構成したサイドシューター方式を使用してもよい。
【００３３】
サイドシューター方式を使用することにより、振動板３等の吐出エネルギー発生体で発生した吐出エネルギーを、より効率よく記録液滴滴の形成とその非行の運動エネルギーへと変換することができる。また、記録液滴の供給によってノズル１７に生成するメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、サイドシューター方式であれば、エッジシューター方式において問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体を徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象を回避することができる。すなわち、サイドシューター方式において気泡が成長し、その気泡がノズル１７に達すれば気泡が大気に通じることになり温度低下による気泡の収縮は起こらない。そのため記録ヘッドの寿命を長くすることができるという長所を有する。
【００３４】
また、記録液滴の流路が形成されている部分に上記本実施形態の構成を適用することで、吐出精度の高い高品質な記録ヘッドを形成することができる。
【００３５】
次に、本実施形態のインクジェット記録装置について、図１３、図１４を参照して説明する。本実施形態のインクジェット記録装置は、上述した本実施形態のインクジェットヘッドを備える。本実施形態のインクジェット記録装置の構成例を、図１３の斜視図及び図１４の側断面図に示す。
【００３６】
本実施形態のインクジェット記録装置２１は、主走査方向に移動可能なキャリッジ２９、キャリッジ２９に搭載された本実施形態のインクジェットヘッド３０、インクジェットヘッド３０へインクを供給するインクカートリッジ３１等で構成される印字機構部２２等を収納している。
【００３７】
また、インクジェット記録装置２１は、前方側から多数枚の用紙（記録媒体の一例）２３を積載可能な給紙カセット（給紙トレイ）２４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙２３を手差しで給紙するための手差しトレイ２５を開倒することができる。そして、インクジェット記録装置２１は、給紙カセット２４又は手差しトレイ２５から給送される用紙２３を取り込み、印字機構部２２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ２６に排紙する。
【００３８】
印字機構部２２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド２７と従ガイドロッド２８とでキャリッジ２９を主走査方向（図１４で紙面垂直方向）に摺動自在に保持する。このキャリッジ２９には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッド３０が装着されている。インクジェットヘッド３０の複数のノズル孔は、主走査方向と交叉する方向に配列され、インク滴の吐出方向が下方に向けられている。また、キャリッジ２９には、インクジェットヘッド３０に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ３１が交換可能に装着されている。
【００３９】
インクカートリッジ３１は、上方には大気と連通する大気口を、下方にはインクジェットヘッド３０へインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッド３０へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
【００４０】
また、インクジェットヘッド３０は、色の数だけ複数備えられてもよいし（４色なら４つ備える）、１つだけ備えられてもよい（１つで４色分を吐出する）。さらに、インクジェットヘッド３０としては、上述したように、圧電素子などの電気機械変換素子で液室壁面を形成する振動板を介してインクを加圧するピエゾ型、又は、発熱抵抗体により気泡を生じさせてインクを加圧するバブル型、あるいは、インク流路の壁面を形成する振動板とこれに対向する電極との間の静電力で振動板を変位させてインクを加圧する静電型、などを使用することができる。本実施形態では、静電型のインクジェットヘッドを用いた例としている。
【００４１】
ここで、キャリッジ２９は、後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド２７に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向下流側）を従ガイドロッド２８に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ２９を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ３２で回転駆動される駆動プーリ３３と従動プーリ３４との間にタイミングベルト４９を張装し、このタイミングベルト４９をキャリッジ２９に固定しており、主走査モータ３２の正逆回転によりキャリッジ２９が往復駆動される。
【００４２】
また、インクジェット記録装置２１は、給紙カセット２４にセットされた用紙２３をインクジェットヘッド３０の下方側に搬送するために、給紙カセット２４から用紙２３を分離給装する給紙ローラ３５及びフリクションパッド３６と、用紙２３を案内するガイド部材３７と、給紙された用紙２３を反転させて搬送する搬送ローラ３８と、この搬送ローラ３８の周面に押し付けられる搬送コロ３９及び搬送ローラ３８からの用紙２３の送り出し角度を規定する先端コロ４０と、を設けている。搬送ローラ３８は、副走査モータ４１によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００４３】
また、インクジェット記録装置２１には、キャリッジ２９の主走査方向の移動範囲に対応して、搬送ローラ３８から送り出された用紙２３をインクジェットヘッド３０の下方側で案内するための用紙ガイド部材として、印写受け部材５０が設けられている。この印写受け部材５０の用紙搬送方向の下流側には、用紙２３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ４２、拍車４３が設けられ、さらに、用紙２３を排紙トレイ２６に送り出す排紙ローラ４４及び拍車４５と、排紙経路を形成するガイド部材４６、４７とが配設されている。
【００４４】
インクジェット記録装置２１は、画像の記録時には、キャリッジ２９を移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド３０を駆動することにより、停止している用紙２３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙２３を所定量搬送した後、次の行の記録を行う。そして、インクジェット記録装置２１は、記録終了信号又は用紙２３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙２３を排紙する。
【００４５】
また、インクジェット記録装置２１において、キャリッジ２９の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、インクジェットヘッド３０の吐出不良を回復するための回復装置４８が配置されている。この回復装置４８は、キャッピング手段（キャップ手段）、吸引手段、クリーニング手段を有している。キャリッジ２９は、印字待機中にこの回復装置４８側に移動させられ、キャッピング手段でインクジェットヘッド３０をキャッピングされる。こにより、ノズル孔（吐出口）を湿潤状態に保つことができ、インクの乾燥による吐出不良を防止できる。また、回復装置４８は、記録途中などにおいて、記録と関係しないインクを吐出することにより、全てのノズル孔のインクの粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００４６】
吐出不良が発生した場合等には、回復装置４８において、キャッピング手段でインクジェットヘッド３０のノズル孔が密封され、チューブを通して吸引手段でノズル孔からインクとともに気泡等が吸い出され、ノズル孔面に付着したインクやゴミ等がクリーニング手段により除去されることにより、吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、インクジェット記録装置２１の下部に設置された図示しない廃記録液滴溜に排出され、その廃記録液滴溜内部のインク吸収体に吸収、保持される。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態によれば、歩留まりを低減させることなく、必要最小の洗浄領域を淀みなく洗浄することができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。
【００４８】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、第１、第２の構成例においては共通液室を形成する際に液排出口を封止（閉塞）することで、新規部材を使う必要がないため、インクジェットヘッドの製造コストを押さえることが可能となる。
【００４９】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタと振動板とが同一の部材であることから、安価にインク流路を形成することができる。
【００５０】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタを具備する振動板が電鋳法で形成されることから、精度の高いフィルタ孔を形成でき、また、流体抵抗値を狙い通りに確保することができる。
【００５１】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタ部分が振動板の第１層の厚み（約５μｍ以内）であることから、流体抵抗値を下げることが可能である。
【００５２】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、フィルタの開口面積がノズル孔の開口面積よりも小さいので、フィルタは、インクの流れの上流側において異物を確実に捕捉でき、インクを正常に吐出することができる。
【００５３】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、液排出口の開口面積がノズルの開口面積よりも大きいことから、製造上で混入してしまった異物を洗浄することで排除することが可能となり、インクを正常に吐出することができる。
【００５４】
また、本実施形態のインクジェットヘッドによれば、サイドシューター方式であることから、フィルタがノズル近傍に配置された状態においてもインクの吐出圧を十分に確保することができる。
【００５５】
また、本実施形態のインクジェット記録装置によれば、洗浄性に優れた上記本実施形態のインクジェットヘッドを搭載しているので、吐出不良が無く印刷品質（記録品質）を向上することができる。
【００５６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１    流路板
２    ノズル板
３    振動板
４    ベース部材
５    圧電素子（駆動素子）
６    フレーム部材
７    流路形成プレート
８    フィルタ
９    液排出口（洗浄口）
１０    共通液室（共通インク流路）
１１    ノズル孔
１２    異物（インクカートリッジ中に混入していた異物）
１３    インクの流れ
１４    異物（インクジェットヘッドの製造過程で混入した異物）
１５    洗浄液の流れ
１６    天板（ノズル板）
１７    ノズル孔
１８    流路板
１９    流路
２０    インクの流れ
２１    インクジェット記録装置
２２    印字機構部
２３    用紙
２４    給紙カセット
２５    手差しトレイ
２６    排紙トレイ
２７    主ガイドロッド
２８    従ガイドロッド
２９    キャリッジ
３０    ヘッド
３１    インクカートリッジ
３２    主走査モータ
３３    駆動プーリ
３４    従動プーリ
３５    給紙ローラ
３６    フリクションパッド
３７    ガイド部材
３８    搬送ローラ
３９    搬送コロ
４０    先端コロ
４１    副走査モータ
４２    搬送コロ
４３    拍車
４４    排紙ローラ
４５    拍車
４６    ガイド部材
４７    ガイド部材
４８    回復装置
４９    タイミングベルト
５０    印写受け部材
５１    個別液室（加圧液室、個別インク流路）
５２    接着剤
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５８】
【特許文献１】特開２００５−１３１７９１号公報
【図１】
2012139991.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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