(57)【要約】【課題】内歯車の仕上げ加工を、精度や効率が高く、加工時間の短縮を図れ、かつ工具歯車の寿命を長く保てる技術を、比較的安価な加工機で可能とする。【解決手段】被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１を用い、上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与し、その状態で上記工具歯車１と被加工内歯車２との間で軸方向の往復動を与えながら、被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工を行う。また上記往復動を微小往復動とする。或いはそれに加えて、上記工具歯車１と被加工内歯車２の軸方向位置を変動させながら歯面仕上げ加工を行う。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１を用いるものであり、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するとともに、
その状態で上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間で軸方向への往復動を与えながら、被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工するようにしたことを特徴とする、内歯車の歯面仕上げ加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載の内歯車の歯面仕上げ加工方法の実施に用いる加工機であって、
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１と、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するトルク付与手段３と、
上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間に、軸方向への往復動を与える往復動付与手段４とを備えたことを特徴とする、内歯車の歯面仕上げ加工機。
【請求項３】
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１を用いるものであって、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するとともに、
その状態で、上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者間で軸方向への微小な往復動を与え、
それに加えて、工具歯車１と被加工内歯車２との両者間で軸方向位置を変動させながら被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工するようにしたことを特徴とする、内歯車の歯面仕上げ加工方法。
【請求項４】
請求項３に記載の内歯車の歯面仕上げ加工方法の実施に用いる加工機であって、
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着した工具歯車１と、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するトルク付与手段３と、
上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間に軸方向への微小な往復動を与える微小往復動付与手段５と、
それに加えて、上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の軸方向位置を変動させる位置変動手段６とを備えたことを特徴とする、内歯車の歯面仕上げ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば自動車のトランスミッションに用いられる遊星歯車機構の部品である内歯車（太陽歯車）の製造工程において、歯切り、塑性加工又は鋳造加工によって成形され、熱処理された後の被加工内歯車の歯面を仕上げするための加工方法、及びその実施に用いる加工機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記自動車用トランスミッションギヤは、低騒音化・高効率化や長寿命化に対応するため、特に高精度に仕上げることが要求されている。トランスミッションギヤの内、外歯車には研削加工，ホーニング仕上げが実施されるようになってきたが、内歯車の仕上げ加工方法については決定的と言える加工技術は未だ確立されていない。
【０００３】
近時は外歯車の歯面仕上げで利用されている電着砥石を、被加工内歯車の歯面仕上げに用いた歯車ホーニング仕上げ法の採用が試みられている（後記特許文献１参照）。これは、被加工内歯車に対して軸交差角をもって噛み合う外歯車状工具の歯面に、硬質砥粒を付着させた工具歯車を用いるもので、被加工内歯車の外周方向に押し付けながら回転させ、さらに被加工内歯車を軸方向に往復動させることにより、歯面を削り取る仕上げ加工方法である。
【０００４】
他面で近時、ホーニング加工ではなくてビトｃＢＮ８（立方晶窒化ホウ素）製で、樽形ネジ状の砥石を用いた内歯車研削盤も提案されている（後記特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１１０４２７号公報  ここに記載してあるものは、歯車ホーニング装置に限らず、広く歯車状工具を用いて被加工物の歯面を仕上げ処理する歯車ラップ装置や歯車シェービング装置などの歯車仕上げ装置にも関するものである。この発明は「仕上げ用歯車と被加工用歯車とを噛み合わせ、そのいずれか一方に駆動用モータから駆動トルクを作用させるとともに、他方に対してブレーキトルクを作用させることにより、そのブレーキトルクの大きさに対応する加工負荷を両歯車間に付与するようにした歯車仕上げ装置であって、前記ブレーキトルクを、電磁気力により非接触で生成するブレーキトルク生成手段を備えたことを特徴とする」ものである。
【０００６】
【特許文献２】特開２００９−４５６８１号公報  これは、「内歯車を研削加工するために軸方向両端部から中間部に向かうに従ってその径が漸次増大するように形成された樽形ウオーム状工具に対して、円盤状のディスクドレッサを噛み合わせてドレッシングを行うドレッシング装置であって、鉛直な前記内歯車のワーク回転軸と所定の軸交差角をなす工具回転軸周りに前記樽形ウオーム状工具を回転させる工具回転手段と、前記内歯車のねじれ角と同じ角度で配置されるドレッサ回転軸周りに前記ディスクドレッサを回転させるドレッサ回転手段と、互いに噛み合って回転した状態の前記樽形ウオーム状工具及び前記ディスクドレッサを水平面内において相対的に旋回させる相対旋回手段とを備え」た内歯車研削盤である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記特許文献１のものを含む一般のホーニング加工手段には、次のような問題点がある。
ａ）ホーニング加工では、被加工内歯車と工具歯車との接触が点接触であることから、加工時間が長くなるとともに、工具寿命も短くならざるを得ない。
ｂ）また、ホーニング加工機の構造上から、被加工内歯車と工具歯車間の剛性を高くすることが困難であり、ピッチ誤差の矯正を十分に行える仕上げ加工にならない。
ｃ）さらに、被加工内歯車と工具歯車間の位置関係を高精度に保つ必要があるため、ホーニング加工機の製造コストが高くなっている。
【０００８】
他方、上記特許文献２の内歯車研削盤は、高品質な内歯車の製造を目指したものであるが、樽形のウオーム状工具とディスクドレッサとを用いて、両者を相対的に旋回させるものであり、この内歯車研削盤の製造コストが高いものになっている。
【０００９】
本発明は、上記従来技術の問題点の解決を課題としたものである。即ち、本発明の目的は、仕上げ加工精度を高くでき、また加工能率が高くて仕上げ加工時間の短縮を図れるとともに工具寿命を長く保つこともできる内歯車仕上げを、比較的安価な加工機により可能とする技術を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
Ａ  本発明の第１は、内歯車の歯面仕上げ加工法の１に関するものである（請求項１に対応）。
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１を用いるものであって、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するとともに、
その状態で上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間で軸方向への往復動を与えながら、被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工するようにしたものである。
【００１１】
Ｂ  本発明の第２は、上記歯面仕上げ加工法の１を実施する仕上げ加工機である（請求項２に対応）。
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１と、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するトルク付与手段３と、
上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間に、軸方向への往復動を与える往復動付与手段４とを備えてなるものである。
【００１２】
Ｃ  本発明の第３は、内歯車の歯面仕上げ加工法の２に関するものである（請求項３に対応）。
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着させた工具歯車１を用いるものであって、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するとともに、
その状態で、上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者間で軸方向への微小な往復動を与え、
それに加えて、工具歯車１と被加工内歯車２との両者間で軸方向位置を変動させながら被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工するようにしたものである。
【００１３】
Ｄ  本発明の第４は、上記歯面仕上げ加工法の２を実施するための仕上げ加工機である（請求項４に対応）。
被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着した工具歯車１と、
上記工具歯車１を被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与するトルク付与手段３と、
上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間に軸方向への微小な往復動を与える微小往復動付与手段５と、
それに加えて、上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の軸方向位置を変動させる位置変動手段６とを備えてなるものである。
【００１４】
上記各構成において、被加工内歯車２と工具歯車１とは逆の位置でもよい。即ち、軸方向へ往復動したり、回転方向のトルクを付与されるのは、上記被加工内歯車２としてもよいし、工具歯車１としてもよい。（例えば図１と図２を参照）。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、被加工内歯車２の歯面が工具歯車１の歯面に押し付けられた状態で軸方向へ往復動しながら、被加工内歯車２の歯面が硬質砥粒付き表面の工具歯車１の歯面に沿った形状に仕上げられる。
【００１６】
そのため、
イ）工具歯車１の形状が被加工内歯車２に転写されることになるので、工具歯車１以外の構成はそれ程の高精度は必要がなくなり、安価な設備で仕上げ加工することができる。        
【００１７】
ロ）ここでの歯面間の面圧は、トルク付与用手段３としてのトルク付与モータ１６の制御により精度良く付与できるから、加工効率と工具寿命に適切な条件の下で仕上げ加工が行えるし、仕上げ加工精度を高くできる。
【００１８】
ハ）また、工具歯車１の片側の歯面全体が被加工内歯車と接触するので、仕上げ加工能率が高いものになるとともに、仕上げ加工時間の短縮を図れて、工具寿命を長く保つこともできる。
【００１９】
ニ）さらに、被加工内歯車２の片側の歯面を仕上げた後、トルク付与手段３としての例えばトルク付与のモータを逆方向へ回転してトルクの方向を反転させることで、被加工内歯車２の他側の歯面を仕上げられるから、この面からも、仕上げ加工時間の短縮を図れるとともに、工具寿命を長く保つことができる。
【００２０】
ホ）工具歯車１の歯面に修正形状を与えることにより、被加工内歯車２を所望の歯面形状に成形することができる。またここでの被加工内歯車２は、平歯車に限らず、歯筋が捩じれているハスバ歯車でも良い。この場合に、軸方向の往復動に応じて被加工内歯車２が捩じれに対応する分だけ回転することになるが、所定のトルクは保持されており、同様の仕上げ加工を行うことができる。
【００２１】
ト）上記に加えて、本発明の上記第３および第４のものでは、工具歯車１側または被加工内歯車側の軸方向への往復動を微小なものにする構成にし、かつ工具歯車１と被加工内歯車２の両者が軸方向の位置を変動可能な構成としてある。これにより、工具歯車１と被加工内歯車２との接触位置を変動させられるから、より良好な歯面粗さ（歯面粗度）で仕上げ加工をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る歯面仕上げ加工法の１を実施するための仕上げ加工機を示す一部切欠き正面図である。
【図２】図１で示した仕上げ加工機の変形例を示す一部切欠き正面図である。
【図３】本発明に係る歯面仕上げ加工法の２を実施するための仕上げ加工機を示す一部切欠き正面図である。
【図４】図３で示した仕上げ加工機の変形例を示す一部切欠き正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明に係る被加工内歯車の歯面仕上げ加工法では、雄型の歯車状台金表面に硬質砥粒を付着した工具歯車１を、被加工内歯車２の歯の間に挿入して、歯面の一方側が接触するように回転方向のトルクを付与した状態で、上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の間で軸方向の往復動を与えながら、被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工する。また工具歯車１または被加工内歯車２に微小往復動させ、加えて上記工具歯車１と被加工内歯車２との両者の軸方向位置を変動させるようにしながら、被加工内歯車２の歯面を仕上げ加工する。
【実施例１】
【００２４】
イ）図１は、上記本発明に係る仕上げ加工法の１を実施するための仕上げ加工機の一例を示す。
７は基台を示し、その上面に後記回転軸１１の軸方向と同方向へ往復動可能な可動機台８を載置して、該可動機台８上部に、被加工内歯車２用の保持装置９を設けてあり、かつそれと対向するように同じく基台７上に、工具歯車１を軸装用の固定機台１０を設けてある。
【００２５】
上記被加工内歯車用の保持装置９は、可動機台８上に固定してあり、その上半部内にここではテーパーコロ軸受部１２により回転軸１１を水平状に軸支し、該回転軸１１の側端部にチャック機構１３を設けて、被加工内歯車２を保持可能としてある。軸受部はテーパーコロ軸受に限るものではない。
【００２６】
また回転軸１１にはトルク付与手段３を設けてある。これは該回転軸１１の他側部寄りに伝動用の平歯車１５を軸装し、それに噛合する平歯車１４を上記可動機台８上のトルク付与用モータ１６で可回転としてある。
【００２７】
他方、工具歯車保持用の固定機台１０の上部には、縦断面Ｌ型状の軸支部材１７を設けて、上記チャック機構１３で保持される被加工内歯車２に対向する如く、工具歯車１を軸装・固定してある。
【００２８】
該工具歯車１は、被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の台金表面に硬質砥粒、ここでは平均粒径が約３００μｍのダイヤモンド砥粒を電着したものを用いている。この硬質砥粒は、それに限らず例えばＣＢＮ（立方晶窒化硼素）をメタル質ポンドで付着させたものでもよい。
【００２９】
そして上記可動機台８には、工具歯車１との間で被加工内歯車２に軸方向への往復動を与えるために往復動付与手段４を設けてある。ここでの往復動付与手段４は、上記基台７上に設けた往復動付与用のモータ１８にて回転するボールネジ１９を横設し、該ボールネジ１９の他端部を上記可動機台８に連結してある。これにより、可動機台８が基台７上で往復移動が可能となり、上記被加工内歯車２を工具歯車１との間で軸方向への往復動が可能としてある。ここでは±２ｍｍ程度の往復動をするようしてある。
【００３０】
ロ）次に、上記実施例１の加工機を用いた場合の使用状態を説明する。
歯切り、塑性加工又は鋳造加工によって成形され、焼き入れ後の被加工内歯車２を、被加工内歯車用の保持装置９におけるチャック機構１３にて保持させる。次に可動機台８を基台７上で移動させ、チャック機構１３で保持された被加工内歯車２を、対向する位置に設けた工具歯車１との間で歯面間に隙間をもって嵌合する位置へセットする。
【００３１】
そして、トルク付与手段３としてトルク付与用のモータ１６を一方向へ回転させると伝動用の平歯車１４，１５と回転軸１１を介して被加工内歯車２に回転トルクが付与され、固定した工具歯車１との間で、歯面間に面圧が加わることになる。この状態で、上記往復動付与手段４のボールネジ１９を一定範囲で正・逆回転させると、可動基台７・被加工内歯車用保持８のチャック機構１３を介して、被加工内歯車２が軸線上を±２ｍｍ程度で往復動する。
【００３２】
これにより、被加工内歯車２の歯面が工具歯車１の歯面に押し付けられた状態で軸方向へ往復移動するから、被加工内歯車２の歯面が硬質砥粒付き表面の工具歯車１の歯面に沿った形状に仕上げられることになる。
【００３３】
被加工内歯車２の片側の歯面を仕上げた後は、上記トルク付与モータ１６を逆方向へ回転してトルクの方向を反転し、上記と同様にして被加工内歯車２の他側の歯面を仕上げればよい。ここでの歯面間の面圧は、上記トルク付与モータ１６の制御により精度良く付与できるから、加工効率と工具寿命に適切な条件の下で仕上げ加工が行える。
【００３４】
この方法および加工機によれば、工具歯車１の歯面形状が被加工内歯車２の歯面形状に転写されることになるので、工具歯車以外の構成はそれ程の高精度が不要であり、安価な設備で仕上げ加工することができる。工具歯車１の歯面に修正形状を与えることにより、被加工内歯車２の歯面形状に成形することができる。しかも工具歯車１の片側の歯面全体が被加工内歯車と接触するので、加工能率が高いものになっている。
【００３５】
なお、被加工内歯車２は、平歯車に限らず、歯筋が捩じれているハスバ歯車でも良い。その場合、軸方向の往復動に応じて被加工内歯車が捩じれに対応する分だけ回転することになるが、所定のトルクは保持されており、同様の仕上げ加工が行われる。
【実施例２】
【００３６】
イ）図２は、上記実施例１の変形例としての加工機を示すものであり、被加工内歯車２と工具歯車１との設置位置を逆にしたものである。相違点を中心に説明すると、基台７上面に水平方向へ往復動可能とした可動機台８の上部で回転軸１１を軸支して、該回転軸１１の側端部に工具歯車１を軸装可能し、他方、同じく固定機台９上に固定機台１０を設けて、その上部の縦断面Ｌ型状の軸支部材１７を介して、工具歯車１と対向するように被加工内歯車２用のチャック機構１３を設けてある。
【００３７】
ここでの該工具歯車１も上記と同様のものを用いており、また回転軸１１の他側部寄りには、トルク付与モータ１６で回転可能な平歯車１４と噛合する平歯車１５を軸装してある。
【００３８】
そして、上記可動機台８を往復移動可能とするために、基台７上に設けたモータ１８にて回転するボールネジ１９の他端部を上記可動機台８に連結して、工具歯車１を回転軸１１の軸方向へ往復動可能としてある。
【００３９】
ロ）この実施例２の加工機を用いた場合の使用状態は、上記実施例１についての使用状態と比べて、被加工内歯車２と工具歯車１との位置・方向が逆である以外は同じである。上記実施例１の場合と異なり工具歯車１が回転軸１１の軸方向へ往復動可能となっているが、同様の仕上げ加工がなされるので、重複を避けるために記載は省略する。
【実施例３】
【００４０】
イ）図３は、本発明に係る仕上げ加工法の２を実施するための仕上げ加工機の一例を示すものである。
７は基台を示し、その上面に後記回転軸１１の軸方向と同方向へ往復動可能な可動機台８を載置して、該可動機台８上部に、被加工内歯車２用の保持装置９を設けてあり、かつそれと対向するように上記基台７上に工具歯車１用の固定機台１０を設けてある。
【００４１】
上記被加工内歯車２用の保持装置９は、上記実施例１で示したものと同様で、可動機台８上に固定してあり、その上半部内にここでもテーパーコロの軸受部１２により回転軸１１を水平状に軸支してある。該回転軸１１の側端部には、被加工内歯車２を保持用のチャック機構１３を設けてある。そして該回転軸１１の他側部寄りに伝動用の平歯車１５を軸装してあり、可動機台８上に設けたトルク付与モータ１６で回転する平歯車１４と噛合させてある。
【００４２】
他方、工具歯車保持用の固定機台１０には、その上部に、回転軸１１の軸方向と同方向へ往復動可能に可動機台２０を載置するとともに、該可動機台２０の上部に、ここでも縦断面Ｌ型状の被加工内歯車用の軸支部材１７を設け、該保持部材１７の側部で上記被加工内歯車保持装置９のチャック機構１３に対向する側に、上記回転軸１１と同一軸線上に工具歯車１を軸装してある。該工具歯車１も上記と同様に、被加工内歯車２との間で歯面間に隙間を有して嵌合可能な雄型の台金表面に、ダイヤモンド砥粒を電着したものを用いている。
【００４３】
そして、上記軸支部材１７の他端部に、微小往復動用機構としてのスライダークランク２１の一端部を連結し、該クランク２１の他端部を固定機台１０上に設置した微小往復動付与用のモータ２２の軸に連結して、上記可動機台２０が固定機台１０上で微小往復動可能としてある。これで、工具歯車１を被加工内歯車２との間で軸方向へ高速で微小往復動可能となっている。ここでは周波数２０Ｈｚで±０．２ｍｍ程度の高速微小往復動を行うようにしてある。
【００４４】
さらにこの実施例では、上記被加工内歯車保持装置全体を、軸方向へ移動可能に位置変動手段６を設けてある。この位置変動手段６は、上記基台７上に移動可能に設けた被加工内歯車２用の保持装置９側の可動機台８に、基台７上に設けた位置変動用のモータ２３にて回転するボールネジ２４の他端部を連結したものである。これにより、被加工内歯車用の保持装置９を乗せた上記可動機台８が基台７上で位置を可変としてある。
【００４５】
ロ）次に、この実施例３の加工機を用いた場合の使用状態を説明する。
歯切り、塑性加工又は鋳造加工によって成形され、焼き入れ後の被加工内歯車２を、被加工内歯車用の保持装置９としてのチャック機構１３にて保持させる。次にこの側の可動機台８を基台７上で移動させて、上記被加工内歯車２を、対向する位置にある加工歯車１との間で歯面間に隙間をもって嵌合する位置にセットする。
【００４６】
そしてトルク付与モータ１６を一方向へ回転させると、伝動用の平歯車１４，１５と回転軸１１を介して被加工内歯車２に回転トルクが付与され、固定した加工歯車１との間で、歯面間に面圧が加わることになる。この状態で、工具歯車１側の固定機台１０上に設けた微小往復動用のモータ２２が回転すると、スライダークランク２１が微小往復動して、上記可動機台２０と工具歯車用の軸支部材１７を介して工具歯車１が軸方向へ微小な往復動を行うことになる。そのため、工具歯車１が被加工内歯車２との間で軸方向へ、ここでは±０．２ｍｍ程度で２０Ｈｚの周波数で高速微小往復動することになる。
【００４７】
このように、被加工内歯車２の歯面が工具歯車１の歯面に押し付けられた状態で軸方向へ移動するので、被加工内歯車２の歯面が硬質砥粒付き表面の工具歯車１の歯面に沿った形状が効率よく仕上げられることになる。またこの実施例では、工具歯車１を高速微小往復動させているので、往復動に伴う振動現象が生じず、一層効率良く即ち加工時間を短縮して仕上げ加工が行われる。その他の点は上記実施例１や２とほぼ同様である。
【００４８】
それに加えてこの実施例では、上記被加工内歯車用の保持装置９の全体を軸方向へ移動可能に、基台７上の可動機台８を位置変動用モータ２３で回転するボールネジ２４に連結してある。そのため、被加工内歯車２用の保持装置９全体を可動機台８の移動に伴って所望量だけ移動させることができ、工具歯車１に対する被加工内歯車２の軸方向の位置を変えて接触位置を変動できるから、より良好な歯面の面粗度で仕上げ加工をすることができる。
【実施例４】
【００４９】
イ）図４で示す実施例は上記実施例３の変形例を示すものであり、被加工内歯車２と工具歯車１との位置を逆にしたものであり、相違点を中心に説明する。基台７上面に後記回転軸１１の軸方向と同方向へ往復動可能な可動機台８を載置して、該可動機台８上部に、ここでは工具歯車１用の保持装置９を設けてあり、かつそれと対向するように同じく基台７上に被加工内歯車２用の固定機台１０を設けてある。
【００５０】
上記可動機台８上の工具歯車１用の保持装置９は、上半部内の軸受部１２により回転軸１１を水平状に軸支してあり、該回転軸１１の側端部には工具歯車１を軸装してある。該工具歯車１はここでも上記と同様のものを用いており、また該回転軸１１の他側部寄りには、上記可動機台８上のトルク付与モータ１６で回転可能としてある。
【００５１】
他方、上記被加工内歯車２の固定機台１０上部に、上記回転軸１１の軸線と同方向へ往復動可能に可動機台２０を載置してあり、該可動機台１０上部に縦断面Ｌ型状の被加工内歯車２用の軸支部材１７を設けて、上記工具歯車用の保持装置９の工具歯車１に対向する如く、被加工内歯車２を保持用のチャック機構１３を設けてある。
【００５２】
そして、該被加工内歯車用の軸支部材１７の他端部に、微小往復動用手段としてスライダークランク２１の一端部を連結し、該クランク２１の他端部を、固定機台２０上に設置した微小往復動付与モータ２２の軸に連結して、上記可動機台２０が固定機台１０上で微小往復動を可能としてある。これで、被加工内歯車２を工具歯車１に対して軸方向へ、±０．２ｍｍ程度で２０Ｈｚの周波数で高速微小往復動できるようにしてある。
【００５３】
さらにこの実施例でも、上記工具歯車１用の保持装置９全体を、軸方向へ移動可能に位置変動手段６を設けてある。この位置変動手段６は、上記基台７上に移動可能に設けた可動機台８に、同じく基台７上に設けた位置変動用のモーター２３で回転するボールネジ２４の他端部を連結したものである。これにより、工具歯車１用の保持装置９を乗せた可動機台８が、基台７上で移動可能としてある。
【００５４】
ロ）この実施例４の加工機を用いた場合の使用状態は、上記実施例３についての使用状態と比べて、被加工内歯車２と工具歯車１との位置・方向が逆である以外は同じである。上記実施例３の場合と異なり、被加工内歯車２側が高速微小往復動し、工具歯車１側が軸方向への位置を変更可能となっているが、それに伴う作用・効果は上記実施例３とほぼ同様であり、重複を避けるために詳細は省略する。
【００５５】
なお、上記いずれの実施例でも、トルク付与手段３，往復動付与手段４，微小往復動付与手段５，位置変動手段６において、動力の伝達には上記の歯車，ボールネジ，クランクに限らず、チエーン、カム，その他で高精度に動力を伝達できる機構ならばそれを用いてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１−工具歯車
２−被加工内歯車
３−トルク付与手段
４−往復動付与手段
５−微小往復動付与手段
６−位置変動手段
７−基台
８−可動機台
９−保持装置
１０−固定機台
１１−回転軸
１２−軸受部
１３−チャック機構
１４−歯車
１５−歯車
１６−トルク付与モータ
１７−軸支部材
１８−往復動付与モータ
１９−ボールネジ
２０−可動機台
２１−スライダークランク
２２−モータ
２３−モータ
２４−ボールネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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