(57)【要約】【課題】  複数個のＬＥＤ光源の放射光を合成して出射する構成のものにおいて、複数のピーク波長を有する連続した広範囲の波長範囲の光を出射することができると共に高い輝度を得ることのできる光源装置を提供すること。【解決手段】  この光源装置は、ピーク波長が互いに近接する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源と、第１のＬＥＤ光源から放射された放射光と、第２のＬＥＤ光源から放射された放射光を合成するダイクロイックミラーとを有し、前記ダイクロイックミラーは、前記第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、前記第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピーク波長が互いに近接する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源と、
当該第１のＬＥＤ光源から放射された放射光と、当該第２のＬＥＤ光源から放射された放射光を合成するダイクロイックミラーと
を有し、
前記ダイクロイックミラーは、前記第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、前記第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置されていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記第１のＬＥＤ光源のピーク波長と、前記第２のＬＥＤ光源のピーク波長との差が３０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体や液晶基板、カラーフィルター等の製造工程における露光処理を行うに際しての露光用光源、あるいは、プロジェクタ装置における光源として用いられる光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体や液晶基板、カラーフィルター等の製造工程における露光処理を行うに際して用いられる露光用光源として、図５に示すような、紫外線波長域のＬＥＤ素子の複数のものが面状に配置されてなるＬＥＤ発光部８０を有し、当該ＬＥＤ発光部８０から放射される放射光を適宜の集光光学系により集光して露光面Ｓに出射する構成とされた光源装置が知られている（例えば特許文献１参照。）。図５において、符号８１は楕円面反射鏡、８２は球面レンズ、８３は円錐反射鏡、８４は透光性ロッド、８５はコンデンサレンズ、８６はリレーレンズである。
【０００３】
しかしながら、このような構成の光源装置では、ＬＥＤ素子のピーク波長を中心とした比較的波長範囲の狭い単色の光しか出射することができないので、例えば感光樹脂の個々の露光感度に応じた波長光が必要とされる、カラーフィルター等の製造工程における露光処理を行うための露光用光源として利用することはできない、という問題がある。
また、ＬＥＤ素子から放射された光が集光光学系により集光していく過程において種々のロスが生ずることとなって光の利用効率が低下し、十分に高い輝度の光を得ることができない、という問題がある。
【０００４】
一方、可視域の波長範囲において選ばれた互いに異なるピーク波長を有する複数のＬＥＤ光源の各々から放射される光を例えばダイクロイックミラーを用いて合成して出射する構成とされた光源装置が提案されている。
この光源装置は、図６に示すように、可視域の所定の波長範囲内において互いに異なるピーク波長を有する２つのＬＥＤ光源９０Ａ，９０Ｂと、ダイクロイックミラー９１と、第１のＬＥＤ光源９０Ａおよび第２のＬＥＤ光源９０Ｂの各々の光放射方向前方側に配置された、ＬＥＤ光源からの放射光を平行光としてダイクロイックミラーに出射するコリメータレンズ９３とを有する。
この光源装置においては、第１のＬＥＤ光源９０Ａからの放射光がダイクロイックミラー９１を透過した透過光に、第２のＬＥＤ光源９０Ｂからの放射光がダイクロイックミラー９１により反射された反射光が合成される。
【０００５】
しかしながら、各々、ピーク波長が互いに近接する複数のＬＥＤ光源の各々から放射される放射光をダイクロイックミラーにより合成する場合には、複数個のＬＥＤ光源およびダイクロイックミラーを、単に、上記構成の光学系を構成するよう配置するだけでは、十分に高い輝度の光を出射することができないことが判明した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−０４１４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、複数個のＬＥＤ光源の放射光を合成して出射する構成のものにおいて、複数のピーク波長を有する連続した広範囲の波長範囲の光を出射することができると共に高い輝度を得ることのできる光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光源装置は、ピーク波長が互いに近接する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源と、
当該第１のＬＥＤ光源から放射された放射光と、当該第２のＬＥＤ光源から放射された放射光を合成するダイクロイックミラーと
を有し、
前記ダイクロイックミラーは、前記第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、前記第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の光源装置においては、前記第１のＬＥＤ光源のピーク波長と、前記第２のＬＥＤ光源のピーク波長との差が３０ｎｍ以下である構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の光源装置によれば、ダイクロイックミラーが、第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角、および、第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置された構成とされていることにより、光の利用効率（合成効率）を高くすることができるので、複数のピーク波長を有する連続した広い波長範囲の光を出射することができ、しかも、放射光量を必要波長域の全体にわたって増加させることができて高い輝度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の光源装置に係る光学系の一例における構成の概略を示す説明図である。
【図２】ダイクロイックミラーの波長選択特性を説明するための図であって、（Ａ）Ｐ偏光成分についての波長選択特性、（Ｂ）Ｓ偏光成分についての波長選択特性である。
【図３】第１のＬＥＤ素子からの放射光と第２のＬＥＤ素子からの放射光との合成光の分光分布曲線を概略的に示す説明図である。
【図４】本発明の光源装置に係る光学系の他の例における構成の概略を示す説明図である。
【図５】従来におけるＬＥＤ素子を用いた光源装置の一例における光学系の構成の概略を示す説明図である。
【図６】従来におけるＬＥＤ素子を用いた光源装置の他の例における光学系の構成の概略を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の光源装置に係る光学系の一例における構成の概略を示す説明図である。
この光学系は、各々、互いに近接するピーク波長λ1 〔ｎｍ〕およびλ2 〔ｎｍ〕（λ1 ＞λ2 ）を有する光を放射する第１のＬＥＤ光源および第２のＬＥＤ光源の各々の放射光を合成するものであって、第１のＬＥＤ光源を構成する第１のＬＥＤ素子１０と、第１のＬＥＤ光源の光放射方向前方の位置において、第１のＬＥＤ素子１０の光出射面１０Ａに垂直な方向に伸びる当該光出射面１０Ａの中心軸（以下、「基準軸」という。）Ｃ１に対して傾斜した状態で配置された円板状のダイクロイックミラー５０と、光出射面２０Ａの中心軸Ｃ２がダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂにおける基準軸Ｃ１上の位置と交わる状態で、ダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂに対して傾斜して伸びるよう配置された、第２のＬＥＤ光源を構成する第２のＬＥＤ素子２０とを有する。
【００１３】
第１のＬＥＤ素子１０および第２のＬＥＤ素子２０は、第１のＬＥＤ素子１０の放射光の分光分布曲線と第２のＬＥＤ素子２０の放射光の分光分布曲線の少なくとも一部が重なるようなピーク波長λ1 およびピーク波長λ2 を有するものである。
更に、ダイクロイックミラー５０の反射率が５０％、透過率が５０％となる波長が、第１のＬＥＤ素子１０の放射光の分光分布曲線と第２のＬＥＤ素子２０の放射光の分光分布曲線とが重なる波長範囲内にあるように構成されたものである。
【００１４】
例えば、紫外線露光装置用の光源装置を構成する場合には、２５０〜４５０ｎｍの波長範囲内にピーク波長を有するＬＥＤ素子を備えたＬＥＤ光源が用いられ、例えばプロジェクタ装置用の光源装置を構成する場合には、赤領域（４２０〜４７０ｎｍ）、緑領域（５１０〜５５５ｎｍ）および青領域（６０５〜６５０ｎｍ）のそれぞれの波長範囲内にピーク波長を有するＬＥＤ素子を備えたＬＥＤ光源、あるいは、シアン領域、マゼンタ領域およびイエロー領域内のそれぞれの波長範囲内にピーク波長を有するＬＥＤ素子を備えたＬＥＤ光源が用いられる。
【００１５】
そして、紫外線露光装置用の光源装置を構成する場合には、第１のＬＥＤ素子１０のピーク波長λ1 と第２のＬＥＤ素子２０のピーク波長λ2 の差（ピーク間隔）が、例えば３０ｎｍ以下、例えば１０〜２０ｎｍとされることが好ましい。これにより、一のＬＥＤ素子からの放射光における当該ＬＥＤ素子のピーク波長を含む波長範囲の光の放射強度（発光波長特性）を、他のＬＥＤ素子からの放射光により強調することができて、必要波長域の光の輝度を確実に向上させることができる。
【００１６】
また、各々のＬＥＤ素子のエタンデュ（放射の面積×立体角）は、互いに同じ大きさとされていることが好ましく、これにより、各々のＬＥＤ素子からの放射光を効率よく合成することができる。
【００１７】
ダイクロイックミラー５０は、第１のＬＥＤ素子１０のピーク波長λ1 と第２のＬＥＤ素子２０のピーク波長λ2 との間の波長範囲内において反射−透過変換波長（境界波長）λ01（λ2 ＜λ01＜λ1 ）を有し、反射−透過変換波長λ01より長波長の光を透過し、反射−透過変換波長λ01より短波長の光を反射する波長選択特性を有する。
【００１８】
各々のＬＥＤ素子１０，２０の光放射方向前方の位置には、それぞれ、ＬＥＤ素子１０（２０）からの放射光を平行光として出射するコリメータレンズ６１（６２）がその光軸がＬＥＤ素子１０（２０）の光出射面１０Ａ（２０Ａ）の中心軸Ｃ１（Ｃ２）上に位置されるよう配置されており、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光は、第１のコリメータレンズ６１によって略平行光とされてダイクロイックミラー５０の一面５０Ａに照射される。また、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光は、第２のコリメータレンズ６２によって略平行光とされて第１のダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂに、その照射領域が第１のＬＥＤ素子１０の放射光が第１のダイクロイックミラー５０を透過した透過光の出射領域に重なるよう、照射される。
また、ダイクロイックミラー５０の前方の位置には、ダイクロイックミラー５０からの出射光を集光して露光装置の光導入部６８に照射するコンデンサレンズ６５が、その光軸が基準軸Ｃ１上に位置されるよう、配置されている。
【００１９】
而して、この光学系においては、ダイクロイックミラー５０は、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光の入射角（第１のダイクロイックミラー５０の一面５０Ａの法線に対してなす角）θ1 、および、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光の入射角（第１のダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂの法線に対してなす角）θ2 が、５〜４０°となる状態で、配置されている。
入射角θ1 および入射角θ2 が４０°より大きい場合には、後述する実験例の結果に示されるように、十分な発光強度を得ることができない。また、入射角θ1 および入射角θ2 の下限値を５°としたのは、実際上、５°より小さい入射角θ1 および入射角θ2 で光源装置（光学系）を構成することが困難であるためである。
【００２０】
上記構成の光学系においては、第１のコリメータレンズ６１により略平行光とされてダイクロイックミラー５０の一面５０Ａに入射角θ1 で入射される第１のＬＥＤ素子１０から放射された放射光が、ダイクロイックミラー５０を透過すると共に、第２のコリメータレンズ６２により略平行光とされてダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂに入射角θ2 で照射される、第２のＬＥＤ素子２０から放射された放射光が、ダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂによって反射され、これにより、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光がダイクロイックミラー５０を透過した透過光と、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光がダイクロイックミラー５０によって反射された反射光とが合成され、第１のダイクロイックミラー５０から出射された合成光が、コンデンサレンズ６５により集光されて紫外線露光装置の光導入部（例えばフライアイ）６８の一端面６８Ａに入射される。
【００２１】
而して、上記構成の光学系を備えた光源装置によれば、ダイクロイックミラー５０が、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光の入射角θ1 、および、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光の入射角θ2 が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置された構成とされていることにより、光の利用効率（合成効率）を高くすることができるので、波長λ1 〔ｎｍ〕およびλ2 〔ｎｍ〕にピーク波長を有する連続した広い波長範囲の光を出射することができ、しかも、放射光量を必要波長域の全体にわたって増加させることができて高い輝度を得ることができる。
【００２２】
上記構成の光学系による各々のＬＥＤ素子からの放射光の合成において、上記効果が得られる理由は、次のように考えられる。
例えば、ピーク波長λ1 が４０５ｎｍである第１のＬＥＤ素子１０からの放射光と、ピーク波長λ2 が３８５ｎｍである第２のＬＥＤ素子２０からの放射光とを、反射−透過変換波長λ01が３９５ｎｍであるダイクロイックミラー５０により合成する場合を例に挙げて説明すると、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光および第２のＬＥＤ素子２０からの放射光は、いずれも、偏光されたものではないが、便宜上、Ｐ偏光成分およびＳ偏光成分を同程度含むものとして考えると、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光および第２のＬＥＤ素子２０からの放射光が、それぞれ、ダイクロイックミラー５０に対して例えば４０°より大きい入射角θ1 ，θ2 で入射される場合には、ダイクロイックミラー５０は、Ｐ偏光成分については、図２（Ａ）において破線で示すように、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）が短波長側にシフト（この例ではシフト量Δλが−４ｎｍ）し、Ｓ偏光成分については、図２（Ｂ）において破線で示すように、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）が長波長側にシフト（この例ではシフト量Δλが＋４ｎｍ）し、反射−透過変換波長λ01のシフト量は、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光のダイクロイックミラー５０に対する入射角θ1 、および、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光のダイクロイックミラー５０に対する入射角θ2 が大きくなるに従って大きくなる。
【００２３】
従って、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光は、Ｐ偏光成分については、実質的にすべての波長範囲の光がダイクロイックミラー５０を透過することになるが、Ｓ偏光成分については、図２（Ｂ）において破線で示すように、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）が長波長側にシフトすること（λ01´´＝３９９ｎｍ）によって、当該長波長側にシフトされた反射−透過変換波長より短波長側の光が反射されることとなり放射強度が減少する。また、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光は、Ｓ偏光成分については、実質的にすべての波長範囲の光がダイクロイックミラー５０によって反射されることになるが、Ｐ偏光成分については、図２（Ａ）において破線で示すように、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）が短波長側にシフトすること（λ01´＝３９１ｎｍ）によって、当該短波長側にシフトされた反射−透過変換波長より長波長側の光がダイクロイックミラー５０を透過することとなり、放射強度が減少する。
そして、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光における、ダイクロイックミラー５０の反射−透過変換波長λ01より短波長の光の放射強度の減少を第２のＬＥＤ素子２０からの放射光によって補償することはできず、また、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光における、ダイクロイックミラー５０の反射−透過変換波長λ01より長波長の光の放射強度の減少を第１のＬＥＤ素子２０からの放射光によって補償することはできないことから、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光がダイクロイックミラー５０を透過した透過光と、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光がダイクロイックミラー５０によって反射される反射光との合成光は、図３において破線で示すように、ダイクロイックミラー５０の本来の反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）を中心とする、ダイクロイックミラー５０の反射−透過変換波長λ01のシフト量Δλに応じた波長範囲（非有効発光領域）Ｘ１（この例では８ｎｍ）において、図３において斜線が付された部分により示されるロスが生じ、十分な発光強度を得ることができない。
【００２４】
然るに、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光および第２のＬＥＤ素子２０からの放射光が、それぞれ、ダイクロイックミラー５０に対して５〜４０°の範囲内で設定された大きさの入射角θ1 ，θ2 で入射される構成とされていることにより、ダイクロイックミラー５０に対する光の入射角の大きさに起因するダイクロイックミラー５０の反射−透過変換波長がシフトすることを回避することができ、ダイクロイックミラー５０は、図２において実線で示すように、Ｐ偏光成分およびＳ偏光成分のいずれについても、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）より短波長の光を反射し、反射−透過変換波長λ01（３９５ｎｍ）より長波長の光を透過する、所期の波長選択特性を有するものとなる。
従って、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光におけるＰ偏光成分およびＳ偏光成分は、いずれも、実質的にすべての波長範囲の光がダイクロイックミラー５０を透過すると共に、第２のＬＥＤ素子２０からの放射光におけるＰ偏光成分およびＳ偏光成分は、いずれも、実質的にすべての波長範囲の光がダイクロイックミラー５０の他面５０Ｂによって反射され、これにより得られる合成光においては、十分な放射強度を得ることのできない波長範囲（非有効発光領域）が形成されることがなく、図３において実線で示すような分光分布特性を有するものとなり、光の利用効率（合成効率）を高くすることができるものと考えられる。
【００２５】
以上、本発明の光源装置の一実施形態について説明したが、本発明は、上記構成のものに限定されるものではない。
【００２６】
図４は、本発明の光源装置に係る光学系の他の例における構成の概略を示す説明図である。
この光学系は、各々、互いに近接するピーク波長λ1 〔ｎｍ〕およびλ2 〔ｎｍ〕（λ1 ＞λ2 ）を有する光を放射する第１のＬＥＤ光源１０１からの放射光、および、第２のＬＥＤ光源２０１からの放射光を合成するものであって、円板状のダイクロイックミラー５１と、ダイクロイックミラー５１の一面側における、ダイクロイックミラー５１の面方向に離間して並んだ位置に配置された第１のＬＥＤ光源１０１および第２のＬＥＤ光源２０１と、ダイクロイックミラー５１の他面側において、反射面７０Ａがダイクロイックミラー５１に対向するよう配置された反射ミラー７０とを備えている。
【００２７】
第１のＬＥＤ光源１０１は、第１のＬＥＤ素子１０と、光軸が第１のＬＥＤ素子１０の光出射面の中心軸に一致する状態で配置された、第１のＬＥＤ素子１０からの放射光を略平行光として照射する例えばパラボラミラー１０２とにより構成されている。また、第２のＬＥＤ光源２０１も、第１のＬＥＤ光源１０１と同様の構成を有し、ＬＥＤ素子２０とパラボラミラー２０２とにより構成されている。
【００２８】
ダイクロイックミラー５１は、第１のＬＥＤ素子１０のピーク波長λ1 と第２のＬＥＤ素子２０のピーク波長λ2 との間の波長範囲内において反射−透過変換波長（境界波長）λ01（λ2 ＜λ01＜λ1 ）を有し、反射−透過変換波長λ01より長波長の光を反射し、反射−透過変換波長λ01より短波長の光を透過する波長選択特性を有する。
【００２９】
この光学系においては、ダイクロイックミラー５１の他面５１Ｂに、５〜４０°の範囲内で設定された大きさの入射角θ1 で入射される、第１のＬＥＤ光源１０１からの放射光が反射ミラー７０によって反射された反射光が、ダイクロイックミラー５１の他面５１Ｂによって反射されると共に、ダイクロイックミラー５１の一面５１Ａに、５〜４０°の範囲内で設定された大きさの入射角θ2 で入射される第２のＬＥＤ光源２０１からの放射光がダイクロイックミラー５１を透過し、これにより、第１のＬＥＤ光源１０１からの放射光および第２のＬＥＤ光源２０１からの放射光が合成される。
【００３０】
このような構成の光学系を有する光源装置においても、図１に示す構成の光学系を有するものと同様の効果、すなわち、ダイクロイックミラー５０に対する光の入射角の大きさに起因するダイクロイックミラー５０の反射−透過変換波長がシフトすることを回避することができて十分な放射強度を得ることのできない波長範囲（非有効発光領域）が形成されることがなく、従って、光の利用効率（合成効率）を高くすることができるので、波長λ1 〔ｎｍ〕およびλ2 〔ｎｍ〕にピーク波長を有する連続した広い波長範囲の光を出射することができ、しかも、放射光量を必要波長域の全体にわたって増加させることができて高い輝度を得ることができる。
【００３１】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
＜実験例１＞
ダイクロイックミラー（５０）として、光学系（１）〜（５）の５種類を準備した。光学系（１）に使用したダイクロイックミラーは、入射角４５°で光を入射させたとき（以下、「設定入射角」と称す。）、３９５ｎｍの波長光についての反射率が５０％、透過率が５０％となるように作られている。光学系（２）の場合は、設定入射角４０°において３９５ｎｍの波長光についての反射率が５０％、透過率が５０％となるように作られている。以下、光学系（３）から光学系（５）までも各設定入射角について同様である。
また、第１のＬＥＤ素子（１０）として、ピーク波長（λ1 ）が４０５ｎｍ、半値半幅が１０ｎｍであるもの、第２のＬＥＤ素子（２０）として、ピーク波長（λ2 ）が３８５ｎｍ、半値半幅が１０ｎｍであるものを用い、各々の光学系において、ダイクロイックミラー（５０）に対する入射角θ1 ，θ2 を、ダイクロイックミラー（５０）の設定入射角と同一の大きさとした。各々の光学系（１）〜（５）について、ダイクロイックミラー（５０）から出射される、３７５ｎｍ〜４１５ｎｍの波長光の総エネルギー量を測定した。結果を下記表１に示す。表１において、各光学系における総エネルギー量は、光学系（２）における総エネルギーを「１．００」としたときの相対値である。
【００３２】
【表１】
2012049226.tif 000003
【００３３】
以上の結果より、本発明に係る光学系（２）〜（４）によれば、ダイクロイックミラーが、第１のＬＥＤ光源からの放射光の入射角θ1 、および、第２のＬＥＤ光源からの放射光の入射角θ2 が、いずれも、５〜４０°となる状態で、配置された構成とされていることにより、放射光量を必要波長域の全体にわたって増加させることができて高い輝度を得ることができることが確認された。
【符号の説明】
【００３４】
１０  第１のＬＥＤ素子
１０Ａ  光出射面
２０  第２のＬＥＤ素子
２０Ａ  光出射面
Ｃ１  基準軸（第１のＬＥＤ素子の光出射面の中心軸）
Ｃ２  第２のＬＥＤ素子の光出射面の中心軸
５０，５１  ダイクロイックミラー
５０Ａ，５１Ａ  一面
５０Ｂ，５１Ｂ  他面
６１  第１のコリメータレンズ
６２  第２のコリメータレンズ
６５  コンデンサレンズ
６８  光導入部
６８Ａ  一端面
７０  反射ミラー
７０Ａ  反射面
８０  ＬＥＤ発光部
８１  楕円面反射鏡
８２  球面レンズ
８３  円錐反射鏡
８４  透光性ロッド
８５  コンデンサレンズ
８６  リレーレンズ
９０Ａ  第１のＬＥＤ光源
９０Ｂ  第２のＬＥＤ光源
９１  ダイクロイックミラー
９３  コリメータレンズ
Ｓ  露光面
１０１  第１のＬＥＤ光源
２０１  第２のＬＥＤ光源
１０２，２０２  パラボラミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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