(57)【要約】      （修正有）【課題】配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部の状態を容易且つ的確に把握し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】配線基板５０とアクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、配線基板５０の一方の共通端子部５９からアクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部４７を介して一方の列の下電極膜４３に至り、さらにアクチュエーターユニットの他方の列の下電極膜４３及び他方の列の共通端子部４７を介して配線基板５０の他方の共通端子部５９に至る閉回路を形成して閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、抵抗値に閾値を設け、閾値以下の抵抗値を有する配線基板５０及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、
前記配線基板の一方の共通端子部から前記アクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部を介して一方の列の共通電極に至り、さらに前記圧力発生手段の他方の列の共通電極及び他方の列の共通端子部を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、
前記抵抗値に閾値を設け、該閾値以下の抵抗値を有する配線基板及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記計測工程は、前記一方の列の共通電極を介した後、前記配線基板の他の共通端子部に至り、該共通端子部を介して前記他方の列の共通電極に至る回路を含む閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測するものであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、
前記配線基板は、複数の共通端子部を有するとともに、
前記アクチュエーターユニットは、一方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の一方に接続された一方の列の共通端子部と、他方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の他方に接続された他方の列の共通端子部とを有し、前記配線基板の一方の共通端子部から各列の前記共通電極を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成し得る電路を有するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記配線基板は、前記共通端子部に対し前記圧力発生手段の並設方向の反対側にも他の共通端部を有し、該共通端子部を介して前記圧力発生手段の一方の列と他方の列との共通電極を接続するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行ったことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項４〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特にフィルム状の配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子である圧電アクチュエーターにより変形させて圧力発生室のインクを加圧して、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電アクチュエーターのたわみ変形を用いたものが実用化されている。ここで、圧電アクチュエーターユニットを駆動する駆動信号を供給する駆動回路は、フレキシブルプリント基板等の配線基板に実装され、駆動回路からの駆動信号を配線基板を介して圧電アクチュエーターに供給するようになっている。
【０００３】
そこで、この種のインクジェット式記録ヘッドにおいては、配線基板を圧電アクチュエーターに電気的に接続する必要がある。従来、かかる接続は半田を用いて行われていたが、近年のインクジェット式記録ヘッドの小型化に伴い異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材も用いられている（例えば特許文献１および特許文献２参照）。これに伴い、いずれにしても配線基板と圧電アクチュエーターとの電気的な接続部の良否を判定する必要がある。接続が不完全な場合には、当該インクジェット式記録ヘッドの機能が阻害され、寿命が短くなる等の問題が生起されるからである。
【０００４】
このため半田の場合には目視検査等、異方性導電材の場合には破壊検査等で対応していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２９１３３７号公報
【特許文献２】特開２００９−０４０００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら目視検査では見落としが発生するばかりでなく、異方性導電材料を用いるような微細化された接続部の検査方法としては事実上適用できない。すなわち、異方性導電材料を用いた接続部における良否は導通粒子の潰れ状態で判定する必要があるが、かかる判定を目視で行うことは不可能であり、検査方法としては破壊検査となってしまう。したがって、この場合にはインクジェット式記録ヘッドの全数保証を行うことができなくなる。また、電気的な検査（オープン・ショート検査）では検査可能であるが、粒子の潰れ状態を確認することはできない。
【０００７】
なお、インクジェット式記録ヘッドのアクチュエーターユニットの中には、多数の圧電アクチュエーターを並設して列を形成し、この列を複数列有するものが提案されているが、かかるアクチュエーターユニットと配線基板とを接続する場合の接続部の検査においては、接続部が増加する分、上記問題点がさらに顕著になる。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部の状態を容易且つ的確に把握し得る液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、前記配線基板の一方の共通端子部から前記アクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部を介して一方の列の共通電極に至り、さらに前記圧力発生手段の他方の列の共通電極及び他方の列の共通端子部を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、前記抵抗値に閾値を設け、該閾値以下の抵抗値を有する配線基板及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
本態様によれば、配線基板側からアクチュエーターユニットに至り、再度配線基板側に戻る閉回路の途中に配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部が含まれているので、前記閉回路の直列抵抗を計測することにより、接続部の状態、すなわち良否を容易且つ的確に測定することができる。すなわち、目視検査が困難な微細な部分の接続状態であっても的確に判定し得る。また、前記閉回路の抵抗は接続部の抵抗を最も大きく反映する、すなわち電路自体の抵抗は無視できるので、その分正確に接続部の状態を把握し得る。
【００１０】
ここで、前記計測工程は、前記一方の列の共通電極を介した後、前記配線基板の他の共通端子部に至り、該共通端子部を介して前記他方の列の共通電極に至る回路を含む閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測するものであることが望ましい。圧力発生手段の並設方向の一方の端部側のみならず、他方の端部側における接続状態も検出することができるからである。さらに、この場合には、圧力発生手段の並設方向の両端側の共通端子部間に存在するアクチュエーターユニット側の個別端子部と配線基板側の個別端子部との間の接続の良否も推測することができる。前記閉回路の抵抗値が正常であれば圧力発生手段の並設方向の両端側の共通端子部の接続状態が良好であるため、その間に存在する個別端子部との間の接続状態も同様に正常である確率が高いからである。
【００１１】
また、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うのが望ましい。異方性導電材料は、その潰れ具合、ひいては接続部の状態が当該接続部分の抵抗に的確に反映されるからである。
【００１２】
本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、前記配線基板は、複数の共通端子部を有するとともに、前記アクチュエーターユニットは、一方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の一方に接続された一方の列の共通端子部と、他方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の他方に接続された他方の列の共通端子部とを有し、前記配線基板の一方の共通端子部から各列の前記共通電極を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成し得る電路を有するものであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、配線基板側からアクチュエーターユニットに至り、再度配線基板側に戻る閉回路の途中に配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部が含まれているので、前記閉回路の直列抵抗を計測することにより、接続部の状態、すなわち良否を容易且つ的確に測定することができる。この結果、所定の良好な機能を有する液体噴射ヘッドを容易且つ的確に選択でき、その機能の安定化を図ることが可能になる。
【００１３】
ここで、前記配線基板は、前記共通端子部に対し前記圧力発生手段の並設方向の反対側にも他の共通端部を有し、該共通端子部を介して前記圧力発生手段の一方の列と他方の列との共通電極を接続するものであることが望ましい。圧力発生手段の並設方向の一方の端部側のみならず、他方の端部側における接続状態も検出することができるからである。
【００１４】
また、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うのが望ましい。異方性導電材料は、その潰れ具合、ひいては接続部の状態が当該部分の抵抗に的確に反映されるからである。
【００１５】
さらに本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、駆動部の電気系統の機能が長期に亘り良好に維持される結果、当該液体噴射ヘッドの動作の安定化を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施の形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施の形態に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】実施の形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】圧電アクチュエーターと配線基板との位置関係を示す説明図である。
【図５】実施の形態における検査時の電流経路を説明するための説明図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は本形態に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図で、（ａ）はアクチュエーターユニット部分、（ｂ）は配線基板部分の平面図であり、図３は本形態に係る記録ヘッドの断面図である。これらの図に示すように、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、アクチュエーターユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエーターユニット２０に接続されるフィルム状の配線基板５０とで構成されている。
【００１８】
アクチュエーターユニット２０は、圧力発生手段として圧電アクチュエーター４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１９】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００２０】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するマニホールド３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００２１】
圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本形態では、圧力発生室２１が２列設けられているため、各圧力発生室２１に対応させて圧電アクチュエーター４０も２列設けられている。
【００２２】
ここで、各圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。上電極膜４５は、各圧電体層４４毎に独立して設けられて各圧電アクチュエーター４０の個別電極となっている。なお、本実施形態では、下電極膜４３を複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極とし、上電極膜４５を圧電アクチュエーター４０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００２３】
このようなアクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。かくして振動板２３上に圧電アクチュエーター４０が形成される。
【００２４】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールド形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２５】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２６】
マニホールド形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２７】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本形態における流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、マニホールド形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてマニホールド３２の一方面を封止している。
【００２８】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本形態では、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエーターユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。
【００２９】
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００３０】
特に図２及び図３に明示するように、各圧電アクチュエーター４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、圧電アクチュエーター４０に導通する端子部として、個別端子部４６が設けられている。ここで、個別端子部４６は、圧電アクチュエーター４０毎に設けられて圧電アクチュエーター４０の上電極膜４５に導通させてある。また、圧電アクチュエーター４０の並設方向の端部側に引き出された下電極膜４３の端部には共通端子部４７が一体的に導通させてある。なお、図２（ａ）には下電極膜４３の一方の端部のみを示しているが、さらに詳細な構造に関しては後に詳述する。
【００３１】
かくして、圧電アクチュエーター４０の各上電極膜４５に導通する個別端子部４６には、配線基板５０に設けられた個別配線層５６の個別端子部５７がそれぞれ電気的に接続されており、下電極膜４３に一体的に導通する共通端子部４７には、ＧＮＤ電位となる共通配線層５８の共通端子部５９が電気的に接続されている。
【００３２】
ここで、個別配線層５６及び共通配線層５８と個別端子部４６及び共通端子部４７との接続は、例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いることができる。なお、異方性導電材としては、例えば、エポキシ系樹脂と、樹脂ボールにニッケルメッキを施したものなど、従来周知のものを用いることができる。本形態では、個別端子部４６及び共通端子部４７と個別端子部５７及び共通端子部５９とは、異方性導電接着剤からなる接着層５５を介して機械的及び電気的に接続されている。
【００３３】
各圧電アクチュエーター４０には、配線基板５０を介して図示しない駆動回路からの駆動信号が供給される。なお、駆動回路は特に図示していないが、配線基板５０上に実装されていても、また、配線基板５０以外に実装されていてもよい。
【００３４】
配線基板５０は、２列の圧電アクチュエーター４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。さらに詳言すると、配線基板５０には、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅箔をベースとして錫メッキ等を施した所定パターンの個別配線層５６及び共通配線層５８が形成され、個別端子部４６と接続される個別配線層５６の個別端子部５７以外の領域及び共通端子部４７と接続される共通配線層５８の共通端子部５９以外の領域等、他の部材との電気的な接続を確保する必要がない領域がレジスト等の絶縁材料５３で覆って形成されている。また、配線基板５０には、並設された圧電アクチュエーター４０の列と列の間に対向する領域に貫通孔５４が設けられており、個別配線層５６は、貫通孔５４側の端部で個別端子部４６と接続されている。
【００３５】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）からインク導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでの液体流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号を配線基板５０を介して圧電アクチュエーター４０に供給することで、各圧力発生室２１に対応する各圧電アクチュエーター４０に電圧を印加して圧電アクチュエーター４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。
【００３６】
本形態においては配線基板５０とアクチュエーターユニット２０との電気的な接続状態の良否を検査しているが、かかる接続状態の検査時の態様について説明しておく。本形態の場合、両者間の電気的接続は異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いて行っている。
【００３７】
図４は接続状態が検査される圧電アクチュエーターと配線基板との位置関係を示す説明図、図５は検査時の電流経路を説明するための説明図である。なお、図４及び図５中、図１〜図３と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００３８】
図４（ａ）に示すように、各列の圧電アクチュエーター４０に対応させて振動板２３上に設けてある共通電極である２列の下電極膜４３は、各列の両端部から図中の上方及び下方に引き出されており共通端子部４７，４８にそれぞれ一体的に導通させてある。ここで、図中左側の列と右側の列との共通端子部４７，４８はそれぞれが分離されて独立に形成されている。
【００３９】
一方、図４（ｂ）に示すように、配線基板５０には図中下端部からその両側の縁部に沿って伸びる共通配線層５８が形成されるとともに、共通配線層５８に一体的に導通された共通端子部５９が上端部に形成されている。さらに、本形態では圧電アクチュエーター４０の並設方向における前記共通端子部５９の反対側の端部にも共通端子部６０が形成されている。
【００４０】
かくして左側の列の共通配線層５８の共通端子部５９と左側の列の下電極膜４３の共通端子部４７とを位置的に対応させてあり、同様に、右側の列の共通端子部５９と右側の列の共通端子部４７とを位置的に対応させてある。また、共通端子部６０の両端部は左右両側の列の共通端子部４８にそれぞれ位置的に対応させてある。すなわち、左右両側の列の共通端子部４８は共通端子部６０で電気的に短絡し得るような構成となっている。
【００４１】
かかる配線基板５０とアクチュエーターユニット２０とを電気的に接続した後の接続状態の良否の検査の際には図５に示すような電流の経路を形成することで配線基板５０の各列に対応する共通配線層５８間の抵抗を測定している。さらに詳言すると、配線基板５０の各列に対応する共通配線層５８の端部に抵抗計測器６１を接続して電流を供給すると、この場合の電流の経路は図５中に矢印で示す通りとなる。すなわち、左側の共通配線層５８の端部から左側の共通端子部５９に至り、この共通端子部５９から左側の共通端子部４７を介して左側の列の下電極膜４３を通って左側の共通端子部４８に至る。さらに、共通端子部６０から右側の共通端子部４８を介して右側の列の下電極膜４３を通って右側の共通端子部４７に至り、右側の共通端子部５９を介して右側の共通配線層５８から抵抗計測器６１に戻る。この結果、抵抗計測器６１では上述の経路の直列抵抗を測定することになる。したがって、測定された抵抗値の閾値を適切に決めておけば容易に圧電アクチュエーター４０と配線基板５０との接続状態の良否を判定することができる。この場合の閾値としては、例えば０．５（Ω）を用いることができる。すなわち、閾値を超えている場合には不良とする。なお、この場合の抵抗値は共通端子部４７と共通端子部５９との間、及び共通端子部４８と共通端子部６０との間の異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材の潰れ具合を表す指標となるので、この場合の抵抗値により長期に亘り安定的に所定の電気的な接続状態を維持し得るか否かを的確且つ容易に判定し得る。
【００４２】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態では、２列の圧電アクチュエーター４０の列を有する場合であるが、各圧電アクチュエーター４０の列が２列以上であり、しかも各圧電アクチュエーター４０に対応する下電極膜４３に導通する共通端子部４７が隣接する列のものに対し分離されていれば列数に関するそれ以上の限定はない。かかる２条件を充足すれば、配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０との組を隣接させて並設し、これらの各配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０を順次直列に接続すれば良いからである。
【００４３】
また、一方の共通端子部４７間が分離されていれば、共通端子部４８間は必ずしも分離されている必要はない。図５に示すような抵抗計測器６１の一方の端子から出て他方に戻る閉回路を形成することはでき、共通端子部４７における接続状態は把握し得るからである。ただ、共通端子部４８間も分離させた上記形態のような構造によれば共通端子部４８側における接続状態も含めて検査することができる。さらに、この場合は圧電アクチュエーター４０の並設方向の両端部における接続状態を検出することになるので、共通端子部４７，４８との間に存在するアクチュエーターユニット２０側の個別端子部４６と配線基板５０側の個別端子部５７との間の接続の良否も推測することができる。前記閉回路の抵抗値が正常であれば圧電アクチュエーター４０の並設方向の両端側の共通端子部４７，４８の接続状態が良好であるため、その間に存在する個別端子部４６との間の接続状態も同様に正常である確率が高いからである。
【００４４】
さらに、共通端子部４７，４８は下電極膜４３と一体的に形成したが、下電極膜４３の両端部のバイパスする電路を別途振動板２３の幅方向の両端部に形成し、かかる電路と一体になるように形成しても勿論構わない。抵抗計測器６１の両端子間で閉回路が形成されていれば良いからである。
【００４５】
上記実施の形態では、配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０の電気的な接続は異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いたが、これに限るものではなく、半田を用いることも可能である。ただ、接続状態（異方性導電部材の潰れ具合）により微妙に抵抗値が変化する異方性導電材による接続部の検査に適用してより適切で効果的なものとなる。
【００４６】
また、上述した実施の形態では、厚膜型の圧電アクチュエーター４０を用いたアクチュエーター装置を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法により順次積層する薄膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター等でも同様に構成することができ、同様の効果を得る。
【００４７】
これら実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４８】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４９】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５０】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５１】
また、上述した実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド１０を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００５２】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射装置）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  マニホールド、  ３３  マニホールド形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、  ４３  下電極膜（共通電極）、  ４４  圧電体層、  ４５  上電極膜（個別電極）、  ４６  個別端子部、  ４７，４８  共通端子部、  ５０  配線基板、  ５２  ベースフィルム、  ５３  絶縁材料、  ５４  貫通孔、  ５５  接着層、  ５６  個別配線層、  ５７  個別端子部、  ５８  共通配線層、  ５９，６０  共通端子部    ６１    抵抗計測器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図４】
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【図５】
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