(57)【要約】【課題】瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供する。【解決手段】本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなる。【選択図】      図１
2012016699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、
前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、
前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、
前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなることを特徴とするフラックス洗浄装置。
【請求項２】
前記スチーム噴射ノズルは、噴射角度が調整できるように、ノズル回転軸に設けられることを特徴とする請求項１に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項３】
前記ノズル回転軸をユーザが操作するために、前記ノズル回転軸の一側に回転ノブが設けられることを特徴とする請求項２に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項４】
前記ノズル回転軸は、命令入力装置によって入力された命令に基づいて制御部から発せられた制御信号に従って、前記ノズル回転軸を回転させるモータが設けられることを特徴とする請求項２に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項５】
前記スチーム噴射ノズルが、前記フラックスが付着した対象物の表面に沿って往復移動が可能なように前記スチーム噴射ノズルを往復移動させる往復移動装置をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項６】
前記往復移動装置は、前記スチーム噴射ノズルが設置された可動台と、
前記可動台の移動経路を案内するガイド部材と、
前記本体に設置され、前記可動台を往復移動させるアクチュエータと、
前記命令入力装置によって入力された命令に基づき、前記アクチュエータに制御信号を印加する制御部とを含んでなることを特徴とする請求項５に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項７】
前記フラックスが付着した対象物は、内部に流動空間が形成されたボディと、
前記流動空間に収容されるバックプレートと、
一端部が前記バックプレートに設けられ、他端部が前記ボディのピンホールを介して外部に露出されるフラックスピン（ｆｌｕｘ  ｐｉｎ）と、
前記フラックスピンを前進させる方向に復元力が作用するように、前記バックプレートとボディとの間に設けられる弾性スプリングとを含んでなるフラックスツール（ｆｌｕｘ  ｔｏｏｌ）であることを特徴とする請求項６に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項８】
前記フラックスツールのボディ内部の流動空間に、スチームが浸透することを防止するために、前記流動空間に正圧を形成する正圧形成装置をさらに有することを特徴とする請求項６に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項９】
前記フラックスピン方向に噴射されるスチームが、前記フラックスが付着した対象物のボディまで達することを遮断するために、前記フラックスピンとボディとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成装置をさらに有することを特徴とする請求項６に記載のフラックス洗浄装置。
【請求項１０】
前記エアカーテン形成装置は、前記本体に設けられ、前記フラックスピンとボディとの間にエアを噴射するエア噴射ノズルであることを特徴とする請求項６に記載のフラックス洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックス洗浄装置に関し、さらに詳細には、瞬間的な洗浄後、直ちに蒸発するスチームの特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツール（ｆｌｕｘ  ｔｏｏｌ）やアタッチツール（ａｔｔａｃｈ  ｔｏｏｌ）などのフラックスが付着した対象物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄でき、水分浸透によるフラックスツールやアタッチツールなどの変形を防止し、収率を大きく向上させるフラックス洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に半導体工程で、ワイヤやソルダボールなどのボンディング時、ボンディングの接着力を向上させるために、基板のパッドなどにフラックスを塗布するフラックス塗布作業が必要である。
このような、基板のパッド上にフラックスを塗布するフラックス塗布工程は、ボディに複数個のフラックスピン（ｆｌｕｘ  ｐｉｎ）が設けられるフラックスツールを利用し、フラックスピンの終端にフラックスを塗り、フラックスツールを基板のパッドに接触させ、フラックスピンの終端に液滴となったフラックスを、基板のパッド上に落とすフラックスドッティング（ｆｌｕｘ  ｄｏｔｔｉｎｇ）工程などからなる。
【０００３】
また、フラックスドッティング工程に続き、真空ホールにソルダボールを吸着させたアタッチツールを利用し、フラックスがドッティングされた基板のパッド上に、ソルダボールを載せたソルダボールアタッチング（ｓｏｌｄｅｒ  ｂａｌｌ  ａｔｔａｃｈｉｎｇ）工程などが続けてなされる。
このような、フラックスドッティング工程を終えたフラックスツールや、ソルダボールアタッチング工程を終えたアタッチツールのような装置に残留するフラックスを除去するために、従来では、高温の洗浄液体にフラックス・ピンなどを浸して、液体洗浄したり、あるいは洗浄液体に超音波を印加して、フラックスを液体中で分解させる洗浄装置が広く使われた。
【０００４】
しかしながら、このような洗浄液体を利用する方式の洗浄装置は、液体洗浄の特性上、フラックスが液体中で分解されるのに時間が長くかかり、洗浄後、フラックスツールやアタッチツールに残留する洗浄液体を乾燥させる乾燥時間及びクーリング時間もやはり長くかかり、洗浄コストと洗浄時間が大きく浪費されるという問題点があった。
また、毛細管現象が発生し、微細な規格のフラックスピンに沿って多量の洗浄液体がフラックス・ツール内部に浸透し、部品がさびついてしまうなど、フラックスピンの位置が変形され、フラックスドッティング時に、基板のパッド上に部分的にフラックスがドッティングされないか、あるいは定位置を外れた位置にフラックスが誤ってドッティングされるなど、後続工程に悪影響を与えて、収率を大きく落とすという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は上記従来のフラックス洗浄装置における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、エアカーテン形成装置や正圧形成装置を利用し、フラックスツールやアタッチツールの内部に液体が流入することを防止することによって、工程の信頼度及び収率を大きく向上させるフラックス洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明によるフラックス洗浄装置は、本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなることを特徴とする。
【０００７】
前記スチーム噴射ノズルは、噴射角度が調整できるように、ノズル回転軸に設けられることが好ましい。
前記ノズル回転軸をユーザが操作するために、前記ノズル回転軸の一側に回転ノブが設けられることが好ましい。
前記ノズル回転軸は、命令入力装置によって入力された命令に基づいて制御部から発せられた制御信号に従って、前記ノズル回転軸を回転させるモータが設けられることが好ましい。
前記スチーム噴射ノズルが、前記フラックスが付着した対象物の表面に沿って往復移動が可能なように前記スチーム噴射ノズルを往復移動させる往復移動装置をさらに有することが好ましい。
前記往復移動装置は、前記スチーム噴射ノズルが設置された可動台と、前記可動台の移動経路を案内するガイド部材と、前記本体に設置され、前記可動台を往復移動させるアクチュエータと、前記命令入力装置によって入力された命令に基づき、前記アクチュエータに制御信号を印加する制御部とを含んでなることが好ましい。
【０００８】
前記フラックスが付着した対象物は、内部に流動空間が形成されたボディと、前記流動空間に収容されるバックプレートと、一端部が前記バックプレートに設けられ、他端部が前記ボディのピンホールを介して外部に露出されるフラックスピン（ｆｌｕｘ  ｐｉｎ）と、前記フラックスピンを前進させる方向に復元力が作用するように、前記バックプレートとボディとの間に設けられる弾性スプリングとを含んでなるフラックスツール（ｆｌｕｘ  ｔｏｏｌ）であることが好ましい。
前記フラックスツールのボディ内部の流動空間に、スチームが浸透することを防止するために、前記流動空間に正圧を形成する正圧形成装置をさらに有することが好ましい。
前記フラックスピン方向に噴射されるスチームが、前記フラックスが付着した対象物のボディまで達することを遮断するために、前記フラックスピンとボディとの間にエアカーテンを形成するエアカーテン形成装置をさらに有することが好ましい。
前記エアカーテン形成装置は、前記本体に設けられ、前記フラックスピンとボディとの間にエアを噴射するエア噴射ノズルであることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るフラックス洗浄装置によれば、高温高圧のスチーム特性を利用することにより、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるという効果があり、洗浄コストを節減させ、生産性を大きく向上させ、工程の信頼度及び収率を大きく高めることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態によるフラックス洗浄装置を示す概略図である。
【図２】図１のフラックス洗浄装置のフラックスツール洗浄状態を示す拡大図である。
【図３】本発明の他の実施形態によるフラックス洗浄装置の外観を示す前方斜視図である。
【図４】図３の後方斜視図である。
【図５】図３のフラックスが付着した対象物の搭載状態を示す部分切開斜視図である。
【図６】図５のスチーム噴射ノズルのスチーム噴射状態を示す拡大斜視図である。
【図７】図５の平面図である。
【図８】図５の側面図である。
【図９】図５の後面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に、本発明に係るフラックス洗浄装置を実施するための形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
本発明の実施形態は、添付図面に図示されているところに限定されず、同じ発明の範疇内で多様に変形されうるということを明記して置く。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態によるフラックス洗浄装置を示す概略図であり、図２は、図１のフラックス洗浄装置でのフラックスツール（ｆｌｕｘ  ｔｏｏｌ）洗浄状態を示す拡大図である。
【００１３】
まず、図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態によるフラックス洗浄装置は、大きく見て、本体１０と、搭載台（ｍｏｕｎｔ）２０と、スチーム噴射ノズル３０と、スチーム供給装置４０と、往復移動装置（ｒｅｃｉｐｒｏｃａｔｏｒ）５０と、排水受け（ｄｉｓｃｈａｒｇｉｎｇ  ｔｒａｙ）６０と、エアカーテン形成装置７０と、正圧形成装置８０と、排気装置９０とを含んでなる構成が可能である。
【００１４】
ここで、本体１０は、装置の外観を形成すると同時に、搭載台２０と、スチーム噴射ノズル３０と、スチーム供給装置４０と、往復移動装置５０と、排水受け６０と、エアカーテン形成装置７０と、正圧形成装置８０と、排気装置９０との各種装置を支持する構造物であり、その内部に、搭載台２０及びスチーム噴射ノズル３０を収容するために、内部収容空間が形成される洗浄室Ｒが設けられる。
【００１５】
図３は、本発明の他の実施形態によるフラックス洗浄装置の外観を示す前方斜視図であり、図４は、図３の後方斜視図である。
図３及び図４を参照すると、かような洗浄室Ｒは、洗浄室Ｒの外部にスチームが漏れ出さないように、各種パッキング部材を利用して密閉されうる構成であり、上部にフラックスが付着した対象物１（図１）の流出入が可能なように、取っ手（ｈａｎｄｌｅ）１１が付着した蓋（ｃａｐ）１２が設けられることが望ましい。
【００１６】
従って、図３及び図４に示すように、ユーザは、取っ手１１を取って、蓋１２を開けた後、フラックスＦで汚染されたフラックスが付着した対象物１を、洗浄室Ｒ内部の搭載台２０に搭載した後、また蓋１２を閉じて、洗浄室Ｒを密閉させることができる。
【００１７】
また、図３に示すように、かような洗浄室Ｒは、側面にユーザの内部観察が可能なように、透明窓１３が設けられ、ユーザが洗浄室Ｒ内部の洗浄状態を肉眼で確認することができる。
それ以外にも、図示してはいないが、洗浄室Ｒの内部状態及びフラックスが付着した対象物１の洗浄状態を、別途のモニタを介して確認するために、別途のカメラが設けられることも可能である。
【００１８】
一方、図１及び図２に示すように、搭載台２０は、本体１０の洗浄室Ｒ内部に設けられるものであり、後述するフラックスツールや、その他アタッチツール（ａｔｔａｃｈ  ｔｏｏｌ）など、フラックスが付着した対象物１が搭載される。
ここで、搭載台２０は、フラックスが付着した対象物１の側面を押さえて固定するクランプ２１が設けられうる。
【００１９】
従って、フラックスが付着した対象物１は、搭載台２０に搭載された後、クランプ２１によって、洗浄工程の間、搭載台２０で揺れずに、しっかりと固定されうる。
ここで、かようなクランプ２１は、フラックスが付着した対象物１の左右側にいずれも設けられることも可能であり、フラックスが付着した対象物１を押さえて固定させることができる多様な形態のあらゆるクランプが適用されうる。
【００２０】
一方、スチーム噴射ノズル３０は、本体１０の洗浄室Ｒ内部に少なくとも一つ以上設けられるものであり、フラックスが付着した対象物１に残留するフラックスＦなどの異物７を除去するために、搭載台２０に搭載されたフラックスが付着した対象物１方向に、瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発しうる高温高圧のスチームＳを噴射する。
【００２１】
ここで、図１及び図２に示すように、スチーム噴射ノズル３０は、噴射角度を調整することができるように、回転自在のノズル回転軸３１に設けられ、ユーザによる操作が可能なように、ノズル回転軸３１の一側に、回転ノブ３２が設けられうる。
すなわち、ユーザは、フラックスが付着した対象物１方向に噴射されるスチームＳの角度を手動で調整し、最適の角度（例えば、水平から４０°〜９０°の角度）で洗浄を行わせることが可能である。
【００２２】
また、図１に示すように、ノズル回転軸３１は、命令入力装置３５によって入力された命令に基づき制御部３４より発せられた制御信号によって、ノズル回転軸３１を回転させるモータ３３が設けられうる。
従って、ユーザは、フラックスが付着した対象物１方向に噴射されるスチームＳの角度を、命令入力装置３５を介して自動的に調整し、最適の角度（例えば、水平から４０°〜９０°の角度）で洗浄を行わせることも可能であり、あらかじめ入力されたプログラムによって、スチーム噴射ノズル３０の噴射角度を自動的に多様に変化させつつ、洗浄効率を極大化させることができる。
【００２３】
また、スチーム供給装置４０は、本体１０に設けられるものであり、スチーム噴射ノズル３０と連結され、スチーム噴射ノズル３０に、高温高圧のスチームＳを供給する装置である。
ここで、かようなスチーム供給装置４０は、水を加熱し、高温高圧の蒸気にするボイラなどの多様な形態のスチーム供給装置が適用されうる。
従って、スチーム供給装置４０で発生した高温のスチームＳは、スチーム噴射ノズル３０を経て、高圧のスチームＳの状態で、フラックスが付着した対象物１に残留するフラックスＦを迅速に、かつ正確に溶かしつつ、フラックスが付着した対象物１を清潔に洗浄することができる。
【００２４】
このとき、スチームＳは、スチーム噴射ノズル３０によって、高温でありつつ高圧である状態で、フラックスＦと高速衝突しつつ、フラックスＦを瞬間的に溶融させつつ、フラックスが付着した対象物１からいち早く分離させて瞬間洗浄できることはもとより、高温のスチームＳは、蒸発が早くなされるように、洗浄後に瞬間的に早く乾燥しうる。
【００２５】
従って、例えば従来の超音波水中洗浄方式は、超音波洗浄時間（２７分）、別途のヒーティング・オーブンを利用したオーブン乾燥時間（４０分）及びクーリング時間（２０分）をいずれも加えた総洗浄時間がほぼ８７分であるとするならば、本発明のスチーム洗浄方式は、わずかスチーム洗浄時間（１分）及びクーリング時間（１分）と、総洗浄時間がほぼ２分であり、洗浄時間を画期的に短縮することができる。
【００２６】
図５は、図３でのフラックスが付着した対象物１の搭載状態を示す部分切開斜視図であり、図６は、図５のスチーム噴射ノズル３０のスチーム噴射状態を示す拡大斜視図であり、図７は、図５の平面図であり、図８は、図５の側面図であり、図９は、図５の後面図である。
【００２７】
図１〜図９を参照すると、往復移動装置５０は、スチーム噴射ノズル３０が、フラックスが付着した対象物１の表面に沿って往復移動が可能なように、スチーム噴射ノズル３０を往復移動させるものであり、可動台５１と、ガイド部材５２と、アクチュエータ５５と、制御部３４とを含んでなる構成である。
【００２８】
ここで、図５〜図７の可動台５１は、スチーム噴射ノズル３０が一列に設けられたノズル回転軸３１が設けられたものであり、スチーム噴射ノズル３０が、フラックスが付着した対象物１の表面に沿って自在に往復移動できるように設置される。
【００２９】
また、ガイド部材５２は、可動台５１の移送経路を案内するように、可動台５１を貫通して設けられるガイドロッド５３、及び可動台５１の下面を案内するガイドレール５４からなるものであり、それ以外にも、多様な形態のガイド部材５２が適用されうる。
【００３０】
また、アクチュエータ５５は、本体１０に設置されるものであり、可動台５１を往復移動させることが可能な各種のシリンダや、リニアモータなどの各種モータが設けられうる。
【００３１】
ここで、図６に示すように、洗浄室Ｒ内部のスチームＳが、可動台５１、ガイド部材５２及びアクチュエータ５５などへの浸透防止のために、洗浄室Ｒとガイド部材５２との間に遮断ブラシ３６が一列に設置することも可能である。
また、制御部３４は、命令入力装置３５によって入力された命令に従って、アクチュエータ５５に制御信号を印加する。
【００３２】
従って、ユーザは、フラックスが付着した対象物１の下面に沿って、スチーム噴射ノズル３０を往復移動させつつ、最適の位置又は最適の速度で洗浄が行わせることも可能であり、あらかじめ入力されたプログラムによって、スチーム噴射ノズル３０の往復移動位置と往復移動速度とが自動的に多様に変化させつつ洗浄効率を極大化させることができる。
【００３３】
一方、排水受け６０は、スチームＳによって、フラックスが付着した対象物１から除去された異物７を回収するように、本体１０の洗浄室Ｒの下方に設けられるものであり、望ましくは、洗浄室Ｒ下部に引出し式に設けられ、回収された異物７の外部排出が容易なように、一側に取っ手６１が設けられることが可能である。
それ以外にも、排水受け６０の代わりに、洗浄室Ｒに別途の排水口を設け、異物７を本体１０の外部に排出させることも可能である。
【００３４】
一方、図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態によるフラックス洗浄装置は、フラックスドッティング（ｆｌｕｘ  ｄｏｔｔｉｎｇ）工程で使われるフラックスツール２を洗浄するものであり、上述のフラックス・ツール２以外にも、図示してはいないが、ソルダボールアタッチング（ｓｏｌｄｅｒ  ｂａｌｌ  ａｔｔａｃｈｉｎｇ）工程で使われるアタッチツールなど、フラックスＦによって汚染されうる各種ツールなどを洗浄することができる。
【００３５】
ここで、図１及び図２に示すように、フラックスツール２は、内部に流動空間（ｆｌｏｗ  ｓｐａｃｅ）が形成されるボディ３と、流動空間に収容されるバックプレート５と、一端部がバックプレート５に取り付けられ、他端部がボディ３のピンホール１ａを介して外部に露出されるフラックスピン６と、フラックスピン６を前進させる方向に復元力が作用するように、バックプレート５とボディ３との間に設けられる弾性スプリング４とを含んでなる構成である。
【００３６】
このように、上述のフラックスツール２を洗浄する場合、フラックスツール２のボディ３内部の流動空間に、スチームＳが浸透することを防止するために、流動空間に正圧を形成する正圧形成装置８０がさらに設けられうる。
ここで、正圧形成装置８０は、図１及び図２に示すように、フラックスツール２のボディ３に形成された吸気口１ｂに、正圧形成用ガスを供給する正圧形成ガス供給管８１であることが可能である。
【００３７】
従って、図２に示すように、正圧形成ガス供給管８１を介して、正圧形成用ガス（例えば、エアや不活性ガスなど）を供給され、フラックスツール２のボディ３内部に、正圧（大気圧力より高い圧力）が形成される場合、正圧形成用ガスは、フラックスツール２の内部から、フラックスピン６とピンホール１ａとの間の狭いギャップを介して外部に排出されつつ、洗浄室ＲのスチームＳが、ピンホール１ａを介して、ボディ３内部に入り込もうとするのをガスの圧力で押し出し、結果的に、フラックスツール２を水分から保護することができる。
【００３８】
併せて、正圧形成用ガスは、フラックスツール２を乾燥させると同時に、スチームＳによって温度が上昇するフラックスツール２の温度を下降させるクーリングの役割を同時に行うことも可能である。
また、フラックスピン６の方向に噴射されるスチームＳが、フラックスが付着した対象物１のボディ３まで達することを遮断するために、フラックスピン６とボディ３との間に、エアカーテンを形成するエアカーテン形成装置７０がさらに設けられうる。
【００３９】
ここで、エアカーテン形成装置７０は、本体１０の洗浄室Ｒの内部に設けられるものであり、フラックスピン６とボディ３との間にエアを噴射するエア噴射ノズル７１であることが可能である。
従って、図２に示すように、エア噴射ノズル７１を介して、フラックスピン６とボディ３との間に、エアカーテンが形成されれば、ボディ３方向に流れる洗浄室ＲのスチームＳの気流を事前に遮断し、フラックスツール２を水分から保護することができる。
併せて、エアは、フラックスツール２を乾燥させると同時に、スチームＳによって温度が上昇するフラックスツール２の温度を下降させるクーリングの役割を同時に行うことも可能である。
【００４０】
一方、図１及び図２に示すように、洗浄室Ｒは、スチーム噴射ノズル３０によって噴射されたスチームＳを、外部に速かに排出させる排気装置９０をさらに含んでなることが可能である。
すなわち、図１及び図２に示すように、排気装置９０は、洗浄室Ｒの側面に形成された図４の排気口１０ａから、スチームＳを強制排気させる排気管９１であることが可能である。
【００４１】
従って、図２に示すように、スチーム噴射ノズル３０によって噴射されたスチームＳが、洗浄作業を終えれば、排気管９１に沿って速かに外部に排出されつつ、フラックスツール２をスチームＳの水分から保護することができると同時に、フラックスツール２を速かに乾燥させ、フラックスツール２の温度を下降させるクーリングが促進されうる。
【００４２】
尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１    フラックスが付着した対象物
１ａ    ピンホール
１ｂ    吸気口
２    フラックスツール
３    ボディ
４    弾性スプリング
５    バックプレート
６    フラックスピン
７    異物
１０    本体
１０ａ    排気口
１１    取っ手
１２    蓋
１３    透明窓
２０    搭載台
２１    クランプ
３０    スチーム噴射ノズル
３１    ノズル回転軸
３２    回転ノブ
３３    モータ
３４    制御部
３５    命令入力装置
３６    遮断ブラシ
４０    スチーム供給装置
５０    往復移動装置
５１    可動台
５２    ガイド部材
５３    ガイドロッド
５４    ガイドレール
５５    アクチュエータ
６０    排水受け
６１    取っ手
７０    エアカーテン形成装置
７１    エア噴射ノズル
８０    正圧形成装置
８１    正圧形成ガス供給管
９０    排気装置
９１    排気管
Ｆ    フラックス
Ｒ    洗浄室
Ｓ    スチーム
【図１】
2012016699.tif 000003
【図２】
2012016699.tif 000004
【図３】
2012016699.tif 000005
【図４】
2012016699.tif 000006
【図５】
2012016699.tif 000007
【図６】
2012016699.tif 000008
【図７】
2012016699.tif 000009
【図８】
2012016699.tif 000010
【図９】
2012016699.tif 000011