(57)【要約】【課題】簡易な構成でガラス基板の表面の画像を高精度かつ迅速に取得する。【解決手段】表面検査装置１０は、被検査対象物（ガラス基板１４）の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源（３つの線光源１１，１２，１３）を有する照明手段と、被検査対象物（１４）を照明手段に対して相対移動させる駆動手段（駆動ローラ４）と、複数の光源（１１，１２，１３）によってそれぞれ照明された被検査対象物（１４）を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段（ラインセンサカメラ１５）と、照明手段と駆動手段（４）とを制御し、被検査対象物（１４）を相対移動させた状態で被検査対象物（１４）の異なる位置に照明光を所定のタイミングで照射するとともに所定のタイミングで複数の異なる画像を取得するよう撮像手段（１５）を制御する制御手段５と、を備える。【選択図】図１
2012194067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象物の表面に光を照射し、その反射光を撮像して得られた画像を画像処理して前記被検査対象物の表面を検査する表面検査装置において、
前記被検査対象物の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源を有する照明手段と、
前記被検査対象物を前記照明手段に対して相対移動させる駆動手段と、
前記複数の光源によってそれぞれ照明された前記被検査対象物を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段と、
前記照明手段と前記駆動手段とを制御し、前記被検査対象物を相対移動させた状態で前記被検査対象物の異なる位置に前記照明光を前記所定のタイミングで照射するとともに前記所定のタイミングで前記複数の異なる画像を取得するよう前記撮像手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記複数の光源の夫々に対応して配置された複数のシャッターを更に有し、
前記制御手段は、前記複数の光源を常時点灯させ、前記複数の光源ごとに所定の撮像タイミングで前記複数のシャッターをそれぞれ開閉制御することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記制御手段は、所定の撮像タイミングで前記複数の光源をそれぞれ点滅制御することを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記照明手段は、前記複数の光源を前記被検査対象物への照射位置が変化しない範囲で独立して移動させる光源移動装置を備える
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の表面検査装置。
【請求項５】
前記複数の光源の数をＮとし、
前記複数の光源の夫々により照明される前記被検査対象物の移動方向に沿う撮像範囲をＳとしたとき、
前記複数の光源の前記被検査対象物の移動方向に沿う配置間隔（照射位置の間隔）Ｌは
Ｌ＝Ｓ（ｉＮ＋ｊ）／Ｎ  （ただし、ｉ＝０，１，２，３，・・・、ｊ＝１，２，３，・・・、ｊ＜Ｎ）
となるとき、１つの照明から次の照明までの間に前記被検査対象物を移動させる距離は
Ｓｊ／Ｎ
となる
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイなどのＦＰＤ基板、半導体ウエハ、プリント基板などの平面パネルの被検査対象物の表面に光を照射し、透過した光や反射した光を検出することにより被検査対象物の状態を検査する表面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、薄型テレビ、ＰＣモニター、ゲーム機等の表示デバイスとして使用される液晶ディスプレイなどのＦＰＤ基板では、表面にＴＦＴなどの微細な電気回路を形成したガラス基板が使用されている。このような微細な電気回路は、写真技術を用いてガラス基板上に形成されている。しかし、製造工程において、製造装置の不具合や周囲のパーティクルが付着するなどに起因して、その一部に不要な導通部分や破断部分などの欠陥が生じ得る。
【０００３】
このため、このようなガラス基板の検査では、例えば平面上を移動するガラス基板に対しライン状の検査光を照射し、その反射光を連続撮像することによって欠陥を検出している。
【０００４】
ところで、ガラス基板上の電気回路は、微細なパターンであり、光の透過率が異なるいくつもの層が重なって形成されている。このため、検査光のガラス基板に対する照射角度の相違によって欠陥の見え方も異なってくる。例えば、ある角度では欠陥を検出することができるが、異なる角度では同じ欠陥を検出することができない場合が生じ得る。
【０００５】
これらを改善する手段として、例えば、特許文献１では、複数の光源と複数のラインセンサカメラを用いた技術が提案されている。しかし、この場合は複数の光源及び複数の検出手段が必要になるため、装置構成が複雑化し、製造コストが増大する。
【０００６】
また、この特許文献１では、複数の光源を一括使用しているのではなく、被検査対象物の移動方向の切り替えに対応して複数の光源を選択的に使用している。このように、特許文献１では、検査の迅速化を企図したものではない。
【０００７】
これに対し、例えば、特許文献２では、複数の光源を異なる方向から照明可能なように配置し、これら複数の光源を切り替えながら点灯させて、１つのラインセンサカメラで複数の異なる画像を形成する技術が提案されている。
【０００８】
同様に、特許文献３では、複数の光源をその照明配位が異なるように配置し、各光源による照明をラインセンサカメラの撮像タイミングに基づいて切り替える点が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開昭６２−４２０３９号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２１４６号公報
【特許文献３】特開２００１−３０４８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献２及び特許文献３では、違った角度から夫々のタイミングで得た複数の画像が得られるが、これでは検査の迅速化を図ることはできない。
ところで、例えば一定のスピードで移動しているガラス基板を、ラインセンサを用いて検査画像を得るためには、対象となる範囲を、必要な時間と明るさで撮像できる光学系を構成する必要がある。
【００１１】
例えば、仮に検査できる範囲、つまり光源からの照射が必要となる範囲を１ｍｍ、また、必要な時間、つまり光源が安定して点灯している時間を１０ｍｓｅｃとした場合、
ガラス基板が最大移動できるスピードは、１００ｍｍ／ｓｅｃとなる（＝１ｍｍ／１０ｍｓｅｃ）。
【００１２】
ところで、ガラス基板の検査は、所定時間内にできる限り多くの枚数の検査を連続して行うため、コンベアーなどのライン上を連続して移動させる方式がとられている。また、近年はこのガラス基板の移動スピードが高速化されてきている。
【００１３】
これに対処すべく、前述したガラス基板のスピードの２倍、例えば２００ｍｍ／ｓｅｃを達成するためには、検査できる範囲を２倍の２ｍｍにする方法が考えられる。しかし、一般的に２倍の面積を同じ明るさにするためには、２倍の明るさ或いは量の光源が必要となる。
【００１４】
一方、撮像時間を半分の５ｍｓｅｃとする方法も考えられる。しかし、この場合も、ラインセンサカメラが取り込める光が１／２になるため、２倍の明るさ或いは量の光源が必要となる。
【００１５】
このことは、複数の照明光源を切換えて順次点滅させ、ラインセンサカメラの時間を分割して撮像する方法においては、照明の数の倍数だけ、ガラス基板の移動スピードを下げて撮像しなければならないことになる。
【００１６】
本発明は斯かる課題を解決するためになされたもので、簡易な構成で被検査対象物の表面の画像を高精度かつ迅速に取得することのできる表面検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、
被検査対象物の表面に光を照射し、その反射光を撮像して得られた画像を画像処理して前記被検査対象物の表面を検査する表面検査装置において、
前記被検査対象物の移動方向に沿う複数の異なる位置にそれぞれ照明光を照射可能な複数の光源を有する照明手段と、
前記被検査対象物を前記照明手段に対して相対移動させる駆動手段と、
前記複数の光源によってそれぞれ照明された前記被検査対象物を所定のタイミングで撮像し、複数の異なる画像を取得する撮像手段と、
前記照明手段と前記駆動手段とを制御し、前記被検査対象物を相対移動させた状態で前記被検査対象物の異なる位置に前記照明光を前記所定のタイミングで照射するとともに前記所定のタイミングで前記複数の異なる画像を取得するよう前記撮像手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の表面検査装置において、
前記複数の光源の夫々に対応して配置された複数のシャッターを更に有し、
前記制御手段は、前記複数の光源を常時点灯させ、前記複数の光源ごとに所定の撮像タイミングで前記複数のシャッターをそれぞれ開閉制御することを特徴とする。
【００１９】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の表面検査装置において、
前記制御手段は、所定の撮像タイミングで前記複数の光源をそれぞれ点滅制御することを特徴とする。
【００２０】
請求項４に係る発明は、請求項１から３のいずれかに記載の表面検査装置において、
前記照明手段は、前記複数の光源を前記被検査対象物への照射位置が変化しない範囲で独立して移動させる光源移動装置を備える
ことを特徴とする。
【００２１】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の表面検査装置において、
前記複数の光源の数をＮとし、
前記複数の光源の夫々により照明される前記被検査対象物の移動方向に沿う撮像範囲をＳとしたとき、
前記複数の光源の前記被検査対象物の移動方向に沿う配置間隔（照射位置の間隔）Ｌは
Ｌ＝Ｓ（ｉＮ＋ｊ）／Ｎ  （ただし、ｉ＝０，１，２，３，・・・、ｊ＝１，２，３，・・・、ｊ＜Ｎ）
となるとき、１つの照明から次の照明までの間に前記被検査対象物を移動させる距離は
Ｓｊ／Ｎ
となる
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、簡易な構成で被検査対象物の表面の画像を高精度かつ迅速に取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１の実施の形態の表面検査装置の全体構成を示す図である。
【図２】同上の表面検査装置の平面図である。
【図３】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図４】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図５】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図６】同上の開閉板の開閉タイミングを示すタイムチャートを示す図である。
【図７】同上の線光源の照射（撮像）タイミングと、１つの照明から次の照明までの間のガラス基板の移動距離との関係を示す図である。
【図８】比較例としての表面検査装置の平面図である。
【図９】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図１０】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図１１】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図１２】同上の線光源の照射（撮像）タイミングとガラス基板の移動距離との関係を示す図である。
【図１３】第２の実施の形態の表面検査装置の概略構成を示す図である。
【図１４】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図１５】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【図１６】同上の表面検査装置の要部の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態の表面検査装置の全体構成を示す図である。
【００２５】
同図１において、表面検査装置１０は、被検査対象物としてのガラス基板１４の表面に光を照射し、その反射光を撮像して得られた画像を演算処理してガラス基板１４の表面を検査する装置である。
【００２６】
なお、このガラス基板１４としては、例えばＴＦＴガラス基板、カラーフィルタ基板、半導体ウエハ、プリント基板などである。
表面検査装置１０は、複数の光源を有する照明手段としての線光源１１，１２，１３と、この線光源１１，１２，１３に対してガラス基板１４を相対移動させる駆動手段としての駆動ローラ４と、線光源１１，１２，１３の夫々の前面に配置された複数のシャッターとしての開閉板１，２，３と、この開閉板１，２，３を対応する線光源１１，１２，１３ごとに所定の撮像タイミングで開閉制御する制御手段５と、ガラス基板１４からの反射光を撮像して画像信号を出力する１台の撮像手段としてのラインセンサカメラ１５と、を備えている。
【００２７】
制御手段５は、ガラス基板１４からの反射光を撮像して得られた画像を画像処理する画像処理部６を備えている。
線光源１１，１２，１３としては、ガラス基板１４の表面の複数位置に夫々光を照射するライン状のＬＥＤが用いられている。この線光源１１，１２，１３は、ガラス基板１４の移動方向と交差する方向（本実施の形態では直交方向）にライン状に延びている。そして、ガラス基板１４の所定範囲をライン状ごとに照明する。
【００２８】
尚、この線光源１１，１２，１３は、ライン状のＬＥＤに限らず、例えばレーザ光源とシリンドリカルレンズやミラーを組合せた構成など、ライン状の照明光を出射するものであれば他の構成を用いてもよい。また、ラインセンサカメラ１５は、エリアセンサ有するカメラを用いても構わない。
【００２９】
また、本実施の形態では、この線光源１１，１２，１３は常時点灯されていて、各線光源１１，１２，１３からの光は略平行にガラス基板１４に向けて照射される。ここで、線光源１１，１２，１３から照射された光は、各線光源１１，１２，１３に対応してその前面に配置された開閉板１，２，３により、開閉板１，２，３が開状態のときにのみガラス基板１４に光が照射される。
【００３０】
また、本実施の形態では、この線光源１１，１２，１３は装置本体に固定されていて、ガラス基板１４は駆動ローラ４により線光源１１，１２，１３に対して図の矢印方向に所定の速度で移動している。
【００３１】
開閉板１，２，３は、本実施の形態では液晶板（ＬＣＤ板）が用いられている。この開閉板１，２，３は、各線光源１１，１２，１３ごとに所定の撮像タイミングで制御手段５により開閉制御される。
【００３２】
すなわち、開閉板１，２，３には制御手段５から所定のタイミングで制御信号が送出される。こうして、開閉板１，２，３に信号電圧が印加されないときは、開閉板１，２，３は開状態となって光が通過する。また、開閉板１，２，３に信号電圧が印加されると、開閉板１，２，３は閉状態となって光の通過が遮断される。
【００３３】
ラインセンサカメラ１５は、ガラス基板１４の異なる位置からの複数の反射光を撮像して複数の異なる画像信号を出力する。
図２は、表面検査装置１０の平面図である。また、図３〜図５は、表面検査装置１０の要部の側面図である。
【００３４】
図２において、ガラス基板１４は移動方向に沿って微小間隔に分割されている。これらの分割領域の移動方向の距離Ｓは、これらの領域が線光源１１，１２，１３により照明されてラインセンサカメラ１５に撮像される撮像範囲を示している。
【００３５】
図２において、線光源１１，１２，１３はガラス基板１４の移動方向と平行に所定間隔Ｌで配置されている。なお、このように、３つの線光源１１，１２，１３を用いたのは、ガラス基板１４に付着した汚れや色の違い等の二次元的欠陥のみならず、凹凸等の三次元的欠陥をも的確に検出できるようにするためである。
【００３６】
ガラス基板１４の表面には、例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等が形成されており、微細な凹凸が形成されている。このため、ガラス基板１４の表面からの複数の直接反射光及び回折光により複数の画像を得て解析することが重要であるからである。
【００３７】
また、図３に示すように、例えば線光源１１から照射された照明光１６はガラス基板１４のライン状の撮像範囲（撮像領域）１７を照射している。このライン状の撮像範囲１７では、正反射した反射光１８が反射しているほか、ガラス基板１４の表面の微細な凹凸によって生じる回折光１９がラインセンサカメラ１５に入射し、第１の画像２０として撮像される。
【００３８】
次に、図４は、図３よりも時間Ｔが経過し、ガラス基板１４がＳだけ右方向に移動した状態を表わしている。このとき、図３におけるガラス基板１４の撮像範囲１７はＳだけ右方向に進んだ１７’に移動している。
【００３９】
この状態で、例えば線光源１２から照射された照明光２１は、ガラス基板１４のライン状の撮像範囲（撮像領域）２２を照射している。このライン状の撮像範囲２２では、直接反射光２３が反射しているほか、回折光２４として反射した光がラインセンサカメラ１５に第２の画像２５として撮像される。
【００４０】
次に、図５は、図４よりもさらに時間Ｔが経過し、ガラス基板１４がＳだけ右方向に移動した状態を表わしている。このとき、図４におけるガラス基板１４の撮像範囲（撮像領域）２２はＳだけ右方向に進んだ２２’に移動している。
【００４１】
この状態で、例えば線光源１３から照射された照明光２６が、ガラス基板１４のライン状の撮像範囲（撮像領域）２７を照射している。図５では、このライン状の撮像範囲２７で直接反射した直接反射光２８がラインセンサカメラ１５に入り、第３の画像２９として撮像される。
【００４２】
このように、図３〜図５の手順を経ることにより、１つのラインセンサカメラ１５で、ガラス基板１４の撮像範囲１７、２２，２７の異なる第１〜第３の画像２０，２５、２９を得ることができる。これを、連続して繰り返すことにより、異なる第１〜第３の画像２０，２５，２９の連続画像を撮像することが可能となる。
【００４３】
そして、第１〜第３の画像２０，２５，２９を画像処理部６で処理することにより、ガラス基板１４の欠陥を正確に検査することができる。
図６は、開閉板１〜３の開閉タイミングを示すタイムチャートを示す図である。
【００４４】
撮像タイミングに応じて、まず線光源１１に対応する開閉板１を所定時間Ｔ／３だけ開き、次に、線光源１２に対応する開閉板２を所定時間Ｔ／３だけ開き、さらに、線光源１３に対応する開閉板３を所定時間Ｔ／３だけ開く。
【００４５】
そして、これらの各開閉板１〜３を開いている間に、ガラス基板１４を夫々Ｓ／３ずつ移動させる。
なお、本実施の形態では、３つの線光源１１，１２，１３を常時点灯するとして説明したが、これに限らない。例えば、１台のラインセンサカメラ１５の所定の撮像タイミングに合わせて、３つの線光源１１，１２，１３を順次切換えて点滅制御するようにしてもよい。
【００４６】
この場合には、３つの線光源１１，１２，１３の前面に配置した開閉板１〜３を省略することができる。
図７は、線光源１１，１２，１３の照射（撮像）タイミングと、１つの照明から次の照明までの間のガラス基板１４の移動距離との関係を示す図である。なお、各線光源１１，１２，１３は平行光をガラス基板１４に照射するものとする。
【００４７】
ここで、線光源１１，１２，１３の数をＮとし、
ガラス基板１４の移動方向に沿う各線光源１１，１２，１３による照射（撮像）範囲をＳとし、
ガラス基板１４の移動方向に沿う各線光源１１，１２，１３の配置間隔（ガラス基板１４への照射位置の間隔）Ｌを
Ｌ＝Ｓ（ｉＮ＋ｊ）／Ｎ  （ただし、ｉ＝０，１，２，３，・・・、ｊ＝１，２，３，・・・、ｊ＜Ｎ）
としたとき、
１つの光源（例えば線光源１１）による照明から、次の光源（例えば線光源１２）による照明までの間に、ガラス基板１４を移動させる距離は
Ｓｊ／Ｎ  となる。
【００４８】
なお、ｉ，ｊは自然数としたが、これに限らなくてもよい場合も想定される。
本実施の形態では、各線光源１１，１２，１３の、ガラス基板１４の移動方向に沿う配置間隔を、（７／３）Ｓに設定した。
【００４９】
次に、図７に基づき詳細に説明する。
まず、最初の段階のＡでは、線光源１１がガラス基板１４の領域「４」を照射している。
【００５０】
次の段階のＢでは、時間Ｔ／３後にガラス基板１４がＳ／３だけ右に移動し、線光源１２がガラス基板１４の領域「６」を照らしている。
次の段階のＣでは、さらに時間Ｔ／３後にガラス基板１４がＳ／３右に移動し、線光源１３がガラス基板１４の領域「８」の領域を照らしている。
【００５１】
次の段階のＤでは、時間Ｔ／３後にガラス基板１４がＳ／３右に移動し、線光源１１がガラス基板１４の領域「３」の領域を照らしている。
このように続けることにより、ガラス基板１４の全ての領域は、各線光源１１，１２，１３によって同じ領域を３回ずつ照らされる。そして、同じ領域につき３回撮像された画像が、画像処理部６で処理されて検査される。
【００５２】
この場合、各線光源１１，１２，１３からみて同じ範囲（例えば領域「６」）を照射（撮像）するためには、常にガラス基板１４がＳ／３ずつ移動する状態を続けても問題はない。
【００５３】
つまり、本実施の形態では、ガラス基板１４が単位距離Ｓを移動する時間をＴとすると、各線光源１１，１２，１３からみて同じ範囲（例えば領域「６」）を照射（撮像）し、次の同じ範囲（例えば領域「５」）を照射開始（撮像）するまでに、
３×（Ｔ／３）＝Ｔ  の時間で済むことになる。
【００５４】
従って、後述するように、簡易な構成でありながら、比較例と比較してガラス基板１４の速度を２倍に増速することができる。
なお、本実施の形態では、３つの線光源１１，１２，１３を用いて照明する場合について説明したが、これに限らない。例えば、２つの線光源でもよいし、４つ以上の線光源を用いてもよい。
【００５５】
本実施の形態によれば、第１〜第３の画像（２０，２５，２９）を得る間、ガラス基板１４はＳだけ進むことができる。つまり、線光源を複数設けたとしても、１つの線光源と同じ時間内で３つの正確な画像を取得することができる。
（表面検査装置の比較例説明）
図８は、比較例としての表面検査装置の概略構成の平面図である。また、図９〜図１１は、表面検査装置の要部の側面図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５６】
図８において、線光源１１，１２，１３から夫々照射される照明光３６、４２，４６（図９〜図１１参照）は、夫々ガラス基板１４の同じ位置の撮像範囲（撮像領域）３４に照射されている。
【００５７】
図９では、例えば線光源１１から照射された照明光３６が、ガラス基板１４のライン状の撮像範囲３４を照射している。この撮像範囲３４では、直接反射光３８が反射しているほか、回折光３９として反射した光がラインセンサカメラ１５に第１の画像４０として撮像される。
【００５８】
次に、図１０は、線光源１１での撮像が行われた僅かな時間が経過し、撮像範囲３４に影響のない程度、ガラス基板１４が矢印方向に進んだ状態を示している。
この図１０では、例えば線光源１２から照射された照明光４２が、ガラス基板１４の撮像範囲３４を照射している。
【００５９】
ガラス基板１４の撮像範囲３４では、直接反射光４３が反射しているほか、回折光４４として反射した光がラインセンサカメラ１５に第２の画像４５として撮像される。
次に、図１１は、線光源１２での撮像が行われた僅かな時間が経過し、撮像範囲３４に影響のない程度、ガラス基板１４が矢印方向に進んだ状態を示している。
【００６０】
この図１１では、例えば線光源１３から照射された照明光４６が、ガラス基板１４の撮像範囲３４を照射している。
図１１の場合は、ガラス基板１４の撮像範囲３４で反射した直接反射光４７がラインセンサカメラ１５に入り、第３の画像４８として撮像される。
【００６１】
このように、図９〜図１１の手順を経ることにより、ガラス基板１４の撮像範囲３４の異なる第１〜第３の画像４０、４５、４８が得られる。これを連続して繰り返すことにより、異なる第１〜第３の画像４０，４５，４８の連続画像を撮像することができる。
【００６２】
図１２は、線光源１１，１２，１３の照射（撮像）タイミングとガラス基板１４の移動距離との関係を示す図である。
ガラス基板１４の移動方向に沿う各線光源１１，１２，１３による照射（撮像）範囲をＳとする。
【００６３】
同図１２において、最初の段階のＡでは、線光源１１がガラス基板１４の領域「６」の右側２／３と領域「７」の左側１／３の領域を照らしている。
次の段階のＢでは、ガラス基板１４がＳ／３右に移動し、線光源１２が領域「６」を照らしている。
【００６４】
次の段階のＣでは、ガラス基板１４がＳ／３右に移動し、線光源１３が領域「６」の左側２／３と領域「５」の右側１／３の領域を照らしている。
次の段階のＤでは、ガラス基板１４がＳ／３右に移動し、線光源１１が領域「５」の右側２／３と領域「６」の左側１／３の領域を照らしている。
【００６５】
以上において、同じ範囲（例えば領域「６」）を確実に照射（撮像）するためには、線光源１１，１２，１３が照射（撮像）する間、ガラス基板１４は停止している状態が必要である。
【００６６】
その後、次の範囲（例えば領域「５」）にＳだけ進み（この間撮像はない）、再度、ガラス基板１４が停止した状態で線光源１１，１２，１３で照射（撮像）する。
この場合、各線光源１１，１２，１３からみて同じ範囲（例えば領域「６」）を照射（撮像）し、次の同じ範囲（例えば領域「５」）を照射開始（撮像）するまでに、ガラス基板１４が単位距離Ｓを移動する時間をＴとすると、
（３×Ｔ／３）＋Ｔ＝２Ｔの時間を要する。
【００６７】
これに対し、前述した第１の実施の形態では、３×（Ｔ／３）＝Ｔ  の時間で済むことになる。よって、本実施の形態によれば、前述した通りガラス基板１４を高速移動することができる。
［第２の実施の形態］
図１３は、第２の実施の形態の表面検査装置の概略構成の平面図である。また、図１４〜図１６は、表面検査装置の要部の側面図である。なお、第１の実施の形態の同一又は相当する部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００６８】
本実施の形態では、線光源１１，１２，１３によるガラス基板１４の夫々の撮像領域１７、２２，２７を変えずに、光源移動装置７０により各線光源１１，１２，１３の位置を移動できるようにしている。
【００６９】
なお、第１の実施の形態と同様に、各線光源１１，１２，１３は常時点灯であり、各線光源１１，１２，１３の前面には開閉板１，２，３が設けられている。
これを例えば図５と図１６とで比較すると、図５では、線光源１３から照射された照明光２６は、撮像範囲２７で反射し、直接反射光２８としてラインセンサカメラ１５に入っている。
【００７０】
しかし、図１６では、図５での線光源１３と比較してやや右上上方に移動した線光源１３’から、撮像範囲２７に照明光が照射されている。この照明光は、直接反射光６４として反射している。また、回折光６５がラインセンサカメラ１５に入り、第３の画像６７として撮像されている。
【００７１】
図１４及び図１５に示すように、他の線光源１１，１２についても、同様に移動することにより、第１の画像６０及び第２の画像６２として撮像される。
なお、本実施の形態では、３つの線光源１１，１２，１３を常時点灯させ、その前面に開閉板１，２，３を設けるとして説明したが、これに限らない。例えば、１台のラインセンサカメラ１５の所定の撮像タイミングに合わせて、３つの線光源１１，１２，１３を点滅制御するようにしてもよい。この場合は、開閉板１，２，３を省略することができる。
【００７２】
本実施の形態によれば、線光源１１，１２，１３の夫々の撮像範囲１７，２２，２７を変えずに、各線光源１１，１２，１３の位置を移動させて、異なる状態の光をラインセンサカメラ１５に入れることができる。これにより、ガラス基板１４の欠陥検出力をアップすることができる。
【符号の説明】
【００７３】
１        開閉板
２        開閉板
３        開閉板
４        駆動ローラ
５        制御手段
６        画像処理部
１０      表面検査装置
１１      線状光源
１２      線状光源
１３      線状光源
１４      ガラス基板
１５      ラインセンサカメラ
１６      照明光
１７      撮像範囲
１８      直接反射光
１９      回折光
２０      第１の画像
２１      照明光
２２      撮像範囲
２３      直接反射光
２４      回折光
２５      第２の画像
２６      照明光
２７      撮像範囲
２８      直接反射光
２９      第３の画像
３４      撮像範囲
３６      照明光
３８      直接反射光
３９      回折光
４０      第１の画像
４２      照明光
４３      直接反射光
４４      回折光
４５      第２の画像
４６      照明光
４７      直接反射光
４８      第３の画像
６０      第１の画像
６２      第２の画像
６４      直接反射光
６５      回折光
６７      第３の画像
７０      光源移動装置
【図１】
2012194067.tif 000003
【図６】
2012194067.tif 000004
【図２】
2012194067.tif 000005
【図３】
2012194067.tif 000006
【図４】
2012194067.tif 000007
【図５】
2012194067.tif 000008
【図７】
2012194067.tif 000009
【図８】
2012194067.tif 000010
【図９】
2012194067.tif 000011
【図１０】
2012194067.tif 000012
【図１１】
2012194067.tif 000013
【図１２】
2012194067.tif 000014
【図１３】
2012194067.tif 000015
【図１４】
2012194067.tif 000016
【図１５】
2012194067.tif 000017
【図１６】
2012194067.tif 000018