(57)【要約】【課題】表面プラズモン共鳴センサモジュール及びそれを含むセンシングシステムを提供すること。【解決手段】センサモジュールはセンサチップ及び固定部を含む。センサチップは第１面及び第２面を有するプリズム並びにプリズムの第１面に形成される金属薄膜を含む。固定部は底面及び底面から延びた側面を含み、センサチップを収納する収納空間を形成するメインフレームと、センサチップを収納する収納空間に隣接しながらメインフレームに固定されるサブフレームと、メインフレームとサブフレームとの間に配置されてセンサチップが収納される収納空間の大きさを変化させる弾性部材とを含む。センシングシステムは表面プラズモン共鳴センサモジュール、照射部、受光部及び検査部を含む。センサチップを利用することによってセンサチップの不規則な表面によるノイズを除去でき、固定部を利用することによって実験者がセンサチップを容易に取り扱うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面及び第２面を有するプリズム並びに前記プリズムの第１面に形成される金属薄膜を含むセンサチップと、
前記センサチップを収納する固定部と、を含む表面プラズモン共鳴センサモジュール。
【請求項２】
前記固定部は、
底面及び前記底面から延びた側面を含んで、前記センサチップを収納する収納空間を形成するメインフレームと、
前記センサチップを収納する収納空間に隣接しながら前記メインフレームに固定されるサブフレームと、
前記メインフレームと前記サブフレームとの間に配置されて前記センサチップが収納される収納空間の大きさを変化させる弾性部材と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の表面プラズモン共鳴センサモジュール。
【請求項３】
前記収納空間を形成する前記メインフレームの互いに対向する側面の各々に開口部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の表面プラズモン共鳴センサモジュール。
【請求項４】
前記プリズムの第２面は外部から照射された光が通過して屈折する屈折面であり、前記センサチップは前記屈折面が前記収納空間の底面に向くように収納されて、前記開口部によって前記屈折面の一部が露出することを特徴とする請求項３に記載の表面プラズモン共鳴センサモジュール。
【請求項５】
前記メインフレームの底面には、突出部が形成され、前記メインフレームの両側面には溝が形成されたことを特徴とする請求項２に記載の表面プラズモン共鳴センサモジュール。
【請求項６】
第１面及び第２面を有するプリズム、前記プリズムの第１面に形成される金属薄膜を含むセンサチップ、並びに前記センサチップを収納する固定部を含む表面プラズモン共鳴センサモジュールと、
前記プリズムを介して前記金属薄膜に入射される入射光を照射する照射部と、
前記入射光のうち、前記金属薄膜によって反射されて前記プリズムを介して出射される反射光を感知する受光部と、
前記表面プラズモン共鳴センサモジュールが装着される検査部と、を含むセンシングシステム。
【請求項７】
前記固定部は、
底面及び前記底面から延びた側面を含んで、前記センサチップを収納する収納空間を形成するメインフレームと、
前記センサチップを収納する収納空間に隣接しながら前記メインフレームに固定されるサブフレームと、
前記メインフレームと前記サブフレームとの間に配置されて前記センサチップが収納される収納空間の大きさを変化させる弾性部材と、を含むことを特徴とする請求項６に記載のセンシングシステム。
【請求項８】
前記収納空間を形成する前記メインフレームの互いに対向する側面の各々に開口部が形成されることを特徴とする請求項７に記載のセンシングシステム。
【請求項９】
前記プリズムの第２面は外部から照射された光が通過して屈折する屈折面であり、前記センサチップは前記屈折面が前記収納空間の底面に向くように収納されて前記開口部によって前記屈折面の一部が露出され、前記照射部から照射された入射光は前記メインフレームの一側面に形成された開口部を介して前記プリズムに入射され、前記金属薄膜から反射された反射光は前記メインフレームの他側面に形成された開口部を介して前記受光部に到達することを特徴とする請求項８に記載のセンシングシステム。
【請求項１０】
前記メインフレームの底面には第１突出部が形成され、前記メインフレームの両側面には第１溝が形成され、前記検査部には前記第１突出部と対応する第２溝及び前記第１溝と対応する第２突出部が形成されて、前記メインフレームと前記検査部が互いに固定されることを特徴とする請求項７に記載のセンシングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面プラズモン共鳴（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｐｌａｓｍｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ、ＳＰＲ）センサモジュール及びそれを含むセンシングシステムに関する。より詳しくは、金属薄膜がプリズムに形成されるＳＰＲセンサモジュール及びそれを含むセンシングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面プラズモン（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｐｌａｓｍｏｎ）というのは、導体表面、例えば、金属薄膜の表面に沿って伝播される自由電子の量子化された振動である。このような表面プラズモンは、プリズムのような誘電媒体（Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｍｅｄｉｕｍ）を介して誘電媒体の臨界角以上の角度で金属薄膜に入射する入射光によって励起されて共鳴を起こすが、それを表面プラズモン共鳴（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｐｌａｓｍｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ、ＳＰＲ）という。ＳＰＲが起きる入射光の入射角、即ち、共鳴角は金属薄膜に近接した物質の屈折率変化に非常に敏感である。ＳＰＲセンサはこのような性質を利用して金属薄膜に近接した物質、即ち、試料の屈折率変化から試料の定量分析及び定性分析と、薄膜である試料の厚さを測定することに利用する。
【０００３】
従来の一般的なＳＰＲバイオセンサは、光の波数ベクトル（ｗａｖｅ  ｖｅｃｔｏｒ）或いは運動量を増加させて表面プラズモンを励起させるために、高屈折率を有する透明誘電体であるプリズムを介して金属薄膜から入射光を反射させる、いわゆる、Ｋｒｅｔｓｃｈｍａｎｎ−Ｒａｅｔｈｅｒ配置に従っている。この時、ＳＰＲバイオセンサは光源から発生した短波長の入射光を偏光器を介して偏光させてプリズムに入射させるにあたって、駆動部を通じて前記光源を動かして入射角度を変化させることによって、金属薄膜の上に存在する誘電物質による有効屈折率或いは有効厚さの変化をＳＰＲ角度の変化として測定する。
【０００４】
ところが、このような従来のＳＰＲバイオセンサは、金属薄膜をプリズムの反射面に付着することにおいて別途の媒介物を導入しなければならなかったし、現在のインデックスマッチングオイルのような流体、または固形の弾性のある透明媒体（ｅｌａｓｔｏｍｅｒ）を主に用いる。また、プリズムと金属薄膜一体で形成するＳＰＲセンサを製作する場合に、屈曲面を有する前記プリズムの形状によって実験者がＳＰＲシステムに装着及び脱着するなど、これらを取り扱うことが困難であった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の技術的課題は、このような点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、金属薄膜がプリズムに形成される表面プラズモン共鳴センサモジュールを提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、前記表面プラズモン共鳴センサモジュールを含むセンシングシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した本発明の目的を達成するための一実施形態に係る表面プラズモン共鳴センサモジュールはセンサチップ及び固定部を含む。前記センサチップは第１面及び第２面を有するプリズム、並びに前記プリズムの第１面に形成される金属薄膜を含み、前記固定部は前記センサチップを収納する。
【０００８】
本発明の一実施形態において、前記固定部はメインフレーム、サブフレーム、及び弾性部材を含む。前記メインフレームは底面及び前記底面から延びた側面を含んで、前記センサチップを収納する収納空間を形成し、前記サブフレームは前記センサチップを収納する収納空間に隣接しながら前記メインフレームに固定される。前記弾性部材は前記メインフレームと前記サブフレームとの間に配置されて前記センサチップが収納される収納空間の大きさを変化させる。
【０００９】
本発明の一実施形態において、前記収納空間を形成する前記メインフレームの互いに対向する側面の各々に開口部が形成されることができる。
本発明の一実施形態において、前記プリズムの第２面は外部から照射された光が通過して屈折する屈折面であり、前記センサチップは前記屈折面が前記収納空間の底面に向くように収納されて、前記開口部によって前記屈折面の一部が露出されることができる。
【００１０】
本発明の一実施形態において、前記メインフレームの底面には突出部が形成され、前記メインフレームの両側面には溝が形成されることができる。
上述の本発明の目的を達成するために本発明に係る表面プラズモン共鳴センサシステムは、表面プラズモン共鳴センサモジュール、照射部、受光部、及び検査部を含む。表面プラズモン共鳴センサモジュールは、第１面及び第２面を有するプリズム並びに前記プリズムの第１面に形成される金属薄膜を含む。前記照射部は前記プリズムを通じて前記金属薄膜に入射される入射光を発生し、前記受光部は前記金属薄膜によって反射して前記プリズムを介して出射される反射光を感知し、前記検査部には前記表面プラズモン共鳴センサモジュールが装着される。
【００１１】
本発明の一実施形態において、前記固定部はメインフレーム、サブフレーム、及び弾性部材を含む。前記メインフレームは、底面及び前記底面から延びた側面を含んで、前記センサチップを収納する収納空間を形成し、前記サブフレームは前記センサチップを収納する収納空間に隣接しながら前記メインフレームに固定される。前記弾性部材は前記メインフレームと前記サブフレームとの間に配置されて前記センサチップが収納される収納空間の大きさを変化させる。
【００１２】
本発明の一実施形態において、前記収納空間を形成する前記メインフレームの互いに対向する側面の各々に開口部が形成されることができる。
本発明の一実施形態において、前記プリズムの第２面は外部から照射された光が通過し屈折する屈折面であり、前記センサチップは、前記屈折面が前記収納空間の底面に向くように収納されて前記開口部によって前記屈折面の一部が露出し、前記照射部から照射された入射光は前記メインフレームの一側面に形成された開口部を通じて前記プリズムに入射され、前記金属薄膜で反射された反射光は前記メインフレームの他側面に形成された開口部を介して前記受光部に到達することができる。
【００１３】
本発明の一実施形態において、前記メインフレームの底面には第１突出部が形成され、前記メインフレームの両側面には第１溝が形成され、前記検査部には前記第１突出部と対応する第２溝及び前記第１溝と対応する第２突出部が形成されて、前記メインフレームと前記検査部とが互いに固定されることができる。
【発明の効果】
【００１４】
上述の本発明によると、金属薄膜がプリズムに蒸着して形成されるセンサチップを使って既存装備で使用していたマッチングオイルなどを使わないことによって使用者の便宜性を増加させ、不規則な表面によるノイズを除去することができる。
【００１５】
また、前記固定部が含まれたセンサモジュールを利用することによって使用者が前記センサチップを容易に取り扱いことができ、センシングシステムに装着及び脱着することをより容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面プラズモン共鳴センサモジュールを示す拡大した分解斜視図である。
【図２】図１の固定部の底面を示す底面図である。
【図３】図１の固定部の構造を説明するためにサブフレームを分解した平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るセンシングシステムを概略的に説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、添付図面を参照しながら本発明をより詳細に説明する。本発明は多様な変更を加えることができ、様々な形態を有することができるため、特定の実施形態を図面に例示し、本明細書において詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に対して限定しようとすることではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物ないしは代替物を含むことと理解されるべきである。
【００１８】
各図面の説明において、類似する構成要素に対し同じ参照符号を使用した。図面において、構造物のサイズは本発明の明確性に基づくため、実際より拡大して図示したものである。
【００１９】
第１、第２などの用語は多様な構成を説明するにおいて使用されることができるが、構成要素は用語によって限定されてはいけない。用語は１つの構成要素を別の構成要素から区別する目的のみに使用される。例えば、本発明の権利範囲内で、第１構成要素は第２構成要素に命名されることができ、類似に第２構成要素も第１構成要素に命名されることができる。単数の表現は文脈上において明白に別のことを意味しない限り、複数の表現を含む。
【００２０】
本明細書において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定することであり、１つまたはそれ以上の別の特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組合わせたものの存在あるいは付加可能性を予め排除することではないことと理解されるべきである。
【００２１】
図１は本発明の一実施形態に係る表面プラズモン共鳴センサモジュールを示す拡大した分解斜視図である。図２は図１の固定部の底面を示す底面図である。図３は図１の固定部の構造を説明するためにサブフレームを分解した平面図である。
【００２２】
図１〜図３によると、本発明の実施形態による表面プラズモン共鳴センサモジュールは、センサチップ１００及び固定部２００を含む。
前記センサチップ１００は第１面１１５及び第２面１１４を有するプリズム１１０と前記第１面１１５に形成される金属薄膜１２０から成る。
【００２３】
前記金属薄膜１２０は誘電関数の実数部（ｒｅａｌ  ｐａｒｔ）が負（−）の値を有する金属を数十ナノメートル（ｎｍ）の厚さで形成したものを利用する。例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）等を利用することができ、前記金属のうち、最も鋭いＳＰＲ共鳴ピークを見せる銀（Ａｇ）と、優れた表面安定性を示す金（Ａｕ）が普遍的に利用されることができる。
【００２４】
前記金属薄膜１２０は、前記金属が前記プリズム１１０の前記第１面１１５上に蒸着して形成される。
前記プリズム１１０は任意の光源（図示せず）を通過した光を透過させるために、シリカ（ＳｉＯ２）、クラウンガラス（ＢＫ７）等のガラスまたはプラスチックのような透明な材質を使うことが望ましい。
【００２５】
前記プリズム１１０の第１面１１５は前記金属薄膜が形成されるように平面形状で形成され、前記第２面１１４は外部から照射された光が入射して屈折または分散するように屈折面形状で形成される。
【００２６】
外部の光源から提供された光は前記プリズム１１０を通過して前記金属薄膜１２０に入射して前記金属薄膜１２０の表面プラズモンを励起させる。その後、前記金属薄膜１２０から反射された光は、再び前記プリズム１１０を通過して外部に放出される。前記プリズム１１０はその断面形状が台形型、反円筒形、三角柱型、または、回折格子型になることができるが、これに制限されるのではない。図１では前記センサチップ１００と前記固定部２００との結合関係を説明するために前記第２面を両側の屈曲面１１１、１１３と底面１１２に区分した。
【００２７】
前記プリズムの屈折面の形状によって入射光の入射角度と屈折率を適切に変更させることができる。実験過程で前記金属薄膜１２０上に分析対象物質を配置させ、前記分析対象物質による有効屈折率または、有効厚さの変化を測定することになる。従って、前記分析対象物質及び入射光の入射角度に合うように適切に前記屈折面の形状を選択することができる。
【００２８】
上述のように金属薄膜がプリズムの第１面に蒸着して形成されるセンサチップ１００を利用することによって、実験過程でプリズムと金属薄膜とを接着することに別途のマッチングオイルを使う必要がない。従って、別途のマッチングオイルを使うことによって発生する不規則な表面によるノイズなどの問題点を解決することができる。
【００２９】
前記固定部２００はメインフレーム２１０、サブフレーム２２０及び弾性部材２３０を含む。
前記メインフレーム２１０は底面２１２及び前記底面２１２に延びる側面を含んで、収納空間２１７を形成する。
【００３０】
前記底面と側面から定義された収納空間２１７の一部にはサブフレーム２２０が挿入及び固定される。前記サブフレームが挿入された部分を除いた収納空間には前記センサチップ１００が収納される。前記収納空間２１７に前記サブフレームが挿入された後、前記サブフレームの上段一部には追加で固定板２２４が覆われることができる。前記固定板２２４でメインフレームを覆って前記サブフレームが前記収納空間を離脱しないように固定することができる。
【００３１】
前記センサチップは前記収納空間で前記メインフレーム２１０、サブフレーム２２０、及び前記サブフレームを押し出す弾性力を有する弾性部材２３０によって固定される。
前記センサチップ１００は、前記収納空間２１７に前記金属薄膜１２０が形成された第１面１１５が上部に向いて前記プリズム１１０の底面１１２が前記収納空間２１７の底面に向くように収納される。
【００３２】
前記収納空間の底面両側面には開口部２１４、２１６が形成される。そして、前記センサチップ１００を前記固定部２００に固定する場合、前記センサチップの第２面の一側の屈曲面１１１は前記一側面の開口部２１６によって露出され、前記第２面の他側の屈曲面１１３は、前記他側面の開口部２１４によって露出される。前記固定部２００を後述するセンシングシステム（図４参照）に装着した場合、前記センシングシステム内の光源から照射された光が収納空間の一側面に形成された開口部２１４を介してプリズムに入射され、前記金属薄膜に到達することができる。また、前記金属薄膜から反射された光は前記収納空間の他側面に形成された開口部２１６を通じて前記センシングシステム内の受光部（図示せず）に受光される。前記開口部の位置は前記プリズムの形及び前記光の入射方向により適切に形成されることができる。また、前記収納空間の底面の形状も前記プリズムの第２面１１４の形により適切に変形されることができる。
【００３３】
前記固定部２００は弾性部材２３０を含み、前記弾性部材は例えばスプリングであることができる。前記サブフレーム２２０は前記メインフレーム２１０の両側面に従って前記弾性部材２３０を圧縮する方向に一定距離の移動が可能であり、その時、発生する前記弾性部材の弾性復原力によって前記センサチップ１００を固定することになる。前記サブフレーム２２０の上面には突出部２２２が形成されることができ、この場合、使用者が前記サブフレームを移動させる場合、前記突出部２２２を利用して便利に作業することができる。
【００３４】
具体的に、前記弾性部材２３０は、前記サブフレーム２２０が前記収納空間２１７の空間を広げる方向に移動する場合に圧縮され、反対の場合に引張される。従って、前記収納空間２１７を広げる方向に前記サブフレーム２２０を移動して前記センサチップ１００を装着すると、前記弾性部材の弾性復原力によって前記センサチップが収納空間に固定される。前記センサチップを脱着する場合には前記サブフレームを前記収納空間を広げる方向に移動させて前記センサチップを脱着した後に前記サブフレームを元の状態に復帰させれば良い。
【００３５】
前記メインフレームの底面２１２には前記メインフレームの長軸方向にガイド部２１８が形成されることができる。前記固定部２００の形状と共に前記ガイド部２１８に対応する形状が、前記固定部が装着されるセンシングシステムの検査部にも形成されていて前記固定部の装着を容易にすることができる。
【００３６】
前記メインフレーム２１０の両側面には溝２１９が形成されることができる。前記溝２１９に対応する突出部の形状が、前記固定部が装着されるセンシングシステムの検査部の両側面にも形成されていて前記固定部の装着時に前記固定部を前記検査部内に固定することになる。
【００３７】
図４は本発明の他の実施形態に係るセンシングシステムを概略的に説明するための模式図である。図４においては、図１に図示したセンサモジュールを示した。
本実施形態に係るセンシングシステム３００はセンサモジュール、照射部３１０、受光部３２０、及び検査部３３０を含む。
【００３８】
本実施形態によるセンシングシステム３００のセンサモジュールは、図１〜図３を参照して説明した実施形態のセンサモジュールと同一であるので、同じ参照番号を使って重複される説明は省略する。
【００３９】
前記照射部３１０は、前記検査部３３０に入射する入射光を発生し、前記入射光は前記検査部３３０に締結された前記固定部２００に収納された前記センサチップ１００のプリズム１１０を介して前記金属薄膜１２０に入射される。
【００４０】
本実施形態に係るセンシングシステム３００は、入射光源としてレーザーを使うことが望ましく、具体的には、照射部３１０から発進される入射光としては、レーザーダイオードＬＤ、ガスレーザーなどのようなレーザーを使うことができる。前記照射部３１０から発進されるレーザーの形態は、点（ｄｏｔ）または線（ｌｉｎｅ）の形態であることが望ましいが、これに制限されない。また、金属薄膜１２０で発生する表面プラズモン共鳴現象に最適化するように４００〜９００ｎｍの波長を有するレーザーを使うことが望ましいが、レーザーの波長が４００ｎｍ未満の場合、表面プラズモン共鳴現象がまともに発生せず、９００ｎｍ超過する場合、受光部３２０のイメージ獲得が難しくて試料を分析することに問題が生じる。
【００４１】
また、金属薄膜１２０で発生する表面プラズモンは入射光成分のうち、入射面と平行する成分、即ち、ＴＭ偏光（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ  ｌｉｇｈｔ）成分のみに励起されるので、前記照射部３１０から発進されるレーザーをＴＭ偏光に変換させる偏光器（図示せず）を使ってＴＭモード（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｍｏｄｅ）に変化させることが望ましい。
【００４２】
前記受光部３２０は前記入射光のうち、前記金属薄膜１２０によって反射される反射光を感知することができる。即ち、前記受光部３２０は表面プラズモンの共鳴吸収による波長の変化、例えば、色変化または、強度変化を定量的に測定することができる。
【００４３】
本発明において、受光部３２０は入射角と同じ角度で金属薄膜１２０から反射された反射光の強度が最小になるイメージの暗い部分をモニタリングすることによって表面プラズモン共鳴角をリアルタイムで測定して試料を分析することのできる機能及び効果を有する。前記受光部３２０は、フォトダイオードアレイ（ＰＤＡ）または電荷結合素子（ｃｈａｒｇｅ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ、ＣＣＤ）、相補型金属酸化物半導体（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ、ＣＭＯＳ）等のイメージディテクタ（ｄｅｔｅｃｔｏｒ）用受光部を使うことが望ましい。
【００４４】
前記検査部３３０は前記センサチップ１００が装着される領域として、前記固定部２００が結合することができるように前記固定部の形状と対応する形状を有する。前記検査部３３０は前記固定部の底面２１２に形成されたガイド部２１８に対応する構造を有していて、前記固定部が正常な位置として許容されるギャップ（ｇａｐ）を越えないように検査部内に装着させることができる。また、前記固定部の両側面に形成された溝２１９に挿入される突出部（図示せず）が形成されていて、前記固定部の締結以後に検査途中で分離される現象を防止することができる。一方、前記固定部２００は前記センサチップ１００を収納した状態で前記検査部３３０にそのまま装着される。
【００４５】
上述のような構成を有する本実施形態に係るセンシングシステム３００を利用して分析対象物質を検出する場合、前記センサチップ１００を前記固定部２００に固定し、前記固定部を前記検査部３３０に固定すれば、前記光源３１０から発生した光は、前記検査部３３０に装着された固定部２００内のプリズム１１０を介して金属薄膜１２０に対して一定角度で入射され、前記金属薄膜１２０により反射された光は、受光部３２０により感知される。この時、前記センサチップ１００表面に平行する波動ベクトル成分が前記センサチップ１００及び分析対象物質の界面に沿って発生する表面プラズモンの波動ベクトルと一致する時、入射光のエネルギは表面プラズモンに大部分吸収されるが、この時の入射光の入射角を共鳴角（θ）と言い、分析対象物質の厚さ、屈折率、濃度などにより表面プラズモン共鳴条件が変化して、前記受光部３２０を介して前記表面プラズモン共鳴条件変化を測定することができる。
【００４６】
上述のように、前記センサチップ１００が装着された固定部２００を前記センシングシステム３００の検査部３３０に装着及び脱着することによって、前記センサチップの装着及び脱着が容易になり、それによって、センシングシステムの使用も容易になり実験者の便宜性が増加する。
【００４７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特徴請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上、説明したように、本発明の実施形態によると、プリズムに金属薄膜が蒸着されて一体で形成されたセンサチップによって不規則な表面によるノイズ現象を除去することができる。また、これを装着できる固定部によって実験者が前記センサチップを取り扱いやすく、なお、センシングシステムに前記センサチップを装着及び脱着することにおいての不便性を取り除くことができる。
【符号の説明】
【００４９】
１００    センサチップ
２００    固定部
３００    センシングシステム
１１０    プリズム
１２０    金属薄膜
２１０    メインフレーム
２２０    サブフレーム
２３０    弾性部材
３１０    照射部
３２０    受光部
３３０    検査部
【図１】
2012002817.tif 000003
【図２】
2012002817.tif 000004
【図３】
2012002817.tif 000005
【図４】
2012002817.tif 000006