(57)【要約】【課題】全体のコンパクト化が図れるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる塗布ムラ検査装置を提供する。【解決手段】ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設ける構成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、
前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、
前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設けられていることを特徴とする塗布ムラ検査装置。
【請求項２】
前記照射部のＬＥＤ発光部は、前記導光板の互いに対向する両側面に設けられており、前記排熱冷却部は、一方のＬＥＤ発光部側から吸気し、他方のＬＥＤ発光部から排気することを特徴とする請求項１に記載の塗布ムラ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された塗布膜のムラを検査する塗布ムラ検査装置に関するものであり、特に形成された塗布膜に光を照射する照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス等からなる基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板という）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液を均一に塗布する塗布装置（塗布装置本体１含む）によって形成されている。すなわち、塗布装置は、例えば、図５に示すように、基板１０を載置するステージ２１と、レジスト液を吐出する塗布ユニット３０とを有しており、塗布ユニット３０の口金部からレジスト液を吐出させながら、基板１０と塗布ユニット３０とを相対的に移動させることにより、基板１０上に所定厚さのレジスト液膜（塗布膜１１）が形成されるようになっている。
【０００３】
このような塗布装置には、形成された塗布膜１１に筋状や粒状の塗布ムラの有無を確認する塗布ムラ検査が行われる。具体的には、塗布装置には、塗布ムラ検査装置１００が設けられており、塗布ムラ検査装置１００の照射部１０１からステージ２１上の基板１０に光を照射し、基板１０上の塗布膜１１によって反射された反射光を受光部１０６で受光することにより塗布ムラの有無が確認される。ここで、図５に示すように、塗布ムラ検査装置１００の照射部１０１には、光源として複数の蛍光灯１０２ａを有する発光部１０２とインバータ１０３とが設けられている。また、塗布装置は温度がほぼ一定に保たれたブース１０５内に設置されているため、複数の蛍光灯１０２ａとインバータ１０３とから発生する熱により温度変化が生じるのを抑える必要がある。そのため、発光部１０２の両側には発光部１０２の熱を排熱する排熱冷却部１０４が設けられている。
この排熱冷却部１０４は、発光部１０２のほぼ中央部分に設けられた吸気口１０４ｃから吸気し、発光部１０２の両側面側に設けられた吸気ファン１０４ａを用いて、排気配管１０４ｂから発光部１０２から生じた熱を排気する。これにより、発光部１０２の蛍光灯１０２ａから発生する熱が排気配管１０４ｂから効率よく排気され、ブース１０５内の温度が上昇するのを抑えていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２３４２３７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の塗布ムラ検査装置１００では、ブースを大幅に改造する必要があるという問題があった。すなわち、塗布ムラ検査装置１００は、後付けで設置されることが多く、塗布装置導入時のブース（１点鎖線及び実線で表示するブース１０５ａ）には、塗布ムラ検査装置１００の設置は考慮されていない。したがって、塗布装置導入時には、ブース１０５ａ内の温度管理のし易さから、ブース１０５ａの高さは必要最小限で設置される。一方、塗布ムラ検査装置１００は、発光部１０２における複数の蛍光灯１０２ａの輝度を保つため、インバータ１０３と排熱冷却部１０４とを有しており、厚み方向に大きな寸法を有している。また、蛍光灯１０２ａの発熱量が多いことから、排熱冷却部１０４の排熱配管１０４ｂが両側に設けられており、幅方向にも大きな寸法を有している。これを発光部１０２と基板までの照明距離を考慮して設置しようとすると、インバータ１０３又は排気配管１０４ｂがブース１０５の天井に干渉するため、塗布装置導入時のブース１０５ａの天井をブース１０５の天井高さまでかさ上げする必要があり、ブース１０５ａを大幅に改造せざるをえないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、全体のコンパクト化を図るとともに、設置の際にブースを大幅に改造する必要のない塗布ムラ検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の塗布ムラ検査装置は、ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設けられていることを特徴としている。
【０００８】
上記塗布ムラ検査装置によれば、発光部にＬＥＤ発光部を用いているため、蛍光灯を使用した場合に輝度安定化に必要になるインバータが不要になる。また、発光部としてＬＥＤ発光部を用いていることにより、蛍光灯に比べて発熱量が小さくなるため、排熱冷却部の排熱配管が片側のみの設置でよい。したがって、蛍光灯を使用していた従来技術に比べて、全体のコンパクト化を図ることができ、塗布ムラ検査装置の設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる。
【０００９】
また、前記照射部のＬＥＤ発光部は、前記導光板の互いに対向する両側面に設けられており、前記排熱冷却部は、一方のＬＥＤ発光部側から吸気し、他方のＬＥＤ発光部から排気する構成とすることができる。
【００１０】
この構成によれば、排熱冷却部の大気が両側面に設けられたＬＥＤ発光部を横切るため、ＬＥＤ発光部から発生する熱を効率よく排気することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の塗布ムラ検査装置によれば、全体のコンパクト化が図れるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の塗布ムラ検査装置を備える塗布装置を概略的に示す側面図である。
【図２】塗布装置本体を示す斜視図である。
【図３】塗布ムラ検査装置の照射部を示す図である。
【図４】照射部の構成を示す図である。
【図５】従来の塗布ムラ検査装置を備える塗布装置を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態における塗布ムラ検査装置を備える塗布装置を概略的に示す側面図であり、図２は、塗布装置本体を示す斜視図である。
【００１４】
図１、図２に示すように、塗布装置は、塗布装置本体１と塗布ムラ検査装置４０とを有している。塗布装置本体１は、基板１０上に薬液やレジスト液等の液状物（以下、塗布液と称す）の塗布膜１１を形成するものであり、基板１０を載置するためのステージ２１と、このステージ２１に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット３０とを備えている。
【００１５】
なお、以下の説明では、塗布ユニット３０が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００１６】
前記基台２には、その中央部分にステージ２１が配置されている。このステージ２１は、搬入された基板１０を載置するものである。このステージ２１には、基板保持手段が設けられており、この基板保持手段により基板１０が保持されるようになっている。具体的には、ステージ２１の表面に形成された複数の吸引孔が形成されており、この吸引孔に吸引力を発生させることにより基板１０をステージ２１の表面に吸着させて保持できるようになっている。
【００１７】
また、塗布ユニット３０は、基板１０上に塗布液を吐出して塗布膜１１を形成するものである。この塗布ユニット３０は、図２に示すように、基台２と連結される脚部３１とＹ軸方向に延びる口金部３４とを有しており、基台２上をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。具体的には、基台２のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール２２が設置されており、脚部３１がこのレール２２にスライド自在に取り付けられている。そして、脚部３１にはリニアモータ３３が取り付けられており、このリニアモータ３３を駆動制御することにより、塗布ユニット３０がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。
【００１８】
口金部３４は、塗布液を吐出して基板１０上に塗布膜１１を形成するものである。この口金部３４は、一方向に延びる形状を有する柱状部材であり、塗布ユニット３０の走行方向とほぼ直交するように設けられている。この口金部３４には、長手方向に延びるスリットノズル３４ａが形成されており、口金部３４に供給された塗布液がスリットノズル３４ａから長手方向に亘って一様に吐出されるようになっている。したがって、このスリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０をＸ軸方向に走行させることにより、スリットノズル３４ａの長手方向に亘って基板１０上に一定厚さの塗布膜１１が形成されるようになっている。
【００１９】
また、図１に示すように、ステージ２１の上方には、塗布ムラ検査装置４０が取付けられている。この塗布ムラ検査装置４０は、照射部４１と受光部４２とを有しており、照射部４１から出力された光が塗布膜１１の表面によって反射され、反射された光が受光部４２で受光されるように配置されている。具体的には、塗布装置は、その全体がブース（不図示）に覆われており、ブースの天井に照明部４１と受光部４２とが設けられている。
【００２０】
照射部４１は、一定輝度の光を出力するものである。この照射部４１は、略平板形状を有しており、図３に示すように、ステージ２１に対して所定角度有するように設けられている。すなわち、照射部４１は、一方側に光を照射できるように構成されており、照射部分がステージ２１の基板１０側に向く姿勢で取付けられている。
【００２１】
この照射部４１は、ＬＥＤが光源として使用されている。ここで、図４は照射部４１の詳細を示す概略図である。照射部４１は、アクリル板等の導光板５１とその側面にＬＥＤ発光部５２とを有しており、導光板５１の片面側には、光を全反射する反射フィルム５３が設けられ、もう片面側には光を均一に拡散する光拡散フィルム５４と露光防止用フィルム５５とが設けられている。これにより、ＬＥＤ発光部５２で出力された光が光拡散フィルム５４側から均一な光で照射される。すなわち、ＬＥＤ発光部５２で出力された光が導光板５１を進行すると、一部の光がそのまま光拡散フィルム５４側から出力される。一方、反射フィルム５３側に進行した光は、反射フィルム５３によって反射されることにより、光拡散フィルム５４側から出力される。これにより、ＬＥＤ発光部５２で出力される光は、効率よく導光板５１の片面側から照射される。
【００２２】
なお、図３，図４に示す例では、ＬＥＤ発光部５２を導光板５１の両側面に設けているが、十分な輝度が得られる場合には、いずれか一方側にのみ設けるものであってもよい。
【００２３】
また、導光板５１の光の照射側と反対側、すなわち、反射フィルム５３側には、排熱冷却部６０が設けられている。排熱冷却部６０は、フレームボックス６１と、フレームボックス６１内に大気を吸気するファン６２とフレームボックス６１内の大気を外部に排出する排気配管６３とを有している。フレームボックス６１は、内部が空洞の直方体形状を有しており、その片面側に導光板５１が配置されている。具体的には、導光板５１がフレームボックス６１内に埋設されており、導光板５１の照射面がフレームボックス６１の側面とほぼ同じ面位置となるように配置されている。すなわち、ＬＥＤ発光部５２及び反射フィルム５３は、フレームボックス６１内に配置されている。また、フレームボックス６１の側面側には、ファン６２と排気配管６３が設けられており、フレームボックス６１内の熱が排気配管６３を通じて排出されるようになっている。具体的には、排気配管６３は、ブース外のブロワなどの排気装置と連結されているため、ＬＥＤ発光部５２から発生した熱はフレームボックス６１内に発生するが、ファン６２から吸気された大気と共に排気配管６３を通じて排出されるようになっている。また、導光板５１は、ＬＥＤ発光部５２が取付けられた部分がフレームボックス６１のファン６２又は排気配管６３と同じ位置に配置されるように取付けられている。すなわち、ファン６２から吸気された大気の流れの途中にＬＥＤ発光部５２が存在するように取付けられている。これにより、ファン６２から吸気された大気は、ＬＥＤ発光部５２を横切るように流れるため、ＬＥＤ発光部５２から発生した熱が効率よく排気することができる。なお、図３における矢印は、大気の流れを示したものである。
【００２４】
また、照射部４１は、特定パターンの光を照射できるように構成されている。本実施形態では、露光防止用フィルム５５よりもステージ２１側にスリット板（不図示）が設けられており、このスリット板により特定パターンの光が照射される。例えば、本実施形態におけるスリット板には、所定間隔のストライプ状にスリットが設けられており、このスリット板を通じて光を照射すると、基板１０の塗布膜１１上にストライプ状のパターンが形成される。そして、このパターンを受光部で受光することにより、塗布ムラを検出することができる。具体的には、塗布装置を統括的に制御する制御装置には、照射部４１から光を照射してムラのない塗布膜１１により反射される反射光を受光部で受光したときのパターン（基本パターン）が記録されており、この基本パターンと基板１０上に形成された塗布膜１１により反射されて受光したパターンとを比較し、受光したパターンが基本パターンと異なる形状である場合には、塗布膜１１にムラが生じていると判断することができる。これにより、塗布ムラを検出することができる。
【００２５】
以上、説明した塗布ムラ検査装置によれば、装置全体をコンパクト化できるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる。すなわち、発光部にＬＥＤ発光部５２を用いているため、蛍光灯を使用した場合に輝度安定化に必要になるインバータが不要になる。その結果、蛍光灯とインバータを有する従来の構成では厚み寸法が２００ｍｍであったが、ＬＥＤ発光部５２を用いることにより、約半分の厚み寸法に抑えることができた。また、発光部としてＬＥＤ発光部５２を用いていることにより、蛍光灯に比べて発熱量が小さくなるため、排熱冷却部６０の排熱配管が片側のみの設置でよい。したがって、蛍光灯を使用していた従来技術に比べて、塗布ムラ検査装置全体のコンパクト化を図ることができ、塗布ムラ検査装置の設置の際に現存のブースの天井部分をかさ上げする等、大幅な改造が不要になる。すなわち、現状のブースのままで塗布ムラ検査装置を後付けすることが容易になる。
【符号の説明】
【００２６】
１  塗布装置本体
１０  基板
２１  ステージ
３０  塗布ユニット
４０  塗布ムラ検査装置
４１  照射部
４２  受光部
５１  導光板
５２  ＬＥＤ発光部
６０  排熱冷却部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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