(57)【要約】      （修正有）【課題】優れたフォーカスマージンでレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。【解決手段】式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂及び式（Ｂ１）で表される塩を含有するレジスト組成物。2012078800.tif 000205［式中、Ｒ１は水素原子又はメチル基；Ａ１は、単結合、脂肪族炭化水素基等；Ａ２は炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基；環Ｗ１は炭素数４〜３６の脂肪族環；環Ｗ２は、炭素数４〜１８のラクトン環；Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基；Ｌb1は、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基；Ｙは置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基；Ｚ+は有機カチオンを表す。］【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂及び式（Ｂ１）で表される塩を含有するレジスト組成物。
2012078800.tif 000197
［式（ａ）中、
Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ１は、単結合、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基又は式（ａ１０）で表される基を表す。
2012078800.tif 000198
（式（ａ１０）中、
ｓ１は０又は１を表す。
Ａ10及びＡ11は、それぞれ独立に、炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ａ12は、単結合又は炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ10及びＸ11は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
ただし、Ａ10、Ａ11、Ａ1２、Ｘ10及びＸ11の炭素数の合計は６以下である。）
Ａ２は、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
環Ｗ１は、炭素数４〜３６の脂肪族環を表す。
環Ｗ２は、炭素数４〜１８のラクトン環を表し、該ラクトン環を構成するメチレン基は、酸素原子に置き換わっていてもよい。］
2012078800.tif 000199
［式（Ｂ１）中、
Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌb1は、炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
Ｚ+は、有機カチオンを表す。］
【請求項２】
前記式（ａ）のＡ１が、単結合又は−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−である請求項１記載のレジスト組成物。
【請求項３】
前記式（ａ）のＡ２が、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−（Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。ただし、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は４以下である。）である請求項１又は２記載のレジスト組成物。
【請求項４】
前記式（ａ）の
2012078800.tif 000200
（式中、Ａ１及び環Ｗ１は前記と同義である。）
で表される基が、式（Ｗ１−ａ）、式（Ｗ１−ｂ）又は式（Ｗ１−ｃ）で表される基である請求項１〜３のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000201
（式中、Ａ１は前記と同義である。）
【請求項５】
前記式（ａ）の
2012078800.tif 000202
（式中、Ａ２及び環Ｗ２は前記と同義である。）
で表される基が、式（Ｗ２−ａ）又は式（Ｗ２−ｂ）で表される基である請求項１〜４のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000203
（式中、Ａ２は前記と同義である。Ａ３は、メチレン基又は酸素原子を表す。）
【請求項６】
前記式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂が、式（ａ）で表される構造単位に加え、式（ａ１−１）で表される構造単位及び式（ａ１−２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種を有する樹脂である請求項１〜５のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000204
［式（ａ１−１）中、
Ｌa1は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k４−ＣＯ−Ｏ−（ｋ４は１〜７の整数を表す。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa4は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa6は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｍ１は０〜１４の整数を表す。
式（ａ１−２）中、
Ｌa2は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k５−ＣＯ−Ｏ−（ｋ５は前記と同義である。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa7は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｎ１は０〜１０の整数を表す。
ｎ１’は０〜３の整数を表す。］
【請求項７】
前記式（Ｂ１）のＹが置換基を有していてもよい炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基である請求項１〜６のいずれか記載のレジスト組成物。
【請求項８】
さらに溶剤を含む請求項１〜７のいずれか記載のレジスト組成物。
【請求項９】
（１）請求項１〜８のいずれか記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光機を用いて露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、
（５）加熱後の組成物層を、現像装置を用いて現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いるレジストパターンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体の微細加工技術として、ＡｒＦエキシマレーザー（波長：１９３ｎｍ）等の短波長光を露光源とするリソグラフィ技術が活発に検討されている。このようなリソグラフィ技術に用いられるレジスト組成物としては、例えば、特許文献１に、式（Ａ）で表される構造単位、式（Ｂ）で表される構造単位及び式（Ｃ）で表される構造単位を有する樹脂と、酸発生剤として、トリフェニルスルホニウム  パーフルオロブタンスルホネートと、溶剤とを含むレジスト組成物が記載されている。
2012078800.tif 000002
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２６２１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来から知られる上記レジスト組成物では、レジストパターン製造時のフォーカスマージン（ＤＯＦ）が必ずしも満足できない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の発明を含む。
〔１〕式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂及び式（Ｂ１）で表される塩を含有するレジスト組成物。
2012078800.tif 000003
［式（ａ）中、
Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ１は、単結合、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基又は式（ａ１０）で表される基を表す。
2012078800.tif 000004
（式（ａ１０）中、
ｓ１は０又は１を表す。
Ａ10及びＡ11は、それぞれ独立に、炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ａ12は、単結合又は炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ10及びＸ11は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
ただし、Ａ10、Ａ11、Ａ1２、Ｘ10及びＸ11の炭素数の合計は６以下である。）
Ａ２は、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
環Ｗ１は、炭素数４〜３６の脂肪族環を表す。
環Ｗ２は、炭素数４〜１８のラクトン環を表し、該ラクトン環を構成するメチレン基は、酸素原子に置き換わっていてもよい。］
2012078800.tif 000005
［式（Ｂ１）中、
Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌb1は、炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
Ｚ+は、有機カチオンを表す。］
〔２〕前記式（ａ）のＡ１が、単結合又は−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−である〔１〕記載のレジスト組成物。
〔３〕前記式（ａ）のＡ２が、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−（Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。ただし、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は４以下である。）である〔１〕又は〔２〕記載のレジスト組成物。
〔４〕前記式（ａ）の
2012078800.tif 000006
（式中、Ａ１及び環Ｗ１は前記と同義である。）
で表される基が、式（Ｗ１−ａ）、式（Ｗ１−ｂ）又は式（Ｗ１−ｃ）で表される基である〔１〕〜〔３〕のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000007
（式中、Ａ１は前記と同義である。）
〔５〕前記式（ａ）の
2012078800.tif 000008
（式中、Ａ２及び環Ｗ２は前記と同義である。）
で表される基が、式（Ｗ２−ａ）又は式（Ｗ２−ｂ）で表される基である〔１〕〜〔４〕のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000009
（式中、Ａ２は前記と同義である。Ａ３は、メチレン基又は酸素原子を表す。）
〔６〕前記式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂が、式（ａ）で表される構造単位に加え、式（ａ１−１）で表される構造単位及び式（ａ１−２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種を有する樹脂である〔１〕〜〔５〕のいずれか記載のレジスト組成物。
2012078800.tif 000010
［式（ａ１−１）中、
Ｌa1は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k４−ＣＯ−Ｏ−（ｋ４は１〜７の整数を表す。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa4は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa6は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｍ１は０〜１４の整数を表す。
式（ａ１−２）中、
Ｌa2は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k５−ＣＯ−Ｏ−（ｋ５は前記と同義である。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa7は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｎ１は０〜１０の整数を表す。
ｎ１’は０〜３の整数を表す。］
〔７〕前記式（Ｂ１）のＹが置換基を有していてもよい炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基である〔１〕〜〔６〕のいずれか記載のレジスト組成物。
〔８〕さらに溶剤を含む〔１〕〜〔７〕のいずれか記載のレジスト組成物。
〔９〕（１）上記〔１〕〜〔８〕のいずれか記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光機を用いて露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、
（５）加熱後の組成物層を、現像装置を用いて現像する工程を含むレジストパターンの製造方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のレジスト組成物は、優れたフォーカスマージン（ＤＯＦ）でレジストパターンを製造できる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜レジスト組成物＞
本発明のレジスト組成物（以下、場合により「本レジスト組成物」という。）は、式（ａ）で表される構造単位を有する樹脂（以下、場合により「樹脂（Ａ）」という）及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤（以下、場合により「酸発生剤（Ｂ１）」という）を含有する。
本レジスト組成物は、さらに溶剤（Ｄ）及び／又は塩基性化合物（Ｃ）を含有することが好ましい。
本レジスト組成物は、構造単位（ａ）を有する樹脂（Ａ）と、酸発生剤（Ｂ１）との相乗効果により、広いＤＯＦでレジストパターンを製造することができる。
【０００８】
＜樹脂（Ａ）＞
樹脂（Ａ）は、式（ａ）で表される構造単位（以下、場合により「構造単位（ａ）」という）を有する。
2012078800.tif 000011
［式（ａ）中、
Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａ１は、単結合、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基又は式（ａ１０）
2012078800.tif 000012
（式（ａ１０）中、
ｓ１は０又は１を表す。
Ａ10及びＡ11は、それぞれ独立に、炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ａ12は、単結合又は炭素数１〜５の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘ10及びＸ11は、それぞれ独立に、酸素原子、カルボニル基、カルボニルオキシ基又はオキシカルボニル基を表す。
ただし、Ａ10、Ａ11、Ａ1２、Ｘ10及びＸ11の炭素数の合計は６以下である。）
で表される基を表す。
Ａ２は、炭素数１〜６の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
環Ｗ１は、炭素数４〜３６の脂肪族環を表す。
環Ｗ２は、炭素数４〜１８のラクトン環を表し、該ラクトン環を構成するメチレン基は、酸素原子に置き換わっていてもよい。］
【０００９】
式（ａ）において、Ａ１、Ａ２、Ａ10、Ａ11及びＡ12における脂肪族炭化水素基は、典型的にはアルカンジイル基であり、該アルカンジイル基は直鎖でも（直鎖状アルカンジイル基）、分岐していて（分岐状アルカンジイル基）もよい。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基及びヘキサン−１，６−ジイル基などの直鎖状アルカンジイル基、この直鎖状アルカンジイル基に、側鎖アルキル基を有する分岐状アルカンジイル基などが挙げられる。
【００１０】
式（ａ１０）で表される基のうち、Ｘ11が酸素原子である基としては、
2012078800.tif 000013
などが挙げられる（＊は結合手を表す）。
【００１１】
式（ａ１０）で表される基のうち、Ｘ11がカルボニル基である基としては、
2012078800.tif 000014
などが挙げられる（＊は結合手を表す）。
【００１２】
式（ａ１０）で表される基のうち、Ｘ11がカルボニルオキシ基である基としては、*−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−*、
2012078800.tif 000015
などが挙げられる（＊は結合手を表す）。
【００１３】
式（ａ１０）で表される基のうち、Ｘ11がオキシカルボニル基である基（ａ１０）としては、*−ＣＨ２−Ｏ−ＣＯ−*、
2012078800.tif 000016
などが挙げられる（＊は結合手を表す）。
【００１４】
Ａ１としては、−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−、又は単結合が好ましい。
【００１５】
Ａ２の脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基が、酸素原子又はカルボニル基に置き換えられた基としては、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−、−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−Ｏ−ＣＯ−、−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−、−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ２Ｒ３−Ｏ−ＣＯ−（Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。ただし、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は４以下である。）が挙げられる。これらの中でも、Ａ２は、メチレン基が酸素原子又はカルボニル基に置き換えられた脂肪族炭化水素基が好ましく、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＲ２Ｒ３−ＣＯ−Ｏ−（Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。ただし、Ｒ２及びＲ３の炭素数の合計は４以下である。）がさらに好ましい。
【００１６】
環Ｗ１は炭素数４〜３６の脂肪族環を表す。該脂肪族環は部分的に、炭素炭素二重結合などの不飽和結合を有していてもよいが、該不飽和結合を有しない飽和の脂肪族環であることが好ましい。該脂肪族環の炭素数は、５〜１８の範囲であると好ましい。好ましい飽和の脂肪族環としては、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、ノルボルナン環、アダマンタン環、あるいはこれらの環から選ばれる２個の環が縮環したものなどが挙げられる。これらの中でも、シクロヘキサン環、アダマンタン環、ノルボルナン環及び縮合ノルボルナン環などが好ましい。
式（ａ）において、
2012078800.tif 000017
（式中、Ａ１及び環Ｗ１は前記と同義である。）
で表される基は、
2012078800.tif 000018
（式中、Ａ１は前記と同義である。）
で表されるいずれかの基が好ましく、これらの中でも、式（Ｗ１−ａ）、式（Ｗ１−ｂ）又は式（Ｗ１−ｃ）で表される基がより好ましい。
【００１７】
環Ｗ２はラクトン環基を表す。ここで、「ラクトン環基」とは、ラクトン構造を有する基を意味する。典型的には、ラクトン環を有する化合物から、該ラクトン環を構成する水素原子のうち、１個を取り去って得られる基を「ラクトン環基」という。このラクトン環は、単環式のラクトン環だけでなく、ラクトン環と他の環とが縮環した多環式のものを含む。
【００１８】
ラクトン環基に含まれるラクトン環は、置換基を有していてもよい。置換基としては炭素数１〜１２の炭化水素基が挙げられ、該炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。このような置換基としては、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１〜１１のアルコキシ基、炭素数２〜１１のアルコキシカルボニル基が挙げられる。
さらに、ラクトン環基に含まれるラクトン環を構成するメチレン基は、酸素原子で置き換わっていてもよい。
【００１９】
環Ｗ２のラクトン環は以下ものが挙げられ、これらの中でも、式（Ｗ２−ａ１）で表される基、式（Ｗ２−ａ２）で表される基、式（Ｗ２−ｂ１）で表される基又は式（Ｗ２−ｂ２）で表される基が好ましく、式（Ｗ２−ａ１）で表される基、式（Ｗ２−ｂ１）で表される基又は式（Ｗ２−ｂ２）で表される基がより好ましい。
2012078800.tif 000019
式（ａ）において、
2012078800.tif 000020
（式中、Ａ２及び環Ｗ２は前記と同義である。）
で表される基は、式（Ｗ２−ａ）又は式（Ｗ２−ｂ）で表される構造が好ましい。
2012078800.tif 000021
（式中、Ａ２は前記と同義である。Ａ３は、メチレン基又は酸素原子を表す。）
【００２０】
構造単位（ａ）としては、以下の式（ａ−１）〜式（ａ−２４）で表される構造単位が挙げられる。
2012078800.tif 000022
【００２１】
2012078800.tif 000023
【００２２】
構造単位（ａ）は、以下の式（ａ’）で表される化合物（以下、「化合物（ａ’）」という場合がある。）から誘導される。
2012078800.tif 000024
（式（ａ’）中、Ｒ１、Ａ１、Ａ２、環Ｗ１及び環Ｗ２は前記と同義である。）
【００２３】
化合物（ａ’）の製造方法を、以下の式（ａ１）で表される化合物の製造方法を一例にとって説明する。
2012078800.tif 000025
（式（ａ１）中、Ｒ１、環Ｗ１及び環Ｗ２は前記と同義である。）
【００２４】
まず、溶媒中、式（ａ１−ａ）で表される化合物と、式（ａ１−ｂ）で表される化合物とを塩基の存在下で反応させることにより、式（ａ１−ｃ）で表される化合物を得る。この反応においては、溶媒としてはテトラヒドロフランなどが、塩基としてはピリジンなどが使用できる。
2012078800.tif 000026
（式中、Ｘ１及びＸ２は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を表す。環Ｗ２は前記と同義である。）
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、中でも塩素原子が好ましい。
式（ａ１−ａ）で表される化合物としては、例えば、２−メチル−２−アダマンタノール、２−エチル−２−アダマンタノールなどである。
式（ａ１−ｂ）で表される化合物としては、例えば、クロロアセチルクロリドなどである。
【００２５】
続いて、溶媒中、前記式（ａ１−ｃ）で表される化合物と、式（ａ１−ｄ）で表される化合物とを触媒の存在下で反応させることにより、式（ａ１）で表される化合物を得ることができる。この反応においては、溶媒としてはジメチルホルムアミドなどが、触媒としては炭酸カリウム及びヨウ化カリウムなどが使用できる。
2012078800.tif 000027
［式中、Ｒ１、環Ｗ１及び環Ｗ２は、前記と同義である。］
【００２６】
樹脂（Ａ）中の構造単位（ａ）の含有割合は、当該樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、１〜６０モル％の範囲が好ましく、５〜５５モル％の範囲がより好ましく、１０〜５０モル％の範囲がさらに好ましい。このような含有割合で構造単位（ａ）を有する樹脂（Ａ）は、当該樹脂（Ａ）の製造時に用いる全モノマーの総モル量に対して、構造単位（ａ）を誘導する化合物（ａ’）の使用モル量を調節すればよい。
【００２７】
本レジスト組成物において、樹脂（Ａ）は、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる特性を有するもの（以下、「樹脂（ＡＡ）」という場合がある）であることが好ましい。なお、ここでいう「酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶」となるとは、酸との接触前ではアルカリ水溶液に不溶又は難溶であるが、酸との接触後にはアルカリ水溶液に可溶となることを意味する。このような樹脂（ＡＡ）は、酸と接触すると構造単位（ａ）の一部が脱離して、アルカリ水溶液に可溶な樹脂となる。そのために、構造単位（ａ）は、後述するような酸不安定基を有する。酸不安定基は、保護基により保護されている親水性基を意味する。
前記親水性基としては、ヒドロキシ基又はカルボキシ基が挙げられ、カルボキシ基がより好ましい。
樹脂（ＡＡ）は、構造単位（ａ）に加え、酸不安定基を有する構造単位［構造単位（ａ１）］を有する。
【００２８】
なお、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となるという特性を有しない樹脂（以下、「樹脂（ＡＢ）」という場合がある）を、本レジスト組成物に用いても、優れたＤＯＦでレジストパターンを製造することができる。
【００２９】
本明細書に示す種々の化合物において、官能基（基）を示すことがあるが、ここで共通する基を定義しておく。このような定義において、「Ｃ」に付して記載した数値は、各々の基の炭素数を示すものである。
【００３０】
本明細書において、「炭化水素基」とは、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基をいう。該脂肪族炭化水素基はさらに鎖式及び脂環式（鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基）に分類される。特に限定しない限り、以下の「脂肪族炭化水素基」とは、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基及びこれらが組み合わさった脂肪族炭化水素基を含む。
【００３１】
鎖式炭化水素基のうち１価のものは、典型的にはアルキル基であり、当該アルキル基としては、メチル基（Ｃ１）、エチル基（Ｃ２）、プロピル基（Ｃ３）、ブチル基（Ｃ４）、ペンチル基（Ｃ５）、ヘキシル基（Ｃ６）、ヘプチル基（Ｃ７）、オクチル基（Ｃ８）、デシル基（Ｃ10）、ドデシル基（Ｃ12）、ヘキサデシル基（Ｃ14）、ペンタデシル基（Ｃ15）、ヘキシルデシル基（Ｃ16）、ヘプタデシル基（Ｃ17）及びオクタデシル基（Ｃ18）などが挙げられ、これらは直鎖でも分岐していてもよい。また、鎖式炭化水素基は特に限定しない限り、ここに例示したアルキル基の一部に炭素炭素不飽和結合を含んでいてもよい。２価の肪族炭化水素基のうち鎖式炭化水素基は典型的には、ここに示したアルキル基から水素原子を１個取り去ったアルカンジイル基が該当する。
【００３２】
脂環式炭化水素基のうち１価のものは、例えば、脂環式炭化水素から水素原子１個を取り去った基である。当該脂環式炭化水素基には、炭素炭素不飽和結合１個程度を含む不飽和のものでもよく、炭素炭素不飽和結合を含まない飽和のものでもよいが、本明細書でいう脂環式炭化水素基は飽和の脂環式炭化水素基であると好ましい。また、脂環式炭化水素基は単環式のものであっても、多環式のものであってもよい。ここでは、水素原子を取り去る前の脂環式炭化水素を例示することにより、脂環式炭化水素基を例示する。単環式の脂環式炭化水素は、シクロアルカンが好ましく、例えば、
式（ＫＡ−１）で表されるシクロプロパン（Ｃ３）、
式（ＫＡ−２）で表されるシクロブタン（Ｃ４）、
式（ＫＡ−３）で表されるシクロペンタン（Ｃ５）、
式（ＫＡ−４）で表されるシクロヘキサン（Ｃ６）、
式（ＫＡ−５）で表されるシクロヘプタン（Ｃ７）、
式（ＫＡ−６）で表されるシクロオクタン（Ｃ8）、及び、
式（ＫＡ−７）で表されるシクロドデカン（Ｃ12）
2012078800.tif 000028
などが挙げられる。
多環式の脂環式炭化水素は例えば、
式（ＫＡ−８）で示されるビシクロ〔２．２．１〕ヘプタン（以下「ノルボルナン」という場合がある。）（Ｃ７）、
式（ＫＡ−９）で示されるアダマンタン（Ｃ10）、
式（ＫＡ−１０）で示される脂環式炭化水素（Ｃ10）、
式（ＫＡ−１１）で示される脂環式炭化水素（Ｃ14）、
式（ＫＡ−１２）で示される脂環式炭化水素（Ｃ17）、
式（ＫＡ−１３）で示される脂環式炭化水素（Ｃ10）、
式（ＫＡ−１４）で示される脂環式炭化水素（Ｃ11）、
式（ＫＡ−１５）で示される脂環式炭化水素（Ｃ15）、
式（ＫＡ−１６）で示される脂環式炭化水素（Ｃ12）、
式（ＫＡ−１７）で示される脂環式炭化水素（Ｃ14）、
式（ＫＡ−１８）で示される脂環式炭化水素（Ｃ15）、
式（ＫＡ−１９）で示される脂環式炭化水素（Ｃ17）、
式（ＫＡ−２０）で示される脂環式炭化水素（Ｃ9）、
式（ＫＡ−２１）で示される脂環式炭化水素（Ｃ8）及び、
式（ＫＡ−２２）で示される脂環式炭化水素（Ｃ10）
2012078800.tif 000029
などが挙げられる。なお、ここに示した脂環式炭化水素を「式（ＫＡ−１）〜式（ＫＡ−２２）の脂環式炭化水素」という場合がある。
２価の脂環式炭化水素基とは、式（ＫＡ−１）〜式（ＫＡ−２２）の脂環式炭化水素から水素原子を２個取り去った基が挙げられる。
【００３３】
次に、芳香族炭化水素基について説明する。本明細書において、芳香族炭化水素基は１価の芳香族炭化水素基であり、典型的にはアリール基である。具体的にいえば、フェニル基（Ｃ６）、ナフチル基（Ｃ10）、アントリル基（Ｃ14）、ビフェニル基（Ｃ12）、フェナントリル基（Ｃ14）及びフルオレニル基（Ｃ13）などを挙げることができる。
【００３４】
脂肪族炭化水素基は置換基を有することがある。該置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシル基、アリール基、アラルキル基及びアリールオキシ基を挙げることができる。
【００３５】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基（Ｃ１）、エトキシ基（Ｃ２）、プロポキシ基（Ｃ３）、ブトキシ基（Ｃ４）、ペンチルオキシ基（Ｃ５）、ヘキシルオキシ基（Ｃ６）、ヘプチルオキシ基（Ｃ7）、オクチルオキシ基（Ｃ8）、デシルオキシ基（Ｃ10）及びドデシルオキシ基（Ｃ12）などが挙げられ、該アルコキシ基は直鎖でも分岐していてもよい。
アシル基としては、アセチル基（Ｃ２）、プロピオニル基（Ｃ３）、ブチリル基（Ｃ４）、バレイル基（Ｃ５）、ヘキシルカルボニル基（Ｃ６）、ヘプチルカルボニル基（Ｃ7）、オクチルカルボニル基（Ｃ8）、デシルカルボニル基（Ｃ10）及びドデシルカルボニル基（Ｃ12）などのアルキル基とカルボニル基とが結合したものに加え、ベンゾイル基（Ｃ7）などのようにアリール基とカルボニル基とが結合したものが挙げられる。該アシル基のうち、アルキル基とカルボニル基とが結合したものの該アルキル基は直鎖でも分岐していてもよい。
アリール基としては、上述の芳香族炭化水素基において、アリール基として例示したものと同じであり、アリールオキシ基としては、当該アリール基と酸素原子とが結合したもが挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基（Ｃ7）、フェネチル基（Ｃ8）、フェニルプロピル基（Ｃ9）、ナフチルメチル基（Ｃ11）及びナフチルエチル基（Ｃ12）などが挙げられる。
【００３６】
芳香族炭化水素基も置換基を有することがある。該置換基としては、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシル基、アルキル基及びアリールオキシ基が挙げられる。該アルキル基は、鎖式脂肪族炭化水素基として例示したものと同じであり、該アルキル基以外のものは、脂肪族炭化水素基の置換基として例示したものと同じものを含む。
【００３７】
＜構造単位（ａ１）＞
構造単位（ａ１）は酸不安定基を有する。
親水性基がカルボキシ基である場合の酸不安定基は、該カルボキシ基の水素原子が、有機残基に置き換わり、酸素原子と結合する該有機残基の原子が第三級炭素原子である基が挙げられる。このような酸不安定基のうち、好ましい酸不安定基は例えば、以下の式（１）で表されるもの（以下、場合により「酸不安定基（１）」という。）である。
2012078800.tif 000030
式（１）中、
Ｒa1、Ｒa2及びＲa3（以下、場合により「Ｒa1〜Ｒa3」のように表記する。）は、それぞれ独立に、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表すか、或いは、Ｒa1及びＲa2は互いに結合して、それらが結合する炭素原子とともに炭素数３〜２０の環を形成する。Ｒa1及びＲa2が互いに結合して形成される環又は該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、硫黄原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。＊は結合手を表す。
【００３８】
Ｒa1〜Ｒa3の脂肪族炭化水素基としては、アルキル基又は脂環式炭化水素基であると好ましい。このアルキル基の具体例は、すでに例示したアルキル基のうち、炭素数が１〜８のものが挙げられる。
Ｒa1〜Ｒa3の脂環式炭化水素基も、すでに例示したもののうち、炭素数が８以下の脂環式炭化水素基を挙げることができる。
【００３９】
Ｒa1及びＲa2が互いに結合して環を形成する場合の−Ｃ（Ｒa1）（Ｒa2）（Ｒa3）で表される基としては、下記に示す基が挙げられる。このような環の炭素数は、好ましくは３〜１２の範囲である。
2012078800.tif 000031
【００４０】
酸不安定基（１）の具体例は、１，１−ジアルキルアルコキシカルボニル基（式（１）中、Ｒa1〜Ｒa3が全てアルキル基である基、このアルキル基のうち、１つはｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル基であると好ましい。）、２−アルキルアダマンタン−２−イルオキシカルボニル基（式（１）中、Ｒa1及びＲa2が互いに結合し、これらが結合する炭素原子とともにアダマンチル環を形成し、Ｒa3がアルキル基である基）及び１−（アダマンタン−１−イル）−１−アルキルアルコキシカルボニル基（式（１）中、Ｒa1及びＲa2がアルキル基であり、Ｒa3がアダマンチル基である基）などが挙げられる。
【００４１】
一方、親水性基がヒドロキシ基である場合の酸不安定基としては、該ヒドロキシ基の水素原子が、有機残基に置き換わり、アセタール構造を含む基となったものが挙げられる。このような酸不安定基のうち、好ましい酸不安定基は例えば、以下の式（２）で表される基（以下、場合により「酸不安定基（２）」という場合がある。）である。
2012078800.tif 000032
式（２）中、Ｒb1及びＲb2は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を表し、Ｒb3は、炭素数１〜２０の炭化水素基を表すか、或いは、Ｒb2及びＲb3は互いに結合して、それらが各々結合する炭素原子及び酸素原子とともに炭素数３〜２０の環を形成する。Ｒb2及びＲb3は互いに結合して形成される環又は該炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、硫黄原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。＊は結合手を表す。
【００４２】
Ｒb1〜Ｒb3の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基のいずれでもよく、その具体例も炭素数の上限が２０以下である範囲において、すでに例示したものと同じものを含むが、酸不安定基（２）としては、Ｒb1及びＲb2のうち、少なくとも１つは水素原子であるものが好ましい。
【００４３】
酸不安定基（２）としては、以下の基が挙げられる。
2012078800.tif 000033
【００４４】
構造単位（ａ１）は、好ましくは、この酸不安定基と炭素−炭素二重結合とを有するモノマーから誘導された構造単位、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーから誘導された構造単位である。構造単位（ａ１）は、酸不安定基（１）及び酸不安定基（２）をともに有するものであってもよいが、酸不安定基（１）及び酸不安定基（２）のいずれかを有する構造単位（ａ１）が好ましく、酸不安定基（１）を有する構造単位（ａ１）がより好ましい。
【００４５】
酸不安定基（１）を有する構造単位（ａ１）の中でも、該酸不安定基（１）が、炭素数５〜２０の脂環式炭化水素構造を有する基が好ましい。立体的に嵩高い脂環式炭化水素構造を有する基を有する樹脂（ＡＡ）は、該樹脂（ＡＡ）を含む本レジスト組成物を用いてレジストパターンを製造したとき、より良好な解像度でレジストパターンを製造することができる。
【００４６】
脂環式炭化水素構造を有する基である酸不安定基（１）を有する構造単位（ａ１）の中でも、式（ａ１−１）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１−１）」という場合がある。）又は式（ａ１−２）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１−２）」という場合がある。）が好ましい。樹脂（Ａ）は、これらを単独で有していてもよく、２種以上を有していてもよい。
2012078800.tif 000034
［式（ａ１−１）中、
Ｌa1は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k1−ＣＯ−Ｏ−（ｋ１は１〜７の整数を表す。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa4は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa6は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｍ１は０〜１４の整数を表す。
式（ａ１−２）中、
Ｌa2は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k1−ＣＯ−Ｏ−（ｋ１は前記と同義である。）で表される基を表す。＊はカルボニル基との結合手である。
Ｒa5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa7は、炭素数１〜１０の脂肪族炭化水素基を表す。
ｎ１は０〜１０の整数を表し、ｎ１’は０〜３の整数を表す。］
【００４７】
Ｌa1及びＬa2は、酸素原子又は、ｋ１が１〜４の−Ｏ−（ＣＨ2）k1−ＣＯ−Ｏ−で表される基であると好ましく、酸素原子又は、−Ｏ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−であるとより好ましく、酸素原子であると特に好ましい。
Ｒa4及びＲa5は、好ましくはメチル基である。
Ｒa6及びＲa7の脂肪族炭化水素基のうち、好ましくは炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数３〜１０の脂環式炭化水素基である。Ｒa6及びＲa7の脂肪族炭化水素基はそれぞれ独立に、好ましくは炭素数８以下のアルキル基又は炭素数８以下の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは炭素数６以下のアルキル基又は炭素数６以下の脂環式炭化水素基である。
ｍ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は、好ましくは０〜２の整数、より好ましくは０又は１である。
【００４８】
ここで、構造単位（ａ−１）の具体例を挙げる。
2012078800.tif 000035
【００４９】
2012078800.tif 000036
【００５０】
2012078800.tif 000037
【００５１】
2012078800.tif 000038
【００５２】
2012078800.tif 000039
【００５３】
2012078800.tif 000040
ここに示す式（ａ１−１−１）〜式（ａ１−１−３８）で示される構造単位（ａ１−１）において、構造単位（ａ）の例示と同様に、部分構造Ｍを部分構造Ａに置き換えたものも構造単位（ａ１−１）の具体例として挙げることができる。
2012078800.tif 000041
【００５４】
以上の構造単位（ａ１−１）としては、式（ａ１−１−１）、式（ａ１−１−２）及び式（ａ１−１−３）の構造単位（ａ１−１）、並びにこれらの構造単位（ａ１−１）の部分構造Ｍが部分構造Ａに置き換えられたものが好ましく、式（ａ１−１−１）、式（ａ１−１−２）及び式（ａ１−１−３）の構造単位（ａ１−１）がより好ましく、式（ａ１−１−１）及び式（ａ１−１−２）の構造単位（ａ１−１）がさらに好ましい。なお、これら好ましい構造単位（ａ１−１）を有する樹脂（Ａ）は、該樹脂（Ａ）を製造する際に、２−メチルアダマンタン−２−イル（メタ）アクリレート、２−エチルアダマンタン−２−イル（メタ）アクリレート又は２−イソプロピルアダマンタン−２−イル（メタ）アクリレートを製造用原料（モノマー）として用いればよい。
【００５５】
構造単位（ａ１−２）において、ｎ２が０又は１である好適例は以下のとおりである。また、ここに示す式（ａ１−２−１）〜式（ａ１−２−４）で示される構造単位（ａ１−２）において、構造単位（ａ１−１）の例示と同様に、部分構造Ｍを部分構造Ａに置き換えたものも構造単位（ａ１−２）が挙げられる。
2012078800.tif 000042
以上の構造単位（ａ１−２）としては、式（ａ１−２−２）、式（ａ１−２−４）、式（ａ１−２−２）の部分構造Ｍが部分構造Ａに置き換えられたもの、及び、式（ａ１−２−４）の部分構造Ｍが部分構造Ａに置き換えられたものが好ましく、式（ａ１−２−２）の構造単位（ａ１−２）がより好ましい。構造単位（ａ１−２−２）を有する樹脂（Ａ）を製造するためには、１−エチルシクロヘキサン−１−イル（メタ）アクリレートをモノマーとして用いて、樹脂（ＡＡ）を製造すればよい。
【００５６】
樹脂（ＡＡ）が、構造単位（ａ１）［構造単位（ａ１−１）及び／又は構造単位（ａ１−２）］を有する場合、樹脂（ＡＡ）の全構造単位を１００モル％としたとき、これらの構造単位の合計含有割合は、１０〜９５モル％の範囲が好ましく、１５〜９０モル％の範囲がより好ましく、２０〜８５モル％の範囲がさらに好ましい。構造単位（ａ１−１）及び／又は構造単位（ａ１−２）の含有割合の合計を、このような範囲にするためには、樹脂（Ａ）を製造する際に、全モノマーに対する、これらの構造単位を誘導するモノマーの合計使用量を調整すればよい。
【００５７】
酸不安定基を有する他の構造単位（ａ１）として例えば、以下の式（ａ１−３）で表されるノルボルネン環を有するモノマー（以下、「モノマー（ａ１−３）」という場合がある。）から誘導されるものが挙げられる。
2012078800.tif 000043
式（ａ１−３）中、
Ｒa9は、水素原子、ヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基、カルボキシル基、シアノ基又は−ＣＯＯＲa13を表す。
Ｒa13は、炭素数１〜２０の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよく、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。Ｒa13は、好ましくは、炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数３〜２０の脂環式炭化水素基である。
Ｒa10、Ｒa11及びＲa12は、それぞれ独立に、炭素数１〜２０の脂肪族炭化水素基を表すか、或いは、Ｒa10及びＲa11が互いに結合して、これらが結合している炭素原子とともに、炭素数３〜２０の環を形成し、該脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基などで置換されていてもよく、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。
【００５８】
Ｒa9のヒドロキシ基を有するアルキル基としては例えば、ヒドロキシメチル基及び２−ヒドロキシエチル基などが挙げられる。
Ｒa10〜Ｒa12の脂肪族炭化水素基としては、鎖式炭化水素基（例えば、アルキル基）及び脂環式炭化水素基が挙げられ、炭素数２０以下の範囲において、すでに例示したものを含む。
Ｒa10及びＲa11が互いに結合して形成される環は脂肪族環が好ましく、シクロへキサン環及びアダマンタン環がより好ましい。
【００５９】
Ｒa9の−ＣＯＯＲa13としては例えば、メトキシカルボニル基（Ｃ２）及びエトキシカルボニル基（Ｃ３）など、すでに例示したアルコキシ基にカルボニル基がさらに結合した基が挙げられる。
【００６０】
モノマー（ａ１−３）としては例えば、５−ノルボルネン−２−カルボン酸−ｔｅｒｔ−ブチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−シクロヘキシル−１−メチルエチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチルシクロヘキシル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−メチル−２−アダマンチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−エチル−２−アダマンチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−メチルシクロヘキシル）−１−メチルエチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（４−ヒドロキシシクロヘキシル）−１−メチルエチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−メチル−１−（４−オキソシクロヘキシル）エチル及び５−ノルボルネン−２−カルボン酸１−（１−アダマンチル）−１−メチルエチルなどが挙げられる。
【００６１】
モノマー（ａ１−３）を用いて製造された樹脂（ＡＡ）にはモノマー（ａ１−３）に由来する、立体的に嵩高い構造単位が含まれることになる。そのため、この構造単位を有する樹脂（ＡＡ）を含む本レジスト組成物を用いてレジストパターンを製造すれば、より良好な解像度でレジストパターンを得ることができる。さらにモノマー（ａ１−３）を用いることにより、樹脂（ＡＡ）の主鎖に剛直なノルボルナン環を導入できるため、該樹脂（ＡＡ）を含む本レジスト組成物は、ドライエッチング耐性に優れたレジストパターンが得られ易いという傾向がある。
【００６２】
上述のように、良好な解像度でレジストパターンを製造できることや、ドライエッチング耐性に優れたレジストパターンが得られ易いという点では、樹脂（ＡＡ）の全構造単位（１００モル％）に対する、モノマー（ａ１−３）に由来する構造単位の含有割合は１０〜９５モル％の範囲が好ましく、１５〜９０モル％の範囲がより好ましく、２０〜８５モル％の範囲がさらに好ましい。
【００６３】
酸不安定基（２）を有するモノマーとしては、例えば、以下の式（ａ１−４）で表されるモノマー（以下、「モノマー（ａ１−４）」という場合がある。）が挙げられる。
2012078800.tif 000044
式（ａ１−４）中、
Ｒa32は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を表す。
ｌａは０〜４の整数を表す。ｌａが２以上である場合、複数のＲa33は同一であっても異なってもよい。
Ｒa34及びＲa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜１２の炭化水素基を表す。
Ｘa2は、単結合又は炭素数１〜１７の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成する水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基及び炭素数２〜４のアシルオキシ基で置換されていてもよい。Ｘa2の脂肪族炭化水素基としては、鎖式炭化水素基であると好ましく、アルキル基であるとより好ましい。該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基又は−Ｎ（Ｒｃ）−で示される基に置き換わっていてもよい。ここで、Ｒｃは、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｙa3としては、炭素数１〜１８の炭化水素基であり、好ましくは、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基であり、該炭化水素基は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基又は炭素数２〜４のアシルオキシ基を有していてもよい。
【００６４】
Ｒa32の「ハロゲン原子を有してもよいアルキル基」のうち、アルキル基としては、炭素数１〜６の範囲において、すでに例示したものを含み、ハロゲン原子を有するアルキル基としては、このアルキル基を構成する水素原子がハロゲン原子に置き換わったものである。具体的にハロゲン原子を有するアルキル基を挙げると、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ−ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ−ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などである。
Ｒa32及びＲa33のハロゲン原子、アルコキシ基及びアシル基の具体例はすでに例示したものを含む。
Ｒa34及びＲa35の炭化水素基は、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基のいずれであってもよい。その具体例は、各々の炭素数の範囲において、すでに例示したものを含む。これらのうち、該鎖式炭化水素基としては、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２−エチルヘキシル基が好ましく、該脂環式炭化水素基としては、シクロヘキシル基、アダマンチル基、２−アルキルアダマンタン−２−イル基、１−（アダマンタン−１−イル）アルカン−１−イル基及びイソボルニル基などが好ましい。該芳香族炭化水素基は、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ−メチルフェニル基、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、ｐ−アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６−ジエチルフェニル基及び２−メチル−６−エチルフェニルが好ましい。
【００６５】
Ｒa32及びＲa33がアルキル基である場合、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
Ｒa33のアルコキシ基としては、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基が特に好ましい。
【００６６】
上述したように、Ｘa2及びＹa3は、これらを構成する水素原子が、ハロゲン原子及びヒドロキシ基などの置換基に置き換わっていてもよいが、このように水素原子が置き換わっている場合、その置換基は好ましくはヒドロキシ基である。
基が特に好ましい。
【００６７】
モノマー（ａ１−４）としては、例えば、以下のものが挙げられる。なお、以下の例示において、ベンゼン環を構成する水素原子は、置換基（Ｒa33）に置換されていてもよい。
2012078800.tif 000045
【００６８】
2012078800.tif 000046
【００６９】
2012078800.tif 000047
【００７０】
2012078800.tif 000048
【００７１】
2012078800.tif 000049
【００７２】
2012078800.tif 000050
【００７３】
2012078800.tif 000051
【００７４】
2012078800.tif 000052
【００７５】
2012078800.tif 000053
【００７６】
樹脂（ＡＡ）が、モノマー（ａ１−４）に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（ＡＡ）の全構造単位（１００モル％）に対して、１０〜９５モル％の範囲が好ましく、１５〜９０モル％の範囲がより好ましく、２０〜８５モル％の範囲がさらに好ましい。
【００７７】
酸不安定基（２）を有するモノマーとして、例えば、式（ａ１−５）で表されるモノマー（以下、「モノマー（ａ１−５）」という場合がある。）も用いることができる。
2012078800.tif 000054
［式（ａ１−５）中、
Ｒ３１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｌ３、Ｌ４及びＬ５は、それぞれ独立に、単結合又は２価の炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基を構成する水素原子はハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基又は炭素数２〜４のアシルオキシ基で置換されていてもよく、該飽和炭化水素基を構成する−ＣＨ２−は−ＣＯ−、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＳＯ２−で置き換わってもよい。
Ｚ１は、単結合又は２価の炭素数１〜１７の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基又は炭素数２〜４のアシルオキシ基で置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ２−は−ＣＯ−、−Ｏ−、−Ｓ−又は−ＳＯ２−で置き換わっていてもよい。
Ｓ１及びＳ１’は、それぞれ独立に、０〜３の整数を表す。］
【００７８】
式（ａ１−５）中、
Ｒ31は、水素原子及びメチル基が好ましい。
Ｌ１は、酸素原子が好ましい。
Ｌ２及びＬ３は、それぞれ独立に酸素原子又は硫黄原子である。Ｌ２及びＬ３は、一方が酸素原子、他方が硫黄原子であると好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０〜２の整数が好ましい。
Ｚ１は、単結合又は炭素数１〜６のアルキレン基であり、該アルキレン基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。Ｚ１としては、単結合又は−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−で表される基が好ましい。
【００７９】
モノマー（ａ１−５）の具体例は、以下のとおりである。これらのモノマーは、Ｒ31がメチル基であるが、Ｒ31が水素原子のものも、モノマー（ａ１−５）の具体例である。
2012078800.tif 000055
【００８０】
2012078800.tif 000056
【００８１】
樹脂（ＡＡ）が、モノマー（ａ１−５）に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（ＡＡ）の全構造単位（１００モル％）に対して、１０〜９５モル％の範囲が好ましく、１５〜９０モル％の範囲がより好ましく、２０〜８５モル％の範囲がさらに好ましい。
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１）においてアダマンタン環を有する構造単位、特に構造単位（ａ１−１）を含む場合、構造単位（ａ１）の総量（１００モル％）に対して、構造単位（ａ１−１）の割合を１５モル％以上とすることが好ましい。このようにすると、樹脂（Ａ）を含む本レジスト組成物から得られるレジストパターンのドライエッチング耐性がより良好になる傾向がある。
【００８２】
＜酸安定構造単位＞
樹脂（ＡＡ）は、構造単位（ａ）及び構造単位（ａ１）に加えて、酸不安定基を有さない構造単位（以下、場合により「酸安定構造単位」という場合がある。）を有していることが好ましい。
樹脂（ＡＢ）は、構造単位（ａ）及び／又は酸安定構造単位を有し、酸不安定基を有さない樹脂が好ましい。
【００８３】
樹脂（ＡＡ）が酸安定構造単位を有する場合、構造単位（ａ１）の含有割合を基準にして、酸安定構造単位の含有割合を定めるとよい。構造単位（ａ１）の含有割合と酸安定性構造単位の含有割合との比は、〔構造単位（ａ１）〕／〔酸安定構造単位〕で表して、好ましくは１０〜８０モル％／９０〜２０モル％であり、より好ましくは２０〜６０モル％／８０〜４０モル％である。
【００８４】
酸安定構造単位としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有する構造単位が好ましい。ヒドロキシ基を有する酸安定構造単位（以下、「酸安定構造単位（ａ２）」という場合がある。）及び／又はラクトン環を含有する酸安定構造単位（以下、「酸安定構造単位（ａ３）」という場合がある。）を有する樹脂（Ａ）は、当該樹脂（Ａ）を含む本レジスト組成物を基板に塗布したとき、基板上に形成される塗布膜、又は塗布膜から得られる組成物層が基板との間に優れた密着性を発現し易くなり、この本レジスト組成物は良好な解像度で、レジストパターンを製造することができる。
【００８５】
＜酸安定構造単位（ａ２）＞
酸安定構造単位（ａ２）を樹脂（Ａ）に導入する場合、当該樹脂（Ａ）を含む本レジスト組成物からレジストパターンを製造する際の露光源の種類によって、各々、好適な酸安定構造単位（ａ２）を選択することができる。
例えば、本レジスト組成物を、ＫｒＦエキシマレーザ露光（波長：２４８ｎｍ）、電子線あるいはＥＵＶ光などの高エネルギー線露光に用いる場合には、酸安定構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する酸安定構造単位（ａ２−０）を樹脂（Ａ）に導入することが好ましい。
短波長のＡｒＦエキシマレーザ露光（波長：１９３ｎｍ）を用いる場合は、酸安定構造単位（ａ２）として、後述の式（ａ２−１）で表される酸安定構造単位を樹脂（Ａ）に導入することが好ましい。
このように、樹脂（Ａ）が有する酸安定構造単位（ａ２）は各々、レジストパターンを製造する際の露光源によって好ましいものを選ぶことができるが、樹脂（Ａ）が有する酸安定構造単位（ａ２）は、露光源の種類に応じて好適な酸安定構造単位（ａ２）１種のみを有していてもよく、露光源の種類に応じて好適な酸安定構造単位（ａ２）２種以上を有していてもよく、或いは、露光源の種類に応じて好適な酸安定構造単位（ａ２）と、それ以外の酸安定構造単位（ａ２）とを組み合わせて有していてもよい。
【００８６】
＜酸安定構造単位（ａ２−１）＞
酸安定構造単位（ａ２−１）としては、以下の式（ａ２−１）で表されるモノマーが挙げられる。
2012078800.tif 000057
式（ａ２−１）中、
Ｌa3は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k2−ＣＯ−Ｏ−（ｋ２は１〜７の整数を表す。）を表し、＊はカルボニル基（−ＣＯ−）との結合手を表す。
Ｒa14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa15及びＲa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０〜１０の整数を表す。
【００８７】
式（ａ２−１）では、Ｌa3は、好ましくは、酸素原子又は、ｋ２が１〜４の整数である−Ｏ−（ＣＨ2）k2−ＣＯ−Ｏ−で表される基であり、より好ましくは、酸素原子又は、−Ｏ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−であり、より好ましくは酸素原子である。
Ｒa14は、好ましくはメチル基である。
Ｒa15は、好ましくは水素原子である。
Ｒa16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０又は１である。
【００８８】
酸安定構造単位（ａ２−１）としては、例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000058
【００８９】
2012078800.tif 000059
【００９０】
2012078800.tif 000060
ここに示す式（ａ２−１−１）〜式（ａ２−１−１７）で示される構造単位（ａ２−１）において、構造単位（ａ１−１）の例示と同様に、部分構造Ｍを部分構造Ａに置き換えたものも構造単位（ａ２−１）の具体例として挙げることができる。
【００９１】
例示した酸安定構造単位（ａ２−１）の中でも、式（ａ２−１−１）、式（ａ２−１−２）、式（ａ２−１−１３）及び式（ａ２−１−１５）で表される構造単位、並びにこれらの構造単位の部分構造Ｍが部分構造Ａに置き換わった構造単位が好ましく、式（ａ２−１−１）、式（ａ２−１−２）、式（ａ２−１−１３）及び式（ａ２−１−１５）で表される構造単位がさらに好ましい。これらの構造単位（ａ２−１）を有する樹脂（Ａ）は、３−ヒドロキシアダマンタン−１−イル（メタ）アクリレート、３，５−ジヒドロキシアダマンタン−１−イル（メタ）アクリレート又は（メタ）アクリル酸１−（３，５−ジヒドロキシアダマンタン−１−イルオキシカルボニル）メチルを、該樹脂（Ａ）のモノマーとして用いることで製造できる。
【００９２】
樹脂（Ａ）が、酸安定構造単位（ａ２−１）を有する場合、その含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、３〜４０モル％の範囲が好ましく、５〜３５モル％の範囲がより好ましく、５〜３０モル％の範囲がさらに好ましく、５〜１５モル％が特に好ましい。
【００９３】
＜酸安定構造単位（ａ２−０）＞
酸安定構造単位（ａ２）としては、以下の式（ａ２−０）で表される（以下、「酸安定構造単位（ａ２−０）」という場合がある）。
2012078800.tif 000061
式（ａ２−０）中、
Ｒa30は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｒa31は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数２〜４のアシル基、炭素数２〜４のアシルオキシ基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を表す。
ｍａは０〜４の整数を表す。ｍａが２以上の整数である場合、複数のＲa31は互いに同一であっても異なってもよい。
【００９４】
Ｒa30のハロゲン原子及びハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基の具体例は、式（ａ１−４）のＲa32で例示したものと同じである。これらのうち、Ｒa30は、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
Ｒa31のアルキル基としては、炭素数１〜４のアルキル基が好ましく、炭素数１又は２のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
Ｒa31のアルコキシ基としては、式（ａ１−４）のＲa33で例示したものと同じものを挙げることができる。これらのうち、Ｒa31は、炭素数１〜４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基が特に好ましい。
ｍａは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０が特に好ましい。
【００９５】
酸安定構造単位（ａ２−０）としては、以下の式（ａ２−０）で表されるモノマーが挙げられる。
2012078800.tif 000062
ここに例示する具体例において、ベンゼン環に結合しているメチル基やエチル基を、Ｒa31として例示したその他の置換基に置き換えたものも、酸安定モノマー（ａ２−０）の具体例である。
【００９６】
このような酸安定モノマー（ａ２−０）を用いて樹脂（Ａ）を製造する場合は、該酸安定モノマー（ａ２−０）にあるフェノール性ヒドロキシ基が適当な保護基で保護されているモノマー（保護フェノール性ヒドロキシ基を有するモノマー）を用いることもできる。例えば、酸又は塩基で脱離する保護基で保護されたフェノール性ヒドロキシ基は、酸又は塩基との接触により脱保護されるため、これを用いて重合した重合体から容易に酸安定構造単位（ａ２−０）の前駆構造単位を有する樹脂を製造することができる。ただし、樹脂（Ａ）は上述のとおり、構造単位（ａ）等、酸不安定基を有する構造単位を有するので、フェノール性ヒドロキシ基が適当な保護基で保護されてなるモノマーに由来する構造単位を脱保護する際には、この酸不安定基を著しく損なわないよう、塩基との接触により脱保護することが好ましい。塩基との接触により脱保護する保護基としては例えば、アセチル基等が好ましい。塩基としては、例えば、４−ジメチルアミノピリジン、トリエチルアミン等が挙げられる。
【００９７】
上述の酸安定モノマー（ａ２−０）の例示の中では、４−ヒドロキシスチレン又は４−ヒドロキシ−α−メチルスチレンが特に好ましい。もちろん、４−ヒドロキシスチレン又は４−ヒドロキシ−α−メチルスチレンを用いて、樹脂（Ａ）を製造する際には、これらにあるフェノール性ヒドロキシ基が適当な保護基で保護したものを用いることもできる。
【００９８】
樹脂（Ａ）が、酸安定構造単位（ａ２−０）を有する場合、その含有量は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜９５モル％の範囲から選ばれ、１０〜８０モル％の範囲がより好ましく、１５〜８０モル％の範囲がさらに好ましい。
【００９９】
＜酸安定構造単位（ａ３）＞
酸安定構造単位（ａ３）が有するラクトン環は例えば、β−プロピオラクトン環、γ−ブチロラクトン環及びδ−バレロラクトン環のような単環式でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。これらラクトン環の中で、γ−ブチロラクトン環及びγ−ブチロラクトン環と他の環との縮合環が好ましい。
【０１００】
酸安定構造単位（ａ３）は好ましくは、以下の式（ａ３−１）、式（ａ３−２）又は式（ａ３−３）で表されるものである。樹脂（Ａ）は、これらのうち１種のみを有していてもよく、２種以上を有していてもよい。なお、以下の説明においては、式（ａ３−１）で示されるものを「酸安定構造単位（ａ３−１）」といい、式（ａ３−２）で示されるものを「酸安定構造単位（ａ３−２）」といい、式（ａ３−３）で示されるものを「酸安定構造単位（ａ３−３）」という場合がある。
【０１０１】
2012078800.tif 000063
［式（ａ３−１）中、
Ｌa4は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。）を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒa18は、水素原子又はメチル基を表す。
ｐ１は０〜５の整数を表す。
Ｒa21は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表し、ｐ１が２以上の場合、複数のＲa21は互いに同一であっても異なってもよい。
式（ａ３−２）中、
Ｌa5は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。）を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
ｑ１は、０〜３の整数を表す。
Ｒa22は、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表し、ｑ１が２以上の場合、複数のＲa22は、互いに同一であっても異なってもよい。
式（ａ３−３）中、
Ｌa6は、酸素原子又は＊−Ｏ−（ＣＨ2）k3−ＣＯ−Ｏ−（ｋ３は１〜７の整数を表す。）を表す。＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒa20は、水素原子又はメチル基を表す。
ｒ１は、０〜３の整数を表す。
Ｒa23は、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基を表し、ｒ１が２以上の場合、複数のＲa23は、互いに同一であっても異なってもよい。］
【０１０２】
式（ａ３−１）〜式（ａ３−３）において、Ｌa4〜Ｌa6は、それぞれ独立に、酸素原子又は、ｋ３が１〜４の整数である＊−Ｏ−（ＣＨ2）k3−ＣＯ−Ｏ−で表される基が好ましく、酸素原子又は、＊−Ｏ−ＣＨ2−ＣＯ−Ｏ−がより好ましく、さらに好ましくは酸素原子である。
Ｒa18〜Ｒa21は、好ましくはメチル基である。
Ｒa22及びＲa23は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０〜２の整数であり、より好ましくは０又は１である。
【０１０３】
酸安定構造単位（ａ３−１）としては、例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000064
【０１０４】
2012078800.tif 000065
【０１０５】
γ−ブチロラクトン環とノルボルナン環との縮合環を有する酸安定構造単位（ａ３−２）としては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000066
【０１０６】
2012078800.tif 000067
【０１０７】
γ−ブチロラクトン環とシクロヘキサン環との縮合環を有する酸安定構造単位（ａ３−３）は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000068
ここに示す式（ａ３−１−１）〜式（ａ３−１−１１）で示される構造単位（ａ３−１）、式（ａ３−２−１）〜式（ａ３−２−１１）で示される構造単位（ａ３−２）及び式（ａ３−３−１）〜式（ａ３−３−６）で示される構造単位（ａ３−３）において、構造単位（ａ）の例示と同様に、部分構造Ｍを部分構造Ａに置き換えたものも、各々構造単位（ａ３−１）、構造単位（ａ３−２）及び構造単位（ａ３−３）として挙げることができる。また、この例示において、ラクトン環が有する置換基（Ｒa21〜Ｒa23）としてメチル基を有するものも例示したが、このメチル基を上述のような基に置き換えたものも、これらの酸安定構造単位（ａ３）の具体例である。
【０１０８】
ラクトン環を有する酸安定構造単位（ａ３）の中でも、α−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、β−（メタ）アクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン、α−（メタ）アクリロイロキシ−β，β−ジメチル−γ−ブチロラクトン、α−（メタ）アクリロイロキシ−α−メチル−γ−ブチロラクトン、β−（メタ）アクリロイロキシ−α−メチル−γ−ブチロラクトン、（メタ）アクリル酸（５−オキソ−４−オキサトリシクロ［４．２．１．０3,7］ノナン−２−イル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロ−２−オキソ−３−フリル及び（メタ）アクリル酸２−（５−オキソ−４−オキサトリシクロ［４．２．１．０3,7］ノナン−２−イルオキシ）−２−オキソエチルから誘導される酸安定構造単位（ａ３）が好ましい。
【０１０９】
樹脂（Ａ）が、酸安定構造単位（ａ３−１）、酸安定構造単位（ａ３−２）及び酸安定構造単位（ａ３−３）からなる群より選ばれる酸安定構造単位（ａ３）を有する場合、その合計含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜６０モル％の範囲が好ましく、５〜５０モル％の範囲がより好ましく、１０〜４０モル％の範囲がさらに好ましく、１５〜４０モル％の範囲が特に好ましい。
また、モノマー（ａ３−１）に由来する構造単位、モノマー（ａ３−２）に由来する構造単位及びモノマー（ａ３−３）に由来する構造単位それぞれの含有量は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜６０モル％が好ましく、１０〜５５モル％がより好ましく、２０〜５０モル％がさらに好ましい。
【０１１０】
＜酸安定モノマー（ａ４）＞
さらに、酸安定モノマー（ａ２）及び酸安定モノマー（ａ３）以外の酸安定モノマー（以下、「酸安定モノマー（ａ４）」という場合がある。）としては、以下の式（ａ４−１）で表される無水マレイン酸、下記式（ａ４−２）で表される無水イタコン酸、及び、下記式（ａ４−３）で表されるノルボルネン環を有する酸安定モノマー（以下、「酸安定モノマー（ａ４−３）」という場合がある。）などを挙げることができる。
2012078800.tif 000069
［式（ａ４−３）中、
Ｒa25及びＲa26は、それぞれ独立に、水素原子、ヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１〜３のアルキル基、シアノ基、カルボキシ基又は−ＣＯＯＲa27を表すか、或いはＲa25及びＲa26は互いに結合して−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−を形成する。
Ｒa27は、炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよい。但し−ＣＯＯＲa27が酸不安定基となるものは除く（例えばＲa27は、第三級炭素原子が−Ｏ−と結合するものを含まない）。］
【０１１１】
式（ａ４−３）のＲa25及びＲa26において、ヒドロキシ基を有していてもよいアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ヒドロキシメチル基及び２−ヒドロキシエチル基などが好ましい。
Ｒa27の脂肪族炭化水素基は、好ましくは炭素数１〜８のアルキル基及び炭素数４〜１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基であり、メチル基、エチル基、プロピル基、２−オキソ−オキソラン−３−イル基及び２−オキソ−オキソラン−４−イル基などがさらに好ましい。
【０１１２】
酸安定モノマー（ａ４−３）としては、例えば、２−ノルボルネン、２−ヒドロキシ−５−ノルボルネン、５−ノルボルネン−２−カルボン酸、５−ノルボルネン−２−カルボン酸メチル、５−ノルボルネン−２−カルボン酸２−ヒドロキシ−１−エチル、５−ノルボルネン−２−メタノール及び５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物などが挙げられる。
【０１１３】
樹脂（Ａ）が、式（ａ４−１）で表される無水マレイン酸に由来する構造単位、式（ａ４−２）で表される無水イタコン酸に由来する構造単位及びモノマー（ａ４−３）に由来する構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種の構造単位〔酸安定モノマー（ａ４）に由来する構造単位〕を有する場合、その合計含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、２〜４０モル％の範囲から選ばれ、３〜３０モル％の範囲が好ましく、５〜２０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１１４】
更に、酸安定モノマー（ａ４）としては、例えば、式（ａ４−４）で表されるスルトン環を有する酸安定モノマー（以下、「酸安定モノマー（ａ４−４）」という場合がある。）などが挙げられる。
2012078800.tif 000070
［式（ａ４−４）中、
Ｌa7は、酸素原子又は＊−Ｔ−（ＣＨ2）k2−ＣＯ−Ｏ−を（ｋ２は１〜７の整数を表す。Ｔは酸素原子又はＮＨである。）表し、＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒa28は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｗ16は、置換基を有していてもよいスルトン環基を表す。］
【０１１５】
スルトン環基に含まれるスルトン環としては、脂環式炭化水素を構成するメチレン基のうち、隣り合うメチレン基２つが、一方が酸素原子、他方がスルホニル基に置き換わったものであり、下記に示すものなどが挙げられる。スルトン環基の代表例は、下記スルトン環にある水素原子の１つが、結合手に置き換わったものであり、式（ａ４−４）においてはＬa7との結合手が該当する。
2012078800.tif 000071
置換基を有していてもよいスルトン環基とは、上述の結合手に置き換わった水素原子以外の水素原子がさらに置換基（水素原子以外の１価の基）で置き換わったものであり、該置換基は、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のフッ化アルキル基、炭素数１〜６のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基、炭素数１〜７のアルコキシカルボニル基、炭素数１〜７のアシル基及び炭素数１〜８のアシルオキシ基からなる群より選ばれる。
【０１１６】
酸安定モノマー（ａ４−４）としては、例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000072
【０１１７】
2012078800.tif 000073
【０１１８】
2012078800.tif 000074
【０１１９】
2012078800.tif 000075
【０１２０】
2012078800.tif 000076
【０１２１】
2012078800.tif 000077
【０１２２】
2012078800.tif 000078
【０１２３】
2012078800.tif 000079
【０１２４】
2012078800.tif 000080
【０１２５】
2012078800.tif 000081
【０１２６】
2012078800.tif 000082
【０１２７】
2012078800.tif 000083
ここに示した酸安定モノマー（ａ４−４）において、部分構造Ｍ’を部分構造Ａ’に置き換えたものも、酸安定モノマー（ａ４−４）として挙げることができる。
2012078800.tif 000084
【０１２８】
樹脂（Ａ）が、酸安定モノマー（ａ４−４）に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、２〜４０モル％の範囲から選ばれ、３〜３５モル％の範囲が好ましく、５〜３０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１２９】
また、酸安定モノマー（ａ４）としては、例えば、以下に示すようなフッ素原子を有する酸安定モノマー〔以下、「酸安定モノマー（ａ４−５）」という場合がある。〕も使用できる。
2012078800.tif 000085
【０１３０】
このような酸安定モノマー（ａ４−５）の中でも、単環式又は多環式の脂環を有する（メタ）アクリル酸５−（３，３，３−トリフルオロ−２−ヒドロキシ−２−［トリフルオロメチル］プロピル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−イル、（メタ）アクリル酸６−（３，３，３−トリフルオロ−２−ヒドロキシ−２−［トリフルオロメチル］プロピル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−イル、（メタ）アクリル酸４，４−ビス（トリフルオロメチル）−３−オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］ノニルが好ましい。
【０１３１】
樹脂（Ａ）が、酸安定モノマー（ａ４−５）に由来する構造単位を有する場合、その合計含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、１〜２０モル％の範囲から選ばれ、２〜１５モル％の範囲が好ましく、３〜１０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１３２】
＜式（３）で表される基を有するその他の酸安定モノマー（以下、「酸安定モノマー（ａ４−６）」という場合がある。）＞
酸安定モノマー（ａ４−６）は以下の式（３）で表される基を有するモノマーである。
2012078800.tif 000086
［式（３）中、Ｒ10は、炭素数１〜６のフッ化アルキル基を表す。＊は結合手を表す。］
【０１３３】
Ｒ１０のフッ化アルキル基としては、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、１，１−ジフルオロエチル基、２，２−ジフルオロエチル基、２，２，２−トリフルオロエチル基、ペルフルオロエチル基、１，１，２，２−テトラフルオロプロピル基、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロプロピル基、ペルフルオロエチルメチル基、１−（トリフルオロメチル）−１，２，２，２−テトラフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、１，１，２，２−テトラフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブチル基、ペルフルオロブチル基、１，１−ビス（トリフルオロ）メチル−２，２，２−トリフルオロエチル基、２−（ペルフルオロプロピル）エチル基、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロペンチル基、ペルフルオロペンチル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペンチル基、１，１−ビス（トリフルオロメチル）−２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロピル基、ペルフルオロペンチル基、２−（ペルフルオロブチル）エチル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロヘキシル基、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−ドデカフルオロヘキシル基、ペルフルオロペンチルメチル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
【０１３４】
Ｒ１０のフッ化アルキル基は、その炭素数が１〜４であると好ましく、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基及びペルフルオロプロピル基がより好ましく、トリフルオロメチル基が特に好ましい。
【０１３５】
式（３）で表される基を有する酸安定モノマー（ａ４−６）としては、例えば、以下で表されるものが挙げられる。
2012078800.tif 000087
ここに示した酸安定モノマー（ａ４−６）の具体例において、酸安定モノマー（ａ４−４）の例示と同様に、部分構造Ｍ’を部分構造Ａ’に置き換えたものも、酸安定モノマー（ａ４−６）として含む。
【０１３６】
また、酸安定モノマー（ａ４−６）としては、以下のものも挙げることができる。
2012078800.tif 000088
【０１３７】
樹脂（Ａ）が、酸安定モノマー（ａ４−６）に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜９０モル％の範囲から選ばれ、１０〜８０モル％の範囲が好ましく、２０〜７０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１３８】
＜式（４）で表される基を有する酸安定モノマー（以下、「酸安定モノマー（ａ４−７）」という場合がある。）＞
酸安定モノマー（ａ４）としては、以下の式（４）で表される基を有するものも挙げられる。
2012078800.tif 000089
［式（４）中、
Ｒ11は置換基を有してもよい炭素数６〜１２の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ12は、置換基を有してもよい炭素数１〜１２の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、ヘテロ原子を含んでいてもよい。
Ａ３は、単結合、−（ＣＨ２）ｍ10−ＳＯ２−Ｏ−＊又は−（ＣＨ２）ｍ10−ＣＯ−Ｏ−＊を表し、ここに示す該〔−（ＣＨ２）ｍ10−〕を構成するメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又はスルホニル基に置き換わっていてもよく、該〔−（ＣＨ２）ｍ10−〕に含まれる水素原子は、フッ素原子に置き換わっていてもよい。
ｍ１０は、１〜１２の整数を表す。］
【０１３９】
Ｒ11における炭素数６〜１２の芳香族炭化水素基は、炭素数の上限が異なる以外は、すでに例示したものと同じものを含む。これら芳香族炭化水素基が置換基を有する場合、その置換基は、炭素数１〜４のアルキル基、ハロゲン原子、フェニル基、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシ基、フェニルオキシ基及びｔｅｒｔ−ブチルフェニル基などである。
【０１４０】
Ｒ11としては、以下の基が挙げられる。なお、＊は炭素原子との結合手である。
2012078800.tif 000090
【０１４１】
Ｒ12における炭素数１〜１２の炭化水素基は、鎖式脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基のいずれでもよい。
脂肪族炭化水素基としては、典型的にはアルキル基であり、その具体例は式（ａ１−４）のＲa34及びＲa35として例示したものと同じである。脂環式炭化水素基としては、炭素数の上限が異なる以外は、すでに例示したものと同じものを含む。
なお、Ｒ１２が脂肪族炭化水素基又は脂環式炭化水素基である場合、これら脂肪族炭化水素基又は脂環式炭化水素基はヘテロ原子を含んでいてもよい。ヘテロ原子としては、ハロゲン原子、硫黄原子、酸素原子及び窒素原子などである〔連結基として、スルホニル基、カルボニル基を含む形態でもよい〕。
このようなヘテロ原子を含むＲ１２としては、以下の基が挙げられる。
2012078800.tif 000091
【０１４２】
Ｒ12が芳香族炭化水素基である場合、その具体例は、Ｒ11の場合と同じである。
【０１４３】
Ａ３としては、下記に示す基が挙げられる。式（Ａ３−１）で表される基は単結合を表す。
2012078800.tif 000092
【０１４４】
式（４）で表される基を含む酸安定モノマー（ａ４−７）としては、例えば、式（ａ４−７）で表されるモノマーが挙げられる。
2012078800.tif 000093
［式（ａ４−７）中、
Ｒ１３は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ１１、Ｒ１２及びＡ３は、前記と同義である。］
【０１４５】
酸安定モノマー（ａ４−７）としては、例えば、以下の化合物が挙げられる。
2012078800.tif 000094
ここに示した酸安定モノマー（ａ４−７）の具体例において、酸安定モノマー（ａ４−４）の例示と同様に、部分構造Ｍ’を部分構造Ａ’に置き換えたものも、酸安定モノマー（ａ４−７）の具体例として含む。
【０１４６】
樹脂（Ａ）が、酸安定モノマー（ａ４−７）に由来する構造単位に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜９０モル％が好ましく、１０〜８０モル％の範囲がより好ましく、２０〜７０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１４７】
＜酸安定モノマー（ａ４−８）＞
酸安定モノマー（ａ４）としては、以下の式（ａ４−８）で表されるモノマーも挙げることができる。
2012078800.tif 000095
［式（ａ４−８）中、
環Ｗ３は、炭素数３〜３６の脂肪族環を表す。
Ａ４は、単結合又は炭素数１〜１７の脂肪族炭化水素基を表す。該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基に置き換わっていてもよいが、Ａ４のうち、酸素原子に結合している原子は炭素原子である。
Ｒ14は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のハロゲン化アルキル基を表す。
Ｒ15及びＲ16は、それぞれ独立に、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のハロゲン化アルキル基を表す。
【０１４８】
環Ｗ３は、単環式又は多環式の炭素数３〜３６の脂肪族環であり、その炭素数は５〜１８の範囲が好ましく、６〜１２の範囲がより好ましい。より具体的には、すでに脂環式炭化水素基の説明において、式（ＫＡ−１）〜式（ＫＡ−２２）で示した脂環式炭化水素の形式で示した脂肪族環を挙げることができる。すなわち、式（ａ４−８）において
2012078800.tif 000096
で示される部分構造は、前記脂環式炭化水素を構成する１個の水素原子がＡ４との結合手に、脂環式炭化水素の環を構成する原子である炭素原子の１つに結合している２つの水素原子が、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ15及び−Ｏ−ＣＯ−Ｒ16との結合手に置き換わったものを挙げることができる。
環Ｗ３の脂肪族環は、シクロヘキサン環、アダマンタン環、ノルボルナン環及びノルボルネン環が特に好ましい。
【０１４９】
Ａ４の脂肪族炭化水素基は、炭素数が１７以下の範囲において、すでに例示したアルキレン基及び２価の脂環式炭化水素基を挙げることができ、炭素数が１７以下の範囲であれば、アルキレン基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた脂肪族炭化水素基であってもよい。また、Ａ４の脂肪族炭化水素基は置換基を有していてもよい。
ここで、アルキレン基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた脂肪族炭化水素基の代表例を示しておく。かかる脂肪族炭化水素基としては、以下の式（Ｘｘ−Ａ）、式（Ｘｘ−Ｂ）及び式（Ｘｘ−Ｃ）で表される基などが挙げられる。
2012078800.tif 000097
式中、
ＸＸ１及びＸＸ２は、それぞれ独立に、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１〜６のアルキレン基を表し、ＸＸ１及びＸＸ２がともに単結合であることはなく、式（Ｘｘ−Ａ）、式（Ｘｘ−Ｂ）及び式（Ｘｘ−Ｃ）で表される基の総炭素数は１７以下である。
【０１５０】
Ａ４の脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基が酸素原子又はカルボニル基に置き換わった基としては、例えば、式（ａ）の基（１０）で例示したものを含む。
Ａ４は、単結合又は＊−（ＣＨ２）ｓ１−ＣＯ−Ｏ−（＊は−Ｏ−との結合手を表し、ｓ１は１〜６の整数を表す。）で表される基が好ましく、単結合又は＊−ＣＨ２−ＣＯ−Ｏ−（＊は−Ｏ−との結合手を表す。）で表される基がより好ましい。
【０１５１】
Ｒ14は、水素原子又はメチル基が好ましい。
Ｒ14、Ｒ15及びＲ16のアルキル基としては、炭素数が１〜６の範囲において、その具体例は、すでに例示したものを含む。ここでいうアルキル基に含まれる水素原子の一部又は全部がハロゲン原子に置き換わったものが、ハロゲン化アルキル基に該当する。かかるハロゲン原子としては、フッ素原子が特に好ましい。Ｒ15及びＲ16のハロゲン化アルキル基のうち、好ましいものとしては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基及びペルフルオロブチル基などが挙げられ、中でも、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基及びペルフルオロプロピル基が挙げられる。
【０１５２】
酸安定モノマー（ａ４−８）としては、以下に示すモノマー等が挙げられる。なお、Ｒ14〜Ｒ16及びＡ４は、前記と同義である。
2012078800.tif 000098
これらの中でも、
2012078800.tif 000099
で示される酸安定モノマー（ａ４−８）がより好ましい。
【０１５３】
酸安定モノマー（ａ４−８）として、以下で表されるモノマーが挙げられる。
2012078800.tif 000100
ここに示した酸安定モノマー（ａ４−８）において、酸安定モノマー（ａ４−４）の例示と同様に、部分構造Ｍ’を部分構造Ａ’に置き換えたものも、酸安定モノマー（ａ４−８）の具体例として含む。
【０１５４】
好ましい酸安定モノマー（ａ４−８）は例えば、次のようにして製造できる。すなわち、酸安定モノマー（ａ４−８）は、式（ａ４−８−ａ）で表される化合物と、式（ａ４−８−ｂ）で表される化合物とを反応させることにより製造する。式（ａ４−８−ａ）で表される化合物の代表例は例えば、特開２００２−２２６４３６号公報に記載されている１−メタクリロイルオキシ−４−オキソアダマンタンなどが挙げられる。また、式（ａ４−８−ｂ）で表される化合物としては、例えばペンタフルオロプロピオン酸無水物、ヘプタフルオロ酪酸無水物及びトリフルオロ酢酸無水物などが挙げられる。この反応は、用いる式（ａ４−８−ｂ）で表される化合物の沸点温度付近で加温することにより、実施することが好ましい。
2012078800.tif 000101
［式（ａ４−８−ａ）及び式（ａ４−８−ｂ）中、Ｗ２、Ａ４、Ｒ１４、Ｒ１５及びＲ１６は、前記と同義である。］
【０１５５】
樹脂（Ａ）が、酸安定モノマー（ａ４−８）に由来する構造単位を有する場合、その含有割合は、樹脂（Ａ）の全構造単位（１００モル％）に対して、５〜９０モル％の範囲が好ましく、１０〜８０モル％の範囲がより好ましく、２０〜７０モル％の範囲がさらに好ましい。
【０１５６】
＜樹脂（Ａ）及びその製造方法＞
樹脂（Ａ）のうち樹脂（ＡＡ）は、構造単位（ａ）を誘導する化合物（ａ’）と、構造単位（ａ１）を誘導するモノマー［好ましくは、構造単位（ａ１−１）又は構造単位（ａ１−２）を誘導するモノマー］を、さらに好ましくは酸安定構造単位を誘導するモノマーとを共重合させたものであり、より好ましくは、化合物（ａ’）、構造単位（ａ１−１）及び／又は構造単位（ａ１−２）を誘導するモノマー、酸安定構造単位（ａ２）及び／又は酸安定構造単位（ａ３）を誘導するモノマーとを共重合させたものである。
樹脂（ＡＡ）は、構造単位（ａ１）として、アダマンチル基を有する構造単位（ａ１−１）及びシクロアルキル基を有する構造単位（ａ１−２）のうち、少なくとも１種を有することが好ましく、アダマンチル基を有する構造単位（ａ１−１）を有することがさらに好ましい。酸安定構造単位（ａ２）としては、ヒドロキシアダマンチル基を有する構造単位（ａ２−１）を用いることが好ましい。酸安定構造単位（ａ３）としては、γ−ブチロラクトン環を有する酸安定構造単位（ａ３−１）及びγ−ブチロラクトン環とノルボルナン環との縮合環を有する酸安定構造単位（ａ３−２）の少なくとも１種を有することが好ましい。樹脂（Ａ）は、上述したようなモノマーを公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって重合（共重合）させればよい。
【０１５７】
ここで、樹脂（Ａ）のうち樹脂（ＡＡ）に関し、構造単位の組み合わせ（構造単位（ａ）、構造単位（ａ１）及び酸安定構造単位）で示すと、以下の表１のようになる。なお、これらの表においては、例えば「式（ａ−１）」で表される構造単位を、「（ａ−１）」で示す。
【０１５８】
【表１】
2012078800.tif 000102
【０１５９】
樹脂（ＡＡ）の重量平均分子量は、２，５００以上５０，０００以下が好ましく、３，０００以上３０，０００以下がさらに好ましい。なお、ここでいう重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー分析により、標準ポリスチレン基準の換算値として求められるものであり、該分析の詳細な分析条件は、本願の実施例で詳述する。
【０１６０】
樹脂（ＡＢ）は、酸の作用によりアルカリ水溶液に対する溶解性が変化するという特性を有しないものであり、好ましくは酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を有しないものである。このような樹脂（ＡＢ）は例えば、表１に示すＡ１〜Ａ１５の組み合わせの各々について、構造単位（ａ１）を除いた組み合わせの樹脂、すなわち、構造単位（ａ）と酸安定構造単位とからなる樹脂を挙げることができる。かかる樹脂（ＡＢ）は、構造単位（ａ）を誘導する化合物（ａ’）と、酸安定構造単位を誘導するモノマーとを共重合させればよく、この共重合の際は樹脂（ＡＡ）と同じく、ラジカル重合などが採用される。
【０１６１】
樹脂（ＡＢ）の重量平均分子量は、３，０００以上５０，０００以下が好ましく、５，０００以上３０，０００以下がさらに好ましい。なお、ここでいう重量平均分子量の定義は、樹脂（ＡＡ）の場合と同様である。
【０１６２】
また、樹脂（ＡＡ）を用いることなく、樹脂（ＡＢ）を用いて本レジスト組成物を調製する場合には、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶の樹脂に転化するという特性を有する樹脂が必要である。かかる樹脂を「樹脂（Ｘ）」という。樹脂（Ｘ）はすでに例示したような構造単位（ａ１）を有するものであり、好ましくは、構造単位（ａ１）と酸安定構造単位とを含む。このような樹脂（Ｘ）は例えば、表１に示すＡ１〜Ａ１５の組み合わせの各々について、構造単位（ａ）を除いた組み合わせの樹脂、すなわち、構造単位（ａ１）と酸安定構造単位とからなる樹脂を挙げることができる。かかる樹脂（Ｘ）は、構造単位（ａ１）を誘導するモノマーと、酸安定構造単位を誘導するモノマーとを共重合させればよく、この共重合の際は樹脂（ＡＡ）と同じく、ラジカル重合などが採用される。
【０１６３】
なお、樹脂（ＡＢ）及び樹脂（Ｘ）を製造する場合、酸不安定構造単位及び／又は酸安定構造単位を、樹脂（ＡＢ）又は樹脂（Ｘ）の全構造単位に対して樹脂（ＡＡ）と同様の範囲又は各樹脂の特性を考慮して任意の範囲に調整することが好ましい。
【０１６４】
＜酸発生剤（Ｂ１）＞
酸発生剤（Ｂ１）は、以下の式（Ｂ１）で表される。なお、以下の説明において、この酸発生剤（Ｂ１）のうち、正電荷を有するＺ＋は「有機カチオン」といい、該有機カチオンを除去してなる負電荷を有するものを「スルホン酸アニオン」ということがある。
2012078800.tif 000103
式（Ｂ１）中、
Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌb1は、炭素数１〜１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基で置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
Ｚ+は、有機カチオンを表す。
【０１６５】
Ｑ1及びＱ2のペルフルオロアルキル基は例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ−ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ−ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
本レジスト組成物に用いる酸発生剤としては、Ｑ1及びＱ2は、それぞれ独立に、トリフルオロメチル基又はフッ素原子の酸発生剤（Ｂ１）が好ましく、Ｑ1及びＱ2がともにフッ素原子である酸発生剤（Ｂ１）がより好ましい。Ｑ1及びＱ2がともにフッ素原子である酸発生剤（Ｂ１）と、樹脂（Ａ）とを含む本レジスト組成物は、より優れたＤＯＦでレジストパターンを製造することができる。
【０１６６】
Ｌb1の飽和炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基及びこれらの組み合わせが挙げられる。脂肪族炭化水素基としては、すでに例示したアルカンジイル基が挙げられる。脂環式炭化水素基としては、上述の式（ＫＡ−１）〜式（ＫＡ−２２）の脂環式炭化水素から水素原子を２個取り去った基などが挙げられる。
【０１６７】
Ｌb1における前記飽和炭化水素基を構成するメチレン基が、酸素原子又はカルボニル基に置き換わったものとしては、例えば、以下の式（ｂ１−１）、式（ｂ１−２）、式（ｂ１−３）、式（ｂ１−４）、式（ｂ１−５）及び式（ｂ１−６）〔以下、「式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−６）」のように表記する。〕のいずれかで示される基が挙げられる。Ｌb1は、好ましくは式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−４）のいずれかで示される基であり、より好ましくは式（ｂ１−１）で示される基又は式（ｂ１−２）で示される基である。なお、式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−６）は、その左右を式（Ｂ１）に合わせて記載しており、左側の結合手は、Ｃ（Ｑ1）（Ｑ2）と結合し、右側の結合手はＹと結合している。以下の式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−６）の具体例も同様である。なお、＊は結合手を表し、一方はＹと、他方はＣＱ１Ｑ２の炭素原子と結合している。
2012078800.tif 000104
式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−６）中、
Ｌb2は、単結合又は炭素数１〜１５の２価の脂肪族炭化水素基を表し、この脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。
Ｌb3は、単結合又は炭素数１〜１２の２価の脂肪族炭化水素基を表し、この脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。
Ｌb4は、炭素数１〜１３の２価の脂肪族炭化水素基を表し、これらの脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。但しＬb3及びＬb4の合計炭素数の上限は１３である。
Ｌb5は、炭素数１〜１５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb6及びＬb7は、それぞれ独立に、炭素数１〜１５の２価の脂肪族炭化水素基を表し、これらの脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。但しＬb6及びＬb7の合計炭素数の上限は１６である。
Ｌb8は、炭素数１〜１４の２価の脂肪族炭化水素基を表し、この脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。
Ｌb9及びＬb10は、それぞれ独立に、炭素数１〜１１の２価の脂肪族炭化水素基を表し、これらの脂肪族炭化水素基は脂肪族飽和炭化水素基が好ましい。但しＬb9及びＬb10の合計炭素数の上限は１２である。
本レジスト組成物に用いる酸発生剤（Ｂ１）としては、これらの中でも、式（ｂ１−１）で表される２価の基をＬb1として有する酸発生剤（Ｂ１）が好ましく、Ｌb2が単結合又はメチレン基である式（ｂ１−１）で表される２価の基をＬb1として有する酸発生剤（Ｂ１）がより好ましい。
【０１６８】
ここで、式（ｂ１−１）〜式（ｂ１−６）で表される２価の基の具体例を挙げる。なお、＊は結合手を表す。
式（ｂ１−１）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000105
【０１６９】
式（ｂ１−２）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000106
【０１７０】
式（ｂ１−３）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000107
【０１７１】
式（ｂ１−４）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000108
【０１７２】
式（ｂ１−５）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000109
【０１７３】
式（ｂ１−６）で表される２価の基は例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000110
【０１７４】
Ｌb1の飽和炭化水素基は、置換基を有していてもよい。この置換基は例えば、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基、炭素数７〜２１のアラルキル基、炭素数２〜４のアシル基及びグリシジルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基、アラルキル基及びアシル基の具体例はすでに説明したとおりである。
【０１７５】
式（Ｂ１）におけるＹは置換基を有していてもよい炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基を表す。該脂肪族炭化水素基としては、アルキル基及び脂環式炭化水素基が好ましく、炭素数１〜６のアルキル基及び炭素数３〜１２の脂環式炭化水素基がより好ましい。
Ｙの脂肪族炭化水素基が置換基を有する場合、該置換基としては例えば、ハロゲン原子（但し、フッ素原子を除く）、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基、炭素数７〜２１のアラルキル基、炭素数２〜４のアシル基、グリシジルオキシ基又は−（ＣＨ2）j2−Ｏ−ＣＯ−Ｒb1で表される基（式中、Ｒb1は、炭素数１〜１６の炭化水素基を表す。ｊ２は、０〜４の整数を表す。）などが挙げられる。ここでいう芳香族炭化水素基及びアラルキル基には、例えば、アルキル基、ハロゲン原子又はヒドロキシ基をさらに有していてもよい。
Ｙの脂肪族炭化水素基を構成するメチレン基は、酸素原子、スルホニル基及びカルボニル基からなる群より選ばれる基（２価の基）に置き換わっていてもよい。脂環式炭化水素基を構成するメチレン基が、酸素原子、スルホニル基又はカルボニル基に置き換わった基としては例えば、環状エーテル基（脂環式炭化水素基を構成するメチレン基の１つ又は２つが酸素原子に置き換わった基）、環状ケトン基（脂環式炭化水素基を構成するメチレン基の１つ又は２つがカルボニル基に置き換わった基）、スルトン環基（すでに式（ａ６−４）で説明したとおり、脂環式炭化水素基を構成するメチレン基のうち隣り合う２つのメチレン基が、それぞれ、酸素原子及びスルホニル基に置き換わった基）及びラクトン環基（脂環式炭化水素基を構成するメチレン基のうち隣り合う２つのメチレン基が、それぞれ、酸素原子及びカルボニル基に置き換わった基）などが挙げられる。
【０１７６】
Ｙの脂環式炭化水素基の好ましい基は、以下に示す式（Ｙ１）、式（Ｙ２）、式（Ｙ３）、式（Ｙ４）及び式（Ｙ５）のいずれかで表される基が挙げられ、なかでも、式（Ｙ１）、式（Ｙ２）、式（Ｙ３）及び式（Ｙ５）がさらに好ましく、式（Ｙ１)及び式(Ｙ２)で表される脂環式炭化水素基がより好ましい。該脂環式炭化水素基を構成する水素原子が置換基に置き換わっていてもよい。
2012078800.tif 000111
【０１７７】
環を構成する炭素原子にアルキル基が結合してなる脂環式炭化水素基としては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000112
【０１７８】
ヒドロキシ基を有する脂環式炭化水素基としては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000113
【０１７９】
芳香族炭化水素基を有する脂環式炭化水素基としては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000114
【０１８０】
−（ＣＨ2）j2−Ｏ−ＣＯ−Ｒb1で表される基を有する脂環式炭化水素基としては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000115
【０１８１】
Ｙの脂環式炭化水素基としては、式（Ｙ１）及び式（Ｙ２）で示したようにアダマンタン環を有する基が好ましく、これらが置換基を有する場合、該置換基はヒドロキシ基が好ましい。すなわち、置換基を有する脂環式炭化水素基としては、ヒドロキシアダマンチル基が好ましい。
【０１８２】
スルホン酸アニオンの好適例を具体的に示すと、式（ｂ１−１−１）、式（ｂ１−１−２）、式（ｂ１−１−３）、式（ｂ１−１−４）、式（ｂ１−１−５）、式（ｂ１−１−６）、式（ｂ１−１−７）、式（ｂ１−１−８）及び式（ｂ１−１−９）〔以下、「式（ｂ１−１−１）〜式（ｂ１−１−９）」のように表記する。〕で表されるスルホン酸アニオンを挙げることができる。この式（ｂ１−１−１）〜式（ｂ１−１−９）のいずれかで表されるスルホン酸アニオンにおいて、Ｌb1は式（ｂ１−１）で表される基が好ましい。また、Ｒb2及びＲb3は、それぞれ独立に、Ｙの脂肪族炭化水素基が有していてもよい置換基として挙げたものと同じであり、炭素数１〜４の脂肪族炭化水素基及びヒドロキシ基が好ましく、メチル基及びヒドロキシ基がより好ましい。
【０１８３】
2012078800.tif 000116
【０１８４】
Ｙが鎖式脂肪族炭化水素基又は無置換の脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000117
【０１８５】
Ｙが無置換の脂環式炭化水素基又は置換基として脂肪族炭化水素基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000118
【０１８６】
2012078800.tif 000119
【０１８７】
2012078800.tif 000120
【０１８８】
Ｙが−（ＣＨ2）j2−Ｏ−ＣＯ−Ｒb1で表される基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000121
【０１８９】
Ｙが、ヒドロキシ基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000122
【０１９０】
2012078800.tif 000123
【０１９１】
2012078800.tif 000124
【０１９２】
2012078800.tif 000125
【０１９３】
Ｙが、芳香族炭化水素基又はアラルキル基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000126
【０１９４】
Ｙが、前記環状エーテル基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000127
【０１９５】
Ｙが、前記ラクトン環基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000128
【０１９６】
2012078800.tif 000129
【０１９７】
Ｙが、前記環状ケトン基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000130
【０１９８】
Ｙが、前記スルトン環基であり、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000131
【０１９９】
Ｙが、アルキル基又は無置換の脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000132
【０２００】
2012078800.tif 000133
【０２０１】
2012078800.tif 000134
【０２０２】
2012078800.tif 000135
【０２０３】
2012078800.tif 000136
【０２０４】
2012078800.tif 000137
【０２０５】
Ｙが、−（ＣＨ2）j2−Ｏ−ＣＯ−Ｒb1で表される基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000138
【０２０６】
Ｙが、ヒドロキシ基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000139
【０２０７】
2012078800.tif 000140
【０２０８】
Ｙが、芳香族炭化水素基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000141
【０２０９】
Ｙが、前記環状エーテル基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000142
【０２１０】
Ｙが、前記ラクトン環基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000143
【０２１１】
Ｙが、前記環状ケトン基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000144
【０２１２】
Ｙが、前記スルトン環基であり、Ｌb1が式（ｂ１−２）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000145
【０２１３】
Ｙが、脂肪族炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−３）で表される２価の基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000146
【０２１４】
2012078800.tif 000147
【０２１５】
Ｙが、アルコキシ基を有する脂環基であり、Ｌb1が式（ｂ１−３）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000148
【０２１６】
Ｙが、ヒドロキシ基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−３）で表される２価の基であるスルホン酸アニオンとしては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000149
【０２１７】
Ｙが、前記環状ケトン基であり、Ｌb1が式（ｂ１−３）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000150
【０２１８】
Ｙが脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−４）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000151
【０２１９】
Ｙが、アルコキシ基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−４）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000152
【０２２０】
Ｙが、ヒドロキシ基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｌb1が式（ｂ１−４）で表される基であるスルホン酸アニオンとしては、例えば以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000153
【０２２１】
Ｙが前記環状ケトン基であり、Ｌb1が式（ｂ１−４）で表される２価の基であるスルホン酸アニオンとしては例えば、以下のものが挙げられる。
【０２２２】
2012078800.tif 000154
【０２２３】
以上例示したスルホン酸アニオンの中でも、Ｌb1が式（ｂ１−１）で表される基であるものが好ましい。より好ましいスルホン酸アニオンを以下に示す。
2012078800.tif 000155
【０２２４】
酸発生剤（Ｂ１）中の有機カチオン（Ｚ+）は例えば、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、有機ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオンなどが挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、さらに好ましくは、以下の式（ｂ２−１）、式（ｂ２−２）、式（ｂ２−３）及び式（ｂ２−４）〔以下、「式（ｂ２−１）〜式（ｂ２−４）」のように表記する。〕のいずれかで表される有機カチオン〔以下、各式の番号に応じて、「カチオン（ｂ２−１）」、「カチオン（ｂ２−２）」、「カチオン（ｂ２−３）」及び「カチオン（ｂ２−４）」ということがある。〕である。
2012078800.tif 000156
【０２２５】
式（ｂ２−１）〜式（ｂ２−４）において、
Ｒb4、Ｒb5及びＲb6は、それぞれ独立に、炭素数１〜３０の炭化水素基を表し、該炭化水素基としては、炭素数１〜３０のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基及び炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基が好ましい。該アルキル基は、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルコキシ基又は炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基を有していてもよく、該脂環式炭化水素基は、ハロゲン原子、炭素数２〜４のアシル基又はグリシジルオキシ基を有していてもよく、前記芳香族炭化水素基は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数３〜１８の飽和環状炭化水素基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を有していてもよい。
Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルキル基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０〜５の整数を表す。
Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１〜１８のアルキル基又は炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒb11は、水素原子、炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒb9、Ｒb10及びＲb11は、それぞれ独立に、脂肪族炭化水素基であり、この脂肪族炭化水素基がアルキル基である場合、その炭素数は１〜１２であることが好ましく、この脂肪族炭化水素基が脂環式炭化水素基である場合、その炭素数は３〜１８であることが好ましく、４〜１２であることがさらに好ましい。
Ｒb12は、炭素数１〜１８の炭化水素基を表す。該炭化水素基のうち、芳香族炭化水素基は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基又は炭素数１〜１２のアルキルカルボニルオキシ基を有していてもよい。
Ｒb9とＲb10との組み合わせ、及び／又は、Ｒb11とＲb12との組み合わせは、それぞれ独立に、互いに結合して３員環〜１２員環（好ましくは３員環〜７員環）の脂肪族環を形成していてもよく、該脂肪族環を構成するメチレン基が、酸素原子、硫黄原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい。
【０２２６】
Ｒb13、Ｒb14、Ｒb15、Ｒb16、Ｒb17及びＲb18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルキル基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表す。
Ｌb11は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０〜５の整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０〜４の整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上であるとき、複数のＲb13は互いに同一でも異なっていてもよく、ｐ２が２以上であるとき、複数のＲb14は互いに同一でも異なっていてもよく、ｓ２が２以上であるとき、複数のＲb15は互いに同一でも異なっていてもよく、ｔ２が２以上であるとき、複数のＲb18は互いに同一でも異なっていてもよい。
【０２２７】
Ｒb12のアルキルカルボニルオキシ基としては、すでに例示したアシル基と酸素原子とが結合したものである。
【０２２８】
Ｒb9〜Ｒb12の鎖式脂肪族炭化水素基のうち好ましい基はアルキル基であり、その具体例は、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２−エチルヘキシル基などである。
Ｒb9〜Ｒb11の脂環式炭化水素基のうち好ましい基は例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロデシル基、２−アルキルアダマンタン−２−イル基、１−（アダマンタン−１−イル）アルカン−１−イル基及びイソボルニル基などである。
Ｒb12の芳香族炭化水素基のうち好ましい基は例えば、フェニル基、４−メチルフェニル基、４−エチルフェニル基、４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル基、４−シクロへキシルフェニル基、４−メトキシフェニル基、ビフェニリル基及びナフチル基などである。
Ｒb12の芳香族炭化水素基と鎖式脂肪族炭化水素基が結合したものとしては、アラルキル基が挙げられ、具体的にはベンジル基等が挙げられる。
Ｒb9とＲb10との組み合わせが結合して形成する環としては例えば、チオラン−１−イウム環（テトラヒドロチオフェニウム環）、チアン−１−イウム環及び１，４−オキサチアン−４−イウム環などが挙げられる。
Ｒb11とＲb12との組み合わせが結合して形成する環としては例えば、オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環及びオキソアダマンタン環などが挙げられる。
【０２２９】
例示した有機カチオンの中でも、カチオン（ｂ２−１）が好ましく、以下の式（ｂ２−１−１）で表される有機カチオン〔以下、「カチオン（ｂ２−１−１）」という場合がある。〕がより好ましく、トリフェニルスルホニウムカチオン（式（ｂ２−１−１）中、ｖ２＝ｗ２＝ｘ２＝０である。）又はトリトリルスルホニウムカチオン（式（ｂ２−１−１）中、ｖ２＝ｗ２＝ｘ２＝１であり、Ｒb19、Ｒb20及びＲb21がいずれもメチル基である。）がさらに好ましい。
2012078800.tif 000157
式（ｂ２−１−１）中、
Ｒb19、Ｒb20及びＲb21は、それぞれ独立に、ハロゲン原子（より好ましくはフッ素原子）、ヒドロキシ基、炭素数１〜１８の脂肪族炭化水素基又は炭素数１〜１２のアルコキシ基を表す。
該脂肪族炭化水素基としては、炭素数は１〜１２の脂肪族炭化水素基が好ましく、炭素数１〜１２のアルキル基及び炭素数４〜１８の脂環式炭化水素基がより好ましい。該脂肪族炭化水素基は、置換基として、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、炭素数６〜１８の芳香族炭化水素基、炭素数２〜４のアシル基又はグリシジルオキシ基を有していてもよい。
ｖ２、ｗ２及びｘ２は、それぞれ独立に０〜５の整数（好ましくは０又は１）を表す。
ｖ２が２以上のとき、複数のＲb19は互いに同一でも異なっていてもよく、ｗ２が２以上のとき、複数のＲb20は互いに同一でも異なっていてもよくり、ｘ２が２以上のとき、複数のＲb21は互いに同一でも異なっていてもよい。
なかでも、Ｒb19、Ｒb20及びＲb21は、それぞれ独立に、好ましくは、ハロゲン原子（より好ましくはフッ素原子）、ヒドロキシ基、炭素数１〜１２のアルキル基、又は炭素数１〜１２のアルコキシ基であることが好ましい。
【０２３０】
カチオン（ｂ２−１−１）としては、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000158
【０２３１】
2012078800.tif 000159
このような有機カチオンを有する酸発生剤（Ｂ１）を含む本レジスト組成物は、より優れたＤＯＦでレジストパターンを製造することができる。
【０２３２】
カチオン（ｂ２−２）としては、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000160
【０２３３】
カチオン（ｂ２−３）としては、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000161
【０２３４】
2012078800.tif 000162
【０２３５】
カチオン（ｂ２−４）としては、以下のものが挙げられる。
2012078800.tif 000163
【０２３６】
2012078800.tif 000164
【０２３７】
2012078800.tif 000165
【０２３８】
2012078800.tif 000166
【０２３９】
酸発生剤（Ｂ１）は上述のスルホン酸アニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組み合わせることができるが、式（ｂ１−１−１）〜式（ｂ１−１−９）のいずれかで表されるスルホン酸アニオンとカチオン（ｂ２−１−１）との組合せである酸発生剤（Ｂ１）、並びに式（ｂ１−１−３）〜式（ｂ１−１−５）のいずれかで表されるスルホン酸アニオンとカチオン（ｂ２−３）との組合せである酸発生剤（Ｂ１）が好ましい。このような酸発生剤（Ｂ１）を含む本レジスト組成物は、より一層優れたＤＯＦでレジストパターンを製造することができる。
【０２４０】
さらに好ましい酸発生剤（Ｂ１）は、以下の式（Ｂ１−１）、式（Ｂ１−２）、式（Ｂ１−３）、式（Ｂ１−４）、式（Ｂ１−５）、式（Ｂ１−６）、式（Ｂ１−７）、式（Ｂ１−８）、式（Ｂ１−９）、式（Ｂ１−１０）、式（Ｂ１−１１）、式（Ｂ１−１２）、式（Ｂ１−１３）、式（Ｂ１−１４）、式（Ｂ１−１５）、式（Ｂ１−１６）及び式（Ｂ１−１７）のいずれかで表される塩である。酸発生剤（Ｂ１）は、中でもトリフェニルスルホニウムカチオン又はトリトリルスルホニウムカチオンを含む塩である、式（Ｂ１−１）、式（Ｂ１−２）、式（Ｂ１−３）、式（Ｂ１−６）、式（Ｂ１−１１）、式（Ｂ１−１２）、式（Ｂ１−１３）及び（Ｂ１−１４）のいずれかで表される塩が好ましく、さらに、Ｙが置換基を有していてもよい脂環式炭化水素基である、式（Ｂ１−１）、式（Ｂ１−２）、式（Ｂ１−３）、式（Ｂ１−６）、式（Ｂ１−１１）及び式（Ｂ１−１２）のいずれかで表される塩がより好ましい。
2012078800.tif 000167
【０２４１】
2012078800.tif 000168
【０２４２】
2012078800.tif 000169
【０２４３】
2012078800.tif 000170
【０２４４】
2012078800.tif 000171
【０２４５】
酸発生剤（Ｂ）は、酸発生剤（Ｂ１）とは異なる酸発生剤を含んでいてもよい。酸発生剤（Ｂ）の総量における酸発生剤（Ｂ１）の含有割合は、７０質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましく、実質的に酸発生剤（Ｂ１）のみであることがさらに好ましい。
【０２４６】
＜塩基性化合物（以下、「塩基性化合物（Ｃ）」という。）＞
「塩基性化合物」とは、酸を捕捉するという特性を有する化合物、特に、既に説明した酸発生剤から発生する酸を捕捉するという特性を有する化合物を意味し、当該技術分野でクエンチャーといわれている。
【０２４７】
塩基性化合物（Ｃ）は、好ましくは塩基性の含窒素有機化合物であり、例えば、アミン及びアンモニウムヒドロキシドを挙げることができる。アミンは、脂肪族アミンでも、芳香族アミンでもよい。脂肪族アミンは、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンのいずれも使用できる。芳香族アミンは、アニリンのような芳香環にアミノ基が結合したものや、ピリジンのような複素芳香族アミンのいずれでもよい。好ましい塩基性化合物（Ｃ）として、以下の式（Ｃ２）で表される芳香族アミン、特に、以下の式（Ｃ２−１）で表されるアニリン類が挙げられる。
2012078800.tif 000172
式（Ｃ２）及び式（Ｃ２−１）中、Ａｒc1は、芳香族炭化水素基を表す。
Ｒc5及びＲc6は、それぞれ独立に、水素原子、脂肪族炭化水素基（好ましくは、炭素数１〜６程度の鎖式脂肪族炭化水素基及び炭素数５〜１０程度の脂環式炭化水素基である。）又は芳香族炭化水素基（好ましくは、炭素数６〜１０程度の芳香族炭化水素基である。）を表す。但し、該脂肪族炭化水素基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよく、該アミノ基はさらに、炭素数１〜４のアルキル基を有していてもよい。
Ｒc7は、鎖式脂肪族炭化水素基（好ましくは、炭素数１〜６程度のアルキル基である。）、炭素数１〜６程度のアルコキシ基、脂環式炭化水素基（好ましくは、炭素数５〜１０程度の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、炭素数５〜１０程度のシクロアルキル基である。）又は芳香族炭化水素基（好ましくは、炭素数６〜１０程度の芳香族炭化水素基である。）を表す。但し、該脂肪族炭化水素基、該アルコキシ基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子も、ヒドロキシ基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよく、該アミノ基はさらに、炭素数１〜４のアルキル基を有していてもよい。
ｍ３は０〜３の整数を表す。ｍ３が２以上のとき、複数のＲc7は、互いに同一でも異なってもよい。
【０２４８】
式（Ｃ２）で表される芳香族アミンは例えば、１−ナフチルアミン及び２−ナフチルアミンなどが挙げられる。
式（Ｃ２−１）で表されるアニリン類は例えば、アニリン、ジイソプロピルアニリン、２−，３−又は４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、Ｎ−メチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン及びジフェニルアミンなどが挙げられる。
また、以下の式（Ｃ３）、式（Ｃ４）、式（Ｃ５）、式（Ｃ６）、式（Ｃ７）、式（Ｃ８）、式（Ｃ９）、式（Ｃ１０）及び式（Ｃ１１）のいずれかで表される化合物（以下、ここでいう化合物を、式番号に応じて、「化合物（Ｃ３）」〜「化合物（Ｃ１１）」のように表記する。）も用いることができる。
2012078800.tif 000173
式（Ｃ３）〜式（Ｃ１１）中、
Ｒc8は、上記Ｒc7で説明したいずれかの基を表す。
Ｒc20、Ｒc21、Ｒc23、Ｒc24、Ｒc25、Ｒc26、Ｒc27及びＲc28は、上記Ｒc7で説明したいずれかの基を表す。
Ｒc9、Ｒc10、Ｒc11、Ｒc12、Ｒc13、Ｒc14、Ｒc16、Ｒc17、Ｒc18、Ｒc19及びＲc22は、上記のＲc5及びＲc6で説明したいずれかの基を表す。
ｏ３、ｐ３、ｑ３、ｒ３、ｓ３、ｔ３及びｕ３は、それぞれ独立に０〜３の整数を表す。ｏ３が２以上であるとき、複数のＲc20は互いに同一でも異なっていてもよく、ｐ３が２以上であるとき、複数のＲc21は互いに同一でも異なっていてもよく、ｑ３が２以上であるとき、複数のＲc24は互いに同一でも異なっていてもよく、ｒ３が２以上であるとき、複数のＲc25は互いに同一でも異なっていてもよく、ｓ３が２以上であるとき、複数のＲc26は互いに同一でも異なっていてもよく、ｔ３が２以上であるとき、複数のＲc27は互いに同一でも異なっていてもよく、ｕ３が２以上であるとき、複数のＲc28は互いに同一でも異なっていてもよい。
Ｒc15は、脂肪族炭化水素基（好ましくは、炭素数１〜６程度の脂肪族炭化水素基である。）、脂環式炭化水素基（好ましくは、炭素数３〜６程度の脂環式炭化水素基である。）又はアルカノイル基（好ましくは、炭素数２〜６程度のアルカノイル基である。）を表す。
ｎ３は０〜８の整数を表す。ｎ３が２以上のとき、複数のＲc15は、それぞれ独立である。
Ｌc1及びＬc2は、それぞれ独立に、２価の脂肪族炭化水素基（好ましくは、炭素数１〜６程度の脂肪族炭化水素基であり、より好ましくは、炭素数１〜６程度のアルキレン基である。）、カルボニル基、−Ｃ（＝ＮＨ）−、−Ｃ（＝ＮＲc3）−（但し、Ｒc3は、炭素数１〜４のアルキル基を表す。）、硫黄原子、ジスルフィド結合（−Ｓ−Ｓ−）又はこれらの組合せを表す。
アルカノイル基としては、アセチル基、２−メチルアセチル基、２，２−ジメチルアセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、ペンタノイル基、２，２−ジメチルプロピオニル基等が挙げられる。
【０２４９】
塩基性化合物（Ｃ３）としては例えば、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２−（２−メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミンエチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチルジフェニルメタンなども用いることができる。
【０２５０】
化合物（Ｃ４）としては例えば、ピペラジンなどが挙げられる。
化合物（Ｃ５）としては例えば、モルホリンなどが挙げられる。
化合物（Ｃ６）としては例えば、ピペリジン及び特開平１１−５２５７５号公報に記載されているピペリジン骨格を有するヒンダードアミン化合物などが挙げられる。
化合物（Ｃ７）としては例えば、２，２’−メチレンビスアニリンなどが挙げられる。
化合物（Ｃ８）としては例えば、イミダゾール及び４−メチルイミダゾールなどが挙げられる。
化合物（Ｃ９）としては例えば、ピリジン、４−メチルピリジンなどが挙げられる。
化合物（Ｃ１０）としては例えば、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，２−ジ（２−ピリジル）エテン、１，２−ジ（４−ピリジル）エテン、１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ジ（４−ピリジルオキシ）エタン、ジ（２−ピリジル）ケトン、４，４’−ジピリジルスルフィド、４，４’−ジピリジルジスルフィド、２，２’−ジピリジルアミン及び２，２’−ジピコリルアミンなどが挙げられる。
化合物（Ｃ１１）としては例えば、ビピリジンなどが挙げられる。
【０２５１】
アンモニウムヒドロキシドとしては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド及び３−（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド及びコリンなどが挙げられる。
【０２５２】
塩基性化合物（Ｃ）としては、ジイソプロピルアニリンが好ましく、２，６−ジイソプロピルアニリンが特に好ましい。
【０２５３】
＜溶剤（以下、「溶剤（Ｄ）」という。）＞
溶剤（Ｄ）は、樹脂（Ａ）［樹脂（ＡＡ）又は樹脂（ＡＢ）］の種類及びその量と、酸発生剤（Ｂ１）の種類及びその量などに応じ、さらに後述するレジストパターンの製造において、基板上に本レジスト組成物を塗布する際の塗布性が良好となるという点から適宜、最適なものを選ぶことができる。
【０２５４】
好適な溶剤（Ｄ）の例としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ−ブチロラクトン等の環状エステル類を挙げることができる。溶剤（Ｄ）は、１種のみを使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【０２５５】
＜その他の成分＞
本レジスト組成物は、必要に応じて、化合物（ａ）に由来する繰り返し単位を含む樹脂、酸発生剤（Ｂ１）、溶剤（Ｄ）及び必要に応じて用いられる塩基性化合物（Ｃ）以外の構成成分を含んでいてもよい。この構成成分を「成分（Ｆ）」という。かかる成分（Ｆ）に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤及び染料などである。
【０２５６】
＜本レジスト組成物及びその調製方法＞
本レジスト組成物は、樹脂（Ａ）及び酸発生剤（Ｂ１）、任意に溶剤（Ｄ）を混合することで、又は、樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ１）、塩基性化合物（Ｃ）及び溶剤（Ｄ）を混合することで調製することができる。なお、樹脂（Ａ）として樹脂（ＡＢ）を用いた場合には、さらに樹脂（Ｘ）を混合すればよい。さらに、必要に応じて成分（Ｆ）を混合することもある。かかる混合において、その混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０〜４０℃の範囲から、用いる樹脂（Ａ）などの種類や樹脂（Ａ）の溶剤（Ｄ）に対する溶解度などに応じて適切な温度範囲を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて選べばよく、０．５〜２４時間が好ましい。なお、混合手段は特に限定されず、攪拌混合などを用いることができる。
本レジスト組成物を調製する際に用いる各成分の使用量により、本レジスト組成物中の各成分の含有量を調節することができる。
【０２５７】
溶剤（Ｄ）の含有量は、上述のとおり、樹脂（Ａ）の種類などに応じて適宜調節できるが、本レジスト組成物総質量に対して９０質量％以上が好ましく、より好ましくは９２質量％以上であり、さらに好ましくは９４質量％以上であり、９９．９質量％以下が好ましく、より好ましくは９９質量％以下である。ここで、溶剤（Ｄ）の含有量が９０質量％である本レジスト組成物では、組成物中の固形分は１０質量％に相当する。溶剤（Ｄ）の含有量が上記範囲内であると、例えば後述するレジストパターンの製造方法において、厚み３０〜３００ｎｍ程度の組成物層を形成しやすい。この観点からは、本レジスト組成物総質量に対する溶剤（Ｄ）の含有量は、より好ましくは９２質量％以上であり、さらに好ましくは９４質量％以上である。該溶剤（Ｄ）の含有量の上限は例えば、９９．９質量％以下であり、好ましくは９９質量％以下である。
この溶剤（Ｄ）の含有量は、本レジスト組成物を調製する際の溶剤（Ｄ）の使用量により制御可能であり、本レジスト組成物を調製した後には、該本レジスト組成物を、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィーなどの公知の分析手段に供して求めることもできる。
【０２５８】
固形分の総質量に対する樹脂（Ａ）の含有量は、８０質量％以上９９質量％以下が好ましい。
樹脂（Ａ）が樹脂（ＡＢ）のみからなる場合、固形分の総質量に対する樹脂（ＡＢ）の含有量は、０．１質量％以上１０質量％以下が好ましい。この場合、樹脂（Ｘ）を樹脂（ＡＢ）とともに含むことが好ましく、樹脂（Ｘ）の含有量は、固形分の総質量に対して、８０質量％以上９９質量％以下が好ましい。
【０２５９】
本レジスト組成物に対する酸発生剤（Ｂ１）の含有質量は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１質量部以上であり、より好ましくは３質量部以上であり、好ましくは３０質量部以下であり、より好ましくは２５質量部以下である。
【０２６０】
本レジスト組成物に塩基性化合物（Ｃ）を用いる場合、固形分の総質量に対する塩基性化合物（Ｃ）の含有量は、０．０１〜１質量％程度であると好ましい。
【０２６１】
これら樹脂（Ａ）及び酸発生剤（Ｂ１）、並びに必要に応じて用いられる塩基性化合物（Ｃ）の各々の好適な含有量も、本レジスト組成物を調製する際の各々の使用量により制御可能である。本レジスト組成物を調製した後には、該本レジスト組成物を、例えばガスクロマトグラフィー、液体クロマトグラフィー等の公知の分析手段に供して求めることもできる。
【０２６２】
なお、成分（Ｆ）を本レジスト組成物に用いる場合には、当該成分（Ｆ）の種類に応じて、適切な含有割合を調節することもできる。
【０２６３】
このように、樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ１）及び溶剤（Ｄ）、並びに必要に応じて用いられる塩基性化合物（Ｃ）又は成分（Ｆ）の各々を好ましい含有量で混合した後は、孔径０．０１〜０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過等することにより、本レジスト組成物は調製できる。
【０２６４】
ここで、本レジスト組成物において、樹脂（Ａ）と酸発生剤（Ｂ１）との好適な組み合わせを表２に示す。なお、この表２において、樹脂（Ａ）は表１の「樹脂Ｎｏ．」で示した樹脂（ＡＡ）である。酸発生剤（Ｂ１）はすでに例示した（Ｂ１−１）〜（Ｂ１−１７）で示す。
【０２６５】
【表２】
2012078800.tif 000174
【０２６６】
＜レジストパターンの製造方法＞
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本レジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光機を用いて露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、
（５）加熱後の組成物層を、現像装置を用いて現像する工程を含むものである。以下、ここに示す工程の各々を、「工程（１）」〜「工程（５）」のようにいう。
【０２６７】
工程（１）における本レジスト組成物の基板上への塗布は、スピンコーター等、半導体の微細加工のレジスト材料塗布用として広く用いられている塗布装置によって行うことができる。かくして基板上にレジスト組成物からなる塗布膜が形成される。当該塗布装置の条件（塗布条件）を種々調節することで、該塗布膜の膜厚は調整可能であり、適切な予備実験等を行うことにより、所望の膜厚の塗布膜になるように塗布条件を選ぶことができる。本レジスト組成物を塗布する前の基板は、微細加工を実施しようとする種々のものを選ぶことができる。なお、本レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄したり、反射防止膜を形成してもよい。この反射防止膜の形成には例えば、市販の有機反射防止膜用組成物を用いることができる。
【０２６８】
工程（２）においては、基板上に塗布された本レジスト組成物、すなわち塗布膜から溶剤〔溶剤（Ｄ）〕を除去する。このような溶剤除去は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いた加熱手段（いわゆるプリベーク）又は減圧装置を用いた減圧手段により、或いはこれらの手段を組み合わせて、該塗布膜から溶剤を蒸発させることにより行われる。加熱手段や減圧手段の条件は、本レジスト組成物に含まれる溶剤（Ｄ）の種類等に応じて選択でき、例えばホットプレートの場合、該ホットプレートの表面温度を５０〜２００℃程度の範囲にすることが好ましい。また、減圧手段では、適当な減圧機の中に、塗布膜が形成された基板を封入した後、該減圧機の内部圧力を１〜１．０×１０５Ｐａ程度にすればよい。かくして塗布膜から溶剤を除去することにより、該基板上には組成物層が形成される。
【０２６９】
工程（３）は該組成物層を露光する工程であり、好ましくは、露光機を用いて該組成物層を露光するものである。この際には、微細加工を実施しようとする所望のパターンが形成されたマスク（フォトマスク）を介して露光が行われる。露光機の露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの等、種々のものを用いることができる。また、該露光機は液浸露光機であってもよい。また、露光機は、電子線、超紫外光（ＥＵＶ）を照射するものであってもよい。
上述のとおり、マスクを介して露光することにより、該組成物層には露光された部分（露光部）及び露光されていない部分（未露光部）が生じる。露光部の組成物層では該組成物層に含まれる酸発生剤（Ｂ１）が露光エネルギーを受けて酸を発生し、さらに発生した酸との作用により、「アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂」が有する樹脂（ＡＡ）にある酸不安定基が脱保護反応により親水性基を生じ、結果として露光部の組成物層にある上記樹脂（Ａ）はアルカリ水溶液に可溶なものとなる。一方、未露光部では露光エネルギーを受けていないため、上記樹脂（ＡＡ）はアルカリ水溶液に対して不溶又は難溶のままとなる。かくして、露光部にある組成物層と未露光部にある組成物層とは、アルカリ水溶液に対する溶解性が著しく相違するため、アルカリ水溶液による現像によりレジストパターンを形成することができる。本レジスト組成物に樹脂（ＡＢ）と樹脂（Ｘ）とを含有する場合、樹脂（Ｘ）にある酸不安定基が脱保護反応を生じることになる。
【０２７０】
工程（４）においては、露光部で生じうる脱保護基反応を、さらにその進行を促進するための加熱処理（いわゆるポストエキスポジャーベーク）が行われる。かかる加熱処理は前記工程（２）で示したホットプレートを用いる加熱手段等が好ましい。なお、工程（４）におけるホットプレート加熱を行う場合、該ホットプレートの表面温度は５０〜２００℃程度が好ましく、７０〜１５０℃程度がより好ましい。加熱処理により、上記脱保護反応が促進される。
【０２７１】
工程（５）は、加熱後の組成物層を現像する工程であり、好ましくは、加熱後の組成物層を現像装置により現像するものである。ここでいう現像とは、加熱後の組成物層をアルカリ水溶液と接触させることにより、露光部の組成物層を該アルカリ水溶液に溶解させて除去することである。未露光部は、上述のとおりアルカリ水溶液に対して不溶又は難溶であるため、基板に残り、当該基板上にレジストパターンが製造される。
前記アルカリ水溶液としては、「アルカリ現像液」と称される本技術分野で公知のものを用いることができる。該アルカリ水溶液としては例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液や（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液などが挙げられる。
【０２７２】
現像後、好ましくは超純水等でリンス処理を行い、さらに基板及びレジストパターン上に残存している水分を除去することが好ましい。
【０２７３】
＜用途＞
本レジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）照射用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物、さらに液浸露光用のレジスト組成物として好適である。
工に利用できる。
【実施例】
【０２７４】
実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
また重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム：TSKgel  Multipore  HXL-M  x  3+guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：1.0mL／min
検出器：RI検出器
カラム温度：40℃
注入量：100μl
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
【０２７５】
また、化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子ピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。
【０２７６】
合成例１  〔式（Ｄ）で表される化合物の合成〕
2012078800.tif 000175
【０２７７】
式（Ｄ−ａ）で表される化合物２３．１９部及びテトラヒドロフラン２００．００部を、反応器に仕込み、室温で攪拌した。溶液が均一になったことを目視で確認した後、ピリジン１４．２７部を仕込み、４０℃に昇温した。さらに、同温度で、クロロアセチルクロリド２５．４７部及びテトラヒドロフラン５０部の混合溶液を１時間かけて滴下した。滴下後、４０℃で８時間攪拌し、５℃に温度を下げた。５℃に冷却したイオン交換水１００．００部を添加し、攪拌・静置した。分液により水層を回収し、この水層に酢酸エチル６５．００部を添加し、攪拌・静置した後、分液して有機層を回収した。回収された有機層に、５℃の１０％炭酸カリウム水溶液６５．００部を添加して洗浄し、分液して有機層を回収した。回収した有機層はさらに、イオン交換水６５．００部による水洗を、４回繰り返した後、水洗後の有機層を濃縮した。濃縮残渣を、カラム分取（カラム分取条件  固定相：メルク社製シリカゲル６０−２００メッシュ  展開溶媒：ｎ−ヘプタン／酢酸エチル＝２／１（重量比））することにより、式（Ｄ−ｂ）で表される化合物１４．６９部を得た。
【０２７８】
2012078800.tif 000176
【０２７９】
式（Ｄ−ｂ）で表される化合物４．６０部及びＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５．００部を、反応器に仕込み、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物に、炭酸カリウム１．６６部及びヨウ化カリウム０．８４部を仕込み、５０℃で１時間攪拌した。得られた混合物を、４０℃まで冷却し、式（Ｄ−ｃ）で表される化合物４．６５部をＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド２５．００部に溶解した溶液を１時間かけて滴下し、７５℃で５時間攪拌した。得られた混合物を、２３℃まで冷却し、クロロホルム６０．００部及び１Ｎ塩酸６０．００部を加えて攪拌し、静置分離した。回収した有機層をイオン交換水６０．００部を用い、水層が中性になるまで複数回、水洗を繰り返した。回収した有機層を濃縮した後、濃縮残渣を、カラム分取（カラム分取条件  固定相：メルク社製シリカゲル６０−２００メッシュ  展開溶媒：ｎ−ヘプタン／酢酸エチル＝１／１（重量比））することにより、式（Ｄ）で表される化合物３．６１部を得た。
ＭＡＳＳ：４３０．２
【０２８０】
合成例２  〔式（Ｅ）で表される化合物の合成〕
2012078800.tif 000177
【０２８１】
式（Ｅ−ａ）で表される化合物７．５０部及びＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド３７．５０部を、反応器に仕込み、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合物に、炭酸カリウム３．２０部及びヨウ化カリウム０．９６部を仕込み、５０℃で１時間攪拌した。得られた混合物に、式（Ｄ−ｂ）で表される化合物８．０１部をＮ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド１６．８７部に溶解した溶液を１時間かけて滴下し、５０℃で５時間攪拌した。得られた混合物を、２３℃まで冷却した後、酢酸エチル１５０部及びイオン交換水７５部を加えて攪拌・静置した後、分離した。回収した有機層をイオン交換水７５部を用いた水洗操作を、水層ｐＨが中性程度になるまで水洗を繰り返した。回収された有機層を濃縮した後、以下の条件でカラム分取（シリカゲル６０−２００メッシュ；メルク社製  展開溶媒：酢酸エチル）することにより、式（Ｅ−ｂ）で表される化合物１０．４８部を得た。
【０２８２】
2012078800.tif 000178
【０２８３】
式（Ｅ−ｂ）で表される化合物７．２８部及びアセトニトリル３７．５０部を仕込み、２３℃で３０分間攪拌した後、５℃まで冷却した。得られた混合物に、水素化ホウ素ナトリウム０．３６部及びイオン交換水５．３２部を仕込み、５℃で３時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水２５部及び酢酸エチル５０部を加えて攪拌静置し、分離した。回収した有機層を、イオン交換水２５部を用い、水層が中性程度になるまで水洗を繰り返した。回収した有機層を濃縮した後、以下の条件でカラム分取（シリカゲル６０−２００メッシュ；メルク社製  展開溶媒：酢酸エチル）することにより、式（Ｅ−ｃ）で表される化合物６．０１部を得た。
2012078800.tif 000179
【０２８４】
式（Ｅ−ｃ）で表される化合物９．０４部、Ｎ−メチルピロリジン３．３６部及びテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）５０．００部を、反応器に仕込み、２３℃で攪拌しつつ、メタクリロイルクロリド３．０９部を４０分かけて滴下した。同温度で４時間攪拌した後、イオン交換水５０部及び酢酸エチル１００部を添加した。攪拌・静置した後、分液を行って有機層を回収した。回収した有機層に、イオン交換水５０部を用いた水洗操作を４回繰り返した。水洗後の有機層に、硫酸マグネシウム５．００部を添加し、攪拌した後、硫酸マグネシウムをろ過して除去した。ろ液を濃縮後、濃縮残渣をカラム分取（シリカゲル６０−２００メッシュ；メルク社製  展開溶媒：酢酸エチル）して、式（Ｅ）で表される化合物２．６９部を得た。
ＭＡＳＳ：４５８．２
【０２８５】
式（Ｆ）で表される化合物、式（Ｇ）で表される化合物、式（Ｈ）で表される化合物、式（Ｉ）で表される化合物及び式（Ｃ）で表される化合物は、出光興産株式会社より入手した。
【０２８６】
合成例３（樹脂（Ａ）（樹脂（ＡＡ））の合成）
樹脂の合成において使用した化合物（モノマー）を下記に示す。
2012078800.tif 000180
以下、これらのモノマーを「モノマー（Ａ）」〜「モノマー（Ｏ）」という。
【０２８７】
〔樹脂Ａ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｄ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｄ））が３５：１０：１５：２０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒（メタノール／水の混合比は４：１（質量比）、以下同様である。）に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量６．８×１０３の樹脂Ａ１（共重合体）を収率６３％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000181
【０２８８】
〔樹脂Ａ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｅ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｅ））が３５：１０：１５：２０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．０×１０３の樹脂Ａ２（共重合体）を収率６０％で得た。この樹脂Ａ２は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000182
【０２８９】
〔樹脂Ａ３の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｅ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｅ））が３２：１０：８：１０：２０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．１×１０３の樹脂Ａ３（共重合体）を収率６４％で得た。この樹脂Ａ３は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000183
【０２９０】
〔樹脂Ａ４の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）及びモノマー（Ｅ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｅ））が３２：１０：８：２０：３０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．１×１０３の樹脂Ａ４（共重合体）を収率６１％で得た。この樹脂Ａ４は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000184
【０２９１】
〔樹脂Ａ５の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）及びモノマー（Ｅ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｅ））が３２：１０：８：５０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．４×１０３の樹脂Ａ５（共重合体）を収率７０％で得た。この樹脂Ａ５は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000185
【０２９２】
〔樹脂Ａ６の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）及びモノマー（Ｃ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｃ））が３２：１０：８：２０：３０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．２×１０３の樹脂Ａ６（共重合体）を収率６５％で得た。この樹脂Ａ６は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000186
【０２９３】
〔樹脂Ａ７の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｆ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｆ））が３２：１０：８：３０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．０×１０３の樹脂Ａ７（共重合体）を収率６５％で得た。この樹脂Ａ７は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000187
【０２９４】
〔樹脂Ａ８の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｇ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｇ））が３２：１０：８：３０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．３×１０３の樹脂Ａ８（共重合体）を収率５９％で得た。この樹脂Ａ８は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000188
【０２９５】
〔樹脂Ａ９の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｌ）及びモノマー（Ｈ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｎ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｈ））が３２：１０：８：２０：３０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．１×１０３の樹脂Ａ９（共重合体）を収率５８％で得た。この樹脂Ａ９は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000189
【０２９６】
〔樹脂Ａ１０の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｎ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｍ）及びモノマー（Ｉ）を用い、そのモル比（化合物（Ｊ）：化合物（Ｎ）：化合物（Ｋ）：化合物（Ｍ）：化合物（Ｉ））が３２：１０：８：３０：２０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．８×１０３の樹脂Ａ１０（共重合体）を収率５３％で得た。この樹脂Ａ１０は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000190
【０２９７】
〔樹脂Ａ１１の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ａ）、モノマー（Ｂ）及びモノマー（Ｃ）を用い、そのモル比（モノマー（Ａ）：モノマー（Ｂ）：モノマー（Ｃ））が４０：１０：５０となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７０℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量８．８×１０３の樹脂Ａ１１（共重合体）を収率６０％で得た。この樹脂Ａ１１は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000191
【０２９８】
〔樹脂Ａ１２の合成〕
モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｏ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｍ）、モノマー（Ｌ）及びモノマー（Ｄ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｏ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｄ））が３０：１４：６：１５：２０：１５となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．５×１０３の樹脂Ａ１２（共重合体）を収率８１％で得た。この樹脂Ａ１２は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000192
【０２９９】
〔樹脂Ａ１３の合成〕
モノマー（Ｊ）、モノマー（Ｏ）、モノマー（Ｋ）、モノマー（Ｍ）、モノマー（Ｌ）及びモノマー（Ｅ）を用い、そのモル比（モノマー（Ｊ）：モノマー（Ｏ）：モノマー（Ｋ）：モノマー（Ｍ）：モノマー（Ｌ）：モノマー（Ｅ））が３０：１４：６：１５：２０：１５となるように混合し、全モノマー量の１．５質量倍のジオキサンを加えて溶液とした。当該溶液に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７５℃で約５時間加熱した。得られた反応混合物を、大量のメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過した。得られた樹脂を再び、ジオキサンに溶解させて得られる溶解液をメタノール／水混合溶媒に注いで樹脂を沈殿させ、この樹脂をろ過するという再沈殿操作を２回行い、重量平均分子量７．３×１０３の樹脂Ａ１３（共重合体）を収率８３％で得た。この樹脂Ａ１３は、以下の構造単位を有するものである。
2012078800.tif 000193
【０３００】
＜レジスト組成物の調製＞
合成例で得られた樹脂Ａ１〜Ａ１３；
以下に示す酸発生剤Ｂ１〜Ｂ２；
以下に示す塩基性化合物Ｃ１；
の各々を表３に示す質量部で、以下に示す溶剤に溶解し、さらに孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過して、レジスト組成物を調製した。
【０３０１】
【表３】
2012078800.tif 000194
【０３０２】
＜樹脂＞
Ａ１〜Ａ１３：樹脂Ａ１〜樹脂Ａ１３
＜酸発生剤＞
Ｂ１： 
2012078800.tif 000195
Ｂ２： トリフェニルスルホニウム  パーフルオロブタンスルホネート
【０３０３】
＜塩基性化合物：クエンチャー＞
Ｃ１：２，６−ジイソプロピルアニリン
＜溶剤＞
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ２６５．０部
プロピレングリコールモノメチルエーテル                  ２０．０部
２−ヘプタノン                                          ２０．０部
γ−ブチロラクトン                                        ３．５部
【０３０４】
＜レジストパターンの製造及びその評価＞
実施例１〜１３の本レジスト組成物及び比較例１のレジスト組成物は以下のようにして液浸露光によるフォーカスマージン（ＤＯＦ）評価を行った。以下、本レジスト組成物及び比較例１のレジスト組成物を総称して、「レジスト組成物」ということがある。
【０３０５】
＜レジスト組成物の液浸露光評価＞
以下のようにして、レジスト組成物の液浸露光を行い、フォーカスマージン（ＤＯＦ）評価を実施した。
１２インチのシリコン製ウェハ上に、有機反射防止膜用組成物［ＡＲＣ−２９；日産化学（株）製］を塗布して、２０５℃、６０秒の条件でベークすることによって、厚さ７８ｎｍの有機反射防止膜を形成させた。次いで、前記の有機反射防止膜の上に、上記のレジスト組成物を乾燥（プリベーク）後の膜厚が８５ｎｍとなるようにスピンコートした。
レジスト組成物塗布後、得られたシリコンウェハをダイレクトホットプレート上にて、表１の「ＰＢ」欄に記載された温度で６０秒間プリベーク（ＰＢ）した。こうしてレジスト組成物膜を形成したウェハに、液浸露光用ＡｒＦエキシマレーザステッパー［ＸＴ：１９００Ｇｉ；ＡＳＭＬ社製、ＮＡ＝１.３５、３／４Ａｎｎｕｌａｒ  Ｘ−Ｙ偏光］を用いて、露光量を段階的に変化させてラインアンドスペースパターンを液浸露光した。なお、液浸媒体としては超純水を使用した。
露光後、ホットプレート上にて、表１の「ＰＥＢ」欄に記載された温度で６０秒間ポストエキスポジャーベーク（ＰＥＢ）を行い、さらに２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間のパドル現像を行い、レジストパターンを得た。
【０３０６】
各レジスト組成物からのレジストパターン形成において、５０ｎｍのラインアンドスペースパターンの線幅が１：１となる露光量を実効感度とした。
【０３０７】
＜フォーカスマージン評価（ＤＯＦ）＞
実効感度において、フォーカスを段階的に変化させてレジストパターンを形成し、得られたレジストパターンの線幅が５０ｎｍ±５％（４７．５〜５２．５ｎｍ）にあるフォーカス範囲をＤＯＦ（μm）とした。その結果を表４に示す。
【０３０８】
【表４】
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【０３０９】
本レジスト組成物（実施例１〜実施例１３）を用いて得られるレジストパターンは、優れたＤＯＦで、レジストパターンを製造することができた。一方、比較例１のレジスト組成物では、得られるレジストパターンのＤＯＦは不良であった。
【産業上の利用可能性】
【０３１０】
本発明のレジスト組成物は、半導体の微細加工に利用できる。