(57)【要約】【課題】  照明装置を追加することなく、アライメント用カメラでワーク端部を明瞭に観察できるワーク端部検出機構及び該ワーク端部検出機構を利用したワーク搬送機構を提供する。【解決手段】  一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。前記胴部材の内部に空気吸引口を穿設し、胴部材の上部に真空吸着ヘッドを配設することによりワーク端部検出と共に真空吸着によるワーク搬送も可能になる。【選択図】    図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられていることを特徴とするワーク端部検出機構。
【請求項２】
前記光反射手段は鏡面であり、該鏡面は平坦なリング状の形状、平坦な円盤状の形状、及び凸状曲面の円盤状の形状からなる群から選択される何れかの形状をしている請求項１記載のワーク端部検出機構。
【請求項３】
一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。
【請求項４】
前記φ１とφ２の差が、０．６ｍｍ〜４ｍｍの範囲内である請求項３記載のワーク端部検出機構。
【請求項５】
一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構。
【請求項６】
前記光反射手段は鏡面であり、該鏡面は平坦なリング状の形状、平坦な円盤状の形状、及び凸状曲面の円盤状の形状からなる群から選択される何れかの形状をしており、前記φ１とφ２の差が、０．６ｍｍ〜４ｍｍの範囲内である請求項５記載のワーク端部検出機構。
【請求項７】
真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端に、該内腔を閉塞するための閉塞部材が配設されており、該閉塞部材の下面側に光反射手段が配設されていることを特徴とするワーク搬送機構。
【請求項８】
前記光反射手段は鏡面であり、該鏡面は平坦なリング状の形状、平坦な円盤状の形状、及び凸状曲面の円盤状の形状からなる群から選択される何れかの形状をしている請求項７記載のワーク搬送機構。
【請求項９】
真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端に、該内腔を閉塞するための閉塞部材が配設されており、
前記内腔下端部の内径（φ１）よりも、上端部の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク搬送機構。
【請求項１０】
前記φ１とφ２の差が、０．６ｍｍ〜４ｍｍの範囲内である請求項９記載のワーク搬送機構。
【請求項１１】
真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端に、該内腔を閉塞するための閉塞部材が配設されており、該閉塞部材の下面側に光反射手段が配設されており、
前記内腔下端部の内径（φ１）よりも、上端部の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク搬送機構。
【請求項１２】
前記光反射手段は鏡面であり、該鏡面は平坦なリング状の形状、平坦な円盤状の形状、及び凸状曲面の円盤状の形状からなる群から選択される何れかの形状をしており、前記φ１とφ２の差が、０．６ｍｍ〜４ｍｍの範囲内である請求項１１記載のワーク搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワーク端部検出機構及び当該ワーク端部検出機構を用いたワーク搬送機構に関する。更に詳細には、本発明は真空吸着によりワーク端部を保持して搬送する際、吸着すべきワーク端部を正確かつ容易に検出することができるワーク端部検出機構を有するワーク搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、磁気ディスク、光ディスク又はナノインプリントディスクなど、中央に所定の内径の貫通穴を有する円盤状基板（以下、「ディスク」という）を移送したり、成膜処理、ナノインプリント処理などを行う様々な工程で、当該ディスクを吸着してハンドリングする真空吸着搬送機構が使用されている。このような真空吸着搬送機構は例えば、特許文献１及び特許文献２等に記載されている。
【０００３】
この種の真空吸着搬送機構の一例を図１０に示す。従来の真空吸着搬送機構１００は、ディスク１０１の記録領域１０２の内周寄りに存在する非記録領域１０４に、真空チャック１０６を接触させ、吸着ヘッド１０８に接続された吸引パイプ１１０を介して真空吸引することにより、ディスク１０１を真空チャック１０６に吸着させた状態で搬送する。真空チャック１０６には底面から上面にまで貫通する吸引孔１１２が開通されており、この吸引孔１１２の上端部は吸着ヘッド１０８の排気空間１１４に連通しており、排気空間１１４の一端には吸引パイプ１１０が接続されている。吸引孔１１２から吸引された空気は矢線で示されるような方向に流れる。図中の符号１１６は吸着ヘッド１０８をＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドを示す。
【０００４】
図１１は図１０の部分拡大図である。真空チャック１０６でディスク１０１を吸着する際、真空チャック１０６が記録領域１０２に接触し、記録領域を損傷したり汚損することを防止するため、真空チャック１０６を非記録領域１０４に位置決めしなければならない。直径が６４ｍｍ以下のディスクの場合、非記録領域１０４の幅は約２ｍｍか、せいぜい３ｍｍ程度しかない。真空チャック１０６の位置決めは一般的に、ディスク１０２の中心位置を画像処理により求めることにより行われる。一般的に、ディスク１０２の中央貫通穴の内周面の上端と下端は面取りされている。面取り部１２０を設ける理由は中央貫通穴の内周端面に欠けやひび割れ等の損傷が発生するのを防止するためである。内周垂直壁面（ディスク端部）１２２には、アライメント用カメラ１１８による真空チャック１０６の位置決めを容易にするため、中心位置検出用のマーキングが施されていることがある。マーキングは互いに向かい合う位置に複数箇所（例えば、４箇所）設けられている。従って、マーキングが４箇所に施されている場合、アライメント用カメラ１１８は順番に４箇所のマーキングの位置を検出するように移動される。マーキングとしては、例えば、カラー着色や機械的ノッチなどを使用できる。
【０００５】
アライメント用カメラ１１８はディスク端部１２２を検出するために照明を使用している。しかし、ディスク中心位置をアライメント用カメラ１１８を用いる画像処理法により求める際、ディスク端部１２２をカメラ１１８で観察するとき、ディスク１０２の中央貫通穴の内周面の上端と下端が面取りされているため、背景とのコントラストが低く、面取り部１２０とディスク端部１２２を判別することが困難であった。このため、中心位置決め作業のために無駄な時間が費やされ、作業効率全体を悪化させていた。
【０００６】
背景とのコントラストを高めるために、ディスク反対面側に照明を追加する方法もあるが、真空チャック１０６の内腔１２４のスペースは照明装置を配置するには不十分であり、真空チャック１０６自体に照明装置を搭載することはできない。
【０００７】
ディスク１０１も含めて、図１２に示されるように、ワーク１３０の外周縁が面取りされている場合は、外周縁の垂直壁面端部１２２をアライメント用カメラ１１８を用いて観察し、画像処理してワークの端部及び／又は中心位置出しを行って搬送機構１３２のチャック部材１３４で左右から狭持して搬送することもできる。チャック部材１３４はアーム１３６に沿って互いに接近及び離反可能に構成されている。このような搬送機構１３２を使用する場合であっても、前記のディスク１０１に関する説明と同様に、背景とのコントラストが低いために、アライメント用カメラ１１８により面取り部１２０を有するワークの外周端部１２２を検出するのは困難であった。背景とのコントラストを高めるために、搬送機構１３２自体にワーク反対面側を照明するための照明装置を配設することは、ワークのサイズが様々に異なるので現実的ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平６−６８５２６
【特許文献２】特開平７−２１５４６１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従って、本発明の目的は、照明装置を追加することなく、アライメント用カメラでワーク端部を明瞭に検出できるワーク端部検出機構を提供することである。
【００１０】
本発明の別の目的は、前記のようなワーク端部検出機構を有する真空吸着によるワーク搬送機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らが鋭意研究した結果、前記課題は、一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられていることを特徴とするワーク端部検出機構により解決される。
【００１２】
筒状胴部材の開口部側から入射したアライメント用カメラなどの照明光が光反射手段（例えば、鏡面）により反射され、その結果、背景とのコントラストが高められ、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを明確に判別することが可能となる。
【００１３】
また、前記課題は、一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構によっても解決される。
【００１４】
筒状胴部材の開口部側の内径よりも、開口部と反対側の閉塞部材側の内径の方を大きくすることにより、筒状胴部材の開口部側から入射したアライメント用カメラなどの照明光が、内径の大きな（すなわち、表面積の大きな）閉塞部材の表面で反射されるので、光の反射量が増大する。その結果、背景とのコントラストが高められ、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを明確に判別することが可能となる。
【００１５】
更に、前記課題は、一方の端部に開口部を有し、他方の端部に閉塞部材を有する筒状の胴部材からなるワーク端部検出機構であって、前記閉塞部材の下面側に、前記開口部から入射した光を反射するための光反射手段が設けられており、かつ、前記胴部材の開口部側の内径（φ１）よりも、前記閉塞部材側の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク端部検出機構によっても解決される。
【００１６】
光反射手段（例えば、鏡面）と、増大した反射表面積とにより光の反射量が更に一層増大するので、背景とのコントラストは相乗的に高められる。従って、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを一層明確に判別することが可能となる。
【００１７】
前記別の課題は、真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端に、該内腔を閉塞するための閉塞部材が配設されており、該閉塞部材の下面側に光反射手段が配設されていることを特徴とするワーク搬送機構により解決される。
【００１８】
環状側壁部下端の開口部側から入射したアライメント用カメラなどの照明光が光反射手段（例えば、鏡面）により反射され、その結果、背景とのコントラストが高められ、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを明確に判別することが可能となる。従って、真空吸着チャックをディスクの所定位置に迅速に配置することができる。
【００１９】
また、前記別の課題は、真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端は閉塞されており、かつ、前記内腔下端部の内径（φ１）よりも、上端部の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク搬送機構によっても解決される。
【００２０】
内腔上端に特に光反射手段などのような特別な部材を配設しなくても、内腔下端部の内径よりも、上端部の内径の方を大きくすることにより、環状側壁部下端の開口部側から入射したアライメント用カメラなどの照明光が、内径の大きな（すなわち、表面積の大きな）閉塞部材の表面で反射されるので、光の反射量が増大する。その結果、背景とのコントラストが高められ、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを明確に判別することが可能となる。従って、真空吸着チャックをディスクの所定位置に迅速に配置することができる。
【００２１】
更に、前記別の課題は、真空吸着手段によりワークを搬送するワーク搬送機構において、
前記真空吸着手段は、真空吸着チャックと、該真空吸着チャックに連結された真空吸着ヘッドと、該ヘッドに接続され、該ヘッドをＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンドとからなり、
前記真空吸着チャックは環状の側壁部と、該側壁部により囲まれた内腔部とを有し、
前記側壁部の内部には下端から上端に達する空気吸引孔が配設されており、下端の空気吸引孔は大気に向かって開口しており、上端の空気吸引孔は前記真空吸着ヘッド内部の排気空間に向かって開口しており、
前記内腔上端に、該内腔を閉塞するための閉塞部材が配設されており、該閉塞部材の下面側に光反射手段が配設されており、
前記内腔下端部の内径（φ１）よりも、上端部の内径（φ２）の方が大きいことを特徴とするワーク搬送機構によっても解決される。
【００２２】
光反射手段（例えば、鏡面）と、増大した反射表面積とにより光の反射量が更に一層増大するので、背景とのコントラストは相乗的に高められる。従って、面取り端部を有するディスクの面取り部１２０とワーク端部１２２とを一層明確に判別することが可能となる。従って、真空吸着チャックをディスクの所定位置に一層迅速に配置することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のワーク端部検出機構は、アライメント用カメラから入射された光を光反射手段により反射するか、増大した光反射面積を用いて光の反射量を増大させるか、又はこれらを併用することにより、検出端部と背景との輝度コントラストが高められる。その結果、面取り端部を有するワークの面取り部と端部とを明確に判別することが可能となる。
面取りされたワーク端部を迅速に検出することができ、ワーク端部検出及びその後の一連の作業効率を飛躍的に向上させることができる。
また、本発明のワーク搬送機構は、前記のようなワーク端部検出機構を真空吸着チャックで用いることにより、真空吸着チャックの内腔内に別の照明装置を配設しなくても、アライメント用カメラの画像処理により吸着すべきワーク端部を短時間のうちに明瞭に検出することが可能となり、ワーク搬送に伴う作業効率を飛躍的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明によるワーク端部検出機構の或る実施態様の部分概要断面図である。
【図２】図１に示されるワーク端部検出機構で使用する鏡面の具体例を示す平面図である。
【図３】本発明によるワーク端部検出機構の他の実施態様の部分概要断面図である。
【図４】本発明によるワーク端部検出機構の更に別の実施態様を示す部分概要断面図である。
【図５】本発明によるワーク搬送機構の或る実施態様の部分概要断面図である。
【図６】本発明によるワーク搬送機構の別の実施態様の部分概要断面図である。
【図７】本発明によるワーク搬送機構の他の実施態様の部分概要断面図である。
【図８】本発明のワーク搬送機構の更に別の実施態様を示す部分概要断面図である。
【図９】本発明のワーク搬送機構で使用される真空吸着チャックの底面図である。
【図１０】従来技術の真空吸着搬送機構の一例の部分概要断面図である。
【図１１】図１０に示された真空吸着搬送機構の部分拡大断面図である。
【図１２】従来技術の面取り端部を有するワークの搬送機構の一例の部分概要断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は本発明のワーク端部検出機構の実施態様の一例の部分概要断面図である。本発明のワーク端部検出機構１は内部が中空状の筒状の胴部材３を有する。筒状胴部材３の一方の端部は開口しているが、他方の端部には閉塞部材５を有する。閉塞部材５の下面側には開口部から入射した光を反射するための光反射手段（例えば、鏡面）７が存在する。鏡面７は例えば、閉塞部材５の下面を鏡面加工又は鏡面仕上げすることにより形成することができる。鏡面は例えば閉塞部材５の下面に、メッキなどの化学的処理を施すか、又はバフ掛けや研磨などの機械的処理を施すことにより形成できる。ワーク端部検出機構１をＸＹＺ方向に移動可能にするため、閉塞部材５の外部突起９にはロボットハンド１１６が係合されている。ロボットハンド１１６自体は図１０に示されるような従来のロボットハンドと同様なものを使用できる。
【００２６】
鏡面７はアライメント用カメラ１１８の照明光を反射し、検出端部１２０と背景との輝度コントラストを高める。その結果、ワーク端部検出機構１の内部に特別な照明装置を配置しなくても、端部１２０を短時間のうちに確実に検出することが可能となり、作業効率が飛躍的に向上する。
【００２７】
図２は鏡面７の形状を示す平面図である。鏡面７は（Ａ）に示されるようなリング状であることもでき、あるいは（Ｂ）に示されるような円盤状であることもできる。リング状に比べ円盤状の方が光反射量が若干多い。
【００２８】
鏡面７は平面状であることもできるが、凸面状であることもできる。鏡面７が凸面状の場合、アライメント用カメラ１１８の照明光が散乱され、高光反射量を期待できる。
【００２９】
図３は本発明のワーク端部検出機構の別の実施態様の部分概要断面図である。図２に示されたワーク端部検出機構１Ａは、筒状胴部材３’の開口部内径φ１よりも、筒状胴部材３’の閉塞部材５下面寄りの内径φ２の方が大きい。φ１＜φ２とすることにより、φ１＝φ２の場合に比べて、閉塞部材５の光反射面積が増大するので、アライメント用カメラ１１８の照明光の反射量を高めることができ、その結果、検出端部１２０と背景との輝度コントラストを高めることができる。φ１とφ２の差は、０．６ｍｍ以上、好ましくは１．０ｍｍ以上であることが好ましい。φ１とφ２の差が０．６ｍｍ未満の場合、閉塞部材５の下面の光反射面の面積の増大量が不十分であり、検出端部１２０と背景との輝度コントラストを高めることはできない。φ１とφ２の差の上限値は筒状胴部材３’の大きさにもよるが、一般的に４ｍｍ程度である。φ１とφ２の差が４ｍｍ超になっても輝度コントラスト増大効果が飽和する一方で、筒状胴部材３’の直径が大きくなり過ぎ、ワーク端部検出機構１Ａ自体の取り扱いも困難になる。
【００３０】
図４は本発明のワーク端部検出機構の他の実施態様の部分概要断面図である。図３に示されたワーク端部検出機構１Ｂは、閉塞部材５の下面側に鏡面７が存在すると共に、筒状胴部材３’の開口部内径φ１よりも、筒状胴部材３’の閉塞部材５下面寄りの内径φ２の方が大きい。このワーク端部検出機構１Ｂは、図１に示された鏡面７による光反射量の増大と、図２に示された大きな光反射面による光反射量の増大とにより、輝度コントラスト増大の相乗効果を発揮することができる。
【００３１】
筒状胴部材３及び３’は、中空の円柱筒形の他、中空の角柱筒形であることもできる。また、図示された実施態様では、胴部材３又は３’と閉塞部材５とは別体となっているが、胴部材３又は３’と閉塞部材５とは一体構造物であることもできる。図示された実施態様において、胴部材３又は３’と閉塞部材５とは、嵌着、螺着、接着、楔着、溶接など公知慣用の手段で相互に固定することができる。
【００３２】
図１〜図４に示されたワーク端部検出機構を、ディスクなどのワークの真空吸着搬送機構に応用することができる。図５は、本発明によるワーク搬送機構の或る実施態様の部分概要断面図である。図５に示されたワーク搬送機構１０は基本的に、真空吸着チャック１３と、真空吸着チャック１３に連結された真空吸着ヘッド１５と、該ヘッド１５に接続され、該ヘッド１５をＸＹＺ方向に移動させるためのロボットハンド１１６とからなる。真空吸着チャック１３は下部側壁部材１９と上部側壁部材２１とからなる中空の筒状をしており、下部側壁部材１９と上部側壁部材２１の内部には空気吸引孔２３が穿設されている。真空吸着ヘッド１５の内部には排気空間２５が設けられており、空気吸引孔２３の上端部は排気空間２５に向かって開口している。排気空間２５の一端には吸引パイプ１１０が接続されている。従って、吸引パイプ１１０及びロボットハンド１１６自体は図１０に示された従来の真空吸着搬送機構で使用されるものと同じものを使用できる。空気吸引孔２３の下端部は大気に向かって開口している。従って、空気吸引孔２３の下端部をディスク１０１の非記録領域１０４に接触させることにより、真空吸着チャック１３でディスク１０１を真空吸着する。
【００３３】
本発明によるワーク搬送機構１０で使用する真空吸着チャック１３と、図１０に示された従来の真空吸着搬送機構で使用される真空チャック１０６との相違点は、本発明の真空真空吸着チャック１３では、中空筒状チャック１３の開口部と反対側に閉塞部材２６が配設されており、中空筒状チャック１３の開口部から入射した光を反射するための鏡面２８が、閉塞部材２６の下面側に存在することである。鏡面２８はアライメント用カメラ１１８の照明光を反射し、検出端部１２０と背景との輝度コントラストを高める。その結果、中空筒状の真空チャック１３の内部に特別な照明装置を配置しなくても、端部１２０を短時間のうちに確実に検出することが可能となり、作業効率が飛躍的に向上する。アライメント用カメラ１１８の検出結果は制御装置３０を介してロボットハンド１１６に送信され、ロボットハンド１１６の動作を制御する。鏡面２８は例えば、閉塞部材２６の下面を鏡面加工又は鏡面仕上げすることにより形成することができる。鏡面２８は例えば閉塞部材２６の下面に、メッキなどの化学的処理を施すか、又はバフ掛けや研磨などの機械的処理を施すことにより形成できる。
【００３４】
真空吸着チャック１３は真空吸着ヘッド１５の下面側に、嵌着、螺着、接着、楔着、溶接など公知慣用の手段で固定することができる。真空吸着チャック１３は真空吸着ヘッド１５との間の真空度を保つために、真空吸着チャック１３の上部側壁部材２１の外壁面と真空吸着ヘッド１５の接触界面にＯリング２４を配設することが好ましい。
【００３５】
図６は、本発明によるワーク搬送機構の別の実施態様の部分概要断面図である。図６に示されるワーク搬送機構１０Ａでは、図５のワーク搬送機構１０と異なり、閉塞部材２６の下面にはアライメント用カメラ１１８の照明光を反射するための鏡面が存在しない。ワーク搬送機構１０Ａでは、下部側壁部材１９及び上部側壁部材２１により形成される内腔部の内径が下部と上部で異なることである。本発明の真空吸着チャック１３’では、下部側壁部材１９の内径のφ１は上部側壁部材２１の内径φ２よりも小さい。即ち、本発明の真空吸着チャック１３’は常に、φ１＜φ２の関係を有しなければならない。φ１＜φ２の場合、φ１＝φ２の場合に比べて、閉塞部材２６の下面の面積が増大するので、アライメント用カメラ１１８（図１１参照）の照明光の反射量を高めることができる。本発明の真空吸着チャック１３’が下部側壁部材１９と上部側壁部材２１との２パーツから構成されているのは、φ１＜φ２の関係を形成し易くするためであるが、φ１＜φ２の関係が形成できさえすれば、側壁部材は１パーツだけで構成することもできる。φ１とφ２の差は、０．６ｍｍ以上、好ましくは１．０ｍｍ以上であることが好ましい。φ１とφ２の差が０．６ｍｍ未満の場合、閉塞部材２６の下面の面積の増大量が不十分であり、検出端部１２０と背景との輝度コントラストを高めることはできない。φ１とφ２の差の上限値は真空吸着チャック１３’の大きさにもよるが、一般的に４ｍｍ程度である。φ１とφ２の差が４ｍｍ超になっても輝度コントラスト増大効果が飽和する一方で、真空吸着チャック１３’の直径が大きくなり過ぎ、ワーク搬送機構１０Ａ自体の取り扱いも困難になる。
【００３６】
図７は、本発明によるワーク搬送機構の他の実施態様の部分概要断面図である。図６に示されるワーク搬送機構１０Ｂでは、図６に示された内径の異なる真空吸着チャック１３’において、該真空吸着チャック１３’内部の閉塞手段２６の下面側に鏡面２８を有する。このワーク搬送機構１０Ｂは、図５に示された鏡面７による光反射量の増大と、図６に示された大きな光反射面による光反射量の増大とにより、輝度コントラスト増大の相乗効果を発揮することができる。
【００３７】
鏡面２８は、鏡面７と同様に、図２（Ａ）に示されるようなリング状であることもでき、あるいは（Ｂ）に示されるような円盤状であることもできる。リング状に比べ円盤状の方が光反射量が若干多い。
【００３８】
また、鏡面２８は図８に示されるように凸状の曲面に形成されていることもできる。鏡面２８が凸状の曲面に形成されていると、アライメント用カメラ１１８（図１１参照）の照明光が散乱され、光反射量を高めることができる。
【００３９】
閉塞手段２６は真空吸着チャック１３又は１３’の上部側壁部材２１の内径側に嵌着、螺着、接着、楔着、溶接など公知慣用の手段で固定することができる。図５〜８では、閉塞手段２６は真空吸着チャック１３’の側壁部材と別体として図示されているが、所望により、閉塞手段２６は真空吸着チャック１３又は１３’の側壁部材と一体の筒形容器のような構造であることもできる。
【００４０】
図９は本発明のワーク搬送機構で使用される真空吸着チャック１３又は１３’の底面図である。下部側壁部材１９の吸着面に開口する空気吸引孔２３は（Ａ）に示されるような連続的円環状であることもできるし、あるいは（Ｂ）に示されるような不連続な独立した形状のものであることもできる。
【実施例１】
【００４１】
厚さ１ｍｍ、直径６４ｍｍで、中心部に内径２４ｍｍの貫通孔を有する円盤状ディスクを用いて貫通孔の端部検出と真空吸着搬送作業を行った。貫通孔の端部は図１１に示されるように面取りされていた。円盤状ディスクの真空吸着搬送には、図１０に示されるような従来技術の真空吸着搬送機構（比較例１）と、図５に示される本発明の真空吸着搬送機構（実施例１−１）、図６に示される本発明の真空吸着搬送機構（実施例１−２）及び図７に示される本発明の真空吸着搬送機構（実施例１−３）を使用した。図１０に示されるような従来技術の真空吸着搬送機構における真空チャック１０６の内径は２０．６ｍｍであった。一方、図５に示される本発明の真空吸着搬送機構における真空吸着チャック１３の内径（φ１）は２０．６ｍｍであり、図６及び図７に示される本発明の真空吸着搬送機構における真空吸着チャック１３’の下部内径（φ１）は２０．６ｍｍ、上部内径（φ２）は２２．０ｍｍであった。図５に示される本発明の真空吸着搬送機構における真空吸着チャック１３及び図７に示される本発明の真空吸着搬送機構における真空吸着チャック１３’における鏡面２８は閉塞部材２６の下面を研磨処理することにより形成した。アライメント用画像処理システムとしては、パナソニック製イメージチェッカ（ＰＶ５００）を使用し、２００万画素ＣＣＤカメラ、１．５倍レンズを使用した。アライメント用画像処理システムの照明光源には、ＬＥＤの同軸落射照明を使用した。
【００４２】
２５６階調を基準として各搬送機構による端部検出のコントラスト差を示す。
比較例１    ：  ２／２５６
実施例１−１：３０／２５６
実施例１−２：２５／２５６
実施例１−３：８１／２５６
【００４３】
前記の測定結果から、比較例のコントランス差に比べて、鏡面のみの本発明の真空吸着搬送機構（図５）及び拡大内径のみの本発明の真空吸着搬送機構（図６）のコントラスト差は１２倍以上も高く、それぞれ単独でも十分に端部検出できる。しかし、鏡面と拡大内径を併用した図７に示される本発明の真空吸着搬送機構のコントランス差は、鏡面のみの本発明の真空吸着搬送機構（図５）及び拡大内径のみの本発明の真空吸着搬送機構（図６）のコントラスト差の和よりも高く、両方を併用することにより、それぞれ単独の場合よりも効果が相乗されていることが確認できる。
【００４４】
前記と同じ真空吸着搬送機構を用いて画像処理による端部検出精度を測定した。測定結果を、同一端部について画像処理を１００回実施した時の検出位置の画素のバラツキの平均値として示す。
比較例      ：画像処理による端部検出不可
実施例１−１：５画素以下
実施例１−２：５画素以下
実施例１−３：２画素以下
【００４５】
前記の測定結果から、比較例の真空吸着搬送機構では端部を検出出来なかったが、鏡面のみの本発明の真空吸着搬送機構（図５）及び拡大内径のみの本発明の真空吸着搬送機構（図６）では端部検出が可能になった。更に、鏡面と拡大内径を併用した図７に示される本発明の真空吸着搬送機構の場合、端部位置検出精度が、実施例１−１，１−２に比べて２倍以上向上している。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上、本発明のワーク端部検出機構及びワーク搬送機構について好ましい実施態様を幾つか挙げて具体的に例証してきたが、本発明は明細書に挙げられ、また図示された実施態様に限定されない。例えば、搬送されるワークは中心に穴の或るディスクに限らず、アライメント用カメラで中心位置決めして搬送する必要のあるワークならば全て本発明のワーク搬送機構により真空吸着搬送することができる。
また、鏡面は閉塞部材の下面だけでなく、筒状部材３及び真空吸着チャック１３’の内壁面全体に形成することもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１、１Ａ、１Ｂ  本発明のワーク端部検出機構
３、３’  筒状胴部材
５  閉塞部材
７  鏡面
９  外部突起
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｂ’  本発明のワーク搬送機構
１３、１３’  真空吸着チャック
１５  真空吸着ヘッド
１９  下部側壁部材
２１  上部側壁部材
２３  空気吸引孔
２４  Ｏリング
２５  排気空間
２６  閉塞部材
２８  鏡面
２２  光反射面
２４  Ｏリング
１０１  ディスク
１０２  記録領域
１０４  非記録領域
１１０  吸引パイプ
１１６  ロボットハンド
１１８  アライメント用カメラ
１３０  ワーク
１３２  搬送機構
１３４  チャック部材
１３６  アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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