(57)【要約】【課題】試料識別標記や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダを要せず、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別する分析装置を提供する。【解決手段】本発明の分析装置は、カセット２１の種類を識別するカセット部２０と、試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料が載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ８と、カセット２１から試料ホルダ８へ試料Ｓを搬送する搬送手段２３と、試料ホルダの挿入口の径方向端８４または輪状の台座の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別信号および試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０とを備える。【選択図】図１
2012083286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の試料を分析する分析装置であって、
試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、
試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される輪状の台座を有する試料ホルダと、
前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、
前記試料ホルダが載置される試料ステージと、
前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、
前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する分析装置。
【請求項２】
円板状の試料を分析する分析装置であって、
試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、
試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される円板状の台座を有する試料ホルダと、
前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、
前記試料ホルダが載置される試料ステージと、
前記試料ホルダの挿入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、
前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載の分析装置において、
前記試料ホルダが円板状の台座に円形の凹入口を有し、
試料ホルダ識別手段が、前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記凹入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する分析装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換時に開閉される試料ホルダ交換扉であって、閉鎖状態において前記試料ホルダ識別信号を保持し、開放状態において前記試料ホルダ識別信号を無効にする試料ホルダ交換扉を備える分析装置。
【請求項５】
請求項４に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換扉が閉鎖されたときに、前記試料ホルダ識別手段が前記試料ホルダの種類を識別して試料ホルダ識別信号を発信する分析装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換扉が、
ロック機構を解除するロック解除スイッチによりロックが解除され、
測定者によって開放状態にされ、
保持している前記試料ホルダ識別信号を無効にし、
測定者によって閉鎖され、
前記ロック機構によりロックされ、
前記試料ホルダ識別手段によって発信された試料ホルダ識別信号を保持する、
という手順によって作動する分析装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端、前記輪状の台座の内径方向端および前記凹入口の径方向端のうち少なくとも１つを検出する非接触型検出器を有し、
前記非接触型検出器が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、前記非接触型センサが試料有無信号を発信する分析装置。
【請求項８】
請求項１〜７に記載のいずれか一項に記載の分析装置において、
測定者が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を載置し、試料載置位置から測定位置に前記試料ステージを移動させて測定する手動投入モードを備える分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハや磁気ディスクなどの円板状の試料を分析する分析装置において、特に試料を保持する試料ホルダを識別する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線分析装置などの分析装置において、様々なサイズ、形状の試料を測定するために、試料タイプごとに試料ホルダを用いている。試料タイプに適合しない試料ホルダを用いると、試料や装置を汚染させたり、装置の故障を誘発したりするなどの問題があった。そこで、試料が収納された円筒状の試料容器側面に対向させて読取ヘッドを配置し、試料容器側面に試料識別標記、分析条件指定標記などの表示体を添付し、読取ヘッドの読取結果によって分析装置を制御する蛍光Ｘ線分析装置がある（特許文献１）。
【０００３】
また、試料ホルダに試料を保持させ、この試料の上部に、そのサイズに応じた孔径をもつマスクを選択して取付け、このマスクに設けた孔から試料の測定面を露出させて測定するＸ線分析装置において、マスクの少なくとも表面を、試料中の含量が微量またはゼロであり、かつ、マスク径の大きさに応じて異なる種類の特異元素からなる材料により形成して、この特異元素からの２次Ｘ線の強度を測定することによりマスク径を判別するマスク径の判別方法がある（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実公昭５４−２９８２８号公報
【特許文献２】特開平８−１８４５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析装置では、試料容器に試料が収納され、試料識別標記、分析条件指定標記などの表示体が添付されており、試料を収納する前に試料容器を識別することができず、試料識別標記、分析条件指定標記などの表示体を試料容器ごとに添付しなければならない。
【０００６】
特許文献２に記載のマスク径の判別方法では、試料中の含量が微量またはゼロであり、マスク径の大きさに応じて異なる種類の特異元素からなる材料によりマスクを形成して、１次Ｘ線を照射して、この特異元素からの２次Ｘ線の強度を測定することによりマスク径を判別している。したがって、特異元素で構成されたマスクが必要であり、さらに、試料ホルダを１次Ｘ線が照射される測定位置に搬送して判別するので、余分な時間を要する。
【０００７】
そこで、本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダなどが必要なく、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別することができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の第１構成の分析装置は、円板状の試料を分析する分析装置であって、試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される輪状の台座を有する試料ホルダと、前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、前記試料ホルダが載置される試料ステージと、前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、を備える。
【０００９】
分析装置は、さらに、前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する。
【００１０】
本発明の第１構成の分析装置によれば、試料ホルダの挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出して試料ホルダを自動識別し、カセットに収納されるべき試料の直径と試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを自動判定することができるので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダなどが必要なく、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別することができる。
【００１１】
本発明の第２構成の分析装置は、円板状の試料を分析する分析装置であって、試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される円板状の台座を有する試料ホルダと、前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、前記試料ホルダが載置される試料ステージと、前記試料ホルダの挿入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、を備え、前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する。
【００１２】
本発明の第２構成の分析装置によれば、試料ホルダの挿入口の径方向端を検出して試料ホルダを自動識別し、カセットに収納されるべき試料の直径と試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを自動判定することができるので、本発明の第１構成の分析装置と同様の効果を奏することができる。
【００１３】
本発明の第２構成の分析装置は、前記試料ホルダが円板状の台座に円形の凹入口を有し、試料ホルダ識別手段が、前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記凹入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信するのが好ましい。この場合にも、本発明の第１構成の分析装置と同様の効果を奏することができる。
【００１４】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ交換時に開閉される試料ホルダ交換扉であって、閉鎖状態において前記試料ホルダ識別信号を保持し、開放状態において前記試料ホルダ識別信号を無効にする試料ホルダ交換扉を備えるのが好ましい。この場合には、試料ホルダ交換扉が閉鎖状態から開放状態にされると、試料ホルダが交換されたか、否かが不明となるので、試料ホルダ識別信号を無効にし、再度、試料ホルダ識別を行うことによって試料ホルダ識別を確実にすることができる。
【００１５】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ交換扉が閉鎖されたときに、前記試料ホルダ識別手段が前記試料ホルダの種類を識別して試料ホルダ識別信号を発信するのが好ましい。この場合には、試料ホルダ交換扉が閉鎖された状態で試料ホルダの種類を識別するので、試料ステージの移動などによる動作時の安全を確保することができる。
【００１６】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ交換扉が、ロック機構を解除するロック解除スイッチによりロックが解除され、測定者によって開放状態にされ、保持している前記試料ホルダ識別信号を無効にし、測定者によって閉鎖され、前記ロック機構によりロックされ、前記試料ホルダ識別手段によって発信された試料ホルダ識別信号を保持する、という手順によって作動するのが好ましい。この場合には、試料ホルダ交換扉
が開放状態から再度、ロックされると試料ホルダ識別の種類を識別して試料ホルダ識別信号を保持するという手順によって作動されるので、試料ホルダ識別を確実にすることができるとともに試料ステージの移動などによる動作時の安全をより確保することができる。
【００１７】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端、前記輪状の台座の内径方向端および前記凹入口の径方向端のうち少なくとも１つを検出する非接触型検出器を有し、前記非接触型検出器が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、前記非接触型センサが試料有無信号を発信するのが好ましい。この場合には、試料ホルダ内の試料有無を検出できるので、試料を試料ホルダに載置した状態で試料ホルダの識別動作の開始を防止することができ、試料ホルダ識別を確実にすることができる。
【００１８】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、測定者が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を載置し、試料載置位置から測定位置に前記試料ステージを移動させて測定する手動投入モードを備えるのが好ましい。この場合には、カセットに収納されている以外の試料やカセットに収納できない試料を手動投入して測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態のＸ線分析装置の概略図である。
【図２】同装置の本体部外観の概略図である。
【図３Ａ】同装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ断面図である。
【図４Ａ】同装置の１５０ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図４Ｂ】同装置の１００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図５Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図５Ｂ】同装置の遮光位置における試料ホルダを示す図である。
【図６Ａ】同装置の装置動作フローを示す第１図である。
【図６Ｂ】同装置の装置動作フローを示す第２図である。
【図７】同装置の表示手段に表示された試料ホルダ識別時の同装置の構成を示す図である。
【図８】同装置の試料ホルダ識別のフローを示す図である。
【図９Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図９Ｂ】同装置の台座の内径方向端における試料ホルダを示す図である。
【図９Ｃ】同装置の挿入口の径方向端における試料ホルダを示す図である。
【図１０】本発明の第２実施形態のＸ線分析装置の概略図である。
【図１１Ａ】同装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図１１Ｂ】図１１ＡのＸＩＢ−ＸＩＢ断面図である。
【図１２Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図１２Ｂ】同装置の挿入口の径方向端における試料ホルダを示す図である。
【図１３Ａ】本発明の第３実施形態のＸ線分析装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図１３Ｂ】図１３ＡのＸＩＩＩＢ−ＸＩＩＩＢ断面図である。
【図１４Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図１４Ｂ】同装置の円板状の台座の凹入口の径方向端における試料ホルダを示す図である。
【図１４Ｃ】同装置の挿入口の径方向端における試料ホルダを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の第１実施形態のＸ線分析装置などの分析装置について説明する。例えば、円板状の試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置であるＸ線分析装置の構成について、図面にしたがって説明する。図１に示すように、このＸ線分析装置は、ウエーハ、磁気ディスクなどの円板状の試料Ｓを収納するカセット２１、および、カセット２１の種類を識別して収納されるべき試料Ｓの直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段２２を有するカセット部２０と、蛍光Ｘ線分析装置の本体部１００と、カセット２１から蛍光Ｘ線分析装置の本体部１００へ試料Ｓを搬送するロボットなどの搬送手段２３とで構成されている。
【００２１】
試料Ｓの収納には、試料Ｓの直径１００、１２５、１５０、２００ｍｍなどのそれぞれに適合したカセット２１が用いられ、カセット識別手段２２はカセット２１を配置する配置部と、この配置部においてカセット２１の種類に対応した位置に設けられた検出部、例えば透過型光センサ部（図示なし）とを有し、カセット２１の種類を識別する。カセット２１がカセット識別手段２２に載置されると、カセット識別手段２２がカセット２１の種類を識別してカセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径に対応したカセット識別信号を発信し、その識別信号を保持する。カセット２１の識別に用いられる検出部は透過型光センサに限らず、反射型光センサ、静電容量センサなどの非接触型センサでもマイクロスイッチなどの接触型センサでもよい。
【００２２】
図２の本体部１００の外観図に示すように、本体部１００は、搬送手段２３（図１）によってカセット２１（図１）から搬送された試料Ｓ（図１）を投入して試料ホルダ８（図１）に載置する試料投入部１０１と、試料ホルダ８（図１）に載置された試料Ｓ（図１）を分析する分析室１０５と、試料ホルダ８（図１）交換時に開閉される試料ホルダ交換扉１０６とを備える。試料投入部１０１は上方から当該試料投入部１０１を開閉するリッド１０２を有し、試料ホルダ交換扉１０６は閉鎖状態ではロック機構１０７（図１）によってロックされており、ロック解除スイッチ１０８によって解除される。
【００２３】
図１に示すように、本体部１００は、試料Ｓの直径に対応した直径を有して上方から試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料Ｓが載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ（図３Ａ、３Ｂ）と、試料ホルダ８が載置される試料ステージ２５と、試料ステージ２５を試料ホルダの台座の孔８１の径方向に移動させる移動手段２６と、試料ホルダの輪状の台座８２の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料Ｓの直径に対応した試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５とを備える。試料ホルダ識別手段３５は透過型光センサ３０を有する。透過型光センサ３０は、試料ホルダの台座の孔８１の軸方向に光線を放射する光源３１と、台座の孔８１を通過した光線を検出する光検出器３２とを有し、光検出器３２の受光の有無を示す光有無信号を発信する。透過型光センサ３０の光源３１は、例えばリッド１０２の上方の装置筐体に取り付けられ、光検出器３２は光源３１と対向する位置であって試料ステージ２５の下方に取り付けられている。なお、本発明の試料ホルダ８とは、個々の試料Ｓに付随するものではなく、試料Ｓを載置すべく装置に付随するものであり、試料Ｓのサイズに応じて交換される。また、試料ホルダの台座の孔８１の径方向への移動とは、例えば上面視での台座の孔８１のＸ−Ｙ座標のＸ方向への移動をいう。
【００２４】
図３Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８の平面図、図３Ｂは図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ断面図を示している。図３Ａ、３Ｂに示すように、試料ホルダ８は試料Ｓが挿入される挿入口８３、挿入口８３の径方向端８４、試料Ｓが載置される輪状の台座８２、台座の孔８１、孔の径方向端である台座の内径方向端８５、および環状縁を有する。図４Ａは試料直径１５０ｍｍ用、図４Ｂは試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ８の平面図を示している。これらの試料ホルダ８は２００ｍｍ用の試料ホルダと試料ホルダ挿入口８３の径および台座の孔８１の径が異なり、材料などは同じである。
【００２５】
図１に示すように、分析室１０５は、試料Ｓに向けて１次Ｘ線２を照射するＸ線管などのＸ線源１と、１次Ｘ線２の照射によって試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を、たとえばＬｉＦ分光結晶などの分光素子によって分光し、その２次Ｘ線４の強度を検出する検出器を有する検出手段７とを備えている。試料Ｓの分析時には、移動手段２６によって試料ステージ２５が試料投入部１０１から分析室１０５に移動されて、試料ホルダ８に載置された試料Ｓに１次Ｘ線２が照射される。本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は下面照射多元素同時型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置であり、検出手段７は測定元素毎に設けられた固定型のゴニオメータである。
【００２６】
本体部１００は、さらに、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、透過型光センサ３０が光有信号を発信する基準位置Ｏから光無信号を発信する位置まで移動手段２６によって台座の孔８１の径方向に移動させ、基準位置Ｏから移動した移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別手段２２から発信されたカセット識別信号および試料ホルダ識別手段３５から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０と、試料ホルダ交換扉１０６の開閉状態、リッド１０２の開閉状態、カセット識別手段２２によって識別されたカセット２１の種類、試料ホルダ識別手段３５によって識別された試料ホルダ８の種類、判定手段４０によって判定された結果および装置の動作状態の構成図を表示する表示手段６０と、リッド１０２、搬送手段２３および移動手段２６を制御する制御手段５０とを備える。
【００２７】
図５Ａに示すように、例えば、初期状態の試料ステージ２５の分析室側の端面位置を移動距離Ｌの測長のための基準位置Ｏとする。試料ホルダ識別手段３５は、基準位置Ｏから試料ステージ２５を台座の孔８１の径方向に、例えば、図５Ａに示されているように光源３１から放射される光線３３が台座の孔８１の中心を通過する位置から、図５Ｂに示されているように台座８２によって光線３３が遮光される位置Ａまで移動させ、光線３３を光検出器３２が受光できなくなると、試料ステージ２５の基準位置Ｏから遮光位置Ａまでの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信する。
【００２８】
試料ホルダ識別手段３５から発信される試料ホルダ識別信号は、試料ホルダ交換扉１０６の閉鎖状態においては保持されるが、試料ホルダ交換扉１０６がロック解除スイッチ１０７によってロック解除され、開放状態にされると無効にされる。
【００２９】
次に、第１実施形態のＸ線分析装置の動作について図６Ａ、６Ｂに示す装置動作フローに基づいて説明する。図６ＡのステップＳ１では、装置の主電源スイッチをオンにして動作を開始する。次に、ステップＣ１では、測定者は、例えば直径２００ｍｍのウエーハの試料Ｓを試料直径に適合するカセット２１に収納して、そのカセット２１をカセット識別手段２２の配置部へ載置する。次に、ステップＣ２では、カセット２１の種類に対応した位置に設けられた、カセット識別手段２２の検出部がカセットの種類を識別する。次に、ステップＣ３では、カセット識別手段２２が直径２００ｍｍの試料Ｓに対応したカセット識別信号を判定手段４０に発信し、その識別信号を保持する。カセット２１の種類が識別されると、表示手段６０に表示された図７の装置の構成図に示すように、画面の左上の太線表示された矩形内（Ｅ−１）に、「２００ｍｍ」と表示され、試料直径２００ｍｍ用のカセット２１の種類が識別されたことが示される。
【００３０】
次に、図６ＢのステップＨ１では、測定者が試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８を試料投入部１０１の試料ステージ２５に配置するために、試料ホルダ交換扉１０６のロック解除スイッチ１０８を押す。次に、ステップＨ２では、リッド１０２が制御手段５０によって制御されて上方に開く。次に、ステップＨ３では、試料ホルダ交換扉１０６のロックが解除され、試料ホルダ交換扉１０６の開放が可能になる。次に、ステップＨ４では、測定者によって試料ホルダ交換扉１０６が開放される。次に、ステップＨ５では、保持されていた試料ホルダ識別信号が無効となる。このように、試料ホルダ８が交換される可能性のない試料ホルダ交換扉１０６の閉鎖時は試料ホルダ識別信号をそのまま保持し、試料ホルダ８が交換される可能性のある開放時にのみ試料ホルダ識別信号を無効とするので、試料毎に試料ホルダ８を識別する必要がなく、測定時間を短縮することができる。試料ホルダ識別信号が無効となると、試料ホルダ８の有無および種類を不明とすることによって、再度の試料ホルダ識別を義務付けて、誤った試料ホルダの載置を防止し、動作をより確実にしている。
【００３１】
次に、ステップＨ６では、測定者が、既に試料ステージ２５に載置されている試料ホルダ８と試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８とを交換する。次に、ステップＨ７では、測定者が試料ホルダ交換扉１０６を閉じる。次に、ステップＨ８では、測定者によって試料ホルダ交換扉１０６が閉じられると、制御手段５０はロック機構１０７を制御して試料ホルダ交換扉１０６をロックする。次に、ステップＨ９で、試料ホルダ識別手段３５が透過型光センサ３０からの光有信号を受信すると、試料ホルダ識別手段３５は、試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていないと判別する。
【００３２】
また、測定者が万一、誤って、試料ホルダ８に試料Ｓを保持した状態で試料ステージ２５に載置すると、ステップＨ９で、試料ホルダ識別手段３５は透過型光センサ３０から光無信号を受信して、ステップＨ９１に進み、試料Ｓが載置されている旨を表示手段６０に表示させ、試料ホルダ８の識別動作を行わず、待機状態になる。
【００３３】
ステップＨ９で、試料ホルダ識別手段３５が試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていないと判別すると、ステップＨ１０に進み、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ８の識別を開始し、試料ステージ２５を基準位置Ｏに移動する。つまり、透過型光センサ３０からの光有信号を試料ホルダ識別手段３５が受信すると、試料ステージ２５が移動手段２６によって基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に移動される。このように、試料ホルダ交換扉１０６が閉鎖された状態で試料ホルダ８の種類を識別するので、試料ステージ２５の移動などによる動作時の安全を確保することができる。
【００３４】
ステップＨ１０および１１の試料ホルダ識別について、図８の試料ホルダ識別フロー図に基づいて説明する。ステップＤ１では、試料ステージ２５が移動手段２６によって基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向へ５０ｍｍまで移動される。次に、ステップＤ２では、透過型光センサ３０の光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されるか、否かを透過型光センサ３０が検出する。試料ステージ２５が５０ｍｍ移動した位置で、透過型光センサ３０の光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光され、光検出器３２が光線３３を受光しなくなると、ステップＨ１１−１に進み、試料ホルダ識別手段３５が透過型光センサ３０から光無信号を受信し、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ８が載置されていることを示す試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、その識別信号を保持する。ステップＤ２で光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されない場合には、ステップＤ３に進み、試料ステージ２５の移動を７５ｍｍまで継続する。
【００３５】
次に、ステップＤ４では、透過型光センサ３０の光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されるか、否かを透過型光センサ３０が検出する。基準位置Ｏから７５ｍｍ移動した位置で、光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されると、ステップＨ１１−２に進み、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ８と同様にして、試料ホルダ識別手段３５が試料直径１５０ｍｍ用の試料ホルダ８が載置されていることを示す試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、その識別信号を保持する。ステップＤ４で光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されない場合は、ステップＤ５に進み、試料ステージ２５の移動を１００ｍｍまで継続する。
【００３６】
次に、ステップＤ６では、透過型光センサ３０の光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されるか、否かを透過型光センサ３０が検出する。基準位置Ｏから１００ｍｍ移動した位置で、光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されると、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ８と同様にして、試料ホルダ識別手段３５が試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８が載置されていることを示す試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、その識別信号を保持する。ステップＨ１１−３で試料ホルダ８が識別されると、表示手段６０に表示された図７の装置の構成図に示すように、画面の左下の太線表示された矩形内（Ｅ−２）に、「ホルダー２００ｍｍ」と表示され、試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８が識別されたことが示される。このようにして、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ８の種類を識別し、その識別信号を判定手段４０に発信し、その識別信号を保持する。
【００３７】
ステップＤ６において、試料ステージ２５が１００ｍｍ移動した位置で、光源３１からの光線３３が試料ホルダの台座８２に遮光されない場合は、試料ステージ２５の移動を継続し、リミット位置まで移動して停止する。このとき、試料ホルダ識別手段３５が透過型光センサ３０の光有信号を受信していると、ステップＤ７に進み、試料ホルダ８が載置されていないことを示す信号を判定手段４０に発信する。
【００３８】
ステップＨ１１−１、Ｈ１１−２またはＨ１１−３で試料ホルダが識別されると、ステップＤ８に進み、移動手段２６によって試料ステージ２５が基準位置Ｏに移動される。次に、ステップＤ９でステップＨ１０、Ｈ１１−１、Ｈ１１−２またはＨ１１−３による試料ホルダ８の識別動作が正常に終了すると、図６ＢのステップＨ１２に進み、リッド１０２が閉じられる。
【００３９】
次に、図６ＡのステップＳ２では、測定者が測定条件を設定する。次に、ステップＳ３では、測定者が試料ステージ２５に載置された試料ホルダ８に試料Ｓを載置し、試料載置位置から測定位置に試料ステージ２５を移動させて測定する手動投入モードか、否かを選択する。手動投入モードを選択しない場合には、ステップＳ４に進む。手動投入モードを選択した場合については後述する。
【００４０】
ステップＳ４では、カセット識別手段２２によってカセット２１が載置されているか、否かを判別する。カセット２１が載置されていないと、ステップＳ４１に進み、カセット２１が載置されていない旨が表示手段６０に表示される。ステップＳ４でカセット２１が載置されていると、ステップＳ５に進み、測定者が測定を開始するために測定開始ボタンを押す。次に、ステップＳ６では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていると、ステップＳ６１に進み、「投入口に試料Ｓがあります。投入口の試料を取り除いてください。」と表示手段６０に表示される。
【００４１】
ステップＳ６で試料が載置されていないと、ステップＳ７に進み、判定手段４０が、カセット識別手段２２から発信された試料Ｓの直径に対応したカセット識別信号と、試料ホルダ識別信号とに基づいて、カセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料Ｓの直径とが合致しているか、否かを判定する。上記したように直径２００ｍｍ用のカセット２１が配置されていると、カセット識別手段２２からの２００ｍｍ用のカセット２１が配置されていることを示すカセット識別信号と、試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８が載置されていることを示す試料ホルダ識別信号とに基づいて、２００ｍｍ用のカセット２１と２００ｍｍ用の試料ホルダ８とが合致しているか、否かを判定する。判定手段４０が、合致していないと判定すると、ステップＳ７１に進み、「検出されたサンプルホルダーが設定と異なります。設定を変更するか、サンプルホルダーを交換してください。」と表示手段６０に表示される。
【００４２】
ステップＳ７で合致していると、ステップＳ８に進み、リッド１０２が開き、試料Ｓが搬送手段２３によってカセット２１から搬送されて試料ホルダ８に載置される。次に、ステップＳ９では、制御手段５０は試料ステージ２５を移動手段２６によって分析室１０５に移動させる。次に、ステップＳ１０では、試料Ｓを測定位置に配置して測定条件に順じて試料Ｓの測定を開始する。
【００４３】
次に、ステップＳ１１では、試料ステージ２５を移動手段２６によって分析室１０５の測定位置から投入位置に移動させる。次に、ステップＳ１２では、試料Ｓが搬送手段２３によって試料ホルダ８からカセット２１へ搬送される。次に、ステップＳ１３では、制御手段５０によって処理を終了するか、否かが判断される。次測定の試料がある場合は、ステップ８〜１３の段階が繰り返される。ステップＳ１３で次に測定する試料がない場合は、ステップＳ１４に進み、カセット２１を載置位置から取り除く。次に、ステップＳ１５では、測定を終了する。
【００４４】
第１実施形態のＸ線分析装置によれば、試料Ｓの有無を検出する透過型光センサ３０によって試料Ｓが載置されていない試料ホルダ８を自動識別できるので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダなどが必要なく、試料Ｓを試料ホルダ８に搬送する前に試料ホルダ８を短時間で自動識別することができる。
【００４５】
なお、カセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料Ｓの直径とが合致していないと、判定手段４０からの信号に基づいて表示手段６０が合致していない旨を表示し、制御手段５０はリッド１０２を閉鎖状態に保持して、試料Ｓをカセット２１から試料ホルダ８に搬送させないように搬送手段２６を制御する。このように、カセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料Ｓの直径とが合致していないと、試料Ｓが試料ホルダ８に搬送されない。したがって、試料ホルダ８に収納されるべき試料Ｓの直径と合致しない試料Ｓが搬送されないので、試料Ｓや装置を汚染させたり、装置の故障を誘発したりすることがない。
【００４６】
上記では、図１に示すように、透過型光センサ３０の光源３１はリッド１０２の上方に取り付けられ、光検出器３２は光源３１と対向する位置であって試料ステージ２５の下方に取り付けられていたが、光検出器３２はリッド１０２の上方に取り付けられ、光源３１は光検出器３２と対向する位置であって試料ステージ２５の下方に取り付けられて試料ホルダ８の輪状の台座の径方向端８５を検出して試料ホルダ８の種類を識別してもよい。
【００４７】
次に、第１実施形態の変形例として試料ホルダ識別手段として反射型光センサを有する分析装置について説明する。図１で説明した蛍光Ｘ線分析装置において試料ホルダ識別手段の構成とその識別動作が異なるだけであるので、試料ホルダ識別手段の構成とその識別動作についてのみ説明する。
【００４８】
図９Ａにおいて、反射型光センサ７０は、例えば、レーザ式変位センサであり、三角測量を応用した方式で、半導体レーザ７１と光位置検出素子（ＰＳＤ）７２とを有している。レーザ式変位センサ７０は半導体レーザ７１の照射光７３が対象物に照射され、対象物から反射された反射光７４が光位置検出素子７２上にスポットを結び、このスポットの位置を検出することで対象物までの変位量が分かるようになっている。
【００４９】
まず、試料ホルダ識別手段３５がリッド１０２の上方に取り付けられたレーザ変位センサ７０を有し、輪状の台座８２の内径方向端８５を検出する装置について説明する。図９Ａに示すように、図５Ａと同様に初期状態の試料ステージ２５の分析室側の端面位置を移動距離Ｌの測長のための基準位置Ｏとする。図９Ｂに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が輪状の台座８２の内径方向端８５に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００５０】
次に、試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、挿入口８３の径方向端８４を検出する装置について説明する。図９Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから挿入口８３の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が輪状の台座８２の内径方向端８５に照射される位置まで移動させ、さらに輪状の台座８２の内径方向端８５でのスポット位置からスポットが変化するスポット位置Ｂ、すなわち照射光７３が挿入口８３の径方向端８４に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００５１】
レーザ式変位センサによるステップＨ１０、Ｈ１１−１、Ｈ１１−２およびＨ１１−３の試料ホルダ識別は、透過型光センサと検出方法は異なっているが、識別段階は図８の試料ホルダ識別フローと同様のステップで進行する。
【００５２】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ式変位センサ７０を有し、輪状の台座の内径方向端８５または挿入口の径方向端８４のいずれかを検出する装置において、レーザ式変位センサ７０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図６ＢのステップＨ９において、試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、試料ホルダ識別手段３５が光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置から変化したスポット位置の信号を受信すると、試料ホルダ８に試料Ｓが載置されたことを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、ステップＨ９１に進む。ステップＨ９１では、試料Ｓが載置されている旨を表示手段６０に表示する。図６ＡのステップＳ６では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていると、ステップＳ６１に進み、「投入口に試料Ｓがあります。投入口の試料を取り除いてください。」とエラー表示が表示手段６０に表示される。図６ＡのステップＭ１では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていないと、ステップＭ１１に進み、試料が載置されていない旨が表示手段６０に表示される。
【００５３】
次に、第１実施形態のさらなる変形例として試料ホルダ識別手段として静電容量センサを有する分析装置について説明する。図１で説明した蛍光Ｘ線分析装置において試料ホルダ識別手段３５の構成とその識別動作が異なるだけであるので、試料ホルダ識別手段３５の構成とその識別動作についてのみ説明する。
【００５４】
静電容量センサは、センサ内部の発振回路の電極と検出対象物の間に形成される静電容量が両者間の距離に応じて変化することを検出原理としている。
【００５５】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、台座の内径方向端８５を検出する装置について説明する。図９Ａに示すように、図５Ａと同様に初期状態の試料ステージ２５の分析室側の端面位置を移動距離Ｌの測長のための基準位置Ｏとする。図９Ｂに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が輪状の台座８２の内径方向端８５直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００５６】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口８３の径方向端８４を検出する装置について説明する。図９Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから挿入口８３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が輪状の台座８２の内径方向端８５直上にくるまで移動させ、さらに、静電容量センサ９０の検出静電容量が輪状の台座８２の内径方向端８５での静電容量から増加する位置Ｂ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口８３の径方向端８４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００５７】
静電容量センサによるステップＨ１０、Ｈ１１−１、Ｈ１１−２およびＨ１１−３の試料ホルダ識別は、透過型光センサと検出方法は異なっているが、識別段階は図８の試料ホルダ識別フローと同様のステップで進行する。
【００５８】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、輪状の台座の内径方向端８５または挿入口の径方向端８４のいずれかを検出する装置において、静電容量センサ９０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図６ＢのステップＨ９において、初期状態の試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、静電容量センサ９０が基準位置Ｏの静電容量から変化した静電容量の信号を受信すると、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、ステップＨ９１に進む。ステップＨ９１では、試料Ｓが載置されている旨を表示手段６０に表示する。図６ＡのステップＳ６では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていると、ステップＳ６１に進み、「投入口に試料Ｓがあります。投入口の試料を取り除いてください。」とエラー表示が表示手段６０に表示される。図６ＡのステップＭ１では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていないと、ステップＭ１１に進み、試料が載置されていない旨が表示手段６０に表示される。
【００５９】
反射型光センサ（レーザ式変位センサ）または静電容量センサを有する装置であっても透過型光センサを有する装置と同様に試料ホルダ８を自動識別できるので、過型光センサを有する装置と同様の作用、効果を奏することができる。
【００６０】
第１実施形態の装置は蛍光Ｘ線分析装置であり、試料や試料ホルダを汚染させないように、試料や試料ホルダを検出するセンサは、試料や試料ホルダと直接接触しない非接触型センサである透過型光センサ、反射型光センサ（レーザ式変位センサ）、静電容量センサなどを用いるのが好ましい。
【００６１】
第２実施形態の分析装置について説明する。図１の第１実施形態の装置としては、下面照射型であり、図３Ａ、３Ｂに示す孔８１を有する試料ホルダを備え、透過型光センサ、反射型光センサ（レーザ式変位センサ）、静電容量センサのいずれか１つを有する試料ホルダ識別手段を備える蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、第２実施形態の装置は、上面照射型であり、孔８１を有さない試料ホルダを備え、反射型光センサ（レーザ式変位センサ）または静電容量センサを有する試料ホルダ識別手段を備える蛍光Ｘ線分析装置であり、これらの異なる構成とその動作についてのみ説明する。
【００６２】
図１０に示すように、第２実施形態の装置は上面照射多元素同時型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置であり、検出手段７は測定元素毎に設けられた固定型のゴニオメータである。分析室１０５は、試料Ｓに向けて１次Ｘ線２を照射するＸ線管などのＸ線源１と、１次Ｘ線２が試料Ｓの上方から照射されて試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を、たとえばＬｉＦ分光結晶などの分光素子によって分光し、その２次Ｘ線４の強度を検出する検出器を有する検出手段７とを備えている。
【００６３】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、挿入口１２３の径方向端１２４を検出する装置について説明する。図１０に示すように、本体部１００は、試料Ｓの直径に対応した直径を有して上方から試料Ｓが挿入される挿入口１２３、および、試料Ｓが載置される円板状の台座１２２を有する試料ホルダ１２０（図１１Ａ、１１Ｂ）と、挿入口１２３の径方向端１２４を検出して、載置されるべき試料Ｓの直径に対応した試料ホルダ１２０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５とを備える。
【００６４】
図１１Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ１２０の平面図、図１１Ｂは図１１ＡのＸＩＢ−ＸＩＢ断面図を示している。図１１Ａ、１１Ｂに示すように、試料ホルダ１２０は、試料Ｓが挿入される挿入口１２３、挿入口１２３の径方向端１２４、試料Ｓが載置される円板状の台座１２２および環状縁１２６を有する。試料直径２００ｍｍ用、試料直径１５０ｍｍ用、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ１２０において、環状縁１２６の外径は同一であるが、挿入口１２３がそれぞれ試料直径に対応した径を有しており、材料などは同じである。
【００６５】
図１２Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１２０を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから挿入口１２３の径方向に移動させる。そして、図１２Ｂに示すように、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が挿入口１２３の径方向端１２４に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１２０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００６６】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ式変位センサ７０を有し、挿入口の径方向端１２４を検出する装置において、レーザ式変位センサ７０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。初期状態の試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、試料ホルダ識別手段３５が光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置から変化したスポット位置の信号を受信すると、試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、試料有信号を保持する。
【００６７】
次に、第２実施形態の変形例として試料ホルダ識別手段として静電容量センサ９０を有する分析装置について説明する。図１０で説明した蛍光Ｘ線分析装置において試料ホルダ識別手段３５の構成とその識別動作が異なるだけであるので、試料ホルダ識別手段３５の構成とその識別動作についてのみ説明する。
【００６８】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口１２３の径方向端１２４を検出する装置について説明する。図１２Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１２０を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから挿入口１２３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口１２３の径方向端１２４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１２０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００６９】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口の径方向端１２４を検出する装置において、静電容量センサ９０によって試料Ｓが試料ホルダ１２０に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。初期状態の試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、静電容量センサ９０が基準位置Ｏの静電容量から変化した静電容量の信号を受信すると、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ１２０に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、試料有信号を保持する。
【００７０】
第２実施形態の装置は第１実施形態の装置と同様に試料ホルダ８を自動識別できるので、第１実施形態の装置と同様の作用、効果を奏することができる。
【００７１】
第３実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。第３実施形態の装置は、第２実施形態の装置と同様に上面照射型であり、試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される円板状の台座を有し、この円板状の台座に円形の凹入口を有する試料ホルダ、を備え、反射型光センサ（レーザ式変位センサ）または静電容量センサを有する試料ホルダ識別手段を備える蛍光Ｘ線分析装置であり、これらの構成とその動作が第２実施形態の装置と異なるので、その異なる構成とその動作についてのみ説明する。
【００７２】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、試料ホルダ１３０の円板状の台座１３２における円形の凹入口１３１の径方向端１３５を検出する装置について説明する。
【００７３】
図１３Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ１３０の平面図、図１３Ｂは図１３ＡのＸＩＩＩＢ−ＸＩＩＩＢ断面図を示している。図１３Ａ、１３Ｂに示すように、試料ホルダ１３０は、試料Ｓが挿入される挿入口１３３、挿入口１３３の径方向端１３４、試料Ｓが載置される円板状の台座１２２を有し、この円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１、凹入口１３１の径方向端１３５を有し、環状縁１３６を有する。試料直径２００ｍｍ用、試料直径１５０ｍｍ用、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ１３０において、環状縁１３６の外径は同一であるが、挿入口１３３および凹入口１３１がそれぞれ試料直径に対応した径を有しており、材料などは同じである。
【００７４】
図１４Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから凹入口１３１の径方向に移動させる。そして、図１４Ｂに示すように、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が凹入口の径方向端１３５に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００７５】
次に、試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１を有する試料ホルダ１３０における挿入口１３３の径方向端１３４を検出する装置について説明する。
【００７６】
図１４Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから挿入口１３３の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が円板状の台座の凹入口１３１の径方向端１３５に照射される位置まで移動させ、さらに凹入口１３１の径方向端１３５でのスポット位置からスポットが変化する位置Ｂ、すなわち照射光７３が挿入口１３３の径方向端１３４に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００７７】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、凹入口の径方向端１３５を検出する装置について説明する。図１４Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから円板状の台座の凹入口１３１の径方向に移動させる。そして、図１４Ｂに示すように、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が凹入口１３１の内径方向端１３５直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００７８】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１を有する試料ホルダ１３０における挿入口１３３の径方向端１３４を検出する装置について説明する。図１４Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから挿入口１３３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量より増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が台座の凹入口１３１の径方向端１３５直上にくるまで移動させ、さらに、静電容量センサ９０の検出静電容量が凹入口１３１の径方向端１３５での静電容量より増加する位置Ｂ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口１３３の径方向端１３４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【００７９】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、台座の凹入口１３１の径方向端１３５または挿入口の径方向端１３４のいずれかを検出する装置において、判定手段４０が試料Ｓと試料ホルダ１３０とが合致していると判定し、試料Ｓが搬送手段２３によってカセット２１から搬送されて試料ホルダ１３０に載置されると、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０の基準位置Ｏの静電容量より変化した静電容量の信号を受信する。このとき、試料ホルダ識別手段３５は、試料ホルダ１３０に試料Ｓが載置されたことを判別し、試料Ｓが載置されていることを示す信号を制御手段５０に発信する。
【００８０】
第３実施形態の装置は第１実施形態の装置と同様に試料ホルダ１３０を自動識別できるので、第１実施形態の装置と同様の作用、効果を奏することができる。
【００８１】
本発明の第１〜第３実施形態の分析装置は、図６Ａのフロー図に示すように、測定者が試料ステージ２５に載置された試料ホルダ８、１２０、１３０に試料Ｓを載置し、試料載置位置から測定位置に試料ステージ２５を移動させて測定する、以下のような手動投入モードを備える。
【００８２】
まず、ステップＳ１では、測定者が装置の動作を開始する。次に、ステップＳ２では、測定者が測定条件を設定する。次に、ステップＳ３では、測定者が手動投入モードを選択する。次に、ステップＭ１では、試料ホルダ識別手段３５が試料ホルダ８、１２０、１３０に試料Ｓが載置されているか、否かを判別する。試料Ｓが載置されていないと、ステップＭ１１に進み、表示手段６０は、試料Ｓが載置されていない旨を表示する。
【００８３】
ステップＭ１で試料Ｓが載置されていると判別されると、ステップＭ２に進み、測定者は測定開始ボタンを押す。次に、ステップＭ３では、試料Ｓが載置された試料ステージ２５が、試料投入位置から測定位置に移動する。次に、ステップＭ４では、測定が開始される。測定が終了すると、ステップＭ５に進み、試料ステージ２５が測定位置から試料投入位置へ移動される。
【００８４】
続けて試料Ｓを測定する場合は、測定済の試料Ｓを試料ホルダ８，１２０，１３０から取り出し、次に測定する試料Ｓを試料ホルダ８、１２０、１３０に載置して、上記と同様のステップで測定する。次に測定する試料Ｓがない場合は、測定済の試料Ｓを試料ホルダ８、１２０、１３０から取り出し、ステップＳ１４でカセットを取り除き、ステップＳ１５で測定を終了する。
【００８５】
第１〜第３実施形態の分析装置では、試料Ｓを手動で試料ホルダに載置して測定することもできるので、日常分析と異なる試料測定や少数の試料測定の場合に迅速に測定することができる。
【００８６】
第１〜第３実施形態の装置では、リッド２を開放した状態で試料ホルダ８の識別動作を行ったが、リッド２を閉じた状態で試料ホルダ８の識別動作を行ってもよい。
【００８７】
第１〜第３実施形態の装置は、固定型のゴニオメータを配して同時に多元素を分析する多元素同時型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置として説明したが、本発明の装置は、走査型のゴニオメータを配した波長分散型蛍光Ｘ線分析装置でもよく、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。また、本実施形態の試料ホルダ８、１２０、１３０のように円板状の試料Ｓを載置する構造の試料ホルダを用いるＸ線分析装置であればよく、例えば、蛍光Ｘ線分析装置、Ｘ線反射率測定装置、Ｘ線回折装置などが組み合わされた複合型のＸ線分析装置であってもよい。さらに、例えば、電子線を試料に照射して分析するＥＰＭＡや光線を試料に照射して分析するエリプソメータなどの他の分析装置であってもよい。
【符号の説明】
【００８８】
１  Ｘ線源
２  １次Ｘ線
４  ２次Ｘ線
８  試料ホルダ
２０  カセット部
２１  カセット
２２  カセット識別手段
２３  搬送手段
２５  試料ステージ
３５  試料ホルダ識別手段
４０  判定手段
８２  輪状の台座
８３  挿入口
８４  挿入口の径方向端
８５  輪状の台座の内径方向端
１０６  試料ホルダ交換扉
Ｓ  試料
【図１】
2012083286.tif 000003
【図２】
2012083286.tif 000004
【図３Ａ】
2012083286.tif 000005
【図３Ｂ】
2012083286.tif 000006
【図４Ａ】
2012083286.tif 000007
【図４Ｂ】
2012083286.tif 000008
【図５Ａ】
2012083286.tif 000009
【図５Ｂ】
2012083286.tif 000010
【図６Ａ】
2012083286.tif 000011
【図６Ｂ】
2012083286.tif 000012
【図７】
2012083286.tif 000013
【図８】
2012083286.tif 000014
【図９Ａ】
2012083286.tif 000015
【図９Ｂ】
2012083286.tif 000016
【図９Ｃ】
2012083286.tif 000017
【図１０】
2012083286.tif 000018
【図１１Ａ】
2012083286.tif 000019
【図１１Ｂ】
2012083286.tif 000020
【図１２Ａ】
2012083286.tif 000021
【図１２Ｂ】
2012083286.tif 000022
【図１３Ａ】
2012083286.tif 000023
【図１３Ｂ】
2012083286.tif 000024
【図１４Ａ】
2012083286.tif 000025
【図１４Ｂ】
2012083286.tif 000026
【図１４Ｃ】
2012083286.tif 000027
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月28日(2012.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の試料を分析する分析装置であって、
試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、
試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される輪状の台座を有する試料ホルダと、
前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、
前記試料ホルダが載置される試料ステージと、
前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、
前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する分析装置。
【請求項２】
円板状の試料を分析する分析装置であって、
試料を収納するカセット、および、前記カセットの種類を識別して収納されるべき試料の直径に対応したカセット識別信号を発信するカセット識別手段を有するカセット部と、
試料の直径に対応した直径を有して上方から試料が挿入される挿入口、および、試料が載置される円板状の台座を有する試料ホルダと、
前記カセットから前記試料ホルダへ試料を搬送する搬送手段と、
前記試料ホルダが載置される試料ステージと、
前記試料ホルダの挿入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段と、
前記カセット識別手段から発信されたカセット識別信号および前記試料ホルダ識別手段から発信された試料ホルダ識別信号に基づいて、前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段と、
を備え、
前記判定手段が前記カセットに収納されるべき試料の直径と前記試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致していると判定すると、前記搬送手段が前記カセットから、前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を搬送する分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載の分析装置において、
前記試料ホルダが円板状の台座に円形の凹入口を有し、
試料ホルダ識別手段が、前記試料ホルダの挿入口の径方向端または前記凹入口の径方向端を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する分析装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換時に開閉される試料ホルダ交換扉であって、閉鎖状態において前記試料ホルダ識別信号を保持し、開放状態において前記試料ホルダ識別信号を無効にする試料ホルダ交換扉を備える分析装置。
【請求項５】
請求項４に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換扉が閉鎖されたときに、前記試料ホルダ識別手段が前記試料ホルダの種類を識別して試料ホルダ識別信号を発信する分析装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ交換扉が、
ロック機構を解除するロック解除スイッチによりロックが解除され、
測定者によって開放状態にされ、
保持している前記試料ホルダ識別信号を無効にし、
測定者によって閉鎖され、
前記ロック機構によりロックされ、
前記試料ホルダ識別手段によって発信された試料ホルダ識別信号を保持する、
という手順によって作動する分析装置。
【請求項７】
請求項１に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出する非接触型センサを有し、
前記非接触型センサが前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、試料有無信号を発信する分析装置。
【請求項８】
請求項２に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端を検出する非接触型センサを有し、
前記非接触型センサが前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、試料有無信号を発信する分析装置。
【請求項９】
請求項３に記載の分析装置において、
前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端または前記凹入口の径方向端を検出する非接触型センサを有し、
前記非接触型センサが前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、試料有無信号を発信する分析装置。
【請求項１０】
請求項１〜９に記載のいずれか一項に記載の分析装置において、
測定者が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を載置し、試料が載置される位置である投入位置から試料が測定される位置である測定位置に前記試料ステージを移動させて測定する手動投入モードを備える分析装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来、Ｘ線分析装置などの分析装置において、様々なサイズ、形状の試料を測定するために、試料タイプごとに試料ホルダを用いている。試料タイプに適合しない試料ホルダを用いると、試料や装置を汚染させたり、装置の故障を誘発したりするなどの問題があった。そこで、試料が収納された円筒状の試料容器側面に対向させて読取ヘッドを配置し、試料容器側面に試料識別標記、分析条件指定標記などの表示体を添付し、読取ヘッドの読取結果によって制御される蛍光Ｘ線分析装置がある（特許文献１）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
また、試料ホルダに試料を保持させ、この試料の上部に、そのサイズに応じた径（マスク径）の孔をもつマスクを選択して取付け、このマスクに設けた孔から試料の測定面を露出させて測定するＸ線分析装置において、マスクの少なくとも表面を、試料中の含量が微量またはゼロであり、かつ、マスク径の大きさに応じて異なる種類の特異元素からなる材料により形成して、この特異元素からの２次Ｘ線の強度を測定することによりマスク径を判別するマスク径の判別方法がある（特許文献２）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクが必要なく、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別することができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第１構成の分析装置によれば、試料ホルダの挿入口の径方向端または前記輪状の台座の内径方向端を検出して試料ホルダを自動識別し、カセットに収納されるべき試料の直径と試料ホルダの台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを自動判定することができるので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクが必要なく、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ交換時に開閉される試料ホルダ交換扉であって、閉鎖状態において前記試料ホルダ識別信号を保持し、開放状態において前記試料ホルダ識別信号を無効にする試料ホルダ交換扉を備えるのが好ましい。この場合には、試料ホルダ交換扉が閉鎖状態から開放状態にされると、試料ホルダが交換されたか、否かが不明となるのに対し、試料ホルダ識別信号を無効にし、再度、試料ホルダ識別を行うことによって試料ホルダ識別を確実にすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、前記試料ホルダ識別手段が、前記挿入口の径方向端、前記輪状の台座の内径方向端および前記凹入口の径方向端のうち少なくとも１つを検出する非接触型センサを有し、前記非接触型センサが前記試料ステージに載置された前記試料ホルダ内の試料の有無を検出し、試料有無信号を発信するのが好ましい。この場合には、試料ホルダ内の試料有無を検出できるので、試料を試料ホルダに載置した状態で試料ホルダの識別動作の開始を防止することができ、試料ホルダ識別を確実にすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第１および第２構成の分析装置は、測定者が前記試料ステージに載置された前記試料ホルダに試料を載置し、試料が載置される位置である投入位置から試料が測定される位置である測定位置に前記試料ステージを移動させて測定する手動投入モードを備えるのが好ましい。この場合には、カセットに収納されている試料以外の試料やカセットに収納できない試料を手動投入して測定することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態のＸ線分析装置の概略図である。
【図２】同装置の本体部外観の概略図である。
【図３Ａ】同装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの IIIＢ− IIIＢ断面図である。
【図４Ａ】同装置の１５０ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図４Ｂ】同装置の１００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図５Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図５Ｂ】同装置の遮光位置における試料ホルダを示す図である。
【図６Ａ】同装置の装置動作フローを示す第１図である。
【図６Ｂ】同装置の装置動作フローを示す第２図である。
【図７】同装置の表示手段に表示された試料ホルダ識別時の同装置の構成を示す図である。
【図８】同装置の試料ホルダ識別のフローを示す図である。
【図９Ａ】同装置の変形例の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図９Ｂ】同装置の変形例の台座の内径方向端検出時における試料ホルダを示す図である。
【図９Ｃ】同装置の変形例の挿入口の径方向端検出時における試料ホルダを示す図である。
【図１０】本発明の第２実施形態のＸ線分析装置の概略図である。
【図１１Ａ】同装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図１１Ｂ】図１１ＡのXIＢ−XIＢ断面図である。
【図１２Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図１２Ｂ】同装置の挿入口の径方向端検出時における試料ホルダを示す図である。
【図１３Ａ】本発明の第３実施形態のＸ線分析装置の２００ｍｍ用試料ホルダの平面図である。
【図１３Ｂ】図１３ＡのXIIIＢ−XIIIＢ断面図である。
【図１４Ａ】同装置の基準位置における試料ホルダを示す図である。
【図１４Ｂ】同装置の円板状の台座の凹入口の径方向端検出時における試料ホルダを示す図である。
【図１４Ｃ】同装置の挿入口の径方向端検出時における試料ホルダを示す図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図３Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ８の平面図、図３Ｂは図３Ａの IIIＢ− IIIＢ断面図を示している。図３Ａ、３Ｂに示すように、試料ホルダ８は試料Ｓが挿入される挿入口８３、挿入口８３の径方向端８４、試料Ｓが載置される輪状の台座８２、台座の孔８１、孔の径方向端である台座の内径方向端８５、および環状縁を有する。図４Ａは試料直径１５０ｍｍ用、図４Ｂは試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ８の平面図を示している。これらの試料ホルダ８は２００ｍｍ用の試料ホルダと試料ホルダ挿入口８３の径および台座の孔８１の径が異なり、材料などは同じである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図１に示すように、分析室１０５は、試料Ｓに向けて１次Ｘ線２を照射するＸ線管などのＸ線源１と、１次Ｘ線２の照射によって試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を、たとえばＬｉＦ分光結晶などの分光素子によって分光し、その２次Ｘ線４の強度を検出する検出器を有する検出手段７とを備えている。試料Ｓの分析時には、移動手段２６によって試料ステージ２５が試料投入部１０１から分析室１０５に移動されて、試料ホルダ８に載置された試料Ｓに１次Ｘ線２が照射される。本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置は下面照射多元素同時型の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置であり、検出手段７は測定元素毎に設けられた固定型のゴニオメータである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ステップＨ９で、試料ホルダ識別手段３５が試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていないと判別すると、ステップＨ１０に進み、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ８の識別を開始し、試料ステージ２５を基準位置Ｏから移動する。つまり、透過型光センサ３０からの光有信号を試料ホルダ識別手段３５が受信すると、試料ステージ２５が移動手段２６によって基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に移動される。このように、試料ホルダ交換扉１０６が閉鎖された状態で試料ホルダ８の種類を識別するので、試料ステージ２５の移動などによる動作時の安全を確保することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
次に、図６ＡのステップＳ２では、測定者が測定条件を設定する。次に、ステップＳ３では、測定者が試料ステージ２５に載置された試料ホルダ８に試料Ｓを載置し、投入位置（試料が載置される位置）から測定位置（試料が測定される位置）に試料ステージ２５を移動させて測定する手動投入モードか、否かを選択する。手動投入モードを選択しない場合には、ステップＳ４に進む。手動投入モードを選択した場合については後述する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
ステップＳ７で合致していると、ステップＳ８に進み、リッド１０２が開き、試料Ｓが搬送手段２３によってカセット２１から搬送されて試料ホルダ８に載置される。次に、ステップＳ９では、制御手段５０は試料ステージ２５を移動手段２６によって分析室１０５の測定位置に移動させる。次に、ステップＳ１０では、測定条件に順じて試料Ｓの測定を開始する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
第１実施形態のＸ線分析装置によれば、試料Ｓの有無を検出する透過型光センサ３０によって試料Ｓが載置されていない試料ホルダ８を自動識別できるので、試料識別標記などの表示体や特異元素で構成されたマスクが必要なく、試料Ｓを試料ホルダ８に搬送する前に試料ホルダ８を短時間で自動識別することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
なお、カセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料Ｓの直径とが合致していないと、判定手段４０からの信号に基づいて表示手段６０が合致していない旨を表示し、制御手段５０はリッド１０２を閉鎖状態に保持して、試料Ｓをカセット２１から試料ホルダ８に搬送させないように搬送手段２３を制御する。このように、カセット２１に収納されるべき試料Ｓの直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料Ｓの直径とが合致していないと、試料Ｓが試料ホルダ８に搬送されない。したがって、試料ホルダ８に収納されるべき試料Ｓの直径と合致しない試料Ｓが搬送されないので、試料Ｓや装置を汚染させたり、装置の故障を誘発したりすることがない。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
まず、試料ホルダ識別手段３５がリッド１０２の上方に取り付けられたレーザ変位センサ７０を有し、輪状の台座８２の内径方向端８５を検出する場合について説明する。図９Ａに示すように、図５Ａと同様に初期状態の試料ステージ２５の分析室側の端面位置を移動距離Ｌの測長のための基準位置Ｏとする。図９Ｂに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ、すなわち照射光７３が輪状の台座８２の内径方向端８５に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
次に、試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、挿入口８３の径方向端８４を検出する場合について説明する。図９Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから挿入口８３の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ（図９Ｂ）、すなわち照射光７３が輪状の台座８２の内径方向端８５に照射される位置まで移動させ、さらに輪状の台座８２の内径方向端８５でのスポット位置からスポットが変化する位置Ｂ、すなわち照射光７３が挿入口８３の径方向端８４に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ式変位センサ７０を有し、輪状の台座の内径方向端８５または挿入口の径方向端８４のいずれかを検出する場合において、レーザ式変位センサ７０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図６ＢのステップＨ９において、試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、試料ホルダ識別手段３５が光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置から変化したスポット位置の信号を受信すると、試料ホルダ８に試料Ｓが載置されたことを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、ステップＨ９１に進む。ステップＨ９１では、試料Ｓが載置されている旨を表示手段６０に表示する。図６ＡのステップＳ６では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていると、ステップＳ６１に進み、「投入口に試料Ｓがあります。投入口の試料を取り除いてください。」とエラー表示が表示手段６０に表示される。図６ＡのステップＭ１では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていないと、ステップＭ１１に進み、試料が載置されていない旨が表示手段６０に表示される。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、台座の内径方向端８５を検出する場合について説明する。図９Ａに示すように、図５Ａと同様に初期状態の試料ステージ２５の分析室側の端面位置を移動距離Ｌの測長のための基準位置Ｏとする。図９Ｂに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから台座の孔８１の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が輪状の台座８２の内径方向端８５直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口８３の径方向端８４を検出する装置について説明する。図９Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ８を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから挿入口８３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ（図９Ｂ）、すなわち静電容量センサ９０が輪状の台座８２の内径方向端８５直上にくるまで移動させ、さらに、静電容量センサ９０の検出静電容量が輪状の台座８２の内径方向端８５での静電容量から増加する位置Ｂ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口８３の径方向端８４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ８の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、輪状の台座の内径方向端８５または挿入口の径方向端８４のいずれかを検出する場合において、静電容量センサ９０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図６ＢのステップＨ９において、試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、静電容量センサ９０が基準位置Ｏの静電容量から変化した静電容量の信号を受信すると、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、ステップＨ９１に進む。ステップＨ９１では、試料Ｓが載置されている旨を表示手段６０に表示する。図６ＡのステップＳ６では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていると、ステップＳ６１に進み、「投入口に試料Ｓがあります。投入口の試料を取り除いてください。」とエラー表示が表示手段６０に表示される。図６ＡのステップＭ１では、ステップＨ９（図６Ｂ）と同様に試料が載置されているか否かを判別する。試料が載置されていないと、ステップＭ１１に進み、試料が載置されていない旨が表示手段６０に表示される。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
反射型光センサ（レーザ式変位センサ）または静電容量センサを有する場合であっても透過型光センサを有する場合と同様に試料ホルダ８を自動識別できるので、透過型光センサを有する場合と同様の作用、効果を奏することができる。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図１０に示すように、第２実施形態の装置は上面照射多元素同時型の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置であり、検出手段７は測定元素毎に設けられた固定型のゴニオメータである。分析室１０５は、試料Ｓに向けて１次Ｘ線２を照射するＸ線管などのＸ線源１と、１次Ｘ線２が試料Ｓの上方から照射されて試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を、たとえばＬｉＦ分光結晶などの分光素子によって分光し、その２次Ｘ線４の強度を検出する検出器を有する検出手段７とを備えている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
図１１Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ１２０の平面図、図１１Ｂは図１１ＡのXIＢ−XIＢ断面図を示している。図１１Ａ、１１Ｂに示すように、試料ホルダ１２０は、試料Ｓが挿入される挿入口１２３、挿入口１２３の径方向端１２４、試料Ｓが載置される円板状の台座１２２および環状縁１２６を有する。試料直径２００ｍｍ用、試料直径１５０ｍｍ用、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ１２０において、環状縁１２６の外径は同一であるが、挿入口１２３がそれぞれ試料直径に対応した径を有しており、材料などは同じである。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ式変位センサ７０を有し、挿入口の径方向端１２４を検出する装置において、レーザ式変位センサ７０によって試料Ｓが試料ホルダ８に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図１２Ａに示すように試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、試料ホルダ識別手段３５が光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置から変化したスポット位置の信号を受信すると、試料ホルダ８に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、試料有信号を保持する。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口１２３の径方向端１２４を検出する場合について説明する。図１２Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１２０を載置した試料ステージ２５を、図１２Ｂに示すように基準位置Ｏから挿入口１２３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口１２３の径方向端１２４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１２０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、挿入口の径方向端１２４を検出する装置において、静電容量センサ９０によって試料Ｓが試料ホルダ１２０に載置されているか、否かを如何に検出するかについて説明する。図１２Ａに示すように試料ステージ２５が基準位置Ｏにあるときに、静電容量センサ９０が基準位置Ｏの静電容量から変化した静電容量の信号を受信すると、試料ホルダ識別手段３５は試料ホルダ１２０に試料Ｓが載置されていることを判別して試料Ｓが載置されていることを示す試料有信号を発信し、試料有信号を保持する。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、試料ホルダ１３０の円板状の台座１３２における円形の凹入口１３１の径方向端１３５を検出する場合について説明する。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図１３Ａは試料直径２００ｍｍ用の試料ホルダ１３０の平面図、図１３Ｂは図１３ＡのXIIIＢ−XIIIＢ断面図を示している。図１３Ａ、１３Ｂに示すように、試料ホルダ１３０は、試料Ｓが挿入される挿入口１３３、挿入口１３３の径方向端１３４、試料Ｓが載置される円板状の台座１３２を有し、この円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１、凹入口１３１の径方向端１３５を有し、環状縁１３６を有する。試料直径２００ｍｍ用、試料直径１５０ｍｍ用、試料直径１００ｍｍ用の試料ホルダ１３０において、環状縁１３６の外径は同一であるが、挿入口１３３および凹入口１３１がそれぞれ試料直径に対応した径を有しており、材料などは同じである。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
次に、試料ホルダ識別手段３５がレーザ変位センサ７０を有し、円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１を有する試料ホルダ１３０における挿入口１３３の径方向端１３４を検出する場合について説明する。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
図１４Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、半導体レーザ７１からの照射光７３を照射しながら基準位置Ｏから挿入口１３３の径方向に、光位置検出素子７２上の基準位置Ｏのスポット位置からスポットが変化する位置Ａ（図１４Ｂ）、すなわち照射光７３が円板状の台座の凹入口１３１の径方向端１３５に照射される位置まで移動させ、さらに凹入口１３１の径方向端１３５でのスポット位置からスポットが変化する位置Ｂ、すなわち照射光７３が挿入口１３３の径方向端１３４に照射される位置まで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、凹入口の径方向端１３５を検出する場合について説明する。図１４Ａに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから円板状の台座の凹入口１３１の径方向に移動させる。そして、図１４Ｂに示すように、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量から増加する位置Ａ、すなわち静電容量センサ９０が凹入口１３１の径方向端１３５直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
次に、試料ホルダ識別手段３５が静電容量センサ９０を有し、円板状の台座１３２に円形の凹入口１３１を有する試料ホルダ１３０における挿入口１３３の径方向端１３４を検出する場合について説明する。図１４Ｃに示すように、試料ホルダ識別手段３５は、搬送手段２３によって試料Ｓが搬送されていない試料ホルダ１３０を載置した試料ステージ２５を、基準位置Ｏから挿入口１３３の径方向に、静電容量センサ９０の検出静電容量が基準位置Ｏの静電容量より増加する位置Ａ（図１４Ｂ）、すなわち静電容量センサ９０が台座の凹入口１３１の径方向端１３５直上にくるまで移動させ、さらに、静電容量センサ９０の検出静電容量が凹入口１３１の径方向端１３５での静電容量より増加する位置Ｂ、すなわち静電容量センサ９０が挿入口１３３の径方向端１３４直上にくるまで移動させて、基準位置Ｏからの移動距離Ｌに応じて試料ホルダ１３０の種類を識別する試料ホルダ識別信号を判定手段４０に発信し、識別信号を保持する。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
本発明の第１〜第３実施形態の分析装置は、図６Ａのフロー図に示すように、測定者が試料ステージ２５に載置された試料ホルダ８、１２０、１３０に試料Ｓを載置し、投入位置から測定位置に試料ステージ２５を移動させて測定する、以下のような手動投入モードを備える。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
ステップＭ１で試料Ｓが載置されていると判別されると、ステップＭ２に進み、測定者は測定開始ボタンを押す。次に、ステップＭ３では、試料Ｓが載置された試料ステージ２５が、投入位置から測定位置に移動する。次に、ステップＭ４では、測定が開始される。測定が終了すると、ステップＭ５に進み、試料ステージ２５が測定位置から投入位置へ移動される。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
第１〜第３実施形態の装置では、リッド１０２を開放した状態で試料ホルダ８、１２０、１３０の識別動作を行ったが、リッド１０２を閉じた状態で試料ホルダ８、１２０、１３０の識別動作を行ってもよい。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
第１〜第３実施形態の装置は、固定型のゴニオメータを配して同時に多元素を分析する多元素同時型の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置として説明したが、本発明の装置は、走査型のゴニオメータを配した波長分散型蛍光Ｘ線分析装置でもよく、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。また、本実施形態の試料ホルダ８、１２０、１３０のように円板状の試料Ｓを載置する構造の試料ホルダを用いるＸ線分析装置であればよく、例えば、蛍光Ｘ線分析装置、Ｘ線反射率測定装置、Ｘ線回折装置などが組み合わされた複合型のＸ線分析装置であってもよい。さらに、例えば、電子線を試料に照射して分析するＥＰＭＡや光線を試料に照射して分析するエリプソメータなどの他の分析装置であってもよい。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
１  Ｘ線源
２  １次Ｘ線
４  ２次Ｘ線
８，１２０，１３０  試料ホルダ
２０  カセット部
２１  カセット
２２  カセット識別手段
２３  搬送手段
２５  試料ステージ
３５  試料ホルダ識別手段
４０  判定手段
８２  輪状の台座
８３  挿入口
８４  挿入口の径方向端
８５  輪状の台座の内径方向端
１０６  試料ホルダ交換扉
Ｓ  試料
【手続補正４０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｂ】
2012083286.tif 000028
【手続補正４１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９Ａ】
2012083286.tif 000029
【手続補正４２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９Ｂ】
2012083286.tif 000030
【手続補正４３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９Ｃ】
2012083286.tif 000031
【手続補正４４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2012083286.tif 000032
【手続補正４５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２Ａ】
2012083286.tif 000033
【手続補正４６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２Ｂ】
2012083286.tif 000034
【手続補正４７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ａ】
2012083286.tif 000035
【手続補正４８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｂ】
2012083286.tif 000036
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４Ｃ】
2012083286.tif 000037