(57)【要約】【課題】  本発明は、ＣＩ値が低く抑えられた音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供する。【解決手段】  音叉型圧電振動片（３０）は、圧電材料により形成された基部（３１）と、基部から所定方向に伸びる一対の振動腕（３２）と、を備え、振動腕の表面及び裏面には、基部側に第１励振溝部（３３）と、振動腕の先端側に第２励振溝部（３４）と、第１励振溝部と第２励振溝部とを仕切る仕切部（３５）とが形成され、第１励振溝部の基部側から第２励振溝部の先端までの所定方向の長さＬ１と第１励振溝部の所定方向の長さＬ２との比Ｌ２／Ｌ１が０．５１から０．６５である。【選択図】  図２
2012010253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料により形成された基部と、
前記基部から所定方向に伸びる一対の振動腕と、を備え、
前記振動腕の表面及び裏面には、前記基部側に第１励振溝部と、前記振動腕の先端側に第２励振溝部と、前記第１励振溝部と第２励振溝部とを仕切る仕切部とが形成され、
前記第１励振溝部の基部側から前記第２励振溝部の先端までの所定方向の長さＬ１と前記第１励振溝部の前記所定方向の長さＬ２との比Ｌ２／Ｌ１が０．５１から０．６５である音叉型圧電振動片。
【請求項２】
前記振動腕の前記所定方向への長さが１３００μｍから１７００μｍである請求項１または請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
前記一対の振動腕の両外側で前記基部から前記所定方向に伸びる一対の支持腕、を備える請求項１または請求項２に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項４】
前記一対の支持腕及び前記基部を囲むようにして形成された枠体と、
前記支持腕の先端側の一部に接続し、前記一対の支持腕と前記枠体とを接続する接続腕と、を備えた請求項３に記載の音叉型圧電振動片。
【請求項５】
請求項１から請求項３に記載の音叉型圧電振動片と、
前記音叉型圧電振動片を内に載置するパッケージと、
前記パッケージ内を密封するリッドと、を備える圧電デバイス。
【請求項６】
請求項４に記載の音叉型圧電振動片と、
前記枠体の裏面と接合されるベースと、
前記枠体の表面と接合されるリッドと、を備え、
前記一対の振動腕と、前記基部と、前記一対の支持腕と、前記接続腕と、を前記枠体と、前記ベースと、前記リッドと、により密封している圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の振動腕を有する音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動片をキャビティ内に有する圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動片は腕時計等の歩度を刻む信号源として知られている。近年では携帯型の電子機器に同期信号源として採用されており、これらの圧電振動片には特に、正確に振動し、さらに小電力で動作する音叉型圧電振動片が用いられている。
【０００３】
音叉型圧電振動片は、基部及び基部から所定方向に伸びる一対の振動腕により構成されている。また、振動腕には溝部及び励振電極が形成されている。特許文献１では、溝部を振動腕の長さ方向に２つに分割し、各溝部の長さを調節することにより衝撃に強く、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値が良好な音叉型水晶振動片が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２４６４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし音叉型圧電振動片は、より安定した振動を得るため更なるＣＩ値の低減が求められている。
【０００６】
本発明は以上の課題を解決するためになされたもので、振動腕の溝部の長さの比を調節しＣＩ値が低く抑えられた音叉型圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の音叉型圧電振動片は、圧電材料により形成された基部と、基部から所定方向に伸びる一対の振動腕と、を備え、振動腕の表面及び裏面には、基部側に第１励振溝部と、振動腕の先端側に第２励振溝部と、第１励振溝部と第２励振溝部とを仕切る仕切部とが形成され、第１励振溝部の基部側から第２励振溝部の先端までの所定方向の長さＬ１と第１励振溝部の前記所定方向の長さＬ２との比Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％から６５％である。
【０００８】
第２観点の音叉型圧電振動片は、振動腕の所定方向への長さが１３００μｍから１７００μｍである。
【０００９】
第３観点の音叉型圧電振動片は、第１観点または第２観点において、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びる一対の支持腕と、を備える。
第４観点の音叉型圧電振動片は、第３観点において、一対の支持腕及び基部を囲むようにして形成された枠体と、支持腕の先端側の一部に接続し一対の支持腕と枠体とを接続する接続腕と、を備える。
【００１０】
第５観点の圧電デバイスは、第１観点から第３観点に記載の音叉型圧電振動片と、音叉型圧電振動片を内に載置するパッケージと、パッケージ内を密封するリッドと、を備える。
【００１１】
第６観点の圧電デバイスは、第４観点に記載の音叉型圧電振動片と、枠体の裏面と接合されるベースと、枠体の表面と接合されるリッドと、を備え、一対の振動腕と、前記基部と、一対の支持腕と、接続腕と、を枠体と、ベースと、リッドと、により密封している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ＣＩ値が低く抑えられた音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。  （ｂ）は、圧電デバイス１００の断面図である。  （ｃ）は、音叉型圧電振動片３０が載置されたパッケージ２０の上面図である。
【図２】（ａ）は、音叉型圧電振動片３０の平面図である。  （ｂ）は、図２（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図３】音叉型圧電振動片３０のＬ２／Ｌ１と、ＣＩ値との関係を示したグラフである。
【図４】音叉型圧電振動片２３０の平面図である。
【図５】（ａ）は、音叉型圧電振動片３３０が載置されたパッケージ３２０の上面図である。  （ｂ）は、音叉型圧電振動片３３０の平面図である。  （ｃ）は、図５（ｂ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図６】（ａ）は、圧電デバイス４００の斜視図である。  （ｂ）は、図６（ａ）のＥ−Ｅ分解断面図である。
【図７】（ａ）は、音叉型圧電振動片４３０の平面図である。  （ｂ）は、図７（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１実施例）
＜圧電デバイス１００＞
図１（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド１０、パッケージ２０、及びパッケージ２０内に載置されている音叉型圧電振動片３０（図１（ｂ）参照）により構成されている。以下、パッケージ２０の長辺方向であり音叉型圧電振動片３０の振動腕３２（図１（ｃ）参照）が伸びている方向をＹ軸方向、パッケージ２０の短辺方向であり一対の振動腕３２が並んでいる方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１５】
パッケージ２０は、内側にキャビティ２４（図１（ｂ）参照）が形成されており、音叉型圧電振動片３０が載置されている。また、パッケージ２０の−Ｚ軸側の面には外部電極２１が形成されている。リッド１０は、パッケージ２０の中を密封するようにパッケージ２０の＋Ｚ軸側に配置されている。
【００１６】
図１（ｂ）は、圧電デバイス１００の断面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）および図１（ｃ）のＡ−Ａにおける断面図になっている。パッケージ２０の内側にはキャビティ２４が形成されており、キャビティ２４内には接続電極２２が形成されている。接続電極２２は導電部２３を通して外部電極２１に電気的に接続されている。また、キャビティ２４には音叉型圧電振動片３０が載置されている。音叉型圧電振動片３０は、接続電極２２と導電性接着剤４１を通して接続されている。
【００１７】
図１（ｃ）は、音叉型圧電振動片３０が載置されたパッケージ２０の上面図である。また、図１（ｃ）は、図１（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。音叉型圧電振動片３０は、基部３１と、基部３１より伸びる一対の振動腕３２とを有している。また、パッケージ２０内には２カ所に接続電極２２が形成されている。音叉型圧電振動片３０は、基部３１において接続電極２２と接続されている。
【００１８】
＜音叉型圧電振動片３０＞
図２（ａ）は、音叉型圧電振動片３０の平面図である。また、図２（ｂ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。以下、図２（ａ）及び図２（ｂ）を参照して音叉型圧電振動片３０について説明する。
【００１９】
音叉型圧電振動片３０は、基部３１と基部３１から互いに平行に伸びている一対の振動腕３２とを備えている。また、音叉型圧電振動片３０は圧電材料ＣＲを基材としている。圧電材料ＣＲの表面には電極が形成される。電極として用いられる金（Ａｕ）又は銀（Ａｇ）は圧電材料ＣＲに直接形成することが困難であるため、圧電材料ＣＲの表面に電極と同じ形状に第１層３６を形成し、第１層３６の表面上に第２層３７を形成している。圧電材料ＣＲには、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等が用いられる。また、第１層３６の材料には、Ｃｒ、Ｎｉ等が用いられ第２層３７の材料には金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等が用いられる。
【００２０】
各振動腕３２には、底を有する溝部が形成されている。振動腕３２の基部３１側には第１励振溝部３３が形成されており、振動腕３２の先端方向には第２励振溝部３４が形成されている。第１励振溝部３３の基部３１側の端部は基部３１と振動腕３２との境界に位置している。また、第１励振溝部３３及び第２励振溝部３４は振動腕３２の表面（＋Ｚ軸側の面）及び裏面（−Ｚ軸側の面）に形成されている。これらの振動腕３２における各溝部は、クリスタルインピーダンス値（ＣＩ値）の上昇を抑える。また、第１励振溝部３３と第２励振溝部３４との間には仕切部３５が形成されており、第１励振溝部３３と第２励振溝部３４との間を仕切っている。仕切部３５は、振動腕３２の衝撃に対する強度を強くしている。
【００２１】
また、音叉型圧電振動片３０には、互いに電気的に接続されておらず、異なる電圧が印加される２つの電極が形成されている。一方の電極は、基部３１の＋Ｘ軸側に形成されている電極３１Ｒと、＋Ｘ軸側の振動腕３２の第１励振溝部３３、第２励振溝部３４及び仕切部３５以外の領域に形成されている電極３２Ｒと、−Ｘ軸側の振動腕３２の第１励振溝部３３、第２励振溝部３４及び仕切部３５に形成されている電極３８Ｌと、により形成されている。他方の電極は、基部３１の−Ｘ軸側に形成されている電極３１Ｌと、−Ｘ軸側の振動腕３２の第１励振溝部３３、第２励振溝部３４及び仕切部３５以外の領域に形成されている電極３２Ｌと、＋Ｘ軸側の振動腕３２の第１励振溝部３３、第２励振溝部３４及び仕切部３５に形成されている電極３８Ｒと、により形成されている。図２（ａ）では、同じ電位の電極に対して、同じ模様のハッチングを描いている。
【００２２】
音叉型圧電振動片３０の各部の寸法を図２（ａ）及び図２（ｂ）を参照して示すと、振動腕３２のＸ軸方向の幅Ｗ１は１００μｍ、溝部の幅Ｗ２は７０μｍ、基部３１の幅Ｗ３は５００μｍである。また、仕切部３５のＹ軸方向の長さｄは１５μｍ、振動腕３２の長さＬ０は１６５０μｍ、基部３１の長さＬ３は６００μｍである。
【００２３】
＜実験＞
振動腕３２に形成される第１励振溝部３３及び第２励振溝部３４は、その長さの比によってＣＩ値が大きく変わってくる。そのため、実験として、第１励振溝部３３、第２励振溝部３４及び仕切部３５を含めた全体のＹ軸方向への長さをＬ１、第１励振溝部３３のＹ軸方向への長さをＬ２とし、様々な比Ｌ２／Ｌ１の値におけるＣＩ値を実測した。
【００２４】
図３は、音叉型圧電振動片３０のＬ２／Ｌ１と、ＣＩ値との関係を示したグラフである。また、表１は、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ２／Ｌ１、及びＣＩ値を示している。以下に、図３及び表１を用いて、実験の結果を説明する。
【表１】
2012010253.tif 000003
【００２５】
実験は５つの条件にて行われた。各条件におけるサンプル数は５０個である。また、表１中のＣＩ値は、サンプル５０個の平均値である。また、この実験例では、ｄ＝１５μｍなので、ｄ／Ｌ１≒０．０１８４である。各条件をＮｏ．１〜Ｎｏ．５とする。表１では、例えばＮｏ．１は、Ｌ１を８１４．５μｍ、Ｌ２を３２０μｍとして、Ｌ２／Ｌ１が３９．２９％となった場合のＣＩ値は３５．９ｋｏｈｍであった事を示している。また図３には、表１に示されたＬ２／Ｌ１とＣＩ値との関係が示されている。図３からは、Ｌ２／Ｌ１を大きくするほどＣＩ値が低くなっていくのが分かる。しかも、第１励振溝部３３のＹ軸方向の長さＬ２と第２励振溝部３３の同方向の長さとが同じよりもＬ２が長くなった方が（すなわち条件Ｎｏ．３を越えてＮｏ．４の領域に入った方が）ＣＩ値の改善が図れる。しかし、Ｎｏ．３からＮｏ．５の範囲では、Ｌ２／Ｌ１が大きくなるほどＣＩ値の下がり幅が小さくなることが予想される。よって、Ｌ２／Ｌ１をＮｏ．５の条件である５８．９３％以上に上げても大きなＣＩ値の低減は期待できない。そのため、Ｌ２／Ｌ１としてはＮｏ．３よりも大きくなること、すなわち、Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％以上の場合に良好なＣＩ値が得られると考えられる。
【００２６】
他方、この出願に係る発明者の知見によれば、特許文献１に示されるように、Ｌ２／Ｌ１が３５％〜６５％の時に音叉型圧電振動片の耐衝撃性能が良好である。そのため、実験と特許文献１とを合わせて考えると、Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％〜６５％の場合に音叉型圧電振動片の耐衝撃性能及びＣＩ値が良好であるといえる。
【００２７】
（第２実施例）
＜音叉型圧電振動片２３０＞
音叉型圧電振動片３０では、第１励振溝部３３の基部３１側の端部は基部３１と振動腕３２との境界に位置していた。しかし、第１励振溝部の基部側の端部は、基部側に入り込んで存在していても良い。以下に、第１励振溝部の一部分が基部に形成されている音叉型圧電振動片２３０について説明する。
【００２８】
図４は、音叉型圧電振動片２３０の平面図である。音叉型圧電振動片２３０は、基部２３１と、一対の振動腕２３２とにより構成されている。音叉型圧電振動片２３０の外形及びその寸法等は音叉型圧電振動片３０と同一であるため、以下では、音叉型圧電振動片３０と異なる点を重点的に説明する。
【００２９】
音叉型圧電振動片２３０の各振動腕２３２には、底を有する溝部が形成されている。振動腕２３２の基部２３１側には第１励振溝部２３３が形成されており、振動腕２３２の先端方向には第２励振溝部２３４が形成されている。第１励振溝部２３３の端部は基部２３１に長さＬ２ｂだけ−Ｙ軸側に形成されている。また、第１励振溝部２３３及び第２励振溝部２３４は振動腕２３２の表面（＋Ｚ軸側の面）及び裏面（−Ｚ軸側の面）に形成されている。また、第１励振溝部２３３と第２励振溝部２３４との間には仕切部２３５が形成されており、第１励振溝部２３３と第２励振溝部２３４との間を仕切っている。
【００３０】
第１励振溝部２３３、第２励振溝部２３４及び仕切部２３５を含めた全体のＹ軸方向への長さをＬ１、第１励振溝部２３３のＹ軸方向への長さをＬ２とし、Ｌ２ｂがＬ２の１割程度（例えば３０μｍ）とする。このような構成であっても、比Ｌ２／Ｌ１は図３と同じような実験結果が得られた。すなわち、Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％〜６５％の場合に音叉型圧電振動片の耐衝撃性能及びＣＩ値が良好であるといえる。
【００３１】
（第３実施例）
＜音叉型圧電振動片３３０＞
音叉型圧電振動片３０には、支持腕が形成されていても良い。以下、支持腕が形成された音叉型圧電振動片３３０について説明する。
【００３２】
図５（ａ）は、音叉型圧電振動片３３０が載置されたパッケージ３２０の上面図である。音叉型圧電振動片３３０は図１（ａ）に示した圧電デバイス１００と同様の外形形状の圧電デバイス（不図示）を構成するパッケージ３２０内に載置され、リッド（不図示）によりパッケージ３２０内が密封される。パッケージ３２０は内側にキャビティ３２４が形成されており、キャビティ３２４には２つの接続電極３２２が形成されている。音叉型圧電振動片３３０は、基部３３１と、基部３３１より伸びる一対の振動腕３３２とを有している。また、音叉型圧電振動片３３０は、振動腕３３２の外側に振動腕３３２と平行に伸びている一対の支持腕３３６を有している。音叉型圧電振動片３３０は、支持腕３３６の先端部付近において接続電極３２２と接続されることによりキャビティ３２４内に固定される。一対の支持腕３３６で音叉型圧電振動片３３０を支持することで、振動腕３３２からの振動漏れの影響やパッケージ３２０外からの温度変化や衝撃の影響を小さくしている。
【００３３】
図５（ｂ）は、音叉型圧電振動片３３０の平面図である。音叉型圧電振動片３３０は、基部３３１と、基部３３１から互いに平行に伸びている一対の振動腕３３２と、振動腕３３２の外側に振動腕３３２と平行に伸びている一対の支持腕３３６とを有している。
【００３４】
各振動腕３３２には、底を有する溝部が形成されている。振動腕３３２の基部３３１側には第１励振溝部３３３が形成されており、振動腕３３２の先端方向には第２励振溝部３３４が形成されている。第１励振溝部３３３の基部３３１側の端部は基部３３１と振動腕３３２との境界に位置している。また、第１励振溝部３３３及び第２励振溝部３３４は振動腕３３２の表面（＋Ｚ軸側の面）及び裏面（−Ｚ軸側の面）に形成されている。また、第１励振溝部３３３と第２励振溝部３３４との間には仕切部３３５が形成されており、第１励振溝部３３３と第２励振溝部３３４との間を仕切っている。また、音叉型圧電振動片３３０には、互いに電気的に接続されておらず、異なる電圧が印加される２つの電極が形成されている。電極の形成のされ方は音叉型圧電振動片３０と同様である。図５（ｂ）では、同じ電位の電極に対して、同じ模様のハッチングを描いている。
【００３５】
音叉型圧電振動片３３０の各部の寸法は、振動腕３３２のＸ軸方向の幅Ｗ３１は１００μｍ、各溝部の幅Ｗ３２は７０μｍ、基部３３１及び支持腕３３６を合わせた幅Ｗ３３は６００〜８００μｍ、支持腕３３６の幅Ｗ３４は１００μｍである。また、支持腕３３６の長さＬ３４は１２００〜１５００μｍである。
【００３６】
図５（ｃ）は、図５（ｂ）のＤ−Ｄ断面図である。図５（ｃ）では、第１励振溝部３３３と第２励振溝部３３４とが点線で示されている。音叉型圧電振動片３３０の振動腕３３２の長さＬ３０は１６５０μｍ、仕切部３３５のＹ軸方向の長さｄ３は１５μｍである。
【００３７】
ここで第１励振溝部３３３、第２励振溝部３３４及び仕切部３３５を含めた全体のＹ軸方向への長さをＬ１、第１励振溝部３３３のＹ軸方向への長さをＬ２とする。一対の支持腕３３６を有する音叉型圧電振動片３３０であっても、比Ｌ２／Ｌ１は図３と同じような実験結果が得られた。すなわち、Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％〜６５％の場合に音叉型圧電振動片の耐衝撃性能及びＣＩ値が良好であるといえる。
【００３８】
（第４実施例）
＜音叉型圧電振動片４３０＞
音叉型圧電振動片３３０には、支持腕３３６及び基部３３１を囲むようにして枠体が形成されていても良い。以下に、枠体が形成された音叉型圧電振動片４３０及び音叉型圧電振動片４３０を備える圧電デバイス４００について説明する。
【００３９】
図６（ａ）は、圧電デバイス４００の斜視図である。圧電デバイス４００は、音叉型圧電振動片４３０がリッド４１０とベース４２０とで上下を挟まれることにより形成されている。また、ベース４２０は、下部に外部電極４２１が形成されている。
【００４０】
図６（ｂ）は、図６（ａ）のＥ−Ｅ分解断面図である。音叉型圧電振動片４３０は、基部４３１と、振動腕４３２と、支持腕４３６（図７（ａ）参照）と、接続腕４３８（図７（ａ）参照）と、これらを囲むようにして形成されている枠体４３７とにより構成されている。音叉型圧電振動片４３０は、リッド４１０及びベース４２０により枠体４３７を挟みこんで支えるようにして配置されている。リッド４１０及びベース４２０の音叉型圧電振動片４３０に向かいあう面には凹部が形成されており、この凹部は圧電デバイス４００が形成された時にキャビティ４２４を形成する。音叉型圧電振動片４３０の枠体４３７以外の部分は、このキャビティ４２４に配置される。また、ベース４２０の＋Ｚ軸側の面には接続電極４２２が形成されている。接続電極４２２は、ベース４２０の内部を貫通する導通部（不図示）により外部電極４２１に電気的に接続されている。また、接続電極４２２は、音叉型圧電振動片４３０の枠体４３７に形成されている電極接合部４３９と電気的に接続される。
【００４１】
図７（ａ）は、音叉型圧電振動片４３０の平面図である。音叉型圧電振動片４３０は、基部４３１と、基部４３１から互いに平行に伸びている一対の振動腕４３２と、振動腕４３２の外側で振動腕４３２と平行に伸びている一対の支持腕４３６とを有している。そして音叉型圧電振動片４３０は、基部４３１、振動腕４３２及び支持腕４３６を囲むように形成されている枠体４３７と、支持腕４３６及び枠体４３７を接続している接続腕４３８とを有している。各振動腕４３２には、底を有する溝部が形成されている。振動腕４３２の基部４３１側には第１励振溝部４３３が形成されており、振動腕４３２の先端方向には第２励振溝部４３４が形成されている。第１励振溝部４３３の基部４３１側の端部は基部４３１と振動腕４３２との境界に位置している。また、第１励振溝部４３３及び第２励振溝部４３４は振動腕４３２の表面（＋Ｚ軸側の面）及び裏面（−Ｚ軸側の面）に形成されている。また、第１励振溝部４３３と第２励振溝部４３４との間には仕切部４３５が形成されており、第１励振溝部４３３と第２励振溝部４３４との間を仕切っている。また、音叉型圧電振動片４３０には、互いに電気的に接続されておらず、異なる電圧が印加される２つの電極が形成されている。電極の形成のされ方は音叉型圧電振動片３３０と同様であり、音叉型圧電振動片４３０では支持腕に形成された電極が更に枠体４３７の角にまで伸びている。枠体４３７の角に形成されている電極接合部４３９において、音叉型圧電振動片４３０に形成されている電極と、ベース４２０の接続電極４２２とが電気的に接続されている。図７（ａ）でも、同じ電位の電極に対して、同じ模様のハッチングを描いている。
【００４２】
音叉型圧電振動片４３０の各部の寸法は、振動腕４３２のＸ軸方向の幅Ｗ４１は１００μｍ、各溝部の幅Ｗ４２は７０μｍ、基部４３１及び支持腕４３６を合わせた幅Ｗ４３は６００〜８００μｍ、支持腕４３６の幅Ｗ４４は１００μｍである。また、支持腕４３６の長さＬ４４は１２００〜１５００μｍである。
【００４３】
図７（ｂ）は、図７（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。図７（ｂ）では、第１励振溝部４３３と第２励振溝部４３４とが点線で示されている。音叉型圧電振動片４３０の振動腕４３２の長さＬ４０は１６５０μｍ、仕切部４３５のＹ軸方向の長さｄ４は１５μｍである。
【００４４】
第１励振溝部４３３、第２励振溝部４３４及び仕切部４３５を含めた全体のＹ軸方向への長さをＬ１、第１励振溝部４３３のＹ軸方向への長さをＬ２とする。枠体４３７を有する音叉型圧電振動片４３０であっても、比Ｌ２／Ｌ１は図３と同じような実験結果が得られた。すなわち、Ｌ２／Ｌ１が例えば５１％以上、又は５２％以上、好ましくは５３％以上、より好ましくは５４％〜６５％の場合に音叉型圧電振動片の耐衝撃性能及びＣＩ値が良好であるといえる。
【００４５】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
例えば、音叉型圧電振動片３３０及び音叉型圧電振動片４３０では、音叉型圧電振動片２３０で示したように第１励振溝部が、基部内に入り込んで形成されていても良い。
【００４６】
また、振動腕の長さＬ０、Ｌ３０およびＬ４０は１６５０μｍとし、また、振動腕の幅Ｗ１を１００μｍ、溝部の幅Ｗ２を７０μｍとしたが、Ｗ１、Ｗ２および振動腕の長さＬ０、Ｌ３０、Ｌ４０は相互の関係を考慮し、すなわち振動周波数の関係からＷ１を小さくしたならばＷ２も小さくかつ振動腕の長さも短くする等、変更できる。ただし、腕の幅Ｗ１を７０〜１１０μｍ程度とした場合、腕の長さは典型的には１３００μｍ〜１７００μｍの範囲で調節することが可能である。
また仕切部３５のＹ方向寸法ｄを１５μｍとしたが、これも変更できる。ただしこの出願に係る発明者の知見によればｄ／Ｌ１＝０．０１〜０．０１８が良い。
【符号の説明】
【００４７】
１０、４１０    リッド
２０、３２０    パッケージ
２１、４２１    外部電極
２２、３２２、４２２    接続電極
２３    導通部
２４、３２４、４２４    キャビティ
３０、２３０、３３０、４３０    音叉型圧電振動片
３１、２３１、３３１、４３１    基部
３２、２３２、３３２、４３２    振動腕
３３、２３３、３３３、４３３    第１励振溝部
３４、２３４、３３４、４３４    第２励振溝部
３５、２３５、３３５、４３５    仕切部
３６    第１層
３７    第２層
４０    封止材
４１    導電性接着剤
１００、４００    圧電デバイス
３３６、４３６    支持腕
４２０    ベース
４３７    枠体
４３８    接続腕
４３９    引出電極
ＣＲ    圧電材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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