(57)【要約】【課題】側面が確実に封止され、薄膜系太陽電池素子の耐久性に優れる薄膜系太陽電池モジュールおよびその製造方法を提供する。【解決手段】所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有する表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に形成されたガラスからなる段部１４と；段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に形成された樹脂層２０と；表面材１０の周縁封止領域よりも内側の表面に形成された薄膜系太陽電池素子３０とを有し；樹脂層２０と封着部３２との間の空間および封着部３２と樹脂シール部３６との間の空間が４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気である太陽電池モジュール。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有する第１のガラス基板および第２のガラス基板と、
第１のガラス基板の周縁封止領域と第２のガラス基板の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板に挟まれ、かつ封着部と間隔を開けて封着部よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板に挟まれ、かつ封着部と間隔を開けて封着部よりも内側に形成された、ガラス基板の表面に沿って広がる樹脂層と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に形成された薄膜系太陽電池素子とを有し、
樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間が、４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気である、太陽電池モジュール。
【請求項２】
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方が、周縁封止領域に形成された、ガラスからなる段部を有する、請求項１に記載の太陽電池モジュール。
【請求項３】
段部が、ガラス基板の表面に凹部を形成することによって形成されたものである、請求項２に記載の太陽電池モジュール。
【請求項４】
樹脂層が、ガラス基板の表面に沿って広がる層状部および層状部の周縁を囲む堰状部からなる、請求項１〜３のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項４に記載の太陽電池モジュールを製造する方法であって、
下記の工程（ａ）〜（ｈ）を有する、太陽電池モジュールの製造方法。
（ａ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域に封着材料からなる封着材料部を形成する工程。
（ｂ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に薄膜系太陽電池素子を形成する工程。
（ｃ）第１のガラス基板の、周縁封止領域の内周縁またはその近傍の表面に、堰状部を形成する工程。
（ｄ）第１のガラス基板の周縁封止領域に、樹脂シール部を形成する工程。
（ｅ）堰状部で囲まれた領域に、液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給する工程。
（ｆ）１００Ｐａ以下の減圧雰囲気下にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に、対向面が層状部形成用硬化性樹脂組成物に接するように第２のガラス基板を重ねて、第１のガラス基板、第２のガラス基板および堰状部によって層状部形成用硬化性樹脂組成物が密封された積層物を得る工程。
（ｇ）５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に積層物を置いた状態にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物からなる未硬化の層状部を硬化させて、層状部および堰状部からなる樹脂層を形成する工程。
（ｈ）封着材料部を溶融し、固化させて、封着部を形成する工程。
【請求項６】
封着材料部を、ガラスフリットおよびレーザ吸収材を含む封着材料ペーストをガラス基板の周縁封止領域に塗布し、焼成して形成する、請求項５に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】
封着部を、封着材料部にレーザを照射して形成する、請求項６に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜系太陽電池モジュールおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールとしては、たとえば、下記のものが知られている。
・表面材と裏面材との間に、樹脂等の封止材によって、シリコンウエハから形成された結晶系太陽電池素子が封止された結晶系太陽電池モジュール。
・表面材と裏面材との間に、樹脂等の封止材によって、表面材および裏面材のうちの少なくとも一方の表面に形成された薄膜系太陽電池素子が封止された薄膜系太陽電池モジュール。
・増感色素を含む半導体電極が表面に形成された表面材と、触媒電極が表面に形成された裏面材との間に、電解液が充填された色素増感型太陽電池モジュール。
【０００３】
太陽電池モジュールのうち、薄膜系太陽電池モジュールは、ガラス基板を表面材（または裏面材）として用いることによって、大面積のガラス基板の表面に薄膜系太陽電池素子を簡易に形成できるため、大面積の太陽電池モジュールを簡易に、かつ経済的に製造できるという利点を有する。
【０００４】
表面に薄膜系太陽電池素子が形成されたガラス基板を表面材（または裏面材）として用いる薄膜系太陽電池モジュールの製造方法としては、下記の方法が知られている。
（１）ガラス基板の薄膜系太陽電池素子が形成されている側の表面に、エチレン−酢酸ビニル共重合体（以下、ＥＶＡと記す。）の封止材フィルムおよび裏面材（または表面材）を重ね、減圧雰囲気下に加熱、加圧して積層する方法（特許文献１）。
【０００５】
しかし、（１）の方法には、下記の問題がある。
・製造された薄膜系太陽電池モジュールの側面にＥＶＡ層が露出しているため、該側面におけるＥＶＡ層と表面材または裏面材との界面から水分、腐食性ガスが浸入するおそれがある。
・ガラス基板の薄膜系太陽電池素子が形成されている側の表面にＥＶＡの封止材フィルムおよび裏面材（または表面材）を積層する際に、薄膜系太陽電池素子に過大な圧力や熱が加わり、薄膜系太陽電池素子が破損するおそれがある。
・一方、薄膜系太陽電池素子が破損しないように圧力や熱を低く抑えると、製造された太陽電池モジュールのＥＶＡ層と薄膜系太陽電池素子との界面接着力、またはＥＶＡ層と裏面材（または表面材）との界面接着力が不充分となって、ＥＶＡ層の表面にて剥離が発生するおそれがある。また、薄膜系太陽電池モジュールの側面における界面接着力が不充分な部分から水分、腐食性ガスが浸入するおそれが高まる。また、ＥＶＡ層と裏面材（または表面材）との間に気泡等の空隙が残存してしまうおそれもある。
【０００６】
なお、側面が確実に封止された太陽電池モジュールの製造方法としては、下記の方法が提案されている。
（２）裏面材の周縁に壁部を形成し、裏面材の壁部と表面材との間にガラスフリットを含む封着材料を介在させた状態で、封着材料にレーザを照射し、裏面材の壁部と表面材とを未封着部を除いて封着した後、未封着部から電解液を充填する、色素増感型太陽電池モジュールの製造方法（特許文献２）。
【０００７】
ところで、（２）の方法をそのまま薄膜系太陽電池モジュールの製造方法に適用する場合、裏面材の壁部と表面材とを封着した後、未封着部から電解液の代わりに液状の硬化性樹脂組成物を充填し、硬化させることになる。
しかし、該方法においては、下記の理由から、製造された薄膜系太陽電池モジュールの内部に気泡が発生しやすい。
・液状の硬化性樹脂組成物の粘度が比較的高いため、表面材と裏面材との間隙に硬化性樹脂組成物を充填することが困難であり、該間隙内に硬化性樹脂組成物が充填されていない空間（気泡）が発生しやすい。
・また、液状の硬化性樹脂組成物中にも気泡が残存しやすい。
【０００８】
そして、太陽電池モジュールの内部に気泡が発生すると、下記の問題が生じる。
・硬化性樹脂組成物を硬化させた樹脂層と薄膜系太陽電池素子との界面接着力、または硬化物と裏面材（または表面材）との界面接着力が低下する。
・裏面材の表面に薄膜系太陽電池素子を形成した場合、薄膜系太陽電池素子の透明電極層側に樹脂層が形成されるため、樹脂層には高い透明性が要求される。しかし、樹脂層に気泡が存在すると、太陽光が気泡により乱反射され、薄膜系太陽電池素子に達する太陽光の量が低下して発電効率が低下する。
・薄膜系太陽電池素子の２つの電極をともに透明電極としたシースルー型薄膜系太陽電池モジュールにおいては、樹脂層に残存する気泡は容易に視認されるため、製品の品位を大きく損なうおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−８７７４３号公報
【特許文献２】特開２００７−４２４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、側面が確実に封止され、薄膜系太陽電池素子の耐久性に優れる薄膜系太陽電池モジュール；および、製造中に薄膜系太陽電池素子が破損しにくく、樹脂層と薄膜系太陽電池素子との界面接着力および樹脂層とガラス基板との界面接着力を高くでき、液状の硬化性樹脂組成物による気泡の発生を充分に抑えることができ、かつ側面を確実に封止できる薄膜系太陽電池モジュールの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の太陽電池モジュールは、
所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有する第１のガラス基板および第２のガラス基板と、
第１のガラス基板の周縁封止領域と第２のガラス基板の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板に挟まれ、かつ封着部と間隔を開けて封着部よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板に挟まれ、かつ封着部と間隔を開けて封着部よりも内側に形成された、ガラス基板の表面に沿って広がる樹脂層と、
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に形成された薄膜系太陽電池素子とを有し、
樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間が、４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気であることを特徴とする。
【００１２】
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方は、周縁封止領域に形成された、ガラスからなる段部を有することが好ましい。
段部は、ガラス基板の表面に凹部を形成することによって形成されたものであることが好ましい。
樹脂層は、ガラス基板の表面に沿って広がる層状部および層状部の周縁を囲む堰状部からなることが好ましい。
【００１３】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、下記の工程（ａ）〜（ｈ）を有することを特徴とする。
（ａ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域に封着材料からなる封着材料部を形成する工程。
（ｂ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に薄膜系太陽電池素子を形成する工程。
（ｃ）第１のガラス基板の、周縁封止領域の内周縁またはその近傍の表面に、堰状部を形成する工程。
（ｄ）第１のガラス基板の周縁封止領域に、樹脂シール部を形成する工程。
（ｅ）堰状部で囲まれた領域に、液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給する工程。
（ｆ）１００Ｐａ以下の減圧雰囲気下にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に、対向面が層状部形成用硬化性樹脂組成物に接するように第２のガラス基板を重ねて、第１のガラス基板、第２のガラス基板および堰状部によって層状部形成用硬化性樹脂組成物が密封された積層物を得る工程。
（ｇ）５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に積層物を置いた状態にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物からなる未硬化の層状部を硬化させて、層状部および堰状部からなる樹脂層を形成する工程。
（ｈ）封着材料部を溶融し、固化させて、封着部を形成する工程。
【００１４】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法においては、封着材料部を、ガラスフリットおよびレーザ吸収材を含む封着材料ペーストをガラス基板の周縁封止領域に塗布し、焼成して形成することが好ましい。
本発明の太陽電池モジュールの製造方法においては、封着部を、封着材料部にレーザを照射して形成することが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の薄膜系太陽電池モジュールは、側面が確実に封止され、薄膜系太陽電池素子の耐久性に優れる。
本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、製造中に薄膜系太陽電池素子が破損しにくく、樹脂層と薄膜系太陽電池素子との界面接着力および樹脂層とガラス基板との界面接着力を高くでき、液状の硬化性樹脂組成物による気泡の発生を充分に抑えることができ、かつ側面を確実に封止できる。また、得られる薄膜系太陽電池モジュールは、薄膜系太陽電池素子の耐久性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの第１の実施形態の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の太陽電池モジュールの第１の実施形態の他の例を示す断面図である。
【図３】本発明の太陽電池モジュールの第１の実施形態の他の例を示す断面図である。
【図４】本発明の太陽電池モジュールの第２の実施形態の一例を示す断面図である。
【図５】本発明の太陽電池モジュールの第３の実施形態の一例を示す断面図である。
【図６】本発明の太陽電池モジュールの第４の実施形態の一例を示す断面図である。
【図７】本発明の太陽電池モジュールの第５の実施形態の一例を示す断面図である。
【図８】本発明の太陽電池モジュールの第６の実施形態の一例を示す断面図である。
【図９】工程（ｃ）および工程（ｄ）の様子を示す平面図である。
【図１０】工程（ｃ）および工程（ｄ）の様子を示す断面図である。
【図１１】工程（ｅ）の様子を示す平面図である。
【図１２】工程（ｅ）の様子を示す断面図である。
【図１３】工程（ｆ）の様子を示す断面図である。
【図１４】工程（ｈ）の様子を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明においては、下記のように定義する。
太陽光入射側のガラス基板を「表面材」といい、表面材に対向配置されたガラス基板を「裏面材」という。
表面材および裏面材を総称して「ガラス基板」という。
該ガラス基板のうち、本発明の製造方法において、表面に堰状部が形成され、かつ堰状部で囲まれた領域に液状の硬化性樹脂組成物が供給されるガラス基板を「第１のガラス基板」といい、該硬化性樹脂組成物の上に重ねられる面材を「第２のガラス基板」という。
【００１８】
＜太陽電池モジュール＞
本発明の太陽電池モジュールとしては、下記の３つのものが挙げられる。
（α）表面材の表面に薄膜系太陽電池素子が形成された、１層の薄膜系太陽電池素子を有する太陽電池モジュール（第１の実施形態）。
（β）裏面材の表面に薄膜系太陽電池素子が形成された、１層の薄膜系太陽電池素子を有する太陽電池モジュール（第２の実施形態）。
（γ）表面材および裏面材の表面に薄膜系太陽電池素子が形成された、２層の薄膜系太陽電池素子を有する太陽電池モジュール（第３の実施形態）。
【００１９】
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明における太陽電池モジュールの第１の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール１は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に一体に形成された枠状の段部１４と；裏面材１２の周縁封止領域の段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２および層状部２２の周縁を囲む堰状部２４からなる、段部１４によって周囲を囲まれた樹脂層２０と；表面材１０の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側に形成された薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、表面材１０と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通って外部に延びる配線（図示略）とを有する。
【００２０】
（表面材）
表面材１０は、太陽光を透過するガラス基板である。ガラス基板の材料としては、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等が挙げられる。
表面材１０の表面には、樹脂層２０（堰状部２４）との界面接着力を向上させるために、表面処理を施してもよい。表面処理の方法としては、表面材１０の表面をシランカップリング剤で処理する方法等が挙げられる。なお、封着部３２を形成する部分は、シランカップリング剤で処理しないことが好ましい。
表面材１０の厚さは、通常０．５〜６ｍｍである。
【００２１】
（裏面材）
裏面材１２は、光硬化性樹脂組成物の硬化のための光を透過するガラス基板である。ガラス基板の材料としては、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等が挙げられる。
裏面材１２の表面には、樹脂層２０との界面接着力を向上させるために、表面処理を施してもよい。表面処理の方法としては、裏面材１２の表面をシランカップリング剤で処理する方法等が挙げられる。なお、封着部３２を形成する部分は、シランカップリング剤で処理しないことが好ましい。
裏面材１２の厚さは、段部１４（周縁封止領域）よりも内側の表面（凹部）において通常０．５〜６ｍｍである。
【００２２】
（周縁封止領域）
周縁封止領域は、封着部３２および樹脂シール部３６が形成され、かつ薄膜系太陽電池素子３０が形成されない、表面材１０および裏面材１２のそれぞれの対向面の周縁に枠状に設けられる領域である。図示例では、段部１４およびこれに対向するガラス基板の表面が周縁封止領域とされているが、段部１４以外に樹脂シール部３６が形成される場合は、樹脂シール部３６が形成される部分も周縁封止領域に含める。
【００２３】
樹脂層２０と封着部３２との間の空間、および封着部３２と樹脂シール部３６との間の空間は、後述する工程（ｈ）にて封着材料部を溶融し、固化させて、封着部３２を形成する時点では４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気である。減圧雰囲気の圧力が４００００Ｐａ以下であれば、後述する作用効果によって薄膜系太陽電池素子３０の耐久性が向上する。後述する工程（ｆ）にて第１のガラス基板、第２のガラス基板および堰状部によって層状部形成用硬化性樹脂組成物が密封された積層物を得る時点では、減圧雰囲気の圧力は、４０Ｐａ以下が好ましい。減圧雰囲気の圧力は、減圧雰囲気を提供するために時間がかかることがあるため、８Ｐａ以上が好ましく、１０Ｐａ以上がより好ましい。
【００２４】
（段部）
段部１４は、所定の間隔（樹脂層２０の厚さ）で離間して対向する表面材１０と裏面材１２とを、封着部３２を構成する封着材料の溶融、固化によって確実に封着するために、表面材１０と裏面材１２との間隔をそれぞれの周縁封止領域にて狭めるためのものである。よって、段部１４は、図１のように裏面材１２の周縁封止領域に形成されるものに限定されず、図２に示すように、表面材１０の周縁封止領域に形成されてもよく、図３に示すように、表面材１０および裏面材１２の周縁封止領域に形成されてもよい。
【００２５】
段部１４は、ガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に凹部を形成することによって形成されるものであってもよく、ガラス基板の周縁封止領域にガラスリボンを溶着したものであってもよい。ガラス基板の四隅において継ぎ目のない、連続した段部１４を形成できる点から、ガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に凹部を形成することによって形成される段部が好ましい。
段部１４の高さ（凹部の深さ）は、樹脂層２０および封着部３２の厚さに応じて、適宜決定される。
【００２６】
（封着部）
封着部３２は、後述する封着材料を溶融し、固化させたものである。
封着部３２の厚さは、用いる封着材料に応じて、封着不良が発生しない程度の厚さとなるように適宜決定すればよく、特に限定はされない。
【００２７】
（樹脂シール部）
樹脂シール部３６は、後述のシール部材（樹脂シール部形成用硬化性樹脂組成物等）からなるものである。
樹脂シール部３６を設けることによって、樹脂層２０と封着部３２との間の空間、および封着部３２と樹脂シール部３６との間の空間を、後述する工程（ｈ）にて封着材料部を溶融し、固化させて、封着部を形成する時点において４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気に維持できる。
第１のガラス基板と第２のガラス基板を重ねる前の樹脂シール部３６の厚さは、封着部３２よりわずかに厚くすることが望ましい。
【００２８】
（樹脂層）
樹脂層２０の層状部２２は、後述の層状部形成用硬化性樹脂組成物を硬化してなる層である。
樹脂層２０の堰状部２４は、後述のシール部材（堰状部形成用硬化性樹脂組成物、両面接着テープ等）からなるものである。
【００２９】
樹脂層２０は、図示例のように層状部２２および堰状部２４からなるものであってもよく、層状部２２のみからなるものであってもよい。後述する製造方法による製造のしやすさ、堰状部２４による層状部２２の形状保持、堰状部２４による封止効果の向上等の点から、樹脂層２０は、層状部２２および堰状部２４からなるものが好ましい。
【００３０】
樹脂層２０の厚さは、目的に応じて必要な厚さとすることができ、０．０１〜２ｍｍが好ましく、０．３〜０．８ｍｍがより好ましい。一方、従来の太陽電池モジュールの製造方法においては、封止材フィルム（ＰＶＢ、ＥＶＡ等）が用いられているが、液状の硬化性樹脂組成物を用いて封止を行う本発明の製造方法と比較して面内での空隙残りの問題を発生しやすい。また、樹脂層を薄くし軽量化することも困難である。
【００３１】
樹脂層２０の厚さを調整する方法としては、堰状部２４の厚さを調整する方法、または堰状部２４とは別に厚さ調整用の部材を表面材１０と裏面材１２との間に設ける方法が挙げられる。たとえば、堰状部２４として両面接着テープを用いる場合、目的に適合する厚さの両面接着テープを用いて樹脂層の厚さを決めることができる。厚さが圧縮力で変化しやすい材料（弾性体、未硬化の硬化性樹脂組成物等）を用いる場合、堰状部２４に所定の粒子径のスペーサ粒子を配置しておいてもよい。
【００３２】
（薄膜系太陽電池素子）
薄膜系太陽電池素子３０および薄膜系太陽電池素子３０から電力を取り出す配線の端子盤は、表面材１０の周縁の周縁封止領域よりも内側の表面に形成される。
薄膜系太陽電池素子３０の周囲には、樹脂層２０の堰状部２４が位置し、配線の表面の一部または端子盤の表面の一部と重なる。
【００３３】
薄膜系太陽電池素子３０は、表面材１０の表面側から順に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を有する。
透明電極層の材料としては、酸化インジウム錫、酸化錫等が挙げられる。
光電変換層は、薄膜半導体からなる層である。薄膜半導体としては、アモルファスシリコン系半導体、微結晶シリコン系半導体、化合物半導体（カルコパイライト系半導体、ＣｄＴｅ系半導体等）、有機系半導体等が挙げられる。
裏面電極層の材料としては、光透過性を有さない材料（銀、アルミニウム等）、光透過性を有する材料（酸化インジウム錫、酸化錫、酸化亜鉛等）が挙げられる。
薄膜系太陽電池素子としては、光電変換層を透明電極層の上に形成して表面材からの入射光で発電させる場合は、薄膜半導体がアモルファスシリコン系半導体である薄膜シリコン太陽電池素子が好ましい。
【００３４】
（形状）
太陽電池モジュール１の形状は、通常矩形である。
太陽電池モジュール１の大きさは、０．１ｍ×０．１ｍでも製造可能であるが、生産性や設置時の発電効率を考慮すると、０．５ｍ×０．５ｍ以上が好ましい。太陽電池モジュール１の大きさの上限は、減圧装置等の製造装置の大きさの制約で決まることが多い。また、あまりに大きい太陽電池モジュールは、設置等における取り扱いが困難となりやすい。太陽電池モジュール１の大きさの上限は、これらの制約から、通常３ｍ×３ｍ程度である。
表面材１０および裏面材１２の形状や大きさは、太陽電池モジュール１の形状や大きさにほぼ等しく、表面材１０および裏面材１２の形状や大きさは、多少異なっていてもよい。
【００３５】
〔第２の実施形態〕
図４は、本発明における太陽電池モジュールの第２の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール２は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に一体に形成された枠状の段部１４と；裏面材１２の周縁封止領域の段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２および層状部２２の周縁を囲む堰状部２４からなる、段部１４によって周囲を囲まれた樹脂層２０と；裏面材１２の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側に形成された薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、裏面材１２と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通って外部に延びる配線（図示略）とを有する。
第２の実施形態において、第１の実施形態と同じ構成については説明を省略する。
【００３６】
（薄膜系太陽電池素子）
薄膜系太陽電池素子３０および薄膜系太陽電池素子３０から電力を取り出す配線の端子盤は、裏面材１２の周縁の周縁封止領域よりも内側の表面に形成される。
薄膜系太陽電池素子３０の周囲には、樹脂層２０の堰状部２４が形成され、配線の表面の一部または端子盤の表面の一部と重なる。
【００３７】
薄膜系太陽電池素子３０は、裏面材１２の表面側から順に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層を有する。必要に応じて光電変換層と透明電極層との間にバッファ層を設けてもよい。透明電極層からの入射光を利用する点から、光電変換層としては、カルコパイライト系半導体、ＣｄＴｅ系半導体等の化合物半導体が好ましい。カルコパイライト系半導体が、ＣｕＩｎＧａＳｅ２の場合には、バッファ層として硫化カドミウムや酸化亜鉛を用いることができる。
【００３８】
〔第３の実施形態〕
図５は、本発明における太陽電池モジュールの第３の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール３は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に一体に形成された枠状の段部１４と；裏面材１２の周縁封止領域の段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２および層状部２２の周縁を囲む堰状部２４からなる、段部１４によって周囲を囲まれた樹脂層２０と；表面材１０および裏面材１２の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側にそれぞれ形成された２つの薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、表面材１０または裏面材１２と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通って外部に延びる配線（図示略）とを有する。
第３の実施形態において、第１の実施形態および第２の実施形態と同じ構成については説明を省略する。
【００３９】
（薄膜系太陽電池素子）
表面材１０側の薄膜系太陽電池素子３０は、表面材１０の表面側から順に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を有する。
裏面電極層の材料としては、裏面材１２側の薄膜系太陽電池素子３０まで少なくとも一部の太陽光を透過させるために、光透過性を有する材料（酸化インジウム錫、酸化錫等）を用いる必要がある。この場合、光電変換層としては、アモルファスシリコン系半導体が好ましい。
【００４０】
裏面材１２側の薄膜系太陽電池素子３０は、裏面材１２の表面側から順に、裏面電極層、光電変換層、透明電極層を有する。透明電極層からの入射光を利用する点から、光電変換層としては、カルコパイライト系半導体、ＣｄＴｅ系半導体等の化合物半導体が好ましい。
裏面電極層の材料としては、裏面材１２側から光硬化性樹脂組成物の硬化のための光を透過させる場合は、光透過性を有する材料（酸化インジウム錫、酸化錫等）を用いる必要がある。
【００４１】
なお、表面材１０および裏面材１２からの入射光を発電に利用する場合は、表面材１０側の薄膜系太陽電池素子３０と裏面材１２側の薄膜系太陽電池素子３０とを同じものとしてもよい。この場合、表面材１０側の裏面電極層の材料は必ずしも光透過性を有する材料を用いる必要はない。
【００４２】
〔第４の実施形態〕
第１〜３の実施形態は、樹脂層２０が周縁封止領域よりも内側に形成された例であるが、本発明の太陽電池モジュールは、樹脂層２０が周縁封止領域よりも内側に形成されたものに限定はされない。たとえば、図６に示すように、樹脂層２０の堰状部２４が周縁封止領域（段部１４）に形成され、層状部２２が堰状部２４の内側に形成されたものであってもよい。
【００４３】
図６は、本発明における太陽電池モジュールの第４の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール４は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に一体に形成された枠状の段部１４と；裏面材１２の周縁封止領域の段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２、および表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側の周縁封止領域に形成された、層状部２２の周縁を囲む堰状部２４からなる、樹脂層２０と；表面材１０の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側に形成された薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、表面材１０と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通って外部に延びる配線（図示略）とを有する。
【００４４】
〔第５の実施形態〕
第１〜４の実施形態においては、薄膜系太陽電池素子３０から外部に延びる配線（図示略）は、表面材１０と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通っていたが、たとえば、図７に示すように、薄膜系太陽電池素子３０から外部に延びる配線３１は、裏面材１２に穿設された貫通孔１３を通すようにしてもよい。
【００４５】
図７は、本発明における太陽電池モジュールの第５の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール５は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域に一体に形成された枠状の段部１４と；裏面材１２の周縁封止領域の段部１４と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２、ならびに層状部２２の周縁および裏面材１２の貫通孔１３の周囲を囲む堰状部２４からなる、段部１４によって周囲を囲まれた樹脂層２０と；表面材１０の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側に形成された薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、堰状部２４で囲まれた空間および裏面材１２の貫通孔１３を通って外部に延びる配線３１とを有する。
【００４６】
〔第６の実施形態〕
第１〜５の実施形態においては、表面材１０および裏面材１２のうちの少なくとも一方が、周縁封止領域に形成された、ガラスからなる段部を有していたが、たとえば、図８に示すように、表面材１０および裏面材１２の両方が、段部を有さなくてもよい。
【００４７】
図８は、本発明における太陽電池モジュールの第６の実施形態の一例を示す断面図である。
太陽電池モジュール６は、所定の間隔で対向し、それぞれが対向面の周縁に枠状の周縁封止領域を有するガラス基板からなる、一対の表面材１０および裏面材１２と；裏面材１２の周縁封止領域と表面材１０の周縁封止領域とを封着する枠状の封着部３２と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、かつ封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも外側の周縁封止領域に形成された枠状の樹脂シール部３６と；表面材１０および裏面材１２に挟まれ、封着部３２と間隔を開けて封着部３２よりも内側に、かつ周縁封止領域よりも内側に形成された、表面材１０および裏面材１２の表面に沿って広がる層状部２２および層状部２２の周縁を囲む堰状部２４からなる、封着部３２によって周囲を囲まれた樹脂層２０と；表面材１０の周縁封止領域よりも内側の表面に、かつ樹脂層２０の周縁よりも内側に形成された薄膜系太陽電池素子３０と；薄膜系太陽電池素子３０に接続し、表面材１０と樹脂層２０との界面、封着部３２および樹脂シール部３６を通って外部に延びる配線（図示略）とを有する。
【００４８】
〔作用効果〕
以上説明した太陽電池モジュール１〜６にあっては、周縁封止領域よりも内側にて樹脂層２０によって薄膜系太陽電池素子３０が直接封止されることに加え、周縁封止領域（段部１４）にて封着部３２および樹脂シール部３６によって２重に封止されることによって側面が確実に封止されているため、合計３重の封止によって信頼性の高い封止を実現できる。
また、樹脂層２０と封着部３２との間の空間、および封着部３２と樹脂シール部３６との間の空間が４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気とされているため、該空間に残存する水分、腐食性ガスがほとんどなくなり、表面材１０または裏面材１２と樹脂層２０との界面から水分、腐食性ガスが侵入するおそれがほとんどなくなり、薄膜系太陽電池素子３０の耐久性が向上する。
【００４９】
＜太陽電池モジュールの製造方法＞
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、下記の工程（ａ）〜（ｈ）を有する方法である。
（ａ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域に封着材料からなる封着材料部を形成する工程。
（ｂ）第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に薄膜系太陽電池素子を形成する工程。
（ｃ）第１のガラス基板の、周縁封止領域の内周縁またはその近傍の表面に、堰状部を形成する工程。
（ｄ）第１のガラス基板の周縁封止領域に、樹脂シール部を形成する工程。
（ｅ）堰状部で囲まれた領域に、液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給する工程。
（ｆ）１００Ｐａ以下の減圧雰囲気下にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に、対向面が層状部形成用硬化性樹脂組成物に接するように第２のガラス基板を重ねて、第１のガラス基板、第２のガラス基板および堰状部によって層状部形成用硬化性樹脂組成物が密封された積層物を得る工程。
（ｇ）５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に積層物を置いた状態にて、層状部層状部形成用硬化性樹脂組成物からなる未硬化の層状部を硬化させて、層状部および堰状部からなる樹脂層を形成する工程。
（ｈ）封着材料部を溶融し、固化させて、封着部を形成する工程。
【００５０】
本発明の製造方法は、減圧雰囲気下で第１のガラス基板と第２のガラス基板との間に液状の硬化性樹脂組成物を封じ込め、大気圧雰囲気下等の高い圧力雰囲気下で封じ込められている硬化性樹脂組成物を硬化させて樹脂層を形成する方法である。減圧下における硬化性樹脂組成物の封じ込めは、第１のガラス基板と第２のガラス基板との間隙の狭く広い空間に硬化性樹脂を注入する方法ではなく、第１のガラス基板のほぼ全面に硬化性樹脂組成物を供給し、その後、第２のガラス基板を重ねて第１のガラス基板と第２のガラス基板との間に硬化性樹脂組成物を封じ込める方法である。
【００５１】
減圧下における液状の硬化性樹脂組成物の封じ込め、および大気圧雰囲気下における硬化性樹脂組成物の硬化による透明積層体の製造方法の一例は公知である。たとえば、国際公開第２００８／８１８３８号パンフレット、国際公開第２００９／１６９４３号パンフレットに透明積層体の製造方法および該製造方法に用いられる硬化性樹脂組成物が記載されており、本明細書中に組み入れられる。
【００５２】
（工程（ａ））
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域に封着材料からなる封着材料部を形成する。封着材料部は、封着材料部同士の位置合わせが不要である点から、第１のガラス基板および第２のガラス基板のいずれか一方に形成することが好ましい。また、封着材料部を形成する側のガラス基板の周縁封止領域に段部がある場合は、段部の表面に封着材料部を形成する。
【００５３】
封着材料としては、レーザを照射することによって封着する封着材料、誘電加熱によって封着する封着材料等が挙げられる。ガラス基板同士を封着するための封着材料は、公知である。たとえば、国際公開第２０１０／５５８８８号パンフレットにガラスフリット（粉末ガラス）およびレーザ吸収材を含む封着材料が記載されており、本明細書中に組み入れられる。
【００５４】
レーザを照射することによって封着する封着材料としては、具体的には、ガラスフリットおよびレーザ吸収材、必要に応じて低膨張充填材を含むものが挙げられる。
ガラスフリットとしては、錫−リン酸系ガラス、ビスマス系ガラス、バナジウム系ガラス、鉛系ガラス等の低融点ガラスが挙げられ、封着性、信頼性、環境性等の点から、錫−リン酸系ガラスまたはビスマス系ガラスが好ましい。
レーザ吸収材としては、金属（鉄、クロム、マンガン、コバルト、ニッケル、銅等）、該金属の酸化物等を含むものが挙げられる。
低膨張充填材としては、シリカ、アルミナ、ジルコニア、コージェライト、リン酸ジルコニウム系化合物、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス等が挙げられる。
【００５５】
封着材料部は、封着材料およびビヒクル、必要に応じて添加剤を含む封着材料ペーストをガラス基板の周縁封止領域に塗布し、乾燥し、焼成することによって形成される。
ビヒクルとしては、セルロース系バインダ（メチルセルロース、エチルセルロース等）を溶媒（ターピネオール、ブチルカルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート等）に溶解したもの、アクリレート系バインダ（メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート等）を溶媒（メチルエチルケトン、ターピネオール、ブチルカルビトールアセテート等）に溶解したものが挙げられる。
塗布方法としては、公知の塗布方法（スクリーン印刷、グラビア印刷、ディスペンス等）が挙げられる。
【００５６】
乾燥は、溶媒を除去するために行う。乾燥温度は、たとえば、１２０℃以上であり、乾燥時間は、たとえば、５分以上である。
焼成は、バインダを除去し、かつ封着材料をガラス基板に焼き付けるために行う。焼成温度は、錫−リン酸系ガラスの場合、４００〜５００℃が好ましく、ビスマス系ガラスの場合、４２０〜５２０℃が好ましい。焼成時間は、５〜６０分が好ましい。
【００５７】
（工程（ｂ））
第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの少なくとも一方のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面に薄膜系太陽電池素子を形成する。工程（ｂ）は、工程（ａ）の前に行ってもよく、工程（ａ）の後に行ってもよい。ただし、工程（ａ）の焼成の際に薄膜系太陽電池素子が存在すると薄膜系太陽電池素子が熱でダメージを受けてしまうため、封着材料部および薄膜系太陽電池素子を同じガラス基板の表面に形成する場合、工程（ｂ）は、工程（ａ）の後に行う。なおかつ、封着材料部に太陽電池素子が形成されないようにマスクする必要がある。
【００５８】
表面材側に薄膜系太陽電池素子を形成する場合、表面側から順に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を、公知の方法によって成膜するたびに公知の方法で所望の形状にパターニングすることによって薄膜系太陽電池素子を形成する。
裏面材側に薄膜系太陽電池素子を形成する場合、裏面側から順に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を、公知の方法によって成膜するたびに公知の方法で所望の形状にパターニングすることによって薄膜系太陽電池素子を形成する。
【００５９】
（工程（ｃ））
第１のガラス基板の、周縁封止領域の内周縁またはその近傍の表面に、堰状部を形成する。工程（ｃ）において、第１のガラス基板として裏面材を用いるか表面材を用いるかは任意である。工程（ｃ）は、工程（ａ）または工程（ｂ）の前に行ってもよく、工程（ａ）または工程（ｂ）の後に行ってもよい。ただし、工程（ａ）の焼成の際に堰状部が存在すると堰状部が熱でダメージを受けてしまうため、封着材料部および堰状部を同じガラス基板の表面に形成する場合、工程（ｃ）は、工程（ａ）よりも後に行う。
【００６０】
堰状部には、後述の工程（ｆ）において、堰状部と第１のガラス基板との界面、および堰状部と第２のガラス基板との界面から液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物が漏れ出さない程度以上の界面接着力、および形状を維持できる程度の固さが必要とされる。よって、堰状部としては、表面に接着性または粘着性を有するシール部材が好ましい。該シール部材としては、下記のものが挙げられる。
・第１のガラス基板の周縁封止領域よりも内側の表面の周縁に堰状部形成用硬化性樹脂組成物を印刷、ディスペンス等で塗布して形成されたもの。
・粘着剤層または接着剤層を表面に有するテープ状または棒状の長尺体（両面接着テープ等）。
【００６１】
堰状部形成用硬化性樹脂組成物から形成される堰状部は、未硬化の状態であってもよく、部分的に硬化させた半硬化の状態であってもよい。堰状部の部分硬化は、堰状部形成用硬化性樹脂組成物が光硬化性組成物である場合、光の照射によって行う。たとえば、光源（紫外線ランプ、高圧水銀灯、ＵＶ−ＬＥＤ等）から紫外線または短波長の可視光を照射して、光硬化性樹脂組成物を部分硬化させる。
【００６２】
堰状部形成用硬化性樹脂組成物の粘度は、１０００〜３０００Ｐａ・ｓが好ましく、１２００〜２０００Ｐａ・ｓがさらに好ましい。粘度が１０００Ｐａ・ｓ以上であれば、未硬化の堰状部の形状を比較的長時間維持でき、未硬化の堰状部の高さを充分に維持できる。粘度が３０００Ｐａ・ｓ以下であれば、未硬化の堰状部を塗布によって形成できる。
堰状部形成用硬化性樹脂組成物の粘度は、２５℃においてＥ型粘度計を用いて測定する。
【００６３】
堰状部形成用硬化性樹脂組成物は、光硬化性樹脂組成物であってもよく、熱硬化性樹脂組成物であってもよい。堰状部形成用硬化性樹脂組成物としては、低温で硬化でき、かつ硬化速度が速い点から、硬化性化合物および光重合開始剤（Ｃ）を含む光硬化性樹脂組成物が好ましい。
【００６４】
堰状部形成用光硬化性樹脂組成物としては、粘度を前記範囲に調整しやすい点から、前記硬化性化合物として、硬化性基を有し、かつ数平均分子量が３００００〜１０００００であるオリゴマー（Ａ）の１種以上と、硬化性基を有し、かつ分子量が１２５〜６００であるモノマー（Ｂ）の１種以上とを含み、モノマー（Ｂ）の割合が、オリゴマー（Ａ）とモノマー（Ｂ）との合計（１００質量％）のうち、１５〜５０質量％であるものが好ましい。
【００６５】
オリゴマー（Ａ）の数平均分子量は、３００００〜１０００００であり、４００００〜８００００が好ましく、５００００〜６５０００がより好ましい。オリゴマー（Ａ）の数平均分子量が該範囲であれば、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の粘度を前記範囲に調整しやすい。
オリゴマー（Ａ）の数平均分子量は、ＧＰＣ測定によって得られた、ポリスチレン換算の数平均分子量である。なお、ＧＰＣ測定において、未反応の低分子量成分（モノマー等）のピークが現れる場合は、該ピークを除外して数平均分子量を求める。
【００６６】
オリゴマー（Ａ）の硬化性基としては、付加重合性の不飽和基（アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基等）、不飽和基とチオール基との組み合わせ等が挙げられ、硬化速度が速い点および透明性の高い堰状部が得られる点から、アクリロイルオキシ基およびメタクリロイルオキシ基から選ばれる基が好ましい。また、比較的高分子量のオリゴマー（Ａ）における硬化性基は、比較的低分子量のモノマー（Ｂ）における硬化性基よりも反応性が低くなりやすいため、モノマー（Ｂ）の硬化が先に進んで急激に組成物全体の粘性が高まり硬化反応が不均質となるおそれがある。両者の硬化性基の反応性の差を小さくし、均質な堰状部を得るために、オリゴマー（Ａ）の硬化性基を比較的反応性の高いアクリロイルオキシ基とし、モノマー（Ｂ）の硬化性基を比較的反応性の低いメタクリロイルオキシ基とすることがより好ましい。
【００６７】
オリゴマー（Ａ）としては、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、堰状部の機械的特性の点から、硬化性基を１分子あたり平均１．８〜４個有するものが好ましい。
オリゴマー（Ａ）としては、ウレタン結合を有するウレタンオリゴマー、ポリオキシアルキレンポリオールのポリ（メタ）アクリレート、ポリエステルポリオールのポリ（メタ）アクリレート等が挙げられ、ウレタン鎖の分子設計等によって硬化後の樹脂の機械的特性、ガラス基板との密着性等を幅広く調整できる点から、ウレタンオリゴマー（Ａ１）が好ましい。
【００６８】
数平均分子量が３００００〜１０００００のウレタンオリゴマー（Ａ１）は、高粘度となるため、通常の方法では合成が難しく、合成できたとしてもモノマー（Ｂ）との混合が難しい。よって、本発明においては、ウレタンオリゴマー（Ａ１）を下記の合成方法で合成した後、得られた生成物をそのまま堰状部形成用光硬化性樹脂組成物として用いる、または得られた生成物をさらに後述するモノマー（Ｂ）（モノマー（Ｂ１）、モノマー（Ｂ３）等）で希釈して堰状部形成用光硬化性樹脂組成物として用いることが好ましい。
【００６９】
ウレタンオリゴマー（Ａ１）の合成方法：
希釈剤として、後述するモノマー（Ｂ）の１種であるイソシアネート基と反応する基を有さないモノマー（Ｂ１）の存在下、ポリオールとポリイソシアネートとを反応させてイソシアネート基を有するプレポリマーを得た後、該プレポリマーのイソシアネート基に、イソシアネート基と反応する基および硬化性基を有するモノマー（Ｂ２）を反応させる方法。
【００７０】
ポリオール、ポリイソシアネートとしては、公知の化合物、たとえば、国際公開第２００９／０１６９４３号パンフレットに記載のウレタン系オリゴマー（ａ）の原料として記載された、ポリオール（ｉ）、ジイソシアネート（ii）等が挙げられ、本明細書に組み入れられる。
【００７１】
イソシアネート基と反応する基を有さないモノマー（Ｂ１）としては、炭素数８〜２２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート（ｎ−ドデシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクタデシル（メタ）アクリレート、ｎ−ベヘニル（メタ）アクリレート等）、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリレート（イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート等）が挙げられる。
【００７２】
イソシアネート基と反応する基および硬化性基を有するモノマー（Ｂ２）としては、活性水素（水酸基基、アミノ基等）および硬化性基を有するモノマーが挙げられ、具体的には、炭素数２〜６のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート（２−ヒドロキシメチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等）等が挙げられ、炭素数２〜４のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキルアクリレートが好ましい。
【００７３】
モノマー（Ｂ）の分子量は、１２５〜６００であり、１４０〜４００が好ましく、１５０〜３５０がより好ましい。モノマー（Ｂ）の分子量が１２５以上であれば、後述する減圧雰囲気下におけるモノマー（Ｂ）の揮発が抑えられる。モノマー（Ｂ）の分子量が６００以下であれば、高分子量のオリゴマー（Ａ）に対するモノマー（Ｂ）の溶解性を高めることができ、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物としての粘度調整を好適に行うことができる。
【００７４】
モノマー（Ｂ）の硬化性基としては、付加重合性の不飽和基（アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基等）、不飽和基とチオール基との組み合わせ等が挙げられ、硬化速度が速い点および透明性の高い堰状部が得られる点から、アクリロイルオキシ基およびメタクリロイルオキシ基から選ばれる基が好ましい。また、比較的低分子量のモノマー（Ｂ）における硬化性基は、比較的高分子量のオリゴマー（Ａ）における硬化性基よりも反応性が高くなりやすいため、モノマー（Ｂ）の硬化が先に進んで急激に組成物全体の粘性が高まり硬化反応が不均質となるおそれがある。均質な堰状部を得るために、モノマー（Ｂ）の硬化性基を比較的反応性の低いメタクリロイルオキシ基とし、オリゴマー（Ａ）の硬化性基を比較的反応性の高いアクリロイルオキシ基とすることがより好ましい。
モノマー（Ｂ）としては、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、堰状部の機械的特性の点から、硬化性基を１分子あたり１〜３個有するものが好ましい。
【００７５】
堰状部形成用光硬化性樹脂組成物は、モノマー（Ｂ）として、上述したウレタンオリゴマー（Ａ１）の合成方法において希釈剤として用いたモノマー（Ｂ１）を含んでいてもよい。また、モノマー（Ｂ）として、上述したウレタンオリゴマー（Ａ１）の合成方法に用いた未反応のモノマー（Ｂ２）を含んでいてもよい。
【００７６】
モノマー（Ｂ）は、ガラス基板と堰状部との密着性や後述する各種添加剤の溶解性の点から、水酸基を有するモノマー（Ｂ３）を含むことが好ましい。
水酸基を有するモノマー（Ｂ３）としては、水酸基数１〜２、炭素数３〜８のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシメタアクリレート（２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、６−ヒドロキシヘキシルメタクリレート等）が好ましく、２−ヒドロキシブチルメタクリレートが特に好ましい。
【００７７】
モノマー（Ｂ）の割合は、オリゴマー（Ａ）とモノマー（Ｂ）との合計（１００質量％）のうち、１５〜５０質量％であり、２０〜４５質量％が好ましく、２５〜４０質量％がより好ましい。モノマー（Ｂ）の割合が１５質量％以上であれば、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、ガラス基板と堰状部との密着性が良好となる。モノマー（Ｂ）の割合が５０質量％以下であれば、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の粘度を１０００Ｐａ・ｓ以上に調整しやすい。
【００７８】
光重合開始剤（Ｃ）としては、アセトフェノン系、ケタール系、ベンゾインまたはベンゾインエーテル系、フォスフィンオキサイド系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、キノン系等の光重合開始剤が挙げられる。吸収波長域の異なる２種以上の光重合開始剤（Ｃ）を併用することによって、硬化時間をさらに速めたり、堰状部における表面硬化性を高めたりすることができる。
光重合開始剤（Ｃ）の量は、オリゴマー（Ａ）とモノマー（Ｂ）との合計１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部が好ましく、０．１〜２．５質量部がより好ましい。
【００７９】
堰状部形成用光硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、重合禁止剤、光硬化促進剤、連鎖移動剤、光安定剤（紫外線吸収剤、ラジカル捕獲剤等）、酸化防止剤、難燃化剤、接着性向上剤（シランカップリング剤等）、顔料、染料等の他の添加剤を含んでいてもよく、重合禁止剤、光安定剤を含むことが好ましい。重合禁止剤を重合開始剤より少ない量含むことによって、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の安定性を改善でき、硬化後の層状部の分子量も調整できる。
【００８０】
重合禁止剤としては、ハイドロキノン系（２，５−ジ−ｔ−ブチルハイドロキノン等）、カテコール系（ｐ−ｔ−ブチルカテコール等）、アンスラキノン系、フェノチアジン系、ヒドロキシトルエン系等の重合禁止剤が挙げられる。
光安定剤としては、紫外線吸収剤（ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、サリチレート系等）、ラジカル捕獲剤（ヒンダードアミン系）等が挙げられる。
酸化防止剤としては、リン系、イオウ系の化合物が挙げられる。
他の添加剤の合計量は、オリゴマー（Ａ）とモノマー（Ｂ）との合計１００質量部に対して、１０質量部以下が好ましく、５質量部以下がより好ましい。
第１のガラス基板と第２のガラス基板との間隔を保持するために、所定の粒子径のスペーサ粒子を堰状部形成用硬化性樹脂組成物に配合してもよい。
【００８１】
（工程（ｄ））
第１のガラス基板の周縁封止領域に、樹脂シール部を形成する。工程（ｄ）は、工程（ａ）、工程（ｂ）、工程（ｃ）または工程（ｅ）の前に行ってもよく、工程（ａ）、工程（ｂ）、工程（ｃ）または工程（ｅ）の後に行ってもよい。ただし、工程（ａ）の焼成の際に樹脂シール部が存在すると樹脂シール部が熱でダメージを受けてしまうため、封着材料部および樹脂シール部を同じガラス基板の表面に形成する場合、工程（ｄ）は、工程（ａ）よりも後に行う。
【００８２】
樹脂シール部には、後述の工程（ｆ）において、樹脂シール部と第１のガラス基板との界面、および樹脂シール部と第２のガラス基板との界面を気密に保持するための界面接着力および固さが必要とされる。よって、樹脂シール部としては、表面に接着性または粘着性を有するシール部材が好ましい。該シール部材としては、第１のガラス基板の周縁封止領域に樹脂シール部形成用硬化性樹脂組成物を印刷、ディスペンス等で塗布して形成されたもの等が挙げられる。
【００８３】
樹脂シール部形成用硬化性樹脂組成物から形成される樹脂シール部は、未硬化の状態であってもよく、部分的に硬化させた半硬化の状態であってもよい。樹脂シール部の部分硬化は、樹脂シール部形成用硬化性樹脂組成物が光硬化性組成物である場合、光の照射によって行う。たとえば、光源（紫外線ランプ、高圧水銀灯、ＵＶ−ＬＥＤ等）から紫外線または短波長の可視光を照射して、光硬化性樹脂組成物を部分硬化させる。
【００８４】
樹脂シール部形成用硬化性樹脂組成物としては、上述した堰状部形成用硬化性樹脂組成物と同様のものを用いればよい。
【００８５】
（工程（ｅ））
工程（ｃ）の後、堰状部で囲まれた領域に液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給する。
層状部形成用硬化性樹脂組成物の供給量は、堰状部、第１のガラス基板および第２のガラス基板によって形成される空間が層状部形成用硬化性樹脂組成物によって充填され、かつ第１のガラス基板と第２のガラス基板との間を所定の間隔とする（すなわち層状部を所定の厚さとする）だけの分量にあらかじめ設定する。この際、層状部形成用硬化性樹脂組成物の硬化収縮による体積減少をあらかじめ考慮することが好ましい。
供給方法としては、第１のガラス基板を平置きにし、ディスペンサ、ダイコータ等の供給手段によって、点状、線状または面状に供給する方法が挙げられる。
【００８６】
層状部形成用硬化性樹脂組成物の粘度は、０．０５〜５０Ｐａ・ｓが好ましく、１〜２０Ｐａ・ｓがより好ましい。粘度が０．０５Ｐａ・ｓ以上であれば、後述するモノマー（Ｂ'）の割合を抑えることができ、層状部の物性の低下が抑えられる。また、低沸点の成分が少なくなるため、後述する減圧雰囲気下における揮発が抑えられ好適となる。粘度が５０Ｐａ・ｓ以下であれば、層状部に空隙が残留しにくい。
層状部形成用硬化性樹脂組成物の粘度は、２５℃においてＥ型粘度計を用いて測定する。
【００８７】
層状部形成用硬化性樹脂組成物は、光硬化性樹脂組成物であってもよく、熱硬化性樹脂組成物であってもよい。層状部形成用硬化性樹脂組成物としては、低温で硬化でき、かつ硬化速度が速い点から、硬化性化合物および光重合開始剤（Ｃ'）を含む光硬化性樹脂組成物が好ましい。
【００８８】
層状部形成用光硬化性樹脂組成物としては、粘度を前記範囲に調整しやすい点から、前記硬化性化合物として、硬化性基を有し、かつ数平均分子量が１０００〜１０００００であるオリゴマー（Ａ'）の１種以上と、硬化性基を有し、かつ分子量が１２５〜６００であるモノマー（Ｂ'）の１種以上とを含み、モノマー（Ｂ'）の割合が、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計（１００質量％）のうち、４０〜８０質量％であるものが好ましい。
【００８９】
オリゴマー（Ａ'）の数平均分子量は、１０００〜１０００００であり、１００００〜７００００が好ましい。オリゴマー（Ａ'）の数平均分子量が該範囲であれば、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の粘度を前記範囲に調整しやすい。
オリゴマー（Ａ'）の数平均分子量は、ＧＰＣ測定によって得られた、ポリスチレン換算の数平均分子量である。なお、ＧＰＣ測定において、未反応の低分子量成分（モノマー等）のピークが現れる場合は、該ピークを除外して数平均分子量を求める。
【００９０】
オリゴマー（Ａ'）の硬化性基としては、付加重合性の不飽和基（アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基等）、不飽和基とチオール基との組み合わせ等が挙げられ、硬化速度が速い点および透明性の高い層状部が得られる点から、アクリロイルオキシ基およびメタクリロイルオキシ基から選ばれる基が好ましい。また、比較的高分子量のオリゴマー（Ａ'）における硬化性基は、比較的低分子量のモノマー（Ｂ'）における硬化性基よりも反応性が低くなりやすいため、モノマー（Ｂ'）の硬化が先に進んで急激に組成物全体の粘性が高まり硬化反応が不均質となるおそれがある。均質な層状部を得るために、オリゴマー（Ａ'）の硬化性基を比較的反応性の高いアクリロイルオキシ基とし、モノマー（Ｂ'）の硬化性基を比較的反応性の低いメタクリロイルオキシ基とすることがより好ましい。
【００９１】
オリゴマー（Ａ'）としては、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、層状部の機械的特性の点から、硬化性基を１分子あたり平均１．８〜４個有するものが好ましい。
オリゴマー（Ａ'）としては、ウレタン結合を有するウレタンオリゴマー、ポリオキシアルキレンポリオールのポリ（メタ）アクリレート、ポリエステルポリオールのポリ（メタ）アクリレート等が挙げられ、ウレタン鎖の分子設計等によって硬化後の樹脂の機械的特性、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子との密着性等を幅広く調整できる点から、ウレタンオリゴマーが好ましい。
【００９２】
オリゴマー（Ａ'）の割合は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計（１００質量％）のうち、２０〜６０質量％が好ましく、３０〜５０質量％がより好ましい。オリゴマー（Ａ'）の割合が２０質量％以上であれば、層状部の耐熱性が良好となる。オリゴマー（Ａ'）の割合が６０質量％以下であれば、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子と層状部との密着性が良好となる。
【００９３】
モノマー（Ｂ'）の分子量は、１２５〜６００であり、１４０〜４００が好ましい。モノマー（Ｂ'）の分子量が１２５以上であれば、後述する減圧雰囲気下におけるモノマーの揮発が抑えられる。モノマー（Ｂ'）の分子量が６００以下であれば、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子と層状部との密着性が良好となる。
【００９４】
モノマー（Ｂ'）の硬化性基としては、付加重合性の不飽和基（アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基等）、不飽和基とチオール基との組み合わせ等が挙げられ、硬化速度が速い点および透明性の高い層状部が得られる点から、アクリロイルオキシ基およびメタクリロイルオキシ基から選ばれる基が好ましい。また、比較的低分子量のモノマー（Ｂ'）における硬化性基は、比較的高分子量のオリゴマー（Ａ'）における硬化性基よりも反応性が高くなりやすいため、モノマー（Ｂ'）の硬化が先に進んで急激に組成物全体の粘性が高まり硬化反応が不均質となるおそれがある。均質な層状部を得るために、モノマー（Ｂ'）の硬化性基を比較的反応性の低いメタクリロイルオキシ基とし、オリゴマー（Ａ'）の硬化性基を比較的反応性の高いアクリロイルオキシ基とすることがより好ましい。
モノマー（Ｂ'）としては、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、層状部の機械的特性の点から、硬化性基を１分子あたり１〜３個有するものが好ましい。
【００９５】
モノマー（Ｂ'）は、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子と層状部との密着性の点から、水酸基を有するモノマー（Ｂ３）を含むことが好ましい。
水酸基を有するモノマー（Ｂ３）としては、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物におけるモノマー（Ｂ３）と同様のものが挙げられ、２−ヒドロキシブチルメタクリレートが特に好ましい。
【００９６】
モノマー（Ｂ３）の割合は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計（１００質量％）のうち、１５〜７０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。モノマー（Ｂ３）の割合が１５質量％以上であれば、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の硬化性、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子と層状部との密着性が良好となる。
【００９７】
モノマー（Ｂ'）は、層状部の機械的特性の点から、下記のモノマー（Ｂ４）を含むことが好ましい。
モノマー（Ｂ４）：炭素数８〜２２のアルキル基を有するアルキルメタクリレート。
モノマー（Ｂ４）としては、ｎ−ドデシルメタクリレート、ｎ−オクタデシルメタクリレート、ｎ−ベヘニルメタクリレート等が挙げられ、ｎ−ドデシルメタクリレート、ｎ−オクタデシルメタクリレートが好ましい。
【００９８】
モノマー（Ｂ４）の割合は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計（１００質量％）のうち、５〜５０質量％が好ましく、１５〜４０質量％がより好ましい。モノマー（Ｂ４）の割合が５質量％以上であれば、層状部の柔軟性が良好となる。
【００９９】
光重合開始剤（Ｃ'）としては、アセトフェノン系、ケタール系、ベンゾインまたはベンゾインエーテル系、フォスフィンオキサイド系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、キノン系等の光重合開始剤が挙げられる。吸収波長域の異なる２種以上の光重合開始剤（Ｃ'）を併用することによって、硬化時間をさらに速めることができる。
光重合開始剤（Ｃ'）の量は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部が好ましく、０．１〜２．５質量部がより好ましい。
【０１００】
層状部形成用光硬化性樹脂組成物は、連鎖移動剤を含むことが好ましい。連鎖移動剤を含むことによって、ガラス基板または薄膜系太陽電池素子と層状部との密着性を高めることができる。
連鎖移動剤としては、チオール基を有する化合物（ｎ−オクチルメルカプタン、ｎ−ドデシルメルカプタン、１，４−ビス（３−メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート)等が挙げられる。
連鎖移動剤の量は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計１００質量部に対して、０．１〜４質量部が好ましく、０．３〜２質量部がより好ましい。
【０１０１】
層状部形成用光硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、熱線吸収剤、重合禁止剤、光硬化促進剤、光安定剤（紫外線吸収剤、ラジカル捕獲剤等）、酸化防止剤、難燃化剤、接着性向上剤（シランカップリング剤等）、顔料、染料等の他の添加剤を含んでいてもよく、重合禁止剤、光安定剤を含むことが好ましい。特に、重合禁止剤を重合開始剤より少ない量含むことによって、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の安定性を改善でき、硬化後の層状部の分子量も調整できる。
他の添加剤の合計量は、オリゴマー（Ａ'）とモノマー（Ｂ'）との合計１００質量部に対して、１０質量部以下が好ましく、５質量部以下がより好ましい。
【０１０２】
（工程（ｆ））
工程（ａ）〜（ｅ）をすべて行った後、層状部形成用硬化性樹脂組成物が供給された第１のガラス基板を減圧装置に入れ、減圧装置内の固定支持盤の上に層状部形成用硬化性樹脂組成物の面が上になるように第１のガラス基板を平置きする。
減圧装置内の上部には、上下方向に移動可能な移動支持機構が設けられ、移動支持機構に対向面を下に向けて第２のガラス基板が取り付けられる。
第２のガラス基板は、第１のガラス基板の上方かつ層状部形成用硬化性樹脂組成物と接しない位置に置く。すなわち、第１のガラス基板の上の層状部形成用硬化性樹脂組成物と第２のガラス基板とを接触させることなく対向させる。
【０１０３】
なお、上下方向に移動可能な移動支持機構を減圧装置内の下部に設け、移動支持機構の上に第１のガラス基板を置いてもよい。この場合、第２のガラス基板は、減圧装置内の上部に設けられた固定支持盤に取り付けて、第１のガラス基板と第２のガラス基板とを対向させる。
また、第１のガラス基板および第２のガラス基板の両方を、減圧装置内の上下に設けた移動支持機構で支持してもよい。
【０１０４】
第１のガラス基板および第２のガラス基板を所定の位置に配置した後、減圧装置の内部を減圧して所定の減圧雰囲気とする。可能であれば、減圧操作中または所定の減圧雰囲気とした後に、減圧装置内で第１のガラス基板および第２のガラス基板を所定の位置に配置させてもよい。
減圧装置の内部が所定の減圧雰囲気となった後、移動支持機構で支持された第２のガラス基板を下方に移動し、第１のガラス基板の上の層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に第２のガラス基板を重ね合わせる。
【０１０５】
重ね合わせにより、第１のガラス基板の表面（薄膜系太陽電池素子が形成されている場合は、薄膜系太陽電池素子の表面）、第２のガラス基板の表面（薄膜系太陽電池素子が形成されている場合は、薄膜系太陽電池素子の表面）、および堰状部で囲まれた空間内に、層状部形成用硬化性樹脂組成物が密封される。
重ね合わせの際、第２のガラス基板の自重、移動支持機構からの押圧等によって、層状部形成用硬化性樹脂組成物が押し広げられ、前記空間内に硬化性樹脂組成物が充満し、その後、工程（ｇ）において高い圧力雰囲気に曝した際に、気泡の少ないまたは気泡のない未硬化の層状部が形成される。
【０１０６】
重ね合わせの際の減圧雰囲気の圧力は、１００Ｐａ以下であり、４０Ｐａ以下が好ましい。なお、減圧雰囲気があまりに低圧であると、層状部形成用硬化性樹脂組成物に含まれる各成分（硬化性化合物、光重合開始剤、重合禁止剤、光安定剤等）に悪影響を与えるおそれがある。たとえば、減圧雰囲気があまりに低圧であると、各成分が気化するおそれがあり、また、減圧雰囲気を提供するために時間がかかることがある。よって、減圧雰囲気の圧力は、８Ｐａ以上が好ましく、１０Ｐａ以上がより好ましい。
【０１０７】
第１のガラス基板と第２のガラス基板とを重ね合わせた時点から減圧雰囲気を解除するまでの時間は、特に限定されず、層状部形成用硬化性樹脂組成物の密封後、直ちに減圧雰囲気を解除してもよく、層状部形成用硬化性樹脂組成物の密封後、減圧状態を所定時間維持してもよい。減圧状態を所定時間維持することによって、層状部形成用硬化性樹脂組成物が密閉空間内を流れて第１のガラス基板と第２のガラス基板との間の間隔が均一となり、雰囲気圧力を上げても密封状態を維持しやすくなる。減圧状態を維持する時間は、数時間以上の長時間であってもよいが、生産効率の点から、１時間以内が好ましく、１０分以内がより好ましい。
【０１０８】
（硬化性樹脂組成物中に発生する気泡の抑制）
後段の工程（ｇ）において、密閉空間全体を層状部形成用硬化性樹脂組成物で均一に充填する際に層状部形成用硬化性樹脂組成物中に発生する気泡を抑制するために、工程（ｅ）における層状部形成用硬化性樹脂組成物の供給条件や、工程（ｆ）における層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に第２のガラス基板を重ね合わせる時期を、下記条件（Ｉ）のように制御することが好ましく、また、下記条件（II）または条件（III）を満たすように、工程（ｅ）において堰状部で囲まれた領域に層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給することがより好ましい。
【０１０９】
条件（Ｉ）：
工程（ｆ）において層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に第２のガラス基板を重ね合わせる際に、堰状部で囲まれた領域に存在する層状部形成用硬化性樹脂組成物の層が下記（１）〜（３）を満たすように、工程（ｅ）における層状部形成用硬化性樹脂組成物の供給条件、および工程（ｆ）における層状部形成用硬化性樹脂組成物の上に第２のガラス基板を重ね合わせる時期を制御することが好ましい。
（１）層状部形成用硬化性樹脂組成物の層中に存在する空隙の投影形状における円相当径Ｄｐｏｒｅが１０ｍｍ以下。
（２）層状部形成用硬化性樹脂組成物の層中の空隙が存在しない部分の投影形状における円相当径Ｄｎｏｎ−ｐｏｒｅが４０ｍｍ以下。
（３）堰状部に対して、層状部形成用硬化性樹脂組成物の層と、層状部形成用硬化性樹脂組成物の層中に存在する空隙とが交互に接触している。
【０１１０】
（１）〜（３）を満たすために、工程（ｅ）においては、堰状部で囲まれた領域に層状部形成用硬化性樹脂組成物を分散滴下することが好ましい。また、層状部形成用硬化性樹脂組成物を分散滴下する際には、第１のガラス基板と、分散滴下に用いるノズルとを相対的に揺動させ、滴下された層状部形成用硬化性樹脂組成物の円相当径を強制的に広げることによって、堰状部で囲まれた領域に存在する層状部形成用硬化性樹脂組成物の円相当径を均一にすることが好ましい。
【０１１１】
条件（II）：
また、工程（ｅ）においては、堰状部で囲まれた領域に層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給した時点で、層状部形成用硬化性樹脂組成物が下記（４）〜（９）を満たす振動曲線をなすように、層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給することが好ましい。
（４）振動曲線の進行方向に対して垂直方向に一定の周期（ｅ）および振幅（Ｙ）で繰り返し変位する。
（５）隣接する振動曲線の変位が互いに逆位相である。
（６）供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、周期（ｅ）（ｍｍ）および振幅（Ｙ）（ｍｍ）が下記式を満たす。
２．１×ｍ  ≦  Ｘ  ≦  １０×ｍ
（２．１×ｍ）／２  ≦  Ｙ  ≦  （１０×ｍ）／２
（７）供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、振動曲線と堰状部との最短距離ｄ（ｓ−ｒ）（ｍｍ）が、下記式を満たす。
ｄ（ｓ−ｒ）  ≦  ２．５×ｍ
（８）供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、隣接する振動曲線間の最短距離ｄ（ｒ−ｒ）（ｍｍ）が下記式を満たす。
ｄ（ｒ−ｒ）  ≦  ５×ｍ
（９）Ｅ＝２Ｙ−２ｍとするとき、該Ｅ（ｍｍ）が下記式を満たす。
（Ｙ＋ｄ（ｒ−ｒ））／１０  ≦  Ｅ  ≦  Ｙ＋ｄ（ｒ−ｒ）
【０１１２】
条件（III）：
また、工程（ｅ）においては、堰状部で囲まれた領域に層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給した時点で、層状部形成用硬化性樹脂組成物が下記（１０）〜（１４）を満たす振動曲線と該振動曲線と同一方向に進行する直線とが隣接するように、層状部形成用硬化性樹脂組成物を供給してもよい。
（１０）振動曲線の進行方向に対して垂直方向に一定の周期（ｅ）および振幅（Ｙ）で繰り返し変位する。
（１１）供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、周期（ｅ）（ｍｍ）および振幅（Ｙ）（ｍｍ）が下記式を満たす。
２．１×ｍ  ≦  Ｘ  ≦  １０×ｍ
（２．１×ｍ）／２  ≦  Ｙ  ≦  （１０×ｍ）／２
（１２）堰状部の直近には振動曲線が位置し、供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、該振動曲線とシール部との最短距離ｄ（ｓ−ｒ）（ｍｍ）が、下記式を満たす。
ｄ（ｓ−ｒ）  ≦  ２．５×ｍ
（１３）供給開始時の振動曲線の太さをｍ（ｍｍ）とするとき、隣接する振動曲線と直線との間の最短距離ｄ（ｒ−ｒ）（ｍｍ）が下記式を満たす。
ｄ（ｒ−ｒ）  ≦  ２．５×ｍ
（１４）Ｅ＝２Ｙ−２ｍとするとき、該Ｅが下記式を満たす。
（Ｙ＋ｄ（ｒ−ｒ））／２０  ≦  Ｅ  ≦    （Ｙ＋ｄ（ｒ−ｒ）  ）／２
【０１１３】
（工程（ｇ））
工程（ｆ）において減圧雰囲気を解除した後、積層物を雰囲気圧力が５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に置く。
積層物を５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に置くと、上昇した圧力によって第１のガラス基板と第２のガラス基板とが密着する方向に押圧されるため、積層物内の密閉空間に気泡が存在すると、気泡に層状部形成用硬化性樹脂組成物が流動していき、密閉空間全体が層状部形成用硬化性樹脂組成物によって均一に充填され、未硬化の層状部が形成される。
また、積層物を５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に置くと、上昇した圧力によって第１のガラス基板と第２のガラス基板とが密着する方向に押圧されるため、別途加圧手段を用いることなく、封着材料部および樹脂シール部と、ガラス基板とが充分に密着する。
【０１１４】
圧力雰囲気は、通常８０ｋ〜１２０ｋＰａである。圧力雰囲気は、大気圧雰囲気であってもよく、それよりも高い圧力であってもよい。未硬化の層状部の硬化等の操作を、特別な設備を要することなく行うことができる点から、大気圧雰囲気が最も好ましい。
【０１１５】
積層物を５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に置いた時点から未硬化の層状部の硬化を開始するまでの時間（以下、高圧保持時間と記す。）は、特に限定されない。積層物を減圧装置から取り出して硬化装置に移動し、硬化を開始するまでのプロセスを大気圧雰囲気下で行う場合には、そのプロセスに要する時間が高圧保持時間となる。よって、大気圧雰囲気下に置いた時点ですでに積層物の密閉空間内に気泡が存在しない場合、またはそのプロセスの間に気泡が消失した場合は、直ちに未硬化の層状部を硬化させることができる。気泡が消失するまでに時間を要する場合は、積層物を気泡が消失するまで５０ｋＰａ以上の圧力の雰囲気下で保持する。また、高圧保持時間が長くなっても通常支障は生じないことから、プロセス上の他の必要性から高圧保持時間を長くしてもよい。高圧保持時間は、１日以上の長時間であってもよいが、生産効率の点から、６時間以内が好ましく、１時間以内がより好ましく、さらに生産効率が高まる点から、１０分以内が特に好ましい。
【０１１６】
ついで、未硬化の層状部および未硬化または半硬化の堰状部を硬化させることによって、層状部および堰状部を有する樹脂層が形成される。この際、未硬化または半硬化の堰状部は、未硬化の層状部の硬化と同時に硬化させてもよく、未硬化の層状部の硬化の前にあらかじめ硬化させてもよい。また、未硬化または半硬化の樹脂シール部を硬化させることによって、樹脂シール部が形成される。
未硬化の層状部、未硬化または半硬化の堰状部、および未硬化または半硬化の樹脂シール部は、光硬化性組成物からなる場合、光を照射して硬化させる。たとえば、光源（紫外線ランプ、高圧水銀灯、ＵＶ−ＬＥＤ等）から紫外線または短波長の可視光を照射して、光硬化性樹脂組成物を硬化させる。
【０１１７】
光は、第１のガラス基板（薄膜系太陽電池素子が形成されている場合は、薄膜系太陽電池素子も含める。）および第２のガラス基板（薄膜系太陽電池素子が形成されている場合は、薄膜系太陽電池素子も含める。）のうち、光透過性を有する側から照射する。両方が光透過性を有する場合、両側から照射してもよい。
光としては、紫外線または４５０ｎｍ以下の可視光が好ましい。
【０１１８】
（工程（ｈ））
工程（ａ）にて形成された封着材料部を局所加熱することによって溶融し、ついで固化させて、第１のガラス基板の周縁封止領域と第２のガラス基板の周縁封止領域とを封着する封着部を形成する。第１のガラス基板および第２のガラス基板のうちの一方の周縁封止領域に段部が形成されている場合は、一方のガラス基板の周縁封止領域の段部と他方のガラス基板の周縁封止領域とを封着する封着部を形成する。第１のガラス基板および第２のガラス基板の両方の周縁封止領域に段部が形成されている場合は、第１のガラス基板の周縁封止領域の段部と第２のガラス基板の周縁封止領域の段部とを封着する封着部を形成する。工程（ｈ）は、工程（ｇ）にて未硬化の層状部を硬化させる前に行ってもよく、工程（ｇ）にて未硬化の層状部を硬化させた後に行ってもよく、積層物の取扱性の点から、工程（ｇ）にて未硬化の層状部を硬化させた後に行うことが好ましい。
【０１１９】
工程（ｇ）にて積層物を５０ｋＰａ以上の圧力雰囲気下に置くと、上昇した圧力によって第１のガラス基板と第２のガラス基板とが密着する方向に押圧されるため、封着材料部とガラス基板とが充分に密着する。よって、別途加圧手段を用いることなく、封着材料部を局所加熱することによって、一方のガラス基板の周縁封止領域の段部と他方のガラス基板の周縁封止領域とを封着できる。
【０１２０】
加熱手段は、封着材料の種類に応じて適宜選択すればよい。加熱手段としては、レーザ照射、誘電加熱等が挙げられ、局所加熱しやすい点から、レーザ照射が好ましい。
レーザは、第１のガラス基板側から照射してもよく、第２のガラス基板側から照射してもよく、両側から照射してもよい。
【０１２１】
レーザとしては、半導体レーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、ＹＡＧレーザ、ＨｅＮｅレーザ等が挙げられる。
レーザの出力は、２〜１５０Ｗが好ましい。レーザの出力が２Ｗ以上であれば、封着材料部を充分に溶融できる。レーザの出力が１５０Ｗ以下であれば、ガラス基板にクラック、割れ等が発生しにくい。
【０１２２】
〔具体例〕
本発明の製造方法において、第１のガラス基板として裏面材を用いるか表面材を用いるかは任意である。よって、第１〜３の実施形態の太陽電池モジュール（図示例）は、第１のガラス基板の選択に応じて、それぞれ以下の２種類の方法により製造できる。
【０１２３】
第１の実施形態について：
（α−１）第１のガラス基板として裏面材１２を用い、第２のガラス基板として表面材１０を用いる方法。
（α−２）第１のガラス基板として表面材１０を用い、第２のガラス基板として裏面材１２を用いる方法。
【０１２４】
第２の実施形態について：
（β−１）第１のガラス基板として裏面材１２を用い、第２のガラス基板として表面材１０を用いる方法。
（β−２）第１のガラス基板として表面材１０を用い、第２のガラス基板として裏面材１２を用いる方法。
【０１２５】
第３の実施形態について：
（γ−１）第１のガラス基板として裏面材１２を用い、第２のガラス基板として表面材１０を用いる方法。
（γ−２）第１のガラス基板として表面材１０を用い、第２のガラス基板として裏面材１２を用いる方法。
【０１２６】
以下、方法（α−１）の場合を例にして、第１の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法を、図面を用いて具体的に説明する。
【０１２７】
（工程（ａ））
裏面材の周縁封止領域（段部）に、封着材料（ガラスフリット、レーザ吸収材、必要に応じて低膨張充填材を含む。）およびビヒクル（セルロース系バインダ、溶媒を含む。）を含む封着材料ペーストをスクリーン印刷等によって塗布し、乾燥し、焼成することによって、表面材の四辺に平行な枠状の封着材料部を形成する。
【０１２８】
（工程（ｂ））
表面材の周縁封止領域よりも内側の表面に、表面側から順に、透明電極層、光電変換層、裏面電極層を、公知の方法によって成膜するたびに公知の方法で所望の形状にパターニングすることによって薄膜系太陽電池素子を形成する。
【０１２９】
（工程（ｃ））
図９、図１０に示すように、封着材料部３４が形成された裏面材１２（第１のガラス基板）の段部１４（周縁封止領域）よりも内側（凹部）の表面の周縁に沿ってディスペンサ（図示略）等によって堰状部形成用光硬化性樹脂組成物を塗布して未硬化の堰状部２８を形成する。
【０１３０】
（工程（ｄ））
また同時に、図９、図１０に示すように、封着材料部３４よりも外側の段部１４（周縁封止領域）の表面にディスペンサ（図示略）等によって樹脂シール部形成用光硬化性樹脂組成物を塗布して未硬化の樹脂シール部３８を形成する。
【０１３１】
（工程（ｅ））
ついで、図１１、図１２に示すように、裏面材１２の未硬化の堰状部２８に囲まれた矩形状の領域１６に層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６を供給する。層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６の供給量は、未硬化の堰状部２８と裏面材１２と表面材１０（図１３参照）とによって密閉される空間が層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６によって充填されるだけの量にあらかじめ設定されている。
【０１３２】
層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６の供給は、図１１、図１２に示すように、裏面材１２を下定盤４０に平置きにし、水平方向に移動するディスペンサ４２によって層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６を線状、帯状または点状に供給することにより実施される。
ディスペンサ４２は、一対の送りねじ４４と、送りねじ４４に直交する送りねじ４６とからなる公知の水平移動機構によって、領域１６の全範囲において水平移動可能となっている。なお、ディスペンサ４２の代わりに、多点ノズルやダイコータを用いてもよいが、硬化性樹脂組成物中に発生する気泡を抑制するためには、上述した条件（Ｉ）〜（III）の供給条件を満たすことが望ましい。
【０１３３】
（工程（ｆ））
ついで、図１３に示すように、裏面材１２と表面材１０（第２のガラス基板）とを減圧装置５０内に搬入する。減圧装置５０内の上部には、複数の吸着パッド５２を有する上定盤５４が配置され、下部には、下定盤５６が設けられている。上定盤５４は、エアシリンダ５８によって上下方向に移動可能とされている。
表面材１０は、薄膜系太陽電池素子３０が形成された面を下にして吸着パッド５２に取り付けられる。裏面材１２は、層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６が供給された面（封着材料部３４が形成された面）を上にして下定盤５６の上に固定される。
【０１３４】
ついで、減圧装置５０内の空気を真空ポンプ６０によって吸引する。減圧装置５０内の雰囲気圧力が、たとえば１０〜４０Ｐａの減圧雰囲気に達した後、表面材１０を上定盤５４の吸着パッド５２によって吸着保持した状態で、下に待機している裏面材１２に向けて、エアシリンダ５８を動作させて下降させる。そして、裏面材１２と表面材１０とを未硬化の堰状部２８を介して重ね合わせて、裏面材１２、表面材１０および未硬化の堰状部２８によって層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６が密封された積層物を構成し、減圧雰囲気下で所定時間積層物を保持する。
【０１３５】
なお、下定盤５６に対する裏面材１２の取り付け位置、吸着パッド５２の個数、上定盤５４に対する表面材１０の取り付け位置等は、裏面材１２および表面材１０のサイズ、形状等に応じて適宜調整する。この際、吸着パッドとして静電チャックを用い、国際公開第２０１０／０１６５８８号パンフレット（本明細書に組み入れられる。）に記載の静電チャック保持方法を採用することで、表面材１０を安定して減圧雰囲気下で保持できる。
【０１３６】
（工程（ｇ））
ついで、減圧装置５０の内部をたとえば大気圧にした後、積層物を減圧装置５０から取り出す。積層物を大気圧雰囲気下に置くと、積層物の裏面材１２側の表面と表面材１０側の表面とが大気圧によって押圧され、密閉空間内の層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６が裏面材１２と表面材１０とで加圧される。この圧力によって、密閉空間内の層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６が流動して、密閉空間全体が層状部形成用光硬化性樹脂組成物２６によって均一に充填され、未硬化の層状部が形成される。
また、積層物を大気圧雰囲気下に置くと、積層物の裏面材１２側の表面と表面材１０側の表面とが大気圧によって押圧され、封着材料部３４および未硬化の樹脂シール部３８が裏面材１２と表面材１０とで加圧される。この圧力によって、封着材料部３４および未硬化の樹脂シール部３８と、表面材１０とが充分に密着する。
【０１３７】
この後、積層物の裏面材１２側から紫外線を照射し、積層物内部の未硬化の層状部および未硬化の堰状部２８を硬化させることによって、層状部２２および堰状部２４を有する樹脂層２０が形成される。また同時に、積層物内部の未硬化の樹脂シール部３８を硬化させることによって、樹脂シール部３６が形成される。
【０１３８】
（工程（ｈ））
図１４に示すように、工程（ａ）にて形成された封着材料部３４に表面材１０側からレーザ６２を照射し、封着材料部３４を局所加熱することによって溶融し、ついで固化させて、裏面材１２の周縁の段部１４と表面材１０の周縁の周縁封止領域とを封着する封着部３２を形成し、図１に示す太陽電池モジュール１を得る。この際、工程（ｇ）にて封着材料部３４とガラス基板とが充分に密着しているため、別途加圧手段を用いることなく、封着材料部３４を局所加熱することによって封着できる。
【０１３９】
以上、方法（α−１）の場合を例にして本発明の太陽電池モジュールの製造方法を具体的に説明したが、他の方法（α−２、β−１、β−２、γ−１、γ−２）の場合も、第１のガラス基板を表面材に変更したり、封着材料部や薄膜系太陽電池素子を形成するガラス基板を変更したりすることによって、上述の具体例と同様に太陽電池モジュールを製造できる。
【０１４０】
（第４〜６の実施形態の太陽電池モジュールの製造方法）
第４の実施形態の太陽電池モジュールについても、工程（ｃ）において、裏面材１２（第１のガラス基板）の段部１４（周縁封止領域）の表面に、段部１４の内周縁に沿ってディスペンサ（図示略）等によって堰状部形成用光硬化性樹脂組成物を塗布して未硬化の堰状部２８を形成する以外は、上述の具体例と同様にして製造できる。
【０１４１】
第５の実施形態の太陽電池モジュールについても、工程（ｃ）において、裏面材１２（第１のガラス基板）の貫通孔１３の周囲に、ディスペンサ（図示略）等によって堰状部形成用光硬化性樹脂組成物を塗布して未硬化の堰状部２８を形成する以外は、上述の具体例と同様にして製造できる。
【０１４２】
第６の実施形態の太陽電池モジュールについても、段部１４を有さないガラス基板を用いる以外は、上述の具体例と同様にして製造できる。
【０１４３】
〔作用効果〕
以上説明した本発明の製造方法によれば、比較的大面積の太陽電池モジュールを樹脂層中に気泡を発生させることなく製造できる。仮に、減圧下で密封した層状部形成用硬化性樹脂組成物中に気泡が残存しても、硬化前の高い圧力雰囲気下では密封した層状部形成用硬化性樹脂組成物にもその圧力がかかり、その気泡の体積は減少し、気泡は容易に消失する。たとえば、１００Ｐａ下で密封した層状部形成用硬化性樹脂組成物中の気泡中の気体の体積は１００ｋＰａ下では１／１０００になると考えられる。気体は層状部形成用硬化性樹脂組成物に溶解することもあるので、微小体積の気泡中の気体は層状部形成用硬化性樹脂組成物に速やかに溶解して消失する。
【０１４４】
また、密封後の層状部形成用硬化性樹脂組成物に大気圧等の圧力がかかっても、液状の層状部形成用硬化性樹脂組成物は流動性の組成物であることから、薄膜系太陽電池素子の表面にその圧力は均一に分布し、層状部形成用硬化性樹脂組成物に接した薄膜系太陽電池素子の表面の一部にそれ以上の応力がかかることはなく、薄膜系太陽電池素子の損傷のおそれは少ない。また、層状部形成用硬化性樹脂組成物が光硬化性組成物の場合、硬化には高い温度を必要としないことから、高温による薄膜系太陽電池素子の損傷のおそれも少ない。
【０１４５】
また、初期状態が液体である層状部形成用硬化性樹脂組成物の硬化による樹脂層は、薄膜系太陽電池素子やガラス基板の表面に対し均一に接着するため、樹脂層と薄膜系太陽電池素子やガラス基板との界面接着力は、初期状態が固体である熱融着性樹脂と比較し部分的に界面接着力が低くなることが少ない。したがって、樹脂層の表面にて剥離が発生するおそれが低く、また界面接着力が不充分な部分から水分や腐食性ガスが浸入するおそれも少ない。
【０１４６】
また、２枚のガラス基板間の狭くかつ広い面積の空間に流動性の硬化性樹脂組成物を注入する方法（注入法）と比較すると、気泡の発生が少なくかつ短時間に層状部形成用硬化性樹脂組成物を充填できる。しかも、層状部形成用硬化性樹脂組成物の粘度の制約が少なく、高粘度の層状部形成用硬化性樹脂組成物を容易に充填できる。したがって、樹脂層の強度を高められる比較的高分子量の硬化性化合物を含む高粘度の層状部形成用硬化性樹脂組成物を用いることができる。
【０１４７】
また、少なくとも一方のガラス基板の表面の周縁の周縁封止領域に、樹脂層の周縁を囲むガラスからなる段部を形成した状態で、２枚のガラス基板の周縁封止領域同士を、封着材料を溶融、固化させた封着部にて封着し、さらにその外側を樹脂シール部にて封止しているため、太陽電池モジュールの側面が確実に封止され、水分や腐食性ガスがさらに浸入しにくくなる。
【０１４８】
さらに、工程（ｆ）においては、１００Ｐａ以下の減圧雰囲気下にて、層状部形成用硬化性樹脂組成物、封着材料部および樹脂シール部の上に、第２のガラス基板を重ねているため、樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間が工程（ｈ）経過後も４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気となる。そのため、該空間に残存する水分、腐食性ガスがほとんどなくなり、表面材または裏面材と樹脂層との界面から水分、腐食性ガスが侵入するおそれがほとんどなくなり、薄膜系太陽電池素子の耐久性が向上する。
【実施例】
【０１４９】
以下に、本発明の有効性を確認するために実施した例について示す。例１、２が実施例であり、例３が比較例である。
【０１５０】
〔例１〕
（工程（ａ））
ガラスフリットとして、質量割合でＢｉ２Ｏ３の８３％、Ｂ２Ｏ３の５％、ＺｎＯの１１％、Ａｌ２Ｏ３の１％の組成を有するビスマス系ガラスフリット（軟化点：４１０℃）を用意した。
低膨張充填材として、平均粒径（Ｄ５０）が４．３μｍ、比表面積が１．６ｍ２／ｇのコージェライト粉末を用意した。
レーザ吸収材として、質量割合でＦｅ２Ｏ３の１６．０％、ＭｎＯの４３．０％、ＣｕＯの２７．３％、Ａｌ２Ｏ３の８．５％、ＳｉＯ２の５．２％の組成を有し、平均粒径（Ｄ５０）が１．２μｍ、比表面積が６．１ｍ２／ｇのレーザ吸収材を用意した。
バインダとして、エチルセルロースを用意した。
溶媒として、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールモノイソブチレートを用意した。
【０１５１】
ビスマス系ガラスフリットの６６．８体積％、コージェライト粉末の３２．２体積％、レーザ吸収材の１．０体積％を混合して封着材料（熱膨張係数（５０〜３５０℃）：６６×１０−７／℃）を調製した。
エチルセルロースの５質量％を、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールモノイソブチレートの９５質量％に溶解してビヒクルを調製した。
封着材料の８３質量％、ビヒクルの１７質量％を混合して封着材料ペーストを調製した。
【０１５２】
裏面材として、ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＳ、ソーダライムガラス、熱膨張係数：８５×１０−７／℃、寸法：４００ｍｍ×４００ｍｍ×厚さ２．８ｍｍ）を用意した。
裏面材の周縁封止領域の内側に、３７０ｍｍ×３７０ｍｍ×深さ３８０μｍの凹部を形成することによって、周縁封止領域を、幅１５ｍｍ、高さ３８０μｍの枠状の段部とした。
【０１５３】
段部の表面の、裏面材の外周縁から１０ｍｍの位置に、封着材料ペーストをスクリーン印刷で塗布した。スクリーン印刷には、メッシュサイズが３２５、乳剤厚が２０μｍのスクリーン版を用いた。スクリーン版のパターンは、線幅が０．５ｍｍで３８０ｍｍ×３８０ｍｍの枠状パターンとし、コーナ部の曲率半径Ｒは２ｍｍとした。
塗布された枠状の封着材料ペーストを、１２０℃で１０分間乾燥させた後、４８０℃で１０分間焼成することによって、厚さが１５μｍ、線幅が０．５ｍｍで３８０ｍｍ×３８０ｍｍの枠状の封着材料部を形成した。
【０１５４】
（工程（ｂ））
表面材として、ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＳ、ソーダライムガラス、熱膨張係数：８５×１０−７／℃、寸法：４００ｍｍ×４００ｍｍ×厚さ０．７ｍｍ）を用意した。
表面材の周縁封止領域よりも内側の表面に、ＣＶＤ法によって、フッ素を添加した酸化錫からなる厚さが約０．７μｍの透明電極層を形成した。透明電極層を、ＹＡＧレーザの基本波（１０６４ｎｍ）を用い、９ｍｍピッチで帯状に、分割ラインの幅：約５０μｍで分断した。
透明電極層の上に、プラズマＣＶＤ法によって、モロシランガスを原料としてアモルファスシリコンン膜をｐ膜、ｉ膜、ｎ膜の順で３層形成し、総厚が約０．５μｍの光電変換層を形成した。光電変換層を、ＹＡＧレーザの第２高調波（５３２ｎｍ）を用い、９ｍｍピッチで帯状に、分割ラインの幅：約５０μｍで分断した。
光電変換層の上に、スパッタリング法によって、厚さが約０．２μｍの酸化亜鉛を成膜し、さらに厚さが約０．２μｍの銀を成膜して裏面電極層を形成した。ＹＡＧレーザの第２高調波（５３２ｎｍ）を用い、９ｍｍピッチの短冊状に裏面電極層と光電変換層を一括で、分割ラインの幅：約５０μｍで分断した。裏面電極層および透明電極層を端子加工することによって、アモルファスシリコンを半導体に用いた薄膜系太陽電池素子を有する表面材を作製した。
【０１５５】
（工程（ｃ））
分子末端をエチレンオキシドで変性した２官能のポリプロピレングリコール（水酸基価より算出した数平均分子量：４０００）と、ヘキサメチレンジイソシアネートとを、６対７となるモル比で混合し、ついでイソボルニルアクリレート（大阪有機化学工業社製、ＩＢＸＡ）で希釈した後、錫化合物の触媒存在下で７０℃で反応させて得られたプレポリマーに、２−ヒドロキシエチルアクリレートをほぼ１対２となるモル比で加えて７０℃で反応させることによって、３０質量％のイソボルニルアクリレートで希釈されたウレタンアクリレートオリゴマー（以下、ＵＣ−１と記す。）溶液を得た。ＵＣ−１の硬化性基数は２であり、数平均分子量は約５５０００であった。ＵＣ−１溶液の６０℃における粘度は約５８０Ｐａ・ｓであった。
【０１５６】
ＵＣ−１溶液の９０質量部および２−ヒドロキシブチルメタクリレート（共栄社化学社製、ライトエステル ＨＯＢ）の１０質量部を均一に混合して混合物を得た。該混合物の１００質量部、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ １８４）の０．９質量部、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ８１９）の０．１質量部、２，５−ジ−ｔ−ブチルハイドロキノン（重合禁止剤、東京化成社製）の０．０４質量部を均一に混合し、堰状部形成用光硬化性樹脂組成物（樹脂シール部形成用光硬化性樹脂組成物）を得た。
【０１５７】
堰状部形成用光硬化性樹脂組成物を容器に入れたまま開放状態で減圧装置内に設置して、減圧装置内を約２０Ｐａに減圧して１０分保持することで脱泡処理を行った。堰状部形成用光硬化性樹脂組成物の２５℃における粘度を測定したところ、約１４００Ｐａ・ｓであった。
裏面材の凹部の、段部の内周縁から５ｍｍの位置の全周にわたって、幅が約１ｍｍ、塗布厚さが約０．６ｍｍとなるように堰状部形成用光硬化性樹脂組成物をディスペンサにて塗布し、線幅が約１ｍｍで３６０ｍｍ×３６０ｍｍの枠状の未硬化の堰状部を形成した。
【０１５８】
（工程（ｄ））
工程（ｃ）に引き続き、段部の表面の、裏面材の外周縁から５ｍｍの位置に、幅が約１．０ｍｍ、塗布厚さが約０．６ｍｍとなるように堰状部形成用光硬化性樹脂組成物をディスペンサにて塗布し、線幅が約１．０ｍｍで３９０ｍｍ×３９０ｍｍの枠状の未硬化の樹脂シール部を形成した。
【０１５９】
（工程（ｅ））
分子末端をエチレンオキシドで変性した２官能のポリプロピレングリコール（水酸基価より算出した数平均分子量：４０００）と、イソホロンジイソシアネートとを、４対５となるモル比で混合し、錫化合物の触媒存在下で７０℃で反応させて得られたプレポリマーに、２−ヒドロキシエチルアクリレートをほぼ１対２となるモル比で加えて７０℃で反応させることによって、ウレタンアクリレートオリゴマー（以下、ＵＡ−１と記す。）を得た。ＵＡ−１の硬化性基数は２であり、数平均分子量は約２４０００であり、２５℃における粘度は約８３０Ｐａ・ｓであった。
【０１６０】
ＵＡ−１の４０質量部、２−ヒドロキシブチルメタクリレート（共栄社化学社製、ライトエステル  ＨＯＢ）の２０質量部、ｎ−ドデシルメタクリレートの４０質量部を均一に混合し、該混合物の１００質量部に、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイド（光重合開始剤、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ８１９）の０．３質量部、２，５−ジ−ｔ−ブチルハイドロキノン（重合禁止剤、東京化成社製）の０．０４質量部、ｎ−ドデシルメルカプタン（連鎖移動剤、花王社製、チオカルコール２０）の０．５質量部、紫外線吸収剤（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、ＴＩＮＵＶＩＮ  １０９）の０．３質量部を均一に溶解させて、層状部形成用光硬化性樹脂組成物を得た。
【０１６１】
層状部形成用光硬化性樹脂組成物を容器に入れたまま開放状態で減圧装置内に設置して、減圧装置内を約２０Ｐａに減圧して１０分保持することで脱泡処理を行った。層状部形成用光硬化性樹脂組成物の２５℃における粘度を測定したところ、１．７Ｐａ・ｓであった。
裏面材に塗布された未硬化の堰状部の内側の領域に、５０．８ｇの層状部形成用光硬化性樹脂組成物を、縦横８本ずつ１５ｍｍピッチで正方形に６４本のノズルを配置した多点ノズルを用い、縦・横各３ショット、合計９ショット行い、５７６点に均等分割して分散滴下することにより供給した。
層状部形成用光硬化性樹脂組成物を供給する間、未硬化の堰状部の形状は維持されていた。
【０１６２】
（工程（ｆ））
裏面材を、一対の定盤の昇降装置が設置されている減圧装置内の下定盤の上に、層状部形成用光硬化性樹脂組成物の面（封着材料部の面）が上になるように平置した。
表面材を、減圧装置内の昇降装置の上定盤の下面に静電チャックを用いて、薄膜系太陽電池素子の面が下になるように、かつ垂直方向では裏面材との距離が３０ｍｍとなるように保持させた。
【０１６３】
減圧装置を密封状態として減圧装置内の圧力が約１０Ｐａとなるまで排気した。減圧装置内の昇降装置にて上下の定盤を接近させ、裏面材と表面材とを、層状部形成用光硬化性樹脂組成物を介して２ｋＰａの圧力で圧着し、１分間保持させた。
【０１６４】
（工程（ｇ））
静電チャックを除電して上定盤から表面材を離間させ、約１５秒で減圧装置内を大気圧雰囲気に戻し、裏面材、表面材および未硬化の堰状部で層状部形成用光硬化性樹脂組成物からなる未硬化の層状部が密封された積層物を得た。
積層物において未硬化の堰状部の形状は、ほぼ初期の状態のまま維持されていた。
【０１６５】
積層物の未硬化の堰状部および未硬化の層状部に、裏面材の側から、ケミカルランプからの紫外線および４５０ｎｍ以下の可視光を均一に照射し、未硬化の堰状部および未硬化の層状部を硬化させることによって、樹脂層を形成した。また同時に、未硬化の樹脂シール部を硬化させることによって、樹脂シール部を形成した。従来の注入法による製造時に要する空隙除去の工程が不要であるにもかかわらず、樹脂層中に残留する空隙等の欠陥は確認されなかった。また、堰状部からの層状部形成用光硬化性樹脂組成物の漏れ出し等の欠陥も確認されなかった。また、薄膜系太陽電池素子の破損は確認されなかった。
【０１６６】
（工程（ｈ））
裏面材の側から封着材料部に対して、波長９４０ｎｍ、スポット径１．６ｍｍ、出力３０．０Ｗ（出力密度：１４９２Ｗ／ｃｍ２）のレーザ（半導体レーザ）を７ｍｍ／秒の走査速度で照射し、封着材料部を溶融し、急冷固化することによって、裏面材の周縁封止領域（段部）と表面材の周縁封止領域とを封着する封着部を形成し、図１に示す太陽電池モジュールを得た。レーザの強度分布は一定に整形せず、突形状の強度分布を有するレーザを用いた。
太陽電池モジュールを日中、太陽光に曝して端子間で電力を測定したところ７Ｗの出力があった。また、樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間の圧力を確認するため、太陽電池モジュールのコーナ部をシリコンオイルに浸漬させた状態で浸漬部にある、樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間の一部に外側からガラスドリルで貫通穴を開けたところ、空隙部の領域の半部以上にシリコンオイルが引き上げられ、４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気を維持していることが確認できた。
【０１６７】
〔例２〕
（工程（ａ））
例１と同様にして、裏面材の段部の表面に枠状の封着材料部を形成した。
【０１６８】
（工程（ｂ））
例１と同様にして、薄膜系太陽電池素子を有する表面材を作製した。
【０１６９】
（工程（ｃ））
裏面材の段部の内周縁の表面の全周にわたって、幅が約１．０ｍｍ、塗布厚さが約０．６ｍｍとなるように例１の堰状部形成用光硬化性樹脂組成物をディスペンサにて塗布し、線幅が約１．０ｍｍで３６０ｍｍ×３６０ｍｍの枠状の未硬化の堰状部を形成した。
【０１７０】
（工程（ｄ））
工程（ｃ）に引き続き、段部の表面の、裏面材の外周縁から５ｍｍの位置に、幅が約１．０ｍｍ、塗布厚さが約０．６ｍｍとなるように堰状部形成用光硬化性樹脂組成物をディスペンサにて塗布し、線幅が約１．０ｍｍで３９０ｍｍ×３９０ｍｍの枠状の未硬化の樹脂シール部を形成した。
【０１７１】
（工程（ｅ））
裏面材に塗布された未硬化の堰状部の内側の領域に、５０．８ｇの層状部形成用光硬化性樹脂組成物を、縦横８本ずつ１５ｍｍピッチで正方形に６４本のノズルを配置した多点ノズルを用い、縦・横各３ショット、合計９ショット行い、５７６点に均等分割して分散滴下することにより供給した。
層状部形成用光硬化性樹脂組成物を供給する間、未硬化の堰状部の形状は維持されていた。
【０１７２】
（工程（ｆ）〜（ｇ））
例１と同様にして、裏面材、表面材および未硬化の堰状部で層状部形成用光硬化性樹脂組成物からなる未硬化の層状部が密封された積層物を得た。
【０１７３】
例１と同様にして、未硬化の堰状部および未硬化の層状部を硬化させることによって、樹脂層を形成した。また同時に、未硬化の樹脂シール部を硬化させることによって、樹脂シール部を形成した。従来の注入法による製造時に要する空隙除去の工程が不要であるにもかかわらず、樹脂層中に残留する空隙等の欠陥は確認されなかった。また、堰状部からの層状部形成用光硬化性樹脂組成物の漏れ出し等の欠陥も確認されなかった。また、薄膜系太陽電池素子の破損は確認されなかった。
【０１７４】
（工程（ｈ））
例１と同様にして、裏面材の周縁封止領域（段部）と表面材の周縁封止領域とを封着する封着部を形成し、図６に示す太陽電池モジュールを得た。
太陽電池モジュールを日中、太陽光に曝して端子間で電力を測定したところ７Ｗの出力があった。また、例１と同様にして、樹脂層と封着部との間の空間、および封着部と樹脂シール部との間の空間の圧力を確認したところ、約４００００Ｐａ以下の減圧雰囲気を維持していた。
【０１７５】
〔例３〕
ガラス基板Ａの周縁部に、厚さ１ｍｍ、幅１０ｍｍの両面接着テープを貼着し、１辺の両面接着テープの離型フィルムのみを残して、表面の離型フィルムを剥がした。ガラス基板Ａの上にガラス基板Ｂを重ね、３辺の両面接着テープで貼り合わせた。
離型フィルムを残した１辺の両面接着テープとガラス基板Ｂとの間を、ドライバによって２ｍｍ程度抉じ開け、その部分から、層状部形成用光硬化性樹脂組成物を４０ｇ注ぎ入れようとしたが、ガラス基板Ａとガラス基板Ｂと間の空間の下部に気泡が残り、層状部形成用光硬化性樹脂組成物を該空間中に密実に注入できなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１７６】
本発明の製造方法によれば、薄膜系太陽電池素子の破損が抑えられ、樹脂層と薄膜系太陽電池素子との界面接着力および樹脂層とガラス基板との界面接着力を高くでき、液状の硬化性樹脂組成物による気泡の発生が充分に抑えられ、かつ側面が確実に封止された薄膜系太陽電池を得ることができる。
【符号の説明】
【０１７７】
１  太陽電池モジュール
２  太陽電池モジュール
３  太陽電池モジュール
４  太陽電池モジュール
５  太陽電池モジュール
６  太陽電池モジュール
１０  表面材（第２のガラス基板）
１２  裏面材（第１のガラス基板）
１４  段部
１６  領域
２０  樹脂層
２２  層状部
２４  堰状部
２６  層状部形成用光硬化性樹脂組成物
２８  未硬化の堰状部
３０  薄膜系太陽電池素子
３２  封着部
３４  封着材料部
３６  樹脂シール部
３８  未硬化の樹脂シール部
６２  レーザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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