(57)【要約】【課題】圧力室に液体が循環供給される液滴吐出ヘッドにおいて、クロストークの発生を抑止する。【解決手段】液体を圧力室PCに循環させて供給する液滴吐出ヘッド１０において、隣り合う圧力室PCが、個別供給流路ISCを介して異なる共通供給流路CSC１、CSC２に連通されるとともに、個別回収流路IRCを介して異なる共通回収流路CRC１、CRC２に連通される。これにより、各圧力室PCで発生した圧力波が、共通供給流路又は共通回収流を介して、隣接する圧力室PCに伝播されるのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置される圧力室と、
前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に並列して配置される複数の共通供給流路と、
前記圧力室と前記共通供給流路とを連通する個別供給流路であって、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通供給流路に連通されるように配置される個別供給流路と、
前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に並列して配置される複数の共通回収流路と、
前記圧力室と前記共通回収流路とを連通する個別回収流路であって、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通回収流路に連通されるように配置される個別供給流路と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記各個別供給流路の容積が全て同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が全て同じに形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記各個別供給流路の長さが全て同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の長さが全て同じに形成されることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記共通供給流路は、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に２本並列して配置され、
前記各個別供給流路は、前記２本の共通供給流路の中間位置に配置される個別供給流路中間部と、前記個別供給流路中間部と前記共通供給流路とを連通する個別供給流路流入部と、前記個別供給流路中間部と前記圧力室とを連通する個別供給流路流出部とで構成されるとともに、全て同じ容積、同じ長さで形成され、
前記共通回収流路は、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に２本並列して配置され、
前記各個別回収流路は、前記２本の共通回収流路の中間位置に配置される個別回収流路中間部と、前記個別回収流路中間部と前記共通回収流路とを連通する個別回収流路流出部と、前記個別回収流路中間部と前記圧力室とを連通する個別回収流路流出部とで構成されるとともに、全て同じ容積、同じ長さで形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記個別供給流路は、前記個別供給流路中間部が垂直に形成されるとともに、前記個別供給流路流入部と前記個別供給流路流出部とが水平に形成され、前記個別供給流路流出部の長さを調整して、流路長が調整され、
前記個別回収流路は、前記個別回収流路中間部が垂直に形成されるとともに、前記個別回収流路流入部と前記個別回収流路流出部とが水平に形成され、前記個別回収流路流入部の長さを調整して、流路長が調整されることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記圧力室に対する前記個別供給流路の連通位置と前記共通供給流路に対する前記個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定されるとともに、前記圧力室に対する前記個別回収流路の連通位置と前記共通回収流路に対する前記個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定されることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の基板を積層して形成される液滴吐出ヘッドであって、前記複数の共通供給流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置されるとともに、前記複数の共通回収流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記共通供給流路と前記共通回収流路とが、同一基板に形成されて同一階層に配置されることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記共通供給流路と前記共通回収流路とは、前記圧力室の上層に配置される基板に前記圧力室を挟んで対象に配置されることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されて、前記圧力室がマトリックス状に配置されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴吐出ヘッドに係り、特に液体を循環させて圧力室に供給する液滴吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
共通の供給流路から各圧力室に液体が供給される構成の液滴吐出ヘッドでは、各圧力室の圧力波が、共通の供給流路を介して近接した圧力室に伝播し、液滴の吐出が不安定になるという問題がある（クロストーク）。
【０００３】
このようなクロストークを抑制する技術として、特許文献１、２には、共通の供給流路を複数設け、隣接する圧力室を異なる供給流路に接続することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−５２３５９号公報
【特許文献２】特開２００７−９０５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、液体を循環させて圧力室に供給する構成の液滴吐出ヘッドでは、各圧力室が共通の回収流路にも連通されるため、この共通の回収流路を介してクロストークが発生するという欠点がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、圧力室に液体が循環供給される液滴吐出ヘッドにおいて、クロストークの発生を抑止できる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、前記目的を達成するために、所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置される圧力室と、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に並列して配置される複数の共通供給流路と、前記圧力室と前記共通供給流路とを連通する個別供給流路であって、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通供給流路に連通されるように配置される個別供給流路と、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に並列して配置される複数の共通回収流路と、前記圧力室と前記共通回収流路とを連通する個別回収流路であって、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通回収流路に連通されるように配置される個別供給流路と、を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。
【０００８】
本発明によれば、個別供給流路を介して、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通供給流路に連通されるとともに、個別回収流路を介して、隣り合う圧力室同士が互いに異なる共通回収流路に連通される。これにより、圧力室に液体を循環させて供給する場合であっても、クロストークの発生を防止することができる。また、複数の共通供給流路を同一階層に並列して配置するとともに、複数の共通回収流路を同一階層に並列して配置することにより、全体の構成を薄型化することができる。
【０００９】
請求項２に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の容積が全て同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が全て同じに形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１０】
本発明によれば、各個別供給流路の容積が全て同じに形成されるとともに、各個別回収流路の容積が全て同じに形成される。これにより、各圧力室間で吐出性能にバラツキが生じるのを防止することができ、より安定した吐出が可能になる。
【００１１】
請求項３に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の長さが全て同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の長さが全て同じに形成されることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１２】
本発明によれば、各個別供給流路の長さが全て同じに形成されるとともに、各個別回収流路の長さが全て同じに形成される。これにより、各圧力室に対して全て同じ条件で液体を循環供給させることができ、より安定した吐出が可能になる。
【００１３】
請求項４に係る発明は、前記目的を達成するために、前記共通供給流路は、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に２本並列して配置され、前記各個別供給流路は、前記２本の共通供給流路の中間位置に配置される個別供給流路中間部と、前記個別供給流路中間部と前記共通供給流路とを連通する個別供給流路流入部と、前記個別供給流路中間部と前記圧力室とを連通する個別供給流路流出部とで構成されるとともに、全て同じ容積、同じ長さで形成され、前記共通回収流路は、前記圧力室の配列方向に沿って同一階層に２本並列して配置され、前記各個別回収流路は、前記２本の共通回収流路の中間位置に配置される個別回収流路中間部と、前記個別回収流路中間部と前記共通回収流路とを連通する個別回収流路流出部と、前記個別回収流路中間部と前記圧力室とを連通する個別回収流路流出部とで構成されるとともに、全て同じ容積、同じ長さで形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１４】
本発明によれば、２本の共通供給流路が圧力室の配列方向に沿って並列して配置されるとともに、２本の共通回収流路が圧力室の配列方向に沿って並列して配置される。また、各個別供給流路が、２本の共通供給流路の中間位置に配置される個別供給流路中間部と、個別供給流路中間部と共通供給流路とを連通する個別供給流路流入部と、個別供給流路中間部と圧力室とを連通する個別供給流路流出部とで構成され、全て同じ容積、同じ長さで形成される。同様に、各個別回収流路が、２本の共通回収流路の中間位置に配置される個別回収流路中間部と、個別回収流路中間部と共通回収流路とを連通する個別回収流路流出部と、個別回収流路中間部と圧力室とを連通する個別回収流路流出部とで構成され、全て同じ容積、同じ長さで形成される。これにより、各圧力室に対して全て同じ条件で液体を循環供給させることができ、より安定した吐出が可能になるとともに、流路の構造も簡素化することができる。
【００１５】
請求項５に係る発明は、前記目的を達成するために、前記個別供給流路は、前記個別供給流路中間部が垂直に形成されるとともに、前記個別供給流路流入部と前記個別供給流路流出部とが水平に形成され、前記個別供給流路流出部の長さを調整して、流路長が調整され、前記個別回収流路は、前記個別回収流路中間部が垂直に形成されるとともに、前記個別回収流路流入部と前記個別回収流路流出部とが水平に形成され、前記個別回収流路流入部の長さを調整して、流路長が調整されることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１６】
本発明によれば、個別供給流路を構成する個別供給流路中間部が垂直に形成されるとともに、個別供給流路流入部と個別供給流路流出部とが水平に形成され、個別供給流路流出部の長さを調整して、流路長が調整される。同様に、個別回収流路を構成する個別回収流路中間部が垂直に形成されるとともに、個別回収流路流入部と個別回収流路流出部とが水平に形成され、個別回収流路流入部の長さを調整して、流路長が調整される。これにより、簡単な構成で個別供給流路及び個別回収流路の流路長を調整でき、個別供給流路及び個別回収流路の条件を最適化することができる。
【００１７】
請求項６に係る発明は、前記目的を達成するために、前記圧力室に対する前記個別供給流路の連通位置と前記共通供給流路に対する前記個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定されるとともに、前記圧力室に対する前記個別回収流路の連通位置と前記共通回収流路に対する前記個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定されることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１８】
本発明によれば、圧力室に対する個別供給流路の連通位置と共通供給流路に対する個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定されるとともに、圧力室に対する個別回収流路の連通位置と共通回収流路に対する個別供給流路の連通位置とがずれた位置に設定される。これにより、簡単な構成で個別供給流路及び個別回収流路の流路長を確保することができる。
【００１９】
請求項７に係る発明は、前記目的を達成するために、複数の基板を積層して形成される液滴吐出ヘッドであって、前記複数の共通供給流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置されるとともに、前記複数の共通回収流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２０】
本発明によれば、液滴吐出ヘッドが複数の基板を積層して形成され、複数の共通供給流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置される。また、複数の共通回収流路が同一基板に形成されて同一階層に並列して配置される。これにより、構造を簡素化することができる。
【００２１】
請求項８に係る発明は、前記目的を達成するために、前記共通供給流路と前記共通回収流路とが、同一基板に形成されて同一階層に配置されることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２２】
本発明によれば、共通供給流路と共通回収流路とが、同一基板に形成されて同一階層に配置される。これにより、より構造を簡素化することができる。
【００２３】
請求項９に係る発明は、前記目的を達成するために、前記共通供給流路と前記共通回収流路とは、前記圧力室の上層に配置される基板に前記圧力室を挟んで対象に配置されることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２４】
本発明によれば、共通供給流路と共通回収流路とが、圧力室の上層に配置される基板に圧力室を挟んで対象に配置される。これにより、構造をコンパクト化することができる。
【００２５】
請求項１０に係る発明は、前記目的を達成するために、所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されて、前記圧力室がマトリックス状に配置されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２６】
本発明によれば、圧力室がマトリクス状に配置される。これにより、ノズルの高密度化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、圧力室に液体が循環供給される液滴吐出ヘッドにおいて、クロストークの発生を効果的に抑止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態の上面透視図
【図２】液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態の底面透視図
【図３】図１の３−３断面図
【図４】図１の４−４断面図
【図５】図３の５−５断面図
【図６】図３の６−６断面図
【図７】図３の７−７断面図
【図８】個別供給流路と個別回収流路の接続構造を示す上面透視図
【図９】個別供給流路と個別回収流路の接続構造を示す底面透視図
【図１０】液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の上面透視図
【図１１】図１０のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃ、Ｄ−Ｄ断面図
【図１２】液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の底面透視図
【図１３】第３の実施の形態の液滴吐出ヘッドの圧力室プレートの断面図
【図１４】液滴吐出ヘッドの第４の実施の形態の底面透視図
【発明を実施するための形態】
【００２９】
《第１の実施の形態》
［構成］
図１、図２は、それぞれ本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態の上面透視図と底面透視図である。
【００３０】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、矩形状に形成されており、底面にノズル面１０Ａが形成されている。
【００３１】
ノズル面１０Ａには、長手方向に沿って一定ピッチで多数のノズルN（N１、N２、…）が形成されている。
【００３２】
各ノズルN（N１、N２、…）は、それぞれ対応する圧力室PC（PC１、PC２、…）に連通されており、この圧力室PC（PC１、PC２、…）の容積を圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）で膨張・収縮させることにより、各ノズルＮ（N１、N２、…）から液滴が吐出される。
【００３３】
本例では、各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、矩形状に形成され、各圧力室PC（PC１、PC２、…）の中央にノズルN（N１、N２、…）が配置されている。
【００３４】
各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、それぞれ個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）を介して、第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２に連通されている。
【００３５】
第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２は、圧力室PC１、PC２、…の配列方向に沿って並列して配置されており、それぞれ一端に共通供給口SP１、SP２が連通されている。ノズルN（N１、N２、…）から吐出させる液体は、この共通供給口SP１、SP２から第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２に供給される。そして、この第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２に供給された液体が、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）を介して圧力室PC（PC１、PC２、…）に供給される。
【００３６】
ここで、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、隣り合う圧力室同士が、互いに異なる共通供給流路に連通するように、各圧力室PC（PC１、PC２、…）と、第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２のいずれか一方とが連通されている。具体的には、奇数番の圧力室PC１、PC３、…は、第１共通供給流路CSC１に連通され、偶数番の圧力室PC２、PC４、…は、第２共通供給流路CSC２に連通されている。
【００３７】
これにより、圧力室PC（PC１、PC２、…）で発生した圧力波が、共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）を介して隣接する圧力室PC（PC１、PC２、…）に伝播されるのを防止することができる。
【００３８】
また、各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、それぞれ個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を介して、第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に連通されている。
【００３９】
第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２は、圧力室PC（PC１、PC２、…）の配列方向に沿って並列して配置されており、それぞれ一端に共通回収口RP１、RP２が連通されている。圧力室PC（PC１、PC２、…）内の液体は、個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を介して、第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に回収され、共通回収口RP１、RP２から外部に回収される。
【００４０】
液体の供給と回収は同期して連続的に行われ、これにより、圧力室PC１、PC２、…に対して、液体が循環供給される。
【００４１】
ここで、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、隣り合う圧力室同士が、互いに異なる共通回収流路に連通するようにされている。具体的には、奇数番の圧力室PC１、PC３、…は、第１共通回収流路CRC１に連通され、偶数番の圧力室PC２、PC４、…は、第２共通回収流路CRC２に連通されている。
【００４２】
これにより、圧力室PC（PC１、PC２、…）で発生した圧力波が、共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）を介して隣接する圧力室PC（PC１、PC２、…）に伝播されるのを防止することができる。
【００４３】
図３、図４は、それぞれ図１の３−３断面図、４−４断面図である。また、図５、図６、図７は、それぞれ、図３の５−５断面図、６−６断面図、７−７断面図である。
【００４４】
同図に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、主として、ノズルプレート１２と、圧力室プレート１４と、振動板１６と、圧力室上部プレート１８と、第１中間プレート２０と、第２中間プレート２２と、第３中間プレート２４と、共通流路プレート２６と、上面プレート２８とを積層して構成される。
【００４５】
ノズルプレート１２は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、最下層に配置される。このノズルプレート１２には、長手方向に沿って一定ピッチで多数のノズルN（N１、N２、…）が形成される。本例では、テーパ状のノズルが形成されているが、ノズルの形状は、これに限定されるものではない。
【００４６】
圧力室プレート１４は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、ノズルプレート１２の上に配置される。この圧力室プレート１４には、ノズルプレート１２に形成された各ノズルN（N１、N２、…）に対応して、圧力室PC（PC１、PC２、…）が、圧力室プレート１４の長手方向に沿って、一定ピッチで多数形成される。各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、図５に示すように、直方体状の空間として形成されており、その中央にノズルN（N１、N２、…）が連通される。
【００４７】
なお、この圧力室プレート１４には、圧力室PC（PC１、PC２、…）とともに個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される。この点については、のちに詳述する。
【００４８】
振動板１６は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、圧力室プレート１４の上に配置される。圧力室PC（PC１、PC２、…）は、この振動板１６が配置されることにより、天井部が閉塞される。すなわち、この振動板１６は各圧力室PC（PC１、PC２、…）の天井面を構成する。
【００４９】
振動板１６の上には、各圧力室PC（PC１、PC２、…）の位置に対応して圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）が配置される。各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、この圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）を駆動することにより、天井面が変位し、容積が膨張・収縮される。
【００５０】
なお、この振動板１６にも個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）と個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される。
【００５１】
圧力室上部プレート１８は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板１６の上に配置される。この圧力室上部プレート１８には、振動板１６の上に設けられた圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）に対応して、矩形状の空間１８Ａ（１８Ａ１、１８Ａ２、…）が形成されている。振動板１６の上に設けられた各圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）は、この空間１８Ａ（１８Ａ１、１８Ａ２…）に収容される。これにより、各圧電素子PZ（PZ１、PZ２、…）が変位可能に取り付けられる。
【００５２】
なお、この圧力室上部プレート１８にも個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）と個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される。
【００５３】
第１中間プレート２０は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、圧力室上部プレート１８の上に配置される。圧力室上部プレート１８に形成された空間１８Ａ（１８Ａ１、１８Ａ２、…）は、この第１中間プレート２０によって天井部が閉塞される。この第１中間プレート２０には、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）と個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される。
【００５４】
第２中間プレート２２は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第１中間プレート２０の上に配置される。この第２中間プレート２２には、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）と個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される（図６参照）。
【００５５】
第３中間プレート２４は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第２中間プレート２２の上に配置される。この第３中間プレート２４には、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）と個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部が形成される。
【００５６】
共通流路プレート２６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第３中間プレート２４の上に配置される。この共通流路プレート２６には、図７に示すように、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２、及び、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２とが形成される。
【００５７】
第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２は、圧力室PC（PC１、PC２、…）の配列方向に沿って形成されており、所定の間隔をもって並列して配置されている。
【００５８】
同様に第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２とは、圧力室PC（PC１、PC２、…）の配列方向に沿って形成されており、所定の間隔をもって並列して配置されている。
【００５９】
この第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２、及び、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２は、圧力室PC（PC１、PC２、…）を挟んで対称に配置されている。
【００６０】
上面プレート２８は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、共通流路プレート２６の上に配置される。この上面プレート２８には、共通流路プレート２６に形成された第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２に対応して、共通供給口SP１、SP２が形成される。また、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２に対応して、共通回収口RP１、RP２が形成される。共通流路プレート２６に形成された第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２、及び、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２は、この上面プレート２８によって上面部が閉塞されるとともに、対応する共通供給口SP１、SP２、共通回収口RP１、RP２に連通される。
【００６１】
図８、９は、個別供給流路と個別回収流路の接続構造を示す上面透視図と底面透視図である。
【００６２】
同図に示すように、個別供給流路ISC（ISC1、ISC２、…）は、流入流路ISCin（ISCin１、ISCin２、…）と、中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）と、流出流路ISCout（ISCout１、ISCout２、…）とで構成され、各圧力室PC（PC１、PC２、…）を第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２に連通する（一つおきに第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２に連通する。）。具体的には、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成された液体供給口PCin（PCin１、PCin２、…）と、第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２に形成された共通供給流路連通口CSCout（CSCout１、CSCout２、…）に連通する。
【００６３】
中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）は、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２との中間位置に配置され、図３、４に示すように、ノズル面１０Ａに対して垂直に形成される。
【００６４】
流入流路ISCin（ISCin１、ISCin２、…）は、中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）と共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２と）を連通する流路であり、図３、４に示すように、ノズル面１０Ａと平行に形成される。
【００６５】
流出流路ISCout（ISCout１、ISCout２、…）は、中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）と圧力室PC（PC１、PC２、…）と連通する流路であり、図３、４に示すように、ノズル面１０Ａと平行に形成される。
【００６６】
図３、図４に示すように、流出流路ISCout（ISCout１、ISCout２、…）は、圧力室プレート１４に形成され、一端が圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成された液体供給口PCin（PCin１、PCin２、…）に連通される。
【００６７】
中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）は、流出流路ISCout（ISCout１、ISCout２、…）の他端から上方に向けて垂直に延びるように形成され、振動板１６、圧力室上部プレート１８、及び、第１中間プレート２０を貫通して形成される。
【００６８】
流入流路ISCin（ISCin１、ISCin２、…）は、第２中間プレート２２に形成され、一端が中間流路ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）に連通され、他端が第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２に形成された共通供給流路連通口CSCout（CSCout１、CSCout２、…）に連通される。
【００６９】
共通供給流路連通口CSCout（CSCout１、CSCout２、…）は、第３中間プレート２４に形成されており、第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２の底部に連通される。この共通供給流路連通口CSCout（CSCout１、CSCout２、…）は、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２に交互に形成される。すなわち、奇数番の共通供給流路連通口CSCout１、CSCout３、…は、第１共通供給流路CSC１に形成され、偶数番の共通供給流路連通口CSCout２、CSCout４、…は、第２共通供給流路CSC２に形成される。
【００７０】
個別供給流路ISC（ISC1、ISC２、…）は、以上のように構成される。これにより、奇数番の圧力室PC１、PC３、…は、第１共通供給流路CSC１に連通され、偶数番の圧力室PC２、PC４、…は、第２共通供給流路CSC２に連通されて、それぞれ隣り合う圧力室同士が異なる共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）に連通される。
【００７１】
また、以上の構成の個別供給流路ISC（ISC1、ISC２、…）によれば、各個別供給流路ISC（ISC1、ISC２、…）が同じ条件（容積、長さ）で形成され、各圧力室PC１、PC３、…に同じ条件で液体を供給することができる。
【００７２】
個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）も同様の構成である。すなわち、図８、９に示すように、流出流路IRCout（IRCout１、IRCout２、…）と、中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）と、流入流路IRCin（IRCin１、IRCin２、…）とで構成され、各圧力室PC（PC１、PC２、…）を第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に連通する（一つおきに第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に連通する。）。具体的には、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成された液体回収口PCout（PCout１、PCout２、…）と、第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に形成された共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）に連通する。
【００７３】
中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）は、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２との中間位置に配置され、図３、４に示すように、ノズル面１０Ａに対して垂直に形成される。
【００７４】
流出流路IRCout（IRCout１、IRCout２、…）は、中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）と共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）とを連通する流路であり、図３、４に示すように、ノズル面１０Ａと平行に形成される。
【００７５】
流入流路IRCin（IRCin１、IRCin２、…）は、中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）と圧力室PC（PC１、PC２、…）と連通する流路であり、ノズル面１０Ａと平行に形成される。
【００７６】
図３、図４に示すように、流入流路IRCin（IRCin１、IRCin２、…）は、圧力室プレート１４に形成され、一端が圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成された液体回収口PCout（PCout１、PCout２、…）に連通される。
【００７７】
中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）は、流入流路IRCin（IRCin１、IRCin２、…）の他端から上方に向けて垂直に延びるように形成され、振動板１６、圧力室上部プレート１８、及び、第１中間プレート２０を貫通して形成される。
【００７８】
流出流路IRCout（IRCout１、IRCout２、…）は、第２中間プレート２２に形成され、一端が中間流路IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）に連通され、他端が第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２に形成された共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）に連通される。
【００７９】
共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）は、第３中間プレート２４に形成されており、第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２の底部に連通される。この共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）は、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２に交互に形成される。すなわち、奇数番の共通回収流路連通口CRCin１、CRCin３、…は、第１共通回収流路CRC１に形成され、偶数番の共通回収流路連通口CRCin２、CRCin４、…は、第２共通回収流路CRC２に形成される。
【００８０】
個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）は以上のように構成される。これにより、奇数番の圧力室PC１、PC３、…は、第１共通回収流路CRC１に連通され、偶数番の圧力室PC２、PC４、…は、第２共通回収流路CRC２に連通されて、それぞれ隣り合う圧力室同士が異なる共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）に連通される。
【００８１】
また、以上の構成の個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）によれば、各個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）が同じ条件（容積、長さ）で形成される。これにより、各圧力室PC（PC１、PC２、…）から同じ条件で液体を回収することができる。すなわち、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に対して、同じ条件で液体を循環供給させることができる。
【００８２】
［作用］
本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、ノズルN（N１、N２、…）から吐出させる液体（たとえば、インク）を循環させて圧力室PC（PC１、PC２、…）に供給する。
【００８３】
共通供給口SP１、SP２には、図示しない供給ラインを介して供給タンクが接続される。また、共通回収口RP１、RP２には、図示しない回収ラインを介して回収タンクが接続される。供給ラインには、図示しない供給ポンプが設けられており、この供給ポンプを駆動することにより、供給タンク内の液体が液滴吐出ヘッド１０に供給される。同様に、回収ラインには、図示しない回収ポンプが設けられており、この回収ポンプを駆動することにより、液滴吐出ヘッド１０から回収タンクに液体が回収される。そして、この供給ポンプと回収ポンプの駆動を制御することにより、液滴吐出ヘッド１０に対して液体が循環して供給される。
【００８４】
供給タンクから液滴吐出ヘッド１０に送液された液体は、共通供給口SP１、SP２を介して第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２に供給される。
【００８５】
上記のように、第１共通供給流路CSC１には、奇数番の個別供給流路ISC１、ISC３、…を介して、奇数番の圧力室PC１、PC３、…が連通されている。また、第２共通供給流路CSC２には、偶数番の個別供給流路ISC２、ISC４、…を介して、偶数番の圧力室PC２、PC４、…が連通されている。
【００８６】
したがって、第１共通供給流路CSC１に供給された液体は、奇数番の個別供給流路ISC１、ISC３、…を介して、奇数番の圧力室PC１、PC３、…に供給される。また、第２共通供給流路CSC２に供給された液体は、偶数番の個別供給流路ISC２、ISC４、…を介して、偶数番の圧力室PC２、PC４、…に供給される。
【００８７】
一方、奇数番の圧力室PC１、PC３、…には、奇数番の個別回収流路IRC１、IRC３、…を介して、第１共通回収流路CRC１が連通されている。また、偶数番の圧力室PC２、PC４、…には、偶数番の個別回収流路IRC２、IRC４、…を介して、第２共通回収流路CRC２が連通されている。
【００８８】
この結果、奇数番の圧力室PC１、PC３、…内の液体は、奇数番の個別回収流路IRC１、IRC３、…を介して、第１共通回収流路CRC１に回収される。また、偶数番の圧力室PC２、PC４、…内の液体は、偶数番の個別回収流路IRC２、IRC４、…を介して、第２共通回収流路CRC２に回収される。
【００８９】
以上のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０によれば、隣り合う圧力室に対して、異なる共通供給流路から液体が供給されるとともに、隣り合う圧力室に対して、異なる共通回収流路から液体が回収される。これにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を物理的に分離でき、クロストークの発生を防止することができる。また、これにより各個別供給流路の設計の自由度も高くなるので、リフィル性能の向上も図ることができる。
【００９０】
また、２本の共通供給流路（第１共通供給流路CSC１及び第２共通供給流路CSC２）を同一階層に並列して配置するとともに、２本の共通回収流路（第１共通回収流路CRC１及び第２共通回収流路CRC２）を同一階層に並列して配置することにより、全体の薄型化を図ることができる。特に、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、２本の共通供給流路と２本の共通回収流路とを共に同一階層に並列して配置しているので、更なる薄型化を図ることができる。
【００９１】
また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０のように、共通供給流路と共通回収流路とを２本ずつ備えることにより、たとえば、そのうちの１本に詰まりが生じた場合であっても、吐出異常は間欠的に生じるだけで、１列に並んだノズル全てが吐出以上を起こすことを避けることができる。これにより、信頼性の高いヘッドを提供することができるとともに、ヘッドの寿命も延ばすことができる。
【００９２】
なお、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２のそれぞれに共通供給口SP１、SP２が設けられ、それぞれ個別に液体が供給される構成とされているが、たとえば、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２とを一端で連通し、１つの供給口から液体を供給する構成とするようにしてもよい。第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２についても同様である。すなわち、たとえば、第１共通回収流路CRC１と第２共通回収流路CRC２とを一端で連通し、１つの回収口から液体を回収する構成とするようにしてもよい。
【００９３】
《第２の実施の形態》
図１０は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の上面透視図である。図１１は、図１０のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−Ｃ、Ｄ−Ｄ断面図である。
【００９４】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１００は、共通供給流路と共通回収流路の数が増やされている点で上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０と相違している。すなわち、４本の共通供給流路（第１共通供給流路CSC１〜第４共通回収流路CRC４）を有するとともに、４本の共通回収流路（第１共通回収流路CRC１〜第４共通回収流路CRC４）を有している。
【００９５】
共通供給流路と共通回収流路の数が４本とされている以外は、上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０と基本的に同じである。
【００９６】
本実施の形態の液滴吐出ヘッド１００では、各圧力室PC（PC１、PC２、…）は、３つおきに同じ共通供給流路、共通回収流路に連通される。すなわち、第１番目、第５番目、第９番目、…の圧力室PC１、PC５、PC９、…は、第１共通供給流路CSC１に連通されるとともに、第１共通回収流路CRC１に連通され、第２番目、第６番目、第１０番目、…の圧力室PC２、PC６、PC１０、…は、第２共通供給流路CSC２に連通されるとともに、第２共通回収流路CRC２に連通される。また、第３番目、第７番目、第１１番目、…の圧力室PC３、PC７、PC１１、…は、第３共通供給流路CSC３に連通されるとともに、第３共通回収流路CRC３に連通され、第４番目、第８番目、第１２番目、…の圧力室PC４、PC８、PC１２、…は、第４共通供給流路CSC４に連通されるとともに、第４共通回収流路CRC４に連通される。
【００９７】
このように、共通供給流路及び共通回収流路の数を増やすことにより、同じ共通供給流路、共通回収流路に接続される圧力室間の距離を更に離すことができ、より効果的にクロストークの発生を抑制することができる。
【００９８】
なお、共通供給流路と共通回収流路の設置数は、これに限定されるものではなく、配置スペース等を考慮して、適宜増減させることができる。
【００９９】
また、このように共通供給流路と共通回収流路の数を増減させる場合であっても、個別供給流路及び個別回収流路は、その容積が全て同じになるように設定することが好ましい。これにより、各圧力室に対して同じ条件で液体を循環供給させることができ、吐出のバラツキを低減させることができる。
【０１００】
本実施の形態では、図１１に示すように、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）を構成する各流路（流入流路ISCin、中間流路ISCmid、流出流路ISCout）の形状を同じにすることにより、すべての個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の容積が同じになるようにしている。特に、本実施の形態では、中間流路ISCmidを第２共通供給流路CSC２と第３共通供給流路CSC３との中間位置に設置するとともに、その中間流路ISCmidに連通される流入流路ISCinの位置を各個別供給流路ごとにずらして設置することにより、各個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の容積が同じになるようにしている。個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）についても同様である。
【０１０１】
《第３の実施の形態》
図１２は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の底面透視図である。
【０１０２】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド２００は、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に対する個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の連通位置（液体供給口PCinの位置）と、共通供給流路CSC（CSC１、CSC２、…）に対する個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の連通位置（共通供給流路連通口CSCoutの位置）とがずれた位置に設定されるとともに、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に対する個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の連通位置（液体回収口PCoutの位置）と、共通回収流路CRC（CRC１、CRC２、…）に対する個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の連通位置（共通回収流路連通口CRCinの位置）とがずれた位置に設定されている点で上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０と相違している。
【０１０３】
すなわち、上記第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、圧力室PCに形成される液体供給口PCinの位置と、共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）に形成される共通供給流路連通口CSCoutの位置とが、同一直線上に配置されているが、本実施の形態の液滴吐出ヘッド２００では、圧力室PCに形成される液体供給口PCinの位置と共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）に形成される共通供給流路連通口CSCoutの位置とが同一直線上になく、共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）の配設方向に沿って所定量シフトして配置されている。同様に、上記第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成される液体回収口PCoutの位置と共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）に形成される共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）の位置と同一直線上に配置されているが、本実施の形態の液滴吐出ヘッド２００では、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に形成される液体回収口PCout（PCout１、PCout２、…）の位置と共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）に形成される共通回収流路連通口CRCin（CRCin１、CRCin２、…）の位置とが同一直線上になく、共通回収流路（第１共通回収流路CRC１又は第２共通回収流路CRC２）の配設方向に沿って所定量シフトして配置されている。
【０１０４】
このように、各圧力室PC（PC１、PC２、…）に対する個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の連通位置（液体供給口PCinの位置）と、共通供給流路（第１共通供給流路CSC１又は第２共通供給流路CSC２）に対する個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の連通位置（共通供給流路連通口CSCout（CSCout１、CSCout２、…）の位置）とをずらすことにより、幅方向のスペースを取らずに、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の流路長を確保することができる。これにより、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の設計の自由度が向上し、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を最適化して、リフィル性能の向上を図ることができる。
【０１０５】
なお、本実施の形態の液滴吐出ヘッド２００では、図１３に示すように、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部を湾曲させている。このように、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の一部を湾曲させることにより、流路抵抗等を調整でき、より個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の構成を最適化することができる。
【０１０６】
なお、本実施の形態では、個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）を構成する流出流路ISCout及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を構成する流入流路IRCinを湾曲させている。個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）を構成する流出流路ISCout及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を構成する流入流路IRCinは、圧力室プレート１４に水平に形成されるので、簡単に加工形成することができる。個別供給流路ISC（ISC１、ISC２、…）の流入流路ISCin及び個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）の流出流路IRCoutを湾曲させる場合についても同様である。
【０１０７】
《第４の実施の形態》
図１４は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第４の実施の形態の底面透視図である。
【０１０８】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド３００は、ノズルN及び圧力室PCが、ノズル面に二次元マトリクス状に配置されている（いわゆるマトリクスヘッド）。ノズルN及び圧力室PCをこのような配置構成とすることにより、ヘッドの長手方向に投影される実質的なノズルNの間隔を狭めることができ、ノズルNの高密度化を図ることができる。
【０１０９】
ノズルN及び圧力室PCは、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した方向に沿って配置されるノズルN及び圧力室PCの列を一単位とし、このノズルN及び圧力室PCの列が、ヘッドの長手方向に沿って一定間隔で並列して配置される。
【０１１０】
各列には、それぞれ共通供給流路と共通回収流路が２本ずつ設けられ、列内で隣り合う圧力室同士が、異なる共通供給流路、共通回収流路に連通される。
【０１１１】
このようなマトリクスヘッドにおいても、各列を構成する圧力室に対して、複数の共通供給流路と共通回収流路を設け、隣り合う圧力室が異なる共通供給流路、共通回収流路に連通されるようにすることにより、クロストークの発生を抑制することができる。
【０１１２】
《その他の実施の形態》
上記一連の実施の形態では、個別回収流路IRC（IRC１、IRC２、…）を圧力室PC（PC１、PC２、…）に直接連通させる構成としているが、圧力室PC（PC１、PC２、…）とノズルN（N１、N２、…）とを連通するノズル流路を形成し、このノズル流路に個別回収流路を連通させる構成とすることもできる。
【０１１３】
上記第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、奇数番の圧力室PC１、PC３、…は、第１共通供給流路CSC１に連通されとともに第１共通回収流路CRC１に連通され、偶数番の圧力室PC２、PC４、…は、第２共通供給流路CSC２に連通されるとともに第２共通回収流路CRC２に連通されており、［供給流路−圧力室−回収流路］のセットが交互に並んだ構成となっている。このため、第１共通供給流路CSC１に供給する液体と、第２共通供給流路CSC２に供給する液体を変えることにより、交互に異なる液体を吐出させることができる。たとえば、一方にインクを供給し、他方にＵＶ硬化方式の処理液を供給することにより、インクと処理液とが交互に吐出されるようにすることができる。この他、双方の供給流路にまったく異なる種類のインクを供給し、交互に異なる種類のインクが吐出されるようにすることもできる。
【０１１４】
また、このように［供給流路−圧力室−回収流路］のセットが交互に並んだ構成とする場合、奇数番の圧力室と偶数番の圧力室とでノズルの径を変えることにより、異なる径の液滴が吐出するように構成することもできる。同様に、奇数番の圧力室と偶数番の圧力室とで使用するサイズを変えたり、使用する圧電体の特性を変えたりして、吐出設計を交互に行うこともできる。
【０１１５】
さらに、上記実施の形態では、複数の共通供給流路の構成を全て同じにしているが、個々の共通供給流路の構成を変えるようにしてもよい。すなわち、上記第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０においては、第１共通供給流路CSC１と第２共通供給流路CSC２の構成（たとえば、流路の容積、長さ、断面積、断面形状等）を変えるようにしてもよい。共通回収流路についても同様であり、複数の共通回収流路の個々の構成を変えるようにしてもよい。
【０１１６】
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、たとえば、インクジェット方式で画像を記録するインクジェット記録装置の記録ヘッド（インクジェットヘッド）に適用することができる。
【符号の説明】
【０１１７】
１０…液滴吐出ヘッド、１０Ａ…ノズル面、１２…ノズルプレート、１４…圧力室プレート、１６…振動板、１８…圧力室上部プレート、１８Ａ…空間、２０…第１中間プレート、２２…第２中間プレート、２４…第３中間プレート、２６…共通流路プレート、２８…上面プレート、１００…液滴吐出ヘッド、２００…液滴吐出ヘッド、３００…液滴吐出ヘッド、RP１、RP２…共通回収口、SP１、SP２…共通供給口、CRC１…第１共通回収流路、CRC２…第２共通回収流路、CRC３…第３共通回収流路、CRC４…第４共通回収流路、CSC１…第１共通供給流路、CSC２…第２共通供給流路、CSC３…第３共通供給流路、CSC４…第４共通供給流路、CSCout（CSCout１、CSCout２、…）…共通供給流路連通口、CRCin（CRCin１、CRCin２、…）…共通回収流路連通口、IRC（IRC１、IRC２、…）…個別回収流路、IRCin（IRCin１、IRCin２、…）…個別回収流路の流入流路、IRCmid（IRCmid１、IRCmid２、…）…個別回収流路の中間流路、IRCout（IRCout１、IRCout２、…）…個別回収流路の流出流路、ISC（ISC１、ISC２、…）…個別供給流路、ISCin（ISCin１、ISCin２、…） …個別供給流路の流入流路、ISCmid（ISCmid１、ISCmid２、…）…個別供給流路の中間流路、ISCout（ISCout１、ISCout２、…）…個別供給流路の流出流路、PCin（PCin１、PCin２、…）…液体供給口、PCout（PCout１、PCout２、…）…液体回収口、PC（PC１、PC２、…）…圧力室、PZ（PZ１、PZ２、…）…圧電素子、N（N１、N２、…）…ノズル
【図１】
2012006350.tif 000003
【図２】
2012006350.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2012006350.tif 000009
【図８】
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【図９】
2012006350.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2012006350.tif 000013
【図１２】
2012006350.tif 000014
【図１３】
2012006350.tif 000015
【図１４】
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