(57)【要約】【課題】帰磁路部を構成する磁性層とコイルに起因して媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生することを防止し、且つ帰磁路部の磁路の長さを短くする。【解決手段】帰磁路部４０は、ヨーク部４１と第１および第２の連結層４６，４７を有している。第１の連結層４６は、記録シールド１６に接続されている。第２の連結層４７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面を有し、第１の連結層４６とヨーク部４１とを磁気的に連結する。コイル２０は、１つの第１のコイル要素２１Ａおよび複数の第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂを含んでいる。第１のコイル要素２１Ａは、媒体対向面２との間で第１の連結層４６を挟む。第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂは、媒体対向面２との間で第２の連結層４７を挟み、主磁極１５との間で第１のコイル要素２１Ａを挟み、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。【選択図】図１
2012256403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に設けられたギャップ部と、
磁性材料よりなり、前記主磁極のうちの前記媒体対向面から離れた部分と前記記録シールドとを接続する帰磁路部と、
上面を有する基板とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記コイル、主磁極、記録シールド、ギャップ部および帰磁路部は、前記基板の上面の上方に配置され、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含み、
前記帰磁路部は、ヨーク部、第１の連結層および第２の連結層を有し、
前記ヨーク部は、前記媒体対向面に向くと共に前記媒体対向面から離れた位置に配置された第１の端面と、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記主磁極に接する第２の端面とを有し、
前記第１の連結層は、前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記記録シールドに接続され、
前記第２の連結層は、前記媒体対向面に向くと共に前記媒体対向面から離れた位置に配置された端面を有し、前記第１の連結層と前記ヨーク部とを磁気的に連結し、
前記コイルは、それぞれ、前記主磁極、ギャップ部、記録シールド、第１の連結層、第２の連結層およびヨーク部によって囲まれた空間を通過するように延びる１つの第１のコイル要素および複数の第２のコイル要素を含み、
前記第１のコイル要素は、前記媒体対向面との間で前記第１の連結層を挟み、
前記複数の第２のコイル要素は、前記媒体対向面との間で前記第２の連結層を挟み、前記主磁極との間で前記第１のコイル要素を挟み、前記媒体対向面に垂直な方向に並んでいることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項２】
前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記媒体対向面および基板の上面に垂直な断面において、前記第２の連結層は、前記媒体対向面に垂直な方向について前記第１の連結層よりも小さな長さを有し、前記基板の上面に垂直な方向について前記第１の連結層よりも大きな長さを有し、
前記断面において、前記複数の第２のコイル要素の各々は、前記媒体対向面に垂直な方向について前記第１のコイル要素よりも小さな長さを有し、前記基板の上面に垂直な方向について前記第１のコイル要素よりも大きな長さを有していることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項３】
更に、無機絶縁材料よりなり、前記第２の連結層の前記端面と前記媒体対向面との間に介在する部分を含む絶縁層を備えたことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項４】
前記記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含み、前記第２の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記第３および第４の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項５】
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって前記情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極と、
磁性材料よりなり、前記媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、
非磁性材料よりなり、前記主磁極と前記記録シールドとの間に設けられたギャップ部と、
それぞれ、磁性材料よりなり、前記主磁極のうちの前記媒体対向面から離れた部分と前記記録シールドとを接続する第１の帰磁路部および第２の帰磁路部と、
上面を有する基板とを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドであって、
前記コイル、主磁極、記録シールド、ギャップ部、第１の帰磁路部および第２の帰磁路部は、前記基板の上面の上方に配置され、
前記記録シールドの端面は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含み、
前記第１の帰磁路部と第２の帰磁路部は、前記主磁極を挟むように前記基板の上面に垂直な方向に沿って並び、
前記第１の帰磁路部と第２の帰磁路部の少なくとも一方は、ヨーク部、第１の連結層および第２の連結層を有し、
前記ヨーク部は、前記媒体対向面に向くと共に前記媒体対向面から離れた位置に配置された第１の端面と、前記媒体対向面から離れた位置にあって前記主磁極に接する第２の端面とを有し、
前記第１の連結層は、前記媒体対向面に配置された端面を有し、前記記録シールドに接続され、
前記第２の連結層は、前記媒体対向面に向くと共に前記媒体対向面から離れた位置に配置された端面を有し、前記第１の連結層と前記ヨーク部とを磁気的に連結し、
前記コイルは、それぞれ、前記主磁極、ギャップ部、記録シールド、第１の連結層、第２の連結層およびヨーク部によって囲まれた空間を通過するように延びる１つの第１のコイル要素および複数の第２のコイル要素を含み、
前記第１のコイル要素は、前記媒体対向面との間で前記第１の連結層を挟み、
前記複数の第２のコイル要素は、前記媒体対向面との間で前記第２の連結層を挟み、前記主磁極との間で前記第１のコイル要素を挟み、前記媒体対向面に垂直な方向に並んでいることを特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項６】
前記媒体対向面に配置された前記主磁極の端面と交差し、前記媒体対向面および基板の上面に垂直な断面において、前記第２の連結層は、前記媒体対向面に垂直な方向について前記第１の連結層よりも小さな長さを有し、前記基板の上面に垂直な方向について前記第１の連結層よりも大きな長さを有し、
前記断面において、前記複数の第２のコイル要素の各々は、前記媒体対向面に垂直な方向について前記第１のコイル要素よりも小さな長さを有し、前記基板の上面に垂直な方向について前記第１のコイル要素よりも大きな長さを有していることを特徴とする請求項５記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項７】
更に、無機絶縁材料よりなり、前記第２の連結層の前記端面と前記媒体対向面との間に介在する部分を含む絶縁層を備えたことを特徴とする請求項５記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【請求項８】
前記記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含み、前記第２の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対して前記記録媒体の進行方向の後側に配置され、前記第３および第４の端面部分は、前記主磁極の前記端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項５記載の垂直磁気記録用磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直磁気記録方式によって記録媒体に情報を記録するために用いられる垂直磁気記録用磁気ヘッドに関し、特に、主磁極とシールドを備えた垂直磁気記録用磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置における記録方式には、信号磁化の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）とする長手磁気記録方式と、信号磁化の向きを記録媒体の面に対して垂直な方向とする垂直磁気記録方式とがある。垂直磁気記録方式は、長手磁気記録方式に比べて、記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、高い線記録密度を実現することが可能であると言われている。
【０００３】
一般的に、垂直磁気記録用の磁気ヘッドとしては、長手磁気記録用の磁気ヘッドと同様に、読み出し用の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも記す。）を有する再生ヘッド部と、書き込み用の誘導型電磁変換素子を有する記録ヘッド部とを、基板上に積層した構造のものが用いられる。記録ヘッド部は、記録媒体の面に対して垂直な方向の磁界を発生する主磁極を備えている。主磁極は、例えば、一端部が記録媒体に対向する媒体対向面に配置されたトラック幅規定部と、このトラック幅規定部の他端部に連結され、トラック幅規定部よりも大きな幅を有する幅広部とを有している。トラック幅規定部は、ほぼ一定の幅を有している。垂直磁気記録方式の記録ヘッド部には、高記録密度化のために、トラック幅の縮小と、記録特性、例えば重ね書きの性能を表わすオーバーライト特性の向上が求められる。
【０００４】
ところで、ハードディスク装置等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、一般的に、スライダに設けられる。スライダは、上記媒体対向面を有している。この媒体対向面は、空気流入端（リーディング端）と空気流出端（トレーリング端）とを有している。そして、空気流入端から媒体対向面と記録媒体との間に流入する空気流によって、スライダは記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。このスライダにおいて、一般的に、磁気ヘッドは媒体対向面における空気流出端近傍に配置される。磁気ディスク装置において、磁気ヘッドの位置決めは、例えばロータリーアクチュエータによって行なわれる。この場合、磁気ヘッドは、ロータリーアクチュエータの回転中心を中心とした円軌道に沿って記録媒体上を移動する。このような磁気ディスク装置では、磁気ヘッドのトラック横断方向の位置に応じて、スキューと呼ばれる、円形のトラックの接線に対する磁気ヘッドの傾きが生じる。
【０００５】
特に、長手磁気記録方式に比べて記録媒体への書き込み能力が高い垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置では、上述のスキューが生じると、あるトラックへの信号の記録時に、記録対象のトラックに隣接する１以上のトラックに記録された信号が消去されたり減衰したりする現象（以下、隣接トラック消去と言う。）が生じる場合がある。高記録密度化のためには、隣接トラック消去の発生を抑制する必要がある。
【０００６】
上述のようなスキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制すると共に記録密度を向上させる技術としては、主磁極の近傍に記録シールドを設ける技術が有効である。例えば、特許文献１や特許文献２には、媒体対向面において主磁極の端面の周りを囲むように配置された端面を有する記録シールドを備えた磁気ヘッドが開示されている。
【０００７】
一般的に、記録シールドを備えた磁気ヘッドでは、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する１つ以上の帰磁路部が設けられる。記録シールドと１つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。また、記録シールドと１つ以上の帰磁路部は、主磁極の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を、主磁極に還流させる機能も有している。記録シールドを備えた磁気ヘッドによれば、隣接トラック消去の発生を抑制することが可能になると共に、記録密度のより一層の向上が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第６，９５４，３４０  Ｂ２号明細書
【特許文献２】特開２００５−１８２９８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１や特許文献２には、上記１つ以上の帰磁路部として、主磁極に対して記録媒体の進行方向の前側（トレーリング端側）に配置された帰磁路部と、主磁極に対して記録媒体の進行方向の後側（リーディング端側）に配置された帰磁路部とを備えた磁気ヘッドが記載されている。
【００１０】
ここで、媒体対向面とコイルとの間に、帰磁路部を構成する磁性層が存在し、この磁性層が媒体対向面において広い面積にわたって露出している構成を考える。この構成では、コイルが発生する熱によって磁性層が膨張し、その結果、媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生するおそれがある。
【００１１】
また、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。この要求に応えるためには、帰磁路部の磁路の長さを短くすることが有効である。
【００１２】
しかし、従来は、帰磁路部を構成する磁性層とコイルに起因して媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生することを防止し、且つ帰磁路部の磁路の長さを短くする工夫はなされていなかった。
【００１３】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、帰磁路部を構成する磁性層とコイルに起因して媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生することを防止し、且つ帰磁路部の磁路の長さを短くすることができるようにした垂直磁気記録用磁気ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極とを備えている。磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、非磁性材料よりなり、主磁極と記録シールドとの間に設けられたギャップ部と、磁性材料よりなり、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する帰磁路部と、上面を有する基板とを備えている。コイル、主磁極、記録シールド、ギャップ部および帰磁路部は、基板の上面の上方に配置されている。記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含んでいる。帰磁路部は、ヨーク部、第１の連結層および第２の連結層を有している。
【００１５】
本発明の第２の垂直磁気記録用磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面と、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生するコイルと、媒体対向面に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する主磁極とを備えている。磁気ヘッドは、更に、磁性材料よりなり、媒体対向面に配置された端面を有する記録シールドと、非磁性材料よりなり、主磁極と記録シールドとの間に設けられたギャップ部と、それぞれ、磁性材料よりなり、主磁極のうちの媒体対向面から離れた部分と記録シールドとを接続する第１の帰磁路部および第２の帰磁路部と、上面を有する基板とを備えている。コイル、主磁極、記録シールド、ギャップ部、第１の帰磁路部および第２の帰磁路部は、基板の上面の上方に配置されている。記録シールドの端面は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の前側に配置された第１の端面部分を含んでいる。第１の帰磁路部と第２の帰磁路部は、主磁極を挟むように基板の上面に垂直な方向に沿って並んでいる。第１の帰磁路部と第２の帰磁路部の少なくとも一方は、ヨーク部、第１の連結層および第２の連結層を有している。
【００１６】
本発明の第１または第２の磁気ヘッドにおいて、ヨーク部は、媒体対向面に向くと共に媒体対向面から離れた位置に配置された第１の端面と、媒体対向面から離れた位置にあって主磁極に接する第２の端面とを有している。第１の連結層は、媒体対向面に配置された端面を有し、記録シールドに接続されている。第２の連結層は、媒体対向面に向くと共に媒体対向面から離れた位置に配置された端面を有し、第１の連結層とヨーク部とを磁気的に連結している。
【００１７】
また、本発明の第１または第２の磁気ヘッドにおいて、コイルは、それぞれ、主磁極、ギャップ部、記録シールド、第１の連結層、第２の連結層およびヨーク部によって囲まれた空間を通過するように延びる１つの第１のコイル要素および複数の第２のコイル要素を含んでいる。第１のコイル要素は、媒体対向面との間で第１の連結層を挟む。複数の第２のコイル要素は、媒体対向面との間で第２の連結層を挟み、主磁極との間で第１のコイル要素を挟み、媒体対向面に垂直な方向に並んでいる。
【００１８】
本発明の第１または第２の磁気ヘッドでは、媒体対向面に配置された主磁極の端面と交差し、媒体対向面および基板の上面に垂直な断面において、第２の連結層は、媒体対向面に垂直な方向について第１の連結層よりも小さな長さを有し、基板の上面に垂直な方向について第１の連結層よりも大きな長さを有していてもよい。この場合、前記断面において、複数の第２のコイル要素の各々は、媒体対向面に垂直な方向について第１のコイル要素よりも小さな長さを有し、基板の上面に垂直な方向について第１のコイル要素よりも大きな長さを有していてもよい。
【００１９】
また、本発明の第１または第２の磁気ヘッドは、更に、無機絶縁材料よりなり、第２の連結層の端面と媒体対向面との間に介在する部分を含む絶縁層を備えていてもよい。
【００２０】
また、本発明の第１または第２の磁気ヘッドにおいて、記録シールドの端面は、更に、第２、第３および第４の端面部分を含み、第２の端面部分は、主磁極の端面に対して記録媒体の進行方向の後側に配置され、第３および第４の端面部分は、主磁極の端面に対してトラック幅方向の両側に配置されていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の第１または第２の磁気ヘッドによれば、第２の連結層の媒体対向面に向いた端面が媒体対向面から離れた位置に配置されていることにより、帰磁路部を構成する磁性層とコイルに起因して媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生することを防止することが可能になる。また、本発明では、１つの第１のコイル要素は、媒体対向面との間で第１の連結層を挟み、複数の第２のコイル要素は、媒体対向面との間で第２の連結層を挟み、主磁極との間で第１のコイル要素を挟み、媒体対向面に垂直な方向に並んでいる。このような構成により、基板の上面に垂直な方向についての第１の連結層の長さを小さくして、媒体対向面に配置された第１の連結層の端面の面積を小さくしながら、複数の第２のコイル要素と主磁極との間の狭い空間にも第１のコイル要素を配置することが可能になる。このように、本発明によれば、主磁極、ギャップ部、記録シールド、第１の連結層、第２の連結層およびヨーク部によって囲まれた空間を効率よく利用してコイルを配置することができ、その結果、帰磁路部の磁路の長さを短くすることが可能になる。以上のことから、本発明によれば、帰磁路部を構成する磁性層とコイルに起因して媒体対向面の一部の好ましくない突出が発生することを防止し、且つ帰磁路部の磁路の長さを短くすることが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第２層を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第１層を示す平面図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図７を参照して、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドの構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドを示す断面図である。なお、図１は媒体対向面および基板の上面に垂直な断面を示している。図１において記号Ｔで示す矢印は、記録媒体の進行方向を表している。図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図３は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第２層を示す平面図である。図４は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第１の部分の第１層を示す平面図である。図５は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第１層を示す平面図である。図６は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおけるコイルの第２の部分の第２層を示す平面図である。図７は、本実施の形態に係る磁気ヘッドにおける主磁極の媒体対向面の近傍の部分を示す斜視図である。図２および図７において記号ＴＷで示す矢印は、トラック幅方向を表している。
【００２４】
図１および図２に示したように、本実施の形態に係る垂直磁気記録用磁気ヘッド（以下、単に磁気ヘッドと記す。）は、アルミニウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料よりなり、上面１ａを有する基板１と、この基板１の上面１ａ上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層８１と、この絶縁層８１の上に配置されたヒーター８２と、絶縁層８１およびヒーター８２を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層８３とを備えている。絶縁層８１，８３は、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）によって形成されている。ヒーター８２については、後で詳しく説明する。
【００２５】
磁気ヘッドは、更に、ヒーター８２に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側（トレーリング端側）に配置された再生ヘッド部８を備えている。再生ヘッド部８は、絶縁層８３の上に配置された磁性材料よりなる第１の再生シールド層３と、第１の再生シールド層３を覆うように配置された絶縁膜である第１の再生シールドギャップ膜４と、この第１の再生シールドギャップ膜４の上に配置された再生素子としてのＭＲ（磁気抵抗効果）素子５と、このＭＲ素子５の上に配置された絶縁膜である第２の再生シールドギャップ膜６と、この第２の再生シールドギャップ膜６の上に配置された磁性材料よりなる第２の再生シールド層７とを有している。
【００２６】
ＭＲ素子５の一端部は、記録媒体に対向する媒体対向面２に配置されている。ＭＲ素子５には、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができる。ＧＭＲ素子としては、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ平行な方向に流すＣＩＰ（Current In Plane）タイプでもよいし、磁気的信号検出用の電流を、ＧＭＲ素子を構成する各層の面に対してほぼ垂直な方向に流すＣＰＰ（Current Perpendicular to Plane）タイプでもよい。
【００２７】
磁気ヘッドは、更に、再生ヘッド部８に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された記録ヘッド部９と、再生ヘッド部８と記録ヘッド部９の間に配置された膨張層８４、センサ８５および非磁性部８６とを備えている。非磁性部８６は、非磁性材料によって形成されている。非磁性部８６の材料としては、例えばアルミナを用いることができる。
【００２８】
非磁性部８６は、非磁性層８７，８８，８９を有している。非磁性層８７は、第２の再生シールド層７の上に配置されている。膨張層８４は、非磁性層８７の上に配置されている。非磁性層８８は、膨張層８４を覆うように配置されている。センサ８５は、非磁性層８８の上に配置されている。非磁性層８９は、センサ８５を覆うように配置されている。
【００２９】
記録ヘッド部９は、コイルと、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７とを有している。コイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。コイルは、第１の部分１０と第２の部分２０とを含んでいる。第１の部分１０と第２の部分２０は、いずれも、銅等の導電材料によって形成されている。第１の部分１０と第２の部分２０は、直列または並列に接続されている。主磁極１５は、媒体対向面２に配置された端面を有し、コイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させると共に、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。図１は、媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面と交差し、媒体対向面２および基板１の上面１ａに垂直な断面（以下、主断面と言う。）を示している。
【００３０】
第１の部分１０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された第１層１１と、第１層１１に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された第２層１２とを含んでいる。第２の部分２０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された第１層２１と、第１層２１に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された第２層２２とを含んでいる。
【００３１】
記録シールド１６は、媒体対向面２に配置された端面を有している。記録シールド１６の端面は、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａを含んでいる。第１の端面部分１６Ａａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２の端面部分１６Ｂａは、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。第３および第４の端面部分１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面に対してトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。媒体対向面２において、第１ないし第４の端面部分１６Ａａ，１６Ｂａ，１６Ｃａ，１６Ｄａは、主磁極１５の端面の周りを囲むように配置されている。
【００３２】
記録シールド１６は、磁性材料によって形成されている。記録シールド１６の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。
【００３３】
記録ヘッド部９は、更に、第１の帰磁路部３０および第２の帰磁路部４０を有している。第１および第２の帰磁路部３０，４０は、いずれも磁性材料によって形成されている。第１および第２の帰磁路部３０，４０の材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。第１の帰磁路部３０と第２の帰磁路部４０は、主磁極１５を挟むように基板１の上面１ａに垂直な方向に沿って並んでいる。第１の帰磁路部３０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されて記録シールド１６と主磁極１５とに接触し、記録シールド１６と主磁極１５とを磁気的に連結している。第２の帰磁路部４０は、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されて記録シールド１６と主磁極１５とに接触し、記録シールド１６と主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００３４】
第１の帰磁路部３０は、ヨーク部３１、第１の連結層３６および第２の連結層３７を有している。ヨーク部３１は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された第１の端面３１ａと、媒体対向面２から離れた位置にあって主磁極１５に接する第２の端面３１ｂとを有している。第１の連結層３６は、記録シールド１６に接続されている。第２の連結層３７は、第１の連結層３６とヨーク部３１とを磁気的に連結している。
【００３５】
第２の帰磁路部４０は、ヨーク部４１、第１の連結層４６および第２の連結層４７を有している。ヨーク部４１は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された第１の端面４１ａと、媒体対向面２から離れた位置にあって主磁極１５に接する第２の端面４１ｂとを有している。第１の連結層４６は、記録シールド１６に接続されている。第２の連結層４７は、第１の連結層４６とヨーク部４１とを磁気的に連結している。
【００３６】
第１の帰磁路部３０のヨーク部３１は、磁性層３２〜３５を含んでいる。磁性層３２は、非磁性層８９の上に配置されている。磁性層３２は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面を有している。磁性層３２の端面は、ヨーク部３１の第１の端面３１ａでもある。
【００３７】
磁気ヘッドは、更に、磁性層３２の周囲において非磁性層８９の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５１を備えている。磁性層３２および絶縁層５１の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、磁性層３２および絶縁層５１の上面の一部の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５２を備えている。絶縁層５１，５２は、例えばアルミナによって形成されている。
【００３８】
第２の連結層３７と磁性層３３は、いずれも磁性層３２の上に配置されている。第２の連結層３７は、媒体対向面２の近傍に配置され、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面３７ａを有している。磁性層３３は、第２の連結層３７に対して、媒体対向面２からより遠い位置に配置されている。図３に示したように、コイルの第１の部分１０の第２層１２は、磁性層３３の周りに約２回巻かれている。
【００３９】
磁気ヘッドは、更に、第２の連結層３７、磁性層３３および絶縁層５２と第２層１２との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜５３と、第２層１２の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５４と、第２層１２および第２の連結層３７の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層５５とを備えている。第２層１２、第２の連結層３７、磁性層３３、絶縁膜５３および絶縁層５４，５５の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、第２層１２および絶縁層５４を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層５６を備えている。絶縁膜５３および絶縁層５６は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層５４は、例えばフォトレジストによって形成されている。本実施の形態では、特に、絶縁層５５は、第２の連結層３７を構成する磁性材料に比べて、線熱膨張係数が小さく、且つビッカース硬度が大きい無機絶縁材料、例えばアルミナによって形成されている。
【００４０】
第１の連結層３６は、媒体対向面２に配置された端面３６ａを有し、第２の連結層３７および絶縁層５５の上に配置されている。磁性層３４は、磁性層３３の上に配置されている。図４に示したように、コイルの第１の部分１０の第１層１１は、磁性層３４の周りに１回巻かれている。
【００４１】
磁気ヘッドは、更に、第１の連結層３６、磁性層３４および絶縁層５６と第１層１１との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜５７と、第１層１１および第１の連結層３６の周囲に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層とを備えている。絶縁膜５７および図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。第１層１１、第１の連結層３６、磁性層３４、絶縁膜５７および図示しない絶縁層の上面は平坦化されている。
【００４２】
図２に示したように、記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、主磁極１５のトラック幅方向ＴＷの両側に配置されている。第１のシールド１６Ａは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。第２のシールド１６Ｂは、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第１のシールド１６Ａと第２のシールド１６Ｂを磁気的に連結している。
【００４３】
第１のシールド１６Ａは、第１の端面部分１６Ａａを有している。第２のシールド１６Ｂは、第２の端面部分１６Ｂａを有している。サイドシールド１６Ｃは、第３の端面部分１６Ｃａを有している。サイドシールド１６Ｄは、第４の端面部分１６Ｄａを有している。
【００４４】
第２のシールド１６Ｂは、第１の連結層３６の上に配置されている。磁性層３５は、磁性層３４の上に配置されている。磁性層３５は、主磁極１５に接する上面を有している。磁性層３５の上面は、ヨーク部３１の第２の端面３１ｂでもある。
【００４５】
磁気ヘッドは、更に、絶縁材料よりなる絶縁層５８を備えている。絶縁層５８は、第２のシールド１６Ｂおよび磁性層３５の周囲において、第１層１１、第１の連結層３６および図示しない絶縁層の上面の上に配置されている。絶縁層５８は、例えばアルミナによって形成されている。
【００４６】
主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、トラック幅方向ＴＷの両側に配置された第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２とを有している。サイドシールド１６Ｃは、主磁極１５の第１の側部ＳＰ１に対向する第１の側壁を有している。サイドシールド１６Ｄは、主磁極１５の第２の側部ＳＰ２に対向する第２の側壁を有している。
【００４７】
ギャップ部１７は、非磁性材料よりなり、主磁極１５と、記録シールド１６との間に設けられている。ギャップ部１７は、主磁極１５と第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間に配置された第１のギャップ層１８と、主磁極１５と第１のシールド１６Ａとの間に配置された第２のギャップ層１９とを含んでいる。
【００４８】
サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、第２のシールド１６Ｂの上に配置され、第２のシールド１６Ｂの上面に接している。第１のギャップ層１８は、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの側壁、第２のシールド１６Ｂの上面および絶縁層５８の上面に沿って配置されている。第１のギャップ層１８は、非磁性材料によって形成されている。第１のギャップ層１８を構成する非磁性材料は、絶縁材料でもよいし、非磁性金属材料でもよい。第１のギャップ層１８を構成する絶縁材料としては、例えばアルミナが用いられる。第１のギャップ層１８を構成する非磁性金属材料としては、例えばＲｕが用いられる。第１のギャップ層１８には、磁性層３５の上面を露出させる開口部が形成されている。
【００４９】
主磁極１５は、第２のシールド１６Ｂおよび絶縁層５８の上面と主磁極１５との間に第１のギャップ層１８が介在するように、第２のシールド１６Ｂおよび絶縁層５８の上に配置されている。また、図２に示したように、主磁極１５とサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとの間にも、第１のギャップ層１８が介在している。
【００５０】
媒体対向面２から離れた位置において、主磁極１５の下端部１５Ｌは、磁性層３５の上面、すなわちヨーク部３１の第２の端面３１ｂに接している。主磁極１５は、金属磁性材料によって形成されている。主磁極１５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。主磁極１５の形状については、後で詳しく説明する。
【００５１】
磁気ヘッドは、更に、主磁極１５、第２のシールド１６Ｂおよびサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの周囲に配置された非磁性材料よりなる図示しない非磁性層を備えている。本実施の形態では、特に、図示しない非磁性層は、アルミナ等の非磁性絶縁材料よりなる。
【００５２】
磁気ヘッドは、更に、媒体対向面２から離れた位置において、主磁極１５の上面１５Ｔの一部の上に配置された非磁性金属材料よりなる非磁性金属層６１と、この非磁性金属層６１の上面の上に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６２とを備えている。非磁性金属層６１は、例えばＲｕ、ＮｉＣｒまたはＮｉＣｕによって形成されている。絶縁層６２は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５３】
第２のギャップ層１９は、主磁極１５、非磁性金属層６１および絶縁層６２を覆うように配置されている。第２のギャップ層１９は、非磁性材料によって形成されている。第２のギャップ層１９の材料は、アルミナ等の非磁性絶縁材料でもよいし、Ｒｕ、ＮｉＣｕ、Ｔａ、Ｗ、ＮｉＢ、ＮｉＰ等の非磁性導電材料でもよい。
【００５４】
第１のシールド１６Ａは、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第２のギャップ層１９の上に配置され、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄおよび第２のギャップ層１９の上面に接している。媒体対向面２において、第１のシールド１６Ａの端面の一部は、主磁極１５の端面に対して、第２のギャップ層１９の厚みによる所定の間隔を開けて配置されている。第２のギャップ層１９の厚みは、５〜６０ｎｍの範囲内であることが好ましく、例えば３０〜６０ｎｍの範囲内である。主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１９に隣接する辺を有し、この辺はトラック幅を規定している。
【００５５】
第２の帰磁路部４０のヨーク部４１は、磁性層４２〜４５を含んでいる。磁性層４５は、媒体対向面２から離れた位置において主磁極１５の上に配置されている。磁性層４５は、主磁極１５の上面１５Ｔに接する下面を有している。磁性層４５の下面は、ヨーク部４１の第２の端面４１ｂでもある。
【００５６】
磁気ヘッドは、更に、第１のシールド１６Ａおよび磁性層４５の周囲に配置された非磁性層６３を備えている。非磁性層６３は、例えば無機絶縁材料によって形成されている。この無機絶縁材料としては、例えばアルミナまたはシリコン酸化物が用いられる。第１のシールド１６Ａ、磁性層４５および非磁性層６３の上面は平坦化されている。
【００５７】
第１の連結層４６は、媒体対向面２に配置された端面４６ａを有し、第１のシールド１６Ａおよび非磁性層６３の上に配置されている。磁性層４４は、磁性層４５の上に配置されている。図５に示したように、コイルの第２の部分２０の第１層２１は、磁性層４４の周りに１回巻かれている。
【００５８】
磁気ヘッドは、更に、第１の連結層４６、磁性層４４，４５および非磁性層６３と第１層２１との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６４と、第１層２１および第１の連結層４６の周囲に配置された絶縁材料よりなる図示しない絶縁層とを備えている。第１層２１、第１の連結層４６、磁性層４４、絶縁膜６４および図示しない絶縁層の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、第１層２１を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層６５を備えている。絶縁膜６４、絶縁層６５および図示しない絶縁層は、例えばアルミナによって形成されている。
【００５９】
第２の連結層４７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面４７ａを有し、第１の連結層４６の上に配置されている。磁性層４３は、磁性層４４の上に配置されている。図６に示したように、コイルの第２の部分２０の第２層２２は、磁性層４３の周りに約２回巻かれている。
【００６０】
磁気ヘッドは、更に、第２の連結層４７、磁性層４３および絶縁層６５と第２層２２との間に介在する絶縁材料よりなる絶縁膜６６と、第２層２２の巻線間に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６７と、第２層２２および第２の連結層４７の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層６８とを備えている。第２層２２、第２の連結層４７、磁性層４３、絶縁膜６６および絶縁層６７，６８の上面は平坦化されている。磁気ヘッドは、更に、第２層２２および絶縁層６７を覆うように配置された絶縁材料よりなる絶縁層６９を備えている。絶縁膜６６および絶縁層６９は、例えばアルミナによって形成されている。絶縁層６７は、例えばフォトレジストによって形成されている。本実施の形態では、特に、絶縁層６８は、第２の連結層４７を構成する磁性材料に比べて、線熱膨張係数が小さく、且つビッカース硬度が大きい無機絶縁材料、例えばアルミナによって形成されている。
【００６１】
磁性層４２は、第２の連結層４７、磁性層４３および絶縁層６９の上に配置され、第２の連結層４７と磁性層４３とを接続している。磁性層４２は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面を有している。磁性層４２の端面は、ヨーク部４１の第１の端面４１ａでもある。
【００６２】
磁気ヘッドは、更に、磁性層４２の周囲に配置された絶縁材料よりなる絶縁層７０を備えている。絶縁層７０は、例えばアルミナによって形成されている。磁性層４２および絶縁層７０の上面は平坦化されている。
【００６３】
磁気ヘッドは、更に、非磁性材料よりなり、記録ヘッド部９を覆うように配置された保護層７１を備えている。保護層７１は、例えば、アルミナ等の無機絶縁材料によって形成されている。
【００６４】
以上説明したように、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、記録媒体に対向する媒体対向面２と再生ヘッド部８と記録ヘッド部９とを備えている。再生ヘッド部８と記録ヘッド部９は、基板１の上に積層されている。再生ヘッド部８は、記録ヘッド部９に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。
【００６５】
再生ヘッド部８は、再生素子としてのＭＲ素子５と、媒体対向面２側の一部がＭＲ素子５を挟んで対向するように配置された、ＭＲ素子５をシールドするための第１の再生シールド層３および第２の再生シールド層７と、ＭＲ素子５と第１の再生シールド層３との間に配置された第１の再生シールドギャップ膜４と、ＭＲ素子５と第２の再生シールド層７との間に配置された第２の再生シールドギャップ膜６とを有している。
【００６６】
記録ヘッド部９は、第１および第２の部分１０，２０を含むコイルと、主磁極１５と、記録シールド１６と、ギャップ部１７と、第１および第２の帰磁路部３０，４０とを有している。記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。ギャップ部１７は、第１のギャップ層１８と第２のギャップ層１９とを含んでいる。第１の帰磁路部３０と第２の帰磁路部４０は、主磁極１５を挟むように基板１の上面１ａに垂直な方向に沿って並んでいる。
【００６７】
第１の帰磁路部３０は、磁性材料よりなり、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置されている。また、第１の帰磁路部３０は、ヨーク部３１、第１の連結層３６および第２の連結層３７を有している。ヨーク部３１は、磁性層３２〜３５を含んでいる。また、ヨーク部３１は、媒体対向面２から離れた位置にあって主磁極１５に接する第２の端面３１ｂを有している。
【００６８】
図１に示したように、第１の帰磁路部３０は、主磁極１５、ギャップ部１７（ギャップ層１８）、記録シールド１６、第１の連結層３６、第２の連結層３７およびヨーク部３１（磁性層３２〜３５）によって囲まれた第１の空間Ｓ１が形成されるように、記録シールド１６と主磁極１５とを接続し、これにより、記録シールド１６と主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００６９】
第１および第２の連結層３６，３７は、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂとヨーク部３１（磁性層３２）とを磁気的に連結している。本実施の形態では、第１の連結層３６は、第２のシールド１６Ｂに接続されている。第２の連結層３７は、第１の連結層３６とヨーク部３１（磁性層３２）とを磁気的に連結している。第１の連結層３６は、媒体対向面２において第２のシールド１６Ｂの第２の端面部分１６Ｂａに対して記録媒体の進行方向Ｔの後側に配置された端面３６ａを有している。前記主断面において、磁性層３２は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きな長さを有している。前記主断面において、第１および第２の連結層３６，３７は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きく磁性層３２よりも小さな長さを有している。前記主断面において、第２の連結層３７は、媒体対向面２に垂直な方向について第１の連結層３６よりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１の連結層３６よりも大きな長さを有している。
【００７０】
第２の連結層３７と磁性層３２は、媒体対向面２に露出していない。第２の連結層３７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面３７ａを有している。磁性層３２は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面（ヨーク部３１の第１の端面３１ａ）を有している。第２の連結層３７の端面３７ａと媒体対向面２との間には絶縁層５５の一部が介在している。磁性層３２の上記端面（ヨーク部３１の第１の端面３１ａ）と媒体対向面２との間には絶縁層５１の一部が介在している。
【００７１】
第２の帰磁路部４０は、磁性材料よりなり、主磁極１５に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置されている。また、第２の帰磁路部４０は、ヨーク部４１、第１の連結層４６および第２の連結層４７を有している。ヨーク部４１は、磁性層４２〜４５を含んでいる。また、ヨーク部４１は、媒体対向面２から離れた位置にあって主磁極１５に接する第２の端面４１ｂを有している。
【００７２】
図１に示したように、第２の帰磁路部４０は、主磁極１５、ギャップ部１７（ギャップ層１９）、記録シールド１６、第１の連結層４６、第２の連結層４７およびヨーク部４１（磁性層４２〜４５）によって囲まれた第２の空間Ｓ２が形成されるように、記録シールド１６と主磁極１５とを接続し、これにより、記録シールド１６と主磁極１５とを磁気的に連結している。
【００７３】
第１および第２の連結層４６，４７は、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａとヨーク部４１（磁性層４２）とを磁気的に連結している。第１の連結層４６は、第１のシールド１６Ａに接続されている。第２の連結層４７は、第１の連結層４６とヨーク部４１（磁性層４２）とを磁気的に連結している。第１の連結層４６は、媒体対向面２において第１のシールド１６Ａの第１の端面部分１６Ａａに対して記録媒体の進行方向Ｔの前側に配置された端面４６ａを有している。前記主断面において、磁性層４２は、媒体対向面２に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きな長さを有している。前記主断面において、第１および第２の連結層４６，４７は、媒体対向面２に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きく磁性層４２よりも小さな長さを有している。前記主断面において、第２の連結層４７は、媒体対向面２に垂直な方向について第１の連結層４６よりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１の連結層４６よりも大きな長さを有している。
【００７４】
第２の連結層４７と磁性層４２は、媒体対向面２に露出していない。第２の連結層４７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面４７ａを有している。磁性層４２は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面（ヨーク部４１の第１の端面４１ａ）を有している。第２の連結層４７の端面４７ａと媒体対向面２との間には絶縁層６８の一部が介在している。磁性層４２の上記端面（ヨーク部４１の第１の端面４１ａ）と媒体対向面２との間には絶縁層７０の一部が介在している。
【００７５】
以下、図３ないし図６を参照して、コイルの第１および第２の部分１０，２０について詳しく説明する。図３は、第１の部分１０の第２層１２を示す平面図である。第２層１２は、第１の帰磁路部３０の一部である磁性層３３の周りに巻かれている。また、第２層１２は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第２の連結層３７と磁性層３３との間を通過するように延びる２つ以上の第２のコイル要素を含んでいる。なお、コイル要素とは、コイルの巻線の一部である。本実施の形態では、特に、第２層１２は、磁性層３３の周りに約２回巻かれ、第２層１２は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第２の連結層３７と磁性層３３との間を通過するように延びる２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂを含んでいる。第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂは、媒体対向面２側からこの順に、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。第２層１２は、第１層１１に電気的に接続されたコイル接続部１２Ｅを有している。
【００７６】
図４は、第１の部分１０の第１層１１を示す平面図である。第１層１１は、第１の帰磁路部３０の一部である磁性層３４の周りに１回巻かれている。第１層１１は、第１の空間Ｓ１内のうち特に第１の連結層３６と磁性層３４との間を通過するように延びる１つの第１のコイル要素１１Ａを含んでいる。また、第１層１１は、絶縁層５６および絶縁膜５７を貫通して第２層１２のコイル接続部１２Ｅに電気的に接続されたコイル接続部１１Ｓと、第２の部分２０に電気的に接続されたコイル接続部１１Ｅとを有している。
【００７７】
図５は、第２の部分２０の第１層２１を示す平面図である。第１層２１は、第２の帰磁路部４０の一部である磁性層４４の周りに１回巻かれている。第１層２１は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第１の連結層４６と磁性層４４との間を通過するように延びる１つの第１のコイル要素２１Ａを含んでいる。また、第１層２１は、第１の部分１０の第１層１１のコイル接続部１１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２１Ｓと、第２層２２に電気的に接続されたコイル接続部２１Ｅとを有している。コイル接続部２１Ｓは、第１層２１と第１層１１との間の複数の層を貫通する図示しない柱状の接続層を介してコイル接続部１１Ｅに電気的に接続されている。接続層は、銅等の導電材料によって形成されている。
【００７８】
図６は、第２の部分２０の第２層２２を示す平面図である。第２層２２は、第２の帰磁路部４０の一部である磁性層４３の周りに巻かれている。また、第２層２２は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２の連結層４７と磁性層４３との間を通過するように延びる２つ以上の第２のコイル要素を含んでいる。本実施の形態では、特に、第２層２２は、磁性層４３の周りに約２回巻かれ、第２層２２は、第２の空間Ｓ２内のうち特に第２の連結層４７と磁性層４３との間を通過するように延びる２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂを含んでいる。第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂは、媒体対向面２側からこの順に、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。第２層２２は、絶縁層６５および絶縁膜６６を貫通して第１層２１のコイル接続部２１Ｅに電気的に接続されたコイル接続部２２Ｓを有している。図３ないし図６に示した例では、第１の部分１０と第２の部分２０は、直列に接続されている。
【００７９】
第１の部分１０において、第１のコイル要素１１Ａは、媒体対向面２との間で第１の連結層３６を挟んでいる。２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂは、媒体対向面２との間で第２の連結層３７を挟み、主磁極１５との間で第１のコイル要素１１Ａを挟み、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。前記主断面において、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂの各々は、媒体対向面２に垂直な方向について第１のコイル要素１１Ａよりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１のコイル要素１１Ａよりも大きな長さを有している。
【００８０】
第２の部分２０において、第１のコイル要素２１Ａは、媒体対向面２との間で第１の連結層４６を挟んでいる。２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂは、媒体対向面２との間で第２の連結層４７を挟み、主磁極１５との間で第１のコイル要素２１Ａを挟み、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。前記主断面において、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂの各々は、媒体対向面２に垂直な方向について第１のコイル要素２１Ａよりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１のコイル要素２１Ａよりも大きな長さを有している。
【００８１】
次に、ヒーター８２、膨張層８４およびセンサ８５について詳しく説明する。膨張層８４およびセンサ８５は、再生ヘッド部８と記録ヘッド部９の間に配置されている。ヒーター８２は、膨張層８４およびセンサ８５に対して、記録媒体の進行方向Ｔの後側（リーディング端側）に配置されている。非磁性部８６は、膨張層８４およびセンサ８５の周囲に配置されている。
【００８２】
始めに、ヒーター８２および膨張層８４について説明する。ヒーター８２および膨張層８４は、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離を小さくするために、媒体対向面２の一部を突出させるためのものである。ヒーター８２は、媒体対向面２の一部を突出させるための熱を発生する。膨張層８４は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて膨張して、媒体対向面２の一部を突出させる。
【００８３】
ヒーター８２は、電流が流されることによって発熱する金属等の導電材料によって形成されている。ヒーター８２は、例えば、Ｔａ膜、ＮｉＣｕ膜およびＴａ膜からなる積層膜や、ＮｉＣｒ膜によって形成されている。
【００８４】
膨張層８４は、非磁性部８６に比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。非磁性部８６がアルミナによって形成されている場合には、膨張層８４の材料としては、アルミナに比べて、熱伝導率および線熱膨張係数が大きい材料とする必要がある。アルミナの２５℃における熱伝導率は３０Ｗ／ｍ・Ｋ程度である。アルミナの２５〜１００℃における線熱膨張係数は６．５×１０−６／℃程度である。膨張層８４の材料としては、金属材料を用いることができる。膨張層８４を構成する金属材料は、非磁性金属材料でもよいし、磁性金属材料でもよい。膨張層８４を構成する非磁性金属材料としては、例えばＡｌ、Ｃｕ、Ａｕのいずれかを用いることができる。膨張層８４を構成する磁性金属材料としては、例えばＣｏＦｅＮ、ＣｏＮｉＦｅ、ＮｉＦｅ、ＣｏＦｅのいずれかを用いることができる。
【００８５】
次に、ヒーター８２および膨張層８４によって、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離を小さくする方法について説明する。ヒーター８２には、所定の大きさの電流が流される。これにより、ヒーター８２によって、媒体対向面２の一部を突出させるための熱が発生される。
【００８６】
磁気ヘッドの構成要素は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて膨張する。特に、膨張層８４は、その周囲に配置された非磁性部８６に比べて、熱伝導率が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層８４では、非磁性部８６に比べて、ヒーター８２によって発生された熱が速やかに均一に分布する。また、膨張層８４は、非磁性部８６に比べて、線熱膨張係数が大きい材料によって形成されている。そのため、膨張層８４は、ヒーター８２によって発生された熱を受けて、非磁性部８６に比べて、速やかに、且つ大きく膨張して、媒体対向面２の一部を突出させる。これにより、再生ヘッド部８および記録ヘッド部９と記録媒体の表面との間の距離が小さくなる。媒体対向面２の一部の突出量は、ヒーター８２に流される電流の大きさを調整することによって制御することができる。
【００８７】
次に、センサ８５について説明する。センサ８５は、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したことを検出するためのものである。センサ８５は、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したときに自身の温度変化によって抵抗値が変化する抵抗体である。センサ８５の材料としては、温度変化に対する抵抗値の変化の割合、すなわち抵抗の温度係数がある程度大きい金属材料や半導体材料が用いられる。具体的には、センサ８５の材料としては、例えば、ＮｉＦｅ、Ｗ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｔのいずれかを用いることができる。
【００８８】
媒体対向面２の一部が記録媒体に接触すると、接触による摩擦熱によって、媒体対向面２のうち、記録媒体に接触した部分およびその近傍の部分の温度が上昇する。このような温度の上昇に伴って、センサ８５自身の温度も上昇する。その結果、センサ８５の抵抗値が変化する。そのため、センサ８５の抵抗値を測定することによって、媒体対向面２の一部が記録媒体に接触したことを検出することができる。
【００８９】
次に、図７を参照して、主磁極１５の形状について詳しく説明する。図７に示したように、主磁極１５は、媒体対向面２に配置された端面とその反対側の端部とを有するトラック幅規定部１５Ａと、トラック幅規定部１５Ａの端部に接続された幅広部１５Ｂとを含んでいる。また、図７に示したように、主磁極１５は、基板１の上面１ａにより近い端部である下端部１５Ｌと、下端部１５Ｌとは反対側の上面１５Ｔと、第１の側部ＳＰ１と、第２の側部ＳＰ２とを有している。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅よりも大きい。
【００９０】
トラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、媒体対向面２からの距離によらずにほぼ一定である。幅広部１５Ｂにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅は、例えば、トラック幅規定部１５Ａとの境界位置ではトラック幅規定部１５Ａにおける上面１５Ｔのトラック幅方向ＴＷの幅と等しく、媒体対向面２から離れるに従って、徐々に大きくなった後、一定の大きさになっている。ここで、媒体対向面２に垂直な方向についてのトラック幅規定部１５Ａの長さをネックハイトと呼ぶ。ネックハイトは、例えば０〜０．３μｍの範囲内である。ネックハイトが０の場合は、トラック幅規定部１５Ａがなく、幅広部１５Ｂの端面が媒体対向面２に配置される。
【００９１】
下端部１５Ｌは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。第１の部分１５Ｌ１は、媒体対向面２に配置された端部を有している。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２は、２つの面が交わってできるエッジでもよいし、２つの面を連結する面でもよい。第３の部分１５Ｌ３は、実質的に媒体対向面２に垂直な方向に延在する面になっている。上面１５Ｔは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第４の部分１５Ｔ１は、媒体対向面２に配置された端部を有している。
【００９２】
第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。媒体対向面２に垂直な方向に対する第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度は、媒体対向面２に垂直な方向に対する第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度よりも大きい。第２のシールド１６Ｂは、ギャップ部１７（第１のギャップ層１８）を介して第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２に対向する上面を有している。この第２のシールド１６Ｂの上面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。
【００９３】
また、第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。媒体対向面２に垂直な方向に対する第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度は、媒体対向面２に垂直な方向に対する第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度よりも大きい。第６の部分１５Ｔ３は、実質的に媒体対向面２に垂直な方向に延在している。第１のシールド１６Ａは、ギャップ部１７（第２のギャップ層１９）を介して第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２に対向する下面を有している。第１のシールド１６Ａの下面における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。
【００９４】
第１の部分１５Ｌ１の傾斜角度および第４の部分１５Ｔ１の傾斜角度は、いずれも、１５°〜４５°の範囲内であることが好ましい。第２の部分１５Ｌ２の傾斜角度および第５の部分１５Ｔ２の傾斜角度は、いずれも、４５°〜８５°の範囲内であることが好ましい。
【００９５】
また、図７に示したように、媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面は、第２のギャップ層１９に隣接する第１の辺Ａ１と、第１の辺Ａ１の一端部に接続された第２の辺Ａ２と、第１の辺Ａ１の他端部に接続された第３の辺Ａ３とを有している。第１の辺Ａ１はトラック幅を規定する。記録媒体に記録される記録ビットの端部の位置は、第１の辺Ａ１の位置によって決まる。媒体対向面２に配置された主磁極１５の端面のトラック幅方向ＴＷの幅は、主磁極１５の下端部１５Ｌに近づくに従って、すなわち基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。第２の辺Ａ２と第３の辺Ａ３がそれぞれ基板１の上面に垂直な方向に対してなす角度は、例えば７°〜１７°の範囲内であり、１０°〜１５°の範囲内であることが好ましい。第１の辺Ａ１の長さは、例えば０．０５〜０．２０μｍの範囲内である。
【００９６】
媒体対向面２における主磁極１５の厚み（基板１の上面１ａに垂直な方向の長さ）は、例えば０．０５〜０．２μｍの範囲内である。第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離は、例えば０．４〜０．８μｍの範囲内である。
【００９７】
なお、図７には、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離が、いずれも、トラック幅規定部１５Ａと幅広部１５Ｂとの境界位置と媒体対向面２との間の距離すなわちネックハイトと等しい例を示している。しかし、第２の部分１５Ｌ２と第３の部分１５Ｌ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離と、第５の部分１５Ｔ２と第６の部分１５Ｔ３の境界位置と媒体対向面２との間の距離は、それぞれ、ネックハイトよりも小さくてもよいし、大きくてもよい。
【００９８】
次に、本実施の形態に係る磁気ヘッドの作用および効果について説明する。この磁気ヘッドでは、記録ヘッド部９によって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッド部８によって、記録媒体に記録されている情報を再生する。記録ヘッド部９において、第１および第２の部分１０，２０を含むコイルは、記録媒体に記録する情報に応じた磁界を発生する。第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束は、第１の帰磁路部３０と主磁極１５を通過する。第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束は、第２の帰磁路部４０と主磁極１５を通過する。従って、主磁極１５は、第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束とを通過させる。
【００９９】
なお、第１および第２の部分１０，２０は、直列に接続されていてもよいし、並列に接続されていてもよい。いずれにしても、主磁極１５において、第１の部分１０によって発生された磁界に対応する磁束と第２の部分２０によって発生された磁界に対応する磁束が同じ方向に流れるように、第１および第２の部分１０，２０は接続される。
【０１００】
主磁極１５は、上述のようにコイルによって発生された磁界に対応する磁束を通過させて、垂直磁気記録方式によって情報を記録媒体に記録するための記録磁界を発生する。
【０１０１】
記録シールド１６は、磁気ヘッドの外部から磁気ヘッドに印加された外乱磁界を取り込む。これにより、外乱磁界が主磁極１５に集中して取り込まれることによって記録媒体に対して誤った記録が行なわれることを防止することができる。また、記録シールド１６は、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを阻止する機能を有している。
【０１０２】
また、記録シールド１６と第１および第２の帰磁路部３０，４０は、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束を還流させる機能を有している。具体的に説明すると、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の一部は、記録シールド１６と第１の帰磁路部３０を通過して主磁極１５に還流する。また、主磁極１５の端面より発生されて、記録媒体を磁化した磁束の他の一部は、記録シールド１６と第２の帰磁路部４０を通過して主磁極１５に還流する。
【０１０３】
記録シールド１６は、第１のシールド１６Ａと、第２のシールド１６Ｂと、２つのサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄとを有している。これにより、本実施の形態によれば、主磁極１５の端面に対して記録媒体の進行方向Ｔの前側および後側ならびにトラック幅方向ＴＷの両側において、主磁極１５の端面より発生されて記録媒体の面に垂直な方向以外の方向に広がる磁束を取り込んで、この磁束が記録媒体に達することを抑制することができる。その結果、本実施の形態によれば、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。第１のシールド１６Ａおよび第２のシールド１６Ｂは、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することに寄与する他に、記録磁界の勾配を大きくすることに寄与する。サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄは、特に隣接トラック消去を抑制することへの寄与が大きい。このような記録シールド１６の機能により、本実施の形態によれば、記録密度を高めることができる。
【０１０４】
また、本実施の形態では、図７に示したように、媒体対向面２において、トラック幅方向ＴＷにおける主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔すなわち主磁極１５の端面の幅は、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。本実施の形態によれば、この特徴によっても、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。
【０１０５】
また、本実施の形態では、媒体対向面２において、トラック幅方向ＴＷにおけるサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおける第１および第２の側壁の間隔は、主磁極１５の第１および第２の側部ＳＰ１，ＳＰ２の間隔と同様に、基板１の上面１ａに近づくに従って小さくなっている。従って、本実施の形態によれば、媒体対向面２において、第１の側部ＳＰ１と第１の側壁との間隔、ならびに第２の側部ＳＰ２と第２の側壁との間隔を、小さく、且つ均一にすることが可能になる。これにより、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄによって、主磁極１５の端面より発生されてトラック幅方向ＴＷの両側に広がる磁束を、効果的に取り込むことができる。その結果、本実施の形態によれば、特にサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄの機能を高めることが可能になり、スキューに起因した隣接トラック消去の発生をより効果的に抑制することが可能になる。
【０１０６】
ところで、記録シールド１６で取り込んだ磁束を吸収できるような、体積が大きい磁性層が記録シールド１６に磁気的に接続されていないと、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込むことはできない。本実施の形態では、記録シールド１６の第２のシールド１６Ｂと主磁極１５とを磁気的に連結する第１の帰磁路部３０（ヨーク部３１、第１の連結層３６および第２の連結層３７）と、記録シールド１６の第１のシールド１６Ａと主磁極１５とを磁気的に連結する第２の帰磁路部４０（ヨーク部４１、第１の連結層４６および第２の連結層４７）を備えている。このような構成により、記録シールド１６で取り込んだ磁束は、第１および第２の帰磁路部３０，４０を経由して主磁極１５に流れ込む。本実施の形態では、記録シールド１６に対して、体積が大きい磁性層である第１および第２の帰磁路部３０，４０と主磁極１５が磁気的に接続されている。従って、本実施の形態によれば、記録シールド１６によって多くの磁束を取り込むことが可能になり、その結果、前述の記録シールド１６の効果を効果的に発揮させることができる。
【０１０７】
また、本実施の形態では、第１の帰磁路部３０とは別に第２のシールド１６Ｂが設けられている。前記主断面において、第１の帰磁路部３０を構成する磁性層のうち主磁極１５から最も遠い磁性層３２は、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きな長さを有している。コイルの第１の部分１０は、空間Ｓ１を通過している。このような構造により、本実施の形態によれば、磁性層３２が第２のシールドを兼ねた構造に比べて、第２のシールド１６Ｂと主磁極１５とを十分に近付けることが可能になり、その結果、第２のシールド１６Ｂの機能を高めることが可能になる。
【０１０８】
ここで、第１および第２の連結層３６，３７の役割について説明する。まず、第１および第２の連結層３６，３７がなく、第２のシールド１６Ｂとヨーク部３１が磁気的に連結されていない場合を考える。この場合、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれて下方に向かった磁束は、ヨーク部３１（磁性層３２）の方へ流れることができないため、上方に向かうように戻る。その結果、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄにおいて、下方に向かう磁束と上方に向かう磁束が生じ、その結果、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面２の外部に漏れ出す。これにより、隣接トラック消去が生じるおそれがある。これに対し、第１および第２の連結層３６，３７によって第２のシールド１６Ｂとヨーク部３１（磁性層３２）が磁気的に連結されていると、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束は上方と下方へ分流し、第２のシールド１６Ｂで取り込まれた磁束は主に下方に向かう。これにより、第２のシールド１６Ｂまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面２の外部に漏れ出すことによる隣接トラック消去の発生が防止される。
【０１０９】
上述の第１および第２の連結層３６，３７についての説明は、第１および第２の連結層４６，４７にも当てはまる。すなわち、第１および第２の連結層４６，４７によって第１のシールド１６Ａとヨーク部４１（磁性層４２）が磁気的に連結されていると、サイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束は上方と下方へ分流し、第１のシールド１６Ａで取り込まれた磁束は主に上方に向かう。これにより、第１のシールド１６Ａまたはサイドシールド１６Ｃ，１６Ｄで取り込まれた磁束の一部が媒体対向面２の外部に漏れ出すことによる隣接トラック消去の発生が防止される。
【０１１０】
ところで、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての第２のシールド１６Ｂの長さが大きすぎると、主磁極１５から第２のシールド１６Ｂへの磁束の漏れが多くなり、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面２まで導くことができなくなる。そのため、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての第２のシールド１６Ｂの長さは大きすぎないようにする必要がある。この場合、前記主断面において、媒体対向面２に垂直な方向についての第１および第２の連結層３６，３７の長さが第２のシールド１６Ｂの長さと等しいか、それより小さい場合には、第１および第２の連結層３６，３７によって第２のシールド１６Ｂからヨーク部３１へ多くの磁束を導くことができなくなる。これに対し、本実施の形態では、前記主断面において、第１および第２の連結層３６，３７は、それぞれ、媒体対向面２に垂直な方向について第２のシールド１６Ｂよりも大きく磁性層３２よりも小さな長さを有している。これにより、本実施の形態によれば、第１および第２の連結層３６，３７によって第２のシールド１６Ｂから磁性層３２（ヨーク部３１）へ多くの磁束を導くことが可能になる。
【０１１１】
同様に、本実施の形態では、前記主断面において、第１および第２の連結層４６，４７は、それぞれ、媒体対向面２に垂直な方向について第１のシールド１６Ａよりも大きく磁性層４２よりも小さな長さを有している。これにより、本実施の形態によれば、第１および第２の連結層４６，４７によって第１のシールド１６Ａから磁性層４２（ヨーク部４１）へ多くの磁束を導くことが可能になる。
【０１１２】
また、第１および第２の連結層３６，３７は、媒体対向面２とコイルの第１の部分１０との間に配置されている。第１および第２の連結層３６，３７の端面が媒体対向面２において広い面積にわたって露出していると、コイルの第１の部分１０が発生する熱によって第１および第２の連結層３６，３７が膨張し、その結果、媒体対向面２の一部である第１および第２の連結層３６，３７の端面が突出するおそれがある。
【０１１３】
本実施の形態では、第２の連結層３７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面３７ａを有している。これにより、本実施の形態によれば、第２の連結層３７とコイルの第１の部分１０（第２層１２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止することが可能になる。本実施の形態では、特に、第２の連結層３７の端面３７ａと媒体対向面２との間には、第２の連結層３７を構成する磁性材料に比べて、線熱膨張係数が小さく、且つビッカース硬度が大きい無機絶縁材料によって形成された絶縁層５５が存在している。この絶縁層５５は、第２の連結層３７よりも広い領域に存在している。そのため、絶縁層５５は、コイルの第１の部分１０（第２層１２）が発生する熱による第２の連結層３７の位置の変化を抑制する機能を有する。よって、本実施の形態によれば、第２の連結層３７とコイルの第１の部分１０（第２層１２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを、より効果的に防止することができる。
【０１１４】
上述の第２の連結層３７とコイルの第１の部分１０（第２層１２）についての説明は、第２の帰磁路部４０を構成する第２の連結層４７とコイルの第２の部分２０（第２層２２）についても当てはまる。すなわち、本実施の形態では、第２の連結層４７は、媒体対向面２に向くと共に媒体対向面２から離れた位置に配置された端面４７ａを有している。これにより、本実施の形態によれば、第２の連結層４７とコイルの第２の部分２０（第２層２２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止することが可能になる。本実施の形態では、特に、第２の連結層４７の端面４７ａと媒体対向面２との間には、第２の連結層４７を構成する磁性材料に比べて、線熱膨張係数が小さく、且つビッカース硬度が大きい無機絶縁材料によって形成された絶縁層６８が存在している。この絶縁層６８は、第２の連結層４７よりも広い領域に存在している。そのため、絶縁層６８は、コイルの第２の部分２０（第２層２２）が発生する熱による第２の連結層４７の位置の変化を抑制する機能を有する。よって、本実施の形態によれば、第２の連結層４７とコイルの第２の部分２０（第２層２２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを、より効果的に防止することができる。
【０１１５】
なお、本実施の形態では、上述のように、第２の連結層３７とコイルの第１の部分１０（第２層１２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止することが可能になることから、第２の連結層３７の端面３７ａの面積を小さくするために、例えば、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第２の連結層３７の長さを小さくする必要がない。本実施の形態では、前記主断面において、第２の連結層３７は、媒体対向面２に垂直な方向について第１の連結層３６よりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１の連結層３６よりも大きな長さを有している。
【０１１６】
同様に、本実施の形態では、上述のように、第２の連結層４７とコイルの第２の部分２０（第２層２２）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止することが可能になることから、第２の連結層４７の端面４７ａの面積を小さくするために、例えば、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第２の連結層４７の長さを小さくする必要がない。本実施の形態では、前記主断面において、第２の連結層４７は、媒体対向面２に垂直な方向について第１の連結層４６よりも小さな長さを有し、基板１の上面１ａに垂直な方向について第１の連結層４６よりも大きな長さを有している。
【０１１７】
ところで、記録密度を高めるために記録信号の周波数が高くなってくると、磁気ヘッドには、主磁極１５の端面より発生される磁束の方向の変化の速度の向上が求められる。この要求に応えるためには、記録シールド１６と主磁極１５とを経由する磁路の長さ、すなわち、第２のシールド１６Ｂ、第１の帰磁路部３０および主磁極１５を経由する磁路の長さと、第１のシールド１６Ａ、第２の帰磁路部４０および主磁極１５を経由する磁路の長さを短くすることが有効である。本実施の形態では、以下で説明する理由により、第１の帰磁路部３０の磁路の長さと第２の帰磁路部４０の磁路の長さを短くすることが可能になる。
【０１１８】
第１の連結層３６は、媒体対向面２に配置された端面３６ａを有している。第１の連結層３６とコイルの第１の部分１０（第１層１１）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止するためには、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層３６の長さを小さくして、媒体対向面２に配置された第１の連結層３６の端面３６ａの面積を小さくすることが有効である。本実施の形態によれば、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層３６の長さを小さくして、第１の連結層３６の端面３６ａの面積を小さくしながら、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂと主磁極１５との間の狭い空間にも第１のコイル要素１１Ａを配置することが可能になる。すなわち、本実施の形態では、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂと主磁極１５との間に、第１のコイル要素１１Ａを１つだけ配置している。これにより、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層３６の長さが小さく、この方向についての第１のコイル要素１１Ａの長さが小さくても、媒体対向面２に垂直な方向についての第１のコイル要素１１Ａの長さを大きくして、第１のコイル要素１１Ａの抵抗値を小さくすることが可能になる。そのため、本実施の形態によれば、上述のように狭い空間であっても第１のコイル要素１１Ａを配置することが可能になる。
【０１１９】
このように、本実施の形態によれば、主磁極１５、ギャップ部１７（第１のギャップ層１８）、記録シールド１６、第１の連結層３６、第２の連結層３７およびヨーク部３１によって囲まれた第１の空間Ｓ１を効率よく利用してコイルの第１の部分１０を配置することができ、その結果、第１の帰磁路部３０の磁路の長さを短くすることが可能になる。
【０１２０】
上述の第１の帰磁路部３０についての説明は、第２の帰磁路部４０にも当てはまる。すなわち、第１の連結層４６は、媒体対向面２に配置された端面４６ａを有している。第１の連結層４６とコイルの第２の部分２０（第１層２１）に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止するためには、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層４６の長さを小さくして、媒体対向面２に配置された第１の連結層４６の端面４６ａの面積を小さくすることが有効である。本実施の形態によれば、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層４６の長さを小さくして、第１の連結層４６の端面４６ａの面積を小さくしながら、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂと主磁極１５との間の狭い空間にも第１のコイル要素２１Ａを配置することが可能になる。すなわち、本実施の形態では、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂと主磁極１５との間に、第１のコイル要素２１Ａを１つだけ配置している。これにより、基板１の上面１ａに垂直な方向についての第１の連結層４６の長さが小さく、この方向についての第１のコイル要素２１Ａの長さが小さくても、媒体対向面２に垂直な方向についての第１のコイル要素２１Ａの長さを大きくして、第１のコイル要素２１Ａの抵抗値を小さくすることが可能になる。そのため、本実施の形態によれば、上述のように狭い空間であっても第１のコイル要素２１Ａを配置することが可能になる。
【０１２１】
このように、本実施の形態によれば、主磁極１５、ギャップ部１７（第２のギャップ層１９）、記録シールド１６、第１の連結層４６、第２の連結層４７およびヨーク部４１によって囲まれた第２の空間Ｓ２を効率よく利用してコイルの第２の部分２０を配置することができ、その結果、第２の帰磁路部４０の磁路の長さを短くすることが可能になる。
【０１２２】
以上のことから、本実施の形態によれば、第１の帰磁路部３０を構成する第１および第２の連結層３６，３７とコイルの第１の部分１０、ならびに第２の帰磁路部４０を構成する第１および第２の連結層４６，４７とコイルの第２の部分２０に起因して媒体対向面２の一部の好ましくない突出が発生することを防止し、且つ第１の帰磁路部３０の磁路の長さと、第２の帰磁路部４０の磁路の長さを短くすることが可能になる。
【０１２３】
また、本実施の形態では、前述のように、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂは、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。これにより、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂが基板１の上面１ａに垂直な方向に並ぶ場合に比べて、２つの第２のコイル要素１２Ａ，１２Ｂを含む第２層１２のパターンを容易に形成することが可能になる。
【０１２４】
同様に、本実施の形態では、前述のように、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂは、媒体対向面２に垂直な方向に並んでいる。これにより、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂが基板１の上面１ａに垂直な方向に並ぶ場合に比べて、２つの第２のコイル要素２２Ａ，２２Ｂを含む第２層２２のパターンを容易に形成することが可能になる。
【０１２５】
以下、本実施の形態におけるその他の効果について説明する。本実施の形態では、主磁極１５の下端部１５Ｌは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第１の部分１５Ｌ１、第２の部分１５Ｌ２および第３の部分１５Ｌ３を含んでいる。主磁極１５の上面１５Ｔは、媒体対向面２に近い順に、連続するように配置された第４の部分１５Ｔ１、第５の部分１５Ｔ２および第６の部分１５Ｔ３を含んでいる。第１および第２の部分１５Ｌ１，１５Ｌ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って小さくなっている。第４および第５の部分１５Ｔ１，１５Ｔ２における任意の位置の基板１の上面１ａからの距離は、任意の位置が媒体対向面２から離れるに従って大きくなっている。これにより、本実施の形態によれば、媒体対向面２における主磁極１５の厚みを小さくすることができることから、スキューに起因した隣接トラック消去の発生を抑制することができる。しかも、本実施の形態によれば、媒体対向面２から離れた位置では主磁極１５の厚みを大きくすることができることから、主磁極１５によって多くの磁束を媒体対向面２まで導くことができ、その結果、オーバーライト特性等の記録特性を向上させることができる。
【０１２６】
本実施の形態における主磁極１５では、第１および第４の部分１５Ｌ１，１５Ｔ１の傾斜角度を小さくすることによって、媒体対向面２の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制することができる。しかも、この主磁極１５では、第２および第５の部分１５Ｌ２，１５Ｔ２の傾斜角度を大きくすることによって、媒体対向面２における主磁極１５の厚みを小さくしながら、第３の部分１５Ｌ３と第６の部分１５Ｔ３との距離を大きくすることができ、その結果、スキューに起因した問題の発生を防止でき、且つ記録特性を向上させることができる。このように、本実施の形態によれば、媒体対向面２の位置の変動に伴う記録特性の変動を抑制しながら、スキューに起因した問題の発生を防止し、且つ記録特性を向上させることが可能になる。
【０１２７】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、請求の範囲の要件を満たす限り、第２のコイル要素の数は、実施の形態に示した例に限らず、任意である。
【０１２８】
また、磁気ヘッドは、第１および第２の帰磁路部３０，４０のうち、いずれか一方のみを備えていてもよい。あるいは、磁気ヘッドは、第１および第２の帰磁路部３０，４０を備え、第１および第２の帰磁路部３０，４０のうち、いずれか一方のみが、ヨーク部、第１の連結層および第２の連結層を有していてもよい。
【符号の説明】
【０１２９】
２…媒体対向面、１０…コイルの第１の部分、１１Ａ…第１のコイル要素、１２Ａ，１２Ｂ…第２のコイル要素、１５…主磁極、１６…記録シールド、１７…ギャップ部、２０…コイルの第２の部分、２１Ａ…第１のコイル要素、２２Ａ，２２Ｂ…第２のコイル要素、３０…第１の帰磁路部、３１…ヨーク部、３６…第１の連結層、３７…第２の連結層、４０…第２の帰磁路部、４１…ヨーク部、４６…第１の連結層、４７…第２の連結層、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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