(57)【要約】【課題】製造が容易であり良好な電気的特性を安定して得られるコンタクトプローブ等を提供する。【解決手段】コンタクタが設けられた第１部材１１０と、第１部材の一部が挿入された第２部材１２０と、第１部材を第２部材から繰出される方向に付勢する付勢手段１３０と、第１部材と第２部材との間で導通を確保する導電部材１４０とを備えるコンタクトプローブ１００を、導電部材は第２部材に固定された固定端、及び、第１部材に導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部１４２と、複数の電極部の固定端の間を連結して第１部材の周方向にほぼ沿って延在し、電極部と一体に形成された環状部１４１とを有する構成とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸状に形成され一方の端部に測定対象物と当接するコンタクタが設けられた第１部材と、
筒状に形成され前記第１部材の一部が挿入されかつ前記第１部材に対して相対移動可能とされた第２部材と、
前記第１部材を前記コンタクタ側が前記第２部材から繰出される方向に付勢する付勢手段と、
前記第１部材と前記第２部材との間で導通を確保する導電部材と
を備えるコンタクトプローブであって、
前記導電部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材との一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在し、前記電極部と一体に形成された環状部とを有すること
を特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
筒状に形成され一方の端部に測定対象物と当接するコンタクタが設けられた第１部材と、
軸状に形成され一部が前記第１部材に対して挿入されかつ前記第１部材に対して相対移動可能とされた第２部材と、
前記第１部材を前記コンタクタ側が前記第２部材から繰出される方向に付勢する付勢手段と、
前記第１部材と前記第２部材との間で導通を確保する導電部材と
を備えるコンタクトプローブであって、
前記導電部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材との一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在し、前記電極部と一体に形成された環状部とを有すること
を特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記導電部材における複数の前記電極部及び前記環状部は、筒状の部材の一方の端部から軸方向にほぼ沿って伸びたスリットを周方向に分散した複数箇所に設けることによって一体に形成されること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記導電部材は、ＨＲＣ硬度３０以上、ビッカース硬度３００以上の少なくとも一方を充足する材料によって形成されること
を特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記導電部材の前記電極部の厚さを１００μｍ以下としたこと
を特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記導電部材は、ニッケル又はニッケル系合金を電気鋳造して形成されること
を特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
前記導電部材は、ＳＫ鋼又はベリリウム銅合金によって形成されること
を特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項８】
前記導電部材は、絞り加工、プレス加工、切削加工のいずれか１つによって前記電極部及び前記環状部を含む母材が形成された後にエッチングによって肉厚を低減されること
を特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項又は請求項７に記載のコンタクトプローブ。
【請求項９】
前記導電部材の環状部は、前記第１部材と前記第２部材の一方に、溶接、ロウ付け、圧接、挟み込みの少なくとも一つにより固定されること
を特徴とする請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項１０】
軸状に形成された第１部材と、筒状に形成され前記第１部材の一部が相対移動可能に挿入される第２部材との間で導通を確保するコンタクトプローブ用導電部材であって、
前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材の一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、
複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在する環状部と
を備えること
を特徴とするコンタクトプローブ用導電部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の検査等に用いられるコンタクトプローブ及びコンタクトプローブ用導電部材に関し、特には製造が容易であり良好な電気的特性を安定して得られるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンタクトプローブは、例えばプリント基板や半導体部品等の電子・電機機器の検査工程において用いられる導電接触ピンである。
このようなコンタクトプローブは、一例として、先端に測定対象物と当接するコンタクタが設けられた軸状の接触部材と、接触部材を軸方向に摺動可能に保持するバレル等の保持部材とを備えている。保持部材と接触部材との間には、接触部材を測定対象物に加圧接触させるスプリング等の付勢手段が設けられる。
【０００３】
上述したようなコンタクトプローブにおいては、接触部材と保持部材との間を電気的に導通可能とし、電気的信号を取り出すため、接触部材及び保持部材の一方に固定され、他方と摺動する導電部材が設けられる。
このような導電部材には、摺動部における電気抵抗が十分に低くかつ安定していることが要求される。
【０００４】
このようなコンタクトプローブ用導電部材に関する従来技術として、例えば、特許文献１には、先端部にコンタクタが設けられたプランジャを保持するハウジングの内周面に、摺動接触端子を嵌め込むことが記載されている。この摺動接触端子は、両端部に設けられる１対の円環部の間を、周方向に分散して配置され中央部が内径側に弧状に張り出した複数の摺動部で連結し、いわゆる鼓状に形成したものである。
【０００５】
また、特許文献２には、大電流用のコンタクトプローブにおいて、Ｕ字状に屈曲して形成され保持部材に固定された複数の接触線材の一方の端部を、接触部材の外周面に当接させて導通を確保することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平  ７−  ２７７８８号公報
【特許文献２】特開２００５−３３１５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１に記載されたように、摺動部の両端が環状部に固定されたもの（電極が両持ち支持されたもの）の場合には、摺動部を摺動対象物に押圧するバネ定数が高くなりすぎて、摺動不良が発生する場合があった。また、このような構成の場合、製造時に発生し得る寸法のばらつきへのバネ定数の依存性が大きく、所望のバネ特性を得るためには極めて厳格な精度管理が必要となる。
また、特許文献２に記載された技術では、上述した特許文献１の問題点はある程度解消することが可能であるが、複数の接触線材を用いるため部品点数が多く、製造工程が煩雑となる。また、線材を用いた場合、各線材と摺動対象物との接触面積が小さいため、電気的特性や摩耗に懸念が生じる。さらに、線材をＵ字状に曲げて構成しているため、曲げＲを確保するために導電部材が径方向に占めるスペースが大きくなってしまう。
本発明の課題は、製造が容易であり良好な電気的特性を安定して得られるコンタクトプローブ及びコンタクトプローブ用導電部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下のような解決手段により、上述した課題を解決する。
請求項１の発明（第１発明）は、軸状に形成され一方の端部に測定対象物と当接するコンタクタが設けられた第１部材と、筒状に形成され前記第１部材の一部が挿入されかつ前記第１部材に対して相対移動可能とされた第２部材と、前記第１部材を前記コンタクタ側が前記第２部材から繰出される方向に付勢する付勢手段と、前記第１部材と前記第２部材との間で導通を確保する導電部材とを備えるコンタクトプローブであって、前記導電部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材との一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在し、前記電極部と一体に形成された環状部とを有することを特徴とするコンタクトプローブである。
【０００９】
請求項２の発明（第２発明）は、筒状に形成され一方の端部に測定対象物と当接するコンタクタが設けられた第１部材と、軸状に形成され一部が前記第１部材に対して挿入されかつ前記第１部材に対して相対移動可能とされた第２部材と、前記第１部材を前記コンタクタ側が前記第２部材から繰出される方向に付勢する付勢手段と、前記第１部材と前記第２部材との間で導通を確保する導電部材とを備えるコンタクトプローブであって、前記導電部材は、前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材との一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在し、前記電極部と一体に形成された環状部とを有することを特徴とするコンタクトプローブである。
【００１０】
上述した請求項１、２の発明によれば、片持ち支持される複数のプレート状の電極部を環状部で連結することによって、複数の電極部を含む導電部材を一体に形成することができ、部品点数が低減し、製造工程が簡素化されるとともに、コストも低下させることができる。
また、片持ち支持されるプレート状の電極部が導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって摺動対象物に押圧されることによって、例えば電極部の両端が支持された従来技術に対して、バネ定数を低くすることが容易となり摺動不良を防止でき、またバネ定数及び電気的特性の寸法依存性を低くして、安定した性能を発揮させることができる。
さらに、電極部がプレート状に形成されることから、例えば線材状のものに対して接触面積を増加させることが容易であり、電気的特性を改善するとともに摩耗を低減することができる。
【００１１】
請求項３の発明は、前記導電部材における複数の前記電極部及び前記環状部は、筒状の部材の一方の端部から軸方向にほぼ沿って伸びたスリットを周方向に分散した複数箇所に設けることによって一体に形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、導電部材全体をほぼ円筒状に形成することによって、導電部材が径方向に占めるスペースを小さくすることができ、コンタクトプローブの外径が肥大化することを防止できる。
【００１２】
請求項４の発明は、前記導電部材は、ＨＲＣ硬度３０以上、ビッカース硬度３００以上の少なくとも一方を充足する材料によって形成されることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、導電部材の耐摩耗性などの耐久性を確保し、コンタクトプローブの耐久性、信頼性を向上することができる。
【００１３】
請求項５の発明は、前記導電部材の前記電極部の厚さを１００μｍ以下としたことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、電極部の剛性を最適化し、良好な電気的特性及び摺動性を確保することができる。
【００１４】
請求項６の発明は、前記導電部材は、ニッケル又はニッケル系合金を電気鋳造して形成されることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、サイズが小さく薄肉の導電部材であっても精度良く製作することができ、コンパクトで高性能なコンタクトプローブを提供することができる。
【００１５】
請求項７の発明は、前記導電部材は、ＳＫ鋼又はベリリウム銅合金によって形成されることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、比較的サイズが大きい導電部材において、良好な特性を得ることができる。
【００１６】
請求項８の発明は、前記導電部材は、絞り加工、プレス加工、切削加工のいずれか１つによって前記電極部及び前記環状部を含む母材が形成された後にエッチングによって肉厚を低減されることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項又は請求項７に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、加工性を損なわない程度の肉厚を有する状態で母材を形成し、その後エッチングによって肉厚を低減することによって、加工性を損なうことなく所望の肉厚の導電部材を製作することができる。
【００１７】
請求項９の発明は、前記導電部材の環状部は、前記第１部材と前記第２部材の一方に、溶接、ロウ付け、圧接、挟み込みの少なくとも一つにより固定されることを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のコンタクトプローブである。
これによれば、コンタクトプローブの使用に伴う導電部材のずれ等を防止し、コンタクトプローブの耐久性、信頼性を確保することができる。
【００１８】
請求項１０の発明は、軸状に形成された第１部材と、筒状に形成され前記第１部材の一部が相対移動可能に挿入される第２部材との間で導通を確保するコンタクトプローブ用導電部材であって、前記第１部材と前記第２部材との相対移動方向にほぼ沿って延在するとともに、前記第１部材と前記第２部材の一方に固定された固定端、及び、前記第１部材と前記第２部材との他方に前記導電部材自体の弾性により得られる付勢力によって押圧され摺動する摺動端を両端部に有し、前記第１部材の周方向に分散して複数配置された片持ち支持のプレート状の電極部と、複数の前記電極部の前記固定端の間を連結して前記第１部材の周方向にほぼ沿って延在する環状部とを備えることを特徴とするコンタクトプローブ用導電部材である。
これによれば、上述したコンタクトプローブに関する発明の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、製造が容易であり良好な電気的特性を安定して得られるコンタクトプローブ及びコンタクトプローブ用導電部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用したコンタクトプローブの第１実施形態の断面図である。図１（ａ）は全体を示し、図１（ｂ）は図１（ａ）のｂ部拡大図である（図６、図９、図１０、図１３において同様）。
【図２】第１実施形態のコンタクトプローブにおける導電部材を示す図である。図２（ａ）は図２（ｂ）のａ−ａ部矢視図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のｂ−ｂ部矢視図である（図７、図１２において同様）。
【図３】第１実施形態において、バレルに導電部材を組み込んだ状態を示す図である。
【図４】第１実施形態及び本発明の比較例の導電部材におけるゲージ外径と電気抵抗値の相関を示すグラフである。
【図５】第１実施形態及び本発明の比較例の導電部材におけるゲージ外径と挿入抵抗との相関を示すグラフである。
【図６】本発明を適用したコンタクトプローブの第２実施形態の断面図である。
【図７】第２実施形態のコンタクトプローブにおける導電部材を示す図である。
【図８】本発明を適用したコンタクトプローブの第３実施形態の断面図である。
【図９】本発明を適用したコンタクトプローブの第４実施形態の断面図である。
【図１０】本発明を適用したコンタクトプローブの第５実施形態の断面図である。
【図１１】本発明を適用したコンタクトプローブの第６実施形態の断面図である。
【図１２】第６実施形態のコンタクトプローブにおける導電部材を示す図である。
【図１３】本発明を適用したコンタクトプローブの第７実施形態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を適用したコンタクトプローブの第１乃至第６実施形態について、図面等を参照して説明する。
なお、各実施形態のコンタクトプローブは、それぞれ本発明を適用したコンタクトプローブの実施形態を備えている。
【００２２】
＜第１実施形態＞
以下、本発明を適用したコンタクトプローブの第１実施形態について説明する。
図１に示すように、第１実施形態のコンタクトプローブ１００は、プローブ本体１１０、バレル１２０、スプリング１３０、導電部材１４０等を備えて構成されている。
第１実施形態において、プローブ本体１１０及びバレル１２０は、本発明（第１発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００２３】
プローブ本体１１０は、例えばステンレス合金や真鍮などの導電性金属を切削加工することによって、軸状に形成されている。
プローブ本体１１０は、スライド軸部１１１、コンタクタ１１２、ストッパリング１１３、接続端子１１４等を備えている。
【００２４】
スライド軸部１１１は、バレル１２０の内径側に挿入され、バレル１２０によって軸方向に相対変位可能に支持される部分である。スライド軸部１１１は、円柱状に形成され、その外径は長さ方向にわたって均一に形成されている。
【００２５】
コンタクタ１１２は、スライド軸部１１１の一方の端部に形成されている。コンタクタ１１２は、スライド軸部１１１よりも外径が大きい円柱状に形成されている。コンタクタ１１２の端面には、測定対象の被導電接触体と当接する接触面１１２ａが形成されている。
第１実施形態においては、接触面１１２ａは、例えばプローブ本体１１０の中心軸と直交する平面状に形成されているが、これに限らず凹状、凸状など仕様に応じて任意に選択可能である。
【００２６】
ストッパリング１１３は、スライド軸部１１１のコンタクタ１１２とは反対側の端部に設けられている。ストッパリング１１３は、プローブ本体１１０がバレル１２０から繰り出される方向のストロークを規制して脱落を防止するものである。ストッパリング１１３は、スライド軸部１１１に対して外径側につば状に張り出して形成されている。
【００２７】
接続端子１１４は、プローブ本体１１０に直接結線される場合に、図示しない検査装置から引き出された図示しないリード線等が接続される部分である。
接続端子１１４は、ストッパリング１１３に対してスライド軸部１１１とは反対側に突き出して形成されている。
接続端子１１４の突端部は、半球状の凸面に形成されている。
【００２８】
バレル１２０は、プローブ本体１１０を軸線方向に沿って相対移動可能に支持する部材である。
バレル１２０は、例えばステンレス合金などの導電性金属を、切削加工等によって円筒状に形成したものである。プローブ本体１１０は、スライド軸部１１１がバレル１２０の内径側に挿入されることによって支持される。バレル１２０の内周面には、例えばフッ素加工などの低摩擦処理を施してもよい。
【００２９】
バレル１２０の内周面には、導電部材１４０が収容される導電部材収容部１２１が形成されている。
導電部材収容部１２１は、バレル１２０におけるコンタクタ１１２側の一部の領域の内径を、他の部分に対して段状に大きくすることによって形成されている。
導電部材収容部１２１の内径は、中間に設けられた段部１２１ａよりもストッパリング１１３側においては、コンタクタ１１２側に対して小さく形成されている。
このような段部１２１ａは、後述する導電部材１４０の電極部１４２がスライド軸部１１１に当接するよう先窄みのテーパ状とするために設けられるものである。
【００３０】
また、バレル１２０のコンタクタ１１２側の端部には、外周面から外径側につば状に張り出したフランジ部１２２が形成されている。
【００３１】
スプリング１３０は、プローブ本体１１０をバレル１２０に対してコンタクタ１１２側が繰出される方向に付勢する圧縮コイルスプリングである。
スプリング１３０は、プローブ本体１１０と同軸に配置され、プローブ本体１１０のスライド軸部１１１はスプリング１３０の内径側に挿入されている。
スプリング１３０の一方の端部は、バレル１２０のフランジ部１２２に当接している。また、スプリング１３０の他方の端部は、プローブ本体１１０のコンタクタ１１２におけるフランジ部１２２と対向する面部に当接している。
なお、コンタクトプローブ１００の無負荷状態（接触面１１２ａが押されていない状態）において、ストッパリング１１３は、バレル１２０のフランジ部１２２とは反対側の端面と加圧接触している。
【００３２】
導電部材１４０は、バレル１２０に固定される環状部１４１及びプローブ本体１１０のスライド軸部１１１と摺動する電極部１４２を一体に形成し、プローブ本体１１０とバレル１２０との間を電気的に導通させるものである。
【００３３】
図２に示すように、導電部材１４０は、全体の形状がほぼ円筒状に形成されている。
環状部１４１は、導電部材１４０の軸線方向における一方の端部に設けられ、周方向にわたって連続して形成された環状の部分である。
環状部１４１は、図３に示すように、バレル１２０の導電部材収容部１２１内に挿入され、導電部材収容部１２１の内周面と例えば溶接、ロウ付け、圧接、挟み込み等の固定手法によって、バレル１２０と導通した状態で固定される。
また、図３に示すように、環状部１４１のコンタクタ１１２側の端面は、バレル１２０のフランジ部１２２の端面とほぼ同一平面上となるように配置されている。
【００３４】
電極部１４２は、環状部１４１の一方の端部から、導電部材１４０の軸方向にほぼ沿って突き出して形成されているプレート状の部分である。すなわち、電極部１４２は、環状部１４１によって片持ち支持されている。電極部１４２は、環状部１４１から延長されて一体に形成されることによって、導電部材１４０の軸方向から見た形状が、導電部材１４０の中心軸と同心の円弧状となっている。
電極部１４２は、環状部１４１と一体に形成され固定された固定端、及び、固定端の反対側（突端側）に設けられた摺動端を備えている。摺動端は、固定端に対して電極部１４２が撓むことによって揺動可能とされスライド軸部１１１に当接し摺動する。
図２等に示すように、電極部１４２は、導電部材１４０の周方向に等間隔に分散して、例えば４本設けられている。
隣接する電極部１４２の間隔には、導電部材１４０の軸方向にほぼ沿って直線状に伸びたスリットＳが設けられている。
【００３５】
第１実施形態において、導電部材１４０は、一例として、全長Ｌ１が０．７ｍｍ、外径φ１が０．３８ｍｍ、厚さＴ１が０．０２ｍｍ、スリットＳの幅Ｗ１が０．１ｍｍ、深さＤ１が０．４ｍｍに設定されている。
この例において、導電部材１４０の厚さＴ１は０．０２ｍｍ（２０μｍ）であるが、この厚さＴ１は、少なくとも３００μｍ以下であり、特に２００μｍ以下であることが好ましい。特に、微弱な電気信号を取り出す場合には、１００μｍ以下であることが好ましく、８０μｍ以下であることがより好ましく、６０μｍ以下とりわけ５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
このような厚さＴ１は、摺動部において過大な摺動抵抗が生じたり、接触面圧が低下して導通が不安定になるなど摺動特性や電気特性に問題が生じないように設定される。
【００３６】
導電部材１４０は、例えば、ＨＲＣ硬度３０以上、ビッカース硬度３００以上の少なくとも一方を充足するニッケル又はニッケル系合金を用いて、電気鋳造法によって形成される。
この手法においては、先ず導電部材１４０の内径とほぼ同じ外径を有する円柱状の芯金を作成し、その外周面部に電気鋳造法によって薄膜を形成する。その後、芯金を取り除くことによって、所望の肉厚の円筒状のワークが得られる。
そして、例えばワイヤー放電加工等によって、スリットＳとなる部分を除去することによって、導電部材１４０は形成される。
【００３７】
また、導電部材１４０の他の製法として、例えばＳＫ鋼やベリリウム銅合金等の金属板を例えばプレス加工、絞り加工、しごき加工等の機械加工によって導電部材と略同じ形状となるように粗加工し、その後エッチング溶液につけることによって、所望の厚さまでエッチングして導電部材を製作するようにしてもよい。
【００３８】
導電部材１４０をバレル１２０に組み込む際に、導電部材１４０がバレル１２０内の所定の位置まで挿入され固定されると、電極部１４２は、その外表面が導電部材収容部１２１内の段部１２１ａと当接することによって、先端部が内径側に窄むようにくせ付けがなされる。
この状態で導電部材１４０の内径側にプローブ本体１１０が挿入されることによって、電極部１４２の先端部は、導電部材１４０自体の弾性力によって、スライド軸部１１１の外周面に加圧接触する。
また、電極部１４２の先端部は、プローブ本体１１０がバレル１２０に対して相対変位（ストローク）する際に、スライド軸部１１１の外周面と摺動しながら導通を維持する。
なお、導電部材１４０の電極部１４２のくせ付けは、上述したような段部１２１ａを用いたものに限らず、導電部材１４０が部品単体の状態で電極部１４２を摺動対象物側へ曲げることによって行っても良い。
【００３９】
以下、第１実施形態による効果を、本発明の比較例と対比して説明する。比較例のコンタクトプローブは、第１実施形態の導電部材１４０に代えて、上述した特許文献１と同様の鼓状の導電部材を備えている。この比較例の導電部材においては、電極部の両端に環状部が設けられ、電極部は中央部が内径側に張出すように湾曲して形成される。
【００４０】
図４は、第１実施形態と比較例の導電部材における、内径側に挿入されるシャフト状のゲージの径と電気抵抗値との相関を示すグラフである。図４において、横軸はゲージの外径を示し、縦軸は電気抵抗値を示している。
図４に示すように、比較例の導電部材においては、ゲージ径が２．４−２．５ｍｍにおいては抵抗値が十分に低く良好な特性を示すが、ゲージ径が２．３ｍｍでは抵抗値が急増し、２．２ｍｍ以下では導通不良となって測定不可能となった。
これに対し、第１実施形態の導電部材１４０においては、ゲージ径が２．３−２．５ｍｍでは抵抗値がほとんど変化せず、２．２ｍｍ以下では抵抗値こそやや増加するものの、２．０ｍｍまで安定した抵抗値を示した。
【００４１】
図５は、第１実施形態と比較例の導電部材における、内径側に挿入されるシャフト状のゲージの径と挿入荷重との相関を示すグラフである。図５において、横軸はゲージの外径を示し、縦軸は挿入荷重を示しているを示している。
図５に示すように、比較例の導電部材においてはゲージ径２．３−２．５ｍｍの範囲にわたって第１実施形態よりも挿入荷重が大きく、フリクションが大きいことがわかる。また、比較例においては、ゲージ径の拡大に伴う挿入荷重の増加率が大きい。さらに、使用に伴う変形による挿入荷重の低下が顕著であって、耐久性、信頼性に懸念が生ずる。
これに対し、第１実施形態の導電部材１４０においては、実用可能な全範囲にわたって比較例よりも挿入荷重が小さく、さらにゲージ径の拡大に対する挿入荷重の増加率も小さく、コンタクトプローブのストローク時におけるフリクションを小さくできることがわかる。
【００４２】
以上のことから、第１実施形態の導電部材においては、比較例に対して電気的特性や摺動抵抗の寸法に対する依存性が小さく、仮に比較例と同等の電気的特性、摺動特性でよいとすれば各部品の寸法許容公差を大きく設定して歩留まりを改善することができる。また、比較例と同等の寸法許容公差で製造する場合には、比較例に対して良好な電気的特性及び摺動特性が得られることがわかる。
【００４３】
以上説明した第１実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）片持ち支持される複数のプレート状の電極部１４２を環状部１４１で連結することによって、複数の電極部１４２を含む導電部材１４０を一体に形成することができ、部品点数が低減し、製造工程が簡素化されるとともに、コストも低下させることができる。
また、片持ち支持されるプレート状の電極部１４２が導電部材１４０自体の弾性により得られる付勢力によってスライド軸部１１１に押圧されることによって、例えば電極部の両端が支持された従来技術に対して、バネ定数を低くすることが容易となり摺動不良を防止でき、またバネ定数及び電気的特性の寸法依存性を低くして、安定した性能を発揮させることができる。
さらに、電極部１４２がプレート状に形成されることから、例えば線材状のものに対して接触面積を増加させることが容易であり、電気的特性を改善するとともに摩耗を低減することができる。
（２）導電部材１４０全体をほぼ円筒状に形成することによって、導電部材１４０が径方向に占めるスペースを小さくすることができ、コンタクトプローブ１００の外径が肥大化することを防止できる。
（３）ＨＲＣ硬度３０以上、ビッカース硬度３００以上の少なくとも一方を充足する材料で導電部材１４０を形成することによって、導電部材１４０の耐摩耗性などの耐久性を確保し、コンタクトプローブ１００の耐久性、信頼性を向上することができる。
（４）電極部１４２の厚さを２０μｍとしたことによって、電極部１４２の剛性を最適化し、良好な電気的特性及び摺動性を確保することができる。
（５）導電部材１４０を、ニッケル又はニッケル系合金を電気鋳造して形成したことによって、サイズが小さく薄肉の導電部材１４０であっても精度良く製作することができ、コンパクトで高性能なコンタクトプローブ１００を提供することができる。
（６）導電部材１４０の環状部１４１は、バレル１２０の導電部材収容部１２１に溶接、ロウ付け、圧接、挟み込みの少なくとも一つにより固定されることによって、コンタクトプローブ１００の使用に伴う導電部材１４０のずれ等を防止し、コンタクトプローブ１００の耐久性、信頼性を確保することができる。
【００４４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第２実施形態について説明する。
なお、以下説明する各実施形態において、従前の実施形態の構成要素と実質的に共通するものについては下２桁が同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
図６に示す第２実施形態のコンタクトプローブ２００は、スプリング２３０をバレル２２０の内部に収容したものである。
コンタクトプローブ２００は、例えば、全長が９．５ｍｍ、直径０．５ｍｍの針状に形成されている。
コンタクトプローブ２００は、プローブ本体２１０、バレル２２０、スプリング２３０、導電部材２４０等を備えている。
第２実施形態において、プローブ本体２１０及びバレル２２０は、本発明（第１発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００４５】
プローブ本体２１０は、スライド軸部２１１、コンタクタ２１２、小径部２１５、テーパ部２１６を備えて構成されている。
スライド軸部２１１は、バレル２２０の内径側に挿入され、バレル２２０によって軸方向に相対変位可能に支持される部分である。
コンタクタ２１２は、スライド軸部２１１の一方の端部に形成されている。コンタクタ２１２は、スライド軸部２１１よりも外径が大きい円柱状に形成されている。
小径部２１５は、スライド軸部２１１の中間部分に設けられ、スライド軸部２１１の他の部分よりも段状に凹まされて小径に形成されている。この小径部２１５は、後述するバレル２２０の小径部と協働して、プローブ本体２１０のストロークを規制するものである。
テーパ部２１６は、プローブ本体２１０のコンタクタ２１２とは反対側の端部に設けられ、コーン状に突出して形成されている。
【００４６】
バレル２２０は、プローブ本体２１０が挿入されるとともに、そのスライド軸部２１１を軸方向に相対変位可能に支持するものである。
バレル２２０には、第１実施形態の導電部材収容部１２１と実質的に同様の導電部材収容部２２１が形成されている。
バレル２２０のプローブ本体２１０が挿入される側とは反対側の端部２２３は、例えば絞り加工等によって内径側に丸められ、中心部に開口が設けられたほぼ半球状に形成されている。
【００４７】
バレル２２０の中間部には、部分的に内径及び外径を小さく絞り込まれた小径部２２４が形成されている。
小径部２２４は、プローブ本体２１０の小径部２１５と協働してプローブ本体２１０のストロークを規制するものである。
図６に示すように、無負荷状態において、プローブ本体２１０の小径部２１５のコンタクタ２１２から離れた側の端部は、バレル２２０の小径部２２４と当接した状態となっている。
【００４８】
スプリング２３０は、バレル２２０の内径側に、バレル２２０とほぼ同心となるように挿入された圧縮コイルスプリングである。
スプリング２３０の一方の端部は、バレル２２０の端部２２３に当接し、他方の端部は、プローブ本体２１０のテーパ部２１６に当接している。
【００４９】
導電部材２４０は、バレル２２０の導電部材収容部２２１に固定されるとともに、プローブ本体２１０のスライド軸部２１１と摺動し導通を確保するものである。
導電部材２４０は、第１実施形態の導電部材１４０と実質的に同様の環状部２４１及び電極部２４２を備えている。
【００５０】
第２実施形態の導電部材２４０においては、例えば、全長Ｌ２が１．５ｍｍ、外径φ２が０．４５ｍｍ、厚さＴ２が０．０２ｍｍ、スリットＳの幅Ｗ２が０．１ｍｍ、深さＤ２が１．０ｍｍに設定されている。
【００５１】
以上説明した第２実施形態によれば、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００５２】
＜第３実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第３実施形態について説明する。
図８に示す第３実施形態のコンタクトプローブ３００は、プローブ本体３１０、バレル３２０、スプリング３３０、導電部材３４０等を備えて構成されている。
第３実施形態において、プローブ本体３１０及びバレル３２０は、本発明（第１発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００５３】
プローブ本体３１０は、スライド軸部３１１、コンタクタ３１２、ストッパ部３１３、テーパ部３１６を備えて構成されている。
スライド軸部３１１は、バレル３２０の内径側に挿入され、バレル３２０によって軸方向に相対変位可能に支持される部分である。
コンタクタ３１２は、スライド軸部３１１の一方の先端部を半球状に形成した部分である。
ストッパ部３１３は、スライド軸部３１１のコンタクタ３１２とは反対側の端部に設けられ、スライド軸部３１１に対して段状に径を拡大した円柱状の部分である。ストッパ部３１３は、バレル３２０の小径部３２４と協働してプローブ本体３１０のストロークを規制するものである。
テーパ部３１６は、ストッパ部３１３のスライド軸部３１１側とは反対側の端部に設けられ、スプリング３３０と当接する部分である。
【００５４】
バレル３２０は、プローブ本体３１０が挿入されるとともに、そのスライド軸部３１１を軸方向に相対変位可能に支持するものである。
バレル３２０は、第１実施形態の導電部材収容部１２１と実質的に同様の導電部材収容部３２１が形成されている。
また、バレル３２０は、第２実施形態の端部２２３、小径部２２４と実質的に同様の端部３２３、小径部３２４が形成されている。
【００５５】
スプリング３３０は、バレル３２０の端部３２３とプローブ本体３１０のテーパ部３１６との間に配置された圧縮コイルスプリングである。
導電部材３４０は、第１実施形態の導電部材１４０の環状部１４１及び電極部１４２と実質的に同様の環状部３４１及び電極部３４２を備えている。
環状部３４１は、バレル３２０の導電部材収容部３２１に固定されている。
電極部３４２はスライド軸部３１１に対して摺動可能となっている。
以上説明した第３実施形態によれば、上述した第２実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００５６】
＜第４実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第４実施形態について説明する。
図９に示すように、第４実施形態のコンタクトプローブ４００は、両端部にコンタクタが設けられた２端子型のものである。
コンタクトプローブ４００は、一対のプローブ本体４１０Ａ，４１０Ｂ、バレル４２０、スプリング４３０、導電部材４４０Ａ，４４０Ｂ等を備えて構成されている。
第４実施形態において、プローブ本体４１０Ａ,４１０Ｂ及びバレル４２０は、本発明（第１発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００５７】
プローブ本体４１０Ａは、第２実施形態におけるプローブ本体２１０と実質的に同様に構成されている。
プローブ本体４１０Ｂは、プローブ本体４１０Ａのコンタクタに代えて、スライド軸部の端部を半球上に形成した第３実施形態と同様のコンタクタとしたものである。
プローブ本体４１０Ａ、４１０Ｂは、コンタクタと反対側の端部（テーパ部）が間隔を隔てて対向するようにして、同心に配置されている。
【００５８】
バレル４２０は、両端部が開放された円筒状に形成され、プローブ本体４１０Ａ，４１０Ｂそれぞれの小径部と係合してこれらのストロークを規制する小径部４２４Ａ、４２４Ｂが形成されている。
また、バレル４２０には、プローブ本体４１０Ａ，４１０Ｂにそれぞれ設けられた導電部材４４０Ａ，４４０Ｂがそれぞれ収容される導電部材収容部４２１Ａ，４２１Ｂが形成されている。
【００５９】
スプリング４３０は、バレル４２０の内径側に挿入された圧縮コイルスプリングであって、その両端部は、プローブ本体４１０Ａ、４１０Ｂそれぞれの対向する端部（テーパ部）と当接している。
【００６０】
導電部材４４０Ａ，４４０Ｂは、第１実施形態の導電部材１４０と実質的に同様に形成され、それぞれ導電部材収容部４２１Ａ，４２１Ｂに収容、固定され、プローブ本体４１０Ａ，４１０Ｂと摺動しつつ電気的導通を確保する。
以上説明した第４実施形態においても、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００６１】
＜第５実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第５実施形態について説明する。
図１０に示すように、第５実施形態のコンタクトプローブ５００は、スライド軸５１０とコンタクタ５２０とが別体に形成され、さらに、スプリング５３０、導電部材５４０等を備えて構成されている。
第５実施形態において、コンタクタ５２０及びスライド軸５１０は、本発明（第２発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００６２】
スライド軸５１０は、円柱状に形成され、一方の端部はコンタクタ５２０の開口内に挿入されている。
スライド軸５１０のコンタクタ５２０側と反対側の端部には、スプリング固定部５１１、フランジ部５１２が形成されている。
スプリング固定部５１１は、スライド軸５１０に対して段状に径が大きく形成された部分である。
フランジ部５１２は、スプリング固定部５１１のコンタクタ５２０側と反対側の端部における外周面から、つば状に外径側に張り出して形成されている。
また、第５実施形態のコンタクトプローブ５００は、両端部に導電接触部が設けられたタイプのものであり、スライド軸５１０のコンタクタ５２０側とは反対側の端部にもコンタクタ部５１３が形成されている。コンタクタ部５１３は、フランジ部５１２に対してコンタクタ５２０側とは反対側に突き出して形成された円柱状の部分であり、その先端部は半球状に形成されている。
【００６３】
コンタクタ５２０は、スライド軸５１０と同心の円柱状に形成され、一方の端部から中心軸に沿ってスライド軸５１０が挿入される開口５２０ａが形成されている。
このような構成により、コンタクタ５２０は、スライド軸５１０が挿入される側と反対側（後述する接触部５２２側）の端部が閉塞された円筒状に形成されている。
開口５２０ａの内周面部には、第１実施形態の導電部材収容部１２１と実質的に同様の導電部材収容部５２１が形成されている。
また、コンタクタ５２０の他方の端部には、測定対象物と当接する接触部５２２が設けられている。接触部５２２は、例えば、半球状に形成されている。
また、コンタクタ５２０の接触部５２２側と反対側の端部近傍には、外周面からつば状に外径側に張り出したフランジ部５２３が形成されている。
【００６４】
スプリング５３０は、スライド軸５１０のフランジ部５１２とコンタクタ５２０のフランジ部５２３との間にわたして設けられた圧縮コイルスプリングであって、コンタクタ５２０の接触部５２２が軸方向に押されてコンタクタ５２０がスライド軸５１０に対して相対変位すると、その変位に応じたバネ反力を発生する。
また、スプリング５３０は、スライド軸５１０のスプリング固定部５１１及びコンタクタ５２０の外周面にそれぞれ固定され、コンタクタ５２０がスライド軸５１０から脱落することを防止する。
【００６５】
導電部材５４０は、第１実施形態の導電部材１４０と実質的に同様に形成され、コンタクタ５２０に設けられた導電部材収容部５２１内に収容される。
導電部材５４０の環状部５４１は導電部材収容部５２１に固定されている。
また、電極部５４２は、環状部５４１から接触部５２２側へ突き出して配置されるとともに、先端部（摺動端）が内径側にすぼめられ、スライド軸５１０の外周面と摺動しつつ電気的導通を確保する。
以上説明した第５実施形態においても、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００６６】
＜第６実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第６実施形態について説明する。
図１１に示すように、コンタクトプローブ６００は、プローブ本体６１０、バレル６２０、スプリング６３０、導電部材６４０等を備えて構成されている。
第６実施形態において、プローブ本体６１０及びバレル６２０は、本発明（第１発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
第６実施形態のコンタクトプローブ６００は、導電部材６４０をプローブ本体６１０に固定し、バレル６２０の内周面と摺動させる構成としている。
【００６７】
プローブ本体６１０は、バレル６２０に挿入されるスライド軸部６１１を備えている。
スライド軸部６１１の中間部には、段状に径が小さくされ、導電部材６４０が取り付けられる小径部６１５が形成されている。
スライド軸部６１１の一方の端部には、スライド軸部６１１よりも径が小さい連結軸部６１１ａが突き出して形成されている。連結軸部６１１ａは、バレル６２０の開口部から外部へ突き出している。
【００６８】
連結軸部６１１ａの先端部には、第１実施形態のコンタクタ１１２と実質的に同様のコンタクタ６１２が設けられている。
また、スライド軸部６１１のコンタクタ６１２側とは反対側の端部には、テーパ部６１６が形成されている。
【００６９】
バレル６２０は、円筒状に形成され、プローブ本体６１０のスライド軸部６１１はその全体がバレル６２０の内部に収容される。
バレル６２０のコンタクタ６１２側とは反対側の端部６２３は、ほぼ半球状に形成されている。
また、バレル６２０のコンタクタ６１２側の端部は、連結軸部６１１ａは通過可能であるが、スライド軸部６１１本体の通過は規制されるよう、内径側に折り返したストッパ部６２４が形成されている。このストッパ部６２４は、プローブ本体６１０のストロークを規制してプローブ本体６１０の脱落を防止するために設けられている。
【００７０】
スプリング６３０は、バレル６２０の内径側に挿入され、バレル６２０の端部６２３とプローブ本体６１０のテーパ部６１６との間にわたして設けられた圧縮コイルスプリングである。
【００７１】
導電部材６４０は、図１２に示すように、環状部６４１、電極部６４２、小径部６４３等を一体に形成して構成されている。
環状部６４１は、リング状に形成され、その内周面がスライド軸部６１１に形成された小径部６１５の外周面と密着する状態で、溶接や圧入等によって固定されている。
【００７２】
電極部６４２は、環状部６４１の軸方向におけるコンタクタ６１２側の端部から、コンタクタ６１２側へ突き出して形成されている。電極部６４２は、第１実施形態等と同様に、例えば４個が設けられており、その間隔にはスリットＳが設けられている。
電極部６４２の先端部は、バレル６２０の内周面に当接し、摺動する。
なお、電極部６４２には、このような接触力を得るために、バレル６２０に組み込む前の状態において、先端部が外径側に開くようクセ付けが施されている。
【００７３】
小径部６４３は、環状部６４１と電極部６４２との接続部において、導電部材６４０の外周面を段状に凹ませて周方向に延在する環状溝を形成した部分である。小径部６４３は、例えば、導電部材６４０の内径側に軸を挿入した状態で外周面の一部を切削又は研削することによって形成される。
このような小径部６４３は、環状部６４１と電極部６４２との接続部の剛性を調整するために設けられる。したがって、このような小径部６４３がなくても所望の剛性が得られる場合には、小径部６４３は省略することができる。
なお、このような導電部材６４０の組込は、例えば、スライド軸部６１１を小径部６１５の内部あるいは端部で分割する２ピース構成とすることによって可能となる。
以上説明した第６実施形態においても、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００７４】
＜第７実施形態＞
次に、本発明を適用したコンタクトプローブの第７実施形態について説明する。
図１３に示すように、第７実施形態のコンタクトプローブ７００は、スライド軸７１０とコンタクタ７２０とが別体に形成され、されに、スプリング７３０、導電部材７４０等を備えて構成されている。
第７実施形態において、コンタクタ７２０及びスライド軸７１０は、本発明（第２発明）にいう第１部材及び第２部材として機能する。
【００７５】
スライド軸７１０は、円柱状に形成され、一方の端部はコンタクタ７２０の開口内に挿入されている。
スライド軸７１０には、上述した第５実施形態と実質的に同様のスプリング固定部７１１、フランジ部７１２、コンタクタ部７１３が形成されている。
また、スライド軸７１０のコンタクタ７２０側の端部には、他の部分に対して外径を段状に小さく形成された円柱軸状の小径部７１０ａが形成されている。
【００７６】
コンタクタ７２０は、スライド軸７１０と同心の円柱状に形成され、上述した第５実施形態と実質的に同様の開口７２０ａ、接触部７２２、フランジ部７２３が形成されているが、導電部材収容部５２１に相当する拡径部は設けられておらず、開口７２０ａの内径はそのほぼ全長にわたって均一かつスライド軸７１０の小径部７１０ａ以外の部分の外径とほぼ同じに形成されている。このような構成により、開口７２０ａの内周面とスライド軸７１０の小径部７１０ａの外周面との間には、導電部材７４０が収容される隙間が形成される。
【００７７】
スプリング７３０は、第５実施形態のスプリング５３０と実質的に同様に形成され、スライド軸７１０のフランジ部７１２とコンタクタ７２０のフランジ部７２３との間に設けられている。
【００７８】
導電部材５４０は、スライド軸７１０の小径部７１０ａにおける突端部近傍に固定された環状部７４１、及び、環状部７４１からコンタクタ部７１３側に突き出して形成された電極部７４２を備えている。
電極部７４２は、先端部が外径側に開くようくせ付けがなされ、この先端部はコンタクタ７２０の開口７２０ａの内周面に加圧接触しつつ摺動するようになっている。
以上説明した第７実施形態においても、上述した第１実施形態の効果と実質的に同様の効果を得ることができる。
【００７９】
（変形例）
本発明は、以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。
（１）上述した各実施形態においては、導電部材は例えばニッケル又はニッケル系合金を電気鋳造法によって円筒状に形成して製作しているが、導電部材の材質や製法はこれに限定されず、適宜変更することができる。
例えば、材料として、例えばＳＫ鋼、ベリリウム銅合金等、ニッケル等以外の金属を用いることができる。
また、製法も、例えば、絞り加工、プレス加工、切削加工等のように、電気鋳造法以外の製法を用いることができる。さらに、このようにして加工したワークに対してエッチング処理を施し、肉厚を低減させて用いることもできる。
（２）コンタクトプローブを構成する各部材の形状、構造、材質、製法も、上述した各実施形態のものに限定されず、適宜変更することができる。
例えば、導電部材に設けられる電極の本数や配置も適宜変更することができる。例えば、３個以下の電極部や５個以上の電極部を、周方向に等ピッチ又は不等ピッチに配置することもできる。
また、導電部材の環状部は必ずしも全周にわたって連続している必要はなく、一部に非連続部を有する構成としてもよい。
【符号の説明】
【００８０】
１００    コンタクトプローブ（第１実施形態）
１１０    プローブ本体                １１１    スライド軸部
１１２    コンタクタ                  １１２ａ  接触面
１１３    ストッパリング              １１４    接続端子
１２０    バレル                      １２１    導電部材収容部
１２１ａ  段部                        １２２    フランジ部
１３０    スプリング                  １４０    導電部材
１４１    環状部                      １４２    電極部
Ｓ    スリット
２００    コンタクトプローブ（第２実施形態）
２１０    プローブ本体                ２１１    スライド軸部
２１２    コンタクタ                  ２１５    小径部
２１６    テーパ部                    ２２０    バレル
２２１    導電部材収容部              ２２３    端部
２２４    小径部                      ２３０    スプリング
２４０    導電部材                    ２４１    環状部
２４２    電極部
３００    コンタクトプローブ（第３実施形態）
３１０    プローブ本体                ３１１    スライド軸部
３１２    コンタクタ                  ３１３    ストッパ部
３１６    テーパ部                    ３２０    バレル
３２１    導電部材収容部              ３２３    端部
３２４    小径部                      ３３０    スプリング
３４０    導電部材                    ３４１    環状部
３４２    電極部
４００    コンタクトプローブ（第４実施形態）
４１０Ａ，４１０Ｂ  プローブ本体      ４２０    バレル
４２１Ａ，４２１Ｂ  導電部材収容部    ４２４Ａ，４２４Ｂ  小径部
４３０    スプリング                  ４４０Ａ，４４０Ｂ  導電部材
５００    コンタクトプローブ（第５実施形態）
５１０    スライド軸                  ５１１    スプリング固定部
５１２    フランジ部                  ５１３    コンタクタ部
５２０    コンタクタ                  ５２０ａ  開口
５２１    導電部材収容部              ５２２    接触部
５２３    フランジ部                  ５３０    スプリング
５４０    導電部材                    ５４１    環状部
５４２    電極部
６００    コンタクトプローブ（第６実施形態）
６１０    プローブ本体                ６１１    スライド軸部
６１１ａ  連結軸部                    ６１２    コンタクタ
６１５    小径部                      ６１６    テーパ部
６２０    バレル                      ６２３    端部
６２４    ストッパ部
６３０    スプリング                  ６４０    導電部材
６４１    環状部                      ６４２    電極部
６４３    小径部
７００    コンタクトプローブ（第７実施形態）
７１０    スライド軸                  ７１０ａ  小径部
７１１    スプリング固定部            ７１２    フランジ部
７１３    コンタクタ部                ７２０    コンタクタ
７２０ａ  開口                        ７２２    接触部
７２３    フランジ部                  ７３０    スプリング
７４０    導電部材                    ７４１    環状部
７４２    電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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