(57)【要約】【課題】電子デバイス内の信号を精度良く測定する。【解決手段】内部に設けられた複数のノードと、複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、対応するノードの信号と参照信号とを比較する複数のコンパレータと、選択されたコンパレータの比較結果を外部へと出力する出力部と、を備える電子デバイスを測定する測定装置であって、複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとして設定する測定設定部と、信号発生器からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部から出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備える測定装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスであって、
内部に設けられた複数のノードと、
前記複数のノードの何れかに接続された複数の内部回路と、
前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、対応するノードの信号と参照信号とを比較する複数のコンパレータと、
前記複数のコンパレータのそれぞれのうち選択されたコンパレータの比較結果を外部へと出力する出力部と、
を備える電子デバイス。
【請求項２】
前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、印加信号を対応するノードへと供給するか否かを切り替える複数の切替部を更に備える
請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項３】
前記複数の切替部は、対応するノードの信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替える
請求項２に記載の電子デバイス。
【請求項４】
前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、供給された信号をサンプルしてホールドする複数のサンプルホールド部を更に備える
請求項３に記載の電子デバイス。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとして設定する測定設定部と、
信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項６】
請求項２から４の何れか一項に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
を備える測定装置。
【請求項７】
請求項４に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードに対応するサンプルホールド部へと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記入力ノードに対応するサンプルホールド部に、前記印加信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、
前記印加信号がホールドされている状態において、ホールドされた前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定するとともに、前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとし、前記出力ノードの信号を前記出力ノードに対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、
前記印加信号がホールドされている状態において、前記信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項８】
請求項４に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを指定ノードとし、前記印加信号を前記指定ノードに対応するサンプルホールド部へと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記指定ノードに対応するサンプルホールド部に、前記印加信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、
前記印加信号がホールドされている状態において、ホールドされた前記印加信号を前記指定ノードの信号に代えて対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、
前記印加信号がホールドされている状態において、前記信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記指定ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、ホールドされた前記印加信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項９】
当該測定装置は、前記信号発生器を更に備え、
前記電子デバイスは、前記信号発生器から出力された信号を入力するための入力端子を更に備える
請求項５から８の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記電子デバイスは、前記信号発生器を更に備える
請求項５から８の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項１１】
当該測定装置は、前記複数の切替部に切替信号を供給して、前記複数の切替部を切り替える切替駆動部を更に備え、
前記電子デバイスは、前記切替信号を入力する切替制御端子を更に備える
請求項６から８の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項１２】
前記電子デバイスは、外部からのコマンドに応じて前記複数の切替部に切替信号を供給して、前記複数の切替部を切り替える切替駆動部を更に備える
請求項６から８何れか一項に記載の測定装置。
【請求項１３】
前記複数のコンパレータの比較タイミングを制御する比較制御部を更に備え、
前記電子デバイスは、前記複数のコンパレータの比較タイミングを示す比較制御信号を入力するための比較制御端子を更に備える
請求項５から１２の何れか一項に記載の測定装置。
【請求項１４】
前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、印加信号発生器から出力された印加信号を対応するノードへと供給するか否かを切り替える複数の切替部を更に備え、
前記複数のコンパレータのそれぞれは、対応するノードの信号と参照信号発生器から出力された参照信号とを比較する
請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項１５】
前記複数の切替部は、対応するノードの信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替える
請求項１４に記載の電子デバイス。
【請求項１６】
前記複数の切替部は、前記印加信号発生器から出力された印加信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替える
請求項１５に記載の電子デバイス。
【請求項１７】
前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、対応するノードから対応するコンパレータへと供給される信号をサンプルしてホールドする複数のサンプルホールド部を更に備える
請求項１６に記載の電子デバイス。
【請求項１８】
請求項１４から１７の何れか一項に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとして設定する測定設定部と、
前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項１９】
請求項１４から１７の何れか一項に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記入力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記入力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項２０】
請求項１４から１７の何れか一項に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを指定ノードとし、前記印加信号を前記指定ノードの信号に代えて前記指定ノードに対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記指定ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記印加信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項２１】
請求項１７に記載の電子デバイスを測定する測定装置であって、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるとともに、前記入力ノードの信号を前記入力ノードに対応する前記コンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、
前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとし、前記出力ノードの信号を前記出力ノードに対応する前記コンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、
前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、
前記入力ノードに対応するサンプルホールド部に前記入力ノードの信号をサンプルしてホールドさせ、前記出力ノードに対応するサンプルホールド部に前記出力ノードの信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、
前記入力ノードの信号がホールドされている期間において前記参照信号を前記入力ノードに対応するコンパレータへと供給させる入力測定状態とし、前記出力ノードの信号がホールドされている期間において前記参照信号を前記出力ノードに対応するコンパレータへと供給させる出力測定状態とするように、前記複数の切替部の状態を切り替える切替設定部と、
前記入力測定状態において、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記入力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得してホールドされた前記入力ノードの信号のレベルを測定し、前記出力測定状態において、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得してホールドされた前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、
を備える測定装置。
【請求項２２】
当該測定装置は、前記電子デバイスが備える複数の電子回路のうち指定された内部回路の機能を停止させるディセーブル制御部を更に備える
請求項１８から２１の何れか一項に記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイスおよび測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等の試験において、半導体デバイスの内部の信号波形を観測する場合がある。このような場合、半導体デバイスに設けられた試験用のピンを介して内部信号を外部へと出力させて、デジタイザ等により波形を観測する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１  米国特許５５７８９３５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、半導体デバイスの微細化に伴って、半導体デバイスの内部回路のドライブ能力が小さくなっている。このため、半導体デバイスの内部回路の信号を外部へと出力させることが困難となってきている。
【０００５】
また、近年、半導体デバイスの内部回路の信号が広帯域化してきている。このため、半導体デバイスの内部回路の信号波形を観測する場合、高精度および広帯域のデジタイザ等を使用して信号を検出しなければならなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、電子デバイスであって、内部に設けられた複数のノードと、前記複数のノードの何れかに接続された複数の内部回路と、前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、対応するノードの信号と参照信号とを比較する複数のコンパレータと、前記複数のコンパレータのそれぞれのうち選択されたコンパレータの比較結果を外部へと出力する出力部と、を備える電子デバイスを提供する。
【０００７】
また、本発明の第１の態様において、電子デバイスは、前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、印加信号を対応するノードへと供給するか否かを切り替える複数の切替部を更に備えてもよい。また、前記複数の切替部は、対応するノードの信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替えてもよい。また、電子デバイスは、前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、供給された信号をサンプルしてホールドする複数のサンプルホールド部を更に備えてもよい。
【０００８】
本発明の第２の態様においては、本発明の第１の態様の電子デバイスを測定する測定装置であって、前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとして設定する測定設定部と、信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備える測定装置を提供する。
【０００９】
また、本発明の第２の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、を備えてもよい。
【００１０】
また、本発明の第２の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードに対応するサンプルホールド部へと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記入力ノードに対応するサンプルホールド部に、前記印加信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、前記印加信号がホールドされている状態において、ホールドされた前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定するとともに、前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとし、前記出力ノードの信号を前記出力ノードに対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、前記印加信号がホールドされている状態において、前記信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備えてもよい。
【００１１】
また、本発明の第２の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを指定ノードとし、前記印加信号を前記指定ノードに対応するサンプルホールド部へと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記指定ノードに対応するサンプルホールド部に、前記印加信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、前記印加信号がホールドされている状態において、ホールドされた前記印加信号を前記指定ノードの信号に代えて対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、前記印加信号がホールドされている状態において、前記信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記指定ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、ホールドされた前記印加信号のレベルを測定する測定制御部と、を備えてもよい。
【００１２】
本発明の第３の態様においては、本発明の第１の態様の電子デバイスに対して、前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、印加信号発生器から出力された印加信号を対応するノードへと供給するか否かを切り替える複数の切替部を更に備え、前記複数のコンパレータのそれぞれは、対応するノードの信号と参照信号発生器から出力された参照信号とを比較する。
【００１３】
本発明の第３の態様において、前記複数の切替部は、対応するノードの信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替えてもよい。また、前記複数の切替部は、前記印加信号発生器から出力された印加信号を対応するコンパレータへと供給するか否かを更に切り替えてもよい。また、電子デバイスは、前記複数のノードのそれぞれに対応して設けられ、対応するノードから対応するコンパレータへと供給される信号をサンプルしてホールドする複数のサンプルホールド部を更に備えてもよい。
【００１４】
本発明の第４の態様においては、第３の態様の電子デバイスを測定する測定装置であって、前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとして設定する測定設定部と、前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備える測定装置を提供する。
【００１５】
また、本発明の第４の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記入力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記入力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備えてもよい。
【００１６】
また、本発明の第４の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを指定ノードとし、前記印加信号を前記指定ノードの信号に代えて前記指定ノードに対応するコンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記指定ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得して、前記印加信号のレベルを測定する測定制御部と、を備えてもよい。
【００１７】
また、本発明の第４の態様において、測定装置は、前記複数のノードのうち指定された一のノードを入力ノードとし、前記印加信号を前記入力ノードへと供給させるとともに、前記入力ノードの信号を前記入力ノードに対応する前記コンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する供給設定部と、前記複数のノードのうち指定された一のノードを出力ノードとし、前記出力ノードの信号を前記出力ノードに対応する前記コンパレータへと供給させるように前記複数の切替部の状態を設定する測定設定部と、前記印加信号発生器から指定されたレベルの前記印加信号を出力させる供給制御部と、前記入力ノードに対応するサンプルホールド部に前記入力ノードの信号をサンプルしてホールドさせ、前記出力ノードに対応するサンプルホールド部に前記出力ノードの信号をサンプルしてホールドさせるサンプルホールド制御部と、前記入力ノードの信号がホールドされている期間において前記参照信号を前記入力ノードに対応するコンパレータへと供給させる入力測定状態とし、前記出力ノードの信号がホールドされている期間において前記参照信号を前記出力ノードに対応するコンパレータへと供給させる出力測定状態とするように、前記複数の切替部の状態を切り替える切替設定部と、前記入力測定状態において、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記入力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得してホールドされた前記入力ノードの信号のレベルを測定し、前記出力測定状態において、前記参照信号発生器からレベルが変化する前記参照信号を出力させながら、前記出力部から前記出力ノードに対応したコンパレータの比較結果を取得してホールドされた前記出力ノードの信号のレベルを測定する測定制御部と、を備えてもよい。
【００１８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図２】ＡＤＣモードの電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図３】ＤＡＣモードの電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図４】本実施形態の第１変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図５】サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、サンプル期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図６】サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、ホールド期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図７】サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、第１変形例に係る電子デバイス１０の各信号のタイミングチャートの一例を示す。
【図８】キャリブレーションモードにおける、ホールド期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図９】本実施形態に係る切替部３８の第１回路構成例を示す。
【図１０】本実施形態に係る切替部３８の第２回路構成例を示す。
【図１１】本実施形態の第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図１２】ＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１３】リアルタイムモニタＡＷＧモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１４】キャリブレーションモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１５】本実施形態の第３変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図１６】リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、サンプル期間の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１７】リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、ホールド期間（入力測定状態）の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１８】リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、ホールド期間（出力測定状態）の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。
【図１９】リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、第３変形例に係る電子デバイス１０の各信号のタイミングチャートの一例を示す。
【図２０】本実施形態に係る切替部３８の第３回路構成例を示す。
【図２１】本実施形態に係る切替部３８の第４回路構成例を示す。
【図２２】本実施形態に係る切替部３８の第５回路構成例を示す。
【図２３】本実施形態の第４変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図２４】本実施形態の第５変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。
【図２５】本実施形態に係る測定装置２０の構成を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
図１は、本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。電子デバイス１０は、一例として、半導体デバイスである。
【００２２】
測定装置２０は、電子デバイス１０の内部における予め定められた点を伝播する信号のレベルを測定する。また、測定装置２０は、電子デバイス１０の内部における予め定められた点に指定されたレベルの信号を印加する。
【００２３】
電子デバイス１０は、入力端子１２と、出力端子１４と、切替制御端子１６と、複数のノード３０と、複数の内部回路３２と、複数のコンパレータ３４と、出力部３６と、複数の切替部３８とを備える。なお、複数の内部回路３２は、当該電子デバイス１０の本来の機能を実現する回路である。一方、複数のコンパレータ３４、出力部３６および複数の切替部３８は、当該電子デバイス１０の本来の機能を試験するために設けられた回路である。
【００２４】
入力端子１２は、測定装置２０から参照信号または印加信号が入力される。出力端子１４は、比較結果を測定装置２０へと出力する。切替制御端子１６は、測定装置２０から切替信号が入力される。
【００２５】
複数のノード３０のそれぞれは、当該電子デバイス１０の内部における信号線上の任意の点である。複数のノード３０のそれぞれは、測定装置２０により通過する信号のレベルが測定される。また、複数のノード３０のそれぞれは、測定装置２０から信号が印加される。
【００２６】
複数の内部回路３２のそれぞれは、電子回路またはデバイスである。複数の内部回路３２のそれぞれは、一例として、アナログの信号を入出力する回路またはデバイスである。複数の内部回路３２のそれぞれは、複数のノード３０の何れかに接続される。
【００２７】
複数のコンパレータ３４のそれぞれは、複数のノード３０のそれぞれに一対一で対応して設けられる。複数のコンパレータ３４のそれぞれは、一例として、対応するノード３０の近傍に設けられる。
【００２８】
複数のコンパレータ３４のそれぞれは、対応するノード３０の信号と入力端子１２を介して供給される参照信号とを比較して、比較結果を出力する。複数のコンパレータ３４のそれぞれは、一例として、対応するノード３０の信号が一方の入力端（例えばマイナス側入力端）に入力され、入力端子１２を介して供給される参照信号が他方の入力端（例えばプラス側入力端）に入力される。複数のコンパレータ３４のそれぞれは、一例として、信号の電圧レベルの大小を比較する。
【００２９】
複数のコンパレータ３４のそれぞれは、一例として、比較結果を、ロジックの論理レベル（例えばＨ論理レベルおよびＬ論理レベル）で出力する。また、複数のコンパレータ３４のそれぞれは、比較結果を、電源レベルに飽和したアナログ電圧（例えば正側の飽和電圧および負側の飽和電圧）で出力してもよい。この場合、複数のコンパレータ３４のそれぞれの後段の回路（例えば、出力部３６または測定制御部６８）は、コンパレータ３４から出力された飽和したアナログ電圧をロジックの論理レベルに変換する。
【００３０】
出力部３６は、複数のコンパレータ３４のそれぞれから比較結果を受け取る。そして、出力部３６は、複数のコンパレータ３４のうち選択されたコンパレータ３４の比較結果を出力端子１４を介して測定装置２０へと出力する。
【００３１】
出力部３６は、一例として、複数のコンパレータ３４のそれぞれから並列に出力された複数の比較結果をシリアルに並べ替えて出力端子１４から順次に出力するパラレル−シリアル変換回路である。また、出力部３６は、一例として、複数のコンパレータ３４のうち選択された一のコンパレータ３４の出力と出力端子１４とを接続するセレクタであってもよい。
【００３２】
複数の切替部３８のそれぞれは、複数のノード３０のそれぞれに一対一に対応して設けられる。複数の切替部３８のそれぞれは、一例として、対応するノード３０と対応するコンパレータ３４との間の領域に設けられる。
【００３３】
複数の切替部３８のそれぞれは、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４へと供給するか否かを切り替える。さらに、複数の切替部３８のそれぞれは、入力端子１２を介して供給される印加信号を対応するノード３０へと供給するか否かを切り替える。また、複数の切替部３８のそれぞれは、入力端子１２を介して供給される参照信号を対応するノード３０へと供給するか否かを切り替えてもよい。このような複数の切替部３８のそれぞれは、切替制御端子１６を介して供給される切替信号により切り替えられる。
【００３４】
複数の切替部３８のそれぞれは、一例として、第１スイッチ４２と、第２スイッチ４４と、入力ピン４６と、出力ピン４８とを有する。第１スイッチ４２は、対応するノード３０と、コンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）との間を接続（オン）または切断（オフ）する。第２スイッチ４４は、入力ピン４６と出力ピン４８との間を接続（オン）または切断（オフ）する。入力ピン４６は、対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）と接続される。出力ピン４８は、対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）と接続される。
【００３５】
また、複数の切替部３８は、入力ピン４６と出力ピン４８との間がカスケード接続される。即ち、複数の切替部３８のそれぞれは、入力ピン４６が前段の切替部３８の出力ピン４８と接続され、出力ピン４８が後段の切替部３８の入力ピン４６に接続される。さらに、最前段の切替部３８の入力ピン４６は、入力端子１２に接続される。これにより、複数の切替部３８のそれぞれは、第２スイッチ４４がオンとされることにより、前段の切替部３８から出力された信号（参照信号または印加信号）を後段の切替部３８へと伝播させることができる。
【００３６】
そして、このような複数の切替部３８のそれぞれは、第１スイッチ４２がオンとされ、第２スイッチ４４がオフとされることにより、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給し、入力端子１２から入力された参照信号をコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給することができる。これにより、切替部３８は、対応するコンパレータ３４に、対応するノード３０の信号と参照信号とを比較させることができる。
【００３７】
また、このような複数の切替部３８のそれぞれは、第１スイッチ４２がオンとされ、第２スイッチ４４がオンとされることにより、入力端子１２から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができる。これにより、切替部３８は、対応するノード３０に接続された内部回路３２に、印加信号を供給することができる。
【００３８】
測定装置２０は、切替駆動部５２と、信号発生器５４と、供給設定部６２と、測定設定部６４と、供給制御部６６と、測定制御部６８とを備える。
【００３９】
切替駆動部５２は、電子デバイス１０内の複数の切替部３８に対して切替制御端子１６を介して切替信号を供給して、複数の切替部３８のそれぞれを指定された状態に切り替える。
【００４０】
信号発生器５４は、指定されたレベルのアナログの信号を発生する。信号発生器５４は、指定されたアナログの波形の信号を発生してもよい。信号発生器５４は、一例として、デジタル／アナログ変換器である。信号発生器５４は、発生した信号を電子デバイス１０の入力端子１２へと供給する。
【００４１】
供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。そして、供給設定部６２は、切替駆動部５２を制御して、信号発生器５４から発生される印加信号を入力ノードへと供給させるように複数の切替部３８の状態を設定する。
【００４２】
測定設定部６４は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を出力ノードとして設定する。そして、測定設定部６４は、切替駆動部５２を制御して、出力ノードの信号および信号発生器５４から発生される参照信号を、出力ノードに対応するコンパレータ３４へと供給させるように複数の切替部３８の状態を設定する。より詳しくは、測定設定部６４は、出力ノードの信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）に供給させ、信号発生器５４から発生させる参照信号を対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）に供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。
【００４３】
供給制御部６６は、信号発生器５４から指定されたレベル（例えば電圧レベル）の印加信号を出力させる。供給制御部６６は、一例として、信号発生器５４から指定された波形の印加信号を出力させる。
【００４４】
測定制御部６８は、信号発生器５４およびコンパレータ３４を用いた逐次比較処理により、指定されたノード３０の信号のレベルを測定する。より具体的には、測定制御部６８は、信号発生器５４からレベル（例えば電圧レベル）が変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、出力ノードの信号のレベルを測定する。
【００４５】
このような測定装置２０において、供給設定部６２、測定設定部６４、供給制御部６６および測定制御部６８は、一例として、ＣＰＵ等のプロセッサがプログラムを実行することにより実現される。例えば、供給設定部６２は、プロセッサが供給設定プログラムを実行することにより実現される。また、例えば、測定設定部６４は、プロセッサが測定設定プログラムを実行することにより実現される。また、例えば、供給制御部６６は、プロセッサが供給制御プログラムを実行することにより実現される。また、例えば、測定制御部６８は、プロセッサが測定制御プログラムを実行することにより実現される。
【００４６】
そして、このような測定装置２０は、ＡＤＣモードおよびＤＡＣモードにより動作する。測定装置２０は、ＡＤＣモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（出力ノード）の信号のレベルを測定することができる。また、測定装置２０は、ＤＡＣモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（入力ノード）に指定されたレベルの信号を印加することができる。
【００４７】
図２は、ＡＤＣモードの電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。ＡＤＣモードにおいて、測定装置２０の測定設定部６４は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を出力ノードとして設定する。
【００４８】
そして、測定設定部６４は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、出力ノードの信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。これにより、出力ノードに対応するコンパレータ３４は、出力ノードの信号と参照信号とを比較することができる。
【００４９】
例えば、図２の例においては、測定設定部６４は、ノード３０−２を出力ノードとして設定している。測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第２スイッチ４４をオフとする。また、測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−２よりも前段側（入力端子１２側）の切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。また、測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−２よりも後段側（入力端子１２と反対側）の切替部３８−１における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。
【００５０】
このように設定された状態において、測定装置２０の測定制御部６８は、出力部３６から出力ノードに対応するコンパレータ３４の比較結果が出力されるように設定をする。そして、測定制御部６８は、信号発生器５４からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、出力ノードの信号のレベルを測定する。
【００５１】
この場合において、測定制御部６８は、一例として、バイナリサーチアルゴリズムに従って参照信号のレベルを変化させて、出力ノードの信号のレベルを特定する。また、測定制御部６８は、一例として、ランプ波状に参照信号のレベルを変化させて、比較結果が反転するレベルに基づき、出力ノードの信号のレベルを特定してもよい。これにより、測定制御部６８は、電子デバイス１０内の一のノード３０の信号のレベルを外部から測定することができる。
【００５２】
また、測定制御部６８は、一定周期毎に、出力ノードの信号のレベルを測定してもよい。これにより、測定制御部６８は、電子デバイス１０内の一のノード３０の信号の波形を外部から観測することができる。
【００５３】
以上のように、本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、ＡＤＣモードにおいて、電子デバイス１０内の一のノード３０の信号を外部から精度良く観測することができる。そして、電子デバイス１０および測定装置２０は、アナログ信号を外部へと出力するのではなく、コンパレータ３４による比較結果を外部へと出力する。これにより、電子デバイス１０および測定装置２０は、外部へと信号を伝送する場合における信号劣化を無くすことができる。よって、電子デバイス１０の内部回路３２のドライブ能力が小さくても、広帯域な信号を精度良く測定することができる。
【００５４】
また、電子デバイス１０は、回路規模が比較的に小さいコンパレータ３４および切替部３８を本来の機能に追加して備えることのみで、アナログ信号を外部に出力することに代えて、比較結果を外部へと出力することができる。これにより、電子デバイス１０および測定装置２０によれば、測定対象となるノード３０の位置の自由度が大きくなり、また、測定対象となるノード３０の数も多くすることができる。
【００５５】
また、電子デバイス１０は、複数のコンパレータ３４のうち選択されたコンパレータ３４の比較結果を外部へと出力する。従って、電子デバイス１０および測定装置２０によれば、出力端子１４を増加させずに複数のノード３０の信号を外部から測定することができる。
【００５６】
図３は、ＤＡＣモードの電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。ＤＡＣモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。そして、供給設定部６２は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、印加信号を入力ノードへと供給させるように複数の切替部３８の状態を設定する。これにより、複数の切替部３８は、印加信号を入力ノードへと供給することができる。
【００５７】
例えば、図３の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を入力ノードとして設定している。供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第２スイッチ４４をオンとする。また、供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２よりも前段側（入力端子１２側）の切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。また、供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２よりも後段側（入力端子１２と反対側）の切替部３８−１における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。
【００５８】
そして、測定装置２０の供給制御部６６は、信号発生器５４から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これにより、供給制御部６６は、電子デバイス１０内の一のノード３０に外部から任意レベルの信号を印加することができる。また、供給制御部６６は、信号発生器５４から指定された波形の印加信号を出力させてもよい。これにより、供給制御部６６は、電子デバイス１０内の一のノード３０に外部から任意波形の信号を印加することができる。
【００５９】
以上のように、本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、ＤＡＣモードにおいて、電子デバイス１０内の一のノード３０に外部から任意の信号を精度良く供給することができる。また、電子デバイス１０は、回路規模が比較的に小さい切替部３８を本来の機能に追加して備えることのみで、信号を複数のノード３０に対して選択的に供給することができる。これにより、電子デバイス１０および測定装置２０によれば、印加対象となるノード３０の位置の自由度が大きくなり、また、印加対照となるノード３０の数も多くすることができる。
【００６０】
図４は、本実施形態の第１変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。本変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０は、図１に示された本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された電子デバイス１０および測定装置２０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００６１】
第１変形例に係る電子デバイス１０は、複数のサンプルホールド部４０を更に備える。複数のサンプルホールド部４０は、当該電子デバイス１０の本来の機能を試験するために設けられた回路である。
【００６２】
複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、複数のノード３０のそれぞれに一対一に対応して設けられる。複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、供給された信号をサンプルしてホールドする。複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、一例として、対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給される信号のレベル（例えば電圧レベル）をサンプルして、ホールドする。このような複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、サンプルホールド端子１８を介して測定装置２０から供給されるサンプルホールド信号により、サンプル状態およびホールド状態が切り替えられる。
【００６３】
なお、図４において、サンプルホールド信号を示す矢印が複数のサンプルホールド部４０に接続されていないが、本変形例においてサンプルホールド信号は複数のサンプルホールド部４０へと供給される。また、図４において切替制御端子１６を介して入力される切替信号も複数の切替部３８へと供給される。図４以降の図においても同様である。
【００６４】
本変形例に係る測定装置２０は、サンプルホールド制御部７０を更に備える。サンプルホールド制御部７０は、予め定められた周期でサンプル期間およびホールド期間を繰り返すサンプルホールド信号を出力する。サンプルホールド制御部７０は、サンプルホールド信号をサンプルホールド端子１８を介して、電子デバイス１０内の入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給する。サンプルホールド制御部７０は、サンプルホールド信号を入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給することにより、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に、入力ノードの信号をサンプルしてホールドさせる。
【００６５】
そして、このような測定装置２０は、サンプルホールド／ＡＤＣモードおよびキャリブレーションモードにより更に動作する。測定装置２０は、サンプルホールド／ＡＤＣモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（入力ノード）に指定されたレベルの信号を印加しながら、他の一のノード３０（出力ノード）の信号のレベルを測定することができる。測定装置２０は、キャリブレーションモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のサンプルホールド部４０のいずれかに指定したレベルの信号をホールドさせて、そのホールドさせた信号のレベルを測定することができる。
【００６６】
図５は、サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、サンプル期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。サンプルホールド／ＡＤＣモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。また、測定装置２０の測定設定部６４は、ユーザまたはプログラムにより指定された他の一のノード３０を出力ノードとして設定する。
【００６７】
続いて、供給設定部６２は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、印加信号を入力ノードに対応するサンプルホールド部４０へと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。
【００６８】
例えば、図５の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を入力ノードとして設定している。供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。また、供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２よりも前段側（入力端子１２側）の切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。また、供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２よりも後段側（入力端子１２と反対側）の切替部３８−１における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。
【００６９】
そして、測定装置２０の供給制御部６６は、信号発生器５４から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これとともに、測定装置２０のサンプルホールド制御部７０は、サンプル期間を指定するサンプルホールド信号を入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給する。これにより、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、信号発生器５４から出力された印加信号をサンプルする。
【００７０】
図６は、サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、ホールド期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。続いて、サンプルホールド制御部７０は、ホールド期間を指定するサンプルホールド信号を入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給する。これにより、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、サンプルした印加信号をホールドする。
【００７１】
そして、測定設定部６４は、印加信号がホールドされている状態において、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０によりホールドされた印加信号を入力ノードへと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。さらに、測定設定部６４は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、出力ノードの信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。これにより、出力ノードに対応するコンパレータ３４は、出力ノードの信号と参照信号とを比較することができる。
【００７２】
図６の例においては、測定設定部６４は、ノード３０−３を出力ノードとして設定している。測定設定部６４は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第２スイッチ４４をオフとする。また、測定設定部６４は、入力ノードに対応する切替部３８−２よりも後段側（入力端子１２と反対側）の切替部３８−１における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。
【００７３】
さらに、測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオン、第２スイッチ４４をオフとする。また、測定設定部６４は、例えば、出力ノードに対応する切替部３８−３よりも前段側（入力端子１２側）に他の切替部３８が存在する場合には、この前段側の切替部３８における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。
【００７４】
このように設定された状態において、測定装置２０の測定制御部６８は、出力部３６から出力ノードに対応するコンパレータ３４の比較結果が出力されるように設定をする。そして、測定制御部６８は、信号発生器５４からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、出力ノードの信号のレベルを測定する。
【００７５】
この場合において、測定制御部６８は、一例として、バイナリサーチアルゴリズムに従って参照信号のレベルを変化させて、出力ノードの信号のレベルを特定する。また、測定制御部６８は、一例として、ランプ波状に参照信号のレベルを変化させて、比較結果が反転するレベルに基づき、出力ノードの信号のレベルを特定してもよい。これにより、測定制御部６８は、電子デバイス１０内の一のノード３０に任意のレベルの信号を印加しながら、他のノード３０の信号のレベルを測定することができる。
【００７６】
図７は、サンプルホールド／ＡＤＣモードにおける、第１変形例に係る電子デバイス１０の各信号のタイミングチャートの一例を示す。サンプルホールド／ＡＤＣモードにおいて、供給制御部６６は、信号発生器５４から指定された波形の印加信号を発生させてもよい。
【００７７】
この場合、入力ノードに対応したサンプルホールド部４０は、一定周期のサンプルホールド信号に同期して印加信号をサンプルしてホールドする。これにより、供給制御部６６は、入力ノードに指定された波形の印加信号を印加することができる。そして、供給制御部６６は、指定された波形の印加信号を入力ノードに印加したことによって、出力ノードから印加信号に応じた波形の信号を出力させることができる。
【００７８】
また、それぞれのホールド期間において、測定制御部６８は、出力ノードの信号のレベルを逐次比較処理により測定する。従って、測定制御部６８は、印加信号の印加に応じた出力ノードの信号の波形を測定することができる。
【００７９】
以上のように、第１変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、サンプルホールド／ＡＤＣモードにおいて、電子デバイス１０内の一のノード３０に精度良く信号を供給しながら、他の一のノード３０の信号を精度良く観測することができる。また、電子デバイス１０は、回路規模が比較的に小さいサンプルホールド部４０を本来の機能に追加して備えることのみで、信号の印加および測定を同時にさせることができる。これにより、電子デバイス１０および測定装置２０によれば、測定対象となるノード３０の位置の自由度が大きくなり、また、測定対象となるノード３０の数も多くすることができる。
【００８０】
図８は、キャリブレーションモードにおける、ホールド期間の第１変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。キャリブレーションモードにおいて、測定装置２０の測定設定部６４は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を指定ノードとして設定する。
【００８１】
続いて、測定装置２０は、サンプルホールド／ＡＤＣモードのサンプル期間と同一の処理で、指定ノードに対応するサンプルホールド部４０に印加信号をサンプルさせる。これにより、測定装置２０は、指定ノードに対応するサンプルホールド部４０は、印加信号をサンプルする。
【００８２】
続いて、サンプルホールド制御部７０は、ホールド期間を指定するサンプルホールド信号を指定ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給する。これとともに、測定設定部６４は、印加信号がホールドされている状態において、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、指定ノードに対応するサンプルホールド部４０にホールドされた信号を指定ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を指定ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。これにより、指定ノードに対応するコンパレータ３４は、サンプルホールドされた信号と参照信号とを比較することができる。
【００８３】
図８の例においては、測定設定部６４は、ノード３０−２を指定ノードとして設定している。測定設定部６４は、指定ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。また、測定設定部６４は、指定ノードに対応する切替部３８−２よりも前段側（入力端子１２側）の切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオンとする。また、測定設定部６４は、指定ノードに対応する切替部３８−２よりも後段側（入力端子１２と反対側）の切替部３８−１における、第１スイッチ４２をオフ、第２スイッチ４４をオフとする。
【００８４】
このように設定された状態において、測定装置２０の測定制御部６８は、出力部３６から指定ノードに対応するコンパレータ３４の比較結果が出力されるように設定をする。そして、測定制御部６８は、信号発生器５４からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から指定ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、指定ノードに対応するサンプルホールド部４０にサンプルされた信号のレベルを測定する。
【００８５】
以上のように、第１変形例に係る測定装置２０によれば、キャリブレーションモードにおいて、サンプルホールド部４０を利用して電子デバイス１０内のコンパレータ３４に指定されたレベルの印加信号を供給して、その印加信号のレベルを測定することできる。これにより、測定装置２０によれば、電子デバイス１０内のコンパレータ３４のオフセットを測定することができる。
【００８６】
また、測定装置２０は、複数のレベルの印加信号をコンパレータ３４に印加して、それぞれのレベルの印加信号を測定してもよい。これにより、測定装置２０によれば、コンパレータ３４のゲインを推定することができる。そして、測定装置２０は、電子デバイス１０内のノード３０の信号を測定する場合に、このように測定したオフセットおよびゲインを用いて測定結果を補正してもよい。これにより、測定装置２０によれば、精度良く電子デバイス１０内のノード３０の信号を測定することができる。
【００８７】
図９は、本実施形態に係る切替部３８の第１回路構成例を示す。切替部３８は、図１に示された回路構成例に代えて、図９に示される構成であってもよい。
【００８８】
図９に示される第１回路構成例に係る切替部３８は、第１スイッチ４２を有さずに、対応するノード３０を、対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）および出力ピン４８に直接接続する。このような切替部３８は、第２スイッチ４４がオフとされることにより、対応するノード３０の信号をコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給し、入力端子１２から入力された参照信号をコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給して、コンパレータ３４にノード３０の信号と参照信号とを比較させることができる。
【００８９】
また、このような切替部３８は、第２スイッチ４４がオンとされることにより、入力端子１２から入力され印加信号を対応するノード３０へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第２スイッチ４４がオンとされることにより、入力端子１２から入力された信号（参照信号および印加信号）を、後段の切替部３８へと伝送することができる。また、このような切替部３８は、第２スイッチ４４がオフとされることにより、入力端子１２から入力された信号を後段の切替部３８へと伝搬させないことができる。
【００９０】
図１０は、本実施形態に係る切替部３８の第２回路構成例を示す。切替部３８は、図１に示された回路構成例に代えて、図１０に示される構成であってもよい。
【００９１】
図１０に示される第２回路構成例に係る切替部３８は、第２スイッチ４４に代えて第３スイッチ５０を有する。第３スイッチ５０は、対応するノード３０とコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）との間を接続（オン）または切断（オフ）する。また、第２回路構成例にかかる切替部３８は、入力ピン４６と出力ピン４８とが直接接続されており、出力ピン４８は、対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）に接続されていない。
【００９２】
このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第３スイッチ５０がオフとされることにより、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給し、入力端子１２から入力された参照信号をコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給して、コンパレータ３４にノード３０の信号と参照信号とを比較させることができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオフとされ、第３スイッチ５０がオンとされることにより、入力端子１２から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができる。また、このような切替部３８は、入力ピン４６と出力ピン４８とが直接接続されているので、入力端子１２が入力した信号（参照信号または印加信号）を常時後段へと伝搬することができる。
【００９３】
図１１は、本実施形態の第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。本変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０は、図１に示された本実施形態に係る電子デバイス１０および測定装置２０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された電子デバイス１０および測定装置２０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００９４】
第２変形例に係る電子デバイス１０は、入力端子１２に代えて、参照入力端子７２および印加入力端子７４を備える。参照入力端子７２は、測定装置２０から参照信号が入力される。印加入力端子７４は、測定装置２０から印加信号が入力される。
【００９５】
第２変形例において、複数の切替部３８のそれぞれは、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４へと供給するか否かを切り替える。また、複数の切替部３８のそれぞれは、参照入力端子７２を介して供給される参照信号を対応するコンパレータ３４へと供給するか否か切り替える。複数の切替部３８のそれぞれは、印加入力端子７４を介して供給される印加信号を対応するノード３０へと供給するか否かを切り替える。さらに、複数の切替部３８のそれぞれは、印加入力端子７４を介して供給される印加信号を対応するコンパレータ３４へと供給するか否か切り替える。
【００９６】
本変形例において、複数の切替部３８のそれぞれは、一例として、第１スイッチ４２と、第４スイッチ８２と、第５スイッチ８４とを有する。第１スイッチ４２は、対応するノード３０と、コンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）との間を接続（オン）または切断（オフ）する。第４スイッチ８２は、参照信号が入力される参照入力端子７２と、コンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）との間を接続（オン）または切断（オフ）する。第５スイッチ８４は、印加信号が入力される印加入力端子７４と、コンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）との間を接続（オン）または切断（オフ）する。
【００９７】
このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされることにより、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第４スイッチ８２がオンとされることにより、参照入力端子７２から入力された参照信号を対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給することができる。
【００９８】
また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を、対応するノード３０および対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオフとされ、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給して、印加信号を対応するノード３０に供給させないことができる。
【００９９】
本変形例に係る測定装置２０は、信号発生器５４に代えて、参照信号発生器７６と、印加信号発生器７８とを備える。参照信号発生器７６は、指定されたレベルの参照信号を発生する。参照信号発生器７６は、一例として、デジタル／アナログ変換器である。参照信号発生器７６は、発生した信号を電子デバイス１０の参照入力端子７２へと供給する。
【０１００】
印加信号発生器７８は、指定されたレベルの印加信号を発生する。印加信号発生器７８は、指定されたアナログ波形の印加信号を発生してもよい。印加信号発生器７８は、一例として、デジタル／アナログ変換器である。印加信号発生器７８は、発生した印加信号を電子デバイス１０の印加入力端子７４へと供給する。
【０１０１】
供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベル（例えば電圧レベル）の印加信号を出力させる。供給制御部６６は、一例として、印加信号発生器７８から指定された波形の印加信号を出力させる。
【０１０２】
測定制御部６８は、参照信号発生器７６およびコンパレータ３４を用いた逐次比較処理により、指定されたノード３０の信号のレベルを測定する。より具体的には、測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベル（例えば電圧レベル）が変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から指定したノード３０に対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、指定したノード３０の信号のレベルを測定する。
【０１０３】
そして、このような測定装置２０は、ＡＷＧ−ＤＧＴモード、リアルタイムモニタＡＷＧモードおよびキャリブレーションモードにより動作する。測定装置２０は、ＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（入力ノード）に指定されたレベルの信号を印加しながら、他の一のノード３０（出力ノード）の信号のレベルを測定することができる。
【０１０４】
また、測定装置２０は、リアルタイムモニタＡＷＧモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（入力ノード）に指定されたレベルの信号を印加しながら、その入力ノードの信号のレベルを測定することができる。また、測定装置２０は、キャリブレーションモードにおいて、印加信号発生器７８から出力された印加信号のレベルを測定することができる。
【０１０５】
図１２は、ＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。ＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。また、測定装置２０の測定設定部６４は、ユーザまたはプログラムにより指定された他の一のノード３０を出力ノードとして設定する。
【０１０６】
続いて、供給設定部６２は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、印加信号を入力ノードへと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。これとともに、測定設定部６４は、出力ノードの信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。
【０１０７】
図１２の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を入力ノードとして設定している。また、測定設定部６４は、ノード３０−３を出力ノードとして設定している。
【０１０８】
また、供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオンとする。また、測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオン、第４スイッチ８２をオン、第５スイッチ８４をオフとする。また、供給設定部６２または測定設定部６４は、入力ノードおよび出力ノード以外のノード３０に対応する切替部３８における、第１スイッチ４２をオフ、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオフとする。
【０１０９】
このように設定された状態において、測定装置２０の供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これとともに、測定装置２０の測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、出力ノードの信号のレベルを測定する。これにより、測定制御部６８は、出力ノードの信号のレベルを外部から測定することができる。
【０１１０】
また、供給制御部６６は、指定された波形の印加信号を出力させてもよい。そして、測定制御部６８は、一定周期毎に、出力ノードの信号のレベルを測定してもよい。これにより、測定装置２０は、電子デバイス１０内の一のノード３０に指定された波形の印加信号を外部から供給しながら、他の一のノード３０の信号の波形を外部から観測することができる。以上のように、第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、ＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、電子デバイス１０内の任意の入力ノードに外部から信号を精度良く印加しながら、電子デバイス１０内の任意の出力ノードの信号を外部で精度良く測定することができる。
【０１１１】
図１３は、リアルタイムモニタＡＷＧモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。リアルタイムモニタＡＷＧモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。
【０１１２】
続いて、供給設定部６２は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、印加信号を入力ノードへと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。さらに、供給設定部６２は、入力ノードの信号を入力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を入力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。
【０１１３】
図１３の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を入力ノードとして設定している。供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第４スイッチ８２をオン、第５スイッチ８４をオンとする。また、供給設定部６２は、入力ノード以外のノード３０に対応する切替部３８における、第１スイッチ４２をオフ、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオフとする。
【０１１４】
このように設定された状態において、測定装置２０の供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これとともに、測定装置２０の測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から入力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、入力ノードの信号のレベルを測定する。これにより、第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、リアルタイムモニタＡＷＧモードにおいて、電子デバイス１０内の任意の入力ノードに外部から信号を精度良く印加しながら、印加した信号を外部で精度良く測定することができる。
【０１１５】
図１４は、キャリブレーションモードにおける、第２変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。キャリブレーションモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を指定ノードとして設定する。
【０１１６】
続いて、供給設定部６２は、印加信号を指定ノードの信号に代えて指定ノードに対応するコンパレータ３４へと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。即ち、供給設定部６２は、印加信号を指定ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を指定ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス入力端）へと供給させるように、複数のノード３０の状態を設定する。
【０１１７】
図１４の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を指定ノードとして設定している。供給設定部６２は、指定ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオフ、第４スイッチ８２をオン、第５スイッチ８４をオンとする。また、供給設定部６２は、指定ノード以外のノード３０に対応する切替部３８における、第１スイッチ４２をオフ、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオフとする。
【０１１８】
このように設定された状態において、測定装置２０の供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これとともに、測定装置２０の測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から指定ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、印加信号のレベルを測定する。
【０１１９】
以上のように、第２変形例に係る測定装置２０によれば、キャリブレーションモードにおいて、何れかのコンパレータ３４を利用して、印加信号発生器７８から出力された印加信号のレベルを測定することできる。これにより、測定装置２０によれば、参照信号発生器７６と印加信号発生器７８との間の誤差（オフセットおよびゲイン）を測定することができる。そして、測定装置２０は、電子デバイス１０内のノード３０の信号を測定する場合に、このように測定したオフセットおよびゲインを用いて測定結果を補正してもよい。これにより、測定装置２０によれば、精度良く電子デバイス１０内のノード３０の信号を測定することができる。
【０１２０】
図１５は、本実施形態の第３変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。本変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０は、図１１に示された本実施形態の第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０と略同一の構成および機能を採るので、図１１に示された電子デバイス１０および測定装置２０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【０１２１】
第３変形例に係る電子デバイス１０は、複数のサンプルホールド部４０を更に備える。複数のサンプルホールド部４０は、当該電子デバイス１０の本来の機能を試験するために設けられた回路である。
【０１２２】
複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、複数のノード３０のそれぞれに一対一に対応して設けられる。複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、対応するノード３０から対応するコンパレータ３４へと供給される信号をサンプルして、ホールドする。
【０１２３】
複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、一例として、対応する切替部３８から対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給される信号のレベル（例えば電圧レベル）をサンプルして、ホールドする。このような複数のサンプルホールド部４０のそれぞれは、サンプルホールド端子１８を介して供給されるサンプルホールド信号により、サンプル状態およびホールド状態が切り替えられる。
【０１２４】
本変形例に係る測定装置２０は、サンプルホールド制御部７０と、切替設定部８０とを更に備える。サンプルホールド制御部７０は、予め定められた周期でサンプル期間およびホールド期間を繰り返すサンプルホールド信号を出力する。サンプルホールド制御部７０は、サンプルホールド信号をサンプルホールド端子１８を介して、電子デバイス１０内の入力ノードおよび出力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給する。
【０１２５】
サンプルホールド制御部７０は、サンプルホールド信号を入力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給することにより、入力ノードの信号をサンプルしてホールドさせる。また、サンプルホールド制御部７０は、サンプルホールド信号を出力ノードに対応するサンプルホールド部４０に供給することにより、出力ノードの信号をサンプルしてホールドさせる。
【０１２６】
切替設定部８０は、入力ノードおよび出力ノードのそれぞれに対応するサンプルホールド部４０が信号をホールドしている期間中において、複数の切替部３８の状態を制御して、参照信号発生器７６から出力される参照信号の供給先を切り替える。より具体的には、切替設定部８０は、入力ノードの信号がホールドされている期間中において参照信号を入力ノードに対応するコンパレータ３４へと供給させる状態（入力測定状態）とし、出力ノードの信号がホールドされている期間中において参照信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４へと供給させる状態（出力測定状態）とするように、複数の切替部３８の状態を切り替える。
【０１２７】
供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベルの印加信号を出力させる。供給制御部６６は、一例として、指定された波形の印加信号を出力させる。
【０１２８】
測定制御部６８は、入力測定状態において、参照信号発生器７６およびコンパレータ３４を用いた逐次比較処理により、入力ノードの信号のレベルを測定する。より具体的には、測定制御部６８は、入力測定状態において、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から入力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して入力ノードのレベルを測定する。
【０１２９】
また、測定制御部６８は、出力測定状態において、参照信号発生器７６およびコンパレータ３４を用いた逐次比較処理により、出力ノードの信号のレベルを測定する。より具体的には、測定制御部６８は、出力測定状態において、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得して、出力ノードのレベルを測定する。
【０１３０】
そして、このような測定装置２０は、リアルタイムモニタＡＷＧ＋ＤＧＴモードにより動作する。測定装置２０は、リアルタイムモニタＡＷＧ＋ＤＧＴモードにおいて、電子デバイス１０内の複数のノード３０のうち指定された一のノード３０（入力ノード）に指定された波形の信号を印加しながら、入力ノードの信号の波形および他の一のノード３０（出力ノード）の信号の波形を測定することができる。
【０１３１】
図１６は、リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、サンプル期間の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、測定装置２０の供給設定部６２は、複数のノード３０のうち、ユーザまたはプログラムにより指定された一のノード３０を入力ノードとして設定する。また、測定装置２０の測定設定部６４は、ユーザまたはプログラムにより指定された他の一のノード３０を出力ノードとして設定する。
【０１３２】
続いて、供給設定部６２は、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、印加信号を入力ノードへと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。これとともに、供給設定部６２は、入力ノードの信号を入力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。さらに、測定設定部６４は、出力ノードの信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させるように、複数の切替部３８の状態を設定する。
【０１３３】
これにより、供給設定部６２は、入力ノードの信号を、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０にサンプルさせることができる。また、測定設定部６４は、出力ノードの信号を、出力ノードに対応するサンプルホールド部４０にサンプルさせることができる。
【０１３４】
図１６の例においては、供給設定部６２は、ノード３０−２を入力ノードとして設定している。また、測定設定部６４は、ノード３０−４を出力ノードとして設定している。供給設定部６２は、入力ノードに対応する切替部３８−２における、第１スイッチ４２をオン、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオンとする。また、測定設定部６４は、出力ノードに対応する切替部３８−３における、第１スイッチ４２をオン、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオフとする。また、供給設定部６２または測定設定部６４は、入力ノードおよび出力ノード以外のノード３０に対応する切替部３８における、第１スイッチ４２をオフ、第４スイッチ８２をオフ、第５スイッチ８４をオフとする。
【０１３５】
続いて、供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定されたレベルの印加信号を出力させる。これにより、電子デバイス１０の入力ノードには印加信号が印加される。また、出力ノードからは、印加信号に応じた信号が発生する。
【０１３６】
これとともに、測定装置２０のサンプルホールド制御部７０は、サンプル期間を指定するサンプルホールド信号を入力ノードおよび出力ノードのそれぞれに対応するサンプルホールド部４０に供給する。これにより、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、入力ノードの信号をサンプルする。また、出力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、出力ノードの信号をサンプルする。
【０１３７】
図１７は、リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、ホールド期間（入力測定状態）の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。続いて、サンプルホールド制御部７０は、ホールド期間を指定するサンプルホールド信号を入力ノードおよび出力ノードのそれぞれに対応するサンプルホールド部４０に供給する。これにより、入力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、サンプルした入力ノードの信号をホールドする。また、出力ノードに対応するサンプルホールド部４０は、サンプルした出力ノードの信号をホールドする。
【０１３８】
続いて、切替設定部８０は、入力ノードの信号がホールドされている期間において、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、参照信号を入力ノードに対応するコンパレータへ３４と供給させる入力測定状態とする。例えば、図１７に示す例の場合であれば、切替設定部８０は、入力ノードに対応する切替部３８−２における第４スイッチ８２をオンに切り替える。
【０１３９】
これにより、切替設定部８０は、入力ノードに対応したサンプルホールド部４０によりホールドされた信号を、入力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を入力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させることができる。よって、入力ノードに対応するコンパレータ３４は、入力ノードに対応したサンプルホールド部４０によりホールドされた信号と、参照信号とを比較することができる。
【０１４０】
この入力測定状態において、測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から入力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得してホールドされた入力ノードの信号のレベルを測定する。これにより、測定制御部６８は、入力ノードの信号のレベルを精度良く測定することができる。
【０１４１】
図１８は、リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、ホールド期間（出力測定状態）の第３変形例に係る電子デバイス１０の信号伝播経路の一例を示す。続いて、切替設定部８０は、出力ノードの信号がホールドされている期間において、切替駆動部５２から切替信号を出力させて、参照信号を出力ノードに対応するコンパレータへ３４と供給させる出力測定状態とする。例えば、図１８に示す例の場合であれば、切替設定部８０は、出力ノードに対応する切替部３８−３における第４スイッチ８２をオンに切り替える。
【０１４２】
これにより、切替設定部８０は、出力ノードに対応したサンプルホールド部４０によりホールドされた信号を、出力ノードに対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給させ、且つ、参照信号を出力ノードに対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給させることができる。よって、出力ノードに対応するコンパレータ３４は、出力ノードに対応したサンプルホールド部４０によりホールドされた信号と、参照信号とを比較することができる。
【０１４３】
この出力測定状態において、測定制御部６８は、参照信号発生器７６からレベルが変化する参照信号を出力させながら、出力部３６から出力ノードに対応したコンパレータ３４の比較結果を取得してホールドされた出力ノードの信号のレベルを測定する。これにより、測定制御部６８は、出力ノードの信号のレベルを精度良く測定することができる。
【０１４４】
図１９は、リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおける、第３変形例に係る電子デバイス１０の各信号のタイミングチャートの一例を示す。リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、供給制御部６６は、印加信号発生器７８から指定された波形の印加信号を発生させてもよい。
【０１４５】
これにより、供給制御部６６は、入力ノードに指定された波形の印加信号を印加することができる。そして、供給制御部６６は、指定された波形の印加信号を入力ノードに印加したことによって、出力ノードから印加信号に応じた波形の信号を出力させることができる。
【０１４６】
また、この場合、入力ノードおよび出力ノードのそれぞれに対応したサンプルホールド部４０は、一定周期のサンプルホールド信号に同期して、入力ノードの信号および出力ノードの信号をサンプルしてホールドする。そして、それぞれのホールド期間において、測定制御部６８は、入力ノードおよび出力ノードの信号のレベルを逐次比較処理により測定する。従って、測定制御部６８は、入力ノードの信号の波形、および、出力ノードの信号の波形を測定することができる。
【０１４７】
以上のように、第３変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０によれば、リアルタイムモニタＡＷＧ−ＤＧＴモードにおいて、電子デバイス１０内の一のノード３０に精度良く信号を供給しながら、当該一のノードの信号および他の一のノード３０の信号を精度良く観測することができる。また、電子デバイス１０は、回路規模が比較的に小さいサンプルホールド部４０を本来の機能に追加して備えることのみで、信号の印加および測定を同時にすることができる。これにより、電子デバイス１０および測定装置２０によれば、印加対象および測定対象となるノード３０の位置の自由度が大きくなり、また、印加対象および測定対象となるノード３０の数も多くすることができる。
【０１４８】
また、さらに、第３変形例に係る測定装置２０は、同一波形を繰り返す印加信号を電子デバイス１０に印加してもよい。このような印加信号が供給されると、電子デバイス１０は、出力ノードからも同一の波形を繰り返す信号が出力される。
【０１４９】
この場合において、測定装置２０は、繰返し波形の印加信号における予め定められた位相のタイミングにおいて、出力ノードの信号をサンプルして、サンプルした信号をホールドさせる。さらに、測定装置２０は、ホールドされた出力ノードの信号を逐次比較処理により測定する。そして、測定装置２０は、印加信号に対するサンプルタイミングの位相を順次にずらしながら、それぞれの位相における出力ノードの信号のレベルを逐次比較処理により測定する。
【０１５０】
これにより、測定装置２０は、繰返し波形である出力ノードの信号の波形を測定することができる。このような処理（アンダーサンプリング処理）を実行することにより、測定装置２０は、動作クロックが低い信号発生器を用いて、周波数の高い波形を観測することができる。
【０１５１】
また、同一波形を繰り返す印加信号を電子デバイス１０に印加した場合において、測定装置２０は、印加信号の複数の周期にわたって、予め定められた位相のタイミングにおいて出力ノードの信号をサンプルして、サンプルした信号をホールドさせる。そして、測定装置２０は、印加信号のそれぞれの周期において、出力ノードの信号と参照信号とを比較して、例えば１ビットずつレベルを表すデータ値を確定していく。すなわち、測定装置２０は、１回目の周期においてサンプルした信号と参照信号とを比較して最上位ビットの値を確定し、２回目の周期においてサンプルした信号と参照信号とを比較して最上位の次のビットを確定し、といったように上位から１ビットずつデータ値を確定する。
【０１５２】
これにより、測定装置２０は、繰返し波形である出力ノードの信号の波形を測定することができる。このような複数周期にわたる逐次比較処理を行うことにより、測定装置２０は、動作クロックが低い信号発生器を用いて、周波数の高い波形を観測することができる。
【０１５３】
図２０は、本実施形態に係る切替部３８の第３回路構成例を示す。切替部３８は、図１１に示された回路構成例に代えて、図２０に示される構成であってもよい。図２０に示される第３回路構成例に係る切替部３８は、第４スイッチ８２を有さずに、参照入力端子７２を対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）に直接接続する。
【０１５４】
このような切替部３８は、参照入力端子７２から入力された参照信号を常に対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第５スイッチ８４がオフとされることにより、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。
【０１５５】
また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができるとともに、印加信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオフとされ、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。
【０１５６】
図２１は、本実施形態に係る切替部３８の第４回路構成例を示す。切替部３８は、図１１に示された回路構成例に代えて、図２１に示される構成であってもよい。図２１に示される第４回路構成例に係る切替部３８は、第４スイッチ８２を有さずに、参照入力端子７２を対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）に直接接続する。さらに、図２１に示される第４回路構成例に係る切替部３８は、第５スイッチ８４に代えて、第６スイッチ８６を有する。第６スイッチ８６は、対応するノード３０と、印加入力端子７４との間を接続（オン）または切断（オフ）する。
【０１５７】
このような切替部３８は、参照入力端子７２から入力された参照信号を常に対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第６スイッチ８６がオフとされることにより、対応するノード３０の信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。
【０１５８】
また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオンとされ、第６スイッチ８６がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができるとともに、印加信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第１スイッチ４２がオフとされ、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができる。
【０１５９】
図２２は、本実施形態に係る切替部３８の第５回路構成例を示す。切替部３８は、図１１に示された回路構成例に代えて、図２２に示される構成であってもよい。図２２に示される第５回路構成例に係る切替部３８は、第４スイッチ８２を有さずに、参照入力端子７２を対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）に直接接続する。さらに、図２２に示される第５回路構成例に係る切替部３８は、第１スイッチ４２を有さずに、対応するノード３０を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）に直接接続する。
【０１６０】
このような切替部３８は、参照入力端子７２から入力された参照信号を常に対応するコンパレータ３４の他方の入力端（例えばプラス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、対応するノード３０の信号を常に対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。また、このような切替部３８は、第５スイッチ８４がオンとされることにより、印加入力端子７４から入力された印加信号を対応するノード３０へと供給することができるとともに、印加信号を対応するコンパレータ３４の一方の入力端（例えばマイナス側入力端）へと供給することができる。
【０１６１】
図２３は、本実施形態の第４変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。本変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０は、図１１に示された本実施形態の第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０と略同一の構成および機能を採るので、図１１に示された電子デバイス１０および測定装置２０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【０１６２】
本変形例に係る電子デバイス１０は、切替駆動部５２と、参照信号発生器７６と、印加信号発生器７８とを更に備える。そして、本変形例に係る測定装置２０は、切替駆動部５２と、参照信号発生器７６と、印加信号発生器７８とを備えない構成となっている。このような構成の電子デバイス１０および測定装置２０によれば、電子デバイス１０と測定装置２０との間の信号がデジタル信号により伝送されるので、伝送時の信号劣化を少なくして、精度良く信号の印加および信号の測定をすることができる。
【０１６３】
また、電子デバイス１０内の切替駆動部５２は、当該電子デバイス１０内のプロセッサ等から命令を受け取って複数の切替部３８の状態を切り替えてもよい。この場合、測定装置２０は、電子デバイス１０内のプロセッサ等にコマンド等を与えて、複数の切替部３８の状態を切り替えることができる。
【０１６４】
図２４は、本実施形態の第５変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０の構成を示す。本変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０は、図１１に示された本実施形態の第２変形例に係る電子デバイス１０および測定装置２０と略同一の構成および機能を採るので、図１１に示された電子デバイス１０および測定装置２０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【０１６５】
本変形例に係る電子デバイス１０は、比較制御端子９２を更に備える。比較制御端子９２は、複数のコンパレータ３４の比較タイミングを示す比較制御信号を入力するための端子である。
【０１６６】
本変形例において、複数のコンパレータ３４は、比較制御端子９２を介して入力された比較制御信号のタイミングにおいて、比較動作を実行する。これにより、複数のコンパレータ３４のそれぞれは、外部の測定装置２０により指定されたタイミングにおいて、比較動作を実行することができる。
【０１６７】
本変形例に係る測定装置２０は、比較制御部８８と、ディセーブル制御部９０とを更に備える。比較制御部８８は、比較制御信号を出力して、複数のコンパレータ３４の比較タイミングを制御する。これにより、測定装置２０は、参照信号発生器７６および印加信号発生器７８から出力する信号に同期したタイミングで複数のコンパレータ３４のそれぞれに比較動作を実行させることができる。
【０１６８】
ディセーブル制御部９０は、電子デバイス１０が備える複数の内部回路３２のうち指定された内部回路３２の機能を停止させる。ディセーブル制御部９０は、一例として、信号の印加対象および信号の測定対象となるノード３０に影響を与えない内部回路３２の機能を停止させる。これにより、測定装置２０によれば、試験時の消費電力を抑えたり、ノイズを低減させたりすることができる。
【０１６９】
図２５は、本実施形態に係る試験装置２００の構成を示す。本実施形態に係る試験装置２００は、電子デバイス１０を試験する。電子デバイス１０は、図１から図２４を参照して説明した電子デバイス１０と同様の構成を有する。
【０１７０】
試験装置２００は、パフォーマンスボード２１０と、テストヘッド２２０とを備える。パフォーマンスボード２１０は、被試験デバイスである電子デバイス１０を載置する。テストヘッド２２０は、電子デバイス１０を試験するための少なくとも１つの試験ボード２３０を収納する。
【０１７１】
ここで、パフォーマンスボード２１０には、図１から図２４を参照して説明した信号発生器５４が設けられる。これに代えて、パフォーマンスボード２１０には、図１から図２４を参照して説明した参照信号発生器７６および印加信号発生器７８が設けられてもよい。
【０１７２】
そして、試験ボード２３０内には、図１から図２４を参照して説明した測定装置２０における、信号発生器５４を除く構成、または、参照信号発生器７６および印加信号発生器７８を除く構成を備える。すなわち、試験ボード２３０は、供給設定部６２と、測定設定部６４と、供給制御部６６と、測定制御部６８とを含む。
【０１７３】
このような試験装置２００によれば、信号発生器５４（または、参照信号発生器７６および印加信号発生器７８）を電子デバイス１０の近傍に配置して、電子デバイス１０を試験することができる。これにより、試験装置２００によれば、アナログ信号を伝播する配線を短くして、精度良く電子デバイス１０を試験することができる。
【０１７４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【０１７５】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【０１７６】
１０  電子デバイス
１２  入力端子
１４  出力端子
１６  切替制御端子
１８  サンプルホールド端子
２０  測定装置
３０  ノード
３２  内部回路
３４  コンパレータ
３６  出力部
３８  切替部
４０  サンプルホールド部
４２  第１スイッチ
４４  第２スイッチ
４６  入力ピン
４８  出力ピン
５０  第３スイッチ
５２  切替駆動部
５４  信号発生器
６２  供給設定部
６４  測定設定部
６６  供給制御部
６８  測定制御部
７０  サンプルホールド制御部
７２  参照入力端子
７４  印加入力端子
７６  参照信号発生器
７８  印加信号発生器
８０  切替設定部
８２  第４スイッチ
８４  第５スイッチ
８６  第６スイッチ
８８  比較制御部
９０  ディセーブル制御部
９２  比較制御端子
２００  試験装置
２１０  パフォーマンスボード
２２０  テストヘッド
２３０  試験ボード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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