(57)【要約】      （修正有）【課題】ソケット本体に対するカバーの変位を円滑にする。【解決手段】電気的接続装置は、針先を凹所に露出させた状態にソケット本体に配置された複数の接触子と、ソケット本体の上側に上下方向へ移動可能に配置された板状のフローティング部材であって、被検査体を凹所に対し出し入れすることを許す開口を有するフローティング部材と、フローティング部材の上側に配置され、かつ水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能にフローティング部材に連結されたカバーであって、フローティング部材をソケット本体に押圧すると共に凹所に収容された被検査体の電極を針先に押圧する第1の位置と、フローティング部材及び電極の押圧を解除する第２の位置とに変位可能のカバーと、フローティング部材をソケット本体に対し上方に付勢する第１の弾性部材と、第２の位置に変位させるべくカバーをフローティング部材に対し付勢する第２の弾性部材とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する装置であって、
被検査体を受けるべく上方に開放する凹所を有するソケット本体と、
それぞれが被検査体の電極に接触される針先を有する複数の接触子であって、前記針先を前記凹所に露出させた状態に前記ソケット本体に配置された複数の接触子と、
前記ソケット本体の上側に上下方向へ移動可能に配置された板状のフローティング部材であって、被検査体を前記凹所に対し出し入れすることを許す開口を有するフローティング部材と、
該フローティング部材の上側に配置され、かつ水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記フローティング部材に連結されたカバーであって、前記フローティング部材を前記ソケット本体に押圧すると共に前記凹所に収容された被検査体の電極を前記針先に押圧する第1の位置と、前記フローティング部材及び前記電極の押圧を解除する第２の位置とに変位可能のカバーと、
前記フローティング部材を前記ソケット本体に対し上方に付勢する第１の弾性部材と、
前記第２の位置に変位させるべく前記カバーを前記フローティング部材に対し付勢する第２の弾性部材とを含む、電気的接続装置。
【請求項２】
さらに、前記ソケット本体及び前記フローティング部材の一方から前記ソケット本体及び前記フローティング部材の他方に向けて延びる状態に前記ソケット本体及び前記フローティング部材の一方に取り付けられて、先端部を前記ソケット本体及び前記フローティング部材の他方に受け入れられたピンを含み、
前記第１の弾性部材は、前記ソケット本体と前記フローティング部材との間にあって前記ピンの周りに配置されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記カバーは、水平方向へ延びる軸により一端部において前記フローティング部材に枢軸的に連結されており、
前記第２の弾性部材は、前記軸に支持されたねじりコイルばねを含む、請求項１及び２のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
さらに、前記カバー及び前記ソケット本体の一方に配置され、前記カバー及び前記ソケット本体の他方に解除可能に係合されて、前記カバーを前記第１の位置に解除可能に維持するロック片を含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記ロック片は、前記カバー及び前記ソケット本体の一方に水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能に連結されており、また前記カバー及び前記ソケット本体の他方と該ロック片との間に配置された第３の弾性部材により、前記カバー及び前記ソケット本体の他方との係合が解除する方向に付勢されている、請求項４に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記カバーは、前記カバーが前記第１の位置に変位されている状態において、前記フローティング部材の開口に対向される第２の開口を有すると共に、前記フローティング部材の上側に重ねられるカバー本体と、該カバー本体に取り付けられた押圧片であって、前記カバーが前記第１の位置に変位されている状態において、前記カバー本体から前記フローティング部材の開口を介して下方に突出されて、前記電極を前記針先に押圧する押圧片とを備える、請求項１から５のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路のような平板状被検査体の電気的試験に用いる電気的接続装置に関し、特に基板に形成された導電性部と被検査体の電極とを電気的に接続する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路のような半導体デバイスは、複数の電極をデバイス本体から突出させている。この種の半導体デバイスは、ソケットと称されている電気的接続装置を用いて、電気的試験（検査）をされる。この種の電気的接続装置の１つとして、特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３３００４１号公報
【０００４】
特許文献１に記載された従来の電気的接続装置は、被検査体を受けて収容する収容部を有する板状のソケット本体と、それぞれが被検査体の電極に接触される針先を前記収容部に露出させた状態に前記ソケット本体に並列的に配置された板状の複数の接触子と、水平方向へ延びる軸線の周りに角度的に回転可能に前記ソケット本体の一端部に連結されたカバーと、カバーをソケット本体に対し上昇させる第１のばね部材と、収容部を開放すべくカバーをソケット本体に対し角度的に回転させる第２のばね部材とを含む。
【０００５】
ソケット本体は、カバーを枢軸的に連結するガイド穴（押えカバー案内軸穴）を後端部の左右方向に間隔をおいた箇所のそれぞれに有する軸受部を有する。各ガイド穴は、上下方向へ延びる垂直部と、該垂直部の上端から後方へ水平に延びる水平部とを有する逆Ｌ字状の形状を有する。
【０００６】
カバーは、ガイド穴の垂直部に上下方向へ移動可能に受け入れられた軸棒と、ガイド穴の水平部及び垂直部に水平方向及び上下方向に移動可能に受け入れられるガイド棒（押えカバー案内ガイド）とにより収容部を開閉可能に枢軸的にソケット本体に結合されている。
【０００７】
ガイド棒は、軸棒が垂直部の上端（すなわち、水平部の前端）に位置するとき、軸棒より後方の水平部の箇所に位置され、かつ軸棒が垂直部の下端部に位置するとき、垂直部の上部に受け入れられるように、軸棒に対し離間されている。このため、ガイド棒は、カバーが収容部を閉鎖するとき、ガイド穴の水平部から垂直部に移動し、カバーが収容部を開放するとき、ガイド穴の垂直部から水平部に移動する。
【０００８】
上記従来の電気的接続装置において、カバーがソケット本体に対し上下方向へ延びる状態に変位されて、被検査体用の収容部を開放していると、軸棒及びガイド棒は、それぞれ、第１及び第２のばね部材の力によりガイド穴の水平部の前端及び後端に位置されている。この状態において、収容部に対する被検査体の着脱が行われる。
【０００９】
上記状態において、収容部を閉鎖するようにカバーを変位させる押し下げ力がカバーに作用すると、先ず軸棒がガイド穴の垂直部を下降されると共に、ガイド棒が水平部を前方へ移動される。これにより、カバーは、収容部を閉鎖するように、第２のばね部材の力に抗して、ソケット本体に対し角度的に回転される。
【００１０】
次いで、カバーを第１のばね部材の力に抗して下降させる押し下げ力がカバーに作用すると、軸棒が垂直部をさらに下降されると共に、ガイド棒が垂直部を下降される。これにより、カバーは、ＩＣリード押えにより被検査体の電極すなわちリード部を接触子の針先に押圧する。この状態において、被検査体の電気的試験が行われる。
【００１１】
被検査体を収容部から取り去るとき、カバーに作用している上記押し下げ力が除去される。これにより、先ずガイド棒がガイド穴の水平部の上面に当接するまで、カバーが第１のばね力により上昇されて、軸棒及びガイド棒がガイド穴の垂直部を上昇される。
【００１２】
次いで、カバーが第２のばね力により収容部を開放すべく角度的に回転され、ガイド棒が水平部を後方へ移動され、軸棒が垂直部をさらに上昇される。これによりカバーはソケット本体に対し上下方向へ延びる状態に変位される。
【００１３】
上記のように、従来の電気的接続装置は、逆Ｌ字状のガイド穴と、該ガイド穴に移動可能に受け入れられた２組の軸棒及びガイド棒とを用いて、ソケット本体に対するカバーの角度的回転及び上下動を規制している。このため、ガイド棒は、水平部を移動するときは、第１のばね部材により水平部の上面に押圧され、垂直部を上下方向へ移動されるときは、第２のばね部材により垂直部に押圧される。
【００１４】
上記の結果、従来の電気的接続装置では、カバーがソケット本体に対する上下動及び角度的回転のみならず、水平方向への移動をするから、ガイド穴の水平部から垂直部へのガイド棒の移動、及び垂直部から水平部へのガイド棒の移動が不安定になり、ソケット本体に対するカバーの変位（開閉運動）が円滑に行われない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、ソケット本体に対するカバーの変位を円滑にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る電気的接続装置は、被検査体を受けるべく上方に開放する凹所を有するソケット本体と、それぞれが被検査体の電極に接触される針先を有する複数の接触子であって、前記針先を前記凹所に露出させた状態に前記ソケット本体に配置された複数の接触子と、前記ソケット本体の上側に上下方向へ移動可能に配置された板状のフローティング部材であって、被検査体を前記凹所に対し出し入れすることを許す開口を有するフローティング部材と、該フローティング部材の上側に配置され、かつ水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能に前記フローティング部材に連結されたカバーであって、前記フローティング部材を前記ソケット本体に押圧すると共に前記凹所に収容された被検査体の電極を前記針先に押圧する第1の位置と、前記フローティング部材及び前記電極の押圧を解除する第２の位置とに変位可能のカバーと、前記フローティング部材を前記ソケット本体に対し上方に付勢する第１の弾性部材と、前記第２の位置に変位させるべく前記カバーを前記フローティング部材に対し付勢する第２の弾性部材とを含む。
【００１７】
電気的接続装置は、さらに、前記ソケット本体及び前記フローティング部材の一方から前記ソケット本体及び前記フローティング部材の他方に向けて延びる状態に前記ソケット本体及び前記フローティング部材の一方に取り付けられて、先端部を前記ソケット本体及び前記フローティング部材の他方に受け入れられたピンを含むことができ、また前記第１の弾性部材は、前記ソケット本体と前記フローティング部材との間にあって前記ピンの周りに配置されていることができる。
【００１８】
前記カバーは、水平方向へ延びる軸により一端部において前記フローティング部材に枢軸的に連結されていてもよく、また前記第２の弾性部材は、前記軸に支持されたねじりコイルばねを含むことができる。
【００１９】
電気的接続装置は、さらに、前記カバー及び前記ソケット本体の一方に配置され、前記カバー及び前記ソケット本体の他方に解除可能に係合されて、前記カバーを前記第１の位置に解除可能に維持するロック片を含むことができる。
【００２０】
前記ロック片は、前記カバー及び前記ソケット本体の一方に水平方向へ延びる軸線の周りに回転可能に連結されていてもよく、また前記カバー及び前記ソケット本体の他方と該ロック片との間に配置された第３の弾性部材により、前記カバー及び前記ソケット本体の他方との係合が解除する方向に付勢されていてもよい。
【００２１】
前記カバーは、前記カバーが前記第１の位置に変位されている状態において、前記フローティング部材の開口に対向される第２の開口を有すると共に、前記フローティング部材の上側に重ねられるカバー本体と、該カバー本体に取り付けられた押圧片であって、前記カバーが前記第１の位置に変位されている状態において、前記カバー本体から前記フローティング部材の開口を介して下方に突出されて、前記電極を前記針先に押圧する押圧片とを備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ソケット本体に対し上下動されるフローティング部材を設けて、このフローティング部材にカバーを角度的に回転可能に結合したから、被検査体用の凹所を開閉する際に、カバーは、フローティング部材ひいてはソケット本体に対し角度的に回転されると共に、ソケット本体に対し上下動されるが、水平方向へ移動される必要がない。その結果、フローティング部材ひいてはソケット本体に対するカバーの変位が円滑になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す斜視図であって、被検査体用の凹所を開放した状態を、カバーを開閉する弾性部材とカバー及びフローティング部材を連結する軸の中央領域を省略して示す図。
【図２】図１に示す電気的接続装置の平面図であって、検査体用の凹所を閉鎖した状態を示す図。
【図３】カバーの底面図。
【図４】図２における４−４線に沿って得た断面図。
【図５】図２における５−５線に沿って得た断面図。
【図６】カバー及びフローティング部材を上昇させた状態を示す、図５と同様の断面図。
【図７】被検査体用の凹所を開放した状態を示す、図５と同様の断面図。
【図８】ソケット本体の平面図。
【図９】図４の部分９の拡大図。
【図１０】フローティング部材を上方に付勢する弾性部材の配置状態の一実施例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
用語について
【００２５】
本発明においては、図５において、左右方向をフローティング部材へのカバーの枢軸的結合部を後方とする前後方向（Ｙ方向）といい、上下方向をカバーを上方とする上下方向（Ｚ方向）といい、紙背方向を左右方向（Ｘ方向）という。しかし、それらの方向は、試験装置への電気的試験装置の組み付け状態により異なる。
【００２６】
以下の説明においては、図５に示すように、カバーが被検査体の電極をソケット本体の側に押圧すべくフローティング部材に重ねられている状態を常態として説明する。
【００２７】
図１から図５を参照するに、電気的接続装置１０は、図４に示す平板状被検査体１２の電気的試験に、基板１４に形成された配線すなわち導電性部１４ａ（図９参照）と被検査体１２の電極１６（図９参照）とを電気的に接続するための補助装置すなわちソケットとして用いられる。
【００２８】
被検査体１２は、矩形の平面形状を有する本体部１８を備えた集積回路であり、複数の電極１６を矩形の各辺に対応する本体部１８の部位に並列的に有する。本体部１８は、モールド又はパッケージをされている。基板１４は、電気絶縁性の板状部材の上面に複数の導電性部１４ａ（図９参照）を備えた公知のものである。各導電性部１４ａは、電極１６に個々に対応されており、また試験装置の電気回路に電気的に接続される。
【００２９】
電気的接続装置１０は、被検査体１２を受ける板状のソケット本体２０と、ソケット本体２０の上側に配置された板状のフローティング部材２２と、フローティング部材２２の上側に配置された板状のカバー２４とを含む。ソケット本体２０、フローティング部材２２及びカバー２４は、厚さ方向を上下方向とされている。
【００３０】
ソケット本体２０は、板状の本体ベース２６と、本体ベース２６に配置された板状のガイドブロック２８とを備える。ソケット本体２０は、本体ベース２６に設けられた複数の貫通穴２９（図１及び図８参照）に上方から下方に通されて基板１４に螺合されたボルト（図示せず）により、基板１４に分離可能に結合される。
【００３１】
図４及び図８に示すように、本体ベース２６は、上方に開放しかつ八角形の平面形状を有する凹所３０を有すると共に、凹所３０の中央部を下方の側に連通させるほぼ矩形の開口３２を凹所３０と同軸的に有する。
【００３２】
図４及び図８に示すように、ガイドブロック２８は、八角形の平面形状を有しており、また本体ベース２６の凹所３０に配置されて、適宜なねじ部材（図示せず）により本体ベース２６に分離可能に取り付けられている。ガイドブロック２８は、凹所３０及び開口３２と同軸的な凹所３４を有する。凹所３４は、ほぼ矩形の平面形状を有しており、また上方に開放されている。
【００３３】
凹所３４は、被検査体１２を受け入れて収容する収容空間として作用する。このため、凹所３４の上部は、下方側ほど中央となるように傾斜されて、上方から凹所３０及び３４に供給される被検査体１２を凹所３０及び３４の中央部に案内するための４つの傾斜ガイド面３６とされている（図４から図６参照）。
【００３４】
本体ベース２６には、複数の接触子３８が矩形の各辺に対応する箇所に並列的に配置されている。各接触子３８は、図９に示すように、被検査体１２の電極１６に接触される針先３８ａを有しており、また針先３８ａを凹所３４に露出させた状態に凹所３０の底板部分に配置されている。
【００３５】
図示の例では、矩形の各辺に対応する箇所に複数の接触子３８が配置されている。各接触子３８は、弧状の外側部を有するＪ字状の形状を有しており、また凹所３０の底板部分に形成されたスリット４０に配置されて、矩形の各辺に対応する箇所に配置された他の接触子３８と共に共通の針押え４２により本体ベース２６に配置されている。各接触子３８は、電気的接続装置１０が基板１４に組み付けられた状態において、弧状の外側部の一部を基板１４の導電性部１４ａに接触させている。
【００３６】
上記のような接触子３８、スリット４０及び針押え４２は、例えば特開２００８−９６２７０号公報に記載されているように周知であり、したがってそれらの詳細な説明は省略する。接触子は上記以外の形状及び構造を有するものであってもよい。
【００３７】
図５から図７に示すように、フローティング部材２２は、板状部４４と、板状部４４の一端部から後方へ延びると共に、上方へ立ち上がる一対の軸受け部４６とを備えており、また本体ベース２６から上方へ延びる状態に本体ベース２６に支持された複数（図示の例では、４つ）のピン４８を板状部４４に設けられた穴５０（図１参照）に受け入れていることにより、ソケット本体２０に上下動可能に結合されている。
【００３８】
板状部４４は、ガイドブロック２８の凹所３４よりやや大きくかつ凹所３４と同軸的なほぼ矩形の開口５２を有する。両軸受け部４６は、左右方向に間隔をおいており、またフローティング部材２２とカバー２４とを結合する軸５４が左右方向に貫通する穴５６を有する。
【００３９】
図１０に示すように、各ピン４８は、本体ベース２６を下方から上方に貫通して、板状部４４の穴５０に上端部を滑動可能に受け入れられた状態に、本体ベース２６に支持されている。フローティング部材２２は、複数の弾性部材５８によりソケット本体２０に対し上方へ付勢されている。
【００４０】
各弾性部材５８は、図示の例では、ピン４８の周りに配置された圧縮コイルばねであり、またソケット本体２０の本体ベース２６とフローティング部材２２の板状部４４との間に配置されている。本体ベース２６は、それぞれが圧縮された弾性部材５８を収容する複数の穴６０を有する（図８及び図１０参照）。
【００４１】
図１から図７を参照するに、カバー２４は、板状のカバー本体６２と、カバー本体６２に取り付けられた押え部材６４と、カバー本体６２に支持された一対のロック片６６とを備える。
【００４２】
カバー本体６２は、フローティング部材２２の軸受け部４６の間にあって左右方向に間隔をおいた一対の軸受け部６８を後端部下側に備えている。両軸受け部６８は、軸受け部４６を貫通する軸５４が左右方向に貫通する穴を有しており、また軸５４によりフローティング部材２２の後端部に左右方向へ延びる軸線の周りに回転可能に組み付けられている。
【００４３】
カバー本体６２は、弾性部材７０により、フローティング部材２２の上方を開放するように、フローティング部材２２に対し付勢されている。弾性部材７０は、図示の例では、軸受け部６８の間にあって軸５４に支持されたねじりコイルばねであり、フローティング部材２２の後端部上側とカバー本体６２の後端部下側とに押圧されている。
【００４４】
図４から図７に示すように、カバー本体６２は、また、上方に開放する矩形の凹所７２と、下方に開放する矩形の凹所７４と、両凹所７２及び７４を連通する矩形の開口７６とを備える。凹所７２及び７４は、本体ベース２６の凹所３０とほぼ同じ大きさを有している。開口７６は、凹所７２及び７４より小さく、また本体ベース２６の開口３２よりやや大きい。常態（カバー本体６２がフローティング部材２２の上に重ねられた状態）において、凹所７２及び７４は凹所３０と対向され、開口７６は開口３２に対向される。
【００４５】
押え部材６４は、凹所７４に配置された矩形の板状部７８と、板状部７８から下方へ突出する４つの押圧片８０とを備え、また板状部７８においてカバー本体６２にねじ止めされている。板状部７８は、常態において本体ベース２６の開口３２に対向される開口８２を有する。開口８２は、開口３２よりやや大きい。
【００４６】
各押圧片８０は、板状の形状を有しており、また厚さ方向が水平方向となりかつ凹所７４から下方に突出した状態に、矩形の対応する辺に設けられている。各押圧片８０の下端面は、被検査体１２の電極１６を押圧する押圧面とされている（図９参照）。
【００４７】
図４に示すように、各ロック片６６は、前後方向へ延びる軸８４によりカバー本体６２の左右方向における端部に前後方向へ延びる軸線の周りに回転可能に結合されている。各ロック片６６は、また、ロック片６６とカバー本体６２との間に配置された複数の弾性部材８６により、下端部に備えられた係合部６６ａが本体ベース２６に備えられた係合部２６ａに係合した状態を解除可能に維持するように付勢されている。
【００４８】
常態におけるフローティング部材２２とカバー２４との左右方向における位置は、カバー本体６２から下方へ突出する各位置規制ピン８８がフローティング部材２２に備えられた長穴９０に受け入れられることにより、維持される。フローティング部材２２とカバー２４との前後方向における位置は、軸５４により維持される。
【００４９】
常態においては、図5に示すように、カバー２４が押し下げ力により弾性部材５８及び７０の付勢力に抗してフローティング部材２２の上に重ねられ、またロック片６６の係合部６６ａが弾性部材８６の付勢力により本体ベース２６に備えられた係合部２６ａに係合されている。この常態において、ソケット本体２６の凹所３４に収容された被検査体１２は、その電極１６を押圧片８０により接触子３８の針先３８ａに押圧された状態に係合片６６ａ及び２６ａの係合により維持されている。
【００５０】
上記の状態において、被検査体１２の電気的試験が行われる。電気的試験は、試験装置の電気回路から被検査体１２の適宜な電極１６に試験信号が供給して、その試験信号に応答する応答信号を被検査体１２の他の電極１６から出力させることにより行われる。
【００５１】
被検査体１２を凹所３４から取り去るとき、両ロック片６６が弾性部材８６の付勢力に抗して上端部を相寄る方向に変位されて、係合部６６ａ及び２６ａの係合が解除され、またカバー２４に作用している押し下げ力が除去される。これにより、先ずカバー２４及びフローティング部材２２が弾性部材５８の付勢力により図５に示す状態から上昇されることにより、押圧片６６による針先３８ａへの電極１６の押圧が解除される。次いで、弾性部材５８の付勢力によりカバー２４及びフローティング部材２２が図６に示す状態に上昇されると共に、カバー２４が弾性部材７０の付勢力により図１及び図７に示すようにフローティング部材２２に対し角度的に回転される。
【００５２】
上記の結果、図１及び図７に示すように、カバー２４はフローティング部材２２、ひいてはソケット本体２０に対し上下方向へ延びる状態に変位され、フローティング部材２２の上方が開放される。この状態において、被検査体１２を凹所３４からフローティング部材２２の開口７６を経て上方に取り出し、新たな被検査体１２をフローティング部材２２の開口７６を経てソケット本体２０の凹所３４に配置することができる。
【００５３】
新たな被検査体１２が凹所３４に配置されると、ソケット本体２０の凹所３４を閉鎖するようにカバー２４を変位させる押し下げ力がカバー２４に作用する。これにより、先ずカバー２４がフローティング部材２２の上に重なるように、すなわち図６に示すように、弾性部材７０の力に抗して、フローティング部材２２、ひいてはソケット本体２０に対し角度的に回転される。
【００５４】
次いで、カバー２４及びフローティング部材２２が引き続く押し下げ力により、弾性部材５８の力に抗してソケット本体２０に対し下降される。これにより、カバー２４が、被検査体１２の電極１６を押圧片８０により接触子３８の針先３８ａに押圧する、図５に示す常態に戻る。
【００５５】
上記のように、電気的接続装置１０においては、カバー２４はフローティング部材２２に対し、軸５４の軸線の周りに角度的に回転するだけであり、軸５４は前後方向、左右方向及び上下方向のいずれにも変位しない。このため、凹所３４を開閉する際に、カバー２４は、フローティング部材２２ひいてはソケット本体２０に対し角度的に回転されると共に、ソケット本体２０に対し上下動されるが、水平方向へ移動されない。その結果、フローティング部材２２ひいてはソケット本体２０に対するカバー２４の変位が円滑になる。
【００５６】
フローティング部材を備えず、カバーがソケット本体に対し角度的に回転することにより電極１６を針先３８ａに押圧する一般的な電気的接続装置においては、カバーに押し下げ力が作用すると、カバーがソケット本体に正しく重ならない限り、針先３８ａへの電極の押圧力が不均一になる。
【００５７】
しかし、電気的接続装置１０においては、押し下げ力がカバー２４に作用したとき、カバー２４が図６に示すようにフローティング部材２２の上に重ねられた後、フローティング部材２２及びカバー２４が下降して、電極１６を針先３８ａに押圧する。このため、針先３８ａへの電極の押圧力が均一になる。
【００５８】
ピン４８及び穴６０をフローティング部材２２に設け、穴５０を本体ベース２６に設けてもよい。また、位置規制ピン８８を本体ベース２６に設け、長穴９０をフローティング部材２２に設けてもよい。さらに、ロック片６６を本体ベース２６に設けて、係合部２６ａに対応する（係合部６６ａと係合する）係合部をカバー本体６２に設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  電気的接続装置
１２  被検査体
１４  基板
１４ａ  導電性部
１６  電極
２０  ソケット本体
２２  フローティング部材
２４  カバー
２６  本体ベース
２８  ガイドブロック
３０  ３４  凹所（被検査体収容用）
３８  接触子
３８ａ  針先
５４  軸
５８  弾性部材
６２  カバー本体
６４  押え部材
６６  ロック片
７０  弾性部材
８０  押圧片
８６  弾性部材
８８  位置規制ピン
【図１】
2012229923.tif 000003
【図２】
2012229923.tif 000004
【図３】
2012229923.tif 000005
【図４】
2012229923.tif 000006
【図５】
2012229923.tif 000007
【図６】
2012229923.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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