(57)【要約】      （修正有）【課題】アルミニウム基材の腐食を抑制できるナノインプリント用モールドの製造方法の提供。【解決手段】アルミニウム基材１０の表面に、複数の細孔６２を有する陽極酸化アルミナ６４が形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔６２を有する酸化皮膜６４を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程を有し、除去工程にて、アルミニウム基材と接触する部材の、該アルミニウム基材と接触する部分の材質が、前記アルミニウム基材と同じ材質である、ナノインプリント用モールドの製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、
アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程を有し、
除去工程にて、アルミニウム基材と接触する部材の、該アルミニウム基材と接触する部分の材質が、前記アルミニウム基材と同じ材質である、ナノインプリント用モールドの製造方法。
【請求項２】
前記処理液がクロムリン酸水溶液である、請求項１に記載のナノインプリント用モールドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノインプリント用モールドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光の波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有するフィルムなどの物品は、反射防止効果、ロータス効果等を発現することが知られている。特に、モスアイ構造と呼ばれる凹凸構造は、空気の屈折率から物品の材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。
【０００３】
フィルムの表面に微細凹凸構造を形成する方法としては、該微細凹凸構造の反転構造が表面に形成されたモールド（金型）を用い、該モールドとフィルム基材との間に硬化性樹脂組成物を供給して硬化させ、モールドの微細凹凸構造をフィルム基材の表面に転写する方法（ナノインプリント法）が注目されている。
【０００４】
ナノインプリント用のモールドを製造する方法としては、大面積化が容易であり、かつ製造が簡便である点から、アルミニウム基材を電解液にて陽極酸化して細孔を有する酸化皮膜を形成する工程と、エッチングにより酸化皮膜の細孔を拡大させる工程とを交互に繰り返し、アルミニウム基材の表面に複数の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナを形成する方法が提案されている（例えば特許文献１、２）。
また、陽極酸化の工程とエッチングの工程を交互に繰り返すのに先立ち、陽極酸化により形成した酸化皮膜を処理液に溶解させて一旦除去する工程を行う場合もある（例えば特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４６１７４０２号公報
【特許文献２】国際公開第２０１０／０９５４１５号パンフレット
【特許文献３】国際公開第２００８／００１８４７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１、２に記載のように陽極酸化の工程とエッチングの工程を交互に繰り返して陽極酸化アルミナを形成する場合や、これらの工程を交互に繰り返すのに先立ち、陽極酸化により形成した酸化皮膜を除去する工程を行う場合では、アルミニウム基材を把持する部材や通電部材など、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材に取り付けた状態で、一連の工程を行うことがある。
【０００７】
しかしながら、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材に取り付けた状態で、酸化皮膜を処理液（特にクロムリン酸水溶液）に溶解させて除去すると、アルミニウム基材が腐食する場合があった。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、アルミニウム基材の腐食を抑制できるナノインプリント用モールドの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは鋭意検討した結果、酸化皮膜を除去する工程でのアルミニウム基材の腐食は、アルミニウム基材と接触する部材と、アルミニウム基材とが異種金属であることに起因するガルバニック腐食であることを突き止めた。そこで、アルミニウム基材と接触する部材をアルミニウム基材と同じ材質にすればよい、との着想に基づき、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明のナノインプリント用モールドの製造方法は、アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程を有し、除去工程にて、アルミニウム基材と接触する部材の、該アルミニウム基材と接触する部分の材質が、前記アルミニウム基材と同じ材質であることを特徴とする。
ここで、前記処理液がクロムリン酸水溶液であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、アルミニウム基材の腐食を抑制できるナノインプリント用モールドの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】陽極酸化されるアルミニウム基材と、陽極酸化するための各種部材との関係を模式的に示す断面図である。
【図２】陽極酸化アルミナの細孔の形成過程を示す断面図である。
【図３】図１に示す通電部材の他の例を示す断面図である。
【図４】試験例を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明のナノインプリント用モールド（以下、単に「モールド」という場合がある。）の製造方法は、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナが形成されたナノインプリント用モールドを製造する方法であって、アルミニウム基材の表面を陽極酸化して複数の細孔を有する酸化皮膜を形成した後、該酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する除去工程（後述する工程（ｂ））を有する。
以下、本発明のモールドの製造方法の一例について詳細に説明する。
【００１４】
モールドの製造方法としては、例えば下記工程（ａ）〜工程（ｆ）を有する方法が挙げられる。
（ａ）中空円柱状のアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、表面に複数の細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。
（ｂ）酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去し、陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。
（ｃ）前記工程（ｂ）の後、電解液中、再度陽極酸化する酸化皮膜を形成する工程。
（ｄ）前記工程（ｃ）の後、細孔の径を拡大させる工程。
（ｅ）前記工程（ｄ）の後、電解液中、再度陽極酸化する工程。
（ｆ）前記工程（ｄ）と工程（ｅ）を繰り返し行う工程。
【００１５】
工程（ａ）
図１は、陽極酸化される中空円柱状のアルミニウム基材と、陽極酸化するための各種部材との関係を模式的に示す断面図である。
この例のアルミニウム基材１０は、その両端に、アルミニウム基材１０を固定し、かつアルミニウム基材１０を通電する通電部材２０が取り付けられ、基材内部が封止された状態で、電解液Ｌで満たされた処理槽３０に浸漬されている。さらに、アルミニウム基材１０には、柱状の通電シャフト４０が軸方向をアルミニウム基材１０の軸方向と同じにして、アルミニウム基材１０および通電部材２０を貫通して設けられており、通電シャフト４０が通電部材２０に締付ネジ５０で固定されている。また、通電部材２０と通電シャフト４０とには、電源（図示略）が電気的に接続され、電流が印加可能とされている。
【００１６】
また、アルミニウム基材１０は支持軸（図示略）上に支持されており、支持軸に接続されたモータ等の回転駆動部（図示略）によって支持軸が回転することで、アルミニウム基材１０が回転できるようになっている。
さらに、アルミニウム基材１０は、２枚の陰極板（図示略）によって間隙を開けて挟まれている。２枚の陰極板には、それぞれ電源（図示略）が電気的に接続され、電流が印加可能とされている。
【００１７】
アルミニウム基材１０は、アルミニウムの純度が９９質量％以上であることが好ましく、より好ましくは９９．５質量％以上であり、さらに好ましくは９９．８質量％以上であり、特に好ましくは９９．９９質量％である。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した際に、不純物の偏析により可視光線を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で形成される細孔の規則性が低下したりする。
【００１８】
ところで、純度の高いアルミニウムを用いた場合、所望の形状（例えば図１に示すように中空円柱状など）に加工する際に、柔らかすぎて加工しにくくなる場合がある。そこで、アルミニウムにマグネシウムを添加して所定の形状に加工したものをアルミニウム基材１０として用いるのが好ましい。マグネシウムを添加することで、アルミニウムの強度が高まるため加工しやすくなる。
マグネシウムの添加量は、アルミニウムに対して０．５〜１質量％程度である。
【００１９】
通電部材２０、通電シャフト４０、および締付ネジ５０の材質としては特に制限されないが、アルミニウム基材１０に通電部材２０や通電シャフト４０を取り付けた状態のまま後述の工程（ｂ）を行う場合には、アルミニウム基材１０と接触する部分の材質がアルミニウム基材１０と同じ材質であることが好ましい。
ここで、「アルミニウム基材と接触する部分」とは、例えば図１に示す通電部材２０の、アルミニウム基材１０と接触している接触部分２０ａや、図１には図示していないが、アルミニウム基材１０を支持したり把持したりする部材（治具）の、アルミニウム基材１０と接触している接触部分などが挙げられる。
なお、アルミニウム基材と接触しない部分（例えば図１に示す通電部材２０の、アルミニウム基材１０と接触していない非接触部分２０ｂ）の材質については特に制限されず、アルミニウム基材の材質と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００２０】
また、アルミニウムは、ＪＩＳ規格により、純アルミニウム系（１０００系）、Ａｌ−Ｍｎ系合金（３０００系）、Ａｌ−Ｓｉ系合金（４０００系）、Ａｌ−Ｍｇ系合金（５０００系）、Ａｌ−Ｃｕ−Ｍｇ系合金（２０００系）、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系合金（６０００系）、Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系合金（７０００系）などに分類されている。
本発明において、「同じ材質」とは、ＪＩＳ規格で分類されるアルミニウムの合金系統が同じ系統である（例えばアルミニウム基材の材質が１０００系の場合は、アルミニウム基材と接触する部分の材質も１０００系である）ことを意味する。なお、アルミニウム基材や接触部分の材質が、ＪＩＳ規格に該当しない場合は、以下のようにする。
・アルミニウムの純度が９９質量％以上は、純アルミニウム系とする。
・純アルミニウム系に他の元素を添加した場合は、添加した元素の添加量の差が０．５質量％以内のものであれば、同じ材質とする。
【００２１】
アルミニウム基材１０の陽極酸化は、例えば下記のように行う。
図１に示すように、アルミニウム基材１０を処理槽３０の電解液Ｌに浸漬させた状態にて、回転駆動部（図示略）を駆動させて、支持軸（図示略）を回転させてアルミニウム基材１０を回転させる。
アルミニウム基材１０を回転させながら、通電シャフト４０および通電部材２０を介してアルミニウム基材１０と陰極板（図示略）に電圧を印加し、アルミニウム基材１０の陽極酸化を行う。
【００２２】
電解液としては、シュウ酸、硫酸等が挙げられる。
シュウ酸を電解液として用いる場合：
シュウ酸の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
ある所定の周期で規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得るには、所定の周期に合った化成電圧をかける必要がある。例えば周期が１００ｎｍの陽極酸化アルミナの場合、化成電圧は３０〜６０Ｖであることが好ましい。所定の周期に合った化成電圧をかけない場合、規則性が低下する傾向にある。
電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００２３】
硫酸を電解液として用いる場合：
硫酸の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
ある所定の周期で規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得るには、所定の周期に合った化成電圧をかける必要がある。例えば周期が６３ｎｍの陽極酸化アルミナの場合、化成電圧は２５〜３０Ｖであることが好ましい。所定の周期に合った化成電圧をかけない場合、規則性が低下する傾向にある。
電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がよりに好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００２４】
上述のようにしてアルミニウム基材１０を陽極酸化すると、図２（ａ）に示す状態から図２（ｂ）に示すように細孔６２を有する酸化皮膜６４が形成される。
【００２５】
工程（ｂ）
工程（ｂ）では、酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する。
工程（ｂ）は、図１に示すように、アルミニウム基材１０の両端に、締付ネジ５０で通電シャフト４０が固定された通電部材２０が取り付けられた状態や、図１には図示していないが、アルミニウム基材１０が支持軸で支持されたり、把持部材で把持されたりする状態（すなわち、アルミニウム基材が部材と接触した状態）で実施できる。従って、工程（ａ）で用いた通電部材２０や通電シャフト４０をアルミニウム基材１０から取り外す手間が省ける。
【００２６】
工程（ｂ）にて、アルミニウム基材と接触する部材（例えば図１に示す通電部材２０や、図示略の支持軸および把持部材などの治具）の、アルミニウム基材と接触する部分（例えば図１に示す場合は通電部材２０の接触部分２０ａ）の材質は、アルミニウム基材と同じ材質である。
アルミニウム基材と接触する部分（以下、「接触部分」という場合がある。）がアルミニウム基材と同じ材質であれば、処理液中で酸化皮膜を除去する際に、ガルバニック腐食が起こりにくくなるので、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。また、アルミニウム基材の腐食に起因した処理液の汚染も防げる。
なお、接触部分は、その材質がアルミニウム基材と同じ材質、すなわちＪＩＳ規格で分類されるアルミニウムの合金系統が同じ系統であれば、アルミニウムの純度までは特に制限されないが、アルミニウム基材と同じ純度であることが好ましい。
【００２７】
また、アルミニウム基材と接触する部材は、接触部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質であれば、その他の部分の材質に関しては特に制限されず、同じであってもよく異なっていてもよい。
その他の部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質の場合（例えば図３に示すように通電部材２０がアルミニウム基材と同じ材質からなる場合）は、酸化皮膜の除去中に、接触部分とその他の部分との界面でもガルバニック腐食が起こるのを防げる。また、ガルバニック腐食に起因した処理液の汚染も防げる。
【００２８】
ところで、アルミニウム基材が純度の高い純アルミニウムからなる場合、純度の高い純アルミニウムは高価であるため、接触部分も高価な純アルミニウムで構成されることになる。従って、このような場合には、例えば図１に示す通電部材２０の非接触部分２０ｂの材質をアルミニウム基材と異なる、純度の低いアルミニウムとすれば、図３に示すように通電部材２０全体をアルミニウム基材と同じ材質（純度の高い純アルミニウム）とする場合に比べて、純度の高い純アルミニウムの使用量が少なくてすむので、コストを低減できるという利点がある。
なお、仮に通電部材２０の接触部分２０ａと非接触部分２０ｂとの界面でガルバニック腐食が起こったとしても、接触部分２０ａのみを交換すればよく、通電部材２０全体を交換する場合に比べてコストを低減できるという利点もある。
【００２９】
また、通電部材２０に通電シャフト４０が締付ネジ５０で固定されている状態で工程（ｂ）を行う場合、通電シャフト４０や締付ネジ５０の材質に関しては特に制限されず、アルミニウム基材の材質と同じであってもよく異なっていてもよい。
【００３０】
工程（ｂ）を行う際は、図１に示す処理槽３０内の電解液Ｌを工程（ｂ）で用いる処理液に入れ替えて行ってもよいし、締付ネジ５０で通電シャフト４０が固定された通電部材２０が両端に取り付けられた状態でアルミニウム基材１０を処理槽３０から引き上げ、処理液で満たされた他の処理槽に浸漬させて行ってもよい。
【００３１】
工程（ｂ）では、図２（ｃ）に示すように、酸化皮膜を除去することで、これを陽極酸化の細孔発生点６６にする。工程（ｂ）を行うことで、細孔の規則性を向上することができる。
酸化皮膜は、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する処理液に溶解させて除去する。このような処理液としては、例えば、クロムリン酸水溶液が好適である。
【００３２】
また、このような処理を行う場合、特にアルミニウム基材１０をクロムリン酸水溶液などの処理液中に比較的長時間浸漬させる必要があるが、通電部材２０とアルミニウム基材１０とが接触したまま長時間処理液中に配置すると、通電部材２０とアルミニウム基材１０との間での腐食がより顕著となる傾向にある、という問題があった。
しかし、本発明においては、アルミニウム基材１０および通電部材２０に腐食を生じさせることなく、上述のような処理を行うことができるために、規則性が高く配置された細孔を有するモールドを容易かつ安定的に製造することが可能となる。
【００３３】
工程（ｃ）
酸化皮膜を除去したアルミニウム基材を再度、陽極酸化すると、図２（ｄ）に示すように、円柱状の細孔６２を有する酸化皮膜６４が形成される。
陽極酸化の条件は、図２（ｂ）に示した酸化皮膜６４を形成した際と同様な条件であればよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００３４】
工程（ｃ）は、工程（ｂ）に引き続き、アルミニウム基材１０の両端に、締付ネジ５０で通電シャフト４０が固定された通電部材２０が接続された状態で実施できるが、必要に応じて、通電部材２０、通電シャフト４０、締付ネジ５０を取り替えてもよい。その際、これらの材質については特に制限されず、アルミニウム基材と同じ材質でもよいし、異なる材質（例えばチタンなど）でもよい。
【００３５】
工程（ｄ）
図２（ｅ）に示すように、細孔６２の径を拡大させる処理を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
【００３６】
工程（ｅ）
図２（ｆ）に示すように、再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔６２の底部から下に延びる、直径の小さい円柱状の細孔６２がさらに形成される。
陽極酸化の条件は、上述と同様な条件であればよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００３７】
工程（ｆ）
上述した工程（ｄ）と工程（ｅ）を繰り返すと、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔６２を有する陽極酸化アルミナ（アルミニウムの多孔質の酸化皮膜（アルマイト））が形成された、図２（ｇ）に示すようなロール状モールド６０が得られる。最後は工程（ｄ）で終わることが好ましい。
繰り返し回数は、合計で３回以上が好ましく、５回以上がより好ましい。繰り返し回数が２回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を転写して製造され光学フィルムの反射率低減効果は不十分である。
【００３８】
細孔６２の形状としては、略円錐形状、角錐形状等が挙げられる。細孔６２間の平均周期は、可視光線の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下である。細孔６２間の平均周期は、２５ｎｍ以上が好ましい。
【００３９】
細孔６２のアスペクト比（細孔の深さ／細孔の開口部の幅）は、１．５以上が好ましく、２．０以上がより好ましい。
【００４０】
以上説明した本発明のモールドの製造方法にあっては、工程（ａ）により形成された酸化皮膜の少なくとも一部を除去する除去工程（工程（ｂ））において、アルミニウム基材と接触する部材の接触部分をアルミニウム基材と同じ材質にすることで、アルミニウム基材と部材との界面でガルバニック腐食が起こりにくくなり、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。
【００４１】
また、工程（ａ）において、アルミニウム基材と接触する部分の材質がアルミニウム基材と同じ材質である部材（通電部材や、アルミニウム基材を支持したり把持したりする治具）を用いれば、これらをアルミニウム基材に取り付けた状態で、上述した工程（ａ）〜工程（ｆ）の一連の工程を実施できる。従って、通電部材、通電シャフト、締付ネジ、各種治具を各工程で取り外す手間が省けるので、効率よくモールドを製造できる。
【００４２】
ところで、工程（ａ）〜工程（ｆ）を経て得られたモールドは、その外周面や内周面に各工程で用いた電解液や処理液などの付着物が付着している。これら付着物はモールドを洗浄することにより除去されるが、外周面に比べて内周面に付着した付着物は除去されにくい。
しかし、図１に示すように、アルミニウム基材１０の両端に通電部材２０が取り付けられ、基材内部が封止された状態であれば、基材内部に電解液や処理液が侵入するのを防げる。よって、アルミニウム基材の内周面に付着物が付着しにくいので、より品質の高いモールドが得られる。
【実施例】
【００４３】
［試験例］
以下、試験例について説明する。
以下の試験例１〜９では、部材が接触した状態でアルミニウム基材が処理液中に浸漬したときのアルミニウム基材（評価対象基材）の腐食を確認するために行った。
なお、本試験例では、処理液としてクロムリン酸水溶液Ａ（クロム酸濃度：１．８質量％、リン酸濃度：５．０質量％）またはクロムリン酸水溶液Ｂ（クロム酸濃度：１．８質量％、リン酸濃度：６．０質量％）を用いた。
【００４４】
［試験例１］
図４（ａ）に示すように、評価対象基材７１として純度９９．９９質量％の純アルミニウム製の板（高純度アルミニウム板）を用い、これを挟持基材７２として純度９９．７質量％以上のアルミニウム板（合金呼称：Ａ１０７０）２枚で挟んだ。高純度アルミニウム板およびアルミニウム板には中央に貫通孔が設けられており、図４（ｂ）に示すように樹脂製ボルト７３で各板を締結し、試験片７０とした。
ついで、図４（ｃ）に示すように、処理液Ｍとしてクロムリン酸水溶液Ａの入ったビーカー７４に試験片７０を浸漬させ、７０℃×６時間の条件で放置した。放置後の試験片７０について、樹脂製ボルト７３をはずして評価対象基材７１および把持基材７２をばらし、評価対象基材７１の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００４５】
［試験例２］
アルミニウム板の代わりに、２枚のチタン板を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ａ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００４６】
［試験例３］
アルミニウム板の代わりに、２枚のＡｌ−Ｃｕ系合金製の板（合金呼称：Ａ２０１７）を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ａ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００４７】
［試験例４］
アルミニウム板の代わりに、２枚のＡｌ−Ｍｇ系合金製の板（合金呼称：Ａ５０５２）を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ａ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００４８】
［試験例５］
アルミニウム板の代わりに、２枚のＡｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系合金製の板（合金呼称：Ａ６０６３）を用いて評価対象基材を挟み試験片を作製した以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ａ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００４９】
［試験例６］
純度９９．９９質量％の高純度アルミニウム粉に１質量％相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を３枚作製した。得られたマグネシウム含有高純度アルミニウム板３枚を、評価対象基材および挟持基材として用いて試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Ｂを用いた以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ｂ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００５０】
［試験例７］
純度９９．９９質量％の高純度アルミニウム粉に１質量％相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を１枚作製し、これを評価対象基材とした。
アルミニウム板の代わりに、２枚のＡｌ−Ｍｇ系合金製の板（合金呼称：Ａ５０５２）を用いて評価対象基材（マグネシウム含有高純度アルミニウム板）を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Ｂを用いた以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ｂ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００５１】
［試験例８］
純度９９．９９質量％の高純度アルミニウム粉に１質量％相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を１枚作製し、これを評価対象基材とした。
アルミニウム板の代わりに、２枚のＡｌ−Ｃｕ系合金製の板（合金呼称：Ａ２０１７）を用いて評価対象基材（マグネシウム含有高純度アルミニウム板）を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Ｂを用いた以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ｂ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００５２】
［試験例９］
純度９９．９９質量％の高純度アルミニウム粉に０．５質量％相当のマグネシウム粉を添加して、マグネシウム含有高純度アルミニウム板を１枚作製し、これを評価対象基材とした。
純度９９．７質量％以上のアルミニウム板（合金呼称：Ａ１０７０）２枚で評価対象基材（マグネシウム含有高純度アルミニウム板）を挟み試験片を作製し、かつ処理液としてクロムリン酸水溶液Ｂを用いた以外は、試験例１と同様にしてクロムリン酸水溶液Ｂ中に試験片を浸漬させ、評価対象基材の腐食の有無を目視にて確認した。結果を表１に示す。
【００５３】
【表１】
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【００５４】
表１から明らかなように、評価対象基材と挟持基材とが同じ材質である試験例１、６、９の場合、処理液浸漬後の評価対象基材は腐食していなかった。
一方、評価対象基材と挟持基材とが異なる材質である試験例２〜５、７、８の場合、処理液浸漬後の評価対象基材は腐食していた。
よって、これらの結果より、陽極酸化によってアルミニウム基材の表面に形成された酸化皮膜の少なくとも一部を処理液中で除去する際に、アルミニウム基材と接触する部材の接触部分をアルミニウム基材と同じ材質にすることで、アルミニウム基材と部材との界面でガルバニック腐食が起こりにくくなり、アルミニウム基材が腐食するのを抑制できる。
【符号の説明】
【００５５】
１０  アルミニウム基材、
２０  通電部材、
２０ａ  接触部分、
２０ｂ  非接触部分
４０  通電シャフト、
５０  締付ネジ、
６２  細孔、
６４  酸化皮膜（陽極酸化アルミナ）、
６０  ロール状モールド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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