(57)【要約】【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧機構が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有する。当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有する。【選択図】図４
2012083156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有して表面に複数の接触子を備えたフィルムタイププローブと、
当該フィルムタイププローブを支持して上記各接触子を被検査体の各電極に電気的に接触させるプローブブロックと、
当該プローブブロックに支持されて、上記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の各電極にそれぞれ接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧機構とを備え、
上記フィルムタイププローブの先端部に上記各接触子が備えられると共に当該先端部が上記プローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、
上記加圧機構が上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し、
当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有することを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記加圧機構の加圧面に当接する上記フィルムタイププローブ側の部分に弾性体を備え、当該弾性体と上記加圧面との間に隙間を有することを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記加圧機構と上記プローブブロックとの間に引張バネを架け渡して設けられ、
当該引張バネが上記加圧機構を、上記加圧面で上記フィルムタイププローブの先端部を加圧するように付勢することを特徴とするプローブユニット。
【請求項４】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
上記加圧機構が、その先端側に先端加圧部を備え、
当該先端加圧部が上記加圧機構に揺動可能に支持されると共にその先端部に上記加圧面を有し、当該先端加圧部の揺動軸が上記加圧機構の揺動軸に直交する方向に配設されて、上記加圧面が上記被検査体の並列に配設された各電極に沿う方向の傾斜とそれに直交する方向の傾斜に合わせて揺動することを特徴とするプローブユニット。
【請求項５】
被検査体を支持して検査する測定部を備えた検査装置であって、
上記測定部のプローブユニットとして、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の被検査体の検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の製造工程においては、その液晶パネル等の検査として点灯検査等が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合において、上記検査は、上記プローブユニットの各プローブを液晶パネル等の電極に押し当てた状態で、各電極に検査信号を供給することにより行われる。
【０００３】
上記プローブユニットとしては、例えば特許文献１に記載の液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットがある。この液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットを、図１，２に基づいて概説する。
【０００４】
プローブマウント１は装置本体側に取り付けられている。プローブマウント１にはプローブブロック２が取り付けられている。このプローブブロック２の下側面の先端側（図１の左側）にはフィルムタイププローブ３が取り付けられている。このフィルムタイププローブ３は、フィルム基板４と、接触子５と、絶縁ゴム板６とから構成されている。接触子５は、フィルム基板４の下側面に、等間隔に複数設けられている。絶縁ゴム板６は、フィルム基板４の上側面に設けられている。フィルムタイププローブ３は、プローブブロック２の下側面の先端側に固定されている。
【０００５】
これにより、液晶ディスプレイパネル７の各電極に、フィルムタイププローブ３の接触子５がそれぞれ接触され、絶縁ゴム板６を介してプローブブロック２で押圧されて、電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】韓国特許公開公報第１０−２００６−０１０８４２６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記従来の液晶ディスプレイパネル検査用プローブユニットでは、フィルムタイププローブ３の各接触子５が液晶ディスプレイパネル７の各電極に接触するが、液晶ディスプレイパネル７の電極面の平坦度が良くないと、高い精度で接触することが難しくなる。
【０００８】
フィルムタイププローブ３の各接触子５と、液晶ディスプレイパネル７の各電極とは、本来それらの間が平行になるように配設されて互いに接触するように設定されているが、場合によってそれらの間に角度がついてしまうことがある。即ち、各接触子５が各電極に、傾斜した状態で接触することがある。
【０００９】
また、液晶ディスプレイパネル７は、全体的には平坦な板材であるが、部分的には平面がうねっている所も存在する。
【００１０】
これらの場合、各接触子５はプローブブロック２によって支持されているため、傾きやうねり等の程度によっては、絶縁ゴム板６で吸収できない場合がある。そして、フィルムタイププローブ３の各接触子５と液晶ディスプレイパネル７の各電極との間に、絶縁ゴム板６で吸収できない傾斜等があると、フィルムタイププローブ３の接触子５と液晶ディスプレイパネル７の各電極との接触精度が低下してしまうという問題がある。
【００１１】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、フィルムタイププローブの接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持することができるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、可撓性を有して表面に複数の接触子を備えたフィルムタイププローブと、当該フィルムタイププローブを支持して上記各接触子を被検査体の各電極に電気的に接触させるプローブブロックと、当該プローブブロックに支持されて、上記フィルムタイププローブの各接触子が被検査体の各電極にそれぞれ接触した状態でこのフィルムタイププローブを均一な圧力で加圧する加圧機構とを備え、上記フィルムタイププローブの先端部に上記各接触子が備えられると共に当該先端部が上記プローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、上記加圧機構が上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し、当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で、当該加圧面が上記被検査体の各電極に対して、並列に配設された当該各電極に沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極に近接離間するように、上記加圧機構が上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧機構の加圧面と上記フィルムタイププローブ側との間に隙間を有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る検査装置は、被検査体を支持して検査する測定部を備えた検査装置であって、上記測定部のプローブユニットとして、上述のプローブユニットを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
上記プローブユニット及び検査装置では、フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】従来のプローブユニットを示す側面断面図である。
【図２】従来のプローブユニットのフィルムタイププローブを示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る検査装置の測定部を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を示す側面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を示す正面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るプローブユニットの加圧機構を示す要部拡大断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を、当該プローブユニットが接触した表示装置の各電極が上になるように（図８中の右肩上がりに）表示装置が傾斜した状態で示す側面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を、当該プローブユニットが接触した表示装置の各電極が下になるように（図９中の右肩下がりに）表示装置が傾斜した状態で示す側面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を示す側面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を、当該プローブユニットが接触した表示装置の各電極が上になるように（図１１中の右肩上がりに）表示装置が傾斜した状態で示す側面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を、当該プローブユニットが接触した表示装置の各電極が下になるように（図１２中の右肩下がりに）表示装置が傾斜した状態で示す側面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を示す斜視図である。
【図１４】本発明の第３実施形態に係る検査装置のプローブユニットの要部を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１７】
[第１実施形態]
まず、本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態の検査装置は、後述する本発明のプローブユニットを備えた装置である。このプローブユニットを備えることができる公知のすべての検査装置を本実施形態の検査装置として用いることができる。この検査装置は、パネルセット部と、測定部とを備えている。パネルセット部は、外部から挿入された被検査体としての液晶パネル等の表示装置を受け取って測定部へ搬送し、検査終了後の表示装置を外部へ受け渡すための装置である。測定部は、パネルセット部から渡された表示装置を支持して点灯検査等をするための装置である。
【００１８】
測定部は、図３に示すように、アライメントステージ１１、ワークテーブル１２、パネル受け部１３、プローブユニット１４等を備えて構成されている。
【００１９】
アライメントステージ１１は、表示装置１６のＸＹＺθ方向の位置調整を行う装置である。アライメントステージ１１は、Ｘ移動機構、Ｙ移動機構、Ｚ移動機構、θ回転機構（何れも図示せず）を備えて構成されている。ワークテーブル１２は、表示装置１６を支持する部材である。パネル受け部１３は、表示装置１６を位置決めして支持する部材である。表示装置１６はパネル受け部１３で支持され、パネル受け部１３はワークテーブル１２で支持され、ワークテーブル１２はアライメントステージ１１で支持されている。そして、アライメントステージ１１の各機構がＸＹＺθ方向に動作することで、表示装置１６とプローブユニット１４の後述するフィルムタイププローブ２３とが正確に位置合わせされると共に互いに接触されるようになっている。
【００２０】
プローブユニット１４は、後述する接触子としての各電極６２を、表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ電気的に接触させる部材である。プローブユニット１４は主に、プローブベース１８と、画像入力装置１９と、プローブ組立体２０とから構成されている。
【００２１】
プローブベース１８は、装置本体側に固定されて、画像入力装置１９とプローブ組立体２０を一体的に支持する板材である。プローブベース１８は、表示装置１６の隣接する２つの辺に沿って２つ設けられている。各プローブベース１８は、プローブ組立体２０等をワークテーブル１２上の表示装置１６に臨ませて支持している。各プローブベース１８の上側面には、接続基板(図示せず)が設けられている。この接続基板は、後述するフィルムタイププローブ２３に接続され、このフィルムタイププローブ２３を介して表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接続される。
【００２２】
画像入力装置１９は、表示装置１６の位置決め用のマーク(図示せず)を撮影するための装置である。画像入力装置１９は、位置決め用のマーク等の画像情報を取り込んで、制御部(図示せず)に送信する。制御部は、この画像情報に基づいてアライメントステージ１１を制御し、接触子としての各電極６２と、表示装置１６の各電極１６Ａとが互いに整合するように表示装置１６の位置を調整して、互いに接触させるようになっている。
【００２３】
プローブ組立体２０は、各電極６２を支持して表示装置１６の各電極１６Ａに接触させるための装置である。このプローブ組立体２０は、各プローブベース１８に複数設けられている。各プローブ組立体２０は、図３〜５に示すように、支持部２１と、スライド部２２と、フィルムタイププローブ２３とから構成されている。
【００２４】
上記支持部２１は、その基端側が上記プローブベース１８に支持された状態で、その先端側で上記スライド部２２を支持するための部材である。この支持部２１は、上記プローブベース１８に直接取り付けられて全体を支持する積載台２５と、この積載台２５の上側に一体的に設けられてスライド部２２をスライド可能に支持するサスペンションブロック２６とから構成されている。
【００２５】
積載台２５は、ほぼ立方体状に形成されている。積載台２５の下側面には、フィルムタイププローブ２３を通すプローブ用溝(図示せず)が設けられている。プローブ用溝は、プローブベース１８上の接続基板側からスライド部２２側へ貫通した溝として構成されている。このプローブ用溝に、フィルムタイププローブ２３のＦＰＣ６１が通されている。ＦＰＣ６１は、自由に撓み得る状態で、プローブ用溝を貫通している。
【００２６】
サスペンションブロック２６は、ほぼＬ字型に形成されている。このサスペンションブロック２６と上記積載台２５とは、互いに整合されて固定されている。
【００２７】
サスペンションブロック２６の上部の先端側（ワークテーブル１２側）には、スライド支持部３１が形成されている。このスライド支持部３１は、サスペンションブロック２６の上部から水平に張り出して、スライド部２２の上部を覆うように形成されている。スライド支持部３１には、調整ボルト穴３２が設けられている。この調整ボルト穴３２には、調整ボルト(図示せず)が装着されている。この調整ボルトは、調整ボルト穴３２に対して自由に上下動できると共に、その頭部が調整ボルト穴３２に引っかかるようになっている。
【００２８】
スライド支持部３１とスライド部２２との間にはスプリング３３（図５参照）が装着されている。このスプリング３３は、スライド支持部３１の下面と、後述するスライド部２２のスライドブロック３７の上面に設けられた凹部に支持されてスライド部２２を下方（フィルムタイププローブ２３側）へ付勢している。サスペンションブロック２６のうち、スライド部２２側の縦壁には、スライドレール(図示せず)が上下方向に向けて取り付けられている。このスライドレールは、スライド部２２を上下方向にスライド可能に支持するレールである。
【００２９】
スライド部２２は、フィルムタイププローブ２３を支持して上記スプリング３３で下方へ付勢される部材である。このスライド部２２と支持部２１とで、フィルムタイププローブ２３を支持して接触子としての各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接触させるプローブブロックが構成されている。スライド部２２は、スライドブロック３７と、チルトベース３８とから構成されている。
【００３０】
スライドブロック３７は、支持部２１のサスペンションブロック２６のスライドレールに取り付けられて上下方向にスライド可能に支持されている。スライドブロック３７は、Ｌ字型に形成されている。
【００３１】
スライドブロック３７の上側面には、上記調整ボルトがねじ込まれる調整ボルト穴(図示せず)が設けられている。この調整ボルト穴に上記調整ボルトがねじ込まれて、この調整ボルトのねじ込み量を変えることで、スライドブロック３７の高さを調整するようになっている。これにより、スライド部２２が設定高さに調整されて、フィルムタイププローブ２３の各電極６２と、表示装置１６の各電極１６Ａの間隔を調整するようになっている。そして、調整ボルト穴にねじ込まれた調整ボルトは、スライドブロック３７を支持している。さらに、スライドブロック３７は、上記スプリング３３で下方に付勢されている。これにより、スライド部２２に支持されたフィルムタイププローブ２３の各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａに接触したとき、上記スプリング３３が収縮して、各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとが弾性的に加圧されるようになっている。スライドブロック３７は、チルトベース３８と互いに整合されて固定されている。
【００３２】
チルトベース３８は、フィルムタイププローブ２３を直接支持して上記各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接触させるための部材である。チルトベース３８は、ほぼ立方体状に形成されている。フィルムタイププローブ２３はチルトベース３８の下側面に固定されている。
【００３３】
チルトベース３８の先端側（図４の左側）には、後述する加圧機構５５を装着して支持する加圧機構装着部５１が設けられている。この加圧機構装着部５１は、図４〜６に示すように、嵌合部５２と、回動支持部５３と、当接支持部５４とから構成されている。
【００３４】
嵌合部５２は、後述するチルトブロック５６の２つの基端支持片６７がそれぞれ嵌合する窪みである。嵌合部５２は、チルトベース３８の先端側の上側でかつ両側（図６の左右方向の両側）にそれぞれ設けられている。各嵌合部５２は、上記基端支持片６７の外径寸法よりも少し大きい寸法の四角形の窪み状に形成されている。これにより、チルトブロック５６が表示装置１６の各電極１６Ａの傾斜に合わせて、回動できるようになっている。
【００３５】
回動支持部５３(図６参照)は、チルトブロック５６を回動可能に支持する部材である。この回動支持部５３は、装着されたチルトブロック５６の２つの基端支持片６７の間に位置してチルトブロック５６を回動可能に支持している。回動支持部５３の左右両側には、ネジ穴５９(図６参照)が設けられている。この２つのネジ穴５９に、取付ネジ５７がそれぞれねじ込まれて、チルトブロック５６が回動可能に取り付けられている。
【００３６】
当接支持部５４は、チルトブロック５６に当接して、このチルトブロック５６の回動を規制するストッパである。当接支持部５４は、チルトベース３８の先端側であって、嵌合部５２及び回動支持部５３の下側に設けられている。当接支持部５４がチルトブロック５６に当接してこのチルトブロック５６を支持することで、チルトブロック５６が必要以上に回動しないようになっている。
【００３７】
チルトベース３８の加圧機構装着部５１には、加圧機構５５が取り付けられている。この加圧機構５５は、フィルムタイププローブ２３を均一な圧力で加圧するための機構である。即ち、加圧機構５５は、上記フィルムタイププローブ２３の各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、このフィルムタイププローブ２３を介して、各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに均一な圧力で加圧するための機構である。
【００３８】
加圧機構５５は、スライド部２２のチルトベース３８に揺動可能に支持されて、後述する加圧面６８が上記各電極１６Ａの面に倣うようになっている。即ち、上記各電極６２が上記表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、加圧面６８が各電極１６Ａの面（傾斜したり撓んだりしているときはその傾斜した面や撓んだ面）に倣うようになっている。
【００３９】
加圧機構５５は、図４〜７に示すように、チルトブロック５６と、取付ネジ５７と、ベアリング５８とから構成されている。
【００４０】
チルトブロック５６は、後述する加圧面６８を、上記表示装置１６の各電極１６Ａの面（各電極１６Ａが傾斜したり撓んだりしているときは、その傾斜した面や撓んだ面）に倣わせて加圧するための部材である。チルトブロック５６は、上記プローブブロックのスライド部２２のチルトベース３８に揺動可能に支持されている。チルトブロック５６は、チルトベース３８に揺動可能に支持されることで、その加圧面６８が、上記表示装置１６の各電極１６Ａに対して、並列に配設された当該各電極１６Ａに沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極１６Ａに近接離間するようになっている。即ち、チルトブロック５６の加圧面６８を上記フィルムタイププローブ２３の先端部に臨ませた状態で、当該加圧面６８が、上記表示装置１６の各電極１６Ａに対して、並列に配設された当該各電極１６Ａに沿う方向（図４の紙面に垂直な方向）と直交する方向（図４の左右方向であって紙面に沿う方向である取付ネジ５７を中心にした回動方向）に円弧を描いて当該各電極１６Ａに近接離間するように、チルトブロック５６がチルトベース３８に揺動可能に支持されている。
【００４１】
チルトブロック５６は、本体部６５と、加圧部６６とから構成されている。本体部６５は、チルトベース３８に揺動可能に支持される部材である。本体部６５は、平面形状がＣ字状に形成されて(図６参照)、上記加圧機構装着部５１に装着されている。Ｃ字状の本体部６５の両端には、基端支持片６７が設けられ、この２つの基端支持片６７が上記加圧機構装着部５１の回動支持部５３を挟んで各嵌合部５２に嵌合されている。
【００４２】
加圧部６６は、フィルムタイププローブ２３を加圧するための部材である。加圧部６６は、本体部６５の前方（図４中の左方）から下方（図４中の下方）へ垂下して設けられている。加圧部６６の先端（図４の下端）には、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に接触する加圧面６８が設けられている。加圧面６８は平坦面状に形成され、後述するフィルムタイププローブ２３の弾性体６３に当接するようになっている。
【００４３】
取付ネジ５７は、ベアリング５８を介してチルトブロック５６を回動可能に支持するためのネジである。取付ネジ５７は、上記チルトベース３８の加圧機構装着部５１のネジ穴５９にねじ込まれることで、チルトブロック５６を加圧機構装着部５１に回動可能に取り付けている。
【００４４】
ベアリング５８は、取付ネジ５７でチルトベース３８側に固定されて、チルトブロック５６を上記チルトベース３８の加圧機構装着部５１に揺動可能に装着している。
【００４５】
フィルムタイププローブ２３は、表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接続される部材である。フィルムタイププローブ２３は、図４，５，７に示すように、ＦＰＣ６１と、電極６２と、弾性体６３とから構成されている。
【００４６】
ＦＰＣ６１は、表示装置１６の各電極１６Ａに電気的に接続するための部材である。ＦＰＣ６１は、その基端側がプローブベース１８側の接続基板に接続され、先端側がスライド部２２側に支持されている。ＦＰＣ６１は、可撓性を有し、スライド部２２の上下へのスライドに対応して撓むようになっている。ＦＰＣ６１には、ＩＣ回路等(図示せず)が適宜設けられている。
【００４７】
さらに、ＦＰＣ６１の先端部は、スライド部２２のチルトベース３８に支持された状態で、チルトベース３８から自由に撓み得る状態で延出して、加圧機構５５の下側に回り込んで設けられている。このＦＰＣ６１の先端の延出部に電極６２が設けられている。
【００４８】
電極６２は、表示装置１６の各電極１６Ａに接触される接触子である。電極６２は主に、上記ＦＰＣ６１の先端の延出部の下側表面（表示装置１６の各電極１６Ａ側の表面）に複数設けられている。具体的には、表示装置１６の各電極１６Ａと同じ数の電極６２が、表示装置１６の各電極１６Ａの位置に対応した、上記延出部の下側表面の位置に、それぞれ設けられている。
【００４９】
上記ＦＰＣ６１の先端部（フィルムタイププローブ２３の先端部）には弾性体６３が設けられている。この弾性体６３は、ＦＰＣ６１を介してその下側面の電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａ側に弾性的に加圧するための部材である。弾性体６３は、上記ＦＰＣ６１の先端部（上記チルトベース３８に支持されて、自由に撓み得る状態で当該チルトベース３８から延出した上記ＦＰＣ６１の先端部）の上側面に一体的に設けられている。
【００５０】
弾性体６３は、長方体状に形成され、その上側面が平坦面状に形成されている。この弾性体６３の上側面に上記加圧機構５５の加圧面６８が当接して弾性体６３が加圧されることで、各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａ側に弾性的に加圧するようになっている。
【００５１】
弾性体６３の上側面と上記加圧機構５５の加圧面６８との間には隙間Ｓ（図７参照）が設けられている。この隙間Ｓによって、各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの位置の微調整が行われるようになっている。即ち、上記各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触された状態で、ＦＰＣ６１が表示装置１６に押されて僅かに持ち上がったときに、ＦＰＣ６１の先端部の弾性体６３と上記加圧機構５５の加圧面６８とが互いに接触する。このとき、表示装置１６の基板表面の傾きやうねり等によって電極１６Ａの水平度や平坦が出ていないと、上記ＦＰＣ６１の先端部が表示装置１６に押されて持ち上がりながら、互いにずれてその位置が調整されて整合するようになっている。
【００５２】
さらに、ＦＰＣ６１は、表示装置１６の電極１６Ａで押し上げられることで、ＦＰＣ６１自身の撓みにより電極１６Ａの上面に追従し、その後、押し上げにより隙間Ｓがなくなって、加圧機構５５の揺動作用により加圧面６８が各電極１６Ａの上面に追従するようになっている。これにより、各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａに整合して確実に接触した状態で、上記ＦＰＣ６１の先端部の弾性体６３が上記加圧機構５５の加圧面６８で均一に加圧されるようになっている。即ち、上記弾性体６３の上側面と上記加圧機構５５の加圧面６８との間の隙間Ｓは、ＦＰＣ６１の先端部が自由に撓むことを許容して各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとを整合させ、またチルトブロック５６の揺動作用により弾性体６３を介して加圧面６８を各電極１６Ａの上面に整合させるようになっている。
【００５３】
以上のように構成されたプローブユニット１４は、次のように作用する。
【００５４】
表示装置１６がアライメントステージ１１に載置され、このアライメントステージ１１で、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各電極６２とが互いに整合するように位置合わせされる。
【００５５】
次いで、アライメントステージ１１で表示装置１６が持ち上げられ、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各電極６２とが互いに接触される。
【００５６】
このとき、上記ＦＰＣ６１の先端部は、自由に撓み得る状態で上記チルトベース３８から延出して設けられているため、表示装置１６の上昇に合わせて撓み、表示装置１６の各電極１６Ａと、フィルムタイププローブ２３の各電極６２とが、その位置が修正されながら、互いに整合して接触する。なお、このときは、これらの間にはほとんど圧力がかかっていない。
【００５７】
このように、表示装置１６の表面の傾きやうねり等により、各電極１６Ａとフィルムタイププローブ２３の各電極６２との間が平行になっていない場合でも、アライメントステージ１１で表示装置１６が持ち上げられて上記フィルムタイププローブ２３の先端部が僅かに持ち上がったときに、表示装置１６の各電極１６Ａとフィルムタイププローブ２３の各電極６２とが互いに整合する。即ち、上記ＦＰＣ６１の先端部は、弾性体６３を介して上記加圧機構５５の加圧面６８との間に隙間Ｓがあるため、この隙間Ｓがなくなって互いに接触するまで、各電極１６Ａに柔軟に追従して、互いに整合する。
【００５８】
そして、その後、表示装置１６の上昇に伴って隙間Ｓがなくなり、上記ＦＰＣ６１の先端部の弾性体６３が、上記加圧機構５５の加圧面６８に接触して加圧機構５５のチルトブロック５６を押し、このチルトブロック５６の自重で、各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａに加圧される。
【００５９】
さらに、加圧機構５５は、上記チルトベース３８に揺動可能に支持されているため、表示装置１６の各電極１６Ａの表面の水平度や平坦が出ていないときは、加圧機構５５の加圧面６８の角度を、表示装置１６の各電極１６Ａの上面に合わせて変える。
【００６０】
この例を図４，８，９に基づいて説明する。図４は、フィルムタイププローブ２３と、表示装置１６の各電極１６Ａとが、その水平度が一致して直線状に配列した状態を示す。
【００６１】
図８は、各電極１６Ａが上がって表示装置１６が傾いた状態（図８中の右肩上がりに傾いた状態）で、フィルムタイププローブ２３の先端部（ＦＰＣ６１の電極６２）と、表示装置１６の各電極１６Ａとが整合した状態を示す。
【００６２】
図９は、図８と逆に、各電極１６Ａが下がって表示装置１６が傾いた状態（図９中の右肩下がりに傾いた状態）で、フィルムタイププローブ２３の先端部（ＦＰＣ６１の電極６２）と、表示装置１６の各電極１６Ａとが整合した状態を示す。
【００６３】
図４に対して図８では、加圧機構５５のチルトブロック５６が下方へ回動して、チルトブロック５６の加圧面６８が表示装置１６の各電極１６Ａの面に追従している。図９では、加圧機構５５のチルトブロック５６が上方へ回動して、チルトブロック５６の加圧面６８が表示装置１６の各電極１６Ａの面に追従している。
【００６４】
その結果、フィルムタイププローブ２３の先端部の各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの整合を保ちながら、フィルムタイププローブ２３の先端部が、加圧機構５５の加圧面６８で加圧される。
【００６５】
これにより、加圧機構５５が、表示装置１６の各電極１６Ａの傾きやうねり等を吸収して、加圧機構５５の加圧面６８が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に均一に圧接する。この結果、上記隙間Ｓと相まって、各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに整合させて、均一に加圧することができる。
【００６６】
このとき、表示装置１６の上昇に伴って、加圧機構５５を介してスライド部２２が上昇すると、上記スプリング３３によってスライド部２２が下方へ付勢され、加圧機構５５と相まって、上記フィルムタイププローブ２３の先端部を弾性的に加圧する。
【００６７】
この結果、フィルムタイププローブ２３の各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの接触精度を高く維持することができるようになる。
【００６８】
さらに、ＦＰＣ６１の先端部を自由な状態で撓ませて電極１６Ａの上面に追従させることが可能になるため、予めＦＰＣ６１の先端部を上記加圧機構５５側に接触若しくは接着させた場合と較べて、ＦＰＣ６１の先端部にストレスが掛かるのを解消し、精度の高い接触が可能になるとともに破損の防止、寿命の伸長を可能にしている。
【００６９】
[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００７０】
本実施形態の検査装置の全体構成は、上述した第１実施形態の検査装置と同様であるため、ここでは特徴部分のみについて説明する。また、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００７１】
本実施形態の検査装置では、図１０〜１２に示すように、引張バネ７０を設けた。第１実施形態では、チルトブロック５６の自重により上記フィルムタイププローブ２３の先端部を加圧するようにしたが、本実施形態では、引張バネ７０で付勢するようにした。
【００７２】
この引張バネ７０は、上記加圧機構５５のチルトブロック５６と上記プローブブロックのスライド部２２のチルトベース３８との間に架け渡して設けられている。
【００７３】
引張バネ７０は、上記加圧機構５５のチルトブロック５６を、その加圧面６８で上記フィルムタイププローブ２３の先端部を加圧するように付勢している。
【００７４】
これにより、引張バネ７０で、上記加圧機構５５のチルトブロック５６の加圧面６８で記フィルムタイププローブ２３の先端部を、設定圧力で確実に加圧することができる。
【００７５】
この結果、上記第１実施形態と同様に、フィルムタイププローブ２３の各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの接触精度を高く維持することができるようになる。
【００７６】
ここで図１０は、フィルムタイププローブ２３と、表示装置１６の各電極１６Ａとが、その水平度が一致して直線状に配列した状態を示す。
【００７７】
図１１は、各電極１６Ａが上がって表示装置１６が傾いた状態（図１１中の右肩上がりに傾いた状態）で、フィルムタイププローブ２３の先端部（ＦＰＣ６１の電極６２）と、表示装置１６の各電極１６Ａとが整合した状態を示す。
【００７８】
図１２は、図１１と逆に、各電極１６Ａが下がって表示装置１６が傾いた状態（図１２中の右肩下がりに傾いた状態）で、フィルムタイププローブ２３の先端部（ＦＰＣ６１の電極６２）と、表示装置１６の各電極１６Ａとが整合した状態を示す。
【００７９】
図１０に対して図１１では、加圧機構５５のチルトブロック５６が引張バネ７０で付勢されて下方へ回動して、チルトブロック５６の加圧面６８が表示装置１６の各電極１６Ａに追従している。図１２では、加圧機構５５のチルトブロック５６が引張バネ７０の付勢力に抗して上方へ回動して、チルトブロック５６の加圧面６８が表示装置１６の各電極１６Ａに追従している。
【００８０】
その結果、フィルムタイププローブ２３の先端部の各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの整合を保ちながら、フィルムタイププローブ２３の先端部が、加圧機構５５の加圧面６８で加圧される。
【００８１】
これにより、上記第１実施形態と同様に、加圧機構５５が、表示装置１６の各電極１６Ａの傾きやうねり等を吸収して、加圧機構５５の加圧面６８が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に均一に圧接する。この結果、上記隙間Ｓと相まって、各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに整合させて、均一に加圧することができる。
【００８２】
[第３実施形態]
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
【００８３】
本実施形態の検査装置の全体構成は、上述した第１実施形態の検査装置と同様であるため、ここでは特徴部分のみについて説明する。また、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００８４】
本実施形態の検査装置は、図１３，１４に示すように、上記第１実施形態の加圧機構５５に、先端加圧部７２を備えたものである。上記加圧面６８は、この先端加圧部７２に設けられている。先端加圧部７２は、上記加圧面６８を、上記表示装置１６の並列に配設された各電極１６Ａに沿う方向（図１４の紙面に垂直な方向）の傾斜に合わせて揺動させるための部材である。
【００８５】
上記第１実施形態では、加圧面６８が、並列に配設された各電極１６Ａに沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極１６Ａに近接離間するように揺動したが、本実施形態では、この動作に加えて、加圧面６８を、並列に配設された各電極１６Ａに沿う方向の傾斜に合わせて揺動するように構成した。
【００８６】
先端加圧部７２は、上記第１実施形態の加圧機構５５の先端側に揺動可能に支持されている。先端加圧部７２は、加圧機構５５の加圧部６６の代わりに、本体部６５の前方（図１４の左方）から下方へ垂下して設けられている。先端加圧部７２の先端（図１３，１４の下端）には、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に接触する上記加圧面６８が設けられている。
【００８７】
先端加圧部７２は、加圧部６６と同様の形状の平板材で構成されている。先端加圧部７２は、本体部６５に取付ネジ７３で回動可能に支持されている。取付ネジ７３は、上記加圧機構５５の取付ネジ５７に直交する方向に配設されている。即ち、先端加圧部７２が取付ネジ７３で本体部６５に回動可能に支持された状態で、先端加圧部７２の揺動軸である取付ネジ７３が、上記加圧機構５５の本体部６５の揺動軸である取付ネジ５７に直交する方向に配設されている。これにより、上記加圧面６６が上記表示装置１６の並列に配設された各電極１６Ａに沿う方向の傾斜に合わせて揺動するようになっている。
【００８８】
さらに、加圧面６８は、上述のように、加圧機構５５の取付ネジ５７によって先端加圧部７２と共に、並列に配設された各電極１６Ａに沿う方向と直交する方向に円弧を描いて当該各電極１６Ａに近接離間するように揺動するため、上記表示装置１６の種々の方向への傾斜や撓みに対して、加圧面６８を柔軟に追従させることができるようになっている。
【００８９】
これにより、フィルムタイププローブ２３の先端部の各電極６２が表示装置１６の各電極１６Ａにそれぞれ接触した状態で、各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの整合を保ちながら、加圧面６８を柔軟に追従させる。即ち、上記表示装置１６の種々の方向への傾斜や撓みに対して、上記加圧機構５５の本体部６５及び先端加圧部７２がそれぞれ揺動して、上記各電極１６Ａの面と整合したフィルムタイププローブ２３の先端部に、加圧面６８を柔軟に追従させる。
【００９０】
これにより、加圧機構５５の本体部６５及び先端加圧部７２が、表示装置１６の各電極１６Ａの傾きやうねり等を吸収して、加圧機構５５の加圧面６８が、上記フィルムタイププローブ２３の先端部に均一に圧接する。
【００９１】
この結果、上記隙間Ｓと相まって、各電極６２を表示装置１６の各電極１６Ａに整合させて、均一に加圧して、フィルムタイププローブ２３の各電極６２と表示装置１６の各電極１６Ａとの接触精度を高く維持することができるようになる。
【００９２】
なお、上記各実施形態では、スプリング３３を備え、このスプリング３３でスライド部２２を下方へ付勢したが、スプリング３３を設けずに、加圧機構５５だけ設けてもよい。この場合も、上記各実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００９３】
１１：アライメントステージ、１２：ワークテーブル、１３：パネル受け部、１４：プローブユニット、１６：表示装置、１６Ａ：電極、１８：プローブベース、１９：画像入力装置、２０：プローブ組立体、２１：支持部、２２：スライド部、２３：フィルムタイププローブ、２５：積載台、２６：サスペンションブロック、３１：スライド支持部、３２：調整ボルト穴、３３：スプリング、３７：スライドブロック、３８：チルトベース、５１：加圧機構装着部、５２：嵌合部、５３：回動支持部、５５：加圧機構、５６：チルトブロック、５７：取付ネジ、５８：ベアリング、５９：ネジ穴、６１：ＦＰＣ、６２：電極、６３：弾性体、６５：本体部、６６：加圧部、６８：加圧面、７０：引張バネ、７２：先端加圧部、７３：取付ネジ、Ｓ：隙間。
【図１】
2012083156.tif 000003
【図２】
2012083156.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2012083156.tif 000011
【図１０】
2012083156.tif 000012
【図１１】
2012083156.tif 000013
【図１２】
2012083156.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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