(57)【要約】【課題】格子の回転や傾斜を補正可能とする。【解決手段】Ｘ線源とＸ線画像検出器との間に第１及び第２の格子が配置され、第２の格子は、格子ユニット３０により構成されている。格子ユニット３０は、複数のＸ線吸収部３４が配列され、支持部材３２により揺動自在に支持された矩形状の格子部３３を備える。格子部３３の第１〜第４の辺３３ａ〜３３ｄには、第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄが設けられている。第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄに対向するように、格子部３３の周囲に第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄが設けられている。第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄと格子面に直交する方向に第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄが配置されている。電圧印加部３８は、第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄと第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄの各部に電圧を印加することにより、格子部３３の移動に加えて、回転や傾斜を補正する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の放射線吸収部が配列された矩形状の格子部と、
前記格子部を揺動自在に支持する支持部と、
前記格子部の各辺に設けられた可動櫛歯状部と、
前記各可動櫛歯状部に対向するように前記格子部の周囲に配置された固定櫛歯状部と、
前記各固定櫛歯状部に電圧を印加することにより、前記固定櫛歯状部と前記可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、前記格子部を格子面内で移動または回動させる電圧印加部と、
を備えることを特徴とする格子ユニット。
【請求項２】
前記各可動櫛歯状部と格子面に直交する方向に対向する位置に配置された電極部を備え、
前記電圧印加部は、前記各電極部に電圧を印加することにより、前記電極部と前記可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、前記格子部を格子面に対して傾動させることを特徴とする請求項１に記載の格子ユニット。
【請求項３】
前記支持部、前記固定櫛歯状部、前記電極部が固設された放射線透過性の基板を備えることを特徴とする請求項２に記載の格子ユニット。
【請求項４】
前記放射線吸収部は、前記格子部の一辺に沿う第１の方向に延伸し、前記第１の方向に直交する第２の方向に所定のピッチで配設されていることを特徴とする請求項１から３いずれか１項に記載の格子ユニット。
【請求項５】
放射線源から放射された放射線を通過させて第１の周期パターン像を生成する第１の格子と、前記第１の周期パターン像を部分的に遮蔽して第２の周期パターン像を生成する第２の格子と、前記第２の周期パターン像を検出して画像データを生成する放射線画像検出器とを備えた放射線画像撮影システムにおいて、
前記第１及び第２の格子のいずれか一方が、請求項１から４いずれか１項に記載された格子ユニットにより構成されていることを特徴とする放射線画像撮影システム。
【請求項６】
前記電圧印加部を制御し、前記格子部を１方向に段階的に移動させるとともに、前記格子部を移動させるたびに前記放射線源による放射線の照射と前記放射線画像検出器による画像データの生成を行なわせるシステム制御部と、
前記放射線画像検出器により生成される複数の画像データに基づき、位相コントラスト画像を生成する画像処理部と、
を備えることを特徴とする請求項５に記載の放射線画像撮影システム。
【請求項７】
前記システム制御部は、前記格子部の回転や傾斜を打ち消すために前記電圧印加部に印加させる電圧の設定値を保持していることを特徴とする請求項６に記載の放射線画像撮影システム。
【請求項８】
前記設定値を変更するための操作部を備えることを特徴とする請求項７に記載の放射線画像撮影システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線等の放射線を用いた放射線画像撮影用の格子ユニット及び放射線画像撮影システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線は、物体に入射したとき、相互作用により強度及び位相が変化する。Ｘ線の位相変化（角度変化）は、強度変化よりも大きいことが知られている。このＸ線の性質を利用し、被検体によるＸ線の位相変化に基づいて、Ｘ線吸収能が低い被検体から高コントラストの画像（以下、位相コントラスト画像と称する）を得るＸ線位相イメージングの研究が盛んに行われている。
【０００３】
Ｘ線位相イメージングの一種として、透過型の回折格子によるタルボ干渉効果を用いたＸ線画像撮影システムが知られている（例えば、特許文献１、非特許文献１参照）。このＸ線画像撮影システムは、Ｘ線源から見て、被検体の背後に第１の格子を配置し、第１の格子からタルボ干渉距離だけ下流に第２の格子を配置する。第２の格子の背後には、Ｘ線を検出して画像を生成するＸ線画像検出器が配置されている。第１及び第２の格子は、一方向に延伸されたＸ線吸収部及びＸ線透過部を、延伸方向に直交する配列方向に沿って交互に配列したものである。タルボ干渉距離とは、第１の格子を通過したＸ線が、タルボ干渉効果によって自己像を形成する距離である。タルボ干渉効果によって形成された自己像は、被検体とＸ線との相互作用により変調を受ける。
【０００４】
上記Ｘ線画像撮影システムでは、第１の格子により生成される第１の周期パターン像（自己像）が第２の格子を通過することにより生成される第２の周期パターン像を検出することにより位相コントラスト画像が取得される。具体的には、第１の格子と第２の格子との一方を他方に対して、格子面と平行でかつ格子方向にほぼ垂直な方向に所定ピッチずつ格子配列の１周期分に渡って並進移動させながら、１ピッチ分移動するたびに第２の周期パターン像をＸ線画像検出器により検出する。Ｘ線画像検出器により得られる各画素値の上記並進移動に対する強度変化からＸ線の位相微分像が取得され、この位相微分像に基づいて位相コントラスト画像が得られる。この位相コントラスト画像の生成方法は、縞走査法と呼ばれ、レーザ光を用いた撮影装置においても知られている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００５】
Ｘ線画像撮影システムにおいて、第１の格子または第２の格子を併進移動させるための移動機構として、電圧を印加することにより変形する圧電アクチュエータを用いることが知られている（例えば、特許文献２参照）。しかし、上記並進移動では、サブマイクロメートル以下の高精度な移動制御が要されるため、圧電アクチュエータより精度の高い移動装置が求められている。そこで、高精度な移動装置として、特許文献３に記載された櫛歯型静電アクチュエータを用いることが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４４４５３９７号公報
【特許文献２】特開２００８−２００３６１号公報
【特許文献３】特開平７−０５６０９６号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】C. David, et al., Applied Physics Letters, Vol.81, No.17, 2002年10月，3287頁
【非特許文献２】Hector Canabal, et al., Applied Optics, Vol.37, No.26, 1998年9月，6227頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、移動装置として特許文献３に記載の櫛歯型静電アクチュエータを用いた場合には、格子を並進移動させる際に格子に回転や傾斜が伴う可能性がある。格子に回転や傾斜が生じた場合には、第２の周期パターン像にモアレ縞が生じ、位相コントラスト画像の画質が劣化する恐れがある。このため、移動装置に格子の回転や傾斜を適宜補正する機能を組み込むことが望まれている。
【０００９】
本発明の目的は、格子の回転や傾斜を補正可能とする移動装置を備えた放射線画像撮影用格子ユニット、及び放射線画像撮影システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の格子ユニットは、複数の放射線吸収部が配列された矩形状の格子部と、前記格子部を揺動自在に支持する支持部と、前記格子部の各辺に設けられた可動櫛歯状部と、前記各可動櫛歯状部に対向するように前記格子部の周囲に配置された固定櫛歯状部と、前記各固定櫛歯状部に電圧を印加することにより、前記固定櫛歯状部と前記可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、前記格子部を格子面内で移動または回動させる電圧印加部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
なお、前記各可動櫛歯状部と格子面に直交する方向に対向する位置に配置された電極部を備え、前記電圧印加部は、前記各電極部に電圧を印加することにより、前記電極部と前記可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、前記格子部を格子面に対して傾動させることが好ましい。
【００１２】
また、前記支持部、前記固定櫛歯状部、前記電極部が固設された放射線透過性の基板を備えることが好ましい。
【００１３】
また、前記放射線吸収部は、前記格子部の一辺に沿う第１の方向に延伸し、前記第１の方向に直交する第２の方向に所定のピッチで配設されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の放射線画像撮影システムは、放射線源から放射された放射線を通過させて第１の周期パターン像を生成する第１の格子と、前記第１の周期パターン像を部分的に遮蔽して第２の周期パターン像を生成する第２の格子と、前記第２の周期パターン像を検出して画像データを生成する放射線画像検出器とを備えた放射線画像撮影システムにおいて、前記第１及び第２の格子のいずれか一方が、請求項１から４いずれか１項に記載された格子ユニットにより構成されていることを特徴とする。
【００１５】
なお、前記電圧印加部を制御し、前記格子部を１方向に段階的に移動させるとともに、前記格子部を移動させるたびに前記放射線源による放射線の照射と前記放射線画像検出器による画像データの生成を行なわせるシステム制御部と、前記放射線画像検出器により生成される複数の画像データに基づき、位相コントラスト画像を生成する画像処理部と、を備えることが好ましい。
【００１６】
また、前記システム制御部は、前記格子部の回転や傾斜を打ち消すために前記電圧印加部に印加させる電圧の設定値を保持していることが好ましい。この場合には、前記設定値を変更するための操作部を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の格子ユニットは、格子部の各辺に設けられた可動櫛歯状部に対向するように格子部の周囲に固定櫛歯状部が配置され、各固定櫛歯状部に電圧を印加することにより、固定櫛歯状部と可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、格子部を格子面内で移動または回動させるので、格子部の移動時に生じる回転を補正することができる。
【００１８】
また、本発明の格子ユニットは、各可動櫛歯状部と格子面に直交する方向に対向する位置に電極部が配置されており、各電極部に電圧を印加することにより、電極部と可動櫛歯状部との間に静電気力を作用させ、格子部を格子面に対して傾動させるので、格子部の移動時に生じる傾斜を補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】Ｘ線画像撮影システムの構成を示す模式図である。
【図２】格子ユニットの構成を示す平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】格子部をｘ方向に移動させた例を示す平面図である。
【図５】格子部をｘ方向周りに回動させた例を示す平面図である。
【図６】格子部をｘｙ面に対して傾動させた例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１において、Ｘ線撮影システム１０は、Ｘ線源１１、撮影部１２、画像処理部１３、コンソール１４、及びシステム制御部１５を備えている。Ｘ線源１１は、回転陽極型のＸ線管と、Ｘ線の照射野を制限するコリメータとを有し、被検体Ｈに向けてＸ線を放射する。
【００２１】
撮影部１２は、Ｘ線画像検出器２０、第１の格子２１、及び第２の格子２２からなる。第１の格子２１及び第２の格子２２は、格子面がＸ線源１１から放射されるＸ線の光軸Ａに直交するように、Ｘ線源１１とＸ線画像検出器２０との間に対向配置されている。
【００２２】
第１の格子２１は、光軸Ａに沿うｚ方向に直交する面内の一方向であるｙ方向に延伸された複数のＸ線吸収部２１ａ及びＸ線透過部２１ｂを備えている。Ｘ線吸収部２１ａ及びＸ線透過部２１ｂは、ｚ方向及びｙ方向に直交するｘ方向に沿って交互に配列されており、縞状の格子を構成している。Ｘ線吸収部２１ａは、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）等のＸ線吸収性を有する金属からなる。Ｘ線透過部２１ｂは、シリコン等のＸ線透過性を有する材質からなる。なお、Ｘ線透過部２１ｂは、空隙であってもよい。
【００２３】
第２の格子２２は、後述する格子ユニット３０（図２参照）により構成されている。格子ユニット３０には、縞走査のための格子部３３のｘ方向への移動に加えて、ｚ方向周りの回動、及びｘｙ面に対する傾動を可能とする移動装置が構成されている。
【００２４】
Ｘ線源１１と第１の格子２１との間には、被検体Ｈが配置可能な間隔が設けられている。Ｘ線画像検出器２０は、半導体回路により構成されたフラットパネル型検出器であり、第２の格子２２の背後に、検出面がｚ方向に直交するように配置されている。
【００２５】
コンソール１４は、撮影条件、撮影モード、撮影開始指示等の入力、格子ユニット３０の格子部３３の位置調整のための設定操作等を可能とする操作部１４ａや、撮影により得られた画像や設定画面を表示する表示部１４ｂを備える。システム制御部１５は、操作部１４ａの入力信号に応じて、Ｘ線撮影システム１０の各部を統括的に制御する。
【００２６】
画像処理部１３は、Ｘ線画像検出器２０により生成される複数の画像データを用い、特許第４４４５３９７号公報等に記載の処理方法に基づいて位相微分像を生成し、この位相微分像を積分処理することにより位相コントラスト画像を生成する。この位相コントラスト画像は、表示部１４ｂに表示される。
【００２７】
図２及び図３において、格子ユニット３０は、Ｘ線透過性を有する矩形平板状の基板３１と、この基板３１の四隅に設けられた支柱３１ａに連結された支持部材３２より揺動自在に支持された矩形状の外形を有する格子部３３とを備える。支持部材３２は、バネや弾性樹脂等のフレキシブル部材からなり、格子部３３の四隅に連結されている。
【００２８】
格子部３３は、ｙ方向に延伸し、ｘ方向に所定のピッチで配列された複数のＸ線吸収部３４が形成されている。Ｘ線吸収部３４は、Ａｕ、Ｐｔ等のＸ線吸収性を有する金属からなる。本実施形態では、隣り合うＸ線吸収部３４の間を空隙としているが、Ｘ線透過材を介装してもよい。
【００２９】
格子部３３の第１〜第４の辺３３ａ〜３３ｄには、それぞれ、Ａｕ等の導電性部材により形成された第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄが設けられている。基板３１上には、格子部３３の第１〜第４の辺３３ａ〜３３ｄに対向するように、Ａｕ等の導電性部材により形成された第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄが設けられている。第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄは、それぞれ第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄと近接しており、静電気力を介して係合される。
【００３０】
また、基板３１上には、第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄにｚ方向に対向する位置に、Ａｕ等の導電性部材により形成された第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄが設けられている。第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄは、第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄのそれぞれと近接しており、静電気力を介して係合される。
【００３１】
さらに、格子ユニット３０は、第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄと、第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄとのそれぞれに電圧を印加して、第１〜第４の可動櫛歯状部３５ａ〜３５ｄとの間に電界を生じさせる電圧印加部３８を備える。この電圧印加部３８は、システム制御部１５からの制御に基づいて電圧を発生し、各部に印加する。格子部３３は、第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄ及び第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄに印加された電圧に応じて、ｘ方向への移動、ｚ方向周りの回動、及びｘｙ面に対する傾動を行なう。第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄ、第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄ、及び電圧印加部３８は、格子部３３の移動装置を構成している。
【００３２】
格子部３３をｘ方向に移動させるには、例えば、図４に示すように、電圧印加部３８により、第１の固定櫛歯状部３６ａに負の電圧を印加するとともに、第２〜第４の固定櫛歯状部３６ｂ〜３６ｄにグランド電圧を印加する。図示は省略しているが、このとき、第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄにはグランド電圧が印加される。
【００３３】
格子部３３のｘ方向への移動量は、第１の固定櫛歯状部３６ａに印加される電圧の２乗に比例する静電気力と、支持部材３２の弾性定数とに関係する。格子部３３のｘ方向への移動は、縞走査法に基づき、第１の格子２１に対して格子部３３を相対走査させる際に実行される。システム制御部１５は、電圧印加部３８を制御し、第１の固定櫛歯状部３６ａに印加する電圧値を変化させることにより、格子部３３をｘ方向に段階的に移動させる。
【００３４】
格子部３３をｘ方向周りに回動させるには、例えば、図５に示すように、電圧印加部３８により、第１及び第４の固定櫛歯状部３６ａ，３６ｄに負の電圧を印加するとともに、第２及び第３の固定櫛歯状部３６ｂ，３６ｃにグランド電圧を印加する。図示は省略しているが、このとき、第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄにはグランド電圧が印加される。
【００３５】
格子部３３のｘ方向周りへの回動は、上記相対走査の際に生じる格子部３３の回転を打ち消すように実行される。システム制御部１５は、電圧印加部３８を制御し、第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄに格子部３３の回転を打ち消すように電圧を印加しながら、第１の固定櫛歯状部３６ａへの印加電圧を変化させることで、格子部３３の回転を打ち消しつつ、格子部３３をｘ方向に移動させることができる。
【００３６】
格子部３３をｘｙ面に対して傾動させるには、例えば、図６に示すように、電圧印加部３８により、第３の電極部３７ｃに負の電圧を印加するとともに、第４の電極部３７ｄにグランド電圧を印加する。図示は省略しているが、このとき、第１及び第２の電極部３７ａ，３７ｂにはグランド電圧が印加される。これにより、格子部３３には、ｘ方向周りの回転が生じ、ｘｙ平面に対して傾動する。第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄへの印加電圧を制御することにより、格子部３３を所望の方向に傾動させることができる。
【００３７】
格子部３３のｘｙ面に対する傾動は、上記相対走査の際に生じる格子部３３の傾斜を打ち消すように実行される。システム制御部１５は、電圧印加部３８を制御し、第１〜第４の電極部３７ａ〜３７ｄに格子部３３の傾斜を打ち消すように電圧を印加しながら、第１の固定櫛歯状部３６ａへの印加電圧を変化させることで、格子部３３の傾斜を打ち消しつつ、格子部３３をｘ方向に移動させることができる。このとき、第１〜第４の固定櫛歯状部３６ａ〜３６ｄに格子部３３の回転を打ち消す電圧を印加することで、格子部３３の傾斜と回転との両方を打ち消すことができる。
【００３８】
以下に、Ｘ線画像撮影システム１０の作用について説明する。格子部３３の回転及び傾斜を打ち消すための電圧の設定値は、システム制御部１５にプリセットされているが、ユーザは、キャリブレーションモードにおいて操作部１４ａから設定操作を行うことにより、該設定値を更新することができる。キャリブレーションモードでは、被検体Ｈを配置せずに撮影が行われる。
【００３９】
操作部１４ａから撮影指示が入力されると、格子部３３の移動は行なわれず、格子部３３が固定されたまま、Ｘ線源１１により一度のＸ線照射が行われ、第１及び第２の格子２１，２２を通過したＸ線がＸ線画像検出器２０により検出される。
【００４０】
このとき、第１の格子２１により生成された第１の周期パターン像が、第２の格子２２を構成する格子ユニット３０の格子部３３に投影され、格子部３３により第２の周期パターン像が生成される。第１の周期パターン像が格子部３３の線吸収部３４のパターンと一致すれば、第２の周期パターン像にはモアレ縞は生じないが、一致していない場合には、第１の周期パターン像に対する格子部３３の回転や傾斜に応じたモアレ縞が生じる。キャリブレーションモードでは、Ｘ線画像検出器２０により生成される画像データに基づき画像処理部１３で吸収画像が生成され、表示部１４ｂに表示される。
【００４１】
ユーザは、表示部１４ｂに表示される吸収画像を観察することでモアレ縞の有無を確認することができる。ユーザにより、モアレ縞の有無の確認が行なわれ、モアレ縞が生じている場合には、操作部１４ａを操作して、格子部３３の回転及び傾斜を打ち消すための電圧の設定値の入力が行われる。操作部１４ａから設定値の入力が行なわれると、システム制御部１５にプリセットされた設定値が更新される。
【００４２】
次いで、ユーザにより、操作部１４ａを操作して、撮影モードが、キャリブレーションモードから本撮影モードに切り替えられる。本撮影モードでは、Ｘ線源１１と第１の格子２１との間に被検体Ｈを配置して撮影が行われる。
【００４３】
操作部１４ａから撮影指示が入力されると、格子部３３の傾斜及び回転が打ち消されたまま、格子部３３がｘ方向に所定のピッチずつ移動される。１ピッチ分移動するたびに、Ｘ線源１１によりＸ線照射が行なわれ、Ｘ線画像検出器２０によりＸ線の検出が行われる。なお、格子部３３の移動ピッチは、格子部３３のｘ方向への格子ピッチを等分割（例えば、５分割）した値である。
【００４４】
このとき、Ｘ線源１１から放射されたＸ線は、被検体Ｈを通過することにより位相差が生じる。このＸ線が第１の格子２１を通過することにより、被検体Ｈの屈折率と透過光路長とから決定される被検体Ｈの透過位相情報を反映した第１の周期パターン像が生成され、格子部３３に投影される。なお、第１の周期パターン像は、特許第４４４５３９７号公報に記載のようにタルボ干渉効果により生成されたものであってもよいし、中国特許出願公開第１０１５３２９６９号明細書に記載のように幾何光学的に生成されたものであってもよい。第１の格子２１でタルボ干渉効果が生じるか否かは、Ｘ線の波長と格子ピッチとの関係に依存する。タルボ干渉効果が生じない場合には、幾何光学的に第１の周期パターン像が生成される。
【００４５】
第１の周期パターン像は、格子部３３により部分的に遮蔽されることにより強度変調され、第２の周期パターン像となり、Ｘ線画像検出器２０により検出される。Ｘ線画像検出器２０により生成された複数の画像データは、画像処理部１３に入力され、位相微分像が生成された後、ｘ方向に沿った積分処理が施されることにより位相コントラスト画像が生成される。この位相コントラスト画像は、表示部１４ｂに表示される。
【００４６】
なお、上記実施形態では、第１及び第２の格子２１，２２のうち、第２の格子２２を格子ユニット３０により構成しているが、第２の格子２２に代えて、第１の格子２１を格子ユニット３０により構成してもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、Ｘ線源１１が単一焦点であるが、Ｘ線源１１の射出側に、焦点を分散化させるための線源格子（マルチスリット）を設けてもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、位相微分像を積分処理したもの（Ｘ線の位相シフト分布に対応）を位相コントラスト画像としているが、位相微分像を位相コントラスト画像としてもよい。
【００４９】
さらに、上記実施形態では、被検体ＨをＸ線源１１と第１の格子２１との間に配置しているが、被検体Ｈを第１の格子２１と第２の格子２２との間に配置してもよい。
【００５０】
以上説明した実施形態は、医療診断用の放射線画像撮影システムのほか、工業用や、非破壊検査等のその他の放射線撮影システムに適用することが可能である。また、本発明は、放射線として、Ｘ線以外にガンマ線等を用いることも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  Ｘ線画像撮影システム
１４  コンソール
２１  第１の格子
２１ａ  Ｘ線吸収部
２１ｂ  Ｘ線透過部
２２  第２の格子
３０  格子ユニット
３１  基板
３１ａ  支柱
３２  支持部材
３３  格子部
３３ａ〜３３ｄ  第１〜第４の辺
３４  Ｘ線吸収部
３５ａ〜３５ｄ  第１〜第４の可動櫛歯状部
３６ａ〜３６ｄ  第１〜第４の固定櫛歯状部
３７ａ〜３７ｄ  第１〜第４の電極部
３８  電圧印加部
【図１】
2012150001.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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