(57)【要約】【課題】一定面の微小な特定箇所を分析する試料用の保護具において、分析対象箇所の最表面にも汚染や状態変化が生じない状態で試料を加工出来る分析用試料の保護具を提供する。【解決手段】板状の分析用試料に載置される分析用試料の保護具であって、桶状体と、この桶状体の外側底部を囲繞し、前記分析用試料と気密に接合する再剥離が可能な接着部と、を備えるものとする。ここで、前記桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部を備えることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の分析用試料に載置される分析用試料の保護具であって、
桶状体と、
この桶状体の外側底部を囲繞し、前記分析用試料と気密に接合する再剥離が可能な接着部と
を備えることを特徴とする分析用試料の保護具。
【請求項２】
前記桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部を備えることを特徴とする請求項１に記載の分析用試料の保護具。
【請求項３】
前記桶状体は、透過性の材料で形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の分析用試料の保護具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析用の試料表面、特に一定面の微小な特定箇所を分析する試料の保護具に関する。
【背景技術】
【０００２】
オージェ電子分光分析方法は、分析用試料に電子線を照射して、試料の内殻電子を励起させ、放出されるオージェ電子を検出し、エネルギー分光をする方法である。オージェ電子の脱出可能深さが数ｎｍと非常に浅い為、他の表面分析手法と比較して、極表面の含有元素の情報が得られること、また電子線を絞ることにより微小領域の表面分析が可能であること、等の特長を持っており、半導体デバイスや情報記録媒体の微小部の分析等に多く活用されている。
Ｘ線光電子分光分析方法は分析用試料にＸ線を照射し、励起された光電子のエネルギー分析を行う方法であり、光電子の脱出可能深さが数ｎｍと非常に浅い為、オージェ電子分光分析方法と同様に、極表面の含有元素の情報が得られる。さらに結合エネルギーのシフト値から化学結合状態を知ることが出来るため、金属、半導体、有機物等の表面状態調査に多用されている。
また、走査形プローブ顕微鏡は非常に鋭い探針で試料表面を走査し、高分解能で表面形状や表面の物理特性を観察する顕微鏡であり、サブ原子レベルの観察まで可能であるため、ナノテクノロジー分野で多用されている。
これらの分析方法では、試料は装置毎に設計された試料台に保持されることが多く、試料を前もって試料台に保持可能な大きさに加工する必要がある。加工方法はカッターや鋸などを用いて、分析対象箇所の周囲を破断や切断することが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−８３０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したような方法で分析試料を加工すると、試料表面には加工時（試料の切断時）の切屑が付着したり、作業時に工具や手指などが接触したりして、分析対象部に汚染や状態変化などを生じる可能性がある。
この問題を回避するため、加工前に分析対象部を既知の物質でコーティングしたり、フィルム状の保護材を貼って保護し、分析時に除去する方法や、加工後、試料表面に窒素や圧縮空気などを当てて異物を除去することが行われる。
例えば、特許文献１には、分析用試料の表面に、樹脂により保護用部材を貼り付けて保護することが記載されている。しかし、特許文献１においては、試料の表面全体に樹脂および保護用部材を接触させているので、分析用試料の表面そのものが損傷する場合が有るという大きな問題点がある。さらに特許文献１では、熱硬化性樹脂を用いているため、接着するには加熱が必要であり、この加熱により、試料の表面状態が、初期の状態から変化してしまうという問題点もある。
つまり、コーティングや保護材を貼る方法では分析対象箇所の表面にコーティング部材や接着部材などが接触するため最表面の初期状態を分析することが困難な場合が多い。
また、加工後に異物を除去する方法では、異物を除去し切れずに分析の妨害となる場合があり、加工時の影響を防ぎ切れない恐れもある。
以上の問題に鑑み、本発明は、上記の課題を解決するため、一定面の微小な特定箇所を分析する試料用の保護具において、分析対象箇所の最表面にも汚染や状態変化が生じない状態で試料を加工出来る分析用試料の保護具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、
板状の分析用試料に載置される分析用試料の保護具であって、
桶状体と、
この桶状体の外側底部を囲繞し、前記分析用試料と気密に接合する再剥離が可能な接着部と、
を備えるものとする。
ここで、前記桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部を備えることが好ましい。
また、前記桶状体は、透過性の材料で形成されることが好ましい。
桶状体は、外側上部が壁面になっているから、この壁面の部分の少なくとも一部が接着部と同じ位置にあると、手の力で壁面の部分を押すだけで、簡単に接着部を押圧し、接着部を試料表面に接着させることができる。
ここで、桶状体の内側壁面に橋架されたつまみ部の形状としては、棒状が最もシンプルであるが、格子状など、種々の形態を採用することができる。
【０００６】
なお、接着ならびに再剥離を行う際の周囲温度が、１０℃ないし３５℃であることが好ましい。また、接着部の高さが、２００μｍないし１ｍｍであることが好ましい。加えて、桶状体の壁面部分の高さが、１０μｍないし１００μｍであることが好ましい。
【０００７】
つまみ部は、桶状体には外側上部の壁面部分が有るから、壁面部分をつまめば良い場合も有るので、必ずしも必須とは言えないが、壁面部分の高さは、下記するように、小さいものであるので、つまみ難く、上記したつまみ部を有することが望ましい。
【０００８】
桶状体は、作業しながら試料表面の状態が見えるように、透過性の材料で形成されている。
本発明で言う、「板状の分析試料」とは、分析試料の表面が、必ずしも厳密に平面であるもののみに限定するものではない。保護具と分析用試料とが、接着部によって接着可能な範囲であれば、若干の曲面であっても良いし、凹凸を有する面でも良い。
【０００９】
また、接着部の高さは、必ずしも桶状体の底部周囲全体にわたって同じ高さである必要はない。分析試料の表面と、接着部とが、接着部の周囲全体にわたって接着できれば良い。
【００１０】
なお、本発明で好ましい周囲温度は、１０℃ないし３５℃と、普通の環境下で考えられる室温である（本発明では、３００Ｋのみを室温と言うものではない。）。ただし、例えば０℃以下の低温環境においても、また４０℃以上の高温環境においても、本発明が適用できることは勿論である。要は、分析試料の状態を変えてしまわない温度であれば良い。
【００１１】
また、接着部の高さは、下限は、試料表面に膨らんでいる箇所がある場合を考慮して、桶状体の底部と試料の表面とが接触しない高さにする。試料表面が平坦な場合には、接着部の高さは、より小さいものでも良い。上限は、桶状体の凸形状部分から押付ける力にもより（極端な強い力で押付けると、接着部が拡がり、試料表面の分析対象部にまで及んでしまうこともあり得る。）、また冶具の形状にもよるが、試料の切断に、邪魔にならない高さから決まるものである。
【００１２】
桶状体の壁面部分の高さは、保護具の下に分析対象箇所が有る直上付近に触れずに押し付けるための最低限の高さを考慮すると、最低限でも１０μｍの高さが必要である。また、接着部の高さと同様に、あまり高さが高いと、試料の切断の時に邪魔になるので、切断に用いる治具の形状によるが、この種の分析において一般的な冶具を用いた場合には、１００μｍ程度が上限として好ましいと考えられる。
【００１３】
さて、ここで、本明細書において使用している、接着という文言と、粘着という文言とについて、定義する。
一般に接着という文言は、粘着という文言の上位のものである。
しかし、ある文献では、粘着は、「接着のように固化して剥離抵抗力を発揮するものと区別される。」と記載され、別の文献でも、接着と粘着との相違について、接着剤は「再剥離不可」のものとされている。
【００１４】
しかしながら、あるメーカーのカタログでは、「両面接着テープ」が再剥離可能と記載されている。
このように、文献、カタログにより、接着と粘着との区別には違いも見られるが、本明細書では、再剥離可能なものは、接着あるいは粘着という文言を用い、区別しないで言うものとする。
具体的には、例えば、両面テープ、両面に粘着剤の付いたポスト・イット（米国３Ｍ社の登録商標）様のものを想定している。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、上記の構成を採用した結果、試料の分析対象箇所の再表面に、汚染や状態変化を生じさせることなく、試料を加工（切断）できる。そして、加工後には保護具の桶状体の壁面部分またはつまみ部を持ち、保護具を剥がすことにより、試料の分析箇所を精度良く分析することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の分析用試料の保護具の構成図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は桶状体の底部側接着部側の平面図、（ｃ）は桶状体の上部側の平面図、（ｄ）は斜視図、（ｅ）は（ｃ）のＡ−Ａ’線断面図である。
【図２】本発明の分析用試料の保護具により試料の対象箇所を保護して加工する工程を示す図で、（ａ）は試料及び分析対象箇所を示す図、（ｂ）は分析対象箇所の上に保護具を押付けて固定した状態を示す図、（ｃ）は（ｂ）の断面図、（ｄ）は保護具により保護した状態で分析対象箇所を切り出した状態を示す図、（ｅ）は切り出した試料から保護具を取り外した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
［実施例］
本発明の分析用試料の保護具の例を、図１に示す。
【００１８】
図において、（ａ）は側面図、（ｂ）は桶状体の底部側の平面図、（ｃ）は桶状体の上部側の平面図、（ｄ）は斜視図、（ｅ）は（ｃ）のＡ−Ａ’線における断面図である。
保護具１は、桶状体２とその底部の接着部３と上部の壁面部分４と桶状体の内側壁面を橋架するつまみ部５とからなっている。
【００１９】
桶状体２は、分析する試料６表面の分析を妨げない元素からなっている。例えば、桶状体２と分析する試料６とが同じ元素であると、桶状体２が試料６の表面状態に影響を与えて、正確な分析ができなくなる場合もある。
【００２０】
桶状体２は、試料６が見えるように、透明もしくは半透明な、合成樹脂やガラスなどの材料からなる部材で、その形状は、底部が平板状、もしく底部の中央部が上部に凸状で、接着部３が取り付けられる形状であれば良い。桶状体２の中央部が下部に向けて凸状であると、桶状体２と試料６とが接してしまう可能性があるので、好ましくない。
【００２１】
接着部３は、桶状体２に固定され、試料６に接する面は、室温で試料６と接着ならびに再剥離可能な粘着剤（ウレタン系粘着剤やアクリル系粘着剤など）からなり、かつ、桶状体２が試料６の分析対象箇所に接触しない高さ（２００μｍ以上）を有している。
【００２２】
桶状体の壁面部分４は、本体２の接着面とは反対側の面にあり、接着部３を上部から効率良く押付けられる位置に固定されている。
つまみ部５は、桶状体２の上部の壁面部分４側に、接着剤などで固定され、安定して引っ張ることができるものであれば良く、図１の形状にこだわるものではない。
【００２３】
壁面部分４およびつまみ部５の材料は、接着部３の押し付け、引っ張りの際に破損が生じないものであれば良く、例えばステンレスや合成樹脂である。なお、必要に応じて、各部材（桶状体２、接着部３、壁面部分４、つまみ部５）には、試料６の加工（切断）の時に、静電気が発生しないように、絶縁性または導電性の材料を用いる。
【００２４】
図２は、本発明の保護具１を用いて、平板状の試料６の上の分析対象箇所７を保護して加工する工程を示すものである。
分析対象箇所７の周囲に接着部３が位置するように保護具１を置き（図２（ｂ））、上から押し付ける（図２（ｃ））。この押し付けは手で押える程度の力で行う。実際、手で押し付ける場合が殆どである。この時、保護具１の桶状体２と分析対象箇所は接触しないように、接着部３の高さを前記したように定めてある。この状態から試料６を切り出して、保護具１を取り付けた状態で切り出した試料８とし（図２（ｄ））、その後、保護具１のつまみ部を微小なピンセット様の治具で持ち、引っ張って、切り出した試料９から保護具１を取り外す（図２（ｅ））。
【００２５】
なお、本実施例においては、保護具１（桶状体２）の形状、ならびに切り出した試料９の切断形状は共に四角形としたが、円形でも楕円形でも、どのような形状でも構わない。分析試料箇所の形状も、どのような形でも構わない。また、保護具１（桶状体）の形状と、切り出した試料９の形状との、両者の形状が異なっていても問題は無い。
【符号の説明】
【００２６】
１  保護具
２  桶状体
３  接着部
４  壁面部分
５  つまみ部
６  試料
７  分析対象箇所
８  保護具を取り付けた状態で切り出した試料
９  切り出した試料
【図１】
2012229937.tif 000003
【図２】
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