(57)【要約】      （修正有）【課題】有軌道台車システムにおいて、軌道に配置されたマークを確実に検出する。【解決手段】有軌道台車システムは、天井又は天井近傍に敷設された軌道１００と、軌道に沿って走行する台車とを備える。台車は、軌道の走行面部上を走行する走行部２１０と、走行部から軌道の間隙を利用して懸垂される台車本体部２２０と、走行部及び台車本体部のうち一方に設けられる検出手段６１０と、走行部及び台車本体部のうち他方に設けられ、検出手段から照射された光を検出手段へと反射させる反射手段６２０とを有している。軌道は、所定位置における走行面部から、検出手段及び反射手段間の光路を遮るように間隙側に突出するマーク部６３０を有している。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井又は該天井の近傍位置に敷設されており、下部両側に走行面部を有すると共に前記走行面部間に間隙を有する軌道と、前記軌道に沿って走行する台車とを備える有軌道台車システムであって、
前記台車は、
前記軌道の前記走行面部上を走行する走行部と、
前記走行部から前記間隙を利用して懸垂される台車本体部と、
前記走行部及び前記台車本体部のうち一方に設けられ、光を照射すると共に反射された光を検出する検出手段と、
前記走行部及び前記台車本体部のうち他方に設けられ、前記検出手段から照射された光を前記検出手段へと反射させる反射手段と
を有しており、
前記軌道は、所定位置における走行面部から、前記検出手段及び前記反射手段間の光路を遮るように前記間隙側に突出するマーク部を有している
ことを特徴とする有軌道台車システム。
【請求項２】
前記台車は、前記走行部及び前記台車本体部のいずれかに設けられ、且つ、前記検出手段による前記マーク部の検出をトリガとして読取動作を行う情報読取手段を更に有しており、
前記軌道は、前記マーク部の近傍位置における走行面部から、前記情報読取手段が読取可能な位置まで前記間隙側に突出する情報記録媒体を更に有している
ことを特徴とする請求項１に記載の有軌道台車システム。
【請求項３】
前記台車は、前記情報読取手段によって前記情報記録媒体に記録された情報を読み取った場合に、該台車を所定の走行パターンで走行させる走行制御手段を更に有していることを特徴とする請求項２に記載の有軌道台車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を軌道に沿って搬送する有軌道台車システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の有軌道台車システムとして、例えば天井に敷設された軌道を走行することでＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)等の被搬送物を搬送する懸垂型の台車を有するもの（所謂ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）が知られている。
このような有軌道台車システムでは、軌道の所定位置に位置情報や制御情報等を記録した情報記録媒体を配置し、軌道を走行する台車に読み込ませるという技術が提案されている。例えば特許文献１では、軌道の所定位置にバーコードを配置すると共に、軌道を走行する有軌道移動体にバーコードリーダを設けるという技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１６６８２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
バーコードの読取動作は、例えばバーコードの存在を示すマークを検出した際に行われる。しかしながら、バーコードが軌道の継目や他の部材が介在する位置に配置されている場合には、マークを検出するセンサにおいてチャタリングが発生し、正確な検出が行えなくなるおそれがある。即ち、上述した特許文献１に係る技術には、情報記録媒体の配置位置の条件によっては、情報を確実に読み取れない事態が生じ得るという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、軌道に配置されたマークを確実に検出することが可能な有軌道台車システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の有軌道台車システムは上記課題を解決するために、天井又は該天井の近傍位置に敷設されており、下部両側に走行面部を有すると共に前記走行面部間に間隙を有する軌道と、前記軌道に沿って走行する台車とを備える有軌道台車システムであって、前記台車は、前記軌道の前記走行面部上を走行する走行部と、前記走行部から前記間隙を利用して懸垂される台車本体部と、前記走行部及び前記台車本体部のうち一方に設けられ、光を照射すると共に反射された光を検出する検出手段と、前記走行部及び前記台車本体部のうち他方に設けられ、前記検出手段から照射された光を前記検出手段へと反射させる反射手段とを有しており、前記軌道は、所定位置における走行面部から、前記検出手段及び前記反射手段間の光路を遮るように前記間隙側に突出するマーク部を有している。
【０００７】
本発明の有軌道台車システムは、天井又は天井近傍に敷設された軌道と、軌道に支持されると共に案内されて走行する台車とを備えている。尚、本発明に係る軌道は特に、下部両側に走行面部を有すると共に走行面部間に間隙を有するように構成されている。
【０００８】
本発明に係る台車は、軌道の走行面部上を走行する走行部を有している。走行部は、例えば走行ローラが走行面部上で回転することによって走行する。走行部には、軌道の間隙を利用して懸垂される台車本体部が取り付けられている。台車本体部は、例えばＦＯＵＰやレチクル等の被搬送物を積載可能に構成されており、走行部が軌道に沿って走行することで、被搬送物を搬送可能に構成される。
【０００９】
本発明に係る台車は更に、走行部及び台車本体部のうち一方に設けられた検出手段と、走行部及び台車本体部のうち他方に設けられた反射手段とを有している。即ち、走行部に検出手段が設けられた場合は台車本体部に反射手段が設けられ、台車本体部に検出手段が設けられた場合は走行部に反射手段が設けられる。
【００１０】
検出手段は、光を照射すると共に反射された光を検出することで後述するマーク部を検出する。一方、反射手段は、検出手段から照射された光を検出手段へと反射させる。反射手段は、例えば反射率の高い金属性の板部材として構成される。但し、反射手段は、高い反射率を有する部材であれば、金属製でなくともよい（例えば、樹脂製の板に反射テープを貼付けるような構成でもよい）。検出手段及び反射手段は、走行部及び台車本体部の各々に、軌道の間隙を介して互いに向かい合うように夫々設けられる。よって、検出手段及び反射手段間に光路を遮るようなものが存在しなければ、検出手段は反射手段によって反射された光を検出し続けることになる。
【００１１】
ここで特に、本発明に係る軌道には、所定位置における走行面部から、検出手段及び反射手段間の光路を遮るように間隙側に突出するマーク部が設けられている。マーク部は、走行面部に対して直接取付けられていてもよいし、走行面部に取付けられた部材（例えば、誘導線を支持するための誘導線プレート）に対して取付けられていてもよい。マーク部は、上述した反射手段と比べて反射率の低い部材として構成されている。このため、マーク部が設けられる所定位置では、検出手段から照射された光が反射手段には入射せず、結果として検出手段では反射した光が検出されない。検出手段は、このように光が検出されない場合に、マーク部の存在を検出する。即ち、台車が走行している位置が、所定位置であることを検出する。
【００１２】
尚、本発明の「所定位置」とは、台車に対して走行位置を検出させるべき位置として設定されるものであり、具体的には台車の走行を停止させる位置等に対応するように設定される。所定位置は、典型的には軌道上に複数設定され、その数だけマーク部が配置されることになる。
【００１３】
上述した反射手段としては、反射率の高いアルミやステンレス等で形成された軌道自体を利用する（即ち、検出手段からの光を軌道に向けて照射する）ことも考えられるが、この場合には、軌道の継目や軌道上に各種部材が存在している位置においてチャタリングが発生し、誤検出の原因となってしまう。また、軌道の形状が変化してしまうと、検出手段の位置を変更することが求められる。
【００１４】
しかるに本発明では、上述したように、検出手段及び反射手段が、走行部及び台車本体部の各々に設けられる。従って、軌道における継目等の影響を受けずにマーク部を検出することができる。即ち、マーク部の配置位置の状態によらずに、確実にマーク部を検出することができる。
【００１５】
本発明の有軌道台車システムの一態様では、前記台車は、前記走行部及び前記台車本体部のいずれかに設けられ、且つ、前記検出手段による前記マーク部の検出をトリガとして読取動作を行う情報読取手段を更に有しており、前記軌道は、前記マーク部の近傍位置における走行面部から、前記情報読取手段が読取可能な位置まで前記間隙側に突出する情報記録媒体を更に有している。
【００１６】
この態様によれば、台車における走行部及び台車本体部のいずれかに情報読取手段が設けられている。情報読取手段は、検出手段によるマーク部の検出をトリガとして読取動作を行う。一方、軌道には、情報読取手段によって読取可能な情報を記録した情報記録媒体が設けられている。情報記録媒体は、マーク部の近傍位置における走行面部から、情報読取手段が読取可能な位置まで間隙側に突出するように設けられている。尚、情報記録媒体及び情報読取手段の具体例としては、例えばバーコード及びそれを読み取るバーコードリーダ等が挙げられる。
【００１７】
上述した構成によれば、検出手段によってマーク部が検出された際に、情報読取手段によって情報記録媒体に記録された情報が読み取られる。従って、適切なタイミングで情報の読取動作を行うことが可能である。尚、情報記録媒体には、例えば詳細な位置情報等が記録されている。この場合、台車の走行位置を高い精度で確実に検出することが可能である。
【００１８】
本発明の有軌道台車システムの他の態様では、前記台車は、前記情報読取手段によって前記情報記録媒体に記録された情報を読み取った場合に、該台車を所定の走行パターンで走行させる走行制御手段を更に有している。
【００１９】
この態様によれば、台車に設けられた情報読取手段によって、情報記録媒体に記録された情報が読み取られると、台車は所定の走行パターンで走行するように制御される。即ち、情報を読み取った台車は、予め設定された走行パターンに従って走行することとなる。
【００２０】
所定の走行パターンとしては、例えば走行停止や停止した後での移載動作等が含まれている。本態様では特に、所定の情報を読み取った後に、所定の走行パターンでの走行が実現されるため、位置決め異常等が発生することが殆どなく、台車を目標位置まで的確に走行させ停止させることができる。
【００２１】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】有軌道台車システムの全体構成を示す上面図である。
【図２】台車の構成を示す正面図である。
【図３】台車の移載動作を示す斜視図である。
【図４】台車の横移載動作を示す斜視図である。
【図５】マークセンサ周辺を台車の進行方向で見た場合の断面図である。
【図６】マークセンサ周辺を台車の上方から見た場合の断面図である。
【図７】マークセンサ周辺を台車の側方から見た場合の断面図である。
【図８】有軌道台車システムの動作を示すフローチャートである。
【図９】比較例に係る有軌道台車システムの構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２４】
先ず、本実施形態に係る有軌道台車システムの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、実施形態に係る有軌道台車システムの全体構成を示す上面図である。
【００２５】
図１において、本実施形態に係る有軌道台車システムは、軌道１００と、台車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００２６】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
【００２７】
軌道１００には複数の台車２００が懸垂されており、台車２００は、軌道１００に沿って走行することで、被搬送物であるＦＯＵＰを搬送することが可能である。
【００２８】
また台車２００は、車上コントローラ２０５を夫々有している。車上コントローラ２０５は、コントローラ３００から搬送指令を受け取り、台車２００の走行を制御する。尚、車上コントローラ２０５は、台車２００の走行を制御するだけでなく、台車２００に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
【００２９】
コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ２０５を介して、台車２００に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
【００３０】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管する棚（例えば、バッファやポート等）及び半導体製造装置が設けられている
【００３１】
次に、台車２００のより具体的な構成について、図２を参照して説明する。ここに図２は、台車の構成を示す正面図である。
【００３２】
図２において、台車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降部２３５、昇降ベルト２４０及び把持部２５０を備えて構成されている。尚、図２では、説明の便宜上、後述するマークセンサやバーコードリーダ等の図示を省略している。
【００３３】
台車２００は、走行部２１０が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。走行部２１０の下面には、本発明の「台車本体部」の一例である本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００３４】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。移動部２３０の下面には、昇降部２３５が取り付けられている。
【００３５】
昇降部２３５の下面には、ＦＯＵＰを把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。
【００３６】
次に、台車によるＦＯＵＰの移載方法について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３及び図４は夫々、実施形態に係る台車のＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図である。
【００３７】
図３において、台車２００が、軌道１００の真下に位置するポート５１０上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず台車２００が軌道１００上を走行して、ポート５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。
【００３８】
続いて、図に示すように、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出されることで把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。そして、把持部２５０とＦＯＵＰ４００との位置の微調整が行われ、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００３９】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び台車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００４０】
図４において、ＦＯＵＰ４００が、軌道１００の側方にそれた位置にあるサイドバッファ（一時保管棚）５２０に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００４１】
次に、台車２００における走行部２１０周辺の具体的な構成について、図５から図７を参照して詳細に説明する。ここに図５は、マークセンサ周辺を台車の進行方向で見た場合の断面図である。また図６は、マークセンサ周辺を台車の上方から見た場合の断面図であり、図７は、マークセンサ周辺を台車の側方から見た場合の断面図である。
【００４２】
図５から図７において、本実施形態に係る台車２００には、本体部２２０における走行部２１０と対向する位置にマークセンサ６１０が設けられている。マークセンサ６１０は、本発明の「検出手段」の一例であり、光を照射すると共に反射光を検出することで、後述するマーク部の存在を検出することができる。マークセンサ６１０は、図６に示すようにマークセンサアンプ６１５に接続されている。
【００４３】
一方、走行部２１０におけるマークセンサ６１０と対向する位置には、反射板６２０が設けられている。反射板は、本発明の「反射手段」の一例であり、例えばアルミやステンレス等の反射率の高い金属を含んで構成されている。但し、反射板６２０は、高い反射率を有する部材であれば、金属製でなくともよい。反射板６２０は、例えば樹脂製の板に反射テープを貼付けるような構成でもよい。反射板６２０は、マークセンサ６１０から照射された光を、マークセンサ６１０へと反射させる。よって、マークセンサ６１０及び反射板６２０間に光路を遮るようなものが存在しなければ、マークセンサ６１０は反射板６２０によって反射された光を検出し続けることになる。
【００４４】
ここで特に、本実施形態に係る軌道１００の所定位置には、走行部２１０の走行ローラ２１５が走行する走行面部（より正確には、走行面部の下面側に取付けられた誘導線プレート６３５）から、マークセンサ６１０及び反射板６２０間の光路を遮るように突出するマーク部６３０が設けられている。マーク部６３０は、上述した反射板６２０と比べて反射率の低い部材として構成されている。このため、マーク部６３０が設けられる所定位置では、マークセンサ６１０から照射された光が反射板６２０には入射せず、結果としてマークセンサ６１０では反射光が検出されない。マークセンサ６１０は、このように反射光が検出されない場合に、マーク部６３０の存在を検出する。
【００４５】
マーク部６３０は、誘導線を支持する誘導線プレート６３５に取り付けられている。誘導線は、軌道１００の分岐点及び合流点付近に設けられ、台車２００同士が通信を行う際に用いられる。誘導線が設けられた領域に進入した台車２００は、誘導線を介して通信を行うことで、他の台車の存在を認識する。これにより、搬送効率を高めることが可能となる。
【００４６】
台車２００における本体部２２０の上側には、誘導線と通信を行う（具体的には、誘導線に信号を送信する、或いは誘導線から信号を受信する）ための誘導線コイル６６０が設けられる。誘導線コイル６６０は、取付部６７０を介して本体部２２０に取り付けられている。誘導線コイル６６０は、図６に示すように、ボギー軸２８１及び２８２の各々に対応するように、左右一対ずつ計４つが設けられている。誘導線コイル６６０は、連結部８００の左右両側に隣接するように設けられる。これは、カーブ走行中でも、誘導線と誘導線コイル６６０とを互いに外れないような位置に夫々配置するためである。この際、誘導線コイル６６０は、ボギー軸２８１及び２８２の中心により近く設置された方が、カーブ走行中に振り回される範囲が小さくなる。また、誘導線コイル６６０の大きさには所定の制限があるため、カーブ走行流に振り回される範囲は小さい方がよい。よって、誘導線コイル２２０は、ボギー軸２８１及び２８２の中心により近く設置された方が好ましい。
【００４７】
一方、誘導線プレート６３５は、誘導線コイル６６０の設置可能位置と幅方向（即ち、軌道１００の延在方向に交わる方向）の位置を合わせるように設けられる。具体的には、図５に示すように、軌道１００の下側から間隙側に一部が突出するように設けられる。上述したマーク部６３０は、こうした誘導線プレート６３５の突出部分の下面側に貼付けられる。尚、誘導線プレート６３５の存在しない箇所（即ち、分岐点や合流点が存在せず、誘導線を設ける必要のない箇所）においては、誘導線プレート６３５と概ね同じ形状のプレートを設ければよい。このようにすれば、軌道１００のどのような箇所においても、好適にマーク部６３０を取付けることができる。
【００４８】
本実施形態に係る台車２００には更に、本体部２２０におけるマークセンサ６１０近傍にバーコードリーダ６４０が設けられている。バーコードリーダ６４０は、本発明の「情報読取手段」の一例であり、マークセンサ６１０においてマーク部６３０が検出された際に読取動作を行う。これにより、誘導線プレート６３５上のマーク部６３０に隣り合うように設けられたバーコード６５０が読み取られる。
【００４９】
バーコード６５０は、本発明の「情報記録媒体」の一例であり、例えば軌道１００における詳細な位置情報が記録されている。また、図６及び図７からも分かるように、バーコード６５０は、マーク部６３０と比べて、台車２００の進行方向で見て前方側に設けられている。これにより、バーコード６５０は、マーク部６３０より遅れて検出されることになり、マーク部６３０の検出に応じた読取動作を好適に行うことが可能となる。
【００５０】
図６及び図７に示すように、本実施形態に係る台車２００の本体部２２０には、ボギー軸２８１及び２８２、並びに連結部８００を介して２つの走行部２１０が取り付けられている。連結部８００は、ボギー軸２８１及び２８２と本体部２２０とを相対回動可能に連結している。連結部８００によれば、一対の走行部２１０が本体部２２０に対して回動可能なボギー構造を構成することができる。このように、１台の台車２００に複数の走行部２１０が設けられる場合には、上述した台車２００に設けられる各部材（即ち、マークセンサ６１０、反射板６２０及びバーコードリーダ６４０）は、１つの走行部２１０に設けられていればよい。
【００５１】
また、マークセンサ６１０及び反射板６２０の位置は互いに入れ替わってもよい。即ち、マークセンサ６１０が走行部２１０に設けられ、反射板が本体部２２０に設けられてもよい。更に、バーコードリーダ６４０が走行部２１０に設けられてもよい。この場合、バーコード６５０は走行部側を向くように配置される。
【００５２】
次に、本実施形態に係る有軌道台車システムの動作について、図８を参照して説明する。ここに図８は、有軌道台車システムの動作を示すフローチャートである。
【００５３】
図８において、本実施形態に係る有軌道台車システムでは、台車２００の走行時において、先ずマークセンサ６１０による光の照射が開始される（ステップＳ０１）。ここで、マークセンサ６１０が反射光を検出しない場合（ステップＳ０２：ＮＯ）、マークセンサ６１０及び反射板６２０間に光路を遮るようなものが存在していると考えられる。よって、マーク部６３０が検出される（ステップＳ０３）。一方で、マークセンサ６１０及び反射板６２０間に光路を遮るマーク部６３０が存在しなければ、マークセンサ６１０は反射板６２０によって反射された光を検出し続けることになる。よって、反射光が検出されている場合は（ステップＳ０２：ＹＥＳ）、マーク部６３０は検出されない。
【００５４】
マーク部６３０が検出されると、バーコードリーダ６４０によるバーコード６５０の読取動作が行われる（ステップＳ０４）。バーコード６５０には、例えば軌道１００における詳細な位置情報が記憶されており、バーコードリーダ６４０によって読み取られた情報は、車上コントローラ２０５（図１参照）に伝達される。車上コントローラは、読み取られた位置情報に基づいて、搬送車を停止させ（ステップＳ０５）、移載動作を行うように制御する（ステップＳ０６）。即ち、車上コントローラ２０５は、本発明の「走行制御手段」の一例である。
【００５５】
上述した一連の制御によれば、バーコード６５０から詳細な位置情報が読み取られているため、台車２００における停止位置の異常や搬送動作の異常等が発生してしまうことを防止できる。よって、システムにおける搬送効率を高めることができる。
【００５６】
ここで、本実施形態に係る有軌道台車システムによって得られる特に有益な効果について、図９に示す比較例との違いを見ながら説明する。ここに図９は、比較例に係る有軌道台車システムの構成を示す断面図である。
【００５７】
図９において、比較例に係る台車２００では、マークセンサ６１０が軌道１００を向くように設けられている。即ち、マークセンサ６１０は、軌道１００の表面、或いはマーク部６３０を貼付けている誘導線プレート６３５の表面を反射板６２０として利用している。この場合、軌道１００の継目や軌道１００上に各種部材が存在している位置では、チャタリングが発生してしまうおそれがある。よって、マーク部６３０を誤検出する原因となってしまう。また、軌道１００の形状が変化してしまうと、マークセンサ６１０の位置や光の照射方向を変更することが求められる。
【００５８】
これに対し本実施形態では、上述したように、マークセンサ６１０及び反射板６２０が、走行部２１０及び台車本体部２２０の各々に設けられる。従って、軌道１００における継目等の影響を受けずにマーク部６３０を検出することができる。よって、高い精度でマーク部６３０を検出し、確実にバーコード６５０の読取動作を実現することができる。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態に係る有軌道台車システムによれば、軌道に配置されたマークを確実に検出できるため、好適なタイミングで軌道上に配置された情報記録媒体を読み取ることが可能である。従って、搬送車の走行制御において異常が発生してしまうことを防止できる。
【００６０】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う有軌道台車システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６１】
１００…軌道、２００…台車、２０５…車上コントローラ、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２３５…昇降部、２４０…昇降ベルト、２５０…把持部、２８１，２８２…ボギー軸、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０…ポート、５２０…サイドバッファ、６１０…マークセンサ、６１５…マークセンサアンプ、６２０…反射板、６３０…マーク部、６３５、誘導線プレート６４０…バーコードリーダ、６５０…バーコード、６６０…誘導線コイル、６７０…取付部、８００…連結部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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