(57)【要約】      （修正有）【課題】板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供する。【解決手段】板状ワーク１，２の接近移動に伴って表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、通気手段４によって内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへの通気を確保することにより、板状ワーク１，２間の内部空間ＩＳ内に収容される流体が外部空間ＯＳに排出され、これに続いて、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１から最終貼り合せキャップＧ２になるまで、内部空間ＩＳを密閉することにより、内部空間ＩＳの内圧が接着剤３を破壊しないレベルの微正圧に上昇し、この最終貼り合せキャップＧ２で接着剤３が硬化されることにより、内部空間ＩＳに微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク１，２同士が貼り合わされる。【選択図】図１
2012043582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれの表面が対向するように一対設けられて、相対的に互いに接近する方向へ移動自在に支持される板状ワークと、
前記板状ワークの前記表面のいずれか一方又は両方に対し枠状に塗布されて、前記板状ワークの接近移動に伴って圧縮変形し、前記表面の間隔が最終貼り合せキャップとなった時に硬化して前記板状ワーク同士を貼り合わせる接着剤と、
前記板状ワーク間の内部空間と外部空間との間で作用する通気手段とを備え、
前記通気手段は、前記板状ワークの接近移動による前記表面の間隔変化に対応して、前記表面の間隔が前記接着剤の塗布厚さよりも狭い圧力上昇開始ギャップに至るまでは、前記内部空間から前記外部空間への通気を確保し、前記表面の間隔が前記圧力上昇開始ギャップよりも狭い前記最終貼り合せキャップに至るまで前記内部空間を密閉して、前記内部空間に前記接着剤が破壊しないレベルの微正圧の流体を封止させることを特徴とする貼合構造体。
【請求項２】
前記通気手段として、前記接着剤の塗布形状で通気口を形成し、前記板状ワークの接近移動に伴う前記接着剤の伸展で前記通気口が閉鎖されるように構成していることを特徴とする請求項１記載の貼合構造体。
【請求項３】
前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に前記接着剤へ向け押圧変形させることで、前記内部空間が密閉されるように構成していることを特徴とする請求項１記載の貼合構造体。
【請求項４】
前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方に凹溝部を部分的に形成し、該凹溝部と対向して又は該凹溝部に沿って前記接着剤を塗布して通気口を開設したことを特徴とする請求項１記載の貼合構造体。
【請求項５】
前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に弾性変形させて、前記表面の他方に塗布された前記接着剤との間に通気口を形成し、前記表面のいずれか一方の弾性変形部を復元させることで前記通気口が閉鎖されるように構成していることを特徴とする請求項１記載の貼合構造体。
【請求項６】
一対の板状ワークの表面のいずれか一方又は両方に、変形可能な接着剤を枠状に塗布する塗布工程と、
前記板状ワークのいずれか一方又は両方を相対的に互いに接近する方向へ移動させ、対向する前記表面の間に前記接着剤が挟まれるように重ね合わせる重ね合わせ工程と、
前記板状ワークの更なる接近移動によって、前記板状ワーク間の前記内部空間から流体を前記外部空間に排出する排出工程と、
前記板状ワークの更なる接近移動によって前記表面の間隔が前記接着剤の塗布厚さよりも狭い圧力上昇開始ギャップに至った時に、前記内部空間を密閉させる閉鎖工程と、
前記板状ワークの更なる接近移動によって前記表面の間隔が前記圧力上昇開始ギャップよりも狭い最終貼り合せキャップに至るまで、前記内部空間の容積を減少させて、前記内部空間の内圧を前記接着剤が破壊しないレベルの微正圧になるまで上昇させる内圧上昇工程と、
前記最終貼り合せキャップに至った時に、前記接着剤を硬化させて前記板状ワークの間隔を前記最終貼り合せキャップに保持する硬化工程とを含むことを特徴とする貼合構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、電子回路やチップなどの封止部材をカバープレートにより気密封止するカバープレート付きセルなどの貼合構造体と、その貼合構造体を生産するための製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の貼合構造体として、有機ＥＬ表示回路が形成された素子基板と、内側に凹部が形成されてシート状吸湿材を収容した封止基板（封止キャップ）と、これら素子基板と封止基板を封着するシール材とを備え、素子基板に対してシール材により封止基板を封止した際にシート状吸湿材が有機ＥＬ表示回路に接触しないように封止空間を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
さらに、この貼合構造体の製造方法は、素子基板の有機ＥＬ素子が形成された主面に、封止基板の吸湿性物質を含む層を対向させて重ね合わせ、両基板を互いに押圧し、シール材に含有するスペーサの大きさ程度まで両基板を接近させ、この状態でシール材を硬化させて素子基板と封止基板を一体化している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−７７９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし乍ら、このような従来の貼合構造体及びその製造方法では、大気圧の環境で両基板の重ね合わせが行われると、シール材で封止される内圧も大気圧になるため、基板サイズの大型化に伴って基板が薄膜化されると、基板がたわみ変形し易くなり、例えば基板の一部に指などで圧力を加えると、加圧した部分が内側へ凹んで回路と接触するおそれがあり、実用的でないという問題があった。
特に、封止基板にシート状吸湿材を収容するための凹部（キャビティ、堀り込み）が形成される、例えばボトムエミッション型の有機ＥＬディスプレイの場合には、封止基板が更に薄膜化されるため、更にたわみ変形し易くなって、基板サイズの大型化が非常に困難であった。
【０００５】
本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供すること、通気手段の構造を簡素化すること、板状ワークの接近移動に連動して内部空間を確実に密閉すること、板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体の製造方法を提供すること、などを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために本発明による貼合構造体は、それぞれの表面が対向するように一対設けられて、相対的に互いに接近する方向へ移動自在に支持される板状ワークと、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方又は両方に対し枠状に塗布されて、前記板状ワークの接近移動に伴って圧縮変形し、前記表面の間隔が最終貼り合せキャップとなった時に硬化して前記板状ワーク同士を貼り合わせる接着剤と、前記板状ワーク間の内部空間と外部空間との間で作用する通気手段とを備え、前記通気手段は、前記板状ワークの接近移動による前記表面の間隔変化に対応して、前記表面の間隔が前記接着剤の塗布厚さよりも狭い圧力上昇開始ギャップに至るまでは、前記内部空間から前記外部空間への通気を確保し、前記表面の間隔が前記圧力上昇開始ギャップよりも狭い前記最終貼り合せキャップに至るまで前記内部空間を密閉して、前記内部空間に前記接着剤が破壊しないレベルの微正圧の流体を封止させることを特徴とする。
ここでいう「微正圧」とは、外気圧よりも若干高い圧力であり、未硬化状態の接着剤３が破断せずに内部空間が密閉保持されると同時に、通常の使用範囲における気温変動や気圧変動などに関係なく常時、板状ワークに張力を与えて自重や部分的な加圧により撓み変形しないレベルをいう。
【０００７】
前述した特徴に加えて、前記通気手段として、前記接着剤の塗布形状で通気口を形成し、前記板状ワークの接近移動に伴う前記接着剤の伸展で前記通気口が閉鎖されるように構成していることを特徴とする。
【０００８】
さらに前述した特徴に加えて、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に前記接着剤へ向け押圧変形させることで、前記内部空間が密閉されるように構成していることを特徴とする。
【０００９】
さらに前述した特徴に加えて、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方に凹溝部を部分的に形成し、該凹溝部と対向して又は該凹溝部に沿って前記接着剤を塗布して通気口を開設したことを特徴とする。
【００１０】
さらに前述した特徴に加えて、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に弾性変形させて、前記表面の他方に塗布された前記接着剤との間に通気口を形成し、前記表面のいずれか一方の弾性変形部を復元させることで前記通気口が閉鎖されるように構成していることを特徴とする。
【００１１】
また本発明による貼合構造体の製造方法は、一対の板状ワークの表面のいずれか一方又は両方に、変形可能な接着剤を枠状に塗布する塗布工程と、前記板状ワークのいずれか一方又は両方を相対的に互いに接近する方向へ移動させ、対向する前記表面の間に前記接着剤が挟まれるように重ね合わせる重ね合わせ工程と、前記板状ワークの更なる接近移動によって、前記板状ワーク間の前記内部空間から流体を前記外部空間に排出する排出工程と、前記板状ワークの更なる接近移動によって前記表面の間隔が前記接着剤の塗布厚さよりも狭い圧力上昇開始ギャップに至った時に、前記内部空間を密閉させる閉鎖工程と、前記板状ワークの更なる接近移動によって前記表面の間隔が前記圧力上昇開始ギャップよりも狭い最終貼り合せキャップに至るまで、前記内部空間の容積を減少させて、前記内部空間の内圧を前記接着剤が破壊しないレベルの微正圧になるまで上昇させる内圧上昇工程と、前記最終貼り合せキャップに至った時に、前記接着剤を硬化させて前記板状ワークの間隔を前記最終貼り合せキャップに保持する硬化工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
前述した特徴を有する本発明による貼合構造体は、板状ワークの接近移動に伴って表面の間隔が圧力上昇開始ギャップになる直前まで、通気手段によって内部空間から外部空間への通気を確保することにより、板状ワーク間の内部空間内に収容される流体が外部空間に排出され、これに続いて、表面の間隔が圧力上昇開始ギャップから最終貼り合せキャップになるまで、内部空間を密閉することにより、内部空間の内圧が接着剤を破壊しないレベルの微正圧に上昇し、この最終貼り合せキャップで接着剤が硬化されることにより、内部空間に微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク同士が貼り合わされるので、板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供することができる。
その結果、基板サイズの大型化に伴って基板が薄膜化されると基板がたわみ変形し易くなる従来のものに比べ、板状ワークを薄膜化したり、板状ワークのサイズを大型化しても板状ワークが凹むことがなく、回路の損傷などを防止できて、サイズの大型化を実現化できる。
さらに、例えば有機ＥＬディスプレイのように、板状ワークとして板厚が約１ｍｍ以下の薄膜状ガラス板を、初期の塗布厚さが約２０μｍ以下の接着剤を挟んで板状ワーク同士が貼り合わされる貼合構造体であっても、接着剤が破壊されない微正圧に相当する約１／１００気圧程度の内圧上昇を確実に実現できる。
【００１３】
さらに、前記通気手段として、前記接着剤の塗布形状で通気口を形成し、前記板状ワークの接近移動に伴う前記接着剤の伸展で前記通気口が閉鎖されるように構成している場合には、通気手段の構造を簡素化することができる。
その結果、通気手段として機械構造を別に設ける必要がないので、全体の構造を簡素化でき、実現性が向上する。
【００１４】
さらに、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に前記接着剤へ向け押圧変形させることで、前記内部空間が密閉されるように構成している場合には、板状ワークの接近移動により表面の間隔が圧力上昇開始ギャップになった時点で、板状ワークのいずれか一方の一部を接着剤へ向け押圧変形させて、通気手段が閉鎖されるので、板状ワークの接近移動に連動して内部空間を確実に密閉することができる。
その結果、微正圧封止の実現性が向上する。
【００１５】
さらに、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方に凹溝部を部分的に形成し、該凹溝部と対向して又は該凹溝部に沿って前記接着剤を塗布して通気口を開設した場合には、板状ワークの接近移動に伴って表面の間隔が圧力上昇開始ギャップになる直前まで、凹溝部の段差分だけ接着剤の先端面との間に通気手段の通気口が開口しているので、通気手段の構造を簡素化することができる。
その結果、通気手段として機械構造を別に設ける必要がないので、全体の構造を簡素化でき、実現性が向上する。
また、接着剤の塗布状態を途中で微妙に変える必要が無いため、接着剤の塗布手段の制御が容易になって実現性が更に向上する。
【００１６】
さらに、前記通気手段として、前記板状ワークの前記表面のいずれか一方を部分的に弾性変形させて、前記表面の他方に塗布された前記接着剤との間に通気口を形成し、前記表面のいずれか一方の弾性変形部を復元させることで前記通気口が閉鎖されるように構成している場合には、板状ワークの接近移動に連動して内部空間を確実に密閉することができる。
その結果、微正圧封止の実現性が向上する。
また、接着剤の塗布状態を途中で微妙に変える必要が無いため、接着剤の塗布手段の制御が容易になって実現性が更に向上する。
【００１７】
また、前述した特徴を有する本発明による貼合構造体の製造方法は、板状ワークの接近移動に伴って表面の間隔が圧力上昇開始ギャップになる直前まで、板状ワーク間の内部空間内に収容される流体が外部空間に排出され、これに続いて、表面の間隔が圧力上昇開始ギャップから最終貼り合せキャップになるまで、内部空間の内圧を接着剤が破壊しないレベルの微正圧に上昇させ、この最終貼り合せキャップで接着剤が硬化されることにより、内部空間に微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク同士が貼り合わされるので、板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体の製造方法を提供することができる。
その結果、基板サイズの大型化に伴って基板が薄膜化されると基板がたわみ変形し易くなる従来のものに比べ、板状ワークを薄膜化したり、板状ワークのサイズを大型化しても板状ワークが凹むことがなく、回路の損傷などを防止できて、サイズの大型化を実現化できる。
さらに、例えば有機ＥＬディスプレイのように、板状ワークとして板厚が約１ｍｍ以下の薄膜状ガラス板を、初期の塗布厚さが約２０μｍ以下の接着剤を挟んで板状ワーク同士が貼り合わされる貼合構造体であっても、接着剤が破壊されない微正圧に相当する約１／１００気圧程度の内圧上昇を確実に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る貼合構造体及びその製造方法の全体構成を示す説明図（縦断正面図）であり、（ａ）が板状ワークの重ね合わせ前後を示し、（ｂ）が圧力上昇開始ギャップの状態を示し、（ｃ）が最終貼り合せキャップの状態を示している。
【図２】貼合構造体の製造方法のフローチャートである。
【図３】接着剤の塗布形状を示す説明図（部分拡大図）であり、（ａ）〜（ｈ）に塗布形状の変形例を示している。
【図４】本発明の他の実施形態に係る貼合構造体及びその製造方法の全体構成を示す説明図（縦断正面図）であり、（ａ）が板状ワークの重ね合わせ前後を示し、（ｂ）が圧力上昇開始ギャップの状態を示し、（ｃ）が最終貼り合せキャップの状態を示している。
【図５】本発明の他の実施形態に係る貼合構造体及びその製造方法の全体構成を示す説明図（縦断正面図）であり、（ａ）が板状ワークの重ね合わせ前後を示し、（ｂ）が圧力上昇開始ギャップの状態を示し、（ｃ）が最終貼り合せキャップの状態を示している。
【図６】本発明の他の実施形態に係る貼合構造体及びその製造方法の全体構成を示す説明図（縦断正面図）であり、（ａ）が板状ワークの重ね合わせ前後を示し、（ｂ）が圧力上昇開始ギャップの状態を示し、（ｃ）が最終貼り合せキャップの状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る貼合構造体Ａは、それぞれの表面１ａ，２ａが対向して相対的に接近する方向へ移動自在に設けられる一対の板状ワーク１，２と、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方又は両方に対し枠状に塗布されて密着する変形可能な接着剤３と、板状ワーク１，２間の内部空間ＩＳと外部空間ＯＳとの間で作用する通気手段４とを備えている。
【００２０】
板状ワーク１，２は、例えば有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）などフレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）や、電子回路やチップなどの封止部材をカバープレートにより気密封止するカバープレート付きセルなどに用いられるガラス製基板又はＰＥＳ（Poly-Ether-Sulphone）などのプラスチックフィルムや合成樹脂製基板である。
必要に応じて、板状ワーク１，２の対向する平坦な表面１ａ，２ａのいずれか一方又は両方には、シート状吸湿材を収容するための凹部（キャビティ、堀り込み）を形成することも可能である。
また、板状ワーク１，２は、後述する貼り合わせ機１０によって表面１ａ，２ａが対向するように着脱自在に保持され、板状ワーク１，２のどちらか一方又は両方を相対的に互いに接近する方向へ移動させ、表面１ａ，２ａの間隔が後述する接着剤３の塗布厚さ（塗布高さ）と同じになる位置まで加圧することにより、接着剤３を挟んで板状ワーク１，２が重ね合わされ、その後の接近移動によって表面１ａ，２ａの間隔が、後述する接着剤３の塗布厚さよりも若干狭い圧力上昇開始ギャップＧ１と、それよりも更に若干狭い最終貼り合せキャップＧ２になるまで段階的に加圧される。
【００２１】
接着剤３は、変形し易い低粘度で且つ例えば紫外線などの光に反応して硬化する光硬化型接着剤や熱に反応して硬化する熱硬化型接着剤などからなり、後述する塗布手段（図示しない）によって、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方又は両方に対し所定形状の枠状に塗布され、板状ワーク１，２の接近移動に伴って圧縮変形するとともに、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になった時点で、表面１ａ，２ａの間に空気などの流体を封止するための内部空間ＩＳが区画形成され、最終貼り合せキャップＧ２になった時点で、後述する硬化手段５により板状ワーク１，２同士が貼り合わされて板状ワーク１，２の間隔を最終貼り合せキャップＧ２に保持する。
さらに、接着剤３の中には、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａの間に形成される最終貼り合せキャップＧ２と同じ高さ寸法のスペーサ３ａを混入させることが好ましい。
【００２２】
通気手段４は、接着剤３の一部又は板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方と接着剤３との間に開閉自在に構成しておくもので、板状ワーク１，２の接近移動による表面１ａ，２ａの間隔変化に対応して、表面１ａ，２ａの間に形成される内部空間ＩＳと、内部空間ＩＳの外側に接着剤３を挟んで配置される外部空間ＯＳとを選択的に連通するものであり、その連通時には、内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへ空気などの流体が排出可能であるが、不連通時には、内部空間ＩＳが接着剤３によって密閉され、内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへ空気などの流体が排出不能になる。
通気手段４の具体例としては、接着剤３の塗布形状によって通気口を部分的に開設したり、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方に凹部を部分的に形成して、該凹部上又は対向するように接着剤３を塗布することにより通気口を開設したり、板状ワーク１，２のいずれか一方を部分的に弾性変形させて、表面１ａ，２ａの他方に塗布された接着剤３との間に通気口を開設したり、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方において接着剤３の塗布位置よりも内側に貫通する通気口を開設するなどがある。
【００２３】
また、通気手段４は、板状ワーク１，２の接近移動によって表面１ａ，２ａの間隔が接着剤３の塗布厚さよりも若干狭い圧力上昇開始ギャップＧ１に至るまで、内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへの通気を確保するが、それよりも若干遅れて表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１よりも若干狭い最終貼り合せキャップＧ２に至るまで内部空間ＩＳを密閉して、内部空間ＩＳに接着剤３が破壊しないレベルの微正圧の流体を封止させるように構成される。
ここでいう「微正圧」とは、外気圧よりも若干高い圧力であり、未硬化状態の接着剤３が破断せずに内部空間ＩＳが密閉保持されると同時に、通常の使用範囲における気温変動や気圧変動などに関係なく常時、板状ワーク１，２に張力を与えて自重や部分的な加圧により撓み変形しないレベルをいう。
微正圧の具体例としては、板状ワーク１，２の厚さや接着剤３の塗布厚さを含む内部空間ＩＳの容積などによっても異なるが、外部空間ＯＳの雰囲気、すなわち外気圧力よりも約０．３％〜１％程度高くすることが好ましい。
【００２４】
詳しく説明すれば、通気手段４は、板状ワーク１，２の接近移動によって表面１ａ，２ａの間隔が、少なくとも接着剤３の塗布厚さとなった時点から、それよりも若干狭い圧力上昇開始ギャップＧ１に至るまで、内部空間ＩＳ内の空気などの流体が内部空間ＩＳに排出可能になる。
その後、表面１ａ，２ａの間隔が上昇開始ギャップＧ１になった時点で、内部空間ＩＳが密閉され、それより若干遅れて、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１よりも若干狭い最終貼り合せキャップＧ２に至るまで、内部空間ＩＳを密閉し続けることにより、内部空間ＩＳ内の空気などの流体が圧縮されて、その内圧を接着剤３が破壊しないレベルの微正圧となるまで上昇させる。
【００２５】
このような通気手段４の具体例としては、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の伸展によって通気口を閉鎖したり、板状ワーク１，２のいずれか一方を部分的に接着剤３へ向け押圧変形させて通気口を閉鎖したり、板状ワーク１，２のいずれか一方の部分的な弾性変形部を復元させて通気口を閉鎖したり、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方において接着剤３の塗布位置よりも内側に開設された通気口を封止するなどがある。
【００２６】
そして、本発明の実施形態に係る貼合構造体Ａを生産するための製造方法は、図２に示すフローチャートように、接着剤３の塗布工程と、板状ワーク１，２の重ね合わせ工程と、内部流体の排出工程と、内部空間ＩＳの閉鎖工程と、内部空間ＩＳの内圧上昇工程と、接着剤３の硬化工程とを含んでいる。
【００２７】
接着剤３の塗布工程は、一対の板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方又は両方に対し、後述する塗布手段（図示しない）によって変形可能な接着剤３を所定形状の枠状に塗布するようになっている。
板状ワーク１，２の重ね合わせ工程は、板状ワーク１，２のどちらか一方又は両方を相対的に互いに接近する方向へ移動させることにより、これらの対向する表面１ａ，２ａの間に接着剤３が挟まれるように重ね合わせ、この時点では通気手段４によって、板状ワーク１，２の間に形成される内部空間ＩＳとその周囲に配置される外部空間ＯＳとを連通させている。
内部流体の排出工程は、板状ワーク１，２のどちらか一方又は両方を更に接近移動させることにより、内部空間ＩＳの容積を減少させて、そこに収容される空気などの流体を通気手段４から外部空間ＯＳに排出するようになっている。
内部空間ＩＳの閉鎖工程は、板状ワーク１，２のどちらか一方又は両方を更に接近移動させることにより、接着剤３を圧縮変形させて、表面１ａ，２ａの間隔が接着剤３の塗布厚さよりも若干狭い圧力上昇開始ギャップＧ１に至った時に、通気手段４によって内部空間ＩＳを密閉させるようになっている。
内部空間ＩＳの内圧上昇工程は、板状ワーク１，２のどちらか一方又は両方を更に接近移動させることにより、接着剤３を更に圧縮変形させて、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１よりも若干狭い最終貼り合せキャップＧ２に至るまで、内部空間ＩＳの容積を減少させて、内部空間ＩＳの内圧を接着剤３が破壊しないレベルの微正圧になるまで上昇させるようになっている。
接着剤３の硬化工程は、最終貼り合せキャップＧ２になった時に、後述する硬化手段５によって接着剤３を硬化させることにより、板状ワーク１，２の間隔を最終貼り合せキャップＧ２に保持するようになっている。
【００２８】
また、このような貼合構造体Ａを生産するための製造装置は、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方又は両方に接着剤３を所定形状の枠状に塗布するための塗布手段（図示しない）と、接着剤３が塗布された板状ワーク１，２を搬入・搬出するためのワーク移送手段（図示しない）と、板状ワーク１，２を表面１ａ，２ａが対向するように着脱自在に保持して相対的に互いに接近する方向へ移動させるための貼り合わせ機１０と、接着剤３を硬化させるための硬化手段５などを具備している。
【００２９】
接着剤３の塗布手段としては、例えばディスペンサなどの液体定量吐出機を用い、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａに向け変形可能な接着剤３を連続した線状又は非連続の線状若しくは点状に吐出して、所定形状の枠状に塗布することが好ましい。
また、塗布手段の他の例として、例えばスクリーン印刷などの印刷により所定形状の枠状に塗布することも可能である。
【００３０】
接着剤３の硬化手段５としては、接着剤３に向けて例えば紫外線などを照射して硬化させる光照射装置を用いることが好ましい。
また、接着剤３の硬化手段５の他の例として、接着剤３を温度変化により硬化させるヒータなどを用いることも可能である。
【００３１】
貼り合わせ機１０は、例えば図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、板状ワーク１，２を着脱自在に保持する上下一対の保持板１１，１２と、これら上下の保持板１１，１２のいずれか一方又は両方を相対的に互いに接近する方向へ移動させて板状ワーク１，２を重ね合わせる昇降駆動部１３と、少なくとも昇降駆動部１３などを作動制御する制御部１４などを備えている。
【００３２】
上下の保持板１１，１２は、例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成され、その平滑な保持面１１ａ，１２ａを互い対向するように設け、これら保持面１１ａ，１２ａには、板状ワーク１，２をそれぞれ着脱自在に保持するワーク保持手段（図示しない）として、例えば静電チャックや吸引チャックや粘着チャック又はそれらの組み合わせなどが設けられる。
【００３３】
さらに、上下の保持板１１，１２は、少なくともそれらのいずれか一方又は両方が上下方向（Ｚ方向）へ保持面１１ａ，１２ａを平行状態で互いに接近又は離隔するように往復動自在に支持される。
図示例の場合には、上保持板１１のみを上下移動させる昇降駆動部１３が設けられている。
その他の例として、昇降駆動部１３で下保持板１２のみを上下移動させたり、上下保持板１１，１２の両方を上下移動させることも可能である。
【００３４】
また、上保持板２１及び下保持板２２の周囲には、気圧調整可能な閉空間（図示しない）を形成し、該閉空間が所定の気圧に調整された雰囲気の環境下で、保持板１１，１２を互いに接近移動して板状ワーク１，２を貼り合わせることも可能である。
【００３５】
制御部１４は、保持板１１，１２のワーク保持手段、昇降駆動部１３や接着剤３の塗布手段、接着剤３の硬化手段５だけでなく、必要に応じて、通気手段４や上下の保持板１１，１２へ向け板状ワーク１，２を搬入・搬出するワーク移送手段（図示しない）などとも電気的に接続され、それらを予め設定されたプログラムに従って順次作動制御するコントローラーである。
プログラムの一例としては、先ず、図１（ａ）の実線に示されるように、塗布手段による接着剤３の塗布工程が終了した板状ワーク１，２を、ワーク搬送手段により上下保持板１１，１２へ向け搬入して、保持面１１ａ，１２ａの所定位置に対し、ワーク保持手段によりセットする。
次に、図１（ａ）〜（ｃ）に示されるように、昇降駆動部１３により上下保持板１１，１２のいずれか一方又は両方を、互い接近する方向へ移動開始させる。
それにより、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａの間隔が、図１（ａ）の二点鎖線に示されるように、接着剤３の塗布厚さとほぼ同じ寸法に至った時点で、表面１ａ，２ａの間に接着剤３を挟んで板状ワーク１，２が重ね合わされる。
その後、図１（ｂ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が、接着剤３の塗布厚さよりも若干狭い圧力上昇開始ギャップＧ１に至った時点で、接着剤３により内部空間ＩＳが密閉される。
これに続いて、図１（ｃ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が、圧力上昇開始ギャップＧ１よりも若干狭い最終貼り合せキャップＧ２に至った時点で、昇降駆動部１３による上下保持板１１，１２の接近移動を完了させる。
その後、硬化手段５により接着剤３を硬化させて板状ワーク１，２が貼り合わされ、その後、この貼り合わせ工程が終了した板状ワーク１，２を、ワーク搬送手段で搬出させる。
【００３６】
このような本発明の実施形態に係る貼合構造体Ａ及びその製造方法並びにその製造装置によると、図１（ａ）に示されるように、板状ワーク１，２の接近移動により表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、通気手段４によって内部空間ＩＳから外部空間ＯＳへの通気が確保されており、そのために内部空間ＩＳの容積が減少して、内部空間ＩＳ内に収容される空気などの流体が外部空間ＯＳに排出される。これに続いて、図１（ｂ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になると、内部空間ＩＳが密閉され、図１（ｃ）に示されるように、この閉鎖状態が最終貼り合せキャップＧ２になるまで続くため、内部空間ＩＳの容積が更に減少して、内部空間ＩＳの内圧が接着剤３を破壊しないレベルの微正圧（外部空間ＯＳの外気圧力よりも約０．３％〜１％程度高い状態）まで上昇する。これに続いて、この最終貼り合せキャップＧ２で接着剤３が硬化されるため、内部空間ＩＳに微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク１，２同士が接着剤３によって貼り合わされる。
それにより、板状ワーク１，２には微正圧による適度な張力が与えられて、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワーク１，２が撓み変形することを防止することができ、板状ワーク１，２を更に薄膜化したり、板状ワーク１，２のサイズを大型化しても板状ワーク１，２が凹むことがなく、回路の損傷などを防止できて、サイズの大型化を実現化できる。
【００３７】
ところで、貼合構造体Ａが薄型の有機ＥＬディスプレイのように、板状ワーク１，２として板厚が約１ｍｍ以下の薄膜状ガラス板を用い、初期の塗布厚さが約２０μｍ以下の接着剤３を挟んで板状ワーク１，２同士が貼り合わされるものの場合において、「内部空間ＩＳに接着剤３を破壊しないレベルの微正圧の流体を封止させる」とは、内部空間ＩＳの内圧を約１／１００気圧程度上昇させることに相当する。
しかし、このような微正圧の封止は、現状の技術において正確に実現することが非常に困難である。
これに対し、本発明の実施形態によれば、板状ワーク１，２を接近移動させる過程において、内部空間ＩＳの容積などによっても異なるが、通気手段４により内部空間ＩＳが密閉される圧力上昇開始ギャップＧ１から最終貼り合せキャップＧ２まで約１０μｍ程度だけ更に圧縮すると、内部空間ＩＳの内圧を、微正圧に相当する、外部空間ＯＳの外気圧力よりも約０．３％〜１％程度だけ高くすることができ、接着剤３が破壊されない微正圧の封止を確実に実現できる。
特に、接着剤３の中に、予め最終貼り合せキャップＧ２と同じ高さ寸法のスペーサ３ａを混入しておけば、表面１ａ，２ａの間隔が最終貼り合せキャップＧ２になった瞬間に、板状ワーク１，２の接近移動を確実に停止させることが容易になり、圧力上昇開始ギャップＧ１から最終貼り合せキャップＧ２までの約１０μｍ程度の圧縮制御を正確に実行できて、更に実現性が向上する。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００３８】
この実施例１は、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、通気手段４として、接着剤３の塗布形状によって通気口４ａを部分的に開設し、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の伸展で通気口４ａが閉鎖されるように構成した場合を示すものである。
詳しくは、接着剤３の塗布形状によって接着剤３の一部か、又は板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方と接着剤３の端面との間に、通気口４ａが部分的に形成される。
接着剤３は、板状ワーク１，２の接近移動により押し潰されて上下方向へ圧縮変形すると、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａに沿って拡張伸展する。実施例１では、このように板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の押し潰しによって発生する伸展部４ｂが、内部空間ＩＳの密閉手段として利用されている。
【００３９】
図１（ａ）〜（ｃ）に示される例では、板状ワーク１，２が、表面１ａ，２ａのいずれか一方の中央部分に、シート状吸湿材（図示しない）を収容するための凹部２ｂが形成されたボトムエミッション型の有機ＥＬディスプレイである場合を示している。
また、その他の例として図示しないが、板状ワーク１，２が、表面１ａ，２ａのいずれか一方に凹部２ｂが形成されないトップエミッション型の有機ＥＬディスプレイであったり、電子回路やチップなどの封止部材をカバープレートにより気密封止するカバープレート付きセルなどであっても良い。
【００４０】
さらに、接着剤３の塗布形状についてその変形例を図３（ａ）〜（ｈ）に示す。
図３（ａ）（ｂ）に示される例では、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方に対する接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において塗布厚さを薄く（低く）することにより、表面１ａ，２ａの他方との間に通気手段４として通気口４ａを形成している。
図３（ａ）に示される例における通気口４ａの形成方法は、接着剤３の塗布手段として例えばディスペンサなどの液体定量吐出機を用い、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａに向け変形可能な接着剤３を連続した線状に吐出して枠状に塗布するとともに、その直線部分又はコーナー部分の一部に、接着剤３の吐出量を減少させて細い線の「くびれ」を部分的に作ることにより、塗布膜厚を一部だけ薄くしている。
図３（ｂ）に示される例では、接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において平行な細い線を複数配置することにより、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出量を途中で微妙に変えることなく、塗布膜厚が一部だけ薄い通気口４ａを形成している。
【００４１】
図３（ｃ）〜（ｆ）に示される例では、接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において不連続部分を配置することにより、通気手段４として通気口４ａを形成している。
図３（ｃ）に示される例における通気口４ａの形成方法は、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出を一時停止させることにより、枠状に塗布された接着剤３の直線部分又はコーナー部分の一部に、不連続部分として切れ目（スリット）からなる通気口４ａを形成している。
図３（ｄ）に示される例では、接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において塗布線の位置を並行状にずらして配置することにより、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出量を途中で微妙に変えることなく、不連続部分として切れ目（ドット）からなる通気口４ａを形成している。
図３（ｅ）に示される例では、接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において液体定量吐出機から接着剤３を点状に吐出させることにより、枠状に塗布された接着剤３の直線部分又はコーナー部分の一部に、不連続部分として切れ目（スリット）からなる通気口４ａを形成している。
図３（ｆ）に示される例では、接着剤３の塗布形状が、塗布パターンの一部において塗布位置を並行状にずらしながら点状に吐出させることにより、枠状に塗布された接着剤３の直線部分又はコーナー部分の一部に、不連続部分として切れ目（スリット）からなる通気口４ａを形成している。
【００４２】
図３（ｇ）（ｈ）に示される例では、塗布パターンの一部において例えばスクリーン印刷などの印刷により接着剤３の不連続部分を配置することで、通気手段４として通気口４ａを形成している。
図３（ｇ）に示される例では、印刷で枠状に塗布された接着剤３の直線部分又はコーナー部分の一部に、不連続部分としてくびれからなる通気口４ａを形成している。
図３（ｈ）に示される例では、印刷で枠状に塗布された接着剤３の直線部分又はコーナー部分の一部に、不連続部分として切れ目（スリット）からなる通気口４ａを形成している。
【００４３】
このような本発明の実施例１に係る貼合構造体Ａ及びその製造方法並びにその製造装置によると、図１（ａ）に示されるように、板状ワーク１，２の接近移動により表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、通気手段４の通気口４ａが開口しており、そのために内部空間ＩＳの容積が減少して、内部空間ＩＳ内に収容される空気などの流体が外部空間ＯＳに排出される。これとほぼ同時に、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の押し潰しにより伸展部４ｂが発生して、通気口４ａの開口面積が徐々に減少する。これに続いて、図１（ｂ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になると、この頃には板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の伸展（伸展部４ｂ）で通気口４ａが完全に閉鎖され、この閉鎖状態が最終貼り合せキャップＧ２になるまで続くため、内部空間ＩＳの容積が更に減少して、内部空間ＩＳの内圧が接着剤３を破壊しないレベルの微正圧まで上昇する。
それにより、通気手段４の構造を簡素化でき、通気手段４として機械構造を別に設ける必要がないので、全体の構造を簡素化できるという利点がある。
特に、図３（ｂ）（ｄ）に示される例では、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出量を途中で微妙に変える必要が無いため、液体定量吐出機の制御が容易になって実現性が更に向上するという利点がある。
【実施例２】
【００４４】
この実施例２は、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、通気手段４として、板状ワーク１，２のいずれか一方を部分的に接着剤３へ向け押圧変形させることで、内部空間ＩＳを密閉させる構成が、図１に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１に示した実施例１と同じものである。
すなわち、通気手段４は、板状ワーク１，２のいずれか一方を部分的に接着剤３へ向け押圧変形させることにより、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の押し潰しによる伸展と関係なく、内部空間ＩＳを強制的に密閉させるものである。
【００４５】
図４（ａ）〜（ｃ）に示される例では、貼り合わせ機１０の保持板１１，１２の少なくとも一方に、内部空間ＩＳの密閉手段として例えばエアーシリンダや油圧シリンダなどのアクチュエータからなる加圧手段４ｃを、板状ワーク１，２のいずれか一方へ向けて出没自在に設け、加圧手段４ｃの突出動で板状ワーク１，２のいずれか一方の一部を、接着剤３へ向けて押圧変形させることにより、その表面１ａ，２ａの一方が接着剤３の先端面に密着して内部空間ＩＳが密閉される。
さらに、図示例では、実施例１と同様に、通気手段４として、接着剤３の塗布形状によって通気口４ａを部分的に開設している。
【００４６】
このような本発明の実施例２に係る貼合構造体Ａ及びその製造方法並びにその製造装置によると、図４（ｂ）に示されるように、板状ワーク１，２の接近移動により表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になった時点で、加圧手段４ｃが突出して板状ワーク１，２のいずれか一方の一部を接着剤３へ向け押圧変形させて、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の押し潰しによる伸展と関係なく、通気口４ａが強制的に閉鎖される。
それにより、板状ワーク１，２の接近移動に連動して内部空間ＩＳを確実に密閉でき、微正圧封止の実現性を向上させることができるという利点がある。
【実施例３】
【００４７】
この実施例３は、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、通気手段４として、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方に凹溝部４ｄを部分的に形成し、凹溝部４ｄと対向して又は凹溝部４ｄに沿って接着剤３を同一の塗布厚さで連続状に塗布することにより、通気口４ｅを開設した構成が、図１に示した実施例１又は図４に示した実施例２とは異なり、それ以外の構成は図１に示した実施例１又は図４に示した実施例２と同じものである。
【００４８】
図５（ａ）〜（ｃ）に示される例では、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方に凹溝部４ｄを、他方に塗布された接着剤３と対向するように部分的に形成することにより、これら凹溝部４ｄと接着剤３の先端面との間に通気口４ｅを形成している。
また、その他の例として図示しないが、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方に凹溝部を部分的に形成し、他方と対向するように凹溝部に沿って接着剤３を塗布することにより、これら接着剤３の先端面と表面１ａ，２ａの他方との間に通気口４ｅを形成することも可能である。
【００４９】
図示例では、実施例３における内部空間ＩＳの密閉手段として、実施例１に示されるような、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の伸展（伸展部４ｂ）で通気口４ｅを閉鎖させる場合を示している。
その他の例として図示せぬが、内部空間ＩＳの密閉手段として、実施例２に示されるような、加圧手段の突出動で板状ワーク１，２のいずれか一方の一部を、接着剤３へ向け押圧変形させて、その表面１ａ，２ａの一方が接着剤３の先端面に密着して通気口４ｅを閉鎖させることも可能である。
【００５０】
このような本発明の実施例３に係る貼合構造体Ａ及びその製造方法並びにその製造装置によると、図５（ａ）に示されるように、板状ワーク１，２の接近移動により表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、凹溝部４ｄの段差分だけ接着剤３の先端面との間に通気手段４の通気口４ｅが開口している。これに続いて、図５（ｂ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になると、板状ワーク１，２の接近移動に伴う接着剤３の伸展（伸展部４ｂ）で通気口４ｅが完全に閉鎖されるか、又は加圧手段の突出動で板状ワーク１，２のいずれか一方の一部を、接着剤３へ向け押圧変形させて、その表面１ａ，２ａの一方が接着剤３の先端面に密着して通気口４ｅが閉鎖される。
それにより、通気手段４の構造を簡素化でき、通気手段４として機械構造を別に設ける必要がないので、全体の構造を簡素化できるという利点がある。
さらに、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出量を途中で微妙に変える必要が無いため、液体定量吐出機の制御が容易になって実現性が更に向上するという利点がある。
【実施例４】
【００５１】
この実施例４は、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、通気手段４として、板状ワーク１，２のいずれか一方を部分的に弾性変形させて、表面１ａ，２ａの他方に塗布された接着剤３との間に通気口４ｆを開設し、表面１ａ，２ａのいずれか一方の部分的な弾性変形部４ｇを元の形状に復元させることで、接着剤３の先端面と密着して通気口４ｆを閉鎖させる構成が、図１に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１に示した実施例１と同じものである。
【００５２】
図６（ａ）〜（ｃ）に示される例では、貼り合わせ機１０の保持板１１，１２の少なくとも一方の一部に、内部空間ＩＳの密閉手段として例えば吸引チャックなどからなる吸着手段４ｈを、板状ワーク１，２のいずれか一方へ向けて凹状に設け、この吸着手段４ｈの吸引によって板状ワーク１，２のいずれか一方が、接着剤３から離れる方向へ部分的に弾性変形させることにより、その表面１ａ，２ａの一方に接着剤３の先端面と対向する凹みが形成されて、それらの間に通気手段４の通気口４ｆを開口させている。さらに、この開口状態で、吸着手段４ｈの吸引を解除させて、板状ワーク１，２のいずれか一方の凹状の弾性変形部４ｇを元の平坦形状に復元することにより、接着剤３の先端面と密着して通気口４ｆが閉鎖される。
また、その他の例として図示しないが、内部空間ＩＳの密閉手段として板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａの間に出入りする楔部材を設け、この楔部材を挿入によって板状ワーク１，２のいずれか一方が、接着剤３から離れる方向へ部分的に弾性変形させることにより、接着剤３との間に通気口４ｆが開口され、楔部材の抜き取りによって板状ワーク１，２のいずれか一方の弾性変形部４ｇを元の平坦形状に復元することにより、接着剤３の先端面と密着して通気口４ｆが閉鎖されるように構成することも可能である。
【００５３】
このような本発明の実施例４に係る貼合構造体Ａ及びその製造方法並びにその製造装置によると、図６（ａ）に示されるように、板状ワーク１，２の接近移動により表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前まで、弾性変形部４ｇと接着剤３の先端面との間に通気手段４の通気口４ｆが開口している。これに続いて、図６（ｂ）に示されるように、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になると、吸着手段４ｈの吸引が解除され、弾性変形部４ｇを元の形状に復元させることで通気口４ｆが閉鎖される。
それにより、板状ワーク１，２の接近移動に連動して内部空間ＩＳを確実に密閉でき、微正圧封止の実現性を向上させることができるという利点がある。
さらに、液体定量吐出機からの接着剤３の吐出量を途中で微妙に変える必要が無いため、液体定量吐出機の制御が容易になって実現性が更に向上するという利点がある。
【００５４】
なお、本発明は前示された各実施例に限定されず、板状ワーク１，２の表面１ａ，２ａのいずれか一方において接着剤３の塗布位置よりも内側に貫通する通気口（図示しない）を開設し、表面１ａ，２ａの間隔が圧力上昇開始ギャップＧ１になる直前までは、貫通する通気口を開口させ、圧力上昇開始ギャップＧ１になった時点で、貫通する通気口を閉鎖させても良い。
さらに、貼り合わせ機１０を気圧調整可能な閉空間を形成し、該閉空間が予め微正圧に調整された雰囲気の環境下で、保持板１１，１２を互いに接近移動して板状ワーク１，２同士を貼り合せ、その後、この貼合構造体Ａを閉空間から取り出すことにより、内部空間ＩＳに接着剤３が破壊しないレベルの微正圧の流体を封止しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１，２  板状ワーク                  １ａ，２ａ  表面
３  接着剤                          ４  通気手段
４ａ，４ｅ，４ｆ  通気口            ４ｄ  凹溝部
４ｇ  弾性変形部                    Ｇ１  圧力上昇開始ギャップ
Ｇ２  最終貼り合せキャップ          ＩＳ  内部空間
ＯＳ  外部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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