(57)【要約】【課題】  作業者によらず液漏れを防止可能な流量検出ユニットを提供することである。【解決手段】管中を流れる液体の流量を検出する流量検出ユニットであって、管と、該管中を流れる液体の流量を検出する流量計と、該管と該流量計とを接続する接続部材とを具備し、該流量計は、流入端から流出端に向けて断面積が拡大するテーパ状内周面を有する円筒状本体と、該本体内に収容されたフロートと、該本体の外周端部に形成された雄ねじ部と、該外周端部の端面から僅かに突出した状態で該端面に配設されたＯリングとを含み、該接続部材は、該管の端部に固定される固定端部と、該流量計と接続される接続端部とを備え、該接続端部は、該流量計の該雄ねじ部が螺合する雌ねじ部と、該流量計の該雄ねじ部が該雌ねじ部に螺合することで該Ｏリングが圧接される接触端面とを有していることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管中を流れる液体の流量を検出する流量検出ユニットであって、
管と、該管中を流れる液体の流量を検出する流量計と、該管と該流量計とを接続する接続部材とを具備し、
該流量計は、流入端から流出端に向けて断面積が拡大するテーパ状内周面を有する円筒状本体と、該本体内に収容されたフロートと、該本体の外周端部に形成された雄ねじ部と、該外周端部の端面から僅かに突出した状態で該端面に配設されたＯリングとを含み、
該接続部材は、該管の端部に固定される固定端部と、該流量計と接続される接続端部とを備え、
該接続端部は、該流量計の該雄ねじ部が螺合する雌ねじ部と、該流量計の該雄ねじ部が該雌ねじ部に螺合することで該Ｏリングが圧接される接触端面とを有していることを特徴とする流量検出ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管中を流れる流体の流量を検出する流量検出ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面にＩＣ、ＬＳＩ等の複数の半導体デバイスが形成された半導体ウエーハ等の被加工物は、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工され、必要に応じて研磨装置によって裏面が研磨されて研削で生じた微細な研削歪が除去された後、切削装置によって切削されて個々の半導体デバイスに分割される。分割された半導体デバイスは、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
【０００３】
これらの研削装置、研磨装置、切削装置等の加工装置や、加工装置に一定温度の加工水を供給する定温加工水供給装置（例えば、特開２００７−１２７３４３号公報参照）や、加工装置で発生した加工廃液を処理する加工廃液処理装置（例えば、特開２００９−９５９４１号公報参照）や、加工装置に供給する加工水としての純水を生成する純水生成装置等の周辺装置では、加工水や廃液の流体が流れる種々の管を有しており、管中の流量を測定する流量計を備えている。
【０００４】
流量計としては、フロート式（浮き子式）面積流量計が一般的に使用されており、流量計と流体が流れる管との接続には、円錐面同士の螺合接続が採用されている。即ち、管の端部に円錐形状の雄ねじ（テーパねじ）を形成し、流量計の端部にこの雄ねじに対応する円錐形状の雌ねじを有するナットを回転可能に装着し、ナットを回転して、雌ねじを雄ねじに螺合することにより管と流量計とが接続される。
【０００５】
接続時の液漏れを防止するために、円錐状（テーパ状）の雄ねじには予めシーリングテープを巻きつけておき、雄ねじと雌ねじが螺合した時に生じるねじ間の僅かな隙間を埋めるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１２７３４３号公報
【特許文献２】特開２００９−９５９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、シーリングテープの巻き数や巻き方、テーパねじの締め付け具合は作業者によってまちまちであり、場合によっては、雄ねじと雌ねじが螺合したときに生じるねじ間の僅かな隙間を十分に埋めることが出来ず、液漏れが発生してしまという問題があった。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者によらず液漏れを防止可能な流量検出ユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、管中を流れる液体の流量を検出する流量検出ユニットであって、管と、該管中を流れる液体の流量を検出する流量計と、該管と該流量計とを接続する接続部材とを具備し、該流量計は、流入端から流出端に向けて断面積が拡大するテーパ状内周面を有する円筒状本体と、該本体内に収容されたフロートと、該本体の外周端部に形成された雄ねじ部と、該外周端部の端面から僅かに突出した状態で該端面に配設されたＯリングとを含み、該接続部材は、該管の端部に固定される固定端部と、該流量計と接続される接続端部とを備え、該接続端部は、該流量計の該雄ねじ部が螺合する雌ねじ部と、該流量計の該雄ねじ部が該雌ねじ部に螺合することで該Ｏリングが圧接される接触端面とを有していることを特徴とする流量検出ユニットが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の流量検出ユニットでは、Ｏリングが接触端面に圧接されることで管と流量計との接合部を密閉するため、液漏れが発生することがない上、作業者による影響を受けることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１（Ａ）は流量計の外観斜視図、図１（Ｂ）はその一部拡大側面図である。
【図２】流量計の原理を示す模式的縦断面図である。
【図３】流量計検出ユニットの正面図である。
【図４】管と流量計との接続部分の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１（Ａ)を参照すると、流量計１０の外観斜視図が示されている。図１（Ｂ）はその一部拡大側面図であり、図２はその原理を説明するための模式的縦断面図を示している。
【００１３】
図２の縦断面図に示すように、流量計１０の円筒状本体１２は、流体の流入端１２ａから流出端１２ｂにかけて断面積が増加するテーパ状内周面１５を有している。円筒状本体１２の外周面１３は円筒面に形成されているため、円筒状本体１２の肉厚は流入端１２ａから流出端１２ｂにかけて連続的に減少するように形成されている。
【００１４】
円筒状本体１２は、例えばポリカーボネート等の透明樹脂から形成されている。円筒状本体１２のテーパ状内周面１５が画成する流路１９内には、自由に昇降可能なフロート（浮き子）２２が収容されている。
【００１５】
流量計１０の流路１９内に、下方の流入端１２ａから上方の流出端１２ｂに向かって流体（液体、気体、蒸気）を流すと、フロート２２はその前後に生ずる圧力差による力のために上方へ押し上げられる。
【００１６】
フロート２２が上方へ移動するにつれてフロート２２とテーパ状内周面１５との間の流通面積が増加するので、そこを通過する流体の速度が減り圧力差が減少して、フロート２２はその可動部の質量と圧力差による力との均衡した位置で静止する。
【００１７】
このときのフロート２２の位置によって決まる流通面積と通過する流量とは一定関係にあるので、円筒状本体１２の外周１３に形成された目盛１７によりフローと２２の位置を検出して流体の流量を検出する。
【００１８】
図１（Ａ）に示されるように、円筒状本体１２の外周両端部には雄ねじ部１４が形成されている。更に、図１（Ｂ）に最もよく示されるように、端面１６から僅かに突出してＯリング１８が配設されている。円筒状本体１２の下端面にも、Ｏリング１８と同様なＯリングが配設され、流路１９に連通する開口が形成されている。
【００１９】
図３を参照すると、本発明実施形態の流量検出ユニット２５の正面図が示されている。流量検出ユニット２５は、純水等の流体が流れる管２４と、管２４中を流れる流体の流量を検出する流量計１０と、管２４と流量計１０とを接続する接続部材（アダプタ）２８とから構成される。
【００２０】
図４の一部断面図に最もよく示されるように、接続部材２８は管２４の端部に固定される固定端部２８ａと、流量計１０に接続される接続端部２８ｂとを有している。管２４の突出した端部には雄ねじ部２６が形成されており、接続部材２８の固定端部２８ａにはこの雄ねじ部２６が螺合する雌ねじ部２９が形成されている。
【００２１】
接続部材２８の固定端部２８ａに形成された雌ねじ部２９を管２４の雄ねじ部２６に螺合して締め付けると、管２４の雄ねじ部２６の基端部の外周に設けられたＯリング３０が接続部材２８の端面と管２４の端部との間に圧接して流体をシールする。
【００２２】
同様に、接続部材２８の接続端部２８ｂには流量計１０の雄ねじ部１４が螺合する雌ねじ部３１が形成されている。流量計１０の雄ねじ部１４を接続部材２８の接続端部２８ｂに形成された雌ねじ部３１に螺合して締め付けると、流量計１０の端面１６に配設されたＯリング１８が潰れて流量計１０の端面１６と接続部材２８の接触端面３３とに圧接し、通過する流体をシールする。
【００２３】
図３を再び参照すると、流量計１０の上端部と管３２とは、接続部材２８と同一構造の接続部材３４によって接続されている。即ち、接続部材３４は固定端部３４ａと接続端部３４ｂを有しており、固定端部３４ａで管３２に接続されるとともに、接続端部３４ｂで流量計１０に接続される。
【００２４】
上述した実施形態の流量検出ユニット２５によると、Ｏリング１８が流量計１０の端面１６と接続部材２８の接触端面３３とに圧接して接合部を密閉するため、接合部において液漏れが発生することがない上、密閉性が作業者により影響を受けることがない。
【符号の説明】
【００２５】
１０    流量計
１２    円筒状本体
１４    雄ねじ部
１５    テーパ状内周面
１６    端面
１８    Ｏリング
１９    流路
２２    フロート
２４，３２    管
２８，３４    接続部材
２８ａ，３４ａ    固定端部
２８ｂ，３４ｂ    接続端部
３１    雌ねじ部
３３    接触端面
【図１】
2012078223.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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