(57)【要約】【課題】製造コストの低減を図りつつ、電気的パラメータを正確に測定させる。【解決手段】電気的パラメータを測定する測定点（測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０のいずれか）にプロービングさせたプローブ（プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０のいずれか）に対して付与されている第１の識別番号を測定手順データＤ１に基づいて特定し、かつ特定した第１の識別番号のプローブが接続されているプローブ接続部（接続部Ｃ１〜Ｃ１０のいずれか）の第２の識別番号を、各プローブ接続部に対する各プローブの接続関係に応じて第１の識別番号および第２の識別番号を相互に対応付けた識別番号データＤ２に基づいて特定し、スキャナ４を制御して、特定した第２の識別番号のプローブ接続部に接続されているプローブを測定部５に接続させる。【選択図】図１
2012078230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ（Ｎは、３以上の自然数）を測定対象体におけるＮ箇所の測定点に対応してそれぞれ配設した測定用治具および当該測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と、
第２の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ接続部に接続用配線を介して前記各プローブがそれぞれ接続されると共に測定装置に接続されて当該測定装置に対する当該各プローブの接続態様を切り替える接続切替え部と、
前記測定装置によって前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせるべき前記プローブの前記第１の識別番号を特定可能な測定手順データ、および前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの接続関係に応じて前記第１の識別番号および前記第２の識別番号を相互に対応付けた識別番号データを記憶する記憶部と、
前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を移動させて前記各プローブを前記各測定点にプロービングさせると共に、前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせた前記プローブの前記第１の識別番号を前記測定手順データに基づいて特定し、かつ当該特定した第１の識別番号の前記プローブが接続されている前記プローブ接続部の前記第２の識別番号を前記識別番号データに基づいて特定し、前記接続切替え部を制御して、前記特定した第２の識別番号の前記プローブ接続部に接続されている前記プローブを前記測定装置に接続させる制御部とを備えているプロービング装置。
【請求項２】
前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの前記接続関係に対応して外部装置において生成された前記識別番号データを入力するデータ入力部を備え、
前記制御部は、前記データ入力部から入力した前記識別番号データを前記記憶部に記憶させる請求項１記載のプロービング装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のプロービング装置と、前記測定用治具と、前記測定装置と、前記測定装置によって測定した前記電気的パラメータに基づいて前記各測定点間の良否を検査する検査部とを備えている検査装置。
【請求項４】
第１の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ（Ｎは、３以上の自然数）を測定対象体におけるＮ箇所の測定点に対応してそれぞれ配設した測定用治具を用いて当該各測定点間の電気的パラメータを測定する際に、第２の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ接続部に接続用配線を介して前記各プローブがそれぞれ接続されると共に測定装置に接続された接続切替え部によって当該測定装置に対する当該各プローブの接続態様を切り替えるときに、前記測定装置によって前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせるべき前記プローブの前記第１の識別番号を特定可能な測定手順データ、および前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの接続関係に応じて前記第１の識別番号および前記第２の識別番号を相互に対応付けた識別番号データを使用して、前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせた前記プローブの前記第１の識別番号を前記測定手順データに基づいて特定し、かつ当該特定した第１の識別番号の前記プローブが接続されている前記プローブ接続部の前記第２の識別番号を前記識別番号データに基づいて特定し、前記接続切替え部を制御して、前記特定した第２の識別番号の前記プローブ接続部に接続されている前記プローブを前記測定装置に接続させる接続切替え方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象体における複数の測定点に対応して複数のプローブが配設された測定用治具の各プローブを対応する各測定点にプロービングさせて測定装置に接続するプロービング装置、およびそのプロービング装置を備えて測定対象体を電気的に検査可能に構成された検査装置、並びに、各プローブと測定装置との接続態様を切り替える接続切替え方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の接続切替え方法に従って各プローブと測定装置との接続態様を切り替えるプロービング装置を備えた検査装置として、特開２０１０−１６９６５１号公報に基板検査装置が開示されている。この基板検査装置は、複数の基板検査プローブ（以下、単に「プローブ」ともいう）が配設された検査治具と、検査治具の各プローブを使用して検査基板を電気的に検査する制御装置と、制御装置に対する各プローブの接続態様を切り替えると共に各プローブと制御装置との間における信号の送受信を制御するスキャナおよびテスターコントローラーとを備えている。この場合、上記の検査治具（測定用治具）は、検査基板（測定対象体）に規定された複数の検査点（測定点）の位置に対応して各プローブが配設されている。また、この種の検査装置では、検査基板の検査に際して任意の検査点間の電気的パラメータを測定する際にいずれのプローブを制御装置（測定装置）に接続するかを記録した測定手順データを予め生成しておき、検査時には、測定手順データに従ってスキャナを制御することで、所望の検査点にプロービングされているプローブを制御装置に接続する構成が採用されている。
【０００３】
具体的には、この種の検査装置では、一例として、各プローブに対して１番から順に識別番号が個別的に付与されると共に、識別番号が「１」のプローブ（以下、識別番号が「ｎ」のプローブを「ｎ番のプローブ」ともいう）をスキャナの各接続ポート（各接続点）のうちのポート番号が「１」の接続ポート（識別番号が「１」の接続点：以下、ポート番号が「ｎ」の接続ポートを「ｎ番の接続点」ともいう）に接続し、２番のプローブを２番の接続点に接続するのが一般的となっている。また、検査基板の検査に際して、例えば、１番のプローブおよび２番のプローブを制御装置に接続するときには、測定手順データに従ってスキャナを制御して、１番の接続点および２番の接続点を制御装置に接続する。これにより、１番のプローブおよび２番プローブが制御装置に接続される。この後、両プローブを介して測定した電気的パラメータに基づき、両プローブをプロービングさせている検査点間の良否が検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１６９６５１号公報（第７−１６頁、第１−１３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の基板検査装置には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の基板検査装置では、１番のプローブをスキャナにおける１番の接続点に接続し、２番のプローブをスキャナにおける２番の接続点に接続しておくことにより、スキャナにおける１番の接続点および２番の接続点を制御装置に接続することで１番のプローブおよび２番のプローブを制御装置に接続する構成が採用されている。つまり、従来の基板検査装置では、各プローブに付与した識別番号と、スキャナの各接続ポート（接続点）のポート番号（識別番号）とを一致させるように各プローブをスキャナに接続することにより、所望の識別番号のプローブを制御装置に接続する際に、その識別番号と同じポート番号（識別番号）の接続ポート（接続点）を制御装置に接続する簡易な制御が可能となっている。
【０００６】
しかしながら、各プローブに付与した識別番号と、スキャナの各接続ポートのポート番号とを一致させるように各プローブをスキャナに接続する構成では、各プローブと接続ポートとの物理的な位置関係とは無関係に、プローブに付与された識別番号と同じポート番号の接続ポートにプローブを接続する作業が必要となる。このため、プローブに対する識別番号の付与の順序によっては、プローブを接続ポートに接続するために長尺の接続用配線が必要となったり、接続用配線の引き回し作業が煩雑となったりすることがある。この結果、従来の検査装置では、検査装置（検査治具）の製造コストの低減が困難となっているという問題点がある。
【０００７】
また、長尺の接続用配線を使用した場合には、配線抵抗が大きくなり、接続用配線として平ケーブル（フラットケーブル）を使用した場合において隣接する（または、近接する）導線を使用して測定装置にプローブを接続したときや、接続用配線が無作為に交差したり結束されたりした場合には、接続用配線間の容量特性にばらつきが生じることがある。このため、従来の検査装置には、各プローブとスキャナとの間の電気的特性のばらつきに起因して、検査用の電気的パラメータを正確に測定するのが困難となっているという問題点もある。
【０００８】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、製造コストの低減を図りつつ、電気的パラメータを正確に測定させ得るプロービング装置、検査装置および接続切替え方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプロービング装置は、第１の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ（Ｎは、３以上の自然数）を測定対象体におけるＮ箇所の測定点に対応してそれぞれ配設した測定用治具および当該測定対象体の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構と、第２の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ接続部に接続用配線を介して前記各プローブがそれぞれ接続されると共に測定装置に接続されて当該測定装置に対する当該各プローブの接続態様を切り替える接続切替え部と、前記測定装置によって前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせるべき前記プローブの前記第１の識別番号を特定可能な測定手順データ、および前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの接続関係に応じて前記第１の識別番号および前記第２の識別番号を相互に対応付けた識別番号データを記憶する記憶部と、前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を移動させて前記各プローブを前記各測定点にプロービングさせると共に、前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせた前記プローブの前記第１の識別番号を前記測定手順データに基づいて特定し、かつ当該特定した第１の識別番号の前記プローブが接続されている前記プローブ接続部の前記第２の識別番号を前記識別番号データに基づいて特定し、前記接続切替え部を制御して、前記特定した第２の識別番号の前記プローブ接続部に接続されている前記プローブを前記測定装置に接続させる制御部とを備えている。
【００１０】
請求項２記載のプロービング装置は、請求項１記載のプロービング装置において、前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの前記接続関係に対応して外部装置において生成された前記識別番号データを入力するデータ入力部を備え、前記制御部は、前記データ入力部から入力した前記識別番号データを前記記憶部に記憶させる。
【００１１】
請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載のプロービング装置と、前記測定用治具と、前記測定装置と、前記測定装置によって測定した前記電気的パラメータに基づいて前記各測定点間の良否を検査する検査部とを備えている。
【００１２】
請求項４記載の接続切替え方法は、第１の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ（Ｎは、３以上の自然数）を測定対象体におけるＮ箇所の測定点に対応してそれぞれ配設した測定用治具を用いて当該各測定点間の電気的パラメータを測定する際に、第２の識別番号が個別的に付与されたＮ個のプローブ接続部に接続用配線を介して前記各プローブがそれぞれ接続されると共に測定装置に接続された接続切替え部によって当該測定装置に対する当該各プローブの接続態様を切り替えるときに、前記測定装置によって前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせるべき前記プローブの前記第１の識別番号を特定可能な測定手順データ、および前記各プローブ接続部に対する前記各プローブの接続関係に応じて前記第１の識別番号および前記第２の識別番号を相互に対応付けた識別番号データを使用して、前記電気的パラメータを測定する前記測定点にプロービングさせた前記プローブの前記第１の識別番号を前記測定手順データに基づいて特定し、かつ当該特定した第１の識別番号の前記プローブが接続されている前記プローブ接続部の前記第２の識別番号を前記識別番号データに基づいて特定し、前記接続切替え部を制御して、前記特定した第２の識別番号の前記プローブ接続部に接続されている前記プローブを前記測定装置に接続させる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載のプロービング装置では、移動機構を制御して測定用治具および測定対象体の少なくとも一方を移動させて測定用治具の各プローブを各測定点にプロービングさせると共に、電気的パラメータを測定する測定点にプロービングさせたプローブに対して個別的に付与された第１の識別番号を測定手順データに基づいて特定し、かつ特定した第１の識別番号のプローブが接続されているプローブ接続部に対して個別的に付与された第２の識別番号を識別番号データに基づいて特定し、接続切替え部を制御して、特定した第２の識別番号のプローブ接続部に接続されているプローブを測定装置に接続させる。
【００１４】
また、請求項４記載の接続切替え方法では、測定装置によって電気的パラメータを測定する測定点にプロービングさせたプローブに対して個別的に付与された第１の識別番号を測定手順データに基づいて特定し、かつ特定した第１の識別番号のプローブが接続されているプローブ接続部に対して個別的に付与された第２の識別番号を識別番号データに基づいて特定し、接続切替え部を制御して、特定した第２の識別番号のプローブ接続部に接続されているプローブを測定装置に接続させる。
【００１５】
したがって、請求項１記載のプロービング装置、および請求項４記載の接続切替え方法によれば、測定用治具の製造に際して、各プローブに対して付与されている第１の識別番号と、接続切替え部の各プローブ接続部に対して付与されている第２の識別番号とを一致させるように各接続用配線を接続する配線作業を行うことなく、識別番号データおよび測定手順データに基づいて、所望のプローブを測定装置に接続させることができるため、煩雑な配線作業が不要となる分だけ測定用治具の製造コストを十分に低減することができる。また、配線抵抗が大きい長尺の接続用配線を必要とする引き回しや、容量特性にばらつきが生じる可能性がある引き回しを避けて各プローブを各プローブ接続部に対して任意に接続した場合にも、識別番号データおよび測定手順データに基づいて、所望のプローブを測定装置に接続させることができるため、そのように測定用治具を製造することにより、測定装置に対して電気的パラメータを正確に測定させることができる。
【００１６】
また、請求項２記載のプロービング装置によれば、各プローブ接続部に対する各プローブの接続関係に対応して外部装置において生成された識別番号データをデータ入力部から入力して記憶部に記憶させることにより、新たな測定用治具に交換したときや、種類の異なる測定用治具を取り付けたときに、その測定用治具における各プローブの各プローブ接続部に対する接続関係（接続用配線の配線状態）に対応して生成された識別番号データに基づいて、所望のプローブを測定装置に接続することができる。
【００１７】
また、請求項３記載の検査装置によれば、請求項１または２記載のプロービング装置と、測定用治具と、測定装置と、測定装置によって測定した電気的パラメータに基づいて各測定点間の良否を検査する検査部とを備えて構成したことにより、測定用治具の製造コストが低減された分だけ、検査装置の製造コスト（すなわち、検査コスト）を低減することができると共に、測定用治具の電気的特性が十分に良好となっているため、検査の対象体の良否を正確に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査対象基板２０の各測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０と測定用治具１００の各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０との位置関係の一例について説明するための説明図である。
【図３】測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０、プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０、コネクタ１０１の接続部Ｂａ１〜Ｂａ１０、コネクタ３の接続部Ｂｂ１〜Ｂｂ１０、ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０、およびスキャナ４の接続部Ｃ１〜Ｃ１０の関係の一例について説明するための説明図である。
【図４】測定手順データＤ１の一例について説明するための説明図である。
【図５】識別番号データＤ２の一例について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、プロービング装置、検査装置および接続切替え方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２０】
最初に、基板検査装置１の構成について、添付図面を参照して説明する。
【００２１】
図１に示す基板検査装置１は、「検査装置」の一例であって、移動機構２、コネクタ３、ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０、スキャナ４、ケーブルＡｃ１，Ａｃ２、測定部５、操作部６、表示部７、データ入力部８、制御部９、記憶部１０および測定用治具１００を備えて、検査対象基板２０を電気的に検査可能に構成されている。この場合、この基板検査装置１では、移動機構２、コネクタ３、ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０、スキャナ４、ケーブルＡｃ１，Ａｃ２、データ入力部８、制御部９および記憶部１０が相まって「プロービング装置」を構成する。また、検査対象基板２０は、「測定対象体」に相当し、図２に示すように、一例として、実装部品２１ａ〜２１ｌ（以下、区別しないときには「実装部品２１」ともいう）が実装されると共に、各実装部品２１の実装状態の良否を検査するための１０カ所の測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０（以下、区別しないときには「測定点Ｐａ」ともいう）が規定されている（「Ｎ＝１０」の例）。なお、基板検査装置１の構成および動作原理についての理解を容易とするために、Ｎ＝１０箇所の測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０が規定された検査対象基板２０を対象とする例について説明するが、実際の検査対象基板２０には、さらに複数の実装部品が実装されて、数百から数千箇所の測定点が規定されている。
【００２２】
一方、図１に示すように、測定用治具１００は、Ｎ＝１０個のプローブＰｂ１〜Ｐｂ１０（以下、区別しないときには、「プローブＰｂ」ともいう）、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０（以下、区別しないときには「ケーブルＡａ」ともいう）およびコネクタ１０１を備え、図２に示すように、これらのプローブＰｂ１〜Ｐｂ１０が検査対象基板２０における１０箇所の測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０の位置に対応してそれぞれ配設されている。この場合、図３に示すように、各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０には、一例として、測定用治具１００の製造者によって「１」〜「１０」の識別番号（ピン番号：「第１の識別番号」の一例）が個別的に付与されている。また、図１に示すように、各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０は、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０、コネクタ１０１，３およびケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０（一例として、ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０が一体化された平ケーブル（フラットケーブル）：以下、区別しないときには「ケーブルＡｂ」ともいう）を介してスキャナ４にそれぞれ接続されている。なお、この基板検査装置１では、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０、コネクタ１０１，３およびケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０が相まって「接続用配線」を構成する。
【００２３】
移動機構２は、制御部９からの制御信号Ｓ２に従い、図示しない保持具によって検査位置に保持されている検査対象基板２０に対して測定用治具１００を接離動させることで、各プローブＰｂを検査対象基板２０の各測定点Ｐａにそれぞれプロービングさせる（「少なくとも一方」が「測定用治具」の構成の例）。なお、移動機構２によって測定用治具１００を検査対象基板２０に対して移動させる構成に代えて、所定の取り付け位置に取り付けられている測定用治具１００に対して検査対象基板２０を接離動させる構成や（「少なくとも一方」が「測定対象体」の構成の例）、測定用治具１００および検査対象基板２０の双方を互いに接離動させる構成（「少なくとも一方」が「測定用治具」および「測定対象体」の双方の構成の例）を採用することもできる。
【００２４】
コネクタ３は、測定用治具１００の交換に際して各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０とスキャナ４との切断作業および接続作業を容易とするために配設されたものであって、ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０を介してスキャナ４に固定的に接続されると共に、後述するように測定用治具１００のコネクタ１０１が接続されることで、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０を介して測定用治具１００の各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０が接続される。スキャナ４は、「接続切替え部」に相当し、図３に示すように、「１」〜「１０」の識別番号（ポート番号：「第２の識別番号」の一例）が付与された１０個の接続部Ｃ１〜Ｃ１０（「プローブ接続部」の一例：以下、区別しないときには「接続部Ｃ」ともいう」）を備え、制御部９からの制御信号Ｓ４に従い、測定用治具１００の各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０のうちの任意の２つを測定部５に接続させる（「接続態様を切り替える」との処理の一例）。なお、スキャナ４の各接続部Ｃと測定用治具１００の各プローブＰｂとの接続関係については、後に詳細に説明する。
【００２５】
測定部５は、制御部９と相まって「測定装置」を構成し、図１に示すように、ケーブルＡｃ１，Ａｃ２を介してスキャナ４に接続されると共に、制御部９からの制御信号Ｓ５に従い、スキャナ４によって接続された一対のプローブＰｂ，Ｐｂを介して、検査対象基板２０における一対の測定点Ｐａ，Ｐａ間の電気的パラメータ（電圧値、電流値、抵抗値および容量値等）を測定して測定結果データＤｓを制御部９に出力する。操作部６は、複数の操作スイッチ（図示せず）を備え、スイッチ操作に応じた操作信号を制御部９に出力する。表示部７は、制御部９の制御に従って検査結果等を表示する。データ入力部８は、一例として、ＵＳＢ接続用コネクタを備えて構成され、各種データが記録された記憶装置（ＵＳＢメモリ等）を接続可能に構成されている。なお、ＵＳＢ接続用コネクタに代えて、各種メモリカードを装着可能なメモリカードスロットを設けたり、ＣＤ，ＤＶＤ等の光ディスクや、ＭＯ等の光磁気ディスクから各種データを読み出し可能なドライブ装置を配設してデータ入力部８を構成することもできる。
【００２６】
制御部９は、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部９は、データ入力部８に接続された記憶装置から測定手順データＤ１、識別番号データＤ２および検査用基準データＤ３を読み出して記憶部１０に記憶させる。また、制御部９は、移動機構２に対して制御信号Ｓ２を出力して、測定用治具１００を検査対象基板２０に対して接離動させる（移動させる）。さらに、制御部９は、スキャナ４に対して制御信号Ｓ４を出力して、測定部５に電気的パラメータを測定させるべき測定点Ｐａ，ＰａにプロービングされているプローブＰｂ，Ｐｂを測定部５に接続させる（「接続態様」を切り替えさせる）。また、制御部９は、測定部５に対して制御信号Ｓ５を出力して電気的パラメータを測定させる。さらに、制御部９は、「検査部」として機能して、測定部５から出力された測定結果データＤｓに基づき、その測定結果データＤｓの測定点Ｐａ，Ｐａ間に実装されている実装部品２１の良否を検査すると共に、その検査結果を表示部７に表示させる。
【００２７】
記憶部１０は、測定手順データＤ１、識別番号データＤ２および検査用基準データＤ３や制御部９の動作プログラムを記憶する。この場合、図４に示すように、測定手順データＤ１は、測定部５によって電気的パラメータを測定する測定点Ｐａ，ＰａにプロービングさせるべきプローブＰｂ，Ｐｂの識別番号（ピン番号）を、その測定順（検査ステップ順）に記録したデータで構成されている。また、図５に示すように、識別番号データＤ２は、スキャナ４の各接続部Ｃ１〜Ｃ１０に対する各プローブＰｂの接続関係に応じて、各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０に対して付与された識別番号（ピン番号）と、各接続部Ｃ１〜Ｃ１０に対して付与された識別番号（ポート番号）を相互に対応付けたデータで構成されている。検査用基準データＤ３は、上記の測定手順データＤ１に従って電気的パラメータを測定する各測定点Ｐａに関して良品の検査対象基板２０から吸収した基準値が記録されて構成されている（図示せず）。
【００２８】
次に、測定用治具１００の製造方法、および識別番号データＤ２の生成方法の一例について説明する。
【００２９】
まず、検査対象基板２０に規定された各測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０に対応させて測定用治具１００を製造する。具体的には、検査対象基板２０における各測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０の位置に対応させて、上記のプローブＰｂ１〜Ｐｂ１０を配設するために、図示しないプローブ保持板に１０箇所のプローブ保持部（一例として、プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０を植設可能な孔）を形成する。次いで、形成した各プローブ保持部にプローブＰｂ１〜Ｐｂ１０を植設する。続いて、ケーブルＡａ１〜Ａａ１０を介して各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０をコネクタ１０１の各接続部Ｂａ１〜Ｂａ１０（以下、区別しないときには「接続部Ｂａ」ともいう）にそれぞれ接続する。
【００３０】
この場合、図１，３に示すように、この基板検査装置１では、コネクタ３の各接続部Ｂｂ１〜Ｂｂ１０が各ケーブルＡｂ１〜Ａｂ１０を介してスキャナ４の各接続部Ｃ１〜Ｃ１０にそれぞれ接続されている。このため、この基板検査装置１では、コネクタ３の各接続部Ｂｂ１〜Ｂｂ１０（以下、区別しないときには「接続部Ｂｂ」ともいう）が、スキャナ４の各接続部Ｃに対して１対１の関係で相互に接続された状態となっている。また、この基板検査装置１では、製造が完了した測定用治具１００を取り付ける際にコネクタ１０１，３を互いに接合することにより、コネクタ１０１の各接続部Ｂａがコネクタ３の各接続部Ｂｂにそれぞれ接続される。このため、この基板検査装置１では、測定用治具１００を取り付けた際に、コネクタ１０１の各接続部Ｂａが、スキャナ４の各接続部Ｃに対して１対１の関係で相互に接続された状態となる。
【００３１】
したがって、各ケーブルＡａを介して各プローブＰｂをコネクタ１０１の各接続部Ｂａにそれぞれ接続する配線作業に際しては、コネクタ３の各接続部Ｂｂと、スキャナ４の各接続部Ｃとの間が、各ケーブルＡｂを一体化した平ケーブルで接続されていることを考慮して、容量特性が問題となる可能性があるプローブＰｂ，Ｐｂを接続するためのケーブルＡａ，Ａａについては、各接続部Ｂａのうちの近接している接続部Ｂａ，Ｂａ（隣接または近接するケーブルＡｂ，Ａｂに接続される接続部Ｂａ，Ｂａ）に接続せずに、ある程度離間している接続部Ｂａ，Ｂａ（ある程度離間しているケーブルＡｂ，Ａｂに接続される接続部Ｂａ，Ｂａ）に接続する。このように、隣接または近接するケーブルＡｂ，Ａｂに接続される接続部Ｂａ，Ｂａに対する接続を避けることにより、ケーブルＡｂ，Ａｂの間における容量が大きくなる事態が回避される。
【００３２】
また、容量特性が問題とはならないプローブＰｂを接続するためのケーブルＡａについては、プローブＰｂおよび接続部Ｂａ間においてケーブルＡａが絡み合わずに、かつその引き回しが繁雑とならないように、容易に接続し得る任意の接続部Ｂａに接続する。これにより、プローブ保持板に対するプローブＰｂの植設、および各プローブＰｂのコネクタ１０１（各接続部Ｂａ）に対する接続作業が完了して、測定用治具１００が完成する。
【００３３】
次いで、一例として、図示しない識別番号データ作成装置（各プローブＰｂがコネクタ１０１の各接続部Ｂａに対して正常に接続されているかを検査しつつ、プローブＰｂの識別番号（ピン番号）と各接続部Ｃの識別番号（ポート番号）とを相互に対応付けて、そのデータを保存する装置）にセットして、各ケーブルＡａの配線状態を検査しつつ、識別番号データＤ２を生成する。なお、この測定用治具１００では、図２に示すように、各プローブＰｂの配設位置に応じて「１」〜「１０」の識別番号（ピン番号）が付与されている。この場合、同図では、識別番号として「１」が付与されたプローブＰｂをプローブＰｂ１とし、識別番号として「１０」が付与されたプローブＰｂをプローブＰｂ１０として図示している。なお、以下の説明において、識別番号（ポート番号）として「１」が付与された接続部Ｃや、接続部Ｃに接続されているケーブルＡｂ、接続部Ｂａ，Ｂｂを、接続部Ｃ１、ケーブルＡｂ１、接続部Ｂａ１，Ｂｂ１ともいい、識別番号（ポート番号）として「１０」が付与された接続部Ｃや、接続部Ｃに接続されているケーブルＡｂ、接続部Ｂａ，Ｂｂを、接続部Ｃ１０、ケーブルＡｂ１０、接続部Ｂａ１０，Ｂｂ１０ともいう。
【００３４】
また、一例として、この測定用治具１００では、図３に示すように、上記のケーブルＡａによる配線作業に際して、プローブＰｂ１がケーブルＡａ１を介してコネクタ１０１の接続部Ｂａ１に接続され、プローブＰｂ２がケーブルＡａ２を介して接続部Ｂａ５に接続され、プローブＰｂ３がケーブルＡａ３を介して接続部Ｂａ６に接続され、プローブＰｂ４がケーブルＡａ４を介して接続部Ｂａ７に接続され、プローブＰｂ５がケーブルＡａ５を介して接続部Ｂａ８に接続され、プローブＰｂ６がケーブルＡａ６を介して接続部Ｂａ２に接続され、プローブＰｂ７がケーブルＡａ７を介して接続部Ｂａ３に接続され、プローブＰｂ８がケーブルＡａ８を介して接続部Ｂａ９に接続され、プローブＰｂ９がケーブルＡａ９を介して接続部Ｂａ１０に接続され、プローブＰｂ１０がケーブルＡａ１０を介して接続部Ｂａ４に接続されている。
【００３５】
したがって、識別番号データ作成装置によって各プローブＰｂおよび各接続部Ｂａ間の接続状態を検査することにより、図５に示すように、スキャナ４の各接続部Ｃに対して１対１の関係で相互に接続される各接続部Ｂａに対する各プローブＰｂの接続関係に応じて、プローブＰｂの識別番号（ピン番号）と各接続部Ｃの識別番号（ポート番号）とを相互に対応付けた識別番号データＤ２を生成することができる。また、識別番号データ作成装置において生成した識別番号データＤ２については、一例として、図示しないＵＳＢメモリに記憶させて、測定用治具１００と共に基板検査装置１の利用者に納品する。
【００３６】
次いで、基板検査装置１による検査対象基板２０の検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、測定手順データＤ１や識別番号データＤ２については、測定用治具１００の製造者、または、基板検査装置１の利用者によって予め生成されて記憶部１０に記憶されているものとする。
【００３７】
基板検査装置１による検査対象基板２０の検査に際しては、図１に示すように、まず、移動機構２に測定用治具１００を取り付けると共に、コネクタ１０１，３を相互に接続する。これにより、図３に示すように、測定用治具１００の各プローブＰｂが、各ケーブルＡａ、コネクタ１０１，３、および各ケーブルＡｂを介してスキャナ４の各接続部Ｃに接続される。次いで、測定用治具１００と共に納品されたＵＳＢメモリをデータ入力部８に接続し、記憶されている識別番号データＤ２を読み出して記憶部１０に記憶させる。これにより、検査対象基板２０を検査するための準備作業が完了する。次いで、検査対象基板２０を図示しない保持具にセットした後に、操作部６の検査開始スイッチを操作する。この際には、制御部９が移動機構２に対して制御信号Ｓ２を出力し、これに応じて、移動機構２が測定用治具１００を検査対象基板２０に向けて移動（接近）させる。これにより、図２に示すように、検査対象基板２０の各測定点Ｐａに対して測定用治具１００の各プローブＰｂがそれぞれプロービングされる。
【００３８】
続いて、制御部９は、測定手順データＤ１に基づき、測定部５によって電気的パラメータを測定する測定点Ｐａ，ＰａにプロービングさせたプローブＰｂ，Ｐｂの識別番号（ピン番号）を特定する。具体的には、検査ステップ１において使用するプローブＰｂ，Ｐｂの識別番号（ピン番号）として、制御部９は、「１」、「２」の２つの番号（図４参照）を特定する。続いて、制御部９は、特定した識別番号のプローブＰｂが接続されている接続部Ｃに対して付与されている識別番号（ポート番号）を識別番号データＤ２に基づいて特定する。具体的には、識別番号（ピン番号）が「１」のプローブＰｂ１が接続されている接続部Ｃの識別番号（ポート番号）が「１」で、識別番号（ピン番号）が「２」のプローブＰｂ２が接続されている接続部Ｃの識別番号（ポート番号）が「５」であると特定する（図５参照）。
【００３９】
次いで、制御部９は、スキャナ４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、識別番号（ポート番号）が「１」の接続部Ｃ１と、識別番号（ポート番号）が「５」の接続部Ｃ５とを測定部５（ケーブルＡｃ１，Ａｃ２）に対して接続させる。これにより、接続部Ｃ１に接続されているプローブＰｂ１、および接続部Ｃ５に接続されているプローブＰｂ２の２つが測定部５に接続された状態となる。続いて、制御部９は、測定部５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、プローブＰｂ１，Ｐｂ２の間の電気的パラメータ、すなわち、プローブＰｂ１がプロービングされている測定点Ｐａ１と、プローブＰｂ２がプロービングされている測定点Ｐａ９との間の電気的パラメータを測定させる。また、制御部９は、測定部５から出力される測定結果データＤｓと記憶部１０に記憶されている検査用基準データＤ３とに基づき、測定点Ｐａ１，Ｐａ９間の良否、すなわち、実装部品２１ａの良否を検査して、その検査結果を表示部７に表示させて、検査ステップ１を終了する。
【００４０】
また、制御部９は、検査ステップ２において使用するプローブＰｂ，Ｐｂの識別番号（ピン番号）として、「３」、「２」の２つの番号（図４参照）を測定手順データＤ１に基づいて特定する。次いで、制御部９は、識別番号データＤ２に基づき、識別番号（ピン番号）が「３」のプローブＰｂ３が接続されている接続部Ｃの識別番号（ポート番号）が「６」で、識別番号（ピン番号）が「２」のプローブＰｂ２が接続されている接続部Ｃの識別番号（ポート番号）が「５」であると特定する（図５参照）。続いて、制御部９は、スキャナ４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、識別番号（ポート番号）が「６」の接続部Ｃ６と、識別番号（ポート番号）が「５」の接続部Ｃ５とを測定部５（ケーブルＡｃ１，Ａｃ２）に対して接続させる。これにより、接続部Ｃ６に接続されているプローブＰｂ３、および接続部Ｃ５に接続されているプローブＰｂ２の２つが測定部５に接続された状態となる。
【００４１】
続いて、制御部９は、測定部５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、プローブＰｂ３，Ｐｂ２の間の電気的パラメータ、すなわち、プローブＰｂ３がプロービングされている測定点Ｐａ８と、プローブＰｂ２がプロービングされている測定点Ｐａ９との間の電気的パラメータを測定させる。また、制御部９は、測定部５から出力される測定結果データＤｓと記憶部１０に記憶されている検査用基準データＤ３とに基づき、測定点Ｐａ８，Ｐａ９間の良否、すなわち、実装部品２１ｂの良否を検査して、その検査結果を表示部７に表示させて、検査ステップ２を終了する。この後、制御部９は、検査ステップ３から検査ステップ１２までの各検査ステップに関しても、上記の検査ステップ１，２と同様の手順に従って測定点Ｐａ，Ｐａ間の良否（実装部品２１の良否）を検査する。これにより、検査対象基板２０の良否が検査される。
【００４２】
一方、複数枚の検査対象基板２０に対する検査を実行することで測定用治具１００の各プローブＰｂが減耗したときには、移動機構２に取り付けられている測定用治具１００に代えて、新たな測定用治具１００を移動機構２に取り付ける。この際には、移動機構２に取り付けた測定用治具１００と共に納品されたＵＳＢメモリに記憶されている識別番号データＤ２を記憶部１０に記憶させて使用する。また、検査対象基板２０とは種類の異なる検査対象基板（図示せず）についての検査を実施するときには、移動機構２に取り付けられている測定用治具１００に代えて、その検査対象基板に対応して製造された測定用治具（図示せず）を移動機構２に取り付ける。この際にも、移動機構２に取り付けた測定用治具と共に納品されたＵＳＢメモリに記憶されている識別番号データＤ２を記憶部１０に記憶させて使用する。これにより、移動機構２に取り付けられている測定用治具における各プローブＰｂとコネクタ１０１の各接続部Ｂａとの接続状態、すなわち、移動機構２に取り付けられている測定用治具における各プローブＰｂとスキャナ４の各接続部Ｃとの接続状態に応じて生成された識別番号データＤ２を使用して、上記の検査処理と同様の検査処理が実行される。
【００４３】
このように、この基板検査装置１、および基板検査装置１による接続切替え方法では、移動機構２を制御して測定用治具１００および検査対象基板２０の少なくとも一方（この例では、測定用治具１００）を移動させて測定用治具１００の各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０を各測定点Ｐａ１〜Ｐａ１０にプロービングさせると共に、測定部５によって電気的パラメータを測定する測定点ＰａにプロービングさせたプローブＰｂに対して個別的に付与された識別番号（ピン番号）を測定手順データＤ１に基づいて特定し、かつ特定した識別番号のプローブＰｂが接続されている接続部Ｃ１〜Ｃ１０に対して個別的に付与された識別番号（ポート番号）を識別番号データＤ２に基づいて特定し、スキャナ４を制御して、特定した識別番号の接続部Ｃ１〜Ｃ１０に接続されているプローブＰｂを測定部５に接続させる。
【００４４】
したがって、この基板検査装置１、および基板検査装置１による接続切替え方法によれば、測定用治具１００の製造に際して、各プローブＰｂに対して付与されている識別番号（ピン番号）と、スキャナ４の各接続部Ｃに対して付与されている識別番号（ポート番号）とを一致させるように各ケーブルＡａを接続する配線作業を行うことなく、識別番号データＤ２および測定手順データＤ１に基づいて、所望のプローブＰｂを測定部５に接続させることができるため、煩雑な配線作業が不要となる分だけ測定用治具１００の製造コストを十分に低減することができる。また、配線抵抗が大きい長尺のケーブル（接続用配線）を必要とする引き回しや、容量特性にばらつきが生じる可能性がある引き回しを避けて各プローブＰｂを各接続部Ｃ（この例では、各接続部Ｃに接続される各接続部Ｂａ）に対して任意に接続した場合にも、識別番号データＤ２および測定手順データＤ１に基づいて、所望のプローブＰｂを測定部５に接続させることができるため、そのように測定用治具１００を製造することにより、測定部５に対して電気的パラメータを正確に測定させることができる。
【００４５】
また、この基板検査装置１、および基板検査装置１による接続切替え方法によれば、各接続部Ｃ１〜Ｃ１０に対する各プローブＰｂ１〜Ｐｂ１０の接続関係に対応して外部装置において生成された識別番号データＤ２をデータ入力部８から入力して記憶部１０に記憶させることにより、新たな測定用治具１００に交換したときや、種類の異なる測定用治具を取り付けたときに、その測定用治具における各プローブＰｂの各接続部Ｃに対する接続関係（ケーブルＡａの配線状態）に対応して生成された識別番号データＤ２に基づいて、所望のプローブＰｂを測定部５に接続することができる。
【００４６】
さらに、この基板検査装置１、および基板検査装置１による接続切替え方法によれば、移動機構２、コネクタ３、スキャナ４、データ入力部８、制御部９および記憶部１０を備えて構成した「プロービング装置」と、測定用治具１００と、測定部５と、測定部５によって測定した電気的パラメータに基づいて各測定点Ｐａ間の良否を検査する検査部として機能する制御部９とを備えて構成したことにより、測定用治具１００の製造コストが低減された分だけ、基板検査装置１の製造コスト（すなわち、検査対象基板２０の検査コスト）を低減することができると共に、測定用治具１００の電気的特性が十分に良好となっているため、検査対象基板２０の良否を正確に検査することができる。
【００４７】
なお、コネクタ１０１，３を介して測定用治具１００の各プローブＰｂをスキャナ４の各接続部Ｃに接続した例について説明したが、コネクタ１０１，３を介することなく、例えば、各ケーブルＡａをスキャナ４の各接続部Ｃに直接接続する構成を採用することもできる。このような構成を採用した場合においても、測定用治具１００の製造に際して、各プローブＰｂに対して付与されている識別番号（ピン番号）と、スキャナ４の各接続部Ｃに対して付与されている識別番号（ポート番号）とを一致させるように各ケーブルＡａを接続する配線作業を行うことなく、識別番号データＤ２および測定手順データＤ１に基づいて、所望のプローブＰｂを測定部５に接続させることができるため、煩雑な配線作業が不要となる分だけ測定用治具１００の製造コストを十分に低減することができる。また、配線抵抗が大きい長尺のケーブル（接続用配線）を必要とする引き回しや、容量特性にばらつきが生じる可能性がある引き回しを避けて各プローブＰｂを各接続部Ｃに対して任意に接続した場合にも、識別番号データＤ２および測定手順データＤ１に基づいて、所望のプローブＰｂを測定部５に接続させることができるため、そのように測定用治具１００を製造することにより、測定部５に対して電気的パラメータを正確に測定させることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  基板検査装置
２  移動機構
３，１０１  コネクタ
４  スキャナ
５  測定部
８  データ入力部
９  制御部
１０  記憶部
２０  検査対象基板
１００  測定用治具
Ａａ１〜Ａａ１０，Ａｂ１〜Ａｂ１０，Ａｃ１，Ａｃ２  ケーブル
Ｂａ１〜Ｂａ１０，Ｂｂ１〜Ｂｂ１０，Ｃ１〜Ｃ１０  接続部
Ｄ１  測定手順データ
Ｄ２  識別番号データ
Ｄ３  検査用基準データ
Ｄｓ  測定結果データ
Ｐａ１〜Ｐａ１０  測定点
Ｐｂ１〜Ｐｂ１０  プローブ
Ｓ２，Ｓ４，Ｓ５  制御信号
【図１】
2012078230.tif 000003
【図２】
2012078230.tif 000004
【図３】
2012078230.tif 000005
【図４】
2012078230.tif 000006
【図５】
2012078230.tif 000007