(57)【要約】【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥でも欠陥抽出を容易にする反射防止フィルム欠陥検査装置を提供する。【解決手段】透明なフィルム状の基材に反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムの欠陥検査装置であって、少なくとも、前記反射防止フィルムを搬送する搬送手段と、搬送される反射防止フィルムを裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラと、前記黒色部材に付着した異物を洗浄するローラと、前記検査ローラに押し当てられた反射防止フィルムの表面を照明する手段と、照明された前記反射防止フィルムを撮像して撮像画像を得る撮像手段と、撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段と、欠陥を抽出した場合に製造工程に欠陥検出信号を出力する手段と、を備えたことを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明なフィルム状の基材に反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムの欠陥検査装置であって、少なくとも、
前記反射防止フィルムを搬送する搬送手段と、
搬送される反射防止フィルムを裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラと、
前記黒色部材に付着した異物を洗浄するローラと、
前記検査ローラに押し当てられた反射防止フィルムの表面を照明する手段と、
照明された前記反射防止フィルムを撮像して撮像画像を得る撮像手段と、
撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段と、
欠陥を抽出した場合に製造工程に欠陥検出信号を出力する手段と、を備えたことを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置。
【請求項２】
前記黒色部材は屈折率が１．４９から１．５３で、かつ、粘着性を有する部材であることを特徴とする請求項１記載の反射防止フィルム欠陥検査装置。
【請求項３】
前記黒色部材は軟質のウレタンゲルであることを特徴とする請求項１または２に記載の反射防止フィルム欠陥検査装置。
【請求項４】
前記異物を洗浄するローラは前記黒色部材よりも大きい粘着力を有する粘着部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の反射防止フィルム欠陥検査装置。
【請求項５】
反射防止フィルム製造工程に設けられたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の反射防止フィルム欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止フィルムの欠陥を検査する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等の表示デバイスの表示画面の最表面には、表示画面をキズから保護したり、防汚、帯電防止、映り込み防止のために、透明フィルムに反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムが貼られている。
【０００３】
反射防止フィルムの製造工程では、ローラ状の長尺帯状の透光性のフィルムに対し、塗工、乾燥が単数または複数回行われ、光学膜が形成される。図１は反射防止フィルムの一例を断面で示す図である。図１に示される反射防止フィルムはフィルム基材１、ハードコート層２、反射防止層３の各層で構成されている。
【０００４】
反射防止フィルムの欠陥は、塗工された塗膜の膜厚の変動によるムラや色相の変化などによる光学欠陥や異物やキズやコスレなどの欠陥が存在する。また、フィルム自体のキズ、ヘコミ、等の欠陥もある。
【０００５】
反射防止フィルムの製造工程内には欠陥の検査を行うために欠陥検査機が設置されている。図２は一般的に用いられている反射防止フィルム（以下、フィルム）の欠陥検査装置の一例を示す概略構成図であって、複数のローラ１１〜ローラ１４からなる搬送ユニット（ローラの回転による搬送）によりフィルム１５を搬送し、ＬＥＤ、蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ、ＵＶランプ等を用いた照明光源１６及び１７によってフィルムの全幅を照明し、フィルム１５を矢印１８で示す方向に搬送しながらフィルムの幅方向を全走査できるよう複数のラインＣＣＤカメラ１９（または２次元カメラ）によってフィルムを撮像する。照明光源１６及び１７は、その両方またはいずれか一方が適宜採用される。      
【０００６】
一方、フィルム１５の搬送距離に応じた信号をロータリーエンコーダ２１より取得し、前記信号を撮像タイミング信号として、一定の搬送距離毎に前記ラインＣＣＤカメラ１９によってフィルム表面を撮像し、撮像した画像を画像処理装置２０で画像処理し、欠陥部分の抽出を行い、抽出した欠陥について、記憶機構を含む制御装置２２に欠陥データ（欠陥の位置を示す座標、ラインＣＣＤカメラの画素数、濃度値）をファイル及びデータベース（以下、ＤＢ）にデータとして保存する機構を有する欠陥検査装置である。この場合、ロータリーエンコーダ２１の代わりに一定の搬送距離毎に撮像タイミング信号を発生するタイマーを用いることもある。
【０００７】
一般に、欠陥の抽出処理は撮像された画像に対し、予め設定した閾値で二値化処理を行い、欠陥の抽出を行う。図３は欠陥の抽出処理を説明するための図で、図３（ａ−１）は欠陥部３１が含まれる撮像画像３０を示し、図３（ａ−２）は撮像画像３０の線分３２の画像信号３３を示す。破線３７で囲まれた信号３１−１は欠陥部３１の信号を示す。図３（ａ−１）に示す撮像画像３０を予め設定した閾値３４で二値化処理し、図３（ｂ−１）に示す二値化画像３５を得る。図３（ｂ−２）は、図３（ａ−２）の画像信号３３を予め設定した閾値３４で二値化処理した信号３６を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１４５４９３号公報
【特許文献２】特開２００６−２２５４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記反射防止フィルムの反射防止層３では、図４に示すように、入射光のうちハードコート層２と反射防止層３の界面で反射した界面反射光４を、反射防止層３の表面で反射した表面反射光５と同振幅、逆位相の光に反射防止層３によって変え、表面反射光と干渉することで反射防止を実現している。この反射防止層３に膜厚の部分的なむら不良が発生した場合には、干渉による反射光の低減に差異が生じ、光学欠陥として検査される。
【００１０】
一方、フィルム裏面側ではフィルムと屈折率の異なる物質と隣接しており、下記の（１）式より反射率が高くなり、フィルム裏面と屈折率の異なる物質の境界面での反射光の強度が高くなる。ここでＡはフィルムの屈折率、Ｂはフィルムの裏面側に接する物質は屈折率である。
反射率＝（屈折率Ａ―屈折率Ｂ）／（屈折率Ａ＋屈折率Ｂ）・・・・（１）
【００１１】
即ち、フィルム裏面からの反射光に比べ反射防止層からの反射光の強度は弱いために、不良による反射光の変化そのものは、フィルム裏面からの反射光に埋もれてしまうほど小さい。膜厚変動が原因となって起こる上記反射光の変化を熟練者によって目視確認して検査することは容易ではなく、従って自動検査することが望まれているが、膜厚変動による欠陥は一般的にコントラストが低く、該欠陥を欠陥検査機で抽出しようとした場合に、ノイズ成分に埋もれてしまい、一般的に欠陥を抽出するために閾値を設定すると、欠陥ではない箇所を擬似欠陥として抽出してしまい、一般的に用いられている画像処理によって欠陥を検査することは難しい。
【００１２】
言い換えれば、上記の図３に示すように、高コントラストの欠陥３１場合には２値化処理によって欠陥を抽出することが出来るが、図５に示されるような低コントラストの場合には欠陥は明暗の差が低く、ノイズ成分に埋もれてしまい低コントラストの欠陥だけをある閾値によって２値化を行っても抽出することが出来ない。
【００１３】
即ち図５（ａ）に示す低コントラストな欠陥４０を含む撮像画像４１の場合、例えば線分４２の画像信号４３を閾値レベル４４で２値化処理を行う（図５（ｂ））と、ノイズ部分４６及び４７を図５（ｃ）に示すように欠陥信号５３及び５４として抽出してしまう。５２は欠陥部４５で得られた欠陥信号である。撮像画像４１の全領域のおいては、図５（ｄ）に示すようにノイズ部分を擬似欠陥４８〜５１として抽出してしまう。図５（ｃ）の５２は図５（ｄ）の欠陥４０に対応する信号で、同様に５３はノイズ部分４６を２値化処理した擬似欠陥５０に対応する信号、５４はノイズ部分４７を２値化処理した擬似欠陥５１に対応する信号である。
【００１４】
このように、自動欠陥検査において低コントラストの欠陥を検査する場合に、フィルム裏面からの反射光の影響が大きく、またノイズ成分の影響もあり、照度調整や閾値の設定を行っても、欠陥の検査が困難である。
【００１５】
照度調整や閾値の設定を行った結果、一時的に正常な欠陥検査が出来たとしても、外的な光の影響や照明光の経時変化によって、低コントラストの欠陥を安定して検査することは難しい。
【００１６】
そこで、裏面からの反射光の影響を少なくするために、照明用光源にＵＶランプを使用することがある。これは反射防止フィルムの基材に用いられているＴＡＣ（トリアセチルセルロース（Ｔｒｉａｃｅｔｙｌｃｅｌｌｕｌｏｓｅ）フィルムがＵＶランプ（紫外光）の波長を吸収するという性質を利用したもので、フィルム裏面での反射光を減少させ低コ
ントラストの欠陥検査を行う方法が採用されている。
【００１７】
以上のように、自動検査装置で反射防止フィルムの欠陥を検査する場合、コントラストの低い欠陥については検査が困難であること、また、検査を容易にするためにＵＶランプを使用した場合には、ＵＶランプを使用することによる設備費用や維持費が増大する問題がある。
【００１８】
そこで本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、反射防止フィルムの低コントラストの欠陥でも欠陥抽出を容易にする反射防止フィルム欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の請求項１に係る発明は、透明なフィルム状の基材に反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムの欠陥検査装置であって、少なくとも、
前記反射防止フィルムを搬送する搬送手段と、
搬送される反射防止フィルムを裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラと、
前記黒色部材に付着した異物を洗浄するローラと、
前記検査ローラに押し当てられた反射防止フィルムの表面を照明する手段と、
照明された前記反射防止フィルムを撮像して撮像画像を得る撮像手段と、
撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段と、
欠陥を抽出した場合に欠陥検出信号を出力する手段と、を備えたことを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置である。
【００２０】
本発明の請求項２に係る発明は、前記黒色部材は屈折率が１．４９から１．５３で、かつ、粘着性を有する部材であることを特徴とする請求項１記載の反射防止フィルム欠陥検査装置である。
【００２１】
本発明の請求項３に係る発明は、前記黒色部材は軟質のウレタンゲルであることを特徴とする請求項１または２に記載の反射防止フィルム欠陥検査装置である。
【００２２】
本発明の請求項４に係る発明は、前記異物を洗浄するローラは前記黒色部材よりも大きい粘着力を有する粘着部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の反射防止フィルム欠陥検査装置である。
【００２３】
本発明の請求項５に係る発明は、反射防止フィルム製造工程に設けられたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の反射防止フィルム欠陥検査装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の反射防止フィルム欠陥検査装置によれば、反射防止フィルム製造工程で発生するコントラストの低い欠陥を容易に検査することが可能となり、また従来用いられていたＵＶランプを使用する必要がないため、設備費用や維持費の増大を抑制することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】反射防止フィルムの一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられている反射防止フィルムの欠陥検査装置の一例を示す概略構成図。
【図３】欠陥の抽出処理を説明するための図。（ａ−１）は欠陥部が含まれる撮像画像を示す図。（ａ−２）は撮像画像内に示される線分の画像信号を示す図。（ｂ−１）は（ａ−１）に示される撮像画像を予め設定した閾値で二値化処理した図。（ｂ−２）は（ａ−２）に示される画像信号を二値化処理した図。
【図４】反射防止フィルムの反射防止層による反射防止を実現する働きを説明する図。
【図５】低コントラストな欠陥を含む撮像画像を２値化処理する場合を説明する図。（ａ）は低コントラストな欠陥を含む撮像画像を示す図。（ｂ）は（ａ）図の線分４２の画像信号を閾値レベルで２値化処理を行う場合を示す図。（ｃ）はノイズ部分を欠陥信号として抽出してしまうことを示す図。（ｄ）は撮像画像の全領域のおいて抽出したノイズ部分の擬似欠陥を示す図。
【図６】本発明に係る反射防止フィルム欠陥検査装置の一例を示す概略構成図。
【図７】本発明に係る反射防止フィルム欠陥検査装置に備えられた検査ローラを示す図。（ａ）は検査ローラの断面を示す図。（ｂ）は検査ローラの正面から見た図。
【図８】撮像カメラによって撮像された画像の輝度分布波形グラフを示す図。（ａ）は検査ローラを用いない場合の輝度分布波形グラフを示す図。（ｂ）はフィルム裏面より黒色部材を押し当てた場合の輝度分布波形グラフを示す図。（ｃ）はフィルム裏面より黒色部材を押し当てた場合は、低コントラストの欠陥であっても欠陥の抽出が容易になる輝度分布波形グラフを示す図。
【図９】本発明に係るフィルムの搬送手段を説明するための図で、反射防止フィルム欠陥検査装置が製造ラインに設けられた場合を示す図。
【図１０】本発明に係るフィルムの図９とは別の搬送手段を説明するための図で検査専用ラインに設けられた場合を示す図。
【図１１】本発明に係る撮像カメラで撮像するフィルム面を平面とすることを説明する図（ａ）は撮像カメラで撮像するフィルム面が曲面である場合。（ｂ）は撮像カメラで撮像するフィルム面を平面とした本発明の実施例の場合。
【図１２】本発明に係る検査ローラの表面に付着した異物を除去する手段を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明に係る反射防止フィルム欠陥検査装置を実施するための形態を説明する。
【００２７】
図６は本発明に係る反射防止フィルム欠陥検査装置の一例を示す概略構成図である。反射防止フィルム欠陥検査装置は、反射防止フィルム（以下、フィルム）６１を矢印６２で示す搬送方向に搬送する搬送手段であるローラ６３及びローラ６４と、搬送されるフィルム６１を裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラ６５と、黒色部材に付着した異物を洗浄するローラ６６とフィルム６１を照明する手段である照明光源６７と、照明されたフィルムを撮像する手段である撮像装置６８と、撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段である画像処理部６９と、欠陥を抽出した場合に欠陥検出信号を出力する手段である欠陥信号出力部７０を有している。欠陥信号出力部７０は、反射防止フィルム製造工程に欠陥信号をフィードバックしたり、ブザーや表示ランプを作動させオペレータに欠陥の発生を知らせる。
【００２８】
図７（ａ）に本発明に係る反射防止フィルム欠陥検査装置に備えられた検査ローラ６５の断面を示す。検査ローラ６５は剛性を有する芯材６５−１の表面に黒色部材６５−２を備えたものである。図７（ｂ）に示すように黒色部材６５−２は検査ローラの芯材６５−１の全幅の円周上に巻かれている。尚６５−３、６５−４は検査ローラ６５のシャフトである。
【００２９】
ここで、黒色部材を用いることによって、フィルムと黒色部材との界面における入射光が透過吸収されることによって反射光の強度が弱められる。更にフィルムの屈折率が約１
．５１であるのに対して前記黒色部材の屈折率が１．４９〜１．５３の部材を用いることによって上記（１）式に示した理由からフィルムの裏面と黒色部材の境界面での反射光強度を弱めることが出来る。
【００３０】
図８は撮像カメラによって撮像された画像の輝度分布波形のグラフであって、横軸はフィルムの幅方向の位置、縦軸は撮像された画像（アナログ）の輝度を２５６段階にデジタル化した値を示す。図８（ａ）のグラフ７１は検査ローラ６５を用いない場合の輝度分布波形のグラフを示す。この場合には、反射防止層の光と裏面反射からの光を受けているので、全体的に輝度が高い状態である。また、低コントラストの欠陥が存在する破線７２で示される欠陥部分は、ノイズ部分と輝度差がほとんどなくノイズ成分に埋もれている。そこで欠陥部分を検査しやすくするために、矢印８１で示すように照度を上げて輝度を全体に高くしてコントラスト比を大きくする手段があるが、この場合には、全体的に輝度が高く、欠陥部分が顕著に現れるまで照度を上げると、欠陥の一部が輝度限界を超えてしまい（グラフ７３）、欠陥部分は破線７２−１で示すように飽和し、正確な輝度分布を得ることができなくなってしまう。
【００３１】
一方、図８（ｂ）は、フィルム裏面より黒色部材を押し当てた場合の輝度分布波形のグラフを示すもので、検査ローラ６５を用いない場合の輝度分布波形のグラフ７１（図８（ａ）に示すグラフ７１と同じ）をフィルム裏面より黒色部材を押し当てることで、フィルム裏面からの反射を抑えることができ、矢印８２に示すように全体の輝度レベルを低下させることができる（グラフ７４）。この状態において、図８（ｃ）に示すように低コントラストの欠陥であっても、更に照度を更に上げることことによって、輝度分布波形のグラフ７４は矢印８３に示すように、グラフ７５で示す輝度分布波形のグラフとなる。その結果、輝度限界内で、飽和することなく欠陥とノイズ成分の輝度差を大きくすることが出来、破線７２−２で示される欠陥の抽出が容易になる。
【００３２】
上記黒色部材は上記のようにフィルムと同等の屈折率１．４９〜１．５３を有する黒色の部材である。更に黒色部材は粘着性を有し、その粘着性は連続使用しても粘着力が変わらない部材であることが望ましい。粘着力を有する部材とすることによって、フィルムに付着した異物を粘着して、黒色部材側に転移させることが出来る。
【００３３】
検査ローラとフィルムとの間で摩擦が起こらないように、検査ローラの円周速度はフィルムの送り速度と同じ速度となるように検査ローラの回転速度が制御される。
【００３４】
図９はフィルムの搬送手段を説明するための図である。フィルム６１は反射防止フィルム製造ラインの最後尾から搬送手段であるローラ６３及びローラ６４によって矢印６２で示される搬送方向に搬送される。この場合のローラ６３及びローラ６４はフィルム６１の搬送速度と同じ円周速度で制御された回転速度で回転させるか、もしくはフリーローラと呼ばれるローラでフィルム６１との接触摩擦によって回転させても良い。フィルム６１はローラ６４の先方に備えられた巻取りローラ７６で巻き取られる。巻き取りローラ７６には図示しない回転モータが備えられており、フィルム６１はテンションがかけられる。
【００３５】
更に検査ローラ６５をフィルム裏面より押し当てることによって、フィルム６１を検査ローラ６５と密着させ、ばたつきを抑えながら搬送することが出来るため、撮像ムラのない画像を得ることが出来る。
【００３６】
本発明の反射防止フィルム欠陥検査装置を上記では、反射防止フィルム製造工程内にインラインで設けた場合を例示したが、図１０に示すように検査専用ラインで使用しても良い。即ち、フィルム６１は巻き出しローラ７７から巻き出され、ローラ６３、ローラ６４、ローラ６４を介した後に巻き取りローラ７６に巻き取られる。巻き出しローラ７７に備
えられた図示しないブレーキ機構と巻き取りローラ７６に備えられた図示しない回転モータよって、フィルム６１はテンションがかけられ、更に検査ローラ６５をフィルム裏面より押し当てることによって、フィルム６１を検査ローラ６５と密着させ、ばたつきを抑えらながら搬送することが出来る。
【００３７】
図１１は撮像カメラで撮像するフィルム面を平面とすることを説明する図である。図１１（ａ）はフィルム６１と検査ローラ６５が球面状態で接触した場合を示す図で、この場合は球面に照明された照明光７８−１は、球面によって反射し拡散した反射光７９−１となり、光量ムラのある撮像画像となってしまう。特に、撮像カメラ１９が２次元カメラであった場合にはこの影響は顕著なものとなってしまう。
【００３８】
図１１（ｂ）は上記問題を解決するための検査ローラ６５を説明するための図で、検査ローラ６５の表面に巻かれる黒色部材６５−２として軟質のウレタンゲルを用いる。軟質の部材を使用することでフィルムと黒色ウレタンゲルとの接触面積が大きくなり、撮像カメラで撮像するフィルム面を平面にすることが出来るため、照明光７８−１が平面で反射した反射光は拡散のない反射光７９−２となり、安定した画像を得ることが出来る。
【００３９】
図１２は検査ローラ６５の表面に付着した異物を除去する手段を説明するための図である。検査ローラ６５の表面に付着した異物は、フィルム６１に付着していた異物が検査ローラ６５に転写されたり、空気中に浮遊していた異物が検査ローラ６５に付着することによって発生するが、検査ローラ６５の表面に異物が付着した場合は、フィルムの屈折率と異物周辺との空気の屈折率との差によって、フィルム裏面と空気との境界面で反射率が上がり、その結果、フィルム６１と検査ローラ６５の界面での反射光強度が強くなり、欠陥部分とノイズ部分との輝度差が小さくなり、欠陥部分の検査が出来ないという問題が発生する。
【００４０】
図１２に示される上記検査ローラの表面に付着した異物を除去する手段は、検査ローラ６５と接するように設けられた粘着性を有する洗浄ローラ６６であって、洗浄ローラ６６をローラ６５の下方向より押し当て、検査ローラ６５の回転方向８５と同じ方向８６に回転させる。このとき、検査ローラ６５と洗浄ローラ６６の円周速度は同速度に制御するか、もしくは洗浄ローラ６６をフリーにして検査ローラ６５と接触したまま回転させても良い。
【００４１】
洗浄ローラ６６は例えば剛性を有する芯材６６−１に粘着力を有する部材６６−２を巻きつけたものである。粘着力を有する部材６６−２の粘着力は黒色部材６５−２よりも大きいものを用いることで、黒色部材６５−２に付着した異物を洗浄ローラ６６の粘着力を有する部材６６−２に転写することができ、一度洗浄ローラ６６の粘着力を有する部材６６−２に転写した異物は、黒色部材６５−２に再転写しない。
【００４２】
以上のように、本発明による反射防止フィルム欠陥検査装置によれば、反射防止フィルム製造工程で発生するコントラストの低い欠陥を容易に検査することが可能となり、従来用いられていたＵＶランプを使用する必要がなく、その結果設備費用や維持費の増大を抑制することが出来る。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・フィルム基材
２・・・ハードコート層
３・・・反射防止層
４・・・界面反射光
５・・・表面反射光
１１〜１４・・・ローラ
１５・・・フィルム
１６、１７・・・照明光源
１８・・・フィルムを搬送する方向を示す矢印
１９・・・ラインＣＣＤカメラ
２１・・・ロータリーエンコーダ
２０・・・画像処理装置
３０・・・欠陥部３１を含む撮像画像
３１・・・欠陥部
３１−１・・・欠陥部３１の信号
３２・・・撮像画像３０の線分
３３・・・撮像画像３０の線分の画像信号
３４・・・閾値
３５・・・撮像画像３０の二値化画像
３６・・・画像信号３３二値化処理した信号
３７・・・欠陥部３１を示す破線
４０・・・低コントラストな欠陥
４１・・・低コントラストな欠陥４０を含む撮像画像
４２・・・撮像画像４１内の線分
４３・・・撮像画像４１内の線分４２の画像信号
４４・・・閾値レベル
４５・・・欠陥部
４６、４７・・・ノイズ部分
４８〜５１・・・擬似欠陥
５２・・・欠陥部４５の欠陥信号
５３、５４・・・欠陥信号
６１・・・反射防止フィルム
６２・・・反射防止フィルムの搬送方向を示す矢印
６３、６４・・・ローラ
６５・・・検査ローラ
６５−１・・・検査ローラの芯材
６５−２・・・黒色部材
６５−３、６５−４・・・検査ローラのシャフト
６６・・・洗浄ローラ
６６−１・・・洗浄ローラの芯材
６６−２・・・洗浄ローラの粘着力を有する部材
６７・・・照明光源
６８・・・撮像装置
６９・・・画像処理部
７０・・・欠陥信号出力部
７１・・・検査ローラを用いない場合の輝度分布波形グラフ
７２・・・低コントラストの欠陥部を示す破線
７２−１・・・低コントラストの飽和した輝度波形を示す信号を示す破線
７２−２・・・低コントラストの欠陥の抽出が容易になる欠陥部
７３・・・検査ローラを用いない場合の輝度分布波形グラフ７１を更に照度を上げた場合の輝度分布波形グラフ
７４・・・検査ローラを用いた場合の輝度分布波形グラフ
７６・・・巻取りローラ
７７・・・巻き出しローラ
７８−１、７８−２・・・照明光
７９−１・・・拡散した反射光
７９−２・・・拡散のない反射光
８１・・・コントラスト比を上げる方向を示す矢印
８２・・・検査ローラを用いた場合に全体の輝度レベルを低下させる方向を示す矢印
８３・・・検査ローラを用いた場合の更に照度を上げて輝度分布波形を持ち上げる方向を示す矢印
８５・・・検査ローラの回転方向を示す矢印
８６・・・洗浄ローラの回転方向を示す矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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