(57)【要約】【課題】検出精度および検出感度を向上させることができる圧力検出装置、電子機器、及びロボットを提供する。【解決手段】圧力検出装置１０は、基準点の周りに複数配置された圧力センサー１３を有するセンサー基板１１と、先端部２３ａがセンサー基板１１の基準点に重なると共に圧力センサー１３に当接した状態で外圧により弾性変形する弾性体突起２３を有する突起シート２１と、を備え、センサー基板１１と突起シート２１とに挟まれた隣り合う弾性体突起２３の周囲に、弾性平坦化層１４が設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加えられた外圧の方向と大きさを検出する圧力検出装置であって、
基準点の周りに複数配置された圧力センサーを有する第１基板と、
先端部が前記第１基板の前記基準点に重なると共に前記圧力センサーに当接した状態で前記外圧により弾性変形する弾性体突起を有する第２基板と、を備え、
前記第１基板と前記第２基板とに挟まれた隣り合う前記弾性体突起の周囲に、弾性体層が設けられていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力検出装置であって、
前記弾性体突起は、前記先端部が前記弾性体層の表面から突出していることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の圧力検出装置であって、
前記弾性体突起の硬さは、前記弾性体層の硬さより硬いことを特徴とする圧力検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記弾性体層の表面の摩擦係数は、前記弾性体突起の表面の摩擦係数よりも大きいことを特徴とする圧力検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記第１基板の前記圧力センサーと前記第２基板の前記弾性体突起との間に、弾性体シートが設けられていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記外圧によって前記弾性体突起が弾性変形することにより複数の前記圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向と外圧の大きさを演算する演算装置を備えることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記複数の圧力センサーは、前記基準点に対して点対称に配置されていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記複数の圧力センサーは、互いに直交する２方向にマトリックス状に配置されていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項９】
請求項８に記載の圧力検出装置であって、
前記複数の圧力センサーは、互いに直交する２方向に少なくとも４行４列に配置されていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の圧力検出装置であって、
前記弾性体突起は、前記第２基板に複数形成されており、互いに離間して配置されていることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の圧力検出装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の圧力検出装置を備えることを特徴とするロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出装置、これを備えた電子機器、及びロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記圧力検出装置として、例えば、特許文献１に記載の検出装置が知られている。この検出装置は、球状あるいは先端部が感圧素子側に向いた半球状の弾性体を感圧素子表面に設け、弾性体の変形および重心位置の変化から、外圧の大きさと方向を検出する構成となっている。このような検出装置は、タッチパネルやロボットの触覚センサー等への応用が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１８７５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の検出装置では、感圧素子に対して球状の弾性体が、初期の段階で点でしか接触しないので、弾性体に水平方向の外圧が加えられると、基準点（押圧点）が滑る等ずれやすくなり、水平方向の外圧の方向と大きさを適切に測定することができなくなるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る圧力検出装置は、加えられた外圧の方向と大きさを検出する圧力検出装置であって、基準点の周りに複数配置された圧力センサーを有する第１基板と、先端部が前記第１基板の前記基準点に重なると共に前記圧力センサーに当接した状態で前記外圧により弾性変形する弾性体突起を有する第２基板と、を備え、前記第１基板と前記第２基板とに挟まれた隣り合う前記弾性体突起の周囲に、弾性体層が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、弾性体突起の周囲に弾性体層が設けられているので、第２基板に外圧を加えた際、圧力センサーに対して弾性体突起の先端部が当接すると共に、弾性体層が面接触する。弾性体層と圧力センサーとが面接触することにより、弾性体突起が押し込まれた位置から安易にずれることが抑えられる。よって、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記弾性体突起は、前記先端部が前記弾性体層の表面から突出していることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、弾性体突起の先端部が突出している（露出している）ので、第２基板に対して圧力が加えられた際、弾性体層よりも先に弾性体突起が圧力センサーを押圧することになり、圧力の大きさの検出感度を向上させることができる。言い換えれば、微弱な圧力のときの感度を向上させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記弾性体突起の硬さは、前記弾性体層の硬さより硬いことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、弾性体層より弾性体突起の方が硬いので、圧力センサーに対する弾性体突起の感度を向上させることができる。よって、圧力の大きさ、圧力の方向、すべり力などを高い感度で検出することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記弾性体層の表面の摩擦係数は、前記弾性体突起の表面の摩擦係数よりも大きいことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、弾性体層の表面の摩擦係数が大きいので、弾性体突起に外圧が加えられた際、弾性体突起が押し込まれた位置から安易にずれることが抑えられる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記第１基板の前記圧力センサーと前記第２基板の前記弾性体突起との間に、弾性体シートが設けられていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、平坦化が容易な弾性体シートを介して第１基板と第２基板とが接触するので、第１基板と第２基板との密着力をより向上させることが可能となり、弾性体突起を介して圧力が加えられた点（基準点）がその周囲にずれることをより抑えることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記外圧によって前記弾性体突起が弾性変形することにより複数の前記圧力センサーで検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向と外圧の大きさを演算する演算装置を備える。
【００１７】
［適用例７］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記複数の圧力センサーは、前記基準点に対して点対称に配置されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、基準点と各圧力センサーとの間の距離が互いに等しくなるので、前記弾性体突起の重心位置の変化量と各圧力センサーで検出される圧力値との関係が互いに等しくなる。例えば、複数の圧力センサーが基準点から互いに異なる距離に配置される場合、弾性体突起の重心位置の変化量が同じであっても、各圧力センサーで検出される圧力値は互いに異なることとなる。このため、検出値の差分を演算する際に各圧力センサーの配置位置に応じた補正係数が必要となる。しかしながら、この構成によれば、弾性体突起の重心位置の変化量と各圧力センサーが検出する圧力値との関係が互いに等しくなるので、前記補正係数は不用となる。したがって、各圧力センサーで検出された圧力値から外圧の方向と大きさを演算することが容易となり、外圧を効率よく検出することができる。
【００１９】
［適用例８］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記複数の圧力センサーは、互いに直交する２方向にマトリックス状に配置されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、各圧力センサーの圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーの圧力値の差分から外圧の方向と大きさを演算することが容易となる。
【００２１】
［適用例９］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記複数の圧力センサーは、互いに直交する２方向に少なくとも４行４列に配置されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、配置される圧力センサーの数が多くなる。このため、多数の圧力センサーで検出される圧力値に基づいて各圧力センサーの検出結果を積算して外圧の作用する方向を決めることができる。したがって、外圧の方向を高い精度で検出することができる。
【００２３】
［適用例１０］上記適用例に係る圧力検出装置において、前記弾性体突起は、前記第２基板に複数形成されており、互いに離間して配置されていることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、弾性体突起が弾性変形したときの第２基板の面内に平行な方向の変形量を許容することができる。例えば、一方の弾性体突起が変形したときに他方の弾性体突起に変形の影響を及ぼすことを抑制することができる。このため、複数の弾性体突起が互いに接触して配置されている場合に比べて、外圧を正確に各圧力センサーに伝達することができる。したがって、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することができる。
【００２５】
［適用例１１］本適用例に係る電子機器は、上記に記載の圧力検出装置を備えることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、上記に記載の圧力検出装置を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な電子機器を提供することができる。
【００２７】
［適用例１２］本適用例に係るロボットは、上記に記載の圧力検出装置を備えることを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、上記に記載の圧力検出装置を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能なロボットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態の圧力検出装置の構成を示す分解斜視図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化を示す模式断面図。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化と位置との関係を示す模式平面図。
【図４】センシング領域の座標系を示す図。
【図５】圧力センサーによる垂直方向の圧力分布を示す図。
【図６】圧力センサーによるすべり方向の計算例を示す図。
【図７】圧力検出装置を適用した携帯電話機の概略構成を示す模式図。
【図８】圧力検出装置を適用した携帯情報端末の概略構成を示す模式図。
【図９】圧力検出装置を適用したロボットハンドの概略構成を示す模式図。
【図１０】第２実施形態の圧力検出装置の概略構成を示す分解斜視図。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化を示す模式断面図。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化と位置との関係を示す模式平面図。
【図１３】センシング領域の座標系を示す図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は、変形例の圧力の変化を示す模式断面図。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）は、変形例の圧力の変化を示す模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００３１】
また、本実施形態において、第１基板の「表面」とは、第１基板における複数の圧力センサー形成面を指す。第２基板の「表面」とは、第２基板における弾性体突起形成面の反対面を指し、つまりは、外圧を受ける面を指す。
【００３２】
以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がセンサー基板本体１２に対して平行な方向に設定されている。Ｚ軸は、Ｘ軸とＹ軸とにそれぞれ直交する方向、すなわちセンサー基板１１に対する法線方向に設定されている。
【００３３】
（第１実施形態）
＜圧力検出装置の構成＞
図１は、圧力検出装置の構成を示す分解斜視図である。以下、圧力検出装置の構成を、図１を参照しながら説明する。図１において、符号Ｐは基準点、符号Ｓは１つの弾性体突起２３に対応して配置された圧力センサー１３が検出する単位検出領域を示している。なお、「基準点」とは、すべり力が作用していない場合に弾性体突起２３の中心（重心）が平面視で位置するポイントである。
【００３４】
図１に示すように、圧力検出装置１０は、基準点Ｐに加えられた外圧の方向と大きさとを検出する圧力センサー方式のタッチパッドであり、例えば、ノートパソコン等の電子機器においてマウスの代わりのポインティングデバイスとして用いられるものである。
【００３５】
具体的には、圧力検出装置１０は、第１基板としてのセンサー基板１１と、センサー基板１１と対向するように配置された第２基板としての突起シート２１と、圧力の方向と大きさを演算する演算装置（図示せず）と、を備えている。
【００３６】
具体的には、センサー基板１１は、センサー基板本体１２上における基準点Ｐの周りに複数の圧力センサー１３が設けられている。
【００３７】
突起シート２１は、突起シート本体２２上における基準点Ｐに重なる位置に重心が位置する弾性体突起２３が設けられている。弾性体突起２３は、その先端部がセンサー基板１１（圧力センサー１３）に当接した状態で弾性変形する。また、複数の弾性体突起２３の間には、弾性体突起の略先端部が埋まる程度に、表面が平坦化された弾性体層としての弾性平坦化層１４が設けられている。
【００３８】
演算装置は、複数の圧力センサー１３で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー１３で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向と大きさとを演算する。
【００３９】
より具体的には、センサー基板１１は、例えば、ガラス、石英及びプラスチック等の材料で構成された矩形板状のセンサー基板本体１２と、センサー基板本体１２にマトリックス状に配置された複数の圧力センサー１３と、を具備して構成されている。センサー基板本体１２の大きさ（平面視のサイズ）は、例えば、縦５６ｍｍ×横５６ｍｍ程度になっている。
【００４０】
複数の圧力センサー１３は、基準点Ｐに対して点対称に配置されている。例えば、複数の圧力センサー１３は、互いに直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）にマトリックス状に配置されている。これにより、基準点Ｐと各圧力センサー１３との間の距離が互いに等しくなる。これにより、弾性体突起２３の変形と各圧力センサー１３で検出される圧力値との関係が互いに等しくなる。よって、各圧力センサー１３の圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー１３で検出された圧力値の差分を演算することが容易となる。なお、圧力値の差分の演算方法については後述する。
【００４１】
突起シート２１は、矩形板状の突起シート本体２２と、突起シート本体２２に設けられた複数の弾性体突起２３と、を具備して構成されている。
【００４２】
また、複数の弾性体突起２３の間には、上記したように、弾性体突起２３の略先端部２３ａが埋まる程度に弾性平坦化層１４が設けられている。これにより、突起シート２１に圧力を加えた際、圧力センサー１３に対して弾性体突起２３が点接触すると共に、弾性平坦化層１４が面接触する。つまり、面接触している弾性平坦化層１４と圧力センサー１３との密着力が向上する。よって、弾性体突起２３が押し込まれた位置（基準点）からその周囲にずれることを抑えることができる。
【００４３】
具体的には、突起シート２１に水平方向の外圧が加えられた場合、弾性体突起２３の基準点（圧力が加えられた点）が初期の段階と比べてずれてしまうことを抑えることができる。これにより、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【００４４】
突起シート本体２２は、外圧を直接受ける部分である。突起シート本体２２は、例えばガラス、石英、及びプラスチック等の材料で構成することもできるし、発泡ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂材料で構成することもできる。本実施形態では、突起シート本体２２及び弾性体突起２３の形成材料として樹脂材料を用い、突起シート本体２２、及び弾性体突起２３を金型で一体形成している。
【００４５】
弾性平坦化層１４は、例えば、弾性体突起２３の間にシリコンゴムなどが塗布されて形成されている。具体的には、弾性体突起２３よりも硬度の低い弾性材料の溶液を、弾性体突起２３の間に塗布、あるいはスプレー塗布、またはディッピングする事により形成することが出来る。
【００４６】
複数の弾性体突起２３は、突起シート本体２２上においてＸ方向及びＹ方向にマトリックス状に配置されている。弾性体突起２３の先端部２３ａは、例えば、球面の錘状となっており、センサー基板１１（センサー基板本体１２上の複数の圧力センサー１３）に当接している。弾性体突起２３の重心は、初期的に基準点Ｐと重なる位置に配置されている。また、複数の弾性体突起２３は、互いに離間して配置されている。このため、弾性体突起２３が弾性変形したときの突起シート本体２２の面内に平行な方向の変形量を許容することができる。
【００４７】
例えば、一方の弾性体突起２３が変形したときに他方の弾性体突起２３に変形の影響を及ぼすことを抑制することができる。このため、複数の弾性体突起２３が互いに接触して配置されている場合に比べて、外圧を正確に各圧力センサー１３に伝達することができる。したがって、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することができる。また、各圧力センサー１３の圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサー１３の圧力値の差分から外圧の方向と大きさを演算することが容易となる。
【００４８】
弾性体突起２３のサイズは任意に設定することができる。ここでは、弾性体突起２３の基部の径（弾性体突起２３がセンサー基板１１に接する部分の直径）は１．８ｍｍ程度になっている。一方、弾性体突起２３の高さ（弾性体突起２３のＺ方向の距離）は２ｍｍ程度になっている。さらに、隣り合う弾性体突起２３の離間間隔は１ｍｍ程度になっている。
【００４９】
なお、弾性体突起２３の硬さは、上記した弾性平坦化層１４の硬さより硬い材料が用いられる。具体的には、弾性体突起２３のデュロメータ硬さ（タイプA、ＩＳＯ ７６１９準拠のデュロメータによる硬さ測定値）は、例えば、３０〜６０程度になっている。
【００５０】
また、弾性平坦化層１４のデュロメータ硬さは、弾性体突起２３のデュロメータ硬さよりも小さな値の材料を用いる。例えば、１０〜２５程度である。材料としては、例えば、軟質ゴムが挙げられる。弾性体突起２３の方が硬いので、圧力センサー１３に対する弾性体突起２３の感度を向上させることができる。よって、圧力の大きさ、圧力の方向、すべり力などを高い感度で検出することができる。
【００５１】
複数の圧力センサー１３は、単位検出領域Ｓ当たり縦２行、横２列に計４つ配置されている。４つの圧力センサー１３の中心（単位検出領域Ｓの中心）が基準点Ｐとなっている。例えば、単位検出領域Ｓの大きさ（平面視のサイズ）は、縦２．８ｍｍ×横２．８ｍｍ程度になっている。また、４つの圧力センサー１３の各面積がほぼ等しくなっている。
【００５２】
隣り合う圧力センサー１３の間隔は、０．１ｍｍ程度になっている。このため、外乱や静電気等の影響により、隣り合う位置の圧力センサーで検出される圧力値にノイズがのらないようになっている。
【００５３】
圧力センサーとしては、例えばダイアフラムゲージ等の感圧素子を用いることができる。この場合には、接触面に外圧が作用したときにダイアフラムに加わる圧力を電気信号に変換する。
【００５４】
そのほかにも、圧力センサーとしては、抵抗値変化型の感圧素子を用いることが出来る。例えば、感圧導電性ゴム等で構成された感圧素子が知られている。感圧導電性ゴムシートの上側表面と下側表面に上下電極を設けた場合、外圧が作用すると、感圧導電性ゴムシートの膜厚方向の抵抗値変化を感知して外圧を検出することが出来る。また、感圧導電性ゴムシートのどちらか一方の表面に平行電極あるいは櫛歯状電極を設けた場合、外圧が作用すると、感圧導電性ゴムシートの水平方向の抵抗値変化を感知して外圧を検出することが出来る。
【００５５】
そのほかにも、圧力センサーとしては、静電容量値変化型の感圧素子を用いることが出来る。この場合、外圧が作用すると静電容量値の変化を感知して外圧を検出することが出来る。また、インダクタンスの変化を検出するようにしてもよい。なお、強い電磁波が存在する場合、ノイズによる影響を受ける場合があるので、状況に応じていずれかの方法を選択して使用することが好ましい。
【００５６】
図２及び図３は、外圧の大きさと方向を検出する方法の説明図である。図２（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化を示す模式断面図である。図３（ａ）〜（ｃ）は、図２（ａ）〜（ｃ）に対応した、圧力の変化と位置との関係を示す模式平面図である。以下、外圧の大きさと方向を検出する方法を、図２及び図３を参照しながら説明する。なお、図３（ａ）〜（ｃ）において、符号Ｇは弾性体突起２３の重心（圧力中心）を示している。
【００５７】
図２（ａ）及び図３（ａ）は、突起シート２１の表面２１ａに外圧が付加される前の状態（外圧の作用がないとき）を示している。図２（ａ）に示すように、突起シート２１の表面２１ａに外圧が付加される前においては、弾性体突起２３は変形しない。また、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層１４は、圧力センサー１３と接した状態にある。このときの各圧力センサー１３の圧力値は図示略のメモリーに記憶されている。メモリーに記憶された各圧力センサー１３の圧力値を基準として外圧の作用する方向や大きさが求められる。
【００５８】
図３（ａ）は、外圧が付加されない状態における、複数の圧力センサー１３や基準点Ｐに対する弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０、センサー基板１１と弾性体突起２３とが接する領域４０を示している。
【００５９】
図２（ｂ）及び図３（ｂ）は、突起シート２１の表面２１ａに垂直方向（すべり力がない状態）の外圧が付加された状態を示している。図２（ｂ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート２１を介して垂直方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３の先端部２３ａがセンサー基板本体１２の表面に配置された複数の圧力センサー１３に当接した状態でＺ方向に圧縮変形する（撓む）。弾性平坦化層１４も同様に、圧力センサー１３の表面と密着すると共に、Ｚ方向に圧縮変形する。
【００６０】
そして、センサー基板１１と突起シート２１との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。このときの圧力センサー１３の圧力値は、外圧の作用がないときに比べて大きくなる。また、その変化量は各圧力センサー１３ともほぼ同じ値となる。
【００６１】
図２（ｃ）及び図３（ｃ）は、突起シート２１の表面２１ａに斜め方向（すべり力がある状態）の外圧が付加された状態を示している。図２（ｃ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３の先端部２３ａがセンサー基板本体１２の表面に配置された圧力センサー１３に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。つまり、弾性体突起２３がＺ方向に撓み、センサー基板１１と突起シート２１との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。
【００６２】
このとき、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層１４が圧力センサー１３の表面と密着していることにより、斜め方向の外圧が付加されたとしても、弾性体突起２３の基準点Ｐがその周囲にずれることが抑えられる。よって、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【００６３】
また、図３（ｃ）に示すように、弾性体突起２３の重心Ｇは、基準点Ｐから＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向にずれる。この場合、弾性体突起２３と４つの各圧力センサー１３との重なる面積はそれぞれ異なる。具体的には、弾性体突起２３と４つの各圧力センサー１３との重なる面積は、４つの圧力センサー１３のうち−Ｘ方向及び−Ｙ方向に配置された圧力センサー１３と重なる面積よりも、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に配置された圧力センサー１３と重なる面積のほうが大きくなる。
【００６４】
弾性体突起２３は、斜め方向の外圧により変形に偏りが生じる。すなわち、弾性体突起２３の重心Ｇは基準点Ｐからずれてすべり方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動する。すると、各圧力センサー１３で異なる値の圧力値が検出される。そして、後述する差分の演算方法に基づいて加えられた外圧の方向が求められる。
【００６５】
突起シート２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加された場合には、弾性体突起２３が大きく変形する。そして、弾性体突起２３がセンサー基板１１に接した状態で、弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０がずれる。図３（ｃ）は、圧力センサー１３や基準点Ｐに対する弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０が外力の方向にずれることを示している。
【００６６】
図４は、センシング領域の座標系を示す図である。図５は、圧力センサーによる垂直方向の圧力分布を示す図である。図６は、圧力センサーによるすべり方向の計算例を示す図である。
【００６７】
図４に示すように、複数の圧力センサーＳ１（１３）〜Ｓ４（１３）は、単位検出領域Ｓ当たり縦２行、横２列に計４つ配置されている。ここで、各圧力センサーＳ１〜Ｓ４が検出する圧力値（検出値）をそれぞれＰS1，ＰS2，ＰS3，ＰS4とすると、外力のＸ方向成分Ｆｘ（外力の面内方向成分のうちＸ方向に作用する分力の割合）は以下の式（１）で表される。
【００６８】
【数１】
2012098148.tif 000003
【００６９】
また、外力のＹ方向成分Ｆｙ（外力の面内方向成分のうちＹ方向に作用する分力の割合）は以下の式（２）で表される。
【００７０】
【数２】
2012098148.tif 000004
【００７１】
また、外力のＺ方向成分Ｆｚ（外力の垂直方向成分、Ｚ軸は図４の図中省略）は以下の式（３）で表される。
【００７２】
【数３】
2012098148.tif 000005
【００７３】
本実施形態では、外圧によって弾性体突起２３が弾性変形することにより４つの圧力センサーＳ１〜Ｓ４で検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。
【００７４】
式（１）に示すように、外圧のＸ方向成分Ｆｘにおいては、４つの圧力センサーＳ１〜Ｓ４で検出された圧力値のうち＋Ｘ方向に配置された圧力センサーＳ２、及び圧力センサーＳ４で検出された値が組み合わされるとともに、−Ｘ方向に配置された圧力センサーＳ１、及び圧力センサーＳ３で検出された値が組み合わされる。このように、＋Ｘ方向に配置された圧力センサーＳ２、及び圧力センサーＳ４の組み合わせによる圧力値と−Ｘ方向に配置された圧力センサーＳ１、及び圧力センサーＳ３の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のＸ方向成分が求められる。
【００７５】
式（２）に示すように、外圧のＹ方向成分Ｆｙにおいては、４つの圧力センサーＳ１〜Ｓ４で検出された圧力値のうち＋Ｙ方向に配置された圧力センサーＳ１、及び圧力センサーＳ２で検出された値が組み合わされるとともに、−Ｙ方向に配置された圧力センサーＳ３、及び圧力センサーＳ４で検出された値が組み合わされる。このように、＋Ｙ方向に配置された圧力センサーＳ１、及び圧力センサーＳ２の組み合わせによる圧力値と−Ｙ方向に配置された圧力センサーＳ３、及び圧力センサーＳ４の組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のＹ方向成分が求められる。
【００７６】
式（３）に示すように、外圧のＺ方向成分Ｆｚにおいては、４つの圧力センサーＳ１〜Ｓ４の圧力値を足し合わせた合力で求められる。
【００７７】
次に、図５に示すように、タッチパッドの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合を考える。このとき、外圧の垂直方向の圧力は、外圧が作用した部分の中心部が最も大きくなっている（圧力センサーＳ１〜Ｓ４の出力電圧９０〜１２０ｍＶ程度）。また、外圧の垂直方向の圧力は、中心部に次いでその周辺部（圧力センサーＳ１〜Ｓ４の出力電圧６０〜９０ｍＶ程度）、最外周部（圧力センサーＳ１〜Ｓ４の出力電圧３０〜６０ｍＶ程度）の順に小さくなっている。
【００７８】
また、指で押されていない領域は、圧力センサーＳ１〜Ｓ４の出力電圧が０〜３０ｍＶ程度となっている。なお、タッチパッドには単位検出領域（圧力センサーＳ１〜Ｓ４が集合した領域）がマトリックス状（例えば縦１５行×横１５列に計２２５個）に配置されているとする。
【００７９】
次に、図６に示すように、タッチパッドの検出面の中央部より左上寄りの位置を指で斜めに押した場合の外圧の面内方向成分（すべり方向）の算出方法を考える。このとき、指の押圧力（外力）は、縦１５行×横１５列に配置されたものうち縦３行×横３列に配置された部分に作用しているとする。ここで、外圧の垂直方向の圧力は、図５と同様に外圧が作用した部分の中心部がもっとも大きくなっている（１１０ｍＶ）。
【００８０】
縦３行×横３列に配置された各単位検出領域は、それぞれ４つの圧力センサーＳ１〜Ｓ４を有しており、各圧力センサーＳ１〜Ｓ４で検出された圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーで検出された圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。
【００８１】
つまり、各単位検出領域では、上述した式（１）及び式（２）に基づいて外圧のＸ方向成分Ｆｘ及び外圧のＹ方向成分Ｆｙが算出される。ここでは、＋Ｘ方向を基準として左回りに約１２３°の方向に外圧が作用していることが分かる。なお、外圧の作用する方向の算出にあっては、９つの算出結果の平均値で求める方法、あるいは９つの算出結果のうちの最大値（例えば所定のしきい値よりも大きい検出値）により求める方法を用いることができる。
【００８２】
（電子機器）
図７は、上記実施形態の圧力検出装置１０を適用した携帯電話機１０００の概略構成を示す模式図である。電子機器の一例としての携帯電話機１０００は、複数の操作ボタン１００３及びコントロールパッド１００２、並びに表示部としての液晶パネル１００１を備えている。コントロールパッド１００２を操作することによって、液晶パネル１００１に表示される画面がスクロールされる。液晶パネル１００１にはメニューボタン（図示略）が表示される。例えば、メニューボタンにカーソル（図示略）を合わせてコントロールパッド１００２を強く押すことで、電話帳が表示されたり、携帯電話機１０００の電話番号が表示されたりする。
【００８３】
図８は、上記実施形態の圧力検出装置１０を適用した携帯情報端末（ＰＤＡ：Personal Digital Assistants）２０００の概略構成を示す模式図である。電子機器の一例としての携帯情報端末２０００は、複数の操作ボタン２００２及びコントロールパッド２００３、並びに表示部としての液晶パネル２００１を備えている。コントロールパッド２００３を操作すると、液晶パネル２００１に表示されたメニューを操作できる。例えば、メニュー（図示略）にカーソル（図示略）を合わせてコントロールパッド２００３を強く押すことで、住所録が表示されたり、スケジュール帳が表示されたりする。
【００８４】
このような電子機器によれば、上述した圧力検出装置１０をコントロールパッド１００２，２００３に備えているので、外圧の方向と大きさとを高い精度で検出することが可能な電子機器を提供することができる。
【００８５】
なお、電子機器としては、この他にも、例えばパーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、デジタルスチールカメラ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。これらの電子機器に対しても、本発明に係る圧力検出装置１０を適用させることができる。
【００８６】
（ロボット）
図９は、上記実施形態の圧力検出装置１０を適用したロボットハンド３０００の概略構成を示す模式図である。図９（ａ）に示すように、ロボットの一例としてのロボットハンド３０００は、本体部３００３及び一対のアーム部３００２、並びに上記圧力検出装置を適用した把持部３００１を備えている。例えば、リモコン等の制御装置によりアーム部３００２に駆動信号を送信すると、一対のアーム部３００２が開閉動作する。
【００８７】
図９（ｂ）に示すように、ロボットハンド３０００でコップ等の対象物３０１０を把持する場合を考える。このとき、対象物３０１０に作用する力は把持部３００１で圧力として検出される。ロボットハンド３０００は、把持部３００１として上述した圧力検出装置を備えているので、対象物３０１０の表面（接触面）に垂直な方向の力と併せて重力Ｍｇですべる方向の力（すべり力の成分）を検出することが可能である。例えば、柔らかい物体を変形させたりすべりやすい物体を落としたりしないよう、対象物３０１０の質感に応じて把持することができる。
【００８８】
このようなロボットによれば、上述した圧力検出装置１０を備えているので、外圧の方向を高い精度で検出することが可能なロボットハンド３０００を提供することができる。
【００８９】
以上詳述したように、本実施形態の圧力検出装置１０、電子機器、及びロボットによれば、以下に示す効果が得られる。
【００９０】
（１）本実施形態の圧力検出装置１０によれば、弾性体突起２３の周囲に弾性平坦化層１４が設けられているので、突起シート２１に外圧を加えた際、圧力センサー１３に対して弾性体突起２３の先端部２３ａが当接すると共に、弾性平坦化層１４が面接触する。弾性平坦化層１４と圧力センサー１３とが面接触することにより、弾性体突起２３が押し込まれた位置から安易にずれることが抑えられる。よって、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【００９１】
（２）本実施形態の圧力検出装置１０によれば、弾性平坦化層１４より弾性体突起２３の方が硬いので、圧力センサー１３に対する弾性体突起２３の感度を向上させることができる。よって、圧力の大きさ、圧力の方向、すべり力などを高い感度で検出することができる。また、弾性平坦化層１４の表面の摩擦係数が大きいので、弾性体突起２３に外圧が加えられた際、弾性体突起２３が押し込まれた位置から安易にずれることが抑えられる。
【００９２】
（３）本実施形態の圧力検出装置１０によれば、基準点Ｐと各圧力センサー１３との間の距離が互いに等しくなるので、弾性体突起２３の重心Ｇ位置の変化量と各圧力センサー１３で検出される圧力値との関係が互いに等しくなる。例えば、複数の圧力センサー１３が基準点Ｐから互いに異なる距離に配置される場合、弾性体突起２３の重心Ｇ位置の変化量が同じであっても、各圧力センサー１３で検出される圧力値は互いに異なることとなる。このため、検出値の差分を演算する際に各圧力センサー１３の配置位置に応じた補正係数が必要となる。しかしながら、この構成によれば、弾性体突起２３の重心Ｇ位置の変化量と各圧力センサー１３が検出する圧力値との関係が互いに等しくなるので、補正係数は不用となる。したがって、各圧力センサー１３で検出された圧力値から外圧の方向と大きさを演算することが容易となり、外圧を効率よく検出することができる。
【００９３】
（４）本実施形態の電子機器によれば、上記に記載の圧力検出装置１０を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能な電子機器を提供することができる。
【００９４】
（５）本実施形態のロボットによれば、上記に記載の圧力検出装置１０を備えているので、外圧の方向と大きさを高い精度で検出することが可能なロボットを提供することができる。
【００９５】
（第２実施形態）
＜圧力検出装置の構成＞
図１０は、第２実施形態の圧力検出装置の概略構成を示す分解斜視図である。以下、第２実施形態の圧力検出装置の構成を、図１０を参照しながら説明する。
【００９６】
図１０に示すように、第２実施形態の圧力検出装置１１０は、複数の圧力センサー１１３が互いに直交する２方向に少なくとも縦４行、横４列に配置されている部分が、上述の第１実施形態で説明した圧力検出装置１０と異なっている。以下、第１実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
【００９７】
第１実施形態では、圧力を分解して検出する原理を示すべく、圧力センサー１３を２行２列に配置し、圧力を分解する計算式を示したが、実際には多数の圧力センサーにより圧力を求めることとなる。ここでは、ｉ個（ｉは４以上の整数）の圧力センサー１１３を用いた場合に拡張した計算式を示す。
【００９８】
図１０において、符号Ｐは基準点、符号Ｓは１つの弾性体突起２３に対応して配置された複数の圧力センサー１１３が設けられる単位検出領域を示している。なお、図１０においては、便宜上、複数の圧力センサー１１３が単位検出領域Ｓ当たり縦４行、横４列に配置されているが、実際には図１１及び図１２に示すように複数の圧力センサー１１３が単位検出領域Ｓ当たり縦４行、横４列以上に配置されていてもよいものとする。
【００９９】
図１０に示すように、センサー基板本体１２上には、互いに直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）に少なくとも縦４行、横４列に計１６個、圧力センサー１１３が配置されている。これら１６個の圧力センサー１１３の中心（単位検出領域Ｓの中心）が基準点Ｐとなっている。
【０１００】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、図２（ａ）〜（ｃ）に対応した、第２実施形態の圧力の変化を示す模式断面図である。図１２（ａ）〜（ｃ）は、図１１（ａ）〜（ｃ）に対応した、第２実施形態の圧力の変化と位置との関係を示す模式平面図である。以下、外圧の大きさと方向を検出する方法を、図１１及び図１２を参照しながら説明する。
【０１０１】
図１１（ａ）及び図１２（ａ）は、突起シート２１の表面２１ａに外圧が付加される前の状態（外圧の作用がないとき）を示している。図１１（ａ）に示すように、突起シート２１の表面２１ａに外圧が付加される前においては、弾性体突起２３は変形しない。また、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層１４は、圧力センサー１１３と接した状態にある。このときの各圧力センサー１１３の圧力値は図示略のメモリーに記憶されている。メモリーに記憶された各圧力センサー１１３の圧力値を基準として外圧の作用する方向や大きさが求められる。
【０１０２】
図１２（ａ）は、外圧が付加されない状態における、複数の圧力センサー１１３や基準点Ｐに対する弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０、センサー基板１１１と弾性体突起２３とが接する領域４０を示している。
【０１０３】
図１１（ｂ）及び図１２（ｂ）は、突起シート２１の表面２１ａに垂直方向（すべり力がない状態）の外圧が付加された状態を示している。図１１（ｂ）に示すように、突起シート２１の表面に垂直方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３は、Ｚ方向に圧縮変形する。弾性平坦化層１４も同様に、圧力センサー１１３の表面と密着すると共に、Ｚ方向に圧縮変形する。そして、センサー基板１１１と突起シート２１との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。このときの圧力センサー１１３の圧力値は、外圧の作用がないときに比べて大きくなる。また、その変化量は各圧力センサー１１３ともほぼ同じ値となる。
【０１０４】
図１１（ｃ）及び図１２（ｃ）は、突起シート２１の表面２１ａに斜め方向（すべり力がある状態）の外圧が付加された状態を示している。図１１（ｃ）に示すように、突起シート２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３は、斜めに傾いて圧縮変形する。これにより、弾性体突起２３がＺ方向に撓み、センサー基板１１１と突起シート２１との間の距離が外圧の作用がないときに比べて小さくなる。
【０１０５】
このとき、第１実施形態と同様に、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層１４が圧力センサー１１３の表面と密着していることにより、斜め方向の外圧が付加されたとしても、弾性体突起２３の基準点Ｐがその周囲にずれることが抑えられる。よって、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【０１０６】
また、図１２（ｃ）に示すように、弾性体突起２３の重心Ｇは基準点Ｐから＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向にずれる。この場合、弾性体突起２３の先端部と４つの各圧力センサーとの重なる面積はそれぞれ異なる。具体的には、弾性体突起２３の先端部と４つの各圧力センサー１１３との重なる面積は、４つの圧力センサー１１３のうち−Ｘ方向及び−Ｙ方向に配置された圧力センサー１１３と重なる面積よりも、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に配置された圧力センサー１１３と重なる面積のほうが大きくなる。
【０１０７】
弾性体突起２３は、斜め方向の外圧により変形に偏りが生じる。すなわち、弾性体突起２３の重心Ｇは基準点Ｐからずれてすべり方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動する。すると、各圧力センサー１１３で異なる値の圧力値が検出される。そして、後述する差分の演算方法に基づいて加えられた外圧の方向が求められる。
【０１０８】
突起シート２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加された場合には、弾性体突起２３が大きく変形する。そして、弾性体突起２３がセンサー基板１１１に接した状態で、弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０がずれる。図１２（ｃ）は、圧力センサー１１３や基準点Ｐに対する弾性体突起２３の基部の相対的な位置３０が外力の方向にずれることを示している。
【０１０９】
図１３は、図４に対応した、第２実施形態のセンシング領域の座標系を示す図である。なお、図１３において、複数の圧力センサーＳi（１００個）がマトリックス状に配置されており、このうちの２５個の圧力センサーＳiがそれぞれ−Ｘ方向及び＋Ｙ方向に区画された領域、＋Ｘ方向及び＋Ｙ方向に区画された領域、−Ｘ方向及び−Ｙ方向に区画された領域、＋Ｘ方向及び−Ｙ方向に区画された領域に配置されている。また、図１３においては、便宜上、１００個の圧力センサーＳiを図示しているが、圧力センサーＳiの配置数はこれに限らず任意に変更することができる。
【０１１０】
図１３に示すように、複数の圧力センサーＳiは、単位検出領域Ｓ当たり縦１０行、横１０列に計１００個配置されている。ここで、各圧力センサーＳiが検出する圧力値（検出値）をそれぞれＰi（ｉ＝１〜１００）、基準点Ｐと各圧力センサーＳiとの間の距離の面内方向成分をｒi（ｉ＝１〜１００）とする。
【０１１１】
また、面内方向成分のうちＸ方向成分をｒxi（ｉ＝１〜１００）、面内方向成分のうちＹ方向成分をｒyi（ｉ＝１〜１００）とすると、外力のＸ方向成分Ｆｘ（外力の面内方向成分のうちＸ方向に作用する分力の割合）は以下の式（４）で表される。
【０１１２】
【数４】
2012098148.tif 000006
【０１１３】
また、外力のＹ方向成分Ｆｙ（外力の面内方向成分のうちＹ方向に作用する分力の割合）は以下の式（５）で表される。
【０１１４】
【数５】
2012098148.tif 000007
【０１１５】
また、外力のＺ方向成分Ｆｚ（外力の垂直方向成分）は以下の式（６）で表される。
【０１１６】
【数６】
2012098148.tif 000008
【０１１７】
本実施形態では、外圧によって変化する１００個の圧力センサーＳiの圧力値のうち任意に組み合わされた各圧力センサーＳiの圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。
【０１１８】
式（４）に示すように、外圧のＸ方向成分Ｆｘにおいては、１００個の圧力センサーＳiで検出された圧力値のうち相対的に＋Ｘ方向に配置された圧力センサーＳiで検出された値が組み合わされるとともに、相対的に−Ｘ方向に配置された圧力センサーＳiで検出された値が組み合わされる。このように、相対的に＋Ｘ方向に配置された圧力センサーＳiの組み合わせによる圧力値と相対的に−Ｘ方向に配置された圧力センサーＳiの組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のＸ方向成分が求められる。
【０１１９】
式（５）に示すように、外圧のＹ方向成分Ｆｙにおいては、１００個の圧力センサーＳiの圧力値のうち相対的に＋Ｙ方向に配置された圧力センサーＳiで検出された値が組み合わされるとともに、相対的に−Ｙ方向に配置された圧力センサーＳiで検出された値が組み合わされる。このように、相対的に＋Ｙ方向に配置された圧力センサーＳiの組み合わせによる圧力値と相対的に−Ｙ方向に配置された圧力センサーＳiの組み合わせによる圧力値との差分に基づいて外圧のＹ方向成分が求められる。
【０１２０】
式（６）に示すように、外圧のＺ方向成分Ｆｚにおいては、１００個の圧力センサーＳiで検出された圧力値を足し合わせた合力で求められる。
【０１２１】
なお、外圧の作用する方向の算出にあっては、１００個の圧力センサーＳiで検出された圧力値の算出結果の平均値で求める方法、あるいは１００個の圧力センサーＳiで検出された圧力値の算出結果のうちの最大値（例えば、所定のしきい値よりも大きい検出値）により求める方法を用いることができる。
【０１２２】
本実施形態の圧力検出装置１１０によれば、複数の圧力センサー１１３が互いに直交する２方向に少なくとも縦４行、横４列に配置されているので、配置される圧力センサー１１３の数が多くなる。このため、多数の圧力センサー１１３で検出された圧力値に基づいて各圧力センサー１１３の検出結果を積算して外圧の作用する方向と大きさとを求めることができる。したがって、外圧の方向を高い精度で検出することができる。
【０１２３】
本実施形態では、外圧によって弾性体突起２３が弾性変形することにより変化するｉ個の圧力センサー１１３の圧力値の差分を演算し、その差分に基づいて外圧が加えられた方向が演算される。
【０１２４】
式（４）に示すように、外圧のＸ方向成分Ｆｘにおいては、ｉ個の圧力センサーＳiで測定された圧力値のうちＸ方向に配置された圧力センサーＳiで測定された値を処理して外圧のＸ方向成分が求められる。
【０１２５】
式（５）に示すように、外圧のＹ方向成分Ｆｙにおいては、ｉ個の圧力センサーＳiで測定された圧力値のうちＹ方向に配置された圧力センサーＳiで測定された値を処理して外圧のＹ方向成分が求められる。
【０１２６】
式（６）に示すように、外圧のＺ方向成分Ｆｚにおいては、ｉ個の圧力センサーＳiで検出された圧力値を足し合わせた合力で求められる。
【０１２７】
以上詳述したように、第２実施形態の圧力検出装置１１０によれば、上記した第１実施形態の（１）〜（３）の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。
【０１２８】
（６）第２実施形態の圧力検出装置１１０によれば、配置される圧力センサー１１３の数が多くなる。このため、多数の圧力センサー１１３で検出される圧力値に基づいて各圧力センサー１１３の検出結果を積算して外圧の作用する方向を決めることができる。したがって、外圧の方向を高い精度で検出することができる。
【０１２９】
なお、実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
【０１３０】
（変形例１）
上記したような突起シート２１（圧力検出装置１０）の構成に限定されず、図１４（ａ）及び図１５（ａ）に示すような突起シート５２１，６２１（圧力検出装置５１０，６１０）の構成であってもよい。図１４（ａ）〜（ｃ）及び図１５（ａ）〜（ｃ）は、圧力の変化を示す模式断面図である。
【０１３１】
まず、図１４（ａ）に示す突起シート５２１は、突起シート本体２２上に弾性体突起２３が設けられている。弾性体突起２３の周囲（弾性体突起２３間）には、弾性平坦化層５１４が設けられている。ここで、上記実施形態と異なる点としては、弾性体突起２３の先端部２３ａが、弾性平坦化層５１４の表面から突出している点である。以下、突起シート５２１に圧力が加えられた場合の突起シート５２１が変化する様子を、図１４（ａ）〜（ｃ）を参照しながら説明する。
【０１３２】
図１４（ａ）は、突起シート５２１の表面２１ａに外圧が付加される前の状態（外圧の作用がないとき）を示している。図１４（ａ）に示すように、突起シート５２１の表面２１ａに外圧が付加される前においては、弾性体突起２３は変形しない。また、弾性平坦化層５１４は、センサー基板１１（圧力センサー１３）と接触していない。
【０１３３】
図１４（ｂ）は、突起シート５２１の表面２１ａに垂直方向（すべり力がない状態）の外圧が付加された状態を示している。図１４（ｂ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート５２１を介して垂直方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３の先端部２３ａがセンサー基板本体１２の表面に配置された複数の圧力センサー１３に当接した状態でＺ方向に圧縮変形する（撓む）。その後、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層５１４と圧力センサー１３とが密着する。
【０１３４】
図１４（ｃ）は、突起シート５２１の表面２１ａに斜め方向（すべり力がある状態）の外圧が付加された状態を示している。図１４（ｃ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート５２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加されたとき、弾性体突起２３の先端部２３ａがセンサー基板本体１２の表面に配置された圧力センサー１３に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。同時に、弾性平坦化層５１４も、圧力センサー１３に当接した状態で斜めに傾いて圧縮変形する。
【０１３５】
このとき、弾性体突起２３の周囲に設けられた弾性平坦化層５１４が圧力センサー１３の表面と密着していることにより、斜め方向の外圧が付加されたとしても、弾性体突起２３の基準点Ｐがその周囲にずれることが抑えられる。よって、外圧の方向や大きさの検出精度および検出感度を向上させることができる。
【０１３６】
更に、弾性体突起２３の先端部２３ａが突出している（露出している）ので、突起シート５２１に対して圧力が加えられた際、弾性平坦化層５１４よりも先に弾性体突起２３が圧力センサー１３を押圧することになり、圧力の大きさの検出感度を向上させることができる。特に、微弱な圧力のときの感度を向上させることができる。
【０１３７】
また、図１５（ａ）に示す突起シート６２１は、突起シート本体２２上に弾性体突起２３が設けられている。弾性体突起２３の周囲（弾性体突起２３間）には、弾性平坦化層６１４が設けられている。ここで、上記実施形態及び変形例と異なる点としては、弾性体突起２３の先端部２３ａが弾性平坦化層６１４の表面と略同じ高さに設けられ、これらを覆うように平坦化された弾性体シート６１５が設けられている点である。以下、突起シート６２１に圧力が加えられた場合の突起シート６２１が変化する様子を、図１５（ａ）〜（ｃ）を参照しながら説明する。
【０１３８】
図１５（ａ）は、突起シート６２１の表面２１ａに外圧が付加される前の状態（外圧の作用がないとき）を示している。図１５（ａ）に示すように、突起シート６２１の表面２１ａに外圧が付加される前においては、弾性体シート６１５と圧力センサー１３とが接触しているものの、弾性体突起２３は変形していない。
【０１３９】
図１５（ｂ）は、突起シート６２１の表面２１ａに垂直方向（すべり力がない状態）の外圧が付加された状態を示している。図１５（ｂ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート６２１を介して垂直方向の外圧が付加されたとき、弾性体シート６１５が圧力センサー１３に当接した状態で、弾性体シート６１５及び弾性平坦化層６１４と共にＺ方向に圧縮変形する。
【０１４０】
ここで、突起シート６２１を構成する部材の硬さ関係を説明する。硬い部材から順に、弾性体突起２３、弾性体シート６１５、弾性平坦化層６１４となっている。なお、弾性体シート６１５と弾性平坦化層６１４の硬さは同じであってもよい。
【０１４１】
図１５（ｃ）は、突起シート６２１の表面２１ａに斜め方向（すべり力がある状態）の外圧が付加された状態を示している。図１５（ｃ）に示すように、弾性体突起２３は、突起シート６２１の表面２１ａに斜め方向の外圧が付加されたとき、弾性体シート６１５が圧力センサー１３の表面と密着した状態で斜めに圧縮変形する。
【０１４２】
このように、平坦化が容易な弾性体シート６１５を介してセンサー基板１１と突起シート６２１とが全面で接触するので、センサー基板１１と突起シート６２１との密着力をより向上させることが可能となり、弾性体突起２３を介して圧力が加えられた点（基準点Ｐ）がその周囲にずれることをより抑えることができる。
【０１４３】
（変形例２）
上記したように、弾性体突起２３の形状は、半球状であることに限定されず、例えば、他の形状の錘状や柱状でもよい。
【０１４４】
（変形例３）
上記したように、弾性平坦化層１４の表面が平坦であることに限定されず、以下のような表面状態であってもよい。例えば、弾性平坦化層１４の表面が細かい波状であったり、凸凹状であったりしてもよい。言い換えれば、弾性体突起２３の基準点Ｐがその周囲にずれない程度に、弾性平坦化層１４とセンサー基板１１とが接触していることが望ましい。
【符号の説明】
【０１４５】
１０，１１０，５１０，６１０…圧力検出装置、１１，１１１，２１１…第１基板としてのセンサー基板、１２…センサー基板本体、１３，１１３（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）…圧力センサー、１４，５１４，６１４…弾性体層としての弾性平坦化層、２１，５２１，６２１…第２基板としての突起シート、２１ａ…表面、２２…突起シート本体、２３…弾性体突起、２３ａ…先端部、３０…位置、４０…領域、６１５…弾性体シート、１０００…携帯電話機、１００１，２００１…液晶パネル、１００２，２００３…コントロールパッド、１００３，２００２…操作ボタン、２０００…携帯情報端末、３０００…ロボットハンド、３００１…把持部、３００２…アーム部、３００３…本体部、３０１０…対象物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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