(57)【要約】【課題】生産工程においてベース・プレート相互を絡み難くすることを可能とする。【解決手段】薄板材のプレス成形により圧電素子取り付け用の開口部１３ａ，１３ｂ及び結合用のボス部１１が形成されヘッド・サスペンション１のロード・ビーム７を支持するためのベース・プレート３を形成するベース・プレート３の製造方法であって、開口部１３ａ，１３ｂへの絡み込みを規制する閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを設けたベース・プレート半製品２７を形成する第１の工程Ｓ１と、ベース・プレート半製品２７をバリ取処理、熱処理してから閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを除去する第２の工程Ｓ２とを備えたことを特徴とする。【選択図】  図２
2012014812.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板材のプレス成形によりアクチュエーター取り付け用又は軽量化用の開口部が形成されヘッド・サスペンションのロード・ビームを支持するためのベース・プレートを形成するベース・プレートの製造方法であって、
前記開口部への絡み込みを規制する閉鎖繋部を設けたベース・プレート半製品を形成する第１の工程と、
前記ベース・プレート半製品をバリ取処理、熱処理してから前記閉鎖繋部を除去する第２の工程と、
を備えたことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記ベース・プレートは、前記アクチュエーター取り付け用の開口部が長さ方向一側の基端部とこの基端部に幅方向中央の連結部により長さ方向他方側に結合された前端部との間に形成されこの基端部及び前端部の幅方向両側間が前記開口部を開放して前記前端部の変位を許容するために離間形成されており、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記基端部及び前端部の幅方向両側間を橋渡すように形成される、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項３】
請求項２記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記ベース・プレートは、前記基端部及び前端部に幅方向両側で長さ方向に延出し相互に離間して対向する側部を有し、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記側部を同一幅で橋渡すように形成される、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項４】
請求項２記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記ベース・プレートは、前記基端部及び前端部に幅方向両側で長さ方向に延出し相互に離間して対向する側部を有し、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記側部を幅方向外側へ突出する外枠状に橋渡すように形成される、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項５】
請求項３記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記連結部に対し幅方向に結合する延長結合部を備える、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項６】
請求項１記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記ベース・プレートは、前記アクチュエーター取り付け用の開口部が長さ方向一側の基端部とこの基端部に幅方向外側へ突出する外枠部で結合された長さ方向他側の前端部との間に形成され、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記基端部及び前端部間を橋渡すように結合された閉鎖結合部及び幅方向外枠部側への閉鎖延長部を備える、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記第２の工程は、前記閉鎖繋部の除去を前記アクチュエーターの前記開口部への取り付け前に行う、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜６の何れかに記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記第２の工程は、前記閉鎖繋部の除去を前記ヘッド・サスペンションの姿勢調整処理前に行う、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８の何れかに記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記第１の工程は、前記ベース・プレート半製品をフレームに対して複数連設した連鎖品とし、
前記第２の工程は、前記閉鎖繋部の除去を一括して行い前記フレームによる連鎖品のベース・プレートを形成する、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【請求項１０】
請求項１記載のベース・プレートの製造方法であって、
前記ベース・プレートは、前記軽量化用の開口部が形成され、
前記第1の工程は、前記閉鎖繋部が前記軽量化用の開口部の幅方向両縁に結合された閉鎖結合部及び長さ方向への閉鎖延長部を備える、
ことを特徴とするベース・プレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハード・ディスク・ドライブのヘッド・サスペンションに供されるベース・プレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ベース・プレートとして、例えば、図１０のように形成されるものがある。この図１０は、ヘッド・サスペンションの製造工程の概要を示し、ベース・プレート連鎖品１０１からヘッド・サスペンション連鎖品１０３を形成し、ヘッド・サスペンション連鎖品１０３からヘッド・サスペンション１０５を切り取り形成している。このような構造は、基本的に特許文献１に記載のものと同様である。
【０００３】
一方、図１０の製造工程では、ベース・プレート連鎖品１０１の各ベース・プレート１０７が、デュアル・アクチュエータ方式のヘッド・サスペンション１０５に適用されるものである。
【０００４】
各ベース・プレート１０７には、ボス部１１１及びアクチュエーター・ベース１１３が形成され、この各ベース・プレート１０７がフレーム１１２で結合されている。
【０００５】
アクチュエーター・ベース１１３は、長さ方向一側の基端部１１５とこの基端部１１５から離間した前端部１１７とを備えている。基端部１１５及び前端部１１７間は、幅方向の中央部で連結部１１９により結合されている。連結部１１９の幅方向両側には、一対の開口部１２１ａ、１２１bが備えられている。
【０００６】
ここで、長さ方向は、ヘッド・サスペンションの旋回半径方向とし、幅方向は、長さ方向に直交する方向とする。
【０００７】
基端部１１５及び前端部１１７に幅方向両側で長さ方向に延出し相互に離間して対向する側部１２３ａ，１２３ｂ、１２５ａ，１２５ｂを有し、基端部１１５に対する前端部１１７の変位を許容する。
【０００８】
このベース・プレート連鎖品１０１は、化学研磨、電解研磨、或いはバレル研磨などによりバリ取処理され、後工程でロード・ビーム１２５が結合され、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる圧電素子１２７ａ、１２７ｂが開口部１２１ａ、１２１bに非導電性接着剤により取り付けられる。さらに、ヘッド部及び配線部が形成されたフレキシャが結合されてヘッド・サスペンション連鎖品１０３が形成される。
【０００９】
このヘッド・サスペンション連鎖品１０３からは、個々のヘッド・サスペンション１０５が切り出される。
【００１０】
かかる製造工程において、ベース・プレート連鎖品１０１では、開口部１２１ａ、１２１b及び相互に離間した側部１２３ａ，１２３ｂ、１２５ａ，１２５ｂが形成されているため、工程間の移動時などに相互の絡まりなどによる外力を受けて変形を招き易く、材料の歩留まり、生産歩留まりが低下し、コスト低減に限界があった。
【００１１】
また、ベース・プレート連鎖品１０１は、相互の絡まりを防いで変形を防止するために、整列状態でバリ取り処理、熱処理を行わなければならず、生産性も低下するという問題がある。
【００１２】
特に、ベース・プレート１０７が軽量化等のために益々薄板化する傾向にあり、上記問題が顕著になる。
【００１３】
図１１は、単体で個々に形成したベース・プレートであり、（ａ）は、外枠部を備えた平面図、（ｂ）は、外枠部なしの平面図である。
【００１４】
図１１（ａ）のベース・プレート１０７Ａは、単一の開口部１２１に対して幅方向外側へ突出する外枠部１２９ａ，１２９ｂを備えている。開口部１２１には、単一の圧電素子が取り付けられる。
【００１５】
図１１（ｂ）のベース・プレート１０７Ｂは、単体では前記ベース・プレート１０７と同一形状であり、同符号を付している。
【００１６】
かかるベース・プレート１０７Ａ，１０７Ｂにおいては、バリ取り処理、熱処理、及びサスペンション組立工程への投入などで多数を同時に取り扱う場合に、開口部１２１、１２１ａ、１２１bに、他のベース・プレートが絡み易く、前端部１１７Ａ，１１７等が変形することがある。
【００１７】
特に、バリ取り処理にバレル研磨を用いると、処理は早いがベース・プレート相互の絡みによる変形があった。
【００１８】
また、図１１（ｂ）の外枠部なしのベース・プレート１０７Ｂは、図１１（ａ）の外枠部有りのベース・プレート１０７Ａよりも剛性が低く且つ絡み易く、材料の歩留まり、生産歩留まり、生産性がさらに低下する恐れがある。
【００１９】
かかる問題は、シングル・アクチュエータのヘッド・サスペンションに適用されるベース・プレートにおいても、軽量化のための開口部が形成されていれば同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特開２０００−５７７２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
解決しようとする問題点は、生産工程においてベース・プレート相互の絡みにより変形を招いていた点である。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明は、生産工程においてベース・プレート相互を絡み難くするため、薄板材のプレス成形によりアクチュエーター取り付け用又は軽量化用の開口部が形成されヘッド・サスペンションのロード・ビームを支持するためのベース・プレートを形成するベース・プレートの製造方法であって、前記開口部への絡み込みを規制する閉鎖繋部を設けたベース・プレート半製品を形成する第１の工程と、前記ベース・プレート半製品をバリ取処理、熱処理してから前記閉鎖繋部を除去する第２の工程とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、薄板材のプレス成形によりアクチュエーター取り付け用又は軽量化用の開口部が形成されヘッド・サスペンションのロード・ビームを支持するためのベース・プレートを形成するベース・プレートの製造方法であって、前記開口部への絡み込みを規制する閉鎖繋部を設けたベース・プレート半製品を形成する第１の工程と、前記ベース・プレート半製品をバリ取処理、熱処理してから前記閉鎖繋部を除去する第２の工程とを備えた。
【００２４】
このため、ベース・プレート半製品のバリ取処理、熱処理を、開口部に閉鎖繋部が存在する状態で行うことができる。この閉鎖繋部により、開口部内への他のベース・プレート半製品の絡み込みを規制することができ、バリ取処理、熱処理におけるベース・プレート半製品の変形を抑制することができる。
【００２５】
また、閉鎖繋部により開口部周囲の剛性を高めることができ、バリ取処理、熱処理等のためのベース・プレート半製品取り扱いに対し、変形を抑制することができる。
【００２６】
そして、このようなベース・プレート半製品の変形抑制により、材料の歩留まり、生産歩留まり、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ヘッド・サスペンションの概略を示す平面図である。（実施例１）
【図２】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例１）
【図３】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例２）
【図４】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例３）
【図５】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例４）
【図６】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例５）
【図７】ヘッド・サスペンションの製造工程概略を示す工程図である。（実施例６）
【図８】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例７）
【図９】ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。（実施例９）
【図１０】ヘッド・サスペンションの製造工程概略を示す工程図である。（従来例）
【図１１】単体で個々に形成したベース・プレートであり、（ａ）は、外枠部を備えた平面図、（ｂ）は、外枠部なしの平面図である。（従来例）
【発明を実施するための形態】
【００２８】
生産工程においてベース・プレート相互を絡み難くするという目的を、開口部への絡み込みを規制する閉鎖繋部により実現した。
【実施例１】
【００２９】
［ヘッド・サスペンション］
図１は、ヘッド・サスペンションの概略を示す平面図である。
【００３０】
図１のように、ヘッド・サスペンション１は、ベース・プレート３にばね部５を介してロード・ビーム７が支持されたものである。このベース・プレート３は、板厚が例えば      100〜250μｍのステンレス鋼により形成されている。ロード・ビーム７には、図示しないフレキシャが取り付けられ、フレキシャにはヘッド部９を構成するスライダが支持されている。
【００３１】
このヘッド・サスペンション１は、デュアル・アクチュエータ方式であり、ベース・プレート３は、一体のボス部１１の他にアクチュエーター・ベース１３を一体に備えている。アクチュエーター・ベース１３には、アクチュエーター取り付け用の開口部１３ａ，１３ｂが形成されている。
【００３２】
開口部１３ａ，１３ｂは、ベース・プレート３側の基端部１５とロード・ビーム７側の前端部１７との間に形成されている。前端部１７は、基端部１５に幅方向中央部で長さ方向に延びる連結部１９で一体に結合されている。
【００３３】
ここで、長さ方向は、ヘッド・サスペンションの旋回半径方向とし、幅方向は、長さ方向に直交する方向とする。
【００３４】
アクチュエーター・ベース１３は、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂを有している。側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂは、基端部１５及び前端部１７間に幅方向両側で長さ方向に延出し相互に離間して対向している。この離間により、基端部１５及び前端部１７の幅方向両側間で開口部１３ａ，１３ｂを開放し前端部１７の変位を許容する。
【００３５】
アクチュエーターとしては、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）よりなる一対の矩形の圧電素子２５ａ，２５ｂが用いられている。圧電素子２５ａ，２５ｂは、開口部１３ａ，１３ｂにおいて非導電性接着剤により基端部１５及び前端部１７間に取り付けられている。
【００３６】
ボス部１１は、ベース・プレート３の一側面に立ち上げ形成されている。このボス部１１は、ボイスコイル・モータ（図示せず）に取り付けられたキャリッジ（図示せず）の取付穴にボールかしめにより取り付けられる。
【００３７】
したがって、ヘッド・サスペンション１は、ボイスコイル・モータによりキャリッジを介して旋回駆動され、さらに圧電素子２５ａ，２５ｂが電圧印加状態に応じて変形し、ロード・ビーム７を介しヘッド部９をベース・プレート３に対してスウェイ方向に微少移動させることができる。
［ベース・プレートの製造方法］
図２は、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。
【００３８】
図２のように、本発明実施例１のベース・プレートの製造方法は、第１の工程Ｓ１と第２の工程Ｓ２とを備えている。
【００３９】
第１の工程Ｓ１では、厚みｔ＝100〜250μｍの薄板材であるステンレス鋼のプレス成形によりベース・プレート半製品２７を形成する。なお、このベース・プレート半製品２７において、ベース・プレート３形成後の各部に対応する部分には、同名称及び同符号を付す。
【００４０】
ベース・プレート半製品２７には、基端部１５及び前端部１７の幅方向両側間を橋渡すように閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが設けられている。開口部１３ａ，１３ｂは、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを加えることで閉じ形状となっている。
【００４１】
図２において、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂは、黒塗りの範囲であり、本実施例では、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂを同一幅で橋渡すように一体に設けられている。
【００４２】
なお、図２では閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを黒塗りで示すが、この黒塗りは説明の便宜のためであり、実際は、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂもベース・プレート半製品２７と同材質であり、他の部分と境目なく一体に形成されているものである。
【００４３】
第１の工程Ｓ１において形成されたベース・プレート半製品２７は、例えば、複数まとめてバレル研磨によりバリ取処理が行われ、熱処理してから第２の工程Ｓ２に移される。
【００４４】
バリ取処理、熱処理時は、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂを同一幅で橋渡し、開口部１３ａ，１３ｂ周囲の剛性を高めた状態で扱うことができる。
【００４５】
バレル研磨は、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂの対向間を閉止した状態で行わせることができる。
【００４６】
第２の工程Ｓ２では、プレス加工により閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが破断線の位置でカット除去される。この閉鎖繋部２９ａ，２９ｂのカット除去により、アクチュエーター取り付け用の開口部１３ａ，１３ｂ及び結合用のボス部１１が一体に形成されたヘッド・サスペンション１のベース・プレート３を形成することができる。
［実施例１の効果］
本発明実施例１は、薄板材のプレス成形により圧電素子２５ａ，２５ｂ取り付け用の開口部１３ａ，１３ｂを備えたアックチュエーター・ベース１３及び結合用のボス部１１が形成されヘッド・サスペンション１のロード・ビーム７を支持するためのベース・プレート３を形成するベース・プレート３の製造方法であって、開口部１３ａ，１３ｂへの絡み込みを規制する閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを設けたベース・プレート半製品２７を形成する第１の工程Ｓ１と、ベース・プレート半製品２７をバリ取処理、熱処理してから閉鎖繋部２９ａ，２９ｂを除去する第２の工程Ｓ２とを備えた。
【００４７】
このため、ベース・プレート半製品２７のバリ取処理、熱処理を、開口部１３ａ，１３ｂに閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが存在した状態で行うことができる。この閉鎖繋部２９ａ，２９ｂにより、開口部１３ａ，１３ｂ内への他のベース・プレート半製品の絡み込みを規制することができ、バリ取処理、熱処理におけるベース・プレート半製品２７の変形を抑制することができる。
【００４８】
また、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂにより開口部１３ａ，１３ｂ周囲の剛性を高めることができ、バリ取処理、熱処理等のためのベース・プレート半製品２７取り扱い時に、変形を抑制し、取り扱いを容易にすることができる。
【００４９】
したがって、変形のないベース・プレート３を容易に得ることができ、材料の歩留まり、生産歩留まり、生産性の向上を図ることができる。
【００５０】
ベース・プレート半製品２７を例えばバレル研磨でバリ取処理する場合でもベース・プレート半製品２７相互が絡み難く、ベース・プレート半製品２７の変形を伴うことなくバリ取処理を効率よく行わせることができる。
【００５１】
ベース・プレート３は、基端部１５及び前端部１７に幅方向両側で長さ方向に延出し相互に離間して対向する側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂを有し、第1の工程Ｓ１は、閉鎖繋部２９ａ，２９ｂが側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂを同一幅で橋渡すように形成される。
【００５２】
このため、ベース・プレート半製品２７の形状を単純化することができ、材料の歩留まりを向上させ、且つベース・プレート半製品２７の製造を容易に行わせることができる。
【実施例２】
【００５３】
図３は、本発明の実施例２に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＡを付し、重複した説明は省略する。
【００５４】
本実施例２の第１の工程Ｓ１Ａでは、閉鎖繋部２９ａＡ，２９ｂＡを設けたベース・プレート半製品２７Ａを形成する。閉鎖繋部２９ａＡ，２９ｂＡは、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂよりも幅方向外側へ突出する外枠状に形成され、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂ間を橋渡すよう結合されている。
【００５５】
第２の工程Ｓ２Ａでは、閉鎖繋部２９ａＡ，２９ｂＡのカットを、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂの外縁に沿った位置で行い、ベース・プレート３を形成する。閉鎖繋部２９ａＡ，２９ｂＡのカットは、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂの外縁よりもさらに外側で行うことも可能である。
【００５６】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００５７】
また、本実施例では、閉鎖繋部２９ａＡ，２９ｂＡのカットを簡単に行わせることができる。しかも、カット時の側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂの変形を抑制することができる。
【実施例３】
【００５８】
図４は、本発明の実施例３に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＢを付し、重複した説明は省略する。
【００５９】
本実施例３の第１の工程Ｓ１Ｂでは、閉鎖繋部２９ａＢ，２９ｂＢを備えたベース・プレート半製品２７Ｂを形成する。閉鎖繋部２９ａＢ，２９ｂＢは、延長結合部２９ａＢａ，２９ｂＢａを備えている。各延長結合部２９ａＢａ，２９ｂＢｂは、連結部１９に対し幅方向に一体に結合されている。
【００６０】
第２の工程Ｓ２Ｂでは、閉鎖繋部２９ａＢ，２９ｂＢのカットを、側部２１ａ，２１ｂ、２３ａ，２３ｂの長さ方向での端縁に相当する位置及び連結部１９の幅方向縁部に沿った位置で行い、ベース・プレート３を形成する。
【００６１】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００６２】
また、本実施例では、ベース・プレート半製品２７Ｂの閉鎖繋部２９ａＢ，２９ｂＢが延長結合部２９ａＢａ，２９ｂＢｂを備えているため、開口部１３ａ，１３ｂに対して他のベース・プレート半製品がより絡み込難くなっている。
【００６３】
さらに、ベース・プレート半製品２７Ｂの開口部１３ａ，１３ｂ周辺の剛性をより高めることができる。
【実施例４】
【００６４】
図５は、本発明の実施例４に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＣを付し、重複した説明は省略する。
【００６５】
本実施例４の第１の工程Ｓ１Ｃでは、閉鎖繋部２９ａＣ，２９ｂＣを設けたベース・プレート半製品２７Ｃを形成する。基端部１５Ｃ及び前端部１７Ｃが長さ方向に延出する側部を備えず、閉鎖繋部２９ａＣ，２９ｂＣが、基端部１５Ｃ及び前端部１７Ｃの幅方向両側間を橋渡すようにが設けられる。
【００６６】
第２の工程Ｓ２Ｃでは、閉鎖繋部２９ａＣ，２９ｂＣのカットを、基端部１５Ｃの両側前端縁に沿った位置及び前端部１７Ｃの長さ方向両側に沿った位置で行う。
【００６７】
形成されたベース・プレート３Ｃの前端部１７Ｃは、幅方向長さがベース・プレート３Ｃの幅寸法よりも短く形成される。但し、前端部１７Ｃのカットは、ばね部５の結合及び圧電素子２５ａ，２５ｂの搭載を考慮し、前端部１７Ｃの長さ方向端縁に沿って行わせることもできる。この場合、前端部１７Ｃの長さは、ベース・プレート３Ｃの幅寸法と等しくなる。
【００６８】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【実施例５】
【００６９】
図６は、本発明の実施例５に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＤを付し、重複した説明は省略する。
【００７０】
本実施例５で製造されるベース・プレート３Ｄは、圧電素子取り付け用の開口部１３Ｄａが、単一であり、１個の圧電素子を開口部１３Ｄａに取り付ける。
【００７１】
前端部１７Ｄは、幅方向外側へ突出する外枠部３１ａ，３１ｂで基端部１５Ｄに結合されている。
【００７２】
第1の工程Ｓ１Ｄでは、閉鎖繋部２９を備えたベース・プレート半製品２７Ｄを形成する。閉鎖繋部２９は、閉鎖結合部２９ｃ及び閉鎖延長部２９ｄからなり、十字形状に形成されている。閉鎖結合部２９ｃは、幅方向の中央部において基端部１５Ｄ及び前端部１７Ｄ間を橋渡すように結合されている。閉鎖延長部２９ｄは、閉鎖結合部２９ｃの両側幅方向の外枠部３１ａ，３１ｂ側へ延出している。閉鎖延長部２９ｄの先端は、外枠部３１ａ，３１ｂ内へ入り込んでいるが、結合はされず自由端となっている。
【００７３】
したがって、本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００７４】
また、本実施例では、１個の圧電素子を取り付ける開口部１３Ｄａが２個用の開口部よりも大きなものでも、閉鎖結合部２９ｃによって剛性を高めることができる。閉鎖結合部２９ｃ及び閉鎖延長部２９ｄによって他のベース・プレート半製品が絡み込難くなっている。
【実施例６】
【００７５】
図７は、本発明の実施例６に係り、ヘッド・サスペンションの製造工程概略を示す工程図である。
【００７６】
本実施例６では、閉鎖繋部の除去のタイミングを特定したものである。
【００７７】
ベース・プレート３及びベース・プレート半製品２７Ｂは、実施例３と同一のものを採用している。したがって、符号は、実施例３に対応して付し、重複した説明は省略する。
【００７８】
本実施例６のベース・プレートの製造方法では、第２の工程Ｓ２Ｅは、第１の工程Ｓ１Ｅの後、ロード・ビーム取付工程３３を経て圧電素子取付工程３５の前に行う。
【００７９】
ロード・ビーム取付工程３３では、ベース・プレート半製品２７Ｂにばね部５を介してロード・ビーム７をレーザーによるスポット溶接などで結合する。圧電素子取付工程３５では、圧電素子２５ａ，２５ｂを開口部１３ａ，１３ｂにおいて取り付ける。
【００８０】
第２の工程Ｓ２Ｅでは、閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）のカットを、圧電素子取付工程３５の前に実施例３と同様に行う。
【００８１】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００８２】
また、本実施例では、圧電素子を取り付ける前に閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）をカットすることで、圧電素子の取り付けを正確に行わせることができる。
【００８３】
なお、本実施例のタイミングは実施例１，２，４，５等にも適用できる。
【実施例７】
【００８４】
図８は、本発明の実施例７に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＦを付し、重複した説明は省略する。
【００８５】
本実施例７では、連鎖品に適用したものである。
【００８６】
ベース・プレート３及びベース・プレート半製品２７Ｂは、実施例３と同一のものを採用している。したがって、符号は、実施例３に対応して付し、重複した説明は省略する。
【００８７】
第１の工程Ｓ１Ｆは、閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）を形成したベース・プレート半製品２７Ｂをフレーム３７に対して複数連設した連鎖品３９とする。
【００８８】
第２の工程Ｓ２Ｆは、各閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）のカットを一括して行いフレーム３７によるベース・プレート３の連鎖品４１を形成する。
【００８９】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
【００９０】
また、本実施例では、連鎖品３９として閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）を形成し、連鎖品４１として閉鎖繋部２９ａＢ（２９ａＢａ），２９ｂＢ（２９ｂＢａ）をカットするから、生産性をより向上させることができる。
【００９１】
なお、本実施例の連鎖品構造は、実施例１，２，４，５及び後述する実施例８等にも適用できる。
【実施例８】
【００９２】
図９は、本発明の実施例８に係り、ベース・プレートの製造工程概略を示す工程図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同一又は対応する構成部分には同符号又は同符号にＧを付し、重複した説明は省略する。
【００９３】
本実施例８のベース・プレート３Ｇは、軽量化用の開口部１３Ｇａが形成されたものであり、圧電素子取付用の開口部は備えていない。
【００９４】
第1の工程Ｓ１Ｇでは、閉鎖繋部２９Ｇを備えたベース・プレート半製品２７Ｇを形成する。閉鎖繋部２９Ｇは、閉鎖結合部２９Ｇａ及び閉鎖延長部２９Ｇｂを備え、Ｔ字形状となっている。閉鎖結合部２９Ｇａは、軽量化用の開口部１３Ｇａの幅方向内縁１３Ｇａ，１３Ｇｂに結合され、延長部２９Ｇｂは、長さ方向でボス部１１側へ延出し、自由端となっている。
【００９５】
閉鎖延長部２９Ｇｂは、反ボス部１１側へ延出させてもよく、ボス部１１側及び反ボス部１１側の双方へ延出させ、閉鎖繋部２９Ｇを十字形状に形成することもできる。
【００９６】
第２の工程Ｓ２Ｇでは、閉鎖繋部２９Ｇのカットを開口部１３Ｇａの幅方向内縁１３Ｇａ，１３Ｇｂに沿った位置で行い、ベース・プレート３Ｇを形成する。
【００９７】
本実施例においても、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。
［その他］
閉鎖繋部は、他のベース・プレート半製品の絡み込が抑制できれば良く、形状当の設定は自由である。
【００９８】
第２の工程は、ヘッド・サスペンションの姿勢調整処理前に行なわせることもできる。ヘッド・サスペンションは、各部品組付け後、各所にレーザー・スポットを照射して姿勢調整したのち完成する。この場合に、レーザー・スポット照射前に閉鎖繋部をカットすることで、姿勢調整を正確に行わせることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１  ヘッド・サスペンション
３，３Ｃ，３Ｄ，３Ｇ  ベース・プレート
１３，１３Ｃ，１３Ｄ  アクチュエーター・ベース
１３ａ，１３ｂ，１３ａＣ，１３ｂＣ，１３ａ，１３ｂ  開口部  
１９  連結部
２５ａ，２５ｂ  圧電素子（アクチュエーター）
２７，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃ，２７Ｄ，２７Ｇ  ベース・プレート半製品
２９，２９ａ，２９ｂ，２９ａＡ，２９ｂＡ，２９ａＢ，２９ｂＢ，２９ａＣ，２９ｂＣ，２９Ｇ  閉鎖繋部
２９ａＢａ，２９ｂＢａ  延長結合部
２９ｃ，２９Ｇａ  閉鎖結合部
２９ｄ，２９Ｇｂ  閉鎖延長部
Ｓ１，Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｂ，Ｓ１Ｃ，Ｓ１Ｄ，Ｓ１Ｅ，Ｓ１Ｆ，Ｓ１Ｇ  第１の工程
Ｓ２，Ｓ２Ａ，Ｓ２Ｂ，Ｓ２Ｃ，Ｓ２Ｄ，Ｓ２Ｅ，Ｓ２Ｆ，Ｓ２Ｇ  第２の工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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