(57)【要約】【課題】            高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。【解決手段】        連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する、シート材端部の観察装置において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出部と、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置検出部とを備え、
前記厚み方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御し、
前記幅方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、観察手段位置制御部とを備えたことを特徴とする、シート材端部の観察装置。
【請求項２】
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察し、それぞれの観察情報を基に前記シート材端部の状態を評価する評価手段とを備える、シート材端部の評価装置において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出部と、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置検出部とを備え、
前記厚み方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御し、
前記幅方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、観察手段位置制御部とを備えたことを特徴とする、シート材端部の評価装置。
【請求項３】
前記評価手段は前記シート材端部のバリ、カケ、キズないし異物からなる欠陥の有無および大きさを評価することを特徴とする、請求項２に記載のシート材端部の評価装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の観察手段は、１次元センサ又は２次元センサと、照明の組み合わせからなり、前記評価手段は前記センサからの情報を画像として認識し、画像処理を実施することを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載のシート材端部の評価装置。
【請求項５】
前記シート材が、電池の電極用箔材であることを特徴とする、請求項２〜４に記載のシート材端部の評価装置。
【請求項６】
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する、シート材端部の観察方法において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出ステップと、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置ステップとを有し、
前記厚み方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の厚み方向端部の位置情報に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御する、第１の観察手段位置調整ステップを有し、
前記幅方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の幅方向端部の位置情報に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、第２の観察手段位置調整ステップを有することを特徴とする、シート材端部の観察方法。
【請求項７】
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する観察ステップと、前記観察ステップで得られたそれぞれの観察情報を基に評価手段を用いて前記シート材端部の状態を評価する評価ステップとを有する、シート材端部の評価方法において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出ステップと、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置ステップとを有し、
前記厚み方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の厚み方向端部の位置情報に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御する、第１の観察手段位置調整ステップを有し、
前記幅方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の幅方向端部の位置情報に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、第２の観察手段位置調整ステップを有することを特徴とする、シート材端部の評価方法。
【請求項８】
前記評価ステップには、前記シート材端部のバリ、カケ、キズ又は異物からなる欠陥の有無および大きさを評価するステップを有することを特徴とする、請求項７に記載のシート材端部の評価方法。
【請求項９】
前記第１及び第２の観察手段は、１次元センサ又は２次元センサと、照明の組み合わせからなり、前記評価ステップでは、前記観察ステップで得られた前記センサからの情報を画像として認識し、画像処理を実施するステップを有することを特徴とする、請求項７又は請求項８に記載のシート材端部の評価方法。
【請求項１０】
前記シート材が、電池の電極用箔材であることを特徴とする、請求項７〜９に記載のシート材端部の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプリント配線回路や二次電池等に用いられる薄いシート材、薄板化された半導体ウエハーや液晶用ガラス基板の端部を観察評価する装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ノートパソコンや携帯電話、デジタルカメラ等の電子機器の小形化、軽量化、コードレス化に伴い、各部品は薄い素材や薄板化されたのものが多く用いられている。例えば、小型の電子機器に用いられる駆動電源として、小形、軽量でエネルギー密度が高く、繰り返し充放電が可能な密閉形の二次電池が普及している。また、環境に配慮した自動車の走行用電源として、大型の二次電池も普及しつつある。この二次電池の形状としては、コイン形、筒形、箱形、長円形等の、種々の形状のものがある。
【０００３】
ところで、自動車や電車などの車両用の電池として使用する大型電池の場合には、電池の性能や生産性の点から、円筒形の電池に用いられる巻き取り式の構造よりも、正の電極板と負の電極板とを交互に積層する構造の方が適していること、及び、電池が設置されるスペースを効率よく利用する必要性が大きいことから、円筒形よりも角形の電池を用いることが提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
積層する構造の二次電池の場合には、正極及び負極用の電極となるシート材に活物質と呼ばれるものが塗工されており、それらの間にはセパレータと呼ばれる絶縁性のシート材が挟まれている。
【０００５】
上述の前記各電極板は、シート材をカッター等により所定形状の大きさに切断することにより製造される。この切断の際に、電極板の切断端面に、先端が尖った細長いバリが形成される場合がある。そのようなバリは概ね微小であるが、そのようなバリが積層方向において突出するように形成されると、隣のセパレータを貫通し正の電極板と対向する負の電極板とを電気的に接続して、電池の短絡不良に繋がる可能性もある。そのため、シート材端部のバリの有無を検査する必要があり、種々の装置を用いて行われている（例えば、特許文献２）。
【０００６】
活物質の表層近くまでバリが伸びているが、活物質に埋もれている場合、バリの露出が微小な場合など、バリを確実に検知するのが困難である。また、接触式の自動検査の場合、塗工膜の膜厚のばらつきや搬送時の揺れなどにより、活物質を剥がしてしまう可能性もある。そのため、カメラなどの観察手段を用いた、非接触の自動検査が望ましい。
【０００７】
しかし、連続的に検査を行う際に、搬送中のシート材にバタツキが生じたり、位置が変化したりして、観察画像の焦点がずれてしまう場合がある。カメラ観察による焦点変化を解消するために、焦点位置調整が可能な位置変更機構と距離センサーを用いた技術が開示されている（例えば特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２７２５９３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１１４０１１号公報
【特許文献３】特開２００３−４６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、連続搬送されるシート材の端部に存在するかも知れないバリや欠けを観察し、観察に基づく評価をする場合、搬送方向に直交する２つの方向、つまり幅方向と厚み方向からカメラなどの観察手段を用いて観察することが適している。しかし、連続搬送されるシート材は、前記幅方向と厚み方向に蛇行しやすい。そのため、厳密な評価をするために観察視野を狭めて観察倍率を上げると、観察対象となるシート材の表面が移動してしまい、観察画像のピントがずれて、適切な観察ができないといった問題が生じていた。
【００１０】
また、前記観察画像のピントを合わせるために、２方向それぞれの観察手段とは別に距離センサーやエッジセンサーなどの位置検出器を設置する必要があり、高速でかつ分解能の高い計測をするためには、高価な位置検出器を用いる必要があった。
【００１１】
そこで本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる評価装置及び方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する、シート材端部の観察装置において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出部と、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置検出部とを備え、
前記厚み方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御し、
前記幅方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、観察手段位置制御部とを備えたことを特徴とする、シート材端部の観察装置である。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する、シート材端部の観察方法において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出ステップと、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置ステップとを有し、
前記厚み方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の厚み方向端部の位置情報に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御する、第１の観察手段位置調整ステップを有し、
前記幅方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の幅方向端部の位置情報に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、第２の観察手段位置調整ステップを有することを特徴とする、シート材端部の観察方法である。
【００１４】
上記シート材端部の観察装置及び方法を用いるので、移動搬送されるシート材が搬送方向に直交する２つの方向、つまり幅方向や厚み方向にずれやばたつきが生じても、シート材と観察手段との互いの距離を常に一定に保ち、合焦状態にすることができる。また、可動式レンズの繰り出しによる合焦調節ではないので、レンズの収差や観察画像の大きさや歪み方などの観察条件の変化を防ぐことが出来る。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察し、それぞれの観察情報を基に前記シート材端部の状態を評価する評価手段とを備える、シート材端部の評価装置において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出部と、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報に基づき、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置検出部とを備え、
前記厚み方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御し、
前記幅方向端部位置検出部の検出結果に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、観察手段位置制御部とを備えたことを特徴とする、シート材端部の評価装置である。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、
連続搬送されるシート材端部を第１の観察手段及び第２の観察手段を用いて観察する観察ステップと、前記観察ステップで得られたそれぞれの観察情報を基に評価手段を用いて前記シート材端部の状態を評価する評価ステップとを有する、シート材端部の評価方法において、
前記第１の観察手段は、前記シート材の幅方向端部を視野に含み、前記シート材の厚み方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第２の観察手段は、前記シート材の厚み方向端部を視野に含み、前記シート材の幅方向に前記シート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
前記第１の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の幅方向端部の位置を検出する、幅方向端部位置検出ステップと、
前記第２の観察手段の観察視野内における観察情報を取得して、前記シート材の厚み方向端部の位置を検出する、厚み方向端部位置ステップとを有し、
前記厚み方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の厚み方向端部の位置情報に基づいて、前記第１の観察手段位置変更機構を制御する、第１の観察手段位置調整ステップを有し、
前記幅方向端部位置検出ステップで検出した、前記シート材の幅方向端部の位置情報に基づいて、前記第２の観察手段位置変更機構を制御する、第２の観察手段位置調整ステップを有することを特徴とする、シート材端部の評価方法である。
【００１７】
上記シート材端部の評価装置及び方法を用いるので、移動搬送されるシート材が搬送方向に直交する２つの方向、つまり幅方向や厚み方向にずれやばたつきが生じても、シート材と観察手段との互いの距離を常に一定に保ち、合焦状態にすることができる。また、可動式レンズの繰り出しによる合焦調節ではないので、レンズの収差や観察画像の大きさや歪み方などの観察条件の変化を防ぎ、観察画像に基づく評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、
前記評価手段は前記シート材端部のバリ、カケ、キズないし異物からなる欠陥の有無および大きさを評価することを特徴とする、請求項２に記載のシート材端部の評価装置である。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、
前記評価ステップには、前記シート材端部のバリ、カケ、キズ又は異物からなる欠陥の有無および大きさを評価するステップを有することを特徴とする、請求項７に記載のシート材端部の評価方法である。
【００２０】
上記シート材端部の評価装置及び方法を用いれば、バリ、カケ、キズ又は異物からなる欠陥の有無および大きさを評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる。
【００２１】
請求項４に記載の発明は、
前記第１及び第２の観察手段は、１次元センサ又は２次元センサと、照明の組み合わせからなり、前記評価手段は前記センサからの情報を画像として認識し、画像処理を実施することを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載のシート材端部の評価装置である。
【００２２】
請求項９に記載の発明は、
前記第１及び第２の観察手段は、１次元センサ又は２次元センサと、照明の組み合わせからなり、前記評価ステップでは、前記観察ステップで得られた前記センサからの情報を画像として認識し、画像処理を実施するステップを有することを特徴とする、請求項７又は請求項８に記載のシート材端部の評価方法である。
【００２３】
上記シート材端部の評価装置及び方法を用いれば、１次元センサ又は２次元センサで得られる画素数から実際のずれ量を算出するのが容易であり、高速で合焦位置の調整を行える。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、
前記シート材が、電池の電極用箔材であることを特徴とする、請求項２〜４に記載のシート材端部の評価装置である。
【００２５】
請求項１０に記載の発明は、
前記シート材が、電池の電極用箔材であることを特徴とする、請求項７〜９に記載のシート材端部の評価方法である。
【００２６】
上記シート材端部の評価装置及び方法を用いれば、微小なバリを自動で検出することができるので、電池の電極用箔材の生産性が向上する
【発明の効果】
【００２７】
シート材の端部の場所が変化しても、観察画像が常に合焦状態であり、観察条件の変化を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。
【図３】本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。
【図４Ａ】本発明に基づく初期位置で得られる幅方向の観察画像である。
【図４Ｂ】本発明に基づく初期位置で得られる厚み方向の観察画像である。
【図４Ｃ】本発明に基づくある時刻で得られる幅方向の観察画像である。
【図４Ｄ】本発明に基づくある時刻で得られる厚み方向の観察画像である。
【図５Ａ】本発明に基づく観察過程で得られる幅方向の観察画像である。
【図５Ｂ】本発明に基づく評価過程で得られる幅方向の画像である。
【図５Ｃ】本発明に基づく評価過程で得られる幅方向のバリ抽出画像である。
【図５Ｄ】本発明に基づく評価過程で得られる幅方向の欠け抽出画像である。
【図６Ａ】本発明に基づく観察過程で得られる厚み方向の観察画像である。
【図６Ｂ】本発明に基づく評価過程で得られる厚み方向の画像である。
【図６Ｃ】本発明に基づく評価過程で得られる厚み方向のバリ抽出画像である。
【図６Ｄ】本発明に基づく評価過程で得られる厚み方向の欠け抽出画像である。
【図７】本発明を具現化する形態の第二の例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。以下の説明においては、本発明の観察例として、シート材の１つの辺を観察することに着目して説明を行う。
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す斜視図である。
各図において直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向
とする。特にＺ方向は矢印の方向を上とし、その逆方向を下と表現する。
【００３０】
観察装置１は、搬送部２と、観察部３と、観察手段位置変更機構４と、観察照明部５と、制御部９を含んで、構成されている。各構成部品は、図１には図示するような位置に配置されるように、不図示の装置フレームや固定ブラケットなどを介して取り付けられている。
【００３１】
搬送部２には、搬送用ローラ２１〜２４が含まれている。搬送用ローラ２１〜２４は、長手方向を回転軸として回転可能なように、観察装置１のフレームに取り付けられており、観察対象となるシート材１０を矢印１１の方向に搬送することができる。搬送用ローラ２１〜２４には、駆動用モータ２１ｍ〜２４ｍ（図示せず）を取り付けられている。
【００３２】
観察部３には、第１の観察手段３１と、第２の観察手段３２とが含まれている。第１の観察手段３１と第２の観察手段３２の観察手段には、レンズ３３，３４が取り付けられており、矢印３５，３６の方向を観察できる。
第１の観察手段３１で観察する範囲は、シート材１０の端部の破線３７で示す部分で、ｘｚ平面である。
第２の観察手段３２で観察する範囲は、シート材１０の端部の破線３８で示す部分で、ｙｚ平面である。
【００３３】
第１の観察手段３１は、Ｙ軸ステージ４１上に取り付けられており、Ｙ方向に移動できる。第２の観察手段３２は、Ｘ軸ステージ４２上に取り付けられており、Ｘ方向に移動できる。Ｙ軸ステージ４１とＸ軸ステージ４２は、本発明における観察手段位置変更機構４を構成し、搬送方向であるＺ方向に対して、直交する２つの方向（Ｘ方向，Ｙ方向）に移動可能である。
【００３４】
観察照明部５は、シート材１０を挟んで観察部３と対向するように取り付けられている。具体的には、第１の観察照明５１が、第１の観察照明５１から発せられる光５３を第１の観察手段３１と対向するように、第２の観察照明５２が、第２の観察照明５２から発せられる光５４を第２の観察手段３２と対向するように取り付けられている。
【００３５】
第１及び第２の観察手段３１，３２としては、ＣＣＤやＣＭＯＳ、その他の撮像素子を用いた撮像カメラが例示でき、撮像した画像を映像信号として、制御部９へ出力することができるものであれば良い。
【００３６】
レンズ３３，３４としては、レンズやミラーなどの光学素子を用いるものが例示でき、観察視野３７，３８内の像を観察手段３１，３２の撮像素子に結像させることができるものであれば良い。
【００３７】
Ｙ軸ステージ４１及びＸ軸ステージ４２としては、ガイドレールとスライド機構にボールネジとサーボモータを組み合わせたものや、ガイドレールとスライド機構にリニアモータを組み合わせたもの、ピエゾ型アクチュエータなどが例示でき、制御部９からの制御信号に基づき、Ｙ方向及びＸ方向への位置決め移動と静止ができる機構を備えるものであれば良い。
【００３８】
第１及び第２の観察照明５１，５２としては、ＬＥＤ、ハロゲン、白熱電球、蛍光灯その他の発光手段が例示でき、観察手段３１，３２にてシート材１０の端部表面を観察することができるように、第１及び第２の観察手段３１，３２の感度波長や感度特性に合わせて、所定の波長を含む光線を放射するものであれば良い。
【００３９】
制御部９は、詳細を後述するが、情報入力手段９１と、情報出力手段９２と、発報手段９３と、その他の制御機器を含んで構成されている。
【００４０】
図２は、本発明を具現化する形態の一例を示すシステム構成図である。図２に示すように、上述した搬送部２、観察部３、観察手段位置変更機構４、観察照明部５の各機器は、制御部９の各機器と接続されている。
【００４１】
制御部９には、制御用コンピュータ９０と、情報入力手段９１と、情報出力手段９２と、発報手段９３と、情報記録手段９４と、機器制御ユニット９５とが接続されて含まれている。
【００４２】
制御用コンピュータ９０としては、マイコン、パソコン、ワークステーションなどの、数値演算ユニットが搭載されたものが例示される。
情報入力手段９１としては、キーボードやマウスやスイッチなどが例示される。
情報出力手段９２としては、画像表示ディスプレイやランプなどが例示される。
【００４３】
発報手段９３としては、ブザーやスピーカ、ランプなど、作業者に注意喚起をすることができるものが例示される。
情報記録手段９４としては、メモリーカードやデータディスクなどの、半導体記録媒体や磁気記録媒体や光磁気記録媒体などが例示される。
機器制御ユニット９５としては、プログラマブルコントローラやモーションコントローラと呼ばれる機器などが例示される。
【００４４】
制御用コンピュータ９０には、画像処理ユニット９６を介して、第１及び第２の観察手段３１，３２から出力された映像信号が入力される。画像処理ユニット９６は、一般にＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）と呼ばれ、制御用コンピュータ９０の外部に設置される形態のもの、制御用コンピュータ９０の筐体内に接続される形態のもの、制御用コンピュータ９０の画像処理部を利用したものなどが例示できる。
【００４５】
画像処理ユニット９６に入力された観察画像は、後述で詳細説明をするように、制御用コンピュータ９０で良否判定用基準画像と比較し、規定値の範囲内か範囲外かの判断評価をすることができる。
【００４６】
機器制御ユニット９５には、駆動用モータ２１ｍ〜２４ｍ、Ｘ軸ステージ４２と、Ｙ軸ステージ４１とが接続されている。また、機器制御ユニット９５には、観察照明５１，５２の光量をそれぞれ個別に調節するための光量調整ユニット５５，５６が接続されている。光量調節ユニットにおける照明の光量調節の方式としては、印可する電圧や電流を調節したり、電圧や電流の印可時間を調節したりする方式を例示できる。
【００４７】
機器制御ユニット９５は、その他の制御機器（図示せず）と接続されており、それらに対して制御用信号を与えることにより、各機器を動作させたり静止させたりすることができるようになっている。
【００４８】
［観察手段による端面観察フロー］
図３は、本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。図３では、シート材１０の端部を観察する一連のフローが、ステップ毎に示されている。
【００４９】
先ず、シート材１０を観察装置１の搬送部２に載置する（ｓ１０１）。図１に示した形態の装置構成では、搬送用ローラ２１〜２４に架ける。
次に、シート材１０が静止した状態で、シート材１０の幅方向端部１０ａが観察視野３７の視野中心３７ｃと重なり、シート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃの中間位置が観察視野３８の視野中心３８ｃと重なり、第１及び第２の観察手段３１，３２が共に合焦状態になるように、Ｘ軸テーブル４２とＹ軸テーブル４１の位置を調整する（ｓ１０２）。この位置を、Ｘ軸テーブル４２及びＹ軸テーブル４１の初期位置とする（図４Ａ，図４Ｂ）。
【００５０】
次に、シート材１０を所定の速度で連続搬送させる（ｓ１０３）。
この状態で、第１の観察手段３１で、シート材１０の幅方向端部１０ａを含む端部を観察する（ｓ１１１）。
シート材１０の幅方向端部１０ａ、観察視野３７内のどこにあるか、初期位置に対してＸ方向にどれだけずれているかを検出する（ｓ１１２）。
検出したずれ量の情報に基づいて、第２の観察手段３２が取り付けられているＸ軸ステージ４２を制御し（ｓ１１３）、第２の観察手段３２の位置を調節する。そうすることで、第２の観察手段３２とシート材１０の幅方向端部１０ａとの距離が適正に保たれる。
【００５１】
並行して、第２の観察手段３２で、シート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃを含む端部を観察する（ｓ１２１）。
シート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃが、観察視野３８内のどこにあるか、初期位置に対してＹ方向にどれだけずれているかを検出する（ｓ１２２）。
検出したずれ量の情報に基づいて、第１の観察手段３１が取り付けられているＹ軸ステージ４１を制御し（ｓ１２３）、第１の観察手段３１の位置を調節する。そうすることで、第１観察手段３１とシート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃとの距離が適正に保たれる。
【００５２】
そして、必要に応じ観察画像に基づいて評価を行う（ｓ１３１）。
【００５３】
その後、シート材１０の端部の観察を継続するかどうかを判断し（ｓ１３２）、終了であればシート材１０を取り出す（ｓ１３５）。
観察を継続する場合は、上述のステップｓ１１１〜ｓ１２３を繰り返す。
【００５４】
図４Ａは、本発明に基づく初期位置で得られる幅方向の観察画像である。
図４Ａでは、上述のステップｓ１０２における、第１の観察手段３１で観察されたシート材１０が、視野３７内に写っている状態が示されている。視野中心３７ｃと、シート材１０の幅方向端部１０ａとが重なっている。
【００５５】
図４Ｂは、本発明に基づく初期位置で得られる厚み方向の観察画像である。
図４Ｂでは、上述のステップｓ１０２における、第２の観察手段３２で観察されたシート材１０が、視野３８内に写っている状態が示されている。視野中心３８ｃと、シート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃの中間位置を示す直線６０ｄとが重なっている。
図４Ａ，Ｂ共に、照明５１，５２が第１及び第２の観察手段３１、３２に対向させてシート材１０を照らすように配置されているので、観察画像には、シート材１０が黒く、背景１０ｚが白く写っている。
【００５６】
図４Ｃは、本発明に基づくある時刻で得られる幅方向の観察画像である。
図４Ｃでは、上述のステップｓ１１１における、第１の観察手段３１で観察されたシート材１０が、視野３７内に写っている状態が示されている。シート材１０の幅方向端部１０ａは、視野中心３７ｃに対して、Ｘ方向にＤｘだけずれた位置にある。
Ｄｘに相当する距離情報に基づき、ステップｓ１２３で示したように、第２の観察手段３２が取り付けられているＸ軸ステージ４２を制御する。
【００５７】
図４Ｄは、本発明に基づくある時刻で得られる厚み方向の観察画像である。
図４Ｄでは、上述のステップｓ１２１における、第２の観察手段３２で観察されたシート材１０が、視野３８内に写っている状態が示されている。シート材１０の中心位置を示す直線６０ｄは、視野中心３８ｃに対して、Ｙ方向にＤｙだけずれた位置にある。
Ｄｙに相当する距離情報に基づき、ステップｓ１１３で示したように、第１の観察手段３１が取り付けられているＹ軸ステージ４１を制御する。
【００５８】
［観察画像に基づく端部位置検出、バリ・欠け抽出、評価フロー］
上述のステップ１３１における、本発明により取得された画像に基づき、画像処理ユニット９６を用いて端部位置検出する手順ならびに、バリや欠けの抽出、評価フローについて説明する。本説明では、ある時刻における、第１の観察手段３１及び第２の観察手段３２から得られた画像の内、それぞれ一の画像について説明する。ここでは、バリや欠けの大きさが基準値と比較して大きいかどうかを、２値化による画像処理を行って、制御用コンピュータ９０に自動判定させる手順を例示する。
【００５９】
図５Ａは、本発明に基づく観察過程で得られる幅方向の観察画像である。
第１の観察手段３１の視野３７の横方向をシート材１０の幅方向（つまりＸ方向）に、視野３７の縦方向をシート材１０の流れ方向（つまりＺ方向）と合うように取り付けられており、図５Ａには、第１の観察手段３１の視野３７の中で観察された、幅方向端部１０ａを含むシート材１０と背景１０ｚとが示されている。さらに、シート材１０の幅方向端部１０ａには、検出したいバリ１５ａや欠け１７ａが含まれている様子が示されている。このとき、照明５１が第１の観察手段３１に対向させてシート材１０を照らすように配置されているので、観察画像には、シート材１０が黒く、背景１０ｚが白く写っている。
【００６０】
第１の観察手段３１の視野３７の縦横の寸法は、予め測定しておく。このとき例えば、視野３７の横方向（Ｘ方向）の視野が１．０２４ｍｍで、カメラの画素数が１０２４画素であれば、横方向（Ｘ方向）の画素分解能は１μｍとなる。また、縦方向（Ｚ方向）の視野が１．０２４ｍｍで、カメラの画素数が１０２４画素であれば、縦方向（Ｚ方向）の画素分解能も１μｍとなる。
【００６１】
図５Ｂは、本発明に基づく評価過程で得られる幅方向の画像である。
シート材１０の幅方向端部１０ａの位置検出をおこなうために、シート材の幅方向端部とする直線６０ａを規定する。前記直線６０ａは、取得した観察画像に対して明るさ補正や輪郭補正などの補正処理を行い、画像の明るさやコントラスト情報に基づいて、幅方向端部１０ａに近似フィットするように規定する。そして、前記直線６０ａをシート材１０の幅方向端部とし、前記直線部分よりも内側の領域６１Ａを、シート材部分として取り扱う。
【００６２】
検出された前記直線６０ａの幅方向（Ｘ方向）の位置情報は、本発明におけるシート材の幅方向端部位置として取り扱われ、第２の観察手段３２の位置調整のために用いられる。例えば、初期状態では、第１の観察手段３１で観察されたシート材の端部位置１０ａが視野３７の視野中心３７ｃと重なる状態にあり、第２の観察手段３２の最適焦点位置であったとする。そして、ある時刻において、第１の観察手段３１で観察されたシート材の端部として取り扱う直線６０ａが、視野３７の視野中心３７ｃからＸ方向に長さＤｘだけずれたところにあるとする。
【００６３】
幅方向のずれ量Ｄｘが、第１の観察手段で１００画素分であったとすると、Ｄｘは１００μｍとなる。そこで、制御用コンピュータ９０及び制御ユニット９５を用いて、第２の観察手段３２がＸ方向に１００μｍ移動するように、第２の観察手段３２が取り付けられているＸ軸ステージ４２を制御する。
そうすることで、シート材が幅方向（Ｘ方向）に１００μｍずれたとしても、第２の観察手段も幅方向（Ｘ方向）に１００μｍ移動するように位置制御をすることができ、第２の観察手段３２とシート材の幅方向端部との最適焦点位置を保つことができる。
【００６４】
バリの検出を行う場合は、視野３７内の領域６１Ａより外側に突出している部分を、シート材端部から突出しているバリとして抽出する。
【００６５】
図５Ｃは、本発明に基づく評価過程で得られる幅方向のバリ抽出画像である。
視野３７内の領域６１Ａが白い画像となるように演算を行い、黒い画像として残った部分をバリとして取り扱う。
【００６６】
そして、前記バリ部分として取り扱われる部分の画素数を演算して求め、前記画素分解能より、バリの見かけ上の面積を求める。その上で、前記バリの見かけ上の面積に応じて、その部分が許容範囲か、許容範囲外かを制御用コンピュータ９０で判断する。基準値よりも面積が大きいものは、抽出された大きなバリ６５ａとし、バリであると判断する。一方、基準値よりも面積が小さいものは、抽出された小さなバリ６５ｂとし、バリではないと判断される。
【００６７】
欠けの検出を行う場合は、視野３７内の領域６１Ａの内側にある凹み部分を、シート材端部に潜む欠けとして抽出する。
【００６８】
図５Ｄは、本発明に基づく評価過程で得られる幅方向の欠け抽出画像である。
視野３７内の領域６１Ａの外側の領域６１Ｂが黒い画像となるように演算を行い、視野３７内に白い画像として残った部分を欠けとして取り扱う。
【００６９】
そして、前記欠け部分として取り扱われる部分の画素数を演算して求め、前記画素分解能より、欠けの見かけ上の面積を求める。その上で、前記欠けの見かけ上の面積に応じて、その部分が許容範囲か、許容範囲外かを制御用コンピュータ９０で判断する。基準値よりも面積が大きいものは、抽出された大きな欠け６７ａとし、欠けであると判断する。一方、基準値よりも面積が小さいものは、抽出された小さな欠け６７ｂとし、欠けではないと判断される。
【００７０】
図６Ａは、本発明に基づく観察過程で得られる厚み方向の観察画像である。
第２の観察手段３２の視野３８の横方向をシート材１０の厚み方向（つまりＹ方向）に、視野３８の縦方向をシート材１０の流れ方向（つまりＺ方向）と合うように取り付けられており、図６Ａには、第２の観察手段３２の視野３８の中で観察された、厚み方向端部１０ｂ，１０ｃを含むシート材１０と背景１０ｚとが示されている。さらに、シート材１０の厚み幅方向端部１０ｂ，１０ｃには、検出したいバリ１５ａや欠け１７ａが含まれている様子が示されている。このとき、照明５２が第２の観察手段３２に対向させてシート材１０を照らすように配置されているので、観察画像には、シート材１０が黒く、背景１０ｚが白く写っている。
【００７１】
第２の観察手段３２の視野３８の縦横の寸法は、予め測定しておく。このとき例えば、視野３８の横方向（Ｙ方向）の視野が１．０２４ｍｍで、カメラの画素数が１０２４画素であれば、横方向（Ｙ方向）の画素分解能は１μｍとなる。また、縦方向（Ｚ方向）の視野が１．０２４ｍｍで、カメラの画素数が１０２４画素であれば、縦方向（Ｚ方向）の画素分解能も１μｍとなる。
【００７２】
図６Ｂは、本発明に基づく評価過程で得られる厚み方向の画像である。
シート材１０の厚み方向端部１０ｂ，１０ｃの位置検出をおこなうために、シート材の厚み方向端部とする直線６０ｂ，６０ｃを規定する。前記直線６０ｂ，６０ｃは、取得した観察画像に対して明るさ補正や輪郭補正などの補正処理を行い、画像の明るさやコントラスト情報に基づいて、厚み方向端部１０ｂ，１０ｃに近似フィットするように規定する。そして、前記直線６０ｂ，６０ｃをシート材１０の厚み方向端部とし、前記直線部分で挟まれた領域６２Ａを、シート材断面として取り扱う。また、前記直線６０ｂ，６０ｃとの中間をシート材１０の厚み方向の中心６０ｄとする。
【００７３】
検出された前記直線６０ｂ，６０ｃ，６０ｄの厚み方向（Ｙ方向）の位置情報は、本発明におけるシート材の幅方向端部位置として取り扱われ、第１の観察手段３１の位置調整のために用いられる。例えば、初期状態では、第２の観察手段３２で観察されたシート材の厚み方向の中心６０ｄが視野３８の視野中心３８ｃと重なる状態にあり、第１の観察手段３１の最適焦点位置であったとする。そして、ある時刻において、第２の観察手段３２で観察されたシート材の厚み方向の中心６０ｄが、視野３８の視野中心３８ｃからＹ方向に長さＤｙだけずれたところにあるとする。
【００７４】
厚み方向のずれ量Ｄｙが、第２の観察手段で１００画素分であったとすると、Ｄｙは１００μｍとなる。そこで、制御用コンピュータ９０及び制御ユニット９５を用いて、第１の観察手段３１がＹ方向に１００μｍ移動するように、第１の観察手段３１が取り付けられているＹ軸ステージ４１を制御する。
そうすることで、シート材が厚み方向（Ｙ方向）に１００μｍずれたとしても、第１の観察手段も厚み方向（Ｙ方向）に１００μｍ移動するように位置制御をすることができ、第１の観察手段３１とシート材の厚み方向端部との最適焦点位置を保つことができる。
【００７５】
バリの検出を行う場合は、視野３８内の領域６２Ａより外側に突出している部分を、シート材端部から突出しているバリとして抽出する。
【００７６】
図６Ｃは、本発明に基づく評価過程で得られる厚み方向のバリ抽出画像である。
視野３８内の領域６２Ａが白い画像となるように演算を行い、黒い画像として残った部分をバリとして取り扱う。
【００７７】
そして、前記バリ部分として取り扱われる部分の画素数を演算して求め、前記画素分解能より、バリの見かけ上の面積を求める。その上で、前記バリの見かけ上の面積に応じて、その部分が許容範囲か、許容範囲外かを制御用コンピュータ９０で判断する。基準値よりも面積が大きいものは、抽出された大きなバリ６５ａとし、バリであると判断する。一方、基準値よりも面積が小さいものは、抽出された小さなバリ６５ｂとし、バリではないと判断される。
【００７８】
欠けの検出を行う場合は、視野３８内の領域６２Ａの内側にある凹み部分を、シート材端部に潜む欠けとして抽出する。
【００７９】
図６Ｄは、本発明に基づく評価過程で得られる幅方向の欠け抽出画像である。
視野３８内の領域６２Ａの外側の領域６２Ｂ，６２Ｃが黒い画像となるように演算を行い、視野３８内に白い画像として残った部分を欠けとして取り扱う。
【００８０】
そして、前記欠け部分として取り扱われる部分の画素数を演算して求め、前記画素分解能より、欠けの見かけ上の面積を求める。その上で、前記欠けの見かけ上の面積に応じて、その部分が許容範囲か、許容範囲外かを制御用コンピュータ９０で判断する。基準値よりも面積が大きいものは、抽出された大きな欠け６７ａとし、欠けであると判断する。一方、基準値よりも面積が小さいものは、抽出された小さな欠け６７ｂとし、欠けではないと判断される。
【００８１】
前記バリや欠けの見かけ上の面積が、予め規定した許容範囲外であれば、生産を止めたり、その部分だけを後で廃棄させるように指示したり、あるいは後でその部分を再評価させる。
【００８２】
前記許容範囲は、予め行われた試験結果に基づく限度見本を用いて設定することができる。前記限度見本を前記と同じ観察条件で観察し、得られた観察画像に含まれている、限度見本となるバリや欠けの見かけ上の面積を求める。前記手順で抽出されたバリや欠けの見かけ上の面積が、許容できる面積の基準値となる。
【００８３】
したがって、実際のシート端部を観察して抽出されたバリや欠けの面積を、前記基準値と比較することで、制御用コンピュータ９０によりバリや欠けの自動判定が可能となる。
【００８４】
上述では、２方向から観察した画像の１つの画像処理に基づいて、面積を求めて判断する場合について記載したが、共通の端部を２方向から観察し、対応する部位のバリや欠けの画像を合成して、体積を演算して判断することもできる。そうすれば、小さなバリや欠けを精度良く抽出することができる。
また、シート材の幅方向の１つの辺について説明したが、反対側の辺についても、同様に本発明を適用することができる。
【００８５】
［その他バリエーション］
図１で示したように、第１の観察手段３１の観察視野３７と、第２の観察手段３２の観察視野３８とは、シート材１０の共通の端部が同時に２方向から観察できるように取り付けても良いが、視野３７，３８とがオフセットするように取り付けても良い。
【００８６】
図７は、本発明を具現化する形態の他の例を示す斜視図である。
図７で示すように、視野がオフセットされている場合は、予めずれ量を把握しておき、ずれを補正した状態で観察結果を表示するようにする。そうすれば、機器取り付け上の都合で視野がずれていても、それを意識することなく、記録した観察画像から端部の様子を観察することができる。
【００８７】
また、観察手段の被写界深度が浅く、シビアに焦点位置を調整する必要があり、シート材１０のずれやすい方向が分かっている場合は、ずれを検出する方の観察手段を搬送方向の上流側とすることが好ましい。そうすれば、上流側の位置検出情報を、直ぐに下流側の焦点位置調整に利用することができるので、シビアに焦点位置を調整したい方の観察手段の合焦状態を維持しやすくなる。例えば、シート材１０が厚み方向にずれやすい場合は、シート材１０の厚み方向の観察する第２の観察手段３２を搬送方向の上流側に配置し、第１の観察手段３１を下流側に配置する。
【００８８】
第１及び第２のカメラをどのようにレイアウトするかは、評価条件や利便性などを考慮して適宜選択すれば良い。
視野がずれていない場合は、第１及び第２の観察手段３１，３２の初期位置の調整がしやすく、リアルタイムで表示をさせたときに、位置が対応する画像を見比べることができるので端部にあるバリがどちらに伸びているのかを判断しやすい。
視野がずれている場合には、リアルタイムで得られる観察画像を見比べても共通する端部を見比べることはできないが、先ず上流側の画像を記録手段に記録させて、下流側の画像と位置が対応するように表示させれば、共通する端部を見比べることができる。
【００８９】
上述の実施形態では、搬送用ローラ２１〜２４について、制御用コントローラ９５を介して制御する例を示していたが、全てを回転駆動させても良いし、一部をフリーローラとしても良い。また、装置レイアウトの都合により数量を変更したり、幅方向の流れ止め防止を講じたりしたりしても良く、本発明を実施できる形態であれば良い。
前記流れ止め防止としては、搬送用ローラ２１〜２４の少なくとも１つを段差付ローラや、つば付ローラにしたり、ローラ間にガイドローラを設置したりすることで具現化できる。
【００９０】
上述の実施形態では、搬送部２を搬送用ローラ２１〜２４及び駆動モータ２１ｍ〜２４で構成する形態を例示したが、ローラの本数やモータの数量は適宜変更して良い。また、ローラ搬送以外の形態を採用しても良い。例えばシート材１０を把持して所定の距離を１方向に搬送させるグリップフィード機構でも良い。また、シート材１０の幅方向端部よりも内側を平面状の板材などで吸着保持又はエアブローして搬送する形態であっても良い。
また、シート材は、長尺のものを一直線に搬送させる場合に限らず、円形や外周の一部に直線部分を含む略円形のものを回転させて搬送させる形態であっても良い。この場合、前記円形又は略円形のシート材を１回転させながら、シート材端面の直径方向と厚み方向とを本発明の第１及び第２の観察手段３１，３２で観察するようにすれば、本発明を適用することができる。
【００９１】
上述に説明したように、本発明に基づいて、鮮明な観察画像を取得すること、取得した観察画像から凹凸状態の観察や測定を行うこと、その測定結果と予め設定しておいた基準とを照らし合わせて、ばり、カケ、キズ又は異物からなる欠陥の有無および大きさを評価することができる。前記観察や測定、評価などの対象となる観察対象物は、紙やフィルムシート、金属箔、金属泊の両面に活物質が塗布されたリチウムイオンバッテリー用の電極シート、電子回路用のフィルム基板、薄板化された半導体ウエハーやガラス基板などに適用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
１    観察装置
２    搬送部
３    観察部
４    観察手段位置調整機構
５    照明部
６    画像処理部
９    制御部
１０    シート材
１０ａ  幅方向端部
１０ｂ  厚み方向端部
１０ｃ  厚み方向端部
１０ｚ  背景
１１    矢印
１５    バリ
１５ａ  検出したい大きさのバリ
１５ｂ  許容される大きさのバリ
１７    欠け
１７ａ  検出したい大きさの欠け
１７ｂ  許容される大きさの欠け
２１    搬送用ローラ
２２    搬送用ローラ
２３    搬送用ローラ
２４    搬送用ローラ
２１ｍ  駆動用モータ
２２ｍ  駆動用モータ
２３ｍ  駆動用モータ
２４ｍ  駆動用モータ
３１    第１の観察手段（厚み方向）
３２    第２の観察手段（幅方向）
３３    レンズ
３４    レンズ
３５    矢印
３６    矢印
３７    厚み方向観察視野
３７ｃ  視野中心
３８    幅方向観察視野
３８ｃ  視野中心
４１    Ｙ軸ステージ（厚み方向）
４２    Ｘ軸ステージ（幅方向）
５１    第１の観察照明
５２    第２の観察照明
５３    発光部
５４    発光部
５５    光量調整ユニット
５６    光量調整ユニット
６０    画像処理後のシート材画像
６０ａ  幅方向端部とする直線
６０ｂ  厚み方向端部とする直線
６０ｃ  厚み方向端部とする直線
６０ｄ  中間位置を示す直線
６１Ａ  画像処理領域
６１Ｂ  画像処理領域
６２Ａ  画像処理領域
６２Ｂ  画像処理領域
６２Ｃ  画像処理領域
６５ａ  抽出された大きなバリ
６５ｂ  抽出された小さなバリ
６７    欠けとみなす部分
６７ａ  抽出された大きな欠け
６７ｂ  抽出された小さな欠け
９０    制御用コンピュータ
９１    情報入力手段
９２    情報出力手段
９３    発報手段
９４    情報記録手段
９５    制御ユニット
９６    画像処理ユニット
Ｄｘ    幅方向のずれ量
Ｄｙ    厚み方向のずれ量
【図１】
2012117918.tif 000003
【図２】
2012117918.tif 000004
【図３】
2012117918.tif 000005
【図７】
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【図４Ａ】
2012117918.tif 000007
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
2012117918.tif 000009
【図４Ｄ】
2012117918.tif 000010
【図５Ａ】
2012117918.tif 000011
【図５Ｂ】
2012117918.tif 000012
【図５Ｃ】
2012117918.tif 000013
【図５Ｄ】
2012117918.tif 000014
【図６Ａ】
2012117918.tif 000015
【図６Ｂ】
2012117918.tif 000016
【図６Ｃ】
2012117918.tif 000017
【図６Ｄ】
2012117918.tif 000018