(57)【要約】【課題】グリーンシートからキャリアフィルムを容易に剥離することができるキャリアフィルム付グリーンシートを提供する。【解決手段】グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部のうち、キャリアフィルム２３を貼付ける貼付部分の一部分に、キャリアフィルム２３の粘着剤を弾く性質を有する剥離開始パターン２２を形成する。たとえばグリーンシート２１およびキャリアフィルム２３が矩形状である場合、グリーンシート２１の四隅のうちの一隅に、剥離開始パターン２２を形成する。次いで、グリーンシート２１の貼付部分に、粘着剤を介してキャリアフィルム２３を貼付ける。グリーンシート２１からキャリアフィルム２３を剥離するときには、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が設けられた部分に貼付けられたキャリアフィルム２３から剥離を開始する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックス材料をシート状に成形して成るグリーンシートと、
粘着剤を有し、前記粘着剤を介して、前記グリーンシートの厚み方向一方側の表面部に貼付けられるキャリアフィルムと、
前記グリーンシートの前記キャリアフィルムが貼付けられる部分の一部分に設けられ、前記キャリアフィルムの粘着剤を弾く性質を有する剥離開始パターンとを備えることを特徴とするキャリアフィルム付グリーンシート。
【請求項２】
前記剥離開始パターンは、前記粘着剤を弾く性質を有する材料が、予め定めるパターン形成部の全体にわたって塗布されて成るべたパターンであることを特徴とする請求項１に記載のキャリアフィルム付グリーンシート。
【請求項３】
前記剥離開始パターンは、前記粘着剤を弾く性質を有する材料が、予め定めるパターン形成部に格子状に塗布されて成る格子状パターンであることを特徴とする請求項１に記載のキャリアフィルム付グリーンシート。
【請求項４】
前記剥離開始パターンは、前記粘着剤を弾く性質を有する材料が、予め定めるパターン形成部にドット状に塗布されて成るドット状パターンであることを特徴とする請求項１に記載のキャリアフィルム付グリーンシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアフィルム付グリーンシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックス基板は、キャリアフィルム上にセラミックス材料をシート状に成形して形成されたグリーンシートに、印刷等によって配線を形成した後、キャリアフィルムを剥離した数枚のグリーンシートを熱圧着および焼成して製造される。グリーンシートからキャリアフィルムを剥離するためには、剥離のきっかけを作る必要がある。そこで従来の技術では、矩形状のキャリアフィルムの四隅のうち、任意の一隅から剥離を開始する（たとえば、特許文献１，２参照）。また、キャリアフィルム上のグリーンシートの四隅のうち、少なくとも一隅に欠損部を設けておき、欠損部から露出するキャリアフィルムから剥離を開始する方法がある（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２１６５２９号公報
【特許文献２】特開２０００−２７１９２２号公報
【特許文献３】特開２００２−１７８３２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
グリーンシートは、ドクターブレード法によって、スラリーをキャリアフィルム上に引伸ばして形成される。グリーンシートの形成後、寸法を安定させるために、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離し、エージングした上で、粘着性を有する別のキャリアフィルムを貼付け、加工を開始する場合がある。この場合、加工後に、粘着性を有するキャリアフィルムを剥離する工程が設けられる。
【０００５】
粘着性を有するキャリアフィルムを剥離するためには、キャリアフィルムの四隅のうち、剥離を開始する任意の一隅の側面から剥離を開始する必要がある。自動機でキャリアフィルムの剥離を行う場合には、剥離を開始する隅の側面近傍にキャリアフィルム掴み機構を位置させることが必要であり、高精度な位置決め機構が必要となる。
【０００６】
本発明の目的は、グリーンシートからキャリアフィルムを容易に剥離することができるキャリアフィルム付グリーンシートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のキャリアフィルム付グリーンシートは、セラミックス材料をシート状に成形して成るグリーンシートと、粘着剤を有し、前記粘着剤を介して、前記グリーンシートの厚み方向一方側の表面部に貼付けられるキャリアフィルムと、前記グリーンシートの前記キャリアフィルムが貼付けられる部分の一部分に設けられ、前記キャリアフィルムの粘着剤を弾く性質を有する剥離開始パターンとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のキャリアフィルム付グリーンシートによれば、グリーンシートのキャリアフィルムが貼付けられる部分の一部分には、キャリアフィルムの粘着剤を弾く性質を有する剥離開始パターンが設けられる。グリーンシートの剥離開始パターンが設けられた部分では、キャリアフィルムがグリーンシートに粘着しない、または粘着しにくいので、他の部分に比べて、キャリアフィルムとグリーンシートとの粘着力が小さい。したがって、グリーンシートの剥離開始パターンが設けられた部分に貼付けられたキャリアフィルムから剥離を開始することによって、グリーンシートからのキャリアフィルムの剥離を容易に開始することができる。このようなキャリアフィルム付グリーンシートを用いることによって、たとえば自動機でキャリアフィルムを剥離する場合、キャリアフィルムを掴む機構を、剥離を開始する位置に高精度に位置決めする必要がなくなるので、高精度の位置決め機構を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０の構成を示す側面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０において、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン２２を示す平面図である。
【図３】剥離装置の他の例である剥離装置２の構成を示す側面図である。
【図４】剥離装置のさらに他の例である剥離装置３の構成を示す側面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａの構成を示す側面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａにおいて、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン３１を示す平面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂの構成を示す側面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂにおいて、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン３２を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０の構成を示す側面図である。図１では、キャリアフィルム付グリーンシート２０のグリーンシート２１からのキャリアフィルム２３の剥離を実行する剥離装置１の構成を併せて示す。図１では、理解を容易にするために、剥離装置１を簡略化して示す。図２は、本発明の第１の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０において、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン２２を示す平面図である。図２では、理解を容易にするために、キャリアフィルム付グリーンシート２０のうち、グリーンシート２１および剥離開始パターン２２を記載し、キャリアフィルム２３については記載を省略する。
【００１１】
キャリアフィルム付グリーンシート２０は、グリーンシート２１と、剥離開始パターン２２と、キャリアフィルム２３とを備えて構成される。図１では、理解を容易にするために、キャリアフィルム２３に右下がりの斜線のハッチングを付して示し、剥離開始パターン２２に左下がりの斜線のハッチングを付して示す。グリーンシート２１は、セラミックス材料をシート状に成形して成る。キャリアフィルム２３は、粘着剤を有し、粘着剤を介して、グリーンシートの厚み方向一方側の表面部に貼付けられる。キャリアフィルム２３の基体としては、たとえばＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate）などの樹脂から成るフィルム（以下「樹脂製フィルム」という場合がある）が用いられる。キャリアフィルム２３は、樹脂製フィルムなどの基体の厚み方向一方側の表面部に粘着剤を塗布して形成される。
【００１２】
剥離開始パターン２２は、キャリアフィルム２３の粘着剤を弾く性質を有する。剥離開始パターン２２は、グリーンシート２１のキャリアフィルム２３が貼付けられる部分の一部分に設けられる。本実施の形態では、グリーンシート２１およびキャリアフィルム２３は矩形状であり、剥離開始パターン２２は、矩形状のグリーンシート２１の四隅のうちの一隅に設けられる。この剥離開始パターン２２が設けられた隅に貼付けられたキャリアフィルム２３の隅を、以下では「剥離開始隅」という場合がある。
【００１３】
剥離開始パターン２２は、キャリアフィルム２３の粘着剤を弾く性質を有する材料（以下「撥粘着剤材料」という場合がある）を塗布することによって形成される。撥粘着剤材料は、たとえば印刷によって塗布される。
【００１４】
本実施の形態では、剥離開始パターン２２は、撥粘着剤材料が、予め定めるパターン形成部の全体にわたって塗布されて成るべたパターンである。剥離開始パターン２２は、矩形状、より詳細には正方形状である。剥離開始パターン２２は、各辺が、グリーンシート２１の各辺に平行になるように設けられる。
【００１５】
グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部には、不図示の配線パターンが設けられている。本実施の形態では、剥離開始パターン２２は、配線パターンと同じ工程で形成される。したがって撥粘着剤材料としては、導電性を有し、かつ粘着剤を弾く性質を有する配線材料（以下「撥粘着剤配線材料」という場合がある）が用いられる。
【００１６】
キャリアフィルム付グリーンシート２０は、以下のようにして製造される。まず、グリーンシート２１およびキャリアフィルム２３を準備する。グリーンシート２１は、たとえば以下のようにして製造される。まず、キャリアフィルム付グリーンシート２０のキャリアフィルム２３とは別のキャリアフィルム上に、ドクターブレード法によって、セラミックス材料のスラリーを引伸ばして成形する。次いで、寸法を安定させるために、成形したグリーンシートをキャリアフィルムから剥離し、エージングして溶剤を蒸発させる。このようにしてグリーンシート２１が得られる。キャリアフィルム２３は、たとえばＰＥＴ製フィルムなどの樹脂製フィルムの厚み方向一方側の表面部に、粘着剤を塗布することによって形成される。
【００１７】
次いで、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部のうち、キャリアフィルム２３を貼付ける貼付部分の一部分に、たとえば印刷によって撥粘着剤材料を塗布することによって、剥離開始パターン２２を形成する。本実施の形態では、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部の予め定める部分、具体的には、配線パターンを形成する部分および剥離開始パターン２２を形成する部分に、撥粘着剤配線材料を印刷などで塗布することによって、配線パターンおよび剥離開始パターン２２を形成する。
【００１８】
このようにして剥離開始パターン２２が形成されたグリーンシート２１の貼付部分に、粘着剤を介してキャリアフィルム２３を貼付ける。これによって、図１に示すキャリアフィルム付グリーンシート２０が得られる。前述の貼付部分は、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部のうち、キャリアフィルム２３を貼付ける部分として予め定められる部分である。本実施の形態では、キャリアフィルム２３は、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部の全体にわたって貼付けられる。したがって貼付部分は、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部の全体となる。
【００１９】
剥離装置１は、テーブル１１およびキャリアフィルム掴み機構１２を備えて構成される。図示は省略するが、テーブル１１は、キャリアフィルム付グリーンシート２０を固定するグリーンシート固定手段を備える。本実施の形態では、グリーンシート固定手段は、真空吸着手段である。真空吸着手段の真空圧は、たとえば−７８ｋＰａである。グリーンシート固定手段は、静電吸着手段であってもよい。グリーンシート固定手段として、真空吸着手段または静電吸着手段などの吸着手段を用いることによって、グリーンシート２１に損傷を与えることなく、キャリアフィルム付グリーンシート２０を固定することができる。
【００２０】
キャリアフィルム掴み機構１２は、キャリアフィルム付グリーンシート２０のキャリアフィルム２３を掴むことができるように構成される。本実施の形態では、キャリアフィルム掴み機構１２は、移動機構１３および吸着パッド１４を備える。吸着パッド１４は、真空吸着手段を構成する。真空吸着手段は、キャリアフィルム２３を掴む掴み手段として機能する。キャリアフィルム掴み機構１２は、吸着パッド１４による真空吸着によって、キャリアフィルム２３を掴むことができる。吸着パッド１４による真空吸着の真空圧は、たとえば−９３ｋＰａである。
【００２１】
移動機構１３は、吸着パッド１４を移動する移動手段である。移動機構１３は、吸着パッド１４を、テーブル１１の厚み方向に沿って、テーブル１１に近接またはテーブル１１から離反するように、またテーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部から斜め方向に離反するように移動可能に構成される。具体的には、移動機構１３は、吸着パッド１４を、図１の紙面に向かって上下方向および斜め上方向に移動可能に構成される。
【００２２】
以上のように構成される剥離装置１を用いて、キャリアフィルム付グリーンシート２０のグリーンシート２１からのキャリアフィルム２３の剥離が、以下のようにして実行される。剥離開始パターン２２としてベタパターンを印刷した面にキャリアフィルム２３を貼り付けた面側を上面として、テーブル１１上に真空吸着手段または静電吸着手段などの吸着手段によって、グリーンシート２１を固定する。そして、キャリアフィルム掴み機構１２によって、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が設けられた部分に貼付けられたキャリアフィルム２３、すなわちキャリアフィルム２３の剥離開始隅を掴む。その後、キャリアフィルム掴み機構１２を移動手段１３によって、テーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部から斜めに離隔する方向、具体的には図１の紙面に向かって斜め上方向に移動させることによって、グリーンシート２１とキャリアフィルム２３との剥離を開始させる。
【００２３】
グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が設けられた部分では、剥離開始パターン２２によって、キャリアフィルム２３がグリーンシート２１に粘着しない、または粘着しにくいので、他の部分に比べて、キャリアフィルム２３とグリーンシート２１との粘着力が小さい。つまり、キャリアフィルム２３の剥離開始隅は、グリーンシート２１に粘着していない、または粘着しにくい状態となっているので、他の部分に比べて、グリーンシート２１との粘着力が小さくなっている。
【００２４】
したがって、容易にキャリアフィルム２３の剥離のきっかけを作ることができる。つまり、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が設けられた部分に貼付けられたキャリアフィルム２３から剥離を開始することによって、グリーンシート２１からのキャリアフィルム２３の剥離を容易に開始することができる。その結果、キャリアフィルム掴み機構１２を、剥離を開始する位置に高精度に位置決めする必要がなくなる。具体的には、キャリアフィルム掴み機構１２を、キャリアフィルム２３の剥離開始隅の側面近傍に位置させる必要がなくなる。これによって、キャリアフィルム掴み機構１２を高精度で位置決めする機構は不要となる。つまり、剥離装置１において、高精度の位置決め機構を不要とすることができる。
【００２５】
また本実施の形態では、剥離開始パターン２２は、撥粘着剤材料が、パターン形成部の全体にわたって塗布されて成るべたパターンである。このように剥離開始パターン２２をべたパターンにすることによって、たとえば撥粘着剤材料をパターン形成部の一部分に塗布して成る剥離開始パターンを用いる場合に比べて、剥離開始パターン２２が形成された部分におけるキャリアフィルム２３の粘着剤とグリーンシート２１との粘着を、より確実に防ぐことができる。したがって、より容易に、キャリアフィルム２３の剥離を開始することができる。
【００２６】
また本実施の形態では、撥粘着剤材料として、撥粘着剤配線材料を用いるので、剥離開始パターン２２を、製品の配線パターンと同時に形成することができる。つまり、本実施の形態では、剥離開始パターン２２は、配線パターンと同じ工程で形成することができる。このように剥離開始パターン２２を配線パターンと同じ工程で形成することによって、工程を追加することなく、剥離開始パターン２２を形成することができる。
【００２７】
本実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０および剥離装置１における各種の条件は、たとえば以下のように選ばれる。
【００２８】
（ａ）キャリアフィルム２３
形状：正方形状
サイズ：１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．０３８ｍｍ（厚み）
粘着剤厚み：０．００５ｍｍ
材質：ＰＥＴ製フィルム
（ｂ）グリーンシート２１
形状：正方形状
サイズ：１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．１ｍｍ（厚み）
電極：バイアホール充填、配線パターン、保護用レジスト印刷済み
（ｃ）キャリアフィルム掴み機構１２
掴み手段：吸着パッド１４を備える真空吸着手段
真空圧：−９３ｋＰａ
（ｄ）テーブル１１
グリーンシート固定手段：真空吸着手段
真空圧：−７８ｋＰａ
【００２９】
セラミックス基板は、以下のようにして製造される。まず、前述のようにして、複数枚のキャリアフィルム付グリーンシート２０を製造する。次いで、製造された各キャリアフィルム付グリーンシート２０に、予め定める加工を施す。予め定める加工としては、たとえば、グリーンシート２１にパンチまたはドリルなどによって、ビアホールとなる貫通孔を形成する加工、形成した貫通孔に導電性ペーストを充填する加工が挙げられる。このとき、貫通孔はキャリアフィルム２３にも形成され、導電性ペーストが充填される。
【００３０】
次いで、加工が施された各キャリアフィルム付グリーンシート２０のグリーンシート２１から、キャリアフィルム２３を剥離する。このときには、前述のように、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が形成された部分に貼付けられたキャリアフィルム２３から剥離を開始する。次いで、キャリアフィルム２３が剥離された複数枚のグリーンシート２１を厚み方向に積層して、圧着たとえば熱圧着し、焼成する。これによって、セラミックス基板が得られる。
【００３１】
前述のように、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が形成された部分では、キャリアフィルム２３がグリーンシート２１に粘着しない、または粘着しにくいので、他の部分に比べて、キャリアフィルム２３とグリーンシート２１との粘着力は小さい。したがって、グリーンシート２１の剥離開始パターン２２が形成された部分に貼付けられたキャリアフィルム２３から剥離を開始することによって、グリーンシート２１からのキャリアフィルム２３の剥離を容易に開始することができる。これによって、セラミックス基板を容易に製造することができる。
【００３２】
図３は、剥離装置の他の例である剥離装置２の構成を示す側面図である。図４は、剥離装置のさらに他の例である剥離装置３の構成を示す側面図である。
【００３３】
前述の図１に示す剥離装置１では、キャリアフィルム掴み機構１２は、掴み手段として、吸着パッド１４を備える真空吸着手段を備え、真空吸着手段によってキャリアフィルム２３を掴むように構成されるが、掴み手段は、真空吸着手段に限定されない。たとえば図３に示す剥離装置２のキャリアフィルム掴み機構１２Ａのように、粘着ローラ１５を掴み手段として用いてもよいし、図４に示す剥離装置３のキャリアフィルム掴み機構１２Ｂのように、粘着テープ１６を掴み手段として用いてもよい。
【００３４】
図３に示す粘着ローラ１５は、円柱状であり、外周面部が粘着性を有するように構成される。キャリアフィルム掴み機構１２Ａは、粘着ローラ１５をキャリアフィルム２３に粘着させることによって、キャリアフィルム２３を掴む。移動機構１３は、粘着ローラ１５を、テーブル１１の厚み方向に沿って、テーブル１１に近接またはテーブル１１から離反するように、またテーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部から斜め方向に離反するように移動可能に構成される。具体的には、移動機構１３は、粘着ローラ１５を、図３の紙面に向かって上下方向および斜め上方向に移動可能に構成される。粘着ローラ１５をキャリアフィルム２３に貼付けた状態で、粘着ローラ１５を移動機構１３で斜め上方向に移動させることによって、キャリアフィルム２３の剥離を開始することができる。キャリアフィルム掴み機構１２Ａは、粘着ローラ１５をキャリアフィルム２３に貼り付けた状態で回転させるとともに、テーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部に沿って移動機構１３で移動させることによって、キャリアフィルム２３を巻取ってグリーンシート２１から剥離するように構成されてもよい。
【００３５】
図４に示す粘着テープ１６は、外周面部が粘着性を有するように構成される。キャリアフィルム掴み機構１２Ｂは、貼付ローラ１７によって粘着テープ１６をキャリアフィルム２３に貼付けることによって、キャリアフィルム２３を掴む。移動機構１３は、貼付ローラ１７を、テーブル１１の厚み方向に沿って、テーブル１１に近接またはテーブル１１から離反するように、またテーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部から斜め方向に離反するように移動可能に構成される。具体的には、移動機構１３は、貼付ローラ１７を、図４の紙面に向かって上下方向および斜め上方向に移動可能に構成される。貼付ローラ１７で粘着テープ１６をキャリアフィルム２３に貼付けた状態で、貼付ローラ１７を移動機構１３で斜め上方向に移動させることによって、キャリアフィルム２３の剥離を開始することができる。キャリアフィルム掴み機構１２Ｂは、貼付ローラ１７で粘着テープ１６をキャリアフィルム２３に貼り付けた状態で貼付ローラ１７を回転させるとともに、貼付ローラ１７をテーブル１１のキャリアフィルム付グリーンシート２０が載置される表面部に沿って移動機構１３で移動させることによって、キャリアフィルム２３を巻取ってグリーンシート２１から剥離するように構成されてもよい。
【００３６】
＜第２の実施の形態＞
図５は、本発明の第２の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａの構成を示す側面図である。図５では、前述の図１に示す剥離装置１を併せて示す。図６は、本発明の第２の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａにおいて、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン３１を示す平面図である。本実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａにおいて、剥離開始パターン３１を除くその他の構成は、第１の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０と同様であるので、対応する部分には同一の参照符を付して共通する説明を省略する。
【００３７】
本実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ａは、剥離開始パターン３１として、格子状パターンを備える。剥離開始パターン３１は、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部のうち、剥離開始パターンを形成する部分として予め定めるパターン形成部３０に、撥粘着剤材料が格子状に塗布されて成る。図６では、撥粘着剤材料が塗布された部分を太線で示している。本実施の形態におけるパターン形成部３０は、前述の第１の実施の形態において、図２に示す剥離開始パターン２２であるべたパターンが形成される部分に相当する。
【００３８】
本実施の形態のように剥離開始パターン３１を格子状パターンにすることによって、剥離開始パターン３１が形成された部分において、キャリアフィルム２３の粘着剤がグリーンシート２１に粘着することを防ぐとともに、キャリアフィルム２３の粘着剤と剥離開始パターン３１との粘着面積を小さくすることができる。したがって、キャリアフィルム掴み機構１２を高精度で位置決めすることなく、容易にキャリアフィルム２３の剥離を開始することができる。
【００３９】
＜第３の実施の形態＞
図７は、本発明の第３の実施の形態であるキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂの構成を示す側面図である。図７では、前述の図１に示す剥離装置１を併せて示す。図８は、本発明の第３の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂにおいて、グリーンシート２１上に設けられる剥離開始パターン３２を示す平面図である。本実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂにおいて、剥離開始パターン３２を除くその他の構成は、第１の実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０と同様であるので、対応する部分には同一の参照符を付して共通する説明を省略する。
【００４０】
本実施の形態のキャリアフィルム付グリーンシート２０Ｂは、剥離開始パターン３２として、ドット状パターンを備える。剥離開始パターン３２は、グリーンシート２１の厚み方向一方側の表面部のうち、剥離開始パターンを形成する部分として予め定めるパターン形成部３０に、撥粘着剤材料がドット状に塗布されて成る。図８では、撥粘着剤材料が塗布された部分をドット（点）で示している。本実施の形態におけるパターン形成部３０は、前述の第１の実施の形態において、図２に示す剥離開始パターン２２であるべたパターンが形成される部分に相当する。
【００４１】
本実施の形態のように剥離開始パターン３２をドット状パターンにすることによって、剥離開始パターン３２が形成された部分において、キャリアフィルム２３の粘着剤がグリーンシート２１に粘着することを防ぐとともに、キャリアフィルム２３の粘着剤と剥離開始パターン３２との粘着面積を小さくすることができる。したがって、キャリアフィルム掴み機構１２を高精度で位置決めすることなく、容易にキャリアフィルム２３の剥離を開始することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１，２，３  剥離装置、１１  テーブル、１２，１２Ａ，１２Ｂ  キャリアフィルム掴み機構、１３  移動機構、１４  吸着パッド、１５  粘着ローラ、１６  粘着テープ、１７  貼付ローラ、２０，２０Ａ，２０Ｂ  キャリアフィルム付グリーンシート、２１  グリーンシート、２２，３１，３２  剥離開始パターン、２３  キャリアフィルム、３０  パターン形成部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2012006226.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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