(57)【要約】【課題】既存のパフォーマンスボードに対しても効果が得られる落下防止機構を備えたテストヘッドを提供する。【解決手段】補強枠を備えたパフォーマンスボードを装着するテストヘッドであって、パフォーマンスボード装着面側の、パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺の対角位置付近に対応して配置され、補強枠を保持するロック状態／補強枠を保持しないアンロック状態を手動で切り替える２つのパフォーマンスボード落下防止機構を備えたテストヘッド。パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺は、パフォーマンスボードの長手方向に対応する辺とすることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
補強枠を備えたパフォーマンスボードを装着するテストヘッドであって、
前記パフォーマンスボード装着面側の、前記パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺の対角位置付近に対応して配置され、前記補強枠を保持するロック状態／前記補強枠を保持しないアンロック状態を手動で切り替える２つのパフォーマンスボード落下防止機構を備えたことを特徴とするテストヘッド。
【請求項２】
前記パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺は、前記パフォーマンスボードの長手方向に対応する辺であることを特徴とする請求項１に記載のテストヘッド。
【請求項３】
前記パフォーマンスボード落下防止機構は、前記テストヘッドに固定されるベース部と、ロック状態において前記補強枠と一部分が重なるフック部と、ロック状態を維持させるストッパー部とを備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のテストヘッド。
【請求項４】
前記フック部は、回転移動あるいは直線移動することにより、前記補強枠と一部分が重なることを特徴とする請求項３に記載のテストヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置のテストヘッドに装着するパフォーマンスボードの落下防止機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置に備えられたテストヘッドは、パフォーマンスボードを介して被試験対象（ＤＵＴ：Device under test）にデジタル信号やアナログ信号を入力し、ＤＵＴが応答するデジタル信号やアナログ信号により、ＤＵＴの良否の判定を行なう
【０００３】
図９は、半導体試験装置におけるテストヘッドとプローバを模式的に示す図である。本図において、テストヘッド３１は、プローバ３２に対して、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の状態となるように旋回するようになっている。パフォーマンスボード１０は、テストヘッド３１が（Ａ）の状態においてテストヘッド３１に装着され、テストヘッド３１が（Ｃ）の状態でＤＵＴの試験が行なわれる。テストヘッド３１に装着されるパフォーマンスボード１０は、図１０に示すように、パフォーマンスボード本体１１に、補強枠１２が複数のネジにより取り付けられ、一体として構成されている。
【０００４】
図１１（ａ）は、（Ａ）の状態において、パフォーマンスボード１０をテストヘッド３１に装着する前の状態を示し、図１１（ｂ）は、パフォーマンスボード１０をテストヘッド３１に装着した状態を示している。
【０００５】
９０度旋回した（Ｂ）、１８０度旋回した（Ｃ）の状態でもパフォーマンスボード１０が落下しないように、テストヘッド３１には、電気制御によりエアシリンダを駆動することで、パフォーマンスボード１０を固定するロック機構が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２７６４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
パフォーマンスボード１０は、電気制御によるロック機構でテストヘッド３１に固定されるが、１８０度の状態まで旋回されるため、万一の場合でもパフォーマンスボード１０がテストヘッド３１から落下しないような安全対策を施しておくことが望ましい。この場合、既存のパフォーマンスボード１０に対しても効果が得られるように、パフォーマンスボード１０自体の形状は変更させないことが望ましい。
【０００８】
そこで、本発明は、既存のパフォーマンスボードに対しても効果が得られる落下防止機構を備えたテストヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明のテストヘッドは、補強枠を備えたパフォーマンスボードを装着するテストヘッドであって、前記パフォーマンスボード装着面側の、前記パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺の対角位置付近に対応して配置され、前記補強枠を保持するロック状態／前記補強枠を保持しないアンロック状態を手動で切り替える２つのパフォーマンスボード落下防止機構を備えたことを特徴とする。
【００１０】
ここで、前記パフォーマンスボードの補強枠の対向する辺は、前記パフォーマンスボードの長手方向に対応する辺とすることができる。
【００１１】
また、前記パフォーマンスボード落下防止機構は、前記テストヘッドに固定されるベース部と、ロック状態において前記補強枠と一部分が重なるフック部と、ロック状態を維持させるストッパー部とを備えることができる。このとき、前記フック部は、回転移動あるいは直線移動することにより、前記補強枠と一部分が重なるようにすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、既存のパフォーマンスボードに対しても効果が得られるテストヘッドからの落下防止機構が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係る落下防止機構で保持されたパフォーマンスボードの様子を示す図である。
【図２】落下防止機構の形状を示す図である。
【図３】落下防止機構の分解図である。
【図４】落下防止機構の三面図および断面図である。
【図５】落下防止機構のロック動作を説明する図である。
【図６】落下防止機構のアンロック動作を説明する図である。
【図７】他の落下防止機構の形状を示す図である。
【図８】他の落下防止機構のロック動作を説明する図である。
【図９】半導体試験装置におけるテストヘッドとプローバを模式的に示す図である。
【図１０】パフォーマンスボードの構造を説明する図である。
【図１１】パフォーマンスボードをテストヘッドに装着する前の状態と、パフォーマンスボードをテストヘッドに装着した状態とを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、テストヘッドに装着され、本実施形態に係る落下防止機構で保持されたパフォーマンスボードの様子を示す図である。本図に示すように、落下防止機構４０は、テストヘッド３１のパフォーマンスボード１０装着面側に２つ設けられており、パフォーマンスボード１０の補強枠１２の対向する辺の対角位置付近の２箇所を保持できる場所に配置されている。
【００１５】
落下防止機構４０が保持する補強枠１２の対向する辺は、本図に示すように長手方向の２辺が望ましい。これは、一般に、パフォーマンスボード１０の種類により長手方向の長さは可変であるのに対し、短手方向の長さは一定であり、落下防止機構４０を長手方向の２辺に沿って設けることにより、確実にパフォーマンスボード１０を保持することができるからである。
【００１６】
また、落下防止機構４０は、パフォーマンスボード本体１１ではなく、補強枠１２を保持するようにしているため、従来のパフォーマンスボード１０の設計変更を行なうことなく、パフォーマンスボード１０を保持することができる。さらに、補強枠１２によってパフォーマンスボード１０は剛性が大きく、撓まない。このため、対角位置付近の２箇所の保持で十分落下防止を実現することができる。もちろん、落下防止機構４０を２箇所以上に配置するようにしてもよい。
【００１７】
落下防止機構４０は、例えば、図２に示すような形状とすることができる。なお、図３には落下防止機構４０の分解図を示し、図４には、落下防止機構４０の三面図および断面図を示している。
【００１８】
本例では、落下防止機構４０は、テストヘッド３１に固定するベース部４１と、パフォーマンスボード１０の補強枠１２を押さえるフック部４２と、フック部４２をロックするストッパー部４３とを備えている。ベース部４１は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて構成され、フック部４２、ストッパー部４３は、例えば、ステンレス等の金属を用いて構成される。ベース部４１は、ネジ４８、ネジ４９（図４参照）によってテストヘッド３１に取り付けられる。
【００１９】
フック部４２は、ネジ４４によってベース部４１に取り付けられており、この取り付け部分を軸に回転できるようになっている。回転範囲は、フック部４２に形成された円弧状の貫通穴と、貫通穴を通してベース部４１に取り付けられたネジ４５によって規制される。また、フック部４２のストッパー部４３側には、ストッパー部４３とかみ合うための爪部が形成されている。
【００２０】
ストッパー部４３は、ネジ４６によりベース部４１に取り付けられており、ネジ４６を軸としてわずかに回転するようになっている。ストッパー部４３の一端はアンロック時にユーザが押す操作部分４３ａとなっており、他端はフック部４２の爪部とかみ合うロック部分４３ｂとなっている。操作部分４３ａとベース部４１との間には、操作部分４３ａを押し返すスプリング４７が備えられている。
【００２１】
図５を参照して、落下防止機構４０のロック動作を説明する。図５（ａ）に示すアンロック状態から、図５（ｂ）の矢印に示すように、ネジ４４を軸として手動でフック部４２を回転させると、図５（ｃ）に示すようにストッパー部４３のロック部分４３ｂとフック部４２の爪部とがかみ合ってフック部４２が固定される。ストッパー部４３は、スプリング４７により、図５（ｃ）の状態に保たれる。したがって、フック部４２が自然に図５（ａ）の状態に戻ることはない。このときにフック部４２のベース部４１からはみ出た部分が、パフォーマンスボード１０の補強枠１２と重なることで補強枠１２を保持し、ロック状態となる。
【００２２】
次に、図６を参照して、落下防止機構４０のアンロック動作を説明する。図６（ａ）に示すロック状態から、図６（ｂ）に示すように、操作部分４３ａを矢印１方向に押しつけながら、フック部４２を矢印２方向に押し戻すことにより、ロック部分４３ｂとフック部４２の爪部とのかみ合わせ状態が解除され、図６（ｃ）に示すアンロック状態に戻る。
【００２３】
このように、落下防止機構４０は、ロック動作、アンロック動作とも手動で行なうようにしており、電気制御で行なわれるエアシリンダによるロック動作とあえて連動させないようにしている。これにより、万一、エアシリンダの動作に不具合が生じた場合等であっても、パフォーマンスボード１０の落下を防ぐことができる。
【００２４】
また、落下防止機構は、図７（ａ）に示すような形状としてもよい。本例において落下防止機構５０は、テストヘッド３１に固定するベース部５１と、パフォーマンスボード１０の補強枠１２を押さえるフック部５２と、フック部５２をロックするストッパー部５３とを備えている。ベース部５１は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて構成され、フック部５２、ストッパー部５３は、例えば、ステンレス等の金属を用いて構成される。なお、図７（ｂ）は、落下防止機構５０の分解図を示している。
【００２５】
上述の落下防止機構４０との相違は、落下防止機構４０はフック部４２が回転移動するのに対して、落下防止機構５０はフック部５２が直線移動する点である。すなわち、フック部５２には、直線上の貫通穴が形成されており、この貫通穴を通してベース部５１に取り付けられた２つのネジ５４によって規制されて直線移動するようになっている。落下防止機構５０は、フック部５２が直線移動を行なうため、部品全体のサイズを小さくすることができ、部品配置に制限がある場所にも使用することができる。
【００２６】
図８は、落下防止機構５０のロック動作を説明する図である。図８（ａ）に示すアンロック状態から、図８（ａ）の矢印に示すように手動でフック部５２を直線移動させると、図８（ｃ）に示すようにストッパー部５３のロック部分５３ｂとフック部５２の爪部とがかみ合ってフック部５２が固定される。ストッパー部５３は、スプリング５７により、図８（ｃ）の状態に保たれる。したがって、フック部５２が自然に図８（ａ）の状態に戻ることはない。このときにフック部５２のベース部５１からはみ出た部分が、パフォーマンスボード１０の補強枠１２と重なることで補強枠１２を保持し、ロック状態となる。
【００２７】
アンロック動作は、落下防止機構４０と同様に、ロック状態からストッパー部５３を押しつけながらフック部５２を押し戻すことにより、ロック部分５３ｂとフック部５２の爪部とのかみ合わせ状態が解除され、図８（ａ）に示すアンロック状態に戻る。
【００２８】
以上説明したように、本実施形態の落下防止機構４０あるいは落下防止機構５０によれば、手動によるロック状態でパフォーマンスボードの補強枠１２を保持するようにしているため、万一電気的な不具合等が生じた場合であっても、既存のパフォーマンスボードに対しても落下防止の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００２９】
１０…パフォーマンスボード、１１…パフォーマンスボード本体、１２…補強枠、３１…テストヘッド、３２…プローバ、４０…落下防止機構、４１…ベース部、４２…フック部、４３…ストッパー部、４３ａ…操作部分、４３ｂ…ロック部分、４４…ネジ、４５…ネジ、４６…ネジ、４７…スプリング、４８…ネジ、４９…ネジ、５０…落下防止機構、５１…ベース部、５２…フック部、５３…ストッパー部、５３ｂ…ロック部分、５４…ネジ、５７…スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2012150030.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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