(57)【要約】【課題】ブレーク溝で切断した後、ピックアップテーブルの上面に移動され、大判の姿をなしている（大判状態で縦横に並ぶ）セラミック配線基板個片群から、基板個片ごとピックアップしてトレー等、別の位置に移載（移動）する場合に好適な、セラミック配線基板個片の移載方法を得る。【解決手段】テーブル２１の上面を、伸縮するシート３１で覆っておき、このシート３１の上面に、切断後、大判における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群１０を載置し、各基板個片１１を吸着してピックアップする際、隣接する縦横の各基板個片１１相互における切断面間に間隔Ｓができるように、シート３１をテーブル２１の上面に沿って引き伸ばしておく。シート３１の上面に載置したとき、間隔がなかったとしても、この引き伸ばしにより、基板個片相１１互間に間隔Ｓができるから、引っかかりのない円滑なピックアップができる。【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の配線基板部位がブレーク溝を介して縦横に連なる多数個取りセラミック基板を、該多数個取りセラミック基板における前記配線基板部位の配列状態のままで、前記ブレーク溝に沿って各セラミック配線基板個片に切断し、
その切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群をピックアップ用のテーブルに載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップし、別の位置に移動して載置するセラミック配線基板個片の移載方法において、
前記テーブルの上面を、伸縮するシートで覆っておき、このシートの上面に、切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群を載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップする際、
隣接する縦横の各セラミック配線基板個片相互における切断面間に間隔ができ、或いはその間隔が拡がるように、前記シートを前記テーブルの上面に沿って引き伸ばしておくことを特徴とするセラミック配線基板個片の移載方法。
【請求項２】
前記シートを前記テーブルの上面に沿って、平面視、放射状方向に引き伸ばすことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板個片の移載方法。
【請求項３】
複数の配線基板部位がブレーク溝を介して縦横に連なる多数個取りセラミック基板を、該多数個取りセラミック基板における前記配線基板部位の配列状態のままで、前記ブレーク溝に沿って各セラミック配線基板個片に切断し、
その切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群をピックアップ用のテーブルに載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップし、別の位置に移動して載置するのに使用されるセラミック配線基板個片の移載装置であって、
前記テーブルと、
そのテーブルの上面を覆う伸縮自在のシートと、
そのシートの上面に載置された切断後の多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群において、隣接する縦横の各セラミック配線基板個片相互における切断面間に間隔ができ、或いはその間隔が拡がるように、前記シートを前記テーブル上面に沿って引き伸ばすシート引き伸ばし装置と、
このテーブルの上面に載置された各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップするピックアップ装置と、
ピックアップしたセラミック配線基板個片を別の位置に移動し、載置するためのピックアップ装置の移動装置と、を含むことを特徴とするセラミック配線基板個片の移載装置。
【請求項４】
前記テーブルが、平面視、円形をなすと共に、その上面と外周面とのコーナーに、凸となす丸み部が周方向に沿って付けられている一方、該テーブルは、ベース上に立設されたガイド軸部材の上端に固定されており、
該テーブルと前記ベースとの間であって、該ガイド軸部材にはこれにガイドされて昇降可能の昇降盤が、前記ベース又は前記テーブルに設けられたシリンダ装置の駆動により昇降可能に設けられており、
前記シートが、前記テーブルの丸み部において周方向に沿って下向きに延びるスカート部を有するように保持され、前記昇降盤が下降された際に、該スカート部が下向きに引張られるように、該スカート部が該昇降盤に固定されていることを特徴とする請求項３に記載のセラミック配線基板個片の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を収容するパッケージなどに使用されるセラミック配線基板の製造過程（例えば最終工程）で、焼成済の多数個取りのセラミック基板を切断、分割し、切断前の配線基板部位の配列状態（碁盤目状）のままの多数のセラミック配線基板（個片）群とし、この基板個片群からセラミック配線基板の各個片（各配線基板）を個別にピックアップして、別位置に置かれたトレー等の容器などに収容する場合のような、セラミック配線基板個片の移載（移動）方法、及びその移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック配線基板を製造する過程では、例えば、配線基板部位が碁盤目状をなす形で、縦横に複数連なる形で配置されてなる多数個取りのセラミック基板（大判）の状態で焼成し、その後、露出する端子等の金属層に一括してメッキ等の処理がなされる。その後、セラミック配線基板個片となるように、ブレーク溝（隣接する配線基板部位相互間の境界線に沿って設けられている切断用の溝）に沿って切断される。切断され、分割されたセラミック配線基板個片は、その後の工程で、ピックアップされ、トレー等に移載（移動）、配置され、次工程（例えば、検査工程）に搬送（移送）される。
【０００３】
このような製造工程中、大判をセラミック配線基板個片に分割する手法（切断手段）としては、種々あるが、例えば次のようにして行われる（特許文献１）。大判を、切断手段である一対のベルト（逆回転し、互いのベルトが接するように配置された２組のベルト装置のベルト）相互間に通し、そのベルトの流れ方向において大判が若干の角度、屈曲するように曲げ力（衝撃）を付与する。こうすることで、脆性なセラミック基板（大判）を、その流れ方向に対し直角な横のブレーク溝（隣接する配線基板部位相互間の境界線）で次々と切断する。ただし、この段階では、そのブレーク溝で切断されているだけであり、全体としてみると大判における配線基板部位の配列状態は保持されている。すなわち、この切断工程では、複数のセラミック配線基板個片部位が横に連なっている短冊状の帯板状基板（中判）が、その長手方向に沿って切断されてはいるものの、全体としては大判における配線基板部位の配列状態のままである。
【０００４】
続いて、このような切断仕掛品を、前工程のベルトによる大判の送り方向と直角方向の送り方向をなす、別の一対のベルト相互間に通す。すなわち、複数の列をなす帯板状基板（中判）を、各帯板状基板の長手方向に複数の列で流して、別の一対のベルト相互間に通す。これにより、上記したのと同様に、帯板状基板（中判）がその流れ方向（各帯板状基板の長手方向）において、若干の角度、屈曲するように曲げ力（衝撃）を付与する。こうすることで、各帯板状基板は、その流れ方向（帯板の長手方向）に対して、直角な横のブレーク溝（１列で連なっているセラミック配線基板部位の相互間の境界線）で、次々と切断される。これにより多数の方形（通常、長方形、又は正方形）のセラミック配線基板個片（以下、基板個片、又は単に個片ともいう）が得られる。すなわち、上記のような切断工程を経ることにより、多数個取りのセラミック基板（大判）は、多数のセラミック配線基板個片に切断されたものとなる。
【０００５】
ところで、上記した切断法による切断工程を経て得られたセラミック配線基板個片群（多数のセラミック配線基板個片）の切断直後は、全体としては、切断前の配線基板部位が碁盤目状に縦横に複数連なる形で配置されてなる多数個取りのセラミック基板（大判）における配線基板部位の配列状態のままである。すなわち、上記工程による切断直後は、多数のセラミック配線基板個片に切断されてはいるものの、この段階では大判における配線基板部位の配列状態が保たれている。
【０００６】
一方、このように大判の配列状態が保たれているセラミック配線基板個片群は、従来、その状態のままでピックアップ用のテーブル（台面）の上面に移動、載置され、該上面においてセラミック配線基板個片ごと、個別にピックアップされ、上記したようなトレー等に移載されていた。他方、このピックアップは、通常、真空引き等の吸着手段（吸着装置）で行われ、この吸着装置を移動する等して、所望とする移載が行われていた。すなわち、その吸着部（吸盤）をセラミック配線基板個片の上面に当てて吸着してピックアップし、移動手段を駆動して吸着装置を別位置に移動し、所定の位置にある例えばトレーの上面において吸着を解除し、セラミック配線基板個片をそこに移載、配置する。以後、これらの吸着等を繰り返し、所定数の基板個片をトレーに移載、配置する。そして、その終了後は、当該トレーを別途の移動手段で移動し、セラミック配線基板個片群を次工程に搬送する、というものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２２１３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、上記したようなベルト相互間を通す切断手段で切断し、その切断後のセラミック配線基板個片群から、吸着により、各セラミック配線基板個片をピックアップ装置で引き上げる際には、次のような問題があった。切断後、ピックアップ用のテーブル（台面）の上面に載置されたセラミック配線基板個片群は、大判におけるセラミック配線基板個片部位の配列状態が保たれている。したがって、このような個片群において隣接するセラミック配線基板個片同士の切断面相互間、すなわち、１つのセラミック配線基板個片の周囲の４辺は、それに隣接するセラミック配線基板個片の辺との間に、実質的には隙間がないか、あっても微小な隙間（０．２〜０．３ｍｍ程度）にすぎない。このため、図８のＡに示したように、切断面相互間に隙間がない基板個片１１，１１の状態において、図８のＢに示したように、ピックアップ装置の吸着用のロッド２０５で、セラミック配線基板個片１１をピックアップしようとすると、その基板個片１１は、接触や摩擦により、隣のセラミック配線基板個片１１の縁を一緒に持ち上げてしまうことがある。しかも、セラミック基板（大判、又は中判）は、これを屈曲又は折り曲げる形でブレーク溝で切断しているだけであるから、その切断面には、微小なバリが発生していることや、微小な傾斜が発生していることが多い。これにより、隣接する一方のセラミック配線基板個片の切断面の部分が、他方のセラミック配線基板個片の切断面に被さっていることも多い。こうしたことから、セラミック配線基板個片群から、セラミック配線基板個片を吸着して引き上げる際には、引き上げようとするセラミック配線基板個片の辺が、それに隣接しているセラミック配線基板個片の辺に接触したり、引っかかってしまうことがあるのである。
【０００９】
そして、当該引き上げ対象のセラミック配線基板個片に隣接する個片が、その縁を引き上げられるように一緒に持ち上げられるような場合には、その後、落下する。これにより、このように引き上げ対象をなすセラミック配線基板個片を引き上げる際において、隣の個片に引っかかりを生じる場合には、一緒に引き上げられた個片にカケが発生したり、落下時に移動やひっくり返りを起こすなどの問題を生じる。また、引き上げ対象をなすセラミック配線基板個片に隣接する周囲の複数の基板個片や、それらに隣接する基板個片に連鎖的に引っかかり等が生じるような場合には、それらの落下時の姿勢、衝撃次第では、多数のセラミック配線基板個片が飛散してしまうことさえある。そして、このような場合には、ピックアップ工程を一時的に停止して、移動、飛散したセラミック配線基板個片を収集し、元位置に戻すなどの多大かつ余分な作業を強いられることになり、セラミック配線基板個片の移載の稼動効率の大きな低下を招いてしまう。
【００１０】
しかも、セラミック配線基板個片でも、それが平面視、縦横、それぞれ数ｍｍ（２〜３ｍｍ）で、厚みも１ｍｍ未満といった微小な配線基板となると、それ自体の重さ（自重）も極めて僅かであり、したがって、上記した問題が発生しやすい。なお、このような問題は、セラミック配線基板個片群において、ピックアップ対象の基板個片に隣接する周囲の基板個片が持ち上がらないように、例えば、窓穴付きの板（枠状の板）等からなる持ち上がり防止手段で、それらを押え付け可能なように配置することも考えられる。すなわち、その周囲のセラミック配線基板個片の持ち上がりを規制しつつ、当該ピックアップ対象の基板個片を、その窓穴内においてピックアップするというものである。しかし、これでは、ピックアップ装置や持ち上がり防止手段の制御が複雑化するため、移載の迅速化が阻害される。
【００１１】
本発明は、上記した問題点に鑑みてなされたもので、ブレーク溝で切断した後、ピックアップテーブルの上面に移動され、基板個片が縦横に並ぶセラミック配線基板個片群（基板個片の集合体）から、基板個片ごとピックアップしてトレー等、別の位置に移載（移動）する場合に好適な、セラミック配線基板個片の移載方法、およびその移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の本発明は、複数の配線基板部位がブレーク溝を介して縦横に連なる多数個取りセラミック基板を、該多数個取りセラミック基板における前記配線基板部位の配列状態のままで、前記ブレーク溝に沿って各セラミック配線基板個片に切断し、
その切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群をピックアップ用のテーブルに載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップし、別の位置に移動して載置するセラミック配線基板個片の移載方法において、
前記テーブルの上面を、伸縮するシートで覆っておき、このシートの上面に、切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群を載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップする際、
隣接する縦横の各セラミック配線基板個片相互における切断面間に間隔ができ、或いはその間隔が拡がるように、前記シートを前記テーブルの上面に沿って引き伸ばしておくことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の本発明は、前記シートを前記テーブルの上面に沿って、平面視、放射状方向に引き伸ばすことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板個片の移載方法である。
【００１４】
請求項３に記載の本発明は、複数の配線基板部位がブレーク溝を介して縦横に連なる多数個取りセラミック基板を、該多数個取りセラミック基板における前記配線基板部位の配列状態のままで、前記ブレーク溝に沿って各セラミック配線基板個片に切断し、
その切断後の前記多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群をピックアップ用のテーブルに載置し、
各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップし、別の位置に移動して載置するのに使用されるセラミック配線基板個片の移載装置であって、
前記テーブルと、
そのテーブルの上面を覆う伸縮自在のシートと、
そのシートの上面に載置された切断後の多数個取りセラミック基板における配線基板部位の配列状態のままのセラミック配線基板個片群において、隣接する縦横の各セラミック配線基板個片相互における切断面間に間隔ができ、或いはその間隔が拡がるように、前記シートを前記テーブル上面に沿って引き伸ばすシート引き伸ばし装置と、
このテーブルの上面に載置された各セラミック配線基板個片を吸着してピックアップするピックアップ装置と、
ピックアップしたセラミック配線基板個片を別の位置に移動し、載置するためのピックアップ装置の移動装置と、を含むことを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の本発明は、前記テーブルが、平面視、円形をなすと共に、その上面と外周面とのコーナーに、凸となす丸み部が周方向に沿って付けられている一方、該テーブルは、ベース上に立設されたガイド軸部材の上端に固定されており、
該テーブルと前記ベースとの間であって、該ガイド軸部材にはこれにガイドされて昇降可能の昇降盤が、前記ベース又は前記テーブルに設けられたシリンダ装置の駆動により昇降可能に設けられており、
前記シートが、前記テーブルの丸み部において周方向に沿って下向きに延びるスカート部を有するように保持され、前記昇降盤が下降された際に、該スカート部が下向きに引張られるように、該スカート部が該昇降盤に固定されていることを特徴とする請求項３に記載のセラミック配線基板個片の移載装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のセラミック配線基板個片の移載方法、又はその移載装置によれば、セラミック配線基板個片のピックアップ時には、前記シートが前記テーブルの上面に沿って引き伸ばされているか、引き伸ばすことができる。したがって、このシートの伸びに対応して、その上面に載置されているセラミック配線基板個片群における各基板個片の切断面の相互間には間隔ができるか、間隔が拡がる。これにより、基板個片がピックアップされる際、当該ピックアップの対象の基板個片は、それに隣接する、他の基板個片に引っかかったり、それを持ち上げることなくピックアップされる。このため、基板個片を、円滑に別位置に移載することができる。
【００１７】
本発明においてシートは、 隣接する縦横の各セラミック配線基板個片の切断面相互に間隔ができ、或いは間隔が大きくなるように、 前記テーブルの上面に沿って引き伸ばせばよい。したがって、基板個片が、平面視、方形（長方形又は正方形）であることから、例えば、隣接する基板個片の縦及び横の切断面（各辺）に垂直となる方向に、すなわち、その縦及び横の２方向にシートを引張っるようにすればよい。また、このような２方向への引張りではなく、シートをテーブルの上面に沿って放射状方向に引張ってもよい。なお、セラミック配線基板個片の切断面相互間の間隔は、基板個片の縦横の辺において同じである必要は必ずしもない。基板個片がピックアップされる際に隣接する基板個片に引っかからなければよいためである。
【００１８】
本発明において前記シートは、適度の弾性（伸縮性）を有するゴム製のシート、又は適度の弾性（伸縮性）を有する樹脂材製のものを用いればよい。そして、シートはその上面（大判における配線基板部位の配列状態にある基板個片群が載置される側の表面）は、粘着性がないものとするのが好ましい。なお、シートを放射状方向に引き伸ばす場合、大判の中心から放射状に拡がる方向に引張ってもよいし、大判の１つのコーナを起点として、例えば、１／４円の周囲を半径外方に引張ってもよい。当然のことながら、縦横の２方向に引張る場合でも、大判の対角線方向に、２方向に引張るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明を具体化した、セラミック配線基板個片の移載装置の実施形態例を説明する概略構成立面図。
【図２】図１の移載装置の一部を斜め上から見た平面図。
【図３】図１の移載装置のうち、ピックアップ用のテーブル、及びシート引き伸ばし装置を具体化した、シートを引き伸ばす前の半断面立面図。
【図４】図３においてテーブルのシートの上に載置されたセラミック配線基板個片群を説明する、シートの引き伸ばし前の説明用平面図。
【図５】図１の移載装置のうち、ピックアップ用のテーブル、及びシート引き伸ばし装置を具体化した、シートを引き伸ばしている状態の半断面立面図。
【図６】図５においてテーブルのシートの上に載置されたセラミック配線基板個片群を説明する、シートの引き伸ばし状態の説明用平面図。
【図７】シートの引き伸ばし方向の変更例の説明用平面図。
【図８】従来の基板個片のピックアップにおける問題点の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明を具体化した実施の形態例について説明する。まず、セラミック配線基板個片の移載装置（以下、移載装置）１０１について、図１〜図６に基づいて説明する。この移載装置１０１は、切断後の大判の配列状態にある基板個片群１０を、その配列状態のままで載置するピックアップ用のテーブル２１を、図１の左下に有している。そして、その上方には、そのテーブル２１上に載置される各基板個片１１を、順次、吸着してピックアップするピックアップ装置２０１を備えている。このピックアップ装置２０１は、左右に往復動可能の移動装置３０１に取り付けられている。これにより、ピックアップ装置２０１は、ピックアップした基板個片１１と共に、図１の右方に設置された載置台装置４０１側に移動されるように構成されている。一方、テーブル２１は、図２、図４等に示したように、平面視、円形をなし、図３に示したように、その上面２３が平坦（平面）であると共に、適度の伸縮性を有する（伸縮自在の）シート（例えばゴムシート）３１で覆われている。また、このシート３１は、テーブル２１の上面２３に沿って、本例ではテーブル２１の上面２３の中心から放射状方向に引き伸ばされるように設けられている。なお、このようなテーブル２１及びシート３１の引き伸ばし装置については後で詳述するが、ピックアップ装置２０１、その移動装置３０１、及びこれらの作動機構等について先に、図１、図２等に基づいて説明する。
【００２１】
ピックアップ装置２０１は、例えば、真空作動シリンダ２０３からなり、テーブル２１の上の所定位置において、例えば自由状態でロッド２０５が下降し、そのロッド２０５の端に設けられた吸盤（図示せず）が、セラミック配線基板個片１１の上面に当接して、それを真空吸着しながらピックアップする（引き上げる）ように設定されている。なお、説明を簡易とするため、真空作動シリンダ２０３は１つのみ図示しているが、これは、吸着対象の基板個片１１の数等に応じて適宜の数、設けておけばよい。このようなピックアップ装置２０１は、図１において左右に延びるその移動用の軸３０５に、図示しない直動ガイド等を介して取り付けられており、例えばサーボ機構にて左右に往復動制御されるように設けられている。これにより、セラミック配線基板個片１１をピックアップしたピックアップ装置２０１は、図１の右方の載置台装置４０１の受台４０３上に配置された例えばトレー４１０の上に移動され、その所定位置で、真空を解除することで、その基板個片１１をトレー４１０上の所定位置（空所）に載置するように設定されている。なお、テーブル２１及び載置台装置４０１は、それぞれ、移載装置１０１の平面概略を示す図２の左右において、図示上下に延びるその走行移動用の軸１０５，４０５の上に、図示しない直動ガイド等を介して取り付けられており、それぞれ、その軸１０５，４０５（図２の上下方向）に沿って、往復動制御され、所定の基板個片をピックアップし、トレー４１０の所定位置にこれを載置するように設定されている。
【００２２】
さて次に、本例の移載装置１０１の要部をなすテーブル２１及びその上面２３を覆っているシート３１、さらには、このシート３１をテーブル２１の上面２３に沿って、その中心から放射状方向に引き伸ばすように構成されたシート３１の引き伸ばし装置等について説明する。上記したように、本例では、テーブル２１は、図２等に示したように、平面視円形で、図３等に示したように、一定厚さの金属製の板から形成されている。ただし、テーブル２１は、その上面２３と外周面２４とのコーナーに、凸となす丸み部２５が周方向に沿って付けられている。また、このテーブル２１は、ベース４１上に、平面視、テーブル２１と同心の円周上において例えば等角度間隔で垂直に立設された４本のガイド軸部材（丸棒）４５の上端に固定されている。なお、ベース４１は、テーブル２１を上記したように走行、制御させるため、図２において上下方向に移動、制御可能の軸１０５に、図示しない直動ガイド手段を介して取り付けられている。
【００２３】
また、テーブル２１とベース４１との間であって、ガイド軸部材４５には、これにガイドされて昇降可能の昇降盤（スライダ）５１が、円筒状のブッシュ５２を介してテーブル２１と平行となるように取り付けられている。すなわち、昇降盤５１には、ガイド軸部材４５と同配置で、円形穴が上下に貫通形成されており、ここにブッシュ５２が下方から挿入され、その外周に突出形成されたフランジを介し、ボルト５４締めされて昇降盤５１に固定されている。また、昇降盤５１は、本例では、テーブル２１と略同外径を有する平面視、円形をなしている。ただし、昇降盤５１の外周面（円筒面）のうち、テーブル２１と反対側（図３の下側寄り部位）寄り部位５６は、その外径がテーブル２１寄り側の部位（円筒面）より小さい円筒面に形成され、詳細は後述するが、この円筒面にシート３１の外周のスカート部３５が固定されている。
【００２４】
このような昇降盤５１は、本例では、ベース４１に立設状に取付けられた、その昇降用のシリンダ６１の駆動により昇降制御されるように設けられている。すなわち、このシリンダ６１は、そのロッド６３の先端が昇降盤５１の下面の中央を支持、又はその中央に固着されており、シリンダ本体の下端（フランジ）がベース４１の上面に固定されている。しかして、このシリンダ６１のロッド６３を前進（上動）させることで、昇降盤５１をガイド軸部材４５に沿って前進（上動）させ、ロッド６３を後退（下動）させることで、昇降盤５１をガイド軸部材４５に沿って後退（下動）させる構成とされている。なお、シリンダ６１の前進、後退はともに空圧制御としてもよいが、本例では、前進はスプリング駆動（内部に設けられたスプリング）で行い、後退のみ空圧制御するスプリング付きのシリンダ６１が使用されている。
【００２５】
一方、テーブル２１の上面２３は、上記したように、適度の伸縮性を有するゴム製のシート３１で覆われている。そして、このシート３１は、昇降盤５１をガイド軸部材４５に沿って前進（上動）させている状態において、そのシート３１における外周寄り部位を、テーブル２１の外周の丸み部２５において周方向に沿って下向きとなるように折り曲げることでスカート部３５としている。すなわち、このシート３１における下向きに延びるスカート部３５を、昇降盤５１が前進（上端）位置にあるとき、昇降盤５１の外周面（円筒面）を包囲するようになじませながら密着させる。そして、その状態で、昇降盤５１の外周面における下側寄り部位５６の外径が小さい円筒面の位置において、そのスカート部３５を外側から、例えば、バンド７１を周方向に回して緊締している。これによりシート３１は、スカート部３５を介して昇降盤５１に固定されている。なお、昇降盤５１の前進端位置は、例えば、その上面がテーブル２１の下面に当る位置となるように設定されている。またスカート部３５をこのように緊締するに当っては、テーブル２１の上面２３を覆っているシート３１に皺がでないようにする（テーブル２１の上面２３に密着状態で平坦になるようにする）ため、テーブル２１の平面視、中心から放射状方向にそのシート３１に、適度の引張り力が付与されるようにした上で、テーブル２１の外縁の全体（全周）においてシート３１を下向きに曲げなじませてスカート部３５とし、このスカート部３５に、下向きに適度の引張り力を付与した上で、バンド７１を緊締するとよい。なお、本例では、バンド７１は、スカート部３５の上下、２箇所で緊締している。
【００２６】
しかして、上記した構成による移載装置１０１では、図５に示したように、テーブル２１は、昇降盤５１の昇降用のシリンダ６１を駆動し、そのロッド６３を、前進（上端）位置から後退させることで、昇降盤５１は所定ストローク下降する。これにより、その外周面に固定されている、テーブル２１の上面２３を覆っているシート３１のうち、そのスカート部３５が、昇降盤５１の外周の全体において下向きに引張られる。このとき、そのシート３１のうち、テーブル２１の上面２３を覆っている部位（円形部位）の外周縁は、テーブル２１の外周面との角に形成された丸み部２５に沿って下向きに伸びかつ、この丸み部２５において滑るようにして下向きに引き伸ばされる。これにより、シート３１は、図６に示したように、平面視、テーブル２１の中心から放射状方向に外向きに引張られるから、テーブル２１の上面２３を覆っているシート３１の円形部位は、同心円状に拡大するように引き伸ばされる。一方、この昇降用のシリンダ６１のロッド６３を前進させるよう排気すれば、シリンダ６１内の図示しないスプリングにより昇降盤５１は上昇（前進端位置に移動）するから、シート３１は元（図３）の状態にその弾性により収縮する。なお、本例において、シート引き伸ばし装置は、昇降盤５１及びその昇降用のシリンダ６１、シート３１を昇降盤５１に固定しているバンド７１等から構成されている。
【００２７】
しかして、このようなテーブル２１を含むセラミック配線基板個片１１の移載装置１０１を用いる場合においては、前工程で、複数の配線基板部位がブレーク溝を介して縦横に連なる形で配置されてなる多数個取りセラミック基板である大判を上記したようなベルト装置を用いて切断する。これにより、大判は、それにおける配線基板部位の配列状態のままで、ブレーク溝に沿って各セラミック配線基板個片に切断され、図４に示したような基板個片１１相互間には実質的に隙間のない、その配列状態のままの基板個片群１０となる。そして、このようにな基板個片群１０を、図３に示したように、テーブル２１の上面２３を覆っているシート３１が引き伸ばされていない状態（基準状態）にある、ピックアップ用のテーブル２１の上面２３を覆っているゴムシート３１の上面（表面）に載置する。このとき、図４に示したように、セラミック配線基板個片群１０の中心がテーブル２１の上面２３の中心に位置するようにして載置する。
【００２８】
次いで、図５に示したように、昇降盤５１の昇降用のシリンダ６１を駆動し、そのロッド６３を、前進（上端）位置から、後退させ、昇降盤５１を所定ストローク下降させる。これにより、テーブル２１の上面２３を覆っているシート３１は、そのストロークに対応して、図６に示したように、テーブル２１の中心から放射状方向に同心円状にて拡大するように引き伸ばされる。この結果、シート３１の上面に載置されていたセラミック配線基板個片群１０は、図６に示したように、隣接する基板個片１１の切断面相互間に、略均等な間隔Ｓができ、或いは、引き伸ばし前には微小隙間しかなかったものが、略均等な間隔Ｓに拡がる。
【００２９】
本例では、この状態において、テーブル２１の上にある基板個片１１をピックアップして、トレー４１０に移載すればよい。すなわち、ピックアップ装置２０１、及びテーブル２１を、それぞれ移動制御する。そして、ピックアップ装置２０１をなす真空作動シリンダ２０３を、上記したように駆動し、そのロッド２０５先端に設けられた吸盤で、基板個片群１０の中の所望とする基板個片１１の上面に当接させ、それを真空吸着しながらピックアップする（引き上げる）。このピックアップ時、本例では、縦横に隣接する基板個片１１は、その切断面相互間に間隔Ｓがあるから、従来のように、隣接する基板個片１１に引っかかることなく、吸着した基板個片１１をピックアップすることができる。
【００３０】
したがって、そのピックアップ後は、ピックアップ装置２０１を上記したように走行制御し、図１の右の載置台装置４０１の受台４０３上に配置された例えばトレー４１０の上に搬送し、要すれば、載置台装置４０１を走行制御して、トレー４１０上の所定位置（空スペース）において、ピックアップ装置２０１をなす真空作動シリンダ２０３の真空を解除する。こうすることで、基板個片１１はトレー４１０上に所定位置に載置され、当該基板個片１１の移載が終了する。以後はこのようにシート３１を引き伸ばしている状態で、上記操作を繰り返すことで、１つの大判に対応するセラミック配線基板個片群１０における各基板個片１１の移載を行うことができる。そして、その移載の終了後は、昇降盤５１の昇降用のシリンダ６１のロッド６３を前進（端）位置におき、最初に戻って、別の切断後の大判における配線基板部位の配列状態のままの基板個片群１０を、テーブル２１上のシート３１の上面に載置し、その後、シリンダ６１のロッド６３を後退させてシート３１を引き伸ばし、上記した工程を繰り返せばよい。このように本例による基板個片の移載によれば、従来のようなそのピックアップ時において、隣接する基板個片を一緒に持ち上げたりそれに引っかかることなく、円滑な移載ができる。
【００３１】
なお、上記した移載装置１０１によるときは、シート３１の上面に載置されている基板個片群１０における縦横の各基板個片１１の切断面相互間の間隔Ｓは、シート３１の引き伸ばし量に依存し、それは、昇降盤５１の昇降用のシリンダ６１のロッド６３の後退ストロークの大きさによる。したがって、このシリンダ６１のロッド６３の後退ストロークは、基板個片１１のピックアップにおいて、それに隣接する基板個片１１に引っかかることがない間隔が得られるように設定すればよい。すなわち、隣接する基板個片１１の切断面相互間の間隔が確実に保持され、いずれの基板個片１１を引き上げる際にも、相互に隣接する基板個片１１に接触しない適度の間隔となるようにその引き伸ばし量を設定すればよい。また、上記もしたようにその間隔は、セラミック配線基板個片１１の縦横の各辺において同じである必要は必ずしもない。また、上記移載装置１０１においては、昇降盤５１を昇降させるシリンダ６１をベース４１と昇降盤５１との間に設けた場合で説明したが、テーブル２１と昇降盤５１との間の間隔を変位できればよいことから、そのシリンダ６１はテーブル２１と昇降盤５１との間に設けてもよい。
【００３２】
さらに、上記もしたように、本発明においてシート３１は、 隣接する縦横の各セラミック配線基板個片１１の切断面相互に間隔ができ、或いは間隔が大きくなるように、テーブル２１の上面２３に沿って引き伸ばすことができればよい。したがって、図７に示したように、シート３１を、平面視、例えば、正方形のテーブル２１の上面を覆うようにすると共に、そのシート３１を同様の正方形とし、その縦及び横の外縁の辺に沿って剛性のある棒材（図示せず）を固着し、基板個片群１０の載置後、その棒材を、平面視、その棒材に垂直な外方に、図７−Ａの引き伸ばし前の状態から、図７−Ｂのように、図中矢印で示したように引張ることで引き伸ばすこととしてもよい。このようにしても、基板個片１０相互間に間隔Ｓができるためである。ただし、上記したように、シートを放射状方向に引き伸ばす装置によれば、簡易な構成で、シートの上面を略均等に、その面が大きくなるようにそれを引き伸ばすことができる。また、上記例では、ゴム製のシートを用いた場合で説明したが、これは、適度の弾性、伸縮性を有するもので、耐久性があるものから選択して用いればよい。本発明の基板個片の移載方法及びその装置は、上記したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、適宜に変更して具体化できる。
【符号の説明】
【００３３】
１０  セラミック配線基板個片群
１１  セラミック配線基板個片（基板個片）
２１  ピックアップ用のテーブル
２３  テーブルの上面
２４  テーブルの外周面
２５  丸み部
３１  シート
３５  シートのスカート部
４１  ベース
４５  ガイド軸部材
５１  昇降盤
６１  シリンダ（シリンダ装置）
１０１  セラミック配線基板個片の移載装置
２０１  ピックアップ装置
３０１  ピックアップ装置の移動装置
Ｓ  基板個片相互における切断面間の間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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