(57)【要約】【課題】本発明は、励振電極と実装端子とが互いに重ならないように形成され、励振電極と実装端子との間の静電容量が小さくされた圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電デバイス（１００）は、主面に一対の励振電極（１３４）が形成され矩形形状を有する圧電振動部（１３１）と励振電極から引き出された一対の引出電極（１３５）を有し圧電振動部を取り囲む外枠部（１３２）と圧電振動部と外枠部とを連結する連結部（１３３）とを有する圧電振動片（１３０）と、外枠部の片面に接合する第１面と第１面の反対側で一対の引出電極と導通する一対の実装端子（１２４）が形成された第２面とを有するベース板（１２０）と、を備え、主面の法線方向から見た状態で、励振電極と重なり合わないように実装端子が形成されている。【選択図】図１
2012244503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面に一対の励振電極が形成され矩形形状を有する圧電振動部と、前記励振電極から引き出された一対の引出電極を有し前記圧電振動部を取り囲む外枠部と、前記圧電振動部と前記外枠部とを連結する連結部と、を有する圧電振動片と、
前記外枠部の片面に接合する第１面と、前記第１面の反対側で前記一対の引出電極と導通する一対の実装端子が形成された第２面とを有するベース板と、を備え、
前記主面の法線方向から見た状態で、前記励振電極と重なり合わないように前記実装端子が形成されている圧電デバイス。
【請求項２】
前記第１面には前記一対の引出電極にそれぞれ導通する一対の電極パッドが形成され、前記一対の電極パッドと前記一対の実装端子とは、前記ベース板の短辺に形成されたキャスタレーションを介して導通している請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記連結部は前記圧電振動部の一方の方向の辺のみに連結され、
前記一対の電極パッドは前記第１面の中心よりも前記一方の方向の側に形成されている請求項２に記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記外枠部は一対の短辺と一対の長辺とにより形成され、
前記連結部は前記一対の短辺の一方に連結され、
前記引出電極は、前記短辺の一方と前記短辺の他方とに引き出され、
前記短辺の他方に引き出される前記引出電極は、前記短辺の一方から前記短辺の他方へ前記長辺の前記ベース板とは反対側の面を介して引き出されている請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記ベース板は長方形形状であり、前記実装端子が長手方向の辺に沿って前記一対の実装端子が互いに対向して形成されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記励振電極と重なり合わないように、前記実装端子の一部が切り欠かれている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
さらに、前記圧電デバイスの帯電を防ぐグランド端子を備え、
前記ベース板は長方形形状であり、前記実装端子及び前記グランド端子が四隅に配置され、前記励振電極と重なり合わないように前記実装端子及び前記グランド端子の少なくとも一部が切り欠かれている請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記ベース板は、ガラス板又は水晶板を基材としている請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
圧電振動片を有する圧電デバイスの製造方法において、
圧電振動部の表裏面に形成される励振電極と、前記圧電振動部を囲むようにして形成された外枠部と、前記励振電極から前記外枠部に引き出された一対の引出電極とを含む圧電振動片を複数有する圧電ウエハを用意する工程と、
前記外枠部の一方の面に接合し、前記一対の引出電極に導通する一対の電極パッドと前記一対の電極パッドと導通する一対の実装端子が形成されたベース板を複数有するベースウエハを用意する工程と、
前記外枠部の他方の面に接合するリッド板を複数有するリッドウエハを用意する工程と、
前記主面の法線方向から見た状態で前記励振電極と前記実装端子とが重なり合わないように前記圧電ウエハおよび前記ベースウエハを接合する第１接合工程と、
前記接合工程後に前記圧電振動片の振動周波数を測定し、この測定結果に基づいて前記励振電極の厚みを調整する調整工程と、
前記調整工程後に前記リッドウエハを接合する第２接合工程と、
前記第２接合工程の後に、個々の前記圧電デバイスに分割する工程と、
を備えた圧電デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外枠部が形成された圧電振動片を有する圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動数で振動する圧電振動部及び圧電振動部を囲む外枠部を有する圧電振動片を備え、圧電振動片の表裏面にベース板及びリッド板が配置された圧電デバイスが知られている。圧電デバイスの圧電振動部には励振電極が形成されており、ベース板には実装端子が形成されている。このような圧電デバイスでは、励振電極と実装端子との間に発生する静電容量が、圧電振動片の振動周波数の測定及び調整の妨げとなる場合があった。
【０００３】
このような励振電極と実装端子との間の静電容量を小さくするために、例えば特許文献１では、接地されるＧＮＤ実装端子の面積を小さくすることによりＧＮＤ実装端子と励振電極との間に発生する静電容量が低減された圧電振動子の開示がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１７０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、励振電極に電気的に接続されプリント基板等に実装される実装端子は、圧電デバイスをプリント基板等に安定して実装するために実装端子の表面積が広い方が好ましい。そのため、圧電デバイスに発生する静電容量の低減と、実装端子の表面積を確保することとを両立することが困難であった。
【０００６】
そこで本発明は、励振電極と実装端子とが互いに重ならないように形成され、励振電極と実装端子との間の静電容量が小さくされた圧電デバイスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電デバイスは、主面に一対の励振電極が形成され矩形形状を有する圧電振動部と、励振電極から引き出された一対の引出電極を有し圧電振動部を取り囲む外枠部と、圧電振動部と外枠部とを連結する連結部と、を有する圧電振動片と、外枠部の片面に接合する第１面と、第１面の反対側で一対の引出電極と導通する一対の実装端子が形成された第２面とを有するベース板と、を備え、主面の法線方向から見た状態で、励振電極と重なり合わないように実装端子が形成されている。
【０００８】
第２観点の圧電デバイスは、第１観点において、第１面には一対の引出電極にそれぞれ導通する一対の電極パッドが形成され、一対の電極パッドと一対の実装端子とが、ベース板の短辺に形成されたキャスタレーションを介して導通している。
【０００９】
第３観点の圧電デバイスは、第２観点において、連結部が圧電振動部の一方の方向の辺のみに連結され、一対の電極パッドが第１面の中心よりも一方の方向の側に形成されている。
【００１０】
第４観点の圧電デバイスは、第１観点又は第２観点において、外枠部が一対の短辺と一対の長辺とにより形成され、連結部が一対の短辺の一方に連結され、引出電極が短辺の一方と短辺の他方とに引き出され、短辺の他方に引き出される引出電極が短辺の一方から短辺の他方へ長辺のベース板とは反対側の面を介して引き出されている。
【００１１】
第５観点の圧電デバイスは、第１観点から第３観点において、ベース板は長方形形状であり、実装端子が長手方向の辺に沿って一対の実装端が互いに対向して形成されている。
【００１２】
第６観点の圧電デバイスは、第１観点から第５観点において、励振電極と重なり合わないように、実装端子の一部が切り欠かれている。
【００１３】
第７観点の圧電デバイスは、第１観点から第４観点において、さらに、圧電デバイスの帯電を防ぐグランド端子を備え、ベース板が長方形形状であり、実装端子及びグランド端子が四隅に配置され、励振電極と重なり合わないように実装端子及びグランド端子の少なくとも一部が切り欠かれている。
【００１４】
第８観点の圧電デバイスは、第１観点から第７観点において、ベース板が、ガラス板又は水晶板を基材としている。
【００１５】
第９観点の圧電デバイスの製造方法は、圧電振動部の表裏面に形成される励振電極と圧電振動部を囲むようにして形成された外枠部と励振電極から外枠部に引き出された一対の引出電極とを含む圧電振動片を複数有する圧電ウエハを用意する工程と、外枠部の一方の面に接合し一対の引出電極に導通する一対の電極パッドと一対の電極パッドと導通する一対の実装端子が形成されたベース板を複数有するベースウエハを用意する工程と、外枠部の他方の面に接合するリッド板を複数有するリッドウエハを用意する工程と、主面の法線方向から見た状態で励振電極と実装端子とが重なり合わないように圧電ウエハおよびベースウエハを接合する第１接合工程と、接合工程後に圧電振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて励振電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後にリッドウエハを接合する第２接合工程と、第２接合工程の後に個々の圧電デバイスに分割する工程と、を備えている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、励振電極と実装端子とが互いに重ならないように形成され、励振電極と実装端子との間の静電容量が小さくされた圧電デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。  （ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図３】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片１３０の平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片１３０の平面図である。
【図４】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０の平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０の平面図である。
【図５】圧電デバイス１００の作製方法が示されたフローチャートである。
【図６】圧電ウエハＷ１３０の平面図である。
【図７】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベースウエハＷ１２０の平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベースウエハＷ１２０の平面図である。
【図８】リッドウエハＷ１１０の平面図である。
【図９】（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とが接合されたウエハの断面図である。  （ｂ）は、圧電ウエハＷ１３０とリッドウエハＷ１１０とが接合されたウエハの断面図である。
【図１０】（ａ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ａの平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｂの平面図である。  （ｃ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｃの平面図である。
【図１１】（ａ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｄの平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｅの平面図である。
【図１２】圧電デバイス２００の分解斜視図である。
【図１３】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片２３０の平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片２３０の平面図である。
【図１４】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０の平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０の平面図である。
【図１５】（ａ）は、−Ｙ’軸側の電極が示されたベース板２２０に＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４及び引出電極２３５が重ねられて示された平面図である。  （ｂ）は、圧電デバイス２００の断面図である。
【図１６】ベースウエハＷ２２０の平面図である。
【図１７】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０ａの平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０ａの平面図である。
【図１８】（ａ）は、＋Ｙ’軸側の電極が示されたベースウエハＷ２２０ａの平面図である。  （ｂ）は、−Ｙ’軸側の電極が示されたベースウエハＷ２２０ａの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１９】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は表面実装型の圧電デバイスであり、プリント基板等に実装されて使用される。圧電デバイス１００は主に、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０とにより構成されている。リッド板１１０及びベース板１２０には、水晶板及びガラス板等の電気を通さない絶縁材が用いられる。また、圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００において圧電デバイス１００の長手方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００２０】
圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動する圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１及び外枠部１３２を連結する一対の連結部１３３と、を有している。また、圧電振動部１３１と外枠部１３２との間には圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。一対の連結部１３３は、圧電振動部１３１の−Ｘ軸側の辺と圧電振動部１３１の−Ｘ軸側に形成される外枠部１３２とを連結している。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の主面には、それぞれ励振電極１３４が形成されている。また外枠部１３２には、各励振電極１３４から引き出されている一対の引出電極１３５が形成されている。−Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４からは、−Ｚ’軸側の連結部１３３を通り、外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角にまで引出電極１３５が引き出されている。また、＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４からは、＋Ｚ’軸側の連結部１３３を通り、貫通溝１３６の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の側面を介し、外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角にまで引出電極１３５が引き出されている。
【００２１】
リッド板１１０は、−Ｙ’軸側の面に、凹部１１１と、凹部１１１を囲む接合面１１２とが形成されている。接合面１１２は、圧電振動片１３０の外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に封止材１４０（図２（ａ）参照）を介して接合される。
【００２２】
ベース板１２０は、＋Ｙ’軸側の面に、凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面１２２と、＋Ｙ’軸側の面の四隅に配置される電極パッド１２３とが形成されている。接合面１２２は、圧電振動片１３０の外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に封止材１４０（図２（ａ）参照）を介して接合される。また、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。さらに、ベース板１２０の側面の四隅にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。キャスタレーション電極１２５は、電極パッド１２３と実装端子１２４とを電気的に接続している。また、−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角に形成されている電極パッド１２３は圧電振動片１３０の−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側に形成されている引出電極１３５に電気的に接続され、−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に形成されている電極パッド１２３は圧電振動片１３０の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に形成されている引出電極１３５に電気的に接続される。
【００２３】
図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側にリッド板１１０が配置され、−Ｙ’軸側にベース板１２０が配置されている。また、圧電デバイス１００の内部にはリッド板１１０の凹部１１１とベース板１２０の凹部１２１とによりキャビティ１５０が形成されており、キャビティ１５０には圧電振動部１３１が配置されている。キャビティ１５０は、リッド板１１０の接合面１１２及び外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面と、ベース板１２０の接合面１２２及び外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面とのそれぞれの間に封止材１４０が形成されることにより密封されている。また、外枠部１３２に形成される引出電極１３５がベース板１２０に形成される電極パッド１２３に電気的に接続されることにより、励振電極１３４と実装端子１２４とが導通する。
【００２４】
図２（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面図である。圧電デバイス１００に形成される一対の実装端子１２４は、ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺に沿ってＸ軸方向にそれぞれ伸びている。実装端子１２４は、圧電振動片１３０の励振電極１３４とＹ’軸方向に対して重ならないように配置されている。すなわち、励振電極１３４と実装端子１２４との間には、Ｚ’軸方向に幅ＷＴの電極が形成されていない領域が形成されている。
【００２５】
図３（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１と外枠部１３２とを連結する一対の連結部１３３と、により構成されている。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極１３５は、＋Ｚ’軸側の連結部１３３を通り、貫通溝１３６の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の端の側面に形成されている側面電極１３７に接続されている。
【００２６】
図３（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片１３０の平面図である。図３（ｂ）では、圧電振動片１３０を＋Ｙ’軸側から−Ｙ’軸方向に見た図として示されている。圧電振動部１３１の−Ｙ’軸側に形成されている励振電極１３４は、−Ｚ’軸側の連結部１３３を通り、外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角にまで形成されている。また貫通溝１３６に形成されている側面電極１３７から外枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角まで引出電極１３５が形成されている。
【００２７】
図４（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０の平面図である。ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面には、凹部１２１及び凹部１２１を囲んでいる接合面１２２が形成されている。また、ベース板１２０の四隅の側面にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。さらに、ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面の四隅には電極パッド１２３が形成されており、各電極パッド１２３は各キャスタレーション電極１２５に電気的に接続されている。
【００２８】
図４（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０の平面図である。ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には、＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側に一対の実装端子１２４が形成されている。また、各実装端子１２４は−Ｘ軸側の端から＋Ｘ軸側の端まで形成されており、ベース板１２０の四隅に形成されているキャスタレーション電極１２５に電気的に接続されている。図４（ｂ）には、参考として圧電振動片１３０の励振電極１３４が配置される位置が記載されている。実装端子１２４は励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならならず、実装端子１２４と励振電極１３４との間のＺ’軸方向の幅が幅ＷＴとなるように形成されている。
【００２９】
圧電デバイス１００では励振電極１３４と実装端子１２４とが互いにＹ’軸方向に重ならないように形成されているため、励振電極１３４と実装端子１２４との間に静電容量が発生し難くなっている。そのため、後述する圧電デバイス１００の作製方法において、圧電振動片１３０の振動周波数を測定し、調整することが容易である。また、実装端子１２４がベース板１２０の長辺方向（Ｘ軸方向）に沿って形成されていることにより実装端子１２４の表面積が広く形成されている。そのため圧電デバイス１００では、プリント基板等に実装される際にハンダに入るクラックが大きくなることが防がれ、プリント基板等に安定して実装されることができる。さらに、圧電振動片１３０の２つの引出電極１３５を共に−Ｘ軸側に引き出して励振電極１３４と実装端子１２４との間に形成される引出電極１３５の長さを短くすることにより、引出電極１３５の電気抵抗の増加が抑えられて圧電デバイス１００のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の増加が抑えられている。
【００３０】
＜圧電デバイス１００の作製方法＞
図５は、圧電デバイス１００の作製方法が示されたフローチャートである。以下、図５のフローチャートに沿って圧電デバイス１００の作製方法について説明する。
【００３１】
ステップＳ１０１では、圧電ウエハＷ１３０が用意される。圧電ウエハＷ１３０には複数の圧電振動片１３０が形成されている。以下、図６を参照して圧電ウエハＷ１３０について説明する。
【００３２】
図６は、圧電ウエハＷ１３０の平面図である。圧電ウエハＷ１３０はＡＴカットの水晶板を基材として形成されている。また、圧電ウエハＷ１３０には複数の圧電振動片１３０が形成されている。図６では、各圧電振動片１３０が、後述される図５のステップＳ１０８でウエハが切断される線であり二点鎖線で示されたスクライブライン１５０に囲まれることにより示されている。また、各圧電振動片１３０には貫通溝１３６が形成されることにより圧電振動部１３１、外枠部１３２、及び連結部１３３が形成される。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４が形成され、各励振電極１３４から外枠部１３２へは引出電極１３５が引き出されて形成されている。
【００３３】
ステップＳ１０２では、ベースウエハＷ１２０が用意される。ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成されている。以下、図７（ａ）及び図７（ｂ）を参照してベースウエハＷ１２０について説明する。
【００３４】
図７（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベースウエハＷ１２０の平面図である。ベースウエハＷ１２０は水晶板又はガラス板を基材として形成されており、ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成されている。また図７（ａ）ではベースウエハＷ１２０にスクライブライン１５０が記載されており、各ベース板１２０はスクライブライン１５０に囲まれて形成されている。各ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面には凹部１２１が形成されており、凹部１２１を囲むように接合部１２２が形成されている。また、スクライブライン１５０の交点には、ベースウエハＷ１２０を貫通する貫通穴１２７が形成されている。貫通穴１２７は各ベース板１２０ではキャスタレーション１２６（図４（ａ）参照）となる。また、ベースウエハＷ１２０の＋Ｙ’軸側の面の貫通穴１２７の周囲には電極パッド１２３が形成され、貫通穴１２７の側面にはキャスタレーション電極１２５（図１参照）が形成される。
【００３５】
図７（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベースウエハＷ１２０の平面図である。図７（ｂ）には、＋Ｙ’軸側から見たベースウエハＷ１２０が示されており、−Ｙ’軸側の面に形成された実装端子１２４が示されている。ベースウエハＷ１２０では、各ベース板１２０の実装端子１２４がＸ軸方向につながって形成されており、貫通穴１２７の側面に形成されるキャスタレーション電極１２５に電気的に接続される。
【００３６】
ステップＳ１０３では、リッドウエハＷ１１０が用意される。リッドウエハＷ１１０には複数のリッド板１１０が形成されている。以下、図８を参照してリッドウエハＷ１１０について説明する。
【００３７】
図８は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。リッドウエハＷ１１０は水晶板又はガラス板を基材として形成されており、リッドウエハＷ１１０には複数のリッド板１１０が形成されている。また図８ではリッドウエハＷ１１０にスクライブライン１５０が記載されており、各リッド板１１０がスクライブライン１５０に囲まれて形成されている。各リッド板１１０には−Ｙ’軸側の面に凹部１１１が形成されており、凹部１１１を囲むように接合部１１２が形成されている。
【００３８】
ステップＳ１０４では、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とが接合される。以下、図９（ａ）を参照して圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との接合について説明する。
【００３９】
図９（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とが接合されたウエハの断面図である。また、図９（ａ）は、図６、図７（ａ）、及び図７（ｂ）のＤ−Ｄ断面を含んだ断面図である。圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とは外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面と接合部１２２とが重なるように位置合わせされ、封止材１４０を介して互いに接合される。このとき、励振電極１３４と実装端子１２４とはＹ’軸方向に互いに重ならならず、励振電極１３４と実装端子１２４とのＺ’軸方向の間の幅が幅ＷＴとなっている。
【００４０】
ステップＳ１０５では、圧電振動片１３０の振動周波数が測定される。圧電振動片１３０の振動周波数は、図９（ａ）に示されるように、各ベース板１２０に形成されている各実装端子１２４にそれぞれプローブ１６０を当てて測定される。このときに、励振電極１３４と実装端子１２４とはＹ’軸方向に重なっていないため励振電極１３４と実装端子１２４との間では静電容量が発生しにくく、圧電振動片１３０の振動周波数の測定を静電容量に影響されずに行うことができる。
【００４１】
ステップＳ１０６では、圧電振動片１３０の振動周波数が調整される。振動周波数の調整は、例えば＋Ｙ’軸側の励振電極１３４にレーザー又はアルゴンイオンを衝突させて金属膜を薄くするイオンミリング等を行う。これにより、＋Ｙ’軸側の励振電極１３４が昇華して重量が減ることで振動周波数を上げることができる。また、必要であれば励振電極１３４に金属をスパッタリングすること等により励振電極１３４の重量を増加させて振動周波数を下げることができる。このときに、励振電極１３４と実装端子１２４との間では静電容量が発生しにくくなっていることにより振動周波数の測定を正確に行うことができるため、振動周波数の調整も正確に行うことができる。
【００４２】
ステップＳ１０７では、圧電ウエハＷ１３０とリッドウエハＷ１１０とが互いに接合される。以下、図９（ｂ）を参照して圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との接合について説明する。
【００４３】
図９（ｂ）は、圧電ウエハＷ１３０とリッドウエハＷ１１０とが接合されたウエハの断面図である。また、図９（ｂ）は、図６、図７（ａ）、図７（ｂ）、及び図８のＤ−Ｄ断面を含んだ断面図である。圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とは外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面と接合部１１２とが重なるように位置合わせされ、封止材１４０を介して互いに接合される。これによりウエハにキャビティ１５０が形成され、圧電デバイス１００が形成される。
【００４４】
ステップＳ１０８では、ウエハがダイシングにより切断される。ダイシングはスクライブライン１５０に沿ってウエハが切断されることにより、個々の圧電デバイス１００が作製される。
【００４５】
＜ベース板１２０の変形例＞
圧電デバイスの実装端子の形状は、図４（ｂ）に示されたように励振電極１３４と実装端子１２４とがＹ’軸方向に重ならないように形成されていれば他の形状に形成されていてもよい。またベース板の−Ｙ’軸側の面には励振電極に接続される実装端子の他に、接地されて圧電デバイスの帯電を防ぐためのグランド端子が形成されていても良い。以下、図１０（ａ）から図１０（ｃ）、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）を参照してベース板１２０の変形例を説明する。
【００４６】
図１０（ａ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ａの平面図である。ベース板１２０ａの−Ｙ’軸側の面には、一対の実装端子１２４ａが形成されている。実装端子１２４ａはベース板１２０ａの−Ｙ’軸側の面の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側に形成されている。また、各実装端子１２４ａは−Ｘ軸側の端から＋Ｘ軸側の端まで形成されており、ベース板１２０ａの四隅に形成されているキャスタレーション電極１２５に電気的に接続されている。図１０（ａ）には、参考として圧電振動片１３０に形成される励振電極１３４が配置される位置が記載されている。各実装端子１２４ａは、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないように実装端子１２４ａの一部が切り欠かれて形成されている。そのため、実装端子１２４ａは励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないとともに、ベース板１２０ａの−Ｙ’軸側の面を有効に利用して実装端子１２４ａの表面積が広く形成されている。
【００４７】
図１０（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｂの平面図である。ベース板１２０ｂの−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれ実装端子１２４ｂが形成されている。また、−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれグランド端子１２８が形成されている。実装端子１２４ｂ及びグランド端子１２８は、それぞれキャスタレーション１２６に形成されているキャスタレーション電極１２５を介して、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極パッド１２３（図４（ａ）参照）に電気的に接続される。また、実装端子１２４ｂ及びグランド端子１２８は、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないように形成されている。実装端子１２４ｂは、その面積が小さく形成され、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないことで、励振電極１３４との間に発生する静電容量が小さくされている。
【００４８】
図１０（ｃ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｃの平面図である。ベース板１２０ｃは、図１０（ｂ）に示されたベース板１２０ｂと同様に、−Ｙ’軸側の面の四隅には実装端子１２４ｃ及びグランド端子１２８が形成されている。各実装端子１２４ｃは、励振電極１３４にＹ’軸方向に重なる部分が切り欠かれて形成されている。そのため、実装端子１２４ｃは励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないとともに、ベース板１２０ｃの−Ｙ’軸側の面を有効に利用して実装端子１２４ｃの表面積が広く形成されている。
【００４９】
図１１（ａ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｄの平面図である。ベース板１２０ｄの−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれ実装端子１２４ｂが形成されている。また、−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれグランド端子１２８ｄが形成されている。実装端子１２４ｂ及びグランド端子１２８ｄは、それぞれキャスタレーション１２６に形成されているキャスタレーション電極１２５を介して、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極パッド１２３（図４（ａ）参照）に電気的に接続される。また、実装端子１２４ｂ及びグランド端子１２８ｄは、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないように形成されている。各グランド端子１２８ｄは、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないようにグランド端子１２８ｄの一部が切り欠かれて形成されている。そのため、グランド端子１２８ｄは励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないとともに、ベース板１２０ｄの−Ｙ’軸側の面を有効に利用してグランド端子１２８ｄの表面積が広く形成されている。グランド端子１２８ｄはその面積が大きく形成されることにより圧電デバイスをプリント基板等に安定して実装することができる。またグランド端子１２８ｄは電気的に浮いているため、励振電極１３４との間に静電容量が発生し難く、面積の増加に伴う静電容量の増加が小さい。
【００５０】
図１１（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板１２０ｅの平面図である。ベース板１２０ｅの−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれ実装端子１２４ｅが形成されている。また、−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側には、それぞれグランド端子１２８ｅが形成されている。実装端子１２４ｅ及びグランド端子１２８ｅは、それぞれキャスタレーション１２６に形成されているキャスタレーション電極１２５を介して、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極パッド１２３（図４（ａ）参照）に電気的に接続される。また、実装端子１２４ｅ及びグランド端子１２８ｅの各端子は、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないように実装端子１２４ｅ及びグランド端子１２８ｄの一部が切り欠かれて形成されている。ベース板１２０ｅでは、実装端子１２４ｅ及びグランド端子１２８ｅの各端子の表面積が広く形成されているため、圧電デバイスがプリント基板等に実装される際にハンダに入るクラックが大きくなることが防がれ、プリント基板等に安定して実装されることができる。
【００５１】
（第２実施形態）
第１実施形態では、圧電振動片の−Ｘ軸側のみに引出電極が引き出されていた。一方、圧電振動片の引出電極は、−Ｘ軸側と＋Ｘ軸側とにそれぞれ引き出されていてもよい。以下に、−Ｘ軸側と＋Ｘ軸側とにそれぞれ引き出された引出電極が形成された圧電振動片を有する圧電デバイスについて説明する。また以下の説明では、第１実施形態と同じ部分には同じ記号を用い、その説明を省略する。
【００５２】
＜圧電デバイス２００の構成＞
図１２は、圧電デバイス２００の分解斜視図である。圧電デバイス２００は主に、リッド板１１０と、ベース板２２０と、圧電振動片２３０とにより構成されている。圧電振動片２３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１及び外枠部１３２を連結する一対の連結部１３３と、を有している。また、圧電振動部１３１と外枠部１３２との間には圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通溝１３６が形成されている。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面には励振電極１３４が形成されている。−Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４からは、−Ｚ’軸側の連結部１３３を通り、外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の辺の−Ｚ’軸側に寄った位置まで引出電極２３５が引き出されている。また＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４からは、＋Ｚ’軸側の連結部１３３、−Ｘ軸側の外枠部１３２及び＋Ｚ’軸側の外枠部１３２を通り、貫通溝１３６の外枠部１３２側の側面であり貫通溝１３６の＋Ｘ軸側の側面と＋Ｚ’軸側の側面との角及びその付近に形成された側面電極２３７を介して、外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側に寄った位置まで引出電極２３５が引き出されている。圧電振動片２３０では、一対の連結部１３３が圧電振動部１３１の一方の辺のみに連結されていることにより、圧電振動部１３１で発生する所定の振動数の振動が外枠部１３２等に逃げづらくなり、より安定した振動が得られるため好ましい。
【００５３】
ベース板２２０は、＋Ｙ’軸側の面に、凹部１２１と、凹部１２１を囲む接合面２２２と、−Ｘ軸側の辺及び＋Ｘ軸側の辺の各辺にそれぞれ２箇所、計４箇所の電極パッド２２３と、が形成されている。接合面２２２は、圧電振動片２３０の外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に封止材１４０を介して接合される。また、ベース板２２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子２２４と一対のグランド端子２２８とが形成される（図１４（ｂ）参照）。さらに、ベース板２２０の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の側面には各側面に２箇所、計４箇所のキャスタレーション２２６が形成されており、各キャスタレーション２２６にはそれぞれキャスタレーション電極２２５が形成されている。＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側に形成されるキャスタレーション電極２２５は、電極パッド２２３と実装端子２２４とをそれぞれ電気的に接続している。また、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側に形成されるキャスタレーション電極２２５は、電極パッド２２３とグランド端子２２８とをそれぞれ電気的に接続している。
【００５４】
図１３（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、圧電振動部１３１と、圧電振動部１３１を囲む外枠部１３２と、圧電振動部１３１と外枠部１３２とを連結する一対の連結部１３３と、により構成されている。圧電振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極２３５は、＋Ｚ’軸側の連結部１３３、外枠部１３２の−Ｘ軸側及び＋Ｚ’軸側を通り、貫通溝１３６の外枠部１３２の＋Ｘ軸側の側面と＋Ｚ’軸側の側面との角及びその付近に形成されている側面電極２３７に電気的に接続されている。
【００５５】
図１３（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示された圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動部１３１の−Ｙ’軸側に形成されている励振電極１３４からは、−Ｚ’軸側に形成されている連結部１３３を介して外枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の辺まで引出電極２３５が引き出されている。また、外枠部１３２の＋Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側に寄った位置には、側面電極２３７に電気的に接続されている引出電極２３５が形成されている。
【００５６】
図１４（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０の平面図である。ベース板２２０の＋Ｘ軸側の辺の２箇所、及び−Ｘ軸側の辺の２箇所にはそれぞれキャスタレーション２２６が形成されており、各キャスタレーション２２６にはキャスタレーション電極２２５が形成されている。また、＋Ｙ’軸側の面の各キャスタレーション２２５の周りには電極パッド２２３が形成されており、電極パッド２２３とキャスタレーション電極２２５とは電気的に接続されている。
【００５７】
図１４（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０の平面図である。ベース板２２０の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の−Ｚ’軸側には実装端子２２４が形成され、＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側にはグランド端子２２８が形成されている。各実装端子２２４及びグランド端子２２８は、キャスタレーション電極２２５に電気的に接続されている。また、各実装端子２２４及びグランド端子２２８は励振電極１３４とＹ’軸方向に重ならないように一部分が切り欠かれて形成されている。
【００５８】
図１５（ａ）は、−Ｙ’軸側の電極が示されたベース板２２０に＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１３４及び引出電極２３５が重ねられて示された平面図である。圧電デバイス２００では、励振電極１３４と実装端子２２４及びグランド端子２２８とはＹ’軸方向に重ならないように形成されている。しかし、図１５（ａ）に示されるように、−Ｘ軸側から＋Ｘ軸側に引き出される引出電極２３５は、多くの領域で実装端子２２４及びグランド端子２２８にＹ’軸方向に重なる。
【００５９】
図１５（ｂ）は、圧電デバイス２００の断面図である。図１５（ｂ）は、図１２及び図１５（ａ）のＥ−Ｅ断面を含んだ断面図である。圧電デバイス２００では圧電振動片２３０の引出電極２３５が−Ｘ軸側から＋Ｘ軸側へ引き出されているため、引出電極２３５の多くの領域で実装端子２２４及びグランド端子２２８にＹ’軸方向に重なる。そのため引出電極２３５と実装端子２２４及びグランド端子２２８との間には静電容量が発生する。この静電容量の大きさは電極間の距離の大きさに反比例するため、電極間の距離が大きくなると静電容量の大きさが小さくなり好ましい。圧電デバイス２００では、引出電極２３５が外枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面を介して−Ｘ軸側から＋Ｘ軸側に引き出されることにより、引出電極２３５と実装端子２２４及びグランド端子２２８との間の距離ＨＴが大きくなるように形成されている。そのため、引出電極２３５と実装端子２２４及びグランド端子２２８との間の静電容量の大きさが小さくされている。
【００６０】
圧電デバイス２００は、圧電デバイス１００と同様に、図５に示されたフローチャートに従って作製されることができる。圧電デバイス２００では、ステップＳ１０５における圧電振動片の振動周波数が測定される工程で振動周波数を正確に測定することができる。以下、図１６を参照して圧電デバイス２００の作製工程における振動周波数の測定について説明する。
【００６１】
図１６は、ベースウエハＷ２２０の平面図である。図１６は、ベースウエハＷ２２０を−Ｙ’軸側から＋Ｙ’軸方向に見た図が示されている。ベースウエハＷ２２０には複数のベース板２２０が形成されており、図１６では各ベース板２２０が、スクライブライン１５０に囲まれて示されている。また図１６には、−Ｙ’軸側の面に形成されている電極が示されている。ベースウエハＷ２２０のＺ’軸方向に伸びるスクライブライン１５０にはベースウエハＷ２２０を貫通する複数の貫通穴２２７が形成されており、各貫通穴２２７はステップＳ１０８でウエハが切断された後にキャスタレーション２２６（図１２参照）となる。貫通穴２２７にはキャスタレーション電極２２５（図１２参照）が形成されており、実装端子２２４及びグランド端子２２８に電気的に接続されている。１つの貫通穴２２７は、１箇所の実装端子２２４、及びＸ軸方向に隣接したベース板２２０に形成される１箇所のグランド端子２２８にのみ電気的に接続されている。
【００６２】
図５のステップＳ１０５における振動周波数の測定は、図１６に示されたプローブ１６０のように、各ベース板２２０の一対の実装端子２２４間にプローブ１６０を当てて行われる。このとき、各実装端子２２４は隣接したベース板２２０の実装端子２２４も含めて他の実装端子２２４に電気的に接続しないため、各ベース板２２０の一対の実装端子２２４は各圧電振動部１３１に形成される一対の励振電極１３４のみに電気的に接続されることになる。そのため圧電デバイス２００では、他の圧電振動部１３１の影響を受けることなく１箇所の圧電振動部１３１の振動周波数のみを測定することができるため、振動周波数を正確に測定することができる。
【００６３】
＜ベース板２２０の変形例＞
ベース板２２０には、グランド端子が形成されなくても良い。以下に、グランド端子が形成されていないベース板２２０ａについて説明する。
【００６４】
図１７（ａ）は、＋Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０ａの平面図である。ベース板２２０ａの＋Ｘ軸側の辺の２箇所、及び−Ｘ軸側の辺の２箇所にはそれぞれキャスタレーション２２６が形成されており、各キャスタレーション２２６には、キャスタレーション電極２２５が形成されている。また、＋Ｙ’軸側の面の各キャスタレーション２２５の周りには、電極パッド２２３が形成されており、電極パッド２２３とキャスタレーション電極２２５とは電気的に接続されている。
【００６５】
図１７（ｂ）は、−Ｙ’軸側の面に形成される電極が示されたベース板２２０ａの平面図である。ベース板２２０ａの−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側にはそれぞれ実装端子２２４ａが形成されている。＋Ｘ軸側に形成されている実装端子２２４ａは＋Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側のキャスタレーション２２６に形成されているキャスタレーション電極２２５に電気的に接続され、−Ｘ軸側に形成されている実装端子２２４ａは−Ｘ軸側の辺の−Ｚ’軸側のキャスタレーション２２６に形成されているキャスタレーション電極２２５に電気的に接続される。一方、＋Ｘ軸側の辺の−Ｚ’軸側、及び−Ｘ軸側の辺の＋Ｚ’軸側に形成されているキャスタレーション電極２２５は、実装端子２２４ａとは電気的に接続されていない。また実装端子２２４ａは、励振電極１３４にＹ’軸方向に重ならないように切り欠かれて形成されている。
【００６６】
ベース板２２０ａが用いられた場合にも、ベース板２２０と同様に圧電デバイスの作製工程の中で圧電振動片の振動周波数を正確に測定することができる。以下、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）を参照してベース板２２０ａが用いられた圧電デバイスの作製工程における振動周波数の測定について説明する。
【００６７】
図１８（ａ）は、＋Ｙ’軸側の電極が示されたベースウエハＷ２２０ａの平面図である。ベースウエハＷ２２０ａには複数のベース板２２０ａが形成されており、各ベース板２２０ａは二点鎖線で示されたスクライブライン１５０で囲まれている。また、各ベース板２２０ａの＋Ｙ’軸側の面には、凹部１２１及び凹部１２１の周りの接合面２２２が形成されている。各ベース板２２０ａの＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側の辺には、各辺に２つの貫通穴２２７が形成されており、各貫通穴２２７の側面にはキャスタレーション電極２２５が形成されている。また、各貫通穴２２７の＋Ｙ’軸側の面の周りには電極パッド２２３が形成されており、貫通穴２２７に形成されるキャスタレーション電極２２５に電気的に接続されている。
【００６８】
図１８（ｂ）は、−Ｙ’軸側の電極が示されたベースウエハＷ２２０ａの平面図である。図１８（ｂ）は、ベースウエハＷ２２０ａを−Ｙ’軸側から＋Ｙ’軸方向に見た図が示されている。各ベース板２２０ａに形成されている実装端子２２４ａはそれぞれ１つの貫通穴２２７のキャスタレーション電極２２５のみに接続されており、他の実装端子２２４ａには電気的に接続されていない。そのため、圧電振動片２３０の振動周波数の測定時に、他の電極の影響を受けずに正確な振動周波数の測定を行うことができる。
【００６９】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００７０】
例えば、圧電振動片はＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットなどであっても同様に適用できる。また圧電振動片は水晶材料のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材料に基本的に適用できる。さらに、圧電デバイス１００には発振回路を含むＩＣが搭載された圧電発振器にも適用できる。
【符号の説明】
【００７１】
１００、２００  …  圧電デバイス
１１０  …  リッド板
１１１、１２１  …  凹部
１１２、１２２、２２２  …  接合面
１２０、１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ、２２０、２２０ａ  …  ベース板
１２３、２２３  …  電極パッド
１２４、１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃ、１２４ｅ、２２４、２２４ａ  …  実装端子
１２５、２２５  …  キャスタレーション電極
１２６、２２６  …  キャスタレーション
１２７、２２７  …  貫通穴
１２８、１２８ｄ、１２８ｅ、２２８  …  グランド端子
１３０、２３０  …  圧電振動片
１３１  …  圧電振動部
１３２  …  外枠部
１３３  …  連結部
１３４  …  励振電極
１３５、２３５  …  引出電極
１３６  …  貫通溝
１３７、２３７  …  側面電極
１４０  …  封止材
１５０  …  スクライブライン
１６０  …  プローブ
【図１】
2012244503.tif 000003
【図２】
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【図３】
2012244503.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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