(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の異なるサイズのウエハー又はフィルム・フレーム又は太陽電池パネル（「構成枠」）を処理、担持、捕獲、保持、回収及び／又は移動するように構成される構成枠の処理装置を提供する。【解決手段】構成枠処理装置２０は多くの様々な位置の間で移動することができる少なく１つの構成枠捕獲要１００を含み、各々の位置は、特定の構成枠サイズに対応する。構成枠処理装置２０はまた、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の異なる位置への移動を制御及び／又は達成するように構成される位置整列メカニズムを含む。構成枠処理装置２０はまた、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００に連結される少なくとも１つの移動アーム２００を含み得る。少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の移動は、少なくとも１つの移動アーム２００の少なくとも一部の移動、回転及び／又は並進によって達成され得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
構成枠を捕獲するように構成される少なくとも１つの構成枠捕獲要素であって、第１の構成枠サイズに対応する第１の位置と、第２の構成枠サイズに対応する第２の位置との間で移動可能であり、該第２の構成枠サイズは該第１の構成枠サイズと異なる少なくとも１つの構成枠捕獲要素と；該少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される位置制御メカニズムであって、該第１の位置と該第２の位置との間で該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を制御し、それによって、該第１の構成枠サイズ及び該第２の構成枠サイズそれぞれの構成枠の処理を可能にするように構成される前記位置制御メカニズムと；を含む装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記装置による前記構成枠の捕獲を容易にする及び達成するうちの１つのため、真空力を該構成枠に適用するように構成される少なくとも１つの真空要素を含む、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記構成枠の捕獲を容易にする及び達成するうちの１つのため、該構成枠に真空力を適用するように構成される複数の真空要素を含み、該複数の真空要素の各々の真空要素が、複数の位置に移動可能であり、該複数の位置の各々は、複数の構成枠サイズの１つの構成枠サイズに対応する、請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結された少なくとも１つの移動アームをさらに含み、該少なくとも１つの移動アームは前記第１の位置と前記第２の位置との間の該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作を容易にする及び達成するうちの１つのために構成される、請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結された手動制御メカニズムをさらに含み、該手動制御メカニズムは前記第１の位置と前記第２の位置との間の該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作を制御する及び達成するうちの１つのために構成される、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記手動制御メカニズムが、第１の係合標識及び第２の係合標識を含む選択インタフェースと；該選択インタフェースに関して移動可能であり、該第１の係合標識及び該第２の係合標識の各々と係合可能であるように構成される選択装置レバーと；を含み、該第１の係合標識との該選択装置レバーの係合は該第１の位置への該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作に対応し、該第２の係合標識との該選択装置レバーの係合は該第２の位置への該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作に対応する、請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結され、自動的に構成枠サイズを検出するために構成される自動制御メカニズムをさらに含み、該自動制御メカニズムは、前記検出された構成枠サイズによって、前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作を制御する及び達成するうちの１つのためにさらに構成される、請求項４記載の装置。
【請求項８】
前記構成枠が、フィルム・フレーム、半導体ウエハーの少なくとも一部、ソーラー・ウエハーパネル、太陽電池パネル、及び、回路要素が属する電子装置パッケージの１つを含む、請求項１記載の装置。
【請求項９】
前記構成枠がフィルム・フレームを含み、前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、対応する複数のサイズのフィルム・フレームを担持するための複数の位置間で移動可能である、請求項４記載の装置。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記構成枠の少なくとも一部に引力を適用し、それによって前記装置による該構成枠の捕獲を達成するために構成される磁石の要素を含む、請求項１記載の装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記構成枠をそれへ捕獲するために構成される接着要素、把持要素及び捕獲要素の１つを含む、請求項１記載の装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、対応する複数のサイズの構成枠をそれによって捕獲するように複数の位置間での同時の移動のために構成される複数の構成枠捕獲要素を含む、請求項４記載の装置。
【請求項１３】
前記位置制御メカニズムが前記複数の構成枠捕獲要素に連結されるアクチュエータを含み、該アクチュエータは、前記複数の位置間で同時に該複数の構成枠捕獲要素を移動するように構成される、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記位置制御メカニズムは、前記アクチュエータと、前記複数の構成枠捕獲要素の各々の構成枠捕獲要素とに連結されるコネクタ・ベルトをさらに含み、該コネクタ・ベルトの前記複数の位置間における該複数の構成枠捕獲要素の同時の移動を制御するように構成される、請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの移動アームは複数の移動アームを含み、該複数の移動アームの各々の移動アームが少なくとも１つの構成枠捕獲要素を担持する、請求項１３記載の装置。
【請求項１６】
前記複数の移動アームの各々の移動アームによって担持される前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素は該移動アームに沿って移動可能であり、それによって、該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の位置を変える、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記複数の移動アームの前記構成枠捕獲要素間の相対的な空間的配置が、本質的に平らな構成枠表面領域に対応する構成枠捕獲領域を定める、請求項１３記載の装置。
【請求項１８】
前記複数の移動アームの前記構成枠捕獲要素間の前記相対的な空間的配置が、複数の標準の構成枠直径内の標準の構成枠直径に対応する該構成枠捕獲領域を定める、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記構成枠捕獲要素の各々が、互いに関連した前記構成枠の適当なバランスのためのフィードバックを提供するように構成されるセンサ要素をさらに含む、請求項１７記載の装置。
【請求項２０】
構成枠を捕らえるために構成された複数の構成枠捕獲要素であって、複数の異なる構成枠サイズに対応する複数の位置間で移動可能である複数の構成枠捕獲要素と；複数の移動アームであって、該複数の構成枠捕獲要素の各々の構成枠捕獲要素が該複数の移動アームの１つの移動アームにより担持される複数の移動アームと；を含み、該複数の移動アームが、前記複数の位置間で該複数の構成枠捕獲要素を自動的に移動させ、それによって、前記対応する複数の構成枠サイズの構成枠の捕獲を可能にするように構成される、構成を処理する装置。
【請求項２１】
前記複数の構成枠捕獲要素に連結される位置制御メカニズムをさらに含み、前記位置制御メカニズムが、前記複数の位置間の該複数の構成枠捕獲要素の移動を制御し、それによって、前記対応する複数の構成枠サイズの構成枠の捕獲を可能にするために構成される、請求項２０記載の装置。
【請求項２２】
前記位置制御メカニズムが、前記複数の構成枠捕獲要素を移動するように構成される電気機械アクチュエータを含む、請求項２１記載の装置。
【請求項２３】
前記位置制御メカニズムが、前記電気機械アクチュエータと前記複数の移動アームとに連結されるベルトをさらに含み、該ベルトは、該複数の移動アームの調整された移動、及び、前記複数の構成枠捕獲要素の対応する調整された移動を容易にする及び達成するうちの１つのために構成される、請求項２２記載の装置。
【請求項２４】
前記位置制御メカニズムが、前記複数の移動アームと前記複数の構成枠捕獲要素とに連結される手動制御メカニズムを含み、該手動制御メカニズムは、該複数の移動アームの移動、及び、該複数の構成枠捕獲要素を制御する及び達成するうちの１つのために構成される、請求項２１記載の装置。
【請求項２５】
前記手動制御メカニズムが、複数の係合標識を含む選択インタフェースと；該選択インタフェースに関して移動可能であり、該複数の係合標識の各々と係合可能であるように構成される選択装置レバーと；を含み、該選択装置レバーの該複数の係合標識の各々の係合標識との係合は、前記複数の移動アーム及び前記複数の構成枠捕獲要素の前記複数の位置の対応する位置の１つへの移動に対応する、請求項２４記載の装置。
【請求項２６】
前記複数の移動アーム及び前記複数の構成枠捕獲要素に連結される自動制御メカニズムをさらに含み、該自動制御メカニズムは構成枠サイズ自動的に検出し、前記複数の位置間の該複数の移動アーム及び該複数の構成枠捕獲要素の動作を制御する及び達成するうちの少なくとも１つのために構成される、請求項２１記載の装置。
【請求項２７】
前記構成枠が、フィルム・フレーム、半導体ウエハーの少なくとも一部、ソーラー・ウエハーパネル、太陽電池パネル、及び、回路要素が属する電子装置パッケージの１つを含む、請求項２１記載の装置。
【請求項２８】
前記複数の移動アーム内の各々の移動アームは選択的に移動可能であり、よって前記複数の構成枠捕獲要素間の相対的な位置を調整する、請求項２１記載の装置。
【請求項２９】
前記位置制御メカニズムが、前記複数の構成枠捕獲要素の少なくとも１つの構成枠捕獲要素を前記複数の移動アームの範囲内で移動アームの縦軸に沿って選択的に移動し、それによって複数の構成枠捕獲要素間の相対的な位置を選択的に調整するように構成される、請求項２１記載の装置。
【請求項３０】
位置制御メカニズムを用いた構成枠の構成枠サイズの識別であり、該構成枠サイズは第１の構成枠サイズ及び第２の構成枠サイズのうちの１つであり、該第１の構成枠サイズは該第２の構成枠サイズと異なるような識別と；構成枠処理装置の少なくとも１つの構成枠捕獲要素の該第１の構成枠サイズに対応する第１の位置、及び該第２の構成枠サイズに対応する第２の位置のうちの１つへの移動と；を含み、該構成枠処理装置は、該第１の構成枠サイズ及び該第２の構成枠サイズの各々の構成枠を担持するように構成される、構成枠を処理する方法。
【請求項３１】
前記位置制御メカニズムが、前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される手動制御メカニズムを含み、該手動制御メカニズムは、該第１の位置と該第２の位置との間の該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を制御する及び達成するうちの少なくとも１つのために構成される、請求項３０記載の方法。
【請求項３２】
前記構成枠の構成枠サイズの識別は、前記手動制御メカニズムを経た該構成枠サイズを表すユーザ入力の受信を含み、該手動制御メカニズムは該ユーザ入力を前記第１の位置及び前記第２の位置への前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動へと中継するように構成される、請求項３１記載の方法。
【請求項３３】
前記手動制御メカニズムが、第１の係合標識及び第２の係合標識含む選択インタフェースと；該選択インタフェースに関して移動可能であり、該第１の係合標識及び第２の係合標識の各々と係合可能であるように構成される選択装置レバーと；を含み、前記ユーザ入力が、該第１の係合標識及び該第２の係合標識のうちの１つとの該選択装置レバーの係合を達成し、それによって前記第１の位置及び前記第２の位置のうちの１つへのそれぞれの前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を達成する、請求項３２記載の方法。
【請求項３４】
前記位置制御メカニズムが、前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される自動制御メカニズムを含み、該自動制御メカニズムは前記構成枠サイズを自動的に検出して、識別するために構成され、該自動制御メカニズムは、該検出された構成枠サイズによって、前記第１の位置及び前記第２の位置の１つへの前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素の動作を制御する及び達成するうちの少なくとも１つのためにさらに構成される、請求項３０記載の方法。
【請求項３５】
前記構成枠処理装置が、識別された構成枠サイズに基づいて前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が前記第１の位置と前記第２の位置との間で自動的に移動するように構成されるアクチュエータを含む、請求項３０記載の方法。
【請求項３６】
前記構成枠処理装置が前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される少なくとも１つの移動アームを含み、該少なくとも１つの移動アームが、前記第１の位置と前記第２の位置との間での前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を容易にする及び達成するうちの１つのために構成される、請求項３５記載の方法。
【請求項３７】
前記構成枠処理装置が、前記アクチュエータ、前記少なくとも１つの移動アーム、及び、前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結されるコネクタ・ベルトを含み、該コネクタ・ベルトは、前記第１の位置と前記第２の位置との間での該少なくとも１つの移動アーム調整された移動、及び、それゆえに該少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を達成するように構成される、請求項３６記載の方法。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素は、前記構成枠処理装置による前記構成枠の担持を容易にする及び達成するうちの１つのために、真空力を該構成枠に適用するように構成される少なくとも１つの真空要素を含む、請求項３０記載の方法。
【請求項３９】
前記構成枠が、フィルム・フレーム、半導体ウエハーの少なくとも一部、ソーラー・ウエハーパネル、太陽電池パネル、及び、回路要素が属する電子装置パッケージの１つを含む、請求項３０記載の方法。
【請求項４０】
前記構成枠がフィルム・フレームを含み、前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、対応する複数のサイズのフィルム・フレームを担持するために複数の位置間で移動可能である、請求項３０記載の方法。
【請求項４１】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記構成枠の少なくとも一部に引力を適用し、それによって該構成枠捕獲要素装置による該構成枠の担持を達成するために構成される磁石の要素を含む、請求項３０記載の方法。
【請求項４２】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が、前記構成枠をそれへ保持するために構成される接着要素、把持要素及び捕獲要素の１つを含む、請求項３０記載の方法。
【請求項４３】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素が複数の構成枠捕獲要素を含み、該複数の構成枠捕獲要素の相対的な空間位置が、本質的に平らな構成枠表面領域に対応する構成枠捕獲領域を定める、請求項３６記載の方法。
【請求項４４】
前記複数の構成枠捕獲要素間の前記相対的な空間位置が、複数の標準の構成枠直径の範囲内の標準の構成枠直径に対応する前記構成枠捕獲領域を定める、請求項４３記載の方法。
【請求項４５】
前記少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される少なくとも１つのセンサを用いて前記構成枠処理装置によって担持される前記構成枠の適当なバランスのためのフィードバックの提供をさらに含む、請求項３６記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に、異なるサイズのウエハー、フィルム・フレーム又は太陽電池パネルのような構成枠を処理、捕獲、保持、回収又は担持するように構成される構成枠ハンドラ（又は、構成枠処理装置又はデバイス）に関するものである。特に本発明の構成枠ハンドラは、構成枠を処理、捕獲、保持、回収又は担持するように構成される少なくとも１つのキャリア又は捕獲要素を含み、少なくとも１つのキャリア又は捕獲要素は、異なる又は可変的なサイズの構成枠を処理、捕獲、保持、回収又は担持するために、多くの調節可能、選択可能な又は所定の位置の間で移動可能である。
【背景技術】
【０００２】
半導体部品及び電子機器製品へのグローバルな要求の増加により、そのような半導体部品及び電子機器製品を製造する方法、システム、デバイス及び技術における有意な前進へとつながってきた。より高い効率又は処理能力を供給することができる半導体部品の製造のためのシステム及びデバイス（例えば処理、包装及び／又は処理のためのシステム及びデバイス）は、需要がある。加えて、半導体部品を検査するための方法及び装置と関連した改良（例えばより高い精度及び速度の増加）もまた、半導体産業において評価される。
【０００３】
半導体部品製造に伴う多くの様々なプロセスが存在する。典型的な半導体部品の製造は多くの場合、製造、処理、試験、検査及び包装を含む複数のプロセス・ステップ又は部分を伴う。概して、半導体部品製造のために必要とされる各々の複数のプロセス・ステップ又は部分は異なるステーション又は位置（例えば製造ステーション、処理ステーション、検査ステーション及び包装ステーション）で生じる。したがって、半導体部品は一般に、それらの製造プロセスの間、異なるステーション又は位置間で移動する必要がある。
【０００４】
通常、半導体部品処理装置又はデバイス（例えばウエハー処理装置及びフィルム・フレーム処理装置）は、半導体部品を処理し、異なるステーション又は位置の間で前記半導体部品を移動するために使われる。多くの従来の半導体部品処理装置は、半導体部品を捕獲、保持又は担持するように構成されたグリッパー又はグリッパータイプのメカニズム又はアームを含む。しかしながら、グリッパータイプのメカニズム又はアームの使用は、構造上及び／又は操作上の制限条件と関連し得る。例えば、半導体部品を捕獲、保持又は担持するためのグリッパータイプのメカニズムの使用は、特に過度の握持力が前記半導体部品を捕獲、保持又は担持するために用いられる場合、半導体部品への損害又は変形を引き起こし得る。加えて、各々のグリッパータイプのメカニズムは、概して１つの特定のサイズの半導体部品を捕獲、保持又は担持するように構成される。
【０００５】
さらなる処理（例えば光学的検査）のために真空テーブル上にフィルム・フレームを移動するための半導体部品処理装置の使用に関して、フィルム・フレームを真空テーブル上へ捕獲、保持又は担持するためのグリッパータイプのメカニズム又はアームの使用は、半導体部品処理装置からフィルム・フレームを受容するための真空テーブルによるエジェクタ・ピンの存在及び使用を概して必要とする。しかしながら、エジェクタ・ピンの使用は、真空テーブル製造及び／又は操業費用の増加を含む制限条件及び不都合と関連する。加えて、エジェクタ・ピンは概して、真空テーブル上に隙間又は開口を導入し、それによって、真空テーブルの一以上の部分の吸入能力及び／又は真空均一性を減少する。加えて、真空テーブルに適切に（例えば完全に）収縮しない場合、エジェクタ・ピンは、フィルム・フレームに（又は、フィルム・フレームによって担持される半導体部品に）、望ましくない損害又は欠陥を引き起こし得る。
【０００６】
半導体部品を担持しているフィルム・フレームは、異なるサイズ（例えば直径）であり得る。例えば、一般的なフィルム・フレームのサイズは、６インチ（１５０ｍｍ）、８インチ（２００ｍｍ）及び１２インチ（３００ｍｍ）を含む。フィルム・フレームは、特定のサイズのウエハー（又は特定のタイプの半導体部品）を担持するために対応してサイズ設定され、フィルム・フレームが担持するように構成されるウエハー（又は半導体部品）よりも大きな全体の直径を有する。特に、フィルム・フレームは、金属又はプラスチック・リング、又は、ポリマー・フィルム又はテープを支持するように構成される輪郭を含む。ウエハー（例えば全体又は小立方体にされたウエハー）は、ポリマー・フィルムによって、例えば、フィルム・フレームリングと関連して中央に配置されるように担持され得る。
【０００７】
異なるサイズのフィルム・フレームの存在は、異なるサイズの前記フィルム・フレームを捕獲、保持、担持及び／又は移動することができるフィルム・フレーム処理装置の必要性につながる。多くの既存のフィルム・フレーム処理装置は例えば、異なるサイズのフィルム・フレームを捕獲、保持又は担持する前に有意な又は時間がかかる手動の修正の必要性のような、制限条件、不都合及び／又は問題を有する。したがって、フィルム・フレームを処理、捕獲、保持、担持及び／又は移動する新規な、変更された及び／又は改良されたフィルム・フレーム処理装置が必要とされる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によると、構成枠を捕らえるように構成される少なくとも１つの構成枠捕獲要素を含む装置が開示される。少なくとも１つの構成枠捕獲要素は、第１の構成枠サイズに対応する第１の位置と、第２の構成枠サイズに対応する第２の位置との間で移動可能であり、第２の構成枠サイズは、第１の構成枠サイズと異なる。装置はまた、少なくとも１つの構成枠捕獲要素に連結される位置制御メカニズムを含み、そこで、位置制御メカニズムは、第１の位置と第２の位置との間における少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動を制御するように構成され、それによって、第１の構成枠サイズ及び第２の構成枠サイズそれぞれの構成枠の処理を可能にする。
【０００９】
本発明の第２の態様によると、構成枠を処理するための装置が開示され、装置は、構成枠を捕らえるように構成される複数の構成枠捕獲要素を含み、複数の構成枠捕獲要素は、複数の異なる構成枠サイズに対応する複数の位置間で移動可能である。装置はまた複数の移動アームを含み、複数の構成枠捕獲要素の各々の構成枠捕獲要素は、複数の移動アームの１つの移動アームによって担持される。複数の移動アームは自動的に複数の位置間で複数の構成枠捕獲要素を移動させるように構成され、それによって、対応する複数の構成枠サイズの構成枠の捕獲を可能にする。
【００１０】
本発明の第３の態様によると、構成枠を処理するための方法が開示される。方法は、位置制御メカニズムを用いた構成枠の構成枠サイズの識別を含み、構成枠サイズは、第１の構成枠サイズ及び第２の構成枠サイズのうちの１つである。第１の構成枠サイズは、第２の構成枠サイズと異なる。方法はまた、構成枠処理装置の少なくとも１つの構成枠捕獲要素の第１の構成枠サイズに対応する第１の位置及び第２の構成枠サイズに対応する第２の位置への移動を含む。構成枠処理装置は、第１の構成枠サイズ及び第２の構成枠サイズの構成枠の各々を担持するように構成される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
本発明の様々な実施態様の以下の説明は、図に関して参照される。図面の説明は以下の通りである：
【図１】図１は、本発明の一実施態様による構成枠処理装置の解説用の図である；
【図２】図２は、図１の構成枠処理装置によって担持される異なるサイズの構成枠の部分的な底面図を示す；
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の一実施態様による第１のサイズの構成枠を担持している構成枠処理装置の部分的な等角図を示す；
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の一実施態様による第２のサイズの構成枠を担持している構成枠処理装置の部分的な等角図を示す；
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明の一実施態様による第３のサイズの構成枠を担持している構成枠処理装置の部分的な等角図を示す；
【図４】図４は、本発明の実施態様により、３つの異なるサイズの構成枠を担持するため、３つの異なる可能な位置間で一組の構成枠捕獲装置を配置するための一組の移動アームの３つの異なる可能な構成又は位置を示す；
【図５Ａ】図５Ａは、本発明の実施態様により、第１の構成枠サイズの構成枠を担持するために第１の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの部分的な等角図である；
【図５Ｂ】図５Ｂは、図５Ａに示すように、第１の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの上面図である；
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の実施態様により、第２の構成枠サイズの構成枠を担持するために第２の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの部分的な等角図である；
【図６Ｂ】図６Ｂは、図６Ａに示すように、第２の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの上面図である；
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の実施態様により、第３の構成枠サイズの構成枠を担持するために第３の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの部分的な等角図である；
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａに示すように、第３の位置で一組の構成枠捕獲要素を配置するように構成又は操作される手動制御メカニズムの上面図である；
【図８】図８は、本発明の一実施態様により、３つの移動アーム及び３つの構成枠捕獲要素を含む構成枠処理装置を示し、構成枠処理はまた、３つの移動アームに連結され、３つの移動アーム及び３つの構成枠捕獲要素の移動を達成するために構成されるアクチュエータ又はモーターを含む；
【図９】図９は、４つのアクチュエータ又はモーターを含む構成枠処理装置を示し、各々のアクチュエータは、本発明の実施態様によって１つの移動アームに連結され、前記移動アームの制御及び／又は移動を達成するように構成される；
【図１０Ａ】図１０Ａは、４つの移動アーム、４つの構成枠捕獲要素及びアクチュエータを含む構成枠処理装置を示し、構成枠処理装置は、本発明の実施態様によって四角形の構成枠を処理、捕獲、回収又は保持するように構成される；
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、４つの移動アーム、４つの構成枠捕獲要素及びアクチュエータを含む構成枠処理装置を示し、構成枠処理装置は、本発明の実施態様によって五角形の構成枠を処理、捕獲、回収又は保持するように構成される；
【図１１】図１１は、本発明の実施態様による複数の異なるサイズの構成枠の処理プロセスのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の多くの実施態様は、より具体的には、少なくとも２つの異なるサイズの構成、構成キャリア又は構成枠を処理、担持、保持、捕獲、回収及び／又は移動するように構成される構成枠処理装置又は構成枠ハンドラの装置に関するものである。本発明による様々な実施態様において、「構成枠」という語は、例えばそれが担持、支持、保持、維持することができる、又は、半導体ウエハー又は類似したタイプの基板のような構成の周辺部分と関連して少なくとも部分的に輪郭を囲む、取り囲む又は定めるフレーム又はシャシのようなデバイス、装置、構造又は部材を含む。構成枠は、半導体ウエハーのような構成の一部を（例えば接着フィルムのような張力をかけられた材料のシートにより）担持することができる一以上の表面（例えば本質的に平坦な平面）を提供する又は供給を可能にする。代表的な実施態様において、構成枠はフィルム・フレームであり得る。実施態様によっては、「構成枠」という語はまた、例えばウエハー、ソーラーパネル、又は、プリント回路基板のような電気部品の基板自体を含むことができる。
【００１３】
構成枠処理装置は、少なくとも１つの構成枠捕獲要素（構成枠キャリア要素、構成枠保持要素又は構成枠回収要素とも呼ばれる）を含み、多くの実施態様において、複数の構成枠捕獲要素（例えば２、３、４又はそれ以上の構成枠捕獲要素）が存在する。各々の構成枠捕獲要素は、構成枠、例えばフィルム・フレーム又はウエハーのような半導体関連の構成枠上へ、捕獲、処理、担持、しっかりと維持又は保持するように構成及び／構築される。
【００１４】
ほとんどの実施態様において、構成枠処理装置の少なくとも１つの構成枠捕獲要素が多くの様々な位置（例えば少なくとも第１の位置及び第２の位置）の間で移動可能であり、各々の位置は特定の構成枠サイズ（例えばそれぞれ第１の構成枠サイズ及び第２の構成枠サイズ）に対応する。特定の位置（例えば第１の位置又は第２の位置）での少なくとも１つの構成枠捕獲要素の移動及び配置により、対応するサイズ（例えばそれぞれ第１の構成枠サイズ又は第２の構成枠サイズ）の構成枠の処理、担持、捕獲、保持、回収及び／又は移動の少なくとも１つが容易になる又は達成される。したがって、構成枠処理装置の少なくとも１つの構成枠捕獲要素は、構成枠処理装置によって異なるサイズの構成枠の処理、担持、捕獲、保持、回収及び／又は移動を容易にする又は可能にするように移動することができる。
【００１５】
構成枠処理装置は、構成枠捕獲要素に連結される位置制御メカニズム又はモジュールをさらに含むことができる。位置制御メカニズムは、構成枠捕獲要素の相対的な移動及び位置を制御するように構成される。位置制御メカニズムは、手動制御メカニズム（手動の調整メカニズム又は構造とも呼ばれる）及び／又は自動制御メカニズム（自動調整メカニズム又はモジュールとも呼ばれる）を含むことができる。多くの実施態様において、手動制御メカニズムは、受信されたユーザ（又は手動の）入力又は選択に応答して構成枠捕獲要素の移動及び配置を容易にする、達成する及び／又は制御するように構成される。自動制御メカニズムは、自動的に、少なくとも部分的に自動的に、又は、少なくとも本質的に自動的に検知、捕獲、検出又は識別された構成枠の特徴又は特性（例えば構成枠サイズ、表面領域、平らな構成の表面領域、本質的に平らな構成の表面領域又は空間範囲）に応答して構成枠捕獲要素の移動及び配置を容易にする、達成する及び／又は制御するように構成される。
【００１６】
ほとんどの実施態様において、構成枠処理装置は、構成枠捕獲要素に連結された少なくとも１つの移動メカニズム、アーム、モジュール又はレバーを含む。構成枠処理装置が複数の構成枠捕獲要素を含む多くの実施態様において、構成枠処理装置はまた対応する数の移動アームを有することができ、各々の移動アームは１つの構成枠捕獲要素を担持している。各々の移動アームは代わりに一以上の構成枠捕獲要素を担持することができると理解される。移動アームの少なくとも一部の移動、並進及び／又は回転により、構成枠捕獲要素の移動が容易になる又は達成され、それによって、対応するサイズの構成枠の処理、担持、回収又は捕獲のために異なる位置へと担持される。移動アームの少なくとも一部の前記移動、並進、動作及び／又は回転は、位置制御メカニズムによって、容易にされる、達成される及び／又は制御され得る。
【００１７】
いくつかの実施態様において、移動アームの少なくとも一部の前記移動、並進、動作及び／又は回転、及び、前記移動アームによって担持される構成枠捕獲要素の対応した移動及び配置は、制御された、調整された、同期された及び／又は自動的な方法で実行され得る。
【００１８】
複数の異なるサイズの例えばフィルム・フレームのような半導体関連の構成の処理構成枠のための装置、プロセス、方法及び／又は技術の代表的な態様は、図１から図１１に関して以下に詳細に記載され、そこで同類又は類似した要素又はプロセス部は、同類又は類似した参照番号によって番号を付けられて示される。図１から図１１の一以上に対応する図形材料と関連して、与えられた参照番号の説明は、そのような参照番号が以前に示された図の同時的な考察を示すことができる。本発明によって提供される実施態様は、本明細書において記載される様々な実施態様の中で存在する特定の基本的な構造上及び／又は操作上の原理が要求する用途から除外されない。加えて、本発明は、出願人「Semiconductor Technologies and Instruments Pte Ltd社」によって各々２０１１年５月１２日出願のシンガポール特許出願「フィルム・フレーム及びウエハーのような構成枠を処理及び整列配置するためのシステム及び方法」（参照番号ＳＴＩ−Ｐ０１２ＳＧ）及び、「構成枠を処理及び移動するように構成される複数の構成枠ハンドラを用いたシステム及び方法」（参照番号ＳＴＩ−Ｐ０１４ＳＧ）に関連し、参照においてその全体を組み込むものである。
【００１９】
代表的な構成枠処理装置の態様
図１から図１０は、本発明の特定の態様により、構成枠処理装置２０（構成枠ハンドラ、構成枠捕獲装置、構成処理装置又は構成捕獲装置とも呼ばれる）の様々な態様を示す。
【００２０】
構成枠処理装置２０は、多くの様々なサイズの構成枠５０を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するために構成される。明確性及び簡潔さのため、本発明の様々な実施態様の構成枠処理装置２０の以下の説明は、フィルム・フレーム５０の処理のために構成枠処理装置２０の使用に関して提供される。構成枠５０への参照は、例えばウエハー、パッケージ化半導体チップ、プリント回路基板、太陽電池パネル、ソーラー・ウエハーパネル及び／又はソーラーパネルのような電子装置の半導体関連の構成を含む他の構成枠又は構成フレームへの参照を含むと理解される。したがって、構成枠処理装置２０は、例えばウエハー、パッケージ化半導体チップ、プリント回路基板、太陽電池パネル、ソーラー・ウエハーパネル及び／又はソーラーパネルのような電子装置の半導体関連の構成を含む構成枠を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するために使われ得る。本発明の特定の実施態様の構成枠処理装置２０は、例えば複数の所定の又は基準サイズを有することができるセラミック・タイル又は機械加工された部品のような他のタイプの構成枠を処理するように構成される。例えば、図１０Ａ及び図１０Ｂは、例えば矩形及び五角形の構成枠のように異なるサイズ及び形状の構成枠を処理、捕獲、回収又は担持する構成枠処理装置２０を示す。
【００２１】
例えば明確に図１から図９に示されるように本発明の複数の実施態様において、構成枠処理装置２０は、３つの異なるサイズの構成枠５０、特にフィルム・フレーム５０ａ、５０ｂ、５０ｃを処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するために構成される。例えば、構成枠処理装置２０は、１２インチのフィルム・フレーム５０ａ、８インチのフィルム・フレーム５０ｂ、６インチのフィルム・フレーム５０ｃを処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するために構成され得る。構成枠処理装置２０は代わりに、他のサイズのフィルム・フレーム５０を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するために構成され得ると理解される。
【００２２】
構成枠処理装置２０は、移動エフェクタ３０に連結される又は含むことができる。移動エフェクタ３０は、多くの様々な位置、ステーション又は、他のシステム・デバイス又はユニット間で構成枠処理装置２０を移動、並進及び／又は回転させるように構成される。構成枠処理装置２０の移動、並進及び／又は回転により、多くの様々な位置、位置、ステーション、又は、より広いシステム構成間で構成枠処理装置２０によって捕獲又は担持される構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の移動及び転送が可能になる。例えば、構成枠処理装置２０は、フィルム・フレーム搭載ステーション又はフィルム・フレーム記憶ステーションのような構成枠搭載ステーション（構成枠貯蔵ステーション、構成フレーム搭載ステーション又は構成フレーム貯蔵ステーションとも呼ばれる）から、真空テーブル又は真空チャックに構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を移動するために使われ得る。
【００２３】
本発明の多くの実施態様において、構成枠処理装置２０の移動、並進及び／又は回転は、構成枠処理装置２０及び移動エフェクタ３０に連結される計算器又は指示処理ユニット（例えばマイクロプロセッサ又はマイクロコントローラ）（図示せず）によって実行される一組の指示（例えばコンピュータプログラムの指示）によって、決定及び／又は制御される。特に、構成枠処理装置２０の移動、並進及び／又は回転の開始、終了、指示、及び、速度の少なくとも１つは、構成枠処理装置２０及び移動エフェクタ３０に連結される計算器又はプロセッサによって実行及び／又は制御される一組の指示（例えばコンピュータプログラムの指示）によって決定及び／又は制御され得る。
【００２４】
構成枠処理装置２０は少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００を含み、多くの実施態様において、複数の構成枠捕獲要素１００（構成枠キャリア要素、又は構成枠保持要素、又は回収要素とも呼ばれる）及び少なくとも１つの移動アーム２００を含み、また多くの実施態様で複数の移動アーム２００（移動メカニズム、構造、結合又はレバー；又は、並進アーム、メカニズム、構造又はレバーとも呼ばれる）を含む。
【００２５】
多くの実施態様において、各々の移動アーム２００は、１つの構成枠捕獲要素１００を担持する又はそれに連結される。図１から図９に示すように、構成枠処理装置２０は、複数の（例えば３又は４の）移動アーム２００を含むことができ、各々の移動アーム２００は１つの構成枠捕獲要素１００を担持している。あるいは、構成枠処理装置２０は複数の移動アーム２００を含むことができ、そこで各々の移動アーム２００は、２つ以上の構成枠捕獲要素１００を担持する又はそれに連結される。
【００２６】
構成枠処理装置２０の構成枠捕獲要素１００は、複数の可変的な、調節可能な、所定の又は指定の相対的な位置に移動及び配置され得る。構成枠捕獲要素１００の各々の相対的な位置は、特定の構成枠サイズ（例えば特定のフィルム・フレームサイズ）に対応し得る。
【００２７】
特定の相対的な位置での複数の構成枠捕獲要素１００の位置により、対応する構成枠サイズ（例えばフィルム・フレームサイズ）の構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の処理、捕獲、担持、回収及び／又は保持の１つが容易になる又は達成される。複数の構成枠捕獲要素１００の移動及びそれゆえに相対的な位置の変化により、構成枠処理装置２０が異なるサイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を処理、捕獲、担持、回収及び／又は保持することができる。構成枠捕獲要素１００の構造上、機能上及び操作上の態様のさらなる説明は、以下に提供される。
【００２８】
構成処理装置２０は、位置制御メカニズム３００をさらに含むことができる。位置制御メカニズム３００は、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の移動、並進及び／又は配置を制御するために構成され、多くの実施態様において、異なる所定の、特定の又は指定の位置間の構成処理装置２０の複数の構成枠捕獲要素１００は、対応する構成サイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の処理、捕獲、担持、保持及び／又は移動を容易にする又は達成する。
【００２９】
多くの実施態様において、位置制御メカニズム３００は、構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を容易にして、達成する及び／又は制御するため、手動制御メカニズム３２０（又は手動の調整メカニズム３２０）及び自動制御メカニズム（又は、自動調整メカニズム）のうちの少なくとも１つを含む。位置制御メカニズム３００の構造上、機能上及び操作上の態様のさらなる説明は、以下に提供される。
【００３０】
構成枠捕獲要素／フィルム・フレーム捕獲要素の様々な態様
上記の通り、多くの実施態様において、構成枠処理装置２０は、複数の構成枠捕獲要素１００を含む。構成枠捕獲要素１００の数は、例えば、構成枠処理装置２０によって処理される構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズ、重さ及び／又は形状によって必要に応じて変化し得る。構成枠捕獲要素１００の数はまた、構成枠処理装置２０によって処理、担持、回収又は捕獲される構成枠５０のタイプによって変化し得る。
【００３１】
例えば図１から図７Ｂ、及び、図９から図１０Ｂにおいて示された実施態様のようないくつかの実施態様において、構成枠処理装置２０は、４つの構成枠捕獲要素１００を含む。４つの構成枠捕獲要素１００の各々は、本質的に正方形又は矩形であり得る構成枠処理装置２０の角と関連して位置づけられる又は位置する、及び／又は配置される。構成枠処理装置２０は、例えば１、２、３、４、５又はそれ以上の構成枠捕獲要素１００のように他の数の構成枠捕獲要素１００を含むことができると理解される。構成枠捕獲要素１００は、円形、本質的に正方形又は矩形であり得る構成枠処理装置２０の角と関連して位置づけられる又は位置する、及び／又は配置されるとも理解される。例えば図８に示すように、構成枠処理装置２０は、三角形の構成に配置される３つの構成枠捕獲要素１００を含むことができる。
【００３２】
該構成枠処理装置２０の全体的な形状、サイズ及び設計と同様に特定の構成枠処理装置２０の構成枠捕獲要素１００の数及び構成は、例えば製造費用、又は、他の制限条件、人間工学的な考察、構造上の冗長性及び／又は前記構成枠処理装置２０によって処理される構成枠のタイプによって必要に応じて変化し得る。
【００３３】
本発明の多くの実施態様において、複数の構成枠捕獲要素１００は、複数の吸入又は真空要素１００を含む又は複数の吸入又は真空要素１００である。複数の吸入要素１００は、吸入力を構成枠５０、フィルム・フレーム５０を構成枠処理装置２０に保持、捕獲、回収又は固定するために特にフィルム・フレーム５０に適用するように構成される。複数の吸入要素１００によってフィルム・フレーム５０に適用される吸入力の量、総量及び／又は継続期間は、必要に応じて制御及び／又は変化させられる。特定の実施態様において、複数の吸入要素１００によってフィルム・フレーム５０に適用される吸入力の量、総量及び／又は継続期間は、複数の吸入要素１００に連結される計算デバイス又はプロセッサによって実行される一組の指示によって制御及び変化させられる。
【００３４】
複数の吸入要素１００は、フィルム・フレーム５０を複数のステーション、デバイス、又は位置（例えば、フィルム・フレーム搭載ステーション、フィルム・フレーム貯蔵ユニット又はカセット、又はロボット構成ハンドラ）からピックアップ、および前記フィルム・フレーム５０を他のステーション、デバイス、又は位置（例えば、真空テーブル、構成処理又は検査ステーション、又は他のロボット構成枠ハンドラ）へ移動させるように構成される。
【００３５】
複数の吸入要素１００による吸入力の適用により、構成枠処理装置２０による又はそれへのフィルム・フレーム５０のピックアップ、捕獲、連結、担持、回収及び／又は固定が達成される。続いて、複数の吸入要素１００によるフィルム・フレーム５０への吸入力の適用の減少、休止、中止又は停止により、複数の吸入要素１００からのフィルム・フレーム５０の解放、それゆえに、構成枠処理装置２０からの解放を達成することができる。
【００３６】
複数の構成枠捕獲要素１００は、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を捕獲、ピックアップ、回収又は担持するために構成される。吸入要素１００の使用が上で記載された一方で、接着手段、グリッパー・メカニズム及び／又は磁力デバイスの使用のような他の手段、ツール又はメカニズムが、複数の構成枠捕獲要素１００によって、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を捕獲、ピックアップ、回収又は担持するのを容易にする又は達成するために代わりに及び／又は加えて使用されると理解される。
【００３７】
移動メカニズム又は並進メカニズムの様々な態様
上記の通り、複数の構成枠捕獲要素１００（例えば吸入要素１００）は、多くの様々な位置の間で移動することができ、各々の位置は、異なる構成枠サイズ（例えばフィルム・フレームのサイズ又は形状）に対応する。
【００３８】
多くの実施態様において、各々の構成枠捕獲要素１００は、移動アーム２００により担持される又はそれに連結される。構成枠捕獲要素１００の移動は、移動アーム２００の移動、動作、及び／又は構成により達成される、容易にされる及び／又はそれに依存する。
【００３９】
図４は、複数の移動アーム２００の３つの異なる相対的な構成又は位置を示す。特に、図４は、複数の移動アーム２００ａの第１の構成、複数の移動アーム２００ｂの第２の構成及び複数の移動アーム２００ｃの第３の構成を示す。複数の移動アーム２００ａ、２００ｂ及び２００ｃの第１の構成、第２の構成及び第３の構成の各々は、例えば、第１の位置、第２の位置及び第３の位置のそれぞれ対応する相対的な位置で、複数の構成枠捕獲要素１００の配置を達成する。
【００４０】
いくつかの実施態様において、第１の構成による複数の移動アーム２００ａの位置により、第１のサイズ（例えば１２インチ）のフィルム・フレーム５０ａの捕獲を容易にする又は可能にするため、複数の構成枠捕獲要素１００は第１の位置に配置される。第２の構成による複数の移動アーム２００ｂの位置により、第２のサイズ（例えば８インチ）のフィルム・フレーム５０ｂの捕獲を容易にする又は可能にするため、複数の構成枠捕獲要素１００は第２の位置に配置される。加えて、第３の構成による複数の移動アーム２００ｃの位置により、第３のサイズ（例えば６インチ）のフィルム・フレーム５０ｃの捕獲を容易にする又は可能にするため、複数の構成枠捕獲要素１００は第３の位置に配置される。
【００４１】
図５Ａ及び図５Ｂに示すように、複数の移動アーム２００ａが第１の構成になる又はそれに関連して配置される場合、複数の構成枠捕獲要素１００（例えば複数の吸入要素１００）は、第１のサイズ（例えば１２インチ）のフィルム・フレーム５０ａを処理、捕獲、担持、保持、回収又は移動するために第１の位置に位置する又は配置される。
【００４２】
図６Ａ及び図６Ｂに示すように、複数の移動アーム２００ｂが第２の構成になる又はそれに関連して配置される場合、複数の構成枠捕獲要素１００（例えば複数の吸入要素１００）は、第２のサイズ（例えば８インチ）のフィルム・フレーム５０ｂを処理、捕獲、担持、保持、回収又は移動するために第２の位置に位置する又は配置される。
【００４３】
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、複数の移動アーム２００ｃが第３の構成になる又はそれに関連して配置される場合、複数の構成枠捕獲要素１００（例えば複数の吸入要素１００）は、第３のサイズ（例えば６インチ）のフィルム・フレーム５０ｃを処理、捕獲、担持、保持、回収又は移動するために第３の位置に位置する又は配置される。
【００４４】
本発明のいくつかの実施態様において、各々の移動アーム２００は、細長い形状又は構成であり得る。各々の移動アーム２００に担持される又はそれに連結される構成枠捕獲要素１００は、異なる位置での配置のために移動アーム２００に沿って移動することができる。つまり、移動アーム２００に沿った構成枠捕獲要素１００の移動により、前記構成枠捕獲要素１００の位置変化が達成される。特定の実施態様において、構成枠捕獲要素１００は、例えば連結構造又は連結メカニズム（図示せず）を経て移動アーム２００からさらに離れて延長され得る。移動アーム２００から離れた構成枠捕獲要素１００の延長により、互いにより離れた距離での複数の構成枠捕獲要素１００の配置が可能になる。
【００４５】
複数の移動アーム２００は当業者に公知である他の構成、形状及び／又は移動の特徴を採用する又は当業者に公知である他の構成、形状及び／又は移動の特徴を呈することができ、それによって複数の移動アーム２００によって担持される複数の構成枠捕獲要素１００と関連した異なる移動及び／又は配置特徴を可能にする又は達成すると理解される。移動アーム２００の移動、並進、動作及び／又は回転、及び、それによって担持される構成枠捕獲要素１００の対応する移動は、構成枠処理装置２０の位置制御メカニズム３００によって制御され得る。
【００４６】
位置制御メカニズムの様々な態様
位置制御メカニズム３００は、複数の移動アーム２００の各々の移動メカニズム２００、及び、複数の構成枠捕獲要素１００の各々の構成枠捕獲要素１００に連結される。ほとんどの実施態様において、位置制御メカニズム３００は、複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を制御する、達成する及び／又は決定する。位置制御メカニズム３００は、移動アーム２００の移動、回転及び／又は並進を制御する及び／又は達成する。
【００４７】
複数の実施態様において、位置制御メカニズム３００は、例えばハーネス、チェーン、コード、テープ又はベルトのような連結又はバンド構造３５０を経由して複数の移動アーム２００の各々の移動メカニズム２００、及び、複数の構成枠捕獲要素１００の各々の構成枠捕獲要素１００に連結される。
【００４８】
連結構造３５０は、各々の移動アーム２００によって担持される連結支持又はモジュール３６０を経て各々の移動アーム２００に連結され得る。構成枠処理装置２０が４つの移動アーム２００を含む実施態様において、構成枠処理装置２０はまた４つの連結モジュール３６０を含むことができ、各々の連結モジュール３６０は１つの移動アーム２００に連結される又はそれにより担持される。
【００４９】
対応した連結モジュール３６０及び連結構造３５０を経た複数の移動アーム２００の各々の移動アーム２００の接続又は連結は、各々の移動アーム２００及びしたがって複数の構成枠捕獲要素１００の各々の構成枠捕獲要素１００の調整された、本質的に調整された、同期された又は本質的に同期された移動を容易にする、可能にする又は達成する。対応した連結モジュール３６０及び連結構造３５０を経た各々の移動アーム２００間の接続又は連結により、複数の構成枠捕獲要素１００の複数の各々の構成枠捕獲要素１００の異なる位置間での（例えば、第１の位置、第２の位置及び第３の位置間での）調整された又は同期された移動及び配置の１つが容易になる又は達成される。
【００５０】
いくつかの実施態様において、連結構造３５０による複数の移動アーム２００の相互連結により、位置制御メカニズム３００が制御された、調整された及び／又は同期された方法で複数の移動アーム２００の移動を制御及び／又は達成することができる。位置制御メカニズム３００によって提供される単一の制御トリガー又は信号は、複数の移動アーム２００の調整された移動、及び、それゆえに構成枠捕獲要素１００の複数の調整された移動を達成するのに十分である。
【００５１】
多くの実施態様において、位置制御メカニズム３００は、手動制御メカニズム３２０（又は、手動の調整メカニズム３２０）及び自動制御メカニズム（又は、自動調整メカニズム）の少なくとも１つを含む。複数の実施態様において、各々の手動制御メカニズム３２０及び自動制御メカニズムは構成枠サイズを識別、指示、検知、検出、決定及び／又は応答することができ；識別された、明らかに指示された、検知された、検出された及び／又は決定された構成枠サイズに基づいて複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を達成する。
【００５２】
以下の手動制御メカニズム３２０の説明は、図３Ａから図３Ｃを主に参照して提供される。図３Ａから図３Ｃは、３つの対応したサイズのフィルム・フレーム５０（例えば第１のサイズのフィルム・フレーム５０ａ、第２のサイズのフィルム・フレーム５０ｂ、第３のサイズのフィルム・フレーム５０ｃ）を捕獲、担持、回収又は保持するための３つの異なる位置間（例えば第１の位置、第２の位置及び第２の位置）の複数の構成枠捕獲要素１００の移動を制御及び達成するための手動制御メカニズム３２０の使用を示す。
【００５３】
複数の実施態様において、手動制御メカニズム３２０又は手動の調整メカニズム３２０は、位置選択インタフェース３２５、可動選択装置モジュール、レバー又は要素３３０（以下に可動選択装置３３０と呼ばれる）、及び、選択装置動作案内３３５を含む。
【００５４】
位置選択インタフェース３２５は、多くの係合標識、くぼみ、孔、溝又はノッチ３２７（以下に係合標識３２７と呼ばれる）を含む。係合標識３２７は、位置選択インタフェース３２５内で形成され、可動選択装置３３０の一部を受容するために成形及び構成される。
【００５５】
いくつかの実施態様において、各々の係合標識３２７は、１つの構成枠サイズ（例えばフィルム・フレームのサイズ）、それゆえに、複数の構成枠捕獲要素１００の１つの相対的な位置に対応する。図３Ａから図３Ｃに示すように、実施態様によっては、位置選択インタフェース３２５は、３つの係合標識３２７（例えば第１の係合標識３２７ａ、第２の係合標識３２７ｂ及び第３の係合標識３２７ｃ）を含む。３つの係合標識３２７の各々は、特定のフィルム・フレームサイズに対応する（例えばそれぞれ第１のサイズ、第２のサイズ及び第３のサイズ）。
【００５６】
可動選択装置３３０の特定の係合標識３２７との係合は、対応するサイズのフィルム・フレーム５０の捕獲を可能にするため、特定の位置での複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び位置を達成する。図３Ａに示すように、可動選択装置３３０の第１の係合標識３２７ａとの係合により、第１のサイズ（例えば１２インチ）のフィルム・フレーム５０ａを捕獲するために複数の構成枠捕獲要素１００が配置される。図３Ｂに示すように、可動選択装置３３０の第２の係合標識３２７ｂとの係合により、第２のサイズ（例えば８インチ）のフィルム・フレーム５０ｂを捕獲するために複数の構成枠捕獲要素１００が配置される。加えて、図３Ｃに示すように、可動選択装置３３０の第３の係合標識３２７ｃとの係合により、第３のサイズ（例えば６インチ）のフィルム・フレーム５０ｃを捕獲するために複数の構成枠捕獲要素１００が配置される。
【００５７】
可動選択装置３３０は、各々の異なる係合標識３２７間の可動選択装置３３０に対応して移動及び配置するために位置選択インタフェース３２５と関連して移動する又は動かすことができる。可動選択装置３３０の移動又は動作は、選択装置動作案内３３５によって制御される、容易にされる又は導かれる。
【００５８】
多くの実施態様において、可動選択装置３３０は、手動で可動選択装置３３０を移動させ、それゆえに各々の異なる係合標識３２７間で可動選択装置３３０の位置を調整することができるユーザにアクセス可能である。ユーザは、意図された又は目標の係合標識３２７との係合のために可動選択装置３３０を可変に配置するために位置選択インタフェース３２５と関連して手動で可動選択装置３３０を移動させることができる。したがって、ユーザは、その構成枠処理装置２０が捕獲、処理、担持、保持及び／又は移動する構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズを識別、選択又は決定する。
【００５９】
手動制御メカニズム３２０により、構成枠サイズ及び／又は形状に基づく構成枠捕獲要素１００の特定の位置への移動の制御及び／又は実施のため、ユーザが実施した入力が中継されるのを可能にする。複数の実施態様において、手動制御メカニズム３２０は、連結構造３５０及び連結モジュール３６０を経て各々の移動アーム２００及び各々の構成枠捕獲要素１００に相互連結される。手動制御メカニズム３２０を経たユーザが実施した入力は、一連の移動アーム２００の各々の移動アーム２００の調整された移動を達成する、及び、それゆえに構成枠捕獲要素１００の調整された移動を達成するため、連結構造３５０及び連結モジュール３６０を経て各々の移動アーム２００へと中継される。
【００６０】
いくつかの実施態様において、構成枠処理装置２０、特に構成枠処理装置２０の位置制御メカニズム３００は、自動制御メカニズムを含む。移動アーム２００、及び、それゆえに移動アーム２００によって担持される構成枠捕獲要素１００（例えば吸入要素１００）の移動、並進及び／又は回転は、自動制御メカニズムによって提供されるトリガー、信号又は指示に応答して容易にされる、達成される及び／又は制御され得る。
【００６１】
つまり、複数の移動アーム２００の移動、並進及び／又は回転、及び、それゆえに、対応するサイズ（例えばそれぞれ第１のサイズ、第２のサイズ又は第３のサイズ）の構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の捕獲を容易にする又は可能にするための特定の位置（例えば第１の位置、第２の位置又は第３の位置）への複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び配置は、自動制御メカニズムによって決定される又は制御され得る。
【００６２】
自動制御メカニズムは、構成枠サイズ又は形状（例えばフィルム・フレームのサイズ又は形状）を自動的に又は少なくとも本質的に自動的に検出、識別、検知又は決定するように構成され得る。いくつかの実施態様において、自動制御メカニズムは、複数の移動アーム２００及び複数の構成枠捕獲要素１００に連結される。自動制御メカニズムは、複数の移動アーム２００の移動、並進及び／又は回転、および、したがって、検知、検出、識別又は決定された構成枠サイズ（例えばフィルム・フレームサイズ又はウエハー・サイズ）に基づいて複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を達成し、容易にし、及び／又は制御する。
【００６３】
いくつかの実施態様において、自動制御メカニズムは、連結構造３５０により複数の移動アーム２００及び複数の構成枠捕獲要素１００に連結される。連結構造３５０により、複数の移動アーム２００の各々の移動アーム２００の調整された、同期された又は同時の移動、並進及び／又は回転、及び、それゆえに複数の構成枠捕獲要素１００の各々の構成枠捕獲要素１００の調整された、同期された又は同時の移動及び配置が容易になる又は可能になる。
【００６４】
あるいは、自動制御メカニズムは、複数の移動アーム２００の少なくとも１つの移動アーム２００の選択的な移動、及び、したがって複数の構成枠捕獲要素１００の少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の選択的な移動を達成することができる。少なくとも１つの移動アーム２００及び少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の選択的な移動及び配置によって、自動制御メカニズムは、構成枠処理装置２０が異なるサイズのフィルム・フレーム５０を捕獲又はピックアップすることができる又は可能にするように、複数の移動アーム２００、及び、それゆえに複数の構成枠捕獲要素１００の相対的な位置を変化させる又は調整することができる。
【００６５】
いくつかの実施態様において、自動制御メカニズムは、自動検知装置又はメカニズム（例えば自動センサ）（図示せず）に連結される。自動検知装置は、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズ及び／又は形状を検出又は決定するように構成され；検出されたサイズ及び／又は形状の構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０又はウエハー）の捕獲又はピックアップを可能にするため、その後で、少なくとも１つの移動アーム２００、及び、それゆえに少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の移動及び配置のための制御信号又は作動コマンドを生成、提供及び／又は伝える。
【００６６】
自動検知装置は、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズ及び／又は形状を検出、検知又は決定するように構成される、少なくとも１つの、多くの実施態様においては複数の近接又はポジションセンサを含むことができる。近接又はポジションセンサによって検出又は検知された構成枠サイズ及び／又は形状に基づいて、自動検出装置、及び、それゆえに自動制御メカニズムは、対応するサイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を捕獲するため、意図した、目標の又は所望の相対的な位置で、複数の構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を制御及び／又は達成することができる。
【００６７】
自動検知装置は、構成枠搭載ステーション（例えばフィルム・フレーム搭載ステーション又はフィルム・フレーム貯蔵ステーション）（図示せず）で、その中で又は近接して配置される又は位置することができる。構成枠搭載ステーション（例えばフィルム・フレーム搭載ステーション）に置かれた自動検知装置は、フィルム・フレーム搭載ステーションで配置又は貯蔵されたフィルム・フレーム５０のサイズを自動的に検知又は検出するように構成されることができる。自動検知装置によって検知されたように、フィルム・フレーム搭載ステーションに配置されたフィルム・フレーム５０のサイズに基づいて、自動制御メカニズムはそれから、複数の構成枠捕獲要素１００の移動を達成する及び／又は制御することができる。より具体的には、自動検知装置によって検知されたように、フィルム・フレーム搭載ステーションに配置されたフィルム・フレーム５０のサイズに基づいて、自動制御メカニズムは、フィルム・フレーム搭載ステーションからのフィルム・フレーム５０の捕獲又はピックアップを可能にするため、複数の構成枠捕獲要素１００の適切な相対的な位置への移動及び配置を達成することができる。他の実施態様において、自動検知装置は、構成枠サイズ（例えばフィルム・フレームのサイズ）を検知、検出又は決定するため、構成枠処理装置２０による構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の捕獲、ピックアップ又は処理の前に構成枠処理装置２０により担持される又はそれに連結される。
【００６８】
アクチュエータ又はサーボモータの様々な態様
本発明の多くの実施態様において、構成枠処理装置２０は、少なくとも１つのアクチュエータ２５０（例えば電気機械アクチュエータ）又はサーボモータ２５０を含む又はそれに連結される。
【００６９】
実施態様によっては、構成枠処理装置２０は、１つのアクチュエータ２５０を含む。アクチュエータ２５０又はサーボモータ２５０は、構成枠捕獲要素１００、移動アーム２００及び／又は位置制御メカニズム３００に連結され得る。アクチュエータ２５０は、位置制御メカニズム３００によって識別、検知、検出又は決定される構成枠サイズに基づいて移動アーム２００の移動、並進及び／又は回転、及び、それゆえに構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を達成するための駆動力を提供するために構成される。図８は、３つの移動アーム２００及び３つの構成枠捕獲要素１００に連結され、各々の移動アーム２００が１つの構成枠捕獲要素１００を担持する１つのアクチュエータ２５０を有する特定の構成枠処理装置２０を示す。
【００７０】
例えば図９に示すような特定の実施態様において、構成枠処理装置２０は、各々のアクチュエータ２５０が構成枠処理装置２０の１つの移動アーム２００に連結される４つのアクチュエータ２５０を含む。各々のアクチュエータ２５０は、それが連結される移動アーム２００が移動、並進及び／又は回転を駆動するように構成され得る。したがって、各々のアクチュエータ２５０は、前記アクチュエータ２５０が連結される移動アーム２００によって担持される構成枠捕獲要素１００の移動及び配置を駆動又は制御するように構成され得る。
【００７１】
構成枠処理装置２０が複数のアクチュエータ２５０を含むところで、各々のアクチュエータ２５０は１つの特定の移動アーム２００に連結又は接続され、複数のアクチュエータ２５０内での各々のアクチュエータ２５０の動作は、複数の移動アーム２００の制御された、調整された、同期された及び／又は同時の移動、並進及び／又は回転を可能にする方法で制御され得る。特定の実施態様において、複数のアクチュエータ２５０の使用により、連結構造３６０及び／又は連結モジュール３６０の使用の必要なく、対応した複数の移動アーム２００の制御された、調整された、同期された及び／又は同時の移動、並進及び／又は回転、それゆえに、複数の構成枠捕獲要素１００の制御された、調整された、同期された及び／又は同時の移動及び配置が可能になる又は達成される。
【００７２】
本発明の様々な実施態様の構成枠処理装置２０は、一般に多くの従来の構成枠ハンドラ（例えばフィルム・フレーム・ハンドラ）によって必要とされるように、装置構成枠の変更により構成枠処理装置の動作を途絶又は中断する必要なく、複数の異なるサイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を処理、捕獲、担持、保持、回収及び／又は移動することができるように構成される。したがって、構成枠処理装置２０の使用は、例えば、フィルム・フレーム５０の処理及び／又は移動に関連して半導体産業における構成枠処理及び／又は転送の効率、容易さ及び／又はコスト効率の増加を補助することができる。
【００７３】
特定の実施態様において、構成枠処理装置２０は、構成枠処理装置２０によって特定の構成枠５０が正確に、適切に又は正しく担持、捕獲及び／又は処理されたかどうかに関するフィードバック又は指示を提供するように構成されるセンサ（例えばバランスセンサ）（図示せず）をさらに含む。特に、バランスセンサは、例えば構成枠処理装置２０によって担持、捕獲及び／又は処理された構成枠の正確な又はバランスのとれた重さ配置のような重さ配置に関するフィードバックをユーザに提供するために構成され得る。構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）に適用される吸入力は、センサ（例えばバランスセンサ）によって提供されるフィードバックに応答して制御（例えば調整及び／又は選択）され得る。特定の構成枠５０が正確に捕獲されない場合、特定の構成枠５０の正確な、適切な又は正しい担持、捕獲及び／又は処理を達成又は改良するため、調整した（例えば増加した）吸入力が、構成枠５０に適用され得る。あまりに多くの吸入力が特定の構成枠５０に作用する場合、構成枠５０に適用される吸入力は、特定の構成枠５０の正確な、適切な又は正しい担持、捕獲及び／又は処理を達成又は改良するために調整する（例えば減少する）ことができる。
【００７４】
特定の実施態様において、構成枠処理装置２０は、本発明により少なくとも１つの構成枠処理、捕獲、保持、移動を定める又は制御する内蔵プログラム指示（又はコンピュータプログラム・ソフトウェア指示）を実行するために構成枠処理装置２０の動作を協働して制御するように構成されるコンピュータシステム又はデバイス（例えばパソコン又はコンピュータ・ワークステーション）のような制御装置（図示せず）を含む又はそれに連結される。
【００７５】
代表的なプロセス実施例の態様
図１１は、本発明の一実施態様による構成枠処理装置２０によって複数の異なるサイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を処理、捕獲、担持、保持及び／又は移動するためのプロセス５００のフローチャートを示す。
【００７６】
上記の通り、構成枠処理装置２０は、複数の異なるサイズの例えばフィルム・フレーム５０のような構成枠５０を処理、捕獲、担持、保持及び／又は移動することができるように構成される又は適応する。加えて、構成枠処理装置２０は、異なるタイプの構成枠５０を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動することができるように構成される。
【００７７】
多くの実施態様において、構成枠処理装置２０は、対応するサイズ（例えばそれぞれ第１のサイズのフィルム・フレーム５０ａ、第２のサイズのフィルム・フレーム５０ｂ、及び、第３のサイズのフィルム・フレーム５０ｃ）の構成枠５０、特にフィルム・フレーム５０を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するため、複数の異なる位置（例えば、図３Ａ、図５Ａ及び図５Ｂで示す第１の位置；図３Ｂ、図６Ａ及び図６Ｂで示す第２の位置；及び、図３Ｃ、図７Ａ及び図７Ｂで示す第３の位置）の間で移動可能である複数の構成枠捕獲要素１００を含む。フィルム・フレーム５０に関連して、第１のサイズ、第２のサイズ及び第３のサイズは、それぞれ１２インチ、８インチ及び６インチに対応することができる。
【００７８】
第１のプロセス部分５１０において、特定の構成枠５０、特にフィルム・フレーム５０のサイズ及び／又は形状は、識別される、明らかに示される、決定される、検知される又は検出される。
【００７９】
多くの実施態様において、手動制御メカニズム３２０（又は手動の調整メカニズム３２０）及び自動制御メカニズム（又は、自動調整メカニズム）の少なくとも１つは、フィルム・フレームのサイズ及び／又は形状の識別、確実な指示、決定、検知又は検出を容易にする又は達成する。
【００８０】
手動制御メカニズム３２０は、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の移動の実施及び／又は制御にユーザの入力（例えばユーザが提供した又はユーザが実施した）を中継する。上記の通り、手動制御メカニズム３２０は、制御インタフェース３２５、選択装置レバー３３０及び選択装置案内３３５を含む。ユーザは、制御インタフェースにおいて形成された複数の係合標識３２７の１つまで選択装置レバー３３０を移動又は操作することができる。複数の係合標識３２７の各々の係合標識３２７は、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の特定の、所定の又は具体的な位置に対応する。どの複数の係合標識３２７の係合標識３２７に選択装置レバー３３０が係合するかを選択又は決定することによって、ユーザは、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の位置を選択又は決定する。つまり、ユーザ相互作用又はユーザの入力の結果として、選択装置レバー３３０が係合される複数の係合標識３２７の特定の係合標識３２７を選択又は決定することによって、構成枠処理装置２０が処理、捕獲、担持、保持、回収及び／又は移動する構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズは、確立される、示される又は決定される。
【００８１】
自動制御メカニズムは、自動的に、本質的に自動的に又は少なくとも部分的に自動的に構成枠サイズを検知、検出又は決定するように構成される。様々な実施態様において、自動制御メカニズムは、構成枠サイズ及び／又は形状を検知、検出又は決定するように構成される自動検出装置に連結される。自動検出装置は、少なくとも１つのセンサ又は検知要素、多くの実施態様においては複数のセンサ又は検知要素を含むことができる。自動検出装置は、構成枠処理装置２０によって担持され得る；又は、例えば構成枠搭載ステーション又は構成枠貯蔵ステーションに配置される又はそれによって担持されて構成枠処理装置２０の外に配置される。
【００８２】
ほとんどの実施態様において、複数の構成枠捕獲要素１００の位置は、構成枠処理装置２０によって処理、捕獲、担持、保持、回収及び／又は移動される構成枠５０、特にフィルム・フレーム５０サイズに依存する。
【００８３】
第２のプロセス部分５２０は、識別、検知、検出又は決定された構成枠サイズ（例えばフィルム・フレーム）のサイズに基づいて、意図された又は目標の位置で少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００を配置するため、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の移動を伴う。
【００８４】
図５Ａ及び図５Ｂは、第１のサイズ（すなわち１２インチ）のフィルム・フレーム５０ａの処理を可能にする第１の位置での複数の構成枠捕獲要素１００（すなわち４つの構成枠捕獲要素１００）の位置を示す。図６Ａ及び図６Ｂは、第２のサイズ（すなわち８インチ）のフィルム・フレーム５０ｂの処理を可能にする第２の位置での複数の構成枠捕獲要素１００の位置を示す。図７Ａ及び図７Ｂは、第３のサイズ（すなわち６インチ）のフィルム・フレーム５０ｃの処理を可能にする第３の位置での複数の構成枠捕獲要素１００の位置を示す。
【００８５】
少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の移動は、位置制御メカニズム３００によって容易にされる、達成される及び／又は制御され得る。上記の通り、位置制御メカニズム３００は、手動制御メカニズム３２０及び／又は自動制御メカニズムを含み、手動制御メカニズム３２０及び自動制御メカニズムの各々は、構成枠サイズの識別、又は確実な指示、又は決定を提供するために構成される。
【００８６】
本発明のいくつかの実施態様において、複数の構成枠捕獲要素１００の移動は、調整された、本質的に調整された又は同期された方法で達成され得る。例えば、実施態様によっては、複数の構成枠捕獲要素１００の各々の構成枠捕獲要素１００と同様に、複数の移動アーム２００の各々の移動アーム２００を相互連結又は連結するコネクタ・ベルト３５０は、複数の移動アーム２００の前記調整された又は少なくとも本質的に調整された移動、並進及び／又は回転；複数の構成枠捕獲要素１００の前記調整された又は少なくとも本質的に調整された移動、並進及び／又は回転を容易にする又は達成するために構成される。
【００８７】
構成枠処理装置２０は、複数の移動アーム２００の少なくとも１つの移動アーム２００の移動を達成するため、アクチュエータ２５０（例えば電気機械アクチュエータ又はサーボモータ）を含むことができる。特定の実施態様において、構成枠処理装置２０は複数のアクチュエータ２５０を含み、複数のアクチュエータ２５０の各々のアクチュエータ２５０は、複数の移動アーム２００、それゆえに複数の構成枠捕獲要素１００の制御された、調整された及び／又は同期された移動及び位置を容易にする又は達成するため、複数の移動アーム２００の１つの移動アーム２００に連結される。
【００８８】
複数の異なる位置間の複数の構成枠捕獲要素１００の移動により、対応する複数の異なるサイズのフィルム・フレーム５０を処理、捕獲、担持、保持、回収及び／又は移動するための一連の構成枠捕獲要素１００の配置が可能になる。
【００８９】
少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００の移動は、位置制御メカニズム３００によって容易にされる、達成される及び／又は制御され得る。位置制御メカニズム３００が自動制御メカニズムを含む特定の実施態様において、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００の移動は、構成枠処理装置に連結される計算デバイス（図示せず）で実行されるコンピュータソフトウェア・プログラムによって制御され得る。各々の構成枠捕獲要素１００は、予め設定された又は予めプログラムされたコンピュータソフトウェア・プログラムにより自動的に移動され得る。
【００９０】
第３のプロセス部において、少なくとも１つの構成枠捕獲要素１００、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素１００は、識別された、検知された、検出された又は決定されたサイズの構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を捕獲、ピックアップ又は回収するために使われる。
【００９１】
複数の構成枠捕獲要素１００は、複数の真空又は吸入要素１００を含む又はそれであり得る。複数の真空要素１００は、構成枠５０を捕獲、保持、担持、回収又は、構成枠処理装置２０に固定するため、真空又は吸入力を構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）に適用するために構成される。複数の吸入要素１００によって適用される真空又は吸入力の開始、終了、量及び／又はの継続期間は、例えば、構成枠処理装置２０によって捕獲、担持、保持、回収及び／又は移動される構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）のサイズに従い、必要に応じて、制御及び／又は変化することができる。
【００９２】
真空又は吸入力が構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の構成枠処理装置２０への捕獲、保持又は固定するために開示されるが、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の構成枠処理装置２０への捕獲、保持又は固定することができる他の手段、ツール又はメカニズムが代わりに又は加えて本発明の範囲内で用いることができると理解される。例えば、構成枠捕獲要素１００は、構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）の構成枠処理装置２０への捕獲又は保持を容易にする又は達成するため、接着剤要素、グリッパー・メカニズム、又は、磁力要素を含む又は担持することができる。
【００９３】
構成枠５０（例えばフィルム・フレーム５０）を担持する構成枠処理装置２０は、異なる位置、場所又は、システム構成枠又はステーションの間で構成枠５０を移動又は動かすために、移動、並進及び／又は回転することができる。上記の通り、構成枠処理装置２０は、構成枠処理装置２０の移動、並進及び／又は回転を達成するように構成される移動エフェクタ３０を含む又はそれに連結することができる。
【００９４】
本発明の実施態様は、複数の異なるサイズの例えばフィルム・フレームのような半導体部品、プリント回路基板（ＰＣＢ）のような電気構成、及び、太陽電池又はパネルのような構成を処理、捕獲、保持、担持、回収及び／又は移動するための装置、デバイス、システム、プロセス及び／又は方法に関するものである。装置は、多くの様々な位置の間で移動可能であり、各々の位置が特定の構成枠サイズに対応する少なくとも１つの構成枠捕獲要素、多くの実施態様においては複数の構成枠捕獲要素（例えば２、３、４又はそれ以上の構成枠捕獲要素）を含む。異なる所定の、具体的な又は指定の位置における構成枠捕獲要素の位置により、対応するサイズの構成枠の捕獲が可能になる。
【００９５】
構成枠捕獲要素の移動及び配置は、位置制御メカニズムによって制御される。位置制御メカニズムは、手動制御メカニズム及び／又は自動制御メカニズムを含むことができる。手動制御メカニズムは、構成枠サイズを識別する、示す又は決定するユーザが提供した又はユーザが実施した入力を受信するために構成され；構成枠捕獲要素の移動及び配置を達成する及び／又は制御するため、前記ユーザが提供した入力を中継する。自動制御メカニズムは、自動的に又は少なくとも本質的に自動的に構成枠サイズを検知、検出又は決定するために構成され；検知、検出及び／又は決定された構成枠サイズに基づいて構成枠捕獲要素の移動及び配置を達成及び／又は制御する。
【００９６】
異なるサイズの構成枠を処理、捕獲、担持、回収及び／又は移動する、本開示の様々な実施例の装置（すなわち、構成枠処理装置）の能力により、第１の構成枠サイズの捕獲および第２の構成枠サイズの捕獲との間での前記装置の動作を途絶、中断又は停止する必要を取り除く。従来の構成枠処理装置（例えば従来のフィルム・フレーム・ハンドラ）は、動作を途絶又は停止する必要なく、異なるサイズの構成枠を処理、捕獲、担持、回収及び／又は移動するために前記従来の構成枠処理装置を適応するように装置の構成枠を変えるため、異なるサイズの構成枠処理、捕獲、担持、回収及び／又は移動することができない。したがって、本発明の様々な実施態様は、（例えば複数の適当な、所定の又は標準の構成材サイズ又は形状に関して）、複数のサイズ及び／又は形状を示すことができる構成枠の処理において、より効率的又は効果的であり、より費用効果的であり、及び／又は、構成枠の処理のための以前のシステム、装置、デバイス又は技術よりも作成及び製造においてより単純であり得る。
【００９７】
上記した実施態様に加えて、本発明による特定の実施態様は、異なる構造上の構成を有し、一方で、複数の異なるサイズ及び／又は形状を示すことができる処理構成に関して同一の、本質的に同一の又は類似した能力を提供する。例えば、実施態様は、第１の又はデフォルト位置により互いに離れて構成枠捕獲要素を配置するように構成される一以上のばね要素を有する弾力的な付勢構造、デバイス又はメカニズムに連結される複数の構成枠捕獲要素を含むことができる。アクチュエータ又はサーボモータのような自動制御メカニズムは、第１の又はデフォルト位置から第２の位置、第３の位置及び／又は一以上の他の位置へと構成枠捕獲要素を転移又は並進させるため、（例えば、検出又は決定された構成枠サイズ及び／又はユーザ入力に応答して）選択的に又はプログラム可能にそのようなばね要素に又はそれに対して作用する力を適用するように構成され、第２、第３及び他の位置は、構成枠捕獲要素が第１の位置に配置されている時よりも互いにより近くに構成枠捕獲要素を配置することができる。第１、第２、第３及び他の位置は、異なる構成枠サイズ又は形状に対応する。
【００９８】
以前示された問題のうちの少なくとも一つに対処するために発明の特定の実施態様は上記された。特定の実施態様と関連した特徴、機能、利点及び変形例がそれらの実施態様の文脈の範囲内で記載された一方で、他の実施態様もまたそのような利点を示し、すべての実施態様が必然的に発明の範囲内に含まれるそのような利点を示す必要はない。上記の開示された構造、特徴及び機能のいくつか又はその変形例が望ましく他の異なるデバイス、システム又は用途に結合されることはいうまでもない。上記の開示された構造、特徴及び機能又はその変形例は、従来技術における当業者によって作成される様々な現在不測の又は予想できない変形例、修正、変化又は改良と同様、以下の請求項に包含される。
【図１】
2012238847.tif 000003
【図２】
2012238847.tif 000004
【図３Ａ】
2012238847.tif 000005
【図３Ｂ】
2012238847.tif 000006
【図３Ｃ】
2012238847.tif 000007
【図４】
2012238847.tif 000008
【図５Ａ】
2012238847.tif 000009
【図５Ｂ】
2012238847.tif 000010
【図６Ａ】
2012238847.tif 000011
【図６Ｂ】
2012238847.tif 000012
【図７Ａ】
2012238847.tif 000013
【図７Ｂ】
2012238847.tif 000014
【図８】
2012238847.tif 000015
【図９】
2012238847.tif 000016
【図１０Ａ】
2012238847.tif 000017
【図１０Ｂ】
2012238847.tif 000018
【図１１】
2012238847.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月5日(2012.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の移動アームであって、各移動アームがその全長上に位置する少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素を有し、前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素が部品ペインを捕獲するように構成され、前記複数の移動アームが複数の組の所定の位置の間を移動可能であり、前記複数の組の所定の位置の各組が、異なる形状および／またはサイズの部品ペインに対応する移動アームと、
前記複数の移動アームに適切に連結される位置制御メカニズムであって、前記位置制御メカニズムが前記複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置への前記複数の移動アームの移動を、処理される部品ペインの前記形状およびサイズに対応して制御するように構成可能な位置制御メカニズムと、を備え、
前記複数の移動アームの前記移動が、対応する所定の形状およびサイズの前記部品ペインの捕獲および処理のために、前記一組の所定の位置へのその上にある前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素の前記移動に結びつく、装置。
【請求項２】
前記複数の移動アームの各々の前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素の各々が、少なくとも１つの真空源に流体的に連結され、かつ前記少なくとも１つの真空源が起動されると、前記部品ペインの処理を容易にするために真空力を部品ペインの表面に印加するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素が、異なる形状および／またはサイズの部品ペインの捕獲および処理のために、前記複数の移動アームの各々の前記全長に沿って複数の位置の間を移動可能である、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記複数の移動アームの各々の前記移動アームが、その上に少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素を有する少なくとも１つの他の相互に連結したセグメントを含む、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記位置制御メカニズムが、前記複数の移動アームに適切に連結される手動位置制御メカニズムを備え、前記手動位置制御メカニズムが、選択された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する前記部品ペインの捕獲のために、前記複数の組の所定の位置の間から選択された組の所定の位置への前記複数の移動アームの同期移動を制御してかつ達成するためにユーザ入力によって手動で構成可能である、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記手動位置制御メカニズムが、
前記手動位置制御メカニズムを、次に前記複数の移動アームに適切に連結される複数の連結構造体に連結するベルトと、
複数の係合標識を有する選択インタフェースであって、前記複数の係合標識の各々が部品ペイン形状および／またはサイズの異なる選択対象を代表する選択インタフェースと、
前記選択インタフェースに対して移動可能でかつユーザ選択に依存して前記複数の係合標識の各々と係合するように構成されるセレクタレバーと、を備え、
前記複数の係合標識の任意の１つの選択対象への前記セレクタレバーの手動係合が、前記選択された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する前記部品ペインの捕獲のために、複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置への前記複数の移動アームの移動に対応する所定の距離だけ、前記ベルトの移動を駆動する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記位置制御メカニズムが自動であり、かつ複数の連結構造体の少なくとも１つに適切に連結される少なくとも１つのアクチュエータを備え、前記複数の連結構造体の各々がベルトの手段によって連結され、そして、起動されると、前記少なくとも１つのアクチュエータが前記ベルトを駆動して、前記選択された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する前記部品ペインの捕獲のために、前記複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置に前記複数の移動アームの各々を同時にまたは別の方法で移動させるように連結構造体を回転させるように構成される、請求項４に記載の装置。
【請求項８】
前記位置制御メカニズムが自動であり、かつ複数のアクチュエータを備え、前記複数のアクチュエータの各々が前記複数の連結構造体の各々に連結され、前記連結構造体が前記複数の移動アームの各々に連結され、そして、前記複数のアクチュエータが、前記選択された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する前記部品ペインの捕獲のために、前記複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置に前記複数の移動アームの各々を同時にまたは別の方法で移動させるように起動されるように構成可能である、請求項４に記載の装置。
【請求項９】
前記位置制御メカニズムによって処理されるべき前記部品ペインの形状および／またはサイズの前記選択または決定が自動であり、かつ（ａ）処理のために提示される前記部品ペインの前記形状および／またはサイズを検知するかまたは検出するように、かつ（ｂ）処理ユニットに適切な信号を伝達するように、構成可能な自動検知または検出装置によって可能にされ、そして、前記処理ユニットがその後に、検知されたかまたは検出された前記部品ペインの前記形状および／またはサイズに対応する一組の所定の位置に、前記複数の移動アームの各々を移動させるために前記位置制御メカニズムに適切な制御信号または作動命令を伝達する、請求項７または８に記載の装置。
【請求項１０】
前記自動検知または検出装置が、前記部品ペイン処理装置上に配設されるかまたは前記部品ペイン処理装置の外部に配設される少なくとも１つのセンサまたは検知要素を備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
処理のために提示される部品ペインの存在、形状および／またはサイズの検知および前記部品ペインを処理するために複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置への前記複数の移動アームの前記移動が、処理ユニットによって実行可能なソフトウェアによって動作させられてかつ制御される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記複数の移動アームの前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素の間の相対的空間配置が、処理されるべき部品ペインの少なくとも１つの物理的特性に依存し、前記物理的特性が形状、半径、直径および平面表面積のうち少なくとも１つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
複数の組の所定の位置の間の前記複数の移動アームの相対的空間配置が、複数の標準産業サイズの部品ペインの直径に依存する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記装置が、各部品ペイン捕獲要素に連結される少なくとも１つのセンサ要素を含み、前記少なくとも１つのセンサ要素の各々が、前記一組の所定の位置で前記部品ペインの表面と係合される時、フィードバック信号を、処理される部品ペインの重み分布に対応する処理ユニットに供給するように構成され、前記処理ユニットが、前記組の所定の位置の各位置で前記部品ペインに印加されるべき吸引力を調節するために、前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素の各々に流体的に連結される少なくとも１つの真空源に信号を供給するように構成される、請求項１２または１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記フィードバック信号を供給する前記センサの前記動作が、処理ユニットによって実行可能なソフトウェアによって制御される、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素が、部品ペインを捕獲するように構成される接着要素、把持要素および捕獲要素のうち少なくとも１つを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素が、前記装置によって部品ペインの前記捕獲または処理をそれによって容易にするために引力を前記部品ペインの少なくとも一部に印加するように構成される磁気要素を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前記部品ペインが、フィルムフレーム、半導体ウエハー、半導体ウエハーの一部、ソーラーウエハーパネル、太陽電池パネルまたは回路要素が属する電子装置パッケージのうち１つを備える、請求項１−８、１２−１３、または１６−１７のうちいずれかに記載の装置。
【請求項１９】
前記装置と関連する第１の動作ステーションと別の動作ステーションとの間の部品ペインの捕獲、移動、運搬および解放のうち少なくとも１つが、処理ユニットによって実行可能なソフトウェアによって制御される、請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
処理のための部品ペインを提示するステップと、
処理されるべき前記部品ペインの形状および／またはサイズを選択するステップと、
位置制御メカニズムに連結される複数の移動アームを、複数の組の所定の位置の間から一組の所定の位置に移動するように構成される前記位置制御メカニズムを起動するステップであって、前記一組の所定の位置が、提示される前記部品ペインの前記形状および／またはサイズに対応し、各移動アームが少なくとも１つの部品ペイン捕獲要素を有するステップと、
前記選択された部品ペインのピックアップを可能にするために前記真空源の起動の前に、選ばれた前記形状および／またはサイズの前記部品ペインを処理するために、前記一組の所定の位置に前記複数の移動アームを移動させるステップと、を含む部品ペインを処理する方法。
【請求項２１】
処理されるべき前記部品ペインの前記形状および／またはサイズを選ぶステップが、ユーザ入力経由で生じる、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記ユーザ入力が、手動位置制御メカニズムの選択インタフェース上の複数の係合標識のうち１つに対するセレクタレバーの手動配置を含み、前記手動位置制御メカニズムが、前記ユーザ入力を前記選択された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する前記一組の所定の位置への前記複数の移動アームの同時移動に変換するように構成されている、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記部品ペインの前記形状および／またはサイズを選ぶステップが、少なくとも１つの自動検知または検出装置経由で自動化される、請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
部品ペインが提示される時、前記少なくとも１つの自動検知または検出装置が部品ペインの存在、形状およびサイズのうち少なくとも１つを自動的に検知するように構成され、前記自動検知または検出装置が処理ユニットに信号を伝達するように構成され、そして、前記処理ユニットが、検知されたまたは検出された部品ペイン形状および／またはサイズに対応する一組の所定の位置に前記複数の移動アームを自動的に移動させるために前記位置制御メカニズムに命令信号を伝達するように構成される、請求項２３に記載の方法。