(57)【要約】【課題】  スピントルク発振子に均一に電流が流れ且つスピントルク発振子が効率よく冷却される信頼性の高い磁気記録ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】  実施形態に係る磁気記録ヘッドは、磁気記録媒体に記録磁界を発生させるための主磁極であって、絞り込み部および先端部を有する主磁極と、前記主磁極と対を成すリターンヨークと、前記主磁極と前記リターンヨークとの間に設けられたスピントルク発振子と、前記主磁極の絞り込み部および先端部の周囲に設けられた非磁性金属層と、前記主磁極と前記リターン磁極との間で、前記スピントルク発振子の周囲に設けられた絶縁層とを有する。【選択図】図１
2012014792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体に記録磁界を発生させるための主磁極であって、絞り込み部および先端部を有する主磁極と、
前記主磁極と対を成すリターンヨークと、
前記主磁極と前記リターンヨークとの間に設けられたスピントルク発振子と、
前記主磁極の絞り込み部および先端部の周囲に設けられた非磁性金属層と、
前記主磁極と前記リターン磁極との間で、前記スピントルク発振子の周囲に設けられた絶縁層と
を有する磁気記録ヘッド。
【請求項２】
磁気記録媒体に記録磁界を発生させるための主磁極と、
前記主磁極と対を成し、媒体対向面に、前記主磁極に向けて突出した突出部を有するリターンヨークと、
前記主磁極と前記リターンヨークとの間に設けられたスピントルク発振子と、
前記突出部上に設けられた第２の非磁性金属層と、
前記主磁極と前記リターン磁極との間で、前記スピントルク発振子の周囲に設けられた絶縁層と
を有する磁気記録ヘッド。
【請求項３】
前記第２の非磁性金属層の媒体対向面からの高さが、前記スピントルク発振子の媒体対向面からの高さの１０倍以上である請求項２に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項４】
垂直磁気記録媒体と、請求項１または２に記載の磁気記録ヘッドとを含む磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、スピントルク発振子を用いた磁気記録ヘッドおよび磁気記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の磁気記録ヘッドでは、主磁極の先端部の幅とスピントルク発振子との幅がほぼ等しく、且つ主磁極の周辺に絶縁層が設けられている。このような磁気記録ヘッドでは、スピントルク発振子内で電流の偏流が起こり易く、スピントルクに寄与しない磁性層界面が存在する。そのため、高い駆動電圧が必要となり、信頼性が損なわれる。また、スピントルク発振子からの熱が拡散していく主要な経路が主磁極に限られているため、温度が上昇し易く、信頼性が損なわれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００８／０１３７２２４号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００８／００１９０４０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のスピントルク発振子を用いた磁気記録ヘッドは、スピントルク発振子に均一に電流が流れず且つスピントルク発振子が過熱し易いという課題があった。
【０００５】
本発明の目的は、スピントルク発振子に均一に電流が流れ且つスピントルク発振子が効率よく冷却される信頼性の高い磁気記録ヘッド及びそれを用いた磁気記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係る磁気記録ヘッドは、磁気記録媒体に記録磁界を発生させるための主磁極であって、絞り込み部および先端部を有する主磁極と、前記主磁極と対を成すリターンヨークと、前記主磁極と前記リターンヨークとの間に設けられたスピントルク発振子と、前記主磁極の絞り込み部および先端部の周囲に設けられた非磁性金属層と、前記主磁極と前記リターン磁極との間で、前記スピントルク発振子の周囲に設けられた絶縁層とを有する。
【０００７】
また、実施形態に係る磁気記録ヘッドは、磁気記録媒体に記録磁界を発生させるための主磁極と、前記主磁極と対を成し、媒体対向面に、前記主磁極に向けて突出した突出部を有するリターンヨークと、前記主磁極と前記リターンヨークとの間に設けられたスピントルク発振子と、前記突出部上に設けられた第２の非磁性金属層と、前記主磁極と前記リターン磁極との間で、前記スピントルク発振子の周囲に設けられた絶縁層とを有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドを媒体対向面から見た図。
【図２】第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドを示す斜視図。
【図３】第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドを示す断面図。
【図４】第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドを示す断面図。
【図５】第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドを示す断面図。
【図６】実施形態に係る磁気記録装置を示す分解斜視図。
【図７】実施例１および比較例の発振強度を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態について図面を参照して説明する。同じ符号が付されているものは同様のものを示す。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
【００１０】
＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドを媒体対向面から見た図である。主磁極２とリターンヨーク３との間にスピントルク発振子（ＳＴＯ）１が位置する。主磁極２の周囲には非磁性金属層５が設けられている。スピントルク発振子１の周囲には絶縁層４が設けられている。
【００１１】
図２は、第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドを示す斜視図である。図２において磁気記録ヘッドの底面が媒体対向面となる。主磁極２とリターンヨーク３とが対向しており、その間に絶縁層４が設けられている。主磁極２は、媒体対向面側において絞り込み部２２および先端部２１を有している。絞り込み部２２および先端部２１の周囲には非磁性金属層５が設けられている。リターンヨーク３は、媒体対向面において主磁極２に向けて突出した突出部３１を有する。なお、図２に示した磁気記録ヘッドでは、コイルが省略されている。
【００１２】
非磁性金属層５は、図１および２に示されるように、絞り込み部２２および先端部２１の左右に設けられている。そのため、主磁極２は、非磁性金属層５とともに１つの平板上の構造を形成している。主磁極２および非磁性金属層５は、スピントルク発振子１に電流を流す際、一体となって電極として機能する。図１に示されるように、主磁極２および非磁性金属層５の媒体対向面の面積は、スピントルク発振子１の媒体対向面の面積よりも大きい。これによって、スピントルク発振子１に流れる電流が均一化される。さらに、非磁性金属層５は、熱拡散を助けるヒートシンクとして機能するため、スピントルク発振子１の過熱が抑制される。また、電流の駆動効率が上がるため、より発振層の磁気体積（Ｍｓｔ：ｎｍＴ）が大きいスピントルク発振子１を駆動することが出来るようになる。なお、冷却効果は、スピントルク発振子１に対して非磁性金属層５が大きくなるほど向上する。例えば、主磁極２および非磁性金属層５の媒体対向面の面積を、スピントルク発振子１の媒体対向面の面積の１００倍程度とすることができる。非磁性金属層５の材料としては、Ｒｕ、Ｔａ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕから成る群から選択される金属の少なくとも一つを含む合金を使用することができる。
【００１３】
図１および２に示されるように、絶縁層４は、主磁極２および非磁性発振層５と、リターンヨーク３との間であって、スピントルク発振子１の周囲およびコイル（図示せず）の周囲に設けられる。絶縁層４は、主磁極２とリターンヨーク３との間の、意図しない電流の通過を防止する。絶縁層４の材料としては、例えば、ＳｉＯ２、アルミナ等を使用することができる。
【００１４】
スピントルク発振子１は、図１に示されるように、主磁極２とリターンヨーク３との間に配置される。より高い高周波アシスト効果を得るために、スピントルク発振子１をＡＢＳ面付近に配置することが好ましい。スピントルク発振子１は、複数の層が積層した構造となっている。この複数の層には、少なくとも発振層およびスピン注入層が含まれる。発振層とスピン注入層との間に中間層を設けることもできる。さらに、その他の発振の制御のための層を設けることもできる。スピントルク発振子１を積層する向きについては特に限定はなく、主磁極１側に発振層を配置し、リターンヨーク３側にスピン注入層を配置させてよく、またはその逆の配置にしてもよい。スピントルク発振子１の最も外側の層に対して、金属の上部層および下地層を形成し、それらの層を介して主磁極２およびリターンヨーク３に電気的に接続することもできる。また、スピントルク発振子１は、例えば１０−１００ｎｍ角の大きさに形成される。
【００１５】
発振層は、主磁極２とリターンヨーク３との間に電流を流した際、スピントルクにより発振する。このとき発振周波数は、主磁極２とリターンヨーク３との間に発生するギャップ磁界が大きいほど高周波数となる。発振層は、主として、高Ｂｓ軟磁性材料により形成される。スピン注入層は、垂直磁気異方性を持つ金属磁性体で形成される。発振層は、具体的には、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉから選択される磁性元素の合金とすることができる。また、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉ等の合金に非磁性元素を添加したものを使用してもよい。非磁性元素が添加されている発振層の材料としては、ＦｅＣｏＭｎＳｉ、ＦｅＣｏＡｌＳｉ等のホイスラー合金を用いることが出来る。ホイスラー合金はスピン分極率が非常に高く、スピントルク発振の駆動電流を低減するのに有効である。発振層は２層以上の磁性層から構成されていてもよい。具体的には、ホイスラー合金を中間層側界面に形成し、さらにＦｅＣｏ合金を中間層とは反対側に形成することで、十分な磁気体積と良好なスピントルク駆動電圧の低減を両立できる。スピン注入層は、例えば、具体的にはＣｏＰｔ合金、ＣｏＰｄ合金、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子、Ｃｏ／Ｐｄ人工格子、Ｃｏ／Ｎｉ人工格子、Ｃｏ／Ｆｅ人工格子等を用いて形成される。また、スピン注入層は、垂直磁気異方性膜のみで形成されていなくてもよい。具体的には、最終的に垂直磁気異方性が保たれる範囲内であれば、軟磁性層との積層により構成されてもよい。前記垂直磁気異方性膜はスピン分極率の点では、軟磁性ＦｅＣｏ合金や、ホイスラー合金と比べて不利であるため、スピン注入層の中間層側界面に軟磁性ＦｅＣｏ合金や、ホイスラー合金を形成することで、垂直磁気方性と良好なスピントルク駆動電圧の低減を両立できる。中間層は、主としてスピン透過率の高い非磁性材料によって形成され、例えばＣｕ、ＡｕまたはＡｇ等が用いられる。
【００１６】
主磁極２は、データトラック幅に応じた領域に磁界を集中できるように、データトラック幅程度の幅にパターニングされる。すなわち、主磁極２は、媒体対向面側において、先端部２１と絞り込み部２２とを有する。主磁極２は、磁気記録媒体を磁化させるための磁極として機能し、同時に、スピントルク発振子１に電流を供給するための電極としても機能する。主磁極２は、主として高透磁率材料から成り、例えば、Ｆｅ、ＣｏおよびＮｉから成る群から選択される金属の合金から成る。
【００１７】
リターンヨーク３は、主磁極２に対向して配置される。主磁極２から磁気記録媒体へと向かった磁界を磁気記録ヘッドに戻すことで、磁路を閉じる役割を有する。リターンヨーク３は、同時に、スピントルク発振子１に電流を供給するための電極としても機能する。
【００１８】
図２に示されるように、リターンヨーク３の媒体対向面において、主磁極に向けて突出する突出部３１を設けることができる。一方、図３に示されるように、リターンヨーク３と主磁極２と対向する面同士を平行にすることもできる（図３は、媒体対向面および主磁極２に対してそれぞれ垂直な、先端部２１を通る平面で切断した断面図である）。リターンヨーク３に突出部３１を設けない場合、主磁極２を出た記録磁界がリターンヨーク３に戻る傾向が高まる一方、主磁極２を出る記録磁界が磁気記録媒体を通過せずにリターンヨーク３方向に向かう傾向も高まる。その結果、高い記録磁界強度を得ることができる一方、記録磁界が磁気記録媒体へ向かう際のシャープさが低下する。これに対し、リターンヨーク３に突出部３１を設けた場合、記録磁界がリターンヨーク３に戻る傾向は弱まるが、主磁極２からリターンヨーク３へと直接向かう磁界を低減することができる。その結果、一定の記録磁界強度を維持しつつ、記録磁界のシャープさを向上することができる。
【００１９】
図２では、主磁極２とリターンヨーク３とが、磁気記録ヘッドの上部において直接接触するように示されている。しかしながら、主磁極２とリターンヨーク３とは直接接触しなくてもよい。この接触は、高周波発振のための電流を流すときの、電流の通路に関与する。すなわち、主磁極２およびリターンヨーク３は、スピントルク発振子１に電流を流すための電極として機能するが、直接接触させた場合、電流は、その接触した部分とスピントルク発振子１とを流れる。一方、接触させない場合、電流は、スピントルク発振子１のみを流れる。何れの場合であっても、電流がスピントルク発振子１を通過する構造をとる必要がある。
【００２０】
磁気記録ヘッドはコイルを有する。コイルは、主磁極２およびリターンヨーク３を通る磁路の一部に巻きつけられる。コイルに対して記録磁界発生用電源から電流が供給されると、主磁極２、リターンヨーク３および磁気記録媒体を通る磁界が生じる。コイルとしては導電性の高い金属材料を用いることができる。
【００２１】
主磁極２およびリターンヨーク３との間において、スピントルク発振子１の他に任意の構造を設けることができる。例えば、スピントルク発振子１と主磁極２またはリターンヨーク３との間に、電極を設けることができる。この電極の材料としては、主として電気抵抗が低く酸化されにくい材料を用いることができ、例えばＴｉまたはＣｕ等を使用することができる。また、スピントルク発振子１に流れる電流を整えるための、何らかの積層構造を設けることもできる。
【００２２】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドを説明する。第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドとの差異は、主磁極２の絞り込み部２２および先端部２１の周囲に非磁性金属層５が設けられないこと、及びリターンヨーク３側に第２の非磁性金属層６が設けられることである。第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドでは、非磁性金属層５の代わりに例えば絶縁層が設けられる。
【００２３】
図４および５は、第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドの断面図を示す。当該断面図は、媒体対向面および主磁極２に対してそれぞれ垂直な、先端部２１を通る平面で切断した図である。したがって、図１または２に示される磁気記録ヘッドの非磁性金属層５に対応する位置は、図４および５において示されていない。第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドでは、リターンヨーク３が、媒体対向面に、主磁極に向けて突出した突出部３１を有する。この突出部３１上に第２の非磁性金属層６が設けられている。図４では、第２の非磁性金属層６が突出部３１上に設けられているが、リターンヨーク３の上部まで達していない。一方、図５では、第２の非磁性金属層６が、リターンヨーク３の上部まで達している。スピントルク発振子１に電流を流す際、リターンヨーク３と第２の非磁性金属層６とは、一体となって電極として機能する。第２の非磁性金属層６は、熱拡散を助けるヒートシンクとしても機能し、スピントルク発振子１の過熱を抑制する。
【００２４】
図４および５に示されるように、第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドにおいて、突出部３１の媒体対向面からの高さ（図４中ｈｒで示される長さ）は、スピントルク発振子１の媒体対向面からの高さ（図４中ｈｓで示される長さ）よりも長いことが好ましい。ｈｓを小さくすることで記録磁界強度を高めることができる。しかし、ｈｓを小さくしすぎた場合、スピントルク発振子１の発振のための磁界が低下および不均一化して、発振周波数が十分に高くならず、スピントルク効率が低下する。そのため、スピントルク発振子１を適切な高さに維持し、リターンヨーク３の突出部３１をそれよりも高くすることが望ましい。
【００２５】
図４および５に示されるように、リターンヨーク３および第２の非磁性金属層６から成る電極は、スピントルク発振子１に対して十分に大きいことが好ましい。このことは、例えば、第２の非磁性金属層６の媒体対向面からの高さ（図４中ｈｎで示される長さ）を、スピントルク発振子１の媒体対向面からの高さ（すなわちｈｓ）の１０倍以上にすることで達成できる。ｈｎがｈｓに対して十分大きい場合、スピントルク発振子１に流れる電流をより均等にすることができる。一方、ｈｎが小さい場合、高さ方向からスピントルク発振子１に流入する電流が、媒体対向面に水平な方向から流入する電流よりも相対的に小さくなり、結果として、流入する電流が偏流して、スピントルク効率が低下する。
【００２６】
第２の非磁性金属層６としては、非磁性金属層５と同様の材料を使用することができる。第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドにおいて、スピントルク発振子１、主磁極２、絶縁層４およびコイルは、第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドと共通するものを使用することができる。一方、第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドにおいて、リターンヨーク３は突出部３１を有する必要がある。但し、リターンヨーク３の記録磁界の発生における機能、および材料は、第１の実施形態に係る磁気記録ヘッドと共通する。
【００２７】
＜第３の実施形態＞
次に、第３の実施形態に係る磁気記録ヘッドを説明する。第３の実施形態に係る磁気記録ヘッドでは、主磁極２の絞り込み部２２および先端部２１の周囲に非磁性金属層５が設けられており、且つリターンヨーク３に突出部３１が設けられ、その上に第２の非磁性金属層６が設けられている。
【００２８】
第３の実施形態に係る磁気記録ヘッドにおいて、スピントルク発振子１、主磁極２、絶縁層４、非磁性金属層５、第２の非磁性金属層６およびコイルは、第１および２の実施形態に係る磁気記録ヘッドと共通する。リターンヨーク３は、第２の実施形態に係る磁気記録ヘッドと共通する。
【００２９】
＜磁気記録媒体について＞
実施形態に係る磁気記録装置において使用される磁気記録媒体に特別な限定はなく、任意のものを使用できる。例えば、下から基板、軟磁性層、非磁性層、記録層および保護膜層が順に積層された磁気記録媒体を使用することができる。この場合、良好な垂直磁気記録が達成できる。また、特に記録層を面方向に特定のパターンを形成したパターンドメディア（ＤＴＲ媒体、ＢＰＭ等）を使用することもできる。
【００３０】
＜磁気記録装置について＞
図６は、実施形態に係る磁気記録ヘッドを搭載した磁気記録装置１５０を示す斜視図である。
【００３１】
図６に示すように、磁気記録装置１５０は、ロータリーアクチュエータを用いた形式の装置である。磁気記録媒体２００は、スピンドルモータ１４０に装着され、図示しない駆動装置制御部からの制御信号に応答する図示しないモータにより矢印Ａの方向に回転する。磁気記録装置１５０は、複数の磁気記録媒体２００を備えたものでもよい。
【００３２】
磁気記録媒体２００に対して情報の記録再生を行うヘッドスライダー１３０は、薄膜状のサスペンション１５４の先端に取り付けられている。ヘッドスライダー１３０の先端付近には実施形態に係る磁気記録ヘッドが設けられている。磁気記録媒体２００が回転すると、サスペンション１５４による押付け圧力とヘッドスライダー１３０の媒体対向面（ＡＢＳ）で発生する圧力とがつりあい、ヘッドスライダー１３０の媒体対向面は、磁気記録媒体２００の表面から所定の浮上量をもって保持される。
【００３３】
サスペンション１５４は、図示しない駆動コイルを保持するボビン部などを有するアクチュエータアーム１５５の一端に接続されている。アクチュエータアーム１５５の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１５６が設けられている。ボイスコイルモータ１５６は、アクチュエータアーム１５５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、このコイルを挟み込むように対向して配置された永久磁石及び対向ヨークからなる磁気回路とから構成することができる。アクチュエータアーム１５５は、ピボット１５７の上下２箇所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１５６により回転摺動が自在にできるようになっている。その結果、磁気ヘッドを磁気記録媒体２００の任意の位置にアクセスできる。
【実施例】
【００３４】
（実施例１）
第１の実施形態に係る磁気記録ヘッド（実施例１）および従来の磁気記録ヘッド（比較例）を作製し、それぞれの発振強度を比較した。
【００３５】
実施例１を次の通りに作製した。基板上にＦｅＣｏ合金を成膜した後、パターニングによって先端部２１および絞り込み部２２を有した主磁極２を形成した。先端部２１の幅は５０ｎｍとした。次に、主磁極２の上に、非磁性金属層５の材料としてのＲｕを成膜し、その後主磁極３が露出するまでエッチバックした。これによって、先端部２１および絞り込み部２２の周囲にＲｕが埋め込まれた主磁極側一体電極を形成した。Ｒｕの埋め込みの範囲は、先端部２１を下にしたとき、横方向に１０μｍ、高さ方向に２μｍであった。その後、先端部２１上にスピントルク発振子１［５Ｔａ／５Ｃｕ／（０．２Ｃｏ／０．６Ｎｉ）１５／２Ｃｕ／１２ＦｅＣｏ／１Ｃｕ／３Ｔａ／１０Ｒｕ（数字はｎｍ）］を５０ｎｍ角の形状に形成した。さらに、その上からＳｉＯ２を成膜した。その後、ｈｒが１５０ｎｍである突出部３１を有したリターンヨーク３およびコイルを形成した。
【００３６】
比較例は、主磁極２の先端部２１および絞り込み部２２の周囲に、Ｒｕの代わりにアルミナ絶縁体を設けたこと以外は、上記製造方法と同様に製造した。
【００３７】
このように作製した２種の磁気記録ヘッドにおいて、コイルに４０ミリアンペアの電流を流し、主磁極２に記録磁界を誘起した状態で、スピントルク発振子１にバイアス電圧をかけて発振挙動を測定した。その結果を図７に示す。図７ａおよび図７ｂは、それぞれ実施例１および比較例の結果である。実施例１では、バイアス電圧を上げるに従い、発振強度が増大し、２０ＧＨｚ近傍にシャープなピークを発生させることができた。一方、比較例では、実施例１と比較してピークがブロードで且つ強度の低い発振が得られた。実施例１において８０ｍＶのバイアス電圧でシャープな発振が得られたに対して、比較例では、１２０ｍＶのバイアス電圧を印加してもブロードで低い値であった。
【００３８】
（実施例２）
第２の実施形態に係る磁気記録ヘッド（実施例２）を作製し、比較例との間で発振強度を比較した。
【００３９】
基板上にＦｅＣｏ合金を成膜した後、パターニングによって先端部２１および絞り込み部２２を有した主磁極２を形成した。先端部２１の幅は５０ｎｍとした。次に、主磁極２の上に、アルミナ絶縁体を成膜し、その後主磁極３が露出するまでエッチバックした。その後、先端部２１上にスピントルク発振子１［５Ｔａ／５Ｃｕ／（０．２Ｃｏ／０．６Ｎｉ）１５／２Ｃｕ／１２ＦｅＣｏ／１Ｃｕ／３Ｔａ／１０Ｒｕ（数字はｎｍ）］を５０ｎｍ角の形状に形成した。さらに、その上からＳｉＯ２を成膜した。その後、ｈｒが２００ｎｍである突出部３１を有したリターンヨーク３、第２の非磁性金属層およびコイルを形成した。第２の非磁性金属層はｈｎが１μｍとなるように形成した。
【００４０】
このように作製した磁気記録ヘッドにおいて、コイルに４０ミリアンペアの電流を流し、主磁極に記録磁界を誘起した状態で、ＳＴＯにバイアス電圧をかけて発振挙動を測定した。その結果、実施例１と同様に、比較例と比較して、ピークがシャープで、且つ強度の高い発振が得られた。
【００４１】
（実施例３）
第３の実施形態に係る磁気記録ヘッド（実施例３）を作製し、比較例との間で発振強度を比較した。
【００４２】
主磁極２の先端部２１および絞り込み部２２の周囲に設ける材料として、非磁性金属層５としてのＲｕを使用したこと以外は、実施例２と同様に作製した。
【００４３】
このように作製した磁気記録ヘッドにおいて、コイルに４０ミリアンペアの電流を流し、主磁極に記録磁界を誘起した状態で、ＳＴＯにバイアス電圧をかけて発振挙動を測定した。その結果、実施例１と同様に、比較例と比較して、ピークがシャープで、且つ強度の高い発振が得られた。
【００４４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４５】
１…スピントルク発振子、２…主磁極、２１…先端部、２２…絞り込み部、３…リターンヨーク、３１…突出部、４…絶縁層、５…非磁性金属層、６…第２の非磁性金属層、１３０…ヘッドスライダー、１４０…スピンドルモータ、１５０…磁気記録装置、１５４…サスペンション、１５５…アクチュエータアーム、１５６…ボイスコイルモータ、１５７…ピボット、２００…磁気記録媒体。
【図１】
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【図２】
2012014792.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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