(57)【要約】【課題】  素子自体のサイズを増加させることなく、電極間のクロストークを抑制することが可能な光制御素子を提供すること。【解決手段】  電気光学効果を有する基板１と、該基板に形成された光導波路（２１〜２３）と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、少なくとも二つの信号電極（３１，３２）と該信号電極を挟むように配置された接地電極（４１〜４３）から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段（５１，５２）を設けることを特徴とする。【選択図】図２
2012078496.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、
該変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、
二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設けることを特徴とする光制御素子。
【請求項２】
請求項１に記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられていることを特徴とする光制御素子。
【請求項３】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する高周波信号を印加する変調電極とを有する光制御素子において、
該変調電極は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分で、信号電極を挟むように配置された接地電極を有し、
該信号電極を挟む該接地電極同士を、動作状態に対応した局所的な電位差発生を抑制するため電気的接続手段で電気的に接続することを特徴とする光制御素子。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されていることを特徴とする光制御素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光制御素子に関し、特に、変調電極に２つ以上の信号電極を有する光制御素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
ニオブ酸リチウムなどの電気光学効果を有する基板に、光導波路と変調電極を形成し、該光導波路を伝播する光波を該変調電極で変調を光制御素子が実用化されている。近年では、光通信分野などでの通信速度の高速化や通信データの大容量化等のニーズに応えるため、差動四相位相偏移変調（ＤＱＰＳＫ変調，Differential Quadrature Phase Shift Keying）方式など複数のマッハツェンダー型光導波路（ＭＺ型光導波路）を複数の変調信号で駆動することが行われている。
【０００３】
複数の光導波路と複数の信号電極を有している光制御素子においては、各信号電極には異なる変調信号が入力される場合が多く、各々の光導波路に互いに異なる変調信号が印加されるように構成されている。このため、特定の光導波路に予め定められた変調信号以外の電界が作用すると、信号光の消光比などの光制御素子の光学特性が劣化する原因となる。このような現象はクロストークと呼ばれている。
【０００４】
電極間のクロストークを抑制するには、光導波路の間隔や電極の間隔を広げることが効果的ではあるが、このような対策は光制御素子のサイズが大きくなる原因となり、好ましくない。また、特許文献１に示すように、光導波路又は信号電極の間に溝を形成する方法も提案されているが、光制御素子の製造工程に溝を設ける工程が別途追加されるため、製造時間及びコストが増加することとなる。また、３０μｍ以下の厚みを有する基板を使用した光制御素子では、溝自体が形成できないか、形成できても基板が破損し易くなるなどの不具合を生じる。
【０００５】
また、変調信号の周波数が広帯域化するに従い、信号電極を挟む接地電極同士に動作状態に対応した局所的な電位差が発生する。このため、信号電極と該信号電極を挟む接地電極との間に発生する電界の変化が、信号電極の左右で異なる現象が生じる。光導波路にこのような電界が印加されると、意図した変調動作が期待できず、光制御素子の変調特性が大幅に劣化することとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５３４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、素子自体のサイズを増加させることなく、電極間のクロストークを抑制することが可能な光制御素子を提供することである。また、広帯域周波数でも安定した変調動作が可能な光制御素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設けることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する高周波信号を印加する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分で、信号電極を挟むように配置された接地電極を有し、該信号電極を挟む該接地電極同士を、動作状態に対応した局所的な電位差発生を抑制するため電気的接続手段で電気的に接続することを特徴とする。なお、「動作状態」とは、高周波信号を変調電極に印加している状態をいい、「対応した」とは、時々刻々変化する状態に対応していることをいう。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に係る発明により、変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設けるため、接地電極の接地状態が強化・安定化し、信号電極が形成する電界が接地電極を超えて、隣の信号電極や光導波路に影響を及ぼすことを抑制することが可能となる。しかも、電気的接続手段により接地電極の接地状態が強化・安定化されるため、従来のように、光導波路の間や信号電極の間を広げる必要が無く、光制御素子自体のサイズが増加することも抑制することが可能となる。
【００１３】
請求項２に係る発明により、電気的接続手段は、変調電極が光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられているため、信号光の形成に最も重要な作用部分において信号光の劣化を抑制できるため、信号光の消光比など光学特性の優れた光制御素子を提供することができる。
【００１４】
請求項３に係る発明により、高周波信号を印加する変調電極は、該変調電極が光波に変調作用を及ぼしている作用部分で、信号電極を挟むように配置された接地電極を有し、該信号電極を挟む該接地電極同士を、動作状態に対応した局所的な電位差発生を抑制するため電気的接続手段で電気的に接続するため、接地電極同士の電位が安定するため、信号電極と接地電極との間に発生する電界の変化が信号電極の左右で同相状態を保持することが可能となり、広帯域周波数での変調特性の劣化を抑制することが可能となる。
【００１５】
請求項４に係る発明により、電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されているため、導電部材の隙間を通じて信号電極が形成する電界が漏れ出すことを効果的に抑制でき、クロストークの発生を防止することが可能となる。また、信号電極が形成する電界を効率的に光導波路に印加することが可能となり、広帯域周波数における変調特性の劣化も抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ネスト型光導波路を有する光制御素子の概略を説明する図である。
【図２】図１の一点鎖線Ａ−Ａ’における断面図を示す図である。
【図３】本発明の光制御素子に係る平面図である。
【図４】電気的接続手段の有無による光信号波形の違いを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の光制御素子について、好適例を用いて詳細に説明する。図１は本発明が適用される光制御素子の概略図であり、図２は、図１における一点鎖線Ａ−Ａ’における断面図である。
本発明の光制御素子は、図１及び２に示すように、電気光学効果を有する基板１と、該基板に形成された光導波路（２１〜２３）と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、少なくとも二つの信号電極（３１，３２）と該信号電極を挟むように配置された接地電極（４１〜４３）から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段（５１，５２）を設けることを特徴とする。
【００１８】
電気光学効果を有する基板１としては、特に、ＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５又はＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）のいずれかの単結晶が好適に利用可能である。特に、光変調器などの光制御素子で多用されているＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５が、好ましい。また、基板に形成する光導波路は、例えば、ＬｉＮｂＯ３基板（ＬＮ基板）上にチタン（Ｔｉ）などの高屈折率物質を熱拡散することにより形成される。また、基板に光導波路に沿った凹凸を形成したリッジ型光導波路も利用可能である。さらに、図２では、Ｘカット型の基板を用いた光制御素子を例示しているが、本発明はこれに限らずＺカット型の基板でも同様に適用することが可能である。
【００１９】
図１では光導波路として、メインのＭＺ型光導波路２１に２つのサブのＭＺ型光導波路２２，２３が入れ子型に挿入された、所謂、ネスト型光導波路を示している。本発明の光制御素子はこのような光導波路に限定されるものではないが、ネスト型光導波路のように複数の光変調部を有する光制御素子においては、クロストーク現象が発生し易いため、本発明の構成を適用する優位性が高くなる。
【００２０】
変調電極は、信号電極３１，３２や接地電極４１〜４３から構成され、基板表面に、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンを形成し、金メッキ方法などにより形成することが可能である。さらに、必要に応じて光導波路形成後の基板表面に誘電体ＳｉＯ２等のバッファ層を設け、該バッファ層の上側に変調電極を形成することも可能である。本発明が適用される光制御素子は、複数の信号電極の間に接地電極が配置された構成を有するものに、特に好ましい。
【００２１】
本発明の光制御素子に用いられる電気的接続手段としては、金線や金リボンなど導電率の高い導電線や導電性リボンなどが利用可能である。また、基板にスルーホールを形成し、基板の表側から裏面経て再度表側へと繋がる電気的接続手段であっても良い。導電線や導電性リボンからなる導電部材５１，５２を複数使用する場合には、図３に示すように、複数の導電部材を並列に配置する。このように複数の導電部材を配置することで、接地電極間の接地状態を強化・安定化することができる。また、電気的接続手段として、導電性物質で作製したブリッジ状の構造体を導電性接着剤で貼り付けることも可能である。
【００２２】
光制御素子は、通常、金属ケースに収納されモジュール化されることが多い。このような場合には、光制御素子の側面付近の接地電極は、金属ケースや外部から導入される信号線の接地側端子に接続されている。
【００２３】
また、図２に示すように、信号電極３１（又は３２）を挟むように接地電極４１，４２（又は４２，４３）が配置されている状況では、信号電極に高周波の変調信号が印加されると、信号電極を挟む接地電極同士に動作状態に対応した局所的な電位差が発生し、信号電極の左右で電界の変化が異なる現象が生じる。このような不具合も、電気的接続手段５１（又は５２）により解消でき、光制御素子の変調特性を安定化することが可能となる。
【００２４】
また、各導電部材の間隔Ｌは、信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定することで、信号電極からの電界が接地電極を超えて漏れ出すことを抑制することが可能となる。より好ましくは、間隔Ｌを電気信号の波長の１０分の１以下に設定することで、確実にクロストークを抑制することが可能となる。しかも、信号電極が形成する電界が効率良く光導波路に印加されるため、広帯域周波数における変調効率の低下も抑制することが可能となる。
【００２５】
図４は、導電材料として金線を用い、電気信号の波長の１０分の１の間隔Ｌで、図３のように導電材料を配置した場合の信号波形を示す図である。図４（ａ）は電気的接続手段を設けない場合（改善前）の状態を示しており、図４（ｂ）は電気的接続手段を設けた場合（改善後）を示している。
【００２６】
図４の矢印で示した箇所を見ると、本発明の光制御素子では、信号波形が改善し消光比が向上していることが容易に理解される。
【００２７】
図３の導電部材５１や５２の配置位置が示すように、電気的接続手段は、変調電極が光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けることが好ましい。これは、作用部分におけるクロストーク現象を最も抑制することが必要であるためである。また、このような作用部分は、光制御素子の基板の中央付近に存在し、接地電極がモジュールの金属ケースなどに接地される場所（図３に示す光制御素子の上下側面付近）から最も遠い場所にある場合が多い。このため、十分な接地状態を確保し難いため、本発明のような電気的接続手段を用いて接地状態を強化・安定化することが必要である。
【００２８】
また、信号電極や光導波路との関係から、図３に示すように孤立した接地電極（４５，４６）が発生する場合には、導電材料５３，５４などを用いて互いの接地電極を電気的に接続し、接地状態をより安定化させることが、より好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
以上説明したように、本発明によれば、素子自体のサイズを増加させることなく、電極間のクロストークを抑制することが可能な光制御素子を提供することができる。また、広帯域周波数でも安定した変調動作が可能な光制御素子を提供することができる。
【符号の説明】
【００３０】
１  基板
２１〜２３  光導波路
３１，３２  信号電極
４１〜４７  接地電極
５１〜５４  導電部材
【図１】
2012078496.tif 000003
【図２】
2012078496.tif 000004
【図３】
2012078496.tif 000005
【図４】
2012078496.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成24年1月10日(2012.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、
該変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、
二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設け、
該電気的接続手段は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられていることを特徴とする光制御素子。
【請求項２】
請求項１に記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されていることを特徴とする光制御素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光制御素子に関し、特に、変調電極に２つ以上の信号電極を有する光制御素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
ニオブ酸リチウムなどの電気光学効果を有する基板に、光導波路と変調電極を形成し、該光導波路を伝播する光波を該変調電極で変調を光制御素子が実用化されている。近年では、光通信分野などでの通信速度の高速化や通信データの大容量化等のニーズに応えるため、差動四相位相偏移変調（ＤＱＰＳＫ変調，Differential Quadrature Phase Shift Keying）方式など複数のマッハツェンダー型光導波路（ＭＺ型光導波路）を複数の変調信号で駆動することが行われている。
【０００３】
複数の光導波路と複数の信号電極を有している光制御素子においては、各信号電極には異なる変調信号が入力される場合が多く、各々の光導波路に互いに異なる変調信号が印加されるように構成されている。このため、特定の光導波路に予め定められた変調信号以外の電界が作用すると、信号光の消光比などの光制御素子の光学特性が劣化する原因となる。このような現象はクロストークと呼ばれている。
【０００４】
電極間のクロストークを抑制するには、光導波路の間隔や電極の間隔を広げることが効果的ではあるが、このような対策は光制御素子のサイズが大きくなる原因となり、好ましくない。また、特許文献１に示すように、光導波路又は信号電極の間に溝を形成する方法も提案されているが、光制御素子の製造工程に溝を設ける工程が別途追加されるため、製造時間及びコストが増加することとなる。また、３０μｍ以下の厚みを有する基板を使用した光制御素子では、溝自体が形成できないか、形成できても基板が破損し易くなるなどの不具合を生じる。
【０００５】
また、変調信号の周波数が広帯域化するに従い、信号電極を挟む接地電極同士に動作状態に対応した局所的な電位差が発生する。このため、信号電極と該信号電極を挟む接地電極との間に発生する電界の変化が、信号電極の左右で異なる現象が生じる。光導波路にこのような電界が印加されると、意図した変調動作が期待できず、光制御素子の変調特性が大幅に劣化することとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−５３４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、素子自体のサイズを増加させることなく、電極間のクロストークを抑制することが可能な光制御素子を提供することである。また、広帯域周波数でも安定した変調動作が可能な光制御素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設け、該電気的接続手段は、該変調電極が該光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光制御素子において、該電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に係る発明により、変調電極は、少なくとも二つの信号電極と該信号電極を挟むように配置された接地電極から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段を設けるため、接地電極の接地状態が強化・安定化し、信号電極が形成する電界が接地電極を超えて、隣の信号電極や光導波路に影響を及ぼすことを抑制することが可能となる。しかも、電気的接続手段により接地電極の接地状態が強化・安定化されるため、従来のように、光導波路の間や信号電極の間を広げる必要が無く、光制御素子自体のサイズが増加することも抑制することが可能となる。
【００１１】
さらに請求項１に係る発明により、電気的接続手段は、変調電極が光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けられているため、信号光の形成に最も重要な作用部分において信号光の劣化を抑制できるため、信号光の消光比など光学特性の優れた光制御素子を提供することができる。
【００１２】
請求項２に係る発明により、電気的接続手段は、導電線又は導電性リボンからなる導電部材を複数並列に配置するよう構成され、各導電部材の間隔は、該信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定されているため、導電部材の隙間を通じて信号電極が形成する電界が漏れ出すことを効果的に抑制でき、クロストークの発生を防止することが可能となる。また、信号電極が形成する電界を効率的に光導波路に印加することが可能となり、広帯域周波数における変調特性の劣化も抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ネスト型光導波路を有する光制御素子の概略を説明する図である。
【図２】図１の一点鎖線Ａ−Ａ’における断面図を示す図である。
【図３】本発明の光制御素子に係る平面図である。
【図４】電気的接続手段の有無による光信号波形の違いを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の光制御素子について、好適例を用いて詳細に説明する。図１は本発明が適用される光制御素子の概略図であり、図２は、図１における一点鎖線Ａ−Ａ’における断面図である。
本発明の光制御素子は、図１及び２に示すように、電気光学効果を有する基板１と、該基板に形成された光導波路（２１〜２３）と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御素子において、該変調電極は、少なくとも二つの信号電極（３１，３２）と該信号電極を挟むように配置された接地電極（４１〜４３）から構成され、二つの該信号電極の間に配置された該接地電極と、それ以外の該接地電極とを電気的に接続すると共に、該信号電極の一部を跨ぐように配置された電気的接続手段（５１，５２）を設けることを特徴とする。
【００１５】
電気光学効果を有する基板１としては、特に、ＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５又はＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）のいずれかの単結晶が好適に利用可能である。特に、光変調器などの光制御素子で多用されているＬｉＮｂＯ３，ＬｉＴａＯ５が、好ましい。また、基板に形成する光導波路は、例えば、ＬｉＮｂＯ３基板（ＬＮ基板）上にチタン（Ｔｉ）などの高屈折率物質を熱拡散することにより形成される。また、基板に光導波路に沿った凹凸を形成したリッジ型光導波路も利用可能である。さらに、図２では、Ｘカット型の基板を用いた光制御素子を例示しているが、本発明はこれに限らずＺカット型の基板でも同様に適用することが可能である。
【００１６】
図１では光導波路として、メインのＭＺ型光導波路２１に２つのサブのＭＺ型光導波路２２，２３が入れ子型に挿入された、所謂、ネスト型光導波路を示している。本発明の光制御素子はこのような光導波路に限定されるものではないが、ネスト型光導波路のように複数の光変調部を有する光制御素子においては、クロストーク現象が発生し易いため、本発明の構成を適用する優位性が高くなる。
【００１７】
変調電極は、信号電極３１，３２や接地電極４１〜４３から構成され、基板表面に、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンを形成し、金メッキ方法などにより形成することが可能である。さらに、必要に応じて光導波路形成後の基板表面に誘電体ＳｉＯ２等のバッファ層を設け、該バッファ層の上側に変調電極を形成することも可能である。本発明が適用される光制御素子は、複数の信号電極の間に接地電極が配置された構成を有するものに、特に好ましい。
【００１８】
本発明の光制御素子に用いられる電気的接続手段としては、金線や金リボンなど導電率の高い導電線や導電性リボンなどが利用可能である。また、基板にスルーホールを形成し、基板の表側から裏面経て再度表側へと繋がる電気的接続手段であっても良い。導電線や導電性リボンからなる導電部材５１，５２を複数使用する場合には、図３に示すように、複数の導電部材を並列に配置する。このように複数の導電部材を配置することで、接地電極間の接地状態を強化・安定化することができる。また、電気的接続手段として、導電性物質で作製したブリッジ状の構造体を導電性接着剤で貼り付けることも可能である。
【００１９】
光制御素子は、通常、金属ケースに収納されモジュール化されることが多い。このような場合には、光制御素子の側面付近の接地電極は、金属ケースや外部から導入される信号線の接地側端子に接続されている。
【００２０】
また、図２に示すように、信号電極３１（又は３２）を挟むように接地電極４１，４２（又は４２，４３）が配置されている状況では、信号電極に高周波の変調信号が印加されると、信号電極を挟む接地電極同士に動作状態に対応した局所的な電位差が発生し、信号電極の左右で電界の変化が異なる現象が生じる。このような不具合も、電気的接続手段５１（又は５２）により解消でき、光制御素子の変調特性を安定化することが可能となる。
【００２１】
また、各導電部材の間隔Ｌは、信号電極を伝播する電気信号の１／２波長以下となるよう設定することで、信号電極からの電界が接地電極を超えて漏れ出すことを抑制することが可能となる。より好ましくは、間隔Ｌを電気信号の波長の１０分の１以下に設定することで、確実にクロストークを抑制することが可能となる。しかも、信号電極が形成する電界が効率良く光導波路に印加されるため、広帯域周波数における変調効率の低下も抑制することが可能となる。
【００２２】
図４は、導電材料として金線を用い、電気信号の波長の１０分の１の間隔Ｌで、図３のように導電材料を配置した場合の信号波形を示す図である。図４（ａ）は電気的接続手段を設けない場合（改善前）の状態を示しており、図４（ｂ）は電気的接続手段を設けた場合（改善後）を示している。
【００２３】
図４の矢印で示した箇所を見ると、本発明の光制御素子では、信号波形が改善し消光比が向上していることが容易に理解される。
【００２４】
図３の導電部材５１や５２の配置位置が示すように、電気的接続手段は、変調電極が光波に変調作用を及ぼしている作用部分に設けることが好ましい。これは、作用部分におけるクロストーク現象を最も抑制することが必要であるためである。また、このような作用部分は、光制御素子の基板の中央付近に存在し、接地電極がモジュールの金属ケースなどに接地される場所（図３に示す光制御素子の上下側面付近）から最も遠い場所にある場合が多い。このため、十分な接地状態を確保し難いため、本発明のような電気的接続手段を用いて接地状態を強化・安定化することが必要である。
【００２５】
また、信号電極や光導波路との関係から、図３に示すように孤立した接地電極（４５，４６）が発生する場合には、導電材料５３，５４などを用いて互いの接地電極を電気的に接続し、接地状態をより安定化させることが、より好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、素子自体のサイズを増加させることなく、電極間のクロストークを抑制することが可能な光制御素子を提供することができる。また、広帯域周波数でも安定した変調動作が可能な光制御素子を提供することができる。
【符号の説明】
【００２７】
１  基板
２１〜２３  光導波路
３１，３２  信号電極
４１〜４７  接地電極
５１〜５４  導電部材